(57)【要約】【課題】アーム部材の移動の時間が短縮でき、移動時の複雑な操作が回避できる位置決めステージと移送システムを実現する。【解決手段】Ｘ軸方向にスライダを移動する一対のＸ軸リニアモータを平行配置し、一対のＸ軸リニアモータのスライダ間に橋渡ししたブリッジ部材にＹ軸リニアモータを設け、Ｙ軸リニアモータのスライダに搭載したツールを用いて加工対象となるワークに対して所定の処理をする位置決めステージにおいて、一対のＸ軸リニアモータに沿ってＸ軸方向に移動する一対の搬送スライダ部材と、搬送スライダ部材間に橋渡しされた搬送ブリッジ部材と、搬送ブリッジ部材に取り付けられてワークの搬送時にＸ軸方向に移動しステージの外に対してワークの受け渡しを行うＸ軸方向に伸びたアーム部材と、アーム部材にそれぞれ取り付けられてワークの搬送時にワークの上面を吸着する吸着手段とを備えるワーク搬送手段を具備したことを特徴とする位置決めステージである。【選択図】図１
2008114312.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ軸方向にスライダを移動する一対のＸ軸リニアモータを平行配置し、前記一対のＸ軸リニアモータのスライダ間に橋渡ししたブリッジ部材にＹ軸リニアモータを設け、前記Ｙ軸リニアモータのスライダに搭載したツールを用いて加工対象となるワークに対して所定の処理をする位置決めステージにおいて、
前記一対のＸ軸リニアモータに沿ってＸ軸方向に移動する一対の搬送スライダ部材と、
この搬送スライダ部材間に橋渡しされた搬送ブリッジ部材と、
この搬送ブリッジ部材に取り付けられてワークの搬送時にＸ軸方向に移動しステージの外に対してワークの受け渡しを行うＸ軸方向に伸びたアーム部材と、
このアーム部材にそれぞれ取り付けられてワークの搬送時に前記ワークの上面を吸着する吸着手段と
を備えるワーク搬送手段
を具備したことを特徴とする位置決めステージ。
【請求項２】
前記吸着手段はエアを利用して吸着すること
を特徴とする請求項１記載の位置決めステージ。
【請求項３】
前記アーム部材の下面に一面が取り付けられたダンパー部材
を具備したことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の位置決めステージ。
【請求項４】
前記一対の搬送スライダ部材は、前記一対のＸ軸リニアモータにより移動操作されること
を特徴とする請求項１乃至請求項３の何れかに記載の位置決めステージ。
【請求項５】
前記アーム部材は、待機状態では前記ワークの加工処理位置外に配置されること
を特徴とする請求項１乃至請求項４の何れかに記載の位置決めステージ。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５記載の位置決めステージをＸ軸方向に複数個連結されたこと
を特徴とする移送システム。
【請求項７】
前記各位置決めステージは、前記ワークの受け入れ側と受け渡し側が共通のメカニカルインターフェース構造になっていること
を特徴とする請求項６記載の移送システム。
【請求項８】
前記ワーク搬送手段は、上流側の位置決めステージで加工処理済みのワークを、連結された下流側の位置決めステージの加工処理位置に搬送した後に待機位置に戻ること
を特徴とする請求項６又は請求項７記載の移送システム。
【請求項９】
前記ワーク搬送手段は、上流側の位置決めステージで加工処理済みのワークを、連結された下流側の位置決めステージの加工処理位置に搬送し、下流側の位置決めステージで加工処理済みのワークを上流側の位置決めステージの加工処理位置に搬送した後に待機位置に戻ること
を特徴とする請求項６又は請求項７記載の移送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アーム部材の移動の時間が短縮でき、移動時の複雑な操作が回避できる位置決めステージとこれを用いた移送システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
移送システムに関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
【０００３】
【特許文献１】特開昭６３−２１３４９０号公報
