(57)【要約】【課題】ヘッドメンテナンス部の設置スペースを極力小さくできる液滴吐出装置及び液滴吐出装置の配置方法を提供する。【解決手段】機能液滴吐出ヘッド８２を搭載したヘッドユニット１３とセットテーブル２１とを相対移動させ、機能液滴吐出ヘッド８２から機能液を吐出する機能液吐出部１Ａ，１Ａ´と、機能液滴吐出ヘッド８２のメンテナンスを行うヘッドメンテナンス部１０と、を有する液滴吐出装置１である。ヘッドメンテナンス部１０はセットテーブル２１の移動領域から外れた場所に設置される。複数の機能液吐出部１Ａ，１Ａ´は、ヘッドメンテナンス部１０を共用する。【選択図】図１
2008114206.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能液滴吐出ヘッドを搭載したヘッドユニットとセットテーブルとを相対移動させ、前記機能液滴吐出ヘッドから機能液を吐出する機能液吐出部と、
前記機能液滴吐出ヘッドのメンテナンスを行うヘッドメンテナンス部と、を有し、
前記ヘッドメンテナンス部は前記セットテーブルの移動領域から外れた場所に設置され、
複数の前記機能液吐出部は、前記ヘッドメンテナンス部を共用することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記ヘッドメンテナンス部を中心にして、複数の前記機能液吐出部を線対称に設置したことを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記ヘッドメンテナンス部を中心にして、複数の前記機能液吐出部を点対称に設置したことを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
機能液滴吐出ヘッドを搭載したヘッドユニットとセットテーブルとを相対移動させ、前記機能液滴吐出ヘッドから機能液を吐出する機能液吐出部と、
前記機能液滴吐出ヘッドのメンテナンスを行うヘッドメンテナンス部と、を用意し、
前記ヘッドメンテナンス部を、前記セットテーブルの移動領域から外れた位置であって、複数の前記機能液吐出部に共用させる位置に配置したことを特徴とする液滴吐出装置の配置方法。
【請求項５】
前記ヘッドメンテナンス部を中心にして、複数の前記機能液吐出部を線対称に配置したことを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出装置の配置方法。
【請求項６】
前記ヘッドメンテナンス部を中心にして、複数の前記機能液吐出部を点対称に設置したことを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出装置の配置方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークに対して機能液滴吐出ヘッドを搭載したヘッドユニットを相対移動させながら、機能液滴吐出ヘッドからワークに機能液を吐出させる液滴吐出装置及び液滴吐出装置の配置方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
機能液滴吐出ヘッドを用いた液滴吐出法により、各種製品（例えば、液晶表示装置のカラーフィルター等）を製造する液滴吐出装置が知られている。液滴吐出装置は、基板（ワーク）をセットした基板搬送テーブル（セットテーブル）をＸ軸方向に移動させるＸ軸方向移動機構と、機能液滴吐出ヘッドを搭載したヘッドユニットをＹ軸方向に移動させるＹ軸方向移動機構と、を備えている。そして、ヘッドユニットの移動領域と基板搬送テーブルの移動領域とが重なる領域が、基板に描画を行う液滴吐出領域であり、液滴吐出装置では、ヘッドユニット及び基板を相対的に移動させながら機能液滴吐出ヘッドを吐出駆動することにより、液滴吐出領域に臨んだ基板に所定の描画パターンを描画させる。
【０００３】
一方液滴吐出装置には、機能液滴吐出ヘッドを保守するヘッドメンテナンス部が設けられている。ヘッドメンテナンス部は、ワークに対して描画処理を行わない非描画処理時において、機能液滴吐出ヘッドのキャッピングや吸引やワイピングやインク重量測定やフラッシングを行うものである。ヘッドメンテナンス部は、Ｙ軸方向移動機構によるヘッドユニットの移動領域下であって、基板搬送テーブルの移動領域から外れた基板搬送テーブルに隣接する場所に設けられており、機能液滴吐出ヘッドのメンテナンスを行う場合には、ヘッドユニットをヘッドメンテナンス部の直上部まで移動させる。
【０００４】
ところで前記ヘッドメンテナンス部は、基板搬送テーブルの移動領域から外れた基板搬送テーブルに隣接する場所に設置されるので、例えば液滴吐出装置を複数台並列に設置するような場合、各々の基板搬送テーブルの移動領域に隣接する位置にヘッドメンテナンス部を設置することとなり、ヘッドメンテナンス部の設置スペースが大きくなり工場フロアのレイアウト効率が悪かった。特に描画する基板が大型パネル基板である液滴吐出装置は大型であり、前記ヘッドメンテナンス部の設置スペースが非常に大きくなり無駄になっていた。
【特許文献１】特開２００６−７６０６６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は上述の点に鑑みてなされたものでありその目的は、ヘッドメンテナンス部の設置スペースを極力なくすことができる液滴吐出装置及び液滴吐出装置の配置方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、機能液滴吐出ヘッドを搭載したヘッドユニットとセットテーブルとを相対移動させ、前記機能液滴吐出ヘッドから機能液を吐出する機能液吐出部と、前記機能液滴吐出ヘッドのメンテナンスを行うヘッドメンテナンス部と、を有し、前記ヘッドメンテナンス部は前記セットテーブルの移動領域から外れた場所に設置され、複数の前記機能液吐出部は、前記ヘッドメンテナンス部を共用することを特徴とする液滴吐出装置にある。
【０００７】
本発明は、前記ヘッドメンテナンス部を中心にして、複数の前記機能液吐出部を線対称に設置したことを特徴とする液滴吐出装置にある。
【０００８】
本発明は、前記ヘッドメンテナンス部を中心にして、複数の前記機能液吐出部を点対称に設置したことを特徴とする液滴吐出装置にある。
【０００９】
本発明は、機能液滴吐出ヘッドを搭載したヘッドユニットとセットテーブルとを相対移動させ、前記機能液滴吐出ヘッドから機能液を吐出する機能液吐出部と、前記機能液滴吐出ヘッドのメンテナンスを行うヘッドメンテナンス部と、を用意し、前記ヘッドメンテナンス部を、前記セットテーブルの移動領域から外れた位置であって、複数の前記機能液吐出部に共用させる位置に配置したことを特徴とする液滴吐出装置の配置方法にある。
【００１０】
本発明は、前記ヘッドメンテナンス部を中心にして、複数の前記機能液吐出部を線対称に配置したことを特徴とする液滴吐出装置の配置方法にある。
【００１１】
本発明は、前記ヘッドメンテナンス部を中心にして、複数の前記機能液吐出部を点対称に設置したことを特徴とする液滴吐出装置の配置方法にある。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、ヘッドメンテナンス部を複数の機能液吐出部で共用したので、それぞれの機能液吐出部にそれぞれ別々に設けていたヘッドメンテナンス部を１台のヘッドメンテナンス部とすることができ、その分設備コストが低減化できるばかりか、ヘッドメンテナンス部用の設置スペースを極力無くすことができる。
【００１３】
本発明によれば、ヘッドメンテナンス部を中心にして複数の機能液吐出部を線対称に設置したので、各機能液吐出部へのワークの供給及び取り出しを、同じ方向から行うことができる。従ってワーク搬送系のレイアウトをシンプルにすることができる。
【００１４】
本発明によれば、ヘッドメンテナンス部を中心にして複数の機能液吐出部を点対称に設置したので、何れの機能液吐出部においてもヘッドメンテナンス部を設置する側が同一側となり、従って各機能液吐出部の設計バリエーションが１種類で済む。
