(57)【要約】【課題】所望の振動特性を発揮することのできるアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。【解決手段】アクチュエータ１は、枠状の駆動部材２１１を備える第１の振動系２１と、可動板２２１を備える第２の振動系２２と、駆動部材２１１上に固定された永久磁石６１と、永久磁石６１に磁界を作用させるコイル６２と、コイル６２に電圧を印加する電圧印加手段と、駆動部材２１１に設けられ、永久磁石６１の駆動部材２１１への固定位置を定める位置決め部７１、７２とを有し、電圧印加手段によりコイル６２に電圧を印加することで、可動板２２１をＸ軸およびＹ軸のそれぞれの軸まわりに回動させるように構成されている。【選択図】図１
2008228437.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
枠状の駆動部材と、前記駆動部材をＸ軸まわりに回動可能とするように、前記駆動部材を両持ち支持する１対の第１の軸部材とで構成された第１の振動系と、
前記駆動部材の内側に設けられた可動板と、前記可動板を前記Ｘ軸に直交するＹ軸まわりに回動可能とするように、前記可動板を前記駆動部材に両持ち支持する１対の第２の軸部材とで構成された第２の振動系と、
強磁性体と、該強磁性体に磁界を作用させるコイルと、該コイルに電圧を印加する電圧印加手段とを備え、前記強磁性体および前記コイルのうちの一方が、前記可動板の平面視にて、前記駆動部材上の前記Ｘ軸および前記Ｙ軸のそれぞれの軸から離間した位置に設けられた駆動手段と、
前記駆動部材に設けられ、前記強磁性体または前記コイルの前記駆動部材への固定位置を定める位置決め部とを有し、
前記電圧印加手段により前記コイルに電圧を印加することで、前記可動板を前記Ｘ軸および前記Ｙ軸のそれぞれの軸まわりに回動させるように構成されていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
前記位置決め部は、前記駆動部材と一体形成されている請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項３】
前記駆動部材は、ＳＯＩ基板の一方のＳｉ層から形成され、前記位置決め部は、前記ＳＯＩ基板のＳｉＯ２層および他方のＳｉ層のうちの、少なくともＳｉＯ２層から形成されている請求項２に記載のアクチュエータ。
【請求項４】
前記駆動部材には、前記強磁性体が設けられており、前記強磁性体は、長手形状をなす永久磁石であって、前記永久磁石は、前記可動板の平面視にて、その両極を結ぶ線分が前記Ｘ軸および前記Ｙ軸の交点を通り、前記Ｘ軸および前記Ｙ軸のそれぞれに対して傾斜するように設けられている請求項１ないし３のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項５】
前記永久磁石は、その長手方向での両端部が前記駆動部材に固定されており、前記位置決め部は、前記永久磁石の長手方向の両端部の固定位置を決定するように１対設けられている請求項４に記載のアクチュエータ。
【請求項６】
前記１対の位置決め部は、前記永久磁石の長手方向にて、前記永久磁石を介して互いに対向するように、かつ、互いの離間距離が前記永久磁石の長さとほぼ等しくなるように形成されている請求項５に記載のアクチュエータ。
【請求項７】
前記各位置決め部は、前記永久磁石の幅方向にて、前記永久磁石を介して互いに対向するように形成された１対の対向部を備え、該１対の対向部同士の離間距離は、前記永久磁石の幅方向の長さとほぼ等しい請求項５または６に記載のアクチュエータ。
【請求項８】
前記駆動部材には、前記強磁性体が設けられており、前記強磁性体は、軟磁性体であって、前記位置決め部は、前記可動板の平面視にて、前記軟磁性体の外周を囲むように設けられている請求項１ないし３のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項９】
前記軟磁性体は、前記可動板の平面視にて、円形状をなしている請求項８に記載のアクチュエータ。
【請求項１０】
前記軟磁性体は、前記可動板の平面視にて、前記Ｘ軸と前記Ｙ軸とで区切られる４つの領域のうち、前記Ｘ軸と前記Ｙ軸との交点に対して点対称の関係にある２つの領域内に位置するように１対設けられ、前記コイルは、前記各軟磁性体に対向するように１対設けられている請求項８または９に記載のアクチュエータ。
【請求項１１】
前記１対の軟磁性体は、前記可動板の平面視にて、前記Ｘ軸と前記Ｙ軸との交点に対して点対称となるように設けられている請求項１０に記載のアクチュエータ。
【請求項１２】
前記電圧印加手段は、周期的に変化し、その周波数が互いに異なる第１の電圧と第２の電圧とを発生させる電圧発生部と、前記第１の電圧と前記第２の電圧とを重畳する電圧重畳部とを備え、前記電圧重畳部で重畳された電圧を前記コイルに印加することにより、前記可動板を前記第１の電圧の周波数で前記Ｘ軸まわりに回動させつつ、前記第２の電圧の周波数で前記Ｙ軸まわりに回動させるように構成されている請求項１ないし１１のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項１３】
前記第２の電圧の周波数が前記第２の振動系の共振周波数と等しく、前記第１の電圧の周波数が前記第１の振動系の共振周波数と異なっている請求項１２に記載のアクチュエータ。
【請求項１４】
前記可動板は、光反射性を有する光反射部を備えている請求項１ないし１３のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項１５】
枠状の駆動部材と、前記駆動部材をＸ軸まわりに回動可能とするように、前記駆動部材を両持ち支持する１対の第１の軸部材とで構成された第１の振動系と、
前記駆動部材の内側に設けられ、光反射性を有する光反射部を備える可動板と、前記可動板を前記Ｘ軸に直交するＹ軸まわりに回動可能とするように、前記可動板を前記駆動部材に両持ち支持する１対の第２の軸部材とで構成された第２の振動系と、
強磁性体と、該強磁性体に磁界を作用させるコイルと、該コイルに電圧を印加する電圧印加手段とを備え、前記強磁性体および前記コイルのうちの一方が、前記可動板の平面視にて、前記駆動部材上の前記Ｘ軸および前記Ｙ軸のそれぞれの軸から離間した位置に設けられた駆動手段と、
前記駆動部材に設けられ、前記強磁性体または前記コイルの前記駆動部材への固定位置を定める位置決め部とを有し、
前記電圧印加手段により前記コイルに電圧を印加することで、前記可動板を前記Ｘ軸および前記Ｙ軸のそれぞれの軸まわりに回動させ、前記光反射部で反射した光を２次元的に走査するように構成されていることを特徴とする光スキャナ。
【請求項１６】
枠状の駆動部材と、前記駆動部材をＸ軸まわりに回動可能とするように、前記駆動部材を両持ち支持する１対の第１の軸部材とで構成された第１の振動系と、
前記駆動部材の内側に設けられ、光反射性を有する光反射部を備える可動板と、前記可動板を前記Ｘ軸に直交するＹ軸まわりに回動可能とするように、前記可動板を前記駆動部材に両持ち支持する１対の第２の軸部材とで構成された第２の振動系と、
強磁性体と、該強磁性体に磁界を作用させるコイルと、該コイルに電圧を印加する電圧印加手段とを備え、前記強磁性体および前記コイルのうちの一方が、前記可動板の平面視にて、前記駆動部材上の前記Ｘ軸および前記Ｙ軸のそれぞれの軸から離間した位置に設けられた駆動手段と、
前記駆動部材に設けられ、前記強磁性体または前記コイルの前記駆動部材への固定位置を定める位置決め部とを有し、
前記電圧印加手段により前記コイルに電圧を印加することで、前記可動板を前記Ｘ軸および前記Ｙ軸のそれぞれの軸まわりに回動させ、前記光反射部で反射した光を２次元的に走査するように構成された光スキャナを備えることを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、プリンタ等にて光走査により描画を行うための光スキャナとして、２次元的に光を走査する光スキャナが開示されている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１の光スキャナは、ハウジングと、磁石付きミラーと、磁石付きミラーをハウジングに対して遥動可能とするように、磁石付きミラーをハウジングに支持する超弾性合金ワイヤと、磁石付きミラーを振動させるために交番電圧を発生するコイルとで構成されている。
しかし、このような光スキャナにあっては、磁石付きミラーは、超弾性合金ワイヤに接着剤を介して接合（固定）されている。そのため、光スキャナ製造の際、超弾性合金ワイヤの所定の位置に磁石つきミラーを固定することが難しい。つまり、特許文献１の光スキャナは、所望の振動特性を発揮することが難しい。
【０００３】
【特許文献１】特開平９−２４３９４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、所望の振動特性を発揮することのできるアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明のアクチュエータは、枠状の駆動部材と、前記駆動部材をＸ軸まわりに回動可能とするように、前記駆動部材を両持ち支持する１対の第１の軸部材とで構成された第１の振動系と、
前記駆動部材の内側に設けられた可動板と、前記可動板を前記Ｘ軸に直交するＹ軸まわりに回動可能とするように、前記可動板を前記駆動部材に両持ち支持する１対の第２の軸部材とで構成された第２の振動系と、
