【誤訳訂正書】
【提出日】平成25年8月21日(2013.8.21)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板搬送装置であって、
調節された環境を内部に形成するケーシングを含み、前記ケーシングは、前記ケーシング内の基板を各々が内部に保持する複数の支持部を有しかつ基板搬送開口部を画定するロードポートインタフェースを有し、前記基板搬送開口部を介して基板搬送システムが前記ケーシング内の前記基板にアクセスし、前記ロードポートインタフェースは、前記ケーシングをロードポートに結合させる単一面インタフェースであり、前記単一面インタフェースは、前記複数の支持部に垂直に配されており、
前記基板搬送装置は、前記ケーシングの前記基板搬送開口部を閉鎖する、前記ケーシングに結合したドアをさらに含み、
前記ケーシングは、前記ケーシング内の基板のローディング状態及び前記基板搬送装置の基板ハンドリング能力とは無関係に、前記装置から他の基板をアンローディングせずに前記装置を基板がローディングされた状態に維持して、前記装置内の前記基板を前記ケーシングの１の支持部に配置して前記ケーシングの他の支持部から他の基板を迅速に取り出すことを可能にする、迅速に交換する構成要素を形成する構造を前記ケーシング内に有しており、
前記迅速に交換する構成要素を形成する構造は、
前記ケーシング内に配されており、前記ロードポートインタフェースによって画定されている前記基板搬送開口部を介したアクセスのために構成されている前記複数の支持部と、
前記ケーシング内に設けられており、かつ少なくとも前記複数の支持部からの前記基板の取り出しにおいて、前記複数の支持部内の前記基板の少なくとも位置を認識する検出器と、
前記ケーシングに設けられているケース通信ポートと、を含み、前記ケース通信ポートは、前記検出器及びコントローラと通信して、前記ケーシング内の前記基板の前記位置に関するデータを前記検出器から前記コントローラに送信することを特徴とする装置。
【請求項２】
前記ケーシングは、前記ケーシングが前記ロードポートにドッキングされるときに、前記基板搬送装置の位置を前記ロードポートに整合させる整合システムを有していることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記基板搬送開口部は前記ケーシングの側部に位置しており、前記整合システムは前記ケーシングの同じ側部に位置していることを特徴とする請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記迅速に交換する構成要素は前記ケーシング内に基板バッファを形成していることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記迅速に交換する構成要素は前記ケーシング内において前記基板を選択自在に配置することを可能とすることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項６】
前記装置は１０枚より少ない基板を運搬することが可能な低収容力のキャリアであることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項７】
前記ケーシングは前記ケーシング内の前記少なくとも１つの基板の所定の特徴を認識する検出器を有していることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項８】
前記検出器は前記基板の認識指示部を読み取る読取機であることを特徴とする請求項７に記載の装置。
【請求項９】
基板搬送装置であって、
調節された環境を内部に形成し、内部に１以上の基板を保持するように構成され、基板搬送開口部を画定するロードポートインタフェースを含むケーシングであって、前記基板搬送開口部を介して基板が出し入れされるケーシングと、
前記ケーシングの前記基板搬送開口部を閉鎖すべく前記ケーシングに結合されたドアと、
前記ケーシング内に配置された、各々が基板を保持することが可能な複数の保持ステーションと、からなり、
