【手続補正書】
【提出日】平成25年4月15日(2013.4.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
上述した図面および説明は、回転ハードストップ組立体がどのように構成および実現されるかの例を示したに過ぎない。
［項目１］
Ｚ軸を中心としたθ回転運動を行う機構において回転を制限する装置であって、
静止磁石組立体が装着されている静止部材と、
前記静止部材に隣接して設けられており、且つ、回転可能磁石組立体が装着されている回転可能停止部材とを備え、
前記静止磁石組立体は、１以上の磁石が長手方向に、第１の磁極が前記静止磁石組立体の第１の端部に位置し、第２の磁極が前記静止磁石組立体の第２の端部に位置するように配置されており、
前記回転可能磁石組立体は、１以上の磁石が長手方向に、第３の磁極が前記回転可能磁石組立体の第１の端部に位置し、第４の磁極が前記回転可能磁石組立体の第２の端部に位置するように配置されており、
前記回転可能磁石組立体は、前記静止磁石組立体と係合可能であり、
前記回転可能停止部材は、前記静止部材と係合していない場合には、前記機構と共に回転するように前記機構上に装着されている装置。
［項目２］
前記静止磁石組立体は、選択された回転位置を越えて前記回転可能停止部材が回転しないよう止めるように、前記回転可能磁石組立体と係合可能である項目１に記載の装置。
［項目３］
前記装置は、選択された回転位置において前記第１の磁極に前記第３の磁極が近接して、前記選択された回転位置を越えて前記回転可能停止部材が回転しないよう止めるように、構成されている項目１または項目２に記載の装置。
［項目４］
前記機構は、径方向運動およびθ回転運動が可能なロボットアーム機構を含む項目１から項目３のうちいずれか一項に記載の装置。
［項目５］
前記装置は、選択された回転位置を越えて前記機構が回転しないように止めるための追加の停止構造を備える項目１から項目４のうちいずれか一項に記載の装置。
［項目６］
前記静止部材は、内部環状凹部を有する管状部材である項目１から項目５のうちいずれか一項に記載の装置。
［項目７］
前記静止磁石組立体は、前記内部環状凹部内に配設される項目６に記載の装置。
［項目８］
前記装置は、前記回転可能磁石組立体の回転経路が前記静止部材の前記内部環状凹部の少なくとも一部を含むように、構成されている項目６に記載の装置。
［項目９］
前記静止磁石組立体の前記１以上の磁石は円弧形状である項目１から項目８のうちいずれか一項に記載の装置。
［項目１０］
前記静止磁石組立体の前記１以上の磁石は、前記静止部材の曲率に一致する円弧形状である項目９に記載の装置。
［項目１１］
前記回転可能停止部材は、前記回転可能磁石組立体の前記１以上の磁石が円弧形状である項目１から項目１０のうちいずれか一項に記載の装置。
［項目１２］
前記回転可能停止部材は、環状部材である項目１から項目１１のうちいずれか一項に記載の装置。
［項目１３］
前記回転可能磁石組立体の前記１以上の磁石は、前記回転可能停止部材の曲率に一致する円弧形状である項目１２に記載の装置。
［項目１４］
前記回転可能停止部材と前記機構との間に設けられているベアリングをさらに備える項目１から項目１３のうちいずれか一項に記載の装置。
［項目１５］
前記回転可能磁石組立体は、非接触係合で、前記静止磁石組立体に係合可能である項目１から項目１４のうちいずれか一項に記載の装置。
［項目１６］
Ｚ軸を中心としたθ回転運動を行う機構を回転させる方法であって、静止磁石組立体が装着されている静止部材と、前記静止部材に隣接しており、且つ、回転可能磁石組立体が装着されている回転可能停止部材とを利用する方法であって、
第１の回転方向に前記機構および前記回転可能停止部材を回転させる段階と、
選択された回転位置において、前記回転可能停止部材と前記静止部材とを非接触形式で係合させて、前記回転可能停止部材の回転を止めて静止させる段階と、
前記第１の回転方向に前記回転可能停止部材を超えて前記機構を回転させる段階とを備える方法。
［項目１７］
第２の回転方向に前記機構を回転させる段階をさらに備え、
前記第２の回転方向は、前記第１の回転方向の逆方向である項目１６に記載の方法。
［項目１８］
前記回転可能停止部材および前記機構を前記第２の回転方向に回転させる段階をさらに備える項目１７に記載の方法。
［項目１９］
基板を搬送するシステムであって、
複数の取得位置および載置位置と、
ａ）３６０度を超えて非連続回転を行うロボットアーム、および、ｂ）磁石回転ハードストップ組立体を有する基板搬送ロボットとを備えるシステム。
［項目２０］
前記磁石回転ハードストップ組立体は、前記基板搬送ロボットのショルダー部と回転可能停止部材とを非接触形式で係合させるように構成されている項目１９に記載のシステム。
［項目２１］
前記基板搬送ロボットは、項目１に記載の装置を有する項目１９または２０に記載のシステム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｚ軸を中心としたθ回転運動を行う機構において回転を制限する装置であって、
静止磁石組立体が装着されている静止部材と、
前記静止部材に隣接して設けられており、且つ、回転可能磁石組立体が装着されている回転可能停止部材と
を備え、
前記静止磁石組立体は、１以上の磁石が長手方向に、第１の磁極が前記静止磁石組立体の第１の端部に位置し、第２の磁極が前記静止磁石組立体の第２の端部に位置するように配置されており、
