(57)【要約】【課題】案内溝ピッチを微細化して記録面密度を大きくした場合においても、ＳＮ比の高いガイド情報の信号を得る事ができる多層光情報記録媒体及びその製造方法の提供。【解決手段】少なくとも記録層を含む記録情報層と中間層が交互に複数層形成された積層構造を一単位とし、該一単位の積層構造が、ガイド層を介して複数積層された構造を有する多層光情報記録媒体において、記録層の記録光入射側表面が平坦であり、且つ、ガイド層が少なくとも、積層方向の断面において半径方向で深さが交互に変わる不連続な屈折率ｎ１の層と、該屈折率ｎ１の層の上下両面を覆う屈折率ｎ２の層からなり、屈折率ｎ１の層が、屈折率ｎ２の層に形成された凹凸形状の凸部上面及び凹部底面に相当する部分に在る多層光情報記録媒体。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも記録層を含む記録情報層と中間層が交互に複数層形成された積層構造を一単位とし、該一単位の積層構造が、ガイド層を介して複数積層された構造を有する多層光情報記録媒体において、記録層の記録光入射側表面が平坦であり、且つ、ガイド層が少なくとも、積層方向の断面において半径方向で深さが交互に変わる不連続な屈折率ｎ１の層と、該屈折率ｎ１の層の上下両面を覆う屈折率ｎ２の層からなり、屈折率ｎ１の層が、屈折率ｎ２の層に形成された凹凸形状の凸部上面及び凹部底面に相当する部分に在る事を特徴とする多層光情報記録媒体。
【請求項２】
記録再生光の波長をλとして、屈折率ｎ１の層の膜厚が、λ／４ｎ１の奇数倍である事を特徴とする請求項１記載の多層光情報記録媒体。
【請求項３】
剥離処理を施したベースフィルム上に形成された柔軟性部材層（屈折率ｎ２の層）上に無機材料の混合物薄膜（屈折率ｎ１の層）を形成する工程、該柔軟性部材層にスタンパの凹凸形状を転写する工程を含む事を特徴とする請求項１又は２記載の多層光情報記録媒体におけるガイド層製造方法。
【請求項４】
柔軟性部材層がフォトポリマー層であり、無機材料の混合物薄膜とスタンパの凹凸形状面が接する状態で加圧して無機材料の混合物薄膜を段切れさせた後、加圧状況下でフォトポリマーを硬化させる事を特徴とする請求項３記載のガイド層製造方法。
【請求項５】
スタンパが紫外線を透過する材質である事を特徴する請求項３又は４記載のガイド層製造方法。
【請求項６】
各工程を減圧室において減圧雰囲気下で行う事を特徴とする請求項３〜５の何れかに記載のガイド層製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多層光情報記録媒体とその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
屈折率差が有る材料を単純に積層して案内溝信号を得る場合、例えば図１の様に屈折率ｎ１＝１．６の材料に屈折率ｎ２＝１．５の材料を単純に積層した場合の、案内溝ピッチ０．６６μｍ、再生波長６６０ｎｍにおける反射光強度及び透過光強度と溝深さの関係を図２、図３にそれぞれ示す。なお、これらの図において、「１次」と「−１次」のグラフは、ほぼ重複している。
図から分るように、ノイズ源となる透過光の±１次回折光の回折効率を充分低く抑えるためには、溝深さを０．１μｍ以下とする必要が有るが、その様な溝深さ領域においては反射光の±１次回折光の回折効率を高くする事が出来ず、トラッキングサーボ信号が微弱な記録媒体となってしまう。また、この時の、０次光の反射率は０．１％（０．００１）未満であり、フォーカスサーボ信号も微弱である。
【０００３】
特許文献１には、屈折率ｎ２の材料層の溝形状に沿う様に屈折率ｎ１の材料層を積層した記録媒体（図４−１参照）が開示されている。このサーボ層構成は上記のような問題の解決には役立たないが、参考のために説明する。図４−１に示す構成のサーボ層において屈折率ｎ１＝１．６の材料層の膜厚をλ／４ｎ１とした時の反射光強度及び透過光強度と溝深さの関係を図５、図６にそれぞれ示す。なお、これらの図において、「１次」と「−１次」のグラフは、ほぼ重複している。
