【手続補正書】
【提出日】平成20年12月17日(2008.12.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に複数色のカラーレジストを有するカラーフィルタパネルの製造方法であって、
前記複数色は、少なくとも赤色、緑色、青色であって、
基板上に一色のカラーレジストを塗布するレジスト塗布工程と、
前記レジスト塗布工程により塗布されたカラーレジストを露光装置により所定のパターンに露光する露光工程と、を有し、
前記レジスト塗布工程で塗布されるカラーレジストの色を切り替える工程と、
搬送系により、前記レジスト塗布工程により塗布されたカラーレジストを有する前記基板を前記露光装置に供給し、前記露光工程により露光されたカラーレジストを有する前記基板を、前記レジスト塗布工程に再度供給することで、前記レジスト塗布工程と前記露光工程とを組にして循環させるカラーフィルタパネルの製造方法。
【請求項２】
基板上にカラーレジストを塗布する複数のレジスト塗布機構と、前記複数のレジスト塗布機構の後段に少なくとも搬送系を介して接続され、前記基板上に形成されたレジストを所定パターンに露光する露光機構とを具備し、前記基板上に複数色のカラーレジストを塗布するカラーフィルタパネルの製造装置であって、
前記複数色は、少なくとも赤色、緑色、青色であって、
前記複数のレジスト塗布機構と前記露光機構との間には前記基板上に塗布されたカラーレジストを焼成するプリベーク機構が接続され、
前記複数のレジスト塗布機構を切り換えて各々の色のカラーレジストを前記基板に供給可能にする機構を具備し、
前記複数のレジスト塗布機構での塗布に対して前記露光機構を共通化し、
前記搬送系により、各々の色のカラーレジストを塗布する毎に前記基板は各機構を再度循環され、
各々の色のカラーレジストを塗布する前記複数のレジスト塗布機構が、前記露光機構および前記プリベーク機構に対して並列的に配置されているカラーフィルタパネルの製造装置。
【請求項３】
基板上にカラーレジストを塗布する複数のレジスト塗布機構と、前記複数のレジスト塗布機構の後段に少なくとも搬送系を介して接続され、前記基板上に形成されたレジストを所定パターンに露光する露光機構とを具備し、前記基板上に複数色のカラーレジストを塗布するカラーフィルタパネルの製造装置であって、
前記複数色は、少なくとも赤色、緑色、青色であって、
前記複数のレジスト塗布機構を切り換えて各々の色のカラーレジストを前記基板に供給可能にする機構を具備し、
前記複数のレジスト塗布機構での塗布に対して前記露光機構を共通化し、
前記複数のレジスト塗布機構の前段には前記基板を洗浄する洗浄機構、および、洗浄された基板を乾燥させる乾燥機構が接続され、
前記搬送系により、各々の色のカラーレジストを塗布する毎に前記基板は各機構を再度循環され、
各々の色のカラーレジストを塗布する前記複数のレジスト塗布機構が、前記露光機構、前記洗浄機構、および前記乾燥機構に対して並列的に配置されているカラーフィルタパネルの製造装置。
【請求項４】
基板上にカラーレジストを塗布する複数のレジスト塗布機構と、前記複数のレジスト塗布機構の後段に少なくとも搬送系を介して接続され、前記基板上に形成されたレジストを所定パターンに露光する露光機構とを具備し、前記基板上に複数色のカラーレジストを塗布するカラーフィルタパネルの製造装置であって、
前記複数色は、少なくとも赤色、緑色、青色であって、
前記レジスト塗布機構はスリットダイであって、
前記複数のレジスト塗布機構を切り換えて各々の色のカラーレジストを前記基板に供給可能にする機構を具備し、
前記複数のレジスト塗布機構での塗布に対して前記露光機構を共通化し、
前記搬送系により、各々の色のカラーレジストを塗布する毎に前記基板は各機構を再度循環され、
各々の色のカラーレジストを塗布する前記複数のレジスト塗布機構が、前記露光機構に対して並列的に配置されているカラーフィルタパネルの製造装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】カラーフィルタパネルの製造方法およびカラーフィルタパネルの製造装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明のカラーフィルタパネルの製造装置は、各色レジストに対応した複数のレジスト塗布機構を、露光機構に対して並列的に配置したことを特徴とする。尚並列配置とは、露光機構の前段に複数のレジスト塗布機構が並べて配置され、各色のカラーレジストを切り換えて基板に供給可能な機構を具備するものであり、より具体的には各色レジスト供給用の複数のスリットダイを基板に対し相対的に可動に保持し、一度に一色のカラーレジストを供給して後工程に搬送する機構を用いることができる。
