(57)【要約】【課題】流体の淀み部分が発生しないように、超音波トランスジューサを流体の流れに平行に配置し、超音波トランスジューサから発射される超音波の位相を制御し、超音波トランスジューサの放射面から鋭角（９０°未満）な方向へ超音波を発射できるようにした超音波流量計を提供する。【解決手段】超音波流量計は、被測定流体が流れる流路３０と、流路３０を挟んで上流側と下流側に配置された一対の超音波素子１０，２０と、一対の超音波素子１０，２０により送受信される超音波の伝播時間に基づいて被測定流体の流量を演算する流量演算部１５とを備える。一対の超音波素子１０，２０は、各超音波送受信面（音響整合層１３，２３）が流路３０の壁面と平行に配置され、超音波流量計は、一対の超音波素子１０，２０の厚み方向に分割されたブロック毎に超音波の送信あるいは受信を遅延させる遅延回路１４，２４を備える。【選択図】図３
2008267848.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定流体が流れる流路と、該流路を挟んで上流側と下流側に配置された一対の超音波素子と、該一対の超音波素子により送受信される超音波の伝播時間に基づいて前記被測定流体の流量を演算する流量演算手段とを備えた超音波流量計であって、
前記一対の超音波素子は、該一対の超音波素子の各超音波送受信面が前記流路の壁面と平行に配置され、
前記超音波流量計は、前記一対の超音波素子の厚み方向に分割されたブロック毎に超音波の送信あるいは受信を遅延させる遅延手段を備えることを特徴とする超音波流量計。
【請求項２】
請求項１に記載の超音波流量計において、前記遅延手段は、前記一対の超音波素子により超音波を送受信する際に、送信側の超音波素子の分割されたブロックを順番に遅れて駆動させると共に、受信側の超音波素子の分割されたブロックが前記送信側の超音波素子と同じ遅延時間で順番に遅れて受信するようにしたことを特徴とする超音波流量計。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の超音波流量計において、前記一対の超音波素子それぞれは、一つの音響整合層に対して一つの圧電素子が接着され、該圧電素子の厚み方向に一つ以上のスリットが形成されていることを特徴とする超音波流量計。
【請求項４】
請求項１又は２に記載の超音波流量計において、前記一対の超音波素子それぞれは、一つの音響整合層に対して独立した複数の圧電素子が接着され、一体的に構成されていることを特徴とする超音波流量計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超音波流量計、より詳細には、超音波を利用した流体の流速や流量計測、微少漏洩の検出等に用いる超音波流量計に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、管路を流れる気体の流速を計測するには、図６に示すように、流れに対向させて、上流側及び下流側に、少なくとも１対の超音波トランスジューサ１００、２００を流れに沿って一定の傾きθを持たせて配置していた（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このような超音波流量計の流量算出方法として、流路内部を流れる被測定流体の流速をＶ、流体中の超音波の速度をＣ、流体の流れる方向と超音波パルスの伝搬方向の角度をθとする。更に、上流側に配置された超音波トランスジューサ１００を送信器、下流側に配置された超音波トランスジューサ２００を受信器として用いたとき、超音波トランスジューサ１００から出た超音波パルスが超音波素子間（超音波トランスジューサ１００と２００の間）を伝搬する時間をＴ１とすると、次式が成立する。
１／Ｔ１＝（Ｃ＋Ｖｃｏｓθ）／Ｌ      …式（１）
逆に、上流側に配置された超音波トランスジューサ１００を受信器、下流側に配置された超音波トランスジューサ２００を送信器として用いたとき、超音波素子間（超音波トランスジューサ１００と２００の間）を伝搬する時間をＴ２とすると、次式が成立する。
１／Ｔ２＝（Ｃ−Ｖｃｏｓθ）／Ｌ      …式（２）
【０００４】
上記の伝播時間Ｔ１及びＴ２より被測定流体の流速Ｖは次式より求まる。
