(57)【要約】      （修正有）【課題】化学工場の熱風乾燥機などから排出される揮発性有機化合物〔ＶＯＣ（水より沸点の高い、水に溶けやすい親水性、水と共沸点を持たない物性を持つＶＯＣ）〕を含有する排ガスを浄化し濃縮液を回収する方法および装置を提供する。【解決手段】１ブロックの気液接触機構を持つＶＯＣ濃縮部と濃縮部のガス下流側の回収部から構成される排ガスからのＶＯＣ回収濃縮装置を用い、回収部のガス下流側より供給される吸収液である水により回収部で排ガスに含有されているＶＯＣを吸収しながら濃縮部内を流下させ、濃縮部ガス上流側よりＶＯＣ含有排ガスを導入し濃縮部において吸収液である水を蒸発させ回収部を経て系外に浄化ガスを放出し、濃縮部で濃縮されたＶＯＣ濃縮液は装置下端に設けられた貯留部に送る。ＶＯＣ貯留液は濃縮部のガス下流側に循環供給し、循環液中の水の蒸発によりＶＯＣの濃縮を行い、濃縮された循環液は一定濃度に達すると系外に排出する。【選択図】図１
2008114203.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
排ガスに含まれる「吸収液（水）より高沸点で、親水性であり、さらには水と共沸点を持たない物性を持つ揮発性有機化合物（以下ＶＯＣと称する）」を排ガス中から回収濃縮し、排ガスを浄化する方法において、１ブロックの気液接触機構を持つＶＯＣ濃縮部と前記ＶＯＣ濃縮部のガス下流側（装置内ガス出口側）に１〜数ブロックの気液接触機構を持つＶＯＣ回収部から構成される排ガスからのＶＯＣ回収濃縮装置を用い、ＶＯＣ回収部のガス下流側より供給される吸収液（すなわち水）により、ＶＯＣ回収部において排ガスに含有されているＶＯＣを吸収しながらＶＯＣ濃縮部内を流下させ、一方、ＶＯＣ濃縮部ガス上流側よりＶＯＣ含有排ガスを導入し、ＶＯＣ濃縮部において吸収液である水を蒸発させ、ＶＯＣ回収部を経て系外に浄化ガスを放出し、ＶＯＣ濃縮部で濃縮されたＶＯＣ濃縮液は、ＶＯＣ濃縮部および／またはＶＯＣ回収部の下端に設けられたＶＯＣ貯留部に送り、ＶＯＣ貯留部に溜まったＶＯＣ貯留液はＶＯＣ濃縮部のガス下流側に循環供給し、循環液中の水の蒸発によりＶＯＣの濃縮を行い、ＶＯＣ貯留部に溜まったＶＯＣの濃縮された循環液は、濃度測定により一定濃度に達すると回収濃縮液として系外に排出することを特徴とするＶＯＣ含有排ガス中からＶＯＣを回収濃縮し、排ガスを浄化する方法。
【請求項２】
「排ガスが持ち込むエネルギーから算出した水の蒸発量を超えない範囲」の量よりなるＶＯＣを回収するための主吸収液をＶＯＣ回収部のガス下流側から散布するとともに、ＶＯＣ回収液の濃度を調整するための補助的な量の副吸収液を前記装置内へ供給するものである請求項１記載のＶＯＣ含有排ガス中からＶＯＣを回収濃縮し、排ガスを浄化する方法。
【請求項３】
前記ＶＯＣ回収部を経て系外に排出される浄化ガスの出口に冷却手段を設け、ここで凝縮した水は吸収液として再利用するものである請求項１または２記載のＶＯＣ含有排ガス中からＶＯＣを回収濃縮し、排ガスを浄化する方法。
【請求項４】
前記ＶＯＣ貯留部においてＶＯＣ貯留部の温度変化を表わす温度曲線に温度上昇変異点が発生した時点で回収濃縮液の系外排出を行うものである請求項１〜３いずれか記載のＶＯＣ含有排ガス中からＶＯＣを回収濃縮し、排ガスを浄化する方法。
【請求項５】
前記浄化ガスを冷却し、浄化ガス中の水蒸気を凝縮し吸収液として再利用するものである請求項１〜４いずれか記載のＶＯＣ含有排ガス中からＶＯＣを回収濃縮し、排ガスを浄化する方法。
【請求項６】
排ガスの温度が水の蒸発に不充分なときは、（イ）ＶＯＣ濃縮部に排ガスを導入する前段階で、排ガスを加熱する、（ロ）ＶＯＣ貯留部を加熱する、（ハ）ＶＯＣ貯留液をＶＯＣ濃縮部のガス下流側に循環する段階で加熱する、の少なくとも１つの加熱方法で加熱を行うものである請求項１〜５いずれか記載のＶＯＣ含有排ガス中からＶＯＣを回収濃縮し、排ガスを浄化する方法。
【請求項７】
１ブロックの気液接触機構を持つＶＯＣ濃縮部と前記ＶＯＣ濃縮部のガス下流側（装置内ガス出口側）に１〜数ブロックの気液接触機構を持つＶＯＣ回収部から構成されるＶＯＣ回収濃縮装置において、前記ＶＯＣ濃縮部のガス上流側（装置内ガス入り口側）よりＶＯＣ含有排ガスを導入するためのＶＯＣ含有ガス導入手段、ＶＯＣ回収部のガス下流側より吸収液を供給する手段、排ガス中のＶＯＣを回収し、ガスを浄化するためのＶＯＣ回収部における吸収液散布手段、ＶＯＣ回収部における浄化ガス排出手段、前記ＶＯＣ濃縮部（および前記ＶＯＣ回収部）から送られてくるＶＯＣ含有処理液を貯留するためのＶＯＣ貯留部、ＶＯＣ貯留部に留った貯留液をＶＯＣ濃縮部のガス下流側に循環供給する手段、ＶＯＣ貯留部に設けられた貯留液のＶＯＣ濃度測定手段、および前記貯留液中のＶＯＣ濃度が所定の濃度に達したとき、その貯留液を回収濃縮液として系外に排出する排出手段よりなることを特徴とするＶＯＣ含有排ガス中からＶＯＣを回収濃縮し、排ガスを浄化するための装置。
【請求項８】
前記浄化ガス排出手段にガス冷却用熱交換器を付設した請求項７記載のＶＯＣ含有排ガス中からＶＯＣを回収濃縮し、排ガスを浄化するための装置。
【請求項９】
前記ＶＯＣ回収部上部の吸収液散布手段の更に上部に設けられた浄化ガス出口に浄化ガス冷却用熱交換器を設け、該熱交換器から出たガスを乾燥機に戻して再利用するガスのリサイクル・クローズドシステムを設けた請求項７または８記載のＶＯＣ含有排ガス中からＶＯＣを回収濃縮し、排ガスを浄化するための装置。
【請求項１０】
（ａ）ＶＯＣ濃縮部に排ガスを導入する前段階、
（ｂ）ＶＯＣ貯留部、
（ｃ）ＶＯＣ貯留液をＶＯＣ濃縮部のガス下流側に循環する段階、
の少なくとも１箇所に加熱手段を設けた請求項７〜９いずれか記載のＶＯＣ含有排ガス中からＶＯＣを回収濃縮し、排ガスを浄化するための装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体などの電気、電子部品の製造工場、電池の製造工場、フィルム・皮革など化学工場などの熱風乾燥機などから排出される揮発性有機化合物〔ＶＯＣ（水より沸点の高い、水に溶けやすい親水性、水と共沸点を持たない物性を持つＶＯＣ）〕を含有する排ガスを回収部では吸収液である水にＶＯＣを吸収（回収）することで排ガスを浄化し、さらにはＶＯＣ濃縮部で吸収液である水を蒸発させ、ＶＯＣを濃縮するＶＯＣ含有排ガス中からＶＯＣを回収濃縮し、排ガスを浄化する方法および装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、熱風乾燥機などから排出されるＶＯＣを含有する排ガスを浄化し、さらにＶＯＣを回収・再利用する方法としては、（ｉ）冷却法、（ii）活性炭・ゼオライトなどの固体吸着剤を使用する吸着法、（iii）液体状難揮発性溶剤を使用する吸収法、（iv）水を使用する吸収法などがある。２００６年４月、改正大気汚染防止法に基づく揮発性有機化合物（ＶＯＣ）の排出規制が施行され、排ガスに含有するＶＯＣの排出基準が決められた。現時点ではほとんどの場合送風機または排風機の風量が一定量以上の場合に適用されるが、自主的な削減が求められることは必然である。また、有限な資源を有効に活用する再利用（リサイクル）についても今後の技術開発の大きな課題の一つである。
【０００３】
