【手続補正書】
【提出日】平成25年10月2日(2013.10.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
荷電粒子ビーム・システム内において荷電粒子ビームを導く方法であって、
前記荷電粒子ビームに対する所望の走査パターンを選択すること
を含み、前記荷電粒子ビームに対する前記走査パターンが、偏向器システムの少なくとも１つの偏向板に少なくとも第１の電圧および第２の電圧を印加することによって生成され、前記方法がさらに、
前記第１の電圧から前記第２の電圧への印加電圧の変化に起因する、前記所望の走査パターンと実際の走査パターンとの間の偏差を補償するために、フィルタにかけることによって前記所望の走査パターンを変更すること、
前記荷電粒子ビームを導くために、前記変更された走査パターンに対応するアナログ信号を前記偏向器システムに印加すること
を含む方法。
【請求項２】
前記所望の走査パターンを変更することが、前記印加電圧を変化させたときに前記荷電粒子ビーム・システム内を移動していた荷電粒子に起因する飛行時間エラーを補正するために、前記所望の走査パターンをデジタル・フィルタにかけることを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記所望の走査パターンをデジタル・フィルタにかけることが、偏向器信号の周波数応答の振幅のピークを低減させるデジタル・フィルタを選択することを含む、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記デジタル・フィルタが１極再帰型ローパス・フィルタである、請求項２に記載の方法。
【請求項５】
前記デジタル・フィルタがノッチ・フィルタである、請求項２に記載の方法。
【請求項６】
前記デジタル・フィルタにかけると、ビーム方向を変化させたときの前記荷電粒子ビームのオーバシューティングが低減する、請求項２に記載の方法。
【請求項７】
前記デジタル・フィルタにかけることが、デジタル・フィルタにかけて、前記偏向器システムへ送る前記アナログ信号の周波数応答を平坦にすることを含む、請求項２に記載の方法。
【請求項８】
前記所望の走査パターンを変更することが、前記所望の走査パターンをアナログ・フィルタにかけることを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
前記所望の走査パターンを変更することが、飛行時間エラーに起因する投影されたビームの偏差を計算すること、前記所望の走査パターンを予測した走査パターンと比較して、エラー軌道を生成すること、および前記エラー軌道を使用して、前記所望の走査パターンを変更することを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
前記所望の走査パターンを変更することが、高速フーリエ変換（ＦＦＴ）計算を実行して、前記所望の走査パターンを周波数ドメイン表現に変換すること、既知の不完全な周波数応答に基づいて理想的な周波数応答補正を導き出すこと、前記補正に、前記周波数ドメイン表現を乗じること、および変更された走査パターンを生成するために、変更された前記周波数ドメイン表現を逆ＦＦＴ計算によって変換することを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
前記荷電粒子ビームを導くために、前記アナログ信号を前記偏向器システムに印加することが、前記荷電粒子ビームを導いて所望のパターンを試料上にミリングするために、前記アナログ信号を前記偏向器システムに印加することを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１２】
前記荷電粒子ビームを導くために、前記アナログ信号を前記偏向器システムに印加することが、前記荷電粒子ビームを導いて所望のパターンの材料を試料上に付着させるために、前記アナログ信号を前記偏向器システムに印加することを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１３】
デジタル・フィルタにかけることが、リアルタイムでデジタル・フィルタにかけることを含む、請求項２に記載の方法。
【請求項１４】
前記デジタル・フィルタが、式ｙ（ｎ）＝ｂ0ｘ（ｎ）−ａ1ｙ（ｎ−１）に従う１極フィルタであり、ｘ（ｎ）が信号入力、ｙ（ｎ）が信号出力、ａ1およびｂ0が、２つ以上の結合された偏向器曲線の周波数応答のピークを低減させる帯域幅を有するように選択されたフィルタ係数である、請求項２に記載の方法。
【請求項１５】
前記荷電粒子ビームの入射エネルギーが３０ｋＶ未満である、請求項１に記載の方法。
【請求項１６】
前記荷電粒子ビームのドウェル時間が３００ナノ秒未満である、請求項１に記載の方法。
【請求項１７】
荷電粒子ビーム・システム内において荷電粒子ビームを導く方法であって、
ビーム入射エネルギーと、信号周波数を有する所望の走査パターンとを選択すること、
荷電粒子ビーム偏向器に対する偏向器振幅と、選択した前記ビーム入射エネルギーに対する信号周波数との間の関係を求めること、
ある所与の周波数範囲で前記ビームを走査した場合にオーバシュート・エラーに帰着する偏向器振幅のピークの位置を突き止めること、
偏向器振幅の前記ピークを低減させるために、前記所望の走査パターンを変更すること、および
変更した前記走査パターンを使用して、前記荷電粒子ビームの位置を制御すること
を含む方法。
【請求項１８】
偏向器振幅の前記ピークを低減させるために、前記所望の走査パターンを変更することが、前記所望の走査パターンを、前記荷電粒子ビーム・システムの偏向器システムを制御する目的に使用するアナログ信号に変換する前に、前記所望の走査パターンをデジタル・フィルタにかけることを含む、請求項１７に記載の方法。
【請求項１９】
偏向器振幅の前記ピークを低減させるために、前記所望の走査パターンを変更することが、前記所望の走査パターンをアナログ信号に変換する増幅器を選択することを含み、前記増幅器が、オーバシュート・エラーに帰着する偏向器振幅のピークが生じる周波数範囲において信号利得が低減されるような帯域幅を有する、請求項１７に記載の方法。
【請求項２０】
前記増幅器が、帯域幅を選択できるフィルタを有する、請求項１９に記載の方法。
【請求項２１】
前記所望の走査パターンを、前記荷電粒子ビーム・システムの偏向器システムを制御する目的に使用するアナログ信号に変換する前に、前記所望の走査パターンをデジタル・フィルタにかけることをさらに含む、請求項１９に記載の方法。
【請求項２２】
荷電粒子ビーム・システム内において荷電粒子ビームを導く方法であって、
前記荷電粒子ビームを使用してミリングする所望の走査パターンを選択すること、
前記所望の走査パターンの信号をフィルタにかけて、変更された走査パターンを作成すること、
前記荷電粒子ビームの位置を制御するために、前記変更された走査パターンに対応するアナログ信号を、偏向器システムの１つまたは複数の偏向板に印加すること
を含む方法。
【請求項２３】
前記フィルタがデジタル・フィルタである、請求項２２に記載の方法。
【請求項２４】
前記デジタル・フィルタが１極ローパス・フィルタであり、前記フィルタにかけることが、前記１極ローパス・フィルタを使用して、前記偏向器システムに印加する前記信号の周波数応答を平坦にすることを含む、請求項２３に記載の方法。
【請求項２５】
荷電粒子ビーム配置内において飛行時間エラーを正確に低減させる装置であって、
試料を処理するための荷電粒子のビームを生成する粒子ビーム・カラムと、
前記荷電粒子ビームの位置を制御する偏向器システムと、
前記装置を制御し、請求項１のステップを前記装置に実行させるプログラムを含むコンピュータ命令を記憶したコンピュータ可読記憶装置と
を備える装置。