(57)【要約】      （修正有）【課題】マイクロアクチュエータの圧電素子の問題を識別するためのシステム及び方法を提供する。【解決手段】正弦波電圧などの電圧を参照ユニットに印加することで参照ユニット及びテストユニットの振動を引き起こす（Ｓ６０２）。そして相応する共振特性（例えば周波、振幅、位相など）の比較（例えば、プロセッサを用いる）によって、テストユニットに問題があるか否かを確認する（Ｓ６０４、Ｓ６０６，Ｓ６０８）。参照ユニットは、ハードディスクドライブ装置のヘッドジンバルアセンブリ或いはヘッドサスペンションアセンブリを有することができる。また、テストユニットは検知に使用される部品を含んでいる。この技術によれば、各マイクロアクチュエータに圧電素子が一つだけ含まれる場合でも、圧電素子の問題を検知することができる。【選択図】図６
2008135156.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一つの参照用マイクロアクチュエータと連結して、当該参照用マイクロアクチュエータを基準共振の状況で振動させる電圧分配器と、
前記参照用マイクロアクチュエータからの振動により誘導されて被試験共振の状況で振動する試験用マイクロアクチュエータと、
前記基準共振の少なくとも一つの特性と、この特性に相応する前記被試験共振の少なくとも一つの特性とを比較するためのプロセッサと、
を含むことを特徴とするマイクロアクチュエータの圧電素子の問題を識別するシステム。
【請求項２】
前記電圧分配器は、前記参照用マイクロアクチュエータに正弦波電圧を印加させる構成であることを特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記基準共振の少なくとも一つの特性及び前記被試験共振の少なくとも一つの相応特性は、周波数、振幅及び位相から選ばれた一種或いは多種である、ことを特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項４】
前記各マイクロアクチュエータが一つのディスクドライブ装置内に配置されており、当該ディスクドライブ装置は、一組のヘッドジンバルアセンブリを備えたヘッドサスペンションアセンブリと、ディスクと、スピンドルモータとを含み、その中で、
各ヘッドジンバルアセンブリは、記録／再生ヘッドが設けられたスライダ及び当該ヘッドジンバルアセンブリに連結された駆動アームを更に含んでおり、
前記ディスクは、前記記録／再生ヘッドを介してデータの記録又は再生を実施し、
前記スピンドルモータは、前記ディスクを駆動するために用いられる、ことを特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項５】
前記参照用マイクロアクチュエータは、前記ヘッドサスペンションアセンブリにおける一つのマイクロアクチュエータであり、それ以外のマイクロアクチュエータはすべて試験用マイクロアクチュエータである、ことを特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項６】
参照用マイクロアクチュエータと試験用マイクロアクチュエータを用意するステップと、
前記参照用マイクロアクチュエータに電圧を印加させて、それが当該参照用マイクロアクチュエータ内で誘導されて基準共振を形成するようにして、当該基準共振により前記試験用マイクロアクチュエータ内で被試験共振を引き起こすステップと、
前記基準共振及び被試験共振を測定するステップと、
前記基準共振の少なくとも一つの特性及び前記被試験共振の少なくとも一つの相応特性に対して比較操作を行うステップと、
を含むことを特徴とするマイクロアクチュエータの圧電素子の問題を識別する方法。
【請求項７】
前記比較ステップに基づいて、前記試験用マイクロアクチュエータに問題があるか否かを確認するステップを更に含む、ことを特徴とする請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記電圧は正弦波電圧である、ことを特徴とする請求項６に記載の方法。
【請求項９】
前記基準共振の少なくとも一つの特性及び前記被試験共振の少なくとも一つの相応特性は、周波数、振幅及び位相から選ばれた一種或いは数種であることを特徴とする請求項６に記載の方法。