前記（ｉ）の冷却法は、排ガスを間接的熱交換器により冷却水などで冷却し、空気中のＶＯＣの蒸気圧を低くし、その差を利用してＶＯＣを凝縮し、回収する方法である。１例としてＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）を１０００ｐｐｍ（ｖ／ｖ）含む温度１００℃の排ガスを、２０℃まで冷却した場合を説明する。１００℃のＤＭＦの蒸気圧は１９．５ｋＰａ（１００℃の最大飽和量）であり、２０℃のそれは０．３５ｋＰａである。この蒸気圧の差分（１９．５−０．３５＝１９．１５）の量が凝縮し、液として回収することが出来る。しかし浄化ガスとして排出する２０℃の空気中でＤＭＦは０．３５ｋＰａの蒸気圧を持っており、このときのＤＭＦの濃度は≒３５００ｐｐｍ（ｖ／ｖ）であり、排ガス規制値をクリアーすることは出来ない。温度と蒸気圧の関係から推定するとこの値以下にＶＯＣを除去することは、事実上困難といえる。蒸気圧はＶＯＣの種類により異なるが、冷却可能な温度に限界（冷却水の温度・量など）があるため、蒸気圧は一定値までしか下げることができず、規制値をクリアーすることは容易ではない。また、回収したＶＯＣ液には排ガス中の湿分（水）が同時に凝縮するので回収したＶＯＣの回収液濃度を一定にすることが出来ず、回収ＶＯＣの精製リサイクルには不向きであるなど問題があった。
【０００４】
前記（ii）の活性炭・ゼオライトなどの固体吸着剤を使用する吸着法（特許文献１参照）は、前段で排ガスを吸着剤で効率よく吸着できる条件である約４０℃位まで冷却し、吸着剤にＶＯＣ・水を選択的に吸着させ、ガスを浄化する。吸着したＶＯＣは１４０〜１５０℃の脱着条件まで加温され分離（脱着）する。このように（ii）の方法は吸着（冷却）・脱着（加熱）を繰り返してＶＯＣを回収する方法である。冷却する熱、脱着する熱などが必要であるためランニングコストが大きい、高温で過熱あるいは吸着剤の触媒作用によりＶＯＣが反応して他の物質ができる（ＤＭＦの場合は蟻酸とジメチルアミンが生成する）、また回収したＶＯＣには排ガス中の湿分（水）を同時に吸着・脱着するため、浄化後のガスおよび回収液中のＶＯＣ濃度を一定にすることが出来ないのでリサイクルには不向きである、更には吸着剤の経年劣化により定期的な交換を必要とする、などといった問題がある。
【０００５】
前記（iii）の液体状難揮発性溶剤を使用する吸収法（特許文献２参照）は、簡略すれば〔０００４〕の固体吸着剤を液体の難揮発性溶剤に変えた方法である。すなわち、吸収塔でＶＯＣ・水を吸収した難揮発性溶剤を放散塔（ＶＯＣ・水を分離する塔）に送り、難揮発性溶剤からＶＯＣ・水を分離して再度吸収塔に戻すことでＶＯＣを回収する方法である。吸収効率を上げるため、吸収塔に流入する排ガスを冷却し、ＶＯＣ・水を分離するために加熱するなどランニングコストが大きい。また回収したＶＯＣには排ガス中に湿分（水）が同時に吸収・分離するためＶＯＣ濃度を一定にすることが出来ないのでリサイクルには不向きである、更には吸収塔・放散塔それに付帯する加熱器・冷却器など装置が複雑である、などといった問題がある。
【０００６】
前記（iv）の水を使用する吸収法（特許文献３参照）は、一般に水スクラバー型式と呼ばれる水を吸収剤とするガス吸収方法である。水のＶＯＣに対する吸収は温度が低いほど吸収効率が良好であるので吸収塔に導入する排ガスは前もって冷却し、多量の水と気液接触させ、ガスの洗浄を行う。従来、水を吸収剤としたガス吸収装置は浄化ガスに含まれるＶＯＣ濃度を規制値以下に分離する目的と、水に吸収したＶＯＣを活性汚泥処理を介して規制値以下のＶＯＣに減じて放流する目的の２つの目的であった。この２つの目的のため大容量の水を供給する必要があり、吸収したＶＯＣのリサイクルには、水と分離するためには回収コストがかかるため、工業的に実用化することは実質的に不可能であった。本発明の対象とする水より高沸点で、親水性であり、さらには水と共沸点をもたない物性を持つＶＯＣについて、本発明者等は既設設備を転用した場合、浄化ガスの濃度は５０ｐｐｍ以上と高く、リサイクルを考慮した塔底部より回収できるＶＯＣの濃度は５０％以下であったなどの問題がある。
【０００７】
特許文献４及び特許文献５では、ＶＯＣ回収方法として水吸収・濃縮法を物質収支に基づき、実施例から説明している。双方ともＶＯＣを回収し、濃縮することを目的とした特許であるが、この装置のポイントの１つに回収濃縮液（特許文献４および５では収集液）の濃度制御がある。しかし、実装置への適用を考えた場合、特許文献４ではＶＯＣ貯留部（特許文献４では水置換塔下部）のＶＯＣ濃度を測定し、吸収液（特許文献４では補給水）の量により制御する方法を提案している。また特許文献５では、吸収液（特許文献５では補給水）を２つに分割し、制御１は排ガスと浄化ガス（特許文献５では処理済ガス）の温度差で吸収液の量を制御し、制御２ではＶＯＣ貯留部（特許文献５では水置換塔下部）のＶＯＣ濃度により吸収液の量を制御する複雑な方法を提案している。双方とも最下部にあるＶＯＣ貯留部の濃度を装置の最上部に供給する吸収液の量を制御する方法であり時間的な遅れが生じ、正確な制御は難しい。また、排ガス中に含まれるＶＯＣは多成分の場合があり通常の濃度計では正確なＶＯＣ測定が難しい。また、双方の文献とも排ガスの対象として取り扱うのは高温排ガスのみであり、低温排ガスへの対応に欠如している。更には、実際のＶＯＣ含有排ガスは濃度変動、温度変動、また季節・天候の変化による外乱からの影響を受け常にガス中のＶＯＣ、水の組成が一定となることは無いため、特許文献４及び特許文献５の方法で回収率、濃縮率を制御することは困難である。
【０００８】
【特許文献１】特開２００１−１３７６４６号公報
【特許文献２】特開２０００−１５７８３４号公報
【特許文献３】特開平１０−１１８４４０号公報
【特許文献４】特開２００４−２３０２６５号公報
【特許文献５】特開２００５−２４６２１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の第１の課題は、ＶＯＣ含有排ガスに含有される水より高沸点で、親水性であり、さらには水と共沸点を持たない物性を持つＶＯＣを水で吸収（回収）し、浄化ガスとして改正大気汚染防止法に基づく揮発性有機化合物（ＶＯＣ）の排出規制値（ｐｐｍＣ）を大幅にクリアーする点にある。
本発明の第２の課題は、回収するＶＯＣ回収液濃度を、リサイクル負荷を低減するのに必要な高濃度で回収し、再使用する点にある。
本発明の第３の課題は、ＶＯＣ含有排ガスが持つ温度（エネルギー）を最大限利用し、ＶＯＣの濃縮エネルギーとして利用する点にある。
本発明の第４の課題は、ＶＯＣ含有排ガスに含有するＶＯＣ濃度は時間と共に常に変動するため、この変動するＶＯＣ濃度に適応し、常に浄化ガスのＶＯＣ濃度を要求される排出規制値未満までクリアーする制御機構を開発し、連続無人運転を可能にするＶＯＣ回収濃縮装置を提供する点にある。
本発明の第５の課題は、吸収水として使用する水は無機物の析出を防止するため、蒸留水、純水または軟水を使用することが望ましいが、これらの水を精製するにはランニングコストの負荷が大きい。この課題を克服するためには、この蒸留水、純水、軟水を浄化ガスの湿度分として放出することを減少すべく、浄化ガス出口に冷却器を設置し、凝縮させて吸収液の供給量を減少させる装置を提供する点にある。さらには、除湿機を具備させ、除湿したガスのクローズドシステムを提供する点にある。
本発明の第６の課題は、通常の熱風乾燥機から排出されるＶＯＣ含有排ガスは高温度の場合が多い。しかし、低温のＶＯＣ含有排ガスを対象とすることがある場合、低温ＶＯＣ含有排ガスを直接加熱器で加熱するか、あるいは、ＶＯＣ貯留部からの循環液を加熱し、エネルギーを補うことで低温ＶＯＣ含有排ガスに適用できる装置を提供する点にある。
本発明の第７の課題は、通常の熱風乾燥機から排出されるガスは、大気から取り込んだ空気を使用することが多く、季節変化や天候変化に伴ってガス中に含まれる湿度（水分）が変動することが多い。吸着式のＶＯＣ処理設備では、ガス中の水分の影響によりＶＯＣの回収率、濃縮率を一定制御することが困難である。この課題を克服するべく季節の変化、天候の変化に伴うガス中の水分に関係なく常時、ＶＯＣ回収率、濃縮率を一定に制御することができる装置を提供する点にある。
本発明の第８の課題は、ＶＯＣ濃縮部とＶＯＣ回収部を分離して、装置全体の高さを低くする装置を提供する点にある。
