(57)【要約】      （修正有）【課題】処理装置のところへ非製品を過不足無く、かつタイミング良く供給でき、また、人手を削減できる非製品管理システムを提供すること。【解決手段】複数の処理装置によって製品を処理する生産現場で上記処理装置のために使用される非製品の準備、使用、回収および再生を管理する非製品管理システム。非製品の準備のために、複数の非製品を搬送用容器に収容して第１期非製品ロット「函」を作成し、第２期非製品ロット「Ｍ」として登録し、第２期非製品ロット「Ｍ」の在庫を更新する。各処理装置４毎に第２期非製品ロット「Ｍ」を使用させる指示を行う。使用された第２期非製品ロット「Ｍ」をなす非製品を、回収条件に従って搬送用容器に回収して第３期非製品ロット「回」を作成する。第３期非製品ロット「回」をなす非製品を、再生条件に従って第１期非製品ロット「函」のための非製品となるように再生して第４期非製品ロットを作成し、再投入する（Ｆ９）。【選択図】図３
2008210314.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の処理装置によって製品を処理する生産現場で上記処理装置のために使用される非製品の準備、使用、回収および再生を管理する非製品管理システムであって、
上記非製品の準備のために、複数の非製品を搬送用容器に収容して第１期非製品ロットを作成する第１期非製品ロット作成部と、
上記第１期非製品ロット作成部によって作成された上記第１期非製品ロットを、各処理装置毎にその処理装置のために使用される第２期非製品ロットとして所定の記憶テーブルに登録して、上記第２期非製品ロットの在庫を更新する第２期非製品ロット作成部と、
上記各処理装置毎に上記第２期非製品ロットを使用させる指示を行う非製品ロット使用指示部と、
上記各処理装置のために使用された上記第２期非製品ロットをなす非製品を、所定の回収条件に従って搬送用容器に回収して第３期非製品ロットを作成する第３期非製品ロット作成部と、
上記第３期非製品ロット作成部によって作成された上記第３期非製品ロットをなす非製品を、所定の再生条件に従って上記第１期非製品ロットのための非製品となるように再生して第４期非製品ロットを作成する第４期非製品ロット作成部と、
上記第４期非製品ロット作成部によって作成された上記第４期非製品ロットを、上記第１期非製品ロット作成部へ引き渡す非製品ロット投入部とを備えたことを特徴とする非製品管理システム。
【請求項２】
請求項１に記載の非製品管理システムにおいて、
上記各処理装置毎にその処理装置のための上記第２期非製品ロットの使用計画を作成するスケジューリングシステムを備え、
少なくとも上記第１期非製品ロット作成部および第２期非製品ロット作成部は、上記第２期非製品ロットの使用計画に基づいて動作することを特徴とする非製品管理システム。
【請求項３】
請求項２に記載の非製品管理システムにおいて、
上記第４期非製品ロット作成部は、上記第２期非製品ロットの使用計画に基づき現在不足している上記第１期非製品ロットの量に応じて、上記第３期非製品ロットをなす非製品を再生するようになっていることを特徴とする非製品管理システム。
【請求項４】
請求項１に記載の非製品管理システムにおいて、
上記第３期非製品ロット作成部は、上記回収条件として、上記第２期非製品ロットをなす非製品が使用された装置および目的毎に、上記非製品を搬送用容器に回収することを特徴とする非製品管理システム。
【請求項５】
請求項１に記載の非製品管理システムにおいて、
上記第１期非製品ロット作成部が上記第１期非製品ロットを作成するとき用いる上記搬送用容器、上記第２期非製品ロット作成部が上記記憶テーブルによって在庫を更新するとき上記第２期非製品ロットを収容する搬送用容器、および上記第３期非製品ロット作成部が上記第３期非製品ロットを作成するとき用いる上記搬送用容器は、それぞれ上記生産現場に設けられた所定の保管場所に互いに区別して置かれていることを特徴とする非製品管理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は非製品管理システムに関し、より詳しくは、処理装置によって製品を処理する生産現場で上記処理装置のために使用される非製品の少なくとも準備、使用および回収を管理する非製品管理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体生産ラインでは、製品ウエハ以外に、製品ウエハの品質保証や、拡散炉、スパッタ装置等各種プロセス装置の管理を目的として、非製品ウエハ（ＮＰＷ：Non Product Wafer）が流される。
【０００３】
