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【手続補正書】
【提出日】平成25年9月27日(2013.9.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の核酸及び第２の核酸を含むベクターであって、該第１の核酸がトール様受容体をコードし、該第２の核酸がトール様受容体作動物質をコードする、ベクター。
【請求項２】
前記トール様受容体作動物質がフラジェリンである、請求項１に記載のベクター。
【請求項３】
前記ベクターが発現ベクターである、請求項１に記載のベクター。
【請求項４】
前記ベクターがほ乳動物発現ベクターである、請求項３に記載のベクター。
【請求項５】
前記ベクターがアデノウイルス、レンチウイルス又はリポソームから発現される、請求項３に記載のベクター。
【請求項６】
前記第１の核酸が分泌型のトール様受容体である、請求項１に記載のベクター。
【請求項７】
前記フラジェリンが分泌型のフラジェリンである、請求項２に記載のベクター。
【請求項８】
前記分泌型のフラジェリンが、図８に示されるＴＬＲ５活性に重要であり得るフラジェリンの１３種類の保存されたアミノ酸を含む、請求項７に記載のベクター。
【請求項９】
前記トール様受容体がＴＬＲ−５である、請求項１に記載のベクター。
【請求項１０】
前記第１の核酸が図９に示す配列を含み、前記第２の核酸が図７に示す配列を含む、請求項１に記載のベクター。
【請求項１１】
ほ乳動物においてがんを処置するための、請求項１に記載のベクターを含む薬剤。
【請求項１２】
前記がんが腫瘍である、請求項１１に記載の薬剤。
【請求項１３】
前記腫瘍が、前立腺、乳房、結腸、食道、胃、肺、すい臓、腎臓、甲状腺、卵巣、咽頭又は頚部からなる群に由来する、請求項１２に記載の薬剤。
【請求項１４】
前記腫瘍が肉腫、黒色腫、白血病及びリンパ腫からなる群に由来する、請求項１２に記載の薬剤。
【請求項１５】
前記薬剤が前記ほ乳動物の前記腫瘍からトランスで（ｉｎ  ｔｒａｎｓ）投与されるものである、請求項１２に記載の薬剤。
【請求項１６】
前記薬剤が前記ほ乳動物の腫瘍に直接投与されるものである、請求項１２に記載の薬剤。
【請求項１７】
前記薬剤が免疫賦活薬と組み合わせて投与されるものである、請求項１１に記載の薬剤。
【請求項１８】
前記免疫賦活薬が、成長ホルモン、プロラクチン及びビタミンＤからなる群から選択される、請求項１１に記載の薬剤。
【請求項１９】
前記成長ホルモンがソマトトロピンである、請求項１８に記載の薬剤。
【請求項２０】
前記薬剤がサイトカインと組み合わせて投与されるものである、請求項１１に記載の薬剤。
【請求項２１】
前記サイトカインが幹細胞因子である、請求項２０に記載の薬剤。
【請求項２２】
ほ乳動物において感染症を処置するための、請求項１に記載のベクターを含む薬剤。
【請求項２３】
前記感染症がウイルス、細菌、寄生原虫及び真菌からなる群から選択される生物体によるものである、請求項２２に記載の薬剤。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明は、ほ乳動物における感染症を処置する方法であって、それを必要とするほ乳動物に第１及び第２の核酸を含むベクターを含む薬剤の薬剤を投与することを含む、方法も対象とする。第１の核酸はトール様受容体をコードし、第２の核酸はトール様受容体作動物質をコードする。がんは腫瘍であり得る。感染症は、ウイルス、細菌、寄生原虫及び真菌からなる群に由来し得る。
本発明は、例えば以下の項目を提供する。
（項目１）
第１の核酸及び第２の核酸を含むベクターであって、該第１の核酸がトール様受容体をコードし、該第２の核酸がトール様受容体作動物質をコードする、ベクター。
（項目２）
前記トール様受容体作動物質がフラジェリンである、項目１に記載のベクター。
（項目３）
前記ベクターが発現ベクターである、項目１に記載のベクター。
（項目４）
前記ベクターがほ乳動物発現ベクターである、項目３に記載のベクター。
（項目５）
前記ベクターがアデノウイルス、レンチウイルス又はリポソームから発現される、項目３に記載のベクター。
（項目６）
前記第１の核酸が分泌型のトール様受容体である、項目１に記載のベクター。
（項目７）
前記フラジェリンが分泌型のフラジェリンである、項目２に記載のベクター。
（項目８）
前記分泌型のフラジェリンが、図５に示されるＴＬＲ５活性に重要であり得るフラジェリンの１３種類の保存されたアミノ酸を含む、項目７に記載のベクター。
（項目９）
前記トール様受容体がＴＬＲ−５である、項目１に記載のベクター。
（項目１０）
前記第１の核酸が図７に示す配列を含み、前記第２の核酸が図９に示す配列を含む、項目１に記載のベクター。
（項目１１）
ほ乳動物におけるがんを処置する方法であって、がんの処置を必要とするほ乳動物に項目１に記載のベクターを含む薬剤を投与する工程を含む、方法。
（項目１２）
前記がんが腫瘍である、項目１１に記載の方法。
（項目１３）
前記腫瘍が、前立腺、乳房、結腸、食道、胃、肺、すい臓、腎臓、甲状腺、卵巣、咽頭又は頚部からなる群に由来する、項目１２に記載の方法。
（項目１４）
前記腫瘍が肉腫、黒色腫、白血病及びリンパ腫からなる群に由来する、項目１２に記載の方法。
（項目１５）
前記薬剤が前記ほ乳動物の前記腫瘍からトランスで（ｉｎ  ｔｒａｎｓ）投与される、項目１２に記載の方法。
（項目１６）
前記薬剤が前記ほ乳動物の腫瘍に直接投与される、項目１２に記載の方法。
（項目１７）
前記薬剤が免疫賦活薬と組み合わせて投与される、項目１１に記載の方法。
（項目１８）
前記免疫賦活薬が、成長ホルモン、プロラクチン及びビタミンＤからなる群から選択される、項目１１に記載の方法。
（項目１９）
前記成長ホルモンがソマトトロピンである、項目１８に記載の方法。
（項目２０）
前記薬剤がサイトカインと組み合わせて投与される、項目１１に記載の方法。
（項目２１）
前記サイトカインが幹細胞因子である、項目２０に記載の方法。
（項目２２）
ほ乳動物における感染症を処置する方法であって、感染症の処置を必要とするほ乳動物に項目１に記載のベクターを含む薬剤を投与する工程を含む、方法。
（項目２３）
前記感染症がウイルス、細菌、寄生原虫及び真菌からなる群から選択される生物体によるものである、項目２２に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成25年9月20日(2013.9.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
以下を備えるデバイス：
基板上の複数の電気伝導性ナノワイヤ、および
ナノワイヤ上に配置された少なくとも1種の組成物であって、（i）少なくとも1種の有機置換基と、（ii）ポリチオフェンの骨格に直接結合しているスルホネート硫黄を含む少なくとも1種のスルホネート置換基とを含む水溶性または水分散性ポリチオフェンを含む、前記組成物。
【請求項２】
約2％を越えるηを有するOPVを含む、請求項1記載のデバイス。
【請求項３】
