(57)【要約】【課題】複数枚の基板を収容できる基板ラックであって、簡易かつ短時間で調整が行える調整機構を備えることにより、一つの基板ラックでさまざまな横幅、長さ、厚さの基板の収容を可能にする基板ラックを提供すると共に、収容する基板に合わせて、当該基板ラックをより一層簡易かつ短時間に調整することを可能にする基板ラック調整装置を提供する。【解決手段】本発明に係る基板ラックは、支持フレーム内に設けられた一対のガイドフレーム間に基板を収容して保持する基板ラックであって、前記一対のガイドフレームの少なくとも一方のガイドフレームが他方のガイドフレームに対して接離する方向にスライド可能に構成され、且つ前記スライド可能に設けられたガイドフレームをスライドし、前記ガイドフレーム間の間隔を基板を収容可能な幅に調整する間隔調整機構を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持フレーム内に設けられた一対のガイドフレーム間に基板を収容して保持する基板ラックであって、
前記一対のガイドフレームの少なくとも一方のガイドフレームが他方のガイドフレームに対して接離する方向にスライド可能に構成され、且つ前記スライド可能に設けられたガイドフレームをスライドし、前記ガイドフレーム間の間隔を基板を収容可能な幅に調整する間隔調整機構を備えること
を特徴とする基板ラック。
【請求項２】
前記支持フレーム内に設けられて上下方向にスライド可能な底部バーと
前記底部バーをスライドし、前記底部バーの高さを基板を収容可能な高さに調整する高さ調整機構とを備えること
を特徴とする請求項１記載の基板ラック。
【請求項３】
前記一対のガイドフレームの各々には、前記一対のガイドフレーム間に収容された基板をガイドする複数本のガイドバーが上下方向に設けられていること
を特徴とする請求項１または請求項２記載の基板ラック。
【請求項４】
前記ガイドバーには、その軸方向に山部と谷部が交互に形成され、前記谷部が基板を収容して保持可能な形状に形成されること
を特徴とする請求項３記載の基板ラック。
【請求項５】
支持フレーム内に、一対のガイドフレームの少なくとも一方が他方に対して接離方向にスライド可能に設けられていると共に、上下方向に底部バーがスライド可能に設けられている基板ラックと、
前記基板ラック内に挿脱可能に設けられ、前記一対のガイドフレームおよび前記底部バーの各々の少なくとも一部と当接して、基板が収容可能なように前記一対のガイドフレーム間の間隔と前記底部バーの高さを調整するサイズ調整板と、
前記一対のガイドフレーム間内に基板が収容される状態と同一状態で挿脱可能に挿入された前記サイズ調整板に、前記ガイドフレームおよび前記底部バーが当接するように、前記ガイドフレームの少なくとも一方および底部バーの各々をスライドする駆動手段と
を備えることを特徴とする基板ラック調整装置。
【請求項６】
前記サイズ調整板が、下端ほど幅狭となるテーパ状に形成されていること
を特徴とする請求項５記載の基板ラック調整装置。
【請求項７】
前記一対のガイドフレームの各々には、前記一対のガイドフレーム間に収容された基板をガイドする複数本のガイドバーが上下方向に設けられていること
を特徴とする請求項５または請求項６記載の基板ラック調整装置。
【請求項８】
前記ガイドバーには、その軸方向に山部と谷部が交互に形成され、前記谷部が基板を収容して保持可能な形状に形成されること
を特徴とする請求項７記載の基板ラック調整装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板ラックおよび基板ラック調整装置に関し、さらに詳細には、支持フレーム内に設けられた一対のガイドフレーム間に基板を収容して保持する基板ラックおよび当該基板ラックに基板を収容する際に、基板に合わせて基板ラックのサイズ調整を行う基板ラック調整装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電気・電子機器等に組み込まれる基板は、その用途や特性によって多種多様なものが存在し、そのサイズすなわち横幅、長さ、厚さもさまざまである。
【０００３】
ところで、基板は多くの工程を経て製造されるものであるため、それらの工程間あるいは工程内等を搬送する必要がある。一般的な搬送方法の一つに、基板ラックに基板を収容して搬送する方法がある。例えば、薬液処理工程やベーキング工程等においては、基板を基板ラックに収容した状態で搬送すると共に、基板ラックごとそれらの工程を通過させる場合もある。しかし、基板をー枚ずつ基板ラックに収容して搬送するのは非効率的であるため、複数枚の基板を収容可能な基板ラックが発案されている。
