【手続補正書】
【提出日】平成21年9月24日(2009.9.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象物の変位を測定する光学式変位計であって、
測定対象物に光を第１の方向に広がりを有する帯状の光として照射、又は第１の方向に走査して照射するための投光部と、
測定対象物からの反射光を受光して、第１の方向の各位置における受光信号として出力するための２次元受光素子と、
前記２次元受光素子からの受光信号を増幅するための増幅器と、
前記投光部からの照射光の反射光により、第１の方向の各点において前記増幅器で得られた増幅信号に基づき、測定対象物のプロファイル形状を演算可能なプロファイル演算手段と、
前記プロファイル演算手段で演算された測定対象物のプロファイル形状を表示可能な表示部と、
プロファイル形状を前記表示部で表示された状態で、所望の計測領域を指定するための計測領域指定手段と、
前記領域指定手段で指定された計測領域に対して所望の演算を行うことが可能な計測処理部と、
を備えることを特徴とする光学式変位計。
【請求項２】
測定対象物の変位を測定する光学式変位計であって、
測定対象物に光を第１の方向に広がりを有する帯状の光として照射、又は第１の方向に走査して照射するための投光部と、
測定対象物からの反射光を受光して、第１の方向の各位置における受光信号として出力するための２次元受光素子と、
前記２次元受光素子からの受光信号を増幅するための増幅器と、
前記投光部からの照射光の反射光により、第１の方向の各点において前記増幅器で得られた増幅信号に基づき、測定対象物のプロファイル形状を演算可能なプロファイル演算手段と、
前記プロファイル演算手段で演算された測定対象物のプロファイル形状を表示可能な表示部と、
平坦な測定対象物に対して照射光を照射して、プロファイル形状を前記表示部に表示させた状態で、そのプロファイル形状中で水平基準位置を指定するための水平部位指定手段と、
前記水平部位指定手段で指定された水平基準位置と、現実の水平線とがなす傾斜角を演算するための傾斜角演算手段と、
を備えることを特徴とする光学式変位計。
【請求項３】
請求項２に記載の光学式変位計であって、
前記水平部位指定手段が、前記表示部上に表示されたプロファイル形状上で、水平基準位置に該当するプロファイル形状を領域で指定し、指定された領域中のプロファイル形状を抽出して、プロファイルの傾斜を演算して水平基準位置を演算することを特徴とする光学式変位計。
【請求項４】
測定対象物の変位を測定する光学式変位計であって、
測定対象物に光を第１の方向に広がりを有する帯状の光として照射、又は第１の方向に走査して照射するための投光部と、
測定対象物からの反射光を受光して、第１の方向の各位置における受光信号として出力するための２次元受光素子と、
前記２次元受光素子からの受光信号を増幅するための増幅器と、
前記投光部からの照射光の反射光により、第１の方向の各点において前記増幅器で得られた増幅信号に基づき、測定対象物のプロファイル形状を演算可能なプロファイル演算手段と、
前記プロファイル演算手段で演算された測定対象物のプロファイル形状を表示可能な表示部と、
既知の高低差を有する段差形状を備える測定対象物に対して、照射光を照射してプロファイル形状を前記表示部に表示させた状態で、そのプロファイル形状中で段差を構成する第１の面と第２の面を各々高低差基準位置として指定するための高低差指定手段と、
前記高低差指定手段で指定された高低差基準位置同士の間の高低差を演算するための高低差演算手段と、
を備えることを特徴とする光学式変位計。
【請求項５】
請求項４に記載の光学式変位計であって、
前記高低差指定手段が、前記表示部上に表示されたプロファイル形状上で、高低差基準位置に該当するプロファイル形状を領域で指定し、指定された領域中のプロファイル形状を抽出して、プロファイルの高低差を演算して高低差基準位置を演算することを特徴とする光学式変位計。
【請求項６】
測定対象物の変位を測定する光学式変位計であって、
測定対象物に光を第１の方向に広がりを有する帯状の光として照射、又は第１の方向に走査して照射するための投光部と、
測定対象物からの反射光を受光して、第１の方向の各位置における受光信号として出力するための２次元受光素子と、
