【手続補正書】
【提出日】平成20年12月9日(2008.12.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハの研磨を行う研磨パッドの表面に、均一に研磨液を広げて供給する研磨パッド表面への研磨液供給装置において、
上下に延びる複数の糸状の部材が束ねられ、下端部が前記研磨パッドの表面に近接した状態で配置されるとともに、前記研磨パッドの移動方向と交差する方向に延びた状態で配置され、毛細管現象により前記研磨パッド上に均一に研磨液を広げる刷毛状部材と、
前記刷毛状部材の上部に研磨液を供給する供給手段と、
前記刷毛状部材に対して、前記研磨パッドを相対的に移動させ、前記刷毛状部材で均一に広げた研磨液を、前記研磨パッドの表面に連続的に供給する連続供給手段と、
を備えることを特徴とする研磨パッド表面への研磨液供給装置。
【請求項２】
前記研磨パッドは、研磨定盤上に固定され、表面に溝を有する研磨パッドであり、
前記連続供給手段は、前記刷毛状部材に対して、前記研磨パッドを相対的に回転運動させ、前記刷毛状部材で均一に広げられた研磨液を、前記研磨パッド表面のみに連続的に供給する手段であることを特徴とする請求項１に記載の研磨パッド表面への研磨液供給装置。
【請求項３】
前記刷毛状部材の下端部は、その上下方向において、パッドの溝底部に近接せず、パッド表面に近接する状態で配置されていることを特徴とする請求項２に記載の研磨パッド表面への研磨液供給装置。
【請求項４】
前記研磨液供給手段には、研磨液を前記刷毛状部材に供給する研磨液供給管が設けられ、前記研磨液供給管は、該研磨液供給管側面に水平に形成されたスリットに接するように設けられた前記刷毛状部材へ、該研磨液供給管内に一定量以上貯留し、前記スリットより流出した前記研磨液を供給することを特徴とする請求項１に記載の研磨パッド表面への研磨液供給装置。
【請求項５】
前記研磨液供給管には、該研磨液供給管の水平度を計測するための傾斜センサが設けられていることを特徴とする請求項４に記載の研磨パッド表面への研磨液供給装置。
【請求項６】
前記刷毛状部材は、高分子樹脂素材により形成されていることを特徴とする請求項１に記載の研磨パッド表面への研磨液供給装置。
【請求項７】
前記研磨液を供給した後の前記刷毛状部材を洗浄する洗浄装置が備えられていることを特徴とする請求項１に記載の研磨パッド表面への研磨液供給装置。
【請求項８】
ウェハの研磨を行う研磨パッドの表面に、均一に研磨液を広げて供給する研磨パッド表面への研磨液供給方法において、
上下に延びる複数の糸状の部材が束ねられ、下端部が前記研磨パッドの表面に近接した状態で配置されるとともに、前記研磨パッドの移動方向と交差する方向に延びた状態で配置され、毛細管現象により前記研磨パッド上に均一に研磨液を広げる刷毛状部材の上部に研磨液を供給するステップと、
前記刷毛状部材に対して、前記研磨パッドを相対的に移動させ、前記刷毛状部材で均一に広げた研磨液を、前記研磨パッドの表面に連続的に供給するステップと、
を備えることを特徴とする研磨パッド表面への研磨液供給方法。
【請求項９】
ウェハの研磨を行う研磨パッドの表面に研磨液を均一に供給する研磨パッド表面への研磨液供給装置において、
上部に供給される研磨液が毛細管現象により前記上部から下端部に達する刷毛状部材であって、上下に延びる複数の糸状の部材を束ねて構成され、前記下端部に達した研磨液を前記研磨パッド表面に均一に広げるため、前記下端部を前記研磨パッド表面に近接又は接触させた状態で配置される刷毛状部材と、
前記刷毛状部材の上部に研磨液を供給する研磨液供給手段と、
前記刷毛状部材の下端部に対して、前記研磨パッドを相対的に移動させる移動手段と、を備えることを特徴とする研磨パッド表面への研磨液供給装置。
【請求項１０】
前記研磨パッドの表面には溝が形成されており、
前記移動手段は、前記刷毛状部材の下端部に対して、前記研磨パッドを相対的に移動させることで、前記研磨パッド表面に均一に広げた研磨液を、前記研磨パッド表面にのみ均一に供給することを特徴とする研磨パッド表面への研磨液供給装置。
【請求項１１】
前記研磨液供給手段は、前記刷毛状部材の上部に、毛細管現象により前記上部から下端部に達する程度の量の研磨液を供給することを特徴とする請求項９に記載の研磨パッド表面への研磨液供給装置。
【請求項１２】
前記研磨液供給手段は、前記研磨パッドの中央部から周辺部に向けて該研磨パッドの半径方向に配置されていることを特徴とする請求項９に記載の研磨パッド表面への研磨液供給装置。
