(57)【要約】      （修正有）【課題】部品共用化を図りながら反射認識および透過認識のいずれにも対応可能で汎用性に優れた吸着ノズルを提供する。【解決手段】電子部品実装装置の搭載ヘッドに交換自在に装着され電子部品を真空吸着により保持する吸着ノズルを、電子部品に当接して吸着する吸着面が設けられた複数種類のノズルチップと、ノズルチップが取り付けられる共通のノズル本体部２０とで構成し、ノズル本体部２０に設けられたフランジ部の下面に反射板２１，赤外透過フィルタ２２を貼着して、透過認識または反射認識のいずれかの認識方法に応じて下方から照射される２種類の照明光を選択的に反射または吸収する選択反射部を形成し、さらに認識方法に応じた光反射特性を有する表面性状の第１のノズルチップ２３Ａ（１）、第２のノズルチップ２３Ａ（２）を、それぞれ対象とする電子部品の認識方法に応じて選択的に用いる。【選択図】図４
2008210926.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品実装装置の搭載ヘッドに設けられたノズル装着部に交換自在に装着され、電子部品を真空吸着により保持する吸着ノズルであって、
下端部に前記電子部品に当接して真空吸着により保持する吸着面が設けられたノズルチップと、
円板形状のフランジ部の上面に前記ノズル装着部に交換自在に装着される嵌合部が設けられ、前記フランジ部の下面に前記ノズルチップの上端部が取り付けられるチップ取付部が設けられたノズル本体部とを備え、
前記フランジ部の下面には、前記吸着面に保持された電子部品を下方から撮像して透過認識または反射認識のいずれかの認識方法によって認識する際に、前記認識方法に応じて下方から選択的に照射される２種類の照明光のうち、透過認識の際に照射される第１の照明光を選択的に反射し、反射認識の際に照射される第２の照明光を選択的に吸収する選択反射面が形成され、
前記ノズルチップの側面は、前記第１の照明光を反射する第１の光反射特性を有する表面性状となっていることを特徴とする吸着ノズル。
【請求項２】
電子部品実装装置の搭載ヘッドに設けられたノズル装着部に交換自在に装着され、電子部品を真空吸着により保持する吸着ノズルであって、
下端部に前記電子部品に当接して真空吸着により保持する吸着面が設けられたノズルチップと、
円板形状のフランジ部の上面に前記ノズル装着部に交換自在に装着される嵌合部が設けられ、前記フランジ部の下面に前記ノズルチップの上端部が取り付けられるチップ取付部が設けられたノズル本体部とを備え、
前記フランジ部の下面には、前記吸着面に保持された電子部品を下方から撮像して透過認識または反射認識のいずれかの認識方法によって認識する際に、前記認識方法に応じて下方から選択的に照射される２種類の照明光のうち、透過認識の際に照射される第１の照明光を選択的に反射し、反射認識の際に照射される第２の照明光を選択的に吸収する選択反射面が形成され、
前記ノズルチップの少なくとも前記吸着面は、前記第２の照明光を吸収する第２の光反射特性を有する表面性状となっていることを特徴とする吸着ノズル。
【請求項３】
電子部品実装装置の搭載ヘッドに設けられたノズル装着部に交換自在に装着され、電子部品を真空吸着により保持する吸着ノズルであって、
下端部に前記電子部品に当接して真空吸着により保持する吸着面が設けられたノズルチップと、
円板形状のフランジ部の上面に前記ノズル装着部に交換自在に装着される嵌合部が設けられ、前記フランジ部の下面に前記ノズルチップの上端部が取り付けられるチップ取付部が設けられたノズル本体部とを備え、
前記フランジ部の下面には、前記吸着面に保持された電子部品を下方から撮像して透過認識または反射認識のいずれかの認識方法によって認識する際に、前記認識方法に応じて下方から選択的に照射される２種類の照明光のうち、透過認識の際に照射される第１の照明光を選択的に反射し、反射認識の際に照射される第２の照明光を選択的に吸収する選択反射面が形成され、
