【手続補正書】
【提出日】平成21年2月18日(2009.2.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子線が透過する膜と該膜に対向するベースとの間に設けられた試料保持空間と、該試料保持空間に試料を供給するための供給路とを有する試料保持体であって、該供給路及び該試料保持空間のうちの少なくとも一方に試料中の構成物を分別するフィルター構造を備えることを特徴とする試料保持体。
【請求項２】
電子線が透過する対向配置された２つの膜の間に設けられた試料保持空間と、該試料保持空間に試料を供給するための供給路とを有する試料保持体であって、該供給路及び該試料保持空間のうちの少なくとも一方に試料中の構成物を分別するフィルター構造を備えることを特徴とする試料保持体。
【請求項３】
電子線が透過する膜と該膜に対向するベースとの間に設けられた試料保持空間と、試料が供給される流路と、該流路から該試料保持空間に試料を供給するための供給路とを有する試料保持体であって、該供給路及び該試料保持空間のうちの少なくとも一方に試料中の構成物を分別するフィルター構造を備えることを特徴とする試料保持体。
【請求項４】
電子線が透過する対向配置された２つの膜の間に設けられた試料保持空間と、試料が供給される流路と、該流路から該試料保持空間に試料を供給するための供給路とを有する試料保持体であって、該供給路及び該試料保持空間のうちの少なくとも一方に試料中の構成物を分別するフィルター構造を備えることを特徴とする試料保持体。
【請求項５】
前記フィルター構造は、設定された第１の寸法を超える試料中の構成物が通過するのを防止する機能を備えることを特徴とする請求項１乃至４何れか記載の試料保持体。
【請求項６】
前記膜の面に沿う方向又は／及び当該面に垂直な方向における前記供給路の一部又は前記試料保持空間の一部の幅を特定することにより、前記フィルター構造が構成されていることを特徴とする請求項１乃至５何れか記載の試料保持体。
【請求項７】
前記幅は、１０ｎｍ〜２０μｍに設定されていることを特徴とする請求項６記載の試料保持体。
【請求項８】
前記供給路又は前記試料保持空間には、段差部又は傾斜部が形成されており、これら各部の何れかにより前記フィルター構造が構成されていることを特徴とする請求項１乃至７何れか記載の試料保持体。
【請求項９】
前記供給路又は前記試料保持空間には、少なくとも一つの突起又は柱が設けられており、これにより前記フィルター構造が構成されていることを特徴とする請求項１乃至６何れか記載の試料保持体。
【請求項１０】
前記フィルター構造は、試料中の特定の構成物を吸着する吸着機能膜を備えることを特徴とする請求項１乃至４何れか記載の試料保持体。
【請求項１１】
電子線が透過する膜と該膜に対向するベースとの間に設けられた試料保持空間と、該試料保持空間に試料を供給するための供給路とを有する試料保持体であって、該試料保持空間及び該供給路の幅が１０ｎｍ〜２０μｍに設定されていることを特徴とする試料保持体。
【請求項１２】
電子線が透過する対向配置された２つの膜の間に設けられた試料保持空間と、該試料保持空間に試料を供給するための供給路とを有する試料保持体であって、該試料保持空間及び該供給路の幅が１０ｎｍ〜２０μｍに設定されていることを特徴とする試料保持体。
【請求項１３】
前記試料保持空間は、試料の一部を引き出すための引出路と連通していることを特徴とする請求項１乃至１２何れか記載の試料保持体。
【請求項１４】
前記試料保持空間は連通路を介して前記引出路と接続されており、該連通路には第２の寸法を超える試料中の構成物が通過するのを防止する機能を備えるフィルター構造が備えられていることを特徴とする請求項１３記載の試料保持体。
【請求項１５】
前記膜の厚さが、１０ｎｍ〜１０００ｎｍであることを特徴とする請求項１乃至１４何れか記載の試料保持体。
【請求項１６】
前記試料保持空間が複数設けられており、各試料保持空間に対応して個別に供給路が設けられていることを特徴とする請求項１乃至１５何れか記載の試料保持体。
【請求項１７】
前記試料保持空間が複数設けられており、各試料保持空間に対応して個別に供給路が設けられ、これら供給路又は試料保持空間に備えられたフィルター構造において、前記第１の寸法として２種以上の寸法が設定されていることを特徴とする請求項５記載の試料保持体。
【請求項１８】
前記流路路又は供給路に連通する供給口が複数設けられていることを特徴とする請求項１乃至１７何れか記載の試料保持体。
【請求項１９】
請求項１乃至１８何れか記載の試料保持体の前記試料保持空間に保持された試料に前記膜を介して電子線を照射し、当該照射により試料から発生する二次的信号又は試料を透過した透過電子線を検出して、試料の情報を取得する試料検査方法。
