【手続補正書】
【提出日】平成25年5月31日(2013.5.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ライナと容器の間の間隙空間を画定するオーバーパック容器内に配置された折り畳み式の前記ライナを使用するステップを含む方法であって、
前記ライナを拡張させて、供給材料源から供給材料を前記ライナの内容積に引き込むために、前記間隙空間の部分真空圧を加えるステップを含む、方法。
【請求項２】
前記オーバーパック容器が、前記ライナの前記内容積と流体連通する供給材料ポートと、前記間隙空間と流体連通し、前記間隙空間を減圧及び／又は加圧するように配置構成された少なくとも１つのポートと、を有する、
請求項１に記載の方法。
【請求項３】
製品の製造に前記供給材料を使用するために構成されたプロセスツールに、前記供給材料を供給するステップをさらに含む、
請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記ライナを収縮させ、それにより前記内容積から前記供給材料ポートを通して供給材料を分配するために前記間隙空間を加圧するステップをさらに含む、
請求項２に記載の方法。
【請求項５】
並列に配置構成され、第１の供給材料源と流体連通している複数の第１の供給材料流量制御器と、
前記第１の流量制御器の複数の流量制御器が同時に動作している場合に、前記複数の第１の供給材料流量制御器からの前記第１の供給材料の流れを選択的に組み合わせるように動作状態で配置構成された少なくとも１つの流れ統合要素と、を備える、
供給材料搬送システム。
【請求項６】
前記複数の第１の流量制御器のうち少なくとも２つの流量制御器が、相互に異なる範囲の較正済み流量を有する、
請求項５に記載のシステム。
【請求項７】
第２の供給材料源と流体連通している第２の供給材料流量制御器をさらに備え、
前記少なくとも１つの流れ統合要素が、前記第２の供給材料流量制御器からの前記第２の供給材料の流れを前記第１の供給材料の流れと組み合わせるように動作状態で配置構成される、
請求項５又は６に記載の供給材料搬送システム。
【請求項８】
第３の供給材料源と流体連通している第３の供給材料流量制御器をさらに備え、
前記少なくとも１つの流れ統合要素が、前記第３の供給材料流量制御器からの前記第３の供給材料の流れを、前記第１の供給材料及び前記第２の供給材料のうち少なくとも１つの流れと組み合わせるように動作状態で配置構成される、
請求項７に記載の供給材料搬送システム。
【請求項９】
並列に配置構成され、第２の供給材料源と流体連通している複数の第２の供給材料流量制御器をさらに備え、
前記少なくとも１つの流れ統合要素が、前記第２の供給材料流量制御器からの前記第２の供給材料の流れを前記第１の供給材料の流れと組み合わせるように動作状態で配置構成される、
請求項５又は６に記載の供給材料搬送システム。
【請求項１０】
前記複数の第１の供給材料流量制御器の各第１の供給材料流量制御器が、対応する出力信号を生成するように配置構成された一体の質量又は流量感知要素を備え、
各第１の供給材料流量制御器が、その対応する出力信号に応答して第１の供給材料の流量を制御するように構成される、
請求項５又は６に記載の供給材料搬送システム。
【請求項１１】
前記第１の供給材料源及び前記第２の供給材料源のうち少なくとも１つが、オーバーパック容器内に配置された折り畳み式ライナを備える圧力分配装置を備える、
請求項７に記載の供給材料搬送システム。
【請求項１２】
第１の供給材料源から、複数の並列の第１の供給材料流量制御器を通して第１の供給材料を流すステップと、
総流量の偏差又は誤差を減少させるために、前記複数の第１の流量制御器のうち少なくとも幾つかの流量制御器を選択的に動作させるステップと、
前記第１の流量制御器のうち複数の流量制御器が同時に動作している場合に、前記複数の第１の供給材料流量制御器からの前記第１の供給材料の流れを組み合わせるステップと、を含む、
方法。
【請求項１３】
前記複数の第１の流量制御器のうち少なくとも２つの流量制御器が、相互に異なる範囲の較正済み流量を有する、
請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
第２の供給材料源から第２の供給材料流量制御器を通して第２の供給材料を流すステップと、
前記第２の供給材料流量制御器からの前記第２の供給材料の流れを前記第１の供給材料の流れと組み合わせるステップと、をさらに含む、
請求項１２又は１３に記載の方法。
【請求項１５】
第３の供給材料源から、第３の供給材料流量制御器を通して第３の供給材料を流すステップと、
