【誤訳訂正書】
【提出日】平成24年12月5日(2012.12.5)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
粒子が付着する表面を有するウエハーを準備する工程と、
粘弾性の脂肪酸である一つあるいは複数の結合体を懸濁かつ分散させた洗浄媒体を前記表面上に供給する工程と、
前記洗浄媒体に音響エネルギーを印加して、前記洗浄媒体内部に前記表面の接線方向の応力であるせん断応力を周期的に発生させる工程と、
を備える洗浄方法であって、
前記周期的なせん断応力により、前記一つあるいは複数の結合体のうち少なくとも一つの結合体上で力を作用させ、この結果、前記一つあるいは複数の結合体のうち少なくとも一つの結合体と前記粒子との間に相互作用を生じさせて、前記表面から前記粒子を除去する、
洗浄方法。
【請求項２】
請求項１記載の洗浄方法であって、
前記洗浄媒体に音響エネルギーを印加する前記工程は、メガソニック、超音波処理、圧電駆動、キャビテーションのうち一つあるいは複数を用いて、前記音響エネルギーを印加する、
洗浄方法。
【請求項３】
請求項２記載の洗浄方法であって、
前記ウエハーを介して前記洗浄媒体に前記音響エネルギーを印加し、前記ウエハーは前記印加された音響エネルギーを前記洗浄媒体に移動させる、
洗浄方法。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれか記載の洗浄方法であって、
前記音響エネルギーが、約５０Ｈｚから約１００ＫＨｚの周波数域の超音波エネルギーである、
洗浄方法。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれか記載の洗浄方法であって、
前記相互作用が、前記一つあるいは複数の結合体のうち少なくとも一つの結合体と前記粒子との間の機械的結合、化学的結合、静電結合のうちのいずれか一つあるいは複数により実現される、
洗浄方法。
【請求項６】
請求項５記載の洗浄方法であって、
前記機械的結合が、前記一つあるいは複数の結合体のうち少なくとも一つの結合体と前記粒子との間の接着により実現され、前記一つあるいは複数の結合体のうち少なくとも一つの結合体と共に、前記粒子が前記表面から離昇する、
洗浄方法。
【請求項７】
請求項１ないし請求項６のいずれか記載の洗浄方法であって、
前記力が、引っ張る力、勢い付ける力、あるいはその組み合わせである、
洗浄方法。
【請求項８】
請求項１ないし請求項７のいずれか記載の洗浄方法であって、
前記洗浄媒体が、
液体成分と気体成分と固体成分、あるいは、
液体成分と固体成分
のいずれかを含む洗浄方法。
【請求項９】
請求項８記載の洗浄方法であって、
前記固体成分が、前記一つあるいは複数の結合体に対応する、
洗浄方法。
【請求項１０】
請求項８または請求項９記載の洗浄方法であって、
前記気体成分が、
オゾン（Ｏ3）と酸素（Ｏ2）と塩化水素酸（ＨＣｌ）とフッ化水素酸（ＨＦ）と窒素（Ｎ2）とアルゴン（Ａｒ）とを含む気体混合物、
オゾン（Ｏ3）と窒素（Ｎ2）とを含む気体混合物、
オゾン（Ｏ3）とアルゴン（Ａｒ）とを含む気体混合物、
オゾン（Ｏ3）と酸素（Ｏ2）と窒素（Ｎ2）とを含む気体混合物、
オゾン（Ｏ3）と酸素（Ｏ2）とアルゴン（Ａｒ）とを含む気体混合物、
オゾン（Ｏ3）と酸素（Ｏ2）と窒素（Ｎ2）とアルゴン（Ａｒ）とを含む気体混合物、
酸素（Ｏ2）とアルゴン（Ａｒ）と窒素（Ｎ2）とを含む気体混合物、
のいずれか一つである、
洗浄方法。
【請求項１１】
請求項８ないし請求項１０のいずれか記載の洗浄方法であって、
前記液体成分が、水性あるいは非水性である、
洗浄方法。
【請求項１２】
請求項２記載の洗浄方法であって、
エネルギー源から前記洗浄媒体に、前記音響エネルギーを直接印加する、
洗浄方法。
【請求項１３】
請求項１ないし請求項３または請求項１２のいずれか記載の洗浄方法であって、
前記音響エネルギーが、約６００ＫＨｚから約３ＭＨｚの周波数域の高周波メガソニック音響エネルギーである、
洗浄方法。
【請求項１４】
請求項５記載の洗浄方法であって、
前記機械的結合が、前記一つあるいは複数の結合体のうち少なくとも一つの結合体と前記粒子との間の物理的衝突により実現され、前記一つあるいは複数の結合体のうち少なくとも一つの結合体から前記粒子へのエネルギー移動により、前記粒子が前記表面から離昇する、
