【手続補正書】
【提出日】平成21年6月5日(2009.6.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の電極が形成された圧電素子を備え、
前記電極同士を電気的に接続する導通部が前記圧電素子の体表面部に配置されており、
前記導通部は、常温では液状であり導電性粒子を含有した液状物を前記体表面部に設けた後、当該液状物を常温より高い温度で乾燥固化させることにより前記導電性粒子を相互接触させて形成され、
前記体表面部には、前記電極であって互いに同電位とされる２つ以上の同一面内電極が略同一面にそれぞれ形成され、
前記導通部であって前記各同一面内電極を互いに導通するものとして同一面内導通部が配置され、当該同一面内導通部における前記同一面内電極との各接点間に位置する中間部は、前記同一面内電極における電位とは異なる異電位部と重なり、
前記中間部と前記異電位部との間には、絶縁層が介装される
ことを特徴とする振動体。
【請求項２】
複数の電極が形成された圧電素子を備え、
前記電極同士を電気的に接続する導通部が前記圧電素子の体表面部に配置されており、
前記導通部は、常温では液状であり導電性粒子を含有した液状物を前記体表面部に設けた後、当該液状物を常温より高い温度で乾燥固化させることにより前記導電性粒子を相互接触させて形成され、
前記圧電素子は、略板状に形成され、その平面には、前記電極であって互いに同電位とされる２つ以上の同電位電極がそれぞれ形成され、
前記導通部により、前記各同電位電極は、前記圧電素子の前記平面に隣接する側面を経由して互いに導通されている
ことを特徴とする振動体。
【請求項３】
請求項１に記載の振動体において、
前記絶縁層は、常温では液状である絶縁体を前記異電位部の外面部に設けた後、当該絶縁体を常温より高い温度で乾燥固化させることにより形成されている
ことを特徴とする振動体。
【請求項４】
請求項３に記載の振動体において、
前記絶縁層が形成される領域外への前記絶縁体の流出を規制する流出規制部を有する
ことを特徴とする振動体。
【請求項５】
請求項４に記載の振動体において、
前記流出規制部は、前記中間部と前記接点との間に形成されている
ことを特徴とする振動体。
【請求項６】
請求項４または５に記載の振動体において、
前記流出規制部は、前記絶縁層の位置から前記圧電素子の表面に向かって窪む凹部とされている
ことを特徴とする振動体。
【請求項７】
請求項４または５に記載の振動体において、
前記流出規制部は、前記圧電素子の表面から突出する凸部とされている
ことを特徴とする振動体。
【請求項８】
請求項７に記載の振動体において、
前記凸部は、常温では液状であって前記絶縁体が前記異電位部に設けられた際における当該絶縁体の粘度よりも高粘度の絶縁体を常温より高い温度で乾燥固化させることにより形成されている
ことを特徴とする振動体。
【請求項９】
請求項４または５に記載の振動体において、
前記流出規制部は、前記絶縁層に平面的に隣接する位置に形成された撥水作用を奏する撥水部とされている
ことを特徴とする振動体。
【請求項１０】
請求項３に記載の振動体において、
前記各同一面内電極には、前記絶縁層の表面に露出する導電性ポストが前記絶縁層の形成以前に立設され、
前記導通部は、前記導電性ポストを介して前記各同一面内電極を互いに導通する
ことを特徴とする振動体。
【請求項１１】
請求項１から１０のいずれかに記載の振動体において、
前記導通部は、当該振動体の振動の節近傍に形成されている
ことを特徴とする振動体。
【請求項１２】
請求項１から１１のいずれかに記載の振動体を備え、
前記振動体の振動を被駆動体に伝達することにより当該被駆動体を駆動する
ことを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項１３】
請求項１から１１のいずれかに記載の振動体または請求項１２に記載の圧電アクチュエータを備えた
ことを特徴とする電子機器。
【請求項１４】
互いに同電位とされる２つ以上の電極を、振動体を構成する圧電素子における略同一面にそれぞれ形成する電極形成工程と、
常温では液状であり導電性粒子を含有した液状物を前記圧電素子の体表面部に設けた後、当該液状物を常温より高い温度で乾燥固化させることにより前記導電性粒子を相互接触させて、前記電極同士を電気的に接続する導通部を形成する導通部形成工程と、
前記導通部と、前記電極における電位とは異なる異電位部とを絶縁する絶縁層を形成する絶縁層形成工程とを備え、
前記導通部形成工程では、前記導通部を前記異電位部と重なる位置に形成する 
ことを特徴とする振動体の製造方法。
【請求項１５】
請求項１４に記載の振動体の製造方法において、
前記導通部形成工程では、前記液状物としてのインクを前記体表面部に噴射することによって前記導通部を形成する
