(57)【要約】【課題】耐久性の優れた撥水、撥油性樹脂基体を提供することを目的とするものである。【解決手段】加水分解可能なシラン化合物ＳｉＸ４（Ｘは加水分解可能な官能基）層が、加水分解した（活性化した）樹脂分子と強固に化学結合することで、シラン化合物ＳｉＸ４層を介して樹脂分子同士を固定化し樹脂表面を安定化させる。また、この層は分子レベルの超薄膜のため、熱膨張の差による破壊も起こらない。さらに、２００ｎｍ以下のＵＶ光により加水分解した樹脂基板は最表面のみ加水分解されており、基板樹脂の劣化はほとんどない。このため表面が極めて安定化した加水分解可能なＳｉＸ４層が形成される。【選択図】図１
2008068469.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
２００ｎｍ以下のＵＶ光の照射により加水分解可能な樹脂基板表面と化学結合した加水分解可能なシラン化合物ＳｉＸ４（Ｘは加水分解可能な官能基）層を設けた樹脂基体。
【請求項２】
２００ｎｍ以下のＵＶ光の照射により加水分解可能な樹脂基板表面と化学結合した加水分解可能なシラン化合物ＲｎＳｉＹ４−ｎ（ｎは１〜３の整数、Ｒはアルキル基、もしくはフルオロアルキル基、Ｙは加水分解可能な官能基）層を設けた樹脂基体。
【請求項３】
加水分解可能なシラン化合物ＲｎＳｉＹ４−ｎ層が加水分解可能なシラン化合物ＲＳｉＹ３であることを特徴とする請求項２記載の樹脂基体。
【請求項４】
加水分解可能なシラン化合物ＲＳｉＹ３層が単分子膜であることを特徴とする請求項３記載の樹脂基体。
【請求項５】
加水分解可能な樹脂が熱硬化性樹脂であることを特徴とする請求項１〜４いずれか１項記載の樹脂基体。
【請求項６】
加水分解可能な樹脂の表面の鉛筆硬度がＨ以上であることを特徴とする請求項１〜４いずれか１項記載の樹脂基体。
【請求項７】
加水分解可能な樹脂がアクリル、シリコーン、およびこれらの共重合体、もしくはポリイミド、ポリアミド、およびこれらの共重合体であることを特徴とする請求項１〜４いずれか１項記載の樹脂基体。
【請求項８】
２００ｎｍ以下のＵＶ光の照射により樹脂基板表面を加水分解する工程と、加水分解した樹脂基板表面に少なくともシラン化合物ＳｉＸ４（Ｘは加水分解可能な官能基）を接触させる工程と、形成されたＳｉＸ４層を加水分解する工程とを有する樹脂基体の製造方法。
【請求項９】
２００ｎｍ以下のＵＶ光の照射により樹脂基板表面を加水分解する工程と、加水分解した樹脂基板表面に少なくともシラン化合物ＲｎＳｉＹ４−ｎ（ｎは１〜３の整数、Ｒはアルキル基、もしくはフルオロアルキル基、Ｙは加水分解可能な官能基）層を接触する工程と、形成されたＲｎＳｉＹ４−ｎ層を加水分解する工程とを有する樹脂基体の製造方法。
【請求項１０】
加水分解可能な樹脂基板表面の加水分解を行う雰囲気が湿度１０％以上かつ酸素濃度５％以上であることを特徴とする請求項８もしくは９記載の樹脂基体の製造方法。
【請求項１１】
加水分解可能な官能基ＸもしくはＹがハロゲン基、アルコキシ基、イソシアネート基であることを特徴とする請求項８または９に記載の樹脂基体の製造方法。
【請求項１２】
ハロゲン基がクロロ基であることを特徴とする請求項１１記載の樹脂基体の製造方法。
【請求項１３】
少なくともＳｉＸ４（Ｘは加水分解可能な官能基）もしくは少なくともＲｎＳｉＹ４−ｎ（ｎは１〜３の整数、Ｒはアルキル基、もしくはフルオロアルキル基、Ｙは加水分解可能な官能基）層を接触させる工程が湿度３５％以下の無水雰囲気であることを特徴とする請求項８〜１２いずれか１項記載の樹脂基体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面に加水分解可能な樹脂基板表面に加水分解可能なシラン化合物層を設けた、機能性樹脂基体およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、樹脂表面に例えば撥水性を持たすために、数々の手段が行われている。例えば樹脂にシリコーン樹脂を混合する方法や、樹脂にＵＶやコロナ放電を照射した後にシリコーンやフルオロアルキルアルキルシランを塗布する方法や、樹脂にＵＶやコロナ放電を照射した後にシリカコートを設け、アルキルシランやフルオロアルキルシランを設ける方法などがある（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００１−１２８８９１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、樹脂にシリコーン樹脂を混合する方法では、樹脂の力学的強度が低下する課題があった。また、樹脂にＵＶやコロナ放電を照射した後にシリコーンやフルオロアルキルアルキルシランを塗布する方法では、樹脂表面近傍が酸化劣化するため、樹脂表面が柔らかくなり、膜の耐久性とくに耐摩耗性に課題があった。
【０００４】
