【手続補正書】
【提出日】平成25年11月1日(2013.11.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
四フッ化ケイ素を生成する方法であって、
アルカリ金属又はアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩を少なくとも約３０重量％含んで成るフルオロアルミン酸塩原料と、塩酸を含んで成る酸性ガスおよびケイ素源とを接触させ、それによって、四フッ化ケイ素と少なくとも１種の副産物とを生成することを含んで成る、方法。
【請求項２】
フルオロアルミン酸塩原料がシラン生成物の副産物である、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
四フッ化ケイ素を副産物から分離して、生成物として四フッ化ケイ素を回収する、請求項１又は２に記載の方法。
【請求項４】
ケイ素源が、砂、石英、フリント、珪藻岩、ケイ酸塩、冶金級ケイ素、ヒュームド・シリカ、フルオロケイ酸塩およびこれらの混合物から成る群から選択される、請求項１〜３のいずれかに記載の方法。
【請求項５】
アルカリ金属又はアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩がＮａＡｌＦ４、Ｎａ５Ａｌ３Ｆ１４、Ｎａ３ＡｌＦ６およびこれらの混合物から成る群から選択される、請求項１〜４のいずれかに記載の方法。
【請求項６】
フルオロアルミン酸塩原料が、ＮａＡｌＦ４、Ｎａ５Ａｌ３Ｆ１４、およびＮａ３ＡｌＦ６から成る群から選択されるアルカリ金属又はアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩を含んで成り、および、フッ化アルミニウムおよび/又はフッ化ナトリウムもまた含んで成る、請求項１〜５いずれかに記載の方法。
【請求項７】
フッ化水素とアルカリ金属又はアルカリ土類金属の塩化物塩又は硫化物塩とが、副産物として生成される、請求項１〜６のいずれかに記載の方法。
【請求項８】
塩化物塩が副産物として生成され、塩化物塩がＬｉＣｌ、ＮａＣｌ、ＫＣｌ、ＭｇＣｌ２、ＢａＣｌ２、ＣａＣｌ２およびこれらの混合物から成る群から選択される、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
フッ化水素をケイ素源と接触させて、四フッ化ケイ素を生成する、請求項７に記載の方法。
【請求項１０】
アルカリ金属又はアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩およびケイ素源を実質的に無水の酸と接触させる、請求項１〜９のいずれかに記載の方法。
【請求項１１】
少なくとも約１：１、少なくとも約２：１、少なくとも約３：１、少なくとも約１０：１又は約１：１〜約２５：１のモル比で酸とフッ化物塩とを反応器に加える、請求項１〜１０のいずれかに記載の方法。
【請求項１２】
ケイ素原子数およびフッ素原子数基準で、約１：４、少なくとも約１：３、少なくとも約１：２又は少なくとも約１：１のモル比でケイ素源とフッ化物塩とを反応器に加える、請求項１〜１１のいずれかに記載の方法。
【請求項１３】
少なくとも１種の副産物が、フッ化アルミニウムおよび/又はフッ化ナトリウムをも含んで成る、請求項１に記載の方法。
【請求項１４】
シランと四フッ化ケイ素とを生成する方法であって、
四フッ化ケイ素を四水素化アルミニウムのアルカリ金属塩又はアルカリ土類金属塩と接触させ、それによって、シランおよび流出液を生成すること、
流出液を、塩酸およびケイ素源と接触させ、それによって、四フッ化ケイ素とフッ化水素を生成すること、および
フッ化水素から四フッ化ケイ素を分離することを含んで成り、
前記流出液が、アルカリ金属又はアルカリ土類金属とアルミニウムとから成るフッ化物塩を含んで成る、方法。
【請求項１５】
約３０℃〜約８０℃に維持されている反応媒体で、四フッ化ケイ素と四水素化アルミニウムとを接触させる、請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
ケイ素源が、砂、石英、フリント、珪藻岩、ケイ酸塩、冶金級ケイ素、ヒュームド・シリカ、フルオロケイ酸塩およびこれらの混合物から成る群から選択される、請求項１４又は１５に記載の方法。
【請求項１７】
流出液が、約３０重量％〜約９５重量％のアルカリ金属又はアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩を含んで成る、請求項１４〜１６のいずれかに記載の方法。
【請求項１８】
アルカリ金属又はアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩がＮａＡｌＦ４、Ｎａ５Ａｌ３Ｆ１４、Ｎａ３ＡｌＦ６およびこれらの混合物から成る群から選択される、請求項１４〜１７のいずれかに記載の方法。
