(57)【要約】【課題】被粉砕物を要求粒度分布を有する状態に粉砕する散布用ジェットミルを供給する。【解決手段】リング状の側壁に、円盤状の粉砕室８の中心線１００に対して所定の角度で空気流を噴出するエアノズルが配置されたジェットミル本体２の上部材１２に、下部材１０の略中央に設けられた出口６から被粉砕物の要求粒度分布に応じた半径方向の位置に被粉砕物供給口１４ａ〜１４ｃが設けられている。また、ジェットミル本体２と被粉砕物供給装置１６とは、切換弁２０ａ〜２０ｃが設けられた供給管１８ａ〜１８ｃを介して接続され、各供給管１８ａ〜１８ｃは被粉砕物供給口１４ａ〜１４ｃに接続されている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
円盤状の空洞が形成されるジェットミル本体と、
前記ジェットミル本体のリング状の側壁に間隔を開けて配置され、前記円盤状の空洞の中心線に対して所定の角度で空気流を噴出し、前記円盤状の空洞に高速の空気流を生じさせる複数のエアノズルと、
前記ジェットミル本体の前記円盤状の空洞内に、被粉砕物を供給する被粉砕物供給口と、
前記ジェットミル本体の前記円盤状の空洞の略中央に配置される出口とを備え、
前記被粉砕物供給口は、
前記ジェットミル本体の前記出口から前記被粉砕物を粉砕する際の要求粒度分布に応じた半径方向の位置に設けられていることを特徴とする散布用ジェットミル。
【請求項２】
前記被粉砕物供給口は、
前記ジェットミル本体に、前記要求粒度分布に応じた前記出口から半径方向にそれぞれ異なる距離を有する位置に複数設けられていることを特徴とする請求項１記載の散布用ジェットミル。
【請求項３】
前記被粉砕物供給口を介して前記ジェットミル本体の前記円盤状の空洞に前記被粉砕物を供給する被粉砕物供給装置を更に備え、
前記被粉砕物供給装置と、前記円盤状の空洞とは、前記要求粒度分布に応じて前記被粉砕物供給口を切り換える切換装置を介して接続されていることを特徴とする請求項２記載の散布用ジェットミル。
【請求項４】
円盤状の空洞が形成されるジェットミル本体と、
前記ジェットミル本体のリング状の側壁に間隔を開けて配置され、前記円盤状の空洞の中心線に対して所定の角度で空気流を噴出し、前記円盤状の空洞に高速の空気流を生じさせる複数のエアノズルと、
前記ジェットミル本体の前記円盤状の空洞内に、被粉砕物を供給する被粉砕物供給口と、
前記ジェットミル本体の前記円盤状の空洞の略中央に配置される出口とを備え、
前記円盤状の空洞は、
前記複数のエアノズルから供給される前記高速の空気流によって前記被粉砕物を粉砕するリング状の粉砕ゾーンと、
前記粉砕ゾーンの内側に配置され前記空気流によって前記被粉砕物を分級する分級ゾーンと、
前記粉砕ゾーンと前記分級ゾーンとの間に配置され、前記粉砕ゾーンと前記分級ゾーンとを連通するリング状の狭隘路を有し、
前記被粉砕物供給口は、
前記ジェットミル本体の前記粉砕ゾーン及び／又は前記分級ゾーン内に該被粉砕物を供給する位置に設けられていることを特徴とする散布用ジェットミル。
【請求項５】
前記被粉砕物供給口は、
前記ジェットミル本体の前記出口から前記被粉砕物を粉砕する際の要求粒度分布に応じた半径方向の位置に設けられていることを特徴とする請求項４記載の散布用ジェットミル。
【請求項６】
前記狭隘路は、
所定の開口幅を有し、該所定の開口幅は、前記要求粒度分布に応じて調整可能であることを特徴とする請求項４又は請求項５記載の散布用ジェットミル。
【請求項７】
前記狭隘路は、
前記円盤状の空洞の半径方向の所定の位置に形成され、該半径方向の所定の位置は、前記要求粒度分布に応じて調整可能であることを特徴とする請求項４〜請求項６の何れか一項に記載の散布用ジェットミル。
【請求項８】
前記高速の空気流によって前記被粉砕物が粉砕される際に、前記円盤状の空洞を形成する前記ジェットミル本体の壁面と前記被粉砕物との間に生じる衝突及び／又は摩擦により、粉砕された前記被粉砕物の粉体を帯電させることを特徴とする請求項１〜請求項７の何れか一項に記載の散布用ジェットミル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、エアノズルから供給される高速の空気流によって被粉砕物を粉砕または解砕するジェットミルであり、より具体的には液晶表示装置用基板、ＰＤＰ用基板、ガラス基板、シリコンウエハ等の基板表面上に所定の粒度分布を有する粉体を散布する散布用ジェットミルに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、被粉砕物を粉砕する装置として、粉砕室の側壁に配置されたエアノズルから粉砕室の内部に供給される高速の空気流によって、被粉砕物を粉砕すると共に、旋回する空気流によって粉砕された被粉砕物の分級をも行なうジェットミルが知られている。例えば、特許文献１においては、ジェットミル本体の内部に形成される空間を、粉砕ゾーンと分級ゾーンとに分割し、粉砕ゾーンと分級ゾーンとの間に両者を分割すると共に連通する狭隘路を設け、被粉砕物の粒度のバラツキを小さくし高い分級精度が得られるようにしたジェットミルが開示されている。
