【手続補正書】
【提出日】平成24年11月20日(2012.11.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄いフィルムトランジスタ素子であって、以下の、
誘電体層；
半導体層；
ゲート電極；
ソース電極；及び
ドレイン電極；
を含み、及び誘電体層が、半導体層とゲート電極の間に配置され；及びソース電極とドレイン電極が、半導体層と接触しており、及び
誘電体層が、ポリマー性フィルムを含み、該ポリマー性フィルムが、任意に置換されたクマリン−６−イル部分を含む、ペンダント基を有する繰り返し単位を含むポリマーを含むことを特徴とする薄いフィルムトランジスタ素子。
【請求項２】
任意に置換されたクマリン−６−イル部分が、式：
【化１】
2012510149.tif 000001
（但し、
Ｒ1及びＲ2が、独立して、ａ）Ｈ、ｂ）ハロゲン、ｃ）−ＣＮ、ｄ）−ＮＯ2、ｅ）−ＯＲ4、ｆ）−Ｎ（Ｒ4）2、ｇ）−ＣＨＯ、ｈ）−Ｃ（Ｏ）Ｒ4、ｉ）−Ｃ（Ｏ）ＯＲ4、ｊ）−Ｃ（Ｏ）ＮＯ（Ｒ4）2、ｋ）Ｃ1-20アルキル基、ｌ）Ｃ2-20アルケニル基、ｍ）Ｃ2-20アルキニル基、ｎ）Ｃ1-20アルコキシ基、ｏ）Ｃ1-20アルキルチオ基、ｐ）Ｃ1-20ハロアルキル基、ｑ）−Ｙ−Ｃ3-14シクロアルキル基、ｒ）−Ｙ−Ｃ6-14アリール基、ｓ）−Ｙ−３〜１４員のシクロヘテロアルキル基、及びｔ）−Ｙ−５〜１４員のヘテロアリール基、
（但し、各Ｃ1-20アルキル基、Ｃ2-20アルケニル基、Ｃ2-20アルキニル基、Ｃ3-14シクロアルキル基、Ｃ6-14アリール基、３〜１４員のシクロヘテロアルキル基、及び５〜１４員のヘテロアリール基が、任意に１〜５個のＲ5基で置換されていても良い）
から選ばれ、
Ｒ3が、それぞれにおいて、独立して、ａ）ハロゲン、ｂ）−ＣＮ、ｃ）−ＮＯ2、ｄ）−ＯＲ4、ｅ）−Ｎ（Ｒ4）2、ｆ）−ＣＨＯ、ｇ）−Ｃ（Ｏ）Ｒ4、ｈ）−Ｃ（Ｏ）ＯＲ4、ｉ）−Ｃ（Ｏ）ＮＯ（Ｒ4）2、ｊ）Ｃ1-20アルキル基、ｋ）Ｃ2-20アルケニル基、ｌ）Ｃ2-20アルキニル基、ｍ）Ｃ1-20アルコキシ基、ｎ）Ｃ1-20アルキルチオ基、ｏ）Ｃ1-20ハロアルキル基、ｐ）−Ｙ−Ｃ3-14シクロアルキル基、ｑ）−Ｙ−Ｃ6-14アリール基、ｒ）−Ｙ−３〜１４員のシクロヘテロアルキル基、及びｓ）−Ｙ−５〜１４員のヘテロアリール基、
（但し、各Ｃ1-20アルキル基、Ｃ2-20アルケニル基、Ｃ2-20アルキニル基、Ｃ3-14シクロアルキル基、Ｃ6-14アリール基、３〜１４員のシクロヘテロアルキル基、及び５〜１４員のヘテロアリール基が、任意に１〜５個のＲ5基で置換されていても良い）
から選ばれ、
ここで、
Ｒ4が、各場合において、独立して、ａ）Ｈ、ｂ）Ｃ1-20アルキル基、ｃ）Ｃ2-20アルケニル基、ｄ）Ｃ2-20アルキニル基、ｅ）Ｃ1-20アルコキシ基、ｆ）Ｃ1-20アルキルチオ基、ｇ）Ｃ1-20ハロアルキル基、ｈ）−Ｙ−Ｃ3-14シクロアルキル基、ｉ）−Ｙ−Ｃ6-14アリール基、ｊ）−Ｙ−３〜１４員のシクロヘテロアルキル基、及びｋ）−Ｙ−５〜１４員のヘテロアリール基、
