Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成21年1月20日(2009.1.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項６】
上記端子部が接続可能で上記接続対象機器に接続可能なカードアダプタを有し、
上記カードアダプタは、記録、消去可能不可を切り替えるスイッチを含み、当該スイッチの情報を、上記信号端子を通してカード側に伝達する機能を有する
請求項３記載のカード型周辺装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項７】
上記端子部が接続可能で上記接続対象機器に接続可能なカードアダプタを有し、
上記カードアダプタは、記録、消去可能不可を切り替えるスイッチを含み、当該スイッチの情報を、上記信号端子を通してカード側に伝達する機能を有し、
上記コントローラは、上記カードアダプタのスイッチが記録消去不可能である情報を上記信号端子を介して受け取ると、当該カードを記録消去不可の状態に制御する
請求項４記載のカード型周辺装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
一方は、図２（Ａ），（Ｂ）に示すように、スイッチ２の状態の検出をカード１内部のコントローラ３が行い、カード１内部において、記録消去を禁止し、それを図示しないホスト機器に伝えるものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
後者の場合には、アダプタにスイッチが設けられている場合に、カードのスイッチの状態の情報が無視され、利用者の意図が記録・消去防止制御に反映されない可能性があることである。
また、それを回避するために、ほとんどの場合には前者同様にアダプタには消去防止スイッチを配設しないことが一般的である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
好適には、上記端子部が接続可能で上記接続対象機器に接続可能なカードアダプタを有し、上記カードアダプタは、記録、消去可能不可を切り替えるスイッチを含み、当該スイッチの情報を、上記信号端子を通してカード側に伝達する機能を有する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
好適には、上記端子部が接続可能で上記接続対象機器に接続可能なカードアダプタを有し、上記カードアダプタは、記録、消去可能不可を切り替えるスイッチを含み、当該スイッチの情報を、上記信号端子を通してカード側に伝達する機能を有し、上記コントローラは、上記カードアダプタのスイッチが記録消去不可能である情報を上記信号端子を介して受け取ると、当該カードを記録消去不可の状態に制御する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
図１０および図１１は、カードアダプタとカード内のスイッチ部分の回路構成例を示す図である。図１０はカードアダプタのスイッチがオフ状態、図１１はカードアダプタのスイッチがオン状態であることを示している。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
図１０に示すように、カードアダプタ３００上のスイッチ３１０が記録可能な位置にある場合、アダプタ３００内の端子はいずれにも接続されていない状態となり、この場合には、メモリカード１００のコントローラ１２０が記録可能であることを判断する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
インターフェイスが同じ場合は、図１３に示すように、カードアダプタ３００内ではこのスイッチの情報以外はそのままホスト機器２００に伝送される。
これに対して、インターフェイスが異なる場合には、カードアダプタ３００内にインターフェイスを変換する回路３２０を有することになるが、図１４に示すように、記録・消去可能/不可の情報に関するカード-アダプタ間の情報のやりとりはここだけで完結し、ホスト機器はその情報を意識せず、カードの利用が可能である。
【手続補正書】
【提出日】平成21年1月20日(2009.1.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項５】
上記小型カードを挿入、退出可能なスロットと、
上記ケース体内に配置された上記小型カードを収納可能な収納部と、
上記収納部に収納された小型カードの端子部と接続が可能なコネクタ部と、を有し、
上記電子部品は、上記コネクタ部と上記端子部とに接続されたインターフェイス変換回路を含むカードアダプタとしての機能を有する
請求項１記載のカード型周辺装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
好適には、上記小型カードを挿入、退出可能なスロットと、上記ケース体内に配置された上記小型カードを収納可能な収納部と、上記収納部に収納された小型カードの端子部と接続が可能なコネクタ部と、を有し、上記電子部品は、上記コネクタ部と上記端子部とに接続されたインターフェイス変換回路を含むカードアダプタとしての機能を有する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
図７は、この小型カードをＰＣなどに設けられたＥｘｐｒｅｓｓＣａｒｄスロットに挿入して用いる際に利用するアダプタを示す図である。
このアダプタ５００の形状は通常のＥｘｐｒｅｓｓＣａｒｄと同じであるが、後端部に小型カードを入れるスロット５０１と、これを取り出す際に上述したカード型周辺装置１００に形成されたグリップやノッチにアクセスを容易にするための切り欠き５０２が設けられている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
図１６は、端子カバーを備えたカード型周辺装置の好適な構成例を説明するための図である。
この場合、端子カバー１３０Ａの材質を導電性のもの（たとえば、アルミニウム、SUSなど）にして、その長手方向に一側部に接合部１３１が形成されている。
そして、端子カバー載置部１０４に端子カバー１３０Ａを収容した状態で接合部１３１が、カード内において基板１２０を通じてコモン（グランド）端子にＧＮＤ接続するように構成される。
こうすることによって、静電気などが直接信号端子に伝わることを防ぎ、コモン端子に積極的に伝えることによって、カードの静電気に対する耐久性を向上することが可能となる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
