【誤訳訂正書】
【提出日】平成25年8月23日(2013.8.23)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００２】
本発明は、工業廃物流体、例えば、半導体及び液晶表示装置の製造プロセスで生成される廃ガスを処理するのに用いる熱反応器装置に関する。具体的には、本発明は、該熱反応器装置の改善された安全、信頼性、モニタリング及び制御機構並びにコンポーネントに関する。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００３】
半導体材料、デバイス、製品及びメモリ物品の製造からのガス状廃物には、プロセス設備で使用及び生成された様々な化学化合物が含まれている。これらの化合物は、無機及び有機化合物、酸化物、フォトレジスト及びその他試薬の分解生成物、プロセス設備から大気中へ放出される前に、廃物ストリームから除去されなければならない様々なその他のガス及び浮遊粒子を含む。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００５】
半導体産業の深刻な問題は、これらの材料の廃物ストリームからの一貫した効率的な除去である。実質的に全ての米国半導体製造設備では、廃物ストリームの処置のために、スクラバー又は同様の手段を利用しているものの、これらの設備で用いている技術には、不具合や効率の悪さがあるため、毒性のある、又はその他許容できない不純物が除去されていない。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００６】
採水口除害システムは、廃物が自社スクラバーシステムで希釈される前に、廃物ストリームから汚染物質を除去することにより、あるレベルの冗長性、信頼性及び能力を与える。自社システムで廃物ストリームを混ぜ合わせ、希釈するのは、これらに限られるものではないが、処理すべき希釈容積が大きいために、除害効率が減少する、不要な副反応、粒子形成及び自社スクラバーダクトシステムの腐食のリスクが増大する等、いくつかの理由のために不都合がある。更に、自社スクラビング技術の不具合は、従業員、設備及び環境に大きな安全上の問題を呈す。このように、自社スクラビングシステムと組み合わせた採水口除害システムは、半導体製造産業の重要な安全基準プラクティスに一致したあるレベルの冗長性及び信頼性を与える。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００７】
廃物ストリームを処理して、毒性材料を分解し、それらを毒性の少ない形態へと変換するのに、熱反応器が普及してきている。例えば、ホーマンロドニーチウら（Ｈｏ−Ｍａｎ
Ｒｏｄｎｅｙ Ｃｈｉｕ ｅｔ ａｌ．）により２００４年１１月１２日に出願された同時係属中の米国特許出願第１０／９８７，９２１号、「除害プロセス中の粒子付着を減じるための反応器ー設計（Ｒｅａｃｔｏｒ  Ｄｅｓｉｇｎ  ｔｏ  Ｒｅｄｕｃｅ  Ｐａｒｔｉｃｌｅ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ  Ｄｕｒｉｎｇ  Ｐｒｏｃｅｓｓ  Ａｂａｔｅｍｅｎｔ」に開示された改善された熱反応ユニットは、これらに限られるものではないが、ＣＦ４、Ｃ２Ｆ６、ＳＦ６、Ｃ３Ｆ８、Ｃ４Ｆ８、Ｃ４Ｆ８Ｏ、ＳｉＦ４、ＢＦ３、ＢＨ３、Ｂ２Ｈ６、Ｂ５Ｈ９、ＮＨ３、ＰＨ３、ＳｉＨ４、ＳｅＨ２、Ｆ２、Ｃｌ２、ＨＣｌ、ＨＦ、ＨＢｒ、ＷＦ６、Ｈ２、Ａｌ（ＣＨ３）３、アルコール、Ｏ３、ＮＦ３及びＣｌＦ３等の酸化剤、第１級及び第２級アミン、酸ガス、オルガノシラン、有機金属及びハロシランをはじめとする少なくとも９５％、好ましくは少なくとも９９％の廃物成分を除害する。重要なのは、改善された熱反応ユニットの分解除去効率（ＤＲＥ）が９９％を超え、熱反応ユニット内での酸化ケイ素等の不要の反応生成物の付着を減じるように設計されていることである。
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００８】
