【手続補正書】
【提出日】平成21年6月17日(2009.6.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】基板保持装置、研磨装置、及び該基板保持装置に用いられる弾性部材
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  研磨対象物である基板を保持して研磨面に押圧する基板保持装置であって、
上下方向に移動可能な上下動部材と、
前記基板に当接する弾性部材とを備え、
前記弾性部材は、前記基板の外周縁部に当接する当接部と、該当接部から上方に延びて前記上下動部材に接続される周壁部とを備え、
前記周壁部は、上下方向に伸縮自在な伸縮部を有することを特徴とする基板保持装置。
【請求項２】  前記周壁部は、外周壁部と、該外周壁部よりも径方向内側に配置された内周壁部とから構成され、前記伸縮部は、前記外周壁部及び前記内周壁部のうち少なくとも一方に設けられ、前記当接部は、前記外周壁部と前記内周壁部との間において分断されていることを特徴とする請求項１に記載の基板保持装置。
【請求項３】  前記伸縮部は、前記周壁部の所定の部位を周方向に沿って折り曲げることにより構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板保持装置。
【請求項４】  前記伸縮部の折り曲げ箇所は、略円弧状の断面形状を有することを特徴とする請求項３に記載の基板保持装置。
【請求項５】  前記伸縮部は、前記当接部よりも軟質の材料で形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板保持装置。
【請求項６】  前記伸縮部は、前記周壁部の所定の部位を前記当接部よりも薄肉に形成することにより構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板保持装置。
【請求項７】  研磨対象物である基板を保持して研磨面に押圧する基板保持装置であって、
上下方向に移動可能な上下動部材と、
前記基板に当接する弾性部材とを備え、
前記弾性部材は、前記基板の外周縁部に当接する当接部と、該当接部から上方に延びて前記上下動部材に接続される周壁部とを備え、
前記周壁部は、外周壁部と、該外周壁部よりも径方向内側に配置された内周壁部とから構成され、前記当接部は、前記外周壁部と前記内周壁部との間において分断されていることを特徴とする基板保持装置。
【請求項８】  前記周壁部の前記伸縮部よりも下方に位置する部位は、前記当接部よりも硬質の材料で形成されていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の基板保持装置。
【請求項９】  前記周壁部の前記伸縮部よりも下方に位置する部位は、前記当接部よりも肉厚に形成されていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の基板保持装置。
【請求項１０】  前記周壁部の前記伸縮部よりも下方に位置する部位には、前記弾性部材よりも硬度が高い硬質部材が埋設されていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の基板保持装置。
【請求項１１】  前記周壁部の前記伸縮部よりも下方に位置する部位の表面には、前記弾性部材よりも硬度が高い硬質部材が固着されていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の基板保持装置。
【請求項１２】  前記周壁部の前記伸縮部よりも下方に位置する部位の表面には、前記弾性部材よりも硬質の材料がコーティングされていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の基板保持装置。
【請求項１３】  前記当接部の上面に接触して前記当接部を前記基板に対して押圧する押圧部材を設けたことを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の基板保持装置。
【請求項１４】  前記押圧部材の下面に、径方向に延びる複数の溝を形成したことを特徴とする請求項１３に記載の基板保持装置。
【請求項１５】  前記当接部の上面に流体を供給する流体供給口を前記押圧部材の下面に形成したことを特徴とする請求項１３に記載の基板保持装置。
【請求項１６】  前記押圧部材と接触する前記当接部の上面に、周方向に延びる肉厚部を設けたことを特徴とする請求項１３乃至１５のいずれか１項に記載の基板保持装置。
【請求項１７】  前記肉厚部は、略三角形状又は略円弧状の断面形状を有することを特徴とする請求項１６に記載の基板保持装置。
【請求項１８】  前記当接部に補強部材を埋設したことを特徴とする請求項１３乃至１７のいずれか１項に記載の基板保持装置。