【請求項１９】
流出液が、ＮａＡｌＦ４、Ｎａ５Ａｌ３Ｆ１４およびＮａ３ＡｌＦ６から成る群から選択されるアルカリ金属又はアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩を含んで成り、および、フッ化アルミニウムおよび/又はフッ化ナトリウムもまた含んで成る、請求項１４〜１８のいずれかに記載の方法。
【請求項２０】
フッ化水素とアルカリ金属又はアルカリ土類金属の塩化物塩とが、副産物として生成される、請求項１４〜１９のいずれかに記載の方法。
【請求項２１】
塩化物塩がＬｉＣｌ、ＮａＣｌ、ＫＣｌ、ＭｇＣｌ２、ＢａＣｌ２、ＣａＣｌ２およびこれらの混合物から成る群から選択される、請求項２０に記載の方法。
【請求項２２】
フッ化水素をケイ素源と接触させて、四フッ化ケイ素を生成する、請求項２０に記載の方法。
【請求項２３】
アルカリ金属又はアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩とケイ素源とを水性塩酸と接触させる、請求項１４〜２２のいずれかに記載の方法。
【請求項２４】
アルカリ金属又はアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩とケイ素源とを反応器に導いて、四フッ化ケイ素を含む生成ガスとアルカリ金属又はアルカリ土類金属の塩化物塩を含むスラリーとを生成する、請求項２３に記載の方法。
【請求項２５】
アルカリ金属又はアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩とケイ素源とを連続的に反応器に供給して、スラリーと生成ガスとを連続的に反応器から除去する、請求項２４に記載の方法。
【請求項２６】
生成ガスが四フッ化ケイ素とフッ化水素とを含んで成る、請求項２４又は２５に記載の方法。
【請求項２７】
アルカリ金属又はアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩とケイ素源とを実質的に無水の塩酸と接触させる、請求項１４〜２６のいずれかに記載の方法。
【請求項２８】
少なくとも約１：１、少なくとも約２：１、少なくとも約３：１、少なくとも約１０：１又は約１：１〜約２５：１のモル比で塩酸とフッ化物塩とを反応器に加える、請求項１４〜２７のいずれかに記載の方法。
【請求項２９】
ケイ素原子数およびフッ素原子数基準で、約１：４、少なくとも約１：３、少なくとも約１：２又は少なくとも約１：１のモル比でケイ素源とフッ化物塩とを反応器に加える、請求項１４〜２８のいずれかに記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
反応器に追加する酸とフルオロアルミン酸塩とのモル比は、フルオロアルミン酸塩の出発物質に依存し、又反応ｉ〜ｘにより決定されてもよい化学量論比であってよい（例えば、反応ｉｉｉでは１モルのチオライトにつき５モルの酸が添加される）。又、過剰のモル濃度の酸が使用されてもよい。（例えば、少なくとも約５％、少なくとも約１０％、少なくとも約２５％、少なくとも約５０％、少なくとも約１００％、少なくとも約２５０％又は少なくとも約５００％の過剰のモル濃度の酸が使用されてもよい）。（使用されるフルオロアルミン酸塩の出発物質に応じた）様々な態様では、反応器に供給される酸（例えば、ＨＣｌ又は硫酸）と反応器に供給されるフルオロアルミン酸塩の量とのモル比（又は、連続システムでの追加の速度比）は、少なくとも約１：１、少なくとも約２：１、少なくとも約３：１、少なくとも約１０：１、少なくとも約２５：１、少なくとも約５０：１又は少なくとも約１００：１であってよい。ある態様では、このモル比は、約１：１〜約１００：１、約１：１〜約５０：１又は約１：１〜約２５：１である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５９】
ケイ素源を含む水性システムでは、反応の間、固体状のフルオロアルミン酸塩が（ＮａＣｌ、ＮａＨＳＯ４又はＮａ２ＳＯ４）粒子状の塩に分解する。フッ化水素は、未反応の酸と四フッ化ケイ素とを有する反応器から引き抜かれるガス状の副産物として発生してもよい。四フッ化ケイ素生成ガスを生成する水性および無水システムでは、四フッ化ケイ素ガスは、制限されることなく組み合わせて多く操作され、直列に又は並列に操作されてもよい蒸留、（例えば、未反応のＨＦを除去するための硫酸浴等の）酸浴および/又は（例えば、酸を除去するための亜鉛系吸収装置等の）吸収ユニットにより他のガスから分離されてもよい。四フッ化ケイ素生成ガスは、液体生成物として保存するため凝縮されてもよく、および/又は、例えばシラン生成のためアルカリ金属又はアルカリ土類金属と四水素化アルミニウムとの反応により更に処理されてもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６６】
