(57)【要約】【課題】シート状基材および微細凹凸形状を備えた金型を加熱し、両者を接触、加圧させることによってシート状基材表面に微細凹凸形状を賦形するに際して、転写面で金型とシート状基材の間に空気を噛み込んでしまうことによる転写不良を生ずることがなく、所望どおりの微細凹凸形状が表面に成形されたシートを製造する方法と製造装置を提供すること。【解決手段】シート状基材および微細凹凸形状を備えた金型を加熱し、該シート状基材と金型の両者を接触、加圧させることによって前記シート状基材表面に前記微細凹凸形状を賦形する微細形状転写シートの製造方法において、一対の加圧板または金型のうち少なくとも一つあるいはその組み合わせで構成される加圧賦形面の平面性を、複数の加圧賦形面押圧機構により制御することを特徴とする微細形状転写シートの製造方法と装置。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート状基材および微細凹凸形状を備えた金型を加熱し、該シート状基材と金型の両者を接触、加圧させることによって前記シート状基材表面に前記微細凹凸形状を賦形する微細形状転写シートの製造方法において、一対の加圧板または金型のうち少なくとも一つあるいはその組み合わせで構成される加圧賦形面の平面性を、複数の加圧賦形面押圧機構により制御することを特徴とする微細形状転写シートの製造方法。
【請求項２】
前記加圧賦形面の平面性の制御が、加圧賦形面内の一点から最初に加圧がはじまり、周縁部に向かって徐々に加圧力が小さくなるように前記複数の押圧機構を位置制御するものであることを特徴とする請求項１記載の微細形状転写シートの製造方法。
【請求項３】
前記加圧賦形面の平面性の制御方法として、加圧賦形面内の一点から最初に加圧がはじまり、シート状基材の周縁部に向かって徐々に加圧力が小さくなるように前記複数の押圧機構を速度制御することを特徴とする請求項１記載の微細形状転写シートの製造方法。
【請求項４】
賦形加圧開始後に、前記加圧賦形面内の加圧力が均一になるように前記複数の押圧機構を位置制御することを特徴とする、請求項１〜３のいずれかに記載の微細形状転写シートの製造方法。
【請求項５】
前記賦形面の平面性が前記シート状基材の加圧賦形面における厚み分布の最大値よりも大きくなるように前記複数の押圧機構を制御することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の微細形状転写シートの製造方法。
【請求項６】
シート状基材および微細凹凸形状を備えた金型を加熱し、該シート状基材と金型の両者を接触、加圧させることによって前記シート状基材表面に前記微細凹凸形状を賦形する微細形状転写シートの製造装置において、加圧賦形面を押圧する複数の押圧機構と、該複数の押圧機構を位置制御する手段が設けられてなることを特徴とする微細形状転写シートの製造装置。
【請求項７】
前記複数の押圧機構が、機械式押圧機構、油圧機構、空圧機構および熱膨張機構のいずれか一つまたは複数の組合わせを用いて押圧するものであることを特徴とする請求項６記載の微細形状転写シートの製造装置。
【請求項８】
前記シート状基材の厚み測定手段と、該厚み測定手段から前記複数の押圧機構へ該押圧機構を制御する信号を送信する手段が設けられてなることを特徴とする請求項６または７記載の微細形状転写シートの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微細形状が転写されて、シート表面に該微細な立体的形状を有するシートの製造方法と製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
樹脂シートなどの表面に微細な凹凸などの立体的形状を成形する方法として、樹脂シートなどに対して加熱された微細な凹凸を持つ金型を押圧することにより、該凹凸立体形状を該樹脂シートに転写させる方法が知られている（特許文献１−２）。
【０００３】
しかし、この方法で、大面積の樹脂シートに微細な形状を転写成形しようとする場合、転写面で金型と被加工シートの間にエアを噛み込み、微細な立体形状が完全に転写されず、転写不良を起こすという問題があった。
【０００４】
