(57)【要約】【課題】長尺なワークを処理する場合であってもダミーのワークを使用したりすることなく処理することができ、製造上の無駄を省き、多品種少量生産にも好適に対応できる搬送装置およびワークの処理方法を提供する。【解決手段】ワーク２０の送り先側の前端にワーク２０よりも広幅に形成されたガイド板３０が取り付けられた被搬送品を、前記ガイド板３０とともに搬送するワークの搬送装置であって、前記ワーク２０を支持してワーク２０を前送りする搬送ローラ４０と、前記ワーク２０の搬送位置とは干渉しない位置に配置され、前記ガイド板３０を厚さ方向にクランプしてガイド板３０を前送りするクランプローラ５０とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークの送り先側の前端にワークよりも広幅に形成されたガイド板が取り付けられた被搬送品を、前記ガイド板とともに搬送するワークの搬送装置であって、
前記ワークを支持してワークを前送りする搬送ローラと、
前記ワークの搬送位置とは干渉しない位置に配置され、前記ガイド板を厚さ方向にクランプしてガイド板を前送りするクランプローラと
を備えていることを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記クランプローラは、前記ガイド板の幅方向の両側縁を通過する位置に配置されていることを特徴とする請求項１記載の搬送装置。
【請求項３】
前記ガイド板の両側縁部をガイドし、前記ガイド板が搬送される際の幅方向の位置を規制するガイドローラを備えていることを特徴とする請求項１または２記載の搬送装置。
【請求項４】
搬送装置により処理装置内でワークを搬送し、ワークに所要の処理を施す処理方法であって、
前記ワークの送り先側の前端に、ワークよりも広幅に形成されたガイド板を両側縁部が前記ワークの両側縁部よりも幅方向の外側に位置するように脱着可能に取り付けた被搬送品を、
前記ワークを支持してワークを前送りする搬送ローラと、
前記ワークの搬送位置とは干渉しない前記ガイド板の両側縁を通過する位置に配置され、前記ガイド板を厚さ方向にクランプしてガイド板を前送りするクランプローラとを備えた搬送装置にセットし、
前記クランプローラにより前記ガイド板を直進方向に前送りすることにより、前記ワークを所定の搬送位置に位置合わせしつつ前記処理装置内を通過させて前記ワークを処理することを特徴とするワークの処理方法。
【請求項５】
前記搬送装置は、前記ガイド板の両側縁部をガイドし、前記ガイド板が搬送される際の幅方向の位置を規制するガイドローラを備え、
該ガイドローラにより前記ガイド板の幅方向位置を規制しながらガイド板を前送りしてワークを処理することを特徴とする請求項４記載のワークの処理方法。
【請求項６】
送り方向の前端部が円弧状あるいはテーパ状に形成されたガイド板をワークに取り付け、該ガイド板によりワークを所定の搬送位置に位置合わせして搬送することを特徴とする請求項４または５記載のワークの処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はリードフレーム等のワークの搬送装置およびこの搬送装置を用いたワークの処理方法に関し、より詳細にはワークを位置ずれさせずに搬送することができ、ワークの品種交換等の取り扱いを容易にする搬送装置およびワークの処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
リードフレームをエッチングによって製造する場合に、長尺体のワークをエッチング槽内で搬送して製造する方法と、１枚ずつの大判の基板に形成されたワークをエッチング槽内で搬送して製造する方法（枚葉方式）がある（特許文献１、２参照）。
図６（ａ）は、長尺体のワークを搬送しながらエッチング方法によってリードフレームを製造する装置の概略図である。処理槽１０の一方側に配置したロール体１２からワーク１５を処理槽１０に搬入し、処理槽１０内を通過してエッチングされた製品１６が他方側のロール体１３によって巻き取られる構成となっている。
