(57)【要約】【課題】所謂ミニエンバイロメント方式を採用する際に、清浄度の低い外部環境のガスが局所クリーン領域に取り込まれることを抑制することができる局所クリーン搬送装置における物品受渡し時の清浄度保持装置を提供する。【解決手段】クリーンルーム１１内の複数箇所に設けられ、清浄度がクリーンルーム１１内の清浄度より高い作業領域１２の物品受渡し部１３間における物品の搬送を手動台車１４で搬送されるポッド１５に収容して行う。物品受渡し部１３内はクリーンルーム１１内の圧力より高い圧力（陽圧）となっている。ポッド１５が移動部材２２上に載置され、移動部材２２と共にカセット１７が下降する途中で開口充填部２２ｂと受渡し口部２０ａとの隙間から物品受渡し部１３内のガスが排出され、クリーンルーム１１内のガスが物品受渡し部１３内に入り込むのが抑制される。【選択図】図１
2008210881.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
室内の複数箇所に設けられるとともに、清浄度が前記室内の清浄度より高い作業領域の物品受渡し部間における物品の搬送を搬送手段を介して行う局所クリーン搬送装置における物品受渡し時の清浄度保持装置であって、
前記物品を収容する密閉容器の収容空間又は前記物品を収容するため前記搬送手段に設けられた収容空間を前記物品受渡し部に設けられた受渡し口部と連通状態とする前に、前記受渡し口部を覆う気密ドアと、前記収容空間を密封する蓋部との間に存在する清浄度の低いガスを前記作業領域内の清浄度の高いガスを用いて前記室内に排出する排出手段を前記物品受渡し部に備えた局所クリーン搬送装置における物品受渡し時の清浄度保持装置。
【請求項２】
前記物品の搬送は、物品を複数平行に載置可能なカセットと、該カセットを密閉可能に覆うカバーとを備えた密封容器を使用して行われ、前記カセットは、前記受渡し口部から前記物品受渡し部内に進入可能に形成され、前記カバーは、前記受渡し口部の周縁部に気密状態で当接するフランジ部を備え、前記物品受渡し部には、前記受渡し口部を閉塞可能かつ閉鎖位置に配置された状態から前記カセットと当接した状態を保持して前記カセットの物品受渡し部内への進入に伴って移動可能な移動部材が設けられ、前記排出手段は前記移動部材が前記閉鎖位置から移動開始後、前記カバーのフランジ部が前記周縁部に気密状態で当接する間に前記ガスを排出する請求項１に記載の局所クリーン搬送装置における物品受渡し時の清浄度保持装置。
【請求項３】
前記移動部材は昇降可能に構成されている請求項２に記載の局所クリーン搬送装置における物品受渡し時の清浄度保持装置。
【請求項４】
前記排出手段は、前記作業領域内の圧力を該作業領域外の圧力より高い値に保持する圧力保持手段である請求項２または請求項３に記載の局所クリーン搬送装置における物品受渡し時の清浄度保持装置。
【請求項５】
前記カセットの前記フランジ部と当接する側と反対側の周縁部及び前記移動部材の周縁部に、各周縁部の延びる方向と交差する溝が形成されている請求項４に記載の局所クリーン搬送装置における物品受渡し時の清浄度保持装置。
【請求項６】
前記カセットの前記フランジ部と当接する側と反対側の周縁部及び前記移動部材の周縁部全体に面取り部が形成されている請求項４に記載の局所クリーン搬送装置における物品受渡し時の清浄度保持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置や液晶装置等の製造工場のようにクリーン環境が必須の工場において、半導体ウエハや液晶パネル等の物品を密封状態で工程内や工程間を搬送することにより、局所だけを高清浄化する所謂ミニエンバイロメント（局所的クリーン環境）方式に適した局所クリーン搬送装置における物品受渡し時の清浄度保持装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、液晶装置や半導体装置を製造する場合、全ての作業がクリーンルーム内で行われる。しかし、各製造工程の製造装置と製品又は半完成品等をストックするストッカ内の環境だけでなく、各製造工程及びストッカとの間の搬送エリアを含むクリーンルーム全体を高清浄化することは、イニシャルコスト及びランニングコスト共に膨大な費用がかかる。そこで、近年、クリーンルーム全体を高清浄状態に保持するのではなく、製品又は半完成品を密封容器に収納して工程内及び工程間を搬送し、各製造工程の製造装置の環境だけを局所的に高清浄状態に保持する所謂ミニエンバイロメント（局所的クリーン環境）方式が注目されている。
【０００３】
そして、ミニエンバイロメント方式に適した局所クリーン搬送装置が特許文献１に提案されている。特許文献１の局所クリーン搬送装置は、室内の複数箇所に構成した物品受渡し部間における物品の搬送を搬送台車により行う。そして、図８に示すように、搬送台車５１に、高クリーン度に保持可能な物品収納部５２が設けられ、物品収納部５２は進退可能に構成されるとともに前側に気密ドア５３を備えた受渡し口部５４が設けられている。物品受渡し部５５は、高クリーン度に保持可能なクリーンユニットとして構成されるとともに、その前側に気密ドア５６を備えた受渡し口部５７が設けられている。