従来、この種の非製品ウエハを管理するシステムとして、特許文献１（特開２００１−１７６７６３号公報）に記載のように、半導体生産に係わる１以上のプロセス装置がホストコンピュータによって制御され、非製品ウエハを含む製品ウエハの搬送及び工程トラッキングを自動化する半導体生産自動化システムにおいて、前記ホストコンピュータは、前記工程の流れや前記工程毎に処理の条件が設定され格納されるマスタファイル上に、前記それぞれの工程における目的や動作で分類された用途区分を情報として付加し、前記各装置から発せられる前記製品ウエハまたは非製品ウエハの搬送要求に応じて前記マスタファイル上に格納される用途区分を含む処理条件を提供することにより、個々の用途に応じた非製品ウエハを搬送し、工程トラッキングを制御するものが知られている。また、同文献には、上記ホストコンピュータは、定期的に処理が必要な非製品ウエハに関し、前回チェック時からの経過時間、処理ロット数のうちの少なくとも一つを処理条件に応じて個別に管理し、予め定義された時間もしくは処理ロット数をカウントして前記非製品ウエハに対して搬送指示を発行することも記載されている。同文献には、非製品ウエハを回収キャリア（空キャリア）に回収することも記載されている。
【特許文献１】特開２００１−１７６７６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、非製品ウエハについては、一旦使用されて回収された後、所定の研磨処理や洗浄処理によって再生されて、再び生産ラインに投入される場合がある。このため、従来例のように、プロセス装置からの非製品ウエハの搬送要求や、ホストコンピュータによる定期的なチェック（予め定義された時間、処理ロット数などに基づく）に応じて非製品ウエハを供給し、その後回収するだけでは、依然として、非製品ウエハの在庫過多の発生や逆に在庫が少なく設備の性能確認が必要なタイミングで実施できないという問題が発生する。この結果、プロセス装置の稼動率低下を招く。また、その結果、依然として、非製品の帳票上の在庫と現物ロットとの突合せ作業などに多くの人手が必要とされる。
【０００５】
そこで、この発明の課題は、処理装置によって製品を処理する生産現場で上記処理装置のために使用される非製品の少なくとも準備、使用および回収を管理する非製品管理システムであって、上記処理装置のところへ非製品を過不足無く、かつタイミング良く供給でき、また、人手を削減できる非製品管理システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため、この発明の非製品管理システムは、
複数の処理装置によって製品を処理する生産現場で上記処理装置のために使用される非製品の準備、使用、回収および再生を管理する非製品管理システムであって、
上記非製品の準備のために、複数の非製品を搬送用容器に収容して第１期非製品ロットを作成する第１期非製品ロット作成部と、
上記第１期非製品ロット作成部によって作成された上記第１期非製品ロットを、各処理装置毎にその処理装置のために使用される第２期非製品ロットとして所定の記憶テーブルに登録して、上記第２期非製品ロットの在庫を更新する第２期非製品ロット作成部と、
上記各処理装置毎に上記第２期非製品ロットを使用させる指示を行う非製品ロット使用指示部と、
上記各処理装置のために使用された上記第２期非製品ロットをなす非製品を、所定の回収条件に従って搬送用容器に回収して第３期非製品ロットを作成する第３期非製品ロット作成部と、
上記第３期非製品ロット作成部によって作成された上記第３期非製品ロットをなす非製品を、所定の再生条件に従って上記第１期非製品ロットのための非製品となるように再生して第４期非製品ロットを作成する第４期非製品ロット作成部と、
上記第４期非製品ロット作成部によって作成された上記第４期非製品ロットを、上記第１期非製品ロット作成部へ引き渡す非製品ロット投入部とを備えたことを特徴とする。
【０００７】
ここで「非製品」とは、例えば半導体製品の生産現場で本来の製品ウエハとは別に用いられる非製品ウエハ（ＮＰＷ）のように製品ウエハの品質管理、処理装置の性能維持のために要求されるような製品以外のものを指す。
【０００８】
また、「所定の回収条件」とは、上記第２期非製品ロットをなす非製品のタイプ（属性）による区別などを指す。
【０００９】
また、「所定の再生条件」とは、上記第３期非製品ロットをなす非製品のタイプ（属性）、それが使用された処理装置による区別などを指す。この再生条件次第では、上記第３期非製品ロットをなす非製品は、再生のための特別な処理（研磨、洗浄など）を施されることなく、第３期非製品ロットから第４期非製品ロットへの変更（データ処理）だけで第４期非製品ロットの一部となり得る。
【００１０】
この発明の非製品管理システムでは、非製品の準備、使用、回収および再生のサイクルを管理している。この結果、上記処理装置のところへ非製品を過不足無く、かつタイミング良く供給できる。また、この非製品管理システムにおける第１期乃至第４期の非製品ロット作成部や、非製品ロット使用指示部、非製品ロット投入部は、コンピュータプログラムによって構成され得る。したがって、この非製品管理システムの機能をコンピュータによって自動的に実行させることができ、この結果、人手を削減できる。
【００１１】
なお、この発明の非製品管理システムでは、上記第４期非製品ロット作成部によって作成された上記第４期非製品ロットをなす非製品が上記第１期非製品ロット作成部に引き渡されるのとともに、上記生産現場に新品の非製品が上記第１期非製品ロット作成部に投入されても良い。
【００１２】
一実施形態の非製品管理システムは、
上記各処理装置毎にその処理装置のための上記第２期非製品ロットの使用計画を作成するスケジューリングシステムを備え、