前記ノズルチップとして、側面が前記第１の照明光を反射する第１の光反射特性を有する表面性状となっている第１のノズルチップと、少なくとも前記吸着面が前記第２の照明光を吸収する第２の光反射特性を有する表面性状となっている第２のノズルチップのいずれかが、前記認識方法に応じて前記ノズル本体部に選択的に取り付けられることを特徴とする吸着ノズル。
【請求項４】
前記ノズル本体部の上面に、反射型の光学センサによって検出可能な検出面が設けられていることを特徴とする請求項１乃至３記載の吸着ノズル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品実装装置において電子部品を真空吸着により保持する吸着ノズルに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子部品を基板に実装する電子部品実装装置において電子部品を保持する方法として、真空吸着による方法が広く用いられており、電子部品実装装置の搭載ヘッドには、対象とする電子部品の形状・サイズに応じた各種の吸着ノズルが交換自在に装着される。これらの吸着ノズルは、電子部品の位置ずれ検出のために電子部品を下方から撮像する際に、下方から照射されり照明光を電子部品の背後から反射する反射板と組み合わされた形で、搭載ヘッドに装着される場合が多い（例えば特許文献１、２参照）。
【０００３】
特許文献１に示す例においては、２種類の認識方法、すなわち電子部品の端子やリードなどを反射光による明像として取得して認識する反射認識と、電子部品の外形を背後からの透過光によって暗像として取得して認識する透過認識とに、同一の吸着ノズルを使用することができるよう、照明光を反射する反射板と照明光を選択的に透過するフィルタとを、吸着ノズルと組み合わせて用いるようにしている。
【０００４】
また特許文献２に示す例においては、吸着ノズルの本体部に反射板を組み合わせるとともに、吸着ノズルにおいて電子部品に当接する個片ノズル部分を対象とする電子部品の種類に応じて本体部に交換自在に嵌合させる構成例を示している。そしてこのような構成により、多品種少量生産に対応して多くの種類の吸着ノズルが必要とされる場合にあっても、部品の共通化を極力図ることができ、生産現場における部品管理を合理化して小ロット生産に迅速に対応することが可能となっている。
【特許文献１】特開平０６−０４３１０２号公報
【特許文献２】特開２０００−１５３４８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら上述の特許文献例においては、近年の多品種少量生産の更なる進展に対応して、吸着ノズルの汎用化、部品共用化を促進する上で次のような課題があった。すなわち、特許文献例１，２のいずれにおいても、吸着保持対象の電子部品が反射認識の対象となる部品であってノズル先端部の吸着面よりも小さいサイズの場合には、電子部品を保持した状態において吸着面が部分的に露呈した状態となる。このため下方から照射される照明光はこの露呈部分によって反射された後、カメラに入光してノイズとして作用し、電子部品を正しく認識するための認識処理を妨げる場合がある。このように、従来技術においては、部品共用化を図りながら反射認識および透過認識のいずれにも対応可能で汎用性に優れた吸着ノズルを実現することができなかった。
【０００６】
そこで本発明は、部品共用化を図りながら反射認識および透過認識のいずれにも対応可能で汎用性に優れた吸着ノズルを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の請求項１に記載の吸着ノズルは、電子部品実装装置の搭載ヘッドに設けられたノズル装着部に交換自在に装着され、電子部品を真空吸着により保持する吸着ノズルであって、下端部に前記電子部品に当接して真空吸着により保持する吸着面が設けられたノズルチップと、円板形状のフランジ部の上面に前記ノズル装着部に交換自在に装着される嵌
