【手続補正書】
【提出日】平成21年4月22日(2009.4.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に略等間隔で複数の並行孔または中空パイプが配列され、熱処理対象物を熱処理するプレートと、
隣接する前記並行孔または前記中空パイプの端部がＵ字状またはＵ字管で結合されて蛇行状管路を形成する結合手段と、
前記プレートの外部下方に設置され、前記蛇行状管路の一端となる入り口が上部に、当該蛇行状管路の他端となる出口が下部にそれぞれ接続され、前記蛇行状管路との間で単一の連通回路を形成する蒸発容器と、
この蒸発容器内に密封充填された所定量の作動液を加熱する加熱手段と
を備えたことを特徴とする均熱処理装置。
【請求項２】
隣接する前記並行孔または前記中空パイプの端部の接合部分となる前記Ｕ字状部または前記Ｕ字管をプレート内部に収納したことを特徴とする請求項１に記載の均熱処理装置。
【請求項３】
内部に略等間隔で複数の並行孔または中空パイプが配置され、熱処理対象物を熱処理するプレートと、
隣接する２つの前記並行孔または前記中空パイプを組とし、各組の並行孔または前記中空パイプの一端部がＵ字状またはＵ字管で結合されてＵ字状管路を形成する結合手段と、
前記プレートの外部下方に設置され、前記各組のＵ字状管路の一端となる入り口がそれぞれ上部に、前記各組のＵ字状管路の他端となる出口がそれぞれ下部に接続され、各組のＵ字状管路との間で連通回路を形成する蒸発容器と、
この蒸発容器内に密封充填された所定量の作動液を加熱する加熱手段と
を備えたことを特徴とする均熱処理装置。
【請求項４】
前記各組となる２つの並行孔または前記各中空パイプの一端部を接合したＵ字状部またはＵ字管をプレート内部に収納したことを特徴とする請求項３に記載の均熱処理装置。
【請求項５】
前記プレートの略投影面積内に入るように当該プレートの下部に前記蒸発容器が配置され、前記蛇行状管路または各組のＵ字状管路の一端となる入り口が前記蒸発容器の上部に、当該蛇行状管路または各組のＵ字状管路の他端となる出口が前記蒸発容器の下部にそれぞれ接続されたことを特徴とする請求項１ないし４の何れか一項に記載の均熱処理装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
従来、このような熱処理装置としては、幾つかの構成のものが提案されている。 
その１つの熱処理装置としては、図６に示すような熱処理プレートを用いた例である。なお、図６（ａ）は熱処理プレートの平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）に示すＡ−Ａ矢視断面図である。この熱処理プレートは、長方形状のベースプレート５１上に面状ヒータ５２、熱処理プレート５３の順序で積層したメイン部５４と、このメイン部５４の上面に着脱可能に設定された分割プレート５５Ａ，５５Ｂからなるサブプレート５５とが設けられ、各分割プレート５５Ａ，５５Ｂ上にはスペーサの役割を果す複数のプロキシミティ・ボール５６，…が配列されている。複数のプロキシミティ・ボール５６，…上には熱処理対象物となる基板等５７が載置されている（特許文献１）。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
また、別の熱処理プレートとしては、図８に示すような構成のものがある。 
この熱処理プレートは、図８（ａ）に示す周辺面状ヒータ６１と図８（ｂ）に示す全域面状ヒータ６２とを同図（ｃ）に示すように積層すると共に、この積層体の下側に断熱材６３を介して支持板６４と加熱板６５とによって挟み込んだ構成である。つまり、この熱処理プレートは、少なくとも２つの面状ヒータを積層した構成である。同図において、６６，６７は合成マイカ粉を加圧成形した面状体、６８，６９は蛇行形箔ヒータ、７０，７１はリード引出し部である（特許文献２）。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
（１）  上記課題を解決するために、本発明は、内部に略等間隔で複数の並行孔または中空パイプが配列され、熱処理対象物を熱処理するプレートと、隣接する前記並行孔または前記中空パイプの端部がＵ字状またはＵ字管で結合されて蛇行状管路を形成する結合手段と、前記プレートの外部下方に設置され、前記蛇行状管路の一端となる入り口が上部に、当該蛇行状管路の他端となる出口が下部にそれぞれ接続され、前記蛇行状管路との間で単一の連通回路を形成する蒸発容器と、この蒸発容器内に密封充填された所定量の作動液を加熱する加熱手段とを備えた均熱処理装置である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
なお、この（１）項に記載する構成は、前記各並行孔または前記各中空パイプの隣接する端部の接合部分となるＵ字状部またはＵ字管をプレート内部に収納する構成であってもよい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
（２）  内部に略等間隔で複数の並行孔または中空パイプが配置され、熱処理対象物を熱処理するプレートと、隣接する２つの前記並行孔または前記中空パイプを組とし、各組の並行孔または前記中空パイプの一端部がＵ字状またはＵ字管で結合されてＵ字状管路を形成する結合手段と、前記プレートの外部下方に設置され、前記各組のＵ字状管路の一端となる入り口がそれぞれ上部に、前記各組のＵ字状管路の他端となる出口がそれぞれ下部に接続され、各組のＵ字状管路との間で連通回路を形成する蒸発容器と、この蒸発容器内に密封充填された所定量の作動液を加熱する加熱手段とを備えた均熱処理装置である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
