(57)【要約】【課題】基板にテープを貼り付ける際、テープの供給及びテープからセパレータを剥がす際に、テープに張力がかからないようにすることで残留応力が残らないようにし、テープ貼付後の基板が反ったり破損したりすることのないような基板へのテープの貼付方法を提供する。【解決手段】例えば、保護テープ２を供給路の途中でセパレータ１３を剥離してからウエハ１に貼り付ける基板へのテープの貼付方法において、加わる力の大きさに応じて揺動するテンションアーム１４に設けたバランスローラ１５に供給途中の保護テープ２を架け、テンションアーム１４の角度を読み取ってテンションアーム１４を所定の角度に維持するようにテープ供給量を制御可能としておき、テープ貼付作業時に保護テープ２に加わる張力はバランスローラ１５の荷重をほぼ０とするようにテンションアーム１４を強制駆動すると共に、テンションアーム１４の揺動角度に従いテープ供給量を制御することで緩和する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
片面にセパレータが貼着されたテープを供給路の途中でセパレータを剥離してから基板に貼り付ける基板へのテープの貼付方法において、加わる力の大きさに応じて揺動するテンションアームに設けたバランスローラに供給途中のテープを架け、テンションアームの角度を読み取ってテンションアームを所定の角度に維持するようにテープ供給量を制御可能としておき、テープ貼付作業時にテープに加わる張力はバランスローラの荷重をほぼ０とするようにテンションアームを強制駆動すると共に、テンションアームの揺動角度に従いテープ供給量を制御することで緩和することを特徴とする基板へのテープの貼付方法。
【請求項２】
テープの供給路に沿って移動自在な分離板をテープとセパレータの剥離部に接するように位置させ、セパレータを分離板の鋭角状の先端部で略１８０°方向に折り返してテープから引き剥がしながら、分離板を剥離部に追従させて移動させるようにすることを特徴とする請求項１に記載の基板へのテープの貼付方法。
【請求項３】
供給路のセパレータ剥離前のテープに冷却風を吹き付けることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板へのテープの貼付方法。
【請求項４】
片面にセパレータが貼着された長尺状のテープの供給機構と、テープ供給路にてセパレータを剥離する剥離機構と、基板にテープを貼り付ける貼付機構とを有する基板へのテープの貼付装置において、供給途中のテープを架けるバランスローラを有する揺動自在のテンションアームを設け、該テンションアームはテープにかかる張力の大きさに応じて揺動角度が変化するようにし、該揺動角度を読み取ってテンションアームを所定の角度に維持するようにテープ供給量を制御可能とし、バランスローラの荷重をほぼ０とするようにテンションアームを強制駆動可能としたことを特徴とする基板へのテープの貼付装置。
【請求項５】
剥離機構が剥離するセパレータとテープとの剥離部に接してセパレータを略１８０°の方向に折り返す鋭角状の先端部を有し、セパレータの引き剥がしによる剥離部の移動に追従してテープの供給路に沿った移動が自在となった分離板を設けたことを特徴とする請求項４に記載の基板へのテープの貼付装置。
【請求項６】
セパレータ剥離前のテープへ冷却風を吹き付ける冷却装置を設けたことを特徴とする請求項４又は５に記載の基板へのテープの貼付装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は基板にテープを貼り付ける方法及び装置に関し、さらに詳しくは薄厚化されたウエハ等の基板に貼り付けるテープに残留応力を残さず、貼り付けた後の基板に反りを与えないような基板へのテープの貼付方法及び装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体の製造工程において、従来より基板に各種のテープを貼り付けることが行われており、例えば、パターンが形成されたウエハのパターン面に保護テープを貼り付け、裏面研削を行ってウエハを薄厚化することが行われている。最近では携帯機器の発展からウエハの薄厚化が進行し、５０μｍ程度の厚さまで裏面研削が行われている。また、生産効率の向上としてウエハの大径化が行われ３００ｍｍ径以上のウエハも多く扱われている。
【０００３】