を備えるセンサヘッド部と、
第１の方向の各点において、前記投光部からの照射光の反射光を増幅した増幅信号に基づき、測定対象物のプロファイル形状を演算可能なプロファイル演算手段と、
前記プロファイル演算手段で演算された測定対象物のプロファイル形状を表示可能な表示部と、
プロファイル形状を前記表示部で表示された状態で、所望の計測領域を指定するための計測領域指定手段と、
前記領域指定手段で指定された計測領域に対して所望の演算を行うことが可能な計測処理部と、
２以上のセンサヘッド部を接続するためのヘッド接続部と、
を備えるコントローラ部と、
を備えており、
前記コントローラ部がさらに、
段差を有する測定対象物に対して、いずれのセンサヘッド部も照射光を照射できるよう、各センサヘッド部を配置した状態で、各センサヘッド部で照射光を照射してプロファイル形状を各々前記表示部に表示させた状態で、測定対象物の段差を示す段差プロファイル形状に対して、測定対象物に対するセンサヘッド部の傾きを補正する傾き補正手段と、
前記傾き補正手段で補正された各センサヘッド部のプロファイル形状に対して、測定対象物の段差を示す段差プロファイル形状に基づき、プロファイル形状同士を合成するためのプロファイルマッチング手段と、
を備えることを特徴とする光学式変位計。
【請求項７】
請求項６に記載の光学式変位計であって、
前記傾き補正手段が、
段差を有する測定対象物に対して照射光を照射して、プロファイル形状を前記表示部に表示させた状態で、そのプロファイル形状中で水平基準位置を指定するための水平部位指定手段と、
前記水平部位指定手段で指定された水平基準位置と、現実の水平線とがなす傾斜角を演算するための傾斜角演算手段と、
を含むことを特徴とする光学式変位計。
【請求項８】
請求項６又は７に記載の光学式変位計であって、
前記傾き補正手段が、
高低差が既知である段差を有する測定対象物に対して照射光を照射して、プロファイル形状を前記表示部に表示させた状態で、そのプロファイル形状中で段差を構成する第１の面と第２の面を各々高低差基準位置として指定するための高低差指定手段と、
前記高低差指定手段で指定された高低差基準位置同士の間の高低差を演算するための高低差演算手段と、
を備えることを特徴とする光学式変位計。
【請求項９】
測定対象物の変位を測定する光学式変位計であって、
測定対象物に光を第１の方向に広がりを有する帯状の光として照射、又は第１の方向に走査して照射するための投光部と、
測定対象物からの反射光を受光して、第１の方向の各位置における受光信号として出力するための２次元受光素子と、
を各々備える２以上のセンサヘッド部と、
前記２以上のセンサヘッド部を接続するためのヘッド接続部と、
第１の方向の各点において、前記投光部からの照射光の反射光を増幅した増幅信号に基づき、測定対象物のプロファイル形状を演算可能なプロファイル演算手段と、
前記プロファイル演算手段で演算された測定対象物のプロファイル形状を表示可能な表示部と、
プロファイル形状を前記表示部で表示された状態で、所望の計測領域を指定するための計測領域指定手段と、
前記領域指定手段で指定された計測領域に対して所望の演算を行うことが可能な計測処理部と、
段差を有する測定対象物に対して、いずれのセンサヘッド部も照射光を照射できるよう、各センサヘッド部を配置した状態で、各センサヘッド部で照射光を照射してプロファイル形状を各々前記表示部に表示させた状態で、測定対象物の段差を示す段差プロファイル形状を各々指定するための共通プロファイル指定手段と、
前記共通プロファイル指定手段で抽出された各プロファイル形状の段差部分に基づき、プロファイル形状同士を合成するためのプロファイルマッチング手段と、
を備えるコントローラ部と、
を備えることを特徴とする光学式変位計。
【請求項１０】
請求項６から９のいずれか一に記載の光学式変位計であって、さらに、
いずれかのセンサヘッド部で得られたプロファイル形状を、前記表示部に表示させた状態で指定した量だけ手動で移動及び／又は回転可能なプロファイル移動手段を備えることを特徴とする光学式変位計。
【請求項１１】
測定対象物の変位を測定する光学式変位計であって、
測定対象物に光を第１の方向に広がりを有する帯状の光として照射、又は第１の方向に走査して照射するための投光部と、