熱除害技術の開発につれて、該熱反応器の安全、信頼性、モニタリング及び制御機構を開発する必要がある。熱反応器における廃物ストリームの除害は、燃料、例えば、メタン、天然ガス及び／又は水素の燃焼及び酸化のための熱反応器への導入により促進されるため、安全機構は特に重要である。該燃料の燃焼により生じる高温は、中にある廃物ストリームの毒性材料を分解するのを補助する。明らかに、反応器又は反応器筐体内での、燃料漏れによる発火及び爆燃のリスクを最小にし、且つ、反応器が廃物ストリームを効率的に除害するのを確実にするためには、モニタリング及び制御コンポーネントが必要である。
従って、従業員の安全を確保し、除害プロセスの効率を改善するために、熱反応器用の改善された安全なモニタリング及び制御機構が提供されると有利である。
【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１０】
他の態様において、本発明は、（ａ）少なくとも１つのアラーム手段の操作性を確認する工程と、（ｂ）熱反応チャンバの下流に位置する水循環タンクの再循環水の、最小容積と最大容積の間にある容積をチェックする工程と、（ｃ）水循環タンクのヘッドスペースのスタートアップ前の閾値温度より低くなければならない温度を測定する工程と、（ｄ）中に存在するであろう可燃性種を実質的に除去するのに十分な時間にわたって、不活性ガスで熱反応チャンバをパージする工程と、（ｅ）熱反応チャンバに、又は熱反応チャンバ内に配置されたパイロット火炎デバイスを発火する工程と、（ｆ）燃料を熱反応チャンバに流す工程と、（ｇ）熱反応チャンバに流れる燃料を発火する工程と、（ｈ）熱反応チャンバへ流れた燃料をパイロット発火デバイスが発火したことを確認する工程と、（ｉ）中で少なくとも部分的に分解するために廃物を熱反応チャンバへ流す工程とを含み、熱反応器が安全且つ効率的に汚染物質を廃物から除去する熱反応チャンバを有する熱反応器のスタートアップを連続的に操作する方法に関する。
本発明のその他の態様及び利点は、以下の開示内容及び特許請求の範囲からより完全に明白となる。
【誤訳訂正８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１１】
本発明は、概して、廃物ストリームに含まれる汚染物質を効率的、且つ、制御可能に分解するのに用いる熱反応器装置に関する。具体的には、本発明は、従業員の安全を確保し、除害プロセスの効率を改善するための該熱反応器用の改善された、安全、モニタリング及び制御機構に関する。
【誤訳訂正９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１３】
除害される廃物ストリームは、半導体プロセスにより生成された種及び／又は化学変換なしに半導体プロセスへ分配され、そこから放出された種を含んでいてもよい。本明細書において用いる「半導体プロセス」とは、半導体製品及び／又はＬＣＤ製品の製造における全ての処理及びユニット操作、半導体及び／又はＬＣＤ製造設備で用いる、又はそこで生成される材料の処置又は処理を含む全ての操作、能動的製造を含まない半導体及び／又はＬＣＤ製造設備に関連して実施される全ての操作（例えば、プロセス装置の調整、操作の準備における化学的分配ラインのパージ、プロセスツールチャンバのエッチクリーニング、半導体及び／又はＬＣＤ製造設備により生成される排出物からの毒性又は有害ガスの除害等が挙げられる）における全ての処理及びユニット操作を含むものと広く解釈される。本明細書において用いる「廃物ストリーム」及び「廃棄物ストリーム」は同義語である。
【誤訳訂正１０】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１４】
熱反応ユニット３０と下部冷却チャンバ１００とを有する一般的な熱反応器を図１に示す。熱反応ユニット３０は、熱反応チャンバ３２を画定する熱反応器壁３４と、上板１８、少なくとも１つの廃物ストリーム入口１４、少なくとも１つの燃料入口２０、バーナージェット２２、パイロット１６及び任意で少なくとも１つの酸化剤入口１２を含む入口アダプタ１０とを有する。入口アダプタは、燃料及び酸化物ガス入口を含み、廃物ストリームに含まれる汚染物質の分解のために、燃料リッチなガス混合物をシステムに提供する。好ましい実施形態において、熱反応器壁３４は、イットリアドープアルミナ等の網目セラミック材料から構築される。用いる燃料は天然ガスを含むのが好ましい。
【誤訳訂正１１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１５】