【請求項１０】
ディスクドライブ装置におけるマイクロアクチュエータの圧電素子の問題を識別する方法において、
前記ディスクドライブ装置は、一組のヘッドジンバルアセンブリを備えたヘッドサスペンションアセンブリを含み、当該各ヘッドジンバルアセンブリは記録／再生ヘッドが設けられたスライダ、及びそのヘッドジンバルアセンブリに連結された駆動アームを更に含む装置であり、
前記方法が、
前記ヘッドサスペンションアセンブリに電圧を印加させて、それが各マイクロアクチュエータ内で誘導されて共振を形成するようにするステップと、
前記各マイクロアクチュエータ内の誘導共振を測定するステップと、
基準共振を形成するステップと、
前記誘導共振の少なくとも一つの特性を、基準共振の少なくとも一つの相応特性と比較するステップと、
を含むことを特徴とするディスクドライブ装置におけるマイクロアクチュエータの圧電素子の問題を識別する方法。
【請求項１１】
前記比較ステップに基づいて、前記一個又は数個のマイクロアクチュエータに問題があるか否かを確認するステップを更に含む、ことを特徴とする請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記電圧は正弦波電圧である、ことを特徴とする請求項１０に記載の方法。
【請求項１３】
前記誘導共振の少なくとも一つの特性は、周波数、振幅及び位相から選ばれた一種或いは多種であることを特徴とする請求項１０に記載の方法。
【請求項１４】
前記印加される電圧の少なくとも一部に基づいて前記基準共振を推定するステップを更に含む、ことを特徴とする請求項１０に記載の方法。
【請求項１５】
前記基準共振を得るように、前記誘導共振を平均化するステップを更に含む、ことを特徴とする請求項１０に記載の方法。
【請求項１６】
少なくとも一つの誘導共振を指定して基準共振とする、ことを特徴とする請求項１０に記載の方法。
【請求項１７】
前記比較ステップに各誘導共振とその他の各誘導共振を相互比較することが含まれるように、前記基準共振を誘導共振をめぐって旋回させる、ことを特徴とする請求項１０に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、情報記録ディスクドライブ装置に係り、特にディスクドライブ装置のヘッドサスペンションアセンブリに設置されたマイクロアクチュエータの圧電素子に係わる問題を識別するための技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
ディスクドライブ装置は、磁気媒体を用いてデータを記録する装置としてよく利用されている。このディスクドライブ装置は、磁気媒体の上方に設けられた移動式の記録／再生ヘッドによって、この磁気媒体からのデータの記録／再生を選択的に行う装置である。
【０００３】
従来、ユーザは、ディスクドライブ装置に対し、高記録密度化、記録／再生操作の迅速化及び高精度化を要望してきた。このため、ディスクドライブ装置の各メーカは、例えば、磁気ディスクのトラック幅やトラックピッチを小さくして、間接的に磁気ディスクのトラックの記録容量を増やすことで、記録密度の高い磁気ディスクドライブ装置を鋭意開発してきた。ただし、トラック密度の増加に伴い高密度化したディスクドライブ装置に対して、迅速且つ高精度に記録／再生操作を行うために、記録／再生ヘッドに対する位置制御にも高精度化が要求されていた。しかしながら、従来の技術を利用して記録／再生ヘッドを迅速且つ高精度に磁気ディスクのトラックに配置させることは、トラック密度の増加に伴い極めて難しくなってきている。このようなトラック密度のますますの増加に伴い、記録／再生ヘッドの位置決め制御を改善する技術が検討されている。
【０００４】
各メーカは記録／再生ヘッドの位置決め制御を改善するために、第二駆動器（即ちマイクロアクチュエータ）を採用している。このマイクロアクチュエータは、１つの主駆動器と共に駆動することにより、記録／再生ヘッドの位置決め精度の向上、及び操作の迅速化を実現している。このマイクロアクチュエータが備えられたディスクドライブは二駆動器システムと呼ばれている。