このようにウエハの薄厚化と大径化に伴い、ウエハに保護テープを貼り付ける場合に、保護テープに貼り付け時の残留応力が残っているとウエハの裏面研削によりウエハを薄厚化した際にウエハが反ってしまうことがあり、反りが顕著であるとウエハが破損したり、吸着ミス等による搬送ミスが発生したりする問題がある。
【０００４】
また、テープの残留応力を緩和するためには、テープの供給時やセパレータが形成されているテープにあってはそのセパレータを剥離する際の張力にも注意を払う必要がある。そこで、テープの供給方法にあっては、保護フィルム（保護テープに相当）を半導体ウエハの表面に貼り付ける際に、保護フィルムの送り方向とは逆向きの引っ張り力を与え、引っ張り力の大きさを調整可能とすることが開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
また、テープ上に形成されたセパレータを剥離するにも保護テープの粘着面上にセパレータが形成されているため、無理やりセパレータを引っ張って剥離すると、例えセパレータに離型処理が施されていても、保護テープの粘着力によって保護テープに対して引っ張り力が発生し、保護テープに残留応力が発生する。このため、剥離基材（セパレータに相当）を所定長さ剥離させて弛緩状態としておき、剥離張力を緩和した状態で保護テープを被着体に貼り付ける方法が開示されている（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特許第３７５９８２０号公報（請求項１，図６）
【特許文献２】特開２００２−２８０３３８号公報（図５，図６，図７，図８）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上記特許文献１の方法は、保護フィルムの送り方向とは逆方向に引っ張りを与えて被着体への貼り付け時の張力を調節しているが、被着体と保護フィルムが貼り付け前に接着してしまわないようにするためには、引っ張りを強める必要がある。即ち、引っ張りが弱いと保護フィルムが垂れ、ウエハと先付きし、皺や気泡発生の原因となる。そこで、引っ張りを強くした場合、保護フィルムに残留応力が残るため、引っ張りの強弱を制御する機構が非常に複雑化するという問題がある。
【０００７】
また、特許文献１の方法は貼付ローラで保護フィルムを貼り付ける際に保護フィルムが垂れないように引っ張り力をかけているため、貼り付け時に保護フィルムに残存応力が発生するという問題がある。
【０００８】
また、上記特許文献２の方法は、所定長さのセパレータを張力フリーの状態で保護テープと共に送り出しているが、所定長さ引き出し後、セパレータを巻き取る必要があり、この巻き取り時に剥離ローラの抱き角以上の角度でセパレータが保護テープから剥離されるので、剥離の荷重が大きくなり保護テープに張力がかかる問題がある。
【０００９】
また、保護テープ及びセパレータは樹脂等で構成され、通常、その柔軟性により剥離時に引っ張りによって伸びが発生し、その引っ張りが保護テープに伝播して保護テープをウエハに貼り付けた後にその残存応力によってウエハが反ったり、破損したりする問題がある。
【００１０】
この発明は上記のような問題を解決し、基板にテープを貼り付ける際、テープの供給及びテープからセパレータを剥がす際に、テープに張力がかからないようにすることで残留応力が残らないようにし、テープ貼付後に薄厚化した基板が反ったり破損したりすることのないような基板へのテープの貼付方法及び装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記のような課題を解決するため、請求項１の発明は、片面にセパレータが貼着されたテープを供給路の途中でセパレータを剥離してから基板に貼り付ける基板へのテープの貼付方法において、加わる力の大きさに応じて揺動するテンションアームに設けたバランスローラに供給途中のテープを架け、テンションアームの角度を読み取ってテンションアームを所定の角度に維持するようにテープ供給量を制御可能としておき、テープ貼付作業時にテープに加わる張力はバランスローラの荷重をほぼ０とするようにテンションアームを強制駆動すると共に、テンションアームの揺動角度に従いテープ供給量を制御することで緩和することを特徴とする基板へのテープの貼付方法である。
【００１２】
請求項２の発明は、上記請求項１に記載の発明において、テープの供給路に沿って移動自在な分離板をテープとセパレータの剥離部に接するように位置させ、セパレータを分離板の鋭角状の先端部で略１８０°方向に折り返してテープから引き剥がしながら、分離板を剥離部に追従させて移動させるようにする構成を採用したものである。
