【手続補正書】
【提出日】平成25年2月25日(2013.2.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
天井、前記天井に隣接するスパッタターゲット、および前記スパッタターゲットに面するその内部のウェハ支持ペデスタルを含むリアクタチャンバと、
前記天井の上に重なり、前記天井に面する頂部蓋を有する導電性ハウジングと、
前記ハウジングの中に収容され、回転可能なスピンドル、前記スピンドルの内側端部に結合された半径方向のアーム組立体、および前記半径方向のアーム組立体の外側端部に結合された磁石を含む回転磁石組立体であって、前記ハウジングの前記頂部蓋が中央ポートを有し、前記スピンドルが前記中央ポートを通って軸方向に延びる回転磁石組立体と、
前記スピンドルの前記頂部蓋より上に延びる部分を囲む、前記頂部蓋上の導電性中空シリンダと、
前記中空シリンダに接続された第１の半径方向内側端部と第1の半径方向外側端部とを有する半径方向のＲＦ接続ロッドであって、前記中空シリンダから前記第１の半径方向外側端部に向かって半径方向外側に延びる半径方向のＲＦ接続ロッドと、
ＲＦ発生器およびＲＦインピーダンス整合部を含むＲＦ電力源であって、前記インピーダンス整合部が、前記半径方向のＲＦ接続ロッドの前記第１の半径方向外側端部に接続されている、ＲＦ電力源と、
前記導電性ハウジングと前記導電性中空シリンダの外側を囲む接地された導電性遮蔽エンクロージャであって、前記半径方向のＲＦ接続ロッドは前記導電性遮蔽エンクロージャを貫通し且つ前記導電性遮蔽エンクロージャから絶縁されている、導電性遮蔽エンクロージャと
を備えるプラズマリアクタ。
【請求項２】
前記中空シリンダに接続された第２の半径方向内側端部と第２の半径方向外側端部とを有する半径方向のＤＣ接続ロッドであって、前記中空シリンダから前記半径方向のＤＣ接続ロッドの第２の半径方向外側端部に向かって半径方向外側に延びる半径方向のＤＣ接続ロッドと、
ＤＣ電力供給部およびＲＦ遮断フィルタを含むＤＣ電力源であって、前記ＲＦ遮断フィルタが、前記半径方向のＤＣ接続ロッドの前記第２の半径方向外側端部に接続されており、前記半径方向のＤＣ接続ロッドは前記導電性遮蔽エンクロージャを貫通し且つ前記導電性遮蔽エンクロージャから絶縁されている、ＤＣ電力源と
をさらに備える請求項１に記載のリアクタ。
【請求項３】
前記半径方向のＲＦ接続ロッドおよび前記半径方向のＤＣ接続ロッドが、前記中空シリンダ上の互いに角度をずらされた位置から出る請求項２に記載のリアクタ。
【請求項４】
前記位置が約１８０°だけずらされる請求項３に記載のリアクタ。
【請求項５】
前記ＲＦおよびＤＣ接続ロッド、前記中空シリンダ、前記頂部蓋、前記ハウジングおよび前記天井が導電性であり、前記スパッタターゲットまでの電気経路を形成する請求項２に記載のリアクタ。
【請求項６】
前記ウェハ支持ペデスタル内の電極と、
前記ウェハ支持ペデスタルに結合されたＲＦバイアス電力源と
をさらに備える請求項１に記載のリアクタ。
【請求項７】
前記ＲＦバイアス電力源が、
高周波ＲＦ電力発生器、および前記電極に接続された高周波インピーダンス整合部と、
低周波ＲＦ電力発生器、および前記電極に接続された低周波インピーダンス整合部と
を備える請求項６に記載のリアクタ。
【請求項８】
前記導電性遮蔽エンクロージャが、
前記ハウジングを囲む導電性側壁であって、前記ハウジングと該導電性側壁の間に第１のギャップを形成するように前記ハウジングから隔離される導電性側壁と、
前記ハウジングの前記頂部蓋の上に重なる導電性遮蔽蓋であって、前記頂部蓋から第２のギャップによって隔離され、前記頂部蓋と該導電性遮蔽蓋の間に第２のギャップを形成するように前記頂部蓋から隔離される導電性遮蔽蓋と、
