(57)【要約】【課題】簡易な構成で磁気ヘッドの検査を行うことが可能な磁気ヘッド検査システムを提供する。【解決手段】磁気ヘッド検査システムにおいて、検査モジュール１２は、トラックの識別情報を含むサーボデータが記録された磁気ディスク２３と、スピンドルモータ２４と、磁気ヘッドを含むヘッド組立体４０が着脱される着脱機構３４を有するキャリッジ２５と、ボイスコイルモータ２６と、主回路部２７と、を備えており、検査回路部２１は、主回路部２７に対して、磁気ヘッドを磁気ディスクの特定のトラック上に移動させる制御の実行、および磁気ヘッドに検査のための所定の記録再生動作を行わせる制御の実行を指示する。【選択図】図３
2008210460.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
トラックの識別情報を含むサーボデータが記録された磁気ディスクと、
前記磁気ディスクを回転させるスピンドルモータと、
磁気ヘッドを含むヘッド組立体が着脱される着脱機構を有し、前記磁気ディスクの外側に定められた旋回軸を中心に旋回可能な支持体と、
前記支持体を旋回駆動して、該支持体に装着された前記ヘッド組立体に含まれる前記磁気ヘッドを前記磁気ディスク上で略半径方向に移動させるボイスコイルモータと、
前記支持体に装着された前記ヘッド組立体に含まれる前記磁気ヘッドと電気的に接続され、前記磁気ヘッドに前記磁気ディスクからデータを再生させ又は前記磁気ディスクにデータを記録させる記録再生制御、および前記磁気ディスクから再生したデータに含まれる前記サーボデータに基づいて前記ボイスコイルモータを駆動する位置決め制御を実行可能な主回路部と、
を備える１または複数の検査モジュールを含み、且つ、
前記主回路部に対し、前記支持体に装着された前記ヘッド組立体に含まれる前記磁気ヘッドを、前記磁気ディスクの特定のトラック上に移動させる前記位置決め制御の実行、および当該特定のトラック上で、前記磁気ヘッドに、該磁気ヘッドの特性に関する検査のための所定の記録再生動作を行わせる前記記録再生制御の実行を指示する検査回路部を、前記１または複数の検査モジュールのそれぞれに対応して含む、
ことを特徴とする磁気ヘッド検査システム。
【請求項２】
前記ヘッド組立体を搬送し、前記支持体が有する前記着脱機構に着脱する搬送機構を更に含む、
ことを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッド検査システム。
【請求項３】
前記１または複数の検査モジュールにおいて、少なくとも前記磁気ディスク、前記スピンドルモータ、前記支持体および前記ボイスコイルモータが、モジュール基台上に設置されてなる、
ことを特徴とする請求項１または２に記載の磁気ヘッド検査システム。
【請求項４】
前記１または複数の検査モジュールにおいて、前記支持体は、モジュール基台上に設置された前記磁気ディスクの上側の面上に前記ヘッド組立体を支持する、
ことを特徴とする請求項１ないし３の何れかに記載の磁気ヘッド検査システム。
【請求項５】
前記１または複数の検査モジュールにおいて、
前記スピンドルモータは、流体軸受を含んで構成され、
前記支持体は、モジュール基台上に設置された前記磁気ディスクの上側の面上に前記ヘッド組立体を支持するものとされ、
前記支持体に装着される前記ヘッド組立体は、磁気ディスク装置に組付けられる場合に表裏の関係にある２つのディスク面の第１面側に配される第１面用ヘッド組立体および第２面側に配される第２面用ヘッド組立体の２種類のうち、前記スピンドルモータの回転方向および前記磁気ディスクの上側の面の条件により定まる１種類のみが対象とされる、
ことを特徴とする請求項１ないし４の何れかに記載の磁気ヘッド検査システム。
【請求項６】
前記検査回路部は、前記ヘッド組立体に含まれるスライダの幅よりも広い間隔で離れた複数のトラックの中から、前記特定のトラックとして使用するトラックを変更する、
ことを特徴とする請求項１ないし５の何れかに記載の磁気ヘッド検査システム。
【請求項７】
トラックの識別情報を含むサーボデータが記録された磁気ディスクと、
前記磁気ディスクを回転させるスピンドルモータと、
磁気ヘッドを含むヘッド組立体が着脱される着脱機構を有し、前記磁気ディスクの外側に定められた旋回軸を中心に旋回可能な支持体と、
前記支持体を旋回駆動して、該支持体に装着された前記ヘッド組立体に含まれる前記磁気ヘッドを前記磁気ディスク上で略半径方向に移動させるボイスコイルモータと、
前記支持体に装着された前記ヘッド組立体に含まれる前記磁気ヘッドと電気的に接続され、前記磁気ヘッドに前記磁気ディスクからデータを再生させ又は前記磁気ディスクにデータを記録させる記録再生制御、および前記磁気ディスクから再生したデータに含まれる前記サーボデータに基づいて前記ボイスコイルモータを駆動する位置決め制御を実行可能な主回路部と、
を備える１または複数の検査モジュールを用い、
前記１または複数の検査モジュールのそれぞれについて、前記支持体に前記ヘッド組立体を装着し、前記主回路部に対して、前記支持体に装着された前記ヘッド組立体に含まれる前記磁気ヘッドを、前記磁気ディスクの特定のトラック上に移動させる前記位置決め制御の実行、および当該特定のトラック上で、前記磁気ヘッドに、該磁気ヘッドの特性に関する検査のための所定の記録再生動作を行わせる前記記録再生制御の実行を指示する、