このカードアダプタ１００Ａにおいては、高さのオフセットが必要となることから、回路基板部が２枚の回路基板１４６，１４７に分割されている。この２枚の回路基板１４６，１４７は図示していないがフレキシブルケーブルにより電気的に接続されている。
回路基板１４６上にカード収納部１４４が配置され、回路基板１４７の裏面側に端子部１０２が形成されている。
そして、回路基板１４７にはインターフェイス（Ｉ／Ｆ）変換用コントローラ１４８が配置されている。
また、第１ケース体１４１と第２ケース体１４２の後端部により小型カードを入れるスロット１４９が形成され、第２ケース体１４２の後端部には、挿入されたカードを取り出す際に上述したカード型周辺装置１００に形成されたグリップやノッチにアクセスを容易にするための切り欠き１４２１が設けられている。
なお、このカードアダプタ機能の場合も上述した端子カバーに関する構成を有する。
【手続補正書】
【提出日】平成21年4月10日(2009.4.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
高分子電解質膜の縁を枠体で狭持した燃料電池セルを複数個直列に接続され、かつ、各燃料電池セルのアノード極とカソード極に燃料ガスと酸化ガスを供給するよう構成した燃料電池において、前記枠体は一方の枠と他方の枠とで構成され、前記他方の枠は、前記一方の枠よりもヤング率が小さい樹脂材料で形成されてなる、燃料電池。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明の請求項１記載の燃料電池は、高分子電解質膜の縁を枠体で狭持した燃料電池セルを複数個直列に接続され、かつ、各燃料電池セルのアノード極とカソード極に燃料ガスと酸化ガスを供給するよう構成した燃料電池において、前記枠体は一方の枠と他方の枠とで構成され、前記他方の枠は、前記一方の枠よりもヤング率が小さい樹脂材料で形成されてなることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成20年12月25日(2008.12.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レンズパターンが内周面に設けられた円筒状の母型を、円筒状のカソードの内周面に保持する工程と、
上記カソードと、当該カソードの中央部に設けられたアノードとを用いて電気鋳造を行う工程と、
上記電気鋳造により上記母型の内周面に形成された薄膜を剥離する工程と
を備えることを特徴とする賦型の製造方法。
【請求項２】
上記レンズパターンが、マイクロレンズアレイ状、プリズムレンズ状またはフレネルレンズ状であることを特徴とする請求項１記載の賦型の製造方法。
【請求項３】
上記電気鋳造の工程は、上記アノードおよび上記カソードの少なくとも一方を自転させながら行われることを特徴とする請求項１記載の賦型の製造方法。
【請求項４】
上記電気鋳造の工程は、上記母型と上記アノードとの間に設けられた円筒状の電流遮蔽部により、上記母型の電流分布を一定に保持しながら行われることを特徴とする請求項１記載の賦型の製造方法。
【請求項５】
上記電気鋳造の工程は、上記カソードの内側と外側の浴液を循環させながら行われることを特徴とする請求項１記載の賦型の製造方法。
【請求項６】
粉末状の熱可塑性樹脂を円筒状の金型に投入し、回転成形により円筒状の被加工物を成形する工程と、
成形された上記被加工物の内周面に対してレンズパターンを形成して、上記円筒状の母型を作製する工程と
をさらに備えることを特徴とする請求項１記載の賦型の製造方法。
【請求項７】
上記回転成形の工程は、上記金型の温度を３１０℃以上３５０℃以下の範囲内に保持しながら行われることを特徴とする請求項６記載の賦型の製造方法。
【請求項８】
上記熱可塑性樹脂は、ポリカーボネート樹脂であることを特徴とする請求項６記載の賦型の製造方法。
【請求項９】
上記金型の厚さは、上記被加工物の厚さの２倍以上であることを特徴とする請求項６記載の賦型の製造方法。
【請求項１０】
上記回転成形の工程は、上記金型の温度を３１０℃以上３５０℃以下の範囲内まで加熱した後、上記粉末状の熱可塑性樹脂を一度に上記金型に投入することにより行なわれることを特徴とする請求項６記載の賦型の製造方法。
【請求項１１】
レンズパターンが内周面に設けられた円筒状の母型を、円筒状のカソードの内周面に保持する工程と、
上記カソードと、当該カソードの中央部に設けられたアノードとを用いて電気鋳造を行う工程と、
上記電気鋳造により上記母型の内周面に形成された薄膜を剥離して賦型を得る工程と、
上記賦型を用いてシートの一主面にレンズパターンを形成する工程と
を備えることを特徴とするレンズシートの製造方法。
【請求項１２】
レンズパターンが外周面に設けられた円筒状の母型の外周面に、電気鋳造により薄膜を形成し、当該薄膜を剥離して複製母型を作製する工程と、
上記複製母型と、当該複製母型の中央部に設けられたアノードとを用いて電気鋳造を行う工程と、
上記電気鋳造により上記複製母型の内周面に形成された薄膜を剥離する工程と
を備えることを特徴とする賦型の製造方法。
【請求項１３】
粉末状の熱可塑性樹脂を円筒状の金型に投入し、回転成形により円筒状の被加工物を成形する工程と、
成形された上記被加工物の外周面に対してレンズパターンを形成して、上記円筒状の母型を作製する工程と
をさらに備えることを特徴とする請求項１２記載の賦型の製造方法。
【請求項１４】
上記回転成形の工程は、上記金型の温度を３１０℃以上３５０℃以下の範囲内に保持しながら行われることを特徴とする請求項１３記載の賦型の製造方法。
【請求項１５】
上記熱可塑性樹脂は、ポリカーボネート樹脂であることを特徴とする請求項１３記載の賦型の製造方法。
【請求項１６】
上記金型の厚さは、上記被加工物の厚さの２倍以上であることを特徴とする請求項１３記載の賦型の製造方法。
【請求項１７】
上記回転成形の工程は、上記金型の温度を３１０℃以上３５０℃以下の範囲内まで加熱した後、上記粉末状の熱可塑性樹脂を一度に上記金型に投入することにより行なわれることを特徴とする請求項１３記載の賦型の製造方法。
【請求項１８】
レンズパターンが外周面に設けられた円筒状の母型の外周面に、電気鋳造により薄膜を形成し、当該薄膜を剥離して複製母型を作製する工程と、
上記複製母型と、当該複製母型の中央部に設けられたアノードとを用いて電気鋳造を行う工程と、
上記電気鋳造により上記複製母型の内周面に形成された薄膜を剥離して賦型を得る工程と、
上記賦型を用いてシートの一主面にレンズパターンを形成する工程と
を備えることを特徴とするレンズシートの製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成21年5月8日(2009.5.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
