(57)【要約】【課題】ステッピングモータの発熱量の増大を抑制しつつ、ロータの減衰振動が停止するまでの時間を短縮するモータドライバ回路を提供する。【解決手段】ステータコイル及びこのステータコイルによる駆動され、目的角をステップ単位で変更するロータを有するステッピングモータ２０を制御するモータドライバ回路１０を提供する。モータドライバ回路１０は、ステータコイルの励磁順序を決定する相励磁パターンを発生する相励磁パターン発生回路１０２と、この相励磁パターン発生回路１０２に制御され、ステータコイルに流れる駆動電流を制御するモータ電流制御回路１０１と、  ロータの目的角への停止動作開始直後に駆動電流を一定の時間だけ増大させるように、モータ電流制御回路１０１を制御する電流レベル切替回路１０３とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ステータコイル及び該ステータコイルによる駆動され、目的角をステップ単位で変更するロータを有するステッピングモータを制御するモータドライバ回路であって、
前記ステータコイルの励磁順序を決定する相励磁パターンを発生する相励磁パターン発生回路と、
該相励磁パターン発生回路に制御され、前記ステータコイルに流れる駆動電流を制御するモータ電流制御回路と、
前記ロータの目的角への停止動作開始直後に前記駆動電流を一定の時間だけ増大させるように、前記モータ電流制御回路を制御する電流レベル切替回路
とを備えることを特徴とするモータドライバ回路。
【請求項２】
前記ロータで発生する減衰振動を検知し、検知結果を前記電流レベル切替回路にフィードバックする機構を更に備えることを特徴とする請求項１に記載のモータドライバ回路。
【請求項３】
ステータコイル及び該ステータコイルによる駆動され、目的角をステップ単位で変更するロータを有するステッピングモータと、
前記ステータコイルの励磁順序を決定する相励磁パターンを発生する相励磁パターン発生回路、該相励磁パターン発生回路に制御され、前記ステータコイルに流れる駆動電流を制御するモータ電流制御回路、前記ロータの目的角への停止動作開始直後に前記駆動電流を一定の時間だけ増大させるように、前記モータ電流制御回路を制御する電流レベル切替回路を有する前記ステッピングモータのモータドライバ回路
とを備えることを特徴とするステッピングモータユニット。
【請求項４】
前記電流レベル切替回路に前記駆動電流を増大させる電流設定変更信号を送り、前記相励磁パターン生成回路に前記ステータコイルを励磁する駆動パルス信号を送る演算処理装置を更に備えることを特徴とする請求項３に記載のステッピングモータユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、モータの制御に係り、特にステッピングモータを駆動するモータドライバ回路及びこのモータドライバ回路を用いたステッピングモータユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、分光分析装置の回折格子の角度調整等に、ステッピングモータが使用されている。ステッピングモータは、複数のステータコイルを備え、この複数のステータコイルに外部からパルス信号が加わるごとに、ステータコイルが励磁して生ずる電磁力により回転子（ロータ）が吸引され、ロータがステップ単位で回転するモータである。
【０００３】
この分光分析装置の場合で説明すれば、分光器の入口スリットから入射する光を、ステッピングモータで回転角を制御された回折格子により分光することで、検出しようとする目的波長の光を検出器へ導き、目的波長の光量を検出するものである。即ち、分光分析装置においては、回折格子に接続されたステッピングモータによって回折格子に入射する光と回折格子との角度が変更され、これにより分光器の出口スリットへ出射される光の波長が変更されることで、検出波長が変更される。
【０００４】
分光分析装置により複数の波長を同時に測定する場合は、
（１）回折格子を第１の目的角（最初の目的角）に回転した後停止させ、回折格子が停止している間の光量を検出し、
（２）回折格子を第２の目的角（次の目的角）に回転した後停止させ、回折格子が停止している間の光量を検出する、
（３）回折格子を第３の目的角（更に次の目的角）に回転した後停止させ、回折格子が停止している間の光量を検出する、
…………………………、
という動作を繰り返すことにより、多波長同時測定を実現している。
【０００５】
