(57)【要約】【課題】精度よく磁気ヘッドの浮上量を制御でき、しかも、磁気記録媒体と磁気ヘッドとの接触による磁気ヘッドの損傷を十分に防止できるハードディスク装置の製造方法、ハードディスク装置および磁気ヘッドの浮上量の調整方法を提供する。【解決手段】磁気記録媒体と、磁気記録媒体に対向されて情報を記録再生する磁気ヘッド３を備えたヘッドジンバルアセンブリ２０とを有するハードディスク装置の製造方法であって、ヘッドジンバルアセンブリ２０に取り付けられたセンサー２により磁気記録媒体と磁気ヘッド３との接触を検知させながら、磁気記録媒体に対する前記磁気ヘッド３の浮上量を調整する調整機構により前記浮上量を調整させる調整工程を含むハードディスク装置の製造方法とする。【選択図】図２
2008135132.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気記録媒体と、前記磁気記録媒体に対向されて情報を記録再生する磁気ヘッドを備えたヘッドジンバルアセンブリとを有するハードディスク装置の製造方法であって、
前記ヘッドジンバルアセンブリに取り付けられたセンサーにより前記磁気記録媒体と前記磁気ヘッドとの接触を検知させながら、前記磁気記録媒体に対する前記磁気ヘッドの浮上量を調整する調整機構により前記浮上量を調整させる調整工程を含むことを特徴とするハードディスク装置の製造方法。
【請求項２】
前記調整工程は、
前記磁気記録媒体を回転させることにより前記磁気ヘッドを浮上させる工程と、
前記センサーにより前記磁気記録媒体と前記磁気ヘッドとの接触を検知させながら、前記調整機構により前記浮上量を小さくしていく工程と、
前記磁気記録媒体と前記磁気ヘッドとの接触が検知されることにより、前記センサーに検知信号を出力させる工程と、
前記センサーから出力された検知信号を用いて前記調整機構への印加電圧を変化させて、前記調整機構により前記磁気記録媒体と前記磁気ヘッドとを引き離させ、前記浮上量を所定量に調整させる工程とを含むことを特徴とする請求項１に記載のハードディスク装置の製造方法。
【請求項３】
前記センサーが、前記ヘッドジンバルアセンブリのヘッドスライダまたはサスペンションアームに取り付けられていることを特徴とする請求項１または２に記載のハードディスク装置の製造方法。
【請求項４】
前記調整機構が、圧電素子、および／または、熱によって前記ヘッドスライダを膨張収縮させて前記浮上量を調整するヒーターであることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載のハードディスク装置の製造方法。
【請求項５】
前記センサーが、前記磁気ヘッドを前記磁気記録媒体に対して可動させるために前記ヘッドジンバルアセンブリに設けられたアクチュエータであることを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載のハードディスク装置の製造方法。
【請求項６】
磁気記録媒体と、前記磁気記録媒体に対向されて情報を記録再生する磁気ヘッドを備えたヘッドジンバルアセンブリと、前記ヘッドジンバルアセンブリに取り付けられ、前記磁気記録媒体と前記磁気ヘッドとの接触を検知するセンサーと、前記磁気記録媒体に対する前記磁気ヘッドの浮上量を調整する調整機構とを有するハードディスク装置において、前記磁気記録媒体に対する前記磁気ヘッドの浮上量を調整する調整方法であって、
前記センサーにより前記磁気記録媒体と前記磁気ヘッドとの接触を検知させながら、前記調整機構により前記浮上量を調整させる調整工程を含むことを特徴とする磁気ヘッドの浮上量の調整方法。
【請求項７】
磁気記録媒体と、
前記磁気記録媒体に対向されて情報を記録再生する磁気ヘッドを備えたヘッドジンバルアセンブリと、
前記ヘッドジンバルアセンブリに取り付けられ、前記磁気記録媒体と前記磁気ヘッドとの接触を検知するセンサーと、
前記磁気記録媒体に対する前記磁気ヘッドの浮上量を調整する調整機構とを備え、
前記センサーにより前記磁気記録媒体と前記磁気ヘッドとの接触を検知させながら、前記調整機構により前記浮上量を調整させる機能を有することを特徴とするハードディスク装置。
【請求項８】
前記センサーが、前記ヘッドジンバルアセンブリのヘッドスライダまたはサスペンションアームに取り付けられていることを特徴とする請求項７に記載のハードディスク装置。
【請求項９】
