Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成21年9月14日(2009.9.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
ひずみゲージには、ゲージベース上にゲージ抵抗（ゲージグリッドと称されている。）が添着された一般のひずみゲージの他に、近来、ゲージベース上にゲージ抵抗と共に測温抵抗体が添着された測温抵抗体付きのひずみゲージが用いられるようになってきた（例えば、特許文献１参照）。以下、単にひずみゲージと称するときは、上記した一般のひずみゲージと測温抵抗体付きのひずみゲージの両方を意味するものとする。
図８は、従来のひずみ計測システムの構成を示す概略図である。この例の従来のひずみ計測システムは、複数のひずみゲージ１１、１２、・・・と、複数のケーブル２１、２２、２３、・・・と、ひずみ測定装置３とを有している。図８に示すひずみゲージ１は、ポリイミド系樹脂のフィルムからなるゲージベース１１上に、厚さ数μｍを有し、銅・ニッケル系合金またはニッケル・クロム系合金からなり、蛇行状の抵抗箔（ゲージ抵抗）Ｒａが接着されて構成されていると共に、ゲージベース１１上には、ゲージ抵抗Ｒａの近傍に、白金からなる測温抵抗体Ｒｐｔが形成されている。ゲージ抵抗Ｒａは、その一端がゲージタブ１２ａに一体に連接されると共に、その他端がゲージタブ１２ｃに一体に連接されている。ゲージタブ１２ａには図示せぬリード線およびゲージ端子を介してケーブル２１の一端が接続され、ゲージタブ１２ｃには図示せぬリード線およびゲージ端子を介してケーブル２３の一端が接続されている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
また、従来のひずみ測定装置には、４個のゲージ抵抗からなるひずみゲージブリッジとひずみゲージブリッジの一方の出力端子に白金からなる測温抵抗体を接続させた検出部（４ゲージ法測定モードの測温抵抗体付き４線式）と、この検出部に接続され、測温モードとひずみ変換モードを切り換えながら検出部から供給される各種計測データを処理する測定部とからなるものもある。測定部は、定電流ブリッジ電源と、ひずみゲージブリッジの各入力端子を定電流ブリッジ電源または接地回路との接続状態に切り換える第１および第２のスイッチ回路と、測温抵抗体の端子とひずみゲージブリッジの他方の出力端子が接続された差動増幅器と、単一の測温用定電流回路と、測温用定電流回路を差動増幅器の非反転入力端子または反転入力端子、若しくは自己のオフ端子との接続状態に切り換える第３スイッチ回路を具備している（例えば、特許文献２参照。）。以下、この技術を第２の従来例と呼ぶ。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【特許文献１】特開平２−２１８９０３号公報
【特許文献２】実開平６−４６３３７号公報（請求項１，［０００３］〜［０００６］，［００１３］〜［００１７］、図１）
【手続補正書】
【提出日】平成21年2月20日(2009.2.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
以下、インクジェット式記録装置あるいは液体噴射装置の一例であるインクジェットプリンタを例にとって説明する。  
インクジェットプリンタには、記録ヘッドを保持して記録ヘッドを主走査方向に往復動させるキャリッジ構造体が設けられている。従来のキャリッジ構造体は、下記の特許文献１に示すように単一部材によって構成されていた。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
最近ではインクジェットプリンタの小型化、軽量化が急速に進展しており、キャリッジ構造体の小型化、軽量化も避けては通れない急務な課題となってきた。特に、可搬タイプ等の極めてコンパクトなインクジェットプリンタにあっては、インクカートリッジがプリンタ本体に対して装着され、キャリッジ構造体には装着されない方式を採用していることから、キャリッジ構造体の構造を見直し、小型、軽量で機能的な新たなキャリッジ構造体の開発が望まれていた。
【手続補正書】
【提出日】平成21年1月16日(2009.1.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
リンク機構によって取付けられ、用紙を収容可能な第１の高さ位置と、前記第１の高さ位置とは異なる第２の高さ位置との間で回動可能であり、いずれの高さ位置にあっても傾斜角度が一定のトレイと、
用紙を間に挟んで搬送するローラ対の一方のローラが他方のローラと接する第１の位置と、前記一方のローラが前記他方のローラと離れる第２の位置との間で回動可能であり、前記一方のローラを支持する用紙案内部材と、
前記トレイが前記第１の高さ位置にあるときには前記用紙案内部材が前記第１の位置にあり、前記トレイが前記第２の高さ位置にあるときには前記用紙案内部材が前記第２の位置にくるように、前記リンク機構と前記用紙案内部材を連結する連結部材と、
前記ローラ対の間に挟まれて搬送された用紙に後処理を行う処理機構と、
前記処理機構によって後処理された用紙を排出する排出機構と、を具備することを特徴とする用紙後処理装置。
【請求項２】
前記リンク機構は、第１の固定部材まわりに回動し、前記トレイに取付けられた第２の固定部材まわりに回動し、前記第１，第２の固定部材を連結するように平行に配置した第１，第２のリンク部材とを備え、
前記第１，第２のリンク部材は、前記トレイが前記第１の高さ位置にあるときは、水平方向に平行であり、前記トレイが前記第２の高さ位置にあるときは、垂直方向に平行であることを特徴とする請求項１記載の用紙後処理装置。
【請求項３】
前記用紙案内部材は、前記トレイの下にあることを特徴とする請求項１記載の用紙後処理装置。
【請求項４】
前記リンク機構は、前記トレイの下にあり、第１の固定部材まわりに回動し、前記トレイに取付けられた第２の固定部材まわりに回動し、前記第１，第２の固定部材を連結するように平行に配置した第１，第２のリンク部材とを備え、
前記第１，第２のリンク部材は、前記トレイが前記第１の高さ位置にあるときは、水平方向に平行であり、前記トレイが前記第２の高さ位置にあるときは、垂直方向に平行であることを特徴とする請求項３記載の用紙後処理装置。
