【手続補正書】
【提出日】平成24年12月20日(2012.12.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
気相からの堆積により、特にPVD（物理蒸着）又は反応性PVD法に従って気相からの物理的な堆積により、基材コンポーネントの表面処理及び/又はコーティングするための装置であって、
前記の装置は、真空にすることができる堆積又は処理チャンバーを具備し、
複数の基材キャリア（26）と複数のコーティング及び/又は処理ユニット（12、14、16）（気化器の源、陰極、ターゲット、マグネトロン、フィラメント陰極、及びエッチング陽極）は、前記の堆積又は処理チャンバー内に回転可能で駆動可能に配置され、
前記の装置は、設備内に1つのバッチで導入される基材コンポーネント（56）を、前記の堆積又は処理チャンバー内の様々な場所（ポジション1〜8）で、異なる処理（コーティングや、表面処理）にかけることができるように、モジュール方式で装備されることを特徴とする装置。
【請求項２】
少なくとも一つの遮蔽ユニット（48、50、52、54）は、前記の堆積又は処理室内に提供され、前記の少なくとも一つの遮蔽ユニットを用いて、少なくとも１つの基材キャリア（24、26）上に位置する前記の基材コンポーネント（56）が、コーティング及び/又は処理ユニット（12）の影響領域に排他的に保持されることを特徴とする請求項1に記載の装置。
【請求項３】
前記の遮蔽ユニット（48、50、52、54）は、モジュールとして実現され、好ましくは、板（48、52、54）から組み立てられる隔壁構造（48、50）のような平面構成素子から形成されることを特徴とする請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記の堆積又は処理チャンバーが閉じたときに、前記の基材キャリア（24、26）と前記のコーティング及び/または処理ユニット（12）との間の相対的な位置を変更可能とするユニット（10、32〜42）を有することを特徴とする請求項1乃至３のいずれかに記載の装置。
【請求項５】
その周囲に分散した基材キャリア（24、26）のための駆動源（22）が装備されている取付スペース（18-1〜18-8）を複数個を有する、前記のコーティング及び/又は処理ユニット（12、14、気化器の源、陰極、ターゲット、マグネトロン）のためのキャリア構造の内部に、放射状に、前記の堆積又は処理チャンバー内に提供される取付台（10）を有することを特徴とする請求項４に記載の装置。
【請求項６】
取付スペースには、基材キャリア（24、24）及び/又は遮蔽ユニット（48、50）が装備されることを特徴とする請求項５に記載の装置。
【請求項７】
取付台（10）とキャリア構造との間の相対的な回転運動が制御可能となる駆動及びインデッスクングユニット（10、32〜42）を有することを特徴とする請求項５または６に記載の装置。
【請求項８】
前記の取付台（10）は、回転駆動装置を有することを特徴とする請求項７に記載の装置。
【請求項９】
前記の基材キャリア（24、26）の動力は、基材コンポーネント（56）上に引き出されることを特徴とする請求項５乃至８のいずれかに記載の装置。
【請求項１０】
少なくとも１つの基材キャリアの回転運動は、前記の取付台のサイクル運動から切り離されることを特徴とする請求項５乃至９のいずれかに記載の装置。
【請求項１１】
少なくとも選択されたコーティング及び/又は処理ユニット（12-1、12-2）は、同期的に操作可能であることを特徴とする請求項1乃至１０のいずれかに記載の装置。
【請求項１２】
前記のキャリア構造には、前記のコーティング及び/又は処理ユニット（12）及び/又は加熱ユニット（14）の取付位置ポジションが装備されていることを特徴とする請求項５乃至１１のいずれかに記載の装置。
【請求項１３】
気相からの堆積により、特にPVD（物理蒸着）又は反応性PVD法に従って気相からの物理的な堆積により、基材コンポーネントの表面処理及び/又はコーティングするための方法において、前記の基材コンポーネントが、真空にすることができる堆積又は処理チャンバー内に回転可能で駆動可能な複数の基材キャリアと一緒に収容される方法であって、
a）複数の異なる基材コンポーネント（56）のための所望のコーティング又は処置プログラムに従って、堆積又は処理チャンバー内に、コーティング及び/又は処置ユニット（12、気化器、陰極、ターゲット、マグネトロン、フィラメント陰極、及びエッチング陽極）及び/又は加熱ユニット（16）及び遮蔽素子（48、50）を、モジュールから、組み立てる工程と、
b）同じ処理を受けることになる基材コンポーネント（56）を個々の前記の基材キャリア（26）に設置する工程と、
c）前記の堆積又は処理チャンバーを閉じる工程と、