前記調整機構が、圧電素子、および／または、熱によって前記ヘッドスライダを膨張収縮させて前記浮上量を調整するヒーターであることを特徴とする請求項７または８に記載のハードディスク装置。
【請求項１０】
前記センサーが、前記磁気ヘッドを前記磁気記録媒体に対して可動させるために前記ヘッドジンバルアセンブリに設けられたアクチュエータであることを特徴とする請求項７〜９の何れか１項に記載のハードディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスク装置の製造方法、磁気ヘッドの浮上量の調整方法、およびハードディスク装置に関し、特に、電磁変換特性に優れたハードディスク装置を歩留まりよく製造できるハードディスク装置の製造方法、およびハードディスク装置の電磁変換特性を向上させることができ、磁気記録媒体と磁気ヘッドとの接触による磁気ヘッドの損傷を防止できる信頼性に優れた磁気ヘッドの浮上量の調整方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、ハードディスク装置（ハードディスクドライブ）は、記録密度が１５０Ｇビット／平方インチにまで到達しており、今後さらに年率３０％の記録密度の向上が続くと言われている。このためハードディスク装置の記録密度を高めるための技術開発が進められている。
【０００３】
一般に、ハードディスク装置では、磁気記録媒体に磁気ヘッドを対向させ、磁気記録媒体を高速で回転させて、磁気記録媒体の表面上で磁気ヘッドを高速で走行させ、磁気ヘッドと磁気記録媒体の間に生じる空気流を利用して磁気ヘッドを浮上させている。磁気記録媒体は、通常ディスク形状であり、この時の回転数は１５０００回転／分にも及ぶ。
また、磁気ヘッドは、ハードディスク装置への記録再生時に磁気記録媒体から浮上させるため、ヘッドスライダに設けられている。ヘッドスライダは、ヘッドジンバルアセンブリのサスペンションアームの先端部に取り付けられている。ヘッドジンバルアセンブリは、磁気記録媒体の回転に伴う空気流が磁気ヘッドの下方に流れることでサスペンションアームを撓ませることにより、磁気ヘッドを磁気記録媒体に対して浮上させるものである（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
このようなヘッドジンバルアセンブリを有するハードディスク装置では、磁気記録媒体に対する磁気ヘッドの浮上量が、ハードディスク装置の高密度化に伴って低減される傾向にあり、現在では、１０ｎｍおよびそれ以下と極限まで達しつつある。磁気記録媒体に対する磁気ヘッドの浮上量を低減することにより、磁気記録媒体のＳＮ比等の電磁変換特性を高めることが可能となる。
【０００５】
磁気ヘッドの浮上量を低減する方法としては、ヘッドジンバルアセンブリの磁気ヘッドに圧電素子を設け、この圧電素子に電圧を印加することによって該圧電素子の形状を変化させ、磁気ヘッドと磁気記録媒体との距離を近づける方法が提案されている（例えば、特許文献２参照。）。
また、発熱手段の発熱する熱によって磁気ヘッドを熱膨張させ、該磁気ヘッドを浮上面方向に突出させて、書込み動作時および読出し動作時にのみ磁気ヘッドと磁気記録媒体との浮上距離を近づける方法が提案されている（例えば、特許文献３参照。）。
【特許文献１】特開平４−３６６４０８号公報
【特許文献２】特開２００５−０７８７５４号公報
【特許文献３】特開２００３−１６８２７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来の技術は、磁気ヘッドの浮上量を十分に低減させるとともに、磁気記録媒体と磁気ヘッドとの接触による磁気ヘッドの損傷を十分に防止できるものではなく、より一層精度よく磁気ヘッドの浮上量を制御でき、より一層歩留まりを向上させることのできる製造方法が望まれていた。
【０００７】
例えば、特許文献２に記載されたヘッドジンバルアセンブリにより、磁気ヘッドの浮上量を調整する場合、浮上量をできるだけ小さくするために、磁気ヘッドと磁気記録媒体とが接触する瞬間を検知する必要がある。
この瞬間を検知する方法としては、磁気ヘッドと磁気記録媒体とが接触した時に発生する音をハードディスク装置の外部から検出する方法がある。しかしながら、この方法は、音を検出する機構をハードディスク装置に備えることが困難であるため、実験室レベルでしか適用されていない。
【０００８】
