(57)【要約】      （修正有）【課題】真空チャックの吸盤やワークに発生する静電気を瞬時に除去できるイオナイザー付電磁弁、イオナイザーが配置された真空チャック、イオナイザーが配置された受台を提供する。【解決手段】イオナイザー３２付電磁弁Ｖ１Ｖ２の構成として、真空源１８からの真空のエアー流路中の伝達を制御し、かつ圧空源２０からの圧空のエアー流路中の伝達を制御する電磁弁と、エアー流路の出力口に至る真空および圧空の共通のエアー流路中に配置されたイオナイザーと、を設ける。また、真空チャックまたは真空チャック付定盤２８の構成として、真空源からの真空のエアー流路中の伝達を制御し、かつ圧空源からの圧空のエアー流路中の伝達を制御する電磁弁と、エアー流路の出力口に至る真空および圧空の共通のエアー流路中に配置されたイオナイザーと、を設ける。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空源からの真空のエアー流路中の伝達を制御し、かつ圧空源からの圧空のエアー流路中の伝達を制御する電磁弁と、
エアー流路の出力口に至る真空および圧空の共通のエアー流路中に配置されたイオナイザーと、
を有することを特徴とするイオナイザー付電磁弁。
【請求項２】
請求項１記載のイオナイザー付電磁弁において、前記電磁弁は、ソレノイドと、該ソレノイドに給電されたとき駆動される弁と、前記真空源および前記圧空源の入力口が設けられており、かつ真空および圧空の伝達がなされる前記エアー流路を内部に設けられたベースとを有し、前記電磁弁のベースに前記イオナイザーが組み込まれていることを特徴とするイオナイザー付電磁弁。
【請求項３】
請求項１記載のイオナイザー付電磁弁において、前記電磁弁が真空源からの真空のエアー流路中の伝達を制御する第１弁と、圧空源からの圧空のエアー流路中の伝達を制御する第２弁を有することを特徴とするイオナイザー付電磁弁。
【請求項４】
請求項１記載のイオナイザー付電磁弁において、前記イオナイザーがエアー流路中にイオンを発生する放電針を有することを特徴とするイオナイザー付電磁弁。
【請求項５】
請求項１記載のイオナイザー付電磁弁において、前記イオナイザーの放電針に６０Ｈｚより高い周波数の交番電圧が印加されることを特徴とするイオナイザー付電磁弁。
【請求項６】
真空源からの真空のエアー流路中の伝達を制御し、かつ圧空源からの圧空のエアー流路中の伝達を制御する電磁弁と、
エアー流路の出力口に至る真空および圧空の共通のエアー流路中に配置されたイオナイザーと、
を有することを特徴とする真空チャックまたは真空チャック付定盤。
【請求項７】
請求項６記載の真空チャックまたは真空チャック付定盤において、前記イオナイザーの放電針に６０Ｈｚより高い周波数の交番電圧が印加されることを特徴とする真空チャックまたは真空チャック付定盤。
【請求項８】
請求項６記載の真空チャックまたは真空チャック付定盤において、加圧空気供給時と真空吸引時に、イオナイザーを動作させることを特徴とする真空チャックまたは真空チャック付定盤。
【請求項９】
請求項６記載の真空チャックまたは真空チャック付定盤において、加圧空気供給開始時から、または加圧空気供給開始の直前から、イオンを供給することを特徴とする真空チャックまたは真空チャック付定盤。
【請求項１０】
請求項６記載の真空チャックまたは真空チャック付定盤において、イオン供給開始時から除電に必要な時間のみイオンを供給することを特徴とする真空チャックまたは真空チャック付定盤。
【請求項１１】
ワークを受ける受台（回転テーブルまたは真空チャック付定盤）であって、その内部のエアー流路中にイオンを発生する放電針と該放電針に給電するための電線を持つイオン発生器を有することを特徴とする受台。
【請求項１２】
請求請１１記載の受台において、前記エアー流路の開口部が細い径で形成され、該開口部に至るエアー流路が太い径で形成されていることを特徴とする受台。
【請求項１３】
