【手続補正書】
【提出日】平成25年7月3日(2013.7.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハ上に合成集束照射線を生成するための複数のビーム成形経路と、各ビーム成形経路は傾斜角でウェハを照射し、前記複数のビーム成形経路はリング状照射を形成し、
前記ウェハからの散乱光を捕捉するための対物レンズと、
前記対物レンズの出力を受け取るための画像センサーと、
を備える、暗視野検査システム。
【請求項２】
前記複数個のビーム成形経路のそれぞれは光源を含む、請求項１に記載の暗視野検査システム。
【請求項３】
前記複数個のビーム成形経路のそれぞれは円柱レンズを含み、各円柱レンズは対応する光源からの光ビームに対して傾斜および回転される、請求項２に記載の暗視野検査システム。
【請求項４】
サンプルの面法線に対する前記傾斜角が６０〜８５度である、請求項３に記載の暗視野検査システム。
【請求項５】
前記対物レンズの開口数（ＮＡ）が少なくとも０．５である、請求項３に記載の暗視野検査システム。
【請求項６】
各円柱レンズは、照射線と平行に配置される円柱軸を有する、請求項３に記載の暗視野検査システム。
【請求項７】
各円柱レンズは、収差を最小限に抑えるために、その円柱軸の周りを回転させられる、請求項６に記載の暗視野検査システム。
【請求項８】
少なくとも１つのビーム成形経路は第１、第２、および第３の円柱レンズを含み、前記第１円柱レンズおよび前記第２円柱レンズの一方はいずれの時点においてもビーム成形経路内にあり、前記第１円柱レンズおよび前記第２円柱レンズのそれぞれは、前記照射線の長さを決定し、前記第３円柱レンズは前記照射線の幅を決定する、請求項６に記載の暗視野検査システム。
【請求項９】
少なくとも１つのビーム成形経路は連続ズームレンズおよび円柱レンズを含み、前記連続ズームレンズは既定の範囲内における特定の照射線の長さの選択を可能にし、前記円柱レンズは前記照射線の幅を決定する、請求項６に記載の暗視野検査システム。
【請求項１０】
前記画像センサーは、前記ウェハ上の粒子の形状に整合するデジタル画像処理フィルターを含む、請求項３に記載の暗視野検査システム。
【請求項１１】
前記形状はドーナツ形状である、請求項９に記載の暗視野検査システム。
【請求項１２】
各光源はレーザーである、請求項３に記載の暗視野検査システム。
【請求項１３】
前記複数のビーム成形経路は、
複数のレーザーと、
前記複数のレーザーに結合されている多モードファイバーと、
前記多モードファイバーによって伝送されるビームを変調するための変調器と、
前記照射線を生成するために、前記ビームを反射して方向付けするための鏡と、
を含む、請求項１に記載の暗視野検査システム。
【請求項１４】
前記鏡は、非球面リング状鏡を含む、請求項１３に記載の暗視野検査システム。
【請求項１５】
前記複数のビーム成形経路は、
広帯域光源と、
前記広帯域光源の出力を受け取る光導体と、
前記光導体の出力を平行化するための集光レンズと、
前記照射線を生成するために、前記集光レンズから出力されるビームを反射して方向付けするための鏡と、
を含む、請求項１に記載の暗視野検査システム。
【請求項１６】
前記鏡は非球面リング状鏡を含む、請求項１５に記載の暗視野検査システム。
【請求項１７】
少なくとも１つの光源は、複数の波長を有するレーザービームを生成するために、複数のレーザーおよびダイクロイックビーム結合器を含む、請求項２に記載の暗視野検査システム。
【請求項１８】
各光源はレーザーであり、隣接するビーム成形経路は異なる波長を有するレーザーを有する、請求項２に記載の暗視野検査システム。
【請求項１９】
前記複数のビーム成形経路は、
レーザーと、
前記レーザーに結合されている拡散器と、
前記拡散器の出力を受け取るためのファイバー束と、
