【手続補正書】
【提出日】平成21年3月5日(2009.3.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガスカーテンを生成する少なくとも１つの超音波スリットノズルがデカップル可能な放射線束内に設けられているプラズマベースの放射線源内で放出された放射線をフィルタリングするためのガス流を生成する装置において、
幅広で平らなガスカーテン（１８）の生成用の超音波ノズル輪郭部（１１）を形成するスリットノズル（１）が複数の部分ボディ（１４、１５；２）から組み立てられていること、
その際、ガス導入部分（１４）が、精密機械的に良好に加工可能な金属から成り、ガス排出部分（１５）が高融点の金属から成ること
を特徴とする装置。
【請求項２】
ガス導入部分（１４）が鋼材又は特殊鋼から製造されていることを特徴とする、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
ガス排出部分（１５）がモリブデンから製造されていることを特徴とする、請求項１に記載の装置。
【請求項４】
ガス排出部分（１５）がタングステンから製造されていることを特徴とする、請求項１に記載の装置。
【請求項５】
スリットノズル（１）がバッファガスをノズル輪郭部（１１）内へと定義された方向で流入させるガス分配管（２）を含んでいて、このガス分配管（２）が外殻線（２１）に沿い、半径方向のガス通過のために縦方向に均等に形成されているガス流入ライン部（２２）を有することを特徴とする、請求項１に記載の装置。
【請求項６】
ガス流入ライン部（２２）が等間隔に配置された一列上の円形穴（２３）として形成されていることを特徴とする、請求項５に記載の装置。
【請求項７】
ガス流入ライン部（２２）の円形穴（２３）が１０μｍと５００μｍの間の直径を有することを特徴とする、請求項６に記載の装置。
【請求項８】
ガス流入ライン部（２２）が等間隔に配置された一列上の長穴（２４）として形成されていることを特徴とする、請求項５に記載の装置。
【請求項９】
ガス流入ライン部（２２）が連続する溝穴（２５）として形成されていることを特徴とする、請求項５に記載の装置。
【請求項１０】
ガス流入ライン部（２２）の円形穴（２３）又は長穴（２４）が１ｍｍから５ｍｍの範囲内の間隔を有することを特徴とする、請求項６又は８に記載の装置。
【請求項１１】
ガス流入ライン部（２２）の長穴（２４）又は溝穴（２５）が３０μｍと３００μｍの間の幅を有することを特徴とする、請求項８又は９に記載の装置。
【請求項１２】
ガス分配管（２）が金属材料から成ることを特徴とする、請求項５に記載の装置。
【請求項１３】
ガス分配管（２）がセラミック材料から成ることを特徴とする、請求項５に記載の装置。
【請求項１４】
ガス分配管（２）の一方の端面（２７）にガスの取り入れ用のガス供給部（２８）が設けられていることを特徴とする、請求項５に記載の装置。
【請求項１５】
スリットノズル（１）の部分ボディ（１４、１５；２）が取外し可能な結合により組み合わされていることを特徴とする、請求項１に記載の装置。
【請求項１６】
スリットノズル（１）の部分ボディ（１４、１５；２）が、ピン（１７）、ネジ（２６）、リベット、クランプ、スリーブである結合要素の少なくとも１つにより組み合わされていることを特徴とする、請求項１５に記載の装置。
【請求項１７】
スリットノズル（１）の部分ボディ（１４、１５；２）が取外し不能な結合により組み合わされていることを特徴とする、請求項１に記載の装置。
【請求項１８】
スリットノズル（１）の部分ボディ（１４、１５；２）が、ロウ付け又は溶接又は接着から成る材料拘束的な結合の少なくとも１つにより組み合わされていることを特徴とする、請求項１７に記載の装置。
【請求項１９】
スリットノズル（１）の部分ボディ（１４、１５；２）が少なくとも１つの取外し可能な結合と少なくとも１つの取外し不能な結合により組み合わされていることを特徴とする、請求項１に記載の装置。
【請求項２０】
ガス放電をベースにＥＵＶ放射線を生成する装置であって、真空室内に、ガス放電プラズマを生成する電極装置と、プラズマから放出されたＥＵＶ放射線を集める集光光学系とが光学軸線に沿って配置されていて、ガスカーテンを生成するスリットノズルがその光学軸線に対して直角にプラズマと集光光学系の間に配置されている、前記装置において、
スリットノズル（１）が少なくとも高融点の金属から成るガス排出部分（１５）と精密機械的に良好に加工可能な金属から成るガス導入部分（１４）とから組み立てられていること、
スリットノズル（１）が少なくとも部分的に、プラズマ（５）の生成用に設けられている電極装置（３１）の放射線暗部（３３）内に固定されていること、及び、
集光光学系（７）の光学軸線（７１）に対してスリットノズル（１）の反対側でガスカーテン（１８）用の吸引装置（４２）が同様に放射線暗部（３３）内に取り付けられていること
を特徴とする装置。
【請求項２１】
集光光学系（７）として、入れ子状に配置された集光鏡（７２）から成り斜めにかすめるように反射する反射光学系が使用されていて、スリットノズル（１）と吸引装置（４２）から生成されるガスカーテン（１８）と集光光学系（７）との間には機械的な薄板装置（６）が配置されていることを特徴とする、請求項２０に記載の装置。
【請求項２２】
スリットノズル（１）と吸引装置（４２）の間に生成されるガスカーテン（１８）がデブリ粒子を減速させるバッファガスから成ることを特徴とする、請求項２０に記載の装置。
【請求項２３】
