【手続補正書】
【提出日】平成20年12月17日(2008.12.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
制御対象物の位置を計測する計測手段と、前記制御対象物を駆動する駆動手段と、前記計測手段による計測データに応じて前記制御対象物を制御するためのデジタル制御データを演算する制御プロセッサと、所定のコマンドに応じたコマンドデータを前記制御プロセッサに送信するホストプロセッサとを備える制御装置において、前記計測データ、前記デジタル制御データ、及び前記コマンドデータをＤＭＡ転送により転送すると共に、前記各プロセッサに対する前記各データの通信経路及び前記各プロセッサ間での通信経路を切り替える通信制御装置であって、
ＤＭＡ転送されるデータのうち、所定のサンプリング周期毎に転送されるデータの優先度を、前記所定のサンプリング周期によらずに転送されるデータより高い優先度に設定する設定手段と、
前記各プロセッサのうちの少なくとも１つからＤＭＡ転送の要求を受信する受信手段と、
前記ＤＭＡ転送の要求に応答して、ＤＭＡ転送によるデータ通信を開始する通信手段と、
ＤＭＡ転送中に前記ＤＭＡ転送の要求を新たに受信した場合に、転送中のデータと前記新たに受信した前記ＤＭＡ転送の要求に関するデータの各優先度を比較する比較手段と、
前記比較手段による比較の結果、前記新たに受信した前記ＤＭＡ転送の要求に関するデータの前記優先度が前記転送中のデータの前記優先度よりも高い場合に、前記転送中のデータのＤＭＡ転送を中断し、新たなデータのＤＭＡ転送を開始する転送制御手段と、
を具備し、
前記転送制御手段は、前記新たなデータの転送が可能なように通信経路を切り替えることを特徴とする通信制御装置。
【請求項２】
さらに、前記転送制御手段は、該転送制御手段により開始された前記新たなデータのＤＭＡ転送が完了した後に、該転送制御手段により中断された前記転送中のデータのＤＭＡ転送を再開することを特徴とする請求項１に記載の通信制御装置。
【請求項３】
前記プロセッサと前記計測手段及び前記駆動手段との間の通信経路及び前記プロセッサ間での通信経路がスイッチドファブリック型の通信回路により構成され、
前記通信回路における通信経路を切り替えるスイッチ回路と、前記通信手段によるＤＭＡ転送を制御するＤＭＡコントローラとをさらに備え、
前記通信回路に、前記プロセッサが接続されると共に、前記プロセッサと前記計測手段及び前記駆動手段とを接続するＩ／Ｏデバイスが接続されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の通信制御装置。
【請求項４】
前記スイッチ回路に対し、複数の前記プロセッサとＩ／Ｏデバイスとが接続されることを特徴とする請求項３に記載の通信制御装置。
【請求項５】
前記通信回路が複数の前記スイッチドファブリック型の通信回路により構成され、
前記複数の通信回路の夫々が該通信回路における通信経路を切り替える前記スイッチ回路と、前記通信手段によるＤＭＡ転送を制御する前記ＤＭＡコントローラとを備えることを特徴とする請求項３又は４に記載の通信制御装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の通信制御装置と、
原版のパターンを基板に投影して露光する投影光学系と、
前記原版及び前記基板を相対的に移動し位置決めするステージ装置と、を備え、
前記原版のパターンを基板に露光する露光ステーションと、前記投影光学系及び前記ステージ装置の位置を計測する計測ステーションとが分離して構成されており、
前記計測ステーションにおいて計測された計測データが前記制御プロセッサにＤＭＡ転送され、
前記制御プロセッサは、前記計測データを用いて前記露光ステーションを制御するための制御データを演算することを特徴とする露光装置。
【請求項７】
前記制御プロセッサは、前記ステージ装置を制御するプロセッサと、前記投影光学系を制御するプロセッサとを含むことを特徴とする請求項６に記載の露光装置。
【請求項８】
請求項６又は７に記載の露光装置を用いてウエハを露光する工程と、
前記ウエハを現像する工程と、
を備えることを特徴とするデバイス製造方法。
【請求項９】
