【手続補正書】
【提出日】平成21年6月26日(2009.6.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸着冷凍システムの作動方法であって、
前記システムが、
使用時に冷却剤を収容する１次チャンバと連通状態で構成された１次吸着ポンプと、
２次吸着ポンプと、
前記２次吸着ポンプと前記１次チャンバとを連通状態で配置するように構成された高流体インピーダンス導管と、
を備え、前記方法が、
ｉ）前記１次及び２次吸着ポンプがそれぞれの作動温度にある間に前記１次及び２次吸着ポンプに冷却剤を装填する段階と、
ｉｉ）前記１次及び２次吸着ポンプの各々をこれらの作動温度を上回って加熱して前記冷却剤を脱着させ、少なくとも前記１次チャンバを冷却する間に前記１次チャンバ及び前記２次吸着ポンプの冷却剤圧力が前記導管を通って実質的に均一化されるようにする段階と、
ｉｉｉ）前記１次チャンバ内の脱着冷却剤を冷却する段階と、
ｉｖ）前記２次吸着ポンプをその作動温度にまで冷却してこの温度で前記２次吸着ポンプが冷却剤ガスを吸着し、これにより前記１次チャンバ内の冷却剤の温度及び圧力を低下させる段階と、
ｖ）前記１次吸着ポンプを作動温度まで冷却してこの温度で前記１次吸着ポンプが冷却剤を吸着し、これにより前記１次チャンバ内の冷却剤の温度及び圧力を更に低下させる段階と、
を含む方法。
【請求項２】
前記１次及び２次吸着ポンプのそれぞれの作動温度は、気体状冷却剤が実質的に吸着される温度である、
ことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記段階（ｉｖ）の間に前記冷却剤が液体冷却剤として凝結する、
ことを特徴とする請求項１及び請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記システムが、前記１次チャンバ内部と選択的に連通して構成された補助リザーバを更に備え、前記段階（ｉ）で冷却剤が前記補助リザーバから供給される、
ことを特徴とする前記請求項１から請求項３のうちの何れかに記載の方法。
【請求項５】
前記システムが、前記１次チャンバ内部と選択的に連通して構成された補助リザーバを更に備え、前記１次チャンバ内の冷却剤が前記段階（ｉｉｉ）の後又はその間に前記リザーバ内に膨張されて前記１次チャンバ内の冷却剤を更に冷却するようにする、
ことを特徴とする前記請求項１から請求項４のうちの何れかに記載の方法。
【請求項６】
前記補助リザーバの温度を制御して前記補助リザーバ内の所定の冷却剤圧力を与えるようにする段階を更に含む、
ことを特徴とする請求項４又は請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記補助リザーバと前記１次チャンバとの間の選択的な連通が、バルブ作動によって得られる、
ことを特徴とする請求項４から請求項６のうちの何れかに記載の方法。
【請求項８】
前記冷却剤がヘリウム３である、
ことを特徴とする前記請求項１から請求項７のうちの何れかに記載の方法。
【請求項９】
前記段階（ｉｖ）の終わりでの前記冷却剤の温度が約２ケルビンである、
ことを特徴とする請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記段階（ｖ）の間で前記冷却剤が３００ミリケルビン以下まで冷却される、
ことを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記段階（ｖ）が、前記１次吸着ポンプを前記作動温度を超える温度から前記作動温度まで冷却する段階と、冷却剤の実質的な吸着が起こる前記作動温度以下まで冷却する次の段階とを含む、
ことを特徴とする前記請求項１から請求項１０のうちの何れかに記載の方法。
【請求項１２】
前記請求項１から請求項１１のうちの何れかに記載の方法の実施に適合する吸着冷凍システムであって、
１次吸着ポンプ、及び使用時に冷却剤を収容するように適合され且つ前記１次吸着ポンプと連通した１次チャンバと、
２次吸着ポンプと、
前記２次吸着ポンプ及び前記１次チャンバを流体連通して配置するように構成された高流体インピーダンス導管と、