【００１３】
請求項３の発明は、上記請求項１又は２に記載の発明において、供給路のセパレータ剥離前のテープに冷却風を吹き付ける構成を採用したものである。
【００１４】
請求項４の発明は、片面にセパレータが貼着された長尺状のテープの供給機構と、テープ供給路にてセパレータを剥離する剥離機構と、基板にテープを貼り付ける貼付機構とを有する基板へのテープの貼付装置において、供給途中のテープを架けるバランスローラを有する揺動自在のテンションアームを設け、該テンションアームはテープにかかる張力の大きさに応じて揺動角度が変化するようにし、該揺動角度を読み取ってテンションアームを所定の角度に維持するようにテープ供給量を制御可能とし、バランスローラの荷重をほぼ０とするようにテンションアームを強制駆動可能としたことを特徴とする基板へのテープの貼付装置である。
【００１５】
請求項５の発明は、上記請求項４に記載の発明において、前記剥離機構が剥離するセパレータとテープとの剥離部に接してセパレータを略１８０°の方向に折り返す鋭角状の先端部を有し、セパレータの引き剥がしによる剥離部の移動に追従してテープの供給路に沿った移動が自在となった分離板を設けた構成を採用したものである。
【００１６】
請求項６の発明は、上記請求項４又は５の発明において、セパレータ剥離前のテープへ冷却風を吹き付ける冷却装置を設けた構成を採用したものである。
【発明の効果】
【００１７】
この発明は上記のような構成であり、基板へ貼り付けるためのテープ供給時に、テンションアームの角度検知や駆動によりテープに負荷を与えないようにしたので、テープの引き出しに張力がかからず、テープに残留応力が残らないため、テープが貼り付けられた基板に反りや破損が起こらないと共に、テンションアームがテープの弛みや緊張を吸収するので、テープをフリーの状態としても基板に先付きすることがなく、例えば、ウエハへの保護テープ貼り付け時に、保護テープがその強力な粘着力によってウエハに先付きするといった事故の発生がない。
【００１８】
また、貼り付け時にバランスローラの荷重をほぼ０とするようにテンションアームを駆動することで貼り付け荷重をほぼ０となるようにしたので、貼り付け時に貼付ローラによって働くテープ引張力がなくなり、テープに残留応力が残らないため、基板の反りや破損がない。
【００１９】
また、セパレータを分離板で略１８０°方向に折り返しながら剥離するようにしたので、剥離ローラを使用して剥離した時のように剥離ローラによる抱き角が生じず、テープに対して垂直方向にかかる荷重が少ないままセパレータの剥離が行え、貼付後のテープに残留応力が残らず、最近のウエハ等の薄厚化・大径化された基板に対しても反りや破損が起こらない。
【００２０】
また、セパレータの巻き取り時に分離板が保護テープに沿って追従し、絶えず１８０°方向にセパレータを巻き取るようにしたので、保護テープ面の鉛直方向にかかる剥離力を絶えず小さくでき、保護テープに残留応力が残らない。
【００２１】
また、テープを冷却し、テープ及びセパレータの柔軟性が減じられた状態でセパレータを剥離するので、テープに伸びによる無理な引っ張りが伝わらず、テープに残留応力が残らないので、最近のウエハ等の薄厚化・大径化された基板に対しても反りや破損が起こらない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
図１及び図２は、この発明に係る基板へのテープの貼付方法及び装置の一例として、ウエハ１に保護テープ２を貼り付ける方法及び装置を示すもので、図１は装置の全体構造を示す平面図であり、機台３上に貼り付け前のウエハ１を上下多段に収納しているウエハ収納カセット４と、供給されたウエハ１に対してアライメントを行うアライメント部５と、機台３上に立設された２つの機枠６，６間でアライメント後のウエハ１に対して保護テープ２を貼り付けるテープ貼付装置と、貼付済ウエハ１′を収納する貼付済ウエハ収納カセット７と、ウエハ収納カセット４からアライメント部５、テープ貼付装置、及び貼付済ウエハ収納カセット７へとウエハ１又は貼付済ウエハ１′を吸着ハンド８にて吸着して順次移送する多関節ロボット９が設けられている。
【００２３】