ことを特徴とする磁気ヘッドの検査方法。
【請求項８】
請求項７に記載の磁気ヘッドの検査方法を含むことを特徴とする磁気ディスク装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスクなどの磁気ディスク装置に適用される磁気ヘッドの検査を行う磁気ヘッド検査システム、磁気ヘッドの検査方法、および磁気ディスク装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ハードディスクなどの磁気ディスク装置に適用される磁気ヘッドは、磁気ディスク装置の品質および製造歩留まりを確保するため、良品を選別する必要がある。このため、磁気ヘッドは、ヘッドジンバルアッセンブリ（ＨＧＡ）と呼ばれる、磁気ヘッドおよびこれを保持する部品等で構成されるヘッド組立体に組込まれた状態で、磁気ヘッド検査装置に供されてその特性が検査される。この磁気ヘッド検査装置は、磁気ヘッドを磁気ディスク上に浮遊させた状態で、所定の記録再生動作を行わせることにより、磁気ヘッドの特性を検査する。
【０００３】
例えば、特許文献１には、ピエゾアクチュエータを用い、磁気ディスクに記録されたサーボ信号に基づいて、磁気ヘッドを磁気ディスク上に位置決めする磁気ヘッド検査装置が開示されている。なお、ここで言及されているサーボ信号は、磁気ヘッドとトラックの相対位置を求めるためのバースト信号である。
【特許文献１】特開２００６−２６８９５５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、簡易な構成で磁気ヘッドの検査を行うことが可能な磁気ヘッド検査システム、磁気ヘッドの検査方法、および磁気ディスク装置の製造方法を提供することをその目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するため、本発明の磁気ヘッド検査システムは、トラックの識別情報を含むサーボデータが記録された磁気ディスクと、前記磁気ディスクを回転させるスピンドルモータと、磁気ヘッドを含むヘッド組立体が着脱される着脱機構を有し、前記磁気ディスクの外側に定められた旋回軸を中心に旋回可能な支持体と、前記支持体を旋回駆動して、該支持体に装着された前記ヘッド組立体に含まれる前記磁気ヘッドを前記磁気ディスク上で略半径方向に移動させるボイスコイルモータと、前記支持体に装着された前記ヘッド組立体に含まれる前記磁気ヘッドと電気的に接続され、前記磁気ヘッドに前記磁気ディスクからデータを再生させ又は前記磁気ディスクにデータを記録させる記録再生制御、および前記磁気ディスクから再生したデータに含まれる前記サーボデータに基づいて前記ボイスコイルモータを駆動する位置決め制御を実行可能な主回路部と、を備える１または複数の検査モジュールを含み、且つ、前記主回路部に対し、前記支持体に装着された前記ヘッド組立体に含まれる前記磁気ヘッドを、前記磁気ディスクの特定のトラック上に移動させる前記位置決め制御の実行、および当該特定のトラック上で、前記磁気ヘッドに、該磁気ヘッドの特性に関する検査のための所定の記録再生動作を行わせる前記記録再生制御の実行を指示する検査回路部を、前記１または複数の検査モジュールのそれぞれに対応して含む、ことを特徴とする。
【０００６】
また、本発明の磁気ヘッド検査システムは、前記ヘッド組立体を搬送し、前記支持体が有する前記着脱機構に着脱する搬送機構を更に含む、ことを特徴とする。
【０００７】
また、前記１または複数の検査モジュールにおいて、少なくとも前記磁気ディスク、前記スピンドルモータ、前記支持体および前記ボイスコイルモータが、モジュール基台上に設置されてなる、ことを特徴とする。
【０００８】
また、前記１または複数の検査モジュールにおいて、前記支持体は、モジュール基台上に設置された前記磁気ディスクの上側の面上に前記ヘッド組立体を支持する、ことを特徴とする。
【０００９】
また、前記１または複数の検査モジュールにおいて、前記スピンドルモータは、流体軸受を含んで構成され、前記支持体は、モジュール基台上に設置された前記磁気ディスクの上側の面上に前記ヘッド組立体を支持するものとされ、前記支持体に装着される前記ヘッド組立体は、磁気ディスク装置に組付けられる場合に表裏の関係にある２つのディスク面の第１面側に配される第１面用ヘッド組立体および第２面側に配される第２面用ヘッド組立体の２種類のうち、前記スピンドルモータの回転方向および前記磁気ディスクの上側の面の条件により定まる１種類のみが対象とされる、ことを特徴とする。
【００１０】
また、前記検査回路部は、前記ヘッド組立体に含まれるスライダの幅よりも広い間隔で離れた複数のトラックの中から、前記特定のトラックとして使用するトラックを変更する、ことを特徴とする。
【００１１】
