(57)【要約】【課題】直列または並列に配置された複数台の製造装置を有する生産ラインにおいて、ワークの滞留からなる生産性低下を防止する。【解決手段】  下流側にある製造装置へのワーク投入時間間隔を記憶する記憶手段と、上流側及び下流側にある製造装置との通信手段とを備えた装置で、下流側製造装置への投入完了信号入力に基づいて一定時間間隔にて上流側製造装置へ受入可能信号を出力することでワーク受入間隔を制御することを特徴とするワーク受入制御方法。【選択図】図１
2008210180.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下流側にある製造装置へのワーク投入時間間隔を記憶する記憶手段と、上流側及び下流側にある製造装置との通信手段とを備えた装置で、下流側製造装置への投入完了信号入力に基づいて一定時間間隔にて上流側製造装置へ受入可能信号を出力することでワーク受入間隔を制御することを特徴とするワーク受入制御方法。
【請求項２】
下流側にある製造装置へのワーク投入時間間隔を記憶する記憶手段と、自装置の上流側、下流側にある製造装置との通信手段と、下流側のプロセスフローが滞っても上流側の製造装置処理部にワークが停滞することを防止する為にバッファユニットとを備えた装置で、下流側製造装置への投入完了信号からの時間規制を用いて、上流側の製造装置へワークの投入規制をかけることにより処理部への進入を防止し、かつ処理中のワークについてはバッファユニットによって吸収することを特徴とする請求項１記載のワーク受入制御方法。
【請求項３】
前記投入規制を、下流側のプロセスフローの滞りが解除されたことを監視することによって解除することを特徴とする請求項２記載のワーク受入制御方法。
【請求項４】
直列または並列に配置された複数台の製造装置を有す生産ライン内の製造装置であって、請求項１〜３いずれかに記載のワーク投入制御方法を実行することを特徴とする製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体、液晶ガラス、フォトマスク用ガラスおよび光ディスクなどを諸加工する生産ラインにおけるワーク受入制御方法及製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数の製造装置から成る生産ラインにおいては、ワーク処理時間に長時間を要する製造装置では複数台の同一処理製造装置を並列に配置すること、各処理製造装置へのワーク投入を一定間隔とする為に投入規制を入れることなどを駆使し、各処理製造装置でのワーク処理時間の同調が図られている（例えば特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平９−１５５６８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、アクセスポイントが多数あるロボットを持つ製造装置の場合、生産ライン内の一部でプロセスフローが滞ってバランスを損なうと、最適動作から外れた時間ロスのあるサイクルタイムでのライン稼働となっていた。プロセスフローの滞りとは、製造装置のアラームだけでなく、製造装置での一定数量処理を行った後に実施するインターバルメンテナンスやワークの抜取検査など日常的に容易に起こる事象も含まれる。
【０００４】
これらは、単に上流側製造装置で行うワークの投入時間間隔を一定とする従来のワーク投入管理方法では、次の下流側製造装置のさらに次の製造装置の状態の把握できず、さらには次の下流側製造装置とさらに次の製造装置との最適な投入受入タイミングの刻々と起こり得る変化には対応できない。
【０００５】
また、微少であってもこのような製造装置が同調していない状態で一定間隔のワーク投入を行った場合、サイクルタイムにロス時間が累積することで更なるワーク滞留を引き起こし、ワーク処理製造装置内で滞留すると、ワークは過度処理を受け、品質上の問題となっていた。
【０００６】
さらに、これらを回避する為には、滞留を発見した場合はオペレータによるライン上流側製造装置の一時停止などが必要となり、人作業による調整作業の増加、ライン停止によるワーク生産量の低下なども問題となった。こうした多少のワーク滞留は生産ラインが巨大となればなるほど発見し難く、慢性的な生産ラインの能力低下を引き起こすことも多々あった。
【０００７】
そこで、本発明は、直列または並列に配置された複数台の製造装置を有する生産ラインにおいて、ワークの滞留からなる生産性低下を防止することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明において上記課題を達成するために、まず請求項１の発明では、下流側にある製造装置へのワーク投入時間間隔を記憶する記憶手段と、上流側及び下流側にある製造装置との通信手段とを備えた装置で、下流側製造装置への投入完了信号入力に基づいて一定時間間隔にて上流側製造装置へ受入可能信号を出力することでワーク受入間隔を制御することを特徴とするワーク受入制御方法としたものである。
【０００９】
また請求項２の発明では、下流側にある製造装置へのワーク投入時間間隔を記憶する記憶手段と、自装置の上流側、下流側にある製造装置との通信手段と、下流側のプロセスフローが滞っても上流側の製造装置処理部にワークが停滞することを防止する為にバッファユニットとを備えた装置で、下流側製造装置への投入完了信号からの時間規制を用いて、上流側の製造装置へワークの投入規制をかけることにより処理部への進入を防止し、かつ処理中のワークについてはバッファユニットによって吸収することを特徴とする請求項１記載のワーク受入制御方法としたものである。
【００１０】
また請求項３の発明では、前記投入規制を、下流側のプロセスフローの滞りが解除されたことを監視することによって解除することを特徴とする請求項２記載のワーク受入制御方法としたものである。
【００１１】