非晶状態の熱可塑性ポリエステル系樹脂シートを、該熱可塑性ポリエステル系樹脂のガラス転移温度−２０℃〜該熱可塑性ポリエステル系樹脂のガラス転移温度＋２０℃の温度で引抜延伸した後、該引抜延伸温度より高い温度で一軸延伸して得られた延伸熱可塑性ポリエステル系樹脂シートの両面に、熱可塑性樹脂シートが、該延伸熱可塑性ポリエステル系樹脂シート及び熱可塑性樹脂シートより融点の高い織布及び／又は不織布を介して積層・融着されていることを特徴とする積層成形体。
【請求項２】
不織布が、ニードルパンチ不織布又はスパンレース不織布であることを特徴とする請求項１項記載の積層成形体。
【請求項３】
引抜延伸を、上記温度に設定された一対のロール間を通して行うことを特徴とする請求項１又は２記載の積層成形体。
【請求項４】
非晶状態の熱可塑性ポリエステル系樹脂シートを、該熱可塑性ポリエステル系樹脂のガラス転移温度−２０℃〜該熱可塑性ポリエステル系樹脂のガラス転移温度＋１０℃の温度で予熱した後、一対のロール間を通すことを特徴とする請求項３記載の積層成形体。
【請求項５】
上記シートを、同一条件の引抜速度でロールが回転していない状態で引き抜いた際の送り速度と実質的に同一速度以下の速度で該ロールを引抜方向に回転させることを特徴とする請求項３又は４記載の積層成形体。
【請求項６】
２枚以上の延伸熱可塑性ポリエステル系樹脂シートが、延伸方向が略同一方向になるように積層されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項記載の積層成形体。
【請求項７】
２枚以上の延伸熱可塑性ポリエステル系樹脂シートの間に、熱可塑性ポリエステル系樹脂の融点より低い融点を有するホットメルト型接着剤が含浸している織布及び／又は不織布が積層され、該ホットメルト型接着剤により接着されていることを特徴とする請求項６記載の積層成形体。
【請求項８】
２枚以上の延伸熱可塑性ポリエステル系樹脂シートの間に、熱可塑性ポリエステル系樹脂の融点より高い融点を有する織布及び／又は不織布を積層し、延伸熱可塑性ポリエステル系樹脂シートを軟化・溶融すると共に押圧することにより、織布及び／又は不織布が延伸熱可塑性ポリエステル系樹脂シートに食い込んで融着されていることを特徴とする請求項６記載の積層成形体。
【請求項９】
２枚以上の延伸熱可塑性ポリエステル系樹脂シートが、反応性接着剤、エポキシ系接着剤、ウレタン系接着剤、ポリエステル系接着剤及びゴム系接着剤よりなる群から選ばれた１種類又は２種類以上の接着剤で接着されていることを特徴とする請求項６記載の積層成形体。
【請求項１０】
２枚以上の延伸熱可塑性ポリエステル系樹脂シートの間に、反応性接着剤、エポキシ系接着剤、ウレタン系接着剤、ポリエステル系接着剤及びゴム系接着剤よりなる群から選ばれた１種類又は２種類以上の接着剤が含浸している織布及び／又は不織布が積層され、該接着剤により接着されていることを特徴とする請求項６記載の積層成形体。
【請求項１１】
積層成形体が、外装建材であることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項記載の積層成形体。
【手続補正書】
【提出日】平成21年4月16日(2009.4.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを搬入出するための側面開口部を同一方向にして隣り合う第１および第２の加工機と、
前記第１および第２の加工機との間に設置された少なくとも７軸の関節部を有する多関節マニピュレータと、を備え、
前記多関節マニピュレータは、前記第１の加工機で加工されたワークを前記第２の加工機に搬送する
ことを特徴とする搬送システム。
【請求項２】
前記多関節マニピュレータが前記ワークを搬送する際、少なくとも冗長軸を動作させることによって、前記第１または第２の加工機との干渉を回避する
ことを特徴とする請求項１記載の搬送システム。
【請求項３】
ワークを搬入出するための側面開口部を備えた加工機と、
前記加工機の全部に設置され、前記加工機で加工されるワークを搬送するための搬送コンベヤと、
前記搬送コンベヤと前記加工機との間に設置された少なくとも７軸の関節部を有する多関節マニピュレータと、を備え、
前記多関節マニピュレータは、前記ワークを前記加工機に対して搬入出する
ことを特徴とする搬送システム。
【請求項４】
前記多関節マニピュレータが前記ワークを搬送する際、
少なくとも冗長軸を動作させることによって、前記加工機との干渉を回避する
ことを特徴とする請求項３記載の搬送システム。
【請求項５】
前記多関節マニピュレータは、壁掛けされている
ことを特徴とする請求項３記載の搬送システム。
【請求項６】
前記多関節マニピュレータの関節部が、モータと減速機構が一体化されたアクチュエータで構成されている
ことを特徴とする請求項１または３に記載の搬送システム。
【請求項７】
前記多関節マニピュレータの隣り合う関節の回転軸の傾きが９０度である
ことを特徴とする請求項１または３に記載の搬送システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
上記問題を解決するため、本発明は、次のように構成したのである。
請求項１に記載の発明は、ワークを搬入出するための側面開口部を同一方向にして隣り合う第１および第２の加工機と、前記第１および第２の加工機との間に設置された少なくとも７軸の関節部を有する多関節マニピュレータと、を備え、前記多関節マニピュレータは、前記第１の加工機で加工されたワークを前記第２の加工機に搬送することを特徴とするものである。
請求項２に記載の発明は、前記多関節マニピュレータが前記ワークを搬送する際、少なくとも冗長軸を動作させることによって、前記第１または第２の加工機との干渉を回避することを特徴とするものである。
請求項３に記載の発明は、ワークを搬入出するための側面開口部を備えた加工機と、前記加工機の全部に設置され、前記加工機で加工されるワークを搬送するための搬送コンベヤと、前記搬送コンベヤと前記加工機との間に設置された少なくとも７軸の関節部を有する多関節マニピュレータと、を備え、前記多関節マニピュレータは、前記ワークを前記加工機に対して搬入出することを特徴とするものである。
請求項４に記載の発明は、前記多関節マニピュレータが前記ワークを搬送する際、少なくとも冗長軸を動作させることによって、前記加工機との干渉を回避することを特徴とするものである。
請求項５に記載の発明は、前記多関節マニピュレータは、壁掛けされていることを特徴とするものである。