【０００４】
ここで、複数枚の基板を収容可能な従来の基板ラックの例として、特許文献１に記載の基板ラック１００がある（図９）。基板ラック１００は、一対のフレーム１０２、１０３間に基板載置用の溝付きのガイドレール１０４を配設し、ガイドレール１０４は断面半円形状の円の部分にのみ溝を設けた樹脂製の棒状体１０８とフレーム１０２、１０３間に配した金属製の取付板１１０とからなり、棒状体１０８を金属製の取付板１１０にネジ止め等で固定する構造である。
【０００５】
【特許文献１】特開平９−２７０５９０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、従来の基板ラック１００は複数枚の基板が収容できる点では効率的であったが、前述の通り、基板にはさまざまな横幅、長さ、厚さのものが存在しているため、基板毎にそのサイズに合わせた基板ラックを製作しなければならないという問題があった。またその結果として、基板ラックの製作納期の間、基板の製造工程に遅れが生じてしまうという問題や、多くの基板ラックを用意しなければならないことに加えて保管場所に多くのスペースが必要となってしまうという問題も生じていた。
【０００７】
本発明は、上記事情に鑑みてなされ、複数枚の基板を収容できる基板ラックであって、簡易かつ短時間で調整が行える調整機構を備えることにより、一つの基板ラックでさまざまな横幅、長さ、厚さの基板の収容を可能にする基板ラックを提供することを目的とする。また、本発明は、収容する基板に合わせて、当該基板ラックをより一層簡易かつ短時間に調整することを可能にする基板ラック調整装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、以下に記載するような解決手段により、前記課題を解決する。  
【０００９】
本発明に係る基板ラックは、支持フレーム内に設けられた一対のガイドフレーム間に基板を収容して保持する基板ラックであって、前記一対のガイドフレームの少なくとも一方のガイドフレームが他方のガイドフレームに対して接離する方向にスライド可能に構成され、且つ前記スライド可能に設けられたガイドフレームをスライドし、前記ガイドフレーム間の間隔を基板を収容可能な幅に調整する間隔調整機構を備えることを特徴とする。
【００１０】
また、前記支持フレーム内に設けられて上下方向にスライド可能な底部バーと前記底部バーをスライドし、前記底部バーの高さを基板を収容可能な高さに調整する高さ調整機構とを備えることを特徴とする。
【００１１】
また、前記一対のガイドフレームの各々には、前記一対のガイドフレーム間に収容された基板をガイドする複数本のガイドバーが上下方向に設けられていることを特徴とする。
【００１２】
また、前記ガイドバーには、その軸方向に山部と谷部が交互に形成され、前記谷部が基板を収容して保持可能な形状に形成されることを特徴とする。
【００１３】
本発明に係る基板ラック調整装置は、支持フレーム内に、一対のガイドフレームの少なくとも一方が他方に対して接離方向にスライド可能に設けられていると共に、上下方向に底部バーがスライド可能に設けられている基板ラックと、前記基板ラック内に挿脱可能に設けられ、前記一対のガイドフレームおよび前記底部バーの各々の少なくとも一部と当接して、基板が収容可能なように前記一対のガイドフレーム間の間隔と前記底部バーの高さを調整するサイズ調整板と、前記一対のガイドフレーム間内に基板が収容される状態と同一状態で挿脱可能に挿入された前記サイズ調整板に、前記ガイドフレームおよび前記底部バーが当接するように、前記ガイドフレームの少なくとも一方および底部バーの各々をスライドする駆動手段とを備えることを特徴とする。
【００１４】
また、前記サイズ調整板が、下端ほど幅狭となるテーパ状に形成されていることを特徴とする。
【００１５】
また、本発明に係る基板ラック調整装置は、前述の特徴を有する基板ラックを備える。
【発明の効果】
【００１６】
請求項１によれば、支持フレームに設けられる一対のガイドフレームによって、それらの間に基板を収容して保持することが可能となるとともに、間隔調整機構を備えることによって、一対のガイドフレーム間の間隔を調整することが可能となる。その結果、収容される基板の幅寸法が一種類のものに限定されなくなり、ガイドフレーム間の間隔の調整可能範囲内に対応する幅寸法の基板であれば収容することが可能となる。
【００１７】
