【手続補正書】
【提出日】平成21年1月14日(2009.1.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
モールドであって、
転写するためのパターン領域を有する第１の面と、
前記第１の面と反対側に位置する第２の面と、
前記第１の面に設けられている第１のマークと、
前記第１の面から該第２の面側へ後退した位置に設けられている、位置合わせのための第２のマークと、
を有することを特徴とするモールド。
【請求項２】
前記第２のマークは、前記第１及び第２の面との間、あるいは前記第２の面に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のモールド。
【請求項３】
前記第２のマークは、前記第１及び第２の面との間の領域に埋め込まれていることを特徴とする請求項１に記載のモールド。
【請求項４】
モールドが有するパターンを用いて、被加工物にパターンを形成する際に前記モールドと前記被加工物との位置合わせを行うアライメント方法であって、
パターン領域を有する第１の面と、該第１の面と反対側に位置する第２の面と、該第１の面に設けられている第１のマークと、該第１の面から該第２の面側へ後退した位置に設けられている、位置合わせのための第２のマークとを有するモールドを用意し、
前記第１のマークと前記第２のマークとの相対的な位置関係、及び、前記第２のマークと前記第３のマークとの相対的な位置関係に基づいて、前記モールドと前記被加工物との位置合わせを行うことを特徴とするアライメント方法。
【請求項５】
前記第１のマークと前記第２のマークとの位置関係に関する情報を取得し、且つ該情報を用いて、前記モールドと前記被加工物との位置合わせを行うことを特徴とする請求項４に記載のアライメント方法。
【請求項６】
前記被加工物とは、基板、あるいは表面に被覆材を有する基板である請求項４に記載のアライメント方法。
【請求項７】
モールドが有するパターンを用いて、被加工物にパターンを形成する際に前記モールドと前記被加工物との位置合わせを行うアライメント方法であって、
前記モールドのパターン領域が形成されている面と同一面に設けられた第１のマークと、前記パターン領域が形成されている面から後退した位置にある第２のマークとの相対的な位置関係に関する第１の位置情報と、
前記第２のマークと、前記被加工物側に設けられている第３のマークとの相対的な位置関係に関する第２の位置情報とを用いて、
前記パターン領域の面内方向に関する前記モールドと前記被加工物との位置合わせを行うことを特徴とするアライメント方法。
【請求項８】
前記位置合わせは、
前記第２のマークと前記第１のマークとの間の水平誤差あるいは回転誤差の少なくとも一方についての第１の誤差情報を記憶し、
前記第２のマークと前記第３のマークとの間の水平誤差あるいは回転誤差の少なくとも一方についての第２の誤差情報を記憶し、
前記第１の誤差情報と前記第２の誤差情報とを用いて、前記モールドに対して、相対的に前記被加工物を水平移動あるいは回転移動の少なくとも一方の動作を行わせること、
を含むことを特徴とする請求項７に記載のアライメント方法。
【請求項９】
前記モールドを保持するためのモールド保持部と、前記被加工物を支持するための被加工物支持部とを備え、
前記モールド保持部と前記被加工物支持部とが面内方向に相対的に移動するように構成されていることを特徴とする請求項４または請求項７に記載のアライメント方法を行うためのパターン形成装置。
【請求項１０】
前記モールドが有する前記パターン領域と前記被覆材とを接触させた状態で、両者の位置ずれを検出する位置ずれ検出機構と、
前記検出機構からの検出情報に基づいて、前記基板と前記モールドとの間隔を制御するための間隔制御機構とを有することを特徴とする請求項９に記載のパターン形成装置。
【請求項１１】
パターン転写装置であって、
モールドと被加工物との位置合わせをするための位置合わせ機構を有し、
該位置合わせ機構は、
前記モールドのパターン領域が形成されている面と同一面に設けられた第１のマークと、該パターン領域が形成されている面から後退した位置に設けられている第２のマークとの相対的な位置関係に関する第１の位置情報と、
前記第２のマークと該被加工物側に設けられた第３のマークとの相対的な位置関係に関する第２の位置情報とを用いて、
前記パターン領域の面内方向に関する、前記モールドと前記被加工物との位置合わせを行うように構成されていることを特徴とするパターン転写装置。
【請求項１２】
前記位置合わせ機構は、
前記第１の位置情報を記憶する第１の記憶部と、
前記第２の位置情報を記憶する第２の記憶部と、
