(57)【要約】【課題】小型精密部品を製造する際に、小型精密部品の形状精度が悪化したり、成形型の寿命が短くなったりしてしまうことを抑制することが可能な小型精密部品の製造方法を提供する。【解決手段】５重量％〜４０重量％のＳｉを含有するＡｌＳｉ合金からなるプリフォームを準備するプリフォーム準備工程Ｓ１０と、ＡｌＳｉ合金が固液共存状態となった状態で鍛造加工を開始し、ＡｌＳｉ合金が固体状態となった状態で鍛造加工を終了する条件で鍛造加工を行う鍛造加工工程Ｓ２０とをこの順序で含む小型精密部品の製造方法であって、鍛造加工工程Ｓ２０においては、非酸化性の材料からなる成形型を備えた真空鍛造装置中で鍛造加工を行うことを特徴とする小型精密部品の製造方法。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
５重量％〜４０重量％のＳｉを含有するＡｌＳｉ合金からなるプリフォームを準備するプリフォーム準備工程と、
前記ＡｌＳｉ合金が固液共存状態となった状態で鍛造加工を開始し、前記ＡｌＳｉ合金が固体状態となった状態で鍛造加工を終了する条件で前記プリフォームの鍛造加工を行う鍛造加工工程とをこの順序で含む小型精密部品の製造方法であって、
前記鍛造加工工程においては、非酸化性の材料からなる成形型を備えた真空鍛造装置中で鍛造加工を行うことを特徴とする小型精密部品の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の小型精密部品の製造方法において、
前記成形型は、窒化珪素からなることを特徴とする小型精密部品の製造方法。
【請求項３】
請求項１に記載の小型精密部品の製造方法において、
前記成形型は、ガラスからなることを特徴とする小型精密部品の製造方法。
【請求項４】
請求項１に記載の小型精密部品の製造方法において、
前記成形型は、金属製成形型の成形面に非酸化性の材料がコーティングされた構造を有することを特徴とする小型精密部品の製造方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載の小型精密部品の製造方法において、
前記成形型の成形面における最大山高さＲｐは、１μｍ以下であることを特徴とする小型精密部品の製造方法。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載の小型精密部品の製造方法において、
前記プリフォームは、アトマイズ法を用いて製造されたＡｌＳｉ合金微粉末を加圧成形した後に真空中で焼結して製造されるプリフォームであることを特徴とする小型精密部品の製造方法。
【請求項７】
請求項１〜５のいずれかに記載の小型精密部品の製造方法において、
前記プリフォームは、アトマイズ法を用いて製造されたＡｌＳｉ合金微粉末を加圧成形した後に押出成形して製造されるプリフォームであることを特徴とする小型精密部品の製造方法。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれかに記載の小型精密部品の製造方法において、
前記鍛造加工工程においては、前記ＡｌＳｉ合金が前記成形型以外には接触しないような条件で鍛造加工を行うことを特徴とする小型精密部品の製造方法。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれかに記載の小型精密部品の製造方法において、
前記鍛造加工工程においては、前記成形型を冷却することでＡｌＳｉ合金を固液共存状態から固体状態にすることを特徴とする小型精密部品の製造方法。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれかに記載の小型精密部品の製造方法において、
前記鍛造加工工程においては、前記成形型の中に他の金属部材を配置した状態で鍛造加工を行うことを特徴とする小型精密部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、小型精密部品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、５重量％〜４０重量％のＳｉを含有するＡｌＳｉ合金からなるプリフォーム（焼結ビレットということもある。）を形成し、当該プリフォームを加熱してＡｌＳｉ合金が固液共存状態となった状態で当該プリフォームに圧力を付与することにより、最終製品形状と同一又は類似の形状の金属部材を成形する金属部材の製造方法が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
従来の金属部材の製造方法によれば、ＡｌＳｉ合金という成形加工しにくい材料を使用しながら、容易に成形加工を実施することが可能となるため、任意の形状でかつ高精度の金属部材を効率よく製造することが可能となる。従って、従来の金属部材の製造方法によれば、特に精度の要求される小型精密部品であっても効率よく製造することが可能となる。
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−２７２９３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の金属部材の製造方法においては、成形型とＡｌＳｉ合金との間の離型性が悪いことに起因して、小型精密部品の形状精度が悪化したり、成形型の寿命が短くなったりしてしまう場合があるという問題がある。
【０００６】
そこで、本発明は、このような問題を解決するためになされたもので、小型精密部品を製造する際に、小型精密部品の形状精度が悪化したり、成形型の寿命が短くなったりしてしまうことを抑制することが可能な小型精密部品の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者は、上記目的を達成するため、成形型とＡｌＳｉ合金との間の離型性が悪い原因を究明すべく鋭意努力を重ねた結果、この原因は、Ａｌが極めて還元性の強い金属であるため、ＡｌＳｉ合金に含まれるＡｌが、成形型（例えば、熱間ダイス鋼ＳＫＤ６１からなる成形型。）の表面に通常存在する酸化皮膜中の酸素と結合してアルミニウム酸化物を形成してしまうことにあるという知見を得た。
