(57)【要約】【課題】ライン長を短くすることができるようにした実装装置を提供することにある。【解決手段】所定方向に沿って搬送される基板の側辺部に部品を圧着する実装装置であって、基板を保持して位置決めするテーブルと、テーブルによって位置決めされた基板の側辺部に部品を圧着する一方向に沿って長い形状の貼着ユニット２及び本圧着ユニット４を具備し、貼着ユニット及び本圧着ユニットは、長手方向を基板の搬送方向に交差する方向に沿わせて配置される。【選択図】      図２
2008182041.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定方向に沿って搬送される基板の側辺部に部品を圧着する実装装置であって、
上記基板を保持して位置決めするテーブルと、
このテーブルによって位置決めされた上記基板の側辺部に上記部品を圧着する一方向に沿って長い形状の実装ユニットを具備し、
上記実装ユニットは、長手方向を上記基板の搬送方向に交差する方向に沿わせて配置されることを特徴とする実装装置。
【請求項２】
上記実装ユニットは、上記基板の側辺部を受けるバックアップツールと、このバックアップツールに対して接離する上下方向に駆動される加圧ツールを有し、
上記基板は、上記バックアップツールと上記加圧ツールとの間を搬送されて上記テーブルに供給されることを特徴とする請求項１記載の実装装置。
【請求項３】
所定方向に沿って搬送される基板の側辺部に異方性導電部材を介して電子部品を圧着する実装装置であって、
貼着用テーブルによって位置決めされた上記基板の側辺部に上記異方性導電部材を圧着する一方向に沿って長い形状の貼着ユニットと、
この貼着ユニットで上記異方性導電部材が圧着された上記基板を受けて位置決めする仮圧着用テーブルと、
この仮圧着用テーブルによって位置決めされた上記基板の側辺部に上記電子部品を仮圧着する仮圧着ユニットと、
この仮圧着ユニットで上記電子部品が仮圧着された上記基板を受けて位置決めする本圧着用テーブルと、
この本圧着用テーブルによって位置決めされた上記基板の上記電子部品を本圧着する一方向に沿って長い形状の本圧着ユニットを具備し、
上記貼着ユニット、上記仮圧着ユニット及び上記本圧着ユニットは一列に配置されていて、上記貼着ユニットと上記本圧着ユニットは、長手方向を上記基板の搬送方向に交差する方向に沿わせて配置されることを特徴とする実装装置。
【請求項４】
上記貼着ユニット、上記仮圧着ユニット及び上記本圧着ユニットは上記基板の側辺部を受けるバックアップツールと、このバックアップツールに対して接離する上下方向に駆動される加圧ツールを有し、
上記貼着ユニット、上記仮圧着ユニット及び上記本圧着ユニットのうち、少なくとも上記貼着ユニットと上記本圧着ユニットには、上記基板を上記各ユニットのバックアップツールと加圧ツールとの間を通して搬送する受け渡し手段が設けられていることを特徴とする請求項４記載の実装装置。
【請求項５】
上記受け渡し手段は上記各ユニットの配置方向に沿って設けられたリニアガイドと、このリニアガイドに沿って駆動可能に設けられた可動体と、この可動体に設けられ上流側のテーブルに保持された基板を受けて下流側のテーブルに受け渡す搬送アームとによって構成されていることを特徴とする請求項４記載の実装装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は液晶表示パネルなどの基板に異方性導電部材やこの異方性導電部材を介して電子部品などの部品を実装する実装装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば、表示パネルなどの基板の組立工程では、上記基板の側辺部にＴＣＰ（Tape Carrier Package）やＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）などの電子部品をテープ状の異方性導電部材を介して実装するということが行なわれている。
【０００３】