【特許文献２】特開２０００−０６５９７０号公報
【０００４】
リニアモータに関連する先行技術文献としては、特許文献１及び特許文献２がある。
図４は、従来の位置決めステージの外観斜視図であり、一対のＸ軸リニアモータを所定距離を隔てて平行に配置し、各Ｘ軸リニアモータのスライダ間をブリッジ部材で橋渡しし、このブリッジ部材上にＹ軸リニアモータを設けた基本構成となっている。
【０００５】
１は位置決めステージの筐体であり、上面のＸ軸方向の両端部にＸ軸方向に平行した突出部１ａ及び１ｂが形成されて断面が凹状とされ、この凹部１ｃ上面に加工対象となるワーク２が所定位置にセットされる。
【０００６】
３１は突出部１ａの上面にステータが設置されたＸ１軸リニアモータ、３２は突出部１ｂの上面にステータが設置されたＸ２軸リニアモータであり、これらリニアモータは、Ｘ軸に平行となる。４１及び４２はこれらリニアモータのステータ上を走行するスライダである。
【０００７】
５はブリッジ部材であり、前記スライダ４１及び４２を橋渡しし、Ｘ軸に直交するＹ軸に平行に配置される。６はブリッジ部材の上面にＹ軸に平行してステータが配置されたＹ軸リニアモータであり、７はこのステータ上を走行するスライダである。
【０００８】
Ｙ軸リニアモータのスライダ７にワーク２に対して所定の処理（液晶、半導体、電子部品等の製作、検査）を実行するためのツール（図示せず）が搭載され、この位置決めステージはこのツールのワーク２に対するＸＹ位置決め制御を行う。位置決めのためのＸＹサーボ系に関しては、特許文献１及び２に開示されている。
【０００９】
以上説明した位置決めステージで加工されるワーク２に対する処理工程が複数ステップに渡る場合には、複数の位置決めステージをＸ軸方向にカスケードに配置し、上流側の位置決めステージより下流側の位置決めステージに加工対象のワーク２を順次受け渡して移送する。
【００１０】
図５は、複数の位置決めステージ間を移送されるワークの移送経路を示す模式図である。上流側のステージ１にセットされたワーク２を、下流のステージ２のワーク２´として移送するためには、ステージ１に形成されたアンローダを介して搬送装置にワークを渡し、この搬送装置がステージ２のローダにワークを渡す手順をとる。
【００１１】
次に、２００５年１０月７日出願の先願に関わる出願番号２００５−２９４５４３号の「位置決めステージ及びこれを用いた移送システム」に付いて説明する。
【００１２】
以下、図面により詳細に説明する。
図６は出願番号２００５−２９４５４３号の発明を適用した位置決めステージの一実施形態を示す外観斜視図である。
図４、図５で説明した従来の位置決めステージと同一要素には同一符号を付して説明を省略する。
以下、図６の特徴部につき説明する。
【００１３】
出願番号２００５−２９４５４３号の発明は、ワークを支持してＸ軸方向に移動し、ステージの外に対してワークの受け渡しを行うワーク搬送手段を、位置決めステージ自身に備える構成を特徴としている。
図６により、ワーク搬送手段の構成を説明する。
【００１４】
図６の発明が適用されるワーク搬送手段の基本構成は、一対のＸ軸リニアモータ３１，３２に沿ってＸ軸方向に移動する一対の搬送スライダ部材１０１，１０２と、この搬送スライダ部材間に橋渡しした搬送ブリッジ部材２００と、この搬送ブリッジ部材に取り付けられてワークの下面を支持するアーム部材５０１，５０２よりなる。
【００１５】
一対の搬送スライダ部材１０１，１０２は、スライダ４１，４２と共通に、一対のＸ軸リニアモータ３１，３２上をＸ軸方向に移動操作される。
これら一対の搬送スライダ部材１０１，１０２間を橋渡しして、搬送ブリッジ部材２００が配置されている。
【００１６】
３００はＹ軸リニアモータであり、搬送ブリッジ部材２００上にＹ軸方向に配置されている。
このＹ軸リニアモータ３００は、ブリッジ部材５に配置されたＹ軸リニアモータ５と同一構造とすることができる。
【００１７】
４０１，４０２は一対のスライダであり、Ｙ軸リニアモータ３００上を夫々が独立してＹ軸方向に移動操作される。
これらスライダも、Ｙ軸リニアモータ５上に配置されたスライダ７と同一構造とすることができる。
【００１８】
