(57)【要約】【課題】シート状基材と微細凹凸形状を備えた金型を中間基材を介して加熱・加圧するよう構成して微細形状転写シートを製造する際に、中間基材のシワ、たるみ発生による転写不良を良好に防止でき、優れた微細形状転写シートを製造することを可能にする微細形状転写シートの製造装置を提供すること。【解決手段】シート状の基材および微細凹凸形状を備えた金型を中間基材を介して加熱・加圧することによって微細形状を賦形する微細形状転写シート製造装置において、前記中間基材を、中間基材周縁支持枠によって保持したことを特徴とする微細形状転写シートの製造装置。【選択図】図１
2008114450.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート状の基材および微細凹凸形状を備えた金型を中間基材を介して加熱・加圧することによって微細形状を賦形する微細形状転写シート製造装置において、前記中間基材を、中間基材周縁支持枠によって保持する構成にしたことを特徴とする微細形状転写シートの製造装置。
【請求項２】
前記中間基材周縁支持枠に、前記中間基材の張力を調整する手段を設けたことを特徴とする請求項１記載の微細形状転写シートの製造装置。
【請求項３】
前記張力の調整手段として、前記中間基材の周縁部を把持して該中間基材の張力の調整が可能に構成されていることを特徴とする請求項２記載の微細形状転写シートの製造装置。
【請求項４】
前記中間基材周縁部を把持する構造が、クリップ構造、フック構造、吸着構造、ニップロール構造、リールロール構造のいずれかあるいは複数の組合せによって構成されてなることを特徴とする請求項３記載の微細形状転写シートの製造装置。
【請求項５】
前記金型または微細形状転写シートの製造装置本体に、前記支持枠の着脱手段を設けたことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の微細形状転写シートの製造装置。
【請求項６】
前記中間基材の位置を調整する機構を設けたことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の微細形状転写シートの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微細形状転写シートの製造装置に関する。
【０００２】
さらに詳しくは、金型に設けられた微細形状をシート状基材に転写することにより微細形状転写シートを製造するに際して、シート状基材と微細凹凸形状を備えた金型を中間基材を介して加熱・加圧するよう構成した微細形状転写シートの製造装置において、該中間基材のシワ、たるみ発生による転写不良を良好に防止できて、優れた微細形状転写シートを製造することを可能にする微細形状転写シートの製造装置に関する。
【背景技術】
【０００３】
樹脂シートなどの表面に微細な凹凸などの立体的形状を成形する方法・装置として、樹脂シートなどに対して加熱された微細な凹凸を持つ金型を押圧することにより、該凹凸立体形状を該樹脂シートに転写させる方法・装置が知られている（特許文献１−２）。
【０００４】
このような方法・装置において、シート状基材と微細凹凸形状を備えた金型を中間基材を介して加熱・加圧するようにすると、賦形面の全体に加圧力が加わり転写不良を防止できることが知られている（特許文献３）。
【０００５】
しかし、中間基材を用いた場合、中間基材にシワやたるみがあると、かえって、それが原因でに転写不良を発生することがある。
【０００６】
特に、中間基材をフィルムなどのシート状基材上に置く際に、シワやたるみがある状態で置くと、転写時にその部分で精度の高い成型ができない場合がある。すなわち、中間基材にシワが入る場合には、加圧時にその部分で中間基材の折れ、重なりが発生し加圧力が局所的に高くなって、その周囲の転写性が悪化すること、また、たるみが発生する場合には、中間基材とシート状基材の間に空気を噛み込み、その部分での加圧力が小さくなって転写性が悪化することが生じ、精度の高い転写成型が行われないことになる。
