【手続補正書】
【提出日】平成21年6月5日(2009.6.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
陽極を形成し、
前記陽極上にアリールアミン基を有する有機化合物と酸化モリブデンとを有する混合層を形成し、前記混合層の膜厚は６０ｎｍ以上であり、前記アリールアミン基を有する有機化合物と前記酸化モリブデンとは重量比で９５：５〜２０：８０であり、
前記混合層を酸素を含むガス雰囲気に曝さず、窒素ガス雰囲気に曝し、次に前記混合層を酸素を含むガス雰囲気に曝すことなく正孔輸送層を形成し、前記窒素ガスにおける水分量は４０ｐｐｍ以下であり、
前記正孔輸送層上に発光層を形成し、
前記発光層上に陰極を形成することを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項２】
陽極を形成し、
前記陽極上にアリールアミン基を有する有機化合物と酸化モリブデンとを有する第１の混合層を形成し、前記第１の混合層の膜厚は１０〜３０ｎｍであり、前記アリールアミン基を有する有機化合物と前記酸化モリブデンとは重量比で９５：５〜２０：８０であり、
前記第１の混合層を酸素を含むガス雰囲気に曝さず、窒素ガス雰囲気に曝し、次に前記第１の混合層を酸素を含むガス雰囲気に曝すことなくアリールアミン基を有する有機化合物と酸化モリブデンとを有する第２の混合層を形成し、前記第２の混合層の膜厚は１０〜３０ｎｍであり、前記アリールアミン基を有する有機化合物と前記酸化モリブデンとは重量比で９５：５〜２０：８０であり、前記窒素ガスにおける水分量は４０ｐｐｍ以下であり、
前記第２の混合層を酸素を含むガス雰囲気に曝さず、窒素ガス雰囲気に曝し、次に前記第２の混合層を酸素を含むガス雰囲気に曝すことなく正孔輸送層を形成し、前記窒素ガスにおける水分量は４０ｐｐｍ以下であり、
前記正孔輸送層上に発光層を形成し、
前記発光層上に陰極を形成することを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項３】
陽極を形成し、
前記陽極上に正孔輸送層を形成し、
前記正孔輸送層上に発光層を形成し、
前記発光層上に電子輸送層を形成し、
前記電子輸送層上にアリールアミン基を有する有機化合物と酸化モリブデンとを有する混合層を形成し、前記混合層の膜厚は６０ｎｍ以上であり、前記アリールアミン基を有する有機化合物と前記酸化モリブデンとは重量比で９５：５〜２０：８０であり、
前記混合層を酸素を含むガス雰囲気に曝さず、窒素ガス雰囲気に曝し、次に前記混合層を酸素を含むガス雰囲気に曝すことなく陰極を形成し、前記窒素ガスにおける水分量は４０ｐｐｍ以下であることを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項４】
陽極を形成し、
前記陽極上に正孔輸送層を形成し、
前記正孔輸送層上に発光層を形成し、
前記発光層上に電子輸送層を形成し、
前記電子輸送層上にアリールアミン基を有する有機化合物と酸化モリブデンとを有する第１の混合層を形成し、前記第１の混合層の膜厚は１０〜３０ｎｍであり、前記アリールアミン基を有する有機化合物と前記酸化モリブデンとは重量比で９５：５〜２０：８０であり、
前記第１の混合層を酸素を含むガス雰囲気に曝さず、窒素ガス雰囲気に曝し、次に前記第１の混合層を酸素を含むガス雰囲気に曝すことなくアリールアミン基を有する有機化合物と酸化モリブデンとを有する第２の混合層を形成し、前記第２の混合層の膜厚は１０〜３０ｎｍであり、前記アリールアミン基を有する有機化合物と前記酸化モリブデンとは重量比で９５：５〜２０：８０であり、前記窒素ガスにおける水分量は４０ｐｐｍ以下であり、
前記第２の混合層を酸素を含むガス雰囲気に曝さず、窒素ガス雰囲気に曝し、次に前記第２の混合層を酸素を含むガス雰囲気に曝すことなく陰極を形成し、前記窒素ガスにおける水分量は４０ｐｐｍ以下であることを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項５】
請求項１において、前記陽極に加熱処理を行った後に前記混合層を形成することを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項６】
請求項２において、前記陽極に加熱処理を行った後に前記第１の混合層を形成することを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項７】
