(57)【要約】【課題】板状部材への傷つきや、破損等を生ずることがないとともに、板状部材の大きさに合わせてシートを切断することのできるシート切断装置及び切断方法を提供すること。【解決手段】大きさの異なる半導体ウエハＷを支持する第１及び第２のテーブル１３Ａ、１３Ｂと、ウエハに貼付されたシートＳをウエハの大きさに合わせて切断するカッター刃１６を有するロボット１７とによりシート切断装置１８が構成されている。第１及び第２のテーブルは、シート切断基準位置Ｐに対して選択的に位置するように移動可能となっており、当該移動は、ロボットのチャック１０９がテーブル側の係合部５６を掴むことによって行われる。各テーブルは、それぞれ外側テーブル５１Ａ、５１Ｂと、ウエハの大きさに略対応する内側テーブル５２Ａ、５２Ｂを備え、外側テーブルと、内側テーブルとの間には、カッター刃の先端側を受容する隙間Ｃが形成されている。【選択図】図３
2008068326.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状部材を支持するテーブルと、前記板状部材の外側にはみ出る大きさのシートを板状部材に貼付して当該板状部材の形状に合うように前記シートをカッター刃で切断する切断手段とを含むシート切断装置において、
前記テーブルは、平面サイズが異なる板状部材ごとに対応して複数設けられ、各テーブルは、前記板状部材の外縁に沿うカッター刃受容部を備えていることを特徴とするシート切断装置。
【請求項２】
前記テーブルは、所定のシート切断基準位置に対して入れ替え可能に設けられていることを特徴とする請求項１記載のシート切断装置。
【請求項３】
前記切断手段は、前記カッター刃を着脱自在とする工具保持手段を備えている一方、前記テーブルは前記工具保持手段に係脱自在に設けられた係合部を備え、前記工具保持手段が前記カッター刃から前記係合部に持ち替えることで前記テーブルを移動可能とし、他のテーブルとの入れ替えが可能に設けられていることを特徴とする請求項２記載のシート切断装置。
【請求項４】
前記テーブルは、前記板状部材の大きさに略対応する内側テーブルと、この内側テーブルの外周側に位置する外側テーブルとにより構成され、これら各テーブル間に前記カッター刃受容部が形成されていることを特徴とする請求項１，２又は３記載のシート切断装置。
【請求項５】
前記内側テーブルと外側テーブルは、高さ調整装置を介してそれぞれの上面の高さ位置が調整可能に設けられていることを特徴とする請求項１，２，３又は４記載のシート切断装置。
【請求項６】
前記複数のテーブルの外縁形状は、それぞれ略同一の大きさに設けられ、前記テーブルは、案内装置を介して前記シート切断基準位置に対して移動可能に設けられていることを特徴とする請求項４又は５記載のシート切断装置。
【請求項７】
前記シート切断基準位置に前記テーブルが位置したときに、当該テーブルの位置を規制する位置規制手段を更に含むことを特徴とする請求項１ないし６の何れかに記載のシート切断装置。
【請求項８】
前記切断手段は、多関節型のロボットにより構成され、当該ロボットは、複数の関節を有するとともに、各関節が数値制御されることを特徴とする請求項１ないし７の何れかに記載のシート切断装置。
【請求項９】
テーブルに板状部材を支持した状態で、当該板状部材の外縁よりも外側にはみ出る大きさのシートを板状部材の上面側に供給して貼付し、当該シートを板状部材の形状に合うようにカッター刃で切断するシート切断方法において、
前記板状部材は、大きさの異なる複数種を対象とし、それぞれの大きさに対応したテーブルを所定のシート切断基準位置に移動させて前記切断を行うことを特徴とするシート切断方法。
【請求項１０】
前記対象となる板状部材の大きさが変更されるときに、前記シート切断基準位置に対してテーブルを入れ替えることを特徴とする請求項９記載のシート切断方法。
【請求項１１】
前記テーブルの入れ替えが、前記切断手段を利用して行われることを特徴とする請求項９又は１０記載のシート切断方法。
【請求項１２】