【請求項５】
用紙を搬入する搬入口と、
前記搬入口から搬入された前記用紙を、前記ローラ対と前記トレイとのいずれかに切り換えて搬送するためのゲートを具備することを特徴とする請求項１記載の用紙後処理装置。
【請求項６】
前記用紙案内部材は、前記搬入口から遠い側の端部を支点に回動可能であって、前記連結部材によって前記リンク機構と連動して回動することを特徴とする請求項５記載の用紙後処理装置。
【請求項７】
前記ローラ対は、前記搬入口に設けた上下入口ローラと、前記後処理を要する用紙を前記処理機構に導くための上下給紙ローラとを備えることを特徴とする請求項５記載の用紙後処理装置。
【請求項８】
前記トレイが前記第１の高さ位置から前記第２の高さ位置へ回動するのを緩衝するダンパー機構を備えることを特徴とする請求項１記載の用紙後処理装置。
【請求項９】
用紙を間に挟んで搬送するローラ対によって搬送された用紙に後処理を行う処理機構を備える用紙後処理装置を用いて行うペーパージャムの解除方法であって、
用紙を収容可能な第１の高さ位置から、前記第１の高さ位置とは異なる第２の高さ位置へと、トレイを、リンク機構によっていずれの高さ位置にあっても傾斜角度を一定に回動させ、
前記ローラ対の一方のローラが他方のローラと接する第１の位置から、前記一方のローラが前記他方のローラと離れる第２の位置へと、前記一方のローラを支持する用紙案内部材を、前記リンク機構と前記用紙案内部材とを連結する連結部材によって回動させることを特徴とするペーパージャムの解除方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】用紙後処理装置及びペーパージャムの解除方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の一実施形態によれば、リンク機構によって取付けられ、用紙を収容可能な第１の高さ位置と、前記第１の高さ位置とは異なる第２の高さ位置との間で回動可能であり、いずれの高さ位置にあっても傾斜角度が一定のトレイと、
用紙を間に挟んで搬送するローラ対の一方のローラが他方のローラと接する第１の位置と、前記一方のローラが前記他方のローラと離れる第２の位置との間で回動可能であり、前記一方のローラを支持する用紙案内部材と、
前記トレイが前記第１の高さ位置にあるときには前記用紙案内部材が前記第１の位置にあり、前記トレイが前記第２の高さ位置にあるときには前記用紙案内部材が前記第２の位置にくるように、前記リンク機構と前記用紙案内部材を連結する連結部材と、
前記ローラ対の間に挟まれて搬送された用紙に後処理を行う処理機構と、
前記処理機構によって後処理された用紙を排出する排出機構と、を具備することを特徴とする用紙後処理装置が提供される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
前記リンク機構は、第１の固定部材まわりに回動し、前記トレイに取付けられた第２の固定部材まわりに回動し、前記第１，第２の固定部材を連結するように平行に配置した第１，第２のリンク部材とを備え、
前記第１，第２のリンク部材は、前記トレイが前記第１の高さ位置にあるときは、水平方向に平行であり、前記トレイが前記第２の高さ位置にあるときは、垂直方向に平行であることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また、前記用紙案内部材は、前記トレイの下にあることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
さらに、前記ローラ対は、前記搬入口に設けた上下入口ローラと、前記後処理を要する用紙を前記処理機構に導くための上下給紙ローラとを備えることを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、前記トレイが前記第１の高さ位置から前記第２の高さ位置へ回動するのを緩衝するダンパー機構を備えることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成20年12月16日(2008.12.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを吐出する複数のノズルと、吐出エネルギーを発生する複数の記録素子とが配列された複数の記録素子基板がノズル配列方向に沿って配置されているインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記各記録素子基板における前記複数のノズルから吐出されるインクの平均吐出量の大きさの順に複数の前記記録素子基板が配置されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
インクを吐出する複数のノズルと、吐出エネルギーを発生する複数の記録素子とが配列された複数の記録素子基板がノズル配列方向に沿って配置されているインクジェット記録ヘッドにおいて、
Ｎ個の前記記録素子基板を備え、前記記録素子基板を一端側から順に１番目からＮ番目としたときに、１番目とＮ番目の前記記録素子基板における前記複数のノズルから吐出されるインクの各平均吐出量がほぼ等しく、１からＮ番目の前記記録素子基板間でそれぞれ隣接する前記各記録素子基板における前記複数のノズルから吐出されるインクの平均吐出量の差がほぼ一定にされていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
前記各記録素子基板に形成される複数の吐出口の、吐出口径の平均値の順に複数の前記記録素子基板が配置されている請求項１または２に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
前記各記録素子基板は、複数の前記記録素子がそれぞれ設けられた複数の発泡室を有し、
前記各記録素子基板における前記複数の発泡室の、インクの吐出方向の高さの平均値の順に複数の前記記録素子基板が配置されている請求項１または２に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】
前記各記録素子基板は、複数の前記記録素子がそれぞれ設けられた複数の発泡室を有し、