請求項１１記載の受台において、前記イオン発生器の放電針が球状または小判状の絶縁体の篭の内部に保持されていることを特徴とする受台。
【請求項１４】
請求項１３記載の受台において、前記電線が別の球状または小判状の篭の中心部に保持されていることを特徴とする受台。
【請求項１５】
請求項１３または１４記載の受台において、前記籠は、内部に放電針の先端部分を収容する中心の円筒部と、円筒部からほぼエアー流路の周囲壁まで半径方向に延びる幅の小さい支持部（羽根）と、放電針を保持するように円筒部に設けられた保持部とから成ることを特徴とする受台。
【請求項１６】
請求項１１記載の受台において、前記イオン発生器は受台の表面と平行な内部で横方向に延びるエアー横流路中、またはエアー横流路とメイン縦流路との分岐点中に配置されていることを特徴とする受台。
【請求項１７】
請求項１１記載の受台において、前記イオン発生器が分岐点に配置されている場合、分岐された各エアー流路に向かってイオンを発生するように放電針が設けられていることを特徴とする受台。
【請求項１８】
請求項１７記載の受台において、複数の放電針が一体に形成されていることを特徴とする受台。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークの静電気を除去する機能を持つイオナイザー（イオン発生器）付電磁弁、イオナイザーを配置した真空チャック、およびイオナイザーを配置した受台（回転テーブルまたは真空チャック付定盤）に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１３は従来例の真空／圧空電磁弁を用いた真空チャックを示す図であり、図１３ａは真空チャック全体の構成を示すブロック図であり、図１３ｂはワーク開放時の真空チャックの吸盤の拡大図である。
【０００３】
図１３ａにおいて、真空チャック（真空チャック装置）は、真空源１８と圧空源（圧縮空気源）２０を吸盤１６に配管１２（分岐管１２ａを含む）を介して連結し、真空源１８と吸盤１６の間に電磁弁Ｖ１を配置し、圧空源２０と吸盤１６の間に電磁弁Ｖ２を配置している。ワーク１０を吸引して吸盤１６で保持するときには、電磁弁Ｖ２を閉じた状態で、電磁弁Ｖ１を開き、配管１２内を真空を生じさせる。一方、吸盤１６で保持したワーク１０を離す（開放する）ときには、電磁弁Ｖ１を閉じ、電磁弁Ｖ２を開き、吸盤１６に圧空を送り込む。
【０００４】
従来の電磁弁は自らイオンを生成して吐出する圧縮空気にイオンを含ませる機能がなかったので、例えば真空で吸引して保持していたワーク１０を真空破壊し保持を解除し、すなわちワーク１０を離すまたは落とす時、図１３ｂに示すように、ワーク１０と吸盤１６との間に＋および−の静電気１４が発生し、＋と−の静電気が互いに吸引し合うので、ワーク１０が吸盤１６からうまく離れない、または落ちないケースが発生して問題になっていた。
【０００５】
特に、最近は装置の動作を高速化するため、瞬時にワーク１０を離したり落とさないといけないが、静電気１４により吸引されているので、ワーク１０が迅速にうまく落ちず、動作速度を高速化できないという問題があった。
【０００６】
仮に電磁弁と共にイオナイザーを用い、細いエアー配管の中をエアーと一緒にイオンを通そうとしても、管の壁がイオンを吸収するためイオンはすぐに消滅してしまい、肝心な静電気を中和することができなかった。
【０００７】
図１４は従来例の真空チャックを除電するための装置を示す図であり、図１４ａは外部にイオナイザー（イオン発生器、除電器）を用いた装置を示す図であり、図１４ｂは軟Ｘ線を照射する装置を用いた装置を示す図である。
【０００８】
図１４ａにおいて、真空チャック１２の内部から吹き出てくるエアー（圧空）にイオン２４が吹き飛ばされるので、イオンは内部に入って行けず静電気除去はできない。
【０００９】