【０００３】
ジェットミルにより粉砕された被粉砕物の粉体は、例えば、基板間の間隙の保持のため、基板上に散布される場合がある。このような場合に用いられる装置として、例えば、特許文献２には、粉体を収容する容器内に加圧気体を供給して、粉体を容器からハウジング内に搬送し、ハウジング内に配置された複数の半導体ウエハ上に粉体を散布する際に、上記容器を加熱するとともに振動させて、乾燥した、塊状物のない粉体を散布可能とした装置が開示されている。また、特許文献３には、粒径１０μｍ以下程度の微細な粒子を散布対象面全面に均一に散布すべく、粉体の吐出ノズルを気流式粉砕機（ジェットミル）の吐出口に直結して設け、かつ、筐体の内部に開口させた散布装置が開示されている。
【０００４】
更に、特許文献４には、スペーサを分散液の状態で収容し、所定の加圧力に応じ分散液を供給する供給装置と、この供給装置により定量的に供給された分散液を高速ガスの衝撃力により解砕するエジェクタと、解砕された粒子エアロゾルを所定位置まで移送し、基板上に散布する散布装置とを備えたスペーサの散布装置が開示されている。
【０００５】
また、特許文献５には、収納ボックス内に収納された液晶パネルに対して、気流に乗ったスペーサを放出するノズルと、このノズル内の気流中に突出するように設けられたスペーサ供給用吸引管と、この吸引管にスペーサを供給するスペーサ供給ボックスとを設け、スペーサを気流中に供給するための開口部を収納ボックス内に向かって開口するように吸引管を穿設させてなるスペーサ散布機構が開示されている。
【０００６】
そして、特許文献６には、被散布体と所定間隔離間して配置される散布ノズル管と、散布ノズル管を傾斜可能に支持する支持部と、散布ノズル管の上端側に設けられた第１のジョイント部と、所定の方向に平行もしくは所定角度傾斜させて並設され、第２のジョイント部がそれぞれ設けられた２個の直動アクチュエータと、第１のジョイント部と第２のジョイント部の各々とをそれぞれ連結する２本のロッドとを具備し、２個の直動アクチュエータの移動を合成して散布ノズル管を任意の方向に傾斜させて被散布体上に微粉体を散布する微粉体の散布装置が開示されている。
【特許文献１】特開２００５−１３１６３３号公報
【特許文献２】特開２００３−２２９３４１号公報
【特許文献３】特開２００６−５１４９１号公報
【特許文献４】特開平５−３１３１７１号公報
【特許文献５】特開平６−１４８５８６号公報
【特許文献６】特開平１１−２７６９４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、ジェットミルを用いて、被粉砕物（例えば、スペーサ）を粒度分布の小さい微粒子状に粉砕する場合、液晶表示パネル基板間の間隙を目標とする値に保持できない時がある。即ち、基板上に粒度分布の小さ過ぎるスペーサや粒度分布の大き過ぎるスペーサが散布された場合は所望の間隙が得られず、液晶表示パネルが不良のものとなる。従って、ジェットミルにより粉砕された被粉砕物の粉体を間隙保持用のスペーサとして用いる場合には、被粉砕物が所定の粒度分布を有するように粉砕されている必要がある。
【０００８】
この発明の課題は、基板等の上に、それらの間隙保持用のスペーサとしての役割を果たす粉体を散布可能にすべく、被粉砕物を要求粒度分布を有する状態に粉砕することができる散布用ジェットミルを供給することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１記載の散布用ジェットミルは、円盤状の空洞が形成されるジェットミル本体と、前記ジェットミル本体のリング状の側壁に間隔を開けて配置され、前記円盤状の空洞の中心線に対して所定の角度で空気流を噴出し、前記円盤状の空洞に高速の空気流を生じさせる複数のエアノズルと、前記ジェットミル本体の前記円盤状の空洞内に、被粉砕物を供給する被粉砕物供給口と、前記ジェットミル本体の前記円盤状の空洞の略中央に配置される出口とを備え、前記被粉砕物供給口は、前記ジェットミル本体の前記出口から前記被粉砕物を粉砕する際の要求粒度分布に応じた半径方向の位置に設けられていることを特徴とする。
