(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｎ極とＳ極とが周方向において１極ずつ着磁された第１の回転磁石と、Ｎ極とＳ極とが周方向において交互に複数着磁された第２の回転磁石とを含む回転磁石部を有するロータリエンコーダであって、
前記第１の回転磁石の角度位置を検出する第１の磁気抵抗素子と、
該第１の磁気抵抗素子に近接配置される第１のホール素子と、
該第１のホール素子に対し周方向において機械角で９０°ずれた箇所に配置される第２のホール素子と、
前記第２の回転磁石の角度位置を検出する第２の磁気抵抗素子と、
前記第１の磁気抵抗素子、前記第１のホール素子、前記第２のホール素子、前記第２の磁気抵抗素子の検出データに基づき、データ処理によって前記回転磁石部の角度位置を求めるデータ処理部とを備え、
前記第２の磁気抵抗素子には、所定の次数以下の高調波をキャンセルする高調波キャンセルパターンが設けられ、
前記データ処理部は、所定の次数を超える高調波を打ち消す補正データにより、前記第２の磁気抵抗素子の検出データを補正する
ことを特徴とするロータリエンコーダ。
【請求項２】
前記補正データは、前記第２の回転磁石の各極が共通に有している周期的な角度誤差を打ち消すための電気角補正データであり、
前記データ処理部は、
前記電気角補正データが記憶されたメモリと、
前記電気角補正データを用いて前記第２の磁気抵抗素子の検出データの角度誤差を補正する電気角補正部と、
前記第１の磁気抵抗素子、前記第１のホール素子、前記第２のホール素子の検出データと、前記電気角補正部が補正した検出データとに基づき、前記回転磁石部の角度位置を決定する角度位置決定部とを有している
ことを特徴とする請求項１に記載のロータリエンコーダ。
【請求項３】
前記電気角補正データには、前記高調波キャンセルパターンによってキャンセルされずに残っている、所定の次数以下の高調波を打ち消すデータが含まれていることを特徴とする請求項２に記載のロータリエンコーダ。
【請求項４】
前記メモリには、前記第１の回転磁石と前記第２の回転磁石の回転に伴い周期的に発生する角度誤差を打ち消すための機械角補正データが記憶され、
前記データ処理部は、前記機械角補正データを用い、前記角度位置決定部が決定した角度位置データを補正する機械角補正部を有する
ことを特徴とする請求項２又は３に記載のロータリエンコーダ。
【請求項５】
前記電気角補正データは、前記所定の次数を超える全ての高調波に起因する誤差分を平均した値を有することを特徴とする請求項２に記載のロータリエンコーダ。
【請求項６】
前記電気角補正データは、前記高調波キャンセルパターンによってキャンセルされずに残っている、前記所定の次数以下の全ての高調波に起因する誤差分を平均した値を含むことを特徴とする請求項５に記載のロータリエンコーダ。
【請求項７】
前記電気角補正データは、前記所定の次数を超える高調波の特定の次数毎に平均した値を有することを特徴とする請求項２に記載のロータリエンコーダ。
【請求項８】
前記電気角補正データは、前記高調波キャンセルパターンによってキャンセルされずに残っている、前記所定の次数以下の高調波の特定の次数毎に平均した値を含むことを特徴とする請求項７に記載のロータリエンコーダ。
【請求項９】
前記所定の次数は、７次であることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載のロータリエンコーダ。
【請求項１０】
Ｎ極とＳ極とが周方向において１極ずつ着磁された第１の回転磁石と、Ｎ極とＳ極とが周方向において交互に複数着磁された第２の回転磁石とを含む回転磁石部を有するロータリエンコーダの角度補正方法であって、
第１の磁気抵抗素子により、前記第１の回転磁石の角度位置を検出する工程と、
該第１の磁気抵抗素子に近接配置される第１のホール素子と、
該第１のホール素子に対し周方向において機械角で９０°ずれた箇所に配置される第２のホール素子と、
第２の磁気抵抗素子により、前記第２の回転磁石の角度位置を検出する工程と、
データ処理部により、前記第１の磁気抵抗素子、前記第１のホール素子、前記第２のホール素子、前記第２の磁気抵抗素子の検出データに基づき、データ処理によって前記回転磁石部の角度位置を求める工程と、を有し、
前記第２の磁気抵抗素子には、所定の次数以下の高調波をキャンセルする高調波キャンセルパターンが設けられ、
前記データ処理部は、所定の次数を超える高調波を打ち消す補正データにより、前記第２の磁気抵抗素子の検出データを補正する
ことを特徴とするロータリエンコーダの角度補正方法。
【請求項１１】
前記補正データは、前記第２の回転磁石の各極が共通に有している周期的な角度誤差を打ち消すための電気角補正データであり、
電気角補正部により、メモリに記憶された前記電気角補正データを用いて前記第２の磁気抵抗素子の検出データの角度誤差を補正する工程と、
角度位置決定部により、前記第１の磁気抵抗素子、前記第１のホール素子、前記第２のホール素子の検出データと、前記電気角補正部が補正した検出データとに基づき、前記回転磁石部の角度位置を決定する工程と、を有する
ことを特徴とする請求項１０に記載のロータリエンコーダの角度補正方法。
【請求項１２】
前記電気角補正データには、前記高調波キャンセルパターンによってキャンセルされずに残っている、所定の次数以下の高調波を打ち消すデータが含まれていることを特徴とする請求項１１に記載のロータリエンコーダの角度補正方法。
【請求項１３】
前記メモリには、前記第１の回転磁石と前記第２の回転磁石の回転に伴い周期的に発生する角度誤差を打ち消すための機械角補正データが記憶され、
機械角補正部により、前記機械角補正データを用い、前記角度位置決定部が決定した角度位置データを補正する工程を有する
ことを特徴とする請求項１１又は１２に記載のロータリエンコーダの角度補正方法。
【請求項１４】
前記電気角補正データは、前記所定の次数を超える全ての高調波に起因する誤差分を平均した値を有することを特徴とする請求項１１に記載のロータリエンコーダの角度補正方法。
【請求項１５】
