【手続補正書】
【提出日】平成21年7月2日(2009.7.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２】
処理部において高温領域または低温領域で被処理体に所定の処理を施す際に、上記処理部に低温領域での吸熱処理に用いられる一種類の冷却液を循環させて上記冷却液と上記被処理体との間で熱交換させることで上記被処理体を温度制御する高低温処理システムであって、上記冷却液の沸点を上昇させ且つ沸点上昇後の上記冷却液を加熱して上記処理部に循環させる加圧・加熱装置と、上記冷却液を冷却して上記処理部に循環させる冷却装置と、を備え、上記高温領域で上記被処理体を処理する時には上記加圧・加熱装置を使用し、上記低温領域で上記被処理体を処理する時には上記冷却装置を使用することを特徴とする高低温処理システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項９】
上記循環路は、上記処理部の出入口側それぞれで上記冷却装置側と上記加圧・加熱装置側にそれぞれ分岐して構成され、それぞれの分岐路に互いに逆の動作をする第１、第２の開閉弁が設けられており、上記処理部の入口側の各分岐路の第１の開閉弁はそれぞれ流入口と流出口がそれぞれ逆向きに配置されていることを特徴とする請求項３〜請求項８のいずれか１項に記載の高低温処理システム。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１４】
上記温度制御用液体を上記容器と上記処理部との間で循環させることを特徴とする請求項１３に記載の被温度制御体の温度制御方法。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
プローバ室Ｐは、図３に示すように、ウエハＷを昇降可能に載置し且つ温度調節可能なウエハチャック１と、ウエハチャック１をＸ、Ｙ方向に移動させるＸＹテーブル２と、このＸＹテーブル２を介して移動するウエハチャック１の上方に配置されたプローブカード３と、プローブカード３の複数のプローブ３Ａとウエハチャック１上のウエハＷの複数の電極パッドを正確に位置合わせする位置合わせ機構４とを備えている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明の請求項２に記載の高低温処理システムは、処理部において高温領域または低温領域で被処理体に所定の処理を施す際に、上記処理部に低温領域での吸熱処理に用いられる一種類の冷却液を循環させて上記冷却液と上記被処理体との間で熱交換させることで上記被処理体を温度制御する高低温処理システムであって、上記冷却液の沸点を上昇させ且つ沸点上昇後の上記冷却液を加熱して上記処理部に循環させる加圧・加熱装置と、上記冷却液を冷却して上記処理部に循環させる冷却装置と、を備え、上記高温領域で上記被処理体を処理する時には上記加圧・加熱装置を使用し、上記低温領域で上記被処理体を処理する時には上記冷却装置を使用することを特徴とするものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
また、本発明の請求項９に記載の高低温処理システムは、請求項３〜請求項８のいずれか１項に記載の発明において、上記循環路は、上記処理部の出入口側それぞれで上記冷却装置側と上記加圧・加熱装置側にそれぞれ分岐して構成され、それぞれの分岐路に互いに逆の動作をする第１、第２の開閉弁が設けられており、上記処理部の入口側の各分岐路の第１の開閉弁はそれぞれ流入口と流出口がそれぞれ逆向きに配置されていることを特徴とするものである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
また、本発明の請求項１４に記載の被温度制御体の温度制御方法は、請求項１３に記載の発明において、上記温度制御用液体を上記容器と上記処理部との間で循環させることを特徴とするものである。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
本実施形態の被温度制御体の温度制御装置は、例えば図1に示す高低温処理システム１０として構成されている。この高低温処理システムは、例えば図１に示すように、冷却液を高温領域（例えば、冷却液の常圧、即ち１００ｋＰａの下での沸点を超える温度領域（５０〜８５℃）で、例えば、＋８５℃）で使用するために温度制御用液体である冷却液を加圧、加熱する加圧・加熱装置１１と、冷却液を低温領域（０℃以下の温度、例えば、−６５℃）で使用するために冷却液を冷却する冷却装置１２と、被温度制御体である被処理体（例えば、ウエハ）に対して所定の処理を施す処理装置（例えば、検査装置）１３と、を備え、検査装置１３においてウエハの高温測定または低温測定を行う際にウエハからの発熱を、加圧・加熱装置１１または冷却装置１２からの冷却液によって吸熱してウエハを冷却するように構成されている。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
配管１１２は、図２に示すように、気体供給源１１３の下流側で第１、第２の分岐管１１２Ａ、１１２Ｂに分岐している。第１の分岐管１１２Ａは冷却液タンク１１１の上面に接続されている。第２の分岐管１１２Ｂは第１の循環路１４の往路に冷却液タンク１１１とヒータ１１５の間に位置して接続されている。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
