【手続補正書】
【提出日】平成21年7月23日(2009.7.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一平面内に配置された少なくとも２枚の板部材からなり多数のピクセルエレメント（２
０５）を有するピクセルマトリクス（２０１）を備え、第１板部材及び第２板部材が互い
に相対的にずれ（２０８，２０９）を持っている固体検出器の補正方法において、前記ピ
クセルマトリクス（２０１）からディジタルＸ線原始画像（２１０）が読み出され、前記板部材の相対的なずれ（２０８，２０９）によって前記ディジタルＸ線原始画像（２１０）に生じた不連続部（２１８，２１９）が、前記ディジタルＸ線原始画像（２１０）から画像処理補正によって少なくとも部分的に除去されることを特徴とする固体検出器の補正方法。
【請求項２】
前記第２板部材が前記第１板部材に対してずれ（２０８，２０９）を持っており、それ
によって生じた不連続部（２１８，２１９）が、ずれている第２板部材のピクセルエレメ
ント（２０５）から形成されるディジタルＸ線原始画像の成分（２１４）から、画像処理補正によって少なくとも部分的に除去されることを特徴とする請求項１記載の補正方法。
【請求項３】
前記ずれ（２０８，２０９）が、第１ピクセル軸（ｘ）に沿う第１ずれ成分（２０８）
、及び／又は第２ピクセル軸（ｙ）に沿う第２ずれ成分（２０９）を持っていることを特
徴とする請求項２記載の補正方法。
【請求項４】
ずれている第２板部材のピクセルエレメント（２０５）の読み出された原始値が、各ずれ成分（２０８，２０９）の方向の少なくとも一つのピクセルエレメントの長さ分だけずらされることを特徴とする請求項３記載の補正方法。
【請求項５】
ずれている第２板部材のピクセルエレメント（２０５）の読み出された原始値が、前記各ずれ成分（２０８，２０９）の方向の一つのピクセルエレメントの長さより少ない分だけずらされることを特徴とする請求項３記載の補正方法。
【請求項６】
ずれている第２板部材のピクセルエレメント（２０５）の読み出された原始値が、一つのピクセルエレメントの長さに関する各パーセンテージずれ成分（２０８，２０９）に応じて、各ずれ成分（２０８，２０９）の方向に隣接するピクセルエレメントの原始値に対して加算され、同時に前記ピクセルエレメント（２０５）の原始値自体において減算されることを特徴とする請求項３記載の補正方法。
【請求項７】
前記補正が、まず一方のずれ成分（２０８，２０９）の方向に行われ、次に他方のずれ
成分（２０８，２０９）の方向に行われることを特徴とする請求項６記載の補正方法。
【請求項８】
各ずれ成分（２０８，２０９）の方向に隣接する側に隣接するピクセルエレメント（２
０５）を持っていない、ずれている第２板部材のピクセルエレメント（２０５）の読み出
された原始値が、一つのピクセルエレメントの長さに関する各パーセンテージずれ成分（２０８，２０９）に応じて、ピクセルエレメント（２０５）の原始値自体において減算されることを特徴とする請求項６記載の補正方法。
【請求項９】
ずれている第２板部材の、各ずれ成分（２０８，２０９）とは反対の方向に隣接する側
に隣接ピクセルエレメント（２０５）を持っていないピクセルエレメント（２０５）の読
み出された原始値が、そのままにしておかれることを特徴とする請求項６記載の補正方法。
【請求項１０】
ずれている第２板部材の、各ずれ成分（２０８，２０９）とは反対の方向に隣接する側
に隣接ピクセルエレメント（２０５）を持っていないピクセルエレメント（２０５）の読
み出された原始値が、各ずれ成分（２０８，２０９）によって与えられるパーセンテージ分だけ増強されることを特徴とする請求項６記載の補正方法。
【請求項１１】
ずれている第２板部材の、第１板部材に隣接するピクセルエレメント（２０５）の読み