強磁性体と、該強磁性体に磁界を作用させるコイルと、該コイルに電圧を印加する電圧印加手段とを備え、前記強磁性体および前記コイルのうちの一方が、前記可動板の平面視にて、前記駆動部材上の前記Ｘ軸および前記Ｙ軸のそれぞれの軸から離間した位置に設けられた駆動手段と、
前記駆動部材に設けられ、前記強磁性体または前記コイルの前記駆動部材への固定位置を定める位置決め部とを有し、
前記電圧印加手段により前記コイルに電圧を印加することで、前記可動板を前記Ｘ軸および前記Ｙ軸のそれぞれの軸まわりに回動させるように構成されていることを特徴とする。
これにより、正確に、前記駆動部材上の所定の位置に前記強磁性体または前記コイルを固定することができる。そのため、所望の振動特性を発揮することのできるアクチュエータを提供することができる。
【０００６】
本発明のアクチュエータでは、前記位置決め部は、前記駆動部材と一体形成されていることが好ましい。
これにより、前記駆動部材上の所定の位置に前記位置決め部を正確に形成することができる。その結果、前記駆動部材上の所定の位置に前記強磁性体または前記コイルを極めて正確に固定することができる。
【０００７】
本発明のアクチュエータでは、前記駆動部材は、ＳＯＩ基板の一方のＳｉ層から形成され、前記位置決め部は、前記ＳＯＩ基板のＳｉＯ２層および他方のＳｉ層のうちの、少なくともＳｉＯ２層から形成されていることが好ましい。
これにより、極めて簡単に、前記位置決め部と前記駆動部材とを一体形成することができる。
【０００８】
本発明のアクチュエータでは、前記駆動部材には、前記強磁性体が設けられており、前記強磁性体は、長手形状をなす永久磁石であって、前記永久磁石は、前記可動板の平面視にて、その両極を結ぶ線分が前記Ｘ軸および前記Ｙ軸の交点を通り、前記Ｘ軸および前記Ｙ軸のそれぞれに対して傾斜するように設けられていることが好ましい。
これにより、比較的簡単な構成で、前記可動板を前記Ｘ軸および前記Ｙ軸のそれぞれの軸まわりに回動させることができる。
【０００９】
本発明のアクチュエータでは、前記永久磁石は、その長手方向での両端部が前記駆動部材に固定されており、前記位置決め部は、前記永久磁石の長手方向の両端部の固定位置を決定するように１対設けられていることが好ましい。
これにより、正確に、前記駆動部材上の所定の位置に前記永久磁石を設けることができる。
【００１０】
本発明のアクチュエータでは、前記１対の位置決め部は、前記永久磁石の長手方向にて、前記永久磁石を介して互いに対向するように、かつ、互いの離間距離が前記永久磁石の長さとほぼ等しくなるように形成されていることが好ましい。
これにより、前記永久磁石の前記駆動部材への固定位置が、所定の位置に対して前記永久磁石の長手方向にずれてしまうことを防止することができる。
【００１１】
本発明のアクチュエータでは、前記各位置決め部は、前記永久磁石の幅方向にて、前記永久磁石を介して互いに対向するように形成された１対の対向部を備え、該１対の対向部同士の離間距離は、前記永久磁石の幅方向の長さとほぼ等しいことが好ましい。
これにより、前記永久磁石の前記駆動部材への固定位置が、所定の位置に対して前記永久磁石の幅方向にずれてしまうことを防止することができる。
【００１２】
本発明のアクチュエータでは、前記駆動部材には、前記強磁性体が設けられており、前記強磁性体は、軟磁性体であって、前記位置決め部は、前記可動板の平面視にて、前記軟磁性体の外周を囲むように設けられていることが好ましい。
これにより、より正確に、前記駆動部材上の所定の位置に前記軟磁性体を設けることができる。また、比較的簡単な構成で、前記可動板を前記Ｘ軸および前記Ｙ軸のそれぞれの軸まわりに回動させることができる。
【００１３】
本発明のアクチュエータでは、前記軟磁性体は、前記可動板の平面視にて、円形状をなしていることが好ましい。
これにより、アクチュエータの製造時にて、極めて簡単にかつ正確に、前記軟磁性体を前記位置決め部により定められた固定位置に固定することができる。
本発明のアクチュエータでは、前記軟磁性体は、前記可動板の平面視にて、前記Ｘ軸と前記Ｙ軸とで区切られる４つの領域のうち、前記Ｘ軸と前記Ｙ軸との交点に対して点対称の関係にある２つの領域内に位置するように１対設けられ、前記コイルは、前記各軟磁性体に対向するように１対設けられていることが好ましい。
これにより、円滑に、前記可動板を前記Ｘ軸および前記Ｙ軸のそれぞれの軸まわりに回動させることができる。
【００１４】
本発明のアクチュエータでは、前記１対の軟磁性体は、前記可動板の平面視にて、前記Ｘ軸と前記Ｙ軸との交点に対して点対称となるように設けられていることが好ましい。
これにより、より円滑に、前記可動板を前記Ｘ軸および前記Ｙ軸のそれぞれの軸まわりに回動させることができる。
本発明のアクチュエータでは、前記電圧印加手段は、周期的に変化し、その周波数が互いに異なる第１の電圧と第２の電圧とを発生させる電圧発生部と、前記第１の電圧と前記第２の電圧とを重畳する電圧重畳部とを備え、前記電圧重畳部で重畳された電圧を前記コイルに印加することにより、前記可動板を前記第１の電圧の周波数で前記Ｘ軸まわりに回動させつつ、前記第２の電圧の周波数で前記Ｙ軸まわりに回動させるように構成されていることが好ましい。
これにより、前記可動板を前記Ｘ軸まわりに前記第１の電圧の周波数で回動させつつ、前記Ｙ軸まわりに前記第２の電圧の周波数で回動させることができる。つまり、アクチュエータは、第１の電圧および第２の電圧をそれぞれ所定の値に設定することで、簡単に、所望の振動特性を発揮することができる。
【００１５】
本発明のアクチュエータでは、前記第２の電圧の周波数が前記第２の振動系の共振周波数と等しく、前記第１の電圧の周波数が前記第１の振動系の共振周波数と異なっていることが好ましい。
これにより、極めて円滑にかつ正確に、前記可動板を前記Ｘ軸まわりに前記第１の電圧の周波数で回動させつつ、前記Ｙ軸まわりに前記第２の電圧の周波数で回動させることができる。
【００１６】
本発明のアクチュエータでは、前記可動板は、光反射性を有する光反射部を備えていることが好ましい。
これにより、アクチュエータを加速度センサ、角速度センサなどのＭＥＭＳ応用センサや、光スキャナ、光スイッチ、光アッテネータなどの光学デバイスに用いることができる。
【００１７】
本発明の光スキャナは、枠状の駆動部材と、前記駆動部材をＸ軸まわりに回動可能とするように、前記駆動部材を両持ち支持する１対の第１の軸部材とで構成された第１の振動系と、
前記駆動部材の内側に設けられ、光反射性を有する光反射部を備える可動板と、前記可動板を前記Ｘ軸に直交するＹ軸まわりに回動可能とするように、前記可動板を前記駆動部材に両持ち支持する１対の第２の軸部材とで構成された第２の振動系と、
強磁性体と、該強磁性体に磁界を作用させるコイルと、該コイルに電圧を印加する電圧印加手段とを備え、前記強磁性体および前記コイルのうちの一方が、前記可動板の平面視にて、前記駆動部材上の前記Ｘ軸および前記Ｙ軸のそれぞれの軸から離間した位置に設けられた駆動手段と、
前記駆動部材に設けられ、前記強磁性体または前記コイルの前記駆動部材への固定位置を定める位置決め部とを有し、
前記電圧印加手段により前記コイルに電圧を印加することで、前記可動板を前記Ｘ軸および前記Ｙ軸のそれぞれの軸まわりに回動させ、前記光反射部で反射した光を２次元的に走査するように構成されていることを特徴とする。
これにより、正確に、前記駆動部材上の所定の位置に前記強磁性体または前記コイルを固定することができる。そのため、所望の走査特性を発揮することのできる光スキャナを提供することができる。
【００１８】
本発明の画像形成装置は、枠状の駆動部材と、前記駆動部材をＸ軸まわりに回動可能とするように、前記駆動部材を両持ち支持する１対の第１の軸部材とで構成された第１の振動系と、
前記駆動部材の内側に設けられ、光反射性を有する光反射部を備える可動板と、前記可動板を前記Ｘ軸に直交するＹ軸まわりに回動可能とするように、前記可動板を前記駆動部材に両持ち支持する１対の第２の軸部材とで構成された第２の振動系と、
強磁性体と、該強磁性体に磁界を作用させるコイルと、該コイルに電圧を印加する電圧印加手段とを備え、前記強磁性体および前記コイルのうちの一方が、前記可動板の平面視にて、前記駆動部材上の前記Ｘ軸および前記Ｙ軸のそれぞれの軸から離間した位置に設けられた駆動手段と、
前記駆動部材に設けられ、前記強磁性体または前記コイルの前記駆動部材への固定位置を定める位置決め部とを有し、
前記電圧印加手段により前記コイルに電圧を印加することで、前記可動板を前記Ｘ軸および前記Ｙ軸のそれぞれの軸まわりに回動させ、前記光反射部で反射した光を２次元的に走査するように構成された光スキャナを備えることを特徴とする。
これにより、正確に、前記駆動部材上の所定の位置に前記強磁性体または前記コイルを固定することができる。そのため、所望の走査特性を発揮することのできる光スキャナを備えた画像形成装置を提供することができる。また、１つの光スキャナで光を２次元的に走査することができるため、画像形成装置の小型化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明のアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置の好適な実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
＜第１実施形態＞
まず、本発明のアクチュエータの第１実施形態について説明する。