少なくとも上記第１期非製品ロット作成部および第２期非製品ロット作成部は、上記第２期非製品ロットの使用計画に基づいて動作することを特徴とする。
【００１３】
この一実施形態の非製品管理システムでは、上記スケジューリングシステムによって上記第２期非製品ロットの使用計画が作成される。上記第１期非製品ロット作成部は、上記第２期非製品ロットの使用計画に基づいて上記第１期非製品ロットを作成する。上記第２期非製品ロット作成部は、上記第２期非製品ロットの使用計画に基づいて、上記各処理装置毎にその処理装置のために使用される上記第２期非製品ロットの登録および在庫の更新を行う。この結果、上記第２期非製品ロットが必要とされる時刻までに、上記第２期非製品ロットが準備される。この結果、上記処理装置のところへ非製品をさらに過不足無く、かつ、さらにタイミング良く供給できる。
【００１４】
一実施形態の非製品管理システムでは、上記第４期非製品ロット作成部は、上記第２期非製品ロットの使用計画に基づき現在不足している上記第１期非製品ロットの量に応じて、上記第３期非製品ロットをなす非製品を再生するようになっていることを特徴とする。
【００１５】
この一実施形態の非製品管理システムでは、上記第４期非製品ロット作成部は、上記第２期非製品ロットの使用計画に基づき現在不足している上記第１期非製品ロットの量に応じて、上記第３期非製品ロットをなす非製品を再生する。この結果、上記第２期非製品ロットが必要とされる時刻までに、上記第２期非製品ロットが準備される。この結果、上記処理装置のところへ非製品をさらに過不足無く、かつ、さらにタイミング良く供給できる。
【００１６】
一実施形態の非製品管理システムでは、上記第３期非製品ロット作成部は、上記回収条件として、上記第２期非製品ロットをなす非製品が使用された装置および目的毎に、上記非製品を搬送用容器に回収することを特徴とする。
【００１７】
この一実施形態の非製品管理システムでは、上記第２期非製品ロットをなす非製品が使用された装置および目的毎に上記第３期非製品ロットが作成される。
【００１８】
一実施形態の非製品管理システムでは、上記第１期非製品ロット作成部が上記第１期非製品ロットを作成するとき用いる上記搬送用容器、上記第２期非製品ロット作成部が上記記憶テーブルによって在庫を更新するとき上記第２期非製品ロットを収容する搬送用容器、および上記第３期非製品ロット作成部が上記第３期非製品ロットを作成するとき用いる上記搬送用容器は、それぞれ上記生産現場に設けられた所定の保管場所に互いに区別して置かれていることを特徴とする。
【００１９】
この一実施形態の非製品管理システムでは、上述の各搬送用容器がそれぞれ上記生産現場に設けられた所定の保管場所に互いに区別して置かれている。したがって、万一オペレータ（人）が介入する場合であっても、上記第１期乃至第３期の非製品ロットの管理が容易になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、この発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。
【００２１】
図１は、生産現場としての半導体製造ラインに適用されたこの発明の一実施形態の非製品管理システムのハードウエアの構成を示している。半導体生産ラインでは、背景技術欄で述べたように、製品ウエハ以外に、製品ウエハの品質保証や、拡散炉、スパッタ装置等各種プロセス装置の管理を目的として、非製品ウエハ（ＮＰＷ：Non Product Wafer）が流される。この非製品管理システムは、各種プロセス装置のために使用される非製品ロットの準備、使用、回収および再生を管理するためのシステムである。
【００２２】
この例では、非製品ロットの準備のために非製品ウエハを集めている段階（準備段階）にある非製品ウエハ群を「第１期非製品ロット」と呼ぶ。また、各プロセス装置に使用できる段階（使用段階）にある非製品ウエハ群を「第２期非製品ロット」と呼ぶ。各プロセス装置に使用された後回収された段階（回収段階）にある非製品ウエハ群を「第３期非製品ロット」と呼ぶ。回収された後再生されて再び投入可能な段階（再生段階）にある非製品ウエハ群を「第４期非製品ロット」と呼ぶ。
【００２３】
図１に示すように、この非製品管理システムは、ホストコンピュータ１と、多数のデータファイルが格納される記録装置２と、数時間から数日先の製品ロット処理の計画等を作成するスケジューリングシステム３と、処理装置としてのプロセス装置４と、使用された非製品ウエハの測定を行う測定装置５と、ウエハの移載を行う移載装置６と、製造ラインに投入されるロットを保管する保管場所としての保管棚７と、搬送用容器としてのキャリアを搬送する搬送車８と、この搬送車８を自動搬送制御するシステム９とを備えている。これらの構成要素１〜９は、この例ではＬＡＮ（ローカルエリアネットワーク）からなるネットワーク１０によって相互通信可能に接続されている。また、構成要素４〜８は、図１中ではそれぞれ１つのブロックで表されているが、実際にはそれぞれ複数設けられている（後述）。
【００２４】
