【手続補正書】
【提出日】平成21年1月14日(2009.1.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
モールドであって、
凹凸パターンが形成されている第１の面と、
該モールドの厚さ方向に関して、該第１の面と反対側にある第２の面と、
該第２の面に、あるいは該第１の面と該第２の面との間に設けられている発熱体と、
を有することを特徴とするモールド。
【請求項２】
前記発熱体から前記凹凸パターンへの熱伝導により、前記凹凸パターンのサイズを補正可能に構成されている請求項１に記載のモールド。
【請求項３】
前記発熱体が、複数設けられており、それらは互いに独立して発熱制御可能であることを特徴とする請求項１に記載のモールド。
【請求項４】
前記発熱体が、前記第１の面の面内方向に複数設けられていることを特徴とする請求項１に記載のモールド。
【請求項５】
前記発熱体が、紫外線に対して光透過性を有することを特徴とする請求項１に記載のモールド。
【請求項６】
前記発熱体に電流を流すための電極が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のモールド。
【請求項７】
前記発熱体に電流を流すための電極が、前記第１の面に鉛直な方向に積層されていることを特徴とする請求項１に記載のモールド。
【請求項８】
モールドであって、
凹凸パターンが形成されている第１の面と、該モールドの厚さ方向に関して、該第１の面と反対側にある第２の面とを有するモールド本体と、
該第２の面に、あるいは該第１の面と該第２の面との間に設けられており、且つ該凹凸パターンを該第１の面の面内方向に変形させるためのサイズ調整部材と、
を有することを特徴とするモールド。
【請求項９】
前記サイズ調整部材は、前記第１の面の面内方向に伸縮可能な第１の伸縮層であることを特徴とする請求項８に記載のモールド。
【請求項１０】
前記サイズ調整部材は、前記第１の伸縮層と、該第１の伸縮層と伸縮可能な方向が異なる第２の伸縮層を含む構成とされていることを特徴とする請求項８に記載のモールド。
【請求項１１】
前記第１及び第２の伸縮層が、圧電素子層である請求項１０に記載のモールド。
【請求項１２】
前記サイズ調整部材は、前記第２の面に積層された少なくとも二つの伸縮層を備え、該二つの伸縮層は前記パターン層の加工面と平行な面における異なる２方向に伸縮駆動可能に構成されていることを特徴とする請求項８に記載のモールド。
【請求項１３】
前記モールドと同じ厚さで、且つ同じ材料からなる支持体が、前記第２の面側に積層されていることを特徴とする請求項８に記載のモールド。
【請求項１４】
前記サイズ調整部材が、前記第２の面内方向に、独立して制御可能な複数のサイズ調整要素を備えていることを特徴とする請求項８に記載のモールド。
【請求項１５】
前記モールドの側面に外力を加えるための圧電素子が設けられていることを特徴とする請求項８に記載のモールド。
【請求項１６】
請求項１に記載のモールドを保持するためのモールド保持部、
前記発熱体に流す電流量を制御するための制御部、及び
前記モールドが有する凹凸パターンが転写される被加工物を支持するための支持部、を有することを特徴とするパターン転写装置。
【請求項１７】
請求項８に記載の装置を保持するための保持部、
前記サイズ調整部材によるサイズ調整量を制御するための制御部、及び
前記モールドが有する凹凸パターンが転写される被加工物を支持するための支持部、を有することを特徴とするパターン転写装置。
【請求項１８】
モールドが有するパターンを用いて、被加工物にパターンを形成するためのパターン形成方法であって、
請求項１に記載の前記モールドを用意し、
前記モールドと対向して配置される該被加工物を用意し、
前記発熱体を用いて、前記モールドのサイズを調整し、
前記モールドが有する前記凹凸パターンと前記被加工物とを接触させることを特徴とするパターン形成方法。
【請求項１９】
モールドが有するパターンを用いて、被加工物にパターンを形成するためのパターン形成方法であって、
請求項８に記載の前記モールドを用意し、
前記モールドと対向して配置される該被加工物を用意し、
前記発熱体を用いて、前記モールドのサイズを調整し、
前記モールドが有する前記凹凸パターンと前記被加工物とを接触させることを特徴とするパターン形成方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】モールド、パターン転写装置、及びパターン形成方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、モールド、パターン転写装置、及びパターン形成方法に関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
そこで、本発明は、上記課題に鑑み、新規な手法によりサイズ補正をすることができるモールドを提供することを目的とするものである。
また、本発明は、当該モールドを利用したパターン転写装置及びパターン形成方法を提供することを目的とするものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明に係るモールドは、
