(57)【要約】【課題】微細構造、面内配向性を両立させて低ノイズ化を図ると共に、良好な被ライト性能を実現した高出力の磁気記録媒体を提供すること。【解決手段】磁気記録媒体において、CoCrPtB合金からなる記録磁性層を上下二層に別け、下層を高Cr、低Bとし、上層を低Cr、高Bとすることで、低ノイズ化と高出力化を図り、さらに、上層を上下二層に別け、中間層(低Cr、高B層の下層)を高Ptとし、最上層(低Cr、高B層の上層)を低Ptとすることで、膜全体の異方性磁界を増大させずに、面内配向性を改善することができ、低ノイズ化と良好な被ライト性能を実現することができる。【選択図】図４
2008210422.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
非磁性基板上に、少なくとも非磁性下地層、CoCrPtB合金からなる第１の記録磁性層、前記第１の記録磁性層よりもCr含有量が少なくかつB含有量が多いCoCrPtB合金からなる第２の記録磁性層、前記第１の記録磁性層よりもCr含有量が少なくかつB含有量が多く、前記第２の記録磁性層よりもPt含有量が少ないCoCrPtB合金からなる第３の記録磁性層を順次積層したことを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項２】
前記第２の記録磁性層のPt含有量が、前記第２の記録磁性層と前記第３の記録磁性層の組成が同一である場合にノイズ値が最小となるPt含有量より多く、かつ、前記第３の記録磁性層のPt含有量が、前記第２の記録磁性層と前記第３の記録磁性層の組成が同一である場合にノイズ値が最小となるPt含有量以下であることを特徴とする請求項１に記載の磁気記録媒体。
【請求項３】
前記第２の記録磁性層のPt含有量が13at.%より多く、かつ、前記第３の記録磁性層のPt含有量が13at.%以下であることを特徴とする請求項１又は請求項２のいずれか１項に記載の磁気記録媒体。
【請求項４】
前記第２の記録磁性層のB含有量が10at.%以上であることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の磁気記録媒体。
【請求項５】
前記第３の記録磁性層のB含有量が10at.%以上であることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の磁気記録媒体。
【請求項６】
非磁性基板上に少なくとも非磁性下地層、CoCrPtB合金からなる第１の記録磁性層、前記第１の記録磁性層よりもCr含有量が少なくかつB含有量が多いCoCrPtB合金からなる第２の記録磁性層、前記第１の記録磁性層よりもCr含有量が少なくかつB含有量が多く、前記第２の記録磁性層よりもPt含有量が少ないCoCrPtB合金からなる第３の記録磁性層を順次連続してスパッタ装置内で積層することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
【請求項７】
非磁性基板上に少なくとも非磁性下地層、CoCrPtB合金からなる第１の記録磁性層、前記第１の記録磁性層よりもCr含有量が少なくかつB含有量が多いCoCrPtB合金からなる第２の記録磁性層、前記第１の記録磁性層よりもCr含有量が少なくかつB含有量が多く、前記第２の記録磁性層よりもPt含有量が少ないCoCrPtB合金からなる第３の記録磁性層を順次積層してなる磁気記録媒体と、
前記磁気記録媒体に記録する情報を書込むための磁気記録ヘッドと、
前記磁気記録媒体から記録された情報を読取るための磁気読取ヘッドと、
前記磁気記録ヘッド及び前記磁気読取ヘッドに接合される、可撓性を有するサスペンションと、
前記サスペンションの端部を固定し、回動自在なアクチュエータアームと、