自動搬送制御するシステム９は、ホストコンピュータ１からの搬送指示を受けて、搬送車８を制御する。自動搬送制御するシステム９による制御に応じて、搬送車８は、製品ロットや非製品ロットを搭載したキャリアや空キャリアを搬送する（以下、これを単に「搬送」という。）。
【００２５】
記録装置２には、各種定義ファイルなどを格納したマスタファイル２１、非製品ロットの在庫をリアルタイムで更新して管理するための非製品ロット在庫管理データ２２などが格納されている。マスタファイル２１は、図８に例示するように、業務ＩＤ、周期、管理データ種、次回計画値、累積値、予想計画日時、モニタフロー、第２期非製品ロットタイプなどの項目を含んでいる。
【００２６】
図１中に示すホストコンピュータ１はこの非製品管理システムの全体の制御を行う。特に、このホストコンピュータ１は、各プロセス装置４への第２期非製品ロットの供給タイミングの値を管理しており、定義された一定の間隔でスケジューリングシステム３にその値を報告する。この各プロセス装置４への第２期非製品ロットの供給タイミングの管理方法は、各プロセス装置４の状態に関してマスタファイル２１上に設定され格納されている管理項目毎に管理を行う。
【００２７】
スケジューリングシステム３は、ホストコンピュータ１から報告を受けた値、プロセス装置４の稼動状態、工場内仕掛り（ＷＩＰ：Work In Progress）など必要な情報に基づいて、製品ロットの処理計画および第２期非製品ロットの供給計画を作成する。このスケジューリングシステム３としては、例えば半導体製造ライン向けに作成された市販のものを使用できる。作成された製品ロットの処理計画および第２期非製品ロットの使用計画は、ホストコンピュータ１を介して、図９に例示するように、第２期非製品ロット使用計画テーブルとして記録装置２内に格納される。
【００２８】
図２Ａおよび図２Ｂは、この非製品管理システムで実行され得る各種アクション（指示を含む。）Ｊ１〜Ｊ１８を示している。これらのアクションは、それぞれコンピュータプログラムを実行することによって実現される。図２Ａは第２期非製品ロットの作成からプロセス装置への供給までに実行されるアクションを示し、図２Ｂは測定結果から次のアクションを示している。
【００２９】
図２Ａ中に示すアクションＪ１は、プロセス装置４からホストコンピュータ１への処理データ報告である。
【００３０】
アクションＪ２は、ホストコンピュータ１から記憶装置２内の業務マスタテーブル２１への業務マスタ累積値の更新指示（業務周期管理処理）である。
【００３１】
アクションＪ３は、スケジューリングシステム３によって定期的に行われる業務マスタテーブル２１の参照である。
【００３２】
アクションＪ４は、スケジューリングシステム３による第２期非製品ロット処理計画の日時の算出と、その内容に基づく業務マスタテーブル２１の更新である。
【００３３】
アクションＪ５は、ホストコンピュータ１によって定期的に行われる、業務マスタテーブル２１に格納された業務マスタ計画の日時の参照（非製品在庫管理処理）である。
【００３４】
アクションＪ６は、ホストコンピュータ１から移載装置６への、第１期非製品ロット在庫管理（非製品在庫管理処理）の指示であり、実質的には必要とする第２期非製品ロットの作成指示を意味する。この指示は、スケジューリングシステム３により作成された第２期非製品ロットの供給計画に基づいて、かつマスタファイル２１上に設定された定義ファイルに従って発せられる。
【００３５】
アクションＪ７は、移載装置６による第２期非製品ロットの作成である。
【００３６】
アクションＪ８は、移載装置６から保管棚７への第２期非製品ロットの搬送指示である。
【００３７】
アクションＪ９は、業務管理値到達によるホストコンピュータ１からプロセス装置４への装置状態の更新である。
【００３８】
アクションＪ１０は、保管棚７からプロセス装置４への第２期非製品ロットの供給（業務周期管理処理）である。なお、プロセス装置４は、ホストコンピュータ１から使用指示を受けて第２期非製品ロットを使用する。
【００３９】
図２Ｂ中に示すアクションＪ１１は、測定装置５からホストコンピュータ１への第２期非製品ロットの測定結果の報告である。なお、測定装置５は、ホストコンピュータ１から測定指示を受けて第２期非製品ロットを測定する。
【００４０】
アクションＪ１２は、第２期非製品ロットの測定結果に対するホストコンピュータ１による合否判定である。ホストコンピュータ１は、定義されたスペックに基づいて、測定結果の合否判定を行う。
【００４１】
アクションＪ１３は、ホストコンピュータ１から移載装置６への、使用された第２期非製品ロットを第３期非製品ロットとして回収させる指示である。
【００４２】
アクションＪ１４は、アクションＪ１２で合格であった場合（測定結果ＯＫ時）または不合格であった場合（測定結果ＮＧ時）の、ホストコンピュータ１によるプロセス装置４の状態の更新である。測定結果ＯＫ時は「使用可能状態」に更新する一方、測定結果ＮＧ時は「異常状態」に更新する。これにより、各プロセス装置４の稼働情報が精度良く収集される。
【００４３】
アクションＪ１５は、アクションＪ１２で合格であった場合（測定結果ＯＫ時）の、ホストコンピュータ１から業務マスタテーブル２１への業務マスタ次回計画値の更新（業務終了）である。
