(57)【要約】【課題】電子部品ピッカー及びこれを備えたハンドラー用ヘッドアセンブリーを提供する。【解決手段】本発明の実施形態に係る電子部品ピッカー１００は、ピッカーベース１１０と；ピッカーベース１１０に固設されたベースブロック１２０と；ベースブロック１２０に少なくとも昇降可能にそれぞれ結合されたもので、電子部品を吸着及び脱着するノズル１３２を備える複数のノズルアセンブリー１３０と；それぞれのノズル経路に正圧及び負圧を供給する部品吸脱着機構１４０と；ノズルアセンブリー１３０を昇降駆動するように配置されたノズル昇降機構１５０を含む。【選択図】図２
2008087151.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ピッカーベース；
前記ピッカーベースに固設されたベースブロック；
前記ベースブロックにそれぞれ昇降するように設けられ、電子部品を吸着及び脱着するノズルを備える複数のノズルアセンブリー；
前記ノズルが電子部品を吸着及び脱着するように前記ノズルに正圧及び負圧を供給する空圧供給部及び前記空圧供給部から前記ノズルアセンブリーに正負圧を供給できるように経路を提供する第１チューブを含む部品吸脱着機構及び；
前記複数のノズルアセンブリーにそれぞれ対応して前記ノズルアセンブリーを昇降させる複数のノズル昇降機構を含む電子部品ピッカー。
【請求項２】
前記ノズル昇降機構は、前記複数のノズルアセンブリーをそれぞれ個別に昇降させることを特徴とする請求項１に記載の電子部品ピッカー。
【請求項３】
前記ノズル昇降機構は、前記ノズルアセンブリーを同時に昇降させることを特徴とする請求項２に記載の電子部品ピッカー。
【請求項４】
前記ノズルアセンブリーは、ノズルが固設され、前記ノズル昇降機構が連結されるノズル固定部材をさらに備えることを特徴とする請求項２に記載の電子部品ピッカー。
【請求項５】
前記ノズル昇降機構は、
一端が前記空圧供給部に連結され、前記ベースブロックの上下に沿って貫設されるシリンダー孔に内接して往復運動するピストンと；
前記ノズル固定部材と前記ピストンを連結して前記ピストンの往復運動によって前記ノズルアセンブリーを下降させるロードと、下降した前記ノズルアセンブリーを原状回復させる弾性部材を含むことを特徴とする請求項４に記載の電子部品ピッカー。
【請求項６】
前記ロードは、弾性部材の中心を貫通して設けられることを特徴とする請求項５に記載の電子部品ピッカー。
【請求項７】
前記弾性部材は、その一端がベースブロックに連結され、その他端が前記ノズル固定部材に連結される圧縮コイルバネであることを特徴とする請求項６に記載の電子部品ピッカー。
【請求項８】
ハンドラーのフレームに沿ってｘ、ｙ方向に移動するヘッドベース；
前記ヘッドベースに結合された複数の電子部品ピッカー；
前記電子部品ピッカーを昇降させるピッカーベース昇降機構を備え、
前記電子部品ピッカーは、
ピッカーベース；
前記ピッカーベースに固設されたベースブロック；
前記ベースブロックにそれぞれ昇降するように設けられ、電子部品を吸着及び脱着するノズルを備える複数のノズルアセンブリー；
前記ノズルが電子部品を吸着及び脱着するように前記ノズルに正圧及び負圧を供給する空圧供給部、前記空圧供給部から前記ノズルアセンブリーに正負圧を供給できるように経路を提供する第１チューブを含む電子部品吸脱着機構及び；
前記複数のノズルアセンブリーにそれぞれ対応して前記ノズルアセンブリーを昇降させる複数のノズル昇降機構を含むハンドラー用ヘッドアセンブリー。
【請求項９】
前記ノズル昇降機構は、前記複数のノズルアセンブリーをそれぞれ個別に昇降させることを特徴とする請求項８に記載のハンドラー用ヘッドアセンブリー。
【請求項１０】
前記ノズル昇降機構は、前記ノズルアセンブリーを同時に昇降させることを特徴とする請求項９に記載のハンドラー用ヘッドアセンブリー。
【請求項１１】
前記ノズルアセンブリーは、前記ノズルが固設され、前記ノズル昇降機構が連結されるノズル固定部材をさらに備えることを特徴とする請求項９に記載のハンドラー用ヘッドアセンブリー。
【請求項１２】
前記ノズル昇降機構は、
一端が前記空圧供給部に連結され、前記ベースブロックの上下に沿って貫設されるシリンダー孔に内接して往復運動するピストンと；
前記ノズル固定部材と前記ピストンを連結して前記ピストンの往復運動によって前記ノズルアセンブリーを下降させるロードと、下降した前記ノズルアセンブリーを原状回復させる弾性部材を含むことを特徴とする請求項１１に記載のハンドラー用ヘッドアセンブリー。