【００１５】
本発明によれば、ヘッドメンテナンス部を複数の機能液吐出部に共用させる位置に配置したので、それぞれの機能液吐出部にそれぞれ別々にヘッドメンテナンス部を設置する必要がなく、その分設備コストが低減化できるばかりか、ヘッドメンテナンス部用の設置スペースを極力無くすことができる。
【００１６】
本発明によれば、共用させたヘッドメンテナンス部を中心にして、複数の機能液吐出部を線対称に設置したので、各機能液吐出部へのワークの供給及び取り出しを同じ方向から行うことができる。従ってワーク搬送系のレイアウトをシンプルにすることができる。
【００１７】
本発明によれば、共用させたヘッドメンテナンス部を中心にして、複数の機能液吐出部を点対称に設置したので、何れの機能液吐出部においてもヘッドメンテナンス部を設置する側が同一側となり、従って各機能液吐出部の設計バリエーションが１種類で済む。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明を適用する液滴吐出装置について図面を参照して詳細に説明する。この液滴吐出装置は、いわゆるフラットディスプレイの製造ラインに組み込まれるものであり、機能液滴吐出ヘッドを用いた液滴吐出法により、ワーク（基板）上に、Ｒ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）の三色からなる液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。
【００１９】
図１は本発明を適用した液滴吐出装置１の全体概略構成図である。同図に示すようにこの液滴吐出装置１は、下記する機能液滴吐出ヘッド８２を搭載したヘッドユニット１３を、主走査方向（Ｘ軸方向）に相対移動させる主走査移動手段を用い、描画領域に臨むセットテーブル２１に対して、前記ヘッドユニット１３を前記描画領域内において主走査方向に相対移動させながら、前記機能液滴吐出ヘッド８２を吐出駆動させることにより、前記セットテーブル２１にセットされたワークＷに描画処理を行う機能液吐出部１Ａ，１Ａ´を２台併設し、併設した隣接する２台の機能液吐出部１Ａ，１Ａ´に対して１台のヘッドメンテナンス部１０を共用させるように構成している。ヘッドメンテナンス部１０は、前記ヘッドユニット１３をその真上に移動して機能液滴吐出ヘッド８２のメンテナンス（ヘッドクリーニング）を行うもの（ヘッドクリーニング部）であり、両セットテーブル２１の移動領域から外れた場所、即ち隣接する２台の機能液吐出部１Ａ，１Ａ´の間の位置（両ヘッドユニット１３の間の位置）に設置されている。
【００２０】
この液滴吐出装置１のように、ヘッドメンテナンス部１０を隣接して設置する機能液吐出部１Ａ，１Ａ´で共用したので、それぞれの機能液吐出部１Ａ，１Ａ´にそれぞれ別々に設けていたヘッドメンテナンス部１０を１台のヘッドメンテナンス部１０とすることができ、その分設備コストが低減化するばかりか、無駄な設置スペースを極力無くすことができる。特に大型パネル基板用の液滴吐出装置１は非常に大型であり、その液滴吐出装置１のヘッドメンテナンス部１０のスペースは非常に無駄な構成となっており、従って工場フロアのレイアウト効率が悪かったが、この液滴吐出装置１によれば、ヘッドメンテナンス部１０の設置スペースの無駄を大幅に解消できる。
【００２１】
また図１に示す液滴吐出装置１の場合、共用させたヘッドメンテナンス部１０を中心にして、その両側の機能液吐出部１Ａ，１Ａ´を線対称に設置している。このように構成すれば、ワークＷの機能液吐出部１Ａ，１Ａ´への供給及び取り出しを、同じ方向（搬送系Ｂ）から行うことができる。従ってワーク搬送系Ｂのレイアウトがシンプルになる。搬送系Ｂには例えばワークＷを搬送して前記セットテーブル２１にワークＷを供給及び取り出す図示しない搬送ロボットが設置されている。
【００２２】
図２は本発明を適用した他の実施形態にかかる液滴吐出装置１−２の全体概略構成図である。同図に示す液滴吐出装置１−２において、前記図１に示す実施形態にかかる液滴吐出装置１と同一又は相当部分には同一符号を付す。なお以下で説明する事項以外の事項については、前記図１に示す実施形態と同じである。この液滴吐出装置１−２の場合も、下記する機能液滴吐出ヘッド８２を搭載したヘッドユニット１３を、主走査方向（Ｘ軸方向）に相対移動させる主走査移動手段を用い、描画領域に臨むセットテーブル２１に対して、前記ヘッドユニット１３を前記描画領域内において主走査方向に相対移動させながら、前記機能液滴吐出ヘッド８２を吐出駆動させることにより、前記セットテーブル２１にセットされたワークＷに描画処理を行う機能液吐出部１Ａ，１Ａ´を２台併設し、併設した隣接する２台の機能液吐出部１Ａ，１Ａ´に対して１台のヘッドメンテナンス部１０を共用させるように構成している。
【００２３】
この実施形態においても、ヘッドメンテナンス部１０を隣接して設置する機能液吐出部１Ａ，１Ａ´で共用したので、それぞれの機能液吐出部１Ａ，１Ａ´にそれぞれ別々に設けていたヘッドメンテナンス部１０を１台のヘッドメンテナンス部１０とすることができ、その分設備コストが低減化するばかりか、無駄な設置スペースを極力無くすことができる。特に大型パネル基板用の液滴吐出装置１−２は非常に大型であり、その分ヘッドメンテナンス部１０の設置スペースは非常に無駄な構成となっていたが、この液滴吐出装置１−２によれば、前記ヘッドメンテナンス部１０の設置スペースの大幅な無駄を解消できる。
【００２４】
そしてこの液滴吐出装置１−２において前記液滴吐出装置１と相違する点は、共用させたヘッドメンテナンス部１０を中心にして、その両側の機能液吐出部１Ａ，１Ａ´を点対称に設置した点である。このように構成すれば、何れの機能液吐出部１Ａ，１Ａ´から見てもヘッドメンテナンス部１０を設置する側が同一側となり、従って各機能液吐出部１Ａ，１Ａ´の設計バリエーションが１種類で済む。従ってこの点からも設備コストの低減化が図れる。
【００２５】
次に上記図１に示す液滴吐出装置１の具体的構成例を説明する。図３は液滴吐出装置１の全体概略斜視図、図４はブリッジプレート７１を除いた状態の液滴吐出装置１の平面図、図５は液滴吐出装置１の側面図であり、何れの図もセットテーブル（吸着テーブル）２１がワーク載せ換え位置に臨んだ状態を示している。これら図３乃至図５に示すように、液滴吐出装置１は、機能液吐出部１Ａ，１Ａ´を２台併設し、併設した２台の機能液吐出部１Ａ，１Ａ´に対して１台のヘッドメンテナンス部１０（図３，図５には明示せず）を共用させるように構成している。即ちヘッドメンテナンス部１０は隣接する２台の機能液吐出部１Ａ，１Ａ´の間の位置（両ヘッドユニット１３の間の位置）に設置されている。
【００２６】
機能液吐出部１Ａ，１Ａ´はいずれも、Ｘ軸支持ベース２（石定盤）上に配設され、主走査方向となるＸ軸方向に延在して、ワークＷをＸ軸方向（主走査方向）に移動させるＸ軸テーブル１１（主走査移動手段）と、複数本の支柱４を介してＸ軸テーブル１１を跨ぐように架け渡された１対（２つ）のＹ軸支持ベース３上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在するＹ軸テーブル１２（副走査移動手段）と、複数の機能液滴吐出ヘッド８２（図示省略）が搭載された７つのキャリッジユニット８１から成り、Ｙ軸テーブル１２にＹ軸方向（副走査方向）に移動自在に支持されたヘッドユニット１３と、を備えている。１組のＹ軸支持ベース３は２台の機能液吐出部１Ａ，１Ａ´に対して共用している。そして、Ｘ軸テーブル１１およびＹ軸テーブル１２の駆動と同期して下記する機能液滴吐出ヘッド８２を吐出駆動させることにより、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液滴を吐出させ、ワークＷに所定の描画パターンを描画する（描画処理）。
【００２７】
