Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成21年3月23日(2009.3.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
掃除機用床ノズルに回転自在に設けられ、外周面の長手方向に複数の溝部を形成したロータと、一端が前記溝部に装着される清掃体からなり、前記溝部を前記ロータの全長にわたって、予め捩り角度が３６０度未満となるように捩って押出し成形し、更に後工程にて前記ロータに捩り加工を施すことにより、前記溝部が前記ロータの全長にわたって３６０度以上の捩り角度で螺旋状になるように形成し、前記溝部に前記清掃体を螺旋状に装着した掃除機用床ノズルの回転ロータ。
【請求項２】
吸引力を発生させる電動送風機と、塵埃を捕集する集塵室と、前記集塵室に連通するように接続される掃除機用床ノズルとを備え、前記掃除機用床ノズルに、請求項１に記載の掃除機用床ノズルの回転ロータを配した電気掃除機。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
前記従来の課題を解決するために、本発明の掃除機用床ノズルの回転ロータは、掃除機用床ノズルに回転自在に設けられ、外周面の長手方向に複数の溝部を形成したロータと、一端が前記溝部に装着される清掃体からなり、前記溝部を前記ロータの全長にわたって、予め捩り角度が３６０度未満となるように捩って押出し成形し、更に後工程にて前記ロータに捩り加工を施すことにより、前記溝部が前記ロータの全長にわたって３６０度以上の捩り角度で螺旋状になるように形成し、前記清掃体は螺旋状に形成された前記溝部に装着されて、同様に螺旋状になった前記清掃体により、被掃除面の塵埃がロータの長手方向に沿って確実に掻き上げられ、その捩り角度が３６０度以上になっているので、前記清掃体と被掃除面に対する接触面積の増加により掃除効果が増加し、かつ被掃除面と前記清掃体との間の摺動抵抗が大幅に軽減し、前記回転ロータを回転させる駆動源の小型化ひいては掃除機用床ノズルの小型化が図れる。
【手続補正書】
【提出日】平成21年9月29日(2009.9.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
遊技に必要な複数の図柄を変動表示する変動表示手段と、
特定役の入賞成立を示す特定の図柄組合せが、前記変動表示手段の変動表示の停止時に所定のラインに沿って並ぶこととなるために必要な情報を報知する報知手段と、
前記変動表示手段及び前記報知手段を制御する制御手段とを具備し、
前記制御手段は、
前記特定の図柄組合せを含む、遊技者にとって有利な図柄組合せが、前記変動表示の停止時に前記所定のラインに沿って並ぶことを許可するか否かの第一の決定と、
該第一の決定の結果、遊技者の停止操作のタイミング及び遊技者の停止操作の順番に基づいて、前記変動表示の停止時に表示すべき態様を決定する第二の決定と、
特別増加役の入賞成立に基づいて発生する特別遊技状態の終了後に前記報知手段により報知される遊技者にとって有利な状況を発生させるか否かを、特別遊技状態が複数回発生した場合の各々の回について、一の乱数抽選の結果に基づいて予め決定する第三の決定とを行い、
前記報知手段は、前記第一の決定結果が、前記特定の図柄組合せが前記所定のラインに沿って並ぶことを許可するものであるとき、前記情報として停止操作の順番を報知するものであり、
前記有利な状況は、前記特別遊技状態の終了後から所定数のゲームが行われるまでの期間、又は前記特別遊技状態の終了後から前記第一の決定により前記特別増加役の入賞成立を示す図柄組み合わせが前記所定のライン沿って並ぶことを許可されるまでの期間継続することを特徴とする遊技機。
【請求項２】
請求項１記載の遊技機において、
前記制御手段は、前記変動表示手段の制御と前記第一の決定及び前記第二の決定とを行う主制御手段と、前記報知手段の制御及び前記第三の決定を行う副制御手段とにより構成されることを特徴とする遊技機。
【手続補正書】
【提出日】平成21年4月16日(2009.4.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一つのシリンダと、吸気パイプ及び排気パイプのそれぞれによってガスの流れを制御するための少なくとも一つの吸気バルブ(7)及び排気バルブと、を備えて、
少なくとも一つのバルブ(7)は、エンジンの作動状態が変化するときに、異なった開閉時間、及び異なったリフトをバルブ(7)に与えるように設計された電子制御された可変駆動手段によって制御され、
前記電子制御された可変駆動手段は、開閉の単一の従来のサイクルであるサイクルの内で開閉の動きの複数の連続サイクルをそれに与えるような方法で、エンジンの動作の予め決められた状態で所定のバルブを制御するためにプログラムされた電子制御手段(25)によって制御され、
開閉の連続サイクルで前述の多重リフト・モードに従って、及び、エンジンの異なった作動状態において、早期の閉鎖の単一のサイクル(EC)を想定したモード、遅れた開きの単一のサイクル(LO)を想定したモード、及び遅れた開閉の単一のハイブリッドサイクル(HY)を想定したモードを備える異なったモードの中から少なくとも一つに従って、エンジンの作動状態が変化するときに、吸気バルブを制御するように、前記電子制御手段(25)がプログラムされていることを特徴とする内燃エンジン。
【請求項２】
前記バルブの開閉の動きの連続サイクルは、少なくとも一つの最初のサイクル(EC)を備えて、従来モードに従ってバルブが開き、バルブが前もって閉じることを特徴とする、請求項１記載のエンジン。
【請求項３】
前記バルブの開閉の動きの連続サイクルは、少なくとも一つの最後のサイクルを備えて、バルブの開きは従来のサイクルに関して遅れて、前記バルブは従来のサイクルに従って閉じることを特徴とする、請求項１記載のエンジン。
【請求項４】
前記バルブの開閉の動きの一連の連続サイクルは、バルブの遅れた開き及び早期の閉鎖の少なくとも一つのハイブリッドサイクル(HY)を備えることを特徴とする、請求項１記載のエンジン。
【請求項５】
前記ハイブリッドサイクルは、前記一連の連続サイクルの最初であることを特徴とする、請求項４記載のエンジン。
【請求項６】
それがシリンダに連関した複数の吸気バルブを備えて、前記バルブの開閉の動きの連続サイクルをバルブのまさに一つに与えるように、前記電子制御手段がプログラムされていることを特徴とする、請求項１記載のエンジン。
【請求項７】