【請求項１３】
前記弾性部材は、その一端がベースブロックに連結され、その他端が前記ノズル固定部材に連結される圧縮コイルバネであることを特徴とする請求項１２に記載のハンドラー用ヘッドアセンブリー。
【請求項１４】
前記ピッカーベース昇降機構は、
ｚ軸モーターと；
前記ピッカーベースが結合されるピッカーベース固定部材と；
ｚ軸方向に配置され、その外周面に螺旋状溝が形成されたもので、前記ｚ軸モーターの回転によって回転することにより、前記ピッカーベース固定部材を昇降させる回転シャフトを含むことを特徴とする請求項８に記載のハンドラー用ヘッドアセンブリー。
【請求項１５】
前記ハンドラー用ヘッドアセンブリーは間隔調節装置をさらに備え、
前記間隔調節装置は、
前記ピッカーベースの移動を案内する案内孔が扇状に形成されたカムプレートと；
前記カムプレートを昇降させるカムプレート昇降装置；を備えることを特徴とする請求項８に記載のハンドラー用ヘッドアセンブリー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は電子部品をピックアップして移動させるピッカー及びこれを備えたハンドラー用ヘッドアセンブリーに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般的にメモリ、非メモリ半導体素子などの電子部品は生産後様々なテストを経た後に出荷する。
【０００３】
電子部品はハンドラーによって別途に設けたり、ハンドラー内部に設けるテスト装置に運搬されてテストを行う。この場合、ハンドラーは一種のジグ（ｊｉｇ）であるテストトレイに電子部品を収納してテスト装置に運搬し、電子部品がテスト装置によりテストが終わると、電子部品を等級別に分類する。すなわち、ハンドラーはテストする電子部品をユーザートレイから吸着した後、テストトレイ上に移送してテストトレイに配列されたソケットに収納する。次に、テストトレイをテスト装置に移送させる（ロード作業）。また、ハンドラーはテスト装置により検査済みの電子部品が収納されたテストトレイから電子部品を取り出しユーザートレイに移送する（アンロード作業）。
【０００４】
ロード及びアンロード作業のために、ハンドラーは電子部品をピックアップするピッカーを備える。ピッカーはハンドラーボディーに移動可能に設けられて、電子部品をピックアップ、移送及び収納する。
【０００５】
図１は従来の通常的な電子部品ピッカー（ｐｉｃｋｅｒ）を示す。図１を参照すれば、従来のピッカー１０は、ヘッドアセンブリーに設けられたピッカーベース７０と、電子部品を直接把持するノズルを含むノズルアセンブリー２０と、ノズルが電子部品を把持することができるようにノズルに正負圧を供給する空圧供給部（不図示）と、空圧供給部からノズルアセンブリーに空圧を供給できるように経路を提供する第１チューブ（不図示）を含む電子部品吸脱着機構３０と、空圧供給部から第２チューブ（不図示）を通じて空圧が供給されると、ノズルアセンブリー２０を下降させるノズル下降部４０と、空圧供給部から第３チューブ（不図示）を通じて空圧が供給されると、下降したノズルアセンブリー２０を上昇させるノズル上昇部５０を備える。
【０００６】
ノズルアセンブリー２０は一つのノズル２４を備える。このノズル２４はピッカーベース７０に上下に移動可能に設けられ、電子部品を吸脱着する。電子部品吸脱着機構３０はノズル２４の内側空間に負圧及び正圧を供給する。
【０００７】
この場合、シリンダーブロック６０はピッカーベース７０に固設され、ノズルアセンブリー２０はシリンダーブロック６０に昇降可能に結合される。シリンダーブロック６０一側にはシリンダーブロックの上下を貫通する第１通路６２が形成される。この第１通路６２は第１フィッティング３２を通じて流入した空圧をノズル２４方向に案内する。
【０００８】
ノズル上昇部５０及びノズル下降部４０は複動シリンダー方式によりノズルを昇降する。このためにノズルアセンブリー２０はノズル支持部２２をさらに備える。ノズル２４はノズル支持部２２に固設され、ノズル支持部２２はシリンダーブロック６０に上下移動可能に結合される。また、シリンダーブロック６０の上段にはシリンダーブロック６０を上下に貫通する第２通路６４が形成される。この第２通路６４には空圧により上下に往復運動するピストン８０が内装される。ピストン８０とノズル支持部２２はシリンダーロードにより互いに連結されている。