前記電気角補正データは、前記高調波キャンセルパターンによってキャンセルされずに残っている、前記所定の次数以下の全ての高調波に起因する誤差分を平均した値を含むことを特徴とする請求項１４に記載のロータリエンコーダの角度補正方法。
【請求項１６】
前記電気角補正データは、前記所定の次数を超える高調波の特定の次数毎に平均した値を有することを特徴とする請求項１１に記載のロータリエンコーダの角度補正方法。
【請求項１７】
前記電気角補正データは、前記高調波キャンセルパターンによってキャンセルされずに残っている、前記所定の次数以下の高調波の特定の次数毎に平均した値を含むことを特徴とする請求項１６に記載のロータリエンコーダの角度補正方法。
【請求項１８】
前記所定の次数は、７次であることを特徴とする請求項１０〜１７のいずれかに記載のロータリエンコーダの角度補正方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ロータリエンコーダの一部を構成するセンサからの検出信号の基本波に重畳される高調波成分による角度誤差の補正に適したロータリエンコーダ及びロータリエンコーダの角度補正方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ロータリエンコーダは、たとえばサーボモータのモータ軸の回転位置を検出し、検出データとして制御系にフィードバックする。そして、制御系では、ロータリエンコーダからの検出データと制御指令値とを比較し、検出データを制御値に近づけるように制御するための電圧指令を出力する。
【０００３】
このようなロータリエンコーダとして、たとえば特許文献１では、周方向にＮ極とＳ極とを１極ずつ着磁した着磁面を有する第１マグネットと、第１マグネットの外側に配置され、周方向にＮ極とＳ極とを交互に複数着磁した環状の着磁面を有する第２マグネットとを設け、第１マグネット側の回転位置を第１磁気抵抗素子及びホール素子で検出し、第２マグネット側の回転位置を第２磁気抵抗素子で検出するロータリエンコーダを提案している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許５６６６８８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述したロータリエンコーダでは、第１磁気抵抗素子及びホール素子で検出した第１マグネット側の回転位置の検出データと、第２磁気抵抗素子で検出した第２マグネット側の回転位置の検出データとから、分解能の高い回転位置の検出が可能となる。
【０００６】
ところで、このようなロータリエンコーダでは、磁極数の多い第２マグネット側の第２磁気抵抗素子からは、一定の繰り返し周期をもつ正弦波信号が出力される。また、この正弦波信号は、周知の通り、基本波成分（マグネット１極で１周期の出力）と基本波成分に高調波成分が重畳したものとなっている。また、高調波は、３次、５次、７次、１１次、１３次・・・のように、素数の次数で生じ、次数が小さいほど振幅は大きい。つまり、高調波の振幅が大きいと、基本波に歪みを与えてしまう。また、この高調波は、（次数＋１）周期の角度誤差として現れてくる。
【０００７】
このように、高調波が重畳している正弦波信号を元に、たとえばサーボモータのモータ軸の回転位置を検出した場合、その検出した回転位置は角度誤差を有しているため、精度の高い回転位置の検出データを得ることができない、という問題があった。
【０００８】
本発明は、このような状況に鑑みてなされたものであり、ロータリエンコーダの一部を構成するセンサからの検出信号の基本波に重畳される高調波を打ち消すことで、精度の高い回転位置の検出データを得ることができるロータリエンコーダ及びロータリエンコーダの角度補正方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のロータリエンコーダは、Ｎ極とＳ極とが周方向において１極ずつ着磁された第１の回転磁石と、Ｎ極とＳ極とが周方向において交互に複数着磁された第２の回転磁石とを含む回転磁石部を有するロータリエンコーダであって、前記第１の回転磁石の角度位置を検出する第１の磁気抵抗素子と、該第１の磁気抵抗素子に近接配置される第１のホール素子と、該第１のホール素子に対し周方向において機械角で９０°ずれた箇所に配置される第２のホール素子と、前記第２の回転磁石の角度位置を検出する第２の磁気抵抗素子と、前記第１の磁気抵抗素子、前記第１のホール素子、前記第２のホール素子、前記第２の磁気抵抗素子の検出データに基づき、データ処理によって前記回転磁石部の角度位置を求めるデータ処理部とを備え、前記第２の磁気抵抗素子には、所定の次数以下の高調波をキャンセルする高調波キャンセルパターンが設けられ、前記データ処理部は、所定の次数を超える高調波を打ち消す補正データにより、前記第２の磁気抵抗素子の検出データを補正することを特徴とする。
この構成では、第１の磁気抵抗素子が第１の回転磁石の角度位置を検出し、第２の磁気抵抗素子が高調波キャンセルパターンにより所定の次数以下の高調波をキャンセルして第２の回転磁石の角度位置を検出すると、データ処理部が所定の次数を超える高調波を打ち消す補正データにより、第２の磁気抵抗素子の検出データを補正する。これにより、第２の磁気抵抗素子で所定の次数以下の高調波がキャンセルされ、データ処理部で所定の次数を超える高調波が打ち消されるので、ロータリエンコーダの一部を構成するセンサからの検出信号の基本波に重畳される高調波を打ち消すことができる。
【００１０】
また、前記補正データは、前記第２の回転磁石の各極が共通に有している周期的な角度誤差を打ち消すための電気角補正データであり、前記データ処理部は、前記電気角補正データが記憶されたメモリと、前記電気角補正データを用いて前記第２の磁気抵抗素子の検出データの角度誤差を補正する電気角補正部と、前記第１の磁気抵抗素子、前記第１のホール素子、前記第２のホール素子の検出データと、前記電気角補正部が補正した検出データとに基づき、前記回転磁石部の角度位置を決定する角度位置決定部とを有していることを特徴とする。
