【手続補正書】
【提出日】平成21年3月27日(2009.3.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項６】
請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のウエハケースの運用方法または請求項４若しくは請求項５に記載のウエハケース搬送方法に使用される保持部品であって、上記保持部品は、上記自動搬送装置が使用する操作部と、上記操作部を一方の面で支持する支持体と、上記支持体の他方の面に形成され且つ上記ウエハケースの側面に形成された被連結部と連結するための連結部と、を有することを特徴とするウエハケース搬送用保持部品。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項７】
上記被連結部は、上記ウエハケースの側面に形成された少なくとも一対の溝によって形成され、上記連結部は、上記溝それぞれと係合する少なくとも一対の係合部によって形成されていることを特徴とする請求項６に記載のウエハケース搬送用保持部品。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項８】
上記一対の溝は、上記側面から逆向きに突出する突出部によって形成され、上記一対の係合部は、上記溝の上記突出部の突出方向とは逆向きに突出した係合突出部として形成されていることを特徴とする請求項７に記載のウエハケース搬送用保持部品。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、本発明の請求項６に記載のウエハケース搬送用保持部品は、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のウエハケースの運用方法または請求項４若しくは請求項５に記載のウエハケース搬送方法に使用される保持部品であって、上記保持部品は、上記自動搬送装置が使用する操作部と、上記操作部を一方の面で支持する支持体と、上記支持体の他方の面に形成され且つ上記ウエハケースの側面に形成された被連結部と連結するための連結部と、を有することを特徴とするものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、本発明の請求項７に記載のウエハケース搬送用保持部品は、請求項６に記載の発明において、上記被連結部は、上記ウエハケースの側面に形成された少なくとも一対の溝によって形成され、上記連結部は、上記溝それぞれと係合する少なくとも一対の係合部によって形成されていることを特徴とするものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、本発明の請求項８に記載のウエハケース搬送用保持部品は、請求項７に記載の発明において、上記一対の溝は、上記側面から逆向きに突出する突出部によって形成され、上記一対の係合部は、上記溝の上記突出部の突出方向とは逆向きに突出した係合突出部として形成されていることを特徴とするものである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明によれば、半導体製造工程において、ウエハケースの運用を簡素化し、運用コストを低減することができるウエハケースの運用方法、ウエハケースの搬送方法及びウエハケース搬送用保持部品を提供することができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
従って、本実施形態では、保持部品２０を準備しておくだけで、ウエハケース１０は、半導体ウエハの工場間の搬送用及び半導体ウエハの処理工程間の搬送用、処理工程内の搬送用として運用することができ、従来のようにＦＯＳＢとＦＯＵＰの二種類のウエハケースを運用する必要がなく、ＦＯＳＢとＦＯＵＰとの間での半導体ウエハの移し替え作業を省略することができ、ウエハケース１０の運用を簡素化することができ、延いては運用コストを低減することができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
保持部品２０の表面に形成された操作部２１は、図１の（ａ）、（ｂ）に示すように、板状の支持体２２の表面から水平に張り出してフランジ状に形成されている。同図の（ｂ）に示すように保持部品２０をウエハケース１０の両側面１１Ａ、１１Ａに取り付けられるとウエハケース１０の両側面１１Ａ、１１Ａから操作部２１、２１が張り出し、ウエハケース１０は両側の操作部２１を介して無人搬送車の搬送アームで支持されるようになっている。この操作部２１には三角形状の切欠部２１Ａが形成され、この切欠部２１Ａを介して無人搬送車（図示せず）の搬送アームで支持する位置を決めるようにしてある。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
また、図２に示すように、支持体２２の切欠部２２Ａの両側面の下端部には、締結部材２６のピン２６Ｂの両端が回転自在に嵌り込む溝２２Ｂ、２２Ｂが形成されている。また。切欠部２２Ａの両側面には締結部材２６のピン用溝２６Ｄに対応するピン２２Ｃ、２２Ｃが取り付けられている。従って、締結部材２６は、ピン２６Ｂを中心に回転して支持体２２の切欠部２２Ａに嵌め込まれるとピン用溝２６Ｄ、２６Ｄが切欠部２２Ａのピン２２Ｃ、２２Ｃと嵌合し固定されるようになっている。また、締結部材２６の突起部２６Ｃの本体２６Ａからの突出高さｈ（図３の（ｃ）参照）は、ピン用溝２６Ｄ、２６Ｄが切欠部２２Ａのピン２２Ｃ、２２Ｃと嵌合した状態で第１の凹陥部１１Ｂの底面に圧接して、第１、第２の係合用突出部２４、２５と第１、第２の突出部突起部１２、１３との間のガタツキをなくし保持部品２０をウエハケース１０の側面１１Ａに確実に結合するようになっている。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
まず、ウエハメーカーがウエハケース１０内に所定枚数の半導体ウエハを収納する。そして、半導体ウエハを収納したウエハケース１０をウエハメーカーからデバイスメーカーへ搬送する。デバイスメーカーでは半導体ウエハを収納したウエハケース１０を工場内に搬入し、図６に示すように工場のクリーンルーム内の所定のストッカー１０１で受け入れる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