【０００８】
そこで、本発明者は、上記知見に基づいて、鍛造加工の成形型として、通常使用されている成形型を使用するのではなく、表面に酸化皮膜が存在することのない、すなわち非酸化性の材料からなる成形型を使用することとすれば、成形型とＡｌＳｉ合金との間の離型性が悪くなることがなくなり、上記問題を解決することができることに想到し、本発明を完成させるに至った。
【０００９】
（１）本発明の小型精密部品の製造方法は、５重量％〜４０重量％のＳｉを含有するＡｌＳｉ合金からなるプリフォームを準備するプリフォーム準備工程と、前記ＡｌＳｉ合金が固液共存状態となった状態で鍛造加工を開始し、前記ＡｌＳｉ合金が固体状態となった状態で鍛造加工を終了する条件で前記プリフォームの鍛造加工を行う鍛造加工工程とをこの順序で含む小型精密部品の製造方法であって、前記鍛造加工工程においては、非酸化性の材料からなる成形型を備えた真空鍛造装置中で鍛造加工を行うことを特徴とする。
【００１０】
このため、本発明の小型精密部品の製造方法によれば、ＡｌＳｉ合金からなるプリフォームを加熱して、ＡｌＳｉ合金が固液共存状態となった状態で鍛造加工を開始し、ＡｌＳｉ合金が固体状態となった状態で鍛造加工を終了する条件で鍛造加工を行うこととしているため、ＡｌＳｉ合金という成形加工しにくい材料を使用しながら、容易に成形加工を実施することが可能となる。その結果、任意の形状でかつ高精度の金属部材を効率よく製造することが可能となり、従来の金属部材の製造方法の場合と同様に、特に精度の要求される小型精密部品であっても効率よく製造することが可能となる。
【００１１】
また、本発明の小型精密部品の製造方法によれば、非酸化性の材料からなる成形型を用いて鍛造加工を行うこととしているため、成形型の表面には酸化皮膜が存在しなくなり、成形型とＡｌＳｉ合金との間の離型性を十分に高くすることが可能となる、その結果、小型精密部品を製造する際に、小型精密部品の形状精度が悪化したり、成形型の寿命が短くなったりしてしまうことを抑制することが可能となる。
【００１２】
なお、本発明の小型精密部品の製造方法においては、真空鍛造装置中で鍛造加工を行う、すなわち、雰囲気中に酸素を含まない条件で鍛造加工を行うこととしているため、成形型の表面に酸化皮膜が存在する場合にはＡｌＳｉ合金に含まれるＡｌが当該酸化皮膜から酸素を奪って酸化物を形成することとなり、このことに起因して離型性を大きく低下させる可能性が生じる。しかしながら、本発明の小型精密部品の製造方法によれば、非酸化性の材料からなる成形型を用いることとしているため、成形型の表面には酸化皮膜が存在しないため、上記のように離型性を大きく低下させてしまうことはない。
【００１３】
また、本発明の小型精密部品の製造方法によれば、上記したように、成形型とＡｌＳｉ合金との間の離型性を十分に高くすることが可能となるため、離型剤を用いることなく鍛造加工を行うことも可能となる。このため、離型剤を使用することに起因して小型精密部品の製造方法の品質が低下する（例えば、小型精密部品の形状精度が低下したり、小型精密部品の表面状態が劣化したりする。）という問題や、離型剤を使用することに起因して製造コストが高くなる（例えば、離型剤を注入するための機構を鍛造装置に設けたり、離型剤を注入するための構造を成形型に作り込んだりすることが必要となり、さらには鍛造加工を行う度に離型剤が必要となる。）という問題が新たに発生することもなくなる。その結果、十分に高い品質を有する小型精密部品を十分に低い製造コストで製造することが可能となる。
【００１４】
また、本発明の小型精密部品の製造方法によれば、真空鍛造装置中で鍛造加工を行うことにより、成形型の表面すみずみにまでＡｌＳｉ合金が行き渡り易くなるため、小型精密部品の品質が低下する（この場合、小型精密部品の形状精度が低下したり、小型精密部品の表面状態が劣化したりする。）ことがなくなる。また、真空鍛造装置中で鍛造加工を行うことにより、ＡｌＳｉ合金の内部に気泡が混入することがなくなるため、小型精密部品の品質が低下する（この場合、小型精密部品の密度が低下したり、小型精密部品の強度が低下したりする。）ことがなくなる。また、真空鍛造装置中で鍛造加工を行うことにより、酸化性ガスの存在に起因して小型精密部品の品質が低下する（この場合、小型精密部品の表面状態が劣化する。）ことがなくなるため、十分に高い品質を有する小型精密部品を製造することが可能となる。
【００１５】
また、本発明の小型精密部品の製造方法によれば、固液共存状態となった状態で鍛造加工を開始することとしているため、ＡｌＳｉ合金の粘性率が低い状態（すなわち、ＡｌＳｉ合金の流動性が高く、例えばシャーベットのような状態。）で鍛造加工を行うことが可能となる。その結果、十分に高い品質（この場合、十分に高い形状精度。）を有する小型精密部品を製造することが可能となる。
【００１６】
また、本発明の小型精密部品の製造方法によれば、固液共存状態となった状態で鍛造加工を開始することとしているため、ＡｌＳｉ合金の粘性率が低い状態（すなわち、鍛造圧力が低い状態（例えば、通常の鍛造加工の場合の２％〜５％程度の鍛造圧力。））で鍛造加工を行うことが可能となる。その結果、非酸化性の材料からなり一般的にはじん性の低い成形型を用いたとしても、十分な繰り返し回数をもって鍛造加工を行うことができ、十分に低い製造コストで小型精密部品を製造することが可能となる。
【００１７】
また、本発明の小型精密部品の製造方法によれば、固体状態となった状態で鍛造加工を終了することとしているため、そのまま最終形状寸法公差内の完成品として小型精密部品を製造することが可能となる。
【００１８】
また、本発明の小型精密部品の製造方法によれば、ＡｌＳｉ合金は、アルミニウムの線膨張率（２３×１０−６Ｋ−１）よりも低い線膨張率（例えば、１７〜１８×１０−６Ｋ−１）を有し、さらには高い熱伝導率（例えば、１５０Ｗ／（ｍ・Ｋ））を有するため、広い温度範囲にわたって信頼性の高い小型精密部品を製造することが可能となる。また、ＡｌＳｉ合金は、ＳＵＳ−３００系のステンレス鋼の線膨張率（例えば、１７×１０−６Ｋ−１）とほぼ同等の線膨張率を有するため、ＳＵＳ−３００系のステンレス鋼からなる他の部品と組み合わせて複合製品を製造する場合などにおいても、広い温度範囲にわたって信頼性の高い複合製品を製造することが可能となる。
