(57)【要約】【課題】記録層材料の主成分が酸化物である光記録媒体の製造過程において、記録層やその他の層の膜厚を変更することなく、記録媒体の記録感度（最適記録パワー）を所望の範囲に制御する方法の提供。【解決手段】（１）基板上に、少なくとも下部保護層、記録層、上部保護層、反射層が、この順又は逆順に積層され、記録層材料の主成分が酸化物である光記録媒体の記録層を、スパッタリング法により形成する際に、アルゴンガスの導入量を調整することにより、光記録媒体の記録感度を制御する光記録媒体の製造方法。（２）記録層がＢｉ酸化物、又は、Ｂｉ酸化物とＢ、Ｃｕ、Ｆｅ、Ｚｎから選ばれる少なくとも一つの元素の酸化物からなる（１）記載の光記録媒体の製造方法。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に、少なくとも下部保護層、記録層、上部保護層、反射層が、この順又は逆順に積層され、記録層材料の主成分が酸化物である光記録媒体の記録層を、スパッタリング法により形成する際に、アルゴンガスの導入量を調整することにより、光記録媒体の記録感度を制御することを特徴とする光記録媒体の製造方法。
【請求項２】
記録層がＢｉ酸化物からなることを特徴とする請求項１記載の光記録媒体の製造方法。
【請求項３】
記録層が、Ｂｉ酸化物と、Ｂ、Ｃｕ、Ｆｅ、Ｚｎから選ばれる少なくとも一つの元素の酸化物からなることを特徴とする請求項１記載の光記録媒体の製造方法。
【請求項４】
アルゴンガスの流量を、１５〜４０ｓｃｃｍの範囲に調整することを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の光記録媒体の製造方法。
【請求項５】
アルゴンガスの圧力を、２．７Ｅ−０３〜４．７Ｅ−０３ｍｂａｒの範囲に調整することを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の光記録媒体の製造方法。
【請求項６】
記録層に含まれる酸素の量を酸化物の化学量論組成よりも少なくし、酸化物が酸素欠損状態となるようにすることを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の光記録媒体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＨＤ  ＤＶＤ−Ｒ、ＢＤ−Ｒ等に代表される青色レーザー波長領域で高密度の記録が可能な光記録媒体の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
高密度の記録が可能な青色レーザーの開発が急速に進んでおり、それに対応した追記型光記録媒体の開発が行われている。特許文献１〜３において、金属又は半金属の酸化物、とりわけ酸化ビスマスを主成分とする記録層の有用性が提案されている。更に、本発明者等は、酸素欠損状態のＢｉ酸化物が有用であることを見出している。しかし、Ｂｉ酸化物を主成分とする記録層は、基板に含まれる水分量や大気中に放置されている時間、スパッタリング直前の真空引き時間などの条件により、記録層として形成されるＢｉ酸化物の特性、特に記録感度（最適記録パワー）が変化するという問題を有することが分っている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−０４８３７５号公報
【特許文献２】特開２００５−１６１８３１号公報
【特許文献３】特開２００５−１０８３９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、記録層材料の主成分が酸化物である光記録媒体の製造過程において、記録層やその他の層の膜厚を変更することなく、記録媒体の記録感度（最適記録パワー）を所望の範囲に制御する方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題は次の１）〜６）の発明によって解決される。
１）  基板上に、少なくとも下部保護層、記録層、上部保護層、反射層が、この順又は逆順に積層され、記録層材料の主成分が酸化物である光記録媒体の記録層を、スパッタリング法により形成する際に、アルゴンガスの導入量を調整することにより、光記録媒体の記録感度を制御することを特徴とする光記録媒体の製造方法。
２）  記録層がＢｉ酸化物からなることを特徴とする１）記載の光記録媒体の製造方法。
３）  記録層が、Ｂｉ酸化物と、Ｂ、Ｃｕ、Ｆｅ、Ｚｎから選ばれる少なくとも一つの元素の酸化物からなることを特徴とする１）記載の光記録媒体の製造方法。
４）  アルゴンガスの流量を、１５〜４０ｓｃｃｍの範囲に調整することを特徴とする１）〜３）の何れかに記載の光記録媒体の製造方法。
５）  アルゴンガスの圧力を、２．７Ｅ−０３〜４．７Ｅ−０３ｍｂａｒの範囲に調整することを特徴とする１）〜３）の何れかに記載の光記録媒体の製造方法。