【００１０】
この請求項１記載の散布用ジェットミルによれば、被粉砕物供給口がジェットミル本体の出口から被粉砕物を粉砕する際の要求粒度分布に応じた半径方向の位置に設けられているため、所望の要求粒度分布を有する状態に被粉砕物を粉砕することができる。
【００１１】
また、請求項２記載の散布用ジェットミルは、前記被粉砕物供給口が、前記ジェットミル本体に、前記要求粒度分布に応じた前記出口から半径方向にそれぞれ異なる距離を有する位置に複数設けられていることを特徴とする。
【００１２】
この請求項２記載の散布用ジェットミルは、要求粒度分布に応じた出口から半径方向の異なる位置に設けられた複数の被粉砕物供給口を備えている。従って、要求粒度分布に応じた被粉砕物供給口を介して被粉砕物を供給することにより、容易に所望の要求粒度分布を有する粉体を得ることができる。
【００１３】
また、請求項３記載の散布用ジェットミルは、前記被粉砕物供給口を介して前記ジェットミル本体の前記円盤状の空洞に前記被粉砕物を供給する被粉砕物供給装置を更に備え、前記被粉砕物供給装置と、前記円盤状の空洞とは、前記要求粒度分布に応じて前記被粉砕物供給口を切り換える切換装置を介して接続されていることを特徴とする。
【００１４】
この請求項３記載の散布用ジェットミルは、被粉砕物供給装置とジェットミル本体とが要求粒度分布に応じて被粉砕物供給口を切り換える切換装置を介して接続されている。従って、複数の被粉砕物供給口を要求粒度分布に応じて切り換えることによって、異なる粒度分布を有する粉体を一つのジェットミルを用いて容易に得ることができる。
【００１５】
また、請求項４記載の散布用ジェットミルは、円盤状の空洞が形成されるジェットミル本体と、前記ジェットミル本体のリング状の側壁に間隔を開けて配置され、前記円盤状の空洞の中心線に対して所定の角度で空気流を噴出し、前記円盤状の空洞に高速の空気流を生じさせる複数のエアノズルと、前記ジェットミル本体の前記円盤状の空洞内に、被粉砕物を供給する被粉砕物供給口と、前記ジェットミル本体の前記円盤状の空洞の略中央に配置される出口とを備え、前記円盤状の空洞は、前記複数のエアノズルから供給される前記高速の空気流によって前記被粉砕物を粉砕するリング状の粉砕ゾーンと、前記粉砕ゾーンの内側に配置され前記空気流によって前記被粉砕物を分級する分級ゾーンと、前記粉砕ゾーンと前記分級ゾーンとの間に配置され、前記粉砕ゾーンと前記分級ゾーンとを連通するリング状の狭隘路を有し、前記被粉砕物供給口は、前記ジェットミル本体の前記粉砕ゾーン及び／又は前記分級ゾーン内に該被粉砕物を供給する位置に設けられていることを特徴とする。
【００１６】
この請求項４記載の散布用ジェットミルは、円盤状の空洞を形成する粉砕ゾーンと分級ゾーンとが狭隘路により連通され、被粉砕物供給口が、ジェットミル本体の粉砕ゾーン及び又は分級ゾーン内に被粉砕物を供給する位置に設けられている。従って、粉砕ゾーン及び／又は分級ゾーン内に被粉砕物を供給すること、即ち、粉砕ゾーン内にのみ、又は分級ゾーン内にのみ、或いはその両者内に被粉砕物を供給することにより、様々な要求粒度分布を満たす粉体を容易に得ることができる。
【００１７】
また、請求項５記載の散布用ジェットミルは、前記被粉砕物供給口が、前記ジェットミル本体の前記出口から前記被粉砕物を粉砕する際の要求粒度分布に応じた半径方向の位置に設けられていることを特徴とする。
【００１８】
この請求項５記載の散布用ジェットミルによれば、被粉砕物を粉砕ゾーン及び／又は分級ゾーン内に供給する被粉砕物供給口の位置に応じて、所望の要求粒度分布を有する粉体が得られる。
【００１９】
また、請求項６記載の散布用ジェットミルは、前記狭隘路が、所定の開口幅を有し、該所定の開口幅は、前記要求粒度分布に応じて調整可能であることを特徴とする。
【００２０】
この請求項６記載の散布用ジェットミルによれば、狭隘路の開口幅を調整することによって、得られる粉体の粒度分布を調整することができるため、所望の要求粒度分布を満たす粉体を容易に得ることができる。
【００２１】
また、請求項７記載の散布用ジェットミルは、前記狭隘路が、前記円盤状の空洞の半径方向の所定の位置に形成され、該半径方向の所定の位置は、前記要求粒度分布に応じて調整可能であることを特徴とする。
【００２２】
この請求項７記載の散布用ジェットミルによれば、狭隘路が形成される位置を調整することによって、得られる粉体の粒度分布を調整することができるため、所望の要求粒度分布を満たす粉体を容易に得ることができる。