【００１９】
また、本発明の小型精密部品の製造方法によれば、４０重量％以下のＳｉを含有するＡｌＳｉ合金からなるプリフォームを用いて鍛造加工を行うこととしているため、十分なじん性を有し、破損しにくい小型精密部品を製造することが可能となる。また、５重量％以上のＳｉを含有するＡｌＳｉ合金からなるプリフォームを用いて鍛造加工を行うこととしているため、十分に低い線膨張率を有し、広い温度範囲にわたって信頼性の高い小型精密部品を製造することが可能となる。
このような観点から言えば、ＡｌＳｉ合金は、１０重量％〜３０重量％のＳｉを含有するＡｌＳｉ合金であることがより好ましい。
なお、ＡｌＳｉ合金は、必要に応じて、他の金属成分（例えば、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｍｎ、Ｚｒ、Ｍｇ。）を含有していてもよい。
【００２０】
本発明の小型精密部品の製造方法において、鍛造加工工程においては、５７７℃以上の温度で鍛造加工を開始し、５７７℃以下の温度で鍛造加工を終了する条件で鍛造加工を行うことが好ましい。
【００２１】
このような方法とすることにより、ＡｌＳｉ合金が固液共存状態となった状態で鍛造加工を開始し、ＡｌＳｉ合金が固体状態となった状態で鍛造加工を終了することが可能となる（後述する図４参照。）。
【００２２】
なお、本発明の小型精密部品の製造方法においては、離型剤を用いることなく鍛造加工を行うことが可能であるが、少量の離型剤を用いて鍛造加工を行うことももちろん可能である。要は、離型剤を用いることによる利益と離型剤を用いることによる不利益とを比較衡量して、離型剤を用いるか否かを定めればよい。
【００２３】
（２）本発明の小型精密部品の製造方法においては、前記成形型は、窒化珪素からなることが好ましい。
【００２４】
窒化珪素は、表面に酸化皮膜が存在しないことに加えて、ＡｌＳｉ合金との親和性が低く、ＡｌＳｉ合金との間で線膨張率の差が比較的大きい（窒化珪素の線膨張率：２．８×１０−６Ｋ−１）。このため、上記のような方法とすることにより、ＡｌＳｉ合金との間の離型性を十分に高くすることが可能となる。
【００２５】
また、窒化珪素は、硬度が高いため、鍛造加工を重ねても表面の面粗さを維持することができる。このため、長期にわたって十分に高い品質（この場合、十分に高い形状精度。）を有する小型精密部品を製造することが可能となる。
【００２６】
なお、窒化珪素は、成形金型の材料として通常使用されている熱間ダイス鋼（例えばＳＫＤ６１）よりも耐熱性が低いが、鍛造開始温度が７４０〜７５０℃以下の条件で鍛造加工を行うのであれば十分に使用可能である。
【００２７】
（３）本発明の小型精密部品の製造方法においては、前記成形型は、ガラスからなることが好ましい。
【００２８】
ガラスは、表面に酸化皮膜が存在しないことに加えて、ＡｌＳｉ合金との親和性が低い。このため、上記のような方法とすることによっても、ＡｌＳｉ合金との間の離型性を十分に高くすることが可能となる。
【００２９】
本発明の小型精密部品の製造方法においては、前記ガラスは、導電性ガラスであることが好ましい。
【００３０】
導電性ガラスは、放電加工により、比較的複雑な形状の成形型を製造することが可能となる。このため、上記のような方法とすることにより、比較的複雑な形状の小型精密部品を製造することが可能となる。
【００３１】
（４）本発明の小型精密部品の製造方法においては、前記成形型は、金属製成形型の成形面に非酸化性の材料がコーティングされた構造を有することが好ましい。
【００３２】
非酸化性の材料は、上記したように、表面に酸化皮膜が存在しない。このため、上記のような方法とすることによっても、ＡｌＳｉ合金との間の離型性を十分に高くすることが可能となる。
【００３３】
また、成形型の出発材料である金属製成形型は、成形性が良好であるため、比較的複雑な形状の成形型を製造することが可能となる。このため、比較的複雑な形状の小型精密部品を製造することが可能となる。非酸化性の材料としては、例えば、ダイヤモンドライクカーボンを例示することができる。
【００３４】
（５）本発明の小型精密部品の製造方法においては、前記成形型の成形面における最大山高さＲｐは、１μｍ以下であることが好ましい。
【００３５】
このような方法とすることにより、鍛造加工後に成形型と成形製品（小型精密部品）との間に発生することがあるアンカー効果を抑制して、成形型と成形製品（小型精密部品）との間の離型性をさらに高くすることが可能となる。
【００３６】
このような観点から言えば、前記成形型の成形面における最大山高さＲｐは、０．８μｍ以下であることがより好ましく、０．６μｍ以下であることがさらに好ましい。
【００３７】
（６）本発明の小型精密部品の製造方法においては、前記プリフォームは、アトマイズ法を用いて製造されたＡｌＳｉ合金微粉末を加圧成形した後に真空中で焼結して製造されるプリフォームであることが好ましい。
【００３８】
このため、本発明の小型精密部品の製造方法によれば、アトマイズ法を用いて製造されたＡｌＳｉ合金微粉末を用いることにより、ＡｌＳｉ合金に含まれるＳｉ結晶の平均粒径を小さいものとすることができるため、固液共存状態における流動性を高くして成形性を高くすることが可能となる。
【００３９】
また、ＡｌＳｉ合金微粉末を加圧成形した後に真空中で焼結して製造されるプリフォームを用いることにより、密度の高い緻密なプリフォームを用いて鍛造加工を行うことが可能となるため、密度が高く品質の高い小型精密部品を製造することが可能となる。
【００４０】
（７）本発明の小型精密部品の製造方法においては、前記プリフォームは、アトマイズ法を用いて製造されたＡｌＳｉ合金微粉末を加圧成形した後に押出成形して製造されるプリフォームであることが好ましい。
【００４１】
このため、本発明の小型精密部品の製造方法によれば、アトマイズ法を用いて製造されたＡｌＳｉ合金微粉末を用いることにより、ＡｌＳｉ合金に含まれるＳｉ結晶の平均粒径を小さいものとすることができるため、固液共存状態における流動性を高くして成形性を高くすることが可能となる。