【０００７】
上記特許文献３においては、中間基材を順次交換する機構を有するという装置が提案されている。しかし、新しい中間基材に交換するということは、その時にシワやたるみの発生が起きる可能性が高くなる。また、大きなサイズの被加工シート状物に対応して中間基材も大きくなると、その交換時にシワやたるみの発生がさらに起こりやすくなるというケースもあり、また、交換を頻繁に行うことによるコスト高、生産効率の低下などの問題もあった。
【０００８】
また、中間基材を装置に設置する際、シワやたるみが発生しないよう、装置の押圧面に中間基材を貼り付けたり、押圧板に吸引孔を設けて吸着する等の方法がとられることがあるが、貼り付けるための接着剤や吸引孔により押圧面の平面性が悪化し、このよにうな設置方法では精度の高い転写成型ができない等の問題もあった。
【特許文献１】特開平５−６０９２０号公報
【特許文献２】特開２００６−３５５７３号公報
【特許文献３】特開２００４−２８８８０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の目的は、上述したような点に鑑み、シート状基材と微細凹凸形状を備えた金型を中間基材を介して加熱・加圧するよう構成して微細形状転写シートを製造する際に、中間基材のシワ、たるみ発生による転写不良を良好に防止でき、優れた微細形状転写シートを製造することを可能にする微細形状転写シートの製造装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述した目的を達成する本発明の微細形状転写シートの製造装置は、下記（１）のとおりの構成を有する。
【００１１】
（１）シート状の基材および微細凹凸形状を備えた金型を中間基材を介して加熱・加圧することによって微細形状を賦形する微細形状転写シート製造装置において、前記中間基材を、中間基材周縁支持枠によって保持する構成にしたことを特徴とする微細形状転写シートの製造装置。
【００１２】
また、かかる本発明の微細形状転写シートの製造装置は、より具体的に好ましくは、以下の（２）〜（６）のいずれかの構成からなる。
【００１３】
（２）前記中間基材周縁支持枠に、前記中間基材の張力を調整する手段を設けたことを特徴とする上記（１）記載の微細形状転写シートの製造装置。
【００１４】
（３）前記張力の調整手段として、前記中間基材の周縁部を把持して該中間基材の張力の調整が可能に構成されていることを特徴とする上記（２）記載の微細形状転写シートの製造装置。
【００１５】
（４）前記中間基材周縁部を把持する構造が、クリップ構造、フック構造、吸着構造、ニップロール構造、リールロール構造のいずれかあるいは複数の組合せによって構成されてなることを特徴とする上記（３）記載の微細形状転写シートの製造装置。
【００１６】
（５）前記金型または微細形状転写シートの製造装置本体に、前記支持枠の着脱手段を設けたことを特徴とする上記（１）〜（４）のいずれかに記載の微細形状転写シートの製造装置。
【００１７】
（６）前記中間基材の位置を調整する機構を設けたことを特徴とする上記（１）〜（５）のいずれかに記載の微細形状転写シートの製造装置。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の微細形状転写シートの製造装置によれば、中間基材の周縁を支持枠で保持し、中間基材の張力を調整することにより、プレスする際に発生する中間基材のシワ、たるみの発生を効果的に防止でき、転写不良のない微細形状転写シートを製造することを可能にする微細形状転写シートの製造装置が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、図面などを参照しながら、更に詳しく本発明の微細形状転写シートの製造装置について説明する。
【００２０】
本発明の微細形状転写シートの製造装置は、シート状の基材および微細凹凸形状を備えた金型を中間基材を介して加熱・加圧することによって、微細形状を賦形する微細形状転写シート製造装置において、前記中間基材を中間基材周縁支持枠によって保持し、前記中間基材に張力を付与できるように構成したことを特徴とする。