図６（ｂ）は、エッチング槽１０ａ内における構成を示したもので、ワーク１５の上方と下方にノズル１１が配置され、ワーク１５が搬送される際にワーク１５に向けてエッチング液が噴射されワーク１５がエッチングされる。
【０００３】
長尺体のワークを搬送する方法としては、ロールによりワークを厚さ方向にクランプしながらワークを張るようにして搬送する方法が行われており、枚葉式による場合は、並列して、多数個配置されたローラ上に、次々にワークを供給し、ローラによって前送りすることによって搬送される。特許文献３、４には、長尺体のワークを搬送する際にワークの側縁部などの最終製品では使用されない部分にローラを接触させて搬送する構成や、長尺体の側縁部を一対のローラにより厚さ方向にクランプして搬送する構成が記載されている。
【特許文献１】特開平７−１５０３７０号公報
【特許文献２】特開２００１−１８１８６４号公報
【特許文献３】特開平９−２０９８６号公報
【特許文献４】特開平９−２０９８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
長尺体のワークを搬送してエッチング等の処理を施す装置では、連続的にワークを搬送しながら処理するから、処理対象のリードフレーム（ワーク）を品種交換する場合は、先行するワークの後端に所定の長さに形成したダミーのワークを接続し、ダミーのワークの後端に新しく交換するワークを接続する方法によっている。ダミーのワークは、先行するワークが処理槽１０を通過して処理が終わったところでワークの搬送を停止させた際に、処理槽１０内にダミーのワークが存在するように長さを設定し、処理槽１０から延出するダミーのワークの端部に、新しく交換するワークを接続し、新たに搬送を開始してワークを処理する。
【０００５】
このように先行するワークにダミーのワークを接続して次のワークを処理するようにしているのは、ワークを処理槽１０や搬送装置にセットする作業は手作業になるため非常に煩雑であるためで、通常は、処理装置を新設した初回にのみ、手作業によってワークを処理槽１０や搬送装置に通す作業を行い、いったんワークが連続搬送できるようになった後は、ダミーのワークを利用することにより、ワークをセットする操作をせず、先行するワークに引き続いて、次の新たなワークを搬送するようにしている。ダミーのワークを使用する理由としては、エッチング処理槽などでは化学薬品を使用するから、品種交換ごとに手作業でワークをセットする操作を行うことは好ましくないという事情もある。
リードフレームの製造工程において長尺なワークに処理を施す工程には、ワークに感光性のレジストフィルムを貼着する工程や、ワークに露光を施す工程、レジストを現像する工程、ワークをエッチングする工程、レジストを剥離する工程等がある。長尺体のワークを搬送する方法は、エッチング工程に限らず、種々の工程に適用されている。
【０００６】
図６（ｂ）では、ワーク１５の後端にダミーのワーク１７を取り付けた状態を説明的に示す。ダミーのワーク１７は製品にはなんら関わらないものであり、ダミーのワーク１７を用意したり、ワーク１５にダミーのワーク１７を接続したりすることは、材料費や製造作業の無駄になる。
また、ワークを品種交換した場合は、製品によってエッチング条件（ワークの搬送速度、エッチング液の液圧など）が微妙に異なるから、エッチングによって所定の寸法精度が得られるまで、ワークを搬送しながらエッチング条件を変えて調整する作業が必要になる。図６（ｃ）は、ワーク１５にダミーのワーク１７を接続し、別のワーク１８を接続してエッチングしている状態を示す。新たに接続したワーク１８については、エッチング条件が安定するまでに搬送されたワークの部分は不良品１８ａとなるからこの点においても製造コストの無駄が生じる。
【０００７】
また、従来のリードフレームの処理装置では、長尺なワークを連続的に搬送して処理する装置と、枚葉式により１枚ずつワークを搬送して処理する装置とは基本的な装置構成が異なるため、別個の装置として構成されている。
