【手続補正書】
【提出日】平成21年6月18日(2009.6.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光反射性を有する光反射部を有し、板状をなす質量部と、
前記質量部を介して対向配置され、板状をなす一対の駆動部と、
前記質量部を支持する支持部と、
前記支持部に対して各前記駆動部を回動可能とするように、前記支持部と各前記駆動部とを連結する一対の第１の弾性部と、
各前記駆動部に対して前記質量部を回動可能とするように、各前記駆動部と前記質量部とを連結する一対の第２の弾性部と、
前記質量部を回動駆動させるための駆動手段と、
前記質量部の挙動を検知する挙動検知手段とを有し、
前記駆動手段により、各前記第１の弾性部を捩れ変形させながら各前記駆動部を回動させ、これに伴い、各前記第２の弾性部を捩れ変形させながら前記質量部を回動させるように構成されたアクチュエータであって、
前記挙動検知手段は、
前記第２の弾性部に設けられた第１のピエゾ抵抗素子と、
前記第１のピエゾ抵抗素子の温度条件と同等の温度条件の位置で、かつ、前記質量部の回動駆動による応力を実質的に受けない位置である前記駆動部の回動中心軸上に設けられた第２のピエゾ抵抗素子とを備え、
温度変化による前記第１のピエゾ抵抗素子の抵抗値変化と、温度変化による前記第２のピエゾ抵抗素子の抵抗値変化とを相殺し、前記第２の弾性部の捩れ変形に応じた前記第１のピエゾ抵抗素子の抵抗値変化を検知することにより、前記質量部の挙動を検知するよう構成されていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
光反射性を有する光反射部を有し、板状をなす質量部と、
前記質量部を介して対向配置され、板状をなす一対の駆動部と、
前記質量部を支持する支持部と、
前記支持部に対して各前記駆動部を回動可能とするように、前記支持部と各前記駆動部とを連結する一対の第１の弾性部と、
各前記駆動部に対して前記質量部を回動可能とするように、各前記駆動部と前記質量部とを連結する一対の第２の弾性部と、
前記質量部を回動駆動させるための駆動手段と、
前記質量部の挙動を検知する挙動検知手段とを有し、
前記駆動手段により、各前記第１の弾性部を捩れ変形させながら各前記駆動部を回動させ、これに伴い、各前記第２の弾性部を捩れ変形させながら前記質量部を回動させるように構成されたアクチュエータであって、
前記挙動検知手段は、
前記第２の弾性部に設けられた第１のピエゾ抵抗素子と、
前記第１のピエゾ抵抗素子の温度条件と同等の温度条件の位置で、かつ、前記質量部の回動駆動による応力を実質的に受けない位置である前記支持部の前記第１の弾性部との境界部に設けられた第２のピエゾ抵抗素子とを備え、
温度変化による前記第１のピエゾ抵抗素子の抵抗値変化と、温度変化による前記第２のピエゾ抵抗素子の抵抗値変化とを相殺し、前記第２の弾性部の捩れ変形に応じた前記第１のピエゾ抵抗素子の抵抗値変化を検知することにより、前記質量部の挙動を検知するよう構成されていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項３】
前記第１のピエゾ抵抗素子および前記第２のピエゾ抵抗素子は、それぞれ、ブリッジ回路を構成する抵抗素子であり、
前記挙動検知手段は、前記ブリッジ回路の出力結果に基づいて、前記質量部の挙動を検知する請求項１または２に記載のアクチュエータ。
【請求項４】
前記ブリッジ回路の出力を差動増幅回路により増幅させるよう構成されている請求項３に記載のアクチュエータ。
【請求項５】
前記第１のピエゾ抵抗素子の温度をＴ１とし、前記第２のピエゾ抵抗素子の温度をＴ２としたとき、Ｔ２／Ｔ１は、０．９〜１．０の関係を満たす請求項１ないし４のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項６】
前記一対の第２の弾性部は、前記質量部の平面視にて、前記質量部に対して対称となるように設けられており、
前記第１のピエゾ抵抗素子は、各前記第２の弾性部に設けられ、
一対の前記第１のピエゾ抵抗素子は、前記質量部の平面視にて、前記質量部に対して対称的に設けられている請求項１ないし５のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項７】
前記第１のピエゾ抵抗素子は、前記第２の弾性部の回動中心軸方向での端部に設けられている請求項１ないし６のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項８】
前記第１のピエゾ抵抗素子は、前記第２の弾性部の回動中心軸方向での中央部に設けられている請求項１ないし６のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項９】
前記第１のピエゾ抵抗素子と前記第２のピエゾ抵抗素子との中心間距離が５００μｍ以下である請求項１ないし８のいずれかに記載のアクチュエータ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明のアクチュエータは、光反射性を有する光反射部を有し、板状をなす質量部と、
前記質量部を介して対向配置され、板状をなす一対の駆動部と、
前記質量部を支持する支持部と、
前記支持部に対して各前記駆動部を回動可能とするように、前記支持部と各前記駆動部とを連結する一対の第１の弾性部と、
各前記駆動部に対して前記質量部を回動可能とするように、各前記駆動部と前記質量部とを連結する一対の第２の弾性部と、
前記質量部を回動駆動させるための駆動手段と、
前記質量部の挙動を検知する挙動検知手段とを有し、
前記駆動手段により、各前記第１の弾性部を捩れ変形させながら各前記駆動部を回動させ、これに伴い、各前記第２の弾性部を捩れ変形させながら前記質量部を回動させるように構成されたアクチュエータであって、
前記挙動検知手段は、
前記第２の弾性部に設けられた第１のピエゾ抵抗素子と、
