【手続補正書】
【提出日】平成21年1月30日(2009.1.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部口と少なくとも第一の口、第二の口、及び第三の口を有する入口端部とを有する弁本体と、弁本体内に配置され、第一の口と第二の口の間の流体流動を制御するのに適合した第一弁と、弁本体内に配置され、第三の口と外部口の間の流体流動を制御するのに適合した第二弁とを含む流体流動弁アセンブリ。
【請求項２】
（ａ）外部口と、少なくとも三つの口を有する入口端部とを有する弁本体、
（ｂ）弁本体内に配置された第一弁であって、第一弁入口と、第一弁出口と、第一弁が開いた時に第一弁入口から第一弁出口への流体流動を可能とし、第一弁が閉じた時には第一弁入口から第一弁出口への流体流動を阻止するのに適合した第一シールとを有する第一弁、
（ｃ）弁本体内に配置された第二弁であって、第二弁入口と、第二弁出口と、第二弁が開いた時に第二弁入口から第二弁出口への流体流動を可能とし、第二弁が閉じた時には第二弁入口から第二弁出口への流体流動を阻止するのに適合した第二シールとを有する第二弁、
（ｄ）第一弁入口と弁本体の入口端部の第一の口とを接続する第一流体流動路及び第一弁出口を弁本体の入口端部の第二の口に接続する第二流体流動路、及び
（ｅ）第二弁入口と弁本体の入口端部の第三の口とを接続する第三流体流動路及び第二弁出口を弁本体の外部口に接続する第四流体流動路、
を含む流体流動弁アセンブリ。
【請求項３】
弁本体の入口端部の第四の口と、弁本体の追加の外部口と、弁本体内に配置された第三弁であって、第三弁入口と、第三弁出口と、第三弁が開いた時に第三弁入口から第三弁出口への流体流動を可能とし、第三弁が閉じた時には第三弁入口から第三弁出口への流体流動を阻止するのに適合した第三シールとを有する第三弁と、第三弁出口と弁本体の入口端部の第四の口とを接続する第五流体流動路と、第三弁入口を弁本体の追加の外部口に接続する第六流体流動路とを更に含む、請求項２に記載の流体流動弁アセンブリ。
【請求項４】
第一及び第二弁シールのいずれも、第一及び第二弁入口のいずれかと第一及び第二弁出口のいずれかの間の流体流動を阻止するために第一及び第二弁入口のいずれかと第一及び第二弁出口のいずれかに対しシール可能に押し付けられるのに適合した可撓性ダイヤフラムを含む、請求項２に記載の流体流動弁アセンブリ。
【請求項５】
（ａ）次の（１）〜（５）、すなわち、
（１）外部口と少なくとも第一の口、第二の口、及び第三の口を有する入口端部とを有する弁本体、
（２）弁本体内に配置された第一弁であって、第一弁入口と、第一弁出口と、第一弁が開いた時に第一弁入口から第一弁出口への流体流動を可能とし、第一弁が閉じた時には第一弁入口から第一弁出口への流体流動を阻止するのに適合した第一シールとを有する第一弁、
（３）弁本体内に配置された第二弁であって、第二弁入口と、第二弁出口と、第二弁が開いた時に第二弁入口から第二弁出口への流体流動を可能とし、第二弁が閉じた時には第二弁入口から第二弁出口への流体流動を阻止するのに適合した第二シールとを有する第二弁、
（４）第一弁入口と弁本体の入口端部の第一の口とを接続する第一流体流動路及び第一弁出口を弁本体の入口端部の第二の口に接続する第二流体流動路、
（５）第二弁入口と弁本体の入口端部の第三の口とを接続する第三流体流動路及び第二弁出口を弁本体の外部口に接続する第四流体流動路、
を有する流体流動弁アセンブリ、
（ｂ）流体処理容器であって、入口と、出口と、容器内に配置された処理用物質とを含み、容器を流れる流体を処理するのに適合している流体処理容器、及び
（ｃ）流体処理容器の入口と弁本体の入口端部の第二の口とを接続する入口管及び流体処理容器の出口と弁本体の入口端部の第一の口とを接続する出口管、
を含む流体流動弁及び流体処理容器アセンブリ。
【請求項６】
