【手続補正書】
【提出日】平成21年9月8日(2009.9.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光を電子に変換するよう構成された活性領域を有する光電陰極ユニットと、
イオンを生成しつつ、前記光電陰極ユニットから放出される電子を光に変換するよう構成された発光面ユニットと、
生成イオンが前記光電陰極ユニットの少なくとも前記活性領域に到達するのを実質的に防止しつつ、電子を前記光電陰極ユニットから前記発光面ユニットに向かって導く荷電粒子制御ユニットと、
を有するイメージインテンシファイア装置。
【請求項２】
光を電子に変換するよう構成された活性領域を有する光電陰極ユニットと、イオンを生成しつつ、前記光電陰極ユニットから放出される電子を光に変換するよう構成された発光面ユニットと、を有し、生成イオンが前記光電陰極ユニットの前記活性領域に到達するのを防止しつつ、電子を前記光電陰極ユニットから前記発光面ユニットに向かって導く外部場を生成するよう構成され且つ動作可能である荷電粒子制御ユニットを有し、これにより前記光電陰極ユニットの寿命を延長する、
磁気集束イメージインテンシファイア装置。
【請求項３】
磁場領域内に収容する真空管を有し、前記真空管は、
入力光を電子に変換するよう構成された光電陰極ユニットと、
イオンを生成しつつ、前記光電陰極ユニットにより放出される電子を出力光に変換するよう構成された発光面ユニットと、
前記光電陰極ユニットから前記発光面ユニットへの電子伝搬のチャンネルを規定する前記光電陰極ユニットと前記発光面ユニットとの間の前記真空管に沿って離間され且つ略平行な関係で配置された複数の開口電極Ｅ１〜Ｅｎ−１と、
電圧値が、前記光電陰極ユニットから前記発光面ユニットに向かう方向において漸増し、前記発光面ユニットの電圧Ｖｎが、ｋ（ｎ＞ｋ）番目の開口電極における電圧Ｖｋよりも低く、生成される電位プロファイルが、前記発光面ユニットで生じたイオンを前記発光面ユニットに戻るように導きつつ、電子を前記光電陰極ユニットから前記発光面ユニットに向かって導くように、前記光電陰極ユニット、前記複数の開口電極および前記発光面ユニットの電圧を維持することによりイオンが前記光電陰極ユニットに到達するのを防止するよう構成された電圧源ユニットと、
を有する磁気集束イメージインテンシファイア装置。
【請求項４】
磁場領域を生成する磁場源と、入力光を電子に変換するよう構成された活性領域を有する光電陰極ユニットと、イオンを生成しつつ、前記光電陰極ユニットから放出される電子を出力光に変換するよう構成された発光面ユニットと、を有し、前記磁場源は、前記光電陰極ユニットから前記発光面ユニットへの電子フローにより生成される電場ベクトルと非ゼロ角を成す軸に沿って方向付けられた磁場ベクトルを生成することにより、前記発光面ユニットで生じたイオンを前記光電陰極ユニットの前記活性領域の外部に向かって導きイオンが前記活性領域に到達するのを防止するよう構成され且つ動作可能である、
磁気集束イメージインテンシファイア装置。
【請求項５】
マルチアルカリ光電陰極層を有し且つ入力光を電子に変換するよう構成された光電陰極ユニットと、イオンを生成しつつ、前記光電陰極ユニットから放出される電子を出力光に変換するよう構成された発光面ユニットと、前記光電陰極ユニットと前記発光面ユニットとの間に収容され且つ前記発光面ユニットから伝搬するイオンを遮断することによりイオンが前記光電陰極ユニットに到達するのを防止するよう構成されたイオンバリアフィルムと、
を有するイメージインテンシファイア装置。
【請求項６】
マルチアルカリ光電陰極層を有し且つ入力光を電子に変換するよう構成された光電陰極ユニットと、前記光電陰極ユニットから放出される電子を出力光に変換するよう構成された発光面ユニットと、前記光電陰極ユニットと前記発光面ユニットとの間に収容され且つガスを遮断することによりガスが光電陰極ユニットに到達するのを防止するよう構成されたイオンバリアフィルムと、
を有するイメージインテンシファイア装置。
【請求項７】