反応によりシランガスとスラリー状のフルオロアルミン酸塩とが生じる。フルオロアルミン酸塩は、固−液分離ユニット（遠心分離機、デカンター、フィルター等）の使用等当業者に一般的に周知の手段により反応媒体から分離されてもよい。上記に説明するように、分離の際、フルオロアルミン酸塩を酸と共に反応器に導入して、フッ化生成物を生成してもよい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７０】
本発明の範囲から逸脱することなく、上記装置および方法に多くの変更を行うことができるので、上記記載に含まれ、添付図面に示される全事項はあくまでも例示であって、限定的な意味ではないと解釈されよう。
なお、本明細書の開示内容は、以下の態様を含み得る。
（態様１）
四フッ化ケイ素を生成する方法であって、
アルカリ金属又はアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩を少なくとも約３０重量％含んで成るフルオロアルミン酸塩原料、酸およびケイ素源を接触させて、四フッ化ケイ素と少なくとも１種の副産物とを生成することを含んで成る、方法。
（態様２）
フルオロアルミン酸塩原料がシラン生成物の副産物である、態様１に記載の方法。
（態様３）
四フッ化ケイ素を副産物から分離して、生成物として四フッ化ケイ素を回収する、態様１又は２に記載の方法。
（態様４）
ケイ素源が、砂、石英、フリント、珪藻岩、ケイ酸塩、冶金級ケイ素、ヒュームド・シリカ、フルオロケイ酸塩およびこれらの混合物から成る群から選択される、態様１〜３のいずれかに記載の方法。
（態様５）
フルオロアルミン酸塩原料が、アルカリ金属又はアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩を少なくとも約５０重量％、少なくとも約７０重量％、少なくとも約８０重量％、少なくとも約９０重量％、約３０重量％〜約９５重量％又は約７０重量％〜約９５重量％を含んで成る、態様１〜４のいずれかに記載の方法。
（態様６）
酸が塩酸、硫酸およびこれらの混合物から選択される、態様１〜５のいずれかに記載の方法。
（態様７）
酸が塩酸である、態様１〜５のいずれかに記載の方法。
（態様８）
アルカリ金属又はアルカリ土類金属が、リチウム、ナトリウム、カリウム、マグネシウム、バリウム、カルシウムおよびこれらの混合物から選択される、態様１〜７のいずれかに記載の方法。
（態様９）
アルカリ金属又はアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩がＮａＡｌＦ４、Ｎａ５Ａｌ３Ｆ１４、Ｎａ３ＡｌＦ６およびこれらの混合物から成る群から選択される、態様１〜７のいずれかに記載の方法。
（態様１０）
フルオロアルミン酸塩原料が、ＮａＡｌＦ４、Ｎａ５Ａｌ３Ｆ１４、Ｎａ３ＡｌＦ６を含んで成る、態様１〜７のいずれかに記載の方法。
（態様１１）
又、フルオロアルミン酸塩原料がフッ化アルミニウムおよび/又はフッ化ナトリウムを含んで成る、態様１０に記載の方法。
（態様１２）
フッ化水素とアルカリ金属又はアルカリ土類金属の塩化物塩又は硫化物塩とが、副産物として生成される、態様１〜１１のいずれかに記載の方法。
（態様１３）
塩化物塩が副産物として生成され、塩化物塩がＬｉＣｌ、ＮａＣｌ、ＫＣｌ、ＭｇＣｌ２、ＢａＣｌ２、ＣａＣｌ２およびこれらの混合物から成る群から選択される、態様１２に記載の方法。
（態様１４）
塩化物塩がＮａＣｌである、態様１３に記載の方法。
（態様１５）
フッ化水素をケイ素源と接触させて、四フッ化ケイ素を生成する、態様１２に記載の方法。
（態様１６）
アルカリ金属又はアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩およびケイ素源を水性酸と接触させる、態様１〜１５のいずれかに記載の方法。
（態様１７）
アルカリ金属又はアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩およびケイ素源を反応器に導いて、四フッ化ケイ素を含む生成ガスと副産物を含むスラリーとを生成する、態様１６に記載の方法。
（態様１８）
アルカリ金属又はアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩とケイ素源とを連続的に反応器に供給して、スラリーと生成ガスとを連続的に反応器から除去する、態様１７に記載の方法。
（態様１９）
生成ガスが四フッ化ケイ素とフッ化水素とを含んで成る、態様１７又は１８に記載の方法。
（態様２０）
蒸留塔でフッ化水素と四フッ化ケイ素とを分離することを含んで成る、態様１９に記載の方法。
（態様２１）