前記中空シリンダを囲む導電性スリーブであって、前記中空シリンダと該導電性スリーブの間に第３のギャップを形成するように前記中空シリンダから隔離され、前記第１、第２および第３のギャップが連続空間を形成する導電性スリーブと
を含む請求項１に記載のリアクタ。
【請求項９】
前記連続空間が誘電体物質で充たされる請求項８に記載のリアクタ。
【請求項１０】
前記誘電体物質が空気を含み、前記リアクタが、前記ギャップを維持するために、前記空間内に絶縁ストラットをさらに備える請求項９に記載のリアクタ。
【請求項１１】
天井、前記天井に隣接するスパッタターゲット、およびＲＦ供給システムを有するプラズマリアクタであって、前記ＲＦ供給システムが、
前記天井の上に重なり、前記天井に面する頂部蓋を有する導電性ハウジングと、
前記ハウジングの中に収容され、回転可能なスピンドル、前記スピンドルの内側端部に結合された半径方向のアーム組立体、および前記半径方向のアーム組立体の外側端部に結合された磁石を含む回転磁石組立体であって、前記ハウジングの前記頂部蓋が中央ポートを有し、前記スピンドルが前記中央ポートを通って軸方向に延びる回転磁石組立体と、
前記スピンドルの前記頂部蓋より上に延びる部分を囲む、前記頂部蓋上の導電性中空シリンダと、
前記中空シリンダに接続された第１の半径方向内側端部と第1の半径方向外側端部とを有する半径方向のＲＦ接続ロッドであって、前記中空シリンダから前記第１の半径方向外側端部に向かって半径方向外側に延び、ＲＦ電力源に接続するように適合された半径方向のＲＦ接続ロッドと、
前記導電性ハウジングと前記導電性中空シリンダの外側を囲む接地された導電性遮蔽エンクロージャであって、前記半径方向のＲＦ接続ロッドは前記導電性遮蔽エンクロージャを貫通し且つ前記導電性遮蔽エンクロージャから絶縁されている、導電性遮蔽エンクロージャと
を備えるプラズマリアクタ。
【請求項１２】
プラズマリアクタが、前記中空シリンダに接続された第２の半径方向内側端部と第２の半径方向外側端部とを有する半径方向のＤＣ接続ロッドをさらに備え、前記半径方向のＤＣ接続ロッドが、前記中空シリンダから前記半径方向のＤＣ接続ロッドの第２の半径方向外側端部に向かって半径方向外側に延び、前記導電性遮蔽エンクロージャを貫通し且つ前記導電性遮蔽エンクロージャから絶縁されており、ＤＣ電力源に接続するように適合されている請求項１１に記載のリアクタ。
【請求項１３】
前記半径方向のＲＦ接続ロッドおよび前記半径方向のＤＣ接続ロッドが、前記中空シリンダ上の互いに角度をずらされた位置から出る請求項１２に記載のリアクタ。
【請求項１４】
前記位置が約１８０°だけずらされる請求項１３に記載のリアクタ。
【請求項１５】
前記ＲＦおよびＤＣ接続ロッド、前記中空シリンダ、前記頂部蓋、前記ハウジングおよび前記天井が導電性であり、前記スパッタターゲットまでの電気経路を形成する請求項１２に記載のリアクタ。
【請求項１６】
前記導電性遮蔽エンクロージャが、
前記ハウジングを囲む導電性側壁であって、前記ハウジングと該導電性側壁の間に第１のギャップを形成するように前記ハウジングから隔離される導電性側壁と、
前記ハウジングの前記頂部蓋の上に重なる導電性遮蔽蓋であって、前記頂部蓋から第２のギャップによって隔離され、前記頂部蓋と該導電性遮蔽蓋の間に第２のギャップを形成するように前記頂部蓋から隔離される導電性遮蔽蓋と、
前記中空シリンダを囲む導電性スリーブであって、前記中空シリンダと該導電性スリーブの間に第３のギャップを形成するように前記中空シリンダから隔離され、前記第１、第２および第３のギャップが連続空間を形成する導電性スリーブと
を含む請求項１１に記載のリアクタ。
【請求項１７】
前記連続空間に誘電体物質が充たされる請求項１６に記載のリアクタ。
【請求項１８】
前記誘電体物質が空気を含み、前記プラズマリアクタが、前記ギャップを維持するために、前記空間内に低誘電率の絶縁ストラットをさらに備える請求項１７に記載のリアクタ。