【手続補正書】
【提出日】平成24年12月4日(2012.12.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物の領域のイメージを構築するためのイメージデータを提供する方法であって、
放射源から対象物へ入射放射を供給し、少なくとも１つの検出器によって、前記対象物によって散乱された放射強度を検出するステップと、
前記対象物の領域の少なくとも一つの特性を示す物体関数を算出する（３１）ステップと、
前記入射放射の少なくとも一つの特性を示すプローブ関数を算出する（３２）ステップと、
検出された、前記対象物によって散乱された放射強度に応答して繰り返し過程によってイメージデータを提供するステップであって、ステップごとに前記対象物に関する前記物体関数のランニング見積もりを決定するために利用される前記プローブ関数のランニング見積もりによって前記繰り返し過程において前記物体関数と前記プローブ関数のそれぞれが繰り返し再算出される（３３、３４）、ステップと
を備えたことを特徴とする方法。
【請求項２】
前記物体関数と前記プローブ関数が前記繰り返し再算出されることは、
前記算出された物体関数と前記算出されたプローブ関数を掛け合わせて出射波関数を提供する（３５）ステップと、
予想する散乱パターンの算出を提供する（３７）ために前記出射波関数が伝播する（３６）ステップと、
前記対象物によって散乱された放射の検出された強度に従って前記予想された散乱パターンの特性の少なくとも１つを修正するステップと
を備えたことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
更新された出射波関数を提供するため、修正された予想された散乱パターンが逆方向に伝播する（３９）ステップと、
前記更新された出射波関数に応答して、前記物体関数のランニング見積もりを更新する（４０）ステップと
をさらに備えたことを特徴とする請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記物体関数は
2012511147.tif 000001
にしたがって更新され、ここで、Ｏk（ｒ）は前記物体関数の現在の（ｋ番目の）見積もり、Ψk（ｒ，Ｒ）は現在の出射波、Ψ’k（ｒ，Ｒ）はフーリエ変換またはフレネル変換が修正された前記更新された出射波、Ｐk（ｒ−Ｒ）は光関数の現在の（ｋ番目）見積もり、αは前記アルゴリズムの実行を最適化するように調整されることができる定数であることを特徴とする請求項３に記載の方法。
【請求項５】
予想された対象のない散乱パターンの見積もりを提供するために前記見積もられたプローブ関数が伝播する（４２）ステップと、
前記対象物がない状態で検出された放射の強度に従う前記予想された対象のない散乱パターンの特性の少なくとも１つを修正するステップと
をさらに備えたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項６】
前記プローブ関数のランニング見積もりを提供するため、修正された予想された対象のない散乱パターンが逆方向に伝播するステップと、
前記更新されたプローブ関数に応答して、前記プローブ関数の前記ランニング見積もりを更新するステップと
をさらに備えたことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項７】
前記プローブ関数は
2012511147.tif 000002
にしたがって更新され、ここで、Ｏk（ｒ）は前記プローブ関数の現在の（ｋ番目の）見積もり、Ψk（ｒ，Ｒ）は現在の出射波、Ｐ’k（ｒ，Ｒ）はフーリエ変換が前記測定Ωp（ｕ）を使用して修正された前記更新された光関数、Ｐk（ｒ）は光関数の現在の（ｋ番目）見積もり、βは前記アルゴリズムの実行を最適化するように調整されることができる定数であることを特徴とする請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記見積もられたプローブ関数は伝播して、測定面において見積もられた散乱パターンを提供し、
Φk（ｕ）＝Ｔ［Ｐk（ｒ）］
であって、ここでＴは、前記物体の面と前記測定面との間の前記伝播を適切にモデル化する伝播作用値であって、Ｔはフーリエ変換またはフレネル変換を含み、Φk（ｕ）は伝播したｋ番目の光関数推量値であり、Φk（ｕ）の絶対値は記録された前記Ωp（ｕ）と一致しなければならず、Ｐk（ｒ）は光関数の現在の（ｋ番目）見積もりであることを特徴とする請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記修正された対象のない散乱パターンは物体面に向かって逆方向に伝播して、
Ｐ’k（ｒ）＝Ｔ-1［Φ’k（ｕ）］
