【手続補正書】
【提出日】平成25年10月15日(2013.10.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
主軸を有するイオンビームを操作する四重極レンズであって、
自身の異なる領域に配置され、互いに独立して第１の電流および第２の電流をそれぞれ伝達するべく構成された第１のコイルおよび第２のコイルを有する上方部材と、
前記第１のコイルおよび前記第２のコイルに対向して配置され、互いに独立して第３の電流および第４の電流をそれぞれ伝達するべく構成された第３のコイルおよび第４のコイルを有する下方部材と、
前記上方部材と前記下方部材との間に規定され、前記イオンビームを伝達するよう構成されたレンズ間隙と
を備え、
前記第１の電流から前記第４の電流は、前記イオンビームにその主軸を中心とする回転力を働かせる４５度四重極場を生成する四重極レンズ。
【請求項２】
前記第１のコイルから前記第４のコイルのそれぞれにおける前記レンズ間隙近傍の電流は、前記主軸に対して共通の方向に進行する請求項１に記載の四重極レンズ。
【請求項３】
前記上方部材は、第１の半分および第２の半分を有し、前記下方部材は、第１の半分および第２の半分を有し、前記第１のコイルおよび前記第２のコイルは、前記上方部材の前記第１の半分および前記第２の半分の周囲だけにそれぞれ配置され、前記第３のコイルおよび前記第４のコイルは、前記下方部材の前記第１の半分および前記第２の半分の周囲だけにそれぞれ配置される請求項２に記載の四重極レンズ。
【請求項４】
前記第１のコイルに前記第２のコイルとは異なる電流振幅で動力が与えられ、前記第３のコイルに前記第４のコイルとは異なる電流振幅で動力が与えられると、前記上方部材および前記下方部材のそれぞれの前記第１の半分と前記第２の半分との間で電流振幅に急激な変化が生じる請求項３に記載の四重極レンズ。
【請求項５】
前記第１のコイルから前記第４のコイルのそれぞれは、前記第１のコイルに前記第２のコイルとは異なる電流振幅で動力が与えられ、前記第３のコイルに前記第４のコイルとは異なる電流振幅で動力が与えられると、前記上方部材および前記下方部材のそれぞれの各領域間で電流振幅に段階的な変化が生じるよう段階的な構成に配置される請求項２に記載の四重極レンズ。
【請求項６】
前記第１の電流および前記第４の電流は同じであり、前記第２の電流および前記第３の電流は同じである請求項１に記載の四重極レンズ。
【請求項７】
前記第１のコイルから前記第４のコイルは、前記イオンビームの進行方向に直交する方向において外側に向かう力を働かせる四重極場を生成するよう相互動作可能である請求項１に記載の四重極レンズ。
【請求項８】
前記第１のコイルから前記第４のコイルに動力が与えられると、前記四重極レンズは、前記レンズ間隙に存在し、前記上方部材および前記下方部材に平行なレンズ中央平面に関して非対称な電流フローを前記第１のコイルから前記第４のコイルに生成する請求項１に記載の四重極レンズ。
【請求項９】
前記第１の電流から前記第４の電流は、イオン注入システムのコントローラーからの制御信号に応答して変化し、前記回転力の方向および前記回転力の量のうち１つ以上を変更する請求項６に記載の四重極レンズ。
【請求項１０】
イオン注入機においてイオンビームの回転を制御するシステムであって、
主軸および前記主軸に垂直な平面軸（ｐｌａｎａｒ  ａｘｉｓ）を有する前記イオンビームのビームプロファイルを測定する検出器と、
前記検出器からビームプロファイル情報を受信し、第１の出力電流および第２の出力電流を制御する制御信号を送信するコントローラーと、
四重極レンズと
を備え、
前記四重極レンズは、
自身の第１の領域および第２の領域に配置され、互いに独立して第１の電流および第２の電流をそれぞれ伝達するよう構成された第１のコイルおよび第２のコイルを含む上方部材と、
前記上方部材の前記第１のコイルおよび前記第２のコイルに対向する第３の領域および第４の領域に配置され、互いに独立して第３の電流および第４の電流をそれぞれ伝達するよう構成された第３のコイルおよび第４のコイルを含む下方部材と、
前記第１の出力電流および前記第２の出力電流によって決まる角度を有する可変の四重極場が生成されるように前記イオンビームを伝達するよう構成された、前記上方部材と前記下方部材との間に規定されたレンズ間隙と
を有するシステム。
【請求項１１】
前記レンズ間隙近傍の前記第１の領域から前記第４の領域には、関連する正味電流が、前記主軸に対して共通の方向に流れ、前記システムは、前記第２の領域および前記第３の領域の正味電流に対する前記第１の領域および前記第４の領域の正味電流の比が、前記制御信号にしたがって変化するよう前記第１の出力電流および前記第２の出力電流を独立して変化させるよう構成されている請求項１０に記載のシステム。
【請求項１２】
前記四重極レンズは、
上方軸に沿って配置された上方中央コイルと
下方軸に沿って配置された下方中央コイルと
をさらに有し、
前記上方中央コイルおよび前記下方中央コイルは、前記レンズ間隙近傍で共通の方向に進行する電流を生成して直交四重極場を生成するよう構成され、前記可変の四重極場の角度は、前記第１のコイルから前記第４のコイルにおける電流の振幅に対する前記上方中央コイルおよび前記下方中央コイルにおける電流の振幅の比により制御される請求項１０に記載のシステム。
