(57)【要約】【課題】積み重ねた状態の吸着対象体を１枚ずつ確実に吸着し得る吸着装置を提供する。【解決手段】筒状に形成されると共に吸引装置による基端部７１側からのエアの吸引によってシート体１００および基板２００を先端部７２の吸着口７３で吸着する少なくとも一対の吸着部１２を備えた吸着装置２であって、両吸着部１２における各々の先端部７２を支点として各々の基端部７１側が互いに近接するように両吸着部１２の少なくとも一方を回動させる回動機構を備えている。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状に形成されると共に吸引装置による基端部側からのエアの吸引によって吸着対象体を先端部の吸着口で吸着する少なくとも一対の吸着部を備えた吸着装置であって、
前記両吸着部における各々の前記先端部を支点として各々の前記基端部側が互いに近接するように当該両吸着部の少なくとも一方を回動させる回動機構を備えている吸着装置。
【請求項２】
前記回動機構は、前記吸着部を保持する保持部と、当該保持部に取り付けられた支持軸が挿通可能でかつ前記吸着部を回動させるように挿通状態の当該支持軸を案内する案内溝が形成された案内部と、前記挿通状態の支持軸を前記案内溝に沿ってスライドさせるスライド機構とを備えて構成されている請求項１記載の吸着装置。
【請求項３】
前記吸引装置によるエアの吸引および前記回動機構を制御する制御部を備え、
前記制御部は、前記吸引装置に対してエアの吸引を実行させた状態で前記回動機構に対して前記両吸着部の少なくとも一方を回動させる請求項１または２記載の吸着装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載の吸着装置と、当該吸着装置を移動させる移動装置とを備えている搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エアの吸引によって吸着対象体を吸着可能に構成された吸着装置、およびその吸着装置を備えた搬送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の搬送装置として、特開平７−１０３２３号公報に開示された吸着搬送装置が知られている。この吸着搬送装置は、真空吸着手段および搬送機構等を備えて、例えば、基板を吸着保持して搬送することが可能に構成されている。この場合、真空吸着手段は、一対の吸着パッドが取付けられた吸着ヘッドを備えて構成され、この吸着パッドがバキューム管を介して連通された真空圧発生器によって負圧を作用させられることにより、基板を吸着する。この搬送装置を用いて、複数枚積み重ねた（積層された）状態でマガジンに収納されている基板を一枚ずつ吸着保持して工程処理位置まで搬送させる際には、マガジンの上方に吸着ヘッドを移動させ、次いで、吸着ヘッドを下動させる。続いて、マガジンに収納されている各基板のうちの最上部の基板の表面に吸着パッドが接触した時点で、各吸着パッドに負圧を作用させることによってその基板を吸着保持させる。次いで、吸着ヘッドを上動させることにより、吸着保持した基板を持ち上げさせる。続いて、吸着ヘッドを、工程処理位置まで移動させた後に、吸着パッドによる吸着を解除させる。これにより、基板が工程処理位置に搬送される。
【特許文献１】特開平７−１０３２３号公報（第３−４頁、第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところが、上記の吸着搬送装置には、以下の問題点がある。すなわち、この吸着搬送装置では、吸着パッドが下向きで基板を吸着した状態のまま吸着ヘッドを上方に移動させ、次いで、吸着ヘッドを移動させることによって基板を工程処理位置に搬送している。この場合、この種の基板を複数枚積み重ねる際には、一般的に、基板に対する傷付きを防止するために、紙製のシート体を基板同士の間に挟み込んでいる。したがって、この状態の基板を搬送する際には、基板の搬送に先立って、シート体を所定位置に移動させる（シート体を取り除く）必要がある。しかしながら、紙製のシート体が通気性を有しているため、基板がシート体と共に吸着パッドに吸着されて所定位置に移動させられる不都合が生じることがある。また、上記の吸着搬送装置を用いて、積み重ねた状態で載置されているシート体を１枚ずつ吸着して基板同士の間に挟み込む際にも、紙製のシート体が通気性を有しているため、一度に複数枚のシート体が吸着パッドに吸着されるという不都合が生じることもある。
