(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ショルダ部と、前記ショルダ部の一方の端部に設けられたプローブピンと、を有する工具を回転させるとともに、部材に形成された開口部の近傍に前記開口部と重ならないように前記プローブピンを挿入する工程と、
前記工具を前記開口部を横切るように移動させることで、前記開口部の内部の空間を残すとともに表面近傍のみを閉塞する閉塞部を形成する工程と、
前記プローブピンが前記部材に挿入されていた穴が前記開口部と繋がらない位置で前記プローブピンを前記部材から引き抜く工程と、
を備え、
前記工具の前記移動方向に直交する方向における前記プローブピンの先端部の外形幅寸法は、前記開口部の断面幅寸法の２倍以上である開口部の閉塞方法。
【請求項２】
前記プローブピンは円錐台形状または円柱形状であり、前記プローブピンの側面は、平滑な曲面となっている請求項１記載の開口部の閉塞方法。
【請求項３】
前記開口部は、前記部材に形成された穴または凹部の開口部である請求項１または２に記載の開口部の閉塞方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、開口部の閉塞方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
摩擦攪拌接合（FSW；Friction Stir Welding）法を用いると接合の終点に摩擦撹拌接合工具（ツール）の抜き穴が残るという課題がある。そのため、穴埋めの方法として、金属製のプラグを穴に挿入して表面を摩擦攪拌接合する方法や、穴の内部へ金属製プラグを摩擦圧接合する方法、穴へ充填材を入れる方法などが提案されている。
ここで、部材の機能や用途などによっては、部材に設けられた穴の内部の空間を確保するとともに表面を閉塞することが必要となる場合がある。ところが、従来の金属プラグや充填材などの部材を用いる方法では、穴の底部をこれらの部材の受けとして機能させるため、部材の内部に空間を残すことができない。  
そこで、部材に設けられた穴や凹部などの開口部の表面近傍のみを閉塞することができる技術の開発が望まれていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−４２７８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明が解決しようとする課題は、部材に設けられた開口部を閉塞することができる方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
実施形態に係る開口部の閉塞方法は、ショルダ部と、前記ショルダ部の一方の端部に設けられたプローブピンと、を有する工具を回転させるとともに、部材に形成された開口部の近傍に前記開口部と重ならないように前記プローブピンを挿入する工程と、前記工具を前記開口部を横切るように移動させることで、前記開口部の内部の空間を残すとともに表面近傍のみを閉塞する閉塞部を形成する工程と、前記プローブピンが前記部材に挿入されていた穴が前記開口部と繋がらない位置で前記プローブピンを前記部材から引き抜く工程と、を備え、前記工具の前記移動方向に直交する方向における前記プローブピンの先端部の外形幅寸法は、前記開口部の断面幅寸法の２倍以上である。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】摩擦撹拌接合工具１を例示するための模式斜視図である。
【図２】他の実施形態に係る摩擦撹拌接合工具１１を例示するための模式斜視図である。
【図３】摩擦撹拌接合装置１００を例示するための模式図である。
【図４】（ａ）〜（ｃ）は、本実施の形態に係る開口部の閉塞方法について例示をするための模式断面図である。
【図５】（ａ）、（ｂ）は、本実施の形態に係る開口部の閉塞方法により形成された閉塞部２００ｃを例示するための写真である。
【図６】レーザ溶接により形成された閉塞部２００ｄを例示するための写真である。
