【手続補正書】
【提出日】平成25年10月7日(2013.10.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の方向に運動による軸方向の力を提供し、第２の方向に運動による前記軸方向の力を解放するように構成された可動部材と、
前記可動部材に結合し、前記可動部材から前記軸方向の力を受けるように構成された固定部材であり、真空ポートに結合した源を備える固定部材と、
を備え、
前記真空ポートが、前記可動部材からの前記軸方向の力の供給に応じて、装置の真空室の封止面で実質的な流体密封を提供するように構成される、
源アセンブリ。
【請求項２】
前記源は、イオン源または電子源である、請求項１に記載の源アセンブリ。
【請求項３】
前記可動部材は、前記第１の方向への前記可動部材の回転に応じて、前記固定部材に前記軸方向の力を提供する回転可能な部材として構成される、請求項１に記載の源アセンブリ。
【請求項４】
前記提供された軸方向の力は、前記第１の方向から前記第２の方向への回転に応じて解放される、請求項３に記載の源アセンブリ。
【請求項５】
前記可動部材は、前記軸方向の力と同じ方向への前記可動部材の押下に応じて、前記軸方向の力を提供するように構成される、請求項１に記載の源アセンブリ。
【請求項６】
前記可動部材は、前記固定部材上のスレッドの係合に応じて前記軸方向の力を提供するように構成される、請求項１に記載の源アセンブリ。
【請求項７】
前記固定部材は、前記軸方向の力を提供する前記可動部材の運動を受けても固定されたままであるように構成される、請求項１に記載の源アセンブリ。
【請求項８】
前記装置は、前記装置に前記源アセンブリを配置するために、前記可動部材の溝穴に対応するように構成された少なくとも１つのピンを備える、請求項１に記載の源アセンブリ。
【請求項９】
前記固定部材は、前記装置で前記源アセンブリを整合するために、前記装置の別のピンに対応するように構成された溝穴を備える、請求項８に記載の源アセンブリ。
【請求項１０】
前記可動部材の回転は、前記固定部材の実質的な回転運動なしに、前記固定部材に前記軸方向の力を提供するように働く、請求項９に記載の源アセンブリ。
【請求項１１】
前記可動部材は、いかなる外部の締結部材を用いずに実質的な流体密封を提供する前記軸方向の力を提供するように構成される、請求項１に記載の源アセンブリ。
【請求項１２】
前記可動部材がカム固定装置として構成され、前記装置が測定器ハウジングである、請求項１に記載の源アセンブリ。
【請求項１３】
前記カム固定装置は、バネ式の軸によって、前記真空ポートに結合される、請求項１２に記載の源アセンブリ。
【請求項１４】
前記測定器ハウジングは、前記カムが前記軸方向の力を提供するために回転するとすぐに前記カムを係止するデテントを有したガイドブロックを備える、請求項１３に記載の源アセンブリ。
【請求項１５】
前記測定器ハウジングは、前記真空ポートに前記軸方向の力を提供するために、前記カムで溝穴に摺動するピンを備える、請求項１４に記載の源アセンブリ。
【請求項１６】
前記固定部材は、前記カムでの前記溝穴に沿った前記ピンの前記円周摺動の間、前記固定部材の運動を防止するために、前記測定器ハウジングの別のピンに結合する、請求項１５に記載の源アセンブリ。
【請求項１７】
前記可動部材は、前記軸方向の力を提供するために、１個以上の可動部材を備える、請求項１に記載の源アセンブリ。
【請求項１８】
前記源アセンブリは、単一の向きだけに、前記装置に挿入されるように構成される、請求項１に記載の源アセンブリ。
【請求項１９】
前記装置は、単一の向きだけに前記源アセンブリの挿入ができるようにするために、１８０度以外の角度で並置された一連のピンを備える、請求項１８に記載の源アセンブリ。
【請求項２０】
前記源アセンブリは、前記ピンの一群からピンに対応するように配置された少なくとも１つの溝穴を備える、請求項１９に記載の源アセンブリ。
【請求項２１】
測定器ハウジングへの源アセンブリの結合および結合したカプラの運動に応じて、前記源アセンブリと前記測定器ハウジングの真空室の間に実質的な流体密封を提供するために、前記測定器ハウジングに前記源アセンブリを結合するように構成されたカプラを備える源アセンブリ。