しかしながら、上記方法で多波長同時測定を行う場合、回折格子を目的角に回転して停止させた瞬間に回折格子を回転させるステッピングモータの回転子（ロータ）の動作に減衰振動（ダンピング振動）が発生する。この減衰振動が伝搬して回折格子が振動して目的波長の光量を検出する際にノイズの原因となり、目的波長の光量を正確に検出できない。そのため、多波長同時測定において正確な光量検出や高感度検出を行いたい場合、停止直後のステッピングモータのロータの減衰振動が停止するのを待つ必要がある。
【０００６】
一方、回転現像器をステッピングモータで駆動し、ステッピングモータを定電流制御で加減速駆動する場合に、減速駆動時における電流制御値を、減速時の角加速度が規定値以上かつ、定電圧制御領域の範囲内で、定速時領域で必要とされる駆動電流値よりも低い電流値に切り替えることで低速領域および停止時の振動を低減させる方法が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。特許文献１に記載の技術は、負荷の駆動の減速時、負荷のイナーシャに蓄積された回転エネルギーを電源側に回生しつつ、駆動電流の低減が図れ、かつ、負荷の駆動停止時のショック低減が行えるようにするものである。
【特許文献１】特開２００４−３３６８４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に記載の方法は、低周波駆動時の振動・騒音を低減せんするものであり、センサ等のコストアップ要因を負荷することなく、バンディング対策として有効な駆動停止時ショックの改善を目的とする場合にはある程度その効果は期待できるが、ロータの目的角への停止時の減衰振動を抑制する目的としては十分でない。
【０００８】
このため、例えば、ロータの減衰振動が停止するまでの時間を短縮するために、ステッピングモータの駆動電流を大きくする方法も考え得る。しかし、単純に駆動電流を大きくすれば、電流量が大きくなることによってステッピングモータが発熱し、故障の原因となるという問題がある。
【０００９】
上記問題点を鑑み、本発明は、ステッピングモータの発熱量の増大を抑制しつつ、ロータの減衰振動が停止するまでの時間を短縮するモータドライバ回路及びこのモータドライバ回路を用いたステッピングモータユニットユニットを提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の第１の態様は、ステータコイル及びこのステータコイルによる駆動され、目的角をステップ単位で変更するロータを有するステッピングモータを制御するモータドライバ回路に関する。即ち、モータドライバ回路は、（イ）ステータコイルの励磁順序を決定する相励磁パターンを発生する相励磁パターン発生回路と、（ロ）この相励磁パターン発生回路に制御され、ステータコイルに流れる駆動電流を制御するモータ電流制御回路と、（ハ）ロータの目的角への停止動作開始直後に駆動電流を一定の時間だけ増大させるように、モータ電流制御回路を制御する電流レベル切替回路とを備えることを特徴とする。
【００１１】
本発明の第２の態様は、（イ）ステータコイル及びこのステータコイルによる駆動され、目的角をステップ単位で変更するロータを有するステッピングモータと、（ロ）ステータコイルの励磁順序を決定する相励磁パターンを発生する相励磁パターン発生回路、この相励磁パターン発生回路に制御され、ステータコイルに流れる駆動電流を制御するモータ電流制御回路、ロータの目的角への停止動作開始直後に駆動電流を一定の時間だけ増大させるように、モータ電流制御回路を制御する電流レベル切替回路を有するステッピングモータのモータドライバ回路とを備えるステッピングモータユニットであることを要旨とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、ステッピングモータの発熱量の増大を抑制しつつ、ロータの減衰振動が停止するまでの時間を短縮するモータドライバ回路及びこのモータドライバ回路を用いたステッピングモータユニットを提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
