【誤訳訂正書】
【提出日】平成21年1月20日(2009.1.20)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
リソグラフィ装置であって、
前記リソグラフィ装置のパラメータを制御する制御システムを備え、前記制御システムが、
前記パラメータを調整するようになされたアクチュエータであって、前記アクチュエータが、安定した逆数部分及び残りの部分である潜在的に不安定な逆数部分を有するアクチュエータ伝達関数を備えるアクチュエータと、
前記アクチュエータ伝達関数の安定した逆数部分の逆数を有する第１の部分及び第２の部分を含むフィードフォワード・コントローラ伝達関数を有するフィードフォワード・コントローラを備えたフィードフォワード経路と、
フィードバック・コントローラ、前記アクチュエータ、及び差決定器目標値入力部及び差決定器フィードバック入力部を有する、前記差決定器目標値入力部及び前記差決定器フィードバック入力部における個々の信号間の差を決定するようになされた差決定器を備えたフィードバック・ループと、
前記目標値入力部から前記差決定器目標値入力部までの、目標値遅延関数を備えた目標値経路とを備え、
前記フィードフォワード伝達関数の第２の部分及び前記目標値遅延関数は、前記目標値遅延関数と前記フィードフォワード伝達関数の第２の部分の間の遅延差が、前記アクチュエータ伝達関数の前記潜在的に不安定な逆数部分の遅延に等しくなるようになされ、
前記目標値遅延関数が、前記制御システムのサンプル時間の整数倍からなる、リソグラフィ装置。
【請求項２】
前記目標値遅延関数が、前記アクチュエータ伝達関数の潜在的に不安定な逆数部分を有し、前記フィードフォワード伝達関数の第２の部分がゼロ遅延からなる、請求項１に記載のリソグラフィ装置。
【請求項３】
前記フィードフォワード経路及び前記目標値経路の各々が、前記制御システムを因果的にするために、前記制御システムの少なくとも１つのサンプル時間に等しい他の遅延を備えた、請求項１に記載のリソグラフィ装置。
【請求項４】
目標値信号に応答してリソグラフィ装置のパラメータを制御システムにより制御するための方法であって、
前記パラメータを調整するようになされた、安定した逆数部分及び残りの部分である潜在的に不安定な逆数部分を有するアクチュエータ伝達関数を備えるアクチュエータを提供するステップと、
前記アクチュエータ伝達関数の安定した逆数部分の逆数を有する第１の部分及び第２の部分を含むフィードフォワード・コントローラ伝達関数を有するフィードフォワード・コントローラを備えたフィードフォワード経路を介して、前記目標値信号からフィードフォワード信号を引き出すステップと、
前記フィードフォワード信号を前記アクチュエータに供給するステップと、
フィードバック・コントローラ、前記アクチュエータ、並びに差決定器目標値入力部及び差決定器フィードバック入力部を有する差決定器を備えたフィードバック・ループを提供するステップと、
前記差決定器目標値入力部及び前記差決定器フィードバック入力部における個々の信号間の差を決定するステップと、
目標値経路を介して前記目標値入力部から前記差決定器目標値入力部へ前記目標値信号を供給するステップと、
前記目標値経路の前記目標値信号を目標値経路遅延関数だけ遅延させるステップと、
前記フィードフォワード経路の前記フィードフォワード信号を前記フィードフォワード伝達関数の第２の部分だけ遅延させるステップとを含み、
前記フィードフォワード伝達関数の第２の部分及び前記目標値遅延関数は、前記目標値遅延関数と前記フィードフォワード伝達関数の第２の部分の間の遅延差が、前記アクチュエータ伝達関数の前記潜在的に不安定な逆数部分の遅延に等しくなるようになされ、
前記目標値遅延関数が、前記制御システムのサンプル時間の整数倍からなる、方法。
【請求項５】
パラメータを制御するための制御システムであって、
前記パラメータを調整するようになされた、安定した逆数部分及び潜在的に不安定な逆数部分を含むアクチュエータ伝達関数を有するアクチュエータと、
前記アクチュエータ伝達関数の安定した反転部分を反転した第１の部分及び第２の部分を含むフィードフォワード・コントローラ伝達関数を有するフィードフォワード・コントローラを備えたフィードフォワード経路と、
フィードバック・コントローラ、前記アクチュエータ、及び差決定器目標値入力部及び差決定器フィードバック入力部を有する、前記差決定器目標値入力部及び前記差決定器フィードバック入力部における個々の信号間の差を決定するようになされた差決定器を備えたフィードバック・ループと、