弁本体の入口端部の第四の口と、弁本体の追加の外部口と、弁本体内に配置された第三弁であって、第三弁入口と、第三弁出口と、第三弁が開いた時に第三弁入口から第三弁出口への流体流動を可能とし、第三弁が閉じた時に第三弁入口から第三弁出口への流体流動を阻止するのに適合した第三シールとを有する第三弁と、第三弁出口と弁本体の入口端部の第四の口とを接続する第五流体流動路と、第三弁入口を弁本体の追加の外部口に接続する第六流体流動路とを更に含む、請求項５に記載の流体流動弁及び流体処理容器アセンブリ。
【請求項７】
（ｄ）流体処理容器の入口管と流体処理容器の出口管の間に配置され、且つ、出口管から入口管への流体流動を可能とし、入口管から出口管への流体流動を阻止するのに適合した第一逆止弁、及び
（ｅ）第一逆止弁と流体処理容器の出口との間の位置で出口管に配置され、且つ、流体処理容器の出口から弁本体の入口端部の第三の口への流体流動を可能とし、第三の口から流体処理容器の出口への流体流動を阻止するのに適合した第二逆止弁、
を含む、請求項５に記載の流体流動弁及び流体処理容器アセンブリ。
【請求項８】
流体処理容器内に配置される流体処理用物質が、吸着剤物質、吸収剤物質、触媒物質、ゲッター物質、ろ過物質、及びそれらの組み合わせよりなる群から選ばれる、請求項５に記載の流体流動弁及び流体処理容器アセンブリ。
【請求項９】
（ａ）開口部と内部を有する流体貯蔵容器、
（ｂ）外部口と、少なくとも第一の口、第二の口、及び第三の口を有する入口端部とを有する弁本体、弁本体内に配置され、第一の口と第二の口の間の流体流動を制御するのに適合した第一弁、弁本体内に配置され、第三の口と外部口との間の流体流動を制御するのに適合した第二弁を含み、弁本体がシール可能に流体貯蔵容器の開口部に装着され、且つ、第一の口、第二の口、及び第三の口が流体貯蔵容器内に位置する流体流動弁アセンブリ、
（ｃ）流体処理容器であり、入口、出口、及び流体処理容器内に配置された処理用物質を含み、該流体処理容器を流れる流体を選択的に処理するのに適合している流体処理容器であって、流体貯蔵容器内に配置される流体処理容器、及び
（ｄ）流体処理容器の入口と弁本体の入口端部の第二の口とを接続する入口管及び流体処理容器の出口と弁本体の入口端部の第一の口とを接続する出口管、
を含む流体貯蔵及び送給システム。
【請求項１０】
流体貯蔵容器が加圧ガスを収容する、請求項９に記載の流体貯蔵及び送給システム。
【請求項１１】
加圧ガスが、窒素、アルゴン、ヘリウム、水素、貴ガス、又はガス混合物よりなる群から選ばれる、請求項１０に記載の流体貯蔵及び送給システム。
【請求項１２】
流体貯蔵容器が加圧液化ガスを収容する、請求項９に記載の流体貯蔵及び送給システム。
【請求項１３】
加圧液化ガスが、塩化水素、臭化水素、フッ化水素、塩素、アンモニア、六フッ化タングステン、ジシラン、ジクロロシラン、トリメチルシラン、及び三塩化ホウ素よりなる群から選ばれる、請求項１２に記載の流体貯蔵及び送給システム。
【請求項１４】
流体貯蔵容器が更に、該流体貯蔵容器内部に配置され、且つ１種以上の化合物を発生するのに適合した反応装置システムを含み、この反応装置システムは該流体貯蔵容器内部に該１種以上の化合物を放出するのに適合している、請求項９に記載の流体貯蔵及び送給システム。
【請求項１５】
流体処理容器内に配置される処理用物質が、吸着剤物質、吸収剤物質、触媒物質、ゲッター物質、ろ過物質、及びそれらの組み合わせよりなる群から選ばれる、請求項９に記載の流体貯蔵及び送給システム。
【請求項１６】
（ａ）次の（１）〜（４）、すなわち、
（１）開口部と内部を有する流体貯蔵容器、
（２）外部口と、少なくとも第一の口、第二の口、及び第三の口を有する入口端部とを有する弁本体、弁本体内に配置され、第一の口と第二の口の間の流体流動を制御するのに適合した第一弁、及び弁本体内に配置され、第三の口と外部口の間の流体流動を制御するのに適合した第二弁を含み、弁本体がシール可能に流体貯蔵容器の開口部に装着され、且つ第一の口、第二の口、及び第三の口が流体貯蔵容器内に位置する流体流動弁アセンブリ、