【０００４】
そして、この局所クリーン搬送装置では、搬送台車５１の物品収納部５２から物品受渡し部５５内への物品５８の受渡し時には、図９に示すように、搬送台車５１を物品受渡し部５５の前側に停止させる。次に、物品収納部５２を前進させて受渡し口部５４を物品受渡し部５５の受渡し口部５７に密着させる。次に物品受渡し部５５の気密ドア５６を開とする。これにより、両受渡し口部５４，５７間の空間は物品受渡し部５５に連通され、クリーンルームにおける搬送エリアのクリーン度（清浄度）である前記空間が、高クリーン度に清浄化される。その後、物品収納部５２の気密ドア５３が開となり、物品５８が物品収納部５２から物品受渡し部５５へと移載装置５９により移載される。
【０００５】
また、物品として半導体ウエハや液晶基板ガラスを収容する容器全体を移載する受渡し方法の他に、半導体ウエハや液晶基板ガラスを支持するカセットとカバーとからなるポッドを使用するとともに、カバーは受け渡さずにカセットを受け渡す受渡し方法もある。この方法では、図１０（ａ）〜（ｄ）に示すように、クリーン設備の受渡し部６１の受渡し口部６１ａは、昇降ステージ６２により閉塞可能に構成されている。そして、図１０（ａ）に示すように、カセット６３ａとカバー６３ｂとからなるポッド６３が移載装置のフォーク６０により支持された状態から、図１０（ｂ）に示すように、上昇位置（閉鎖位置）に配置された昇降ステージ６２上に載置される。ポッド６３が昇降ステージ６２上に載置された状態から昇降ステージ６２が下降すると、図１０（ｃ）に示すように、ポッド６３が昇降ステージ６２と共に下降する。そして、下降途中でカバー６３ｂが受渡し口部６１ａの外側周縁部と当接して下降が規制された後、さらに昇降ステージ６２の下降が継続されて図１０（ｄ）に示すように、カセット６３ａが完全に受渡し部６１内に収容された状態で昇降ステージ６２が停止されて受渡が完了する。
【特許文献１】特開平９−１３３３８５号公報（明細書の段落［００１１］〜［００１９］、図１，図４，６，８）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、特許文献１に記載の局所クリーン搬送装置では、搬送台車５１の物品収納部５２から物品受渡し部５５内への物品５８の受渡し時に、両受渡し口部５４，５７間の空間に存在するクリーン度の低い空気が物品受渡し部５５内へ取り込まれて、物品受渡し部５５に設けられた浄化装置で清浄が行われる。従って、物品受渡し部５５に設けられた浄化装置への負荷が大きくなるばかりでなく、一時的に物品受渡し部５５の清浄度が悪くなるという問題がある。
【０００７】
一方、図１０（ａ）〜（ｄ）に示す受渡方法では、図１０（ｃ）の状態のときに外部環境のクリーン度の低い空気を取り込み、その空気が受渡し部６１内に取り込まれる。従って、特許文献１の場合よりクリーン度の低い空気の取り込み量は少ないが、受渡し部６１内のクリーン度が一時低下する。
【０００８】
本発明は、前記の問題に鑑みてなされたものであって、その目的は、所謂ミニエンバイロメント（局所的クリーン環境）方式を採用する際に、清浄度の低い外部環境のガスが局所クリーン領域に取り込まれることを抑制することができる局所クリーン搬送装置における物品受渡し時の清浄度保持装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記の目的を達成するため、請求項１に記載の発明は、室内の複数箇所に設けられるとともに、清浄度が前記室内の清浄度より高い作業領域の物品受渡し部間における物品の搬送を搬送手段を介して行う局所クリーン搬送装置において、物品を密閉容器に収容した状態又は前記搬送手段に設けられた収容空間に密閉状態で収容して搬送する。前記物品受渡し部には排出手段を備えている。排出手段は、前記物品を収容する密閉容器の収容空間又は前記物品を収容するため前記搬送手段に設けられた収容空間を前記物品受渡し部に設けられた受渡し口部と連通状態とする前に、前記受渡し口部を覆う気密ドアと、前記収容空間を密封する蓋部との間に存在する清浄度の低いガスを前記作業領域内の清浄度の高いガスを用いて前記室内に排出する。
【００１０】
この発明では、清浄度が室内の清浄度より高い作業領域の物品受渡し部間における物品の搬送が搬送手段を介して行われ、物品は密閉容器に収容された状態又は前記搬送手段に設けられた収容空間に密閉状態で収容された状態で搬送される。物品受渡し部を介して物品を前記作業領域に収容する際は、前記収容空間が物品受渡し部に設けられた受渡し口部と連通状態となる前に、受渡し口部を覆う気密ドアと、収容空間を密封する蓋部との間に存在する清浄度の低いガスが、前記作業領域内の清浄度の高いガスを用いて前記室内に排出される。従って、従来装置と異なり、搬送手段で搬送された物品を物品受渡し部の受渡し口部から前記室内の清浄度より高い作業領域内に収容する際、清浄度の低い外部環境のガスを局所クリーン領域に取り込むことを抑制することができる。
【００１１】