機能液吐出部１Ａ，１Ａ´は、フラッシングユニット１４、吸引ユニット１５、ワイピングユニット１６、吐出不良検査ユニット１７（これらを総称してメンテナンス手段とする）を備えており、これらを機能液滴吐出ヘッド８２の保守に供して、機能液滴吐出ヘッド８２の機能維持・機能回復を図るようになっている（メンテナンス処理）。なお、メンテナンス手段を構成する各ユニットのうち、フラッシングユニット１４および吐出不良検査ユニット１７は、Ｘ軸テーブル１１に搭載され、吸引ユニット１５、およびワイピングユニット１６を有するヘッドメンテナンス部１０は、Ｘ軸テーブル１１から外れ、かつＹ軸テーブル１２によりヘッドユニット１３が移動可能である位置に配設された架台５上に設置されている。
【００２８】
なお、図示は省略したが、液滴吐出装置１には、装置全体を制御する制御手段１８が備えられており、上記の描画処理およびメンテナンス処理は、制御手段１８による制御に基づいて行われている。
【００２９】
以下、機能液吐出部１Ａ，１Ａ´の各構成要素について説明する。図３ないし図５に示すように、Ｘ軸テーブル１１は、ワークＷをセットするセットテーブル２１と、セットテーブル２１をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸エアースライダ２２と、Ｘ軸方向に延在し、セットテーブル２１を介してワークＷをＸ軸方向に移動させる左右一対のＸ軸リニアモータ（図示省略）と、Ｘ軸リニアモータに並設され、Ｘ軸エアースライダ２２の移動を案内する一対（２本）のＸ軸ガイドレール２３と、を備えている。
【００３０】
セットテーブル２１は、ワークＷを吸着セットする吸着テーブル３１と、吸着テーブル３１を支持し、吸着テーブル３１にセットしたワークＷの位置をθ軸方向に補正するためのθテーブル３２等を有している。図１１に示すように、吸着テーブル３１は、ワークＷを吸着セットするテーブル本体４１と、テーブル本体４１を３点支持する３組のテーブル支持部材（図示省略）と、θテーブル３２に固定され、テーブル支持部材を介して、テーブル本体４１を支持する支持ベース４２と、を有している。テーブル本体４１は、厚板状の石盤で構成され、一辺１８００ｍｍの平面視略正方形に形成されている。テーブル本体４１の表面には、ワークＷを吸引するための吸引溝４３が複数形成されていると共に、各吸引溝４３には、吸引孔（図示省略）が貫通形成されており、吸引溝４３を介して、ワークＷに十分な吸引力を作用させることができるようになっている。
【００３１】
なお、支持ベース４２には、３組のテーブル支持部材と共に、後述する描画前フラッシングユニット１１１が支持されており、テーブル本体４１のＹ軸方向と平行な一対の辺には、描画前フラッシングユニット１１１の一対の描画前フラッシングボックス１２１（後述する）が添設されている。図中の符号４４は、リフター機構（図示省略）の多数のリフターピン（図示省略）を遊挿する多数の遊挿孔である。吸着テーブル３１には、吸着テーブル３１に対してワークの除給を行うリフター機構がくみこまれている。リフター機構は、支持ベース４２に支持されており、昇降自在に構成された多数のリフターピンを有している。そして、多数のリフターピンをテーブル本体４１に形成された多数の遊挿孔４４から出没させることにより、図外のロボットアームから未処理のワークＷを受け取り、これを吸着テーブル３１に受け渡すと共に、処理済みのワークＷをセットテーブル２１からリフトアップさせて、これをロボットアームに受け渡すようになっている。
【００３２】
図３および図５に示すように、Ｘ軸エアースライダ２２は、セットテーブル２１（θテーブル３２）を支持するスライダ本体５１と、スライダ本体５１の下部に固定され、一対のＸ軸ガイドレール２３に係合する一対（２組４個）の係合部５２と、を有している。スライダ本体５１には、セットテーブル２１と共に、フラッシングユニット１４の定期フラッシングユニット１１２および吐出不良検査ユニット１７の被描画ユニット１６１（いずれも後述する）が搭載されている。一対のＸ軸リニアモータを（同期させて）駆動すると、一対の係合部５２により一対のＸ軸ガイドレール２３にガイドされた状態で、Ｘ軸エアースライダ２２がＸ軸方向に移動し、セットテーブル２１にセットされたワークＷがＸ軸方向に移動する（主走査移動）。
【００３３】
なお、図４における図示手前側の位置が、ワークＷの載せ換え位置となっており、未処理のワークＷを吸着テーブル３１に導入するときや、処理済のワークＷを回収するときには、吸着テーブル３１をこの位置まで移動させるようになっている。また、図中の符号６２は、ワークＷの位置認識を行うためのワークアライメントカメラであり、ワークアライメントカメラ６２の撮像結果に基づいて、θテーブル３２によるワークＷのθ補正が行われる。
【００３４】
Ｙ軸テーブル１２は、ヘッドユニット１３を構成する７つの各キャリッジユニット８１（キャリッジ８５）をそれぞれ挿通して固定した７つのブリッジプレート７１と、７つのブリッジプレート７１を両持ちで支持する７組１４個のＹ軸スライダ（図示省略）と、上記した一対のＹ軸支持ベース３上に設置され、７組１４個のＹ軸スライダを介してブリッジプレート７１をＹ軸方向に移動させる一対のＹ軸リニアモータ（図示省略）と、Ｙ軸リニアモータと並んでＹ軸支持ベース３上に設置され、７組１４個のＹ軸スライダを支持して、各Ｙ軸スライダの移動を案内する一対のＹ軸ガイドレール（図示省略）と、を備えている。
【００３５】
一対のＹ軸リニアモータを（同期して）駆動すると、各Ｙ軸スライダが一対のＹ軸ガイドレールを案内にして同時にＹ軸方向を平行移動する。これにより、ブリッジプレート７１が両持ち状態でＹ軸方向を移動し、これと共にキャリッジユニット８１がＹ軸方向に移動する（副走査移動）。なお、この場合、Ｙ軸リニアモータの駆動を制御することにより、各ブリッジプレート７１（キャリッジユニット８１）を独立させて個別に移動させることも可能であるし、７つの全ブリッジプレート７１を一体として移動させることも可能である。
【００３６】
図３ないし図５に示すように、ヘッドユニット１３は、同様に構成された７つのキャリッジユニット８１をＹ軸方向に整列させて構成されている。各キャリッジユニット８１は、下記する１２個の機能液滴吐出ヘッド８２と、これら１２個の機能液滴吐出ヘッド８２を２個ずつ保持する下記する６個のヘッド保持プレート８３と、６個のヘッド保持プレート８３を介して、１２個の機能液滴吐出ヘッド８２を搭載するヘッドプレート８４と、ヘッドプレート８４を支持するキャリッジ８５と、を備えている。
【００３７】
図６に示すように、機能液滴吐出ヘッド８２は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針９２を有する機能液導入部９１と、機能液導入部９１に連なる２連のヘッド基板９３と、機能液導入部９１の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体９４と、を備えている。接続針９２は、図外の機能液タンクに接続され、機能液導入部９１に機能液を供給する。ヘッド本体９４は、キャビティ９５（ピエゾ圧電素子）と、多数の吐出ノズル９８が開口したノズル面９７を有するノズルプレート９６と、で構成されている。機能液滴吐出ヘッド８２を吐出駆動すると、（ピエゾ圧電素子に電圧が印加され）キャビティ９５のポンプ作用により、吐出ノズル９８から機能液滴が吐出される。
【００３８】
なお、ノズル面９７に形成された多数の吐出ノズル９８は、等ピッチ（２ドットピッチ間隔）に整列して、１８０個の吐出ノズル９８から成る分割ノズル列９８ｂを２列形成している。そして、２列の分割ノズル列９８ｂ同士は、相互に１ドットピッチ分位置ずれしている。すなわち、機能液滴吐出ヘッド８２には、２列の分割ノズル列９８ｂにより１ドットピッチ間隔のノズル列９８ａが形成され、１ドットピッチ（高解像度）の描画が可能となっている。
【００３９】
図７に示すように、６個の各ヘッド保持プレート８３は、ステンレス等の厚板で平面視長方形に形成されており、その長手方向に並んで、２個の機能液滴吐出ヘッド８２をそれぞれ位置決め・装着するための装着開口（図示省略）が２個設けられている。なお、２個の装着開口は、６ヘッド分のノズル列ピッチに形成されている。
