(57)【要約】      （修正有）【課題】配線用板の処理を停止することなく処理液の更新ができる簡便な配線用板の処理装置を提供する。【解決手段】配線用板処理部１と処理液供給部２とが仕切板３を介して区分される処理槽４と、第１バッファー槽５と、前記配線用板処理部１から排出された処理液を再び前記配線用板処理部１へ供給する第１循環路７と、前記配線用板処理部１から排出された処理液を前記第１バッファー槽５を通して再び前記配線用板処理部２へ供給する第２循環路８とを備えた配線用板の処理装置であって、処理液供給部１は外部から処理液を導入するための処理液導入管２２が設けられ、第１バッファー槽５は第２循環路８内の処理液を廃棄する第１廃棄管５２が設けられ、第１循環路７は第１循環ポンプ７１と処理液の循環を調整する第１循環バルブ７２とが設けられ、第２循環路８は第２循環ポンプ８１と、処理液の循環を調整する第２循環バルブ８２とが設けられている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
配線用板を処理液で処理する配線用板処理部とこの配線用板処理部に処理液を供給する処理液供給部とが仕切板を介して区分されている処理槽と、処理液を移動させるための第１バッファー槽と、前記配線用板処理部から排出された処理液を前記処理液供給部を通して再び前記配線用板処理部へ供給する第１循環路と、前記配線用板処理部から排出された処理液を前記第１バッファー槽を通して再び前記配線用板処理部へ供給する第２循環路と、を備えた配線用板の処理装置であって、処理液供給部は外部から処理液を導入するための処理液導入管が設けられ、第１バッファー槽は第２循環路内の処理液を廃棄する第１廃棄管が設けられ、第１循環路はこの第１循環路内の処理液を循環させる第１循環ポンプと処理液の循環を調整する第１循環バルブとが設けられ、第２循環路はこの第２循環路内の処理液を循環させる第２循環ポンプと、処理液の循環を調整する第２循環バルブとが設けられていることを特徴とする配線用板の処理装置。
【請求項２】
請求項１の配線用板の処理装置において、前記処理液とは異なる処理液を前記配線用板処理部に供給する第２バッファー槽と、前記配線用板処理部から排出された前記処理液とは異なる処理液を第２バッファー槽を通して再び前記配線用板処理部へ供給する第３循環路と、をさらに備え、第３循環路はこの第３循環路内の処理液を循環させる第３循環ポンプと処理液の循環を調整する第３循環バルブとが設けられていることを特徴とする配線用板の処理装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の配線用板の処理装置を用いた配線用板の処理方法であって、配線用板処理部で配線用板を処理液により処理しつつ配線用板処理部への処理液の供給を第１循環路から第２循環路に切替え、その状態で処理液供給部に新しい処理液を導入し、次いで再度配線用板処理部への処理液の供給を第２循環路から第１循環路に切替えるとともに第２循環路内の処理液を廃棄することで、処理液を更新することを特徴とする配線用板の処理方法。
【請求項４】
請求項２に記載の配線用板の処理装置を用いた配線用板の処理方法であって、配線用板処理部で配線用板を処理液により処理しつつ配線用板処理部への処理液の供給を第１循環路から第２循環路に切替えた後、前記処理液とは異なる処理液を前記配線用板処理部に供給する第３循環路に切替えて配線用板を異なる処理液で処理し、その状態で処理液供給部に新しい処理液を導入するとともに第２循環路内の処理液を廃棄することで、処理液を更新することを特徴とする配線用板の処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、配線用板の処理装置とそれを用いた処理方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、多層プリント配線板における配線用板の導体金属表面層をエッチングして回路形成する際には、配線用板に洗浄処理または防錆処理を施している。このような処理は、通常、ひとつの処理槽に所定の処理液を貯留し、その処理槽内の処理液に配線用板を浸漬させるか、あるいは別に配線用板処理室を設置してそこに配線用板を配置するとともに処理槽から処理液を導入してスプレー処理を施している。このような処理方法において、処理槽内の処理液を更新する場合、処理槽内の処理液を全部廃棄し新しい処理液を導入するまでは配線用板の洗浄処理または防錆処理を停止する必要があり、作業効率が低下するという問題があった。また、配線用板の処理を洗浄処理から防錆処理に切替える必要が生じた場合には、洗浄処理と防錆処理では使用する処理液が異なるため、処理槽内の洗浄用処理液をすべて廃棄し槽内を洗浄してから防錆用処理液を導入する必要があった。このため、まだ使用可能な状態のまま処理液を廃棄する場合もあり、費用が無駄になるだけでなく、処理液の切替えに時間がかかってもいた。
