【手続補正書】
【提出日】平成21年8月24日(2009.8.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
上記の目的を達成するために、本発明に係るウェハ検出用センサは、光ビームを出射する投光部と、検出領域からの光ビームを受光する受光部とを備えたセンサ部と、前記投光部の光ビームを入射光とし、それを反射するリフレクタとを備え、前記センサ部と前記リフレクタは、ウェハカセットの出入口を移動できる移動体に搭載されるものであり、前記センサ部は、投光部と受光部の並び方向がウェハの厚み方向に対して垂直方向となる状態で、前記リフレクタは、入射した光ビームを受光部へ反射する状態で、それぞれ使用できるように移動体に搭載され、センサ部とリフレクタ部との間の検出領域にウェハが存在する際に、光ビームがウェハにより遮られて受光部の受光量が減ったことを検出することによって前記ウェハの有無を検出するというものである。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、上記の目的を達成するために、本発明に係るウェハ検出用センサは、光ビームを出射する投光部と検出領域からの光ビームを受光する受光部とを備えたセンサ部と、前記投光部の光ビームを入射光としそれを反射するリフレクタと、センサ部に接続され、投光素子と受光素子と所定の検出回路とを備えたアンプ部とを備え、前記センサ部と前記リフレクタとの間の検出領域にウェハが存在する場合に、該ウェハが光ビームを遮って受光部の受光量が減ったことを検出することによってウェハの有無を検出するウェハ検出用センサであって、前記センサ部は、その軸線方向に沿って、投光側光ファイバー挿入孔部および受光側光ファイバー挿入孔部が平行に形成され、投光側光ファイバー挿入孔部に挿入され、アンプ部の投光素子の光を導光する投光側光ファイバーと、受光側光ファイバー挿入孔部に挿入され、アンプ部の受光素子へ光を導光する受光側光ファイバーとが備えられ、その軸線方向に沿って、投光側光ファイバー挿入孔部の先端に投光レンズ、受光側光ファイバー挿入孔部の先端に受光レンズとがそれぞれ設けられ、その軸線方向とは直角方向に沿って投光口部および受光口部が設けられ、投光口部と投光側光ファイバー挿入孔部との直交部に光軸に曲げる投光用反射部材と、受光口部と受光側光ファイバー挿入孔部との直交部に光軸を直角に曲げる受光用反射部材とが装着され、使用状態において、投光側光ファイバー挿入孔部及び受光側光ファイバー挿入孔部の並び方向、投光側光ファイバーと受光側光ファイバーとの並び方向、投光レンズと受光レンズとの並び方向、投光口部と受光口部との並び方向、投光用反射部材と受光用反射部材との並び方向のいずれもが、ウェハの厚み方向に対して垂直な方向となるように、前記センサ部をウェハカセット出入口を移動する移動体に搭載可能に構成したものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、上記の目的を達成するために、本発明に係るウェハ検出用センサは、ウェハが光ビームを遮り、これによる受光量の変化を検出することによって前記ウェハの有無を検出するウェハ検出用センサであって、前記光ビームを出射する投光部と、検出領域からの光ビームを受光する受光部とを備えたセンサ部と、前記光ビームを入射光としてそれを反射するリフレクタとを備えており、前記センサ部は、センサ側保持体を構成するセンサ本体に保持され、該センサ本体には、その軸線方向に沿う投光側光ファイバー挿入孔部及び受光側光ファイバー挿入孔部とが平行に形成してあると共に、前記センサ本体の一側面には、前記センサ本体の軸線方向とは直角に沿って前記投光部の光ビームを前記リフレクタ側に出射させる投光口部及び前記リフレクタ側から反射された光ビームを入射させる受光口部とがそれぞれ設けてあり、前記投光口部を前記投光側光ファイバー挿入孔部に直交させるとともに、前記受光口部を前記受光側光ファイバー挿入孔部に直向させ、更に、前記センサ部は、前記投光側光ファイバー挿入孔部に挿入した投光側光ファイバーおよび前記受光側光ファイバー挿入孔部に挿入した受光側光ファイバーを介してアンプ部に接続されており、該アンプ部は、前記投光部を前記投光側光ファイバーを介して投光する投光回路および前記受光側光ファイバーを介して受光する受光信号を比較判定する演算回路と、該演算回路により検出体があると判定された場合に検出信号を出力する出力部とを有して構成したものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
かかる構成により、投光部が出射した光ビームは投光部に近いために、まだ回析広がりが小さいのでさほど広がっていなくビーム径が小さい。それに対し、受光部が受光した光ビームは投光部より離れているので、回析広がりが大きく光ビームが広がっていてビーム径が大きい。光ビームが広がっている受光部が受光した光ビームでウェハの検出を行うと、被検出体であるウェハの上下に位置する他のウェハからの反射があり、ウェハの検出に悪影響がある。そこで、ウェハの検出はビーム径が小さい投光部が出射した光ビームで行うことが得策である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