【請求項１３】
前記第１のコイルおよび前記第４のコイルは、前記レンズ間隙近傍の前記第１のコイルおよび前記第４のコイルの領域の電流が第１の方向に従うように第１の共通電流を受け取るよう構成され、前記第２のコイルおよび前記第３のコイルは、前記レンズ間隙近傍の前記第２のコイルおよび前記第３のコイルの領域の電流が前記第１の方向とは逆の第２の方向に従うよう第２の共通電流を受け取るよう構成され、前記イオンビームの前記主軸の回転方向は、前記第１の共通電流および前記第２の共通電流の方向を切り替えることにより反転可能である請求項１０に記載のシステム。
【請求項１４】
前記レンズ間隙近傍の前記第１のコイルから前記第４のコイルの領域の電流が前記主軸に対して第１の方向に従うように、前記第１のコイルおよび前記第４のコイルは第１の共通電流を受け取るよう構成され、前記第３のコイルおよび前記第４のコイルは第２の共通電流を受け取るように構成される請求項１０に記載のシステム。
【請求項１５】
前記第１の共通電流が前記第２の共通電流より大きい場合、前記可変の四重極場は、前記イオンビームをその主軸を中心として第１の方向に回転させるよう作用する請求項１４に記載のシステム。
【請求項１６】
前記第１の共通電流が前記第２の共通電流より小さい場合、前記可変の四重極場は、前記イオンビームを、前記第１の方向とは逆の第２の方向に回転させるよう作用する請求項１５に記載のシステム。
【請求項１７】
前記上方部材は第１の半分および第２の半分を有し、前記下方部材は第１の半分および第２の半分を有し、前記第１の出力電流が前記第２の出力電流とは振幅が異なる場合、前記上方部材および前記下方部材のそれぞれの前記第１の半分と前記第２の半分との間で正味電流の振幅に急激な変化が生じるよう、前記第１のコイルおよび前記第２のコイルは、前記上方部材の前記第１の半分および前記第２の半分だけにそれぞれ配置され、前記第３のコイルおよび前記第４のコイルは、前記下方部材の前記第１の半分および前記第２の半分だけにそれぞれ配置される請求項１０に記載のシステム。
【請求項１８】
前記第１のコイルから前記第４のコイルのそれぞれは、段階的構成に配置される請求項１０に記載のシステム。
【請求項１９】
前記第１の出力電流が前記第２の出力電流とは振幅が異なる場合、前記上方部材および前記下方部材のそれぞれの各領域間で電流振幅に段階的な変化が生じる請求項１８に記載のシステム。
【請求項２０】
前記可変の四重極場は、直交四重極場および４５度四重極場を含み、前記直交四重極場の大きさは、前記第１の出力電流および前記第２の出力電流を同時に増加または減少させることにより変更され、前記４５度四重極場の大きさは、前記第１の出力電流および前記第２の出力電流の比を変化させることにより変更される請求項１０に記載のシステム。
【請求項２１】
イオン注入システムにおいて四重極レンズを使用してイオンビームを制御する方法であって、
所望の平面に対して第１の方向の、前記イオンビームの、その主軸を中心とした回転を検出する段階と、
前記第１の方向とは逆の第２の方向に前記イオンビームを回転させる、前記所望の平面に直交する一組の力を生成する段階と
を備える方法。
【請求項２２】
前記四重極レンズは、対角線上で対にされた第１の組のコイルおよび第２の組のコイルを含み、前記コイルはそれぞれ、前記四重極レンズのレンズ間隙近傍で、前記主軸に対して同一の方向に電流を供給するよう構成される請求項２１に記載の方法。
【請求項２３】
前記四重極レンズは、第１の上方領域および第２の上方領域を含む上方部材と、第１の下方領域および第２の下方領域を含む下方部材とを有し、対角線上で対にされた前記第１の組のコイルおよび前記第２の組のコイルは、前記第１の組に前記第２の組に動力を与える電流とは異なる振幅を有する電流で動力が与えられると、前記上方部材の前記第１の上方領域と前記第２の上方領域との間および前記下方部材の前記第１の下方領域と前記第２の下方領域との間で電流振幅に段階的な変化が生じるよう、段階的な構成を有する請求項２２に記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
注目すべきことに、図９に概略的に示すように、コイル９１０から９１６のそれぞれは、レンズ９０７の中心線を越えている。たとえば、図９の視点からは、コイル９１０は、大部分は上方部材９２２の左側部分において磁心３０２の周りに配置されているが、上方部材の右側部分にも延伸している。しかし、薄い方の影付き領域（ｓｍａｌｌｅｒ  ｓｈａｄｅｄ  ａｒｅａ）に示されるように、コイル９１０の巻き数は、左側部分９１０ａに比べて右側部分９１０ｂで著しく少ない。コイル９１０の巻き数（つまり、方向Ｌに沿った単位長当たりの巻き数）は、図９に示唆されるように、左上方領域および右上方領域の両方で、左から右に減少してよい。図９にさらに示すように、コイル９１２は、コイル９１０と同様に、しかし逆方向に段階化してよい。言い換えると、コイル９１２も中心線９２０を越えているが、巻き数（単位長当たりの数）は、Ｌに沿って左から右に位置の関数として増加する。下方磁心３０４に配置されるコイル９１４および９１６は、コイル９１０および９１２と同様に段階化してよい。