(57)【要約】【課題】  機械的強度を向上させてヘッドの信頼性を向上すること。【解決手段】  ヘッド先端部２２のエッジ部２３は、ヘッドの底面２４と側面２５とが交差する辺２６によって構成されている。前記底面２４と側面２５とは略垂直に交差している。このエッジ部２３を微視的（ｎｍレベル）に観ると、エッジ部２３は曲面を持つ。この曲率半径Ｒｔと再生可能なビットサイズとが対応しており、曲率半径Ｒｔが小さいほど（シャープなほど）高密度記録を行うことができる。このエッジ部２３は、Ｓｉの異方性エッチングを用いて形成すれば結晶面で決まる角度で作製することができる。【選択図】      図２
2008210505.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヘッド先端部をメディアに対し光波長以下の距離を隔てて近接させ、前記メディアに光を照射したときに発生するエバネッセント場の散乱光強度に基づき、前記メディアに記録した情報を再生する近視野光ヘッドにおいて、
前記ヘッド先端部を、２平面の交差したエッジ形状としたことを特徴とする近視野光ヘッド。
【請求項２】
前記２面のうち１面をスライダの底面としたことを特徴とする請求項１に記載の近視野光ヘッド。
【請求項３】
前記ヘッドの上方に受光素子を配置したことを特徴とする請求項１あるいは請求項２に記載の近視野光ヘッド。
【請求項４】
前記ヘッドを有するスライダのうち、前記ヘッドの近傍に受光素子を設けたことを特徴とする請求項１あるいは請求項２に記載の近視野光ヘッド。
【請求項５】
前記ヘッドを有するスライダのうち、前記ヘッドの近傍に導波路を設け、前記導波路に受光素子を設けたことを特徴とする請求項１あるいは請求項２に記載の近視野光ヘッド。
【請求項６】
前記スライダ底面の全部または一部に金属膜を設け、前記金属膜で前記エッジ部を形成したことを特徴とする請求項２〜５のいずれか１つに記載の近視野光ヘッド。
【請求項７】
前記ヘッドを有するスライダを光透過性の材料で構成し、前記メディアに対し前記スライダ側に光源を配置したことを特徴とする請求項１〜６のいずれか１つに記載の近視野光ヘッド。
【請求項８】
前記ヘッドを有するスライダを光透過性の材料で構成し、前記スライダに光源を設けたことを特徴とする請求項１〜６のいずれか１つに記載の近視野光ヘッド。
【請求項９】
前記ヘッドを有するスライダに、光源と前記光源の光を伝送する導波路とを設けたことを特徴とする請求項１〜６のいずれか１つに記載の近視野光ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、近視野光ヘッドに関し、更に詳しくは、ヘッド構造を工夫して分解能を高く且つ機械的強度を強くできるようにし、製造容易であってエバネッセント場の散乱効率を高くできるようにした近視野光ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、ＣＤおよびＣＤ−ＲＯＭに代表される再生専用型の情報再生デバイスが広く普及している。これらの情報再生デバイスでは、光を用いて光ディスクに記録された情報の再生を行っている。例えばＣＤにおいては、その表面に、再生の際に使用されるレーザ光の波長程度のサイズ及びその波長の４分の１程度の深さを有したピットが凹凸情報として記録されており、その情報を再生するのに光の干渉現象が利用されている。レーザ光のスポットがピットに照射されると、ピットの深さが４分の１波長であるために、ピットの底面において反射された反射光とピット外の面上において反射された反射光との光路差は、照射されたレーザ光の２分の１波長となる。このため、ピット外の面上にレーザ光のスポットを照射した場合に比較して得られる反射光は弱くなる。このように、反射光の強弱を検
出することによってピットの有無を判断し、光ディスクに記録された情報の再生を達成している。
【０００３】
上述したレーザ光の照射系や検出系には、従来の光学顕微鏡において用いられているレンズ光学系が使用されている。ところが、光の回折限界のためにレーザ光のスポットサイズを２分の１波長以下にすることはできない。一方、光ディスクの情報記録密度を増加させるには、ピットのサイズを小さくし、トラックピッチを狭めなければならない。このため、情報記録単位をレーザ光の波長よりも小さなサイズとすると、従来の情報再生装置では対応することができなくなる。