シリンダに連関した多くの吸気バルブを備えて、電子制御手段は、全く同一のシリンダの異なったバルブに同一の方法で、あるいは、差別化された方法で、あるいは、交互の方法で、前記開閉の動きの連続サイクルを各シリンダに二つ以上のバルブに与えて、エンジンの動作の各連続サイクルで全く同一のシリンダの異なったバルブに与えられたサイクルを逆にするために前記電子制御手段がプログラムされていることを特徴とする、請求項１記載のエンジン。
【請求項８】
少なくとも一つのシリンダと、吸気パイプ及び排気パイプのそれぞれを制御するためにシリンダに連関した少なくとも一つの吸気バルブ(7)及び排気バルブと、を備えるタイプの内燃エンジンを制御する方法であって、
少なくとも一つのバルブは、エンジンの作動状態が変わるときに、異なった開閉時間及び異なったリフトをバルブ(7)に与えるために設計された電子制御の可変駆動手段によって制御され、
前述の可変駆動手段が、エンジンの作動の所定状態において、バルブ(7)の開閉の単一の従来の理論的なサイクル内で所与のバルブ(7)に開閉の動きの一連の連続サイクルが与えられていて、
開閉の連続サイクルで前述の多重リフト・モードに従って、及び、エンジンの異なった作動状態において、早期の閉鎖の単一のサイクル(EC)を想定したモード、遅れた開きの単一のサイクル(LO)を想定したモード、及び遅れた開閉の単一のハイブリッドサイクル(HY)を想定したモードを備える異なったモードの中から少なくとも一つに従って、エンジンの作動状態が変化するときに、各吸気バルブが制御されることを特徴とする方法。
【請求項９】
バルブの開閉の動きの一連の連続サイクルは、バルブが従来のモードに従って開くとともに前もって閉じる少なくとも一つの最初のサイクル(EC)を備えることを特徴とする、請求項８記載の方法。
【請求項１０】
バルブの開閉の動きの一連の連続サイクルは、バルブの開きが従来のサイクルに関して遅れる少なくとも一つの最後のサイクル(LO)を備えることを特徴とする、請求項８記載の方法。
【請求項１１】
バルブの開閉の動きの一連の連続サイクルは、バルブの開きが遅れて、バルブが従来のサイクルに関して前もって閉じる、少なくとも一つのハイブリッドサイクル(HY)を備えることを特徴とする、請求項８記載の方法。
【請求項１２】
前記ハイブリッドサイクル(HY)が、前記一連の連続サイクルの最初であることを特徴とする、請求項１１記載の方法。
【請求項１３】
全く同一のシリンダのバルブが、互いに関して同一の方法で制御されることを特徴とする、請求項８記載の方法。
【請求項１４】
各シリンダのバルブが、互いに関して差別化された方法で制御されることを特徴とする、請求項８記載の方法。
【請求項１５】
各シリンダのバルブが、エンジンの作動の個々の連続サイクルでそれぞれの運転モードを逆にして、交互に制御されることを特徴とする、請求項１４記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成21年4月16日(2009.4.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一つのシリンダと、吸気パイプ及び排気パイプのそれぞれによってガスの流れを制御するための少なくとも一つの吸気バルブ(7)及び排気バルブと、を備えて、
少なくとも一つのバルブ(7)は、エンジンの作動状態が変化するときに、異なった開閉時間、及び異なったリフトをバルブ(7)に与えるように設計された電子制御された可変駆動手段によって制御され、
前記電子制御された可変駆動手段は、開閉の単一の従来のサイクルであるサイクルの内で開閉の動きの複数の連続サイクルをそれに与えるような方法で、エンジンの動作の予め決められた状態で所定のバルブを制御するためにプログラムされた電子制御手段(25)によって制御され、
エンジンがシリンダに連関した複数の吸気バルブを備えて、前記バルブの開閉の動きの連続サイクルをバルブのまさに一つに与えるように、前記電子制御手段がプログラムされていることを特徴とする内燃エンジン。
【請求項２】
前記バルブの開閉の動きの連続サイクルは、少なくとも一つの最初のサイクル(EC)を備えて、従来モードに従ってバルブが開き、バルブが前もって閉じることを特徴とする、請求項１記載のエンジン。
【請求項３】
前記バルブの開閉の動きの連続サイクルは、少なくとも一つの最後のサイクルを備えて、バルブの開きは従来のサイクルに関して遅れて、前記バルブは従来のサイクルに従って閉じることを特徴とする、請求項１記載のエンジン。
【請求項４】
前記バルブの開閉の動きの一連の連続サイクルは、バルブの遅れた開き及び早期の閉鎖の少なくとも一つのハイブリッドサイクル(HY)を備えることを特徴とする、請求項１記載のエンジン。
【請求項５】
前記ハイブリッドサイクルは、前記一連の連続サイクルの最初であることを特徴とする、請求項４記載のエンジン。
【請求項６】
少なくとも一つのシリンダと、吸気パイプ及び排気パイプのそれぞれを制御するためにシリンダに連関した少なくとも一つの吸気バルブ(7)及び排気バルブと、を備えるタイプの内燃エンジンを制御する方法であって、
少なくとも一つのバルブは、エンジンの作動状態が変わるときに、異なった開閉時間及び異なったリフトをバルブ(7)に与えるために設計された電子制御の可変駆動手段によって制御され、
前述の可変駆動手段が、エンジンの作動の所定状態において、バルブ(7)の開閉の単一の従来の理論的なサイクル内で所与のバルブ(7)に開閉の動きの一連の連続サイクルが与えられていて、
エンジンがシリンダに連関した複数の吸気バルブを備えて、前記バルブの開閉の動きの連続サイクルがバルブのまさに一つに与えていることを特徴とする方法。
【請求項７】
バルブの開閉の動きの一連の連続サイクルは、バルブが従来のモードに従って開くとともに前もって閉じる少なくとも一つの最初のサイクル(EC)を備えることを特徴とする、請求項６記載の方法。
【請求項８】
バルブの開閉の動きの一連の連続サイクルは、バルブの開きが従来のサイクルに関して遅れる少なくとも一つの最後のサイクル(LO)を備えることを特徴とする、請求項６記載の方法。
【請求項９】
バルブの開閉の動きの一連の連続サイクルは、バルブの開きが遅れて、バルブが従来のサイクルに関して前もって閉じる、少なくとも一つのハイブリッドサイクル(HY)を備えることを特徴とする、請求項６記載の方法。
【請求項１０】