【０００５】
従来、記録／再生操作の速度を高め、高密度の磁気ディスクでの記録／再生ヘッドの位置決め制御の高精度化を実現するために、様々な二駆動器システムが開発されてきた。このような二駆動器システムは、１つの主駆動器であるボイスコイルモータ（ＶＣＭ）と、１つの副駆動器であるマイクロアクチュエータ（例えば、圧電素子マイクロアクチュエータ）と、を含む構成である。ボイスコイルモータはサーボ制御システムにより制御され、このサーボ制御システムは駆動アームを回転させる。駆動アームは、記録／再生ヘッドを搭載しており、これにより該記録／再生ヘッドを記録媒体の特定のトラック上に位置決めする。圧電素子（ＰＺＴ素子）マイクロアクチュエータはボイスコイルモータ駆動器と共に使用されることで、記録／再生操作の迅速化、及び記録／再生ヘッドの位置決め制御の高精度化を実現している。すなわち、ボイスコイルモータ駆動器は、記録／再生ヘッドの位置決めを低い精度で粗調整し、圧電素子マイクロアクチュエータは記録媒体に対する記録／再生ヘッドの位置決めを高い精度で微調整する。これら２つの駆動器を用いることにより、高密度の磁気ディスクから情報の記録／再生操作を迅速且つ高精度に行うことができる。
【０００６】
現在、記録／再生ヘッドの位置決めに使用されるマイクロアクチュエータは圧電素子を有する構成である。このような圧電素子マイクロアクチュエータは、該マイクロアクチュエータ上の圧電素子を選択的に伸縮又は拡張するように、この圧電素子を駆動させる電子回路構造を有している。圧電素子マイクロアクチュエータは、このような構造を有することで、圧電素子の伸縮又は拡張によってマイクロアクチュエータを駆動させ、更には記録／再生ヘッドを動作させることができる。この記録／再生ヘッドの動作は、ボイスコイルモータ駆動器のみを使用している磁気ディスクドライブユニットと比べ、記録／再生ヘッドの位置をより迅速且つ高精度に調整することができる。このような従来例に関する圧電素子マイクロアクチュエータは、例えば以下の特許文献１乃至４に開示されている。ここで、これら特許文献の内容を組み合わせて説明する。
【０００７】
図１及び図２は、従来のディスクドライブユニットを示す図であり、磁気ディスク１０１は、スピンドルモータ１０２上に装着され、このスピンドルモータ１０２の駆動により回転する。ボイスコイルモータアーム１０４にはヘッドジンバルアセンブリ(head gimbal assembly,ＨＧＡ)２２７が搭載されており、このヘッドジンバルアセンブリ２２７はスライダ２０３を備えたマイクロアクチュエータ１０５を含み、このスライダ２０３には記録／再生ヘッドが配置されている。ボイスコイルモータ（ＶＣＭ）は、ボイスコイルモータアーム１０４の動作を制御し、更にはスライダ２０３が磁気ディスク１０１の表面で一つのトラックから他のトラックへ移動することを制御する。これにより、記録／再生ヘッドは磁気ディスク１０１に対して情報の記録／再生を行うことが可能となる。
【０００８】
ただし、一つのサーボモータシステムのみを使用する場合、ボイスコイルモータ及びヘッドサスペンションアセンブリによる固有誤差のため、スライダの迅速且つ正確な位置決めが制御できなくなり、かえって磁気ディスクから情報の記録や再生を行う記録／再生ヘッドの精度性能に影響を及ぼしていた。そこで、マイクロアクチュエータを備えることによって、スライダ２０３及び記録／再生ヘッドの位置決め精度を向上させている。具体的には、圧電マイクロアクチュエータは、ボイスコイルモータと比べて、スライダの位置をより小さな幅度で調整させ、ボイスコイルモータまたはヘッドサスペンションアセンブリの共振誤差を補っている。この圧電マイクロアクチュエータによって、更に小さなトラックピッチへの応用が可能となり、またディスクドライブ装置のトラック密度（ＴＰＩ値、毎インチ当たりのトラック数）を５０％向上させるとともに、磁気ヘッドのシーク時間と位置決め時間を短くさせることもできる。これにより、圧電マイクロアクチュエータは記録ディスクの表面記録密度を大幅に高めることができる。
【０００９】