前記回転可能磁石組立体は、１以上の磁石が長手方向に、第３の磁極が前記回転可能磁石組立体の第１の端部に位置し、第４の磁極が前記回転可能磁石組立体の第２の端部に位置するように配置されており、
前記回転可能磁石組立体は、前記静止磁石組立体と係合可能であり、
前記回転可能停止部材は、前記静止部材と係合していない場合には、前記機構と共に回転するように前記機構上に装着されている装置。
【請求項２】
前記静止磁石組立体は、選択された回転位置を越えて前記回転可能停止部材が回転しないよう止めるように、前記回転可能磁石組立体と係合可能である請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記静止部材は、内部環状凹部を有する管状部材であり、
前記静止磁石組立体は、前記内部環状凹部内に配設され、
前記装置は、前記回転可能磁石組立体の回転経路が前記静止部材の前記内部環状凹部の少なくとも一部を含むように、構成されている請求項１または２に記載の装置。
【請求項４】
前記静止磁石組立体の前記１以上の磁石、及び前記回転可能磁石組立体の前記１以上の磁石は円弧形状である請求項１２に記載の装置。
【請求項５】
前記回転可能磁石組立体は、非接触係合で、前記静止磁石組立体に係合可能である請求項１から請求項４のうちいずれか一項に記載の装置。
【請求項６】
Ｚ軸を中心としたθ回転運動を行う機構において回転を制限する装置であって、
第１磁極及び第２磁極を含む第１磁石組立体を有する第１部材と、
第１停止部を有する第２部材と、
第３磁極及び第４磁極を含む第２磁石組立体、並びに第２停止部を有する回転可能停止部材と、
第１回転効力抵抗を有し、前記回転可能停止部材を前記第２部材に取り付けるベアリングと
を備え、
前記回転可能停止部材及び前記第２部材は、互いにＺ軸を中心とした相対回転運動を行い、
前記第１停止部及び前記第２停止部は係合して、前記回転可能停止部材と前記第２部材とが相対的に３６０度以上回転しないようにし、
前記第１部材及び前記第２部材は、互いにＺ軸を中心とした相対回転運動を行い、
前記第１磁石組立体及び前記第２磁石組立体は、
前記第１磁極及び前記第３磁極が同じ極性を有し、前記Ｚ軸を中心とした第１の回転方向の前記第１部材と前記回転可能停止部材の間の相対的な回転によって、前記第１磁極及び前記第３磁極が非接触で互いに近接したとき第１反発力を生成し、
前記第２磁極及び前記第４磁極が同じ極性を有し、前記Ｚ軸を中心とした前記第１の回転方向と反対の方向の前記第１部材と前記回転可能停止部材の間の相対的な回転によって、前記第２磁極及び前記第４磁極が非接触で互いに近接したとき第２反発力を生成し、
前記第１反発力及び前記第２反発力が、前記第１回転抗力抵抗より大きく、機構の正常運転状態、並びに前記第１停止部及び前記第２停止部が係合していない状態において、前記第１磁石組立体及び前記第２磁石組立体の間の接触なしに、前記回転可能停止部材を前記第２の部材に対して相対的に回転させる
装置。
【請求項７】
前記機構は、径方向運動およびθ回転運動が可能なロボットアーム機構を含む請求項１から請求項６のうちいずれか一項に記載の装置。
【請求項８】
前記第１磁石組立体及び前記第２磁石組立体は、前記回転可能停止部材及び前記第１の部材が相対的に３６０度以上回転しないように互いに係合する請求項６に記載の装置。
【請求項９】
前記第１磁石組立体及び前記第２磁石組立体は、前記第１停止部材及び前記第２停止部材が１の回転運動において互いに接触した後にのみ、互いに接触する請求項８に記載の装置。
【請求項１０】
第１部材及び第２部材の間に位置する回転可能停止部材を用いる用法であって、
前記回転可能停止部材、前記第１部材、及び前記第２部材は、Ｚ軸を中心とした相対回転運動を行い、
前記回転可能停止部材は、回転効力抵抗を有するベアリングによって、前記第２部材に取り付けられ
前記方法は、
前記第２部材を、第１回転距離、前記Ｚ軸を中心として、前記第１部材に対して、第１方向へ回転させる段階と、
前記第２部材を、前記第１距離を超える第２回転距離、前記Ｚ軸を中心として、前記第１部材に対して、第１方向へ回転させる段階と、
を備え、
前記第１回転距離は、前記第１部材の第１磁石組立体及び前記第２部材の第２磁石組立体の間に距離を生じさせ、生じた反発力を減らし、当該反発力は前記回転抗力抵抗と等しい、
前記第１回転距離の回転の間は、前記ベアリングの前記回転抗力抵抗により、前記第２磁石組立体及び前記回転可能停止部材は前記第２部材とともに回転する、
前記第２回転距離の回転の間は、前記第１磁石組立体及び前記第２磁石組立体の間の距離はゼロでなく、前記反発力は前記ベアリングの前記回転抗力抵抗より大きく、前記回転可能停止部材と前記第２部材との間の相対的な回転は遮られず、前記第２磁石組立体及び前記回転可能停止部材は前記第２部材に対して相対的に回転する
方法。
【請求項１１】
基板を搬送するシステムであって、
複数の取得位置および載置位置と、
ａ）３６０度を超えて非連続回転を行うロボットアーム、および、ｂ）磁石回転ハードストップ組立体を有する基板搬送ロボットと
を備え、
前記磁石回転ハードストップ組立体は、前記基板搬送ロボットのショルダー部と回転可能停止部材とを非接触形式で係合させるように構成されており、
前記基板搬送ロボットは、請求項１または８に記載の装置を有するシステム。