マルチアルカリ光電陰極層を有し且つ入力光を電子に変換するよう構成された光電陰極ユニットと、前記光電陰極ユニットから放出される電子を出力光に変換するよう構成された発光面ユニットと、前記光電陰極ユニットから前記発光面ユニットに伝搬する電子の通路に収容された電子倍増管と、を有し、それにより延長されたマルチアルカリ光電陰極の寿命を特徴とする、
イメージインテンシファイア装置。
【請求項８】
マルチアルカリ光電陰極層を有し且つ入力光を電子に変換するよう構成された光電陰極ユニットと、前記光電陰極ユニットから放出される電子を出力光に変換するよう構成された発光面ユニットと、前記光電陰極ユニットから前記発光面ユニットに伝搬する電子の通路に収容された電子倍増管と、前記光電陰極ユニットと前記電子倍増管との間に収容され且つイオンおよびガスを遮断することによりイオンおよびガスが前記光電陰極ユニットに到達するのを防止するイオンバリアフィルムと、を有し、それにより延長されたマルチアルカリ光電陰極の寿命を特徴とする、
イメージインテンシファイア装置。
【請求項９】
光を電子に変換するよう構成された光電陰極ユニットと、イオンを生成しつつ、前記光電陰極ユニットから放出される電子を光に変換するよう構成された発光面ユニットと、前記光電陰極ユニットから前記発光面ユニットに伝搬する電子の通路に収容された電子倍増管と、を有し、前記光電陰極ユニットおよび前記電子倍増管の間の通路ならびに前記電子倍増管および前記発光面ユニットの間の通路の少なくともいずれかにおける磁気集束ダイオード構成を規定する、
磁気集束イメージインテンシファイア装置。
【請求項１０】
前記光電陰極ユニットから前記発光面ユニットへの電子伝搬のチャンネルを規定する前記光電陰極ユニットと前記発光面ユニットとの間の真空空間に沿って離間され且つ略平行な関係で配置された複数の開口電極Ｅ１〜Ｅｎ−１を有し、前記複数の開口電極は、前記発光面ユニットの位置に向かう方向において漸増する電圧Ｖ１〜Ｖｎ−１に維持される、
請求項１記載の装置。
【請求項１１】
前記荷電粒子制御ユニットは、イオンを導いて前記発光面ユニットに戻す電場プロファイルを前記管内に生成するよう構成される、
請求項２記載の装置。
【請求項１２】
前記電圧源ユニットは、前記発光面ユニットの電圧Ｖｎよりも高い電圧Ｖｎ−１を、前記発光面ユニットに最も近い開口電極Ｅｎ−１に与えることによりイオンを加速し前記発光面ユニットに戻す、
請求項３記載の装置。
【請求項１３】
前記電子倍増管は、マイクロチャンネルプレートを有する、
請求項７記載の装置。
【請求項１４】
前記荷電粒子制御ユニットは、前記光電陰極ユニットから前記発光面ユニットに伝搬する電子の通路において前記光電陰極ユニットの近傍に収容された電子倍増管を有し、これにより前記光電陰極ユニットと前記電子倍増管との間の装置部分における近傍ダイオードとして動作する、
請求項１記載の装置。
【請求項１５】
前記荷電粒子制御ユニットは、前記光電陰極ユニットから前記発光面ユニットに伝搬する電子の通路に収容された電子倍増管を有し、前記装置は、前記光電陰極ユニットおよび前記電子倍増管の間の第１装置部分ならびに前記電子倍増管および前記発光面ユニットの間の第２装置部分における二重磁気集束ダイオードとして構成され且つ動作可能である、
請求項１または請求項７記載の装置。
【請求項１６】
製造ライン上を進む物品の自動検査に用いられる光学系であって、入射電磁放射線に対する物品の光応答を検出する光検出器を有する少なくとも１つの光検出ユニットと、物品から前記光検出器に伝搬する光の光路に収容された磁気集束イメージインテンシファイアと、を有し、前記磁気集束イメージインテンシファイアは、光を電子に変換するよう構成された活性領域を有する光電陰極ユニットと、イオンを生成しつつ、前記光電陰極ユニットから放出される電子を光に変換するよう構成された発光面ユニットと、生成イオンが前記光電陰極ユニットの少なくとも前記活性領域に到達するのを実質的に防止しつつ、電子を前記光電陰極ユニットから前記発光面ユニットに導くことにより、光電陰極の寿命を延長し製造ラインのスループットを向上させる光学系。