【手続補正書】
【提出日】平成25年7月25日(2013.7.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガス放電レーザのためのＲＦ電源の出力を制御するパルス幅変調方法であって、該方法は、
所定数のパルスを中に有するデジタルパルスの列を該ＲＦ電源に送達することであって、該列の中の各パルスは、漸増的に可変の持続時間を有する、ことと、
受信された該デジタルパルスの列に数および持続時間において対応するＲＦパルスの列を送達するように該電源を配設することであって、該ＲＦパルスの列は、該ＲＦパルス列の持続時間および該列の中のパルスの総持続時間に従属した平均パワーを有する、ことと、
該デジタルパルスの列の中のデジタルパルスのうちの１つ以上であるが、全部に満たない持続時間を漸増的に変動させて、該対応するＲＦパルス列の平均パワーを選択的に変動させることと
を含み、
該デジタルパルスの持続時間は、クロックサイクル周期を有するデジタルクロックによって送達されるパルスによって制御され、個々のパルスの該持続時間の変動は、１クロックサイクル周期の倍数である、方法。
【請求項２】
前記パルスの列の中の複数のパルスの前記持続時間は、漸増的に変動され、該漸増的に変動されたパルスは、該列の中に略均一に分布させられる、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記デジタルパルスの列の中のパルスは、１つ以上のクロックサイクル周期の基本持続時間を有し、該デジタルパルスのうちの前記１つ以上の持続時間の漸増的な変動は、１つ以上のクロックサイクル周期ずつ、前記１つ以上のパルスの持続時間を増加させることによってもたらされる、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記パルスの列の中の複数のパルスの前記持続時間は、漸増的に増加させられ、漸増的に増加された持続時間パルスは、該列の中に略均一に分布させられる、請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記パルスの列の中にＮ個のパルスが存在し、該パルスのＮ／Ｍの持続時間（Ｍは、Ｎを割り切ることができて、整数の結果をもたらす）および該パルスの列の中の各Ｍ番目のパルスの持続時間は、１クロックサイクル周期ずつ増加させられる、請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記パルスの列の中には、２５６個のパルスが存在する、請求項５に記載の方法。
【請求項７】
ガス放電レーザ装置であって、該装置は、
該レーザ装置内においてガス放電を励起する高周波電源（ＲＦＰＳ）と、
デジタルパルスの反復列を該ＲＦＰＳに送達するように配列されたパルス幅変調器であって、該列の各々は、該ＲＦＰＳへの同一の持続時間および同一の所定数のパルスを中に有し、該列の各々の中の各パルスは、漸増的に可変の持続時間を有し、該ＲＦＰＳは、数および持続時間において受信された該デジタルパルスの列に対応するＲＦパルスの列を送達するように配設され、ＲＦパルスの各列は、該ＲＦパルス列の持続時間および該列の中のパルスの総持続時間に応じた平均パワーを有する、パルス幅変調器と
を備え、
該ＲＦＰＳによって送達される該パルス列のうちの任意の１つにおける平均パワーは、別の１つと関連して、該対応するデジタルパルスの列の中の該デジタルパルスのうちの１つ以上であるが、全部に満たないものの持続時間を漸増的に変動させることによって、選択的に変動させることができ、該デジタルパルスの持続時間は、クロックサイクル周期を有するデジタルクロックによって送達されるパルスによって制御され、個々のパルスの該持続時間の変動は、１クロックサイクル周期の倍数である、装置。
【請求項８】
前記パルスの列の中の複数のパルスの持続時間が、漸増的に変動される場合、該漸増的に変動されたパルスは、該列の中に略均一に分布させられる、請求項７に記載の装置。
【請求項９】
前記デジタルパルスの列の中のパルスは、１つ以上のクロックサイクル周期の基本持続時間を有し、該デジタルパルスのうちの１つ以上についての持続時間の漸増的な変動は、１つ以上のクロックサイクル周期ずつ、該１つ以上のパルスについての持続時間を増加させる、請求項７に記載の装置。
【請求項１０】
前記パルスの列の中の複数のパルスの持続時間は、漸増的に増加され、該漸増的に増加された持続時間パルスは、該列の中に略均一に分布させられる、請求項９に記載の装置。
【請求項１１】