【０００９】
第２フィッティング４２を通じて空圧供給部から正圧が第２通路６４のピストン８０の上側空間６４Ｕに供給されると、ピストン８０は下部に移動するようにする。この時ピストン８０はノズル２４を下降させる。
【００１０】
また、空圧供給部から第３フィッティング５２を通じて正圧が第２通路６４のピストン下部空間６４Ｌに供給されると、ピストン８０が上昇することによってノズル２４を上昇させる。
【００１１】
電子部品ピッカー１０は一つのノズルアセンブリーを備えており、ヘッドアセンブリーには複数のピッカーが列を成して設けられている。したがって、ヘッドアセンブリーは一列を構成する複数のノズルを備える。これに対して、ユーザートレイには電子部品が複数の列を成して収納されている。
【００１２】
したがって、一列のノズルを備えるヘッドアセンブリーが複数の列で配列された電子部品をユーザートレイから全てアンロードするためには複数回の往復運動をしなければならない。
【００１３】
これによって、ヘッドアセンブリーがユーザートレイの全ての電子部品を全てピックアンドプレースするためには多くの作業時間がかかる。
【００１４】
また、従来のハンドラー用ピッカー１０はそれぞれのノズル２４に対応する電子部品吸脱着機構３０と、ノズル下降部４０と、ノズル上昇部５０などのような複数の機構を必要とする。
【００１５】
さらに、各ノズル２４は別個のシリンダーブロック６０を必要とし、シリンダーブロック６０にはノズル上昇のための第３通路６５及びノズル下降のための第２通路６４を形成しなければならないため、シリンダーブロック及びこれを備えた電子部品ピッカーのサイズが増加するようになる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
本発明は、電子部品をピックアップして特定位置に載置するまでかかる作業のインデックス時間を短縮することができる構造の電子部品ピッカー及び、これを備えたハンドラー用ヘッドアセンブリーを提供することをその目的とする。
【００１７】
本発明の他の目的は、ピッカーに備えられたノズルを昇降させる構造が簡単で、全体サイズが減少する電子部品ピッカー及びこれを備えたハンドラー用ヘッドアセンブリーを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
前述の目的を達成するための本発明の好ましい実施形態に係る電子部品ピッカーは、ピッカーベース；前記ピッカーベースに固設されたベースブロック；前記ベースブロックにそれぞれ昇降するように設けられ、電子部品を吸着及び脱着するノズルを備える複数のノズルアセンブリー；前記ノズルが電子部品を吸着及び脱着するように前記ノズルに正圧及び負圧を供給する空圧供給部及び前記空圧供給部から前記ノズルアセンブリーに正負圧を供給できるように経路を提供する第１チューブを含む部品吸脱着機構及び；前記複数のノズルアセンブリーにそれぞれ対応して前記ノズルアセンブリーを昇降させる複数のノズル昇降機構を含む。
【００１９】
また、本発明の他の側面に係るハンドラー用ヘッドアセンブリーは、ハンドラーのフレームに沿ってｘ、ｙ方向に移動するヘッドベース；前記ヘッドベースに結合された複数の電子部品ピッカー；前記電子部品ピッカーを昇降させるピッカーベース昇降機構を備え、前記電子部品ピッカーは、ピッカーベース；前記ピッカーベースに固設されたベースブロック；前記ベースブロックにそれぞれ昇降するように設けられ、電子部品を吸着及び脱着するノズルを備える複数のノズルアセンブリー；前記ノズルが電子部品を吸着及び脱着するように前記ノズルに正圧及び負圧を供給する空圧供給部、前記空圧供給部から前記ノズルアセンブリーに正負圧を供給できるように経路を提供する第１チューブを含む電子部品吸脱着機構及び；前記複数のノズルアセンブリーにそれぞれ対応して前記ノズルアセンブリーを昇降させる複数のノズル昇降機構を含む。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、ヘッドアセンブリーのインデックス時間を短縮することによって、電子部品の移動及び実装する速度が増加するようになる。また、電子部品ピッカーの全体サイズが減少する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、添付図面を参照して、本発明の好ましい実施形態について詳細に説明する。
