(57)【要約】      （修正有）【課題】部品搬送路における振動を水平状態のまま斜方向に振動できる部品供給装置を提供する。【解決手段】リニアフィーダ３００においては、第１搬送路３２０、第２搬送路３３０内を搬送する微小部品に振動を伝達させることができ、微小部品を安定して搬送することができる。また、本発明に係るリニアフィーダ３００においては、防振部材３９０が、圧電式振動部３０３により振動が発生された場合に、圧電式振動部３０３および防振台３０１の間の相対距離を伸張させる伸張構造を有する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送路に振動を発生させることにより前記搬送路内に供給される部品を直線状に移送する部品供給装置であって、
下部に配設されるベース部と、
前記搬送路が設けられているとともに前記ベース部の上方に配設されて振動を発生する加振部と、
前記加振部よりも下方で前記ベース部よりも上方に設けられる固定部と、
前記搬送路の上流側および下流側の前記加振部と前記ベース部とにそれぞれ取り付けられ、前記加振部から前記ベース部へ伝達される振動を減衰させる防振部材と、
前記加振部と前記固定部とに複数のボルトにより取り付けられ、弾性変形することにより、前記固定部と前記加振部とに互いに逆位相の振動を発生させる駆動部材と、
前記防振部材は、前記加振部により振動が発生された場合に、前記加振部および前記ベース部の間の相対距離を伸張させる伸張構造を有することを特徴とする部品供給装置。
【請求項２】
前記防振部材は、
長手方向を有する板状部材からなり、
前記伸張構造は、
前記板状部材の短手方向に並行に形成された蛇腹構造からなることを特徴とする請求項１記載の部品供給装置。
【請求項３】
前記防振部材は、
長手方向を有する板状部材からなり、
前記伸張構造は、
前記板状部材の短手方向に並行に形成された凹凸形状からなることを特徴とする請求項１記載の部品供給装置。
【請求項４】
前記防振部材は、
長手方向を有する板状部材からなり、
前記伸張構造は、
前記板状部材の長手方向に沿って滑らかに湾曲して形成され、かつ短手方向に並行に形成された凹凸形状からなることを特徴とする請求項１記載の部品供給装置。
【請求項５】
前記防振部材は、
長手方向を有する板状部材からなり、
前記伸張構造は、
前記板状部材の長手方向と垂直な方向を谷として屈曲された形状からなることを特徴とする請求項１記載の部品供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品を振動により移送することが可能な部品供給装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、部品に対して振動を与えることにより、部品を整列させるとともに、部品の供給を行う部品供給装置の一つとしてパーツフィーダがよく知られている。このパーツフィーダは、部品に振動を与えることにより部品の姿勢を整え、次工程に供給することができる。
【０００３】
特許文献１には、加振錘を備えた圧電素子駆動型フィーダについて開示されている。この特許文献１の圧電素子駆動型フィーダによれば、圧電素子貼着用板ばねの高さを高くせずに、該板ばねの変位を大きくしてフィーダの搬送能力を高めることができる。
【０００４】
【特許文献１】特開２００２-３０２２３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本来、部品を搬送するべき部品搬送路が、水平状態のまま斜方向に振動することが望ましい。しかしながら、従来の部品供給装置では、部品搬送路が安定して水平状態のまま斜方向に振動しない場合が生じる。例えば、部品供給先側（先端）における部品搬送路が、水平状態を維持していても、部品供給元側（後端）における部品搬送路が、水平状態よりも高く振動する状態がおこる。
【０００６】