【００２１】
図１は、本発明の微細形状転写シートの製造装置の一実施態様例をモデル的に示した概略正面図であり、図２は本発明の微細形状転写シートの製造装置における中間基材支持枠と中間基材把持機構の組付け部分の概略拡大図であり、（ａ）は着脱機構を示した概略正面図、（ｂ）は中間基材と中間基材把持機構部分を示した概略平面図であり、図３は本発明の微細形状転写シートの製造装置に中間基材周縁支持枠を取り付ける一実施態様例をモデル的に示した概略図であり、（ａ）は中間基材周縁支持枠に中間基材を取り付ける状態、（ｂ）、（ｃ）は中間基材周縁支持枠を微細形状転写シートの製造装置に取り付ける過程、（ｄ）は中間基材支持枠が取ついた状態を示す概略図である。
【００２２】
図４は中間基材を中間基材周縁支持枠に取り付ける際の把持方法の好ましい態様例を幾つか示したものであり、（ａ）は中間基材端部をクリップで把持する形式、（ｂ）はフックで把持する形式、（ｃ）は吸着によって把持する形式をそれぞれ示す概略図である。図５は中間基材周縁支持枠に取り付けた中間基材に張力を付与する方法の好ましい態様例を幾つか示したものであり、（ａ）はボルト操作による中間基材把持部の水平移動によって張力を付与する方法、（ｂ）は直線方向に動作する機構によって張力を付与する方法、（ｃ）は（ｂ）にさらにガイドを設けて張力を付与する方法をそれぞれ示す概略図である。図６は、さらに別の好ましい形態を示したものであり、中間基材をニップロールによって把持、張力を付与する形態の概略図である。図７は、中間基材を垂直方向に位置調整できるように構成した形態である。図８は、また別の好ましい形態を示したものであり、中間基材をリールロールに抱き付けて把持、張力を付与する形態の概略図である。図９は、中間基材周縁支持枠を微細形状転写シートの製造装置に取り付ける方法の好ましい態様例をいくつか示したものであり、（ａ）はクリップにより周縁支持枠を挟み込み取り付ける方法、（ｂ）はフックにより支持枠を取付ける方法、（ｃ）はマグネットにより支持枠を取り付ける方法をそれぞれ示す概略図である。
【００２３】
図１〜図８において、１は微細形状転写シート製造装置、２はプレス装置、３は金型、４はシート状基材、５は上温調プレート、６は下温調プレート、７は中間基材周縁支持枠、８は熱媒循環装置、９は冷却水循環装置、１０は中間基材、１１は中間基材把持機構、１２は張力付与機構、１３は着脱機構、１４はフック、１５は吸着板、１６はロッド、１７は駆動部、１８はガイド部、１９はニップロール、２０はニップ機構、２１はスライドベース、２２は着脱フック、２３はマグネット、２４はリールロール、２５は把持ブロックである。
【００２４】
中間基材を支持するにあたっては、図１、図２に示したように中間基材の面積を金型の賦形面と同じかあるいは大きくし、さらにその中間基材の大きさを含むように周縁部に支持枠を設置することが良い。周縁支持枠はシート状基材を加圧する構造体（本発明の図１の例では上温調プレート５）に設置し、着脱容易な大きさにすることが好ましいが、プレス装置や金型に直接取り付けてもよい。加圧時に上温調プレートが降下する場合に装置の動作を妨げないように設置することが好ましい。
【００２５】
図２（ｂ）には中間基材の周縁部４辺を周縁支持枠の４辺によって把持した態様例を示している。把持機構１１および周縁支持枠は各辺の方向に連続体で構成されており、把持力および張力付与機構１２は各辺の方向に離散的に構成されている。この態様例のように中間基材を把持する際には局所的な応力集中によるシワの発生を防止するため、把持部は連続体あるいは連続体をできる限り少ない構成に分割した状態で把持することが好ましい。また、張力付与機構は、各辺方向に張力を調整できるよう複数箇所に設けられていることが好ましい。さらに中間基材の把持は４辺全てで把持することが良いが、シート状基材や金型の大きさ、配置などに応じて２辺で把持し張力を付与するように構成してもよい。