２Ｖｃｏｓθ／Ｌ＝（１／Ｔ１）−（１／Ｔ２）
Ｖ＝Ｌ／２ｃｏｓθ＊（（１／Ｔ１）−（１／Ｔ２））    …式（３）
そして、この求めた流速Ｖと流路の断面積Ｓとにより流量Ｑが次式より算出できる。
Ｑ＝Ｖ＊Ｓ      …式（４）
【特許文献１】特許第３８２４２３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このような配置構成では、図６に示すように、必ず流体が淀む箇所（図中の流体淀み部１０１，２０１）が存在し、この影響により、流速精度が低下してしまう。また流量によっても、この流体淀み部１０１，２０１へ流れ込む状態が変化するので、安定に正確な流速が得られないという課題があった。
【０００６】
また、この流体淀み部１０１，２０１への影響を低減すべく手段として、超音波計測に影響の出ないレベルで、メッシュ状の部材を配置し、流れ込みを低減する考えがあるが、この手法の場合、新たにメッシュ部材３００を設ける必要があり、コスト高になる上に、組付けによる特性差が懸念される。
また、流量が大きくなると、流れの乱れが増大し、この増大した渦により超音波が反射あるいは屈折されて超音波の受信レベルが低下するため、超音波送受信における駆動入力を低減し難いという課題があった。
【０００７】
本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされたものであり、流体の淀み部分が発生しないように、超音波トランスジューサを流体の流れに平行に配置し、超音波トランスジューサから発射される超音波の位相を制御し、超音波トランスジューサの放射面から鋭角（９０°未満）な方向へ超音波を発射できるようにした超音波流量計を提供すること、を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、請求項１の発明は、被測定流体が流れる流路と、該流路を挟んで上流側と下流側に配置された一対の超音波素子と、該一対の超音波素子により送受信される超音波の伝播時間に基づいて前記被測定流体の流量を演算する流量演算手段とを備えた超音波流量計であって、前記一対の超音波素子は、該一対の超音波素子の各超音波送受信面が前記流路の壁面と平行に配置され、前記超音波流量計は、前記一対の超音波素子の厚み方向に分割されたブロック毎に超音波の送信あるいは受信を遅延させる遅延手段を備えることを特徴としたものである。
【０００９】
請求項２の発明は、請求項１の発明において、前記遅延手段は、前記一対の超音波素子により超音波を送受信する際に、送信側の超音波素子の分割されたブロックを順番に遅れて駆動させると共に、受信側の超音波素子の分割されたブロックが前記送信側の超音波素子と同じ遅延時間で順番に遅れて受信するようにしたことを特徴としたものである。
【００１０】
請求項３の発明は、請求項１又は２の発明において、前記一対の超音波素子それぞれは、一つの音響整合層に対して一つの圧電素子が接着され、該圧電素子の厚み方向に一つ以上のスリットが形成されていることを特徴としたものである。
【００１１】
請求項４の発明は、請求項１又は２の発明において、前記一対の超音波素子それぞれは、一つの音響整合層に対して独立した複数の圧電素子が接着され、一体的に構成されていることを特徴としたものである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、流体の淀み部分が発生しないように、超音波トランスジューサを流体の流れに平行に配置し、超音波トランスジューサから発射される超音波の位相を制御し、超音波トランスジューサの放射面から鋭角（９０°未満）な方向へ超音波を発射できるため、流れに対して斜角に超音波ビームを放射でき、流れを乱すこと無く、また、超音波の送受信効率を低減させること無く、流体の流速を算出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、添付図面を参照しながら、本発明の超音波流量計に係る好適な実施の形態について説明する。なお、各実施形態において同じ機能を有する部分には同じ符号を付し、繰り返しの説明は省略する。
【００１４】
（第１の実施形態）
