(57)【要約】【課題】当接面２０ａから同軸状に穿設した有底孔２０ｂを直接的に覗くことなしに、有底孔２０ｂの深さを簡単かつ確実に知ることができるプローブ２０を提供する。【解決手段】先端の当接面２０ａに半田ボール１２の外径より小さな内径の有底孔２０ｂを同軸状に穿設したプローブ２０であって、先端側の外周に有底孔２０ｂの底部またはその深さに応じた目印として、先端側の外径が小さい２つの段差部２０ｃ、２０ｄを設ける。段差部２０ｃ、２０ｄに対する現在の当接面２０ａの位置を外側から覗いて、有底孔２０ｂの現在の深さを知ることができる。プローブ２０を交換する適切な時点を、簡単かつ確実に知ることができる。【選択図】  図１
2008267971.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半田ボールの頂点の周囲に当接するように、先端の当接面に前記半田ボールの外径より小さな内径の有底孔を同軸状に穿設したプローブにおいて、先端側の外周に前記有底孔の底部またはその深さに応じた目印を設けて構成したことを特徴とするプローブ。
【請求項２】
半田ボールの頂点の周囲に当接するように、先端から切り込みを設けて先端部をクラウン形状としたプローブにおいて、先端側の外周に前記切り込みの谷部の底またはその深さに応じた目印を設けて構成したことを特徴とするプローブ。
【請求項３】
請求項１または２記載のプローブにおいて、前記目印を、前記外周に段差部または溝または突条または突起または凹部を設けて構成したことを特徴とするプローブ。
【請求項４】
請求項１または２記載のプローブにおいて、前記目印を、前記外周の全周にまたは周の一部に設けて構成したことを特徴とするプローブ。
【請求項５】
多数本のプローブが隣接して群れ状に立設されるプローブブロックにおいて、前記群の少なくとも外縁位置の一部に前記請求項１または２記載のプローブを立設して構成したことを特徴とするプローブブロック。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半田ボールに当接させるプローブ、およびかかるプローブが立設されたプローブブロックに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半田ボールに当接させるプローブとして、特開２００１−１０８７０６号公報に示された技術がある。半田ボールの頂点を傷付けないために、頂点の周囲に当接するように、先端の当接面に半田ボールの外径より小さな内径の有底孔を同軸状に穿設したプローブである。また、特開２００２−２０２３２２号公報には、先端の当接面に半田ボールの外径より小さな内径の有底孔を同軸状に穿設する構造に加えて、有底孔の周壁に内側と外側が連通するように当接面から底部に到るスリットを設けたプローブが示されている。さらに他に、半田ボールの頂点を傷付けないために、頂点の周囲に当接するように、先端から切り込みを設けて先端部をクラウン形状としたプローブもある。
【特許文献１】特開２００１−１０８７０６号公報
【特許文献２】特開２００２−２０２３２２号公報
【０００３】
上述の特開２００１−１０８７０６号公報に示されたごとき図１３（ａ）に縦断面図で示す従来のプローブ１０にあっては、図１３（ｂ）に示すごとく、半田ボール１２に繰り返して当接されていると、図１３（ｃ）に示すごとく半田ボール１２の半田がその当接面１０ａに付着し、当接が不安定な状態となるとともに、当接により得られる電気的導通が不安定となる。そこで、プローブ１０の当接面１０ａのクリーニングが必要となる。先端の当接面１０ａに半田ボール１２の外径より小さな内径の有底孔１０ｂを同軸状に穿設したかかる構造のプローブ１０にあっては、当接面１０ａを細かいヤスリ状の表面を備えたクリーニングシートに押し当てて円等を描くようにして横方向に円移動等させて、付着した半田が除去される。