図１は、本発明のアクチュエータの好適な実施形態を示す上面図、図２は、図１中のＡ−Ａ線断面図、図３は、図１中のＢ−Ｂ線断面図、図４は、図１に示すアクチュエータが備える駆動手段を示すブロック図、図５は、図４に示す第１の電圧発生部および第２の電圧発生部での発生電圧の一例を示す図である。なお、以下では、説明の便宜上、図１中の紙面手前側を「上」、紙面奥側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言い、図２および図３中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
【００２０】
図１および図２に示すように、アクチュエータ１は、第１の振動系２１と第２の振動系２２とを備える基体２と、基体２を支持する支持基板３と、支持基板３を介して基体２と対向する対向基板５と、永久磁石６１とコイル６２と電圧印加手段６３とで構成された駆動手段６と、永久磁石６１の固定位置を定める位置決め部７１、７２とを備えている。
図１に示すように、基体２は、枠状の支持部２３と、支持部２３に支持された第１の振動系２１と、第１の振動系２１に支持された第２の振動系２２とを備えている。
【００２１】
第１の振動系２１は、支持部２３の内側に設けられた枠状の駆動部材２１１と、駆動部材２１１を支持部２３に両持ち支持する１対の第１の軸部材２１２、２１３とで構成されている。また、第２の振動系２２は、駆動部材２１１の内側に設けられた可動板２２１と、可動板２２１を駆動部材２１１に両持ち支持する１対の第２の軸部材２２２、２２３とで構成されている。
【００２２】
駆動部材２１１は、図１の平面視（すなわち、可動板２２１の平面視）にて、円環状をなしている。ただし、駆動部材２１１の形状は、枠状をなしていれば、特に限定されず、例えば、図１の平面視にて、四角環状をなしていてもよい。駆動部材２１１の下面には、長手形状をなす永久磁石６１が固定（固着）されている。この永久磁石６１は、駆動部材２１１の下面に形成された１対の位置決め部７１、７２によって定められた固定位置に正確に固定されている。このような駆動部材２１１は、１対の第１の軸部材２１２、２１３によって支持部２３に両持ち支持されている。
【００２３】
第１の軸部材２１２、２１３のそれぞれは、長手形状をなしており、弾性変形可能である。第１の軸部材２１２、２１３のそれぞれは、駆動部材２１１を支持部２３に対して回動可能とするように、駆動部材２１１と支持部２３とを連結している。このような、第１の軸部材２１２、２１３は、互いに同軸的に設けられており、この軸（以下、「回動中心軸Ｘ」という）を中心として、駆動部材２１１が支持部２３に対して回動するように構成されている。
【００２４】
駆動部材２１１の内側に形成された可動板２２１は、図１の平面視にて、円形状をなしている。だたし、可動板２２１の形状は、駆動部材２１１の内側に形成することができれば特に限定されず、例えば、図１の平面視にて、楕円形状をなしていてもよいし、四角形状をなしていてもよい。可動板２２１の上面には、光反射性を有する光反射部２２１ａが形成されている。このような可動板２２１は、１対の第２の軸部材２２２、２２３によって、駆動部材２１１に両持ち支持されている。
【００２５】
第２の軸部材２２２、２２３のそれぞれは、長手形状をなしており、弾性変形可能である。第２の軸部材２２２、２２３のそれぞれは、可動板２２１を駆動部材２１１に対して回動可能とするように、可動板２２１と駆動部材２１１とを連結している。このような第２の軸部材２２２、２２３は、互いに同軸的に設けられており、この軸（以下、「回動中心軸Ｙ」という）を中心として、可動板２２１が駆動部材２１１に対して回動するように構成されている。
【００２６】
図１に示すように、回動中心軸Ｘと回動中心軸Ｙとは、互いに直交する軸である。すなわち、回動中心軸Ｘと回動中心軸Ｙとのなす角は、９０度である。また、駆動部材２１１および可動板２２１のそれぞれの中心は、図１の平面視にて、回動中心軸Ｘおよび回動中心軸Ｙの交点上に位置している。なお、以下、説明の便宜上、回動中心軸Ｘおよび回動中心軸Ｙの交点を「交点Ｇ」ともいう。
【００２７】
このような基体２は、例えば、シリコンを主材料として構成されていて、可動板２２１と、第２の軸部材２２２、２２３と、駆動部材２１１と、第１の軸部材２１２、２１３と、支持部２３とが一体的に形成されている。シリコンを主材料とすることで、優れた回動特性を実現できるとともに、優れた耐久性を発揮することができる。また、微細な処理（加工）が可能であり、アクチュエータ１の小型化を図ることができる。
【００２８】
なお、基体２は、ＳＯＩ基板等の積層構造を有する基板から、可動板２２１と、第２の軸部材２２２、２２３と、駆動部材２１１と、第１の軸部材２１２、２１３と、支持部２３とを形成したものであってもよい。その際、可動板２２１と、第２の軸部材２２２、２２３と、駆動部材２１１と、第１の軸部材２１２、２１３と、支持部２３とが一体的となるように、これらを積層構造基板の１つの層で構成するのが好ましい。
【００２９】
図２に示すように、以上のような基体２は、支持基板３と接合している。このような支持基板３は、例えば、ガラスやシリコンを主材料として構成されている。支持基板３は、可動板２２１の平面視にて、支持部２３とほぼ同一形状をなしている（すなわち、枠状をなしている）。ただし、支持基板３の形状については、基体２を支持することができれば、特に限定されない。また、支持部２３の形状などによっては、支持基板３を省略してもよい。
【００３０】
図２に示すように、支持基板３を介して、基体２と対向するように対向基板５が設けられている。このような対向基板５は、例えば、ガラスやシリコンを主材料として構成されている。対向基板５の上面には、永久磁石６１に作用する磁界を発生させるコイル６２が設けられている。このようなコイル６２は、電圧印加手段６３と電気的に接続されている。そして、永久磁石６１と、コイル６２と、電圧印加手段６３とで駆動手段６が構成されている。
【００３１】
前述したように、駆動部材２１１の下面には、１対の位置決め部７１、７２が形成されている。このような位置決め部７１、７２は、永久磁石６１の駆動部材２１１への固定位置を定めている。これにより、永久磁石６１を駆動部材２１１上の所定の位置に正確に固定することができる。そのため、アクチュエータ１は、所望の振動特性を発揮することができる。また、例えば、アクチュエータ１を大量生産する場合などには、アクチュエータの振動特性の個体差を抑制し、歩留まりを向上させることができる。
また、位置決め部７１、７２を駆動部材２１１の下面に形成することで、永久磁石６１を駆動部材２１１の下面に固定することができる。これにより、永久磁石６１とコイル６２との離間距離を短くすることができる。その結果、アクチュエータ１の小型化および省電力化を図ることができる。
【００３２】
図１および図２に示すように、１対の位置決め部７１、７２は、永久磁石６１の長手方向にて、互いに対向するように形成されている。そして、このような１対の位置決め部７１、７２の間に永久磁石６１が設けられている。
１対の位置決め部７１、７２の互いの離間距離（図２中のＬ１）は、永久磁石６１の長手方向での長さとほぼ等しい。このように１対の位置決め部７１、７２を形成することで、永久磁石６１の駆動部材２１１への固定位置が、所定の位置に対して、永久磁石６１の長手方向（すなわち、駆動部材２１１の半径方向）へずれてしまうことを確実に防止することができる。
位置決め部７１は、永久磁石６１の長手方向の一端部に係合するように形成されている。位置決め部７１は、永久磁石６１の幅方向にて互いに対向するように設けられた１対の対向部７１１、７１２を備えている。そして、このような１対の対向部７１１、７１２の間には、永久磁石６１の一端部が設けられている。
【００３３】
１対の対向部７１１、７１２の互いの離間距離は、永久磁石６１の幅とほぼ等しい。これにより、永久磁石６１の駆動部材２１１への固定位置が、所定の位置に対して、永久磁石６１の幅方向（すなわち、駆動部材２１１の周方向）にずれてしまうことを確実に防止することができる。
このような位置決め部７１は、図１の平面視にて、「コ」の字状をなしている。ただし、位置決め部７１の形状としては、永久磁石６１の駆動部材への固定位置を定めることができれば、特に限定されず、例えば、対向部７１１、７１２がそれぞれ別体として形成されていてもよい。
【００３４】
同様に、位置決め部７２は、永久磁石６１の長手方向の他端部に係合するように形成されている。この位置決め部７２は、永久磁石６１の幅方向にて互いに対向するように設けられた１対の対向部７２１、７２２を備えている。そして、このような１対の対向部７２１、７２２の間には、永久磁石６１の他端部が設けられている。
１対の対向部７２１、７２２の互いの離間距離（図３中のＬ２）は、永久磁石６１の幅とほぼ等しい。これにより、永久磁石６１の駆動部材２１１への固定位置が、所定の位置に対して、永久磁石６１の幅方向にずれてしまうことを確実に防止することができる。
このような位置決め部７２は、図１の平面視にて、「コ」の字状をなしている。ただし、位置決め部７２の形状としては、永久磁石６１の駆動部材への固定位置を定めることができれば、特に限定されず、例えば、対向部７２１、７２２がそれぞれ別体として形成されていてもよい。
【００３５】
