(57)【要約】      （修正有）【課題】装置の厚みを増すことなく放熱問題に対応可能な、半導体構成体を絶縁層中に内蔵した半導体装置及びその製造方法を提供する。【解決手段】半導体装置Ｐ１は、半導体構成体４の下部に金属層３が、半導体構成体４の側方に位置する絶縁層２の底面と面一となるように配置されている。半導体装置Ｐ１の製造においては、穴が形成された絶縁層２に、当該穴に対応する凸部を備えた金属板を積層する工程と、当該金属板を除去してその凸部の一部を半導体構成体４埋め込み用凹部の底部となる金属層３として残存せしめる工程と、絶縁層２と金属層３とによって形成された半導体構成体４埋め込み用凹部に半導体構成体４を実装する工程とを有している。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体構成体を絶縁層中に内蔵し当該半導体構成体の上層に少なくとも１層以上の絶縁層と再配線層を備えた半導体装置であって、当該半導体構成体の下部に金属層が、当該半導体構成体の側方に位置する絶縁層の底面と面一となるように配置されていることを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
前記金属層が、銅、ニッケル又はニッケル合金から成ることを特徴とする請求項１記載の半導体装置。
【請求項３】
前記金属層が、放熱用ビアに接続されていることを特徴とする請求項１又は２記載の半導体装置。
【請求項４】
半導体構成体を絶縁層中に内蔵し当該半導体構成体の上層に少なくとも１層以上の絶縁層と再配線層を備えた半導体装置の製造方法であって、穴が形成された絶縁層に、当該穴に対応する凸部を備えた金属板を積層する工程と、当該金属板を除去してその凸部の一部を半導体構成体埋め込み用凹部の底部となる金属層として残存せしめる工程と、当該絶縁層と金属層とによって形成された半導体構成体埋め込み用凹部に半導体構成体を実装する工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項５】
前記金属板の除去をエッチングにより行なうことを特徴とする請求項４記載の半導体装置の製造方法。
【請求項６】
前記金属板が、その凸部の先端部を形成する第一の金属層と、それ以外の部分を形成する当該第一の金属層とはエッチング条件が異なる第二の金属層とを有していることを特徴とする請求項４又は５記載の半導体装置の製造方法。
【請求項７】
前記第一の金属層と前記第二の金属層の何れか一方が銅であり、他方がニッケル又はニッケル合金から成ることを特徴とする請求項６記載の半導体装置の製造方法。
【請求項８】
更に、放熱用ビアを形成し、前記金属層に接続せしめる工程を有することを特徴とする請求項４〜７の何れか１項記載の半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、電子機器に搭載される半導体装置として、ＣＳＰ（ｃｈｉｐ  ｓｉｚｅ  ｐａｃｋａｇｅ）と呼ばれる半導体装置が使用され、近年の機器の軽薄短小化に対応している。
【０００３】
ＣＳＰは、複数の外部接続用の接続パッドが形成されたベアチップの上面にパッシベーション膜（中間絶縁膜）を設け、当該パッシベーション膜の各接続パッドの対応部に開口部を形成し、当該開口部を介して各接続パッドに接続される再配線を形成し、各再配線の他端部側に柱状の外部接続用電極を形成すると共に、各外部接続用電極間に封止材を充填したものである。
【０００４】
前記ＣＳＰは、各柱状の外部接続用電極上に半田ボールを形成することにより接続端子を有する回路基板にフェイスダウン方式でボンディングすることができ、実装面積を略ベアチップと同一のサイズとすることが可能となるため、従来のワイヤーボンディング等を用いたフェイスアップ方式に比して電子機器を大幅に小型化することが可能となる。
【０００５】