前記目標値入力部から前記差決定器目標値入力部までの、目標値遅延関数を備えた目標値経路とを備え、
前記フィードフォワード伝達関数の第２の部分及び前記目標値遅延関数は、前記目標値遅延関数と前記フィードフォワード伝達関数の第２の部分の間の遅延差が、前記アクチュエータ伝達関数の前記潜在的に不安定な逆数部分の遅延に等しくなるようになされ、
前記目標値遅延関数が、前記制御システムのサンプル時間の整数倍からなる、制御システム。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００７】
最適フィードフォワードを得るためには、フィードフォワードの伝達関数は、制御システムによって制御されるアクチュエータの伝達関数の逆数を備えていなければならない。したがってｓ−ドメインでは、アクチュエータが積分性の伝達関数を備えている場合、フィードフォワードは微分器を備えていなければならず、一方、ｚ−ドメインでは、アクチュエータが遅延を備えている場合、フィードフォワードは、遅延を補償するためのタイム・リードを備えていなければならない。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００８】
ここで生じる問題は、アクチュエータの伝達関数の逆数が必ずしも安定していないことである。ｓ−ドメインでは、アクチュエータの伝達関数の極がフィードフォワードの伝達関数のゼロをもたらし、また、その逆についても同様である。したがって、ｓ−ドメインにおいて、アクチュエータの伝達関数が左側半分の平面内にゼロを有している場合、フィードフォワードの伝達関数の左側半分の平面内に極がもたらされることになり、したがってｓ−ドメインにおけるフィードフォワードの伝達関数が不安定になる。数値実施態様の場合、ｚ−ドメインにおいて、アクチュエータの伝達関数がｚ−ドメインにおける単位円の外側にゼロを有している場合、フィードフォワードの伝達関数の単位円の外側に極がもたらされることになり、したがってフィードフォワードの機能が不安定になる。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１１】
本発明の原理により、本明細書において具体化され、且つ、広範囲に渡って説明されているように、正確なフィードフォワードを有する制御システムが提供される。一実施例では、リソグラフィ・システムのパラメータを制御するための制御システムを備えたリソグラフィ装置が提供される。制御システムは、パラメータを調整するようになされた、安定した逆数部分及び潜在的に不安定な逆数部分からなるアクチュエータ伝達関数を有するアクチュエータと、アクチュエータ伝達関数の安定した逆数部分の逆数を有する第１の部分及び第２の部分からなるフィードフォワード・コントローラ伝達関数を有するフィードフォワード・コントローラを備えたフィードフォワード経路と、フィードバック・コントローラ、アクチュエータ、及び差決定器目標値入力部及び差決定器フィードバック入力部を有する、差決定器目標値入力部及び差決定器フィードバック入力部における個々の信号間の差を決定するようになされた差決定器を備えたフィードバック・ループと、目標値入力部から差決定器目標値入力部までの、目標値遅延関数を備えた目標値経路とを備えている。フィードフォワード伝達関数の第２の部分は、目標値遅延関数とフィードフォワード伝達関数の第２の部分の間の遅延差が、アクチュエータ伝達関数の潜在的に不安定な逆数部分の遅延に等しくなるようになされている。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１２】
本発明によれば、アクチュエータの伝達関数は、安定した逆数を有する部分と不安定な逆数を潜在的に有する部分に分割されている。安定した逆数を有する部分は、フィードフォワード伝達関数の中に含まれている。本発明者は、アクチュエータ伝達関数の残りの部分、つまり潜在的に不安定な残りの部分を時間遅延の形で表現することができるという見識を抱いている。
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１９】
