(57)【要約】【課題】陽極ターゲットの回転機構のボールベアリングにおいて、その固体潤滑材の硬化を防止した回転陽極型Ｘ線管およびその製造方法を提供する。【解決手段】真空外囲器１１内に配置された陽極ターゲット１２と、ナット１３によりその固定された支持シャフト１４、回転子１５および回転シャフト１７等から成る回転体と、ボールベアリング２０（２０ａ）を介在させて上記回転体を回転可能に保持する固定シャフト１８と、真空外囲器１１内において陽極ターゲット１２に対向して配置された陰極フィラメント３２、集束電極３３等の陰極側アッセンブリと、を有する回転陽極型Ｘ線管１０において、ボールベアリング２０（２０ａ）にバルクゲッターボール等のゲッター部材から成る非蒸発型ゲッターが取り付けられている。【選択図】図１
2008210753.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空外囲器と、前記真空外囲器内に配置された陽極ターゲットと、前記陽極ターゲットと一体で回転する回転体と、ボールベアリングを介在させて前記回転体を回転可能に保持する固定体と、を有する回転陽極型Ｘ線管において、
前記ボールベアリングに非蒸発型ゲッターが取り付けられていることを特徴とする回転陽極型Ｘ線管。
【請求項２】
前記非蒸発型ゲッターは、ボール状に形成され、前記ボールベアリングの複数のボールの一部と置換されていることを特徴とする請求項１に記載の回転陽極型Ｘ線管。
【請求項３】
前記非蒸発型ゲッターは、板状に形成され、前記ボールベアリングの内輪あるいは外輪に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の回転陽極型Ｘ線管。
【請求項４】
真空外囲器と、前記真空外囲器内に配置された陽極ターゲットと、前記陽極ターゲットと一体で回転する回転体と、ボールベアリングを介在させて前記回転体を回転可能に保持する固定体と、を有する回転陽極型Ｘ線管において、
前記ボールベアリングの周辺部に非蒸発型ゲッターが取り付けられていることを特徴とする回転陽極型Ｘ線管。
【請求項５】
前記非蒸発型ゲッターは、前記回転体あるいは前記固定体に配置されていることを特徴とする請求項４に記載の回転陽極型Ｘ線管。
【請求項６】
前記非蒸発型ゲッターは、チタン金属あるいはジルコニウム金属を含んで成ることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか一項に記載の回転陽極型Ｘ線管。
【請求項７】
真空外囲器と、前記真空外囲器内に配置された陽極ターゲットと、前記陽極ターゲットと一体で回転する回転体と、ボールベアリングを介して前記回転体を回転可能に保持する固定シャフトと、を有する回転陽極型Ｘ線管の製造方法であって、
前記ボールベアリングあるいはその周辺部に非蒸発型ゲッターを取り付け、前記真空外囲器内を所定の温度に加熱しながら、前記真空外囲器を真空排気すると共に前記非蒸発型ゲッターを活性化させることを特徴とする回転陽極型Ｘ線管の製造方法。
【請求項８】
前記所定の温度が２００〜７００℃の範囲にあることを特徴とする請求項７に記載の回転陽極型Ｘ線管の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、陽極ターゲットの回転機構の軸受に用いられるボールベアリングにおいて、その固体潤滑材の酸化等による回転特性の劣化を防止した回転陽極型Ｘ線管およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
回転陽極型Ｘ線管は、陰極側から放出し加速した電子ビームを陽極側に配置され回転状態にある陽極ターゲットに衝突させ、陽極ターゲットからＸ線を放射させる電子管であって、医療用診断装置等に使用されている。
【０００３】
