【手続補正書】
【提出日】平成20年12月9日(2008.12.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
同様に、第２トランスファ・モジュールＴＭ2の第２真空搬送ロボットＲＢ2も一対の搬送アームＦC，ＦDを有しており、その周囲の各プロセス・モジュールＰＭ2，ＰＭ3，ＰＭ4，ＰＭ5に対して、上記のようなピック＆プレース動作により当該モジュールで処理が済んだ直後のウエハＷiと次に当該モジュールで処理を受けるべきウエハＷjとを１回のアクセスで入れ替えることができる。また、第２真空搬送ロボットＲＢ2は、パス部ＰＡに対しても上記と同様のピック＆プレース動作により１回のアクセスで行きのウエハＷ→と戻りのウエハＷ←との入れ替えを行うこともできる。また、１回のアクセスにおいて、ピック動作に続いて即座にプレース動作を行うことも可能であれば、ピック動作の後に少し待ち時間を置いてからプレース動作を行うことも可能である。さらに、ウエハＷi（Ｗ→）を搬出（引取り）するピック動作のみあるいはウエハＷj（Ｗ←）を搬入（引き受け）するプレース動作のみを単独で行うことも可能である。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
次に、ロードロック・モジュールＬＬＭ1で真空引きが完了すると、図４に示すように、ウエハＷ１０１はロードロック・モジュールＬＬＭ1から第１トランスファ・モジュールＴＭ1を通って第１工程用のプロセス・モジュールＰＭ7へ搬送される。なお、上述したように、第１クラスタ１０内のウエハ搬送は全て第１真空搬送ロボットＲＢ1により行われる。一方、大気系では、ウエハＷ１０２がオリフラ合わせ機構ＯＲＴから他方のロードロック・モジュールＬＬＭ2に移されるとともに、カセットＣＲから３番目のウエハＷ１０３がオリフラ合わせ機構ＯＲＴへ移載される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
しかる後、第２クラスタ１２においては、図１２に示すように、第２真空搬送ロボットＲＢ2が、Ｃｕシード層成膜処理を終えたプロセス・モジュールＰＭ3からウエハＷ１０１を搬出してこれをパス部ＰＡへ戻し、ＴａＮ／Ｔａ層成膜処理を終えたプロセス・モジュールＰＭ4からウエハＷ１０２を搬出してこれをプロセス・モジュールＰＭ3へ移し、第１クラスタ１０側からパス部ＰＡに渡されていた行きのウエハＷ１０３をプロセス・モジュールＰＭ4に搬入する。両プロセス・モジュールＰＭ4，ＰＭ3は、新たに搬入したウエハＷ１０３，Ｗ１０２に対して上記と同じプロセス条件でＴａＮ／Ｔａ層成膜処理、Ｃｕシード層成膜処理をそれぞれ実施する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６４】
こうして、第２クラスタ１２から戻りのウエハＷ１０１がパス部ＰＡへ渡された時、第１クラスタ１０においては、図１２に示すように、第１真空搬送ロボットＲＢ1が片方の搬送アームに未処理のウエハＷ１０６を保持し、両プロセス・モジュールＰＭ7，ＰＭ1がウエハＷ１０５，Ｗ１０４に対してDegas処理、クリーニング処理をそれぞれ行っており、片側のロードロック・モジュールＬＬＭ1が未処理のウエハＷ１０７を入れた状態で真空引きを行っている最中にある。ここで、第１真空搬送ロボットＲＢ1は、もう片方の搬送アームが空いており、第２クラスタ１２からパス部ＰＡに渡された戻りのウエハＷ１０１をその空の搬送アームを用いて引き取ることは可能である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６７】
この後は、図１６に示すように、ロードロック・モジュールＬＬＭ1の室内が大気圧状態に切り換わり、大気搬送ロボットＲＢ3が処理済のウエハ１０１をロードロック・モジュールＬＬＭ1からロードポートＬＰのカセットＣＲに移す。また、第２クラスタ１２においては、ＴａＮ／Ｔａ層成膜処理を終えたプロセス・モジュールＰＭ4においてピック＆プレース動作によりウエハＷ１０３，１０４の入れ替えが行われ、次いでＣｕシード層成膜処理を終えたプロセス・モジュールＰＭ3においてピック＆プレース動作によりウエハＷ１０２，１０３の入れ替えが行われ、プロセス・モジュールＰＭ3より搬出された処理済のウエハＷ１０２がパス部ＰＡに渡される。一方、第１クラスタ１０においては、処理済のウエハＷ１０２がパス部ＰＡに渡されても、それを無視して定常通りに行きのシリアル搬送が実行される。すなわち、Degas処理を終了させたプロセス・モジュールＰＭ7に対してピック＆プレース動作によりウエハＷ１０６，Ｗ１０７の入れ替えが行われ、次いでクリーニング処理を終了させたプロセス・モジュールＰＭ1に対してピック＆プレース動作によりウエハＷ１０５，Ｗ１０６の入れ替えが行われる。そして、第１真空搬送ロボットＲＢ1はプロセス・モジュールＰＭ1より搬出したウエハＷ１０５を片方の搬送アームで保持し、もう片方の搬送アームを空にした状態で、パス部ＰＡに待たせておいた戻りのウエハＷ１０２と対峙する。図示省略するが、この直後にピック＆プレース動作によりパス部ＰＡから戻りのウエハＷ１０２を引き取り，それと入れ替わりに行きのウエハＷ１０５をパス部ＰＡに渡す。そして、ロードロック・モジュールＬＬＭ2に対してピック＆プレース動作によりウエハ１０８，１０２の入れ替えを行う。つまり、減圧状態のロードロック・モジュールＬＬＭ2より未処理のウエハ１０８を取り出し、それと入れ替わりに処理済のウエハ１０２をロードロック・モジュールＬＬＭ2に戻す。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６８】