請求項２に記載の発明では、請求項１に記載の発明において、前記物品の搬送は、物品を複数平行に載置可能なカセットと、該カセットを密閉可能に覆うカバーとを備えた密封容器を使用して行われる。前記カセットは、前記受渡し口部から前記物品受渡し部内に進入可能に形成され、前記カバーは、前記受渡し口部の周縁部に気密状態で当接するフランジ部を備えている。前記物品受渡し部には、前記受渡し口部を閉塞可能かつ閉鎖位置に配置された状態から前記カセットと当接した状態を保持して前記カセットの物品受渡し部内への進入に伴って移動可能な移動部材が設けられている。前記排出手段は前記移動部材が前記閉鎖位置から移動開始後、前記カバーのフランジ部が前記周縁部に気密状態で当接する間に前記ガスを排出する。
【００１２】
この発明では、カセットとカバーとを備え、カセットが前記受渡し口部から前記物品受渡し部内に進入可能な密閉容器を使用して物品の搬送が行われるため、搬送手段に物品を収容する密閉可能な収容空間を設ける場合に比較して、搬送手段の構成が簡単になる。
【００１３】
請求項３に記載の発明では、請求項２に記載の発明において、前記移動部材は昇降可能に構成されている。この発明では、密封容器が移動部材上に載置された状態で移動部材が下降すると、カセットが移動部材と共に下降して物品受渡し部内に自動的に進入する。そして、移動部材の下降途中でカバーのフランジ部が受渡し口部の周縁部に気密状態で当接するまでに、移動部材と受渡し口部との隙間から作業領域内のガスが排出される。従って、清浄度の低い外部環境のガスを局所クリーン領域に取り込むことを抑制するための構成が簡単になる。
【００１４】
請求項４に記載の発明では、請求項２または請求項３に記載の発明において、前記排出手段は、前記作業領域内の圧力を該作業領域外の圧力より高い値に保持する圧力保持手段である。この発明では、圧力保持手段により作業領域内の圧力が該作業領域外の圧力より高い値に保持される。従って、移動部材と受渡し口部との隙間から外部環境のガスが作業領域内に取り込まれるのを抑制する構成が簡単になる。
【００１５】
請求項５に記載の発明では、請求項４に記載の発明において、前記カセットの前記フランジ部と当接する側と反対側の周縁部及び前記移動部材の周縁部に、各周縁部の延びる方向と交差する溝が形成されている。この発明では、前記溝が存在することにより、溝が存在しない場合に比較して、移動部材と受渡し口部との隙間から作業領域内のガスが排出される際に、効率よく外部環境のガスの進入が抑制される。
【００１６】
請求項６に記載の発明では、請求項４に記載の発明において、前記カセットの前記フランジ部と当接する側と反対側の周縁部及び前記移動部材の周縁部全体に面取り部が形成されている。この発明では、面取り部が存在するため、面取り部が存在しない場合に比較して、移動部材と受渡し口部との隙間から作業領域内のガスが排出される際に、効率よく外部環境のガスの進入が抑制される。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、所謂ミニエンバイロメント方式を採用する際に、清浄度の低い外部環境のガスが局所クリーン領域に取り込まれることを抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
（第１の実施形態）
以下、本発明を液晶用ガラス基板の搬送を行う局所クリーン搬送装置に具体化した第１の実施形態を図１〜図４に従って説明する。
【００１９】
図１（ａ）に示すように、液晶装置製造工場の室としてのクリーンルーム１１内には、清浄度がクリーンルーム１１内の清浄度より高い作業領域（製造工程）１２が複数（１箇所のみ図示）設けられ、各作業領域１２には物品受渡し部１３がそれぞれ設けられている。この実施形態では物品（ガラス基板等）の搬送を搬送手段としての手動台車１４を介して行うようになっている。また、物品は密閉容器としてのポッド１５を介して搬送されるようになっている。各作業領域１２はファンフィルタユニット１２ａを備え、ファンフィルタユニット１２ａの駆動により常にフィルタで濾過された清浄度の高い空気が供給されて、クリーンルーム１１内の清浄度より高い清浄度に保持（維持）されている。また、作業領域１２内の圧力は、作業領域１２外の圧力より高い値に保持されるようになっている。ファンフィルタユニット１２ａは、作業領域１２内の圧力を作業領域１２外の圧力より高い値に保持する圧力保持手段を構成する。
【００２０】
図３に示すように、物品１６を収容するポッド１５は、物品１６を複数平行に載置可能なカセット１７と、該カセット１７を密閉可能に覆うカバー１８とを備えている。カセット１７は、四角形状の基板１７ａと、基板１７ａ上に立設された複数本の支柱１７ｂと、支柱１７ｂに固定された複数の係止突部１７ｃとを備えている。そして、物品１６は係止突部１７ｃに支持された状態で基板１７ａと平行に保持されるようになっている。カバー１８は、カセット１７の基板１７ａより上側部分を収容可能なカバー本体１８ａと、カバー本体１８ａの下端に設けられたフランジ部１８ｂとを備えている。フランジ部１８ｂは、基板１７ａより一回り大きく形成され、カバー１８がカセット１７を覆う閉鎖状態では、フランジ部１８ｂの下面が基板１７ａの周縁上面に気密状態で当接するとともに、フランジ部１８ｂの周縁が基板１７ａの周縁から突出するようになっている。カセット１７及びカバー１８は金属、例えばアルミニウムで形成されている。基板１７ａは、物品１６を収容する密閉容器（ポッド１５）の収容空間を密封する蓋部を構成する。