実際には、廃物ストリームは、入口アダプタ１０に提供されている少なくとも１つの廃物ストリームから熱反応チャンバ３２に入り、燃料／酸化物混合物は、少なくとも１つのバーナージェット２２から熱反応チャンバ３２に入る。パイロット１６は、入口アダプタのバーナージェット２２を発火するのに用いて、約５００℃〜約２０００℃の範囲の熱反応ユニット温度をもたらすパイロット火炎を含む。高温により、熱反応チャンバ３２に入る廃物ストリームに含まれる汚染物質の分解が促される。
【誤訳訂正１２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３１】
検出された可燃性ガスの濃度が非常に高いと判断された場合には、非常停止（ＥＭＯ）が作動する。非常停止（ＥＭＯ）はモダリティであり、発火源、燃料フロー、酸化剤フロー、廃物ストリームフローおよび水流をはじめとする排気筐体内側に配置された電気コンポーネントは全て即時にシャットダウンされる。重要なのは、ＥＭＯ作動の閾値が、燃料ガスを発火するのに必要な濃度に対応しているが、閾値は、該発火濃度の４分の１未満、好ましくは２０分の１未満である。例えば、メタンガス検出及びアラームの閾値は、１０００ｐｐｍに設定する。これは、メタンが空気中で直ちに発火する濃度の５０分の１の濃度に対応する。重要なのは、選択した閾値が、同時に、バックグラウンド影響を最小にするのに十分でなければならないことである。
【誤訳訂正１３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３４】
本発明の更に他の実施形態において、燃料火炎の安定性が制御されて、熱反応器内での安定した燃焼を維持する。実際に、燃料はバーナージェット２２で熱反応チャンバに入る（例えば、図１参照）。燃料がバーナージェットから出ると、発火して、大量の熱が放出される。高温が、熱反応チャンバ３２に入る廃物ストリームに含まれる汚染物質の分解を促す。先行技術の熱反応器に関連した深刻な問題は、これらのバーナージェットからの安定した燃焼火炎の維持であった。該火炎は、製造設備における燃料分配の欠如や、熱反応チャンバ内の静圧の変化に直ぐ影響される。例えば、燃料ラインは、通常、設備内の他の製造場所を供給し、燃料の熱反応器への分配は経時で変動する。火炎の品質の変化は、熱反応チャンバ内で得られる温度に影響し、これに付随して、中にある廃物ストリームの分解効率に影響する。先行技術の火炎安定剤が利用可能であるが、それらは非常に高価である。従って、燃料供給圧力及び火炎の安定性を制御することにより、熱反応器の性能を経済的に維持し制御されると、この業界に大きな進展がもたらされる。
【誤訳訂正１４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４３】
コンポーネントがスタートアップ中に適切に操作されていないと判断された場合には、アラーム及び警告が有効となって、マイナスの状態がクリアされるまでスタートアップを中断する。コントロールプラットフォームが、除害中コンポーネントが適切に操作されていないと判断した場合には、アラーム及び警告が有効となって、熱反応器がセーフ状態、例えば、燃料フロー、点火源、廃物等のシャットオフとなる。
【誤訳訂正１５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４９】
循環タンクの水のレベルが適切であれば、水の循環がなされ、水流スイッチがチェックされる。循環タンク（例えば、図１参照）のヘッドスペース１４５の温度を再チェックする。ヘッドスペース１４５温度が所定の閾値、例えば、約５０℃〜約８０℃、好ましくは約６５℃より高い場合には、ＣＴＲＬ１は次のステップへ進まない。ＣＴＲＬ２がヘッドスペース１４５の温度を再チェックする。その後、パイロット発火がスタートする。発火前、反応器は、窒素等の不活性ガスを用いてパージして、反応器の最後のシャットダウン後に残る残渣ガスを大幅に除去しなければならない。反応器がＥＭＯを用いてシャットダウンされた場合には、これは特に重要であり、スタートアップまたは操作中に検出されたマイナスの状態のために、燃料フロー、廃物ストリームフロー及び発火等の重要項目は即時に停止される。本明細書で定義する「実質的に除去」とは、少なくとも９５％、好ましくは少なくとも９９％の残渣ガスがパージ中に除去されることを意味する。反応器は、約５０標準リットル〜約２００標準リットルの不活性ガス、例えば、窒素、好ましくは約１００標準リットルのガスでパージされる。反応器は、適切な量のパージガスで、反応器内のガスの少なくとも３回の回転率、好ましくは少なくとも５回の回転率を確保するのに適切な長さの時間にわたってパージされるのが好ましい。