【００２６】
周縁支持枠は中間基材にかける張力に耐える剛性を持ち、かつハンドリング、設置しやすいように軽量化することが好ましい。例えば、汎用型鋼やパイプ材など用いることができるが、特にアルミフレーム材など好適である。その中でも、枠として連結することが容易な規格品（例えば、エヌアイシ・オートテック株式会社製のアルファフレーム（登録商標）など）を用いることが良い。
【００２７】
図３は中間基材および周縁支持枠を微細形状転写シートの製造装置に取り付ける手順の一例を示した概略図であり、中間基材の把持機構はクリップ方式、張力付与はボルト調整方式、着脱機構はクリップ方式の例示である。まず（ａ）に示したように中間基材１０を把持機構１１で把持させる。次に張力付与機構１２により中間基材に張力を与える。この際シワなど入らないように張力を調整する。次に（ｂ）に示すように着脱機構１３を開き中間基材と支持枠が一体となったユニットを微細形状転写シートの製造装置に取り付け、（ｃ）のように着脱機構１３で保持する。図３は上温調プレート５に設置する例であるが、最終的に（ｄ）に示すように取り付けられ、微細形状転写のためにプレス装置２が昇降する際に上温調プレート５と一体となって動くことなる。
【００２８】
中間基材の周縁部把持方法の好ましい形態例について図４をもとに説明する。（ａ）は図３で説明したように中間基材をクリップにて把持する形式の例示である。クリップは中間基材を加圧把持できるようにねじ込みやバネ構造になっているものが良く、また中間基材に張力を付与する際に外れないよう中間基材が接触する面に滑り止め（凹凸形状やゴムプレートなど）を設けていることが好ましい。（ｂ）はフック１４にて把持する形式の例示である。中間基材の周縁部にフック取付孔を設け、張力付与機構１２に取り付けられているフック１４にかける構成である。フック１４で把持する場合は中間基材に応力が集中しないようフック１４の幅を広くすることが好ましい。また、中間基材のフック取付孔の内周部に金属リング部材による補強などをしてもシワが入りにくく好ましい形態となる。（ｃ）は吸着によって中間基材端部を把持する形式の例示である。多数の吸着孔が設けられた吸着板１５は図示してない真空ポンプなどに配管接続されており、中間基材表面から空気吸引して吸着固定する。その状態で吸着板１４に取り付けられている張力付与機構１２を操作し中間基材に張力を付与するものである。これら周縁部把持の方法は単独で用いても良いし、いくつかの組み合わせにより構成しても好ましい。
【００２９】
次に、中間基材の張力付与方法について図５をもとに説明する。（ａ）は周縁支持枠７に設けられ先端が中間基材把持部１１に回転可能なように接続されているボルトのネジ操作によって、把持部１１を水平方向に移動させることで張力を付与する方法である。この際、ボルトのネジピッチを細かくすると中間基材の張力を微調整することができ好ましい。（ｂ）は直線方向に動作する機構によって張力を付与する方法である。好ましい構成の一例としては、ロッド１６が支持枠７を貫通移動できるように設けられ、ロッドを水平方向に移動させる駆動部１７を支持枠７に固定し、ロッド１６の先端に把持部１１を設け中間基材を把持し、ロッドを動作させて張力を付与するものである。ロッド１６と駆動部１７の構成形式としては、エアシリンダーを用いたもの、水圧シリンダー式、油圧シリンダー式、スプリングシリンダー式などの機構や、電導アクチュエーターが設けられたリニアレール、サーボモーターなどにより駆動するボールネジなどが好ましい。また、さらに好ましい形態としては（ｃ）に概略図を示すようにロッドの直線動作する部分にガイド部１８を設けて張力付与する方向がずれないようにすることが好ましい。これら張力付与方法は単独で用いても良いし、いくつかの組み合わせにより構成しても好ましい。
【００３０】