ポリチオフェンが、スルホン化とは別に少なくとも約90％の位置規則性度を有する規則的な頭−尾結合ポリ（3−置換チオフェン）を含む、請求項1記載のデバイス。
【請求項４】
ポリチオフェンが水溶性ポリチオフェンを含む、請求項1記載のデバイス。
【請求項５】
ポリチオフェンが、ドープされたポリチオフェンを含む、請求項1記載のデバイス。
【請求項６】
ポリチオフェンが、少なくとも1種のアルキレンオキシド、アルコキシ、またはアルキル置換基を含む、請求項1記載のデバイス。
【請求項７】
ポリチオフェンが、約250 mg KOH/g ポリマー以下の酸価によって特徴付けられるポリチオフェンを含む、請求項1記載のデバイス。
【請求項８】
少なくとも1つの導電層を備えるデバイスであって、
該少なくとも1つの導電層が、
複数の電気伝導性ナノワイヤ、および
少なくとも1種の組成物であって、（i）少なくとも1種の有機置換基と、（ii）ポリチオフェンの骨格に直接結合しているスルホネート硫黄を含む少なくとも1種のスルホネート置換基とを含む水溶性または水分散性の位置規則性ポリチオフェンを含む、前記組成物
を含む、前記デバイス。
【請求項９】
複数の電気伝導性ナノワイヤを含む少なくとも1つの導電層、および
正孔注入層、正孔輸送層、オーバーコート層、または正孔収集層の群から選択される、該導電層上に配置された少なくとも1つの他の層
を備えるデバイスであって、
該少なくとも1つの他の層が、少なくとも1種の組成物であって、（i）少なくとも1種の有機置換基と、（ii）ポリチオフェンの骨格に直接結合しているスルホネート硫黄を含む少なくとも1種のスルホネート置換基とを含む水溶性または水分散性の位置規則性ポリチオフェンを含む、前記組成物を含む、
前記デバイス。
【請求項１０】
約2％を越えるηを有するOPVを含む、請求項9記載のデバイス。
【請求項１１】
以下を備えるデバイス：
基板上の複数の電気伝導性ナノワイヤを含む第一の層、および
少なくとも1種のヘテロアリール基または少なくとも1種のポリアリールアミンを含む1種以上のポリマーまたはコポリマーを含む、該ナノワイヤ上に配置された第二の層であって、該ヘテロアリール基または該ポリアリールアミンは、ケト基またはフッ素化されたアルキレンオキシ基を介して連結されていてもよい、前記第二の層。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
少なくとも1つの態様の少なくとも1つの利点として、電極の溶液処理が挙げられる。すなわち、減圧の使用を避けることができる。ならびに、従来のITOの使用を避けることができる。少なくとも1つの態様の少なくとも1つのさらなる利点として、高導電性電極が挙げられる。少なくとも1つの態様の少なくとも1つの利点として、効率的な電荷収集および／または電荷注入が挙げられる。少なくとも1つの態様の少なくとも1つの利点として、効率的な電荷収集および／または電荷注入と組み合わされた高い電極導電性が挙げられる。少なくとも1つ態様の少なくとも1つの利点として、比較的脆い材料を避けることによる、基板および電極における柔軟性が挙げられる。少なくとも1つの態様の少なくとも1つの利点として、特に高出力変換効率を有する有機太陽電池のための、比較的高い効率などの有機電子デバイスにおけるナノワイヤベースの電極の良好な性能が挙げられる。
[本発明1001]
以下を備えるデバイス：
基板上の複数の電気伝導性ナノワイヤ、および
ナノワイヤ上に配置された少なくとも1種の組成物であって、（i）少なくとも1種の有機置換基と、（ii）ポリチオフェンの骨格に直接結合しているスルホネート硫黄を含む少なくとも1種のスルホネート置換基とを含む水溶性または水分散性ポリチオフェンを含む、前記組成物。
[本発明1002]
約2％を越えるηを有するOPVを含む、本発明1001のデバイス。
[本発明1003]
ポリチオフェンが、スルホン化とは別に少なくとも約90％の位置規則性度を有する規則的な頭−尾結合ポリ（3−置換チオフェン）を含む、本発明1001のデバイス。
[本発明1004]
ポリチオフェンが水溶性ポリチオフェンを含む、本発明1001のデバイス。
[本発明1005]
ポリチオフェンが、ドープされたポリチオフェンを含む、本発明1001のデバイス。
[本発明1006]
ポリチオフェンが、少なくとも1種のアルキレンオキシド、アルコキシ、またはアルキル置換基を含む、本発明1001のデバイス。
[本発明1007]
ポリチオフェンが、約250 mg KOH/g ポリマー以下の酸価によって特徴付けられるポリチオフェンを含む、本発明1001のデバイス。
[本発明1008]
少なくとも1つの導電層を備えるデバイスであって、
該少なくとも1つの導電層が、
複数の電気伝導性ナノワイヤ、および
少なくとも1種の組成物であって、（i）少なくとも1種の有機置換基と、（ii）ポリチオフェンの骨格に直接結合しているスルホネート硫黄を含む少なくとも1種のスルホネート置換基とを含む水溶性または水分散性の位置規則性ポリチオフェンを含む、前記組成物
を含む、前記デバイス。
[本発明1009]
複数の電気伝導性ナノワイヤを含む少なくとも1つの導電層、および
正孔注入層、正孔輸送層、オーバーコート層、または正孔収集層の群から選択される、該導電層上に配置された少なくとも1つの他の層
を備えるデバイスであって、
該少なくとも1つの他の層が、少なくとも1種の組成物であって、（i）少なくとも1種の有機置換基と、（ii）ポリチオフェンの骨格に直接結合しているスルホネート硫黄を含む少なくとも1種のスルホネート置換基とを含む水溶性または水分散性の位置規則性ポリチオフェンを含む、前記組成物を含む、
前記デバイス。
[本発明1010]
約2％を越えるηを有するOPVを含む、本発明1009のデバイス。
[本発明1011]
以下を備えるデバイス：
基板上の複数の電気伝導性ナノワイヤを含む第一の層、および
少なくとも1種のヘテロアリール基または少なくとも1種のポリアリールアミンを含む1種以上のポリマーまたはコポリマーを含む、該ナノワイヤ上に配置された第二の層であって、該ヘテロアリール基または該ポリアリールアミンは、ケト基またはフッ素化されたアルキレンオキシ基を介して連結されていてもよい、前記第二の層。
【手続補正書】
【提出日】平成25年8月30日(2013.8.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】ＬＥＤ照明ユニットの温度制御にヒートパイプを使用する装置
【手続補正書】
【提出日】平成25年5月27日(2013.5.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項３】
前記一対の光学ヒーターの各々は、前記一対の支持アームが前記引っ込んだ位置にある場合に、前記支持アームの各々に入射する光エネルギーを供給するように構成される、請求項２に記載の装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】イオン注入機用の装置及びイオン注入機における極低温表面の再生方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