（但し、各Ｃ1-20アルキル基、Ｃ2-20アルケニル基、Ｃ2-20アルキニル基、Ｃ3-14シクロアルキル基、Ｃ6-14アリール基、３〜１４員のシクロヘテロアルキル基、及び５〜１４員のヘテロアリール基が、任意に１〜５個のＲ5基で置換されていても良い）
から選ばれ、
Ｒ5が、それぞれにおいて、独立して、ａ）ハロゲン、ｂ）−ＣＮ、ｃ）−ＮＯ2、ｄ）−ＯＨ、ｅ）−Ｏ−Ｃ6-14アリール、ｆ）−ＮＨ2、ｇ）−ＮＨ−Ｃ1-10アルキル、ｈ）−Ｎ（Ｃ1-10アルキル）2、ｉ）−ＮＨ−Ｃ6-14アリール、ｊ）−Ｎ（Ｃ1-10アルキル）−Ｃ6-14アリール、ｋ）−Ｎ（Ｃ6-14アリール）2、ｌ）−ＣＨＯ、ｍ）−Ｃ（Ｏ）−Ｃ1-10アルキル、ｎ）−Ｃ（Ｏ）−Ｃ6-14アリール、ｏ）−Ｃ（Ｏ）ＯＨ、ｐ）−Ｃ（Ｏ）−ＯＣ1-10アルキル、ｑ）−Ｃ（Ｏ）−ＯＣ6-14アリール、ｒ）−Ｃ（Ｏ）ＮＨ2、ｓ）−Ｃ（Ｏ）ＮＨ−Ｃ1-10アルキル、ｔ）−Ｃ（Ｏ）Ｎ（Ｃ1-10アルキル）2、ｕ）−Ｃ（Ｏ）ＮＨ−Ｃ6-14アリール、ｖ）−Ｃ（Ｏ）Ｎ（Ｃ1-10アルキル）−Ｃ6-14アリール、ｗ）−Ｃ（Ｏ）Ｎ（Ｃ6-14アリール）2、ｘ）Ｃ1-10アルキル基、ｙ）Ｃ2-10アルケニル基、ｚ）Ｃ2-10アルキニル基、ａａ）Ｃ1-10アルコキシ基、ａｂ）Ｃ1-10アルキルチオ基、ａｃ）Ｃ1-10ハロアルキル基、ａｄ）−Ｙ−Ｃ3-14シクロアルキル基、ａｅ）−Ｙ−Ｃ6-14アリール基、ａｆ）−Ｙ−３〜１４員のシクロヘテロアルキル基、及びａｇ）−Ｙ−５〜１４員のヘテロアリール基、
（但し、各Ｃ1-10アルキル基、Ｃ2-10アルケニル基、Ｃ2-10アルキニル基、Ｃ3-14シクロアルキル基、Ｃ6-14アリール基、３〜１４員のシクロヘテロアルキル基、及び５〜１４員のヘテロアリール基が、任意に、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ1-6アルキル基、Ｃ1-6ハロアルキル基、Ｃ1-6アルコキシ基、−Ｏ−Ｃ1-6ハロアルキル基、−Ｃ（Ｏ）−Ｃ1-6アルキル基、−Ｃ（Ｏ）−Ｃ1-6ハロアルキル基、及び−Ｃ（Ｏ）−Ｏ−Ｃ1-6アルキル基、から独立して選ばれる１〜５個の置換基で置換されても良い）
から選ばれ；及び
Ｙが、各場合において、二価のＣ1-6アルキル基、二価のＣ2-6アルケニル基、二価のＣ2-6アルキニル基、又は共有結合であり；及び
ｂが０、１、２又は３である）
を有することを特徴とする請求項１に記載の素子。
【請求項３】
Ｒ1及びＲ2が、独立して、Ｈ、Ｆ、−ＣＮ、及びＣＦ3から選ばれることを特徴とする請求項２に記載の素子。
【請求項４】
Ｒ3が、各場合において、独立して、ハロゲン、ＯＨ、−ＣＮ、Ｃ1-6アルキル基、Ｃ1-6ハロアルキル基、及びＣ1-6アルコキシル基から選ばれることを特徴とする請求項２又は３の何れかに記載の素子。
【請求項５】