本発明の第９の課題は、設置面積を小さくするため、円筒形状にこだわらずに縦角型、横置き角型、円筒形型などいろいろな形状を採用することが可能な設備を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の第１は、排ガスに含まれる「吸収液（水）より高沸点で、親水性であり、さらには水と共沸点を持たない物性を持つ揮発性有機化合物（以下ＶＯＣと称する）」を排ガス中から回収濃縮し、排ガスを浄化する方法において、１ブロックの気液接触機構を持つＶＯＣ濃縮部と前記ＶＯＣ濃縮部のガス下流側（装置内ガス出口側）に１〜数ブロックの気液接触機構を持つＶＯＣ回収部から構成される排ガスからのＶＯＣ回収濃縮装置を用い、ＶＯＣ回収部のガス下流側より供給される吸収液（すなわち水）により、ＶＯＣ回収部において排ガスに含有されているＶＯＣを吸収しながらＶＯＣ濃縮部内を流下させ、一方、ＶＯＣ濃縮部ガス上流側よりＶＯＣ含有排ガスを導入し、ＶＯＣ濃縮部において吸収液である水を蒸発させ、ＶＯＣ回収部を経て系外に浄化ガスを放出し、ＶＯＣ濃縮部で濃縮されたＶＯＣ濃縮液は、ＶＯＣ濃縮部および／またはＶＯＣ回収部の下端に設けられたＶＯＣ貯留部に送り、ＶＯＣ貯留部に溜まったＶＯＣ貯留液はＶＯＣ濃縮部のガス下流側に循環供給し、循環液中の水の蒸発によりＶＯＣの濃縮を行い、ＶＯＣ貯留部に溜まったＶＯＣの濃縮された循環液は、濃度測定により一定濃度に達すると回収濃縮液として系外に排出することを特徴とするＶＯＣ含有排ガス中からＶＯＣを回収濃縮し、排ガスを浄化する方法に関する。
本発明の第２は、「排ガスが持ち込むエネルギーから算出した水の蒸発量を超えない範囲」の量よりなるＶＯＣを回収するための主吸収液をＶＯＣ回収部のガス下流側から散布するとともに、ＶＯＣ回収液の濃度を調整するための補助的な量の副吸収液を前記装置内へ供給するものである請求項１記載のＶＯＣ含有排ガス中からＶＯＣを回収濃縮し、排ガスを浄化する方法に関する。
本発明の第３は、前記ＶＯＣ回収部を経て系外に排出される浄化ガスの出口に冷却手段を設け、ここで凝縮した水は吸収液として再利用するものである請求項１または２記載のＶＯＣ含有排ガス中からＶＯＣを回収濃縮し、排ガスを浄化する方法に関する。
本発明の第４は、前記ＶＯＣ貯留部においてＶＯＣ貯留部の温度変化を表わす温度曲線に温度上昇変異点が発生した時点で回収濃縮液の系外排出を行うものである請求項１〜３いずれか記載のＶＯＣ含有排ガス中からＶＯＣを回収濃縮し、排ガスを浄化する方法に関する。
本発明の第５は、前記浄化ガスを冷却し、浄化ガス中の水蒸気を凝縮し吸収液として再利用するものである請求項１〜４いずれか記載のＶＯＣ含有排ガス中からＶＯＣを回収濃縮し、排ガスを浄化する方法に関する。
本発明の第６は、排ガスの温度が水の蒸発に不充分なときは、（イ）ＶＯＣ濃縮部に排ガスを導入する前段階で、排ガスを加熱する、（ロ）ＶＯＣ貯留部を加熱する、（ハ）ＶＯＣ貯留液をＶＯＣ濃縮部のガス下流側に循環する段階で加熱する、の少なくとも１つの加熱方法で加熱を行うものである請求項１〜５いずれか記載のＶＯＣ含有排ガス中からＶＯＣを回収濃縮し、排ガスを浄化する方法に関する。
本発明の第７は、１ブロックの気液接触機構を持つＶＯＣ濃縮部と前記ＶＯＣ濃縮部のガス下流側（装置内ガス出口側）に１〜数ブロックの気液接触機構を持つＶＯＣ回収部から構成されるＶＯＣ回収濃縮装置において、前記ＶＯＣ濃縮部のガス上流側（装置内ガス入り口側）よりＶＯＣ含有排ガスを導入するためのＶＯＣ含有ガス導入手段、ＶＯＣ回収部のガス下流側より吸収液を供給する手段、排ガス中のＶＯＣを回収し、ガスを浄化するためのＶＯＣ回収部における吸収液散布手段、ＶＯＣ回収部における浄化ガス排出手段、前記ＶＯＣ濃縮部（および前記ＶＯＣ回収部）から送られてくるＶＯＣ含有処理液を貯留するためのＶＯＣ貯留部、ＶＯＣ貯留部に留った貯留液をＶＯＣ濃縮部のガス下流側に循環供給する手段、ＶＯＣ貯留部に設けられた貯留液のＶＯＣ濃度測定手段、および前記貯留液中のＶＯＣ濃度が所定の濃度に達したとき、その貯留液を回収濃縮液として系外に排出する排出手段よりなることを特徴とする排ガス浄化・ＶＯＣ回収濃縮装置に関する。
本発明の第８は、前記浄化ガス排出手段にガス冷却用熱交換器を付設した請求項７記載の排ガス浄化・ＶＯＣ回収濃縮装置に関する。
本発明の第９は、前記ＶＯＣ回収部上部の吸収液散布手段の更に上部に設けられた浄化ガス出口に浄化ガス冷却用熱交換器を設け、該熱交換器から出たガスを乾燥機に戻して再利用するガスのリサイクル・クローズドシステムを設けた請求項７または８記載のＶＯＣ含有排ガス中からＶＯＣを回収濃縮し、排ガスを浄化するための装置に関する。
本発明の第１０は、
（ａ）ＶＯＣ濃縮部に排ガスを導入する前段階、
（ｂ）ＶＯＣ貯留部、
（ｃ）ＶＯＣ貯留液をＶＯＣ濃縮部のガス下流側に循環する段階、
の少なくとも１箇所に加熱手段を設けた請求項７〜９いずれか記載のＶＯＣ含有排ガス中からＶＯＣを回収濃縮し、排ガスを浄化するための装置に関する。
【００１１】
本発明の課題を解決するための主な手段としては、ＶＯＣ含有排ガスが１ブロックのＶＯＣ濃縮部と１〜数ブロックのＶＯＣ回収部を通過する過程において水の蒸発作用と水の吸収作用により、ＶＯＣ含有排ガスが含有するＶＯＣの濃縮および吸収をおこなわせ、ＶＯＣ含有排ガス中のＶＯＣを除去して基準値以下の浄化ガスを系外に放出し、吸収（回収）したＶＯＣをリサイクル可能な濃度まで濃縮し、系外に排出する手段である。
この手段の基本的なブロックフローを図１に示す。ＶＯＣ回収部のガス下流側より供給される吸収液（水）はＶＯＣ回収部においてＶＯＣ含有排ガスに含有するＶＯＣを吸収し、ＶＯＣ濃縮部に流下する。ＶＯＣ濃縮部ガス上流側より導入する排ガスは、ＶＯＣ濃縮部で吸収液である水を蒸発し、ＶＯＣ回収部を経て系外に浄化ガスとして放出し、ＶＯＣ濃縮部および／またはＶＯＣ回収部の最下端に設けられたＶＯＣ貯留部の液はポンプなどによりＶＯＣ濃縮部のガス下流側に循環供給し、循環液中の水の蒸発によりＶＯＣの濃縮をおこない、ＶＯＣの濃縮された循環液は、濃度測定により一定濃度に達すると回収濃縮液として系外に排出する基本フローである。
【００１２】
本発明方法では、水でＶＯＣを吸収し、熱エネルギーで吸収した水溶液の水分を蒸発することで回収した液を濃縮する。そのため、本発明方法に適用するＶＯＣは、水より沸点が大きく（蒸気圧が小さく）、共沸点を持たない、即ち共沸混合物を生成しないことが前提条件となる。塔頂（ＶＯＣガス下流側）から純水を連続的に供給するため、ＶＯＣ回収部では回収部上流側から下流側にかけて吸収液中のＶＯＣ濃度が０に漸近する回収液の濃度勾配が作られ、ガスが排出されるときにはＶＯＣはほとんど含まれていない状態となる。回収部を通った吸収液にはＶＯＣが含まれるため、回収部のＶＯＣ回収性能を上げるには、吸収水の量を増やせばよいが、そうするとＶＯＣ回収液の濃度が薄くなる、あるいは回収液の容量が増えるといった問題が生じる。したがって回収部の前段に濃縮部を設けＶＯＣ含有排ガスの熱エネルギーを利用して吸収液の水分を蒸発させ濃縮することで前記問題を解決している。
【００１３】
ＶＯＣと吸収液である水との具体的な関係についてみると、（ａ）ＶＯＣは水より高沸点であることから、水の蒸気圧はＶＯＣのそれより大きい、すなわち水はＶＯＣより蒸発しやすい、（ｂ）ＶＯＣは親水性であること、すなわちＶＯＣは水に溶解しやすい、（ｃ）ＶＯＣは水と共沸点を持たない、いいかえれば、ＶＯＣは水と共沸混合物を生成しない、即ちＶＯＣは水と低沸点共沸混合物を生成して水と共に蒸発することがない性質を持つ物質であるなどということができる。本発明に適用するＶＯＣは、上記（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の３条件を備えた物性をもつＶＯＣである。