上記アライメント部５は、上下動と回転が自在な吸着テーブル１０と、この吸着テーブル１０の外周に配置した光センサ等を利用したセンサ１１とで構成され、多関節ロボット９によりウエハ収納カセット４から取り出されたウエハ１を吸着テーブル１０がその上面にて吸着支持し、この後、回転することにより、ウエハ１に形成してあるノッチ１ａをセンサ１１で検出し、ウエハ１の位置決めを行うことになる。
【００２４】
上記テープ貼付装置は、図１及び同図II−II矢視図である図２に示すようなものであり、このうち保護テープ２をウエハ１へ供給するテープ供給機構は、機枠６，６間の上部に位置する保護テープ供給ロール１２に、ウエハ１より広幅の保護テープ２がその片面の粘着面にセパレータ１３を貼着した状態で巻回されており、この保護テープ供給ロール１２は図示しないモータ等の適宜駆動手段にて回転を制御されつつ保護テープ２を供給するようになっている。
【００２５】
保護テープ供給ロール１２から導出された保護テープ２は、保護テープ供給ロール１２の下部にある揺動自在のテンションアーム１４の揺動側先端に設けられたバランスローラ１５の下方に巻回されて架けられ、その次にテンションアーム１４の揺動する軸部分の軸ローラ１６の上方に巻回されて架けられてから、下方に導かれ、途中でセパレータ１３が保護テープ２から分離され折り返されて上方に導かれている。
【００２６】
上記テープ貼付装置のうち、保護テープ２からセパレータ１３を剥離する剥離機構は、分離板１７が保護テープ２に対してセパレータを折り返して引き剥がすようになっており、この分離板１７は、下方に導かれている保護テープ２と上方に折り返されたセパレータ１３との間で上下昇降動自在に設けられている。
【００２７】
上方に折り返されたセパレータ１３は、適宜ガイドローラ等を経た後、テンションアーム１８に設けられたローラに巻回された後、図示しないモータ等の適宜駆動手段により制御された回転を行うセパレータ巻き取りロール１９に巻き取られることになる。
【００２８】
セパレータ１３が剥離された保護テープ２は、その粘着面を下側にして、ウエハ１を上面に吸着して固定する吸着テーブル２０の上側に導かれ、吸着テーブル２０の上面と該吸着テーブル２０の上側にある貼付ローラ２１との間を通り、剥離ローラ２２とこの剥離ローラ２２に対して進退動して間に保護テープ２を挟み込めるようになったテープチャック２３との間を通り、適宜配置された複数のガイドローラ２４群により上方に導かれ、図示しないモータ等の制御された適宜手段により回転する保護テープ巻き取りロール２５により巻き取られることになる。
【００２９】
上記貼付ローラ２１は、図示しない適宜手段にてそのローラ軸に対して垂直方向となるテープ送り方向に移動可能となり、吸着テーブル２０の両端部を往復移動でき、また、剥離ローラ２２とテープチャック２３も同じく図示しない適宜手段にて吸着テーブル２０の両端部を往復移動可能となっている。
【００３０】
上記テープ貼付装置のうち、ウエハ１にテープを貼り付ける貼付機構を説明すれば、機台３上の固定枠２６に設けられた複数のガイド２７に嵌合する上下方向に延びるレール２８に吸着テーブル２０が固定されており、機台３に設けられた昇降シリンダ２９の作用により前記レール２８がガイド２７の位置で昇降動し、これに従って吸着テーブル２０は昇降動するようになっている。
【００３１】
また、吸着テーブル２０を取り囲む周囲には外周テーブル３０が設けられ、この外周テーブル３０は、上面に前記保護テープ２の粘着面が接着しても剥がれるようなフッ素樹脂コーティング等の離型処理が施されており、また外周テーブル３０は、前記吸着テーブル２０側に固定され上下方向に延びるレール３１に嵌合するガイド３２と一体となっており、吸着テーブル２０側に固定された外周テーブル昇降シリンダ３３の作用により、レール３１に沿って吸着テーブル２０に対して昇降動自在となっており、外周テーブル３０は、吸着テーブル２０に対する位置を調整することで、吸着テーブル２０上面で吸着されたウエハ１の上面と高さを揃えることができ、保護テープ２のウエハ１への貼付時にウエハ１の厚みによる段差を打ち消して無理な力がかからないようになっている。
【００３２】
前記吸着テーブル２０の上部には、吸着テーブル２０上のウエハ１に貼り付けられた保護テープ２をカットするテープカッター機構があり、このテープカッター機構は、後方の機枠６に上下方向に延びて設けられたレール３４と、このレール３４に嵌合するガイド３５（図１参照）と、同じく後方の機枠６に設けられた昇降シリンダ３６と、この昇降シリンダ３６の作用によりレール３４に沿ってガイド３５と共に昇降動自在となる部材に設けられたモータ３７と、このモータ３７の回転によりウエハ１の外形に沿った円形を描くように回転するカッター刃３８とからなっている。