スラリーを固−液分離装置に導いて、固体フラクションと液体フラクションとを生成し、固体フラクションがアルカリ金属又はアルカリ土類金属の塩化物塩又は硫化物塩を含んで成り、液体フラクションが水、フッ化水素、未反応の酸およびアルカリ金属又はアルカリ土類金属の塩化物塩又は硫化物塩を含んで成る、態様１８〜２０のいずれかに記載の方法。
（態様２２）
蒸留塔で水、フッ化水素および未反応の酸の少なくとも１つを分離することを含んで成る、態様２１に記載の方法。
（態様２３）
アルカリ金属又はアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩およびケイ素源を実質的に無水の酸で接触させる、態様１〜１５のいずれかに記載の方法。
（態様２４）
フッ化物塩とケイ素源とを、流動化ガスとして酸を含む流動床リアクターに導く、態様２３に記載の方法。
（態様２５）
生成ガスとアルカリ金属又はアルカリ土類金属の粒状の塩化物塩又は硫化物塩とを流動床リアクターで生成させ、生成ガスが四フッ化ケイ素、フッ化水素および未反応の酸を含んで成る、態様２４に記載の方法。
（態様２６）
蒸留塔で四フッ化ケイ素を少なくとも１つの他のガスから分離させることを含んで成る、態様２５に記載の方法。
（態様２７）
フッ化物塩が約５００μｍ以下の平均公称径を有する微粒子である、態様１〜２６のいずれかに記載の方法。
（態様２８）
フッ化物塩が約３００μｍ以下の平均公称径を有する微粒子である、態様１〜２６のいずれかに記載の方法。
（態様２９）
少なくとも約１：１、少なくとも約２：１、少なくとも約３：１、少なくとも約１０：１又は約１：１〜約２５：１のモル比で酸とフッ化物塩とを反応器に加える、態様１〜２８のいずれかに記載の方法。
（態様３０）
反応器に加えられるフッ化物塩よりも少なくとも約５モル％、少なくとも約２５モル％、少なくとも約５０モル％、少なくとも約１００モル％、少なくとも約２５０モル％又は少なくとも約５００モル％多く反応器に酸を加える、態様１〜２９のいずれかに記載の方法。
（態様３１）
ケイ素原子数およびフッ素原子数基準で、約１：４、少なくとも約１：３、少なくとも約１：２又は少なくとも約１：１のモル比でケイ素源とフッ化物塩とを反応器に加える、態様１〜３０のいずれかに記載の方法。
（態様３２）
反応器に加えられるフッ化物塩よりも少なくとも約５モル％、少なくとも約２５モル％、少なくとも約５０モル％、少なくとも約１００モル％、少なくとも約２５０モル％又は少なくとも約５００モル％多くケイ素原子が加えられるようにケイ素源を反応器に加える、態様１〜３１のいずれかに記載の方法。
（態様３３）
フッ化物塩から四フッ化ケイ素への転化率が、少なくとも約５０％、少なくとも約７５％、少なくとも約９０％、約５０％〜約９８％、約６０％〜約９８％又は約７５％〜約９８％である、態様１〜３２のいずれかに記載の方法。
（態様３４）
四フッ化ケイ素を生成する方法であって、
アルカリ金属又はアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩、酸およびケイ素源を接触させて、四フッ化ケイ素と少なくとも１種の副産物とを生成すること、および
副産物から四フッ化ケイ素を分離して、生成物として四フッ化ケイ素を回収することを含んで成る、方法。
（態様３５）
液体生成物として保存するため四フッ化ケイ素を凝縮する、態様３４に記載の方法。
（態様３６）
フッ化物塩がシラン生成物の副産物である、態様３４に記載の方法。
（態様３７）
ケイ素源が、砂、石英、フリント、珪藻岩、ケイ酸塩、冶金級ケイ素、ヒュームド・シリカ、フルオロケイ酸塩およびこれらの混合物から成る群から選択される、態様３４〜３６のいずれかに記載の方法。
（態様３８）
酸が塩酸、硫酸およびこれらの混合物から選択される、態様３４〜３７のいずれかに記載の方法。
（態様３９）
酸が塩酸である、態様３４〜３７のいずれかに記載の方法。
（態様４０）
アルカリ金属又はアルカリ土類金属が、リチウム、ナトリウム、カリウム、マグネシウム、バリウム、カルシウムおよびこれらの混合物から選択される、態様３４〜３９のいずれかに記載の方法。
（態様４１）
アルカリ金属又はアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩がＮａＡｌＦ４、Ｎａ５Ａｌ３Ｆ１４、Ｎａ３ＡｌＦ６およびこれらの混合物から成る群から選択される、態様３４〜３９のいずれかに記載の方法。
（態様４２）
ＮａＡｌＦ４、Ｎａ５Ａｌ３Ｆ１４およびＮａ３ＡｌＦ６の混合物を酸と接触させる、態様３４〜３９のいずれかに記載の方法。
（態様４３）
又、混合物がフッ化アルミニウムおよび/又はフッ化ナトリウムをも含んで成る、態様４２に記載の方法。
（態様４４）
フッ化水素とアルカリ金属又はアルカリ土類金属の塩化物塩又は硫化物塩とが、副産物として生成される、態様３４〜４３のいずれかに記載の方法。
（態様４５）