【００２１】
図３及び図４（ａ）〜（ｆ）に示すように、基板１７ａの下面、即ちカバー１８に対向する側と反対側には基板１７ａより一回り小さい凸部１９が設けられている。また、基板１７ａの周縁部には面取り部１７ｄが設けられている。即ち、カセット１７のフランジ部１８ｂと当接する側と反対側の周縁部にはテーパ状の面取り部１７ｄが形成されている。
【００２２】
図２に示すように、物品受渡し部１３は複数（図２では２箇所）設けられている。図１（ｂ）及び図４（ａ）〜（ｆ）に示すように、各物品受渡し部１３を区画する上壁２０には受渡し口部２０ａが設けられている。受渡し口部２０ａは、カセット１７が通過可能に形成され、この実施形態では、受渡し口部２０ａは、基板１７ａより僅かに大きな四角形状に形成されている。
【００２３】
図１（ａ）に示すように、物品受渡し部１３には、受渡し口部２０ａの下方に昇降装置２１が配設されている。昇降装置２１は公知の構成、例えばエアシリンダ、油圧シリンダ又は電気シリンダを備え、支柱２１ａ（図１（ｂ）等に図示）が昇降されるようになっている。支柱２１ａの上部には、受渡し口部２０ａを閉塞可能かつ閉鎖位置に配置された状態からカセット１７と当接した状態を保持して移動可能な移動部材２２が設けられている。即ち、移動部材２２は昇降可能に構成されている。
【００２４】
図１（ｂ）に示すように、移動部材２２は、受渡し口部２０ａより大きな面積のベースプレート２２ａと、ベースプレート２２ａ上に突設され受渡し口部２０ａより僅かに小さな開口充填部２２ｂと、開口充填部２２ｂ上に突設されカセット１７の凸部１９とほぼ同じ大きさの凸部２２ｃとを備えている。そして、移動部材２２は、閉鎖位置に配置された状態では、開口充填部２２ｂが受渡し口部２０ａを埋めた状態で凸部２２ｃが上壁２０より突出し、ベースプレート２２ａの上面周縁が受渡し口部２０ａの周縁に気密状態で当接するようになっている。開口充填部２２ｂの周縁部にはテーパ状の面取り部２２ｄが形成されている。移動部材２２は、受渡し口部２０ａを覆う気密ドアを構成する。
【００２５】
図１（ａ）及び図２に示すように、作業領域１２には物品受渡し部１３内に収容されたカセット１７に載置された物品１６を作業工程の設備側ステージ２３に移載したり、設備側ステージ２３上の物品１６をカセット１７上に移載する移載機２４が設けられている。移載機２４は、昇降駆動される支柱２５上に基端が支持された屈曲可能なアーム２６を有し、アーム２６の先端に物品１６を支承するフォーク２６ａを備えている。アーム２６は公知の構成で屈曲（伸縮）し、支柱２５の回動及び昇降動との組合せで、フォーク２６ａを水平に保った状態で移動させる。移載機２４は、フォーク２６ａで物品１６を掬うようにしてカセット１７から受け取り、その逆の動作で物品１６を所定位置に載置する。
【００２６】
ポッド１５を異なる作業領域１２の物品受渡し部１３間で移送する手動台車１４は、図２に示すように、ポッド１５を載置する載置部２７と、作業者Ｗが把持する把持部２８とを備えている。載置部２７は図示しない昇降機構により昇降可能に構成されている。載置部２７は、ポッド１５をカセット１７の基板１７ａの下面で支持する一対のアーム（フォーク）２９ａが伸縮可能に装備された移載装置２９を備えている。そして、図２に示すように、手動台車１４が物品受渡し部１３に対して図示しない位置決め部により位置決めされた状態で移載装置２９が駆動されて、ポッド１５がアーム２９ａを介して載置部２７と物品受渡し部１３の受渡し口部２０ａとの間で移載されるようになっている。
【００２７】
次に前記のように構成された装置の作用を説明する。
各作業領域１２間の物品１６の搬送はポッド１５を手動台車１４で搬送することにより行われる。ポッド１５内は、清浄度が予め搬送環境、即ちクリーンルーム１１の清浄度より高い各作業領域１２の清浄度と同等となるように清浄なガス（この実施形態では空気）で置換された状態で使用される。
【００２８】
ポッド１５は、手動台車１４の載置部２７の移載装置２９上に搭載され、手動台車１４によりクリーンルーム１１内を搬送される。搬送中はカセット１７がカバー１８で密封されているため、物品１６はクリーンルーム１１の環境に晒されずに作業領域１２と同じ高い清浄度に保持された環境で搬送される。そして、図２に示すように、手動台車１４は物品受渡し部１３の所定位置と対応する位置に位置決めされた状態に停止される。この状態で作業者Ｗが移載装置２９を駆動させると、図４（ａ），（ｂ）に示すように、ポッド１５が物品受渡し部１３の受渡し口部２０ａと対応する位置に移載される。図４（ａ）に示すように、ポッド１５はアーム２９ａによってカセット１７の基板１７ａの下面において支持された状態で受渡し口部２０ａの上方に移動された後、アーム２９ａが下降されて、図４（ｂ）に示すように、凸部１９が移動部材２２の凸部２２ｃ上に載置された状態で移動部材２２上に移載される。そして、アーム２９ａが元の位置に復帰した後、作業者Ｗは、図示しない移載完了スイッチを操作する。その後、作業者Ｗは手動台車１４を他のポッド１５の搬送に使用する場合は、手動台車１４を移動させる。