前記各記録素子基板における前記複数の発泡室の、発泡室体積の平均値の順に複数の前記記録素子基板が配置されている請求項１または２に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項６】
前記記録素子は電気熱変換素子であり、吐出方向が前記電気熱変換素子面に直交する方向である請求項１ないし５のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項７】
発泡時に発生した気泡が外気と連通することでインクの吐出が完了するように構成されている請求項１ないし６のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項８】
前記ノズルは、フォトリソグラフィ技術によって形成されている請求項１ないし７のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項９】
前記ノズルが被記録媒体の記録領域の全幅にわたって配設されてなるフルラインタイプのものである請求項１ないし８のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項１０】
請求項１ないし８のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッドを備え、
前記インクジェット記録ヘッドを前記ノズル配列方向と異なる方向に、被記録媒体に対して相対的に主走査させながら、被記録媒体上にインクを吐出し、該主走査毎に前記インクジェット記録ヘッドと前記被記録媒体とを相対的に前記ノズル配列方向に副走査することによって記録を行うインクジェット記録装置。
【請求項１１】
インクを吐出する複数のノズルと、吐出エネルギーを発生する複数の記録素子と、複数の前記記録素子がそれぞれ設けられた複数の発泡室とが配列された複数の記録素子基板がノズル配列方向に沿って配置され、前記各記録素子基板上には、フォトリソグラフィ技術によって前記ノズルと共にノズル形成材で形成されたダミーパターンを有するインクジェット記録ヘッドの製造装置であって、
複数の前記記録素子基板における前記吐出口の吐出口径、前記発泡室の、インクの吐出方向の高さ、前記発泡室の体積、または前記ダミーパターンの形状寸法の少なくとも１つの寸法を測定する寸法測定ユニット部と、前記寸法測定ユニット部が測定した測定データに基づいて、同一のインクジェット記録ヘッドに使用する複数の前記記録素子基板とその配列位置を決定するコントローラ部と、前記コントローラ部で決定された情報に基づいて、前記各記録素子基板を配列し、位置決め固定する組立ユニット部とを備えるインクジェット記録ヘッドの製造装置。
【請求項１２】
前記寸法測定ユニット部は、ウエハーに形成されている前記記録素子基板の寸法を測定する請求項１１に記載のインクジェット記録ヘッドの製造装置。
【請求項１３】
インクを吐出する複数のノズルと、吐出エネルギーを発生する複数の記録素子と、複数の前記記録素子がそれぞれ設けられた複数の発泡室とが配列された複数の記録素子基板がノズル配列方向に沿って配置され、前記各記録素子基板上には、フォトリソグラフィ技術によって前記ノズルと共にノズル形成材で形成されたダミーパターンを有するインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、
複数の前記記録素子基板における前記吐出口の吐出口径、前記発泡室の、インクの吐出方向の高さ、前記発泡室の体積、または前記ダミーパターンの形状寸法の少なくとも１つの寸法を測定する寸法測定工程と、
前記寸法測定工程で測定された測定データに基づいて、同一の前記インクジェット記録ヘッドに使用する複数の前記記録素子基板とその配列位置をコントローラ部で決定する工程と、
前記コントローラ部で決定された情報に基づいて、前記各記録素子基板を配列し、位置決めして固定する組立工程とを備えるインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項１４】
前記寸法測定工程では、ウエハーに形成されている前記記録素子基板の寸法を測定する請求項１３に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
上述した目的を達成するため、本発明に係るインクジェット記録ヘッドは、インクを吐出する複数のノズルと、吐出エネルギーを発生する複数の記録素子とが配列された複数の記録素子基板がノズル配列方向に沿って配置されているインクジェット記録ヘッドにおいて、各記録素子基板における複数のノズルから吐出されるインクの平均吐出量の大きさの順に複数の記録素子基板が配置されている。
【手続補正書】
【提出日】平成21年11月6日(2009.11.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
そこで、図４のリアローディング型ショートストロークプレス方式の押出プレス装置に適用されるステムの上昇移動機構の例を、図５に示した。ここでは、図４に示されたステム支持部材７が、ステム上下動支持体７１、スライドガイド部材７２、ステムスライド台７３、そして、ステムクランプ部材７４で構成されている。スライドガイド部材７２は、ステム上下動支持体７１に固定され、ステムスライド台７３の両側端が上下に摺動できるスライド溝を備えている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
図１に示されたステムスライド装置は、ステム上下動支持体７１、スライドガイド部材７２−１及び７２−２、ステムスライド台７３、そして、ステムクランプ部材７４−１及び７４−２で基本構成されている。スライドガイド部材７２−１及び７２−２が、ステム上下動支持体７１に固定され、スライドガイド部材７２−１及び７２−２と、ステム上下動支持体７１に施されたライナＬ１−１及びＬ１−２との間に、スライド溝が形成されている。このスライド溝内を、ステムスライド台７３の両側端部Ｅ１、Ｅ２が夫々上下に摺動できるようになっている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
