【手続補正書】
【提出日】平成21年6月30日(2009.6.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の磁石を有する可動子と、前記可動子に固定されたステージと、前記磁石に対して間隔をもって対向配置された複数のコイル列を積層して構成される固定子と、前記複数のコイル列のうち駆動方向に応じたコイル列を構成するコイルに通電することで、前記ステージを複数の駆動方向に駆動する制御手段とを備えるステージ装置において、
前記固定子は、第１コイル列と、該第１コイル列よりも前記磁石との間の距離が大きい第２コイル列とを備え、前記第２コイル列を構成する各コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積が、前記第１コイル列を構成する各コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積よりも大きいことを特徴とするステージ装置。
【請求項２】
前記第２コイル列を構成する各コイルの厚さが、前記第１コイル列を構成する各コイルの厚さよりも大きいことを特徴とする請求項１に記載のステージ装置。
【請求項３】
複数の磁石を有する可動子と、前記可動子に固定されたステージと、前記磁石に対して間隔をもって対向配置された複数のコイル列を積層して構成される固定子と、前記複数のコイル列のうち駆動方向に応じたコイル列を構成するコイルに通電することで、前記ステージを複数の駆動方向に駆動する制御手段とを備えるステージ装置において、
前記固定子は、第１コイル列と、該第１コイル列よりも前記磁石との間の距離が大きい第２及び第３コイル列とを備え、
前記制御手段は、前記第２及び第３コイル列が、互いに同じ駆動方向であって、かつ前記第１コイル列の駆動方向とは異なる駆動方向に前記ステージを駆動するように制御し、
前記第１コイル列を構成する各コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積と前記第２コイル列を構成する各コイルの巻線方向を法線とする断面の導体面積との和が、前記第１コイル列を構成する各コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積よりも大きいことを特徴とするステージ装置。
【請求項４】
複数の磁石を有する可動子と、前記可動子に固定されたステージと、前記磁石に対して間隔をもって対向配置された複数のコイル列を積層して構成される固定子と、前記複数のコイル列のうち駆動方向に応じたコイル列を構成するコイルに通電することで、前記ステージを複数の駆動方向に駆動する制御手段とを備えるステージ装置において、
前記固定子は、第１コイル列と、該第１コイル列よりも前記磁石との間の距離が大きい第２コイル列とを備え、前記第２コイル列を構成する各コイルの表面積が、前記第１コイル列を構成する各コイルの表面積よりも大きいことを特徴とするステージ装置。
【請求項５】
複数の磁石を有する可動子と、前記可動子に固定されたステージと、前記磁石に対して間隔をもって対向配置された複数のコイル列を積層して構成される固定子と、前記複数のコイル列のうち駆動方向に応じたコイル列を構成するコイルに通電することで、前記ステージを複数の駆動方向に駆動する制御手段とを備えるステージ装置において、
前記固定子は、第１コイル列と、該第１コイル列よりも前記磁石との間の距離が大きい第２及び第３コイル列とを備え、
前記制御手段は、前記第２及び第３コイル列が、互いに同じ駆動方向であって、かつ前記第１コイル列の駆動方向とは異なる駆動方向に前記ステージを駆動するように制御し、
前記第２コイル列を構成する各コイルの表面積と前記第３コイル列を構成する各コイルの表面積との和が、前記第１コイル列を構成する各コイルの表面積よりも大きいことを特徴とするステージ装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１項に記載のステージ装置を備え、
前記ステージ装置によって、原版と基板とを相対的に走査して当該原版上のパターンを基板上に露光する露光装置。
【請求項７】
請求項６に記載の露光装置を用いて半導体デバイスを製造することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
上述の課題を解決し、目的を達成するために、本発明のステージ装置は、複数の磁石を有する可動子と、前記可動子に固定されたステージと、前記磁石に対して間隔をもって対向配置された複数のコイル列を積層して構成される固定子と、前記複数のコイル列のうち駆動方向に応じたコイル列を構成するコイルに通電することで、前記ステージを複数の駆動方向に駆動する制御手段とを備えるステージ装置において、前記固定子は、第１コイル列と、該第１コイル列よりも前記磁石との間の距離が大きい第２コイル列とを備え、前記第２コイル列を構成する各コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積が、前記第１コイル列を構成する各コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積よりも大きい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
上記構成において、前記第２コイル列を構成する各コイルの厚さが、前記第１コイル列を構成する各コイルの厚さよりも大きい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、本発明のステージ装置は、複数の磁石を有する可動子と、前記可動子に固定されたステージと、前記磁石に対して間隔をもって対向配置された複数のコイル列を積層して構成される固定子と、前記複数のコイル列のうち駆動方向に応じたコイル列を構成するコイルに通電することで、前記ステージを複数の駆動方向に駆動する制御手段とを備えるステージ装置において、前記固定子は、第１コイル列と、該第１コイル列よりも前記磁石との間の距離が大きい第２及び第３コイル列とを備え、前記制御手段は、前記第２及び第３コイル列が、互いに同じ駆動方向であって、かつ前記第１コイル列の駆動方向とは異なる駆動方向に前記ステージを駆動するように制御し、前記第１コイル列を構成する各コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積と前記第２コイル列を構成する各コイルの巻線方向を法線とする断面の導体面積との和が、前記第１コイル列を構成する各コイルの巻き線方向を法線とする断面の導体面積よりも大きい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、本発明のステージ装置は、複数の磁石を有する可動子と、前記可動子に固定されたステージと、前記磁石に対して間隔をもって対向配置された複数のコイル列を積層して構成される固定子と、前記複数のコイル列のうち駆動方向に応じたコイル列を構成するコイルに通電することで、前記ステージを複数の駆動方向に駆動する制御手段とを備えるステージ装置において、前記固定子は、第１コイル列と、該第１コイル列よりも前記磁石との間の距離が大きい第２コイル列とを備え、前記第２コイル列を構成する各コイルの表面積が、前記第１コイル列を構成する各コイルの表面積よりも大きい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
更に、本発明のステージ装置は、複数の磁石を有する可動子と、前記可動子に固定されたステージと、前記磁石に対して間隔をもって対向配置された複数のコイル列を積層して構成される固定子と、前記複数のコイル列のうち駆動方向に応じたコイル列を構成するコイルに通電することで、前記ステージを複数の駆動方向に駆動する制御手段とを備えるステージ装置において、前記固定子は、第１コイル列と、該第１コイル列よりも前記磁石との間の距離が大きい第２及び第３コイル列とを備え、前記制御手段は、前記第２及び第３コイル列が、互いに同じ駆動方向であって、かつ前記第１コイル列の駆動方向とは異なる駆動方向に前記ステージを駆動するように制御し、前記第２コイル列を構成する各コイルの表面積と前記第３コイル列を構成する各コイルの表面積との和が、前記第１コイル列を構成する各コイルの表面積よりも大きい。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】