【００２３】
また、請求項８記載の散布用ジェットミルは、前記高速の空気流によって前記被粉砕物が粉砕される際に、前記円盤状の空洞を形成する前記ジェットミル本体の壁面と前記被粉砕物との間に生じる衝突及び／又は摩擦により、粉砕された前記被粉砕物の粉体を帯電させることを特徴とする。
【００２４】
この請求項８記載の散布用ジェットミルは、粉砕された被粉砕物の粉体を帯電させている。従って、粉体の凝集を防止し、散布装置内において均一に粉体の散布を行なうことができる。
【発明の効果】
【００２５】
この発明の散布用ジェットミルにおいては、ジェットミル本体の出口から被粉砕物の要求粒度分布に応じた半径方向の位置に被粉砕物供給口が設けられている。従って、基板等の上に、それらの間隙保持用のスペーサとしての役割を果たす粉体を散布可能にすべく、被粉砕物を微粒子状の粉体と粗く粉砕された粉体とが適切な割合で混在する所望の要求粒度分布を有する状態に粉砕することができる。
【００２６】
また、この発明の散布用ジェットミルにおいては、ジェットミル本体の円盤状の空洞が、狭隘路により連通される粉砕ゾーンと分級ゾーンとにより形成され、被粉砕物供給口が、粉砕ゾーン及び／又は分級ゾーン内に被粉砕物を供給する位置に設けられている。従って、基板等の上に、それらの間隙保持用のスペーサとしての役割を果たす粉体を散布可能にすべく、被粉砕物を微粒子状の粉体や粗く粉砕された粉体や又はそれらが適切な割合で混在する所望の要求粒度分布を有する状態に粉砕することができる。
【００２７】
また、この発明の散布用ジェットミルによれば、粉砕された被粉砕物の粉体を帯電させているため、粉体の凝集を適切に防止し、後段の散布装置において均一に粉体の散布を行なうことができる。また、散布装置内部を粉体と同一の極性に帯電させた場合には、粉体の散布装置内への付着を防止し、効率的な散布を行なうことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、図面を参照してこの発明の実施の形態に係る散布用ジェットミルについて説明する。図１は、第１の実施の形態に係る散布用ジェットミルの概略構成を示した縦断面図である。ジェットミルは、ジェットミル本体２と該ジェットミル本体２に被粉砕物（例えば、液晶用スペーサ、酸化アルミニウム：Ａｌ２Ｏ３、酸化マグネシウム：ＭｇＯ、樹脂粉、塗料粉、その他金属酸化物等）を供給する被粉砕物供給装置１６とを備え、被粉砕物供給装置１６とジェットミル本体２とは、供給管１８ａ〜１８ｃを介して接続されている。また、ジェットミル本体２には、粉砕室８の略中央に設けられた出口６を介して排出される粉体を、後述する散布装置内に吐出する吐出ノズル２２が接続されている。
【００２９】
ジェットミル本体２は、図１に示すように、上方に向いた凹部を有する円板状の下部材１０と下方に向いた凹部を有する円板状の上部材１２とを備え、内部に円盤状の空洞である粉砕室８が形成されている。また、上部材１２には、下部材１０との間に形成される粉砕室８内に被粉砕物を供給する複数の被粉砕物供給口１４ａ〜１４ｃが設けられている。各被粉砕物供給口１４ａ〜１４ｃは、それぞれ粉砕室８の略中心に設けられた出口６から被粉砕物を粉砕する際の要求粒度分布に応じた半径方向の位置に設けられている。
【００３０】
また、ジェットミル本体２と、被粉砕物供給装置１６とを接続している供給管１８ａ〜１８ｃには、ジェットミル本体２へ被粉砕物を供給する際に用いられる被粉砕物供給口を要求粒度分布に応じて切り換える切換弁（切換装置）２０ａ〜２０ｃが設けられている。ここで、粉砕物供給装置１６は、例えば、圧縮空気等と共に被粉砕物をジェットミル本体２に搬送し供給する。従って、被粉砕物の搬送経路である供給管１８ａ〜１８ｃに設けられた切換弁２０ａ〜２０ｃを開閉することにより、被粉砕物供給口の切り換えを行なうことが可能となる。また、吐出ノズル２２は、後述する散布装置とジェットミル本体２とを接続するものである。
【００３１】
図２は、第１の実施の形態に係る散布用ジェットミル（ジェットミル本体２）の概略構成を示した平面断面図（下部材１０と上部材１２とが接合されている部分における平面断面図）である。ジェットミル本体２には、下部材１０と上部材１２とにより形成されるリング状（円筒状）の側壁に、円盤状の粉砕室８の中心線１００に対して所定の角度で空気流を噴出するエアノズル４が略等間隔で複数配置されている。なお、粉砕室８を形成する下部材１０と上部材１２とは、空気や粉砕された被粉砕物の微粉末等が外部に漏洩するのを防止すべく、Oリング等のシール材によりシールされている（図示省略）。