前記ハイブリッドサイクル(HY)が、前記一連の連続サイクルの最初であることを特徴とする、請求項９記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成21年10月13日(2009.10.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリンダブロックに設けられた冷却通路システムを有した燃焼機関用冷却システムにおいて、
燃焼機関の冷却通路システムの系統に配設された主クーラと、
前記系統に配設されたポンプおよび第１の温度調整器であって、前記ポンプおよび前記第１の温度調節器は、前記冷却通路システムの入口と同冷却通路システムの出口との間で直列に接続され、前記系統を形成するようにしたポンプおよび第１の温度調整器と、
前記系統の外部のバイパス通路を介して前記ポンプに接続された交換器と、
前記バイパス通路に設けられた第２の温度調整器であって、前記熱交換器、前記ポンプおよび該第２の温度調節器が、前期冷却通路システムの入口と出口との間で直列に接続されており、前記第２の温度調節器の温度調節弁の第２の開弁温度が、前記第１の温度調節器の温度調節弁の第１の開弁温度よりも低くなるようにした第２の温度調節器とを具備し、
前記温度調整器は、相互接続通路によって前記冷却通路システムの入口と出口との間で直列に接続されており、
開弁温度よりも低い冷却液の温度で温度調整弁が閉じているときに、前記主クーラへ冷却液が流れず、前記熱交換器を介して前記冷却通路システムに最小限の冷却液が流通し、
前記第１と第２の開弁温度の間の冷却液の温度で、前記第２の温度調整器の温度調整弁が開き、かつ、前記第１の温度調整器の温度調整弁は閉じたまま維持され、前記主クーラへは冷却液が流れず、かつ、一層多量の冷却液が、前記熱交換器および前記第１と第２の温度調節器の間の相互接続通路を介して、前記冷却通路システムを流通し、
前記第１の開弁温度以上の冷却液の温度で、前記第１の温度調整器の温度調整弁が開き、冷却液が前記第１の温度調節器および主クーラを介して前記冷却通路システムを流通可能となるようにした燃焼機関用冷却システム。
【手続補正書】
【提出日】平成21年7月16日(2009.7.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
長手軸心回りで回転し得るべく取付けられた少なくとも一個の電気モータ駆動式ローラを有する紡績用前処理機における装置であって、上記ローラは少なくとも一方のローラ端面に作用する電磁界の力により回転せしめられるという装置において、
回転子および固定子を備えた電動式駆動手段を具備し、これら回転子および固定子は上記ローラ、または該ローラに組み合わされた不動機械要素に夫々一体化されていることを特徴とする、装置。
【請求項２】
前記回転子は前記ローラに一体化されており、前記固定子は前記機械要素に一体化されていることを特徴とする、請求項１記載の装置。
【請求項３】
前記固定子は前記ローラに一体化されており、前記回転子は前記機械要素に一体化されていることを特徴とする、請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記不動機械要素が側部パネルであることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の装置。
【請求項５】
前記ローラの端面と前記側部パネルとの間には間隙が在ることを特徴とする、請求項４に記載の装置。
【請求項６】
電気モータの回転子が前記シリンダに直接的に結合されており、該電気モータの固定子が固定的な側部パネルに直接的に結合されることを特徴とする、請求項１に記載の装置。
【請求項７】
作動構成要素を駆動する前記電気モータが、駆動されるべき上記構成要素に直接的に一体化されていると共に、上記構成要素を担持する側部パネルに一体化されていることを特徴とする、請求項１乃至６のいずれか一項に記載の装置。
【請求項８】
前記駆動用電気モータは該電気モータに接続された要素に一体化されることを特徴とする、請求項７に記載の装置。
【請求項９】
前記作動構成要素を駆動する前記電気モータは、駆動されるべき上記構成要素または該構成要素のシャフトに結合されていて上記モータの永久磁石が取付けられているプレートと、上記構成要素を担持していて電気コイルが締着されている前記側部パネルとを含むことを特徴とする、請求項７に記載の装置。
【請求項１０】
前記駆動モータに属する前記永久磁石はシリンダ・ケーシングの内側に取付けられることを特徴とする、請求項９に記載の装置。
【請求項１１】
前記駆動モータに属する前記永久磁石は前記シリンダの端壁に取付けられることを特徴とする、請求項９に記載の装置。
【請求項１２】
前記駆動モータに属する前記永久磁石は、前記作動構成要素または該作動構成要素のシャフトに直接的に結合されたプレートなどに取付けられることを特徴とする、請求項９に記載の装置。
【請求項１３】
前記駆動モータに属する前記電気コイルは前記作動構成要素を担持する前記側部パネルに取付けられることを特徴とする、請求項９乃至１２のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１４】
前記駆動モータは周波数変換器により作動されることを特徴とする、請求項９乃至１３のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１５】
前記電動式駆動手段は電動式制動手段として使用されることを特徴とする、請求項１乃至１４のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１６】
前記電気モータの前記回転子は前記シリンダに直接的に結合されており、上記電気モータの前記固定子は不動的な側部パネルに直接的に結合されることを特徴とする、請求項１乃至１５のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１７】
電気的駆動および／または制動手段が、前記ローラおよび機械フレームに直接的に組み合わされることを特徴とする、請求項１５に記載の装置。
【請求項１８】
前記駆動および／または制動手段は前記ローラの回転構成要素に一体化されていると共に、前記不動機械フレームに一体化されることを特徴とする、請求項１７に記載の装置。
【請求項１９】
前記電気モータおよび前記リニア・モータは固定子および回転子を有することを特徴とする、請求項１乃至１８のいずれか一項に記載の装置。
【請求項２０】
複数個のコイルから成るコイル・システムが使用されることを特徴とする、請求項１乃至１９のいずれか一項に記載の装置。