図２Ａは、従来のＵ字形のマイクロアクチュエータを示す斜視図である。図２Ａに示すように、マイクロアクチュエータ１０５はセラミックフレーム１００を有し、該セラミックフレーム１００にはサイドアーム１０７及び１０８が含まれている。このサイドアーム１０７及び１０８には圧電素子１０７ａ及び１０８ａがそれぞれ装着されている。マイクロアクチュエータ１０５は、このセラミックフレーム１００の底部を介してヘッドジンバルアセンブリのサスペンションタングと連結する。また、平行なギャップ（図示せず）が存在することによって、圧電素子１０７ａ、１０８ａの少なくとも一方に電圧を印加したとき、圧電マイクロアクチュエータ１０５がスライダ２０３をスムーズに移動させることができる。
【００１０】
図２Ｂは、従来の他のＵ字形のマイクロアクチュエータを示す斜視図である。図２Ｂに示すように、マイクロアクチュエータ１０５'は金属フレーム２１３を含み、該金属フレーム２１３は、トップサポートアーム２１４と、ボトムサポートアーム２１５と、サイドアーム２１１、２１２とを含む構成である。このサイドアーム２１１及び２１２には、圧電素子２０７及び２０８がそれぞれ装着されている。またボトムサポートアーム２１５はサスペンションタングに装着されている。さらに、平行なギャップ（図示せず）が存在することによって、圧電素子２０７、２０８の少なくても一方に電圧を印加したとき、圧電マイクロアクチュエータ１０５'がスライダ２０３をスムーズに移動させることができる。
【００１１】
図２Ｃは、図１及び図２に示した従来のディスクドライブユニットの二駆動器を含むヘッドジンバルアセンブリ２２７を示している。より具体的には、図２Ｃは、図１及び図２に示した従来のディスクドライブユニットのヘッドジンバルアセンブリを拡大して示す斜視図である。図２Ｂに示したマイクロアクチュエータは、ヘッドジンバルアセンブリによって位置決めされる。もちろん、図２Ａに示したマイクロアクチュエータもこのヘッドジンバルアセンブリに位置決めされるが、これについての詳細な説明は省略する。簡単に説明すると、マイクロアクチュエータ１０５'は、電気接続パッド１０９を介して各圧電素子２０７、２０８の一端にあるサスペンショントレース１１７に連結される。電気接続パッド１０９は、例えば金ボール接続（gold ball bonding,ＧＢＢ）、ハンダボール接続（solder ball bonding,ＳＢＢ）、或いはその他の類似する方法等によって適切に形成される。そしてスライダ２０３は、金属フレーム２１３のトップサポートアーム２１４に取付けられ、複数の電気接続パッド（金ボール接続、ハンダボール接続或いはその他の類似な方法によって接続される）を用いてこのスライダ２０３とサスペンショントレース１１０を連結させて、記録／再生トランスデューサ間の電気接続を実現する。サスペンショントレース１１７を介して駆動電圧を印加した場合、サイドアーム２１１、２１２における圧電素子２０７、２０８が拡張又は収縮することによって、サイドアーム２１１、２１２を同じ片側方向に沿って湾曲させる。このように、スライダ２０３が二つのサイドアームに連結されていることにより、スライダ２０３には側面方向の位置移動が発生する。これによりスライダの位置制御の微調整を実現することができる。
【００１２】
このようなマイクロアクチュエータは、産業の中で普遍性が高く、且つハードディスクドライブの機能としても非常に重要となるため、マイクロアクチュエータの圧電素子に係わる問題或いは故障をどのように識別するかを考慮する必要があった。この問題としては、例えば微小クラックの形成、圧電素子の変形などがあげられる。従来の技術では、圧電素子の問題を検知するために、圧電素子に対して目視検査を行っていた。しかしながら、この検査は欠点を有している。例えば、圧電素子及びヘッドジンバルアセンブリのサイズ及び複雑性による制限があるので、目視検査だけでは問題を検知することができないおそれがあった。
【００１３】
また、別の技術として、圧電素子に電圧をかけ、且つレーザドップラ振動計（Laser Doppler Vibrometers,ＬＤＶ）を用い、他の圧電素子に対して静電容量測定又は共振測定を行って機械共振特性を検定し、特に予定標準との偏差を検出することがあった。この技術に関しては特許文献５に例示されており、ここでは同特許文献の内容を参照して説明する。
【００１４】