また、磁気ヘッドと磁気記録媒体とが接触する瞬間を検知する方法としては、磁気ヘッドと磁気記録媒体とが接触した時に磁気ヘッドから出力される電気信号を検知する方法がある。しかし、この方法で磁気ヘッドから出力される電気信号は、磁気ヘッドと磁気記録媒体との接触に起因する磁気ヘッドの距離変化がないことをWallaceの式に基づいて計算して得られるものや、磁気ヘッドのエアベアリング振動によるものであり、その信号の感度が低いことや、磁気ヘッドによるばらつきが大きいことが問題となっていた。このため、磁気ヘッドから出力される電気信号を検知する方法では、磁気ヘッドと磁気記録媒体との距離の調整工程で磁気ヘッドが破損する場合が多かった。
【０００９】
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、精度よく磁気ヘッドの浮上量を制御できることにより、磁気ヘッドの浮上量を十分に低減させることができ、しかも、磁気記録媒体と磁気ヘッドとの接触による磁気ヘッドの損傷を十分に防止できるため、歩留まりよく製造できるハードディスク装置の製造方法を提供することを目的とする。
さらに、精度よく磁気ヘッドの浮上量を制御できることにより、磁気ヘッドの浮上量を低減させることができるとともに、ハードディスク装置と磁気ヘッドとの接触による磁気ヘッドの損傷を防止できる磁気ヘッドの浮上量の調整方法およびハードディスク装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者等は、上記課題を解決すべく鋭意努力検討した結果、磁気ヘッドを備えたヘッドジンバルアセンブリに、前記磁気記録媒体と前記磁気ヘッドとの接触を検知させるセンサーを取り付け、センサーにより前記磁気記録媒体と前記磁気ヘッドとの接触を検知させながら浮上量を調整することにより、上記課題を解決できることを見出し、本願発明を完成させた。すなわち本願発明は以下に関する。
【００１１】
［１］磁気記録媒体と、前記磁気記録媒体に対向されて情報を記録再生する磁気ヘッドを備えたヘッドジンバルアセンブリとを有するハードディスク装置の製造方法であって、前記ヘッドジンバルアセンブリに取り付けられたセンサーにより前記磁気記録媒体と前記磁気ヘッドとの接触を検知させながら、前記磁気記録媒体に対する前記磁気ヘッドの浮上量を調整する調整機構により前記浮上量を調整させる調整工程を含むことを特徴とするハードディスク装置の製造方法。
［２］前記調整工程は、前記磁気記録媒体を回転させることにより前記磁気ヘッドを浮上させる工程と、前記センサーにより前記磁気記録媒体と前記磁気ヘッドとの接触を検知させながら、前記調整機構により前記浮上量を小さくしていく工程と、前記磁気記録媒体と前記磁気ヘッドとの接触が検知されることにより、前記センサーに検知信号を出力させる工程と、前記センサーから出力された検知信号を用いて前記調整機構への印加電圧を変化させて、前記調整機構により前記磁気記録媒体と前記磁気ヘッドとを引き離させ、前記浮上量を所定量に調整させる工程とを含むことを特徴とする［１］に記載のハードディスク装置の製造方法。
［３］前記センサーが、前記ヘッドジンバルアセンブリのヘッドスライダまたはサスペンションアームに取り付けられていることを特徴とする［１］または［２］に記載のハードディスク装置の製造方法。
［４］前記調整機構が、圧電素子、および／または、熱によって前記ヘッドスライダを膨張収縮させて前記浮上量を調整するヒーターであることを特徴とする［１］〜［３］の何れか１項に記載のハードディスク装置の製造方法。
［５］前記センサーが、前記磁気ヘッドを前記磁気記録媒体に対して可動させるために前記ヘッドジンバルアセンブリに設けられたアクチュエータであることを特徴とする［１］〜［４］の何れか１項に記載のハードディスク装置の製造方法。
【００１２】
［６］磁気記録媒体と、前記磁気記録媒体に対向されて情報を記録再生する磁気ヘッドを備えたヘッドジンバルアセンブリと、前記ヘッドジンバルアセンブリに取り付けられ、前記磁気記録媒体と前記磁気ヘッドとの接触を検知するセンサーと、前記磁気記録媒体に対する前記磁気ヘッドの浮上量を調整する調整機構とを有するハードディスク装置において、前記磁気記録媒体に対する前記磁気ヘッドの浮上量を調整する調整方法であって、前記センサーにより前記磁気記録媒体と前記磁気ヘッドとの接触を検知させながら、前記調整機構により前記浮上量を調整させる調整工程を含むことを特徴とする磁気ヘッドの浮上量の調整方法。
【００１３】
