【手続補正書】
【提出日】平成21年1月23日(2009.1.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも突端部が磁性材料で形成された複数の凸部と凹部とを有する凹凸パターンによって基材の少なくとも一面におけるサーボパターン領域にサーボパターンが形成されると共に、少なくとも突端部が前記磁性材料で形成された凸部によって複数のデータ記録トラックが前記基材の少なくとも前記一面におけるデータ記録領域に形成され、かつ、当該サーボパターン領域がバーストパターン領域を備えて構成され、
前記バーストパターン領域に形成された前記各凸部の突端面における各内接円のうちの最大径の内接円が前記サーボパターン領域に形成された前記各凸部の突端面における各内接円のうちの最大径の内接円となるように前記凹部が当該サーボパターン領域に形成されると共に、前記各データ記録トラックの半径方向に沿った長さが当該最大径の内接円の直径以下となるように当該各データ記録トラックが前記データ記録領域に形成されている磁気記録媒体。
【請求項２】
請求項１記載の磁気記録媒体と、当該磁気記録媒体における前記サーボパターン領域から読み取られた所定の信号に基づいてトラッキングサーボ制御処理を実行する制御部とを備えている記録再生装置。
【請求項３】
請求項１記載の磁気記録媒体における前記凹凸パターンの凹部に対応して形成された凸部と、前記磁気記録媒体における前記凹凸パターンの凸部に対応して形成された凹部とを有する凸凹パターンが形成された磁気記録媒体製造用のスタンパー。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
具体的には、例えば、図３１に示すように、上記の製造方法に従って製造した磁気ディスク１０ｚは、同心円状の複数のデータ記録トラックで構成されたデータトラックパターン４０ｔｚが形成されたデータ記録領域Ａｔｚと、トラッキングサーボ用のサーボパターン４０ｓｚが形成されたサーボパターン領域Ａｓｚとが磁気ディスク１０ｚの回転方向（同図に示す矢印Ｒの向き）で交互に並ぶように規定されて製造されている。この場合、図３２に示すように、磁気ディスク１０ｚのサーボパターン領域Ａｓｚは、一例として、プリアンブルパターンが形成されたプリアンブルパターン領域Ａｐｚと、アドレスパターンが形成されたアドレスパターン領域Ａａｚと、バースト領域Ａｂ１ｚ〜Ａｂ４ｚの各領域にバーストパターンが形成されたバーストパターン領域Ａｂｚとを備えている。また、データ記録領域Ａｔｚとプリアンブルパターン領域Ａｐｚとの間、プリアンブルパターン領域Ａｐｚとアドレスパターン領域Ａａｚとの間、アドレスパターン領域Ａａｚとバーストパターン領域Ａｂｚとの間、およびバーストパターン領域Ａｂｚとデータ記録領域Ａｔｚとの間の各領域には、磁性材料（磁性層１４）からなる凸部で構成された非サーボ信号領域Ａｘｚが形成されている。さらに、バーストパターン領域Ａｂｚにおける各バースト領域Ａｂ１ｚ〜Ａｂ４ｚの各領域の間には、磁性材料（磁性層１４）からなる凸部で構成された非サーボ信号領域Ａｘｂｚが形成されている。この場合、非サーボ信号領域Ａｘｚ，Ａｘｂｚには、トラッキングサーボ制御用の制御信号が記録されておらず、非サーボ信号領域Ａｘｚ，Ａｘｂｚの全域が上記の凸部で構成されて凹部が存在しない状態となっている。なお、同図において斜線で塗り潰した領域は、サーボパターン４０ｓｚおよびデータトラックパターン４０ｔｚにおける凸部（図３３における凸部４０ａｚ）の形成領域を表している。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
この場合、出願人は、サーボパターン４０ｓｚ等を覆うようにして形成した非磁性材料１５の層（凸部４０ａｚ，４０ａｚ・・等の間にガードバンド部を形成するための材料の層：図３３参照）をドライエッチング処理して各凸部４０ａｚ，４０ａｚ・・を露出させる際に、その下方に存在する凸部４０ａｚの突端面が広いほど（例えば、凸部４０ａｚの突端面における磁気ディスク１０ｚの回転方向に沿った長さおよび半径方向に沿った長さが共に長いほど）、非磁性材料１５に対するエッチングの進行が遅くなる現象を見出している。したがって、突端面が広い凸部が形成されている非サーボ信号領域Ａｘｚ，Ａｘｂｚ・・等には、非磁性材料１５の層に対するドライエッチング処理に際して厚手の残渣が生じることとなる。