【手続補正書】
【提出日】平成21年9月1日(2009.9.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プロセスチャンバ用ガス入口マニホールドにおいて、
チャンバ上部壁及びチャンバ側壁を備えるチャンバ壁であって、１つ以上のガス入口流路を含む、チャンバ壁と、
複数のガス出口流路を有するシャワーヘッドと、
前記シャワーヘッドを、前記上部壁よりも下に少し離れてつるすように、前記チャンバ壁と前記シャワーヘッドとの間に接続されたサスペンションと、
前記チャンバ壁に隣接して位置決めされた上方部分と、前記シャワーヘッドに隣接して位置決めされた下方部分との間に延びるガス密閉スカートと、を備え、
前記ガス密閉スカートが、前記チャンバ壁または前記シャワーヘッドのいずれか一方に接続されているが、その両方には接続されておらず、
前記ガス密閉スカートが、前記ガス密閉スカートの内面の面積の３分の１くらいの総面積を有する多数のギャップによって、前記チャンバ壁または前記シャワーヘッドのいずれか一方から離されており、前記ギャップの数がゼロ以上であり、
前記チャンバ壁、前記シャワーヘッド、前記ガス密閉スカート及び前記ギャップが集合的に、ガスが、前記ガス入口流路からそこを通って前記ガス出口流路へ流れることができる空間を包囲する、ガス入口マニホールド。
【請求項２】
前記サスペンションが前記空間の外部にある、請求項１に記載のガス入口マニホールド。
【請求項３】
前記シャワーヘッドが、４つの側部を持つ矩形であり、
前記ガス密閉スカートが、前記シャワーヘッドの前記４つのそれぞれの側部にそれぞれ隣接している４つのシートを備える、請求項１に記載のガス入口マニホールド。
【請求項４】
前記サスペンション及び前記シャワーヘッドが単一の構成要素である、請求項１に記載のガス入口マニホールド。
【請求項５】
プロセスチャンバ用ガス入口マニホールドにおいて、
チャンバ上部壁及びチャンバ側壁を備えるチャンバ壁であって、１つ以上のガス入口流路を含む、前記チャンバ壁と、
（i）上方対向面及び下方対向面、
（ii）前記上方対向面と前記下方対向面との間に延びる複数のガス出口流路、
（iii）前記上方対向面内の１つ以上の溝であって、前記ガス出口流路と前記上方対向面の周辺部との間に配置されている前記溝、
を含むシャワーヘッドと、
前記上部壁の下より少し離れて前記シャワーヘッドをつるすように、前記チャンバ壁と前記シャワーヘッドとの間に接続されたサスペンションと、
（i）前記チャンバ壁に接続されている上方部分、
（ii）１つ以上の前記溝内に延びており、かつ前記シャワーヘッドに接続されていない下方部分、
を含む、ガス密閉スカートと、
を備え、
前記チャンバ壁、前記シャワーヘッド及び前記ガス密閉スカートが集合的に、ガスが前記ガス入口流路からそこを通って前記ガス出口流路へ流れることができる空間を包囲する、ガス入口マニホールド。
【請求項６】
前記サスペンションが前記空間の外部にある、請求項５に記載のガス入口マニホールド。
【請求項７】
プロセスチャンバ用ガス入口マニホールドにおいて、
チャンバ上部壁及びチャンバ側壁を備えるチャンバ壁であって、１つ以上のガス入口流路を含む、チャンバ壁と、
複数のガス出口流路を有するシャワーヘッドと、
前記上部壁の下より少し離れて前記シャワーヘッドをつるすように、前記チャンバ壁と前記シャワーヘッドとの間に接続されたサスペンションと、
前記チャンバ壁に接続された上方部分と、前記シャワーヘッドに当接しているが、接続はされていない下方部分とを有するガス密閉スカートと、
を備え、
前記チャンバ壁、前記シャワーヘッド及び前記ガス密閉スカートが集合的に、ガスが前記ガス入口流路からそこを通って前記ガス出口流路へ流れることができる空間を包囲する、ガス入口マニホールド。
【請求項８】
前記サスペンションが前記空間の外部にある、請求項７に記載のガス入口マニホールド。
【請求項９】
前記ガス密閉スカートが、前記シャワーヘッドの周辺部に当接している、請求項７に記載のガス入口マニホールド。
【請求項１０】
前記シャワーヘッドが、少なくとも１つの上方に突出する隆起部を含み、