以後も上記と同じ手順で搬送シーケンスが繰り返される。ただし、ロット終了間際においては、末尾のウエハＷ１２５の後に続くウエハは存在しないため例外的な搬送手順が用いられる。たとえば、末尾のウエハＷ１２５が各プロセス・モジュールＰＭから搬出されるときは単独のピック動作が行われ、それと入れ替わりのプレース動作は行われない。また、末尾から３番目のウエハＷ１２３が戻りのウエハＷ←としてプロセス・モジュールＰＭ3よりパス部ＰＡに移された時、後続のウエハＷ１２４，Ｗ１２５は第２クラスタ１２内のプロセス・モジュールＰＭ4，ＰＭ3に搬入されており、第１クラスタ１０内の搬送経路上に存在するウエハは１つもない。各部のコントローラないしホストコントローラは、システム内の各部の搬送経路上におけるウエハの有無および識別を常時または随時監視している。したがって、上記のようにロット終了間際において第２クラスタから戻りのウエハＷ←がパス部ＰＡに渡された時に第１クラスタ１０内の搬送経路上にウエハは１つも存在しない状況を確認した場合は、第１真空搬送ロボットＲＢ1が直ちに戻りのウエハＷ←をパス部ＰＡから引き取り、そのまま減圧状態のロードロック・モジュールＬＬＭ1（ＬＬＭ2）に戻すことにしてよい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７９】
これに対して、従来の搬送方式によれば、図２１に示すように第２クラスタ１２から第１クラスタ１０への戻りのウエハＷ←（Ｗ１０１）がパス部ＰＡに渡されると、その直後に図２４に示すように、第１クラスタ１０の第１真空搬送ロボットＲＢ1が空いている方の搬送アームでパス部ＰＡから戻りのウエハＷ１０１を引き取る。しかし、この場合も、ロードロック・モジュールＬＬＭ1に対して未処理ウエハ１０７と戻りのウエハＷ１０１とをピック＆プレース動作で入れ替えることはできず、空になっているロードロック・モジュールＬＬＭ2の真空引きが完了するまで戻りのウエハＷ１０１を第１真空搬送ロボットＲＢ1が持ったまま待たなくてはならない。この後、図２５に示すように、第１真空搬送ロボットＲＢ1は、真空引きを完了させたロードロック・モジュールＬＬＭ2に戻りのウエハＷ１０１を単独のプレース動作により搬入してから、第１クラスタ１０内の行きのシリアル搬送に取り掛かる。このように、第２クラスタ１２からパス部ＰＡに渡された戻りのウエハＷ←を第１クラスタ１０の第１真空搬送ロボットＲＢ1がすぐに引き取っても、次の行き先であるロードロック・モジュールＬＬＭ1（ＬＬＭ2）への搬送がスムースにいかないばかりか、プロセス・モジュールＰＭ側のシリアル搬送ないしウエハ入れ替えが後回しにされることとなり、結果的にはシステム全体ないしロットベースのスループットが悪化する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８０】
図２６に、この第２の実施形態における各部および全体のサイクルタイムを本発明の搬送手順（図２２，図２３）と比較例の搬送手順（図２４，図２５）とで対比して一覧表で示す。ただし、「PMn Cycle Time」（ｎ＝１，３，６，７）は、各プロセス・モジュールＰＭnに各ウエハＷiが搬入されてから次のウエハＷi+1が搬入されるまでの時間つまりＰＭサイクルタイムである。各プロセス・モジュールＰＭn（ｎ＝１，３，６，７）におけるプロセス時間はいずれも６０秒であり、ロードロック・モジュールＬＬＭ1（ＬＬＭ2）における冷却時間は３０秒である。図２５のデータから、この実施形態においても、各部のサイクルタイムの最大値（Ｍａｘ）および平均値（Ａｖｅ）が本発明により著しく改善され、約１０％前後短縮していることがわかる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１０】
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【手続補正１０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１１】
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【手続補正１１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１６】
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【手続補正１２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１７】
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