【０００４】
このような問題点に鑑み、近年では近視野光学顕微鏡の技術を利用した光メモリが提案されている。近視野光学顕微鏡とは、例えば、照射されるレーザ光の波長以下、例えばその波長の１／１０程度の径の微小開口を有するプローブを使用し、近視野光（物質表面から光波長以下の領域に存在する光のうちの非伝搬成分：エバネッセント場）を利用して試料の微小な表面構造や光学特性分布を観察するものである。係る近視野光学顕微鏡では、試料裏面から伝搬光を照射することで試料表面に近視野光を生じさせると共にプローブの微小開口と試料表面とをプローブの微小開口の径程度まで近接させ、近視野光を微小開口で散乱させることにより当該微小開口から伝搬光として取り出す。試料表面に生じた近視野光は、試料表面の微細構造や光学特性分布を反映した強度や位相を伴っており、この取り出した伝搬光を光検出器にて処理することで、従来の光学顕微鏡において実現し得なかった分解能を持つ観察を可能としている。
【０００５】
また、近視野光学顕微鏡の分野では、先端に先鋭化処理を施したＡＦＭカンチレバーを用いる方式も多く用いられている。文献「Hulst et al., Appl. Phys. Lett. (1993) Vol. 62, p461」、文献「Hulst et al., SPIE (1992) Vol.1639, p36 」、特開平６−１６０７１９号公報、および、ＰＣＴ国際出願公報ＷＯ９５／０３５６１には、光透過性のチップをＡＦＭカンチレバー先端に形成する技術が記載されている。また、文献「Zenhausern et al., Appl.Phys.Lett.(1994) Vol.65,p1623」、文献「Bachelot et al., Ultramicroscopy (1995) Vol.61, p111」、および、近接場光学研究グループ予稿（近接場光学研究グループ第４回研究討論会予稿「金属プローブを用いた反射型ニアフィールド光学顕微鏡と微細構造をもつ半導体試料の観察」１９９５，ｐ５３）には、光を透過しないチップでＡＦＭカンチレバーを形成する技術が記載されている。
【０００６】
以上のような近視野光学技術を光メモリに応用することにより、レーザ光の波長以下の情報記録単位で構成した光ディスクから情報を検出することができる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記微小開口を形成する方法では、微小開口の形成が困難であり、開口を形成できる大きさに限界があるため、数十ｎｍ以下まで分解能を向上させることが困難であるという問題点があった。一方、上記ＡＦＭカンチレバーを用いる方法では、先端を先鋭化処理しているため機械的強度が弱く、ヘッドとして用いるには信頼性が低いという問題点があった。例えば、メディア面のゴミやメディアの振動により、チップが破損しやすくなる。また、チップを形成するには多くの先鋭化プロセスが必要であり、このチップをフライングヘッドに形成する場合を想定すると、当該フライングヘッドとチップ先端との高さを合わせることが困難になるという問題点があった。さらに、チップの表面積が小さいため、エバネッセント場の散乱効率が低くなるという問題点があった。
【０００８】
そこで、この発明は、上記に鑑みてなされたものであって、分解能を高く且つ機械的強度を強くできると共に、製造容易であってエバネッセント場の散乱効率が高い近視野光ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述の目的を達成するために、本願発明における第１の特徴を有する近視野光ヘッドは、ヘッド先端部をメディアに対し光波長以下の距離を隔てて近接させ、当該メディアに光を照射したときに発生するエバネッセント場の散乱光強度に基づき、前記メディアに記録した情報を再生する近視野光ヘッドにおいて、前記ヘッド先端部を、２平面の交差したエッジ形状としたものである。
【００１０】
また、本願発明における第２の特徴を有する近視野光ヘッドは、上記近視野光ヘッドにおいて、前記２面のうち１面をスライダの底面としたものである。
【００１１】
また、本願発明における第３の特徴を有する近視野光ヘッドは、上記近視野光ヘッドにおいて、さらに、前記ヘッドの上方に受光素子を配置したものである。
