【手続補正書】
【提出日】平成21年3月19日(2009.3.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
液体を噴射するノズル開口に連通すると共に複数の隔壁で区画された圧力発生室を有する液体流路と、該液体流路に連通して前記圧力発生室の共通の液体室となるリザーバの一部を構成する連通部と、が形成される流路形成基板の一方面側に振動板を介して下電極、圧電体層及び上電極を有する圧電素子を形成すると共に前記連通部となる領域の前記振動板を除去して貫通部を形成する工程と、
前記圧電素子から引き出されるリード電極を形成すると共に前記リード電極と同一の層からなるが当該リード電極とは不連続の配線層で前記貫通部を封止する工程と、
前記連通部と連通してリザーバの一部を構成するリザーバ部が形成されたリザーバ形成基板を前記流路形成基板の前記一方面側に接合する工程と、
前記流路形成基板を他方面側から前記振動板及び前記配線層が露出するまでウェットエッチングして複数の隔壁により区画された前記液体流路と、前記連通部と、を前記隔壁の前記リザーバ部側の端部であって当該隔壁が前記振動板と接している面の端部と前記リザーバ部との間の距離が５〜２００μｍとなるように形成する工程と、
前記流路形成基板に形成された前記液体流路及び前記連通部の内面に耐液体性を有する材料からなる保護膜を形成すると共に該保護膜上に当該保護膜とはエッチングの選択性を有する材料からなる剥離層を形成する工程と、
前記剥離層をウェットエッチングによって除去すると同時に前記配線層上の前記保護膜を選択的に除去する工程と、
前記連通部側からウェットエッチングすることにより前記配線層を除去して前記リザーバ部と前記連通部とを連通させて前記リザーバを形成する工程と、を具備することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１０】
液体を噴射するノズル開口に連通する複数の圧力発生室と、該圧力発生室に連通して当該圧力発生室の幅方向の断面積より小さい断面積を有する液体供給路と、この液体供給路に連通すると共に前記液体供給路の幅方向の断面積より大きい断面積を有する連通路とからなる液体流路とが、複数の隔壁により区画されていると共に、前記連通部に連通して複数の圧力発生室の共通の液体室となるリザーバの一部を構成する連通部が形成され、且つ前記液体流路及び前記連通部の内面に耐液体性を有する保護膜が形成された流路形成基板と、
前記流路形成基板の一方面に振動板を介して設けられた下電極、圧電体層及び上電極を有する圧電素子と、
前記流路形成基板の一方面側に接合されて前記連通部と連通して前記リザーバの一部を構成するリザーバ部が設けられたリザーバ形成基板と、を具備し、
前記隔壁の前記リザーバ部側の端部であって当該隔壁が前記振動板と接している面の端部と前記リザーバ部との間の距離が５〜２００μｍであることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
上記課題を解決する本発明の第１の態様は、液体を噴射するノズル開口に連通すると共に複数の隔壁で区画された圧力発生室を有する液体流路と、該液体流路に連通して前記圧力発生室の共通の液体室となるリザーバの一部を構成する連通部と、が形成される流路形成基板の一方面側に振動板を介して下電極、圧電体層及び上電極を有する圧電素子を形成すると共に前記連通部となる領域の前記振動板を除去して貫通部を形成する工程と、前記圧電素子から引き出されるリード電極を形成すると共に前記リード電極と同一の層からなるが当該リード電極とは不連続の配線層で前記貫通部を封止する工程と、前記連通部と連通してリザーバの一部を構成するリザーバ部が形成されたリザーバ形成基板を前記流路形成基板の前記一方面側に接合する工程と、前記流路形成基板を他方面側から前記振動板及び前記配線層が露出するまでウェットエッチングして複数の隔壁により区画された前記液体流路と、前記連通部と、を前記隔壁の前記リザーバ部側の端部であって当該隔壁が前記振動板と接している面の端部と前