また、先端から切り込みを設けて先端部をクラウン形状とした図１４（ａ）に示す他の従来のプローブ１４にあっては、クッション材の表面に研磨砥粒を配したクリーニングシートにプローブ１４を当接させて軸方向に往復動させることで、付着した半田が除去される。なお、プローブ１０、１４は、いずれも多数本が隣接して群れ状に立設されてプローブブロックを構成していて、そのクリーニングはプローブブロックとしての多数本のプローブ１０、１４の全体に対して同時に行われる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記クリーニングにおいて、付着した半田のみが除去されれば良いが、プローブ１０、１４自体も研磨されてしまう。そのために、先端の当接面１０ａに半田ボール１２の外径より小さな内径の有底孔１０ｂを同軸状に穿設した従来のプローブ１０にあっては、図１３（ｄ）に示すごとく当接面１０ａが削られて有底孔１０ｂの深さＹが元の深さＸより小さくなって徐々に浅くなり、最終的には有底孔１０ｂが無い状態となり、半田ボール１２の頂点にプローブ１０が当接するようになる。また、先端から切り込みを設けて先端部をクラウン形状とした従来のプローブ１４にあっては、図１４（ｂ）の外観図および図１４（ｃ）の縦断面図に示すごとくクラウン形状が徐々に丸味を帯び、切り込みによる谷が浅くなり、やはり半田ボール１２の頂点付近を傷付けるようになる。そこで、有底孔１０ｂが無くなる前に、また切り込みによる谷が浅くなり過ぎる前に、プローブ１０、１４の交換をしなければならない。そのためには、有底孔１０ｂの深さおよび切り込みによる谷の深さを、正確に知る必要がある。
【０００５】
しかるに、従来にあっては、有底孔１０ｂの深さおよび切り込みによる谷の深さを、外側から簡便かつ正確に知る手段がなかった。そこで、プローブ１０の有底孔１０ｂを顕微鏡で覗いてその深さの測定がなされていた。しかし、プローブ１０がプローブブロックに立設され、さらにこのプローブブロックがプローブカードに組み付けられたものでは、組み付けられたままの状態ではプローブカードの寸法が大きすぎて、一般的な顕微鏡のステージに載置したときに、プローブブロックのプローブの位置を顕微鏡のレンズが臨む位置とすることができない。そこで、一般的な顕微鏡を用いてプローブ１０の有底孔を覗くことができずに、組み立てを分解しなければならず、その手間が極めて煩雑であった。また、クラウン形状のプローブ１４にあっても、同様な不具合があった。ここで、従来のプローブ１０、１４は、一例として、０．１ｍｍの外径であって、０．２ｍｍピッチで格子状の各交点に立設される。しかも、プローブ１０に穿設される有底孔１０ｂは、内径が０．０５ｍｍでその深さが０．１ｍｍである。
【０００６】
本発明は、上述したごとき従来のプローブの事情に鑑みてなされたもので、プローブの先端の有底孔または切り込みによる谷の深さを直接的に覗くことなしに、有底孔または谷の深さを簡単かつ確実に知ることができるようにしたプローブを提供することを目的とする。また、かかるプローブを用いることで、プローブを交換すべき時点を簡単に知ることのできるプローブブロックを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
かかる目的を達成するために、本発明のプローブは、半田ボールの頂点の周囲に当接するように、先端の当接面に前記半田ボールの外径より小さな内径の有底孔を同軸状に穿設したプローブにおいて、先端側の外周に前記有底孔の底部またはその深さに応じた目印を設けて構成されている。
【０００８】
また、本発明のプローブを、半田ボールの頂点の周囲に当接するように、先端から切り込みを設けて先端部をクラウン形状としたプローブにおいて、先端側の外周に前記切り込みの谷部の底またはその深さに応じた目印を設けて構成しても良い。
【０００９】