【００４０】
図７に示すように、ヘッドプレート８４は、ステンレス等の厚板で平面視略平行四辺形に形成されている。ヘッドプレート８４には、ヘッド保持プレート８３を位置決め・装着するための開口（図示省略）が設けられており、６個のヘッド保持プレート８３が（機能液滴吐出ヘッド８２のノズル列方向）に略１ヘッド分のノズル列長Ｌだけ位置ずれして階段状に配置されている。これにより、各ヘッドプレート８４に搭載された１２個の機能液滴吐出ヘッド８２のノズル列９８ａがＹ軸方向において連続（一部重複）し、１本の分割描画ラインが形成される。
【００４１】
キャリッジ８５は、ヘッドプレート８４をθ補正（θ回転）可能に支持するθ回転機構１０１と、θ回転機構１０１を介して、ヘッドプレート８４をＹ軸テーブル１２（各ブリッジプレート７１）に支持させる吊設部材１０２と、を備えている。θ回転機構１０１は、分割描画ラインがＹ軸方向と平行になるように、ヘッドプレート８４を支持している。なお、図示は省略したが、吊設部材１０２には、θ回転機構１０１を介してヘッドプレート８４を昇降させるヘッド昇降機構（図示省略）が組み込まれており、ヘッドプレート８４（機能液滴吐出ヘッド８２のノズル面９７）の高さ位置を調整可能に構成されている。
【００４２】
そして、７つの各キャリッジ８５を７つの各ブリッジプレート７１にそれぞれ支持させ、７つのキャリッジユニット８１をＹ軸方向に整列させることにより、ヘッドユニット１３が構成される。ヘッドユニット１３では、１２×７個の全機能液滴吐出ヘッド８２がＹ軸方向に連続し、各キャリッジユニット８１の７本の分割描画ラインがＹ軸方向に連続して１描画ラインが形成されている。なお、図４におけるＸ軸テーブル１１の図示左寄り（架台５側）の位置が、ヘッドユニット１３のホーム位置となっており、この位置からワークＷに対する描画処理が開始される。
【００４３】
ところで、ヘッドユニット１３に搭載された１２×７個の機能液滴吐出ヘッド８２は、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液のいずれかに対応しており、ワークＷに３色の機能液から成る描画パターンを描画できるようになっている。図８に、本実施形態のヘッドユニット１３における機能液滴吐出ヘッド８２の配色パターンの説明図を示す。同図に示すように、ヘッドユニット１３における機能液滴吐出ヘッド８２の配色パターンは、Ｙ軸方向に連続する１２×７個の機能液滴吐出ヘッド８２に対して、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色を所定の順番（本実施形態では、図示右側からＲ・Ｇ・Ｂの順）で繰り返し１個ずつ対応させたものであり、７つの各キャリッジユニット８１における機能液滴吐出ヘッド８２の配色パターンは全て同様となっている。
【００４４】
したがって、ヘッドユニット１３を２ヘッド分のノズル列長分、副走査移動させれば、移動方向３番目以下の機能液滴吐出ヘッド８２が（副走査移動前に）臨んでいた領域にＲ・Ｇ・Ｂの３色分の機能液滴吐出ヘッド８２を臨ませることができ、この領域内に３色から成る描画パターンを描画可能である。そこで、本実施形態では、２ヘッドノズル列長分の副走査移動で（１枚の）ワークＷに対する描画処理を終了できるように１描画ラインの長さが設定されている。具体的には、１描画ラインの長さは、セットテーブル２１にセット可能なワークＷの最大幅に基づいて設定されており、最大幅のワークＷに対して１回の主走査移動で描画可能な（最小数ｎ個分の）ノズル列長さ＋２ヘッド分のノズル列長の長さ（すなわち、（ｎ＋２）×Ｌ）となっている。なお、本実施形態では、ｎ＝８２である。
【００４５】
なお、ヘッド保持プレート８３が機能液の色数（３色）の整数倍個（６個）設けられているため、同一ヘッド保持プレート８３に保持される２個の機能液滴吐出ヘッド８２には、同一色の機能液が対応するようになっている。これにより、機能液タンクと各機能液滴吐出ヘッド８２との配管接続を比較的単純なものとすることが可能である。
【００４６】
ここで、図１０を参照しながら、液晶表示装置のカラーフィルタを作成する場合を例に、機能液吐出部１Ａ，１Ａ´における一連の描画処理について説明する。カラーフィルタ６００は、透光性の（透明）基板６０１と、ワークＷ上にＸ軸方向およびＹ軸方向にマトリクス状に並んだ多数の画素領域（フィルタエレメント）６０７ａと、画素領域６０７ａ上に形成されたＲ・Ｇ・Ｂ３色の着色層６０８（６０８Ｒ、６０８Ｇ、６０８Ｂ）と、各画素領域６０７ａを仕切る遮光性のバンク６０３と、を備えている。そして、描画処理では、バンク６０３を作り込んだ基板６０１がワークＷとして導入され、各画素領域６０７ａ内に、対応するＲ・Ｇ・Ｂ３色のいずれか一色の機能液が吐出されるよう、ワークＷに所定の描画パターンが描画されるようになっている。
【００４７】
なお、カラーフィルタの配色パターンは、Ｙ軸方向に並ぶ画素領域６０７ａの横列すべてが同色であり、Ｘ軸方向においてＲ・Ｇ・Ｂの３色を繰り返し配列させたストライプ配列（図９（ａ）参照）、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に並ぶ、縦列および横列の連続する３つの画素領域６０７ａが互いに異なるＲ・Ｇ・Ｂの３色となるモザイク配列（図９（ｂ）参照）、および複数の画素領域５０７ａが千鳥状に（半ピッチずつずらして）配設され、隣接して並ぶ３つの画素領域６０７ａが互いに異なるＲ・Ｇ・Ｂの３色となるデルタ配列（図９（ｃ）参照）のいずれを採用することも可能であるが、ここではストライプ配列のカラーフィルタを作成する場合について説明する。
【００４８】
描画処理は、ワーク載せ換え位置からのワークＷ（吸着テーブル３１）の移動に引き続いて行われ、先ず、第１描画動作が開始される。第１描画動作では、Ｘ軸テーブル１１がそのまま駆動され、セットテーブル２１を介してワークＷが往動すると共に、これと同期して、ホーム位置に臨むヘッドユニット１３の機能液滴吐出ヘッド８２が選択的に吐出駆動され、ワークＷに機能液が吐出される。ワークＷの往動が終了すると、Ｙ軸テーブル１２が駆動され、ヘッドユニット１３がＹ軸方向へ微少量移動する。そして、再度Ｘ軸テーブル１１の駆動と機能液滴吐出ヘッド８２の選択的な吐出駆動とが同期して行われ、復動するワークに対して機能液が吐出される。ワークＷの復動が終了すると、さらにＹ軸テーブル１２が駆動され、ヘッドユニット１３がＹ軸方向へ微少量移動すると共に、上記した一連の動作が再び繰り返され、第１描画動作が終了する。
【００４９】
図１０（ａ）に示すように、ヘッドユニット１３の１描画ラインは、ワークＷにマトリクス状に形成された画素領域６０７ａの縦列と直交しており、各画素領域列に機能液滴吐出ヘッド８２が臨むようになっている。また、ヘッドユニット１３がホーム位置に臨んでいるとき、ヘッドユニット１３の（Ｒ・Ｇに対応する）図示右端の２つの機能液滴吐出ヘッド８２（図４においては、左端に位置する）は、図示最右端の画素領域列からさらに右側に外れている。上記の第１描画動作を行うと、各機能液滴吐出ヘッド８２が各列に臨み、当該機能液滴吐出ヘッド８２が対応する色と同色に対応する画素領域６０７ａに機能液が吐出される。
【００５０】
第１描画動作が終了すると、Ｙ軸テーブル１２が駆動され、ヘッドユニット１３が略１ヘッドノズル列長Ｌ分だけＹ軸方向に移動する。これにより、第１描画動作時にＲ色に対応する機能液滴吐出ヘッド８２が臨んでいた位置に、Ｂ色に対応する機能液滴吐出ヘッド８２が、Ｇ色が対応していた位置にＲ色に対応する機能液滴吐出ヘッド８２が、Ｂ色が対応していた位置にＧ色に対応する機能液滴吐出ヘッド８２が臨む。続いて、第２描画動作が行われ、第１描画動作と同様にワークＷの往復動とこれに伴う機能液滴吐出ヘッド８２の吐出駆動が２回繰り返される。図１０（ｂ）に示すように、これにより、第２描画動作では、第１描画動作でＲ色が吐出された画素領域列にＢ色の機能液が、Ｇ色が吐出された画素領域列にＲ色の機能液が、Ｂ色が吐出された画素領域列にＧ色の機能液が吐出される。