塩化物塩が副産物として生成され、塩化物塩がＬｉＣｌ、ＮａＣｌ、ＫＣｌ、ＭｇＣｌ２、ＢａＣｌ２、ＣａＣｌ２およびこれらの混合物から成る群から選択される、態様４４に記載の方法。
（態様４６）
塩化物塩がＮａＣｌである、態様４５に記載の方法。
（態様４７）
フッ化水素をケイ素源と接触させて、四フッ化ケイ素を生成する、態様４４に記載の方法。
（態様４８）
アルカリ金属又はアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩とケイ素源とを水性酸と接触させる、態様３４〜４７のいずれかに記載の方法。
（態様４９）
アルカリ金属又はアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩およびケイ素源を反応器に導いて、四フッ化ケイ素を含む生成ガスおよび副産物を含むスラリーを生成する、態様４８に記載の方法。
（態様５０）
アルカリ金属又はアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩とケイ素源とを連続的に反応器に供給し、スラリーと生成ガスとを連続的に反応器から除去する、態様４９に記載の方法。
（態様５１）
生成ガスが四フッ化ケイ素とフッ化水素とを含んで成る、態様４９又は５０に記載の方法。
（態様５２）
蒸留塔でフッ化水素と四フッ化ケイ素とを分離することを含んで成る、態様５１に記載の方法。
（態様５３）
スラリーを固−液分離装置に導いて、固体フラクションと液体フラクションとを生成し、固体フラクションがアルカリ金属又はアルカリ土類金属の塩化物塩又は硫化物塩を含んで成り、液体フラクションが水、フッ化水素、未反応の酸およびアルカリ金属又はアルカリ土類金属の塩化物塩又は硫化物塩を含んで成る、態様５０〜５２のいずれかに記載の方法。
（態様５４）
蒸留塔で水、フッ化水素および未反応の酸の少なくとも１つを分離することを含んで成る、態様５３に記載の方法。
（態様５５）
アルカリ金属又はアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩およびケイ素源を実質的に無水の酸と接触させる、態様３４〜４７のいずれかに記載の方法。
（態様５６）
フッ化物塩とケイ素源とを、流動化ガスとして酸を含む流動床リアクターに導く、態様５５に記載の方法。
（態様５７）
生成ガスとアルカリ金属又はアルカリ土類金属の粒状の塩化物塩又は硫化物塩とを流動床リアクターで生成させ、生成ガスが四フッ化ケイ素、フッ化水素および未反応の酸を含んで成る、態様５６に記載の方法。
（態様５８）
蒸留塔で四フッ化ケイ素を少なくとも１つの他のガスから分離させることを含んで成る、態様５７に記載の方法。
（態様５９）
フッ化物塩が約５００μｍ以下の平均公称径を有する微粒子である、態様３４〜５８のいずれかに記載の方法。
（態様６０）
フッ化物塩が約３００μｍ以下の平均公称径を有する微粒子である、態様３４〜５８のいずれかに記載の方法。
（態様６１）
少なくとも約１：１、少なくとも約２：１、少なくとも約３：１、少なくとも約１０：１又は約１：１〜約２５：１のモル比で酸とフッ化物塩とを反応器に加える、態様３４〜６０のいずれかに記載の方法。
（態様６２）
反応器に加えられるフッ化物塩よりも少なくとも約５モル％、少なくとも約２５モル％、少なくとも約５０モル％、少なくとも約１００モル％、少なくとも約２５０モル％又は少なくとも約５００モル％多く反応器に酸を加える、態様３４〜６１のいずれかに記載の方法。
（態様６３）
ケイ素原子数およびフッ素原子数基準で、約１：４、少なくとも約１：３、少なくとも約１：２又は少なくとも約１：１のモル比でケイ素源とフッ化物塩とを反応器に加える、態様３４〜６２のいずれかに記載の方法。
（態様６４）
反応器に加えられるフッ化物塩よりも少なくとも約５モル％、少なくとも約２５モル％、少なくとも約５０モル％、少なくとも約１００モル％、少なくとも約２５０モル％又は少なくとも約５００モル％多くケイ素原子が加えられるようにケイ素源を反応器に加える、態様３４〜６３のいずれかに記載の方法。
（態様６５）
フッ化物塩から四フッ化ケイ素への転化率が、少なくとも約５０％、少なくとも約７５％、少なくとも約９０％、約５０％〜約９８％、約６０％〜約９８％又は約７５％〜約９８％である、態様３４〜６４のいずれかに記載の方法。
（態様６６）
シランと四フッ化ケイ素とを生成する方法であって、
四フッ化ケイ素および四水素化アルミニウムのアルカリ金属塩又はアルカリ土類金属塩を接触させて、シランおよびアルカリ金属又はアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩を含んで成る流出液を生成すること、
流出液、酸およびケイ素源を接触させて、四フッ化ケイ素と少なくとも１種の副産物を生成すること、および
四フッ化ケイ素を副産物から分離することを含んで成る、方法。
（態様６７）
