【手続補正書】
【提出日】平成21年7月22日(2009.7.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子顕微鏡本体部と、該電子顕微鏡本体部が載置される架台筐体と、該電子顕微鏡本体部と該架台筐体とを覆うカバー部とを備えた電子顕微鏡装置において、
該カバー部は、該電子顕微鏡本体部と該架台筐体とを囲むように配置された枠体と、該枠体に取り付けられたパネルとを備えて、該枠体は、該電子顕微鏡本体部と該架台筐体とを前後から挾むようにして連結された２つの枠体部材で構成され、
該カバー部の取り付け時に該架台筐体に対して該カバー部の該枠体の位置合わせを行なう位置合わせ手段を備え
該位置合わせ手段は、該架台筐体と２つの該枠体部材のいずれか一方とで該枠体の位置合わせを行なう
ことを特徴とする電子顕微鏡装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記枠体は、前記電子顕微鏡本体部の後部と前記架台筐体の後部とを覆う一方の前記枠体部材としての後部枠体と、前記電子顕微鏡本体部の前部と前記架台筐体の前部とを覆う他方の前記枠体部材としての前部枠体とから構成され、
前記位置合わせ手段は、前記架台筐体と該後部枠体とで前記枠体の位置合わせを行なう
ことを特徴とする電子顕微鏡装置。
【請求項３】
請求項２において、
前記位置合わせ手段は、前記後部枠体に設けられた第１の位置合わせ手段と、前記架台筐体に設けられた第２の位置合わせ手段とから構成されたことを特徴とする電子顕微鏡装置。
【請求項４】
請求項３において、
前記第１の位置合わせ手段は、前記後部枠体の内側に所定の間隔で配置された２つの位置決めジグで構成され、
前記第２の位置合わせ手段は、前記架台筐体の側面で前記２つの位置決めジグと対向する位置に配置された位置決めブロックで構成され、
前記位置決めブロックが前記２つの位置決めジグの間に配置されることで前記後部枠体の位置合わせを行なう
ことを特徴とする電子顕微鏡装置。
【請求項５】
請求項２〜４のいずれか１つにおいて、
前記後部枠体は、４つの辺からなる四角状の上枠と、３つの辺からなるコ字状の下枠と、該上枠と該下枠とを連結する複数のポールとから構成され、該上枠と該下枠と該ポールとに分解可能であることを特徴とする電子顕微鏡装置。
【請求項６】
請求項５において、
前記位置決めジグは、前記後部枠体の下枠に設けられ、
前記位置決めブロックは、前記架台筐体の側面下側に設けられている
ことを特徴とする電子顕微鏡装置。
【請求項７】
請求項１または２において、
前記位置合わせ手段は、前記架台筐体の上面に設けられた受け部材と、該受け部材に着脱可能に取り付けられた位置出しステーとから構成されたことを特徴とする電子顕微鏡装置。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１つにおいて、
前記カバー部は、高さ調整を可能とする高さ調整部材を備えていることを特徴とする電子顕微鏡装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
カバー部６は、電子顕微鏡本体部１の後部側を覆う断面形状がコ字状をなす後方上側パネル７と、架台筐体の後部側を覆う断面形状がコ字状をなす後方下側パネル８と、電子顕微鏡本体部１の上方を覆う上面パネル９と、電子顕微鏡本体部１の前部左右側を覆い、断面形状が部分円筒状をなす開閉扉１１ａ，１１ｂと、架台筐体の前部左右側を覆い、断面形状が部分円筒状をなす前部下側パネル１０ａ，１０ｂと、電子顕微鏡本体部１の前部側を縦長に覆い、透明板からなる窓部１４とから構成されており、この窓部１４の下側に操作表示部１５が設けられている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