［７］磁気記録媒体と、前記磁気記録媒体に対向されて情報を記録再生する磁気ヘッドを備えたヘッドジンバルアセンブリと、前記ヘッドジンバルアセンブリに取り付けられ、前記磁気記録媒体と前記磁気ヘッドとの接触を検知するセンサーと、前記磁気記録媒体に対する前記磁気ヘッドの浮上量を調整する調整機構とを備え、前記センサーにより前記磁気記録媒体と前記磁気ヘッドとの接触を検知させながら、前記調整機構により前記浮上量を調整させる機能を有することを特徴とするハードディスク装置。
［８］前記センサーが、前記ヘッドジンバルアセンブリのヘッドスライダまたはサスペンションアームに取り付けられていることを特徴とする［７］に記載のハードディスク装置。
［９］前記調整機構が、圧電素子、および／または、熱によって前記ヘッドスライダを膨張収縮させて前記浮上量を調整するヒーターであることを特徴とする［７］または［８］に記載のハードディスク装置。
［１０］前記センサーが、前記磁気ヘッドを前記磁気記録媒体に対して可動させるために前記ヘッドジンバルアセンブリに設けられたアクチュエータであることを特徴とする［７］〜［９］の何れか１項に記載のハードディスク装置。
【発明の効果】
【００１４】
本発明のハードディスク装置の製造方法は、ヘッドジンバルアセンブリに取り付けられたセンサーにより磁気記録媒体と磁気ヘッドとの接触を検知させながら、調整機構により浮上量を調整させる調整工程を含むので、精度よく磁気ヘッドの浮上量を制御でき、しかも、磁気記録媒体と磁気ヘッドとの接触による磁気ヘッドの損傷を十分に防止できる。よって、本発明の製造方法によれば、磁気ヘッドの浮上量の十分に低い電磁変換特性に優れたハードディスク装置を歩留まりよく製造できる。
【００１５】
また、本発明の磁気ヘッドの浮上量の調整方法は、センサーにより磁気記録媒体と磁気ヘッドとの接触を検知させながら、調整機構により浮上量を調整させる調整工程を含むので、精度よく磁気ヘッドの浮上量を制御でき、しかも、磁気記録媒体と磁気ヘッドとの接触による磁気ヘッドの損傷を十分に防止できる。よって、ハードディスク装置の電磁変換特性を向上させることができ、しかも、信頼性に優れた磁気ヘッドの浮上量の調整方法となる。
【００１６】
また、本発明のハードディスク装置は、センサーにより前記磁気記録媒体と前記磁気ヘッドとの接触を検知させながら、前記調整機構により前記浮上量を調整させる機能を有するので、精度よく磁気ヘッドの浮上量を制御でき、しかも、磁気記録媒体と磁気ヘッドとの接触による磁気ヘッドの損傷を十分に防止できるものとなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明に係るハードディスク装置の製造方法、ハードディスク装置及び磁気ヘッドの浮上量の調整方法の一実施形態について、図面を適宜参照して説明する。
図１は、本発明のハードディスク装置の製造方法によって得られた本発明のハードディスク装置の一例を説明するための斜視図である。また、図２は、図１に示すハードディスク装置の一部のみを拡大して示した拡大斜視図であり、ヘッドジンバルアセンブリを磁気記録媒体側から見た概略図である。図３は、図１に示すハードディスク装置の一部のみを拡大して示した拡大側面図である。
【００１８】
図１に示すハードディスク装置は、磁気記録媒体５と、磁気記録媒体５に対向されて情報を記録再生する磁気ヘッド３を備えたヘッドジンバルアセンブリ２０と、磁気記録媒体５を回転駆動させる媒体駆動部１２と、磁気ヘッド３を磁気記録媒体５に対して相対運動させるヘッド駆動部１１と、記録再生信号処理系とを備えている。
記録再生信号処理系は、外部から入力されたデータを処理して記録信号を磁気ヘッド３に送ったり、磁気ヘッド３からの再生信号を処理してデータを外部に送ったりするものである。
【００１９】
ヘッドジンバルアセンブリ２０は、図２に示すように、金属製の薄板からなるサスペンションアーム２１と、サスペンションアーム２１の先端側に設けられたヘッドスライダ２２と、ヘッドスライダ２２上に設けられた磁気ヘッド３と、磁気記録媒体５と磁気ヘッド３との接触を検知するセンサー２と、ヒーター４と、センサー２およびヒーター４と信号線６によって導電接続された制御手段（図示略）とを有する。
【００２０】
磁気ヘッド３は、ヘッドスライダ２２の斜面が形成されているリーディング側と反対側のトレーディング側における磁気記録媒体５に近い部分に配置されている。磁気ヘッド３としては、再生素子として巨大磁気抵抗効果（ＧＭＲ；Ｇｉａｎｔ  Ｍａｇｎｅｔｏ  Ｒｅｓｉｓｔｉｖｅ）を利用したＭＲ（ｍａｇｎｅｔｏｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ）素子だけでなく、トンネル磁気抵抗効果（ＴＭＲ；Ｔｕｎｎｅｌ−ｔｙｐｅ  Ｍａｇｎｅｔｏ  Ｒｅｓｉｓｔｉｖｅ）を利用したＴＭＲ素子などを有する、高記録密度に適したヘッドを用いることができる。また、ＴＭＲ素子を用いることによって、さらなる高密度記録化が可能となる。