【００３３】
また、前記テンションアーム１４付近から貼付ローラ２１間で、セパレータ１３が剥離される前の保護テープ２に対して、保護テープ２やセパレータ１３の柔軟性を抑えて供給、剥離、貼付時の伸びを抑制するため、１０℃前後となった冷却風３９を吹き付ける冷却装置４０が設けられており、この冷却風３９は、圧縮空気供給管４１及びバルブ４２（図１参照）を通じて供給される。
【００３４】
上記説明したテープ貼付装置によってウエハ１の形状に切り取られた保護テープ２が貼り付いた貼付済ウエハ１′は、多関節ロボット９により貼付済ウエハ収納カセット７に収納され、ウエハ形状を切り抜かれた保護テープ２の残部（廃棄テープカス２′）は、テープ貼付機構内の保護テープ巻き取りロール２５に巻き取られる。
【００３５】
次に、テンションアーム１４付近の詳細を図３と図４に基づいて説明すると、後方の機枠６に回動自在に軸支されたテンションアーム固定軸４３に一対のテンションアーム１４が固定されることで、テンションアーム１４はこのアーム固定軸４３を中心に揺動を行うようになり、一対のテンションアーム１４，１４揺動側先端には回転軸４４が架け渡されており、この回転軸４４に対してバランスローラ１５が回動自在に軸支されている。また、テンションアーム固定軸４３の一対のテンションアーム１４，１４間には軸ローラ１６がテンションアーム固定軸４３に対して回動自在に軸支されている。
【００３６】
テンションアーム固定軸４３の機枠６の後方外側の延長部には、連結杆４５の一方端部が固定されており、連結杆４５の他方端部は、機枠６に回転軸４６を通じて取り付けられたシリンダ４７の作用軸先端部に軸４８を介して連結されており、シリンダ４７の延伸作用により連結杆４５はテンションアーム固定軸４３を中心に図４時計回り方向に回転し、連結杆４５とテンションアーム固定軸４３を通じて一体となっているテンションアーム１４も時計回りに回転し、上方に揺動することとなる。
【００３７】
前方の機枠６から後方に突出した支持枠４９には、一対のガイド５０によって軸ローラ１６への進退動がガイドされたテープチャック５１が設けられており、支持枠４９の両ガイド５０，５０の間に設けられたシリンダ５２の延伸作用によりテープチャック５１は前進して軸ローラ１６との間で保護テープ２を挟み込んで固定できるようになっている。なお、テープチャック５１はテープを傷付けないようシリコーンゴム等の適宜な弾性部材を用いればよい。
【００３８】
テンションアーム部は上記のような構成であり、図１、図２で示した保護テープ供給ロール１２から供給された保護テープ２は、ガイドローラ５３を経てバランスローラ１５の下側に架けられてから軸ローラ１６の上側に架けられて下方に導かれ、保護テープ供給ロール１２の回転による保護テープ２の供給速度よりも引き出し速度が速いと保護テープ２に加わる張力が最小限となるようテンションアーム１４が時計回り方向に揺動してテープ引っ張り張力を吸収すると共にテープ供給を速め、逆に保護テープ供給ロール１２の回転による保護テープ２の供給速度よりも引き出し速度が遅いと、保護テープ２が弛み、テンションアーム１４が自重により反時計回りに揺動して保護テープ２の弛みを吸収する。
【００３９】
なお、図示しない適宜センサによって連結杆４５又はテンションアーム１４の角度を検出できるようにしてしておき、この角度情報に基づいて、保護テープ供給ロール１２の送り出し速度を制御してテンションアーム１４の角度を平行位置になるように制御するようになっている。
【００４０】
次に、分離板１７を用いた剥離機構を図５の拡大正面図と同図VI−VI方向矢視図の図６に基づいて説明すると、両機枠６，６に連続して設けられた２つの固定枠５４，５４の間に、天板５５、底板５６、及び２つの固定板５７からなる両側面が開放した箱体が固定されており、この箱体内部の各固定板５７の付近に、天板５５と底板５６を繋ぐ上下方向へ延びる軸５８が設けられ、この２つの軸５８の各々には軸に沿って摺動し、上下昇降動可能なガイド５９が設けられており、両ガイド５９を繋ぐように分離板１７が設けられており、分離板１７は両軸５８に沿った略上下昇降動自在となり、通常は自重により図６中二点鎖線で示す下方位置に自然と落下するようになっている。
【００４１】