図４（ａ），（ｂ）において、枠体２９の枠の内面に設けられている位置決めジグ３１ａは、２つの対をなすＬ字状の位置決めジグ３１ａ1，３１ａ2が前後方向に所定の間隔をもって取り付けられているものであり、また、架台筐体２４の右側面には、平板状の位置決めブロック３２ａが取り付けられている。２つの位置決めジグ３１ａ1，３１ａ2の上記間隔は、この位置決めブロック３２ａの前後方向の長さｄよりも若干大きく設定されている。架台筐体２４の反対側の側面も、同様の位置決めジグ３１ｂと位置決めブロック３２ｂとが設けられている（図２）。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
このように、架台筐体２４に対する枠体２９の位置決めがなされると、この枠体２９に各パネルの取り付けが行なわれ、最後に後方上側パネル７の取り付けが行なわれるが、この取り付け前に、ねじ３３ａ2を緩め、ねじ３３ａ3をはずし、位置決めジグ３３ａを左方へ移動させて後方下側パネル８から離す。しかる後、後方上側パネル７を枠体２９に取り付ける。なお、位置決めジグ３３ａを取り外すようにしてもよい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
同図において、図１〜図３に示すカバー部６は、上記のように、枠体２９にパネル６〜１３が取り付けられた構成をなすものであるが、枠体２９は後部枠体２９ａと前部枠体２９ｂとからなっている。後部枠体２９ａは、電子顕微鏡本体部１とこれが載置された架台筐体２４とからなる装置（組合せ装置）４３の後部側に被せるように、配置され、前部枠体２９ｂは、組合せ装置４３の前部側に被せるように、配置される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６２】
同図において、後部枠体２９ａが、その下枠２９ａ2の開口側を拡げるようにして、組合せ装置４３の後部側に取り付けられる（なお、ここでは、図面を簡明にするために、後部枠体２９ａと架台筐体２４との間隔を離して示している）。これにより、上記のように後部枠体２９ａの下枠２９ａ2に設けられた２つの位置決めジグ３１ａ1，３１ａ2の間に架台筐体２４の側面下側に設けられている位置決めブロック３２ａが入り込むことになる。そして、この後部枠体２９ａに後方下側パネル８をねじ止めなどによって取り付け、図４で説明したように、この架台筐体２４の左右両面でこれら位置決めジグ３１ａと位置決めブロック３２ａ，位置決めジグ３１ｂと位置決めブロック３２ｂとの位置関係を微調整した後、図４で説明したように、位置決めジグ３３ａ，３３ｂを架台筐体２４の上面と後方下側パネル８とにねじ止めで固定し、組合せ装置４３と後部枠体２９ａとの位置関係を固定する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６４】
しかる後、後部枠体２９ａに後方上側パネル７や垂直仕切りパネル１２ａ，１２ｂを取り付ける。また、架台筐体２４のパネル受け部材３７（図３）に水平仕切パネル１３を取り付け、前部枠体２９ｂに前部下側パネル１０ａ，１０ｂや取っ手３４が取り付けられた開閉扉１１ａ，１１ｂ、窓部１４、走査表示部１５が取り付けられ、カバー部６が完成する。以上のパネルなどの枠体２９への取り付けは、ねじ止めなどによるものであり、これにより、堅固なカバー部６が形成される。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６５】
なお、図５で説明した高さ調整部材３５による架台筐体２４の高さ調整は、例えば、架台筐体２４が設置されるときに行なわれ、高さ調整された架台筐体２４上に電子顕微鏡本体部１が載置される。また、枠体２９の高さ調整部材３６による高さ調整は、例えば、図９で説明したように、枠体２９と組合せ装置４３との位置調整をするときに行なわれ、これにより、位置決め軸３３ａ，３３ｂを架台筐体２４の上面と後部枠体２９ａに取り付けられた後方下側パネル８とにねじ止めによって固定することができる。また、上記のように、枠体２９の下端と床面３８との隙間は、例えば、高さ調整や枠体２９の位置調整が終了した後、コーキング材が詰められる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６７】
なお、位置決めジグ３３ａ，３３ｂが振動を吸収する、例えば、ゴムなどの免震材で形成されていれば、架台筐体２４の上面と枠体２９の後方下側パネル８とに固定したままであってもよい。