を含み、各ファイバーは光が前記照射線を形成することに寄与する、請求項１に記載の暗視野検査システム。
【請求項２０】
各光源はレーザーダイオードである、請求項３に記載の暗視野検査システム。
【請求項２１】
前記対物レンズの出力を受け取るように配置される、ビーム分割器を更に含み、前記画像センサーは前記ビーム分割器によって出力される光の第１の波長を検出するための第１画像センサー、および前記ビーム分割器によって出力される光の第２の波長を検出するための第２画像センサーを含む、請求項１に記載の暗視野検査システム。
【請求項２２】
前記対物レンズの出力を受け取るように配置される、ビーム分割器を更に含み、前記画像センサーは複数の画像センサーを含み、各画像センサーは前記ビーム分割器によって出力される光の特定の波長を検出する、請求項１に記載の暗視野検査システム。
【請求項２３】
前記複数の画像センサーのサブセットが、画像解析のために選択される、請求項２２に記載の暗視野検査システム。
【請求項２４】
暗視野検査システムを構成する方法であって、
リング状照射を提供するための複数のビーム成形経路を形成することを備え、各ビーム成形経路は傾斜角でウェハを照射し、前記複数のビーム成形経路の出力は前記ウェハ上に集束照射線を形成する、方法。
【請求項２５】
前記複数個のビーム成形経路を形成することは、少なくとも１つの円柱レンズを、各ビーム成形経路内で傾斜および回転させることを含む、請求項２４に記載の方法。
【請求項２６】
各円柱レンズは照射線と平行に配置される円柱軸を有する、請求項２５に記載の方法。
【請求項２７】
収差を最小限に抑えるために、少なくとも１つの円柱レンズを、その円柱軸の周りで回転させることを更に含む、請求項２６に記載の方法。
【請求項２８】
前記照射線の長さを決定するための第１円柱レンズ、および前記照射線の幅を決定するための第２円柱レンズを使用することを更に含む、請求項２５に記載の方法。
【請求項２９】
前記照射線の長さを決定するためのズームレンズ、および前記照射線の幅を決定するための円柱レンズを使用することを更に含む、請求項２５に記載の方法。
【請求項３０】
前記複数のビーム成形経路を形成することは、
多モードファイバーをコヒーレント光源の出力に結合し、
前記多モードファイバーによって伝送されるビームを変調し、
前記照射線を生成するために、変調ビームを反射して方向付けすること、
を含む、請求項２４に記載の方法。
【請求項３１】
前記複数のビーム成形経路を形成することは、
光導体を非コヒーレント光源の出力に結合し、
前記光導体の出力を平行化し、
前記照射線を生成するために、ビーム平行化出力を反射して方向付けすること、
を含む、請求項２４に記載の方法。
【請求項３２】
前記複数のビーム成形経路を形成することは、
少なくとも１つのビーム成形経路内で、複数のレーザーからの出力を結合することを含み、各レーザーは異なる波長を有する、請求項２４に記載の方法。
【請求項３３】
前記複数のビーム成形経路を形成することは、
隣接するビーム成形経路内に、異なる波長を有するレーザーを提供することを含む、請求項２４に記載の方法。
【請求項３４】
前記複数のビーム成形経路を形成することは、
拡散器をレーザーの出力に結合し、
ファイバー束を前記拡散器の出力に結合すること、
を含み、前記ファイバー束の各ファイバーは、光が前記照射線を形成することに寄与する、請求項２４に記載の方法。
【請求項３５】
前記傾斜角は、サンプルの面法線に対して６０〜８５度である、請求項２４に記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