長尺なワークを使用してリードフレームを製造する装置の場合は、量産に好適に対応できるという利点がある一方、前述した事情から品種切り換えが煩雑であるという問題、製造上のロスが大きく発生するという問題がある。これに対して、枚葉式による装置の場合は、多品種少量生産に適するという利点がある一方、加工寸法の安定性については長尺のワークを使用した場合に比べて劣り、量産に不向きであり、生産性が長尺のワークにくらべて劣るといった問題がある。
【０００８】
したがって、従来は、製品に合わせて、長尺なワークを使用する装置と枚葉式の装置を選んで製造しているのが実情である。しかしながら、近年は、多品種少量生産の傾向が強まってきていることから、長尺のワークを使用する装置においても品種切り換えが容易にでき、製造コストを抑えることができる装置構成が求められる。また、装置構成を工夫することにより、枚葉式にも利用することができれば、製造設備の効率化を図ることが可能である。
【０００９】
本発明はこれらの課題を解決すべくなされたものであり、長尺なワークを搬送して処理する場合であってもダミーのワークを使用することなく処理することができ、製造工程における材料およびワークの無駄を抑えることができ、多品種少量生産にも好適に対応することができる搬送装置およびワークの処理方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、上記目的を達成するため次の構成を備える。
すなわち、ワークの送り先側の前端にワークよりも広幅に形成されたガイド板が取り付けられた被搬送品を、前記ガイド板とともに搬送するワークの搬送装置であって、前記ワークを支持してワークを前送りする搬送ローラと、前記ワークの搬送位置とは干渉しない位置に配置され、前記ガイド板を厚さ方向にクランプしてガイド板を前送りするクランプローラとを備えていることを特徴とする。
【００１１】
また、前記クランプローラは、前記ガイド板の幅方向の両側縁を通過する位置に配置されていることにより、ガイド板を確実にクランプして前送りすることができる。
また、前記ガイド板の両側縁部をガイドし、前記ガイド板が搬送される際の幅方向の位置を規制するガイドローラを備えていることにより、ガイド板の搬送方向がさらに正確に位置出しされ、ワークを所定の搬送位置に位置合わせして搬送することができる。
【００１２】
また、搬送装置により処理装置内でワークを搬送し、ワークに所要の処理を施す処理方法であって、前記ワークの送り先側の前端に、ワークよりも広幅に形成されたガイド板を両側縁部が前記ワークの両側縁部よりも幅方向の外側に位置するように脱着可能に取り付けた被搬送品を、前記ワークを支持してワークを前送りする搬送ローラと、前記ワークの搬送位置とは干渉しない前記ガイド板の両側縁を通過する位置に配置され、前記ガイド板を厚さ方向にクランプしてガイド板を前送りするクランプローラとを備えた搬送装置にセットし、前記クランプローラにより前記ガイド板を直進方向に前送りすることにより、前記ワークを所定の搬送位置に位置合わせしつつ前記処理装置内を通過させて前記ワークを処理することを特徴とする。
【００１３】
また、前記搬送装置は、前記ガイド板の両側縁部をガイドし、前記ガイド板が搬送される際の幅方向の位置を規制するガイドローラを備え、該ガイドローラにより前記ガイド板の幅方向位置を規制しながらガイド板を前送りしてワークを処理することにより、さらにワークを正確に搬送位置に位置合わせして搬送することによって処理することができる。また、送り方向の前端部が円弧状あるいはテーパ状に形成されたガイド板をワークに取り付け、該ガイド板によりワークを所定の搬送位置に位置合わせして搬送することにより、ワークを搬送する搬送ローラ間でガイド板が円滑に乗り移ることができ、ワークの搬送をスムーズに行ってワークを処理することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係る搬送装置によれば、ガイド板によってワークの搬送位置をガイドしながらワークを搬送することができ、長尺のワークであっても枚葉式のワークであっても、ワークを所定の搬送位置の位置合わせして搬送することによってワークを的確に処理することが可能となる。また、ワークはガイド板によって導かれるようにして搬送されるから、ダミーのワークを取り付けたりすることなくワークが自走して搬送され、所要の処理が施される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