この構成では、電気角補正部がメモリに記憶されている電気角補正データを用いて第２の回転磁石の各極が共通に有している周期的な角度誤差を打ち消し、角度位置決定部が第１の磁気抵抗素子、第１のホール素子、第２のホール素子の検出データと、電気角補正部が補正した検出データとに基づき、回転磁石部の角度位置を決定するので、第２の回転磁石の各極が共通に有している周期的な角度誤差を打ち消すことができる。
【００１１】
また、前記電気角補正データには、前記高調波キャンセルパターンによってキャンセルされずに残っている、所定の次数以下の高調波を打ち消すデータが含まれていることを特徴とする。
この構成では、電気角補正部が電気角補正データにより、高調波キャンセルパターンによってキャンセルされずに残っている、所定の次数以下の高調波を打ち消すことができる。
【００１２】
また、前記メモリには、前記第１の回転磁石と前記第２の回転磁石の回転に伴い周期的に発生する角度誤差を打ち消すための機械角補正データが記憶され、前記データ処理部は、前記機械角補正データを用い、前記角度位置決定部が決定した角度位置データを補正する機械角補正部を有することを特徴とする。
この構成では、機械角補正部がメモリに記憶されている機械角補正データを用い、角度位置決定部が決定した角度位置データを補正するので、第１の磁気抵抗素子と第１の回転磁石との中心ズレや、第２の磁気抵抗素子と第２の回転磁石との中心ズレなどの機械的要因により発生する角度誤差を打ち消すことができる。
【００１３】
また、前記電気角補正データは、前記所定の次数を超える全ての高調波に起因する誤差分を平均した値を有することを特徴とする。
この構成では、電気角補正データが所定の次数を超える全ての高調波に起因する誤差分を平均した値を有しているため、メモリの記憶容量を小さくできるとともに、電気角補正部による所定の次数を超える高調波を打ち消すための補正処理の手順を短縮できる。
【００１４】
また、前記電気角補正データは、前記高調波キャンセルパターンによってキャンセルされずに残っている、前記所定の次数以下の全ての高調波に起因する誤差分を平均した値を含むことを特徴とする。
この構成では、電気角補正データが高調波キャンセルパターンによってキャンセルされずに残っている、所定の次数以下の全ての高調波に起因する誤差分を平均した値を含んでいるため、高調波キャンセルパターンによってキャンセルされずに残っている、所定の次数以下の高調波を打ち消すことができる。
【００１５】
また、前記電気角補正データは、前記所定の次数を超える高調波の特定の次数毎に平均した値を有することを特徴とする。
この構成では、電気角補正データが所定の次数を超える高調波の特定の次数毎に平均した値を有しているため、電気角補正部が所定の次数を超える高調波を特定の次数毎に打ち消すことができ、第２の回転磁石の各極が共通に有している周期的な角度誤差をさらに小さくできる。
【００１６】
また、前記電気角補正データは、前記高調波キャンセルパターンによってキャンセルされずに残っている、前記所定の次数以下の高調波の特定の次数毎に平均した値を含むことを特徴とする。
この構成では、電気角補正データが高調波キャンセルパターンによってキャンセルされずに残っている、所定の次数以下の高調波の特定の次数毎に平均した値を含んでいるため、電気角補正部が高調波キャンセルパターンによってキャンセルされずに残っている、所定の次数以下の高調波を、特定の次数毎に打ち消すことができ、第２の回転磁石の各極が共通に有している周期的な角度誤差をさらに小さくできる。
【００１７】
また、前記所定の次数は、７次であることを特徴とする。
この構成では、第２の磁気抵抗素子が高調波キャンセルパターンにより７次以下の高調波をキャンセルできる。
【００１８】
本発明のロータリエンコーダの角度補正方法は、Ｎ極とＳ極とが周方向において１極ずつ着磁された第１の回転磁石と、Ｎ極とＳ極とが周方向において交互に複数着磁された第２の回転磁石とを含む回転磁石部を有するロータリエンコーダの角度補正方法であって、第１の磁気抵抗素子により、前記第１の回転磁石の角度位置を検出する工程と、該第１の磁気抵抗素子に近接配置される第１のホール素子と、該第１のホール素子に対し周方向において機械角で９０°ずれた箇所に配置される第２のホール素子と、第２の磁気抵抗素子により、前記第２の回転磁石の角度位置を検出する工程と、データ処理部により、前記第１の磁気抵抗素子、前記第１のホール素子、前記第２のホール素子、前記第２の磁気抵抗素子の検出データに基づき、データ処理によって前記回転磁石部の角度位置を求める工程と、を有し、前記第２の磁気抵抗素子には、所定の次数以下の高調波をキャンセルする高調波キャンセルパターンが設けられ、前記データ処理部は、所定の次数を超える高調波を打ち消す補正データにより、前記第２の磁気抵抗素子の検出データを補正することを特徴とする。
この構成では、第１の磁気抵抗素子が第１の回転磁石の角度位置を検出し、第２の磁気抵抗素子が高調波キャンセルパターンにより所定の次数以下の高調波をキャンセルして第２の回転磁石の角度位置を検出すると、データ処理部が所定の次数を超える高調波を打ち消す補正データにより、第２の磁気抵抗素子の検出データを補正する。これにより、第２の磁気抵抗素子で所定の次数以下の高調波がキャンセルされ、データ処理部で所定の次数を超える高調波が打ち消されるので、ロータリエンコーダの一部を構成するセンサからの検出信号の基本波に重畳される高調波を打ち消すことができる。
【００１９】
また、前記補正データは、前記第２の回転磁石の各極が共通に有している周期的な角度誤差を打ち消すための電気角補正データであり、電気角補正部により、メモリに記憶された前記電気角補正データを用いて前記第２の磁気抵抗素子の検出データの角度誤差を補正する工程と、角度位置決定部により、前記第１の磁気抵抗素子、前記第１のホール素子、前記第２のホール素子の検出データと、前記電気角補正部が補正した検出データとに基づき、前記回転磁石部の角度位置を決定する工程と、を有することを特徴とする。
この構成では、電気角補正部がメモリに記憶されている電気角補正データを用いて第２の回転磁石の各極が共通に有している周期的な角度誤差を打ち消し、角度位置決定部が第１の磁気抵抗素子、第１のホール素子、第２のホール素子の検出データと、電気角補正部が補正した検出データとに基づき、回転磁石部の角度位置を決定するので、第２の回転磁石の各極が共通に有している周期的な角度誤差を打ち消すことができる。
