【手続補正書】
【提出日】平成21年6月15日(2009.6.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口部を有するめっき槽内に貯留されためっき液に処理対象物を浸漬して、めっき膜を形成するめっき装置であって、
前記めっき槽を介して前記めっき液の温度を調整する第１温度調整装置と、
前記開口部に臨む前記めっき液の液面の温度を調整する第２温度調整装置とを有することを特徴とするめっき装置。
【請求項２】
請求項１記載のめっき装置において、
前記第２温度調整装置は、前記開口部を閉塞する蓋体と前記めっき液の液面との間の気体を介して前記めっき液の温度を調整することを特徴とするめっき装置。
【請求項３】
請求項２記載のめっき装置において、
前記第２温度調整装置は、前記蓋体と前記めっき液の液面との間に温度調整された気体を供給する気体供給装置を有することを特徴とするめっき装置。
【請求項４】
請求項３記載のめっき装置において、
前記第１温度調整装置は、気体を用いて前記めっき液の温度を調整し、
前記気体供給装置は、前記第１温度調整装置及び前記第２温度調整装置の双方に前記温度調整された気体を供給することを特徴とするめっき装置。
【請求項５】
請求項２記載のめっき装置において、
前記第２温度調整装置は、前記蓋体と前記めっき液の液面との間の気体を加熱する加熱装置を有することを特徴とするめっき装置。
【請求項６】
請求項１記載のめっき装置において、
前記第２温度調整装置は、前記開口部に臨む前記めっき液の液面に当接して前記めっき液の温度を調整することを特徴とするめっき装置。
【請求項７】
請求項６記載のめっき装置において、
前記第２温度調整装置は、所定温度に温度調整され、前記液面に当接して前記開口部を閉塞する蓋体を含むことを特徴とするめっき装置。
【請求項８】
請求項７記載のめっき装置において、
前記蓋体の温度を調整する蓋体温度調整装置を備えることを特徴とするめっき装置。
【請求項９】
請求項８記載のめっき装置において、
前記蓋体温度調整装置は、前記蓋体を加熱する加熱装置を有することを特徴とするめっき装置。
【請求項１０】
請求項８記載のめっき装置において、
前記蓋体温度調整装置は、前記蓋体に設けられた空隙に温度調整された媒体を供給する媒体供給装置を有することを特徴とするめっき装置。
【請求項１１】
請求項１０記載のめっき装置において、
前記第１温度調整装置は、前記媒体を用いて前記めっき液の温度を調整し、
前記媒体供給装置は、前記第１温度調整装置及び前記第２温度調整装置の双方に前記温度調整された媒体を供給することを特徴とするめっき装置。
【請求項１２】
請求項８記載のめっき装置において、
前記蓋体温度調整装置は、前記めっき槽とともに前記蓋体の温度を調整する第１温度調整装置であることを特徴とするめっき装置。
【請求項１３】
請求項１から１２のいずれかに記載のめっき装置において、
前記第１温度調整装置は、温度調整用媒体が貯留されるとともに、前記めっき槽を収容して温度調整する調整槽を有し、
前記めっき槽は、前記調整槽内に突出して前記温度調整用媒体との間の熱交換を促進する熱交換促進部を有することを特徴とするめっき装置。
【請求項１４】
開口部を有するめっき槽内に貯留されためっき液に処理対象物を浸漬して、めっき膜を形成するめっき方法であって、
前記めっき槽を介して前記めっき液の温度を調整する工程と、
前記開口部に臨む前記めっき液の液面の温度を調整する工程とを有することを特徴とするめっき方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】めっき装置及びめっき方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、めっき装置及びめっき方法に関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記の目的を達成するために本発明は、以下の構成を採用している。
本発明のめっき装置は、開口部を有するめっき槽内に貯留されためっき液に処理対象物を浸漬して、めっき膜を形成するめっき装置であって、前記めっき槽を介して前記めっき液の温度を調整する第１温度調整装置と、前記開口部に臨む前記めっき液の液面の温度を調整する第２温度調整装置とを有することを特徴とするものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
従って、本発明のめっき装置では、めっき液のうちめっき槽に囲まれた領域のめっき液は第１温度調整装置により温度が調整され、めっき槽の開口部に臨むめっき液は第２温度調整装置により温度が調整されるため、めっき液の温度に分布を生じさせずに均一化できる。そのため、本発明では、対流等により液流が生じることを防止して、めっき液を静止させることが可能になり、処理対象物に成膜されるめっき膜に膜厚ムラが発生することを抑制できる。
また、本発明では、膜厚ムラが抑制されることから最低限の膜厚で薄膜を形成することが可能になるため、処理時間を短縮でき、スループットを向上させることができるとともに、めっき液の使用量も減らすことができ、地球環境保護にも貢献できる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
前記第２温度調整装置としては、前記開口部を閉塞する蓋体と前記めっき液の液面との間の気体を介して前記めっき液の温度を調整する構成を採用できる。
この場合、前記第２温度調整装置としては、前記蓋体と前記めっき液の液面との間に温度調整された気体を供給する気体供給装置を有する構成を好適に採用できる。