また請求項４の発明では、直列または並列に配置された複数台の製造装置を有す生産ライン内の製造装置であって、請求項１〜３いずれかに記載のワーク投入制御方法を実行することを特徴とする製造装置としたものである。
【発明の効果】
【００１２】
請求項１の発明によれば、直列または並列に配置された複数台の製造装置を有する生産ラインにおいて、刻々と変化し得るプロセスフローのバランスを損なうことのない、下流側製造装置が常時最適動作となるようなタイミングで投入できるよう、上流側製造装置からワークを受け入れることが可能となり、ワークの滞留からなる生産性低下を防止することできるという効果がある。
【００１３】
また請求項２の発明によれば、下流側プロセスフローに滞りが発生した場合、強ち上流側製造装置はワーク処理部にワークを滞留させるところを、下流側製造装置からの投入完了信号の時間間隔に基づく、上流側製造装置へのワーク投入規制をすることによって、処理部のワーク滞留を防止することができるという効果がある。また、バッファユニットを有することによって、既にあったワーク処理部内のワークについては、バッファユニットに収納できる。その結果、過度処理による不良ワークの発生を抑制することができるという効果がある。
【００１４】
また請求項３の発明によれば、上流側製造装置へのワーク投入規制は下流側のプロセスフローの滞りが解除されたことを監視することによって、オペレータの操作バラツキに依る事無く、生産量の低下を最小限に留めることができるという効果がある。
【００１５】
また請求項４の発明によれば、請求項１〜３の何れかの発明の効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図面を参照しつつ、本発明の最良の一実施形態について詳細に説明する。
【００１７】
図１は本発明の一実施例として、複数台製造装置を設置した生産ラインを示す図である。
【００１８】
図１の示す生産ラインは、製造装置１１〜１５から構成されており、本発明の特徴であるワーク受入制御方法を実行する製造装置は製造装置１４であって、バッファユニット１６と、下流側にある製造装置へのワーク投入時間間隔を記憶する記憶手段と、上流側及び下流側にある製造装置との通信手段とを備える。
【００１９】
なお、製造装置１２〜１３間に、他製造装置を設置しても良いが他製造装置の設置が無くとも良い。
【００２０】
ここで、製造装置１４は、下流側製造装置１５から受け取ったワーク受取完了信号に基づいて、一定時間間隔Ｔ１が経過すると上流側製造装置１３へ受入可能信号を出力することで製造装置１３からのワーク受入間隔を制御する。ここで、下流側製造装置１５から出力され製造装置１４で受け取るワーク受取完了信号は、同意義の製造装置１４内部記憶でも代替可能なことは言うまでもない。
【００２１】
また、下流プロセスフローの滞りによって、下流側製造装置１５へのワーク投入完了信号から次のワークの投入完了信号が入力されるまでＴ２以上経過した場合、製造装置１４から製造装置１２へワークの投入停止規制をかけることにより、上流側製造装置１１から製造装置１２処理部へワークが進入することを防止する。
【００２２】
その際、製造装置１２〜１３までの生産ライン内に既に存在していたワークは、製造装置処理部内でワークが滞留することの無いよう、製造装置１４が備えるバッファユニット１６に収納される。
【００２３】
なお、上流側製造装置１２へワークの投入停止規制は、下流側のプロセスフローの滞りが解除されたことを製造装置１４にて確認することによって、投入停止規制を解除する。
【００２４】
図２は本発明の一実施例として、滞留防止制御の流れを示すフローチャートである。
【００２５】
図２を参照して、図１にて説明した生産ラインにおける本発明の処理の流れを説明する。
【００２６】
まず、製造装置１５からのワーク投入完了信号の出力を基とし（判断  Ｓ２０１）、出力からの経過時間をＴと定義する（定義  Ｓ２０２）。ただし、ワーク１枚目の場合は、速やかに製造装置１４から製造装置１５へ投入する。
【００２７】
ＴがＴ１以上経過してから（判断  Ｓ２０３）、製造装置１４はワーク受入可能信号を製造装置１３へ出力する（処理  Ｓ２０４）。すると、ワークは製造装置１３から製造装置１４へと移動し（処理  Ｓ２０５）、さらに下流プロセスフローに滞りが無ければ、製造装置１５へ移動し、製造装置１５はワーク投入完了信号を出力する（判断  Ｓ２０６）。
【００２８】
プロセスフローに滞りない生産ラインでは、以上の通常フローサイクルを継続する。
【００２９】
また、下流プロセスフローに滞りが発生した場合、ワークは製造装置１４から製造装置１５へは移動せず、ワーク投入完了信号は出力されない。かつＴがＴ２以上経過した場合（判断  Ｓ２０６）、製造装置１４は製造装置１２へワークの投入停止規制をかけることにより、上流側製造装置１２処理部へワークが進入することを防止する（処理  Ｓ２０７）。また、上流製造装置１２、１３内の処理中ワークについては、製造装置１４が備えるバッファユニットによって吸収する（処理  Ｓ２０８）。
【００３０】
下流プロセスフローの滞りを解消し（処理  Ｓ２０９）、ワークが製造装置１４から製造装置１５へ移動する（処理  Ｓ２１０）と、通常フローサイクル（Ｓ２０１〜Ｓ２０６）へ移行する。
【００３１】
以上説明したように、ワーク処理を行う複数台の製造装置が設置された生産ラインにおいて、本発明は製造装置を最適タイミングにて同調させるのに効力を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】複数台製造装置を設置した生産ラインの構成例を示す図である。
【図２】滞留防止制御の流れを示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００３３】
１１…製造装置
１２…製造装置
１３…製造装置
１４…製造装置
１５…製造装置
１６…バッファユニット
【図１】
2008210180.tif 000003
【図２】
2008210180.tif 000004