ポリマーが、ビニルポリマー、シロキサンポリマー、ポリマレイミド、ポリエチレンアミン、及びこれらのコポリマーから選ばれ、及び任意に置換されたクマリン−６−イル部分を含むペンダント基を有する繰り返し単位を含むことを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載の素子。
【請求項６】
ポリマーが、ポリスチレン、ポリビニルフェノール、ポリビニルアルコール、ポリビニルアセテート、ポリメチルメタクリレート、及びこれらのコポリマーから成る群から選ばれるビニルポリマーであり、及び任意に置換されたクマリン−６−イル部分を含むペンダント基を有する繰り返し単位を含むことを特徴とする請求項１〜５の何れか１項に記載の素子。
【請求項７】
ポリマーが、以下の
【化２】
2012510149.tif 000002
（但し、
Ｑが、−（Ｌ”）p−Ｌ'''であり；及び
Ｒ6、Ｒ7、及びＲ8が、独立して、Ｈ、ハロゲン、Ｃ1-10アルキル基、及びＣ6-14アリール基から選ばれ（但し、Ｃ1-10アルキル基、及びＣ6-14アリール基はそれぞれ、任意に１〜５個のＲ5基で置換されても良い）；
ここで、
Ｌ”が、それぞれの場合において、独立して、−Ｙ”−、−（Ｙ”）m−Ｏ−、−Ｙ”−ＮＲ4−、−Ｙ”−Ｃ（ＮＲ4）−、−Ｙ”−Ｓｉ（Ｒ4）2−、−Ｏ−Ｓｉ（Ｒ4）2−、及び共有結合から選ばれ；
Ｌ'''がクマリン部分に結合し、及び−Ｃ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）−Ｏ−、−Ｏ−Ｃ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）−Ｙ'''−Ｏ−、−Ｏ−Ｙ'''−Ｃ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）−ＮＲ4−、−ＮＲ4−Ｃ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）−Ｙ'''−ＮＲ4−、−ＮＲ4−Ｙ'''−Ｃ（Ｏ）−、−Ｏ−Ｓ（Ｏ）k−、−Ｏ−Ｙ'''−Ｓ（Ｏ）k−、及び共有結合から選ばれ；
Ｙ”が、各場合において、二価のＣ1-6アルキル基、二価のＣ2-6アルケニル基、及び二価のＣ6-14アリール基から選ばれ、ここで、各Ｃ1-6アルキル基、Ｃ2-6アルケニル基、及びＣ6-14アリール基は、任意に１〜５個のＲ5基で置換されても良く；
Ｙ'''が、二価のＣ1-6アルキル基、二価のＣ2-6アルケニル基、及び二価のＣ6-14アリール基から選ばれ、ここで、各Ｃ1-6アルキル基、Ｃ2-6アルケニル基、及びＣ6-14アリール基は、任意に１〜５個のＲ5基で置換されても良く；
ｋが０、１、又は２であり；
ｍが、１、２、３、４、５又は６であり；
ｐが、０〜１０の範囲の整数であり；及び
Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5、及びｂが、請求項２に定義されたものである）
から選ばれる式の、１種以上の繰り返し単位を含むことを特徴とする請求項１〜５の何れか１項に記載の素子。
【請求項８】
ポリマーが、以下の、
【化３】
2012510149.tif 000003