【００１２】
また、本願発明における第４の特徴を有する近視野光ヘッドは、上記近視野光ヘッドにおいて、前記ヘッドを有するスライダのうち、前記ヘッドの近傍に受光素子を設けたものである。
【００１３】
また、本願発明における第５の特徴を有する近視野光ヘッドは、上記近視野光ヘッドにおいて、前記ヘッドを有するスライダのうち、前記ヘッドの近傍に導波路を設け、この導波路に受光素子を設けたものである。
【００１４】
また、本願発明における第６の特徴を有する近視野光ヘッドは、上記近視野光ヘッドにおいて、さらに、前記スライダ底面の全部または一部に金属膜を設け、当該金属膜で前記エッジ部を形成したものである。
【００１５】
また、本願発明における第７の特徴を有する近視野光ヘッドは、上記近視野光ヘッドにおいて、前記ヘッドを有するスライダを光透過性の材料で構成し、メディアに対しスライダ側に光源を配置したものである。
【００１６】
また、本願発明における第８の特徴を有する近視野光ヘッドは、上記近視野光ヘッドにおいて、前記ヘッドを有するスライダを光透過性の材料で構成し、このスライダに光源を設けたものである。
【００１７】
また、本願発明における第９の特徴を有する近視野光ヘッドは、上記近視野光ヘッドにおいて、前記ヘッドを有するスライダに、光源と当該光源の光を伝送する導波路とを設けたものである。
【発明の効果】
【００１８】
以上説明したように、この発明の第１の特徴を有する近視野光ヘッドによれば、ヘッド先端部を、２平面の交差したエッジ形状としたので、ヘッドの機械的強度が向上し、ヘッドの信頼性が高まる。
【００１９】
また、この発明の第２の特徴を有する近視野光ヘッドによれば、エッジを形成する２面のうち１面をスライダの底面としたので、スライダにチップを形成する場合のようなチップとスライダとの高さ合わせを必要としない。また、先鋭化プロセスが不要でエッチングによりエッジ部を形成できるので、製造容易である。
【００２０】
また、この発明の第３の特徴を有する近視野光ヘッドによれば、前記ヘッドの上方に受光素子を配置したので、ヘッドがコンパクトになる。
【００２１】
また、この発明の第４の特徴を有する近視野光ヘッドによれば、ヘッドを有するスライダのうち、前記ヘッドの近傍に受光素子を設けたので、ヘッドがコンパクトになり、散乱光の受光効率が向上する。
【００２２】
また、この発明の第５の特徴を有する近視野光ヘッドによれば、ヘッドを有するスライダのうち、前記ヘッドの近傍に導波路を設け、この導波路に受光素子を設けたので、エッジからの散乱光のみを選択的に受光素子に導くことができるので、Ｓ／Ｎ比が向上する。
【００２３】
また、この発明の第６の特徴を有する近視野光ヘッドによれば、前記スライダ底面の全部または一部に金属膜を設け、当該金属膜で前記エッジ部を形成した。スライダ底面で光を反射することができるので、迷光を少なくできる。また、金属膜でエッジを形成するので、散乱効率が向上する。
【００２４】
また、この発明の第７の特徴を有する近視野光ヘッドによれば、ヘッドを有するスライダを光透過性の材料で構成し、メディアに対しスライダ側に光源を配置したので、装置全体がコンパクトになる。
【００２５】
また、この発明の第８の特徴を有する近視野光ヘッドによれば、ヘッドを有するスライダを光透過性の材料で構成し、このスライダに光源を設けたので、コンパクトにできる。また、量産性に適する。
【００２６】
また、この発明の第９の特徴を有する近視野光ヘッドによれば、ヘッドを有するスライダに、光源と当該光源の光を伝送する導波路とを設けたので、受光素子に入る迷光を少なくできるので、Ｓ／Ｎ比が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、この発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
（実施の形態１）
図１は、この発明の実施の形態１に係る近視野光ヘッドを示す概略斜視図である。図２は、図１に示したヘッド先端部を示す拡大側面図である。この近視野光ヘッド１００は、ディスク１に対向位置する凸形状のヘッド２と、ヘッド先端部の上方に配置した受光素子３とを備えた構成である。このヘッド２は梁部２１を持ち、その先端部２２はエッジ形状となっている。先端部２２のエッジ部２３は、ヘッド２の底面２４と側面２５とが交差する辺２６によって構成されている。前記底面２４と側面２５とは略垂直に交差している。このエッジ部２３を微視的（ｎｍレベル）に観ると、エッジ部２３は曲面を持つ。この曲率半径Ｒｔと再生可能なビットサイズとが対応しており、曲率半径Ｒｔが小さいほど（シャープなほど）高密度記録を行うことができる。このエッジ部２３は、Ｓｉの異方性エッ
チングを用いて形成すれば結晶面で決まる角度で作製することができる。また、Ｓｉ以外の材料でも、エッチング（ウェットエッチング、ドライエッチングは不問）条件を正確に設定することにより、相当なシャープさを実現することができる。
【００２８】
また、エッジ部２３は、２平面が交差することにより形成され、交差角度は問わない。例えば２平面を３０度または６０度の角度で交差させてエッジ部を形成してもよい。２平面で作る辺が鉛直交差する面を断面とすれば、エッジ部２３はどの断面であっても曲率半径Ｒｔが同一になる。一方、前記２平面で作る辺を含む面を断面とすれば、曲率は０になる。これに対し、上記従来のチップでは、針状、円錐状、角錐状のいずれであっても、その頂点が微視的に観て半球状をしている。このため、頂点と球体中心とを含む面を断面とすれば、どの断面でも曲率を持つことになる。
【００２９】
前記エッジ部２３の曲率半径Ｒｔは、ディスク１上に形成された最短のビット長程度かそれよりも小さくなければならない。エッジ部２３の曲率半径Ｒｔがビット長よりも大きい場合には、ビット１１の有無をＳ／Ｎ良く読み取ることができない。例えば、ビット長が１００ｎｍであれば、エッジ部２３の曲率半径Ｒｔは約１００ｎｍ以下でなければならない。
【００３０】
つぎに、エッジ部２３の幅Ｗ１は、ディスク１上のビット幅より大きくても良いが、隣のトラック１２上にかからなければよい。また、凸形状の幅広部分２７（幅Ｗ２）が隣のトラック１２にかかってもよいが、その場合、梁部２１の長さＬを隣のトラック１２からのクロストークを防ぐ程度に確保すればよい。
【００３１】
また、図３に示すように、エッジ部２３自体が曲率（曲率半径Ｒｎ）を持つようにしてもよい。この場合は、底面２４が曲面となり、この底面２４と側面２５とが交差することでエッジ部２３が形成される。係るエッジ部２３においても、微視的に観れば図２と同様の曲率半径Ｒｔを持つ。近視野光ヘッド１００はビット１１上を完全にトラッキングできないため、トラック直交方向のズレをフィードバック制御により補正している。ここで、トラック直交方向の曲率半径Ｒｎがビット幅程度であれば、トラック直交方向のフィードバック制御による信号（ビットの有無）が大きすぎてノイズになってしまい、トラック方向のビットの有無を信号として読み取ることができなくなる。従って、実用化するには、このノイズをフィードバック周波数からフィルタで低減するようにしても、トラック方向
のビットの有無の信号より２桁程度小さくするのが好ましい。また、現在の実用的技術レベル（ＤＶＤなど）に鑑みると、ノイズレベルは信号レベルよりも４桁以上小さくする必要がある。以上から、トラック直交方向の曲率半径Ｒｎは、無限大とするのが適切であるが、上記ビット幅の約５倍以上、好ましくは５０倍以上大きくすれば、実用上問題ないと考えられる。
【００３２】
図２に戻り、エッジ部２３とディスク１との間の距離ｄは、光波長以下に制御される。この距離ｄの制御は、いわゆるハードディスクドライブ（ＨＤＤ）のフライングヘッドを用い、近視野光ヘッド１００を空気膜潤滑により浮上させる。浮上ヘッド技術を用いる場合には、近視野光ヘッド１００にテーパ面を設けて、くさび膜形状の流路を形成する必要がある。ヘッド浮上技術によれば、前記距離ｄを５０ｎｍ程度に制御することができる。また、ＡＦＭカンチレバーの場合のように、距離検出を行いピエゾ素子等によりフィードバック制御するようにしてもよい。また、数ｎｍ程度の薄い潤滑膜（オイルあるいは水など）を介在させたコンタクト状態により実現しても良いし、完全なコンタクト状態としても良い。
【００３３】
光源（図示省略）からディスク１の裏面に全反射条件を満たす入射角で光４を照射すると、ディスク表面にエバネッセント場４１が発生する。この中にエッジ部２３を挿入することにより、散乱光４２が発生する。この散乱光４２の光強度は、ビット１１の有無により変化する。前記発生した散乱光４２は受光素子３により受光する。受光素子３では、散乱光４２の光強度に応じた光電変換を行う。これにより、ディスク１上の情報を再生することができる。