【００４２】
また、ＡｌＳｉ合金微粉末を加圧成形した後に押出成形して製造されるプリフォームを用いることにより、密度の高い緻密なプリフォームを用いて鍛造加工を行うことが可能となるため、密度が高く品質の高い小型精密部品を製造することが可能となる。
【００４３】
本発明の小型精密部品の製造方法においては、前記ＡｌＳｉ合金に含まれるＳｉ結晶の平均粒径は、２０μｍ以下であることが好ましい。
【００４４】
ＡｌＳｉ合金に含まれるＳｉ結晶の平均粒径を２０μｍ以下とするのは、ＡｌＳｉ合金に含まれるＳｉ結晶の平均粒径が２０μｍを超えると、固液共存状態における流動性が低下して成形性が低下する場合があるからである。
【００４５】
このような観点から言えば、ＡｌＳｉ合金に含まれるＳｉ結晶の平均粒径は、１０μｍ以下であることがより好ましく、５μｍ以下であることがさらに好ましい。
【００４６】
（８）本発明の小型精密部品の製造方法において、前記鍛造加工工程においては、前記ＡｌＳｉ合金が前記成形型以外には接触しないような条件で鍛造加工を行うことが好ましい。
【００４７】
このような方法とすることにより、ＡｌＳｉ合金が成形型以外の部材（例えば、熱間ダイス鋼からなるシリンダ、加圧ピンなど。）に付着して張り付いてしまうという望ましくない事態の発生を防止することが可能となる。
【００４８】
（９）本発明の小型精密部品の製造方法において、前記鍛造加工工程においては、前記成形型を冷却することでＡｌＳｉ合金を固液共存状態から固体状態にすることが好ましい。
【００４９】
このような方法とすることにより、鍛造加工工程にかかる時間を短縮化して小型精密部品を製造する際の生産性を高くすることが可能となる。
成形型を冷却する方法としては、真空鍛造装置における成形型を収納する部分に冷却流路を設けておき、この冷却流路に冷却用媒体（例えば、冷却水。）を流す方法を好ましく例示することができる。
【００５０】
（１０）本発明の小型精密部品の製造方法において、前記鍛造加工工程においては、前記成形型の中に他の金属部材を配置した状態で鍛造加工を行うことが好ましい。
【００５１】
このような方法とすることにより、成形材料と他の金属部材とが一体構造化された小型精密部品（例えば、軸受けスリーブとベース部材とが一体構造化された部材。）を製造することが可能となる。この場合、真空鍛造装置中で鍛造加工を行うため、成形材料と他の金属部材との密着性を高くすることが可能となる。また、ＡｌＳｉ合金は、例えばＳＵＳ−３００系ステンレス鋼の線膨張率と同等の線膨張率を有するため、ＳＵＳ−３００系ステンレス鋼からなる金属部材と一体構造化したときに、広い温度範囲にわたって信頼性の高い小型精密部品を製造することが可能となる。
【００５２】
なお、本発明の小型精密部品の製造方法は、例えば、真空室と、前記真空室の内部に配設され、内部に冷却流路を備える基台部と、前記真空室の内部における前記基台部の上部に配設され、成形型を収納可能な成形型収納部と、前記真空室の内部における前記成形型収納部の上部に昇降可能に配設され、加圧ピン及び／又は前記成形型の一部を介して前記成形型中の成形材料を加圧する加圧部とを備える真空鍛造装置を用いて実施することができる。
【００５３】
この場合、まず、成形型収納部の温度を高くすることにより、成形型を介してプリフォームを加熱してＡｌＳｉ合金を固液共存状態とする。その後、加圧部を動作させて加圧ピン及び／又は成形型の一部を介して成形型中のＡｌＳｉ合金を加圧することにより鍛造加工を開始する。その後、冷却流路に冷却水を流して基台部の温度を低くすることによりＡｌＳｉ合金を冷却する。そして、ＡｌＳｉ合金が固体状態となった状態で加圧部による加圧状態を解除して鍛造加工を終了する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５４】
以下、本発明の小型精密部品の製造方法について、図に示す実施の形態に基づいて説明する。
【００５５】
〔実施形態１〕
図１は、実施形態１に係る小型精密部品の製造方法を説明するために示すフローチャートである。図２は、実施形態１に係る小型精密部品の製造方法におけるプリフォーム準備工程Ｓ１０を説明するために示すフローチャートである。図３は、実施形態１に係る小型精密部品の製造方法におけるプリフォーム準備工程Ｓ１０を説明するために示す図である。図３（ａ）〜図３（ｅ）はプリフォーム準備工程Ｓ１０における各工程図である。
【００５６】
図４は、ＡｌＳｉ合金の状態図である。図５は、実施形態１に係る小型精密部品の製造方法における鍛造加工工程Ｓ２０を説明するために示すフローチャートである。図６は、実施形態１に係る小型精密部品の製造方法における鍛造加工工程Ｓ２０を説明するために示す図である。図６（ａ）〜図６（ｆ）は鍛造加工工程Ｓ２０における各工程図である。
【００５７】
実施形態１に係る小型精密部品の製造方法は、図１に示すように、プリフォーム準備工程Ｓ１０と、鍛造加工工程Ｓ２０とをこの順序で含む小型精密部品の製造方法である。
【００５８】
プリフォーム準備工程Ｓ１０は、ＡｌＳｉ合金からなるプリフォーム１４（図３（ｅ）参照。）を準備する工程であって、図２及び図３に示すように、アトマイズ法を用いて製造されたＡｌＳｉ合金微粉末１０を製造するＡｌＳｉ合金微粉末製造工程Ｓ１１と、ＡｌＳｉ合金微粉末１０を加圧成形装置５０中に入れた後に加圧成形してプリフォーム前駆体１２を製造する加圧成形工程Ｓ１２と、プリフォーム前駆体１２を真空中で焼結・緻密化してプリフォーム１４を製造する焼結工程Ｓ１３とをこの順序で含む。
【００５９】
ＡｌＳｉ合金は、図４に示すように、所定温度（５７７℃）より高い温度で固液共存状態となる成形材料であり、実施形態１に係る小型精密部品の製造方法においては、２０重量％のＳｉを含有するＡｌＳｉ合金を用いている。プリフォーム１４中におけるＳｉ結晶の平均粒径は、１０μｍ以下である。
【００６０】
