(57)【要約】【課題】プラズマディスプレイパネルの放電電圧の上昇を抑制する。【解決手段】本発明のプラズマディスプレイパネル１は、第一、第二の基板１１、２１の間の隙間を取り囲む内側接着リング４１と、内側接着リング４１を取り囲む外側接着リング４２を有しており、放電ガスは内側接着リング４１と外側接着リング４２とで二重に封止されるため、大気中の水分が進入しない。また、内側接着リング４１と外側接着リング４２の間には吸湿剤４５が配置されているので、水分は吸湿剤４５によって捕獲される。このように、プラズマディスプレイパネル１の内部に水分が進入しないので、放電電圧の上昇が抑制される。【選択図】図２
2008135206.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに所定間隔を開けて対向して配置された第一、第二の基板と、
前記第一、第二の基板の間に配置され、前記第一、第二の基板間の隙間を取り囲む内側接着リングと、
前記内側接着リングの内側に封入された放電ガスと、
前記内側接着リングの外周側に前記内側接着リングと離間して配置され、前記内側接着リングを取り囲む外側接着リングと、
前記内側接着リングと前記外側接着リングの間に配置された吸湿剤とを有するプラズマディスプレイパネル。
【請求項２】
前記吸湿剤は、前記内側接着リングの内側で前記第一の基板表面を覆う保護膜で構成され、
前記内側接着リングの外側位置と内側位置の前記保護膜は連続し、前記内側接着リングは前記保護膜に密着された請求項１記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項３】
前記吸湿剤は、前記内側接着リングの内側で前記第一の基板表面を覆う保護膜で構成され、
前記保護膜にはリング状の開口部が形成され、前記内側接着リングは、前記開口部底面に露出する前記第一の基板に密着された請求項１記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項４】
前記保護膜は、ＭｇＯと、ＣａＯと、ＳｒＯとからなる群より選択される少なくとも一種類の金属酸化物を含有する薄膜で構成された請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項５】
前記吸収剤は、Ｃａと、Ｓｒと、Ｂａとからなる群より選択される少なくとも１種類の金属を含有する請求項１記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項６】
前記内側接着リングのリング幅は、前記外側接着リングのリング幅よりも狭くされた請求項１乃至請求項５のいずれか１項記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項７】
前記内側接着リングの内側に配置された内側吸湿剤を有する請求項１乃至請求項６のいずれか１項記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項８】
第一の基板表面に保護膜を形成した後、第一又は第二の基板のいずれか一方に紫外線硬化樹脂を所定間隔を開けて二重リング状に配置し、
前記第一、第二の基板を、前記紫外線硬化樹脂を間に挟んで配置し、前記紫外線硬化樹脂に紫外線を照射して硬化させ、前記第一、第二の基板を固定するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記二重リングを形成する前に、前記第一の基板表面の前記二重リングの間の位置に吸湿剤を配置するプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項９】
前記保護膜を吸湿剤で構成させ、
前記二重リングの間に、前記保護膜を露出させる請求項８記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記二重リングの内側の前記紫外線硬化樹脂は、前記保護膜に密着させるプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１０】
前記保護膜を吸湿剤で構成させ、
前記二重リングの間に、前記保護膜を露出させる請求項８記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記保護膜にリング状の開口部を形成しておき、前記二重リングの内側の前記紫外線硬化樹脂は、前記開口部底面に露出する前記第一の基板に密着させるプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１１】