前記ガス密閉スカートが、前記少なくとも１つの隆起部の径方向外側面に当接している、請求項７に記載のガス入口マニホールド。
【請求項１１】
プロセスチャンバ用ガス入口マニホールドであって、
チャンバ上部壁及びチャンバ側壁を備えるチャンバ壁であって、１つ以上のガス入口流路を含む、チャンバ壁と、
複数のガス出口流路を有するシャワーヘッドと、
前記シャワーヘッドを、前記上部壁よりも下に少し離れてつるすように、前記チャンバ壁と前記シャワーヘッドとの間に接続されたサスペンションと、
前記チャンバ壁に接続された上方部分と、ガス密閉スカートが、前記ガス密閉スカートの内面の面積の３分の１くらいの総面積を有する多数のギャップによって、前記シャワーヘッドから離されており、前記ギャップの数がゼロ以上になるように、前記シャワーヘッドの方に延びているが、前記シャワーヘッドに接続はされていない下方部分とを有するガス密閉スカートと、
を備え、
前記チャンバ壁、前記シャワーヘッド、前記ガス密閉スカート及び前記ギャップが集合的に、ガスが、前記ガス入口流路からそこを通って前記ガス出口流路へ流れることができる空間を包囲する、ガス入口マニホールド。
【請求項１２】
前記サスペンションが前記空間の外部にある、請求項１１に記載のガス入口マニホールド。
【請求項１３】
前記ガス密閉スカートの前記下方部分が、前記ギャップの数がゼロになるように、前記シャワーヘッドに接触している、請求項１１に記載のガス入口マニホールド。
【請求項１４】
前記ガス密閉スカートの前記下方部分が、前記ギャップの総面積がゼロになるように、前記シャワーヘッドに接触している、請求項１１に記載のガス入口マニホールド。
【請求項１５】
前記サスペンションが前記シャワーヘッドの側部に接続されている、請求項１１に記載のガス入口マニホールド。
【請求項１６】
前記サスペンションが、前記シャワーヘッドの４つのそれぞれの側部にそれぞれ接続された４つのシートを備える、請求項１１に記載のガス入口マニホールド。
【請求項１７】
前記サスペンション及び前記シャワーヘッドが単一の構成要素である、請求項１１に記載のガス入口マニホールド。
【請求項１８】
シャワーヘッドをつるす装置であって、
複数のガス出口流路を有するシャワーヘッドと、
１つ以上のサスペンション壁を備えるサスペンションであって、各サスペンション壁が上方部分及び下方部分を含む、サスペンションと、
を備え、
各サスペンション壁の前記下方部分が、前記サスペンションが前記シャワーヘッドを、前記サスペンション壁の前記上方部分の下につるすように、前記シャワーヘッドに接続されており、
各サスペンション壁が、前記サスペンション壁の面積の少なくとも５％を集合的に占める１つ以上の開口を含む、装置。
【請求項１９】
チャンバ上部壁及びチャンバ側壁を備えるチャンバ壁であって、１つ以上のガス入口流路を含む、チャンバ壁をさらに備え、
各サスペンション壁の前記上方部分が前記チャンバ壁に接続されている、請求項１８に記載の装置。
【請求項２０】
各サスペンション壁が、前記サスペンション壁の前記上方部分と前記下方部分との間に可撓性の部分を含み、
各サスペンション壁に対して、該サスペンション壁内の前記開口の各々が、該サスペンション壁の前記可撓性の部分内にある、請求項１８に記載の装置。
【請求項２１】
前記開口の各々が垂直方向に伸長している、請求項１８に記載の装置。
【請求項２２】
各サスペンション壁に対して、該サスペンション壁内の前記開口の各々が、該サスペンション壁の最下端部まで延びている、請求項１８に記載の装置。
【請求項２３】
各サスペンション壁に対して、
該サスペンション壁の前記下方部分が、複数のエリアにおいて、前記シャワーヘッドに接続されており、
前記エリアが、該サスペンション壁内の１つ以上の前記開口によって離されている、請求項２２に記載の装置。
【請求項２４】
前記シャワーヘッドが、４つの側部を持つ矩形であり、
前記サスペンション壁が、前記シャワーヘッドの４つのそれぞれの側部にそれぞれ接続された４つのサスペンション壁を備える、請求項１８に記載の装置。
【請求項２５】
