【手続補正書】
【提出日】平成25年6月25日(2013.6.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】プラズマチャンバ検証用のエッチング速度均一性を予測する方法、装置、及び、プログラム記憶媒体
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板群を基板処理する際の処理チャンバの正常性を検証するために、エッチング速度の均一性を予測する方法であって、
コンピュータが、前記基板群の第１の基板に関してレシピを実行する工程と、
コンピュータが、前記レシピを実行する際に、第１のセンサー群から処理データを受ける工程と、
コンピュータが、サブシステム正常性チェック予測モデルを用いて前記処理データを解析して計算データを求める工程であって、前記計算データがエッチング速度データと均一性データの少なくとも一方を含み、前記サブシステム正常性チェック予測モデルは第１のデータ群と第２のデータ群とを相関させることにより構築され、前記第１のデータ群はフィルム基板群からの測定データを含み、前記第２のデータ群は非フィルム基板群を同様に処理した際に集められた処理データを含む、工程と、
コンピュータが、前記第１の基板に関する前記計算データと、前記サブシステム正常性チェック予測モデルにより規定される制御限界群と、の比較を実行する工程と、
コンピュータが、前記計算データが前記制御限界群の範囲外である場合に、警告を生成する工程と、
を備える方法。
【請求項２】
請求項１に記載の方法であって、さらに、
コンピュータが、予備評価を実行して、前記処理チャンバの準備状態を判定する工程を備える、方法。
【請求項３】
請求項２に記載の方法であって、さらに、
コンピュータが、前記予備評価が所定の閾値の範囲外である場合に、問題の原因を判断する工程を備える、方法。
【請求項４】
請求項１に記載の方法であって、さらに、
コンピュータが、データをライブラリから引き出して前記サブシステム正常性チェック予測モデルをサポートする工程を備える、方法。
【請求項５】
請求項１に記載の方法であって、
前記制御限界群はユーザー設定可能である、方法。
【請求項６】
請求項１に記載の方法であって、さらに、
コンピュータが、前記計算データが前記制御限界群の範囲内である場合には、検証度合いの妥当性を確認して、所定数の基板が、前記計算データと前記制御限界群との前記比較に合格したか否かを判定する工程を備える、方法。
【請求項７】
請求項１に記載の方法であって、
前記サブシステム正常性チェック予測モデルは、或る期間に集めたデータから構築されており、前記或る期間は、湿式サイクルの開始時、湿式サイクルの間、及び、湿式サイクルの終了時のうちのいずれか１つである、方法。
【請求項８】
請求項７に記載の方法であって、
前記サブシステム正常性チェック予測モデルは、１つの期間に集めたデータから構築されている、方法。
【請求項９】
請求項７に記載の方法であって、
前記サブシステム正常性チェック予測モデルは、少なくとも２つの期間に集めたデータから構築されている、方法。
【請求項１０】
プラズマ処理システムの処理チャンバを検証するための処理チャンバ正常性チェック装置であって、
前記処理チャンバの準備状態を判定する予備評価モジュールと、
レシピとレシピパラメータの少なくとも一方を格納するライブラリと、
サブシステム正常性チェック予測モデルであって、
基板処理の際に第１のセンサー群から処理データを受け取り、
前記処理データを解析して、エッチング速度データと均一性データの少なくとも一方を含む計算データ群を求め、
前記計算データ群を所定の制御限界群と比較し、
前記計算データ群が前記所定の制御限界群の範囲外にある場合に、警告を生成するように構成されるサブシステム正常性チェック予測モデルと、
を備える、処理チャンバ正常性チェック装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の処理チャンバ正常性チェック装置であって、