ここで、従来の回転陽極型Ｘ線管について図６の概略断面図を参照して説明する。回転陽極型Ｘ線管を構成する真空外囲器５１は、例えば外径が大きい陰極側外囲器部５１ａおよびこれよりも外径が小さい陽極側外囲器部５１ｂ等から構成される。そして、陰極側外囲器部５１ａに円盤状の陽極ターゲット５２が配置されている。陽極ターゲット５２は、ナット５３がその先端部に螺合して支持シャフト５４に固定されている。また、筒状の回転子５５がこの支持シャフト５４を固定し陽極側外囲器部５１ｂ内に延在して配置されている。ここで、支持シャフト５４は筒状の回転子５５の蓋部上面に同軸的に固着されている。更に、この筒状の回転子５５には、その蓋部内面に取り付けネジ５６により回転シャフト５７が同軸的に固着されている。そして、これ等の支持シャフト５４、筒状の回転子５５、回転シャフト５７が回転体を構成する。
【０００４】
更に、回転シャフト５７と筒状の回転子５５の間には、固定体である有底筒状の固定シャフト５８が同軸的に嵌合され、それと一体の固定シャフト基部５８ａが例えば金属コバールのような接合体５９を介して陽極側外囲器部５１ｂに真空気密に接合している。そして、この固定シャフト５８と回転シャフト５７の間には、１対のボールベアリング６０，６０が介在し配設されている。ここで、ボールベアリング６０，６０は回転シャフトを取り囲む筒状スペーサ６１により所定間隔に保たれ、固定リング６２によりに固定されるようになっている。
【０００５】
一方、陰極側外囲器部５１ａ内の他端には、ステム６３が配置され、その先端領域において陽極ターゲット５２に対向して、陰極フィラメント６４、集束電極６５等が配置されている。そして、ステム６３にはリード線６６が取り付けられ、その内部のリード端子（不図示）につながっている。また、ステム６３にはその先端が封じられた排気管６７が真空外囲器５１に残存する。この排気管６７は、回転陽極型Ｘ線管を高真空に組み立てる工程において、真空ポンプに接続され真空外囲器５１内を真空引きする際に使用されたものである。
【０００６】
上述したボールベアリング６０は図７に示すような構造になっている。ターゲット側ボールベアリングに例をとると、ボールベアリング６０は、図７から明らかなように、主に、複数のボール６８、内輪６９、外輪７０から構成される。この内輪６９の軸穴７１に回転シャフト５７が嵌着され、外輪７０が固定シャフト５８の筒状内面に嵌着される。ここで、ボール６８の球表面、内輪６９のインナーレース面７２、外輪７０のアウターレース面７３のうち、少なくとも１つに鉛の固体潤滑膜が被覆され回転時の潤滑がなされる。
【０００７】
上記の構成において、回転陽極型Ｘ線管の動作では、その陽極側外囲器部５１ｂの外側の空間に誘導磁界を発生させるステータコイル（不図示）が配置され、このステータコイルが筒状の回転子５５を回転させる共にそれに固定された陽極ターゲット５２を回転させる。そして、この回転する陽極ターゲット５２に対して、陰極フィラメント６４から放出し集束電極６５により加速した電子ビームを衝突させ、陽極ターゲット５２からＸ線を放射させる。
製造工程における真空外囲器の真空引き時に、外囲器内壁や外囲器内部の各部品に吸着されたガスを放出させるために、各部品を高温に加熱しながら、排気する。排気ポンプにより一定の真空度を 確保した後に、排気管を封止する。封止後のさらに外囲器内の真空度を高めるために、バリウムの蒸発型ゲッター膜を外囲器内に被着させたり、陰極近傍にジルコニウムのヒータ埋め込みの非蒸発型ゲッターを備えてこの非蒸発型ゲッターを加熱し管内の残留ガスを吸着する。
