【手続補正書】
【提出日】平成21年10月6日(2009.10.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に所定の処理を施す複数の処理室と前記基板を搬送する搬送機構とを備えた基板処理装置を制御する制御装置であって、
次に搬送すべき処理室を選択するとともに、ロット毎に要求される、微細加工処理を要求しているか否かを示した単位パラメータまたはレシピに基づき、同一処理室に搬送する基板の単位を１ロット単位または１基板単位のいずれにするかをロット毎に選択する選択部と、
前記選択部により選択された単位に含まれる基板を前記選択部により選択された処理室に順に搬送する搬送制御部とを備える制御装置。
【請求項２】
前記複数の処理室のうち、基板の処理に使用された処理室の順番を記憶する記憶部を更に備え、
前記選択部は、
前記記憶部に記憶された処理室の順番に基づいて、レシピにより指定された処理室群のうち最も以前に処理が施された処理室を選択し、
前記搬送部は、
前記選択された処理室に前記選択された単位に含まれる基板を順に搬送する請求項１に記載された制御装置。
【請求項３】
各処理室をクリーニングするまでに各処理室にて処理された基板の総処理枚数を処理室毎に記憶する記憶部を更に備え、
前記選択部は、
前記記憶部に記憶された基板の総処理枚数に基づいて、レシピにより指定された処理室群のうち最も処理枚数の少ない処理室を選択し、
前記搬送部は、
前記選択された処理室に前記選択された単位に含まれる基板を順に搬送する請求項１に記載された制御装置。
【請求項４】
各処理室をクリーニングするまでに各処理室にて処理された基板の総処理時間を処理室毎に記憶する記憶部を更に備え、
前記選択部は、
前記記憶部に記憶された基板の総処理時間に基づいて、レシピにより指定された処理室群のうち最も処理時間の短い処理室を選択し、
前記搬送部は、
前記選択された単位に含まれる基板を前記選択された処理室に順に搬送する請求項１に記載された制御装置。
【請求項５】
前記搬送制御部は、
前記選択部により１ロット単位が選択された場合、前記ロットに含まれるすべての基板を前記選択された処理室に順に搬送し、前記選択部により１基板単位が選択された場合、前記ロットに含まれる最初の基板を、レシピにより指定された処理室群のうち、最も以前に処理が施された処理室、最も処理枚数の少ない処理室または最も処理時間の短い処理室のいずれかから選択された処理室に搬送し、前記ロットに含まれる次の基板を次の処理室に搬送することを前記ロットに含まれる最後の基板まで繰り返す請求項２〜４のいずれかに記載された制御装置。
【請求項６】
前記搬送制御部は、
前記選択部により１ロット単位が選択された場合、製品用基板を搬送する前に、試用基板を前記選択された処理室にのみ搬送する請求項１〜５のいずれかに記載された制御装置。
【請求項７】
前記搬送制御部は、
前記選択部により１基板単位が選択された場合、製品用基板を搬送する前に、試用基板をレシピにより指定された処理室群の各処理室にのみ搬送する請求項１〜５のいずれかに記載された制御装置。
【請求項８】
基板に所定の処理を施す複数の処理室と前記基板を搬送する搬送機構とを備えた基板処理装置を制御する方法であって、
次に搬送すべき処理室を選択するとともに、ロット毎に要求される、微細加工処理を要求しているか否かを示した単位パラメータまたはレシピに基づき、同一処理室に搬送する基板の単位を１ロット単位または１基板単位のいずれかから選択し、
前記選択された単位に含まれる基板を前記選択された処理室に順に搬送する基板処理装置の制御方法。
【請求項９】
基板に所定の処理を施す複数の処理室と前記基板を搬送する搬送機構とを備えた基板処理装置の制御をコンピュータに実行させる制御プログラムを記憶した記憶媒体であって、
次に搬送すべき処理室を選択するとともに、ロット毎に要求される、微細加工処理を要求しているか否かを示した単位パラメータまたはレシピに基づき、同一処理室に搬送する基板の単位を１ロット単位または１基板単位のいずれかから選択する処理と、
前記選択された単位に含まれる基板を前記選択された処理室に順に搬送する処理とをコンピュータに実行させる基板処理装置の制御プログラムを記憶した記憶媒体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
すなわち、上記課題を解決するために、本発明のある観点によれば、基板に所定の処理を施す複数の処理室と上記基板を搬送する搬送機構とを備えた基板処理装置を制御する制御装置であって、次に搬送すべき処理室を選択するとともに、ロット毎に要求される、微細加工処理を要求しているか否かを示した単位パラメータまたはレシピに基づき、同一処理室に搬送する基板の単位を１ロット単位または１基板単位のいずれにするかをロット毎に選択する選択部と、上記選択部により選択された単位に含まれる基板を上記選択部により選択された処理室に順に搬送する搬送制御部とを備える制御装置が提供される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
これによれば、ロット毎に要求される、微細加工処理を要求しているか否かを示した単位パラメータまたはレシピに基づき、同一処理室に搬送する基板の単位を１ロット単位または１基板単位のいずれにするかがロット毎に選択される。１ロット単位が選択された場合、該当ロットに含まれる基板は、すべて同一処理室に搬送される。これにより、異なる基板を異なる処理室に搬送することによって、各処理室の個体差や各処理室の雰囲気の差により、各基板の加工状態にバラツキが生じてしまうことを回避することができる。すなわち、ロット内の基板をすべて同一処理内にて処理することによって１ロット内のすべての基板を同一の環境内で処理することにより、１ロット単位で特性にバラツキのないほぼ同一の製品を製造することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、基板に所定の処理を施す複数の処理室と上記基板を搬送する搬送機構とを備えた基板処理装置を制御する方法であって、次に搬送すべき処理室を選択するとともに、ロット毎に要求される、微細加工処理を要求しているか否かを示した単位パラメータまたはレシピに基づき、同一処理室に搬送する基板の単位を１ロット単位または１基板単位のいずれかから選択し、上記選択された単位に含まれる基板を上記選択された処理室に順に搬送する基板処理装置の制御方法が提供される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
基板に所定の処理を施す複数の処理室と上記基板を搬送する搬送機構とを備えた基板処理装置の制御をコンピュータに実行させる制御プログラムを記憶した記憶媒体であって、
次に搬送すべき処理室を選択するとともに、ロット毎に要求される、微細加工処理を要求しているか否かを示した単位パラメータまたはレシピに基づき、同一処理室に搬送する基板の単位を１ロット単位または１基板単位のいずれかから選択する処理と、上記選択された単位に含まれる基板を上記選択された処理室に順に搬送する処理とをコンピュータに実行させる基板処理装置の制御プログラムを記憶した記憶媒体が提供される。