測定対象物からの反射光を受光して、第１の方向の各位置における受光信号として出力するための２次元受光素子と、
を各々備える２以上のセンサヘッド部と、
２以上のセンサヘッド部を接続するためのヘッド接続部と、
第１の方向の各点において、前記投光部からの照射光の反射光を増幅した増幅信号に基づき、測定対象物のプロファイル形状を演算可能なプロファイル演算手段と、
前記プロファイル演算手段で演算された測定対象物のプロファイル形状を表示可能な表示部と、
プロファイル形状を前記表示部で表示された状態で、所望の計測領域を指定するための計測領域指定手段と、
前記領域指定手段で指定された計測領域に対して所望の演算を行うことが可能な計測処理部と、
一の測定対象物の異なる部位に対して照射光を照射できるよう、前記センサヘッド部を各々配置した状態で、各センサヘッド部で照射光を照射して前記プロファイル演算手段で各々プロファイル形状を演算し、測定対象物に対するセンサヘッド部の傾きを補正する傾き補正手段と、
いずれかのセンサヘッド部で得られたプロファイル形状を、他のセンサヘッド部で得られたプロファイル形状と対比できる姿勢とするよう、上下及び／又は左右に反転させて前記表示部に表示可能な反転手段と、
前記傾き補正手段で補正された各センサヘッド部のプロファイル形状に対して、共通するプロファイル形状を含む部位を指定するための共通プロファイル指定手段と、
前記共通プロファイル指定手段で指定された共通するプロファイル形状に基づき、プロファイル形状同士を合成するためのプロファイルマッチング手段と、
を備えるコントローラ部と、
を備えることを特徴とする光学式変位計。
【請求項１２】
請求項１１に記載の光学式変位計であって、前記コントローラ部はさらに、
前記プロファイルマッチング手段で合成された共通するプロファイル形状で、差分情報を抽出するための差分抽出手段を備えることを特徴とする光学式変位計。
【請求項１３】
測定対象物の変位を測定する光学式変位計であって、
測定対象物に光を第１の方向に広がりを有する帯状の光として照射、又は第１の方向に走査して照射するための投光部と、
測定対象物からの反射光を受光して、第１の方向の各位置における受光信号として出力するための２次元受光素子と、
を各々備える２以上のセンサヘッド部と、
２以上のセンサヘッド部を接続するためのヘッド接続部と、
第１の方向の各点において、前記投光部からの照射光の反射光を増幅した増幅信号に基づき、測定対象物のプロファイル形状を演算可能なプロファイル演算手段と、
前記プロファイル演算手段で演算された測定対象物のプロファイル形状を表示可能な表示部と、
プロファイル形状を前記表示部で表示された状態で、所望の計測領域を指定するための計測領域指定手段と、
前記領域指定手段で指定された計測領域に対して所望の演算を行うことが可能な計測処理部と、
一の測定対象物の異なる部位に対して照射光を照射できるよう、前記センサヘッド部を各々配置した状態で、各センサヘッド部で照射光を照射して前記プロファイル演算手段で各々プロファイル形状を演算し、共通するプロファイル形状を含む部位を各々指定するための共通プロファイル指定手段と、
いずれかのセンサヘッド部で得られたプロファイル形状を、他のセンサヘッド部で得られたプロファイル形状と対比できる姿勢とするよう、上下及び／又は左右に反転させて前記表示部に表示可能な反転手段と、
前記共通プロファイル指定手段で指定された共通するプロファイル形状を含む部位に基づき、プロファイル形状同士を合成するためのプロファイルマッチング手段と、
を備えるコントローラ部と、
を備えることを特徴とする光学式変位計。
【請求項１４】
測定対象物の変位を測定する光学式変位計であって、
測定対象物に光を第１の方向に広がりを有する帯状の光として照射、又は第１の方向に走査して照射するための投光部と、
測定対象物からの反射光を受光して、第１の方向の各位置における受光信号として出力するための２次元受光素子と、
を各々備える２以上のセンサヘッド部と、
２以上のセンサヘッド部を接続するためのヘッド接続部と、
第１の方向の各点において、前記投光部からの照射光の反射光を増幅した増幅信号に基づき、測定対象物のプロファイル形状を演算可能なプロファイル演算手段と、