本発明の目的は、部品搬送路における振動を水平状態のまま斜方向に振動できる部品供給装置を提供することである。
【課題を解決するための手段及び効果】
【０００７】
（１）
本発明に係る部品供給装置は、搬送路に振動を発生させることにより搬送路内に供給される部品を直線状に移送する部品供給装置であって、下部に配設されるベース部と、搬送路が設けられているとともにベース部の上方に配設されて振動を発生する加振部と、加振部よりも下方でベース部よりも上方に設けられる固定部と、搬送路の上流側および下流側の加振部とベース部との間にそれぞれ取り付けられ、加振部からベース部へ伝達される振動を減衰させる防振部材と、加振部と固定部とに複数のボルトにより取り付けられ、弾性変形することにより、固定部と加振部とに互いに逆位相の振動を発生させる駆動部材と、防振部材は、加振部により振動が発生された場合に、加振部およびベース部の間の相対距離を伸張させる伸張構造を有するものである。
【０００８】
本発明に係る部品供給装置においては、防振部材が、加振部により振動が発生された場合に、加振部およびベース部の間の相対距離を伸張させる伸張構造を有する。
【０００９】
この場合、防振部材が、加振部およびベース部の間の相対距離を伸張させる伸張構造を有するので、ベース部に対して搬送路が平行でない状態で振動した場合に、上流側と下流側とに設けられた防振部材に対する負荷の比率が変化し、当該比率に応じて伸張構造により相対距離の調整が行なわれる。その結果、加振部により振動が発生された場合に、搬送路をベース部に対して平行で、かつ斜め方向に安定して振動することができる。したがって、微小部品を安定してスムーズに搬送することができる。
【００１０】
（２）
防振部材は、長手方向を有する板状部材からなり、伸張構造は、板状部材の短手方向に並行に形成された蛇腹構造からなってもよい。
【００１１】
この場合、伸張構造は、板状部材に形成された蛇腹構造からなるので、負荷が上流側および下流側のいずれか一方に強く加わった場合には、蛇腹構造が長手方向に伸びて、当該負荷の強く加わった側の加振部およびベース部の間の相対距離を伸張させ、当該負荷が弱い側の加振部およびベース部の間の相対距離を変化させない。また、負荷が上流側および下流側において均等に加わった場合には、蛇腹構造は長手方向に均等に伸びるか、または全く伸びない状態となる。したがって、加振部により振動が発生された場合に、搬送路をベース部に対して平行で、かつ斜め方向に安定して振動することができ、微小部品を安定してスムーズに搬送することができる。
【００１２】
（３）
防振部材は、長手方向を有する板状部材からなり、伸張構造は、板状部材の短手方向に並行に形成された凹凸形状からなってもよい。
【００１３】
この場合、伸張構造は、板状部材に形成された凹凸形状からなるので、負荷が上流側および下流側のいずれか一方に強く加わった場合には、凹凸形状が長手方向に伸びて、当該負荷の強く加わった側の加振部およびベース部の間の相対距離を伸張させ、当該負荷が弱い側の加振部およびベース部の間の相対距離を変化させない。また、負荷が上流側および下流側において均等に加わった場合には、凹凸形状は長手方向に均等に伸びるか、または全く伸びない状態となる。したがって、加振部により振動が発生された場合に、搬送路をベース部に対して平行で、かつ斜め方向に安定して振動することができ、微小部品を安定してスムーズに搬送することができる。
【００１４】
（４）
防振部材は、長手方向を有する板状部材からなり、伸張構造は、板状部材の長手方向に沿って滑らかに湾曲して形成され、かつ短手方向に並行に形成された凹凸形状からなってもよい。
【００１５】