図１は、本発明の超音波流量計が備える超音波素子の配置例を示す図である。図中、１０は超音波素子（以下、超音波トランスジューサという）で、該超音波トランスジューサ１０は、パッキング（ダンパー）部材１１、圧電素子１２、及び音響整合層１３を備える。また、超音波トランスジューサ１０の対となる超音波トランスジューサ２０は、同様に、パッキング（ダンパー）部材２１、圧電素子２２、及び音響整合層２３を備える。なお、本例の場合、流路３０の中を、被測定流体が図の矢印の方向に向かって流速Ｖで流れているものとする。
【００１５】
一対の超音波トランスジューサ１０と超音波トランスジューサ２０は、被測定流体が流れる流路３０を挟んで上流側と下流側に配置され、さらに、超音波トランスジューサ１０と超音波トランスジューサ２０の各超音波送受信面（すなわち、音響整合層１３，２３）が流路３０の壁面と平行に配置される。換言すれば、超音波トランスジューサ１０と超音波トランスジューサ２０の各超音波送受信面は、流路３０を流れる被測定流体の流れと平行になる位置に配置され、流路３０の壁面の一部を構成している。このように、上流側の超音波トランスジューサ１０及び下流側の超音波トランスジューサ２０の各超音波送受信面を、被測定流体の流れの向きと平行になるように配置することで、前述の図６に示した流体淀み部（三角領域）の発生を防止することができる。
【００１６】
図１において、一対の超音波トランスジューサ間の伝播長をＬ、放射ビーム指向性角度をθとすると、流速Ｖは前述の式（３）から求められる。例えば、超音波の送信時、遅延時間ｔｄ，２ｔｄ遅れて送信される隣接圧電素子の位置に対して、超音波の受信時、これと等しい遅延時間だけ遅れて受信される。伝播時間は遅延分のみであり、伝播長Ｌでの音波の最短時間はどれも等しくなる。
【００１７】
一対の超音波トランスジューサから位相制御された超音波がその配列方向に対して一定の角度θの方向に指向性を偏らせる同位相の超音波は、擬似的に一定の角度θで取り付けられた場合の扱いと同様となる。駆動時の遅延時間ｔｄ，２ｔｄだけ遅れて伝播する超音波は、受信時にこの遅れ分を考慮した等しい遅延で合成され、あたかも同一の超音波が遅延時間の分がキャンセルされて同時に到着したものとして扱うことができる。
【００１８】
図２は、本発明の第１の実施形態に係る超音波トランスジューサが備える圧電素子の構成例を示す図である。図２（Ａ）は一体型圧電素子を示し、図２（Ｂ）は一体型圧電素子と音響整合層とを接着して貼り合わせた状態を示す。図２（Ａ），（Ｂ）に示すように、角型形状の圧電素子１２に、その厚み方向に一つ以上のスリットＳを形成した構造とする。本例の場合、２つのスリットＳにより、圧電素子１２は３つのブロックに分割され、各ブロック１，２，３は、それぞれがほぼ独立に厚み方向へ縦振動する。これにより、各々のブロック１，２，３からの振動が、共通の音響整合層１３へと伝播し、各々のブロック１，２，３のほぼ中央の位置より、独立に超音波を放射することができる。
【００１９】
図３は、本発明の第１の実施形態に係る超音波流量計の構成例を示す図である。図中、超音波流量計は、超音波トランスジューサ１０と、超音波トランスジューサ１０と接続され、圧電素子１２を構成するブロック１，２，３毎に超音波の送信あるいは受信を遅延させる遅延回路１４と、超音波トランスジューサ２０と、超音波トランスジューサ２０と接続され、圧電素子２２を構成するブロック１′，２′，３′毎に超音波の送信あるいは受信を遅延させる遅延回路２４と、遅延回路１４と遅延回路２４とに接続され、超音波トランスジューサ１０，２０により送受信される超音波の伝播時間に基づいて被測定流体の流量を演算する本発明の流量演算手段に相当する流量演算部１５と、を備える。
【００２０】
遅延回路１４，２４は、本発明の遅延手段に相当し、一対の超音波トランスジューサ１０，２０により超音波を送受信する際に、例えば、送信側の超音波トランスジューサ１０の分割されたブロック１，２，３を順番に遅れて駆動させて超音波を送信し、受信側の超音波トランスジューサ２０の分割されたブロック１′，２′，３′が送信側の超音波トランスジューサ１０と同じ遅延時間で順番に遅れて受信するように構成される。
【００２１】