【００２２】
図２は本発明の好ましい実施形態に係る電子部品ピッカー１００の分解斜視図であり、図３は電子部品ピッカー１００の斜視図であり、図４は電子部品ピッカー１００の断面図である。図２ないし図４に示したように、本発明の好ましい実施形態に係る電子部品ピッカー１００は、ピッカーベース１１０と、ベースブロック１２０と、ノズルアセンブリー１３０と、ノズルが部品を吸脱着するように空圧を供給する空圧供給部と、空圧供給部から提供されている空圧の移動経路を提供する第１チューブを含む部品吸脱着機構１４０と、空気などを吹き込んでノズルを下降させ、下降したノズルを原状回復させる弾性部材を備えてノズルを昇降させるノズル昇降機構１５０を含む。
【００２３】
電子部品ピッカー１００はパッケージ化されたチップを供給する部品供給部であるローディングスタッカー３１０（図７参照）から電子部品をピックアップして部品収納部のアンローディングスタッカー（不図示）に載置する。ピッカー１００は一つのメインフレームに結合されている。メインフレームに設けられる複数のピッカーはメインフレームに沿って水平に移動する。メインフレーム及び電子部品ピッカー１００は水平に移動するヘッドアセンブリーの一部を構成する。
【００２４】
ベースブロック１２０はピッカーベース１１０に固設される。ベースブロック１２０はピッカーベース１１０と一体に形成することができ、別途に製作して相互結合することもできる。ノズルアセンブリー１３０はベースブロック１２０に少なくとも昇降可能に結合される。ノズルアセンブリー１３０はノズル１３２を備える。ノズル１３２は電子部品を吸着及び脱着するように機能する。このノズル１３２の先端には電子部品と接触するノズルチップ１３３が結合される。ノズルチップ１３３を通じて電子部品に負圧が作用されると電子部品の吸着が可能であり、正圧が供給されると電子部品の脱着が可能である。
【００２５】
一つのベースブロック１２０には複数のノズルアセンブリー１３０が結合されている。したがって、一つのノズルを備える複数のノズルアセンブリーが一つのベースブロック１２０に結合されている。
【００２６】
空圧供給部（不図示）は第１チューブを通じて、ノズルチップ１３３に正圧及び負圧を供給してノズルチップが部品を吸脱着するようにする。第１チューブは空圧供給部（不図示）とベースブロックに連結されているので、空圧供給部をピッカー１００またはメインフレームに設けることができる。ベースブロック１２０にはベースブロックの上面から下面まで貫通する第１長孔１２２と、この第一長孔１２２と第１チューブを連結する吸脱着用フィッティング１４２が設けられている。吸脱着用フィッティング１４２はベースブロック１２０の上段に設けることができる。
【００２７】
ノズル昇降機構１５０はノズルアセンブリー１３０が昇降するように空圧を供給する。
【００２８】
本発明によれば、一つの電子部品ピッカー１００は複数のノズル１３２を備える。また一つのヘッドアセンブリーには、あるノズルが隣のノズルと一列を成すような構成である複数のピッカーが設けられる。したがって、一列のノズル１３２ａが下降して部品供給部に位置した一列の電子部品をピックアップすると、次の列のノズル１３２ｂが下降して部品供給部に位置した次の列の電子部品をピックアップする。全てのピッカーが電子部品を把持する時まで前述の過程を繰り返すことができる。全てのピッカーが電子部品を把持すると、ヘッドアセンブリーが電子部品の収納部に移動する。したがって、本発明のヘッドアセンブリーは従来のヘッドアセンブリーに比べて一度により多くの数の電子部品を部品供給部から部品収納部に移送することができるので、作業のインデックス時間が減少する。複数のノズルアセンブリーを備える複数のピッカーは一度に昇降しながらノズル数に対応する電子部品を一度に把持することもできる。
【００２９】
図６においては、ヘッドアセンブリー２００に設けられた複数のピッカーがそれぞれ２個のノズルを備え、各ノズル１３２は一列は隣のノズルと一列を構成して全体的に２列になっているが、本発明はこれに限定するものではなく、３列以上に構成することもできる。
【００３０】
図２において、一つのピッカーには二つのノズルアセンブリーと、このノズルアセンブリーにそれぞれ連結される２個の第２チューブ１５が設けられている。また、第２チューブは個別的に駆動できる。したがって、一つのピッカーに設けられた二つのノズルアセンブリーをそれぞれ別に駆動できる。したがって、各ノズルの昇降動作を個別的に行ったり同時に行うことができる。