両ガイド５９の下部には支持板６０が設けられており、分離板１７と共にガイド５９が天板５５付近に位置する時に、一方の固定板５７に固定されたシリンダ６１の軸先に設けたストッパ６２が、シリンダ６１の延伸作用時に支持板６０の下部に入り込み、支持板６０を下支えすることで、分離板１７の自然落下を防止してこの位置に留まらせており、シリンダ６１の縮減作用を行えば、ストッパ６２は図５矢印方向に移動し、支持板６０は下支えを失い、分離板１７は図５及び図６中二点鎖線で示す位置まで落下する。なお、落下の衝撃を緩和するために、底板５６の落下してきた支持板６０に当接する位置には緩衝部材６３が設けられており、落下の衝撃を緩和するようになっている。
【００４２】
分離板１７は上記のような構造であり、シリンダ６１の縮減作用によりストッパ６２が後退すると、貼付ローラ２１に導かれる保護テープ２と、保護テープ２から剥離されて両固定枠５４や両固定板５７に両端を軸支されたガイドローラ６４群により上方に導かれているセパレータ１３との間で自由落下を行う。
【００４３】
また、保護テープ２を固定して、セパレータ１３を巻き取り動作により保護テープ２から引き剥がず際には、分離板１７の最下端の先端部は鋭角状となっているため、セパレータ１３が保護テープ２から剥がれる剥離部に当接してセパレータ１３を略１８０°の方向に折り返しながら、セパレータ１３の引き剥がしによる剥離部の移動（上昇）に追従して自重に抗して上昇し、ストッパ６２により留まっていた位置まで戻る。
【００４４】
なお、この分離板１７部の重量はセパレータ１３の巻き取り時にセパレータ１３を１８０°方向に折り返せる程度の重量としておけば、保護テープ２に張力が殆どかからない。
【００４５】
この際、セパレータ１３を分離板１７で略１８０°方向に折り返しながら剥離するようにしたので、剥離ローラを使用して剥離した時のように剥離ローラによる抱き角が生じず、保護テープ２に対して垂直方向にかかる荷重が殆ど発生せず、貼付後の保護テープ２に残留応力が残らず、薄厚化・大径化されたウエハ１に反りや破損が起こらない。
【００４６】
また、セパレータの巻き取り時に分離板が保護テープに沿って追従し、絶えず１８０°方向にセパレータを巻き取るようにしたので、保護テープ面の鉛直方向にかかる剥離力を絶えず小さくでき、保護テープに残留応力が残らない。
【００４７】
図７は、バランスローラ１５の動きを説明するものであり、保護テープ２に加わる張力がゼロの場合、テンションアームは平行を保っている（図７（ａ））。
【００４８】
保護テープ２を供給する方向に送り出している時、保護テープ２の引っ張り力が強くなり、保護テープ供給ロール１２からの供給速度より引っ張り速度が速くなった場合、供給中の保護テープ２に張力が最小限となるよう、テンションアーム１４が上方向に自重で揺動してテープ張力を吸収する（図７（ｂ））。
【００４９】
この時、前述したように、図示しない適宜センサによって連結杆４５又はテンションアーム１４の角度が検出され、この角度情報に基づいて、基本的には保護テープ供給ロール１２を回転させているモータ等の適宜機構を制御してテンションアーム１４の角度を平行位置になるようにする。
【００５０】
なお、この保護テープ２の供給時はセパレータ１３と一体となって保護テープ２が供給されることと冷却風３９の作用により保護テープ２の引張力による伸びは影響が殆どないが、テープの柔軟性が高い場合等、バランスローラ１５の荷重をテンションアーム１４の強制駆動により軽減するようにしても良い。
【００５１】
逆に、保護テープ供給ロール１２からの保護テープ２の供給速度の方が保護テープ２の引っ張り速度より速くなることで保護テープ２全体が弛むと、それに伴いテンションアームが下方向に揺動した場合も、基本的には保護テープ供給ロール１２を回転させているモータ等の適宜機構を制御し、保護テープ２の供給量を減らしてテンションアーム１４の角度を平行位置になるように制御する（図７（ｃ））。
【００５２】
また、停止状態の保護テープ２に弛みが生じた場合は、保護テープ供給ロール１２は回転を停止した状態のまま、テンションアーム１４の先端の保護テープ２を押さえているバランスローラ１５が自重により自然に下に揺動することで、保護テープ２の弛みを吸収することになる。
【００５３】
次に、ウエハへ保護テープを貼り付ける一連の動作について、図８乃至図１１に基づいて説明する。
【００５４】
