【誤訳訂正書】
【提出日】平成25年11月5日(2013.11.5)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００３】
マイクロエレクトロニクスデバイスの製造における処理の効率性および高い生産性のため、マイクロエレクトロニクスのリソグラフィ製法には、写真現像可能な（ｐｈｏｔｏｉｍａｇｅａｂｌｅ）材料からの再現可能性が必要とされている。フォトスピード（ｐｈｏｔｏｓｐｅｅｄ）は、最適な処理に必要なエネルギー量によって測定され、高度な再現性を必要とする重要なリソグラフィパラメータのうちの１つである。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００４】
したがって、コーティング組成物のバッチ間でのフォトスピードの再現性が高い必要がある。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２３】
発明者らは、光化学的に生成され現像化学の働きに影響を与える酸を使用する、写真現像可能なコーティング組成物が、その酸が現像化学処理を開始することが可能となる前に、光化学的に生成された酸の一部を中和する少量の塩基性不純物の存在によるバッチ間のフォトスピードの許容不能な変動に影響を受け得ることを見出した。本開示は、コーティング組成物を、その組成物中の塩基の総量を一定とするように配合することによって、この変動を除去するための戦略について記載する。詳細には、本開示は、少量の一定の塩基性化合物と、様々な部位によりブロックされたＰＢＯ前駆体とを含有する、ポジ型で機能する感光性組成物（例えば、化学増幅型のポジ型で機能する感光性組成物）について記載する。塩基性化合物の存在によって、驚くべきことに、これらの組成物のフォトスピードが低下し、それによって、バッチ間のフォトスピードの再現性が高い組成物が得られる。
また、発明者らは、驚くべきことに、ポジ型で機能する感光性ＰＢＯ組成物における少量の塩基の存在によって、それらの組成物の貯蔵寿命が非常に改良され、それらの組成物によって製造される膜の化学的なアンダーカットが除去される（例えば、エポキシ接着プロモータなど一定の接着プロモータの存在時に）ことを見出した。本明細書において述べる用語「化学的なアンダーカット」は、一般に、リソグラフ処理中の膜の下部の一部（例えば、膜と基材との間の界面に沿った部分）の損失を指す。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１１７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１１７】
本開示に記載の感光性組成物において上述の塩基性化合物を用いることの１つの利点は、塩基性化合物が組成物のフォトスピードを低下させることが可能であることである。実際、レーザ式でないステッパ（例えば、典型的なｉ線ステッパ）のシャッタは、通常、非常に大きなフォトスピードで（例えば、非常に低いエネルギー量で）再現性をもって動作するようには設計されていない。その結果、非常に大きなフォトスピードを有する感光性組成物は、通常、一貫しない暴露結果を与える。そのような組成物に上述の塩基性化合物を添加することによって、そのフォトスピードを低下させることが可能であり、したがって、そのような組成物の暴露結果が再現性をもって制御される。例えば、本開示に記載の感光性組成物は、ｉ線ステッパを用いることによって、約１２５ｍＪ／ｃｍ２以上（例えば、約１７５ｍＪ／ｃｍ２以上）および／または約５００ｍＪ／ｃｍ２以下（例えば、約２００ｍＪ／ｃｍ２以下）の暴露エネルギーで８μｍのフィーチャを形成することが可能である。感光性において上述の塩基性化合物を用いることの他の利点は、組成物の貯蔵寿命を改良すること、それらの組成物によって製造される膜の化学的なアンダーカットを除去すること（例えば、エポキシ接着プロモータの存在する場合）、およびリソグラフ製法中に組成物によって製造される暴露されていない膜の厚さの損失を減少させることを含む。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１１８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１１８】
一部の実施形態では、驚くことに、一定の塩基性化合物は、本開示に記載の感光性化合物（例えばＰＢＯ前駆体）のフォトスピードを増加させることが可能であることを発明者らは見出した。そのような塩基性化合物の例は、構造ＸＩＶの３級アミンを含み、Ｒ３０、Ｒ３１、およびＲ３２は、Ｃ６〜Ｃ３０の置換アリールまたは無置換アリール（例えば、フェニル）である。そのような塩基性化合物は、組成物が非常に遅いフォトスピードを有する場合、感光性組成物に用いられることが可能である。一例として、そのような塩基性化合物は、本開示に記載の感光性化合物のフォトスピードを最適値に調整するように、上述の他の塩基性化合物と組み合わせて用いられることが可能である。
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１６３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１６３】
テーブル１：実施例２〜４および比較例１についてのフォトスピード測定の結果
【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１６４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１６４】
【表１】
2011512552.tif 000001