このエアを噛み込むという問題は、被処理シート状基材に厚さムラがあるときや、加圧板の平面性にムラがあるときなどに起こるものであった。
【０００５】
このような問題を解決するために、上記特許文献２では、加圧板の当接開始時に転写板を樹脂シートに対して突出するように屈曲させること、そして、その状態で加圧することによって賦形面の中央近傍からエアが排除されつつ加圧板がフィルムに接触していき、微細形状を転写するようにした方法と装置が提案され、具体的に、該屈曲は弾性の異なるバネ部材により実施している。
【０００６】
しかし、該方法では、弾性の異なるバネによって加圧板を屈曲させているため、プレス加圧によって平坦化しても、賦形面の面圧に分布が生じることとなり（突出部が圧力高い）、このことにより、微細形状の転写精度が賦形面内で異なり、結果として均一な転写精度はやはり得られないものであった。これは、特に表面形状が微細になるほど顕著であり、また、面圧分布が異なるため得られる加工済みシートの厚みにも影響してしまうことがあって好ましくない。さらに、変形量を変化させたいときは、その都度、バネ部材やその支持ホルダーの位置を交換する手間があり実際的なものではなかった。
【特許文献１】特開平５−６０９２０号公報
【特許文献２】特開２００６−３５５７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、上述したような点に鑑み、シート状基材および微細凹凸形状を備えた金型を加熱し、両者を接触、加圧させることによってシート状基材表面に微細凹凸形状を賦形するに際して、転写面で金型とシート状基材の間に空気を噛み込んでしまうことによる転写不良を生ずることがなく、所望どおりの微細凹凸形状が表面に成形されたシートを製造する方法と製造装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した目的を達成する本発明の微細形状転写シートの製造方法は、以下の（１）の構成からなるものである。
【０００９】
（１）シート状基材および微細凹凸形状を備えた金型を加熱し、該シート状基材と金型の両者を接触、加圧させることによって前記シート状基材表面に前記微細凹凸形状を賦形する微細形状転写シートの製造方法において、一対の加圧板または金型のうち少なくとも一つあるいはその組み合わせで構成される加圧賦形面の平面性を、複数の加圧賦形面押圧機構により制御することを特徴とする微細形状転写シートの製造方法。
【００１０】
また、かかる本発明の微細形状転写シートの製造方法において、より具体的に好ましくは、以下の（２）〜（５）のいずれかの構成からなるものである。
【００１１】
（２）前記加圧賦形面の平面性の制御が、加圧賦形面内の一点から最初に加圧がはじまり、周縁部に向かって徐々に加圧力が小さくなるように前記複数の押圧機構を位置制御するものであることを特徴とする上記（１）記載の微細形状転写シートの製造方法。
【００１２】
（３）前記加圧賦形面の平面性の制御方法として、加圧賦形面内の一点から最初に加圧がはじまり、シート状基材の周縁部に向かって徐々に加圧力が小さくなるように前記複数の押圧機構を速度制御することを特徴とする上記（１）記載の微細形状転写シートの製造方法。
【００１３】
（４）賦形加圧開始後に、前記加圧賦形面内の加圧力が均一になるように前記複数の押圧機構を位置制御することを特徴とする、上記（１）〜（３）のいずれかに記載の微細形状転写シートの製造方法。
【００１４】
（５）前記賦形面の平面性が前記シート状基材の加圧賦形面における厚み分布の最大値よりも大きくなるように前記複数の押圧機構を制御することを特徴とする上記（１）〜（４）のいずれかに記載の微細形状転写シートの製造方法。
【００１５】
また、上述した目的を達成する本発明の微細形状転写シートの製造装置は、以下の（６）の構成を有する。
【００１６】
（６）シート状基材および微細凹凸形状を備えた金型を加熱し、該シート状基材と金型の両者を接触、加圧させることによって前記シート状基材表面に前記微細凹凸形状を賦形する微細形状転写シートの製造装置において、加圧賦形面を押圧する複数の押圧機構と、該複数の押圧機構を位置制御する手段が設けられてなることを特徴とする微細形状転写シートの製造装置。