【００２０】
また、前記電気角補正データには、前記高調波キャンセルパターンによってキャンセルされずに残っている、所定の次数以下の高調波を打ち消すデータが含まれていることを特徴とする。
この構成では、電気角補正部が電気角補正データにより、高調波キャンセルパターンによってキャンセルされずに残っている、所定の次数以下の高調波を打ち消すことができる。
【００２１】
また、前記メモリには、前記第１の回転磁石と前記第２の回転磁石の回転に伴い周期的に発生する角度誤差を打ち消すための機械角補正データが記憶され、機械角補正部により、前記機械角補正データを用い、前記角度位置決定部が決定した角度位置データを補正する工程を有することを特徴とする。
この構成では、機械角補正部がメモリに記憶されている機械角補正データを用い、角度位置決定部が決定した角度位置データを補正するので、第１の磁気抵抗素子と第１の回転磁石との中心ズレや、第２の磁気抵抗素子と第２の回転磁石との中心ズレなどの機械的要因により発生する角度誤差を打ち消すことができる。
【００２２】
また、前記電気角補正データは、前記所定の次数を超える全ての高調波に起因する誤差分を平均した値を有することを特徴とする。
この構成では、電気角補正データが所定の次数を超える全ての高調波に起因する誤差分を平均した値を有しているため、メモリの記憶容量を小さくできるとともに、電気角補正部による所定の次数を超える高調波を打ち消すための補正処理の手順を短縮できる。
【００２３】
また、前記電気角補正データは、前記高調波キャンセルパターンによってキャンセルされずに残っている、前記所定の次数以下の全ての高調波に起因する誤差分を平均した値を含むことを特徴とする。
この構成では、電気角補正データが高調波キャンセルパターンによってキャンセルされずに残っている、所定の次数以下の全ての高調波に起因する誤差分を平均した値を含んでいるため、高調波キャンセルパターンによってキャンセルされずに残っている、所定の次数以下の高調波を打ち消すことができる。
【００２４】
また、前記電気角補正データは、前記所定の次数を超える高調波の特定の次数毎に平均した値を有することを特徴とする。
この構成では、電気角補正データが所定の次数を超える高調波の特定の次数毎に平均した値を有しているため、電気角補正部が所定の次数を超える高調波を特定の次数毎に打ち消すことができ、第２の回転磁石の各極が共通に有している周期的な角度誤差をさらに小さくできる。
【００２５】
また、前記電気角補正データは、前記高調波キャンセルパターンによってキャンセルされずに残っている、前記所定の次数以下の高調波の特定の次数毎に平均した値を含むことを特徴とする。
この構成では、電気角補正データが高調波キャンセルパターンによってキャンセルされずに残っている、所定の次数以下の高調波の特定の次数毎に平均した値を含んでいるため、電気角補正部が高調波キャンセルパターンによってキャンセルされずに残っている、所定の次数以下の高調波を、特定の次数毎に打ち消すことができ、第２の回転磁石の各極が共通に有している周期的な角度誤差をさらに小さくできる。
【００２６】
また、前記所定の次数は、７次であることを特徴とする。
この構成では、第２の磁気抵抗素子が高調波キャンセルパターンにより７次以下の高調波をキャンセルできる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明のロータリエンコーダ及びロータリエンコーダの角度補正方法によれば、第２の磁気抵抗素子で所定の次数以下の高調波がキャンセルされ、データ処理部で所定の次数を超える高調波が補正データにより打ち消されるので、ロータリエンコーダの一部を構成するセンサからの検出信号の基本波に重畳される高調波を打ち消すことができ、精度の高い回転位置の検出データを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明のロータリエンコーダの一実施形態を示す図である。
【図２】図１の回転磁石部の高調波を含まない場合での角度位置の検出の基本原理について説明するものであって、図２（ａ）は磁気抵抗素子及びホール素子の検出信号の波形を示し、図２（ｂ）は回転磁石部の角度位置（電気角）を示す図である。
【図３】図１の回転磁石部の角度位置の決定方法を示すものであって、また、図３（ａ）は回転磁石上の磁気抵抗素子の検出信号（ｓｉｎ、ｃｏｓ）から求めた角度位置θを１周期分で示し、図３（ｂ）は回転磁石上の磁気抵抗素子の検出信号（ｓｉｎ、ｃｏｓ）から求めた角度位置θを、１周期分で示し、図３（ｃ）は図３（ａ）に示す絶対角度データと、図３（ｂ）に示すインクリメンタル角度データとを組み合わせた場合を示す図である。
【図４】図１の複数の着磁面を有する回転磁石の各極が共通に有している周期的な角度誤差などを示すものであって、図４（ａ）は図１の回転磁石のＮ極とＳ極との対の数である１２８極分の補正前の角度誤差を重ねて示し、図４（ｂ）は図１回転磁石のＮ極とＳ極との対の数である１２８極分の補正後の角度誤差を重ねて示す図である。
【図５】図４（ｂ）の１２８極分のうち、４極分の補正後の角度誤差を示す図である。
【図６】図１の回転磁石部の角度補正方法について説明するためのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、本発明のロータリエンコーダの一実施形態を、図１〜図６を参照しながら説明する。
【００３０】
まず、図１により、ロータリエンコーダの一構成例について説明する。ロータリエンコーダ１００は、データ処理部１０、回転磁石部２０、磁気抵抗素子５０、ホール素子５１、５２、磁気抵抗素子６０、アンプ７０〜７２、Ａ／Ｄ変換部７３〜７５を備えている。なお、本実施形態でのロータリエンコーダ１００は、たとえば磁気抵抗素子６０からの検出信号の基本波に重畳される高調波成分による角度誤差を補正する点に特徴があるが、詳細については追って説明する。また、各部の構成の詳細についても、順を追って説明する。また、後述の回転磁石３０上の磁気抵抗素子５０、ホール素子５１、５２と、回転磁石４０上の磁気抵抗素子６０とは、図示しない固定板上の基板に取り付けられている。また、後述の磁気抵抗素子５０、ホール素子５１、５２、磁気抵抗素子６０は、後述の回転磁石部２０の回転に伴い検出信号を出力するセンサである。