前記サスペンション及び前記アクチュエータアーム上の絶縁された導電線を通じて、前記磁気記録ヘッド及び前記磁気読取ヘッドに電気的に接続され、前記磁気記録媒体に情報を記録するため及び前記磁気記録媒体に記録された情報を読取るための電気信号を送信/検出する送信/検出回路装置と、を有することを特徴とする磁気記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は磁気記録媒体に関する。さらに詳しくは、低ノイズかつ高出力の特性を有する磁気記録媒体の構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、デジタル化や情報化により大容量記録装置が必要とされ、ＨＤＤなどの磁気記録装置は急速に高密度化が進んでいる。それに伴い、磁気記録媒体においては、低ノイズかつ高出力の特性が求められている。しかしながら、従来の磁気記録媒体では、ノイズ特性の向上を図ると、それに応じて出力特性が低くなる傾向があり、ノイズ特性及び出力特性が共に優れた磁気記録媒体が必要とされる。
【０００３】
従来の面内磁気記録媒体では、高出力が得られることから高い飽和磁化(以下、Msという)材料であるCo合金磁性層が記録層として用いられている。さらに、特性改善による高密度化を図るため、Co合金磁性層に様々な元素を添加してきた。
【０００４】
主に、Crの添加は粒間相互作用を低くし、低ノイズ化を図り高分解能を得ることができる。また、Ptの添加は異方性磁界(Hk)を増大させることができ、高分解能を得ることができる。さらに、Bの添加は結晶粒を微細化し、低ノイズ化を図り高分解能を得ることができる。しかし、Cr添加は、ノイズの低減に効果があるが、添加しすぎるとMsの低下を招き、再生出力が低下する。そこで、従来は、ヘッドの再生感度に合せたCrの添加量調整が必要であった。
【０００５】
しかし、米国特許番号7,049,013によれば、下層側にCr組成が高い層(以下、高Cr磁性層という)、上層側にCr組成が低い層(以下、低Cr磁性層という)を用いた磁性層の多層化により、低ノイズ化と高出力化の両方を実現している。図１に、記録磁性層を二層化した従来の磁気記録媒体の断面図を示す。基板１上に、下地層２、第１の記録磁性層３、第２の記録磁性層４、保護層５、潤滑層６を順次積層した構造をしている。これは、第１の記録磁性層３を高Cr磁性層とすることで粒間相互作用を低くして低ノイズ化を図り、第２の記録磁性層４を低Cr磁性層とすることで再生出力を増大させている。すなわち、記録磁性層の機能を分離することで上記特性を実現している。
【０００６】
この多層化は、主に二層磁性として、現在のハードディスク用面内磁気記録媒体の主流技術となっている。この多層化技術を実際に適用する際には、ノイズ特性を維持するために、上層側の低Cr磁性層に下層側の高Cr磁性層よりも多くのBを添加している。
【０００７】
このように、Co合金記録層を多層化し、下層側を高Cr磁性層、上層側を低Cr磁性層とし、さらに、上層側のB含有量を下層側よりも多くすることで、高記録密度に対応した記録媒体を実現している。しかし、上層側のB含有量の増量により、その層の結晶配向性、すなわちCo合金結晶のc軸の面内配向性が劣化していることが、調査の結果わかった。
【０００８】
図２は、磁性層を単層で形成し、そのB含有量を変化させた磁性層のCo(110)ロッキングカーブの半値幅(a)と、磁性層を二層で形成し、下層側のB含有量を6at.%に固定し、上層側のB含有量を変化させた磁性層のCo(110)ロッキングカーブの半値幅(b)を示す。ここで、Co(110)ロッキングカーブの半値幅が小さい程配向性が良好であることを示している。単層の場合は、顕著にB含有量の増量に伴い結晶配向性が劣化しているのが分かる。また、二層の場合は、下層側である程度の配向が決まるため、単層に比較し変化は小さいが、やはりこれもB含有量の増量により配向性が劣化している。これはB含有量の増量により結晶粒の微細構造を改善し、低ノイズ化を図ることが、面内配向性向上による低ノイズ化とトレードオフの関係であることを示している。
【０００９】
