(57)【要約】【課題】同軸パッケージ（ＣＡＮパッケージ）のＬＤモジュールに収納可能な小型の波長モニタを備えた波長モニタ付レーザモジュールを提供する。【解決手段】本発明の波長モニタ付レーザモジュールは、レーザダイオードと、該レーザダイオードの出射光を光の波長に応じた光出力で検出する受光素子を備えた波長モニタ付レーザモジュールであって、前記受光素子の受光側に反射格子を設けた伝光板を配し、該伝光板は、前記反射格子で反射された光を上面、または下面の少なくとも一方で反射させながら前記受光素子へ集光するように案内するように構成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザダイオードと、該レーザダイオードの出射光を光の波長に応じた光出力で検出する受光素子を備えた波長モニタ付レーザモジュールであって、
前記受光素子の受光側に反射格子を設けた伝光板を配し、該伝光板は、前記反射格子で反射された光を上面、または下面の少なくとも一方で反射させながら前記受光素子へ集光するように案内することを特徴とする波長モニタ付レーザモジュール。
【請求項２】
前記反射格子は、表面に波状の溝部を設けた伝光板本体と、前記波状の溝部の上に、前記伝光板本体とは屈折率の異なる透明部材からなる均一な膜厚の中間層と、前記中間層上に設けられた前記伝光板本体の屈折率と同程度の屈折率の上面層からなることを特徴とする請求項１に記載の波長モニタ付レーザモジュール。
【請求項３】
前記中間層は、グラディエイション状に厚さを変えて、波長によって反射光の向きが変わるように構成することを特徴とする請求項１又は２項に記載の波長モニタ付レーザモジュール。
【請求項４】
前記伝光板本体を光導電素子として構成し、該素子をバイアス駆動し、前記素子に流れる電流をモニタすることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の波長モニタ付レーザモジュール。
【請求項５】
前記伝光板は、中央部をサブマウントから離間するように、周囲をサブマウントに接合することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の波長モニタ付レーザモジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光送信器に用いられる半導体レーザモジュール、特に波長分割多重（ＷＤＭ：Wavelength Division Multiplexing）光通信ネットワークシステムに用いられる送受信器用の波長モニタを備えるレーザモジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＷＤＭシステムにおいては、その光送受信器の中の光送信部は発光波長を所定の一定値に制御する必要がある。その制御には大きく分けて、
（１）予めＬＤ（レーザダイオード）の波長の温度・電流依存性を調べておき、要求される波長になるように温度・電流制御を行う方法、
（２）ＬＤの発光波長を測定して、ＬＤの温度・電流にフィードバックをかけるか、または波長制御端子をもつＬＤならば波長制御端子にフィードバックをかける方法、
の二つの方法がある。本発明は後者に関するするものである。
【０００３】
上記のような制御方法の先行技術としてはさまざまなものがある。代表的なものとして下記のようなものがある。
例えば、ＬＤの出力光を光ファイバケーブルに設けた光分岐装置で取出し、この取出したＬＤの出力光波長を波長モニタで検出し、検出した波長を基準値と比較し、比較結果をＬＤの温度制御のために帰還する制御方法がある。なお、ここで使われている波長モニタの具体的な構成については明記されていない（特許文献１参照）。
【０００４】
また、ＬＤからのキャリアビームを、光カプラ機能を有する装置で分岐してモニタリング用のビームを出力し、このビームの波長を楔型エタロンによる波長モニタを介してＬＤの温度制御のために帰還する制御方法がある。ここで使われている波長モニタは楔型エタロンの異なるパスを通過する二つの光の強度差によって動作する（特許文献２参照）。