次に、本発明の磁気ヘッドの検査方法は、トラックの識別情報を含むサーボデータが記録された磁気ディスクと、前記磁気ディスクを回転させるスピンドルモータと、磁気ヘッドを含むヘッド組立体が着脱される着脱機構を有し、前記磁気ディスクの外側に定められた旋回軸を中心に旋回可能な支持体と、前記支持体を旋回駆動して、該支持体に装着された前記ヘッド組立体に含まれる前記磁気ヘッドを前記磁気ディスク上で略半径方向に移動させるボイスコイルモータと、前記支持体に装着された前記ヘッド組立体に含まれる前記磁気ヘッドと電気的に接続され、前記磁気ヘッドに前記磁気ディスクからデータを再生させ又は前記磁気ディスクにデータを記録させる記録再生制御、および前記磁気ディスクから再生したデータに含まれる前記サーボデータに基づいて前記ボイスコイルモータを駆動する位置決め制御を実行可能な主回路部と、を備える１または複数の検査モジュールを用い、前記１または複数の検査モジュールのそれぞれについて、前記支持体に前記ヘッド組立体を装着し、前記主回路部に対して、前記支持体に装着された前記ヘッド組立体に含まれる前記磁気ヘッドを、前記磁気ディスクの特定のトラック上に移動させる前記位置決め制御の実行、および当該特定のトラック上で、前記磁気ヘッドに、該磁気ヘッドの特性に関する検査のための所定の記録再生動作を行わせる前記記録再生制御の実行を指示する、ことを特徴とする。
【００１２】
次に、本発明の磁気ディスク装置の製造方法は、上記磁気ヘッドの検査方法を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
上記本発明によれば、磁気ディスク装置と同様の簡易な構成により、磁気ディスクの特定のトラック上に磁気ヘッドを移動させ、この特定のトラック上で磁気ヘッドに所定の記録再生動作を行わせて、磁気ヘッドの検査を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
【００１５】
図１に、本発明に係る磁気ヘッド検査システムの一実施形態の構成例を示す。磁気ヘッド検査システムは、ホストコンピュータ１を中心に構成されている。このホストコンピュータ１には、ヘッド組立体が装着されて磁気ヘッドの検査を行う複数のモジュール検査セット２が、中継ハブ３を介して接続されている。ヘッド組立体は、磁気ヘッドおよびこれを保持する部品等が組み立てられたものであり、ヘッドジンバルアッセンブリ（ＨＧＡ）と呼ばれる。モジュール検査セット２およびヘッド組立体の構成については、後に詳しく述べる。
【００１６】
ホストコンピュータ１は、各モジュール検査セット２に磁気ヘッドの検査を指示する。この指示を受けた各モジュール検査セット２は、磁気ヘッドの検査を実施し、検査が終了すると、検査終了の通知とともに検査結果をホストコンピュータ１へ送信する。
【００１７】
また、ホストコンピュータ１には、ヘッド組立体を搬送してモジュール検査セット２に装着する自動搬送系４と、ヘッド組立体に付されているシリアル番号を読み取るシリアルリーダー５と、モジュール検査セット２に含まれる検査モジュールに付されているＩＤを読み取るモジュールＩＤリーダー６とが接続されている。ホストコンピュータ１は、これら自動搬送系４、シリアルリーダー５およびモジュールＩＤリーダー６を制御して、所定の動作を行わせる。また、ホストコンピュータ１は、シリアルリーダー５に読み取らせたヘッド組立体のシリアル番号、およびモジュールＩＤリーダー６に読み取らせた検査モジュールのＩＤを取得する。
【００１８】
また、ホストコンピュータ１には、ヘッド組立体のロット情報およびこのロット情報に対応づけられる検査条件を格納するロット制御サーバー７と、ヘッド組立体の検査結果が格納されるデータベースサーバー８とが接続されている。ホストコンピュータ１は、ロット制御サーバー７から、指定されたヘッド組立体に対応づけられている検査条件を読み出し、各モジュール検査セット２に読み出した検査条件を設定する。また、ホストコンピュータ１は、各モジュール検査セット２から受信した検査結果を、ヘッド組立体のシリアル番号等の情報と対応づけてデータベースサーバー８に格納する。
【００１９】
図２に、磁気ヘッド検査システムの一部で構成される検査ステージ１１の構成例を示す。検査ステージ１１上には、複数の検査モジュール１２が配置されている。これら複数の検査モジュール１２は、上記複数のモジュール検査セット２にそれぞれ含まれる構成である。各検査モジュール１２は、ヘッド組立体が着脱される着脱機構を有するキャリッジや、磁気ディスク、スピンドルモータ、ボイスコイルモータなどを備えている。検査モジュール１２の構成については、後に詳しく述べる。
【００２０】
また、検査ステージ１１上には、検査前のヘッド組立体が載せられる供給トレイ１４と、検査後のヘッド組立体が載せられる選別トレイ１５とが配置されている。選別トレイ１５は、等級ごとに区別されており、検査後のヘッド組立体が検査結果に応じて仕分けられる。
【００２１】
また、検査ステージ１１には、自動搬送系４が設置されている。自動搬送系４は、Ｘ軸レール１７と、Ｙ軸レール１８と、ピックアップ機構１９とを備えている。Ｘ軸レール１７およびＹ軸レール１８は、それぞれリニアモータを含んで構成されており、ピックアップ機構１９を検査ステージ１１上でステージ面と平行な面内に移動させることができる。ピックアップ機構１９は、検査ステージ１１のステージ面と垂直な上下方向に移動することができ、またヘッド組立体を保持することができる。
【００２２】
これにより、自動搬送系４は、供給トレイ１４からヘッド組立体を取り出し、検査モジュール１２の位置まで移動させ、検査モジュール１２の着脱機構に装着することができる。また、自動搬送系４は、検査モジュール１２の着脱機構に装着されているヘッド組立体を取り外し、選別トレイ１５の位置まで移動させ、選別トレイ１５に載せることができる。
【００２３】