【請求項１３】
前記刷毛状部材は、該刷毛状部材の下端に達した研磨液が、前記研磨パッドに形成された溝の底部に接触しない位置に設けられることを特徴とする請求項９に記載の研磨パッド表面への研磨液供給装置。
【請求項１４】
前記研磨液供給手段には、研磨液を前記刷毛状部材に供給する研磨液供給管が設けられ、前記研磨液供給管は、該研磨液供給管側面に水平に形成されたスリットに接するように設けられた前記刷毛状部材の上部へ、該研磨液供給管内に一定量以上貯留し前記スリットより流出した前記研磨液を供給することを特徴とする請求項９に記載の研磨パッド表面への研磨液供給装置。
【請求項１５】
前記研磨液供給管には、該研磨液供給管の水平度を計測するための傾斜センサが設けられていることを特徴とする請求項１４に記載の研磨パッド表面への研磨液供給装置。
【請求項１６】
前記刷毛状部材は、高分子樹脂素材により形成されていることを特徴とする請求項９に記載の研磨パッド表面への研磨液供給装置。
【請求項１７】
前記ウェハ研磨装置は、前記研磨液を供給した後の前記刷毛状部材を洗浄する洗浄装置が備えられていることを特徴とする請求項９に記載の研磨パッド表面への研磨液供給装置。
【請求項１８】
ウェハの研磨を行う研磨パッドの表面に研磨液を均一に供給する研磨パッド表面への研磨液供給方法において、
上部に供給される研磨液が毛細管現象により前記上部から下端部に達する刷毛状部材であって、上下に延びる複数の糸状の部材を束ねて構成され、前記下端部に達した研磨液を前記研磨パッド表面に均一に広げるため、前記下端部を前記研磨パッド表面に近接又は接触させた状態で配置される刷毛状部材の前記上部に研磨液を供給するステップと、
前記刷毛状部材の下端部に対して、前記研磨パッドを相対的に移動させるステップと、を備えることを特徴とする研磨パッド表面への研磨液供給装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】研磨パッド表面への研磨液供給装置及び研磨パッド表面への研磨液供給方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明は前記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、ウェハの研磨を行う研磨パッドの表面に、均一に研磨液を広げて供給する研磨パッド表面への研磨液供給装置において、上下に延びる複数の糸状の部材が束ねられ、下端部が前記研磨パッドの表面に近接した状態で配置されるとともに、前記研磨パッドの移動方向と交差する方向に延びた状態で配置され、毛細管現象により前記研磨パッド上に均一に研磨液を広げる刷毛状部材と、前記刷毛状部材の上部に研磨液を供給する供給手段と、前記刷毛状部材に対して、前記研磨パッドを相対的に移動させ、前記刷毛状部材で均一に広げた研磨液を、前記研磨パッドの表面に連続的に供給する連続供給手段と、を備えることを特徴としている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
請求項２に記載の発明は、請求項１の発明において、前記研磨パッドは、研磨定盤上に固定され、表面に溝を有する研磨パッドであり、前記連続供給手段は、前記刷毛状部材に対して、前記研磨パッドを相対的に回転運動させ、前記刷毛状部材で均一に広げられた研磨液を、前記研磨パッド表面のみに連続的に供給する手段であることを特徴としている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
請求項３に記載の発明は、請求項２において、前記刷毛状部材の下端部は、その上下方向において、パッドの溝底部に近接せず、パッド表面に近接する状態で配置されていることを特徴としている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
請求項８に記載の発明は、ウェハの研磨を行う研磨パッドの表面に、均一に研磨液を広げて供給する研磨パッド表面への研磨液供給方法において、上下に延びる複数の糸状の部材が束ねられ、下端部が前記研磨パッドの表面に近接した状態で配置されるとともに、前記研磨パッドの移動方向と交差する方向に延びた状態で配置され、毛細管現象により前記研磨パッド上に均一に研磨液を広げる刷毛状部材の上部に研磨液を供給するステップと、前記刷毛状部材に対して、前記研磨パッドを相対的に移動させ、前記刷毛状部材で均一に広げた研磨液を、前記研磨パッドの表面に連続的に供給するステップと、を備えることを特徴としている。