合部が設けられ、前記フランジ部の下面に前記ノズルチップの上端部が取り付けられるチップ取付部が設けられたノズル本体部とを備え、前記フランジ部の下面には、前記吸着面に保持された電子部品を下方から撮像して透過認識または反射認識のいずれかの認識方法によって認識する際に、前記認識方法に応じて下方から選択的に照射される２種類の照明光のうち、透過認識の際に照射される第１の照明光を選択的に反射し、反射認識の際に照射される第２の照明光を選択的に吸収する選択反射面が形成され、前記ノズルチップの側面は、前記第１の照明光を反射する第１の光反射特性を有する表面性状となっている。
【０００８】
本発明の請求項２に記載の吸着ノズルは、電子部品実装装置の搭載ヘッドに設けられたノズル装着部に交換自在に装着され、電子部品を真空吸着により保持する吸着ノズルであって、下端部に前記電子部品に当接して真空吸着により保持する吸着面が設けられたノズルチップと、円板形状のフランジ部の上面に前記ノズル装着部に交換自在に装着される嵌合部が設けられ、前記フランジ部の下面に前記ノズルチップの上端部が取り付けられるチップ取付部が設けられたノズル本体部とを備え、前記フランジ部の下面には、前記吸着面に保持された電子部品を下方から撮像して透過認識または反射認識のいずれかの認識方法によって認識する際に、前記認識方法に応じて下方から選択的に照射される２種類の照明光のうち、透過認識の際に照射される第１の照明光を選択的に反射し、反射認識の際に照射される第２の照明光を選択的に吸収する選択反射面が形成され、前記ノズルチップの少なくとも前記吸着面は、前記第２の照明光を吸収する第２の光反射特性を有する表面性状となっている。
【０００９】
本発明の請求項２に記載の吸着ノズルは、電子部品実装装置の搭載ヘッドに設けられたノズル装着部に交換自在に装着され、電子部品を真空吸着により保持する吸着ノズルであって、下端部に前記電子部品に当接して真空吸着により保持する吸着面が設けられたノズルチップと、円板形状のフランジ部の上面に前記ノズル装着部に交換自在に装着される嵌合部が設けられ、前記フランジ部の下面に前記ノズルチップの上端部が取り付けられるチップ取付部が設けられたノズル本体部とを備え、前記フランジ部の下面には、前記吸着面に保持された電子部品を下方から撮像して透過認識または反射認識のいずれかの認識方法によって認識する際に、前記認識方法に応じて下方から選択的に照射される２種類の照明光のうち、透過認識の際に照射される第１の照明光を選択的に反射し、反射認識の際に照射される第２の照明光を選択的に吸収する選択反射面が形成され、前記ノズルチップとして、側面が前記第１の照明光を反射する第１の光反射特性を有する表面性状となっている第１のノズルチップと、少なくとも前記吸着面が前記第２の照明光を吸収する第２の光反射特性を有する表面性状となっている第２のノズルチップのいずれかが、前記認識方法に応じて前記ノズル本体部に選択的に取り付けられる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、電子部品を吸着保持する吸着ノズルを、電子部品に当接して吸着する吸着面が設けられたノズルチップと、このノズルチップが取り付けられ搭載ヘッドに交換自在に装着されるノズル本体部とで構成し、ノズル本体部に設けられたフランジ部の下面に透過認識または反射認識のいずれかの認識方法に応じて下方から照射された２種類の照明光を選択的に反射または吸収する選択反射部を形成し、さらにノズルチップの表面性状を認識方法に応じた光反射特性を有するものとすることにより、部品共用化を図りながら反射認識および透過認識のいずれにも対応可能で汎用性に優れた吸着ノズルを実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の平面図、図２は本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の搭載ヘッドの構成を示す図、図３、図４は本発明の一実施の形態の電子部品実装装置に用いられる吸
着ノズルの構成説明図、図５は本発明の一実施の形態の電子部品実装装置に配置された部品認識部の構成説明図、図６，図７は本発明の一実施の形態の電子部品実装装置における部品認識方法の説明図である。
【００１２】