【００１７】
また、かかる本発明の微細形状転写シートの製造装置において、好ましくは、以下の（７）、（８）のいずれかの構成からなる。
【００１８】
（７）前記複数の押圧機構が、機械式押圧機構、油圧機構、空圧機構および熱膨張機構のいずれか一つまたは複数の組合わせを用いて押圧するものであることを特徴とする上記（６）記載の微細形状転写シートの製造装置。
【００１９】
（８）前記シート状基材の厚み測定手段と、該厚み測定手段から前記複数の押圧機構へ該押圧機構を制御する信号を送信する手段が設けられてなることを特徴とする上記（６）または（７）記載の微細形状転写シートの製造装置。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の方法、装置によれば、一対の加圧板または金型のうち少なくとも一つあるいはその組み合わせで構成される加圧賦形面の平面性を制御する機能を有することから、シート上記材や金型の状態に応じて、加圧賦形面の屈曲・湾曲量、屈曲・湾曲位置を操作することに特徴があるものであり、加圧賦形開始後にエアを排除しながら均一面圧状態に移行させることができることとになる。
【００２１】
したがって、加圧後における賦形面内の圧力を均一化させるとともに、エアを排除できることからエア噛み込みがなくなり、均一で高い精度の転写成形状態を得ることができることになる。
【００２２】
本発明の微細形状転写シートの製造方法、製造装置によれば、表面に微細形状を転写されたシートを良好に製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、図面などを参照しながら、更に詳しく本発明の微細形状転写シートの製造方法、製造装置について説明する。
【００２４】
本発明の微細形状転写シートの製造方法は、シート状基材および微細凹凸形状を備えた金型を加熱し、該シート状基材と金型の両者を接触、加圧させることによって前記シート状基材表面に前記微細凹凸形状を賦形する微細形状転写シートの製造方法において、一対の加圧板または金型のうち少なくとも一つあるいはその組み合わせで構成される加圧賦形面の平面性を、複数の加圧賦形面押圧機構により制御することを特徴とするものである。
【００２５】
ここで、「加圧賦形面の平面性」とは、「加圧板と金型との間の間隙として形成される平板状加圧空間の平面度合い」を言い、「平面性を変化させる」とは、その平面性の度合いを変化させることをいう。また、ここで、該加圧賦形面の平面性は、加圧板と金型の組合せだけでなく、金型を上下に用いる場合にあっても、さらに、その場合で加圧板を用いる場合にあっても同様である。
【００２６】
本発明の方法において、この加圧賦形面の平面性を変化させるに際して、好ましくは、前記加圧賦形面の平面性の制御を、加圧賦形面内の一点から最初に加圧がはじまり、シート状基材周縁部に向かって徐々に加圧力が小さくなるように前記複数の押圧機構を位置制御する方式を採用することである。また、あるいは、好ましくは、前記加圧賦形面の平面性の制御方法として、加圧賦形面内の一点から最初に加圧がはじまり、シート状基材の周縁部に向かって徐々に加圧力が小さくなるように前記複数の押圧機構を速度制御する方式を採用することである。
【００２７】
すなわち、エアを噛み込ませずに排除しながら加圧していくのは、特に、最初の加圧点が加圧賦形面の中央・中心部である必要はなく、加圧賦形面の周縁端部付近にある一点などでもよい。この周縁端部付近の一点から加圧を始めるときは、その反対側にあるシート状基材の周縁端部側に向かって、徐々に加圧力が小さくなるように平面性を変化させるのである。
【００２８】
ここで、「徐々に加圧力が小さくなるように」とは、「賦形面において各単位面積あたりに加わる圧力が徐々に小さくなっていくように」との意味であり、前記複数の加圧賦形面押圧機構を制御することにより実現できるものであり、具体的には、該複数の加圧賦形面押圧機構の加圧位置を徐々に制御すること、あるいは加圧速度を徐々に制御すること、さらにあるいはそれらの組合せによって行うことが好ましい。
【００２９】
また、賦形加圧開始後に、加圧賦形面内の加圧力が均一になるように複数の押圧機構を位置制御することが好ましい。