から選ばれる式の１種以上の繰り返し単位を含むことを特徴とする請求項１〜７の何れか１項に記載の素子。
【請求項９】
ポリマーが、以下の、
誘電定数が、約１．１〜約５．０の範囲であること；
ガラス転移温度（Ｔg）が、約１００℃〜約２００℃の範囲であること；
溶解度が、アニソール、キシレン、シクロペンタノン、シクロヘキサン、及びシクロヘキサノンから選ばれる溶媒中、約０．１ｍｇ／ｍＬを超えること；
最大吸光度の波長が、約２５０ｎｍ〜約５００ｎｍの範囲であること、及び
分子量が、約１００００Ｄａ〜約１０００００Ｄａの範囲であること、
の１種以上の特性によって特徴付けられることを特徴とする請求項１〜８の何れか１項に記載の素子。
【請求項１０】
トップゲート素子構造として構成され、及び誘電体層と半導体層の間に中間層を含むことを特徴とする請求項１〜９の何れか１項に記載の素子。
【請求項１１】
１種以上のビニルモノマーから重合されたビニルポリマーであって、
少なくとも１種のビニルモノマーが、ビニルフェノール、又はこれらの誘導体であり、及びビニルポリマーが、任意に置換されたクマリン部分を含むペンダント基を有する繰り返し単位を含むことを特徴とするビニルポリマー。
【請求項１２】
任意に置換されるクマリン部分が、式、
【化４】
2012510149.tif 000004
（但し、
Ｒ1及びＲ2が、独立して、ａ）Ｈ、ｂ）ハロゲン、ｃ）−ＣＮ、ｄ）−ＮＯ2、ｅ）−ＯＲ4、ｆ）−Ｎ（Ｒ4）2、ｇ）−ＣＨＯ、ｈ）−Ｃ（Ｏ）Ｒ4、ｉ）−Ｃ（Ｏ）ＯＲ4、ｊ）−Ｃ（Ｏ）Ｎ（Ｒ4）2、ｋ）Ｃ1-20アルキル基、ｌ）Ｃ2-20アルケニル基、ｍ）Ｃ2-20アルキニル基、ｎ）Ｃ1-20アルコキシ基、ｏ）Ｃ1-20アルキルチオ基、ｐ）Ｃ1-20ハロアルキル基、ｑ）−Ｙ−Ｃ3-14シクロアルキル基、ｒ）−Ｙ−Ｃ6-14アリール基、ｓ）−Ｙ−３〜１４員のシクロヘテロアルキル基、及びｔ）−Ｙ−５〜１４員のヘテロアリール基から選ばれ、ここで、各Ｃ1-20アルキル基、Ｃ2-20アルケニル基、Ｃ2-20アルキニル基、Ｃ3-14シクロアルキル基、Ｃ6-14アリール基、３〜１４員のシクロヘテロアルキル基、及び５〜１４員のヘテロアリール基が、任意に１〜５個のＲ5基で置換されても良く；
Ｒ3が、各場合において、独立して、ａ）ハロゲン、ｂ）−ＣＮ、ｃ）−ＮＯ2、ｄ）−ＯＲ4、ｅ）−Ｎ（Ｒ4）2、ｆ）−ＣＨＯ、ｇ）−Ｃ（Ｏ）Ｒ4、ｈ）−Ｃ（Ｏ）ＯＲ4、ｉ）−Ｃ（Ｏ）Ｎ（Ｒ4）2、ｊ）Ｃ1-20アルキル基、ｋ）Ｃ2-20アルケニル基、ｌ）Ｃ2-20アルキニル基、ｍ）Ｃ1-20アルコキシ基、ｎ）Ｃ1-20アルキルチオ基、ｏ）Ｃ1-20ハロアルキル基、ｐ）−Ｙ−Ｃ3-14シクロアルキル基、ｑ）−Ｙ−Ｃ6-14アリール基、ｒ）−Ｙ−３〜１４員のシクロヘテロアルキル基、及びｓ）−Ｙ−５〜１４員のヘテロアリール基から選ばれ、ここで、各Ｃ1-20アルキル基、Ｃ2-20アルケニル基、Ｃ2-20アルキニル基、Ｃ3-14シクロアルキル基、Ｃ6-14アリール基、３〜１４員のシクロヘテロアルキル基、及び５〜１４員のヘテロアリール基が、任意に１〜５個のＲ5基で置換されても良く、