鍛造加工工程Ｓ２０は、ＡｌＳｉ合金が固液共存状態となった状態で鍛造加工を開始し、ＡｌＳｉ合金が固体状態となった状態で鍛造加工を終了する条件で鍛造加工を行う工程であって、窒化珪素からなる成形型１１２，１２０（図６参照。）を備えた真空鍛造装置１００中でプリフォーム１４の鍛造加工を行う工程である。具体的には、図５に示すように、プリフォームセット工程Ｓ２１、脱気・加熱工程Ｓ２２、加圧開始工程Ｓ２３、降温工程Ｓ２４、加圧終了工程Ｓ２５及び取り出し工程Ｓ２６をこの順序で含む。
【００６１】
１．プリフォームセット工程Ｓ２１
まず、窒化珪素からなる成形型（下型）１１２及び熱間ダイス鋼ＳＫＤ６１からなるシリンダ１４を備える成形ユニット１１０を準備する（図６（ａ）参照。）。そして、成形型１１２の中に、プリフォーム１４、窒化珪素からなる成形型（上型）１２０及び熱間ダイス鋼ＳＫＤ６１からなる加圧ピン１２２を順次セットする（図６（ｂ）〜図６（ｄ）参照。）。その後、成形ユニット１１０を真空鍛造装置１００（図示せず。）中に載置する。
なお、成形型１１２，１２０としては、成形面における最大山高さＲｐが１μｍ以下であるものを用いる。
【００６２】
２．脱気・加熱工程Ｓ２２
次に、真空鍛造装置１００を脱気するとともに、成形ユニット１１０を加熱してプリフォーム１４を５７７℃以上（例えば、６００℃）に加熱する。成形ユニット１１０を加熱する方法としては、真空鍛造装置１００における成形型１１２，１２０を収納する部分にヒータ（図示せず。）を設けておき、このヒータに電流を流す方法を用いる。
【００６３】
３．加圧開始工程Ｓ２３
次に、成形ユニット１１０における加圧ピン１２２を用いてプリフォーム１４への加圧を開始する。
【００６４】
４．降温工程Ｓ２４
次に、成形ユニット１１０を冷却してＡｌＳｉ合金を５７７℃以下（例えば、４００℃）に降温する。成形ユニット１１０を冷却する方法としては、真空鍛造装置１００における成形ユニット１１０を収納する部分に冷却流路（図示せず。）を設けておき、この冷却流路に冷却用媒体（例えば、冷却水。）を流す方法を用いる。
【００６５】
５．加圧終了工程Ｓ２５
次に、加圧ピン１２２によるプリフォーム１４への加圧を終了する（図６（ｅ）参照。）。
【００６６】
６．取り出し工程Ｓ２６
最後に、成形ユニット１１０の温度をさらに低くする（例えば、２００℃以下。）。その後、真空鍛造装置１００から成形ユニット１１０を取り出すとともに、当該成形ユニット１１０から小型精密部品１６を取り出す（図６（ｆ）参照。）。
【００６７】
なお、鍛造加工工程Ｓ２０においては、図６に示すように、ＡｌＳｉ合金（プリフォーム１４又は小型精密部品１６）が、窒化珪素からなる成形型１１２，１２０以外には接触しないような条件で鍛造加工を行うこととしている。
【００６８】
以上説明した実施形態１に係る小型精密部品の製造方法によれば、ＡｌＳｉ合金からなるプリフォーム１４を加熱して、ＡｌＳｉ合金が固液共存状態となった状態で鍛造加工を開始し、ＡｌＳｉ合金が固体状態となった状態で鍛造加工を終了する条件で鍛造加工を行うこととしているため、ＡｌＳｉ合金という成形加工しにくい材料を使用しながら、容易に成形加工を実施することが可能となる。その結果、任意の形状でかつ高精度の金属部材を効率よく製造することが可能となり、従来の金属部材の製造方法の場合と同様に、特に精度の要求される小型精密部品であっても効率よく製造することが可能となる。
【００６９】
また、実施形態１に係る小型精密部品の製造方法によれば、非酸化性の材料である窒化珪素からなる成形型１１２，１２０を用いて鍛造加工を行うこととしているため、成形型１１２，１２０の表面には酸化皮膜が存在しなくなり、成形型１１２，１２０とＡｌＳｉ合金（小型精密部品１６）との間の離型性を十分に高くすることが可能となる、その結果、小型精密部品を製造する際に、小型精密部品の形状精度が悪化したり、成形型の寿命が短くなったりしてしまうことを抑制することが可能となる。
【００７０】
また、実施形態１に係る小型精密部品の製造方法によれば、上記したように、成形型１１２，１２０とＡｌＳｉ合金（小型精密部品１６）との間の離型性を十分に高くすることが可能となるため、離型剤を用いることなく鍛造加工を行うことも可能となる。このため、離型剤を使用することに起因して成形製品の品質が低下する（例えば、小型精密部品の形状精度が低下したり、小型精密部品の表面状態が劣化したりする。）という問題や、離型剤を使用することに起因して製造コストが高くなる（例えば、離型剤を注入するための機構を鍛造装置に設けたり、離型剤を注入するための構造を成形型に作り込んだりすることが必要となり、さらには鍛造加工を行う度に離型剤が必要となる。）という問題が新たに発生することもなくなる。その結果、十分に低い製造コストで十分に高い品質を有する小型精密部品１６を製造することが可能となる。
【００７１】
また、実施形態１に係る小型精密部品の製造方法によれば、真空鍛造装置１００中で鍛造加工を行うことにより、成形型１１２，１２０の表面すみずみにまでＡｌＳｉ合金が行き渡り易くなるため、小型精密部品の品質が低下する（この場合、小型精密部品の形状精度が低下したり、小型精密部品の表面状態が劣化したりする。）ことがなくなる。また、真空鍛造装置１００中で鍛造加工を行うことにより、ＡｌＳｉ合金（小型精密部品１６）の内部に気泡が混入することがなくなるため、小型精密部品の品質が低下する（この場合、小型精密部品の密度が低下したり、小型精密部品の強度が低下したりする。）ことがなくなる。また、真空鍛造装置１００中で鍛造加工を行うことにより、酸化性ガスの存在に起因して小型精密部品（小型精密部品）の品質が低下する（この場合、小型精密部品の表面状態が劣化する。）ことがなくなるため、十分に高い品質を有する小型精密部品１６を製造することが可能となる。
【００７２】
また、実施形態１に係る小型精密部品の製造方法によれば、固液共存状態となった状態で鍛造加工を開始することとしているため、ＡｌＳｉ合金の粘性率が低い状態（すなわち、ＡｌＳｉ合金の流動性が高く、例えばシャーベットのような状態。）で鍛造加工を行うことが可能となる。その結果、十分に高い品質（この場合、十分に高い形状精度。）を有する小型精密部品１６を製造することが可能となる。
【００７３】