前記シート切断基準位置に前記テーブルが位置したときに、当該テーブルの位置を規制することを特徴とする請求項９ないし１１の何れかに記載のシート切断方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はシート切断装置及び切断方法に係り、更に詳しくは、板状部材の大きさに対応して複数のテーブルを用意しておき、板状部材にシートを貼付して当該シートを板状部材の大きさに合わせて切断する際に、前記テーブルを所定の切断基準位置にセットして切断することのできるシート切断装置及び切断方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ（以下、単に、「ウエハ」と称する）等の板状部材は、その製造工程において、ウエハよりも大きい保護シート等を貼付し、当該シートをウエハの大きさに合うように切断することが行われている。
【０００３】
このようなシートの切断装置としては、例えば、特許文献１に開示されている。同文献において、切断装置の一部を構成するテーブルは、カッター刃がウエハの外縁に沿って移動する際に、カッター刃の先端部を受け入れることのできる多数の溝を備えて構成され、これら溝により、ウエハのサイズが変更された場合であっても、各ウエハの形状に合わせてシートの切断が行えるようになっている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−２０９０８４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示されたシート切断装置にあっては、略同心円上に多数の溝がテーブルの上面側に形成されているため、シートをウエハに貼付するために用いられる貼付ローラをシート上で転動させたときに、ウエハの下面側に位置する溝によって当該ウエハが割れたり、傷付いたりしてしまい、また、抗折強度が低下してしまう、という不都合を生ずる
【０００６】
［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、シートをウエハ等の板状部材に貼付する際に、当該板状部材への傷つきや、破損等を生ずることがないとともに、板状部材の大きさに合わせてシートを切断することのできるシート切断装置及び切断方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するため、本発明は、板状部材を支持するテーブルと、前記板状部材の外側にはみ出る大きさのシートを板状部材に貼付して当該板状部材の形状に合うように前記シートをカッター刃で切断する切断手段とを含むシート切断装置において、
前記テーブルは、平面サイズが異なる板状部材ごとに対応して複数設けられ、各テーブルは、前記板状部材の外縁に沿うカッター刃受容部を備える、という構成を採っている。
【０００８】
本発明において、前記テーブルは、所定のシート切断基準位置に対して入れ替え可能に設けられている。
【０００９】
また、前記切断手段は、前記カッター刃を着脱自在とする工具保持手段を備えている一方、前記テーブルは前記工具保持手段に係脱自在に設けられた係合部を備え、前記工具保持手段が前記カッター刃から前記係合部に持ち替えることで前記テーブルを移動可能とし、他のテーブルとの入れ替えが可能に設けられる、という構成を採ることができる。
【００１０】
更に、前記テーブルは、前記板状部材の大きさに略対応する内側テーブルと、この内側テーブルの外周側に位置する外側テーブルとにより構成され、これら各テーブル間に前記カッター刃受容部が形成されている。
【００１１】
また、前記内側テーブルと外側テーブルは、高さ調整装置を介してそれぞれの上面の高さ位置が調整可能に設けられる、という構成を採ることが好ましい。
【００１２】
更に、前記複数のテーブルの外縁形状は、それぞれ略同一の大きさに設けられ、前記テーブルは、案内装置を介して前記シート切断基準位置に対して移動可能に設けられている。
【００１３】
また、前記シート切断基準位置に前記テーブルが位置したときに、当該テーブルの位置を規制する位置規制手段を更に含むとよい。
【００１４】
更に、前記切断手段は、多関節型のロボットにより構成され、当該ロボットは、複数の関節を有するとともに、各関節が数値制御される、という構成を採ることができる。
【００１５】
