【手続補正書】
【提出日】平成21年9月24日(2009.9.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象物の変位を測定する光学式変位計であって、
測定対象物に光を第１の方向に広がりを有する帯状の光として照射、又は第１の方向に走査して照射するための投光部と、
測定対象物からの反射光を受光して、第１の方向の各位置における受光信号として出力するための２次元受光素子と、
前記２次元受光素子からの受光信号を増幅するための増幅器と、
前記投光部からの照射光の反射光により、第１の方向の各点において前記増幅器で得られた増幅信号に基づき、測定対象物のプロファイル形状を演算可能なプロファイル演算手段と、
前記プロファイル演算手段で演算された測定対象物のプロファイル形状を表示可能な表示部と、
前記表示部上で表示されたプロファイル形状中から、プロファイルサーチを行うための基準となる登録プロファイルを指定するための登録プロファイル指定手段と、
入力されたプロファイル形状中に、前記登録プロファイル指定手段で指定された登録プロファイルが含まれているかどうかのマッチングを行うプロファイルサーチを行い、プロファイルサーチ結果に基づいて入力プロファイル形状を回転または移動させるプロファイルマッチング手段と、
を備えることを特徴とする光学式変位計。
【請求項２】
測定対象物の変位を測定する光学式変位計であって、
測定対象物に光を第１の方向に広がりを有する帯状の光として照射、又は第１の方向に走査して照射するための投光部と、
測定対象物からの反射光を受光して、第１の方向の各位置における受光信号として出力するための２次元受光素子と、
前記２次元受光素子からの受光信号を増幅するための増幅器と、
前記投光部からの照射光の反射光により、第１の方向の各点において前記増幅器で得られた増幅信号に基づき、測定対象物のプロファイル形状を演算可能なプロファイル演算手段と、
前記プロファイル演算手段で演算された測定対象物のプロファイル形状を表示可能な表示部と、
前記表示部上で表示されたプロファイル形状中から、プロファイルサーチを行うための基準となる登録プロファイルを指定するための登録プロファイル指定手段と、
前記登録プロファイル指定手段で指定された登録プロファイル中で、プロファイルサーチの際の重要度を低下させた無効領域を指定するための無効領域指定手段と、
入力されたプロファイル形状に対して、前記登録プロファイル及び無効領域に基づき、プロファイルサーチを行うためのプロファイルマッチング手段と、
を備えることを特徴とする光学式変位計。
【請求項３】
測定対象物の変位を測定する光学式変位計であって、
測定対象物に光を第１の方向に広がりを有する帯状の光として照射、又は第１の方向に走査して照射するための投光部と、
測定対象物からの反射光を受光して、第１の方向の各位置における受光信号として出力するための２次元受光素子と、
前記２次元受光素子からの受光信号を増幅するための増幅器と、
前記投光部からの照射光の反射光により、第１の方向の各点において前記増幅器で得られた増幅信号に基づき、測定対象物のプロファイル形状を演算可能なプロファイル演算手段と、
前記プロファイル演算手段で演算された測定対象物のプロファイル形状を表示可能な表示部と、
前記表示部上で表示されたプロファイル形状中から、プロファイルサーチを行うための基準となる登録プロファイルを指定するための登録プロファイル指定手段と、
前記登録プロファイル指定手段で指定された登録プロファイル中で、変化の大きい部位を自動的に抽出し、無効領域として設定するための無効化手段と、
入力されたプロファイル形状に対して、前記登録プロファイル及び無効領域に基づき、プロファイルサーチを行うためのプロファイルマッチング手段と、
を備えることを特徴とする光学式変位計。
【請求項４】
測定対象物の変位を測定する光学式変位計であって、
測定対象物に光を第１の方向に広がりを有する帯状の光として照射、又は第１の方向に走査して照射するための投光部と、
測定対象物からの反射光を受光して、第１の方向の各位置における受光信号として出力するための２次元受光素子と、
前記２次元受光素子からの受光信号を増幅するための増幅器と、
前記投光部からの照射光の反射光により、第１の方向の各点において前記増幅器で得られた増幅信号に基づき、測定対象物のプロファイル形状を演算可能なプロファイル演算手段と、
前記プロファイル演算手段で演算された測定対象物のプロファイル形状を表示可能な表示部と、
前記表示部上で表示されたプロファイル形状中から、プロファイルサーチを行うための基準となる登録プロファイルを指定するための登録プロファイル指定手段と、