そして、前記目印を、前記外周に段差部または溝または突条または突起または凹部を設けて構成することもできる。
【００１０】
そしてまた、前記目印を、前記外周の全周にまたは周の一部に設けて構成することもできる。
【００１１】
さらに、本発明のプローブブロックは、多数本のプローブが隣接して群れ状に立設されるプローブブロックにおいて、前記群の少なくとも外縁位置の一部に前記請求項１または２記載のプローブを立設して構成されている。
【発明の効果】
【００１２】
請求項１記載のプローブにあっては、先端側の外周に有底孔の底部またはその深さに応じた目印が設けられているので、プローブの先端面からこの目印までの寸法を側方から覗いて検査することで、現在のプローブの有底孔の底部の位置またはその深さを簡単かつ確実に知ることができる。そこで、プローブを適切な時点で交換することが可能となる。
【００１３】
請求項２記載のプローブにあっては、先端から切り込みを設けて先端部をクラウン形状としたプローブの先端側の外周に、切り込みの谷部の底またはその深さに応じた目印を設けたので、先端からのこの目印までの寸法を側方から覗いて検査することで、現在のプローブの切り込みの谷部の底の位置またはその深さを簡単かつ確実に知ることができる。そこで、プローブを適切な時点で交換することが可能となる。
【００１４】
請求項３記載のプローブにあっては、目印を、外周に段差部または溝または突条または突起または凹部を設けて構成するので、目印の構成が簡単であり、量産に好適である。
【００１５】
請求項４記載のプローブにあっては、目印を、外周の全周にまたは周の一部に設けて構成するので、この目印を設ける作業を適宜に選択でき、製造作業の自由度が高い。
【００１６】
請求項５記載のプローブブロックにあっては、多数本が隣接して群れ状に立設されるプローブの群の少なくとも外縁位置の一部に、請求項１または２記載のプローブを立設して構成したので、プローブの群を側方から覗いて、目印が設けられたプローブの当該目印の位置から、立設されている現在のプローブの有底孔の底部の位置またはその深さ、または現在のプローブの切り込みの谷部の底の位置またはその深さを簡単かつ確実に知ることができる。そこで、プローブ全体を適切な時点で交換することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の第１実施例を図１を参照して説明する。図１は、本発明のプローブの第１実施例の先端部を示す図であり、（ａ）は側面図であり、（ｂ）は平面図であり、（ｃ）は縦断面図である。
【００１８】
本発明の第１実施例にあっては、プローブ２０の先端の当接面２０ａに半田ボールの外径より小さな内径の有底孔２０ｂを同軸状に穿設し、さらにプローブ２０の先端側の外周の全周にわたり、先端側ほど外径が小さくなる２段の段差部２０ｃ、２０ｄが目印として設けられている。この先端側の一方の段差部２０ｃは、有底孔２０ｂの深さの約半分の位置に対応して設けられ、他方の段差部２０ｄが有底孔２０ｂの底部の位置にほぼ対応して設けられている。そこで、クリーニングによりプローブ２０の先端面２０ａが摩耗して、現在の当接面２０ａが一方の段差部２０ｃの位置となると、プローブ２０の有底孔２０ｂの深さがほぼ半分となった状態である。また、当接面２０ａが他方の段差部２０ｄの位置となると、プローブ２０の有底孔２０ｂの深さがほぼ無くなった状態である。この段差部２０ｃ、２０ｄに対する当接面２０ａの位置は、プローブ２０を外側から見て検査することができる。もって、従来のごとくプローブ２０の有底孔２０ｂの底部を顕微鏡で覗いて測定するような繁雑な作業を必要とせずに、現在の有底孔２０ｂの深さを知ることができ、適切な時点でプローブ２０を交換することが可能である。ここで、第１実施例のプローブ２０は、一例として、従来例とほぼ同様に、０．１１ｍｍの外径であって、０．２ｍｍピッチで格子状の各交点に立設され、穿設される有底孔２０ｂは、内径が０．０５ｍｍでその深さが０．１ｍｍである。
