【手続補正書】
【提出日】平成21年7月1日(2009.7.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状をなす質量部と、前記質量部を支持する一対の支持部と、前記質量部と前記支持部との間に設けられた一対の駆動部と、前記駆動部を前記支持部に対して回動可能とするように、前記駆動部と前記支持部とを連結する弾性変形可能な一対の第１の弾性部と、前記質量部を前記駆動部に対して回動可能とするように、前記駆動部と前記質量部とを連結する弾性変形可能な一対の第２の弾性部と、前記一対の支持部が設けられた支持基板と、前記質量部を回動させる駆動手段とを有し、前記駆動手段を作動することにより、前記一対の第１の弾性部を捩れ変形させながら前記一対の駆動部を回動させ、これに伴って前記一対の第２の弾性部を捩れ変形させながら前記質量部を回動させるよう構成されたアクチュエータであって、
各前記支持部は、前記支持基板に対して、前記質量部の面に垂直な方向での移動が規制され、かつ、前記質量部の回動中心軸と平行な方向への移動が可能となるように設けられており、
前記一対の支持部同士の離間距離を変更することにより、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部に生じる張力を変更し、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部のバネ定数を変更する変更手段を有し、
前記変更手段は、第１の雄ネジ部および前記第１の雄ネジ部と逆ネジの関係にある第２の雄ネジ部が形成され、前記質量部の回動中心軸と平行な方向に延在するとともに、前記回動中心軸の直下に設けられたスクリュ軸と、前記一対の支持部の一方の支持部に形成され、前記第１の雄ネジ部と螺合する第１の雌ネジと、他方の支持部に形成され、前記第２の雄ネジ部と螺合する第２の雌ネジとを有し、前記スクリュ軸を回転することにより、前記一対の支持部を互いに離間する方向または互いに接近する方向に等しい距離移動させ、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部に生じる張力を変更し、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部のバネ定数を変更するよう構成されていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
板状をなす質量部と、前記質量部を支持する一対の支持部と、前記質量部と前記支持部との間に設けられた一対の駆動部と、前記駆動部を前記支持部に対して回動可能とするように、前記駆動部と前記支持部とを連結する弾性変形可能な一対の第１の弾性部と、前記質量部を前記駆動部に対して回動可能とするように、前記駆動部と前記質量部とを連結する弾性変形可能な一対の第２の弾性部と、前記一対の支持部が設けられた支持基板と、前記質量部を回動させる駆動手段とを有し、前記駆動手段を作動することにより、前記一対の第１の弾性部を捩れ変形させながら前記一対の駆動部を回動させ、これに伴って前記一対の第２の弾性部を捩れ変形させながら前記質量部を回動させるよう構成されたアクチュエータであって、
前記一対の支持部のうちの一方の支持部は、前記支持基板に対して、前記質量部の面に垂直な方向での移動が規制され、かつ、前記質量部の回動中心軸と平行な方向への移動が可能となるように設けられ、他方の支持部は、前記支持基板に対して固定的に設けられており、
前記一対の支持部同士の離間距離を変更することにより、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部に生じる張力を変更し、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部のバネ定数を変更する変更手段を有し、
前記変更手段は、雄ネジ部が形成され、前記質量部の回動中心軸と平行な方向に延在するとともに、前記回動中心軸の直下に設けられ、前記一対の支持部のうちの前記支持基板に対して固定的に設けられた支持部に回転可能に支持されたスクリュ軸と、前記一対の支持部のうちの前記支持基板に対して移動可能な支持部に形成され、前記雄ネジ部と螺合する雌ネジとを有し、前記スクリュ軸を回転することにより、前記一対の支持部のうちの前記支持基板に対して移動可能な支持部を、前記支持基板に対して固定的に設けられた支持部に対して離間する方向または接近する方向に移動させ、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部に生じる張力を変更し、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部のバネ定数を変更するよう構成されていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項３】
