【誤訳訂正書】
【提出日】平成25年3月12日(2013.3.12)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】請求項１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【請求項１】
電子光学画像形成のための位相板（１）であって、
対象物（２）で、電子ビーム（３）は０次ビーム（４）と回折された電子ビーム（５，５’）に分割され、
前記位相板（１）は、０次ビーム（４）の領域に延在している電極（１’）として構成されており、電圧によって形成された電界（６）によって前記０次ビーム（４）の位相をシフトさせ、回折された電子ビーム（５、５’）とのその干渉によってコントラストの高い画像を実現する形式のものにおいて、
前記電極（１’）は遮蔽された導体（７）として構成されており、当該導体は固定部（８）から実質的に放射状に、０次ビーム（４）の領域の方向に延在して配置されており、
前記遮蔽された導体（７）は０次ビーム（４）の領域の前に終端部（９）を有しており、前記導体（７）と、導体を取り囲んでいる遮蔽部（１０）との間に電界（６）が形成され、当該電界は前記領域を含んでおり、
前記位相板（１）は、前記０次ビーム（４）の１つの側に完全に位置している
ことを特徴とする、電子光学画像形成のための位相板。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】請求項１５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【請求項１５】
電子顕微鏡（１２）であって、
対象物（２）で、電子ビーム（３）は０次ビーム（４）と回折された電子ビーム（５，５’）に分割され、
位相板（１）を有しており、当該位相板は、前記０次ビーム（４）の対物レンズ焦点面（１５）に配置されており、前記位相板（１）は電極（１’）として構成されており、電圧によって形成された電界（６）によって前記０次ビーム（４）の位相をシフトさせ、回折された電子ビーム（５、５’）とのその干渉によってコントラストの高い画像を実現する形式のものにおいて、
前記電極（１’）は遮蔽された導体（７）として構成されており、当該導体は固定部（８）から出発して実質的に放射状に、０次ビーム（４）の領域の方向へ延在して配置されており、
前記遮蔽された導体（７）は０次ビーム（４）の領域の前に終端部（９）を有しており、遮蔽部（１０）と導体（７）との間に形成された電界（６）が当該領域を含んでおり、
前記位相板（１）は、前記０次ビーム（４）の１つの側に完全に位置している
ことを特徴とする電子顕微鏡。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１１】
ＥＰ０７８２１７０Ａ２号の別の提案によっては、電極のリング状構造が省かれる。これによってリング状電極による上述の問題もなくなる。図３に示されたこの提案および属する説明は、冒頭に記載された様式の位相板に相応する。この場合にこの電極がどのような外観を有するべきかという問題に対して、ここでは唯一の提案が成されている。この提案では導体は直接的に接線方向で、０次ビームを通過するように案内される。この導体から生じる電界ができるだけ０次ビームのみを検出するようにするために、図３およびそれに属する明細書において次のことが提案される。すなわち、これを絶縁層およびアースされた遮蔽層によって取り囲むことが提案される。これらの層は、０次ビームの領域において、導体全体の周囲を中心にして離れている。従ってここでは、電界が導体と遮蔽層の２つの環状終端部との間に生じる。これは導体側で０次ビームを含んでいる。ここではもはや上述したリング状電極による問題は生じないが、遮蔽された導体が、回折されたビームのビーム路全体を通って、相応に大きな影の部分を生じさせてしまうという問題が生じる。しかし殊に、この導体は絶縁体および遮蔽部とともに、０次ビームの焦点に対してわずかにずらされており、ここでも中央対称に、０次ビームの焦点に対して１８０°ずらされた領域が影にされる。ＥＰ０７８２１７０Ａ２号が再結合を提案していないことを除いても、上述した事実に基づいて再結合は不可能である。この提案では、導体が０次ビームの方を向いていない側でも電界を生成してしまうことがさらなる問題として生じる。なぜなら、導体はここでも遮蔽なしで露出しているからである。これによって、そこで延在している回折されたビームは同じように位相がずらされ、これによって振幅増幅にはもはや使用されない。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１４】
冒頭に記載した様式の位相板に関しては、上述の課題は次のことによって解決される。すなわち電極が遮蔽された導体として構成され、この導体が固定部から、実質的に放射状に０次ビームの領域の方向に延在して配置されることによって解決される。ここで、遮蔽された導体は０次ビームの領域前に終端部を有しており、これによって導体と当該導体を取り囲んでいる遮蔽部との間に、この領域を含んでいる電界が形成される。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１６】