上記基板の側辺部に部品としての上記異方性導電部材や上記電子部品を実装する実装装置は、ローダユニット、貼着ユニット、仮圧着ユニット、本圧着ユニット及びアンローダユニットが順次一列に配置される。
【０００４】
上記ローダユニットには上記異方性導電部材及び上記電子部品が実装されていない基板が貯えられていて、上記貼着ユニットはローダユニットから供給された上記基板の側辺部に上記異方性導電部材を貼着する。
【０００５】
上記仮圧着ユニットは上記基板の上記異方性導電部材が貼着された側辺部に上記電子部品を仮圧着し、上記本圧着ユニットは仮圧着された電子部品を加圧加熱することで、上記異方性導電部材を溶融硬化させて上記電子部品を上記基板の側辺部に本圧着する。このような実装装置は特許文献１に示されている。
【０００６】
実装ユニットとしての上記貼着ユニット、仮圧着ユニット及び本圧着ユニットは上記基板の側辺部の下面を受けるバックアップツールと、このバックアップツールに対して上下方向に駆動されて上記基板の上記バックアップツールによって支持された側辺部を加圧する加圧ツールとによって構成されている。
【０００７】
上記貼着ユニットと上記本圧着ユニットは上記基板の側辺部のほぼ全長にわたって上記異方性導電部材を圧着したり、側辺部に仮圧着された複数の電子部品を同時に本圧着するようになっている。
【０００８】
実装ユニットのうち、上記貼着ユニットと上記本圧着ユニットは、バックアップツール及びそのバックアップツールに対して上下方向に駆動される上記加圧ツールが上記基板の側辺部の全長を加圧することができる長さに設定されている。
【０００９】
そのため、上記貼着ユニットと上記本圧着ユニットのバックアップツールと加圧ツールは、基板の側辺部の全長を一度に加圧することができる長さが必要になるから、一方向に沿って細長い構成となることが避けられなかった。
【００１０】
一列に配置された各ユニットの前方側には上流側のユニットから下流側のユニットに上記基板を受け渡すためのテーブルが配置されている。上記貼着ユニット、仮圧着ユニット、本圧着ユニットにおいては、上流側のユニットから基板を受けたテーブルが下流側のユニットに対向する位置まで移動した後、各ユニットに接近する前後方向の後方向に駆動された後、上記テーブルに保持された基板の異方性導電部材や電子部品が実装される側辺部を上記バックアップツールと加圧ツールとの間に位置決めするようにしている。
【００１１】
ついで、上記加圧ツールを下降させ、上記基板の側辺部に異方性導電部材や電子部品を実装した後、上記テーブルは前方向に駆動されて上記基板を下流側のユニットのテーブルに受け渡すようになっている。
【００１２】
つまり、基板はテーブルによって一列に配置された各ユニットの配置方向と、この配置方向と直交する前後方向に駆動されて上記貼着ユニット、仮圧着ユニット及び本圧着ユニットを順次搬送される。
【特許文献１】特開２００３−５９９７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
各ユニットに対向する位置まで搬送された基板を、これらユニットの配置方向と直交する前後方向に駆動してその側辺部を上記バックアップツールと加圧ツールとの間に位置決めする場合、その側辺部の位置決めを短時間で容易に行なうことができるようにするため、上記貼着ユニットと上記本圧着ユニットは、これらの長手方向を一列に配置された各ユニットの配置方向に沿って配置するようにしていた。
【００１４】
これらユニット（ライン）の長手方向を、各ユニットの配置方向に沿って配置すると、全体のライン長が長くなる。そのため、実装装置を設置するために必要なスペースが長尺化するということがある。とくに、最近では基板が大型化する傾向にあるため、ラインの長尺化が著しくなるということが生じる。
【００１５】
しかも、基板をテーブルによってラインの長手方向に沿う搬送方向だけでなく、この搬送方向と直交する前後方向にも駆動しながら下流側のユニットに搬送しなければならないため、その搬送や位置決めに時間が掛かり、生産性の低下を招く一因になるということもあった。
【００１６】