具体的には、図３３に示すように、例えば、突端面の回転方向に沿った長さＬ１１が短い凸部４０ａｚ，４０ａｚ・・上では、ドライエッチング処理によって非磁性材料１５が十分にエッチングされて凸部４０ａｚの突端面が非磁性材料１５から露出する。これに対して、突端面が過剰に広い凸部４０ａｚ，４０ａｚ・・上では、非磁性材料１５に対するエッチングの進行が遅いため、長さＬ１１が短い凸部４０ａｚの突端面が非磁性材料１５から露出した時点でドライエッチング処理を終了したときに、厚みＴの残渣が生じた状態（凸部４０ａｚが非磁性材料１５によって覆われた状態）となる。この結果、残渣が生じた部位（非サーボ信号領域Ａｘｚ，Ａｘｂｚ等）においてサーボパターン領域Ａｓｚ内の表面平坦性が悪化する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
上記目的を達成すべく本発明に係る磁気記録媒体は、少なくとも突端部が磁性材料で形成された複数の凸部と凹部とを有する凹凸パターンによって基材の少なくとも一面におけるサーボパターン領域にサーボパターンが形成されると共に、少なくとも突端部が前記磁性材料で形成された凸部によって複数のデータ記録トラックが前記基材の少なくとも前記一面におけるデータ記録領域に形成され、かつ、当該サーボパターン領域がバーストパターン領域を備えて構成され、前記バーストパターン領域に形成された前記各凸部の突端面における各内接円のうちの最大径の内接円が前記サーボパターン領域に形成された前記各凸部の突端面における各内接円のうちの最大径の内接円となるように前記凹部が当該サーボパターン領域に形成されると共に、前記各データ記録トラックの半径方向に沿った長さが当該最大径の内接円の直径以下となるように当該各データ記録トラックが前記データ記録領域に形成されている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、本発明に係る記録再生装置は、上記の磁気記録媒体と、当該磁気記録媒体における前記サーボパターン領域から読み取られた所定の信号に基づいてトラッキングサーボ制御処理を実行する制御部とを備えている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、本発明に係るスタンパーは、磁気記録媒体製造用のスタンパーであって、上記の磁気記録媒体における前記凹凸パターンの凹部に対応して形成された凸部と、前記磁気記録媒体における前記凹凸パターンの凸部に対応して形成された凹部とを有する凸凹パターンが形成されている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明に係る磁気記録媒体によれば、バーストパターン領域に形成した各凸部の突端面における各内接円のうちの最大径の内接円がサーボパターン領域に形成した各凸部の突端面における各内接円のうちの最大径の内接円となるように凹部をサーボパターン領域に形成したことにより、バーストパターン領域に形成した各凸部の突端面における各内接円のうちの最大径の内接円の直径を超える直径の内接円が存在し得る広い突端面を有する凸部がサーボパターン領域内に存在しないため、サーボパターン領域内の凹凸パターンを覆うようにして形成した非磁性材料の層をエッチング処理する際に、各凸部の上に厚手の残渣が生じる事態を回避することができる。これにより、サーボパターン領域内の平坦性が良好で、しかもサーボデータの確実な読み取りが可能な磁気記録媒体を提供することができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
また、本発明に係る記録再生装置によれば、上記の磁気記録媒体と、その磁気記録媒体におけるサーボパターン領域から読み取られた所定の信号に基づいてトラッキングサーボ制御処理を実行する制御部とを備えたことにより、トラッキングサーボ制御用の制御信号を記録した領域を除く領域に形成された凹凸パターン（ダミーパターン）の存在に影響されることなく、データ記録領域内の各凸部（データ記録トラック）にオントラックさせた磁気ヘッドを介して記録データの記録再生を行うことができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