（但し、
Ｒ4が、各場合において、独立して、ａ）Ｈ、ｂ）Ｃ1-20アルキル基、ｃ）Ｃ2-20アルケニル基、ｄ）Ｃ2-20アルキニル基、ｅ）Ｃ1-20アルコキシ基、ｆ）Ｃ1-20アルキルチオ基、ｇ）Ｃ1-20ハロアルキル基、ｈ）−Ｙ−Ｃ3-14シクロアルキル基、ｉ）−Ｙ−Ｃ6-14アリール基、ｊ）−Ｙ−３〜１４員のシクロヘテロアルキル基、及びｋ）−Ｙ−５〜１４員のヘテロアリール基から選ばれ、ここで、各Ｃ1-20アルキル基、Ｃ2-20アルケニル基、Ｃ2-20アルキニル基、Ｃ3-14シクロアルキル基、Ｃ6-14アリール基、３〜１４員のシクロヘテロアルキル基、及び５〜１４員のヘテロアリール基が、任意に１〜５個のＲ5基で置換されても良く；
Ｒ5が、各場合において、独立して、ａ）ハロゲン、ｂ）−ＣＮ、ｃ）−ＮＯ2、ｄ）−ＯＨ、ｅ）−Ｏ−Ｃ6-14アリール、ｆ）−ＮＨ2、ｇ）−ＮＨ−Ｃ1-10アルキル、ｈ）−Ｎ（Ｃ1-10アルキル）2、ｉ）−ＮＨ−Ｃ6-14アリール、ｊ）−Ｎ（Ｃ1-10アルキル）−Ｃ6-14アリール、ｋ）−Ｎ（Ｃ6-14アリール）2、ｌ）−ＣＨＯ、ｍ）−Ｃ（Ｏ）−Ｃ1-10アルキル、ｎ）−Ｃ（Ｏ）−Ｃ6-14アリール、ｏ）−Ｃ（Ｏ）ＯＨ、ｐ）−Ｃ（Ｏ）−ＯＣ6-10アルキル、ｑ）−Ｃ（Ｏ）−ＯＣ6-14アリール、ｒ）−Ｃ（Ｏ）ＮＨ2、ｓ）−Ｃ（Ｏ）ＮＨ−Ｃ6-10アルキル、ｔ）−Ｃ（Ｏ）Ｎ（Ｃ1-10アルキル）2、ｕ）−Ｃ（Ｏ）ＮＨ−Ｃ6-14アリール、ｖ）−Ｃ（Ｏ）Ｎ（Ｃ1-10アルキル）−Ｃ6-14アリール、ｗ）−Ｃ（Ｏ）Ｎ（Ｃ6-14アリール）2、ｘ）Ｃ1-10アルキル基、ｙ）Ｃ2-10アルケニル基、ｚ）Ｃ2-10アルキニル基、ａａ）Ｃ1-10アルコキシ基、ａｂ）Ｃ1-10アルキルチオ基、ａｃ）Ｃ1-10ハロアルキル基、ａｄ）−Ｙ−Ｃ3-14シクロアルキル基、ａｅ）−Ｙ−Ｃ6-14アリール基、ａｆ）−Ｙ−３〜１４員のシクロヘテロアルキル基、及びａｇ）−Ｙ−５〜１４員のヘテロアリール基から選ばれ、ここで、各Ｃ1-10アルキル基、Ｃ2-10アルケニル基、Ｃ2-10アルキニル基、Ｃ3-14シクロアルキル基、Ｃ6-14アリール基、３〜１４員のシクロヘテロアルキル基、及び５〜１４員のヘテロアリール基が、任意に、ハロゲン、ＣＮ、Ｃ1-6アルキル基、Ｃ1-6ハロアルキル基、Ｃ1-6アルコキシ基、ａ−Ｏ−Ｃ1-6ハロアルキル基、−Ｃ（Ｏ）−Ｃ1-6アルキル基、−Ｃ（Ｏ）−Ｃ1-6ハロアルキル基、及び−Ｃ（Ｏ）−Ｏ−Ｃ1-6アルキル基から選ばれる１〜５個の置換基で置換されても良く；及び
Ｙが、各場合において、二価のＣ1-6アルキル基、二価のＣ2-6アルケニル基、二価のＣ2-6アルキニル基、又は共有結合である）
及び、
ｂが、０、１、２又は３である）
を有することを特徴とする請求項１１に記載のビニルポリマー。
【請求項１３】
少なくとも１種のビニルモノマーが、式、
【化５】
2012510149.tif 000005
（但し、
Ｑが、−（Ｌ”）p−Ｌ'''であり、
（ここで、