【００３２】
また、空気流は、図示しない圧縮空気源から供給される圧縮空気が図示しない管路を経てエアノズル４に供給され、エアノズル４において絞られ高速の空気流となり、粉砕室８の内部に噴出することによって供給される。ここで、エアノズル４は、リング状の側壁に、粉砕室８内に噴出する空気流の角度が、粉砕室８の中心線１００に対して８０〜４０度（リング状の側壁の接線に対して１０〜５０度）、より好ましくは７０〜５０度（接線に対して２０〜４０度）となるように配置されている。なお、エアノズル４の数は、ジェットミル本体２の大きさによっても異なり、図２に示す場合に限定されるものではない。
【００３３】
そして、図２に示すエアノズル４から供給される空気流が粉砕室８の内部に高速で噴出し、主に、噴出される空気流の持つ剪断作用により被粉砕物が粉砕される。また、噴出される空気流が粉砕室８の内部で高速に旋回することによって、粉砕室８の内部に供給された被粉砕物も高速で旋回し、この旋回運動によって被粉砕物が相互に或いは粉砕室８の壁面と衝突することによっても粉砕される。
【００３４】
粉砕室８において被粉砕物が粉砕される際に、粉砕室８の壁面（ジェットミル本体２の内壁）と被粉砕物とが接触し、被粉砕物と壁面との間に生じる衝突及び／又は摩擦によって、粉砕された被粉砕物が帯電する（トリボ帯電）。
【００３５】
例えば、被粉砕物供給口１４ａを介して被粉砕物の供給を行う場合には、切換弁２０ａにより被粉砕物供給口１４ａに接続されている供給管１８ａを開放し、切換弁２０ｂにより被粉砕物供給口１４ｂに接続されている供給管１８ｂを閉鎖すると共に、切換弁２０ｃにより被粉砕物供給口１４ｃに接続されている供給管１８ｃを閉鎖する。同様に、被粉砕物供給口１４ｂを介して被粉砕物の供給を行なう場合には、切換弁２０ｂにより被粉砕物供給口１４ｂに接続されている供給管１８ｂを開放し、切換弁２０ａ及び切換弁２０ｃにより、それぞれ供給管１８ａ及び１８ｃを閉鎖し、被粉砕物供給口１４ｃを介して被粉砕物の供給を行なう場合には、切換弁２０ｃにより被粉砕物供給口１４ｃに接続されている供給管１８ｃを開放し、切換弁２０ａ及び切換弁２０ｂにより、それぞれ供給管１８ａ及び１８ｂを閉鎖し、被粉砕物供給口の切換を行なう。ここで、被粉砕物供給口の位置が出口６に近い程、粉体の粒度分布は広がりを有し、被粉砕物供給口の位置が出口から遠くなる程、粉体の粒度分布は集中した（均一性の高い）ものとなる。即ち、ジェットミル本体２に供給された被粉砕物は、粉砕室８において粉砕されるが、充分に粉砕された粉体は、遠心力が小さいため出口６を介して排出される。一方、充分に粉砕されていない大径の粉体は遠心力が大きいため、出口６を介して排出されず、引き続き粉砕が行なわれることになる。ここで、出口６の近くから被粉砕物を供給すると、一部の粉体は充分に粉砕されていない大径の状態で出口６から排出されることになり、粒度分布が所定の広がりを有する状態となる。そして、被粉砕物を供給する位置が出口に近い程、粉体の粒度分布は広がりを有する状態となる。
【００３６】
従って、図１に示す被粉砕物供給口１４ａ〜１４ｃのうち、被粉砕物供給口１４ａを介して被粉砕物が供給された場合は、粒度分布が最も広がりを有する状態となり、被粉砕物供給口１４ｃを介して被粉砕物が供給された場合は、粒度分布が最も集中した状態となる。なお、被粉砕物供給口１４ａ〜１４ｃの位置は、予め行なわれた所定の実験等の結果を用いて決定される。また、図１においては、３つの被粉砕物供給口が設けられている場合を示しているが、被粉砕物供給口の数は任意に決定することができ、例えば、最適な要求粒度分布が１つの場合には、当該要求粒度分布に対応する位置にのみ被粉砕物供給口が設けられていてもよい。
【００３７】
ここで、被粉砕物の供給は、被粉砕物供給口１４ａ〜１４ｃの内、要求粒度分布に対応する何れかの被粉砕物供給口を選択して行なわれるが、必要な場合には、複数の被粉砕物供給口から同時に被粉砕物の供給を行うようにしてもよい。また、必要な場合には、粉砕処理が行われている最中に、被粉砕物供給口の切り換えを行なうようにしてもよい。
【００３８】
なお、上述の第１の実施の形態に係る散布用ジェットミルにおいては、被粉砕物供給口が要求粒度分布に応じた出口から半径方向に略直線状に配置されているが、被粉砕物供給口の配置は直線状に限られるものではない。即ち、要求粒度分布に応じた出口から半径方向の位置であれば、何れの位置に被粉砕物供給口を配置してもよい。
【００３９】