さらに、発光素子の背面光出力を、平行レンズを介して後ハーフミラーによって二分岐し、一方はエタロンを介する経路とし、他方は直接の経路とし、その経路差により波長を検出し、検出された波長に基づいて発光素子を温度制御する制御方法がある。このとき、ＬＤと波長モニタ部を個別に温度制御している（特許文献３参照）。
【特許文献１】特開２０００−１６４９７７号公報
【特許文献２】特開平１１−１２２１７６号公報
【特許文献３】特開２００２−０４３６８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
これらの方法はいずれもＬＤの出力光を反射または分岐によって分け、それを透過率または透過光の方向が波長に依存するデバイス（例えばエタロン）を通したのち、ＰＤ（フォトダイオード）で光パワーをモニタするものである。原理的には高い精度で波長をモニタできるが、部品点数が多く、その接続作業が困難であるため、低コスト化・小型化が難しいという欠点がある。
【０００６】
すなわち、上記先行特許文献１〜３は、
（１）レーザダイオード（ＬＤ）モジュールから出力された光をＬＤモジュール外で波長モニタするタイプ、
（２）パッケージ内にレーザモジュールと波長モニタを格納するタイプ、
のいずれかであるが、いずれも部品点数が多く、低コスト化・小型化が困難となっている。
さらに、前者よりは小型化できるが、非ＷＤＭ通信で主流になっている同軸パッケージ（ＣＡＮパッケージ）を用いたＬＤモジュールほどは小さくすることができていない。
【０００７】
本発明の目的は、上記問題点に鑑み、同軸パッケージ（ＣＡＮパッケージ）のＬＤモジュールに収納可能な小型の波長モニタを備えた波長モニタ付レーザモジュールを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の波長モニタ付レーザモジュールは、レーザダイオードと、該レーザダイオードの出射光を光の波長に応じた光出力で検出する受光素子を備えた波長モニタ付レーザモジュールであって、前記受光素子の受光側に反射格子を設けた伝光板を配し、該伝光板は、前記反射格子で反射された光を上面、または下面の少なくとも一方で反射させながら前記受光素子へ集光するように案内するように構成されている。
【０００９】
また、前記の反射格子は、表面に波状の溝部を設けた伝光板本体層と、波状の溝部の上に、伝光板本体とは屈折率の異なる透明部材からなる均一な膜厚で設けられた中間層と、中間層上に設けられ、伝光板本体と略同じ屈折率の上面層からなる。また、伝光板本体を光導電素子として構成し、該素子をバイアス駆動し、素子に流れる電流をモニタリング用端子へ出力する。また、中間層は、グラディエイション状に厚さを変えて、波長によって反射光の向きが変わるように構成する。また、伝光板は、中央部をサブマウントから離間するように、周囲をサブマウントに接合する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の波長モニタ付レーザモジュールによれば、光学的には、反射格子で反射させた光を、伝光板本体で複数回全反射させて伝送させるので、エタロンの中間層と出力検出用のＰＤとの間の距離を実質的に長くでき、エタロンの中間層を用いて波長によって光の向きを変えた効果をより有効にすることができる。
また、物理的には、伝光板本体で複数回全反射させるので、この分直線に延ばした場合よりも距離を縮めることができる。この結果、同軸パッケージ（ＣＡＮパッケージ）のＬＤモジュールに収納可能な小型の波長モニタを備えた波長モニタ付レーザモジュールを構成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
（実施例１）
図１は本発明の実施例１の概略を説明する図である。