前記サスペンション及び前記シャワーヘッドが単一の構成要素である、請求項１８に記載の装置。
【請求項２６】
各サスペンション内の１つ以上の前記開口が、前記サスペンション壁の少なくとも４分の１の面積を集合的に占める、請求項１８に記載の装置。
【請求項２７】
プロセスチャンバ内でシャワーヘッドをつるす装置において、
複数のガス出口流路を有するシャワーヘッドと、
１つ以上のサスペンション壁を備えるサスペンションであって、各サスペンション壁が、（i）上方部分、（ii）前記サスペンションが、前記上方部分の下に前記シャワーヘッドをつるすように、前記シャワーヘッドに接続された下方部分、（iii）前記上方部分と前記下方部分との間で垂直方向に延びる可撓性の部分を含むサスペンションと、
を備え、
各サスペンション壁の前記可撓性の部分が、前記サスペンション壁内の１つ以上の裂け目の実質的に垂直方向の配列を含む、装置。
【請求項２８】
前記１つ以上の裂け目の実質的に垂直方向の配列が、
前記サスペンション壁の各々の前記可撓性の部分内の実質的に垂直方向に向けられたスリットからなる、請求項２７に記載の装置。
【請求項２９】
前記１つ以上の裂け目の実質的に垂直方向の配列が、
前記サスペンション壁の各々の前記可撓性の部分内の実質的に垂直方向に伸長する開口からなる、請求項２７に記載の装置。
【請求項３０】
前記１つ以上の裂け目の実質的に垂直方向の配列が、
前記サスペンション壁の各々の前記可撓性の部分内の実質的に垂直方向に伸長する溝からなる、請求項２７に記載の装置。
【請求項３１】
前記１つ以上の裂け目の実質的に垂直方向の配列が、
前記サスペンション壁のうちの１つの前記可撓性の部分内の実質的に垂直方向に離間した複数の打ち抜き穴を備える、請求項２７に記載の装置。
【請求項３２】
前記１つ以上の裂け目の実質的に垂直方向の配列が、
前記サスペンション壁のうちの１つの前記可撓性の部分内の実質的に垂直方向に離間した複数の開口を備える、請求項２７に記載の装置。
【請求項３３】
前記１つ以上の裂け目の実質的に垂直方向の配列が、
前記サスペンション壁のうちの１つの前記可撓性の部分内の実質的に垂直方向に離間した複数のノッチを備える、請求項２７に記載の装置。
【請求項３４】
シャワーヘッドをつるす装置において、
複数のガス出口流路を有するシャワーヘッドと、
第１のサスペンション壁及び第２のサスペンション壁を含む複数のサスペンション壁を備えるサスペンションであって、各サスペンション壁が、上方部分及び下方部分を含む、サスペンションと、
を備え、
各サスペンション壁の前記下方部分が、前記サスペンションが、該サスペンション壁の前記上方部分より下に前記シャワーヘッドをつるすように、前記シャワーヘッドに接続されており、
前記第１及び第２のサスペンション壁が同一平面にある、装置。
【請求項３５】
垂直方向のギャップが、前記第１のサスペンション壁の中央部分と、前記第２のサスペンション壁の中央部分とを離している、請求項３４に記載の装置。
【請求項３６】
前記複数のサスペンション壁が、前記第１及び第２のサスペンション壁と直角な第３のサスペンション壁をさらに含む、請求項３４に記載の装置。
【請求項３７】
前記サスペンション及び前記シャワーヘッドが単一の構成要素である、請求項３４に記載の装置。
【請求項３８】
前記サスペンション及び前記シャワーヘッドが単一の構成要素である、請求項２７に記載の装置。
【請求項３９】
プロセスチャンバのガス入口プレナムを包囲する方法において、
チャンバ上部壁及びチャンバ側壁を備えるチャンバ壁を提供するステップであって、前記チャンバ壁が１つ以上のガス入口流路を含む、ステップと、
複数のガス出口流路を有するシャワーヘッドを提供するステップと、
前記シャワーヘッドを、前記上部壁の下に少し離れてつるすように、前記チャンバ壁と前記シャワーヘッドとの間にサスペンションを接続するステップと、
ガス密閉スカートを、前記チャンバ壁または前記シャワーヘッドのいずれか一方に接続するが、その両方には接続しないステップと、
（i）前記ガス密閉スカートが、前記チャンバ壁に隣接する上方部分と、前記シャワーヘッドに隣接する下方部分との間に延び、
