【手続補正書】
【提出日】平成21年1月9日(2009.1.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
照明光学系１４は、レチクル２０を照明する光学系である。照明光学系１４は、本実施形態では、ビーム整形部１４１と、折り曲げミラー１４２ａ及び１４２ｂと、有効光源形成手段１４３と、コンデンサーレンズ１４４ａ及び１４４ｂ（コンデンサー系）とを有する。更に、照明光学系１４は、インテグレーター１４５と、開口絞り１４６と、マスキングブレード１４７と、結像系１４８ａ及び１４８ｂと、コリメーター系１４９と、偏光度調整手段（偏光制御部材）１６を有する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
図１を参照するに、光源部１２から発した光束は、ビーム整形部１４１で加工され、引き回される。ここで、加工とは、光束径を拡大又は縮小したり、光束の断面分布（断面形状）を均一化したりする作用をいう。ビーム整形部１４１を射出した光束は、折り曲げミラー１４２ａで進路を変更され、有効光源形成手段１４３に入射する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
インテグレーター１４５は、波面分割型のインテグレーターである。インテグレーター１４５の射出口には、開口絞り１４６が配置されている。開口絞り１４６は、光束を規制する。開口絞り１４６を通過した光束は、第２のコンデンサー１４４ｂの作用によって、マスキングブレード１４７上に集光する。マスキングブレード１４７を通過した光束は、第１の結像系１４８ａ、第１の結像系１４８ａの瞳面ＩＰＳ、第２の結像系１４８ｂ、折り曲げミラー１４２ｂ及びコリメーター系１４９を介し、レチクル２０の下面（回路パターン面）に重畳して導光する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
図３は、偏光度調整手段１６を、具体的な一例として、２次関数状の分布を有する位相分布素子１６Ａに置換した場合の位相分布素子１６Ａの近傍を拡大して示す光路図である。ハエの目レンズＨ２に入射する全光線群に対して、軸外に位置するハエの目レンズＨ１及びＨ３に入射する光線群は、位相分布素子１６Ａの作用によって大きな偏光度を得る。従って、本実施形態では、Ｃ点やＵ点に集光する光束の瞳上分布は、２次関数状の分布を有することになる（図３に示すＦ２拡大図参照）。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
また、２つの調整板１６２Ａ及び１６４Ａ（複屈折発生素子）を互いにＹ軸方向に微少量ずらすと、面形状（本実施形態では、楔状であり、１次関数）の微分関数で表される一定量の複屈折量が更に加算される。加算される複屈折量（加算量）を、図５に点線で示す。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６２】
図６は、偏光度調整手段１６の具体的な構成である光学部材１６０Ｂを示す概略断面図である。光学部材１６０Ｂは、凹凸が相対する２つの調整板１６２Ｂ及び１６４Ｂ（複屈折発生素子）で構成される。調整板１６２Ｂ及び１６４Ｂの面形状は、２次曲線状に形成されている。図６に示す光学部材１６０Ｂによって、Ｙ軸方向に発生する複屈折量△εは、図７に実線で示されるように、２次関数となる。また、２つの調整板１６２Ｂ及び１６４ＢをＹ軸方向に微少量ずらすと、図７に点線で示されるように、１次関数状の複屈折量が更に加算される。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６３】
図８は、偏光度調整手段１６の具体的な構成である光学部材１６０Ｃを示す概略断面図である。光学部材１６０Ｃは、凹凸が相対する２つの調整板１６２Ｃ及び１６４Ｃ（複屈折発生素子）で構成される。調整板１６２Ｃ及び１６４Ｃの面形状は、２次曲線状に形成されている。図８に示す光学部材１６０Ｃによって、Ｙ軸方向に発生する複屈折量△εは、図９に実線で示されるように、３次関数となる。また、２つの調整板１６２Ｃ及び１６４ＣをＹ軸方向に微少量ずらすと、図９に点線で示されるように、２次関数状の複屈折量が更に加算される。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６５】
図１０は、偏光度調整手段１６の具体的な構成である光学部材１６０Ｄを示す概略断面図である。光学部材１６０Ｄは、図４に示す位相板１６０Ａに、更に、一対の調整板１６６Ｄ及び１６８Ｄ（相殺部材）を追加した構成を有する。調整板１６６Ｄ及び１６８Ｄは、位相板１６０Ａにおいて、調整板１６２Ａ及び１６４Ａを光路中に配置することによって、調整板１６２Ａ及び１６４Ａを偏心駆動する前に元来発生する偏光度（図５に示す実線の分布）を打ち消す機能を有する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６８】
図１２は、偏光度調整手段１６の具体的な構成である光学部材１６０Ｅを示す概略断面図である。光学部材１６０Ｅは、図６に示す光学部材１６０Ｂに、更に、一対の調整板１６６Ｅ及び１６８Ｅ（相殺部材）を追加した構成を有する。調整板１６６Ｅ及び１６８Ｅは、光学部材１６０Ｂにおいて、調整板１６２Ｂ及び１６４Ｂを光路中に配置することによって、調整板１６２Ｂ及び１６４Ｂを偏心駆動する前に元来発生する偏光度（図７に示す実線の分布）を打ち消す機能を有する。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７１】
図１４は、偏光度調整手段１６の具体的な構成である光学部材１６０Ｆを示す概略断面図である。光学部材１６０Ｆは、図８に示す光学部材１６０Ｃに、更に、一対の調整板１６６Ｆ及び１６８Ｆを追加した構成を有する。調整板１６６Ｆ及び１６８Ｆは、光学部材１６０Ｃにおいて、調整板１６２Ｃ及び１６４Ｃを光路中に配置することによって、調整板１６２Ｃ及び１６４Ｃを偏心駆動する前に元来発生する偏光度（図９に示す実線の分布）を打ち消す機能を有する。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７２】
調整板１６６Ｆ及び１６８Ｆ（相殺部材）は、Ｙ軸上の夫々の高さを通る光線について、複屈折量が相殺するように構成される。換言すれば、調整板１６６Ｆ及び１６８Ｆの形状は、調整板１６２Ｃ及び１６４Ｃの形状と同等にし、且つ、複屈折量が逆になるように構成される。本実施形態では、調整板１６６Ｆ及び１６８Ｆは、２次曲線形状によって発生する光軸ずれを補正するように図示してあるが、必ずしもこの形状に限定されるものではない。調整板１６２Ｃ及び１６４Ｃが発生させる複屈折量を打ち消す光学部材であれば、調整板１６６Ｆ及び１６８Ｆは、いかなる形状でも許容する。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７４】
図１６は、偏光度調整手段構成である光学部材１６０Ｇを示す概略断面図である。光学部材１６０Ｇは、２次元状の曲面で形成された凹凸（２次元的凹凸）が相補的関係にある一対の位相板１６２Ｇ及び１６４Ｇで構成される。