（３）流体処理容器であり、入口、出口、及び該流体処理容器内に配置された処理用物質を含む流体処理容器であって、流体貯蔵容器内に配置され、且つ流体貯蔵容器の内部から供給されて流体処理容器を流れる流体を処理するのに適合した流体処理容器、
（４）流体処理容器の入口と弁本体の入口端部の第二の口とを接続する入口管及び流体処理容器の出口と弁本体の入口端部の第一の口とを接続する出口管、
を含む、加圧流体貯蔵及び送給システムを用意すること、
（ｂ）第一弁と第二弁を閉鎖位置に保持しながら、流体を流体貯蔵容器に導入すること、
（ｃ）第一弁と第二弁を開放して、それによりそれぞれの弁を開放位置にすること、及び
（ｄ）第一弁を通して流体貯蔵容器から流体を取り出し、流体を流体処理容器に導入し、処理用物質との接触により流体を処理し、流体処理容器から処理した流体を取り出し、処理した流体を第二弁を通して送り、そして処理した流体を外部口を通して取り出すこと、
を含む流体の貯蔵及び分配方法。
【請求項１７】
流体流動弁アセンブリが、弁本体の入口端部の第四の口、弁本体の充填口、弁本体内に配置されて第三弁入口と第三弁出口を有する第三弁であって、第三弁が開放位置にある時に第三弁入口から第三弁出口への流体流動を可能とし、第三弁が閉鎖位置にある時には第三弁入口から第三弁出口への流体流動を阻止するのに適合した第三弁、第三弁出口と弁本体の入口端部の第四の口とを接続する第五流体流動路、及び第三弁入口を弁本体の充填口に接続する第六流体流動路、を更に含み、流体を開放位置の第三弁を通して充填口に導入し、第一弁と第二弁を閉鎖位置に保持しながら流体貯蔵容器に導入して、そして第三弁を閉鎖位置にすることで流体貯蔵容器の充填を終了させることにより、流体貯蔵容器を充填する、請求項１６に記載の方法。
【請求項１８】
加圧流体貯蔵及び送給システムが、（５）流体処理容器の入口管と流体処理容器の出口管の間に配置され、出口管から入口管へ流体流動を可能とし、且つ入口管から出口管への流体流動を阻止するのに適合した第一逆止弁、及び（６）第一逆止弁と流体処理容器の出口の間の位置で出口管に配置され、流体処理容器の出口から弁本体の入口端部の第三の口への流体流動を可能とし、且つ第三の口から流体処理容器の出口への流体流動を阻止するのに適合した第二逆止弁、を更に含み、第一弁と第二弁を開放位置にし、流体を、第一弁を通し、第一逆止弁を通し、第二弁を通して製品送給口に導入し、そして流体貯蔵容器に導入して、第一弁と第二弁のそれぞれを閉鎖位置にすることにより流体貯蔵容器の充填を終了させることにより、流体貯蔵容器を充填する、請求項１６に記載の方法。
【請求項１９】
（ａ）開口部と内部とを有する主容器、
（ｂ）外部口と、少なくとも第一の口、第二の口、及び第三の口を有する入口端部とを有する弁本体、弁本体内に配置され、第一の口と第二の口の間の流体流動を制御するのに適合した第一弁、及び、弁本体内に配置され、第三の口と外部口の間の流体流動を制御するのに適合した第二弁を含む流体流動弁アセンブリであって、弁本体が主容器の開口部にシール可能に装着され、そして第一の口、第二の口、及び第三の口が主容器内に位置する流体流動弁アセンブリ、
（ｃ）流体処理容器であり、入口、出口、及び該流体処理容器内に配置された処理用物質を含む流体処理容器であって、主容器内に配置され、且つ、主容器の内部から供給され該流体処理容器を流れる流体を処理するのに適合した流体処理容器、
（ｄ）流体処理容器の入口と弁本体の入口端部の第二の口とを接続する入口管及び流体処理容器の出口と弁本体の入口端部の第一の口とを接続する出口管、及び
（ｅ）主容器内に配置され、不純な化学製品を発生させて該不純な化学製品を主容器の内部に放出するのに適合した反応装置システム、