また、図１４ｂで示す軟Ｘ線源２６を用いる装置は高価である上に、寿命が非常に短く、ランニングコストが掛かり過ぎ採算が取れないという問題もあった。しかも軟Ｘ線２７が人体に危険であるため遮蔽に費用が掛かるという問題もあった。またいくら費用をかけて遮蔽しても、労働環境上やはり怖いという作業者の意識は拭えず、敬遠されている。
【００１０】
図１５は従来例の真空／圧空電磁弁を用いた定盤を示す図であり、図１５ａは定盤の全体を示す概略図であり、図１５ｂはワークを定盤から離す（浮かす）ときの状態を説明するための図である。
【００１１】
図１５ａにおいて、定盤２８には、ワーク１０を吸引し、または浮かすための流路（エアー流路）３０が設けられており、流路３０は電磁弁Ｖ１、Ｖ２を介して真空源１８、圧空源２０に連結されている。ワーク１０を定盤２８の上に載せ、最初電磁弁Ｖ１を開にし真空源１８と導通し、ワークを吸引する。その後ワーク１０を加工し、終了したら、Ｖ１を閉にし、Ｖ２を開にし圧空源２０と導通し、ワーク１０を浮かす。
【００１２】
図１５ｂに示すように、ワーク１０を浮かせた時、ワーク１０や定盤２８に異常に大きな静電気１４が発生するのでスパークが発生する。その結果、ワーク１０を損傷させる場合がある。
【００１３】
図１６は従来例の定盤の除電方法を説明するための図であり、図１６ａは上部からイオナイザーでイオンをかける方式を示す図であり、図１６ｂは横からイオナイザーでイオンをかける方式を示す図であり、図１６ｃは軟Ｘ線を照射する方式を示す図である。
【００１４】
図１６ａに示すように、定盤２８の上からイオナイザー２２によりイオン２４を振り掛け、ワーク１０と定盤２８の間の隙間にイオン２４を入れ、静電気除去しようとしていたが、これも当然ワーク１０が邪魔してイオン２４が中に入れないため、まったく除電はできなかった。
【００１５】
さらに、図１６ｂに示すように、別の従来の方法として定盤２８の横からイオン２４をワーク１０と定盤２８の間の狭い隙間に入れようとしていたが、これもうまくいかなかった。それはワーク１０を浮かすために定盤２８の中央部から圧縮空気を吹き出すため、エアーがワークと定盤の間の隙間を外に向かって吹き出てくる。横からのイオンは当然この風に吹き戻され中に入っていくことができなく、何の除電効果もなかった。
【００１６】
さらに、図１６ｃに示すように、別の従来の方法として軟Ｘ線発生器（軟Ｘ線源）２６を用いて、定盤２８の横からワーク１０と定盤２８の間の狭い隙間に軟Ｘ線２７を放射し、隙間の中にイオンをつくろうとしていたが、隙間ができ始めの狭い隙間に多量の軟Ｘ線を照射することが難しく、十分な除電効果が得られないという問題があった。またこの装置は高価である上に、寿命が非常に短く、ランニングコストが掛かり過ぎ採算が取れないという問題もあった。しかも軟Ｘ線２７が人体に危険であるため遮蔽に費用が掛かるという問題もあった。いくら遮蔽しても、労働環境上やはり怖いという作業者の意識は拭えず、敬遠されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
前述のように、従来例の電磁弁では、除電に関する考慮がなされておらず、従来例の真空チャック、回転テーブル、定盤では、除電を意図しているものもあるが、十分な除電効果が得られておらず、また高価で労働環境上の問題を持つ除電装置が用いられていた。
【００１８】
前述の課題を解決するために、本発明の目的は、真空チャックの吸盤やワークに発生する静電気を瞬時に除去できるイオナイザー付電磁弁、イオナイザーが配置された真空チャック、イオナイザーが配置された受台（回転テーブルまたは真空チャック付定盤）を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明のイオナイザー付電磁弁は、真空源からの真空のエアー流路中の伝達を制御し、かつ圧空源からの圧空のエアー流路中の伝達を制御する電磁弁と、エアー流路の出力口に至る真空および圧空の共通のエアー流路中に配置されたイオナイザーと、を有することを特徴とする。
【００２０】