【００５１】
第２描画動作が終了すると、Ｙ軸テーブル１２が駆動されて、ヘッドユニット１３が、さらに略１ヘッドノズル列長分Ｙ軸方向に移動する。これにより、第１描画動作時にＲ色に対応する機能液滴吐出ヘッド８２が臨んでいた位置に、Ｇ色に対応する機能液滴吐出ヘッド８２が、Ｇ色が対応していた位置にＢ色に対応する機能液滴吐出ヘッド８２が、Ｂ色が対応していた位置にＲ色に対応する機能液滴吐出ヘッド８２が臨むようになっている。そして、この後、第３描画動作が行われ、第１描画動作および第２描画動作と同様に、ワークＷの往復動が２回行われる。これにより、各画素領域列の全画素領域６０７ａに対してＲ・Ｇ・Ｂ全色分の機能液が吐出され、ワークＷに対する描画処理が終了する。なお、描画処理の終了時には、ヘッドユニット１３の（Ｇ・Ｂに対応する）図示左端の２つの機能液滴吐出ヘッド８２（図４においては、右端に位置する）が、図示最左端の画素領域列からさらに左側に外れている（図１０（ｃ）参照）。
【００５２】
このように、本実施形態では、Ｙ軸方向に連続する１２×７個の機能液滴吐出ヘッド８２の配色パターンを、Ｒ・Ｇ・Ｂ異なる３色の繰り返しパターンとしているため、２ヘッド分のノズル列長（２Ｌ）の移動を行うだけで、ワークＷの全画素領域６０７ａに全色分の機能液を吐出させることができる。また、同一列の画素領域６０７ａに対して（ストライプ配列の場合には、横列の画素領域６０７ａに対しても）、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液が同時に吐出されることがないため、たとえ（飛行曲がり等に起因して）バンク６０３上に機能液が着弾した場合でも、（時間差によってバンク６０３上の機能液が乾燥するため）混色が生じ難く、精度良くカラーフィルタを作成することが可能である。
【００５３】
なお、本実施形態では、各画素領域６０７ａに対して、ヘッドユニット１３を２回往復動させることにより描画処理を行っているが、この回数は実情に合わせて任意に設定可能である。
【００５４】
次に、メンテナンス手段を構成するフラッシングユニット１４、吸引ユニット１５、ワイピングユニット１６、および吐出不良検査ユニット１７について順に説明する。フラッシングユニット１４は、機能液滴吐出ヘッド８２の全吐出ノズル９８からの捨て吐出（フラッシング）により吐出された機能液滴を受けるためのものであり、描画前フラッシングユニット１１１と、定期フラッシングユニット１１２と、で構成されている。
【００５５】
描画前フラッシングユニット１１１は、ワークＷに機能液を吐出させる直前にヘッドユニット１３の全機能液滴吐出ヘッド８２を吐出駆動して行う、描画前フラッシングの機能液を受けるためのものであり、機能液を受ける一対の描画前フラッシングボックス１２１と、一対の各描画前フラッシングボックス１２１を吸着テーブル３１（支持ベース４２）に支持させる一対のボックス支持部材（図示省略）と、で構成されている（図３ないし図５、および図１１参照）。各描画前フラッシングボックス１２１は、Ｙ軸方向に長い平面視長方形の細長い箱状に形成されており、その底部には、機能液を吸収させる吸収材１２３が敷設されている。各描画前フラッシングボックス１２１は、ボックス支持部材を介して吸着テーブル３１に支持されているため、吸着テーブル３１を（θテーブル３２により）θ補正して回転させるとこれと共に回転する。
【００５６】
一対の各ボックス支持部材は、各描画前フラッシングボックス１２１が吸着テーブル３１のＹ軸方向に平行な一対の辺（周縁）に沿うよう、吸着テーブル３１から張り出すようにこれを支持している。すなわち、描画前フラッシングボックス１２１は、吸着テーブル３１の前後を挟むように配置されており、ワークＷをＸ軸方向に往復動すると、ヘッドユニット１３の機能液滴吐出ヘッド８２は、ワークＷに臨む直前に順次描画前フラッシングボックス１２１に臨み、描画前フラッシングを行うことができるようになっている。
【００５７】
この場合、描画前フラッシングボックス１２１の長辺の長さは、描画処理中において、全機能液滴吐出ヘッド８２からの捨て吐出を受け得るように、上記したヘッドユニット１３の１描画ラインの長さ＋２ヘッド分のノズル列長分の長さ（（ｎ＋４）×Ｌ）と略同じ長さに構成されている。すなわち、本実施形態の描画処理では、ヘッドユニット１３を機能液滴吐出ヘッド８２の２ヘッド分Ｙ軸方向へ移動させるようになっており、描画前フラッシングボックス１２１を１描画ラインの長さ＋２ヘッド分のノズル列長の長さに対応させることにより、描画処理中にいかなる位置に臨む機能液滴吐出ヘッド８２に対しても、そのＹ軸方向における吐出範囲をカバーできるようになっている。これにより、機能液滴吐出ヘッド８２からの機能液滴の吐出を安定させることができ、ワークＷに精度良く描画処理を行うことが可能となる。
【００５８】
なお、図示は省略したが、各ボックス支持部材には、描画前フラッシングボックス１２１を昇降させるボックス昇降機構が組み込まれており、描画処理時、すなわち吐出前フラッシングを受けるときには、各描画前フラッシングボックス１２１の上端面が吸着テーブル３１にセットされたワークＷの表面の高さに一致させた位置でこれを支持すると共に、非描画処理時には、各描画前フラッシングボックス１２１の上端面が吸着テーブル３１の上面（セット面）の高さよりも低くなる位置（待機位置）でこれを支持する。これにより、描画前フラッシングの機能液を外部に飛び散らせることなく、描画前フラッシングボックス１２１で受けることができると共に、非描画時に行うワークＷの載せ換え作業に描画前フラッシングボックス１２１が干渉することがない。なお、吸収材１２３の膨張等を考慮して、上昇時における描画前フラッシングボックス１２１の上端面の位置を、ワーク表面よりも若干低い位置とすることも可能である。なお、ボックス昇降機構は、必ずしも設けなければならないものではなく、実情に応じて設ければよい。
【００５９】
図３ないし図５、および図１１に示すように、定期フラッシングユニット１１２は、ワークＷの載せ換え時等のように、描画処理を一時的に休止される時にヘッドユニット１３の全機能液滴吐出ヘッド８２を吐出駆動して行われる定期フラッシングの機能液を受けるためのものであり、機能液を受ける定期フラッシングボックス１３１と、上記のＸ軸エアースライダ２２に搭載され、定期フラッシングボックス１３１の両端を高さ調整可能に支持する一対のボックス支柱部材１３２と、を有している。
【００６０】
定期フラッシングボックス１３１は、上面が開放され、Ｙ軸方向に長い平面視方形のボックス状に形成されている。定期フラッシングボックス１３１は、ヘッドユニット１３に搭載された１２×７個の全機能液滴吐出ヘッド８２を包含し得る大きさに構成され、ヘッドユニット１３の全機能液滴吐出ヘッド８２を同時に定期フラッシングできるようになっている。より具体的には、定期フラッシングボックス１３１の長辺の長さは、描画前フラッシングボックス１２１と同様、１描画ラインの長さ＋２ヘッド分のノズル列長分の長さ（（ｎ＋４）×Ｌ）に対応して設定され、短辺の長さは、上記した平面視平行四辺形のヘッドプレート８４の高さ（Ｘ軸方向の長さ）に略対応した長さに設定されている。図１１に示すように、定期フラッシングボックス１３１の底面には、Ｙ軸方向に延在する複数本（３本）のリブ１３３が突設されており、これらのリブ１３３上に機能液を吸収させるシート状のシート吸収材１３４が配設されている。シート吸収材１３４の上端面は、定期フラッシングボックス１３１の上端面と略一致している。
【００６１】
ボックス支柱部材１３２は、定期フラッシングボックス１３１の上端面が、ヘッドユニット１３に搭載された機能液滴吐出ヘッド８２のノズル面９７の高さ位置よりも僅かに（２〜３ｍｍ程度）低い位置となるように、定期フラッシングボックス１３１を支持している。ボックス支柱部材１３２は、セットテーブル２１と共に、Ｘ軸エアースライダ２２のスライダ本体５１に固定されており、Ｘ軸エアースライダ２２を移動させると、ボックススタンドを介して定期フラッシングボックス１３１もＸ軸方向を移動するように構成されている。そして、ボックス支柱部材１３２は、セットテーブル２１より後方位置で定期フラッシングボックス１３１を支持しており、Ｘ軸エアースライダ２２を移動させて、吸着テーブル３１をワーク載せ換え位置に臨ませると、定期フラッシングボックス１３１がヘッドユニット１３に臨み、定期フラッシングの機能液を受け得るようになっている。