【００２９】
移載完了スイッチが操作されると、その信号に基づいて昇降装置２１の下降移動が開始される。そして、図４（ｃ）に示すように、移動部材２２の下降が開始され、ポッド１５も移動部材２２と共に下降を開始する。下降途中で図４（ｄ）に示すように、カバー１８のフランジ部１８ｂが上壁２０の受渡し口部２０ａの周縁部と気密状態で当接する状態となる。この状態からさらに移動部材２２の下降が継続され、図４（ｅ）に示すように、カバー１８の下降が阻止された状態でカセット１７が下降されて、カセット１７が物品受渡し部１３内に進入する。そして、図４（ｆ）に示すように、カセット１７が完全に物品受渡し部１３内に収容された時点で昇降装置２１の下降動作が停止され、ポッド１５の開口（開放）が完了する。
【００３０】
次に、移載機２４が駆動され、アーム２６の伸縮及び支柱２５の回動及び昇降動との組合せで、フォーク２６ａが水平に保持された状態で移動される。そして、フォーク２６ａは、カセット１７の係止突部１７ｃ上に支持されている物品１６を１個（１枚）ずつ、掬うようにしてカセット１７から受け取り、設備側ステージ２３へ移載する。全ての物品１６の移載が完了した後、当該作業領域１２での作業が完了した物品１６を当該カセット１７に移載する作業が移載機２４により行われる。カセット１７への物品１６の移載が完了すると、昇降装置２１が上昇移動される。そして、図４（ｂ）に示すように、移動部材２２の開口充填部２２ｂが受渡し口部２０ａに挿入された閉鎖位置に配置された状態で昇降装置２１の駆動が停止される。
【００３１】
そして、作業者Ｗにより手動台車１４が再び物品受渡し部１３の所定位置に位置決めされた状態で停止され、ポッド１５が移載装置２９により受渡し口部２０ａと対応する位置から手動台車１４の載置部２７上に移載される。次に作業者Ｗは手動台車１４を他の作業領域１２まで移動させて物品１６を他の作業領域１２まで搬送する。
【００３２】
なお、物品受渡し部１３内に収容されたカセット１７に支持された物品１６の設備側ステージ２３への移載が完了した状態で、当該カセット１７を他の物品１６の搬送に使用するのが優先される場合は、当該作業領域１２での作業完了後の物品１６の移載を待たずに、昇降装置２１の上昇駆動が開始される。そして、空の状態のカセット１７が上昇されて、図４（ｂ）に示すように、ポッド１５の移載が可能な状態で停止される。この状態から、ポッド１５が移載装置２９により受渡し口部２０ａと対応する位置から手動台車１４の載置部２７上に移載され、手動台車１４を介して必要な作業領域１２の物品受渡し部１３と対応する位置へ搬送される。
【００３３】
ポッド１５が図４（ｂ）に示す状態から移動部材２２と共に下降移動され、カセット１７が物品受渡し部１３内に収容される途中の図４（ｄ）に示す状態に至る間に、従来の構成では、クリーンルーム１１内の清浄度の低いガスが物品受渡し部１３内に取り込まれる。詳しく説明すると、図４（ｂ）に示す状態において、カセット１７の凸部１９側面と、基板１７ａ下面の前記凸部１９側面より外側と、移動部材２２の凸部２２ｃ側面と、開口充填部２２ｂ上面の凸部２２ｃ側面より外側部で囲まれる空間部Ｓ１に存在するガスが物品受渡し部１３内に取り込まれる。しかし、この実施形態では、物品受渡し部１３内がクリーンルーム１１内より陽圧に保持されており、開口充填部２２ｂの周縁部に面取り部２２ｄが、基板１７ａの周縁部に面取り部１７ｄがそれぞれ形成されている。そのため、図４（ｃ）及び図５に示すように、移動部材２２及びカセット１７の下降に伴い、物品受渡し部１３内のガスが空間部Ｓ１内のガスをクリーンルーム１１内に押し出すように排出されるため、清浄度の低いガスが物品受渡し部１３内に取り込まれるのが抑制される。
【００３４】
この実施の形態では以下の効果を有する。
（１）物品１６をポッド１５（密封容器）内に収容した状態で手動台車１４を介してクリーンルーム１１内を搬送する。そして、ポッド１５の収容空間をクリーンルーム１１より清浄度の高い物品受渡し部１３に設けられた受渡し口部２０ａと連通状態とする前に、受渡し口部２０ａを覆う移動部材２２と、収容空間を密封する基板１７ａとの間に存在する清浄度の低いガスを作業領域１２内の清浄度の高いガスを用いてクリーンルーム１１内に排出する。従って、従来装置と異なり、手動台車１４（搬送手段）で搬送された物品１６を物品受渡し部１３の受渡し口部２０ａからクリーンルーム１１内の清浄度より高い作業領域１２内に収容する際、清浄度の低い外部環境のガスが物品受渡し部１３内（局所クリーン領域）に取り込まれることを抑制することができる。
【００３５】