四水素化アルミニウムを含む反応溶液を通じて四フッ化ケイ素を泡立てる、態様６６に記載の方法。
（態様６８）
約３０℃〜約８０℃に維持されている反応媒体で、四フッ化ケイ素および四水素化アルミニウムを接触させる、態様６６又は６７に記載の方法。
（態様６９）  
固−液分離装置で反応媒体からフッ化物塩を分離する、態様６８に記載の方法。
（態様７０）
副産物から分離された四フッ化ケイ素を使用して、四フッ化ケイ素と四水素化アルミニウムのアルカリ金属塩又はアルカリ土類金属塩とを反応させて、シランを追加的に生成する、態様６６〜６９のいずれかに記載の方法。
（態様７１）
液体生成物として保存するため四フッ化ケイ素を凝縮する、態様６６〜７０のいずれかに記載の方法。
（態様７２）
ケイ素源が、砂、石英、フリント、珪藻岩、ケイ酸塩、冶金級ケイ素、ヒュームド・シリカ、フルオロケイ酸塩およびこれらの混合物から成る群から選択される、態様６６〜７１のいずれかに記載の方法。
（態様７３）
流出液が、約３０重量％〜約９５重量％のアルカリ金属又はアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩を含んで成る、態様６６〜７２のいずれかに記載の方法。
（態様７４）
流出液が、約７０重量％〜約９５重量％のアルカリ金属又はアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩を含んで成る、態様６６〜７２のいずれかに記載の方法。
（態様７５）
酸が塩酸、硫酸およびこれらの混合物から選択される、態様６６〜７４のいずれかに記載の方法。
（態様７６）
酸が塩酸である、態様６６〜７４のいずれかに記載の方法。
（態様７７）
アルカリ金属又はアルカリ土類金属が、リチウム、ナトリウム、カリウム、マグネシウム、バリウム、カルシウムおよびこれらの混合物から選択される、態様６６〜７６のいずれかに記載の方法。
（態様７８）
アルカリ金属又はアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩がＮａＡｌＦ４、Ｎａ５Ａｌ３Ｆ１４、Ｎａ３ＡｌＦ６およびこれらの混合物から成る群から選択される、態様６６〜７６のいずれかに記載の方法。
（態様７９）
流出液がＮａＡｌＦ４、Ｎａ５Ａｌ３Ｆ１４およびＮａ３ＡｌＦ６を含んで成る、態様６６〜７６のいずれかに記載の方法。
（態様８０）
又、流出液がフッ化アルミニウムおよび/又はフッ化ナトリウムを含んで成る、態様７９に記載の方法。
（態様８１）
フッ化水素とアルカリ金属又はアルカリ土類金属の塩化物塩又は硫化物塩とが、副産物として生成される、態様６６〜８０のいずれかに記載の方法。
（態様８２）
塩化物塩が副産物として生成され、塩化物塩がＬｉＣｌ、ＮａＣｌ、ＫＣｌ、ＭｇＣｌ２、ＢａＣｌ２、ＣａＣｌ２およびこれらの混合物から成る群から選択される、態様８１に記載の方法。
（態様８３）
塩化物塩がＮａＣｌである、態様８２に記載の方法。
（態様８４）
フッ化水素をケイ素源と接触させて、四フッ化ケイ素を生成する、態様８１に記載の方法。
（態様８５）
アルカリ金属又はアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩およびケイ素源を水性酸と接触させる、態様６６〜８４のいずれかに記載の方法。
（態様８６）
アルカリ金属又はアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩およびケイ素源を反応器に導いて、四フッ化ケイ素を含む生成ガスおよび副産物を含むスラリーを生成する、態様８５に記載の方法。
（態様８７）
アルカリ金属又はアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩とケイ素源とを連続的に反応器に供給して、スラリーと生成ガスとを連続的に反応器から除去する、態様８６に記載の方法。
（態様８８）
生成ガスが四フッ化ケイ素とフッ化水素とを含んで成る、態様８６又は８７に記載の方法。
（態様８９）
蒸留塔でフッ化水素と四フッ化ケイ素とを分離することを含んで成る、態様８８に記載の方法。
（態様９０）
スラリーを固−液分離装置に導いて、固体フラクションと液体フラクションとを生成し、固体フラクションがアルカリ金属又はアルカリ土類金属の塩化物塩又は硫化物塩を含んで成り、液体フラクションが水、フッ化水素、未反応の酸およびアルカリ金属又はアルカリ土類金属の塩化物塩又は硫化物塩を含んで成る、態様８６〜８９のいずれかに記載の方法。
（態様９１）
蒸留塔で水、フッ化水素および未反応の酸の少なくとも１つを分離することを含んで成る、態様９０に記載の方法。
（態様９２）
アルカリ金属又はアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩およびケイ素源を実質的に無水の酸と接触させる、態様６６〜８４のいずれかに記載の方法。