まず図１を参照して電子部品実装装置の構造を説明する。図１において基台１の中央には、Ｘ方向に搬送路２が配設されている。搬送路２は基板３を搬送し、搬送路２に設定された部品実装ステージに基板３を位置決めする。搬送路２の両側方には、部品供給部４が配置されており、それぞれの部品供給部４には複数のテープフィーダ５が並設されている。テープフィーダ５はテープに保持された電子部品を収納し、このテープをピッチ送りすることにより、以下に説明する搭載ヘッドによるピックアップ位置に電子部品を供給する。
【００１３】
基台１上面の両端部上にはＹ軸テーブル６Ａ，６Ｂが配設されており、Ｙ軸テーブル６Ａ、６Ｂ上には２台のＸ軸テーブル７Ａ，７Ｂが架設されている。Ｙ軸テーブル６Ａを駆動することにより、Ｘ軸テーブル７ＡがＹ方向に水平移動し、Ｙ軸テーブル６Ｂを駆動することにより、Ｘ軸テーブル７ＢがＹ方向に水平移動する。Ｘ軸テーブル７Ａ，７Ｂには、それぞれ搭載ヘッド８および搭載ヘッド８と一体的に移動するカメラ９が装着されている。基板３上に移動したカメラ９は、基板３を撮像して認識する。
【００１４】
Ｙ軸テーブル６Ａ，Ｘ軸テーブル７Ａ，Ｙ軸テーブル６Ｂ，Ｘ軸テーブル７Ｂをそれぞれ組み合わせて駆動することにより搭載ヘッド８は水平移動し、それぞれの部品供給部４から電子部品を吸着ノズル１２（図２参照）によって真空吸着によりピックアップし、搬送路２の部品実装ステージに位置決めされた基板３上に実装する。Ｙ軸テーブル６Ａ，Ｘ軸テーブル７Ａ，Ｙ軸テーブル６Ｂ，Ｘ軸テーブル７Ｂおよび搭載ヘッド８は、基板３に電子部品を搭載する部品搭載機構を構成する。
【００１５】
ここで図２を参照して、搭載ヘッド８について説明する。図２に示すように、搭載ヘッド８は多連型ヘッドであり、単位搭載ヘッド８ａを複数備えた構成となっている。これらの単位搭載ヘッド８ａは、それぞれ下端部に吸着ノズル１２が着脱自在に装着されるノズル装着部８ｂを備えている。ノズル装着部８ｂに装着された吸着ノズル１２は、各単位搭載ヘッド８ａに内蔵された昇降機構によって個別に昇降動作が可能となっており、さらに共通に設けられたΘ軸モータ１３によってノズル軸廻りに回転する。
【００１６】
部品供給部４から搬送路２に至る経路には、部品認識部１０、ノズルストッカ１１が配設されている。ノズルストッカ１１は、異なる種類の電子部品に対応した吸着ノズル１２を格子配列で収納保持しており、搭載ヘッド８がノズルストッカ１１にアクセスしてノズル交換動作を行うことにより、対象とする電子部品の種類に応じた吸着ノズル１２を搭載ヘッド８に装着することができる。このノズル交換動作においては、搭載ヘッド８に備えられたノズル検出センサ１４によって吸着ノズル１２の有無を検出する。
【００１７】
部品認識部１０は、各単位搭載ヘッド８ａに保持された状態の電子部品を下方から撮像し、撮像結果を認識処理することにより、吸着ノズル１２に保持された状態の電子部品を認識する。これにより、吸着ノズル１２に保持された電子部品の識別や、吸着ノズル１２に対するＸＹ方向、回転方向の位置ずれを検出する。そして搭載ヘッド８によって電子部品を基板３に実装する際には、この位置ずれの検出結果に基づいて電子部品の位置や姿勢を補正して基板に移送搭載する。
【００１８】
次に図３を参照して、本実施の形態の電子部品実装装置において使用される吸着ノズル１２の構成について説明する。図３に示すように、吸着ノズル１２は、ノズル本体部２０とノズル本体部２０に取り付けられるノズルチップ２３とを主体としている。ノズル本体
部２０は、円板形状のフランジ部２０ｂの上面に嵌合部２０ａを設けた形状となっており、嵌合部２０ａはノズル装着部８ｂに設けられた装着孔に嵌合して交換自在に装着される。フランジ部２０ｂの下面にはノズルチップ２３のを取り付けるための凹状の取付孔２０ｄが設けられており、取付孔２０ｄとには、嵌合部２０ａおよびフランジ部２０ｂを上下に貫通して設けられた吸引孔２０ｃが連通している。
【００１９】
