【手続補正書】
【提出日】平成21年7月24日(2009.7.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板の被めっき面に対向して配置されるアノードと、
前記基板と前記アノードの間を遮断するように設置される抵抗体と、
前記基板と前記抵抗体との間の隙間にめっき液を噴射してこの隙間にめっき液を流通させる複数のめっき液噴射口を有するめっき液流通機構とを具備し、
前記めっき液流通機構は、前記めっき液噴射口による前記基板と前記抵抗体の間の隙間へのめっき液の噴射と、前記隙間に満たされためっき液の排出により、この隙間にめっき液を流通させる構成であることを特徴とするめっき装置。
【請求項２】
前記複数のめっき液噴射口は、前記抵抗体の周囲または前記基板の外周部に沿って配置されていることを特徴とする請求項１に記載のめっき装置。
【請求項３】
前記めっき液噴射口は、このめっき液噴射口から噴射されるめっき液が、基板の被めっき面の中央に向かって直線状又は扇状に広がって流れるように構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のめっき装置。
【請求項４】
前記めっき液流通機構は、前記複数のめっき液噴射口を切り替えてこれら複数のめっき液噴射口の全部又は一部からめっき液を噴射させる切替機構を有することを特徴とする請求項１乃至３の内の何れかに記載のめっき装置。
【請求項５】
前記切替機構は、めっき液を噴射させるめっき液噴射口を複数組に分け、これら各組のめっき液噴射口を順番に切り替えてめっき液を順番に噴射させる構成であることを特徴とする請求項４に記載のめっき装置。
【請求項６】
前記切替機構は、めっき液を噴射していないめっき液噴射口からめっき液を排出させる機構であることを特徴とする請求項５に記載のめっき装置。
【請求項７】
基板の被めっき面をめっき液に接触させて配置すると共に、
前記基板の被めっき面に対向させてアノードを配置し、
前記基板と前記アノードとの間に抵抗体を配置し、
さらに前記基板と前記抵抗体との間の隙間にめっき液を噴射して流通させる複数のめっき液噴射口を配置し、
前記めっき液噴射口から基板の被めっき面の中央へ向けてめっき液を噴射すると同時に前記隙間に満たされためっき液を隙間の外部に排出しながら、前記アノードと前記基板との間にめっき電流を通電して基板の被めっき面にめっきを行うことを特徴とするめっき方法。
【請求項８】
前記複数のめっき液噴射口を、前記抵抗体の周囲または前記基板の外周部に沿って配置することを特徴とする請求項７に記載のめっき方法。
【請求項９】
前記めっき液噴射口から噴射されるめっき液を、基板の被めっき面の中央に向かって直線状又は扇状に流すことを特徴とする請求項７又は８に記載のめっき方法。
【請求項１０】
めっき液を噴射する前記複数のめっき液噴射口を切り替えることによって、これら複数のめっき液噴射口の全部又は一部からめっき液を噴射させることを特徴とする請求項７乃至９の内の何れかに記載のめっき方法。
【請求項１１】
めっき液を噴射させるめっき液噴射口を複数組に分け、これら各組のめっき液噴射口を順番に切り替えてめっき液を順番に噴射させることを特徴とする請求項１０に記載のめっき装置。
【請求項１２】
めっき液を噴射していないめっき液噴射口からめっき液を排出させることを特徴とする請求項１１に記載のめっき装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本願請求項１に記載の発明は、基板と、前記基板の被めっき面に対向して配置されるアノードと、前記基板と前記アノードの間を遮断するように設置される抵抗体と、前記基板と前記抵抗体との間の隙間にめっき液を噴射してこの隙間にめっき液を流通させる複数のめっき液噴射口を有するめっき液流通機構とを具備し、前記めっき液流通機構は、前記めっき液噴射口による前記基板と前記抵抗体の間の隙間へのめっき液の噴射と、前記隙間に満たされためっき液の排出により、この隙間にめっき液を流通させる構成であることを特徴とするめっき装置にある。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本願請求項２に記載の発明は、前記複数のめっき液噴射口は、前記抵抗体の周囲または前記基板の外周部に沿って配置されていることを特徴とする請求項１に記載のめっき装置にある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本願請求項３に記載の発明は、前記めっき液噴射口は、このめっき液噴射口から噴射されるめっき液が、基板の被めっき面の中央に向かって直線状又は扇状に広がって流れるように構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のめっき装置にある。