図１に示すように、本発明の波長モニタ付レーザモジュール１は、ベース部となるステム２を構成するステムベース３およびサブマウント４と、このステムベース３およびサブマウント４に挿通保持される複数のリードピン５と、このリードピン５に接続されるモニタ回路からなる。ステムベース３は、連設された大径のフランジ部３ａと小径の台座部３ｂを有する。
【００１２】
サブマウント４は、その端面が台座部３ｂの端面から出ないように形成され、軸方向の面を形成する壁部４ａと、軸方向と直角に形成した上端部４ｂと、この上端部４ｂに対向して他端部に設けられた傾斜部４ｃとを有する。壁部４ａ上にはレーザダイオード（ＬＤ）６を搭載したヒートシンク７が設けられる。上端部４ｂ上にはモニタ回路の中心となる波長モニタ８が設けられる。傾斜部４ｃ上にはパワーモニタ用の受光素子（例えば、フォトダイオード、以下ｍＰＤとする）が設けられている。波長モニタ用の受光素子（例えば、フォトダイオード、λＰＤとする）は波長モニタの裏面（図示省略）に設けられる。
【００１３】
波長モニタ８はサブマウント４の上端部４ｂに後述するように周囲のコ字形部分だけが固着されるように取り付ける。ヒートシンク７はＬＤ６を搭載してサブマウント４の壁部４ａに固着し、ｍＰＤ９と波長モニタ８の略中心部をＬＤ６の光軸上に整列させる。
ＬＤ６とｍＰＤ９と波長モニタ８をサブマウント４上で光軸合わせを行った状態で、このサブマウント４をステムベース３上に取り付ける。
【００１４】
また、サブマウント４の傾斜部４ｃを壁部４ａの面から立ち上げて形成してあるので、この壁部４ａに対し実質的に垂直に立ち上げた状態に設けた波長モニタ８と対向する構造となり、光軸を形成することが容易になる。ステムベース３は、大径のフランジ部３ａと、このフランジ部３ａより小径の台座部３ｂからなる。サブマウント４は、台座部３ｂの端面より小面積の端面を有し、その壁部４ａ側に突設した傾斜部４ｃに光軸が形成されるように構成し、壁部４ａにヒートシン７を設け、上端部４ｂに波長モニタ８の光軸が形成できるように設けることができる構成としている。
【００１５】
波長モニタ８は、図１に示すように、サブマウント４の上端部４ｂに実装される。ＬＤ６の出力光はすべて波長モニタ８を通ってレンズ系・ファイバ（図示省略）の方向に導かれる。波長モニタ８は透過する光の一部をタップして、波長を計測する。図１ではＬＤ６の前面出力光はすべて波長モニタ８を透過しているが、波長モニタ８の出力によってＬＤ６の出力光波長が測定可能であれば任意の光量、例えば出力光の半分程度が透過するようにしてもよい。
【００１６】
リードピン５は、台座部３ｂのサブマウント４に接しない領域部分に設けられ、サブマウント４の壁部４ａ側に設けたＬＤ６、波長モニタ８およびｍＰＤ９にワイヤ配線される。
ステムベース３のフランジ部３ａ上には、波長モニタ８等を設けたサブマウント４を収納するようにレンズを設けたキャップ（図示省略）が密封状態で取り付けられる。
【００１７】
図２は本発明のＬＤの波長モニタ回路を説明する図である。
図２の波長モニタ回路１０は図１の波長モニタ付レーザモジュール１内に組み込まれ、波長モニタ回路１０のそれぞれの端子１０ａ〜１０ｅがリードピン５とステム（ＧＮＤ）になる。ＬＤ６のカソードは波長モニタ回路１０のＬＤ６カソード端子１０ａに接続され、ＬＤ６の波長制御端子は同様に波長制御端子１０ｂに接続され、ＬＤ６のアノードはステム（ＧＮＤ）端子１０ｃおよび逆接続のｍＰＤ９を介してパワーモニタ端子１０ｄに接続される。
【００１８】
このｍＰＤ９はＬＤ６の光を検出してパワーモニタ端子１０ｄに出力する。ＬＤ６のアノード端子はλＰＤ１１を介して波長モニタ端子１０ｅに出力する。λＰＤ１１へは、ＬＤ６からの光を伝光板１２を介して入力する。