一方、従来は、上層側の低Cr磁性層のPt含有量は、例えば、保磁力Hc等の所望の磁気特性を得る目的など、ヘッドの書込み性能に応じて調整している。しかし、Pt含有量の増量は、上層側の磁性層の面内配向性も向上させていることが、調査の結果わかった。図３は低Cr磁性層中のPt含有量に対するCo(110)ロッキングカーブの半値幅を調べた結果であり、高Cr磁性層上に低Cr磁性層を積層した場合(c)と、高Cr磁性層を形成せず、低Cr磁性層のみを形成した場合(d)を調べたが、いずれも13〜15at.%の添加まで配向性が向上していることが分かる。
【００１０】
すなわち、B含有量の増量により劣化した面内配向性は、Pt含有量の増量により改善することが可能であった。これは、ヘッドのライト性能が、年々改善されてきたため、媒体Hc（もしくはHk）を大きくすることが可能であり、Pt含有量も同時に増量できたからである。
【特許文献１】US第3657916号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかし、ヘッドのライト性能はライト磁極の飽和磁化やそのディメンジョンといった物理的・構造的要因によってほぼ決まるため、最近では物理的にほぼ限界を迎えている。したがって、これ以上、媒体の上層側の磁性層のPt含有量を増量することは難しく、面内配向性の維持による低ノイズ化と良好な被ライト性能の両立が図れなくなってきている。
【００１２】
したがって、本発明は、微細構造、面内配向性を両立させて低ノイズ化を図ると共に、良好な被ライト性能を実現した高出力の磁気記録媒体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の磁気記録媒体は、非磁性基板上に、少なくとも非磁性下地層、CoCrPtB合金からなる第１の記録磁性層、前記第１の記録磁性層よりもCr含有量が少なくかつB含有量が多いCoCrPtB合金からなる第２の記録磁性層、前記第１の記録磁性層よりもCr含有量が少なくかつB含有量が多く、前記第２の記録磁性層よりもPt含有量が少ないCoCrPtB合金からなる第３の記録磁性層を順次積層したことを特徴とする。
【００１４】
このように、記録磁性層をCr含有量が少なくかつB含有量が多い上層磁性層とCr含有量が多くかつB含有量が少ない下層磁性層に別けることで、低ノイズ化と高出力化を両立しつつ、さらに、上層磁性層を、面内配向性が良好なPt含有量が多い層とHk調整のためのPt含有量が少ない層の二層とすることで、膜全体のHkを増大させずに、面内配向性を改善することができ、低ノイズ化と良好な被ライト性能を両立させることができる。
【００１５】
また、本発明の磁気記録媒体は、前記第２の記録磁性層のPt含有量が、前記第２の記録磁性層と前記第３の記録磁性層の組成が同一である場合にノイズ値が最小となるPt含有量より多く、かつ、前記第３の記録磁性層のPt含有量が、前記第２の記録磁性層と前記第３の記録磁性層の組成が同一である場合にノイズ値が最小となるPt含有量以下であることを特徴とする。
【００１６】
前記第２の記録磁性層と前記第３の記録磁性層の組成が同一である場合、すなわち、低いCr含有量でかつ高いB含有量である層が単層である場合において、良好なライト特性が得られないPt含有量の条件下では、第２の記録磁性層のPt含有量を多くしても磁性層の磁化を十分に反転させることが出来ないため、また、良好な配向性が得られないPt含有量の条件下では、第３の記録磁性層のPt含有量を少なくしてもノイズの低減が図れないため、本発明の効果は得られない。したがって、良好なライト特性が得られ、かつ、良好な配向性が得られるPt含有量以上と以下の二層構造としている。
【００１７】
さらに、本発明の磁気記録媒体は、前記第２の記録磁性層のPt含有量が13at.%より多く、かつ、前記第３の記録磁性層のPt含有量が13at.%以下であることを特徴とする。特に、前記第２の記録磁性層の組成比がCo78-xCr12PtxB10（13<X≦17at.%）で、かつ、前記第３の記録磁性層の組成比がCo78-xCr12PtxB10（9≦X≦13at.%）であることを特徴とする。後述する測定データに示すように、かかる条件下で良好な特性が得られることがわかった。
