【手続補正書】
【提出日】平成21年11月4日(2009.11.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の導電層、第２の導電層、および前記第１の導電層と前記第２の導電層との間に設けられた犠牲層または空間部分を有する微小構造体の検査方法であって、
前記微小構造体に電気的に接続されたアンテナを介して無線で前記微小構造体に電力を供給し、
前記アンテナから発生する電磁波を前記微小構造体の特性として検出することを特徴とする微小構造体の検査方法。
【請求項２】
第１の導電層、第２の導電層、および前記第１の導電層と前記第２の導電層との間に設けられた犠牲層または空間部分を有する微小構造体の検査方法であって、
前記微小構造体は電源回路に電気的に接続され、
前記微小構造体および前記電源回路に電気的に接続されたアンテナを介して無線で前記微小構造体および前記電源回路に電力を供給し、
前記アンテナから発生する電磁波を前記微小構造体の特性として検出することを特徴とする微小構造体の検査方法。
【請求項３】
第１の導電層、第２の導電層、および前記第１の導電層と前記第２の導電層との間に設けられた犠牲層または空間部分を有する微小構造体の検査方法であって、
前記微小構造体は制御回路に接続され、
前記制御回路は、電源回路に接続され、
前記微小構造体、前記制御回路および前記電源回路の少なくともいずれか一に接続されたアンテナを介して無線で前記微小構造体、前記制御回路および前記電源回路に電力を供給し、
前記アンテナから発生する電磁波を前記微小構造体の特性として検出することを特徴とする微小構造体の検査方法。
【請求項４】
第１の導電層、第２の導電層、および前記第１の導電層と前記第２の導電層との間に設けられた犠牲層または空間部分を有する微小構造体の検査方法であって、
前記第１の導電層は、第１のパッドと電気的に接続され、
前記第２の導電層は、第２のパッドと電気的に接続され、
前記第１のパッド及び前記第２のパッドから前記微小構造体に電力を供給し、
前記微小構造体に電気的に接続されたアンテナから発生する電磁波を前記微小構造体の特性として検出することを特徴とする微小構造体の検査方法。
【請求項５】
第１の導電層、第２の導電層、および前記第１の導電層と前記第２の導電層との間に設けられた犠牲層または空間部分を有する微小構造体の検査方法であって、
前記第１の導電層は第１のパッドと電気的に接続され、
前記第２の導電層は第２のパッドと電気的に接続され、
前記微小構造体に電気的に接続されたアンテナを介して無線で前記微小構造体に電力を供給し、前記微小構造体に印加される電圧、または前記微小構造体に流れる電流を前記微小構造体の特性として前記第１のパッド及び前記第２のパッドから検出することを特徴とする微小構造体の検査方法。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５のいずれか一において、
前記微小構造体を検査した後、前記微小構造体と前記アンテナとを切り離すことを特徴とする微小構造体の検査方法。
【請求項７】
第１の導電層、第２の導電層、および前記第１の導電層と前記第２の導電層との間に設けられた犠牲層または空間部分を有する第１の微小構造体と、
前記第１の微小構造体と電気的に接続されるアンテナと、
前記第１の微小構造体と同一の構造を有する第２の微小構造体と、を有する微小構造体の検査方法であって、
前記アンテナを介して無線で前記第１の微小構造体に電力を供給し、
前記アンテナから発生する電磁波を前記第１の微小構造体の特性として検出し、前記第２の微小構造体の特性を評価することを特徴とする微小構造体の検査方法。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７のいずれか一項において、
前記電力の周波数または強度を変化させ、前記アンテナから発生する電磁波の強度を前記電力の周波数または強度の変化と関係づけて前記特性として検出することを特徴とする微小構造体の検査方法。
【請求項９】
第１の導電層、第２の導電層、および前記第１の導電層と前記第２の導電層との間に設けられた犠牲層または空間部分を有する微小構造体の検査方法であって、
前記第１の導電層は第１のパッドと電気的に接続され、
前記第２の導電層は第２のパッドと電気的に接続され、
前記第１のパッド及び前記第２のパッドから前記微小構造体に電力を供給し、
前記微小構造体に流れる電流を前記微小構造体の特性として検出することを特徴とする微小構造体の検査方法。
【請求項１０】
請求項９において、
前記電力の周波数または強度を変化させ、前記微小構造体に流れる電流を前記周波数または強度の変化と関係づけて前記特性として検出することを特徴とする微小構造体の検査方法。
【請求項１１】
請求項１乃至請求項１０のいずれか一項において、
前記特性とは、前記犠牲層の膜厚、前記空間部分の高さ、前記犠牲層の有無、前記微小構造体のバネ定数、前記微小構造体の共振周波数または前記微小構造体の駆動電圧であることを特徴とする微小構造体の検査方法。
【請求項１２】
第１の導電層、第２の導電層、および前記第１の導電層と前記第２の導電層との間に設けられた犠牲層または空間部分を有して特性が既知である第１の微小構造体と、
前記第１の微小構造体に電気的に接続される第１のアンテナと、
前記第１の微小構造体と同一の構造を有する第２の微小構造体と、
前記第２の微小構造体と電気的に接続される、前記第１のアンテナと同一の構造の第２のアンテナと、を有する微小構造体の検査方法であって、
前記第１のアンテナを介して無線で前記第１の微小構造体に電力を供給し、
前記第１のアンテナから発生する電磁波を検出して前記第２の微小構造体の基準特性とし、
前記第２のアンテナを介して無線で前記第２の微小構造体に電力を供給し、
前記第２のアンテナから発生する電磁波を前記第２の微小構造体の特性として検出し、
検出した前記第２の微小構造体の特性を前記基準特性と比較することにより前記第２の微小構造体の特性を評価することを特徴とする微小構造体の検査方法。
【請求項１３】
請求項１２において、
前記電力の周波数または強度を変化させ、前記第１のアンテナ及び前記第２のアンテナから発生する電磁波の強度を前記周波数の変化または強度と関係づけて前記特性として検出することを特徴とする微小構造体の検査方法。
【請求項１４】
請求項１２又は請求項１３において、
前記特性とは、前記犠牲層の膜厚、前記空間部分の高さ、前記犠牲層の有無、前記第１の微小構造体若しくは前記第２の微小構造体のバネ定数、前記第１の微小構造体の共振周波数若しくは駆動電圧、または、前記第２の微小構造体の共振周波数若しくは駆動電圧であることを特徴とする微小構造体の検査方法。
【請求項１５】
請求項１２乃至請求項１４のいずれか一項において、
前記第１の微小構造体と前記第２の微小構造体とは同一基板上に設けられていることを特徴とする微小構造体の検査方法。
【請求項１６】
請求項１２乃至請求項１４のいずれか一項において、
前記第１の微小構造体と前記第２の微小構造体とは別基板上に設けられていることを特徴とする微小構造体の検査方法。
【請求項１７】
請求項１乃至請求項１６のいずれか一項において、
前記空間部分は、前記犠牲層を除去することにより形成される領域であることを特徴とする微小構造体の検査方法。
【請求項１８】
請求項１乃至請求項１７のいずれか一において、前記第１の導電層と前記第２の導電層は平行に設けられていることを特徴とする微小構造体の検査方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】微小構造体の検査方法