ここでＬＤ６はＤＢＲ−ＬＤ（Distributed Bragg Reflector laser diode：ブラック反射型レーザダイオード）であり、光パワーを制御する端子（ＬＤカソード）と波長を制御するための端子を持っている。ｍＰＤ９はＬＤ６出力パワーを計測し、伝光板１２とλＰＤ１１で波長モニタ８を構成して波長を計測する。
【００１９】
λＰＤ１１に入射する光パワーは波長依存性をもっているため、波長モニタ出力とｍＰＤ出力の比から波長を割り出すことができる。このようにして得られた波長と光パワーをＬＤ６の二つの端子（ＬＤカソード１０ａと波長制御端子１０ｂ）にフィードバックすれば、ＬＤモジュールの光波長が安定化する。フィードバック制御は波長モニタ回路１０の各端子に接続される制御回路（図示省略）で行う。
【００２０】
図３は本発明の波長モニタの実装状態を示す図である。図３（ａ）は図３（ｂ）のＡ−Ａ断面図、図３（ｂ）は伝光板をサブマウントへ取り付けた状態の正面図、図３（ｃ）は図３（ｂ）のＢ−Ｂ断面図である。
図３に示すように、サブマウント４は一部が窪み４ｄになっており、伝光板１２はその窪み４ｄを覆うようにコ字状にダイボンドされている。ダイボンド方法は接着剤でも良いし、ＡｕＳｎ半田でもよい。
【００２１】
伝光板１２は、このように窪み４ｄを介してサブマウント４からすこし浮いていることによって、後述の全反射による導波を可能にしている。このように、伝光板１２は、窪み４ｄを覆うようにサブマウント４にダイボンドされているので、反射格子で反射した光をλＰＤ１１まで全反射させて伝送することができ、取り込んだ光をロスすることなく有効につかうことができる。
【００２２】
図４は本発明の波長モニタの一例を示す図である。図４に示すように、伝光板１２は一部に反射格子１３が形成され、反射格子１３からの反射光が合焦する場所にλＰＤ１１が搭載された構成になっている。図中の「＋」印はＬＤの光軸を表す。反射格子１３は、任意の数で形成することができ、図４では５個設けられ、全体としてλＰＤに測定に必要な光が入るように設けられている。この反射格子１３は、図４に示すように平面図で見て略円弧状の曲線形状になっているが、例えば、前記曲線を近似する直線の組み合わせ形状等であっても良い。
【００２３】
図５は本発明の伝光板の一例を説明する図である。図５に示すように、全反射方式の平行平面導光体となる伝光板本体の１面には、入射光が透過する領域に、反射格子が形成されている。反射格子１３は、表面に波状の溝１２ｂが形成された伝光板本体１２ａと、その波状の溝１２ｂの面の上に伝光板本体１２ａと比べ屈折率の異なる均一な膜厚で形成されたガラス薄膜層（中間層）１２ｃと、このガラス薄膜層１２ｃ上に伝光板本体１２ａと略同じ（又は同じ）屈折率の表面膜層（上面層）１２ｄが設けられる。
【００２４】
これら波状の溝１２ｂを形成した伝光板本体１２ａと、前記波状の溝１２ｂに設けたガラス薄膜層１２ｃと、ガラス薄膜層１２ｃ上に設けた表面膜層１２ｄの積層構造は、組み込まれた反射格子１３として伝光板１２の一部を構成する。ガラス薄膜層１２ｃは多層膜で形成しても良い。最終的に表面膜層１２ｄの表面と伝光板本体１２ａの裏面とは平行なため、ＬＤから出た光線の軌道は伝光板によって、殆ど影響を受けない。
【００２５】
ＬＤ６からの光は波長によるが数％〜２０％程度がガラス薄膜１２ｃ層で反射される。反射された光は伝光板本体１２ａの表面１２ｅによる全反射によって伝光板１２ａ本体中をλＰＤ１１まで導かれる。
反射格子１３におけるガラス薄膜層１２ｃの、ＬＤ６の入射光軸に対する傾き（波状の溝の傾き）は、モニタ対象の波長の光が反射格子１３で反射後、伝光板本体１２ａの表面１２ｅで全反射を繰り返しながら伝光板本体１２ａを伝搬しλＰＤ１１へ入射するように形成される。複数の反射格子１３を形成する前記ガラス薄膜層１２ｃの傾きは、λＰＤ１１に近い側から遠い側に向かって大きくなる値をとる。前記溝の数および間隔はλＰＤの出力に応じて決まる。
【００２６】