【００２１】
ヒーター４は、ヘッドスライダ２２のトレーディング側における磁気記録媒体５から離れた側（磁気ヘッド３と反対側）に配置されている。ヒーター４は、熱によってヘッドスライダ２２を膨張させたり、熱の供給量を少なくするか停止させてヘッドスライダ２２を収縮させたりすることにより、ヘッドスライダ２２の形状を変化させ、磁気ヘッド３を突出させたり、突出させた磁気ヘッド３の突出量を小さくさせたりするものであり、印加電圧を変化させることにより磁気記録媒体５に対する磁気ヘッド３の浮上量を調整するものである。
【００２２】
制御手段は、センサー２から出力された検知信号に応じてヒーター４への印加電圧を制御するものである。制御手段としては、センサー２から出力された信号が信号線６を介して入力されることにより、センサー２からの信号の出力変化を画像表示する表示装置を備えたものなどを用いることができ、具体的には、スペクトルアナライザーなどを用いることが好ましい。
【００２３】
センサー２としては、磁気ヘッド３を磁気記録媒体５に対して微少に可動させるためにヘッドスライダ２２に設けられたアクチュエータを用いることができる。
上述したように、本実施形態では、図１に示すハードディスク装置に、磁気ヘッド３を磁気記録媒体５に対して相対運動させるヘッド駆動部１１が設けられている。さらに、本実施形態では、図１に示すヘッド駆動部１１と共に、ヘッドジンバルアセンブリ２０のヘッドスライダ２２に設けられたセンサー２を兼ねるアクチュエータにより、磁気ヘッド３を磁気記録媒体５に対して微少に可動させることができるようにされている。ここで用いるアクチュエータとしては、精度良く磁気ヘッド３を可動させることができるとともに、センサーとして用いる場合は、磁気ヘッド３と磁気記録媒体５との接触を高精度で検知できる圧電素子を用いることが好ましい。
【００２４】
すなわち、センサー２を兼ねるアクチュエータは、ハードディスク装置の使用時においては磁気ヘッド３を動かすために用いられ、ハードディスク装置の製造時、および、磁気ヘッド３の浮上量の調整時においては磁気ヘッド３と磁気記録媒体５との接触を検知するために用いられる。
具体的に例えば、ハードディスク装置の使用時においては、センサー２を兼ねるアクチュエータに電気信号を加えて、磁気ヘッド３を磁気記録媒体５に対して微少に相対運動させるアクチュエータ本来の機能を発揮させる。そして、ハードディスク装置の製造時、および、磁気ヘッド３の浮上量の調整時においては、センサー２を兼ねるアクチュエータを、磁気ヘッド３を動かすためには使用せず、アクチュエータから出力された信号を制御手段に受信させて出力された信号の変化状況をモニターすることにより、磁気記録媒体５と磁気ヘッド３との接触を検知するセンサー２として機能させる。
これにより、ヘッドジンバルアセンブリに、別途、磁気記録媒体５と磁気ヘッド３との接触を検知させるセンサーを設ける必要がなくなり、本発明によりハードディスク装置を低価格で製造することが可能となる。
【００２５】
図１に示すハードディスク装置を製造するには、まず、非磁性基板上に磁性層等を形成して磁気記録媒体５を製造する。
【００２６】
次に、磁気記録媒体５に対する磁気ヘッド３の浮上量の調整を行なう（調整工程）。
本実施形態における調整工程では、まず、磁気記録媒体５を回転させることにより磁気ヘッド３を浮上させる。磁気記録媒体５の回転数は例えば５０００〜２００００回転／分の範囲内とすることができる。
次いで、センサー２により磁気記録媒体５と磁気ヘッド３との接触を検知させて、センサー２から信号を出力させ、信号線６を介して制御手段に入力する。そして、センサー２からの信号の出力変化を制御手段の表示装置に画像表示させながら、ヒーター４からの熱によってヘッドスライダ２２を膨張させて磁気ヘッド３を突出させ、浮上量を小さくしていく。
【００２７】
磁気記録媒体５と磁気ヘッド３との接触は、図３に示すように、磁気記録媒体５の表面に形成されている凹凸の最も高いところ（図３においては符号３７）から生ずる。よって、磁気記録媒体５と磁気ヘッド３との接触を感度よく検知することにより、磁気記録媒体５と磁気ヘッド３との接触面積を少なくすることができ、磁気記録媒体５と磁気ヘッド３との接触に伴う磁気ヘッド３のダメージを最小限度にとどめることが可能となる。