（搬送装置の構成）
図１は、本発明に係る搬送装置の実施の形態を示すもので、帯状の長尺体に形成されたワーク２０を処理槽１０内で搬送する装置の例を示す。図１（ａ）が処理槽１０内における搬送装置の構成と、搬送装置によりワーク２０を搬送する状態を示す平面図、図１（ｂ）が側面図である。
本実施形態の搬送装置は、帯状に形成されたワーク２０の送入側の前端に、ワーク２０よりも広幅に形成したガイド板３０を取り付け、ガイド板３０によりワーク２０の搬送方向を位置決めしながら搬送可能としたことを特徴とする。
【００１６】
搬送装置は、ワーク２０およびガイド板３０を支持して前送りする搬送ローラ４０と、ガイド板３０の側縁部を厚さ方向にクランプしてガイド板３０を前送りするクランプローラ５０と、ガイド板３０の側面をガイドして搬送時におけるガイド板３０の幅方向の位置を規制するガイドローラ６０とを備える。
【００１７】
搬送ローラ４０はワーク２０を支持して搬送するため、互いに平行に所定間隔をあけて、処理槽１０の搬送方向の全長にわたって並列に、多数個配置されている。搬送ローラ４０はワーク２０およびガイド板３０の下面側に並置され、ワーク２０およびガイド板３０は搬送ローラ４０の上に供給され、搬送ローラ４０に支持されて搬送される。
搬送ローラ４０には、搬送ローラ４０を一方向に回転駆動する駆動機構が連繋して設けられる。並列配置された搬送ローラ４０のすべてを駆動機構に連繋することもできるし、搬送ローラ４０の複数個おきに搬送ローラ４０を駆動機構に連繋し、駆動機構に連繋されていない搬送ローラ４０をフリーローラとすることもできる。
【００１８】
搬送ローラ４０に使用するローラの形態はとくに限定されるものではない。たとえば、単なる円柱状に形成したローラを使用することもできるし、ワーク２０の蛇行を防止するためにクラウン形状としたローラを使用することもできる。また、ワーク２０を全幅で支持するのではなく、ワークの両側縁部とワークの幅方向の中央位置といった最終製品に使用されない部位を支持するように所定位置にローラ体を設けたローラを使用することもできる。
本実施形態の搬送装置は、いろいろな幅寸法のワーク２０を搬送することを前提とするから搬送ローラ４０としては円柱状のようにローラの全幅（軸方向の全長）にわたってワーク２０を支持する形態のものを使用するのがよい。
また、処理槽１０がエッチング槽であったりする場合は、ワーク２０に向けて放射されたエッチング液が搬送ローラ４０の周面に滞留しないように、エッチング液を流下させる逃がし溝をローラの外周面に設けることも有効である。
【００１９】
ガイド板３０を前送りするクランプローラ５０は、ワーク２０とは干渉せず、ガイド板３０のみを厚さ方向にクランプし、かつ駆動機構に連繋してガイド板３０を前送りする作用をなす。
クランプローラ５０はワーク２０とは干渉させないように配置するため、ガイド板３０をワーク２０よりも広幅に形成し、ワーク２０にガイド板３０を取り付けた状態でワーク２０の両側縁部よりもガイド板３０の両側縁部が幅方向の外方に位置するようにし、クランプローラ５０がガイド板３０上を通過する位置を、ワーク２０とは干渉しないガイド板３０の側縁部を通過する位置に設定する。
【００２０】
図２にクランプローラ５０とガイド板３０、ワーク２０の平面位置関係を拡大して示す。ガイド板３０がワーク２０よりも広幅に形成され、クランプローラ５０はワーク２０の側縁とは干渉しない位置で、ガイド板３０の側縁近傍上を通過する配置に設けられている。ワーク２０はガイド板３０によって先導されるとともに搬送ローラ４０によって支持されて搬送されるが、ワーク２０はクランプローラ５０とは干渉することなく搬送される。ガイドローラ６０はスプリング等の付勢手段によりガイド板３０の側面に当接して、ガイド板３０が搬送される際に幅方向の位置を規制する作用をなす。