【図７】液冷ジャケット３００を例示するための模式斜視図である。
【図８】（ａ）〜（ｃ）は、比較例に係る液冷ジャケットの製造方法を例示するための模式図である。
【図９】（ａ）〜（ｃ）は、本実施の形態に係る開口部の閉塞方法を用いた液冷ジャケット３００の製造方法を例示するための模式図である。
【図１０】（ａ）〜（ｅ）は、本実施の形態に係る開口部の閉塞方法を用いた液冷ジャケット３００の製造方法を例示するための模式図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、図面を参照しつつ、実施の形態について例示をする。なお、各図面中、同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。  
本実施の形態に係る開口部の閉塞方法は、摩擦攪拌接合法を用いて行うことができる。  そのため、まず、本実施の形態に係る開口部の閉塞方法に用いる摩擦撹拌接合工具、および摩擦撹拌接合装置について例示をする。
【０００８】
（摩擦撹拌接合工具）  
図１は、摩擦撹拌接合工具１を例示するための模式斜視図である。  
図１に示すように、摩擦撹拌接合工具１（以下、単に工具１と称する）は、ショルダ部２、プローブピン３、およびシャンク４を備えている。  
ショルダ部２、プローブピン３、およびシャンク４は、一体に形成されている。  
ショルダ部２、プローブピン３、およびシャンク４の材料には特に限定はないが、加工する部材の材料よりも硬い材料を用いることが好ましい。ショルダ部２、プローブピン３、およびシャンク４の材料は、例えば、工具鋼、タングステン合金、セラミックなどとすることができる。
【０００９】
ショルダ部２の形態には特に限定はないが、耐摩耗性や製造性などを考慮すると円柱状とすることが望ましい。  
シャンク４は、摩擦攪拌接合装置１００に対する工具１の取り付け部分である。
シャンク４は、円柱形状を呈するものとすることができる。
【００１０】
プローブピン３は、ショルダ部２の略中央に設けられている。  
ショルダ部２の中心軸２ａと、プローブピン３の中心軸３ａと、シャンク４の中心軸４ａとは、同一直線上に位置するようになっている。ショルダ部２の中心軸２ａ、プローブピン３の中心軸３ａ、およびシャンク４の中心軸４ａは、工具１の中心軸１ａと一致するようになっている。すなわち、プローブピン３、ショルダ部２、およびシャンク４は、同芯となるように設けられている。ただし、製造誤差程度の芯ズレがあってもよい。
【００１１】
プローブピン３は、柱状を呈している。プローブピン３は、先端に向かうに従い外形幅寸法（断面幅寸法）が漸減する形態を有している。すなわち、プローブピン３は、円錐台状を呈している。円錐台状を呈するプローブピン３とすれば、加工する部材に工具１を挿入する際に、工具１および部材の負荷を軽減することができる。
【００１２】
ここで、プローブピン３の側面３ｂにらせん状の溝を設ければ、工具１の回転方向に加えて工具１の中心軸１ａ方向にも材料を塑性流動させることができる。そのため、接合する材料の厚みの９０％〜９５％の深さにプローブピン３を挿入すれば、中心軸１ａ方向の塑性流動により厚みの１００％を接合することが可能となる。そこで、一般的な摩擦撹拌接合工具の場合には、プローブピン３の側面３ｂにらせん状の溝が設けられる。  
しかしながら、部材に設けられた穴２００ｂ（図４を参照）を閉塞する際に、工具１の中心軸１ａ方向に材料を塑性流動させると、穴２００ｂなどの内部に材料が導入されやすくなり、所望の閉塞深さを精度良く得ることが困難となる。穴２００ｂなどの内部に導入される材料の量が多くなれば、開口部を閉塞するのに用いることができる材料の量がその分少なくなる。そのため、開口部に形成された閉塞部２００ｃ（図４（ｃ）を参照）の表面に欠陥が発生するおそれがある。
【００１３】
そこで、本実施の形態に係る工具１においては、プローブピン３の側面３ｂにらせん状の溝を設けないようにしている。すなわち、プローブピン３の側面３ｂは、平滑な曲面となっている。
【００１４】