デバイスメーカーでは、半導体ウエハにデバイスを形成するため、半導体ウエハを所定の各種のウエハ処理工程へ供給する前に、ウエハケース１０の側面１１Ａの取っ手を取り外した後、図１の（ａ）、（ｂ）に示すようにウエハケース１０の両側面１１Ａ、１１Ａに保持部品２０、２０を取り付ける。それには、同図の（ａ）に示すように、保持部品２０の第１、第２の係合用突出部２４、２５をウエハケース１０の側面１１Ａに当てて第１、第２の突出部１２、１３に合わせ、保持部品２０を背面側から正面側へ摺動させると、第１、第２の係合用突出部２４、２５が第１、第２の突出部１２、１３において溝１２Ａ、１３Ａに差し込まれ、第１、第２の係合用突出部２４、２５が第１、第２の突出部１２、１３とが連結される。この状態では第１、第２の係合用突出部１４、１５と第１、第２の突出部１２、１３との間には若干のガタツキがある。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
そこで、支持体２２の上下に取り付けられた締結部材２６を起こしてピン２６Ｂを中心に回転させて締結部材２６を支持体２２の切欠部２２Ａ内に押し込むと、締結部材２６のピン用溝２６Ｄ、２６Ｄと切欠部２２Ａのピン２２Ｃ、２２Ｃとが嵌合すると共に、突起部２６Ｃがウエハケース１０の第１の凹陥部１１Ｂの底面に圧接し、第１、第２の係合用突出部２４、２５と第１、第２の突出部１２、１３との間のガタツキがなくなり、保持部品２０がウエハケース１０の側面に緊密に固定される。これにより保持部品２０は、ウエハケース１０から外れないようになる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
検査工程では、その工程内で使用される無人搬送車１０６がストッカー１０５と複数の検査装置１０７との間で自動搬送ライン１０３に従って移動してウエハケース１０を搬送する。この場合、ウエハケース１０の開閉蓋を開放した状態（オープンカセット）で搬送する。検査装置に開閉蓋の開閉装置が付設されていれば、開閉蓋を閉じたまま搬送する。図７に示すように、無人搬送車１０６が検査装置１０７の側面で停止すると、無人搬送車１０６の搬送アーム１０６Ａが駆動し、搬送アーム１０６Ａがウエハケース１０に装着された保持部品２０の操作部２１を介してウエハケース１０を荷台から持ち上げる。この際、搬送アーム１０６Ａは操作部２１に形成された切欠部２１Ａを介して搬送アーム１０６Ａとウエハケース１０の位置決めを行う。その後、搬送アーム１０６Ａがウエハケース１０を検査装置１０７のロードポート１０７Ａまで搬送し、ロードポート１０７Ａ上にウエハケース１０を載置する。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
検査装置１０７では、ロードポート１０７Ａでウエハケース１０を受け取ると、ターンテーブル１０７Ｂが回転し、ウエハケース１０の搬出入口をウエハ搬送機構１０７Ｃに向ける。ウエハ搬送機構１０７Ｃは、ウエハケース１０から半導体ウエハを一枚ずつ搬出し、検査室１０７Ｄへ搬送し、所定の検査を行う。ウエハケース１０内の半導体ウエハの検査を行っている間に、無人搬送車１０６は次のウエハケース１０をストッカー１０５から搬送し、もう一つのロードポート１０７Ａ’へウエハケース１０を一点鎖線で示すように搬送し、先のウエハケース１０内の全ての半導体ウエハについて検査を行った後、途切れることなく連続して半導体ウエハの検査を行えるようにしておく。また、無人搬送車１０６は、それぞれの検査が間断なく行えるようにストッカー１０５と各検査装置１０７との間でウエハケース１０の搬送を行う。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
一つの検査装置１０７において、ウエハケース１０内の半導体ウエハについて検査を終了すると、無人搬送車１０６でそのロードポート１０７Ａからウエハケース１０を搬出し、ストッカー１０５の元の場所へ戻す。ストッカー１０５に戻されたウエハケース１０は、無人搬送車１０６で他の検査装置１０７へ搬送される。そして、クリーンルーム内での各種の処理を終了すると、この工場内のストッカー（図示せず）から他の工場等へウエハケース１０を搬送する。この際、ウエハケース１０から保持部品２０を取り外し、元の取っ手をウエハケース１０に取り付ける。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
また、本実施形態によれば、保持部品２０は、無人搬送車１０２、１０６が使用する操作部２１と、操作部２１を表面側で支持する支持体２２と、支持体２２の裏面側に形成され且つウエハケース１０の側面１１Ａに形成された第１、第２の突出部１２、１３と連結するための第１、第２の係合用突出部２４、２５と、を有するため、第１、第２の係合用突出部２４、２５をウエハケース１０の側面１１Ａの第１、第２の突出部１２、１３に結合させるだけで、保持部品２０をウエハケース１０へ簡単に取り付けることができ、ウエハケース１０の運用を簡素化することができる。また、第１、第２の突出部１２、１３と第１、第２の係合用突出部２４、２５とを密着、固定する締結部材２６を支持体２２に設けたため、ウエハケース１０に対して保持部品２０を確実に固定することができ、無人搬送車１０２、１０６によってウエハケース１０を確実に搬送することができる。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
【図１】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明のウエハケースの運用方法で使用される保持部品の一実施形態を示す斜視図で、（ａ）は保持部品をウエハケースに装着する前の状態を示す図、（ｂ）は保持部品を装着し、締結部材で固定する直前の状態を示す図である。
【図２】図１の（ａ）、（ｂ）に示す保持部品の締結部材を拡大して示す斜視図である。
【図３】（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ図２に示す締結部材を示す図で、（ａ）は表面側の平面図、（ｂ）は裏面側の平面図、（ｃ）は下方からの平面図である。
【図４】本発明のウエハケースの運用方法で使用される本発明の保持部品の他の実施形態を示す斜視図である。
【図５】本発明のウエハケースの運用方法で使用されるウエハケースの側面に形成された溝の他の例を示す断面図である。
【図６】本発明のウエハケースの運用方法の一実施形態を概念的に示す平面図である。
【図７】図６に示す処理工程の一部を拡大して示す平面図である。