板状をなす質量部と、前記質量部を支持する一対の支持部と、前記質量部と前記支持部との間に設けられた一対の駆動部と、前記駆動部を前記支持部に対して回動可能とするように、前記駆動部と前記支持部とを連結する弾性変形可能な一対の第１の弾性部と、前記質量部を前記駆動部に対して回動可能とするように、前記駆動部と前記質量部とを連結する弾性変形可能な一対の第２の弾性部と、前記一対の支持部が設けられた支持基板と、前記質量部を回動させる駆動手段とを有し、前記駆動手段を作動することにより、前記一対の第１の弾性部を捩れ変形させながら前記一対の駆動部を回動させ、これに伴って前記一対の第２の弾性部を捩れ変形させながら前記質量部を回動させるよう構成されたアクチュエータであって、
前記一対の支持部は、それぞれ、前記質量部の平面視にて、前記質量部の回動中心軸を介して対向配置された一対の第１の支持部材および第２の支持部材を有し、前記第１の支持部材および前記第２の支持部材は、それぞれ、前記支持基板に対して、前記質量部の面に垂直な方向での移動が規制され、かつ、前記質量部の平面視にて、前記質量部の回動中心軸に直交する方向への移動が可能となるように設けられており、
前記一対の第１の弾性部は、前記質量部の平面視にて、前記質量部の回動中心軸を介して対向配置された一対の連結部材を有し、前記一対の連結部材のうちの一方の連結部材は、前記第１の支持部材と前記駆動部とを連結し、他方の連結部材は、前記第２の支持部材と前記駆動部とを連結しており、
前記一対の支持部のうちの少なくとも一方の支持部について、前記第１の支持部材および前記第２の支持部材の離間距離を変更することにより、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部に生じる張力を変更し、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部のバネ定数を変更する変更手段を有し、
前記変更手段は、第１の雄ネジ部および前記第１の雄ネジ部と逆ネジの関係にある第２の雄ネジ部が形成され、前記質量部の平面視にて、前記質量部の回動中心軸と直交する方向に延在するように、また各前記支持部に対応するように設けられた一対のスクリュ軸と、各前記支持部について、前記第１の支持部材に形成され、前記第１の雄ネジ部と螺合する第１の雌ネジと、前記第２の支持部材に形成され、前記第２の雄ネジ部と螺合する第２の雌ネジとを有し、前記一対のスクリュ軸のうちの少なくとも一方のスクリュ軸を回転することにより、回転する前記スクリュ軸に対応する前記第１の支持部材および前記第２の支持部材を互いに離間する方向または互いに接近する方向に等しい距離移動させ、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部に生じる張力を変更し、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部のバネ定数を変更するよう構成されていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項４】
板状をなす質量部と、前記質量部を支持する一対の支持部と、前記質量部と前記支持部との間に設けられた一対の駆動部と、前記駆動部を前記支持部に対して回動可能とするように、前記駆動部と前記支持部とを連結する弾性変形可能な一対の第１の弾性部と、前記質量部を前記駆動部に対して回動可能とするように、前記駆動部と前記質量部とを連結する弾性変形可能な一対の第２の弾性部と、前記一対の支持部が設けられた支持基板と、前記質量部を回動させる駆動手段とを有し、前記駆動手段を作動することにより、前記一対の第１の弾性部を捩れ変形させながら前記一対の駆動部を回動させ、これに伴って前記一対の第２の弾性部を捩れ変形させながら前記質量部を回動させるよう構成されたアクチュエータであって、
前記一対の支持部は、それぞれ、前記質量部の平面視にて、前記質量部の回動中心軸を介して対向配置された一対の第１の支持部材および第２の支持部材を有し、前記第１の支持部材は、前記支持基板に対して固定的に設けられ、前記第２の支持部材は、前記質量部の面に垂直な方向での移動が規制され、かつ、前記質量部の平面視にて、前記質量部の回動中心軸と直交する方向への移動が可能となるように設けられており、
前記一対の第１の弾性部は、前記質量部の平面視にて、前記質量部の回動中心軸を介して対向配置された一対の連結部材を有し、前記一対の連結部材のうちの一方の連結部材は、前記第１の支持部材と前記駆動部とを連結し、他方の連結部材は、前記第２の支持部材と前記駆動部とを連結しており、