図から分るように、溝深さ０．１μｍ以下の領域においても、透過光の±１次回折光の回折効率を低く抑えた媒体設計が可能となる。しかし上記の様な構成では、案内溝幅が狭くなった場合に屈折率ｎ１の材料層の溝側面部の占める割合が増加するし、図４−２に最も極端な例として示した場合には屈折率ｎ１の材料層が溝を埋めてしまうため、単純な積層構成よりも更に反射光の±１次回折光の回折効率が低くなるという問題が起こる事から、案内溝ピッチを微細化して記録面密度を上げることが出来ない。
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−１１７５８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、少なくとも記録層を含む記録情報層と中間層が交互に複数層形成された積層構造を一単位とし、該一単位の積層構造が、ガイド層を介して複数積層された構造を有する多層光情報記録媒体において、案内溝ピッチを微細化して記録面密度を大きくした場合においても、ＳＮ比の高いガイド情報の信号を得る事ができる多層光情報記録媒体及びその製造方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題は次の１）〜６）の発明（以下、本発明１〜６という）によって解決される。
１）  少なくとも記録層を含む記録情報層と中間層が交互に複数層形成された積層構造を一単位とし、該一単位の積層構造が、ガイド層を介して複数積層された構造を有する多層光情報記録媒体において、記録層の記録光入射側表面が平坦であり、且つ、ガイド層が少なくとも、積層方向の断面において半径方向で深さが交互に変わる不連続な屈折率ｎ１の層と、該屈折率ｎ１の層の上下両面を覆う屈折率ｎ２の層からなり、屈折率ｎ１の層が、屈折率ｎ２の層に形成された凹凸形状の凸部上面及び凹部底面に相当する部分に在る事を特徴とする多層光情報記録媒体。
２）  記録再生光の波長をλとして、屈折率ｎ１の層の膜厚が、λ／４ｎ１の奇数倍である事を特徴とする１）記載の多層光情報記録媒体。
３）  剥離処理を施したベースフィルム上に形成された柔軟性部材層（屈折率ｎ２の層）上に無機材料の混合物薄膜（屈折率ｎ１の層）を形成する工程、該柔軟性部材層にスタンパの凹凸形状を転写する工程を含む事を特徴とする１）又は２）記載の多層光情報記録媒体におけるガイド層製造方法。
４）  柔軟性部材層がフォトポリマー層であり、無機材料の混合物薄膜とスタンパの凹凸形状面が接する状態で加圧して無機材料の混合物薄膜を段切れさせた後、加圧状況下でフォトポリマーを硬化させる事を特徴とする３）記載のガイド層製造方法。
５）  スタンパが紫外線を透過する材質である事を特徴する３）又は４）記載のガイド層製造方法。
６）  各工程を減圧室において減圧雰囲気下で行う事を特徴とする３）〜５）の何れかに記載のガイド層製造方法。
【０００７】
以下、上記本発明について詳しく説明する。
本発明の多層光情報記録媒体は、少なくとも記録層を含む記録情報層と中間層が交互に複数層形成された積層構造を一単位とし、該一単位の積層構造が、ガイド層を介して複数積層された構造を有する。
記録情報層には、記録層の他に、必要に応じて保護層などを積層しても良い。
記録層には、ローダミン等の色素や、ジアリルエテン等のフォトクロミック材料などの公知の材料を用いることが出来る。
記録層の膜厚は、通常、０．１μｍ〜１．５μｍ程度とする。
保護層には、耐溶剤性を有するＳｉ酸化物やＳｉ窒化物などの公知の材料を用いることが出来る。
保護層の膜厚は、通常、５〜２００ｎｍ程度とする。
中間層には、透明性を有するアクリル系樹脂などの公知の材料を用いることが出来る。
中間層の膜厚は、通常、１．５〜７．０μｍ程度とする。
基板材料としては、樹脂、ガラスなどの公知の材料を用いることが出来るが、汎用されているポリカーボネート（ＰＣ）が好ましい。
【０００８】