冒頭に記載した様式の電子顕微鏡に関しては、上述の課題は次のことによって解決される。すなわち電極が遮蔽された導体として構成され、この導体が固定部から出発して実質的に放射状に０次ビームの領域の方向に延在することによって解決される。ここで遮蔽された導体は０次ビームの領域前に終端部を有しており、これによって遮蔽部と導体の間に形成された電界がこの領域を含んでいる。
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１７】
本発明の基本となる考えは、導体終端部によって生成される電界の規模ができるだけ小さいということである。導体終端部は絶縁体によって別個にされて、アースされた、同じように導電性の被覆部によって取り囲まれている。このようにして、導体と、被覆する遮蔽部との間に、非常に小さい規模の電界が形成される。これによって０次ビームの他に、電界によって含まれるまたは遮蔽される回折されたビームはできるだけ僅かになる。従って、できるだけ多くの、０次ビーム近傍に存在する、強い強度の回折されたビームがコントラスト形成のために使用可能に保たれる。この利点の他に、本発明による位相板によって次のことが可能になる。すなわち、電界を１つの側からのみ０次ビームに近づけることが可能になる。従って、０次ビームに関して１８０°で対向している領域は影の部分にならない。本発明の位相板はこのようにして、画像の完全な復元を伴う結像方法を可能にする。結像方法のさらなる具体的な構成に関しては、公開物、殊にＤＥ１０２０６７０３Ａ１号に記載されている。本発明に相応してこの方法によって初めて、完全な画像復元が可能である。
【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３０】
電子ビーム３は対象物２へ向けられ、そこで部分的に回折される。従って、０次ビーム４の他に回折された電子ビーム５、５’が生じる。ビーム４、５、５’は対物レンズ１３によって屈折される。ここでビーム４、５、５’の焦点は０次ビーム４の対物レンズ焦点面１５内に位置する。例えばここでは１次の回折されたビーム５、５’の１８０°ずらされた２つの焦点のみが示されている。０次ビームの焦点は、回折ビーム５、５’の焦点に対して僅かなずれが生じる場合でも基準点を形成するので、用語「０次ビーム４の対物レンズ焦点面１５」が選択されている。回折された電子ビーム５、５’の焦点は、０次ビーム４の焦点と放射状に離れている。ここで０次ビーム４の焦点は中心点を構成し、外側で、通常は中央対称のパターンを成す全回折電子ビーム５、５’の焦点によって、回折次数に従って段階的に囲まれている。この事実は、電極１’を有する位相板１によって、小さい電界６（図２を参照）を生じさせることに利用される。この電界は実質的に０次ビーム４のみを含む。これによって次のように位相がシフトされる。すなわち、投影面１６または検出装置１７または１７’’上での画像形成時に、ビーム４、５、５’の再重畳時の振幅増幅によって、コントラストの高い画像が得られるように位相がシフトされる。
【誤訳訂正８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３１】
電界６が実質的に０次ビーム４のみを含むことを保証するために、追従アライメントが可能であるのは有利である。なぜなら、維持されるべき非常に短い距離は、僅かな影響で変えられてしまうからである。このために、担体２０を有する電極１’が操作機構２４を有することが提案される。この操作機構によって、遮蔽された導体７の終端部９（図２を参照）が０次ビーム４の焦点に相応して追従アライメントされる。操作機構２４はここでは象徴的にあらわされている。択一的にまたは同時に、このような追従アライメントはビーム偏向装置２５が設けられることによっても実行される。ビーム偏向装置は０次ビーム４の対物レンズ焦点面１５のビーム方向において前方に設けられており、次のように実現されている。すなわち、ビーム偏向装置は相応する電界または磁界の生成によって、０次ビーム４の焦点が電界６に対して最適な位置にあるようにビーム路４、５、５’を非常に僅かにずらすように実現されている。この位置付けは図２に、拡大して示されている。
【誤訳訂正９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３４】
図２は、電界６および０次ビーム４を伴う部分の、位相板１の電極先端を示している。ここで０次ビーム４は光軸１８内にある。これは図１にも示されている。上述した手段によって次のことが可能になる。すなわち、０次ビーム４の他に電界６が非常に僅かにしか回折された電子ビーム５、５’’を包囲しないように、遮蔽された導体７の終端部９を正確に位置付けることが可能になる。電界６を次のことによってさらに正確に位置付けることができる。すなわち、内部電極を形成する導体７が遮蔽部１０に対して、後方へのずれ２２を有していることによってさらに正確に位置付けることができる。なぜなら電界６はこのようにしてさらに制限されるからである。電極１’は導体７、絶縁体１１および遮蔽部１０から成る。ここで電極１’の断面はできるだけ小さく構成され、これによって電界６はできる限り、０次ビーム４の焦点の領域内に位置付けされる。