前記プロファイル演算手段で演算された測定対象物のプロファイル形状を表示可能な表示部と、
プロファイル形状を前記表示部で表示された状態で、所望の計測領域を指定するための計測領域指定手段と、
前記領域指定手段で指定された計測領域に対して所望の演算を行うことが可能な計測処理部と、
一の測定対象物の異なる部位に対して照射光を照射できるよう、前記センサヘッド部を各々配置した状態で、各センサヘッド部で照射光を照射して前記プロファイル演算手段で各々プロファイル形状を演算し、測定対象物に対するセンサヘッド部の傾きを補正する傾き補正手段と、
いずれかのセンサヘッド部で得られたプロファイル形状を、他のセンサヘッド部で得られたプロファイル形状と組み合わせて計測に適した配置とするよう、上下及び／又は左右に反転させて前記表示部に表示可能な反転手段と、
前記傾き補正手段で補正された各センサヘッド部のプロファイル形状に対して、共通するプロファイル形状を含む部位を指定するための共通プロファイル指定手段と、
前記共通プロファイル指定手段で指定された共通するプロファイル形状に基づき、プロファイル形状同士を合成するためのプロファイルマッチング手段と、
を備えるコントローラ部と、
を備えることを特徴とする光学式変位計。
【請求項１５】
請求項１４に記載の光学式変位計であって、
測定対象物の変位を測定する測定モードとして、２以上のセンサヘッド部の配置レイアウトを、横配置、縦配置、挟み込み配置のいずれかから選択する配置モード選択手段を設け、
前記配置モード選択手段で選択された配置モードに応じて、前記反転手段の反転方向を自動的に選択するよう構成してなることを特徴とする光学式変位計。
【請求項１６】
測定対象物の変位を光切断法に基づき測定可能な光学式変位測定方法であって、
平坦な測定対象物に対して投光部で光を第１の方向に走査して照射、又は第１の方向に広がりを有する帯状の光として照射して、測定対象物からの反射光を２次元受光素子で受光して、第１の方向の各位置における受光信号として出力すると共に、前記２次元受光素子からの受光信号を増幅器で増幅し、増幅信号をさらにデジタル変換手段でデジタル信号に変換し、前記投光部からの照射光の反射光により、第１の方向の各点において前記デジタル変換手段で得られたデジタル信号から、プロファイル演算手段が測定対象物のプロファイル形状を演算し、プロファイル形状を表示部に表示させる工程と、
プロファイル形状を前記表示部に表示させた状態で、そのプロファイル形状中で水平基準位置を指定する工程と、
指定された水平基準位置と、現実の水平線とがなす傾斜角を演算する工程と、
を含むことを特徴とする光学式変位測定方法。
【請求項１７】
測定対象物の変位を光切断法に基づき測定可能な光学式変位測定方法であって、
既知の高低差を有する段差形状を備える測定対象物に対して投光部で光を第１の方向に走査して照射、又は第１の方向に広がりを有する帯状の光として照射して、測定対象物からの反射光を２次元受光素子で受光して、第１の方向の各位置における受光信号として出力すると共に、前記２次元受光素子からの受光信号を増幅器で増幅し、増幅信号をさらにデジタル変換手段でデジタル信号に変換し、前記投光部からの照射光の反射光により、第１の方向の各点において前記デジタル変換手段で得られたデジタル信号から、プロファイル演算手段が測定対象物のプロファイル形状を演算し、プロファイル形状を表示部に表示させる工程と、
表示部に表示させた状態で、そのプロファイル形状中で段差を構成する第１の面と第２の面を各々高低差基準位置として指定する工程と、
指定された高低差基準位置同士の間の高低差を演算する工程と、
を含むことを特徴とする光学式変位測定方法。
【請求項１８】
測定対象物の変位を光切断法に基づき測定可能な光学式変位測定方法であって、
段差を有する測定対象物に対して、複数の投光部から光を各々第１の方向に走査して照射、又は第１の方向に広がりを有する帯状の光として照射して、測定対象物からの反射光を２次元受光素子で受光して、第１の方向の各位置における受光信号として出力すると共に、前記２次元受光素子からの受光信号を増幅器で増幅し、増幅信号をさらにデジタル変換手段でデジタル信号に変換し、前記投光部からの照射光の反射光により、第１の方向の各点において前記デジタル変換手段で得られたデジタル信号から、プロファイル演算手段が測定対象物のプロファイル形状を演算し、プロファイル形状を表示部に表示させる工程と、