であって、ここでＴ-1は、前記測定面と前記物体の面との間の前記伝播を適切にモデル化する伝播作用値であって、Ｔ-1は逆フーリエ変換または逆フレネル変換を含み、Φk（ｕ）は伝播したｋ番目の光関数推量値であり、Ｐ’k（ｒ）は前記物体の面内の前記修正された光関数であり、Φ’k（ｕ）は前記修正された散乱パターンであって、Φ’k（ｕ）の絶対値は記録された前記光関数の絶対値と一致することを特徴とする請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記プローブ関数の前記ランニング見積もりと物体関数の前記ランニング見積もりとをそれぞれ繰り返しながら同時に更新するステップをさらに備えたことを特徴とする請求項１乃至９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１１】
前記入射放射が前記対象物によって散乱された、または前記対象物に対して第１の位置にある対象の前のアパーチャによって散乱された放射の前記強度を検出するステップと、
前記入射放射または前記対象物に対して少なくともひとつの更なる位置に前記対象の前のアパーチャを再位置決めするステップと、
次に前記入射放射が前記対象物によって散乱された、または前記対象物に対して前記少なくともひとつの更なる位置にある対象の前のアパーチャによって散乱された放射の前記強度を検出するステップと、
前記第１の、および少なくとも１つの更なる位置において散乱され検出された放射の前記強度に応答して前記イメージデータを提供するステップと
をさらに備えたことを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１２】
前記対象物の前記領域の特性の少なくとも１つを示す前記物体関数を算出するステップと、
前記対象物または前記対象の前のアパーチャにおける入射放射の特性の少なくとも１つを示す前記プローブ関数を算出するステップと
をさらに備えたことを特徴とする請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記放射源と前記検出器との間に対象物を置く前および／または後に、前記対象物がない状態で提供された放射の前記強度を検出するステップをさらに備えたことを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１４】
前もってモデル化されたプローブ関数に従って、または前記プローブ関数のランダムな近似を提供することによって前記プローブ関数の初期の見積もりを提供するステップをさらに備えたことを特徴とする請求項１乃至１３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１５】
前記検出器において検出される放射を拡散するように配置された拡散器を提供するステップをさらに備えたことを特徴とする請求項１乃至１４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１６】
前記対象物は前記入射放射に対して少なくとも部分的に透過的であり、前記対象物によって散乱された放射の強度を検出することは前記対象物を透過した放射の強度を検出することを特徴とする請求項１乃至１５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１７】
前記対象物は前記入射放射に対して少なくとも部分的に反射的であり、前記対象物によって散乱された放射の強度を検出することは前記対象物によって反射された放射の強度を検出することを特徴とする請求項１乃至１５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１８】
対象物の領域のイメージを生成するためのイメージデータを提供するための装置であって、
対象物を所与の位置に位置させるための手段と、
前記位置させる手段によって位置された対象物に入射放射を提供するための放射源と、
入射放射を位置させるための前記対象物を位置させる手段、または、前記対象物に対して１または複数の位置にある対象の後ろのアパーチャによって散乱された放射強度を検出するための少なくとも１つの検出装置と、
対象物によって散乱されて検出された放射強度に応答して繰り返し過程によってイメージデータを提供する処理手段であって、前記繰り返し過程において前記処理手段は、前記対象物の領域の特性の少なくとも１つを示す物体関数と前記入射放射の特性の少なくとも１つを示すプローブ関数のそれぞれをステップごとに前記対象物に関する前記物体関数のランニング見積もりを決定するために利用される前記プローブ関数のランニング見積もりによって繰り返し再見積もりするように配置されている、処理手段と
を含むことを特徴とする装置。
【請求項１９】
前記入射放射は実質的に局部集中していることを特徴とする請求項１８に記載の装置。
【請求項２０】
前記検出器において検出される放射を拡散するように配置された拡散器をさらに含むことを特徴とする請求項１８または１９に記載の装置。
【請求項２１】
前記拡散器は対象の前のアパーチャに位置することを特徴とする請求項２０に記載の装置。
【請求項２２】
コンピュータによって実行されると、請求項１乃至１７のいずれか一項に記載の方法を実行する命令を有するコンピュータ可読記録媒体。