図３は、第１の実施の形態に係るジェットミルを備える散布装置３０の概略構成図である。散布装置３０は、散布された粉体が周囲に飛散するのを防止する円筒状の筐体３２を備え、該筐体３２の上部には、吐出ノズル２２を介してジェットミル本体２が接続されている。また、筐体３２内部には、粉体の散布対象である基板を載置する載置台３４が設置されており、底面には筐体３２内の空気及び余分な粉体を筐体３２の外に排出する排出管３６が設けられている。排出管３６を介して筐体３２内の空気を排出することにより、吐出ノズル２２を介して供給される粉体を効率的に筐体３２内に取り込むことができる。
【００４０】
また、筐体３２には、図３に示すように、開閉部材３８が配置されている。そして、開閉部材３８には図示しない昇降装置が接続されており、該昇降装置により開閉部材３８の昇降が行なわれる。即ち、筐体３２内に基板が搬入（搬出）される際には、昇降装置により開閉部材３８を下降させ、例えば、ロボット等により基板を搬入（搬出）する。一方、基板に対して粉体の散布を行なう際には、昇降装置により開閉部材３８を上昇させ搬送空間を閉鎖する。
【００４１】
また、筐体３２には、筐体３２を帯電させるために電源４２が接続されており、筐体３２は、供給される粉体と同一の極性に帯電される。例えば、供給される粉体が正の極性に帯電している場合には、筐体３２も正の極性に帯電され、粉体が筐体３２の内壁に付着することを防止している。また、粉体が帯電されている場合には、粉体の基板への塗着効率を向上させるべく、載置台３４を粉体と異なる極性に帯電させることが有効である。この場合、一般には、載置台を接地することによって、載置台を粉体と異なる極性に帯電させた場合と同等の効果を得ることができる。
【００４２】
なお、粉体が帯電している場合、粉体が相互に凝集することを防止すると共に、上述のように筐体３２を粉体と同一の極性に帯電させることによって、筐体３２の壁面に粉体が付着することを防止し、粉体の使用量を減少させることができる。また、載置台３４を粉体と異なる極性に帯電させることによって、粉体の粒子を速やかに沈降させ、効率的な散布を行なうことができる。
【００４３】
次に、図３に示す散布装置における粉体の散布処理について説明する。まず、昇降装置により開閉部材３８を下降させて搬送空間を形成し、該搬送空間からロボット等により散布装置３０内に基板を搬入し載置台３４上に載置する。載置台３４に基板が載置された後、昇降装置により開閉部材３８を上昇させて搬送空間を閉鎖する。次に、被粉砕物供給口１４ａ〜１４ｃの中から、所望の要求粒度分布に対応する被粉砕物供給口を選択し、被粉砕物供給口の切り換えを行なう。例えば、被粉砕物供給口１４ａが選択された場合には、切換弁２０ａにより被粉砕物供給口１４ａに接続されている供給管１８ａを開放し、被粉砕物供給口１４ｂ及び１４ｃに接続されている供給管１８ｂ及び１８ｃを切換弁２０ｂ及び２０ｃにより閉鎖することによって、被粉砕物供給口の切り換えを行なう。
【００４４】
次に、被粉砕物供給装置１６から一回の散布処理で散布される粉体に対応する量の被粉砕物が、選択された被粉砕物供給口を介してジェットミル本体２に供給される。ジェットミル本体２においては、選択された被粉砕物供給口から被粉砕物が供給されることによって、これが所望の要求粒度分布を有する状態に粉砕される。なお、ジェットミル本体２において被粉砕物が粉砕される際に、粉砕室８内の内壁と被粉砕物との間に生じる摩擦により粉体が帯電する。
【００４５】
ジェットミル本体２において粉砕された粉体は、出口６及び吐出ノズル２２を介して散布装置３０の筐体３２内に排出され、基板上に散布される。ここで、粉体が吐出ノズル２２を介して筐体３２内に排出される際に、吐出ノズル２２の内壁と粉体との間に生ずる摩擦により粉体が更に帯電する。また、筐体３２内は、粉体と同一の極性に帯電している。そして、散布装置３０においては、昇降装置により開閉部材３８を下降させて搬送空間を形成し、該搬送空間からロボット等により所望の要求粒度分布を有する粉体が散布された基板を搬出する。
【００４６】
次に、図面を参照して第２の実施の形態に係る散布用ジェットミルについて説明する。なお、第２の実施の形態に係る散布用ジェットミルにおいて、第１の実施の形態に係る散布用ジェットミルと同一の構成については同一の符号を用い、重複する構成については詳細な説明を省略する。
【００４７】
図４は、第２の実施の形態に係る散布用ジェットミルの概略構成を示した縦断面図である。ジェットミルは、ジェットミル本体２と被粉砕物供給装置１６とを接続する供給管１８が２本であり、被粉砕物供給口１４が２つであること、及び粉砕室８が粉砕ゾーン８ｂと分級ゾーン８ａに分割されている点を除き、第１の実施の形態に係る散布用ジェットミルと同一の構成となっている。従って、重複部分に関する詳細な説明は省略する。