また、本発明は、テーブルに板状部材を支持した状態で、当該板状部材の外縁よりも外側にはみ出る大きさのシートを板状部材の上面側に供給して貼付し、当該シートを板状部材の形状に合うようにカッター刃で切断するシート切断方法において、
前記板状部材は、大きさの異なる複数種を対象とし、それぞれの大きさに対応したテーブルを所定のシート切断基準位置に移動させて前記切断を行う、という方法を採っている。
【００１６】
前記方法において、前記対象となる板状部材の大きさが変更されるときに、前記シート切断基準位置に対してテーブルを入れ替える、という方法を採ることができる。
【００１７】
また、前記テーブルの入れ替えを、前記切断手段を利用して行うとよい。
【００１８】
更に、前記シート切断基準位置に前記テーブルが位置したときに、当該テーブルの位置を規制することができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、板状部材の平面サイズに応じてテーブルが複数種用いられる構成であるため、カッター刃受容部の位置を板状部材の外縁に沿わせた状態に維持できることとなる。従って、板状部材にシートを貼付する際に、当該板状部材の面内下面側に溝等が存在することはなく、貼付ローラでシートに貼付圧力を付与しても、板状部材が割れたり、傷付いたり、また、抗折強度が低下してしまうといった不都合を未然に防止することができる。
また、テーブルがシート切断基準位置に対して入れ替え可能に設けられているため、複数のテーブルが入れ替えを行うことなく配置されただけのシート切断装置に比べ、切断手段におけるカッター刃の移動領域を小さく制限することができる。
更に、切断手段の工具保持手段を利用してテーブルが入れ替え可能に設けられているため、テーブルをシート切断基準位置に移動させる特別な駆動機構を設けることを要しない。
また、テーブルを内側テーブルと外側テーブルとにより構成し、これら各テーブル間にカッター刃受容部を設ける構成であるため、各テーブルに溝の加工を行う必要性はない。
しかも、高さ調整装置によって内側テーブルと外側テーブルとがそれぞれの上面の高さ位置を調整可能に設けられていることで、板状部材やシートの厚みに応じて高さ調整が可能なため、汎用型テーブルとすることが可能となる。
更に、前記各テーブルの外縁形状は略同一の大きさであるため、シート切断基準位置に移動させる案内構造を共通化した設計が可能となる。
また、テーブルの位置規制手段を設けた構成により、各テーブルを位置ずれすることなく前記高さ調整装置へ確実に受け渡すように位置決めすることができ、シート切断不良を防止することができる。
更に、切断手段が多関節型のロボットにより構成された場合には、複雑な輪郭を有する板状部材であっても、シートの切断を難なく行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００２１】
図１には、本実施形態に係るシート切断装置を含むシート貼付装置を、一部断面で表した概略正面図が示され、図２には、その要部概略平面図が示されている。これらの図において、シート貼付装置１０は、図１中左側に位置するシート繰出ユニット１２と、板状部材としてのウエハＷを支持するとともに、図２、３に示される任意の所定位置を示す仮想ラインＰＸとＰＹとが交わる位置をシート切断基準位置Ｐとし、当該シート切断基準位置Ｐに対して移動し、選択的に入れ替えられる第１のテーブル１３Ａ及び第２のテーブル１３Ｂ（本実施形態ではウエハＷの中心が切断基準位置Ｐに一致するように設定されている）と、ウエハＷの上面側に繰り出された接着シートＳに押圧力を付与してウエハＷに貼付するプレスローラ１４を含む貼付手段１５と、ウエハＷの外縁に沿って接着シートＳを切断するカッター刃１６を着脱自在に装着する切断手段としてのロボット１７と、ウエハＷの外側に生じる不要接着シートＳ１をテーブル１３Ａ、１３Ｂの上面から剥離して巻き取る巻取装置１９とを備えて構成されている。
【００２２】