位置決め部７１、７２の材料としては、駆動部材２１１上に形成することができ、かつ、永久磁石６１の駆動部材２１１への固定位置を定めることができれば、特に限定されず、例えば、ガラスや、シリコンや、セラミックや、Ｌｉ、Ｂｅ、Ｂ、Ｎａ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｋ、Ｃａ、Ｓｃ、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｇａ、Ｒｂ、Ｓｒ、Ｙ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｃｄ、Ｉｎ、Ｓｎ、Ｓｂ、Ｃｓ、Ｂａ、Ｌａ、Ｈｆ、Ｔａ、Ｗ、Ｔｌ、Ｐｂ、Ｂｉ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｐｔ、Ｐｄなどの各種金属材料や、各種熱硬化性樹脂や、各種熱可塑性樹脂などを好適に用いることができる。
【００３６】
本実施形態では、図２に示すように、位置決め部７１は、ＳｉＯ２を主材料として構成された第１の層７１ａと、シリコンを主材料として構成された第２の層７１ｂとが可動板２２１の厚さ方向（すなわち、回動中心軸Ｘおよび回動中心軸Ｙのそれぞれの軸に直交する方向）に積層して構成されている。同様に、位置決め部７２は、ＳｉＯ２を主材料として構成された第１の層７２ａと、シリコンを主材料として構成された第２の層７２ｂとが可動板２２１の厚さ方向へ積層して構成されている。
【００３７】
位置決め部７１、７２をこのような構成とすることで、ＳＯＩ基板を用いて、極めて簡単に、位置決め部７１、７２と駆動部材２１１とを一体形成することができる。具体的には、例えば、ＳＯＩ基板の一方のＳｉ層から基体２（駆動部材２１１）を形成し、ＳｉＯ２層から位置決め部７１の第１の層７１ａと位置決め部７２の第１の層７２ａとを形成し、他方のＳｉ層から位置決め部７１の第２の層７１ｂと位置決め部７２の第２の層７２ｂとを形成する。このようにして、位置決め部７１、７２と駆動部材２１１とを一体形成することができる。ただし、位置決め部７１、７２と駆動部材２１１とを一体形成することができれば、これに限定されず、例えば、位置決め部７１、７２をＳＯＩ基板のＳｉＯ２層のみから形成してもよいし、ＳＯＩ基板以外の積層構造を有する基板から、位置決め部７１、７２と駆動部材２１１とを一体形成してもよい。また、シリコン基板などの、単層基板から、位置決め部７１、７２と駆動部材２１１とを一体形成してもよい。
このように、位置決め部７１、７２と駆動部材２１１とを一体形成することで、高精度に（極めて正確に）、駆動部材２１１上の所定の位置に位置決め部７１、７２を形成することができる。これにより、永久磁石６１の駆動部材２１１への固定位置を極めて正確に定めることができる。
【００３８】
以上説明した位置決め部７１、７２によって定められた固定位置に永久磁石６１が固定される。この永久磁石６１は、図２に示すように、可動板２２１の光反射部２２１ａと反対の面側に設けられている。これにより、永久磁石６１によって、光反射部２２１ａでの光走査が阻害されてしまうことを防止することができる。
また、永久磁石６１は、図１の平面視にて、回動中心軸Ｘと回動中心軸Ｙとの交点（以下、この交点を「交点Ｇ」ともいう）を通り、回動中心軸Ｘおよび回動中心軸Ｙのそれぞれの軸に対して傾斜した線分（以下、この線分を「線分Ｊ」ともいう）に沿って設けられている。
このような永久磁石６１は、交点Ｇに対して長手方向の一方側がＳ極、他方側がＮ極となっている。図２では、説明の便宜上、永久磁石６１の長手方向の紙面左側をＳ極とし、紙面右側をＮ極としたものについて図示しているが、この逆であってもよい。
【００３９】
図１の平面視にて、線分Ｊの回動中心軸Ｘに対する傾斜角θは、３０〜６０度であるのが好ましく、４０〜５０度であるのがより好ましく、ほぼ４５度であるのがさらに好ましい。このように永久磁石６１を設けることで、極めて円滑に、可動板２２１を回動中心軸Ｘおよび回動中心軸Ｙのそれぞれの軸まわりに回動させることができる。これに対し、傾斜角θが前記下限値未満であると、コイル６２に印加される電圧の強さなどによっては、円滑に、可動板２２１をＸ軸まわりに回動させることができない場合がある。一方、傾斜角θが前記上限値を超えると、コイル６２に印加される電圧の強さなどによっては、円滑に、可動板２２１をＹ軸まわりに回動させることができない場合がある。
【００４０】
本実施形態では、線分Ｊは、回動中心軸Ｘおよび回動中心軸Ｙのそれぞれの軸に対して４５度傾斜している。
また、図２に示すように、永久磁石６１の可動板２２１側の面（すなわち、上面）には、凹部６１ａが形成されている。この凹部６１ａは、永久磁石６１と可動板２２１との接触を防止するための逃げ部である。このような凹部（逃げ部）６１ａを形成することで、可動板２２１の回動中心軸Ｙまわりの回動を円滑に行うことができる。また、逃げ部を凹部６１ａとすることで、極めて簡単に永久磁石６１と可動板２２１との接触を防止することができる。だだし、逃げ部としては、可動板２２１と永久磁石６１との接触を防止することができれば、とくに限定されず、例えば、回動中心軸Ｘおよび回動中心軸Ｙのそれぞれの軸に直交する方向へ形成された貫通孔であってもよい。また、例えば、接着層８１、８２が、可動板２２１と永久磁石６１との接触を防止することができる程度の厚さを有する場合などには、このような凹部６１ａを省略してもよい。
【００４１】
このような永久磁石６１としては、特に限定されず、例えば、ネオジウム磁石、フェライト磁石、サマリウムコバルト磁石、アルニコ磁石、ボンド磁石などの、硬磁性体を着磁したものを好適に用いることができる。
なお、既に着磁された硬磁性体（すなわち、永久磁石）を駆動部材２１１の下面に設けることで永久磁石６１としてもよいし、硬磁性体を駆動部材２１１に設けてから、その硬磁性体を着磁することで永久磁石６１としてもよい。
【００４２】
以上説明した永久磁石６１は、図２に示すように、接着層８１、８２を介して駆動部材２１１に固着されている。この接着層８１、８２は、接着剤で構成されている。これにより、駆動部材２１１と永久磁石６１とを簡単かつ強固に接着させることができる。このような接着剤の主材料としては、駆動部材２１１と永久磁石６１とを接着させることができれば、特に限定されないが、硬化性樹脂を主材料として構成されていることが好ましい。これにより、より強固に駆動部材２１１と永久磁石６１とを接着させることができる。
【００４３】
ここで、接着層８１、８２は、それぞれ、接着剤の硬化に伴って収縮する性質を有している。しかし、アクチュエータ１は、位置決め部７１、７２を備えているため、このような接着層８１、８２の収縮によって永久磁石５１が変位してしまうことを効果的に防止することができる。このような観点から見れば、位置決め部７１、７２を形成し、かつ接着層８１、８２を介して永久磁石６１を駆動部材２１１に固着させることで、製造の簡易化および低コスト化を図りつつ、所望の振動特性を発揮することのできるアクチュエータ１を提供することができる。
【００４４】
ただし、位置決め部７１、７２により定められた固定位置に、永久磁石６１を固定することができれば、永久磁石６１と駆動部材２１１との接合方法は、特に限定されない。
永久磁石６１の直下には、コイル６２が設けられている。これにより、コイル６２から発生する磁界を効率的に永久磁石６１に作用させることができる。その結果、アクチュエータ１の小型化および省電力化を図ることができる。
【００４５】
また、図１に示すように、コイル６２は、図１の平面視にて、駆動部材２１１の外周を囲むように形成されている。これにより、アクチュエータ１の駆動の際、駆動部材２１１とコイル６２との接触を確実に防止することができる。その結果、コイル６２と永久磁石６１との離間距離を極めて短くすることができ、コイル６２から発生する磁界を効率的に永久磁石６１に作用させることができる。つまり、アクチュエータ１の省電力化および小型化をより効率的に図ることができる。なお、コイル６２は、例えば、磁心に巻き付けられていてもよい。
【００４６】
コイル６２は、電圧印加手段６３と電気的に接続されている。そして、電圧印加手段６３によりコイル６２に電圧が印加されることで、コイル６２から回動中心軸Ｘおよび回動中心軸Ｙのそれぞれの軸に直交する軸方向の磁束を有する磁界が発生する。
図４に示すように、電圧印加手段６３は、可動板２２１を回動中心軸Ｘまわりに回動させるための第１の電圧Ｖ１を発生させる第１の電圧発生部６３１と、可動板２２１を回動中心軸Ｙまわりに回動させるための第２の電圧Ｖ２を発生させる第２の電圧発生部６３２と、第１の電圧Ｖ１と第２の電圧Ｖ２とを重畳し、その電圧をコイル６２に印加する電圧重畳部６３３とを備えている。
【００４７】
第１の電圧発生部６３１は、図５（ａ）に示すように、周期Ｔ１で周期的に変化する第１の電圧Ｖ１（垂直走査用電圧）を発生させるものである。
第１の電圧Ｖ１は、鋸波のような波形をなしている。そのため、アクチュエータ１は効果的に光を垂直走査（副走査）することができる。なお、第１の電圧Ｖ１の波形は、これに限定されない。ここで、第１の電圧Ｖ１の周波数（１／Ｔ１）は、垂直走査に適した周波数であれば、特に限定されないが、３０〜８０Ｈｚ（６０Ｈｚ程度）であるのが好ましい。
本実施形態では、第１の電圧Ｖ１の周波数は、駆動部材２１１と１対の第１の軸部材２１２、２１３とで構成された第１の振動系２１のねじり共振周波数と異なる周波数となるように調整されている。
【００４８】
一方、第２の電圧発生部６３２は、図５（ｂ）に示すように、周期Ｔ１と異なる周期Ｔ２で周期的に変化する第２の電圧Ｖ２（水平走査用電圧）を発生させるものである。
第２の電圧Ｖ２は、正弦波のような波形をなしている。そのため、アクチュエータ１は効果的に光を主走査することができる。なお、第２の電圧Ｖ２の波形は、これに限定されない。
【００４９】
