(57)【要約】【課題】ソルダバンプが絶縁層部分に流れないようにすることができ、かつ、バンプ間のピッチを減らすことができるフリップチップ接続用基板及びその製造方法を提供する。【解決手段】バンプパッドを備える基板を製造する方法において、回路パターンが陷沒された絶縁層を提供する段階と、バンプパッドが形成される部位の回路パターンをエッチングしてバンプパッドを形成する段階とを含むフリップチップ接続用基板の製造方法は、絶縁層に陷沒されている回路パターンの一部を溝形状で除去してバンプパッドを形成することを特徴とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回路パターンが陷沒された絶縁層を提供する段階と、
前記回路パターンの一部を除去して溝形状のバンプパッドを形成する段階と
を含むフリップチップ接続用基板製造方法。
【請求項２】
前記絶縁層を提供する段階が、前記絶縁層に前記バンプパッドに対応する部分が露出するようにエッチングレジストを形成する段階と、
エッチング液を供給して前記回路パターンをエッチングすることで前記バンプパッドを形成する段階と、及び
前記エッチングレジストを除去する段階とを含むことを特徴とする請求項１に記載のフリップチップ接続用基板製造方法。
【請求項３】
前記バンプパッドに金属層を積層する段階をさらに含む請求項１に記載のフリップチップ接続用基板製造方法。
【請求項４】
前記金属層が錫（Ｓｎ）、チタン（Ｔｉ）、金（Ａｕ）の中の少なくとも一つを含むことからなることを特徴とする請求項３に記載のフリップチップ接続用基板製造方法。
【請求項５】
前記バンプパッドが湾曲した溝形状であることを特徴とする請求項１に記載のフリップチップ接続用基板製造方法。
【請求項６】
前記バンプパッドを形成する段階の以前に前記絶縁層の表面に前記バンプパッドに対応する部分が露出されるようにソルダレジストを形成する段階をさらに行うことを特徴とする請求項１に記載のフリップチップ接続用基板製造方法。
【請求項７】
前記バンプパッドにソルダバンプを形成する段階をさらに含む請求項１に記載のフリップチップ接続用基板製造方法。
【請求項８】
前記ソルダバンプを形成する段階が
前記バンプパッドにソルダペーストを提供する段階と、
前記ソルダペーストを溶融させる段階とを含むことを特徴とする請求項７に記載のフリップチップ接続用基板製造方法。
【請求項９】
絶縁層と、
絶縁層に陷沒された回路パターンと、及び
前記回路パターンの一部が凹状の溝形状で除去されて形成されたバンプパッドを含むフリップチップ接続用基板。
【請求項１０】
前記バンプパッドが湾曲した溝形状でエッチングされたことを特徴とする請求項９に記載のフリップチップ接続用基板。
【請求項１１】
前記バンプパッドの表面に積層される金属層をさらに含む請求項９に記載のフリップチップ接続用基板。
【請求項１２】
前記金属層が錫（Ｓｎ）、チタン（Ｔｉ）、金（Ａｕ）の中の少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項１１に記載のフリップチップ接続用基板。
【請求項１３】
前記バンプパッドに形成されたソルダバンプをさらに含む請求項９に記載のフリップチップ接続用基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はフリップチップ接続用基板及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
フリップチップ（ｆｌｉｐ ｃｈｉｐ）接続とはチップ大きさパッケージ（Ｃｈｉｐ Ｓｃａｌｅ  Ｐａｃｋａｇｅ、以後ＣＳＰとも呼ぶ）の一つの形態であり半導体チップとパッケージ基板との間にリードフレームを使用しなく伝導性パッドを直接接続してパッケージを製造する方法を言う。フリップチップ接続はパッケージングされたチップの大きさが既存ワイヤ接続により製造されたチップの大きさより非常に小さくかつ各伝送線の経路差が少ないためチップ内に流れる電気的信号の位相差などを減らすのに非常に良いので近来及び未来に半導体チップと素子の接続方法として非常に有用となり広く用いられるだろう。
【０００３】
