(57)【要約】【課題】マストに沿って昇降台が昇降動作する際に発生する微粉塵を除去することができるようにしたスタッカクレーンのマスト内浄化装置を提供すること。【解決手段】スタッカクレーンＣのマスト３を分割構造とし、かつマスト３の分割接合部に形成した隙間３４を利用して、空気をケージ側よりカウンタウエイト側へ流通可能に構成する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
スタッカクレーンのマストを分割構造とし、かつ該マストの分割接合部に形成した隙間を利用して、空気をケージ側よりカウンタウエイト側へ流通可能に構成したことを特徴とするスタッカクレーンのマスト内浄化装置。
【請求項２】
マストを三分割としてＨ字形に形成し、その接合部にシムを所定間隔毎に挟んで空気を流通させる隙間を形成するようにしたことを特徴とする請求項１記載のスタッカクレーンのマスト内浄化装置。
【請求項３】
マストのカウンタウエイト側にマストの全長に沿ってカバーを配設して、ケージ側よりカウンタウエイト側へ流通する空気の空気溜め室を密閉状に形成するようにしたことを特徴とする請求項１又は２記載のスタッカクレーンのマスト内浄化装置。
【請求項４】
空気溜め室に高性能フィルタを備えた排気手段を備えるようにしたことを特徴とする請求項１、２又は３記載のスタッカクレーンのマスト内浄化装置。
【請求項５】
マストのケージ側に、昇降台の昇降に支障を与えることなくケージ側を閉塞するカバー及びシールベルトを配設したことを特徴とする請求項１、２、３又は４記載のスタッカクレーンのマスト内浄化装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スタッカクレーンのマスト内浄化装置に関し、特に、クリーンルーム内で稼働するスタッカクレーンにおいて、マストに沿って昇降台が昇降する際、発生する微粉塵の排出をも含めてマスト内の清浄を図るようにしたスタッカクレーンのマスト内浄化装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体や液晶製造工場等においては、清浄空気を常に流下させた（ダウンフロー）クリーンルーム内をスタッカクレーンが走行するようにして部材等を収納したカセットを所定位置に保管或いは搬送するようにしている。
しかし、スタッカクレーンが走行レールに沿って走行するとき、走行車輪と走行レールとの摺動摩擦により、またスタッカクレーンのマストに沿って移載機を搭載した昇降台の昇降時、マストのレールとの接触による摺動摩擦やスプロケットとチェーンの接触により微粉塵が発生する。この発生微粉塵は前記ダウンフローにて流下させ、床面より吸引して高性能フィルタにてろ過、除去するようにし、これによりクリーンルーム内全体のクリーン度を、設定クリーン度を名目上保持するようになっている。
【０００３】
ところで、クリーンルーム内で発生した微粉塵は、クリーンルーム内のダウンフローにて、発生微粉塵を床面に向かって流下させる場合、発生微粉塵が移載機を搭載した昇降台に堆積し、また、部材等を収納したカセットよりも下部位置で発生したものは適正に排出、除去することができても、カセット位置よりも上部位置で発生した微粉塵は、このダウンフローに乗って流下する際、下方のカセット及びカセット内に収納した部材等にも付着し、汚染するという問題があった。
【０００４】
また、スタッカクレーンのマストは、マストに沿って、かつ部材等を収納したカセットを搭載した移載機を搭載した昇降台を昇降支持できるように、断面Ｈ字形をしており、この断面Ｈ字形マストの窪み部分に、昇降台支持用の昇降用レールを配設している。
したがって、この昇降用レールを配設したマストの窪み部分はダウンフローも弱く、昇降台の昇降時マスト側のレールとの接触による摺動摩擦により発生する微粉塵が滞留し、排出が困難であるという問題があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、スタッカクレーンにおけるマストの有する問題点に鑑み、マストに沿って昇降台が昇降動作する際に発生する微粉塵を除去することができるようにしたスタッカクレーンのマスト内浄化装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明のスタッカクレーンのマスト内浄化装置は、スタッカクレーンのマストを分割構造とし、かつ該マストの分割接合部に形成した隙間を利用して、空気をケージ側よりカウンタウエイト側へ流通可能に構成したことを特徴とする。