【００１９】
本発明の第２実施例を図２を参照して説明する。図２は、本発明のプローブの第２実施例の先端部を示す図であり、（ａ）は側面図であり、（ｂ）は平面図であり、（ｃ）は縦断面図である。図２において、図１に示す部材と同じまたは均等なものには同じ符号を付けて重複する説明を省略する。
【００２０】
本発明の第２実施例にあっては、第１実施例と相違するところは、プローブ２０の先端側の外周の全周にわたり、幅の広い溝２０ｅが目印として設けられ、この溝２０ｅから先端側に外径が大きくなる一方の段差部が、有底孔２０ｂの深さの約半分の位置に対応するように設けられ、この溝２０ｅから後側に外径が大きくなる他方の段差部が、有底孔２０ｂの底部の位置にほぼ対応するように設けられたことにある。そこで、クリーニングによりプローブ２０の先端面２０ａが摩耗して、当接面２０ａが溝２０ｅの一方の段差部の位置となると、プローブ２０の有底孔２０ｂの深さが約半分となった状態である。また、当接面２０ａが溝２０ｅの他方の段差部の位置となると、プローブ２０の有底孔２０ｂの深さがほぼ無くなった状態である。この溝２０ｅに対する当接面２０ａの位置は、プローブ２０を外側から見て検査することができる。もって、第１実施例と同様に、プローブ２０を外側から覗いて、現在の有底孔２０ｂの深さを知ることができ、適切な時点でプローブ２０を交換することが可能である。
【００２１】
本発明の第３実施例を図３を参照して説明する。図３は、本発明のプローブの第３実施例の先端部を示す図であり、（ａ）は側面図であり、（ｂ）は平面図であり、（ｃ）は縦断面図である。図３において、図１に示す部材と同じまたは均等なものには同じ符号を付けて重複する説明を省略する。
【００２２】
本発明の第３実施例にあっては、第１実施例と相違するところは、プローブ２０の先端側の外周の全周にわたり、２本の溝２０ｆ、２０ｇが軸方向に位置をずらして目印として設けられたことにある。先端側の一方の溝２０ｆが、有底孔２０ｂの深さの約半分の位置に対応するように設けられ、他方の溝２０ｇが、有底孔２０ｂの底部の位置にほぼ対応するように設けられている。そこで、クリーニングによりプローブ２０の先端面２０ａが摩耗して、当接面２０ａが一方の溝２０ｆの位置となると、プローブ２０の有底孔２０ｂの深さが約半分となった状態である。また、当接面２０ａが他方の溝２０ｇの位置となると、プローブ２０の有底孔２０ｂの深さがほぼ無くなった状態である。この２本の溝２０ｆ、２０ｇに対する当接面２０ａの位置は、プローブ２０を外側から見て検査することができる。もって、第１実施例と同様に、プローブ２０を外側から覗いて、現在の有底孔２０ｂの深さを知ることができ、適切な時点でプローブ２０を交換することが可能である。
【００２３】
本発明の第４実施例を図４を参照して説明する。図４は、本発明のプローブの第４実施例の先端部を示す図であり、（ａ）は側面図であり、（ｂ）は平面図であり、（ｃ）は縦断面図である。図４において、図１に示す部材と同じまたは均等なものには同じ符号を付けて重複する説明を省略する。
【００２４】
本発明の第４実施例にあっては、第３実施例と相違するところは、プローブ２０の先端側の外周の全周にわたり、２本の溝２０ｆ、２０ｇに代えて、２本の突条２０ｈ、２０ｉが軸方向に位置をずらして目印として設けられたことにある。先端側の一方の突条２０ｈが、有底孔２０ｂの深さの約半分の位置に対応するように設けられ、他方の突条２０ｉが、有底孔２０ｂの底部の位置にほぼ対応するように設けられている。そこで、この２本の突条２０ｈ、２０ｉに対する当接面２０ａの位置から、第１実施例と同様に、プローブ２０を外側から覗いて、現在の有底孔２０ｂの深さを知ることができる。
【００２５】