次に、図面を参照して、本発明の第１及び第２の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。又、以下に示す第１及び第２の実施の形態は、この発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、この発明の技術的思想は、構成部品の構造、配置等を下記のものに特定するものでない。この発明の技術的思想は、特許請求の範囲において、種々の変更を加えることができる。特に、本発明の第１及び第２の実施の形態では、説明の便宜上、ステッピングモータが、分光分析装置の回折格子を駆動する場合を例示的に説明するが、本発明のステッピングモータは分光分析装置にのみ適用されるものではないことに留意すべきである。
【００１４】
（第１の実施の形態）
本発明の第１の実施の形態に係るモータドライバ回路１０は、図１に示すように、ステータコイル及びステップ単位で回転するロータを有するステッピングモータ２０を電流制御する。即ち、モータドライバ回路１０は、ステータコイルの励磁順序を決定する相励磁パターンを発生する相励磁パターン発生回路１０２と、ステータコイルに流れる駆動電流を制御するモータ電流制御回路１０１と、ロータのそれぞれの目的角への停止動作開始直後に駆動電流を一定の時間だけ増大させる電流レベル切替回路１０３とを備える。ステッピングモータ２０は、回転軸２５によって、例えば分光分析装置の回折格子３０に接続される。図１に示すように、モータドライバ回路１０には、電流レベル切替回路１０３に電流設定変更信号Ｓｃを送り、相励磁パターン生成回路１０２に駆動パルス信号を送る演算処理装置（ＣＰＵ）５が接続されている。
【００１５】
モータドライバ回路１０の動作例を、図２を参照して説明する。演算処理装置（ＣＰＵ）５から駆動パルス信号Ｓｐが相励磁パターン生成回路１０２に送られると、相励磁パターン生成回路１０２は、ステッピングモータ２０のステータコイルに供給する励磁順序を決定する相励磁パターンを駆動パルス信号Ｓｐに基づき生成する。生成された相励磁パターンはモータ電流制御回路１０１に送信され、モータ電流制御回路１０１は相励磁パターンに従って駆動パルス信号をステッピングモータ２０のそれぞれのステータコイルに逐次送信し、ステッピングモータ２０は相励磁パターンに応じてステップ単位でステータコイルが駆動され、ロータが回転する。また、ロータの特定の目的角への停止動作が開始する時刻ｔにおいて演算処理装置（ＣＰＵ）５から電流設定変更信号Ｓｃが電流レベル切替回路１０３に送られると、電流レベル切替回路１０３は電流設定変更信号Ｓｃに応じてモータ電流制御回路１０１を制御し、ステッピングモータ２０のすべてのステータコイルに供給する全駆動電流の大きさを切り替える。図２に示した例では、駆動パルス信号によりステッピングモータ２０が回転している間は駆動電流値の設定レベルは０．１Ａであり、ロータのそれぞれの目的角への停止動作開始後の一定時間（図２では３０ｍs）は、駆動電流値の設定レベルが０．２１Ａに増大され、その一定時間後、駆動電流値の設定レベルは０．１Ａに戻される。なお、図２に示した駆動電流を増大する時間の３０ｍsはあくまで例示であり、後述するようステッピングモータ２０の仕様等によって駆動電流を増大する時間は設定される。
【００１６】
図３に、ステッピングモータ２０の構成例を示す。ステッピングモータ２０は、複数のステータコイル（図３の例では、第１のステータコイルＮ１、第２のステータコイルＮ２）、及び回転軸２５が取り付けられる永久磁石であるロータＲを備える。第１〜２のステータコイルＮ１〜Ｎ２は、モータドライバ回路１０から入力する駆動パルス信号を受け、第１〜２のステータコイルＮ１〜Ｎ２に生ずる電磁力でロータＲが吸引されて、この駆動パルス信号数に比例した角度だけロータＲが回転する。電流を流すステータコイルを切り替えることによって励磁する相が切り替えられ、ロータは回転を続ける。そして、励磁する相を切り替えずに第１〜２のステータコイルＮ１〜Ｎ２に同じ保持用電流を流し続けると、ロータＲが同じ位置に固定され、ステッピングモータ２０は現在の位置を保持しつづける。なお、図１に示したステッピングモータ２０とモータドライバ回路１０を一体としてステッピングモータユニットが構成される。
【００１７】
回折格子３０を有する分光分析装置１００は、図４に示すように複数の波長を含む入射光Ｌ１中の検出しようとする波長（以下において、「目的波長」という。）の光量を検出する。具体的には、入口スリットＳ１から、入射光Ｌ１が回折格子３０に照射される。ステッピングモータ２０によって入射光Ｌ１に対する回折格子角度θが調整された回折格子３０は、入射光Ｌ１を分光し、目的波長の光（出射光Ｌ２）を出口スリットＳ２から検出器４０に出力する。そして、検出器４０は目的波長の光量を検出する。分光分析装置１００においては、回折格子３０に接続されたステッピングモータ２０によって回折格子角度θを調整することより図４に点線で示したように回折格子３０を回転させて、出口スリットＳ２から出射される出射光Ｌ２の波長が変更され、検出波長が変更される。回折格子角度θは、例えば０．０５〜０．１°単位で変更される。
