【手続補正書】
【提出日】平成21年2月27日(2009.2.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
気流により飛翔させた洗浄媒体を被洗浄体に接触または衝突させることで付着物を除去する洗浄装置であって、
開口部を有する洗浄槽と、前記開口部から前記洗浄槽内に気流を導入する流入手段と、前記開口部に設けられ前記洗浄媒体に付着した前記付着物を除去する分離手段と、前記開口部に接続され前記分離手段により分離された前記付着物を外部に排出する吸引手段とを有し、前記分離手段に作用する気流の向きを変化させることにより前記分離手段に付着した前記洗浄媒体を再飛翔させることを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】
請求項１記載の洗浄装置において、
前記開口部には前記洗浄槽に気流を導入する流入口及び前記洗浄槽から気流を排出する吸引口が設けられ、前記流入口及び前記吸引口は前記分離手段に対してそれぞれ相対的に移動可能であることを特徴とする洗浄装置。
【請求項３】
請求項１記載の洗浄装置において、
前記洗浄槽内に気流を形成する気流形成手段を有し、前記気流形成手段の作動状態を切り替えることにより前記洗浄媒体の再飛翔を行うことを特徴とする洗浄装置。
【請求項４】
請求項１ないし３の何れか１つに記載の洗浄装置において、
前記分離手段は平面形状であることを特徴とする洗浄装置。
【請求項５】
請求項１または２記載の洗浄装置において、
前記分離手段は円筒状または円筒の一方の端部に円錐を重ねた形状であることを特徴とする洗浄装置。
【請求項６】
請求項５記載の洗浄装置において、
前記流入手段が前記吹き出し口を有し、該吹き出し口は前記分離手段の円筒面に沿って回転可能に設けられていることを特徴とする洗浄装置。
【請求項７】
請求項５記載の洗浄装置において、
前記流入手段は気体の吹き出し口を有し、該吹き出し口は前記被洗浄体の存在する方向へと前記分離手段の内側において円筒面に沿って揺動可能に設けられ、前記吹き出し口の揺動範囲外における前記分離手段の外側にメッシュカバーを有することを特徴とする洗浄装置。
【請求項８】
請求項１ないし７の何れか１つに記載の洗浄装置において、
前記洗浄媒体が前記被洗浄体に対して静電気的に貼り付くことを防止する除電手段を有することを特徴とする洗浄装置。
【請求項９】
請求項１ないし８の何れか１つに記載の洗浄装置において、
前記洗浄媒体として、厚み１〜５００μｍ、面積１〜１０００ｍｍ２の薄片状のものが用いられることを特徴とする洗浄装置。
【請求項１０】
気流により飛翔させた洗浄媒体を被洗浄体に接触または衝突させることで付着物を除去する洗浄方法であって、
洗浄槽の開口部から流入手段により前記洗浄槽内に気流を導入し、前記開口部に設けられた分離手段により前記洗浄媒体に付着した前記付着物を除去し、前記開口部に接続された吸引手段により前記分離手段によって分離された前記付着物を外部に排出させ、前記分離手段に作用する気流の向きを変化させることにより前記分離手段に付着した前記洗浄媒体を再飛翔させることを特徴とする洗浄方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】洗浄装置及び洗浄方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
請求項１記載の発明は、気流により飛翔させた洗浄媒体を被洗浄体に接触または衝突させることで付着物を除去する洗浄装置であって、開口部を有する洗浄槽と、前記開口部から前記洗浄槽内に気流を導入する流入手段と、前記開口部に設けられ前記洗浄媒体に付着した前記付着物を除去する分離手段と、前記開口部に接続され前記分離手段により分離された前記付着物を外部に排出する吸引手段とを有し、前記分離手段に作用する気流の向きを変化させることにより前記分離手段に付着した前記洗浄媒体を再飛翔させることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の洗浄装置において、さらに前記開口部には前記洗浄槽に気流を導入する流入口及び前記洗浄槽から気流を排出する吸引口が設けられ、前記流入口及び前記吸引口は前記分離手段に対してそれぞれ相対的に移動可能であることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
請求項３記載の発明は、請求項１記載の洗浄装置において、さらに前記洗浄槽内に気流を形成する気流形成手段を有し、前記気流形成手段の作動状態を切り替えることにより前記洗浄媒体の再飛翔を行うことを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
請求項４記載の発明は、請求項１ないし３の何れか１つに記載の洗浄装置において、さらに前記分離手段は平面形状であることを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
請求項５記載の発明は、請求項１または２記載の洗浄装置において、さらに前記分離手段は円筒状または円筒の一方の端部に円錐を重ねた形状であることを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
請求項６記載の発明は、請求項５記載の洗浄装置において、さらに前記流入手段が前記吹き出し口を有し、該吹き出し口は前記分離手段の円筒面に沿って回転可能に設けられていることを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
請求項７記載の発明は、請求項５記載の洗浄装置において、さらに前記流入手段は気体の吹き出し口を有し、該吹き出し口は前記被洗浄体の存在する方向へと前記分離手段の内側において円筒面に沿って揺動可能に設けられ、前記吹き出し口の揺動範囲外における前記分離手段の外側にメッシュカバーを有することを特徴とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項８記載の発明は、請求項１ないし７の何れか１つに記載の洗浄装置において、さらに前記洗浄媒体が前記被洗浄体に対して静電気的に貼り付くことを防止する除電手段を有することを特徴とする。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
請求項９記載の発明は、請求項１ないし８の何れか１つに記載の洗浄装置において、さらに前記洗浄媒体として、厚み１〜５００μｍ、面積１〜１０００ｍｍ２の薄片状のものが用いられることを特徴とする。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項１０記載の発明は、気流により飛翔させた洗浄媒体を被洗浄体に接触または衝突させることで付着物を除去する洗浄方法であって、洗浄槽の開口部から流入手段により前記洗浄槽内に気流を導入し、前記開口部に設けられた分離手段により前記洗浄媒体に付着した前記付着物を除去し、前記開口部に接続された吸引手段により前記分離手段によって分離された前記付着物を外部に排出させ、前記分離手段に作用する気流の向きを変化させることにより前記分離手段に付着した前記洗浄媒体を再飛翔させることを特徴とする。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
本発明によれば、洗浄槽を有し洗浄媒体を飛翔させて被洗浄体に付着した付着物を除去する洗浄装置において、洗浄槽と気流形成手段との間に気体及び付着物の通過を許容し洗浄媒体の通過を不可とする開口を備えた分離手段を有すると共に分離手段に付着した洗浄媒体が再飛翔するので、洗浄槽内の洗浄媒体を繰返し洗浄に利用することができ、洗浄媒体に粉塵が蓄積することがなく高い洗浄品質が得られる。
【手続補正４７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
本発明によれば、洗浄槽を有し洗浄媒体を飛翔させて被洗浄体に付着した付着物を除去する洗浄装置において、洗浄槽と気体流入手段および気体吸引手段との間に気体および付着物は通過できるが洗浄媒体は通過できない大きさの開口から構成される分離手段を有し、気体の流入口と吸引口が分離手段と相対的に移動可能に構成されているので、分離手段において洗浄媒体に付着した付着物が分離され、分離手段の吸引口に堆積した洗浄媒体がすぐ流入口に相対移動するため、洗浄槽内の洗浄媒体を繰返し洗浄に利用することができ、洗浄媒体に粉塵が蓄積することがなく、高い洗浄品質が得られる。