【誤訳訂正書】
【提出日】平成25年7月22日(2013.7.22)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空チャンバと、
前記真空チャンバ内で基板を輸送するロボット装置と
を備え、前記ロボット装置が、
前記真空チャンバ内で回転する複数のアームと、
前記複数のアームの１つの回転軸となるシャフトと、
前記複数のアームの少なくとも１つに取り付けられた電気エンドエフェクタと、
前記シャフトの下端の下方にあり、前記シャフトとは別に同軸上にあり、電源に接続されている支持体と、を含み、
前記電源から前記支持体に電力を供給することで前記シャフトの下端と前記支持体の上端が電気的に結合され、前記真空チャンバ内で前記電気エンドエフェクタに電気エネルギーを提供するようになっているロボットシステム。
【請求項２】
前記支持体が上下方向に移動可能であり、前記電気的結合が、前記支持体に設けられた第１の組の接点を移動させて前記シャフトの下端に設けられた第２の組の接点と接触させるように動作する電磁石を使用することによる、請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記電気的結合が、前記支持体と前記シャフトの下端に設けられたコイルの誘導結合によるものである、請求項１に記載のシステム。
【請求項４】
前記電気エンドエフェクタに接続された電気回路が、前記複数のアームの回転継手を通過している、請求項１に記載のシステム。
【請求項５】
前記支持部材が、前記シャフトの軸について回転可能であり、ばね部材により前記シャフトの軸方向について下方向に固定されている、請求項２に記載のシステム。
【請求項６】
前記シャフトの下端が磁性体を備え、前記電源から前記支持体の電磁石に電力を供給することにより、前記支持部材が前記磁性体に引っ張られ、前記第１の組の接点と前記第２の組の接点が接触して電気的に結合され、前記支持体は前記ばね部材により前記シャフト下端から離れる方向に力が加えられるようになっている、請求項５に記載のシステム。
【請求項７】
前記電気的結合が、前記電気エンドエフェクタにエネルギーを提供する容量性構成要素に電気的に結合されている、請求項１に記載のシステム。
【請求項８】
電子デバイス加工システム内で基板を移動させる基板輸送ロボット装置であって、
少なくとも１つの回転するアーム、前記少なくとも１つの回転するアームの回転軸となるシャフト、および前記少なくとも１つの回転するアームに取り付けられた電気エンドエフェクタを含むロボットと、
前記シャフトの下端の下方にあり、前記シャフトとは別に同軸上にあり、電源に接続されている支持体とを備え、
前記電源から前記支持体に電力を供給することで前記シャフトの下端と前記支持体の上端が電気的に結合され、前記真空チャンバ内で前記電気エンドエフェクタに電気エネルギーを提供するようになっている装置。
【請求項９】
前記電気的結合が、前記支持体と前記シャフトの下端に設けられたコイルの誘導結合によるものである、請求項８に記載の装置。
【請求項１０】
電子デバイス加工クラスタツール内で基板を移動させる方法であって、
少なくとも１つの回転する可動アーム、前記少なくとも１つの可動アームの回転軸となるシャフト、および前記少なくとも１つの可動アームに取り付けられた電気エンドエフェクタを含むロボットを真空チャンバ内に提供するステップと、
前記シャフトの下端の下方にあり、前記シャフトとは別に同軸上にあり、電源に接続されている支持体を提供するステップと、
前記電源から前記支持体に電力を供給することで前記シャフトの下端と前記支持体の上端が電気的に結合され、前記電気エンドエフェクタに結合された電気リードに電気エネルギーを供給するステップと
を含む方法。
【請求項１１】
電子デバイス加工システム内で基板を移動させる基板輸送ロボット装置であって、
回転するアーム、前記回転するアームの１つの回転軸となるシャフト、および前記アームの別の１つに取り付けられた電気エンドエフェクタを含むロボットと、
前記シャフトの下端の下方にあり、前記シャフトとは別に同軸上にあり、電源に接続されている支持体と、
前記電気エンドエフェクタに結合されて、前記可動アームの回転継手を通過する電気リードとを備え、
前記電源から前記支持体に電力を供給することで前記シャフトの下端と前記支持体の上端が電気的に結合され、前記電気エンドエフェクタに結合された電気リードに電気エネルギーを供給する装置。
【請求項１２】
前記電気リードが、締付け部材によってチャネル内で締め付けられている、請求項１１に記載の基板輸送ロボット装置。
【請求項１３】
前記電気リードが、前記電気エンドエフェクタと、前記電気的結合との間を接続している、請求項１１に記載の基板輸送ロボット装置。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００４】
従来の電子デバイス製造システムは、複数の加工チャンバおよびロードロックチャンバを含むことができる。そのようなチャンバは、たとえばクラスタツール内に含むことができる。これらのシステムおよびツールは、ロボットを用いて、様々な加工チャンバおよびロードロック間で（たとえば、加工チャンバから加工チャンバへ、ロードロックチャンバから加工チャンバへ、また加工チャンバからロードロックチャンバへ）、基板（シリコンウェーハ、ガラス板など）を移動させることができる。様々なシステムチャンバ構成要素間で基板を効率的かつ正確に輸送することは、システムの処理量にとって重要であり、それによって全体的な動作コストを下げることができる。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００９】
別の態様では、電子デバイス加工クラスタツール内で基板を移動させる方法が提供される。この方法は、電気エンドエフェクタを含むロボットを真空チャンバ内に提供するステップと、係合する接点に電気エネルギーを通すことによって、電気エンドエフェクタに結合された電気リードに電気エネルギーを供給するステップとを含む。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１２】
電子デバイス製造設備およびツール内で基板を輸送する精度および／または速度を改善するために、基板を保持して基板が滑るのを抑止できる電気エンドエフェクタを利用することができる。たとえば、電気エンドエフェクタは、適当に電力供給されると静電荷生成能力を提供する電極（たとえば、極板）への電力を含むことができる。静電荷は、エンドエフェクタに提供されると、静電引力によって基板をエンドエフェクタに引き付けることができる。基板にかかる静電力は、エンドエフェクタ上で基板が滑らないように、エンドエフェクタおよび取り付けられた基板を比較的速い速度で横方向（Ｘ−Ｙ平面、図１参照）に移動できるのに十分な大きさのものとすることができる。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１３】
具体的には、そのような静電エンドエフェクタは、電源への電気回路接続と、電力を提供してエンドエフェクタ内に静電引力をもたらし、相対的な静電荷の量を制御する制御システムとを含むことができる。しかし、そのようなロボットが動作する多くの領域は、真空（たとえば、加工クラスタツールの真空搬送チャンバ）内に提供することができるため、電気エンドエフェクタに接続し、真空チャンバ壁の橋絡を可能にすることができる電気的接続が望ましいであろう。さらに、サービス間隔を最大にできるような、ロボットアームの著しい反復運動に耐えうる電気的接続も望ましいであろう。さらに、ロボットが同じ回転方向に３６０度より大きく回転することが望ましいであろう。その場合、電気エンドエフェクタと電源の間のあらゆる固定の接続ワイアまたは他の導体はねじれて、場合によっては破断するはずである。本発明は、この問題に対する解決策を提供する。