また、実施形態１に係る小型精密部品の製造方法によれば、固液共存状態となった状態で鍛造加工を開始することとしているため、ＡｌＳｉ合金の粘性率が低い状態（すなわち、鍛造圧力が低い状態（例えば、通常の鍛造加工の場合の２％〜５％程度の鍛造圧力。））で鍛造加工を行うことが可能となる。その結果、比較的じん性の低い窒化珪素からなる成形型１１２，１２０を用いたとしても、十分な繰り返し回数をもって鍛造加工を行うことができ、十分に低い製造コストで小型精密部品１６を製造することが可能となる。
【００７４】
また、実施形態１に係る小型精密部品の製造方法によれば、固体状態となった状態で鍛造加工を終了することとしているため、そのまま最終形状寸法公差内の完成品として小型精密部品１６を製造することが可能となる。
【００７５】
また、実施形態１に係る小型精密部品の製造方法によれば、ＡｌＳｉ合金は、アルミニウムの線膨張率（２３×１０−６Ｋ−１）よりも低い線膨張率（例えば、１７〜１８×１０−６Ｋ−１）を有し、さらには高い熱伝導率（例えば、１５０Ｗ／（ｍ・Ｋ））を有するため、広い温度範囲にわたって信頼性の高い小型精密部品１６を製造することが可能となる。また、ＡｌＳｉ合金は、ＳＵＳ−３００系のステンレス鋼の線膨張率（例えば、１７×１０−６Ｋ−１）とほぼ同等の線膨張率を有するため、ＳＵＳ−３００系のステンレス鋼からなる他の部品と組み合わせて複合製品を製造する場合などにおいても、広い温度範囲にわたって信頼性の高い複合製品を製造することが可能となる。
【００７６】
また、実施形態１に係る小型精密部品の製造方法によれば、２０重量％のＳｉを含有するＡｌＳｉ合金からなるプリフォーム１４を用いて鍛造加工を行うこととしているため、十分なじん性を有し、破損しにくい小型精密部品１６を製造することが可能となり、また、十分に低い線膨張率を有し、広い温度範囲にわたって信頼性の高い小型精密部品１６を製造することが可能となる。
【００７７】
また、実施形態１に係る小型精密部品の製造方法によれば、ＡｌＳｉ合金との親和性が低く、ＡｌＳｉ合金との間で線膨張率の差が比較的大きい窒化珪素からなる成形型１１２，１２０を用いているため、ＡｌＳｉ合金（小型精密部品１６）との間の離型性を十分に高くすることが可能となる。また、窒化珪素は、硬度が高く、鍛造加工を重ねても表面の面粗さを維持することができるため、長期にわたって十分に高い品質（この場合、十分に高い形状精度。）を有する小型精密部品１６を製造することが可能となる。
【００７８】
また、実施形態１に係る小型精密部品の製造方法によれば、成形型１１２，１２０の成形面における最大山高さＲｐは１μｍ以下であるため、鍛造加工後に成形型１１２，１２０と成形製品（小型精密部品１６）との間に発生することがあるアンカー効果を抑制して、成形型１１２，１２０と成形製品（小型精密部品１６）との間の離型性をさらに高くすることが可能となる。
【００７９】
また、実施形態１に係る小型精密部品の製造方法によれば、アトマイズ法を用いて製造されたＡｌＳｉ合金微粉末１０を加圧成形した後に真空中で焼結して製造される密度の高い緻密なプリフォーム１４を用いて鍛造加工を行うこととしているため、密度が高く品質の高い小型精密部品１６を製造することが可能となる。
【００８０】
また、実施形態１に係る小型精密部品の製造方法によれば、ＡｌＳｉ合金に含まれるＳｉ結晶の平均粒径は１０μｍ以下であるため、固液共存状態における流動性が低下して成形性が低下するという事態の発生を防止することが可能となる。
【００８１】
また、実施形態１に係る小型精密部品の製造方法によれば、鍛造加工工程Ｓ２０においては、ＡｌＳｉ合金（プリフォーム１４又は小型精密部品１６）が成形型１１２，１２０以外には接触しないような条件で鍛造加工を行うこととしているため、ＡｌＳｉ合金が成形型１１２，１２０以外の部材（例えば、熱間ダイス鋼からなるシリンダ１１４、加圧ピン１２２など。）と接触して張り付いてしまうという望ましくない事態の発生を防止することが可能となる。
【００８２】
また、実施形態１に係る小型精密部品の製造方法によれば、鍛造加工工程Ｓ２０においては、成形型１１２，１２０を冷却することでＡｌＳｉ合金を固液共存状態から固体状態にすることとしているため、鍛造加工工程Ｓ２０にかかる時間を短縮化して小型精密部品１６を製造する際の生産性を高くすることが可能となる。
【００８３】
また、実施形態１に係る小型精密部品の製造方法によれば、成形型１１２，１２０を冷却することでＡｌＳｉ合金を固液共存状態から固体状態にすることとしているため、ＡｌＳｉ合金におけるＳｉ結晶が粗大化することに起因して、固液共存状態における流動性が低下して成形性が低下するという事態の発生を防止することが可能となる。
【００８４】
〔試験例〕
試験例は、窒化珪素からなる成形型とＡｌＳｉ合金（小型精密部品）との間の離型性が十分に高いことを確認するために行った試験例である。
【００８５】
図７は、試験例の結果を示す図面代用写真である。図７（ａ）は試験例１における図面代用写真であり、図７（ｂ）は試験例２における図面代用写真であり、図７（ｃ）は試験例３における図面代用写真である。
【００８６】
各試験例は、高温濡れ性・固体接触角測定装置（真空理工株式会社、ＷＥＴ１２００）を用いて、押し出し液滴法により行った。すなわち、試験例１〜試験例３における各試料を７００℃に加熱し、これらの試料上に熔融したＡｌＳｉ合金を押し出したときの様子を写真撮影するとともに、得られた写真から接触角を測定した。
【００８７】
試験例１においては、窒化珪素からなる試料を使用した。離型剤は使用しなかった。接触角は１６７°であった。
試験例２においては、熱間ダイス鋼ＳＫＤ６１からなる試料を使用した。離型剤は使用しなかった。接触角は１２９°であった。
試験例３においては、熱間ダイス鋼ＳＫＤ６１からなる試料を使用した。離型剤は、黒鉛系の離型剤を使用した。接触角は１５６°であった。
【００８８】
各試験例からわかるように、窒化珪素からなる試料においては、離型剤を使用しなくても１６７°という高い接触角が得られ、この値（１６７°）は、熱間ダイス鋼ＳＫＤ６１からなる試料において離型剤を使用しない場合に得られる接触角（１２９°）はもちろんのこと、熱間ダイス鋼ＳＫＤ６１からなる試料において離型剤を使用した場合に得られる接触角（１５６°）よりも高いものであった。