これを解決するため、樹脂にＵＶやコロナ放電を照射した後にシリカコートを設け、アルキルシランやフルオロアルキルシランを設ける方法では、樹脂とシリカコートの熱膨張の差が大きいため、シリカコートが熱破壊（密着強度低下）する課題があった。
【０００５】
また、加水分解困難な樹脂では表面がきわめて安定なために、ＵＶやコロナ放電を行ったとしても、表面を活性化できない場合や、仮に活性化できたとしても、時間をかけて樹脂の高分子鎖の熱運動により、活性化した表面が内部に潜り込んだり、表面が再びもとに戻るため、この表面と膜の間の密着強度、安定性に課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明はこの課題を解決するものであり、２００ｎｍ以下のＵＶ光の照射により加水分解可能な樹脂基板表面と化学結合し、加水分解可能なＳｉＸ４（Ｘは加水分解可能な官能基）層を設けたものである。
【発明の効果】
【０００７】
本発明により、加水分解可能なシラン化合物ＳｉＸ４（Ｘは加水分解可能な官能基）層が、加水分解した（活性化した）樹脂分子と強固に化学結合することで、シラン化合物ＳｉＸ４層を介して樹脂分子同士を固定化し樹脂表面を安定化させる。また、この層は分子レベルの超薄膜のため、熱膨張の差による破壊も起こらない。また、２００ｎｍ以下のＵＶ光により加水分解した樹脂基板は最表面のみ加水分解されており、基板樹脂の劣化はほとんどない。このため表面が極めて安定化した加水分解可能なＳｉＸ４層が形成される。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
第１の発明は、２００ｎｍ以下のＵＶ光の照射により加水分解可能な樹脂基板表面と化学結合した加水分解可能なシラン化合物ＳｉＸ４（Ｘは加水分解可能な官能基）層を設けた樹脂基体である。
【０００９】
この構成によると、加水分解可能なシラン化合物ＳｉＸ４（Ｘは加水分解可能な官能基
）層が、加水分解した（活性化した）樹脂分子と強固に化学結合することで、ＳｉＸ４層を介して樹脂分子同士を固定化し樹脂表面を安定化させる。また、この層は分子レベルの超薄膜のため、熱膨張の差による破壊も起こらない。
【００１０】
また、２００ｎｍ以下のＵＶ光により加水分解した樹脂基板は最表面のみ加水分解されており、基板樹脂の劣化はほとんどない。このため表面が極めて安定化した加水分解可能なＳｉＸ４層を有する基体となり、耐久性にすぐれた親水性樹脂基体を提供できる。
【００１１】
第２の発明は、２００ｎｍ以下のＵＶ光の照射により加水分解可能な樹脂基板表面と化学結合した加水分解可能なシラン化合物ＲｎＳｉＹ４−ｎ（ｎは１〜３の整数、Ｒはアルキル基、もしくはフルオロアルキル基、Ｙは加水分解可能な官能基）層を設けた樹脂基体である。
【００１２】
この構成によると、加水分解可能なシラン化合物ＲｎＳｉＹ４−ｎ層が加水分解した（活性化した）樹脂分子と強固に化学結合することで、ＲｎＳｉＹ４−ｎ層を介して樹脂分子同士を固定化し樹脂表面を安定化させる。
【００１３】
また、この層は分子レベルの超薄膜のため、熱膨張の差による破壊も起こらない。加えて、２００ｎｍ以下のＵＶ光により加水分解した樹脂基板は最表面のみ加水分解されており、基板樹脂の劣化はほとんどない。このため表面が極めて安定化した加水分解可能なＲｎＳｉＹ４−ｎ層となる。その結果、耐久性の優れた撥水、撥油性樹脂基体を提供できる。
【００１４】
第３の発明は、特に、第２の発明において、加水分解可能なシラン化合物ＲｎＳｉＹ４−ｎ（ｎは１〜３の整数、Ｒはアルキル基、もしくはフルオロアルキル基、Ｙは加水分解可能な官能基）層が加水分解可能なシラン化合物ＲＳｉＹ３であることを特徴とする。
【００１５】
この構成にすると、アルキル基もしくはフルオロアルキル基が表面に露出しやすくなり、表面を撥水、撥油、非粘着性を向上できる。
【００１６】
第４の発明は、特に、第３の発明において、加水分解可能なシラン化合物ＲＳｉＹ３（Ｒはアルキル基、もしくはフルオロアルキル基、Ｙは加水分解可能な官能基）層が単分子膜であることを特徴とする。
【００１７】
この構成にすると、アルキル基もしくはフルオロアルキル基の末端基ＣＨ３基もしくはＣＦ３が表面に露出するため、表面を撥水、撥油、非粘着性をいっそう向上できる。また無色透明の超薄膜となり、樹脂の色感を維持できる。
【００１８】
第５の発明は、特に、第１〜４の発明において、加水分解可能な樹脂が熱硬化性樹脂であることを特徴とする。
【００１９】
この構成によって、樹脂表面の加水分解が容易になりので、化学結合したシラン化合物ＳｉＸ４層が形成可能である。
【００２０】
第６の発明は、特に、第１〜４の発明において、加水分解可能な樹脂の表面の鉛筆硬度がＨ以上であることを特徴とする。
【００２１】
この構成によって、シラン化合物ＳｉＸ４層が結合する樹脂が硬い樹脂となるため、耐久性特に耐摩耗性が向上する。