図１は、イオン源チャンバ１０２を含むイオン注入機のブロック図である。電源１０１は、所要のエネルギーを、特定種のイオンを生成するように構成されたイオン源チャンバ１０２に供給する。生成イオンは、一連の電極１０４によりイオン源チャンバ１０２から引き出され、質量分析磁石１０６を通過するビーム１０に形成される。質量分析磁石は、所望の質量対電荷比を有するイオンのみが、この分析磁石を通過して、質量分離スリット１０７を最大限透過し得るような特定の磁界を有するように構成される。所望種のイオンは、質量分離スリット１０７から減速ステージ１０８を通過して補正磁石１１０へと進む。補正磁石１１０は、支持体（例えばプラテン）１１４上に位置付けたワークピース又は基板を標的にするリボンビームを提供するために、印加磁界の強さと方向に従って、イオンビームレットを偏向させるように付勢される。いくつかの実施形態では、第２の減速ステージ１１２を、補正磁石１１０と支持体１１４との間に配置することもできる。イオンは、基板内の電子及び原子核と衝突すると、エネルギーを失い、加速エネルギーに基づいて、基板内の所望の深さにて止まる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
図４は、支持アーム２１０ａ、２１０ｂを、作動アーム２０５によりプラテン２０４から垂直のＹ方向に下方に変位させるか、又は、Ｙ方向にプラテン２０４を上げることにより変位させた時の装置２００の側面図である。この位置では、支持アーム２１０ａ、２１０ｂは、プラテン２０４から離れて回転して、それぞれの支持アーム２１０ａ、２１０ｂの上に位置付けられた一対の光学ヒーター３１０ａ、３１０ｂの下に配置される。あるいは、光学ヒーターを、両支持アーム２１０ａ及び２１０ｂの上に延在する単一のヒーターとすることができる。さらに、光学ヒーター３１０ａ、３１０ｂは、支持アームの上に垂直のＹ方向に位置付けた支持フレーム３１５内に配置することができる。典型的に、支持アーム２１０ａ、２１０ｂは、アルミニウムで作られ、結果的に放射率が低い。典型的な機械的に加工されたアルミニウムの放射率は、約０．０３から約０．０９の範囲である。光学ヒーター３１０ａ、３１０ｂは、支持アーム及びパッド２０８ａ、２０８ｂの各々の表面に光エネルギーを放射し、それらの表面は光子の吸収により温められる。支持アーム２１０ａ、２１０ｂの上に位置付けた光学ヒーターを用いることにより、支持アーム上の凝縮物質及びその表面物質の薄層のみが加熱される。次に、支持アーム２１０ａ、２１０ｂ及び／又はパッド２０８ａ、２０８ｂの各々の表面から除去された凝縮物質は、真空システムにポンプで排出され処分される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
図５は、プラテン２０４から離れるＹ方向の下方に垂直に変位させた引っ込めた位置における支持アーム２１０ａ、２１０ｂの上面図である。図から明らかなように、支持アーム２１０ａ、２１０ｂの各々も、それぞれ光学ヒーター３１０ａ、３１０ｂの下に配置されるように、プラテン２０４から離れるＸ方向に外側に回転する。支持アーム２１０ａは支持アーム２１０ａの第１の端部２１１の周りを旋回し、支持アーム２１０ｂは支持アーム２１０ｂの第１の端部２１２の周りを旋回する。支持アーム２１０ａ、２１０ｂの各々は、プラテン２０４の下に嵌合するように、半円形状を有する。光学ヒーター３１０ａ、３１０ｂは、概して、長方形を有するように例示しているが、各光学ヒーターは、それぞれの支持アーム２１０ａ、２１０ｂの表面に入射する光エネルギーを効率的に放射するように、別の形状を有してもよい。支持アームの各々の表面は、光学ヒーターにより放射される光エネルギーにより温められる。光学ヒーターを用いることにより、支持アーム２１０ａ、２１０ｂの表面上の凝縮物質は、短期の露光だけで処分される。このように、支持アームの再生は、迅速に成し遂げられ、それにより、機器の停止時間が減り、製造スループットが増大する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2013506255.tif 000001
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2013506255.tif 000002
【手続補正書】
【提出日】平成25年8月2日(2013.8.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）６０から９２重量％の銀フレークと、
（ｂ）ｉ）１から６重量％のアクリル樹脂、および
ｉｉ）有機溶媒
を含む８から４０重量％の有機媒体と
を含むポリマー厚膜銀組成物であって、
前記アクリル樹脂は、前記有機溶媒に溶解しており、前記銀フレークは、前記有機媒体に分散しており、前記重量パーセントは、前記組成物の全重量に基づく、組成物。
【請求項２】
前記組成物が、７５から８７重量％の銀フレーク、１３から２５重量％の有機媒体および１．６から２．２重量％のアクリル樹脂を含む、請求項１に記載の組成物。
【請求項３】
前記有機溶媒が、グリコールエーテル、エステルアルコール、ベータ−テルピネオール、およびこれらの混合物からなる群から選択され、前記銀フレークが、１から１００μｍの粒度分布を有する、請求項１に記載の組成物。
【請求項４】
前記銀フレークが、２から１２μｍの粒度分布を有する、請求項３に記載の組成物。
【請求項５】
前記組成物が、乾燥後、ｐＨ＞１０の剥離液を用いて、銅積層基板（ｃｏｐｐｅｒ−ｃｌａｄ  ｓｕｂｓｔｒａｔｅ）から完全に取り除かれる、請求項１に記載の組成物。
【請求項６】
前記ｐＨ＞１０の剥離液が、炭酸ナトリウム溶液である、請求項５に記載の組成物。
【請求項７】
プリント配線回路板のための改善された電気メッキ方法であって、前記電気メッキ方法に使用するための電極を形成するメッキリンクとして、ポリマー厚膜銀組成物を使用することを含み、前記ポリマー厚膜銀組成物は、
（ａ）６０から９２重量％の銀フレークと、
（ｂ）ｉ）１から６重量％のアクリル樹脂；および
ｉｉ）有機溶媒
を含む８から４０重量％の有機媒体と
を含み、
前記アクリル樹脂は、前記有機溶媒に溶解しており、前記銀フレークは、前記有機媒体に分散しており、前記重量パーセントは、前記組成物の全重量に基づく、改善された方法。
【請求項８】
前記プリント配線回路板が、銅被覆されている、請求項７に記載の改善された方法。
【請求項９】
前記組成物が、７５から８７重量％の銀フレーク、１３から２５重量％の有機媒体および１．６から２．２重量％のアクリル樹脂を含む、請求項７に記載の改善された方法。
【請求項１０】
前記有機溶媒が、グリコールエーテル、エステルアルコール、ベータ−テルピネオール、およびこれらの混合物からなる群から選択され、前記銀フレークが、１から１００μｍの粒度分布を有する、請求項７に記載の改善された方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