【００３１】
データ処理部１０は、角度演算部１１、１２、メモリ１３、電気角補正部１４、角度位置決定部１５、機械角補正部１６を有している。
【００３２】
角度演算部１１は、磁気抵抗素子５０及びホール素子５１、５２からのＡ／Ｄ変換後の検出データに対し演算処理し、角度位置を求める。また、角度演算部１１は、求めた角度位置を角度位置データとして出力する。角度演算部１２は、磁気抵抗素子６０からのＡ／Ｄ変換後の検出データに対し演算処理し、角度位置を求める。また、角度演算部１２は、求めた角度位置を角度位置データとして出力する。なお、角度演算部１１、１２による角度位置の求め方については後述する。
【００３３】
メモリ１３には、電気角補正データと機械角補正データとが記憶されている。ここで、電気角補正データは、後述の回転磁石部２０の磁極数の多い回転磁石４０の各極が共通に有している周期的な角度誤差を補正するデータである。この周期的な角度誤差は、後述の磁気抵抗素子６０の検出信号（ｓｉｎ、ｃｏｓ）に重畳されている高調波によって生じる。また、高調波は、基本波（マグネット１極で１周期の出力）の整数倍の周波数をもつ波であり、３次、５次、７次、１１次、１３次・・・のように、素数の次数で生じる。
【００３４】
本実施形態では、後述のように、磁気抵抗素子６０に、たとえば７次以下の高調波をキャンセルする高調波キャンセルパターン６１を設けている。このため、電気角補正データは、７次を超える高調波を打ち消す誤差補正のデータとなっている。また、電気角補正データは、回転磁石４０の各極が共通に有している周期的な角度誤差を打ち消す誤差補正のデータである。ここで、電気角補正データは、角度誤差を打ち消すために７次を超える全ての高調波に起因する誤差分を平均した値を有するものであってもよいし、７次を超える高調波の特定の次数毎に平均した値としてもよい。また、電気角補正データには、高調波キャンセルパターン６１によってキャンセルされずに残っている、たとえば７次以下の高調波を打ち消すことができる誤差補正データを含ませてもよい。この場合、高調波キャンセルパターン６１によってキャンセルされずに残っている、たとえば７次以下の高調波を打ち消すことができる。
【００３５】
電気角補正データを、角度誤差を打ち消すために７次を超える全ての高調波に起因する誤差分を平均した値を有するものとした場合、メモリ１３の記憶容量を小さくできるとともに、電気角補正部１４による補正処理の手順を短縮できる。一方、電気角補正データを、角度誤差を打ち消すために７次を超える高調波の特定の次数毎に平均した値を有するものとした場合、メモリ１３の記憶容量が増え、電気角補正部１４による補正処理の手順も増えるが、電気角補正部１４により特定の次数毎に補正処理を行うことができるので、回転磁石４０の各極が共通に有している周期的な角度誤差をさらに小さくできる。
【００３６】
また、機械角補正データは、機械的要因による角度誤差を打ち消すための誤差補正のデータである。ちなみに、このような、機械的要因による角度誤差は、着磁のばらつきや、組み付けの位置ズレなどによって生じる。なお、組み付けの位置ズレとしては、磁気抵抗素子５０と回転磁石３０との中心ズレや、磁気抵抗素子６０と回転磁石４０との中心ズレなどが代表的である。また、このような角度誤差は、回転磁石４０の回転に伴い周期的に発生する。つまり、このような角度誤差は、決まった角度位置で生じる。
【００３７】
なお、上述した電気角補正データ及び機械角補正データは、図示しないマスターエンコーダを基準として得られる誤差補正のデータである。また、これらの誤差補正のデータは、予め、図示しない測定装置によりマスターエンコーダを基準とし、測定して得られたものである。そして、メモリ１３には、回転磁石４０の各極が共通に有している周期的な角度誤差の平均した誤差補正の値が電気角補正データとされ、機械的要因による角度誤差を打ち消すための誤差補正の値が機械角補正データとして記憶されている。
【００３８】
また、測定装置により、電気角補正データ及び機械角補正データを得る場合、マスターエンコーダに対する回転磁石部２０の１回転分の誤差をフーリエ変換し、固有誤差成分を算出する方法などを用いることができる。このように、電気角補正データ及び機械角補正データは、それぞれの回転磁石部２０毎に得られるため、それぞれの回転磁石部２０毎に適切な誤差補正のデータを決めることができる。また、測定装置により、マスターエンコーダを基準とし、高調波キャンセルパターン６１によってキャンセルされずに残っている、たとえば７次以下の高調波を測定し、この測定結果を誤差補正データとし、電気角補正データに含めてもよい。
【００３９】
電気角補正部１４は、角度演算部１２が求めた角度位置データに対し、メモリ１３に記憶されている電気角補正データを用いて回転磁石４０の各極が共通に有している周期的な角度誤差を打ち消す。角度位置決定部１５は、角度演算部１１からの角度位置データと、電気角補正部１４からの補正後の角度位置データとから、回転磁石部２０の角度位置を決定する。機械角補正部１６は、メモリ１３に記憶されている機械角補正データを用い、角度位置決定部１５が決定した角度位置データを補正する。これにより、磁気抵抗素子５０と回転磁石３０との中心ズレや、磁気抵抗素子６０と回転磁石４０との中心ズレなどの機械的要因により発生する角度誤差を打ち消すことができる。
【００４０】
回転磁石部２０は、回転磁石３０、４０を有している。これらの回転磁石３０、４０は、図示しないたとえばサーボモータのモータ軸に連結される回転体に取り付けられ、モータ軸の回転に同期して回転軸線Ｌを中心に回転する。
【００４１】
回転磁石３０は、Ｎ極とＳ極とが周方向において１極ずつ着磁された着磁面３１、３２を有している。これらの着磁面３１、３２は、回転磁石３０上に配置された磁気抵抗素子５０及びホール素子５１、５２に向けられている。