【０００４】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、積み重ねた状態の吸着対象体を１枚ずつ確実に吸着し得る吸着装置および搬送装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成すべく請求項１記載の吸着装置は、筒状に形成されると共に吸引装置による基端部側からのエアの吸引によって吸着対象体を先端部の吸着口で吸着する少なくとも一対の吸着部を備えた吸着装置であって、前記両吸着部における各々の前記先端部を支点として各々の前記基端部側が互いに近接するように当該両吸着部の少なくとも一方を回動させる回動機構を備えている。この場合、回動機構が両吸着部を回動させてもよい。
【０００６】
また、請求項２記載の吸着装置は、請求項１記載の吸着装置において、前記回動機構は、前記吸着部を保持する保持部と、当該保持部に取り付けられた支持軸が挿通可能でかつ前記吸着部を回動させるように挿通状態の当該支持軸を案内する案内溝が形成された案内部と、前記挿通状態の支持軸を前記案内溝に沿ってスライドさせるスライド機構とを備えて構成されている。
【０００７】
また、請求項３記載の吸着装置は、請求項１または２記載の吸着装置において、前記吸引装置によるエアの吸引および前記回動機構を制御する制御部を備え、前記制御部は、前記吸引装置に対してエアの吸引を実行させた状態で前記回動機構に対して前記両吸着部の少なくとも一方を回動させる。
【０００８】
また、請求項４記載の搬送装置は、請求項１から３のいずれかに記載の吸着装置と、当該吸着装置を移動させる移動装置とを備えている。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１記載の吸着装置によれば、一対の吸着部における各々の先端部を支点として各々の基端部側が互いに近接するように両吸着部の少なくとも一方を回動させる回動機構を備えたことにより、例えば、吸着対象体としての基板と保護用のシート体とを交互に重ねた積層体からシート体および基板を１枚ずつ吸着して搬送する際に、各吸着部の吸着口に吸着されているシート体の四隅の部位が基板から剥離されて、この四隅の部位と基板との間に隙間が生じるため、シート体と基板とを確実かつ容易に分離させることができる。また、この状態において、吸着部の吸着口が基板に対して傾いているため、シート体が通気性を有していたとしても吸着口からのエア吸引によって基板がシート体と共に吸着される事態を確実に防止することができる。したがって、シート体だけを吸着して移動させることができる結果、シート体および基板を１枚ずつ確実に吸着させて搬送させることができる。
【００１０】
また、請求項２記載の吸着装置によれば、吸着部を保持する保持部と、保持部に取り付けられた支持軸が挿通可能でかつ吸着部を回動させるように挿通状態の支持軸を案内する案内溝が形成された案内部と、挿通状態の支持軸を案内溝に沿ってスライドさせるスライド機構とを備えて回動機構を構成したことにより、簡易な構成でありながら、吸着部を確実に回動させることができる。また、例えばモータを用いて吸着部を回動させる構成と比較して、稼働時における低周波ノイズや高周波ノイズの発生を十分に低く抑えることができる。したがって、基板検査装置の近傍に吸着装置を設置したとしても基板検査装置に対する低周波ノイズや高周波ノイズの影響を低く抑えることができる。
【００１１】
また、請求項３記載の吸着装置によれば、制御部が、吸引装置に対してエアの吸引を実行させた状態で回動機構に対して吸着部を回動させることにより、例えば、吸着部を回動させた後にエアの吸引を開始する構成と比較して、吸着対象体をより確実に吸着させることができる。
【００１２】
また、請求項４記載の搬送装置によれば、請求項１から３のいずれかに記載の吸着装置と、吸着装置を移動させる移動装置とを備えたことにより、上記の各吸着装置が有する効果と同様の効果を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明に係る吸着装置および搬送装置の最良の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１４】