【００３０】
この賦形面の平面性を変化させるに際して、賦形開始後においては、賦形加圧面内の加圧力が均一になるように賦形面の平面性を変化させることが好ましい。ここで言う「賦形開始後」とは、シート状基材の賦形面内の一点が金型および／または加圧板（加圧プレート）と接触し、最初に加圧が始まった状態より後のことであり、該状態となった後は、均一になるように制御することが有効なのである。
【００３１】
以上のような加圧力の一連の制御は、加圧板（加圧プレート）あるいは金型における加圧賦形面に、複数の加圧機構を使用して、部分的な加圧をすることによってシート状基材に当接する金型が、最初は、ある一点部分で当接し、加圧が進むにつれて当接部分が周縁部に向かい広がっていくようにすることにより行うことができる。
【００３２】
かかる方法において、好ましくは、前記加圧賦形面の平面性が前記シート状基材の加圧賦形面における厚み分布の最大値よりも大きくなるように前記複数の押圧機構を制御することであり、ここで、「賦形面の平面性が前記シート状基材の加圧賦形面における厚み分布の最大値よりも大きい」とは、平面性の度合いの数値がシート厚み分布の最大値よりも大きい状態であることをいう。
【００３３】
本発明の上述した方法を実施するに好適な本発明の微細形状転写シートの製造装置は、シート状基材および微細凹凸形状を備えた金型を加熱し、該シート状基材と金型の両者を接触、加圧させることによって前記シート状基材表面に前記微細凹凸形状を賦形する微細形状転写シートの製造装置において、加圧賦形面を押圧する複数の押圧機構と、該複数の押圧機構を位置制御する手段が設けられてなることを特徴とするものである。
【００３４】
図１は、該本発明の微細形状転写シートの製造装置の一実施態様例をモデル的に示した概略正面図であり、図２は、図１に示した本発明の微細形状転写シートの製造装置を用いて賦形面の中央部の押圧機構を押圧オン状態にして、シート状基材の中央部を他の部分よりも先に２０μｍ分（シート状基材の厚さ方向で２０μｍ分）プレスがされるように位置制御してプレスしている状態をモデル的に示した概略正面図である。
【００３５】
これら図１、図２において、１は微細形状転写シート製造装置、２はプレス装置、３は金型、４はシート状基材、５は上温調プレート、６は下温調プレートであり、８は熱媒循環装置、９は冷却水循環装置、１１は押圧機構、１２は該押圧機構の作動度合いを計測するスケールである。
【００３６】
図３は、図１に示した本発明の微細形状転写シートの製造装置に、シート厚みに応じて押圧機構を制御する構成を付加した本発明の微細形状転写シートの製造装置の他の一実施態様例をモデル的に示した概略正面図である。
【００３７】
図３に示した装置の態様例においては、シート状基材の厚み測定手段と、該厚み測定手段から複数の押圧機構へ該押圧機構を制御する信号を送信する手段が設けられているものであり、２１はシート厚み測定センサー、２２はシート搬送ロール、２３は信号演算器であり、賦形加圧開始前のシート状基材の厚みを該シート厚み測定センサー２１によって、インラインにおいて順次に測定し、その測定結果に基づいて、その加工バッチにおける複数の押圧機構の位置制御、速度制御などをするように構成したものである。
【００３８】
図４は、図１〜図３に示した本発明にかかる微細形状転写シートの製造装置における押圧機構を配設する位置をモデル的に示した概略平面図であり、加圧賦形面の面積やその形状などに対応して、複数の押圧機構を設けることが好ましく、同図（ａ）は３個、同図（ｂ）は５個設けた例である。
【００３９】
該複数の押圧機構１１は、特に限定されるものではないが、機械式押圧機構、油圧機構、空圧機構および熱膨張機構のいずれか一つまたは複数の組合わせを用いて押圧するものであるのがよく、特に、微妙な加圧力での部分的な押圧を行ない得るという点では、サーボモーターを用いた機械式押圧機構等が良いものである。
【００４０】
本発明において、プレス装置２は、圧力範囲は０．１ＭＰａ〜２０ＭＰａの範囲で制御できることが好ましく、さらに好ましくは、１ＭＰａで〜１０ＭＰａの範囲で制御できることが好ましい。プレスの昇圧速度は０．０１ＭＰａ/ｓ〜１ＭＰａ/ｓの範囲で制御できることが好ましく、さらに好ましくは、０．０５ＭＰａ/ｓ〜０．５ＭＰａ/ｓの範囲で制御できることが好ましい。