請求項６に記載の発明は、前記多関節マニピュレータの関節部が、モータと減速機構が一体化されたアクチュエータで構成されていることを特徴とするものである。
請求項７に記載の発明は、前記多関節マニピュレータの隣り合う関節の回転軸の傾きが９０度であることを特徴とするものである。
なお、前記加工機は、射出成型機であることが好ましい。
また、前記加工機は、ダイキャストマシンであることが好ましい。
また、前記加工機は、旋盤であることが好ましい。
また、前記加工機は、マシニングセンタであることが好ましい。
また、前記加工機は、プレスマシンであることが好ましい。
また、前記加工機は、レーザ加工機であることが好ましい。
また、前記加工機は、洗浄機であることが好ましい。
また、前記加工機は、鍛造マシンであることが好ましい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の発明によると、少なくとも１軸を移動させることにより干渉回避姿勢を有するため、搬送システムの設置空間を極小とすることができる。
また、請求項６ に記載の発明によると、前記多関節マニピュレータの関節部が、モータと減速機構が一体化されたアクチュエータで構成されているため、加工機または搬送装置との設置位置をさらに近接させることが可能となる。
また、請求項７ に記載の発明によると、多関節マニピュレータにおいて、隣り合う関節の回転軸の傾きが９０度であるため、従来の多関節マニピュレータと同一の操作が可能であり、教示時間の短縮が可能となる。
【手続補正書】
【提出日】平成21年6月19日(2009.6.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７０】
Ａ１，Ａ２，Ａ３    搬送装置
１                  固定ベース
２                  旋回ベース
２３Ａ，２３Ａ’，２３Ｂ，２３Ｂ’    真空シール（気密シール）
３                  リンクアーム機構
４                  ハンド
５                  ガイドレール
６０                  減速機
１００ａ〜１００ｆ    往路用の通路
１１０Ａ，１１０Ｂ    往路用の環状溝
１１０Ａ’，１１０Ｂ’往路用の環状空間
２００ａ〜２００ｆ    復路用の通路
２１０Ａ，２１０Ｂ    復路用の環状溝
２１０Ａ’，２１０Ｂ’復路用の環状空間
５００              環状パイプ
【手続補正書】
【提出日】平成20年11月21日(2008.11.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項３】
上記の最大深さが下記式の値以下である請求項２に記載のタイヤ：
【数１】
2007118913.tif 000001
(ここで、Ｎは上記の高さに等しく、Ｑは上記のラジアルオフセットである)
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項４】
上記タンジェント角度が10°以上でかつ下記式の値以下である請求項１に記載のタイヤ：
【数２】
2007118913.tif 000002
(ここで、ＨＣは上記カッタウェイ断面のラジアル高さに等しく、Ｄは上記深さである)
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１３】
上記カッタウェイが、上記プロフィルの放射方向最外側および放射方向最内側の位置で少なくとも10°のタンジェント角度αを有する放物線によって規定され、上記放物線が最大深さに対応する軸線方向位置を通る請求項１に記載のタイヤ。
【手続補正４】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１８】
上記タンジェント角度αの最小値が10°である請求項１４に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成21年10月14日(2009.10.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
粉体形状の物質（２４）のタンク（２２）の底部に形成されたオリフィス（２６）を介して圧力をかけられたガスを進入させることと、ガス進入オリフィスに連結され、かつタンクに保存された粉体を貫通する内部チューブ（３２）内へと進入したガスを案内することと、内部チューブに沿って移動するガスをその壁に形成された開口（３２ｂ）を介して粉体を伴出させることと、タンクの上部の出口（３０）を介してガスと粉体の流れをタンクから取り出すことを含む、粉体形状の物質を散布する方法であって、この方法は、出口を介してガスと粉体の流れを取り出す前に、内部チューブ（３２）に沿って移動するガスと粉体の混合物が、タンクの上部に案内され、タンク内に保存された粉体の上のタンク内部にある体積（３４）を介して移動するガスと粉体の流れを作り出すような方法で、実質的にタンクの側壁の方へ向けられることを特徴とする、方法。
【請求項２】
ガスと粉体の流れが、前記体積の底部に向かって内部チューブからの出口で前記体積の上部から進む通路に沿って、次に出口の方へ進む前記体積の上部の方へと移動することによって、保存された粉体（２４）の上のタンク（２２）内部にある前記体積（３４）を介して移動することを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
内部チューブ（３２）に沿って移動するガスと粉体の混合物が、タンクからの出口（３０）が、外に開いてタンクの内部に入り込む方向から実質的に反対の方向においてタンク（２２）の側壁の方へ向けられることを特徴とする、請求項１または２に記載の方法。
【請求項４】
粉体形状の物質（２４）のタンク（２２）、タンクの底部に形成された圧力をかけられたガスを進入させるガス進入オリフィス（２６）、ガス進入オリフィスに接続され、タンク内に保存された粉体を貫通する長さの少なくとも一部にわたって穿孔（３２ｂ）が施された内部チューブ（３２）、およびタンクの上部にあるガスと粉体の流れ用の出口（３０）を備える、粉体形状の物質を散布する装置であって、この装置は、出口を介して取り出される前に、内部チューブからのガスと粉体の流れをタンクの上部体積を介して移動するように作り出させることができるように、内部チューブ（３２）は、タンク内に保存された粉体（２４）の上のタンク（２２）の上部体積（３４）の中へと延在し、かつタンクの上部における端部（３２ａ）で外に開いてその側壁の方へ向くことを特徴とする、装置。
【請求項５】
内部チューブ（３２）の端部（３２ａ）が、ガスと粉体の流れ用の出口（３０）が外に開いてタンクの中に入る方向と実質的に反対の方向に外に開くことを特徴とする、請求項４に記載の装置。