【００２２】
第７の発明は、特に、第１〜４の発明において、加水分解可能な樹脂がアクリル、シリコーン、およびこれらの共重合体、もしくはポリイミド、ポリアミド、およびこれらの共重合体であることを特徴とする。
【００２３】
この構成によって、樹脂表面の加水分解が容易で、かつシラン化合物ＳｉＸ４層が化学結合する樹脂が硬い樹脂となるため、耐久性特に耐摩耗性が大幅に向上する。
【００２４】
第８の発明は、２００ｎｍ以下のＵＶ光の照射により樹脂基板表面を加水分解する工程と、加水分解した樹脂基板表面に少なくともシラン化合物ＳｉＸ４（Ｘは加水分解可能な官能基）を接触させる工程と、形成されたＳｉＸ４を加水分解する工程を有する樹脂基体の製造方法である。
【００２５】
この製造方法によると加水分解可能なシラン化合物ＳｉＸ４（Ｘは加水分解可能な官能基）層が、加水分解した（活性化した）樹脂分子と強固に化学結合することで、ＳｉＸ４層を介して樹脂分子同士を固定化し樹脂表面を安定化させる。また、この層は分子レベルの超薄膜のため、熱膨張の差による破壊も起こらない。また、２００ｎｍ以下のＵＶ光により加水分解した樹脂基板は最表面のみ加水分解されており、基板樹脂の劣化はほとんどない。このため表面が極めて安定化した加水分解可能なＳｉＸ４層を有する基体となり、耐久性にすぐれた親水性樹脂基体を製造できる。
【００２６】
第９の発明は、樹脂基板表面を加水分解する工程と、加水分解した樹脂基板表面に少なくともシラン化合物ＲｎＳｉＹ４−ｎ（ｎは１〜３の整数、Ｒはアルキル基、もしくはフルオロアルキル基、Ｙは加水分解可能な官能基）を接触する工程と、形成されたＲｎＳｉＹ４−ｎ層を加水分解する工程を有する樹脂基体の製造方法である。
【００２７】
この製造方法によると、加水分解可能なシラン化合物ＲｎＳｉＹ４−ｎ（ｎは１〜３の整数、Ｒはアルキル基、もしくはフルオロアルキル基、Ｙは加水分解可能な官能基）層が、加水分解した（活性化した）樹脂分子と強固に化学結合することで、ＲｎＳｉＹ４−ｎ層を介して樹脂分子同士を固定化し樹脂表面を安定化させる。また、この層は分子レベルの超薄膜のため、熱膨張の差による破壊も起こらない。
【００２８】
さらに、２００ｎｍ以下のＵＶ光により加水分解した樹脂基板は最表面のみ加水分解されており、基板樹脂の劣化はほとんどない。このため表面が極めて安定化した加水分解可能なＲｎＳｉＹ４−ｎ層となる。その結果、耐久性の優れた撥水、撥油性樹脂基体を製造できる。
【００２９】
第１０の発明は、特に、第８もしくは９の発明において、加水分解可能な樹脂の加水分解を行う雰囲気が湿度１０％以上かつ酸素濃度５％以上であることを特徴とする。
【００３０】
この方法によると、２００ｎｍ以下のＵＶ光の照射による樹脂表面の加水分解を加速できる。
【００３１】
第１１の発明は、特に、第８もしくは９の発明において、加水分解可能な官能基ＸもしくはＹがハロゲン基、アルコキシ基、イソシアネート基であることを特徴とする。
【００３２】
この方法によると、加水分解可能な樹脂と加水分解可能なシラン化合物ＳｉＸ４層および加水分解可能なシラン化合物ＳｉＸ４層と加水分解可能なシラン化合物ＲｎＳｉＹ４−ｎとの間で強固に共有結合するため、耐久性の優れた樹脂基体を製造できる。
【００３３】
第１２の発明は、特に、第１１の発明において、ハロゲン基がクロロ基であることを特
徴とする。
【００３４】
この方法によると、クロロシランの反応性が高いので、加水分解可能な樹脂とシラン化合物ＳｉＣｌ４層がいっそう強固にかつすばやく共有結合できる。特に本発明の場合、高温で熱処理が困難な樹脂基板であることを考慮すると特に有効で、耐久性かつ量産性に優れた樹脂基体を製造できる。
【００３５】
第１３の発明は、特に、第８〜１２の発明において、シラン化合物ＳｉＸ４（Ｘは加水分解可能な官能基）もしくはシラン化合物ＲｎＳｉＹ４−ｎ（ｎは１〜３の整数、Ｒはアルキル基、もしくはフルオロアルキル基、Ｙは加水分解可能な官能基）を接触させる工程が湿度３５％以下の無水雰囲気であることを特徴とする。
【００３６】
この方法によると、これらのシラン化合物を空気中の水蒸気と反応させることなく、加水分解可能な樹脂とて強固に共有結合できるので、耐久性に優れた樹脂基体を製造できる。
【００３７】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しつつ説明する。なお、実施の形態によって本発明が限定されるものではない。
【００３８】
（実施の形態１）
図１において、アクリル樹脂（ポリメタクリル酸メチル、表面硬度３Ｈ）基板１表面に、湿度５０％、酸素２０％の通常空気雰囲気下で１７２ｎｍの波長を有するエキシマＵＶ光２を照射することで雰囲気中の水蒸気により表面が加水分解され、水酸基が形成された樹脂基板３が製造される。
【００３９】