前記条件にかなうＶＯＣとしては、例えば、ＮＭＰ（Ｎ−メチルピロリドン）、ＤＭＦ（Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド）、ＤＭＡＣ（Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド）、ＤＭＳＯ（ジメチルスルホキシド）、ＥＧ（エチレングリコール）、ＤＥＧ（ジエチレングリコール）、ＴＥＧ（トリエチレングリコール）、ＰＧ（プロピレングリコール）、１，４−ＢＤ（１，４−ブタンジオール）、ＭＥＡ（モノエタノールアミン）、ＤＧＭＥ（ジエチレングリコールモノメチルエーテル）などを挙げることができる。
【００１４】
ＶＯＣ回収部のガス下流側より供給する第１の吸収液（主吸収液）、またはＶＯＣの濃度が規定以上に達し、回収濃縮液として系外に排出された場合や水の蒸発によりＶＯＣ貯留部の液面が低下した場合に供給する第２の吸収液（副吸収液）は、共に水とする。これらの水はＶＯＣ濃縮部においてＶＯＣ含有排ガスの持ち込むエネルギー（排ガスが高温の場合）または外部から供給されるエネルギー（排ガスが低温の場合）によりその大部分が蒸発する。第１および第２の吸収液（水）にカルシウム塩、マグネシウム塩など無機物が混入（硬水など）すると、これら無機物は蒸発しないので濃縮され、溶解度を超えると無機物の結晶が析出する。この結晶がＶＯＣ濃縮部またはＶＯＣ回収部の気液接触機構に付着するとその機能の効率を減少させる可能性がある。またＶＯＣ貯留部の循環液中に残留する回収濃縮液のリサイクルをおこなうには別装置で精製する必要があり、このとき回収濃縮液に残存する前記無機物が壁面付着などによりＶＯＣの精製歩留まりに悪影響を与える。この現象を避けるため、供給する吸収液である水は、無機物などを含有しないよう、前もって処理した蒸留水、軟水、純水を使用することが好ましい。
【００１５】
ＶＯＣ濃縮部を構成する気液接触機構は棚段、不規則充填物、規則充填物、散水スプレーなど通常使用されている気液接触手段や本出願人の特願２００６−０４５９９６号の新規充填物よりなる気液接触手段などを用いても差し支えないが、圧力損失が大きいものはガスの空塔速度を速くするとフラッディング（気液接触部で流下するはずの液が落ちず滞留するため、気液接触機構が崩れる現象。液−ガス比が影響する）が起こりやすくなるため装置の適応条件を狭くし、また圧力が大きい分、送風機の電力が大きくなる等のランニングコストに影響を与えるため、圧力損失の小さいものが好ましい。ＶＯＣ含有排ガスとＶＯＣ貯留部から循環する液の流れ方向は向流又は並流でおこなうことができるが、圧力損失を小さくする並流が好ましい。
【００１６】
ＶＯＣ濃縮部の主な機能は、導入するＶＯＣ含有排ガスの温度が高い場合は、ＶＯＣ含有排ガスが持つエネルギーを利用し、ＶＯＣ含有排ガスの温度が低い場合はガス加熱したエネルギーで、あるいは循環する循環液を加熱したエネルギーで、ＶＯＣ回収部から流下するＶＯＣを吸収した吸収液（水）とＶＯＣ貯留部の循環液中の水の両者を蒸発させ、ＶＯＣを濃縮する機能である。
【００１７】
ＶＯＣ回収部を構成する気液接触機構は棚段、不規則充填物、規則充填物などの通常使用されている気液接触手段や、本出願人の特願２００６−０４５９９６号にかかる新規充填物などの気液接触手段を用いて差し支えないが、本発明で供給する吸収液（水）の量は、通常の水スクラバー式ガス吸収装置の吸収液（水）量に比べて１／２〜１／１００程度の少量であることが好ましく、精密な液分散器を付帯した高性能の気液接触機構を用いることが望ましい。また、圧力損失が大きいものは〔００１３〕で述べた理由と同様ガスの空塔速度を速くするとフラッディング（気液接触部で流下するはずの液が落ちず滞留するため、気液接触機構が崩れる現象。液−ガス比が影響する）が起こりやすくなるため、装置の適応条件を狭くし、また圧力が大きい分、送風機の電力が大きくなる等のランニングコストに影響を与えるため、圧力損失の小さいものが好ましい。
【００１８】
ＶＯＣ回収部の主な機能は、ＶＯＣ濃縮部を経てＶＯＣ回収部に流入するＶＯＣ含有排ガス中に含有されるＶＯＣを、ＶＯＣ回収部ガス下流側から供給する吸収液（水）に吸収させ、ＶＯＣ含有排ガスを浄化することにある。排ガスと吸収液（水）の流れは物質移動（排ガス中のＶＯＣが吸収液に移動する）を伴うため効率の良い向流でなければならない。
【００１９】
〔００１７〕で述べた気液接触機構は、濃縮液の濃度と温度から回収部へ送入されるＶＯＣ濃度をシミュレーション及び試験データより算出し、算出結果より得られたＶＯＣ濃度と要求される規定値未満のＶＯＣ濃度から、回収部での水に吸収されるＶＯＣ移動量が決まり、その値から設計をする。棚段の場合は、その物質移動量に必要な段数、不規則充填物、規則充填物及び特願２００６−０４５９９６号の新規充填物の場合は、その段数に合わせた充填高さが必要となる。
【００２０】
熱風乾燥器などから排出するＶＯＣ含有排ガスは、高温（８０℃±１０℃）の場合が多い。高温ＶＯＣ含有排ガスの場合、ＶＯＣ濃縮部上面にＶＯＣ貯留部の液をポンプ循環し、気液接触により循環液中の水を蒸発（ＶＯＣの濃縮）させることで高温ＶＯＣ含有排ガスを冷却する。しかるにガス発生源においてＶＯＣ含有排ガス温度が低い、または発生源と排気場所の距離が長いため途中で冷却される、などＶＯＣ含有排ガス温度が低い（４５℃以下）場合がある。この場合、ＶＯＣ濃縮部に流入するエネルギーが少ないため、言い換えれば循環液に含まれる水を蒸発する量が少ないため、循環液の濃度を上げることができない。このエネルギー不足を補うため、前記ポンプ循環ラインの途中に加熱用熱交換器を設け循環液を加熱するといった方法が挙げられる。加熱する方法は、循環ラインに限らず、低温排ガスを加熱するとか、ＶＯＣ貯留部の液を加熱する、など熱を補う手段であればどのような方法でも良い。
なお、本発明においては、約４５℃以下のＶＯＣ含有排ガスを低温ＶＯＣ含有排ガスとして、約４５℃を上回る温度のＶＯＣ含有排ガスを高温ＶＯＣ含有排ガスとして、それぞれ説明するものである。
【００２１】
吸収液（水）は、例えば図２や図３に示すように、主吸収液入口と副吸収液入口の少なくとも２箇所より供給することが好ましい。主吸収液入口（１）より供給する水の量は、排ガスが持ち込むエネルギー（温度と量から算出）とこのエネルギーから算出した水の蒸発量を超えない量（例えば算出量の９０％）によって調節することがＶＯＣ濃度を調節する具体的な方法である。
【００２２】
副吸収液入口（２）より供給する水の量は、ＶＯＣ循環液のＶＯＣ濃度を調節するために活用する。即ち、主吸収液入口（１）から供給する水の量は算出量より少ない量とする。この場合ＶＯＣ貯留部（または装置全体）の水の量は減少し、ＶＯＣを常時濃縮することとなる。ＶＯＣ含有排ガスに含有されているＶＯＣの濃度は常に変動するのでＶＯＣの凝縮熱も当然変動すること、ＶＯＣ貯留部のＶＯＣ濃度は常に変動することなど、ＶＯＣ含有排ガスが持ち込む熱量は非定常である。副吸収液入口（２）から供給する水は、これらの変動のバッファーとなり、ＶＯＣ貯留部のＶＯＣ濃度を検知することでＶＯＣ貯留部のＶＯＣ濃度を一定に調節することを容易にする。主吸収液入口（１）のみの１箇所でこれらの変動を感知し、調節することは余りにも非定常であり過ぎるので調節不可能である。副吸収液入口（２）は、（カ）ＶＯＣ回収部のガス下流側〔主吸収液入口（１）と同位置〕、（キ）ＶＯＣ貯留部、または（ク）ＶＯＣ回収部とＶＯＣ濃縮部の中間、の３箇所が適当であるが、主な変動要因がＶＯＣ含有排ガスであることを考慮するとＶＯＣ貯留部に供給することがもっとも適している。
【００２３】