【誤訳訂正１６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５０】
図７Ｃを参照すると、ＣＤＡ（クリーンドライエア）フローのチェック後、ＣＴＲＬ２は、パイロット発火装置が点灯の準備が整って、パイロットの発火を有効にすることを確認する。発火のための構成は、ＣＴＲＬ１により制御される通り、熱反応器装置が燃焼プロセスで酸素富化空気（ＯＥＡ）を用いる必要があるかどうかに応じて異なる。発火は、ＣＴＲＬ２が前のステップでパイロット発火装置を有効にすることなく、進まないことに留意する。その後、火炎をチェックして、例えば、上述の火炎センサを用いて、パイロットの発火を確認しなければならない。パイロットが発火に成功してはじめて、ＣＴＲＬ２は燃料および廃物ストリームフローを有効にする。重要なのは、ＣＴＲＬ２が、燃料のフロー及び廃物ストリームを適切な入口まで能動的にオンせず、ＣＴＲＬ１が適宜フローをオンにする。
【誤訳訂正１７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５１】
図７Ｄを参照すると、ＣＴＲＬ１は、装置の下流スクラビング手段と関連した水分抑制をチェックする。その後、第２の段階および入口ＣＤＡ（またはＯＥＡ）がチェックされる。重要なのは、シーケンスのこの段階で、廃物ストリームはまだその中での除害のために熱反応器に入っていないことである。廃物導入の前に、ライン端部から出る排気の圧力を、熱反応器に入る圧力と比較して、例えば、入口でのＳｉＯ２蓄積等、システムの内部が詰まっているかどうか確かめなければならない。内側圧力は外側圧力と略等しいのが好ましく、これは、大幅な目詰まりが存在しないことを示す。例えば、圧力変化は、好ましくは水の２インチ未満、好ましくは約０．２５インチ〜約０．５０インチの範囲である。
【誤訳訂正１８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５２】
図７Ｅを参照すると、バーナージェットは、例えば、火炎センサを用いて、発火してチェックされ、パイロット火炎がバーナージェットを適切に発火するのを確認している。パイロットが、バーナージェットから流れる燃料を発火するのに失敗し、且つ／又はバーナージェットの火炎がその後消えた場合には、熱反応器内に潜在的に危険な状況が存在している。このチェックは、バーナージェットを発火し、パイロット火炎をオフにすることによって火炎センサを用いてなされ、火炎、例えば、バーナージェット火炎が検出されることを確認する。この段階で、前の全てのステップが確実に確認されたと仮定して、パイロットが再発火され、バーナージェットは消され、システムは廃物を処理する準備が整う。
【誤訳訂正１９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５３】
図７Ｆを参照すると、上流ツールが除害を要求し、バーナージェットは再発火され、該ツールからの廃物ストリームがその中での処理のために熱反応器に入れられる。重要なのは、廃物ストリームフローが、ＣＴＲＬ２によるシーケンスで予め有効にされたことである（例えば、図７Ｃ参照）。残りのシーケンスは、除害と、要求時のシャットダウンを含む。当業者であれば、本明細書に記載した熱除害反応器は、多数のウェハプロセスツール又はバックアップ代替採水口除害ツールから放出された廃物ストリームを除害することが分かるはずである。
【誤訳訂正２０】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５５】
図７Ａ〜７Ｆに挙げたステップのシーケンスは、熱反応器が効率的且つ安全に操作されることを保障するものである。安全冗長性は、２つの独立したコントローラの利用により得られる。一方は、熱反応器のスタートアップ及び操作を制御し、他方は重要項目のみの操作を有効にする。
更に他の実施形態において、熱除害反応器は高性能除害のために修正される。一般的に言って、本実施形態は、ある期間にわたって熱反応器に入る廃物の量を定量する。本発明以前は、リアルタイムで、どのくらいの廃物が熱反応器により処理されたか判断することはできなかった。熱反応器の重要項目を応答可能に調整して、除害性能を最良にし、且つ操作コストを下げるため、リアルタイム情報は極めて有利なものである。