５０１，５０２は一対のアーム部材であり、リフトアップされたワーク２の下面を支持して凹部１ｃの面に平行にＸ軸方向に伸び、ステージ外にワーク２を搬出又はステージ外よりワーク２を搬入する。
これら一対のアーム部材５０１，５０２は、連結部材５０１ａ，５０２ａにより、一対のスライダ４０１，４０２に結合され、これら一対のスライダ４０１，４０２により、夫々が独立してＹ軸方向に移動操作される。
【００１９】
これら一対のアーム部材５０１，５０２は、ワーク２の加工処理中は待機状態とされ、ワークの加工処理位置外のＹ軸方向にシフト配置され、搬送ブリッジ部材２００もステージのＸ軸方向の上流側端部にシフト配置され、ワーク２の加工処理の障害とならない位置にセットされる。
【００２０】
これら一対のアーム部材５０１，５０２は、ワーク２の搬出・搬入時には、Ｚ軸方向にリフトアップされたワーク２の下面に生じた空隙をＹ軸方向に移動操作され、ワーク２を下面から支持した状態でＸ軸方向に移動操作される形態となる。
【００２１】
図７乃至図９は、ワーク加工用のブリッジ６及びワーク移送用の搬送ブリッジ部材２００の移動を説明する平面図である。
図７はワーク加工前の待機状態を示す平面図、図８はワーク加工中の状態を示す平面図、図９はワーク移送中の状態を示す平面図である。
【００２２】
図７に示す待機状態において、搬送ブリッジ部材２００は、ステージの上流側端部にシフト配置されている。
６００は吸着盤であり、凹部１ｃ面上にワーク２（図示せず）の形状に合わせてＺ軸方向に所定の高さもって形成されている。
ワーク２は、この吸着盤６００の上面に真空吸着手段（図示せず）により吸着固定されて加工処理される。
【００２３】
７００は、吸着盤６００の下面側空間に複数個配置されたリフトピン手段であり、吸着盤の上面に形成された孔よりＺ軸方向にピンを突出させ、ワーク２をＺ軸方向にリフトアップ又はリフトダウン操作する。
【００２４】
複数個のリフトピン手段７００は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に所定の間隔で格子状に配列されている。Ｘ軸方向の一対の列７００Ａ及び７００Ａ´は、Ｙ軸方向で一番外側の列Ａ及び列Ａ´である。
Ｘ軸方向の一対の列７００Ｂ及び７００Ｂ´は、列Ａ及びＡ´の内側の列Ｂ及び列Ｂ´である。列の数は任意である。
【００２５】
図８に示すワーク加工中の状態では、ブリッジ部材５がＸ軸方向に吸着盤６００に固定されたワーク２（図示せず）上を移動操作され、所定の加工処理を実行する。
加工期間中は、搬送ブリッジ手段２００は、図７の待機位置を維持している。
【００２６】
図９に示すワーク搬送中の状態では、加工処理が終了したブリッジ部材６は、ステージのＸ軸方向最下流位置まで移動してその位置で停止される（図示の状態）。
加工処理が終了すると、ワーク２はリフトピン手段７００によってＺ軸方向にリフトアップされる。
【００２７】
待機状態ではワークの加工処理位置外にＹ軸方向端部に配置されていたアーム部材５０１，５０２は、リフトアップにより生じたワーク２と吸着盤６００の空隙をＹ軸方向中心部に向かって所定位置まで移動操作される。
【００２８】
アーム部材の移動操作が終了すると、ワーク２はリフトピン手段７００によってリフトダウンされ、アーム部材５０１，５０２上に搭載される。搭載が完了すると、搬送ブリッジ手段２００がＸ軸方向（矢印Ｐ）に下流側に移動操作され、ワーク２はアーム部材５０１，５０２上に搭載された状態で図示のようにステージ外に搬出され、次工程の装置に渡される。
【００２９】
図１０乃至図１２は、リフトピン手段７００によるワーク２のリフトアップ及びリフトダウン並びにアーム部材５０１，５０２の移動操作の遷移を説明するイメージ図である。
簡単のため、Ａ列とＢ列のリフトピン各１個及びアーム部材５０１の部分を図示している。
【００３０】
図１０（Ａ）乃至図１０（Ｊ）は、アーム部材５０１，５０２が待機状態にある初期位置からワーク２を支持するまでの遷移を示している。図１０（Ａ）の初期位置では、ワーク２は吸着盤６００上に吸着保持されている。
【００３１】
吸着盤６００の下面空間に設置されたリフトピン手段は、Ｚ軸方向に延びるピン７０１とピン操作部７０２よりなり、この初期位置ではピン７０１は最下部まで引き込まれた状態である。