前記一対の支持部のうちの少なくとも一方の支持部について、前記第１の支持部材および前記第２の支持部材の離間距離を変更することにより、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部に生じる張力を変更し、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部のバネ定数を変更する変更手段を有し、
前記変更手段は、雄ネジ部が形成され、前記質量部の平面視にて、前記質量部の回動中心軸と直交する方向に延在するとともに各前記支持部に対応するように設けられ、前記第１の支持部材に回転可能に支持された一対のスクリュ軸と、各前記支持部について、前記第２の支持部材に形成され、前記雄ネジ部と螺合する雌ネジとを有し、前記一対のスクリュ軸のうちの少なくとも一方のスクリュ軸を回転することにより、回転する前記スクリュ軸に対応する前記第２の支持部材を、前記第１の支持部材に対して離間する方向または接近する方向に移動させ、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部に生じる張力を変更し、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部のバネ定数を変更するよう構成されていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項５】
前記質量部には、光反射性を有する光反射部が設けられている請求項１ないし４のいずれかに記載のアクチュエータ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明のアクチュエータは、板状をなす質量部と、前記質量部を支持する一対の支持部と、前記質量部と前記支持部との間に設けられた一対の駆動部と、前記駆動部を前記支持部に対して回動可能とするように、前記駆動部と前記支持部とを連結する弾性変形可能な一対の第１の弾性部と、前記質量部を前記駆動部に対して回動可能とするように、前記駆動部と前記質量部とを連結する弾性変形可能な一対の第２の弾性部と、前記一対の支持部が設けられた支持基板と、前記質量部を回動させる駆動手段とを有し、前記駆動手段を作動することにより、前記一対の第１の弾性部を捩れ変形させながら前記一対の駆動部を回動させ、これに伴って前記一対の第２の弾性部を捩れ変形させながら前記質量部を回動させるよう構成されたアクチュエータであって、
各前記支持部は、前記支持基板に対して、前記質量部の面に垂直な方向での移動が規制され、かつ、前記質量部の回動中心軸と平行な方向への移動が可能となるように設けられており、
前記一対の支持部同士の離間距離を変更することにより、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部に生じる張力を変更し、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部のバネ定数を変更する変更手段を有し、
前記変更手段は、第１の雄ネジ部および前記第１の雄ネジ部と逆ネジの関係にある第２の雄ネジ部が形成され、前記質量部の回動中心軸と平行な方向に延在するとともに、前記回動中心軸の直下に設けられたスクリュ軸と、前記一対の支持部の一方の支持部に形成され、前記第１の雄ネジ部と螺合する第１の雌ネジと、他方の支持部に形成され、前記第２の雄ネジ部と螺合する第２の雌ネジとを有し、前記スクリュ軸を回転することにより、前記一対の支持部を互いに離間する方向または互いに接近する方向に等しい距離移動させ、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部に生じる張力を変更し、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部のバネ定数を変更するよう構成されていることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明のアクチュエータは、板状をなす質量部と、前記質量部を支持する一対の支持部と、前記質量部と前記支持部との間に設けられた一対の駆動部と、前記駆動部を前記支持部に対して回動可能とするように、前記駆動部と前記支持部とを連結する弾性変形可能な一対の第１の弾性部と、前記質量部を前記駆動部に対して回動可能とするように、前記駆動部と前記質量部とを連結する弾性変形可能な一対の第２の弾性部と、前記一対の支持部が設けられた支持基板と、前記質量部を回動させる駆動手段とを有し、前記駆動手段を作動することにより、前記一対の第１の弾性部を捩れ変形させながら前記一対の駆動部を回動させ、これに伴って前記一対の第２の弾性部を捩れ変形させながら前記質量部を回動させるよう構成されたアクチュエータであって、