【００１８】
さらに、本発明の磁気記録媒体は、前記第２の記録磁性層のB含有量が10at.%以上であることを特徴とする。さらに、本発明の磁気記録媒体は、前記第３の記録磁性層のB含有量が10at.%以上であることを特徴とする。従来では、特にB含有量が10at.%以上の場合には、磁性層の配向性が劣化しているが、本発明の磁気記録媒体では、良好な配向性が得られるからである。
【００１９】
また、本発明の磁気記録媒体の製造方法は、非磁性基板上に少なくとも非磁性下地層、CoCrPtB合金からなる第１の記録磁性層、前記第１の記録磁性層よりもCr含有量が少なくかつB含有量が多いCoCrPtB合金からなる第２の記録磁性層、前記第１の記録磁性層よりもCr含有量が少なくかつB含有量が多く、前記第２の記録磁性層よりもPt含有量が少ないCoCrPtB合金からなる第３の記録磁性層を順次連続してスパッタ装置内で積層することを特徴とする。このように、連続成膜することで良好な磁気特性を得ることができる。
【００２０】
また、本発明の磁気記録装置は、非磁性基板上に少なくとも非磁性下地層、CoCrPtB合金からなる第１の記録磁性層、前記第１の記録磁性層よりもCr含有量が少なくかつB含有量が多いCoCrPtB合金からなる第２の記録磁性層、前記第１の記録磁性層よりもCr含有量が少なくかつB含有量が多く、前記第２の記録磁性層よりもPt含有量が少ないCoCrPtB合金からなる第３の記録磁性層を順次積層してなる磁気記録媒体と、前記磁気記録媒体に記録する情報を書込むための磁気記録ヘッドと、前記磁気記録媒体から記録された情報を読取るための磁気読取ヘッドと、前記磁気記録ヘッド及び前記磁気読取ヘッドに接合される、可撓性を有するサスペンションと、前記サスペンションの端部を固定し、回動自在なアクチュエータアームと、前記サスペンション及び前記アクチュエータアーム上の絶縁された導電線を通じて、前記磁気記録ヘッド及び前記磁気読取ヘッドに電気的に接続され、前記磁気記録媒体に情報を記録するため及び前記磁気記録媒体に記録された情報を読取るための電気信号を送信/検出する送信/検出回路装置と、を有することを特徴とする。本発明の磁気記録媒体を用いた磁気記録装置である。
【発明の効果】
【００２１】
本発明に係る磁気記録媒体によれば、低ノイズで、かつ、被ライト性能に優れた高出力の媒体特性を得ることができ、高密度化に対応した磁気記録媒体及び大容量の磁気記録装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、添付した図面に基づき本発明の実施形態を詳細に説明する。
【００２３】
図４に本発明に係る磁気記録媒体の第１の実施形態の構成を示す。図４は本発明に係る磁気記録媒体の断面図である。磁気記録媒体は、例えば、NiPコーティングされたAl基板１を周方向にダイヤモンド砥粒を含むスラリー液を用いてテクスチャリング処理し、洗浄処理した後、基板を加熱して下地層２、第１の記録磁性層３、第２の記録磁性層４、第３の記録磁性層７、保護層５、潤滑層６を順次積層する。基板１にはガラスを用いてもよく、ガラス基板の場合には、下地層２の良好な結晶性を得るため、基板上にCrTi、CrTa、CrNb、NiTa、NiNb等のシード層が配置される場合もある。
【００２４】
下地層２、磁性層３、４、７はスパッタ法、保護層５はCVD法により同一真空中の成膜装置内で成膜する。また、保護層５を成膜した後に、保護層５の表面を窒化処理又はオゾン水処理してからフッ素系潤滑層６を塗布し、テープバニッシュして表面のバリや付着物を除去する。この時、スパッタ成膜時の基板温度は、180℃〜300℃が好ましい。
【００２５】
下地層２であるCrは1〜10nm、第１の記録磁性層３は5〜15nmが適当であるが、さらに好ましくは8〜12nm、第２の記録磁性層４と第３の記録磁性層７の合計膜厚は5〜15nmが適当であるが、さらに好ましくは6〜11nmがよい。特に、第２の記録磁性層４と第３の記録磁性層７のそれぞれの膜厚は、2〜10nm程度が好ましいが、それぞれのPt組成やヘッドのライト性能に応じて二層の膜厚比率は異なる。