【００４４】
アクションＪ１６は、測定結果ＮＧ時の、ホストコンピュータ１からオペレータ９０へのオペレータコールの実施である。
【００４５】
アクションＪ１７は、測定結果ＮＧ時の、ホストコンピュータ１から移載装置６への、再実施用の第２期非製品ロット数不足時の補充指示である。
【００４６】
アクションＪ１８は、測定結果ＮＧ時の、移載装置６から保管棚７への第２期非製品ロットの搬送指示である。
【００４７】
このように、測定結果の合否に応じて第２期非製品ロットの供給タイミングの変更および管理を行うことで、製品の歩留り安定、向上を図ることができる。
【００４８】
図３は、この非製品管理システムによる非製品ロット（この例ではモニタリングロット）の準備、使用、回収および再生のサイクルを模式的に示している。
【００４９】
図３中の最上段に示す移載装置６−１は、第１期非製品ロット在庫管理の指示Ｆ０（図２Ａ中のアクションＪ６に対応）を受けると、空キャリア（図３中に「空」と表す。）に新たに投入される非製品ウエハ（図３中に「新規ウエハ」と表す。）と後述する再生された非製品ウエハ（第４期非製品ロットをなすウエハであり、矢印Ｆ９で示す。）とを収容して、第１期非製品ロット（図３中に「函」と表す。）を作成する。作成された第１期非製品ロットは、矢印Ｆ１（図２Ａ中のアクションＪ８に対応）で示すように、工場内の特定の場所に設けられた保管棚７−１Ａ，７−１Ｂ，７−１Ｃに搬送されて、保管される。
【００５０】
上記第１期非製品ロットは、各プロセス装置４−Ａ，４−Ｂ，４−Ｃ毎にそのプロセス装置のために使用される第２期非製品ロット（図３中に「Ｍ」と表す。）として、記憶装置２内に格納された記憶テーブルとしての図４に示す非製品ロット紐付関係テーブルに登録される。この図４の非製品ロット紐付関係テーブルでは、第４期非製品ロット、第１期非製品ロット、第２期非製品ロットの間の対応関係（紐付関係）が、ウエハ単位で登録されている。したがって、この図４の非製品ロット紐付関係テーブルを参照することにより、また、或るプロセス装置に或る目的で使用される第２期非製品ロットを作成するためにどのタイプの第１期非製品ロットが必要であるか、また、或るタイプの第１期非製品ロットを作成するためにどのようなタイプの第４期非製品ロットが必要であるかが特定される。登録された第２期非製品ロットは、図３中に矢印Ｆ２（図２Ａ中のアクションＪ８に対応）で示すように、それぞれのタイプに応じて工場内の各プロセス装置４−Ａ，４−Ｂ，４−Ｃの近傍に設けられた保管棚７−２Ａ，７−２Ｂ，７−２Ｃに搬送されて、保管される。
【００５１】
保管棚７−２Ａ，７−２Ｂ，７−２Ｃに保管された第２期非製品ロットは、それぞれのタイプに応じて各プロセス装置４−Ａ，４−Ｂ，４−Ｃのところで、半導体製品の品質保証や各プロセス装置の性能を管理するために使用される。
【００５２】
使用された第２期非製品ロットは、移載装置６−２Ａ，６−２Ｂによって、図３中に矢印Ｆ３（図２Ｂ中のアクションＪ１３に対応）で示すように、所定の回収条件に従って回収用のキャリア（図３中に「回」と表す。）に回収されて、第３期非製品ロットが作成される。このときの「回収条件」は、図５の回収テーブル（記憶装置２内に格納されている）に示すように、その非製品ロットが第２期非製品ロットであったときのタイプとそれが使用されたプロセス（使用装置および使用目的）とを関連付けたものである。この回収テーブルを参照することにより、第２期非製品ロットであったときのタイプとそれが使用されたプロセス毎にウエハ単位で仕分けた状態で、第３期非製品ロットが作成される。なお、このとき生じた空のキャリアは、図３中に矢印Ｆ８で示すように、第１期非製品ロット作成用の移載装置（この例では６−１）のところへ搬送される。
【００５３】
図３中に矢印Ｆ４で示すように、作成された第３期非製品ロットは、工場内の特定の場所に設けられた保管棚７−３Ａ，７−３Ｂに保管される。各第３期非製品ロットは、回収用キャリア内に非製品ウエハが満杯（この例では２５枚／キャリア）になった時点で保管棚７−３Ａ，７−３Ｂから出されて、その第３期非製品ロットのタイプ（図５参照。）に応じて、図３中に矢印Ｆ５で示すようにそのまま別の第１期非製品ロットとして再利用されるか、矢印Ｆ６で示すように研磨や洗浄などの再生処理を経て第４期非製品ロットとなるかに分かれる。そのまま別の第１期非製品ロットとして再利用される場合は、矢印Ｆ７で示すように、第１期非製品ロット用の保管棚（この例では７−１Ａ）に搬送されて、保管される。再生処理を経て得られた第４期非製品ロットは、矢印Ｆ９で示すように、作成用の移載装置（この例では６−１）のところへ搬送される。この搬送は、少なくとも第２期非製品ロットの使用計画および第２期非製品ロットの在庫に基づいて行われる。
【００５４】
この非製品管理システムでは、上述のように非製品の準備、使用、回収および再生のサイクルを管理している。この結果、各プロセス装置４−Ａ，４−Ｂ，４−Ｃのところへ非製品を過不足無く、かつタイミング良く供給できる。また、第１期非製品ロットを作成するとき用いる「函」キャリア、第２期非製品ロットを収容する「Ｍ」キャリア、第３期非製品ロットを作成するとき用いる「回」キャリアが、所定の保管棚に互いに区別して置かれているので、万一オペレータ（人）が介入する場合であっても、第１期乃至第３期の非製品ロットの管理が容易になる。
