【手続補正書】
【提出日】平成21年5月8日(2009.5.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被成膜物上に所定パターンを形成するために用いられ、その上下面を貫通するとともに前記所定パターンに対応した開口部が設けられたマスクであって、
前記マスクと前記被成膜物とを重ねた状態で、
前記開口部におけるエッジ部分の被成膜物側周囲に、空隙部が設けられていることを特徴とするマスク。
【請求項２】
前記マスクの前記開口部におけるエッジ部分の被成膜物側周囲に、複数の凸部を設けることにより、
少なくとも前記マスクと前記被成膜物との間に前記空隙部が設けられることを特徴とする請求項１に記載のマスク。
【請求項３】
前記マスクと前記被成膜物との間に、前記マスクに形成された前記開口部よりも若干大きなサブ開口部が形成されたサブマスクを配置することにより、
少なくとも前記マスクと前記被成膜物との間に前記空隙部が設けられることを特徴とする請求項１に記載のマスク。
【請求項４】
前記マスクの前記開口部の外方に、前記被成膜物方向に突出した突起状部を形成することにより、
少なくとも前記マスクと前記被成膜物との間に前記空隙部が設けられることを特徴とする請求項１に記載のマスク。
【請求項５】
前記マスクと前記被成膜物との間に形成される前記空隙の高さが、
１μｍ〜５００μｍの範囲内であることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のマスク。
【請求項６】
前記マスクにおける前記開口部の前記エッジ部分と、前記空隙の端部との間の距離が、
５μｍ〜１０００μｍの範囲内であることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載のマスク。
【請求項７】
前記被成膜物が、基板上に陽極、発光層をこの順で形成した積層体の前記発光層であることを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載のマスク。
【請求項８】
前記所定パターンが、陰極であることを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載のマスク。
【請求項９】
請求項１から８のいずれかに記載のマスクを使用して、基板上に陽極、発光層をこの順で形成した積層体の前記発光層の上面に陰極が形成されていることを特徴とする表示素子。
【請求項１０】
前記陰極が蒸着によって形成されていることを特徴とする請求項９に記載の表示素子。
【請求項１１】
有機エレクトロルミネッセンス素子であることを特徴とする請求項９または１０に記載の表示素子。
【請求項１２】
請求項１から８のいずれかに記載のマスクを使用した表示素子の製造方法であって、
基板上に陽極、発光層をこの順で形成した積層体を準備する工程と、
前記積層体の前記発光層側に前記マスクを配設する工程と、
前記マスクの開口部の下方に、陰極と成る蒸着源を配置する工程と、
前記マスクの前記開口部を介して前記発光層上に陰極を蒸着する工程と、
を少なくとも有することを特徴とする表示素子の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
有機ＥＬ素子の製造の際において、基板上の発光層上には、陰極を有する部分と、有しない部分とを選択的に形成することが行われている。
このような発光層上の陰極を有する部分は、陰極の形状によって発光制御や発光制限ができるようになっている。一方、陰極を有しない部分は、封止に使用される部分、あるいは複数の陰極配線を有する有機ＥＬ素子において、陰極間の電気的な絶縁を目的としている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意検討した結果、本発明のマスクおよびマスクを使用した表示素子ならびにマスクを使用した表示素子の製造方法を見出した。
すなわち、本発明は例えば以下の（１）〜（１２）の態様を含む。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
（３）
前記マスクと前記被成膜物との間に、前記マスクに形成された前記開口部よりも若干大きなサブ開口部が形成されたサブマスクを配置することにより、
少なくとも前記マスクと前記被成膜物との間に前記空隙部が設けられることを特徴とする前記（１）に記載のマスク。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
（４）
前記マスクの前記開口部の外方に、前記被成膜物方向に突出した突起状部を形成することにより、
少なくとも前記マスクと前記被成膜物との間に前記空隙部が設けられることを特徴とする前記（１）に記載のマスク。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
（５）
前記マスクと前記被成膜物との間に形成される前記空隙の高さが、
１μｍ〜５００μｍの範囲内であることを特徴とする前記（１）から（４）のいずれかに記載のマスク。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
（６）
前記マスクにおける前記開口部の前記エッジ部分と、前記空隙の端部との間の距離が、
５μｍ〜１０００μｍの範囲内であることを特徴とする前記（１）から（５）のいずれかに記載のマスク。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
（７）
前記被成膜物が、基板上に陽極、発光層をこの順で形成した積層体の前記発光層であることを特徴とする前記（１）から（６）のいずれかに記載のマスク。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
（８）
前記所定パターンが、陰極であることを特徴とする前記（１）から（７）のいずれかに記載のマスク。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
（９）
前記（１）から（８）のいずれかに記載のマスクを使用して、基板上に陽極、発光層をこの順で形成した積層体の前記発光層の上面に陰極が形成されていることを特徴とする表示素子。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
（１０）
前記陰極が蒸着によって形成されていることを特徴とする前記（９）に記載の表示素子。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
（１１）
有機エレクトロルミネッセンス素子であることを特徴とする前記（９）または（１０）に記載の表示素子。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
（１２）
前記（１）から（８）のいずれかに記載のマスクを使用した表示素子の製造方法であって、
基板上に陽極、発光層をこの順で形成した積層体を準備する工程と、
前記積層体の前記発光層側に前記マスクを配設する工程と、
前記マスクの開口部の下方に、陰極と成る蒸着源を配置する工程と、
前記マスクの前記開口部を介して前記発光層上に陰極を蒸着する工程と、
を少なくとも有することを特徴とする表示素子の製造方法。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
図１に示したように本発明の実施例１におけるマスク２０は、基板１２上に陽極１４、発光層１６がこの順序で積層された状態において、発光層１６上に配置されている。
このようなマスクは、マスク２０に設けられた開口部２２のエッジ部分２６が、陰極１８が形成される発光層１６に直接接触しないように、マスク２０の開口部２２におけるエッジ部分２６の発光層１６側周囲に、空隙３０が設けられている。
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７６】
この表示素子１０（有機ＥＬ素子）の陰極１８と陽極１４との間の電気抵抗を測定したところ、１０ＭΩを超えることが確認された。
また、陰極１８と陽極１４との間に８Ｖの直流電圧を印加したところ、有機ＥＬ発光が確認され、陰極１８と陽極１４とが電気的に絶縁されていることが確認された。
［実験例２］
実験例１と同様に縦１０ｍｍ×横１０ｍｍの開口部２２ａおよび幅１ｍｍの配線引き出し部２４ａを有し、板厚０．５ｍｍのステンレス板（材質：ＳＵＳ４３０）からなる１００ｍｍ角のマスク２０ａを準備し、このマスク２０ａの開口部２２ａの外側周囲に、ＵＶ硬化型エポキシ接着剤からなる直径０．５ｍｍ、高さ０．０５ｍｍの凸部２０ｃを複数形成した。