【手続補正書】
【提出日】平成21年9月30日(2009.9.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明の目的は、少数の光源と多数の空間光変調素子であるＤＭＤ（Digital Micro-mirror Device）素子とを搭載して、高い稼働率を確保するとともに、その光源の光量、空間光変調素子の稼動状況を確認し調整できる露光描画装置を提供する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
第７の観点の露光描画装置は、第１及び第２空間光変調手段が投影光学系を透過しない方向に変調した第１光束及び第２光束の光量を検出する第３光量センサを備え、
判断手段は、第２光量センサの出力情報と第３光量センサの出力情報とに基づいて、第１及び第２空間光変調手段から被露光体に至る状況を判断する。
第２光量センサの出力情報と第３光量センサの出力情報とに基づいて、異常箇所が、空間光変調手段であるか、又は投影光学系であるかをより特定できることになる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
この波長調整フィルタ１５−１は、例えば光量調整用のＮＤフィルタ、３５０ｎｍ以下と４５０ｎｍ以上との波長をカットするｇ線ｈ線ｉ線用の透過フィルタ、３５０ｎｍ以下と３８０ｎｍ以上との波長をカットするｉ線用の透過フィルタ、さらに３９０ｎｍ以下と４２０ｎｍ以上との波長をカットするｈ線用の透過フィルタ、４２０ｎｍ以下と４５０ｎｍ以上との波長をカットするｇ線用の透過フィルタ等の複数のフィルタを搭載する。このフィルタ選択は披露光体に塗布されるフォトレジストの種類に応じて決められる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
＜光量センサ＞
本実施例の露光描画装置は、高圧水銀ランプの光量を検出する第１光量センサＳＳ１（第１光量センサＳＳ１１およびＳＳ１２）と、被露光体ＣＢに照射される光量を検出する第２光量センサＳＳ２（第２光量センサＳＳ２１およびＳＳ２２）と、ＤＭＤ素子の状態を検出する第３光量センサＳＳ３（第１光量センサＳＳ３１およびＳＳ３２）と、を有している。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
ＤＭＤ素子４１−６のマイクロミラーＭは、全露光領域ＥＸ１に対しては、回路パターンに従ってすべての露光光ＩＬが被露光体ＣＢに向かうように、回転する。一方、半露光領域ＥＸ２に対しては、２度露光されて回路パターンが形成されるように、約半分の露光光ＩＬのみがマイクロミラーＭによって被露光体ＣＢに向かうようになっている。ＤＭＤ素子４１−７のマイクロミラーＭも、同様な駆動する。このため、隣り合う露光領域ＳＰ６及び露光領域ＳＰ７の半露光領域ＥＸ２が重なると、図７（ｃ）に描かれるように、全露光領域ＥＸ１となる。なお、図７（ａ）において、往路の露光領域ＳＰ１の半露光領域ＥＸ２と復路の露光領域ＳＰ８の半露光領域ＥＸ２とが重なるようになっている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
第１光量センサＳＳ１で検出した高圧水銀ランプ１０の光量の出力情報をα１とする。また第２光量センサＳＳ２で検出した各光路の光量の出力情報をα２、第３光量センサＳＳ３で検出した各光路の光量の出力情報をα３とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
＜高圧水銀ランプの稼働状況＞
第１光量センサＳＳ１は、第１照明光学系３０を経由した高圧水銀ランプ１０−１の直接の光量を検出する。第１光量センサＳＳ１の出力情報α１−１及びα１−２から、第１電源制御部１９−１及び第２電源制御部１９−２は、高圧水銀ランプ１０からアパーチャー部材２０までの２系統の高圧水銀ランプ１０の光量バランスを調整することができる。高圧水銀ランプ１０の調整が終わると、アパーチャー部材２０−１とアパーチャー部材２０−２とにおいて、光量がほぼ等しくなっている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
判断回路８８は、すべての８系統でこの第２光量センサＳ２の出力情報α２−１から出力情報α２−８を検出し、それぞれの出力情報α２−１から出力情報α２−８が図１０に示した光量範囲ｐｒ内に入っているかを判断する。すべての８系統で第２光量センサＳＳ２からの出力情報は同じになるはずである。仮に第１系統の投影光学系６０−１の１つの光学素子に異常があったとすると、第１系統の投影光学系６０−１のみ所定の光量に達しておらず、他の７系統の被露光体面では所定の光量に達していることになる。すなわち、判断回路８８は、アパーチャー部材２０の近傍に配置された第１光量センサＳＳ１では光量が均一であったため、第２光量センサＳＳ２からの出力情報α２−１から出力情報α２−８に基づいて、アパーチャー部材２０から投影光学系６０を経由した被露光面までの稼動状態の把握することができる。判断回路８８は、例えば第１系統の１つの出力情報α２−１が所定範囲に入らず小さい値である場合には、その第１系統のアパーチャー部材２０から投影光学系６０のどこかに異常があると判断する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６２】
本露光描画装置１００は、さらに第３光量センサＳＳ３を有している。上述したように第２光量センサＳＳ２と兼用してもよい。ＤＭＤ素子４１のマイクロミラーＭを第３光量センサＳＳ３に向けて光量を検出することができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６３】
１つのＤＭＤ素子４１−１の光反射面に入射した光束すべてが投影光学系６０を透過するように制御したとき、第２光量センサＳＳ２が出力情報α２−１を出力したとする。ＤＭＤ素子４１−１の光反射面に入射した光束すべてが、投影光学系６０−１を透過せず直接第３光量センサＳＳ３に入射したとき、第３光量センサＳＳ３１が出力情報α３−１を出力したとする。このとき、ＤＭＤ素子４１−１及び投影光学系６０−１に異常がなければ、第２光量センサＳＳ２の出力情報α２−１と第３光量センサＳＳ３の出力情報α３−１とはほぼ同じはずである。投影光学系６０−１で減衰する光量はわずかだからである。しかし、光量変化が大きければ、ＤＭＤ素子４１−１及び投影光学系６０−１に異常があるとして、警告回路８９が警告を出力する。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６４】
すでに、第２光量センサＳＳ２からの出力情報α２−１から出力情報α２−８がほぼ同じであることが把握されている場合には、投影光学系６０−１ないし投影光学系６０−８に異常がないことになる。従って、判断回路８８は、出力情報α３−１が所定出力と異なる場合には、ＤＭＤ素子４１の個別のマイクロミラーＭが正常に稼動していないと判断し、警告回路８９が警告を出力する。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６８】
ステップＳ３８では、判断回路８８は、光量α２−ｎが同じか否かを判断する。実際に被露光体ＣＢ面において光束ＳＰ１から光束ＳＰ８の光量α２−ｎ（ｎ＝１〜８）は均一でなければならない。光束ＳＰ１から光束ＳＰ８の光量が均一であれば露光描画を開始することができる。一方、光束ＳＰ１から光束ＳＰ８の光量α２−ｎ（ｎ＝１〜８）は、所定範囲ｐｒ内ではあるが、光束ＳＰごとにばらつきがあるような場合には、ステップＳ３９に進む。
ステップＳ３９では、図５に示した絞り調整部３５の絞りを調整することで、すべての光束ＳＰを均一にする。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
上記実施例では、投影光学系６０が固定して披露光体テーブル９０が移動する態様を説明したが、投影光学系６０側が移動して披露光体テーブル９０が固定するようにしてもよい。
また、実施例では、高圧水銀ランプ１０は２つであったが、３以上で構成してもよい。さらに、アパーチャー部材２０は、１つの光束を４つの光束に分岐したが、２つ以上に分岐するアパーチャー部材であれば、分岐数に制限はない。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図７】
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