【手続補正書】
【提出日】平成21年9月11日(2009.9.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の外観を目視で検査するために用いられる基板検査装置であって、
基板を保持する基板ホルダと、
同じ基板について予め撮像しておいた画像を表示する表示部と、
前記基板ホルダに保持されている基板と検査者の配置に合わせて、予め撮像しておいた前記画像を回転又は反転させ、検査者からみた基板の方向と一致するように前記画像を表示させる画像処理装置と、
を有することを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】
前記画像処理装置は、
検査者からみて基板の手前側に相当する部分を下側に表示させると共に、検査者からみて基板の奥側に相当する部分を上側に表示させる、又は検査者からみて基板の下側に相当する部分を下側に表示させると共に、検査者からみて基板の上側に相当する部分を上側に表示させるように前記画像を回転又は反転させることを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置。
【請求項３】
前記画像処理装置は、前記基板ホルダが反転した場合に前記画像を反転して表示させることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の基板検査装置。
【請求項４】
前記画像処理装置は、基板に対する検査者の位置が９０°回転した場合に前記画像を逆方向に９０°回転表示させることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の基板検査装置。
【請求項５】
前記画像処理装置は、同じ基板について予め撮像しておいた前記画像として、基板の表面画像を有し、前記基板ホルダ上の基板の表面が検査者に向けられているときには、前記表面画像を表示させ、前記基板ホルダを反転し、前記基板ホルダ上の基板の裏面が検査者に向けられているときには、前記表面画像の上下を反転させた表面反転画像を作成して表示させることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の基板検査装置。
【請求項６】
前記画像処理装置は、同じ基板について予め撮像しておいた前記画像として、基板の表面画像と裏面画像を有し、前記基板ホルダ上の基板の表面が検査者に向けられているときには、前記表面画像と、前記裏面画像を上下反転させた裏面反転画像とを表示させ、前記基板ホルダを反転し、前記基板ホルダ上の基板の裏面が検査者に向けられているときには、前記裏面画像と、前記表面画像を上下反転させた表面反転画像とを表示させることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の基板検査装置。
【請求項７】
前記画像処理装置は、同じ基板について予め撮像しておいた前記画像と共に、予め抽出した欠陥位置と欠陥の種類の情報を前記表示部に表示させ、欠陥位置の情報は前記画像に重ねて表示すると共に前記画像の反転又は回転に応じて反転又は回転して表示させ、欠陥の種類の情報は前記画像の反転又は回転にかかわらずに一定の向きに表示させることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の基板検査装置。
【請求項８】
前記画像を回転表示させる際に基板に対する検査者の位置を選択可能な切り替え選択部を有することを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の基板検査装置。
【請求項９】
前記画像処理部は、前記基板ホルダ上の基板の検査の現状を示す状態表示を前記表示部に表示させることを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか一項に記載の基板検査装置。
【請求項１０】
前記画像処理装置は、予め撮像しておいた撮像条件の異なる複数枚の前記画像を前記表示部に並べて表示する、又は切り替え可能に表示することを特徴とする請求項１から請求項９のいずれか一項に記載の基板検査装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
上記の課題を解決する本発明の請求項１に係る発明は、基板の外観を目視で検査するために用いられる基板検査装置であって、基板を保持する基板ホルダと、同じ基板について予め撮像しておいた画像を表示する表示部と、前記基板ホルダに保持されている基板と検査者の配置に合わせて、予め撮像しておいた前記画像を回転又は反転させ、検査者からみた基板の方向と一致するように前記画像を表示させる画像処理装置と、を有することを特徴とする基板検査装置とした。
