【手続補正書】
【提出日】平成21年7月29日(2009.7.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポリイミドを含むフィルムであって、前記ポリイミドは、第１の二無水物成分と第１のジアミン成分との接触によって得られたペルフルオロ−イミド部分を含み、前記ペルフルオロ−イミド部分は次式で表され
【化１】
2007046054.tif 000001
（式中、ｎは繰り返しペルフルオロ−イミド部分の数を表し、ｎは１０と１００，０００の間の整数である）、
前記ペルフルオロ−イミド部分は、ポリイミドフィルム中のイミド部分の全モル数に対して、１００および５０モル％（それら数値を含む）の間のモル％存在し、
前記ポリイミドフィルムは、−５および２０ｐｐｍ／℃（それら数値を含む）の間の面内熱膨張係数（ＣＴＥ）を有し、
前記フィルムは、５および２００ミクロン（それら数値を含む）の間の厚さを有し、
前記フィルムは、３８０〜７７０ｎｍの波長の間の光に露光された場合に、６５．０および９９．０の間の平均光線透過率を有し、および
前記ポリイミドは、２５０および５００℃（それら数値を含む）の間のガラス転移温度（Ｔｇ）を有することを特徴とするフィルム。
【請求項２】
前記ポリイミドは、第２のジアミン成分から誘導され、前記第１のジアミン成分と前記第２のジアミン成分が全ジアミン成分を構成し、前記第２のジアミン成分は、前記ポリイミドへと反応する全ジアミン成分の、以下の数値１および５０モル％（それら数値を含む）の間の量で前記ポリイミドへと反応し、前記第２のジアミン成分は、トランス−１，４−ジアミノシクロヘキサン；ジアミノシクロオクタン；テトラメチレンジアミン；ヘキサメチレンジアミン；オクタメチレンジアミン；ドデカメチレン−ジアミン；アミノメチルシクロオクチルメタンアミン；アミノメチルシクロドデシルメタンアミン；アミノメチルシクロヘキシルメタンアミン；３，５−ジアミノベンゾトリフルオライド；２−（トリフルオロメチル）−１，４−フェニレンジアミン；５−（トリフルオロメチル）−１，３−フェニレンジアミン；１，３−ジアミノ−２，４，５，６−テトラフルオロベンゼン；２，２−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］−ヘキサフルオロプロパン；２，２−ビス（３−アミノフェニル）１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン；２，２’−ビス−（４−アミノフェニル）−ヘキサフルオロプロパン（６Ｆジアミン）；３，３’−ビス（トリフルオロメチル）ベンジジン；４，４’−ジアミノジフェニルスルフィド（４，４’−ＤＤＳ）；３，３’−ジアミノジフェニルスルホン（３，３’−ＤＤＳ）；４，４’−ジアミノジフェニルスルホン；および４，４’−トリフルオロメチル−２，２’−ジアミノビフェニルからなる群から選択されることを特徴とする請求項１に記載のフィルム。
【請求項３】
前記ポリイミドは第２の二無水物成分からも誘導され、第１の二無水物成分と第２の二無水物成分が全二無水物成分を構成し、第２の二無水物成分は、全二無水物成分の、１および５０モル％（それら数値を含む）の間の量でポリイミドへと組み込まれ、第２の二無水物成分は、４，４’−オキシジフタル酸無水物（ＯＤＰＡ）；４，４’−（４，４’−イソプロピリデンジフェノキシ）ビス（フタル酸無水物）（ＢＰＡＤＡ）；２，３，３’，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物；２，２’，３，３’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物；４，４’−（ヘキサフルオロイソプロピリデン）ジフタル酸無水物（６ＦＤＡ）；ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物（ＤＳＤＡ）；４，４’−ビスフェノールＡ二無水物；１，２，３，４−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物；（−）−［１Ｓ＊，５Ｒ＊，６Ｓ＊］−３−オキサビシクロ［３．２．１］オクタン−２，４−ジオン−６−スピロ−３−（テトラヒドロフラン−２，５−ジオン）；ビシクロ［２．２．２］オクト−７−エン−２，３，５，６−テトラカルボン酸二無水物および９，９−二置換キサンテン二無水物からなる群から選択されることを特徴とする請求項１に記載のフィルム。