アーム部材５０１（５０２も同じ、以下同様）は、ワーク２の加工処理位置よりＹ軸方向に外れた位置にある。
【００３２】
図１０（Ｂ）では、リフトピン手段７００の全ピンがＺ軸方向に伸ばされ、吸着が解除されたワーク２を吸着盤６００の面からＺ軸方向にリフトアップする。
図１０（Ｃ）ではＡ列のピンのみが初期位置に引き込まれるので、アーム部材５０１のＢ列までの移動スペースが出現する。
【００３３】
図１０（Ｄ）では、アーム部材５０１がＢ列の手前までＹ軸方向に移動操作される。
図１０（Ｅ）では、引き込まれていたＡ列のピンがワーク２の下面まで伸ばされる。
図１０（Ｆ）では、Ｂ列のピンのみが初期位置に引き込まれるので、アーム部材５０１のＣ列（図示せず）までの移動スペースが出現する。
【００３４】
図１０（Ｇ）では、アーム部材５０１がＣ列の手前までＹ軸方向に移動操作される。
図１０（Ｈ）では、引き込まれていたＢ列のピンがワーク２の下面まで伸ばされる。
図１０（Ｉ）は、以上の動作の繰り返しを表記しており、この操作によりアーム部材５０１を目的のＹ軸方向位置まで順次移動操作する。
【００３５】
図１０（Ｊ）では、アーム部材５０１の移動操作が終了し、リフトピン手段７００の全ピンが初期位置に引き込まれた状態を示しており、ワーク２は移動操作されたアーム部材５０１に支持された状態となる。
この状態で搬送ブリッジ部材２００がＸ軸方向に移動操作されて、アーム部材５０１に支持されたワーク２をステージ外に搬出する。
【００３６】
図１１（Ａ）乃至図１１（Ｊ）は、リフトアップしたワーク２を吸着盤６００上にリフトダウンさせ、アーム部材５０１を待機位置に移動させる遷移を示している。
図１１（Ａ）の初期位置では、リフトピン手段７００の全ピンが初期位置に引き込まれた状態でワーク２はアーム部材５０１で支持されている。
【００３７】
図１１（Ｂ）では、リフトピン手段７００の全ピンがＺ軸方向に伸ばされてワーク２をアーム部材５０１の支持面から更にＺ軸方向にリフトアップする。
図１１（Ｃ）ではＢ列のピンのみが初期位置に引き込まれるので、アーム部材５０１のＡ列までの移動スペースが出現する。
【００３８】
図１１（Ｄ）では、アーム部材５０１がＡ列の手前までＹ軸方向に移動操作される。
図１１（Ｅ）では、引き込まれていたＢ列のピンがワーク２の下面まで伸ばされる。
図１１（Ｆ）では、Ａ列のピンのみが初期位置に引き込まれるので、アーム部材５０１の待機位置までの移動スペースが出現する。
【００３９】
図１１（Ｇ）では、アーム部材５０１が待機位置までＹ軸方向に移動操作される。
図１１（Ｈ）では、引き込まれていたＢ列のピンがワーク２の下面まで伸ばされる。
図１１（Ｉ）は、以上の動作の繰り返しを表記しており、この操作によりアーム部材５０１は待機位置までＹ軸方向位置に移動する。
【００４０】
図１１（Ｊ）では、アーム部材５０１の待機位置への移動操作が終了し、リフトピン手段７００の全ピンが初期位置に引き込まれた状態を示しており、ワーク２は吸着盤６００の上面に保持された状態となる。
【００４１】
図１２（Ａ）乃至（Ｄ）は、連結された移送システムで、上流側のステージから搬出されたワーク２を下流側ステージスの吸着盤上に載せる遷移を示している。
図１２（Ａ）は、上流側ステージのアーム部材５０１によりワーク２が下流側ステージスの吸着盤６００の位置に移送された状態であり、下流側ステージスのリフトピン手段７００の全ピンが初期位置に引き込まれている。
８０１は、下流側ステージのアーム部材を示す。
【００４２】
図１２（Ｂ）では、引き込まれていた全ピンがワーク２の下面まで伸ばされ、ワーク２はアーム部材５０１により離れてＺ軸方向にリフトアップされる。
図１２（Ｃ）では、上流側ステージのアーム部材５０１が上流側ステージに戻される。  図１２（Ｄ）では、リフトピン手段７００の全ピンが初期位置に引き込まれ、ワーク２は吸着盤６００の上面に保持された状態となる。
【００４３】
図６に示した実施形態では、搬送スライダ部材１０１，１０２は、スライダ４１，４２と共通の一対のＸ軸リニアモータ３１，３２を共用して移動操作される構成を示したが、これに限定されるものではない。
【００４４】