工具１の中心軸１ａに直交する方向において、プローブピン３の外形幅寸法（断面幅寸法）は、ショルダ部２の外形幅寸法（断面幅寸法）よりも短くなっている。  
例えば、ショルダ部２の外形幅寸法（断面幅寸法）は、プローブピン３の先端部の外形幅寸法（断面幅寸法）の２倍から３倍程度とすることができる。ただし、プローブピン３の外形幅寸法（断面幅寸法）と、ショルダ部２の外形幅寸法（断面幅寸法）の寸法関係は例示をしたものに限定されるわけではなく、部材の材料や加工条件などに応じて適宜変更することができる。
【００１５】
ここで、塑性流動させた材料の量が少ないと、形成された閉塞部２００ｃ（図４（ｃ）を参照）にボイドなどの欠陥が発生するおそれがある。  
この場合、塑性流動させた材料の量は、プローブピン３の体積と正の相関関係がある。そのため、プローブピン３の体積の適正化を図れば、閉塞部２００ｃにボイドなどの欠陥が発生するのを抑制することができる。
【００１６】
プローブピン３の体積は、プローブピン３の元径および先端径、高さ寸法により制御することができる。  
この場合、プローブピン３の高さ寸法は、閉塞部２００ｃの厚み寸法と同程度とされるので、変化量を大きくすることが難しい。
【００１７】
本発明者の得た知見によれば、以下の式を満足するようにすれば、閉塞部２００ｃにボイドなどの欠陥が発生するのを抑制することができる。  
Ｄ１≧２×Ｄ２  
なお、Ｄ１は、工具１の中心軸１ａに直交する方向におけるプローブピン３の先端部の外形幅寸法（断面幅寸法）、Ｄ２は、部材２００に設けられた穴２００ｂや凹部２００ａなどの開口部の断面幅寸法である。
【００１８】
図２は、他の実施形態に係る摩擦撹拌接合工具１１を例示するための模式斜視図である。
図２に示すように、摩擦撹拌接合工具１１（以下、単に工具１１と称する）は、ショルダ部２、プローブピン１３、およびシャンク４を備えている。  
ショルダ部２、プローブピン１３、およびシャンク４は、一体に形成されている。
【００１９】
プローブピン１３は、ショルダ部２の略中央に設けられている。  
プローブピン１３の材料は、前述したプローブピン３の材料と同じとすることができる。
ショルダ部２の中心軸２ａと、プローブピン１３の中心軸１３ａと、シャンク４の中心軸４ａとは、同一直線上に位置するようになっている。ショルダ部２の中心軸２ａ、プローブピン１３の中心軸１３ａ、およびシャンク４の中心軸４ａは、工具１１の中心軸１１ａと一致するようになっている。すなわち、プローブピン１３、ショルダ部２、およびシャンク４は、同芯となるように設けられている。ただし、製造誤差程度の芯ズレがあってもよい。  
前述したプローブピン３は円錐台状を呈していたが、プローブピン１３は円柱状を呈している。  
本実施の形態に係る工具１１においても、プローブピン１３の側面１３ｂにはらせん状の溝を設けないようにしている。すなわち、プローブピン１３の側面１３ｂは、平滑な曲面となっている。
【００２０】
ショルダ部２の外形幅寸法（断面幅寸法）は、プローブピン１３の先端部の外形幅寸法（断面幅寸法）の２倍から３倍程度とすることができる。ただし、プローブピン１３の外形幅寸法（断面幅寸法）と、ショルダ部２の外形幅寸法（断面幅寸法）の寸法関係は例示をしたものに限定されるわけではなく、部材の材料や加工条件などに応じて適宜変更することができる。
【００２１】
前述したプローブピン３と同様に、以下の式を満足するようにすれば、閉塞部２００ｃにボイドなどの欠陥が発生するのを抑制することができる。  
Ｄ１１≧２×Ｄ２  
なお、Ｄ１１は、工具１１の中心軸１１ａに直交する方向におけるプローブピン１３の先端部の外形幅寸法（断面幅寸法）、Ｄ２は、部材２００に設けられた穴２００ｂや凹部２００ａなどの開口部の断面幅寸法である。
【００２２】
（摩擦撹拌接合装置）  
次に、摩擦撹拌接合装置１００について例示をする。  
図３は、摩擦撹拌接合装置１００を例示するための模式図である。  
なお、図３中の矢印Ｘ、Ｙ、Ｚは、互いに直交する三方向を表している。例えば、矢印Ｚは鉛直方向を表し、矢印Ｘと矢印Ｙは水平方向を表している。