【００４２】
一方、回転磁石４０は、Ｎ極とＳ極とが周方向において交互に複数着磁された環状の着磁面４１を有している。また、環状の着磁面４１は、径方向で複数、並列している。本実施形態では径方向に２列形成されており、かかる２列の間ではＮ極及びＳ極の位置が周方向でずれている。すなわち、２つの列の間においてＮ極及びＳ極は周方向に１極分ずれている。また、Ｎ極とＳ極との対の数は任意であるが、本実施形態ではたとえば１２８個としている。そして、環状の着磁面４１は、回転磁石４０上に配置された磁気抵抗素子６０に向けられている。
【００４３】
回転磁石３０上の磁気抵抗素子５０は、回転磁石３０の位相に対して、互いに９０°の位相差を有するＡ相（ＳＩＮ）パターンとＢ相（ＣＯＳ）パターンとを有している。Ａ相（ＳＩＮ）パターンは、１８０°の位相差をもって回転磁石３０の移動検出を行う＋ａ相（ＳＩＮ＋）の磁気抵抗パターン５０ｃ及び−ａ相（ＳＩＮ−）の磁気抵抗パターン５０ａを有している。Ｂ相（ＣＯＳ）パターンは、１８０°の位相差をもって回転磁石３０の移動検出を行う＋ｂ相（ＣＯＳ＋）の磁気抵抗パターン５０ｄ及び−ｂ相（ＣＯＳ−）の磁気抵抗パターン５０ｂを有している。ここで、磁気抵抗パターン５０ａ〜５０ｃは、ブリッジ回路を構成している。ホール素子５１、５２は、回転軸線Ｌを中心とした回転方向で９０°（機械角）ずらして配置されている。
【００４４】
回転磁石４０上の磁気抵抗素子６０は、回転磁石４０の位相に対して、互いに９０°の位相差を有するＡ相（ＳＩＮ）パターンとＢ相（ＣＯＳ）パターンとを有している。Ａ相（ＳＩＮ）パターンは、１８０°の位相差をもって回転磁石４０の移動検出を行う＋ａ相（ＳＩＮ＋）の磁気抵抗パターン６０ｄ及び−ａ相（ＳＩＮ−）の磁気抵抗パターン６０ｂを有している。Ｂ相（ＣＯＳ）パターンは、１８０°の位相差をもって回転磁石４０の移動検出を行う＋ｂ相（ＣＯＳ＋）の磁気抵抗パターン６０ｃ及び−ｂ相（ＣＯＳ−）の磁気抵抗パターン６０ａを有している。ここで、磁気抵抗パターン６０ａ〜６０ｄは、ブリッジ回路を構成している。
【００４５】
また、磁気抵抗素子６０は、高調波をキャンセルする高調波キャンセルパターン６１を有している。ここで、磁極数の多い回転磁石４０上の磁気抵抗素子６０からは、一定の繰り返し周期をもつ正弦波信号が出力される。この正弦波信号は、上述したように、基本波成分（マグネット１極で１周期の出力）と基本波成分に高調波成分が重畳したものとなっている。また、高調波は、３次、５次、７次、１１次、１３次・・・と素数の次数で生じ、次数が小さいほど振幅は大きい。また、この高調波は、（次数＋１）周期の角度誤差として現れてくる。
【００４６】
そこで、磁気抵抗素子６０に、全ての次数の高調波をキャンセルできる高調波キャンセルパターン６１を設けることで、角度誤差を無くすことは理論的には可能である。ただし、全ての次数の高調波をキャンセルできる高調波キャンセルパターン６１は、パターンの繰り返しが多く、サイズが大きくなってしまう。また、磁気抵抗素子６０は、回転磁石４０の磁極間のピッチなどの兼ね合いなどから大きさに制限がある。このようなことから、本実施形態では、磁気抵抗素子６０に、たとえば７次以下の高調波をキャンセルできる高調波キャンセルパターン６１を設けている。なお、高調波キャンセルパターン６１は、７次以下に限るものではない。たとえば１１次以下であってもよいし、６次以下であってもよい。
【００４７】
アンプ７０は、回転磁石３０上のホール素子５１、５２の出力側に設けられ、ホール素子５１、５２の検出信号を増幅する。アンプ７１は、回転磁石３０上の磁気抵抗素子５０の出力側に設けられ、磁気抵抗素子５０の検出信号を増幅する。アンプ７２は、回転磁石４０上の磁気抵抗素子６０の出力側に設けられ、磁気抵抗素子６０の検出信号を増幅する。
【００４８】
ＡＣ／ＤＣ変換部７３は、アンプ７０の出力側に設けられ、アンプ７０によって増幅された検出信号を検出データに変換する。ＡＣ／ＤＣ変換部７４は、アンプ７１の出力側に設けられ、アンプ７１によって増幅された検出信号を検出データに変換する。ＡＣ／ＤＣ変換部７５は、アンプ７２の出力側に設けられ、アンプ７２によって増幅された検出信号を検出データに変換する。
【００４９】
次に、図２及び図３を参照し、高調波を含まない場合での回転磁石部２０の角度位置の検出の基本原理について説明する。なお、図２（ａ）は、回転磁石３０上の磁気抵抗素子５０及びホール素子５１、５２の検出信号の波形を示し、図２（ｂ）は回転磁石部２０の角度位置（電気角）を示している。また、図３は、回転磁石部２０の角度位置の決定方法を示している。また、図３（ａ）は、回転磁石３０上の磁気抵抗素子５０の検出信号（ｓｉｎ、ｃｏｓ）から求めた角度位置θを１周期分で示している。また、図３（ｂ）は、回転磁石４０上の磁気抵抗素子６０の検出信号（ｓｉｎ、ｃｏｓ）から求めた角度位置θを、１周期分で示している。また、図３（ｃ）は、図３（ａ）に示す絶対角度データと、図３（ｂ）に示すインクリメンタル角度データとを組み合わせた場合を示している。
【００５０】
まず、回転磁石３０及び４０が回転すると、回転磁石３０上の磁気抵抗素子５０及びホール素子５１、５２の検出信号はアンプ７０、７１によって増幅され、Ａ／Ｄ変換部７３、７４によって検出データに変換され、データ処理部１０に与えられる。また、回転磁石４０上の磁気抵抗素子６０の検出信号はアンプ７２によって増幅され、Ａ／Ｄ変換部７５によって検出データに変換され、データ処理部１０に与えられる。データ処理部１０は、磁気抵抗素子５０及びホール素子５１、５２の検出データと、磁気抵抗素子６０の検出データとに基づき、回転磁石部２０の絶対角度位置を求める。なお、回転磁石部２０の絶対角度位置は、任意の基準位置に対するものである。また、任意の基準位置は、たとえば回転磁石３０上の磁気抵抗素子５０、ホール素子５１及びホール素子５２と、回転磁石４０上の磁気抵抗素子６０とを取り付ける図示しない固定板に対する位置としてもよい。
【００５１】