まず、図８（ａ）に示すように、セパレータ１３が貼着された状態で保護テープ供給ローラ１２から引き出された保護テープ２は、テンションアーム１４に設けられたバランスローラ１５と軸ローラ１６を通じて下部に導かれており、上昇位置にある分離板１７の先端部分が保護テープ２とセパレータ１３との分離位置となっており、保護テープ２と分離したセパレータ１３はテンションアーム１８を経てセパレータ巻き取りロール１９に巻き取られ、セパレータ１３を剥がされた保護テープ２は、貼付ローラ２１の部分でウエハ１が載置された吸着テーブル２０の上を粘着面を下側にして水平方向を保つようなっている。
【００５５】
また、上部テンションアーム１４付近では、軸ローラ１６とテープチャック５１により保護テープ２がセパレータ１３と共に挟持され、下部の貼付ローラ２１付近では、剥離ローラ２２とテープチャック２３により保護テープ２が挟持されて固定されている。
【００５６】
次に、図８（ｂ）に示すように、軸ローラ１６の部分のテープチャック５１を解放し、剥離ローラ２２とテープチャック２３が保護テープ２を挟持した状態で図示二点鎖線の位置から実線の吸着テーブル２０の左側の位置まで、図示矢印方向に適宜手段にて移動させると共に、保護テープ供給ロール１２を適宜な駆動手段により回転させて保護テープ２を送り出し、吸着テーブル２０に吸着されたウエハ１上に粘着面を下にした保護テープ２を供給する。
【００５７】
この際、図７の説明で述べたように、テンションアーム１４等の角度をセンサで読み取り、保護テープ供給ロール１２から供給速度（供給量）を調整して保護テープ２に無理な力がかからないようにし、更に、引き出されている途中の保護テープ２に対して、冷却装置４０から１０℃程度の冷却風３９が噴出して供給中の保護テープ２の柔軟性を抑えて伸びが発生しないように冷却を行う。
【００５８】
また、セパレータ巻き取りロール１９は巻き取り方向とは逆方向に回転させることで、保護テープ２とセパレータ１３との分離部はそのまま下方に送られ、セパレータ１３は円弧を描くように弛んだ状態で保護テープ２に追従して送られる。
【００５９】
テープチャック２３が吸着テーブル２０の左側へ移動したら、保護テープ２の移動を停止し、図９（ｃ）に示すように、貼付ローラ２１を適宜手段により図中矢印方向へ移動させることで、保護テープ２とセパレータ１３は図中二点鎖線位置から実線位置に移動し、保護テープ２に弛みが生じるが、この弛みはバランスローラ１５の自重により一定負荷をかけているテンションアーム１４の先端が図示のように下降することで吸収され、保護テープ２は図示実線のような状態となり、貼付ローラ２１での貼付前に弛んで最下部がウエハ１上に接着してしまい皺や気泡が発生するようなことがなくなる。
【００６０】
次に、図９（ｄ）に示すように、吸着テーブル２０が矢印方向に上昇し、載置されたウエハ１の上面が保護テープ２の位置までくるようにし、その後、貼付ローラ２１が図中二点鎖線位置から実線位置に矢印方向へ移動することで、ウエハ１の表面に保護テープ２を押しつけなら貼り付ける。
【００６１】
この貼付ローラ２１が図中二点鎖線位置から実線位置に移動する際の保護テープ２にかかる張力を限りなく低減するために、貼付開始直前にバランスローラ１５の自重をほぼ０となるようにシリンダ４７（図４参照）を延伸させ、テンションアーム１４の上方向への揺動をセンサで読み取って、保護テープ２の供給を行う。
【００６２】
次に、図１０（ｅ）に示すように、カッター刃３８を保護テープ２の位置まで下降させてから、モータ３７の回転によりカッター刃３８をウエハ１の外径形状に沿って移動させることで、ウエハ１表面に貼り付けられた保護テープ２のみを切り離し、シリンダ６１の縮減作用によりストッパ６２を後退させることで（図５参照）、分離板１７を図中二点鎖線位置から実線位置まで自重により下降させる。
【００６３】
次に、図１０（ｆ）に示すように、保護テープ２を切断後のカッター刃３８を上昇させ、テープチャック５１により保護テープ２を固定すると共に、セパレータ巻き取りロール１９を適宜駆動手段でセパレータ１３の巻き取り方向に回転させると、保護テープ２とセパレータ１３の分離地点は分離板１７の先端部でセパレータ１３が分離板１７の先端部形状に沿って鋭角に折り返されると共に、セパレータ１３の巻き取りに伴い、分離地点が上昇し、分離板１７も図中二点鎖線位置から実線位置まで上昇してゆく。
【００６４】