この構成では、前記蓋体と前記めっき液の液面との間に供給された気体により、めっき槽の開口部に臨むめっき液の温度を調整して、めっき槽に囲まれた領域のめっき液の温度と同一にできるため、対流等により液流が生じることを防止して、めっき液を静止させることが可能になり、処理対象物に成膜される薄膜に膜厚ムラが発生することを抑制できる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、上記構成で前記第１温度調整装置が気体を用いて前記めっき液の温度を調整する場合には、前記気体供給装置は、前記第１温度調整装置及び前記第２温度調整装置の双方に前記温度調整された気体を供給する構成を好適に採用できる。
これにより、本発明では、各温度調整装置毎に気体供給装置を設ける必要がなくなり、装置の簡素化及び低価格化を実現できるとともに、同じ温度に調整された気体によりめっき液の温度を調整できるため、より厳密に処理液の温度を均一化することが可能になる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、前記開口部を閉塞する蓋体と前記めっき液の液面との間の気体を介して前記めっき液の温度を調整する場合、前記第２温度調整装置は、前記蓋体と前記めっき液の液面との間の気体を加熱する加熱装置を有する構成を好適に採用できる。
これにより、本発明では、蓋体から放熱でめっき液の温度が低下する場合でも、加熱装置が付与する熱により、前記蓋体と前記めっき液の液面との間の気体を介して、開口部に臨むめっき液の温度低下を防止して温度を均一化することが可能になる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、本発明では、前記第２温度調整装置が、前記開口部に臨む前記めっき液の液面に当接して前記めっき液の温度を調整する構成も好適に採用できる。
この場合、前記第２温度調整装置としては、所定温度に温度調整され、前記液面に当接して前記開口部を閉塞する蓋体を含む構成を採用できる。
従って、本発明では、蓋体により処理槽の開口部を閉塞することでめっき液の放熱を抑制することができるとともに、蓋体との熱交換により開口部に臨むめっき液の温度を調整することが可能になり、めっき槽に囲まれた領域のめっき液の温度と同一にできる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、本発明では、前記蓋体の温度を調整する蓋体温度調整装置を備える構成を好適に採用できる。
これにより、本発明では、蓋体の温度を所定値に維持することで、開口部に臨むめっき液の温度をめっき槽に囲まれた領域のめっき液の温度と同一に保持することが可能になる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
この蓋体温度調整装置としては、前記蓋体を加熱する加熱装置を有する構成や、前記蓋体に設けられた空隙に温度調整された媒体を供給する媒体供給装置を有する構成を採用できる。後者の構成では、前記第１温度調整装置は、前記媒体を用いて前記めっき液の温度を調整し、前記媒体供給装置は、前記第１温度調整装置及び前記第２温度調整装置の双方に前記温度調整された媒体を供給することが好適である。
これにより、本発明では、各温度調整装置毎に媒体供給装置を設ける必要がなくなり、装置の簡素化及び低価格化を実現できるとともに、同じ温度に調整された媒体によりめっき液の温度を調整できるため、より厳密にめっき液の温度を均一化することが可能になる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、前記蓋体温度調整装置としては、前記めっき槽とともに前記蓋体の温度を調整する第１温度調整装置である構成も好適に採用できる。
これにより、第１温度調整装置が前記めっき槽とともに前記蓋体の温度を調整するため、装置の簡素化及び低価格化を実現できるとともに、同じ調整系によりめっき液の温度を調整できるため、より厳密にめっき液の温度を均一化することが可能になる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また、本発明では、前記第１温度調整装置が、温度調整用媒体が貯留されるとともに、前記めっき槽を収容して温度調整する調整槽を有し、前記めっき槽が、前記調整槽内に突出して前記温度調整用媒体との間の熱交換を促進する熱交換促進部を有する構成を好適に採用できる。
これにより、本発明では、めっき槽内のめっき液に対する温度調整に要する時間を短縮でき、薄膜形成のスループットを向上させることが可能になる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
一方、本発明のめっき方法は、開口部を有するめっき槽内に貯留されためっき液に処理対象物を浸漬して、めっき膜を形成するめっき方法であって、前記めっき槽を介して前記めっき液の温度を調整する工程と、前記開口部に臨む前記めっき液の液面の温度を調整する工程とを有することを特徴とするものである。
従って、本発明のめっき方法では、めっき液のうちめっき槽に囲まれた領域のめっき液の温度と、めっき槽の開口部に臨むめっき液の温度とをそれぞれ同一に調整できるため、めっき液の温度に分布を生じさせずに均一化できる。そのため、本発明では、対流等により液流が生じることを防止して、めっき液を静止させることが可能になり、処理対象物に成膜されるめっき膜に膜厚ムラが発生することを抑制できる。
また、本発明では、膜厚ムラが抑制されることから最低限の膜厚でめっき膜を形成することが可能になるため、処理時間を短縮でき、スループットを向上させることができるとともに、めっき液の使用量も減らすことができ、地球環境保護にも貢献できる。