本発明に関する好ましい実施形態の前述の説明は、例示および説明の目的のために提示されている。この説明の意図するところは、本発明を網羅することでも、開示される正確な形態に限定することでもない。明白な修正または変形が、上記の教示の観点から可能である。これらの実施形態は、本発明の原理およびその実際の適用の、最良の説明を提供することにより、当業者が、様々な実施形態で、および想到される具体的な用途に適合するような様々な修正と共に、本発明を利用することを可能にするために、選択され、説明される。例えば、スキャナーを含む実施形態が本明細書で説明されるが、本発明は、縮小投影露光装置、並びに焦点および露光を変調することが可能な任意の装置に、等しく適用することができる。そのような修正および変形の全ては、添付の特許請求の範囲が、適正に、合法的に、公平に権利を与えられる広さに従って解釈される場合に、添付の特許請求の範囲によって決定される、本発明の範囲内にある。
適用例１：ウェハ上に合成集束照射線を生成するための複数のビーム成形経路と、各ビーム成形経路は傾斜角でウェハを照射し、前記複数のビーム成形経路はリング状照射を形成し、前記ウェハからの散乱光を捕捉するための対物レンズと、前記対物レンズの出力を受け取るための画像センサーと、を備える、暗視野検査システム。
適用例２：前記複数個のビーム成形経路のそれぞれは光源を含む、適用例１に記載の暗視野検査システム。
適用例３：前記複数個のビーム成形経路のそれぞれは円柱レンズを含み、各円柱レンズは対応する光源からの光ビームに対して傾斜および回転される、適用例２に記載の暗視野検査システム。
適用例４：サンプルの面法線に対する前記傾斜角が６０〜８５度である、適用例３に記載の暗視野検査システム。
適用例５：前記対物レンズの開口数（ＮＡ）が少なくとも０．５である、適用例３に記載の暗視野検査システム。
適用例６：各円柱レンズは、照射線と平行に配置される円柱軸を有する、適用例３に記載の暗視野検査システム。
適用例７：各円柱レンズは、収差を最小限に抑えるために、その円柱軸の周りを回転させられる、適用例６に記載の暗視野検査システム。
適用例８：少なくとも１つのビーム成形経路は第１、第２、および第３の円柱レンズを含み、前記第１円柱レンズおよび前記第２円柱レンズの一方はいずれの時点においてもビーム成形経路内にあり、前記第１円柱レンズおよび前記第２円柱レンズのそれぞれは、前記照射線の長さを決定し、前記第３円柱レンズは前記照射線の幅を決定する、適用例６に記載の暗視野検査システム。
適用例９：少なくとも１つのビーム成形経路は連続ズームレンズおよび円柱レンズを含み、前記連続ズームレンズは既定の範囲内における特定の照射線の長さの選択を可能にし、前記円柱レンズは前記照射線の幅を決定する、適用例６に記載の暗視野検査システム。
適用例１０：前記画像センサーは、前記ウェハ上の粒子の形状に整合するデジタル画像処理フィルターを含む、適用例３に記載の暗視野検査システム。
適用例１１：前記形状はドーナツ形状である、適用例９に記載の暗視野検査システム。
適用例１２：各光源はレーザーである、適用例３に記載の暗視野検査システム。
適用例１３：前記複数のビーム成形経路は、複数のレーザーと、前記複数のレーザーに結合されている多モードファイバーと、前記多モードファイバーによって伝送されるビームを変調するための変調器と、前記照射線を生成するために、前記ビームを反射して方向付けするための鏡と、を含む、適用例１に記載の暗視野検査システム。
適用例１４：前記鏡は、非球面リング状鏡を含む、適用例１３に記載の暗視野検査システム。
適用例１５：前記複数のビーム成形経路は、広帯域光源と、前記広帯域光源の出力を受け取る光導体と、前記光導体の出力を平行化するための集光レンズと、前記照射線を生成するために、前記集光レンズから出力されるビームを反射して方向付けするための鏡と、を含む、適用例１に記載の暗視野検査システム。
適用例１６：前記鏡は非球面リング状鏡を含む、適用例１５に記載の暗視野検査システム。