図３Ａは、二つの圧電素子を含むヘッドジンバルアセンブリのエラーを検知する先の試験装置３００を示す図である。この試験装置３００は、関連入力機構３１８及びディスプレイ３１６を備えたユーザ・インターフェース３１４と、試験制御処理機３１２と、信号発生器３０８及び信号解析器３１０とを含んでいる。その中で信号発生器３０８は、ヘッドジンバルアセンブリの第１サイドアームの第１マイクロアクチュエータ２０７に電気接続（３０４）されている。また信号解析器３１０は、第２サイドアームの第２マイクロアクチュエータ２０８に電気接続（３０６）されている。試験制御処理機３１２は信号発生器３０８を指示して、所定の電圧（例えば、掃引（swept）、正弦、ピリオド・チャープ（period chirp）、ランダム・ノイズ（random noise）など）で基準信号を出力するようにする。この基準信号は、圧電素子２０７を起動し、且つ第１サイドアームの湾曲を引き起こす。これら第１サイドアームと第２サイドアームは相互連結しており、且つ第２圧電素子がこの第２サイドアーム上に位置しているため、第２圧電素子２０８も湾曲されることになり、これにより圧電素子２０８の中には応答電圧が発生する。またマイクロアクチュエータの特性を予測するために、信号解析器３１０にて応答電圧を検出し、試験制御処理機３１２で基準信号の特性と応答信号の特性に対して比較操作を行う。
【００１５】
図３Ｂは、図３Ａに示された従来のシステムの出力状況を説明する図である。ここで、対照データは、電子フィルターの安定状態の周波数応答を反映するのに便利なボード線図（bode plot）により表すことができる。この図には、周波数対数に対する増益対数の曲線が示されている。図において、Ｒ１は圧電素子２０７又は２０８の電気信号の出力値であり、Ｒ２は予期した応答信号である。応答信号Ｒ１と予期した応答信号Ｒ２が適合しない場合（例えば、メインピーク周波数ドリフト、増益振幅の不一致など）、圧電素子の応答特性が既に変化したことを意味し、該圧電素子に破壊或いは欠陥が発生した可能性があることを示している。
【００１６】
以上のように二つの圧電素子を含む構造のヘッドジンバルアセンブリでは、これら従来の静電容量測定及びレーザドップラ振動計による測定をうまく利用することができる。ただし、システムに一つしか圧電素子がない場合、それらは全く働かないおそれもあった。このような状況はハードディスクドライブセンサシステムにおいて発生する可能性がある。したがって、上記欠点を克服できるような改善されたシステムを提供することが要望されていた。
【特許文献１】特開２００２−１３３８０３号公報
【特許文献２】米国特許公報第６６７１１３１号
【特許文献３】米国特許公報第６７００７４９号
【特許文献４】米国公開特許公報第２００３−０１６８９３５号
【特許文献５】米国公開特許公報第２００３−００７６１２１号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
本発明では、幾つかの実施形態に基づいて、ハードディスクドライブユニットに配設されたマイクロアクチュエータの圧電素子の欠陥を検知する技術、及びマイクロアクチュエータに少なくとも一つの圧電素子を装着した場合の欠陥を検知する技術を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明は、マイクロアクチュエータの圧電素子の問題を識別するためのシステムを提供する。電圧分配器は、一つの参照用マイクロアクチュエータと連結することができて、この参照用マイクロアクチュエータを基準共振の状況で振動させる構造を有する。また試験用マイクロアクチュエータは、参照用マイクロアクチュエータからの振動に誘導されて被試験共振の状況で振動する。プロセッサは、基準共振の少なくとも一つの特性と被試験共振の少なくとも一つの相応な特性とを相互比較する構成である。
【００１９】
また、本発明の具体的な実施形態により、本発明に係るマイクロアクチュエータの圧電素子の問題を識別するための方法を提供する。まず、参照用マイクロアクチュエータと試験用マイクロアクチュエータを用意する。次に、参照用マイクロアクチュエータに電圧を印加させて、それが該参照用マイクロアクチュエータ内で誘導されて基準共振を形成するようにする。そして、基準共振及び被試験共振を測定する。さらに基準共振の少なくとも一つの特性と被試験共振の少なくとも一つの相応な特性に対して比較操作を行う。