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本願請求項４に記載の発明は、前記めっき液流通機構は、前記複数のめっき液噴射口を切り替えてこれら複数のめっき液噴射口の全部又は一部からめっき液を噴射させる切替機構を有することを特徴とする請求項１乃至３の内の何れかに記載のめっき装置にある。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本願請求項５に記載の発明は、前記切替機構は、めっき液を噴射させるめっき液噴射口を複数組に分け、これら各組のめっき液噴射口を順番に切り替えてめっき液を順番に噴射させる構成であることを特徴とする請求項４に記載のめっき装置にある。
本願請求項６に記載の発明は、前記切替機構は、めっき液を噴射していないめっき液噴射口からめっき液を排出させる機構であることを特徴とする請求項５に記載のめっき装置にある。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本願請求項７に記載の発明は、基板の被めっき面をめっき液に接触させて配置すると共に、前記基板の被めっき面に対向させてアノードを配置し、前記基板と前記アノードとの間に抵抗体を配置し、さらに前記基板と前記抵抗体との間の隙間にめっき液を噴射して流通させる複数のめっき液噴射口を配置し、前記めっき液噴射口から基板の被めっき面の中央へ向けてめっき液を噴射すると同時に前記隙間に満たされためっき液を隙間の外部に排出しながら、前記アノードと前記基板との間にめっき電流を通電して基板の被めっき面にめっきを行うことを特徴とするめっき方法にある。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本願請求項８に記載の発明は、前記複数のめっき液噴射口を、前記抵抗体の周囲または前記基板の外周部に沿って配置することを特徴とする請求項７に記載のめっき方法にある。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本願請求項９に記載の発明は、前記めっき液噴射口から噴射されるめっき液を、基板の被めっき面の中央に向かって直線状又は扇状に流すことを特徴とする請求項７又は８に記載のめっき方法にある。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
本願請求項１１に記載の発明は、めっき液を噴射させるめっき液噴射口を複数組に分け、これら各組のめっき液噴射口を順番に切り替えてめっき液を順番に噴射させることを特徴とする請求項１０に記載のめっき装置にある。
本願請求項１２に記載の発明は、めっき液を噴射していないめっき液噴射口からめっき液を排出させることを特徴とする請求項１１に記載のめっき装置にある。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
本願請求項１に記載の発明によれば、電流の整流作用の高い抵抗体を用いたので、基板の被めっき面上の電流密度の均一化が図れ、めっき膜厚の均一化が図れる。
まためっき液噴射口から基板と抵抗体の間の隙間にめっき液を噴射してこの隙間のめっき液を攪拌・流通するので、例え基板と抵抗体間の隙間が狭くても、容易にめっき液を攪拌・流通させることができ、めっき表面の均一性が図れる。特に基板と抵抗体との間隔が６ｍｍ未満の場合、有効である。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
本願請求項１に記載の発明によれば、めっき液噴射口から基板と抵抗体の間の隙間へ噴射されためっき液をスムーズにその外部ヘ排出することができ、この隙間へのめっき液の流通が良好になる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
本願請求項２，請求項３に記載の発明によれば、めっき液噴射口から噴射されためっき液が基板の被めっき面の周囲から中央に向かうので、抵抗体の周囲を回り込むことなく、基板と抵抗体間の隙間に確実にめっき液を流し込むことができ、基板の被めっき面全面にわたってよどむことなくめっき液を流通させることができる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
本願請求項４に記載の発明によれば、めっき液にランダムな流れを与えることができ、めっき表面の均一性をさらに高めることができる。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】