【００３４】
また、ヘッドの先端部２２は、図１のような短冊形状の他、図４に示すような剣形状でもよい。また、図５に示すような円形状でもよい。また、ディスク１への記録状態としては、透過率あるいは反射率の差でビットが記録されていても良いし、凹凸として記録されていても良い。なお、上記近視野光には、ファーフィールド光を含むものとする。
【００３５】
以上、この近視野光ヘッド１００によれば、従来の先鋭化処理を施したチップに比べて、エッジ部２３の方が機械的強度に優れるため、ヘッドの信頼性が高まる。つぎに、チップの形成には多くの先鋭化プロセスを必要とし、また、チップ先端とスライダとの高さ合わせが製造上困難である。これに対し、エッジ部２３はエッチング処理によってヘッドスライダの一部に比較的容易に形成でき、ヘッドスライダ底面との高さ合わせが不要である。さらに、チップよりもエッジ部２３の方がエバネッセント場４１を散乱させる面積が大きくなるので、得られる散乱光強度が強くなる。
（実施の形態２）
図６は、この発明の実施の形態２に係る近視野光ヘッドの構造を示す概略構成図である。この近視野光ヘッド２００は、上記実施の形態１の近視野光ヘッド１００をより具体的な構成としたものである。この近視野光ヘッド２００では、ヘッドスライダ２０１の底面に上記エッジ部２０２（図２参照）を形成している。エッジ部２０２の反対側には、テーパ面２０３が設けられている。このテーパ面２０３とディスク２０４とによりくさび膜形状の流路が生じる。また、エッジ部２０２の形成は、エッチング処理により行う。近視野光ヘッド２００は、サスペンションアーム（図示省略）により支持されており、ボイスコイルモータ（図示省略）により駆動される。また、ヘッドスライダ２０１の斜め上方には、散乱光を集光するレンズ２０５と、受光素子２０６とが配置されている。
【００３６】
光源（図示省略）からディスク２０４の裏面に全反射条件を満たす入射角で光２０７を照射すると、ディスク表面にエバネッセント場２０８が発生する。ヘッドスライダ２０１は、斜めに浮上するので、エッジ部２０２がディスク面に近づいて光を散乱する。この散乱光２０９の光強度は、ビット２１０の有無により変化する。前記発生した散乱光２０９はレンズ２０５により集光される。集光先には受光素子２０６が配置されており、この受光素子２０６により散乱光２０９を受光する。受光素子２０６では、散乱光２０９の光強度に応じた光電変換を行う。これにより、ディスク２０４上の情報を再生する。
【００３７】
この近視野光ヘッド２００によれば、ヘッド浮上技術により行うことで、容易にエッジ部２０２とディスク２０４との間の距離制御を行うことができる。また、ヘッドスライダ２０１にエッジ部２０２を形成するだけでよいので、一般の磁気ヘッドに比べてコンパクトであり、コストも低くなる。
（実施の形態３）
図７は、この発明の実施の形態３に係る近視野光ヘッドの構造を示す概略構成図である。この近視野光ヘッド３００は、上記実施の形態１の近視野光ヘッド１００をより具体的な構成としたものである。この近視野光ヘッド３００では、ヘッドスライダ３０１の底面に上記エッジ部３０２（図２参照）を形成している。また、ヘッドスライダ３０１のうち前記エッジ部３０２の近傍には段部３０３が形成してある。この段部３０３には受光素子３０４が設けられている。エッジ部３０２の反対側には、テーパ面３０５が設けられている。このテーパ面３０５とディスク３０６とによりくさび膜形状の流路が生じる。また、エッジ部３０２の形成は、エッチング処理により行う。近視野光ヘッド３００は、サスペンションアーム（図示省略）により支持されており、ボイスコイルモータ（図示省略）に
より駆動される。
【００３８】
光源（図示省略）からディスク３０６の裏面に全反射条件を満たす入射角で光３０７を照射すると、ディスク表面にエバネッセント場３０８が発生する。ヘッドスライダ３０１は、斜めに浮上するので、エッジ部３０２がディスク面に近づいて光を散乱する。この散乱光３０９の光強度は、ビット３１０の有無により変化する。前記発生した散乱光３０９は、ヘッドスライダ３０１のうち前記エッジ部３０２近傍に設けた受光素子３０４によって受光する。受光素子３０４では、散乱光３０９の光強度に応じた光電変換を行う。これにより、ディスク３０６上の情報を再生する。