これらのゲッターはＸ線管の動作中に発生する管内放出ガスに対しても有効に作用し、真空外囲器内の高真空度を維持する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、脱ガスのための各部品の加熱は、真空引きが完了しない初期の過程から開始される。このため、各部品は酸化性ガスの雰囲気で加熱され、特に酸化しやすいボールベアリングの鉛潤滑膜が編成するという不都合がある。この結果、例えばＸ線ＣＴのような医療用診断装置に使用される回転陽極型Ｘ線管のようにターゲット重量が大きくベアリングの負荷が大きい管球では、とくに回転体の回転特性が劣化し易くなりＸ線管の安定した動作ができなくなる。これは、回転陽極型Ｘ線管のＸ線出力の増加に伴う陽極ターゲットの回転高速化と共に顕在化してくる問題である。
【０００９】
本発明は、上述の事情に鑑みてなされたもので、陽極ターゲットを回転させる回転機構の軸受に用いられるボールベアリングにおいて、その固体潤滑材の劣化を簡便に防止できる回転陽極型Ｘ線管およびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
すなわち、上記目的を達成するために本発明にかかる回転陽極型Ｘ線管は、真空外囲器と、真空外囲器内に配置された陽極ターゲットと、陽極ターゲットと一体で回転する回転体と、ボールベアリングを介在させて回転体を回転可能に保持する固定体と、を有する回転陽極型Ｘ線管において、ボールベアリングに非蒸発型ゲッターが取り付けられている構成になっている。
【００１１】
あるいは、本発明にかかる回転陽極型Ｘ線管は、真空外囲器内に配置された、陽極ターゲットと、陽極ターゲットと一体で回転する回転体と、ボールベアリングを介在させて回転体を回転可能に保持する固定体と、を有する回転陽極型Ｘ線管において、ボールベアリングの周辺部に非蒸発型ゲッターが取り付けられている構成になっている。
【００１２】
さらに、本発明にかかる回転陽極型Ｘ線管の製造方法は、真空外囲器内に配置された陽極ターゲットと、陽極ターゲットと一体で回転する回転体と、ボールベアリングを介して前記回転体を回転可能に保持する固定シャフトと、を有する回転陽極型Ｘ線管の製造方法であって、ボールベアリングあるいはその周辺部に非蒸発型ゲッターを取り付け、真空外囲器内を所定の温度に加熱しながら、真空外囲器を真空排気すると共に非蒸発型ゲッターを活性化させる、という構成になっている。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、陽極ターゲットを回転させる回転機構の軸受に用いられるボールベアリングにおいて、その固体潤滑材の劣化を簡便に防止する回転陽極型Ｘ線管を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明の実施形態について図１ないし図４を参照して説明する。ここで、図１は、回転陽極型Ｘ線管の一例を示す概略構成図である。図２は、回転陽極型Ｘ線管の回転機構の軸受として用いられるボールベアリングを拡大して示す一部截断した斜視図である。図３は、図２の変形例を示すボールベアリングの一部截断した斜視図である。そして、図４は、回転陽極型Ｘ線管の組み立て製造における真空引きの工程を説明するためのフロー図である。以下、互いに同一または類似の部分には共通の符号を付して、重複説明は一部省略する。
【００１５】
図１に示すように、回転陽極型Ｘ線管１０は、ガラスでできた径大の陰極側外囲器部１１ａおよび径小の陽極側外囲器部１１ｂ等から構成された真空外囲器１１を有する。そして、陰極側外囲器部１１ａに円盤状で耐熱性のある例えばＷ（タングステン）、Ｍｏ（モリブデン）等の高融点金属から成る陽極ターゲット１２が配置され、ナット１３の螺合により支持シャフト１４に固定されている。また、回転陽極型Ｘ線管１０の回転体を構成する筒状の回転子１５が支持シャフト１４に例えばろう付けや螺着により同軸的に固着され、この筒状の回転子１５に、取り付けネジ１６により回転シャフト１７が同軸的に固着されている。ここで、支持シャフト１４はモリブデンなどの高融点金属から成り、回転シャフト１７は高熱伝導性を有する例えば銅から成る。そして、これ等も回転体を構成している。