このライナＬ４−１は、図３に示されるように、ステムスライド台７３の背面から突き出て、ステム上下動支持体７１のライナＬ１−１を押圧し、ステムスライド台７３がスライドガイド部材７２−１を摺動するときに、ガタツキを無くす。そして、ステムスライド台７３の背面と、ステム上下動支持体７１のライナＬ１−１との間に、焼き付き防止のための隙間が形成され、この間隙は任意に調節される。また、ライナＬ４−１は、ボルトでステムスライド台７３に固定されているので、磨耗したライナの交換も簡単に行える。
【手続補正書】
【提出日】平成21年6月30日(2009.6.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コアと、該コア上に被覆される１層又は複数層からなるカバーとを有し、該カバーに多数のディンプルが形成された最外層が含まれるゴルフボールにおいて、上記最外層が、１種又は２種以上の熱可塑性又は熱硬化性樹脂を主材とし、これに１種又は２種以上の集光性蛍光染料を配合すると共に、最外層に形成されたディンプルのうち少なくとも８０％のディンプルのエッジ角が５〜３０°であることを特徴とするゴルフボール。
【請求項２】
上記集光性蛍光染料の配合量が、主材樹脂１００質量部に対して０．００１〜０．０３質量部である請求項１記載のゴルフボール。
【請求項３】
上記最外層に酸化チタンを含有し、その酸化チタンの配合量が主材樹脂１００質量部に対して０〜０．０３質量部である請求項１又は２記載のゴルフボール。
【請求項４】
純度が９５％以上である集光性蛍光染料を主材樹脂１００質量部に対して０．００１〜０．０３質量部配合し、かつ酸化チタンを主材樹脂１００質量部に対して０．０３質量部以下配合する請求項１〜３のいずれか１項記載のゴルフボール。
【請求項５】
上記集光性蛍光染料の骨格種がペリレン系又はナフタルイミド系である請求項１〜４のいずれか１項記載のゴルフボール。
【請求項６】
上記集光性蛍光染料のストークスシフトが６０ｎｍ以下である請求項１〜５のいずれか１項記載のゴルフボール。
【請求項７】
上記最外層の樹脂材料がアイオノマー系樹脂又はウレタン樹脂である請求項１〜６のいずれか１項記載のゴルフボール。
【請求項８】
コアと、該コア上に被覆された複数層からなるカバーとを有し、該カバーに多数のディンプルが形成された最外層が含まれるゴルフボールにおいて、上記最外層より内側のカバー層のうち少なくとも１層が、１種又は２種以上の熱可塑性又は熱硬化性樹脂を主材とし、これに１種又は２種以上の集光性蛍光染料を配合すると共に、上記最外層に形成されたディンプルのうち少なくとも８０％のディンプルのエッジ角が５〜３０°であることを特徴とするゴルフボール。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
従って、本発明は、下記のゴルフボールを提供する。
〔１〕  コアと、該コア上に被覆される１層又は複数層からなるカバーとを有し、該カバーに多数のディンプルが形成された最外層が含まれるゴルフボールにおいて、上記最外層が、１種又は２種以上の熱可塑性又は熱硬化性樹脂を主材とし、これに１種又は２種以上の集光性蛍光染料を配合すると共に、最外層に形成されたディンプルのうち少なくとも８０％のディンプルのエッジ角が５〜３０°であることを特徴とするゴルフボール。
〔２〕  上記集光性蛍光染料の配合量が、主材樹脂１００質量部に対して０．００１〜０．０３質量部である上記〔１〕記載のゴルフボール。
〔３〕  上記最外層に酸化チタンを含有し、その酸化チタンの配合量が主材樹脂１００質量部に対して０〜０．０３質量部である上記〔１〕又〔２〕記載のゴルフボール。
〔４〕  純度が９５％以上である集光性蛍光染料を主材樹脂１００質量部に対して０．００１〜０．０３質量部配合し、かつ酸化チタンを主材樹脂１００質量部に対して０．０３質量部以下配合する上記〔１〕〜〔３〕のいずれか１項記載のゴルフボール。
〔５〕  上記集光性蛍光染料の骨格種がペリレン系又はナフタルイミド系である上記〔１〕〜〔４〕のいずれか１項記載のゴルフボール。
〔６〕  上記集光性蛍光染料のストークスシフトが６０ｎｍ以下である上記〔１〕〜〔５〕のいずれか１項記載のゴルフボール。
〔７〕  上記最外層の樹脂材料がアイオノマー系樹脂又はウレタン樹脂である上記〔１〕〜〔６〕のいずれか１項記載のゴルフボール。
〔８〕  コアと、該コア上に被覆された複数層からなるカバーとを有し、該カバーに多数のディンプルが形成された最外層が含まれるゴルフボールにおいて、上記最外層より内側のカバー層のうち少なくとも１層が、１種又は２種以上の熱可塑性又は熱硬化性樹脂を主材とし、これに１種又は２種以上の集光性蛍光染料を配合すると共に、上記最外層に形成されたディンプルのうち少なくとも８０％のディンプルのエッジ角が５〜３０°であることを特徴とするゴルフボール。
【手続補正書】
【提出日】平成20年11月17日(2008.11.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
筐体内に設置され、前記筐体の外壁を構成するフレームに設けられた開口部から液滴噴射部を外部に覗かせ、前記開口部を塞ぐように前記フレーム上に一列にアライメントされた複数の短尺液滴噴射装置を備えた長尺液滴噴射装置において、
それぞれの前記短尺液滴噴射装置の周囲に形成され、前記筐体の内外を連通する複数の隙間の少なくとも１ヶ所に、前記隙間を塞ぐ弾性体を配置したことを特徴とする長尺液滴噴射装置。
【請求項２】
筐体内に設置され、前記筐体の外壁を構成するフレームに設けられた開口部から液滴噴射部を外部に覗かせ、前記開口部を塞ぐように前記フレーム上に一列にアライメントされた複数の短尺液滴噴射装置を備えた長尺液滴噴射装置において、