請求項３において、前記混合層と前記電子輸送層の間に電子注入層を形成することを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項８】
請求項４において、前記第１の混合層と前記電子輸送層の間に電子注入層を形成することを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項９】
陰極を形成し、
前記陰極上にアリールアミン基を有する有機化合物と酸化モリブデンとを有する混合層を形成し、前記混合層の膜厚は６０ｎｍ以上であり、前記アリールアミン基を有する有機化合物と前記酸化モリブデンとは重量比で９５：５〜２０：８０であり、
前記混合層を酸素を含むガス雰囲気に曝さず、窒素ガス雰囲気に曝し、次に前記混合層を酸素を含むガス雰囲気に曝すことなく電子注入層を形成し、前記窒素ガスにおける水分量は４０ｐｐｍ以下であり、
前記電子注入層上に電子輸送層を形成し、
前記電子輸送層上に発光層を形成し、
前記発光層上に正孔輸送層を形成し、
前記正孔輸送層上に陽極を形成することを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項１０】
陰極を形成し、
前記陰極上にアリールアミン基を有する有機化合物と酸化モリブデンとを有する第１の混合層を形成し、前記第１の混合層の膜厚は１０〜３０ｎｍであり、前記アリールアミン基を有する有機化合物と前記酸化モリブデンとは重量比で９５：５〜２０：８０であり、
前記第１の混合層を酸素を含むガス雰囲気に曝さず、窒素ガス雰囲気に曝し、次に前記第１の混合層を酸素を含むガス雰囲気に曝すことなくアリールアミン基を有する有機化合物と酸化モリブデンとを有する第２の混合層を形成し、前記第２の混合層の膜厚は１０〜３０ｎｍであり、前記アリールアミン基を有する有機化合物と前記酸化モリブデンとは重量比で９５：５〜２０：８０であり、前記窒素ガスにおける水分量は４０ｐｐｍ以下であり、
前記第２の混合層を酸素を含むガス雰囲気に曝さず、窒素ガス雰囲気に曝し、次に前記第２の混合層を酸素を含むガス雰囲気に曝すことなく電子注入層を形成し、前記窒素ガスにおける水分量は４０ｐｐｍ以下であり、
前記電子注入層上に電子輸送層を形成し、
前記電子輸送層上に発光層を形成し、
前記発光層上に正孔輸送層を形成し、
前記正孔輸送層上に陽極を形成することを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項１１】
陰極を形成し、
前記陰極上に電子輸送層を形成し、
前記電子輸送層上に発光層を形成し、
前記発光層上に正孔輸送層を形成し、
前記正孔輸送層上にアリールアミン基を有する有機化合物と酸化モリブデンとを有する混合層を形成し、前記混合層の膜厚は６０ｎｍ以上であり、前記アリールアミン基を有する有機化合物と前記酸化モリブデンとは重量比で９５：５〜２０：８０であり、
前記混合層を酸素を含むガス雰囲気に曝さず、窒素ガス雰囲気に曝し、次に前記混合層を酸素を含むガス雰囲気に曝すことなく陽極を形成し、前記窒素ガスにおける水分量は４０ｐｐｍ以下であることを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項１２】
陰極を形成し、
前記陰極上に電子輸送層を形成し、
前記電子輸送層上に発光層を形成し、
前記発光層上に正孔輸送層を形成し、
前記正孔輸送層上にアリールアミン基を有する有機化合物と酸化モリブデンとを有する第１の混合層を形成し、前記第１の混合層の膜厚は１０〜３０ｎｍであり、前記アリールアミン基を有する有機化合物と前記酸化モリブデンとは重量比で９５：５〜２０：８０であり、
前記第１の混合層を酸素を含むガス雰囲気に曝さず、窒素ガス雰囲気に曝し、次に前記第１の混合層を酸素を含むガス雰囲気に曝すことなくアリールアミン基を有する有機化合物と酸化モリブデンとを有する第２の混合層を形成し、前記第２の混合層の膜厚は１０〜３０ｎｍであり、前記アリールアミン基を有する有機化合物と前記酸化モリブデンとは重量比で９５：５〜２０：８０であり、前記窒素ガスにおける水分量は４０ｐｐｍ以下であり、
前記第２の混合層を酸素を含むガス雰囲気に曝さず、窒素ガス雰囲気に曝し、次に前記第２の混合層を酸素を含むガス雰囲気に曝すことなく陽極を形成し、前記窒素ガスにおける水分量は４０ｐｐｍ以下であることを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項１３】