【０００３】
ところで、特許文献１のように、パターン形成槽と複数の薬液槽を配置し、一方の薬液槽がパターン形成槽に薬液を供給している間に他の一方の薬液槽の薬液を交換・補充することで、装置の稼動を停止することなく薬液の交換、補充を行うエッチング装置が提案されている。また、特許文献２のように、反応室を２分し、かつ各々の反応室毎に薬液供給配管と薬液廃棄配管と薬液循環タンクと薬液循環配管とを備えるとともに、薬液循環配管に切替バルブを設けて２個の循環タンクのうち古い薬液の入っている循環タンクからの薬液を先に、また新しい薬液の入っている循環タンクからの薬液を後に基板の処理に使用する構成とすることにより、薬液の廃棄時にも装置を連続的に稼動させる化学反応装置が提案されている。
【特許文献１】特開平５−１２９７５６号公報
【特許文献２】特許３１５１９５７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１によれば、薬液槽の薬液を別の薬液に交換する場合には洗浄処理を行う必要がありそのための費用がかかってしまうこと、上記特許文献２によれば、異なる薬液を用いて処理する場合、循環タンク内の薬液をすべて廃棄した後に異なる薬液を循環タンク内に供給する必要があり薬液の切替えに時間がかかってしまうという問題があった。また、上記特許文献の装置はいずれも装置の構造が複雑であり、しかも新たな設備を要するためコストがかかるという問題もあった。
【０００５】
そこで、本発明は、以上のとおりの事情に鑑みてなされたものであり、配線用板の処理を停止することなく処理液の更新ができる簡便な配線用板の処理装置とそれを用いた処理方法を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記の課題を解決するために、以下のことを特徴としている。
【０００７】
第１に、本発明の配線用板の処理装置は、配線用板を処理液で処理する配線用板処理部とこの配線用板処理部に処理液を供給する処理液供給部とが仕切板を介して区分されている処理槽と、処理液を移動させるための第１バッファー槽と、前記配線用板処理部から排出された処理液を前記処理液供給部を通して再び前記配線用板処理部へ供給する第１循環路と、前記配線用板処理部から排出された処理液を前記第１バッファー槽を通して再び前記配線用板処理部へ供給する第２循環路と、を備えた配線用板の処理装置であって、処理液供給部は外部から処理液を導入するための処理液導入管が設けられ、第１バッファー槽は第２循環路内の処理液を廃棄する第１廃棄管が設けられ、第１循環路はこの第１循環路内の処理液を循環させる第１循環ポンプと処理液の循環を調整する第１循環バルブとが設けられ、第２循環路はこの第２循環路内の処理液を循環させる第２循環ポンプと、処理液の循環を調整する第２循環バルブとが設けられていることを特徴とする。
【０００８】
第２に、上記第１の配線用板の処理装置において、前記処理液とは異なる処理液を前記配線用板処理部に供給する第２バッファー槽と、前記配線用板処理部から排出された前記処理液とは異なる処理液を第２バッファー槽を通して再び前記配線用板処理部へ供給する第３循環路と、をさらに備え、第３循環路はこの第３循環路内の処理液を循環させる第３循環ポンプと処理液の循環を調整する第３循環バルブとが設けられていることを特徴とする。
【０００９】
第３に、上記第１または２に記載の配線用板の処理装置を用いた配線用板の処理方法であって、配線用板処理部で配線用板を処理液により処理しつつ配線用板処理部への処理液の供給を第１循環路から第２循環路に切替え、その状態で処理液供給部に新しい処理液を導入し、次いで再度配線用板処理部への処理液の供給を第２循環路から第１循環路に切替えるとともに第２循環路内の処理液を廃棄することで、処理液を更新することを特徴とする。
【００１０】
そして、第４に、上記第２に記載の配線用板の処理装置を用いた配線用板の処理方法であって、配線用板処理部で配線用板を処理液により処理しつつ配線用板処理部への処理液の供給を第１循環路から第２循環路に切替えた後、前記処理液とは異なる処理液を前記配線用板処理部に供給する第３循環路に切替えて配線用板を異なる処理液で処理し、その状態で処理液供給部に新しい処理液を導入するとともに第２循環路内の処理液を廃棄することで、処理液を更新することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