前記パルスの列の中にＮ個のパルスが存在し、該パルスのＮ／Ｍの持続時間（Ｍは、Ｎを割り切ることができて、整数の結果をもたらす）および該パルスの列の中の各Ｍ番目のパルスの持続時間は、１クロックサイクル周期ずつ増加される、請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】
前記パルスの列の中には、２５６個のパルスが存在する、請求項１１に記載の装置。
【請求項１３】
ガス放電レーザのためのＲＦ電源の出力を制御するパルス幅変調方法であって、該方法は、
デジタルパルスの反復列を該ＲＦ電源に送達することであって、該デジタルパルスの反復列の各々は、同一の所定数のパルスを中に有し、パルスの各列は、同一の持続時間を有し、該列の各々の中の各パルスは、漸増的に可変の持続時間を有する、ことと、
ＲＦパルスの反復列を送達するように該電源を配設することであって、ＲＦパルスの各列は、数および持続時間において受信されたデジタルパルスの列に対応し、ＲＦパルスの各列は、該ＲＦパルス列の持続時間および該列の中のパルスの総持続時間に応じた平均パワーを有する、ことと、
該対応するデジタルパルスの列の中のデジタルパルスのうちの１つ以上であるが、全部に満たないものの持続時間を漸増的に変動させることによって、該ＲＦパルス列のうちの１つにおける該平均パワーを、該ＲＦパルス列の別の１つと比較して選択的に変動させることと
を含み、
該デジタルパルスの持続時間は、クロックサイクル周期を有するデジタルクロックによって送達されるパルスによって制御され、個々のパルスの該持続時間の変動は、１クロックサイクル周期の倍数である、方法。
【請求項１４】
ＲＦパルスをガスレーザに供給する回路であって、該回路は、
電気パルスを発生させるパルス発生回路と、
該電気パルスを受信し、および該レーザに送達されるＲＦエネルギーのパルスを発生させるＲＦ電源であって、該ＲＦエネルギーのパルスの数および長さは、該電気パルスの数および長さに対応し、該パルス発生回路は、レーザに送達される平均ＲＦパワーを調節するために、該電気パルスの長さを個別的および独立的に調節するように動作可能である、ＲＦ電源と
を備え、
該電気パルスの持続時間は、クロックサイクル周期を有するデジタルクロックによって送達されるパルスによって制御され、個々のパルスの該長さの変動は、１クロックサイクル周期の倍数である、回路。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明のパルス幅変調方法の好ましい実施形態では、その列の中のデジタルパルスの持続時間は、デジタルクロックによって送達されるパルスによって制御される。１つ以上のデジタルパルスの持続時間の漸増的変動は、デジタルクロックのパルス反復周期のうちの１つ以上である。本発明のパルス幅変調方法は、本明細書では、デュアルモジュールデジタルパルス幅変調（ＤＭＤＰＷＭ）方法と称される。
本願明細書は、例えば、以下の項目も提供する。
（項目１）
ガス放電レーザのためのＲＦ電源の出力を制御するパルス幅変調方法であって、
所定数のパルスを中に有するデジタルパルスの列を該ＲＦ電源に送達することであって、該列の中の各パルスは、漸増的に可変の持続時間を有する、ことと、
受信された該デジタルパルスの列に数および持続時間において対応するＲＦパルスの列を送達するように該電源を配設することであって、該ＲＦパルスの列は、該ＲＦパルス列の持続時間および該列の中のパルスの総持続時間に従属した平均パワーを有する、ことと、
該列の中のデジタルパルスのうちの１つ以上であるが、全部に満たない持続時間を漸増的に変動させて、該対応するＲＦパルス列の平均パワーを選択的に変動させることと
を含む、方法。
（項目２）
前記列の中の複数のパルスの前記持続時間は、漸増的に変動され、該漸増的に変動されたパルスは、該列の中に略均一に分布させられる、項目１に記載の方法。
（項目３）
前記列の中のデジタルパルスの前記持続時間は、クロックサイクル周期を有するデジタルクロックによって送達されるパルスによって制御され、該１つ以上のデジタルパルスの該持続時間の漸増的な変動は、１クロックサイクル周期である、項目１に記載の方法。
（項目４）
前記デジタルパルスの列の中のパルスは、１つ以上のクロックサイクル周期の基本持続時間を有し、該デジタルパルスのうちの前記１つ以上の持続時間の漸増的な変動は、１クロックサイクル周期ずつ、前記１つ以上のパルスの持続時間を増加させることによってもたらされる、項目３に記載の方法。
（項目５）
前記列の中の複数のパルスの前記持続時間は、漸増的に増加させられ、漸増的に増加された持続時間パルスは、該列の中に略均一に分布させられる、項目４に記載の方法。
（項目６）