出された原始値が、第１板部材の隣接ピクセルエレメント（２０５）の原始値の、各ずれ成分（２０８，２０９）によって与えられるパーセンテージ分だけ増強されることを特徴とする請求項６記載の補正方法。
【請求項１２】
前記第１板部材と第２板部材との間に、ピクセルエレメント（２０５）の、原始値が読み出されないデッド行及び／又はデッド列が配置されることを特徴とする請求項１記載の補
正方法。
【請求項１３】
前記各デッド行及び／又はデッド列に対する値が、前記第１板部材の端縁角に隣接する
ピクセルエレメント（２０５）の原始値と前記第２板部材の端縁角に隣接するピクセルエレメント（２０５）の原始値との補間によって演算され、各原始値の重み付けが対応するずれ成分（２０８，２０９）に依存することを特徴とする請求項１２記載の補正方法。
【請求項１４】
前記ずれ（２０８，２０９）が前記ピクセルマトリクスの読み出し前に測定され決定さ
れることを特徴とする請求項１記載の補正方法。
【請求項１５】
前記ずれ（２０８，２０９）が前記ピクセルマトリクス（２０１）の光学的走査によっ
て測定され決定されることを特徴とする請求項１４記載の補正方法。
【請求項１６】
前記ずれ（２０８，２０９）が、公知の対象物のＸ線原始画像（２１０）と公知の対象物の品質低下のない画像との比較によって測定され決定されることを特徴とする請求項１４記載の補正方法。
【請求項１７】
予め決定されたずれ（２０８，２０９）が記憶ユニットに記憶されていることを特徴と
する請求項１４ないし１６のいずれか１項に記載の補正方法。
【請求項１８】
一平面内に配置された少なくとも２枚の板部材からなり、その第１板部材及び第２板部材
が相対的にずれ（２０８，２０９）を持っている、複数のピクセルエレメントを有するピ
クセルマトリクス（２０１）と、前記ピクセルマトリクス（２０１）から読み出されたＸ
線原始画像（２１０）の前記ずれ（２０８，２０９）から生じた不連続部（２１８，２１９）の少なくとも部分的な画像処理補正を行う対応する補正ユニットとを備えたことを特徴とする固体検出器。
【請求項１９】
前記第２板部材が前記第１板部材に対してずれ（２０８，２０９）を持っており、前記
ずれ（２０８，２０９）によって生じた不連続部（２１８，２１９）の少なくとも部分的
な補正が、前記補正ユニットによって前記ずれた板部材のピクセルエレメント（２０５）
から読み出されるディジタルＸ線原始画像（２１０）の成分（２１４）から行われることを特徴とする請求項１８記載の固体検出器。
【請求項２０】
前記平面内に更に複数の板部材が配置され、それらの板部材が前記第１板部材に対して
更にずれを持っていることを特徴とする請求項１９記載の固体検出器。
【請求項２１】
前記板部材がアモルファスシリコン（ａ−Ｓｉ）板（２０３，２０４）から形成されて
いることを特徴とする請求項１８記載の固体検出器。
【請求項２２】
前記ずれ（２０８，２０９）が、第１ピクセル軸（ｘ）に沿う第１ずれ成分（２０８）
、及び／又は第２ピクセル軸（ｙ）に沿う第２ずれ成分（２０９）を持っていることを特
徴とする請求項１９記載の固体検出器。
【請求項２３】
前記補正が、各ずれ成分（２０８，２０９）の方向の原始値補正、特にグレー値補正を含んでいることを特徴とする請求項１９記載の固体検出器。
【請求項２４】
ずれている第２板部材のピクセルエレメント（２０５）の読み出された原始値により、一つのピクセルエレメントの長さに関する各パーセンテージずれ成分（２０８，２０９）に応じて、各ずれ成分（２０８，２０９）への方向に隣接するピクセルエレメント（２０５）の原始値に対する加算が行われ、同時に前記ピクセルエレメント（２０５）の原始値自体において減算が行われることを特徴とする請求項１９記載の固体検出器。
【請求項２５】