【請求項２１】
複数個の磁石から成る磁石システムが使用されることを特徴とする、請求項１乃至２０のいずれか一項に記載の装置。
【請求項２２】
前記磁石は永久磁石であることを特徴とする、請求項２１に記載の装置。
【請求項２３】
回転磁界が存在することを特徴とする、請求項２１または２２に記載の装置。
【請求項２４】
制動により速度を低減させる目的で前記コイル内には回転磁界が生成されることを特徴とする、請求項９に記載の装置。
【請求項２５】
制動の間、前記コイルには交流電圧が形成されることを特徴とする、請求項２４に記載の装置。
【請求項２６】
前記駆動手段から前記制動手段への切換え、及び、前記制動手段から前記駆動手段への切換えのための切換デバイスが配備されることを特徴とする、請求項１乃至２５のいずれか一項に記載の装置。
【請求項２７】
前記電気モータは非同期モータであることを特徴とする、請求項１乃至２６のいずれか一項に記載の装置。
【請求項２８】
前記電気モータはブラシレス・モータであることを特徴とする、請求項１乃至２７のいずれか一項に記載の装置。
【手続補正書】
【提出日】平成21年4月24日(2009.4.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能性衣料品であって、
使用者の臀部領域及びウエスト部領域を受容且つサポートする本体と、
該本体の前部分に設けられているとともに使用者の腹部領域をサポートする腹部サポートユニットであって、該腹部サポートユニットは、少なくとも２つの第２の腹部サポート板間に位置する少なくとも１つの第１の腹部サポート板を有し、前記第２腹部サポート板の伸縮性は、前記第１腹部サポート板の伸縮性よりも低い、腹部サポートユニットとを備える、機能性衣料品。
【請求項２】
前記腹部サポートユニットは、使用者の腹部領域の下部をサポートする下部分を有する、請求項１に記載の機能性衣料品。
【請求項３】
前記腹部サポートユニットは、前記腹部領域の上部をサポートし、前記本体の下部分は使用者の生殖器を受容する空隙部を有する、請求項１に記載の機能性衣料品。
【請求項４】
前記第１腹部サポート板及び前記第２腹部サポート板は吸汗性伸縮性繊維から成る、請求項１に記載の機能性衣料品。
【請求項５】
前記第１腹部サポート板及び前記第２腹部サポート板は同じ材料から成る、請求項１に記載の機能性衣料品。
【請求項６】
前記第１腹部サポート板及び前記第２腹部サポート板は異なる材料から成る、請求項１に記載の機能性衣料品。
【請求項７】
前記第２の腹部サポート板はループユニットをさらに有する、請求項１に記載の機能性衣料品。
【請求項８】
前記本体の前記前部分及び後部分に縫合されて、使用者の両脚を入れる２つの脚穴を形成する股部分をさらに有し、
前記第１腹部サポート板は、前記本体の前記前部分の上部から前記本体の前記股部分に延びる、請求項１に記載の機能性衣料品。
【請求項９】
前記第１腹部サポート板の縦の長さは、前記第２腹部サポート板の縦の長さよりも短い、請求項1に記載の機能性衣料品。
【請求項１０】
前記第２腹部サポート板の前記ループユニットに取り付けるフックユニットを対向する両端に有するウエスト部サポート体をさらに備える、請求項１に記載の機能性衣料品。
【請求項１１】
前記ウエスト部サポート体は、取り付けられる際に使用者のウエスト部領域の周りを実質的に囲む、請求項１０に記載の機能性衣料品。
【請求項１２】
前記ウエスト部サポート体の対向する両端は、取り付けられる際に重なり合わない、請求項１０に記載の機能性衣料品。
【請求項１３】
ウエスト部サポート体をさらに備え、該ウエスト部サポート体は、
伸縮性バンド、及び、対向する両端に配置されるフックユニットを有する内側部分であって、前記フックユニットは、前記ウエスト部サポート体が使用者のウエスト部の一部の周りを囲むように前記機能性衣料品に取り付け可能である、内側部分と、
前記本体を形成する材料と同じ材料で被覆される外側部分とを有し、
前記ウエスト部サポート体は、前記フックユニットが使用者のウエスト部の周りに着用される際に重なり合わないように、使用者のウエスト部の長さよりも短くした、請求項１に記載の機能性衣料品。
【請求項１４】
機能性衣料品であって、
使用者の臀部領域、腹部領域、及びウエスト部領域を受容且つサポートする本体と、
該本体の前部分に設けられているとともに使用者の腹部領域をサポートする腹部サポートユニットであって、該腹部サポートユニットは、少なくとも２つの第２の腹部サポート板間に位置する少なくとも１つの第１の腹部サポート板を有し、前記第２腹部サポート板は、ウエスト部サポート体の対向する両端を受け入れるループユニットを有する、腹部サポートユニットとを備える、機能性衣料品。
【請求項１５】
前記第２腹部サポート板及び前記第１腹部サポート板は同じ材料から成る、請求項１４に記載の機能性衣料品。
【請求項１６】
前記第２腹部サポート板及び前記第１腹部サポート板は異なる材料から成る、請求項１４に記載の機能性衣料品。
【請求項１７】
前記本体の前記前部分及び後部分に縫合されて、使用者の両脚を入れる２つの脚穴を形成する股部分をさらに有し、
前記第１腹部サポート板は、前記本体の前記前部分の上部から前記本体の前記股部分に延びる、請求項１４に記載の機能性衣料品。
【請求項１８】
前記第１腹部サポート板の縦の長さは、前記第２腹部サポート板の縦の長さよりも短い、請求項１４に記載の機能性衣料品。
【請求項１９】
前記第２腹部サポート板の前記ループユニットに取り付けるフックユニットを対向する両端に有するウエスト部サポート体をさらに備える、請求項１４に記載の機能性衣料品。
【請求項２０】
前記ウエスト部サポート体は、取り付けられる際に使用者のウエスト部領域の一部の周りを囲む、請求項１９に記載の機能性衣料品。
【請求項２１】
前記ウエスト部サポート体の対向する両端は、取り付けられる際に重なり合わない、請求項１９に記載の機能性衣料品。
【請求項２２】
ウエスト部サポート体をさらに備え、該ウエスト部サポート体は、
伸縮性バンド、及び、対向する両端に配置される前記フックユニットを有する内側部分であって、前記フックユニットは、前記ウエスト部サポート体が使用者のウエスト部の一部の周りを囲むように前記機能性衣料品に取り付け可能である、内側部分と、
前記機能性衣料品の本体を構成する材料と同じ材料で被覆される外側部分とを有し、
前記ウエスト部サポート体は、前記フックユニットが使用者のウエスト部の周りに着用される際に重なり合わないように、使用者のウエスト部の長さよりも短くした、請求項１４に記載の機能性衣料品