【００５５】
この非製品管理システムの機能は、次のようにホストコンピュータ１等によって自動的に実行させることができる。
【００５６】
図６Ａは、ホストコンピュータ１による非製品ロット作成の概略の流れを示している。この図６Ａに示すように、この非製品管理システムでは、第１期非製品ロットの補充チェック処理イベント（Ｓ１）と、第１期非製品ロットの作成チェック処理イベントＡ（Ｓ２）と、第１期非製品ロットの作成チェック処理イベントＢ（Ｓ３）とが、ホストコンピュータ１におけるタイマ管理によって定期的に発生する。
【００５７】
図６Ｂは、図６Ａ中の第１期非製品ロットの補充チェック処理イベント（Ｓ１）の具体的な流れを示している。これは、第１期非製品ロットの補充に関する処理である。
【００５８】
まず、ステップＳ１１において、第１期非製品ロットのタイプ別在庫数の集計処理を行って実際のタイプ別在庫数を得る。次に、予め定義された第１期非製品ロットのタイプ別設定在庫数とこの得られたタイプ別在庫数（実在庫数）とを比較して（Ｓ１２）、第１期非製品ロットの不足しているタイプが有るか否かを判断する（Ｓ１３）。ここで、不足しているタイプが無ければ、このイベントの処理を終了する。一方、不足しているタイプがあれば、その不足しているタイプを準備するために、図４に示した非製品ロット紐付関係テーブルのうち第４期非製品ロットと第１期非製品ロットとの対応関係を示す部分を参照して、第１期非製品ロットへ変更可能な第４期非製品ロットをウエハ単位で抽出する（Ｓ１４）。続いて、抽出された第４期非製品ロットの在庫を検索する（Ｓ１５）。ここで、第４期非製品ロットの在庫があれば（Ｓ１６で「あり」）、その第４期非製品ロットを第１期非製品ロットに変更する（Ｓ１７）。つまり、第４期非製品ロットを第１期非製品ロットとして情報を付け替えて非製品ロット在庫データ２２として登録する（以下、単に「変更」という。）。さらに、その第４期非製品ロットに対して第１期非製品ロットに変更するための前処理が必要であれば（Ｓ１８）、その前処理を実施する（Ｓ１９）。その第４期非製品ロットに対して前処理が必要なければ、このイベントの処理を終了する。
【００５９】
ステップＳ１６において第４期非製品ロットの在庫が無ければ（Ｓ１６で「なし」）、第４期非製品ロットの補充について人の関与が必要であるか否かを判断する（Ｓ２０）。ここで、人の関与が必要であれば、オペレータコールを発行して（Ｓ２２）、ステップＳ１６に戻る。一方、人の関与が不要である場合は、第４期非製品ロットが第３期非製品ロットからの再生を行うように定義されていれば、第４期非製品ロットの在庫が生ずる可能性があるため、待機することにして（Ｓ２１）、ステップＳ１６に戻る。
【００６０】
図６Ｃは、図６Ａ中の第２期非製品ロットの作成チェック処理イベントＡ（Ｓ２）の具体的な流れを示している。これは、第２期非製品ロットの作成に関する処理である。
【００６１】
まず、ステップＳ３１において、第２期非製品ロットのタイプ別在庫数の集計処理を行って実際のタイプ別在庫数を得る。次に、スケジューラ（スケジューリングシステム）３が作成した第２期非製品ロットのタイプ別必要数とこの得られたタイプ別在庫数（実在庫数）とを比較して（Ｓ３２）、第１期非製品ロットの不足しているタイプが有るか否かを判断する（Ｓ３３）。ここで、不足しているタイプが無ければ、このイベントの処理を終了する。一方、不足しているタイプがあれば、その不足しているタイプを準備するために、図４に示した非製品ロット紐付関係テーブルのうち第１期非製品ロットと第２期非製品ロットとの対応関係を示す部分を参照して、第２期非製品ロットへ変更可能な第１期非製品ロットをウエハ単位で抽出する（Ｓ３４）。続いて、抽出された第１期非製品ロットの在庫を検索する（Ｓ３５）。ここで、第１期非製品ロットの在庫があれば（Ｓ３６で「あり」）、第１期非製品ロットから第２期非製品ロットへのウエハ移載を指示する（Ｓ３７）。この移載は、在庫の全ウエハの移載が完了するまで、或る第１期非製品ロットから次の第１期非製品ロットへ順次実行する（Ｓ３７、Ｓ３８）。その後、その移載された第１期非製品ロットに対して第２期非製品ロットに変更するための前処理が必要であれば（Ｓ４０）、その前処理を実施する（Ｓ４１）。その第１期非製品ロットに対して前処理が必要なければ、このイベントの処理を終了する。
【００６２】
ステップＳ３６において第１期非製品ロットの在庫が無ければ（Ｓ３６で「なし」）、次候補の指定の有無を判断する（Ｓ４２）。ここで、次候補の指定があれば、ステップＳ３５に戻って、第１期非製品ロットの在庫の検索を継続する。一方、次候補の指定が無ければ、第１期非製品ロットを作成する（Ｓ４３）。その後、図６Ｂ中のステップＳ１４へ進む。
【００６３】
図６Ｄは、図６Ａ中の第２期非製品ロットの作成チェック処理イベントＢ（Ｓ３）の具体的な流れを示している。これは、第２期非製品ロットの作成に関する処理である。
【００６４】