Ｌ”が、それぞれの場合において、独立して、−Ｙ”−、−（Ｙ”）m−Ｏ−、−Ｙ”−Ｓｉ（Ｒ4）2−、−Ｏ−Ｓｉ（Ｒ4）2−、及び共有結合から選ばれ；
Ｌ'''がクマリン部分に結合し、及び−Ｃ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）−Ｏ−、−Ｏ−Ｃ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）−Ｙ'''−Ｏ−、−Ｏ−Ｙ'''−Ｃ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）−Ｙ'''−ＮＲ4−、−ＮＲ4−Ｙ'''−Ｃ（Ｏ）−、−Ｏ−Ｓ（Ｏ）k−、−Ｏ−Ｙ'''−Ｓ（Ｏ）k−、及び共有結合から選ばれ；
Ｙ”が、各場合において、二価のＣ1-6アルキル基、二価のＣ2-6アルケニル基、及び二価のＣ6-14アリール基から選ばれ、ここで、各Ｃ1-6アルキル基、Ｃ2-6アルケニル基、及びＣ6-14アリール基は、任意に１〜５個のＲ5基で置換されても良く；
Ｙ'''が、二価のＣ1-6アルキル基、二価のＣ2-6アルケニル基、及び二価のＣ6-14アリール基から選ばれ、ここで、各Ｃ1-6アルキル基、Ｃ2-6アルケニル基、及びＣ6-14アリール基は、任意に１〜５個のＲ5基で置換されても良く；
ｋが０、１、又は２であり；
ｍが、１、２、３、４、５又は６であり；
ｐが、０〜１０の範囲の整数である）及び
Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、及びｂが、請求項１２に定義されたものである）
を有することを特徴とする請求項１２に記載のビニルポリマー。
【請求項１４】
少なくとも１種のビニルモノマーがアクリレートであることを特徴とする請求項１１〜１３の何れか１項に記載のビニルポリマー。
【請求項１５】
任意に置換されたクマリン部分は、１種以上のビニルモノマーが重合された後に導入されることを特徴とする請求項１１又は１２の何れかに記載のビニルポリマー。
【請求項１６】
式、
【化６】
2012510149.tif 000006
（但し、
Ｑが、−（Ｌ”）p−Ｌ'''であり
（ここで、
Ｌ”が、それぞれの場合において、独立して、−Ｙ”−、−（Ｙ”）m−Ｏ−、−Ｙ”−Ｓｉ（Ｒ4）2−、−Ｏ−Ｓｉ（Ｒ4）2−、及び共有結合から選ばれ；
Ｌ'''がクマリン部分に結合し、及び−Ｃ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）−Ｏ−、−Ｏ−Ｃ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）−Ｙ'''−Ｏ−、−Ｏ−Ｙ'''−Ｃ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）−Ｙ'''−ＮＲ4−、−ＮＲ4−Ｙ'''−Ｃ（Ｏ）−、−Ｏ−Ｓ（Ｏ）k−、−Ｏ−Ｙ'''−Ｓ（Ｏ）k−、及び共有結合から選ばれ；