また中間基材の周縁部把持と張力付与の他の好ましい形態としてニップロールを用いた構成がある。図６に示すように開閉自在に設置されたニップロール１９により中間基材をはさみ、ニップロール１９に取り付けられたニップ機構２０によってしっかりと把持し、図示していないがニップロールに回転可能に取り付けられたモーターなどの駆動源により張力を付与するものである。中間基材に張力を付与する際には外れないよう、ニップロール１９の表面に滑り止め（凹凸形状やゴムプレートなど）を設けていることが好ましい。ニップロールの駆動は手動でもモーターなどでトルクを与えても良く、中間基材に張力をかけた後に逆回転しないようニップロールの回転を固定できる構成が好ましい。
【００３１】
中間基材は、条件によって位置調整できるようにされていることが好ましい。例えば、図１に示すように中間基材を上温調プレート５に設置する場合などは中間基材と上温調プレート５の距離を調整できることが好ましい。すなわち、中間基材の材料種類、特性、加圧条件、温度条件などに応じて、該中間基材と加圧面（この場合は上温調プレート）の距離について接触状態および離れた状態を自在に調整できることが良いのである。図７に好ましい形態の一例を示す。上温調プレート５に垂直方向に調整可能なスライドベース２１を設け、この上に支持枠着脱機構１３を取り付ける。これにより上温調プレートと中間基材の距離を変化させることができるのである。位置調整する機構は支持枠に取り付けられいてもよい。
【００３２】
図８にまた別の好ましい形態を示す。構造としては、支持枠７にスライドベース２１が設けられ、スライドベース２１上に、中間基材を把持可能な固定ブロック２５を有するリールロール２４が取り付けられたものである。固定ブロック２５により中間基材の周縁部を把持し、リールロール２４を回転させ中間基材を巻き取るようにして張力を付与するものである。リールロールには図示していないが軸方向にモーターなどを取付け、トルクをかけて張力を付与させることが好ましい。もちろん、手動回転させるハンドルなどで張力を付与させてもよいが、その際はリールロール２４が張力により逆回転しないようストッパーなどを設けておくことが良い。リールロール２４は金属製、樹脂製など張力に耐えるものであれば良い。リールロール２４の表面は金属製、樹脂製、ゴム製などいずれのものでもよいが、表面を粗面化することやゴムライニングをすることで中間基材との摩擦を大きくして、固定ブロック２５を用いずにリールロール２４に巻き付けて張力を付与してもよい。また、中間基材にシワが入らないように均一に張力をかけるために、リールロールの径を変化させることも好ましい。例えばロール幅方向の中央近傍の径が大きいクラウンロールなどを用いるのは好適である。また、この態様例のように支持枠および中間基材がプレス装置２の上温調プレート５と一体となって動作する構造であり、またリールロール構造であることで、中間基材に張力を付与したままシワ、たるみなどなく中間基材を搬送することができ、中間基材の使用部位を更新することもできるので好ましい。
【００３３】
次に、周縁支持枠の設置方法について図９をもとに説明する。（ａ）はクリップによって支持枠を取り付ける方式であり、使用方法は図３で説明のとおりである。（ｂ）はフックに支持枠をかける方式である。好ましい構成例としては、上温調プレートに着脱フック２２を設け、このフック２２に支持枠を直接かけるものである。（ｃ）はマグネット２３により支持枠を取り付ける方式である。好ましい構成例としては、上温調プレートおよび支持枠に支持枠着脱マグネット２３を設け、マグネット部分を接続する例がある。マグネット部は磁力がオンオフできる構成も好ましい。
【００３４】
中間基材１０は、例えば、ある程度の剛性・強度・形態安定性を有するとともに、可撓性とクッション性を有しているものを用いることが本発明の初期の効果や良好な取り扱い性を実現する上で好適であり、ある程度の厚さを有する合成樹脂シート状物、合成ゴムシートなどが好ましく用いられる。具体的には、シリコーンゴム、エチレン・プロピレン・ジエンゴム（ＥＰＤＭ）などの合成ゴムからなるゴムシートや、テフロン（登録商標）フィルムなどの合成樹脂フィルムシートなどで、厚さ０．３〜１．５ｍｍ程度のものなどが、好ましく用いられる。中間基材１０は、その厚さがあまりに厚いと温調プレートからの熱を金型に伝達することが難しくなるというケースも発生するので、上述の１．５ｍｍ程度までとするのが良く、また、あまりに薄いと取り扱い性の点やシワが入りやすくなる点で好ましくない。