ノズルチップ２３の上端部には、取付孔２０ｄに嵌合する形状の嵌合端部２３ａが設けられており、下端部には対象とする電子部品に当接して真空吸着により保持する吸着面２３ｂが設けられている。吸着面２３ｂには、ノズルチップ２３を上下に貫通して設けられた吸引孔２３ｃが開口している。取付孔２０ｄに嵌合端部２３ａを嵌合させることにより、ノズルチップ２３はノズル本体部２０に取り付けられる。したがって、嵌合端部２３ａが嵌合する凹状の取付孔２０ｄは、フランジ部２０ｂの下面に設けられ、ノズルチップ２３の上端部が取り付けられるチップ取付部となっている。そしてノズル本体部２０にノズルチップ２３を取り付けて吸着ノズル１２を組み立てた状態で、嵌合部２０ａをノズル装着部８ｂに設けられた装着孔に挿入して嵌合させることにより、吸着ノズル１２は単位搭載ヘッド８ａに交換自在に装着される。
【００２０】
すなわち本実施の形態において用いられる吸着ノズル１２は、下端部に電子部品に当接して真空吸着により保持する吸着面２３ｂが設けられたノズルチップ２３と、円板形状のフランジ部２０ｂの上面にノズル装着部８ｂに交換自在に装着される嵌合部２０ａが設けられ、フランジ部２０ｂの下面にノズルチップ２３の上端部が取り付けられるチップ取付部が設けられたノズル本体部２０とを備えた構成となっている。
【００２１】
なおノズルチップ２３をノズル本体部２０に取り付けるチップ取付部の構成としては、嵌合端部２３ａを凹状の取付孔２０ｄに嵌合させる構成以外にも、各種の構成を用いることができる。例えば、凹状の取付孔２０ｄの替わりに凸状の取付凸部を吸着面２０ｂの下面に設けてチップ取付部とし、ノズルチップ２３の上端部に設けた嵌合孔にこの取付凸部を嵌合させる構成でもよく、さらにノズルチップ２３に上端部に設けた外ねじ部を吸着面２０ｂの下面に設けたチップ取付部としての内ねじ部に螺合させる構成でもよい。
【００２２】
嵌合部２０ａの上面には、反射型の光学センサであるノズル検出センサ１４（図２参照）によって検出可能な検出面が設けられている。この検出面を設ける方法としては、ノズル本体部２０の材質が金属であって表面が光を反射する金属光沢面である場合、または材質が白色を呈するセラミックである場合には、素材表面そのものを検出面として用いることができる。またノズル本体部２０に光を散乱または吸収するような被膜が形成されている場合には、部分的に被膜を剥離して素材表面を露呈させるかあるいは白色塗膜などで検出面を形成する。
【００２３】
嵌合部２０ａの下部のフランジ部２０ｂの下面には、反射板２１、赤外透過フィルタ２２が積層して貼着される。反射板２１はステンレスなどの金属を鏡面加工したものが用いられる。赤外透過フィルタ２２は、アクリル樹脂などの赤外透過フィルタであり、赤外光のみを透過し赤色光は吸収する機能を有している。反射板２１と赤外透過フィルタ２２とを積層することにより、部品認識部１０に備えられた２つの光源から照射される照明光を使い分けて、電子部品の外形を背後からの透過光によって暗像として取得して認識する透過認識、または電子部品の端子やリードなどを反射光による明像として取得して認識する反射認識のいずれかの認識方法を選択的に実行することが可能となっている。
【００２４】
ここで本実施の形態に示す吸着ノズル１２において、ノズル本体部２０と組み合わせて用いられるノズルチップ２３の種類について説明する。ノズルチップ２３は、対象とする電子部品の形状・サイズに応じて吸着面２３ｂの幅寸法の異なる複数種類のものが準備さ
れる。ここでは、図３に示すように、大型部品を対象とした吸着幅Ｂ１のノズルチップ２３Ａと、小型部品を対象とした吸着幅Ｂ２のノズルチップ２３Ｂの２種類を準備する例を示しているが、実際例においてはさらに多種類のサイズの異なるノズルチップ２３が必要に応じて準備される。
【００２５】
図４（ａ）に示すように、嵌合端部２３ａを取付孔２０ｄに嵌合させてノズルチップ２３（ここではノズルチップ２３Ａ）をノズル本体部２０に取り付けることにより、吸引孔２０ｃが吸引孔２３ｃと連通した状態となり、吸引孔２０ｃから真空吸引することにより、吸着面２３ｂに電子部品を吸着保持することができる。そして本実施の形態においては、各サイズ別のノズルチップ（ここではノズルチップ２３Ａ、２３Ｂの２種類）について、さらに同一形状で表面性状が異なる２種類のものが準備され、対象となる電子部品の認識方法に応じて使い分けるようになっている。
