【手続補正書】
【提出日】平成21年1月20日(2009.1.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象に対するアレイ型超音波センサによる超音波の送受信位置を移動させ、
複数の前記送受信位置で前記アレイ型超音波センサを用いてセクタスキャン方式で前記検査対象を探傷し、
複数の前記送受信位置での各探傷画像に基づいて一つの画像を生成することを特徴とする超音波探傷方法。
【請求項２】
請求項１において、前記超音波の送受信位置の移動量を把握し、前記各探傷画像を前記移動量に相当する分ずらして加算又は平均化処理して前記一つの画像を生成することを特徴とする超音波探傷方法。
【請求項３】
アレイ型超音波センサと、
前記アレイ型超音波センサによる超音波送受信位置を移動させる走査手段と、
前記アレイ型超音波センサとの間で駆動信号及び受信信号を授受するとともに前記駆動信号に遅延時間を与えて超音波の集束位置及び入射角度を変化させる送受信手段と、
複数の前記超音波送受信位置での各探傷画像に基づいて一つの画像を生成する計算機と、
前記一つの画像を表示する表示手段と、
を備えた超音波探傷装置。
【請求項４】
請求項３において、前記計算機が、前記各探傷画像を前記移動の量に相当する分ずらして加算又は平均化処理することによって前記一つの画像を生成することを特徴とする超音波探傷装置。
【請求項５】
アレイ型超音波センサを用いて検査対象に対する超音波の入射角度を変化させ、該アレイ型超音波センサを前記検査対象に沿って移動させて前記アレイ型超音波センサの設置位置を変え、各前記設置位置において探傷画像を取得し、複数の設置位置での各前記探傷画像を、前記アレイ型超音波センサの移動量分だけずらしながら加算若しくは平均化して一つの画像を生成することを特徴とする超音波探傷方法。
【請求項６】
請求項５に記載の発明において、
前記探傷画像の加算若しくは平均化に際して、各探傷画像の傾き角度が、前記アレイ型超音波センサの前記設置位置の移動に際して現われる前記検査対象の表面の傾きに応じて補正されることを特徴とする超音波探傷方法。
【請求項７】
複数の圧電振動子を有するアレイ型超音波センサ内部の一部の前記圧電振動素子を用いて検査対象に対する超音波の入射角度を変化させて超音波の送受信を行い、前記複数の圧電振動子を電気的に切替えて前記一部の圧電振動素子による超音波送受信位置を移動させ、各前記超音波送受信位置において探傷画像を取得し、複数の超音波送受信位置での各前記探傷画像を、前記一部の圧電振動素子の移動量分だけずらしながら加算若しくは平均化して一つの画像を生成することを特徴とする超音波探傷方法。
【請求項８】
アレイ型超音波センサと、
前記アレイ型超音波センサを移動させる走査手段と、
前記アレイ型超音波センサとの間で駆動信号及び受信信号を授受するとともに前記駆動信号に遅延時間を与えて超音波の集束位置及び入射角度を変化させる送受信手段と、
複数の前記超音波送受信位置での各探傷画像に基づいて一つの画像を生成する計算機と、
前記一つの画像を表示する表示手段と、
を備えた超音波探傷装置。
【請求項９】
複数の圧電振動素子を備えたアレイ型超音波センサと、前記アレイ型超音波センサの各圧電振動素子に送信信号を供給するパルサーと、前記アレイ型超音波センサの各圧電振動素子から受信信号を入力するレシーバと、前記パルサーから出力される各前記送信信号のタイミング及び前記レシーバによる各前記受信信号の入力タイミングを制御する遅延制御部と、前記受信信号の超音波波形を収録するデータ収録部と、前記アレイ型超音波センサを検査対象に対して走査するセンサ移動手段と、このセンサ移動手段を制御する走査制御部と、前記アレイ型超音波センサの移動量を計測する移動量検出部と、前記データ収録部で収録した波形から探傷画像を生成し前記アレイ型超音波センサの移動量検出部で計測した移動量ずつずらして複数の探傷画像を加算若しくは平均化して一つの画像を生成する画像処理用の計算機と、前記一つの画像を表示する表示部を備えることを特徴とする超音波探傷装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の発明において、
前記計算機は、前記複数の探傷画像を加算若しくは平均化する際、各探傷画像の傾き角度を前記アレイ型超音波センサの前記検査対象における設置位置の移動に際して現われる前記検査対象の表面の傾きに応じて補正する計算機であることを特徴とする超音波探傷装置。
【請求項１１】
超音波の送受信に必要な個数より多い個数の圧電振動素子を備えたアレイ型超音波センサと、超音波の送信を行う各前記圧電振動素子に送信信号を供給するパルサーと、超音波の送信を行う各前記圧電振動素子に前記パルサーの出力が供給されるように、前記アレイ型超音波センサに設けられた各圧電振動素子を電気的に切替える送信切替回路と、超音波を受信する各前記圧電振動素子からの受信信号を入力するレシーバと、超音波を受信する各前記圧電振動素子の受信信号が前記レシーバに入力されるように、前記アレイ型超音波センサに設けられた各圧電振動素子を電気的に切替える受信切替回路と、前記パルサーから出力される各前記送信信号のタイミング及び前記レシーバによる各前記受信信号の入力タイミングを制御する遅延制御部と、前記受信信号毎の超音波波形を収録するデータ収録部と、前記データ収録部で収録した波形から探傷画像を生成し、複数の前記探傷画像を、前記電気的な切替えによる前記圧電振動素子の移動量分ずつずらして加算若しくは平均化して一つの画像を生成する画像処理用の計算機と、前記一つの画像を表示する表示部を備えることを特徴とする超音波探傷装置。