前記複数の保持ステーションの少なくとも最初の１つは、前記基板搬送装置が少なくとも１つの基板が前記基板搬送装置内にローディングされているローディング状態のときに前記基板を保持する基板保持ステーションであり、前記複数の保持ステーションの少なくとも２つ目は、前記基板搬送装置が前記ロード状態のときに選択的に他の基板を保持する任意に利用可能な保持ステーションであり、前記複数の保持ステーションの最初の１つ及び前記複数の保持ステーションの２つ目の各々が前記基板保持ステーションである第１の状態と前記任意に利用可能な保持ステーションである第２の状態との間で選択自在に切替可能であり、前記ロードポートインタフェースは、前記ケーシングとロードポートとを結合する単一面インタフェースであり、前記単一面インタフェースは、前記基板保持ステーションの平面に垂直に配されており、
前記基板搬送装置は、さらに、
前記ケーシング内に設けられており、かつ少なくとも前記ケーシングを前記ロードポートにドッキングさせて前記少なくとも１つの基板を取り出す際に、前記保持ステーション内の前記少なくとも１つの基板の少なくとも位置を認識する検出器と、
前記ケーシングに設けられているケース通信ポートと、を含み、前記ケース通信ポートは、コントローラと通信し、前記ケーシング内の前記少なくとも１つの基板の前記位置に関するデータを前記検出器から前記コントローラに送信し、前記第１の状態と前記第２の状態との間の切替が、前記検出器から前記コントローラによって受信される前記データに基づいていることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項１０】
前記複数の保持ステーションの前記最初の１つが選択自在に切替られて基板処理ロットサイズが変化することを特徴とする請求項９に記載の装置。
【請求項１１】
前記複数の保持ステーションの前記最初の１つが選択自在に切替られて前記基板処理ロットサイズが増加することを特徴とする請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】
前記複数の保持ステーションの前記最初の１つが選択自在に切替られて前記装置に基板がローディングされたときに仮想の基板処理ロットの生成が実行されることを特徴とする請求項９に記載の装置。
【請求項１３】
前記仮想の基板処理ロットは前記基板保持ステーション内の前記基板及び前記任意に利用可能な保持ステーション内の他の基板によって形成され、前記基板及び前記他の基板は異なる処理ロットからのものであることを特徴とする請求項１２に記載の装置。
【請求項１４】
前記装置は更に検出器を有し、前記検出器は前記ケーシングに結合されて前記基板保持ステーション内の前記基板を認識することを特徴とする請求項９に記載の装置。
【請求項１５】
前記検出器は、前記ケーシング内に配置されていることを特徴とする請求項１４に記載の装置。
【請求項１６】
前記検出器は、前記基板保持ステーション内の前記基板上の基板認識指示部を読み取ることが可能な読取機であることを特徴とする請求項１４に記載の装置。
【請求項１７】
前記任意に利用可能な保持ステーションは前記装置内の基板バッファを画定することを特徴とする請求項９に記載の装置。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１２】
再度図1Aを参照すると、本実施例においては、キャリア10はキャリア搬送の際に１つのスロット12、14が基板によって満たされるようにローディングされる。ツールCTのロードポートLPへのドッキングにおいて、キャリア10の１つの基板スロット14が満たされ、１つは空になる。キャリアの２つのスロット12、14の任意の１つが満たされる（図1Aでは単に例示目的でスロット14が満たされている場合が示されている）。２つのスロット12、14はキャリアがバッファとして機能することを可能とし、これはプロセスツールにおける迅速な交換（fast swap）のために使用される。１つのスロットのみが存在する従来の容量の少ないキャリアの場合、プロセスツール内ロボットは、キャリア内のウエハを迅速に交換する能力を有して、キャリアが未処理のウエハを有する他のキャリアと交換されることを可能とし、ツールを処理状態に維持するようにする必要がある。ただ１つのブレード／エンドエフェクタを有する従来のロボットが存在する場合のように、数多くのプロセスツールはかかる能力を有していない。かかる場合は、ロボットは未処理のウエハをキャリアから拾い上げてプロセスツール内に設置し、処理済みウエハをツール内から拾い上げてキャリア内に設置する。