【手続補正書】
【提出日】平成25年2月14日(2013.2.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明又は半透明の基板の欠陥を検出するシステムであって、
前記基板の一方の側に配置され、前記基板に拡散光を放射するように適合された第１照明部と、
前記基板の他方の側に配置され、前記第１照明部により放射されて前記基板を透過した光を検知することによって、前記基板を走査するように適合された第１画像化部であって、前記第１照明部及び前記第１画像化部が第１検出チャネルを構成する前記第１照明部と、
前記基板と前記第１照明部及び前記第１画像化部との間に相対運動を生成するように適合された移送モジュールと、
を備えるシステム。
【請求項２】
前記第１照明部は、前記基板の実質的に均一な照明を提供するように、前記基板に対して配置される請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記基板の前記一方の側又は前記他方の側に配置され、前記基板に光を放射するように適合された第２照明部と、
前記基板の前記他方の側に配置され、前記第２照明部によって放射された光が前記基板を通る際の散乱から生じる光を検知することによって、前記基板を走査するように適合された第２画像化部と、を備え、
前記移送モジュールは、更に、前記基板と前記第２照明部及び前記第２画像化部との間の相対運動を生成するように適合されており、前記第２照明部及び前記第２画像化部は、第２検出チャネルを構成する請求項１に記載のシステム。
【請求項４】
更に、前記第１照明部と前記第２照明部とが同時にオンしないように、前記第１照明部、前記第２照明部、前記第１画像化部及び前記第２画像化部の動作を制御するように適合された制御モジュールを備え、
前記第１照明部が前記基板に拡散光を放射する時に、前記第１画像化部は前記基板を走査し、前記第２照明部が前記基板に光を放射する時に、前記第２画像化部は前記基板を走査する請求項３に記載のシステム。
【請求項５】
前記第１画像化部及び前記第２画像化部は、同一の画像化部である請求項３に記載のシステム。
【請求項６】
前記第２照明部は、平行光の照明部又は放射角を備えた光の照明部である請求項３に記載のシステム。
【請求項７】
更に、前記基板に光を放射するように適合された第３照明部と、
前記基板の前記他方の側に配置され、前記第３照明部が前記基板に光を放射する時に前記基板を走査するように適合された第３画像化部と、
第１偏光方向を有し、前記第３照明部と前記基板との間に配置された第１偏光部と、
前記第１偏光方向と直交する第２偏光方向を有し、前記第３画像化部と前記基板との間に配置された第２偏光部と、を備え、
前記移送モジュールは、更に、前記基板と、前記第３照明部及び前記第１偏光部及び前記第２偏光部及び前記第３画像化部との間の相対運動を生成するように適合しており、
前記第３照明部、前記第１偏光部、前記第２偏光部及び前記第３画像化部は第３検出チャネルを構成している請求項１に記載のシステム。
【請求項８】
前記第３照明部は、前記基板の前記一方の側に配置され、
更に、前記第３画像化部は、前記第３照明部によって放射され、前記第１偏光部及び前記基板及び前記第２偏光部を透過した光を検知することによってか、又は、前記第３照明部によって放射され且つ前記第１偏光部を透過して前記基板を通る際の散乱により生じた光であって、前記第２偏光部を透過した光を検知することによって、前記基板を走査するように適合されている請求項７に記載のシステム。
【請求項９】
前記第３照明部は、前記基板の前記他方の側に配置され、
更に、前記第３画像化部は、前記第３照明部によって放射され且つ前記第１偏光部を透過して前記基板を通る際の散乱により生じた光であって、前記第２偏光部を透過した光を検知することによって、前記基板を走査するように適合されている請求項７に記載のシステム。
【請求項１０】
更に、前記第１照明部と前記第３照明部とが同時にオンしないように、前記第１照明部、前記第３照明部、前記第１画像化部及び前記第３画像化部の動作を制御するように適合された制御モジュールを備え、
前記第１照明部が前記基板に拡散光を放射する時に、前記第１画像化部は前記基板を走査し、前記第３照明部が前記基板に光を放射する時に、前記第３画像化部は前記基板を走査する請求項７〜９の何れか一項に記載のシステム。
【請求項１１】