この場合、伸張構造は、板状部材に形成された滑らかに湾曲した凹凸形状からなるので、負荷が上流側および下流側のいずれか一方に強く加わった場合には、凹凸形状が長手方向に伸びて、当該負荷の強く加わった側の加振部およびベース部の間の相対距離を伸張させ、当該負荷が弱い側の加振部およびベース部の間の相対距離を変化させない。また、負荷が上流側および下流側において均等に加わった場合には、凹凸形状は長手方向に均等に伸びるか、または全く伸びない状態となる。したがって、加振部により振動が発生された場合に、搬送路をベース部に対して平行で、かつ斜め方向に安定して振動することができ、微小部品を安定してスムーズに搬送することができる。
【００１６】
（５）
防振部材は、長手方向を有する板状部材からなり、伸張構造は、板状部材の長手方向と垂直な方向を谷として屈曲された形状からなってもよい。
【００１７】
この場合、伸張構造は、板状部材の長手方向と垂直な方向を谷として屈曲された形状からなるので、負荷が上流側および下流側のいずれか一方に強く加わった場合には、屈曲された形状が長手方向に伸びて、当該負荷の強く加わった側の加振部およびベース部の間の相対距離を伸張させ、当該負荷が弱い側の加振部およびベース部の間の相対距離を変化させない。また、負荷が上流側および下流側において均等に加わった場合には、屈曲された形状は長手方向に均等に伸びるか、または全く伸びない状態となる。したがって、加振部により振動が発生された場合に、搬送路をベース部に対して平行で、かつ斜め方向に安定して振動することができ、微小部品を安定してスムーズに搬送することができる。さらに、当該防振部材は、加工部が少ないため、極めて低コストで製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明に係る実施の形態について図面を用いて説明を行う。本発明に係る部品供給装置の一例として、微小な部品を搬送する微小部品供給装置に適合させた場合について説明を行う。
【００１９】
（第１の実施の形態）
図１および図２は、本発明の第１の実施の形態に係る微小部品供給装置１００の一例を示す模式的斜視図である。図１は微小部品供給装置１００の上面を示し、図２は微小部品供給装置１００の側面を示す。
【００２０】
図１および図２に示すように、微小部品供給装置１００は、パーツフィーダ２００、リニアフィーダ３００およびステージ９００を含む。
【００２１】
また、図２に示すように、パーツフィーダ２００は、ボウル状搬送部２１０と圧電式振動部２２０とを含む。
【００２２】
本実施の形態における微小部品供給装置１００においては、ステージ９００上にパーツフィーダ２００およびリニアフィーダ３００が設けられる。図１のパーツフィーダ２００の微小部品排出部２１１には、リニアフィーダ３００の微小部品搬入部３１１が接続されている。さらに、リニアフィーダ３００の還流搬送路３１７には、パーツフィーダ２００の受け入れ路２１７が接続されている。
【００２３】
パーツフィーダ２００の圧電式振動部２２０により発振された振動が、圧電式振動部２２０の上部に載置されたボウル状搬送部２１０に与えられる。ボウル状搬送部２１０内には、ボウル状搬送部２１０の内周に沿って螺旋状の微小部品搬送路が設けられる。ボウル状搬送部２１０の中央底部に微小部品８００（図３参照）が供給され、圧電式振動部２２０からの振動により微小部品８００が螺旋状の搬送路上を搬送され、微小部品排出部２１１からリニアフィーダ３００の微小部品搬入部３１１に与えられる。
【００２４】
また、リニアフィーダ３００には、後述するように主に第１搬送部材３２０、圧電式振動部３０３および錘部３０２からなる１台の加振器３３３が設けられており、加振器３３３により発振された振動が、リニアフィーダ３００の各搬送路に与えられる。それにより、微小部品供給装置１００は、微小部品供給装置１００の次工程に微小部品８００を供給することができる。
【００２５】