この発明は、ライン長を長くせずにすむばかりか、基板の搬送に要する時間を短縮することができるようにした実装装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
この発明は、所定方向に沿って搬送される基板の側辺部に部品を圧着する実装装置であって、
上記基板を保持して位置決めするテーブルと、
このテーブルによって位置決めされた上記基板の側辺部に上記部品を圧着する一方向に沿って長い形状の実装ユニットを具備し、
上記実装ユニットは、長手方向を上記基板の搬送方向に交差する方向に沿わせて配置されることを特徴とする実装装置にある。
【００１８】
上記実装ユニットは、上記基板の側辺部を受けるバックアップツールと、このバックアップツールに対して接離する上下方向に駆動される加圧ツールを有し、
上記基板は、上記バックアップツールと上記加圧ツールとの間を搬送されて上記テーブルに供給されることが好ましい。
【００１９】
この発明は、所定方向に沿って搬送される基板の側辺部に異方性導電部材を介して電子部品を圧着する実装装置であって、
貼着用テーブルによって位置決めされた上記基板の側辺部に上記異方性導電部材を圧着する一方向に沿って長い形状の貼着ユニットと、
この貼着ユニットで上記異方性導電部材が圧着された上記基板を受けて位置決めする仮圧着用テーブルと、
この仮圧着用テーブルによって位置決めされた上記基板の側辺部に上記電子部品を仮圧着する仮圧着ユニットと、
この仮圧着ユニットで上記電子部品が仮圧着された上記基板を受けて位置決めする本圧着用テーブルと、
この本圧着用テーブルによって位置決めされた上記基板の上記電子部品を本圧着する一方向に沿って長い形状の本圧着ユニットを具備し、
上記貼着ユニット、上記仮圧着ユニット及び上記本圧着ユニットは一列に配置されていて、上記貼着ユニットと上記本圧着ユニットは、長手方向を上記基板の搬送方向に交差する方向に沿わせて配置されることを特徴とする実装装置にある。
【００２０】
上記貼着ユニット、上記仮圧着ユニット及び上記本圧着ユニットは上記基板の側辺部を受けるバックアップツールと、このバックアップツールに対して接離する上下方向に駆動される加圧ツールを有し、
上記貼着ユニット、上記仮圧着ユニット及び上記本圧着ユニットのうち、少なくとも上記貼着ユニットと上記本圧着ユニットには、上記基板を上記各ユニットのバックアップツールと加圧ツールとの間を通して搬送する受け渡し手段が設けられていることが好ましい。
【００２１】
上記受け渡し手段は上記各ユニットの配置方向に沿って設けられたリニアガイドと、このリニアガイドに沿って駆動可能に設けられた可動体と、この可動体に設けられ上流側のテーブルに保持された基板を受けて下流側のテーブルに受け渡す搬送アームとによって構成されていることが好ましい。
【発明の効果】
【００２２】
この発明によれば、貼着ユニットや本圧着ユニットなどの一方向に沿って長い形状の実装ユニットを、その長手方向を基板の搬送方向に交差する方向に沿わせて配置するようにしたから、実装装置のライン長の短縮化を図ることができる。
【００２３】
しかも、基板を実装ユニットのバックアップツールと加圧ツールとの間を通して搬送すれば、ラインに沿って基板を直線的に搬送するだけでよいから、搬送に要する時間を短縮することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、この発明の一実施の形態を図面を参照しながら説明する。  
図１はこの発明の一実施の形態の実装装置の概略的構成を示す平面図であって、この実装装置はローダユニット１、貼着ユニット２、仮圧着ユニット３、本圧着ユニット４及びアンローダユニット５が図２に示す矩形状のベース盤６上に一列に配置される。
【００２５】
上記ローダユニット１には、液晶表示パネルに用いられる２枚のガラス板を前工程の貼り合わせ装置（図示せず）で貼り合わせてなる基板Ｗがロボット（図示せず）によって搬送され、上下方向に所定間隔で貯えられている。
【００２６】
