【手続補正書】
【提出日】平成21年7月2日(2009.7.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺状のワークをその長手方向に走行させつつ、前記ワークの被処理面をプラズマにより処理するプラズマ装置であって、
前記ワークの前記被処理面を処理する第１の処理部と、
前記第１の処理部から排出された前記ワークを供給し、前記第１の処理部により処理された前記ワークの前記被処理面をさらに処理する第２の処理部と、
前記第１の処理部から排出される前記ワークの排出速度と、前記第１の処理部から排出された前記ワークを前記第２の処理部へ供給する供給速度との速度差を緩和する緩和手段とを有し、
前記第１の処理部および前記第２の処理部は、それぞれ、前記ワークを導入するワーク導入口および前記ワークを排出するワーク排出口を有するチャンバと、
前記チャンバ内に収容され、前記ワークの前記被処理面を外周側に配置させて前記ワークを巻き付けるドラムと、
前記ドラムの外周面と対向して設けられた電極と、
前記電極と前記ドラムとの間に電圧を印加する電源と、
前記電極と前記ドラムとの間にガスを供給するガス供給手段とを備え、
前記電極と前記ドラムとの間に前記処理ガスを供給しつつ、前記電極と前記ドラムとの間に電圧を印加することにより、前記処理ガスを活性化してプラズマを生成させ、該プラズマにより前記ドラムに巻き付けられた前記ワークの前記被処理面が処理されるよう構成されており、
前記第１の処理部および前記第２の処理部は、前記第１の処理部の前記ドラムの回転軸と前記第２の処理部の前記ドラムの回転軸とが平行となり、かつ、前記第１の処理部の前記ドラムと前記第２の処理部の前記ドラムとが、各前記ドラムの回転軸に直角な方向に沿って並設し、さらに、前記第１の処理部の前記チャンバの前記ワーク排出口と、前記第２の処理部の前記チャンバの前記ワーク導入口とが対向するように設けられており、
前記緩和手段は、回転可能に支持された複数の第１の回転部材と、
前記第１の回転部材に対して移動可能に設けられている回転可能な複数の第２の回転部材と、
各前記第２の回転部材を、前記第１の回転部材から離間する方向に付勢する付勢手段とを有し、
前記第１の処理部から排出された前記ワークが、前記第１の回転部材と前記第２の回転部材とを交互に経由し、前記第２の処理部に供給されるように構成されており、前記複数の第２の回転部材が、それぞれ、前記緩和手段にストックされた前記ワークの全長に応じて前記第１の回転部材との離間距離が変化するように移動することにより、前記緩和手段での前記ワークの走行距離を変化させ、前記第１の処理部から排出される前記ワークの排出速度と、前記第１の処理部から排出された前記ワークを前記第２の処理部へ供給する供給速度との速度差を緩和することを特徴とするプラズマ装置。
【請求項２】
前記ワークは、第１の処理部の前記ドラムおよび前記第２の処理部の前記ドラムに、螺旋状に巻きつけられている請求項１に記載のプラズマ装置。
【請求項３】
前記第１の処理部は、前記第２の処理部の近傍に設けられている請求項２に記載のプラズマ装置。
【請求項４】
前記第１の処理部の前記ドラムの回転軸方向での前記ワークの移動方向は、前記第２の処理部にかかる前記ドラムの回転軸方向での前記ワークの移動方向と反対方向である請求項１ないし３のいずれかに記載のプラズマ装置。
【請求項５】
前記電極は、前記ドラムの周方向に沿って設けられている請求項１ないし４のいずれかに記載のプラズマ装置。
【請求項６】
前記第１の処理部の前記チャンバおよび前記第２の処理部の前記チャンバは、それぞれ、一端側に設けられたガス導入口と、他端側に設けられたガス排出口とを備えている請求項１ないし５のいずれかに記載のプラズマ装置。
【請求項７】
前記第１の処理部の前記チャンバと前記第２の処理部の前記チャンバとには、同種の前記ガスが供給される請求項６に記載のプラズマ装置。
【請求項８】
前記第１の処理部の前記チャンバと前記第２の処理部の前記チャンバとには、異種の前記ガスが供給される請求項６に記載のプラズマ装置。
【請求項９】
前記ワークを前記第１の処理部のチャンバへ送り出すワーク送出手段と、
前記ワーク送出手段から送り出され、前記第２の処理部の前記ドラムに巻き付けられた前記ワークを巻取るワーク巻取手段とを備える請求項１ないし８のいずれかに記載のプラズマ装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明のプラズマ装置は、長尺状のワークをその長手方向に走行させつつ、前記ワークの被処理面をプラズマにより処理するプラズマ装置であって、
前記ワークの前記被処理面を処理する第１の処理部と、