前記第３の供給材料流量制御器からの前記第３の供給材料の流れを、前記第１の供給材料及び／又は前記第２の供給材料の流れと組み合わせるステップと、をさらに含む、
請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
第２の供給材料源から、複数の並列の第２の供給材料流量制御器を通して第２の供給材料を流すステップであって、前記複数の第２の流量制御器のうち少なくとも２つの流量制御器が異なる範囲の較正済み流量を有するステップと、
前記複数の第２の供給材料流量制御器からの前記第２の供給材料のうち少なくとも１つの流れを前記第１の供給材料の流れと組み合わせるステップと、をさらに含む、
請求項１２又は１３に記載の方法。
【請求項１７】
前記複数の第１の流量制御器のうち１つの流量制御器に、第１の供給材料の総流量の少なくとも約８０％を通過させるステップをさらに含み、
第１の供給材料の前記総流量が前記複数の第１の流量制御器を通過可能である、
請求項１２又は１３に記載の方法。
【請求項１８】
前記複数の第１の供給材料流量制御器の各第１の供給材料流量制御器が質量流量制御器を備える、
請求項１２又は１３に記載の方法。
【請求項１９】
前記第１の供給材料と第２の供給材料を組み合わせた流れを、前記第１の供給材料と第２の供給材料を組み合わせた流れを製品の製造に使用するために構成されたプロセスツールに供給するステップをさらに含む、
請求項１２又は１３に記載の方法。
【請求項２０】
複数の供給材料を封じ込める複数の供給材料圧力分配容器であって、各圧力分配容器が、オーバーパック容器内に配置されて自身とオーバーパック容器の間に間隙空間を画定する折り畳み式ライナを有し、各圧力分配容器がその前記折り畳み式ライナ内に異なる供給材料を封じ込める、複数の供給材料圧力分配容器と、
前記複数の圧力分配容器の各圧力分配容器の前記間隙空間の加圧を制御するように配置構成された少なくとも１つの加圧制御要素と、
前記複数の供給材料圧力分配容器によって分配される供給材料を組み合わせるように配置構成された少なくとも１つの統合要素と、を備え、
各供給材料圧力分配容器が、前記ライナの内容積と流体連通する供給材料ポートを有し、少なくとも１つのポートが、前記間隙空間と流体連通し、前記間隙空間を減圧するように構成された減圧装置と流体連通する、
システム。
【請求項２１】
各圧力分配容器が、その前記ライナ内に実質的にゼロヘッドスペースの状態で供給材料を維持する、
請求項２０に記載のシステム。
【請求項２２】
前記複数の供給材料のうち少なくとも１つの供給材料又はその構成成分の存在及び／又は濃度を感知するように配置構成された化学分析器をさらに備える、
請求項２０又は２１に記載のシステム。
【請求項２３】
(i)複数の供給材料を封じ込める複数の供給材料圧力分配容器であって、各圧力分配容器がオーバーパック容器内に配置され、自身とオーバーパック容器の間に間隙空間を画定する折り畳み式ライナを備え、各圧力分配容器が、その前記折り畳み式ライナ内に異なる供給材料を封じ込める、複数の供給材料圧力分配容器と、
(ii)前記複数の圧力分配容器の各圧力分配容器の前記間隙空間の加圧を制御するように配置構成された少なくとも１つの加圧制御要素と、
(iii)前記複数の供給材料圧力分配容器によって分配される供給材料を組み合わせるように配置構成された少なくとも１つの統合要素と、
を利用する供給材料調合方法であって、
前記複数の圧力分配容器から供給材料を分配するステップと、
前記複数の供給材料のうち少なくとも２つの供給材料で複数の異なる組合せを生成するステップと、
意図された用途にとって有効又は最適である１つ又は複数の供給材料の組合せを決定するために、前記複数の異なる組合せを検査するステップと、を含む、
方法。
【請求項２４】
複数成分の溶液又は混合物の少なくとも１つの成分の濃度を求める方法であって、前記溶液又は混合物の個々の各成分の密度が分かっており、
（Ａ）所与の高さの柱内にある前記溶液又は混合物によって加えられる頭部圧力を測定するか、固定容積の槽内に配置された前記溶液又は混合物の総質量を測定するステップと、
（Ｂ）前記測定ステップの結果から前記溶液又は混合物の少なくとも１つの成分の濃度を計算するステップと、を含む、
方法。
【請求項２５】
オーバーパック容器内に配置されて自身と前記オーバーパック容器の間に間隙空間を画定する折り畳み式ライナを備える供給材料供給システムであって、
前記間隙空間が真空源と流体連通し、前記ライナの内容積が供給材料源と流体連通し、それにより前記間隙空間に部分真空圧を加え、前記ライナを拡張させて、前記供給材料を前記供給材料源から前記ライナの前記内容積に引き込む、
供給材料供給システム。