なお、本発明では、計算から求めた吸収に必要な吸収液を主吸収液と称し、現実の操作に必要とされる濃度調整分として用いられる吸収液を副吸収液と称している。主吸収液も副吸収液も同じく水を用いるが、主吸収液はＶＯＣを回収するため、副吸収液はＶＯＣ回収濃縮液の濃度調整のためのものであり、異なった制御を行う。したがって、かりに主吸収液と副吸収液が同一の位置から供給されることがあっても、その前段では別系統の異なった制御システムにより供給されるものである。いいかえれば、主吸収液と副吸収液の装置への供給口は、同位置であっても異なった位置であってもよいが、供給量を制御するシステムは別のものである。
【００２４】
ＶＯＣ貯留部の液は、一定濃度に達した場合系外に排出する。循環液の濃度測定方法は、排ガスが持ち込むＶＯＣが１成分（ＶＯＣ１成分と水）であれば一般的な比重・超音波・比抵抗値・屈折率などの濃度計で測定できる。しかし、ＶＯＣが２成分以上（ＶＯＣ２成分以上と水）であり、更に成分の割合が常時変動する場合は一般的な濃度計では測定不可の場合が多い。ＶＯＣが２成分以上混在する場合、ＶＯＣ貯留部の液温度は、水の割合が減少（水の蒸発により）し、ある濃度より濃縮が進むと急激に温度上昇が現れる。この温度上昇変異点によりＶＯＣ貯留部の濃度を推定することが出来る。濃度が一定濃度に達したとき、循環ポンプの吐出配管に設けたバイパス弁を作動するなどして、回収濃縮液を系外に排出する。
【００２５】
吸収液である水は、純水または蒸留水が望ましいが、純水はイオン交換樹脂または逆浸透膜で精製処理する工程が必要であるため、精製処理する前段の水の水質にもよるが試算によれば￥５００／ｍ３以上のランニングコストがかかる。本発明では吸収液の水はＶＯＣ濃縮部でその殆どの量が蒸発し、浄化ガスに伴って系外に飛散する。この飛散する浄化ガスはその温度において関係湿度ほぼ１００％であり、冷却により水が凝縮すれば、吸収液として再利用で、さらにここで水を凝縮しておけば、湿度１００％の浄化ガスが大気に拡散冷却し、降下液滴となる現象を防止することも出来る。
【００２６】
前記ＶＯＣ濃縮部、ＶＯＣ貯留部およびＶＯＣ回収部の形状は、円筒縦型垂直設置形状、角筒縦型垂直設置形状、角筒横型垂直設置形状など、いずれであってもよい。
【００２７】
〔００２５〕で述べたように純水を製造するためには、ランニングコストの負荷が大きい。ＶＯＣ含有排ガスの温度が高すぎる場合（常時８０℃以上）、ＶＯＣ含有排ガスの熱エネルギーから水の供給量が決まる本装置では、純水の必要量が大きくなる。また、それに伴ってＶＯＣ貯留部の濃縮液の温度も上昇するため、〔００１８〕及び〔００１９〕で述べたＶＯＣの物質移動量が大きくなり、回収部に必要な気液接触機構の段数あるいは充填高さを大きくする必要がある。そのとき、ＶＯＣ含有排ガスの温度を本装置に送入される前段で本装置が最低限必要である一定温度まで下げることにより、純水の供給量を減らすことを可能とし、また濃縮液の温度が下がるため、ＶＯＣの回収部を通る物質移動量を小さくすることができ、気液接触機構の必要な段数あるいは充填高さを小さくすることができる。
【００２８】
本発明方法を実際の装置に適応する場合、ＶＯＣ含有排ガス条件（ＶＯＣ濃度、ガス流量、ガス温度、排ガス中の水分）の変動に適応できる装置でなければいけない。この変化に適応しつつ、回収したＶＯＣ溶液の濃度はほぼ一定にし、また浄化したガスの濃度は規制値を大幅にクリアーする装置を提供するための制御方法について述べる。
【００２９】
吸収液の供給量は、ＶＯＣ含有排ガスの持ち込む熱エネルギー（ガス流量とガス温度から計算）から決定する。ガスの流量や温度が変動しても、ＶＯＣ含有排ガスの持ち込む熱エネルギーは、流量と温度から演算させることで求まり、それに伴って水の量も決まる。
最も変動要素で問題となるのはＶＯＣ濃度の変動である。しかしＶＯＣ濃度は毎分、毎秒と変化し、それに対応させた水を常時供給することは不可能である。そこで制御を簡易化するために次のフローで制御を行うことができる。
１．ＶＯＣ貯留部には予め水を一定量いれておく。
２．ＶＯＣ含有排ガスの流量と温度から、必要な吸収水の量を算出し、決定。
３．必要な吸収水の量は、２．で決定した量より少ない量（例えば算出した量の
９０％）を実際の吸収水の供給量とする。
４．２→３の制御をすることでＶＯＣ貯留部では水の蒸発により
液面が減少する。しかし、排ガス中のＶＯＣを吸収した分は増加する。
５．最終的には、貯留部で要求される濃度まで濃縮していき、
この濃度になったら液を抜き出してタンクへ輸送する。抜き出すときは、
濃縮部の循環に必要な量は貯留部に残しておく。そして抜き出した分
再度水を補充する。
６．「２．」に戻る。
この制御により、ガス濃度、温度、流量の変動に適応することが可能となる。
【００３０】
図２は、図１のブロックフロー図を具現化した高温ＶＯＣ含有排ガスを処理するＶＯＣ濃縮部とＶＯＣ回収部を垂直方向に置く基本的フローを示す。ＶＯＣ濃縮部ガス上流側に導入した高温ＶＯＣ含有排ガスはＶＯＣ濃縮部およびＶＯＣ回収部で気液接触を行い、浄化ガスとして系外に排気される。この間、ＶＯＣ濃縮部ではＶＯＣ貯留部の循環液をポンプでＶＯＣ濃縮部ガス下流側に循環し、高温ＶＯＣ含有排ガスと接触させ、循環液に含まれる水を蒸発することでＶＯＣ含有排ガス温度自身は低下することになる。ＶＯＣ濃縮部で充分に気液接触した後段でのＶＯＣ含有排ガス中のＶＯＣ濃度は、蒸発によって高濃度に濃縮された回収液の濃度での気液平衡関係での濃度（ＶＯＣと水の蒸気圧差での濃度）となり、ＶＯＣ含有排ガスはＶＯＣ回収部へ導入される。ＶＯＣ回収部ではこの除去できていないＶＯＣを吸収液（水）に吸収（溶解）させ、排ガス中のＶＯＣを分離する基本フローである。
【００３１】
図３は、図２の基本的フローにおいて、低温ＶＯＣ含有排ガスを処理する場合（４５℃前後の温度より低い場合）に必要な熱を補うための加熱方法を加味したフロー図である。加熱する熱媒体の制御ポイントは、図中（イ）や（ロ）ではＶＯＣ貯留部液温度またはＶＯＣ濃縮部上部温度が最適であり、図中（ハ）の場合はガス加熱器の出口温度が最適である。
【００３２】
本発明本方法では、水の蒸発により濃縮を促進させるが、蒸発した水は全て蒸気として系外に放出される。放出される前段に除湿機を設けることにより、除湿によって得られた凝縮水は再度吸収液として再利用が可能であり、またガスは湿度管理されているため、再度乾燥機のキャリアーガスとして戻すことが可能となる。
本発明方法はＶＯＣ含有排ガスの熱エネルギーを使用して水を蒸発させＶＯＣ水溶液を濃縮する機構を有しているが、ガス温度が低い場合、水の蒸発に必要な熱エネルギーが不足するケースがある。この場合、〔００３１〕で述べたように加熱器を、濃縮液循環部、あるいは濃縮液貯留部、また本装置に排ガスが入る前段で設置することにより、足りない熱エネルギーを補助することで装置を問題なく稼動することが可能。
【００３３】
以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。
【００３４】
図４は、本発明に基づくＶＯＣ回収濃縮装置の物質収支図である。ＦはＶＯＣ回収濃縮装置に導入する空気：Ｇ１〔ｋｇ／ｈ〕、水分：Ｈ１〔ｋｇ／ｈ〕、ＶＯＣ：Ｓ１〔ｋｇ／ｈ〕からなるＶＯＣ含有排ガスである。水分：Ｈ１〔ｋｇ／ｈ〕は乾燥室に導入する空気中の水分（取り入れる空気の関係湿度から求められる）と被乾燥物から蒸発する水分の和である。
【００３５】
ＤはＶＯＣ回収濃縮装置で回収し、リサイクル容易な濃度まで濃縮された回収濃縮液で、水分：Ｈ３〔ｋｇ／ｈ〕、ＶＯＣ：Ｓ３〔ｋｇ／ｈ〕の組成をもつ液である。
【００３６】
Ｆ′はＶＯＣ回収濃縮装置で処理された浄化ガスで、その組成は、空気：Ｇ２〔ｋｇ／ｈ〕、水分：Ｈ２〔ｋｇ／ｈ〕、ＶＯＣ：Ｓ２〔ｋｇ／ｈ〕である。
【００３７】
Ｍ（ｋｇ／ｈ）は、ＶＯＣ回収部でＶＯＣを吸収（回収）する吸収液（水）流量である。
【００３８】