すなわち、図３に示すように、圧電素子１２は３つのブロック１，２，３に分割され、それぞれのブロック１，２，３は、外部よりそれぞれ独立に遅延回路１４（遅延回路ａ，ｂ，ｃ）に接続される。具体的には、上流側の超音波トランスジューサ１０を構成する圧電ブロック１には遅延回路ａが、圧電ブロック２には遅延回路ｂが、圧電ブロック３には遅延回路ｃが接続される。そして、各圧電ブロック１，２，３から超音波を送信する際に、まず、圧電ブロック１に外部より駆動電圧が印加され、その後一定時間ｔｄだけ遅れて隣接する圧電ブロック２が駆動され、更に一定時間ｔｄ′（＝２ｔｄ）だけ遅れてその隣の圧電ブロック３が駆動される。
【００２２】
一方、下流側の超音波トランスジューサ２０においては、圧電ブロック１′には遅延回路ａ′が、圧電ブロック２′には遅延回路ｂ′が、圧電ブロック３′には遅延回路ｃ′が接続される。そして、超音波トランスジューサ１０からの超音波は圧電ブロック１′で最初に受信され、その後、遅延回路ｂ′により一定の遅延時間ｔｄだけ遅れて圧電ブロック２′で受信され、最後に、遅延回路ｃ′により一定の遅延時間ｔｄ′（＝２ｔｄ）だけ遅れて圧電ブロック３′で受信される。各圧電ブロック１′，２′，３′で受信された超音波信号はそれぞれ独立に加算され合成される。
【００２３】
このように、超音波トランスジューサの超音波放射面を、被測定流体の流れに対して傾けること無く配置させられるので、流体の淀み部（三角領域）を無くすことが可能となり、流量による流れ込みの影響を無くして、計測誤差を著しく低減できるため、高精度で安定した流速計測が可能となる。
【００２４】
また、圧電素子の厚み方向へスリットを形成することにより、圧電素子が複数個に分割され、隣接する互いの振動がほぼ分離出来るため、それぞれの圧電素子がほぼ等しく厚み振動を行うことが可能となり、効率良く複数の超音波を独立に空間へと放射することができる。
【００２５】
また、スリットによって複数に分割された圧電素子を、それぞれ独立に位相をずらして振動させることで、位相的にずれた超音波信号を、ターゲットとする位置的にずれた受信側超音波トランスジューサの方向へ集中し偏らせることが可能となり、互いの超音波放射面が平行関係であっても効率良く超音波の送信を行うことができる。
【００２６】
また、上記により超音波トランスジューサの配置を流体の流れに対して平行にできるため、流体淀み部（三角領域）を無くして、流量による計測誤差を著しく低減することができ、高精度で安定した流速計測が可能となる。
【００２７】
ここで、図２に示すように、一対の超音波トランスジューサ１０が備える圧電素子１２は、一定の深さで厚み方向に設けた２つのスリットにより互いに３つのブロックに分離された一体型の圧電素子として構成される。スリットが形成された面には一定の厚みを有する音響整合層１３が接着され、それとは反対側の面には図示しないダンパー（パッキング）部材が充填される。なお、超音波トランスジューサ１０と対となる超音波トランスジューサ２０についても同様に構成されることは言うまでもない。
【００２８】
そして図３に示すように、流路３０の上流側及び下流側に取り付けられる超音波トランスジューサ１０，２０は、音響整合層１３，２３の超音波放射面が被測定流体の流れと平行な向きに取り付けられ、さらに、互いに流れ方向に一定の距離だけ隔てて対向する位置に配置される。また、一対の超音波トランスジューサ１０，２０は、それぞれ３つのブロックに分割された圧電素子１２，２２を備え、この圧電素子１２，２２には、背面のダンパー部材１１，２１を介して、外部よりそれぞれ独立に遅延回路１４，２４が接続されている。
【００２９】
前述したように、上流側の超音波トランスジューサ１０の場合、圧電素子１２を構成する圧電ブロック１には遅延回路ａが、圧電ブロック２には遅延回路ｂが、圧電ブロック３には遅延回路ｃが接続される。各圧電ブロック１，２，３から超音波を送信する際に、圧電ブロック１に外部より駆動電圧が印加され、その後一定時間ｔｄだけ遅れて隣接する圧電ブロック２が駆動され、更に一定の時間ｔｄ′（＝２ｔｄ）だけ遅れて、その隣の圧電ブロック３が駆動される。
【００３０】
これにより、圧電ブロック１から送信された超音波の波面ｗ１、その後遅れて伝播される圧電ブロック２による波面ｗ２、そして更に遅れて伝播される圧電ブロック３による波面ｗ３が、それぞれ合成され同位相の波面ｗとなって、時間的に遅れ、下流側の超音波トランスジューサ２０が備える音響整合層２３の超音波受信面に到達する。