次いで、この組成物を、遊星型ミキサーで３０分間混合した。次いで、組成物を三本ロール練り機に移し、ここで、１００および２００ｐｓｉで２回通過させた。この時点で、組成物を使用して、銅積層ＦＲ４ボード基板の上に銀パターンをスクリーン印刷した。一連の線を、３２５メッシュのステンレススチールスクリーンを用いて印刷し、銀ペーストを強制空気ボックスオーブン中９０℃で１０分間乾燥させた。次いで、シート抵抗は、６０ｍΩ／ｓｑ／ｍｉｌとして測定された。Ｒｉｓｔｏｎ（Ｄｕｐｏｎｔ  Ｃｏ．）ホトレジストを塗布し、画像化し、析出メッキリンク銀の空スペースに対応させた。このホトレジストを塗布し、画像化し、現像して、メッキを受ける基板の区域を露出させた。この時点で、電気メッキが行われる。ｐＨ＞１０の炭酸ナトリウムの剥離液を用い、ホトレジストおよびメッキリンク銀導体を完全に取り除き、残留物の痕跡を残さなかった。
本発明は以下の実施の態様を含むものである。
１．（ａ）６０から９２重量％の銀フレークと、
（ｂ）ｉ）１から６重量％のアクリル樹脂、および
ｉｉ）有機溶媒
を含む８から４０重量％の有機媒体と
を含むポリマー厚膜銀組成物であって、
前記アクリル樹脂は、前記有機溶媒に溶解しており、前記銀フレークは、前記有機媒体に分散しており、前記重量パーセントは、前記組成物の全重量に基づく、組成物。
２．  前記組成物が、７２から９０重量％の銀フレーク、１０から２８重量％の有機媒体および１．５から２．５重量％のアクリル樹脂を含む、前記１に記載の組成物。
３．  前記組成物が、７５から８７重量％の銀フレーク、１３から２５重量％の有機媒体および１．６から２．２重量％のアクリル樹脂を含む、前記２に記載の組成物。
４．  前記有機溶媒が、グリコールエーテル、エステルアルコール、ベータ−テルピネオール、およびこれらの混合物からなる群から選択される、前記１に記載の組成物。
５．  前記銀フレークが、１から１００μｍの粒度分布を有する、前記１に記載の組成物。
６．  前記銀フレークが、２から１２μｍの粒度分布を有する、前記５に記載の組成物。
７．  前記銀フレークが、０．１〜１．０ｍ2／ｇの範囲の表面積／重量比を有する、前記１に記載の組成物。
８．  前記組成物が、乾燥後、ｐＨ＞１０の剥離液を用いて、銅積層基板（ｃｏｐｐｅｒ−ｃｌａｄ  ｓｕｂｓｔｒａｔｅ）から完全に取り除かれる、前記１に記載の組成物。
９．  前記ｐＨ＞１０の剥離液が、炭酸ナトリウム溶液である、前記８に記載の組成物。
１０．  プリント配線回路板のための改善された電気メッキ方法であって、前記電気メッキ方法に使用するための電極を形成するメッキリンクとして、ポリマー厚膜銀組成物を使用することを含み、前記ポリマー厚膜銀組成物は、
（ａ）６０から９２重量％の銀フレークと、
（ｂ）ｉ）１から６重量％のアクリル樹脂；および
ｉｉ）有機溶媒
を含む８から４０重量％の有機媒体と
を含み、
前記アクリル樹脂は、前記有機溶媒に溶解しており、前記銀フレークは、前記有機媒体に分散しており、前記重量パーセントは、前記組成物の全重量に基づく、改善された方法。
１１．  前記プリント配線回路板が、銅被覆されている、前記１０に記載の改善された方法。
１２．  前記組成物が、７２から９０重量％の銀フレーク、１０から２８重量％の有機媒体および１．５から２．５重量％のアクリル樹脂を含む、前記１０に記載の改善された方法。
１３．  前記組成物が、７５から８７重量％の銀フレーク、１３から２５重量％の有機媒体および１．６から２．２重量％のアクリル樹脂を含む、前記１２に記載の改善された方法。
１４．  前記有機溶媒が、グリコールエーテル、エステルアルコール、ベータ−テルピネオール、およびこれらの混合物からなる群から選択される、前記１０に記載の改善された方法。
【手続補正書】
【提出日】平成25年9月20日(2013.9.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気的構成部分組立品であって、
第一融点を有する第一金属ハンダ構成部分から製造された電気的接続突起部を備えた第一電気的構成部分と、
電気的接触部を備えた第二電気的構成部分であって、該第二電気的構成部分が電気導体を備えた可撓性ケーブルであり、前記第二電気的構成部分の前記電気的接触部が前記可撓性ケーブルの前記電気導体の露出された部分である、第二電気的構成部分と、
第二融点を有し、前記電気的接続突起部の少なくとも一部と前記第二電気的構成部分の前記電気的接触部との間の電気的接続部として機能するように配置される、第二金属ハンダ構成部分と、を含む電気的構成部分組立品であり、
前記第二融点が前記第一融点よりも低く、前記電気的接続突起部と前記第二金属ハンダ構成部分との間の境界の明確な境界面が存在する、電気的構成部分組立品。
【請求項２】
前記第一電気的構成部分が、電気的接触部を更に含み、前記電気的接続突起部が、前記第一電気的構成部分の前記電気的接触部との電気的接続部であるように形成されたハンダバンプであり、前記ハンダバンプが高さと、該高さに垂直な最長寸法と、を有する、請求項１に記載の電気的構成部分組立品。
【請求項３】
前記電気的接続突起部が、０．２５ｍｍから２．５ｍｍまでの範囲の高さと、０．５ｍｍから５ｍｍまでの範囲の前記高さに垂直な最長寸法と、を有する、請求項１又は２に記載の電気的構成部分組立品。
【請求項４】
前記第一電気的構成部分がプリント回路基板である、請求項１〜３のいずれか一項に記載の電気的構成部分組立品。
【請求項５】
前記電気的接続突起部が、前記第二電気的構成部分の前記電気的接触部から間隔を置いて配置されている外側面を有し、前記第二金属ハンダ構成部分がその間に配置される、請求項１〜４のいずれか一項に記載の電気的構成部分組立品。
【請求項６】
前記電気的接続突起部が、前記第二電気的構成部分の前記電気的接触部から間隔を置いて配置されている外側面を有し、前記電気的接続突起部の外側露出面を残すように、前記第二金属ハンダ構成部分がその間に及び前記電気的接続突起部の前記外側面の少なくとも一部の周りに配置される、請求項１〜５のいずれか一項に記載の電気的構成部分組立品。
【請求項７】
前記電気的接続突起部が外側面を有し、前記第二電気的構成部分の前記電気的接触部が、前記電気的接続突起部の前記外側面の一部と直接的に接触した状態にあり、前記電気的接続突起部の外側露出面を残すように、前記第二金属ハンダ構成部分が前記電気的接続突起部の前記外側面の少なくとも一部の周りに配置されている、請求項１〜６のいずれか一項に記載の電気的構成部分組立品。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか一項に記載の前記電気的構成部分組立品を含む、可撓性ライティング組立品。
【請求項９】
電気的構成部分組立品を製造する方法であって、
電気的接触部を備えた第一電気的構成部分を提供する工程であって、前記第一電気的構成部分がプリント回路基板である、工程と、
第一融点を有する第一金属ハンダ構成部分から製造された電気的接触突起部を使用して、前記第一電気的構成部分の前記電気的接触部と電気通信の状態に前記電気的接続突起部を形成する工程と、
電気的接触部を備えた第二電気的構成部分を提供する工程と、