【００４１】
本発明に用いられる金型３について説明する。金型の転写面は、微細なパターンを有するものであり、金型に該パターンを形成する方法としては、機械加工、レーザー加工、フォトリソグラフィ、電子線描画方法等がある。金型の材質としては、所望のプレス時の強度、パターン加工精度、フィルムの離型性が得られるものであればよく、例えば、ステンレス、ニッケル、銅等を含んだ金属材料、シリコーン、ガラス、セラミックス、樹脂、もしくは、これらの表面に離型性を向上させるための有機膜を被覆させたものが好ましく用いられる。該金型の微細なパターンは、シート表面に付与したい微細な凹凸パターンに対応して形成されているものである。
【００４２】
温調プレート（加圧プレート）は、好ましくはアルミ合金製のものとし、プレート内に鋳込んだ電熱ヒーターにより制御するものが良い。また、温調プレート内に鋳込んだ銅あるいはステンレス配管、もしくは、機械加工により加工した穴の内部に温調された熱媒体を流すことにより加熱制御するものでもよい。さらには両者を組み合わせた装置構成でもよい。また、金型に直接電熱ヒーターを組み込んだり、熱媒体を流すようにしてもよい。
【００４３】
シートの厚み測定センサーは、放射線式、赤外線式、光干渉式等を用いることが好ましい。また、シートの搬送方向の厚み測定用と幅方向の厚み測定用として２台など、複数台を設けてもよく、幅方向の厚み測定はセンサーヘッドを水平移動させて行ってもよい。なお、複数押圧機構の個別制御は、予め別の場所で測定したシートの厚み測定結果を用いて行ってもよい。
【００４４】
熱媒体としてはバーレルサーム（松村石油（株））、ＮｅｏＳＫ−ＯＩＬ（綜研テクニックス（株））等が良く、また、１００℃以上に加熱された水を循環させてもよい。そして、効率良く伝熱できるように配管内部のレイノズル数が１．０×１０4 〜１２×１０4 の範囲になることが好ましい。
【００４５】
本発明の方法・装置に適用されるシート状基材は、ガラス転移温度Ｔｇが、好ましくは４０〜１８０℃のものであり、より好ましくは５０〜１６０℃であり、最も好ましくは５０〜１２０℃である熱可塑性樹脂を主たる成分とするフィルムである。ガラス転移温度Ｔｇがこの範囲を下回ると、成形品の耐熱性が低くなり形状が経時変化するため好ましくない。また、この範囲を上回ると、成形温度を高くせざるを得ないものとなりエネルギー的に非効率であり、またフィルムの加熱／冷却時の体積変動が大きくなりフィルムが金型に噛み込んで離型できなくなったり、また離型できたとしてもパターンの転写精度が低下したり、部分的にパターンが欠けて欠点となる場合がある等の理由により好ましくない。
【００４６】
本発明に適用される熱可塑性樹脂を主たる成分としたシート状基材は、好ましくは、具体的には、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン−２、６−ナフタレート、ポリプロピレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート等のポリエステル系樹脂、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリプロピレン、ポリイソブチレン、ポリブテン、ポリメチルペンテン等のポリオレフィン系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリエーテル系樹脂、ポリエステルアミド系樹脂、ポリエーテルエステル系樹脂、アクリル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、あるいはポリ塩化ビニル系樹脂などからなるものである。これらの中で共重合するモノマー種が多様であり、かつ、そのことによって材料物性の調整が容易であるなどの理由から、特にポリエステル系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ポリアミド系樹脂、アクリル系樹脂またはこれらの混合物から選ばれる熱可塑性樹脂から主として形成されていることが好ましく、上述の熱可塑性樹脂が５０重量％以上からなることがさらに好ましい。