前記補正がまず一方のずれ成分の方向に行われ、次に他方のずれ成分の方向に行われる
ことを特徴とする請求項２４記載の固体検出器。
【請求項２６】
前記ずれ（２０８，２０９）を記憶する記憶ユニットを備えたことを特徴とする請求項
１８記載の固体検出器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【発明の名称】固体検出器の補正方法及び固体検出器
【技術分野】
【０００１】
本発明は、請求項１に記載の固体検出器の補正方法、及び請求項１８に記載の固体検出
器に関する。
【背景技術】
【０００２】
Ｘ線画像形成の分野においては、検査対象物のディジタルＸ線画像を撮影するために固
体検出器として構成されたＸ線検出器が知られている。このＸ線検出器においては、Ｘ線
がシンチレータ又は直接変換層を介して電荷に変換され、続いてアクティブ・ピクセルマ
トリクスによって電子的に読み出される。次に検査結果を表す撮像データが評価装置及び
ディスプレイ装置に伝送され、撮像調製のための処理が行われる（非特許文献１参照）。
【０００３】
アモルファスシリコンからなる円盤、いわゆるａ−Ｓｉ板から組み立てられるアクティ
ブ・ピクセルマトリクスが知られている。大面積の固体検出器を作るために、いわゆるバ
ッティングプロセスによって複数のａ−Ｓｉ板が互いにつき合わせられ、例えば１枚のガ
ラス基板上に一緒に貼着される。しかし、その貼着時には技術的理由から、異なるａ−Ｓ
ｉ板間の相対的な位置ずれを避けることは一般に不可能である。ずれは普通、ピクセル軸
ごとに一つのピクセルエレメントの長さを基準としてその２桁のパーセンテージ範囲内に
ある。ずれがあると、読み出されたＸ線の生画像（以下、原始画像という。）に不連続部を生じさせてしまう。このことは又、品質の劣化した対象物表示やアーチファクトを生じさせる原因となる。リニアコンビネーションでは、例えば一定の応用例では各２つのＸ線原始画像の減算によってアーチファクトが付加的に生じることがある。この応用例の場合、例えばＤＳＡ（ディジタル・サブトラクション・アンギオグラフィ）又はデュアル・エネルギー法、又は時間的に前後する少なくとも２つのＸ線原始画像を撮影する方法がごく一般的である。
【非特許文献１】論文 M. Spahn, V. Heer, R. Freytag"Flachbilddetektoren in der Rontogendiagnostik”、雑誌 Radiologe ４３，２００４、３４０〜３５０ページ
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の課題は、ディジタル固体検出器によって検査対象物の品質低下のないＸ線画像を
得ることができる方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題は、請求項１に記載の固体検出器の補正方法、及び請求項１８に記載の固体
検出器によって解決される。本発明の好ましい実施態様はそれぞれの従属請求項に記載さ
れている。
【０００６】
本発明による補正方法によって、一平面内に配置された少なくとも２枚の板部材からな
るピクセルマトリクスを備え、第１板部材及び第２板部材が互いにずれを持っている固体
検出器において、板部材の相対的なずれによってディジタルＸ線原始画像に生じた不連続部が、ディジタルＸ線原始画像から画像処理補正によって少なくとも部分的に除去されることによって、品質低下のない、特にずれ箇所でも検査対象物の連続的なＸ線画像が達成される。Ｘ線原始画像とは、本発明においては、直接読み出されたＸ線原始画像のほかに、すでに部分的に補正された、例えばすでにオフセット補正されたＸ線原始画像も含むものとする。すなわち、読み出しと不連続部の補正との間で１つ又は複数の付加的画像処理があり得るものとする。