有利には、第２のフィードフォワード伝達関数部分は、アクチュエータ伝達関数のゼロがｚ−ドメインの単位円内にミラーされている点で修正されているアクチュエータ伝達関数の潜在的に不安定な残りの部分の伝達関数からなっている。したがって、アクチュエータ伝達関数の潜在的に不安定な部分のゼロが単位円内にミラーされ、次に、逆数にすることによって、フィードフォワード伝達関数の単位円内に極として出現する現況技術とは対照的に、本発明の実施例によれば、潜在的に不安定である伝達関数の残りの部分は逆数にされず、その代わり、第２のフィードフォワード伝達関数部分が、ゼロが単位円内にミラーされている点で修正されている、逆数にされない形態のアクチュエータ伝達関数の潜在的に不安定な残りの部分からなっている。
【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２３】
このようにして導入される時間遅延を補償するために、タイム・リードを目標値に導入することができ、したがってサンプル時間に等しい量だけ目標値の生成を時間的にシフトさせることができる。フィードフォワード部分は、第１のフィードフォワード伝達関数部分及び第２のフィードフォワード伝達関数部分からなっている。これらの部分はすべて反因果的であり、したがって追加単位遅延を導入し、これらのフィードフォワード伝達関数部分のいずれかにおける反因果性を補償することができる。第１のフィードフォワード伝達関数部分は、アクチュエータ伝達関数の安定した反転可能部分の逆数として定義されているため、本明細書のコンテキストにおいては、遅延は、したがって、定義によって第２のフィードフォワード伝達関数部分に含まれていると仮定しているが、フィードフォワード伝達関数部分のいずれかにおけるタイム・リードを補償するために等しく良好に適用することができる。
【誤訳訂正８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２４】
本発明の他の態様によれば、目標値信号に応答してリソグラフィ装置のパラメータを制御するための方法が提供される。この方法には、パラメータを調整するようになされた、安定した逆数部分及び潜在的に不安定な逆数部分からなるアクチュエータ伝達関数を有するアクチュエータを提供するステップと、アクチュエータ伝達関数の安定した逆数部分の逆数を有する第１の部分及び第２の部分からなるフィードフォワード・コントローラ伝達関数を有するフィードフォワード・コントローラを備えたフィードフォワード経路を介して、目標値信号からフィードフォワード信号を引き出すステップと、フィードフォワード信号をアクチュエータに供給するステップと、フィードバック・コントローラ、アクチュエータ、及び差決定器目標値入力部及び差決定器フィードバック入力部を有する差決定器を備えたフィードバック・ループを提供するステップと、差決定器目標値入力部及び差決定器フィードバック入力部における個々の信号間の差を決定するステップと、目標値経路を介して目標値入力部から差決定器目標値入力部へ目標値信号を供給するステップと、目標値経路の目標値信号を目標値経路遅延関数だけ遅延させるステップと、フィードフォワード経路のフィードフォワード信号をフィードフォワード伝達関数の第２の部分だけ遅延させるステップが含まれている。フィードフォワード伝達関数の第２の部分は、目標値遅延関数とフィードフォワード伝達関数の第２の部分の間の遅延差が、アクチュエータ伝達関数の潜在的に不安定な逆数部分の遅延に等しくなるようになされている。
【誤訳訂正９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２５】
本発明は、さらに、リソグラフィ装置のパラメータを制御するための制御システムからなっている。この制御システムは、パラメータを調整するようになされた、安定した逆数部分及び潜在的に不安定な逆数部分からなるアクチュエータ伝達関数を有するアクチュエータと、アクチュエータ伝達関数の安定した逆数部分の逆数を有する第１の部分及び第２の部分からなるフィードフォワード・コントローラ伝達関数を有するフィードフォワード・コントローラを備えたフィードフォワード経路と、フィードバック・コントローラ、アクチュエータ、及び差決定器目標値入力部及び差決定器フィードバック入力部を有する、差決定器目標値入力部及び差決定器フィードバック入力部における個々の信号間の差を決定するようになされた差決定器を備えたフィードバック・ループと、目標値入力部から差決定器目標値入力部までの、目標値遅延関数を備えた目標値経路とを備えている。フィードフォワード伝達関数の第２の部分は、目標値遅延関数とフィードフォワード伝達関数の第２の部分の間の遅延差が、アクチュエータ伝達関数の潜在的に不安定な逆数部分の遅延に等しくなるようになされている。