前記ＣＳＰの生産性を高めるために、ウエハ状態の半導体基板にパッシベーション膜、再配線、外部接続用電極、及び封止材を形成し、更に、封止材で覆われずに露出した外部接続用電極の上面に半田ボールを設けた後、ダイシングラインで切断する方法が報告されている（例えば特許文献１参照）。
【０００６】
ところが、前記従来の半導体装置では、集積化が進み外部接続用電極の数が増加すると、当該外部接続用電極のサイズ及びピッチが極端に小さくなり、回路基板との位置合わせ難易度の上昇、接合強度の低下、電極間の短絡等の問題発生に加え、通常はシリコン基板からなる半導体基板と、通常は有機基板からなる回路基板の線膨張係数の差に起因して発生する応力による外部接続用電極の破壊等の致命的な問題が発生する場合もある。
【０００７】
そこで、ウエハーレベルのＣＳＰをフェイスアップ方式としながらもワイヤーボンディングを用いずに回路基板と接続する方法も報告されている（例えば特許文献２参照）。
【０００８】
前記ウエハーレベルのＣＳＰをフェイスアップ方式としながらもワイヤーボンディングを用いずに回路基板と接続する方法を用いて製造された半導体装置とは、例えば図６に示す半導体装置Ｐ９のように、支持体１１９上に半導体構成体４を実装し埋め込み層を形成した後、再配線用ビア１１５とマザーボードに対応した位置に設置された再配線パッド１１８を接続した再配線層を備えたものである。
【０００９】
ここで、半導体構成体４は、シリコン基板７の上面に複数の外部接続用電極５が設けられていると共に、前記外部接続用電極５の側面に封止材６が形成されているものであり、以降本明細書で用いる半導体構成体とは、基本的に当該構成の半導体構成体を示すものとする。
【００１０】
ところが、前記ウエハーレベルのＣＳＰをフェイスアップ方式としながらもワイヤーボンディングを用いずに回路基板と接続する方法を用いて製造された半導体装置は、半導体構成体をプレイスメント（配置）する支持体となる層が、通常、製造工程中の搬送性を得るためのある程度の剛性を持った厚みが必要となる結果、昨今の高まる薄型化の要求に対応しきれないという場合がある。
【００１１】
そこで、ＣＳＰを埋め込む絶縁層に凹部を形成し、当該凹部に直接実装することで薄型化を狙った方法も報告されている（例えば特許文献３参照）。
【００１２】
しかし、前記凹部に直接実装する方法は、埋め込まれたＣＳＰから発生する熱を発散する能力に乏しく、近年の電子機器の高周波及び高速伝送対応に伴う半導体装置への要求動作速度からくる半導体装置の放熱問題に対して、対応できないという問題があった。
【特許文献１】特開２００１−１６８１２８号公報
【特許文献２】特開２００４−２２１４１７号公報
【特許文献３】特開２００１−２９１８００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明は、上記の問題と実状に鑑みてなされたもので、装置の厚みを増すことなく放熱問題に対応可能な、半導体構成体を絶縁層中に内蔵した半導体装置及びその製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
すなわち、請求項１に係る本発明は、半導体構成体を絶縁層中に内蔵し当該半導体構成体の上層に少なくとも１層以上の絶縁層と再配線層を備えた半導体装置であって、当該半導体構成体の下部に金属層が、当該半導体構成体の側方に位置する絶縁層の底面と面一となるように配置されていることを特徴とする半導体装置により上記課題を解決したものである。
【００１５】
この半導体装置によれば、半導体構成体の放熱に必要な金属層が絶縁層に内蔵された構造となっているため、装置の厚みを増すことなく放熱問題に対応することができる。
【００１６】
また、請求項２に係る本発明は、前記金属層が、銅、ニッケル又はニッケル合金から成ることを特徴としている。
【００１７】
これにより、絶縁層に内蔵された金属層が一般的な回路配線層と同様な金属層となるため、当該金属層を放熱層としてのみではなく、回路配線層、ＧＮＤ層、不要輻射シールド層、高調波干渉シールド層としても利用可能となる。
【００１８】