前記登録プロファイル指定手段で指定された登録プロファイル中で、前記投光部からの照射光が照射できない部位を抽出し、無効領域として指定可能な無効化手段と、
入力されたプロファイル形状に対して、前記登録プロファイル及び無効領域に基づき、プロファイルサーチを行うためのプロファイルマッチング手段と、
を備えることを特徴とする光学式変位計。
【請求項５】
測定対象物の変位を測定する光学式変位計であって、
測定対象物に光を第１の方向に広がりを有する帯状の光として照射、又は第１の方向に走査して照射するための投光部と、
測定対象物からの反射光を受光して、第１の方向の各位置における受光信号として出力するための２次元受光素子と、
前記２次元受光素子からの受光信号を増幅するための増幅器と、
前記投光部からの照射光の反射光により、第１の方向の各点において前記増幅器で得られた増幅信号に基づき、測定対象物のプロファイル形状を演算可能なプロファイル演算手段と、
前記プロファイル演算手段で演算された測定対象物のプロファイル形状、及び前記増幅器で増幅された受光信号に基づき生成された受光画像を表示可能な表示部と、
照射光と略平行なエッジ面を有する測定対象物の受光画像中から、隣接する２次元受光素子の画素間の受光光量の変化に基づいて該略平行なエッジ面の位置を算出するエッジ面算出手段と、
を備えることを特徴とする光学式変位計。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか一に記載の光学式変位計であって、さらに、
プロファイル形状を前記表示部に表示させた状態で、所望の計測領域を指定するための計測領域指定手段と、
前記領域指定手段で指定された計測領域に対して所望の演算を行うことが可能な計測処理部と、
を備えることを特徴とする光学式変位計。
【請求項７】
測定対象物の変位を光切断法に基づき測定可能な光学式変位測定方法であって、
測定対象物に対して投光部で光を第１の方向に走査して照射、又は第１の方向に広がりを有する帯状の光として照射して、測定対象物からの反射光を２次元受光素子で受光して、第１の方向の各位置における受光信号として出力すると共に、前記２次元受光素子からの受光信号を増幅器で増幅し、増幅信号をさらにデジタル変換手段でデジタル信号に変換し、前記投光部からの照射光の反射光により、第１の方向の各点において前記デジタル変換手段で得られたデジタル信号から、プロファイル演算手段が測定対象物のプロファイル形状を演算し、プロファイル形状を表示部に表示させる工程と、
前記表示部上で表示されたプロファイル形状中から、プロファイルサーチを行うための基準となる登録プロファイルを指定する工程と、
入力されたプロファイル形状に対して、前記登録プロファイルに基づき、プロファイルサーチを行う工程と、
プロファイルサーチ結果に基づき、入力プロファイル形状を回転または移動させる工程と、
を含むことを特徴とする光学式変位測定方法。
【請求項８】
測定対象物の変位を光切断法に基づき測定可能な光学式変位測定方法であって、
測定対象物に対して投光部で光を第１の方向に走査して照射、又は第１の方向に広がりを有する帯状の光として照射して、測定対象物からの反射光を２次元受光素子で受光して、第１の方向の各位置における受光信号として出力すると共に、前記２次元受光素子からの受光信号を増幅器で増幅し、増幅信号をさらにデジタル変換手段でデジタル信号に変換し、前記投光部からの照射光の反射光により、第１の方向の各点において前記デジタル変換手段で得られたデジタル信号から、プロファイル演算手段が測定対象物のプロファイル形状を演算し、プロファイル形状を表示部に表示させる工程と、
前記表示部上で表示されたプロファイル形状中から、プロファイルサーチを行うための基準となる登録プロファイルを指定する工程と、
指定された登録プロファイル中で、プロファイルサーチの際の重要度を低下させた無効領域を指定する工程と、
入力されたプロファイル形状に対して、前記登録プロファイル及び無効領域に基づき、プロファイルサーチを行う工程と、
を含むことを特徴とする光学式変位測定方法。
【請求項９】
測定対象物の変位を光切断法に基づき測定可能な光学式変位測定方法であって、
測定対象物に対して投光部で光を第１の方向に走査して照射、又は第１の方向に広がりを有する帯状の光として照射して、測定対象物からの反射光を２次元受光素子で受光して、第１の方向の各位置における受光信号として出力すると共に、前記２次元受光素子からの受光信号を増幅器で増幅し、増幅信号をさらにデジタル変換手段でデジタル信号に変換し、前記投光部からの照射光の反射光により、第１の方向の各点において前記デジタル変換手段で得られたデジタル信号から、プロファイル演算手段が測定対象物のプロファイル形状を演算し、プロファイル形状を表示部に表示させる工程と、