電気導体の一部を露出させるように電気絶縁材の一部を除去する工程であって、前記電気導体の前記露出した部分が前記第二電気的構成部分の前記電気的接触部を形成し、前記第二電気的構成部分が前記電気導体の周囲に配置された前記電気絶縁材を備えた可撓性ケーブルである、工程と、
前記第二電気的構成部分の前記電気的接触部と前記電気的接続突起部とを互いに隣接して配置する工程と、
前記電気的接続突起部の少なくとも一部と前記第二電気的構成部分の前記電気的接触部との間に、前記第一融点よりも低い第二融点を有する第二金属ハンダ構成部分を配置する工程と、
前記電気的接続突起部の少なくとも一部と前記第二電気的構成部分の前記電気的接触部との間に溶融した第二金属ハンダ構成部分を提供するように、前記第二金属ハンダ構成部分を、前記第一融点よりも低い温度で溶融する工程と、
前記電気的接続突起部の少なくとも一部と前記第二電気的構成部分の前記電気的接触部との間に電気的接続を形成するように、前記溶融した第二金属ハンダ構成部分を凝固する工程と、
を含む、電気的構成部分組立品の製造方法。
【請求項１０】
前記電気的接続突起部と前記第二金属ハンダ構成部分との間の境界の明確な境界面が存在するように、前記溶融した第二金属ハンダ構成部分が凝固される、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記電気的接続突起部を形成する前記工程が、
ハンダ開口部を備えたハンダマスクを提供することと、
前記第一電気的構成部分の前記電気的接触部が前記ハンダ開口部を介してアクセス可能となるように、前記ハンダマスクを前記第一電気的構成部分に近接して配置することと、
第一金属ハンダ構成部分のある量を、前記ハンダ開口部を介して前記第一電気的構成部分の前記電気的接触部上に配置することと、
第一金属ハンダ構成部分の前記量を溶融することと、
前記第一電気的構成部分の前記電気的接触部と電気的に接続した状態に前記電気的接続突起部を形成するように、前記第一金属ハンダ構成部分の溶融した前記量を凝固すること、とを含む、請求項９又は１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記マスク開口がハンダバンプを形成するように構成され、前記電気的接続突起部が、高さと、該高さに垂直な最長寸法とを有するハンダバンプである、請求項１１に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成25年9月24日(2013.9.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のウェーハを支持する塔とチューブ状のライナとの間の縦型炉のホットゾーンに処理ガスを注入するためのガスインジェクタであって、
該ガスインジェクタは、
チューブ状ストローであって、第１の遠位端から第１の近位端へ該チューブ状ストローの第１の軸に沿って延在する第１の内腔を規定し、該チューブ状ストローが、シリコン及びシリコンカーバイドからなる群から選択された第１の材料からなる、チューブ状ストローと、
該チューブ状ストローの前記第１の内腔に離脱可能に接続されると共に該第１の内腔と流体連結するコネクタであって、該コネクタが、前記第１の材料とは異なる第２の材料からなり、該コネクタが、供給チューブを含み、該供給チューブが、当該供給チューブの第２の軸に沿って延在する第２の内腔を規定し、該第２の軸が、前記第１の軸に対して実質的に垂直であり、前記コネクタが、（ｉ）前記供給チューブの第２の遠位端でガス供給ラインから前記処理ガスを受け、（ｉｉ）前記供給チューブの第２の近位端で前記チューブ状ストローの前記第１の近位端に前記処理ガスを送り出すように構成され、配置されている、コネクタと
を備えるガスインジェクタ。
【請求項２】
請求項１に記載のガスインジェクタであって、
前記第２の材料は、金属である
ことを特徴とするガスインジェクタ。
【請求項３】
請求項２に記載のガスインジェクタであって、
前記金属は、ステンレス鋼である
ことを特徴とするガスインジェクタ。
【請求項４】
請求項１に記載のガスインジェクタであって、
前記第１の材料は、ポリシリコンである
ことを特徴とするガスインジェクタ。
【請求項５】
請求項４に記載のガスインジェクタであって、
前記第２の材料は、ステンレス鋼である
ことを特徴とするガスインジェクタ。
【請求項６】
請求項１に記載のガスインジェクタであって、
前記コネクタは、さらに、
少なくとも１つのクランプと、
該少なくとも１つのクランプの各々を通り、前記コネクタに螺入されるネジと
を備え、
前記ネジは、前記チューブ状ストローに対して前記少なくとも１つのクランプを保持するように締められることで、前記チューブ状ストローが前記コネクタと流体連結するのを保持するように構成されている
ことを特徴とするガスインジェクタ。
【請求項７】
請求項１に記載のガスインジェクタであって、
前記チューブ状ストローは、さらに、該チューブ状ストローの前記第１の近位端に融合されたアダプタを備え、
該アダプタは、当該アダプタを通って延在し、前記チューブ状ストローの前記第１の内腔と一直線となる中央内腔を有し、該アダプタは、当該アダプタの対向する辺に沿って延在し、前記チューブ状ストローの前記第１の内腔に対して実質的に垂直である切欠を有する
ことを特徴とするガスインジェクタ。
【請求項８】
請求項１に記載のガスインジェクタであって、
前記チューブ状ストローは、さらに、該チューブ状ストローの前記第１の近位端に融合され、該チューブ状ストローの前記第１の内腔をブロックするエンドプレートを備え、
該エンドプレートは、前記第１の材料からなる
ことを特徴とするガスインジェクタ。
【手続補正書】
【提出日】平成25年8月7日(2013.8.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気化学的エネルギー貯蔵装置（２）の縁辺部を成すためのプロフィールストリップ（１）において、
該プロフィールストリップ（１）は、ほぼ長手方向に延在する、少なくとも１つの第１スリット（４）を備え、該第１スリットは、第１辺部（５）と第２辺部（６）とによって画定され、
該第１辺部と該第２辺部とは、前記電気化学的エネルギー貯蔵装置（２）の縁部領域（７）の向かい合う側に着設可能なように、かつ背面部分（１０）によって少なくとも部分的に互いに接合されているように形成されており、
前記プロフィールストリップは少なくとも１つの第１凹部（１２）を備え、該第１凹部（１２）は、前記プロフィールストリップ（１）を、第１の伸びた状態から第２の屈曲した状態に移行させるために備えられていることを特徴とするプロフィールストリップ。
【請求項２】
前記プロフィールストリップ（１）は、少なくとも部分的に、たとえばポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリエチレン（ＰＥ）あるいはポリウレタン（ＰＵ）のような、電気的に絶縁性のあるプラスチックから作られているか、あるいは該プラスチックで覆われていることを特徴とする請求項１に記載のプロフィールストリップ。
【請求項３】