【００３９】
この近視野光ヘッド３００によれば、受光素子３０４をヘッドスライダ３０１に直接設けたので、ヘッドがコンパクトになる。また、エッジ部３０２の近傍に受光素子３０４を設けることで、受光効率が向上する。
（実施の形態４）
図８は、この発明の実施の形態４に係る近視野光ヘッドの構造を示す概略構成図である。この近視野光ヘッド４００は、上記実施の形態１の近視野光ヘッド１００をより具体的な構成としたものである。この近視野光ヘッド４００では、ヘッドスライダ４０１の底面には上記エッジ部４０２（図２参照）が形成されている。また、ヘッドスライダ４０１のうち前記エッジ部４０２の近傍には段部４０３が形成してある。この段部４０３には受光素子４０４が設けられている。また、ヘッドスライダ４０１の底面には、金属膜４０５が形成されている。エッジ部４０２は、この金属膜４０５により形成する。誘電体エッジよりも金属エッジの方が散乱効率が高いからである。また、ヘッドスライダ４０１の底面全体でなく、エッジ部４０２のみに金属膜を形成するようにしてもよい。エッジ部４０２の
反対側には、テーパ面４０６が設けられている。このテーパ面４０６とディスク４０７とによりくさび膜形状の流路が生じる。また、エッジ部４０２の形成は、エッチング処理により行う。近視野光ヘッド４００は、サスペンションアーム（図示省略）により支持されており、ボイスコイルモータ（図示省略）により駆動される。
【００４０】
ヘッドスライダ４０１の存在しない部分では、光４０８が全反射条件でディスク４０７に入射しているため、全て反射する。ディスク４０７から波長以下の距離を持ってヘッドスライダ４０１が存在する部分（エッジ部以外）では、ヘッドスライダ４０１とディスク４０７との間の距離はないに等しいので、光４０８はディスク表面を透過する。透過した光（図示省略）は、ヘッドスライダ４０１底面の金属膜４０６で反射する。或は、一部に金属膜４０６を形成している場合は、金属膜４０６のある部分において光が反射する。このように、ヘッドスライダ４０１底面に金属膜４０５を形成して光を反射させることにより、受光素子４０４に入る迷光が少なくなる。なお、反射膜ではなく、吸収膜を形成するようにしてもよい。但し、エッジ部４０２を吸収膜で形成するのは好ましくない。
【００４１】
情報の再生原理は、実施の形態３と同様である。すなわち、ディスク表面のエバネッセント場４０９に、浮上したヘッドスライダ４０１のエッジ部４０２を入れて光を散乱する。この散乱光４１０の光強度は、ビット４１１の有無により変化する。前記発生した散乱光４１０は、ヘッドスライダ４０１のうち前記エッジ部４０２近傍に設けた受光素子４０４によって受光する。受光素子４０４では、散乱光４１０の光強度に応じた光電変換を行う。これにより、ディスク４０７上の情報を再生する。
（実施の形態５）
図９は、この発明の実施の形態５に係る近視野光ヘッドの構造を示す概略構成図である。この近視野光ヘッド５００は、上記実施の形態４の近視野光ヘッド４００と略同様の構成であるが、受光素子に導波路を形成した点が異なる。この近視野光ヘッド５００では、ヘッドスライダ５０１の底面に上記エッジ部５０２（図２参照）を形成している。また、ヘッドスライダ５０１のうち前記エッジ部５０２の近傍には段部５０３が形成してある。この段部５０３には受光素子５０４と導波路５０５とが設けられている。また、ヘッドスライダ５０１の底面には、金属膜５０６が形成されている。エッジ部５０２は、この金属膜５０６により形成する。誘電体エッジよりも金属エッジの方が散乱効率が高いからである。また、ヘッドスライダ５０１の底面全体でなく、エッジ部５０２のみに金属膜５０６を形成するようにしてもよい。エッジ部５０２の反対側には、テーパ面５０７が設けられている。このテーパ面５０７とディスク５０８とによりくさび膜形状の流路が生じる。また、エッジ部５０２の形成は、エッチング処理により行う。近視野光ヘッド５００は、サスペンションアーム（図示省略）により支持されており、ボイスコイルモータ（図示省略）により駆動される。
【００４２】