表示部に表示させた状態で、測定対象物の段差を示す段差プロファイル形状に対して、測定対象物に対するセンサヘッド部の傾きを補正する工程と、
補正された各センサヘッド部のプロファイル形状に対して、測定対象物の段差を示す段差プロファイル形状に基づき、プロファイル形状同士を合成する工程と、
を含むことを特徴とする光学式変位測定方法。
【請求項１９】
測定対象物の変位を光切断法に基づき測定可能な光学式変位測定方法であって、
段差を有する測定対象物に対して、複数の投光部から光を各々第１の方向に走査して照射、又は第１の方向に広がりを有する帯状の光として照射して、測定対象物からの反射光を２次元受光素子で受光して、第１の方向の各位置における受光信号として出力すると共に、前記２次元受光素子からの受光信号を増幅器で増幅し、増幅信号をさらにデジタル変換手段でデジタル信号に変換し、前記投光部からの照射光の反射光により、第１の方向の各点において前記デジタル変換手段で得られたデジタル信号から、プロファイル演算手段が測定対象物のプロファイル形状を演算し、プロファイル形状を表示部に表示させる工程と、
表示部に表示させた状態で、測定対象物の段差を示す段差プロファイル形状を各々指定する工程と、
指定された各プロファイル形状の段差部分に基づき、プロファイル形状同士を合成する工程と、
を含むことを特徴とする光学式変位測定方法。
【請求項２０】
測定対象物の変位を光切断法に基づき測定可能な光学式変位測定方法であって、
測定対象物に対して、複数の投光部から光を各々第１の方向に走査して照射、又は第１の方向に広がりを有する帯状の光として照射して、測定対象物からの反射光を２次元受光素子で受光して、第１の方向の各位置における受光信号として出力すると共に、前記２次元受光素子からの受光信号を増幅器で増幅し、増幅信号をさらにデジタル変換手段でデジタル信号に変換し、前記投光部からの照射光の反射光により、第１の方向の各点において前記デジタル変換手段で得られたデジタル信号から、プロファイル演算手段が測定対象物のプロファイル形状を演算し、測定対象物に対するセンサヘッド部の傾きを補正する工程と、
いずれかのセンサヘッド部で得られたプロファイル形状を、他のセンサヘッド部で得られたプロファイル形状と対比できる姿勢とするよう、上下及び／又は左右に反転させて前記表示部に表示する工程と、
補正された各センサヘッド部のプロファイル形状に対して、共通するプロファイル形状を含む部位を指定する工程と、
指定された共通するプロファイル形状に基づき、プロファイル形状同士を合成する工程と、
を含むことを特徴とする光学式変位測定方法。
【請求項２１】
測定対象物の変位を光切断法に基づき測定可能な光学式変位測定プログラムであって、
測定対象物に投光部で光を第１の方向に走査して照射、又は第１の方向に広がりを有する帯状の光として照射する機能と、
測定対象物からの反射光を２次元受光素子で受光し、第１の方向の各位置における受光信号として出力する機能と、
前記２次元受光素子からの受光信号を増幅器で増幅し、デジタル信号に変換する機能と、
変換されたデジタル信号に基づき生成された受光画像を表示部に表示する機能と、
平坦な測定対象物に対して照射光を照射し、第１の方向の各点において前記デジタル変換手段で得られたデジタル信号から、プロファイル演算手段が測定対象物のプロファイル形状を演算し、プロファイル形状を表示部に表示させる工程と、
プロファイル形状を前記表示部に表示させた状態で、そのプロファイル形状中で水平基準位置を指定する機能と、
指定された水平基準位置と、現実の水平線とがなす傾斜角を演算する機能と、
をコンピュータに実現させることを特徴とする光学式変位測定プログラム。
【請求項２２】
測定対象物の変位を光切断法に基づき測定可能な光学式変位測定プログラムであって、