このように、伝光板は、表面に波状の溝部を形成し、その溝上に均一な中間層の薄膜を形成し、その上に上部層を設けるだけの簡単な構成および手順により形成することができる。上部層を伝光板層と同じ材料で形成することができるので、材料が異なることによる内部歪みを小さくすることができる。また、同じ材料を用いるので、製造が容易になる。
【００２７】
伝光板本体１２ａは、サブマウント４の上端部４ｂに対向する領域のうち、窪み４ｄ以外の略コ字形領域をサブマウント４の上端部４ｂから微小間隔だけ離間するようにして固定する。このように微小間隔だけ離間させることにより、伝光板本体１２ａ内で全反射する反射光がサブマウント４内に漏れて透過することを阻止できる。反射格子１３の図４における弧の形状は、反射光のそれぞれがλＰＤ１１に入射するように形成する。伝光板に入射される光は、その波長によって反射格子１３で異なる反射角で反射される。反射された光のうちλＰＤ１１に入る光は波長に応じて図６のように周期的に変化する。
【００２８】
図６は本発明の伝光板の波長−ＰＤ出力特性図である。モニタリングしているＬＤの出射光が、予定の波長の光であれば、図６の特性のＰＤ出力が検出できる。しかしながら、何らかの理由で波長が変動すると、それに伴ってλＰＤ１１の出力も変動する。そこで、λＰＤ１１の出力を検出すれば、波長が予定の波長からどれだけ偏移しているか測定することができる。測定ができたならば、測定した偏移量をＬＤの波長制御端子にフィードバックをかける方法で制御を行う。フィードバック制御は制御回路（図示省略）により行う。
【００２９】
所定の波長のときに出力が極大（または極小）になるよりは、出力変化が最も大きくなるところに所定の波長がくることが望ましい。なお、このとき、ＬＤからの光は平行光ではないため、場所によって伝光板本体の表面における波状の溝の傾きはλＰＤ１１に集光するように変えてある。波状の溝は伝光板本体の１側面に部分的に設けられ、残りの部分は全反射方式の平行平面導光体構造をとる。
伝光板本体は、基本的にＩｎＰ、Ｓｉ、ガラス、またはプラスチック等の有機材料で形成される。伝光板本体が半導体材料で形成される場合、エッチングで溝を形成すればよいが、そうでないならば機械加工（この場合は溝が直線状になる）で溝を形成してもよい。また、伝光板本体がガラスや有機材料で形成されるならば、機械加工、またはプレス加工で溝を形成してもよい。
【００３０】
図７は本発明の反射格子について説明する図である。反射格子１３の各部の形状は、例えば、図７に示すように伝光板本体１２ａが０．５ｍｍの厚さのとき、反射格子の波状の溝１２ｂの２辺は、１辺が溝の角から反時計回りに水平から２０°の角度の辺で、他の１辺が溝の角から時計回りに水平から６０°の角度の辺で構成される。前記２０°の辺は、水平方向に換算した長さが０．５ｍｍであり、隣接する両溝の間の間隔は０．０５ｍｍとなる。
【００３１】
反射格子１３を図７の角度に設定した場合、伝光板本体１２ａにその下方から垂直入射した光のうち、伝光板本体の波状の溝１２ｂの面で反射された入射光は、伝光板本体の下面に水平から５０°で当たる。この場合には伝光板本体の材質として臨界角は５０°以上のものが必要となる。その伝光板本体１２ａの波状の溝１２ｂ上に図５で説明したようにガラス薄膜の中間層、その上に伝光板本体と同等の材質からなる表面膜の上部層を形成する。上部層の上面は、反射格子を設けない伝光板本体の面と面一（連続する面）に形成される。
【００３２】
原理的には、中間層は伝光板本体の下部層とは屈折率の異なる透明材料の蒸着膜で形成できるが、伝光板本体との相性に留意する必要がある。
表面膜の上部層は、伝光板本体やガラス薄膜層が耐熱性ならば、溶融した透明部材を塗布する方法もあるが、耐熱性でないのなら透明樹脂を塗布する方法もある。簡易に行うのであれば、伝光板本体の下部層はポリイミドで形成し、ガラス薄膜の中間層は弗化ポリイミド、表面膜の上部層もポリイミドとなる。なお、中間層のサイズは１０μｍ程度とする。
【００３３】