【００２８】
そして、センサー２によって磁気記録媒体５と磁気ヘッド３との微少な接触が検知されると、センサー２から検知信号が出力され、信号線６を介して制御手段に入力される。本実施形態においては、検知信号が制御手段に入力されると、制御手段の表示装置に検知信号が画像表示されるとともに、制御手段によりヒーター４への印加電圧が制御される。具体的には、制御手段によりヒーター４への印加電圧を変化させ、ヒーター４からの熱の供給量を少なくするか停止させて、突出させた磁気ヘッド３の突出量を小さくさせる。
このことにより、磁気記録媒体５と磁気ヘッド３とが引き離されて、浮上量が所定量に調整される。以上のようにして、ハードディスク装置の製造が完了し、浮上量が所定量に調整された図１に示すハードディスク装置が得られる。
【００２９】
本実施形態のハードディスク装置の製造方法は、ヘッドジンバルアセンブリ２０に取り付けられたセンサー２により磁気記録媒体５と磁気ヘッド３との接触を検知させながら、ヒーター４により浮上量を調整させる調整工程を含むので、精度よく磁気ヘッド３の浮上量を制御でき、しかも、磁気記録媒体５と磁気ヘッド３との接触による磁気ヘッド３の損傷を十分に防止でき、磁気記録媒体５と磁気ヘッド３との接触による磁気ヘッド３へのダメージを少なくできる。よって、本実施形態の製造方法によれば、磁気ヘッド３の浮上量が低く、トラック密度の高い電磁変換特性に優れたハードディスク装置を歩留まりよく製造できる。
【００３０】
この効果は、本実施形態において用いられるセンサー２が、ヘッドスライダ２２に取り付けられていることにより、磁気記録媒体５と磁気ヘッド３とが接触する瞬間を感度よく検知することが可能となり、磁気記録媒体５と磁気ヘッド３との接触が非常に高感度で検知されることによって得られる。
さらに、本実施形態のハードディスク装置の製造方法では、ヒーター４を用いて浮上量を調整するので、浮上量を高精度で微調整することができる。
【００３１】
なお、上記の実施形態においては、調整機構として、熱によってヘッドスライダ２２を膨張収縮させて浮上量を調整するヒーター４を用いた場合を例に挙げて説明したが、本発明は、上記の実施形態に限定されるものではなく、磁気記録媒体５に対する磁気ヘッド３の浮上量を調整することが可能なものであれば、調整機構はいかなるものであってもよい。例えば、調整機構として、ヒーター４に代えて、またはヒーター４とともに、印加電圧を変化させることにより磁気記録媒体５に対する磁気ヘッド３の浮上量を調整することが可能な圧電素子やその他の機構を用いることができる。調整機構として、圧電素子を用いた場合にも、浮上量を高精度で微調整することができる。
【００３２】
また、上記の実施形態においては、センサー２として、磁気ヘッド３を磁気記録媒体５に対して可動させるためにヘッドスライダ２２に設けられたアクチュエータを用いた場合を例に挙げて説明したが、本発明は、上記の実施形態に限定されるものではなく、ヘッドジンバルアセンブリ２０に取り付けられ、磁気記録媒体５と磁気ヘッド３との接触を検知するものであればセンサーはいかなるものであってもよい。例えば、センサーは、サスペンションアーム２１に取り付けられた磁気ヘッド３を磁気記録媒体５に対して可動させるためのアクチュエータであってもよい。このようなセンサー２を用いた場合であっても、磁気記録媒体５と磁気ヘッド３との接触を感度よく検知することが可能となり、磁気記録媒体５と磁気ヘッド３との接触による磁気ヘッドの損傷を低減させることができる。
【００３３】
また、上記の実施形態においては、調整工程をハードディスク装置の製造工程の最後に１回のみ行ったが、調整工程はハードディスク装置の製造工程中または製造工程の最後に１回または複数回行なうことができる。
【００３４】
さらに、本発明のハードディスク装置における調整工程は、ハードディスク装置の製造後に対して行なうことにより、本発明の磁気ヘッドの浮上量の調整方法として使用できる。なお、本発明の磁気ヘッドの浮上量の調整方法は、ハードディスク装置の製造後であれば、いつ行なってもよく、例えば、ハードディスク装置の製造後に定期的に行なってもよいし、ハードディスク装置の使用時に行なってもよい。