【００２１】
図３に、クランプローラ５０とガイド板３０の側面配置を拡大して示す。クランプローラ５０は鉛直方向の上下に１個ずつ、上下方向に可動にかつ互いに対向する向きにスプリング等により付勢して設けられている。ガイド板３０が通過する部位では、クランプローラ５０によりガイド板３０が挟まれ、クランプローラ５０が回転駆動されることによってガイド板３０が前送りされる。なお、クランプローラ５０は、上下に一対設ける構成に限るものではなく、ガイド板３０をクランプする配置であれば上下に複数個ずつ配置する構成としてもよい。また、上下のクランプローラ５０の一方をクランプローラ５０を回転駆動する駆動機構に連繋し、他方をフリーローラとしてもよい。
【００２２】
クランプローラ５０はガイド板３０を直進するように前送りする作用をなす。ガイド板３０が高精度で直進できるようにするためには、クランプローラ５０の駆動軸（支持軸）の向きや取り付け位置を高精度に調整すること、クランプローラ５０の駆動軸がゆがんだり、たわんだりしないようにすることが必要である。
クランプローラ５０を上下方向に可動に取り付けることにより、厚さが異なるガイド板３０を使用して前送りすることが可能となる。
【００２３】
また、本実施形態では、クランプローラ５０をガイド板３０が通過する際に、ガイド板３０上で前後方向に最大２個のクランプローラ５０が位置するようにクランプローラ５０の配置間隔を設定した。本実施形態では、ガイド板３０に、少なくとも一個のクランプローラ５０が、常時当接しながらガイド板３０が搬送される。
ガイド板３０は搬送ローラ４０によっても搬送することができる。したがって、クランプローラ５０の配置間隔をさらに広げて、搬送ローラ４０によってガイド板３０を搬送する作用とクランプローラ５０によってガイド板３０を搬送する作用を併用することも可能である。
【００２４】
また、本実施形態では、搬送方向で隣り合ったクランプローラ５０の中間に２本の搬送ローラ４０を配置する構成とした。これは、クランプローラ５０と搬送ローラ４０とを処理槽１０のスペース内で効率的に配置し、かつクランプローラ５０によるガイド板３０の搬送操作と搬送ローラ４０によるワーク２０の搬送作用が均等になされるようにするためである。
搬送ローラ４０の配置間隔をさらに均等にするには、実施形態にくらべてクランプローラ５０の配置間隔をより広く配置すること、装置構成が複雑になるが、クランプローラ５０と同位置にも搬送ローラ４０を配置するようにすればよ。なお、クランプローラ５０と搬送ローラ４０とは相互に均等間隔に配置しなければならないわけではない。ワーク２０とガイド板３０の搬送を円滑に行うことを考慮して、それぞれの配置間隔を適宜設定する構成とすることももちろん可能である。
【００２５】
ガイドローラ６０は、ガイド板３０が搬送される際にガイド板３０の側縁部の位置を規制することによってガイド板３０が幅方向に位置ずれすることを防止するために設けられている。
図３に示すように、ガイドローラ６０は、ガイド板３０の側面に当接してガイド板３０を位置規制するガイド軸６０ａと、ガイド軸６０ａの両端に設けられたフランジ部６０ｂとを備える。
【００２６】
図２に示すように、ガイドローラ６０は、ガイド板３０の搬送方向（進行方向）の両側縁位置に位置合わせしてあらかじめ配置され、ガイド板３０が搬送される際にガイド板３０の側面位置を規制する。本実施形態では、ガイドローラ６０は、ガイド板３０の幅方向（ガイド板３０の進行方向に直交する方向）に若干可動となるように内側向きに付勢して設けられている。これによって、ガイド板３０の側面にガイド軸６０ａが当接してガイド板３０の位置決めが確実になされ、かつガイド板３０の移動を妨げないようにすることが可能となる。ガイドローラ６０もガイド板３０の側縁位置に合わせて配置されるから、搬送ローラ４０によって搬送されるワーク２０と干渉することはない。
【００２７】
（搬送装置の作用）
本発明に係る搬送装置は、ワーク２０を供給する際に、まず、ワーク２０の送り先側の前端にガイド板３０を取り付け、ガイド板３０とともにワーク２０を搬送装置に供給して使用する。