【０００７】
この場合において、マストを三分割としてＨ字形に形成し、その接合部にシムを所定間隔毎に挟んで空気を流通させる隙間を形成するようにすることができる。
【０００８】
また、マストのカウンタウエイト側にマストの全長に沿ってカバーとシールベルトを配設して、ケージ側よりカウンタウエイト側へ流通する空気の空気溜め室を密閉状に形成することができる。
【０００９】
また、空気溜め室に高性能フィルタを備えた排気手段を備えることができる。
【００１０】
また、マストのケージ側に、昇降台の昇降に支障を与えることなくケージ側を閉塞するカバーを配設することができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のスタッカクレーンのマスト内浄化装置によれば、スタッカクレーンのマストを分割構造とし、かつ該マストの分割接合部に形成した隙間を利用して、空気をケージ側よりカウンタウエイト側へ流通可能に構成することにより、従来排出困難とされたマスト内のケージ側内部の発生微粉塵も、簡易な装置で、かつ確実に排出することができる。
【００１２】
また、マストを三分割としてＨ字形に形成し、その接合部にシムを所定間隔毎に挟んで空気を流通させる隙間を形成することにより、マストを確固に組み立てることができるとともに、該組立時に同時に隙間を簡易に形成することができる。
【００１３】
また、マストのカウンタウエイト側にマストの全長に沿ってカバーを配設して、ケージ側よりカウンタウエイト側へ流通する空気の空気溜め室を密閉状に形成することにより、マスト内のケージ側で発生した微粉塵も空気溜め室内を経て排出することができるので他のクリーンルームへの漏出を確実に防止することができる。
【００１４】
また、空気溜め室に高性能フィルタを備えた排気手段を備えるようにすることにより、空気溜め室内に空気と共に流入した微粉塵を、該高性能フィルタにて除去した後、排気手段にて連続的に排気することができる。
【００１５】
また、マスト内のケージ側に、昇降台の昇降に支障を与えることなくケージ側を閉塞するカバー及びシールベルトを配設することにより、昇降台の昇降に際してマストのケージ側内部で発生する微粉塵を、他のクリーンルーム側へ漏出させることなく確実に排出除去することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明のスタッカクレーンのマスト内浄化装置の実施の形態を、図面に基づいて説明する。
【実施例１】
【００１７】
図１〜図５に、本発明のスタッカクレーンのマスト内浄化装置の一実施例を示す。
図１〜図２は、半導体や液晶製造工場等におけるクリーンルーム内を走行するようにしたスタッカクレーンの概観正面図と側面図を示す。
このスタッカクレーンＣは走行レールＲに沿って走行車輪１にて自走するようにした走行台車２と、該走行台車２上に樹立したマスト３と、該マストに沿って昇降する昇降台４とより構成する。
【００１８】
この昇降台４は、特に限定されるものではないが、例えば、モータＭを駆動することによって、減速機Ｒｅ、カップリングＣ、駆動スプロケット４１ａ及び従動スプロケット４１ｂ並びにチェーン４２を介して昇降されるように構成し、駆動スプロケット４１ａ及び従動スプロケット４１ｂに掛け渡されたチェーン４２の昇降台４を固定した位置の相対側にカウンタウエイト４３を固定するようにする。昇降台４には、必要に応じて、移載機（図示省略）を搭載するようにする。
【００１９】
スタッカクレーンＣのマスト３は、図３の断面図に示すように、断面Ｈ字形に形成するが、これを２枚のマスト側板３１、３１と、１枚のマスト本体３２との三分割構造とし、マスト本体３２の両側にそれぞれマスト側板３１をあてがい、ボルト等の締結具（図示省略）を持って固定し、Ｈ字形に簡易に形成することができる。
この場合、マスト側板３１とマスト本体３２との接合部には、薄板状に形成したシム３３を挟むようにして、実質的にはマスト側板３１とマスト本体３２との間に隙間３４を形成するようにする。このシム３３は、マスト３の長手方向、すなわち、マストの高さ方向に沿って予め定めた間隔或いは任意間隔毎に配して、このシム３３の無い部分を隙間３４となるようにする。
なお、このシム３３を配設する間隔及び／又は厚さは、マスト内のケージ側よりカウンタウエイト側へ空気が流通できるようにして定めるものとする。この隙間３４を経てマスト内のケージ側よりカウンタウエイト側へ流通する空気の流通量は、マスト内のケージ側で発生する微粉塵をカウンタウエイト側へ流通させるのに必要な量及び流速となるように隙間を設定する。