また、本発明の真空チャックまたは真空チャック付定盤は、真空源からの真空のエアー流路中の伝達を制御し、かつ圧空源からの圧空のエアー流路中の伝達を制御する電磁弁と、
エアー流路の出力口に至る真空および圧空の共通のエアー流路中に配置されたイオナイザーと、を有することを特徴とする。
【００２１】
また、本発明のワークを受ける受台（回転テーブルまたは真空チャック付定盤）は、その内部のエアー流路中にイオンを発生する放電針と該放電針に給電するための電線を持つイオン発生器を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、真空チャックの吸盤やワークに発生する静電気を瞬時に除去することが可能になり、また回転テーブルまたは真空チャック付定盤上のワークや定盤に発生する静電気を瞬時に除去することが可能になる。
【００２３】
これにより真空でワークを吸着し、ワークを運搬後、圧空でワークを離すまたは落とす動作を瞬時に、かつ確実に行えるようになり、装置の高速化に対応できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
本発明のイオナイザー付電磁弁は、真空源からの真空のエアー流路中の伝達を制御し、かつ圧空源からの圧空のエアー流路中の伝達を制御する電磁弁と、エアー流路の出力口に至る真空および圧空の共通のエアー流路中に配置されたイオナイザーと、を有する。
【００２５】
また、本発明の真空チャックまたは真空チャック付定盤は、真空源からの真空のエアー流路中の伝達を制御し、かつ圧空源からの圧空のエアー流路中の伝達を制御する電磁弁と、
エアー流路の出力口に至る真空および圧空の共通のエアー流路中に配置されたイオナイザーと、を有する。
【００２６】
また、本発明のワークを受ける受台（回転テーブルまたは真空チャック付定盤）は、その内部のエアー流路中にイオンを発生する放電針と該放電針に給電するための電線を持つイオン発生器を有する。
【実施例】
【００２７】
次に、図面を参照して、本発明の実施例を説明する。
（実施例１）
図１はイオナイザーが設けられた真空／圧空電磁弁（イオナイザー付電磁弁）を示す概略図である。図１において、真空／圧空電磁弁（イオナイザー付電磁弁）５０は、ソレノイド３６と弁３８とベース４０から成る既存の電磁弁に除電のためのイオンを発生する放電針３４を持つイオナイザー３２を連結したものである。なお、弁３８は、図３を参照して後述するが、例えば、真空源１８からイオナイザー３２に至る流路（エアー流路）を遮断し又は開放する弁Ｖ１と、圧空源２０からイオナイザー３２に至る流路を遮断し又は開放する弁Ｖ２とから成るものである。なお、イオナイザーの放電針に６０Ｈｚより高い周波数の交番電圧が印加されることが好ましい。
【００２８】
ソレノイド３６に給電すると、弁３８が動き、流路（エアー流路）３０に導入される圧空入力と真空入力とを切り替える。イオナイザー３２は圧空または真空が導かれた流路３０中に放電針３４によりイオンを発生する。その結果、イオンを含んだ圧空または真空が入出力口に導かれる。
（実施例２）
図２はイオナイザーが組み込まれた真空／圧空電磁弁（イオナイザー付電磁弁）の実施例を示す概略図である。実施例１のイオナイザー付電磁弁は既存の電磁弁（イオナイザーなしの電磁弁）にイオナイザーを連結したものであるが、実施例２のイオナイザー付電磁弁５０ａは電磁弁（イオナイザーなしの電磁弁）にイオナイザーを組み込んだものである。すなわち、図２において、真空／圧空電磁弁（イオナイザー付電磁弁）５０ａは、ソレノイド３６と、弁３８と、ベース４０と、ベース４０に組み込まれた、除電のためのイオンを発生する放電針３４を持つイオナイザー３２ａとから成る。なお、弁３８は、図３を参照して後述するが、例えば、真空源１８からイオナイザー３２に至る流路（エアー流路）を遮断し又は開放する弁Ｖ１と、圧空源２０からイオナイザー３２に至る流路を遮断し又は開放する弁Ｖ２とから成るものである。
【００２９】