本実施形態では、接着フィルム３２ａ、３２ｂを用いて、ガイド板３０にワーク２０を接着する方法によりガイド板３０をワーク２０に取り付けている。ガイド板３０にワーク２０を接着する際には、治具を用いてガイド板３０とワーク２０とを正確に位置決めし、位置決めした状態で接着フィルム３２ａ、３２ｂを貼着する。図３に示すように、ガイド板３０の表面と裏面でワーク２０の端部とガイド板３０の表面との間に接着フィルム３２ａ、３２ｂを接着する。
【００２８】
接着フィルム３２ａ、３２ｂの材質や接着剤、粘着剤としては、ワーク２０の処理内容に応じて適宜材料を選択する。たとえば、処理槽１０がエッチング装置である場合には、エッチング液によって侵されない接着フィルムや接着剤、粘着剤を使用する。また、ガイド板３０も適宜材料を選択すればよい。たとえば、本実施形態では、エッチング槽に使用するため、エッチング液によって侵されないステンレス板をガイド板３０に使用した。ステンレス等の金属材の他に樹脂板などを使用することも可能である。
【００２９】
図４に、エッチング用の処理槽１０に上述した搬送装置を設けた例を概略構成として示した。この例で、搬送装置の作用（ワークの処理方法）を説明する。
ワーク２０にガイド板３０を取り付けたら、ガイド板３０を前側にして処理槽１０の入り口からガイド板３０を送入する。ガイド板３０はクランプローラ５０により厚さ方向にクランプされて前送りされ、ガイド板３０とともにワーク２０が処理槽１０に導入される。ガイド板３０はクランプローラ５０の作用によって前送りされ、ワーク２０は搬送ローラ４０に支持されて搬送される。
【００３０】
クランプローラ５０はガイド板３０を前送りさせる作用とともに、ガイド板３０を直進させる作用を有し、ガイド板３０によってワーク２０がガイドされワーク２０が正規位置上を位置ずれせずに搬送される。ガイドローラ６０によりガイド板３０の幅方向の位置が規制されることにより、さらに正確にガイド板３０が位置決めされた状態で搬送され、ワーク２０が正確に搬送される。
【００３１】
本実施形態の搬送装置によれば、ガイド板３０が処理槽１０内で正規位置上を直進して移動することによってワーク２０が所定位置に位置決めされ、処理槽１０内の正規位置でワーク２０を搬送させることが可能になる。ガイド板３０が処理槽１０を通過して出口から搬出された後は、ワーク２０はそのまま連続して搬送装置により搬送される。ガイド板３０によりワーク２０が正規位置に位置合わせされることにより、ワーク２０は正規位置を維持したままその後も搬送されるようになる。
【００３２】
本実施形態のガイド板３０を利用してワーク２０を処理槽１０内で位置合わせして搬送する方法によれば、先のワークの処理が完了後は、次のワークにガイド板３０を取り付け、同じようにして処理槽１０を通過させることによって所要のエッチング処理を行うことができる。ガイド板３０は、いわばワーク２０の搬送位置を位置決めする先導役をなすものであり、ガイド板３０が処理槽１０から搬出され、ワーク２０自体で搬送操作されるようになったら、ワーク２０からガイド板３０を取り外し、別のワーク２０に取り付けて使用することができる。ワーク２０はガイド板３０を取り外した後、ワーク２０の端部をロール体に取り付け、ワーク２０は順次ロール状に巻き取られる。
【００３３】
なお、ガイド板３０をワーク２０の搬送に使用する搬送ローラ４０とは別にクランプローラ５０によって前送りし、クランプローラ５０をワーク２０とは干渉しない位置に配したことにより、クランプローラ５０がワーク２０に影響を及ぼすことがないから、クランプローラ５０はガイド板３０を正確に直進させる専用作用として構成することができる。また、ガイドローラ６０もワーク２０とは関わりなく、ガイド板３０を正確にガイド移送することを目的として構成することができる。
【００３４】
ガイド板３０を利用して搬送する方法によれば、新しくワークをかけ換える場合も、ワークにガイド板３０を取り付けて処理槽１０にかけるだけで、ワークが自走して自動的に掛け換えられるから、手作業でワークをセットしなおしする必要がない。また、従来のように、長尺体のワークの後端にダミーのワークをつける必要もない。