を含む化学製品発生システム。
【請求項２０】
該反応装置システムが、ヒ素含有金属から電気化学反応により湿ったアルシンガスを発生させるのに適合した電気化学アルシン発生装置である、請求項１９に記載のシステム。
【請求項２１】
化学製品発生システムが主容器の内部を大気圧より低い圧力に保つのに適合している、請求項１９に記載のシステム。
【請求項２２】
流体処理容器内に配置される処理用物質が、湿ったアルシンガスから水を除去するのに適合した乾燥用物質である、請求項２０に記載のシステム。
【請求項２３】
（ａ）次の（１）〜（５）、すなわち、
（１）開口部と内部とを有する主容器、
（２）外部口と、少なくとも第一の口、第二の口、及び第三の口を有する入口端部とを有する弁本体、弁本体内に配置され、第一の口と第二の口の間の流体流動を制御するのに適合した第一弁、及び、弁本体内に配置され、第三の口と外部口の間の流体流動を制御するのに適合した第二弁を含む流体流動弁アセンブリであって、弁本体が主容器の開口部にシール可能に装着され、そして第一の口、第二の口、及び第三の口が主容器内に位置する流体流動弁アセンブリ、
（３）流体処理容器であり、入口、出口、及び該流体処理容器内に配置された処理用物質を含む流体処理容器であって、主容器内に配置され、且つ、主容器の内部から供給されて該流体処理容器を流れる流体を処理するのに適合した流体処理容器、
（４）流体処理容器の入口と弁本体の入口端部の第二の口とを接続する入口管及び流体処理容器の出口と弁本体の入口端部の第一の口とを接続する出口管、
（５）主容器内に配置され、不純な化学製品を発生させて該不純な化学製品を主容器の内部に放出するのに適合した反応装置システム、
を含む化学物質発生システムを用意すること、
（ｂ）該不純化学製品を発生させて該不純化学製品を主容器の内部に放出すること、及び
（ｃ）精製化学製品を提供するため、該不純化学製品を流体処理容器を通過させ、そして精製化学製品を第二弁と弁本体の外部口を通して取り出すこと、
を含む、精製化学製品発生方法。
【請求項２４】
反応装置システムが、ヒ素含有金属から湿ったアルシンガスを電気化学反応により発生させるのに適合した電気化学アルシン発生装置である、請求項２３に記載の方法。
【請求項２５】
化学製品を発生させるための反応装置システムを主容器の内部の大気圧より低い圧力を維持するよう操作する、請求項２３に記載の方法。
【請求項２６】
流体処理容器内に配置された乾燥用物質により湿ったアルシンガスから水を除去する、請求項２４に記載の方法。
【請求項２７】
（ａ）次の（１）〜（４）、すなわち、
（１）開口部と内部とを有し、該内部に第一反応性成分が収容される主容器、
（２）外部口と、少なくとも第一の口、第二の口、及び第三の口を有する入口端部とを有する弁本体、弁本体内に配置され、第一の口と第二の口の間の流体流動を制御するのに適合した第一弁、及び、弁本体内に配置され、第三の口と外部口の間の流体流動を制御するのに適合した第二弁を含む流体流動弁アセンブリであって、弁本体が主容器の開口部にシール可能に装着され、そして第一の口、第二の口、及び第三の口が主容器内に位置する流体流動弁アセンブリ、
（３）流体処理容器であり、入口、出口、及び該流体処理容器の内部に配置された第二反応性成分を含む流体処理容器であって、主容器内に配置される流体処理容器、
（４）流体処理容器の入口と弁本体の入口端部の第二の口とを接続する入口管及び流体処理容器の出口と弁本体の入口端部の第一の口とを接続する出口管、
を含む化学物質発生システムを用意すること、
（ｂ）第一反応性成分を第一弁を通して流体処理容器に送ること、
（ｃ）第一反応性成分と第二反応性成分を反応させて製品成分を生成させ、該製品成分を流体処理容器から取り出すこと、及び
（ｄ）該製品成分を第二弁と外部口を通して取り出すこと、
を含む、化学製品発生方法。