図１３は、出願番号２００５−２９４５４３号の発明の他の実施形態を示す位置決めステージの外観斜視図である。
９０１及び９０２は、筐体１の突出部１ａ及び１ｂの内壁部にＸ軸方向に配置された一対のガイドレールであり、搬送スライダ部材１０１，１０２は、これらガイドレールに取り付けられてＸ軸方向に移動操作される。
操作手段は、リニアモータ、ボールネジ、タイミングベルト等を採用することが可能である。
【００４５】
図１４は、図６に示した発明の位置決めステージを、Ｘ軸方向に複数個連結した移送システムの実施形態を示す斜視図である。
この実施形態では、Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３の３ステージを連結した移送システムを示す。
【００４６】
連結した移送システムでは、各ステージは、上流側のステージからのワークの受け入れ側と下流側ステージへのワークの受け渡し側が共通のメカニカルインターフェース構造になっている必要がある。
【００４７】
ワーク２に対する加工処理が、上流側ステージから下流側ステージに順次受け渡される一般的な移送システムでは、各ステージのワーク搬送手段は、上流側ステージで加工処理済みのワークを、連結された下流側ステージの加工処理位置に搬送した後に待機位置に戻る。
【００４８】
下流側のステージで加工処理済みのワークを、再度上流側ステージに戻して再加工する場合には、上流側ステージのワーク搬送手段は、ワーク２を、連結された下流側ステージの加工処理位置に搬送し、下流側ステージで加工処理済みのワーク２を、再度上流側ステージの加工処理位置に搬送した後に待機位置に戻る。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００４９】
このような装置においては、以下の間題点がある。
アーム５０１，５０２上のワーク２を吸着板６００に移動させるためには、ワーク２をアーム５０１，５０２に乗せた状態で、リフトピン７００が上昇し、リフトピン７００でワーク２を保持する。
【００５０】
その後、リフトピン７００を降下させる際に、アーム５０１，５０２がワーク２とリフトピン７００との間にあるので、数箇所のリフトピン７００を細かく制御し、アーム５０１，５０２を退避させるので、時間が掛かっていた。
また、逆に、吸着板上のワーク２をアーム５０１，５０２に乗せて搬送する際に、上記手順の逆を行うために、時間が掛かっていた。
【００５１】
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、ワークをアーム上に乗せるのではなく、アームの下に、エアー吸着により保持することで、リフトピンとワークの間をアームが抜ける時間を短縮できる移送システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００５２】
このような課題を達成するために、本発明では、請求項１の位置決めステージにおいては、
Ｘ軸方向にスライダを移動する一対のＸ軸リニアモータを平行配置し、前記一対のＸ軸リニアモータのスライダ間に橋渡ししたブリッジ部材にＹ軸リニアモータを設け、前記Ｙ軸リニアモータのスライダに搭載したツールを用いて加工対象となるワークに対して所定の処理をする位置決めステージにおいて、前記一対のＸ軸リニアモータに沿ってＸ軸方向に移動する一対の搬送スライダ部材と、この搬送スライダ部材間に橋渡しされた搬送ブリッジ部材と、この搬送ブリッジ部材に取り付けられてワークの搬送時にＸ軸方向に移動しステージの外に対してワークの受け渡しを行うＸ軸方向に伸びたアーム部材と、このアーム部材にそれぞれ取り付けられてワークの搬送時に前記ワークの上面を吸着する吸着手段とを備えるワーク搬送手段を具備したことを特徴とする。
【００５３】
本発明の請求項２の位置決めステージにおいては、請求項１記載の位置決めステージにおいて、
前記吸着手段はエアを利用して吸着することを特徴とする。
【００５４】
本発明の請求項３の位置決めステージにおいては、請求項１又は請求項２記載の位置決めステージにおいて、
前記アーム部材の下面に一面が取り付けられたダンパー部材を具備したことを特徴とする。
【００５５】
本発明の請求項４の位置決めステージにおいては、請求項１乃至請求項３の何れかに記載の位置決めステージにおいて、