上記第１の発明によれば、処理液供給部から処理液を第１バッファー槽に移動させることができ、そして、第１バッファー槽に処理液を移動させた後は第１バッファー槽から配線用板処理部に処理液が供給されるため、配線用板の処理を停止することなく連続してその処理を行うことができる。また、第１バッファー槽から処理液を配線用板処理部に供給している状態で新しい処理液を処理液供給部に供給した後、配線用板処理部への処理液の供給を第１バッファー槽から処理液供給部に切替えるとともに第１バッファー槽の処理液を廃棄することで、配線用板の処理を停止することなく処理液の更新を容易に行うことができる。
【００１２】
上記第２の発明によれば、第２バッファー槽を備えることにより、上記第１の発明の効果に加え、異なる処理液の切替えを容易にし、配線用板の処理を異なる処理液で行うことができる。また、処理液の廃棄量も削減することができる。
【００１３】
上記第３の発明によれば、装置の稼動を停止させることなく処理液を容易に更新することができる。
【００１４】
上記第４の発明によれば、異なる処理液の切替えを容易にし、配線用板の処理を異なる処理液で行うことができるとともに装置の稼動を停止させることなく処理液の更新を容易に行うことができる。また、処理液の廃棄量も削減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下に、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００１６】
図１は本発明の配線用板の処理装置の実施形態１の概略構成図である。
【００１７】
この実施形態は、多層プリント配線板における配線用板の導体金属表面層をエッチングして回路形成する際、配線用板に対して水洗処理を行うものであり、処理液として水洗水を使用している。この配線用板の処理装置は、処理槽４と第１バッファー槽５とを備えており、処理槽４は配線用板を水洗水で洗浄処理する配線用板処理部１とこの配線用板処理部１に水洗水を供給する処理液供給部２とが仕切板３を介して区分され、配線用板処理部１は処理槽４の上部に処理液供給部２は下部に配置されている。配線用板処理部１には配線用板が載置され、噴射用ポンプ１２により送り出された水洗水がスプレーノズル１１より配線用板に向けて噴射され洗浄処理される。洗浄処理後の水洗水は、後述するが、第１循環路７を通して処理槽４下部の処理液供給部２に排出されるか、あるいは第２循環路８を通して第１バッファー槽５に排出される。
【００１８】
処理液供給部２には外部から新しい水洗水を導入するための処理液開閉バルブ２１を備えた処理液導入管２２が設けられており、この処理液導入管２２によって水洗水が処理液供給部２に導入され貯留される。
【００１９】
第１バッファー槽５は処理液供給部２の処理液を移動させるためのもので、処理槽４とは別体で配置されている。また、第１バッファー槽５には処理液を廃棄するための第１廃液開閉バルブ５１を備えた第１廃棄管５２が設けられている。
【００２０】
さらに、この配線用板の処理装置は、配線用板処理部１と処理液供給部２とに接続され、配線用板処理部１から排出された水洗水を処理液供給部２を通して再び配線用板処理部１へ供給する第１循環路７と、配線用板処理部１と第１バッファー槽５とに接続され、配線用板処理部１から排出された水洗水を第１バッファー槽５を通して再び配線用板処理部１へ供給する第２循環路８とを備えている。なお、この実施形態では配線用板処理部１に水洗水を供給する入口近傍において、第１循環路７と第２循環路８とが重複している。
【００２１】
第１循環路７は、この第１循環路７内の水洗水を循環させる第１循環ポンプ７１と水洗水の循環を調整する第１循環バルブ７２とが設けられており、第２循環路８はこの第２循環路８内の水洗水を循環させる第２循環ポンプ８１と水洗水の循環を調整する第２循環バルブ８２とが設けられている。第１循環バルブ７２としては、処理液供給部２から配線用板処理部１への水洗水の供給を調整する第１供給調整バルブ７２ａと配線用板処理部１から処理液供給部２への水洗水の排出を調整する第１排出調整バルブ７２ｂがそれぞれ処理液供給部２から配線用板処理部１に向けて水洗水が循環する第１循環路７ａと配線用板処理部１から処理液供給部２に向けて水洗水が循環する第１循環路７ｂとに設けられている。第２循環バルブ８２としては、第１バッファー槽５から配線用板処理部１への水洗水の供給を調整する第２供給調整バルブ８２ａと配線用板処理部１から第１バッファー槽５への水洗水の排出を調整する第２排出調整バルブ８２ｂがそれぞれ第１バッファー槽５から配線用板処理部１に向けて水洗水が循環する第２循環路８ａと配線用板処理部１から第１バッファー槽５に向けて水洗水が循環する第２循環路８ｂとに設けられている。