洗浄方法。
【請求項１５】
請求項５記載の洗浄方法であって、
前記化学的結合が、前記一つあるいは複数の結合体のうち少なくとも一つの結合体と前記粒子との間の物理的接触により実現され、前記物理的接触により、前記一つあるいは複数の結合体のうち少なくとも一つの結合体と前記粒子との間の接着が促進される、
洗浄方法。
【請求項１６】
粒子が付着する表面を有するウエハーを保持する保持体と、
基部と前記基部から伸長する一つあるいは複数の側壁とにより規定される空洞を有するタンクで、前記ウエハーを浸すための所定量の洗浄媒体で、粘弾性の脂肪酸である一つあるいは複数の結合体を懸濁かつ分散させた洗浄媒体を前記空洞内に収容するように構成されたタンクと、
前記一つあるいは複数の側壁のうち少なくとも一つの側壁あるいは前記基部に接続される一つあるいは複数のトランスデューサで、前記洗浄媒体に音響エネルギーを印加する一つあるいは複数のトランスデューサと、
を備える洗浄システムであって、
前記音響エネルギーは、前記洗浄媒体内部に前記表面の接線方向の応力であるせん断応力を周期的に発生させ、
前記周期的なせん断応力により、前記一つあるいは複数の結合体のうち少なくとも一つの結合体上で力を作用させ、この結果、前記一つあるいは複数の結合体のうち少なくとも一つの結合体と前記粒子との間に相互作用を生じさせて、前記表面からの前記粒子の除去を促進する、
システム。
【請求項１７】
請求項１６記載のシステムであって、
前記トランスデューサが、メガソニック・トランスデューサあるいは超音波トランスデューサである、
システム。
【請求項１８】
請求項１７記載のシステムであって、
前記トランスデューサがメガソニック・トランスデューサで、前記音響エネルギーの周波数が約６００ＫＨｚから約３ＭＨｚの範囲である、
システム。
【請求項１９】
請求項１７記載のシステムであって、
前記トランスデューサが超音波トランスデューサで、前記音響エネルギーの周波数が約５０Ｈｚから約１００ＫＨｚの範囲である、
システム。
【請求項２０】
洗浄システムであって、
保持体を備える処理チャンバで、粒子が付着するウエハー表面を露出させるように、前記保持体が前記処理チャンバ内にウエハーを保持可能な処理チャンバと、
音響エネルギーを発生させるように構成された噴出部で、粘弾性の脂肪酸である一つあるいは複数の結合体を懸濁かつ分散させた洗浄媒体が前記噴出部の流路を流れる際に、前記露出したウエハー表面に前記洗浄媒体を供給する前に、前記洗浄媒体に前記発生させた音響エネルギーを印加することにより、前記音響エネルギーが前記各結合体の大きさおよび形状の少なくとも一方を含む物理的特性を変化させ、前記音響エネルギーにより生じた周期的かつ前記表面の接線方向の応力であるせん断応力が、前記物理的特性を変化させた一つあるいは複数の結合体のうち少なくとも一つの結合体上で力を作用させて、この結果、前記物理的特性を変化させた一つあるいは複数の結合体のうち少なくとも一つの結合体と前記粒子との間に相互作用を生じさせ、前記露出したウエハー表面から前記粒子を除去する噴出部と、
を備えるシステム。
【請求項２１】
請求項２０記載のシステムであって、
前記物理的特性を変化させた各結合体は、前記露出したウエハー表面からの前
記粒子の除去を促進する、
システム。
【請求項２２】
洗浄システムであって、
保持体を備える処理チャンバで、粒子が付着するウエハー表面を露出させるように、前記保持体が前記処理チャンバ内にウエハーを保持可能な処理チャンバと、
洗浄媒体を前記ウエハー表面に供給する流体供給部であって、前記洗浄媒体は、粘弾性の脂肪酸である一つあるいは複数の結合体を懸濁かつ分散させた洗浄媒体である流体供給部と、
音響エネルギーを発生可能なエネルギー源で、前記発生した音響エネルギーを前記洗浄媒体の表面に印加することにより、前記洗浄媒体内部に前記表面の接線方向の応力であるせん断応力を周期的に発生させて、前記周期的なせん断応力により、前記一つあるいは複数の結合体のうち少なくとも一つの結合体上で力を作用させ、この結果、前記一つあるいは複数の結合体のうち少なくとも一つの結合体と前記粒子との間に相互作用を生じさせて、前記表面から前記粒子を除去するエネルギー源と、