対照的に、本実施例のキャリア10は２つのスロット12、14を有し、よって単一ブレードロボットRは処理済みウエハS2を未使用スロット12内に設置し、未処理のウエハSを他のスロット14から拾い上げてより迅速に処理する。更に、図示する実施例においては、処理済みウエハS2は、処理プロトコールにおける次のプロセスツールPT2への後の搬送（図1Bの矢印Mで示す）のために、キャリア１０内のスロット１２内に留まる（以前のバッファスロットがウエハ保持スロットになる）。これは、FABの処理能力並びに処理ツールPTの処理能力を更に高める。処理済み基板S、S2をキャリア10のスロット12、14内に設置することはキャリア10のスロット位置とは無関係であることが理解できる。一例として、ツールPTに到着する際に、所与の前処理された基板S、S2がキャリア10の底部スロット14に位置する場合であっても、同一の基板S、S2は処理後次のツールへの搬送においてはキャリア10のどちらのスロット12、14に設置されても良い。上記したように、処理ツール及び工場の処理能力を増大するために、処理済み基板S2が、当該処理済み基板を処理のためにツールPTに運んだキャリアとは異なるキャリア10に戻されてもよい。例えば、未処理の基板をツールPTに運ぶ初期のキャリア（図1Bにキャリア10'として表わされている）は、基板の処理を待つためにツールPTに留まらずに、当該基板処理の間は他のツールPT2に向けて処理方向Mに搬送される（搭載して又は搭載せずに）。他の未処理のウエハSを搭載し得る他のキャリア10（最大処理能力用）が、最初に搭載された基板S2の処理が完了すると同時にツールPTにドッキングされる（docked）。従って、処理済み基板S2は当初のキャリア10'ではなくキャリア10に設置され、バッファスロット12は搭載されたキャリア10への処理済み基板S2の設置及び基板の迅速な交換を容易にすることを共に可能とし、すなわち迅速に処理済み基板S2をローディングしたり未処理の基板Sをキャリアからアンローディングしたりする。処理済み基板S2が以前はバッファスロット12であ��たところに留まっていてもよく、この場合、バッファスロット１２が、未処理のときにツールに運び込まれる際に置かれていたスロット（下部スロット）とはキャリア10内において異なるスロット位置（上部スロット）であったとしても、上記したようにバッファスロット12が基板保持スロットとなり、空になっている以前の基板保持スロット14がバッファスロットになってもよい。従って、キャリアの底部スロットからツールに入った基板はキャリアの頂部スロットに運び出されてもよく、またその逆でもよい。これによってキャリア10は迅速な交換の後、直ちに閉鎖されることが可能となり、キャリア内に搭載されている基板の再配置を更に行なうことなく工場内の次のツールPT2に移動される準備ができる。コントローラは、特定のスロット位置を特定の基板に関係付けることなく、所与のキャリア10が所与のローディングされている基板S2を保持することを記録する。コントローラCONTにおける特定の基板S、S2のトラッキングは、所与のキャリアには多数の基板スロットが存在しているにもかかわらず、関連するキャリア内の関連する基板スロットごとではなく、関連するキャリアごとに行なわれる。従来のキャリアは１、１３および２５のスロットを備えるキャリアを含むが、選択的に空にされるかまたは充填されてもよい点において、キャリアの１のウエハスロットが任意のウエハスロットであってもよいことが理解されるだろう。２つのスロットを有するキャリアを単一のウエハのみを搬送すべく使用しても良い。キャリアにおける迅速な交換を可能とするために、追加の若しくは任意のスロットが使用されてもよい。このこと及び複数のスロットにおけるウエハの他と無関係な配置は、サイクルタイムの更なる減少を可能とし、ロードポートのオーバーヘッドを削減する。２つのスロットを有するキャリア10は、工場内において、より少ない数のキャリアを可能にするであろう。なぜならば、それらは迅速なウエハ交換時間を除いて本質的には一定の動作が可能であるからである。代替例においては、キャリア10は２つの基板を搬送するために使用可能である。各々のスロットを備えたウエハ支持部12、14は、ウエハを端部によって若しくは端部除外領域（図2C参照）内に保持するような形状であってもよい。