前記シート繰出ユニット１２は、帯状の剥離シートＰＳの一方の面に帯状の接着シートＳが仮着されたロール状の原反Ｌを支持する支持ローラ２０と、この支持ローラ２０から繰り出された原反Ｌを急激に反転して接着シートＳを剥離シートＰＳから剥離するピールプレート２２と、剥離シートＰＳを巻き取って回収する回収ローラ２３と、支持ローラ２０と回収ローラ２３との間に配置された複数のガイドローラ２５〜３１と、ガイドローラ２５，２６間に配置されたバッファローラ３３と、ガイドローラ２７，２８間に配置されるとともに、ロードセル３９及び当該ロードセル３９に支持されて前記ピールプレート２２の基部側に位置する張力測定ローラ４０とを含む張力測定手段３５と、ピールプレート２２、ガイドローラ２７，２８，２９及び張力測定手段３５を一体的に支持して前記プレスローラ１４と相互に作用してウエハＷに対する接着シートＳの貼付角度を一定に保つ貼付角度維持手段３７とを備えて構成されている。前記ガイドローラ２７，２９には、ブレーキシュー３２，４２が併設されており、これらブレーキシュー３２，４２は、接着シートＳをウエハＷに貼付する際に、シリンダ３８、４８によって対応するガイドローラ２７，２９に対して進退することによって接着シートＳを挟み込んでその繰出を抑制するようになっている。
【００２３】
なお、前記シート繰出ユニット１２並びに当該ユニットを構成する前記張力測定手段３５及び貼付角度維持手段３７は、本出願人によって出願された特願２００５−１９８８０６号に開示されたものと実質的に同一であり、ここでは、それらの詳細な説明を省略する。
【００２４】
前記第１及び第２のテーブル１３Ａ、１３Ｂは、図２に示されるように、平面視略方形の外側テーブル５１Ａ、５１Ｂと、ウエハＷの平面サイズに対応した平面視略円形の内側テーブル５２Ａ、５２Ｂとによりそれぞれ構成されている。外側テーブル５１Ａ、５１Ｂは、図３に拡大して示されるように、断面形状において略凹状に形成されており、その底部に、前記内側テーブル５２Ａ、５２Ｂの載置面となる内向きのフランジ部５３Ａ、５３Ｂを備え、当該フランジ部５３Ａ、５３Ｂの内周側領域に穴５４Ａ、５４Ｂを有する形状に設けられている。また、第１及び第２のテーブル１３Ａ、１３Ｂは、それぞれ略同一の外縁形状を備え、下面側における各コーナー近傍に車輪５５が設けられているとともに、図２中、各左上コーナー近傍に、係合部５６がそれぞれ設けられている。
【００２５】
前記内側テーブル５２Ａ、５２Ｂは、外側テーブル５１Ａ、５１Ｂの前記フランジ部５３Ａ、５３Ｂを除く内径よりも小径となる直径を備えた円盤状に設けられ、これにより、外側テーブル５１Ａ、５１Ｂの内周面との間にカッター刃受容部としての隙間Ｃを形成するようになっている。内側テーブル５２Ａ、５２Ｂの上面側には、図示しない減圧ポンプに連通する多数の吸着孔ｈが形成され、内側テーブル５２Ａ、５２Ｂ上に載置されるウエハＷが吸着保持可能に設けられている。
【００２６】
前記第１及び第２のテーブル１３Ａ、１３Ｂは、案内装置５７を介して前記シート切断基準位置Ｐに対して選択的に入れ替えられる。この案内装置５７は、前記シート切断基準位置Ｐに対して第１及び第２のテーブル１３Ａ、１３Ｂを待機させた位置に保持するとともに、Ｙ軸方向に長い略方形のスライドプレート５８と、Ｘ軸方向に長い略方形の固定プレート５９とを含む。
【００２７】
スライドプレート５８の上面には、Ｘ軸方向に延びるガイドレール６０が二対設けられており、当該ガイドレール６０上に前記車輪５５を介して第１及び第２のテーブル１３Ａ、１３Ｂが移動可能に配置可能となっている。なお、図２及び図３に示されるように、スライドプレート５８の右端側には、フック支持体６６が二箇所に設けられ、これらフック支持体６６とフック６９によって係合穴７１を介して第１及び第２のテーブル１３Ａ、１３Ｂを移動不能に固定可能となっている。
【００２８】
また、スライドプレート５８は、その下面に取り付けられたスライダ６２によって、ベースフレーム６３の上面に設けられたレール６４上を移動可能に構成され、駆動装置６５が駆動することにより、Ｙ軸方向に移動可能になっている。ここで、駆動装置６５は、図３に示されるように、スライドプレート５８の下面側に位置して、Ｙ軸方向に延びる送りねじ軸６７と、スライドプレート５８の下面に固定されて前記送りねじ軸６７に螺合するナット部材６８と、前記送りねじ軸６７の一端側に固定されたプーリ７０と、前記ベースフレーム６３に固定された駆動モータＭと、当該モータＭに連結されたプーリ７２と、前記プーリ７０、７２間に掛け回されたベルト７３とを含み、前記駆動モータＭが駆動して送りねじ軸６７が回転することにより、前記スライドプレート５８がＹ軸方向に移動するように構成されている。