【００４７】
本発明に適用するフィルムは、上述の樹脂の単体からなるフィルムであってもかまわないし、複数の樹脂層からなる積層体であってもよい。この場合、単体シートと比べて、易滑性や、耐摩擦性などの表面特性や、機械的強度、耐熱性を付与することができる。このように複数の樹脂層からなる積層体とした場合は、シート全体が前述の要件を満たすことが好ましいが、フィルム全体としては前述要件を満たしていなくても、少なくとも前述の要件を満たす層が表層に形成されていれば容易に表面を成形することができる。
【００４８】
また、本発明に適用するフィルムの好ましい厚さ（厚み、膜厚）としては０．０１〜１ｍｍの範囲であることが好ましい。０．０１ｍｍ以下では、成形するのに十分な厚みがなく、また、１ｍｍ以上ではフィルムの剛性により搬送が一般に難しい。
【００４９】
本発明に適用するフィルムの形成方法としては、例えば、単体シートの場合、シート形成用材料を押出機内で加熱溶融し、口金から冷却したキャストドラム上に押し出してシート状に加工する方法（溶融キャスト法）が挙げられる。その他の方法として、シート形成用材料を溶媒に溶解させ、その溶液を口金からキャストドラム、エンドレスベルト等の支持体上に押し出して膜状とし、次いで、かかる膜層から溶媒を乾燥除去させてシート状に加工する方法（溶液キャスト法）等も挙げられる。
【００５０】
また、積層体の製造方法としては、二つの異なる熱可塑性樹脂を二台の押出機に投入し、溶融して口金から冷却したキャストドラム上に共押出してシート状に加工する方法（共押出法）、単膜で作製したシートに被覆層原料を押出機に投入して溶融押出して口金から押出しながらラミネートする方法（溶融ラミネート法）、単膜で作製したシートと易表面賦形性シートをそれぞれ別々に単膜作製し、加熱されたロール群などにより熱圧着する方法（熱ラミネート法）、その他、シート形成用材料を溶媒に溶解させ、その溶液をシート上に塗布する方法（コーティング法）等が挙げられる。また、易表面賦形性シート積層体の場合にも上述の溶融ラミネート法、熱ラミネート法、コーティング法等を用いることができる。かかる基材は、下地調整材や下塗り材などの処理が施されたものであっても良い。また、他の機能をもった基材との複合体としての構成も好ましい。
【００５１】
また、本発明に適用するフィルムには、重合時もしくは重合後に各種の添加剤を加えることができる。添加配合することができる添加剤の例としては、例えば、有機微粒子、無機微粒子、分散剤、染料、蛍光増白剤、酸化防止剤、耐候剤、帯電防止剤、離型剤、増粘剤、可塑剤、ｐＨ調整剤および塩などが挙げられる。特に、離型剤として、長鎖カルボン酸、もしくは長鎖カルボン酸塩、などの低表面張力のカルボン酸やその誘導体、および、長鎖アルコールやその誘導体、変性シリコーンオイルなどの低表面張力のアルコール化合物等を重合時に少量添加することが好ましく行われる。
【実施例】
【００５２】
以下、実施例に基づいて、本発明の方法・装置の具体的構成、効果について説明をする。
【００５３】
以下の各実施例では、それぞれにおいて（１）〜（７）に示した仕様の金型やプレス装置、加工条件で微細形状の付与加工を行い、微細形状転写シートの製造を行ったものである。
【００５４】
実施例１
（１）金型サイズ：５００ｍｍ（フィルム幅方向）×８００ｍｍ（フィルム走行方向）×２０ｍｍ（厚み）。
【００５５】
（２）金型材質：銅。
（３）微細形状：ピッチ５０μｍ、凸部幅２５μｍ、凸部高さ５０μｍで、フィルム走行方向から見たときの断面が矩形形状のものである。
【００５６】
（４）プレス装置：最大３０００ｋＮまで加圧できるもので、図４（ａ）に示した配置の３本の油圧シリンダーで、押圧機構たる加圧プレートを作動させる。３本の油圧シリンダーは同じ加圧板に連結されており、個別に位置制御が可能である。
【００５７】
（５）プレス装置内には、アルミ合金製でサイズが７００ｍｍ（フィルム幅方向）×１０００ｍｍ（フィルム走行方向）の温調プレートが上下に２枚取り付けられ、それぞれ、加熱装置、冷却装置に連結されている。なお、金型は下側の温調プレートに取り付けられている。加熱装置は熱媒循環装置で、熱媒はバーレルサーム＃４００（松村石油株式会社製）で、１５０℃に加熱したものを１００Ｌ／ｍｉｎの流量で流すものである。また、冷却装置は冷却水循環装置で、２０℃に冷却された水を１５０Ｌ／ｍｉｎの流量で流すものである。