【請求項６】
内部チューブ（３２）の端部（３２ｂ）には、格子（３３）が設けられていることを特徴とする、請求項４または５に記載の装置。
【請求項７】
第１の管（５４）によって粉体散布装置の出口（３０）に連結されたガスと粉体の流れ用の第１の入口、および第２の管（５６）によって圧力をかけられたガスの供給源へと連結のための圧力をかけられたガス用の第２の入口を有する、少なくとも１つの粉体散布ノズル（４２ａ、４２ｂ）とともに、請求項４から６のいずれか一項に記載の粉体散布装置（１０）を備える、粉体形状の物質を散布するシステム。
【請求項８】
それぞれ第１の管（５４）および第２の管（５６）に平行に連結された第１および第２の入口を有する、複数の粉体散布ノズル（４２ａ、４２ｂ）を有することを特徴とする、請求項７に記載の粉体散布システム。
【請求項９】
ガスと粉体の流れの圧力を表す情報を送る第１の管（５４）上に取り付けられた圧力センサ（５４ｂ）、およびタンクの中に進入したガスの圧力を表す情報を供給するための粉体形状の物質のタンク（２２）のガス進入オリフィス（２６）に供給する管（５２）上に取り付けられた第２の圧力センサ（５２ｂ）を含むことを特徴とする、請求項７または８に記載の粉体散布システム。
【請求項１０】
請求項７から９のいずれか一項に記載の粉体形状の現像剤を散布するためのシステム（１０）を含む、浸出によって部品の表面の表面欠点を検出するための設備。
【請求項１１】
それぞれ所定の範囲外にある測定された圧力値の場合に、圧力センサ（５４ｂ、５２ｂ）によって発生した信号を受信し、警報を出す、制御ユニット（７０）を含むことを特徴とする、請求項９による粉体形状の現像剤を散布するためのシステムを含む、請求項１０に記載の設備。
【手続補正書】
【提出日】平成21年2月23日(2009.2.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電話番号に対応付けて相手方の情報を記憶する電話帳機能を構成する電話帳記憶手段を備えた通信装置において、
前記通信装置は、予め定めたメッセージ情報を記憶するメッセージ記憶手段または音源データを記憶するＢＧＭ記憶手段と、前記メッセージ記憶手段から読み出したメッセージ情報またはＢＧＭ記憶手段から読み出した音源データを回線から受信した呼出し信号に重畳する音声コーデックを備え、
前記電話帳記憶手段に電話番号に対応付けて所望のイベント情報を記憶し、前記イベント情報に対応付けてメッセージ記憶手段に所望のメッセージデータを記憶しまたはＢＧＭ記憶手段に所望の音源データを記憶し、電話番号が入力された場合に前記電話帳記憶手段に記憶されたイベント情報に合致した通話であることを検出すると、前記メッセージ記憶手段に記憶されたメッセージ情報またはＢＧＭ記憶手段に記憶された音源データに前記イベントに合致したメッセージ情報または音源データが記憶されている場合、当該メッセージ情報または音源データを読み出し、前記音声コーデックにより前記メッセージ情報または音源データを呼出し信号に重畳することを特徴とする通信装置。
【請求項２】
前記イベント情報は、発呼者と被呼者が共通に関心を持つ日付情報であることを特徴とする請求項１に記載の通信装置。
【請求項３】
前記通信装置は、電話番号が入力された場合に前記電話帳記憶手段に記憶されたイベント情報である日付情報の当日、または、当日を含みそれ以前の所定期間に合致した通話であることを検出すると、前記メッセージ記憶手段に記憶されたメッセージ情報またはＢＧＭ記憶手段に記憶された音源データに前記イベントに合致したメッセージ情報または音源データが記憶されている場合、当該メッセージ情報または音源データを読み出し、前記音声コーデックにより前記メッセージ情報または音源データを呼出し信号に重畳することを特徴とする請求項２に記載の通信装置。
【請求項４】
前記メッセージ記憶手段に記憶されるメッセージ情報またはＢＧＭ記憶手段に記憶される音源データは、前記イベント情報に応じて利用者が予め記憶したメッセージまたは音源データであることを特徴とする請求項１ないし請求項３の何れか１項に記載の通信装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】通信装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、電話帳など被呼者に関する任意の情報を記憶する記憶手段を有する通信装置に関するものであり、特に、記憶手段に各被呼者に関する誕生日や結婚記念日などの日付情報を記憶しておき、発呼時に被呼者を呼出している間に該当する被呼者に関する日付情報を読み出して、回線を介して受信する呼び出し音に重畳して発呼者に音声で報知するように構成した通信装置に関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
請求項１に記載の発明は、電話番号に対応付けて相手方の情報を記憶する電話帳機能を構成する電話帳記憶手段を備えた通信装置において、前記通信装置は、予め定めたメッセージ情報を記憶するメッセージ記憶手段または音源データを記憶するＢＧＭ記憶手段と、前記メッセージ記憶手段から読み出したメッセージ情報またはＢＧＭ記憶手段から読み出した音源データを回線から受信した呼出し信号に重畳する音声コーデックを備え、前記電話帳記憶手段に電話番号に対応付けて所望のイベント情報を記憶し、前記イベント情報に対応付けてメッセージ記憶手段に所望のメッセージデータを記憶しまたはＢＧＭ記憶手段に所望の音源データを記憶し、電話番号が入力された場合に前記電話帳記憶手段に記憶されたイベント情報に合致した通話であることを検出すると、前記メッセージ記憶手段に記憶されたメッセージ情報またはＢＧＭ記憶手段に記憶された音源データに前記イベントに合致したメッセージ情報または音源データが記憶されている場合、当該メッセージ情報または音源データを読み出し、前記音声コーデックにより前記メッセージ情報または音源データを呼出し信号に重畳することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
請求項３に記載の発明は、前記通信装置は、電話番号が入力された場合に前記電話帳記憶手段に記憶されたイベント情報である日付情報の当日、または、当日を含みそれ以前の所定期間に合致した通話であることを検出すると、前記メッセージ記憶手段に記憶されたメッセージ情報またはＢＧＭ記憶手段に記憶された音源データに前記イベントに合致したメッセージ情報または音源データが記憶されている場合、当該メッセージ情報または音源データを読み出し、前記音声コーデックにより前記メッセージ情報または音源データを呼出し信号に重畳することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