前記二重リングのうち、内側のリングの幅が、外側のリングの幅よりも狭くなるように、前記二重リングを配置する請求項８乃至請求項１０のいずれか１項記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はプラズマディスプレイパネルの封止技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）は表示装置の分野で広く用いられており、近年、大画面で高品質かつ、低価格のＰＤＰが要求されている。
一般にＰＤＰはガラス基板上に維持電極および走査電極が形成された前面板と、ガラス基板上にアドレス電極が形成された背面板とがはりあわされて構成されている３電極面放電型が主流となっている。
【０００３】
前面板と背面板の間には放電ガスが封入されており、走査電極とアドレス電極との間で電圧を印加して放電をおこすと、封入された放電ガスがプラズマ化し、紫外線が放射される。放射された紫外線が照射される位置に蛍光体を配置しておけば、紫外線によって蛍光体が励起され、可視光が放出される。
一般に、維持電極及び走査電極上には、誘電体膜が形成され、さらにその上に誘電体を保護するためのＭｇＯ保護膜が形成されている。
【０００４】
放電維持のために、走査電極と維持電極に交流電圧を印加すると、放電ガスのプラズマ化により、発生した陽イオンが走査電極側および維持電極側に入射するが、維持電極および走査電極とそれら電極上の誘電体膜は保護膜によって陽イオンから保護される。
【０００５】
近年、高性能化の要求に伴い、ＰＤＰの発光効率を向上させるために、放電ガスとして通常用いられるＮｅとＸｅの混合ガス中のＸｅ濃度を従来の５％程度から１０％以上まで高くする方法が行われている。
【０００６】
しかし、保護膜がＭｇＯの場合、放電ガス中のＸｅ濃度を高くすると放電電圧が上昇し、耐スパッタ性が低下して保護膜としての機能が低下するため、パネル寿命が短くなることが問題であった。また、ＰＤＰを駆動するためのドライバー回路も高電圧対応の仕様が必要となり、ＰＤＰ駆動制御系の製造コストが高くなることが問題とされていた。
【０００７】
ＰＤＰの放電電圧は保護膜の２次電子放出係数に依存する。仕事関数がＭｇＯよりも小さいアルカリ土類金属の酸化物を保護膜として用い、放電電圧を低電圧化することが提案されている。（特開２００２−２３１１２９）また、アルカリ土類金属の酸化物を保護膜として用い、特開２０００−１５６１６０で提案されている、真空一貫装置によってＰＤＰを製造すれば、アルカリ土類金属酸化物保護膜を大気にさらす必要がないため、保護膜の特性を損なうことなく、ＰＤＰの製造が可能になる。さらに、特開２００２-７５１９７で提案されているように、封着材に樹脂材料を用いれば、パネル封着時の加熱と冷却が不要になるため、パネル製造時間を大幅に短縮することが出来る。
【０００８】
しかしながら、封着材に樹脂材料を用いた、上記従来技術の実施においては、樹脂材料から透過してパネル内に進入する不純物ガスにより、パネル内に封入されている放電ガスの純度が次第に低下することにより、放電電圧が上昇するという問題がある。
【特許文献１】特開２００３−２７２５４３号公報
【特許文献２】特開２０００−３０６１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は上記課題を解決するために成されたものであり、その目的は、不純物ガスの進入を防止し、放電電圧の上昇を抑制する技術を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために本発明は、互いに所定間隔を開けて対向して配置された第一、第二の基板と、前記第一、第二の基板の間に配置され、前記第一、第二の基板間の隙間を取り囲む内側接着リングと、前記内側接着リングの内側に封入された放電ガスと、前記内側接着リングの外周側に前記内側接着リングと離間して配置され、前記内側接着リングを取り囲む外側接着リングと、前記内側接着リングと前記外側接着リングの間に配置された吸湿剤とを有するプラズマディスプレイパネルである。
本発明は、プラズマディスプレイパネルであって、前記吸湿剤は、前記内側接着リングの内側で前記第一の基板表面を覆う保護膜で構成され、前記内側接着リングの外側位置と内側位置の前記保護膜は連続し、前記内側接着リングは前記保護膜に密着されたプラズマディスプレイパネルである。
本発明は、プラズマディスプレイパネルであって、前記吸湿剤は、前記内側接着リングの内側で前記第一の基板表面を覆う保護膜で構成され、前記保護膜にはリング状の開口部が形成され、前記内側接着リングは、前記開口部底面に露出する前記第一の基板に密着されたプラズマディスプレイパネルである。