【００２６】
次に、図５に本発明に係る磁気記録媒体の第２の実施形態の構成を示す。第１の実施形態の磁気記録媒体と比べて、Alからなる基板１上の下地層は、Crからなる1〜6nmの下地層２と下地層２よりも結晶格子サイズを拡大させたCrMoからなる1〜4nmの格子整合下地層８の二層構造となっている。これは、様々な元素を添加することで結晶格子サイズが大きくなっているCo合金磁性層と格子サイズの整合性をとることで、磁性層の結晶構造を良好に制御するためである。なお、CrMoと第１の記録磁性層３の間にhcp構造の中間層を配置する場合もある。これは、hcp構造を有する中間層を下地層２と第１の記録磁性層３の間に配置することで、第１の記録磁性層の初期層の結晶構造、結晶粒径及び配向性を良好に制御するためである。
【００２７】
また、高いB組成により粒径を微細化した本発明の媒体は、熱安定性が懸念されるため、図５に示すように、第１の記録磁性層３と格子整合下地層８の間に1〜4nmのCoCrTa層と0.5〜1nmのRu層からなる熱安定化層１１を有している。熱安定化層１１は、膜厚と飽和磁化の積が第１の記録磁性層３よりも小さい熱安定化磁性層９と、その熱安定化磁性層９と第１の記録磁性層３が反強磁性的に交換結合するための非磁性の交換結合層１０から構成される。
【００２８】
ここで、上記実施例における第１〜第３の記録磁性層３、４、７の組成を変化させた場合の磁気記録媒体の特性について説明する。第１の記録磁性層３はCr含有量を25at.%とした高CrのCoCrPtB材料を用いた。第２の記録磁性層４及び第３の記録磁性層７には、Cr含有量を12at.%、B含有量を10at.%と固定した低CrのCoCrPtB材料を用いた。Pt含有量については、第２の記録磁性層４は13〜17at.%、第３の記録磁性層７は9〜13at.%の間で変化させた。なお、比較例として、第２の記録磁性層４のPt含有量を9〜17at.%とし、第３の記録磁性層７を形成しない、すなわち低Cr磁性層を二層化しない従来の構成も作成した。
【００２９】
作成した各サンプルは、スピンスタンドを用いて、サーバー向けHDDの75Gb/inch2クラス用のGMRヘッドにより、線記録密度434kFCIで媒体ノイズを測定し、これを109kFCIの低周波で測定した出力で規格化した。また、被ライト性能の評価として、109kFCIの低周波でライトした時の再生出力V1、その上に868kFCIの高周波で上書きした後に残る低周波成分の再生出力をV2としたとき、V１に対するV2の比を計算し、指標とした。
【００３０】
図６は上記条件で実施例11〜15及び比較例21〜26を評価した結果である。Nm/SLFは規格化されたノイズ、O/Wは被ライト性能を示し、いずれも比較例23との差分を示しており、小さい値が好ましい。第３の記録磁性層８を形成しないで低Cr磁性層を単層とした場合（比較例２1〜２５）の、最適なPt含有量は、ヘッドのライト性能で決まるが、本実施例で用いたヘッドの場合、13at.%のPt含有量（比較例２３）でノイズが最も小さくなり、最適であることが分かる。
【００３１】
これに対し、本発明の構成である実施例12〜１5においては、比較例で最も特性が良好である比較例23と比べて、ノイズと被ライト性能の両方が改善され、それらの値が小さくなっている。実施例11はノイズは劣化しているものの、被ライト性能は改善されている。これは、本実施例で用いたヘッドにおいては、低Cr磁性層が単層の場合、13at.%までPtを増量しても問題ないため、その13at.%とそれ以下の組合せでは、メリットが少ないことを示す。しかし、よりライト性能の低いヘッドと組合わせた場合は、良好なライト特性が得られるPt含有量以上と、以下の二層構造とすることで、低ノイズ化と良好な被ライト性能を両立できる効果的な構成である。
【００３２】
さらに、比較例26として、比較例23と同等サンプルとなるが、第２の記録磁性層７および第３の記録磁性層８の両方を13at.%のPtの同材料を用いて２回に分けて成膜したサンプルも作成した。これは、第２の記録磁性層４と第３の記録磁性層７の膜厚比率によらず、比較例23と同等の特性であることが確認できた。