光源（図示省略）からディスク５０８の裏面に全反射条件を満たす入射角で光５０９を照射すると、ディスク表面にエバネッセント場５１０が発生する。ヘッドスライダ５０１は、斜めに浮上するので、エッジ部５０２がディスク面に近づいて光を散乱する。この散乱光５１１の光強度は、ビット５１２の有無により変化する。前記発生した散乱光５１１は、ヘッドスライダ５０１のうち前記エッジ部５０２近傍に設けた導波路５０５を通り受光素子５０４によって受光する。受光素子５０４では、散乱光５１１の光強度に応じた光電変換を行う。これにより、ディスク５０８上の情報を再生する。
【００４３】
この近視野光ヘッド５００によれば、受光素子５０４上に導波路５０５を形成したので、エッジ部５０２からの散乱光５１１を選択的に受光素子５０４に導くことができる。このため、他からの散乱光が受光素子５０４に入らないので、Ｓ／Ｎ比が向上する。なお、導波路５０５の先端にレンズを設けてもよい。また、受光素子５０４をヘッドスライダ５０１に直接設けたので、ヘッドがコンパクトになる。また、エッジ部５０２の近傍に受光素子５０４を設けることで、受光効率が向上する。さらに、ヘッドスライダ５０１の底面に形成した金属膜５０６により、ディスク表面を透過した光が反射する。このため、導波路５０５に入る迷光が少なくなる。この他、ディスク５０８上のビット以外の小さな傷や凹凸などによる散乱光や、ヘッドスライダ５０１を透過した光などが迷光となるが、導波路５０５を設けているので、これらの迷光の影響は受けにくい。
（実施の形態６）
図１０は、この発明の実施の形態６に係る近視野光ヘッドの構造を示す概略構成図である。この近視野光ヘッド６００は、ディスク表面で光を全反射させる方式ではなく、ヘッドスライダ上方から光を照射する方式である。この近視野光ヘッド６００では、光透過性の材料でヘッドスライダ６０１を構成し、当該ヘッドスライダ６０１の底面に上記エッジ部６０２（図２参照）を形成している。また、ヘッドスライダ６０１のうち前記エッジ部６０２の近傍には段部６０３が形成してある。この段部６０３には受光素子６０４と導波路６０５とが設けられている。ヘッドスライダ６０１の斜め上方には、光源６０６とレンズ６０７とが配置されている。エッジ部６０２の反対側には、テーパ面６０８が設けられている。このテーパ面６０８とディスク６０９とによりくさび膜形状の流路が生じる。また、エッジ部６０２の形成は、エッチング処理により行う。近視野光ヘッド６００は、サスペンションアーム（図示省略）により支持されており、ボイスコイルモータ（図示省略）により駆動される。
【００４４】
光源６０６からの光６１０はレンズ６０７により集光され、ヘッドスライダ６０１を透過してエッジ部６０２を照明する。これにより、エッジ部６０２表面にエバネッセント場６１１が発生する。ヘッドスライダ６０１は、斜めに浮上するので、エッジ部６０２がディスク面に近づいて光を散乱する。この散乱光６１２の光強度は、ビット６１３の有無により変化する。前記発生した散乱光６１２は、ヘッドスライダ６０１のうち前記エッジ部６０２近傍に設けた導波路６０５を通り受光素子６０４によって受光する。受光素子６０４では、散乱光６１２の光強度に応じた光電変換を行う。これにより、ディスク６０９上の情報を再生する。この近視野光ヘッド６００によれば、ヘッドと同じ側に光源６０６を配置するので、装置をコンパクトにできる。
（実施の形態７）
図１１は、この発明の実施の形態７に係る近視野光ヘッドの構造を示す概略構成図である。この近視野光ヘッド７００では、光透過性の材料でヘッドスライダ７０１を構成し、当該ヘッドスライダ７０１の底面に上記エッジ部７０２（図２参照）を形成している。また、ヘッドスライダ７０１のうち前記エッジ部７０２の近傍には受光素子７０３と導波路７０４とが設けられている。さらに、ヘッドスライダ７０１には、光源７０５とレンズ７０６とが組み込まれている。エッジ部７０２の反対側には、テーパ面７０７が設けられている。このテーパ面７０７とディスク７０８とによりくさび膜形状の流路が生じる。また、エッジ部７０２の形成は、エッチング処理により行う。近視野光ヘッド７００は、サスペンションアーム（図示省略）により支持されており、ボイスコイルモータ（図示省略）
により駆動される。
【００４５】