それぞれの前記短尺液滴噴射装置の周囲に形成され、前記筐体の内外を連通する複数の隙間の少なくとも１ヶ所に、前記筐体の内外の気圧差により前記隙間を流れる気流の方向を、前記液滴噴射部から噴射される液滴の噴射方向に影響を及ぼさない方向に向ける弾性体を配置したことを特徴とする長尺液滴噴射装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の長尺液滴噴射装置は、筐体内に設置され、前記筐体の外壁を構成するフレームに設けられた開口部から液滴噴射部を外部に覗かせ、前記開口部を塞ぐように前記フレーム上に一列にアライメントされた複数の短尺液滴噴射装置を備えた長尺液滴噴射装置において、それぞれの前記短尺液滴噴射装置の周囲に形成され、前記筐体の内外を連通する複数の隙間の少なくとも１ヶ所に、前記隙間を塞ぐ弾性体を配置したことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明によれば、印刷品質が高く、筐体内へのインクミストの吸込みによる装置の汚染や作動不良の少ない長尺液滴噴射装置が得られるという効果を奏する。また、隙間を塞ぐ部材として弾性体を用いるので、短尺液滴噴射装置のアライメント作業の妨げにならないという効果をも奏する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本願の第１の発明は、筐体内に設置され、前記筐体の外壁を構成するフレームに設けられた開口部から液滴噴射部を外部に覗かせ、前記開口部を塞ぐように前記フレーム上に一列にアライメントされた複数の短尺液滴噴射装置を備えた長尺液滴噴射装置において、それぞれの前記短尺液滴噴射装置の周囲に形成され、前記筐体の内外を連通する複数の隙間の少なくとも１ヶ所に、前記隙間を塞ぐ弾性体を配置した構成としたものであり、隙間を塞ぐ弾性体により隙間を流れる気流を抑制し、インクの着弾精度に影響を与えず、筐体内へのインクミストの吸込みを防ぐ。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本願の第２の発明は、筐体内に設置され、前記筐体の外壁を構成するフレームに設けられた開口部から液滴噴射部を外部に覗かせ、前記開口部を塞ぐように前記フレーム上に一列にアライメントされた複数の短尺液滴噴射装置を備えた長尺液滴噴射装置において、それぞれの前記短尺液滴噴射装置の周囲に形成され、前記筐体の内外を連通する複数の隙間の少なくとも１ヶ所に、前記筐体の内外の気圧差により前記隙間を流れる気流の方向を、前記液滴噴射部から噴射される液滴の噴射方向に影響を及ぼさない方向に向ける弾性体を配置した構成としたものであり、弾性体により隙間を流れる気流の位置と方向を規制し、インクの着弾精度に影響を与えず、筐体内へのインクミストの吸込みを防ぐ。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成20年11月27日(2008.11.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属板により形成されたベース部と、
前記ベース部に設けられ、書類等を綴じ込む閉リング姿勢と書類等を綴じ入れるために閉リングの一部を開放する開リング姿勢に変化し得るリングと、
前記ベース部に設けられ、前記閉リング姿勢と開リング姿勢とを切り替えるための切替レバーを含む切替機構と、を備え、
前記切替レバーは、基端部と自由端とを有し、その基端部には、自由端の回動位置によって前記各リングの開閉度を調整するカム部材が設けられ、
前記カム部材は、カム本体と、カム本体から突出するカム軸とを有し、
前記ベース部には、前記カム軸の軸受け部が形成され、その軸受け部は、前記ベース部の一部を表面側へ湾曲させた湾曲部分の内面により形成されている、書類等の綴じ具。
【手続補正書】
【提出日】平成21年7月23日(2009.7.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
２枚の互いに対向する基板を含む表示パネルのスペーサアレイと同一な間隔を有するテスト印刷版の凹溝アレイにインクを充填し、
前記テスト印刷版上に転写シートを備える転写ローラをローリングすることによって前記インクを前記転写シートに転写し、
前記転写シートに転写されたインクをテスト基板上に再転写し、
前記再転写されたインクパターンの間隔と前記スペーサアレイの間隔とを比較することによって、印刷溝アレイの間隔を決定することを含むことを特徴とする印刷版の製造方法。
【請求項２】
前記印刷溝アレイの間隔を決定することは、前記ローリング方向を基準に前記印刷溝アレイの幅（Ｗｐ）が、前記スペーサアレイの幅（Ｗｔ１）及び前記再転写されたインクパターンの幅（Ｗｔ２）について以下の式を満足するように決定することを含むことを特徴とする請求項１に記載の印刷版の製造方法。
【数１】
2007160921.tif 000001
【請求項３】
第１の方向に沿って等間隔に配列されており、前記第１の方向と垂直な第２の方向の開始点より終了点において間隔が広く配列されており、２枚の互いに対向する基板を含む表示パネルのセルギャップと深さが実質的に同一な印刷版の印刷溝アレイにスペーサを含むインクを充填し、
前記印刷版上に転写シートを備える転写ローラをローリングすることによって前記インクを前記転写シートに転写し、
前記転写シートに転写されたインクを前記表示パネルの一方の基板上に再転写することを含むことを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項４】
前記印刷溝は、前記第２の方向に沿って前記開始点から前記終了点に向かうほど間隔が広くなることを特徴とする請求項３に記載の表示装置の製造方法。
【請求項５】
前記印刷溝は、第２の方向に沿って配列された２以上の等間隔区間を含み、前記等間隔区間の印刷溝間隔は前記終了点に近いほど広いことを特徴とする請求項３に記載の表示装置の製造方法。
【請求項６】
前記表示板か、マトリクス状に配列された複数個の画素を備え、前記印刷溝の前記第１の方向における間隔は、前記表示パネルの一方の基板に備えられた隣接する画素間の一方向における間隔と実質的に同一であることを特徴とする請求項３に記載の表示装置の製造方法。
【請求項７】
前記ローリングすることは、前記印刷版のローリング転写開始列から前記第２の方向にローリングすることであることを特徴とする請求項３に記載の表示装置の製造方法。
【請求項８】
前記表示パネルの一方の基板は、格子形状の遮光パターンを含み、前記再転写することは、前記インクが前記表示パネルの一方の基板の遮光パターン上に再転写されることであることを特徴とする請求項３に記載の表示装置の製造方法。
【請求項９】
前記再転写することは、前記表示パネルの一方の基板上にローリング方向に沿って前記インクが等間隔に再転写されることであることを特徴とする請求項３に記載の表示装置の製造方法。
【請求項１０】