【００２６】
すなわち、ノズルチップ２３Ａ、２３Ｂのそれぞれについて、吸着面２３ｂおよび側面２３ｄが、照射された光を反射する第１の光反射特性を有する表面性状に加工された第１のノズルチップ２３Ａ（１）、ノズルチップ２３Ｂ（１）、および吸着面２３ｂおよび側面２３ｄが、照射された光を吸収する第２の光反射特性を有する表面性状に加工された第２のノズルチップ２３Ａ（２）、２３Ｂ（２）が準備される。第１の光反射特性を有する表面性状の具体例としては、金属光沢面、白色セラミックの素材表面、金属メッキなど銀白色を呈する表面処理被膜、塗料による白色塗膜などを用いることができる。また第２の光反射特性を有する表面性状の具体例としては、暗色（望ましくは黒色）の被膜を形成可能な方法であればよく、例えば黒色を呈する表面処理被膜や塗料による黒色塗膜などを用いることができる。
【００２７】
そして図４（ｂ）に示すように第１のノズルチップ２３Ａ（１）、２３Ｂ（１）、をノズル本体部２０に取り付けると、吸着ノズル１２を透過認識用に用いることができる。なお、透過認識においては吸着面２３ｂは保持した電子部品によって覆われた状態となることから、第１の光反射特性を有する表面性状が求められるのは側面２３ｄであるが、表面処理加工上の便宜により吸着面２３ｂを含めて同一表面性状とするのが望ましい。また図４（ｃ）に示すように第２のノズルチップ２３Ａ（２）、２３Ｂ（２）をノズル本体部２０に取り付けると、吸着ノズル１２を反射認識用に用いることができる。この反射認識においては、後述するように吸着面２３ｂを第２の光反射特性を有する表面性状とすることが必須であり、同様に吸着面２３ｂを含めて同一表面性状とするのが望ましい。
【００２８】
次に図５を参照して、部品認識部１０の構成について説明する。部品認識部１０はカメラ２５の斜め上方に、２種類の光源部、すなわち第１の照明光としての赤外光を照射する赤外光源部２６および第２の照明光としての赤色光を照射する赤色光源部２７を配置した構成となっている。赤外光は電子部品を透過認識によって認識する場合に照射され、また赤色光は電子部品を反射認識によって認識する場合に照射される。
【００２９】
すなわち、部品認識部１０の上方に認識対象の電子部品を保持した吸着ノズル１２を位置させ、赤色光源部２６、赤外光源部２７のいずれかを作動させることにより、カメラ２５は認識対象の電子部品を透過認識または反射認識のいずれかの認識方法によって認識するための画像を取得する。そして取得された画像を認識処理部２８によって認識処理することにより、電子部品の識別や位置検出が行われる。赤外光源部２６は発光源として赤外ＬＥＤを備えており、波長８５０ｎｍ近辺の赤外光を照射する。赤色光源部２７は発光源として赤色ＬＥＤを備えており、波長６９０ｎｍ近辺の赤色光を照射する。
【００３０】
ここで、上述の赤外光・赤色光が、吸着ノズル１２のフランジ部２０ｂの下面に形成された選択反射面に照射された場合の反射特性について説明する。赤外光源部２６より照射
される赤外光は８５０ｎｍ付近に、また赤外光源部２７より照射される赤色光は６９０ｎｍ付近に光強度のピークを有している。そして赤外透過フィルタ２２は、７５０ｎｍ以下の波長の光に対して透過率が急激に低下する透過特性を有している。すなわち、赤外光源部２６より照射される赤外光は赤外透過フィルタ２２を透過して反射板２１によって下方に反射されるが、赤色光源部２７より照射される赤色光は赤外透過フィルタ２２を透過しないため、反射板２１によって下方に反射されずに吸収される。
【００３１】