Ｙ”が、各場合において、二価のＣ1-6アルキル基、二価のＣ2-6アルケニル基、及び二価のＣ6-14アリール基から選ばれ、ここで、各Ｃ1-6アルキル基、Ｃ2-6アルケニル基、及びＣ6-14アリール基は、任意に１〜５個のＲ5基で置換されても良く；
Ｙ'''が、二価のＣ1-6アルキル基、二価のＣ2-6アルケニル基、及び二価のＣ6-14アリール基から選ばれ、ここで、各Ｃ1-6アルキル基、Ｃ2-6アルケニル基、及びＣ6-14アリール基は、任意に１〜５個のＲ5基で置換されても良く；
ｋが０、１、又は２であり；
ｍが、１、２、３、４、５又は６であり；
ｐが、０〜１０の範囲の整数である）；
Ｗ”が、ａ）Ｈ、ｂ）ハロゲン、ｃ）Ｃ1-20アルキル基、ｄ）Ｃ2-20アルケニル基、ｅ）Ｃ1-20ハロアルキル基、ｆ）Ｃ3-14シクロアルキル基、ｇ）Ｃ6-14アリール基、ｈ）３〜１４員のシクロアルキル基、及びｉ）５〜１４員のヘテロアリール基から選ばれ、ここで、各Ｃ1-20アルキル基、Ｃ2-20アルケニル基、Ｃ1-20ハロアルキニル基、Ｃ3-14シクロアルキル基、Ｃ6-14アリール基、３〜１４員のシクロヘテロアルキル基、及び５〜１４員のヘテロアリール基が、任意に、ハロゲン、−ＣＮ、オキソ基、Ｃ1-6アルキル基、Ｃ1-6ハロアルキル基、Ｃ1-6アルコキシ基、−Ｃ（Ｏ）−Ｃ1-6アルキル基、−Ｃ（Ｏ）−Ｃ1-6ハロアルキル基、及び−Ｃ（Ｏ）−Ｃ1-6アルキル基から独立して選ばれる１〜５個の置換基で置換されても良く；
ｘ、ｘ’、ｘ”、及びｙが、独立して、実数であり、ここで、０＜ｘ≦１、０≦ｘ’＜１、０≦ｘ”＜１、０＜ｙ＜１、及びｘ＋ｘ’＋ｘ”＋ｙ＝１であり；
ｎが、１０〜１０００の範囲の整数であり；及び
Ｒ1、Ｒ2、Ｒ4、及びＲ5が、請求項１２に定義されたものである）
を有する請求項１１〜１５の何れか１項に記載のビニルポリマー。
【請求項１７】
以下の式、
【化７】
2012510149.tif 000007
（但し、ｎが、１０〜１０００の範囲の整数である）
から選ばれることを特徴とする請求項１１に記載のビニルポリマー。
【請求項１８】
ポリマーが、以下の、
誘電定数が１．１〜５．０の範囲であること；
ガラス転移温度（Ｔg）が約１００℃〜約２００℃の範囲であること；
アニソール、キシレン、シクロペンタノン、シクロヘキサン、及びシクロヘキサノンから選ばれる溶媒中の溶解度が、約０．１ｍｇ／ｍＬを超えること；
最大吸光の波長が、約２５０ｎｍ〜約４５０ｎｍの範囲であること；
及び分子量が、約１００００Ｄａ〜約１０００００Ｄａの範囲であること；
から選ばれる１種以上の特性によって特徴付けられることを特徴とする請求項１１〜１７の何れか１項に記載のビニルポリマー。
【請求項１９】
請求項１１〜１８の何れか１項に記載のビニルポリマーを含む溶液を製造する工程；
基材上に溶液を配置、堆積させ、被覆物を得る工程；及び
該被覆物を放射に曝し、架橋を行い、及び架橋された誘電体を製造する工程；
を含むことを特徴とする誘電体を製造するための方法。
【請求項２０】
漏えい電流密度が、約１×１０-8Ａ／ｃｍ2ａｔ２ＭＶ／ｃｍ以下であることを特徴とする請求項１９に記載の方法によって製造された誘電体。