（２）物品１６の搬送は、物品１６を複数平行に載置可能なカセット１７と、カセット１７を密閉可能に覆うカバー１８とを備えたポッド１５を使用して行われ、カセット１７は、受渡し口部２０ａから物品受渡し部１３内に進入可能に形成され、カバー１８は、受渡し口部２０ａの周縁部に気密状態で当接するフランジ部１８ｂを備えている。物品受渡し部１３には、受渡し口部２０ａを閉塞可能かつ閉鎖位置に配置された状態からカセット１７と当接した状態を保持してカセット１７の物品受渡し部１３内への進入に伴って移動可能な移動部材２２が設けられている。そして、移動部材２２が前記閉鎖位置から移動開始後、カバー１８のフランジ部１８ｂが前記周縁部に気密状態で当接する間に前記清浄度の低いガスを排出する。従って、搬送手段に物品１６を収容する密閉可能な収容空間を設ける場合に比較して、搬送手段の構成が簡単になる。
【００３６】
（３）移動部材２２は昇降可能に構成され、ポッド１５が移動部材２２上に載置された状態で移動部材２２が下降すると、カセット１７が移動部材２２と共に下降して物品受渡し部１３内に自動的に進入する。そして、移動部材２２の下降途中でカバー１８のフランジ部１８ｂが受渡し口部２０ａの周縁部に気密状態で当接するまでに、移動部材２２と受渡し口部２０ａとの隙間から作業領域内のガスが排出される。従って、清浄度の低い外部環境のガスが局所クリーン領域に取り込まれることを抑制するための構成が簡単になる。
【００３７】
（４）受渡し口部２０ａを覆う移動部材２２と、ポッド１５の収容空間を密封する基板１７ａとの間に存在する清浄度の低いガスを作業領域１２内の清浄度の高いガスを用いてクリーンルーム１１内に排出する排出手段は、作業領域１２内の圧力を該作業領域１２外の圧力より高い値に保持する圧力保持手段により構成されている。従って、移動部材２２と受渡し口部２０ａとの隙間から外部環境のガスが作業領域１２内に取り込まれるのを抑制する構成が簡単になる。
【００３８】
（５）カセット１７の基板１７ａの周縁部及び移動部材２２の開口充填部２２ｂの周縁部全体に面取り部１７ｄ，２２ｄが形成されている。従って、面取り部１７ｄ，２２ｄが存在しない場合に比較して、移動部材２２と受渡し口部２０ａとの隙間から作業領域１２内のガスが排出される際に、効率よく外部環境のガスの進入が抑制される。
【００３９】
（６）カセット１７の基板１７ａの下面には基板１７ａより一回り小さい凸部１９が設けられ、移動部材２２の開口充填部２２ｂ上にはカセット１７の凸部１９とほぼ同じ大きさの凸部２２ｃが突設されている。従って、カセット１７をアーム２９ａで支持した状態で移動部材２２上に載置したり、移動部材２２上に載置されたカセット１７を支持する作業が容易になる。
【００４０】
（第２の実施形態）
次に第２の実施形態を図６に従って説明する。この実施形態は、物品受渡し部間における物品１６の搬送を、物品１６をポッド１５（密閉容器）に収容した状態で行うのではなく、搬送台車（搬送手段）に設けられた収容空間に密閉状態で収容して搬送する点が前記第１の実施形態と大きく異なっている。前記第１の実施形態と同一部分は同一符号を付して詳しい説明を省略する。
【００４１】
図６に示すように、搬送台車３１は、特許文献１に開示されたものと同様な構成で密閉可能な収容空間としての収容部３２を備えており、収容部３２の上部にはフィルタユニット３２ａが設けられて収容部３２内がクリーンルーム１１内より高い清浄度に保持（維持）されるようになっている。収容部３２は進退可能に構成されるとともに、図示しない駆動装置により受渡位置（前進位置）と待機位置（後退位置）とに配置されるようになっている。図６においては、収容部３２が受渡位置に配置された状態が図示されている。収容部３２には受渡位置において開放可能な蓋部としての気密ドア３３が設けられている。また、収容部３２内には、カセット１７を移載するための移載装置２９が装備され、カセット１７は移載装置２９のアーム２９ａ上に載置された状態で収容部３２内と、物品受渡し部３４との間で移載可能に構成されている。搬送台車３１は、複数の物品受渡し部３４間を自動的に走行可能に構成されている。
【００４２】
物品受渡し部３４は、上部にフィルタユニット３４ａが設けられて物品受渡し部３４内がクリーンルーム１１内より高い清浄度に保持（維持）されるようになっている。物品受渡し部３４内には搬送台車３１の移載装置２９により移載されるカセット１７の載置部（図示せず）が設けられている。物品受渡し部３４の前側には気密ドア３５を備えた受渡し口部３６が設けられている。受渡し口部３６は気密ドア３５より前方に空間Ｓ２が形成される位置に設けられている。これらの構成は特許文献１と同様である。
【００４３】
物品受渡し部３４には、空間Ｓ２をクリーンルーム１１と連通可能とする通路（例えばパイプ）３７が設けられ、通路３７の途中には電磁弁（図示せず）が設けられている。また、物品受渡し部３４にはクリーンルーム１１より清浄度の高い物品受渡し部３４内のガスを、空間Ｓ２に噴射するノズル３８が設けられている。ノズル３８は図示しない電磁弁により噴射状態と、空間Ｓ２と物品受渡し部３４内との連通が遮断された待機状態とに切り替えられるようになっている。通路３７及びノズル３８が、搬送台車３１に設けられた収容部３２を物品受渡し部３４に設けられた受渡し口部３６と連通状態とする前に、受渡し口部３６を覆う気密ドア３５と、収容部３２を密封する気密ドア３３との間に存在する清浄度の低いガスを作業領域内の清浄度の高いガスを用いてクリーンルーム１１内に排出する排出手段を構成する。