また、Ｘ軸レール１７における供給トレイ１４と検査モジュール１２の間の位置には、シリアルリーダー５が取付けられており、供給トレイ１４から検査モジュール１２へ搬送されるヘッド組立体のシリアル番号が読み取られる。
【００２４】
図３に、モジュール検査セット２の構成例を示す。モジュール検査セット２は、検査モジュール１２および検査回路部２１を含んでいる。また、この検査モジュール１２は、磁気ディスク２３と、スピンドルモータ２４と、支持体としてのキャリッジ２５と、ボイスコイルモータ２６と、主回路部２７とを含んで構成されており、これらがモジュール基台３０上に設置されている。なお、同図は、モジュール基台３０の台面を上方から見た図を表す。
【００２５】
磁気ディスク２３は、ディスク回転中心を中心として同心円状に広がる複数のトラックが表面に形成されており、各トラックには、所定の間隔でサーボデータが記録されている。サーボデータには、サーボマーク、トラックデータ、セクタデータおよびバースト信号が含まれる。このうち、トラックデータは、磁気ディスク２３の表面に形成された複数のトラックの中からトラックを識別するための識別情報であり、複数のトラックに通しで付されたトラック番号を表す。また、バースト信号は、磁気ヘッドとトラックの相対位置を求めるための信号である。このような磁気ディスク２３は、例えば製品の磁気ディスク装置に適用される磁気ディスクと同様のものを適用することができる。
【００２６】
スピンドルモータ２４は、磁気ディスク２３が取付けられており、主回路部２７に駆動されて磁気ディスク２３を回転させる。このスピンドルモータ２４は、例えばＤＣブラシレスモータなどで構成される。スピンドルモータ２４は、モジュール基台３０に固定されており、磁気ディスク２３の一方の面がモジュール基台３０の台面と対向するように磁気ディスク２３を支持している。ここで、磁気ディスク２３の表裏の関係にある２つの面は、モジュール基台３０の台面と対向する面を下側の面、それとは反対の面（同図に表れている面）を上側の面とする。このようなスピンドルモータ２４は、例えば製品の磁気ディスク装置に適用されるスピンドルモータと同様のものを適用することができる。
【００２７】
また、スピンドルモータ２４は、流体軸受を含んで構成されている。このため、スピンドルモータ２４は、流体軸受の軸受面に形成されている溝の形状等によって、回転方向が一方向に制限される。
【００２８】
キャリッジ２５は、中央に挿通孔を有しており、モジュール基台３０上の磁気ディスク２３の傍らに固定された軸受ユニット３２がこの挿通孔に挿通されて、旋回可能に支持されている。ここで、キャリッジ２５の旋回軸は、軸受ユニット３２により定められ、磁気ディスク２３の面内方向の外側で、スピンドルモータ２４の回転軸に平行とされている。
【００２９】
キャリッジ２５の一方の側には、平板状のアーム３３が、旋回軸から離間する方向に向かって延設されている。アーム３３の先端部には、ヘッド組立体４０を着脱可能な着脱機構３４が設けられている。また、このアーム３３は、磁気ディスク２３の上側の面上を旋回するように設けられており、これにより、着脱機構３４に装着されるヘッド組立体４０は、磁気ディスク２３の上側の面上に支持される。ヘッド組立体４０および着脱機構３４の構成については、後に詳しく述べる。
【００３０】
また、磁気ディスク２３の傍らには、アーム３３の退避エリア４５が設けられている。ヘッド組立体４０は、アーム３３が退避エリア４５に退避した状態のときに、この退避エリア４５でアーム３３の着脱機構３４に着脱される。
【００３１】
キャリッジ２５のアーム３３の側とは反対の側には、コイルが巻設された支持フレーム（図示せず）が設けられている。このコイルは、ボイスコイルモータ２６の一部を構成するものである。
【００３２】
キャリッジ２５の側面には、主回路部２７と接続された図示しないフレキシブル基板（ＦＰＣ：Flexible Printed Circuits）が取付けられている。このフレキシブル基板は、ヘッド組立体４０に含まれる磁気ヘッドに電気的に接続される配線や、ボイスコイルモータ２６のコイルに電気的に接続される配線を含んでいる。
【００３３】
ボイスコイルモータ２６は、主回路部２７に駆動されてキャリッジ２５を旋回させる。このボイスコイルモータ２６は、モジュール基台３０に固定された上下一対の磁石の間の空隙に、上記キャリッジ２５の一方の側に設けられたコイルが配されている。ボイスコイルモータ２６は、キャリッジ２５を旋回させることで、着脱機構３４に装着されたヘッド組立体４０に含まれる磁気ヘッドを、磁気ディスク２３の上側の面上で略半径方向に移動させる。このようなボイスコイルモータ２６は、例えば製品の磁気ディスク装置に適用されるボイスコイルモータと同様のものを適用することができる。
【００３４】
図４に、ヘッド組立体４０および着脱機構３４の構成例を示す。同図は、アーム３３の先端部分を上方から見た図を表す。
【００３５】
ヘッド組立体４０は、中央にカシメ孔を有するプレート５１と、このプレート５１から一方向に延設されたサスペンション５３と、このサスペンション５３の先端部分に形成された保持部５５とを備える。保持部５５の下面には、磁気ヘッドが取付けられたスライダがジンバルにより固定されている（図示せず）。また、磁気ヘッドにはヘッド配線が接続されており、このヘッド配線は、プレート５１の下面まで配設されている。また、スライダは、空気の粘性によって浮上力を発生させる形状（ＡＢＳ：Air Bearing Surface）が施されている。