これらＦ、Ｄ、Ｆ′、Ｍの関係（物質収支）はＩＮＰＵＴ＝ＯＵＴＰＵＴであるから
空気については
Ｇ１＝Ｇ２〔容量（ＶＯＬ）の場合は温度により異なる〕・・・（１）
水分については
Ｍ＝Ｈ２＋Ｈ３−Ｈ１                                ・・・（２）
ＶＯＣについては
Ｓ２＝Ｓ１−Ｓ３                                    ・・・（３）
の関係が成立する。ここでＨ２は浄化ガスが持ち去る水分で、浄化ガスの温度における関係湿度１００％の水分量であり、Ｈ３は回収濃縮液に含まれる水分で、濃縮液濃度により決まる。またＳ２は改正大気汚染防止法に基づく排ガスに含有するＶＯＣの排出基準以下に設定されたＶＯＣの濃度で、ＶＯＣ回収部の吸収率〔水とＶＯＣの気液平衡（吸収平衡）から必要な処理時間（高さ）を決める〕から決まる数値である。
【００３９】
図５は、本発明に基づくＶＯＣ回収濃縮装置の熱収支図である。図４の物質収支図に各箇所の温度をＦ＝ｔ１、Ｆ′＝ｔ２、Ｄ＝ｔ３、Ｍ＝ｔ４とし、Ｆ′における関係湿度Ψ２と熱収支計算に必要な空気、水、ＶＯＣの比熱および水、ＶＯＣの潜熱を表示している。ここでは、図２に示すＶＯＣ含有排ガスの温度は高温ＶＯＣ含有排ガスとし、ｔ１＞ｔ３＞ｔ２＞ｔ４とする。
【００４０】
ここで、Ｆ′における関係湿度Ψ２は、ＶＯＣ濃縮部およびＶＯＣ回収部においてＶＯＣ含有排ガス（空気）と吸収液（水）との間で充分な気液接触が行われているので、浄化ガスの関係湿度はほぼ１００％飽和の状態である。また、水は極性物質であるので温度と蒸発潜熱の関係は計算上無視できない。（水およびＶＯＣの比熱、ＶＯＣの潜熱は一定とする）。さらに、計算を簡略するため温度の基準を０℃とする。
【００４１】
ＶＯＣ回収濃縮装置全体の熱収支は以下のようになる。
（Ｉ）排ガスＦの持ち込む熱量ＱＦは、下記式（４）で示すことができる。
ＱＦ＝（Ｇ１×Ｃｐａ＋Ｈ１×Ｃｐｗ＋Ｓ１×Ｃｐｖｏｃ）×ｔ１
＋Ｈ１×λｗｔ１＋Ｓ１×λｖｏｃｔ１                  ・・・（４）
ここでλｗｔ１とλｖｏｃｔ１は温度ｔ１における水およびＶＯＣの蒸発潜熱である。
（II）吸収液Ｍの持ち込む熱量ＱＭは、下記式（５）で示すことができる。
Ｍの温度（ｔ４）は、大気と同等の常温とする。
ＱＭ＝Ｍ×Ｃｐｗ×ｔ４                                      ・・・（５）
（III）回収濃縮液Ｄの持ち出す熱量ＱＤは、つぎのとおりである。
Ｄの温度（ｔ３）は、ｔ１＞ｔ３＞ｔ２であるが、排ガスによる水の蒸発（熱交換）はＶＯＣ濃縮部で行われる。水と空気は直接接触し、温度ｔ３における空気の関係湿度１００％に相対する水分が瞬時に蒸発する。最終的な空気、水分、温度の平衡関係はＦ′である。したがってｔ３の温度はＶＯＣ濃縮部の効率を９０％と仮定すると（ｔ３は濃縮部の気液接触機構の性能および接触時間などによって異なる）、回収濃縮液Ｄの持ち出す熱量ＱＤは、下記式（７）で示すことができる。
ｔ３≒（ｔ１−ｔ２）×（１−０．９）＋ｔ２                  ・・・（６）
ＱＤ＝（Ｈ３×Ｃｐｗ＋Ｓ３×Ｃｐｖｏｃ）×ｔ３              ・・・（７）
（IV）浄化ガスＦ′の持ち出す熱量ＱＦ′は、下記式（８）で示すことができる。
ＱＦ′＝（Ｇ２×Ｃｐａ＋Ｈ２×Ｃｐｗ＋Ｓ２×Ｃｐｖｏｃ）×ｔ２＋Ｈ２
×λｗｔ２＋Ｓ２×λｖｏｃｔ２                      ・・・（８）
ここでλｗｔ２とλｖｏｃｔ２は温度ｔ２における水およびＶＯＣの蒸発潜熱である。
また、Ｈ２は空気Ｇ２が温度ｔ２における関係湿度Ψ＝１００％に等しい量とする。
【００４２】
ＶＯＣ回収濃縮装置に持ち込まれる熱量（ＩＮＰＵＴ）はＱＦとＱＭの和であり、下記式（９）で示すことができる。
ＩＮＰＵＴ＝ＱＦ＋ＱＭ＝｛（Ｇ１×Ｃｐａ＋Ｈ１×Ｃｐｗ＋Ｓ１×Ｃｐｖｏｃ）
×ｔ１＋Ｈ１×λｗｔ１＋Ｓ１×λｖｏｃｔ１｝＋｛Ｍ×Ｃｐｗ
×ｔ４｝                                        ・・・（９）
この式で、吸収液（水）Ｍ以外の値は初期条件であり既知の数値である。
【００４３】
ＶＯＣ回収装置から持ち出す熱量（ＯＵＴＰＵＴ）は、回収濃縮液Ｄの持ち出す熱量ＱＤと浄化ガスＦ′の持ち出す熱量ＱＦ′の和であり、下記式（１０）で示すことができる。
ＯＵＴＰＵＴ＝ＱＤ＋ＱＦ′＝｛（Ｈ３×Ｃｐｗ＋Ｓ３×Ｃｐｖｏｃ）×ｔ３｝
＋｛（Ｇ２×Ｃｐａ＋Ｈ２×Ｃｐｗ＋Ｓ２×Ｃｐｖｏｃ）×ｔ２
＋Ｈ２×λｗｔ２＋Ｓ２×λｖｏｃｔ２｝      ・・・（１０）
物質収支より、Ｓ３はＳ２がＶＯＣ規制値以下の決められた値であり、Ｓ３＝Ｓ１−Ｓ２で求められる。Ｈ３はＳ２の濃縮液濃度から求められる。Ｇ２はＧ１に等しい。この式で不明な値はＨ２とｔ２であるがＨ２はｔ２においてＧ２に含まれる飽和湿度ψ＝１００％の関係があり、ｔ２を仮定すれば求めることができる。（λｗｔ２とλｖｏｃｔ２もｔ２が決まれば求めることができる）。
【００４４】
物質収支同様、熱収支の場合もＩＮＰＵＴ＝ＯＵＴＰＵＴが成立するので、ＩＮＰＵＴの未知数はＭである。Ｍは物質収支より
Ｍ＝Ｈ２＋Ｈ３−Ｈ１
で与えられるようにＨ２と関係がある。即ち、
Ｈ２−Ｈ１＝Ｍ−Ｈ３＝Ｍ′
とすれば、Ｍ′はＶＯＣ濃縮部における水の蒸発量である。
Ｍ′×λｗｔ２
は水の蒸発熱量であり、その殆どがＶＯＣ濃縮部にて蒸発する。
ＯＵＴＰＵＴの未知数はｔ２とＨ２およびλｗｔ２とλｖｏｃｔ２であるが、ｔ２を仮定すればＨ２およびλｗｔ２とλｖｏｃｔ２は求められる。
【発明の効果】
【００４５】
（１）本発明により、従来のＶＯＣ含有排ガス処理技術では到達できない領域〔（イ）浄化ガス中のＶＯＣの規制値を更に下回る濃度まで除去すること。（ロ）回収したＶＯＣの精製リサイクルを容易におこなえる濃度まで濃縮すること。（ハ）濃縮にはＶＯＣ含有排ガスのエネルギーを利用することで省エネルギー化を図る〕まで踏み込んだ技術を開発し、業界の環境保全・工程簡略化・省エネルギー化が達成できた。
（２）水より高沸点で、親水性であり、さらには水と共沸しない物性を持つ揮発性有機化合物を対象としているが、これらの物質（溶剤）は最近の電気・電子・電池・フィルム・皮革など技術革新により使用される頻度が益々増加している。従来は、これら新しい溶剤の大気汚染・廃液処理などの対策が遅れていたが、本発明はこれを取り戻したものである。
（３）実施例６のように、本発明を軸として（Ａ）排ガス処理、（Ｂ）ＶＯＣの回収、（Ｃ）吸収液の回収、（Ｄ）乾燥機に送る空気のリサイクル、の４項目を１つの設備で行うことが可能で、大気汚染を防止し、廃液処理を必要としない、排ガス処理装置を確立することができた。
【実施例】
【００４６】
次に実施例を挙げて本発明を詳細に説明するが、本発明はこれにより何ら限定されるものではない。
【００４７】
実施例１
図６は、ある合成皮革の乾式製造法における熱風乾燥工程で発生するＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）含有排ガスを処理する本発明の実施形態の１例である。図中、ＬＣは液面調節計、ＦＩＣは流量指示・調節計である。乾燥用空気は外気から取り入れるが除湿機などを介して導入する。その条件は、
空気量Ｇ０              ＝１０００ｋｇ／ｈ、
温度ｔ０                ＝２０℃、
関係湿度ψ０            ＝３０％、
空気中に含まれる水分Ｈ０＝１０００×０．００４５＝４．５ｋｇ／ｈ
（０．００４５は温度２０℃、関係湿度３０％に於ける乾燥空気１．０ｋｇに含まれる水分量の概算である）で示される。この空気を加熱し、樹脂組成物（合成皮革材料）をＤＭＦに溶解した溶液を心材に塗布し、これを数台の乾燥機を使用して乾燥する。
