(57)【要約】【課題】全体として簡単な構成で安定してワークを搬送できる吸着搬送構造を提供する。【解決手段】搬送手段１にて搬送される吸着ステージ２を備える。真空引用連結部材２０を、吸着ステージ２の吸引口９に連結した状態で、エアを吸引して吸着ステージ２の吸着面２ａにワークＷを吸着させる。第１栓部材１２が吸引口９に付設されて、真空引用連結部材２０の吸引口９からの開放状態でエアの流入を規制する。真空引き状態で、規制部材３３が吸着ステージ２の開放口１０を塞ぐ。第２栓部材１３で、規制部材３３の開放状態でエアの流入を規制する。真空開放機構３５が開放口に連結されて、第２栓部材１３の規制力に抗してエアを流入させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送手段にて搬送されるとともに、ワーク吸着孔と、吸引口と、開放口と、ワーク吸着孔と吸引口と開放口とを連通する連通路とを有する吸着ステージと、
前記吸引口に連結された状態で、真空発生器の駆動によって前記連通路内のエアを吸引して、ワーク吸着孔を介して前記吸着ステージの吸着面にワークを吸着させる真空引用連結部材と、
前記吸引口に付設されて、真空引用連結部材の吸引口からの開放状態で前記連通路内へのエアの流入を規制してワーク吸着状態を維持する第１栓部材と、
真空引用連結部材が吸引口に連結された真空引き状態で、前記開放口を塞いで連通路内へのエアの流入を規制する規制部材と、
前記開放口に付設されて、規制部材の開放状態で前記連通路内へのエアの流入を規制する第２栓部材と、
前記規制部材の開放状態で前記開放口に連結されて、前記第２栓部材の規制力に抗して連通路内へエアを流入させる真空開放機構とを備えたことを特徴とする吸着搬送構造。
【請求項２】
前記吸着ステージに、このステージに吸着されたワークの吸着面側へのアクセスを許容する孔部を設けたことを特徴とする請求項１の吸着搬送構造。
【請求項３】
前記搬送手段が、駆動輪と従動輪とに掛け回されるエンドレスベルトを備えたことを特徴とする請求項１又は請求項２の吸着搬送構造。
【請求項４】
前記第１栓部材及び第２栓部材を逆止弁にて構成したことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかの吸着搬送構造。
【請求項５】
前記真空引用連結部材が、基板と、この基板に付設されて前記吸引口に嵌合して前記逆止弁のバネ部材の弾発力に抗して前記連通路内のエアを吸引するためのノズルと、前記基板を前記吸引口に対して接近離間する方向に移動させる駆動機構とを備えたことを特徴とする請求項４の吸着搬送構造。
【請求項６】
規制部材が前記真空引用連結部材の基板に付設されて、前記ノズルが吸引口に連結された状態で開放口に嵌合する蓋体であることを特徴とする請求項５の吸着搬送構造。
【請求項７】
真空開放機構は、前記開放口に連結された状態で前記第２栓部材を構成する逆止弁のバネの弾発力に抗して逆止弁を開状態とする押圧体にて構成したことを特徴とする請求項４〜請求項６のいずれかの吸着搬送構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸着搬送構造に関し、特に平板状のワークを搬送するための吸着搬送構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来においてワークを吸着させて搬送する装置としては、吸着搬送コンベアがある（特許文献１）。この吸着搬送コンベアは、コンベアベルトに吸着用の孔を設け、この孔から空気を吸い込ませることによりワークをコンべアベルト上に吸着させて搬送するものである。
【０００３】
すなわち、図６と図７に示すように、この吸着搬送コンベアは、フレーム５１と、このフレーム５１上を走行するエンドレス状のスチールベルト５２とを備える。そして、フレーム５１は図外の排気手段（真空発生器）に接続される排出口５３を有する導気室５４と、この導気室５４に連通されてフレーム５１の上面（吸着面）に開口する複数列の吸入溝５５とを備える。また、スチールベルト５２には吸着孔５６が設けられている。
【０００４】
このため、排気手段にて導気室５４の空気を外部に排出することによって、吸入溝５５及び吸着孔５６を介して、スチールベルト５２上のワークＷはスチールベルト５２に吸着される。これによって、スチールベルト５２が走行することによって、ワークＷが搬送される。