【００１８】
分光分析装置１００は、複数の波長を同時に測定する多波長同時測定を行う場合、既に説明したように、回折格子３０をそれぞれの目的角に回転させて停止させ、回折格子３０が停止している間の光量を検出することを繰り返す。ただし、回折格子３０が目的角になるようにステッピングモータ２０のロータＲが目的のステップ位置に到達した時、図５に示すように、ロータＲはステータコイルＮｎから発生する磁力によってステータＳＴｎにひきつけられるが（第１の実施形態においてはｎ＝１〜２）、直前までのステップ駆動で発生した慣性モーメントにより、ロータＲはステータＳＴｎの周辺で減衰振動し、この減衰振動が収束するまでに、例えば、数十ｍs程度の時間がかかる。回折格子３０を目的角に停止させた瞬間にステッピングモータ２０のロータＲに発生する減衰振動が、回折格子３０に伝搬して目的波長の光量を検出する際のノイズの原因となる。そのため、目的角への停止動作開始直後のロータＲの減衰振動が収束するのを待って、検出器４０が目的波長の光量が検出される。
【００１９】
ここで、ロータＲが目的位置に到達してから減衰振動が収束するまでの時間（以下において「減衰時間」という。）、ステータコイルＮｎに流す駆動電流を大きくすることで、ロータＲとステータＳＴｎ間の保持力Ｐを増大させ、減衰時間を短縮することができる。つまり、モータドライバ回路１０は、目的角への停止動作開始直後に一時的にステッピングモータ２０の駆動電流を大きくすることによって、ロータＲの減衰時間を短縮できる。そして、設定された一定時間後に、モータドライバ回路１０は、駆動電流を停止動作を開始する前の大きさに戻す。
【００２０】
ロータのそれぞれの目的角への停止時におけるモータドライバ回路１０の動作例を、図６に示したタイミングチャートを参照して説明する。
【００２１】
（イ）時刻ｔ０〜ｔ１において、モータドライバ回路１０の相励磁パターン生成回路１０２及びモータ電流制御回路１０１は、ステッピングモータ２０の駆動電流を制御して、所定の角度だけステッピングモータ２０のロータＲを回転させ、回折格子３０の入射光Ｌ１に対する回折格子角度θを変更する。この間、ステッピングモータ２０に一定の定常電流値Ｉ１が供給される。
【００２２】
（ロ）時刻ｔ１において、回折格子角度θが所定の目的角θ１に設定されると、電流レベル切替回路１０３は、モータ電流制御回路１０１を制御して、ステッピングモータ２０に流れる保持用の駆動電流を増大させる。例えば、定常電流値Ｉ１の２倍程度の停止電流値Ｉ２をステッピングモータ２０のステータコイルに供給する。
【００２３】
（ハ）時刻ｔ２において、電流レベル切替回路１０３は、ステッピングモータ２０に流れる保持用の駆動電流の大きさを定常電流値Ｉ１に戻す。
【００２４】
一般的に、定常電流値Ｉ１は、発熱によるステッピングモータ２０の故障等を回避するため、ステッピングモータ２０の定格電流値の半分程度に設定される。そのため、停止電流値Ｉ２は、短時間のパルス電流であるので、ステッピングモータ２０の定格電流値か、或いはそれを多少上回る電流値に設定することができる。例えば、回折格子３０を駆動するステッピングモータ２０の定格電流値が０．２Ａである場合、定常電流値Ｉ１を０．１Ａ、停止電流値Ｉ２を０．２１Ａ程度に設定する。
【００２５】
なお、ロータＲの減衰振動の減衰時間は、ステッピングモータ２０の仕様や使用状態等に依存する。そのため、ステッピングモータ２０の駆動トルクや駆動する負荷の大きさに応じて、ステッピングモータ２０の保持用電流を増大する時間（以下において「電流増大時間」という。）が、設定されることが好ましい。図７に示すように、目的角への停止動作開始直後に駆動電流を増大させずに、定格電流の半分程度の定常電流値Ｉ１で常に一定の駆動電流がステッピングモータ２０を流れている場合、の停止動作を開始した後のロータＲの保持力も一定であるため、停止動作開始後の回折格子３０の減衰時間は、駆動電流を一時的に増大させた場合と比較して長くなる。ステッピングモータ２０の駆動電流を増大させない場合、停止動作が開始した時刻ｔ１からロータＲの減衰振動が停止する時刻ｔ２１までの減衰時間は、通常２００ｍs程度である。時刻ｔ２が時刻ｔ２１より後になるように電流増大時間が設定される。