を備えるシステム。
【請求項２３】
裏面と前記裏面の反対側で粒子が付着する表面とを備えるウエハーの前記裏面の近傍で、音響エネルギーを発生可能なトランスデューサと、
前記ウエハーの前記裏面と前記トランスデューサとの間に液体層を供給可能な第１流体供給部と、
一つあるいは複数の結合体を懸濁かつ分散させた洗浄媒体を前記ウエハーの前記表面上に供給可能な第２流体供給部と、
を備える洗浄システムであって、
前記一つあるいは複数の結合体は、粘弾性の脂肪酸であり、
前記音響エネルギーが、前記トランスデューサから、前記液体層と前記ウエハーとを介して、前記ウエハーの前記表面上の前記洗浄媒体に移動することにより、前記洗浄媒体内部に前記表面の接線方向の応力であるせん断応力を周期的に発生させて、前記周期的なせん断応力により、前記一つあるいは複数の結合体のうち少なくとも一つの結合体上で力を作用させ、この結果、前記一つあるいは複数の結合体のうち少なくとも一つの結合体と前記粒子との間に相互作用を生じさせて、前記表面から前記粒子を除去する、
システム。
【請求項２４】
請求項２３記載のシステムであって、
前記トランスデューサが、メガソニック・トランスデューサあるいは超音波トランスデューサである、
システム。
【請求項２５】
請求項２４記載のシステムであって、
前記トランスデューサがメガソニック・トランスデューサで、前記音響エネルギーの周波数が約６００ＫＨｚから約３ＭＨｚの範囲である、
システム。
【請求項２６】
請求項２４記載のシステムであって、
前記トランスデューサが超音波トランスデューサで、前記音響エネルギーの周波数が約５０Ｈｚから約１００ＫＨｚの範囲である、
システム。
【請求項２７】
請求項２３記載のシステムであって、
前記液体層が、脱イオン水、アンモニア‐過酸化水素混合物（ＡＰＭ）、界面活性剤溶液、非水性液体のいずれか一つである、
システム。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１３】
【図２】周期的せん断応力により結合体上で引っ張る力を作用させて、接着力によりウエハー表面に付着する粒子状汚染物質を除去する様子を示す説明図。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２０】
本発明の実施形態は、ウエハー表面を洗浄するシステムおよび方法を提供する。さらに詳しくは、本発明の実施形態は、多相状態洗浄技術で用いる洗浄媒体内に懸濁される結合体におよび／あるいは引っ張る力を印加する手段を多相状態洗浄技術と組み合わせることにより、ウエハー表面上の粒子状汚染物質に外部の機械的エネルギーを印加する効率的な手法を提供する。露出したウエハー表面に洗浄媒体を供給し、洗浄媒体に外部エネルギーを印加することにより、洗浄媒体内部に、周期的せん断応力すなわち圧力勾配が発生する。発生した周期的せん断応力すなわち圧力勾配によって、結合体上で引っ張る力および／あるいは勢い付ける力が働き、その結果、結合体と粒子状汚染物質との間に相互作用が生じる。結合体と粒子状汚染物質との間の相互作用により、ウエハー表面からの粒子状汚染物質の除去が促進される。この手法では、多相状態洗浄媒体内に懸濁される結合体に対して、攪拌制御および／あるいは運動制御を実施することにより、汚染物質の除去効率を上げることができる。さらに、洗浄媒体に外部エネルギーを印加する方法や印加の程度を制御することにより、外部エネルギーの印加により発生する勢い付ける力および引っ張る力をより正確に制御することが可能になり、この結果、装置の損傷を防ぐことができる。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２７】