本発明はプラズマディスプレイパネルであって、前記保護膜は、ＭｇＯと、ＣａＯと、ＳｒＯとからなる群より選択される少なくとも一種類の金属酸化物を含有する薄膜で構成されたプラズマディスプレイパネルである。
本発明はプラズマディスプレイパネルであって、前記吸収剤は、Ｃａと、Ｓｒと、Ｂａとからなる群より選択される少なくとも１種類の金属を含有するプラズマディスプレイパネルである。
本発明はプラズマディスプレイパネルであって、前記内側接着リングのリング幅は、前記外側接着リングのリング幅よりも狭くされたプラズマディスプレイパネルである。
本発明はプラズマディスプレイパネルであって、前記内側接着リングの内側に配置された内側吸湿剤を有するプラズマディスプレイパネルである。
本発明は、第一の基板表面に保護膜を形成した後、第一又は第二の基板のいずれか一方に紫外線硬化樹脂を所定間隔を開けて二重リング状に配置し、前記第一、第二の基板を、前記紫外線硬化樹脂を間に挟んで配置し、前記紫外線硬化樹脂に紫外線を照射して硬化させ、前記第一、第二の基板を固定するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記二重リングを形成する前に、前記第一の基板表面の前記二重リングの間の位置に吸湿剤を配置するプラズマディスプレイパネルの製造方法である。
本発明は、前記保護膜を吸湿剤で構成させ、前記二重リングの間に、前記保護膜を露出させるプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記二重リングの内側の前記紫外線硬化樹脂は、前記保護膜に密着させるプラズマディスプレイパネルの製造方法である。
本発明は、前記保護膜を吸湿剤で構成させ、前記二重リングの間に、前記保護膜を露出させるプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記保護膜にリング状の開口部を形成しておき、前記二重リングの内側の前記紫外線硬化樹脂は、前記開口部底面に露出する前記第一の基板に密着させるプラズマディスプレイパネルの製造方法である。
本発明はプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記二重リングのうち、内側のリングの幅が、外側のリングの幅よりも狭くなるように、前記二重リングを配置するプラズマディスプレイパネルの製造方法である。
本発明は上記のように構成されており、第一の基板上の電極間、又は第一の基板上の電極と第二の基板上の電極の間に電圧を印加すると、放電ガスがプラズマ化する。少なくとも第一の基板の電極を保護膜で覆っておけば、保護膜によって電極がプラズマから保護されるので、電極の電気的特性が劣化しない。
【００１１】
放電ガスが封入された空間に大気から不純物ガス（例えば水分）が進入すると、維持放電や書き込み放電等の放電電圧が高くなり、保護膜がエッチングされる速度が速くなるが、本発明では、放電ガスを封止する接着リングを二重にすることで、パネル内への不純物ガスの進入速度を遅くすることができる。
また、接着リングの間に不純物ガスのゲッター（吸湿剤）を配置することで、水分等の不純物が吸収されるので、大気側からパネル内への不純物ガスの進入をさらに効果的に防ぐことが出来る。
【発明の効果】
【００１２】
本発明では封着材の樹脂材料を透過し、パネル内部に進入する不純物ガスの透過量を大幅に低減することが出来る。この効果により、従来よりも安定した放電電圧が得られ、プラズマディスプレイパネルの寿命も長くなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
図２〜４の符号１〜３は本発明の第一例〜第三例のプラズマディスプレイパネルを示しており、共通する部分には共通する符号を付して一緒に説明する。
図１は第一〜第五例のプラズマディスプレイパネル１〜３、７、８の中央部分である発光領域５の斜視図であり、逆に図２〜４、１３、１４は発光領域５は図１のＡ−Ａ切断線断面図の部分が示されている。
【００１４】
プラズマディスプレイパネル１〜３は、矩形板状の第一、第二のパネル１０、２０をそれぞれ有している。第一、第二のパネル１０、２０は、各パネル１０、２０の外周付近に封止部材４０、５０、６０が配置された状態で、所定間隔を空けて張り合わされている。
【００１５】
第一、第二のパネル１０、２０は第一、第二の基板（ここではガラス基板）１１、２１を有しており、第一の基板１１の第二のパネル２０と対向する面上には、透明電極１５が配置され、第二の基板２１の第一のパネル１０と対向する面上には金属電極２５が配置されている。