窒素雰囲気（無水）下でこの樹脂基板３にテトラクロロシラン４を含むフロリナート（３Ｍ社製）溶液に浸漬し、通常雰囲気で乾燥することで、樹脂表面の水酸基とクロロシリル基が脱塩酸反応をおこして、シロキサン結合を介して樹脂とテトラクロロシランが化学結合し、さらにこのテトラクロロシランを介して、樹脂同士が固定化する。
【００４０】
その結果、樹脂表面に強固に固定化したテトラクロロシランの加水分解層が形成され、耐久性に優れた親水樹脂基板５が製造される。
【００４１】
このテトラクロロシラン４に代わり、へプタデカフルオロデシルトリクロロシラン６を用いると、さらに耐久性に優れた撥水樹脂基体７が作製される。
【００４２】
なお本実施の形態に供されるシラン化合物ＳｉＸ４（Ｘは加水分解可能な官能基）とシラン化合物ＲｎＳｉＹ４−ｎ（ｎは１〜３の整数、Ｒはアルキル基、もしくはフルオロアルキル基、Ｙは加水分解可能な官能基）の加水分解可能な官能基Ｘ、Ｙとしてはクロロシリル基を始めとするハロゲン化シリル基、アルコキシシリル基、イソシアネートシリル基が有効であるが、クロロシリル基は加水分解可能な樹脂層表面にある水酸基等との反応性の高く、特に本発明の場合、高温で熱処理が困難な樹脂基板であることを考慮すると特に有効である。
【００４３】
また、シロキサン結合を介することにより、従来の共有結合を介したもの（例えば、スルフィド結合−Ｓ−）よりも、より強固に基板に結合するので、耐熱性、耐水性、耐電気特性等が優れる。また、撥水性を付与するＲとしては、アルキル基が良く、さらに撥油性を付与し、防汚性を高める場合には、フルオロアルキル基が優れている。
【００４４】
さらに、これらの官能基は固定化される化合物の割合（被覆率）を高めるためにも、直
鎖状のものや、ｎ＝１の構造のものがよい。
【００４５】
この結果、シラン化合物ＲｎＳｉＹ４−ｎ（ｎは１〜３の整数、Ｒはアルキル基、もしくはフルオロアルキル基、Ｙは加水分解可能な官能基）は単分子膜になり、ＣＨ３やＣＦ３基が表面に露出し、さらに撥水、撥油、防汚性が高まる。
【００４６】
以上のことから、本実施の形態に供される化合物の具体例として、シラン化合物ＳｉＸ４（Ｘは加水分解可能な官能基）場合は、以下のものが例示できる。
【００４７】
（１）ＳｉＣｌ４
（２）Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）４
（３）Ｓｉ（ＮＣＯ）４
なお、一般式、Ｘ３ＳｉＯ−（ＳｉＸ２Ｏ）ｍ−Ｘ（ただし、ｎは１以上の自然数、ｍ、１は自然数、ｋは０もしくは１でＸはハロゲン基、アルコキシ基、イソシアネート基）に対応する以下の化合物も適用可能である。
【００４８】
（４）ＳｉＣｌ３−Ｏ−ＳｉＣｌ３
（５）ＳｉＣｌ３−Ｏ−ＳｉＣｌ２−Ｏ−ＳｉＣｌ３
（６）Ｓｉ（ＯＣＨ３）３−Ｏ−Ｓｉ（ＯＣＨ３）３
（７）Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）３−Ｏ−Ｓｉ（ＯＣＨ３）３
（８）Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）３−Ｏ−Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）３
（９）Ｓｉ（ＮＣＯ）３−Ｏ−Ｓｉ（ＮＣＯ）３
撥水、撥油、防汚を付与するシラン化合物ＲｎＳｉＹ４−ｎ（ｎは１〜３の整数、Ｒはアルキル基、もしくはフルオロアルキル基、Ｙは加水分解可能な官能基）場合は、以下のものが例示できる。
【００４９】
（１０）ＣＨ３−（ＣＨ２）ｒＳｉＺｐＣｌ３−ｐ
（１１）ＣＨ３（ＣＨ２）ｓＯ（ＣＨ２）ｔＳｉＺｑＣｌ３−ｑ
（１２）ＣＨ３（ＣＨ２）ｕ−Ｓｉ（ＣＨ３）２（ＣＨ２）ｖ−ＳｉＺｑＣｌ３−ｑ
（１３）ＣＦ３ＣＯＯ（ＣＨ２）ｗＳｉＺｑＣｌ３−ｑ
ただし、ｐは１〜３の整数、ｑは０〜２の整数、ｒは１〜２５の整数、ｓは０〜１２の整数、ｔは１〜２０の整数、ｕは０〜１２の整数、ｖは１〜２０の整数、ｗは１〜２５の整数を示す。また、Ｚは、水素、アルキル基、アルコキシル基、含フッ素アルキル基または含フッ素アルコキシ基である。
【００５０】
さらに、具体的なシラン系化合物として下記に示す（１４）−（２２）が挙げられる。
【００５１】
（１４）ＣＨ３（ＣＨ２）９ＴｉＣｌ３
（１５）ＣＨ３ＣＨ２Ｏ（ＣＨ２）１５ＳｉＣｌ３
（１６）ＣＨ３（ＣＨ２）６Ｓｉ（ＣＨ３）２（ＣＨ２）９ＳｉＣｌ３
（１７）ＣＨ３ＣＯＯ（ＣＨ２）１５ＳｉＣｌ３
（１８）ＣＦ３（ＣＦ２）７−（ＣＨ２）２−ＳｉＣｌ３
（１９）ＣＦ３（ＣＦ２）５−（ＣＨ２）２−ＳｉＣｌ３
（２０）ＣＦ３（ＣＦ２）７−Ｃ６Ｈ４−ＳｉＣｌ３
（２１）（ＣＦ３）２−ＳｉＣｌ２
（２２）（ＣＦ３）３−ＳｉＣｌ
また、上記クロロシラン系化合物の代わりに、全てのクロロシリル基をイソシアネート基に置き扱えたイソシアネート系化合物、例えば下記に示す（２３）−（２６）を用いてもよい。
【００５２】
（２３）ＣＨ３−（ＣＨ２）ｒＳｉＺｐ（ＮＣＯ）３−ｐ