請求項２によれば、支持フレームに設けられる底部バーによって、一対のガイドフレーム間に収容する基板の下部を支持することが可能となるとともに、高さ調整機構を備えることによって、底部バーの高さを調整することが可能となる。その結果、収容される基板の長さ寸法が一種類のものに限定されなくなり、底部バーの高さの調整可能範囲内に対応する長さ寸法の基板であれば収容することが可能となる。
【００１８】
請求項３によれば、ガイドフレームを複数本のガイドバーを連結させて形成することにより、板状ではなく棒状の構成とすることができ、基板ラックを薬液に浸漬させる際に、ラック内への薬液浸入が速やかに行われることとなり、処理時間を短縮させることが可能となる。
【００１９】
請求項４によれば、ガイドバーの軸方向に山部と谷部が交互に形成される構成を有することによって、谷部によって、基板が収容・保持される効果が生じると共に、複数枚の基板を一度に収納可能とする効果が生じる。さらに、山部の頂点と谷部の頂点（最深点）とを直線的に結ぶ形状となっていることで、隣接する山部同士の間隔よりも小さい厚さの基板であれば谷部の部分において収容することが可能となり、その結果、収容される基板の厚さ寸法が一種類のものに限定されず、多くの種類の基板収容が可能となる。
【００２０】
請求項５によれば、基板ラック調整装置は、サイズ調整板を備えることによって、ガイドフレーム間に基板を収容することが可能なようにガイドフレーム間の間隔を所望幅に設定することが可能となると共に、底部バーの高さを基板を収容可能な所望高さに設定することが可能となる。また、駆動装置を備えることによって、迅速かつ容易に前記所望の間隔・高さに調整することが可能となる。
【００２１】
請求項６によれば、サイズ調整板は、上端が幅広で、下端が幅狭のテーパ状に形成されているため、調整時においては、ガイドフレームを固定した後のサイズ調整板の抜き取りが容易となり、また、その後の基板挿入時においては、基板ラックへの上方からの基板挿入が容易となる。
【００２２】
請求項７および請求項８によれば、請求項３および請求項４の効果を有する基板ラックのサイズ調整が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について詳しく説明する。図１は、本発明に係る基板ラック１の一例を示す概略図である。また、図２は、その基板ラック１の側面図である。図３は、その基板ラック１の上面図である。図４は、その基板ラック１のガイドフレーム１２の構成を示す正面図である。図５は、そのガイドフレーム１２の側面図である。図６は、本発明に係る基板ラック調整装置２の一例を示す概略図である。また、図７は、その基板ラック調整装置２の側面図である。図８は、その基板ラック調整装置２のサイズ調整板４１の構成を示す概略図である。なお、図面の符号に関して、符号１２は符号１２ａ、１２ｂの総称として、符号１３は符号１３ａ〜１３’ｄの総称として、符号１４は符号１４ａ〜１４ｄの総称としてそれぞれ用いる。
【００２４】
基板ラック１は、複数枚の基板を収容して、薬液処理等の工程に搬送するためのラックである。図１〜図３に示すように基板ラック１は、支持フレーム３内に一対に設けられるガイドフレーム１２ａおよびガイドフレーム１２ｂの間に基板を収容して保持するとともに、同じく支持フレーム３内に設けられる底部バー２１によって、その基板の下部を支持する構造である。ここで、支持フレーム３は正面フレーム１０と背面フレーム１１とを固定バー１６により連結させて形成される。また、ガイドフレーム１２および底部バー２１は各々スライド可能に支持フレーム３に支持される。
【００２５】
基板ラック１には、一対のガイドフレーム１２ａおよびガイドフレーム１２ｂ間の間隔を基板を収容可能な幅に調整する間隔調整機構４が設けられる。間隔調整機構４は、スライド孔１３と固定用ボルト１４とから構成される。スライド孔１３は、左右方向に長孔に形成されて支持フレーム３に設けられる。固定用ボルト１４は、ガイドフレーム１２を支持フレーム３に固定可能なようにガイドフレーム１２に設けられる。例えば、ガイドフレーム１２ａの場合は、正面フレーム１０に設けられるスライド孔１３ａと１３ｃとによって一端側が支持されるとともに、背面フレーム１１に設けられるスライド孔１３’ａと１３’ｃとによって他端側が支持されることによって、左右方向にスライド可能となる。所望の位置までスライドさせた後は、ガイドフレーム１２の正面フレーム１０側に設けられる固定用ボルト１４ａと１４ｃとにより、ガイドフレーム１２を支持フレーム３に固定させる。なお、背面フレーム１１側に設ける構成としてもよい。固定用ボルト１４ａおよび１４ｃはガイドフレーム１２の一端側に設けるだけで十分であるが、両端側に設けてもよい。なお、本実施例においては、底部バー２１の位置を中心線として、ガイドフレーム１２ａおよびガイドフレーム１２ｂを左右対称に支持フレーム３に設けて、ガイドフレーム１２ａおよびガイドフレーム１２ｂの各々をスライド可能に設けて、相互に接離する方向の移動を可能としたが、いずれか一方のガイドフレームのみをスライド可能に設ける構成としてもよい。