このような第２の電圧Ｖ２の周波数は、第１の電圧Ｖ１の周波数よりも大きいのが好ましい。すなわち、周期Ｔ２は、周期Ｔ１よりも短いのが好ましい。これにより、より確実かつより円滑に、可動板２２１を回動中心軸Ｘまわりに第１の電圧Ｖ１の周波数で回動させつつ、回動中心軸Ｙまわりに第２の電圧Ｖ２の周波数で回動させることができる。
また、第２の電圧Ｖ２の周波数は、第１の電圧Ｖ１の周波数と異なり、かつ、水平走査に適した周波数であれば、特に限定されないが、１０〜４０ｋＨｚであるのが好ましい。このように、第２の電圧Ｖ２の周波数を１０〜４０ｋＨｚとし、前述したように第１の電圧Ｖ１の周波数を６０Ｈｚ程度とすることで、ディスプレイでの描画に適した周波数で、可動板２２１を回動中心軸Ｘおよび回動中心軸Ｙのそれぞれの軸まわりに回動させることができる。ただし、可動板２２１を回動中心軸Ｘおよび回動中心軸Ｙのそれぞれの軸まわりに回動させることができれば、第１の電圧Ｖ１の周波数と第２の電圧Ｖ２の周波数との組み合わせなどは、特に限定されない。
【００５０】
本実施形態では、第２の電圧Ｖ２の周波数は、可動板２２１と１対の第２の軸部材２２２、２２３とで構成された第２の振動系２２のねじり共振周波数と等しくなるように調整されている。つまり、第２の振動系２２は、そのねじり共振周波数が水平走査に適した周波数になるように設計（製造）されている。これにより、可動板２２１の回動中心軸Ｙまわりの回動角を大きくすることができる。
【００５１】
また、第１の振動系２１の共振周波数をｆ１［Ｈｚ］とし、第２の振動系２２の共振周波数をｆ２［Ｈｚ］としたとき、ｆ１とｆ２とが、ｆ２＞ｆ１の関係を満たすことが好ましく、ｆ２≧１０ｆ１の関係を満たすことがより好ましい。これにより、より円滑に、可動板２２１を回動中心軸Ｘまわりに第１の電圧Ｖ１の周波数で回動させつつ、回動中心軸Ｙまわりに第２の電圧Ｖ２の周波数で回動させることができる。
【００５２】
このような第１の電圧発生部６３１および第２の電圧発生部６３２は、それぞれ、制御部４に接続され、この制御部４からの信号に基づき駆動する。このような第１の電圧発生部６３１および第２の電圧発生部６３２には、電圧重畳部６３３が接続されている。
この電圧重畳部６３３は、コイル６２に電圧を印加するための加算器６３３ａを備えている。加算器６３３ａは、第１の電圧発生部６３１から第１の電圧Ｖ１を受けるとともに、第２の電圧発生部６３２から第２の電圧Ｖ２を受け、これらの電圧を重畳しコイル６２に印加するようになっている。
【００５３】
以上のような構成のアクチュエータ１は、次のようにして駆動する。なお、本実施形態では、前述したように、第１の電圧Ｖ１の周波数は、第１の振動系２１のねじり共振周波数と異なる値に設定されており、第２の電圧Ｖ２の周波数は、第２の振動系２２のねじり共振周波数と等しく、かつ、第１の電圧Ｖ１の周波数よりも大きくなるように設定されている（例えば、第１の電圧Ｖ１の周波数が６０Ｈｚで、第２の電圧Ｖ２の周波数が１５ｋＨｚ）。
【００５４】
例えば、図５（ａ）に示すような第１の電圧Ｖ１と、図５（ｂ）に示すような電圧Ｖ２とを電圧重畳部６３３にて重畳し、重畳した電圧をコイル６２に印加する（この重畳された電圧を「電圧Ｖ３」ともいう）。
すると、電圧Ｖ３の第１の電圧Ｖ１に対応する電圧によって、駆動部材２１１の接着層８１付近をコイル６２に引き付けようとするとともに、駆動部材２１１の接着層８２付近をコイル６２から離間させようとする磁界（この磁界を「磁界Ａ１」という）と、駆動部材２１１の接着層８１付近をコイル６２から離間させようとするとともに、駆動部材２１１の接着層８２付近をコイル６２に引き付けようとする磁界（この磁界を「磁界Ａ２」という）とが交互に切り換わる。
【００５５】
ここで、図１の平面視にて、駆動部材２１１の回動中心軸Ｘに対して一方側に接着層８１が位置し、他方側に接着層８２が位置している。言い換えれば、１対の第１の接着層８１、８２は、図１の平面視にて、回動中心軸Ｘを挟むようにして駆動部材２１１に設けられている。そのため、磁界Ａ１と磁界Ａ２とが交互に切り換わることで、第１の軸部材２１２、２１３を捩れ変形させつつ、駆動部材２１１が可動板２２１とともに、第１の電圧Ｖ１の周波数で回動中心軸Ｘまわりに回動する。
【００５６】
なお、第１の電圧Ｖ１の周波数は、第２の電圧Ｖ２の周波数に比べて極めて低く設定されている。また、第１の振動系２１の共振周波数は、第２の振動系２２の共振周波数よりも低く設計されている（例えば、第２の振動系２２の共振周波数の１／１０以下）。つまり、第１の振動系２１は、第２の振動系２２よりも振動しやすいように設計されているため、第１の電圧Ｖ１によって回動中心軸Ｘまわりに回動する。すなわち、第２の電圧Ｖ２によって、駆動部材２１１が回動中心軸Ｘまわりに回動してしまうことを防止することができる。
【００５７】
一方、電圧Ｖ３の第２の電圧Ｖ２に対応する電圧によって、駆動部材２１１の接着層８１付近をコイル６２に引き付けようとするとともに、駆動部材２１１の接着層８２付近をコイル６２から離間させようとする磁界（この磁界を「磁界Ｂ１」という）と、駆動部材２１１の接着層８１付近をコイル６２から離間させようとするとともに、駆動部材２１１の接着層８２付近をコイル６２に引き付けようとする磁界（この磁界を「磁界Ｂ２」という）とが交互に切り換わる。
【００５８】
ここで、図１の平面視にて、駆動部材２１１の回動中心軸Ｙに対して一方側に接着層８１が位置し、他方側に接着層８２が位置している。言い換えれば、１対の第１の接着層８１、８２は、図１の平面視にて、回動中心軸Ｙを挟むようにして駆動部材２１１に設けられている。そのため、磁界Ｂ１と磁界Ｂ２とが交互に切り換わることで、第２の軸部材２２２、２２３を捩れ変形させつつ、可動板２２１が第２の電圧Ｖ２の周波数で回動中心軸Ｙまわりに回動する。
【００５９】
なお、第２の電圧Ｖ２の周波数は、第２の振動系２２のねじり共振周波数と等しい。そのため、第２の電圧Ｖ２によって、支配的に、可動板２２１を回動中心軸Ｙまわりに回動させることができる。つまり、第１の電圧Ｖ１によって、可動板２２１が回動中心軸Ｙまわりに回動してしまうことを防止することができる。
以上より、アクチュエータ１にあっては、第１の電圧Ｖ１と第２の電圧Ｖ２とを重畳させた電圧Ｖ３をコイル６２に印加することで、可動板２２１を回動中心軸Ｘまわりに第１の電圧Ｖ１の周波数で回動させつつ、回動中心軸Ｙまわりに第２の電圧のＶ２の周波数で回動させることができる。これにより、低コスト化および小型化を図りつつ、可動板２２１を回動中心軸Ｘおよび回動中心軸Ｙのそれぞれの軸まわりに回動させることができる。
【００６０】
特に、駆動源となる永久磁石とコイルのそれぞれの数を少なくすることができるため、簡単かつ小型な構成とすることができる。
また、前述したように、アクチュエータ１は、可動板２２１が回動中心軸Ｘおよび回動中心軸Ｙのそれぞれの軸まわりに回動するように構成されている。そのため、例えば、位置決め部７１、７２が形成されておらず、永久磁石６１の駆動部材２１１への固定位置が所定の位置に対してずれてしまった場合には、可動板２２１の回動中心軸Ｘまわりの回動特性および回動中心軸Ｙまわりの回動特性のそれぞれが所望の特性からずれてしまうこととなる。このような観点から、アクチュエータ１が位置決め部７１、７２を備えていることで、極めて簡単にかつ確実に、所望の振動特性を発揮することができると言える。
また、駆動部材２１１に永久磁石６１を設け、永久磁石６１に対向するようにコイル６２を設けることで、通電によってコイル６２から発生する熱による基体２の熱膨張を抑制することができる。これにより、アクチュエータ１は、長時間にわたって、所望の振動特性を発揮することができる。
【００６１】
以上のようなアクチュエータ１は、例えば、次のようにして製造することができる。
図６は、アクチュエータ１の製造法方を説明するための図（図１中Ｂ−Ｂ線縦断面図に対応する図）である。なお、以下では、説明の便宜上、図６中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
まず、図６（ａ）に示すように、基体２と位置決め部７１、７２とを形成するためのＳＯＩ基板１００を用意する。このようなＳＯＩ基板１００は、Ｓｉ層１００ａ、ＳｉＯ２層１００ｂと、Ｓｉ層１００ｃとが積層した積層構造をなしている。そして、図６（ｂ）に示すように、Ｓｉ層１００ａの上面に、可動板２２１と、第２の軸部材２２２、２２３と、駆動部材２１１と、第１の軸部材２１２、２１３と、支持部２３との平面視形状に対応する形状をなすレジストマスクＭ１を形成するとともに、Ｓｉ層１００ｃの下面に、位置決め部７１、７２の平面視形状に対応する形状をなすレジストマスクＭ２を形成する。
【００６２】
次に、レジストマスクＭ１を介して、Ｓｉ層１００ａをエッチングする。その後、レジストマスクＭ１を除去する。これにより、図６（ｃ）に示すように、可動板２２１と、第２の軸部材２２２、２２３と、駆動部材２１１と、第１の軸部材２１３と、支持部２３とが一体的に形成されたＳｉ層１００ａが得られる。なお、このとき、ＳｉＯ２層１００ｂは、エッチングのストップ層として機能する。このようなエッチング方法としては、例えば、プラズマエッチング、リアクティブイオンエッチング、ビームエッチング、光アシストエッチング等の物理的エッチング法、ウェットエッチング等の化学的エッチング法等のうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。なお、以下の各工程におけるエッチングにおいても、同様の方法を用いることができる。
【００６３】