ソレノイド３６に給電すると、弁３８が動き、流路（エアー流路）３０に導入される圧空入力と真空入力とを切り替える。イオナイザー３２ａは圧空または真空が導かれた流路３０中に放電針３４によりイオンを発生する。その結果、イオンを含んだ圧空または真空が入出力口に導かれる。
（実施例３）
図３は、弁と吸盤の間のエアー流路にイオナイザーを有する真空チャックおよび真空チャック付定盤を説明するための図であり、図３ａは真空チャックを示す図であり、図３ｂは真空チャック付定盤を示す図である。
【００３０】
図３ａにおいて、入力口が真空源１８に接続される弁Ｖ１の出力口と、入力口が圧空源２０に接続される弁Ｖ２の出力口とが結合されてイオナイザー３２の入力口に接続され、イオナイザー３２の出力口は、さらに吸盤に接続されている。ここで、弁Ｖ１、Ｖ２とイオナイザー３２から成る組立体は、実施例１および２のイオナイザー付電磁弁５０、５０ａに相当する。そして、このイオナイザー付電磁弁５０、５０ａと、真空源１８、圧空源２０、吸盤１６とが真空チャック（真空チャック装置）を構成している。真空チャックが吸盤１６を真空源１８で吸引しているときは、吸盤１６を通してイオンが吐出されず、圧空源２０よりエアーを噴出すときは吸盤１６を通してイオンの含まれたエアーを吐出する。このイオンにより吸盤１６やワーク１０に発生した静電気を中和する。なお、イオナイザーの放電針に６０Ｈｚより高い周波数の交番電圧が印加されることが好ましい。
【００３１】
図３ｂにおいて、入力口が真空源１８に接続される弁Ｖ１の出力口と、入力口が圧空源２０に接続される弁Ｖ２の出力口とが結合されてイオナイザー３２の入力口に接続され、イオナイザー３２の出力口は、さらに定盤２８に設けられたエアー流路３０に接続されている。ここで、エアー流路が設けられた定盤は真空チャック付定盤を構成しており、弁Ｖ１、Ｖ２とイオナイザー３２から成る組立体は、実施例１および２のイオナイザー付電磁弁５０、５０ａに相当し、真空チャック付定盤、真空源１８、圧空源２０は真空チャック付定盤装置（以下、単に定盤装置ということもある）を構成している。定盤装置が真空源１８でワーク１０を吸引しているときは、真空チャック付定盤を通してイオンが吐出されず、圧空源２０よりエアーを噴出しワーク１０を浮かすときは、イオンの含まれたエアーを吐出する。このイオンにより定盤２８やワーク１０に発生した静電気を中和する。
（実施例４）
図４はイオナイザーを動作させるタイミングの例を示す図である。この例では、真空吸引時も圧空加圧時も常時イオナイザーは動作している。この実施例では、イオナイザーの放電針（図示せず）には、＋のパルス電圧と−のパルス電圧が交互に印加される。
【００３２】
真空時にイオナイザーが動作しても、空気が少ないのでイオン発生は少ないし、コロナ放電時に問題になる副産物のオゾン発生も少ない。そのため真空吸引時、オゾンが逆流して弁や真空源に至っても、その量は少ないので問題にならない。これがこの方式の長所である。圧空時は空気が多いのでイオン発生も多いし、またコロナ放電時に問題になる副産物のオゾン発生も多いが、そのままワークの周囲の空間に放出され希薄化されるので問題にならない。以上、この方式ではイオナイザーを常時ＯＮしておくので、装置の動作速度があがって真空、圧空を高速で切り替えても、イオナイザーの切り替え速度がネックになることはない。
（実施例５）
図５はイオナイザーを動作させるタイミングの別の例を示す図である。この実施例ではイオナイザーの放電針（図示せず）には、＋のパルス電圧と−のパルス電圧が交互に印加されるが、＋パルス電圧から時間をおいて−パルス電圧が印加される。
【００３３】
この例では、圧空加圧時、または図５に示すように圧空加圧直前からイオンを供給し、除電に必要な時間のみイオナイザーは動作している。この場合、真空時は大半がＯＦＦでイオン発生は少ない。したがって、コロナ放電時に問題になる副産物のオゾン発生も少ない。これはオゾンが逆流して弁や真空源に至っても量が少ないので問題にならない。圧空時は除電に必要な時間のみイオンを発生させる。以上、この方式の特徴は圧空で必要最小限の時間のみイオナイザーをＯＮするので、イオナイザーの放電針の汚れや減耗が少なく、メンテナンスがほとんど不要にできる点である。