【請求項２３】
使用者のウエスト部の周りに機能性衣料品を取り付けるウエスト部サポート体であって、
伸縮性バンド、及び、対向する両端に配置されるフックユニットを有する内側部分であって、前記フックユニットは、該ウエスト部サポート体が使用者のウエスト部の一部の周りを囲むように前記機能性衣料品に取り付け可能である、内側部分と、
前記機能性衣料品の本体を構成する材料と同じ材料で被覆される外側部分とを有し、
該ウエスト部サポート体は、取り付けられる際に重なり合わないように使用者のウエスト部の長さよりも短い長さを有する、使用者のウエスト部の周りに機能性衣料品を取り付けるウエスト部サポート体。
【手続補正書】
【提出日】平成21年8月26日(2009.8.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２】
前記可動部が、ダイヤフラムを含むことを特徴とする請求項１に記載の圧力調整機構。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項７】
前記弾性材料からなる機構が、温度により変位する温度変位部を含み構成され、該温度変位部が閾値以上の温度において前記可動部に変位を与えないことを特徴とする請求項５に記載の圧力調整機構。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
以下に、本発明の実施例について説明する。
［実施例１］
実施例１においては、本発明の圧力調整機構を適用して構成したマイクロバルブ（小型減圧弁）及びその作製方法の一例について説明する。
なお、本発明は、以下に説明するバルブの構造および製法に限定されるものではない。例えば、リリーフバルブなどの他の形態のバルブや機械加工などの他の製法で作製されたバルブに対しても有効である。
本実施例のマイクロバルブの作製方法においては、まず可動部を構成するダイヤフラム部を作製し、その上に新規ウェハを接合する。
その後、可動部を構成するバルブ軸部を作製し、さらに、その上に新規ウェハを接合した後、バルブシートを作製し、最後にバルブシートをリリースすることによって、作製される。ウェハには両面研磨されたものを使用するのが好ましい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
図１（ｃ）に示す第３のステップは、ダイヤフラム２４、バルブ軸２３の一部、および、その支持部２２を作製する工程である。
ここでは、ＩＣＰ−ＲＩＥエッチングによってシリコンウェハを垂直に１５０μｍエッチングした。
図１（ｄ）に示す第４のステップでは、エッチング時間を制御することによって、１枚目のアルミマスク１１の厚みをウェットエッチングによって取り除き、２枚目のアルミマスク１２に対応する部分のみを残した。
図１（ｅ）に示す第５のステップでは、残ったマスクを用いて、ＩＣＰ−ＲＩＥエッチングによって１２５μｍシリコンウェハを垂直にエッチングした。これにより２５μｍのシリコンウェハ部分が残り、これがダイヤフラム２４となる。また、出口流路２６が形成される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
次に本発明の圧力調整機構について説明する。
図５に、本実施例の圧力調整機構の構造を説明するための図を示す。
図５（ａ）は、本発明の圧力調整機構の構造を表す正面図であり、図５（ｂ）は圧力調整機構の構造を表す立面図である。
圧力調整機構は、周辺支持部１０１、バネ部（バネ機構）１０２、加圧部１０３からなる。
図６は本実施例の圧力調整機構１０１６をマイクロバルブ１０１５に取り付けた際の圧力調整機構付きバルブの立断面図である。
図６において、２６は出口流路、２７は入口流路、１０１５はマイクロバルブ、１０１６は圧力調整機構である。取り付けには接着剤により接着してもよいし、ハウジングによって周辺支持部１０１を上から押さえつけてもよい。
これにより、加圧部１０３がマイクロバルブのダイヤフラムに接触可能となり、バネ部１０２によって押される。
これにより、マイクロバルブの動作圧力にオフセットがかかる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
ここで、設定圧力、および、動作中のバルブの挙動はバネ部１０２のバネ定数、および加圧部１０３の高さによって決定される。
バネ部１０２のバネ定数は材質を変えたり、図７（ａ）、図７（ｂ）などのようにバネの形状を変えたり、厚さや太さを変えることによって設計可能である。
圧力調整機構の材料にはステンレスやアルミ、銅などの金属やシリコンなどの半導体、ポリイミドやゴムなどの有機材料を用いることができる。
これらにより、バネ部として板バネを形成し、あるいは圧力調整機構を弾性材料で形成する構成を採ることができる。
この弾性材料からなる構成として、弾性材料からなる弾性部と、該弾性部を支持する支持部と、該弾性部に設けられ上記可動部に接触可能な加圧部による構成とすることができる。
加工方法としては、金属の場合には、切削加工やエッチング、半導体の場合にはドライエッチングやウェットエッチング、有機物の場合には、エッチングや射出成形、切削などを用いることができる。
また、圧力調整機構は、一体加工によることもできるし、加圧部１０３を別に加工しておき、接着することもできる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
［実施例２］
実施例２においては、圧力調整機構を可動部に変位を与えるための可動部に隣接する圧力チャンバで構成した例について説明する。
本実施例に用いるマイクロバルブは、実施例１と同様に作製することができる。図１０に、本実施例における圧力調整機構をマイクロバルブに取り付けた状態を説明するための図を示す。
本実施例の圧力調整機構は、図１０に示すように、圧力チャンバ２０１によって構成されている。
圧力チャンバ２０１内の空間はマイクロバルブのダイヤフラムの片側（バルブによって制御される流体と接していない側）と接しており、チャンバ内の圧力を調整することにより、マイクロバルブのダイヤフラムにかかる圧力を変化させることができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
このときのマイクロバルブの２次圧力は図１６に示すように変動する。
温度が閾値（点線）より小さい領域では温度変位部３０４は機能しないので実施例１で示したように通常の加圧部３０３により加圧された２次圧になる。