乾燥機から排出される排ガスは、約８０℃（この温度は７０〜１２０℃の変動がある）で平均１５００ｐｐｍ（ｗ／ｗ）（Ｓ１≒１０００×０．００１５＝１．５ｋｇ／ｈ）のＤＭＦ蒸気が含まれている（実際には０〜３０００ｐｐｍ（ｗ／ｗ）の変動がある）。乾燥時には心材からの水の発生は無いものとする。このＤＭＦ含有排ガスを本発明のＶＯＣ回収濃縮装置で処理（浄化ガス濃度を２０ｐｐｍ（ｗ／ｗ）まで除去）した場合の物質収支を以下に示す。回収濃縮液のＤＭＦ濃度は８０％とし、吸収液の温度は２５℃とする。
【００４８】
計算するに当たり各物質の緒元は、以下のとおりである。
空気の比熱  ：Ｃｐａ      ＝０．２４  ｋｃａｌ／ｋｇ・℃
水の比熱    ：Ｃｐｗ      ＝１．０    ｋｃａｌ／ｋｇ・℃
水の蒸発潜熱：λｗ３０    ＝５７９    ｋｃａｌ／ｋｇ・３０℃
λｗ２８    ＝５８０    ｋｃａｌ／ｋｇ・２８℃
λｗ８０    ＝５５１    ｋｃａｌ／ｋｇ・８０℃
λｗ２５    ＝５８２    ｋｃａｌ／ｋｇ・２５℃
飽和水分    ：Ｘ          ＝０．０２８ｋｇ水／ｋｇ乾き空気・３０℃
Ｘ          ＝０．０２６ｋｇ水／ｋｇ乾き空気・２８℃
ＤＭＦの比熱  ：ＣｐＤＭＦ＝０．４８５ｋｃａｌ／ｋｇ・℃
ＤＭＦの潜熱  ：λＤＭＦ  ＝１３８．６ｋｃａｌ／ｋｇ
【００４９】
先ず、物質収支を計算する。
ＤＭＦについて、
浄化ガス中のＤＭＦは２０ｐｐｍ（ｗ／ｗ）であるので、
Ｓ２≒１０００×０．００００２＝０．０２ｋｇ／ｈ
故に、回収濃縮液のＤＭＦは、
Ｓ３＝１．５−０．０２＝１．４８ｋｇ／ｈ、
したがって回収濃縮液の水は、
Ｈ３＝（１．４８÷０．８）−１．４８＝０．３７ｋｇ／ｈ
で示される。
【００５０】
そこで、まず前記（９）式でＩＮＰＵＴを計算すると
ＩＮＰＵＴ＝｛（１０００×０．２４＋４．５×１．０＋１．５×０．４８５）
×８０＋４．５×５５１＋１．５×１３８．６｝＋（Ｍ＝Ｈ２＋Ｈ３
−Ｈ１）×２５
＝２２３０６＋（１０００×０．０２８＋０．３７−４．５）×２５
＝２２９０３ｋｃａｌ／ｈ
（１０）式にしたがい、ｔ２＝３０℃、関係湿度ψ＝１００％と仮定したときのＯＵＴＰＵＴを計算すると、
ｔ３＝（８０−３０）×（１−０．９）＋３０＝３５℃
ＯＵＴＰＵＴ＝｛（０．３７×１．０＋１．４８×０．４８５）×３５｝
＋｛（１０００×０．２４＋０．０２８×１０００×１．０
＋０．０２×０．４８５）×３０＋０．０２８×１０００×５７９
＋０．０２×１３８．６｝
＝２４２９３ｋｃａｌ／ｈ
ＩＮＰＵＴ（＝２２９０３）＜ＯＵＴＰＵＴ（＝２４２９３）となる。
（１０）式にしたがい、ｔ２＝２８℃、関係湿度ψ＝１００％と再仮定してＯＵＴＰＵＴを計算すると、
ｔ３＝（８０−２８）×（１−０．９）＋２８＝３３．２℃
ＯＵＴＰＵＴ＝｛（０．３７×１．０＋１．４８×０．４８５）×３３．２｝
＋｛（１０００×０．２４＋０．０２６×１０００×１．０
＋０．０２×０．４８５）×２８＋０．０２６×１０００
×５８０＋０．０２×１３８．６｝
＝２２５６６ｋｃａｌ／ｈ
ｔ２＝２８℃では、
ＩＮＰＵＴ（＝２２９０３）＞ＯＵＴＰＵＴ（＝２２５６６）となる。
この試算でＩＮＰＵＴ＝ＯＵＴＰＵＴとなる温度ｔ２は、
ｔ２＝３０℃では、
ＩＮＰＵＴ（＝２２９０３）＜ＯＵＴＰＵＴ（＝２４２９３）
であり、この関係から２８〜３０℃の間にあることが分かる。
ｔ２＝２９℃として吸収液（水）Ｍを計算すると
Ｍ＝１０００×０．０２９＋０．０２８−４．５＝２４．５ｋｇ／ｈ
でほぼバランスすることがわかる。
実際のＭは、計算で求めたＭの約９０％を吸収液Ｍ１とし、回収液の濃度調整に必要な吸収液をＭ２として全体のマテリアルバランスをとることで濃度制御が可能となる（Ｍ＝Ｍ１＋Ｍ２）。
これらの計算に基づいて図６に示す実施例１で実証したところ、温度ｔ１の変動に伴う温度ｔ２、ｔ３が数％の誤差があったが、浄化ガス中のＶＯＣ濃度、回収濃縮液の濃度など所定の能力を得ることができた。
【００５１】
実施例２
図７は、図６と同じ合成皮革の乾式製法における熱風乾燥工程で発生するＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）含有排ガスを処理する本発明の実施形態の１例である。乾燥用空気は外気から取り入るが、その条件は、
空気量Ｇ０              ＝１０００ｋｇ／ｈ、
温度ｔ０                ＝３０℃、
関係湿度ψ              ＝５０％、
空気中に含まれる水分Ｈ０＝１０００×０．０１３３＝１３．３ｋｇ／ｈ
（０．０１３３は温度３０℃、関係湿度５０％に於ける乾燥空気１．０ｋｇに含まれる水分量である）で示される。この空気を加熱し、樹脂組成物（合成皮革材料）をＤＭＦに溶解した溶液を心材に塗布し、これを数種の乾燥機を使用して乾燥する。この乾燥工程では、心材に温度が加わると製品の物性に悪影響を及ぼすことから高温の熱風で乾燥することが出来ない。乾燥機から排出されるＤＭＦ含有排ガスは約３０℃（この温度は２０〜４０℃の変動がある）で平均５００ｐｐｍ（ｗ／ｗ）（Ｓ１≒１０００×０．０００５＝０．５ｋｇ／ｈ）のＤＭＦ蒸気が含まれている（実際には０〜１０００ｐｐｍ（ｗ／ｗ）の変動がある）。乾燥時には心材からの水の発生は無いものとする。このＤＭＦ含有排ガスを本発明のＶＯＣ回収濃度装置で処理（浄化ガス濃度を２０ｐｐｍ（ｗ／ｗ）まで除去）した場合の物質収支を示している。回収濃縮液のＤＭＦ濃度は８０％とし、吸収液の温度は２５℃とする。
【００５２】
本実施例は図３に示す低温ＶＯＣ含有排ガスのＶＯＣ回収濃度装置に該当する。この場合、〔００３８〕の式（９）の排ガスが持ち込む熱であるＩＮＰＵＴが少なく、ＶＯＣ濃縮部における水の蒸発に要する熱量が不足するため外部から熱（ＱＳとする）を補う必要がある。高温排ガスの場合、持ち込む熱量により吸収液（水）の量を決めていたが、低温排ガスの場合、ＶＯＣ回収部の気液接触機構（液分散器の性能も含めて）の効率が関わってくる。即ち、気液接触機構を下降する液（Ｌ）と上昇するガス（Ｇ）の比（Ｌ／Ｇ）に下限値があり、Ｌ／Ｇの下限値のときのＬはＬ＝５０〜２００Ｌ／ｍ２・ｈ（ｍ２はＶＯＣ回収部の断面積であり、気液接触機構の種類・性能により液量が異なる）としている。ＶＯＣ回収部の断面積をガス流量より決めれば最低液量ＭはＬと回収部の断面積の積から必然的に決まる。このＭを元に高温ガスの計算式を逆算するとｔ２の温度および外部から補う熱量ＱＳが求められる。
【００５３】
実施例１のｔ１およびＳ１の条件を、図７に示す実施例２の条件に変えて、Ｍ、ｔ２、およびＱＳを求める。
ＶＯＣ吸収部の断面積を０．１６  ｍ２（ガスの空塔速度≒２．０ｍ／ｓ）とすれば
Ｍ＝０．１６ｍ２×５０Ｌ／ｍ２・ｈ＝８Ｌ／ｈ＝８ｋｇ／ｈ
〔００３７〕の（９）式は、
ＩＮＰＵＴ＝ＱＦ＋ＱＭ＝｛（Ｇ１×Ｃｐａ＋Ｈ１×Ｃｐｗ＋Ｓ１×Ｃｐｖｏｃ）
×ｔ１＋Ｈ１×λｗｔ１＋Ｓ１×λｖｏｃｔ１｝＋｛Ｍ×ｔ４｝
＋ＱＳ
となり数値を代入すると
ＩＮＰＵＴ＝｛（１０００×０．２４＋１３．３×１．０＋０．５×０．４８５）
×３０＋１３．３×５７９＋０．５×１３８．６｝＋８×２５＋ＱＳ
＝（１５５７６＋ＱＳ）  ｋｃａｌ／ｈ
Ｈ３は物質収支より、
Ｓ１−Ｓ２＝０．５−０．０２＝０．４８からＨ３＝（０．４８／０．８）
−０．４８＝０．１２
Ｈ２は
Ｍ＝Ｈ２＋Ｈ３−Ｈ１より、Ｈ２＝８＋１３．３−０．１２＝２１．１８ｋｇ／ｈ
１０００ｋｇ／ｈの空気に、Ｈ２＝２１．１８ｋｇ／ｈの水分の時の飽和温度は、湿度図表によりｔ２≒２６．０℃が求められる。
これを元にＯＵＴＰＵＴを計算すると、
ｔ３＝（３０−２６）×（１−０．９）＋２６＝２６．４℃
ＯＵＴＰＵＴ＝｛（０．１２×１．０＋０．４８×０．４８５）×２６．４｝
＋｛（１０００×０．２４＋２１．１８×１．０＋０．０２
×０．４８５）×２６＋２１．１８×５８１．５＋０．０２
