【手続補正書】
【提出日】平成20年12月18日(2008.12.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の処理を実行する基板処理ユニットの処理条件を設定する設定部と、該処理条件に基づく前記基板処理ユニットの前記基板の処理の実行中に当該基板処理ユニットの異常を検知する検知部と、該異常が検知されたときに前記基板処理ユニットの前記基板の処理を中止する中止部とを備える基板処理装置において、
前記中止部によって処理が中止された基板の前記処理条件を変更し、前記基板を取り出すことなく異常発生に対応した処理を前記基板に実行する変更部を備えることを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
前記変更部は、修正入力があるときは前記処理条件を修正することにより前記処理条件の変更を行い、前記修正入力がないときは前記処理条件の変更を行わないことを特徴とする請求項１記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記処理条件は複数の処理条件を含み、
前記変更部は指定された再実行があるときは前記複数の処理条件から処理条件を指定することにより前記処理条件の変更を行い、前記指定された再実行がないときは前記処理条件の変更を行わないことを特徴とする請求項１又は２記載の基板処理装置。
【請求項４】
基板の処理を実行する基板処理ユニットの処理条件を設定する設定ステップと、該処理条件に基づく前記基板処理ユニットの前記基板の処理の実行中に当該基板処理ユニットの異常を検知する検知ステップと、該異常が検知されたときに前記基板処理ユニットの前記基板の処理を中止する中止ステップとを有する基板処理条件変更方法において、
前記中止ステップによって処理が中止された基板の前記処理条件を変更し、前記基板を取り出すことなく異常発生に対応した処理を前記基板に実行する変更ステップを有することを特徴とする基板処理条件変更方法。
【請求項５】
前記変更ステップは、修正入力があるときは前記処理条件を修正することにより前記処理条件の変更を実行し、前記修正入力がないときは前記処理条件の変更を行わないことを特徴とする請求項４記載の基板処理条件変更方法。
【請求項６】
前記処理条件は複数の処理条件を含み、
前記変更ステップは指定された再実行があるときは前記複数の処理条件から処理条件を指定することにより前記処理条件の変更を行い、前記指定された再実行がないときは前記処理条件の変更を行わないことを特徴とする請求項４又は５記載の基板処理条件変更方法。
【請求項７】
基板の処理を実行する基板処理ユニットの処理条件を設定する設定モジュールと、該処理条件に基づく前記基板処理ユニットの前記基板の処理の実行中に当該基板処理ユニットの異常を検知する検知モジュールと、該異常が検知されたときに前記基板処理ユニットの前記基板の処理を中止する中止モジュールとをコンピュータに実行させるプログラムを格納するコンピュータ読み取り可能な記憶媒体であって、
前記プログラムは、前記中止モジュールによって処理が中止された基板の前記処理条件を変更し、前記基板を取り出すことなく異常発生に対応した処理を前記基板に実行する変更モジュールを有することを特徴とする記憶媒体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記目的を達成するために、請求項１記載の基板処理装置は、基板の処理を実行する基板処理ユニットの処理条件を設定する設定部と、該処理条件に基づく前記基板処理ユニットの前記基板の処理の実行中に当該基板処理ユニットの異常を検知する検知部と、該異常が検知されたときに前記基板処理ユニットの前記基板の処理を中止する中止部とを備える基板処理装置において、前記中止部によって処理が中止された基板の前記処理条件を変更し、前記基板を取り出すことなく異常発生に対応した処理を前記基板に実行する変更部を備えることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
請求項２記載の基板処理装置は、請求項１記載の基板処理装置において、前記変更部は、修正入力があるときは前記処理条件を修正することにより前記処理条件の変更を行い、前記修正入力がないときは前記処理条件の変更を行わないことを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
請求項３記載の基板処理装置は、請求項１又は２記載の基板処理装置において、前記処理条件は複数の処理条件を含み、前記変更部は指定された再実行があるときは前記複数の処理条件から処理条件を指定することにより前記処理条件の変更を行い、前記指定された再実行がないときは前記処理条件の変更を行わないことを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
上記目的を達成するために、請求項４記載の基板処理条件変更方法は、基板の処理を実行する基板処理ユニットの処理条件を設定する設定ステップと、該処理条件に基づく前記基板処理ユニットの前記基板の処理の実行中に当該基板処理ユニットの異常を検知する検知ステップと、該異常が検知されたときに前記基板処理ユニットの前記基板の処理を中止する中止ステップとを有する基板処理条件変更方法において、前記中止ステップによって処理が中止された基板の前記処理条件を変更し、前記基板を取り出すことなく異常発生に対応した処理を前記基板に実行する変更ステップを有することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
請求項５記載の基板処理条件変更方法は、請求項４記載の基板処理条件変更方法において、前記変更ステップは、修正入力があるときは前記処理条件を修正することにより前記処理条件の変更を実行し、前記修正入力がないときは前記処理条件の変更を行わないことを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
請求項６記載の基板処理条件変更方法は、請求項４又は５記載の基板処理条件変更方法において、前記処理条件は複数の処理条件を含み、前記変更ステップは指定された再実行があるときは前記複数の処理条件から処理条件を指定することにより前記処理条件の変更を行い、前記指定された再実行がないときは前記処理条件の変更を行わないことを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
上記目的を達成するために、請求項７記載の記憶媒体は、基板の処理を実行する基板処理ユニットの処理条件を設定する設定モジュールと、該処理条件に基づく前記基板処理ユニットの前記基板の処理の実行中に当該基板処理ユニットの異常を検知する検知モジュールと、該異常が検知されたときに前記基板処理ユニットの前記基板の処理を中止する中止モジュールとをコンピュータに実行させるプログラムを格納するコンピュータ読み取り可能な記憶媒体であって、前記プログラムは、前記中止モジュールによって処理が中止された基板の前記処理条件を変更し、前記基板を取り出すことなく異常発生に対応した処理を前記基板に実行する変更モジュールを有することを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
請求項２記載の基板処理装置及び請求項５記載の基板処理条件変更方法によれば、修正入力があるときは処理条件を修正することにより前記処理条件の変更を行い、前記修正入力がないときは処理条件の変更を行わないので、当該処理が中止されるに至った状況に基づいて当該処理が中止された基板に対する処理条件を容易に変更することができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項３記載の基板処理装置及び請求項６記載の基板処理条件変更方法によれば、指定された再実行があるときは複数の処理条件から処理条件を指定することにより処理条件の変更を行い、前記指定された再実行がないときは前記処理条件の変更を行わないので、当該処理が中止されるに至った状況に基づいて当該処理が中止された基板に対する処理条件を更に容易に変更することができる。