また、請求項３に係る本発明は、前記金属層が、放熱用ビアに接続されていることを特徴としている。
【００１９】
これにより、より効率的な放熱が可能となる。
【００２０】
また、請求項４に係る本発明は、半導体構成体を絶縁層中に内蔵し当該半導体構成体の上層に少なくとも１層以上の絶縁層と再配線層を備えた半導体装置の製造方法であって、穴が形成された絶縁層に、当該穴に対応する凸部を備えた金属板を積層する工程と、当該金属板を除去してその凸部の一部を半導体構成体埋め込み用凹部の底部となる金属層として残存せしめる工程と、当該絶縁層と金属層とによって形成された半導体構成体埋め込み用凹部に半導体構成体を実装する工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法により上記課題を解決したものである。
【００２１】
これにより、比較的簡単な工程により、装置の厚みを増すことなく、半導体構成体を内蔵するための底部が金属層の凹部を形成することができる。
【００２２】
また、請求項５に係る本発明は、前記金属板の除去をエッチングにより行なうことを特徴としている。
【００２３】
これにより、半導体構成体の放熱に必要な、凹部の底部となる金属層を最適な形状で形成することが可能となる。
【００２４】
尚、前記最適な形状とは、半導体構成体をプレイスメントする際に不都合がなく、且つ放熱に際して有利な形状を意味し、特に特定の形状に限定するものではないが、放熱に際して有利な形状としては、通常、半導体構成体との設置面積を可能な限り多くすることが望ましく、一般的な半導体構成体の形状はその底面がフラットである点から鑑みて、当該半導体構成体との設置面はフラットであることが望ましい。
【００２５】
また、請求項６に係る本発明は、前記金属板が、その凸部の先端部を形成する第一の金属層と、それ以外の部分を形成する当該第一の金属層とはエッチング条件が異なる第二の金属層とを有していることを特徴としている。
【００２６】
これにより、エッチング量の微細な制御をすることなく、凹部の底部となる金属層を最適な形状で形成することが可能となる。
【００２７】
また、請求項７に係る本発明は、前記第一の金属層と前記第二の金属層の何れか一方が銅であり、他方がニッケル又はニッケル合金から成ることを特徴としている。
【００２８】
これにより、凹部の底部となる金属層を一般的な回路配線層と同様に利用し得る半導体装置を得ることができる。
【００２９】
また、請求項８に係る本発明は、更に放熱用ビアを形成し、前記金属層に接続せしめる工程を有することを特徴としている。
【００３０】
これにより、より効率的な放熱が可能となる。
【発明の効果】
【００３１】
本発明によれば、装置の厚みを増すことなく放熱問題に対応可能な、半導体構成体を絶縁層中に内蔵した半導体装置及びその製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
本発明半導体装置の実施の形態を図１を用いて説明する。
【００３３】
図１（ａ）において、Ｐ１は半導体装置で、金属層３と、当該金属層３の上面に接着層８を介して実装された半導体構成体４と、当該金属層３と当該半導体構成体４の側方及び上方に設けられた絶縁層２と、当該半導体構成体４の外部接続用電極５と再配線用ビア１５を介して接続され当該半導体構成体４よりも外側且つ当該絶縁層２の上方に形成された再配線層１３と、当該再配線層１３の一部が露出することで形成された再配線パッド１８と、当該金属層３と表層のパッドを接続した放熱用ビア１７と、ソルダーレジスト１４と、から構成され、前記金属層３はその底面が側方に設けられた絶縁層２の底面とフラットになる面一状態で配置されている。
【００３４】