（２４）ＣＨ３（ＣＨ２）ｓＯ（ＣＨ２）ｔＳｉＺｑ（ＮＣＯ）ｑ−Ｐ
（２５）ＣＨ３（ＣＨ２）ｕ−Ｓｉ（ＣＨ３）２（ＣＨ２）ｖ−ＳｉＺｑ（ＮＣＯ）３−ｑ
（２６）ＣＦ３ＣＯＯ（ＣＨ２）ｖＳｉＺｑ（ＮＣＯ）３−ｑ
但し、ｐ、ｑ、ｒ、ｓ、ｔ、ｕ、ｖ、ｗおよびＸは、前記と同様である。
【００５３】
前記のシラン系化合物に変えて、下記（２７）−（３５）に具体的に例示するシラン系化合物を用いてもよい。
【００５４】
（２７）ＣＨ３（ＣＨ２）９Ｓｉ（ＮＣＯ）３
（２８）ＣＨ３ＣＨ２Ｏ（ＣＨ２）１５Ｓｉ（ＮＣＯ）３
（２９）ＣＨ３（ＣＨ２）６Ｓｉ（ＣＨ３）２（ＣＨ２）９Ｓｉ（ＮＣＯ）３
（３０）ＣＨ３ＣＯＯ（ＣＨ２）１５Ｓｉ（ＮＣＯ）３
（３１）ＣＦ３（ＣＦ２）７−（ＣＨ２）２−Ｓｉ（ＮＣＯ）３
（３２）ＣＦ３（ＣＦ２）５−（ＣＨ２）２−Ｓｉ（ＮＣＯ）３
（３３）ＣＦ３（ＣＦ２）７−Ｃ６Ｈ４−Ｓｉ（ＮＣＯ）３
（３４）（ＣＦ３）２−Ｓｉ（ＮＣＯ）２
（３５）（ＣＦ３）３−ＳｉＮＣＯ
また、シラン系化合物として、一般に、ＳｉＺｋ（ＯＡ）４−ｋ（Ｚは、前記と同様、Ａはアルキル基、ｋは０、１、２または３）で表される物質を用いることが可能である。中でも、ＣＦ３−（ＣＦ２）ｎ−（Ｒ）ｌ−ＳｉＹｑ（ＯＡ）３−ｑ（ｎは１以上の整数、好ましくは１〜２２の整数、Ｒはアルキル基、ビニル基、エチニル基、アリール基、シリコンもしくは酸素原子を含む置換基、ｌは０または１、Ｚ、Ａおよびｑは前記と同様）で表される物質を用いると、よりすぐれた防汚性の被膜を形成できるが、これに限定されるものではなく、これ以外にも、ＣＨ３−（ＣＨ２）ｒ−ＳｉＺｑ（ＯＡ）３−ｑおよびＣＨ３−（ＣＨ２）ｓ−０−（ＣＨ２）ｔ−ＳｉＺｑ（ＯＡ）３−ｑ、ＣＨ３−（ＣＨ２）ｕ−Ｓｉ（ＣＨ３）２−（ＣＨ２）ｖ−ＳｉＺｑ（ＯＡ）３−ｑ、ＣＦ３ＣＯＯ−（ＣＨ２）ｖ−ＳｉＺｑ（ＯＡ）３−ｑ（但し、ｑ、ｒ、ｓ、ｔ、ｕ、ｖ、ｗ、ＹおよびＡは、前記と同様）などが使用可能である。
【００５５】
さらに、より具体的なシラン系化合物としては、下記に示す（３６）−（６１）を挙げることができる。
【００５６】
（３６）ＣＨ３（ＣＨ２）５Ｓｉ（ＮＣＯ）３
（３７）ＣＨ３（ＣＨ２）９Ｓｉ（ＮＣＯ）３
（３８）ＣＨ３ＣＨ２Ｏ（ＣＨ２）１５Ｓｉ（ＯＣＨ３）３
（３９）ＣＦ３ＣＨ２Ｏ（ＣＨ２）１５Ｓｉ（ＯＣＨ３）３
（４０）ＣＨ３（ＣＨ２）２Ｓｉ（ＣＨ３）２（ＣＨ２）１５Ｓｉ（ＯＣＨ３）３
（４１）ＣＨ３（ＣＨ２）６Ｓｉ（ＣＨ３）２（ＣＨ２）９Ｓｉ（ＯＣＨ３）３
（４２）ＣＨ３ＣＯＯ（ＣＨ２）１５Ｓｉ（ＯＣＨ３）３
（４３）ＣＦ３（ＣＦ２）５（ＣＨ２）２Ｓｉ（ＯＣＨ３）３
（４４）ＣＦ３（ＣＦ２）７−Ｃ６Ｈ４−Ｓｉ（ＯＣＨ３）３
（４５）ＣＨ３ＣＨ２Ｏ（ＣＨ２）１５Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）３
（４６）ＣＨ３（ＣＨ２）２Ｓｉ（ＣＨ３）２（ＣＨ２）１５Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）３
（４７）ＣＨ３（ＣＨ２）６Ｓｉ（ＣＨ３）２（ＣＨ２）９Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）３
（４８）ＣＦ３（ＣＨ２）６Ｓｉ（ＣＨ３）２（ＣＨ２）９Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）３
（４９）ＣＨ３ＣＯＯ（ＣＨ２）１５Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）３
（５０）ＣＦ３ＣＯＯ（ＣＨ２）１５Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）３
（５１）ＣＦ３ＣＯＯ（ＣＨ２）１５Ｓｉ（ＯＣＨ３）３
（５２）ＣＦ３（ＣＦ２）９（ＣＨ２）２Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）３
（５３）ＣＦ３（ＣＦ２）７（ＣＨ２）２Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）３
（５４）ＣＦ３（ＣＦ２）５（ＣＨ２）２Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）３
（５５）ＣＦ３（ＣＦ２）７Ｃ６Ｈ４Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）３
（５６）ＣＦ３（ＣＦ２）９（ＣＨ２）２Ｓｉ（ＯＣＨ３）３
（５７）ＣＦ３（ＣＦ２）５（ＣＨ２）２Ｓｉ（ＯＣＨ３）３
（５８）ＣＦ３（ＣＦ２）７（ＣＨ２）２ＳｉＣＨ３（ＯＣ２Ｈ５）２
（５９）ＣＦ３（ＣＦ２）７（ＣＨ２）２ＳｉＣＨ３（ＯＣＨ３）２
（６０）ＣＦ３（ＣＦ２）７（ＣＨ２）２Ｓｉ（ＣＨ３）２ＯＣ２Ｈ５