前記サブシステム正常性チェック予測モデルが、さらに、前記計算データが前記制御限界群の範囲内である場合には、検証度合いの妥当性を確認して、所定数の基板が、前記計算データと前記制御限界群との前記比較に合格したか否かを判定するように構成される、処理チャンバ正常性チェック装置。
【請求項１２】
請求項１０に記載の処理チャンバ正常性チェック装置であって、
前記サブシステム正常性チェック予測モデルは、
第１の基板群から第１のデータ群を取得し、
第２の基板群から第２のデータ群を集めて、
前記第１のデータ群を前記第２のデータ群と相関させることにより、構築されており、
前記第１の基板群はフィルム基板群であり、前記第１のデータ群は前処理測定データと後処理測定データとを含み、前記後処理測定データは前記第１の基板群に対してレシピを実行後に集められたものであり、
前記第２のデータ群は前記レシピと同様のものを実行した際にセンサー群から集められたものである、処理チャンバ正常性チェック装置。
【請求項１３】
請求項１０に記載の処理チャンバ正常性チェック装置であって、
前記サブシステム正常性チェック予測モデルは、或る期間に集めたデータから構築され、前記或る期間は、湿式サイクルの開始時、湿式サイクルの間、及び、湿式サイクルの終了時のうちのいずれか１つである、処理チャンバ正常性チェック装置。
【請求項１４】
請求項１３に記載の処理チャンバ正常性チェック装置であって、
前記サブシステム正常性チェック予測モデルは、１つの期間に集めたデータから構築されている、処理チャンバ正常性チェック装置。
【請求項１５】
請求項１３に記載の処理チャンバ正常性チェック装置であって、
前記サブシステム正常性チェック予測モデルは、少なくとも２つの期間に集めたデータから構築されている、処理チャンバ正常性チェック装置。
【請求項１６】
コンピュータ読み取り可能なコードが格納されたプログラム記憶媒体であって、
前記コンピュータ読み取り可能なコードが、基板群を基板処理する際の処理チャンバの正常性を検証するために、エッチング速度の均一性をコンピュータに予測させるように構成され、
前記基板群の第１の基板に関してレシピをコンピュータに実行させるコードと、
前記レシピを実行する際に、第１のセンサー群から処理データをコンピュータに受信させるコードと、
サブシステム正常性チェック予測モデルを用いて前記処理データをコンピュータに解析させて計算データを求める工程であって、前記計算データがエッチング速度データと均一性データの少なくとも一方を含み、前記サブシステム正常性チェック予測モデルは第１のデータ群と第２のデータ群とを相関させることにより構築され、前記第１のデータ群はフィルム基板群からの測定データを含み、前記第２のデータ群は非フィルム基板群を同様に処理した際に集められた処理データを含む、コードと、
前記第１の基板に関する前記計算データと、前記サブシステム正常性チェック予測モデルにより規定される制御限界群と、の比較をコンピュータに実行させるコードと、
前記計算データが前記制御限界群の範囲外である場合に、コンピュータに警告を生成させるコードと、を備える、プログラム記憶媒体。
【請求項１７】
請求項１６に記載のプログラム記憶媒体であって、さらに、
コンピュータに予備評価を実行させて、前記処理チャンバの準備状態を判定するコードを備える、プログラム記憶媒体。
【請求項１８】
請求項１６に記載のプログラム記憶媒体であって、さらに、
コンピュータにデータをライブラリから引き出させて前記サブシステム正常性チェック予測モデルをサポートするコードを備える、プログラム記憶媒体。
【請求項１９】
請求項１６に記載のプログラム記憶媒体であって、さらに、
前記計算データが前記制御限界群の範囲内である場合には、コンピュータに、検証度合いの妥当性を確認させて、所定数の基板が、前記計算データと前記制御限界群との前記比較に合格したか否かを判定させるコードを備える、プログラム記憶媒体。
【請求項２０】
請求項１６に記載のプログラム記憶媒体であって、
前記サブシステム正常性チェック予測モデルは、或る期間に集めたデータから構築されており、前記或る期間は、湿式サイクルの開始時、湿式サイクルの間、及び、湿式サイクルの終了時のうちのいずれか１つである、プログラム記憶媒体。