【請求項２２】
前記カプラは、前記測定器ハウジングのピンに結合するように構成された溝穴を備える、請求項２１に記載の源アセンブリ。
【請求項２３】
前記ピンは、前記源アセンブリが単一の向きに前記測定器ハウジングに結合するように、前記測定器ハウジングで方向づけられる、請求項２１に記載の源アセンブリ。
【請求項２４】
前記カプラは、回転に応じて、いかなる外部の締結部材も使用せずに実質的な流体密封を提供するように構成される、請求項２１に記載の源アセンブリ。
【請求項２５】
前記カプラは、前記結合したカプラの回転に応じて前記源アセンブリと前記測定器ハウジングの間に実質的な流体密封を提供するために、組み立ておよび配置可能なカムとして構成される、請求項２１に記載の源アセンブリ。
【請求項２６】
前記カプラは、一群の溝穴を備える、請求項２１に記載の源アセンブリ。
【請求項２７】
前記一群の溝穴は、前記源アセンブリが単一の向きに前記測定器ハウジングに結合するように、並置される、請求項２６に記載の源アセンブリ。
【請求項２８】
前記測定器ハウジングは、前記源アセンブリの挿入を止めるように構成されたガイドブロックを備える、請求項２１に記載の源アセンブリ。
【請求項２９】
前記ガイドブロックは、前記実質的な流体密封を提供するために前記カプラが回転するときに、所定の位置に前記源アセンブリを係止するデテントを備える、請求項２８に記載の源アセンブリ。
【請求項３０】
前記カプラは、前記真空室に前記源アセンブリを封止するために、縦軸の周囲を回転し、軸方向の力が加えられるように構成される、請求項２１に記載の源アセンブリ。
【請求項３１】
前記カプラは、前記測定器ハウジングのガイドピンに結合するように構成された第１の溝穴を備える把手として構成され、前記把手の回転が前記真空室へ向かって軸方向に前記源アセンブリを付勢するように働く、請求項２１に記載の源アセンブリ。
【請求項３２】
前記源アセンブリは、前記測定器ハウジングへの前記源アセンブリの挿入から前記実質的な流体密封の提供まで５秒未満で前記カプラの回転に応じた実質的な流体密封を提供するために、前記真空ポートに結合するように構成される、請求項２１に記載の源アセンブリ。
【請求項３３】
前記カプラは、把手を有するカムとして構成され、前記カムがバネ式の中央軸によって真空ポートに結合し、前記源アセンブリが前記測定器ハウジングのガイドブロックの孔に結合するように寸法が決められ、且つ配置されたハウジングを備え、前記ガイドブロックは前記真空ポートの溝穴および前記把手の溝穴に結合するように構成および配置された一群のピンを更に備え、前記溝穴への前記ピンの挿入およびこれに続く前記把手の回転が前記真空ポートと前記真空室の封止面との間に実質的な流体密封を提供する、請求項２１に記載の源アセンブリ。
【請求項３４】
前記真空ポートは、前記把手の回転の間、実質的に固定されたままであるように構成される、請求項３３に記載の源アセンブリ。
【請求項３５】
前記カムは、反対方向への前記把手の回転に応じて、前記結合した源アセンブリを分離するように構成される、請求項３３に記載の源アセンブリ。
【請求項３６】
前記カプラは、前記源アセンブリの前記残部が固定されたまま、前記源アセンブリと前記真空室の間に前記実質的な流体密封を提供するために、回転するように構成される、請求項２１に記載の源アセンブリ。
【請求項３７】
前記測定器ハウジングのピンは、前記カプラの回転の間、前記源アセンブリの前記残部の固定を維持するように構成される、請求項３６に記載の源アセンブリ。
【請求項３８】
前記カプラの回転の間に前記測定器ハウジングの別のピンと係合するように構成された前記カプラの溝穴を更に備える、請求項３７に記載の源アセンブリ。
【請求項３９】
前記溝穴にデテントを更に備え、前記デテントが所定の位置で前記別のピンを係止するように構成される、請求項３８に記載の源アセンブリ。
【請求項４０】
前記カプラは、第１プッシュによって前記軸方向の力を提供し、第２プッシュよって前記軸方向の力を解放する押しボタンとして構成される、請求項２１に記載の源アセンブリ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】結合装置