因に、この半導体装置Ｐ１は、当該半導体装置Ｐ１の断面を観察した場合、後述するように、開口部が前記半導体構成体４よりも僅かに大きく、側方が樹脂層２で底部が金属層３で形成された半導体構成体４埋め込み用凹部の底部に、当該半導体構成体４をプレイスメントし、その後、樹脂層で当該凹部に蓋をするが如く積層した場合には、当該半導体構成体４と当該開口部との僅かな隙間にも樹脂が埋まり、且つ凹部側方の樹脂層２と密着するが、元々凹部の側方として形成された樹脂層２は当該積層の前に硬化しているので、プレイスメント後に埋め込まれた樹脂との間には境界線Ｌが存在する。
【００３５】
ここに、半導体構成体４は、従来と同様シリコン基板（半導体基板）７を備え、当該シリコン基板７の上面には所定の機能の集積回路が設けられ、当該上面周辺部にはアルミニウム系金属等からなる複数の接続パッドが集積回路に接続されて設けられ、当該接続パッドの中央部を除くシリコン基板７の上面には酸化シリコン等からなる絶縁膜が設けられ、接続パッドの中央部は絶縁膜に設けられた第一の開口部を介して露出され、当該絶縁膜の上面にはエポキシ系樹脂やポリイミド系樹脂等からなる保護膜（絶縁膜）が設けられ、当該絶縁膜の第一の開口部に対応する部分における保護膜には第二の開口部が設けられ、当該第一の開口部と第二の開口部を介して露出された接続パッドの上面から保護膜の上面の所定の箇所にかけて、銅等からなる下地金属層が設けられ、当該下地金属層の上面全体には銅から成る再配線が設けられ、当該再配線の接続パッド部上面には銅から成る柱状の外部接続用電極５が設けられ、当該再配線を含む保護膜の上面にはエポキシ系樹脂やポリイミド系樹脂等からなる封止材（絶縁膜）６が、その上面が外部接続用電極５の上面と面一となるように設けられて構成されており、前記シリコン基板７は接着層８を介して前記金属層３に接着されている。
【００３６】
このように、ウェハーレベルＣＳＰと呼ばれる半導体構成体４は、シリコン基板７、外部接続用電極極５、封止材６を含んで構成されている。
【００３７】
尚、金属層３としては、銅又はニッケル或いはニッケル合金であることが望ましい。
【００３８】
また、接着層８としては、熱伝導性が高いものが望ましく、例えば、銀等の高熱伝導性フィラーを含有した接着シートや接着ペーストが好適に用いられる。
【００３９】
前記半導体装置Ｐ１は、半導体構成体４の底部に金属層３を備えた構造であるため、内蔵された半導体構成体４の放熱が可能となる。
【００４０】
すなわち、図１（ａ）に示した実施の形態では、半導体構成体４で発生した熱は接着層８を介して金属層３に移動し、当該金属層３から周囲に熱伝導されることで放熱されると共に、更に放熱用ビア１７を介して表層に伝わることでより効率的に放熱される。
【００４１】
従って、本発明によれば、半導体構成体４で発生した熱は、いち早く金属層３に熱伝導し順次放熱され、更には放熱用ビア１７により効率的に放熱されるため、熱による半導体構成体４への影響、及びその他周囲への集中的な影響を回避することができ、諸々の放熱問題に対応可能となる。
【００４２】
また、半導体構成体４がプレイスメントされる部位となる金属層３自体も絶縁層２に内蔵された構造であるため、半導体装置Ｐ１の厚みを増すことなく、内蔵された半導体構成体４の放熱が可能となる。
【００４３】
特に、金属層３が銅又はニッケル或いはニッケル合金から成る場合には、当該金属層３が一般的な回路配線層と同様な材質となるため、当該金属層３を放熱層のみとしてではなく、回路配線層、ＧＮＤ層、不要輻射シールド層、高調波干渉シールド層としても利用可能となる。
【００４４】
また、別の実施の形態として、図１（ｂ）に示した半導体装置Ｐ１０のように、金属層３及び接着層８を突き抜けて半導体構成体４のシリコン基板７と直接接した放熱用ビア２１７を備える構成とすることで、接着層８を介した半導体構成体４と金属層３の密着性を極端に低下させることなく、より放熱効率を高めることができる。
【００４５】
次に、本発明半導体装置の製造方法の実施の形態を図２〜図５を用いて説明する。
【００４６】
先ず、図２（ａ）に示すように、金属板１を用意する。
【００４７】
尚、当該金属板１は、銅又はニッケル或いはニッケル合金であることが望ましい。
【００４８】