d）1つのバッチで、基材キャリア（24、26）上に取付けられている基材コンポーネント（56）に対する個々の処理又はコーティングプログラムを実行する工程と、
を有することを特徴とする方法。
【請求項１４】
前記の工程d）において、個々の基板のキャリア（24、26）は、必要に応じて、関連付けられている個々の前記のコーティング及び/又は処理ユニット（12）のための個々の表面処理に対して最適化された相対的なポジションに、サイクル的に提供されることを特徴とする請求項１３に記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、請求項１又は１３の前書きによると、気相からの堆積により、特にPVD（物理蒸着）又は反応性PVD方法を用いて、気相からの物理的な堆積により、基材コンポーネントの表面処理及び/又はコーティング用の装置及び方法に関する。このような装置又は方法を使用して、基材コンポーネントである被加工物の表面に非常に薄いコーティング、例えば、チタン系の炭化物コーティングのような耐腐食及び耐磨損コーティングを、被膜することが可能である。このような薄いコーティングは、頻繁に、ツールの製造に、特に、例えば、穴あけツール、フライス加工ツール、或いはリーマツールなど、精密加工ツールの製造に使用されている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
前記の目的は、前記の装置に対して、請求項1の特徴により達成され、前記の方法に対して、請求項１３の方法のステップにより達成される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
請求項１で、処理チャンバー内の既存の設置スペースは、有利に利用され、このさらなる利点は、基材コンポーネントへの異なる処理が、各処理ステーションの空間的な分離が要因で、同時に実行できることという結果をもたらす。また、このように、隣接するコーティング及び/又は処理ユニットの影響を受けることなく、選択されたコーティング及び/又は処理ユニットの異なる基材キャリアに対して、正確に監視された処理パラメータを持つ個別の処理を施すことが可能になる。従って、コーティングの非常に正確で均質な成長率が達成することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明の有利な改良及びその変種は、従属請求項の主題である。
請求項２に係る、そして、好ましく、モジュールとして実現される、遮蔽ユニットによれば、非常にタイトな設置スペースでも、遮蔽モジュールを使用して、基材コンポーネントが、異なる処理を受けられることができるので、貴重な設置スペースを節約することが可能になる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
請求項３によれば、PVDコーティング設備に関して、表面処理やコーティングの質の低下を受け入れることなく、仕切壁の構成の形でシールドモジュールを実現することが容易に十分であることが示されている。前記の仕切壁は、セラミック及び/又は穴あき金属材料を含む、異なる材料を含むことができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項４によれば、堆積又は処理チャンバーが閉じた時に、基材キャリアと、コーティング及び/又は処理ユニット、及び/又は加熱ユニットとの間の相対的な位置を変更することを可能とする運動機構を提供する場合、さらに、設備の柔軟性が増加する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
駆動装置を、キャリアの構造と一緒にコーティング及び/又は処理ユニットに提供することは、根本的に可能である。しかしながら、請求項５に記載の取付台に回転駆動装置が装備されている場合、前記の運動機構はより簡単になる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
請求項９によると、例えば軸の形である基材キャリア用の回転駆動装置は、前記の取付台の各取付スペースに設けられている。従って、コーティング設備が均一に被膜される基材要素で100％満たされた時、コーティング設備は、前記の設備の柔軟性を失うことなく、従来の形で動作させることが可能である。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
例えば、請求項１０に記載の変更を使用して、選択された、コーティング及び/又は処理ユニットに直接近接する基材キャリアは、環状運転を作動させることなく、回転運動に設定することができる。これによって、その厚さが正確に定義され、非常に均質なコーティングを、これらの選択された基材コンポーネント上に堆積することが可能となる。