前記プロフィールストリップ（１）は、一体的に形成されていることを特徴とする請求項１あるいは２に記載のプロフィールストリップ。
【請求項４】
前記プロフィールストリップ（１）は、前記第１の伸びた状態あるいは前記第２の屈曲した状態を備えることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載のプロフィールストリップ。
【請求項５】
前記プロフィールストリップ（１）の前記第１凹部（１２）は、前記第１スリット（４）に始まって前記背面部分（１０）の方向に延伸することを特徴とする請求項４に記載のプロフィールストリップ。
【請求項６】
前記プロフィールストリップ（１）は、その背面部分（１０）に少なくとも１つの第２凹部（１６）を備え、少なくとも１つの電流導体（１４）が前記第２凹部（１６）を通過可能であることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載のプロフィールストリップ。
【請求項７】
電気化学的エネルギー貯蔵装置（２）であって、少なくとも
１つの電極積重物（１３）と、
１つの電流導体（１４）であって、前記電極積重物（１３）と導電接合されている電流導体（１４）と、
薄壁状の複合材料から成る１つの被覆体（１５）であって、前記電極積重物（１３）を少なくとも部分的に取り囲み、かつ自らの縁部領域に少なくとも１つの縁辺部（１７）を備える被覆体（１５）と、
を有する電気化学的エネルギー貯蔵装置（２）において、
請求項１から６の少なくともいずれか一項に記載のプロフィールストリップ（１）が、前記被覆体（１５）の領域を覆い、かつ該領域と少なくとも部分的に、材料接続的にあるいは力接続的に接合されていることを特徴とする電気化学的エネルギー貯蔵装置（２）。
【請求項８】
前記プロフィールストリップ（１）は、前記被覆体（１５）に垂直抗力を及ぼすように形成されていることを特徴とする請求項７に記載の電気化学的エネルギー貯蔵装置（２）。
【請求項９】
少なくとも１つの電流導体（１４）が、力接続的に、形状接続的におよび／あるいは材料接続的に前記プロフィールストリップ（１）と接合されていることを特徴とする請求項７あるいは８に記載の電気化学的エネルギー貯蔵装置（２）。
【請求項１０】
請求項７から９の少なくともいずれか一項に記載の少なくとも２つの電気化学的エネルギー貯蔵装置を有するバッテリーであって、前記エネルギー貯蔵装置はプロフィールストリップ（１）を備え、その結果前記エネルギー貯蔵装置（２）の前記被覆体（１５）が互いに実質的に力を及ぼし合わないバッテリーにおいて、
隣り合う２つの電気化学的エネルギー貯蔵装置（２）の前記プロフィールストリップ（１）は、さらなる構成部材なしに、形状接続的に、力接続的におよび／あるいは材料接続的に互いに接合されていることを特徴とするバッテリー。
【請求項１１】
請求項７から１０の少なくともいずれか一項に記載の少なくとも２つの電気化学的エネルギー貯蔵装置を有するバッテリーにおいて、
隣り合う２つの電気化学的エネルギー貯蔵装置の２つのプロフィールストリップ（１）は、接合要素（２０）によって、形状接続的に、力接続的におよび／あるいは材料接続的に互いに接合されており、２つの電気化学的エネルギー貯蔵装置の間に、分離要素（１９）が設けられていることを特徴とするバッテリー。
【請求項１２】
請求項１から６のいずれか一項に記載の、電気化学的エネルギー貯蔵装置（２）のためのプロフィールストリップ（１）の製造方法において、
少なくとも１つの第１凹部（１２）が、適切な方法によって前記プロフィールストリップ（１）に作られ、前記第１凹部（１２）の形状は好適には、前記プロフィールストリップ（１）が、第１のまっすぐな状態から第２の屈曲した状態に移行可能なように構成され、かつ、
前記プロフィールストリップ（１）は、第１の伸びた状態から第２の屈曲した状態に移行させられ、この屈曲の際には、背面部分（１０）の領域において前記プロフィールストリップ（１）の抗張力を超えないことを特徴とする方法。
【請求項１３】
前記プロフィールストリップ（１）は、屈曲した後、前記第１凹部（１２）の領域で少なくとも部分的に、材料接続的に接着あるいは溶接によって接合されることを特徴とする請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記プロフィールストリップ（１）は、屈曲した後、前記第１凹部（１２）の領域で少なくとも部分的に、形状接続的に接合されることを特徴とする請求項１３に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成25年8月6日(2013.8.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
例示的な従来のワイヤーボンディングシーケンスとしては、次のものがある。（１）ボンディングツールから延出したワイヤーの端部にイニシャルボール（ｆｒｅｅ  ａｉｒ  ｂａｌｌ）を形成する。（２）前記ボールを使って、半導体ダイのダイパッド上に第１のボンドを形成する。（３）前記ダイパッドとリードフレームのリードとの間で望ましい形状にワイヤーを延長する。（４）前記リードフレームの前記リードに前記ワイヤーをステッチボンディングする。（５）前記ワイヤーを切断する。（ａ）ワイヤーループの端部および（ｂ）ボンディング位置（例えば、ダイパッド、リード）を接合する際は、超音波エネルギー、熱音響（サーモソニック）エネルギー、熱圧縮エネルギーを含む種々の接合エネルギーを使用できる。
米国特許第５，５９５，３２８号（「ＳＥＬＦ  ＩＳＯＬＡＴＩＮＧ  ＵＬＴＲＡＳＯＮＩＣ  ＴＲＡＮＳＤＵＣＥＲ」（自己絶縁型超音波トランスデューサ））、第５，６９９，９５３号（「ＭＵＬＴＩ  ＲＥＳＯＮＡＮＣＥ  ＵＮＩＢＯＤＹ  ＵＬＴＲＡＳＯＮＩＣ  ＴＲＡＮＳＤＵＣＥＲ」（複合共振ユニボディ超音波トランスデューサ））、第５，８８４，８３４号（「ＭＵＬＴＩ−ＦＲＥＱＵＥＮＣＹ  ＵＬＴＲＡＳＯＮＩＣ  ＷＩＲＥ  ＢＯＮＤＥＲ  ＡＮＤ  ＭＥＴＨＯＤ」（多周波超音波ワイヤーボンダーとその方法））、および第７，１３７，５４３号（「ＩＮＴＥＧＲＡＴＥＤ  ＦＬＥＸＵＲＥ  ＭＯＵＮＴ  ＳＣＨＥＭＥ  ＦＯＲ  ＤＹＮＡＭＩＣ  ＩＳＯＬＡＴＩＯＮ  ＯＦ  ＵＬＴＲＡＳＯＮＩＣ  ＴＲＡＮＳＤＵＣＥＲＳ」（超音波トランスデューサ動的絶縁用の一体型屈曲マウント方式））は超音波トランスデューサに関するもので、この参照によりこれら全体が本明細書に組み込まれる。超音波ボンディングエネルギーは、通常、超音波トランスデューサを使って付与され、そのトランスデューサにボンディングツールが取り付けられる。そのトランスデューサには、通常、圧電素子（例えば、圧電性結晶、圧電セラミック）のスタックなどのドライバが含まれる。ドライバに与えられた電気エネルギーは、機械的なエネルギーに変換され、ボンディングツールの先端部にこするようなスクラブ運動（ｓｃｒｕｂｂｉｎｇ  ｍｏｔｉｏｎ）をもたらす。このボンディングツール先端部のスクラブ運動は、通常、トランスデューサの長手方向の軸に沿った直線的な動きである。