【００３１】
下流側の超音波トランスジューサ２０の場合、音響整合層２３を伝播してきた超音波を受信するために圧電ブロック１′，２′，３′が設けられ、圧電ブロック１′には遅延回路ａ′が、圧電ブロック２′には遅延回路ｂ′が、圧電ブロック３′には遅延回路ｃ′が接続される。ここでは、まず、圧電ブロック１′で最初に受信され、その後、遅延回路ｂ′により一定の遅延時間ｔｄだけ遅れて圧電ブロック２′で受信され、最後に遅延回路ｃ′により一定の遅延時間ｔｄ′（＝２ｔｄ）だけ遅れて圧電ブロック３′で受信される。そして、これらの超音波信号はそれぞれ別々に電気的に加算される。これにより、上流側の超音波トランスジューサ１０から送信され、下流側の超音波トランスジューサ２０の各圧電ブロックで受信された超音波信号を、一定の時間間隔で合成することができる。
【００３２】
次に、上記動作（動作１）と逆の動作（動作２）を行う。すなわち、動作２は、下流側の超音波トランスジューサ２０から超音波を送信し、上流側の超音波トランスジューサ１０で受信する動作となる。そして、これらの動作１，２を交互に繰り返し反復させることにより、流路３０を流れる被測定流体の流速を計測し、演算することで流量を算出することができる。
【００３３】
なお、上述のように、動作１，２を交互に繰り返す動作以外でも、例えば、動作１を複数回繰り返した後、反対の動作２を複数回繰り返すようなセットで、超音波の送受信を行うようにしてもよい。
【００３４】
このように、スリットによって複数に分割された圧電素子を、それぞれ独立に位相をずらして振動させることで、位相的にずれた超音波信号を、ターゲットとなる位置的にずれた受信側の超音波トランスジューサの方向へ集中し偏らせることが可能となり、同時に超音波の受信時においても、位相をずらしながら遅延された超音波を受信することで、送受信効率を高めることが可能となり、高精度で安定した流速計測を行うことができる。
また、個々の超音波を集中させることで、音圧を高めることができるため、消費電力の低減を図ることができる。
【００３５】
（第２の実施形態）
図４は、本発明の第２の実施形態に係る超音波トランスジューサが備える圧電素子の構成例を示す図である。図４（Ａ）は分離型圧電素子を示し、図４（Ｂ）は分離型圧電素子と音響整合層とを接着して貼り合わせ一体的に構成した状態を示す。図４（Ａ），（Ｂ）に示すように、空間的に完全に３つに分離された複数の圧電素子１，２，３は、その上面に一定の厚みを有する音響整合層１３が接着され、それとは反対側の面に図示しないダンパー材を充填して構成される。
【００３６】
本実施形態の場合、圧電素子１２は、元々分離されている３つの角型圧電素子１，２，３により３つのブロックに分割され、各ブロック１，２，３はそれぞれが独立に厚み方向へ縦振動する。これにより、図２の構成と同様に、各々のブロック１，２，３からの振動が、共通の音響整合層１３へと伝播し、各々のブロック１，２，３のほぼ中央の位置より、独立に超音波を放射することができる。なお、超音波トランスジューサ１０と対となる超音波トランスジューサ２０についても同様に構成されることは言うまでもない。
【００３７】
図５は、本発明の第２の実施形態に係る超音波流量計の構成例を示す図である。図中、超音波流量計は、図３の構成と同様に、超音波トランスジューサ１０、遅延回路１４、超音波トランスジューサ２０、遅延回路２４、及び流量演算部１５を備える。本実施形態の場合、一対の超音波トランスジューサそれぞれが、一つの音響整合層に対して独立した複数の圧電素子が接着され、一体的に構成されている。これ以外の基本的な構成は第１の実施形態の構成と同様である。
【００３８】
すなわち、流路３０の上流側及び下流側に取り付けられる超音波トランスジューサ１０，２０は、音響整合層１３，２３の超音波放射面が被測定流体の流れと平行な向きに取り付けられ、さらに、互いに流れ方向に一定の距離だけ隔てて対向する位置に配置される。また、一対の超音波トランスジューサ１０，２０は、それぞれ３つのブロックで形成された圧電素子１２，２２を備え、この圧電素子１２，２２には、背面のダンパー部材１１，２１を介して、外部よりそれぞれ独立に遅延回路１４，２４が接続されている。
【００３９】