また、請求項２にかかる発明においては、請求項１にかかる通信装置において、前記イベント情報は、発呼者と被呼者が共通に関心を持つ日付情報である。従って、利用者は被呼者について関心を持つ誕生日やその他の記念日をイベント情報として登録しておき、当該イベントに応じたメッセージ情報または音源データを登録しておくことができるようになり、回線接続前に登録したイベント情報に応じたメッセージまたは音源データを聞くことができるようになる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
また、請求項３にかかる発明においては、請求項２にかかる通信装置において、前記通信装置は、電話番号が入力された場合に前記電話帳記憶手段に記憶されたイベント情報である日付情報の当日、または、当日を含みそれ以前の所定期間に合致した通話であることを検出すると、前記メッセージ記憶手段に記憶されたメッセージ情報またはＢＧＭ記憶手段に記憶された音源データに前記イベントに合致したメッセージ情報または音源データが記憶されている場合、当該メッセージ情報または音源データを読み出し、前記音声コーデックにより前記メッセージ情報または音源データを呼出し信号に重畳する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
また、請求項４にかかる発明においては、請求項１ないし請求項３の何れか１項の通信装置において、前記メッセージ記憶手段に記憶されるメッセージ情報はまたはＢＧＭ記憶手段に記憶される音源データは、前記イベント情報に応じて利用者が予め記憶したメッセージまたは音源データである。利用者は被呼者について関心を持つ誕生日やその他の記念日をイベント情報として登録しておき、当該イベントに応じた所望のメッセージ情報または音源データを登録しておくことができるようになり、回線接続前に登録したイベント情報に応じたメッセージまたは音源データを聞くことができるようになる。
【手続補正書】
【提出日】平成21年7月23日(2009.7.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
銅配線を有する半導体基材をケミカルメカニカル研磨するのに有用な水性スラリーであって、酸化剤０．０１〜２５重量％、砥粒０．１〜５０重量％、ポリビニルピロリドン０．００１〜３重量％、銅配線の静的エッチングを減らすためのインヒビター０．０１〜１０重量％、銅配線の除去速度を高めるためのリン酸アンモニウム、リン酸カリウム及びリン酸二カリウムから選択されるリン含有化合物０．００１〜５重量％、塩化アンモニウム０．０００１〜０．１重量％、研磨中に銅とで形成される銅錯化剤０．００１〜１０重量％及び残余として水を含み、少なくとも８のｐＨを有する水性スラリー。
【請求項２】
前記ポリビニルピロリドンが１，０００〜１，０００，０００の重量平均分子量を有する、請求項１記載の水性スラリー。
【請求項３】
酸化剤０．０５〜１５重量％、シリカ砥粒０．１〜４０重量％、ポリビニルピロリドン０．００２〜２重量％、銅配線の静的エッチングを減らすためのアゾールインヒビター０．０２〜５重量％、リン含有化合物０．０１〜３重量％、研磨中に銅とで形成される有機酸銅錯化剤０．０１〜５重量％を含み、８〜１２のｐＨを有する、請求項１記載の水性スラリー。
【請求項４】
前記ポリビニルピロリドンが１，０００〜５００，０００の重量平均分子量を有する、請求項３記載の水性スラリー。
【請求項５】
酸化剤０．１〜１０重量％、シリカ砥粒０．２５〜３５重量％、ポリビニルピロリドン０．０１〜１．５重量％、銅配線の静的エッチングを減らすためのベンゾトリアゾールインヒビター０．０５〜２重量％、銅配線の除去速度を高めるためのリン含有化合物０．０２〜２重量％を含み、９〜１１．５のｐＨを有する、請求項１記載の水性スラリー。
【手続補正書】
【提出日】平成21年1月19日(2009.1.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発光素子を搭載する素子搭載部と、
内壁が底面から光取出し方向にかけて内径が拡大するように傾斜し、その途中に段部が形成され、前記発光素子から放射される光を取り出す開口部を有するケースと、
前記段部に配置され、前記発光素子から放射される光を波長変換して波長変換光を発生させる板状の波長変換部と、
前記ケースに前記波長変換部と離して取り付けられて前記波長変換光を光学形状に基づく方向に放射させる光学形状部とを有することを特徴とする発光装置。
【請求項２】
前記ケースは、前記開口部の内壁の底面側に形成される第１光反射面と、前記開口部の内壁の光取出し側に形成され該第１光反射面と異なる形状の第２光反射面と、を有する請求項１に記載の発光装置。
【請求項３】
前記第１光反射面は、湾曲して形成される請求項２に記載の発光装置。
【請求項４】
前記第１光反射面と前記第２光反射面の少なくとも一方は、前記ケースよりも反射率の高い金属により被覆される請求項２または３に記載の発光装置。
【請求項５】
前記素子搭載部は、その底面が外部の実装基板の表面と同一面上に配置されて前記底面と前記実装基板の表面とが面接触している請求項１から４のいずれか１項に記載の発光装置。
【請求項６】
前記素子搭載部は、その底面が外部の実装基板上に設けられる導電層の表面と同一面上に配置されている請求項１から５のいずれか１項に記載の発光装置。
【請求項７】
前記素子搭載部は、前記発光素子との電気的接続および前記ケースの前記実装面に設けられる配線部との電気的接続を行う配線パターンを有する第１の面と、前記第１の面の反対側に設けられて前記ケースの前記実装面と略同一面を形成し、前記発光素子の発光に伴う熱を外部放熱する第２の面とを有する請求項１から６のいずれか１項に記載の発光装置。
【請求項８】
前記波長変換部は、前記ケースの前記開口部内に配置される前記発光素子を封止する封止材料の光出射側に配置される請求項１から７のいずれか１項に記載の発光装置。
【請求項９】
前記素子搭載部は、窒化アルミニウムからなることを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載の発光装置。
【請求項１０】
前記発光素子は、前記素子搭載部にフリップ実装される請求項１から９のいずれか１項に記載の発光装置。
【請求項１１】
前記発光素子は、ＩＩＩ族窒化物系化合物半導体材料からなる請求項１から１０のいずれか１項に記載の発光装置。
【請求項１２】
前記波長変換部は、前記発光素子から放射される青色光により励起されて黄色光を放射するＹＡＧ蛍光体を含む請求項１から１１のいずれか１項に記載の発光装置。
