【手続補正書】
【提出日】平成21年4月17日(2009.4.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素子からなる駆動壁とチャネルとが交互に並設されると共にチャネルの出口と入口
とが対向配置され、前記駆動壁に電圧を印加するための電極が形成されてなるヘッドチッ
プを有し、前記電極に電圧を印加することによって前記駆動壁をせん断変形させ、前記チ
ャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記ヘッドチップを作成する工程は、
少なくとも表面に圧電素子層を含むウエハーの表面から多数のチャネルを溝加工するチ
ャネル加工工程と、
前記チャネル内に電極を形成する電極形成工程と、
前記電極が形成されたウエハーの表面から前記チャネルの底部又は底部近傍に至る深さ
で、前記チャネルと直交する方向に沿って該チャネルの全てに亘って複数本のざぐり溝を
、隣接するざぐり溝の間の長さがインクジェットヘッドに要求されるチャネル特性の２倍
の長さとなるように加工するざぐり溝加工工程と、
前記ざぐり溝が加工されたウエハーの表面に、前記チャネルの上部を塞ぐようにカバー
基板を接着するカバー基板接着工程と、
前記カバー基板が接着されたウエハーを、前記カバー基板と共に前記チャネルと直交す
る方向の切断ラインに沿って切断して、所定サイズのヘッドチップを多数個切り出す切断
工程とを有し、
前記切断工程では、１つのヘッドチップを切り出すための２本の切断ラインのうちの一
方を、前記ざぐり溝の上から該ざぐり溝に沿って形成し、他方を、隣接する前記ざぐり溝
の間に形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記カバー基板が接着されたウエハーを２組用意し、前記カバー基板同士又は前記ウエ
ハー同士を積層して接着する積層接着工程を有し、
前記切断工程は、前記積層接着工程の後に行うことで、２列のチャネル列を有するヘッ
ドチップを作成することを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項３】
圧電素子からなる駆動壁とチャネルとが交互に並設されると共にチャネルの出口と入口
とが対向配置され、前記駆動壁に電圧を印加するための電極が形成されてなるヘッドチッ
プを有し、前記電極に電圧を印加することによって前記駆動壁をせん断変形させ、前記チ
ャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記ヘッドチップを作成する工程は、
少なくとも表面に圧電素子層を含むウエハーの表面から多数のチャネルを溝加工するチ
ャネル加工工程と、
前記チャネル内に電極を形成する電極形成工程と、
前記電極が形成されたウエハーの表面に、前記チャネルの上部を塞ぐようにカバー基板
を接着するカバー基板接着工程と、
前記カバー基板を接着した後の該カバー基板側又は前記ウエハー側から前記チャネルの
底部又は底部近傍に至る深さで、前記チャネルと直交する方向に沿って該チャネルの全て
に亘って複数本のざぐり溝を、隣接するざぐり溝の間の長さがインクジェットヘッドに要
求されるチャネル特性の２倍の長さとなるように加工するざぐり溝加工工程と、
前記ざぐり溝が加工されたウエハーを２組用意し、前記ざぐり溝が加工された側同士を
該ざぐり溝同士が重なるように積層させて接着する積層接着工程と、
前記ざぐり溝が加工された側同士を重ね合わせて接着したウエハーを、前記チャネルと
直交する方向の切断ラインに沿って切断して、２列のチャネル列を有する所定サイズのヘ
ッドチップを多数個切り出す切断工程とを有し、
前記切断工程では、１つのヘッドチップを切り出すための２本の切断ラインのうちの一
方を、前記ざぐり溝の上から該ざぐり溝に沿って形成し、他方を、隣接する前記ざぐり溝
の間に形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記ざぐり溝加工工程において、前記ざぐり溝の加工と同一刃を用いて、前記ウエハー
の外形端を該ざぐり溝と平行に切断加工することを特徴とする請求項１、２又は３記載の
インクジェットヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記積層接着工程では、各ウエハーの切断された外形端を位置決め部材に突き当て、各
組のざぐり溝同士を位置決めすることを特徴とする請求項４記載のインクジェットヘッド
の製造方法。
【請求項６】
前記ざぐり溝の加工は、ダイシングソーによって研削加工することを特徴とする請求項
１〜５のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
請求項１記載の発明は、圧電素子からなる駆動壁とチャネルとが交互に並設されると共
にチャネルの出口と入口とが対向配置され、前記駆動壁に電圧を印加するための電極が形
成されてなるヘッドチップを有し、前記電極に電圧を印加することによって前記駆動壁を
せん断変形させ、前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッド
の製造方法であって、前記ヘッドチップを作成する工程は、
少なくとも表面に圧電素子層を含むウエハーの表面から多数のチャネルを溝加工するチ
ャネル加工工程と、
前記チャネル内に電極を形成する電極形成工程と、
前記電極が形成されたウエハーの表面から前記チャネルの底部又は底部近傍に至る深さ
で、前記チャネルと直交する方向に沿って該チャネルの全てに亘って複数本のざぐり溝を
、隣接するざぐり溝の間の長さがインクジェットヘッドに要求されるチャネル特性の２倍
の長さとなるように加工するざぐり溝加工工程と、
前記ざぐり溝が加工されたウエハーの表面に、前記チャネルの上部を塞ぐようにカバー
基板を接着するカバー基板接着工程と、
前記カバー基板が接着されたウエハーを、前記カバー基板と共に前記チャネルと直交す
る方向の切断ラインに沿って切断して、所定サイズのヘッドチップを多数個切り出す切断
工程とを有し、
前記切断工程では、１つのヘッドチップを切り出すための２本の切断ラインのうちの一
方を、前記ざぐり溝の上から該ざぐり溝に沿って形成し、他方を、隣接する前記ざぐり溝
の間に形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
請求項３記載の発明は、圧電素子からなる駆動壁とチャネルとが交互に並設されると共
にチャネルの出口と入口とが対向配置され、前記駆動壁に電圧を印加するための電極が形
成されてなるヘッドチップを有し、前記電極に電圧を印加することによって前記駆動壁を
せん断変形させ、前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッド
の製造方法であって、
前記ヘッドチップを作成する工程は、
少なくとも表面に圧電素子層を含むウエハーの表面から多数のチャネルを溝加工するチ
ャネル加工工程と、
前記チャネル内に電極を形成する電極形成工程と、
前記電極が形成されたウエハーの表面に、前記チャネルの上部を塞ぐようにカバー基板
を接着するカバー基板接着工程と、
前記カバー基板を接着した後の該カバー基板側又は前記ウエハー側から前記チャネルの
底部又は底部近傍に至る深さで、前記チャネルと直交する方向に沿って該チャネルの全て
に亘って複数本のざぐり溝を、隣接するざぐり溝の間の長さがインクジェットヘッドに要
求されるチャネル特性の２倍の長さとなるように加工するざぐり溝加工工程と、
前記ざぐり溝が加工されたウエハーを２組用意し、前記ざぐり溝が加工された側同士を
該ざぐり溝同士が重なるように積層させて接着する積層接着工程と、
前記ざぐり溝が加工された側同士を重ね合わせて接着したウエハーを、前記チャネルと
直交する方向の切断ラインに沿って切断して、２列のチャネル列を有する所定サイズのヘ
ッドチップを多数個切り出す切断工程とを有し、
前記切断工程では、１つのヘッドチップを切り出すための２本の切断ラインのうちの一
方を、前記ざぐり溝の上から該ざぐり溝に沿って形成し、他方を、隣接する前記ざぐり溝
の間に形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法である。