請求項２に係る発明は、請求項１に記載の基板検査装置において、前記画像処理装置は、検査者からみて基板の手前側に相当する部分を下側に表示させると共に、検査者からみて基板の奥側に相当する部分を上側に表示させる、又は検査者からみて基板の下側に相当する部分を下側に表示させると共に、検査者からみて基板の上側に相当する部分を上側に表示させるように前記画像を回転又は反転させることを特徴とする。
この基板検査装置は、検査者が実際にみている基板の前後左右（上下左右）と、表示されている画像の上下左右が一致するので、欠陥の位置や状態が容易に把握できるようになる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
請求項３に係る発明は、請求項１又は請求項２に記載の基板検査装置において、前記画像処理装置は、前記基板ホルダが反転した場合に前記画像を反転して表示させることを特徴とする。
この基板検査装置は、基板の表面と裏面を反転させたときに、これに合わせて画像を反転表示させる。例えば、基板の裏面を検査しているときに、目視で見ている配置に合わせて基板の表面の画像が表示されるので、配置を観念し易い。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
請求項４に係る発明は、請求項１又は請求項２に記載の基板検査装置において、前記画像処理装置は、基板に対する検査者の位置が９０°回転した場合に前記画像を逆方向に９０°回転表示させることを特徴とする。
この基板検査装置は、基板を観察する方向を９０°変化させたときに、同じ方向からみた画像が表示されるように、画像を逆方向に回転したものを作成して表示する。
請求項５に係る発明は、請求項１又は請求項２に記載の基板検査装置において、前記画像処理装置は、同じ基板について予め撮像しておいた前記画像として、基板の表面画像を有し、前記基板ホルダ上の基板の表面が検査者に向けられているときには、前記表面画像を表示させ、前記基板ホルダを反転し、前記基板ホルダ上の基板の裏面が検査者に向けられているときには、前記表面画像の上下を反転させた表面反転画像を作成して表示させることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
請求項６に係る発明は、請求項１又は請求項２に記載の基板検査装置において、前記画像処理装置は、同じ基板について予め撮像しておいた前記画像として、基板の表面画像と裏面画像を有し、前記基板ホルダ上の基板の表面が検査者に向けられているときには、前記表面画像と、前記裏面画像を上下反転させた裏面反転画像とを表示させ、前記基板ホルダを反転し、前記基板ホルダ上の基板の裏面が検査者に向けられているときには、前記裏面画像と、前記表面画像を上下反転させた表面反転画像とを表示させることを特徴とする。
この基板検査装置は、検査者が見ている面の画像と、その反対側の面の画像とが並んで表示される。反対側の面の画像は、反転表示され、かつ検査者に近い部分が画像の下側に表示されるので、基板の表面と裏面のそれぞれの画像を対応付けて認識することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
請求項７に係る発明は、請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の基板検査装置において、前記画像処理装置は、同じ基板について予め撮像しておいた前記画像と共に、予め抽出した欠陥位置と欠陥の種類の情報を前記表示部に表示させ、欠陥位置の情報は前記画像に重ねて表示すると共に前記画像の反転又は回転に応じて反転又は回転して表示させ、欠陥の種類の情報は前記画像の反転又は回転にかかわらずに一定の向きに表示させることを特徴とする。
この基板検査装置では、欠陥の位置や欠陥の種類の情報が並んで表示されるので、検査位置の確認等が容易になる。画像が反転表示されたときには、欠陥位置の情報も反転した座標系で配置される。欠陥位置の情報は、反転させずにそのまま表示させるので、検察者にとって確認が容易である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
請求項８に係る発明は、請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の基板検査装置において、前記画像を回転表示させる際に基板に対する検査者の位置を選択可能な切り替え選択部を有することを特徴とする。
この基板検査装置では、検査の状況に応じて観察者が画像を回転表示させることが可能になる。
請求項９に係る発明は、請求項１から請求項８のいずれか一項に記載の基板検査装置において、前記画像処理部は、前記基板ホルダ上の基板の検査の現状を示す状態表示を前記表示部に表示させることを特徴とする。
請求項１０に係る発明は、請求項１から請求項９のいずれか一項に記載の基板検査装置において、前記画像処理装置は、予め撮像しておいた撮像条件の異なる複数枚の前記画像を前記表示部に並べて表示する、又は切り替え可能に表示することを特徴とする。