上記ローダユニット１に貯えられた基板Ｗは後述する受け渡し手段９によって上記貼着ユニット２の貼着用テーブル１１に供給される。この貼着用テーブル１１はＸ、Ｙ、θ及びＺ方向に駆動されるようになっていて、上記貼着ユニット２は位置決めされた上記基板Ｗの一側部の上面に、この一側部のほぼ全長にわたる長さでテープ状の異方性導電部材１２を圧着する。基板Ｗの一側部に異方性導電部材１２が貼着された状態を図６（ａ）に示す。
【００２７】
異方性導電部材１２が圧着された基板Ｗは上記受け渡し手段９によって上記仮圧着ユニット３の仮圧着用テーブル１３に供給される。この仮圧着用テーブル１３はＸ、Ｙ、θ及びＺ方向に駆動されるようになっていて、上記仮圧着ユニット３は位置決めされた上記基板Ｗの異方性導電部材１２が貼着された一側部に図６（ｂ）に示すようにＴＣＰなどの複数の電子部品１４を所定間隔で１つずつ仮圧着する。
【００２８】
電子部品１４が仮圧着された基板Ｗは上記受け渡し手段９によって上記本圧着ユニット４の本圧着用テーブル１６に供給される。この本圧着用テーブル１６はＸ、Ｙ、θ及びＺ方向に駆動されるようになっていて、上記本圧着ユニット４は位置決めされた上記基板Ｗの一側部に仮圧着された複数の電子部品１４を加圧加熱して一度に本圧着するようになっている。
【００２９】
なお、上記貼着用テーブル１１、仮圧着用テーブル１３及び本圧着用テーブル１６は、図２に示すように上記基板Ｗよりも小さく形成されていて、基板Ｗを支持したときにその周辺部が各テーブル１１，１３，１６の周縁部から外方へ突出するようになっている。
【００３０】
上記貼着ユニット２、仮圧着ユニット３及び本圧着ユニット４は図３と図４に示すようにそれぞれバックアップツール２ａ，３ａ，４ａを有する。このバックアップツール２ａ，３ａ，４ａの上方には、このバックアップツール２ａ，３ａ，４ａを跨ぐ門型状の架台１５が設けられていて、この架台１５の上辺の中央部にはシリンダなどのＺ駆動源１７が設けられている。
【００３１】
上記Ｚ駆動源１７の駆動軸１７ａには加圧ツール２ｂ，３ｂ，４ｂが取り付けられている。それによって、加圧ツール２ｂ，３ｂ，４ｂは上記Ｚ駆動源１７によって上下方向に駆動されるようになっている。
【００３２】
上記貼着ユニット２と上記本圧着ユニット４のバックアップツール２ａ，４ａ及び加圧ツール２ｂ，４ｂは、図３に示すように上記電子部品１４が実装される基板Ｗの側辺部とほぼ同等の長さを有する形状、つまり一方向に沿って長尺な形状に形成されていて、それらの長手方向を上記受け渡し手段９によって搬送される基板Ｗの搬送方向と交差する方向に沿わせて配置されている。
【００３３】
上記仮圧着ユニット３のバックアップツール３ａと加圧ツール３ｂは、基板Ｗに複数の電子部品１４を１つずつ仮圧着するため、図４に示すように１つの電子部品１４の幅寸法よりもわずかに大きな長さ寸法に設定されている。
【００３４】
上記仮圧着ユニット３の上記バックアップツール３ａは下端に受け部１８ａが設けられ、この受け部１８ａはベース盤６上に前後方向に沿って設けられたリニアガイド１８ｂに移動可能に係合されている。
【００３５】
上記リニアガイド１８ｂには図示しない電磁コイルが設けられ、上記受け部１８ａは上記電磁コイルとでリニアモータを構成する永久磁石によって形成されている。それによって、上記バックアップツール３ａは図４に鎖線で示すようにベース盤６の前後方向に沿って駆動することができるようになっている。
【００３６】
上記架台１５の上面には一対のリニアガイド１９ａが長手方向に沿って設けられている。このリニアガイド１９ａには受け部１９ｂが移動可能に係合保持されている。リニアガイド１９ａには図示しない電磁コイルが設けられ、上記受け部１９ｂは上記電磁コイルとでリニアモータを構成する永久磁石によって形成されている。
【００３７】
上記受け部１９ｂには上記Ｚ駆動源１７が設けられている。このＺ駆動源１７の駆動軸１７ａは上記架台１５の上辺の長手方向に沿って形成された挿通溝２０を通されている。それによって、上記Ｚ駆動源１７は上記架台１５の上面を長手方向に沿って駆動されるようになっている。つまり、仮圧着ユニット３のバックアップツール３ａと加圧ツール３ｂはベース盤６の前後方向に沿って駆動されるようになっている。