反射格子は干渉を起こすためのものではない。中間層は、エタロンではなく、均一な層であり、フィルタとなる。例えば、λＰＤの受光パワーさえ十分であるならば、溝は一つでもよい（例えば、格子でなくてもよい）。基本的には一つの溝の平面で自己干渉を起こさせる。ただし、λＰＤへの受光パワーが十分でない場合は複数の溝を切り、格子状にすることになる。この場合にもＬＤの出力光束の全部に対して溝を切っておく必要はなく、λＰＤへの受光パワーさえ十分ならば一部でよい。
【００３４】
λＰＤの実装精度が十分高い場合、この場合には伝光板の厚さに比して溝のピッチを狭くして、各溝で反射した光がλＰＤに入射するように設計することになる。溝を多数切る理由はλＰＤの受光パワーを挙げることにある。溝によって斜面の角度は違ってくる。異なる溝からの反射光によって干渉の効果が消えてしまわないように、伝光板本体やガラス薄膜層の膜圧制御は高い精度が要求される。
λＰＤの実装精度が低い場合、この場合には各溝で反射した光が異なる場所に入射するように設計することになる。λＰＤを適当に実装してもどれかの溝からの光が入射する。溝ごとに斜面の角度は一定である。どちらにしても異なる溝からの反射光によって干渉の効果が消えてしまわないように設計する必要がある。
【００３５】
本発明の波長モニタ付レーザモジュールは、光学的には、反射格子で反射させた光を、伝光板本体で複数回全反射させて伝送するので、エタロンの中間層と出力検出用のλＰＤとの間の光路長を実質的に長くでき、エタロンの中間層を用いて波長によって光の向きを変えた効果を、より有効にすることができる。
【００３６】
また、伝光板本体で複数回全反射させるので、高い波長分解能を得るために必要な光路長に比べて、最初の反射点と出力検出用のλＰＤとの物理的な距離を縮めることができ、この結果、同軸パッケージ（ＣＡＮパッケージ）のＬＤモジュールに収納可能な小型の波長モニタを備えた波長モニタ付レーザモジュールを構成することができる。
【００３７】
（実施例２）
本発明の実施例２は、ガラス薄膜層の厚さ（ＬＤの光軸方向の厚さ）を伝光板の長さ方向（λＰＤへ向かう方向）に向かってグラディエーション状に厚さを変えて（厚さを漸次増加又は減少させて）、波長によって反射光の向きが変わるようにしたものである。他の構成は実施例１（図５）と同じである。エタロンを使用する際に問題となるのはλＰＤとエタロン（ガラス薄膜層）との距離である。
【００３８】
エタロンは波長によって光の向きを変えるものであるため、ある程度λＰＤとエタロン（ガラス薄膜層）との距離をとらないと、図７のような特性が得られない（最大と最小の差が小さくなってしまう）。ところが、一般に小さなＴＯＳＡ（送信用光デバイス）に波長モニタを入れるにはサイズが問題になる。この実施例２ではエタロンを用い、かつ、導波路でなく、図５の伝光板の全反射方式を用いている。全反射によって反射しながら、反射光はλＰＤへ伝送されるので、λＰＤとエタロン（ガラス薄膜）との距離を実質的に長くすることができる。
【００３９】
中間層の膜厚が均一であるなら、中間層がエタロンの働きをして波長によって光の向きを変えるため、中間層と出力用のλＰＤの間の距離をある程度長くとらないとならない。ところが、グラディエーション状に厚さを変える中間層としたので、ガラス薄膜で波長によって反射光の向きが変わる。このため、中間層の膜厚が均一の場合に比べ、中間層と出力用のλＰＤの間の距離は短くできる。
【００４０】
（実施例３）
本発明の実施例３は、ＬＤの出力モニタをそのＬＤの後方（サブマウントの傾斜部に搭載した）のｍＰＤで行うものではなく、波長モニタで行うものである。この場合には伝光板本体を、例えば、長波長ならばＩｎＰで形成し、伝光板本体そのものに０．２Ｖ程度のバイアスをかけておけば、電流をモニタすることによって、光量をモニタできる。この場合、ＩｎＰを光導電（Ｐｈｏｔｏ−ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ）素子として用いる。この場合にはλＰＤを伝光板本体上に実装するのではなく、伝光板本体の中に集積化することが可能になる。なお、この例でも後方からの反射光を避けるために図１で説明した実施例１においてｍＰＤが実装されていた箇所であるサブマウントの傾斜部４ｃは斜めに構成される。