【００１６】
更に、回転シャフト１７と筒状の回転子１５の間に、固定体である有底筒状の固定シャフト１８が同軸的に嵌合され、それと一体の固定シャフト基部１８ａが例えば金属コバールのような接合体１９を介して陽極側外囲器部１１ｂに真空気密に接合している。
【００１７】
そして、図２に拡大して示した構造のボールベアリング２０が，固定シャフト１８と回転シャフト１７の間に介在して、その上下が逆方向に一対のボールベアリング２０，２０として配設されている。この一対のボールベアリング２０，２０は筒状スペーサ２１により所定間隔に保たれ、固定リング２２によりに固定されるようになっている。また、一対のボールベアリング２０，２０は後述するように固定シャフト１８の筒状内面に固定して取り付けられる。
【００１８】
このボールベアリング２０は図２に示すような構造になっている。すなわち、複数（例えば９個）のボール２３、例えば１個のバルクゲッターボール２４、内輪２５および外輪２６から構成される。ここで、ボール２３の球表面、内輪２５のインナーレース面２７、外輪２６のアウターレース面２８のうち、少なくとも１つに固体潤滑材が被覆され回転時の潤滑がなされている。この場合、バルクゲッターボール２４の球表面には上記固体潤滑材が被覆されないことから、内輪２５のインナーレース面２７および外輪２６のアウターレース面２８に固体潤滑材を被覆しておくと好適である。そして、内輪２５の軸穴２９に回転シャフト１７が嵌着され、外輪２６が固定シャフト１８の筒状内面に嵌着され、それぞれに固定される。
【００１９】
ここで、バルクゲッターボール２４の材質は、例えばＴｉ（チタン）、Ｚｒ（ジルコニウム）金属あるいはこれ等の合金が好適である。好適なＴｉ基合金として例えばＴｉ−Ａｌ（アルミニウム）−Ｖ（バナジウム）合金が挙げられる。また、Ｚｒ基合金として例えばＺｒ−Ａｌ合金が挙げられる。その他に使用できる材質としてはＶ（バナジウム）金属あるいはその合金が挙げられる。
【００２０】
後述されるように、バルクゲッターボール２４は適度な加熱により活性状態になり、ボールベアリング近傍の酸化性ガスを吸着し除去する。なお、このバルクゲッターボール２４は、ボール２３と同程度かそれ以下の球径に成形され、ボール２３と同じように内輪２５のインナーレース面２７と外輪２６のアウターレース面２８との間に装着される。
【００２１】
上記内輪２５および外輪２６は、通常のボールベアリング鋼として高い耐摩耗性、耐衝撃性を有する例えば高炭素クロム鋼のような鋼材から成る。そして、ボール２３は、例えば鉄鋼系材を母材とし、その母材の最表面に膜厚が例えば０．０１〜０．５μｍ程度になるＰｂ（鉛）系金属、Ａｇ（銀）系金属のような軟質金属が固体潤滑材として被覆されている。あるいは、この固体潤滑材は、内輪２５のインナーレース面２７あるいは外輪２６のアウターレース面２８に形成される。ここで、母材表面にＣｕ、Ｎｉ（ニッケル）、Ｃｒ（クロム）等から成る中間介在薄膜が形成されていると好適である。
【００２２】
上記ボールベアリングにバルクゲッターを取り付ける態様として種々の変形例が可能である。その他の例について図３を参照して説明する。図３に示すボールベアリング２０ａでは、回転陽極型Ｘ線管の回転機構の固定シャフト１８と共に固定される外輪２６の上端面２６ａに、例えば板状のバルクゲッター３０が例えばろう付けにより取り付けられている。このバルクゲッター３０はその他にペレット状、ドット状など種々の形状が可能である。
【００２３】
ここで、このバルクゲッター３０は、上述したバルクゲッターボール２４と同じ材質で構成されていてもよい。あるいは、上記金属あるいはその合金の粉末を例えばセラミックス等の他物質と焼結して成形した混合物であっても構わない。この場合は、図２に示したボール材のように高い靭性は必要でなく脆性を有する材質であってもよい。