（６１）ＣＦ３（ＣＦ２）７（ＣＨ２）２Ｓｉ（ＣＨ３）２ＯＣＨ３
なお、（２）−（３）、（６）−（９）、（２３）−（６１）の化合物を用いた場合には、塩酸が発生しないため、装置保全および作業上のメリットもある。
【００５７】
また、図１のシラン化合物を浸漬する工程に示す最初の反応ステップ（脱塩化水素反応）は、一般に化学吸着反応と呼ばれている。
【００５８】
さらに、シラン化合物を接触させる雰囲気として、シラン化合物と雰囲気中の水蒸気との反応を抑えるためにも、雰囲気湿度が３５％以下、さらに望ましくは不活性ガス雰囲気下、無水雰囲気下等が望ましい。
【００５９】
次に溶媒としては、水を含まない非水系溶媒を用いるのが好ましく、水を含まない炭化水素系溶媒、フッ化炭素系溶媒、シリコーン系、アルコール系溶媒などを用いることが可能である。
【００６０】
なお、石油系の溶剤の他に具体的に使用可能なものは、石油ナフサ、ソルベントナフサ、石油エーテル、石油ベンジン、イソパラフィン、ノルマルパラフィン、デカリン、工業ガソリン、灯油、リグロイン、ジメチルミリコーン、フェニルシリコーン、アルキル変性シリコーン、ポリエステルシリコーンなどを挙げることができる。但し、これらの溶媒は樹脂を侵す可能性があるので、フッ化炭素系溶媒が最も好ましい。
【００６１】
フッ化炭素系溶媒には、フロン系溶媒や、フロリナート（３Ｍ社製品）、アフルード（旭ガラス社製品）などがある。なお、これらは１種単独で用いてもよいし、よく混合するものなら２種以上を組み合わせてもよい。
【００６２】
加水分解可能な樹脂として、一般にポリエチレンテレフタレート樹脂（ＰＥＴ）やポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、エポキシ樹脂など熱硬化性樹脂と類される樹脂およびこれらの変性樹脂が適用できるが、これらに限定されることはない。特にシロキサン結合を有する膜が結合する表面樹脂層が硬い樹脂ほど、耐久性特に耐摩耗性が大幅に向上するので、アクリル樹脂（例えば、ポリメタクリル酸メチル、ポリメタクリル酸エチル、ポリメタクリル酸プロピル、ポリメタクリル酸ブチルなど）シリコーン樹脂、およびこれらの共重合体、もしくはポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、およびこれらの共重合体が好ましい。
【００６３】
また、樹脂としては、ポリエチレン樹脂（ＰＥ）、ポリプロピレン樹脂（ＰＰ）、ポリスチレン樹脂（ＰＰ）、アクリロニトリルブタジエンスチレン共重合体（ＡＢＳ）、ポリアセタール樹脂（ＰＯＭ）、ポリ塩化ビニル樹脂などの熱可塑性樹脂や上記熱硬化性樹脂およびこれらの変性樹脂などが適用できるがこれらに限定されることはない。
【００６４】
特に本実施の形態では従来の方法ではきわめて困難であったポリオレフィン系樹脂上へのシロキサン結合を有する膜を形成するのが可能である。
【００６５】
これらの形態だが、特に平面形状に限定されることはなく、処理可能であれば、樹脂成型品などの曲面形態でもかまわない。
【００６６】
樹脂表面の加水分解の手段としての２００ｎｍ以下の真空紫外域では、強力なオゾンが発生すること、樹脂内部までＵＶが到達しないので樹脂を光劣化させることがない。特に１７２ｎｍの波長を有するエキシマＵＶ光は単色光のため、この特性が特に優れる。
【００６７】
（実施例１）
アクリル樹脂（ポリメタクリル酸メチル、表面鉛筆硬度３Ｈ）基板表面に、湿度５０％、酸素２０％の通常空気雰囲気下で１７２ｎｍの波長を有するエキシマＵＶ光を１００ｍＪ／ｃｍ２照射することで雰囲気中の水蒸気により表面が加水分解され、水酸基が形成された樹脂基板が製造される。窒素雰囲気（無水）下でこの樹脂基板にテトラクロロシランを含むフロリナート（３Ｍ社製）溶液に浸漬し、通常雰囲気で乾燥することで、樹脂表面の水酸基とクロロシリル基が脱塩酸反応をおこして、シロキサン結合を介して樹脂とテトラクロロシランが化学結合し、さらに、このテトラクロロシランを介して、樹脂同士が固定化する。
【００６８】
その結果、樹脂表面に強固に固定化したテトラクロロシランの加水分解層が形成され、耐久性に優れた親水樹脂基板が製造される。
【００６９】
このテトラクロロシラン４に代わり、へプタデカフルオロデシルトリクロロシラン６を用いると、さらに耐久性に優れた撥水樹脂基体Ａが作製される。
【００７０】
（比較例１）
実施の形態１の１７２ｎｍの波長を有するエキシマＵＶ光を１００ｍＪ／ｃｍ２の代わりに、２５４ｎｍに中心波長を有する高圧水銀灯によるＵＶ光を１００ｍＪ／ｃｍ２照射すること以外は、実施例１と同様に樹脂基体ＲＡを作製した。
【００７１】
（比較例２）
実施例１の１７２ｎｍの波長を有するエキシマＵＶ光を１００ｍＪ／ｃｍ２のを照射しなかったこと以外は、実施例１と同様に樹脂基体ＲＢを作製した。
【００７２】
（撥水、撥油性とその耐久性能の比較）