ワークにガイド板３０を取り付け、取り外しする操作も簡単であり、ワークを交換する際の作業も簡単である。
【００３５】
本実施形態の搬送装置は、ワーク２０の長さには何ら制限がなく、長尺体であっても枚葉式のような短寸のワークであっても適用できる。ワークの長さがワークの搬送処理に影響を与えないことから、比較的長さの短いワークを使用して小ロットの製品を製造する場合にも容易に利用することができる。すなわち、使用するワークを選択することによって、従来の枚葉式の処理装置のような少量多品種の製品の製造にも好適に使用することが可能となる。いいかえれば、本実施形態の搬送装置は、長尺体のワークにも枚葉式のワークについても汎用的に利用することができる。
【００３６】
枚葉式のワークを処理する場合には、ワークが搬送ローラから落下しないように、また、搬送ローラ間で乗り移りが円滑にできるように、搬送ローラの軸線方向に対してワークを斜めの向きに供給して搬送させる方式が一般的である。本実施形態の場合は、ワークにガイド板を取り付けたことにより、ワークを搬送ローラの軸線方向に対して斜めに配置する必要がなく、搬送ローラの軸線方向に平行に配置して搬送することができる。
【００３７】
前述したように、エッチング処理の場合には品種交換の際にエッチング条件の条件出し作業が必要であるが、本実施形態の搬送装置の場合は、長尺体のワークをそのまま搬送させながら試験する必要がなく、試験の際には、試験に必要な長さのワークを搬送させて試験することができるから、ワークを無駄にすることがない。
【００３８】
図２に示すように、本実施形態で使用しているガイド板３０は前端部が円弧状（アール状）形態となっている。このようにガイド板３０の前端部を円弧状にすると搬送ローラ４０との接触抵抗を低減させることができ、搬送ローラ４０間の乗り移りを円滑に行うことができる。
図５にガイド板３０の他の構成例を示す。図５（ａ）は、ガイド板３０の前端部をテーパ状に形成した例、図５（ｂ）は、ガイド板３０にクリップ部３４を形成した例である。クリップ部３４はガイド板３０にワーク２０を取り付ける際に、クリップ部３４によってワーク２０の端部をガイド板３０に弾性的に挟んで取り付けるようにしたものである。このように、ワーク２０にガイド板３０を取り付ける方法は接着フィルム３２ａ、３２ｂを使用する他の適宜取り付け方法を利用することができる。
【００３９】
また、上記例では、ワーク２０をエッチング槽に通過させる例について説明したが、ワーク２０にラミネートフィルムを貼着する工程、ワークに露光する工程、ワークを現像する工程等についても適用することができる。また、ワークを加工する装置としては、リードフレーム以外のＴＡＢやキャリアフィルム基板等の帯状の長尺体、あるいは枚葉式の金属材を搬送して加工する装置についても適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】搬送装置の平面図および側面図である。
【図２】ガイド板とクランプローラ、搬送ローラの平面図である。
【図３】ガイド板とクランプローラ、ガイドローラ、搬送ローラの側面図である。
【図４】処理槽内でワークを搬送する搬送装置の作用を示す説明図である。
【図５】ガイド板の他の構成例を示す平面図である。
【図６】従来の搬送装置の概略構成を示す説明図である。
【符号の説明】
【００４１】
１０  処理槽
１５、１８  ワーク
１７  ダミーのワーク
２０  ワーク
３０  ガイド板
３２ａ、３２ｂ  接着フィルム
３４  クリップ部
４０  搬送ローラ
５０  クランプローラ
６０  ガイドローラ
【図１】
2008127655.tif 000003
【図２】
2008127655.tif 000004
【図３】
2008127655.tif 000005
【図４】
2008127655.tif 000006
【図５】
2008127655.tif 000007
【図６】
2008127655.tif 000008