【００３８】
上記受け渡し手段９は、図２に示すように上記ベース盤６の前後方向の両端部の上面に長手方向ほぼ全長にわたって敷設された一対のリニアガイド２１を有する。このリニアガイド２１には、２つで対をなす第１乃至第４の可動体２２〜２５が下端の長手方向の両端部に設けられた一対の受け部材２６を上記リニアガイド２１に移動可能に係合させて設けられている。
【００３９】
上記リニアガイド２１には図示しない電磁コイルが設けられ、上記受け部材２６には図示しない永久磁石が設けられていて、上記電磁コイルと永久磁石とでリニアモータを構成している。それによって、第１乃至第４の可動体２２〜２５は、図示しない制御装置によってそれぞれが独立して上記リニアガイド２１に沿う方向に駆動することができるようになっている。
【００４０】
上記各可動体２２〜２５は、上記基板Ｗの上記電子部品１４が実装される一側部の両端に位置する一対の側辺部の長さとほぼ同じ幅寸法に形成されていて、その上端の幅方向両端には図５に示すようにそれぞれ上端面に開放する凹部２７が形成されている。各凹部２７には搬送アーム２８が一端を支軸２９によって回動可能に連結して設けられている。
【００４１】
上記搬送アーム２８の一端が支持された支軸２９にはロータリアクチュエータ３１が連結されている。このロータリアクチュエータ３１は上記搬送アーム２８を垂直に倒伏させた退避角度と、水平に起立させた搬送角度の間で回転させることができるようになっている。
【００４２】
上記搬送アーム２８を水平に起立させたときの上面には図示しない吸引源に接続された吸着パッド３２が設けられている。そして、搬送アーム２８を水平な搬送角度に起立させることで、上記吸着パッド３２によって上記ローダユニット１のストッカ１ａに格納された上記基板Ｗの両側部の下面や上記各テーブル１１，１３，１６に保持されてこれらテーブル１１，１３，１６から突出させた上記基板Ｗの対向する一対の両側部の下面を吸着保持することができるようになっている。
【００４３】
一対の上記第１の可動体２２は上記ローダユニット１に格納された上記基板Ｗを搬送角度に起立した上記搬送アーム２８で保持し、その基板Ｗを上記貼着ユニット２のバックアップツール２ａと加圧ツール２ｂとの間を通して上記貼着ユニット２に搬送する。
【００４４】
貼着ユニット２に搬送された基板Ｗは、上記貼着用テーブル１１がＺ方向の上昇方向に駆動されることで、上記第１の可動体２２から上記貼着用テーブル１１に受け渡される。基板Ｗを受けた貼着用テーブル１１は、その一側部を貼着ユニット２のバックアップツール２ａと加圧ツール２ａとの間に位置決めした後、Ｚ方向下方に駆動されてその基板Ｗの一側部下面を上記バックアップツール２ａの上端面に支持させる。
【００４５】
位置決めされた基板Ｗの一側部上面には異方性導電部材１２が供給される。ついで、加圧ツール２ａが下降方向に駆動されることで、基板Ｗの一側部の上面に図６（ａ）に示すように異方性導電部材１２が貼着される。
【００４６】
異方性導電部材１２が貼着されると、上記第２の可動体２３が駆動され、この第２の可動体２３の搬送角度に起立された搬送アーム２８が貼着用テーブル１１に保持された基板Ｗの幅方向両側部の下面に位置決めされる。
【００４７】
ついで、上記貼着用テーブル１１がＺ方向下方に駆動されることで、異方性導電部材１２が貼着された上記基板Ｗが上記貼着用テーブル１１から上記第２の可動体２３の搬送アーム２８に受け渡される。
【００４８】
基板Ｗを受けた第２の可動体２３は、その基板Ｗを上記仮圧着ユニット３のバックアップツール３ａと加圧ツール３ｂとの間を通して搬送し、上記仮圧着用テーブル１３の上方に位置決めする。ついで、上記仮圧着用テーブル１３が上昇方向に駆動されることで、上記基板Ｗが上記第２の可動体２３から上記仮圧着用テーブル１３に受け渡される。
【００４９】
仮圧着用テーブル１３に受け渡された基板Ｗは、異方性導電部材１２が貼着された一側部が仮圧着ユニット３のバックアップツール３ａと加圧ツール３ｂとの間に位置決めされるとともに、上記仮圧着用テーブル１３がＺ方向下方に駆動されることで、その一側部の下面がバックアップツール３ａの上端面と略同じ高さに位置決めされる。