さらに、温度が上昇して閾値を超えると（閾値以上になると）、温度変位部３０４の形状記憶合金が機能して加圧部３０３が持ち上げられるため、負圧動作のノーマリークローズバルブとなり弁が閉じる。
また、温度が閾値を下回ると通常の減圧弁として機能するため可逆的に利用可能である。
このように圧力調整機構に形状記憶合金の温度変位部３０４を設けることにより閾値温度より下では減圧弁、それ以上では遮断弁として機能させることができ、より安全性の高い弁機構を提供することができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2007107715.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成21年1月20日(2009.1.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）又はフレキシブルフラットケーブル（ＦＦＣ）と着脱自在に嵌合するコネクタであって、
前記ＦＰＣ又は前記ＦＦＣと接触する接触部、および基板に接続する接続部を有する所要数のコンタクトと、該コンタクトが保持・固定されるとともに前記ＦＰＣ又は前記ＦＦＣが挿入される嵌合口を有するハウジングと、前記嵌合口の反対側に、前記ＦＰＣ又は前記ＦＦＣに前記コンタクトを押圧するスライダーとを備え、前記接触部が、前記ＦＰＣ又は前記ＦＦＣの少なくとも上面と接触するコネクタにおいて、
前記コンタクトは、２種類の異なるコンタクトである第１および第２コンタクトを備え、これら第１および第２のコンタクトは、ハウジングへの挿入方向を互い違いに変えて千鳥に配置され、
前記第１コンタクトおよび前記第２コンタクトの少なくとも一方には、前記接触部と、前記接続部との間に、弾性部と支点部とを設けるとともに、前記接触部と前記弾性部と前記支点部と前記接続部とを略クランク形状に配置し、かつ、前記接続部と対向する位置に前記弾性部から延設された押受部を設け、
前記スライダーには、長手方向に連設した押圧部を設け、該押圧部が前記第１コンタクトの押受部及び前記２コンタクトの押受部に作用するように回動自在に前記スライダーを前記ハウジングに装着することを特徴とするコネクタ。
【請求項２】
フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）又はフレキシブルフラットケーブル（ＦＦＣ）と着脱自在に嵌合するコネクタであって、
前記フレキシブルプリント基板又は前記フレキシブルフラットケーブルと接触する接触部、および基板に接続する接続部を有する所要数のコンタクトと、該コンタクトが保持・固定されるとともに前記ＦＰＣ又は前記ＦＦＣが挿入される嵌合口を有するハウジングと、前記嵌合口の反対側に、前記ＦＰＣ又は前記ＦＦＣに前記コンタクトを押圧するスライダーとを備え、前記接触部が、前記ＦＰＣ又は前記ＦＦＣの少なくとも上面と接触するコネクタにおいて、
前記コンタクトは、２種類の異なるコンタクトである第１および第２コンタクトを備え、これら第１および第２のコンタクトは、ハウジングへの挿入方向を互い違いに変えて千鳥に配置され、
前記第１コンタクトおよび前記第２コンタクトの少なくとも一方には、前記接触部と、前記接続部との間に、弾性部と支点部とを設けるとともに、前記接触部と前記弾性部と前記支点部と前記接続部とを略コ字状に配置し、かつ、前記弾性部から前記接触部と反対方向に延設された押受部を設け、
前記スライダーには、長手方向に連設した押圧部を設け、該押圧部が前記第１コンタクトの押受部及び前記第２コンタクトの押受部に作用するように回動自在に前記スライダーを前記ハウジングに装着することを特徴とするコネクタ。
【請求項３】
前記ハウジングには、嵌合口方向に貫通するまで延びる挿入溝が設けられ、前記略クランク形状に配置されたコンタクトは、前記コンタクトの支点部から前記コンタクトの接触部と同じ方向に延設した延設部を有するとともに、前記略クランク形状に配置されたコンタクトは、前記挿入溝に挿入された状態で保持されることを特徴とする請求項１記載のコネクタ。
【請求項４】
前記コンタクトの前記延設部の先端には、前記コンタクトの接触部と向き合うように、前記ＦＰＣ又は前記ＦＦＣの下面と接触する接触部が設けられる請求項３記載のコネクタ。
【請求項５】
前記押圧部が前記略クランク形状に配置されたコンタクトの接続部と押受部との間で回動自在に前記スライダーを前記ハウジングに装着することを特徴とする請求項１、３または４記載のコネクタ。
【請求項６】
前記押圧部が前記略コ字状に配置されたコンタクトの押受部と前記ハウジングとの間で回動自在に前記スライダーを前記ハウジングに装着することを特徴とする請求項２記載のコネクタ。
【請求項７】
前記略コ字状に配置されたコンタクトは、前記コンタクトの支点部から前記コンタクトの接続部と反対方向に延設された延設部を有し、前記押圧部が前記略コ字状に配置されたコンタクトの延設部と押受部との間で回動自在に前記スライダーを前記ハウジングに装着することを特徴とする請求項２記載のコネクタ。
【請求項８】
前記スライダーの押圧部が前記第１コンタクトの押受部及び前記第２コンタクトの押受部に作用するように回動すると、前記押受部が押圧部によって押し上げられることで前記支点部を支点にし、前記弾性部が前記ＦＰＣ又は前記ＦＦＣの上面に接触する前記接触部側に傾くことによって、前記接触部が前記ＦＰＣ又は前記ＦＦＣ側に押圧されることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項記載のコネクタ。
【請求項９】
前記第１コンタクトの押受部及び／又は前記第２コンタクトの押受部の先端に膨れ防止手段を設け、該膨れ防止手段により前記スライダー回動時における前記スライダーの中央部の前記ＦＰＣ又は前記ＦＦＣの挿入方向への膨れを防止することを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項記載のコネクタ。
【請求項１０】
前記膨れ防止手段として、前記押受部の先端に突出部を設けることを特徴とする請求項９記載のコネクタ。
【請求項１１】
前記スライダーの押圧部の形状を細長形状にすることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか一項記載のコネクタ。
【請求項１２】