【特許文献１】特許第３６４４２６９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、スチールベルト５２にはその長手方向に沿って多数の吸着孔５６が設けられている。このため、ワークＷが対応しない吸着孔５６からの吸引（真空引き）は不要である。そこで、例えば、導気室５４を複数個に分割し、各室において、真空制御を行うようにすることになる。
【０００６】
しかしながら、スチールベルト５２の走行とともに、ワークＷも移動する。このため、排気する室が変化し、これに応じて、排気のオン・オフ制御を行う必要があり、その制御が極めて複雑である。しかも、各室において、真空制御を行うために多数の真空発生が必要であり、エネルギー消費が大きいとともに、コスト高となる。また、スチールベルト５２がフレーム５１上を走行するので、スチールベルト５２及びフレーム５１が摩耗し易く、摩耗すれば、リークしやすく安定した吸着を行うことができなくなる。
【０００７】
さらに、ワークＷの下面をスチールベルト５２が受けているので、このワークＷに対してのアクセス（製品検査等）を行うことができない欠点もある。
【０００８】
本発明は、上記課題に鑑みて、全体として簡単な構成で安定してワークを搬送できる吸着搬送構造を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の吸着搬送構造は、搬送手段にて搬送されるとともに、ワーク吸着孔と、吸引口と、開放口と、ワーク吸着孔と吸引口と開放口とを連通する連通路とを有する吸着ステージと、前記吸引口に連結された状態で、真空発生器の駆動によって前記連通路内のエアを吸引して、ワーク吸着孔を介して前記吸着ステージの吸着面にワークを吸着させる真空引用連結部材と、前記吸引口に付設されて、真空引用連結部材の吸引口からの開放状態で前記連通路内へのエアの流入を規制してワーク吸着状態を維持する第１栓部材と、真空引用連結部材が吸引口に連結された真空引き状態で、前記開放口を塞いで連通路内へのエアの流入を規制する規制部材と、前記開放口に付設されて、規制部材の開放状態で前記連通路内へのエアの流入を規制する第２栓部材と、前記規制部材の開放状態で前記開放口に連結されて、前記第２栓部材の規制力に抗して連通路内へエアを流入させる真空開放機構とを備えたものである。
【００１０】
本発明の吸着搬送構造によれば、真空引用連結部材を吸着ステージの吸引口に連結して、真空発生器を駆動（作動）させれば、この吸着ステージの吸着面にワークを吸着させることができる。この吸着作業時には、開放口が規制部材にて塞がれているので、連通路内へのエアに流入がなく、吸着作業の妨げにならない。真空引用連結部材を吸引口から開放すれば、第１栓部材によって、吸引口からの連通路内へのエアの流入がなく、また、開放口から規制部材が開放されても、第２栓部材によって、開放口からの連通路内へのエアの流入が規制される。このため、一旦、吸着ステージの吸着面にワークを吸着させる状態となれば、この吸着状態が維持される。そして、真空開放機構を開放口に連結することによって、開放口からエアを連通路内に流入させることができる。これによって、ワークは吸着状態が解除される。
【００１１】
前記吸着ステージに、このステージに吸着されたワークの吸着面側へのアクセスを許容する孔部を設けるのが好ましい。このように孔部を設けることによって、この孔部を介してワークに対して仕事（例えば、検査試験や測定等）を行うことができる。
【００１２】
前記搬送手段が、駆動輪と従動輪とに掛け回されるエンドレスベルトを備えたものとしたり、第１栓部材及び第２栓部材を逆止弁にて構成したりすることができる。
【００１３】
そして、前記真空引用連結部材が、基板と、この基板に付設されて前記吸引口に嵌合して前記逆止弁のバネ部材の弾発力に抗して前記連通路のエアを吸引するためのノズルと、前記基板を前記吸引口に対して接近離間する方向に移動させる駆動機構とを備えたものであってもよい。また、規制部材が前記真空引用連結部材の基板に付設されて、前記ノズルが吸引口に連結された状態で開放口に嵌合する蓋体であってもよい。さらに、真空開放機構は、前記開放口に連結された状態で前記第２栓部材を構成する逆止弁のバネの弾発力に抗して逆止弁を開状態とする押圧体にて構成することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の吸着搬送構造では、吸着ステージの吸着面にワークを吸着させることができ、しかも、真空引用連結部材を吸引口から開放しても、第１栓部材によって吸引口からエアの流入が規制されるとともに、第２栓部材によって開放口からのエアの流入が規制される。このため、吸着面にワークを吸着させた状態の吸着ステージを搬送手段によって搬送することができ、搬送手段をして種々のものを使用することができ、作業部位に応じた搬送手段の選択が可能となって、汎用性に優れる。