（態様９３）
フッ化物塩およびケイ素源を、流動化ガスとして酸を含む流動床リアクターに導く、態様９２に記載の方法。
（態様９４）
生成ガスとアルカリ金属又はアルカリ土類金属の粒状の塩化物塩又は硫化物塩とを流動床リアクターで生成させ、生成ガスが四フッ化ケイ素、フッ化水素および未反応の酸を含んで成る、態様９３に記載の方法。
（態様９５）
蒸留塔で四フッ化ケイ素を少なくとも１つの他のガスから分離させることを含んで成る、態様９４に記載の方法。
（態様９６）
フッ化物塩が約５００μｍ以下の平均公称径を有する微粒子である、態様６６〜９５のいずれかに記載の方法。
（態様９７）
フッ化物塩が約３００μｍ以下の平均公称径を有する微粒子である、態様６６〜９５のいずれかに記載の方法。
（態様９８）
少なくとも約１：１、少なくとも約２：１、少なくとも約３：１、少なくとも約１０：１又は約１：１〜約２５：１のモル比で酸とフッ化物塩とを反応器に加える、態様６６〜９７のいずれかに記載の方法。
（態様９９）
反応器に加えられるフッ化物塩よりも少なくとも約５モル％、少なくとも約２５モル％、少なくとも約５０モル％、少なくとも約１００モル％、少なくとも約２５０モル％又は少なくとも約５００モル％多く反応器に酸を加える、態様６６〜９８のいずれかに記載の方法。
（態様１００）
ケイ素原子数およびフッ素原子数基準で、約１：４、少なくとも約１：３、少なくとも約１：２又は少なくとも約１：１のモル比でケイ素源とフッ化物塩とを反応器に加える、態様６６〜９９のいずれかに記載の方法。
（態様１０１）
反応器に加えられるフッ化物塩よりも少なくとも約５モル％、少なくとも約２５モル％、少なくとも約５０モル％、少なくとも約１００モル％、少なくとも約２５０モル％又は少なくとも約５００モル％多くケイ素原子が加えられるようにケイ素源を反応器に加える、態様６６〜１００のいずれかに記載の方法。
（態様１０２）
フッ化物塩から四フッ化ケイ素への転化率が、少なくとも約５０％、少なくとも約７５％、少なくとも約９０％、約５０％〜約９８％、約６０％〜約９８％又は約７５％〜約９８％である、態様６６〜１０１のいずれかに記載の方法。
（態様１０３）
シランと四フッ化ケイ素とを生成する方法であって、
アルカリ金属又はアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩を含んで成るフルオロアルミン酸塩原料、酸およびケイ素源を接触させて、四フッ化ケイ素と少なくとも１種の副産物とを生成すること、
副産物から四フッ化ケイ素を分離すること、および
四フッ化ケイ素と四水素化アルミニウムのアルカリ金属塩又はアルカリ土類金属塩とを反応させて、シランを生成することを含んで成る、方法。
（態様１０４）
四水素化アルミニウムを含む反応溶液を通じて四フッ化ケイ素を泡立てる、態様１０３に記載の方法。
（態様１０５）
約３０℃〜約８０℃に維持されている反応媒体で、四フッ化ケイ素および四水素化アルミニウムを接触させる、態様１０３又は１０４に記載の方法。
（態様１０６）  
固−液分離装置で反応媒体からフッ化物塩を分離する、態様１０５に記載の方法。
（態様１０７）
ケイ素源が、砂、石英、フリント、珪藻岩、ケイ酸塩、冶金級ケイ素、ヒュームド・シリカ、フルオロケイ酸塩およびこれらの混合物から成る群から選択される、態様１０３〜１０６のいずれかに記載の方法。
（態様１０８）
フルオロアルミン酸塩原料が、約３０重量％〜約９５重量％のアルカリ金属又はアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩を含んで成る、態様１０３〜１０７のいずれかに記載の方法。
（態様１０９）
フルオロアルミン酸塩原料が、約７０重量％〜約９５重量％のアルカリ金属又はアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩を含んで成る、態様１０３〜１０７のいずれかに記載の方法。
（態様１１０）
酸が塩酸、硫酸およびこれらの混合物から選択される、態様１０３〜１０９のいずれかに記載の方法。
（態様１１１）
酸が塩酸である、態様１０３〜１０９のいずれかに記載の方法。
（態様１１２）
アルカリ金属又はアルカリ土類金属が、リチウム、ナトリウム、カリウム、マグネシウム、バリウム、カルシウムおよびこれらの混合物から選択される、態様１０３〜１１１のいずれかに記載の方法。
（態様１１３）
アルカリ金属又はアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩がＮａＡｌＦ４、Ｎａ５Ａｌ３Ｆ１４、Ｎａ３ＡｌＦ６およびこれらの混合物から成る群から選択される、態様１０３〜１１１のいずれかに記載の方法。
（態様１１４）
フルオロアルミン酸塩原料がＮａＡｌＦ４、Ｎａ５Ａｌ３Ｆ１４およびＮａ３ＡｌＦ６を含んで成る、態様１０３〜１１１のいずれかに記載の方法。