【００３６】
アーム３３の先端部分に設けられた着脱機構３４は、下方から上方へ延出した板バネ６１と、この板バネ６１よりもキャリッジ２５の旋回軸側（後側）に位置するストッパー６３とを、アーム３３の上面に有する。この板バネ６１が、ヘッド組立体４０のプレート５１のカシメ孔に挿通され、カシメ孔の内周を後側に付勢することにより、プレート５１がストッパー６３に押しつけられて、ヘッド組立体４０が固定される。ヘッド組立体４０は、上記自動搬送系４のピックアップ機構１９により、上方から下方へ押し込まれて着脱機構３４に嵌め合わされる。また、ヘッド組立体４０は、着脱機構３４に嵌め合わされた状態から、下方から上方へ引き上げられて取り外される。この場合、ヘッド組立体４０の着脱時に板バネ６１による付勢を解除する構成を設けることが好適である。なお、着脱機構３４の構成は、ヘッド組立体４０の着脱が可能であれば、ここで説明した構成に限定されない。
【００３７】
また、アーム３３の先端部分には、ヘッド組立体４０のプレート５１に覆われる位置に、磁気ヘッドに接続されたヘッド配線との電気的接続を取るためのコネクターが設けられている（図示せず）。このコネクターは、上記フレキシブル基板に接続されてアーム３３の側部に配設されたキャリッジ配線６５と接続されている。これにより、ヘッド組立体４０に含まれる磁気ヘッドは、主回路部２７と電気的に接続される。
【００３８】
図３の説明に戻り、主回路部２７は、製品の磁気ディスク装置に適用される回路構成と同様の回路構成を含んでいる。すなわち、主回路部２７は、マイクロプロセッシングユニット（ＭＰＵ）、ハードディスクコントローラ（ＨＤＣ）、リードライトチャネル（Ｒ／Ｗチャネル）、モータドライバおよびヘッドアンプを含んでいる。なお、ヘッドアンプは、キャリッジ２５の側面に取付けられているフレキシブル基板に実装されていてもよい。また、主回路部２７は、ＭＰＵに読み出されて、製品の磁気ディスク装置としての種々の制御を実行可能なプログラムを格納したメモリを含んでいる。これにより、主回路部２７は、モジュール基台３０に設置されたスピンドルモータ２４、ボイスコイルモータ２６、およびキャリッジ２５に装着されたヘッド組立体４０に含まれる磁気ヘッドを、製品の磁気ディスク装置と同様に制御することができる。
【００３９】
ここで、磁気ヘッドの検査には、主回路部２７により実現する、製品の磁気ディスク装置としての種々の制御のうち、記録再生制御および位置決め制御が主に利用される。
【００４０】
記録再生制御において、主回路部２７は、上位構成である検査回路部２１から入力された記録データを、符号化などの所定の処理を施した上で、磁気ヘッドに出力し、磁気ヘッドから磁気ディスク２３に記録させる記録動作と、磁気ヘッドが磁気ディスク２３から再生した再生データを、復号化などの所定の処理を施した上で、上位構成である検査回路部２１に出力する再生動作とを行うことができる。
【００４１】
位置決め制御において、主回路部２７は、磁気ヘッドが磁気ディスク２３から再生した再生データに含まれるサーボデータから、磁気ディスク２３上での磁気ヘッドの現在位置を求め、上位構成である検査回路部２１から供給される目標位置との差分から位置誤差信号（ＰＥＳ）を生成し、このＰＥＳに応じてボイスコイルモータ２６を駆動するシーク動作および位置決め動作を行うことができる。
【００４２】
なお、本実施形態では、主回路部２７として、製品の磁気ディスク装置に適用される回路構成を流用しているが、これに限らず、磁気ヘッドの検査に利用される記録再生制御および位置決め制御を実行可能な回路構成を組むようにしてもよい。
【００４３】
検査回路部２１は、主回路部２７に対して記録再生制御および位置決め制御の実行を指示して、磁気ヘッドの特性に関する所定の検査を実施させる。この検査回路部２１は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ等を含むコンピュータとして構成されており、ＲＯＭ等の記憶部には、検査回路部２１としての機能を実現するためのプログラムが格納されている。
【００４４】
具体的には、検査回路部２１は、主回路部２７に対し、磁気ヘッドの目標位置を指定して、位置決め制御の実行を指示する。ここでは、磁気ディスク２３に形成された複数のトラックのうち一つのトラックを検査実施トラックとして、この検査実施トラックの位置を表すトラック番号を磁気ヘッドの目標位置として指定する。指示を受けた主回路部２７は、検査実施トラックの位置を磁気ヘッドの目標位置としたＰＥＳを生成し、このＰＥＳに応じてボイスコイルモータ２６を駆動することで、キャリッジ２５に装着されたヘッド組立体４０に含まれる磁気ヘッドを、磁気ディスク２３の検査実施トラック上までシークさせ、検査実施トラック上に位置決めさせる。また、以下に説明する検査項目によっては、ＰＥＳに一定値を加算させて、検査実施トラック上のトラック中心から一定量ずれた位置に磁気ヘッドを位置決めさせることもできる。
【００４５】