【００３１】
ノズルアセンブリー１３０はノズル固定部材１３６をさらに具備できる。ノズル固定部材１３６はノズルをベースブロック１２０に連結されるもので、ベースブロック１２０に昇降可能に結合される。したがって、ノズル１３２はノズル固定部材１３６と連動するようになる。ノズル固定部材１３６はノズル昇降機構１５０を通じて注入される空圧により下降する。
【００３２】
次に、図４及び図５を参照してノズル昇降機構１５０によりノズル固定部材１３６が昇降する構造の一例について説明する。ノズル昇降機構１５０はシリンダーブロックの上段から下段まで貫通するシリンダー孔１５２に内接しながら往復運動するピストン１５４と、ピストンと固定部材を連結するロード１５６を具備できる。シリンダー孔１５２はベースブロック１２０を貫通して形成された孔で、昇降用フィッティング１５８を通じて空圧供給部（不図示）に連通される。空圧供給部は電子部品ピッカーまたはメインフレームに装着できる。
【００３３】
ピストン１５４はシリンダー孔１５２に内接し、シリンダー孔１５２に沿って昇降する。すなわち、ピストン１５４によってシリンダー孔１５２の内部空間が上下に分かれる。
【００３４】
ロード１５６はノズル固定部材１３６とピストン１５４を連結する。したがって、ピストン１５４が下降すると、ノズル固定部材１３６もピストンに連動して下降する。
【００３５】
すなわち、空圧部から正圧がシリンダー孔１５２に供給されると、ピストン１５４が下降してノズル固定部材１３６を下降させる。一方、ノズル固定部材１３６を上昇させるためには、正圧をシリンダー孔１５２のピストン下側空間１５２Lに供給できる。しかし、この場合はピストン下側空間１５２Lに空圧を供給するために空圧供給部に連通される別の長孔をベースブロックにさらに形成しなければならず、それによってベースブロック１２０の構造がさらに複雑になり、サイズも大きくなる。
【００３６】
このような問題点を解決するために本発明にのピッカーに備えられたノズル昇降機構１５０はノズル固定部材１３６を上昇させるための弾性部材１５３をさらに具備できる。この弾性部材１５３は空圧供給部から所定以下の圧力がシリンダー孔１５２のピストン１５４上側空間に加えられたり、圧力が加えられない場合、ノズル固定部材１３６を弾性により上昇させる。
【００３７】
弾性部材１５３はベースブロック１２０とノズル固定部材１３６との間に形成される圧縮コイルバネであり得る。すなわち、図４に示したように、ノズル固定部材１３６が下降する前の第１位置にある場合、圧縮コイルバネの弾性力が０になるようにすれば、図５に示したようにノズル固定部材１３６が第２位置に下降した場合の弾性力は第１位置と第２位置間の相対距離に比例して大きくなるようになる。したがって、ピストン１５４の上段に作用する圧力が除去されたり弾性部材の弾性力より小さくなるならば、弾性部材１５３の弾性力によってノズル固定部材１３６が上昇するようになる。
【００３８】
本発明によれば、弾性部材１５３を通じてノズル固定部材１３６を簡単に上昇させることができることによって、ノズル固定部材昇降構造が簡単になる。すなわち、下降したノズルを上昇させるための別の長孔と、この長孔に空圧を供給するチューブなどが不要になる。したがって、ベースブロック１２０の構造が簡単になると、サイズも減少するようになる。特にベースブロックの構造が簡単になると、一つのベースブロックに複数のノズル固定部材１３６を設けることができるので、一つのピッカーに複数のノズルを形成することができるようになる。
【００３９】
図６は電子部品ピッカー１００を備えたハンドラー用ヘッドアセンブリー２００を示す斜視図である。図６を参照すれば、ハンドラー用ヘッドアセンブリー２００はピッカー１００と、ピッカーベースと１１０と、ピッカーベース１１０を昇降させるピッカーベース昇降機構２２０と、ヘッドベース２１０を含む。
【００４０】
ヘッドベース２１０はヘッドアセンブリーがｘ、ｙ方向に移動できるように後述するハンドラーのフレームであるｘ、ｙフレーム（不図示）に設けられる。ヘッドベース２１０には複数の電子部品ピッカー１００が結合される。
【００４１】