を備えるシステム。
【請求項１３】
前記１次チャンバと選択的に流体連通した補助リザーバを更に備える、
ことを特徴とする請求項１２に記載のシステム。
【請求項１４】
前記補助リザーバが、複数の前記リザーバを備える、
ことを特徴とする請求項１３に記載のシステム。
【請求項１５】
前記選択的な連通を与える１つ又はそれ以上のバルブを更に備える、
ことを特徴とする請求項１３又は請求項１４に記載のシステム。
【請求項１６】
前記又は各補助リザーバが追加の吸着ポンプである、
ことを特徴とする請求項１４又は請求項１５に記載のシステム。
【請求項１７】
前記１次チャンバが、使用時に液体冷却剤を収容するための１次ポットを備える、
ことを特徴とする請求項１２から請求項１６のうちの何れかに記載のシステム。
【請求項１８】
前記高流体インピーダンス導管は、前記ポットと前記２次吸着ポンプとの間の流体の流れが前記ポットと前記１次吸着ポンプとの間の流体の流れよりも好ましくは１／５未満であるように構成される、
ことを特徴とする請求項１７に記載のシステム。
【請求項１９】
前記高流体インピーダンス導管は、前記ポットと前記２次吸着ポンプとの間の流体の流れが前記ポットと前記１次吸着ポンプとの間の流体の流れよりも好ましくは１／１０未満であるように構成される、
ことを特徴とする請求項１７に記載のシステム。
【請求項２０】
前記２次吸着ポンプが、複数の吸着ポンプを備える、
ことを特徴とする請求項１２から請求項１９の何れかに記載のシステム。
【請求項２１】
前記各２次吸着ポンプが、それぞれの高流体インピーダンス導管を用いて前記１次チャンバと流体連通して構成される、
ことを特徴とする請求項１２から請求項２０のうちの何れかに記載のシステム。
【請求項２２】
前記吸着ポンプが、高流体インピーダンス導管によって分離されて直列に設けられる、
ことを特徴とする請求項２１に記載のシステム。
【請求項２３】
前記又は各高流体インピーダンス導管が、一定の流体インピーダンスを有する、
ことを特徴とする請求項１２から請求項２２のうちの何れかに記載のシステム。
【請求項２４】
前記１次チャンバがヒートパイプに熱的に結合され、前記ヒートパイプが、冷却剤を収容し且つ互いに流体連通した上方領域と下方領域とを有する密封ヒートパイプチャンバを備え、その結果、前記システムの使用時には、前記１次チャンバが前記ヒートパイプの前記上方領域を前記下方領域に対して冷却することで、前記冷却剤が凝縮されて冷却剤液体となり、重力により前記下方領域に移動するようになる、
ことを特徴とする請求項１２から請求項２３のうちの何れかに記載のシステム。
【請求項２５】
前記下方領域が、冷却されることになるターゲット装置に熱的に結合される、
ことを特徴とする請求項２４に記載のシステム。
【請求項２６】
請求項１２から請求項２５のうちの何れかによる第１の吸着冷凍システムと、
請求項１２から請求項２５のうちの何れかによる第２の吸着冷凍システムと、
前記第１及び第２の吸着冷凍システムの各々によって冷却されるように適合されたコールドプラットフォームと、
を備える、
ことを特徴とする冷凍システム。
【請求項２７】
冷却剤ガスを収容するためのエンクロージャを更に備え、前記第１及び第２の吸着冷凍システムの１次チャンバがそれぞれの凝縮表面を有し、前記凝縮表面が前記エンクロージャ内に備えられ、前記表面が使用時に前記それぞれの１次吸着ポンプによって選択的に冷却されて、冷却剤ガスが前記凝縮表面上に液体冷却剤として凝縮するようにされ、前記コールドプラットフォームが、使用時に前記凝縮表面から前記液体冷却剤を受け取り、前記エンクロージャが、前記凝縮表面間の気体状冷却剤用の経路を提供するように適合され、前記経路が、前記凝縮表面の各々と前記コールドプラットフォームとの間の流体インピーダンスよりも低い流体インピーダンスを有する、
ことを特徴とする請求項２６に記載の冷凍システム。
【請求項２８】
スチルを有する希釈冷凍機を更に備え、前記スチルが前記コールドプラットフォームと熱的に連通される、
ことを特徴とする請求項２６又は請求項２７に記載の冷凍システム。