本発明の第５実施例を図５を参照して説明する。図５は、本発明のプローブの第５実施例の先端部を示す図であり、（ａ）は側面図であり、（ｂ）は平面図であり、（ｃ）は縦断面図である。図５において、図１に示す部材と同じまたは均等なものには同じ符号を付けて重複する説明を省略する。
【００２６】
本発明の第５実施例にあっては、第１実施例と相違するところは、プローブ２０の先端側の外周の全周にわたり設けられた２段の段差部２０ｃ、２０ｄに代えて、外周の一部に先端側ほど外径が小さくなる２段の段差部２０ｊ、２０ｋが目印として設けられたことにある。これらの段差部２０ｊ、２０ｋを設けることで、プローブ２０の軸方向と直交する断面外形は小判型である。そして、先端側の一方の段差部２０ｊは、有底孔２０ｂの深さの約半分の位置に対応して設けられ、他方の段差部２０ｋが有底孔２０ｂの底部の位置にほぼ対応して設けられている。そこで、この２つの段差部２０ｊ、２０ｋに対する当接面２０ａの位置から、第１実施例と同様に、プローブ２０を外側から覗いて、現在の有底孔２０ｂの深さを知ることができる。
【００２７】
本発明の第６実施例を図６を参照して説明する。図６は、本発明のプローブの第６実施例の先端部を示す図であり、（ａ）は側面図であり、（ｂ）は平面図であり、（ｃ）は縦断面図である。図６において、図１および図２に示す部材と同じまたは均等なものには同じ符号を付けて重複する説明を省略する。
【００２８】
本発明の第６実施例にあっては、第２実施例と相違するところは、プローブ２０の先端側の外周の全周にわたり設けられた幅の広い溝２０ｅに代えて、外周の一部に幅の広い溝２０ｍが目印として設けられたことにある。これらの溝２０ｍを設けることで、プローブ２０の軸方向と直交する断面外形は小判型である。この溝２０ｍの一方の段差部が、有底孔２０ｂの深さの約半分の位置に対応するように設けられ、他方の段差部が、有底孔２０ｂの底部の位置にほぼ対応するように設けられている。そこで、この溝２０ｍに対する当接面２０ａの位置から、第１および第２実施例と同様に、プローブ２０を外側から覗いて、現在の有底孔２０ｂの深さを知ることができる。
【００２９】
本発明の第７実施例を図７を参照して説明する。図７は、本発明のプローブの第７実施例の先端部を示す図であり、（ａ）は側面図であり、（ｂ）は平面図であり、（ｃ）は縦断面図である。図７において、図１および図３に示す部材と同じまたは均等なものには同じ符号を付けて重複する説明を省略する。
【００３０】
本発明の第７実施例にあっては、第３実施例と相違するところは、プローブ２０の先端側の外周の全周にわたり軸方向に位置をずらして設けられた２本の溝２０ｆ、２０ｇに代えて、外周の一部に軸方向に位置をずらして凹部２０ｎ、２０ｏが目印として設けられたことにある。一方の凹部２０ｎが、有底孔２０ｂの深さの約半分の位置に対応するように設けられ、他方の凹部２０ｏが、有底孔２０ｂの底部の位置にほぼ対応するように設けられている。そこで、これらの凹部２０ｎ、２０ｏに対する当接面２０ａの位置から、第１および第３実施例と同様に、プローブ２０を外側から覗いて、現在の有底孔２０ｂの深さを知ることができる。
【００３１】
本発明の第８実施例を図８を参照して説明する。図８は、本発明のプローブの第８実施例の先端部を示す図であり、（ａ）は側面図であり、（ｂ）は平面図であり、（ｃ）は縦断面図である。図７において、図１および図４に示す部材と同じまたは均等なものには同じ符号を付けて重複する説明を省略する。
【００３２】
本発明の第８実施例にあっては、第４実施例と相違するところは、プローブ２０の先端側の外周の全周にわたり軸方向に位置をずらして設けられた２本の突条２０ｈ、２０ｉに代えて、外周の一部に軸方向に位置をずらして突起２０ｐ、２０ｑが目印として設けられたことにある。一方の突起２０ｐが、有底孔２０ｂの深さの約半分の位置に対応するように設けられ、他方の突起２０ｑが、有底孔２０ｂの底部の位置にほぼ対応するように設けられている。そこで、これらの突起２０ｐ、２０ｑに対する当接面２０ａの位置から、第１および第４実施例と同様に、プローブ２０を外側から覗いて、現在の有底孔２０ｂの深さを知ることができる。