次に、レジストマスクＭ２を介してＳｉ層１００ｃをエッチングする。その後、レジストマスクＭ２を除去する。これにより、図６（ｄ）に示すように、位置決め部７１の第２の層７１ｂと位置決め部７２の第２の層７２ｂとが形成されたＳｉ層１００ｃが得られる。このとき、ＳｉＯ２層１００ｂは、エッチングのストップ層として機能する。
次に、位置決め部７１、７２の平面視形状に対応する部分を除いて、ＳｉＯ２層１００ｂを除去することで、図６（ｅ）に示すように、位置決め部７１の第１の層７１ａと、位置決め部７２の第１の層７２ａとが形成されたＳｉＯ２層１００ｂを得ることができる。つまり、駆動部材２１１と一体形成された位置決め部７１、７２が得られる。このように、ＳＯＩ基板を用いることにより、極めて簡単に、位置決め部７１、７２を駆動部材２１１と一体形成することができる。
【００６４】
次に、可動板２２１の上面に、金属膜を形成し、光反射部２２１ａを形成する（図示せず）。このような金属膜の形成方法としては、真空蒸着、スパッタリング（低温スパッタリング）、イオンプレーティング等の乾式メッキ法、電解メッキ、無電解メッキ等の湿式メッキ法、溶射法、金属箔の接合等が挙げられる。
次に、図６（ｆ）に示すように、位置決め部７１、７２により定められた駆動部材２１１上の固定位置に、予め凹部６１ａが形成された硬磁性体を接着層８１、８２を介して固定する。そして、駆動部材２１１上に固定された硬磁性体を着磁することで、永久磁石６１を得る。
【００６５】
一方、支持基板３および対向基板５のそれぞれを、シリコン基板をエッチングすることで形成する（図示せず）。このような支持基板３および対向基板５のそれぞれの製造方法としては、前述したような、ＳＯＩ基板１００から基体２等を形成する方法と同様であるため、その説明を省略する。なお、対向基板５の上面には、コイル６２が固着されている。
最後に、基体２と、位置決め部７１、７２とが一体形成されたＳＯＩ基板１００と、支持基板３と、対向基板５とを接合することで、図６（ｇ）に示すように、アクチュエータ１が得られる。接合方法としては、特に限定されず、例えば、接着剤を用いて接合してもよいし、陽極接合によって接合してもよい。
【００６６】
＜第２実施形態＞
次に、本発明のアクチュエータの第２実施形態について説明する。
図７は、本発明のアクチュエータの第２実施形態を示す平面図、図８は、図７中のＡ−Ａ線断面図、図９は、図７に示すアクチュエータが備える駆動手段を示すブロック図、図１０は、図９に示す第１の電圧発生部および第２の電圧発生部での発生電圧の一例を示す図である。なお、以下では、説明の便宜上、図７中の紙面手前側を「上」、紙面奥側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言い、図８中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
【００６７】
以下、第２実施形態のアクチュエータ１Ａについて、前述した第１実施形態のアクチュエータ１との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
本発明の第２実施形態にかかるアクチュエータ１Ａは、位置決め部７１Ａ、７２Ａの形状および駆動手段６Ａの構成が異なる以外は、第１実施形態のアクチュエータ１とほぼ同様である。図７〜１０にて、前述した第１実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
【００６８】
駆動部材２１１の下面には、１対の位置決め部７１Ａ、７２Ａが形成されている。このような１対の位置決め部７１Ａ、７２Ａは、互いに同一形状かつ同一寸法をなしている。
位置決め部７１Ａは、図７の平面視にて、軟磁性体６１１Ａの外周を囲むように形成されている。つまり、位置決め部７１Ａは、軟磁性体６１１Ａの駆動部材２１１への固定位置を定めるものである。このように、位置決め部７１Ａを軟磁性体６１１Ａの外周を囲むように形成することで、軟磁性体６１１Ａを駆動部材２１１上の所定の位置に、正確に固定することができる。
【００６９】
位置決め部７１Ａは、図７の平面視（すなわち、可動板２２１の平面視）にて、円環状をなしている。また、位置決め部７１Ａの内径は、駆動部材２１１の内周と外周との間の距離よりも大きい。
同様に、位置決め部７２Ａは、図７の平面視にて、軟磁性体６１２Ａの外周を囲むように形成されている。つまり、位置決め部７２Ａは、軟磁性体６１２Ａの駆動部材２１１への固定位置を定めるものである。このように、位置決め部７２Ａを軟磁性体６１２Ａの外周を囲むように形成することで、軟磁性体６１２Ａを駆動部材２１１上の所定の位置に、正確に固定することができる。
位置決め部７２Ａは、図７の平面視にて、円環状をなしている。また、位置決め部７２Ａの内径は、駆動部材２１１の内周と外周との間の距離よりも大きい。
【００７０】
ただし、位置決め部７１Ａ、７２Ａの形状は、軟磁性体６１１Ａ、６１２Ａの固定位置を定めることができれば、特に限定されない。例えば、位置決め部７１Ａの内径が駆動部材２１１の内周と外周との間の距離よりも小さくてもよい。また、位置決め部材７１Ａは、円環状をなしていなくてもよく、例えば、環の一部が欠如したような略「Ｃ」字状をなしていてもよいし、軟磁性体６１１Ａの外周を囲むように、互いに軟磁性体６１１Ａの周方向に間隔を隔てて設けられた複数の突起部からなるものであってもよい。位置決め部７２Ａについても位置決め部７１Ａと同様である。
このような位置決め部７１Ａ、７２Ａは、ＳＯＩ基板を用いて、駆動部材２１１と一体形成されている。
【００７１】
以上のような位置決め部７１Ａの内側を軟磁性体６１１Ａの固定位置と定め、位置決め部７２Ａの内側を軟磁性体６１２Ａの固定位置と定める。これにより、正確に、駆動部材２１１上の所定の位置に軟磁性体６１１Ａ、６１２Ａを固定することができる。その結果、アクチュエータ１Ａは、所望の振動特性を発揮することができる。
位置決め部７１Ａの内側には、軟磁性体６１１Ａが固定されており、位置決め部７２Ａの内側には、軟磁性体６１２Ａが固定されている。このような１対の軟磁性体６１１Ａ、６１２Ａは、それぞれ、図７の平面視にて、回動中心軸Ｘおよび回動中心軸Ｙのそれぞれの軸から離間するように設けられている。
【００７２】
具体的には、図７に示すように、軟磁性体６１２Ａは、駆動部材２１１の、回動中心軸Ｘに対して第２の軸部材２２２側で、かつ、回動中心軸Ｙに対して第１の軸部材２１３側の部位に固着されており、軟磁性体６１１Ａは、駆動部材２１１の、回動中心軸Ｘに対して第２の軸部材２２３側で、かつ、回動中心軸Ｙに対して第１の軸部材２１２側の部位に固着されている。
【００７３】
つまり、アクチュエータ１は、図７の平面視にて、駆動部材２１１を回動中心軸Ｘと回動中心軸Ｙとで４つの領域に区切ったとき、交点Ｇ（回動中心軸Ｘと回動中心軸Ｙとの交点）に対して点対称の関係にある２つの領域のうちの一方の領域内に１対の軟磁性体６１１Ａ、６１２Ａのうちの１方の軟磁性体が位置し、他方の領域内に他方の軟磁性体が位置するように構成されている。これにより、円滑に、可動板２２１を回動中心軸Ｘおよび回動中心軸Ｙのそれぞれの軸まわりに回動させることができる。
【００７４】
さらに、１対の軟磁性体６１１Ａ、６１２Ａは、交点Ｇに対して点対称となるように駆動部材２１１上に固定されている。これにより、より円滑に、可動板２２１を回動中心軸Ｘおよび回動中心軸Ｙのそれぞれの軸まわりに回動させることができる。
また、図７の平面視して、交点Ｇを通り、１対の軟磁性体６１１Ａ、６１２Ａのそれぞれの中心を結ぶ線分の回動中心軸Ｘに対する傾斜角θは、３０〜６０度であるのが好ましく、４０〜５０度であるのがより好ましく、ほぼ４５度であるのがさらに好ましい。このような線分上に１対の軟磁性体６１１Ａ、６１２Ａを設けることで、極めて円滑に、可動板２２１を回動中心軸Ｘおよび回動中心軸Ｙのそれぞれの軸まわりに回動させることができる。
【００７５】
軟磁性体６１１Ａは、円板状をなしている。そのため、アクチュエータ１の製造時にて、極めて簡単に、軟磁性体６１１Ａを位置決め部７１Ａの内側に固定することができる。
さらに、軟磁性体６１１Ａの外形は、図７の平面視にて、位置決め部７１Ａの内周の形状とほぼ等しい。これにより、極めて正確に、駆動部材２１１上の所定の位置に軟磁性体６１１Ａを設けることができる。このような軟磁性体６１１Ａは、接着層８１を介して駆動部材２１１に接合されている。
【００７６】
同様に、軟磁性体６１２Ａは、円板状をなしている。そのため、アクチュエータ１の製造時にて、極めて簡単に、軟磁性体６１２Ａを位置決め部７２Ａの内側に固定することができる。
さらに、軟磁性体６１２Ａの外形は、図７の平面視にて、位置決め部７２Ａの内周の形状とほぼ等しい。これにより、極めて正確に、駆動部材２１１上の所定の位置に軟磁性体６１２Ａを設けることができる。このような軟磁性体６１１Ａは、接着層８１を介して駆動部材２１１に接合されている。
このような軟磁性体６１１Ａ、６１２Ａは、それぞれ、軟磁性材料を主材料として構成されている。このような軟磁性材料としては、特に限定されず、Ｆｅ、各種Ｆｅ合金（ケイ素鉄、パーマロイ、アモルファス、センダスト）などが挙げられる。
【００７７】
図８に示すように、以上説明した軟磁性体６１１Ａの直下には、軟磁性体６１１Ａを磁化するためのコイル６２１Ａが設けられている。同様に、軟磁性体６１２Ａの直下には、軟磁性体６１２Ａを磁化するためのコイル６２２Ａが設けられている。これにより、コイル６２１Ａから発生する磁界により、効率的に軟磁性体６１１Ａを磁化することができるとともに、コイル６２２Ａから発生する磁界により、効率的に軟磁性体６１２Ａを磁化することができる。その結果、アクチュエータ１Ａの小型化および省電力化を図ることができる。