また、本発明に係るスタンパーによれば、上記の磁気記録媒体における凹凸パターンの凹部に対応して形成された凸部と、磁気記録媒体における凹凸パターンの凸部に対応して形成された凹部とを有する凸凹パターンを形成したことにより、例えば、磁気記録媒体を製造するための中間体に対するインプリント処理時に、バーストパターン領域に形成される各凸部の突端面における各内接円のうちの最大径の内接円の直径を超える直径の内接円が存在し得る広い突端面を有する凸部がサーボパターン領域内に形成される事態を回避することができる。このため、この凹凸パターンをマスクとして中間体に対するエッチング処理を実行することにより、上記の最大径の内接円の直径を超える直径の内接円が存在し得る広い突端面を有する凸部がサーボパターン領域内に形成される事態を回避することができる。したがって、この凹凸パターンを覆うようにして形成した非磁性材料の層をエッチング処理する際に、サーボパターン領域内の各凸部の上に厚手の残渣が生じる事態を回避することができる。これにより、平坦性が良好で、しかもサーボデータの確実な読み取りが可能な磁気記録媒体を製造することができる。また、磁気記録媒体における各凸部の突端面に対応して、過剰に広い凹部がスタンパーに存在しないため、中間体における樹脂層（インプリント処理によって凹凸パターンを形成する層）にスタンパーの凹凸パターンを押し付けた際に、スタンパーの凹部内への樹脂材料（樹脂層）の移動量の不足に起因する凸部の高さ不足（樹脂マスクの厚み不足）が生じる事態を回避することができる。したがって、中間体に形成した凹凸パターンをマスクとして中間体をエッチングする際に、中間体に対するエッチングの完了に先立ってマスクとしての凸部が消失する事態を回避することができる結果、十分な深さの凹部を有する凹凸パターンを中間体に形成することができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
一方、磁気ディスク１０は、前述したモータ２や磁気ヘッド３などと共にハードディスクドライブ１の筐体内に配設されている。この磁気ディスク１０は、垂直記録方式による記録データの記録が可能なディスクリートトラック型の磁気ディスク（パターンド媒体）であって、図４に示すように、軟磁性層１２、中間層１３および磁性層１４がガラス基材１１の上にこの順で形成されている。この場合、磁性層１４は、突端部（同図における上端部）から基端部（同図における下端部）までの全体が磁性材料で形成された凸部４０ａ，４０ａ・・と、凸部４０ａ，４０ａ・・間の凹部４０ｂ，４０ｂ・・とが形成されて凹凸パターン４０を構成する。また、凹部４０ｂ，４０ｂ・・には、ＳｉＯ２等の非磁性材料１５が埋め込まれて磁気ディスク１０の表面が平坦化されている。さらに、凹部４０ｂ，４０ｂ・・に埋め込まれた非磁性材料１５、および磁性層１４（凸部４０ａ）の表面には、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）等によって厚みが２ｎｍ程度の保護層１６（ＤＬＣ膜）が形成されている。また、保護層１６の表面には、磁気ヘッド３および磁気ディスク１０の双方の傷付きを回避するための潤滑剤（一例として、フォンブリン系の潤滑剤）が塗布されている。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
また、図３に示すように、データ記録領域Ａｔには、データトラックパターン４０ｔが形成されている。なお、同図および後に参照する図５〜１１，２６〜２８において斜線で塗り潰した領域は、凹凸パターン４０における凸部４０ａの形成領域を表している。この場合、図５に示すように、データトラックパターン４０ｔは、中心Ｏ（図２参照）を中心とする同心円状の多数の凸部４０ａ，４０ａ・・（データ記録トラック）と、各凸部４０ａ，４０ａ・・の間の凹部４０ｂ，４０ｂ・・（トラック間凹部：従来の磁気ディスクにおけるガードバンド部）とで構成されている。なお、磁気ディスク１０の回転中心とデータトラックパターン４０ｔの中心Ｏとが一致しているのが好ましいが、磁気ディスク１０の回転中心とデータトラックパターン４０ｔの中心Ｏとの間には、製造誤差に起因する３０〜５０μｍ程度の極く小さなずれが生じることがある。しかし、この程度のずれ量であれば磁気ヘッド３に対するトラッキングサーボ制御が十分に可能であるため、回転中心と中心Ｏとは、実質的には同様であるといえる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６５】