【００１６】
ここでは、透明電極１５は、細長の維持電極１５ａと細長の走査電極１５ｂの２種類があり、維持電極１５ａと走査電極１５ｂは交互に所定間隔をあけて並べられ、金属電極（アドレス電極）２５は細長であって、維持電極１５ａ及び走査電極１５ｂと交差するように所定間隔を空けて並べられている。
【００１７】
第一の基板１１の表面上には、絶縁材料からなる誘電体膜１２が維持電極１５ａと走査電極１５ｂの表面及び側面を覆うように形成され、維持電極１５ａと走査電極１５ｂは誘電体膜１２で互いに絶縁されている。
誘電体膜１２の表面には金属酸化物を主成分とする保護膜１４が形成され、維持電極１５ａの表面上と走査電極１５ｂの表面上には該保護膜１４が位置する。
【００１８】
アドレス電極２５の間には細長の隔壁２３がアドレス電極２５の長手方向に沿って形成されている。隔壁２３の第二の基板２１表面からの高さはアドレス電極２５よりも高く、その先端が保護膜１４に当接され、第一、第二のパネル１０、２０の間の空間のうち、発光領域５にある部分は隔壁２３で区分けされている。
【００１９】
第一、第二のパネル１０、２０の間の空間のうち、発光領域５にある部分は封止部材４０、５０、６０で密閉され、Ｘｅガス、Ｎｅガスのいずれか一方又は両方を含む放電ガスが封入されており、従って、隔壁２３で区分けされた各空間には放電ガスが配置されている。
【００２０】
維持電極１５ａと、走査電極１５ｂと、アドレス電極２５は発光領域５から封止部材４０、５０、６０よりも外側にそれぞれ引き出され、外部回路に接続されている。
選択した走査電極１５ｂとアドレス電極２５との間に外部回路から電圧を印加すると、選択した走査電極１５ｂとアドレス電極２５とが交差する部分で書き込み放電が起こり、選択した走査電極１５ｂと隣接する維持電極１５ａの間に交流電圧を印加すると維持放電が起こり、封入ガスがプラズマ化して紫外線が発生する。
【００２１】
第二のパネル２０表面のうち、発光領域５にある部分には蛍光体層２２Ｒ、２２Ｇ、２２Ｂが形成されている。ここでは、隔壁２３と隔壁２３との間の空間に、赤色の蛍光体層２２Ｒ、緑色の蛍光体層２２Ｇ、青色の蛍光体層２２Ｂのいずれか１色が配置され、紫外線が発生した部分にある蛍光体層２２Ｒ、２２Ｇ、２２Ｂが発色し、赤、緑、青のいずれかの色の可視光が放出される。
【００２２】
ここでは誘電体膜１２と保護膜１４と第一の基板１１は透明になっている。上述したように、維持電極１５ａと走査電極１５ｂは透明電極１５であるから、第一のパネル１０の少なくとも発光領域５にある部分は透明であり、放出された可視光は第一のパネル１０を透過して外部に放出される。
【００２３】
選択された走査電極１５ｂと、該走査電極１５ｂに隣接する維持電極１５ａの間に、維持放電の時よりも弱い電圧を印加し、維持放電よりも弱い放電（消去放電）を起こすと、紫外線の発生が停止し、可視光の放出が停止される。
【００２４】
次に、第一〜第三例のプラズマディスプレイパネル１〜３の封止部材４０〜６０について説明する。
封止部材４０〜６０は内側接着リング４１、５１、６１と、外側接着リング４２、５２、６２と、吸湿剤４５、５５、６５とをそれぞれ有している。
内側接着リング４１、５１、６１は内周が発光領域５と同じかそれよりも大きいリング形状であって、発光領域５を取り囲んでいる。
【００２５】
外側接着リング４２、５２、６２は内周が内側接着リング４１、５１、６１の外周よりも大きいリング状であって、内側接着リング４１、５１、６１と所定間隔を空けて内側接着リング４１、５１、６１を取り囲むように配置されている。
【００２６】
第一、第二のパネル１０、２０は外周部分に第一、第二の基板１１、２１の表面が露出し、第一〜第三例のプラズマディスプレイパネル１〜３の外側接着リング４２、５２、６２は第一、第二の基板１１、２１の両方に密着しており、第一、第二の基板１１、２１は外側接着リング４２、５２、６２によって機械的に直接貼り合わされている。
【００２７】
第一〜第三例のプラズマディスプレイパネル１〜３では、内側接着リング４１、５１、６１の第二の基板２１側の端部が第二の基板２１に密着している。
第一〜第三例のうち、第一例のプラズマディスプレイパネル１では、保護膜１４と誘電体膜１２が発光領域５の外側も覆うように形成され、内側接着リング４１の第一の基板１１側端部は、発光領域５よりも外側で保護膜１４表面に密着している。
【００２８】
これに対し、第二例のプラズマディスプレイパネル２では、保護膜１４にリング状の開口部５９が形成され、該開口部５９の底面で内側接着リング５１の第一の基板１１側端部が第一の基板１１に密着し、第三例のプラズマディスプレイパネル３では保護膜１４が発光領域５からはみ出しておらず、内側接着リング６１の第一の基板１１側端部は保護膜１４の縁よりも外側で第一の基板１１に密着している。