【００２９】
前記固定プレート５９は、図３に示されるように、左右一対の支柱７４を介して前記スライドプレート５８と同一高さ位置に配置されている。この固定プレート５９は、その上面にＸ軸方向に伸びるとともに、前記スライドプレート５８上のガイドレール６０のレール間隔と同間隔の延長レール７５を備えている。従って、ガイドレール６０と、延長レール７５とが同一直線上に位置するようにスライドプレート５８が移動したときに、当該スライドプレート５８と固定プレート５９との間で第１及び第２のテーブル１３Ａ、１３Ｂが選択的に往復移動できることとなる。
【００３０】
前記固定プレート５９の中央部には、穴５９Ａが形成され、当該穴５９Ａを貫通する位置に、単軸ロボット７７が配置されている。この単軸ロボット７７は、ロッド７８の上端に昇降板７９が設けられ、当該昇降板７９の上面には、前記内側テーブル５２Ａ、５２Ｂの下面側に設けられた複数の穴８０内に挿抜可能な複数の突起８２が形成されている。従って、昇降板７９が上昇したときに、突起８２が穴８０内に挿入されて内側テーブル５２Ａ、５２Ｂを位置決めした状態で押し上げることが可能となる。なお、内側テーブル５２Ａ、５２Ｂは、その下面に設けられたガイド穴８５と外側テーブル５１Ａ、５１Ｂのフランジ５３Ａ、５３Ｂ上に設けられたガイド軸８４とで横方向への移動が規制されている。
【００３１】
また、前記単軸ロボット７７は、単軸ロボット９２によって昇降可能な支持プレート８６に支持されている。この支持プレート８６には、図４及び図５中左右一対の起立プレート８７が設けられ、これら起立プレート８７の上面には、前記外側テーブル５１Ａ、５１Ｂの下面側に設けられた複数の穴８９に挿抜可能な複数の突起９０が設けられている。従って、支持プレート８６が上昇したときに、突起９０が穴８９内に挿入されて第１及び第２のテーブル１３Ａ、１３Ｂを位置決めした状態で全体的に上昇させることができるようになっている。なお、符号９５は、支持プレート８６の昇降ガイドである。
【００３２】
ここにおいて、前記単軸ロボット７７，９２等により高さ調整装置９１が構成され、外側テーブル５１Ａ、５１Ｂと内側テーブル５２Ａ、５２Ｂは、一体的に昇降可能であるとともに、相互に独立して昇降可能となり、これにより、ウエハＷの上面と外側テーブル５１Ａの上面とのレベル調整と、プレスローラ１４の外周下部と外側テーブル５１Ａとの間隔調整とが可能となる。なお、図２及び図３に示されるように、固定プレート５９の左端側には、シート切断基準位置Ｐに移動されてきたテーブル１３Ａ又は１３Ｂの位置決めをする位置規制手段としてのストッパ９４が配置されており、これにより、移動されてきた第１及び第２のテーブル１３Ａ、１３Ｂが位置ずれすることなく確実に高さ調整装置９１に受け渡されるようになっている。
【００３３】
前記貼付手段１５は、図１に示されるように、前記プレスローラ１４と、これを回転可能に支持するとともに、Ｙ軸方向に沿って一対配置となる支柱を含む門型フレーム１００と、当該門型フレーム１００の上面側に設けられるとともに、前記プレスローラ１４を上下に昇降させるシリンダ１０１と、門型フレーム１００をＸ軸方向に移動可能に支持するとともに前記プレスローラ１４でシートＳに貼付圧力を付与する図示しない移動装置とを備えて構成されている。
【００３４】
前記ロボット１７は、図４に示されるように、ベース部１０４と、当該ベース部１０４の上面側に配置された第１アーム１０５Ａ〜第６アーム１０５Ｆと、第６アーム１０５Ｆの先端側すなわち自由端側に取り付けられた工具保持手段としてのチャック１０９とを含む多関節型に設けられている。第２、第３及び第５アーム１０５Ｂ、１０５Ｃ、１０５Ｅは、図４中Ｙ×Ｚ面内で回転可能に設けられているとともに、第１、第４及び第６アーム１０５Ａ、１０５Ｄ、１０５Ｆは、その軸周りに回転可能に設けられている。本実施形態におけるロボット１７は数値制御（ＮＣコントロール）されるものである。すなわち、対象物（本実施形態ではウエハＷや、第１及び第２のテーブル１３Ａ、１３Ｂ等）に対する各関節の移動量がそれぞれに対応する数値情報で制御され、全てその移動量がプログラムにより制御されるものである。