光源７０５からの光７０９はレンズ７０６により集光され、ヘッドスライダ７０１を透過してエッジ部７０２を照明する。これにより、エッジ部７０２表面にエバネッセント場７１０が発生する。ヘッドスライダ７０１は、斜めに浮上するので、エッジ部７０２がディスク面に近づいて光を散乱する。この散乱光７１１の光強度は、ビット７１２の有無により変化する。前記発生した散乱光７１１は、ヘッドスライダ７０１のうち前記エッジ部７０２近傍に設けた導波路７０４を通り受光素子７０３によって受光する。受光素子７０３では、散乱光７１１の光強度に応じた光電変換を行う。これにより、ディスク７０８上の情報を再生する。この近視野光ヘッド７００によれば、ヘッドスライダ７０１に光源７０５とレンズ７０６とを組み込んでいるので、コンパクトになる。また、量産に適する。
（実施の形態８）
図１２は、この発明の実施の形態８に係る近視野光ヘッドの構造を示す概略構成図である。この近視野光ヘッド８００では、ヘッドスライダ８０１の底面に上記エッジ部８０２（図２参照）を形成している。また、ヘッドスライダ８０１のうち前記エッジ部８０２の近傍には受光素子８０３と導波路８０４とが設けられている。さらに、ヘッドスライダ８０１には、光源８０５と導波路８０６とが組み込まれている。エッジ部８０２の反対側には、テーパ面８０７が設けられている。このテーパ面８０７とディスク８０８とによりくさび膜形状の流路が生じる。また、エッジ部８０２の形成は、エッチング処理により行う。近視野光ヘッド８００は、サスペンションアーム（図示省略）により支持されており、ボイスコイルモータ（図示省略）により駆動される。
【００４６】
光源８０５からの光８０９は導波路８０６を通りエッジ部８０２を照明する。これにより、エッジ部８０２表面にエバネッセント場８１０が発生する。ヘッドスライダ８０１は、斜めに浮上するので、エッジ部８０２がディスク面に近づいて光を散乱する。この散乱光８１１の光強度は、ビット８１２の有無により変化する。前記発生した散乱光８１１は、ヘッドスライダ８０１のうち前記エッジ部８０２近傍に設けた導波路８０４を通り受光素子８０３によって受光する。受光素子８０３では、散乱光８１１の光強度に応じた光電変換を行う。これにより、ディスク８０８上の情報を再生する。この近視野光ヘッド８００によれば、導波路８０６によりエッジ部８０２のみを照明できるから受光素子８０３に入る迷光を減らすことができる。また、ヘッドスライダ８０１に光源８０５を組み込んでいるので、コンパクトになる。また、量産に適する。なお、導波路８０６の先にレンズを配置してもよい。
【００４７】
なお、上記実施の形態においては種々の手段、部材ないしは構造を限定的に説明したが、当業者の設計可能な範囲にて適宜改変することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】この発明の実施の形態１に係る近視野光ヘッドを示す概略斜視図である。
【図２】図１に示したヘッド先端部を示す拡大側面図である。
【図３】図１に示したヘッド先端部を示す拡大正面図である。
【図４】図１に示した近視野光ヘッドの変形例を示す概略斜視図である。
【図５】図１に示した近視野光ヘッドの変形例を示す概略斜視図である。
【図６】この発明の実施の形態２に係る近視野光ヘッドの構造を示す概略構成図である。
【図７】この発明の実施の形態３に係る近視野光ヘッドの構造を示す概略構成図である。
【図８】この発明の実施の形態４に係る近視野光ヘッドの構造を示す概略構成図である。
【図９】この発明の実施の形態５に係る近視野光ヘッドの構造を示す概略構成図である。
【図１０】この発明の実施の形態６に係る近視野光ヘッドの構造を示す概略構成図である。
【図１１】この発明の実施の形態７に係る近視野光ヘッドの構造を示す概略構成図である。
【図１２】この発明の実施の形態８に係る近視野光ヘッドの構造を示す概略構成図である。
【符号の説明】
【００４９】
１００  近視野光ヘッド
１  ディスク
１１  ビット
１２  トラック
２  ヘッド
２１  梁部
２２  先端部
２３  エッジ部
２４  底面
２５  側面
２６  辺
２７  幅広部分
３  受光素子
４  光
４１  エバネッセント場
４２  散乱光
【図１】
2008210505.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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