まず、ステップＳ５１において、スケジューラが作成した第２期非製品ロットの使用計画リストを検索する。次に、その使用計画に対する第２期非製品ロットの割当が完了しているか否かを判断する（Ｓ５２）。ここで、第２期非製品ロットの割当が完了していれば、このイベントの処理を終了する。一方、第２期非製品ロットの割当が未完であれば、割り当てに必要な元となる第２期非製品ロットの在庫を確認する（Ｓ５３）。ここで、第２期非製品ロットの在庫があれば（Ｓ５４で「あり」）、その第２期非製品ロットの割り当てを実施する（Ｓ５５）。一方、第２期非製品ロットの在庫が無ければ（Ｓ５４で「なし」）、第２期非製品ロットを作成する（Ｓ５６）。その後、図６Ｃ中のステップＳ３４へ進む。
【００６５】
図７はホストコンピュータ１による非製品ロットの回収フローを示している。
【００６６】
まず、ステップＳ５１では、使用された第２期非製品ロットのタイプに基づいて、その使用された第２期非製品ロットがそのまま再利用可能であるか否かを判断する。ここで、その第２期非製品ロットがそのまま再利用可能であれば、再利用のために、その第２期非製品ロットを保管棚７に待機させる（Ｓ７２）。一方、その第２期非製品ロットがそのまま再利用可能でなければ、その第２期非製品ロットの中から、図５の回収テーブルに従って、第３期非製品ロットを構成すべき非製品をウエハ単位で抽出する（Ｓ７３）。図５の回収テーブルを参照することにより、第２期非製品ロットであったときのタイプとそれが使用されたプロセス毎にウエハ単位で仕分けた状態で、第３期非製品ロットを構成すべき非製品が抽出される。続いて、抽出された第３期非製品ロットの在庫を検索する（Ｓ７４）。ここで、抽出された第３期非製品ロットの在庫がなければ（Ｓ７５で「なし」）、存在する第２期非製品ロットを第３期非製品ロットに変更して（Ｓ７６）、この回収フローを終了する。一方、抽出された第３期非製品ロットの在庫があれば（Ｓ７５で「あり」）、第２期非製品ロットから第３期非製品ロットへのウエハ移載を移載装置６に対して指示する（Ｓ７７）。次に、第３期非製品ロットを収容すべきキャリア内にウエハが満杯になったか否かを判断して（Ｓ７８）、キャリア内にウエハが満杯になっていなければ（Ｓ７８で「空きあり」）、この回収フローを終了する。一方、キャリア内にウエハが満杯になっていれば（Ｓ７８で「満杯」）、そのキャリアに収容された第３期非製品ロットを第４期非製品ロットを経て第１期非製品ロットへ再生可能であるか否かを判断する（Ｓ７９）。ここで、その第３期非製品ロットを第４期非製品ロットを経て第１期非製品ロットへ再生することが可能であれば、その第３期非製品ロットを第４期非製品ロットを経て第１期非製品ロットに変更する（Ｓ８０）。一方、その第３期非製品ロットを第４期非製品ロットを経て第１期非製品ロットへ再生することが不可能であれば、オペレータコールを発行する（Ｓ８１）。そして、この回収フローを終了する。
【００６７】
この非製品管理システムでは、このように非製品の準備、使用、回収および再生のサイクルを管理することで、各プロセス装置のところへ非製品を過不足無く、かつタイミング良く供給できる。この結果、非製品ロットの供給待ちによるプロセス装置４の稼動率低下を防止することができる。また、非製品ロットの測定結果に基づいてプロセス装置４への供給タイミングを見直すことにより、製品の歩留り安定、向上を図ることができる。しかも、オペレータコール発行を最小限にとどめて、人手を削減できる。
【００６８】
図１０Ａは、上述の非製品管理システムを、半導体工場２００全体の工程管理を行うＣＩＭ（Computer Integrated Manufact）システム１００に適用した例を示している。
【００６９】
この例では、半導体工場２００には、複数のプロセス装置２０１〜２０５と、モニタ編集機２２０とが設置されている。半導体工場２００は、自動化部１０１とＭＬＣ（モニタ系ロット管理プロセス）１０２とを含むＣＩＭシステム１００によって管理されている。このＣＩＭシステム１００と双方向の情報通信が可能な状態に、データベース１０３と、ＭＭＧユーザインタフェイス１０４とが設置されている。ユーザ（オペレータを含む。）は、ＭＭＧユーザインタフェイス１０４を介してデータベース１０３にアクセスすることができる。このＣＩＭシステム１００は図１中のホストコンピュータ１を包含し、データベース１０３は図１中の記録装置２を包含する。
【００７０】
図１０Ｂに示すように、自動化部１０１は、モニタ編集機ロット要求処理、モニタ編集機処理完了処理、編集機棚情報在庫アップロード処理、モニタ系ロットストッカ搬送完了処理（在庫物流制御）としての作成モニタ系ロット搬送、処理完了モニタ系ロット搬送および使用可能モニタ函搬送を実行する。
【００７１】
図１０Ｃに示すように、ＭＬＣ１０２は、ロットヒストリ処理としての作成完了ロット処理、処理完了ロット処理、回収フルカセット再生処理、再生完了ロット処理および前処理完了(モニタ系／函)ロット処理を実行する。さらに、巡回処理としての工場内モニタ系ロット在庫管理、装置接続ストッカ在庫管理、モニタ編集機モニタ函ロット在庫管理、回収／作成モニタ編集機特定処理および異常ロットリカバリー処理を実行する。
【００７２】