【請求項１３】
前記波長変換部は、前記発光素子から放射される紫外光により励起されて赤色光、緑色光、および青色光を放射するＲＧＢ蛍光体を含む請求項１から１１のいずれか１項に記載の発光装置。
【請求項１４】
前記波長変換部は、該波長変換部を透過する光を拡散させる拡散粒子を含む請求項１から１３のいずれか１項に記載の発光装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
（５）また、本発明は、上記の目的を達成するため、発光素子を搭載する素子搭載部と、前記発光素子から放射される光を取り出す開口部を有し、前記開口部の光取出し側と反対側の実装面に前記素子搭載部および外部接続用の配線部を備えたケースと、前記発光素子から放射される光を波長変換するとともに前記波長変換光を光学形状に基づく方向に放射させる光学形状部とを有することを特徴とする発光装置を提供する。このような構成によれば、（４）に述べた特徴に加えて光学形状部に波長変換機能を付与することにより、構成の簡素化を図りながらも発光素子から放射される光を所望の発光色の光に波長変換して放射することが可能になる。
（６）また、本発明は、上記の目的を達成するため、発光素子を搭載する素子搭載部と、内壁が底面から光取出し方向にかけて内径が拡大するように傾斜し、その途中に段部が形成され、前記発光素子から放射される光を取り出す開口部を有するケースと、前記段部に配置され、前記発光素子から放射される光を波長変換して波長変換光を発生させる板状の波長変換部と、前記ケースに前記波長変換部と離して取り付けられて前記波長変換光を光学形状に基づく方向に放射させる光学形状部とを有することを特徴とする発光装置を提供する。
【手続補正書】
【提出日】平成21年9月18日(2009.9.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルが直線上に配置されたヘッドが描画しながら基板と相対的に移動する方向を主走査方向とし、
主走査方向と交差する副走査方向に対し前記直線が取り付け角度θをなすように、前記ヘッドが固定された液滴吐出装置を用いて、
ＣＡＤツールで作製した第１の回路設計図面データを、
Ｘ方向の間隔がＸｄｐ、第１のＹ方向の間隔がＹｄｐである正方格子を１つの単位とする第１ラスタデータに変換し、
前記第１ラスタデータのＹ方向の格子をＶ（Ｖ＞１）分割し、
Ｘ方向の間隔がＸｄｐ、Ｙ方向の第２の間隔がＹ’ｄｐ（Ｙ’ｄｐ＝Ｙｄｐ／Ｖ）である細分化された格子を１つの単位とする第２ラスタデータに変換し、
前記第２ラスタデータからデータを間引いて第３ラスタデータに変換し、
前記第３ラスタデータを、前記取り付け角度θに基づいて第４ラスタデータに変換し、
前記第４ラスタデータのＹ方向を主走査方向とし、
前記第４ラスタデータのＸ方向を副走査方向とし、
前記第４ラスタデータに従って前記液滴吐出装置から液滴を吐出して前記基板上に材料層を形成する半導体装置の作製方法。
【請求項２】
前記第２ラスタデータにおける主走査方向の吐出信号の出現頻度を１／Ｖに間引いて、
前記第１のラスタデータと同じ吐出信号の出現頻度を有する前記第３ラスタデータに変換する請求項１に記載の半導体装置の作製方法。
【請求項３】
前記ノズルが描画するドットの直径がドット径ｄであって、
前記複数のノズルが配置された間隔がノズルピッチｎｐであって、
前記Ｘ方向の間隔Ｘｄｐがドット径ｄの０．５倍以上０．９倍以下であって、
前記ノズルピッチｎｐと前記取り付け角度θから定まるｎｐ×ｃｏｓθがＸｄｐの整数倍である前記液滴吐出装置から液滴を吐出して前記基板上に材料層を形成する請求項１または請求項２に記載の半導体装置の作製方法。
【請求項４】
前記ノズルピッチｎｐと、前記取り付け角度θと、前記Ｙ方向の第２の間隔Ｙ’ｄｐから、
（ｎｐ×ｓｉｎθ）／Ｙ’ｄｐの値を求め、
前記値を四捨五入して整数値を求め、
前記第３ラスタデータの第ｎ＋１（ｎは１以上の自然数）列目のデータが第ｎ列目のデータに比べて前記整数値だけ遅れた第４ラスタデータに変換する請求項１乃至請求項３に記載の半導体装置の作製方法。
【請求項５】
前記液滴吐出装置の前記ヘッドが基板と相対的に移動する経路に基づいて、
前記第４ラスタデータを並び替えて補正データに変換し、
前記補正データに従って前記液滴吐出装置から液滴を吐出して前記基板上に材料層を形成する請求項１乃至請求項４に記載の半導体装置の作製方法。
【請求項６】
前記第１の回路設計図面データを設計データベースより複写し、
自動的に前記第１の回路設計図面データから前記第４ラスタデータに変換するプログラムを実行する制御回路が接続している前記液滴吐出装置を用いる請求項１乃至請求項５に記載の半導体装置の作製方法。
【手続補正書】
【提出日】平成21年5月19日(2009.5.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コンピュータ生成イメージストリームを符号化するコンピュータで実行される方法を実現するための命令を記憶したコンピュータ読み取り可能な媒体において、
前記方法は、
（ａ）イメージストリーム中のイメージデータを表現するのに使用される第１の数値データタイプに対して、対応するタイプ特定の量子化パラメータを決定するステップと、
（ｂ）前記イメージストリーム中で使用される第１の数値データタイプのデータアレイから第１の値を取得するステップと、
（ｃ）前記対応するタイプ特定の量子化パラメータを使用して前記第１の値を量子化するステップと、
（ｄ）前記イメージストリーム中で使用される第１の数値データタイプの前記データアレイから、前記第１の値に続く第２の値を取得するステップと、
（ｅ）前記第１の数値データタイプに対応する所定の減算プロセスにより、前記第１の値と前記第２の値とから予測値を決定し、前記予測値は、前記第１の値と前記第１の数値データタイプに対応する所定の予測関数とに基づいて前記第２の値を予測するのに用いられるステップと、
（ｆ）前記対応するタイプ特定の量子化パラメータを使用して前記予測値を量子化するステップと、
（ｇ）前記量子化された第１の値と前記量子化された予測値とを符号化して、前記符号化された量子化第１の値と前記符号化された量子化予測値とを前記イメージストリームに入れるステップと、
（ｈ）前記イメージストリーム中のイメージデータを表現するのに使用される第２の数値データタイプ、および符号化されて前記イメージストリームに入れられるべき前記第２の数値データタイプのデータアレイに対して前記ステップ（ａ）−（ｇ）を反復し、前記第２の数値データタイプは前記第１の数値データタイプとは異なるステップと、
（ｉ）前記ステップ（ｇ）および（ｈ）で符号化されたイメージストリームを復号化するステップとを含むコンピュータ読み取り可能な媒体。