前記列の中にＮ個のパルスが存在し、該パルスのＮ／Ｍの持続時間（Ｍは、Ｎを割り切ることができて、整数の結果をもたらす）および該列の中の各Ｍ番目のパルスの持続時間は、１クロックサイクル周期ずつ増加させられる、項目５に記載の方法。
（項目７）
前記列の中には、２５６個のパルスが存在する、項目６に記載の方法。
（項目８）
ガス放電レーザ装置であって、
該レーザ装置内においてガス放電を励起する高周波電源（ＲＦＰＳ）と、
デジタルパルスの反復列を該ＲＦＰＳに送達するように配列されたパルス幅変調器であって、該列の各々は、該ＲＦＰＳへの同一の持続時間および同一の所定数のパルスを中に有し、該列の各々の中の各パルスは、漸増的に可変の持続時間を有し、該ＲＦＰＳは、数および持続時間において受信された該デジタルパルスの列に対応するＲＦパルスの列を送達するように配設され、ＲＦパルスの各列は、該ＲＦパルス列の持続時間および該列の中のパルスの総持続時間に応じた平均パワーを有する、パルス幅変調器と、
該ＲＦＰＳによって送達される該パルス列のうちの任意の１つにおける平均パワーは、別の１つと関連して、該対応する列の中の該デジタルパルスのうちの１つ以上であるが、全部に満たないものの持続時間を漸増的に変動させることによって、選択的に変動させることができる、装置。
（項目９）
前記列の中の複数のパルスの持続時間が、漸増的に変動される場合、該漸増的に変動されたパルスは、該列の中に略均一に分布させられる、項目８に記載の装置。
（項目１０）
前記列の中のデジタルパルスの持続時間は、クロックサイクル周期を有するデジタルクロックによって送達されるパルスによって制御され、前記１つ以上のデジタルパルスの持続時間の漸増的な変動は、１クロックサイクル周期である、項目８に記載の装置。
（項目１１）
前記デジタルパルスの列の中のパルスは、１つ以上のクロックサイクル周期の基本持続時間を有し、該デジタルパルスのうちの１つ以上についての持続時間の漸増的な変動は、１クロックサイクル周期ずつ、該１つ以上のパルスについての持続時間を増加させる、項目１０に記載の装置。
（項目１２）
前記列の中の複数のパルスの持続時間は、漸増的に増加され、該漸増的に増加された持続時間パルスは、該列の中に略均一に分布させられる、項目１１に記載の装置。
（項目１３）
前記列の中にＮ個のパルスが存在し、該パルスのＮ／Ｍの持続時間（Ｍは、Ｎを割り切ることができて、整数の結果をもたらす）および該列の中の各Ｍ番目のパルスの持続時間は、１クロックサイクル周期ずつ増加される、項目１２に記載の装置。
（項目１４）
前記列の中には、２５６個のパルスが存在する、項目１３に記載の装置。
（項目１５）
ガス放電レーザのためのＲＦ電源の出力を制御するパルス幅変調方法であって、
デジタルパルスの反復列を該ＲＦ電源に送達することであって、該デジタルパルスの反復列の各々は、同一の所定数のパルスを中に有し、パルスの各列は、同一の持続時間を有し、該列の各々の中の各パルスは、漸増的に可変の持続時間を有する、ことと、
ＲＦパルスの反復列を送達するように該電源を配設することであって、ＲＦパルスの各列は、数および持続時間において受信されたデジタルパルスの列に対応し、ＲＦパルスの各列は、該ＲＦパルス列の持続時間および該列の中のパルスの総持続時間に応じた平均パワーを有する、ことと、
該対応する列の中のデジタルパルスのうちの１つ以上であるが、全部に満たないものの持続時間を漸増的に変動させることによって、該ＲＦパルス列のうちの１つにおける該平均パワーを、該ＲＦパルス列の別の１つと比較して選択的に変動させることと
を含む、方法。
（項目１６）
前記列の中のデジタルパルスの持続時間は、クロックサイクル周期を有するデジタルクロックによって送達されるパルスによって制御され、前記１つ以上のデジタルパルスの持続時間の漸増的な変動は、１クロックサイクル周期である、項目１５に記載の方法。
（項目１７）
ＲＦパルスをガスレーザに供給する回路であって、
電気パルスを発生させるパルス発生回路と、
該電気パルスを受信し、および該レーザに送達されるＲＦエネルギーのパルスを発生させるＲＦ電源であって、該ＲＦエネルギーのパルスの数および長さは、該電気パルスの数および長さに対応し、該パルス発生回路は、レーザに送達される平均ＲＦパワーを調節するために、該電気パルスの長さを個別的および独立的に調節するように動作可能である、ＲＦ電源と
を備える、回路。
（項目１８）
前記電気パルスの持続時間は、クロックサイクル周期を有するデジタルクロックによって送達されるパルスによって制御され、個々のパルスの前記長さの変動は、１クロックサイクル周期の倍数である、項目１７に記載の回路。