ことを特徴とする振動体の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明の振動体は、複数の電極が形成された圧電素子を備え、前記電極同士を電気的に接続する導通部が前記圧電素子の体表面部に配置されており、前記導通部は、常温では液状であり導電性粒子を含有した液状物を前記体表面部に設けた後、当該液状物を常温より高い温度で乾燥固化させることにより前記導電性粒子を相互接触させて形成され、前記体表面部には、前記電極であって互いに同電位とされる２つ以上の同一面内電極が略同一面にそれぞれ形成され、前記導通部であって前記各同一面内電極を互いに導通するものとして同一面内導通部が配置され、当該同一面内導通部における前記同一面内電極との各接点間に位置する中間部は、前記同一面内電極における電位とは異なる異電位部と重なり、前記中間部と前記異電位部との間には、絶縁層が介装されることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、本発明の振動体の製造方法は、互いに同電位とされる２つ以上の電極を、振動体を構成する圧電素子における略同一面にそれぞれ形成する電極形成工程と、常温では液状であり導電性粒子を含有した液状物を前記圧電素子の体表面部に設けた後、当該液状物を常温より高い温度で乾燥固化させることにより前記導電性粒子を相互接触させて、前記電極同士を電気的に接続する導通部を形成する導通部形成工程と、前記導通部と、前記電極における電位とは異なる異電位部とを絶縁する絶縁層を形成する絶縁層形成工程とを備え、前記導通部形成工程では、前記導通部を前記異電位部と重なる位置に形成することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
ここで、「同一面内電極」には、厳密に同一面内に配置されている電極だけでなく、略同一面に配置されている電極をも含む。
「同一面導通部」は、同一面内電極と略同一面に配置されている。なお、同一面導通部の一部が同一面内電極と略同一面に配置されていてもよい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
これらの発明によれば、絶縁層の形成により、互いに隣接しない同電位電極同士の導通にあたり絶縁されるべき異電位の電極を跨いで配線可能となるので、圧電素子におけるより複雑な電極および導通部のレイアウトが可能となる。このような絶縁層を形成しても、ワイヤボンディングやオーバーハングの場合は短絡防止の隙間が必要となることと比べて格段に薄型化できる。これにより、細密化が一層促進され、より小型化できる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
なお、前述したような電極対を相互に導通し同電位とすることにより、同じ駆動電圧信号（単相の駆動信号）による駆動を実現できる。このような場合に、絶縁層の形成により、電極対を互いに接続する導通部を振動検出電極などと重ねて配置できるので、複雑な配線を要する高度な制御が可能となる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また、矩形状の圧電素子において例えば電極が４分割されており、前述の電極対がもう一対、すなわち矩形における２つの対角線について電極対がそれぞれ配置される場合において、一方の電極対への電圧印加と他方の電極対への電圧印加とを切り替えることにより、圧電素子の正方向への変位と逆方向への変位とが得られる。このような圧電素子をアクチュエータに適用することで被駆動体を正方向および逆方向に駆動できる。このような場合において、一方の電極対に係る導通部と他方の電極対に係る導通部とが互いに重なる場合や、いずれかの導通部が異電位電極に重なる場合があり得、この場合は一方の電極対と他方の電極対とは同時には電圧印加されないから互いに異電位部であり、この異電位部の部分に絶縁層が形成される。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
本発明の振動体は、複数の電極が形成された圧電素子を備え、前記電極同士を電気的に接続する導通部が前記圧電素子の体表面部に配置されており、前記導通部は、常温では液状であり導電性粒子を含有した液状物を前記体表面部に設けた後、当該液状物を常温より高い温度で乾燥固化させることにより前記導電性粒子を相互接触させて形成され、前記圧電素子は、略板状に形成され、その平面には、前記電極であって互いに同電位とされる２つ以上の同電位電極がそれぞれ形成され、前記導通部により、前記各同電位電極は、前記圧電素子の前記平面に隣接する側面を経由して互いに導通されていることを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
この発明の背景としては、圧電素子の外周部に形成された複数の電極のうち異電位とされるものがあり、同電位電極が隣接せず互いに離間する場合に、同電位電極が異電位電極と導通しないように絶縁手段を設ける必要があることである。
この発明によれば、電極が形成されていない圧電素子の側面部分を経由して同電位電極が互いに導通されるため、絶縁手段を不要にでき、圧電素子の厚みをさらに薄くできるとともに製造をさらに容易化できる。また、絶縁手段を設けないことでエネルギ効率もより良好にできる。
なお、インクジェット法により導通部が形成される場合、インクジェット法は被噴射面に非接触の方式であるため、圧電素子の平面と側面との間の角部や、矩形状とされた圧電素子の側面の角部や、円形や円環状とされた圧電素子の曲面状の側面にも、他の印刷手段などと比べると導通部を容易に形成できる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
ここで、圧電素子に形成された複数の電極は、電圧印加により圧電素子に逆圧電効果をもたらす駆動電極や、正圧電効果により圧電素子の変位を検出する検出電極などとして使用され、これらの駆動電極や検出電極がそれぞれ複数設けられる場合がある。例えば、矩形板状の圧電素子における長手方向に沿った縦振動と、縦振動に対して幅方向に直交する屈曲振動とを励振する混合モードを電極の配置により実現する場合には、例えば一対の電極（電極対）を対角線の両端側にそれぞれ形成することが考えられる。この場合、この電極対を相互に導通して同電位とした方が配線の効率が良い。このような場合において、電極対を互いに圧電素子の側面を経由して導通すればよい。