（ii）前記ガス密閉スカートが、前記ガス密閉スカートの内面の面積の３分の１くらいの総面積を有する多数のギャップによって、前記チャンバ壁または前記シャワーヘッドのいずれか一方から離されており、前記ギャップの数がゼロ以上であり、
（iii）前記チャンバ壁、前記シャワーヘッド、前記ガス密閉スカート及び前記ギャップが集合的に、ガスが前記ガス入口流路からそこを通って前記ガス出口流路を流れることができるガス入口プレナムを包囲するように、前記ガス密閉スカートを位置決めするステップと、
を備える方法。
【請求項４０】
前記ガス入口流路を介してガスを前記ガス入口プレナム内に供給するステップをさらに備える、請求項３９に記載の方法。
【請求項４１】
前記サスペンションを接続するステップが、前記ガス入口プレナムの外部に前記サスペンションを位置決めする工程をさらに備える、請求項３９に記載の方法。
【請求項４２】
前記シャワーヘッドが、４つの側部を持つ矩形であり、
前記ガス密閉スカートが、前記シャワーヘッドの４つのそれぞれの側部にそれぞれ隣接する４つのシートを備える、請求項３９に記載の方法。
【請求項４３】
前記サスペンション及び前記シャワーヘッドが単一の構成要素である、請求項３９に記載の方法。
【請求項４４】
プロセスチャンバのガス入口プレナムを包囲する方法であって、
チャンバ上部壁及びチャンバ側壁を備えるチャンバ壁を提供するステップであって、前記チャンバ壁が１つ以上のガス入口流路を含む、ステップと、
（i）上方対向面及び下方対向面と、
（ii）前記上方対向面と前記下方対向面との間に延びる複数のガス出口流路と、
（iii）前記上方対向面内の１つ以上の溝であって、前記ガス出口流路と、前記上方対向面の周辺部との間に配置されている溝と、を含むシャワーヘッドを提供するステップと、
前記上部壁の下に少し離れて前記シャワーヘッドをつるすように、前記チャンバ壁と前記シャワーヘッドとの間にサスペンションを接続するステップと、
前記チャンバ壁、前記シャワーヘッド及びガス密閉スカートが集合的に、ガスが前記ガス入口流路からそこを通って前記ガス出口流路へ流れることができるガス入口プレナムを包囲するように、前記ガス密閉スカートを位置決めするステップと、
前記ガス密閉スカートの上方部分を前記チャンバ壁に接続するステップと、
前記ガス密閉スカートの下方部分が、前記溝のうちの１つ以上に延び、かつ前記シャワーヘッドに接続されないように、前記ガス密閉スカートの下方部分を位置決めするステップと、
を備える方法。
【請求項４５】
プロセスチャンバのガス入口プレナムを包囲する方法であって、
チャンバ上部壁及びチャンバ側壁を備えるチャンバ壁を提供するステップであって、前記チャンバ壁が１つ以上のガス入口流路を含む、ステップと、
複数のガス出口流路を有するシャワーヘッドを提供するステップと、
前記上部壁の下に少し離れて前記シャワーヘッドをつるすように、前記チャンバ壁と前記シャワーヘッドとの間にサスペンションを接続するステップと、
前記チャンバ壁、前記シャワーヘッド及びガス密閉スカートが集合的に、ガスが前記ガス入口流路からそこを通って前記ガス出口流路へ流れることができるガス入口プレナムを包囲するように、前記ガス密閉スカートを位置決めするステップと、
前記ガス密閉スカートの上方部分を前記チャンバ壁に接続するステップと、
前記ガス密閉スカートの下方部分が、前記シャワーヘッドに当接しているが、接続されてはいないように、前記ガス密閉スカートの下方部分を位置決めするステップと、
を備える方法。
【請求項４６】
前記シャワーヘッドが、少なくとも１つの上方に突出する隆起部を含み、
前記ガス密閉スカートが、前記少なくとも１つの隆起部の径方向外側面に当接している、請求項４５に記載の方法。
【請求項４７】
シャワーヘッドをつるす方法であって、
複数のガス出口流路を有するシャワーヘッドを提供するステップと、
１つ以上のサスペンション壁を備えるサスペンションを提供するステップであって、各サスペンション壁が、上方部分及び下方部分を含む、ステップと、
