【誤訳訂正書】
【提出日】平成25年4月2日(2013.4.2)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板処理システムであって、基板の収納および搬送用に少なくとも１つの基板容器を保持するように構成されるロードポートモジュールと、
基板処理チャンバと、
隔離された雰囲気をチャンバ内に保持することができ、前記基板処理チャンバと前記ロードポートモジュールとに結合するように構成された隔離可能な移送チャンバと、
前記移送チャンバ内に少なくとも部分的に取り付けられ、前記移送チャンバに固定される駆動部分と少なくとも１つの基板を支持するように構成される１つのＳＣＡＲＡアームとを有し、前記ＳＣＡＲＡアームは、前記移送チャンバを通る直線経路に沿った連続的な直線動作で２方向に伸展して、前記少なくとも１つの基板にワンタッチするのみで、前記の少なくとも１つの基板の基板容器と前記処理チャンバとの間の搬送を行うように構成され、前記ＳＣＡＲＡアームが互いに連続的に枢動可能に結合される第１アームリンクと、第２アームリンクと、少なくとも１つのエンドエフェクタとを備え、前記第１および第２アームリンクは異なる長さを有する基板搬送機と、を備えることを特徴とする基板処理システム。
【請求項２】
前記ロードポートモジュールが１つだけのロードポートモジュールであり、前記基板処理チャンバが１つだけの基板処理チャンバである請求項１に記載の基板処理システム。
【請求項３】
前記基板容器と前記基板処理チャンバとの間で前記基板をワンタッチのみで搬送するときに、前記基板容器と基板移送チャンバとの間の第１の経路と前記移送チャンバと前記基板処理チャンバとの間の第２の経路とに沿って前記基板を移動し、前記第１および第２の経路が実質的に位置合わせされている、請求項１に記載の基板処理システム。
【請求項４】
前記ＳＣＡＲＡアームが基板を搬送するべく通過する隙間領域を前記ＳＣＡＲＡアームが画定し、前記移送チャンバが前記隙間領域に実質的に相当する移送エリアを形成するように配置構成される、請求項１に記載の基板処理システム。
【請求項５】
前記ロードポートモジュールが前記移送チャンバに直接結合され、前記移送チャンバが前記処理チャンバに直接結合される、請求項１に記載の基板処理システム。
【請求項６】
前記処理チャンバと、移送チャンバと、ロードポートモジュールとを実質的に共通の中央線に沿って配列する、請求項１に記載の基板処理システム。
【請求項７】
基板処理システムであって、
ＥＦＥＭから基板を移送するために少なくとも１つの搬送経路を有するＥＦＥＭと、
前記ＥＦＥＭに直結される少なくとも１つの基板移送モジュールと、
前記の少なくとも１つの基板移送モジュールのそれぞれに結合される少なくとも１つの基板処理モジュールと、を備え、
前記基板処理システムが１つのクラスタツールを画定し、前記ＥＦＥＭと、前記の少なくとも１つの基板移送モジュールと、前記の少なくとも１つの基板処理モジュールとが、互いに隔離された雰囲気を有する前記クラスタツールの独立かつ並行した搬送経路を形成するように配置され、前記少なくとも１つの基板移送モジュールの各々は、基板移送モジュールの各々を通過する直線経路に沿った連続的な直線動作で２方向に伸展して、少なくとも１つの基板を前記基板移送モジュールの各々の外から処理チャンバの各々に、前記少なくとも少なくとも１つの基板にワンタッチするのみで搬送する基板搬送機を含むことを特徴とする基板処理システム。
【請求項８】
請求項７に記載の基板処理システムであって、前記の少なくとも１つの基板移送モジュールが、
前記ＥＦＥＭとインターフェースで接続して、少なくとも１つの基板を保持するように構成される第１のチャンバと、
前記の少なくとも１つの基板処理モジュールとインターフェースで接続するように構成される第２のチャンバと、を含み
前記基板搬送機は、少なくとも部分的に前記第２チャンバ内に位置して、前記第１チャンバから少なくとも１つの基板処理モジュールに基板を移送するように構成されていることを特徴とする基板処理システム。
【請求項９】
前記第１および第２のチャンバが互いからも、前記ＥＦＥＭおよび前記の少なくとも１つの基板処理モジュールのそれぞれからも隔離可能な、請求項８に記載の基板処理システム。
【請求項１０】
前記第１チャンバが基板バッファとして構成され、前記バッファをロードロックに転換するために着脱自在の弁インサートによって前記第１および第２のチャンバを隔離するように構成される、請求項８に記載の基板処理システム。