【００２０】
また他の実施形態において、ディスクドライブ装置におけるマイクロアクチュエータの圧電素子の問題を識別するための方法を提供する。ディスクドライブ装置は一組のヘッドジンバルアセンブリを有するヘッドサスペンションアセンブリを含み、この各ヘッドジンバルアセンブリは記録／再生ヘッドが設けられたスライダ及びヘッドジンバルアセンブリに連結された駆動アームを更に含んでいる。この方法は、ヘッドサスペンションアセンブリに電圧を印加させて、それが各マイクロアクチュエータ内で誘導されて共振を形成させるようにする。次に各マイクロアクチュエータ内の誘導共振を測定する。そして、基準共振を形成する。さらに基準共振の少なくとも一つの特性と被試験共振の少なくとも一つの相応な特性に対して比較操作を行う。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、図面を参照して、マイクロアクチュエータの圧電素子内に発生する問題（例えば、微小クラックの形成、変形など）を識別するための技術に関して、幾つかの実施形態を説明する。電圧（例えば正弦波電圧など）は参照ユニットに印加されることで、参照ユニット及び試験ユニットの振動を引き起こすことができる。そして、相応する共振特性（例えば周波、振幅、位相など）と比較する（例えば、プロセッサを用いる）ことによって、試験ユニットに問題があるか否かを確認することができる。この参照ユニットは、ハードディスクドライブ装置のヘッドジンバルアセンブリ或いはヘッドサスペンションアセンブリに配置されていてもよい。また試験ユニットは、検知に用いられる部品を含んでいる。このような技術によれば、各マイクロアクチュエータに圧電素子が一つだけ含まれる場合でも圧電素子に生じた問題を検知することが可能となる。
【００２２】
図４Ａ、図４Ｂは、本発明の実施形態に係る試験システムの例示的なソース装置（source device）４０１を示す図であり、図４Ｃ、図４Ｄは本発明の実施形態に係る試験システムの例示的な受信装置を示す図である。ソース装置４０１は、参照用ヘッドジンバルアセンブリ４１１の参照用マイクロアクチュエータ４０３に電圧を提供するために用いられる電圧分配器４０２を含んでいる。また受信装置４０８は、センサ４０５と、プロセッサ４０７と、試験用ヘッドジンバルアセンブリ４１１'と連結した試験用マイクロアクチュエータ４０４を含む構成である。
【００２３】
参照用ヘッドジンバルアセンブリ４１１の参照用マイクロアクチュエータ４０３がソース装置４０１により駆動する時、参照用マイクロアクチュエータ４０３の圧電素子は振動しながら固定周波数を有する振動波形を発生する。図４Ａに示すように、この振動波形は空気中を伝播する。そして、受信装置４０８と連結した試験用ヘッドジンバルアセンブリ４１１'における試験用マイクロアクチュエータ４０４の圧電素子により該波形を接収する。ここで、試験用ヘッドジンバルアセンブリ４１１'と参照用ヘッドジンバルアセンブリ４１１の周波数が同一になっているため、試験用ヘッドジンバルアセンブリ４１１'は波形を接収して、試験用マイクロアクチュエータ４０４の圧電素子内で応答共振を発生する。この応答共振は、ヘッドジンバルアセンブリ４１１'と試験用マイクロアクチュエータ４０４の特性を表すことになる。例えば、共振周波数の変化或いは振幅の増加／減少が発生した場合、試験用ヘッドジンバルアセンブリ４１１'における試験用マイクロアクチュエータ４０４の圧電素子が破損している、或いは欠陥があることを示すことになる（圧電素子の応答特性によって表示することが可能になる）。
【００２４】
図５Ａは、本発明の実施形態に係る試験システムから得られた試験データの一例を示す図である。参照用マイクロアクチュエータ４０３の圧電素子に正弦波の駆動電圧５０１を印加すると、この参照用マイクロアクチュエータ４０３は振動し且つ共振波形を発生する。本実施形態では、周波数を大体２５ｋＨｚに設定してあるが、勿論その他の周波数に設定してもよい。この波形は空気中を伝播する。また、受信装置４０８内に位置している試験用マイクロアクチュエータ４０４は波形を接収して、共振５０２に誘導にされて応答する。この誘導された共振５０２は、電圧分配器４０２で印加した駆動電圧及び参照用マイクロアクチュエータ４０３の共振周波数と同じ周波数を有している。