ここで、回転磁石３０が１回転すると、回転磁石３０の着磁面３１、３２の磁束は図２（ａ）の（イ）のように変化する。また、回転磁石３０が１回転すると、磁気抵抗素子５０の互いに９０°の位相差を有するＡ相（ＳＩＮ）パターンとＢ相（ＣＯＳ）パターンとにより、図２（ａ）の（ロ）のように、正弦波信号ｓｉｎ、ｃｏｓが２周期分、出力される。そして、データ処理部１０は、図２（ｂ）に示すように、正弦波信号ｓｉｎ、ｃｏｓからθ＝ｔａｎ−１（ｓｉｎ／ｃｏｓ）を求めることで、回転磁石部２０の角度位置θが分かる。なお、この演算処理は、角度演算部１１が行う。
【００５２】
また、回転磁石３０上のホール素子５１、５２は、回転磁石３０の中心からみて９０°ずれた位置に配置されている。このため、回転磁石３０が１回転すると、ホール素子５１、５２の出力は、（Ｈ，Ｌ）→（Ｈ，Ｈ）→（Ｌ，Ｈ）→（Ｌ，Ｌ）と変化する。つまり、ホール素子５１、５２の出力が４つのいずれかであることを確認することで、０°〜３６０°のいずれの区間に位置するかが分かる。また、ホール素子５１、５２のそれぞれの出力状態を監視することで、図２のように磁気抵抗素子５０のｓｉｎ出力とｃｏｓ出力の組合せが２つであっても角度位置を判別できる。よって、磁気抵抗素子５０の出力と、ホール素子５１、５２の出力とから、回転磁石３０の回転位置と角度位置θとが分かる。
【００５３】
また、回転磁石４０上の磁気抵抗素子６０からは、環状の着磁面４１のＮ極とＳ極との対の数に相当する正弦波信号ｓｉｎ、ｃｏｓが出力される。この場合、磁気抵抗素子６０から出力された正弦波信号ｓｉｎ、ｃｏｓについても、図２（ｂ）に示すように、θ＝ｔａｎ−１（ｓｉｎ／ｃｏｓ）を求めれば、回転磁石４０の角度位置θが分かる。なお、この演算処理は、角度演算部１２が行う。
【００５４】
ここで、回転磁石３０上の磁気抵抗素子５０及びホール素子５１、５２のＡ／Ｄ変換後の検出データに基づいた１回転１周期の絶対角度データは、図３（ａ）に示すように、変化する。また、回転磁石４０上の磁気抵抗素子６０からのＡ／Ｄ変換後の検出データに基づいた１回転Ｎ周期のインクリメンタル角度データは、図３（ｂ）に示すように、変化する。よって、図３（ａ）に示す絶対角度データと、図３（ｂ）に示すインクリメンタル角度データとを組み合わせることで、図３（ｃ）に示す絶対角度データを得ることができる。つまり、図３（ｃ）は、図３（ａ）に示した絶対角度データを、回転磁石４０の１２８極分の角度データにより補完することで得られる絶対角度データである。
【００５５】
次に、図４及び図５を参照し、回転磁石４０の各極が共通に有している周期的な角度誤差と、電気角補正部１４による補正後の角度誤差とについて説明する。
【００５６】
まず、図４（ａ）は、回転磁石４０のＮ極とＳ極との対の数である１２８極分を重ねて示すものである。また、図４（ａ）は、特定の次数（たとえば１１次）の高調波による補正前の角度誤差を示している。また、横軸は１回転の角度を示し、縦軸は分解能をたとえば２０ビットとした場合の角度誤差のレベルを示している。
【００５７】
図４（ａ）から分かる通り、特定の次数（たとえば１１次）の高調波が基本波（マグネット１極で１周期の出力）に重畳されると、レベルの最大が２０、−２２となる繰り返しの角度誤差を生じている。
【００５８】
図４（ｂ）は、図４（ａ）と同様に、回転磁石４０のＮ極とＳ極との対の数である１２８極分を重ねて示すものである。また、図４（ｂ）は、特定の次数（たとえば１１次）の高調波を平均した電気角補正データに基づき、特定の次数（たとえば１１次）の高調波を打ち消した場合の補正後の角度誤差を示している。図４（ｂ）から分かる通り、レベルの最大が２０、−１５となる角度誤差を生じている。ただし、図４（ｂ）から分かる通り、レベルの最大が２０、−２２となる繰り返しの角度誤差は打ち消されていることが分かる。
【００５９】
また、図５は、図４（ｂ）の１２８極分のうち、４極分の補正後の角度誤差を示している。図５から分かる通り、１１次の高調波が補正されているので１回転に１２周期の角度誤差成分が低下していることが分かる。
【００６０】
次に、図６を参照し、回転磁石部２０の角度補正方法について説明する。なお、以下においては、回転磁石４０上の磁気抵抗素子６０からの検出信号は、高調波キャンセルパターン６１により、７次以下の高調波がキャンセルされている場合として説明する。
【００６１】
（ステップＳ１０１）
まず、回転磁石部２０が回転すると、アンプ７０〜７２が検出信号を増幅する。すなわち、アンプ７０、７１は、回転磁石３０上の磁気抵抗素子５０及びホール素子５１、５２の検出信号を増幅する。また、アンプ７２は、回転磁石４０上の磁気抵抗素子６０の検出信号を増幅する。
【００６２】
（ステップＳ１０２）
検出信号をＡ／Ｄ変換する。すなわち、Ａ／Ｄ変換部７３は、回転磁石３０上のホール素子５１、５２の検出信号をＡ／Ｄ変換する。また、Ａ／Ｄ変換部７４は、回転磁石３０上の磁気抵抗素子５０の検出信号をＡ／Ｄ変換する。また、Ａ／Ｄ変換部７５は、回転磁石４０上の磁気抵抗素子６０の検出信号をＡ／Ｄ変換する。
【００６３】
（ステップＳ１０３）
角度位置を求める。すなわち、角度演算部１１は、Ａ／Ｄ変換部７３、７４からのＡ／Ｄ変換後の検出データに対し、θ＝ｔａｎ−１（ｓｉｎ／ｃｏｓ）の演算処理を行い、角度位置を求める。また、角度演算部１２は、Ａ／Ｄ変換部７５からのＡ／Ｄ変換後の検出データに対し、θ＝ｔａｎ−１（ｓｉｎ／ｃｏｓ）の演算処理を行い、角度位置を求める。なお、Ａ／Ｄ変換部７５からのＡ／Ｄ変換後の検出データには、高調波キャンセルパターン６１により、７次以下の高調波がキャンセルされているため、７次を超える高調波のデータが含まれている。
【００６４】
（ステップＳ１０４）
電気角を補正する。すなわち、電気角補正部１４は、メモリ１３に記憶されている電気角補正データに基づき、角度演算部１２が求めた角度位置データに含まれる高調波を打ち消す。ここで、電気角補正データは、上述したように、たとえば７次を超える全ての高調波に起因する誤差分を平均した値である。また、この電気角補正データは、回転磁石４０の各極が共通に有している周期的な角度誤差を打ち消す値である。よって、電気角補正部１４が電気角補正データに基づき、角度演算部１２が求めた角度位置データを補正することで、回転磁石４０の各極が共通に有している周期的な角度誤差が補正される。なお、電気角補正部１４は、電気角補正データに高調波キャンセルパターン６１によってキャンセルされずに残っている、たとえば７次以下の高調波を打ち消すことができる誤差補正データが含まれている場合、７次を超える高調波と同時に、高調波キャンセルパターン６１によってキャンセルされずに残っている、たとえば７次以下の高調波を打ち消す。