【００４８】
この実施の形態に係るジェットミル本体２では、円盤状の空洞として形成された粉砕室８の半径方向の位置の略中間の位置に、粉砕室８の内部に形成されたリング状の障壁である上部分級リング２１ａ及び下部分級リング２１ｂが配置されており、粉砕室８を外側のリング状の粉砕ゾーン８ｂと内側のリング状の分級ゾーン８ａとに分割している。
【００４９】
上部分級リング２１ａと下部分級リング２１ｂとは、略対称となる形状であり、図４に示すように、上部分級リング２１ａは上部材１２に、下部分級リング２１ｂは下部材１０に、それぞれが対向する位置に設置されている。そして、上部分級リング２１ａの下部分級リング２１ｂと対向する面と、下部分級リング２１ｂの上部分級リング２１ａと対向する面とにより、所定の開口幅を有する狭隘路２３が形成されている。
【００５０】
粉砕室８に配置される上部分級リング２１ａ及び下部分級リング２１ｂの粉砕ゾーン８ｂ側の壁面は、図４に示すように、粉砕ゾーン８ｂにおいて粉砕されている被粉砕物が、充分に粉砕されるまで粉砕ゾーン８ｂから分級ゾーン８ａに流入しないように、円弧状の凹部を有する形状となっている。また、上部分級リング２１ａ及び下部分級リング２１ｂの分級ゾーン８ａ側の壁面は、図４に示すように、上部分級リング２１ａ及び下部分級リング２１ｂの間の狭隘路２３を通過した被粉砕物が、分級ゾーン８ａに滑らかに流入するように、円弧状の凸部を有する形状となっている。
【００５１】
狭隘路２３の開口幅は、上部分級リング２１ａ又は下部分級リング２１ｂを交換することにより、任意の開口幅に変更することができる。即ち、上部分級リング２１ａ及び下部分級リング２１ｂとして、狭隘路２３の開口幅が種々の開口幅となるものを用意し、粉砕室８に配置する上部分級リング２１ａ又は下部分級リング２１ｂを交換することにより、所望の要求粒度分布に応じて狭隘路２３の開口幅を変更することができる。
【００５２】
図５は、下部分級リング２１ｂを交換することによって、図４に示す場合よりも狭隘路２３の開口幅を狭くした場合を示す図である。なお、図５においては、下部分級リング２１ｂを交換することによって、狭隘路２３の開口幅を調整しているが、上部分級リング２１ａを交換することによって、狭隘路２３の開口幅を調整するようにしてもよい。また、上部分級リング２１ａ及び下部分級リング２１ｂをそれぞれ交換することによって、狭隘路２３の開口幅を調整してもよい。狭隘路２３の開口幅を調整することにより、得られる粉体の粒度分布を調整し、所望の要求粒度分布を有する粉体を得ることができる。なお、実際に被粉砕物の粉砕を行なう際には、予め行なわれた所定の実験結果等に基づき、所望の要求粒度分布に対応する開口幅を有する状態に狭隘路２３の開口幅が設定される。
【００５３】
また、上部分級リング２１ａ及び下部分級リング２１ｂを交換することにより、狭隘路２３の形成位置を調整することにより、得られる粉体の要求粒度分布を調整することができる。図６は、狭隘路２３の形成位置を変更した場合のジェットミル本体２の一例を示す図である。
【００５４】
図６においては、図４に示す場合と比較して、狭隘路２３を粉砕室８の中心線１００から遠ざけた位置に形成している。狭隘路２３の形成位置を調整することによって、得られる粉体の粒度分布を調整し、所望の要求粒度分布を有する粉体を得ることができる。なお、実際に被粉砕物の粉砕を行なう際には、予め行なわれた所定の実験結果等に基づき、所望の要求粒度分布に対応する形成位置に狭隘路２３が形成される。
【００５５】
図７は、狭隘路２３の形状を変更した場合のジェットミル本体２の一例を示す図である。図７においては、粉砕室８に配置される上部分級リング２１ａ及び下部分級リング２１ｂの分級ゾーン８ａ側の壁面は、分級ゾーン８ａ内に供給された被粉砕物が、分級ゾーン８ａから粉砕ゾーン８ｂに流入しにくいように、円弧状の凹部を有する形状となっている。また、上部分級リング２１ａ及び下部分級リング２１ｂの粉砕ゾーン８ｂ側の壁面は、図７に示すように、粉砕ゾーン８ｂにおいて粉砕された被粉砕物が、分級ゾーン８ａに滑らかに流入するように、円弧状の凸部を有する形状となっている。
【００５６】
ここで、狭隘路２３の開口幅を調整すると共に、狭隘路２３の形状を調整するようにしてもよい。即ち、狭隘路２３の開口幅及び形状に関して、予め所定の実験を行い、該実験の結果に基づいて、所望の要求粒度分布に対応する開口幅及び形成位置を設定し、被粉砕物の粉砕を行うようにしてもよい。