【００７８】
このような軟磁性体６１１Ａの直下には、軟磁性体６１１Ａを磁化するためのコイル６２１Ａが設けられている。同様に、軟磁性体６１２Ａの直下には、軟磁性体６１２Ａを磁化するためのコイル６２２Ａが設けられている。
このようなコイル６２１Ａ、６２２Ａは、それぞれ、電圧印加手段６３Ａと電気的に接続されている。そして、電圧印加手段６３Ａによってコイル６２１Ａ、６２２Ａに電圧を印加することで、コイル６２１Ａ、６２２Ａのそれぞれから回動中心軸Ｘおよび回動中心軸Ｙのそれぞれの軸に直交する方向の磁束を有する磁界が発生する。コイル６２１Ａから発生した磁界によって磁化された軟磁性体６１１Ａは、コイル６２１Ａに引き付けられ、コイル６２２Ａから発生した磁界によって磁化された軟磁性体６１２Ａは、コイル６２２Ａに引き付けられることとなる。
【００７９】
図９に示すように、電圧印加手段６３Ａは、可動板２２１を回動中心軸Ｘまわりに回動させるための第１の電圧を発生させる第１の電圧発生部６３１Ａと、可動板２２１を回動中心軸Ｙまわりに回動させるための第２の電圧を発生させる第２の電圧発生部６３２Ａと、第１の電圧と第２の電圧とを重畳し、その電圧をコイル６２１Ａ、６２２Ａに印加する電圧重畳部６３３Ａとを備えている。
【００８０】
第１の電圧発生部６３１Ａは、図１０（ａ）、（ｂ）に示すように、周期Ｔ３で周期的に変化する電圧（垂直走査用電圧）を発生させるものである。具体的には、第１の電圧発生部６３１Ａは、周波数（１／Ｔ３）を有する２種の第１の電圧Ｖ１１、Ｖ１２を発生するものである。
第１の電圧Ｖ１１、Ｖ１２は、それぞれ、パルス状に印加されている。また、第１の電圧Ｖ１１、Ｖ１２は、互いに同一波形であるが、第１の電圧Ｖ１２は、第１の電圧Ｖ１１に対し１８０°位相がずれている。このような第１の電圧Ｖ１１、Ｖ１２により、アクチュエータ１は、効果的に光を垂直走査（副走査）することができる。だたし、第１の電圧Ｖ１１、Ｖ１２のそれぞれの波形は、可動板２２１を回動中心軸Ｘまわりに回動させることができれば、これに限定されない。
【００８１】
また、第１の電圧Ｖ１１、Ｖ１２の周波数は、垂直走査に適した周波数であれば、特に限定されないが、３０〜８０Ｈｚ（６０Ｈｚ程度）であるのが好ましい。また、本実施形態では、第１の電圧Ｖ１１、Ｖ１２の周波数は、駆動部材２１１と１対の第１の軸部材２１２、２１３とで構成された第１の振動系２１のねじり共振周波数と異なる値に調整されている。
【００８２】
一方、第２の電圧発生部６３２Ａは、図１０（ｃ）、（ｄ）に示すように、周期Ｔ３と異なる周期Ｔ４で周期的に変化する電圧（水平走査用電圧）を発生させるものである。具体的には、第２の電圧発生部６３２Ａは、周波数（１／Ｔ４）を有する２種の第２の電圧Ｖ２１、Ｖ２２を発生するものである。
第２の電圧Ｖ２１、Ｖ２２は、それぞれ、パルス状に印加されている。また、第２の電圧Ｖ２１、Ｖ２２は、互いに同一波形であるが、第２の電圧Ｖ２２は、第２の電圧Ｖ２１に対し１８０°位相がずれている。このような第２の電圧Ｖ２１、Ｖ２２により、アクチュエータ１は、効果的に光を水平走査（主走査）することができる。
【００８３】
また、第２の電圧Ｖ２１、Ｖ２２の周波数は、第１の電圧Ｖ１１、Ｖ１２の周波数と異なり、かつ、水平走査に適した周波数であれば、特に限定されないが、１０〜４０ｋＨｚであるのが好ましい。例えば、第２の電圧Ｖ２１、Ｖ２２の周波数を１０〜４０ｋＨｚとし、第１の電圧Ｖ１１、Ｖ１２の周波数を６０Ｈｚ程度とすることで、ディスプレイでの描画に適した周波数で、可動板２２１を回動中心軸Ｘおよび回動中心軸Ｙのそれぞれの軸まわりに回動させることができる。
【００８４】
このような、第２の電圧Ｖ２１、Ｖ２２の周波数は、可動板２２１と１対の第２の軸部材２２２、２２３とで構成された第２の振動系２２のねじり共振周波数と等しくなるように調整されている。これにより、可動板２２１の回動中心軸Ｙまわりの回動角を大きくすることができる。
このような第１の電圧発生部６３１Ａおよび第２の電圧発生部６３２Ａは、それぞれ、制御部４に接続され、この制御部４からの信号に基づき駆動する。また、第１の電圧発生部６３１Ａおよび第２の電圧発生部６３２Ａには、電圧重畳部６３３Ａが接続されている。
【００８５】
電圧重畳部６３３Ａは、コイル６２１Ａに電圧を印加するための加算器６３４Ａと、コイル６２２Ａに電圧を印加するための加算器６３５Ａとを備えている。
加算器６３４Ａは、第１の電圧発生部６３１Ａから第１の電圧Ｖ１１を受けるとともに、第２の電圧発生部６３２Ａから第２の電圧Ｖ２１を受け、これらを重畳しコイル６２１Ａに印加するようになっている。
加算器６３５Ａは、第１の電圧発生部６３１Ａから第１の電圧Ｖ１２を受けるとともに、第２の電圧発生部６３２Ａから第２の電圧Ｖ２２を受け、これらを重畳しコイル６２２Ａに印加するようになっている。
【００８６】
以上のような構成のアクチュエータ１Ａは、次のようにして駆動する。なお、本実施形態では、前述したように、第１の電圧Ｖ１１、Ｖ１２の周波数は、第１の振動系２１のねじり共振周波数と異なる値に設定されており、第２の電圧Ｖ２１、Ｖ２２の周波数は、第２の振動系２２のねじり共振周波数と等しく、かつ、第１の電圧Ｖ１１、Ｖ１２の周波数よりも大きくなるように設定されている（例えば、第１の電圧Ｖ１１、Ｖ１２の周波数が６０Ｈｚで、第２の電圧Ｖ２１、Ｖ２２の周波数が１５ｋＨｚ）。
【００８７】
例えば、図１０（ａ）に示すような第１の電圧Ｖ１１と図１０（ｃ）に示すような第２の電圧Ｖ２１とを重畳してコイル６２１Ａに印加する（この重畳された電圧を「電圧Ｖ３１」ともいう）。これと同期して、図１０（ｂ）に示すような第１の電圧Ｖ１２と図１０（ｄ）に示すような第２の電圧Ｖ２２とを重畳してコイル６２２Ａに印加する（この重畳された電圧を「電圧Ｖ３２」ともいう）。
【００８８】
すると、電圧Ｖ３１のうちの第１の電圧Ｖ１１に対応する電圧により発生する駆動部材２１１の軟磁性体６１１Ａ付近をコイル６２１Ａに引き付けようとする磁界（この磁界を「磁界Ｃ１」という）と、電圧Ｖ３２のうちの第１の電圧Ｖ１２に対応する電圧により発生する駆動部材２１１の軟磁性体６１２Ａ付近をコイル６２２Ａに引き付けようとする磁界（この磁界を「磁界Ｃ２」という）とが交互に切り換わる。
【００８９】
ここで、図７の平面視にて、駆動部材２１１上の回動中心軸Ｘに対して一方側に軟磁性体６１１Ａが固定され、他方側に軟磁性体６１２Ａが固定されている。そのため、磁界Ｃ１と磁界Ｃ２とが交互に切り換わることで、第１の軸部材２１２、２１３を捩れ変形させつつ、駆動部材２１１が可動板２２１とともに、第１の電圧Ｖ１１、Ｖ１２の周波数で回動中心軸Ｘまわりに回動する。
【００９０】
なお、第１の電圧Ｖ１１、Ｖ１２の周波数は、第２の電圧Ｖ２１、Ｖ２２の周波数に比べて極めて低く設定されている。また、第１の振動系２１の共振周波数は、第２の振動系２２の共振周波数よりも低く設計されている（例えば、第２の振動系２２の共振周波数の１／１０以下）。つまり、第１の振動系２１は、第２の振動系２２よりも振動しやすいように設計されているため、第１の電圧Ｖ１１、Ｖ１２によって回動中心軸Ｘまわりに回動する。すなわち、第２の電圧Ｖ２１、Ｖ２２によって、駆動部材２１１が回動中心軸Ｘまわりに回動してしまうことを防止することができる。
【００９１】
一方、電圧Ｖ３１のうちの第２の電圧Ｖ２１に対応する電圧によって発生する駆動部材２１１の軟磁性体６１１Ａ付近をコイル６２１Ａに引き付けようとする磁界（この磁界を「磁界Ｄ１」という）と、電圧Ｖ３２のうちの第２の電圧Ｖ２２に対応する電圧によって発生する駆動部材２１１の軟磁性体６１２Ａ付近をコイル６２２Ａに引き付けようとする磁界（この磁界を「磁界Ｄ２」という）とが交互に切り換わる。
【００９２】
ここで、図７の平面視にて、駆動部材２１１上の回動中心軸Ｙに対して一方側に軟磁性体６１１Ａが固定され、他方側に軟磁性体６１２Ａが固定されている。そのため、磁界Ｄ１と磁界Ｄ２とが交互に切り換わることで、第２の軸部材２２２、２２３を捩れ変形させつつ、可動板２２１が第２の電圧Ｖ２１、Ｖ２２の周波数で回動中心軸Ｙまわりに回動する。
【００９３】
なお、第２の電圧Ｖ２１、Ｖ２２の周波数は、第２の振動系２２のねじり共振周波数と等しい。そのため、第２の電圧Ｖ２１、Ｖ２２によって、支配的に、可動板２２１を回動中心軸Ｙまわりに回動させることができる。すなわち、第１の電圧Ｖ１１、Ｖ１２によって、可動板２２１が回動中心軸Ｙまわりに回動してしまうことを防止することができる。
以上より、アクチュエータ１Ａにあっては、第１の電圧Ｖ１１と第２の電圧Ｖ２１とを重畳させた電圧Ｖ３１をコイル６２１Ａに印加し、第１の電圧Ｖ１２と第２の電圧Ｖ２２とを重畳させた電圧Ｖ３２をコイル６２２Ａに印加することで、可動板２２１を回動中心軸Ｘまわりに第１の電圧Ｖ１１、Ｖ１２の周波数で回動させつつ、回動中心軸Ｙまわりに第２の電圧のＶ２１、Ｖ２２の周波数で回動させることができる。これにより、低コスト化および小型化を図るとともに、可動板２２１を回動中心軸Ｘおよび回動中心軸Ｙのそれぞれの軸まわりに回動させることができる。
【００９４】
また、本実施形態では、アクチュエータ１が１対の軟磁性体６１１Ａ、６１２Ａを備えているため、円滑に、可動板２２１を第１の電圧Ｖ１の周波数で回動中心軸Ｘまわりに回動させつつ、第２の電圧Ｖ２の周波数で回動中心軸Ｙまわりに回動させることができる。
さらに、１対の軟磁性体６１１Ａ、６１２Ａが、図１の平面視にて、交点Ｇに対して点対称となるように駆動部材２１１に固着されているため、より円滑に、可動板２２１を第１の電圧Ｖ１の周波数で回動中心軸Ｘまわりに回動させつつ、第２の電圧Ｖ２の周波数で回動中心軸Ｙまわりに回動させることができる。