【００３３】
本発明の第９実施例を図９を参照して説明する。図９は、本発明のプローブの第９実施例の先端部を示す図であり、（ａ）は側面図であり、（ｂ）は縦断面図である。
【００３４】
本発明の第９実施例にあっては、プローブ３０の先端が、先端から十文字状の切り込みが設けられてクラウン形状とされ、さらにプローブ３０の先端側の外周の全周にわたり、先端側ほど外径が小さい段差部３０ａが目印として設けられている。この段差部３０ａは、切り込みの谷部の底または適宜な深さの位置にほぼ対応して設けられている。そこで、クリーニングによりプローブ３０の先端側が摩耗して、その先端が段差部３０ａの位置となると、切り込みによる谷部が浅くなった状態である。そこで、段差部３０ａに対する先端の位置を、プローブ３０の外側から覗くことで、谷部の深さを知ることができる。もって、従来のごとくプローブ３０の切り込みによる谷部を顕微鏡で覗いて測定するような繁雑な作業を必要とせずに、適切な時点でプローブ３０を交換することが可能である。
【００３５】
本発明の第１０実施例を図１０を参照して説明する。図１０は、本発明のプローブの第１０実施例の先端部を示す図であり、（ａ）は側面図であり、（ｂ）は縦断面図である。図１０において、図９に示す部材と同じまたは均等なものには同じ符号を付けて重複する説明を省略する。
【００３６】
本発明の第１０実施例にあっては、クラウン形状のプローブ３０の先端側の外周の全周にわたり、幅の狭い溝３０ｂが目印として設けられている。この溝３０ｂは、切り込みの谷部の底または適宜な深さの位置にほぼ対応して設けられている。そこで、クリーニングによりプローブ３０の先端側が摩耗して、その先端が溝３０ｂの位置となると、切り込みによる谷部が浅くなった状態である。そこで、適切な時点でプローブ３０を交換することが可能である。
【００３７】
本発明の第１１実施例を図１１を参照して説明する。図１１は、本発明のプローブの第１１実施例の先端部を示す図であり、（ａ）は側面図であり、（ｂ）は縦断面図である。図１１において、図９に示す部材と同じまたは均等なものには同じ符号を付けて重複する説明を省略する。
【００３８】
本発明の第１１実施例にあっては、クラウン形状のプローブ３０の先端側の外周の全周にわたり、突条３０ｃが目印として設けられている。この突条３０ｃは、切り込みの谷部の底または適宜な深さの位置にほぼ対応して設けられている。そこで、クリーニングによりプローブ３０の先端側が摩耗して、その先端が突条３０ｃの位置となると、切り込みによる谷部が浅くなった状態である。そこで、適切な時点でプローブ３０を交換することが可能である。
【００３９】
さらに、本発明のプローブブロックの一実施例を図１２を参照して説明する。図１２は、本発明のプローブブロックの一実施例の外観図であり、（ａ）は正面図であり、（ｂ）は底面図である。
【００４０】
本発明のプローブブロックの一実施例にあっては、多数本のプローブが隣接して群れ状に立設されてプローブブロック４０が構成されており、このプローブブロック４０がプローブカード４２に配設される。そして、プローブブロック４０の群れ状の外縁位置に立設されるプローブの一部に、上記本発明の先端側の外周に目印が設けられたプローブ２０が用いられている。すると、プローブブロック４０を外側から覗いて本発明のプローブ２０の先端面２０ａと段差部２０ｃ、２０ｄの位置から、有底孔２０ｂの深さを知ることができる。そこで、プローブカード４２からプローブブロック４０を取り外し、さらにプローブを取り外すなどの繁雑な作業を必要とせずに、適切な時点でプローブ２０を交換することが可能である。このプローブブロック４０において、群れ状の外縁位置に立設されるプローブの一部に、上記本発明の先端から切り込みが設けられたクラウン形状のプローブ３０を用いても良い。そして、群れ状の少なくとも外縁位置に立設されるプローブの一部に上記本発明のプローブ２０、３０が用いられているが、全てのプローブに上記本発明のプローブ２０、３０が用いられていても良い。