（３）  なお、前述した構成において、前記プレートの略投影面積内に入るように当該プレートの下部に前記蒸発容器を配置し、前記蛇行状管路または各組のＵ字状管路の一端となる入り口が前記蒸発容器の上部に、当該蛇行状管路または各組のＵ字状管路の他端となる出口が前記蒸発容器の下部にそれぞれ接続される構成であってもよい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
これら中空パイプ３、…及びＵ字管４ａ，４ｂからなる蛇行状管路の一端部には入り口管５が接続され、当該蛇行状管路の他端部には出口管６が接続される。そして、蛇行状管路の入り口管５及び出口管６はプレート２の外部に配置される蒸発容器７と接続される。すなわち、蛇行状管路の一端部から導出される入り口管５は、下部方向に折り曲げられて蒸発容器７の一端部側の真上に接続され、また蛇行状管路の他端部から導出される出口管６は、同じく下部方向に折り曲げられて蒸発容器７の蛇行状管路と向き合う面の下部側に接続され、蛇行状管路との間で単一の連通回路を形成している。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
蒸発容器７は両端が気密に封止され、蒸発容器７内部には、長手方向に沿って加熱手段としてのヒータ８が内装され、真空排気後に所定量の作動液９が充填されている。この実施の形態では、ヒータ８は作動液９の内部に浸漬された状態となっている。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
このとき、プレート２の上部にはギャップを確保するためのスペーサを介して熱処理対象物である基板１が載置されている。ここでは、ギャップを確保するためのスペーサは省略している。なお、図中において、プレート２と基板１の間の矢印はプレート２から基板１への熱流を表している。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
従って、以上のような実施の形態によれば、プレート２の内部の中空パイプ３，…で形成される蛇行状管路と蒸発容器７とを接続することによって単一の連通回路を形成し、かつ、蛇行状管路内を移動する蒸気１０が、プレート２の全面に一様にゆきわたるようになり、蒸気１０が蛇行状管路内で凝縮することによりプレート２全面を均一に加熱するように作用するので、プレート２上の基板１を均熱に加熱することができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
また、この均熱処理装置によれば、作動液９から蒸発された蒸気１０の流れと凝縮液１１の流れとが同一方向を向いているので、プレート２内の蛇行状管路が水平な状態にあっても、凝縮液１１の蒸発容器７への還流がスムーズに行われる。その結果、蒸気１０と凝縮液１１とが対向して流れる単管状のヒートパイプのように、蒸気流により液戻りが阻害されるといった現象がなくなり、中空パイプ３を傾斜させる必要がなくなる。これにより、中空パイプ３が収納されるプレート２の肉厚を傾斜相当分だけ厚くする必要がなくなり、薄形化を実現できる。よって、プレート２の薄形化に伴い、プレート２自体の良好な熱伝導性に加え、熱応答の良い均熱処理装置を実現できる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
このような構成は、従来周知の例えば鋳込み方法或いは摩擦攪拌接合方法などによって、プレート２の中に中空パイプ３及びＵ字管４ａ，４ｂからなる蛇行状管路を埋め込むことが可能である。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
上記実施の形態３においては、隣接する各組の中空パイプ３ａ−３ａ、３ｂ−３ｂ，…をプレート２内部に埋め込むと共に、各組の中空パイプ３ａ−３ａ、３ｂ−３ｂ，…の一方端部をそれぞれプレート２の外側に露出させ、この露出部分にＵ字管４ａで接続することにより、Ｕ字状管路を形成したものである。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
この構成においても、複数の中空パイプ３とＵ字管４ａ，４ｂとからなる蛇行状管路の両端部又は隣接する組となる２本の中空パイプ３ａ−３ａ，３ｂ−３ｂ，…とＵ字管４ａとからなるＵ字状管路の両端部を折り曲げ、プレート２の例えば図示左側端部近傍の下部面から露出するように取り出す。そして、蛇行状管路またはＵ字状管路の一端部を直接または入り口管５を介して蒸発容器７の真上に接続し、また蛇行状管路またはＵ字状管路の一端部に出口管６を介して蒸発容器７の下部に接続する。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
上記各実施の形態では、プレート２の内部に８本の中空パイプ３（３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄを含む）を収めたが、これらのパイプ本数は偶数本数であればよく、８本に限定するものではない。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
また、実施の形態１及び３では、プレート２の内部に中空パイプ３（３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄを含む）を埋め込むような構成としたが、例えばプレート２の内部に中空パイプ３に相当する中空部を形成すると共に、中空部の端部に接続中継金具を埋め込み、各接続中継金具にＵ字管４ａ，４ｂ、入り口管５及び出口管６等を接続してもよい。