また、本発明のハードディスク装置における調整工程は、例えば、ハードディスク装置の使用時に磁気ディスクと磁気ヘッドとの接触をモニターし、磁気ディスクと磁気ヘッドとが接触した時に磁気ヘッドを退避させるようにすることで、磁気ディスクと磁気ヘッドとの接触による磁気ヘッドの破損を抑えることを目的として用いることができる。
【００３５】
また、ヘッドジンバルアセンブリ２０に取り付けられ、磁気記録媒体５と磁気ヘッド３との接触を検知するセンサー２と、磁気記録媒体５に対する磁気ヘッド３の浮上量を調整する調整機構とを備え、定期的および／または使用時に上記の調整工程を行なうことができるハードディスク装置とすることで、本発明のハードディスク装置とすることができる。本発明のハードディスク装置によれば、磁気ヘッドの浮上量を十分に低減させることができ、しかも、磁気記録媒体と磁気ヘッドとの接触による磁気ヘッドの損傷を十分に防止できる。
【実施例】
【００３６】
次に、本発明を、実験例を示してより詳細に説明する。
「実施例１」
以下に示す磁気記録媒体と、以下に示す磁気ヘッドを備えた図１に示すヘッドジンバルアセンブリとを有するハードディスク装置を製造し、製造後に以下に示す磁気ヘッドの浮上量の調整工程を行なった。
（磁気ヘッド）
アルプス電気社製GMRヘッドを用いた。
【００３７】
（磁気記録媒体）
非磁性基板上に磁性層等を形成して磁気記録媒体を製造した。非磁性基板には、ＨＯＹＡ社製アモルファスガラス基板を使用した。基板のサイズは外径６５ｍｍ、内径２５ｍｍ、板厚１．２７０ｍｍであった。このような基板にテクスチャー加工を施し、テクスチャー加工の施された基板を十分に洗浄して乾燥した後、ＤＣマグネトロンスパッタ装置（アネルバ社（日本）製Ｃ３０１０）のチャンバ内にセットした。そして、チャンバ内の真空到達度が２×１０−７Ｔｏｒｒ（２．７×１０−５Ｐａ）となるまで排気し、Ｃｒ−Ｍｎ合金（Ｃｒ：７０ａｔ％、Ｍｎ：３０ａｔ％）からなるタ−ゲットを用いて基板上に非磁性下地層を６ｎｍ積層した。次いで、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｂ合金（Ｃｏ：６０ａｔ％、Ｃｒ：２０ａｔ％、Ｐｔ：１３ａｔ％、Ｂ：７ａｔ％）からなるタ−ゲットを用いて、非磁性下地層上に磁性層であるＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｂ合金層を１７ｎｍの膜厚で形成し、磁性層上にカ−ボンからなる保護膜を３ｎｍ積層した。なお、成膜時のＡｒの圧力は３ｍＴｏｒｒ（０．４Ｐａ）であった。その後、保護膜上にパ−フルオロポリエ−テルからなる潤滑剤２ｎｍをディップ法で塗布して液体潤滑層を形成し、磁気記録媒体を得た。
【００３８】
（調整工程）
まず、磁気記録媒体５を７２００回転／分で回転させることにより磁気ヘッド３を浮上させた。次いで、ヘッドジンバルアセンブリ２０のヘッドスライダ２２に設けられ、磁気ヘッド３を磁気記録媒体５に対して可動させるためのマイクロアクチュエータとしての機能を兼ねる圧電素子からなるセンサー２により、磁気記録媒体５と磁気ヘッド３との接触を検知させて、センサー２から信号を出力させ、信号線６を介して制御手段であるスペクトルアナライザー（ヒューレットパッカード社製４３９６B）に入力した。そして、図４に示すように、圧電素子からの信号の出力変化をスペクトルアナライザーの表示装置に画像表示させながら、ヒーター４によりヘッドスライダ２２を加熱して膨張させ、磁気ヘッド３を突出させて浮上量を小さくしていった。
【００３９】
そして、センサー２から図４に示す信号が出力されるまで、ヒーター４への印加電圧を高めることにより、磁気記録媒体５と磁気ヘッド３とのタッチダウンを確認した。その後、ヒータ４への印加電圧をわずかに下げることにより、磁気記録媒体５と磁気ヘッド３との距離（浮上量）を５ｎｍに調整した。
【００４０】
ここで、図４は、圧電素子からの出力信号を示したグラフであり、横軸は周波数を示し、縦軸はシグナル強度（任意値）を示している。図４において符号Ａで示すように、ヘッドスライダ２２に取り付けられた圧電素子から、磁気ヘッドと磁気記録媒体との接触を示す２５０ｋＨｚのシグナルが出力された。
【００４１】
「比較例１」
実施例１と同様の磁気記録媒体と、実施例１と同様の磁気ヘッドを備えた図１に示すヘッドジンバルアセンブリとを有するハードディスク装置を製造し、製造後に以下に示す磁気ヘッドの浮上量の調整工程を行なった。
【００４２】
（調整工程）