図１０Ｄに示すように、データベース１０３には、ロットデータ、カセットデータ、ウエハデータ、モニタタイプデータ、回収タイプデータ、モニタ函タイプデータ、在庫設定データ、モニタ編集機内棚設定データ、モニタ編集機内棚情報、モニタ編集機ウエハ移載情報、モニタ編集機ウエハ移載待ち情報、モニタ編集機アームグレード情報、ロット処理履歴およびウエハ移動履歴が格納される。
【００７３】
図１０Ｅに示すように、ＭＭＧユーザインタフェイス１０４によれば、大別して、「定義データ登録」と、「検索／編集」とが可能である。「定義データ登録」には、在庫定義としてのモニタ系ロット総量設定、モニタ系ロットストッカ在庫設定およびモニタ編集機内棚在庫設定が含まれる。また、タイプ定義としてのモニタタイプ定義、モニタ函タイプ定義、回収タイプ定義および回収後処理／再生後ウェハタイプ定義が含まれる。さらに、その他としてカセット使用回数定義および編集機アームグレード定義が含まれる。「検索／編集」には、モニタ編集機棚情報検索／編集、モニタ編集機ウエハ移載情報検索／編集、モニタ編集機ウエハ移載待ち情報（JOBリスト）検索／編集、モニタ系ロット在庫数検索、空カセット処置入力、在庫不足検索および異常ロット検索が含まれる。
【００７４】
このＣＩＭシステム１００では、上述の非製品管理システムを適用することによって、非製品の準備、使用、回収および再生のサイクルを管理することができ、この結果、各プロセス装置２０１〜２０５のところへ非製品を過不足無く、かつタイミング良く供給できる。この結果、非製品ロットの供給待ちによるプロセス装置２０１〜２０５の稼動率低下を防止することができる。また、非製品ロットの測定結果に基づいてプロセス装置２０１〜２０５への供給タイミングを見直すことにより、製品の歩留り安定、向上を図ることができる。しかも、オペレータコール発行を最小限にとどめて、人手を削減できる。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】半導体製造ラインに適用されたこの発明の一実施形態の非製品管理システムのハードウエアの構成を示す図である。
【図２Ａ】この非製品管理システムで実行され得る各種アクションを示す図である。
【図２Ｂ】この非製品管理システムで実行され得る各種アクションを示す図である。
【図３】この非製品管理システムによる非製品ロット（モニタリングロット）の準備、使用、回収および再生のサイクルを模式的に示す図である。
【図４】記憶装置内に格納された非製品ロット紐付関係テーブルを例示する図である。
【図５】記憶装置内に格納された回収テーブルを例示する図である。
【図６Ａ】ホストコンピュータによる非製品ロット作成の概略の流れを示す図である。
【図６Ｂ】図６Ａ中の第１期非製品ロットの補充チェック処理イベント（Ｓ１）の具体的な流れを示す図である。
【図６Ｃ】図６Ａ中の第２期非製品ロットの作成チェック処理イベントＡ（Ｓ２）の具体的な流れを示す図である。
【図６Ｄ】図６Ａ中の第２期非製品ロットの作成チェック処理イベントＢ（Ｓ３）の具体的な流れを示す図である。
【図７】ホストコンピュータによる非製品ロットの回収フローを示す図である。
【図８】記憶装置内に格納されたマスタテーブルを例示する図である。
【図９】記憶装置内に格納された第２期非製品ロット使用計画テーブルを示す図である。
【図１０Ａ】上述の非製品管理システムを半導体工場全体の工程管理を行うＣＩＭシステムに適用した例を示す図である。
【図１０Ｂ】図１０Ａ中の自動化部が実行し得る処理のリストを示す図である。
【図１０Ｃ】図１０Ａ中のＭＬＣが実行し得る処理のリストを示す図である。
【図１０Ｄ】図１０Ａ中のデータベース１０３に格納されるデータ内容のリストを示す図である。
【図１０Ｅ】図１０Ａ中のＭＭＧユーザインタフェイスによって可能な処理のリストを示す図である。
【符号の説明】
【００７６】
１  ホストコンピュータ
２  記録装置
３  スケジューリングシステム
【図１】
2008210314.tif 000003
【図２Ａ】
2008210314.tif 000004
【図２Ｂ】
2008210314.tif 000005
【図３】
2008210314.tif 000006
【図４】
2008210314.tif 000007
【図５】
2008210314.tif 000008
【図６Ａ】
2008210314.tif 000009
【図６Ｂ】
2008210314.tif 000010
【図６Ｃ】
2008210314.tif 000011
【図６Ｄ】
2008210314.tif 000012
【図７】
2008210314.tif 000013
【図８】
2008210314.tif 000014
【図９】
2008210314.tif 000015
【図１０Ａ】
2008210314.tif 000016
【図１０Ｂ】
2008210314.tif 000017
【図１０Ｃ】
2008210314.tif 000018
【図１０Ｄ】
2008210314.tif 000019
【図１０Ｅ】
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