【００２３】
図３に示す摩擦撹拌接合装置１００は、部材２００に設けられた穴２００ｂや凹部２００ａなどの開口部を閉塞する。  
摩擦撹拌接合装置１００は、床面などに設置することができる。  
なお、摩擦撹拌接合装置１００の加工部１０３は、６軸垂直多関接ロボットなどのハンドに取り付けることもできる。
【００２４】
図３に示すように、摩擦撹拌接合装置１００には、載置部１０１、保持部１０２、および加工部１０３が設けられている。  
載置部１０１には、部材２００が載置される。  
部材２００には、部材２００の表面に開口する凹部２００ａや、部材２００の厚み方向を貫通する穴２００ｂなどが設けられている。なお、図３に例示をした部材２００には、部材２００の表面に開口する凹部２００ａが設けられている。
【００２５】
部材２００の材料は、摩擦攪拌接合法により塑性流動させることができるものであれば特に限定はない。部材２００の材料は、例えば、金属とすることができる。金属は、例えば、アルミニウム、アルミニウム合金、銅、銅合金、チタン、チタン合金、マグネシウム、マグネシウム合金、および鉄などとすることができる。
【００２６】
部材２００の形態は特に限定はない。例えば、図３に例示をしたような板状の部材２００とすることもできるし、ブロック状の部材２００とすることもできる。
【００２７】
保持部１０２は、部材２００を保持する。保持部１０２の構成は、部材２００を保持することができるものであれば特に限定はない。例えば、保持部１０２は、サーボモータなどの制御モータや、油圧シリンダなどを備え、機械的に保持部１０２を保持するものとすることができる。保持部１０２は、電磁チャックやバキュウムチャックなどを備えたものであってもよい。
【００２８】
加工部１０３は、工具１（１１）のシャンク４を保持する。  
加工部１０３は、中心軸１０３ａを中心として工具１（１１）を回転させる。  
加工部１０３は、回転させた工具１（１１）の位置を変化させる。  
例えば、加工部１０３は、回転させた工具１（１１）のＺ方向における位置を変化させて、プローブピン３（１３）を部材２００の内部に挿入したり、プローブピン３（１３）を部材２００から引き抜いたりする。  
そして、加工部１０３は、回転させた工具１（１１）のＹ方向またはＸ方向における位置を変化させて、工具１（１１）が部材２００に設けられた開口部を横切るようにする。
加工部１０３は、例えば、サーボモータなどの制御モータを備えたものとすることができる。
【００２９】
（開口部の閉塞方法）  
次に、本実施の形態に係る開口部の閉塞方法について例示をする。  
図４（ａ）〜（ｃ）は、本実施の形態に係る開口部の閉塞方法について例示をするための模式断面図である。  
図４（ａ）に示すように、部材２００には、部材２００の厚み方向を貫通する穴２００ｂが設けられている。すなわち、部材２００には、部材２００の表面に開口する穴２００ｂが設けられている。
【００３０】
まず、開口部の断面幅寸法Ｄ２に応じて、適切な外形幅寸法（断面幅寸法）Ｄ１（Ｄ１１）を有するプローブピン３（１３）を備えた工具１（１１）を選定する。  
すなわち、Ｄ１≧２×Ｄ２（Ｄ１１≧２×Ｄ２）となるプローブピン３（１３）を備えた工具１（１１）を選定する。
【００３１】
次に、工具１（１１）の中心軸１ａ（１１ａ）を回転中心として、工具１（１１）を回転させる。  
工具１（１１）の回転数は、プローブピン３（１３）の外形幅寸法（断面幅寸法）Ｄ１（Ｄ１１）に応じて適宜設定することができる。この場合、プローブピン３（１３）の外形幅寸法（断面幅寸法）Ｄ１（Ｄ１１）が小さくなるほど回転数が大きくなるようにすることができる。工具１（１１）の回転数は、例えば、５００ｒｐｍ〜１５０００ｒｐｍ程度とすることができる。
【００３２】
次に、図４（ｂ）に示すように、回転させた工具１（１１）のプローブピン３（１３）を部材２００の内部に挿入する。  
この際、ショルダ部２の端部２ｂが、部材２００の内部に０．１ｍｍ〜０．２ｍｍ程度挿入されるようにすることが好ましい。  