【誤訳訂正１０】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４７】
図３は、図２に示すフィードフォワード・フィードバック制御システムの一実施例をより詳細に示したものである。アクチュエータ伝達関数ＡＴＦは、安定した逆数ＡＴＦ１を有する部分及び不安定な逆数ＡＴＦ２を潜在的に有する部分に分割されている。フィードフォワード伝達関数は、安定して逆数にすることができる部分ＡＴＦ１の逆数からなっており、図３には、伝達関数ＡＴＦ１の逆数である伝達関数を有するＦＦ１で示されている。伝達関数ＡＴＦ２即ちアクチュエータ伝達関数の残りの部分は、単位円の外側であるｚ＝−３にゼロを有しており、したがってこの関数の逆数は、ｚ＝−３つまり単位円の外側に極をもたらすことになり、不安定性の原因になる。
【誤訳訂正１１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４８】
本発明によれば、ＡＴＦ２のゼロが単位円内にミラーされ、したがって表現式０．２５ｚ＋０．７５が０．７５ｚ＋０．２５に変化し、図３にＦＦ２で示すように、このような伝達関数がフィードフォワード経路に含まれている。したがって、ＦＦ２はＡＴＦ２に対して逆数にされず、その代わり、単位円の外側の、単位円内にミラーされるゼロと同じである。また、本発明によれば、目標値経路ＳＰＩに遅延が追加されている。目標値経路の伝達関数の遅延は、目標値経路の遅延と第２のフィードフォワード伝達関数部分ＦＦ２の間の遅延差が、アクチュエータ伝達関数の潜在的に不安定な残りの部分ＡＴＦ２の遅延と等しくなるように選択されている。したがって、この実施例では、目標値経路の遅延は、ＡＴＦ２及びＦＦ２の遅延の追加が３単位遅延の量になるため、ｚ−３に等しい。
【誤訳訂正１２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５０】
図４は、制御システムの他の実施例を示したものである。アクチュエータ伝達関数を安定して逆数にすることができる部分ＡＴＦ１が逆数にされ、ＦＦ１で示すフィードフォワード関数に含まれている。この実施例によれば、アクチュエータ伝達関数の潜在的に不安定な残りの部分ＡＴＦ２は、フィードフォワード経路に含まれていない。その代わり、アクチュエータ伝達関数の潜在的に不安定な残りの部分ＡＴＦ２に等しい伝達関数が目標値経路ＳＰＰに含まれている。また、この事例では、目標値経路に導入される遅延（ＡＴＦ２とまったく同じである関数による遅延）と、第２のフィードフォワード伝達関数部分の遅延（フィードフォワード経路には、安定して逆数にすることができる経路ＡＴＦ１の逆数以外の関数が含まれていないため、この事例ではゼロである）との間の遅延差が、アクチュエータ伝達関数の潜在的に不安定な残りの部分即ちＡＴＦ２の遅延に等しい。したがって、図４には、図３に示す構成に対する単純な代替が提供されている。因果性の理由で、図４に示すように、目標値経路及びフィードフォワード経路に追加単位遅延が追加されている。
【誤訳訂正１３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００９２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００９２】
ＡＴＦ アクチュエータ伝達関数
ＡＴＦ１ 安定した逆数（安定して逆数にすることができる部分）
ＡＴＦ２ 不安定な逆数（不安定な逆数部分）
Ｃ 基板の目標部分
Ｃ コントローラ
ＦＢＩ フィードバック入力
ＦＦ１ フィードフォワード伝達関数
ＦＦ２ 第２のフィードフォワード伝達関数部分
ＩＦ１、ＩＦ２ 位置センサ
ＩＬ 照明システム（イルミネータ）
Ｋｆｆ フィードフォワード・コントローラ（外乱フィードフォワード）
Ｍ１、Ｍ２ マスク位置合せマーク
ＭＡ パターン化デバイス
ＭＴ 第１の支持構造
Ｐ システム
Ｐ１、Ｐ２ 基板位置合せマーク
ＰＢ 投影放射ビーム（投影ビーム）
ＰＬ 投影システム（レンズ）
ＰＭ 第１の位置決め機構
ＰＷ 第２の位置決め機構
ｒａｃｃ ｒｉｆｍの影響を中和するためのフィードフォワード信号の生成に使用される信号
ｒｉｆｍ 外乱信号
ＳＯ 放射源
ＳＰＧ 目標値発生器
ＳＰＩ 目標値入力
ＳＰＰ 目標値経路
Ｗ 基板
ＷＴ 基板テーブル