【手続補正書】
【提出日】平成20年12月2日(2008.12.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
吐出孔から液体が液滴として吐出されるノズルを有し液体吐出ヘッドに用いられるノズルプレートにおいて、
体積抵抗率が１０１５Ω・ｍ以上のガラスからなり、
前記ノズルの吐出孔が形成されている第１の面がフラットであり、
前記吐出孔を一方の開口とする小径部と該小径部の他方の開口に通じ前記第１の面の反対の第２の面に開口を持つ大径部とを有することを特徴とするノズルプレート。
【請求項２】
前記大径部の径は、前記小径部の径より大きい径であることを特徴とする請求項１に記載のノズルプレート。
【請求項３】
前記第１の面の上には撥液層が設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載のノズルプレート。
【請求項４】
前記液体吐出ヘッドは、静電吸引方式の液体吐出ヘッドであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のノズルプレート。
【請求項５】
前記ノズルのノズル径が１０μｍ以下であることを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載のノズルプレート。
【請求項６】
吐出孔から液体を液滴として吐出するノズルを有し液体吐出ヘッドに用いられるノズルプレートの製造方法において、
体積抵抗率が１０１５Ω・ｍ以上のガラス基板に、該ガラス基板の第１の面に前記吐出孔を一方の開口とする小径部と該小径部の他方の開口に通じ前記第１の面の反対の第２の面に開口を持つ大径部とで構成される前記ノズルを形成する工程であって、
前記ガラス基板の第１の面にフォトリソグラフィ処理を行い前記吐出孔のパターンマスクを形成する工程と、
前記吐出孔のパターンマスクを用いてドライエッチング処理を行い所望の前記小径部の持つ長さよりも長い小径部を形成する工程と、を有する第１の工程と、
前記第１の面の反対の第２の面にフォトリソグラフィ処理により前記大径部のパターンマスクを形成する工程と、
前記大径部のパターンマスクを用いてサンドブラスト法又はサンドブラスト法に加えてドライエッチング法により所望の長さの前記大径部を形成する工程と、を有する第２の工程と、を有することを特徴とするノズルプレートの製造方法。
【請求項７】
前記第１の工程は、
前記ガラス基板の第１の面に金属膜を設ける工程と、
前記金属膜にフォトリソグラフィ処理及びエッチング処理を行い前記吐出孔の金属膜のパターンマスクを形成する工程と、
前記吐出孔の金属膜のパターンマスクを用いてドライエッチング処理を行い所望の前記小径部の持つ長さよりも長い小径部を形成する工程と、
前記金属膜を除去する工程と、を有することを特徴とする請求項６に記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項８】
前記第１の面の上に撥液層を設ける撥液処理工程を有することを特徴とする請求項６又は７に記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項９】
前記液体吐出ヘッドは、静電吸引方式の液滴吐出ヘッドであることを特徴とする請求項６乃至８の何れか一項に記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項１０】
前記ノズルのノズル径が１０μｍ以下であることを特徴とする請求項６乃至９の何れか一項に記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項１１】
吐出孔から液体を液滴として吐出するノズルを有するノズルプレートと、
前記ノズルプレートと貼り合わせることで、前記ノズルにそれぞれ連通するキャビティとなるキャビティ溝が形成されたボディープレートとを備え、
前記ノズル内の液体と前記ノズルプレートの液滴を吐出する面に対向して設けられた基材との間に形成される電界から受ける静電吸引力により液滴を吐出し基材に着弾させる液体吐出ヘッドにおいて、
前記ノズルプレートは、請求項１乃至５の何れか一項に記載のノズルプレート又は請求項６乃至１０の何れか一項に記載のノズルプレートの製造方法により製造されるノズルプレートであって、
前記吐出孔から吐出される液体と前記基材間に静電電圧が印加されて静電吸引力を発生させる静電電圧印加手段を備えていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項１２】
前記ノズル内の液体に圧力を印加して、メニスカスを形成する圧力発生手段を備えていることを特徴とする請求項１１に記載の液体吐出ヘッド。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
１．  吐出孔から液体が液滴として吐出されるノズルを有し液体吐出ヘッドに用いられるノズルプレートにおいて、