前記一対の支持部のうちの一方の支持部は、前記支持基板に対して、前記質量部の面に垂直な方向での移動が規制され、かつ、前記質量部の回動中心軸と平行な方向への移動が可能となるように設けられ、他方の支持部は、前記支持基板に対して固定的に設けられており、
前記一対の支持部同士の離間距離を変更することにより、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部に生じる張力を変更し、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部のバネ定数を変更する変更手段を有し、
前記変更手段は、雄ネジ部が形成され、前記質量部の回動中心軸と平行な方向に延在するとともに、前記回動中心軸の直下に設けられ、前記一対の支持部のうちの前記支持基板に対して固定的に設けられた支持部に回転可能に支持されたスクリュ軸と、前記一対の支持部のうちの前記支持基板に対して移動可能な支持部に形成され、前記雄ネジ部と螺合する雌ネジとを有し、前記スクリュ軸を回転することにより、前記一対の支持部のうちの前記支持基板に対して移動可能な支持部を、前記支持基板に対して固定的に設けられた支持部に対して離間する方向または接近する方向に移動させ、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部に生じる張力を変更し、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部のバネ定数を変更するよう構成されていることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明のアクチュエータは、板状をなす質量部と、前記質量部を支持する一対の支持部と、前記質量部と前記支持部との間に設けられた一対の駆動部と、前記駆動部を前記支持部に対して回動可能とするように、前記駆動部と前記支持部とを連結する弾性変形可能な一対の第１の弾性部と、前記質量部を前記駆動部に対して回動可能とするように、前記駆動部と前記質量部とを連結する弾性変形可能な一対の第２の弾性部と、前記一対の支持部が設けられた支持基板と、前記質量部を回動させる駆動手段とを有し、前記駆動手段を作動することにより、前記一対の第１の弾性部を捩れ変形させながら前記一対の駆動部を回動させ、これに伴って前記一対の第２の弾性部を捩れ変形させながら前記質量部を回動させるよう構成されたアクチュエータであって、
前記一対の支持部は、それぞれ、前記質量部の平面視にて、前記質量部の回動中心軸を介して対向配置された一対の第１の支持部材および第２の支持部材を有し、前記第１の支持部材および前記第２の支持部材は、それぞれ、前記支持基板に対して、前記質量部の面に垂直な方向での移動が規制され、かつ、前記質量部の平面視にて、前記質量部の回動中心軸に直交する方向への移動が可能となるように設けられており、
前記一対の第１の弾性部は、前記質量部の平面視にて、前記質量部の回動中心軸を介して対向配置された一対の連結部材を有し、前記一対の連結部材のうちの一方の連結部材は、前記第１の支持部材と前記駆動部とを連結し、他方の連結部材は、前記第２の支持部材と前記駆動部とを連結しており、
前記一対の支持部のうちの少なくとも一方の支持部について、前記第１の支持部材および前記第２の支持部材の離間距離を変更することにより、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部に生じる張力を変更し、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部のバネ定数を変更する変更手段を有し、
前記変更手段は、第１の雄ネジ部および前記第１の雄ネジ部と逆ネジの関係にある第２の雄ネジ部が形成され、前記質量部の平面視にて、前記質量部の回動中心軸と直交する方向に延在するように、また各前記支持部に対応するように設けられた一対のスクリュ軸と、各前記支持部について、前記第１の支持部材に形成され、前記第１の雄ネジ部と螺合する第１の雌ネジと、前記第２の支持部材に形成され、前記第２の雄ネジ部と螺合する第２の雌ネジとを有し、前記一対のスクリュ軸のうちの少なくとも一方のスクリュ軸を回転することにより、回転する前記スクリュ軸に対応する前記第１の支持部材および前記第２の支持部材を互いに離間する方向または互いに接近する方向に等しい距離移動させ、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部に生じる張力を変更し、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部のバネ定数を変更するよう構成されていることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明のアクチュエータは、板状をなす質量部と、前記質量部を支持する一対の支持部と、前記質量部と前記支持部との間に設けられた一対の駆動部と、前記駆動部を前記支持部に対して回動可能とするように、前記駆動部と前記支持部とを連結する弾性変形可能な一対の第１の弾性部と、前記質量部を前記駆動部に対して回動可能とするように、前記駆動部と前記質量部とを連結する弾性変形可能な一対の第２の弾性部と、前記一対の支持部が設けられた支持基板と、前記質量部を回動させる駆動手段とを有し、前記駆動手段を作動することにより、前記一対の第１の弾性部を捩れ変形させながら前記一対の駆動部を回動させ、これに伴って前記一対の第２の弾性部を捩れ変形させながら前記質量部を回動させるよう構成されたアクチュエータであって、
前記一対の支持部は、それぞれ、前記質量部の平面視にて、前記質量部の回動中心軸を介して対向配置された一対の第１の支持部材および第２の支持部材を有し、前記第１の支持部材は、前記支持基板に対して固定的に設けられ、前記第２の支持部材は、前記質量部の面に垂直な方向での移動が規制され、かつ、前記質量部の平面視にて、前記質量部の回動中心軸と直交する方向への移動が可能となるように設けられており、
前記一対の第１の弾性部は、前記質量部の平面視にて、前記質量部の回動中心軸を介して対向配置された一対の連結部材を有し、前記一対の連結部材のうちの一方の連結部材は、前記第１の支持部材と前記駆動部とを連結し、他方の連結部材は、前記第２の支持部材と前記駆動部とを連結しており、
前記一対の支持部のうちの少なくとも一方の支持部について、前記第１の支持部材および前記第２の支持部材の離間距離を変更することにより、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部に生じる張力を変更し、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部のバネ定数を変更する変更手段を有し、
前記変更手段は、雄ネジ部が形成され、前記質量部の平面視にて、前記質量部の回動中心軸と直交する方向に延在するとともに各前記支持部に対応するように設けられ、前記第１の支持部材に回転可能に支持された一対のスクリュ軸と、各前記支持部について、前記第２の支持部材に形成され、前記雄ネジ部と螺合する雌ネジとを有し、前記一対のスクリュ軸のうちの少なくとも一方のスクリュ軸を回転することにより、回転する前記スクリュ軸に対応する前記第２の支持部材を、前記第１の支持部材に対して離間する方向または接近する方向に移動させ、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部に生じる張力を変更し、前記一対の第１の弾性部および前記一対の第２の弾性部のバネ定数を変更するよう構成されていることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
本発明のアクチュエータでは、前記質量部には、光反射性を有する光反射部が設けられていることが好ましい。
これにより、優れた走査性を発揮するアクチュエータを提供することができる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
このような基体２に対して、スクリュ軸４１が、図１に示すように、支持部２２および支持部２３に係合するように設けられている。
具体的には、棒状のスクリュ軸４１は、図２に示すように、雄ネジ部（第１の雄ネジ部）４１１と、雄ネジ部４１１と逆ネジの関係にある雄ネジ部（第２の雄ネジ部）４１２とを有する。一方、支持部２２には、雄ネジ部４１１の回転に追従して移動する雌ネジ（第１の雌ネジ。以下「従属部」とも言う）４２が形成され、同様に、支持部２２には、雄ネジ部４１２の回転に追従して移動する雌ネジ（第２の雌ネジ。以下「従属部」とも言う）４３が形成されている。そして、雄ネジ部４１１と雌ネジ４２とが螺合し、かつ、雄ネジ部４１２と雌ネジ４３とが螺合するようにスクリュ軸４１が回転可能に設けられている。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７４】
具体的には、棒状のスクリュ軸４１Ｂは、図１０に示すように、雄ネジ部（第１の雄ネジ部）４１１Ｂと、雄ネジ部４１１Ｂと逆ネジの関係にある雄ネジ部（第２の雄ネジ部）４１２Ｂとを有する。一方、支持部材２２１Ｂには、雄ネジ部４１１Ｂの回転に追従して移動する雌ネジ（第１の雌ネジ。以下「従属部」とも言う）４２Ｂが形成され、同様に、支持部材２２２Ｂには、雄ネジ部４１２Ｂの回転に追従して移動する雌ネジ（第２の雌ネジ。以下「従属部」とも言う）４３Ｂが形成されている。そして、雄ネジ部４１１Ｂと雌ネジ４２Ｂとが螺合し、かつ、雄ネジ部４１２Ｂと雌ネジ４３Ｂとが螺合するようにスクリュ軸４１Ｂが設けられている。