【誤訳訂正２１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５７】
ＴＰＩＲ出力には、方形波変化が含まれ（図８参照）、記録された各方形波は１つのウェハが処理されたことを示す。このように、方形波の合計数は処理されたウェハの数に等しい。どのくらいの廃物がウェハ１枚当たりで生成されたか、そして処理されたウェハの合計数が分かると、経時で上流プロセスツールにより生成される廃物の合計量を計算することができる。処理されたウェハの数は、生成され処理された廃物の量に直接比例している。
【誤訳訂正２２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５８】
検出器システムは、コントローラに情報伝達できるように接続されている。実際、ＴＰＩＲ又はその他分析装置により生成された分析信号は、コントローラにより捉えられ、これが、熱反応器の操作を調整する。例えば、燃料フロー及び／又は酸化剤フローは、生成された廃物の容積に応じて変更し、予防保守サイクルは、処理したウェハの数に基づいてスケジュールしてよい。
【誤訳訂正２３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００６０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００６０】
このように、ＴＰＩＲの情報伝達またはその等価物によって、コントローラが高性能の除害を可能として、熱反応器がリアルタイムで調整されて、効率的且つ安全に廃物を除害する。
【誤訳訂正２４】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
廃物を熱処理する熱除害システムであって、
コントローラと、
排出ストリーム入口を含み、前記コントローラにより制御されるように用いられる熱反応チャンバと、
前記熱反応チャンバへ通じる管を含む火炎センサ装置と、
前記熱反応チャンバ内の前記管の第１の端部に配置されたパイロットを備え、
前記火炎センサ装置は、前記熱反応チャンバ外の前記管の第２の端部に配置されたセンサを備え、前記センサは前記コントローラに結合され、前記コントローラに前記パイロットが点灯したかどうかの指示を与えるように用いられ、
前記火炎センサ装置は前記管の開閉のために操作可能なアクチュエータを含み、前記アクチュエータが、前記管を閉じたときに、前記センサに熱反応チャンバからの放射線が達するのを防ぐこと、前記管の開放状態と閉鎖状態をサイクルさせること、又はそれらの両方のうち少なくとも１つに用いられる熱除害システム。
【請求項２】
前記コントローラが、前記センサからの前記指示に基づいて前記熱反応チャンバを操作するように用いられる請求項１記載のシステム。
【請求項３】
前記アクチュエータが前記管の開放状態と閉鎖状態をサイクルさせるように用いられ、前記コントローラが、前記管の実際の状態を、前記センサからの前記指示と比較することによって前記センサを試験するように用いられる請求項１記載のシステム。
【請求項４】
前記熱反応チャンバが、燃料を前記熱反応チャンバに提供し、前記パイロットにより発火されるように用いられるバーナージェットを含み、
前記センサが、前記バーナージェットが発火されるかどうか前記コントローラに指示を与えるように更に用いられ、前記コントローラが、前記バーナージェットが発火されるかどうかに基づいて、前記熱反応チャンバをシャットダウンするように用いられる請求項１記載のシステム。
【請求項５】
前記センサは紫外光センサである請求項１記載のシステム。
【請求項６】
前記アクチュエータは前記管の開放状態と閉鎖状態をサイクルさせるように用いられ、前記アクチュエータは３０秒間開き、３〜５秒間閉じる請求項３記載のシステム。
【請求項７】
前記熱除害システムは、前記熱反応チャンバの外部に位置する排気筐体内に位置する火炎センサ装置を含む請求項１記載のシステム。
【請求項８】
前記熱除害システムは、
少なくとも２つの本質安全バリアを有し、前記熱反応チャンバの外部に位置する排気筐体内に位置する火炎センサ装置を含む請求項１記載のシステム。