【００８９】
〔比較例１〕
比較例１は、ＡｌＳｉ合金が成形型以外の部材と接触するような条件で鍛造加工を行った場合に得られる結果を確認するための比較例である。
【００９０】
図８は、比較例１に係る小型精密部品の製造方法における鍛造加工工程Ｓ２０を説明するために示す図である。図８（ａ）〜図８（ｅ）は鍛造加工工程Ｓ２０における各工程図である。なお、図８において、図６と同一の部材については同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
【００９１】
比較例１に係る小型精密部品の製造方法においては、図８に示すように、鍛造加工工程Ｓ２０においては、ＡｌＳｉ合金（プリフォーム１４又は小型精密部品１６）が成形型１１２ａ以外の部材（熱間ダイス鋼からなるシリンダ１１４及び加圧ピン１２２。）と接触するような条件で鍛造加工を行った。鍛造加工工程終了後に、シリンダ１１４の内壁及び加圧ピン１２２の底面を観察したところ、これらの表面にＡｌＳｉ合金が付着していることが確認された。
【００９２】
〔実施形態２〕
図９は、実施形態２に係る小型精密部品の製造方法に用いる真空鍛造装置２００の構造を説明するために示す図である。図９（ａ）は真空鍛造装置２００の斜視図であり、図９（ｂ）は真空鍛造装置２００の断面図である。図１０は、実施形態２に係る小型精密部品の製造方法における鍛造加工工程Ｓ２０を説明するために示す図である。図１０（ａ）〜図１０（ｄ）は、鍛造加工工程Ｓ２０における各工程図である。
【００９３】
実施形態２に係る小型精密部品の製造方法は、基本的には実施形態１に係る小型精密部品の製造方法と同様の工程を含むが、一の真空鍛造装置中で複数の小型精密部品を製造することとしている点が、実施形態１に係る小型精密部品の製造方法の場合とは異なる。すなわち、実施形態２に係る小型精密部品の製造方法においては、図９及び図１０に示すように、一の真空鍛造装置２００中で複数の小型精密部品１６を製造することとしている。
【００９４】
真空鍛造装置２００は、真空室２０２（図示せず。）と、真空室２０２の内部に配設され、内部に冷却流路２３２（図示せず。）を備える基台部２３０と、真空室２０２の内部における基台部２３０の上部に配設され、成形型２１２，２２０を収納可能な成形型収納部２４０と、真空室２０２の内部における成形型収納部２４０の上部に昇降可能に配設され、加圧ピン２２２及び成形型２２０を介して成形型２１２中のＡｌＳｉ合金（プリフォーム１４）を加圧する加圧部２３０とを備える。
【００９５】
実施形態２に係る小型精密部品の製造方法においては、実施形態１に係る小型精密部品の製造方法で用いた成形ユニット１１０と同じ構造を有する成形ユニット２１０を用いる。
【００９６】
実施形態２に係る小型精密部品の製造方法においては、まず、成形型収納部２４０の中に、複数個の成形ユニット２１０を載置し（図１０（ａ）参照。）、当該複数個の成形ユニット２１０の上部に加圧部２５０を載置する（図１０（ｂ）及び図１０（ｃ）参照。）。次に、この状態で、成形型収納部２４０の温度を高くすることにより、成形型２１２，２２０を介してプリフォーム１４を加熱してＡｌＳｉ合金を固液共存状態とする。次に、加圧部２５０を動作させて加圧ピン２２２及び成形型２２０を介して成形型２１２中のＡｌＳｉ合金を加圧することにより鍛造加工を開始する。次に、冷却流路２３２に冷却水を流して基台部２３０の温度を低くすることによりＡｌＳｉ合金を冷却する。そして、ＡｌＳｉ合金が固体状態となった状態で加圧部２５０による加圧状態を解除して鍛造加工を終了する。最後に、真空鍛造装置２００から成形ユニット２１０を取り外し、その後、成形ユニット２１０から小型精密部品１６を取り出す（図１０（ｄ）参照。）。
【００９７】
このため、実施形態２に係る小型精密部品の製造方法によれば、１回の鍛造加工で複数個の小型精密部品１６を製造することができるため、小型精密部品を製造する際の生産性を高くすることが可能となる。
【００９８】
なお、実施形態２に係る小型精密部品の製造方法は、一の真空鍛造装置中で複数の小型精密部品を製造することとしている点が、実施形態１に係る小型精密部品の製造方法の場合とは異なるが、これ以外の点では実施形態１に係る小型精密部品の製造方法の場合と同様であるため、実施形態１に係る小型精密部品の製造方法が有する効果のうち該当する効果を有する。
【００９９】
〔実施形態３〕
図１１は、実施形態３に係る小型精密部品の製造方法におけるプリフォーム準備工程Ｓ１１０を説明するために示すフローチャートである。図１２は、実施形態３に係る小型精密部品の製造方法におけるプリフォーム準備工程Ｓ１１０を説明するために示す図である。図１２（ａ）〜図１２（ｇ）はプリフォーム準備工程Ｓ１１０における各工程図である。
【０１００】
実施形態３に係る小型精密部品の製造方法は、基本的には実施形態１に係る小型精密部品の製造方法と同様の工程を含むが、プリフォーム準備工程の内容が、実施形態１に係る小型精密部品の製造方法の場合とは異なる。すなわち、実施形態３に係る小型精密部品の製造方法においては、プリフォーム準備工程Ｓ１１０（図示せず。）は、図１１及び図１２に示すように、アトマイズ法を用いて製造されたＡｌＳｉ合金微粉末２０を製造するＡｌＳｉ合金微粉末製造工程Ｓ１１１と、ＡｌＳｉ合金微粉末２０を加圧成形装置６０中に入れた後に加圧成形してプリフォーム前駆体２２とする加圧成形工程Ｓ１１２（図１２（ｂ）〜図１２（ｄ）参照。）と、プリフォーム前駆体２２を押出装置６２から押し出し、緻密化して長尺プリフォーム２４を製造する押し出し工程Ｓ１１３（図１２（ｅ）及び図１２（ｆ）参照。）と、得られた長尺プリフォーム２４を切断してプリフォーム２６を製造する切断工程Ｓ１１４（図１２（ｇ）参照。）とをこの順序で含む。
【０１０１】
このため、実施形態３に係る小型精密部品の製造方法によれば、実施形態１に係る小型精密部品の製造方法の場合よりも、プリフォームを生産性よく製造することが可能となる。
【０１０２】
なお、実施形態３に係る小型精密部品の製造方法は、プリフォーム準備工程の内容が、実施形態１に係る小型精密部品の製造方法の場合とは異なるが、これ以外の点では実施形態１に係る小型精密部品の製造方法の場合と同様であるため、実施形態１に係る小型精密部品の製造方法が有する効果のうち該当する効果を有する。