【請求項１２】
請求項９又は請求項１１に記載の発明において、
通常の探傷動作と前記加算処理若しくは平均化処理による探傷動作を切替える処理内容切替手段が備えられていることを特徴とする超音波探傷装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
上記目的は、検査対象に対するアレイ型超音波センサによる超音波の送受信位置を移動させ、複数の前記送受信位置で前記アレイ型超音波センサを用いてセクタスキャン方式で前記検査対象を探傷し、複数の前記送受信位置での各探傷画像に基づいて一つの画像を生成することを特徴とする超音波探傷方法によって達成される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、上記の方法に加えて、前記超音波の送受信位置の移動量を把握し、前記各探傷画像を前記移動量に相当する分ずらして加算又は平均化処理して前記一つの画像を生成することを加えた超音波探傷方法によっても達成される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
上記目的は、アレイ型超音波センサと、前記アレイ型超音波センサによる超音波送受信位置を移動させる走査手段と、前記アレイ型超音波センサとの間で駆動信号及び受信信号を授受するとともに前記駆動信号に遅延時間を与えて超音波の集束位置及び入射角度を変化させる送受信手段と、複数の前記超音波送受信位置での各探傷画像に基づいて一つの画像を前記移動の量に相当する分ずらして加算又は平均化処理することによって前記一つの画像を生成する計算機と、前記一つの画像を表示する表示手段とを備えた超音波探傷装置によって達成される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
上記目的は、アレイ型超音波センサを用いて検査対象に対する超音波の入射角度を変化させ、該アレイ型超音波センサの前記検査対象沿って移動させて前記アレイ型超音波センサの設置位置を変え、各設置位置において探傷画像を取得し、複数の設置位置での各前記探傷画像を順次、前記アレイ型超音波センサの移動量分だけずらしながら加算若しくは平均化して一つの画像を生成することにより達成される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
ここで前記探傷画像の加算若しくは平均化に際して、各探傷画像の傾き角度が、前記アレイ型超音波センサの設置位置の移動に際して現われる前記検査対象の表面の傾きに応じて補正されるようにしても上記目的を達成することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
また、上記目的は、複数の圧電振動子を有するアレイ型超音波センサ内部の一部の圧電振動素子を用いて検査対象に対する超音波の入射角度を変化させて超音波の送受信を行い、前記複数の圧電振動子を電気的に切替えて前記一部の圧電振動素子による超音波送受信位置を移動させ、各超音波送受信位置において探傷画像を取得し、複数の超音波送受信位置での前記探傷画像を、前記一部の圧電振動素子の移動量分だけずらしながら加算若しくは平均化して一つの画像を生成することによっても達成される。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
次に、上記目的は、複数の圧電振動素子を備えたアレイ型超音波センサと、前記アレイ型超音波センサの各圧電振動素子に送信信号を供給するパルサーと、前記アレイ型超音波センサの各圧電振動素子から受信信号を入力するレシーバと、前記パルサーから出力される各前記送信信号のタイミング及び前記レシーバによる各前記受信信号の入力タイミングを制御する遅延制御部と、前記受信信号の超音波波形を収録するデータ収録部と、前記アレイ型超音波センサを検査対象に対して走査するセンサ移動手段と、このセンサ移動手段を制御する走査制御部と、前記アレイ型超音波センサの移動量を計測する移動量検出部と、前記データ収録部で収録した波形から探傷画像を生成し前記アレイ型超音波センサの移動量検出部で計測した移動量ずつずらして複数の探傷画像を加算若しくは平均化して一つの画像を生成する画像処理用の計算機と、前記一つの画像を表示する表示部を備えることによっても達成される。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
同じく上記目的は、超音波の送受信に必要な個数より多い個数の圧電振動素子を備えたアレイ型超音波センサと、超音波の送信を行う前記各圧電振動素子に送信信号を供給するパルサーと、超音波の送信を行う各前記圧電振動素子に前記パルサーの出力が供給されるように、前記アレイ型超音波センサに設けられた各圧電振動素子を電気的に切替える送信切替回路と、超音波を受信する各前記圧電振動素子の受信信号が前記レシーバに入力されるように、前記アレイ型超音波センサに設けられた各圧電振動素子を電気的に切替える受信切替回路と、前記パルサーから出力される各前記送信信号のタイミング及び前記レシーバによる各前記受信信号の入力タイミングを制御する遅延制御部と、前記アレイ型超音波センサで受信した超音波波形を収録するデータ収録部と、前記データ収録部で収録した波形から探傷画像を生成し、複数の前記探傷画像を、前記電気的な切替えによる前記圧電振動素子の移動量分ずつずらして複数の探傷画像を加算若しくは平均化して一つの画像を生成する画像処理用の計算機と、前記一つの画像を表示する表示部を備えることによっても達成される。