【００５８】
（６）シート：ポリエチレンテレフタレート樹脂からなり、厚みが１００μｍ（厚みむら：±１０μｍ）、幅は５２０ｍｍである。
【００５９】
（７）動作方法：上記の装置を用い、以下のように成型を行った。あらかじめ、シートを金型上におく。次に、温調プレート上下ともに１１０℃となるまで加熱した後、上側プレートを下降させて、フィルムのプレスを開始した。その際、中央のシリンダーを２２μｍ先に下がるよう個別位置制御しながら金型表面で５ＭＰａで、３０秒実施した。プレス中に各シリンダーの位置が３μｍ以内になるように個別制御した。その後、プレスを継続したまま、温調プレートを上下ともに冷却する。各温調プレートが６０℃になったときに冷却を停止する。上下ともに冷却が完了したとき、プレスを開放する。その後、シートを金型から離型する。
【００６０】
上記の一連の動作を繰り返し、１０枚の成型フィルムを作成した。成型面を目視で評価した結果、エアの噛み込みや転写不良等なく、全面均一に転写された成型シートを得ることができた。
【００６１】
温調プレート表面の平面性は、キーエンス社製レーザーフォーカス変位計ＬＴ８１００を用いて行った。センサーヘッドを温調プレート上方に置きプレート全面で２０点の変位を測定した。なお、プレートの変形は、先端を断熱したダイヤルゲージを用いて測定してもよい。温調プレートの厚みや材質によりシリンダースケール値とプレート平面性に差がある場合は、差分を校正値としてプレスシリンダーの制御に用いるのが有効である。以下の実施例でも同様である。
【００６２】
実施例２
（１）金型サイズ：５００ｍｍ（フィルム幅方向）×８００ｍｍ（フィルム走行方向）×２０ｍｍ（厚み）。
【００６３】
（２）金型材質：銅。
（３）微細形状：ピッチ５０μｍ、凸部幅２５μｍ、凸部高さ５０μｍで、フィルム走行方向から見たときの断面が矩形形状のものである。
【００６４】
（４）プレス装置：最大５０００ｋＮまで加圧できるもので、図４（ｂ）に示した配置の５本の油圧シリンダーで加圧プレートを作動させる。５本の油圧シリンダーは同じ加圧板に連結されており、個別に位置制御が可能である。
【００６５】
（５）プレス装置内にはアルミ合金製でサイズが７００ｍｍ（フィルム幅方向）×１０００ｍｍ（フィルム走行方向）の温調プレートが上下に２枚取り付けられ、それぞれ、加熱装置、冷却装置に連結されている。なお、金型は下側の温調プレートに取り付けられている。加熱装置は熱媒循環装置で、熱媒はバーレルサーム＃４００（松村石油株式会社製）で、１５０℃に加熱したものを１００Ｌ／ｍｉｎの流量で流すものである。また、冷却装置は冷却水循環装置で、２０℃に冷却された水を１５０Ｌ／ｍｉｎの流量で流すものである。
【００６６】
（６）シート：ポリエチレンテレフタレート樹脂からなり、厚みが１００μｍ（厚みむら：±１０μｍ）、幅は５２０ｍｍである。
【００６７】
（７）動作方法：上記の装置を用い、以下のように成型を行った。シートを厚さ計を通過させ金型上におく。次に、温調プレート上下ともに１１０℃となるまで加熱した後、上側プレートを下降させて、フィルムのプレスを開始する。その際、シートの厚みムラが中央近傍で１０μｍ薄かったので中央のシリンダーを３０μｍ先に下がるよう個別に位置制御しながら金型表面で５ＭＰａで、５０秒実施した。プレス中に各シリンダーの位置が３μｍ以内になるように個別制御する。その後、プレスを継続したまま、温調プレートを上下ともに冷却する。各温調プレートが６０℃になったときに冷却を停止する。上下ともに冷却が完了したとき、プレスを開放する。その後、シートを金型から離型する。
【００６８】
上記の一連の動作を繰り返し、１０枚の成型フィルムを作成した。成型面を目視で評価した結果、エアの噛み込みや転写不良等なく、全面均一に転写された成型シートを得ることができた。
【００６９】
実施例３
（１）金型サイズ：５００ｍｍ（フィルム幅方向）×８００ｍｍ（フィルム走行方向）×２０ｍｍ（厚み）。
