(57)【要約】【課題】ＳＥＣＳメッセージデータの作成に汎用性および有用性を高める。【解決手段】半導体製造装置１とホストコンピュータ２との間の通信に供するＳＥＣＳメッセージの編集／展開を行うＳＥＣＳメッセージデータ作成装置３を設ける。メッセージデータ作成装置は、パラメータを用いた定義フォーマットを有してメッセージ定義ファイルを作成し、作成したメッセージ定義ファイルをインポートし、インポートしたメッセージ定義ファイルをコンパイルして実行用データに変換する。  メッセージ定義ファイル作成は、ＸＭＬで記述できる定義フォーマットとし、この定義フォーマットをテンプレート定義部と、オブジェクト（パラメータ）定義部に分けたこと、作成したメッセージデータをホストコンピュータとの間で送受信、またはパッケージ化したコンポーネントとして提供する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体製造装置とホストコンピュータとの間で、ＳＥＣＳ通信規格に準じたＳＥＣＳメッセージデータの通信で半導体製造装置を運用するシステムにおいて、
前記ＳＥＣＳメッセージの編集／展開を行うコンピュータ構成のＳＥＣＳメッセージデータ作成装置を備え、
前記メッセージデータ作成装置は、
パラメータを用いた定義フォーマットを有してメッセージ定義ファイルを作成するメッセージ定義ファイル作成手段と、
前記作成したメッセージ定義ファイルをインポートする定義ファイルインポート手段と、
前記インポートしたメッセージ定義ファイルをコンパイルして実行用データに変換する定義ファイルコンパイル手段とを備えたことを特徴とするＳＥＣＳメッセージデータの作成装置。
【請求項２】
前記メッセージ定義ファイル作成手段は、ＸＭＬで記述できる定義フォーマットとし、この定義フォーマットをテンプレート定義部と、オブジェクト（パラメータ）定義部に分けたことを特徴とする請求項１に記載のＳＥＣＳメッセージデータの作成装置。
【請求項３】
前記メッセージデータ作成装置は、作成したメッセージデータを前記ホストコンピュータとの間で送受信、またはパッケージ化したコンポーネントとして提供することを特徴とする請求項１または２に記載のＳＥＣＳメッセージデータの作成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造装置とホストコンピュータとの間の通信システムに係り、特にＳＥＣＳ（Semiconductor Equipment Communication Standard）通信規格に準じたＳＥＣＳメッセージデータの作成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＳＥＣＳメッセージデータの通信による半導体製造装置とホストコンピュータとの階層構成を図５に示す。半導体製造装置１およびホストコンピュータ２は、それぞれアプリケーション１１，２１の下に，ＳＥＣＳ−IIメッセージに対応したＧＥＭ（Generic Equipment Model）１２，２２、これらの下に通信メッセージフォーマットＳＥＣＳ−II  １３，２３、さらにシリアル通信インターフェース／通信プロトコルになるＳＥＣＳ−Ｉ  １４，２４とＴＣＰ／ＩＰによるメッセージ伝達を行うＨＳＭＳ（High Speed SECS Message Service）１５，２５が設けられる（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このシステム構成において、ホストコンピュータ２は、ホスト通信データを展開／編集する機能２６を実装可能にしている。この機能を搭載したホスト通信システムをパッケージソフトウェアとして提供する場合、通信データ展開／編集機能を実装するための提供形態には、大きく２つが存在する。
【０００４】
（Ａ）通信データを個々のアイテムデータに展開、もしくはデータを編集するための汎用的なライブラリを提供し、利用者（アプリケーション）にて個別実装を行う。
【０００５】
（Ｂ）あらかじめメッセージ構造を別途定義した情報をもって、受信時には自動的にパターンマッチングを行い、その結果を利用者（アプリケーション）に通知し、送信時にはその別途定義情報に従ったメッセージ構造を編集してデータを構築する機能を提供する。
【特許文献１】特開２００４−２５９９４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
前記の汎用ホスト通信システムをパッケージソフトウェアとして提供する場合、従来手法では汎用性および有用性で問題がある。
【０００７】
半導体製造におけるホスト通信には、ＳＥＣＳ−IIというフォーマットが規格化されており、そのフォーマットにしたがった通信メッセージデータを展開／編集する機能を実装することとなる。実際にシステムとして実装される際には、通信データ仕様に基づきこのメッセージデータの展開／編集機能を実現することとなるが、従来のパッケージの提供形態では、以下の汎用性および有用性に問題がある。
【０００８】
（１）従来の（Ａ）の手法では、通信データ仕様が変更される度に、利用者アプリケーションを改造する必要があり、改造するたびに利用者アプリケーション全体として再試験を実施しなければならなく、コストも増大する。
【０００９】
（２）従来の（Ｂ）の手法では、データ定義のみを変更すれば対応可能となるが、現在の一般的な定義方式では全ての通信データ仕様に対応できない場合、（Ａ）の手法を取らざるを得なくなり、こちらも十分な汎用性を備えてはいない。
【００１０】
本発明の目的は、汎用性および有用性を高めたＳＥＣＳメッセージデータの作成装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、前記の課題を解決するため、汎用的な定義フォーマットによるメッセージ編集／展開機能を提供できるようにしたもので、以下の構成を特徴とする。
【００１２】