【０００７】
本発明の一実施態様によれば、第２板部材が第１板部材に対してずれを持っており、そ
れによって生じた不連続部が、ずれている第２板部材のピクセルエレメントから形成され
るディジタルＸ線原始画像の成分から、画像処理補正によって少なくとも部分的に除去される。全Ｘ線原始画像ではなく、一成分のみを補正することによって、好ましいことに、演算コストつまり高価な処理ユニットの処理時間及びコストをも節減することができる。
【０００８】
簡単で低コストの補正を実現するために、好ましくは、ずれている第２板部材のピクセ
ルエレメントの読み出された生値（以下、原始値という。）がずれの方向の少なくとも一つのピクセルエレメントの長さ分だけずらされる。こうすることによって、不連続部がＸ線原始画像から特に簡単に補正することができる。
【０００９】
一つのピクセル値のパーセンテージ範囲内にあるずれを除去するためにも、したがって
ずれの特に正確な補正を保証可能とするために、好ましくは、ずれている第２板部材のピ
クセルエレメントの読み出された原始値が各ずれ成分の方向に一つのピクセルエレメントの長さより少ない分だけずらされる。本発明の他の実施態様によれば、ずれている第２板部材のピクセルエレメントの読み出された原始値が、一つのピクセルエレメントの長さに関する各パーセンテージずれ成分に応じて、各ずれ成分の方向に隣接するピクセルエレメントの原始値に対して加算され、同時にピクセルエレメントの原始値自体において減算される。
【００１０】
さらに好ましくは、ずれはピクセルマトリクスの読み出し前に測定され決定される。そ
れにより、ずれについてのデータを次の補正方法のために迅速かつ簡単に利用することが
できる。ずれを測定し決定する特に好ましい方法は、ピクセルマトリクスつまりずれが光
学的に走査されることによって得られる。本発明の他の実施態様によれば、ずれは、公知
の対象物、特に網目格子のＸ線原始画像と公知の対象物の品質低下のない画像との比較によって測定され決定される。ずれの決定時点は例えば固体検出器の使用開始の際、又は校正の最中でよい。次に、ずれは、必要に応じていつでも呼び出すことができるように、好ましくは記憶ユニットに記憶される。
【００１１】
本発明の特に好ましい応用例は、一平面内に配置された少なくとも２枚の板部材からな
り、その第１板部材及び第２板部材が相対的にずれを持っている、複数のピクセルエレメ
ントを有するピクセルマトリクスと、ずれによって引き起こされるＸ線原始画像の不連続部の少なくとも部分的な補正を行う対応する補正ユニットとを備えた固体検出器において与えられる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
次に図面に示す実施例を参照して本発明及び従属請求項の特徴による好ましい実施態様
について詳細に説明する。なお、本実施例は本発明をそれらに限定するものではないこと
に留意されたい。
【００１３】
図１は、ガラス基板２０２上に共通に貼着され一平面に配置された第１板部材及び第２
板部材から組み立てられた固体検出器のピクセルマトリクス２０１を示すものである。第
１板部材は好ましくは第１ａ−Ｓｉ板２０３によって形成され、第２板部材は好ましくは
第２ａ−Ｓｉ板２０４によって形成される。各ａ−Ｓｉ板２０３，２０４は正方形に形成
された有限数のピクセルエレメント２０５からなっている。ピクセルエレメントは例えば
グレー値であり得る原始値を測定し、例えばモニタにＸ線原始画像として表示することができる。
【００１４】
第１ａ−Ｓｉ板２０３及び第２ａ−Ｓｉ板２０４は互いに相対的にずらして配置され、
端的に言えば、第２ａ−Ｓｉ板２０４は第１ａ−Ｓｉ板２０３に対して、ずれ２０８，２
０９だけずらされている。第１ａ−Ｓｉ板２０３に対する第２ａ−Ｓｉ板２０４のずれ２