最初に、搬送装置１の構成について、図面を参照して説明する。図１に示す搬送装置１は、本発明に係る搬送装置の一例であって、例えば、図３に示すシート体１００や基板２００（いずれも本発明における吸着対象体に相当する）を吸着して搬送することが可能に構成されている。ここで、基板２００は、一例として、電子部品が実装されていない状態の基板であって、複数枚を積み重ねた状態で供給される。また、シート体１００は、基板２００を積み重ねたときに基板２００が傷付くのを防止するための紙製のシート体であって、基板２００を積み重ねる際に、各基板２００同士の間に挟み込まれる。
【００１５】
また、搬送装置１は、図１に示すように、吸着装置２、移動装置３および制御部４を備えて構成されている。吸着装置２は、本発明に係る吸着装置の一例であって、図２に示すように、ベース部１１、吸着部１２ａ〜１２ｄ（以下、区別しないときには「吸着部１２」ともいう）、吸引装置１３（図１参照）、保持部１４ａ，１４ｂ（以下、区別しないときには「保持部１４」ともいう）、案内部１５ａ〜１５ｄ（以下、区別しないときには「案内部１５」ともいう）、エアシリンダ１６ａ〜１６ｄ（以下、区別しないときには「エアシリンダ１６」ともいう）および給気装置１７（図１参照）を備えて構成されている。この場合、保持部１４ａ，１４ｂ、案内部１５ａ〜１５ｄ、エアシリンダ１６ａ〜１６ｄおよび給気装置１７によって本発明における回動機構が構成される。
【００１６】
ベース部１１は、図１に示すように、例えば、４本のフレーム部材２１ａ〜２１ｄ（以下、区別しないときには「フレーム部材２１」ともいう）を連結することにより、平面視が略矩形に構成されている。吸着部１２は、円筒状（本発明における筒状の一例）に形成されて、保持部１４によって保持されている。また、吸着部１２は、チューブ６１を介して接続された吸引装置１３による基端部７１（図３における上端部）側からのエアの吸引により、吸着対象体としての基板２００やシート体１００を先端部７２（同図における下端部）に形成された吸着口７３で吸着する。
【００１７】
吸引装置１３は、制御部４の制御に従って動作してエアを吸引する。保持部１４は、吸着部１２を保持可能に構成されて、図２に示すように、レール部材３１と、レール部材３１の両端部にそれぞれ取り付けられたプレート３２と、吸着部１２を固定可能に形成されると共にレール部材３１上でスライド可能な一対の固定板３３とを備えている。この場合、プレート３２には、２本の支持軸３４ａ，３４ｂが取り付けられ（図３も参照）、この支持軸３４ａ，３４ｂには、カムフォロア３５がそれぞれ取り付けられている。
【００１８】
案内部１５は、図２に示すように、ベース部１１におけるフレーム部材２１上でスライド可能なスライド板４１と、スライド板４１に垂設された案内板４２と、案内板４２に取り付けられてエアシリンダ１６を取り付けるための取付板４３を備えて構成されている。この場合、案内板４２には、図３に示すように、本発明における案内溝に相当するカム溝４２ａ，４２ｂが形成されており、このカム溝４２ａ，４２ｂは、カムフォロア３５を嵌め込み可能（つまり支持軸３４ａが挿通可能）で、かつ保持部１４によって保持されている吸着部１２の先端部７２（吸着口７３近傍）を支点として吸着部１２および保持部１４を回動させるようにカムフォロア３５（つまり支持軸３４ａ，３４ｂ）を案内する。
【００１９】
エアシリンダ１６は、後述する連結アーム３６と共に本発明におけるスライド機構に相当し、図３に示すように、固定ねじ５１を中心として回動可能に案内部１５の取付板４３に取り付けられている。また、エアシリンダ１６は、上部に取り付けられたポート５２ａ，５２ｂに接続されたチューブ６１を介して給気装置１７から供給されるエアによってロッド５３を出し入れする。給気装置１７は、制御部４の制御に従って動作してエアを供給する。
【００２０】
移動装置３は、制御部４の制御に従い、吸着装置２を上下、左右および前後の各方向に移動させる。制御部４は、吸着装置２の吸引装置１３および給気装置１７、並びに移動装置３を制御する。
【００２１】
次に、搬送装置１の使用方法の一例として、図３に示すように、複数枚の基板２００およびシート体１００を交互に積み重ねた状態で（以下、基板２００およびシート体１００を積み重ねた状態のものを「積層体３００」ともいう）所定の供給位置に載置し、その各基板２００を搬送装置１を用いて１枚ずつ基板検査装置に搬送する際の搬送装置１の全体的な動作について、図面を参照して説明する。なお、初期状態では、同図に示すように、積層体３００の最上部にシート体１００が位置しているものとする。
