【手続補正書】
【提出日】平成20年12月2日(2008.12.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
吐出孔から液体が液滴として吐出されるノズルを有し液体吐出ヘッドに用いられるノズルプレートにおいて、
前記ノズルプレートは、
前記ノズルの吐出孔が形成されている面がフラットで体積抵抗率が１０１５Ω・ｍ以上のガラスからなる第１プレートと、
前記第１プレートに重ねて、該第１プレートの前記吐出孔に連通する大径穴を有する体積抵抗率が１０１５Ω・ｍ以上の樹脂又はガラスからなる第２プレートと、で積層構成されていることを特徴とするノズルプレート。
【請求項２】
前記大径穴の径は、前記吐出孔の径より大きいことを特徴とする請求項１に記載のノズルプレート。
【請求項３】
前記第１プレートの前記吐出孔から液体が吐出される面は撥液層が設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載のノズルプレート。
【請求項４】
前記液体吐出ヘッドは、静電吸引方式の液体吐出ヘッドであることを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項に記載のノズルプレート。
【請求項５】
前記ノズルのノズル径が１０μｍ以下であることを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載のノズルプレート。
【請求項６】
吐出孔から液体を液滴として吐出するノズルを有し液体吐出ヘッドに用いられるノズルプレートの製造方法において、
体積抵抗率が１０１５Ω・ｍ以上のガラス基板にフォトリソグラフィ処理及びドライエッチング処理を行い前記吐出孔を設けることで、前記ガラス基板を第１プレートとする第１プレート製造工程と、
体積抵抗率が１０１５Ω・ｍ以上の樹脂基板又はガラス基板に前記第１プレートに重ねて、該第１プレートの前記吐出孔に連通する大径穴を設けることで、前記樹脂基板又は前記ガラス基板を第２プレートとする第２プレート製造工程と、
前記第１プレートに設けた前記吐出孔と前記第２プレートに設けた前記大径穴とが連通するように該第１プレートと該第２プレートとを貼り合わせる工程と、を有することを特徴とするノズルプレートの製造方法。
【請求項７】
前記第１プレート製造工程は、
前記ガラス基板に金属膜を設ける工程と、
前記金属膜にフォトリソグラフィ処理及びエッチング処理を行い前記吐出孔の金属膜のパターンマスクを形成する工程と、
前記吐出孔の金属膜のパターンマスクを用いてドライエッチング処理を行い前記吐出孔を形成する工程と、
前記金属膜を除去する工程と、を有することを特徴とする請求項６に記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項８】
前記大径穴の径は、前記吐出孔の径より大きいことを特徴とする請求項６又は７に記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項９】
前記第１プレートの前記吐出孔から液体が吐出される面に撥液層を設ける撥液処理工程を有することを特徴とする請求項６乃至８の何れか一項に記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項１０】
前記液体吐出ヘッドは、静電吸引方式の液体吐出ヘッドであることを特徴とする請求項６乃至９の何れか一項に記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項１１】
前記ノズルのノズル径が１０μｍ以下であることを特徴とする請求項６乃至１０の何れか一項に記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項１２】
吐出孔から液体を液滴として吐出するノズルを有するノズルプレートと、
前記ノズルプレートと貼り合わせることで、前記ノズルに連通するキャビティとなるキャビティ溝が形成されたボディープレートとを備え、
前記ノズル内の液体と前記ノズルプレートの液滴を吐出する面に対向して設けられた基材との間に形成される電界から受ける静電吸引力により液滴を吐出し前記基材に着弾させる液体吐出ヘッドにおいて、
前記ノズルプレートは、請求項１乃至５の何れか一項に記載のノズルプレート又は請求項６乃至１１の何れか一項に記載のノズルプレートの製造方法により製造されるノズルプレートであって、
前記ノズルの前記吐出孔から吐出される液体と前記基材間に静電電圧が印加されて静電吸引力を発生させる静電電圧印加手段を備えていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項１３】
前記ノズル内の液体に圧力を印加して、メニスカスを形成する圧力発生手段を備えていることを特徴とする請求項１２に記載の液体吐出ヘッド。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
１．吐出孔から液体が液滴として吐出されるノズルを有し液体吐出ヘッドに用いられるノズルプレートにおいて、
前記ノズルプレートは、
前記ノズルの吐出孔が形成されている面がフラットで体積抵抗率が１０１５Ω・ｍ以上のガラスからなる第１プレートと、