【００２６】
さらに、基板ラック１には、底部バー２１の高さを基板を収容可能な高さに調整する高さ調整機構５が設けられる。高さ調整機構５は、スライド孔２２と固定用ボルト２３とから構成される。スライド孔２２は、上下方向に長孔に形成されて支持フレーム３に設けられる。固定用ボルト２３は、底部バー２１を支持フレーム３と固定可能なように底部バー２１に設けられる。より詳しくは、正面フレーム１０に設けられるスライド孔２２によって底部バー２１の一端側がガイドされるとともに、背面フレーム１１に設けられるスライド孔２２’とによって他端側がガイドされることによって、上下方向にスライド可能となる。所望の位置までスライドさせた後は、底部バー２１の正面フレーム１０側に設けられる固定用ボルト２３により、底部バー２１を支持フレーム３に固定させる。このとき、背面フレーム１１側に回り止めを設けることが好適である。なお、固定用ボルト２３は、背面フレーム１１側に設ける構成としてもよく、また両端側に設ける構成としてもよい。
【００２７】
つづいて、図４、図５に示すように、ガイドフレーム１２は、一例として、上下方向に複数本のガイドバー１５を設けて、両端側をそれぞれ連結プレート３１により連結させて構成される。ガイドバー１５の本数および設置間隔は、収容する基板の最大長さおよび最小長さを勘案して適当に設定される。このとき、設置間隔は等間隔でなくてもよく、例えば上部ほど狭く、下部ほど広くするという構成であってもよい。なお、支持フレーム３の正面フレーム１０を、連結プレート３１と固定用ボルト１４とで挟んで締め付けることによって、ガイドフレーム１２が支持フレーム３に固定される構造である。なお、ガイドフレーム１２は、他の例として、平板形状（図示しない）であってもよい。
【００２８】
ここで、ガイドバー１５は、その軸方向に山部３２と谷部３３が交互に形成される。谷部３３が基板を収容して保持可能な形状に形成される。したがって、複数本のガイドバー１５は、各々の山部３２と谷部３３の位置が一致するように設ける。また、山部３２と谷部３３は、本実施例では全周に渡って設けているが、全周でなく一部に設ける構成としてもよい。なお、山部３２の頂点と谷部３３の頂点（最深点）とを直線的に結ぶ形状として構成される。
【００２９】
一方、底部バー２１は、一例として、ガイドバー１５と略同一の形状である。なお、単なる棒状・板状であってもよい。
【００３０】
つづいて、上記構成に基づく基板ラック１の作用と効果について説明する。
まず、支持フレーム３に設けられる一対のガイドフレーム１２によって、その間に基板を収容して保持することが可能となる。さらに底部バー２１が設けられることによって、基板の下部が支持されて、確実な収容・保持が可能となる。
【００３１】
基板ラック１は、間隔調整機構４を備えることによって、一対のガイドフレーム１２の間隔を調整することが可能となる。その結果、収容される基板の幅寸法が一種類のものに限定されなくなり、ガイドフレーム１２間の間隔の調整可能範囲内に対応する幅寸法の基板であれば収容することが可能となる。これにより、従来、基板のサイズごとに基板ラックを用意していたが、その必要がなくなり、基板ラック製作費用・製作期間の削減が可能となり、また、保有する基板ラック数および保管場所を大幅に縮減することが可能となる。
【００３２】
同様に、基板ラック１は、高さ調整機構５を備えることによって、底部バー２１の高さを調整することが可能となる。その結果、収容する基板の長さ寸法が一種類のものに限定されなくなり、従来、基板のサイズごとに基板ラックを用意していたが、その必要がなくなり、底部バー２１の高さの調整可能範囲内に対応する長さ寸法の基板であれば収容することが可能となる。これにより、従来、基板のサイズごとに基板ラックを用意していたが、その必要がなくなり、基板ラック製作費用・製作期間の削減が可能となり、また、保有する基板ラック数および保管場所を大幅に縮減することが可能となる。
【００３３】