【００４４】
この実施形態では、搬送台車３１は収容部３２が待機位置に配置された状態で移動し、収容部３２が受渡し口部３６と対向する状態で停止する。そして、図６に示すように、収容部３２が受渡位置に移動されて、気密ドア３３と受渡し口部３６の気密ドア３５との間に気密状態の空間部Ｓ１が形成される。この状態では、空間部Ｓ１はクリーンルーム１１と同じ清浄度である。次に電磁弁が駆動されて通路３７がクリーンルーム１１と連通状態に保持された後、ノズル３８から物品受渡し部３４内のガスが空間部Ｓ１内に噴射される。そして、空間部Ｓ１内のガスがノズル３８から噴射されたガスで置換された後、ノズル３８からの噴射が停止されるとともに、通路３７とクリーンルーム１１との連通状態が遮断される。
【００４５】
次に両気密ドア３３，３５が開放された後、移載装置２９が駆動されてアーム２９ａによりカセット１７が物品受渡し部３４内の載置部に移載される。アーム２９ａが待機位置に戻った後、両気密ドア３３，３５が閉鎖されてカセット１７の受渡が完了する。
【００４６】
この実施形態では次の効果を有する。
（７）搬送手段（搬送台車３１）の収容部３２を物品受渡し部３４に設けられた受渡し口部３６と連通状態とする前に、受渡し口部３６を覆う気密ドア３５と、収容部３２を密封する気密ドア３３との間に存在する清浄度の低いガスが、通路３７及びノズル３８により作業領域内の清浄度の高いガスを用いてクリーンルーム１１内に排出される。従って、搬送台車３１で搬送された物品１６を物品受渡し部３４の受渡し口部３６からクリーンルーム１１内の清浄度より高い作業領域内に収容する際、清浄度の低い外部環境（クリーンルーム１１内）のガスが局所クリーン領域に取り込まれることを抑制することができる。
【００４７】
（８）搬送手段としての搬送台車３１が複数の物品受渡し部３４間を自動的に走行可能に構成されているため、手動台車１４を使用する場合と異なり、作業者Ｗが搬送台車３１について移動する必要がない。従って、クリーンルーム１１及び作業領域１２を不活性なガス（例えば、窒素、ヘリウム）の環境とすることが容易となる。
【００４８】
（９）ポッド１５を使用して搬送する場合と異なり、異なる大きさの物品１６毎に対応する大きさのポッド１５を準備する必要がない。
実施の形態は前記に限定されるものではなく、例えば、次のように具体化してもよい。
【００４９】
○  基板１７ａの周縁部及び移動部材２２の開口充填部２２ｂの周縁部に形成される面取り部１７ｄ，２２ｄは、テーパ状（平面状）に限らず、曲面状であってもよい。また、両面取り部１７ｄ，２２ｄのいずれか一方がテーパ状で他方が曲面状であってもよい。
【００５０】
○  基板１７ａの周縁部及び移動部材２２の開口充填部２２ｂの周縁部に面取り部１７ｄ，２２ｄを形成する代わりに、図７に示すように、各周縁部の延びる方向と交差する溝４０，４１を形成してもよい。この場合、溝４０，４１を介して物品受渡し部１３内の清浄度の高いガスが空間部Ｓ１に進入して、空間部Ｓ１内のガスをクリーンルーム１１内へ排出する。従って、溝４０，４１が存在することにより、溝４０，４１が存在しない場合に比較して、移動部材２２の開口充填部２２ｂと、受渡し口部２０ａとの隙間から作業領域１２内のガスが排出される際に、効率よく外部環境のガスの進入が抑制される。なお、基板１７ａに形成される溝４０と、開口充填部２２ｂに形成される溝４１とは、その位置が一直線状となるように対応するのではなく、ずれた位置に形成されるのが好ましい。
【００５１】
○  基板１７ａ及び移動部材２２の開口充填部２２ｂのいずれか一方の周縁部に面取り部１７ｄ，２２ｄを形成し、他方の周縁部に溝４０，４１を形成してもよい。
○  基板１７ａの周縁部及び移動部材２２の開口充填部２２ｂの周縁部に面取り部１７ｄ，２２ｄや溝４０，４１を形成するのを省略したり、基板１７ａ及び開口充填部２２ｂのいずれか一方の周縁部にのみ面取り部１７ｄ，２２ｄ又は溝４０，４１を形成したりしてもよい。
【００５２】
○  基板１７ａの周縁部に面取り部１７ｄを形成しない場合、受渡し口部２０ａの周縁部上側全体にテーパ状の面取り部を形成してもよい。この場合、面取り部がガイド部の役割を果たし、カセット１７が移動部材２２上に多少位置ずれした状態で載置されても、移動部材２２の下降に伴って円滑に下降移動される。
【００５３】
○  物品受渡し部１３内をクリーンルーム１１内（外部環境）より陽圧に保持する構成に代えて、外部環境より清浄度の高い作業領域１２内のガスを、移動部材２２の下降移動時に開口充填部２２ｂの側部と受渡し口部２０ａ周縁部との隙間に向かって噴射するノズルを設けてもよい。また、物品受渡し部１３内をクリーンルーム１１内より陽圧に保持するとともに、前記ノズルを設けてもよい。
【００５４】