【００３３】
ここで、実施例で示した磁気記録媒体を搭載した磁気記録装置について簡単に説明する。図７は本実施形態の磁気記録媒体を用いた磁気記録装置の斜視図である。磁気記録媒体１３は、磁気情報を含み、スピンドルモータ１２によって高速で回転する。アクチュエータアーム１４には、可撓性のステンレスで作られたサスペンション１５が取り付けられている。また、アクチュエータアーム１４は、支軸１６により回転自在に筐体１８に固定され、磁気記録媒体１３の略半径方向に移動する。これにより、サスペンション１５に取り付けられたスライダ１９が移動して、磁気記録媒体１３の所定のトラック上で情報の記録/再生を行う。
【００３４】
筐体１８の中には、記録/再生信号を送信/検出する送信/検出回路装置が固定されており、送信回路装置は、記録電流を記録磁気ヘッド中のコイル２５に通電することにより、上部磁極２４と下部磁極２２の間に磁界を発生させて媒体に磁気情報を記録する。一方、検出回路装置は、センス(感知)電流を再生磁気ヘッド２１中の磁気抵抗効果素子に通すことにより、そして磁気抵抗効果素子での電圧変化を測定することによって、その抵抗値の変化を検出し媒体からの情報を復元する。
【００３５】
図８（ａ）は、図７に示したサスペンション１５、スライダ１９及び記録/再生磁気ヘッドと図４及び図５で示した本実施形態の磁気記録媒体１３の位置関係を示した概略図である。スライダ１９はサスペンション１５の下でサスペンション１５に取付けられヘッドサスペンション組立体を構成する。高速で磁気記録媒体１３が回転することで、空気をスライダ１９と磁気記録媒体１３の間に引き込んで、その加圧によりスライダ１９が浮動する。スライダ１９の先端に取り付けられた記録/再生磁気ヘッドは、サスペンション１５上及びアクチュエータアーム１４上の絶縁されている導電線１７を介して送信/検出回路装置に電気的に接続されている。
【００３６】
図８（ｂ）は、記録磁気ヘッド及び再生磁気ヘッドの構造を示す。再生磁気ヘッド２１は、下部シールド２０と上部シールド２２とで挟まれた構造であり、ライトギャップ２３を挟んで配置される上部シールドを兼ねた下部磁極２２及び上部磁極２４と、記録用のコイル２５からなる記録磁気ヘッドに隣接して配置される。
【００３７】
図４及び図５で示した本実施形態の磁気記録媒体１３は、送信回路装置から送られる電気信号に基づく高密度化に対応した記録磁気ヘッドからの微小な磁界に対して優れた被ライト性能を発揮し、また、その記録された磁気情報に応じて磁気記録媒体１３から漏れる媒体磁界を再生磁気ヘッド２１で読み取る場合においても、低ノイズかつ高出力の信号を導電線を通じて検出回路装置で検出することができ、高密度化に対応した大容量の磁気記録装置を提供することが可能となる。
【００３８】
ここで本発明の特徴をまとめて列挙すると次の付記のようになる。
【００３９】
（付記）
（付記１）
非磁性基板上に、少なくとも非磁性下地層、CoCrPtB合金からなる第１の記録磁性層、前記第１の記録磁性層よりもCr含有量が少なくかつB含有量が多いCoCrPtB合金からなる第２の記録磁性層、前記第１の記録磁性層よりもCr含有量が少なくかつB含有量が多く、前記第２の記録磁性層よりもPt含有量が少ないCoCrPtB合金からなる第３の記録磁性層を順次積層したことを特徴とする磁気記録媒体。
【００４０】
（付記２）
前記第２の記録磁性層のPt含有量が、前記第２の記録磁性層と前記第３の記録磁性層の組成が同一である場合にノイズ値が最小となるPt含有量より多く、かつ、前記第３の記録磁性層のPt含有量が、前記第２の記録磁性層と前記第３の記録磁性層の組成が同一である場合にノイズ値が最小となるPt含有量以下であることを特徴とする付記１に記載の磁気記録媒体。
【００４１】
（付記３）
前記第２の記録磁性層のPt含有量が13at.%より多く、かつ、前記第３の記録磁性層のPt含有量が13at.%以下であることを特徴とする付記１又は付記２のいずれか１項に記載の磁気記録媒体。