保護膜１４は、ＭｇＯと、ＣａＯと、ＳｒＯのうち、いずれか１種類以上の吸湿性金属酸化物を含有する。
【００２９】
第一例のプラズマディスプレイパネル１では、保護膜１４の平面形状は内側接着リング４１の外周よりも大きく、保護膜１４の縁が内側接着リング４１の全外周からはみ出し、そのはみ出した部分で吸湿剤４５が構成されている。従って、第一例のプラズマディスプレイパネル１では、保護膜１４と吸湿剤４５とは連続している。
【００３０】
これに対し、第二、第三例のプラズマディスプレイパネル２、３では、吸湿剤５５、６５が発光領域５に位置する保護膜１４から分離されている。
第二例のプラズマディスプレイパネル２では、上述したように保護膜１４に開口部５９が形成されており、内側接着リング５１は開口部５９に位置するから、保護膜１４の開口部５９よりも外側のリング部分は内側接着リング５１よりも外側に位置する。
【００３１】
保護膜１４のリング部分は、リング外周が外側接着リング５２の内周と同じかそれよりも小さく、外側接着リング５２と内側接着リング５１の間に位置し、そのリング部分で吸湿剤５５が構成される。従って、第二例のプラズマディスプレイパネル２では吸湿剤５５は保護膜１４と同じ材料で構成されているが、保護膜１４からは分離している。
【００３２】
第三例のプラズマディスプレイパネル３の吸湿剤６５は、保護膜１４と異なる吸湿材料で構成されたリング状であって、そのリングの内周は内側接着リング６１の外周と同じかそれよりも大きく、リング外周は外側接着リング６２の内周と同じかそれよりも小さくされ、外側接着リング６２と内側接着リング６１の間で、内側接着リング６１を取り囲むように配置されている。
【００３３】
第一〜第三例のプラズマディスプレイパネル１〜３のいずれも、内側接着リング４１、５１、６１と外側接着リング４２、５２、６２とで二重に放電ガスが密閉され、しかも、内側接着リング４１、５１、６１と外側接着リング４２、５２、６２の間に吸湿剤４５、５５、６５が配置されているから、大気中の水分が内側接着リング４１、５１、６１で囲まれた空間まで進入しない。
【００３４】
従って、第一〜第三例のプラズマディスプレイパネル１〜３は放電電圧が高くならず、放電電圧が安定する。放電電圧が高くならないと、保護膜１４が放電ガスのプラズマでエッチングされる速度も早くならないので、従来に比べてプラズマディスプレイパネル１〜３の寿命も長くなる。
【００３５】
次に、第一例〜第三例のプラズマディスプレイパネル１〜３のうち、先ず、第一例のプラズマディスプレイパネル１の製造工程について説明する。
透明電極１５が形成された状態の第一の基板１１の表面に、発光領域５となる部分と、その周囲の領域が露出する開口が形成されたマスクを配置し、第一の基板１１の外周部分をマスクで覆った状態で、第一の基板１１の表面上に、誘電体膜１２と保護膜１４とを記載した順番に積層する。
【００３６】
図５は誘電体膜１２と保護膜１４とが形成された状態の第一の基板１１を示しており、マスクで覆われた部分には誘電体膜１２と保護膜１４とが形成されないから、第一の基板１１の外周部分には第一の基板１１の表面が露出している。
【００３７】
図６（ａ）は第二のパネル２０を貼り合わせる前であって、隔壁２３間に蛍光体層２２Ｒ、２２Ｇ、２２Ｂが形成された状態の第二のパネル２０を示しいる。
第二のパネル２０の外周部分には第二の基板２１の表面が露出しており、第二の基板２１が露出した部分に、リング状に成形した紫外線硬化樹脂を貼付するか、ペースト状の紫外線硬化樹脂をリング状に塗布して、リング状の紫外線硬化樹脂（内側接着剤）４６と、内側接着剤４６と離間してその外周を取り囲むリング状の紫外線硬化樹脂（外側接着剤）４７とを形成し、紫外線硬化樹脂の二重リングを形成する。
【００３８】
その状態の第二のパネル２０と、図５に示した状態の第一のパネル１０とを同じ真空雰囲気に置き、第一のパネル１０の保護膜１４が形成された側の面と、第二のパネル２０の内側接着剤４６と外側接着剤４７が形成された側の面を対向させ、第一、第二のパネル１０、２０同士を位置合わせする。
【００３９】
誘電体膜１２と保護膜１４の平面形状は、内側接着剤４６のリング外周よりも大きく、かつ、外側接着剤４７のリング内周よりも小さくなっており、位置合わせした状態では、保護膜１４の外周は内側接着剤４６と外側接着剤４７の二重リングの間に位置する。
【００４０】