制御対象物の位置を計測する計測手段と、前記制御対象物を駆動する駆動手段と、前記計測手段による計測データに応じて前記制御対象物を制御するためのデジタル制御データを演算する制御プロセッサと、所定のコマンドに応じたコマンドデータを前記制御プロセッサに送信するホストプロセッサとを備える制御装置において、前記計測データ、前記デジタル制御データ、及び前記コマンドデータをＤＭＡ転送により転送すると共に、前記各プロセッサに対する前記各データの通信経路及び前記各プロセッサ間での通信経路を切り替える通信制御方法であって、
ＤＭＡ転送されるデータのうち、所定のサンプリング周期毎に転送されるデータの優先度を、前記所定のサンプリング周期によらずに転送されるデータより高い優先度に設定する設定工程と、
前記各プロセッサのうちの少なくとも１つからＤＭＡ転送の要求を受信する受信工程と、
前記ＤＭＡ転送の要求に応答して、ＤＭＡ転送によるデータ通信を開始する通信工程と、
ＤＭＡ転送中に前記ＤＭＡ転送の要求を新たに受信した場合に、転送中のデータと前記新たに受信した前記ＤＭＡ転送の要求に関するデータの各優先度を比較する比較工程と、
前記比較工程による比較の結果、前記新たに受信した前記ＤＭＡ転送の要求に関するデータの前記優先度が前記転送中のデータの前記優先度よりも高い場合に、前記転送中のデータのＤＭＡ転送を中断し、新たなデータのＤＭＡ転送を開始する転送制御工程と、
を具備し、
前記転送制御工程では、前記新たなデータの転送が可能なように通信経路を切り替えることを特徴とする通信制御方法。
【請求項１０】
制御対象物の位置を計測する計測手段と、前記制御対象物を駆動する駆動手段と、前記計測手段による計測データに応じて前記制御対象物を制御するためのデジタル制御データを演算する制御プロセッサと、所定のコマンドに応じたコマンドデータを前記制御プロセッサに送信するホストプロセッサと、前記計測データ、前記デジタル制御データ、及び前記コマンドデータをＤＭＡ転送により転送すると共に、前記各プロセッサに対する前記各データの通信経路及び前記各プロセッサ間での通信経路を切り替える通信制御方法を実行する通信制御部とを備える制御装置において、前記通信制御部に、
ＤＭＡ転送されるデータのうち、所定のサンプリング周期毎に転送されるデータの優先度を、前記所定のサンプリング周期によらずに転送されるデータより高い優先度に設定する設定工程と、
前記各プロセッサのうちの少なくとも１つからＤＭＡ転送の要求を受信する受信工程と、
前記ＤＭＡ転送の要求に応答して、ＤＭＡ転送によるデータ通信を開始する通信工程と、
ＤＭＡ転送中に前記ＤＭＡ転送の要求を新たに受信した場合に、転送中のデータと前記新たに受信した前記ＤＭＡ転送の要求に関するデータの各優先度を比較する比較工程と、
前記比較工程による比較の結果、前記新たに受信した前記ＤＭＡ転送の要求に関するデータの前記優先度が前記転送中のデータの前記優先度よりも高い場合に、前記転送中のデータのＤＭＡ転送を中断し、新たなデータのＤＭＡ転送を開始する転送制御工程と、
を実行させ、
前記転送制御工程では、前記新たなデータの転送が可能なように通信経路を切り替えることを特徴とするプログラム。
【請求項１１】
請求項１０に記載のプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体。
【請求項１２】
制御対象物の位置を計測する計測手段と、前記計測手段による計測データに応じて前記制御対象物を制御するためのデジタル制御データを演算する制御プロセッサと、前記デジタル制御データに応じて前記制御対象物を駆動する駆動手段と、所定のコマンドに応じたコマンドデータを前記制御プロセッサに送信するホストプロセッサとを備える制御装置における通信制御装置であって、
前記計測手段と前記制御プロセッサとの間、前記制御プロセッサと前記駆動手段との間、又は前記制御プロセッサと前記ホストプロセッサとの間で、構成に応じて少なくとも２つの通信経路を同時に提供可能な通信回路の当該構成を切り替える切り替え手段と、
前記計測データと、前記デジタル制御データと、前記コマンドデータとを、前記通信回路によって提供される前記通信経路を介してＤＭＡ転送により転送する転送手段と、