現在ＣＳＰ製作技術はワイヤボンディング（ｗｉｒｅ ｂｏｎｄｉｎｇ）実装が中心であるが、高周波及び薄ら基板の趨勢に対応するためにフリップチップ実装に対する要求が多くなると予想される。ワイヤボンディングが大部分であった配線領域が漸次フリップチップ接続に代替されている時点で、基板におけるフリップチップ接続用パッドがますます狭くなりつつあり接続に要する導電性ペーストの一定量管理が必要である。
【０００４】
これに対して従来のフリップチップ実装方法の一つとして、いわゆる'Ｓｕｐｅｒ  Ｊｕｆｆｉｔ ' 工法を挙げられる。フリップチップ接続のためにはフリップチップのバンプの位置に対応する基板上のパッドにソルダを集めることになるが、前記従来技術によればチップを基板に接続する際基板の外層回路の幅が同じである場合小さなソルダ（ｓｏｌｄｅｒ）粒子を全体に塗布して熱を加えると回路上に波のような凹凸が発生するという点を活用して回路を設計した。このように'Ｓｕｐｅｒ  Ｊｕｆｆｉｔ ' 工法を用いれば基板上でソルダがパッド部分に一定量集まることになりフリップチップ接続が可能になる。
【０００５】
しかし前述した従来技術は基板上に突出されるフリップチップ接続用パッドの突出の高さを精緻に制御することができなく、材料の供給が限定されるという限界がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明はフリップチップ接続用基板において絶縁層に陷沒されている回路パターンの一部を溝形状で除去してバンプパッドを形成することによりソルダバンプが絶縁層のところに流れないように防止できるし、バンプ間のピッチを減らすことや、基板の高さの誤差を減らすことができるフリップチップ接続用基板及びその製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一実施形態によれば回路パターンが陷沒された絶縁層を提供する段階と、 前記回路パターンの一部を除去して溝形状のバンプパッドを形成する段階とを含むフリップチップ接続用基板製造方法が提供される。
【０００８】
この時回路パターンの一部を除去する方法はエッチング方法を用いて回路パターンをエッチングすることにより可能であって、絶縁層にバンプパッドに対応する開口部が形成されたエッチングレジストを積層する段階と、エッチング液を供給する段階と、 及びエッチングレジストを除去する段階とを含んで行われることができる。
【０００９】
バンプパッドに金属層を積層する段階をさらに含むことができ、この時金属層は錫（Ｓｎ）、チタン（Ｔｉ）、金（Ａｕ） の中の少なくとも一つを含んだものから形成することができる。
【００１０】
バンプパッドは湾曲した溝形状でエッチングすることができ、その以外にも多様な形状が可能である。バンプパッドをエッチングす以前に基板の表面にバンプパッドに対応する開口部を持つソルダレジストを形成する段階をさらに行うことができる。
【００１１】
バンプパッドを形成した後バンプパッドにバンプを形成する段階をさらに行って基板にフリップチップ用ソルダバンプを形成することが可能である。この時バンプはバンプパッドに対応するようにソルダペーストを提供し、ソルダペーストを溶融させることで形成することができる。
【００１２】
本発明の他の実施形態によれば、絶縁層と、絶縁層に陷沒された回路パターンと、及び回路パターンの一部が凹状にエッチングされて形成されたバンプパッドを含む基板が提供される。
【００１３】
バンプパッドは湾曲した溝形状、角形状など多様な形状でエッチングすることができる。バンプパッドは表面に金属層をさらに形成することができ、金属層は錫（Ｓｎ）、チタン（Ｔｉ）、金（Ａｕ） の中の少なくとも一つを含むことができる。バンプパッドにバンプを形成して、フリップチップ接続用バンプが実装された基板を提供することができる。
【００１４】
前述した以外の他の実施形態、特徴、利点が本発明の図面、特許請求の範囲及び発明の詳細な説明から明確になるだろう。
【発明の効果】
【００１５】
前述したように本発明の好ましい実施例によれば、本発明はフリップチップ接続用基板において絶縁層に陷沒されている回路パターンの一部を溝形状で除去してバンプパッドを形成することにより、ソルダバンプが絶縁層のところに流れないように防止できるし、バンプ間のピッチを減らすことができる。またソルダバンプが回路パターンをエッチングする方法により形成されたバンプパッドの上に形成されるので一部が陷沒されており基板の高さの誤差を減らすことができるフリップチップ接続用基板及びその製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明によるフリップチップ接続用基板製造方法の好ましい実施例を図１に示されている手順に応じて図２ないし図４を参照して詳しく説明するが、添付図面を参照して説明することにおいて、同一かつ対応する構成要素は同一の図面番号を付与してこれに対する重複される説明は省略する。