【請求項１９】  前記当接部の上面に複数の凹凸を形成したことを特徴とする請求項１乃至１８のいずれか１項に記載の基板保持装置。
【請求項２０】  請求項１乃至１９のいずれか１項に記載の基板保持装置と、研磨面を有する研磨テーブルとを備えたことを特徴とする研磨装置。
【請求項２１】  請求項１乃至１９のいずれか１項に記載の基板保持装置に研磨対象物である基板を保持させ、
研磨面を有する研磨テーブルに前記基板を載置し、
前記上下動部材を下降させ、
前記当接部を前記基板に押圧しながら、前記上下動部材、前記弾性部材、及び前記基板とにより画成される圧力室に加圧流体を供給し、
前記基板を前記研磨面に摺接させて前記基板を研磨することを特徴とする研磨方法。
【請求項２２】  基板を保持して研磨面に押圧する基板保持装置であって、
前記基板とチャッキングプレートとの間に圧力室を形成するための弾性部材を備え、
前記弾性部材の前記基板と接する当接部は、前記弾性部材の前記基板からの剥離を促進させる剥離促進部を有することを特徴とする基板保持装置。
【請求項２３】  前記剥離促進部は、前記当接部の周縁部に形成された切欠きであることを特徴とする請求項２２に記載の基板保持装置。
【請求項２４】  前記当接部の一部は、前記弾性部材を形成する材料よりも前記基板との密着性が弱い材料から形成されていることを特徴とする請求項２２又は２３に記載の基板保持装置。
【請求項２５】  前記当接部の全面又は一部には、しぼ加工が施されていることを特徴とする請求項２２乃至２４のいずれか１項に記載の基板保持装置。
【請求項２６】  前記剥離促進部は、前記当接部の周縁部と、他の圧力室を形成する前記弾性部材とを連結する連結部であることを特徴とする請求項２２に記載の基板保持装置。
【請求項２７】  前記剥離促進部は、前記当接部の一部が上方に窪んだ窪み部であり、前記圧力室に加圧流体を供給したときに前記窪み部は前記基板に密着することを特徴とする請求項２２に記載の基板保持装置。
【請求項２８】  請求項２２乃至２７のいずれか１項に記載の基板保持装置と、研磨面を有する研磨テーブルとを備えたことを特徴とする研磨装置。
【請求項２９】  基板を保持して研磨面に押圧する基板保持装置に用いられ、基板と接する当接部を有する弾性部材であって、
前記当接部の全面又は一部にしぼ加工が施されていることを特徴とする弾性部材。
【請求項３０】  基板を保持して研磨面に押圧する基板保持装置に用いられ、基板と接する当接部を有する弾性部材であって、
前記当接部は、前記弾性部材の前記基板からの剥離を促進させる剥離促進部を有することを特徴とする弾性部材。
【請求項３１】前記剥離促進部は、前記当接部の周縁部に形成された切欠きであることを特徴とする請求項３０に記載の弾性部材。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、研磨対象物である基板を保持して研磨面に押圧する基板保持装置、特に、半導体ウェハ等の基板を研磨して平坦化する研磨装置において該基板を保持する基板保持装置に関するものである。また、本発明は、かかる基板保持装置を備えた研磨装置に関するものである。さらに、本発明は、基板保持装置に用いられ、基板と接する弾性部材に関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明は、上述した従来の問題点に鑑みてなされたもので、弾性膜を用いて形成された空間に加圧流体を加えることにより基板へ押圧力を与える基板保持装置において、研磨中及び基板の離脱など全工程においてより安定した加工ができる様にする。すなわち、基板の全体に亘って均一な押圧力を得ることができる基板保持装置及びこのような基板保持装置を備えた研磨装置を提供することを第１の目的とする。また、本発明は、基板を速やかに離すことができる基板保持装置及びこのような基板保持装置を備えた研磨装置を提供することを第２の目的とする。さらに、本発明は、基板保持装置に用いられ、基板と接する弾性部材を提供することを第３の目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
本発明の他の態様は、請求項２２乃至２７のいずれか１項に記載の基板保持装置と、研磨面を有する研磨テーブルとを備えたことを特徴とする研磨装置である。
また、本発明の他の態様は、基板を保持して研磨面に押圧する基板保持装置に用いられ、基板と接する当接部を有する弾性部材であって、前記当接部の全面又は一部にしぼ加工が施されていることを特徴とする。
本発明の他の態様は、基板を保持して研磨面に押圧する基板保持装置に用いられ、基板と接する当接部を有する弾性部材であって、前記当接部は、前記弾性部材の前記基板からの剥離を促進させる剥離促進部を有することを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記剥離促進部は、前記当接部の周縁部に形成された切欠きであることを特徴とする。