内側接着剤４６の高さを隔壁２３と同じかそれよりも高くし、外側接着剤４７の高さを内側接着剤４６よりも高くしておき、第一、第二のパネル１０、２０が置かれた真空雰囲気に放電ガスを供給した状態で、位置合わせした第一、第二のパネル１０、２０を互いに近づけ、隔壁２３を保護膜１４に当接させると、内側接着剤４６が保護膜１４に接触し、外側接着剤４７が第一の基板１１に接触し、内側接着剤４６の内側と、外側接着剤４７と内側接着剤４６の間に放電ガスが密閉される（図６（ｃ））。
上述したように、内側接着剤４６と外側接着剤４７は紫外線硬化樹脂で構成されている。
【００４１】
第一の基板１１は透明であり、保護膜１４と誘電体膜１２も透明であるから、第一のパネル１０の裏面側から紫外線を照射すると、内側接着剤４６と外側接着剤４７に紫外線が入射して、内側接着剤４６が保護膜１４と第二の基板２１に密着した状態で硬化して内側接着リング４１となり、外側接着剤４７が第一、第二の基板１１、２１に密着した状態で硬化して外側接着リング４２となり、保護膜１４の二重リングの間に位置する部分が吸湿剤４５となって、封止部材４０が形成される。
【００４２】
第一例のプラズマディスプレイパネル１は、第二例、第三例のプラズマディスプレイパネル２、３と異なり、吸湿剤４５が保護膜１４の一部で構成されているため、製造工程が簡易である。
【００４３】
次に、第二、第三例のプラズマディスプレイパネル２、３を製造する工程について説明する。
図７（ａ）は第一の基板１１の表面に透明電極１５と、誘電体膜１２とが形成された状態を示しており、誘電体膜１２の周囲には第一の基板１１の外周部分が露出している。図７（ａ）の符号６は誘電体膜１２よりも外側の領域であって、第一の基板１１が露出する封止領域を示しており、封止領域６は誘電体膜１２を取り囲むリング状である。
【００４４】
図７（ａ）に示す状態の第一の基板１１を不図示の真空槽内部に配置し、第二例のプラズマディスプレイパネル２を製造する場合には誘電体膜１２が露出する開口と、封止領域６のリング幅方向の中央部分が部分的に露出する開口とを有するマスクを第一の基板１１上に配置する。
【００４５】
その状態で、真空槽内部で吸湿性の金属酸化物を蒸発させると、誘電体膜１２の表面に金属酸化物の膜が成長して保護膜１４が形成されると同時に、封止領域６のリング幅方向の中央部分に、保護膜１４とは分離して金属酸化物の膜が成長して吸湿剤５５が形成される（図７（ｂ））。
従って、第二例のプラズマディスプレイパネル２の製造工程では、保護膜１４と同じ材料で構成される吸湿剤５５が、保護膜１４と一緒に形成される。
【００４６】
第三例のプラズマディスプレイパネル３を製造する場合には、図７（ａ）に示す状態の第一の基板１１を真空槽内部に配置し、第一の基板１１上に不図示のマスクを配置し、封止領域６の幅方向中央部分だけを部分的に露出させた状態で、真空槽内部で吸湿性の金属材料（例えば、Ｓｒ、Ｂａ、Ｃａ等の２族のアルカリ土塁金属）を蒸発させると、該金属材料の蒸気が封止領域６の幅方向中央部分に到達して、誘電体膜１２から分離したリング状の吸湿剤６５が第一の基板１１の表面に形成される（図９（ａ））。
【００４７】
吸湿剤６５を形成後マスクを交換し、誘電体膜１２の表面を露出させ、封止領域６を全部マスクで覆う。マスク交換後の第一の基板１１が配置された真空槽内で、吸湿性の金属酸化物を蒸発させると、誘電体膜１２の表面に保護膜１４が形成される（図９（ｂ））。
【００４８】
第二例のプラズマディスプレイパネル２を製造する場合も、第三例のプラズマディスプレイパネル３を製造する場合も、吸湿剤５５、６５は封止領域６のリング幅方向中央に部分的に形成されるから、吸湿剤５５、６５は保護膜１４から分離されている。
【００４９】
次に、図６（ａ）で示した状態の第二のパネル２０の外周部分に、上述した内側接着剤４６と外側接着剤４７の二重リングを形成する（図８）。
ここでは、内側接着剤４６と外側接着剤４７の膜厚を略等しく、その高さをそれぞれ隔壁２３よりも高くしておき、第一例のプラズマディスプレイパネル１を製造する場合と同様に、真空雰囲気に第一、第二のパネル１０、２０を置いて位置合わせを行った後、該真空雰囲気に放電ガスを導入した状態で、第一、第二のパネル１０、２０を近づけ、隔壁２３を保護膜１４の表面に当接させ、内側接着剤４６を吸湿剤５５、６５と保護膜１４の間で第一の基板１１の表面に密着させ、外側接着剤４７を吸湿剤５５、６５の外側で第一の基板１１の表面に密着させ、内側接着剤４６の内側と、外側接着剤４７と内側接着剤４６の間に放電ガスを密閉する。
その状態で、第一例のプラズマディスプレイパネル１を製造する場合と同様に内側接着剤４６と外側接着剤４７を硬化させれば、第二、第三例のプラズマディスプレイパネル２、３が得られる。
【００５０】