【００７０】
（２）金型材質：銅。
（３）微細形状：ピッチ５０μｍ、凸部幅２５μｍ、凸部高さ５０μｍで、フィルム走行方向から見たときの断面が矩形形状のものである。
【００７１】
（４）プレス装置：最大３０００ｋＮまで加圧できるもので、図４（ａ）に示した配置の３本の油圧シリンダーで加圧プレートを作動させる。３本の油圧シリンダーは同じ加圧板に連結されており、個別に位置制御が可能である。
【００７２】
（５）プレス装置内には、アルミ合金製でサイズが７００ｍｍ（フィルム幅方向）×１０００ｍｍ（フィルム走行方向）の温調プレートが上下に２枚取り付けられ、それぞれ、加熱装置、冷却装置に連結されている。なお、金型は下側の温調プレートに取り付けられている。加熱装置は熱媒循環装置で、熱媒はバーレルサーム＃４００（松村石油株式会社製）で、１５０℃に加熱したものを１００Ｌ／ｍｉｎの流量で流す。また、冷却装置は冷却水循環装置で、２０℃に冷却された水を１５０Ｌ／ｍｉｎの流量で流すものである。
【００７３】
（６）シート：ポリエチレンテレフタレートからなり、厚みが８０μｍ（厚みむら：±６μｍ）、幅は５２０ｍｍである。
【００７４】
（７）厚さ計：Ｘ線式のシート厚み測定センサーをプレス側に固定設置し、シート搬送方向の厚みを測定した。厚み分布は、搬送方向中央部が１２μｍ薄く、緩やかな凹型形状であった。
【００７５】
（８）動作方法：上記の装置を用い、以下のように成形を行った。シートの厚みを厚みセンサーで測定しながら金型上にセットする。次に、温調プレート上下ともに１１０℃となるまで加熱した後、上側プレートを下降させて、シートのプレスを開始する。その際中央のシリンダーを２５μｍ先に下がるよう個別速度制御しながら金型表面で５ＭＰａで、３０秒間実施した。プレス中に各シリンダーの位置が３μｍ以内になるように個別制御した。その後、プレスを継続したまま、温調プレートを上下ともに冷却する。各温調プレートが６０℃になったときに冷却を停止する。上下ともに冷却が完了したときプレスを開放する。その後、シートを金型から離型する。
【００７６】
上記の動作を繰り返し、１０枚の成型フィルムを作成した。成型面を目視で評価した結果、エアの噛み込みや転写不良等がなく、全面均一に転写された良好な成型シートを得た。
【００７７】
比較例１
実施例１の装置と同様の装置を用いて、ただしシリンダーの個別制御を行わずに、実施例１と同一の条件でプレスし加工した結果、フィルム中央部にエアの噛み込みによる非転写部が発生した。同じ条件で１０枚の成型フィルムを作成したが、全てのフィルムにおいて非転写部が発生した。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】図１は、本発明の微細形状転写シートの製造方法を実施するのに好適に用いられる本発明の微細形状転写シートの製造装置の一実施態様例をモデル的に示した概略正面図である。
【図２】図２は、図１に示した本発明の微細形状転写シートの製造装置を用いて賦形面の中央部の押圧機構を押圧オン状態にして、シート状基材の中央部を他の部分よりも先にプレスがされるよう位置制御してプレスしている状態をモデル的に示した概略正面図である。
【図３】図３は、図１に示した本発明の微細形状転写シートの製造装置に、シート厚みに応じて押圧機構を制御する構成を付加した本発明の微細形状転写シートの製造装置の他の一実施態様例をモデル的に示した概略正面図である。
【図４】図４は、図１〜図３に示した本発明にかかる微細形状転写シートの製造装置における押圧機構を配設する位置に関して２種の態様例をモデル的に示した概略平面図である。
【符号の説明】
【００７９】
１：微細形状転写シート製造装置
２：プレス装置
３：金型
４：シート状基材
５：上温調プレート
６：下温調プレート
８：熱媒循環装置
９：冷却水循環装置
１１：押圧機構
１２：スケール
２１：シート厚み測定センサー
２２：シート搬送ロール
２３：信号演算器
【図１】
2008087227.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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