【請求項２】
ヘッダ情報を符号化して前記イメージストリームに入れるステップをさらに含む請求項１記載のコンピュータ読み取り可能な媒体。
【手続補正書】
【提出日】平成20年12月10日(2008.12.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を処理するプラズマリアクタであって、
リアクタチャンバと、
被加工物を支持する上面を有する上部絶縁パック層と、下部導電ベース層と、前記ベース層を通ると共に前記パック層内へと通る、軸方向に延びる円筒形プローブ穴とを備える、前記チャンバ内の静電チャックと、
前記静電チャック内の温度プローブとを備え、
前記温度プローブが、
上方プローブハウジングの底端部で始まり、前記上方プローブハウジングの上端部で終わる前記プローブ穴内に軸方向に伸びる細長い不透明の絶縁性円筒形上方プローブハウジングであって、前記上端部が、上部層の真下の前記プローブ穴の上端部に設けられており、前記底端部が、前記プローブ穴の底部開口に設けられている、上方プローブハウジングと、
前記上端部における前記上方プローブハウジング内の光応答性温度変換器と、
前記光応答性温度変換器に結合された上端部を有し、かつ前記上方プローブハウジング内の軸方向に伸びる光ファイバと、を備える上方プローブを備えるリアクタ。
【請求項２】
前記温度プローブが、
前記上方プローブハウジングの前記底端部に対向しかつ接触する上端部から軸方向に伸びる細長い円筒形の下方プローブハウジングと、
前記上方プローブの前記光ファイバの底端部に結合された上端部を有し、かつ前記下方プローブハウジング内を軸方向に伸びる光ファイバと、を備える下方プローブをさらに備える、請求項１に記載のリアクタ。
【請求項３】
前記上方プローブハウジングが、前記リアクタ内のプラズマのデバイ長より小さい直径を有する、請求項１に記載のリアクタ。
【請求項４】
前記温度プローブが、
前記上方プローブハウジングを、前記プローブ穴の前記上端部の方へ付勢する上方コイルスプリングと、
前記下方プローブハウジングを、前記上方プローブハウジングの前記底端部の方へ付勢する下方コイルスプリングであって、前記上方コイルスプリングが、下方コイルスプリングよりも大きな剛性を有する、下方コイルスプリングと、
をさらに備える、請求項２に記載のリアクタ。
【請求項５】
冷媒入口及び冷媒出口を有する、前記静電チャックの蒸発器と、
前記蒸発器の前記出口に少なくとも間接的に結合された圧縮器と、
前記圧縮器の出口に結合された凝縮器と、
前記凝縮器の出力と、前記蒸発器の前記入口との間に結合された膨張弁とを備える冷却ループをさらに備える、請求項１に記載のリアクタ。
【請求項６】
前記蒸発器が、前記静電チャックの前記下部導電ベース層の内部にある、請求項５に記載のリアクタ。
【請求項７】
前記蒸発器が、前記静電チャックの上面の真下の平面内に分布された蛇行通路を備える、請求項６に記載のリアクタ。
【請求項８】
前記蒸発器の出口から受取った前記冷媒の形態を保持する、前記蒸発器の前記出口と、前記圧縮器の入力との間に結合された蓄圧器をさらに備える、請求項５に記載のリアクタ。
【請求項９】
（ａ）前記温度プローブの出力と、（ｂ）所望の温度とを受け取るように結合された前記膨張弁を管理するフィードバックループ制御プロセッサをさらに備える、請求項５に記載のリアクタ。
【請求項１０】
前記フィードバックループ制御プロセッサは、前記温度プローブの出力と前記所望の温度との差を最小化するように、前記膨張弁の開口サイズを変化させるようにプログラムされている、請求項９に記載のリアクタ。
【請求項１１】
前記静電チャックは、少なくとも内側及び外側温度ゾーンに別れており、
前記内側温度ゾーンは、前記静電チャックの軸方向の中央から、前記静電チャックの前記中央と周縁との中間の第１の半径へと延び、
前記外側温度ゾーンは、前記第１の半径から半径方向外側に向けて拡がる環状領域であり、
前記蒸発器は、前記静電チャックの前記内側温度ゾーン内に閉じ込められた内側ゾーン蒸発器を備え、
前記冷却ループは、内側ゾーン冷却ループを構成し、
前記リアクタは、
前記静電チャックの前記外側温度ゾーン内に閉じ込められた、前記静電チャック内の外側ゾーン蒸発器と、
前記外側ゾーン蒸発器に結合された外側ゾーン冷却ループとを備える、請求項５に記載のリアクタ。
【請求項１２】
前記温度プローブが、前記内側ゾーンにおける内側温度プローブを備えており、
前記リアクタは、
前記静電チャックの前記外側温度ゾーンにおける外側温度プローブと、
前記内側及び外側冷却ループの膨張弁をそれぞれ管理すると共に、（ａ）前記内側及び外側温度プローブのそれぞれ一つの出力と、（ｂ）各所望の温度とを受け取るように結合された、各内側及び外側ゾーンフィードバックループ制御プロセッサとをさらに備える、請求項１１に記載のリアクタ。
【請求項１３】
前記内側及び外側フィードバックループ制御プロセッサのそれぞれは、前記各温度プローブの出力と前記各所望の温度との差を最小化するように、対応する膨張弁の開口サイズを変化させるようにプログラムされている、請求項１２に記載のリアクタ。
【請求項１４】
オーバーヘッド電極と、プラズマ源電力高周波発生器と、スタブ共振周波数を有すると共に前記プラズマ源電力高周波発生器及び前記オーバーヘッド電極の間に結合されたインピーダンス整合調整スタブとをさらに備え、
前記オーバーヘッド電極は、前記チャンバのプラズマ−電極共振周波数においてプラズマと共に共振し、
前記プラズマ−電極共振周波数、前記スタブ共振周波数及び前記プラズマ源電力高周波発生器の周波数は、それらの間に小さなオフセットを有する、ほぼ等しいＶＨＦ周波数である、請求項１に記載のリアクタ。
【請求項１５】
前記静電チャックは、
前記絶縁パック層内に埋め込まれたＥＳＣ電極及び前記電極に結合された高周波プラズマバイアス電力発生器と、
前記静電チャックの前記ベース層及び前記パック層を通って軸方向に延びると共に、前記ＥＳＣ電極のフィードポイントに接続された上端部及び前記高周波プラズマバイアス電源発生器に結合された底端部を有するバイアス電力供給導体と、
前記バイアス電源供給導体の各部分を囲んでいる共に、前記絶縁パック層の前記上面を横切る電界分布の均一性を最適化する長さ及び誘電率をそれぞれ有している、複数の誘電性円筒形スリーブとを備える、請求項１に記載のリアクタ。
【請求項１６】
前記パック層の前記上面の上に置かれているか前記パック層の前記上面の平面内にあり、前記静電チャックの被加工物の直径に対応する環境を取り囲む誘電リングをさらに備え、
前記誘電リングは、被加工物のプラズマ処理中に、前記リングが、前記静電チャックの全域を高周波周縁効果で補償できるようにする誘電率を有する、請求項１に記載のリアクタ。