【手続補正書】
【提出日】平成21年9月8日(2009.9.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口部を有するパッケージ内に圧電振動片を収容して、蓋体により前記開口部を封止した圧電デバイスであって、
前記蓋体は、枠状の金属体の内面に、光を透過する材料により形成された光透過部が接合されて形成されており、
前記金属体は、前記パッケージに接合される底面を有する底部と、前記底面と反対側の上面を有する壁部と、を備え、
前記壁部の幅寸法が前記底部の幅寸法より狭く形成されるように前記金属体に切欠きが形成され、
前記光透過部の一部は、前記切欠き内に配置され、
前記光透過部の前記切欠き内に配置された部分の表面が、前記金属枠の前記内面に接合され、
前記金属体の前記底面の前記幅寸法は、前記パッケージの前記開口部側の端面の幅寸法以下である
ことを特徴とする圧電デバイス。
【請求項２】
前記金属体の前記内面は、
前記切欠きの底面であって、前記底部の前記底面の反対側の上面である底部上面と、
前記切欠きの側面であって、前記壁部の内面である壁部内面と、
を含み、
前記光透過部の前記切欠き内に配置された部分の表面が、前記底部上面と前記壁部内面とに接合されている
ことを特徴とする請求項１に記載の圧電デバイス。
【請求項３】
前記金属体の前記底面の形状は、前記パッケージの前記開口部側の前記端面の形状と同様になっていることを特徴とする請求項１または２に記載の圧電デバイス。
【請求項４】
前記光透過部は、酸化物を含有するガラス材料から形成されており、
前記金属体は、その内面に酸化膜が形成され、前記酸化膜を介して前記ガラス材料と接合されている
ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の圧電デバイス。
【請求項５】
前記金属体は、低融点金属であることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の圧電デバイス。
【請求項６】
前記低融点金属は、Ａｕ−Ｇｅ合金であることを特徴とする請求項５に記載の圧電デバイス。
【請求項７】
前記低融点金属の熱膨張係数は、前記金属体の熱膨張係数に比べて大きいことを特徴とする請求項５または６に記載の圧電デバイス。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記の目的は、第１の発明によれば、開口部を有するパッケージ内に圧電振動片を収容して、蓋体により前記開口部を封止した圧電デバイスであって、前記蓋体は、枠状の金属体の内面に、光を透過する材料により形成された光透過部が接合されて形成されており、前記金属体は、前記パッケージに接合される底面を有する底部と、前記底面と反対側の上面を有する壁部と、を備え、前記壁部の幅寸法が前記底部の幅寸法より狭く形成されるように前記金属体に切欠きが形成され、前記金属体の前記内面は、前記切欠きの底面であって、前記底部の前記底面の反対側の上面である底部上面と、前記切欠きの側面であって、前記壁部の内面である壁部内面と、を含み、前記光透過部の一部は、前記切欠き内に配置され、前記光透過部の前記切欠き内に配置された部分の表面が、前記底部上面と前記壁部内面とに接合され、前記金属体の前記底面の前記幅寸法は、前記パッケージの前記開口部側の端面の幅寸法以下である圧電デバイスにより達成される。
また、第２の発明は、第１の発明の構成において、  前記金属体の前記内面は、前記切欠きの底面であって、前記底部の前記底面の反対側の上面である底部上面と、前記切欠きの側面であって、前記壁部の内面である壁部内面と、を含み、前記光透過部の前記切欠き内に配置された部分の表面が、前記底部上面と前記壁部内面とに接合されていることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
第１および第２の発明の構成によれば、蓋体は、周縁の上方に壁部を有するように枠状とされた金属体の内面に、光を透過する材料が接合されて形成されており、その金属体の底面は、幅寸法がパッケージの開口部側の端面の幅寸法以下となって、パッケージと接合されている。
このため、蓋体は、少なくともパッケージの開口部側の端面と対向する領域以外に、光を透過する材料が配置されることになる。したがって、蓋封止後であっても、外側から圧電振動片にレーザー光を照射することによって周波数調整ができる。
また、蓋体とパッケージとを接合するための金属材料が、少なくともパッケージの開口部側の端面の幅寸法より大きな寸法をもって濡れ拡がることがなくなるため、金属材料の高さ方向の寸法を確保して、パッケージと蓋体との接合強度を向上させることができる。  さらに、蓋体は、従来に比べて、光を透過する材料と金属体との接触面積も拡がって、その接合強度も向上させることができる。
かくして、本発明によれば、蓋体の一部に周波数調整するための光を透過する材料を設けても、パッケージの気密性を高めて、優れた振動特性を発揮する圧電デバイスを提供することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
第３の発明は、第１または第２の発明の構成において、前記金属体の前記底面の形状は、前記パッケージの前記開口部側の前記端面の形状と同様になっていることを特徴とする。
第２の発明の構成によれば、金属体の底面の形状は、パッケージの開口部側の端面の形状と同様になっている。したがって、蓋体とパッケージとを接合するための金属材料について、第１または第２の発明により高さ方向の寸法を確保しつつ、幅方向の寸法も確保できるため、最もパッケージと蓋体との接合強度を高めることができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
第４の発明は、第１ないし第３のいずれかの発明の構成において、前記光透過部は、酸化物を含有するガラス材料から形成されており、前記金属体は、その内面に酸化膜が形成され、前記酸化膜を介して前記ガラス材料と接合されていることを特徴とする。
第４の発明の構成によれば、光を透過する材料は酸化物を含有するガラス材料から形成されており、金属体はその内面に酸化膜を形成してから、ガラス材料と接合されている。したがって、金属体の内面の酸化膜と、ガラスに含まれる酸化物との間で拡散接合を促して、金属体とガラスとの接合強度を向上させることができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
第５の発明は、第１ないし第４の発明のいずれかの構成において、前記金属体は、低融点金属であることを特徴とする。
第５の発明の構成によれば、金属体は、低融点金属を用いて、パッケージに接合されている。なお、ここにいう低融点とは、圧電振動片をパッケージに接合するための接着剤が溶融しない程度の温度をいう。したがって、蓋封止の加熱の際に、圧電振動片を接合するための接着剤に与える悪影響を抑制できる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
第６の発明は、第５の発明の構成において、前記低融点金属にはＡｕ−Ｇｅ合金であることを特徴とする。
第５の発明の構成によれば、低融点金属にはＡｕ−Ｇｅ合金が用いられているので、鉛フリー化が可能となる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
第７の発明は、第５または第６の発明の構成において、前記低融点金属の熱膨張係数は、前記金属体の熱膨張係数に比べて大きいことを特徴とする。
第７の発明の構成によれば、低融点金属の熱膨張係数は、金属体の熱膨張係数に比べて大きい。そうすると、蓋封止の際、低融点金属を加熱した後の冷却で、枠状の金属体に付着した枠状の低融点金属は、金属体を中心部に向かわせる方向に収縮する。したがって、蓋封止の冷却工程の際、金属体は、その枠状の内面に接合されたガラスを締め付けることになり、金属体とガラスとの接合強度を向上させることができる。