また、検査回路部２１は、主回路部２７に対し、所定の記録再生動作を行わせる記録再生制御の実行を指示する。ここで行われる記録再生動作は、磁気ヘッドの記録再生特性に関する検査のための記録再生動作であり、検査項目には、例えば、高周波出力、低周波出力、分解能、出力変動、出力非対称性、オーバーライト、非線形遷移シフト、磁気書込み幅、磁気読出し幅、磁気コア幅、ヘッドノイズおよびビットエラーレートなどがある。また、これらの検査項目の詳細な条件は、ホストコンピュータ１から受信する検査条件によって与えられる。そして、指示を受けた主回路部２７は、検査実施トラックに対してこれらの検査項目を検査するための記録再生動作を行う。この記録再生動作には、例えば、磁気ヘッドから出力される記録信号の周波数や強度などを変調させて記録させる記録動作や、トラック中心から一定量ずれた位置で信号を再生させる再生動作や、記録動作と再生動作を所定回数繰り返して行わせる動作などがある。検査回路部２１は、これらの記録再生動作に伴って主回路部２７から出力されるデータを取得し、各検査項目の検査結果を生成する。
【００４６】
磁気ヘッドの検査項目のうち、ビットエラーレートについては、製品の磁気ディスク装置に適用される構成を含んだ検査モジュール１２を用いて検査を行うことにより、製品の磁気ディスク装置により近い環境で検査を行うことができるという利点がある。すなわち、ビットエラーの発生には、磁気ヘッドの記録再生特性のみならず、主回路部２７におけるデータを伝送する構成等の他の構成の特性なども絡んでくることから、製品の磁気ディスク装置に適用される構成を含んだ検査モジュール１２を用いて検査を行うことで、実際にヘッド組立体４０を製品の磁気ディスク装置に組込んだ場合のビットエラーレートを見積もることができ、これにより、ヘッド組立体４０のビットエラーレートに関する良否を、製品の磁気ディスク装置に組込む前に判定することができる。
【００４７】
なお、磁気ヘッドには、ヒータが埋め込まれ、このヒータの加熱によって浮上高さを調整可能なタイプのものがあるが、このような磁気ヘッドを含むヘッド組立体４０を検査に供する場合には、主回路部２７を、磁気ヘッドの浮上高さを調整する制御を実行可能な回路構成を含むものとして、検査回路部２１がこの制御の実行を指示するようにすればよい。
【００４８】
以下、上記図１ないし図４を用いて説明した磁気ヘッド検査システムにより実現される、本発明に係る磁気ヘッドの検査方法の一実施形態の流れについて説明する。図５に、この流れを表すフローチャートを示す。
【００４９】
Ｓ１において、ホストコンピュータ１は、検査ステージ１１上に配置される各検査モジュール１２のモジュールＩＤを、モジュールＩＤリーダー６により読み取る。なお、検査モジュール１２に搭載されている磁気ディスク２３は、予めその磁気記録特性が測定されており、ホストコンピュータ１には、この磁気記録特性がモジュール補正因子として、予め検査モジュール１２のモジュールＩＤと対応づけて記憶されている。モジュールＩＤが読み取られることにより、検査ステージ１１上に配置される検査モジュール１２のモジュール補正因子が特定される。
【００５０】
Ｓ２において、ホストコンピュータ１は、検査に供されるヘッド組立体４０のロット情報が指定されると、ロット制御サーバー７から、このロット情報に対応づけられている検査条件を読み出して、各検査回路部２１に読み出した検査条件を設定する。
【００５１】
Ｓ３において、ホストコンピュータ１は、自動搬送系４に、供給トレイ１４に載せられているヘッド組立体４０を検査モジュール１２へ搬送するように指示する。指示を受けた自動搬送系４は、ヘッド組立体４０を供給トレイ１４から検査モジュール１２へ搬送し、検査モジュール１２に設置されたキャリッジ２５の着脱機構３４に装着させる。また、ホストコンピュータ１は、ヘッド組立体４０の搬送中に、シリアルリーダー５に、ヘッド組立体４０に付されているシリアル番号を読み取らせる。
【００５２】
Ｓ４において、ホストコンピュータ１は、ヘッド組立体４０が装着された検査モジュール１２に対応する検査回路部２１に検査の開始を指示する。指示を受けた検査回路部２１は、検査モジュール１２の主回路部２７に、磁気ヘッドを検査実施トラック上に移動させ、磁気ヘッドに所定の記録再生動作を行わせることによって、磁気ヘッドの検査を実施する。検査が終了すると、検査回路部２１は、検査終了の通知とともに検査結果をホストコンピュータ１へ送信する。
【００５３】
Ｓ５において、ホストコンピュータ１は、検査モジュール１２から受信した検査結果を、この検査モジュール１２のモジュールＩＤと対応づけて記憶されているモジュール補正因子に基づいて補正する。
【００５４】
Ｓ６において、ホストコンピュータ１は、補正された検査結果に応じて、自動搬送系４に、ヘッド組立体４０を該当する等級の選別トレイ１５へ搬送するように指示する。指示を受けた自動搬送系４は、着脱機構３４に装着されているヘッド組立体４０を取り外し、検査モジュール１２から該当する等級の選別トレイ１５へ搬送する。
【００５５】
Ｓ７において、ホストコンピュータ１は、補正された検査結果を、シリアル番号などのヘッド組立体４０に関する情報や、モジュールＩＤなどの検査に関する情報とともに、データベースサーバー８に格納する。
【００５６】
なお、Ｓ３ないしＳ７のステップは、複数の検査モジュール１２で並行して実施される。すなわち、ホストコンピュータ１は、複数の検査モジュール１２に対して順にヘッド組立体４０を装着させ、磁気ヘッドの検査を指示していくことで（Ｓ３，Ｓ４）、複数の検査モジュール１２で磁気ヘッドの検査を並行して実施させる。そして、検査が終了した検査モジュール１２から順に、検査結果の補正およびヘッド組立体４０の取り外し等を行い（Ｓ５〜Ｓ７）、新たなヘッド組立体４０を装着させて、磁気ヘッドの検査を指示していく。