まず、実施例１と同様に磁気記録媒体５を回転させることにより磁気ヘッド３を浮上させ、実施例１と同様にしてヒーター４によりヘッドスライダ２２を膨張させ、磁気ヘッド３を突出させて浮上量を小さくしていった。そして、Wallaceの式により、磁気ヘッドと磁気記録媒体とが接触した時に磁気ヘッドから出力される電気信号を検知させた。
そして、磁気記録媒体５と磁気ヘッド３との接触が検知された後、実施例１と同様にして、磁気記録媒体５と磁気ヘッド３とを引き離させることにより、浮上量を５ｎｍに調整した。
【００４３】
「比較例２」
実施例１と同様の磁気記録媒体と、実施例１と同様の磁気ヘッドを備えた図１に示すヘッドジンバルアセンブリとを有するハードディスク装置を製造し、製造後に以下に示す磁気ヘッドの浮上量の調整工程を行なった。
【００４４】
（調整工程）
まず、実施例１と同様に磁気記録媒体５を回転させることにより磁気ヘッド３を浮上させ、実施例１と同様にしてヒーター４によりヘッドスライダ２２を膨張させ、磁気ヘッド３を突出させて浮上量を小さくしていった。そして、磁気ヘッドのエアベアリング振動により、磁気ヘッドと磁気記録媒体とが接触した時に磁気ヘッドから出力される電気信号を検知させた。
そして、磁気記録媒体５と磁気ヘッド３との接触が検知された後、実施例１と同様にして、磁気記録媒体５と磁気ヘッド３とを引き離させることにより、浮上量を５ｎｍに調整した。
【００４５】
このような実施例１、比較例１および比較例２の調整工程をそれぞれ１００回繰り返すことにより、磁気ヘッドの浮上量の調整を終了した。
さらに、上記実施例１、比較例１および比較例２の調整工程を行なった後、それぞれ使用した磁気ヘッドを新しいものに交換し、上記と同様に調整工程を行なった。その後、同様にして使用した磁気ヘッドを新しいものに交換し、実施例１、比較例１および比較例２それぞれ合計１０本の磁気ヘッドを用いて、上記と同様に調整工程を行なった。
【００４６】
その後、上記実施例１、比較例１および比較例２の調整工程による磁気ヘッドへの影響を調べた。すなわち、上記調整工程の前と後における磁気ヘッドの記録再生信号の変化を調査し、上記調整工程を行う前後で１０％以上の記録再生信号の変化があった場合、磁気ヘッドがダメージを受けた、と判断した。
その結果、実施例１の調整工程により磁気ヘッドの浮上量の調整した場合には、使用した磁気ヘッド１０本すべてがダメージを受けていなかった。また、実施例１の調整工程では、１０本の磁気ヘッドすべてにおいて接触を検知することができた。
【００４７】
これに対し、比較例１の調整工程により磁気ヘッドの浮上量の調整した場合、１０本の磁気ヘッド中５本がダメージを受けた。
また、比較例２の調整工程により磁気ヘッドの浮上量の調整した場合、１０本の磁気ヘッド中３本では、接触を検知することができなかった。また、比較例２の調整工程では、接触の検出感度が低く、磁気記録媒体と磁気ヘッドとを接触させすぎたために、１０本の磁気ヘッドすべてが破損した。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
本発明のハードディスク装置の製造方法、ハードディスク装置および磁気ヘッドの浮上量の調整方法は、磁気ヘッドへのダメージが少なく、しかも、磁気ヘッドと磁気記録媒体との距離を高精度で調整できるため、ハードディスク装置の生産性を高めることができるとともに、信頼性の高い製品を提供でき、産業上の利用価値は高い。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】図１は、本発明のハードディスク装置の製造方法によって得られた本発明のハードディスク装置の一例を説明するための斜視図である。
【図２】図２は、図１に示すハードディスク装置の一部のみを拡大して示した拡大斜視図であり、ヘッドジンバルアセンブリを磁気記録媒体側から見た概略図である。
【図３】図３は、図１に示すハードディスク装置の一部のみを拡大して示した拡大断面図である。
【図４】図４は、圧電素子からの信号の出力変化を示したグラフである。
【符号の説明】
【００５０】
２…センサー、３…磁気ヘッド、４…ヒーター、５…磁気記録媒体、６…信号線、１１…ヘッド駆動部、１２…媒体駆動部、２０…ヘッドジンバルアセンブリ、２１…サスペンションアーム、２２…ヘッドスライダ。
【図１】
2008135132.tif 000003
【図２】
2008135132.tif 000004
【図３】
2008135132.tif 000005
【図４】
2008135132.tif 000006