【請求項２０】
請求項１１又は１２記載の試料保持体の前記試料保持空間に試料を供給した後、該試料保持空間内の試料から液体成分を除去し、該試料保持空間に残存した試料の構成物に前記膜を介して電子線を照射し、当該照射により試料から発生する二次的信号又は試料を透過した透過電子線を検出して、試料の情報を取得することを特徴とする試料検査方法。
【請求項２１】
前記試料保持空間内の試料から液体成分を除去した後、前記供給路を介して前記試料保持空間に水蒸気を供給し、その後試料の情報を取得することを特徴とする請求項１９記載の試料検査方法。
【請求項２２】
請求項１８記載の試料保持体に設けられた複数の供給口のうち、第１の供給口を介して前記流路に試料を供給するとともに、第２の供給口を介して前記流路に薬液を供給し、前記流路内で薬液と反応した試料が前記供給路を介して前記試料保持空間に供給され、前記試料保持空間に保持された試料に前記膜を介して電子線を照射し、当該照射により試料から発生する二次的信号又は試料を透過した透過電子線を検出して、試料の情報を取得することを特徴とする試料検査方法。
【請求項２３】
前記試料が生体構成物を含んでおり、前記薬液は該生体構成物を固定又は染色する物質を含むことを特徴とする請求項２２記載の試料検査方法。
【請求項２４】
請求項１乃至１６何れか記載の試料保持体の前記供給路に試料を供給して、該供給路を介して前記試料保持空間に試料を供給する供給工程と、該試料保持空間に保持された試料に前記膜を介して電子線を照射する照射工程と、当該照射により試料から発生する二次的信号又は試料を透過した透過電子線を検出して試料の情報を取得する検出工程とを有する試料検査方法。
【請求項２５】
前記供給工程において、前記供給路に試料を供給する前に、前記膜の両面側に所定の圧力差を生じさせ、これにより該膜の破壊の有無又は該膜の強度を確認することを特徴とする請求項２４記載の試料検査方法。
【請求項２６】
前記供給工程の実施前に行われる試料の前処理工程をさらに有することを特徴とする請求項２４又は２５記載の試料検査方法。
【請求項２７】
前記前処理工程において、試料の固定処理、染色処理、蛍光マーカー付加処理、若しくは金属マーカー付加処理のうちの少なくとも一つを行うことを特徴とする請求項２６記載の試料検査方法。
【請求項２８】
前記二次的信号は、反射電子、二次電子、Ｘ線、もしくは蛍光のうちの少なくとも一つであることを特徴とする請求項２４乃至２７何れか記載の試料検査方法。
【請求項２９】
前記二次的信号として蛍光を検出して試料の蛍光領域を探索し、その後該蛍光領域からの二次的信号として反射電子又は二次電子を検出することにより、該蛍光領域の構造を取得することを特徴とする請求項２８記載の試料検査方法。
【請求項３０】
取得された試料の情報データの画像処理を行い、該画像処理結果に基いて画像分類を行うことを特徴とする請求項２４乃至２９何れか記載の試料検査方法。
【請求項３１】
前記供給工程の実施後に前記試料保持体の前記供給路へ連通する供給口又は／及び排出口の封止を行う封止工程をさらに有することを特徴とする請求項２５乃至３０何れか記載の試料検査方法。
【請求項３２】
請求項１乃至１８何れか記載の試料保持体を備える試料検査装置であって、当該試料保持体の前記試料保持空間に保持された試料に前記膜を介して電子線を照射する照射手段と、当該照射により試料から発生する二次的信号又は試料を透過した透過電子線を検出する検出手段とを有する試料検査装置。
【請求項３３】
前記照射手段を支持するとともに、前記検出手段を内部に備える真空チャンバを有し、前記試料保持体がＯリング又はグリスを介して該真空チャンバに設置されていることを特徴とする請求項３２記載の試料検査装置。
【請求項３４】
前記二次的信号としての反射電子を検出する反射電子検出器と、前記透過電子を検出する透過電子検出器とを備えることを特徴とする請求項３２記載の試料検査装置。
【請求項３５】
取得された試料の情報データの画像処理を行い、該画像処理結果に基いて画像分類を行うことを特徴とする請求項３２乃至３４何れか記載の試料検査装置。
【請求項３６】
請求項３２乃至３５何れか記載の試料検査装置を備え、試料の前処理手段と、前処理がされた試料を前記試料保持体の流路に供給する試料供給手段と、試料が供給された試料保持体を当該試料検査装置に移動する移動手段とを具備する試料検査システム。
【請求項３７】
前記前処理手段は、試料の固定処理、染色処理、蛍光マーカー付加処理、若しくは金属マーカー付加処理のうちの少なくとも一つを行うことを特徴とする請求項３６記載の試料検査システム。