このように、回析広がりが小さい投光部が出射した光ビームをウェハの検出に使用することで、リフレクタ反射後の受光部が受光した光ビームの広がりによる被検出体であるウェハの上下に位置する他のウェハの影響を小さくできて、ウェハの検出が安定したものになり、ウェハカセット内のウェハの有無を検出することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
また、ウェハの端部が投光部より出射した光ビームを遮った場合、当該光ビームがウェハの端部の表面に反射されるが、ウェハの端面は必ずしも平面ではなく、すなわち、ウェハ厚み方向にウェハの端面はストレート形状とは限らず曲率をもっており、また、端面にも成膜時の膜材質が回り込んでいるため、必ずしも反射率が高くない。したがって、投光部からの光ビームがウェハの端面にあたっても、受光側に戻る光の量ははるかに少なく誤動作しにくいものになる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
また、本発明に係るウェハ検出用センサは、上記した本発明に係るウェハ検出用センサにおいて、投受光側が、センサ部からの投光部が出射した光ビームをリフレクタ側に向かうように屈折させ且つリフレクタから反射された光ビームをセンサ部の受光部に入射させるセンサ側プリズムを有する。そして、リフレクタが直角プリズムであることが好ましい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ビームを出射する投光部と、検出領域からの光ビームを受光する受光部とを備えたセンサ部と、
前記投光部の光ビームを入射光とし、それを反射するリフレクタとを備え、
前記センサ部と前記リフレクタは、ウェハカセットの出入口を移動できる移動体に搭載されるものであり、
前記センサ部は、投光部と受光部の並び方向がウェハの厚み方向に対して垂直方向となる状態で、前記リフレクタは、入射した光ビームを受光部へ反射する状態で、それぞれ使用できるように移動体に搭載され、
センサ部とリフレクタ部との間の検出領域にウェハが存在する際に、光ビームがウェハにより遮られて受光部の受光量が減ったことを検出することによって前記ウェハの有無を検出する、
ことを特徴とするウェハ検出用センサ。
【請求項２】
光ビームを出射する投光部と検出領域からの光ビームを受光する受光部とを備えたセンサ部と、前記投光部の光ビームを入射光としそれを反射するリフレクタと、センサ部に接続され、投光素子と受光素子と所定の検出回路とを備えたアンプ部とを備え、前記センサ部と前記リフレクタとの間の検出領域にウェハが存在する場合に、該ウェハが光ビームを遮って受光部の受光量が減ったことを検出することによってウェハの有無を検出するウェハ検出用センサであって、
前記センサ部は、
その軸線方向に沿って、投光側光ファイバー挿入孔部および受光側光ファイバー挿入孔部が平行に形成され、
投光側光ファイバー挿入孔部に挿入され、アンプ部の投光素子の光を導光する投光側光ファイバーと、受光側光ファイバー挿入孔部に挿入され、アンプ部の受光素子へ光を導光する受光側光ファイバーとが備えられ、
その軸線方向に沿って、投光側光ファイバー挿入孔部の先端に投光レンズ、受光側光ファイバー挿入孔部の先端に受光レンズとがそれぞれ設けられ、
その軸線方向とは直角方向に沿って投光口部および受光口部が設けられ、
投光口部と投光側光ファイバー挿入孔部との直交部に光軸に曲げる投光用反射部材と、
受光口部と受光側光ファイバー挿入孔部との直交部に光軸を直角に曲げる受光用反射部材とが装着され、
使用状態において、投光側光ファイバー挿入孔部及び受光側光ファイバー挿入孔部の並び方向、投光側光ファイバーと受光側光ファイバーとの並び方向、投光レンズと受光レンズとの並び方向、投光口部と受光口部との並び方向、投光用反射部材と受光用反射部材との並び方向のいずれもが、ウェハの厚み方向に対して垂直な方向となるように、前記センサ部をウェハカセット出入口を移動する移動体に搭載可能に構成した、
ことを特徴とするウェハ検出用センサ。
【請求項３】
ウェハが光ビームを遮り、これによる受光量の変化を検出することによって前記ウェハの有無を検出するウェハ検出用センサであって、
前記光ビームを出射する投光部と、検出領域からの光ビームを受光する受光部とを備えたセンサ部と、前記光ビームを入射光としてそれを反射するリフレクタとを備えており、
前記センサ部は、センサ側保持体を構成するセンサ本体に保持され、該センサ本体には、その軸線方向に沿う投光側光ファイバー挿入孔部及び受光側光ファイバー挿入孔部とが平行に形成してあると共に、前記センサ本体の一側面には、前記センサ本体の軸線方向とは直角に沿って前記投光部の光ビームを前記リフレクタ側に出射させる投光口部及び前記リフレクタ側から反射された光ビームを入射させる受光口部とがそれぞれ設けてあり、前記投光口部を前記投光側光ファイバー挿入孔部に直交させるとともに、前記受光口部を前記受光側光ファイバー挿入孔部に直向させ、
更に、前記センサ部は、前記投光側光ファイバー挿入孔部に挿入した投光側光ファイバーおよび前記受光側光ファイバー挿入孔部に挿入した受光側光ファイバーを介してアンプ部に接続されており、
該アンプ部は、前記投光部を前記投光側光ファイバーを介して投光する投光回路および前記受光側光ファイバーを介して受光する受光信号を比較判定する演算回路と、該演算回路により検出体があると判定された場合に検出信号を出力する出力部とを有して構成した、
ことを特徴とするウェハ検出用センサ。