を有することを特徴とする請求項１１に記載のパターン転写装置。
【請求項１３】
チップの製造方法であって、
請求項４乃至請求項８のいずれかに記載のアライメント方法により前記モールドと前記被加工物との位置合わせを行い、該被加工物からチップを製造することを特徴とするチップの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】モールド、アライメント方法、パターン形成装置、パターン転写装置、及びチップの製造方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、凹凸パターンを形成するために用いられるモールド、アライメント方法、パターン形成装置、パターン転写装置、及びチップの製造方法に関し、より詳しくは、当該モールドと基板との位置合わせ技術に関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
そこで、本発明は、上記課題を解決し、モールドとワークとの高精度な位置合わせに適用される新規なモールド、当該モールドを用いたアライメント方法、
係るパターン形成を行うためのパターン形成装置、パターン転写装置、及びチップの製造方法を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明は上記課題を解決するため、次のように構成したモールド、アライメント方法、パターン形成装置、パターン転写装置、及びチップの製造方法を提供するものである。
本発明のモールドは、
転写するためのパターン領域を有する第１の面と、
前記第１の面と反対側に位置する第２の面と、
前記第１の面に設けられている第１のマークと、
前記第１の面から該第２の面側へ後退した位置に設けられている、位置合わせのための第２のマークと、
を有することを特徴とする。
また、本発明のアライメント方法は、モールドが有するパターンを用いて、被加工物にパターンを形成する際に前記モールドと前記被加工物との位置合わせを行うアライメント方法であって、
パターン領域を有する第１の面と、該第１の面と反対側に位置する第２の面と、該第１の面に設けられている第１のマークと、該第１の面から該第２の面側へ後退した位置に設けられている、位置合わせのための第２のマークとを有するモールドを用意し、
前記第１のマークと前記第２のマークとの相対的な位置関係、及び、前記第２のマークと前記第３のマークとの相対的な位置関係に基づいて、前記モールドと前記被加工物との位置合わせを行うことを特徴とする。
また、本発明のアライメント方法は、モールドが有するパターンを用いて、被加工物にパターンを形成する際に前記モールドと前記被加工物との位置合わせを行うアライメント方法であって、
前記モールドのパターン領域が形成されている面と同一面に設けられた第１のマークと、前記パターン領域が形成されている面から後退した位置にある第２のマークとの相対的な位置関係に関する第１の位置情報と、
前記第２のマークと、前記被加工物側に設けられている第３のマークとの相対的な位置関係に関する第２の位置情報とを用いて、
前記パターン領域の面内方向に関する前記モールドと前記被加工物との位置合わせを行うことを特徴とする。
また、本発明のパターン形成装置は、前記モールドを保持するためのモールド保持部と、前記被加工物を支持するための被加工物支持部とを備え、
前記モールド保持部と前記被加工物支持部とが面内方向に相対的に移動するように構成されていることを特徴とする。
また、本発明のパターン転写装置は、
モールドと被加工物との位置合わせをするための位置合わせ機構を有し、
該位置合わせ機構は、
前記モールドのパターン領域が形成されている面と同一面に設けられた第１のマークと、該パターン領域が形成されている面から後退した位置に設けられている第２のマークとの相対的な位置関係に関する第１の位置情報と、
前記第２のマークと該被加工物側に設けられた第３のマークとの相対的な位置関係に関する第２の位置情報とを用いて、
前記パターン領域の面内方向に関する、前記モールドと前記被加工物との位置合わせを行うように構成されていることを特徴とする。
また、本発明のチップの製造方法は、上記したいずれかに記載のアライメント方法により前記モールドと前記被加工物との位置合わせを行い、該被加工物からチップを製造することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明によれば、モールドと被加工物との高精度な位置合わせに適用される新規なモールド、当該モールドを用いたアライメント方法、係るパターン形成を行うためのパターン形成装置、パターン転写装置、及びチップの製造方法を提供することができる。