（態様１１５）
又、フルオロアルミン酸塩原料がフッ化アルミニウムおよび/又はフッ化ナトリウムを含んで成る、態様１１４に記載の方法。
（態様１１６）
フッ化水素とアルカリ金属又はアルカリ土類金属の塩化物塩又は硫化物塩とが、副産物として生成される、態様１０３〜１１５のいずれかに記載の方法。
（態様１１７）
塩化物塩が副産物として生成され、塩化物塩がＬｉＣｌ、ＮａＣｌ、ＫＣｌ、ＭｇＣｌ２、ＢａＣｌ２、ＣａＣｌ２およびこれらの混合物から成る群から選択される、態様１１６に記載の方法。
（態様１１８）
塩化物塩がＮａＣｌである、態様１１７に記載の方法。
（態様１１９）
フッ化水素をケイ素源と接触させて、四フッ化ケイ素を生成する、態様１１６に記載の方法。
（態様１２０）
アルカリ金属又はアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩およびケイ素源を水性酸と接触させる、態様１０３〜１１９のいずれかに記載の方法。
（態様１２１）
アルカリ金属又はアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩およびケイ素源を反応器に導いて、四フッ化ケイ素を含む生成ガスおよび副産物を含むスラリーを生成する、態様１２０に記載の方法。
（態様１２２）
アルカリ金属又はアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩とケイ素源とを連続的に反応器に供給して、スラリーと生成ガスとを連続的に反応器から除去する、態様１２１に記載の方法。
（態様１２３）
生成ガスが四フッ化ケイ素とフッ化水素とを含んで成る、態様１２１又は１２２に記載の方法。
（態様１２４）
蒸留塔でフッ化水素と四フッ化ケイ素とを分離することを含んで成る、態様１２３に記載の方法。
（態様１２５）
スラリーを固−液分離装置に導いて、固体フラクションと液体フラクションとを生成し、固体フラクションがアルカリ金属又はアルカリ土類金属の塩化物塩又は硫化物塩を含んで成り、液体フラクションが水、フッ化水素、未反応の酸およびアルカリ金属又はアルカリ土類金属の塩化物塩又は硫化物塩を含んで成る、態様１２１〜１２４のいずれかに記載の方法。
（態様１２６）
蒸留塔で水、フッ化水素および未反応の酸の少なくとも１つを分離することを含んで成る、態様１２５に記載の方法。
（態様１２７）
アルカリ金属又はアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩およびケイ素源を実質的に無水の酸と接触させる、態様１０３〜１１９のいずれかに記載の方法。
（態様１２８）
フッ化物塩およびケイ素源を、流動化ガスとして酸を含む流動床リアクターに導く、態様１２７に記載の方法。
（態様１２９）
生成ガスとアルカリ金属又はアルカリ土類金属の粒状の塩化物塩又は硫化物塩とを流動床リアクターで生成させ、生成ガスが四フッ化ケイ素、フッ化水素および未反応の酸を含んで成る、態様１２８に記載の方法。
（態様１３０）
蒸留塔で四フッ化ケイ素を少なくとも１つの他のガスから分離させることを含んで成る、態様１２９に記載の方法。
（態様１３１）
酸と接触するフッ化物塩が約５００μｍ以下の平均公称径を有する微粒子である、態様１０３〜１３０のいずれかに記載の方法。
（態様１３２）
酸と接触するフッ化物塩が約３００μｍ以下の平均公称径を有する微粒子である、態様１０３〜１３０のいずれかに記載の方法。
（態様１３３）
少なくとも約１：１、少なくとも約２：１、少なくとも約３：１、少なくとも約１０：１又は約１：１〜約２５：１のモル比で酸とフッ化物塩とを反応器に加える、態様１０３〜１３２のいずれかに記載の方法。
（態様１３４）
反応器に加えられるフッ化物塩よりも少なくとも約５モル％、少なくとも約２５モル％、少なくとも約５０モル％、少なくとも約１００モル％、少なくとも約２５０モル％又は少なくとも約５００モル％多く反応器に酸を加える、態様１０３〜１３３のいずれかに記載の方法。
（態様１３５）
ケイ素原子数およびフッ素原子数基準で、約１：４、少なくとも約１：３、少なくとも約１：２又は少なくとも約１：１のモル比でケイ素源とフッ化物塩とを反応器に加える、態様１０３〜１３４のいずれかに記載の方法。
（態様１３６）
反応器に加えられるフッ化物塩よりも少なくとも約５モル％、少なくとも約２５モル％、少なくとも約５０モル％、少なくとも約１００モル％、少なくとも約２５０モル％又は少なくとも約５００モル％多くケイ素原子が加えられるようにケイ素源を反応器に加える、態様１０３〜１３５のいずれかに記載の方法。
（態様１３７）
フッ化物塩から四フッ化ケイ素への転化率が、少なくとも約５０％、少なくとも約７５％、少なくとも約９０％、約５０％〜約９８％、約６０％〜約９８％又は約７５％〜約９８％である、態様１０３〜１３６のいずれかに記載の方法。