前記スライダーには、所要数の前記第１及び第２コンタクトの突出部と係合する係止孔を設け、該係止孔を別個独立にすることを特徴とする請求項１〜１１のいずれか一項記載のコネクタ。
【請求項１３】
前記押圧部の細長形状を、楕円形にすることを特徴とする請求項１１または１２記載のコネクタ。
【請求項１４】
前記略コ字状に配置されたコンタクトの支点部と接続部との間にも前記ＦＰＣ又は前記ＦＦＣと接触する接触部をさらに有することを特徴とする請求項２または６〜１３のいずれか一項記載のコネクタ。
【手続補正書】
【提出日】平成20年12月2日(2008.12.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ゲート配線とこれに直交配置されたソース配線及びドレイン配線と、該ドレイン配線と直接接続する透明電極とを有する薄膜トランジスタ基板であって、上記ゲート配線を構成する単層アルミニウム合金膜の組成と、上記ソース配線及びドレイン配線を構成する単層アルミニウム合金膜の組成が、同一であり、
前記ゲート配線を構成する単層アルミニウム合金膜のヒロック密度が１×１０９個／ｍ２以下であり、
前記ソース配線及びドレイン配線を構成する単層アルミニウム合金膜の電気抵抗率が、７．０μΩ・ｃｍ以下であり、
前記ドレイン配線と前記透明電極との間のコンタクト抵抗率が、１．０×１０−３Ω・ｃｍ２未満であり、
前記単層アルミニウム合金膜は、合金成分として、
Ｘ（Ｘ＝ＮｉおよびＧｅ）を合計０．１〜６原子％含むと共に、
Ｙ１（Ｙ１＝Ｎｄ、Ｙ、Ｆｅ、Ｃｏ）よりなる群から選択される１種以上を下記式（１）の範囲内で含み、
残部がアルミニウムおよび不可避不純物であることを特徴とする薄膜トランジスタ基板。
０．１≦（ＣＸ＋１０ＣＹ１）≦６      …（１）
［但し、ＣＸ：アルミニウム合金中のＸの含有量（単位：原子％）
ＣＹ１：アルミニウム合金中のＹ１の含有量（単位：原子％）］
【請求項２】
ゲート配線とこれに直交配置されたソース配線及びドレイン配線と、該ドレイン配線と直接接続する透明電極とを有する薄膜トランジスタ基板であって、上記ゲート配線を構成する単層アルミニウム合金膜の組成と、上記ソース配線及びドレイン配線を構成する単層アルミニウム合金膜の組成が、同一であり、
前記ゲート配線を構成する単層アルミニウム合金膜のヒロック密度が１×１０９個／ｍ２以下であり、
前記ソース配線及びドレイン配線を構成する単層アルミニウム合金膜の電気抵抗率が、７．０μΩ・ｃｍ以下であり、
前記ドレイン配線と前記透明電極との間のコンタクト抵抗率が、１．０×１０−３Ω・ｃｍ２未満であり、
前記単層アルミニウム合金膜は、合金成分として、
Ｘ（Ｘ＝ＮｉおよびＧｅ）を合計０．１〜６原子％含むと共に、
Ｙ２（Ｙ２＝Ｔｉ、Ｖ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｈｆ、Ｔａ、Ｗ）よりなる群から選択される１種以上を下記式（２）の範囲内で含み、
残部がアルミニウムおよび不可避不純物である請求項１に記載の薄膜トランジスタ基板。
０．１≦（ＣＸ＋１５ＣＹ２）≦６      …（２）
［但し、ＣＸ：アルミニウム合金中のＸの含有量（単位：原子％）
ＣＹ２：アルミニウム合金中のＹ２の含有量（単位：原子％）］
【請求項３】
ゲート配線とこれに直交配置されたソース配線及びドレイン配線と、該ドレイン配線と直接接続する透明電極とを有する薄膜トランジスタ基板であって、上記ゲート配線を構成する単層アルミニウム合金膜の組成と、上記ソース配線及びドレイン配線を構成する単層アルミニウム合金膜の組成が、同一であり、
前記ゲート配線を構成する単層アルミニウム合金膜のヒロック密度が１×１０９個／ｍ２以下であり、
前記ソース配線及びドレイン配線を構成する単層アルミニウム合金膜の電気抵抗率が、７．０μΩ・ｃｍ以下であり、
前記ドレイン配線と前記透明電極との間のコンタクト抵抗率が、１．０×１０−３Ω・ｃｍ２未満であり、
前記単層アルミニウム合金膜は、合金成分として、
Ｘ（Ｘ＝ＮｉおよびＧｅ）を合計０．１〜６原子％含むと共に、
Ｙ３（Ｙ３＝Ｃｒ、Ｍｎ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｉｒ、Ｐｔ、Ｌａ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕ）よりなる群から選択される１種以上を下記式（３）の範囲内で含み、
残部がアルミニウムおよび不可避不純物である請求項１に記載の薄膜トランジスタ基板。
０．１≦（ＣＸ＋５ＣＹ３）≦６      …（３）
［但し、ＣＸ：アルミニウム合金中のＸの含有量（単位：原子％）
ＣＹ３：アルミニウム合金中のＹ３の含有量（単位：原子％）］
【請求項４】
ゲート配線とこれに直交配置されたソース配線及びドレイン配線と、該ドレイン配線と直接接続する透明電極とを有する薄膜トランジスタ基板であって、上記ゲート配線を構成する単層アルミニウム合金膜の組成と、上記ソース配線及びドレイン配線を構成する単層アルミニウム合金膜の組成が、同一であり、
前記ゲート配線を構成する単層アルミニウム合金膜のヒロック密度が１×１０９個／ｍ２以下であり、
前記ソース配線及びドレイン配線を構成する単層アルミニウム合金膜の電気抵抗率が、７．０μΩ・ｃｍ以下であり、
前記ドレイン配線と前記透明電極との間のコンタクト抵抗率が、１．０×１０−３Ω・ｃｍ２未満であり、
前記単層アルミニウム合金膜は、合金成分として、
Ｘ（Ｘ＝ＮｉおよびＧｅ）を合計０．１〜６原子％含むと共に、
Ｍｇを下記式（４）の範囲内で含み、
残部がアルミニウムおよび不可避不純物である請求項１に記載の薄膜トランジスタ基板。
０．１≦（ＣＸ＋２ＣＭｇ）≦６      …（４）
［但し、ＣＸ：アルミニウム合金中のＸの含有量（単位：原子％）
ＣＭｇ：アルミニウム合金中のＭｇの含有量（単位：原子％）］
【請求項５】
前記請求項１〜４のいずれかに記載の薄膜トランジスタ基板を備えた表示デバイス。
【手続補正書】
【提出日】平成20年12月10日(2008.12.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極が設けられた電極形成部を有する発光素子と、
前記発光素子が搭載される搭載部と、
前記搭載部上に形成され、前記発光素子を封止し、ガラス転移点が３４０℃以上のガラス封止部と、
前記搭載部と前記発光素子との間に形成され、前記発光素子の前記電極と直接接触する中空部と、を備えたことを特徴とする発光装置。
【請求項２】
前記発光素子の前記電極形成部は、一対の前記電極が設けられ、