なお、上記の磁気ディスク１０では、アドレスパターン領域Ａａに形成された各凸部４０ａ，４０ａ・・の突端面における各内接円のうちの最大径（この例では、直径Ｌ１）の内接円Ｑａ１がサーボパターン領域Ａｓ内に形成されたすべての凸部４０ａ，４０ａ・・の突端面における各内接円のうちの最大径の内接円となるようにサーボパターン領域Ａｓ内に凹部４０ｂ，４０ｂ・・が形成されているが、例えば、図２６に示す磁気ディスク１０ａ（本発明に係る磁気記録媒体の一例）のように、バーストパターン領域Ａｂ（第１バースト領域Ａｂ１〜第４バースト領域Ａｂ４）に形成された各凸部４０ａ，４０ａ・・の突端面における各内接円のうちの最大径の内接円Ｑｂ２がサーボパターン領域Ａｓ内に形成されたすべての凸部４０ａ，４０ａ・・の突端面における各内接円（この例では、内接円Ｑｘ２，Ｑｐ２，Ｑａ２）のうちの最大径の内接円となるようにサーボパターン領域Ａｓ内に凹部４０ｂ，４０ｂ・・を形成することもできる。具体的には、この磁気ディスク１０ａでは、図２７に示すように、バーストパターン領域Ａｂに形成された凸部４０ａの突端面における各内接円のうちの最大径の内接円Ｑｂ２が、磁気ディスク１０の回転方向に沿って並ぶ凹部４０ｂ，４０ｂ・・の列の間において４つの凹部４０ｂ，４０ｂ・・に対して４点で点接している。また、図２８に示すように、アドレスパターン領域Ａａに形成された凸部４０ａ，４０ａ・・の突端面における各内接円のうちの最大径の内接円Ｑａ２は、凸部４０ａの回転方向側の両端部において凹部４０ｂ，４０ｂに対して２点で点接しており、この内接円Ｑａ２における直径Ｌ１ａは、上記の内接円Ｑｂ２の直径Ｌ２ａよりも小さくなっている。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７１】
また、上記の磁気ディスク１０では、外周側領域Ａｏにおける回転方向に沿った長さがデータ記録領域Ａｔ内の凸部４０ａの半径方向に沿った長さＬ３（データ記録トラックのトラック幅）と等しい帯状の凸部４０ａ，４０ａ・・を有する凹凸パターン４０が非サーボ信号領域Ａｘ，Ａｘ・・内にダミーパターンとして形成されているが、例えば、磁気ディスク１０における非サーボ信号領域Ａｘｂのように、非サーボ信号領域Ａｘに対して回転方向で隣接する領域内に形成されている凹凸パターン４０と同種のパターンをダミーパターンとして形成する構成や、トラッキングサーボ制御用の制御信号を記録した領域内の凹凸パターン４０とは形状が相違する任意の形状の凹凸パターン４０をダミーパターンとして形成する構成を採用することができる。さらに、上記の磁気ディスク１０では、第１バースト領域Ａｂ１〜第４バースト領域Ａｂ４内の凹凸パターン４０と同種の凹凸パターン４０が非サーボ信号領域Ａｘｂ内にダミーパターンとして形成されているが、例えば、非サーボ信号領域Ａｘｂ内に非サーボ信号領域Ａｘ内の凹凸パターン４０と同種の凹凸パターン４０を形成する構成や、トラッキングサーボ制御用の制御信号を記録した領域内の凹凸パターン４０とは形状が相違する任意の形状の凹凸パターン４０をダミーパターンとして形成する構成を採用することができる。加えて、上記の磁気ディスク１０〜１０ｃでは、ガラス基材１１の片面にのみサーボパターン４０ｓおよびデータトラックパターン４０ｔが形成されているが、ガラス基材１１の表裏両面にサーボパターン４０ｓおよびデータトラックパターン４０ｔを形成することもできる。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７２】
【図１】ハードディスクドライブ１の構成図である。
【図２】磁気ディスク１０の平面図である。
【図３】外周側領域Ａｏにおけるデータ記録領域Ａｔおよびサーボパターン領域Ａｓに形成された各種パターンの一例を示す磁気ディスク１０の平面図である。
【図４】磁気ディスク１０の層構造を示す断面図である。
【図５】データ記録領域Ａｔに形成されたデータトラックパターン４０ｔの一例を示す磁気ディスク１０の平面図である。
【図６】外周側領域Ａｏにおけるプリアンブルパターン領域Ａｐに形成されたプリアンブルパターンの一例を示す磁気ディスク１０の平面図である。
【図７】外周側領域Ａｏにおけるアドレスパターン領域Ａａに形成されたアドレスパターンの一例を示す磁気ディスク１０の平面図である。
【図８】外周側領域Ａｏにおけるバーストパターン領域Ａｂの第１バースト領域Ａｂ１および第２バースト領域Ａｂ２に形成されたバーストパターンの一例を示す磁気ディスク１０の平面図である。
【図９】外周側領域Ａｏにおけるバーストパターン領域Ａｂの第３バースト領域Ａｂ３および第４バースト領域Ａｂ４に形成されたバーストパターンの一例を示す磁気ディスク１０の平面図である。