（１）半導体製造装置とホストコンピュータとの間で、ＳＥＣＳ通信規格に準じたＳＥＣＳメッセージデータの通信で半導体製造装置を運用するシステムにおいて、
前記ＳＥＣＳメッセージの編集／展開を行うコンピュータ構成のＳＥＣＳメッセージデータ作成装置を備え、
前記メッセージデータ作成装置は、
パラメータを用いた定義フォーマットを有してメッセージ定義ファイルを作成するメッセージ定義ファイル作成手段と、
前記作成したメッセージ定義ファイルをインポートする定義ファイルインポート手段と、
前記インポートしたメッセージ定義ファイルをコンパイルして実行用データに変換する定義ファイルコンパイル手段とを備えたことを特徴とする。
【００１３】
（２）前記メッセージ定義ファイル作成手段は、ＸＭＬで記述できる定義フォーマットとし、この定義フォーマットをテンプレート定義部と、オブジェクト（パラメータ）定義部に分けたことを特徴とする。
【００１４】
（３）前記メッセージデータ作成装置は、作成したメッセージデータを前記ホストコンピュータとの間で送受信、またはパッケージ化したコンポーネントとして提供することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
以上のとおり、本発明によれば、汎用的な定義フォーマットによるメッセージ編集／展開機能を搭載することにより、利用者アプリケーションの改造なしに、定義フォーマット内容を変更するのみで通信データ仕様の変更に対応することが出来るようになる。
【００１６】
この定義フォーマットによるメッセージ編集／展開機能はパッケージにより、コンポーネントとして提供されることで、利用者アプリケーションの信頼性の向上に寄与する効果がある。
【００１７】
また、全てのメッセージ定義に対応可能となることで汎用性、有用性の向上に寄与する効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
図１は、本発明の実施形態を示すＳＥＣＳメッセージデータ通信における階層構成図であり、図５の階層構成においてＳＥＣＳメッセージデータ作成装置３を設けている。ＳＥＣＳメッセージデータ作成装置３は、例えばパーソナルコンピュータ（ＰＣ）を利用し、そのソフトウェア構成として、メッセージをテキストファイルで作成するメッセージ定義ファイル作成機能３１、作成したメッセージ定義ファイルをインポートする定義ファイルインポート機能３２およびインポートしたメッセージ定義ファイルをコンパイルして実行用データに変換する定義ファイルコンパイル機能３３を搭載することでＳＥＣＳメッセージ編集／展開機能を実現し、これをホストコンピュータ２との間で送受信、またはパッケージ化したコンポーネントとして提供する。
【００１９】
本実施形態では、ＳＥＣＳメッセージの作成にパラメータを用いた定義フォーマットを提供するもので、主要なポイントは以下の通り。
【００２０】
（Ａ）ＸＭＬ（eXtensible Markup Language）を採用した定義フォーマットにより汎用性を高める。
【００２１】
（Ｂ）定義フォーマットをテンプレート定義部と、オブジェクト（パラメータ）定義部に分けることにより、全てのＳＥＣＳメッセージフォーマットに対応可能とする。
【００２２】
以下、ＳＥＣＳメッセージデータ作成装置３による定義フォーマットを詳細に説明する。
【００２３】
ここで言うユーザ定義メッセージとは、装置（本システム）とホストコンピュータとの間で送受信するＳＥＣＳメッセージのことを指す。
【００２４】
本システムにおいて、メッセージ定義ファイル作成機能３１はユーザ定義メッセージデータをテキスト形式ファイルで定義し、定義ファイルインポート機能３２はテキスト形式のメッセージ定義ファイルを本システムの開発マンマシンでインポートし、定義ファイルコンパイル機能３３は定義データをコンパイルすることにより、メッセージを本システムに登録する。
【００２５】
定義ファイルのコンパイル機能の一部であるメッセージコンパイラ（以降、本コンパイラと記述する）が、テキスト形式で定義されたメッセージデータを本システムが理解するコードに変換する。本コンパイラの規約に従って定義ファイルを作成し、インポート、コンパイルすれば、メッセージとして取り扱えるようになる。
【００２６】
メッセージ定義ファイルの作成はテキスト（ＸＭＬ）形式ファイルで行う。
【００２７】
本システムのメッセージ定義ファイルの記述方法を、以下の例で示す。
【００２８】
例）下記のようなメッセージを定義するとする。
【００２９】
＜通信確立要求＞
Ｓ１Ｆ１３（ストリーム＝１、ファンクション＝１３）、返信あり、双方向構造（双方向のメッセージで、方向により構造が異なる）
（装置→ホストの場合）
Ｌ，２
１，＜ＭＤＬＮ＞
２，＜ＳＯＦＴＲＥＶ＞
（ホスト→装置の場合）
Ｌ，０
これを本システムの規約に従って記述すると、図２のようになる。また、メッセージヘッダは本システムの規約に従って記述すると図３のようになる。
【００３０】
図４は、ユーザ定義アイテム、ユーザ定義特殊アイテムを使用した装置からホストへのメッセージ定義例である。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の実施形態を示すＳＥＣＳメッセージデータ通信における階層構成図。
【図２】実施形態におけるメッセージ定義例。
【図３】実施形態におけるメッセージヘッダ定義例。
【図４】実施形態におけるメッセージ定義例。
【図５】従来のＳＥＣＳメッセージデータ通信における階層構成図。
【符号の説明】
【００３２】
１  半導体製造装置
２  ホストコンピュータ
３  ＳＥＣＳメッセージデータ作成装置
３１  メッセージ定義ファイル作成部
３２  定義ファイルインポート部
３３  定義ファイルコンパイル部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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