【００２５】
図５Ｂは、本発明の実施形態に係る試験システムから得られた試験データの他の一例を示す図である。誘導電圧５０３と試験用ヘッドジンバルアセンブリ４１１'の共振は相互対応している。図５Ｂに示すように、誘導共振電圧５０３の周波数は１２．５ＫＨｚであり、この周波数は参照用マイクロアクチュエータ４０３の共振周波数より低くなっている。ここで、このマイクロアクチュエータ４０３が参照対象として用いられるので、上記のような相違は、試験用マイクロアクチュエータ４０４に微小クラック或いは別の欠陥が存在していることを意味している。
【００２６】
図６は、本発明の実施形態に係るマイクロアクチュエータに対して試験操作を行う方法を示す例示的なフローチャートである。まず、ステップＳ６０２においては電圧を参照用マイクロアクチュエータに印加する。これにより参照用マイクロアクチュエータ内で共振を引き起し、この共振により試験用マイクロアクチュエータ内で共振を引き起す。次に、参照用マイクロアクチュエータ及び試験用マイクロアクチュエータ内で引き起された共振を、ステップＳ６０４において測定し、ステップＳ６０６において比較する。そしてこの比較に基づいて、ステップＳ６０８において試験用マイクロアクチュエータに問題があるか否かを確認することができる。この比較の対象としては、振幅、周波数、位相の変化などがあげられる。
【００２７】
上記説明のように、電圧分配器は単一のヘッドジンバルアセンブリに適用しているが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、他の実施形態においては全体のヘッドサスペンションアセンブリに対して試験を行うこともできる。図７はヘッドサスペンションアセンブリ８００の局部斜視図である。本発明の実施形態に関する試験技術は、このようなヘッドサスペンションアセンブリにも用いられることができる。このヘッドサスペンションアセンブリ８００は磁気ヘッド（head）を含んでいるため、電圧分配器の運転時、ヘッドサスペンションアセンブリ８００の各ヘッドジンバルアセンブリ２７７ａ乃至ｅに位置している一部、或いは全部のマイクロアクチュエータ２０３ａ乃至ｅを誘導することができる。また各マイクロアクチュエータ２０３ａ乃至ｅにも応答共振が発生する。そして、各マイクロアクチュエータの圧電素子ごとの特性が識別されて、それぞれ別の対象として比較することもできる。このため本発明の他の実施形態において、全体のヘッドサスペンションアセンブリ８００を参照対象として良好的に適用することができる。また、本発明のその他の実施形態において（例えば図８を参照して以下に説明する）は、その他の比較も実施可能で、これにより上記の比較技術を補充し或いは代替することができる。
【００２８】
図８は、本発明の実施形態に係る全体のヘッドサスペンションアセンブリのマイクロアクチュエータに対して試験を行う方法の例示的なフローチャートである。まず、ステップＳ８０２においては、電圧をヘッドサスペンションアセンブリに印加して、このヘッドサスペンションアセンブリのヘッドジンバルアセンブリにおける各マイクロアクチュエータ内に誘導して共振を引き起こす。次に、ステップＳ８０４において各マイクロアクチュエータ内で誘導した共振を測定し、ステップＳ８０６において誘導共振の一個或いは数個に対して比較操作を行う。これらの比較には、一連の一対比較、誘導共振の平均との比較、予定の基準共振との比較などが含まれる。なお好ましくは、一個或いは数個の共振を全て基準共振として指定して、検出されたその他の全ての共振がそれと比較されるようにする。また各誘導共振とその他の各誘導共振を相互比較することが含まれるように、基準共振を誘導共振をめぐって旋回させてもよい。続いて、上記比較に基づき、ステップＳ８０８において一個或いは数個のマイクロアクチュエータに問題があるか否かを確認することができる。
【００２９】