（実施例６）
図６は、イオナイザーによる除電効果を定盤の構造により２つの定盤に分けて説明するための図であり、図６ａは不動定盤を示す図であり、図６ｂは不動定盤と該不動定盤に配置した回転テーブルを示す図である。
【００３４】
図６ａにおいて、エアー流路３０が内部に設けられた不動の定盤２８のみがあり、この不動定盤２８は前述した図３ｂの定盤にほぼ相当するものであるが、多数の分岐したエアー流路が設けられている点や定盤の厚みの点で図３ｂの定盤とは異なる。定盤２８の上にワーク１０を載せて加工するが、この定盤の場合、定盤２８のほぼ真下から直接エアーを供給できるので、エアー流路３０は比較的短くできるが、定盤２８の厚みが厚いのでエアー流路も長めになる。したがって、イオンの消滅も少なくなく除電能力も低い。
【００３５】
図６ｂにおいて、エアー流路が設けられていない不動の定盤２８ａの上に回転テーブル５２があり、この回転テーブル５２の上にワーク１０を載せて、回転テーブル５２を適宜回転させて加工する。この場合、回転テーブル５２のセンターの回転軸５２ａ経由でテーブル全面にまでエアーを導かなくてはならず、非常に長いエアー流路になる。この間でイオンが消滅しやすく除電能力は低い。
【００３６】
このように、いずれもエアー流路の長さが長く、除電能力は限定的であるが、中でも回転テーブル方式の場合は、さらに除電能力が低いものである（図７で、その理由をする）。したがって、最も除電能力が低い回転テーブルのケースを例にとり除電能力の低下に対する解決方法を図８〜図１２を参照して後述する。
【００３７】
図７は回転テーブルのエアー流路を説明するための図である。図７に示すように、回転テーブル５２は、メインの縦エアー流路（メイン縦流路）３０ａ、メイン縦流路３０ａから横方向に分岐された横エアー流路（横流路）３０ｂ、横流路３０ｂからさらに縦方向に分岐された縦エアー流路（縦流路）３０ｃが内部に形成されており、縦流路３０ｃの上端が定盤５２の開口部５２ｂとなっている。真空／圧空は定盤５２の各開口部５２ｂにメイン縦流路３０ａ、横流路３０ｂ、縦流路３０ｃを通して供給される。メイン縦流路３０ａ、横流路３０ｂ、縦流路３０ｃの全長が流路長であるので、エアー流路は非常に長くなり、定盤の外部にイオナイザーを設けた場合には、各開口部に至るまでに、イオンの消滅も激しく、除電能力も低いことになる。
（実施例７）
図８は回転テーブルのエアー流路にイオン発生ヘッド（放電針）を配置した図である。図８に示すように、この実施例７では、ワークを受ける受台（回転テーブル５２または定盤）の内部のエアー流路（好ましくは、横流路３０ｂ）にイオン発生ヘッド（放電針３４）を配置する。したがって、回転テーブル５２の表面に開いている開口部（真空／圧空出力口）５２ｂに近い位置に設置できるので、イオンを運ぶエアー流路は非常に短くできる。
また、縦流路３０ｃの内径全体が細いと、イオンの損失も大きいので、拡大図で示すように、縦流路３０ｃの開口部だけを細く形成し、途中までは太く形成するのがよい。
【００３８】
イオン発生ヘッドの放電針３４と、これに給電する電線５４はそれぞれ球状または小判状の絶縁体の篭５６、５８の内部に保持されている（なお、籠５６、５８は図９および図１０を参照して後述する）。篭を数珠つなぎに配列することにより、エアー流路が曲がっていても、それに沿って入り口から挿入することができる。また篭を数珠つなぎに配列することにより、中心にある放電針の向きを流路に沿って平行に向けることができる。
（実施例８）
図９は球状の放電針と電線それぞれの籠（支持体）を示す図であり、図９ａは放電針籠の正面図であり、図９ｂは放電針籠の左側面図であり、図９ｃは放電針籠の右側面図であり、図９ｄは図９ｂの線Ａ−Ａの断面図であり、図９ｅは電線籠の正面図であり、図９ｆは電線籠の右側面図である。