０８，２０９は、第１ピクセル軸ｘとは反対の方向に向けられた第１ずれ成分２０８、及
び第２ピクセル軸ｙの方向に向けられた第２ずれ成分２０９からなっている。この固体検
出器は検査対象物２０６の撮像のために設けられる。
【００１５】
ピクセルマトリクス２０１から検査対象物２０６のＸ線原始画像２１０が読み出され、例えばモニタに、特にグレー値で表示されると、図２に示されているように、第１ａ−Ｓｉ板２０３によって読み出された第１画像部２１３と第２ａ−Ｓｉ板２０４によって読み出された第２画像部２１４との間の移行領域に不連続部２１８，２１９が現れる。それは、従来技術による公知の画像処理ソフトウェアがずれ又はそれによって生じる不連続部２１８，２１９を考慮していないために起こるものである。不連続部２１８，２１９は第１ピクセル軸ｘの方向にむけられた第１不連続成分２１８、及び第２ピクセル軸ｙとは反対の方向に向けられた第２不連続成分２１９を持っており、両不連続部２１８，２１９は全体としてずれ２０８，２０９にちょうど逆向きになっている。
【００１６】
図２には１００個の値領域を有するグレー値のＸ線原始画像２１０が示されている。ここで不連続部２１８，２１９をもって示されている検査対象物２０６の輪郭線２１１が破線で示されている。Ｘ線画像２１０の第１画像部２１３の第１画像点２１５上の数字、及び第２画像部２１４の第２画像点２１６上の数字は、検査対象物２０６に対応して含まれるグレー値を０（白）から１００（黒）までのスケールで例示したものである。通常の固体検出器では、例えば、２14＝１６３８４といった多数のグレー段階で表現される。
【００１７】
本発明によれば、第１板部材及び第２板部材、特にａ−Ｓｉ板２０３，２０４間の相対
的なずれ２０８，２０９によってディジタルＸ線原始画像２１０内に生じた不連続部２１８，２１９は、Ｘ線原始画像２１０から画像処理補正によって少なくとも部分的に除去される
。本発明による補正法に利用される方向が図３及び図４の第２ａ−Ｓｉ板２０４の画像点
に矢印２２０，２２１によって示されている。本発明の一実施態様による第１矢印２２０
の方向の補正を実施することによって部分補正される中間Ｘ線画像２１２．１が図３に示
されており、第２矢印２２１の方向に付加的に補正されるＸ線画像２１２が図４に示され
ている。本発明の実施態様によれば、補正は第一に一方のずれ成分の方向で行われ、次に
他方のずれ成分の方向で行われる。
【００１８】
図１に示されている第２ａ−Ｓｉ板２０４のずれがその第１ずれ成分２０８において一
つのピクセルの長さの例えば３０％に達し、その第２ずれ成分２０９において一つのピク
セルの長さの例えば４０％に達しているとすれば、好ましい実施態様に従い次のようにし
て補正方法が実施される。すなわち、第２ａ−Ｓｉ板２０４の全ての側に隣接するピクセ
ルエレメント２０５を備えた、ずれている第２ａ−Ｓｉ板２０４のピクセルエレメント２
０５の最初に読み出された各グレー値が第１ずれ成分２０８の方向、例えば左側に隣接す
るピクセルエレメント２０５に対して３０％だけ加算され、同時にピクセルエレメント２
０５自体に対してグレー値の３０％が減算される。
【００１９】
左側へのこのずれ処理の終了後、中間結果として生じるグレー値は第２ずれ成分２０９
の方向、上述の例ではｙ軸方向に隣接するピクセルエレメント２０５に対して４０％が加
算され、ピクセルエレメント２０５自体において中間結果として生じるグレー値が４０％
減算される。このようにして、ずれている第２ａ−Ｓｉ板２０４のピクセルエレメント２
０５から読み出され、全ての側に隣接する第２ａ−Ｓｉ板２０４に属する隣接ピクセルエ
レメント２０５を備えたグレー値による補正が行われる。
【００２０】