保護膜１４を構成する材料は特に限定されないが、ＭｇＯやＣａＯやＳｒＯのように、電子放出特性が高い金属酸化物を用いることが望ましい。これらの金属酸化物は１種類を単独で保護膜１４に用いてもよいし、ＳｒＯとＣａＯの混合物、ＳｒＯとＭｇＯの混合物のように、２種類以上を混合して保護膜１４に用いてもよい。
【００５１】
第三例のプラズマディスプレイパネル３の吸湿剤６５はＳｒと、Ｂａと、Ｃａ等の金属材料を１種類以上用いることができる。この吸湿剤はこれら金属材料に特に限定されないが、吸湿剤は大気に触れると劣化する恐れがあるので、真空雰囲気で成膜可能なものが好ましい。
【００５２】
内側接着剤４６と外側接着剤４７に用いる紫外線硬化樹脂は、特に限定されないが、具体的にはアクリル樹脂や、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂のような紫外線照射によって重合する樹脂を１種類以上含有するものである。
【００５３】
また接着剤としては、紫外線硬化樹脂以外にも、加熱による重合する熱硬化性樹脂を用いることも可能であり、この場合は内側接着剤４６と外側接着剤４７を第一、第二のパネル１０、２０に接触させた状態で加熱することで、各接着剤を硬化させることができる。
以上は保護膜１４を透明電極１５上に配置する場合について説明したが、本発明はこれに限定されず、透明電極１５上に加え、金属電極（アドレス電極）２５の上に保護膜１４を配置してもよい。
【００５４】
少なくとも、第一のパネル１０の保護膜１４と吸湿剤４５、５５、６５を形成する工程から、図６（ｂ）、図８に示した状態の第二のパネル２０との位置合わせし、内側接着剤４６と外側接着剤４７を硬化させて放電ガスを封入するまでの作業を、全て大気に曝すことなく真空雰囲気で行えば、製造工程においても大気中の水分が混入することがないので、放電電圧は高くならない。
【００５５】
また、接着剤層は内側接着リング４１、５１、６１と、外側接着リング４２、５２、６２の二つに限定されず、内側接着リング４１、５１、６１よりも内側で内部空間を取り囲むリング状の接着剤層、又は、外側接着リング４２、５２、６２よりも更に外側で外側接着リング４２、５２、６２を取り囲むリング状の接着剤層を１つ以上設けてもよい。
【００５６】
以上は、内側接着剤４６と外側接着剤４７の両方を、第二のパネル２０に形成してから、第一、第二のパネル１０、２０を貼り合わせる場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、内側接着剤４６と外側接着剤４７のいずれか一方又は両方を第一のパネル１０に形成してから、第一、第二のパネル１０、２０を張り合わせてもよい。この場合、外側接着剤４７は第一の基板１１の露出部分に密着させ、内側接着剤４６は第一の基板１１の露出部分、又は保護膜１４の表面に密着させる。
【００５７】
紫外線硬化型の接着剤が硬化するときには、水やアルコール等の不純物ガスが発生する。接着剤の量が多いと、不純物ガスの発生量も多くなり、放電ガスの純度が下がるので、接着剤の二重リングを形成する時に、内側接着剤のリング幅を外側接着剤のリング幅よりも狭くし、内側接着リングで囲まれる空間の不純物ガス発生量を少なくすることが望ましい。
【００５８】
図１３の符号７は、内側接着剤のリング幅を外側接着剤よりも狭くして形成した本発明の第四例のプラズマディスプレイパネルを示しており、内側接着リング７１のリング幅は、外側接着リング７２のリング幅よりも狭くなっている。ここでは、プラズマディスプレイパネル７は、内側接着リング７１のリング幅が狭くされた以外は、上記第一例のプラズマディスプレイパネル１と同じ構成を有している。
【００５９】
また、上記第二、第三例のプラズマディスプレイパネル２、３でも、第四例のプラズマディスプレイパネル７と同様に、内側接着剤のリング幅を狭くして、内側接着リングのリング幅を外側接着リングのリング幅を狭くすることが望ましい。
更に、図１４に示すように、内側接着リング８１の内側にもリング状の内側吸湿剤８６を設ければ、内側接着剤が硬化する際に、内側接着剤で囲まれた領域に放出される不純物ガスが内側吸湿剤８６で吸収されるので、放電ガスの純度低下がより効果的に防止される。
【００６０】
内側吸湿剤８６の配置は特に限定されず、プラズマディスプレイパネル８の発光を阻害しないのであれば、第一の基板１１の表面に配置してもよいし、誘電体膜１２の表面に配置してもよいし、保護膜１４の表面にも配置してもよい。
【００６１】
このプラズマディスプレイパネル８においても、内側接着剤のリング幅を外側接着剤のリング幅よりも狭くし、リング幅が外側接着リング８２よりも狭い内側接着リング８１を形成することが望ましい。