【００２２】
以上の装置は、大きくは処理槽４と第１バッファー槽５とそれらに連通接続される第１循環路７と第２循環路８で構成され、簡便に製造することができ、またこのような装置においては、配線用板の洗浄処理を停止することなく水洗水を更新することができる。以下に、具体的に説明する。
【００２３】
まず、処理液導入管２２の処理液開閉バルブ２１を開けて外部から新しい水洗水を処理液供給部２に供給して貯留させた後、処理液開閉バルブ２１を閉める。次に第１循環路７の第１供給調整バルブ７２ａと第１排出調整バルブ７２ｂとを開けるとともに第１循環ポンプ７１を作動させて、処理液供給部２の水洗水を第１循環路７，７ａに循環させる。この水洗水はさらに噴射用ポンプ１２によってスプレーノズル１１より配線用板処理部１に載置された配線用板に向けて噴射され、配線用板を洗浄処理する。洗浄処理後の水洗水は、配線用板処理部１の下部から第１循環路７，７ｂを通して処理液供給部２に排出され、再び第１循環ポンプ７１より配線用板処理部１に向けて送り出される。このように配線用板の洗浄処理を繰り返すことによって水洗水が汚染されるため、水洗水の更新が必要になる。
【００２４】
水洗水を更新する場合には、まず、水洗水の更新時期が近づいた段階で第１循環路７，７ｂの第１排出調整バルブ７２ｂを閉め、第２循環路８，８ｂの第２排出調整バルブ８２ｂを開けて第１バッファー槽５に水洗水を排出する。しばらくすると処理液供給部２の水洗水はすべて第２循環路８，８ｂを通して第１バッファー槽５に排出されることになる。また、同時に第２循環路８，８ａの第２供給調整バルブ８２ａを開けるとともに第２循環ポンプ８１を作動させて、第１バッファー槽５に排出された水洗水を第２循環路８，８ａに循環させる。そして、この水洗水はさらに噴射用ポンプ１２によってスプレーノズル１１より配線用板処理部１に載置された配線用板に向けて噴射されるため、配線用板の洗浄処理を継続して行うことができる。
【００２５】
処理液供給部２内の水洗水がすべて配線用板処理部１を通して第１バッファー槽５に排出された後は、第１循環ポンプ７１の作動を停止し第１供給調整バルブ７２ａを閉め、処理液導入管２２の処理液開閉バルブ２１を開けて新しい水洗水を処理液供給部２に導入した後、処理液開閉バルブ２１を閉める。処理液供給部２に新しい水洗水を導入した後は、第２循環路８，８ａの第２循環ポンプ８１の作動を停止し、第２供給調整バルブ８２ａを閉め、第２循環路８を循環している水洗水を第１バッファー槽５に移動させた後に第２排出調整バルブ８２ｂを閉める。また、同時に第１循環路７の第１供給調整バルブ７２ａと第１排出調整バルブ７２ｂとを開けるとともに第１循環ポンプ７１を作動させて、処理液供給部２の水洗水を第１循環路７に循環させ、その後、第１廃液開閉バルブ５１を開けて第１バッファー槽５に貯留した水洗水を第１廃棄管５２より排出する。こうして、配線用板の洗浄処理を停止せずに水洗水の更新を行うことができる。
【００２６】
図２は本発明の配線用板の処理装置の実施形態２の概略構成図である。なお、実施形態１と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
【００２７】
この実施形態は実施形態１の配線用板の処理装置において、配線用板処理部１で洗浄処理とは異なる処理、例えば、防錆液による防錆処理を行うためにさらに第２バッファー槽６と第３循環路９とを備えている。
【００２８】
第２バッファー槽６は防錆液が貯留されており、処理槽４および第１バッファー槽５とは別体で配置されている。また、第２バッファー槽６には防錆液を廃棄するための第２廃液開閉バルブ６１を備えた第２廃棄管６２が設けられている。
【００２９】
第３循環路９は、第２バッファー槽６と配線用板処理部１とに接続されるとともにこの第３循環路９内の防錆液を循環させる第３循環ポンプ９１と防錆液の循環を調整する第３循環バルブ９２とが設けられ、配線用板処理部１から排出された防錆液を第２バッファー槽６を通して再び配線用板処理部１へ供給するようにしている。なお、この実施形態では配線用板処理部１に水洗水を供給する入口近傍において、第１循環路７、第２循環路８および第３循環路９とが重複している。第３循環バルブ９２としては、第２バッファー槽６から配線用板処理部１への防錆液の供給を調整する第３供給調整バルブ９２ａと配線用板処理部１から第２バッファー槽６への防錆液の排出を調整する第３排出調整バルブ９２ｂがそれぞれ第２バッファー槽６から配線用板処理部１に向けて防錆液が循環する第３循環路９ａと配線用板処理部１から第２バッファー槽６に向けて防錆液が循環する第３循環路９ｂとに設けられている。