本発明の一実施例において、図１に示すように、二相状態洗浄流体あるいは三相状態洗浄流体１０２に外部エネルギー１０８を印加することによって、ウエハー表面に付着した粒子状汚染物質１０４と洗浄流体１０２内に懸濁させた分散結合体１０６との間に相互作用が生じる。さらに詳しく説明すると、洗浄流体１０２に外部エネルギー１０８を印加することにより、洗浄流体１０２内部に周期的せん断応力すなわち圧力勾配１０９が発生する。詳細に関しては図２を参照して後述するが、周期的せん断応力すなわち圧力勾配１０９は、洗浄流体１０２内に懸濁させた結合体１０６上に勢い付ける力および／あるいは引っ張る力を与える。この勢い付ける力および／あるいは引っ張る力により、結合体１０６とウエハー表面１０１に付着した粒子状汚染物質１０４との間に相互作用が生じ、ウエハー表面１０１から粒子状汚染物質１０４が離昇する、離される、あるいは、取り除かれる。図１の１０３、１０５および１０７に示すように、また、図２を参照して詳細を後述するように、さまざまな機構により、結合体１０６と汚染物質１０４との間に相互作用が確立される。この機構としては、以下に限定されるものではないが、化学的あるいは物理的接着、衝突（すなわち、勢い付ける力あるいは運動エネルギーの移動）、反発力、引力（たとえば、立体力、静電力など）、物理的および化学的結合（たとえば、共有結合や水素結合など）が挙げられる。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２８】
従来のウエハー洗浄方法では、ジェット装置あるいはノズルを用いてウエハー表面に洗浄媒体を流す、ウエハーを洗浄媒体内に浸す、あるいは、振動、攪拌、回転等の手段でウエハーあるいは洗浄媒体を機械的にかきまぜる等の操作により、多相状態洗浄材料内にのみ勢い付ける力および引っ張る力が発生する。これに対して、本発明の実施形態では、洗浄流体１０２への外部エネルギー１０８の印加を選択的に制御することにより、勢い付ける力および引っ張る力が発生する。本発明の実施形態では、さまざまな技術を用いて、洗浄流体１０２内部にせん断応力すなわち圧力勾配１０９を発生させる。この技術としては、以下に限定されるものではないが、メガソニック、超音波処理、圧電駆動、圧電音響駆動、キャビテーション、蒸発技術や、これらの任意の組み合わせが挙げられる。本発明の一実施形態において、このような技術により発生したエネルギー１０８をウエハー１００に印加してもよい、この場合、印加されたエネルギー１０８は、ウエハー１００から洗浄流体１０２に移動する。本発明の別の実施形態において、エネルギー１０８を密閉源から洗浄流体１０２に直接印加してもよいし、あるいは、システム全体に印加してもよい。
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２９】
図２に示すように、本発明の実施形態において、外部エネルギー１０８が洗浄流体１０２に印加されると、洗浄流体１０２内部に周期的せん断応力τ→すなわち圧力勾配が発生する。物質表面近傍の流体の運動に関係するせん断応力τ→は、物質表面の接線方向の応力である。これとは逆に、法線応力は、物質表面の法線方向の応力である。エネルギー入力が周期的であるため、せん断応力も周期的になる。本発明の一実施例において、外部エネルギー１０８の印加により発生する周期的せん断応力τ→は、洗浄流体１０２内の結合体１０６上に引っ張る力Ｆdを与え、その結果、結合体１０６は、ウエハー表面１０１に付着した汚染物質１０４にごく接近して、これに接触する。さらに詳しく説明すると、外部エネルギー１０８を洗浄流体１０２に選択的に印加することにより、十分な大きさのせん断力Ｆdが、結合体１０６から汚染物質１０４に移動する。このせん断力Ｆdは、汚染物質１０４とウエハー表面１０１との間の付着力ＦAにも、また、結合体１０６と汚染物質１０４との間のいかなる反発力にも打ち勝つ。結合体１０６が移動して、汚染物質１０４にごく接近して、これに接触し、付着力ＦAに打ち勝つと、さまざまな機構により、結合体１０６と汚染物質１０４との間に相互作用（すなわち「結合」）が生じる。
【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３５】