×１３８．６｝
＝１９１２０ｋｃａｌ／ｈ
（５８１．５は２６℃に於ける水の蒸発潜熱）
ＩＮＰＵＴ＝ＯＵＴＰＵＴより、
ＱＳ＝１９１２０−１５５７６＝３５４４ｋｃａｌ／ｈ
この熱量を熱媒体により図３に示すｃａｓｅ１の循環液、ｃａｓｅ２のＶＯＣ貯留部、ｃａｓｅ３のＶＯＣ含有排ガスのうち、１箇所で外部加熱を行なう。これらの計算に基づいて図７に示す実施例２で実証したところ、温度ｔ１の変動に伴う温度ｔ２、ｔ３が数％の誤差があったが、浄化ガス中のＶＯＣ濃度、回収濃縮液の濃度など所定の能力を得ることができた。また、濃縮がかかりすぎた場合は、ＶＯＣ貯留部に吸収液を補充し濃度調整を行えばよい。
【００５４】
実施例３
実施例３にかかる図８は、吸収液供給方法、言い換えれば回収濃縮液の濃度調整に関する１実施例である。図中、ＸＣは濃度調節計、ＦＩＣは温度指示・調節計、ＬＣは上下限液面調節計である。図６の実施例で吸収液供給量は、Ｍ＝２４．５ｋｇ／ｈであり、このうちＶＯＣ貯留部の濃度調整として使用する水は、Ｈ＝０．３７ｋｇ／ｈ（この場合導入する排ガスに常に１５００ｐｐｍ（ｗ／ｗ）のＶＯＣが含まれている場合）である。ＶＯＣ含有排ガス中のＶＯＣ濃度が０〜３０００ｐｐｍ（ｗ／ｗ）の変動があるとすれば回収濃縮液の濃度を一定に調節するためにはＨ＝０〜０．７４ｋｇ／ｈの調節が必要であり、この量はＭ＝２４．５の−１．５％〜＋１．５％の微妙な調節を必要とする。さらに非定常なＶＯＣの濃度変化や排ガス温度の変化に対し、１箇所（ＶＯＣ回収部上）の水供給量を安価な調節機構で対処することは不可能である。図８に基づき説明すると、吸収液供給手段として、ＶＯＣ吸収部上部に主供給口を設け、供給量の９０％｛〔００４７〕で述べた液ガス比（Ｌ／Ｇ）の最低値を上回ること｝を供給し、残りは副吸収液供給口よりＶＯＣ貯留部の上下限の液面の間で間歇供給し、濃度センサーによりＶＯＣ濃度が上限に達した場合は、下限まで回収濃縮液を系外に抜き出し、上限まで副吸収液を供給する（当然吸収液を供給すればＶＯＣ濃度は低下する）。副吸収液口は主供給口と同位置、ＶＯＣ回収部とＶＯＣ濃縮部の間部でも良いがタイムラグなどを防止するためにはＶＯＣ貯留部に供給することが望ましい。また、本実施例では上下限のＯＮ・ＯＦＦを使用したが、連続制御でも可能である。この方法は実施例１および実施例２より排ガス中のＶＯＣ濃度の非定常な変動に対しても最適な調整方法であることが確認された。
【００５５】
実施例４
ＶＯＣ含有排ガス中に含まれるＶＯＣが１つの成分であり、水との混合物である場合は、比重・屈折計・超音波など市販されている濃度計で測定することは簡単である。然るにＶＯＣが２成分以上であり、水との混合物である場合は、水分濃度を測定することは簡単ではない。さらに本発明によるＶＯＣ回収濃縮装置に導入する排ガスの成分は、前工程の乾燥装置からのＶＯＣ含有排ガスであり、初期には低沸点ＶＯＣが多く、終期には高沸点ＶＯＣが多く含まれており、その割合を予測することは不可能である。図９は、回収濃縮液の濃度を検出する１実施例である。ＶＯＣ貯留部に濃縮される液は、２成分以上のＶＯＣと水の混合物であり、２成分以上の各成分はそれぞれ沸点が異なる。ＶＯＣ濃縮部で水の蒸発により回収濃縮液が充分に濃縮されると、ＶＯＣ貯留部の水分が減少する。この液をＶＯＣ濃縮部上部へ循環するとＶＯＣ濃縮部における水の量が少なくなっているため、蒸発する水の量が不足し、ＶＯＣ濃縮部では水の蒸発（排ガスとの熱交換）が充分に行われない。その結果ＶＯＣ貯留部の温度が上昇する。図１０は、ＤＭＦ、ＮＭＰ、その他の多成分のＶＯＣを含む排ガスを本発明によるＶＯＣ回収濃縮装置で処理したときのＶＯＣ貯留部の温度曲線を示す。この図より貯留部のＶＯＣ濃度がある濃度以上に達すると急激な温度上昇が起こり、水分の不足する濃度に達したことがわかる。この温度を測定し、回収濃縮液の系外排出をおこなうことにより一定濃度以上の濃縮液を得ることが出来る。
【００５６】
実施例５
〔００１３〕において吸収液の水は、無機物を含まない蒸留水または純水が望ましいと記載した。また〔００２４〕では、蒸留水、純水など無機物を除去するには、水を精製する装置の投資やランニングコストがかかり、供給した水は大気放出で拡散するため投資が大きくなるケースがあることを述べた。
図１１は、浄化ガスを間接的にクーリングタワー水やチラー水で冷却し、浄化ガス中の水蒸気を凝縮して吸収液として再利用する１実施例である。図１１は、実施例１における図６の浄化ガス出口に付帯設備を設けたものである。
外気温度２０℃（関係湿度ψ＝３０％、そのときの露点温度は１１℃）の場合、クーリングタワーの冷却水は≒１２℃まで冷却できる。この冷却水で実施例１の２９℃の浄化ガスを２２℃まで冷却した。凝縮する水の量（Ｗ）は
Ｗ＝１０００×（０．０２７−０．０１６７）＝１０．３ｋｇ／ｈ
使用する水は２４．５ｋｇ／ｈであるので約４２％（１０．３／２４．５×１００＝４２％）の蒸留水または純水を回収し再利用することができた。
【００５７】
実施例６
環境保全を遵守する思想からＶＯＣ含有排ガス（浄化ガス）の大気放出を最小限としたいとする要望があり、本発明のＶＯＣ回収濃縮装置のクローズドシステムの実施例を図１２に示す。本実施例では８０℃のＶＯＣ含有排ガス（排ガスに含まれるＶＯＣはＮＭＰである）処理量が大量（１０００ｋｇ／ｍｉｎ）であったのでＶＯＣ濃縮部、ＶＯＣ回収部の形状を角型とし、ＶＯＣ濃縮部の気液接触機構をスプレー方式とした。また、装置高さに制限があり、ＶＯＣ濃縮部とＶＯＣ回収部を図１２に示す如く並立し、それぞれの底部で接続した。乾燥機の空気取入れ条件は２５℃、関係湿度４０％の空気条件で、リサイクルする空気も同条件で戻すことが求められた。
乾燥機からのＶＯＣ含有排ガスは、ＶＯＣ濃縮部でスプレーにより噴霧された循環液と気液接触をおこない、ＶＯＣ回収部で水との気液接触によりＶＯＣを回収する。ＶＯＣ回収部を出たガスはミストセパレーターを具備した水回収部で１０℃（２５℃、関係湿度４０％における絶対湿度の露点温度）以下まで冷却し、乾燥機にリサイクルする。水回収部では蒸留水による直接接触による熱交換を行い、蒸留水は水冷却熱交換器を介してクーリングタワー、チラー水で冷却した。本実施例は図２に示す高温排ガスのＶＯＣ処理の基本フローに基づき、図６の計算手法を用い、図８の吸収液供給方法で行い、図１１の水回収方法に加えて、空気のリサイクルにまで踏み込んだ実施例である。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の基本的考え方を示すブロックフロー図である。
【図２】図１を具現化した高温ＶＯＣ含有排ガスを処理するための本発明の１つの具体的フロー図である。
【図３】図１を具現化した低温ＶＯＣ含有排ガスを処理するための本発明の１つの具体的フロー図である。
【図４】本発明の方法および装置の物質収支図である。
【図５】本発明の方法および装置の熱収支図である。
【図６】実施例１で用いた本発明の高温ＶＯＣ含有排ガス浄化、ＶＯＣ回収濃縮方式を示すフロー図である。
【図７】実施例２で用いた本発明の低温ＶＯＣ含有排ガス浄化、ＶＯＣ回収濃縮方式を示すフロー図である。
【図８】実施例３で用いた吸収液供給方式を示すフロー図である。
【図９】実施例４で用いたＶＯＣ濃度調整システムを示すフロー図である。
【図１０】実施例４において、多成分系ＶＯＣを含むＶＯＣ含有排ガスを処理したときのＶＯＣ貯留部の温度曲線を示す。
【図１１】実施例５で用いた蒸留水、純水回収方式を示すフロー図である。
【図１２】実施例６で用いたクローズド式ＶＯＣ回収濃縮システムを示すフロー図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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