【００５７】
また、第２の実施の形態に係るジェットミルにおいては、第１の実施の形態に係るジェットミル同様、粉砕室８において被粉砕物が粉砕される際及び粉体が吐出ノズル２２を介して吐出される際のそれぞれの場合において衝突及び／又は摩擦帯電により粉体が帯電する。
【００５８】
なお、上述の第２の実施の形態に係る散布用ジェットミルにおいては、上部分級リング及び下部分級リングを設置することにより狭隘路を形成しているが、分級リングを用いることなく、狭隘路を形成するようにしてもよい。即ち、ジェットミル本体を構成する上部材と下部材とを、それぞれ所定の凸部を有する形状とすることによって、狭隘路を形成するようにしてもよい。この場合には、上部材又は下部材、若しくは上部材及び下部材を交換することによって、狭隘路の幅を変更することができ、上部材及び下部材を交換することによって、狭隘路の形成位置を変更することができる。
【００５９】
また、上述の第２の実施の形態に係る散布用ジェットミルにおいて、分級ゾーン内に被粉砕物を供給する被粉砕物供給口の位置を調整することによって、得られる粉体の粒度分布を調整するようにしてもよい。その場合は、狭隘路の開口幅や形成位置を調整することなく、被粉砕物供給口の位置を調整することによって、得られる粉体の粒度分布を調整することができる。
【００６０】
更に、被粉砕物供給口の位置、狭隘路の開口幅及び狭隘路の形成位置を調整することによって、得られる粉体の粒度分布の微調整を行なうようにしてもよい。即ち、被粉砕物供給口の位置、狭隘路の開口幅及び狭隘路の形成位置を組合わせ、それぞれについて調整を行うことによって、得られる粉体の粒度分布を適切に調整することができる。また、この場合に、予め行われた実験結果等に基づいて、被粉砕物供給口の位置、狭隘路の開口幅及び狭隘路の形成位置の最適な組み合わせを設定し、被粉砕物の粉砕を行うようにしてもよい。
【００６１】
図８は、第２の実施の形態に係るジェットミルを備える散布装置３０の概略構成図である。図８に示す散布装置は、図３に示す散布装置が備えるジェットミル（第１の実施の形態に係るジェットミル）とは異なるジェットミル（第２の実施の形態に係るジェットミル）を備えている以外は同一の構成であるため、詳細な説明を省略する。また、図８に示す散布装置における粉体の散布処理も、図３に示す散布装置における粉体の散布処理と同様の処理に行なわれるものであるため、詳細な説明は省略する。
【００６２】
上述の実施の形態に係る散布用ジェットミルにおいては、要求粒度分布を有する状態に被粉砕物を粉砕している。従って、散布装置により、基板上にスペーサとしての役割を果たす粉体を散布することができる。
【００６３】
なお、上述の実施の形態に係る散布用ジェットミルにおいては、エアノズルがリング状の側壁に略等間隔で配置されているが、エアノズルの配置は略等間隔に限られるものではない。即ち、粉砕室内において、被粉砕物を粉砕するために必要な空気流を供給できる状態であれば、略等間隔に配置されていなくてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】第１の実施の形態に係るジェットミルの構成を示す縦断面図である。
【図２】第１の実施の形態に係るジェットミル（ジェットミル本体）の構成を示す平面断面図である。
【図３】第１の実施の形態に係る散布装置の構成を示す図である。
【図４】第２の実施の形態に係るジェットミルの構成を示す縦断面図である。
【図５】第２の実施の形態に係るジェットミル本体の狭隘路の開口幅を変更した場合の一例を示す図である。
【図６】第２の実施の形態に係るジェットミル本体の狭隘路の形成位置を変更した場合の一例を示す図である。
【図７】第２の実施の形態に係るジェットミル本体の狭隘路の形状を変更した場合の一例を示す図である。
【図８】第２の実施の形態に係る散布装置の構成を示す図である。
【符号の説明】
【００６５】
２・・・ジェットミル本体、４・・・エアノズル、６・・・出口、８・・・粉砕室、８ａ・・・分級ゾーン、８ｂ・・・粉砕ゾーン、１０・・・下部材、１２・・・上部材、１４ａ〜１４ｂ・・・被粉砕物供給口、１８ａ〜１８ｃ・・・供給管、２０ａ〜２０ｃ・・・切換弁、２１ａ・・・上部分級リング、２１ｂ・・・下部分級リング、２２・・・吐出ノズル、２３・・・狭隘路、３０・・・散布装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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