【００３５】
中間基材は、単一の層からなるものでなくてもよく、より均一な加圧力を伝えるために複数の基材層を積層して用いるものでも良い。
【００３６】
また、該中間基材は平坦なものであることが基本であるが、完全に平坦なものでなくてもよく、空気を逃がすためなどの目的で、微小な溝が表面に穿設されていたり、あるいは、凸レンズ状に多少中央部が膨らんで厚くなっているような形状のものでもよい。
【００３７】
中間基材への張力付与は中間基材の材質、大きさ、またシート状基材の種類や加圧、温度条件によっても異なるが、撓みが発生しないよう中間基材の自重より大きく、破れないように破断強度よりも小さくすることが好ましい。
【００３８】
本発明は、微細形状が転写される面積によらず効果を発揮するものであるが、中でも好ましくは、近年、光学フィルムの用途として携帯電話、パソコン、テレビなどがあるが、これらの携帯電話などの比較的小さくかつ非常に薄いような光学フィルム、あるいはテレビ用などの特に大きくかつ全面で非常に高精度かつ均一な特性の要求される光学フィルムの製造などにおいて、それぞれに最適なものであり、具体的には微細形状の転写される面積が画面サイズで１インチ〜１００インチなどの製造に好適なものである。
【００３９】
本発明に用いられる金型３について説明する。金型の転写面は、微細なパターンを有するものであり、金型に該パターンを形成する方法としては、機械加工、レーザー加工、フォトリソグラフィ、電子線描画方法などがある。金型の材質としては、所望のプレス時の強度、パターン加工精度、フィルムの離型性が得られるものであれば良く、例えば、ステンレス、ニッケル、銅等を含んだ金属材料、シリコーン、ガラス、セラミックス、樹脂、もしくは、これらの表面に離型性を向上させるための有機膜を皮膜させたものが好ましく用いられる。該金型の微細なパターンは、シート表面に付与したい微細な凹凸パターンに対応して形成されているものである。
【００４０】
また、本発明に適用されるフィルムなどのシート状の基材の好ましい厚さ（厚み、膜厚）としては、０．０１〜３ｍｍの範囲であり、より好ましくは、０．０１〜１ｍｍの範囲内にあることである。０．０１ｍｍ未満では、成形するのに十分な厚みがない点で難しく、また、３ｍｍよりも大きいものでは剛性が大きく、搬送が一般に難しい。
【００４１】
本発明に適用されるシート状の基材は、代表的には、熱可塑性樹脂を主たる成分としたフィルムであり、より具体的には、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン−２、６−ナフタレート、ポリプロピレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート等のポリエステル系樹脂、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリプロピレン、ポリイソブチレン、ポリブテン、ポリメチルペンテン等のポリオレフィン系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリエーテル系樹脂、ポリエステルアミド系樹脂、ポリエーテルエステル系樹脂、アクリル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、あるいはポリ塩化ビニル系樹脂などからなるものである。
【００４２】
これらの中で共重合するモノマー種が多様であり、かつ、そのことによって材料物性の調整が容易であるなどの理由から、特にポリエステル系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ポリアミド系樹脂、アクリル系樹脂またはこれらの混合物から選ばれる熱可塑性樹脂から主として形成されていることが好ましく、上述の熱可塑性樹脂が５０重量％以上からなることがさらに好ましい。