【００５０】
仮圧着ユニット３のバックアップツール３ａと加圧ツール３ｂは図４に鎖線で示すように基板Ｗの一側部の長手方向であるベース盤６の前後方向に沿って駆動可能となっている。それによって、基板Ｗの一側部の上面には、上記バックアップツール３ａと加圧ツール３ｂを基板Ｗの一側部の長手方向に沿って駆動し、所定の位置で位置決めすることで、図６（ｂ）に示すようにその一側部の上面に複数の電子部品１４が順次仮圧着される。
【００５１】
なお、電子部品１４は基板Ｗに仮圧着される前に図示せず供給手段によって供給されて、この加圧ツール３ｂに吸着保持されるようになっている。  
一側部の上面に複数の電子部品１４が仮圧着された基板Ｗは上記仮圧着用テーブル１３から上記第３の可動体２４の搬送アーム２８に受け渡される。基板Ｗを受けた上記第３の可動体２４は、その基板Ｗを上記本圧着ユニット４のバックアップツール４ａと加圧ツール４ｂとの間を通して搬送し、上記本圧着ユニット４の本圧着用テーブル１６に受け渡す。
【００５２】
この場合も、上記本圧着用テーブル１６がＺ方向上方に駆動されることで、上記第３の可動体２４の搬送アーム２８に保持された基板Ｗが上記本圧着用テーブル１６に受け渡される。
【００５３】
電子部品１４が仮圧着された基板Ｗを受けた本圧着テーブル１６は、その一側部をバックアップツール４ａと加圧ツール４ｂとの間に位置決めするとともに、Ｚ方向下降に駆動される。それによって、基板Ｗの一側部の下面はバックアップツール４ａの上端面によって支持される。
【００５４】
ついで、加圧ツール４ｂが下降方向に駆動される。それによって、基板Ｗの一側部上面に仮圧着された複数の電子部品１４が上記加圧ツール４ｂによって一度に加圧加熱されるから、異方性導電部材１２が溶融硬化して上記電子部品１４が本圧着される。
【００５５】
そして、上記本圧着ユニット４で電子部品１４が本圧着された基板Ｗは、上記本圧着用テーブル１６から第４の可動体２５の搬送アーム２８に受け渡される。基板Ｗを受けた第４の可動体２５はその基板Ｗをアンローダユニット５に搬送し、そのストッカ５ａに集積する。
【００５６】
なお、第１乃至第４の可動体２２〜２５は、隣り合う可動体２２と２３、及び２３と２４及び２４と２５がリニアガイド２１上でぶつかるのを防止するため、駆動が同期して制御されるようになっている。つまり、第１乃至第４の可動体２２〜２５は同じタイミングで同方向に駆動されるようになっている。
【００５７】
このような構成の実装装置によれば、貼着ユニット２、仮圧着ユニット３及び本圧着ユニット４は、これらの各バックアップツール２ａ，３ａ，４ａ及び加圧ツール２ｂ，３ｂ，４ｂが長手方向を上記第１乃至第４の可動体２２〜２５によって搬送される基板Ｗの搬送方向と直交する実装装置の前後方向に沿わせて配置されている。
【００５８】
そのため、貼着ユニット２、仮圧着ユニット３及び本圧着ユニット４を一列に配置しても、これらの各バックアップツール２ａ，３ａ，４ａ及び加圧ツール２ｂ，３ｂ，４ｂの長手方向を基板Ｗの搬送方向に沿わせて配置する場合に比べ、実装装置の長さ寸法である、ライン長を十分に短くすることができる。それによって、実装装置を設置するに要するスペースの長さ寸法を十分に短くすることが可能となる。
【００５９】
基板Ｗを上流側のユニットから下流側のユニットに受け渡すための受け渡し手段９は、ベース盤６の前後方向両端に長手方向全長にわたって敷設された一対のリニアガイド２１と、このリニアガイド２１に沿って駆動される第１乃至第４の可動体２２〜２５によって構成されている。
【００６０】
つまり、上記受け渡し手段９は隣り合うユニット間に設けず、各ユニットの前後方向である、ベース盤６の長手方向と直交する前後方向のスペースを利用して設けるようにしているから、このことによっても隣り合うユニット間に受け渡し手段９を設ける場合に比べて実装装置のライン長を短くすることができる。
【００６１】