前記一対の搬送スライダ部材は、前記一対のＸ軸リニアモータにより移動操作されることを特徴とする。
【００５６】
本発明の請求項５の位置決めステージにおいては、請求項１乃至請求項４の何れかに記載の位置決めステージにおいて、
前記アーム部材は、待機状態では前記ワークの加工処理位置外に配置されることを特徴とする。
【００５７】
本発明の請求項６の移送システムにおいては、
請求項１乃至請求項５記載の位置決めステージをＸ軸方向に複数個連結されたことを特徴とする。
【００５８】
本発明の請求項７の移送システムにおいては、請求項６記載の移送システムにおいて、
前記各位置決めステージは、前記ワークの受け入れ側と受け渡し側が共通のメカニカルインターフェース構造になっていることを特徴とする。
【００５９】
本発明の請求項８の移送システムにおいては、請求項６又は請求項７記載の移送システムにおいて、
前記ワーク搬送手段は、上流側の位置決めステージで加工処理済みのワークを、連結された下流側の位置決めステージの加工処理位置に搬送した後に待機位置に戻ることを特徴とする。
【００６０】
本発明の請求項９の移送システムにおいては、請求項６又は請求項７記載の移送システムにおいて、
前記ワーク搬送手段は、上流側の位置決めステージで加工処理済みのワークを、連結された下流側の位置決めステージの加工処理位置に搬送し、下流側の位置決めステージで加工処理済みのワークを上流側の位置決めステージの加工処理位置に搬送した後に待機位置に戻ることを特徴とする。
【発明の効果】
【００６１】
本発明の請求項１によれば、次のような効果がある。
アーム部材の退避、あるいはアーム部材のワーク受け渡し位置への移動の時間が短縮でき、アーム部材の移動時の複雑な操作が回避できる位置決めステージが得られる。
【００６２】
本発明の請求項２によれば、次のような効果がある。
吸着手段はエアを利用して吸着するようにしたので、エアによる吸着は容易であり安価な位置決めステージが得られる。
【００６３】
本発明の請求項３によれば、次のような効果がある。
アーム部材の下面に一面が取り付けられたダンパー部材が設けられたので、吸着によるワークを傷つける恐れが少ない位置決めステージが得られる。
【００６４】
本発明の請求項４によれば、次のような効果がある。
一対の搬送スライダ部材は、前記一対のＸ軸リニアモータにより移動操作されるので、既設のリニアモータを利用でき安価な位置決めステージが得られる。
【００６５】
本発明の請求項５によれば、次のような効果がある。
アーム部材は、待機状態ではワークの加工処理位置外に配置されるので、ワークの加工処理の邪魔にならず操作の容易な位置決めステージが得られる。
【００６６】
本発明の請求項６によれば、次のような効果がある。
位置決めステージをＸ軸方向に複数個連結したので、複数のワークの加工処理工程を連続して容易に処理出来る移送システムが得られる。
【００６７】
本発明の請求項７によれば、次のような効果がある。
各位置決めステージは、ワークの受け入れ側と受け渡し側とが共通のメカニカルインターフェース構造になっているので、ワークの受け入れと受け渡しとが円滑に出来る移送システムが得られる。
【００６８】
本発明の請求項８によれば、次のような効果がある。
ワーク搬送手段は、上流側の位置決めステージで加工処理済みのワークを、連結された下流側の位置決めステージの加工処理位置に搬送した後に待機位置に戻るので、ワークの受け入れと受け渡しとが確実に出来る移送システムが得られる。
【００６９】
本発明の請求項９によれば、次のような効果がある。
ワーク搬送手段は、上流側の位置決めステージで加工処理済みのワークを、連結された下流側の位置決めステージの加工処理位置に搬送し、下流側の位置決めステージで加工処理済みのワークを上流側の位置決めステージの加工処理位置に搬送した後に待機位置に戻るので、下流側の位置決めステージで加工処理済みのワークを、再度上流側の位置決めステージで加工処理を行うのに便利な移送システムが得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００７０】