ガイド層は、図７に示す様に、積層方向の断面において半径方向で深さが交互に変わる不連続な屈折率ｎ１の層と、該屈折率ｎ１の層の上下両面を覆う様に屈折率ｎ２の層を有し、屈折率ｎ１の層が、屈折率ｎ２の層に形成された凹凸形状（案内溝やピット形状）の凸部上面及び凹部底面に相当する部分に在る事を特徴とする。
この構成により、溝幅を小さくした場合でもノイズ源である透過光の±１次回折光の回折効率を低く抑えると共に、反射光の±１次回折光の回折効率を高くする事ができ、記録面密度を大きくする事が可能となる。
屈折率ｎ１、ｎ２に特に制限はないが、当該技術分野で用いられる材料は概ね１．１〜２．５の範囲にある。ｎ１とｎ２の差（Δｎ）は、０．０１〜０．７の範囲とすることが好ましい。Δｎが０．０１未満では、ｎ１とｎ２に差を付けた効果が明瞭に現れないため好ましくない。また、Δｎが０．７を超えると、多層構造にした場合に反射率が高くなり、奥側の層に到達する光が少なくなってしまうため好ましくない。
【０００９】
また、記録再生光の波長をλとして、屈折率ｎ１の層の膜厚が、λ／４ｎ１の奇数倍となるようにすることが好ましい。
例えば前述した図５と同じパラメータの場合、即ち、屈折率ｎ１＝１．６、屈折率ｎ２＝１．５、屈折率ｎ１の層の膜厚をλ／４ｎ１とした時の反射光強度及び透過光強度と溝深さの関係をそれぞれ図８、図９に示すが、図２、図５に示した従来例の場合と比べて、明らかに反射光の±１次回折光の回折効率が高くなっている。なお、図８、図９において、「１次」と「−１次」のグラフは、ほぼ重複している。
【００１０】
ガイド層は、例えば、剥離処理を施したベースフィルム上に形成された柔軟性部材層（屈折率ｎ２の層）の上に無機材料の混合物薄膜（屈折率ｎ１の層）を形成する工程、該柔軟性部材層にスタンパの凹凸形状を転写する工程を含む製法により作成することができる。これにより、スタンパの凹凸形状に沿う形の薄膜を容易に形成する事が出来る。
その後、無機材料の混合物薄膜の上に屈折率ｎ２の層を形成すれば、本発明のガイド層が得られる。
ベースフィルムとしては、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルムなどの公知の材料を用いれば良い。
剥離処理は、Ｓｉ系剥離剤を０．１μｍ未満の厚さに塗布する方法などにより行う。
柔軟性部材層の材料としては、硬化可能な公知の材料の中から適宜選択して用いる事が出来るが、光学用途のアクリル系樹脂などからなるフォトポリマーが好ましい。
無機材料の混合物薄膜に用いる材料としては、Ｉｎ２Ｏ３、Ｚｎ２Ｏ３、ＴｉＯ２、ＳｉＯ２などの酸化物、ＳｉＮ、ＴｉＮ、ＺｒＮなどの窒化物、ＺｎＳ、ＧｅＳなどの硫化物などが挙げられる。
ガイド層の膜厚は、通常、５〜７０μｍ程度とする。
【００１１】
スタンパの凹凸形状は、螺旋状や同心円状の溝の他、ピット列等が有り、アドレス情報とするために溝を蛇行させたり、また、断続的な溝にしても良い。
また、柔軟性部材層と無機材料の混合物薄膜の積層構成に、加圧しながらスタンパの凹凸形状の溝段差を押し当てるようにすれば、無機材料の混合物薄膜が段切れを起こして、凸部上面部と凹部底面部に半径方向で深さが交互に変わる不連続な層が形成される。この段切れを起こしている加圧状況下で柔軟性部材層を硬化させることが好ましい。フォトポリマーに対しては紫外線硬化法を用いるとよい。これにより、スタンパ表面の微細凹凸形状転写を短時間で行う事が可能となる。また、デバイス機能と無関係なスタンパの凹凸形状の側壁部に無機材料の混合物薄膜が存在しない構造を容易に作成する事ができる。
更に、上記工程を減圧室において減圧雰囲気下で行うようにすれば、転写プロセス中に無機材料の混合物薄膜とスタンパとの間に気泡が入る事が無いため、微細凹凸形状の転写性に優れる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、少なくとも記録層を含む記録情報層と中間層が交互に複数層形成された積層構造を一単位とし、該一単位の積層構造が、ガイド層を介して複数積層された構造を有する多層光情報記録媒体において、案内溝ピッチを微細化して記録面密度を大きくした場合においても、ＳＮ比の高いガイド情報の信号を得る事ができる多層光情報記録媒体及びその製造方法を提供できる。