【請求項４】
前記フィルムは、リン酸二カルシウム、二酸化シリコン、アルミナおよび二酸化チタンからなる群から選択されるフィラーを更に含むことを特徴とする請求項１に記載のフィルム。
【請求項５】
請求項１のフィルムおよびインジウムスズ酸化物層を含む積層品であって、前記フィルムと前記インジウムスズ酸化物層は隣接し、
前記積層品は、インジウムスズ酸化物析出プロセスを使用して形成されることを特徴とする積層品。
【請求項６】
請求項１のフィルムおよび不動態化バリヤー層を含む積層品であって、前記フィルムおよび前記不動態化バリヤー層は隣接しており、不動態化バリヤー層はフィルムの一面または両面に存在し、
前記不動態化バリヤー層は、酸素不動態化層、蒸気不動態化バリヤー層または両方であることを特徴とする積層品。
【請求項７】
前記不動態化バリヤー層は、式ＳｉＯｘまたはＳｉＮｘを有する材料（式中、Ｘは、２、３または４のいずれかである）を含むことを特徴とする請求項６に記載の積層品。
【請求項８】
前記不動態化バリヤー層は、Ａｌ２Ｏ３を、ＳｉＯｘまたはＳｉＮｘ（式中、Ｘは、２、３または４のいずれかである）と場合によっては組み合わせて含むことを特徴とする請求項６に記載の積層品。
【請求項９】
前記不動態化バリヤー層は、原子蒸気析出法を使用してフィルムに施すことを特徴とする請求項６に記載の積層品。
【請求項１０】
請求項１のフィルムおよび導体層を含む積層品であって、前記導体層はその中に導電性粒子が分散したポリマーを含み、前記導電性粒子は、カーボンナノチューブ、カーボン粉末、インジウムスズ酸化物および亜鉛ベース酸化物からなる群から選択されることを特徴とする積層品。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９２】
次いで、ウェットフィルムの付いたステンレス鋼プレートをホットプレート上に置き、約８０℃までまたはフィルムが不粘着状態になるまで加熱した。乾燥したフィルムを、次いで制御型枠（ピンフレーム）上に移した。ピンフレーム上で、強制熱風を用いて、１００℃、１５０℃、２００℃、および３００℃の温度でそれぞれ約１／２時間加熱し、フィルムをポリイミドに熱的に転換した。フィルムをピンフレームから取り出して分析した。データーを表１に示す。
本発明は以下の実施の態様を含むものである。
１．ポリイミドを含むフィルムであって、前記ポリイミドは、第１の二無水物成分と第１のジアミン成分との接触によって得られたペルフルオロ−イミド部分を含み、前記ペルフルオロ−イミド部分は次式で表され
【化２】
2007046054.tif 000002
（式中、ｎは繰り返しペルフルオロ−イミド部分の数を表し、ｎは１０と１００，０００の間の整数である）、
前記ペルフルオロ−イミド部分は、ポリイミドフィルム中のイミド部分の全モル数に対して、以下の数値１００、９５、９０、８５、８０、７５、７０、６５、６０、５５および５０モル％の任意の２つの数値（それら数値を含む）の間のモル％存在し、
前記ポリイミドフィルムは、以下の数値−５、０、２、４、６、８、１０、１２、１４、１６、１８および２０ｐｐｍ／℃の任意の２つの数値（それら数値を含む）の間の面内熱膨張係数（ＣＴＥ）を有し、
前記フィルムは、以下の数値５、１０、１５、２０、２５、５０、７５、１００、１２５、１５０、１７５および２００ミクロンの任意の２つの数値（それら数値を含む）の間の厚さを有し、
前記フィルムは、３８０〜７７０ｎｍの波長の間の光に露光された場合に、６５．０、７０．０、７５．０、８０．０、８５．０、９０．０、９５．０および９９．０の間の平均光線透過率を有していることを特徴とするフィルム。
２．前記ポリイミドは、以下の数値２５０、２７５、３００、３２５、３５０、３７５、４００、４２５、４５０、４７５および５００℃の任意の２つの数値（それら数値を含む）の間のガラス転移温度（Ｔｇ）を有することを特徴とする前記１．に記載のフィルム。