ＤＭＡ転送されるデータのうち、所定のサンプリング周期毎に転送されるデータの優先度を、前記所定のサンプリング周期によらずに転送されるデータより高い優先度に設定する設定手段と、
前記各プロセッサのうちの少なくとも１つからＤＭＡ転送の要求を受信する受信手段と、
前記ＤＭＡ転送の要求に応答して、ＤＭＡ転送によるデータ通信を開始する通信手段と、
前記通信手段によって開始されたＤＭＡ転送中に新たなＤＭＡ転送の要求を受信した場合に、転送中のデータの優先度と前記新たなＤＭＡ転送の要求に関するデータの優先度とを比較する比較手段と、
前記比較手段による比較の結果、前記新たなＤＭＡ転送の要求に関するデータの前記優先度が前記転送中のデータの前記優先度よりも高い場合に、前記転送中のデータのＤＭＡ転送を中断し、前記新たなＤＭＡ転送の要求に関するデータのＤＭＡ転送を開始する転送制御手段と、
を具備し、
前記転送制御手段は、前記通信回路によって提供される通信経路を介して前記転送手段が前記新たなＤＭＡ転送の要求に関するデータの転送が可能なように、前記切り替え手段に前記通信回路の前記構成を切り替えさせることを特徴とする通信制御装置。
【請求項１３】
制御対象物の位置を計測する計測手段と、前記計測手段による計測データに応じて前記制御対象物を制御するためのデジタル制御データを演算する制御プロセッサと、前記デジタル制御データに応じて前記制御対象物を駆動する駆動手段と、所定のコマンドに応じたコマンドデータを前記制御プロセッサに送信するホストプロセッサとを備える制御装置における通信制御方法であって、
前記計測手段と前記制御プロセッサとの間、前記制御プロセッサと前記駆動手段との間、又は前記制御プロセッサと前記ホストプロセッサとの間で、構成に応じて少なくとも２つの通信経路を同時に提供可能な通信回路の当該構成を切り替える切り替え工程と、
前記計測データと、前記デジタル制御データと、前記コマンドデータとを、前記通信回路によって提供される前記通信経路を介してＤＭＡ転送により転送する転送工程と、
ＤＭＡ転送されるデータのうち、所定のサンプリング周期毎に転送されるデータの優先度を、前記所定のサンプリング周期によらずに転送されるデータより高い優先度に設定する設定工程と、
前記各プロセッサのうちの少なくとも１つからＤＭＡ転送の要求を受信する受信工程と、
前記ＤＭＡ転送の要求に応答して、ＤＭＡ転送によるデータ通信を開始する通信工程と、
前記通信工程によって開始されたＤＭＡ転送中に新たなＤＭＡ転送の要求を受信した場合に、転送中のデータの優先度と前記新たなＤＭＡ転送の要求に関するデータの優先度とを比較する比較工程と、
前記比較工程による比較の結果、前記新たなＤＭＡ転送の要求に関するデータの前記優先度が前記転送中のデータの前記優先度よりも高い場合に、前記転送中のデータのＤＭＡ転送を中断し、前記新たなＤＭＡ転送の要求に関するデータのＤＭＡ転送を開始する転送制御工程と、
を具備し、
前記転送制御工程では、前記通信回路によって提供される通信経路を介して前記転送工程が前記新たなＤＭＡ転送の要求に関するデータの転送が可能なように、前記切り替え工程に前記通信回路の前記構成を切り替えさせることを特徴とする通信制御方法。
【請求項１４】
制御対象物の位置を計測する計測手段と、前記計測手段による計測データに応じて前記制御対象物を制御するためのデジタル制御データを演算する制御プロセッサと、前記デジタル制御データに応じて前記制御対象物を駆動する駆動手段と、所定のコマンドに応じたコマンドデータを前記制御プロセッサに送信するホストプロセッサとを備える制御装置における通信制御装置に、
前記計測手段と前記制御プロセッサとの間、前記制御プロセッサと前記駆動手段との間、又は前記制御プロセッサと前記ホストプロセッサとの間で、構成に応じて少なくとも２つの通信経路を同時に提供可能な通信回路の当該構成を切り替える切り替え工程と、
前記計測データと、前記デジタル制御データと、前記コマンドデータとを、前記通信回路によって提供される前記通信経路を介してＤＭＡ転送により転送する転送工程と、
ＤＭＡ転送されるデータのうち、所定のサンプリング周期毎に転送されるデータの優先度を、前記所定のサンプリング周期によらずに転送されるデータより高い優先度に設定する設定工程と、
前記各プロセッサのうちの少なくとも１つからＤＭＡ転送の要求を受信する受信工程と、