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図１は本発明の一実施例の要部斜視構成説明図、図２は図１の側面図、図３は図１の要部構成説明図である。
図において、図６と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図６との相違部分のみ説明する。
【００７１】
図１において、ワーク搬送手段１１は、搬送スライダ部材１１１，１１２と搬送ブリッジ部材１１３とアーム部材１１４，１１５，１１６と吸着手段１１７，１１８，１１９とを備える。
搬送スライダ部材１１１，１１２は、一対のＸ軸リニアモータ３１，３２に沿ってＸ軸方向に移動する。
【００７２】
搬送ブリッジ部材１１３は、搬送スライダ部材１１１，１１２間に橋渡しされている。
Ｘ軸方向に伸びたアーム部材１１４，１１５，１１６は、この搬送ブリッジ部材１１３に取り付けられて、ワーク２の搬送時にＸ軸方向に移動しステージの外に対してワーク２の受け渡しを行う。
【００７３】
吸着手段１１７，１１８，１１９は、アーム部材１１４，１１５，１１６にそれぞれ取り付けられて、ワーク２の搬送時に、ワーク２の上面を吸着する。
この場合は、図３に示す如く、吸着手段１１７，１１８，１１９は、エアチューブ１２１を使用してエアを利用して吸着する。
【００７４】
また、この場合は、ダンパー部材１２２，１２３，１２４は、アーム部材１１４，１１５，１１６の下面に一面が取り付けられている。
また、この場合は、一対の搬送スライダ部材１１１，１１２は、一対のＸ軸リニアモータ３１，３２により移動操作されている。
【００７５】
なお、アーム部材１１４，１１５，１１６は、待機状態では、ワーク２の加工処理位置外に配置されている。
また、前記位置決めステージをＸ軸方向に複数個連結されて移送システムが構成される。
また、位置決めステージは、ワーク２の受け入れ側と受け渡し側が共通のメカニカルインターフェース構造になっている。
【００７６】
また、ワーク搬送手段１１は、上流側の位置決めステージで加工処理済みのワークを、連結された下流側の位置決めステージの加工処理位置に搬送した後に待機位置に戻る。
また、ワーク搬送手段１１は、上流側の位置決めステージで加工処理済みのワークを、連結された下流側の位置決めステージの加工処理位置に搬送し、下流側の位置決めステージで加工処理済みのワークを上流側の位置決めステージの加工処理位置に搬送した後に待機位置に戻ることも出来る。
【００７７】
以上の構成において、吸着板６００にワーク２を移送する際は、アーム部材１１４，１１５，１１６に取り付けられたダンパー部材１２２，１２３，１２４を介してエアー吸着されたワーク２が吸着板６００まで移動し、吸着板６００にあるリフトピン７００が上昇した後、アーム部材１１４，１１５，１１６のエアー吸着を解除し、ワーク２がリフトピン７００に保持される。リフトピン７００が下降する時に、アーム部材１１４，１１５，１１６が退避位置に移動する。
【００７８】
吸着板６００のワーク２を移送する際は、アーム部材１１４，１１５，１１６がワーク２の上方に移動し、リフトピン７００が上昇した後、エアー吸着により、ワーク２がアーム部材１１４，１１５，１１６に保持されて、ワーク２を移送することが出来る。
【００７９】
この結果、
アーム部材１１４，１１５，１１６の退避、あるいはアーム部材１１４，１１５，１１６のワーク２受け渡し位置への移動の時間が短縮でき、アーム部材１１４，１１５，１１６の移動時の複雑な操作が回避できる位置決めステージが得られる。
【００８０】
吸着手段１１７はエアを利用して吸着するようにしたので、エアによる吸着は容易であり安価な位置決めステージが得られる。
【００８１】
アーム部材１１４，１１５，１１６の下面に一面が取り付けられたダンパー部材１２２，１２３，１２４が設けられたので、吸着によるワーク２を傷つける恐れが少ない位置決めステージが得られる。
【００８２】
一対の搬送スライダ部材１１１，１１２は、一対のＸ軸リニアモータ３１，３２により移動操作されるので、既設のリニアモータを利用でき安価な位置決めステージが得られる。
【００８３】
アーム部材１１４，１１５，１１６は、待機状態ではワーク２の加工処理位置外に配置されるので、ワーク２の加工処理の邪魔にならず操作の容易な位置決めステージが得られる。