また、工具１（１１）の中心軸１ａ（１１ａ）と、部材２００の表面に垂直な線との間の角度は、例えば、０°以上、３°以下とすることができる。なお、図４（ｂ）においては、当該角度を０°としている。
【００３３】
次に、図４（ｃ）に示すように、回転させた工具１（１１）を部材２００の表面に沿って移動させる。  
移動速度は、部材２００の材料などに応じて適宜変更することができる。  
例えば、部材２００の材料が６０００系アルミニウムの場合には、移動速度は１００ｍｍ／ｍｉｎ〜２００ｍｍ／ｍｉｎ程度とすることができる。
【００３４】
工具１（１１）の前方側においては摩擦熱と圧力によって、部材２００の材料が塑性流動する。塑性流動した材料は、工具１（１１）の移動に伴い、攪拌および混練されながら工具１（１１）の後方側へ移動する。工具１（１１）の後方側へ移動した材料は、摩擦熱を失って急速に固化する。そのため、部材２００の材料により、穴２００ｂの開口部が閉塞される。
【００３５】
前述したように、プローブピン３（１３）の側面３ｂ（１３ｂ）にはらせん状の溝が設けられていない。そのため、工具１（１１）が穴２００ｂの開口部を通過する際に、穴２００ｂの内部に材料が導入されるのを抑制することができる。その結果、開口部の閉塞部２００ｃにボイドなどの欠陥が発生するのを抑制することができる。
【００３６】
また、部材２００の材料が塑性流動する温度は、材料の融点よりもかなり低い。そのため、レーザ溶接などにより穴２００ｂの開口部を閉塞する場合に比べて、閉塞部２００ｃ近傍の温度上昇を抑制することができる。その結果、熱歪みによる変形やクラックの発生を抑制することができる。また、材料の組成が変化するのを抑制することができる。
【００３７】
次に、回転させた工具１（１１）を部材２００から引き抜く。  
工具１（１１）を引き抜いた位置には、プローブピン３（１３）が挿入されていた跡（凹部）が生じる。そのため、工具１（１１）を引き抜く位置は、部材２００に残る跡（凹部）と、穴２００ｂとが繋がらない位置とする。  
以上の様にして、部材２００に設けられた穴２００ｂの開口部を閉塞することができる。なお、部材２００に設けられた凹部２００ａの開口部も同様にして閉塞することができる。
【００３８】
以上に説明したように、本実施の形態に係る開口部の閉塞方法は、以下の工程を備えることができる。  
ショルダ部２と、プローブピン３（１３）とを有する工具１（１１）を回転させるとともに、部材２００に形成された開口部の近傍にプローブピン３（１３）を挿入する工程。
工具１（１１）を開口部を横切るように移動させることで、開口部を閉塞する閉塞部２００ｃを形成する工程。
開口部を閉塞する閉塞部２００ｃを形成する工程において、塑性流動した部材２００の材料が固化することで、閉塞部２００ｃが形成される。  
回転させた工具１（１１）を部材２００から引き抜く工程。
【００３９】
図５（ａ）、（ｂ）は、本実施の形態に係る開口部の閉塞方法により形成された閉塞部２００ｃを例示するための写真である。  
なお、図５（ａ）は、部材２００の表面の写真である。図５（ｂ）は、図５（ａ）におけるＡ−Ａ’線断面の写真である。すなわち、図５（ｂ）は、閉塞部２００ｃの断面写真である。  
図６は、レーザ溶接により形成された閉塞部２００ｄを例示するための写真である。
【００４０】
レーザ溶接によりアルミニウムからなる部材の開口部を閉塞すると、閉塞部２００ｄにクラック２００ｄ１などの欠陥が発生しやすい。これは、アルミニウムの熱膨張係数および凝固収縮が大きいことが影響している。  
これに対して、本実施の形態に係る開口部の閉塞方法により開口部を閉塞すると、レーザ溶接よりも閉塞部２００ｃ近傍の温度を２００℃程度低くすることができ、また溶融しないため凝固収縮も発生しない。そのため、図５（ｂ）から分かるように、閉塞部２００ｃにボイドなどの欠陥が発生するのを抑制することができる。
【００４１】
（実施例）  
次に、本実施の形態に係る開口部の閉塞方法についてさらに説明する。  