【００６５】
（ステップＳ１０５）
角度位置を決定する。すなわち、角度位置決定部１５は、角度演算部１１からの角度位置データと電気角補正部１４からの補正後の角度位置データとから、回転磁石部２０の角度位置を決定する。
【００６６】
（ステップＳ１０６）
機械角を補正する。すなわち、機械角補正部１６は、角度位置決定部１５が決定した角度位置データに対し、メモリ１３に記憶されている機械角補正データに基づき、機械角成分を打ち消す。ここで、機械角補正データは、磁気抵抗素子５０と回転磁石３０との中心ズレや、磁気抵抗素子６０と回転磁石４０との中心ズレなどの機械的要因により発生する角度誤差を打ち消す値である。なお、回転磁石４０のいずれかの極が個別に有する角度誤差は、回転磁石４０の回転に伴い周期的に発生する。また、このような角度誤差は、決まった角度位置で生じている。よって、機械角補正部１６が角度位置決定部１５の決定した角度位置データを補正することで、回転磁石４０の回転に伴い周期的に発生する角度誤差が補正される。
【００６７】
このように、本実施形態では、磁気抵抗素子５０（第１の磁気抵抗素子）が回転磁石３０（第１の回転磁石）の角度位置を検出し、磁気抵抗素子６０（第２の磁気抵抗素子）が高調波キャンセルパターン６１により所定の次数（たとえば７次）以下の高調波をキャンセルして回転磁石４０（第２の回転磁石）の角度位置を検出すると、データ処理部１０が所定の次数（たとえば７次）を超える高調波を打ち消す補正データ（たとえば電気角補正データ）により、磁気抵抗素子６０（第２の磁気抵抗素子）の検出データを補正する。これにより、磁気抵抗素子６０（第２の磁気抵抗素子）で所定の次数（たとえば７次）以下の高調波がキャンセルされ、データ処理部１０で所定の次数（たとえば７次）を超える高調波が打ち消されるので、ロータリエンコーダ１００の一部を構成するセンサ（磁気抵抗素子６０）からの検出信号の基本波に重畳される高調波を打ち消すことができ、精度の高い回転位置の検出データを得ることができる。
【００６８】
また、電気角補正部１４がメモリ１３に記憶されている電気角補正データを用いて回転磁石４０（第２の回転磁石）の各極が共通に有している周期的な角度誤差を打ち消し、角度位置決定部１５が磁気抵抗素子５０（第１の磁気抵抗素子）、ホール素子５１（第１のホール素子）、ホール素子５２（第２のホール素子）の検出データと、電気角補正部１４が補正した検出データとに基づき、回転磁石部２０の角度位置を決定するので、回転磁石４０（第２の回転磁石）の各極が共通に有している周期的な角度誤差を打ち消すことができる。
【００６９】
また、電気角補正データが高調波キャンセルパターン６１によってキャンセルされずに残っている、所定の次数以下の高調波を打ち消すデータを含んでいる場合、電気角補正部１４が高調波キャンセルパターン６１によってキャンセルされずに残っている、所定の次数以下の高調波を打ち消すことができる。
【００７０】
また、機械角補正部１６がメモリ１３に記憶されている機械角補正データを用い、角度位置決定部１５が決定した角度位置データを補正するので、磁気抵抗素子５０（第１の磁気抵抗素子）と回転磁石３０（第１の回転磁石）との中心ズレや、磁気抵抗素子６０（第２の磁気抵抗素子）と回転磁石４０（第２の回転磁石）との中心ズレなどの機械的要因により発生する角度誤差を打ち消すことができる。
【００７１】
また、電気角補正データが所定の次数を超える全ての高調波に起因する誤差分を平均した値を有しているため、メモリ１３の記憶容量を小さくできるとともに、電気角補正部１４による所定の次数を超える高調波を打ち消すための補正処理の手順を短縮できる。
【００７２】
また、電気角補正データが高調波キャンセルパターン６１によってキャンセルされずに残っている、所定の次数以下の全ての高調波に起因する誤差分を平均した値を含んでいる場合、高調波キャンセルパターン６１によってキャンセルされずに残っている、所定の次数以下の高調波を打ち消すことができる。
【００７３】
また、電気角補正データが所定の次数を超える高調波の特定の次数毎に平均した値を有している場合、電気角補正部１４が所定の次数を超える高調波を特定の次数毎に打ち消すことができ、回転磁石４０（第２の回転磁石）の各極が共通に有している周期的な角度誤差をさらに小さくできる。
【００７４】
また、電気角補正データが高調波キャンセルパターンによってキャンセルされずに残っている、所定の次数以下の高調波の特定の次数毎に平均した値を含んでいる場合、電気角補正部１４が高調波キャンセルパターン６１によってキャンセルされずに残っている、所定の次数以下の高調波を、特定の次数毎に打ち消すことができ、回転磁石４０（第２の回転磁石）の各極が共通に有している周期的な角度誤差をさらに小さくできる。
【００７５】
また、磁気抵抗素子６０（第２の磁気抵抗素子）の高調波キャンセルパターン６１の次数を７次以下とすることで、磁気抵抗素子６０（第２の磁気抵抗素子）が高調波キャンセルパターン６１により７次以下の高調波をキャンセルできる。
【符号の説明】
【００７６】
１０  データ処理部
１１、１２  角度演算部
１３  メモリ
１４  電気角補正部
１５  角度位置決定部
１６  機械角補正部
２０  回転磁石部
３０、４０  回転磁石
３１、３２、４１  着磁面
５０、６０  磁気抵抗素子
５０ａ〜５０ｄ、６０ａ〜６０ｄ  磁気抵抗パターン
５１、５２  ホール素子
６１  高調波キャンセルパターン
７０〜７２  アンプ
７３〜７５  Ａ／Ｄ変換部
１００  ロータリエンコーダ
【図１】
0006656958.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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