【００２２】
この例では、搬送装置１を作動させたときに、制御部４が、吸着装置２の給気装置１７からエアシリンダ１６へのエアの供給を制御して、エアシリンダ１６を作動させる。この場合、制御部４は、ロッド５３の突出側（以下、「ロッド側」ともいう）とは逆側のヘッド側のポート５２ａからエアを供給させることにより、エアシリンダ１６のロッド５３を突き出させる。
【００２３】
この際に、図３に示すように、ロッド５３の突き出しにより、連結アーム３６を介してロッド５３に連結されている支持軸３４ａが矢印Ａの向きに押圧される。これに伴い、支持軸３４ａが取り付けられている保持部１４が全体としてその向きに押圧されて、支持軸３４ａ，３４ｂにそれぞれ取り付けられているカムフォロア３５が、案内部１５の案内板４２におけるカム溝４２ａ，４２ｂの外側（同図において左右の端部側）の縁部に押し付けられる。この状態では、保持部１４によって保持されている吸着部１２がベース部１１に対してほぼ直角をなす姿勢に維持される。
【００２４】
次いで、制御部４は、移動装置３を制御することにより、積層体３００における最上部のシート体１００の四隅の部位に各吸着部１２ａ〜１２ｄの吸着口７３が接触または近接するように吸着装置２を移動させる。続いて、制御部４は、吸着装置２の吸引装置１３を制御して、エアの吸引を開始させる。この際に、チューブ６１を介して吸引装置１３に接続されている吸着部１２の基端部７１側からエアが吸引され、これによって積層体３００の最上部のシート体１００における四隅の部位が各吸着部１２の吸着口７３に吸着される。
【００２５】
次いで、制御部４は、給気装置１７を制御することにより、エアシリンダ１６におけるポート５２ａからのエア供給に代えて、ロッド側のポート５２ｂからエアを供給させることにより、エアシリンダ１６のロッド５３を図４に示す矢印Ｃの向きに引き込ませる。この際に、同図に示すように、ロッド５３の引き込みにより、エアシリンダ１６が固定ねじ５１を中心として回動し、連結アーム３６を介してロッド５３に連結されている支持軸３４ａが矢印Ｃの向きに引き寄せられる。このため、支持軸３４ａ，３４ｂにそれぞれ取り付けられているカムフォロア３５が案内部１５における案内板４２のカム溝４２ａ，４２ｂに案内されて、支持軸３４ａ，３４ｂがカム溝４２ａ，４２ｂに沿ってスライドさせられることにより、保持部１４が全体として同図に示す矢印Ｄの向きに回動させられる。
【００２６】
これに伴い、保持部１４に保持されている各吸着部１２は、先端部７２を支点として基端部７１側が内側（エアシリンダ１６側）に倒れ込むようにしてベース部１１に対して所定の角度で傾斜する。つまり、図４に示すように、保持部１４ａによって保持されている吸着部１２ａ、および保持部１４ｂによって保持されている吸着部１２ｂにおける各々の基端部７１側同士が互いに近接する方向に両吸着部１２ａ，１２ｂ（本発明における両吸着部の少なくとも一方の例。この例では、両吸着部の両者）が回動させられ、保持部１４ａによって保持されている吸着部１２ｃ、および保持部１４ｂによって保持されている吸着部１２ｄにおける各々の基端部７１側同士が互いに近接する方向に両吸着部１２ｃ，１２ｄ（本発明における両吸着部の少なくとも一方の例。この例では、両吸着部の両者）が回動させられる。このため、同図に示すように、各吸着部１２の吸着口７３に吸着されているシート体１００の四隅の部位が、吸着部１２の傾斜（回動）によって折り曲げられて基板２００から剥離される。
【００２７】
続いて、制御部４は、移動装置３を制御することにより、図５に示すように、吸着装置２を積層体３００の上方に移動させる。この際に、各吸着部１２の吸着口７３に吸着されているシート体１００の四隅の部位が、吸着部１２の傾斜によって基板２００から剥離されているため、同図に示すように、シート体１００と基板２００とが容易に分離される。また、吸着部１２の吸着口７３が基板２００に対して傾いているため、シート体１００が通気性を有していたとしても、シート体１００における吸着口７３に吸着されている四隅の部位と基板２００との間に隙間が生じるため、吸着口７３からのエア吸引によって基板２００がシート体１００と共に吸着される事態が確実に防止される。このため、シート体１００だけが吸着装置２によって吸着されて積層体３００の上方に引き上げられる。