ここで、本実施例のように、底部バー２１の位置を中心線として、ガイドフレーム１２ａおよびガイドフレーム１２ｂを左右対称に支持フレーム３に設けて、各々のガイドフレームを均等距離スライドさせて、相互に接近（離反）する方向の移動をさせる構成を採用することにより、常に底部バー２１が一対のガイドフレーム１２間の略中心となるようにすることができる。その結果、底部バー２１は支持フレームの中央部分に一本設けるだけで各サイズの基板を支持することが可能となるため、基板ラック１の構成が簡素化される効果が生じる。また、底部バー２１の本数を少なくすることによって、基板ラック１を薬液に浸漬させる際に、ラック内への薬液浸入が速やかに行われることとなり、処理時間を短縮させる効果を生じる。
【００３４】
ガイドフレーム１２を、複数本のガイドバー１５を連結させて構成することによって、板状の構成を採用する場合等と比較して、基板ラック１を薬液に浸漬させる際に、ラック内への薬液浸入が速やかに行われることとなり、処理時間を短縮させる効果を生じる。
【００３５】
仮に、複数本のガイドバー１５を支持フレーム３に個別に支持させてスライド可能に設ける構成とした場合には、それぞれのガイドバーのスライド調整および固定作業が必要となってしまうが、本発明においては、例えば、ガイドフレーム１２ａであれば、４箇所のスライド孔１３ａ、１３ｃ、１３’ａ、１３’ｃによって支持してスライド可能に設ける構成を採用することによって、スライド調整および固定作業を大幅に簡素化・迅速化することが可能となる。さらには、固定用ボルト１４をガイドフレーム１２の一端側にのみ設ける構成を採用することによって、より一層、ガイドフレーム１２のスライド調整後の固定作業の簡素化・迅速化を図ることが可能となる。
【００３６】
同様に、底部バー２１の本数が少ない構成は、底部バー２１のスライド調整および固定作業を大幅に簡素化・迅速化することとなる。さらに、固定用ボルト２３を底部バー２１の一端側にのみ設ける構成を採用することによって、より一層、底部バー２１のスライド調整後の固定作業の簡素化・迅速化を図ることが可能となる。
【００３７】
また、ガイドバー１５は、その軸方向に山部３２と谷部３３が交互に形成される構成を有する。谷部３３によって、基板が収容・保持される効果が生じると共に、複数枚数の基板を一度に収納可能とする効果が生じる。さらに、山部３２の頂点と谷部３３の頂点（最深点）とを直線的に結ぶ形状となっていることで、隣接する山部３２同士の間隔よりも小さい厚みの基板であれば谷部３３の部分において収容することが可能となり、多くの種類の基板収容が可能となる。
【００３８】
また、底部バー２１は、ガイドバー１５と略同一の形状である構成によって、ガイドバー１５と底部バー２１におけるそれぞれの谷部の位置が軸方向において一致するため、ずれのない確実な基板の収容・保持が可能となる効果が生じる。
【００３９】
次に、基板ラック調整装置２の構成を説明する。図６、図７に示すように、基板ラック調整装置２には枠体５１が設けられる。枠体５１に設けられるラック支持機構５６に基板ラック１の支持部２４を支持させることによって、基板ラック調整装置２は基板ラック１を所定位置において支持することが可能である。
【００４０】
基板ラック調整装置２は、枠体５１に挿脱可能なサイズ調整板４１が設けられる。図８に示すように、サイズ調整板４１は、枠体５１に取り付けるための係止プレート４３が設けられる。このとき、枠体５１へ係止プレート４３を保持させる保持用フック４４を備える構成により、係止プレート４３を枠体５１の所定位置へ確実に取り付けることが可能となる。また、係止プレート４３から、２枚の調整プレート４２を垂下させて設ける。なお、調整プレート４２は２枚には限定されない。
【００４１】
この調整プレート４２には、少なくともその一部にガイドフレーム１２を当接させることによりガイドフレーム１２間の間隔を基板を収容可能な所望幅に設定するための横幅部分が設けられる。ここで、調整プレート４２は、上端が幅広で、下端が幅狭のテーパ状にすると好適である。その場合、下端における横幅部分において前記所望幅の設定を行う。また、調整プレート４２には、少なくともその一部に底部バー２１を当接させることにより底部バー２１の高さを基板を収容可能な所望高さに設定するための上下長さ部分が設けられる。
【００４２】
さらに、基板ラック調整装置２は、基板ラック１およびサイズ調整板４１が共に枠体５１に支持された状態で、基板ラック１の一対のガイドフレーム１２をサイズ調整板４１の上記幅部に当接するまで駆動する駆動装置５３と、基板ラック１の底部バー２１をサイズ調整板４１の上記長さ部に当接するまで駆動する駆動装置５５とが設けられる。また、それぞれの駆動装置５３、５５の両横には、それぞれ駆動ガイド５２、５４が設けられる。一例として、駆動装置５３、５５には空気圧シリンダを用いるが、サーボモータ等の電動機構を用いてもよい。なお、駆動装置５３、５５の先端部には押出プレート５７、５８を設ける構成が好適である。押出プレート５７、５８によって、駆動装置５３、５５の駆動力が、ガイドフレーム１２および底部バー２１にそれぞれ伝達される。