【００８４】
位置決めステージをＸ軸方向に複数個連結したので、複数のワーク２の加工処理工程を連続して容易に処理出来る移送システムが得られる。
【００８５】
各位置決めステージは、ワーク２の受け入れ側と受け渡し側とが共通のメカニカルインターフェース構造になっているので、ワーク２の受け入れと受け渡しとが円滑に出来る移送システムが得られる。
【００８６】
ワーク搬送手段は、上流側の位置決めステージで加工処理済みのワーク２を、連結された下流側の位置決めステージの加工処理位置に搬送した後に待機位置に戻るので、ワーク２の受け入れと受け渡しとが確実に出来る移送システムが得られる。
【００８７】
ワーク搬送手段は、上流側の位置決めステージで加工処理済みのワーク２を、連結された下流側の位置決めステージの加工処理位置に搬送し、下流側の位置決めステージで加工処理済みのワーク２を上流側の位置決めステージの加工処理位置に搬送した後に待機位置に戻るので、下流側の位置決めステージで加工処理済みのワーク２を、再度上流側の位置決めステージで加工処理を行うのに便利な移送システムが得られる。
【００８８】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００８９】
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図１の側面図である。
【図３】図１の要部構成説明図である。
【図４】従来より一般に使用されている従来例の構成説明図である。
【図５】複数の位置決めステージ間を移送されるワークの移送経路を示す模式図である。
【図６】先願に関わる出願番号２００５−２９４５４３号の構成説明図である。
【図７】ワーク加工用のブリッジ及びワーク搬送ブリッジ部材の移動を説明する平面図である。
【図８】ワーク加工用のブリッジ及びワーク搬送ブリッジ部材の移動を説明する平面図である。
【図９】ワーク加工用のブリッジ及びワーク搬送ブリッジ部材の移動を説明する平面図である。
【図１０】リフトピン手段によるワークのリフトアップ及びリフトダウン並びにアーム部材の移動操作の遷移を説明するイメージ図である。
【図１１】リフトピン手段によるワークのリフトアップ及びリフトダウン並びにアーム部材の移動操作の遷移を説明するイメージ図である。
【図１２】リフトピン手段によるワークのリフトアップ及びリフトダウン並びにアーム部材の移動操作の遷移を説明するイメージ図である。
【図１３】図６の他の実施形態を示す位置決めステージの外観斜視図である。
【図１４】図６の位置決めステージを、Ｘ軸方向に複数個連結した移送システムの実施形態を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００９０】
１        筐体
１ａ      突出部
１ｂ      突出部
１ｃ      凹部
２        ワーク
３１      Ｘ１軸リニアモータ
３２      Ｘ２軸リニアモータ
４１      スライダ
４２      スライダ
５        ブリッジ部材
６        Ｙ軸リニアモータ
７        スライダ
１０１    搬送スライダ部材
１０２    搬送スライダ部材
２００    搬送ブリッジ部材
３００    Ｙ軸リニアモータ
４０１    スライダ
４０２    スライダ
４０３    スライダ
５０１    アーム部材
５０２    アーム部材
６００    吸着板
７００    リフトピン
１１      ワーク搬送手段
１１１    搬送スライダ部材
１１２    搬送スライダ部材
１１３    搬送ブリッジ部材
１１４    アーム部材
１１５    アーム部材
１１６    アーム部材
１１７    吸着手段
１１８    吸着手段
１１９    吸着手段
１２１    エアチューブ
１２２    ダンパー部材
１２３    ダンパー部材
１２４    ダンパー部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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