前記表示パネルの一方の基板は、マトリクス状に配列された複数個の画素を備え、前記ローリング方向に再転写されたインクの間隔は、隣接する前記画素の他方向間隔と同一であることを特徴とする請求項９に記載の表示装置の製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成21年10月13日(2009.10.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも２回の湿式エッチング工程によってシリコン基板に異なる形状を有する少なくとも二つの要素を形成するシリコン湿式エッチング方法において、
前記シリコン基板の表面にパリレンからなる１次エッチングマスクを形成する段階と、
前記１次エッチングマスクを用いて前記シリコン基板を１次湿式エッチングすることによって、第１要素を形成する段階と、
前記シリコン基板の表面にシリコン酸化膜からなる２次エッチングマスクを形成する段階と、
前記２次エッチングマスクを用いて前記シリコン基板を２次湿式エッチングすることによって、第２要素を形成する段階と、
を含むことを特徴とするシリコン湿式エッチング方法。
【請求項２】
前記１次エッチングマスクの形成段階は、
前記シリコン基板の表面にパリレンを蒸着してパリレン膜を形成する段階と、
前記パリレン膜の表面に第１フォトレジストを塗布した後、前記第１フォトレジストをパターニングして前記第１要素を形成するための第１開口部を形成する段階と、
前記第１開口部を介して露出された部位の前記パリレン膜を除去して、前記シリコン基板の表面を部分的に露出させる段階と、
前記第１フォトレジストを除去する段階と、
を含むことを特徴とする請求項１に記載のシリコン湿式エッチング方法。
【請求項３】
前記パリレン膜の部分的な除去は、反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）またはＯ２アッシングによって行われることを特徴とする請求項２に記載のシリコン湿式エッチング方法。
【請求項４】
前記シリコン基板に対する１次湿式エッチングと２次湿式エッチングとにおいて、シリコン用のエッチング液として、水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）または水酸化カリウム（ＫＯＨ）が使われることを特徴とする請求項１に記載のシリコン湿式エッチング方法。
【請求項５】
前記２次エッチングマスクの形成段階は、
前記シリコン基板の表面にシリコン酸化膜を形成する段階と、
前記シリコン酸化膜の表面に第２フォトレジストを塗布した後、前記第２フォトレジストをパターニングして前記第２要素を形成するための第２開口部を形成する段階と、
前記第２開口部を介して露出された部位の前記シリコン酸化膜をエッチングして、前記シリコン基板の表面を部分的に露出させる段階と、
前記第２フォトレジストを除去する段階と、
を含むことを特徴とする請求項１に記載のシリコン湿式エッチング方法。
【請求項６】
複数のリストリクターと複数のノズルとを有するインクジェットプリントヘッドのノズルプレートの製造方法において、
シリコン基板を準備する段階と、
前記シリコン基板の上面にパリレンからなる１次エッチングマスクを形成する段階と、
前記１次エッチングマスクを用いて前記シリコン基板の上面を１次湿式エッチングすることによって、前記複数のリストリクターを形成する段階と、
前記シリコン基板の上面にシリコン酸化膜からなる２次エッチングマスクを形成する段階と、
前記２次エッチングマスクを用いて前記シリコン基板の上面を２次湿式エッチングすることによって、前記複数のノズルのそれぞれのダンパーを形成する段階と、
前記シリコン基板の底面にシリコン酸化膜からなる３次エッチングマスクを形成する段階と、
前記３次エッチングマスクを用いて前記シリコン基板の底面を乾式エッチングすることによって、前記複数のノズルのそれぞれのインク吐出口を前記ダンパーと連通されるように形成する段階と、
を含むことを特徴とするインクジェットプリントヘッドのノズルプレートの製造方法。
【請求項７】
前記１次エッチングマスクの形成段階は、
前記シリコン基板の上面にパリレンを蒸着してパリレン膜を形成する段階と、
前記パリレン膜の表面に第１フォトレジストを塗布した後、前記第１フォトレジストをパターニングして前記複数のリストリクターを形成するための複数の第１開口部を形成する段階と、
前記複数の第１開口部を介して露出された部位の前記パリレン膜を除去して、前記シリコン基板の上面を部分的に露出させる段階と、
前記第１フォトレジストを除去する段階と、
を含むことを特徴とする請求項６に記載のインクジェットプリントヘッドのノズルプレートの製造方法。
【請求項８】
前記シリコン基板に対する１次湿式エッチングと２次湿式エッチングとにおいて、シリコン用のエッチング液として、ＴＭＡＨまたはＫＯＨが使われることを特徴とする請求項６に記載のインクジェットプリントヘッドのノズルプレートの製造方法。
【請求項９】
前記２次エッチングマスクの形成段階は、
前記シリコン基板の上面にシリコン酸化膜を形成する段階と、
前記シリコン基板の上面に形成された前記シリコン酸化膜の上面に第２フォトレジストを塗布した後、前記第２フォトレジストをパターニングして前記複数のダンパーを形成するための複数の第２開口部を形成する段階と、
前記複数の第２開口部を介して露出された部位の前記シリコン酸化膜をエッチングして、前記シリコン基板の上面を部分的に露出させる段階と、
前記第２フォトレジストを除去する段階と、
を含むことを特徴とする請求項６に記載のインクジェットプリントヘッドのノズルプレートの製造方法。
【請求項１０】
前記３次エッチングマスクの形成段階は、
前記シリコン基板の底面にシリコン酸化膜を形成する段階と、
前記シリコン基板の底面に形成された前記シリコン酸化膜の底面に第３フォトレジストを塗布した後、前記第３フォトレジストをパターニングして前記複数のインク吐出口を形成するための複数の第３開口部を形成する段階と、
前記複数の第３開口部を介して露出された部位の前記シリコン酸化膜をエッチングして、前記シリコン基板の底面を部分的に露出させる段階と、
前記第３フォトレジストを除去する段階と、
を含むことを特徴とする請求項６に記載のインクジェットプリントヘッドのノズルプレートの製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成20年12月2日(2008.12.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力されたデータを所定の出力形態で出力する出力手段と、