【請求項１１】
前記第１および第２チャンバが１つの単一体として隔離可能なチャンバを形成する、請求項８に記載の基板処理モジュール。
【請求項１２】
前記基板移送モジュールが、少なくとも１つの基板バッファと、基板冷却装置と、基板アライナとを含む、請求項７に記載の基板処理システム。
【請求項１３】
基板搬送システムであって、
基板を基板容器から移送するように構成されるフロントエンドユニットと、
前記フロントエンドユニットに接合する移送モジュールと、
前記移送モジュールと基板処理チャンバが、前記フロントエンドユニットから基板を移送するために、前記フロントエンドユニットの搬送経路に沿って実質的にインライン配列を有するように前記移送モジュールに結合された基板処理チャンバと、
少なくとも部分的に前記移送モジュール内に取り付けられ、前記移送モジュールを通過する直線経路に沿った連続的な直線動作で２方向に伸展して前記処理チャンバと前記フロントエンドユニットとの間で基板を搬送するように構成されている基板搬送機であって、実質的に前記移送モジュールに固定されている駆動部、及び２つのアームリンクと互いに枢動可能に接合される少なくとも１つのエンドエフェクタを備えている基板搬送機と、
第１端部で前記の移送モジュールのハウジングに枢動可能に接合される、第１の長さを有する、前記アームリンクの第１のアームリンクと、
前記第１アームリンクの第２端部に枢動可能に結合される前記アームリンクのうちの第２アームリンクの第１端部であって、前記第２アームリンクは第２の長さを有し、そこで前記第２アームリンクの回転が前記第１アームリンクの回転に従属制御される、前記第２アームリンクの第１端部と、を備え
前記少なくとも１つのエンドエフェクタは、前記第２アームリンクの第２端部に枢動可能に接合され、少なくとも１つの基板を保持するように構成され、前記第１および第２リンクと別々に回転できるように駆動されることを特徴とするシステム。
【請求項１４】
前記フロントエンドユニットがそれぞれ実質的に平行な複数の作業経路を備え、移送モジュールが前記の複数作業経路のそれぞれに結合される、請求項１３に記載の搬送システム。
【請求項１５】
前記移送モジュールが、少なくとも１つの基板をバッファするためのバッファ部と、前記搬送機の少なくとも一部を格納する搬送機部を備えている、請求項１３の搬送システム。
【請求項１６】
前記移送モジュールが、前記バッファ部を前記搬送機部から隔離可能な雰囲気を有するロードロックに転換するよう構成される着脱自在の弁インサートをさらに備えている、請求項１５に記載の搬送システム。
【請求項１７】
前記バッファ部および搬送機部が、前記処理チャンバおよびフロントエンドユニットから選択可能に隔離可能な単一のチャンバ単体を形成している、請求項１５に記載の搬送システム。
【請求項１８】
前記移送モジュールに少なくとも１つの基板バッファと、基板冷却装置と、基板アライナとを含む、請求項１３に記載の搬送システム。
【請求項１９】
基板処理装置であって、
基板を収納および搬送するために少なくとも１つの基板容器を保持するように構成されるフロントエンドモジュールと、
少なくとも１つの基板処理チャンバと、
中に隔離された雰囲気を保持することができ、前記雰囲気内で前記の少なくとも１つの基板処理チャンバのそれぞれと前記フロントエンドモジュールに結合するよう構成されるフレームを有する少なくとも１つの隔離可能な移送チャンバと、
前記の少なくとも１つの移送チャンバのそれぞれに少なくとも部分的に装着され、駆動装置が各移送チャンバに実質的に固定され、少なくとも１つの基板を支持するように構成され、少なくとも１つの基板を前記フロントエンドモジュールと前記処理チャンバの間で搬送するように構成される、長さの異なるＳＣＡＲＡアームを有する、基板搬送機とを備え、
前記フロントエンドモジュール、少なくとも１つの基板処理チャンバ、および少なくとも１つの隔離可能な移送チャンバが、互いから雰囲気の隔離が可能な独立した経路に沿って前記フロントエンドモジュールと前記の少なくとも１つの基板処理チャンバのそれぞれとの間で基板を搬送するように配置されており、前記ＳＣＡＲＡアームは、移送チャンバの各々を通過する直線経路に沿った連続的な直線動作で２方向に伸展して前記少なくとも１つの基板を搬送することを特徴とする基板処理装置。
【請求項２０】
請求項１９に記載の基板処理装置であって、前記の少なくとも１つの長さが異なるＳＣＡＲＡアームが、