【００５７】
以上に説明した磁気ヘッド検査システムによれば、製品の磁気ディスク装置に適用される構成と同様の簡易な構成の検査モジュール１２によって、磁気ヘッドの検査を行うことができる。また、検査モジュール１２を複数配置し、磁気ヘッドの検査を並行して実施させることによって、磁気ヘッドの検査の処理能力を向上させることができる。
【００５８】
また、磁気ディスク２３、スピンドルモータ２４、キャリッジ２５、ボイスコイルモータ２６および主回路部２７をモジュール基台３０上に設置して、検査モジュール１２とすることで、検査に供されるヘッド組立体４０の種類が変更される場合であっても、検査モジュール１２を対応するものに取り替えるだけで済み、磁気ヘッド検査システムの他の構成を変更する必要がないので、検査に供されるヘッド組立体４０の種類の変更にも迅速かつ容易に対応することができる。
【００５９】
また、検査モジュール１２において、ヘッド組立体４０は、キャリッジ２５のアーム３３の上面に設けられた着脱機構３４に装着され、磁気ディスク２３の上側の面上に支持されるので、自動搬送系４により検査モジュール１２上からヘッド組立体４０を着脱することが容易となる。
【００６０】
また、検査モジュール１２を、製品の磁気ディスク装置に適用される構成と同様の簡易な構成とすることによって、従来の磁気ヘッド検査装置と比して、装置の小型化および低コスト化を図ることができる。
【００６１】
また、自動搬送系４によって、検査モジュール１２に設置されたキャリッジ２５の着脱機構３４にヘッド組立体４０を着脱するので、磁気ヘッドの検査の処理能力を向上させることができるとともに、手作業による着脱の場合に起こり得る電気的ダメージなどの問題を解消することができる。
【００６２】
次に、ヘッド組立体４０の種類について説明する。ヘッド組立体４０は、磁気ディスク装置に組付けられる場合に磁気ディスクの表裏の関係にある２つのディスク面（以下、上面と下面という）のうち、上面側に配される上面用ヘッド組立体と、下面側に配される下面用ヘッド組立体との２種類に分類される。この２種類は、磁気ヘッドが取付けられるスライダのＡＢＳ形状が異なっており、その他の構成は共通する。すなわち、回転する磁気ディスクの上面にスライダを配した場合と、下面にスライダを配した場合とでは、スライダが受ける空気の流れが異なるため、上面用ヘッド組立体に含まれるスライダのＡＢＳ形状と、下面用ヘッド組立体に含まれるスライダのＡＢＳ形状とでは対称を為す形状となっている。
【００６３】
従って、上記図３に示した検査モジュール１２において、自動搬送系４によるヘッド組立体４０の着脱を容易とするために、キャリッジ２５によりヘッド組立体４０を磁気ディスク２３の上側の面上に支持させようとする場合、上面用ヘッド組立体および下面用ヘッド組立体の両者を同じ構成に適用できない。これは、検査モジュール１２では、磁気ディスク２３を回転させるスピンドルモータ２４の回転方向が一方向に制限されること、およびキャリッジ２５のアーム３３が、磁気ディスク２３の回転方向の上流側から下流側へ向けた方向に延設されることから、上面用ヘッド組立体および下面用ヘッド組立体の両者を同じ構成に適用しようとすると、一方が正常に浮上しなくなるためである。
【００６４】
そこで、図６に示すように、磁気ディスク２３の上側の面上に上面用ヘッド組立体を支持させる検査モジュール１２の構成と、下面用ヘッド組立体を支持させる検査モジュール１２の構成とは異なったものとする必要がある。ここで、同図は、上記図３と同様に、モジュール基台３０の台面を上方から見た図を表し、磁気ディスク２３の図に表れている面を上側の面とする。同図（Ａ）に示す上面用ヘッド組立体４０Ａが適用される構成と、同図（Ｂ）に示す下面用ヘッド組立体４０Ｂが適用される構成とでは、磁気ディスク２３を回転させるスピンドルモータ２４の回転方向が逆向きとなり、またこれに伴って、キャリッジ２５およびボイスコイルモータ２６の配置の位置や向きが異なったものとなる。
【００６５】
このように、検査モジュール１２では、ヘッド組立体４０を磁気ディスク２３の上側の面上に支持させる場合、２種類のヘッド組立体４０（上面用ヘッド組立体４０Ａ、下面用ヘッド組立体４０Ｂ）のうち、磁気ディスク２３を回転させるスピンドルモータ２４の回転方向により定まる１種類のみが適用対象となる。
【００６６】
さらに、本実施形態では、磁気ヘッド検査システムに含まれ、検査ステージ１１上に配置される全ての検査モジュール１２を、一方の種類のヘッド組立体４０が適用対象とされた構成に統一することが好適である。このように、磁気ヘッド検査システムを、一方の種類のヘッド組立体４０を検査するものとして特化することで、検査ステージ１１上に２種類のヘッド組立体４０が混在することがないことから、ホストコンピュータ１指示系統や検査ステージ１１上の配置などを簡易化することができる。
【００６７】
次に、検査回路部２１の機能の一例について説明する。検査回路部２１は、図７に示すように、磁気ディスク２３において所定間隔で離れた複数のトラック７１，７２の中で、検査実施トラックとして使用するトラックを変更する。ここで、検査実施トラックの候補とされる複数のトラック７１，７２の間隔は、ヘッド組立体４０に含まれるスライダの幅よりも広い間隔とすることができる。