配管１１２の第１の分岐管１１２Ａには上流側から下流側に向けて圧力検出器１１７、圧力制御器１１８、電磁弁１１９及び逆止弁１２０がこの順序で配設されている。圧力検出器１１７は、配管１１２内の圧力空気の圧力を検出し、気体供給源１１３から圧力制御器１１８までの配管内を常に所定の圧力範囲（例えば、０．６〜１．０ＭＰａ）内になるように監視している。圧力制御器１１８は、電磁弁１１９が開いた状態で、気体供給源１１３からの圧力空気を例えば０．２ＭＰａまで下げて冷却液タンク１１１内へ供給するようにしている。冷却液タンク１１１内は常圧より高い圧力に維持されることで上述のように冷却液Ｃの沸点が上昇する。冷却液Ｃとして例えばノベックＨＦＥ−７２００（商品名：３Ｍ社製）（常圧での沸点７６℃）等のフッ素系冷媒を使用することができる。ノベックＨＦＥ−７２００は、０．２ＭＰａの圧力下で沸点が約１１０℃まで上昇し、ヒータ１１５によって例えばウエハチャック１３Ａで検査する＋８５℃程度の高温領域まで加熱しても液体の状態を維持することができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
また、第１の循環路１４、１５の往路に配設された第１の電磁弁１２６Ａ、１２６Ｂと第２の循環路１５の往路に配設された第１の電磁弁１２７Ａ、１２７Ｂは、いずれも図２に示すように流入口と流出口がそれぞれの循環路に対して逆向きに取り付けられている。第１の電磁弁１２６Ａ、１２６Ｂ及び第１の電磁弁１２７Ａ、１２７Ｂにはポペット弁を使用しているため、弁の流出口側からの加圧があると漏れが発生するが、このように第１の循環路１４側の電磁弁１２６Ａ、１２６Ｂと第２の循環路１５側の電磁弁１２７Ａ、１２７Ｂを流入口と流出口を逆向きに取り付けることによって、加圧・加熱装置１１を運転している時には第１の循環路１４から第２の循環路１５へ冷却液Ｃが漏れないように、また、冷却装置１２を運転している時には第２の循環路１５から第１の循環路１４へ冷却液Ｃが漏れないようにしている。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
また、ウエハチャック１３Ａの流入管１６には温度検出器１２８が取り付けられ、これらの温度検出器１２８によってウエハチャック１３Ａへ流入する冷却液Ｃの温度を検出し、それぞれの検出値に基づいてヒータ１１５及び冷却ファン１１６Ａを制御して冷却液Ｃの温度が所定の範囲内にあるように管理している。また、流入管１６には圧力検出器１２９Ａ、１２９Ｂが取り付けられ、これらの圧力検出器１２９Ａ、１２９Ｂによってウエハチャック１３Ａへ流入する冷却液Ｃの圧力を検出し、その検出値に基づいて冷却液Ｃの圧力が常に所定の範囲内にあるか監視している。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
また、本実施形態によれば、加圧・加熱装置１１は、ウエハチャック１３Ａから冷却液タンク１１１に至る第１の循環路１４の帰路に配置され且つ冷却液Ｃを冷却する冷却ファン１１６Ａを有するため、冷却液タンク１１１内の冷却液Ｃの温度変動を抑制することができる。また、気体供給源１１３と冷却液タンク１１１を接続する配管１１２の第１の分岐管１１２Ａに加圧気体の圧力制御器１１８が設けられているため、必要に応じて冷却液Ｃの沸点を適宜の範囲で調節することができる。また、配管１１２の第１の分岐管１１２Ａに加圧気体の圧力を検出する圧力検出器１１７が圧力制御器１１８の上流側に配置されているため、圧力検出器１１７によって圧力空気の元圧を監視し、圧力制御器１１７の動作を保証することができる。更に、冷却液タンク１１１は、冷却液タンク１１１内の圧力を検出する圧力検出器１２２と、冷却液タンク１１１内の圧力を所定の設定値に維持する安全弁１２３と、を有するため、冷却液タンク１１１内を常に一定の圧力に維持して、冷却液Ｃの沸点を安定化することができる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
また、本実施形態によれば、冷却液の循環路は、ウエハチャック１３Ａの出入口側それぞれで冷却装置１２側と加圧・加熱装置１１にそれぞれ第１、第２の循環路１４、１５として分岐して構成され、それぞれの第１、第２の循環路１４、１５に互いに逆の動作をする第１、第２の電磁弁１２６Ａ〜１２６Ｄ及び１２７Ａ〜１２７Ｄが設けられており、ウエハチャック１３Ａの入口側の第１、第２の循環路１４、１５の第１の電磁弁１２６Ａ、１２６Ｂ及び１２７Ａ、１２７Ｂはそれぞれ流入口と流出口がそれぞれ逆向きに配置されているため、第１、第２の電磁弁１２６Ａ〜１２６Ｄ及び１２７Ａ〜１２７Ｄによって加圧・加熱装置１１と冷却装置１２とを確実に切り換えることができ、また、第１の循環路１４の往路と第２の循環路１５の往路とを確実に遮断し、第１の循環路１４から第２の循環路１５へ、また、第２の循環路１５から第１の循環路１４へ冷却液Ｃが漏れ出すことがない。また、ウエハチャック１３Ａの流入管１６には温度検出器１２８及び圧力検出１２９Ａ、１２９Ｂが設けられているため、ウエハチャック１３Ａ内へ流入する冷却液Ｃの温度及び圧力を常に一定の範囲に維持することができる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５９】
【図１】本発明の高低温処理システムの一実施形態を示す構成図である。
【図２】図１に示す高低温処理システムの加圧・加熱装置を示す流体回路図である。
【図３】従来の検査装置の一例を示す断面図である。
【図４】図３に示す検査装置に用いられた冷却装置の一例を示す構成図である。