【００３０】
この実施形態では、実施形態１と同様、配線用板処理部１には配線用板が載置され、噴射用ポンプ１２により送り出された防錆液がスプレーノズル１１より配線用板に向けて噴射され防錆処理される。
【００３１】
以上の装置では、処理槽４において洗浄処理または防錆処理のいずれかの処理を行う場合、いずれか一方の処理を処理槽４で行っている間に他方の処理に用いる処理液を更新することができ、しかも両者の処理液の切替えを容易にすることができるものである。また、処理液の廃棄量を削減することもできる。以下に、具体的に説明する。
【００３２】
まず、配線用板処理部１で洗浄処理した後、続いて防錆処理を行う場合、洗浄処理については、実施形態１と同様に水洗水を第１循環路７で循環させてから第２循環路８に切替えて、配線用板の洗浄処理を継続して行うようにする。続いて配線用板処理部１で防錆処理を行う場合、第２循環路８，８ａの第２循環ポンプ８１の作動を停止し、第２供給調整バルブ８２ａを閉め、第２循環路８を循環している水洗水を第１バッファー槽５に移動させた後に第２排出調整バルブ８２ｂを閉める。また、同時に第３循環路９，９ａの第３供給調整バルブ９２ａと第３排出調整バルブ９２ｂとを開けるとともに第３循環ポンプ９１を作動させて、第２バッファー槽６の防錆液を第３循環路９に循環させ、噴射用ポンプ１２によってスプレーノズル１１より配線用板処理部１に載置された配線用板に向けて防錆液を噴射して配線用板の防錆処理を行う。このように、第２循環路８からは水洗水が配線用板処理部１に供給され、第３循環路９からは防錆液が配線用板処理部１に供給されるようになっているため、第２循環バルブ８２と第３循環バルブ９２のバルブの開閉、および第２循環ポンプ８１と第３循環ポンプ９１の作動によって容易に処理液を切替えることができる。
【００３３】
そして、第３循環路９から配線用板処理部１に防錆液が供給され、配線用板に対して防錆処理を行っている状態で処理液導入管２２の処理液開閉バルブ２１を開けて新しい水洗水を処理液供給部２に導入し、処理液開閉バルブ２１を閉める。また、第１廃液開閉バルブ５１を開けて第１バッファー槽５に貯留した水洗水を第１廃棄管５２より排出する。これによって、水洗水を更新することができる。
【００３４】
なお、防錆処理の後、続いて洗浄処理を行う場合には、第３循環路９，９ａの第３循環ポンプ９１の作動を停止し、第３供給調整バルブ９２ａを閉め、第３循環路９を循環している防錆液を第２バッファー槽６に移動させた後に第３排出調整バルブ９２ｂを閉める。また、同時に第１循環路７の第１供給調整バルブ７２ａと第１排出調整バルブ７２ｂとを開けるとともに第１循環ポンプ７１を作動させて、処理液供給部２の水洗水を第１循環路７に循環させ、噴射用ポンプ１２によってスプレーノズル１１より配線用板処理部１に載置された配線用板に向けて水洗水を噴射することで配線用板の洗浄処理を行うことができる。
【００３５】
この実施形態では水洗水を更新しているが、防錆液の更新を行うこともできる。例えば、防錆液を更新する場合は、水洗水を更新する場合と同様、第２バッファー槽６に防錆液を移動させた後、第２循環路８から水洗水を配線用板処理部１に供給して配線用板の洗浄処理を行い、その状態で新しい防錆液を処理液供給部２に導入する。そして、第２廃液開閉バルブ６１を開けて第２バッファー槽６に貯留した防錆液を第２廃棄管６２より排出する。次いで、処理液供給部２に導入された防錆液を第１循環路７から第３循環路９で循環するように切替えて防錆液を第２バッファー槽６に移動させることで、防錆液を更新することができる。
【００３６】
以上の構成の装置においては、必要に応じて処理液を更新することができるので、まだ使用可能な状態のままの処理液を廃棄することはない。よって、処理液の廃棄量を削減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の配線用板の処理装置の実施形態１の概略構成図である。
【図２】本発明の配線用板の処理装置の実施形態２の概略構成図である。
【符号の説明】
【００３８】
１  配線用板処理部
２  処理液供給部
２２  処理液導入管
３  仕切板
４  処理槽
５  第１バッファー槽
５２  第１廃棄管
６  第２バッファー槽
６２  第２廃棄管
７  第１循環路
７１  第１循環ポンプ
７２  第１循環バルブ
８  第２循環路
８１  第２循環ポンプ
８２  第２循環バルブ
９  第３循環路
９１  第３循環ポンプ
９２  第３循環バルブ
【図１】
2008135464.tif 000003
【図２】
2008135464.tif 000004