【０１０３】
以上、本発明の小型精密部品の製造方法を上記の各実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において実施することが可能であり、例えば、次のような変形も可能である。
【０１０４】
（１）上記各実施形態に係る小型精密部品の製造方法においては、Ａｌ及びＳｉのみを含有するＡｌＳｉ合金からなるプリフォームを用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、他の金属成分（例えば、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｍｎ、Ｚｒ、Ｍｇ。）を含有するＡｌＳｉ合金からなるプリフォームを用いることもできる。
【０１０５】
（２）上記各実施形態に係る小型精密部品の製造方法においては、ＡｌＳｉ合金のみからなるプリフォームを用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、カーボン繊維、カーボン微粒子又はカーボンナノチューブを含有するＡｌＳｉ合金からなるプリフォームを用いることもできる。
【０１０６】
（３）上記実施形態１及び２に係る小型精密部品の製造方法においては、鍛造加工工程で用いるプリフォームとして、アトマイズ法を用いて製造されたＡｌＳｉ合金微粉末１０を加圧成形した後に真空中で焼結して製造されるプリフォーム１４を用い、上記実施形態３に係る小型精密部品の製造方法においては、アトマイズ法を用いて製造されたＡｌＳｉ合金微粉末２０を加圧成形した後に押出成形して製造されるプリフォーム２６を用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、鋳造加工によって製造されるプリフォームを用いることもできる。
【０１０７】
（４）上記各実施形態に係る小型精密部品の製造方法においては、成形型として、窒化珪素からなる成形型１１２，１２０，２１２，２２０を用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、導電性ガラスなどのガラスからなる成形型を用いることもできるし、熱間ダイス鋼からなる金属製成形型などの成形面に非酸化性の材料（例えば、ダイヤモンドライクカーボン。）がコーティングされた構造を有する成形型を用いることもできる。
【０１０８】
（５）上記各実施形態に係る小型精密部品の製造方法においては、ＡｌＳｉ合金からなるプリフォームのみを出発材料として用いて小型精密部品を製造したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、他の金属部材（例えば、ＳＵＳ３００系ステンレス鋼からなる金属部材。）を併用して小型精密部品を製造することもできる。この場合、例えば、成形型の中に他の金属部材を配置した状態で鍛造加工を行うこととすれば、ＡｌＳｉ合金と当該他の金属部材とが一体化した小型精密部品を製造することができる。
【０１０９】
（６）上記各実施形態に係る小型精密部品の製造方法においては、離型剤を用いることなく鍛造加工を行っているが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、少量の離型剤を用いて鍛造加工を行うこともできる。要は、離型剤を用いることによる利益と離型剤を用いることによる不利益とを比較衡量して、離型剤を用いるか否かを定めればよい。
【図面の簡単な説明】
【０１１０】
【図１】実施形態１に係る小型精密部品の製造方法を説明するために示すフローチャートである。
【図２】実施形態１に係る小型精密部品の製造方法におけるプリフォーム準備工程Ｓ１０を説明するために示すフローチャートである。
【図３】実施形態１に係る小型精密部品の製造方法におけるプリフォーム準備工程Ｓ１０を説明するために示す図である。
【図４】ＡｌＳｉ合金の状態図である。
【図５】実施形態１に係る小型精密部品の製造方法における鍛造加工工程Ｓ２０を説明するために示すフローチャートである。
【図６】実施形態１に係る小型精密部品の製造方法における鍛造加工工程Ｓ２０を説明するために示す図である。
【図７】試験例の結果を示す図面代用写真である。
【図８】比較例１に係る小型精密部品の製造方法における鍛造加工工程Ｓ２０を説明するために示す図である。
【図９】実施形態２に係る小型精密部品の製造方法に用いる真空鍛造装置２００の構造を説明するために示す図である。
【図１０】実施形態２に係る小型精密部品の製造方法における鍛造加工工程Ｓ２０を説明するために示す図である。
【図１１】実施形態３に係る小型精密部品の製造方法におけるプリフォーム準備工程Ｓ１１０を説明するために示すフローチャートである。
【図１２】実施形態３に係る小型精密部品の製造方法におけるプリフォーム準備工程Ｓ１１０を説明するために示す図である。
【符号の説明】
【０１１１】
１０，２０…ＡｌＳｉ合金微粉末、１２，２２…プリフォーム前駆体、１４，２６…プリフォーム、１６，１６ａ…小型精密部品、２４…長尺プリフォーム、５０，６０…加圧成形装置、６２…押出装置、２００…真空鍛造装置、１１０，１１０ａ，２１０…成形ユニット、１１２，１１２ａ，２１２…成形型（下型）、１１４，２１４…シリンダ、１１６，２１６…押し出しピン用孔、１１８，２１８…押し出しピン、１２０，２２０…成形型（上型）、１２２，２２２…加圧ピン、２３０…基台、２４０…成形型収納部、２５０…加圧部
【図１】
2008114259.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図８】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図７】
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【図９】
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