前記第１画像化部及び前記第３画像化部は、同一の画像化部である請求項７〜９の何れか一項に記載のシステム。
【請求項１２】
前記第１照明部及び前記第３照明部は、同一の照明部である請求項８に記載のシステム。
【請求項１３】
更に、前記基板に光を放射するように適合された第３照明部と、
前記基板の前記他方の側に配置され、前記第３照明部が前記基板に光を放射する時に前記基板を走査するように適合された第３画像化部と、
第１偏光方向を有し、前記第３照明部と前記基板との間に配置された第１偏光部と、
前記第１偏光方向と直交する第２偏光方向を有し、前記第３画像化部と前記基板との間に配置された第２偏光部と、を備え、
前記移送モジュールは、更に、前記基板と、前記第３照明部及び前記第１偏光部及び前記第２偏光部及び前記第３画像化部との間の相対運動を生成するように適合しており、
前記第３照明部、前記第１偏光部、前記第２偏光部及び前記第３画像化部は第３検出チャネルを構成している請求項３に記載のシステム。
【請求項１４】
前記第３照明部は、前記基板の前記一方の側に配置され、
更に、前記第３画像化部は、前記第３照明部によって放射され、前記第１偏光部及び前記基板及び前記第２偏光部を透過した光を検知することによってか、又は、前記第２照明部によって放射され且つ前記第１偏光部を透過して前記基板を通る際の散乱により生じた光であって、前記第２偏光部を透過した光を検知することによって、前記基板を走査するように適合されている請求項１３に記載のシステム。
【請求項１５】
前記第３照明部は、前記基板の前記他方の側に配置され、
更に、前記第３画像化部は、前記第２照明部によって放射され且つ前記第１偏光部を透過して前記基板を通る際の散乱により生じた光であって、前記第２偏光部を透過した光を検知することによって、前記基板を走査するように適合されている請求項１３に記載のシステム。
【請求項１６】
更に、前記第１照明部及び前記第２照明部及び前記第３照明部が同時にオンしないように、前記第１照明部、前記第２照明部、前記第３照明部、前記第１画像化部、前記第２画像化部及び前記第３画像化部の動作を制御するように適合された制御モジュールを備え、
前記第１照明部が前記基板に拡散光を放射する時に、前記第１画像化部は前記基板を走査し、前記第２照明部が前記基板に光を放射する時に、前記第２画像化部は前記基板を走査し、前記第３照明部が前記基板に光を放射する時に、前記第３画像化部は前記基板を走査する請求項１３〜１５の何れか一項に記載のシステム。
【請求項１７】
前記第１画像化部、前記第２画像化部及び前記第３画像化部の内の全てか又は何れか２つは、同一の画像化部である請求項１３〜１５の何れか一項に記載のシステム。
【請求項１８】
前記第１照明部及び前記第３照明部は、同一の照明部である請求項１４に記載のシステム。
【請求項１９】
更に、前記第１画像化部からのデータを処理して、前記基板の欠陥を検出し且つ分類するように適合された画像処理モジュールを備える請求項１に記載のシステム。
【請求項２０】
前記基板は、太陽電池又は太陽電池モジュールに使用されるパターン化又は構造化された基板を含み、前記パターン又は構造はピラミッド形状を含む請求項１に記載のシステム。
【請求項２１】
前記第１画像化部の数は、前記基板における欠陥の推測される最大数又は最小の検出サイズと共に、前記基板の幅、画像化の開口数及び検出精度に依存して決定される請求項１に記載のシステム。
【請求項２２】
透明又は半透明の基板の欠陥を検出するシステムであって、
前記基板の一方の側又は前記基板の他方の側に配置され、前記基板に光を放射するように適合された第２照明部と、
前記基板の前記他方の側に配置され、前記第２照明部によって放射された光が前記基板を通る際の散乱から生じる光を検知することによって、前記基板を走査するように適合された第２画像化部と、
前記基板と前記第２照明部及び前記第２画像化部との間に相対運動を生成するように適合された移送モジュールと、を備え、
前記第２照明部及び前記第２画像化部は、第２検出チャネルを構成するシステム。
【請求項２３】
前記第２照明部は、平行光の照明部又は放射角を備えた光の照明部である請求項２２に記載のシステム。
【請求項２４】
更に、前記基板に光を放射するように適合された第３照明部と、
前記基板の前記他方の側に配置され、前記第３照明部が前記基板に光を放射する時に前記基板を走査するように適合された第３画像化部と、
