【手続補正書】
【提出日】平成20年12月18日(2008.12.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象の抵抗値を測定するために該測定対象と接触する接触部を有するプローブであって、
所定の軸方向に沿って延びる略筒形形状を有する本体部と、
前記本体部に設けられていて、前記所定の軸方向に弾性的に伸縮する略コイルスプリング形状を有する伸縮部とを備え、
前記伸縮部が、前記本体部を形成する筒状部材の一部に形成されていることを特徴とするプローブ。
【請求項２】
被検査基板の検査対象の電気的特性を検査するために用いられるプローブを製造する方法であって、
所定の軸方向に沿って延びる略筒形形状を有する前記プローブの本体部を形成する工程と、
前記所定の軸方向に弾性的に伸縮する略コイルスプリング形状を有する伸縮部を、前記本体部を形成する筒状部材の一部に形成する工程とを含み、
前記伸縮部を形成する工程において、前記本体部を形成する筒状部材の一部をレーザによって略螺旋状のスリット部分を形成することによって前記伸縮部を形成することを特徴とするプローブを製造する方法。
【請求項３】
測定対象の抵抗値を測定するために該測定対象と接触する接触部をそれぞれ有し、一方が電圧測定に、他方が電流印加に用いられる第１及び第２のプローブ部を備える測定用プローブであって、
前記第１及び第２のプローブ部がそれぞれ本体部と前記接触部を含むヘッド部とを備え、
前記第２のプローブ部の本体部が、前記第１のプローブ部の本体部を囲み、
前記第１又は第２のプローブ部の一方が付勢手段を備えており、さらに、
該測定用プローブの不使用時に、該付勢手段を備える前記第１又は第２のプローブ部の一方の前記接触部が他方のプローブ部の接触部よりも突出した位置にある、測定用プローブ。
【請求項４】
請求項３の測定用プローブにおいて、前記第１のプローブ部が円柱状に形成され、前記第２のプローブ部が該円柱状の第１のプローブ部を囲むように円筒状に形成された、測定用プローブ。
【請求項５】
請求項３の測定用プローブにおいて、前記付勢手段がコイルスプリング、圧縮バネまたは弾性の導電性ゴムから形成され、また、前記付勢手段が、軸方向に伸縮する蛇腹形状に形成される、測定用プローブ。
【請求項６】
請求項３の測定用プローブにおいて、前記本体部、前記付勢手段及び前記接触部が一本の筒状部材から形成されるとともに、前記付勢手段が、前記本体部の前記筒状部材の一部に所定のスリット部分を設けることにより形成されていて、前記本体部の軸方向に弾性的に伸縮する略コイルスプリング形状を有する伸縮部として機能する、測定用プローブ。
【請求項７】
請求項３の測定用プローブにおいて、前記ヘッド部及び前記付勢手段が弾性を有する一体型形状又はコイルスプリング形状に形成されている、測定用プローブ。
【請求項８】
（請求項１６を組み込みました）
測定対象の電気的特性を測定するために用いられる一対の測定用プローブであって、各測定用プローブが、前記測定対象と接触する接触部をそれぞれ有する第１及び第２のプローブ部を備える一対の測定用プローブと、
該一対の測定用プローブとの間で電流の供給及び電圧の測定を行うことによって前記測定対象の電気的特性を測定する処理装置とを備え、
前記第１及び第２のプローブ部がそれぞれ本体部と前記接触部を含むヘッド部とを備え、
前記第２のプローブ部の本体部が、前記第１のプローブ部の本体部を囲み、
前記第１又は第２のプローブ部の一方が付勢手段を備えており、さらに、
該測定用プローブの不使用時に、該付勢手段を備える前記第１又は第２のプローブ部の一方の前記接触部が他方のプローブ部の接触部よりも突出した位置にある、抵抗測定装置。
【請求項９】
測定対象である被検査基板の所定測定位置と導通接触するプローブと、前記プローブの一端を前記所定測定位置へ案内する案内孔を有する第１プレートと、前記プローブの他端を前記プローブからの電気信号を受信する電極部へ案内する案内孔を有する第２プレートと、前記第１及び第２プレートの間に所定間隔を有して配置されるとともに前記プローブを支持するとともに該プローブと導通可能に接続される第３プレートを有する基板検査用治具で用いられるプローブであって、
前記プローブは、
測定対象の抵抗値を測定するために該測定対象と接触する接触部をそれぞれ有する第１及び第２のプローブ部を有し、前記第２のプローブ部が、前記第１のプローブ部を囲むように形成されており、前記第２のプローブの一端が前記第３プレートと導通可能に接続されていることを特徴とする測定用プローブ。
【請求項１０】
請求項９の測定用プローブにおいて、前記第２のプローブの長さが、第１プレートから第３プレートと略同じに形成されている,測定用プローブ。
【請求項１１】
請求項９の測定用プローブにおいて、前記第２のプローブ部が前記第１のプローブ部を囲む部分において、前記第１のプローブ部と前記第２のプローブ部との間に空間が形成されていて、前記第１のプローブ部が該空間内でたわむことが可能な、測定用プローブ。
【請求項１２】
測定対象の抵抗値を測定するために該測定対象と接触する接触部をそれぞれ有し、一方が電圧測定に他方が電流印加に用いられる第１及び第２のプローブ部を備える測定用プローブであって、
前記第１のプローブは、弾性を有する棒状又は針状に形成され、
前記第２のプローブは、前記第１のプローブの撓みを許容する空間部を有して該第１のプローブを囲むように配置される筒状部材により形成されている、測定用プローブ。
【請求項１３】
請求項１２の測定用プローブにおいて、前記筒状部材の両端は先細り形状に形成されている、測定用プローブ。
【請求項１４】
請求項１２又は１３の測定用プローブにおいて、前記第１のプローブの先端部には、抜け防止の突起部が形成されている、測定用プローブ。
【請求項１５】
測定対象の抵抗値を測定するために該測定対象と接触する接触部をそれぞれ有する第１及び第２のプローブ部を備える測定用プローブを製造する方法であって、
前記第１のプローブ部を形成する工程と、
前記形成された第１のプローブ部の周囲に、該第１のプローブ部を被覆する絶縁層を形成する工程と、
前記絶縁層の周囲に前記第２のプローブ部の層を形成する工程と、
前記第２のプローブ部の一部からスリット部分を取り除くことにより該第２のプローブ部の軸線方向に弾性的に伸縮する伸縮部を形成する工程とを含む、測定用プローブを製造する方法。
【請求項１６】
測定対象の抵抗値を測定するために該測定対象と接触する接触部をそれぞれ有する第１及び第２のプローブ部を備える測定用プローブを製造する方法であって、
ピン形状の第１のプローブ部を形成する工程と、
前記形成されたピン形状の第１のプローブ部の周囲に、該第１のプローブ部を被覆する絶縁層を形成する工程と、
筒状の第２のプローブ部を形成する工程と、
前記筒状の第２のプローブ部の一部からスリット部分を取り除くことにより該第２のプローブ部の軸線方向に弾性的に伸縮する伸縮部を形成する工程と、
前記絶縁層が形成されたピン形状の第１のプローブ部を前記筒状の第２のプローブ部に挿入する工程とを含む、測定用プローブを製造する方法。
【請求項１７】
請求項１５又は１６の測定用プローブを製造する方法において、前記伸縮部を形成する工程において、前記第２のプローブ部の一部にレーザによってスリットを形成することによって該伸縮部に弾性を持たせるようにする工程を含む、測定用プローブを製造する方法。