【手続補正書】
【提出日】平成21年3月11日(2009.3.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
自身の物体面内に配置されるパターンを自身の像面上に紫外放射を用いて結像させる投影対物レンズにおいて：
２６０ｎｍ＞λ＞１５０ｎｍの動作波長λの放射に対して透明性を有する透明光学素子を含む複数個の光学素子と；
前記像面に最も近い瞳面である像側瞳面と；
前記像側瞳面と前記像面との間において配置されて、前記像側瞳面から到来する放射を前記像面の方へと収束させて、０．７≦ＮＡ≦１．４の像側開口数ＮＡを確定させる開口確定レンズ群とからなり、
前記開口確定レンズ群は、ｎHI＞ｎSiO2の屈折率ｎHIを有する透明な高屈折率材料により製作される少なくとも１個の高屈折率レンズを含み、ｎSiO2は、前記動作波長における二酸化ケイ素（ＳｉＯ2）の屈折率である投影対物レンズ。
【請求項２】
前記高屈折率材料は、前記動作波長において屈折率ｎHI＞１．６を有する請求項１に記載の投影対物レンズ。
【請求項３】
前記高屈折率材料は、酸化アルミニウム（Ａｌ2Ｏ3）、酸化アルミニウムマグネシウム（ＭｇＡｌ2Ｏ4、スピネル）、フッ化ランタン（ＬａＦ3）および酸化ストロンチウムカルシウムまたは酸化ストロンチウムマグネシウムの混合物を含む材料群から選択される固体材料である請求項１に記載の投影対物レンズ。
【請求項４】
屈折率ｎHI＞１．６を有する少なくとも１個の液体高屈折率材料が用いられる請求項１に記載の投影対物レンズ。
【請求項５】
前記液体材料は、シクロヘキサン等の環状炭化水素と、水の屈折率を増加させる少なくとも１つのドーパントによりドープされた水とを含む材料群から選択される請求項４に記載の投影対物レンズ。
【請求項６】
前記動作波長の放射に対して透明性を有する高屈折率液が、正または負の屈折率を有するとともに、物体側境界素子と像側境界素子との間において密封される液体高屈折率レンズを形成する請求項１に記載の投影対物レンズ。
【請求項７】
前記物体側境界素子は、投影対物レンズの最後の固体光学素子であり、前記像側境界素子は、露光対象の基板である請求項６に記載の投影対物レンズ。
【請求項８】
前記物体側境界素子と前記像側境界素子とは、投影対物レンズの透明光学素子によって形成されて、該投影対物レンズが自身の像面から離間する位置において形成される少なくとも１個の液体レンズを含むようになる請求項６に記載の投影対物レンズ。
【請求項９】
前記液体レンズに隣接する前記少なくとも１個の境界素子は、前記液体レンズを形成する前記高屈折率液の屈折率に近い屈折率を有し、条件Δｎ≦０．０４が、前記境界素子と前記液体レンズとの屈折率間の差Δｎに関して当てはまる請求項６に記載の投影対物レンズ。
【請求項１０】
高屈折率液体レンズに隣接する前記物体側境界素子は、正の屈折率を有するレンズである請求項６に記載の投影対物レンズ。
【請求項１１】
少なくとも１個の高屈折率レンズが、周辺光線高さが像側瞳面における周辺光線高さの５０％未満となる位置において、前記像面に光学的に接近して配置される請求項１に記載の投影対物レンズ。
【請求項１２】
少なくとも前記基板に接触する材料または露光対象の前記基板に最も接近して配置される材料は、液体または固体の高屈折率材料レンズである請求項１に記載の投影対物レンズ。
【請求項１３】
前記開口確定レンズ群は、正確に３個の非球面状レンズ面を含む請求項１に記載の投影対物レンズ。
【請求項１４】
前記開口確定レンズ群は、非球面状のレンズ面を有する正確に３個のレンズを含む請求項１に記載の投影対物レンズ。
【請求項１５】
前記非球面状のレンズ面は、凹状のレンズ面上において形成される請求項１３に記載の投影対物レンズ。