次に、図２（ｂ）に示すように、エッチング等の金属除去手段により、前記金属板１を凸部１ａを備えた形状とする。
【００４９】
次に、図２（ｃ）に示すように、前記凸部１ａを備えた形状となった金属板１に、予め半導体構成体を埋め込む凹部の大きさよりも僅かに大きい穴、つまり前記形成された金属板１の凸部１ａの大きさよりも僅かに大きい穴を開けた絶縁層２ａを、凸部１ａの高さ以上になるように複数枚重ね、前記金属板１と共に真空積層プレス機等を用いて積層プレスを行い、図３（ｄ）に示す状態の構造体Ｐ２を得る。
【００５０】
次に、図３（ｅ）に示すように、前記積層体の金属板１の凸部１ａの一部が残存して半導体構成体埋め込み用凹部Ｑの底部となるように、それ以外の金属板部位を除去することで、底部が金属層３から成る凹部Ｑを備えた構造体Ｐ３を得る。
【００５１】
尚、ここに金属除去手段としては、エッチングを用いることが望ましい。
【００５２】
また、前記金属板１の除去する部位と残す部位（凸部１ａの先端部）を、それぞれエッチング条件が異なる２種類の金属層を用いて構成すれば、エッチング量の微細な制御をすることなく、凹部Ｑの底部となる金属層３を最適な形状で形成することが可能となるので、より望ましい。
【００５３】
次に、前記金属除去後に出来た凹部Ｑに、半導体構成体４を実装して、図３（ｆ）に示す構造体Ｐ４を得る。
【００５４】
尚、半導体構成体４は、前記と同様シリコン基板７の上面に複数の外部接続用電極５を備えていると共に、前記外部接続用電極５間に封止材６を備えている。
【００５５】
また、半導体構成体４の実装の際には、接着剤８を用いることが望ましい。
【００５６】
また、接着層８は、熱伝導性が高いものが望ましく、例えば、銀等の高熱伝導性フィラーを含有した接着シートや接着ペーストが好適に用いられる。
【００５７】
次に、図４（ｇ）に示すように、半導体構成体４を実装した前記構造体Ｐ４に絶縁層２ｂをレイアップし真空積層プレス機等を用いて積層プレスを行い、図４（ｈ）に示すように、凹部Ｑが埋め込み積層された構造体Ｐ５を得る。
【００５８】
尚、前記積層プレスの際、前記絶縁層２ｂが積層プレス機に付着しないように、当該絶縁層２ｂ上部にシート状の剥離材を挿入することが望ましい。
【００５９】
次に、図４（ｋ）に示すように、前記構造体Ｐ５にビルドアップ材９及び銅箔１０をレイアップし、真空積層プレス機等を用いて積層プレスを行い、構造体Ｐ６を得る。
【００６０】
尚、前記構造体Ｐ４に、ビルドアップ材９及び銅箔１０をレイアップし、真空積層プレス機等を用いて積層プレスを行うことで、前記凹部Ｑ埋め込み積層工程と前記構造体Ｐ６を得る工程とを同時に行っても良い。
【００６１】
その際、凹部Ｑの隙間に樹脂がフローする分、樹脂不足とならないように、十分な樹脂量が確保されたビルドアップ材９を用いることが必要である。
【００６２】
次に、図５（ｍ）に示すように、通常の基板と同様に、スルーホール穴１１加工、外部接続用電極５並びに金属層３にそれぞれ達する層間接続ビア穴１２形成の各工程を行い、構造体Ｐ７を得る。
【００６３】
次に、図５（ｎ）に示すように、通常の基板と同様に、めっき加工、回路形成、ソルダーレジスト形成の各工程を経て、再配線パッド１８を有する再配線層１３と、再配線パッド１８と接続する再配線用ビア１５と、金属層３と接続する放熱用ビア１７と、表裏を導通するスルーホール１６と、ソルダーレジスト１４とを備えた半導体装置Ｐ８を得る。
【００６４】
尚、本発明を説明するに当たって、上記の実施の形態を例として説明したが、本発明の構成はこれらの限りでなく、また、これらの例により何ら制限されるものではなく、本発明の範囲内で種々の変更が可能である。
【００６５】
上記の実施の形態により説明した本発明の特徴として下記の４つが挙げられる。
【００６６】
先ず、本発明１つ目の特徴は、半導体構成体４がプレイスメントされる部位を金属層３としたことにある。
【００６７】