【００４１】
実施例１、２では、伝光板で波長をモニタしている。それ以外に光量をモニタするｍＰＤも必要であるが、この実施例３では伝光板で光量のモニタも行う。なお、λＰＤはＰＮタイプでもできるが、裏側からの受光なので、ＭＳＭ型を用いることもできる。そして、この方法では図１のｍＰＤは必要ないが、それでもＬＤの後方からの反射光を防ぐためにはλＰＤ１１が乗っていた傾斜部４ｃは上述したように斜めに切っておく必要がある。これがサブマウント４の傾斜部４ｃの「斜めカット」形成の意味である。
【００４２】
なお、波長をモニタしたあと、ＬＤの波長制御端子にフィードバックをかける方法で説明したが、例えば、ＤＦＢ−ＬＤのように波長を制御する端子を持たないＬＤならば、熱電素子を組み込んでＬＤの温度・電流にフィードバックをかけてもよい。図１のＬＤの波長制御端子はＤＢＲ−ＬＤの波長制御端子か、最近はＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）でミラーの位置を変えたり、一部に応力を加えたりすることによって波長をかえるＬＤの波長制御端子が相当する。
【００４３】
図８は本発明の他のＬＤのモニタ回路を示す図である。この回路は、図１の回路にサーミスタ１４に接続した温度計測端子１０ｆを設けると共に、ＬＤ６に電界吸収型素子（ＥＡ：Electro absorption）１５を組み込んで構成した。
このように、変調のためのＥＡ１５のためのＥＡ端子１０ｇを持っていてもよいし、より高精度な波長計測をしたり、伝光板の温度依存性が大きい場合に備えて、温度計測端子１０ｆを備えていてもよい。この場合にはサーミスタ１４は伝光板１２上に実装することになる。
また、上記ではＬＤ６がアノード端子１０ｈとカソード端子（１０ｃ）と波長制御端子１０ｂを持つ１チップのＬＤの例を挙げたが、これらは複数のチップによるディスクリートＬＤでもよい。例えば、レーザ発振する発光チップと、印加電圧によって屈折率が変わる導波素子とを組み合わせたものでもよい。この場合には前記導波素子に印加する電圧の端子が波長制御端子となる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の概略を説明する図である。
【図２】本発明のＬＤのモニタ回路を説明する図である。
【図３】本発明の波長モニタの実装状態を示す図である
【図４】本発明の波長モニタの一例を示す図である。
【図５】本発明の伝光板の一例を説明する図である。
【図６】本発明の伝光板の波長−ＰＤ出力特性図である。
【図７】本発明の反射格子の一例を説明する図である。
【図８】本発明の他のＬＤのモニタ回路を説明する図である。
【符号の説明】
【００４５】
１…波長モニタ付レーザモジュール、２…ステム、３…ステムベース、３ａ…フランジ部、３ｂ…台座部、４…サブマウント、４ａ…壁部、４ｂ…上端部、４ｃ…傾斜部、４ｄ…窪み、５…リードピン、６…ＬＤ（レーザダイオード）、７…ヒートシンク、８…波長モニタ、９…ｍＰＤ、１０…波長モニタ回路、１０ａ…ＬＤカソード端子、１０ｂ…波長制御端子、１０ｃ…ステム（ＧＮＤ）端子、１０ｄ…パワーモニタ端子、１０ｅ…波長モニタ端子、１０ｆ…温度計測端子、１０ｇ…ＥＡ端子、１１…λＰＤ、１２…伝光板、１２ａ…伝光板本体、１２ｂ…波状の溝、１２ｃ…ガラス薄膜（中間層）、１２ｄ…表面層（上面層）、１２ｅ…表面、１３…反射格子、１４…サーミスタ、１５…ＥＡ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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