【００２４】
図３では、バルクゲッター３０は外輪２６の上端面２６ａの一部領域に形成されているが、外輪２６の上端面２６ａの全面に接合させ取り付けられてもよい。あるいは、回転する内輪２５の上端面に接合させるようにしてもよい。そして、このようなボールベアリング２０ａは、図１に示すように固定シャフト１８と回転シャフト１７の間に介在して、その上下が逆方向になる一対のボールベアリング２０ａ、２０ａとして配設される。
【００２５】
そして、上記回転陽極型Ｘ線管１０において、陰極側外囲器部１１ａ内の他端にステム３１が取り付けられ、その先端領域において陽極ターゲット１２に対向し回転陽極型Ｘ線管の管軸から偏芯した位置に、陰極フィラメント３２、集束電極３３等が配置されている。また、ステム３１にはリード線３４が真空気密に取り付けられている。更に、ステム３１において先端が封じられた排気管３５が真空外囲器１１に連通する。この排気管３５は、後述されるように回転陽極型Ｘ線管の組み立て製造の真空引きの工程において、真空外囲器１１内の真空引きに使用されその後封止されたものである。
【００２６】
上述した回転陽極型Ｘ線管１０では、その回転機構の軸受に用いられるボールベアリング２０あるいは２０ａに取り付けられるバルクゲッターボール２４あるいはバルクゲッター３０がベアリング近傍のＣＯ２ガス、Ｏ２ガス、Ｈ２Ｏのような酸化性ガスを吸着し除去することから、排気時の上記固体潤滑材の酸化が大幅に低減するようになる。その結果、固体潤滑材が酸化され易い例えばＰｂ系金属から成る場合にあっては、潤滑に寄与しないＰｂＯ（酸化鉛）の形成が防止されるようになる。そして、従来の技術で説明したような回転陽極型Ｘ線管の回転機構における固体潤滑材が減少し、酸化物が混じることによる回転特性の劣化が抑制される。
【００２７】
さらにまた、同様にバルクゲッターボール２４あるいはバルクゲッター３０の酸化性ガスの吸着除去により、ボール２３の鉄鋼系母材中のＦｅ（鉄）表面やその他の中間介在薄膜の合金元素の酸化が大幅に低減するようになる。
【００２８】
このようにして、本実施形態の回転陽極型Ｘ線管１０は、そのＸ線出力を従来に増して高出力化しても、その回転機構のボールベアリングの回転特性は低下せず、安定した動作が可能になる。また、ボールベアリングの寿命が向上するようになる。
【００２９】
上述したようなゲッター部材が取り付けられるボールベアリングとしては、その他にもいわゆるストラトベアリング、アンギュラーコンタクトボールベアリングやローラーベアリングといわれるような種々の構造を含むものとする。いずれにしても固体潤滑材を使用するものであれば、本発明のゲッター部材の取り付けは同様な効果を奏する。
【００３０】
次に、上記回転陽極型Ｘ線管１０の組み立て製造における真空引きの工程について図４を参照して説明する。Ｘ線管内の管内部品の組み立て実装において、図２あるいは図３で説明したような回転陽極型Ｘ線管１０のボールベアリング２０あるいは２０ａにバルクゲッターボール２４あるいはバルクゲッター３０等のゲッター部材が装着される（ステップＳ１）。
【００３１】
図1で示した未だ封止されていない状態の排気管３５がロータリーポンプ、油拡散ポンプ、ターボ分子ポンプ等の真空ポンプに接続されて、例えばＸ線管の陰極側からの真空引きがなされる（ステップＳ２）。
真空引きの過程で、真空外囲器１１内の陽極ターゲット、回転機構等の陽極側アッセンブリ、および陰極フィラメント、集束電極等の陰極側アッセンブリの全ての管内部品が、高周波誘導加熱などの外部からの熱源により２００〜７００℃範囲の温度で加熱処理される。例えば、５００℃程度の温度になるように加熱されると好適である。このＸ線管の加熱により、上記管内部品からの脱ガスに併せて、同時にボールベアリング２０あるいは２０ａに取り付けたバルクゲッターボール２４あるいはバルクゲッター３０が加熱されて活性化が行われる（ステップＳ３）。