少なくとも一側に同一板部材すなわち第２ａ−Ｓｉ板２０４の直接隣接するピクセルエ
レメントを備えていない端縁ピクセルエレメント２０５には、品質低下を来さない正確な
Ｘ線画像を得るために、次のような特別な補正が施される。すなわち、本発明のさらなる
実施態様に従い、ずれの方向に隣接する側に隣接ピクセルエレメント２０５を備えていな
い、ずれた第２板部材のピクセルエレメント２０５の読み出された原始値に、一つのピクセルエレメントの長さに関するパーセントずれに応じて、ピクセルエレメント２０５の原始値自体における減算が施される。
【００２１】
ここで考慮されている例は、ずれ２０８，２０９の方向に隣接する側すなわち左側上方
に隣接ピクセルエレメント２０５を備えていない、ずれを生じている第２ａ−Ｓｉ板２０
４のピクセルエレメント２０５の最初に読み出されたグレー値に関するものである。ここ
では少なくとも１側にはグレー値が与えられないので、減算はピクセルエレメント２０５
のグレー値自体に減算が行われるだけである。ピクセルエレメント２０５においてはグレ
ー値の左側隣接７０％が取り去られることなしに、グレー値の４０％だけが転送される。
すなわち次に存在するピクセルエレメントのグレー値に転送され、残り３０％は無効にさ
れる。
【００２２】
本発明のさらなる実施態様によれば、各ずれ成分の逆方向に隣接する側に隣接ピクセル
エレメントを備えていない、ずれた第２板部材のピクセルエレメント２０５の読み出され
た原始値は、そのままにしておく。すなわち上述の例では、端縁右側に位置し、第１ａ−Ｓｉ板２０３のピクセルエレメント２０５から読み出された、ピクセルエレメント２０５のグレー値は、最初に読み出された形のままにしておかれる。
【００２３】
端縁側のピクセルエレメントの最後の方のグレー値を用いて、次のような処理を行うこ
とも可能である。すなわち本発明のさらなる実施態様に従い、各ずれ成分の逆方向に隣接
する側に隣接ピクセルエレメント２０５を備えていない、ずれを生じている第２ａ−Ｓｉ
板２０４のピクセルエレメント２０５の読み出された原始値は、各ずれ成分によって与えられるパーセンテージ成分だけ増大させられる。すなわち、ここの例では、端縁右側に位置するピクセルエレメント２０５のグレー値が３０％だけ増大される。端縁下側に位置するピクセルエレメント２０５のグレー値は最初に読み出されたグレー値の４０％だけ増大させられる。
【００２４】
端縁側の最後の方のグレー値を用いて、次のように処理することもできる。すなわち本
発明のさらなる実施態様に従い、第１板部材に隣接する、ずれを生じている第２板部材の
ピクセルエレメント２０５の読み出された原始値が、各ずれ成分２０８，２０９によって与えられる、第１板部材の隣接ピクセルエレメント２０５の原始値の与えられたパーセンテージ成分だけ増大させられる。すなわち、ここの例では、第１ａ−Ｓｉ板２０３の端縁側ピクセルエレメントの各グレー値の４０％が、上方に隣接する第２ａ−Ｓｉ板２０４の端縁側ピクセルエレメントのグレー値に加算される。
【００２５】
本発明のさらなる実施態様に従い、第１板部材と第２板部材との間にそれぞれ原始値が読み出されないデッド行及び／又はデッド列が配置される。本発明のさらなる実施態様によれば、各デッド行及び／又はデッド列に対する値が、第１板部材の端縁角に隣接するピクセルエレメント２０５の原始値と第２板部材の端縁角に隣接するピクセルエレメント２０５の原始値との補間によって演算される。その場合、各原始値の重み付けは対応するずれ成分２０８，２０９に依存する。
【００２６】
デッド行及び／又はデッド列に対する値の演算の前に、各デッド行及び／又はデッド列
に平行な不連続部の補正を行っておかなければならない。それに対応して、第１ａ−Ｓｉ
板２０３と第２ａ−Ｓｉ板２０４との間に配置されたデッド行を備えた固体検出器２０１