【００４３】
つづいて、上記構成に基づく基板ラック調整装置２の作用と効果について説明する。
基板ラック調整装置２は、枠体５１を備えることによって、基板ラック１を所定位置において支持することが可能となる効果が生じる。また、サイズ調整板４１も枠体５１に取り付けられる構成となっている。したがって、枠体５１を基準として基板ラック１とサイズ調整板４１とが所定の相互位置関係となるため、基板ラック１のサイズ調整、すなわちガイドフレーム１２および底部バー２１のスライド調整の際に、サイズ調整板４１をガイドフレーム１２および底部バー２１の所定位置に当接させることができ、確実で容易な調整が可能となる。
【００４４】
サイズ調整板４１は、係止プレート４３を備え、枠体５１への係止が可能である。また、２枚の調整プレート４２を垂下させて設ける構成によって、当該調整プレート４２の横幅部分により、ガイドフレーム１２間に基板を収容することが可能なようにガイドフレーム１２間の間隔を所望幅に設定することが可能となる。また、当該調整プレート４２の上下長さ部分により、底部バー２１の高さを基板を収容可能な所望高さに設定することが可能となる。
【００４５】
また、サイズ調整板４１の調整プレート４２は、上端が幅広で、下端が幅狭のテーパ状に形成されることにより、調整時においては、ガイドフレーム１２を固定した後のサイズ調整板４１の抜き取りが容易となり、また、その後の基板挿入時においては、基板ラック１への上方からの基板挿入が容易となる効果を生じる。
【００４６】
さらに、駆動装置５３および５５を備える構成によって、前記ガイドフレーム１２の間隔および底部バー２１の高さを、迅速かつ容易に所望の間隔・高さに調整することが可能となる。
【００４７】
なお、本発明に係る基板ラックおよび基板ラック調整装置は、薬液処理工程用のみならず、他工程用としても適用できることはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明に係る基板ラックの一例を示す概略図である。
【図２】図１に示す基板ラックの側面図である。
【図３】図１に示す基板ラックの上面図である。
【図４】図１に示す基板ラックのガイドフレームの構成を示す正面図である。
【図５】図４に示すガイドフレームの側面図である。
【図６】本発明に係る基板ラック調整装置の一例を示す概略図である。
【図７】図６に示す基板ラック調整装置の側面図である。
【図８】図６に示す基板ラック調整装置のサイズ調整板の構成を示す概略図である。
【図９】従来の実施の形態に係る基板ラックの一例を示す概略図である。
【符号の説明】
【００４９】
１  基板ラック
２  基板ラック調整装置
３  支持フレーム
４  間隔調整機構
５  高さ調整機構
１０  正面フレーム
１１  背面フレーム
１２、１２ａ、１２ｂ  ガイドフレーム
１３、１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄ、１３’ａ、１３’ｂ、１３’ｃ、１３’ｄ  スライド孔
１４、１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄ  固定用ボルト
１５  ガイドバー
１６  固定バー
２１  底部バー
２２、２２’  スライド孔
２３  固定用ボルト
２４  支持部
３１  連結プレート
３２  山部
３３  谷部
４１  サイズ調整板
４２  調整プレート
４３  係止プレート
４４  保持用フック
５１  枠体
５２  駆動ガイド
５３  駆動装置
５４  駆動ガイド
５５  駆動装置
５６  ラック支持機構
５７  押出プレート
５８  押出プレート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2008114965.tif 000006
【図５】
2008114965.tif 000007
【図６】
2008114965.tif 000008
【図７】
2008114965.tif 000009
【図８】
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【図９】
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