【００１５】
また、吸着ステージの吸着面にワークを一旦吸着させれば、ワークの搬送が可能となり、真空発生器に対する種々の制御を行う必要がなく、しかも複数の真空発生器を必要としない。このため、装置全体のコンパクト化及びコスト低減化を図ることができる。
【００１６】
真空開放機構を開放口に連結することによって、開放口からエアを連通路内に流入させて吸着状態を解除することができる。これによって、吸着ステージからワークを取り出すことができ、ワークを他の部位に搬送して、ワークに対して次の工程を行ったりすることができる。
【００１７】
吸着ステージに孔部を設けることによって、この孔部を介してワークに対して仕事（例えば、検査試験等）を行うことができるので、ワークに対して上面（表面）及び下面（裏面）に対して、検査や加工等の作業を行うことができ、作業効率の向上を図ることができる。
【００１８】
前記搬送手段を、駆動輪と従動輪とに掛け回されるエンドレスベルトを備えたものとすることができて、搬送手段として既存（既設）のベルトを使用した搬送機構を使用することができ、イニシャルコストの低減を図ることができる。また、第１栓部材及び第２栓部材を逆止弁にて構成することができ、構成の簡略化を図るとともに、各栓部材の機能を安定して発揮できる。
【００１９】
そして、前記真空引用連結部材を、基板とノズルと駆動機構とを備えたもので構成することができ、また、規制部材を真空引用連結部材の基板に付設される蓋体で構成することができるので、各部材の機能を安定して発揮できる。さらに、真空開放機構は、開放口に連結された状態で前記第２栓部材を構成する逆止弁のバネの弾発力に抗して逆止弁を開状態とする押圧体にて構成することができるので、開放口の開放（吸着解除）を確実に行うことができ、ワークの吸着ステージからの取り外し作業の簡略化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下本発明の実施の形態を図１〜図５に基づいて説明する。
【００２１】
吸着搬送構造は、図１に示すように、搬送手段１にて搬送される吸着ステージ２を備える。搬送手段１は、駆動輪３と従動輪４とに掛け回されるエンドレス状のベルト５を備え、図示省略のモータ等の駆動源によって、駆動輪３が回転駆動することによって、ベルト５が走行し、このベルト５に配設される吸着ステージ２が搬送される。この場合、複数個の吸着ステージ２がベルト５の表面に所定ピッチで配置（固定）されている。
【００２２】
吸着ステージ２は、図２に示すように、ワーク吸着孔８と吸引口９と開放口１０と連通路１１とを有する矩形平板体からなる。連通路１１はワーク吸着孔８と吸引口９と開放口１０とを連通する。そして、図５に示すように、吸引口９には、第１栓部材１２を構成する逆止弁１２ａが配置されるとともに、開放口１０には、第２栓部材１３を構成する逆止弁１３ａが配置されている。
【００２３】
逆止弁１２ａは、図５に示すように、バネ部材１４と、このバネ部材１４の弾発力にて吸着ステージ２側へ押圧されるボール１５と、このボール１５を受ける弁座１６とを備える。このため、通常は、バネ部材１４の弾発力にて押圧されるボール１５が弁座に受けられて、吸引口９が閉状態となっている。しかしながら、バネ部材１４の弾発力に抗してボール１５が矢印Ａ方向に引っ張られて、ボール１５が弁座１６から離間すれば、この吸引口９が開状態となる。
【００２４】
逆止弁１３ａは、バネ部材１７と、このバネ部材１７の弾発力にて反吸着ステージ側へ押圧されるボール１８と、このボール１８を受ける弁座１９とを備える。このため、通常は、バネ部材１４の弾発力にて押圧されるボール１５が弁座に受けられて、開放口１０が閉状態となっている。しかしながら、バネ部材１７の弾発力に抗してボール１８が矢印Ｂ方向に引っ張られて、ボール１８が弁座１９から離間すれば、この開放口１０が開状態となる。
