【手続補正書】
【提出日】平成21年9月17日(2009.9.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部から目視マクロ検査ステージ上に到来する基板に光を照射して表面の欠陥を目視で検出する目視マクロ検査装置であって、
複数の前記基板のマクロ画像を外部から取得して表示する画像表示手段と、
前記画像表示手段において指定された前記マクロ画像に対応した前記基板を、外部から前記目視マクロ検査ステージ上に搬送する搬送制御部と、
を含むことを特徴とする目視マクロ検査装置。
【請求項２】
請求項１記載の目視マクロ検査装置において、
前記基板は所定の単位でカセットに収納された状態で、前記目視マクロ検査装置に接続される基板受け払い部に到来し、
前記搬送制御部は、前記基板受け払い部に到来した前記カセットの識別情報を前記画像表示手段に伝達し、
前記画像表示手段は、前記カセットの識別情報に基づいて、前記カセットに収納されている複数の前記基板の前記マクロ画像をユーザに提示し、前記ユーザが選択した画像に対応する前記基板を前記カセットから前記目視マクロ検査ステージ上に搬送するように前記搬送制御部に指示することを特徴とする目視マクロ検査装置。
【請求項３】
請求項２記載の目視マクロ検査装置において、
前記画像表示手段に表示された前記マクロ画像を指示する指示手段を有し、
前記画像表示手段は、複数の前記マクロ画像をサムネイル表示し、該サムネイル表示された前記マクロ画像を前記指示手段で指示することで、指示された前記マクロ画像に対応する前記基板を前記目視マクロ検査ステージに搬送するように前記搬送制御部に指示することを特徴とする目視マクロ検査装置。
【請求項４】
請求項１記載の目視マクロ検査装置において、
前記マクロ画像は、自動マクロ検査装置にて撮影されたマクロ画像であり、前記マクロ画像には、前記自動マクロ検査装置における自動判定結果が随伴し、
前記画像表示手段は、前記マクロ画像とともに当該マクロ画像の前記自動判定結果を表示することを特徴とする目視マクロ検査装置。
【請求項５】
外部から目視マクロ検査ステージ上に到来する基板に光を照射して表面の欠陥を目視で検出する目視マクロ検査装置であって、
自動マクロ検査装置で取得された前記基板のマクロ画像および／または自動判定結果を検索する検索手段と、
前記検索手段によって得られた前記マクロ画像および／または自動判定結果を表示する画像表示手段と、
前記画像表示手段において指定された前記マクロ画像に対応した前記基板を、外部から前記目視マクロ検査ステージ上に搬送する搬送制御部と、
を含むことを特徴とする目視マクロ検査装置。
【請求項６】
請求項１又は請求項５に記載の目視マクロ検査装置において、
前記画像表示手段は、複数の前記マクロ画像をサムネイル表示し、該サムネイル表示された前記マクロ画像を指示することで、指示された前記マクロ画像を拡大表示することを特徴とする目視マクロ検査装置。
【請求項７】
請求項４又は請求項５に記載の目視マクロ検査装置において、
前記画像表示手段は、前記自動マクロ検査装置にて検出した欠陥が存在する基板の前記マクロ画像全体と欠陥が存在する前記マクロ画像内のセルのうち少なくとも一方を強調表示することを特徴とする目視マクロ検査装置。
【請求項８】
請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の目視マクロ検査装置において、  
前記基板は、フラットパネルディスプレイ基板であることを特徴とする目視マクロ検査装置。
【請求項９】
自動マクロ検査装置で取得された基板のマクロ画像および／または自動判定結果を検索する検索手段と、
前記マクロ画像および／または自動判定結果の検索結果に基づいて目視マクロ検査が必要と判断された前記基板を目視マクロ検査装置に搬送させる搬送制御部と、
を含むことを特徴とする基板検査システム。
【請求項１０】
請求項９記載の基板検査システムにおいて、
前記目視マクロ検査装置に搬送された基板を載置する目視マクロ検査ステージを有し、
前記搬送制御部は、目視マクロ検査が必要と判断された前記基板を収納したカセットを外部から取寄せるとともに、前記カセットに収納された前記基板を目視マクロ検査ステージ上に搬送することを特徴とする基板検査システム。
【請求項１１】
基板に対して所望の処理を行う少なくとも一つの基板処理装置と、
前記基板のマクロ画像の撮影および自動マクロ検査を実行する自動マクロ検査装置と、
目視マクロ検査ステージ上に到来する前記基板に光を照射して表面の欠陥を目視で検出する目視マクロ検査装置と、
前記マクロ画像および／または前記自動マクロ検査で取得された自動判定結果に基づいて目視マクロ検査が必要と判断された前記基板を目視マクロ検査装置の前記目視マクロ検査ステージ上に選択的に搬送させる搬送制御部と、
を含むことを特徴とする基板処理システム。
【請求項１２】
請求項１１記載の目視マクロ検査システムにおいて、
前記搬送制御部は、目視マクロ検査が必要と判断された前記基板を収納したカセットを外部から取寄せるとともに、前記カセットに収納された前記基板を目視マクロ検査ステージに搬送することを特徴とする基板検査システム。
【請求項１３】
請求項９又は請求項１１に記載の目視マクロ検査システムにおいて、
前記自動マクロ検査装置で取得された前記基板のマクロ画像を表示する画像表示手段を有し、
前記画像表示手段は、前記基板のマクロ画像および/または自動判定結果の検索を指示する検索画面を表示することを特徴とする基板検査システム。
【請求項１４】
請求項１３記載の目視マクロ検査システムにおいて、
前記検索画面は、前記基板毎に付与された基板情報を入力する入力部と、前記入力部に入力された基板情報に基づいて前記基板のマクロ画像および／または自動判定結果の検索を開始させる検索ボタンとを表示することを特徴とする基板検査システム。
【請求項１５】
目視マクロ検査ステージ上に到来する前記基板に光を照射して表面の欠陥を目視で検出する目視マクロ検査方法であって、
複数の前記基板のマクロ画像をユーザに提示する第１ステップと、
前記ユーザによって選択された前記マクロ画像に対応した前記基板を、外部から前記目視マクロ検査ステージ上に選択的に取り寄せる第２ステップと、
を含むことを特徴とする目視マクロ検査方法。
【請求項１６】
請求項１５記載の目視マクロ検査方法において、
前記第２ステップでは、前記目視マクロ検査ステージの近傍にカセットに収容されて到来した複数の前記基板の中の一つを、前記カセットから取り出して前記目視マクロ検査ステージ上に搬送することを特徴とする目視マクロ検査方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の第３の態様は、自動マクロ検査装置で取得された基板のマクロ画像および／または自動判定結果を検索する検索手段と、前記マクロ画像および／または自動判定結果の検索結果に基づいて目視マクロ検査が必要と判断された前記基板を目視マクロ検査装置に搬送させる搬送制御部と、を含む基板検査システムを提供する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の第４の態様は、基板に対して所望の処理を行う少なくとも一つの基板処理装置と、前記基板のマクロ画像の撮影および自動マクロ検査を実行する自動マクロ検査装置と、目視マクロ検査ステージ上に到来する前記基板に光を照射して表面の欠陥を目視で検出する目視マクロ検査装置と、  前記マクロ画像および／または前記自動マクロ検査で取得された自動判定結果に基づいて目視マクロ検査が必要と判断された前記基板を目視マクロ検査装置の前記目視マクロ検査ステージ上に選択的に搬送させる搬送制御部と、を含む基板処理システムを提供する。