第１偏光方向を有し、前記第３照明部と前記基板との間に配置された第１偏光部と、
前記第１偏光方向と直交する第２偏光方向を有し、前記第３画像化部と前記基板との間に配置された第２偏光部と、を備え、
前記移送モジュールは、更に、前記基板と、前記第３照明部及び前記第１偏光部及び前記第２偏光部及び前記第３画像化部との間の相対運動を生成するように適合しており、
前記第３照明部、前記第１偏光部、前記第２偏光部及び前記第３画像化部は第３検出チャネルを構成している請求項２２に記載のシステム。
【請求項２５】
前記第３照明部は、前記基板の前記一方の側に配置され、
前記第３画像化部は、更に、前記第３照明部によって放射され、前記第１偏光部及び前記基板及び前記第２偏光部を透過した光を検知することによってか、又は、前記第２照明部によって放射され且つ前記第１偏光部を透過して前記基板を通る際の散乱により生じた光であって、前記第２偏光部を透過した光を検知することによって、前記基板を走査するように適合されている請求項２４に記載のシステム。
【請求項２６】
前記第３照明部は、前記基板の前記他方の側に配置され、
前記第３画像化部は、更に、前記第３照明部によって放射され且つ前記第１偏光部を透過して前記基板を通る際の散乱により生じた光であって、前記第２偏光部を透過した光を検知することによって、前記基板を走査するように適合されている請求項２４に記載のシステム。
【請求項２７】
更に、前記第２照明部及び前記第３照明部が同時にオンしないように、前記第２照明部、前記第３照明部、前記第２画像化部及び前記第３画像化部の動作を制御するように適合された制御モジュールを備え、
前記第２照明部が前記基板に光を放射する時に、前記第２画像化部は前記基板を走査し、前記第３照明部が前記基板に光を放射する時に、前記第３画像化部は前記基板を走査する請求項２４〜２６の何れか一項に記載のシステム。
【請求項２８】
前記第２画像化部及び前記第３画像化部は、同一の画像化部である請求項２４〜２６の何れか一項に記載のシステム。
【請求項２９】
前記第２照明部が、前記基板の前記一方の側に配置されており、前記第２照明部及び前記第３照明部は、同一の照明部である請求項２５に記載のシステム。
【請求項３０】
更に、前記第２画像化部からのデータを処理して、前記基板の欠陥を検出し且つ分類するように適合された画像処理モジュールを備える請求項２２に記載のシステム。
【請求項３１】
透明又は半透明の基板の欠陥を検出するシステムであって、
前記基板に光を放射するように適合された第３照明部と、
前記基板の一方の側に配置され、前記第３照明部が前記基板に光を放射する時に前記基板を走査するように適合された第３画像化部と、
第１偏光方向を有し、前記第３照明部と前記基板との間に配置された第１偏光部と、
前記第１偏光方向と直交する第２偏光方向を有し、前記第３画像化部と前記基板との間に配置された第２偏光部と、
前記基板と、前記第３照明部及び前記第１偏光部及び前記第２偏光部及び前記第３画像化部との間の相対運動を生成するように適合した移送モジュールと、を備え、
前記第３照明部、前記第１偏光部、前記第２偏光部及び前記第３画像化部は第３検出チャネルを構成しているシステム。
【請求項３２】
前記第３照明部は、前記基板の他方の側に配置され、
前記第３画像化部は、更に、前記第３照明部によって放射され、前記第１偏光部及び前記基板及び前記第２偏光部を透過した光を検知することによってか、又は、前記第２照明部によって放射され且つ前記第１偏光部を透過して前記基板を通る際の散乱により生じた光であって、前記第２偏光部を透過した光を検知することによって、前記基板を走査するように適合されている請求項３１に記載のシステム。
【請求項３３】
前記第３照明部は、前記基板の前記一方の側に配置され、
更に、前記第３画像化部は、前記第３照明部によって放射され且つ前記第１偏光部を透過して前記基板を通る際の散乱により生じた光であって、前記第２偏光部を透過した光を検知することによって、前記基板を走査するように適合されている請求項３１に記載のシステム。
【請求項３４】
更に、前記第３画像化部からのデータを処理して、前記基板の欠陥を検出し且つ分類するように適合された画像処理モジュールを備える請求項３１に記載のシステム。
【請求項３５】
前記第３画像化部の数は、前記基板における欠陥の推測される最大数又は最小の検出サイズと共に、前記基板の幅、開口数及び検出精度に依存して決定される請求項３１に記載のシステム。