【実施例】
【００１３】
以下、実施例及び比較例を示して本発明を更に具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例により限定されるものではない。
【００１４】
実施例１
剥離処理されたＰＥＴフィルム（帝人デュポンフィルム社製、テイジンテトロンフィルム）上に形成された柔軟性を有する厚さ２５μｍの第１のフォトポリマー層上に、公知のスパッタリング法によりＩｎ２Ｏ３とＺｎ２Ｏ３の混合物薄膜（モル比１：１）を厚さ３０ｎｍ形成した（図１０）。剥離処理としては、Ｓｉ系剥離剤（信越シリコーン社製、ＫＳ−７７４）を０．０３μｍの厚さに塗布した。第１のフォトポリマー層には、アクリル系樹脂（三菱レーヨン社製、アクリペット）を用いた。スパッタリング条件などは次の通りである。
・薄膜形成条件：ターゲット組成：Ｉｎ２Ｏ３／Ｚｎ２Ｏ３＝１／１
印加電圧：２ｋＷ／８インチφ
スパッタリングガス種（圧力）：Ａｒ（２Ｐａ）
・Ｉｎ２Ｏ３とＺｎ２Ｏ３の混合物薄膜の屈折率：１．９
・第１のフォトポリマー層の屈折率：１．５
次に、図１５に概略を示した装置を用いて、Ｉｎ２Ｏ３とＺｎ２Ｏ３の混合物薄膜面を、ポリオレフィン（日本ゼオン社製、ゼオネックス）からなる光透過性スタンパの凹凸面と対面させる様にして、１０Ｐａの真空中で加圧しながら紫外線を照射することにより、第１のフォトポリマー層にスタンパの螺旋状の凹凸形状を転写した。転写条件は次の通りである。
・真空度  ：１Ｐａ
・加圧圧力：１０ＭＰａ／８インチφ
・加圧時間：３０秒
柔軟性を有する第１のフォトポリマー層とＩｎ２Ｏ３とＺｎ２Ｏ３の混合物薄膜の積層構成に、加圧しながらスタンパの凹凸形状の溝段差を押し当てることにより、Ｉｎ２Ｏ３とＺｎ２Ｏ３の混合物薄膜層が段切れを起こして、凹凸形状の凸部上面と凹部底面に不連続に残存する様な構成となるが（図７）、この段切れを起こしている状況下で紫外線硬化を行った。
次に、加圧を解除してプロセス室を大気圧とした後、スタンパを剥離した（１１）。
・案内溝幅：０．１６μｍ
・案内溝ピッチ：０．３２μｍ
・溝深さ：３０ｎｍ、３５ｎｍ、４０ｎｍ、４５ｎｍ、５０ｎｍ、６０ｎｍ
次に、屈折率ｎ１（１．５）、厚さ１０μｍの第２のフォトポリマー層用シート（三菱レーヨン社製、アクリペット）を用いて屈折率１．５のＰＣ基板（帝人社製、帝人パンライト）に貼り合わせた後、ＰＥＴフィルムを剥離した（図１２）。
【００１５】
比較例１
実施例１で用いたスタンパと同形状の案内溝を有する屈折率１．５のＰＣ基板（帝人社製、帝人パンライト）の溝面に、公知のスパッタリング法によりＩｎ２Ｏ３とＺｎ２Ｏ３の混合物薄膜（モル比１：１）を厚さ３０ｎｍ形成した（図１３）。スパッタリング条件は実施例１と同じである。
次に、実施例１の第１のフォトポリマー層と同じ材料からなる厚さ２５μｍのシートをカバー層として貼り合わせた（図１４）。
【００１６】
実施例１及び比較例１の再生光波長４０５ｎｍにおける反射光強度及び透過光強度と溝深さの関係を図１６、図１７に示す。それぞれの図の（ａ）は反射光強度、（ｂ）は透過光強度を示す。なお、これらの図において、「１次」と「−１次」のグラフは、ほぼ重複している。
通常、フォーカス信号を得るためには反射光の０次光強度が強い事が望ましく、一方、トラッキング信号を得るためには反射光の±１次光強度が強い事が望ましいため、反射光の０次光強度と±１次光強度の比率が１：１となる溝深さに設計する事が最も望ましい。
そこで、反射光の０次光及び±１次回折光共に反射率１％以上で、且つ、０次光と±１次回折光の比率が１：１となる溝深さを調べたところ、実施例１では、図１６（ａ）から溝深さ４２ｎｍ、比較例１では、図１７（ａ）から溝深さ４８ｎｍに設計するとよいことが解った。