本発明の第１態様によるカラーフィルタパネルの製造装置は、基板上にカラーレジストを塗布する複数のレジスト塗布機構と、前記複数のレジスト塗布機構の後段に少なくとも搬送系を介して接続され、前記基板上に形成されたレジストを所定パターンに露光する露光機構とを具備し、前記基板上に複数色のカラーレジストを塗布するカラーフィルタパネルの製造装置であって、前記複数色は、少なくとも赤色、緑色、青色であって、前記複数のレジスト塗布機構と前記露光機構との間には前記基板上に塗布されたカラーレジストを焼成するプリベーク機構が接続され、前記複数のレジスト塗布機構を切り換えて各々の色のカラーレジストを前記基板に供給可能にする機構を具備し、前記複数のレジスト塗布機構での塗布に対して前記露光機構を共通化し、前記搬送系により、各々の色のカラーレジストを塗布する毎に前記基板は各機構を再度循環され、各々の色のカラーレジストを塗布する前記複数のレジスト塗布機構が、前記露光機構および前記プリベーク機構に対して並列的に配置されている。
本発明の第２態様によるカラーフィルタパネルの製造装置は、基板上にカラーレジストを塗布する複数のレジスト塗布機構と、前記複数のレジスト塗布機構の後段に少なくとも搬送系を介して接続され、前記基板上に形成されたレジストを所定パターンに露光する露光機構とを具備し、前記基板上に複数色のカラーレジストを塗布するカラーフィルタパネルの製造装置であって、前記複数色は、少なくとも赤色、緑色、青色であって、前記複数のレジスト塗布機構を切り換えて各々の色のカラーレジストを前記基板に供給可能にする機構を具備し、前記複数のレジスト塗布機構での塗布に対して前記露光機構を共通化し、前記複数のレジスト塗布機構の前段には前記基板を洗浄する洗浄機構及び洗浄された基板を乾燥させる乾燥機構が接続され、前記搬送系により、各々の色のカラーレジストを塗布する毎に前記基板は各機構を再度循環され、各々の色のカラーレジストを塗布する前記複数のレジスト塗布機構が、前記露光機構、前記洗浄機構、および前記乾燥機構に対して並列的に配置されている。
本発明の第３の態様によるカラーフィルタパネルの製造装置は、基板上にカラーレジストを塗布する複数のレジスト塗布機構と、前記複数のレジスト塗布機構の後段に少なくとも搬送系を介して接続され、前記基板上に形成されたレジストを所定パターンに露光する露光機構とを具備し、前記基板上に複数色のカラーレジストを塗布するカラーフィルタパネルの製造装置であって、前記複数色は、少なくとも赤色、緑色、青色であって、前記レジスト塗布機構はスリットダイであって、前記複数のレジスト塗布機構を切り換えて各々の色のカラーレジストを前記基板に供給可能にする機構を具備し、前記複数のレジスト塗布機構での塗布に対して前記露光機構を共通化し、前記搬送系により、各々の色のカラーレジストを塗布する毎に前記基板は各機構を再度循環され、各々の色のカラーレジストを塗布する前記複数のレジスト塗布機構が、前記露光機構に対して並列的に配置されている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
また、本発明の態様によるカラーフィルタパネルの製造方法は、基板上に複数色のカラーレジストを有するカラーフィルタパネルの製造方法であって、前記複数色は、少なくとも赤色、緑色、青色であって、基板上に一色のカラーレジストを塗布するレジスト塗布工程と、前記レジスト塗布工程により塗布されたカラーレジストを露光装置により所定のパターンに露光する露光工程と、を有し、前記レジスト塗布工程で塗布されるカラーレジストの色を切り替える工程と、搬送系により、前記レジスト塗布工程により塗布されたカラーレジストを有する前記基板を前記露光装置に供給し、前記露光工程により露光されたカラーレジストを有する前記基板を、前記レジスト塗布工程に再度供給することで、前記レジスト塗布工程と前記露光工程とを組にして循環させる。