【００１７】
図１は本発明の一実施例によるフリップチップ接続用基板製造方法を示すフローチャートであり、図２は本発明の一実施例によるフリップチップ接続用基板の製造工程を示す流れ図であり、図３は本発明の実施例によるバンプパッドの形状を示す斜視図であり、図４は本発明の好ましい一実施例によるフリップチップ接続用基板の平面図である。
【００１８】
図２ないし図４参照すると、絶縁層１０、回路パターン１１、ソルダレジスト１２、エッチングレジスト１３、バンプパッド１４、バンプ１５が示されている。
【００１９】
図１の段階Ｓ１０は、回路パターンが陷沒された絶縁層を提供する段階である。図２の（ａ）を参照すると、回路パターンが陷沒された絶縁層が示されている。回路パターン１１が絶縁層１０に陷沒された構造は回路パターン１１が絶縁層１０上に形成された場合に比して回路パターン１１間の電気的接続によるエラーを防止することができ、微細ピッチ（ｆｉｎｅ ｐｉｔｃｈ）を具現することができ、回路パターン１１の剥離などを防止することができる。
【００２０】
また、回路パターン１１による高さの増加はないので、ソルダバンプ１５の高さを低めて基板の高さの誤差を減らすことができるという長所がある。この時絶縁層１０に陷沒された回路パターン１１は絶縁層１０と高さが均一したほうが好ましい。
【００２１】
段階Ｓ２０は回路パターン１１を一部除去して溝形状のバンプパッド１４を形成する段階である。
【００２２】
バンプパッド１４はソルダバンプ１５を形成するための回路パターン１１上の一部分であって、バンプパッド１４の上にソルダペーストが凝集されるようにするためにはバンプパッド１４の面積が広くなくてはならない。一般的に回路パターン１１より平面的に広いバンプパッド１４を具現する方法が用いられるが、このような方法はソルダバンプ１５間の間隔が狭くなりソルダバンプ１５間にブリッジ（ｂｒｉｄｇｅ）の生ずる恐れがある。しかし本実施例のように回路パターン１１をエッチングしてバンプパッド１４の面積を増加させる場合には深さ方向に面積が増加することになるのでソルダバンプ１５間のブリッジが形成されないことになる。
【００２３】
この時エッチング方法の一つの実施例として湿式エッチング方法を挙げられるが、段階Ｓ２１ないし段階Ｓ２３を行うことによりバンプパッド１４を湿式エッチングする。
【００２４】
段階Ｓ２１はエッチングレジスト１３を絶縁層に形成する段階である。回路パターン１１をエッチングするエッチング液を供給する場合バンプパッド１４が形成される部位の以外の部分までエッチングされて回路パターン１１が損傷される恐れがあるので、図２の（ｃ）に示されているようにバンプパッド１４に該当する部分が露出されるようにエッチングレジスト１３を塗布して回路パターン１１を保護することが好ましい。
【００２５】
段階Ｓ２２はエッチング液を供給し回路パターンをエッチングしてバンプパッドを形成する段階である。回路パターン１１をエッチングできるエッチング液を供給して回路パターン１１を深さ方向に面積を広げてバンプパッド１４を形成する。
【００２６】
段階Ｓ２３はエッチングレジスト１３を除去する段階である。 図２の（ｄ）はエッチング液を供給してバンプパッド１４を形成し、エッチングレジスト１３を除去した状態を示す。
【００２７】
特にバンプパッド１４の配置をジグザグにする場合以外に、一列で配置してもソルダバンプ１５間のソルダブリッジなしにフリップチップ連結用基板を製作することができるという長所がある。図２及び図４はバンプパッド１４が一列に配列された実施例を示す。
【００２８】
バンプパッド１４の形状は図３の（ａ）のように湾曲した形状も可能であり、（ｂ）のように角形状も可能である。 バンプパッド１４の面積を広くエッチングするとしたら、形状は多様にできる。
【００２９】