これにより、半導体構成体４で発生した熱は、いち早く金属層３に熱伝導し順次放熱されるため、熱による半導体構成体４への影響、及びその他周囲への集中的な影響を回避することができ、近年の電子機器の高周波及び高速伝送対応に伴い高速化された半導体装置の放熱問題に有効な手段となる。
【００６８】
本発明２つ目の特徴は、半導体構成体４がプレイスメントされる部位となる金属層３自体も絶縁層２に内蔵された構造であるため、半導体装置の厚みを増すことなく、内蔵された半導体構成体の放熱が可能となる。
【００６９】
この構造は、言い換えれば、基板構成中の絶縁層（埋め込み層）２に凹部Ｑを形成した半導体構成体内蔵基板としたと言える。
【００７０】
これにより、半導体装置の厚みを増すことなく、内蔵された半導体構成体４の放熱が可能となる。
【００７１】
本発明３つ目の特徴は、半導体構成体４がプレイスメントされる部位である金属層３が、銅又はニッケル或いはニッケル合金を用いることが可能であることにある。
【００７２】
これにより、半導体構成体４の底部に備えられた金属層３が一般的な回路配線層と同様な材質となるため、当該金属層３を放熱層としてのみではなく、回路配線層、ＧＮＤ層、不要輻射シールド層、高調波干渉シールド層としても利用可能となる。
【００７３】
本発明４つ目の特徴は、半導体構成体４を埋め込む絶縁層２に凹部Ｑを形成する際に、当該凹部Ｑに対応した凸部１ａを備えた形状となるように形成された金属板１を当該絶縁層に積層し、更に、金属板１の凸部１ａの一部を残すように金属除去することで、金属板１の一部を金属層３として半導体構成体４のプレイスメント部位としたことにある。
【００７４】
これにより、比較的簡単な工程により凹部Ｑを備えた半導体構成体４実装用の構造体Ｐ３を得ることができる。
【００７５】
また、凹部Ｑを形成する際に別層としての支持体を必要としないため板厚を薄くできる。
【００７６】
また金属板１の、積層プレス後、エッチング除去により凹部Ｑを形成できるため、基板プレス後に切削等の機械加工を用いた凹部形成をする工程に比べ、工程の短縮が可能となる。
【００７７】
また、凹部Ｑは絶縁層２の樹脂をフローさせて形成するため、切削等の機械加工に比べ、金属板１の凸部１ａ形状次第で凹部Ｑを種々の形状に形成できる。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】本発明半導体装置例を示す概略断面説明図。
【図２】本発明半導体装置の製造方法例を示す概略断面工程説明図。
【図３】図２に続く概略断面工程説明図。
【図４】図３に続く概略断面工程説明図。
【図５】図４に続く概略断面工程説明図。
【図６】従来の半導体装置例を示す概略断面説明図。
【符号の説明】
【００７９】
１：金属板
１ａ：凸部
２，２ａ，２ｂ，１０２：絶縁層
３：金属層
４：半導体構成体
５：外部接続用電極
６：封止材
７：シリコン基板
８：接着層
９，１０９：ビルドアップ材
１０，１１０：銅箔
１１：スルーホール穴
１２：層間接続ビア穴
１３，１１３：再配線層
１４，１１４：ソルダーレジスト
１５，１１５：再配線用ビア
１６，１１６：スルーホール
１７，２１７：放熱用ビア
１８，１１８：再配線パッド
１１９：支持体
１２０：層間接続ビア
１２１，１２２：導体層
Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５，Ｐ６，Ｐ７：構造体
Ｐ１，Ｐ８，Ｐ９，Ｐ１０：半導体装置
Ｑ：凹部
Ｌ：境界線
【図１】
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【図２】
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【図３】
2008210912.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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