凹凸パターンが形成されている第１の面と、
該モールドの厚さ方向に関して、該第１の面と反対側にある第２の面と、
該第２の面に、あるいは該第１の面と該第２の面との間に設けられている発熱体と、
を有することを特徴とする。
また、本発明に係るモールドは、
凹凸パターンが形成されている第１の面と、該モールドの厚さ方向に関して、該第１の面と反対側にある第２の面とを有するモールド本体と、
該第２の面に、あるいは該第１の面と該第２の面との間に設けられており、且つ該凹凸パターンを該第１の面の面内方向に変形させるためのサイズ調整部材とを有することを特徴とする。
また、本発明に係るパターン転写装置は、
前記第１あるいは第２の本発明に記載したモールドを保持するためのモールド保持部、
前記発熱体に流す電流量を制御するための制御部、及び、
前記モールドが有する凹凸パターンが転写される被加工物を支持するための支持部を有することを特徴とする。
また、本発明に係るパターン形成方法は、
前記第１あるいは第２の本発明に記載したモールドを用意し、
前記モールドと対向して配置される該被加工物を用意し、
前記発熱体を用いて、前記モールドのサイズを調整し、
前記モールドが有する前記凹凸パターンと前記被加工物とを接触させることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明によれば、新規な手法によりサイズ補正をすることができるモールド、パターン転写装置及びパターン形成方法、等を実現することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
［第２の実施形態］
つぎに、本発明の第２の実施形態におけるサイズ調整部材を備えているモールドについて説明する。
図２に、本実施形態を説明するための模式的断面図を示す。
本実施形態におけるモールドは、図２に示すように凹凸パターンが形成されている第１の面１０５０と、該モールドの厚さ方向に関して、該第１の面と反対側にある第２の面１０５５とを有するモールドにおいて、以下の特徴を有する。
該凹凸パターンを該第１の面の面内方向に変形させるためのサイズ調整部材２０１０が、モールド本体における第２の面１０５５に設けられている。
第１の実施形態で図１を用いて説明したように、当該サイズ調整部材を第２の面に設けてもよいし、第１の面１０５０と第２の面との間に設けてもよい。
サイズ調整部材とは、例えば、前記第１の面（あるいは第２の面）の面内方向に伸縮可能な伸縮層である。このような伸縮層を必要に応じて複数層設けることもできる。
例えば、サイズ調整部材を、第１の伸縮層と、該第１の伸縮層と伸縮可能な方向が異なる第２の伸縮層とで構成することができる。伸縮層としては、圧電素子層が挙げられる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
以下に、モールドの側面から外力を加えサイズ補正をする一例について説明する。
図７に、本実施形態に係るサイズ調整部材を備えているモールドを説明するための模式的断面図を示す。
図７（ａ）において、７９００は、モールド２０００の側面から外力を加えるためのピエゾアクチュエータである。２０１０は上述したサイズ調整部材である。
７００１はモールドの裏面側を支持するための支持部であり、また７００２はモールドの側面側を支持するための支持部である。
図７（ｂ）は、図７（ａ）の上面図に該当する。モールドの裏面側に配置されているサイズ調整部材２０１０が見えるように描いており、支持部７００１等は、省略している。
モールドの側面の複数箇所にピエゾアクチュエータ７９００を配置した例を示している。
これら圧電素子からなるピエゾアクチュエータは、個々独立して制御可能であることが好ましい。
以上の構成により、モールドの側面から外力を加えサイズ補正をすることが可能となる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
【図１】本発明の実施の形態に係るモールドを説明するための模式的断面図である。
【図２】本発明の実施の形態に係るモールドとサイズ調整部材を備えている装置を説明するための模式的断面図である。
【図３】本発明の実施例１におけるモールドの構成を説明する図である。（ａ）はモールドを加工面（ワークと接する面）と平行な方向から見た図、（ｂ）は加工面に対して反対方向から見た図、（ｃ）は光透過抵抗層の構成例を説明する図、（ｄ）は別の形態による電極の配置構成を説明する図。
【図４】本発明の実施例１における加圧加工装置の構成を説明する図。
【図５】本発明の実施例２におけるモールドを説明する図であり、（ａ）はモールドを加工面（ワークと接する面）に対して反対方向から見た図、（ｂ）及び（ｃ）はモールドをサイズ変更させる動作の説明図、（ｄ）は光透過抵抗層の構成例を説明する図。
【図６】本発明の実施例３におけるモールドの構成を説明する図である。（ａ）はモールドを加工面（ワークと接する面）と平行な方向から見た図、（ｂ）はモールドの構成要素を説明するため層毎に分割して示した斜視図。
【図７】本発明の実施の形態に係るサイズ調整部材を備えているモールドを説明するための模式的断面図である。