また、リニアフィーダ３００の第１搬送部材３２０において所定姿勢に整理されなかった微小部品８００が存在する場合、または次工程においてトラブルが生じて次工程側に微小部品８００を搬送させないようにする場合、第３搬送部材３５０により微小部品８００が、微小部品還流路３１７からパーツフィーダ２００の受け入れ路２１７を介してボウル状搬送部２１０の中央底部に戻される。
【００２６】
次に、図３は本実施の形態において搬送される微小部品８００の形状の一例を示す模式的斜視図である。
【００２７】
図３に示すように、微小部品８００は、長さＬ、高さＨ、幅Ｂを有する直方体からなる。長さＬ、高さＨおよび幅Ｂの関係は、Ｈ＜Ｂ＜Ｌの関係を有する。このように、微小部品８００は平板状の微小部品からなる。
【００２８】
また、微小部品供給装置１００は、微小部品８００の一方の面に電極が形成されたものである場合が多く、一般に微小部品８００の大きさは、長さＬが３．２ｍｍ〜８ｍｍ程度であり、幅Ｂが２．５ｍｍ〜５．０ｍｍ程度であり、高さＨが０．８ｍｍ〜１．７ｍｍ程度である。
【００２９】
次に、図４は、本実施の形態に係るリニアフィーダ３００の一部内部構造を示した模式的側面図である。
【００３０】
リニアフィーダ３００は、主に防振台３０１、錘部（カウンターウェイト）３０２、圧電式振動部３０３、振動伝達部３０４、第１搬送部材（直線状搬送部材）３２０、第２搬送部材（直線状搬送部材）３３０、接続部材３４０、第３搬送部材（還流搬送部材）３５０、弾性板部材３６０、連結板３７０、支持ばね３８０および防振用板ばね３９０を含む。
【００３１】
図４に示すように、本実施の形態におけるリニアパーツフィーダ３００においては、支持ばね３８０および防振用板ばね３９０が重複して配設される。また、リニアパーツフィーダ３００の第１搬送部材３２０の上流側および下流側の両側にそれぞれ支持ばね３８０および防振用板ばね３９０が配設される。なお、本実施の形態における防振用板ばね３９０の詳細については後述する。
【００３２】
また、図４の錘部３０２および圧電式振動部３０３の内部には、平板を屈曲させたＬ字状の弾性部材４１０が設けられる。弾性部材４１０の一端側が圧電式振動部３０３に固定され、他端側が錘部３０２に固定される。
【００３３】
さらに、弾性部材４１０の両面には、圧電素子４１１が配設される。この弾性部材４１０および圧電素子４１１からなるばね定数は、搬送する部品の重量、大きさおよび搬送路３０５の重量等によって定められる任意の共振周波数の条件に応じて適宜選択される。
【００３４】
圧電素子４１１は、具体的に、圧電セラミックスを分極処理して弾性部材４１０の一方の面にプラス極性の分極電位を持たせたものを貼り付け、弾性部材４１０の他方の面にマイナス極性の分極電位を持たせたものを貼り付ける。それにより、弾性部材４１０の表裏面に圧電素子４１１によるバイモルフ構造が形成される。圧電素子４１１に電荷を付与することにより振動が生じ、圧電式振動部３０３と錘部３０２とが互いに逆方向に振動する。なお、錘部３０２は、圧電式振動部３０３および第１搬送部材３２０等の重量に応じて形成された質量からなる。
【００３５】
続いて、圧電式振動部３０３の上部には、振動伝達部３０４が設けられる。この振動伝達部３０４は、錘部３０２に固設された連結板３７０により固定される。すなわち、振動伝達部３０４は、錘部３０２の振動と同期した動きをする。また、振動伝達部３０４の上面には、第１搬送部材３２０が固定され、第１搬送部材３２０の一端側には、第２搬送部材３３０が接続され、第１搬送部材３２０の側面には、接続部材３４０が併設される。弾性板部材３６０により連結板３７０と第３搬送部材３５０とが接続される。第１搬送部材３２０、第２搬送部材３３０、第３搬送部材３５０の搬送路に振動が付与されることにより、微小部品８００が搬送路に設けられた搬送溝内を移動する。
【００３６】
図５は、支持ばね３８０および防振用板ばね３９０の構造の一例を示す模式図である。
【００３７】