【００９５】
なお、本実施形態では、駆動部材２１１に１対の軟磁性体６１１Ａ、６１２Ａが固着されたものについて説明したが、可動板２２１を回動中心軸Ｘおよび回動中心軸Ｙのそれぞれの軸まわりに回動させることができれば、軟磁性体の数は、限定されない。例えば、１つの軟磁性体が、可動板の平面視にて、回動中心軸Ｘおよび回動中心軸Ｙのそれぞれの軸から離間した位置に設けられていてもよい。
このような第２実施形態によっても、第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【００９６】
＜第３実施形態＞
次に、本発明のアクチュエータの第３実施形態について説明する。
図１１は、本発明のアクチュエータの第３実施形態のアクチュエータが備える位置決め部の拡大図である。なお説明の便宜上、図１１中の紙面上側を「上」、紙面下側を「下」と言う。
【００９７】
以下、第３実施形態のアクチュエータ１Ｂについて、前述した第１実施形態のアクチュエータ１との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
本発明の第３実施形態にかかるアクチュエータ１Ｂは、位置決め部７１Ｂ、７２Ｂの形状が異なる以外は、第１実施形態のアクチュエータ１とほぼ同様である。なお、図１１にて、前述した第１実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。位置決め部７１Ｂ、７２Ｂは、互いに同様の構成であるため、位置決め部材７１Ｂについて代表して説明し、位置決め部７２Ｂについては、その説明を省略する。
【００９８】
以下、図１１に基づいて、位置決め部７１Ｂを説明する。図１１は、図１中のＡ−Ａ線断面図に対応する部分拡大図である。
位置決め部７１Ｂは、可動板２２１と永久磁石６１Ｂとの接触を防止する空間７３Ｂを形成するためのスペーサ部７１１Ｂと、スペーサ部７１１Ｂから図１１中下方向へ突出するように形成された壁部７１２Ｂとを備えている。そして、スペーサ部７１１Ｂの下面には、接着層８１を介して永久磁石６１Ｂが接合されている。
【００９９】
位置決め部７１Ｂをこのような形状とすることにより、永久磁石６１Ｂの駆動部材２１１への固定位置を正確に定めることができるとともに、可動板２２１と永久磁石６１Ｂとの接触を防止する空間７３Ｂを簡単に形成することができる。これにより、例えば、永久磁石６１Ｂの上面に凹部を形成する必要がなくなり、アクチュエータ１Ｂの製造の簡易化を図ることができる。
【０１００】
また、スペーサ部７１１Ｂの厚さを調整することで、回動中心軸Ｘ軸および回動中心軸Ｙのそれぞれの軸に直交する方向での永久磁石６１Ｂの固定位置を定めることもできる。すなわち、駆動部材２１１の周方向、駆動部材２１１の半径方向、駆動部材２１１の厚さ方向のすべての方向において、永久磁石６１Ｂの固着位置が所定の位置に対してずれてしまうことを防止することができる。
このような第３実施形態によっても、第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【０１０１】
以上説明したようなアクチュエータは、光反射部を備えているため、例えば、加速度センサ、角速度センサなどのＭＥＭＳ応用センサや、レーザープリンタ、バーコードリーダー、走査型共焦点レーザー顕微鏡、イメージング用ディスプレイ等の画像形成装置に備える光スキャナ、光スイッチ、光アッテネータなどの光学デバイスに用いることができる。なお、本発明の光スキャナは、前述したアクチュエータと同様の構成であるため、その説明を省略する。
【０１０２】
ここで、図１２に基づき、画像形成装置の一例として、アクチュエータ１をイメージング用ディスプレイの光スキャナとして用いた場合を説明する。なお、スクリーンＳの長手方向を「横方向」といい、長手方向に直角な方向を「縦方向」という。また、回動中心軸ＸがスクリーンＳの横方向と平行であり、回動中心軸ＹがスクリーンＳの縦方向と平行である。
【０１０３】
画像形成装置（プロジェクタ）９は、レーザーなどの光を照出する光源装置９１と、複数のダイクロイックミラー９２、９２、９２と、アクチュエータ１とを有している。
光源装置９１は、赤色光を照出する赤色光源装置９１１と、青色光を照出する青色光源装置９１２と、緑色光を照出する緑色光源装置９１３とを備えている。
各ダイクロイックミラー９２は、赤色光源装置９１１、青色光源装置９１２、緑色光源装置９１３のそれぞれから照出された光を合成する光学素子である。
【０１０４】
このようなプロジェクタ９は、図示しないホストコンピュータからの画像情報に基づいて、光源装置９１（赤色光源装置９１１、青色光源装置９１２、緑色光源装置９１３）から照出された光をダイクロイックミラー９２で合成し、この合成された光がアクチュエータ１によって２次元走査され、スクリーンＳ上でカラー画像を形成するように構成されている。
【０１０５】
２次元走査の際、アクチュエータ１の可動板２２１の、回動中心軸Ｙまわりの回動により光反射部２２１ａで反射した光がスクリーンＳの横方向に走査（主走査）される。一方、アクチュエータ１の可動板２２１の、回動中心軸Ｘまわりの回動により光反射部２２１ａで反射した光がスクリーンＳの縦方向に走査（副走査）される。
なお、図１２中では、ダイクロイックミラー９２で合成された光をアクチュエータ１によって２次元的に走査した後、その光を固定ミラー９５で反射させてからスクリーンＳに画像を形成するように構成されているが、固定ミラー９５を省略し、アクチュエータ１によって２次元的に走査された光を直接スクリーンＳに照射してもよい。
【０１０６】
以上、本発明のアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、本発明のアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置では、各部の構成は、同様の機能を発揮する任意の構成のものに置換することができ、また、任意の構成を付加することもできる。
また、前述した実施形態では、アクチュエータは、Ｙ軸およびＸ軸のそれぞれの軸に対しほぼ対称な形状をなしているが、非対称であってもよい。
また、前述した実施形態では、強磁性体として、永久磁石（強磁性体のうち、外部からの電流や磁場の供給を受けることなく磁石としての性質を比較的長期にわたって保持し続けるもの）や、軟磁性体（強磁性体のうち、外部磁場による磁化を受けたときにしか磁石としての性質を実質的に持たないもの）を用いたものについて説明したが、コイルからの磁界を作用させることができれば、これに限定されない。
【図面の簡単な説明】
【０１０７】
【図１】本発明のアクチュエータの第１実施形態を示す平面図である。
【図２】図１中のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】図１中のＢ−Ｂ線断面図である。
【図４】図１に示すアクチュエータが備える駆動手段の電圧印加手段を示すブロック図である。
【図５】図４に示す第１の電圧発生部および第２の電圧発生部での発生電圧の一例を示す図である。
【図６】図１に示すアクチュエータの製造方法を示す図である。
【図７】本発明のアクチュエータの第２実施形態を示す平面図である。
【図８】図７中のＡ−Ａ線断面図である。
【図９】図７に示すアクチュエータが備える駆動手段の電圧印加手段を示すブロック図である。
【図１０】図９に示す第１の電圧発生部および第２の電圧発生部での発生電圧の一例を示す図である。
【図１１】本発明のアクチュエータの第３実施形態を示す断面図である。
【図１２】本発明の画像形成装置を示す概略図である。
【符号の説明】
【０１０８】
１、１Ａ、１Ｂ‥‥‥アクチュエータ  ２‥‥‥基体  ２１‥‥‥第１の振動系  ２１１‥‥‥駆動部材  ２１２、２１３‥‥‥第１の軸部材  ２２‥‥‥第２の振動系  ２２１‥‥‥可動板  ２２１ａ‥‥‥光反射部  ２２２、２２３‥‥‥第２の軸部材  ２３‥‥‥支持部  ３‥‥‥支持基板  ４‥‥‥制御部  ５‥‥‥対向基板  ６、６Ａ‥‥‥駆動手段  ６１、６１Ｂ‥‥‥永久磁石  ６１ａ‥‥‥凹部  ６１１Ａ、６１２Ａ‥‥‥軟磁性体  ６２、６２１Ａ、６２２Ａ‥‥‥コイル  ６３、６３Ａ‥‥‥電圧印加手段  ６３１、６３１Ａ‥‥‥第１の電圧発生部  ６３２、６３２Ａ‥‥‥第２の電圧発生部  ６３３、６３３Ａ‥‥‥電圧重畳部  ６３３ａ、６３４Ａ、６３５Ａ‥‥‥加算器  ７１、７１Ａ、７１Ｂ、７２、７２Ａ、７２Ｂ、‥‥‥位置決め部材  ７１ａ、７２ａ‥‥‥第１の層  ７１ｂ、７２ｂ‥‥‥第２の層  ７１１、７１２、７２１、７２２‥‥‥対向部  ７１１Ｂ‥‥‥スペーサ部  ７１２Ｂ‥‥‥壁部  ７３Ｂ‥‥‥空間  ８１、８２‥‥‥接着層  ９‥‥‥画像形成装置（プロジェクタ）  ９１‥‥‥光源装置  ９１１‥‥‥赤色光源装置  ９１２‥‥‥青色光源装置  ９１３‥‥‥緑色光源装置  ９２‥‥‥ダイクロイックミラー  ９５‥‥‥固定ミラー  １００‥‥‥ＳＯＩ基板  １００ａ‥‥‥Ｓｉ層  １００ｂ‥‥‥ＳｉＯ２層  １００ｃ‥‥‥Ｓｉ層  Ｍ１、Ｍ２‥‥‥レジストマスク  Ｓ‥‥‥スクリーン  Ｘ、Ｙ‥‥‥回動中心軸
【図１】
2008228437.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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