【００４２】
（付記４）
前記第２の記録磁性層のB含有量が10at.%以上であることを特徴とする付記１から付記３のいずれか１項に記載の磁気記録媒体。
【００４３】
（付記５）
前記第３の記録磁性層のB含有量が10at.%以上であることを特徴とする付記１から付記３のいずれか１項に記載の磁気記録媒体。
【００４４】
（付記６）
前記第２の記録磁性層の組成比がCo78-xCr12PtxB10（13<X≦17at.%）で、かつ、前記第３の記録磁性層の組成比がCo78-xCr12PtxB10（9≦X≦13at.%）であることを特徴とする付記１から付記５のいずれか１項に記載の磁気記録媒体。
【００４５】
（付記７）
非磁性基板上に少なくとも非磁性下地層、CoCrPtB合金からなる第１の記録磁性層、前記第１の記録磁性層よりもCr含有量が少なくかつB含有量が多いCoCrPtB合金からなる第２の記録磁性層、前記第１の記録磁性層よりもCr含有量が少なくかつB含有量が多く、前記第２の記録磁性層よりもPt含有量が少ないCoCrPtB合金からなる第３の記録磁性層を順次連続してスパッタ装置内で積層することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
【００４６】
（付記８）
非磁性基板上に少なくとも非磁性下地層、CoCrPtB合金からなる第１の記録磁性層、前記第１の記録磁性層よりもCr含有量が少なくかつB含有量が多いCoCrPtB合金からなる第２の記録磁性層、前記第１の記録磁性層よりもCr含有量が少なくかつB含有量が多く、前記第２の記録磁性層よりもPt含有量が少ないCoCrPtB合金からなる第３の記録磁性層を順次積層してなる磁気記録媒体と、
前記磁気記録媒体に記録する情報を書込むための磁気記録ヘッドと、
前記磁気記録媒体から記録された情報を読取るための磁気読取ヘッドと、
前記磁気記録ヘッド及び前記磁気読取ヘッドに接合される、可撓性を有するサスペンションと、
前記サスペンションの端部を固定し、回動自在なアクチュエータアームと、
前記サスペンション及び前記アクチュエータアーム上の絶縁された導電線を通じて、前記磁気記録ヘッド及び前記磁気読取ヘッドに電気的に接続され、前記磁気記録媒体に情報を記録するため及び前記磁気記録媒体に記録された情報を読取るための電気信号を送信/検出する送信/検出回路装置と、を有することを特徴とする磁気記録装置。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】記録磁性層を二層化した従来の磁気記録媒体の断面図を示す。
【図２】B含有量を変化させた場合の磁性層の結晶配向性を示す。
【図３】低いCr組成の磁性層中のPt添加量に対する面内配向性の関係を表した図である。
【図４】本発明に係る磁気記録媒体の第１の実施形態の構成を示す。
【図５】本発明に係る磁気記録媒体の第２の実施形態の構成を示す。
【図６】本発明に係る実施例と比較例の評価結果を示す。
【図７】本発明の磁気記録媒体を用いた磁気記録装置の斜視図である。
【図８】サスペンション、スライダ、磁気ヘッド及び本発明の磁気記録媒体の位置関係並びに記録磁気ヘッド及び再生磁気ヘッドの構造を示す概略図である。
【符号の説明】
【００４８】
1基板
2下地層
3第１の記録磁性層
4第２の記録磁性層
5保護層
6潤滑層
7第３の記録磁性層
8格子整合下地層
9熱安定化磁性層
10交換結合層
11熱安定化層
12スピンドルモータ
13磁気記録媒体
14アクチュエータ
15サスペンション
16支軸
17導電線
18筐体
19スライダ
20下部シールド
21再生磁気ヘッド
22上部シールド（下部磁極）
23ライトギャップ
24上部磁極
25コイル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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