図５に示すように、支持ばね３８０は長手方向を有する平板状の弾性部材からなる。また、図５に示すように、防振用板ばね３９０は長手方向を有する平板状の短手方向に沿って屈曲させた形状を有する弾性部材からなる。
【００３８】
ボルト３８５は、スプリングワッシャおよび平座金を備え、支持ばね３８０の貫通孔３８０ａおよび防振用板ばね３９０の貫通穴３９０ａを貫通して、圧電式振動部３０３に固定される。また、ボルト３８６は、スプリングワッシャおよび平座金を備え、支持ばね３８０の貫通孔３８０ｂ、リング状スペーサ３９２および防振用板ばね３９０の貫通穴３９０ｂを貫通して、錘部３０２に固定される。さらに、ボルト３９５は、スプリングワッシャおよび平座金を備え、さらに貫通穴３９０ｃを貫通して防振台３０１に固定される。
【００３９】
図６は、図５に示した支持ばね３８０および防振用板ばね３９０の構造を説明するための模式的断面図である。
【００４０】
図６に示すように、防振用板ばね３９０は、図中点Ａ部において屈曲して形成されている。また、防振用板ばね３９０の貫通穴３９０ｂの直径は、他の貫通穴３９０ａおよび３９０ｃよりも大きい。すなわち、防振用板ばね３９０の貫通穴３９０ｂの直径は、ボルト３８６のヘッド部よりも大きな穴径から形成される。よって、支持ばね３８０が防振用板ばね３９０の動きに干渉されることなく、圧電式振動部３０３の振動を錘部３０２側に伝達することができる。
【００４１】
次に、図７は防振用板ばね３９０の伸張構造の詳細を説明するための説明図である。図７（ａ）は圧電式振動部３０３により振動が発生する以前の防振用板ばね３９０の状態を示し、図７（ｂ）は圧電式振動部３０３により振動が発生した後の防振用板ばね３９０の状態を示す。
【００４２】
図７（ａ）に示すように、防振用板ばね３９０は、板状部材の弾性体からなり、点Ａにおいて所定の角度αで屈曲して形成されている。また、圧電式振動部３０３により振動が発生する以前の防振用板ばね３９０の全体長さＬａ１である。
【００４３】
一方、圧電式振動部３０３により振動が発生した後で、かつ負荷が加わった場合、防振用板ばね３９０の所定の角度αが１８０度に近づくように変形する。この場合の防振用板ばね３９０の全体長さはＬｂ１である。この長さＬｂ１は、長さＬａ１よりも大きな値である。
【００４４】
このように、第１の実施の形態に係るリニアフィーダ３００においては、圧電式振動部３０３により振動が発生した後において、防振用板ばね３９０が、点Ａにおいて屈曲された形状の伸張構造を有し、負荷に応じて相対距離の調整が行なわれる。その結果、搬送路３０５を防振台３０１に対して平行で、かつ斜め方向に安定して振動することができる。したがって、微小部品８００を安定してスムーズに搬送することができる。
【００４５】
（第２の実施の形態）
図８は、第２の実施の形態に係るリニアフィーダ３００ａの一部内部構造を示した模式的側面図である。
【００４６】
第２の実施の形態に係るリニアフィーダ３００ａが、第１の実施の形態に係るリニアフィーダ３００と異なるのは、以下の点である。
【００４７】
第２の実施の形態に係るリニアフィーダ３００ａは、第１の実施の形態に係るリニアフィーダ３００の防振用板ばね３９０の代わりに防振用板ばね３９０ｘを含む。
【００４８】
図９は、支持ばね３８０および防振用板ばね３９０ｘの構造の一例を示す模式図である。
【００４９】
図９に示すように、支持ばね３８０は長手方向を有する平板状の弾性部材からなる。また、図９に示すように、防振用板ばね３９０ｘは長手方向を有する平板状の短手方向に沿って複数に屈曲させた蛇腹構造を有する弾性部材からなる。
【００５０】
ボルト３８５は、スプリングワッシャおよび平座金を備え、支持ばね３８０の貫通孔３８０ａおよび防振用板ばね３９０ｘの貫通穴３９０ａを貫通して、圧電式振動部３０３に固定される。また、ボルト３８６は、スプリングワッシャおよび平座金を備え、支持ばね３８０の貫通孔３８０ｂ、リング状スペーサ３９２および防振用板ばね３９０ｘの貫通穴３９０ｂを貫通して、錘部３０２に固定される。さらに、ボルト３９５は、スプリングワッシャおよび平座金を備え、さらに貫通穴３９０ｃを貫通して防振台３０１に固定される。