６）  記録層に含まれる酸素の量を酸化物の化学量論組成よりも少なくし、酸化物が酸素欠損状態となるようにすることを特徴とする１）〜５）の何れかに記載の光記録媒体の製造方法。
【０００６】
以下、上記本発明について詳しく説明する。
本発明１の製造方法により、容易に光記録媒体の記録感度を制御することが出来る。
本発明２〜６の製造方法により、優れた記録特性を持つ光記録媒体が得られる。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、記録層材料の主成分が酸化物である光記録媒体の製造過程において、記録層やその他の層の膜厚を変更することなく、記録媒体の記録感度（最適記録パワー）を所望の範囲に制御する方法を提供できる。
【実施例】
【０００８】
以下、実施例により本発明を更に具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例により限定されるものではない。
【０００９】
実施例１
次のようにしてＨＤ  ＤＶＤ−Ｒディスクを製造した。
トラッキング用の案内溝が形成されたスタンパを使用し、射出成型により厚さ０．６ｍｍのポリカーボネート製ＨＤ  ＤＶＤ−Ｒ用基板を作製した。
次に、スパッタリング装置（ユナクシス社製、ＤＶＤ  Ｓｐｒｉｎｔｅｒ）を用いて、上記基板上に下部保護層、記録層、上部保護層、反射層を順次成膜しディスクを得た。
各層の構成は、次のとおりである。
・下部保護層：膜厚６０ｎｍのＺｎＳ−ＳｉＯ２（８０：２０モル％）
・記録層    ：膜厚１５ｎｍのＢｉ２Ｏ３−Ｂ２Ｏ３（２：１モル％）
・上部保護層：膜厚２０ｎｍのＺｎＳ−ＳｉＯ２（８０：２０モル％）
・反射層    ：膜厚４０ｎｍのＡｌＴｉ（９９：１重量％）
このとき、記録層をスパッタリングする際のプロセス条件として、アルゴンガスの導入量を１０〜６０ｓｃｃｍの範囲で変化させたサンプルディスクを作製し、光ディスク評価装置（パルステック工業社製、ＯＤＵ−１０００）を用いて、ＨＤ  ＤＶＤ−Ｒ（追記型ＨＤ  ＤＶＤディスク）の規格に合わせた条件で記録を行い、最適記録パワーの値を評価した。
【００１０】
図１に、各サンプルディスクの記録パワーとＰＲＳＮＲの関係を示すが、ＰＲＳＮＲが最大となる記録パワーが最適記録パワーの値である。なお、図１のグラフは、１０ｓｃｃｍから６０ｓｃｃｍまで順番に並んでおり、右端が１０ｓｃｃｍ、左端が６０ｓｃｃｍである。また、ＰＲＳＮＲは、ＨＤ  ＤＶＤ−Ｒ規格に基づく信号品質を表す指標であり、パーシャル・レスポンス・シグナル・ツー・ノイズ・レシオの略である。
図２に、アルゴンガスの導入量と最適記録パワーの関係を示した。図からアルゴンガスの導入量が増加するにつれて最適記録パワーの値が減少していることが分かる。
図３に、ポリカーボネート基板上に、アルゴンガスの導入量を５〜６５ｓｃｃｍの範囲で変えて記録層のみを形成したサンプルディスクの吸収スペクトルの測定結果を示した。なお、図３のグラフは、０５ｓｃｃｍから６５ｓｃｃｍまで順番に並んでおり、一番下の線が０５ｓｃｃｍ、一番上の線が６５ｓｃｃｍである。図からアルゴンガスの導入量が増加するにつれて記録層の光吸収率が増加していることが分かる。
図４に、記録層に含まれるＢｉ、Ｂ、Ｏの組成比をラザフォード後方散乱（ＲＢＳ）、核反応分析（ＮＲＡ）により測定した結果を示した。図からアルゴンガスの導入量が増加するにつれて記録層に含まれる酸素の組成比が減少していることが分かる。
これらのことから、スパッタリング法により記録層を形成する際のアルゴンガスの導入量を増加させると、記録層に含まれる酸素の組成比が減少することにより、記録層の光吸収率が増加し、結果として最適記録パワーの値が減少したと考えられる。
その他、図５はＡｒ流量と真空度の関係、図６はＡｒ流量と屈折率の関係、図７はＡｒ流量と消衰係数、吸収率の関係を示す参考図である。
【００１１】
実施例２
実施例１のサンプルディスクと基板上の膜構成が逆順であり、記録層材料としてＢｉ２Ｏ３−Ｆｅ２Ｏ３を使用したＢＤ−Ｒディスクのサンプルを作製し、実施例１と同様の評価を行なったところ、同様の結果が得られた。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】実施例１のサンプルディスクの記録パワーとＰＲＳＮＲの関係を示す図。
【図２】Ａｒガスの導入量と最適記録パワーの関係を示す図。
【図３】Ａｒガスの導入量を変えて記録層のみを形成したサンプルディスクの吸収スペクトルの測定結果を示ス図。
【図４】記録層に含まれるＢｉ、Ｂ、Ｏの組成比を測定した結果を示す図。
【図５】Ａｒガス流量と真空度の関係を示す図。
【図６】Ａｒガス流量と屈折率の関係を示す図。
【図７】Ａｒガス流量と消衰係数、吸収率の関係を示す図。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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