３．前記ポリイミドは、第２のジアミン成分から誘導され、前記第１のジアミン成分と前記第２のジアミン成分が全ジアミン成分を構成し、前記第２のジアミン成分は、前記ポリイミドへと反応する全ジアミン成分の、以下の数値１、３、５、１０、１５、２０、２５、３０、３５、４０、４５および５０モル％の任意の２つの数値（それら数値を含む）の間の量で前記ポリイミドへと反応し、前記第２のジアミン成分は、トランス−１，４−ジアミノシクロヘキサン；ジアミノシクロオクタン；テトラメチレンジアミン；ヘキサメチレンジアミン；オクタメチレンジアミン；ドデカメチレン−ジアミン；アミノメチルシクロオクチルメタンアミン；アミノメチルシクロドデシルメタンアミン；アミノメチルシクロヘキシルメタンアミン；３，５−ジアミノベンゾトリフルオライド；２−（トリフルオロメチル）−１，４−フェニレンジアミン；５−（トリフルオロメチル）−１，３−フェニレンジアミン；１，３−ジアミノ−２，４，５，６−テトラフルオロベンゼン；２，２−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］−ヘキサフルオロプロパン；２，２−ビス（３−アミノフェニル）１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン；２，２’−ビス−（４−アミノフェニル）−ヘキサフルオロプロパン（６Ｆジアミン）；３，３’−ビス（トリフルオロメチル）ベンジジン；４，４’−ジアミノジフェニルスルフィド（４，４’−ＤＤＳ）；３，３’−ジアミノジフェニルスルホン（３，３’−ＤＤＳ）；４，４’−ジアミノジフェニルスルホン；および４，４’−トリフルオロメチル−２，２’−ジアミノビフェニルからなる群から選択されることを特徴とする前記１．に記載のフィルム。
４．前記ポリイミドは第２の二無水物成分からも誘導され、第１の二無水物成分と第２の二無水物成分が全二無水物成分を構成し、第２の二無水物成分は、全二無水物成分の、以下の数値１、３、５、１０、１５、２０、２５、３０、３５、４０、４５および５０モル％の任意の２つの数値（それら数値を含む）の間の量でポリイミドへと組み込まれ、第２の二無水物成分は、４，４’−オキシジフタル酸無水物（ＯＤＰＡ）；４，４’−（４，４’−イソプロピリデンジフェノキシ）ビス（フタル酸無水物）（ＢＰＡＤＡ）；２，３，３’，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物；２，２’，３，３’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物；４，４’−（ヘキサフルオロイソプロピリデン）ジフタル酸無水物（６ＦＤＡ）；ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物（ＤＳＤＡ）；４，４’−ビスフェノールＡ二無水物；１，２，３，４−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物；（−）−［１Ｓ＊，５Ｒ＊，６Ｓ＊］−３−オキサビシクロ［３．２．１］オクタン−２，４−ジオン−６−スピロ−３−（テトラヒドロフラン−２，５−ジオン）；ビシクロ［２．２．２］オクト−７−エン−２，３，５，６−テトラカルボン酸二無水物および９，９−二置換キサンテン二無水物からなる群から選択されることを特徴とする前記１．に記載のフィルム。
５．前記フィルムは、リン酸二カルシウム、二酸化シリコン、アルミナおよび二酸化チタンからなる群から選択されるフィラーを更に含むことを特徴とする前記１．に記載のポリマーフィルム。
６．前記１．のフィルムおよびインジウムスズ酸化物層を含む積層品であって、前記フィルムと前記インジウムスズ酸化物層は隣接していることを特徴とする積層品。
７．前記積層品は、インジウムスズ酸化物析出プロセスを使用して形成されることを特徴とする前記６．に記載の積層品。
８．前記１．のフィルムおよび不動態化バリヤー層を含む積層品であって、前記フィルムおよび前記不動態化バリヤー層は隣接しており、不動態化バリヤー層はフィルムの一面または両面に存在することを特徴とする積層品。
９．前記不動態化バリヤー層は、酸素不動態化層、蒸気不動態化バリヤー層または両方であることを特徴とする前記８．の積層品。
１０．前記不動態化バリヤー層は、式ＳｉＯｘまたはＳｉＮｘを有する材料（式中、Ｘは、２、３または４のいずれかである）を含むことを特徴とする前記８．に記載の積層品。
１１．前記不動態化バリヤー層は、Ａｌ２Ｏ３を、ＳｉＯｘまたはＳｉＮｘ（式中、Ｘは、２、３または４のいずれかである）と場合によっては組み合わせて含むことを特徴とする前記８．に記載の積層品。
１２．前記不動態化バリヤー層は、原子蒸気析出法を使用してフィルムに施すことを特徴とする前記８．に記載の積層品。
１３．前記１．のフィルムおよび導体層を含む積層品であって、前記導体層はその中に導電性粒子が分散したポリマーを含み、前記導電性粒子は、カーボンナノチューブ、カーボン粉末、インジウムスズ酸化物および亜鉛ベース酸化物からなる群から選択されることを特徴とする積層品。