【００４１】
なお、プローブ２０の有底孔２０ｂの深さを知るための、またプローブ３０の切り込みによる谷部の深さを知るための目印は、上記第１ないし第１１実施例に示したものに限られず、先端側の外周に有底孔２０ｂの底部または切り込みによる谷部に応じて適宜に設けられれば、いかなる構造であっても良い。また、目印の軸方向の数は、上記実施例に限られず、適宜に設定されれば良く、３つ以上であっても良い。しかし、プローブ２０自体が小さいので、目印を外側から視認し易い範囲内の数に設定するのが望ましい。そして、目印は、有底孔２０ｂの底部または切り込みによる谷部に必ずしも対応していなくても良く、プローブ２０、３０を交換すべき適切な状態を知らせるような位置に設けても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明のプローブの第１実施例の先端部を示す図であり、（ａ）は側面図であり、（ｂ）は平面図であり、（ｃ）は縦断面図である。
【図２】本発明のプローブの第２実施例の先端部を示す図であり、（ａ）は側面図であり、（ｂ）は平面図であり、（ｃ）は縦断面図である。
【図３】本発明のプローブの第３実施例の先端部を示す図であり、（ａ）は側面図であり、（ｂ）は平面図であり、（ｃ）は縦断面図である。
【図４】本発明のプローブの第４実施例の先端部を示す図であり、（ａ）は側面図であり、（ｂ）は平面図であり、（ｃ）は縦断面図である。
【図５】本発明のプローブの第５実施例の先端部を示す図であり、（ａ）は側面図であり、（ｂ）は平面図であり、（ｃ）は縦断面図である。
【図６】本発明のプローブの第６実施例の先端部を示す図であり、（ａ）は側面図であり、（ｂ）は平面図であり、（ｃ）は縦断面図である。
【図７】本発明のプローブの第７実施例の先端部を示す図であり、（ａ）は側面図であり、（ｂ）は平面図であり、（ｃ）は縦断面図である。
【図８】本発明のプローブの第８実施例の先端部を示す図であり、（ａ）は側面図であり、（ｂ）は平面図であり、（ｃ）は縦断面図である。
【図９】本発明のプローブの第９実施例の先端部を示す図であり、（ａ）は側面図であり、（ｂ）は縦断面図である。
【図１０】本発明のプローブの第１０実施例の先端部を示す図であり、（ａ）は側面図であり、（ｂ）は縦断面図である。
【図１１】本発明のプローブの第１１実施例の先端部を示す図であり、（ａ）は側面図であり、（ｂ）は縦断面図である。
【図１２】本発明のプローブブロックの一実施例の外観図であり、（ａ）は正面図であり、（ｂ）は底面図である。
【図１３】従来の先端の当接面から有底孔が同軸状に穿設されたプローブとその不具合を示す縦断面図である。
【図１４】従来の先端から切り込みを設けて先端部をクラウン形状としたプローブとその不具合を示す図である。
【符号の説明】
【００４３】
１０、１４、２０、３０  プローブ
１０ａ、２０ａ、３０ａ  当接面
１０ｂ、２０ｂ、３０ｂ  有底孔
１２  半田ボール
２０ｃ、２０ｄ、２０ｊ、２０ｋ、３０ａ  段差部
２０ｅ、２０ｆ、２０ｇ、２０ｍ、３０ｂ  溝
２０ｈ、２０ｉ、３０ｃ  突条
２０ｎ、２０ｏ  凹部
２０ｐ、２０ｑ  突起
４０  プローブブロック
４２  プローブカード
【図１】
2008267971.tif 000003
【図２】
2008267971.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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