この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、以下のものがある（国際出願日以降国際段階で引用された文献及び他国に国内移行した際に引用された文献を含む）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【特許文献１】  米国特許第５６９９９５３号明細書
【特許文献２】  米国特許第５５９５３２８号明細書
【特許文献３】  米国特許第５８８４８３４号明細書
【特許文献４】  米国特許第７１３７５４３号明細書
【特許文献５】  米国特許第５８９０６４３号明細書
【特許文献６】  米国特許第５８１６４７６号明細書
【特許文献７】  米国特許第６２８６７４７号明細書
【特許文献８】  米国特許第５５７８８８８号明細書
【特許文献９】  米国特許第６９９５４９８号明細書
【特許文献１０】  米国特許第６６７２５０３号明細書
【特許文献１１】  米国特許第５４６９０１１号明細書
【特許文献１２】  米国特許第７００２２８３号明細書
【特許文献１３】  米国特許第７４４１６８９号明細書
【特許文献１４】  米国特許第６２９９０５１号明細書
【特許文献１５】  米国特許第６２４４４９８号明細書
【特許文献１６】  米国特許第６１１６４９０号明細書
【特許文献１７】  米国特許第５８９０６４３号明細書
【特許文献１８】  米国特許第５８３２４１２号明細書
【特許文献１９】  米国特許第５７９５４１９号明細書
【特許文献２０】  米国特許第５６９９９５０号明細書
【特許文献２１】  米国特許第５８８４８３５号明細書
【特許文献２２】  米国特許第５６０３４４５号明細書
【特許文献２３】  米国特許第５４９４２０７号明細書
【特許文献２４】  米国特許第７６１１０３９号明細書
【特許文献２５】  米国特許第６６４８２０５号明細書
【特許文献２６】  米国特許第６１９０４９７号明細書
【特許文献２７】  米国特許出願公開第２０１０／０１２７５９９号明細書
【特許文献２８】  米国特許出願公開第２００９／０２４８３６４号明細書
【特許文献２９】  米国特許出願公開第２００７／０２８３９８５号明細書
【特許文献３０】  米国特許出願公開第２００６／００２２０１６号明細書
【特許文献３１】  米国特許出願公開第２００６／００００８７０号明細書
【特許文献３２】  米国特許出願公開第２００５／０１２２００３号明細書
【特許文献３３】  米国特許出願公開第２００４／０２５１７８０号明細書
【特許文献３４】  米国特許出願公開第２００４／０２５０６２１号明細書
【特許文献３５】  米国特許出願公開第２００４／０００７０６５号明細書
【特許文献３６】  米国特許出願公開第２００３／０１３４２２３号明細書
【特許文献３７】  国際公開第２００８／１２２４９９号
【特許文献３８】  特開平０６−０４５４１１号公報
【特許文献３９】  特開平０６−００５６６６号公報
【特許文献４０】  特開平１０−１５４７２２号公報
【特許文献４１】  特開２００５−２５２９７８号公報
【特許文献４２】  特開平０６−２０４３０２号公報
【特許文献４３】  特開平０６−２０４３０２号公報
【特許文献４４】  特開昭６３−１１８７１５号公報
【特許文献４５】  特開昭６３−２３９８３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【手続補正書】
【提出日】平成25年8月26日(2013.8.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の表面にゲート絶縁膜を介したゲート電極を形成し、
前記ゲート電極の側面に絶縁膜を形成し、該絶縁膜を形成するときに、フルオロカーボンを含む堆積物が発生し、
前記基板の前記表面を酸素プラズマに曝して前記堆積物を除去し、当該酸素プラズマの前記基板の前記表面の近傍の電子温度が約１．５ｅＶ以下である、
半導体デバイスの製造方法。
【請求項２】
前記絶縁膜は、オフセットスペーサである、請求項１に記載の半導体デバイスの製造方法。
【請求項３】
前記オフセットスペーサ上にサイドウォールスペーサが形成される、請求項２に記載の半導体デバイスの製造方法。
【請求項４】
前記絶縁膜は、サイドウォールスペーサである、請求項１に記載の半導体デバイスの製造方法。
【請求項５】
前記酸素プラズマに曝すことは、ラジアルラインスロットアンテナを用いたマイクロ表面波プラズマを用いることによって行われる、請求項１に記載の半導体デバイスの製造方法。
【請求項６】
前記酸素プラズマは、１００ｍｔｏｒｒ以上で励起される、請求項１に記載の半導体デバイスの製造方法。
【請求項７】
少なくとも１つのオフセットスペーサとサイドウォールスペーサがプロセスチャンバー内で形成され、前記酸素プラズマは当該プロセスチャンバー内で励起される、請求項１に記載の半導体デバイスの製造方法。
【請求項８】
前記酸素プラズマは、シリコンからなる前記基板の前記表面に励起される、請求項１に記載の半導体デバイスの製造方法。
【請求項９】
前記酸素プラズマの電子温度は、前記基板の前記表面から約２０ｍｍ離れたところで、約１．０ｅＶから１．５ｅＶである、請求項１に記載の半導体デバイスの製造方法。
【請求項１０】
前記酸素プラズマの電子温度は、前記基板の前記表面から約２０ｍｍ離れたところで、約１．０ｅＶから１．２ｅＶである、請求項９に記載の半導体デバイスの製造方法。
【請求項１１】
前記基板は、サセプター上に配置され、該サセプターの温度が酸素プラズマ励起時に約２０度から３０度である、請求項１に記載の半導体デバイスの製造方法。
【請求項１２】
プラズマを生成するためのマイクロ波出力が、約２０００Ｗから３０００Ｗである、請求項１に記載の半導体デバイスの製造方法。
【請求項１３】
ゲート電極を基板表面上にゲート絶縁膜を介して形成するユニットと、
ゲート電極の側面に絶縁膜を形成するユニットと、
前記基板表面を酸素プラズマに曝して、前記絶縁膜を形成するときに発生するフルオロカーボンを含む堆積物を除去するユニットであり、当該酸素プラズマの前記基板の前記表面の近傍の電子温度を約１．５ｅＶ以下とする、該ユニットと、
を備える、半導体デバイスの製造装置。
【請求項１４】
前記ゲート電極が、該ゲート電極の前記側面上に前記絶縁膜を形成するよう、炭素原子及びフッ素原子を含有するガスを用いたプラズマによってエッチングされる、請求項１に記載の半導体デバイスの製造方法。
【請求項１５】
前記基板の前記表面を前記酸素プラズマに曝すことによって、該基板の該表面に、約１ｎｍより小さい膜厚を有する酸化部分が形成される、請求項１に記載の半導体デバイスの製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成25年9月27日(2013.9.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
サンドイッチ要素（６）と、接着剤層（２）中に埋込まれた１つ以上の太陽電池（３）と、および稼働する間に光源に面する透明層（１）から成るソーラーモジュール（１０）を作成する方法であって、