前記第１の処理部から排出された前記ワークを供給し、前記第１の処理部により処理された前記ワークの前記被処理面をさらに処理する第２の処理部と、
前記第１の処理部から排出される前記ワークの排出速度と、前記第１の処理部から排出された前記ワークを前記第２の処理部へ供給する供給速度との速度差を緩和する緩和手段とを有し、
前記第１の処理部および前記第２の処理部は、それぞれ、前記ワークを導入するワーク導入口および前記ワークを排出するワーク排出口を有するチャンバと、
前記チャンバ内に収容され、前記ワークの前記被処理面を外周側に配置させて前記ワークを巻き付けるドラムと、
前記ドラムの外周面と対向して設けられた電極と、
前記電極と前記ドラムとの間に電圧を印加する電源と、
前記電極と前記ドラムとの間にガスを供給するガス供給手段とを備え、
前記電極と前記ドラムとの間に前記処理ガスを供給しつつ、前記電極と前記ドラムとの間に電圧を印加することにより、前記処理ガスを活性化してプラズマを生成させ、該プラズマにより前記ドラムに巻き付けられた前記ワークの前記被処理面が処理されるよう構成されており、
前記第１の処理部および前記第２の処理部は、前記第１の処理部の前記ドラムの回転軸と前記第２の処理部の前記ドラムの回転軸とが平行となり、かつ、前記第１の処理部の前記ドラムと前記第２の処理部の前記ドラムとが、各前記ドラムの回転軸に直角な方向に沿って並設し、さらに、前記第１の処理部の前記チャンバの前記ワーク排出口と、前記第２の処理部の前記チャンバの前記ワーク導入口とが対向するように設けられており、
前記緩和手段は、回転可能に支持された複数の第１の回転部材と、
前記第１の回転部材に対して移動可能に設けられている回転可能な複数の第２の回転部材と、
各前記第２の回転部材を、前記第１の回転部材から離間する方向に付勢する付勢手段とを有し、
前記第１の処理部から排出された前記ワークが、前記第１の回転部材と前記第２の回転部材とを交互に経由し、前記第２の処理部に供給されるように構成されており、前記複数の第２の回転部材が、それぞれ、前記緩和手段にストックされた前記ワークの全長に応じて前記第１の回転部材との離間距離が変化するように移動することにより、前記緩和手段での前記ワークの走行距離を変化させ、前記第１の処理部から排出される前記ワークの排出速度と、前記第１の処理部から排出された前記ワークを前記第２の処理部へ供給する供給速度との速度差を緩和することを特徴とする。
これにより、複数のプラズマ処理を連続的にかつ、円滑に行うことができるプラズマ装置を提供することができる。さらに、プラズマ装置の小型化、省コスト化を図ることができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明のプラズマ装置では、前記第１の処理部は、前記第２の処理部の近傍に設けられていることが好ましい。
これにより、プラズマ装置の小型化を図ることができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明のプラズマ装置では、前記第１の処理部の前記チャンバおよび前記第２の処理部の前記チャンバは、それぞれ、一端側に設けられたガス導入口と、他端側に設けられたガス排出口とを備えていることが好ましい。
これにより、ガスを効率的に電極とドラム間に供給することができ、ガス消費量を低減することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明のプラズマ装置では、前記第１の処理部の前記チャンバと前記第２の処理部の前記チャンバとには、同種の前記ガスが供給されることが好ましい。
これにより、プラズマ装置の小型化を図ることができる。
本発明のプラズマ装置では、前記第１の処理部の前記チャンバと前記第２の処理部の前記チャンバとには、異種の前記ガスが供給されることが好ましい。
これにより、異なるプラズマ処理を連続的に、かつ、円滑に行うことができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９４】
ストッカ９Ａは、図４に示すように、回転可能に支持された複数の回転部材（第１の回転部材）９１Ａと、ワーク８に張力を生じさせるための複数の回転部材（第２の回転部材）９２Ａとを有している。そして、第１の処理部２から排出されたワーク８が、回転部材９１Ａの上面と回転部材９２Ａの下面とを交互に経由し、第２の処理部３に供給されるように設けられている。
このうち、回転部材９２Ａは、ストッカ９Ａにストックされたワーク８の量（全長）に応じて、図４中の矢印方向へ移動するように構成されている。また、回転部材９２Ａは、図示しない付勢手段により、下方へ付勢されて（引っ張られて）いる。