段階Ｓ２０を行う前にソルダレジスト１２を塗布する段階Ｓ１５をさらに含むことができる。ソルダレジスト１２はソルダが所望する部位にだけ形成されるように、ソルダが形成される部分（ランドあるいはパッドと言う）以外の部分に塗布することであって、窮極的にはソルダブリッジ（Ｓｏｌｄｅｒ Ｂｒｉｄｇｅ）を防止するためである。
【００３０】
図２の（ｂ）を参照すると、ソルダバンプ１５が形成される部位を除いてソルダレジスト１２を塗布した。ソルダレジスト１２が塗布されている部分にはソルダペーストが塗布されないので、所望する部分にだけソルダバンプ１５を形成することができる。
【００３１】
ソルダペーストの量に応じてバンプパッド１４の以外の部分にも塗布されうるが、粘度が大きいソルダペーストを用いたり、ソルダペーストの量を調節してバンプパッド１４の部分にだけソルダバンプ１５が形成されるようにすることができる。
【００３２】
段階Ｓ３０はバンプパッド１４に金属層を積層する段階である。ソルダペーストの溶融時バンプパッドに正確に詰められるように、バンプパッド１４にさらに積層するものであり、一般的に錫（Ｓｎ）、チタン（Ｔｉ）、金（Ａｕ）の中の一つを含む金属を用いる。段階Ｓ３０は本発明の実施例において必ずしも必要な段階ではなく、省略することも可能である。
【００３３】
段階Ｓ４０はソルダバンプ１５を形成する段階である。 バンプパッド１４の上にソルダバンプ１５を形成することであって、スクリーン印刷法などを用いてバンプパッド１４の上にソルダペーストを塗布し、ここに熱を加えて溶融すれば液体状態になりながら表面張力により凝集することになる。この時、バンプパッド１４の面積が広いためバンプパッド１４の上に凸とされたソルダレジストが集まり、ソルダレジストが硬化されながらソルダバンプ１５が形成される。
【００３４】
特に本発明の実施例によれば回路パターン１１の以外に絶縁層１０にソルダペーストが流れ込んでソルダブリッジを防止することができる。図４参照すると絶縁層１０部分にソルダバンプ１５が形成されなかったことが分かる。
【００３５】
本発明によるフリップチップ接続用基板の好ましい実施例を図３及び図４を参照して詳しく説明する。
【００３６】
絶縁層１０と絶縁層１０に陷沒された回路パターン１１、そして、回路パターン１１に凹状にエッチングされて形成されたバンプパッド１４を含むことを特徴とするフリップチップ接続用基板を提供する。
【００３７】
前述したようにソルダペーストを溶融した場合液体の表面張力に応じて面積が広い所に詰められることになり硬化時ソルダバンプ１５が形成される。但し本発明の実施例は面積を広げる方法として既存の広さ方向に面積を増加させることとは異なって深さ方向に面積を増加させることを特徴とする。
【００３８】
バンプパッドの形状は湾曲した溝や角溝など多様にすることができる。バンプパッド１４の上に錫（Ｓｎ）、金（Ａｕ）、チタン（Ｔｉ）などの金属で積層してソルダペーストとの結合力を良くしバンプパッド１４に的確にソルダバンプ１５が形成されるようにすることができる。
【００３９】
前記のような特徴を有するバンプパッド１４の上にソルダバンプ１５を追加すれば、フリップチップを実装できるフリップチップ接続用基板が形成される。回路パターン１１が絶縁層１０に陷沒されており、バンプパッド１４が深さ方向にエッチングされているので、ソルダバンプ１５も図４に示されているように絶縁層１０の部分に形成されなくバンプパッド１５にだけ形成されるようにできる。
【００４０】
前述した実施例以外の多い実施例が本発明の特許請求の範囲内に存在する。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の一実施例によるフリップチップ接続用基板製造方法を示すフローチャートである。
【図２】本発明の一実施例によるフリップチップ接続用基板の製造工程を示す流れ図である。
【図３】本発明の実施例によるバンプパッドの形状を示す斜視図である。
【図４】本発明の一実施例によるフリップチップ接続用基板の平面図である。
【符号の説明】
【００４２】
１０  絶縁層
１１  回路パターン
１２  ソルダレジスト
１３  エッチングレジスト
１４  バンプパッド
１５  ソルダバンプ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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