反射板２１と赤外透過フィルタ２２が積層して貼着されたフランジ部２０ｂの下面は、下方から選択的に照射される２種類の照明光を選択的に反射または吸収する選択反射面を形成しており、したがって、本実施の形態の示す吸着ノズル１２においては、ノズル本体部２０のフランジ部２０ｂの下面に、吸着面２３ｂに保持された電子部品を下方から撮像して透過認識または反射認識のいずれかの認識方法によって認識する際に、認識方法に応じて下方から選択的に照射される２種類の照明光のうち、透過認識の際に照射される第１の照明光である赤外光を選択的に反射し、反射認識の際に照射される第２の照明光である赤色光を選択的に吸収する選択反射面が形成された形態となっている。そして第１のノズルチップ２３Ａ（１）、２３Ｂ（１）の側面は、第１の照明光である赤外光を反射する第１の光反射特性を有する表面性状となっており、また第２のノズルチップ２３Ａ（２）、２３Ｂ（２）の少なくとも吸着面２３ｂは、第２の照明光である赤色光を吸収する第２の光反射特性を有する表面性状となっている。
【００３２】
そしてこのような光反射特性を有するノズルチップ２３をノズル本体部２０に取り付けた構成の吸着ノズル１２を用いることにより、同一のノズル本体部２０を用いて透過認識または反射認識のいずれかによる電子部品の認識が可能となる。すなわち、認識対象の電子部品３０を透過認識によって認識する場合には、図６に示すように、第１のノズルチップ２３Ａ（１）がノズル本体部２０に取り付けられた構成の吸着ノズル１２を用い、赤外光源部２６によって赤外光を照射した状態で、カメラ２５によって電子部品３０を撮像する。
【００３３】
照射された赤外光（矢印ａ）は、赤外透過フィルタ２２を透過して反射板２１によって反射されて下方に照射され（矢印ｂ）、カメラ２５に受光される。このとき、電子部品３０が存在する部分は反射光が電子部品３０によって遮られるので、図６（ｂ）に示すように、カメラ２５の受光面２５ａには、電子部品３０やリード３０ａの部分を暗像とし、周囲の背景部分を明像とするシルエット画像を得ることができる。この透過認識による電子部品３０の画像認識において、ノズルチップ２３Ａ（１）の側面は赤外光を反射する第１の光反射特性となっているため、前述の選択反射面によって下方に反射された光のうちノズルチップ２３Ａ（１）の側面に入射した赤外光は、さらに下方に反射されて透過照明光として撮像に寄与する。
【００３４】
そして認識対象の電子部品３０を反射認識によって認識する場合には、図７に示すように、第２のノズルチップ２３Ａ（２）がノズル本体部２０に取り付けられた構成の吸着ノズル１２を用い、赤色光源部２７によって赤色光を照射した状態で、カメラ２５によって電子部品３０を撮像する。このとき、照射された赤色光（矢印ｃ）は赤外透過フィルタ２２を透過しないため、反射板２１からの反射光はほとんど存在しない。
【００３５】
この場合には、電子部品３０に照射された赤色光のうち、リード３０ａの下面に入射した光が下方に反射されて（矢印ｄ）カメラ２１に入射する。この反射光は、他の部分からの拡散反射光とはコントラストが大きく異なるため、カメラ２５の受光面２５ａには、電子部品３０のリード３０ａを明像とし他の部分を暗像とする画像が得られる。この反射認識による電子部品３０の画像認識において、ノズルチップ２３Ａ（２）の少なくとも吸着面２３ｂは赤色光を吸収する第２の光反射特性となっているため、吸着面２３ｂが部分的
に電子部品３０によって覆われていない露呈部が存在している場合においても、この露呈部から反射光は存在せず、したがってリード３０ａを明像とする認識画像中に露呈部の存在に起因するノイズが生じない。
【００３６】
なお本実施の形態に示すように、異なる種類のノズルチップ２３を、共通のノズル本体部２０と組み合わせて吸着ノズル１２を構成する場合における部品管理の実際例としては、以下のように２通りの運用例が可能である。１つの運用例は、第１のノズルチップ２３Ａ（１）、２３Ｂ（１）、第２のノズルチップ２３Ａ（２）、２３Ｂ（２）をそれぞれノズル本体部２０に固定的に取り付けて、それぞれ透過認識専用の吸着ノズル１２，反射認識専用の吸着ノズル１２として用いる運用例である。
【００３７】
すなわちこの場合には、ノズルチップ２３が第１のノズルチップ２３Ａ（１）、２３Ｂ（１）であり、このノズルチップ２３の側面が第１の照明光を反射する第１の光反射特性を有する表面性状となっている透過認識専用の吸着ノズル１２と、ノズルチップ２３が第２のノズルチップ２３Ａ（２）、２３Ｂ（２）であり、このノズルチップ２３の少なくとも吸着面が第２の照明光を吸収する第２の光反射特性を有する表面性状となっている反射認識専用の吸着ノズル１２とを、常に併有する形態となる。