ここでは、一例として、液冷ジャケットの製造における開口部の閉塞方法について説明する。ただし、本実施の形態に係る開口部の閉塞方法の用途は、液冷ジャケットの製造に限定されるわけではない。
【００４２】
図７は、液冷ジャケット３００を例示するための模式斜視図である。  
液冷ジャケット３００は、例えば、ＩＧＢＴ（Insulated Gate Bipolar Transistor）モジュールなどの冷却に用いるものとすることができる。  
図７に示すように、液冷ジャケット３００には、本体部３０１および接続部３０３が設けられている。
【００４３】
本体部３０１は、板状を呈している。本体部３０１は、熱伝導率の高い材料から形成されている。本体部３０１は、例えば、アルミニウム合金から形成することができる。  
本体部３０１の内部には、液体が流れる流路３０２が設けられている。液体は、例えば、水などとすることができる。流路３０２は、本体部３０１の内部を蛇行している。流路３０２の両端は、本体部３０１の側面に開口している。
【００４４】
流路３０２の両端部のそれぞれには、接続部３０３が接続されている。接続部３０３は、筒状を呈している。接続部３０３の一方の端部は、流路３０２の端部に接続されている。例えば、接続部３０３は、流路３０２の端部に接着したり、溶接したり、ロー付けしたりすることができる。接続部３０３の端部に雄ねじを設け、流路３０２の端部に雌ねじを設け、接続部３０３を流路３０２の端部にねじ込むこともできる。
【００４５】
図８（ａ）〜（ｃ）は、比較例に係る液冷ジャケットの製造方法を例示するための模式図である。  
まず、図８（ａ）に示すように、板状の基部３０１ａに流路３０２ａとなる溝３０２ｂを形成する。この場合、基部３０１ａの一方の表面に開口する溝３０２ｂを形成する。溝３０２ｂは、蛇行している。溝３０２ｂは、例えば、エンドミル加工などにより形成することができる。また、溝３０２ｂの両端には、接続部３０３を接続するための穴や雌ねじなどを形成する。
【００４６】
次に、図８（ｂ）に示すように、基部３０１ａの、溝３０２ｂが開口する面に蓋３０１ｂを接続する。蓋３０１ｂは、基部３０１ａに接着したり、溶接したり、ロー付けしたりすることができる。また、蓋３０１ｂは、シール材を介して、基部３０１ａにネジ止めすることもできる。溝３０２ｂと蓋３０１ｂにより画された空間が流路３０２ａとなる。また、基部３０１ａと蓋３０１ｂを接続することで本体部が形成される。
【００４７】
次に、図８（ｃ）に示すように、流路３０２ａの両端部のそれぞれに接続部３０３を接続する。  
以上のようにすれば、本体部の内部を蛇行する流路３０２ａを有する液冷ジャケットを製造することができる。
【００４８】
ところが、比較例に係る液冷ジャケットの製造方法によれば、流路３０２ａが延びる方向と直行する方向における流路３０２ａの断面形状が四角形となる。そのため、円形断面を有する接続部３０３と、四角形断面を有する流路３０２ａとの接続部分における圧力損失が大きくなる。また、基部３０１ａと蓋３０１ｂとの界面において、熱伝達が阻害されるおそれがある。そのため、液冷ジャケットの性能が悪くなるおそれがある。また、基部３０１ａと蓋３０１ｂとが必要となるので、製造工程の煩雑化、製造コストの増大などを招くおそれがある。
【００４９】
図９（ａ）〜（ｃ）は、本実施の形態に係る開口部の閉塞方法を用いた液冷ジャケット３００の製造方法を例示するための模式図である。  
なお、図９（ａ）〜（ｃ）の各図において、上側の図は側面図、下側の図は平面図である。
【００５０】
まず、図９（ａ）に示すように、板状の本体部３０１に流路３０２となる複数の貫通穴３０２ｃを形成する。この場合、一部の貫通穴３０２ｃが延びる方向と、残りの貫通穴３０２ｃが延びる方向とが交差するようにする。図９（ａ）においては、２つの貫通穴３０２ｃが延びる方向と、１つの貫通穴３０２ｃが延びる方向とが交差するようしている。貫通穴３０２ｃは、例えば、ドリル加工などにより形成することができる。
【００５１】