上記受け渡し手段９は上記基板Ｗを、貼着ユニット２、仮圧着ユニット３及び本圧着ユニット４のバックアップツール２ａ，３ａ，４ａと加圧ツール２ｂ，３ｂ，４ｂの間を通して搬送するようにしている。
【００６２】
そのため、各ユニット間における基板Ｗの搬送は、その基板Ｗを各ユニットの配置方向に沿って直線的に搬送するだけでよく、その搬送方向と直交する実装装置のベース盤６の前後方向に搬送するということをせずにすむ。
【００６３】
したがって、基板Ｗを下流側のユニットに受け渡す際、基板Ｗを従来のようにラインの長手方向（ベース盤６の長手方向）である各ユニットの配置方向と、その配置方向と直交する前後方向との両方向に位置決めしながら搬送するということをせずにすむから、基板Ｗの搬送位置決めに要する時間を従来に比べて短縮化することができる。
【００６４】
なお、上記一実施の形態では、各ユニット間における基板の搬送を搬送アームを有する可動体をベース盤の長手方向に沿って駆動して行なうようにしたが、ベース盤の上方にレールを設け、このレールに沿って搬送アームを駆動可能に設けて上記基板を順次下流のユニットに搬送するようにしてもよい。
【００６５】
上記貼着ユニット、仮圧着ユニット及び本圧着ユニットはそれぞれバックアップツールと加圧ツールを２セットずつ設けるようにしてもよい。そして、ローダユニットから貼着ユニットに２枚の基板を順次供給し、これら基板に異方性導電部材を同時に貼着した後、２枚の基板を仮圧着ユニットに順次供給した後、２枚の基板に電子部品を同時に仮圧着する。ついで、２枚の基板を本圧着ユニットに順次供給した後、これら基板の電子部品を同時に本圧着したのち、２枚の基板を順次アンローダユニットに搬出するようにする。
【００６６】
そのようにすれば、１つのラインで２枚の基板に対する異方性導電部材や電子部品の実装を同時に行なうことが可能となるから、生産性の向上を図ることが可能となる。
【００６７】
上記仮圧着ユニットのバックアップツールと加圧ルールは、貼着ユニットと本圧着ユニットのバックアップツールと加圧ルールに比べて長さ寸法が短いが、幅方向（長手方向）を基板の搬送方向と直交する方向に沿わせて配置すれば、ライン長をわずかであるが短くすることが可能である。
【００６８】
しかしながら、仮圧着ユニットのバックアップツールと加圧ルールの配置方向がライン長の短縮化に寄与する度合はわずかであるから、上記バックアップツールと加圧ルールの配置方向は、必ず基板の搬送方向と直交する方向に沿わせて配置しなければならないというものでもない。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】この発明の一実施の形態の実装装置の構成を示す説明図。
【図２】図１に示す実装装置の概略的構成を示す平面図。
【図３】貼着ユニット、本圧着ユニットのバックアップツールと加圧ツールを示す図。
【図４】仮圧着ユニットのバックアップツールと加圧ツールを示す図。
【図５】各ユニットの可動体及びバックアップツールと加圧ツールを示す図。
【図６】（ａ）は基板の一側部に異方性導電部材を貼着した図、（ｂ）は異方性導電部材が貼着された基板の一側部に複数の電子部品を実装した図。
【符号の説明】
【００７０】
１…ローダユニット、２…貼着ユニット、３…仮圧着ユニット、４…本圧着ユニット、５…アンローダユニット、９…受け渡し手段、１１…貼着用テーブル、１２…異方性導電部材、１３…仮圧着用テーブル、１４…電子部品、１６…本圧着用テーブル、２２…第１の可動体、２３…第２の可動体、２４…第３の可動体、２５…第４の可動体、２８…搬送アーム。
【図１】
2008182041.tif 000003
【図２】
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【図３】
2008182041.tif 000005
【図４】
2008182041.tif 000006
【図５】
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【図６】
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