各電子部品ピッカー１００は等間隔で配列された複数のノズルを備える。例えば、一つのピッカーは二つのノズルを具備できる。また、各ピッカーは隣のピッカーと一列を成すように配列される。したがって、各ノズルは隣のピッカーのノズルと複数の列を構成する。電子部品ピッカー１００はピッカーベース１１０と、ベースブロック１２０と、複数のノズルアセンブリー１３０を具備できる。これは図２ないし図５に示したものと同様であるので、これについての詳細な説明は省略する。
【００４２】
ノズルは図４及び５で説明したノズル昇降機構１５０によって下降するようになり、第１チューブ１４０を通じて供給される正負圧により電子部品を吸着及び脱着する。電子部品ピッカー１００はピッカーベース昇降機構２２０によって昇降する。このためにピッカーベース昇降機構２２０はｚ軸モーター２２２と、螺旋状溝が形成された回転シャフト２２４と、ピッカーベース固定部材２２６を具備できる。回転シャフト２２４はｚ軸方向に配置されており、ｚ軸モーター２２２の回転によって回転する。またピッカーベース固定部材２２６はボールにより回転シャフトの螺旋状溝に結合されている。したがって、回転シャフト２２４が回転運動すると、ベース固定部材２２６が昇降し、ピッカーベース固定部材２２６に連結されたピッカーベース１１０も昇降する。
【００４３】
ｚ軸モーター２２２と回転シャフト２２４は直接的に連結することができ、図面には図示しなかったが、これと異なり駆動プーリー、従動プーリー及び駆動プーリーと従動プーリーを連結するベルトなどの連結部材を介して連結することもできる。
【００４４】
電子部品ピッカー１００は全てピッカーベース昇降機構２２０によって一定距離まで下降し、その後にはノズル昇降機構１５０によってそれぞれの電子部品ピッカーが個別的に昇降して電子部品を把持する。このような二段の動作により精密な電子部品のピックアップが可能であり、電子部品のピックアップ時間も短縮できる。
【００４５】
一方、電子部品は多様なサイズと模様を持つ。したがって、電子部品の種類が変わると、ユーザートレイに載置する時、電子部品間の配列間隔も変わるようになる。したがって電子部品を把持する電子部品ピッカー１００の間隔もユーザートレイに収納された電子部品の配列間隔に合うように調節する必要がある。このために、ヘッドアセンブリー２００は間隔調節装置２３０を具備できる。間隔調節装置２３０はカムプレート２３２と、このカムプレート２３２を昇降させるカムプレート昇降装置２３６を備える。カムプレート２３２には、ピッカーベース１１０の移動を案内する案内孔２３３が扇状に形成されている。
【００４６】
すなわち、隣接する案内孔２３３はその間隔が、下側から上側に行くほど徐々に大きくなったり小さくなるように形成されており、案内孔２３３には図２のピッカーベース装着部１１２が結合されているので、カムプレート２３２が昇降すると、ピッカーの間の間隔が広くなったり狭くなったりする。
【００４７】
例えば、案内孔２３３の間隔がカムプレートの上側に行くほど徐々に狭くなる場合、カムプレート２３２が上昇すると、案内孔２３３に結合されたピッカーベース装着部１１２（図２参照）が案内孔に沿って移動しながらピッカーの間隔が広くなるようになる。カムプレートを上下方向に運動させるカム昇降装置はカムモーター（不図示）と、カムモーターとカムプレート２３２を連結する動力伝達部材２３７を含むことができる。
【００４８】
一方、ヘッドアセンブリー２００は、正確な位置で電子部品をピックアップしたり載置するために、電子部品の位置を確認する撮影装置２４０をさらに具備できる。
【００４９】
図７は図６のヘッドアセンブリー２００を備えたハンドラー３００の一例を概略的に示した平面図である。
【００５０】
図７を参照すれば、ハンドラー３００は電子部品、例えばパッケージ化された半導体チップをテストすることで、ローディングスタッカー３１０と、アンローディングスタッカー３２０と、バッファー部３３０と、交換部３４０と、テスト部３５０と、複数のヘッドアセンブリー２００を含む。
【００５１】
図７を参照すれば、ローディングスタッカー３１０はハンドラー３００の前方部に配置されており、ローディングスタッカー３１０にはテストする電子部品が複数収納されているユーザートレイ３１２（図８参照）が積載されている。
【００５２】
アンローディングスタッカー３２０はローディングスタッカー３１０の隣に配置されており、アンローディングスタッカー３２０にはテスト済みの電子部品がテスト結果によって等級別に分類して収納するユーザートレイが積載されている。
【００５３】
