【手続補正書】
【提出日】平成21年1月16日(2009.1.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも下記式〔１〕で表される繰返し単位構造を有するポリマーであり、かつ、１５７ｎｍの紫外線に対する吸収係数が３.０μｍ-1以下であることを特徴とするフッ素含
有環状オレフィンポリマー；
【化１】
2008239995.tif 000001
（式（１）中、Ｒ1〜Ｒ12およびＸ1のうち少なくとも１つは、下記フッ素またはフッ素を含有する基であって、かつ
Ｒ1〜Ｒ12は、フッ素またはフッ素を含有する炭素数１〜２０のアルキル、フッ素を含
有する炭素数１〜２０のアリール、フッ素を含有する炭素数１〜２０のケイ素含有アルキル、フッ素を含有する炭素数１〜２０のアルコキシ、フッ素を含有する炭素数２〜２０のエーテル基含有アルキル、フッ素を含有する炭素数２〜２０のアルコキシカルボニル、フッ素を含有する炭素数２〜２０のアルキルカルボニル、フッ素を含有する炭素数３〜２０のエステル基含有アルキル、フッ素を含有する炭素数２〜２０のカルボキシ基含有アルキル、フッ素を含有する炭素数２〜２０のシアノ基含有アルキル、フッ素を含有する炭素数１〜２０の塩素含有アルキル、フッ素を含有する炭素数１〜２０の臭素含有アルキルおよびフッ素を含有する炭素数１〜２０のヨウ素含有アルキルから選ばれるフッ素を含有する基であり、
Ｘ1は、−ＣＲaＲb−、−ＮＲa−および−ＰＲa−（但し、−ＣＲaＲb−はＲaおよびＲbのうち少なくとも１つ、−ＮＲa−および−ＰＲa−はＲaが、フッ素、フッ素を含有する炭素数１〜２０のアルキル、フッ素を含有する炭素数１〜２０のケイ素含有アルキル、フッ素を含有する炭素数１〜２０のアルコキシ、フッ素を含有する炭素数２〜２０のエーテル基含有アルキル、フッ素を含有する炭素数２〜２０のアルコキシカルボニル、フッ素を含有する炭素数２〜２０のアルキルカルボニル、フッ素を含有する炭素数３〜２０のエステル基含有アルキル、フッ素を含有する炭素数２〜２０のカルボキシ基含有アルキル、フッ素を含有する炭素数２〜２０のシアノ基含有アルキル、フッ素を含有する炭素数１〜２０の塩素含有アルキル、フッ素を含有する炭素数１〜２０の臭素含有アルキルおよびフッ素を含有する炭素数１〜２０のヨウ素含有アルキルから選ばれる。）から選ばれるフッ素を含有する基であり、
フッ素またはフッ素を含有する基であるＲ1〜Ｒ12以外のＲ1〜Ｒ12が、水素または炭素数１〜２０のアルキル、炭素数１〜２０のケイ素含有アルキル、炭素数１〜２０のアルコキシ、炭素数２〜２０のアルコキシカルボニル、カルボニル、炭素数２〜２０のアルキルカルボニル、シアノ、炭素数２〜２０のシアノ基含有アルキル、炭素数３〜２０のエステル基含有アルキル、炭素数２〜２０のエーテル基含有アルキル、ヒドロキシカルボニル、炭素数２〜２０のカルボキシ基含有アルキル、ヒドロキシ、炭素数１〜２０のヒドロキシ基含有アルキル、塩素、臭素、ヨウ素、炭素数１〜２０の塩素含有アルキル、炭素数１〜２０の臭素含有アルキルおよび炭素数１〜２０のヨウ素含有アルキルから選ばれる基であり、
Ｘ1がフッ素を含有する基であるとき以外のＲaおよびＲbが、水素、または炭素数１〜
２０のアルキル、炭素数１〜２０のケイ素含有アルキル、炭素数１〜２０のアルコキシ、炭素数２〜２０のアルコキシカルボニル、カルボニル、炭素数２〜２０のアルキルカルボニル、シアノ、炭素数２〜２０のシアノ基含有アルキル、炭素数３〜２０のエステル基含有アルキル、炭素数２〜２０のエーテル基含有アルキル、ヒドロキシカルボニル、炭素数２〜２０のカルボキシ基含有アルキル、ヒドロキシ、炭素数１〜２０のヒドロキシ基含有アルキル、塩素、臭素、ヨウ素、炭素数１〜２０の塩素含有アルキル、炭素数１〜２０の臭素含有アルキルおよび炭素数１〜２０のヨウ素含有アルキルから選ばれる基であり、