【００５１】
図１０は、図９に示した支持ばね３８０および防振用板ばね３９０ｘの構造を説明するための模式的断面図である。
【００５２】
図１０に示すように、防振用板ばね３９０ｘは、領域Ｂにおいて連続して屈曲された蛇腹構造を有する。
【００５３】
次に、図１１は防振用板ばね３９０ｘの伸張構造の詳細を説明するための説明図である。図１１（ａ）は圧電式振動部３０３により振動が発生する以前の防振用板ばね３９０ｘの状態を示し、図１１（ｂ）は圧電式振動部３０３により振動が発生した後の防振用板ばね３９０ｘの状態を示す。
【００５４】
図１１（ａ）に示すように、防振用板ばね３９０ｘは、板状部材の弾性体からなり、領域Ｂにおいて蛇腹構造を有する。また、圧電式振動部３０３により振動が発生する以前の防振用板ばね３９０の全体長さＬａ２である。
【００５５】
一方、圧電式振動部３０３により振動が発生した後で、かつ負荷が加わった場合、防振用板ばね３９０ｘの蛇腹構造である領域Ｂの長さが長く変化する。この場合の防振用板ばね３９０ｘの全体長さはＬｂ２である。この長さＬｂ２は、長さＬａ２よりも大きな値である。
【００５６】
このように、第２の実施の形態に係るリニアフィーダ３００ａにおいては、圧電式振動部３０３により振動が発生した後において、防振用板ばね３９０ｘが、領域Ｂにおいて蛇腹の伸張構造を有し、負荷に応じて相対距離の調整が行なわれる。その結果、搬送路３０５を防振台３０１に対して平行で、かつ斜め方向に安定して振動することができる。したがって、微小部品８００を安定してスムーズに搬送することができる。
【００５７】
（第３の実施の形態）
図１２は、第３の実施の形態に係るリニアフィーダ３００ｂの一部内部構造を示した模式的側面図である。
【００５８】
第３の実施の形態に係るリニアフィーダ３００ｂが、第１の実施の形態に係るリニアフィーダ３００と異なるのは、以下の点である。
【００５９】
第３の実施の形態に係るリニアフィーダ３００ｙは、第１の実施の形態に係るリニアフィーダ３００の防振用板ばね３９０の代わりに防振用板ばね３９０ｙを含む。
【００６０】
図１３は、支持ばね３８０および防振用板ばね３９０ｙの構造の一例を示す模式図である。
【００６１】
図１３に示すように、支持ばね３８０は長手方向を有する平板状の弾性部材からなる。また、図１３に示すように、防振用板ばね３９０ｙは板状部材の長手方向に沿って滑らかに湾曲して形成され、かつ短手方向に並行に形成された凹凸形状を有する弾性部材からなる。
【００６２】
ボルト３８５は、スプリングワッシャおよび平座金を備え、支持ばね３８０の貫通孔３８０ａおよび防振用板ばね３９０ｙの貫通穴３９０ａを貫通して、圧電式振動部３０３に固定される。また、ボルト３８６は、スプリングワッシャおよび平座金を備え、支持ばね３８０の貫通孔３８０ｂ、リング状スペーサ３９２および防振用板ばね３９０ｙの貫通穴３９０ｂを貫通して、錘部３０２に固定される。さらに、ボルト３９５は、スプリングワッシャおよび平座金を備え、さらに貫通穴３９０ｃを貫通して防振台３０１に固定される。
【００６３】
図１４は、図１３に示した支持ばね３８０および防振用板ばね３９０ｙの構造を説明するための模式的断面図である。
【００６４】
図１４に示すように、防振用板ばね３９０ｙは、領域Ｃにおいて滑らかに湾曲して形成され、かつ短手方向に並行に形成された凹凸形状を有する。
【００６５】
次に、図１５は防振用板ばね３９０ｙの伸張構造の詳細を説明するための説明図である。図１５（ａ）は圧電式振動部３０３により振動が発生する以前の防振用板ばね３９０ｙの状態を示し、図１５（ｂ）は圧電式振動部３０３により振動が発生した後の防振用板ばね３９０ｙの状態を示す。
【００６６】