【００３５】
前記チャック１０９は、略円筒状をなす受容体１１０と、当該受容体１１０の周方向略１２０度間隔を隔てた位置に配置された三つのチャック爪１１１とを備えて構成されている。各チャック爪１１１は、空圧によって受容体１１０の中心に対して径方向に進退可能となっている。ここで、カッター刃１６を保持するためのカッター刃ホルダ１６Ａと前記各係合部５６とが略同形状となっているため、ロボット１７は、前記チャック１０９にカッター刃１６を受容して支持することができる他、前記外側テーブル５１Ａ、５１Ｂの各係合部５６に選択的に係合して第１及び第２のテーブル１３Ａ、１３Ｂをシート切断基準位置Ｐまで移動させることができるようになっている。また、チャック１０９は、搬送用部材をなす図示しない吸着アームを保持可能となっており、当該吸着アームを介して図示しないストッカからウエハＷを取り出して第１及び第２のテーブル１３Ａ、１３Ｂに移載する機能と、シート切断後のウエハＷを所定位置に搬送する機能をも果たすようになっている。
【００３６】
前記巻取装置１９は、図１に示されるように、２つのローラ１２０、１２１と、これらローラを支持する移動フレームＦと、当該移動フレームＦに支持された駆動ローラ１２３と、回転アーム１２４の自由端側に支持され、ばね１２５を介して駆動ローラ１２３の外周面に接して不要接着シートＳ１をニップする巻取ローラ１２７と、駆動ローラ１２３の軸端に配置された駆動モータＭ１とを含む。移動フレームＦは、図示しない移動装置を介してＸ軸方向に移動可能に設けられ、これにより、当該移動フレームＦを含むユニット全体が移動可能となっている。また、駆動モータＭ１は、駆動ローラ１２３を介してフレームＦの移動に同期して不要接着シートＳ１を巻き取るように設定されている。なお、前記ローラ１２１は、図１に示されるように、アーム部材１３０に支持されているとともに、当該アーム部材１３０はシリンダ１３１によってローラ１２１がローラ１２０に対して離間、接近する方向に変位可能とされている。
【００３７】
次に、本実施形態における接着シートＳの切断方法について説明する。
【００３８】
ここでは、説明の便宜上、スライドプレート５８が図２に示される位置にあるものとし、第１のテーブル１３Ａが二点鎖線位置から移動してシート切断基準位置Ｐに移動しているものとする。この移動に際し、ロボット１７は、図２中二点鎖線位置にある第１のテーブル１３Ａの係合部５６をチャック１０９で掴み、前記外側テーブル５１Ａが前記ストッパ９４に突き当たる位置まで移動させることとなる。この際、第２のテーブル１３Ｂは、スライドプレート５８上に待機していることとなる。
【００３９】
第１のテーブル１３Ａがストッパ９４に突き当たって停止すると、単軸ロボット９２が所定量上昇することによって、突起９０が穴８９内に挿入され位置決めをした状態で第１のテーブル１３Ａを上昇させる。そして単軸ロボット７７が所定量上昇することによって、突起８２が穴８０内に挿入されて内側テーブル５２Ａを位置決めした状態で押し上げ、テーブルのセットが完了する。このとき、図示しない入力装置に前もって入力されたウエハＷの厚みによって内側テーブル５２Ａの上昇量が決定し、接着シートのＳの厚みによって外側テーブル５１Ａ（第１のテーブル１３Ａ）の上昇量が決定する。つまり、載置されるウエハＷの上面が外側テーブル５１Ａの上面と同レベルになり、プレスローラ１４の外周下部と外側テーブル５１Ａとの間隔が所定間隔となるようにセットされる。
【００４０】
そして、ロボット１７は、図示しない搬送アームをチャック１０９によって装着し、所定のストッカからウエハＷを吸着保持しつつ内側テーブル５２Ａ上に移載した後、チャック１０９にカッター刃１６を装着する。
【００４１】
次いで、支持ローラ２０から原反が繰り出され、当該原反Ｌは、ピールプレート２２の先端位置で剥離シートＰＳと接着シートＳとが剥離され、剥離シートＰＳは、ガイドローラ２８，２９を経由して回収ローラ２３に巻き取られ、一方、接着シートＳは、プレスローラ１４の外周下部を通って巻取装置１９の巻取ローラ１２７に巻き取られる。これにより、ウエハＷの上方に新しい接着シートＳが繰り出されることとなる。
【００４２】