【００２０】
また、マスト３のカウンタウエイト側には、図３に示すように、対向して配設するマスト側板３１、３１間を接続するようにしてカバー３５を配設し、このカバー３５と２枚のマスト側板３１、３１にて囲まれる部分を空気溜め室３５Ｒとし、ここに隙間３４を経て流入する微粉塵を含んだ空気を導入するようにする。
このカバー３５は、マスト３の全長に亘って配設し、内部に空気溜め室３５Ｒを形成するが、このカバー３５の外側には、所定間隔毎に高性能フィルタ３６と排気扇３７とを備えた排気手段３８を配設する。
【００２１】
マスト内のケージ側には、図３に示すように、昇降台４が昇降可能にしてマスト内のケージ側室内を封鎖できるようにカバー３９ａ及びカバー３９ａの隙間を閉鎖する可撓性のシールベルト３９ｂを配設する。
このカバー３９ａは、通常は、図３（ｂ）に示すように、シールベルト３９ｂによって、その開口部分が閉鎖されているが、昇降台４がマスト本体３２に沿って昇降移動する際、その昇降移動する昇降台４の部分のみ、図３（ａ）及び図４に示すように、昇降台４の昇降移動に合わせて開口するようにする。
したがって、このカバー３９ａの開口部分は、昇降台４の昇降移動に合わせて連続的に移動することとなる。
【００２２】
さらに、このカバー３９ａで囲んだマスト３のケージ側室内で、かつマスト本体３２に昇降台４を昇降可能に支持するための支持装置５を配設する。
この支持装置５としては、特に限定されるものではないが、例えば、図３に示すように、ガイドレール５１とブロック５２とよりなる直動ベアリング（ＬＭガイド）を採用することができる。
【００２３】
次に、このスタッカクレーンのマスト内浄化装置の作用について説明する。
昇降台４がマスト３に沿って昇降移動する際、排気扇３７の駆動にて空気溜め室３５Ｒ内に負圧が発生する。このため、クリーンルーム内の空気がカバー３９ａの開口部分よりマスト内ケージ側に吸引され、さらにマスト側板３１とマスト本体３２との接合部に形成される隙間３４を経てマスト３のカウンタウエイト側の空気溜め室３５Ｒ内に流入する。
このとき、支持装置５の摺動摩擦により発生する微粉塵は、隙間３４を経る気流と共に空気溜め室３５Ｒ内に流入した後、さらに、空気溜め室３５Ｒ内より排気手段３８を経ることによって、高性能フィルタ３６にて除去され、外部或いはクリーンルーム内への排出が規制される。これにより、従来排出困難だったマスト内のケージ側に滞留する微粉塵の排出を確実に行うことができるとともに、カセット及びカセット内に収納する部材やクリーンルームの汚染を防止することができる。
【００２４】
以上、本発明のスタッカクレーンのマスト内浄化装置について、実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができるものである。
【産業上の利用可能性】
【００２５】
本発明のスタッカクレーンのマスト内浄化装置は、スタッカクレーンのマストを分割構造とし、かつ該マスト内を、レールを取り付けたケージ側よりカウンタウエイト側へ空気が流通するようにして、マストに沿って昇降台が昇降動作する際に発生する微粉塵を除去することができることから、クリーンルーム内を走行するスタッカクレーンの用途に好適に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明のスタッカクレーンのマスト内浄化装置の一実施例を示す正面図である。
【図２】同側面図である。
【図３】同拡大横断面図で、（ａ）は昇降台が存在する箇所を、（ｂ）は昇降台が存在しない箇所を、それぞれ示す。
【図４】同拡大縦断面図である。
【図５】同要部の外観斜視図である。
【符号の説明】
【００２７】
Ｃ    スタッカクレーン
Ｒ    走行レール
１    走行車輪
２    走行台車
３    マスト
３１  マスト側板
３２  マスト本体
３３  シム
３４  隙間
３５  カバー
３５Ｒ  空気溜め室
３６  高性能フィルタ
３７  排気扇
３８  排気手段
３９ａ  カバー
３９ｂ  シールベルト
４    昇降台
５    昇降台の支持装置
【図１】
2008114969.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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