この際、一定負荷をかけて平行状態にあるテンションアーム１８の揺動具合を適宜センサにより読み取っておき、無理な力がかからないようにセパレータ巻き取りロール１９の回転速度を調整しながらセパレータ１３を巻き取ってゆく。
【００６５】
図１１（ｇ）に示す位置まで分離板１７及び保護テープ２とセパレータ１３の分離地点を上昇させればセパレータ巻き取りロール１９の回転を停止し、シリンダ６１の延伸作用によりストッパ６２を前進させることで（図５参照）、分離板１７を固定し、吸着テーブル２０を下降させる。
【００６６】
次に図１１（ｈ）に示すように、テープチャック２３を解放した後、剥離ローラ２２を吸着テーブル２０の上側と保護テープ２の下側との間を図中矢印方向に移動させることでウエハ１に貼り付けられていない保護テープ２（廃棄テープカス２′）を外周テーブル３０から引き剥がす。
【００６７】
引き剥がされた廃棄テープカス２′は、図中二点鎖線位置となり、その後、保護テープ２の貼付済ウエハ１′を吸着テーブル２０から取り除き、新たなウエハ１を吸着テーブル２０に載置すれば図８（ａ）の状態に戻り、続けて保護テープ２の貼付作業が行われる。
【００６８】
本実施形態の基板へのテープの貼付方法及び装置は上記のような構成であるが、本発明は上記実施形態のものに限定されるものではなく、本発明の目的の範囲内にて適宜変更して実施することができる。例えば、冷却装置による冷却風の温度をテープの特性に応じて変更したり、また、保護テープに対するセパレータの剥離点をセンサ等で読み取り、読み取った剥離点の移動に追従させて分離板を適宜手段で移動させるようにしても良い。
【００６９】
また、本実施形態ではウエハへの保護テープ貼付方法及び装置を例に説明したが、ウエハへの保護テープ貼付に限定される訳ではなく、本発明の目的の範囲内で各種の基板に対する各種テープの貼付に適用でき、特に薄厚化されて貼付後のテープの残留応力による反りが問題となるような基板であれば効果的に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】本発明装置の平面図である。
【図２】図１のII−II方向矢視図である。
【図３】テンションアーム部の平面図である。
【図４】テンションアーム部の一部拡大正面図である。
【図５】分離板部の拡大正面図である。
【図６】図５のVI−VI方向矢視図である。
【図７】（ａ）（ｂ）（ｃ）はバランスローラの動きの説明図である。
【図８】（ａ）（ｂ）は本発明装置の動作説明図である。
【図９】（ｃ）（ｄ）は本発明装置の動作説明図である。
【図１０】（ｅ）（ｆ）は本発明装置の動作説明図である。
【図１１】（ｇ）（ｈ）は本発明装置の動作説明図である。
【符号の説明】
【００７１】
１    ウエハ
１′  貼付済ウエハ
１ａ  ノッチ
２    保護テープ
２′  廃棄テープカス
３    機台
４    ウエハ供給カセット
５    アライメント部
６    機枠
７    貼付済ウエハ収納カセット
８    吸着ハンド
９    多関節ロボット
１０  吸着テーブル
１１  センサ
１２  保護テープ供給ロール
１３  セパレータ
１４  テンションアーム
１５  バランスローラ
１６  軸ローラ
１７  分離板
１８  テンションアーム
１９  セパレータ巻き取りロール
２０  吸着テーブル
２１  貼付ローラ
２２  剥離ローラ
２３  テープチャック
２４  ガイドローラ
２５  保護テープ巻き取りロール
２６  固定枠
２７  ガイド
２８  レール
２９  昇降シリンダ
３０  外周テーブル
３１  レール
３２  ガイド
３３  外周テーブル昇降シリンダ
３４  レール
３５  ガイド
３６  昇降シリンダ
３７  モータ
３８  カッター刃
３９  冷却風
４０  冷却装置
４１  圧縮空気供給管
４２  バルブ
４３  テンションアーム固定軸
４４  回転軸
４５  連結杆
４６  回転軸
４７  シリンダ
４８  軸
４９  支持枠
５０  ガイド
５１  テープチャック
５２  シリンダ
５３  ガイドローラ
５４  固定枠
５５  天板
５６  底板
５７  固定板
５８  軸
５９  ガイド
６０  支持板
６１  シリンダ
６２  ストッパ
６３  緩衝部材
６４  ガイドローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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