図１５（ａ）に示すように、防振用板ばね３９０ｙは、板状部材の弾性体からなり、領域Ｃにおいて滑らかに湾曲して形成され、かつ短手方向に並行に形成された凹凸形状を有する。また、圧電式振動部３０３により振動が発生する以前の防振用板ばね３９０の全体長さＬａ３である。
【００６７】
一方、圧電式振動部３０３により振動が発生した後で、かつ負荷が加わった場合、防振用板ばね３９０ｙの凹凸形状である領域Ｃの長さが長く変化する。この場合の防振用板ばね３９０ｙの全体長さはＬｂ３である。この長さＬｂ３は、長さＬａ３よりも大きな値である。
【００６８】
このように、第３の実施の形態に係るリニアフィーダ３００においては、圧電式振動部３０３により振動が発生した後において、防振用板ばね３９０ｙが、領域Ｃにおいて滑らかな凹凸形状からなる伸張構造を有し、負荷に応じて相対距離の調整が行なわれる。その結果、搬送路３０５を防振台３０１に対して平行で、かつ斜め方向に安定して振動することができる。したがって、微小部品８００を安定してスムーズに搬送することができる。
【００６９】
本発明に係る部品供給装置においては、微小部品８００が部品に相当し、リニアフィーダ３００が部品供給装置に相当し、防振台３０１がベース部に相当し、圧電式振動部３０３が加振部に相当し、錘部３０２が固定部に相当し、防振用板ばね３９０，３９０ｘ，３９０ｙが防振部材に相当し、点Ａの屈曲、領域Ｂの蛇腹構造、領域Ｃの凹凸形状がそれぞれ伸張構造に相当し、ボルト３８５，３８６，３９５が複数のボルトに相当し、支持部材３８０が平板状の弾性板および駆動部材に相当する。
【００７０】
本発明は、上記の好ましい一実施の形態に記載されているが、本発明はそれだけに制限されない。本発明の精神と範囲から逸脱することのない様々な実施形態が他になされることは理解されよう。さらに、本実施形態において、本発明の構成による作用および効果を述べているが、これら作用および効果は、一例であり、本発明を限定するものではない。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る微小部品供給装置の一例を示す模式的斜視図
【図２】本発明の第１の実施の形態に係る微小部品供給装置の一例を示す模式的斜視図
【図３】本実施の形態において搬送される微小部品の形状の一例を示す模式的斜視図
【図４】本実施の形態に係るリニアフィーダの一部内部構造を示した模式的側面図
【図５】支持ばねおよび防振用板ばねの構造の一例を示す模式図
【図６】図５に示した支持ばねおよび防振用板ばねの構造を説明するための模式的断面図
【図７】防振用板ばねの伸張構造の詳細を説明するための説明図
【図８】第２の実施の形態に係るリニアフィーダの一部内部構造を示した模式的側面図
【図９】支持ばねおよび防振用板ばねの構造の一例を示す模式図
【図１０】図９に示した支持ばねおよび防振用板ばねの構造を説明するための模式的断面図
【図１１】防振用板ばねの伸張構造の詳細を説明するための説明図
【図１２】第３の実施の形態に係るリニアフィーダの一部内部構造を示した模式的側面図
【図１３】支持ばねおよび防振用板ばねの構造の一例を示す模式図
【図１４】図１３に示した支持ばねおよび防振用板ばねの構造を説明するための模式的断面図
【図１５】防振用板ばねの伸張構造の詳細を説明するための説明図
【符号の説明】
【００７２】
２００  パーツフィーダ
３００  リニアフィーダ
３０２  錘部
３０３  圧電式振動部
３２０  第１搬送部材
３３０  第２搬送部材
３５０  第３搬送部材
３６０  弾性板部材
３７０  連結板
３８０  支持ばね
３９０  防振用ばね
８００  微小部品
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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