【００４３】
また、該フィルムは、上述の樹脂の単体からなるフィルムであってもかまわないし、複数の樹脂層からなる積層体であってもよい。
【実施例】
【００４４】
以下、実施例に基づいて、本発明の方法、装置の具体的構成、効果について説明をする。
【００４５】
以下の各実施例では、それぞれにおいて（１）〜（８）に示した仕様の金型やプレス装置、加工条件で微細形状の付与加工を行い、微細形状転写シートの製造を行ったものである。
【００４６】
実施例１
（１）金型サイズ：５００ｍｍ（フィルム幅方向）×８００ｍｍ（フィルム走行方向）×２０ｍｍ（厚み）。
【００４７】
（２）金型材質：銅。
（３）微細形状：ピッチ５０μｍ、凸部幅２５μｍ、凸部高さ５０μｍで、フィルム走行方向から見たときの断面が矩形形状のものを用いた。
【００４８】
（４）プレス装置：最大３０００ｋＮまで加圧できるもので、加圧は油圧ポンプによってされる。プレス装置内にはアルミ合金製でサイズが７００ｍｍ（フィルム幅方向）×１０００ｍｍ（フィルム走行方向）の温調プレートが上下に２枚取り付けられ、それぞれ、加熱装置、冷却装置に連結されている。なお、金型は下側の温調プレートに取り付けられている。加熱装置は熱媒循環装置で、熱媒はバーレルサーム＃４００（松村石油株式会社製）で、１５０℃に加熱したものを１００Ｌ／分の流量で流す。また、冷却装置は冷却水循環装置で、２０℃に冷却された水を１５０Ｌ／分の流量で流すものである。
【００４９】
（５）中間基材：シリコーンゴム（厚さ０．５ｍｍ）で、縦×横のサイズを８００ｍｍ×１１００ｍｍとしたものを用い、これをクリップ方式の把持部で構成された支持枠に取付け、ボルト方式の張力付与機構により張力を付与し、クリップ方式の着脱機構によりプレスの上温調プレートに設置した。中間基材と温調プレートの表面の距離は接触する位置とした。
【００５０】
（６）基材フィルム：ポリエチレンテレフタレートからなり、厚みが１００μｍ（厚みむら：±１０μｍ）、幅は５２０ｍｍである。
【００５１】
（７）動作方法：上記の装置を用い、以下のように成型を行った。あらかじめ、フィルムを金型上に設置しておく。次に、温調プレートが上下ともに１１０℃となるまで加熱した後、上側プレートを下降させて、フィルムのプレスを開始する。プレスは金型表面で５ＭＰａで、３０秒実施した。その後、プレスを継続したまま、温調プレートを上下ともに冷却する。各温調プレートが６０℃になったときに冷却を停止する。上下ともに冷却が完了すれば、プレスを開放する。上側プレートを上限まで上昇させ、フィルムを離型する。
【００５２】
（８）上記の動作を繰り返し、１０枚の成型フィルムを作成した。離型後のフィルムを目視観察すると中間基材のシワやたるみに起因する非転写部はなく、全面にわたり高精度かつ良好に微細形状が転写された優れた光学フィルムであった。
【００５３】
実施例２
（１）〜（４）までは、実施例１と同一である。
【００５４】
（５）中間基材：エチレン・プロピレン・ジエンゴム（ＥＰＤＭ）（厚さ０．５ｍｍ）で、縦×横のサイズを８００ｍｍ×１１００ｍｍとしたものを用い、これをフック方式の把持部で構成された支持枠に取付け、エアシリンダーを用いた張力付与機構により張力を付与し、クリップ方式の着脱機構によりプレスの上温調プレートに設置した。支持枠は高さ方向に位置調整できるようスライドガイドを設け、中間基材と温調プレートの表面の距離を３ｍｍの位置に調整した。
【００５５】
（６）フィルム：ポリエチレンテレフタレートからなり、厚さが１００μｍ（厚みむら：±１０μｍ）、幅は５２０ｍｍである。
【００５６】
（７）動作方法：上記の装置を用い、以下のように成型を行った。あらかじめ、フィルムを金型上に設置しておく。次に、温調プレートが上下ともに１１０℃となるまで加熱した後、上側プレートを下降させて、フィルムのプレスを開始する。プレスは金型表面で５ＭＰａで、３０秒実施した。その後、プレスを継続したまま、温調プレートを上下ともに冷却する。各温調プレートが６０℃になったときに冷却を停止する。上下ともに冷却が完了すれば、プレスを開放する。上側プレートを上限まで上昇させ、フィルムを離型する。