前記電極形成部は、前記各電極の間に介在しパッシベーション膜が形成されるパッシベーション膜形成領域と、パッシベーション膜が形成されないパッシベーション膜非形成領域と、を有することを特徴とする請求項１に記載の発光装置。
【請求項３】
前記発光素子の前記電極は、導電性酸化物を含むことを特徴とする請求項１または２に記載の発光装置。
【請求項４】
前記発光素子の前記電極は、ＩＴＯ(Indium Tin Oxide)を含むことを特徴とする請求項３に記載の発光装置。
【請求項５】
前記発光素子は、フリップチップ実装されたＧａＮ系のＬＥＤ素子であることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の発光装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、上記発光装置において、
前記発光素子の前記電極形成部は、一対の前記電極が設けられ、
前記電極形成部は、前記各電極の間に介在しパッシベーション膜が形成されるパッシベーション膜形成領域と、パッシベーション膜が形成されないパッシベーション膜非形成領域と、を有することが好ましい。
【手続補正書】
【提出日】平成21年8月25日(2009.8.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の一方面側に設けられる振動板と、該振動板を介して設けられる下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子とを具備するアクチュエータ装置の製造方法において、
前記基板の一方面側にジルコニウム層をスパッタ法により形成するジルコニウム層形成工程と、ジルコニウム層を熱酸化して酸化ジルコニウム層とする酸化ジルコニウム層形成工程とを具備し、
前記ジルコニウム層形成工程が、相対的に高いスパッタ圧力且つ低い成膜レートで３０ｎｍ〜６０ｎｍの厚さのジルコニウム第１層を形成する高圧工程と、この高圧工程より低いスパッタ圧力且つ高い成膜レートで総膜厚が所望の厚さとなるまでジルコニウム第２層を形成する低圧工程とで、柱状で配向度が（１０１）面優先であるジルコニウム層を形成するものであることを特徴とするアクチュエータ装置の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載のアクチュエータ装置の製造方法において、前記高圧工程のスパッタ圧力が２〜６Ｐａの範囲であり、前記低圧工程のスパッタ圧力が１Ｐａ未満であることを特徴とするアクチュエータ装置の製造方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のアクチュエータ装置の製造方法において、前記高圧工程の条件が、パワー密度が３〜１０ｋＷ／ｍ２、成膜温度が室温の条件であることを特徴とするアクチュエータ装置の製造方法。
【請求項４】
請求項１〜３の何れか一項に記載のアクチュエータ装置の製造方法において、前記ジルコニウム層形成工程の前記高圧工程と前記低圧工程とは減圧状態を保持したまま５〜１５秒の間隔をおいて実行することを特徴とするアクチュエータ装置の製造方法。
【請求項５】
請求項１〜４の何れか一項に記載のアクチュエータ装置の製造方法において、前記ジルコニウム層形成工程にて形成されるジルコニウム層の総膜厚が２００〜５００ｎｍであることを特徴とするアクチュエータ装置の製造方法。
【請求項６】
請求項１〜５の何れか一項に記載のアクチュエータ装置の製造方法において、前記ジルコニウム層形成工程を、ターゲットと基板との距離が、成膜できる基板直径の半分の寸法より小さいスパッタ装置で行うことを特徴とするアクチュエータ装置の製造方法。
【請求項７】
請求項１〜６の何れか一項のアクチュエータ装置の製造方法によって形成されたアクチュエータ装置を具備し、その変位によって、前記基板に設けられた圧力発生室に連通するノズル開口から液滴を吐出させることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成21年10月13日(2009.10.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
取付け部位と中空部位を有するステンレス鋼材のステムベースおよび前記中空部位にガラスで封着して前記ステムベースと絶縁した貫通リードを具備する気密端子において、前記取付け部位はステンレス鋼材をそのまま露呈させ、前記中空部位はステンレス鋼材に耐食性めっき層を形成し、前記めっき層は材質がニッケルであり、その膜厚を１〜１０μｍの範囲内で電気めっきにより形成したことを特徴とする気密端子。
【請求項２】
周辺の取付け部位と中央の中空部位を備えるステムベースをステンレス鋼材から成形加工する工程、前記取付け部位をカバーするマスキング工程、前記ステムべースをめっき液に浸漬し電気めっきにより前記中空部位にめっき層を形成する部分めっき工程、部分めっきされた前記ステムベースをガラスタブレットおよびリードと共に加熱用治具に配置する組立工程、および組立後の加熱用治具を加熱炉により前記ガラスタブレットを加熱溶融させる封着工程を含み、前記部分めっき工程におけるめっき層は膜厚が１〜１０μｍの範囲内のニッケルであることを特徴とする気密端子の製造方法。
【請求項３】
前記ガラスタブレットがほう珪酸ガラス材であり、前記封着工程は９００℃以上の窒素雰囲気炉で加熱処理することを特徴とする請求項２に記載の気密端子の製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成21年4月6日(2009.4.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８１】
また、形成されたシリコン薄膜の結晶化度（Ｉｃ／Ｉａ）の測定結果と成膜時のプラズマポテンシャルとの関係を図５に示す。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０１】
１  成膜室
１１  成膜室１の天井壁
１１１  天井壁１１に設けた電気絶縁性部材
２  基板ホルダ
２１  ヒータ
３    誘導結合型アンテナ
３１、３２  アンテナ３の端部
４    高周波電源
４１  マッチングボックス
５    排気ポンプ
５１  コンダクタンスバルブ
６    成膜原料ガス供給部
７    希釈ガス供給部
８    終端処理用ガス供給部
１０  プラズマ診断装置
１０ａ  ラングミューアプローブ
１０ｂ  プラズマ診断部
１００  圧力計