ユーザの入力操作に応じて、入力されたデータを異なる２つ以上の出力形態で前記出力手段に出力させるための動作フローを作成する作成手段と、
前記作成手段により作成された少なくとも１つ以上の動作フローを登録する登録手段と、
前記登録手段に登録されている動作フローの中から、ユーザにより指定された動作フローを選択する選択手段と、
前記選択手段により選択された動作フローに従って前記出力手段の動作を設定する設定手段と
を備えることを特徴とするデータ処理装置。
【請求項２】
動作フローを作成する際に、ユーザの入力操作を受付可能な動作フロー作成操作画面を表示する表示手段を備えることを特徴とする請求項１記載のデータ処理装置。
【請求項３】
前記出力手段は、少なくとも印刷手段を有し、
前記作成手段によって作成可能な動作フローには、前記印刷手段により、入力されたデータを異なる２つ以上の出力形態で印刷出力する動作フローが含まれることを特徴とする請求項１又は２に記載のデータ処理装置。
【請求項４】
前記出力手段は、印刷手段と少なくとも１つのデータ処理手段とを有し、
前記作成手段によって作成可能な動作フローには、入力されたデータに対して、前記印刷手段により印刷出力する動作と、前記データ処理手段によりデータ処理する動作とを行う動作フローが含まれることを特徴とする請求項１又は２に記載のデータ処理装置。
【請求項５】
入力されたデータを所定の出力形態で出力手段に出力させるためのデータ処理方法であって、
ユーザの入力操作に応じて、入力されたデータを異なる２つ以上の出力形態で前記出力手段に出力させるための動作フローを作成する作成工程と、
前記作成工程で作成された少なくとも１つ以上の動作フローを記憶手段に登録する登録工程と、
前記記憶手段に登録されている動作フローの中から、ユーザにより指定された動作フローを選択する選択工程と、
前記選択工程で選択された動作フローに従って前記出力手段の動作を設定する設定工程と
を有することを特徴とするデータ処理方法。
【請求項６】
入力されたデータを所定の出力形態で出力手段に出力させるためのプログラムであって、
ユーザの入力操作に応じて、入力されたデータを異なる２つ以上の出力形態で前記出力手段に出力させるための動作フローを作成する作成ステップと、
前記作成ステップで作成された少なくとも１つ以上の動作フローを記憶手段に登録する登録ステップと、
前記記憶手段に登録されている動作フローの中から、ユーザにより指定された動作フローを選択する選択ステップと、
前記選択ステップで選択された動作フローに従って前記出力手段の動作を設定する設定ステップと
をコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、入力されたデータを異なる複数の出力形態で出力することが可能な出力手段を有するデータ処理装置、データ処理方法およびプログラムに関する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明は、上記目的を達成するため、入力されたデータを所定の出力形態で出力する出力手段と、ユーザの入力操作に応じて、入力されたデータを異なる２つ以上の出力形態で前記出力手段に出力させるための動作フローを作成する作成手段と、前記作成手段により作成された少なくとも１つ以上の動作フローを登録する登録手段と、前記登録手段に登録されている動作フローの中から、ユーザにより指定された動作フローを選択する選択手段と、前記選択手段により選択された動作フローに従って前記出力手段の動作を設定する設定手段とを備えることを特徴とするデータ処理装置を提供する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明は、上記目的を達成するため、入力されたデータを所定の出力形態で出力手段に出力させるためのデータ処理方法であって、ユーザの入力操作に応じて、入力されたデータを異なる２つ以上の出力形態で前記出力手段に出力させるための動作フローを作成する作成工程と、前記作成工程で作成された少なくとも１つ以上の動作フローを記憶手段に登録する登録工程と、前記記憶手段に登録されている動作フローの中から、ユーザにより指定された動作フローを選択する選択工程と、前記選択工程で選択された動作フローに従って前記出力手段の動作を設定する設定工程とを有することを特徴とするデータ処理方法を提供する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明は、上記目的を達成するため、入力されたデータを所定の出力形態で出力手段に出力させるためのプログラムであって、ユーザの入力操作に応じて、入力されたデータを異なる２つ以上の出力形態で前記出力手段に出力させるための動作フローを作成する作成ステップと、前記作成ステップで作成された少なくとも１つ以上の動作フローを記憶手段に登録する登録ステップと、前記記憶手段に登録されている動作フローの中から、ユーザにより指定された動作フローを選択する選択ステップと、前記選択ステップで選択された動作フローに従って前記出力手段の動作を設定する設定ステップとをコンピュータに実行させることを特徴とするプログラムを提供する。
【手続補正書】
【提出日】平成20年12月5日(2008.12.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
従来、一対の洗浄ブラシの間隔を調整できるようにするためには、ブラシ軸の上端と下端とをそれぞれスライダに回転可能に支持する。スライダはガイド体に形成されたガイド溝に沿ってスライド可能に設けられている。上記スライダにはねじが螺合される。したがって、上記ねじを回転させて上記スライダを上記ガイド溝に沿ってスライドさせることで、一対の洗浄ブラシの間隔、つまり基板の板面に対する圧接状態を調整できるようになっている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
そのため、上記洗浄ブラシの位置決め調整に多くの手間が掛かるということがあったり、洗浄ブラシのブラシ軸の上部と下部とを別々に調整することで、上部と下部との間隔、つまり基板の板面に対する圧接状態が一致するよう精度よく位置決め調整することが難しいなどのことがあった。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