【００２８】
次いで、制御部４は、給気装置１７を制御することにより、エアシリンダ１６におけるポート５２ｂからのエア供給に代えて、ポート５２ａからエアを供給させることにより、エアシリンダ１６のロッド５３を図６に示す矢印Ａの向きに突き出させる。この際に、同図に示すように、ロッド５３の突き出しにより、エアシリンダ１６が固定ねじ５１を中心として回動し、連結アーム３６を介してロッド５３に連結されている支持軸３４ａが矢印Ａの向きに押圧される。このため、支持軸３４ａ，３４ｂにそれぞれ取り付けられているカムフォロア３５が案内部１５における案内板４２のカム溝４２ａ，４２ｂに案内されて、支持軸３４ａ，３４ｂがカム溝４２ａ，４２ｂに沿ってスライドさせられることにより、保持部１４が各吸着部１２の先端部７２を支点として全体として同図に示す矢印Ｂの向きに回動させられる。
【００２９】
これに伴い、保持部１４に保持されている各吸着部１２は、先端部７２を支点として基端部７１側が外側（同図において左右の端側）に起き上がるようにしてベース部１１に対してほぼ直角となるまで回動させられる。つまり、図６に示すように、保持部１４ａによって保持されている吸着部１２ａ、および保持部１４ｂによって保持されている吸着部１２ｂにおける各々の基端部７１側同士が互いに離反する方向に両吸着部１２ａ，１２ｂ（本発明における両吸着部の少なくとも一方の例。この例では、両吸着部の両者）が回動させられ、保持部１４ａによって保持されている吸着部１２ｃ、および保持部１４ｂによって保持されている吸着部１２ｄにおける各々の基端部７１側同士が互いに離反する方向に両吸着部１２ｃ，１２ｄ（本発明における両吸着部の少なくとも一方の例。この例では、両吸着部の両者）が回動させられる。このため、同図に示すように、各吸着部１２の吸着口７３に吸着されているシート体１００の四隅の部位が、シート体１００における他の部位と面一の状態となる。
【００３０】
続いて、制御部４は、移動装置３を制御することにより、シート体１００を吸着している吸着装置２を所定のストック位置に移動させる。次いで、制御部４は、吸着装置２の吸引装置１３を制御して、エアの吸引を停止させる。これにより、吸着部１２によるシート体１００の吸着が解除されて、ストック位置へのシート体１００の搬送が終了する。続いて、制御部４は、移動装置３を制御することにより、積層体３００における最上部の基板２００の四隅の部位に各吸着部１２ａ〜１２ｄの吸着口７３が接触または近接するように吸着装置２を移動させる。次いで、制御部４は、吸着装置２の吸引装置１３を制御して、エアの吸引を開始させる。この際に、積層体３００の最上部の基板２００における四隅の部位が各吸着部１２によって吸着される。次いで、制御部４は、移動装置３を制御することにより、基板２００を吸着している吸着装置２を基板検査装置に移動させた後に、吸着装置２の吸引装置１３を制御して、エアの吸引を停止させる。これにより、吸着部１２による基板２００の吸着が解除されて、基板検査装置への基板２００の搬送が終了する。
【００３１】
以下、制御部４は、上記した制御と同様にして、移動装置３、吸引装置１３および給気装置１７を制御することにより、シート体１００および基板２００の搬送を実行する。この場合、この搬送装置１では、シート体１００を搬送する際に、上記したように、吸着装置２における一対の吸着部１２が、各々の基端部７１が互いに近接する方向に傾斜（回動）した状態でシート体１００を吸着するため、シート体１００と基板２００とが容易に分離される。したがって、シート体１００と基板２００とを積み重ねた積層体３００からシート体１００および基板２００が１枚ずつ確実に吸着されて搬送される。
【００３２】
このように、この吸着装置２および搬送装置１によれば、シート体１００を吸着させた状態において、一対の吸着部１２における各々の先端部７２を支点として各々の基端部７１が互いに近接する方向に吸着部１２を回動させることにより、各吸着部１２の吸着口７３に吸着されているシート体１００の四隅の部位が基板２００から剥離されて、この四隅の部位と基板２００との間に隙間が生じるため、シート体１００と基板２００とを確実かつ容易に分離させることができる。また、吸着部１２の吸着口７３が基板２００に対して傾いているため、シート体１００が通気性を有していたとしても吸着口７３からのエア吸引によって基板２００がシート体１００と共に吸着される事態を確実に防止することができる。したがって、シート体１００だけを吸着して移動させることができる結果、シート体１００と基板２００とを積み重ねた積層体３００からシート体１００および基板２００を１枚ずつ確実に吸着させて搬送させることができる。