前記ＤＭＡ転送の要求に応答して、ＤＭＡ転送によるデータ通信を開始する通信工程と、
前記通信工程によって開始されたＤＭＡ転送中に新たなＤＭＡ転送の要求を受信した場合に、転送中のデータの優先度と前記新たなＤＭＡ転送の要求に関するデータの優先度とを比較する比較工程と、
前記比較工程による比較の結果、前記新たなＤＭＡ転送の要求に関するデータの前記優先度が前記転送中のデータの前記優先度よりも高い場合に、前記転送中のデータのＤＭＡ転送を中断し、前記新たなＤＭＡ転送の要求に関するデータのＤＭＡ転送を開始する転送制御工程と、
を実行させ、
前記転送制御工程では、前記通信回路によって提供される通信経路を介して前記転送工程が前記新たなＤＭＡ転送の要求に関するデータの転送が可能なように、前記切り替え工程に前記通信回路の前記構成を切り替えさせることを特徴とするプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
上記課題を解決するために、本発明の通信制御装置は、制御対象物の位置を計測する計測手段と、前記制御対象物を駆動する駆動手段と、前記計測手段による計測データに応じて前記制御対象物を制御するためのデジタル制御データを演算する制御プロセッサと、所定のコマンドに応じたコマンドデータを前記制御プロセッサに送信するホストプロセッサとを備える制御装置において、前記計測データ、前記デジタル制御データ、及び前記コマンドデータをＤＭＡ転送により転送すると共に、前記各プロセッサに対する前記各データの通信経路及び前記各プロセッサ間での通信経路を切り替える通信制御装置であって、ＤＭＡ転送されるデータのうち、所定のサンプリング周期毎に転送されるデータの優先度を、前記所定のサンプリング周期によらずに転送されるデータより高い優先度に設定する設定手段と、前記各プロセッサのうちの少なくとも１つからＤＭＡ転送の要求を受信する受信手段と、前記ＤＭＡ転送の要求に応答して、ＤＭＡ転送によるデータ通信を開始する通信手段と、ＤＭＡ転送中に前記ＤＭＡ転送の要求を新たに受信した場合に、転送中のデータと前記新たに受信した前記ＤＭＡ転送の要求に関するデータの各優先度を比較する比較手段と、前記比較手段による比較の結果、前記新たに受信した前記ＤＭＡ転送の要求に関するデータの前記優先度が前記転送中のデータの前記優先度よりも高い場合に、前記転送中のデータのＤＭＡ転送を中断し、新たなデータのＤＭＡ転送を開始する転送制御手段と、を具備し、前記転送制御手段は、前記新たなデータの転送が可能なように通信経路を切り替えることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
また、本発明の通信制御方法は、制御対象物の位置を計測する計測手段と、前記制御対象物を駆動する駆動手段と、前記計測手段による計測データに応じて前記制御対象物を制御するためのデジタル制御データを演算する制御プロセッサと、所定のコマンドに応じたコマンドデータを前記制御プロセッサに送信するホストプロセッサとを備える制御装置において、前記計測データ、前記デジタル制御データ、及び前記コマンドデータをＤＭＡ転送により転送すると共に、前記各プロセッサに対する前記各データの通信経路及び前記各プロセッサ間での通信経路を切り替える通信制御方法であって、ＤＭＡ転送されるデータのうち、所定のサンプリング周期毎に転送されるデータの優先度を、前記所定のサンプリング周期によらずに転送されるデータより高い優先度に設定する設定工程と、前記各プロセッサのうちの少なくとも１つからＤＭＡ転送の要求を受信する受信工程と、前記ＤＭＡ転送の要求に応答して、ＤＭＡ転送によるデータ通信を開始する通信工程と、ＤＭＡ転送中に前記ＤＭＡ転送の要求を新たに受信した場合に、転送中のデータと前記新たに受信した前記ＤＭＡ転送の要求に関するデータの各優先度を比較する比較工程と、前記比較工程による比較の結果、前記新たに受信した前記ＤＭＡ転送の要求に関するデータの前記優先度が前記転送中のデータの前記優先度よりも高い場合に、前記転送中のデータのＤＭＡ転送を中断し、新たなデータのＤＭＡ転送を開始する転送制御工程と、を具備し、前記転送制御工程では、前記新たなデータの転送が可能なように通信経路を切り替えることを特徴とする。