樹脂基体Ａ、ＲＡ、ＲＢの水の接触角はそれぞれ、１１０°、１０３°、８３°であった。ＲＢの水の接触角が低いのは、樹脂表面に水酸基がほとんど形成されず、へプタデカフルオロデシルトリクロロシランが固定化されなかったためである。
【００７３】
次に、ＡとＲＡについて１０ｇ／ｃｍ２の荷重をかけ、水をしみこませたふきんで１０００往復こすると、樹脂基体Ａ，ＲＡの水の接触角は１０５°、５２°であった。ＲＡが水の接触角が低くなったのは、樹脂表面を観察すると表面がもろくなっていることが認められ、２５４ｎｍのＵＶ光の照射により樹脂表面が劣化したのが主因と考えられる。
【００７４】
この観点からも本実施の形態の２００ｎｍ以下のＵＶ光の照射した基体が優れていることがわかる。
【００７５】
（実施例２）
実施例１のへプタデカフルオロデシルトリクロロシランに代わり、デシルトリクロロシランを用いて、実施例１と同様に樹脂基体Ｂを作製した。
【００７６】
（撥水、撥油性の比較）
樹脂基体Ａ，Ｂの接触角は１１０°１０８°でほとんど変わらないにもかかわらず、油性マジックで文字を書き、ワイパーでこすったところ、Ａは消え、Ｂはまったく消えなかった。これはＡ表面は撥水撥油性が付与されたのに対し、Ｂは、撥水親油性が付与されたためである。
【００７７】
（実施例３）
実施例１のへプタデカフルオロデシルトリクロロシランに代わり、（へプタデカフルオロデシル）ジクロロシランを用いたことを除いて、実施例１と同様に樹脂基体Ｃを作製した。
【００７８】
（撥水、撥油性の比較）
樹脂基体Ａ，Ｃの接触角は１１０°９２°であった。油性インキで文字を書いたところ、Ａははじいて書けないのに対し、Ｃははじかず書けた。一方ワイパーでこすったところ、Ａは消えやすいのに対し、Ｃは消えにくかった。これは（へプタデカフルオロデシル）ジクロロシランが、かさ高な分子のため表面を被覆しないためと考えられ、実施例３の手段により撥水撥油性をコントロールできるとともに、より撥水撥油性を付与したい場合は、実施例１の手段が優れることがわかる。
【００７９】
（実施例４）
実施例１のへプタデカフルオロデシルトリクロロシランを含むフロリナート（３Ｍ社製）溶液に浸漬後に、基板をフロリナートで洗浄し、過剰なへプタデカフルオロデシルトリクロロシランを取り除いたこと以外は、実施例１と同様に樹脂基体Ｄを作製した。
【００８０】
（撥水、撥油性の比較）
樹脂基体Ａ，Ｄの接触角は１１０°１１６°であった。油性マジックで文字を書いたところ、Ａははじいて書けないのに対し、Ｄはまったくかけなかった。これはＤのへプタデカフルオロデシルトリクロロシランが単分子膜になっており、表面にＣＦ３基が露出しているためと考えられる。
【００８１】
（実施例５）
実施例１の表面鉛筆硬度３Ｈアクリル樹脂に代わり、表面鉛筆硬度Ｈのアクリル樹脂を用いたこと以外は実施例１と同様に樹脂基体Ｅを作製した。
【００８２】
（比較例３）
実施例１の表面鉛筆硬度３Ｈアクリル樹脂に代わり、表面鉛筆硬度Ｂのアクリル樹脂を用いたこと以外は実施例１と同様に樹脂基体ＲＣを作製した。
【００８３】
（撥水、撥油性と耐久性）
樹脂基体Ａ、Ｅ、ＲＣの水の接触角は１１０°、１０９°、１１０°であった。この後、１０ｇ／ｃｍ２の荷重をかけ、水をしみこませたふきんで１０００往復こすると、樹脂基体Ａ，Ｅ、ＲＣの水の接触角は１０９°１００°、５２°であった。表面を観察したところ、ＲＣには表面に削り傷がみられた。このことより、樹脂表面の硬度が硬いほど、表面が削られにくいので、その上の膜の耐久性が優れることがわかり、鉛筆硬度でＨ以上では実用的であるといえる。
【００８４】
（実施例６）
実施例１のアクリル樹脂に変わりＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）樹脂を用いたこと以外は実施例１と同様に樹脂基体Ｆを作製した。
【００８５】
（比較例４）
実施例１のアクリル樹脂に変わりポリプロピレン樹脂を用いたこと以外は実施例１と同様に樹脂基体ＲＤを作製した。
【００８６】
（撥水、撥油性と耐久性）
樹脂基体Ａ、Ｆ、ＲＤの水の接触角は１１０°、１１１°、９０°であった。この状態で油性マジックを用いて文字を書き、ワイパーでこすったところ、Ａ、Ｆは消えたものの、ＲＤは消えなかった。
【００８７】
また、樹脂基体を５０℃雰囲気下で１００時間放置後、Ａ、Ｆ，ＲＤの水の接触角を測定したところ、１０５°、１１０°、７５°であった。これはアクリル、ＰＥＴ樹脂に比べ、ポリプロピレン樹脂は、加水分解しないために水酸基の生成がほとんどなく、そのためテトラクロロシランによる架橋（化学結合）せず、表面安定化しない。
【００８８】
また、へプタデカフルオロデシルトリクロロシランも化学結合しないためと考えられる。
【００８９】
また、ＡがＦに比べて耐熱性が優れるのは、Ｆが熱硬化性樹脂であるためと考えら得る。
【００９０】