前記表示部上で表示されたプロファイル形状中から、プロファイルサーチを行うための基準となる登録プロファイルを指定する工程と、
指定された登録プロファイル中で、変化の大きい部位を自動的に抽出し、無効領域として設定する工程と、
入力されたプロファイル形状に対して、前記登録プロファイル及び無効領域に基づき、プロファイルサーチを行う工程と、
を含むことを特徴とする光学式変位測定方法。
【請求項１０】
測定対象物の変位を光切断法に基づき測定可能な光学式変位測定方法であって、
測定対象物に対して投光部で光を第１の方向に走査して照射、又は第１の方向に広がりを有する帯状の光として照射して、測定対象物からの反射光を２次元受光素子で受光して、第１の方向の各位置における受光信号として出力すると共に、前記２次元受光素子からの受光信号を増幅器で増幅し、増幅信号をさらにデジタル変換手段でデジタル信号に変換し、前記投光部からの照射光の反射光により、第１の方向の各点において前記デジタル変換手段で得られたデジタル信号から、プロファイル演算手段が測定対象物のプロファイル形状を演算し、プロファイル形状を表示部に表示させる工程と、
前記表示部上で表示されたプロファイル形状中から、プロファイルサーチを行うための基準となる登録プロファイルを指定する工程と、
指定された登録プロファイル中で、前記投光部からの照射光が照射できない部位を抽出し、無効領域として指定する工程と、
入力されたプロファイル形状に対して、前記登録プロファイル及び無効領域に基づき、プロファイルサーチを行う工程と、
を含むことを特徴とする光学式変位測定方法。
【請求項１１】
測定対象物の変位を光切断法に基づき測定可能な光学式変位測定方法であって、
測定対象物に対して投光部で光を第１の方向に走査して照射、又は第１の方向に広がりを有する帯状の光として照射して、測定対象物からの反射光を２次元受光素子で受光して、第１の方向の各位置における受光信号として出力すると共に、前記２次元受光素子からの受光信号を増幅器で増幅し、増幅信号をさらにデジタル変換手段でデジタル信号に変換し、前記投光部からの照射光の反射光により、第１の方向の各点において前記デジタル変換手段で得られたデジタル信号から、プロファイル演算手段が測定対象物のプロファイル形状を演算し、プロファイル形状を表示部に表示させ、或いは前記増幅器で増幅された受光信号に基づき生成された受光画像を表示させる工程と、
照射光と略平行なエッジ面を有する測定対象物の受光画像中から、隣接する２次元受光素子の画素間の受光光量の変化に基づいて該略平行なエッジ面の位置を算出する工程と、
を含むことを特徴とする光学式変位測定方法。
【請求項１２】
測定対象物の変位を光切断法に基づき測定可能な光学式変位測定プログラムであって、
測定対象物に対して投光部で光を第１の方向に走査して照射、又は第１の方向に広がりを有する帯状の光として照射して、測定対象物からの反射光を２次元受光素子で受光して、第１の方向の各位置における受光信号として出力すると共に、前記２次元受光素子からの受光信号を増幅器で増幅し、増幅信号をさらにデジタル変換手段でデジタル信号に変換し、前記投光部からの照射光の反射光により、第１の方向の各点において前記デジタル変換手段で得られたデジタル信号から、プロファイル演算手段が測定対象物のプロファイル形状を演算し、プロファイル形状を表示部に表示させる機能と、
前記表示部上で表示されたプロファイル形状中から、プロファイルサーチを行うための基準となる登録プロファイルを指定する機能と、
入力されたプロファイル形状に対して、前記登録プロファイルに基づき、プロファイルサーチを行う機能と、
プロファイルサーチ結果に基づき、入力プロファイル形状を回転または移動させる機能と、
をコンピュータに実現させることを特徴とする光学式変位測定プログラム。
【請求項１３】
測定対象物の変位を光切断法に基づき測定可能な光学式変位測定プログラムであって、
測定対象物に対して投光部で光を第１の方向に走査して照射、又は第１の方向に広がりを有する帯状の光として照射して、測定対象物からの反射光を２次元受光素子で受光して、第１の方向の各位置における受光信号として出力すると共に、前記２次元受光素子からの受光信号を増幅器で増幅し、増幅信号をさらにデジタル変換手段でデジタル信号に変換し、前記投光部からの照射光の反射光により、第１の方向の各点において前記デジタル変換手段で得られたデジタル信号から、プロファイル演算手段が測定対象物のプロファイル形状を演算し、プロファイル形状を表示部に表示させる機能と、