図９に示すように、図７、８を組合せて説明した技術は、ハードディスクドライブ内に配置したヘッドサスペンションアセンブリにも応用できる。図９は、スピンドルモータ９０２に取付けられた磁気ディスク９０１を備えたディスクドライブユニットを示す図である。スピンドルモータ９０２は、磁気ディスク９０１を回転駆動させるために用いられる。ボイスコイルモータのアーム９０４は、一組のヘッドジンバルアセンブリを含むヘッドサスペンションアセンブリ８００を支持し、また各ヘッドジンバルアセンブリはマイクロアクチュエータ及びスライダを含んでいる。このスライダには、記録／再生ヘッドが組み込まれている。ボイスコイルモータ（voice coil motor，ＶＣＭ）はボイスコイルモータのアーム９０４の動作を制御して、スライダ９０３がディスク９０１表面のトラック間で移動するようにして、これにより記録／再生ヘッドのディスク９０１に対する情報の読取り及び書込み操作を行う。また次に、電圧を印加することで、各誘導共振の特性を検知して比較することができる。
【００３０】
以上、本発明について好ましい実施形態を説明したが、上記の実施形態に限定されず、本発明の精神から逸脱せずに様々な変形が可能であり、そして本発明は本明細書に記載した細部に限定されるものではないことは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】従来のディスクドライブユニットの斜視図である。
【図２】図１に示された従来のディスクドライブユニットの局部斜視図である。
【図２Ａ】従来のＵ字形のマイクロアクチュエータを示した図である。
【図２Ｂ】従来の他のＵ字形のマイクロアクチュエータを示した図である。
【図２Ｃ】図１、２に示されたディスクドライブユニットにおける従来のヘッドジンバルアセンブリを拡大して示した斜視図である。
【図３Ａ】二つの圧電素子を含んだヘッドジンバルアセンブリのエラーを検知するための従来の試験装置を示した図である。
【図３Ｂ】図３ａに示された従来のシステムの出力状況を説明した図である。
【図４Ａ】本発明の実施形態に係る試験システムの例示的なソース装置を示した図である。
【図４Ｂ】本発明の実施形態に係る試験システムの例示的なソース装置を示した図である。
【図４Ｃ】本発明の実施形態に係る試験システムの例示的な受信装置を示した図である。
【図４Ｄ】本発明の実施形態に係る試験システムの例示的な受信装置を示した図である。
【図５Ａ】本発明の実施形態に係る試験システムから得られた例示的な試験データの一例を示した図である。
【図５Ｂ】本発明の幾つかの実施形態に係るテストシステムから得られた例示的なテストデータの他の一例を示す図である。
【図６】本発明の実施形態に係るマイクロアクチュエータに対して試験を行う例示的な方法のフローチャートである。
【図７】ヘッドサスペンションアセンブリ（head stack assembly；ＨＳＡ）の局部斜視図である（本発明の実施形態に関する試験技術はこのヘッドサスペンションアセンブリにも適用できる）。
【図８】本発明の実施形態に係るヘッドサスペンションアセンブリのマイクロアクチュエータに対して試験を行う例示的な方法のフローチャートである。
【図９】ディスクドライブユニットの斜視図である（本発明の幾つかの実施形態に係る試験技術はこのディスクドライブユニットにも適用できる）。
【符号の説明】
【００３２】
４０１：ソース装置、４０２：電圧分配器、４０３：参照用マイクロアクチュエータ、４０４：試験用マイクロアクチュエータ、４０５：センサ、４０７：プロセッサ、４０８：受信装置、４１１：参照用ヘッドジンバルアセンブリ、
８００：ヘッドサスペンションアセンブリ
９０１：磁気ディスク、９０２：スピンドルモータ、９０３：スライダ、９０４：アーム
【図１】
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【図２】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図４Ｄ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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