【００３９】
図９ａ〜９ｄにおいて、放電針籠５６は絶縁体で形成されており、エアー流路の周囲の壁とは絶縁されている。籠５６は中心の円筒部５６ｃと、円筒部５６ｃからほぼエアー流路の周囲壁まで半径方向に延びる幅の小さい支持部（羽根）５６ａと、放電針３４を保持するように円筒部５６に設けられた保持部５６ｂとから成る。なお、支持部５６ａはエアー流路にそって半円形に形成されている。このため、放電針３４はエアー流路の中心に保持され、篭の支持部５６ａはエアーの流れを阻害しないように流路に並行に構成されている。そして、電線５４の芯５４ａは先端で放電針３４を接続している。
【００４０】
図９ｅおよび図９ｆにおいて、電線籠５８は、絶縁体で形成されており、エアー流路の周囲の壁とは絶縁されている。籠５８は中心の円筒部５８ｃと、円筒部５８ｃからほぼエアー流路の周囲壁まで半径方向に延びる幅の小さい支持部（羽根）５８ａとから成る。なお、支持部５８ａはエアー流路にそって半円形に形成されている。このため、電線５４はエアー流路の中心に保持され、篭５８の支持部５８ａはエアーの流れを阻害しないように流路に並行に構成されている。
【００４１】
放電針３４から放射されるイオンはこの円筒部５６ｃの内側表面を帯電させる。もしイオンのイオンバランスが＋になると帯電も＋になり、放電針の＋イオン発生を抑制し、−イオンの発生を促進する。もし逆に、イオンバランスが−になると帯電も−になり、放電針の−イオン発生を抑制し、＋イオンの発生を促進する。これにより発生するイオンのイオンバランスを改善できる。
【００４２】
図１０は小判型の放電針と電線それぞれの籠（支持体）を示す図である。図１０において、小判型の籠６０は、籠５６、５８と同様に、中心の円筒部と、円筒部からほぼエアー流路の周囲壁まで半径方向に延びる幅の小さい支持部（羽根）と、放電針３４を保持するように円筒部に設けられた保持部とから成る。なお、支持部は、エアー流路にそって裁頭楕円形に形成されている。小判型の籠は、エアー流路の曲がりの曲率が大きい場合に使用できる。籠の外周に直線部があるのでエアー流路に沿って放電針を平行かつ安定的に据付できる。
（実施例９）
実施例８では、回転テーブル（または真空チャック付定盤）の分岐点でないエアー流路（横流路）にイオン発生ヘッドを配置しているが、実施例９では、エアー流路の分岐点にイオン発生ヘッドを配置したものである。図１１は回転テーブルと内部のエアー流路を示す図であり、図１１ａはその平面図であり、図１１ｂはその正面図であり、図１１ｃはその側面図である。図１２は、イオン発生ヘッドを説明するための図であり、図１２ａは分岐点におけるイオン発生ヘッドを示し、図１１ｂの線Ａ−Ａにおける断面図であり、図１２ｂは分岐点におけるイオン発生ヘッドを示し、図１１ａの線Ｂ−Ｂにおける断面図であり、図１２ｃは図１２ｂの線Ｃ−Ｃにおける断面図である。
【００４３】
図１１において、受台（回転テーブル、または真空チャック付定盤（以下、単に定盤ということもある））の内部には、受台の表面に対し平行に配置されたエアー流路（横流路）３０ｂと、これに外部からエアーを供給するエアー流路（メイン縦流路）３０ａとが形成されており、それらの分岐点にイオン発生ヘッド（放電針）３４が配置されている。
【００４４】
図１２ａに示すように、分岐点に回転テーブルの上面に平行なエアー流路３０ｂが４つある。この場合、イオン発生ヘッドは各エアー流路３０ｂに対して１本づつ、計４つの放電針３４を持ち、圧空が流れる方向を向く（すなわち、半径方向外方に向けられている）。複数の放電針３４は小型化するために、一体に形成されている。
【００４５】
図１２ｂに示すように、放電針３４は回転テーブルの上面に平行なエアー流路の中心部（分岐点）に据え付けられ、放電針３４に給電する電線５４を有する。
【００４６】