バッファー部３３０はローディングスタッカー３１０またはアンローディングスタッカー３２０と交換部３４０との間に位置し、ヘッドアセンブリーにより移送される電子部品を臨時に収納する所で、一種のプレートであり得る。特に、バッファー部３３０は交換部３４０の両側に設けることができる。すなわち、バッファー部はローディング領域のバッファーとアンローディング領域のバッファーを備える。したがって、ローディング領域バッファーとアンローディング領域バッファーとの間に交換部を配置することができる。バッファー部３３０のバッファーはｙ軸方向に前後及び後進する複数のバッファープレートであり得る。
【００５４】
交換部３４０はテストする電子部品をテストトレイにロードしたり、テスト済みの電子部品をアンロードする所である。したがって、アンローディングピッカーによりテスト済みの電子部品が交換部３４０でアンローディングバッファーにアンロードしてテストトレイが空いていると、その所にローディングピッカーがローディングバッファーから電子部品をピックアップして載置する。ローディングスタッカー３１０及びアンローディングスタッカー３２０とバッファー部３３０との間にはｘ−ｙ軸方向に線形運動して電子部品を移送する第１ヘッドアセンブリー２００ａと第２ヘッドアセンブリー２００ｂが設けられる。第１ヘッドアセンブリー２００ａはローディングスタッカー３１０とバッファー部３３０のローディングバッファー間を移動して電子部品を移送する。第２ヘッドアセンブリー２００ｂはバッファー部３３０のアンローディングバッファーとアンローディングスタッカー３２０との間を移動して電子部品を移送する。
【００５５】
また、交換部３４０とバッファー部３３０との間を移動する第３ヘッドアセンブリー２００ｃが設けられ、バッファー部３３０から交換部３４０に、または交換部３４０からバッファー部３３０に電子部品を移送する。第３ヘッドアセンブリー２００ｃはｘ軸方向に線形運動する。
【００５６】
第１、２ヘッドアセンブリー２００ａ、２００ｂはｘ−ｙガントリー（ｇａｎｔｒｙ）３７０によってｘ−ｙ方向に移動可能である。すなわち、第１、２ヘッドアセンブリー２００ａ、２００ｂはｘ軸ガントリー３７２に結合されてｘ方向に移動でき、ｘ軸ガントリー３７２はｙ軸ガントリー３７１に結合されてｙ方向に移動できる。第１、２及び３ヘッドアセンブリー２００ａ、２００ｂ、２００ｃのうち、少なくと一つは複数のノズルを備える複数のピッカーが列で配列されることによって、複数のノズルが互いに行列で配列される本発明のヘッドアセンブリーで構成する。
【００５７】
そしてハンドラー３００の後方部には複数に分割した密閉チャンバー内に高温または低温の環境を造成した後、電子部品が収納されたテストトレイを順次に移送して所定の温度条件下で電子部品をテストするテストボードが位置する。
【００５８】
図８ないし図１１は図７のハンドラーにおいて、第１ヘッドアセンブリー２００ａがローディングスタッカー３１０から電子部品を吸着してバッファー部３３０に移送する各段階を示す斜視図である。図８ないし図１１を参照して本発明の実施形態に係るヘッドアセンブリー２００の動作方法を説明する。第１ヘッドアセンブリー２００ａには、２個のノズルアセンブリー１３０を備えた複数のピッカー１００が一列で配列されている。
【００５９】
まず、図８に示したように、ローディングスタッカー３１０上にユーザートレイが３１２が配置されると、第１ヘッドアセンブリー２００ａはローディングスタッカー３１０上に載置されたユーザートレイ３１２上に移動する。
【００６０】
その後、図９に示したように、第１ヘッドアセンブリー２００の第１列のノズルアセンブリー１３０ａが下降してユーザートレイ３１２の第１列に配置された電子部品４００_１をピックアップする。
【００６１】
次に、図１０に示したように、第１ヘッドアセンブリー２００の第２列のノズルアセンブリー１３０ｂが下降してユーザートレイ３１２の第２列に配置された電子部品４００_２をピックアップする。
【００６２】
このような工程は順に実施できる。しかし、本発明はこれに限定されるものではなく、全体ノズルアセンブリーが全て下降して電子部品をピックアップすることもできる。すなわち、二列を構成する全てのノズルアセンブリーが下降してユーザートレイ３１２に収納された二列の電子部品をピックアップできる。このために、図８に示したように、一つのピッカーに設けられるノズルアセンブリーの間の間隔、すなわち、図８の第１ノズル１３０ａと第２列ノズルアセンブリー１３０（１３０ｂ）との間の間隔Ｋ１は、ユーザートレイ３１２の各列間の間隔Ｋ２と同一であるか、または整数倍であることができる。
