【手続補正書】
【提出日】平成21年8月26日(2009.8.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
以下に、本発明の実施例について説明する。
［実施例１］
実施例１においては、本発明の圧力制御弁の構成を適用した小型減圧弁における第１の構成例について説明する。
図１に、本実施例の小型減圧弁の構成例を説明するための断面図を示す。
図１において、１はダイヤフラム、２はピストン、３は第１の弁座、４は第１の弁体、５は支持部、８は出口流路、１０は第２の弁座、１１は第２の弁体、１２は入口流路である。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本実施例における減圧弁は、可動部となるダイヤフラム１、伝達機構であるピストン２、および、第１の弁を形成する第１の弁座３、第１の弁体４、および、支持部５、第２の弁を形成する第２の弁座１０、第２の弁体１１、入口流路１２、出口流路８からなる。
上記第１の弁が入口流路１２を開く動作を行う際に、第２の弁がこの入口流路１２と出口流路８との間の流路を閉鎖する動作を行い、ピストン２によって、上記可動部と、上記第１及び第２の弁との動作を連動させるように構成されている。特に、第１の弁体４は、ピストン２によって伝達されるダイヤフラム１の動作に応じて、上記第１と上記第１の弁座部間を開閉可能に、支持部５によって周囲に支持されている。
支持部５は、ピストン２の動作方向に垂直で、かつ第１の弁体４を含む平面上に設けられている、第１の弁体４を支持する弾性体によって構成されている。
このような支持部は、弾性を有する梁によって形成し、例えば、図２（ａ）や図２（ｂ）に示すような構成を採ることができる。
第１の弁座３が周囲よりも隆起した構造とすると、弁開閉部にかかる圧力が大きくなり、バルブが閉じた状態で支持部のバネがたわんだ状態となり、シール性が向上する。
また、弁体、あるいは、弁座の少なくとも一方の表面に、弁のシール材をコーティングすることにより、シール製を向上することができる。
なお、図１に示される構成例では、上記第１の弁側がピストン２と分離されるように構成されているが、後に説明するように可動部側がピストン２と分離されるように構成してもよい。
加工には切削のような機械加工やエッチングなどを用いることができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
本実施例の減圧弁は、機械加工技術を用いて、例えば、以下のように作製することができる。
図７は、本減圧弁を第１の弁体４側から見た場合の分解斜視図である。
斜視図から分かるように、シート状部材（または板状部材）を重ねあわせることで、減圧弁を作製する。
各部材のサイズは８ｍｍ×８ｍｍである。
まず、ダイヤフラム（可動部）１には、バイトンゴムやシリコーンゴムなどの弾性材料、ステンレスやアルミニウムなどの金属材料やプラスチックなどを使用することができる。
例えば、ステンレスを材料に用いた場合には、エッチングや切削加工などによりピストンを一体型で作製することができる。
本実施例では、ダイヤフラムには、厚さ５０μｍのＰＥＴ基材に厚さ２５μｍのガスシール性のある接着層を有するホットメルトシート（日東シンコー社）を使用した。
また、ピストン部には、図８（ａ）の平面図に示すようなダイヤフラム支持部１４、第２の弁体１１、ピストン２を一体加工したものをステンレスのエッチング加工により作製した。
ダイヤフラム支持部１４の厚さは５０μｍ、ピストン２の高さは２５０μｍである。これらのホットメルトシートとＳＵＳ部材は、両部材を重ね合わせた状態で、１４０℃程度に加熱し、数秒間保持することで接着した。
また、ダイヤフラム（可動部）１の下部空間やピストン（伝達機構）２が通過する流路は、ステンレスの機械加工やエッチング加工で作製できる。
加工には切削のような機械加工やエッチングなどを用いることができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
以上のようにして、作製された減圧弁は、大気圧が１気圧程度の時、１次圧力が１気圧以上であれば、２次圧力は０．８気圧（絶対圧）程度になる。
さらに、リーク特性は０．１ｓｃｃｍ以下、２次圧力が２．５気圧（絶対圧）でも破損しないものが得られる。さらに、１次圧力が低下した場合には、第２の弁が閉じる。
本実施例では、接着にホットメルトシートを使用している。
この方法は、厚さや位置決めの制御に優れているが、その他の接着剤の塗布による接着加工方法や、金属同士の拡散接合を用いる方法も有効である。
また、各部材はシート状なので、金属部材の加工は、エッチング加工やプレス加工による構造形成方法が適しており、樹脂部材の加工は、プレス加工や射出成形が適している。
また、本実施例で述べた各部材のうち、一部、あるいは、全部に以下の実施例で述べる半導体基板の加工技術を利用して製造された部材を用いることも可能である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
本実施例における減圧弁は、可動部となるダイヤフラム２０１、伝達機構であるピストン２０２、第１の弁座２０３、弁体２０４、支持部２０５、第２の弁座２１０、入口流路２１２、出口流路２０８、スペーサ２１３からなる。
特に、弁体２０４は、支持部２０５によって周囲に支持されており、上下両面がそれぞれ、第１の弁座２０３、第２の弁座２１０に着座可能になっている。
支持部２０５は、弾性を有する梁によって形成されており、例えば、図２（ａ）や図２（ｂ）に示すような構成を採ることができる。
第１の弁座２０３が周囲よりも隆起した構造とすると、弁開閉部にかかる圧力が大きくなり、バルブが閉じた状態で支持部のバネがたわんだ状態となり、シール性が向上する。また、弁体、あるいは、弁座の少なくとも一方の表面に、弁のシール材をコーティングすることにより、シール性を向上することができる。
本実施例の構成が実施例１の構成と異なる主な点は、逆止機能を有する第２の弁が、減圧機能を有する第１の弁よりも上流側にある点である。
これにより、第２の弁を第１の弁よりも流路の上流側から付設するようにすることができる。
このような構成とすることで、シート状、あるいは、板状構造の重ねあわせによって、本発明の機能を有する減圧弁を作製する場合に、加工しやすいという利点がある。
また、既存の小型減圧弁に対し、図１３に示すように、スペーサ２１３、第２の弁座２１０を有する部材を付加するだけで、本発明の機能を達成することができるという利点もある。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６８】
［実施例３］
実施例３においては、本発明の小型減圧弁を搭載した燃料電池について説明する。
図２５は本発明の燃料電池の概観を表す斜視図である。
また、図２６は本実施例燃タンクと、燃料電池発電部と、これらの間に前記燃料容器からの燃料を前記燃料電池発電部に供給する燃料流路を有し、該燃料流路に圧力制御機構として上記小型減圧弁を備えた燃料電池システムの概要図である。
本実施例の燃料電池の外寸法は５０ｍｍ×３０ｍｍ×１０ｍｍであり、通常コンパクトデジタルカメラで使用されているリチウムイオン電池の大きさとほぼ同じである。
このように本実施例の燃料電池は小型で一体化されているため、携帯機器に組み込みやすい形状となっている。
本実施例の燃料電池は、酸化剤として反応に用いる酸素を外気から取り入れるため、上下面、及び側面に外気を取り入れるための通気孔１３３を有する。
また、この孔は生成した水を水蒸気として逃がしたり、反応により発生した熱を外に逃がす働きもしている。また、燃料電池内部は、酸化剤極１３６、高分子電解質膜１３７、燃料極１３８からなる燃料電池セル１３１と、燃料を貯蔵する燃料タンク１３４、燃料タンクと各セルの燃料極とをつなぎ、燃料の流量を制御する小型減圧弁１３５によって構成されている。