【請求項１６】
前記凹状のレンズ面は、非球面レンズの像側に配置される請求項１５に記載の投影対物レンズ。
【請求項１７】
ＮASP個の非球面状のレンズ面と、少なくとも１個の非球面状のレンズ面を有するＮASPL個のレンズとを含み、非球面率ＡＲ＝ＮASP／ＮASPLに関して、条件ＡＲ＞１が成り立つ請求項１に記載の投影対物レンズ。
【請求項１８】
光路に沿って互いに直接連続する２個の非球面を有する少なくとも１個の二重非球面が、自身内において存在する請求項１に記載の投影対物レンズ。
【請求項１９】
前記二重非球面は、２個の別個の隣接する光学素子の非球面をレンズ／レンズまたはレンズ／鏡の構成において向き合わせることによって形成される請求項１８に記載の投影対物レンズ。
【請求項２０】
前記二重非球面は、非球面として設計される２個のレンズ面を有する両非球面レンズ（双非球面）によって形成される請求項１８に記載の投影対物レンズ。
【請求項２１】
３個の直接連続する非球面を有する少なくとも１個の三重非球面を含む請求項１に記載の投影対物レンズ。
【請求項２２】
前記開口確定レンズ群は、浸漬媒質とともに、１．２≦ＮＡ≦１．４の像側開口数ＮＡを確定させるように設計される請求項１に記載の投影対物レンズ。
【請求項２３】
前記物体面上の前記パターンを第１の中間像に結像させる第１の対物レンズ部分と；
中間像を前記像面上に結像させる第２の対物レンズ部分とからなり、
前記対物レンズ部分の少なくとも一方は、少なくとも１個の凹面鏡を含み、全ての光学素子（屈折性および反射性）は、共通の直線状の光軸を共有する（インラインシステム）カタジオプトリック投影対物レンズである請求項１に記載の投影対物レンズ。
【請求項２４】
前記第２の対物レンズ部分は、前記第１の中間像を前記像面上に結像させて、投影対物レンズが正確に１個の中間像を含むようにする請求項２３に記載の投影対物レンズ。
【請求項２５】
前記第２の対物レンズ部分は、屈折性の対物レンズ部分である請求項２４に記載の投影対物レンズ。
【請求項２６】
前記第２の対物レンズ部分は、少なくとも１個の凹面鏡を含むカタジオプトリック対物レンズ部分である請求項２４に記載の投影対物レンズ。
【請求項２７】
瞳面に光学的に近接する位置または瞳面に配置される少なくとも１個の凹面鏡を含み、負の屈折力が、前記凹面鏡に接近して配置されて、前記凹面鏡へと向けられる放射と前記凹面鏡から反射される放射とが負の屈折力による作用を受けるようになる請求項２３に記載の投影対物レンズ。
【請求項２８】
前記像側瞳面付近または前記像側瞳面に配置されるとともに、０．８≦ＤNL≦ＤMにしたがったレンズ直径ＤNLを有する少なくとも１個の負レンズを含み、ここで、ＤMは、前記第２の対物レンズ部分内において光線直径が最小となるくびれ部分と前記像面との間における最大レンズ直径である請求項１に記載の投影対物レンズ。
【請求項２９】
前記負レンズは、前記像面の方を向く凹面を有する負メニスカスレンズである請求項２８に記載の投影対物レンズ。
【請求項３０】
前記像側瞳面と前記像面との間における距離ＤPS-ISは、ＤPS-IS≦０．１８*ＴＴの範囲内に含まれ、ここで、ＴＴは、前記物体面と前記像面との間における軸方向距離（全軌道長）である請求項１に記載の投影対物レンズ。
【請求項３１】
最大レンズ直径Ｄmaxと、最大像フィールド高さＹ´とを有し、
ＣＯＭＰ１＝Ｄmax／（Ｙ´・ＮＡ2）かつＣＯＭＰ１＜１５である請求項２３に記載の投影対物レンズ。
【請求項３２】
正確に２個の凹面鏡を有し、ＣＯＭＰ１＜１４である請求項３１に記載の投影対物レンズ。
【請求項３３】
正確に４個の凹面鏡を有し、ＣＯＭＰ１＜１２である請求項３１に記載の投影対物レンズ。