発明者は他の種々の樹脂について調べたところ、加水分解が困難なポリエチレンなどのポリオレフィン系樹脂やポリスチレン樹脂がポリプロピレンと同様、撥水撥油性維持の性能がよくないことがわかった。
【００９１】
一方、加水分解可能な樹脂でも、シリコーン、アクリルシリコン共重合体、ポリイミド、ポリアミド、ポリスチレンではアクリル樹脂と極めて優れた撥水撥油維持の性能を示すことがわかった。また、熱硬化性樹脂を用いると耐熱性が優れることがわかった。これ以外の加水分解可能な樹脂、例えばＰＣ（ポリカーボーネート）などは、アクリルとポリプロピレンの間の撥水撥油維持性能を示した。
【００９２】
（実施例８）
実施例１のへプタデカフルオロデシルトリクロロシランに代わり、へプタデカフルオロデシルトリエトキシシランを用いたことを除いて、実施例１と同様に樹脂基板Ｇを作製した。
【００９３】
（撥水、撥油性とその耐久性能の比較）
樹脂基体Ａ、Ｇの水の接触角は１１０°、９８°であった。この後、１０ｇ／ｃｍ２の荷重をかけ、水をしみこませたふきんで１０００往復こすると、樹脂基体Ａ，Ｇの水の接触角は１０９°、８２°であった。このことより、クロロシランのほうが、アルコキシシランよりも強固に表面に化学結合を形成し、本発明の樹脂基板の耐久性を向上させえることがわかる。
【００９４】
（比較例５）
実施例１の樹脂基板を窒素雰囲気（無水）下でテトラクロロシランおよびヘプタデカフルオロデシルトリクロロシランを含むフロリナート（３Ｍ社製）溶液に浸漬するかわりに、湿度２０、３５、４０％で行い、実施例１と同様に樹脂基板ＲＥ（２０）、ＲＥ（３５）、ＲＥ（４０）を作製した。
【００９５】
（撥水、撥油性の比較）
樹脂基体Ａ、ＲＥ（２０）、ＲＥ（３５）、ＲＥ（４０）の接触角は１１０°、１０７
°１０６°、９１°であった。また、油性インキで文字を書き、ワイパーでこすったところ、Ａ、ＲＥ（２０）、ＲＥ（３５）は消え、ＲＥ（４０）はまったく消えなかったことから、Ａ、ＲＥ（２０）、ＲＥ（３５）はヘプタデカフルオロデシル基を含むシロキサン結合を有する膜が形成されたのに対し、ＲＥ（４０）はこの膜が形成されなかったことがわかる。これは、ＲＥ（４０）は雰囲気の水蒸気とへプタデカフルオロデシルトリクロロシランが反応し、ヘプタデカフルオロデシル基を含むシロキサン結合を有する膜が形成されなかったためである。
【００９６】
（比較例６）
実施例１の樹脂基板を湿度５０％の通常空気雰囲気下で１７２ｎｍの波長を有するエキシマＵＶ光を照射するかわりに、湿度５、１０％雰囲気下で実施例１と同様に樹脂基板ＲＦ（５）、ＲＦ（１０）を作製した。
【００９７】
（比較例６）
実施例１の樹脂基板を酸素２０％の通常空気雰囲気下で１７２ｎｍの波長を有するエキシマＵＶ光を照射するかわりに、酸素０，５％雰囲気下で実施例１と同様に樹脂基板ＲＧ（０）、ＲＧ（１０）を作製した。
【００９８】
（撥水、撥油性の比較）
樹脂基体Ａ、ＲＦ（５）、ＲＦ（１０）、ＲＧ（０）、ＲＧ（５）の接触角は１１０°、８２°、１０７°、８１°、１０８°であった。また、油性マジックで文字を書き、ワイパーでこすったところ、Ａ、ＲＦ（１０）、ＲＧ（５）は消え、ＲＦ（５）とＲＧ（０）はまったく消えなかったことから、Ａ、ＲＥ（２０）、ＲＥ（３５）はヘプタデカフルオロデシル基を含むシロキサン結合を有する膜が形成されたのに対し、ＲＦ（５）とＲＧ（０）はこの膜が形成されなかったことがわかる。
【００９９】
これは、湿度が１０％未満、酸素が５％未満の雰囲気下では１７２ｎｍのＵＶ照射により、樹脂表面に水酸基がほとんど形成されず、へプタデカフルオロデシルトリクロロシランが固定化されなかったためである。
【産業上の利用可能性】
【０１００】
本発明により、加水分解可能なシラン化合物ＳｉＸ４（Ｘは加水分解可能な官能基）層が、加水分解した（活性化した）樹脂分子と強固に化学結合することで、シラン化合物ＳｉＸ４層を介して樹脂分子同士を固定化し樹脂表面を安定化させる。また、この層は分子レベルの超薄膜のため、熱膨張の差による破壊も起こらない。また、２００ｎｍ以下のＵＶ光により加水分解した樹脂基板は最表面のみ加水分解されており、基板樹脂の劣化はほとんどない。このため表面が極めて安定化した加水分解可能なＳｉＸ４層が形成される。また、シラン化合物がＲｎＳｉＹ４−ｎ（ｎは１〜３の整数、Ｒはアルキル基、もしくはフルオロアルキル基、Ｙは加水分解可能な官能基）の場合、表面が極めて安定化した加水分解可能なＲｎＳｉＹ４−ｎ層が形成され、これらにより、耐久性の優れた親水、撥水、撥油性樹脂基体を提供できるものである。
【図面の簡単な説明】
【０１０１】
【図１】機能性樹脂基体とその製造方法工程図
【符号の説明】
【０１０２】
１  アクリル樹脂
２  １７２ｎｍエキシマＵＶ光
４  テトラクロロシラン
５  親水性樹脂基体
６  ヘプタデカフロオロデシルトリクロロシラン
７  撥水、撥油樹脂基体
【図１】
2008068469.tif 000003