上記各溝深さにおいて、ノイズ源となる透過光の±１次回折光の回折効率は、実施例１では図１６（ｂ）から０．００１１であり、比較例１では図１７（ｂ）から０．００１５であって、実施例１の方が、比較例１に比べて、ノイズ源となる透過光の±１次回折光の回折効率を３６％程度小さく抑える事が出来る。
【００１７】
実施例２
実施例１で作成したガイド層上に、ローダミン：ＰＭＭＡ（ポリメチルメタクリレート）＝１：１となる様に調整した記録材料をスピンコート法により厚さ０．１μｍ製膜し、記録層を形成した。溶剤にフッ素アルコールを用い、２０００回転／分で塗布した後、７０℃で３０分乾燥することにより溶剤を完全に蒸発させた。
次に、乾燥後の記録層上に、中間層材料としてＰＶＡ（ポリビニルアルコール）をスピンコート法により厚さ３．０μｍ製膜し、中間層を形成した。ＰＶＡは８０℃の水に溶解させて１５％水溶液とし、１０００回転／分で塗布した後、７０℃で３０分乾燥する事により溶媒を完全に蒸発させた。
次に、中間層上に、前記と同様の方法で、記録材料を厚さ０．１μｍ、中間層を厚さ３．０μｍ、順に製膜して、一単位の積層構造を形成した（図１８）。
次に、前記一単位の積層構造の上に、更に実施例１のガイド層を実施例１と同様の方法で貼り合せた（図１９）。
次に、ガイド層の上に、前記と同様にして、２層の記録層と２層の中間層からなる一単位の積層構造を形成し、多層光情報記録媒体を作製した（図２０）。
ガイド層には螺旋状の案内溝を形成し、溝幅：０．１６μｍ、溝ピッチ：０．３２μｍとし、溝深さは、反射の０次光と±１次光の比が１：１となる４１ｎｍとした。
【００１８】
比較例２
比較例１で作成したガイド層上に、ローダミン：ＰＭＭＡ（ポリメチルメタクリレート）＝１：１となる様に調整した記録材料をスピンコート法により厚さ０．１μｍ製膜し、記録層を形成した。溶剤にフッ素アルコールを用い、２０００回転／分で塗布した後、７０℃で３０分乾燥することにより溶剤を完全に蒸発させた。
次に、乾燥後の記録層上に、中間層材料としてＰＶＡ（ポリビニルアルコール）をスピンコート法により厚さ３．０μｍ製膜し、中間層を形成した。ＰＶＡは８０℃の水に溶解させて１５％水溶液とし、１０００回転／分で塗布した後、７０℃で３０分乾燥する事により溶媒を完全に蒸発させた。
次に、中間層上に、前記と同様の方法で、記録材料を厚さ０．１μｍ、中間層を厚さ３．０μｍ、順に製膜して、一単位の積層構造を形成した（図２１）。
次に、前記一単位の積層構造の上に、スピンコート法により紫外線硬化樹脂を厚さ１０μｍ形成した後、ポリオレフィン（日本ゼオン社製、ゼオネックス）からなる光透過性スタンパの凹凸面と対面させる様にして、１０Ｐａの真空中で加圧しながら紫外線を照射して、紫外線硬化樹脂層にスタンパの螺旋状の凹凸形状を転写した。
次に、上記凹凸上に、比較例１と同様の方法でＩｎ２Ｏ３とＺｎ２Ｏ３の混合物薄膜（モル比１：１）を厚さ３０ｎｍ形成した後、第１のフォトポリマー層と同じ材料からなる厚さ２５μｍのシートをカバー層として貼り合わせた（図２２）。
次に、カバー層上に、前記と同様にして、２層の記録層と２層の中間層からなる一単位の積層構造を形成し、多層光情報記録媒体を作製した（図２３）。
ガイド層には螺旋状の案内溝を形成し、溝幅：０．１６μｍ、溝ピッチ：０．３２μｍとし、溝深さは、反射の０次光と±１次光の比が１：１となる４８ｎｍとした。
【００１９】
実施例２及び比較例２の多層光情報記録媒体を回転数２４００ｒｐｍで回転させ、反射電圧の周波数特性を計測した結果を図２４に示す。
ノイズ源である透過の±１次回折が小さい構成のガイド層を用いた実施例２の方が、比較例２に比してノイズレベルが小さいことが分る。特に２ＭＨｚ（２．Ｅ＋０６）の周波数付近では約２ｄＢ小さい。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】屈折率ｎ１の層に屈折率ｎ２の層を単純に積層した場合を示す図。
【図２】図１の場合の、反射光強度と溝深さの関係を示す図。