〇  物品受渡し部１３を搬入用と、搬出用とに区別して、例えば、一方の物品受渡し部１３を搬入用に、他方の物品受渡し部１３を搬出用としてもよい。この場合、搬入用の物品受渡し部１３には常に物品１６が収容されたポッド１５が搬送手段（例えば、手動台車１４）により搬送されて来る。また、搬出用の物品受渡し部１３には常に物品１６が収容されていないポッド１５が搬送手段（例えば、手動台車１４）により搬送されて来る。
【００５５】
〇  物品受渡し部１３，３４を１個にしたり、あるいは３個以上設けてもよい。
〇  ポッド１５を搬送する搬送手段は手動台車１４に限らず、無人台車やあるいは車輪を有しないリニアモータを使用した無人搬送装置で構成してもよい。
【００５６】
〇  カバー１８の内部を作業者Ｗが目視できるように、カバー１８の少なくとも一部を透明にしてもよい。例えば、カバー１８全体を透明又は半透明な樹脂製としたり、カバー１８に窓を設けるとともに窓を透明な材質製の板材等で覆う構成としたりしてもよい。この場合、カバー１８内にカセット１７が存在しない状態で、物品受渡し部１３の受渡し口部２０ａ上に載置されているポッド１５の移載作業を作業者Ｗが誤って行うのを抑制することができる。
【００５７】
○  受渡し口部２０ａの周縁部と当接する状態で上壁２０上に載置されたカバー１８を固定する固定手段を設けてもよい。固定手段としては、例えば、上壁２０上に設けられ、フランジ部１８ｂに係止する固定位置と、フランジ部１８ｂに対する係止が解除される待避位置とに移動可能な係止具がある。また、上壁２０とフランジ部１８ｂに磁石を設けたり、一方に磁石を、他方に鉄などの磁性体を設けて、磁力によりカバー１８を固定する構成としてもよい。
【００５８】
○  物品受渡し部１３内に移載されたカセット１７から物品１６を設備側ステージ２３へ移載するのをアーム２６を備えた移載機２４で行う構成に代えて、超音波搬送装置等の搬送装置で搬送するようにしてもよい。
【００５９】
○  第２の実施形態において、空間部Ｓ１内の清浄度の低いガスを排出するための通路３７及びノズル３８を物品受渡し部３４側に設ける代わりに、搬送台車３１側に設けてもよい。
【００６０】
〇  物品１６は液晶装置用のガラス基板に限らず、例えば、他のディスプレイ装置（例えば、プラズマディスプレイ装置、エレクトロルミネッセンス装置（ＥＬ装置）等の基板や半導体装置の基板（ウエハ）等であってもよい。物品１６（基板）の大きさに対応して、ポッド１５の大きさや搬送台車３１の収容部３２（収容空間）の大きさが設定される。
【００６１】
○  クリーンルーム１１及び作業領域１２の内、少なくとも作業領域１２の環境を占めるガスは空気に限らず、不活性なガス（例えば、窒素、ヘリウム）であってもよい。
以下の技術的思想（発明）は前記実施の形態から把握できる。
【００６２】
（１）請求項１〜請求項６に記載の発明において、前記排出手段は、前記気密ドアと前記蓋部との間の空間部を前記室に連通可能な通路と、前記空間部に前記作業領域内の清浄度の高いガスを噴射するノズルとを備えている。
【００６３】
（２）室内の複数箇所に設けられるとともに、清浄度が前記室内の清浄度より高い作業領域の物品受渡し部間における物品の搬送を搬送手段を介して行う局所クリーン搬送装置における物品受渡し時の清浄度保持装置であって、
前記物品を収容するため前記搬送手段に設けられた収容空間を前記物品受渡し部に設けられた受渡し口部と連通状態とする前に、前記受渡し口部を覆う気密ドアと、前記収容空間を密封する蓋部との間に存在する清浄度の低いガスを前記収容空間内の清浄度の高いガスを用いて前記室内に排出する排出手段を前記搬送手段に備えた局所クリーン搬送装置における物品受渡し時の清浄度保持装置。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】（ａ）は第１の実施形態の局所クリーン搬送装置の模式側面図、（ｂ）は受渡し口部付近の部分拡大図。
【図２】局所クリーン搬送装置の模式平面図。
【図３】ポッドの模式分解斜視図。
【図４】（ａ）〜（ｆ）は受渡し作用を説明する模式図。
【図５】作用を説明する部分断面図。
【図６】（ａ）は第２の実施形態の局所クリーン搬送装置の模式側面図、（ｂ）は模式部分拡大図。
【図７】別の実施形態のカセットと移動部材の模式斜視図。
【図８】従来技術のクリーン搬送装置の模式図。
【図９】同じくクリーン搬送装置の模式図。
【図１０】（ａ）〜（ｄ）は別の従来技術のカセット受渡し作用を説明する模式図。
【符号の説明】
【００６５】
１１…室としてのクリーンルーム、１２…作業領域、１２ａ…圧力保持手段を構成するファンフィルタユニット、１３，３４…物品受渡し部、１４…搬送手段としての手動台車、１５…密封容器としてのポッド、１６…物品、１７…カセット、１７ｄ，２２ｄ…面取り部、１８…カバー、１８ｂ…フランジ部、２０ａ，３６…受渡し口部、２２…移動部材、３３，３５…気密ドア、４０，４１…溝。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2008210881.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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