次に、図９（ｂ）に示すように、本実施の形態に係る開口部の閉塞方法を用いて、貫通穴３０２ｃの開口部を閉塞する。貫通穴３０２ｃの開口部を閉塞することで流路３０２が形成される。この場合、接続部３０３を接続する開口部は閉塞しない。閉塞された開口部には、閉塞部３０１ｃが形成される。
【００５２】
次に、図９（ｃ）に示すように、流路３０２の両端部のそれぞれに接続部３０３を接続する。  
以上のようにすれば、本体部３０１の内部を蛇行する流路３０２を有する液冷ジャケット３００を製造することができる。
【００５３】
図９（ａ）〜（ｃ）に例示をした液冷ジャケットの製造方法によれば、流路３０２が延びる方向と直行する方向における流路３０２の断面形状が円形となる。そのため、円形断面を有する接続部３０３と、円形断面を有する流路３０２との接続部分における圧力損失を小さくすることができる。流路３０２が形成された本体部３０１は、一体構造を有しているので、熱伝達が阻害されるのを抑制することができる。そのため、液冷ジャケットの性能を向上させることができる。また、製造工程の簡略化、製造コストの低減などを図ることができる。
【００５４】
図１０（ａ）〜（ｅ）は、本実施の形態に係る開口部の閉塞方法を用いた液冷ジャケット３００の製造方法を例示するための模式図である。  
なお、図１０（ａ）〜（ｅ）は、平面図である。
【００５５】
図１０（ａ）に示すように、本体部３０１は板状を呈している。  
まず、図１０（ｂ）に示すように、本体部３０１の互いに対峙する側面の間を貫通する複数の貫通穴３０２ｃを形成する。複数の貫通穴３０２ｃは、互いに平行となるように形成することができる。図１０（ｂ）においては、３つの貫通穴３０２ｃが形成される。貫通穴３０２ｃは、例えば、ドリル加工などにより形成することができる。
【００５６】
次に、図１０（ｃ）に示すように、貫通穴３０２ｃが延びる方向と交差する方向に延びる穴３０２ｄを形成する。この場合、１つの穴３０２ｄにより、２つの貫通穴３０２ｃが連結されるようにする。穴３０２ｄは、例えば、ドリル加工などにより形成することができる。
【００５７】
次に、図１０（ｄ）に示すように、本実施の形態に係る開口部の閉塞方法を用いて、貫通穴３０２ｃの開口部、および、穴３０２ｄの開口部を閉塞する。貫通穴３０２ｃの開口部、および、穴３０２ｄの開口部を閉塞することで流路３０２が形成される。この場合、接続部３０３を接続する開口部は閉塞しない。閉塞された開口部には、閉塞部３０１ｃが形成される。
【００５８】
次に、図１０（ｅ）に示すように、流路３０２の両端部のそれぞれに接続部３０３を接続する。  
以上のようにすれば、本体部３０１の内部を蛇行する流路３０２を有する液冷ジャケット３００を製造することができる。  
図１０（ａ）〜（ｅ）に例示をした液冷ジャケットの製造方法によれば、図９（ａ）〜（ｃ）に例示をした液冷ジャケットの製造方法と同様の効果を得ることができる。
【００５９】
以上、本発明のいくつかの実施形態を例示したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更などを行うことができる。これら実施形態やその変形例は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。また、前述の各実施形態は、相互に組み合わせて実施することができる。
【符号の説明】
【００６０】
１  摩擦撹拌接合工具、１ａ  中心軸、２  ショルダ部、２ａ  中心軸、２ｂ  端部、３  プローブピン、３ａ  中心軸、３ｂ  側面、１１  摩擦撹拌接合工具、１３  プローブピン、１３ｂ  側面、１００  摩擦撹拌接合装置、１０１  載置部、１０２  保持部、１０３  加工部、２００  部材、２００ａ  凹部、２００ｂ  穴、２００ｃ  閉塞部、３００  液冷ジャケット、３０１  本体部、３０１ｃ  閉塞部、３０２  流路、３０２ｃ  貫通穴、３０２ｄ  穴
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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