【図１０】外周側領域Ａｏにおける非サーボ信号領域Ａｘに形成された凹凸パターン４０の一例を示す磁気ディスク１０の平面図である。
【図１１】外周側領域Ａｏにおける非サーボ信号領域Ａｘｂに形成された凹凸パターン４０の一例を示す磁気ディスク１０の平面図である。
【図１２】中間体２０の層構造を示す断面図である。
【図１３】スタンパー３０の断面図である。
【図１４】ガラス基材３１の上にレジスト層３２を形成した状態の断面図である。
【図１５】レジスト層３２に電子ビーム３２ａを照射して潜像３２ｂ，３２ｂ・・を形成した状態の断面図である。
【図１６】潜像３２ｂ，３２ｂ・・が形成されたレジスト層３２を現像処理して凹凸パターン３３を形成した状態の断面図である。
【図１７】凹凸パターン３３を覆うようにしてニッケル層３４を形成した状態の断面図である。
【図１８】メッキ処理によってニッケル層３５を形成した状態の断面図である。
【図１９】ニッケル層３４，３５の積層体をガラス基材３１から剥離して形成したスタンパー３７の断面図である。
【図２０】スタンパー３７における凹凸パターン３６の形成面にニッケル層３８を形成した状態（凹凸パターン３６をニッケル層３８に転写した状態）の断面図である。
【図２１】中間体２０の樹脂層１８にスタンパー３０の凹凸パターン３９を押し付けた状態の断面図である。
【図２２】図２１に示す状態の樹脂層１８からスタンパー３０を剥離してマスク層１７の上に凹凸パターン４１（樹脂マスク）を形成した状態の断面図である。
【図２３】凹凸パターン４１をマスクとしてマスク層１７をエッチング処理して磁性層１４の上に凹凸パターン４２（マスク）を形成した状態の断面図である。
【図２４】凹凸パターン４２をマスクとして磁性層１４をエッチング処理して中間層１３の上に凹凸パターン４０を形成した状態の断面図である。
【図２５】凹凸パターン４０を覆うようにして非磁性材料１５の層を形成した状態の中間体２０の断面図である。
【図２６】外周側領域Ａｏにおけるデータ記録領域Ａｔおよびサーボパターン領域Ａｓに形成された各種パターンの他の一例を示す磁気ディスク１０ａの平面図である。
【図２７】外周側領域Ａｏにおけるサーボパターン領域Ａｓのバーストパターン領域Ａｂに形成されたバーストパターンの一例を示す磁気ディスク１０ａの平面図である。
【図２８】外周側領域Ａｏにおけるサーボパターン領域Ａｓのアドレスパターン領域Ａａに形成されたアドレスパターンの一例を示す磁気ディスク１０ａの平面図である。
【図２９】磁気ディスク１０ｂの層構造を示す断面図である。
【図３０】磁気ディスク１０ｃの層構造を示す断面図である。
【図３１】従来の磁気ディスク１０ｚの平面図である。
【図３２】データ記録領域Ａｔｚおよびサーボパターン領域Ａｓｚに形成された各種パターンの一例を示す磁気ディスク１０ｚの平面図である。
【図３３】磁気ディスク１０ｚの層構造を示す断面図である。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
１  ハードディスクドライブ
６  制御部
１０，１０ａ〜１０ｃ  磁気ディスク
１１  ガラス基材
１４  磁性層
１５  非磁性材料
３０  スタンパー
３９，４０  凹凸パターン
３９ａ，４０ａ  凸部
３９ｂ，４０ｂ  凹部
４０ｓ  サーボパターン
４０ｔ  データトラックパターン
Ａａ  アドレスパターン領域
Ａｂ  バーストパターン領域
Ａｂ１〜Ａｂ４  第１〜第４バースト領域
Ａｎ，Ａｘ，Ａｘｂ  非サーボ信号領域
Ａｐ  プリアンブルパターン領域
Ａｓ  サーボパターン領域
Ａｔ  データ記録領域
Ｌ１，Ｌ２，Ｌ１ａ，Ｌ２ａ，Ｌ５  直径
Ｌ３，Ｌ４  長さ
Ｑａ１，Ｑｂ１，Ｑｐ１，Ｑｘ１，Ｑａ２，Ｑｂ２，Ｑｐ２，Ｑｘ２  内接円
【手続補正１９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３１】
2008310958.tif 000001
【手続補正２０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３２】
2008310958.tif 000002
【手続補正２１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３３】
2008310958.tif 000003
【手続補正２２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３４
【補正方法】削除
【補正の内容】