このようにして、管内部品のいわゆる脱ガスが真空ポンプで外部に排出される。
【００３２】
上述したように、Ｘ線管の加熱処理により、管内部品の脱ガスに併せて、ボールベアリング２０あるいは２０ａに取り付けたバルクゲッターボール２４あるいはバルクゲッター３０は温度が上昇し活性状態になる。そして、この活性化した上記ゲッター部材は、真空引きの初期の段階において特にボールベアリング近傍に存在する脱ガスを含んだ酸化性ガスを吸着しその量を急減させる。このために、ボールベアリングの固体潤滑材の酸化あるいは酸素性ガスの吸蔵が大幅に低減する。
【００３３】
上記ゲッター部材の材質が上述したＴｉあるいはＺｒの金属、それ等の合金あるいはセラミックス等の他の物質との混合物の場合に、上述したように加熱処理は２００〜７００℃の温度範囲で行うことが好ましい。加熱温度が２００℃より低下すると、真空外囲器１１内に収納した管内部品の脱ガスが不充分となり、その所期の真空度が充分に得られ難くなる。一方、加熱温度が７００℃を超えてくると上記ゲッター部材に吸着する酸化性ガスの排出が起こり始めることから、そのゲッター効果が低下するようになる。そして、上記加熱処理の温度は３００〜６００℃の範囲にすると更に好適になる。
【００３４】
このようにして、真空外囲器１１内が所期の真空度になると、例えばガラス材から成る排気管３５はその所定の位置が溶融によりチップオフされ、Ｘ線管の真空封止が行われる（ステップＳ４）。
【００３５】
それ以後の工程において、従来の技術で説明したように、真空外囲器１１内の陰極側に予め配設していたフラッシュゲッターあるいはバルクゲッターにより真空外囲器１１内を所要の真空度にする。ここで、フラッシュゲッターとしては例えばＢａ（バリウム）あるいはＢａ合金が使用される。そして、バルクゲッターとしてはＺｒのセラミックスとの焼結体が用いられる。
【００３６】
以上のような真空引き工程を経て回転陽極型Ｘ線管１０が組み立て製造される。本実施形態の製造方法では、上述したＸ線管の加熱処理において、その管内部品の従来の脱ガスに併せてボールベアリング２０，２０ａに取り付けたゲッター部材により酸化性ガスの吸着除去が行われる。このようにすることにより、極めて簡便にボールベアリング２０，２０ａの固体潤滑材の酸化に伴う劣化を防止できて、従来の技術で生じていた問題は解消される。
【００３７】
次に、本発明の他の実施形態について図５を参照して説明する。この実施形態は、ゲッター部材がボールベアリングでなくその周辺部に取り付けられることを特徴としている。ここで、図５は他の実施形態に係る回転陽極型Ｘ線管を示す概略構成図である。
【００３８】
図５に示すように、上述の実施形態で説明したのと同様に、回転陽極型Ｘ線管４０は、陰極側外囲器部１１ａおよび陽極側外囲器部１１ｂ等から構成された真空外囲器１１を有している。そして、この真空外囲器１１内には上述したような陽極側アッセンブリ、陰極側アッセンブリ等の全ての管内部品が収納されている。しかしこの場合には、回転シャフト１７と固定シャフト１８には、従来の技術で説明した一対のボールベアリング６０，６０が介在して配置される。
【００３９】
そして、固定シャフト１８の筒状内面に例えば筒状のバルクゲッター３６が張り付けて取り付けられている。ここで、バルクゲッター３６の材質は上述したＴｉ、Ｚｒ、Ｖ等の金属あるいはこれ等の金属を含む合金から成る。あるいは、これ等の粉末を例えばセラミックスと共に焼結し成形したような混合物であってもよい。ここで、バルクゲッター３６は、回転陽極型Ｘ線管４０内の上述した真空引きの工程における加熱で剥離しない充分な接着により取り付けられている。
【００４０】
なお、回転陽極型Ｘ線管４０のその他の構造は図１で示したものと略同様になっている。また、回転陽極型Ｘ線管４０の組み立て製造における真空ポンプによる真空外囲器１１内の真空引きは、回転陽極型Ｘ線管１０の製造方法において図４を参照し説明したのと同じである。