ウエハＷに対するシートＳの貼付は、図示しない移動装置を介して門型フレーム１００を図１中左側に移動させることにより行われる。これにより、プレスローラ１４が回転しながらウエハＷ上を転動する（図５，図６参照）。このプレスローラ１４の転動に伴って、接着シートＳに加わる張力を測定しつつ貼付角度が常に一定となるように所定制御してシート貼付が行われることとなる。なお、貼付角度を維持しながら貼付する態様は、特願２００５−１９８８０６号に詳述されている。
【００４３】
接着シートＳの貼付が完了すると、図６に示されるように、ロボット１７を介してカッター刃１６の先端が隙間Ｃ内に入り込むようにカッター刃１６がシートＳを突き刺し、ウエハＷの外縁に沿って回転動作し、ウエハＷの全周に沿ってシートＳをくり抜くように切断を行う。このようにしてシート切断が終了すると、ロボット１７は、カッター刃１６を退避動作させる。次いで、巻取装置１９を支持するフレームＦが図示しない移動装置を介して図１中左側に移動すると同時に、駆動ローラ１２３がその移動に同期駆動して不要接着シートＳ１の巻き取りを開始し、不要接着シートＳ１をテーブル１３の上面から剥離しつつ当該不要接着シートＳ１を巻き取る。
【００４４】
このようにして接着シートＳの貼付と、不要接着シートＳ１の巻き取りが行われた後は、ロボット１７が再び図示しない搬送アームをチャック１０９によって装着し、所定のストッカへウエハＷを収納し、次なるウエハＷを第１のテーブル１３Ａ上に移載し、以後、同様の動作を繰り返すこととなる。
【００４５】
ここで、シートＳを貼付すべきウエハサイズが変更になった場合、すなわち、第２のテーブル１３Ｂに対応したサイズのウエハＷにシートＳを貼付する場合には、前記第１のテーブル１３Ａの係合部５６をロボット１７のチャック１０９が掴んでスライドプレート５８上に移動させる。そして、駆動装置６５が駆動することにより、スライドプレート５８が図２中下方に移動され、第２のテーブル１３Ｂを配置しているガイドレール６０が延長レール７５と同一直線上に並ぶ位置まで移動させる。そして、第２のテーブル１３Ｂの係合部５６をロボット１７のチャック１０９が掴んで前記シート切断基準位置Ｐまで移動させることとなる。
【００４６】
従って、このような実施形態によれば、ウエハＷの大きさに応じて異なるサイズのテーブルを利用することができ、種々の平面形状を備えた板状部材を対象としてシートＳの切断を精度良く行うことができる、という効果を得る。
【００４７】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
【００４８】
例えば、前記実施形態では、ウエハＷのサイズが二種類の場合を対象として第１及び第２のテーブル１３Ａ、１３Ｂを採用した場合を図示、説明したが、スライドプレート５８を拡大させ、更にサイズの違うテーブルをその上に配置するように構成してもよい。
また、前記実施形態では、板状部材がウエハである場合を示したが、ウエハ以外の板状部材にシート、フィルムを貼付する構成にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本実施形態に係るシート切断装置を含むシート貼付装置の一部を断面で示した概略正面図。
【図２】シート切断装置の概略平面図。
【図３】図１の要部拡大断面図。
【図４】一部構成を除外した図２の左側面図。
【図５】シート貼付時におけるテーブルの一部断面側面図。
【図６】シート切断時におけるテーブルの一部断面正面図。
【符号の説明】
【００５０】
１０  シート貼付装置
１３Ａ  第１のテーブル
１３Ｂ  第２のテーブル
１６  カッター刃
１７  ロボット（切断手段）
５１Ａ  外側テーブル
５１Ｂ  外側テーブル
５２Ａ  内側テーブル
５２Ｂ  内側テーブル
５６  係合部
５７  案内装置
９１  高さ調整装置
９４  ストッパ（位置規制手段）
１０９  チャック（工具保持手段）
Ｃ  隙間（カッター刃受容部）
Ｐ  シート切断基準位置
Ｓ  接着シート
Ｗ  半導体ウエハ（板状部材）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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