前記サスペンションが前記サスペンション壁の前記上方部分の下に前記シャワーヘッドをつるすように、各サスペンション壁の前記下方部分を前記シャワーヘッドに接続するステップと、
を備え、
前記サスペンションを提供するステップが、各サスペンション壁内に、前記サスペンション壁の面積の少なくとも５％を集合的に占める１つ以上の開口を形成する工程をさらに備える、方法。
【請求項４８】
前記サスペンション及び前記シャワーヘッドが単一の構成要素である、請求項４７に記載の方法。
【請求項４９】
シャワーヘッドをつるす方法であって、
複数のガス出口流路を有するシャワーヘッドを提供するステップと、
１つ以上のサスペンション壁を備えるサスペンションを提供するステップであって、各サスペンション壁が、（i）上方部分、（ii）下方部分、及び（iii）前記上方部分と前記下方部分との間に垂直に延びる可撓性の部分を含む、ステップと、
前記サスペンションが、前記サスペンション壁の前記上方部分の下に前記シャワーヘッドをつるすように、各サスペンション壁の前記下方部分を前記シャワーヘッドに接続するステップと、
を備え、
前記サスペンションを提供するステップが、各サスペンション壁の前記可撓性の部分内に、前記サスペンション壁内の１つ以上の裂け目の実質的に垂直方向の配列を形成する工程をさらに備える、方法。
【請求項５０】
前記１つ以上の裂け目の実質的に垂直方向の配列が、
前記サスペンション壁の各々の前記可撓性の部分内の実質的に垂直方向に向けられたスリットからなる、請求項４９に記載の方法。
【請求項５１】
前記１つ以上の裂け目の実質的に垂直方向の配列が、
前記サスペンション壁の各々の前記可撓性の部分内の実質的に垂直方向に伸長する開口からなる、請求項４９に記載の方法。
【請求項５２】
前記１つ以上の裂け目の実質的に垂直方向の配列が、
前記サスペンション壁の各々の前記可撓性の部分内の実質的に垂直方向に伸長する溝からなる、請求項４９に記載の方法。
【請求項５３】
前記１つ以上の裂け目の実質的に垂直方向の配列が、
前記サスペンション壁のうちの１つの前記可撓性の部分内の実質的に垂直方向に離間した複数の打ち抜き穴を備える、請求項４９に記載の方法。
【請求項５４】
前記１つ以上の裂け目の実質的に垂直方向の配列が、
前記サスペンション壁のうちの１つの前記可撓性の部分内の実質的に垂直方向に離間した複数の開口を備える、請求項４９に記載の方法。
【請求項５５】
前記１つ以上の裂け目の実質的に垂直方向の配列が、
前記サスペンション壁のうちの１つの前記可撓性の部分内の実質的に垂直方向に離間した複数のノッチを備える、請求項４９に記載の方法。
【請求項５６】
前記サスペンション及び前記シャワーヘッドが単一の構成要素である、請求項４９に記載の方法。
【請求項５７】
シャワーヘッドをつるす方法であって、
複数のガス出口流路を有するシャワーヘッドを提供するステップと、
第１のサスペンション壁及び第２のサスペンション壁を含む複数のサスペンション壁を備えるサスペンションを提供するステップであって、各サスペンション壁が、上方部分及び下方部分を含む、ステップと、
前記サスペンションが、該サスペンション壁の前記上方部分の下に前記シャワーヘッドをつるし、かつ前記第１のサスペンション壁と前記第２のサスペンション壁とが同一平面にあるように、各サスペンション壁の前記下方部分を前記シャワーヘッドに接続するステップと、
を備える方法。
【請求項５８】
前記接続するステップが、
垂直方向ギャップが、前記第１のサスペンション壁の中央部分を、前記第２のサスペンション壁の中央部分から離すように、前記第１及び第２のサスペンション壁を前記シャワーヘッドに接続する工程を備える、請求項５７に記載の方法。
【請求項５９】
前記サスペンションを提供するステップが、第３のサスペンション壁を提供する工程をさらに含み、
前記接続するステップが、前記第３のサスペンション壁が前記第１及び第２のサスペンション壁と垂直になるように、前記第３のサスペンション壁を前記シャワーヘッドに接続する工程をさらに備える、請求項５７に記載の方法。
【請求項６０】
前記サスペンション及び前記シャワーヘッドが単一の構成要素である、請求項５７に記載の方法。