前記第１のピエゾ抵抗素子の温度条件と同等の温度条件の位置で、かつ、前記質量部の回動駆動による応力を実質的に受けない位置である前記駆動部の回動中心軸上に設けられた第２のピエゾ抵抗素子とを備え、
温度変化による前記第１のピエゾ抵抗素子の抵抗値変化と、温度変化による前記第２のピエゾ抵抗素子の抵抗値変化とを相殺し、前記第２の弾性部の捩れ変形に応じた前記第１のピエゾ抵抗素子の抵抗値変化を検知することにより、前記質量部の挙動を検知するよう構成されていることを特徴とする。
これにより、前記挙動検知手段は、前記アクチュエータの温度変化（前記第１のピエゾ抵抗素子自体の温度変化）に関係なく、前記第２の弾性部の捩れ変形に応じた前記第１のピエゾ抵抗素子の抵抗値変化を検知することができる。その結果、前記挙動検知手段は、前記質量部の挙動を高精度に検知することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明のアクチュエータは、光反射性を有する光反射部を有し、板状をなす質量部と、
前記質量部を介して対向配置され、板状をなす一対の駆動部と、
前記質量部を支持する支持部と、
前記支持部に対して各前記駆動部を回動可能とするように、前記支持部と各前記駆動部とを連結する一対の第１の弾性部と、
各前記駆動部に対して前記質量部を回動可能とするように、各前記駆動部と前記質量部とを連結する一対の第２の弾性部と、
前記質量部を回動駆動させるための駆動手段と、
前記質量部の挙動を検知する挙動検知手段とを有し、
前記駆動手段により、各前記第１の弾性部を捩れ変形させながら各前記駆動部を回動させ、これに伴い、各前記第２の弾性部を捩れ変形させながら前記質量部を回動させるように構成されたアクチュエータであって、
前記挙動検知手段は、
前記第２の弾性部に設けられた第１のピエゾ抵抗素子と、
前記第１のピエゾ抵抗素子の温度条件と同等の温度条件の位置で、かつ、前記質量部の回動駆動による応力を実質的に受けない位置である前記支持部の前記第１の弾性部との境界部に設けられた第２のピエゾ抵抗素子とを備え、
温度変化による前記第１のピエゾ抵抗素子の抵抗値変化と、温度変化による前記第２のピエゾ抵抗素子の抵抗値変化とを相殺し、前記第２の弾性部の捩れ変形に応じた前記第１のピエゾ抵抗素子の抵抗値変化を検知することにより、前記質量部の挙動を検知するよう構成されていることを特徴とする。
これにより、前記挙動検知手段は、前記アクチュエータの温度変化（前記第１のピエゾ抵抗素子自体の温度変化）に関係なく、前記第２の弾性部の捩れ変形に応じた前記第１のピエゾ抵抗素子の抵抗値変化を検知することができる。その結果、前記挙動検知手段は、前記質量部の挙動を高精度に検知することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明のアクチュエータでは、前記第１のピエゾ抵抗素子および前記第２のピエゾ抵抗素子は、それぞれ、ブリッジ回路を構成する抵抗素子であり、
前記挙動検知手段は、前記ブリッジ回路の出力結果に基づいて、前記質量部の挙動を検知することが好ましい。
これにより、温度変化による前記第１のピエゾ抵抗素子の抵抗値変化と、温度変化による前記第２のピエゾ抵抗素子の抵抗値変化とを相殺し、前記弾性部の捩れ変形に応じた前記第１のピエゾ抵抗素子の抵抗値変化を検知することができる。すなわち、ブリッジ回路からの出力信号は、前記質量部の挙動に対応したものとなる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明のアクチュエータでは、前記ブリッジ回路の出力を差動増幅回路により増幅させるよう構成されていることが好ましい。
これにより、前記ブリッジ回路から出力された信号を増幅することができ、前記質量部の挙動をより正確に検知することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明のアクチュエータでは、前記第１のピエゾ抵抗素子の温度をＴ１とし、前記第２のピエゾ抵抗素子の温度をＴ２としたとき、Ｔ２／Ｔ１は、０．９〜１．０の関係を満たすことが好ましい。
これにより、前記第１のピエゾ抵抗素子の温度変化による抵抗値変化と前記第２のピエゾ抵抗素子の温度変化による抵抗値変化とをほぼ等しくすることができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明のアクチュエータでは、前記一対の第２の弾性部は、前記質量部の平面視にて、前記質量部に対して対称となるように設けられており、
前記第１のピエゾ抵抗素子は、各前記第２の弾性部に設けられ、
一対の前記第１のピエゾ抵抗素子は、前記質量部の平面視にて、前記質量部に対して対称的に設けられていることが好ましい。
これにより、一対の前記第１のピエゾ抵抗素子同士の温度変化をほぼ等しくすることができる。さらに、一対の前記第１のピエゾ抵抗素子同士の歪み量をほぼ等しくすることができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明のアクチュエータでは、前記第１のピエゾ抵抗素子は、前記第２の弾性部の回動中心軸方向での端部に設けられていることが好ましい。
これにより、前記第１のピエゾ抵抗素子の抵抗値変化をより大きくすることができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明のアクチュエータでは、前記第１のピエゾ抵抗素子は、前記第２の弾性部の回動中心軸方向での中央部に設けられていることが好ましい。
これにより、前記アクチュエータの製造を容易とすることができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明のアクチュエータでは、前記第１のピエゾ抵抗素子と前記第２のピエゾ抵抗素子との中心間距離が５００μｍ以下であることが好ましい。
これにより、前記第１のピエゾ抵抗素子の温度変化と、前記第２のピエゾ抵抗素子の温度変化とをほぼ等しくすることができる。