【図３】図１の場合の、透過光強度と溝深さの関係を示す図。
【図４−１】屈折率ｎ２の材料層の溝形状に沿う様に屈折率ｎ１の材料層を積層した場合を示す図。
【図４−２】屈折率ｎ２の材料層の溝形状に沿う様に屈折率ｎ１の材料層を積層し、且つ、屈折率ｎ１の材料層が溝を埋めてしまった場合を示す図。
【図５】図４の場合の、反射光強度と溝深さの関係を示す図。
【図６】図４の場合の、透過光強度と溝深さの関係を示す図。
【図７】本発明のガイド層の一例を示す図。
【図８】図７の場合の、反射光強度と溝深さの関係を示す図。
【図９】図７の場合の、透過光強度と溝深さの関係を示す図。
【図１０】剥離処理ＰＥＴ上に第１のフォトポリマー層とＩｎ２Ｏ３とＺｎ２Ｏ３の混合物薄膜を形成した状態を示す図。
【図１１】Ｉｎ２Ｏ３とＺｎ２Ｏ３の混合物薄膜面を光透過性スタンパの凹凸面と対面させる様にして真空中で加圧しながら紫外線を照射することにより、フォトポリマー層にスタンパ形状を転写した後、スタンパを剥離した状態を示す図。
【図１２】第２のフォトポリマー層用シートを用いてＰＣ基板に貼り合わせた後、ＰＥＴフィルムを剥離した状態を示す図。
【図１３】ＰＣ基板の溝面にＩｎ２Ｏ３とＺｎ２Ｏ３の混合物薄膜を形成した状態を示す図。
【図１４】図１３のＩｎ２Ｏ３とＺｎ２Ｏ３の混合物薄膜面に実施例１の第１のフォトポリマー層と同じ材料からなるシートをカバー層として貼り合わせた状態を示す図。
【図１５】ガイド層製造装置の概要を示す図。
【図１６】実施例１の再生光波長４０５ｎｍにおける反射光強度及び透過光強度と溝深さの関係を示す図。（ａ）反射光強度、（ｂ）透過光強度。
【図１７】比較例１の再生光波長４０５ｎｍにおける反射光強度及び透過光強度と溝深さの関係を示す図。（ａ）反射光強度、（ｂ）透過光強度。
【図１８】実施例２において、実施例１で作成したガイド層上に、一単位の積層構造を形成した状態を示す図。
【図１９】実施例２において、一単位の積層構造の上に、更に実施例１のガイド層を貼り合せた状態を示す図。
【図２０】実施例２で作製した多層光情報記録媒体を示す図。
【図２１】比較例２において、比較例１で作成したガイド層上に、一単位の積層構造を形成した状態を示す図。
【図２２】比較例２において、一単位の積層構造の上に、凹凸形状を転写した紫外線硬化樹脂層、Ｉｎ２Ｏ３とＺｎ２Ｏ３の混合物薄膜層、カバー層を設けた状態を示す図。
【図２３】実施例２で作製した多層光情報記録媒体を示す図。
【図２４】実施例２及び比較例２の多層光情報記録媒体について反射電圧の周波数特性を計測した結果を示す図。
【図１】
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【図４−１】
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【図４−２】
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【図７】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２】
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【図３】
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【図５】
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【図６】
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【図８】
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【図９】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図２４】
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