第１工程において、少なくとも１つのコア層（５）と該コア層（５）の両側に存在する少なくとも１種の外層（４）とを含有するサンドイッチ要素（６）、および接着剤層（２ｂ）から第１複合材（７）が作成され、
第２工程において、該透明層（１）と、接着剤層（２ａ）および少なくとも１つの太陽電池（３）を含有する第２複合材（８）が作成され、および
第３工程において、該第１工程および該第２工程からの該複合材は、各接着剤面を介して相互に接着される
ことを特徴とする、該方法。
【請求項２】
複合材が、温度の影響下および/または真空を施すことにより、第３工程において相互に接着されることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
第３工程が連続的に行われることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
ソーラーモジュール（１０）が周囲プラスチック材料（９）を備えることを特徴とする、請求項１から３のいずれかに記載の方法。
【請求項５】
ガラスパネルまたはプラスチック層が透明層（１）として使用されることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
熱可塑性ポリウレタンが接着剤層（２）として使用されることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
硬質フォーム、バルサ材、波形の金属シート、スペーサー、または金属製、浸漬紙製もしくはプラスチック製のハニカム構造を含有する少なくとも１種のコア層（５）と、
および該コア層（５）の少なくとも両側に取付けられる少なくとも１種の外層を含む複合材が、サンドイッチ要素（６）として使用されることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
繊維強化ポリウレタンが、外層（４）として使用されることを特徴とする、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
屋根葺きおよび/またはファサード要素としての、請求項１に記載の方法により作成されたソーラーモジュール（１０）の使用。
【手続補正書】
【提出日】平成25年9月4日(2013.9.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一つの電気化学的セル（３）を収容するためのバッテリー収容ユニットであり、電気化学的セル（３）を載置するための載置面（４）と、接触面（８）を有する接触ユニット（６）とを有するバッテリー収容ユニットであって、当該接触面は前記電気化学的セル（３）の電流導体（９）と当接可能であり、前記接触ユニット（６）は少なくとも一つの接触レール（７）を有しており、当該接触レールに前記接触面（８）が設けられているバッテリー収容ユニットにおいて、
前記接触面（４）は前記バッテリー収容ユニット（２）内部に、前記接触レール（７）の長手軸（Ａ）に対して移動可能に保持されていることを特徴とするバッテリー収容ユニット。
【請求項２】
少なくとも一つの接触面は、前記電気化学的セルを側方向においてガイドするための手段、特に前記電気化学的セルの電流導体を側方向においてガイドするための手段を有しており、当該手段は側壁部によって形成されており、当該側壁部は前記ガイドレールの長手軸に対して概ね平行に延在することを特徴とする請求項１に記載のバッテリー収容ユニット。
【請求項３】
前記接触レールの少なくとも一つは前記電気化学的セルの電流導体および／またはその他の構成要素を収容するためのU字形の収容空間を有していることを特徴とする請求項１または２に記載のバッテリー収容ユニット。
【請求項４】
少なくとも一つの接触レールは複数の好ましくは互いに隔離された接触面部分を有しており、当該接触面部分は共通の接触面によって形成されており、個々の接触面部分同士の間に、前記接触面の隔離を生じさせる中断部が設けられていることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載のバッテリー収容ユニット。
【請求項５】
接触面は分割式に形成されており、長手軸に沿って異なる極性を有して形成されていることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載のバッテリー収容ユニット。
【請求項６】
前記接触レール（７）は、当該接触レール（７）の長手軸（Ａ）に沿って、挿入すべき電気化学的セル（３）よりも大きく延伸していることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載のバッテリー収容ユニット。
【請求項７】
前記接触レール（７）は概ね直線的な断面形状を有していることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載のバッテリー収容ユニット。
【請求項８】
接触レール（７）は、前記載置面（４）に対して距離を有して設けられていることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載のバッテリー収容ユニット。
【請求項９】
接触レール（７）は前記載置面（４）を形成していることを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載のバッテリー収容ユニット。
【請求項１０】
前記載置面（４）は概ね平面（Ｅ）内に設けられており、前記接触レール（７）は当該平面（Ｅ）に対して概ね平行に配向されていることを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載のバッテリー収容ユニット。
【請求項１１】
前記バッテリー収容ユニット（２）は切り替え手段を有していることを特徴とする請求項１から１０のいずれか一項に記載のバッテリー収容ユニット。
【請求項１２】
請求項１から１１のいずれか一項に記載の少なくとも一つのバッテリー収容ユニット（２）を有するバッテリーステーション（１）またはフォーミング設備またはバッテリー充電装置。
【請求項１３】
電気化学的セル（３）を請求項１から１２のいずれか一項に記載のバッテリー収容ユニット（２）に装入するための方法であって、
前記電気化学的セル（３）を前記バッテリー収容ユニット（２）の載置面（４）に載置するステップと、
前記電気化学的セル（３）の電流導体（９）を前記バッテリー収容ユニット（２）の接触レール（７）の接触面（８）に接触させるステップと、
前記電気化学的セル（３）を挿入方向（Ｓ）に沿って所定の格納位置まで移動させるステップであって、当該移動の間に前記電流導体（９）は恒常的に前記接触レール（７）に接触しているステップと、を備える方法。
【請求項１４】
少なくとも二つの電気化学的セル（３）はまず載置面（４）に設けられ、その後、当該載置面（４）とともに前記接触レール（７）に対して、特に前記接触レールの長手軸（Ａ）に沿って移動させられることを特徴とする請求項１３に記載の方法。