【００２５】
また、吸引口９には、真空引用連結部材２０が連結され、真空発生器２１の駆動によって連通路１１内のエアを吸引して、ワーク吸着孔８を介して吸着ステージ２の吸着面２ａにワークＷを吸着させることになる。
【００２６】
真空引用連結部材２０は、図２に示すように、基板２２と、この基板２２に付設されるノズル２３と、基板を吸引口９に対して接近離間する方向に移動させる駆動機構２４とを備える。ノズル２３は例えば図３に示すように、三角錐体からなり、その外周面には弾性材からなるシール体２５が付設されている。このため、ノズル２３が吸引口９に嵌合した際には、シール体２５が吸引口９の開口端周縁に当接して、吸引口９が密封される。
【００２７】
また、ノズル２３に孔部２６が形成され、基板２２に設けられた吸引孔２７にこの孔部２６が連通され、吸引孔２７と真空発生器２１とが配管２８を介して連通されている。図３（ａ）に示すように、ノズル２３が吸引口９に嵌合した連結状態で、真空発生器２１が駆動すれば、その吸引力によって、逆止弁１２ａのボール１５が矢印Ａ方向に引っ張られ、吸引口９が開状態となる。このため、連通路１１内のエアが吸引され、ワーク吸着孔８を介して吸着ステージ２の吸着面２ａにワークＷを吸着させることができる。
【００２８】
ところで、真空発生器は、エジェクタ式の真空発生装置であっても、モータでポンプを駆動させる機械的運動による真空発生装置であってもよい。駆動機構２４はシリンダ機構３０によって構成される。すなわち、シリンダ機構３０のピストンロッド３１が基板２２に連結され、このピストンロッド３１が伸縮することによって、基板２２延いてはノズル２３を吸引口９に対して接近離間する方向に移動させることができる。なお、シリンダ機構３０のシリンダ本体３２は図示省略の固定側に固定される。
【００２９】
また、基板２２には、真空引用連結部材２０が吸引口９に連結された真空引き状態で、開放口１０を塞いで連通路１１内へのエアの流入を規制する規制部材３３が付設されている。この規制部材３３は、図３に示すように、前記ノズル２３と同様の三角錐体からなる蓋体３４にて構成される。
【００３０】
すなわち、ノズル２３が吸引口９に嵌合した状態で、蓋体３４が開放口１０に嵌合し、この状態では、開放口１０の開口端周縁に蓋体３４の外周面が当接して、開放口１０を塞ぐ。また、基板２２が吸引口９から離間して、ノズル２３の吸引口９への嵌合が解除された際には、この蓋体３４の開放口１０への嵌合が解除される。
【００３１】
ところで、開放口１０に付設される逆止弁１３ａは、そのバネ部材１７の弾発力を、吸引口９に連結された真空引き状態で、その連通路１１内の負圧よりも大である。このため、ワークＷの吸着状態で、バネ部材１７の弾発力が吸引力に打ち勝って、ボール１８が弁座１９に受けられた状態であって、開放口１０が塞がれ、この開放口１０を介してエアが連通路１１内に流入しない。
【００３２】
このように、ワークＷが吸着状態となれば、この開放口１０から空気が流入せず、しかも、吸引口９側では、連通路１１内の負圧によって、ボール１５が吸着ステージ２側に引っ張られ、吸引口９が開状態とならない。このため、一旦、ワークＷが吸着状態となれば、この吸着状態を維持できる。
【００３３】
また、この装置は、規制部材３３の開放状態で開放口１０に連結されて、第２栓部材１３の規制力に抗して連通路１内へエアを流入させる真空開放機構３５を備える。真空開放機構３５は、開放口１０に連結された状態で第２栓部材１３を構成する逆止弁１３ａのバネ部材１７の弾発力に抗して逆止弁１３ａを開状態とする押圧体３６、つまりシリンダ機構３７にて構成することができる。
【００３４】
すなわち、開放口１０を開状態とする場合には、シリンダ機構３７のピストンロッド３７ａを伸ばして、ボール１８をバネ部材１７の弾発力に抗して吸着ステージ２側へ押圧すれば、ボール１８が弁座１９から離間して、開放口１０が開状態になる。これによって、開放口１０から連通路１１内にエアが流入して、吸着状態が解除される。
【００３５】
この装置においては、搬送手段１のベルト５は図１の矢印Ｃ方向に間欠的に走行する。このため、真空引用連結部材２０が上流側に配置され、押圧体３６が下流側に配置されている。ここで、上流側および下流側とは、水平方向に沿って走行しているベルト５の上流側および下流側である。