前記第１プレートに重ねて、該第１プレートの前記吐出孔に連通する大径穴を有する体積抵抗率が１０１５Ω・ｍ以上の樹脂又はガラスからなる第２プレートと、で積層構成されていることを特徴とするノズルプレート。
２．前記大径穴の径は、前記吐出孔の径より大きいことを特徴とする１に記載のノズルプレート。
３．前記第１プレートの前記吐出孔から液体が吐出される面は撥液層が設けられていることを特徴とする１又は２に記載のノズルプレート。
４．前記液体吐出ヘッドは、静電吸引方式の液体吐出ヘッドであることを特徴とする１乃至３の何れか一つに記載のノズルプレート。
５．前記ノズルのノズル径が１０μｍ以下であることを特徴とする１乃至４の何れか一つに記載のノズルプレート。
６．吐出孔から液体を液滴として吐出するノズルを有し液体吐出ヘッドに用いられるノズルプレートの製造方法において、
体積抵抗率が１０１５Ω・ｍ以上のガラス基板にフォトリソグラフィ処理及びドライエッチング処理を行い前記吐出孔を設けることで、前記ガラス基板を第１プレートとする第１プレート製造工程と、
体積抵抗率が１０１５Ω・ｍ以上の樹脂基板又はガラス基板に前記第１プレートに重ねて、該第１プレートの前記吐出孔に連通する大径穴を設けることで、前記樹脂基板又は前記ガラス基板を第２プレートとする第２プレート製造工程と、
前記第１プレートに設けた前記吐出孔と前記第２プレートに設けた前記大径穴とが連通するように該第１プレートと該第２プレートとを貼り合わせる工程と、を有することを特徴とするノズルプレートの製造方法。
７．前記第１プレート製造工程は、
前記ガラス基板に金属膜を設ける工程と、
前記金属膜にフォトリソグラフィ処理及びエッチング処理を行い前記吐出孔の金属膜のパターンマスクを形成する工程と、
前記吐出孔の金属膜のパターンマスクを用いてドライエッチング処理を行い前記吐出孔を形成する工程と、
前記金属膜を除去する工程と、を有することを特徴とする６に記載のノズルプレートの製造方法。
８．前記大径穴の径は、前記吐出孔の径より大きいことを特徴とする６又は７に記載のノズルプレートの製造方法。
９．前記第１プレートの前記吐出孔から液体が吐出される面に撥液層を設ける撥液処理工程を有することを特徴とする６乃至８の何れか一つに記載のノズルプレートの製造方法。
１０．前記液体吐出ヘッドは、静電吸引方式の液体吐出ヘッドであることを特徴とする６乃至９の何れか一項に記載のノズルプレートの製造方法。
１１．前記ノズルのノズル径が１０μｍ以下であることを特徴とする６乃至１０の何れか一つに記載のノズルプレートの製造方法。
１２．吐出孔から液体を液滴として吐出するノズルを有するノズルプレートと、
前記ノズルプレートと貼り合わせることで、前記ノズルに連通するキャビティとなるキャビティ溝が形成されたボディープレートとを備え、
前記ノズル内の液体と前記ノズルプレートの液滴を吐出する面に対向して設けられた基材との間に形成される電界から受ける静電吸引力により液滴を吐出し前記基材に着弾させる液体吐出ヘッドにおいて、
前記ノズルプレートは、１乃至５の何れか一つに記載のノズルプレート又は６乃至１１の何れか一つに記載のノズルプレートの製造方法により製造されるノズルプレートであって、
前記ノズルの前記吐出孔から吐出される液体と前記基材間に静電電圧が印加されて静電吸引力を発生させる静電電圧印加手段を備えていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
１３．前記ノズル内の液体に圧力を印加して、メニスカスを形成する圧力発生手段を備えていることを特徴とする１２に記載の液体吐出ヘッド。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
請求項１及び６に記載の発明によれば、本ノズルプレートには次のような効果ある。まず、ノズルの吐出孔が設けてある第１プレートがガラスであるため剛性が確保され、また微細な加工を高精度に行うことができることから、取り扱いが容易で吐出孔が微小な径で複数であっても形状の揃った孔とされることができるため吐出される液滴が揃った高い品質での記録を可能とすることができる。また、ノズルプレートの高精度で微小な吐出孔が形成されている部分と大径穴が形成されている部分とはそれぞれ第１プレートと第２プレートとの２つに分離されているため、第１プレートで高精度な吐出孔を確保しつつ第２プレートでは必要精度に応じた材料及び加工方法を選択することができる。よって、必要精度が確保されていながら低コストとすることができるコストパフォーマンスの良いノズルプレート及びこのノズルプレートの製造方法を提供できる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
請求項１２に記載の発明によれば、液体吐出ヘッドは、上記の効果を有するノズルプレートを持ち、静電電圧印加手段を備えていることから、次のような効果がある。まず、微小な径で複数であっても形状の揃った吐出孔から液体を吐出することができることから、吐出される液滴による高精細なパターンを形成することができる。また、コストパフォーマンスの良いノズルプレートを用いることからコストパフォーマンスの良い液体吐出ヘッドを提供することができる。