に対して、まず第１ずれ成分２０８の方向に不連続部の補正が行われる。
【００２７】
次に第２ずれ成分２０９の方向、すなわち第２ａ−Ｓｉ板２０４の上方に隣接するピク
セルエレメント２０５のグレー値、及び第２ずれ成分２０９の反対方向、すなわち第１ａ
−Ｓｉ板２０３の下方に隣接するピクセルエレメント２０５のグレー値を平均化して、デ
ッド行の画像点に対する値が演算される。その場合、重み付けはその方向の４０％のずれ
に対応して演算に導入される。これは直線補間法を用いて行われる。
【００２８】
次に図４に示されているように不連続部の補正が第２ずれ成分２０９の方向に行われる
。その場合、第２ａ−Ｓｉ板２０４の、デッド行に隣接する端縁ピクセルエレメントのグ
レー値はデッド行の値によって補正される。すなわち、各中間結果として生じるグレー値
又は端縁ピクセルエレメントにおけるデッド行のピクセルエレメントの演算値は第２ずれ
成分２０９の方向すなわち上方に隣接するピクセルエレメント２０５に対して４０％だけ
加算され、ピクセルエレメント２０５自体においては中間結果として生じるグレー値の４
０％が減算される。その場合、デッド行の値はそのままにされる。
【００２９】
ずれについてのデータを次の補正プロセスのために迅速かつ簡単に用いることができる
ように、ずれは好ましくはピクセルマトリクスの読み出し前に測定され決定される。それ
は種々のやり方で、例えば板部材の光学的走査によって行うことができる。
【００３０】
他の可能性は、公知の対象物のＸ線原始画像を調製することにある。特に網目格子又は単純な直線のＸ線原始画像を調製し、そのＸ線原始画像を実際の対象物と比較することにある。そうすることによって不連続部を直接的に目で確認し、ずれを帰納的に推測することができる。ずれが特徴的なものであれば、それは本発明による方法に対する後の使用のために固体検出器又はそれに対応する補正ユニット内の記憶ユニットに記憶させておくことができる。
【００３１】
ずれた第２板部材のピクセルエレメント２０５から形成されるディジタルＸ線原始画像の成分から不連続部を補正する代わりに、それぞれ不連続部の一部を、例えば半分は第１板部材から、他の半分、例えば第２半分は第２板部材から補正することもできる。これの利点はＸ線画像が一様に補正されることにある。
【００３２】
さらに本発明による補正方法は２つより多くの、例えば４枚又は８枚の板部材から組み
立てられるピクセルマトリクスにおいても応用可能である。その場合、例えば各板部材に
関連する不連続部はＸ線原始画像の関連する成分から補正することができる。
【００３３】
複数の板部材の相対ずれはピクセル軸に沿う直線ずれ補正成分と共に板部材相互のねじ
れを持つこともあり得る。このようなねじれの補正のために、対応する適合する画像処理
方法を選択することができる。
【００３４】
本発明による固体検出器は一平面内に配置された少なくとも２枚の板部材からなる、ピ
クセルエレメント２０５を備えたピクセルマトリクス２０１を含んでいる。その場合、第
１板部材及び第２板部材は互いに相対的なずれを持っており、ピクセルマトリクスから読
み出されたＸ線原始画像から不連続部の少なくとも部分的な補正を行う対応する補正ユニットを備える。その場合、ずれはＸ線原始画像内の不連続部の発生原因となる。
【００３５】
補正、すなわち例えばオフセット補正や、ゲイン補正、及び／又は上述のずれ補正は、
一般に固体検出器に内蔵されている補正ユニット内で行われる。しかし補正ユニットは固
体検出器の外部に配置することも可能である。補正ユニットは例えば固体検出器と通信可
能に接続されるＸ線システム又は画像システム内に設けることも可能である。しかしなが
ら他方では、例えば移動式固体検出器では構造的に全補正ユニットを固体検出器に内蔵さ