また、Ｘ1は、−Ｏ−または−Ｓ−から選ばれてもよく、
Ｒ1、Ｒ2、Ｒ11およびＲ12のうち少なくとも２つが、互いに結合して環構造を形成していてもよく、
ｎは、０または１〜３の整数を示す。）。
【請求項２】
下記式（２）または下記式（３）で表されることを特徴とする請求項１に記載のフッ素含有環状オレフィンポリマーの環状オレフィン系単量体；
【化２】
2008239995.tif 000002
【化３】
2008239995.tif 000003
（式（２）において、Ｒ1〜Ｒ12およびＸ1のうち少なくとも１つ、式（３）において、Ｒ1〜Ｒ10およびＸ1のうち少なくとも１つは、フッ素またはフッ素を含有する基であって、かつ
式（２）中のＲ1〜Ｒ12および式（３）中のＲ1〜Ｒ10は、フッ素またはフッ素を含有する炭素数１〜２０のアルキル、フッ素を含有する炭素数１〜２０のアリール、フッ素を含有する炭素数１〜２０のケイ素含有アルキル、フッ素を含有する炭素数１〜２０のアルコキシ、フッ素を含有する炭素数２〜２０のエーテル基含有アルキル、フッ素を含有する炭素数２〜２０のアルコキシカルボニル、フッ素を含有する炭素数２〜２０のアルキルカルボニル、フッ素を含有する炭素数３〜２０のエステル基含有アルキル、フッ素を含有する炭素数２〜２０のカルボキシ基含有アルキル、フッ素を含有する炭素数２〜２０のシアノ基含有アルキル、フッ素を含有する炭素数１〜２０の塩素含有アルキル、フッ素を含有する炭素数２〜２０の臭素含有アルキルおよびフッ素を含有する炭素数１〜２０のヨウ素含有アルキルから選ばれるフッ素を含有する基であり、
式（２）および式（３）中Ｘ1は、−ＣＲaＲb−、−ＮＲa−および−ＰＲa−（但し、
−ＣＲaＲb−はＲaおよびＲbのうち少なくとも１つ、−ＮＲa−および−ＰＲa−はＲaが
、フッ素またはフッ素を含有する炭素数１〜２０のアルキル、フッ素を含有する炭素数１〜２０のケイ素含有アルキル、フッ素を含有する炭素数１〜２０のアルコキシ、フッ素を含有する炭素数２〜２０のエーテル基含有アルキル、フッ素を含有する炭素数２〜２０のアルコキシカルボニル、フッ素を含有する炭素数２〜２０のアルキルカルボニル、フッ素を含有する炭素数３〜２０のエステル基含有アルキル、フッ素を含有する炭素数２〜２０のカルボキシ基含有アルキル、フッ素を含有する炭素数２〜２０のシアノ基含有アルキル、フッ素を含有する炭素数１〜２０の塩素含有アルキル、フッ素を含有する炭素数１〜２０の臭素含有アルキルおよびフッ素を含有する炭素数１〜２０のヨウ素含有アルキルから選ばれる。）から選ばれるフッ素を含有する基であり、
式（２）においてフッ素またはフッ素を含有する基であるＲ1〜Ｒ12以外のＲ1〜Ｒ12および式（３）においてフッ素またはフッ素を含有する基であるＲ1〜Ｒ10以外のＲ1〜Ｒ10は、水素または炭素数１〜２０のアルキル、炭素数１〜２０のケイ素含有アルキル、炭素数１〜２０のアルコキシ、炭素数２〜２０のアルコキシカルボニル、カルボニル、炭素数２〜２０のアルキルカルボニル、シアノ、炭素数２〜２０のシアノ基含有アルキル、炭素数３〜２０のエステル基含有アルキル、炭素数２〜２０のエーテル基含有アルキル、ヒドロキシカルボニル、炭素数２〜２０のカルボキシ基含有アルキル、ヒドロキシ、炭素数１〜２０のヒドロキシ基含有アルキル、塩素、臭素、ヨウ素、炭素数１〜２０の塩素含有アルキル、炭素数１〜２０の臭素含有アルキルおよび炭素数１〜２０のヨウ素含有アルキルから選ばれる基であり、