【００４１】
その他に、上記バルクゲッター３６のボールベアリング周辺への取り付けは種々の態様が考えられる。このバルクゲッター３６は筒状に限らず、例えばペレット状、ドット状など種々の形状であってもよい。また、筒状内面の一部分に張り付けられて取り付けてもよい。あるいは、回転シャフト１７、筒状スペーサ２１又は固定リング２２の表面に取り付けてもよい。この場合、これ等は高速回転することから、ゲッター材が例えばＣｕあるいは真鍮から成る回転シャフト１７等にろう付けにより接合されると好適である。このような接合により、上記高速回転においてバルクゲッターが回転シャフト１７等から脱離することは生じない。このように、ゲッター材をボールベアリングの周辺部に取り付ける場合であっても上述の実施形態で説明したのと略同様な効果が生じる。
【００４２】
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、上述した実施形態は本発明を限定するものでない。当業者にあっては、具体的な実施態様において本発明の技術思想および技術範囲から逸脱せずに種々の変形・変更を加えることが可能である。たとえば、回転陽極型Ｘ線管の回転機構におけるボールベアリングに図２および図３で示したバルクゲッターボール２４およびバルクゲッター３０の両方のゲッター部材を取り付けてもよい。あるいは、ボールベアリングに上記ゲッター部材と共にバルクゲッター３６を併設した構造であってもよい。
また、高温になりやすいターゲット側のボールベアリングのみにゲッター材を取付けることもできる。
【００４３】
また、回転陽極型Ｘ線管には種々の構造体が存在するが、その回転機構において軸受にボールベアリングが用いられる構造体であれば、本発明は実施の形態で説明したのと同様にして適用できることに触れておく。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の実施形態に係る回転陽極型Ｘ線管の一例を示す概略構成図である。
【図２】本発明の実施形態に係る回転陽極型Ｘ線管の回転機構における軸受を拡大して示す一部截断した斜視図である。
【図３】本発明の実施形態の変形例を示すボールベアリングの一部截断した斜視図である。
【図４】本発明の実施形態の回転陽極型Ｘ線管の組み立て製造における真空引き工程を説明するためのフロー図である。
【図５】本発明の他の実施形態に係る回転陽極型Ｘ線管を示す概略構成図である。
【図６】従来の技術の回転陽極型Ｘ線管を示す概略構成図である。
【図７】従来の技術の回転陽極型Ｘ線管の回転機構における軸受を拡大して示す一部截断した斜視図である。
【符号の説明】
【００４５】
１１…真空外囲器，１１ａ…陰極側外囲器部，１１ｂ…陽極側外囲器部，１２…陽極ターゲット，１３…ナット，１４…支持シャフト，１５…回転子，１６…取り付けネジ，１７…回転シャフト，１８…固定シャフト，１８ａ…固定シャフト基部，１９…接合体，２０，２０ａ，６０…ボールベアリング，２１…筒状スペーサ，２２…固定リング，２３…ボール，２４…バルクゲッターボール，２５…内輪，２６…外輪，２６ａ…上端面，２７…インナーレース面，２８…アウターレース面，２９…軸穴，３０，３６…バルクゲッター，３１…ステム，３２…陰極フィラメント，３３…集束電極，３４…リード線，３５…排気管
【図１】
2008210753.tif 000003
【図２】
2008210753.tif 000004
【図３】
2008210753.tif 000005
【図４】
2008210753.tif 000006
【図５】
2008210753.tif 000007
【図６】
2008210753.tif 000008
【図７】
2008210753.tif 000009