【００３６】
次に前記吸着搬送構造によるワークＷの搬送方法を説明する。まず、真空引用連結部材２０よりも上流側に吸着ステージ２の吸着面２ａ上にワークＷを図４（ａ）に示すように載置する。なお、吸着面２ａにはワークＷを受ける複数個の受け体（ゴムパット）３８が配置され、この受け体３８を介してワークＷが吸着ステージ２の吸着面２ａに載置される。また、受け体３８の数、大きさ、形状等は、ワークＷの大きさや吸着面２ａに対応する面の形状によって変更でき、ワークＷに対してクッション材として機能するとともに、吸着時のシール材として機能すればよい。
【００３７】
そして、ワークＷが載置された吸着ステージ２が真空引用連結部材２０の真下に搬送されたときに、真空引用連結部材２０の基板２２が下降して、図３（ａ）に示すように、ノズル２３が吸引口９に嵌合するともに、蓋体３４が開放口１０に嵌合する。
【００３８】
この状態で、真空発生器２１が駆動（作動）することによって、吸引口９側から連通路１１のエアが吸引され（いわゆる真空引きされ）、吸着孔８を介してワークＷが吸着面２ａに吸着される。この際、開放口１０は規制部材３３である蓋体３４にて塞がれているので、この開放口１０からのエアの連通路１１への流入が防止される。
【００３９】
このように、ワークＷが吸着された状態で、図３（ｂ）に示すように、真空引用連結部材２０の基板２２を上昇させる。この状態では、前記したように、逆止弁１２ａによって吸引口９からのエアの流入が防止されるとともに、逆止弁１３ａによって開放口１０からのエアの流入が防止される。
【００４０】
そして、ワークＷが吸着された状態で、吸着ステージ２を順次下流側に搬送していくことができる。ワークＷが吸着された吸着ステージ２が押圧体３６であるシリンダ機構３７の真下に位置したときに、シリンダ機構３７のピストンロッド３７ａを伸ばし、開放口１０の逆止弁１２ａのボール１８を吸着ステージ２側へ押圧して、開放口１０を開状態とする。これによって、ワークＷの吸着状態が解除され、ワークＷは吸着ステージ２から自由状態となる。
【００４１】
本発明では、吸着ステージ２の吸着面２ａにワークＷを吸着させることができ、しかも、真空引用連結部材２０を吸引口９から開放しても、第１栓部材１２によって吸引口９からのエアの流入が規制されるとともに、第２栓部材１３によって開放口１０からのエアの流入が規制される。このため、吸着面２ａにワークＷを吸着させた状態の吸着ステージ２を搬送手段１によって搬送することができ、搬送手段１として種々のものを使用することができ、作業部位に応じた搬送手段１の選択が可能となって、汎用性に優れる。
【００４２】
また、吸着ステージ２の吸着面２ａにワークＷを一旦吸着させれば、ワークＷの搬送が可能となり、真空発生器２０に対する種々の制御を行う必要がなく、しかも複数の真空発生器を必要としない。このため、装置全体のコンパクト化及びコスト低減化を図ることができる。
【００４３】
真空開放機構３５を開放口１０に連結することによって、開放口１０からエアを連通路１１内に流入させて吸着状態を解除することができる。これによって、吸着ステージ２からワークＷを取り出すことができ、ワークＷを他の部位に搬送して、ワークＷに対して次の工程を行ったりすることができる。
【００４４】
前記搬送手段１を、駆動輪３と従動輪４とに掛け回されるエンドレスベルト５を備えたものとすることができて、搬送手段１として既存（既設）のベルト５を使用した搬送機構を使用することができ、イニシャルコストの低減を図ることができる。また、第１栓部材１２及び第２栓部材１３を逆止弁１２ａ、１３ａにて構成することができ、構成の簡略化を図るとともに、各栓部材１２、１３の機能を安定して発揮できる。
【００４５】
そして、前記真空引用連結部材２０を、基板２２とノズル２３と駆動機構２４とを備えたもので構成することができ、また、規制部材３３を真空引用連結部材２０の基板２２に付設される蓋体３４で構成することができるので、各部材２０、３３の機能を安定して発揮できる。さらに、真空開放機構３５は、開放口１０に連結された状態で第２栓部材１３を構成する逆止弁１３ａのバネ部材１７の弾発力に抗して逆止弁１３ａを開状態とする押圧体３６にて構成することができるので、開放口１０の開放（吸着解除）を確実に行うことができ、ワークＷの吸着ステージ２からの取り外し作業の簡略化を図ることができる。
【００４６】