せることも可能である。そうすることによって、完全に補正されたＸ線画像を後のプロセ
スのために固体検出器から直接転送することが可能になる。
【００３６】
本発明は画像処理補正方法の上述の実施例にのみ限定されるものではなく、板部材の相
対ずれによってディジタルＸ線原始画像に生じる不連続部をディジタルＸ線原始画像から少なくとも部分的に除去することの可能な、あらゆる補正方法を含むものである。次に、その可能性のうちの３つについて簡単に説明する。
【００３７】
例えば互いにずれた第２板部材のピクセルエレメントから形成されるディジタルＸ線生
画像の成分を、その全部がずれの方向に、全部又はほぼ全部のピクセルエレメント分だけ
ずらすことができる。
【００３８】
さらに、ピクセル軸の方向に並ぶ３つのピクセルエレメントの３つの原始値によって、各中央の原始値を補正するために、二次式を当てることができる。中央の原始値は二次式の曲線に沿って各ずれ成分のパーセンテージに応じてずらされるか新たに演算され、原始値は新たに演算され又は得られた補正値によって置き換えられる。この方法は各原始値に対して第１ピクセル軸の方向にも第２ピクセル軸の方向にも行われる。端縁ピクセルエレメントに対しても、上述の補正法を実施することができる。
【００３９】
さらに例えば並置された３つのピクセルエレメントの各３つの原始値を用いて、フィット（Ｆｉｔ）法によって各中央の原始値を処理するために、直線をおくことができる。中央の原始値は直線に沿って各ずれ成分のパーセンテージに応じてずらされ、そのようにして得られた補正値によって原始値が置換される。この方法は各原始値に対して第１ピクセル軸方向にも第２ピクセル軸方向にも実施される。この方法によって全ノイズの低減を付加的に特に有利に達成することができる。
【００４０】
本発明は次のようにまとめることができる。すなわち、一平面内に配置された少なくと
も２枚の板部材からなり多数のピクセルエレメントを有するピクセルマトリクスを備え、
第１板部材及び第２板部材が互いにずれを持っている固体検出器において、品質低下のよ
り少ないＸ線画像を保証するために、ピクセルマトリクスからディジタル原始画像が読み出され、板部材間の相対的なずれによってディジタル原始画像に生じた不連続部が画像処理補正によって少なくとも部分的にそこから除去される補正法が提案される。本発明の一実施態様によれば、第２板部材が第１板部材に対してずれを持っており、それによって生じた不連続部が、ずれた２枚の板部材のピクセルエレメントから形成されるディジタルＸ線生画像の成分から、画像処理補正によって少なくとも部分的に除去される。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】第１ａ−Ｓｉ板とこの第１ａ−Ｓｉ板に対してずれをもって配置された第２ａ−Ｓｉ板とから組み立てられた固体検出器のピクセルマトリクス並びに検査対象物の平面図である。
【図２】図１のピクセルマトリクスから読み出されたＸ線原始画像の補正なしのグレー値を示す説明図である。
【図３】図１のピクセルマトリクスから読み出され矢印方向に部分補正された中間Ｘ線画像のグレー値を示す説明図である。
【図４】本発明に従って補正されたＸ線画像のグレー値を示す説明図である。
【符号の説明】
【００４２】
２０１  ピクセルマトリクス
２０２  ガラス基板
２０３  第１ａ−Ｓｉ板
２０４  第２ａ−Ｓｉ板
２０５  ピクセルエレメント
２０６  検査対象物
２０８  ずれ（第１ずれ成分）
２０９  ずれ（第２ずれ成分）
２１０  Ｘ線原始画像
２１１  輪郭線
２１２  Ｘ線画像
２１３  第１画像部
２１４  第２画像部
２１５  第１画像点
２１６  第２画像点
２１８  不連続部
２１９  不連続部
２１１．１  中間Ｘ線画像
２１２．１  中間Ｘ線画像