【００３８】
もう１つの運用例は、対象とする電子部品の認識方法に応じて、第１のノズルチップ２３Ａ（１）、２３Ｂ（１）、第２のノズルチップ２３Ａ（２）、２３Ｂ（２）を、その都度共通のノズル本体部２０に選択的に交換しながら取り付けて、透過認識用の吸着ノズル１２，反射認識用の吸着ノズル１２として使い分ける運用例である。
【００３９】
すなわちこの場合には、ノズルチップ２３として、側面が第１の照明光である赤外光を反射する第１の光反射特性を有する表面性状となっている第１のノズルチップ２３Ａ（１）、２３Ｂ（１）と、少なくとも吸着面が第２の照明光である赤色光を吸収する第２の光反射特性を有する表面性状となっている第２のノズルチップ２３Ａ（２）、２３Ｂ（２）のいずれかが、電子部品の認識方法に応じてノズル本体部２０に選択的に取り付けられる形態となっている。
【００４０】
上記説明したように本発明は、電子部品を吸着保持する吸着ノズル１２を、電子部品に当接して吸着する吸着面が設けられたノズルチップ２３と、このノズルチップ２３が取り付けられ搭載ヘッドに交換自在に装着されるノズル本体部２０とで構成し、ノズル本体部２０に設けられたフランジ部２０ｂの下面に透過認識または反射認識のいずれかの認識方法に応じて下方から照射された２種類の照明光を選択的に反射または吸収する選択反射部を形成し、さらにノズルチップ２３の表面性状を認識方法に応じた光反射特性を有するものとしたものである。これにより、ノズル本体部２０の部品共用化を図りながら、反射認識および透過認識のいずれにも対応可能で汎用性に優れた吸着ノズル１２を実現することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
本発明の電子部品吸着用の吸着ノズルは、部品共用化を図りながら反射認識および透過認識のいずれにも対応可能で汎用性に優れるという効果を有し、電子部品を吸着保持によって基板に実装する電子部品実装の分野に利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の平面図
【図２】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の搭載ヘッドの構成を示す図
【図３】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置に用いられる吸着ノズルの構成説明図
【図４】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置における流量センサの計測値の説明図
【図５】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置に配置された部品認識部の構成説明図
【図６】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置における部品認識方法の説明図
【図７】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置における部品認識方法の説明図
【符号の説明】
【００４３】
８  搭載ヘッド
８ｂ  ノズル装着部
１０  部品認識部
１２  吸着ノズル
２０  ノズル本体部
２０ａ  嵌合部
２０ｂ  フランジ部
２１  反射板
２２  赤外透過フィルタ
２３，２３Ａ，２３Ｂ  ノズルチップ
２３Ａ（１），２３Ｂ（１）  第１のノズルチップ
２３Ａ（２），２３Ｂ（２）  第２のノズルチップ
２３ａ  嵌合端部
２３ｂ  吸着面
２５  カメラ
２６  赤外光源部
２７  赤色光源部
３０  電子部品
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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