【００６３】
次に、図１１に示したように、第１ヘッドアセンブリー２００がバッファー部３３０上に移動し、ピックアップした電子部品をバッファー部３３０に位置したバッファープレート３３２に実装する。
【００６４】
従来の第１ヘッドアセンブリー２００ａはローディングスタッカー３１０上のユーザートレイ３１２から１列の電子部品をピックアップし、バッファー部３３０のバッファープレートに移動する。また、動作をずっと繰り返すことによって、ローディングスタッカー３１０上のユーザートレイ３１２の全ての電子部品をバッファー部３３０のバッファープレート上に移動する。したがって、第１ヘッドアセンブリー２００ａの作業動線が長くなって作業時間が増加する。しかし、本発明のヘッドアセンブリーは一度にピックアップする電子部品の数が従来のヘッドアセンブリーに比べてより多いので、第１ヘッドアセンブリー２００ａの作業動線が短くなって作業速度が増加する。
【００６５】
一方、図８ないし図１１は説明の便宜のために一例として第１ヘッドアセンブリー２００ａの場合を説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、第２、３ヘッドアセンブリー２００ｂ、２００ｃも本発明のヘッドアセンブリーで構成してハンドラーの全体的な作業時間を短縮できる。
【００６６】
また、本発明のノズルアセンブリーは弾性部材を使用してノズルを原状回復させることによって、ノズルアセンブリーをより簡単に構成し、その結果一つのピッカーに複数のノズルアセンブリーを設けることができるようにする。本発明のピッカーはより多くの数のノズルを備えると、より大きい効果を得ることができる。
【産業上の利用可能性】
【００６７】
本発明によれば、ヘッドアセンブリーのインデックス時間を短縮することによって、電子部品の移動及び実装する速度が増加するようになる。また、電子部品ピッカーの全体サイズが減少する。従って、本発明の産業利用性はきわめて高いものといえる。
【００６８】
一方、本明細書内で本発明をいくつかの好ましい実施形態によって記述したが、当業者ならば、添付の特許請求範囲に開示した本発明の範疇及び思想から外れずに、多くの変形及び修正がなされ得ることがわかるはずである。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】従来の電子部品ピッカーを示す斜視図である。
【図２】本発明の好ましい実施形態に係る電子部品ピッカーの分解斜視図である。
【図３】図２に示した電子部品ピッカーの斜視図である。
【図４】図２に示した電子部品ピッカーの断面図で、ノズル固定部材が上昇している場合を示す図面である。
【図５】図２の電子部品ピッカーの断面図で、ノズル固定部部材が下降している場合を示す図面である。
【図６】図２の電子部品ピッカーを備えたハンドラー用ヘッドアセンブリーを示す斜視図である。
【図７】図２の電子部品ピッカーを備えたハンドラーを示した平面図である。
【図８】本発明の実施形態に係る電子部品ピッカーを備えたヘッドアセンブリーの電子部品ピックアップ及び移送過程を示す斜視図である。
【図９】図８に示したヘッドアセンブリーの電子部品ピックアップ及び移送過程を示す斜視図である。
【図１０】図８に示したヘッドアセンブリーの電子部品ピックアップ及び移送過程を示す斜視図である。
【図１１】図８に示したヘッドアセンブリーの電子部品ピックアップ及び移送過程を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００７０】
１００    電子部品ピッカー
１１０    ピッカーベース
１２０    ベースブロック
１３０    ノズルアセンブリー
１３２    ノズル
１３６    ノズル固定部材
１４０    部品吸脱着機構
１５０    ノズル昇降機構
１５２    シリンダー孔
１５３    弾性部材
１５４    ピストン
１５６    連結部
２００    ヘッドアセンブリー
３００    ハンドラー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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