体積抵抗率が１０１５Ω・ｍ以上のガラスからなり、
前記ノズルの吐出孔が形成されている第１の面がフラットであり、
前記吐出孔を一方の開口とする小径部と該小径部の他方の開口に通じ前記第１の面の反対の第２の面に開口を持つ大径部とを有することを特徴とするノズルプレート。
２．前記大径部の径は、前記小径部の径より大きい径であることを特徴とする１に記載のノズルプレート。
３．前記第１の面の上には撥液層が設けられていることを特徴とする１又は２に記載のノズルプレート。
４．前記液体吐出ヘッドは、静電吸引方式の液体吐出ヘッドであることを特徴とする１乃至３のいずれか一つに記載のノズルプレート。
５．前記ノズルのノズル径が１０μｍ以下であることを特徴とする１乃至４の何れか一つに記載のノズルプレート。
６．吐出孔から液体を液滴として吐出するノズルを有し液体吐出ヘッドに用いられるノズルプレートの製造方法において、
体積抵抗率が１０１５Ω・ｍ以上のガラス基板に、該ガラス基板の第１の面に前記吐出孔を一方の開口とする小径部と該小径部の他方の開口に通じ前記第１の面の反対の第２の面に開口を持つ大径部とで構成される前記ノズルを形成する工程であって、
前記ガラス基板の第１の面にフォトリソグラフィ処理を行い前記吐出孔のパターンマスクを形成する工程と、
前記吐出孔のパターンマスクを用いてドライエッチング処理を行い所望の前記小径部の持つ長さよりも長い小径部を形成する工程と、を有する第１の工程と、
前記第１の面の反対の第２の面にフォトリソグラフィ処理により前記大径部のパターンマスクを形成する工程と、
前記大径部のパターンマスクを用いてサンドブラスト法又はサンドブラスト法に加えてドライエッチング法により所望の長さの前記大径部を形成する工程と、を有する第２の工程と、を有することを特徴とするノズルプレートの製造方法。
７．前記第１の工程は、
前記ガラス基板の第１の面に金属膜を設ける工程と、
前記金属膜にフォトリソグラフィ処理及びエッチング処理を行い前記吐出孔の金属膜のパターンマスクを形成する工程と、
前記吐出孔の金属膜のパターンマスクを用いてドライエッチング処理を行い所望の前記小径部の持つ長さよりも長い小径部を形成する工程と、
前記金属膜を除去する工程と、を有することを特徴とする６に記載のノズルプレートの製造方法。
８．前記第１の面の上に撥液層を設ける撥液処理工程を有することを特徴とする６又は７に記載のノズルプレートの製造方法。
９．前記液体吐出ヘッドは、静電吸引方式の液滴吐出ヘッドであることを特徴とする６乃至８の何れか一つに記載のノズルプレートの製造方法。
１０．前記ノズルのノズル径が１０μｍ以下であることを特徴とする６乃至９の何れか一つに記載のノズルプレートの製造方法。
１１．吐出孔から液体を液滴として吐出するノズルを有するノズルプレートと、
前記ノズルプレートと貼り合わせることで、前記ノズルにそれぞれ連通するキャビティとなるキャビティ溝が形成されたボディープレートとを備え、
前記ノズル内の液体と前記ノズルプレートの液滴を吐出する面に対向して設けられた基材との間に形成される電界から受ける静電吸引力により液滴を吐出し基材に着弾させる液体吐出ヘッドにおいて、
前記ノズルプレートは、１乃至５の何れか一つに記載のノズルプレート又は６乃至１０の何れか一つに記載のノズルプレートの製造方法により製造されるノズルプレートであって、
前記吐出孔から吐出される液体と前記基材間に静電電圧が印加されて静電吸引力を発生させる静電電圧印加手段を備えていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
１２．前記ノズル内の液体に圧力を印加して、メニスカスを形成する圧力発生手段を備えていることを特徴とする１１に記載の液体吐出ヘッド。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
請求項６に記載の発明によれば、上記の効果を持つノズルプレートの製造方法を提供することができることに加え、次の効果がある。ノズルプレートのノズルを形成するに際、高精度が要求され、加工による損傷を避けたい小径部周辺と高精度が要求されず加工による損傷が懸念されない大径部部分との２つに分け、小径部周辺にはドライエッチング法を、大径部分はサンドブラスト法をとするそれぞれに適切な加工方法を選択することができる。従って、必要な機能や精度を十分に確保しながら生産性の良いノズルプレートの製造方法を提供することができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
請求項１１に記載の発明によれば、本液体吐出ヘッドは、上記の効果を有するノズルプレートを持ち、静電電圧印加手段を備えていることから、次のような効果がある。まず、微小な径で複数であっても形状の揃った吐出孔から液体を吐出することができることから、吐出される液滴による高精細で高品質なパターンを形成することができる。また、生産性の良いノズルプレートを用いることから生産性の良い液体吐出ヘッドを提供することができる。