【００３３】
また、この吸着装置２および搬送装置１によれば、吸着部１２を保持する保持部１４と、保持部１４に取り付けられた支持軸３４が挿通可能でかつ吸着部１２を回動させるように支持軸３４を案内するカム溝４２が形成された案内部１５と、支持軸３４をカム溝４２に沿ってスライドさせるエアシリンダ１６とを備えたことにより、簡易な構成でありながら、吸着部１２を確実に回動させることができる。また、例えばモータを用いて吸着部１２を回動させる構成と比較して、稼働時における低周波ノイズや高周波ノイズの発生を十分に低く抑えることができる。したがって、基板検査装置の近傍に搬送装置１を設置したとしても基板検査装置に対する低周波ノイズや高周波ノイズの影響を低く抑えることができる。
【００３４】
また、この吸着装置２および搬送装置１によれば、制御部４が、吸引装置１３に対してエアの吸引を実行させた状態で給気装置１７を制御して吸着部１２を回動させることにより、例えば、吸着部１２を回動させた後にエアの吸引を開始する構成と比較して、シート体１００をより確実に吸着させることができる。
【００３５】
なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、４本（二対）の吸着部１２を備えた構成例について上記したが、一対または三対以上の吸着部１２を備えた構成を採用することもできる。また、エアシリンダ１６を用いて支持軸３４ａ，３４ｂをスライドさせることによって吸着部１２を回動させる構成例について上記したが、モータ等を用いて支持軸３４ａ，３４ｂをスライドさせたり、モータ等を用いて吸着部１２を直接回動させたりする構成を採用することもできる。また、エアの吸引を実行させた状態で吸着部１２を回動させる例について上記したが、吸着部１２を回動させた後にまたは回動させつつエアの吸引を開始する構成を採用することもできる。
【００３６】
また、基板２００とシート体１００とを積み重ねた積層体３００からシート体１００および基板２００を１枚ずつ搬送する際に搬送装置１を用いる例について上記したが、これとは逆に、複数枚の基板２００を積み重ねる際に、シート体１００だけを積み重ねた積層体からシート体１００を１枚ずつ搬送して基板２００同士の間に挟み込むときに搬送装置１を用いることもできる。この場合においても、上記の例と同様にして、シート体１００を１枚ずつ確実に搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】搬送装置１の構成を示すブロック図である。
【図２】吸着装置２の平面図である。
【図３】搬送装置１を用いて基板２００を搬送する方法を説明するための第１の説明図である。
【図４】搬送装置１を用いて基板２００を搬送する方法を説明するための第２の説明図である。
【図５】搬送装置１を用いて基板２００を搬送する方法を説明するための第３の説明図である。
【図６】搬送装置１を用いて基板２００を搬送する方法を説明するための第４の説明図である。
【符号の説明】
【００３８】
１  搬送装置
２  吸着装置
３  移動装置
４  制御部
１２ａ〜１２ｄ  吸着部
１３  吸引装置
１４ａ，１４ｂ  保持部
１５ａ〜１５ｄ  案内部
１６  エアシリンダ
１７  給気装置
３４ａ，３４ｂ  支持軸
３６  連結アーム
４２ａ，４２ｂ  カム溝
７１  基端部
７２  先端部
７３  吸着口
１００  シート体
２００  基板
Ｂ，Ｄ  矢印
【図１】
2008114317.tif 000003
【図２】
2008114317.tif 000004
【図３】
2008114317.tif 000005
【図４】
2008114317.tif 000006
【図５】
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【図６】
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