【００２６】
図６では、矩形波の電流によってステッピングモータ２０の保持電流を増大させる例を示したが、電流増大時間にステッピングモータ２０に流す電流の矩形波に限るものではなく、例えば正弦波であってもよい。
【００２７】
以上に説明したように、本発明の第１の実施の形態に係るモータドライバ回路１０によれば、ロータのそれぞれの目的角への停止動作開始直後に駆動電流を増大させることによって、ロータＲの減衰振動の減衰時間が短縮され、回折格子３０の減衰振動に起因するノイズが発生する時間を短縮できる。つまり、ロータＲの減衰振動が収束するのを待つ時間が短縮され、検出器４０に出射光Ｌ２が入射している時間を長くすることができる。その結果、多波長同時測定において正確な光量検出や高感度検出を行うことができる。
【００２８】
また、目的角への停止動作開始後に、一定時間だけステッピングモータ２０の駆動電流を大きくするため、ステッピングモータ２０が発熱して故障の原因となるという問題を回避できる。
【００２９】
（第２の実施の形態）
本発明の第２の実施の形態に係るモータドライバ回路１０は、図８に示すように、ステッピングモータ２０の動作状態を監視し、ロータのそれぞれの目的角への停止動作開始直後にロータＲで発生する減衰振動の停止（収束）を検知した場合に、ステッピングモータ２０の駆動電流を停止動作開始を検知する前の大きさに戻すフィードバック回路１０４を備えることが、図１と異なる。その他の構成については、図１に示す第１の実施の形態と同様である。
【００３０】
図８に示したモータドライバ回路１０の動作例を、図９に示したタイミングチャートを参照して説明する。
【００３１】
（イ）時刻ｔ０〜ｔ１において、モータドライバ回路１０の相励磁パターン生成回路１０２及びモータ電流制御回路１０１が、ステッピングモータ２０の駆動電流を制御して、所定の角度だけステッピングモータ２０のロータＲを回転させ、回折格子３０の入射光Ｌ１に対する回折格子角度θを変更する。この間、ステッピングモータ２０に一定の定常電流値Ｉ１が供給される。
【００３２】
（ロ）時刻ｔ１における、回折格子角度θが所定の目的角θ１への停止動作の開始に際して、第１の実施形態と同様に、電流レベル切替回路１０３は、ステッピングモータ２０に流れる保持用の駆動電流が定常電流値Ｉ１から停止電流値Ｉ２に増大させる。
【００３３】
（ハ）時刻ｔ１１において、フィードバック回路１０４がロータＲの減衰振動の収束を検知（判定）すると、減衰振動の収束が電流レベル切替回路１０３にフィードバックされ、電流レベル切替回路１０３はステッピングモータ２０に流れる保持用の駆動電流の大きさを定常電流値Ｉ１に戻す。
【００３４】
なお、図８ではフィードバック機構を明示していないが、回折格子からの信号をフィードバック機構に用いても良い。例えば、一定期間内の回折格子角度θの変化率が検出器４０での出射光Ｌ２の測定に影響を及ぼさないように設定した値以下になった場合に、減衰振動が収束したと判定する等、種々のフィードバック機構が採用可能である。
【００３５】
図１０は、そのようなフィードバック機構の一例として、ステッピングモータ２０のロータＲの回転角を光学的に監視するセンサ２１を、ステッピングモータ２０備える場合である。
【００３６】
センサ２１によって得られるステッピングモータ２０のロータＲの回転角の情報は、図８と同様に、フィードバック回路１０４に送られる。フィードバック回路１０４は、ロータＲの回転角の情報を用いてステッピングモータ２０の動作状態を監視し、ロータのそれぞれの目的角への停止動作開始を検知した場合にステッピングモータ２０の駆動電流を増大させ、ロータＲの減衰振動の収束を検知した場合に、ステッピングモータ２０の駆動電流を停止動作開始を検知する前の大きさに戻す。例えば、ロータＲの回転角の変化が０になった場合、或いは一定期間内のロータＲの回転角の変化率が検出器４０での出射光Ｌ２の測定に影響を及ぼさないように設定した値以下になった場合等に、フィードバック回路１０４は、ロータＲの減衰振動が収束したと判定する。
【００３７】
図１０に示したモータドライバ回路１０の動作例を、図１１に示したタイミングチャートを参照して説明する。
【００３８】
（イ）時刻ｔ０〜ｔ１において、モータドライバ回路１０の相励磁パターン生成回路１０２及びモータ電流制御回路１０１が、ステッピングモータ２０の駆動電流を制御して、所定の角度だけステッピングモータ２０のロータＲを回転させ、回折格子３０の入射光Ｌ１に対する回折格子角度θを変更する。この間、ステッピングモータ２０に一定の定常電流値Ｉ１が供給される。