図１２ｃに示すように、電線５４は電線籠（電線支持体）５８により保持されエアー流路に据付られている。電線籠５８の支持部（羽）５８ａはエアーの流れを阻害しないように平行になっている。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】イオナイザーが設けられた真空／圧空電磁弁（イオナイザー付電磁弁）を示す概略図である。
【図２】イオナイザーが組み込まれた真空／圧空電磁弁（イオナイザー付電磁弁）の実施例を示す概略図である。
【図３】弁と吸盤の間のエアー流路にイオナイザーを有する真空チャックおよび真空チャック付定盤を説明するための図であり、図３ａは真空チャックを示す図であり、図３ｂは真空チャック付定盤を示す図である。
【図４】イオナイザーを動作させるタイミングの例を示す図である。
【図５】イオナイザーを動作させるタイミングの別の例を示す図である。
【図６】イオナイザーによる除電効果を定盤の構造により２つの定盤に分けて説明するための図であり、図６ａは不動定盤を示す図であり、図６ｂは不動定盤と該不動定盤に配置した回転テーブルを示す図である。
【図７】回転テーブルのエアー流路を説明するための図である。
【図８】回転テーブルのエアー流路にイオン発生ヘッド（放電針）を配置した図である。
【図９】球状の放電針と電線それぞれの籠（支持体）を示す図であり、図９ａは放電針籠の正面図であり、図９ｂは放電針籠の左側面図であり、図９ｃは放電針籠の右側面図であり、図９ｄは図９ｂの線Ａ−Ａの断面図であり、図９ｅは電線籠の正面図であり、図９ｆは電線籠の右側面図である。
【図１０】小判型の放電針と電線それぞれの籠（支持体）を示す図である。
【図１１】回転テーブルと内部のエアー流路を示す図であり、図１１ａはその平面図であり、図１１ｂはその正面図であり、図１１ｃはその側面図である。
【図１２】イオン発生ヘッドを説明するための図であり、図１２ａは分岐点におけるイオン発生ヘッドを示し、図１１ｂの線Ａ−Ａにおける断面図であり、図１２ｂは分岐点におけるイオン発生ヘッドを示し、図１１ａの線Ｂ−Ｂにおける断面図であり、図１２ｃは図１２ｂの線Ｃ−Ｃにおける断面図である。
【図１３】従来例の真空／圧空電磁弁を用いた真空チャックを示す図であり、図１３ａは真空チャック全体の構成を示すブロック図であり、図１３ｂはワーク開放時の真空チャックの吸盤の拡大図である。
【図１４】従来例の真空チャックを除電するための装置を示す図であり、図１４ａは外部にイオナイザー（除電器）を用いた装置を示す図であり、図１４ｂは軟Ｘ線を照射する装置を用いた示装置を示す図である。
【図１５】従来例の真空／圧空電磁弁を用いた定盤を示す図であり、図１５ａは定盤の全体を示す概略図であり、図１５ｂはワークを定盤から離す（浮かす）ときの状態を説明するための図である。
【図１６】従来例の定盤の除電方法を説明するための図であり、図１６ａは上部からイオナイザーでイオンをかける方式を示す図であり、図１６ｂは横からイオナイザーでイオンをかける方式を示す図であり、図１６ｃは軟Ｘ線を照射する方式を示す図である。
【符号の説明】
【００４８】
１０  ワーク
１２  配管
Ｖ１、Ｖ２  電磁弁（弁）
１４  静電気
１６  吸盤
１８  真空源
２０  圧空源
２２  イオナイザー
２４  イオン
２６  軟Ｘ線源
２７  軟Ｘ線
２８  定盤
２８ａ  定盤（エアー流路なし）
３０  流路（エアー流路）
３０ａ  縦メイン流路
３０ｂ  横流路
３０ｃ  縦流路
３２、３２ａ  イオナイザー
３４  放電針
３６  ソレノイド
３８  弁
４０  ベース
５０、５０ａ  電磁弁
５２  回転テーブル
５４  電線
５４ａ  芯
５６  放電針籠（放電針支持体）
５６ａ  支持部
５６ｂ  保持部
５６ｃ  円筒部
５８  電線籠（電線支持体）
５８ａ  支持部
５８ｃ  円筒部
６０  小判型の籠
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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