既知の高低差を有する段差形状を備える測定対象物に対して投光部で光を第１の方向に走査して照射、又は第１の方向に広がりを有する帯状の光として照射して、測定対象物からの反射光を２次元受光素子で受光して、第１の方向の各位置における受光信号として出力すると共に、前記２次元受光素子からの受光信号を増幅器で増幅し、増幅信号をさらにデジタル変換手段でデジタル信号に変換し、前記投光部からの照射光の反射光により、第１の方向の各点において前記デジタル変換手段で得られたデジタル信号から、プロファイル演算手段が測定対象物のプロファイル形状を演算し、プロファイル形状を表示部に表示させる機能と、
表示部に表示させた状態で、そのプロファイル形状中で段差を構成する第１の面と第２の面を各々高低差基準位置として指定する機能と、
指定された高低差基準位置同士の間の高低差を演算する機能と、
をコンピュータに実現させることを特徴とする光学式変位測定プログラム。
【請求項２３】
測定対象物の変位を光切断法に基づき測定可能な光学式変位測定プログラムであって、
段差を有する測定対象物に対して、複数の投光部から光を各々第１の方向に走査して照射、又は第１の方向に広がりを有する帯状の光として照射して、測定対象物からの反射光を２次元受光素子で受光して、第１の方向の各位置における受光信号として出力すると共に、前記２次元受光素子からの受光信号を増幅器で増幅し、増幅信号をさらにデジタル変換手段でデジタル信号に変換し、前記投光部からの照射光の反射光により、第１の方向の各点において前記デジタル変換手段で得られたデジタル信号から、プロファイル演算手段が測定対象物のプロファイル形状を演算し、プロファイル形状を表示部に表示させる機能と、
表示部に表示させた状態で、測定対象物の段差を示す段差プロファイル形状に対して、測定対象物に対するセンサヘッド部の傾きを補正する機能と、
補正された各センサヘッド部のプロファイル形状に対して、測定対象物の段差を示す段差プロファイル形状に基づき、プロファイル形状同士を合成する機能と、
をコンピュータに実現させることを特徴とする光学式変位測定プログラム。
【請求項２４】
測定対象物の変位を光切断法に基づき測定可能な光学式変位測定プログラムであって、
段差を有する測定対象物に対して、複数の投光部から光を各々第１の方向に走査して照射、又は第１の方向に広がりを有する帯状の光として照射して、測定対象物からの反射光を２次元受光素子で受光して、第１の方向の各位置における受光信号として出力すると共に、前記２次元受光素子からの受光信号を増幅器で増幅し、増幅信号をさらにデジタル変換手段でデジタル信号に変換し、前記投光部からの照射光の反射光により、第１の方向の各点において前記デジタル変換手段で得られたデジタル信号から、プロファイル演算手段が測定対象物のプロファイル形状を演算し、プロファイル形状を表示部に表示させる機能と、
表示部に表示させた状態で、測定対象物の段差を示す段差プロファイル形状を各々指定する機能と、
指定された各プロファイル形状の段差部分に基づき、プロファイル形状同士を合成する機能と、
をコンピュータに実現させることを特徴とする光学式変位測定プログラム。
【請求項２５】
測定対象物の変位を光切断法に基づき測定可能な光学式変位測定プログラムであって、
測定対象物に対して、複数の投光部から光を各々第１の方向に走査して照射、又は第１の方向に広がりを有する帯状の光として照射して、測定対象物からの反射光を２次元受光素子で受光して、第１の方向の各位置における受光信号として出力すると共に、前記２次元受光素子からの受光信号を増幅器で増幅し、増幅信号をさらにデジタル変換手段でデジタル信号に変換し、前記投光部からの照射光の反射光により、第１の方向の各点において前記デジタル変換手段で得られたデジタル信号から、プロファイル演算手段が測定対象物のプロファイル形状を演算し、測定対象物に対するセンサヘッド部の傾きを補正する機能と、
いずれかのセンサヘッド部で得られたプロファイル形状を、他のセンサヘッド部で得られたプロファイル形状と対比できる姿勢とするよう、上下及び／又は左右に反転させて前記表示部に表示する機能と、
補正された各センサヘッド部のプロファイル形状に対して、共通するプロファイル形状を含む部位を指定する機能と、
指定された共通するプロファイル形状に基づき、プロファイル形状同士を合成する機能と、
をコンピュータに実現させることを特徴とする光学式変位測定プログラム。
【請求項２６】
請求項２１から２５のいずれか一に記載されるプログラムを格納したコンピュータで読み取り可能な記録媒体又は記録した機器。