本発明の一実施例において、システム４００は、タンク４０２の基部４０４および／あるいは側壁４０６に接続される、一つあるいは複数のメガソニック・トランスデューサ４１２を備える。本発明の一実施例において、メガソニック・トランスデューサ４１２は、洗浄流体１０２に高周波メガソニック音響エネルギー４１４を印加することができる。メガソニック・トランスデューサ４１２により洗浄流体１０２に印加される音響エネルギー４１４の周波数は、約６００ＭＨｚから約３ＭＨｚの範囲で選択可能である。メガソニック・トランスデューサに関する詳細な説明は、以下を参照されたい。２００２年１２月１９日出願の米国特許第７，１６５，５６３号「Method and apparatus to decouple power and cavitation for megasonic cleaning（メガソニック洗浄のための力分離およびキャビテーション装置並びに方法）」。２００３年２月２８日出願の米国特許第７，０４０，３３２号「Method and apparatus for megasonic cleaning with reflected acoustic waves（反射音響波を用いたメガソニック洗浄の方法並びに装置）」。２００３年２月２０日出願の米国特許第７，０４０，３３０号「Method and apparatus for megasonic cleaning of patterned substrates（パターン形成基板のメガソニック洗浄の方法並びに装置）」。以下に、二相状態洗浄技術および三相状態洗浄技術で利用可能な成分に関して簡単に説明するが、三相状態洗浄技術で利用可能な成分並びにその機構に関する詳細な説明は、以下を参照されたい。２００６年２月３日出願の米国特許出願（１１／３４６，８９４）(Atty.Docket No.LAM2P546)「Method for removing contamination from a substrate and for making a cleaning solution（基板から汚染物質を除去する方法および洗浄溶液を作成する方法）」。２００６年２月３日出願の米国特許出願（１１／３４７，１５４）(Atty.Docket No.LAM2P547)「Cleaning compound and method and system for using the cleaning compound（洗浄化合物および洗浄化合物を用いる方法並びにシステム）」。２００６年１月２０日出願の米国特許出願（１１／３３６，２１５）(Atty.Docket No.LAM2P545)「 Method and Apparatus for removing contamination from a substrate（基板から汚染物質を除去するための方法並びに装置）」。上記の特許並びに特許出願は、本明細書にその全体を参照することによって組み込まれる。洗浄流体１０２にメガソニック・エネルギー４１４を印加することにより、周期的せん断応力が生じ、結合体１０６上に引っ張る力Ｆdを与える。この結果、結合体１０６とウエハー表面１０１に付着する汚染物質１０４との間に相互作用が生じ、ウエハー表面１０１から汚染物質１０４が除去される。さらに、洗浄流体１０２にメガソニック・エネルギー４１４を印加することにより、キャビテーションに基づくエネルギー寄与に応じて、結合体１０６上に作用する引っ張る力Ｆdの大きさが増大する。キャビテーションとは、音響エネルギー（たとえば、メガソニック・エネルギーや超音波エネルギーなど）を液体媒体に印加することによって、液体媒体に溶解している気体から発生する微細な泡が急速に形成され、崩壊する現象である。泡が崩壊する際に、エネルギーが放出され、放出されたエネルギーと、メガソニック・トランスデューサ４１２により印加されるエネルギー４１４とを組み合わせることにより、さらに大きな引っ張る力Ｆdが生じ���。
【誤訳訂正８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３６】
システム４００の別の実施例として、超音波処理を利用して、洗浄流体１０２にエネルギー４１４を印加するようにしてもよい。さらに詳しく説明すると、システム４００のメガソニック・トランスデューサの代わりに、洗浄流体１０２に超音波エネルギーやその他の音響エネルギーを印加するトランスデューサを用いる。当業者には周知のように、超音波処理は、通常、媒体に超音波エネルギーを印加し、媒体内に含まれる粒子をかきまぜる。本発明の一実施例において、洗浄流体１０２に超音波エネルギーを印加することによっても、周期的せん断応力が生じ、結合体１０６上に引っ張る力Ｆdを与える。この結果、結合体１０６と汚染物質１０４との間に相互作用が生じ、ウエハー表面１０１から汚染物質１０４が除去される。本発明の一実施例において、超音波エネルギーの周波数は、約５０Ｈｚから約１００ＫＨｚの範囲で選択可能である。