図１に示すように、一対のブラシ洗浄部７の洗浄ブラシ３１の側方にはパイプ３６が上端と下端とをそれぞれ上記処理槽１の上部壁１ｂと下部壁１ａに液密に接続して設けられている。上記パイプ３６には取り付け軸３７が軸線を上記洗浄ブラシ３１の軸線と平行にして回転可能に挿通されている。上記パイプ３６から突出した取り付け軸３７の上端部と下端部はそれぞれ支持部材３８に設けられた図示しない軸受に回転可能に支持されている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
一方の可動部材４７とねじ軸４８は下部アーム４２の下面側に設けられ、他方の可動部材４７とねじ軸４８は下部アーム４２の上面側に設けられている。そして、一対のねじ軸４８の一端部は上記処理槽１の前面側下部に導出され、その一端部にはそれぞれハンドル５１が取り付けられている。上記カムフォロア４６、可動部材４７、ねじ軸４８及びハンドル５１は駆動機構５０を構成している。
【手続補正書】
【提出日】平成21年4月21日(2009.4.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面及び、底面を有する材料の層を含むライトパイプ(52)であって、前記材料が、透過波長帯域の光に対して透過性であり、前記層が、前記上面、及び前記底面に交差する第１、及び第２の対向する側面を有する、ライトパイプ(52)と、
前記ライトパイプ(52)内を進む光を測定するフォトディテクタ(58, 60, 72, 75)であって、前記材料の層に埋め込まれ、測定された光を示す信号を生成するフォトディテクタ(58, 60, 72, 75)と
を含む光源(50)。
【請求項２】
前記透過帯域内の光を放射する複数の発光体(11,101-106)を更に含み、前記発光体(11,101-106)は前記第１の側面を通して前記材料の層に光を結合させるように配置される、請求項１に記載の光源(50)。
【請求項３】
前記第２の側面に隣接するフォトディテクタ(58,60,72,75)を更に含む、請求項２に記載の光源(50)。
【請求項４】
前記発光体(11,101-106)はＬＥＤからなる、請求項２に記載の光源(50)。
【請求項５】
前記発光体(11,101-106)は、前記材料の層に対して臨界角以下の角度で前記層に光を結合させる、請求項２に記載の光源(50)。
【請求項６】
前記底面は光を前記上面に向けて散乱させる突起部(22)を有する、請求項２に記載の光源(50)。
【請求項７】
前記発光体(11,101-106)は、前記透過帯域内の第１の波長帯域の光を放射する第１の発光体と、前記透過帯域内の第２の波長帯域の光を放射する第２の発光体とを含み、前記第１の波長帯域は前記第２の波長帯域とは違う波長帯域である、請求項２に記載の光源(50)。
【請求項８】
前記発光体(11,101-106)は観察者にとって白色光として知覚される光を放射する、請求項２に記載の光源(50)。
【請求項９】
前記フォトディテクタ(60)は複数の波長帯域検出器からなり、各波長帯域検出器は、その波長帯域検出器に固有の波長帯域の光を検出するように構成される、請求項７に記載の光源(50)。
【請求項１０】
前記波長帯域検出器はそれぞれ、フォトダイオード(61-63)、及びバンドパスフィルタ(64-66)からなる、請求項９に記載の光源(50)。
【請求項１１】
前記フォトディテクタ(58,60,72,75)は複数の発光体検出器(111-116)を含み、各発光体検出器は前記複数の発光体のうちの対応する１つからの光を検出するように構成される、請求項７に記載の光源(50)。
【請求項１２】
前記フォトディテクタ(58,60,72,75)によって生成された信号に応じて前記発光体(11,101-106)により放射される光を調整するコントローラ(71)を更に含む、請求項２に記載の光源(50)。
【手続補正書】
【提出日】平成21年4月10日(2009.4.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板上に形成されたゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上に前記半導体基板側から順に積層された導電性ポリシリコン膜、第１金属シリサイド膜、バリアー膜、及び金属膜から形成されるポリメタルゲート電極と、を備え、
前記バリアー膜は、前記第１金属シリサイド膜上に形成されるＴｉＮ膜と、前記ＴｉＮ膜と前記金属膜との間に介在されるバッファ層と、を備えることを特徴とする半導体素子。
【請求項２】
前記第１金属シリサイド膜は、タングステン（Ｗ）シリサイド膜、モリブデン（Ｍｏ）シリサイド膜、チタン（Ｔｉ）シリサイド膜、タンタル（Ｔａ）シリサイド膜、ハフニウム（Ｈｆ）シリサイド膜、またはコバルト（Ｃｏ）シリサイド膜の少なくともいずれか一つから形成されることを特徴とする請求項１に記載の半導体素子。
【請求項３】
前記バッファ層は、Ｔｉ、Ｔａ、Ｚｒ、Ｈｆ及びＳｉから形成される群から選択される少なくとも一つの物質を含むことを特徴とする請求項１又は２に記載の半導体素子。
【請求項４】
前記バッファ層は、非晶質の第２金属シリサイド膜から形成されることを特徴とする請求項１又は２に記載の半導体素子。
【請求項５】
前記第２金属シリサイド膜は、タングステンシリサイド膜、モリブデンシリサイド膜、チタンシリサイド膜、タンタルシリサイド膜、ハフニウムシリサイド膜、またはコバルトシリサイド膜の少なくともいずれか一つから形成されることを特徴とする請求項４に記載の半導体素子。
【請求項６】
前記バリアー膜は、ＴｉＮ膜及びＴｉ膜の積層構造から形成されることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の半導体素子。
【請求項７】
前記バリアー膜は、ＴｉＮ膜及び非晶質のタングステンシリサイド膜の積層構造から形成されることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の半導体素子。
【請求項８】
前記金属膜は、タングステンまたはモリブデンから形成されることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の半導体素子。