【００６２】
なお、図示は省略したが、定期フラッシングボックス１３１には、シート吸収材１３４の反りや撓みを防止するための反り防止機構が設けられている。本実施形態では、シート吸収材１３４と機能液滴吐出ヘッド８２のノズル面９７とのギャップが僅かであるため、シート吸収材１３４が上反り状態のまま（定期フラッシングの）機能液を吸収させると、機能液により膨潤したシート吸収材１３４が機能液滴吐出ヘッド８２のノズル面９７に干渉する惧れがある。そこで、本実施形態では、定期フラッシングボックス１３１に反り防止機構を設けて、シート吸収材１３４の反りを防止し、シート吸収材１３４が機能液滴吐出ヘッド８２のノズル面９７と接触することを防止している。
【００６３】
吸引ユニット１５は、機能液滴吐出ヘッド８２を吸引して、機能液滴吐出ヘッド８２の吐出ノズル９８から機能液を強制的に排出させるものである。図４に示すように、吸引ユニット１５は、ヘッドユニット１３、すなわち７個のキャリッジユニット８１に対応して構成されており、同様に構成された７個の分割吸引ユニット１４１を上記架台５上に整列配置したものである。各分割吸引ユニット１４１は、吸引を行うキャリッジユニット８１に対して下側から臨み、キャリッジユニット８１に搭載された１２個の各機能液滴吐出ヘッド８２のノズル面９７に、対応する１２個の各キャップ１４３をそれぞれ密着させるキャップユニット１４２と、キャップユニット１４２を昇降させ、機能液滴吐出ヘッド８２（ノズル面９７）に対してキャップを離接させるキャップ昇降機構（図示省略）と、密着させたキャップ１４３を介して各機能液滴吐出ヘッド８２に吸引力を作用させる吸引手段（エゼクタ：図示省略）と、を備えている。
【００６４】
機能液の吸引は、機能液滴吐出ヘッド８２（吐出ノズル９８）の目詰まりを解消／防止するために行われる他、機能液吐出部１Ａ，１Ａ´を新設した場合や、機能液滴吐出ヘッド８２のヘッド交換を行った場合などに、機能液タンクから機能液滴吐出ヘッド８２に至る機能液流路に機能液を充填するために行われる。また、吸引ユニット１５のキャップ１４３は、液滴吐出装置１の非稼動時に、機能液滴吐出ヘッド８２を保管するためにも用いられる。この場合、吸引ユニット１５にヘッドユニット１３を臨ませ、機能液滴吐出ヘッド８２のノズル面９７にキャップ１４３を密着させることにより、ノズル面９７を封止して、機能液滴吐出ヘッド８２（吐出ノズル９８）の乾燥を防止する。
【００６５】
さらに、吸引ユニット１５のキャップ１４３は、機能液滴吐出ヘッド８２の捨て吐出（予備吐出）により吐出された機能液を受けるフラッシングボックスの機能を有しており、吸引ユニット１５に臨んだ一部のキャリッジユニット８１に対してのみ吸引を行うような場合には、吸引を行わない他のキャリッジユニット８１から、キャップ１４３に対して捨て吐出を行わせるようになっている。この場合、キャップ１４３は、キャップ昇降機構により、その上面が機能液滴吐出ヘッド８２のノズル面９７から僅かに離間する位置まで移動させられる。
【００６６】
ワイピングユニット１６は吸引ユニット１５の両側にそれぞれ設置され、洗浄液を噴霧したワイピングシート１５１で機能液滴吐出ヘッド８２のノズル面９７を拭き取る（ワイピングを行う）ものであり、ロール状に巻回したワイピングシート１５１を繰り出しながら巻き取ってゆく巻取りユニット１５２と、繰り出したワイピングシート１５１に洗浄液を散布する洗浄液供給ユニット１５３と、洗浄液が散布されたワイピングシート１５１でノズル面９７を拭取る拭取りユニット１５４と、を備えている（図４参照）。ワイピング動作は、吸引ユニット１５による吸引後等に行われ、ノズル面９７に付着した汚れを払拭する。そして、ワイピングユニット１６は、２台の機能液吐出部１Ａ，１Ａ´に対してそれぞれ吸引ユニット１５よりもＸ軸テーブル１１側に配設されており、吸引ユニット１５による吸引後にホーム位置に戻るヘッドユニット１３（各キャリッジユニット８１）に臨んで、効率よくワイピング動作を行えるようになっている。
【００６７】
なお、図示は省略したが、吸引ユニット１５の各分割吸引ユニット１４１、およびワイピングユニット１６は、ユニット昇降機構に昇降自在に支持されており、これらのユニット１５（１４１）、１６を所定の退避位置まで下降させることにより、これらユニット１５（１４１）、１６のメンテナンスやキャリッジユニット８１に搭載したヘッドプレート８４を交換する（ヘッド交換）ための作業領域をユニット１５（１４１）、１６上に確保できるようになっている。
【００６８】
図３ないし図５、および図１１に示すように、吐出不良検査ユニット１７は、ヘッドユニット１３に搭載された全機能液滴吐出ヘッド８２（の吐出ノズル９８）から機能液が適切に吐出されているか否かを検査するためのものであり、ヘッドユニット１３の全機能液滴吐出ヘッド８２の全吐出ノズル９８から検査吐出された機能液を受け、所定の検査パターンを描画させるための被描画ユニット１６１と、被描画ユニット１６１に描画された検査パターンを撮像して検査する撮像ユニット１６２と、を備えている。
【００６９】
被描画ユニット１６１は、機能液滴吐出ヘッド８２からの検査吐出を受け、ロール状に巻回され、検査パターンを描画させる長尺状の描画シート１７１（ロール紙等）と、描画シート１７１を繰り出しながら巻き取っていく巻取り手段１７２と、巻取り手段１７２を支持する巻取り支持部材１７３と、巻取り支持部材１７３を支持するユニットベース１７４と、を備えている。巻取り手段１７２は、描画シート１７１が装填され、描画シート１７１を繰出す繰出しリール１７５と、繰出された描画シート１７１を巻き取る巻取りリール１７６と、巻取りリール１７６を回転させるための巻取りモータ（ギヤードモータ：図示省略）と、を有している。繰出された描画シート１７１は、外部に露出した状態でＹ軸方向に水平に走行し、巻取りリール１７６で巻き取られるようになっているが、この描画シート１７１の水平走行部が、検査パターンを受ける被描画部となっている。水平走行部のＹ軸方向の長辺の長さは、ヘッドユニット１３の全機能液滴吐出ヘッド８２からの検査吐出を受けることができるように設定されており、本実施形態では描画前フラッシングボックス１２１や定期フラッシングボックス１３１と同様に、１描画ラインの長さ＋２ヘッド分のノズル列長分の長さに対応して設定されている。
【００７０】
なお、描画シート１７１の巻取りは、検査パターンを１回描画する毎に行うのではなく、繰出した描画シート１７１に所定回数検査パターンが描画された後に行われる。この場合、各回の検査吐出による検査パターンが重ならないように、前回に描画された検査パターンに対して、次回に描画される検査パターンは、Ｘ軸方向に僅かに位置ずれして描画される。そして、（所定回数の検査パターンが描画され）描画シート１７１の幅いっぱいに検査パターンが描画されると、巻取りモータが駆動され、描画済みの描画シート１７１を巻き取ると共に、新しい描画シート１７１を繰出すようになっている。なお、本実施形態では、描画シート１７１の巻取りをモータ駆動により自動で行っているが、（巻取り頻度が低い場合等には）手動の巻取り機構を設け、手動でこれを行うようにしてもよい。
【００７１】
また、本実施形態では、ロール状に巻回した描画シート１７１を検査パターンの描画対象として用いているが、これに代えて検査パターン用のガラス基板等を用いることも可能である。この場合、ガラス基板は適宜交換されることとなるが、描画済みのガラス基板は、洗浄された後、繰り返し利用される。
【００７２】