【誤訳訂正９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３７】
さらに別の実施例においては、システム４００のメガソニック・トランスデューサ４１２や他のトランスデューサを用いることなく低周波音響エネルギーを、保持体４１０を介して、洗浄流体１０２に印加する。さらに詳しく説明すると、低周波音響エネルギー（たとえば、超音波エネルギー）が、保持体４１０のホルダー４１０を通って、保持体４１０に移動し、さらに、保持体４１０から洗浄流体１０２に低周波音響エネルギーが移送される。一実施例において、低周波音響エネルギーは、約５０Ｈｚから約１００ＫＨｚの範囲の周波数を有する。上述したように、エネルギー４１４を洗浄流体１０２に印加することにより、洗浄流体１０２内で運動が生じ、洗浄流体１０２内に懸濁される結合体１０６に引っ張る力および／あるいは勢い付ける力が与えられる。このような力により、結合体１０６とウエハー表面１０１上の汚染物質１０４との間に相互作用が生じ、ウエハー表面１０１から汚染物質１０４が除去される。
【誤訳訂正１０】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４２】
本発明の別の実施形態において、上述した別のさまざまな手法を用いて、外部エネルギーを洗浄流体１０２に印加して、ウエハー表面１０１から汚染物質を除去することができる。たとえば、本発明の一実施例において、圧電駆動あるいは圧電音響駆動を利用することも可能である。圧電駆動の場合には、格納容器の壁部あるいは所定の面積を（圧電物質を介して）周期的に摂動させて、格納容器内で、容積変化と流体運動とを生じさせる。流体運動により、ウエハー表面における引っ張る力を増大させて、汚染物質を効率的に除去する。あるいは、本発明の別の実施例において、蒸発技術を利用することも可能である。この場合には、蒸発により、流体のバルク運動が誘導され、ウエハー表面における引っ張る力が増大するため、汚染物質の除去が促進される。
【誤訳訂正１１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４４】
ステップ８０４で、外部エネルギーを洗浄流体１０２に印加して、洗浄流体１０２内部に周期的せん断応力（すなわち圧力勾配）を発生させる。前述したように、周期的せん断応力は、洗浄流体１０２内に懸濁された結合体１０６上で、引っ張る力および／あるいは勢い付ける力を作用させる。この結果、結合体１０６がウエハー表面１０１に衝突し、結合体１０６と汚染物質１０４との間に相互作用が生じて、ウエハー表面１０１に付着した汚染物質１０４が容易に除去される。すなわち、洗浄流体１０２内に懸濁された結合体１０６が、音響的、機械的、あるいはその他の手法で生成された対流によりウエハー表面１０１に接触して、汚染物質１０４との間に相互作用を生じ、ウエハー表面１０１から汚染物質１０４を除去する。本発明の実施形態において、これらに限定されるものではないが、メガソニック、超音波処理、圧電駆動、圧電音響駆動、キャビテーション、蒸発技術等のさまざまな技術を用いて、せん断応力すなわち圧力勾配を発生させる。たとえば、図４ないし図７に、メガソニック、超音波処理、キャビテーション技術のうちいずれか一つあるいはその組み合わせを利用して、洗浄流体に外部エネルギーを印加する例を示す。本発明の一実施形態において、図４ないし図６に示すように、エネルギーを密閉源から直接洗浄流体１０２に印加してもよいし、あるいは、システム全体にエネルギーを印加してもよい。あるいは、本発明の別の実施形態において、図７に示すように、エネルギーをウエハー１００に印加して、ウエハー１００がエネルギーを流体１０２に移動させるようにしてもよい。
【誤訳訂正１２】
【訂正対象書類名】図面
【訂正対象項目名】図８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【図８】
2010524234.tif 000001