適用例１７：少なくとも１つの光源は、複数の波長を有するレーザービームを生成するために、複数のレーザーおよびダイクロイックビーム結合器を含む、適用例２に記載の暗視野検査システム。
適用例１８：各光源はレーザーであり、隣接するビーム成形経路は異なる波長を有するレーザーを有する、適用例２に記載の暗視野検査システム。
適用例１９：前記複数のビーム成形経路は、レーザーと、前記レーザーに結合されている拡散器と、前記拡散器の出力を受け取るためのファイバー束と、を含み、各ファイバーは光が前記照射線を形成することに寄与する、適用例１に記載の暗視野検査システム。
適用例２０：各光源はレーザーダイオードである、適用例３に記載の暗視野検査システム。
適用例２１：前記対物レンズの出力を受け取るように配置される、ビーム分割器を更に含み、前記画像センサーは前記ビーム分割器によって出力される光の第１の波長を検出するための第１画像センサー、および前記ビーム分割器によって出力される光の第２の波長を検出するための第２画像センサーを含む、適用例１に記載の暗視野検査システム。
適用例２２：前記対物レンズの出力を受け取るように配置される、ビーム分割器を更に含み、前記画像センサーは複数の画像センサーを含み、各画像センサーは前記ビーム分割器によって出力される光の特定の波長を検出する、適用例１に記載の暗視野検査システム。
適用例２３：前記複数の画像センサーのサブセットが、画像解析のために選択される、適用例２２に記載の暗視野検査システム。
適用例２４：暗視野検査システムを構成する方法であって、リング状照射を提供するための複数のビーム成形経路を形成することを備え、各ビーム成形経路は傾斜角でウェハを照射し、前記複数のビーム成形経路の出力がは前記ウェハ上に集束照射線を形成する、方法。
適用例２５：前記複数個のビーム成形経路を形成することは、少なくとも１つの円柱レンズを、各ビーム成形経路内で傾斜および回転させることを含む、適用例２４に記載の方法。
適用例２６：各円柱レンズは照射線と平行に配置される円柱軸を有する、適用例２５に記載の方法。
適用例２７：収差を最小限に抑えるために、少なくとも１つの円柱レンズを、その円柱軸の周りで回転させることを更に含む、適用例２６に記載の方法。
適用例２８：前記照射線の長さを決定するための第１円柱レンズ、および前記照射線の幅を決定するための第２円柱レンズを使用することを更に含む、適用例２５に記載の方法。
適用例２９：前記照射線の長さを決定するためのズームレンズ、および前記照射線の幅を決定するための円柱レンズを使用することを更に含む、適用例２５に記載の方法。
適用例３０：前記複数のビーム成形経路を形成することは、多モードファイバーをコヒーレント光源の出力に結合し、前記多モードファイバーによって伝送されるビームを変調し、前記照射線を生成するために、変調ビームを反射して方向付けすること、を含む、適用例２４に記載の方法。
適用例３１：前記複数のビーム成形経路を形成することは、光導体を非コヒーレント光源の出力に結合し、前記光導体の出力を平行化し、前記照射線を生成するために、ビーム平行化出力を反射して方向付けすること、を含む、適用例２４に記載の方法。
適用例３２：前記複数のビーム成形経路を形成することは、少なくとも１つのビーム成形経路内で、複数のレーザーからの出力を結合することを含み、各レーザーは異なる波長を有する、適用例２４に記載の方法。
適用例３３：前記複数のビーム成形経路を形成することは、隣接するビーム成形経路内に、異なる波長を有するレーザーを提供することを含む、適用例２４に記載の方法。
適用例３４：前記複数のビーム成形経路を形成することは、拡散器をレーザーの出力に結合し、ファイバー束を前記拡散器の出力に結合すること、を含み、前記ファイバー束の各ファイバーは、光が前記照射線を形成することに寄与する、適用例２４に記載の方法。
適用例３５：前記傾斜角は、サンプルの面法線に対して６０〜８５度である、適用例２４に記載の方法。