上流側の超音波トランスジューサ１０の場合、圧電素子１２を構成する圧電ブロック１には遅延回路ａが、圧電ブロック２には遅延回路ｂが、圧電ブロック３には遅延回路ｃが接続される。各圧電ブロック１，２，３から超音波を送信する際に、圧電ブロック１に外部より駆動電圧が印加され、その後一定時間ｔｄだけ遅れて隣接する圧電ブロック２が駆動され、更に一定の時間ｔｄ′（＝２ｔｄ）だけ遅れて、その隣の圧電ブロック３が駆動される。
【００４０】
これにより、圧電ブロック１から送信された超音波の波面ｗ１、その後遅れて伝播される圧電ブロック２による波面ｗ２、そして更に遅れて伝播される圧電ブロック３による波面ｗ３が、それぞれ合成され同位相の波面ｗとなって、時間的に遅れ、下流側の超音波トランスジューサ２０が備える音響整合層２３の超音波受信面に到達する。
【００４１】
下流側の超音波トランスジューサ２０の場合、音響整合層２３を伝播してきた超音波を受信するために圧電ブロック１′，２′，３′が設けられ、圧電ブロック１′には遅延回路ａ′が、圧電ブロック２′には遅延回路ｂ′が、圧電ブロック３′には遅延回路ｃ′が接続される。ここでは、まず、圧電ブロック１′で最初に受信され、その後、遅延回路ｂ′により一定の遅延時間ｔｄだけ遅れて圧電ブロック２′で受信され、最後に遅延回路ｃ′により一定の遅延時間ｔｄ′（＝２ｔｄ）だけ遅れて圧電ブロック３′で受信される。そして、これらの超音波信号はそれぞれ別々に電気的に加算される。これにより、上流側の超音波トランスジューサ１０から送信され、下流側の超音波トランスジューサ２０の各圧電ブロックで受信された超音波信号を、一定の時間間隔で合成することができる。
【００４２】
次に、上記動作（動作１）と逆の動作（動作２）を行う。すなわち、動作２は、下流側の超音波トランスジューサ２０から超音波を送信し、上流側の超音波トランスジューサ１０で受信する動作となる。そして、これらの動作１，２を交互に繰り返し反復させることにより、流路３０を流れる被測定流体の流速を計測し、演算することで流量を算出することができる。
【００４３】
なお、上述のように、動作１，２を交互に繰り返す動作以外でも、例えば、動作１を複数回繰り返した後、反対の動作２を複数回繰り返すようなセットで、超音波の送受信を行うようにしてもよい。
【００４４】
このように、機械的に分離されている複数の圧電素子を、それぞれ独立に位相をずらして振動させることで、振動効率をより向上させることができる。
また、位相的にずれた超音波信号を、ターゲットとなる位置的にずれた受信側の超音波トランスジューサの方向へ集中し偏らせることが可能となり、同時に超音波の受信時においても、位相をずらしながら遅延された超音波を受信することで、送受信効率を高めることが可能となり、高精度で安定した流速計測を行うことができる。
また、個々の超音波を集中させることで、音圧を高めることができるため、消費電力の低減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の超音波流量計が備える超音波素子の配置例を示す図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係る超音波トランスジューサが備える圧電素子の構成例を示す図である。
【図３】本発明の第１の実施形態に係る超音波流量計の構成例を示す図である。
【図４】本発明の第２の実施形態に係る超音波トランスジューサが備える圧電素子の構成例を示す図である。
【図５】本発明の第２の実施形態に係る超音波流量計の構成例を示す図である。
【図６】従来の超音波流量計が備える超音波素子の配置を示す図である。
【符号の説明】
【００４６】
１０，２０，１００，２００…超音波トランスジューサ、１１，２１…パッキング（ダンパー）部材、１２，２２…圧電素子、１３，２３…音響整合層、１４，２４…遅延回路、１５…流量演算部、３０…流路、１０１，２０１…流体淀み部、３００…メッシュ部材。
【図１】
2008267848.tif 000003
【図２】
2008267848.tif 000004
【図３】
2008267848.tif 000005
【図４】
2008267848.tif 000006
【図５】
2008267848.tif 000007
【図６】
2008267848.tif 000008