いずれの場合にも、暴露されていない領域では膜厚が完全に保持された。塩基性化合物の添加によって、フォトスピードは低下した（必要な暴露量が増加した）。ポリマーにおけるバッチ間変動によって生じるフォトスピードの変動は、塩基性化合物の濃度を調整することによって克服可能である。また、比較例１では、組成物のフォトスピードが大きすぎて半導体デバイスの大規模製造には実用的でないことも示された。ｉ線ステッパのシャッタは、そのような大きなフォトスピードで動作するように設計されていなかったため、そのようなフォトスピードでは一貫した照射線量を与えなかった。ＤＢＵ塩基性化合物の添加によって、再現性をもって制御可能な照射線量までフォトスピードを低下させた。
【誤訳訂正８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１６８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１６８】
上記配合物を、実施例１に記載したリソグラフ製法を用いて試験した。得られた膜厚は９μｍであった。フォトスピードは８μｍのフィーチャについて２０９ｍＪ／ｃｍ２であり、暴露されていない膜の厚さの損失は１．７０％であった。
【誤訳訂正９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１７０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１７０】
テーブル２：実施例６〜９および比較例２についてのフォトスピード測定の結果
【誤訳訂正１０】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１７１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１７１】
【表２】
2011512552.tif 000002
［実施例１０〜１５］
実施例１０〜１５では、塩基性化合物の由来およびその濃度が異なっていたことを除き、配合はすべて実施例１の配合と全く同じであった。実施例１０〜１５のリソグラフ製法は実施例１と同じであった。塩基性化合物、その濃度、および８μｍのビアパッドをクリアにするのに必要な暴露を、テーブル３にまとめる。実施例１１〜１５の塩基性化合物のモル量は、実施例１０のものと等しい。
【誤訳訂正１１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１７２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１７２】
【表３】
2011512552.tif 000003
この結果は、実施例１１〜１５の塩基性化合物が全て配合物のフォトスピードを低下させたことを示している。
【誤訳訂正１２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１７４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１７４】
【表４】
2011512552.tif 000004
この結果は、実施例１６〜１８の塩基性化合物が全て配合物のフォトスピードを低下させたことを示している。
【誤訳訂正１３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１７７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１７７】
【表５】
2011512552.tif 000005
これらの結果から、驚くべきことに、実施例１９の組成物はフォトスピード用の塩基性化合物を含まない組成物に比べ安定であったことが結論付けられる。
【誤訳訂正１４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１８２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１８２】
【化５６】
2011512552.tif 000006
ＰＡＧ（暴露後にペルフルオロメタンスルホン酸などの強酸を発生させる）を含む組成物のフォトスピードを低下させるには、より高い塩基濃度が必要となる。
【誤訳訂正１５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１９７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１９７】
【表７】
2011512552.tif 000007
これらの実験では全て、暴露されていない膜の厚さの損失は無視できる程度であった。実施例２３〜２７および比較例５の結果は、塩基の性質がこれらの組成物から得られるフォトスピードにおいて主要な役割を担うことが示されている。驚くべきことに、比較例５では、トリフェニルアミンの添加によってフォトスピードは低下せず、増加した。換言すると、組成物のフォトスピードが実用目的には遅すぎるとき、トリフェニルアミンを用いて本開示に記載の感光性組成物のフォトスピードを増加させることが可能である。例えば、トリフェニルアミンを、本開示に記載の組成物においてフォトスピードを減少させる塩基性化合物（例えば、ＤＢＵ）と組み合わせて用い、所望のフォトスピードを有する組成物を提供することが可能である。
【誤訳訂正１６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０２４２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０２４２】
実施例３４，３５の結果を比較すると、トリフェニルアミンの添加によって、化学的なアンダーカットを生じることなく、感光性組成物のフォトスピードが増加したことが示された。したがって、組成物のフォトスピードが実用目的には遅すぎるとき、トリフェニルアミンを用いて感光性組成物のフォトスピードを増加させることが可能であると考えられる。