前記表示部上で表示されたプロファイル形状中から、プロファイルサーチを行うための基準となる登録プロファイルを指定する機能と、
指定された登録プロファイル中で、プロファイルサーチの際の重要度を低下させた無効領域を指定する機能と、
入力されたプロファイル形状に対して、前記登録プロファイル及び無効領域に基づき、プロファイルサーチを行う機能と、
をコンピュータに実現させることを特徴とする光学式変位測定プログラム。
【請求項１４】
測定対象物の変位を光切断法に基づき測定可能な光学式変位測定プログラムであって、
測定対象物に対して投光部で光を第１の方向に走査して照射、又は第１の方向に広がりを有する帯状の光として照射して、測定対象物からの反射光を２次元受光素子で受光して、第１の方向の各位置における受光信号として出力すると共に、前記２次元受光素子からの受光信号を増幅器で増幅し、増幅信号をさらにデジタル変換手段でデジタル信号に変換し、前記投光部からの照射光の反射光により、第１の方向の各点において前記デジタル変換手段で得られたデジタル信号から、プロファイル演算手段が測定対象物のプロファイル形状を演算し、プロファイル形状を表示部に表示させる機能と、
前記表示部上で表示されたプロファイル形状中から、プロファイルサーチを行うための基準となる登録プロファイルを指定する機能と、
指定された登録プロファイル中で、変化の大きい部位を自動的に抽出し、無効領域として設定する機能と、
入力されたプロファイル形状に対して、前記登録プロファイル及び無効領域に基づき、プロファイルサーチを行う機能と、
をコンピュータに実現させることを特徴とする光学式変位測定プログラム。
【請求項１５】
測定対象物の変位を光切断法に基づき測定可能な光学式変位測定プログラムであって、
測定対象物に対して投光部で光を第１の方向に走査して照射、又は第１の方向に広がりを有する帯状の光として照射して、測定対象物からの反射光を２次元受光素子で受光して、第１の方向の各位置における受光信号として出力すると共に、前記２次元受光素子からの受光信号を増幅器で増幅し、増幅信号をさらにデジタル変換手段でデジタル信号に変換し、前記投光部からの照射光の反射光により、第１の方向の各点において前記デジタル変換手段で得られたデジタル信号から、プロファイル演算手段が測定対象物のプロファイル形状を演算し、プロファイル形状を表示部に表示させる機能と、
前記表示部上で表示されたプロファイル形状中から、プロファイルサーチを行うための基準となる登録プロファイルを指定する機能と、
指定された登録プロファイル中で、前記投光部からの照射光が照射できない部位を抽出し、無効領域として指定する機能と、
入力されたプロファイル形状に対して、前記登録プロファイル及び無効領域に基づき、プロファイルサーチを行う機能と、
をコンピュータに実現させることを特徴とする光学式変位測定プログラム。
【請求項１６】
測定対象物の変位を光切断法に基づき測定可能な光学式変位測定プログラムであって、
測定対象物に対して投光部で光を第１の方向に走査して照射、又は第１の方向に広がりを有する帯状の光として照射して、測定対象物からの反射光を２次元受光素子で受光して、第１の方向の各位置における受光信号として出力すると共に、前記２次元受光素子からの受光信号を増幅器で増幅し、増幅信号をさらにデジタル変換手段でデジタル信号に変換し、前記投光部からの照射光の反射光により、第１の方向の各点において前記デジタル変換手段で得られたデジタル信号から、プロファイル演算手段が測定対象物のプロファイル形状を演算し、プロファイル形状を表示部に表示させ、或いは前記増幅器で増幅された受光信号に基づき生成された受光画像を表示させる機能と、
照射光と略平行なエッジ面を有する測定対象物の受光画像中から、隣接する２次元受光素子の画素間の受光光量の変化に基づいて該略平行なエッジ面の位置を算出する機能と、
をコンピュータに実現させることを特徴とする光学式変位測定プログラム。
【請求項１７】
請求項１２から１６のいずれか一に記載の光学式変位測定プログラムであって、さらに、
プロファイル形状を前記表示部に表示させた状態で、所望の計測領域を指定する機能と、
指定された計測領域に対して所望の演算を行う機能と、
をコンピュータに実現させることを特徴とする光学式変位測定プログラム。
【請求項１８】
請求項１２から１７のいずれか一に記載されるプログラムを格納したコンピュータで読み取り可能な記録媒体又は記録した機器。