ところで、図４（ｂ）に示すように、吸着ステージ２に、このステージ２に吸着されたワークＷの吸着面側へのアクセスを許容する孔部４０を設けることも可能である。このように孔部４０を設けることによって、この孔部４０を介してワークに対して仕事を行うことができる。これによって、ワークＷに対して上面（表面）及び下面（裏面）から検査や加工等の作業を行うことができ、作業効率の向上を図ることができる。仕事として、例えば、ワークＷの厚さ寸法を測る場合、ワークＷを基準ブロックにて下面側から受け、リニア  ゲージを上面側から当て測ることになる。
【００４７】
以上、本発明の実施形態につき説明したが、本発明は前記実施形態に限定されることなく種々の変形が可能であって、例えば、搬送手段１としては、ベルト５を有するベルトコンベア式搬送機構に限るものではなく、揺動アームを備えたロボット機構を用いたもの等であってもよい。また、真空引用連結部材２０の駆動機構や真空開放機構の押圧体等として、シリンダ機構に限るものではなく、ボールねじ機構を用いたもの、リニアモータを用いたもの等であってもよい。
【００４８】
ステージ２の大きさ、形状、肉厚等は、吸着するワークＷの大きさ、形状、肉厚、材質等に応じて種々変更することができる。また、ステージ２の材質も金属であっても、樹脂であってもよい。吸着孔８の数、大きさ、形状、配置位置等としても、ワークＷや真空発生器の吸引力等に応じて種々変更できる。
【００４９】
また、吸着するワークＷとしては、平面状の吸着面２ａに吸着できるものであれば、種々のワークを選択することができる。
【００５０】
規制部材３３として、真空引用連結部材２０に対して独立したものであってもよく、ノズル２３や蓋体３４としても円錐体に限るものではない。さらに、真空開放機構３５として、前記実施形態ではシリンダ機構３７のピストンロッド３７ａを使用し、このピストンロッド３７ａの押圧によって開放口１０を開状態としたが、このようなピストンロッド３７ａを使用することなく、空気圧を付与するものであってもよい。また、第１栓部材１２及び第２栓部位材１３として逆止弁１２ａ、１３ａに限るものではない。すなわち、第１栓部材１２としては、ワーク吸着時にエアの吸引を許容するとともに、ワーク吸着後はエアの流入を規制できるものであればよく、第２栓部材１３としては、ワーク吸着後にエアの流入を規制するとともに、シリンダ機構３７からなる押圧体３６による規制解除が可能なものであればよい。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の実施形態を示す吸着搬送構造の簡略図である。
【図２】前記吸着搬送構造の要部簡略図である。
【図３】前記吸着搬送構造の要部を示し、（ａ）はエアを吸引している状態の拡大図であり、（ｂ）は吸着作業完了状態の拡大図である。
【図４】前記吸着搬送構造によるワーク搬送状態を示し、（ａ）は簡略平面図であり、（ｂ）は吸着搬送構造の他の実施形態の簡略平面図である。
【図５】前記吸着搬送構造の吸引口と開放口の断面図である。
【図６】従来の吸着搬送構造の要部断面図である。
【図７】従来の吸着搬送構造の要部平面図である。
【符号の説明】
【００５２】
１    搬送手段
２    吸着ステージ
２ａ  吸着面
３    駆動輪
４    従動輪
５    ベルト
８    ワーク吸着孔
９    開放口
１１  連通路
１２  第１栓部材
１２ａ  逆止弁
１３  第２栓部材
１３ａ  逆止弁
１４  バネ部材
１７  バネ部材
２０  基板
２０  真空引用連結部材
２１  真空発生器
２２  基板
２３  ノズル
２４  駆動機構
３３  規制部材
３４  蓋体
３５  真空開放機構
３６  押圧体
４０  孔部
５１  フレーム
Ｗ    ワーク
【図１】
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【図２】
2008087915.tif 000004
【図３】
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【図４】
2008087915.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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