請求項１、３、９又は１１において、前記混合層を窒素ガス雰囲気に曝した後に、窒素ガスを排気し、再度窒素ガス雰囲気に曝すことを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項１４】
請求項２、４、１０又は１２において、前記第１の混合層を窒素ガス雰囲気に曝した後に、窒素ガスを排気し、再度窒素ガス雰囲気に曝し、
前記第２の混合層を窒素ガス雰囲気に曝した後に、窒素ガスを排気し、再度窒素ガス雰囲気に曝すことを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項１５】
請求項１、３、９又は１１において、前記混合層には窒素ガスを吹き付けて窒素ガス雰囲気に曝すことを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項１６】
請求項２、４、１０又は１２において、前記第１の混合層及び第２の混合層には窒素ガスを吹き付けて窒素ガス雰囲気に曝すことを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項１７】
陽極を形成し、
前記陽極上にアリールアミン基を有する有機化合物と酸化モリブデンとを有する第１の混合層を形成し、前記第１の混合層の膜厚は１０〜３０ｎｍであり、前記アリールアミン基を有する有機化合物と前記酸化モリブデンとは重量比で９５：５〜２０：８０であり、
前記第１の混合層を酸素を含むガス雰囲気に曝さず、窒素ガス雰囲気に曝し、次に前記第１の混合層を酸素を含むガス雰囲気に曝すことなく正孔輸送層を形成し、前記窒素ガスにおける水分量は４０ｐｐｍ以下であり、
前記正孔輸送層上に発光層を形成し、
前記発光層上に電子輸送層を形成し、
前記電子輸送層上にアリールアミン基を有する有機化合物と酸化モリブデンとを有する第２の混合層を形成し、前記第２の混合層の膜厚は１０〜３０ｎｍであり、前記アリールアミン基を有する有機化合物と前記酸化モリブデンとは重量比で９５：５〜２０：８０であり、
前記第２の混合層を酸素を含むガス雰囲気に曝さず、窒素ガス雰囲気に曝し、次に前記第２の混合層を酸素を含むガス雰囲気に曝すことなく陰極を形成し、前記窒素ガスにおける水分量は４０ｐｐｍ以下であることを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項１８】
請求項１７において、前記陽極に加熱処理を行った後に前記第１の混合層を形成することを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項１９】
請求項１７において、前記第２の混合層と前記電子輸送層の間に電子注入層を形成することを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項２０】
陰極を形成し、
前記陰極上にアリールアミン基を有する有機化合物と酸化モリブデンとを有する第１の混合層を形成し、前記第１の混合層の膜厚は１０〜３０ｎｍであり、前記アリールアミン基を有する有機化合物と前記酸化モリブデンとは重量比で９５：５〜２０：８０であり、
前記第１の混合層を酸素を含むガス雰囲気に曝さず、窒素ガス雰囲気に曝し、次に前記第１の混合層を酸素を含むガス雰囲気に曝すことなく電子注入層を形成し、前記窒素ガスにおける水分量は４０ｐｐｍ以下であり、
前記電子注入層上に電子輸送層を形成し、
前記電子輸送層上に発光層を形成し、
前記発光層上に正孔輸送層を形成し、
前記正孔輸送層上にアリールアミン基を有する有機化合物と酸化モリブデンとを有する第２の混合層を形成し、前記第２の混合層の膜厚は１０〜３０ｎｍであり、前記アリールアミン基を有する有機化合物と前記酸化モリブデンとは重量比で９５：５〜２０：８０であり、
前記第２の混合層を酸素を含むガス雰囲気に曝さず、窒素ガス雰囲気に曝し、次に前記第２の混合層を酸素を含むガス雰囲気に曝すことなく陽極を形成し、前記窒素ガスにおける水分量は４０ｐｐｍ以下であることを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項２１】
請求項１７又は２０において、前記第１の混合層を窒素ガス雰囲気に曝した後に、窒素ガスを排気し、再度窒素ガス雰囲気に曝し、
前記第２の混合層を窒素ガス雰囲気に曝した後に、窒素ガスを排気し、再度窒素ガス雰囲気に曝すことを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項２２】