【００３９】
（ロ）時刻ｔ１における停止動作の開始に際して、第１の実施の形態と同様に、電流レベル切替回路１０３は、ステッピングモータ２０に流れる保持用の駆動電流を定常電流値Ｉ１から停止電流値Ｉ２に増大させる。
【００４０】
（ハ）時刻ｔ１１において、フィードバック回路１０４が、センサ２１からのロータＲの回転角の情報によりロータＲの回転角の変化が０であり、ロータＲの減衰振動が収束したことを判定すると、減衰振動の収束が電流レベル切替回路１０３にフィードバックされ、電流レベル切替回路１０３はステッピングモータ２０に流れる保持用の駆動電流の大きさを定常電流値Ｉ１に戻す。
【００４１】
なお、上記の説明では、センサ２１からのロータＲの回転角の情報に基づいてフィードバック回路１０４が電流レベル切替回路１０３を制御する例を説明したが、フィードバック回路１０４を省略し、センサ２１からのロータＲの回転角の情報を直接、電流レベル切替回路１０３にフィードバックするようにしてもよい。
【００４２】
以上において説明したように、本発明の第２の実施の形態に係るモータドライバ回路１０は、ステッピングモータ２０のロータＲの減衰振動が発生している間だけ、ステッピングモータ２０の駆動電流を増大させる。そのため、電流増大時間が短縮され、ステッピングモータ２０の消費電力の増大を抑制できる。他は、第１の実施の形態と実質的に同様であり、重複した記載を省略する。
【００４３】
（その他の実施の形態）
上記のように、本発明は第１及び第２の実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
【００４４】
既に述べた第１及び第２の実施の形態の説明においては、分光分析装置の回折格子を駆動するモータを制御するモータドライバ回路の例を説明したが、他の用途のモータ、例えばレーザプリンタやデジタル複写機のドラムを駆動するステッピングモータを制御するモータドライバ回路にも採用可能である。
【００４５】
このように、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を含むことは勿論である。したがって、本発明の技術的範囲は上記の説明から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るモータドライバ回路を使用した構成例を示すブロック図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係るモータドライバ回路の動作例を説明するためのタイミングチャートである。
【図３】本発明の第１の実施の形態に係るステッピングモータの構成例を示すブロック図である。
【図４】分光分析装置の構成例を示す模式図である。
【図５】本発明の第１の実施の形態に係るステッピングモータに発生する減衰振動を説明するための模式図である。
【図６】本発明の第１の実施の形態に係るモータドライバ回路の動作例を説明するためのタイミングチャートである。
【図７】ステッピングモータの減衰振動の減衰時間を説明するためのタイミングチャートである。
【図８】本発明の第２の実施の形態に係るモータドライバ回路を使用した構成例を示すブロック図である。
【図９】本発明の第２の実施の形態に係るモータドライバ回路の動作例を説明するためのタイミングチャートである。
【図１０】本発明の第２の実施の形態の具体例に係るモータドライバ回路を使用した構成例を示すブロック図である。
【図１１】本発明の第２の実施の形態の具体例に係るモータドライバ回路の動作例を説明するためのタイミングチャートである。
【符号の説明】
【００４７】
Ｎ１…第１のステータコイル
Ｎ２…第２のステータコイル
Ｒ…ロータ
Ｓ１…入口スリット
Ｓ２…出口スリット
５…演算処理装置（ＣＰＵ）
１０…モータドライバ回路
２０…ステッピングモータ
２１…センサ
２５…回転軸
３０…回折格子
４０…検出器
１００…分光分析装置
１０１…モータ電流制御回路
１０２…相励磁パターン生成回路
１０３…電流レベル切替回路
１０４…フィードバック回路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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