式（２）および（３）においてＸ1がフッ素を含有する基であるとき以外のＲaおよびＲbは、水素、または炭素数１〜２０のアルキル、炭素数１〜２０のケイ素含有アルキル、
炭素数１〜２０のアルコキシ、炭素数２〜２０のアルコキシカルボニル、カルボニル、炭
素数２〜２０のアルキルカルボニル、シアノ、炭素数２〜２０のシアノ基含有アルキル、炭素数３〜２０のエステル基含有アルキル、炭素数２〜２０のエーテル基含有アルキル、ヒドロキシカルボニル、炭素数２〜２０のカルボキシ基含有アルキル、ヒドロキシ、炭素数１〜２０のヒドロキシ基含有アルキル、塩素、臭素、ヨウ素、炭素数１〜２０の塩素含有アルキル、炭素数１〜２０の臭素含有アルキルおよび炭素数１〜２０のヨウ素含有アルキルから選ばれる基であり、また、Ｘ1は、−Ｏ−または−Ｓ−から選ばれてもよく、
式（２）中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ11およびＲ12が互いに結合して環構造を形成していてもよく、式（３）中、Ｒ1およびＲ2が互いに結合して環構造を形成していてもよく、
ｎは、０または１〜３の整数を示す。）。
【請求項３】
上記式（２）または式（３）で表される少なくとも１種類の環状オレフィン系単量体を開環メタセシス重合し、得られた開環メタセシス重合体を、水素添加、フッ化水素添加およびフッ素添加の少なくともいずれか１つをすることを特徴とする請求項１に記載のフッ素含有環状オレフィンポリマーの製造方法。
【請求項４】
少なくとも上記式（１）で表される繰返し単位構造を有するポリマーが、単位構造の両末端にメチルを結合させた分子モデルと、そのフッ素を水素で置換した同じ炭素骨格の分子モデルとの間のＨＯＭＯ分子軌道エネルギー差が０.２ｅＶ〜１.５ｅＶの繰返し単位構造であることを特徴とする請求項１に記載のフッ素含有環状オレフィンポリマー。
【請求項５】
上記式（２）中のＲ1〜Ｒ12に含まれる全フッ素原子数の総和および式（３）中のＲ1〜Ｒ10に含まれる全フッ素原子数の総和が、３以上であることを特徴とする請求項２に記載のフッ素含有環状オレフィンポリマーの環状オレフィン系単量体。
【請求項６】
上記式（２）または式（３）で表され、Ｒ1〜Ｒ12、Ｒ1〜Ｒ10、Ｘ1およびｎの少なく
とも１つが互いに異なる２種類以上の環状オレフィン系単量体を原料モノマーとして得られたものであることを特徴とする請求項１に記載のフッ素含有環状オレフィンポリマー。
【請求項７】
上記式（２）または式（３）において、Ｘ1が、−ＣＲaＲb−である少なくとも１種類
の環状オレフィン系単量体と、Ｘ1が、−Ｏ−である少なくとも１種類の環状オレフィン
とを原料モノマーとして得られたものであることを特徴とする請求項１に記載のフッ素含有環状オレフィンポリマー。
【請求項８】
上記式（２）または式（３）で表される環状オレフィン系単量体と、フッ素含有モノシクロオレフィンとを原料モノマーとして得られたものであることを特徴とする請求項１に記載のフッ素含有環状オレフィンポリマー。
【請求項９】
ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）で測定したポリスチレン換算の重量平均分子量（Ｍｗ）が、５００〜１,０００,０００の範囲にあることを特徴とする請求項１に記載のフッ素含有環状オレフィンポリマー。
【請求項１０】
請求項１に記載のフッ素含有環状オレフィンポリマーからなる薄膜、被覆材およびこれを用いたペリクルおよびフォトレジスト組成物の少なくともいずれか１つを利用することを特徴とするリソグラフィによるパターン形成方法。