請求項１７又は２０において、前記第１の混合層及び第２の混合層には窒素ガスを吹き付けて窒素ガス雰囲気に曝すことを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項２３】
陽極を形成し、
前記陽極上に発光層を有する第１の発光ユニットを形成し、
前記第１の発光ユニット上に電子供与性物質と電子輸送性物質とを有する層を形成し、
前記電子供与性物質と電子輸送性物質とを有する層上に、アリールアミン基を有する有機化合物と酸化モリブデンとを有する混合層を形成し、前記混合層の膜厚は６０ｎｍ以上であり、前記アリールアミン基を有する有機化合物と前記酸化モリブデンとは重量比で９５：５〜２０：８０であり、
前記混合層を酸素を含むガス雰囲気に曝さず、窒素ガス雰囲気に曝し、次に前記混合層を酸素を含むガス雰囲気に曝すことなく第２の発光ユニットを形成し、前記窒素ガスにおける水分量は４０ｐｐｍ以下であり、
前記第２の発光ユニット上に陰極を形成することを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項２４】
陽極を形成し、
前記陽極上に発光層を有する第１の発光ユニットを形成し、
前記第１の発光ユニット上に電子供与性物質と電子輸送性物質とを有する層を形成し、
前記電子供与性物質と電子輸送性物質とを有する層上に、アリールアミン基を有する有機化合物と酸化モリブデンとを有する第１の混合層を形成し、前記第１の混合層の膜厚は１０〜３０ｎｍであり、前記アリールアミン基を有する有機化合物と前記酸化モリブデンとは重量比で９５：５〜２０：８０であり、
前記第１の混合層を酸素を含むガス雰囲気に曝さず、窒素ガス雰囲気に曝し、次に前記第１の混合層を酸素を含むガス雰囲気に曝すことなくアリールアミン基を有する有機化合物と酸化モリブデンとを有する第２の混合層を形成し、前記第２の混合層の膜厚は１０〜３０ｎｍであり、前記アリールアミン基を有する有機化合物と前記酸化モリブデンとは重量比で９５：５〜２０：８０であり、
前記第２の混合層を酸素を含むガス雰囲気に曝さず、窒素ガス雰囲気に曝し、次に前記第２の混合層を酸素を含むガス雰囲気に曝すことなく第２の発光ユニットを形成し、前記窒素ガスにおける水分量は４０ｐｐｍ以下であり、
前記第２の発光ユニット上に陰極を形成することを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項２５】
陰極を形成し、
前記陰極上に発光層を有する第１の発光ユニットを形成し、
前記第１の発光ユニット上に、アリールアミン基を有する有機化合物と酸化モリブデンとを有する混合層を形成し、前記混合層の膜厚は６０ｎｍ以上であり、前記アリールアミン基を有する有機化合物と前記酸化モリブデンとは重量比で９５：５〜２０：８０であり、
前記混合層を酸素を含むガス雰囲気に曝さず、窒素ガス雰囲気に曝し、次に前記混合層を酸素を含むガス雰囲気に曝すことなく電子供与性物質と電子輸送性物質とを有する層を形成し、前記窒素ガスにおける水分量は４０ｐｐｍ以下であり、
前記電子供与性物質と電子輸送性物質とを有する層上に、第２の発光ユニットを形成し、
前記第２の発光ユニット上に陽極を形成することを特徴とする発光装置の作製方法。
【請求項２６】
陰極を形成し、
前記陰極上に発光層を有する第１の発光ユニットを形成し、
前記第１の発光ユニット上に、アリールアミン基を有する有機化合物と酸化モリブデンとを有する第１の混合層を形成し、前記第１の混合層の膜厚は１０〜３０ｎｍであり、前記アリールアミン基を有する有機化合物と前記酸化モリブデンとは重量比で９５：５〜２０：８０であり、
前記第１の混合層を酸素を含むガス雰囲気に曝さず、窒素ガス雰囲気に曝し、次に前記第１の混合層を酸素を含むガス雰囲気に曝すことなくアリールアミン基を有する有機化合物と酸化モリブデンとを有する第２の混合層を形成し、前記第２の混合層の膜厚は１０〜３０ｎｍであり、前記アリールアミン基を有する有機化合物と前記酸化モリブデンとは重量比で９５：５〜２０：８０であり、
前記第２の混合層を酸素を含むガス雰囲気に曝さず、窒素ガス雰囲気に曝し、次に前記第２の混合層を酸素を含むガス雰囲気に曝すことなく電子供与性物質と電子輸送性物質とを有する層を形成し、前記窒素ガスにおける水分量は４０ｐｐｍ以下であり、
前記電子供与性物質と電子輸送性物質とを有する層上に第２の発光ユニットを形成し、
前記第２の発光ユニット上に陽極を形成することを特徴とする発光装置の作製方法。