保護膜１４と吸湿剤４５、５５、６５の形成方法は蒸着法に限定されず、スパッタ法等他の成膜方法でも形成することができる。
【実施例】
【００６２】
蒸着材料としてＳｒＯがＣａＯに添加された混合材料を用い、ＳｒＯが２０ｍｏｌ％添加されたＣａＯ膜（厚さ８００ｎｍ）をＥＢ蒸着法により形成して保護膜１４を形成し、図５に示す状態の第一のパネル１０を製造した。
Ｎｅを主成分とし、Ｘｅが４％添加された放電ガスを真空槽内に導入して、４００Ｔｏｒｒの真空雰囲気を形成し、第一のパネル１０と第二のパネル２０とを、図６（ａ）〜（ｃ）で示した工程で貼り合わせ、第一例のプラズマディスプレイパネル１を得た（実施例）。
【００６３】
これとは別に、図６（ａ）に示した第二のパネル２０に内側接着剤を形成せず、外側接着剤４７だけを形成したものを貼り合わせに用いた以外は、実施例と同じ条件で比較例のプラズマディスプレイパネルを製造した。
尚、実施例、比較例共に、保護膜１４の成膜から第一、第二のパネル１０、２０の貼り合わせて放電ガスを密閉する工程まで大気中に取り出すことなく、真空雰囲気内で行った。
【００６４】
＜放電電圧測定＞
実施例のプラズマディスプレイパネル１と、比較例のプラズマディスプレイパネルを温度８５℃、湿度９５％の恒温、恒湿槽内に入れ、放電電圧の経時変化を測定した。実施例のＰＤＤ１の測定結果を図１０に、比較例のプラズマディスプレイパネルの測定結果を図１１に示す。
【００６５】
図１０、図１１の横軸はエージング時間（単位：時間）を、縦軸は電圧を示しており、図１０、図１１中のＶｆｎは最大放電開始電圧（maximun firing voltage)を示し、Ｖｓｍｎは最大維持放電電圧（maximum sustain voltage)示している。
図１０、図１１から明らかなように、実施例のプラズマディスプレイパネル１は維持放電、書き込み放電共に、２０００時間経過しても放電電圧の電圧上昇が極僅かであったが、比較例のプラズマディスプレイパネルは時間と共に放電電圧が上昇した。
【００６６】
＜水分透過量測定＞
次に、実施例のプラズマディスプレイパネル１の封止部材４０で封止された内部空間と、比較例の一重の接着剤層で封止された内部空間の水分量を測定した。その結果を図１２に示す。
【００６７】
図１２から明らかなように、本発明のプラズマディスプレイパネル１は内部空間への水分量がほぼゼロであったが、比較例のプラズマディスプレイパネルは時間と共に内部空間の水分量が増えた。以上のことから、本発明のプラズマディスプレイパネル１は内部空間への水分進入がなく、放電電圧も上昇も起こらないことがわかった。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】第一〜第五例のプラズマディスプレイパネルの発光領域の斜視図
【図２】第一例のプラズマディスプレイパネルの断面図
【図３】第二例のプラズマディスプレイパネルの断面図
【図４】第三例のプラズマディスプレイパネルの断面図
【図５】誘電体膜と保護膜が形成された状態の第一の基板の断面図
【図６】（ａ）〜（ｃ）：第一例のプラズマディスプレイパネルを製造する工程を説明するための断面図
【図７】（ａ）、（ｂ）：第二例のプラズマディスプレイパネルの吸湿剤を形成する工程を説明するための断面図
【図８】内側接着剤と、外側接着剤が形成された状態を説明するための断面図
【図９】（ａ）、（ｂ）：第三例のプラズマディスプレイパネルの吸湿剤を形成する工程を説明するための断面図
【図１０】実施例のプラズマディスプレイパネルの放電電圧と時間との関係を説明するためのグラフ
【図１１】比較例のプラズマディスプレイパネルの放電電圧と時間との関係を説明するためのグラフ
【図１２】水分透過量と時間との関係を説明するためのグラフ
【図１３】本発明第四例のプラズマディスプレイパネルの断面図
【図１４】本発明第五例のプラズマディスプレイパネルの断面図
【符号の説明】
【００６９】
１〜３、７、８……プラズマディスプレイパネル    １０……第一のパネル    １１……第一の基板    １４……保護膜    １５……透明電極    ２０……第二のパネル    ２１……第二の基板    ４０、５０、６０……封止部材    ４１、５１、６１、７１、８１……内側接着リング    ４２、５２、６２、７２、８２……外側接着リング    ４５、５５、６５……吸湿剤    ８６……内側吸湿剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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