ユニットベース１７４は、セットテーブル２１と定期フラッシングユニット１１２との間に位置してスライダ本体５１に支持されており、巻取り支持部材１７３は、定期フラッシングボックス１３１側に位置する一方の描画前フラッシングボックス１２１と、定期フラッシングボックス１３１との間で巻取り手段１７２を支持している。したがって、描画処理終了後に、（ワークＷの載せ換えのために）吸着テーブル３１をワーク載せ換え位置まで移動させると、定期フラッシングボックス１３１がヘッドユニット１３に臨むことに先立って繰出された描画シート１７１がヘッドユニット１３に臨み、描画シート１７１に検査パターンを描画することができるようになっている。
【００７３】
図５に示すように、撮像ユニット１６２は、上記したＹ軸支持ベース３に支持されており、Ｘ軸テーブル１１に上側から臨み、描画シート１７１に描画された検査パターンを撮像する２個の検査カメラ１８１と、２個の検査カメラ１８１を保持するカメラホルダ１８２と、Ｙ軸支持ベース３に固定され、カメラホルダ１８２を介して、２個の検査カメラ１８１をＹ軸方向にスライド自在に支持するカメラ移動機構１８３と、カメラ移動機構１８３を介して検査カメラをＹ軸方向に移動させるためのカメラ移動モータ（図示省略）と、を有している。２個の検査カメラ１８１は、描画シート１７１に描画された検査パターンをそれぞれ半分ずつ撮像するように構成されている。例えば、２個の検査カメラ１８１を、ヘッドユニット１３の１描画ラインの長さの約半分の距離だけ離間して配設しておき、この状態で２個の検査カメラを移動させて、検査パターンの左側半分を左側の検査カメラ１８１で、右側半分を右側の検査カメラ１８１で撮像する。これにより、短時間で効率的に検査パターンを撮像（スキャン）することが可能となり、機能液滴吐出ヘッド８２の吐出不良検査に要する時間を削減することが可能となる。
【００７４】
撮像ユニット１６２は、吸着テーブル３１がワーク載せ換え位置に臨んだときに、２個の検査カメラ１８１が描画シート１７１に臨むように配設されており、本実施形態では、ワーク載せ換え中に、検査パターンの撮像を行えるようになっている。そして、２個の検査カメラ１８１による撮像結果は、下記する制御手段１８に送信されて画像認識され、この画像認識に基づいて、各機能液滴吐出ヘッド８２の各吐出ノズル９８が正常に機能液を吐出しているか（ノズル詰まりがないか）否かが判断されるが、この判断もワーク載せ換え中に行われる。すなわち、吐出不良検査手段は、撮像ユニット１６２および制御手段１８により構成されている。
【００７５】
なお、図示は省略したが、ユニットベース１７４と巻取り支持部材１７３との間には、巻取り手段１７２全体をＸ軸方向に（微少）移動させるユニット移動機構が設けられている。上述したように、描画シート１７１に描画される検査パターンの描画位置は、Ｘ軸方向に位置ずれしてゆくが、検査パターンの描画位置に応じて巻取り手段１７２をＸ軸方向へ移動させることにより、Ｘ軸方向において固定の撮像ユニット（２個の検査カメラ１８１）に対して、検査パターンを確実に臨ませることができるようになっている。
【００７６】
また、この吐出不良検査ユニット１７を用いて、ヘッドユニット１３を構成する各キャリッジユニット８１の位置補正を行い、各分割描画ラインが１描画ラインを構成するように、初期のヘッドアライメントを行うことも可能である。
【００７７】
次に、図１２を参照して、液滴吐出装置１（機能液吐出部１Ａ，１Ａ´）の主制御系について説明する。同図に示すように、液滴吐出装置１（機能液吐出部１Ａ，１Ａ´）は、ヘッドユニット１３（機能液滴吐出ヘッド８２）を有する液滴吐出部１９１と、Ｘ軸テーブル１１、を有し、ワークをＸ軸方向へ移動させるためのワーク移動部１９２と、Ｙ軸テーブル１２を有し、ヘッドユニット１３をＹ軸方向へ移動させるヘッド移動部１９３と、メンテナンス手段の各ユニットを有するメンテナンス部１９４と、各種センサを有し、各種検出を行う検出部１９５と、各部を駆動制御する各種ドライバを有する駆動部１９６と、各部に接続され、液滴吐出装置１全体の制御を行う制御部１９７（制御手段１８）と、を備えている。
【００７８】
制御部１９７には、各手段を接続するためのインタフェース２０１と、一時的に記憶可能な記憶領域を有し、制御処理のための作業領域として使用されるＲＡＭ２０２と、各種記憶領域を有し、制御プログラムや制御データを記憶するＲＯＭ２０３と、ワークＷに所定の描画パターンを描画するための描画データや、各手段からの各種データ等を記憶すると共に、各種データを処理するためのプログラム等を記憶するハードディスク２０４と、ＲＯＭ２０３やハードディスク２０４に記憶されたプログラム等に従い、各種データを演算処理するＣＰＵ２０５と、これらを互いに接続するバス２０６と、が備えられている。
【００７９】
そして、制御部１９７は、各手段からの各種データを、インタフェース２０１を介して入力すると共に、ハードディスク２０４に記憶された（または、ＣＤ−ＲＯＭドライブ等により順次読み出される）プログラムに従ってＣＰＵ２０５に演算処理させ、その処理結果を、駆動部１９６（各種ドライバ）を介して各手段に出力する。これにより、装置全体が制御され、機能液吐出部１Ａ，１Ａ´の各種処理が行われる。
【００８０】
ここで、未処理のワークＷをセットテーブル２１（吸着テーブル３１）に導入してから、次のワークＷに載せ換えるまでの、機能液吐出部１Ａ，１Ａ´の一連の動作について説明する。図外のロボットアーム（ワーク搬出入装置）を介して、ワーク載せ換え位置に臨む吸着テーブル３１にワークＷが載せ込まれると、制御部１９７は、ワークアライメントカメラ６２を駆動してワークＷを撮像すると共に、この撮像結果を画像認識する。そして、この画像認識に基づいて、θテーブル３２を駆動し、ワークＷの位置（θ）補正を行う（この間、ヘッドユニット１３は、定期フラッシングユニット１１２に臨んでおり、機能液滴吐出ヘッド８２の定期フラッシングが為されている。）。
【００８１】
ワークＷの位置補正が終了すると、制御部１９７は、（定期フラッシングを終了させ、）Ｘ軸テーブル１１を駆動して、ワーク載せ換え位置から吸着テーブル３１をヘッドユニット１３側へ移動させ、上記した一連の描画処理を開始させる。この場合、本実施形態では、吸着テーブル３１およびこれに添設された一対の描画前フラッシングボックス１２１に掛かる領域が描画処理を行うための描画領域として設定されている。そして、一連の描画処理中は、この描画領域内にヘッドユニット１３が臨むようにＸ軸テーブル１１が駆動制御され、吸着テーブル３１（ワークＷ）の往復動が為される。したがって、描画処理中のヘッドユニット１３には、描画前フラッシングボックス１２１、ワークＷが順に臨み、描画前フラッシングに続いて、ワークに対する描画が行われると共に、描画処理に関与しない定期フラッシングユニット１１２および吐出不良検査ユニット１７が描画処理中のヘッドユニット１３に臨むことがないため、効率的かつ適切に描画処理を行うことができる。
【００８２】
ワークＷに対する機能液の吐出が終了し、描画処理（上記第３描画動作における２回目のワークＷの復動）が終了した後も、Ｘ軸テーブル１１の駆動が続けられ、ワークＷをワーク載せ換え位置まで移動させる。このとき、制御部１９７は、所定のタイミングでヘッドユニット１３の全機能液滴吐出ヘッド８２を吐出駆動して、全機能液滴吐出ヘッド８２から検査吐出を行わせる。これにより、ワークＷの移動中に、ヘッドユニット１３（全機能液滴吐出ヘッド８２）に臨む吐出不良検査ユニット１７の描画シート１７１に検査パターンが描画される。このように、本実施形態では、描画処理終了後におけるワーク載せ換え位置までのワークＷの移動動作を利用して、描画シート１７１に検査パターンの描画を行わせているため、検査吐出のためにヘッドユニット１３を敢えて移動させる必要がなく、効率よく検査パターンを描画させることができる。
【００８３】