肩関節部を中心に回転可能に第１端部で駆動部の第１回転軸に結合される第１のアームリンクと、
第１端部で前記第１アームリンクの第２端部に肘関節部を中心に回転可能に結合され、前記第１アームリンクに従属制御され、前記第２アームの長さが前記第１アームリンクの長さと異なっている、第２のアームリンクと、
それぞれが少なくとも１つの基板を保持するように構成され、手首関節部で前記第２アームリンクの第２端部に回転可能に結合される、少なくとも２つの基板ホルダと、を備え、
前記手首関節部では、前記の少なくとも２つの基板ホルダは、前記の少なくとも２つのエンドエフェクタが互いに対して実質的に等しい逆の回転をするために、差動的に前記駆動部の第２の回転軸のみに結合され、前記搬送機は前記の少なくとも２つのエンドエフェクタが前記肩関節部に対して双方向的に伸長するように構成される装置。
【請求項２１】
前記長さの異なるＳＣＡＲＡアームが前記フレーム内では実質的に曲線状の経路に沿って基板を搬送し、前記フレーム外では前記基板搬送機の中心線に沿って、実質的に直線経路に沿って基板を搬送するように構成されている、請求項１９に記載の基板処理装置。
【請求項２２】
さらに前記駆動部が少なくとも１つの線状の動作軸から構成される、請求項１９に記載の基板処理装置。
【請求項２３】
前記基板搬送アームおよび駆動部が、大気または真空環境で作動するように構成される、請求項２０に記載の基板処理装置。
【請求項２４】
少なくとも１つの基板を、基板処理システムのロードポートに結合される基板容器から、前記基板処理システムの移送チャンバ内に位置する基板搬送アームを用いて取り上げるステップと、
前記の少なくとも１つの基板を、前記基板搬送アームで前記基板容器から前記基板処理システムの処理モジュールに直接搬入するステップと、を含み、前記搬入するステップにおいて、前記基板搬送アームが前記移送チャンバを通過する直線経路に沿った連続的な直線動作で２方向に伸展して、前記基板搬送アームが前記の少なくとも１つの基板をその移送中に１度だけ取り扱うことを含む方法。
【請求項２５】
前記基板搬送アームが、前記ロードポートと処理モジュールとを結合する移送チャンバに位置し、さらに前記移送チャンバの雰囲気を隔離する方法を備えている、請求項２４に記載の方法。
【請求項２６】
前記基板搬送アームが高速スワップ搬送アームを備え、さらに基板を実質的に連続的に処理するために高速スワップ搬送アームで処理済みの基板を前記処理モジュールから取り外して、未処理の基板を前記処理モジュールに載置することを含む、請求項２４に記載の方法。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４９】
図１８に示すように、１つの例示的構成では、エンドエフェクタ１８０３が、例えば処理モジュールの中の、隙間領域（clearance envelope）１８３０内に適合するようにアーム１８００を構成することができ、この隙間領域はこの図に示すようにロードロック／バッファの基板支持体１８１０によって画定することができる。本例示的実施形態では、処理モジュールＰＭが互いに約１２０度離れて位置する基板支持体１８２０を有することができる。代替の実施形態では、これらの基板支持体が任意の適切な相互空間関係を有してもよい。エンドエフェクタは、図１８に示す例示的構成を有することができ、その結果として、上アーム１８０１、前アーム１８０２、およびエンドエフェクタ１８０３が処理モジュール内に伸長して、エンドエフェクタ１８０３を基板支持体１８２０の間に適合させることができる。同様に、アームがロードロック／バッファ内に伸長するとき、エンドエフェクタ１８０３がロードロック／バッファＬＬの基板支持体１８１０の間に適合するように構成することもできる。代替の実施形態では、エンドエフェクタが任意の適切な構成を有することができる。移送アーム１８００の双方向運動は、図１８でも見ることができる。例えば、アーム１８００は、軸１８６０を中心とした一つのユニットとして移送アーム１６００を回転することなく、上アームの回転軸１８６０の両側に伸長することができ、一方側で処理モジュールＰＭ内に伸長し、回転軸１８６０の他方側でロードロック／バッファＬＬ内に伸長する（すなわち、アームは、回転せずに直列に反対の２方向に伸びることができる）。代替の実施形態では、アーム１８００を追加モータと併せて、アームを１つのユニットとして回転させるように構成することができ、これによって経路１８５０に沿うだけでなく他の方向へ伸長させることが可能になる。