【００６８】
磁気ディスク２３には、通常、その表面にフッ素系の潤滑剤が潤滑膜として塗布されており、磁気ディスク２３の１つのトラック上にヘッド組立体４０の磁気ヘッドが位置決めされ続けると、ヘッド組立体４０のスライダによる風圧の影響で、そのトラック付近の潤滑膜が脇に退かされて膜厚が減少してしまい、磁気ディスク２３にスライダが衝突してしまう虞がある。そこで、上記のように複数のトラック７１，７２の中で検査実施トラックを変更することで、磁気ディスク２３の使用可能期間を延ばすことが可能となる。
【００６９】
検査実施トラックの変更は、例えば、検査実施トラックの候補とされる複数のトラック７１，７２を検査実施トラックとして交互に使用するようにすることができる。この場合、一方のトラックを使用している間に、他方のトラックの潤滑膜が回復する時間を確保できる。また、複数のトラック７１，７２を検査実施トラックとして順に使用していくようにしてもよい。
【００７０】
検査実施トラックを変更するタイミングは、所定数のヘッド組立体４０の検査が完了する毎とすることができる。また、ヘッド組立体４０に対して実施される一連の検査の中で所定数の検査項目が完了する毎としてもよい。
【００７１】
また、検査実施トラックを変更するタイミングは、主回路部２７から出力されるデータによって得られる検査結果から、異常を検知した場合としてもよい。検査結果の異常は、例えば、検査項目の１つであるビットエラーレートの検査結果において、ビットエラーが急激に増加したり、特定箇所に集中した場合、磁気ディスク２３にスライダが衝突していると推測されることから、このような場合に判断することができる。なお、ここでは、検査実施トラックの変更を、複数のトラック７１，７２を検査実施トラックとして順に使用していくことが好適である。
【００７２】
なお、検査回路部２１による検査実施トラックの変更は、主回路部２７に目標位置として指定するトラック番号を、新たな検査実施トラックのトラック番号に変更することによって行うことができる。目標位置が変更された主回路部２７は、磁気ヘッドを新たな検査実施トラック上までシークさせて、位置決めする。
【００７３】
次に、本発明に係る磁気ディスク装置の製造方法の一実施形態について説明する。図８に、製造方法のフローチャートを示す。本実施形態の磁気ディスク装置の製造方法は、ステップＳ１４の検査工程に、上述の磁気ヘッド検査システムにより実現する磁気ヘッドの検査方法を含んでいる。
【００７４】
磁気ディスク装置の製造方法は、磁気ヘッドを構成する記録素子および再生素子をウェーハ上に形成するウェーハ工程（Ｓ１１）と、このウェーハからバーを切り出し、研磨、洗浄、保護膜形成、ＡＢＳ形状の加工を行って、磁気ヘッドと一体化されたスライダを得るスライダ工程（Ｓ１２）と、このスライダをサスペンションに取付け、ヘッド配線を設けて、上記ヘッド組立体としてのＨＧＡを得るＨＧＡ工程（Ｓ１３）と、上述の磁気ヘッド検査システムを用いてＨＧＡを検査し、良品を選別する検査工程（Ｓ１４）と、選別されたＨＧＡをキャリッジに取付けて、ヘッドスタックアッセンブリ（ＨＳＡ）を得るＨＳＡ工程（Ｓ１５）と、このＨＳＡを、磁気ディスクなどとともに筐体に組込み、主回路部が形成された回路基板を筐体に取付けて、磁気ディスク装置を得るＨＤＤ工程（Ｓ１６）とを含んでいる。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】本発明に係る磁気ヘッド検査システムの一実施形態の構成例を示す図である。
【図２】検査ステージの構成例を示す図である。
【図３】モジュール検査セットの構成例を示す図である。
【図４】ヘッド組立体および着脱機構の構成例を示す図である。
【図５】本発明に係る磁気ヘッドの検査方法の一実施形態の流れを表すフローチャートである。
【図６】ヘッド組立体の種類の説明図である。
【図７】磁気ヘッドが位置決めされるトラックの説明図である。
【図８】磁気ディスク装置の製造工程を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００７６】
１  ホストコンピュータ、２  モジュール検査セット、３  中継ハブ、４  自動搬送系、５  シリアルリーダー、６  モジュールＩＤリーダー、７  ロット制御サーバー、８  データベースサーバー、１１  検査ステージ、１２  検査モジュール、１４  供給トレイ、１５  選別トレイ、１７  Ｘ軸レール、１８  Ｙ軸レール、１９  ピックアップ機構、２１  検査回路部、２３  磁気ディスク、２４  スピンドルモータ、２５  キャリッジ（支持体）、２６  ボイスコイルモータ、２７  主回路部、３０  モジュール基台、３２  軸受ユニット、３３  アーム、３４  着脱機構、４０  ヘッド組立体、４５  退避エリア、５１  プレート、５３  サスペンション、５５  保持部、６１  板バネ、６３  ストッパー、６５  キャリッジ配線、７１，７２  トラック。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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