ワークＷ（吸着テーブル３１）がワーク載せ換え位置まで到達すると、制御部１９７は、Ｘ軸テーブル１１の駆動を停止させると共に、Ｙ軸テーブル１２を駆動して、ヘッドユニット１３をホーム位置に戻す。そして、ヘッドユニット１３の全機能液滴吐出ヘッド８２を吐出駆動させ、ヘッドユニット１３の直下に位置する定期フラッシングボックス１３１に対して定期フラッシングを行うと共に、定期フラッシングを続けたまま、図外のロボットアームを用いて、処理済のワークＷを回収させると共に、未処理のワークＷをセットテーブル２１に導入する。
【００８４】
一方で、ワークＷがワーク載せ換え位置まで到達すると、制御部１９７は、移動モータを駆動して２個の検査カメラ１８１をＹ軸方向に移動させてゆき、描画シート１７１に描画された検査パターンを２個の検査カメラ１８１で撮像してゆく。そして、撮像結果を画像認識して、ヘッドユニット１３の各機能液滴吐出ヘッド８２について吐出不良が生じているか否かを判断する。ここで、全機能液滴吐出ヘッド８２が正常に機能液滴を吐出していると判断されれば、吐出不良検査を終了させる。そして、ワークＷの載せ換え終了後には、定期フラッシングを停止すると共に、新たな描画処理のためにＸ軸テーブル１１を駆動して、セットテーブル２１をヘッドユニット１３側へ移動させる。
【００８５】
他方、吐出不良の機能液滴吐出ヘッド８２があると判断されれば、機能液滴吐出ヘッド８２のメンテナンス処理を行う。具体的には、吐出不良の機能液滴吐出ヘッド８２を有するキャリッジユニット８１を吸引ユニット１５（分割吸引ユニット１４１）に臨ませ、吐出不良の機能液滴吐出ヘッド８２に対して吸引を行った後、さらにワイピングユニット１６に臨ませて、ワイピング処理を行う。この場合、本実施形態では、ヘッドユニット１３のホーム位置が吸引ユニット１５（およびワイピングユニット１６）寄りに設けられているため、吐出不良の判断がなされたときには、ホーム位置に臨むヘッドユニット１３を迅速に吸引ユニット１５に臨ませて、メンテナンス処理を行うことができるようになっている。吸引ユニット１５は２台の機能液吐出部１Ａ，１Ａ´に共用しているので、吸引ユニット１５によるメンテナンス処理は、何れか一方ごと行う。
【００８６】
なお、本実施形態のヘッドユニット１３は、７つのキャリッジユニット８１から構成されており、これらを独立して移動させることが可能であるため、吐出不良の機能液滴吐出ヘッド８２があると判断された場合に、７つの全てのキャリッジユニット８１を吸引ユニット１５またはワイピングユニット１６に臨ませる必要はない。例えば、図４において、右側の機能液吐出部１Ａの図示左から３番目のキャリッジユニット８１の機能液滴吐出ヘッド８２に吐出不良が検出された場合には、左から３番目までのキャリッジユニット８１を吸引ユニット１５に臨ませればよい。そして、左から３番目のキャリッジユニット８１に対してのみ、吸引を行うようする。この場合、ホーム位置に残されたキャリッジユニット８１の機能液滴吐出ヘッド８２に対しては、定期フラッシングを継続させておくと共に、吸引ユニット１５に臨んだ正常なキャリッジユニット８１に対しては、各機能液滴吐出ヘッド８２に対して離間した状態で吸引ユニット１５の各キャップ１４３を臨ませ、各キャップ１４３に対してフラッシング動作を行わせるようにする。
【００８７】
そして、吐出不良の機能液滴吐出ヘッド８２を有するキャリッジユニット８１の一連のメンテナンス処理が終了し、吸引ユニット１５に移動させたキャリッジユニット８１がホーム位置に戻ると、Ｘ軸テーブル１１を駆動して、吐出不良検査ユニット１７の描画シート１７１をヘッドユニット１３に臨ませ、描画シート１７１に再度検査パターンを描画させる。以下、上述した一連の動作と略同様の動作を繰り返し、ヘッドユニット１３をホーム位置に臨ませて、定期フラッシングを行うと共に、機能液滴吐出ヘッド８２の吐出不良が回復したか否かを確認する。
【００８８】
このように、本実施形態の液滴吐出装置１では、ヘッドメンテナンス部１０を隣接して設置する機能液吐出部１Ａ，１Ａ´で共用したので、それぞれの機能液吐出部１Ａ，１Ａ´にそれぞれ別々に設けていたヘッドメンテナンス部を１台のヘッドメンテナンス部１０とすることができ、その分設備コストが低減化できるばかりか、ヘッドメンテナンス部１０用の設置スペースを極力小さくすることができる。
【００８９】
なお本発明にかかる液滴吐出装置を用いて描画処理を行ったワークを用いて構成される電気光学装置（デバイス）としては、液晶表示装置、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）装置またはＳＥＤ（Surface-Conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【００９０】
以上本発明の実施形態を説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲、及び明細書と図面に記載された技術的思想の範囲内において種々の変形が可能である。なお直接明細書及び図面に記載がない何れの形状や構造であっても、本願発明の作用・効果を奏する以上、本願発明の技術的思想の範囲内である。例えば本実施形態では、ワークＷを主走査方向に移動させ、ヘッドユニット１３を副走査方向に移動させる構成となっているが、ヘッドユニット１３を主走査方向に移動させ、ワークＷを副走査方向に移動させる構成とすることも可能である。また、ワークＷを固定とし、ヘッドユニット１３を主走査方向および副走査方向に移動させる構成としてもよい。また上記液滴吐出装置１の構成及び液滴吐出装置１を構成する各部品の構成にさらに別の種々の変更が可能であることはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００９１】
【図１】液滴吐出装置１の全体概略構成図である。
【図２】液滴吐出装置１−２の全体概略構成図である。
【図３】液滴吐出装置１の全体概略斜視図である。
【図４】ブリッジプレート７１を除いた状態の液滴吐出装置１の平面図である。
【図５】液滴吐出装置１の側面図である。
【図６】機能液滴吐出ヘッド８２の外観斜視図である。
【図７】キャリッジユニット８１の下側から見たヘッドプレート８４の平面図である。
【図８】ヘッドユニット１３に搭載された機能液滴吐出ヘッド８２の配色パターンの説明図である。
【図９】カラーフィルタの配色パターンの説明図であり、図９（ａ）はストライプ配列、図９（ｂ）はモザイク配列、図９（ｃ）はデルタ配列を示している。
【図１０】液滴吐出装置１による描画処理の説明図であり、図１０（ａ）は第１描画動作、図１０（ｂ）は第２描画動作、図１０（ｃ）は第３描画動作についての平面模式図である。
【図１１】Ｘ軸エアースライダ廻りの外観斜視図である。
【図１２】描画装置の主制御系について説明したブロック図である。
【符号の説明】
【００９２】
１  液滴吐出装置
１Ａ，１Ｂ  機能液吐出部
１０  ヘッドメンテナンス部
１１  Ｘ軸テーブル
１２  Ｙ軸テーブル 
１３  ヘッドユニット
１４  フラッシングユニット
１５  吸引ユニット
１６  ワイピングユニット
１７  吐出不良検査ユニット
１８  制御手段 
２１  セットテーブル
２２  Ｘ軸エアースライダ
８２  機能液滴吐出ヘッド
９８  吐出ノズル
１１１  描画前フラッシングユニット
１１２  定期フラッシングユニット
１６１  被描画ユニット
１６２  撮像ユニット
１７１  描画シート
１８１  検査カメラ
１８３  カメラ移動機構
Ｗ  ワーク
１−２  液滴吐出装置
【図１】
2008114206.tif 000003
【図２】
2008114206.tif 000004
【図３】
2008114206.tif 000005
【図４】
2008114206.tif 000006
【図５】
2008114206.tif 000007
【図６】
2008114206.tif 000008
【図７】
2008114206.tif 000009
【図８】
2008114206.tif 000010
【図９】
2008114206.tif 000011
【図１０】
2008114206.tif 000012
【図１１】
2008114206.tif 000013
【図１２】
2008114206.tif 000014