記リザーバ部との間の距離が５〜２００μｍとなるように形成する工程と、前記流路形成基板に形成された前記液体流路及び前記連通部の内面に耐液体性を有する材料からなる保護膜を形成すると共に該保護膜上に当該保護膜とはエッチングの選択性を有する材料からなる剥離層を形成する工程と、前記剥離層をウェットエッチングによって除去すると同時に前記配線層上の前記保護膜を選択的に除去する工程と、前記連通部側からウェットエッチングすることにより前記配線層を除去して前記リザーバ部と前記連通部とを連通させて前記リザーバを形成する工程と、を具備することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
かかる第１の態様では、隔壁のリザーバ部側の端部であって当該隔壁が振動板と接している面の端部とリザーバ部との間の距離を２００μｍ以下とすることで、隔壁によって振動板を拘束して変形量を減少させ、保護膜を除去する際に保護膜の残渣が発生するのを防止することができる。また、隔壁のリザーバ部側の端部であって当該隔壁が振動板と接している面の端部とリザーバ部との間の距離を５μｍ以上とすることで、流路形成基板とリザーバ形成基板とを接合した際の位置決めの誤差により、隔壁がリザーバ部側に突出するのを防止して、保護膜を除去した際に保護膜の残渣が発生するのを防止することができる。さらに、液体流路と連通部（リザーバ）との間の空間、具体的には、流路形成基板のみで構成され圧力発生室の幅方向に広がる空間を隔壁によって区画して小さくでき、且つ液体流路のリザーバ側の開口をリザーバ形成基板のリザーバ部に近づけることができるため、液体流路からの液体の流出を拡散して、隣り合う液体流路から流出する液体同士の干渉を低減でき、クロストークの発生を防止することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明の第１０の態様は、液体を噴射するノズル開口に連通する複数の圧力発生室と、該圧力発生室に連通して当該圧力発生室の幅方向の断面積より小さい断面積を有する液体供給路と、この液体供給路に連通すると共に前記液体供給路の幅方向の断面積より大きい断面積を有する連通路とからなる液体流路とが、複数の隔壁により区画されていると共に、前記連通部に連通して複数の圧力発生室の共通の液体室となるリザーバの一部を構成する連通部が形成され、且つ前記液体流路及び前記連通部の内面に耐液体性を有する保護膜が形成された流路形成基板と、前記流路形成基板の一方面に振動板を介して設けられた下電極、圧電体層及び上電極を有する圧電素子と、前記流路形成基板の一方面側に接合されて前記連通部と連通して前記リザーバの一部を構成するリザーバ部が設けられたリザーバ形成基板と、を具備し、前記隔壁の前記リザーバ部側の端部であって当該隔壁が前記振動板と接している面の端部と前記リザーバ部との間の距離が５〜２００μｍであることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第１０の態様では、隔壁のリザーバ部側の端部であって当該隔壁が振動板と接している面の端部とリザーバ部との間の距離を２００μｍ以下とすることで、隔壁によって振動板を拘束して変形量を減少させ、保護膜を除去する際に保護膜の残渣が発生するのを防止することができる。また、隔壁のリザーバ部側の端部であって当該隔壁が振動板と接している面の端部とリザーバ部との間の距離を５μｍ以上とすることで、流路形成基板とリザーバ形成基板とを接合した際の位置決めの誤差により、隔壁がリザーバ部側に突出するのを防止して、保護膜を除去した際に保護膜の残渣が発生するのを防止することができる。また、液体供給路と連通部（リザーバ）との間の空間、具体的には、流路形成基板のみで構成され圧力発生室の幅方向に広がる空間を隔壁によって区画して小さくでき、且つ液体流路のリザーバ側の開口をリザーバ形成基板のリザーバ部に近づけることができるため、連通路からの液体の流出を拡散して、隣り合う連通路から流出する液体同士の干渉を低減でき、クロストークの発生を防止することができる。