スリットノズル（１）と吸引装置（４２）の間に生成されるガスカーテン（１８）がプラズマ（５）により生成されたＥＵＶ放射線（５１）をスペクトルフィルタリングする混合ガスから成ることを特徴とする、請求項２０に記載の装置。
【請求項２４】
レーザ生成プラズマをベースにＥＵＶ放射線を生成する装置であって、真空室内に、ターゲット軌道に沿って供給されるターゲットに対し、ＥＵＶ放射線を放出するプラズマを生成するレーザ光線が向けられていて、プラズマから放出されたＥＵＶ放射線を集める集光光学系が光学軸線に沿って配置されていて、ガスカーテンを生成するスリットノズルがその光学軸線に対して直角にプラズマと集光光学系の間に配置されている、前記装置において、
スリットノズル（１）が少なくとも高融点の金属から成るガス排出部分（１５）と精密機械的に良好に加工可能な金属から成るガス導入部分（１４）とから組み立てられていること、
スリットノズル（１）が集光光学系（７）によって集束可能な放射線円錐形部（８３）の外側に取り付けられていること、及び
ガスカーテン（１８）用の吸引装置（４２）が集光光学系（７）の光学軸線（７１）の反対側で同様に上記集束可能な放射線円錐形部（８３）の外側に取り付けられていること
を特徴とする装置。
【請求項２５】
集光光学系（７）として、反射光学系で垂直な放射線入射のために形成されている集光鏡（７２）が使用され、プラズマ（５）の背後に配置されていて、スリットノズル（１）と吸引装置（４２）により生成されるガスカーテン（１８）と集光光学系（７）との間には機械的な薄板装置（６）が配置されていることを特徴とする、請求項２４に記載の装置。
【請求項２６】
集光鏡（７２）により集束される放射線束（７４）の方向で、プラズマ（５）に対して後置された他のガスカーテン（１９）を生成する追加的なスリットノズル（１）が設けられていて、光学軸線の反対側（７１）に吸引装置（４２）が配置されていることを特徴とする、請求項２５に記載の装置。
【請求項２７】
スリットノズル（１）と吸引装置（４２）の間に生成されるガスカーテン（１８）がデブリ粒子を減速させるバッファガスから成ることを特徴とする、請求項２４に記載の装置。
【請求項２８】
スリットノズル（１）と吸引装置（４２）の間に生成される他のガスカーテン（１９）がプラズマ（５）からのデブリ粒子を減速させるバッファガスから成ることを特徴とする、請求項２６に記載の装置。
【請求項２９】
スリットノズル（１）と吸引装置（４２）の間に生成される他のガスカーテン（１９）がプラズマ（５）により生成されたＥＵＶ放射線（５１）をスペクトルフィルタリングする混合ガスから成ることを特徴とする、請求項２６に記載の装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
前記の課題は、本発明に従い、ガスカーテンを生成する少なくとも１つの超音波スリットノズルがデカップル可能な放射線束内に設けられているプラズマベースの放射線源内で放出された放射線をフィルタリングするためのガス流を生成する装置において、幅広で平らなガスカーテンの生成用の超音波ノズル輪郭部を形成するスリットノズルが複数の部分ボディから組み立てられていて、その際、部分ボデイのうちのガス導入部分が、精密機械的に良好に加工可能な金属から成り、ガス排出部分が高融点の金属から成ることにより解決される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
有利には、ここでガス導入部分は鋼材、あるいは好ましくは特殊鋼から製造され、それに対しガス排出部分は合目的にはモリブデン又はタングステンから製造されている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
更に本発明の課題は、ガス放電をベースにＥＵＶ放射線を生成する装置であって、真空室内に、ガス放電プラズマを生成する電極装置と、プラズマから放出されたＥＵＶ放射線を集める集光光学系とが光学軸線に沿って配置されていて、ガスカーテンを生成するスリットノズルがその光学軸線に対して直角にプラズマと集光光学系の間に配置されている、前記装置において、スリットノズルが少なくとも高融点の金属から成るガス排出部分と精密機械的に良好に加工可能な金属から成るガス導入部分とから組み立てられていること、スリットノズルが少なくとも部分的に、プラズマの生成用に設けられている電極装置の放射線暗部内に固定されていること、及び集光光学系の光学軸線に対してスリットノズルの反対側でガスカーテン用の吸引装置が同様に放射線暗部内に取り付けられていることにより解決される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
更に本発明の課題は、レーザ生成プラズマをベースにＥＵＶ放射線を生成する装置であって、真空室内に、ターゲット軌道に沿って供給されるターゲットに対し、ＥＵＶ放射線を放出するプラズマを生成するレーザ光線が向けられていて、プラズマから放出されたＥＵＶ放射線を集める集光光学系が光学軸線に沿って配置されていて、ガスカーテンを生成するスリットノズルがその光学軸線に対して直角にプラズマと集光光学系の間に配置されている、前記装置において、スリットノズルが少なくとも高融点の金属から成るガス排出部分と精密機械的に良好に加工可能な金属から成るガス導入部分とから組み立てられていること、スリットノズルが集光光学系によって集束可能な放射線円錐形部の外側に取り付けられていること、及びガスカーテン用の吸引装置が集光光学系の光学軸線の反対側で同様に上記集束可能な放射線円錐形部の外側に取り付けられていることにより解決される。