【請求項３６】
透明又は半透明の基板の欠陥を検出する方法であって、
前記基板の一方の側に配置された第１照明部を用いて、前記基板に拡散光を放射し、
前記基板の他方の側に配置された第１画像化部を用いて、前記第１照明部により放射されて前記基板を透過した光を検知することによって前記基板を走査し、この際、前記第１照明部及び前記第１画像化部が第１検出チャネルを構成しており、
前記基板と前記第１照明部及び前記第１画像化部との間に相対運動を生成し、
前記第１画像化部からのデータを処理して、前記基板の欠陥を検出し且つ分類する方法。
【請求項３７】
更に、前記基板の前記一方の側又は前記他方の側に配置された第２照明部を用いて、前記基板に光を放射し、
前記基板の前記他方の側に配置され、前記第２照明部によって放射された光が前記基板を通る際の散乱から生じる光を検知することによって、前記基板を走査する第２画像化部を用い、
前記基板と前記第２照明部及び前記第２画像化部との間の相対運動を生成し、
前記第１画像化部及び前記第２画像化部からのデータを処理して、前記基板の欠陥を検出し且つ分類する請求項３６に記載の方法。
【請求項３８】
更に、第３照明部を用いて、前記基板に光を放射し、
前記基板の前記他方の側に配置された第３画像化部を用いて、前記第３照明部が前記基板に光を放射する時に前記基板を走査し、
前記第３照明部と前記基板との間に、第１偏光方向を有する第１偏光部を配置し、
前記第３画像化部と前記基板との間に、前記第１偏光方向と直交する第２偏光方向を有する第２偏光部を配置し、
前記基板と、前記第３照明部及び前記第１偏光部及び前記第２偏光部及び前記第３画像化部との間の相対運動を生成し、
前記第１画像化部及び前記第３画像化部からのデータを処理して、前記基板の欠陥を検出し且つ分類する請求項３６に記載の方法。
【請求項３９】
更に、第３照明部を用いて、前記基板に光を放射し、
前記基板の前記他方の側に配置された第３画像化部を用いて、前記第３照明部が前記基板に光を放射する時に前記基板を走査し、
前記第３照明部と前記基板との間に、第１偏光方向を有する第１偏光部を配置し、
前記第３画像化部と前記基板との間に、前記第１偏光方向と直交する第２偏光方向を有する第２偏光部を配置し、
前記基板と、前記第３照明部及び前記第１偏光部及び前記第２偏光部及び前記第３画像化部との間の相対運動を生成し、
前記第１画像化部及び第２画像化部及び前記第３画像化部からのデータを処理して、前記基板の欠陥を検出し且つ分類する請求項３７に記載の方法。
【請求項４０】
透明又は半透明の基板の欠陥を検出する方法であって、
前記基板の一方の側又は他方の側に配置された第２照明部を用いて、前記基板に光を放射し、
前記基板の前記他方の側に配置され、前記第２照明部によって放射された光が前記基板を通る際の散乱から生じる光を検知することによって、前記基板を走査する第２画像化部を用い、
前記基板と前記第２照明部及び前記第２画像化部との間の相対運動を生成し、
前記第２画像化部からのデータを処理して、前記基板の欠陥を検出し且つ分類する方法。
【請求項４１】
更に、第３照明部を用いて、前記基板に光を放射し、
前記基板の前記他方の側に配置された第３画像化部を用いて、前記第３照明部が前記基板に光を放射する時に前記基板を走査し、
前記第３照明部と前記基板との間に、第１偏光方向を有する第１偏光部を配置し、
前記第３画像化部と前記基板との間に、前記第１偏光方向と直交する第２偏光方向を有する第２偏光部を配置し、
前記基板と、前記第３照明部及び前記第１偏光部及び前記第２偏光部及び前記第３画像化部との間の相対運動を生成し、
前記第２画像化部及び前記第３画像化部からのデータを処理して、前記基板の欠陥を検出し且つ分類する請求項４０に記載の方法。
【請求項４２】
透明又は半透明の基板の欠陥を検出する方法であって、
第３照明部を用いて、前記基板に光を放射し、
前記基板の前記一方の側に配置された第３画像化部を用いて、前記第３照明部が前記基板に光を放射する時に前記基板を走査し、
前記第３照明部と前記基板との間に、第１偏光方向を有する第１偏光部を配置し、
前記第３画像化部と前記基板との間に、前記第１偏光方向と直交する第２偏光方向を有する第２偏光部を配置し、
前記基板と、前記第３照明部及び前記第１偏光部及び前記第２偏光部及び前記第３画像化部との間の相対運動を生成し、
前記第３画像化部からのデータを処理して、前記基板の欠陥を検出し且つ分類する方法。