【手続補正書】
【提出日】平成21年7月6日(2009.7.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電流が流れることで発生する熱によって溶断可能なヒューズ素子を有する基板と、前記ヒューズ素子の上に設けられ、前記ヒューズ素子の材料よりも融点が低い材料からなる第１の層と、前記第１の層の上に設けられ、インクを吐出するための吐出口に連通する流路を形成するための樹脂層と、を有するインクジェット記録ヘッドを用意する工程と、
前記ヒューズ素子に電流を流すことにより前記ヒューズ素子の一部の溶融を開始させる第一の工程と、
前記ヒューズ素子が発生する熱により前記ヒューズ素子の近傍の前記第１の層をガス化させ、前記第１の層に前記樹脂層に到達する空洞を形成するとともに、前記ヒューズ素子の一部を溶断する第二の工程と、
を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記第一の工程は前記ヒューズ素子に電流を流し始めてから、前記ヒューズ素子を流れる電流の値が最大となるまでの工程であり、
前記第二の工程は、前記ヒューズ素子を流れる電流の値が最大となってから、電流が流れなくなるまでの工程であって、前記第一の工程より長い時間前記ヒューズ素子に電流を流す
ことを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記第二の工程は、溶融を開始した前記ヒューズ素子に３０ｍＡ以下の電流を２μ秒以上流すことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記第一の工程の前記ヒューズ素子を流れる電流の値の最大値は、８０ｍＡ以上であることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記ヒューズ素子の一部の溶融物は、前記樹脂層に達するように飛び散ることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記用意する工程において用意されたインクジェット記録ヘッドは、前記第１の層と前記樹脂層との間に、前記第１の層より融点が高い材料からなる第２の層を有しており、
前記第二の工程では、前記第２の層もガス化して空洞を形成することを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法を用いて製造されたインクジェット記録ヘッド。
【請求項８】
電流を流すことにより溶解させて溶断可能なヒューズ素子を有する基板と、
前記ヒューズ素子の上に設けられ、前記ヒューズ素子の材料よりも融点が低い材料からなり、加熱することによりガス化して空洞を形成する第１の層と、
前記第１の層の上に設けられ、インクを吐出するための吐出口と連通する流路が形成された樹脂層と、
外部電源に接続されることにより、抵抗素子を介して前記ヒューズ素子に電圧を印加して前記ヒューズ素子に電流を流すことが可能な回路と、
を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項９】
前記抵抗素子は、４０Ω以上１２０Ω以下の抵抗を有することを特徴とする請求項８に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項１０】
前記ヒューズ素子の抵抗値は、２００Ω以上４１０Ω以下であり、前記ヒューズ素子を除いた前記回路の抵抗値は、１７０Ω以上３３０Ω以下であることを特徴とする請求項８又は請求項９に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項１１】
前記インクジェット記録ヘッドは、前記第１の層と前記樹脂層との間に、前記第１の層より融点の高い材料からなり、加熱することによりガス化して空洞を形成する第２の層を有していることを特徴とする請求項８乃至請求項１０のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項１２】
前記ヒューズ素子は、ポリシリコンを主成分とし、前記第１の層は、リンを含むシリコンの酸化物を主成分とすることを特徴とする請求項８乃至請求項１１のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項１３】
前記ヒューズ素子を複数有しており、前記複数のヒューズ素子の少なくとも１つは溶断され、その他は溶断されていないことを特徴とする請求項８乃至請求項１２のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項１４】
請求項１３に記載のインクジェット記録ヘッドを搭載可能なインクジェット記録装置であって、前記複数のヒューズ素子に電流を流すことで、前記複数のヒューズ素子の溶断の有無を判断することを特徴とするインクジェット記録装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】インクジェット記録ヘッドの製造方法、インクジェット記録ヘッド、およびインクジェット記録装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、電流を流すことによって溶断可能なヒューズ素子を備えるインクジェット記録ヘッドの製造方法、インクジェット記録ヘッド、および、そのインクジェット記録ヘッドを用いるインクジェット記録装置に関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明の目的は、ヒューズ素子を確実に溶断させ、その溶断の有無に対応するデータを高い信頼性をもって記憶させることができるインクジェット記録ヘッドの製造方法、インクジェット記録ヘッド、および、そのインクジェット記録ヘッドを用いるインクジェット記録装置を提供することにある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、電流が流れることで発生する熱によって溶断可能なヒューズ素子を有する基板と、前記ヒューズ素子の上に設けられ、前記ヒューズ素子の材料よりも融点が低い材料からなる第１の層と、前記第１の層の上に設けられ、インクを吐出するための吐出口に連通する流路を形成するための樹脂層と、を有するインクジェット記録ヘッドを用意する工程と、前記ヒューズ素子に電流を流すことにより前記ヒューズ素子の一部の溶融を開始させる第一の工程と、前記ヒューズ素子が発生する熱により前記ヒューズ素子の近傍の前記第１の層をガス化させ、前記第１の層に前記樹脂層に到達する空洞を形成するとともに、前記ヒューズ素子の一部を溶断する第二の工程と、を有することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明のインクジェット記録ヘッドは、上記のインクジェット記録ヘッドの製造方法を用いて製造されたことを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明のインクジェット記録ヘッドは、電流を流すことにより溶解させて溶断可能なヒューズ素子を有する基板と、前記ヒューズ素子の上に設けられ、前記ヒューズ素子の材料よりも融点が低い材料からなり、加熱することによりガス化して空洞を形成する第１の層と、前記第１の層の上に設けられ、インクを吐出するための吐出口と連通する流路が形成された樹脂層と、外部電源に接続されることにより、抵抗素子を介して前記ヒューズ素子に電圧を印加して前記ヒューズ素子に電流を流すことが可能な回路と、を有することを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明のインクジェット記録装置は、上記のインクジェット記録ヘッドを搭載可能なインクジェット記録装置であって、前記複数のヒューズ素子に電流を流すことで、前記複数のヒューズ素子の溶断の有無を判断することを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】