【００５７】
（８）上記の動作を繰り返し、１０枚の成型フィルムを作成した。離型後のフィルムを目視観察すると中間基材のシワやたるみに起因する非転写部はなく、全面にわたり高精度かつ良好に微細形状が転写された優れた光学フィルムであった。
【００５８】
比較例１
（１）〜（４）までは、実施例１と同一である。
【００５９】
（５）中間基材としてシリコーンゴムシート（厚さ０．５ｍｍ）を用い、該中間基材を金型上のシートの上に直接置いた。この中間基材を置く際、なるべくシワ、たるみが発生しないように置いた。
【００６０】
その条件で転写を行ったが、全面に数カ所非転写部が発生した。繰り返し１０枚の成型フィルムを作成したが１０枚とも位置、量、大きさで異なる非転写部が発生し、全面均一に優れた転写がなされたフィルムは得られなかった。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】図１は、本発明の微細形状転写シートの製造装置の一実施態様例をモデル的に示した概略正面図である。
【図２】図２は、本発明の微細形状転写シートの製造装置における中間基材支持枠と中間基材把持機構の組付け部分の概略拡大図であり、（ａ）は着脱機構を示した概略正面図、（ｂ）は中間基材と中間基材把持機構部分を示した概略平面図である。
【図３】図３は、本発明の微細形状転写シートの製造装置に中間基材周縁支持枠を取り付ける一実施態様例をモデル的に示した概略図であり、（ａ）は中間基材周縁支持枠に中間基材を取り付ける状態、（ｂ）および（ｃ）は中間基材周縁支持枠を微細形状転写シートの製造装置に取り付ける過程、（ｄ）は中間基材支持枠が取り付いた状態を、それぞれ示す概略図である。
【図４】図４は、中間基材を中間基材周縁支持枠に取り付ける際の把持方法の態様例をいくつか示したものであり、（ａ）は中間基材端部をクリップで把持する形式、（ｂ）はフックで把持する形式、（ｃ）は吸着によって把持する形式をそれぞれ示す概略図である。
【図５】図５は、中間基材周縁支持枠に取り付けた中間基材に張力を付与する方法の態様例をいくつか示したものであり、（ａ）はボルト操作による中間基材把持部の水平移動によって張力を付与する方法、（ｂ）は直線方向に動作する機構によって張力を付与する方法、（ｃ）は（ｂ）にさらにガイドを設けて張力を付与する方法をそれぞれ示す概略図である。
【図６】図６は、さらに別の形態を示したものであり、中間基材をニップロールによって把持、張力を付与する形態の概略図である。
【図７】図７は、中間基材を垂直方向に位置調整できるように構成した形態である。
【図８】図８は、また別の形態を示したものであり、中間基材をリールロールに抱き付けて把持、張力を付与する形態の概略図である。
【図９】図９は、中間基材周縁支持枠を微細形状転写シートの製造装置に取り付ける方法の好ましい態様例をいくつか示したものであり、（ａ）はクリップにより周縁支持枠を挟み込み取り付ける方法、（ｂ）はフックにより支持枠を取付ける方法、（ｃ）はマグネットにより支持枠を取り付ける方法をそれぞれ示す概略図である。
【符号の説明】
【００６２】
１：微細形状転写シート製造装置
２：プレス装置
３：金型
４：シート状基材
５：上温調プレート
６：下温調プレート
７：中間基材支持枠
８：熱媒循環装置
９：冷却水循環装置
１０：中間基材
１１：中間基材把持機構
１２：張力付与機構
１３：着脱機構
１４：フック
１５：吸着板
１６：ロッド
１７：駆動部
１８：ガイド部
１９：ニップロール
２０：ニップ機構
２１：スライドベース
２２：着脱フック
２３：マグネット
２４：リールロール
２５：把持ブロック
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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