(57)【要約】【課題】デバイス２を保持した搬送手段を静止させることなく、デバイス画像を鮮明に撮影することにより、デバイス搬送能力を向上させたデバイス搬送装置を実現する。【解決手段】所定の距離を隔てて配置された２つの容器とこれら容器の一方に収納されたデバイスと、このデバイスを把持若しくは吸着して空中を移動させ他方の容器に収納する搬送手段と、前記２つの容器の中間に設けられ前記空中を移動するデバイスを撮影するカメラと、前記カメラの映像に基づいて、前記デバイスが他方の容器まで搬送されている間に前記デバイスの水平方向の位置を変位させる水平位置変位手段を備えたデバイス搬送装置において、前記カメラをデバイスの移動方向に変位させるカメラ変位手段を設けた。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の距離を隔てて配置された２つの容器とこれら容器の一方に収納されたデバイスと、このデバイスを把持若しくは吸着して空中を移動させ他方の容器に収納する搬送手段と、
前記２つの容器の中間に設けられ前記空中を移動するデバイスを撮影するカメラと、前記カメラの映像に基づいて、前記デバイスが他方の容器まで搬送されている間に前記デバイスの水平方向の位置を変位させる水平位置変位手段を備えたデバイス搬送装置において、前記カメラをデバイスの移動方向に変位させるカメラ変位手段を設けたことを特徴とするデバイス搬送装置。
【請求項２】
カメラ変位手段はカメラとデバイスの速度が一致しているタイミングで撮影を行うことを特徴とする請求項１に記載のデバイス搬送装置。
【請求項３】
前記水平位置変位手段はＸＹ方向への駆動機構と回転機構を備えたことを特徴とする請求項１または２に記載のデバイス搬送装置。
【請求項４】
前記デバイスはＩＣであって、２つの容器の一方はＩＣの電気的特性をテストするテストサイトの容器、他方の容器は前記テスト終了後のＩＣを収納する容器であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のデバイス搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばデバイス（ＩＣ）の電気的特性を測定するためにＩＣソケット（以下、第１ポケットという）に供給し、測定が終了したデバイスを収納容器（以下、第２ポケットという）に収容するように構成したデバイス搬送装置に関し、コンタクトヘッドで搬送する際に生じるデバイスのずれ補正に関するものでる。
【背景技術】
【０００２】
図３はコンタクトヘッド（図示省略）で把持若しくは吸着したデバイスを搬送するための装置の一例を示す要部構成図である。
図３において、１は例えば第１ポケットであり、２はこの第１ポケットで電気的特性が検査されたデバイスである。
【０００３】
このデバイス２は図では省略するが、搬送手段であるハンドラーなどに取り付けられた吸着パッドに吸着されており、ハンドラには吸着パッドに吸着されているデバイス２をＸＹ方向へ水平に移動させる駆動機構とθ方向への回転機構を備えている。３はハンドラで搬送されたデバイスが収容される第２ポケットである。
【０００４】
図３に示すように、デバイス搬送装置の基本動作のひとつは、ある位置に設置された第１ポケット１内に入っているデバイス２を取り出し、別の位置に設置してある第２ポケット３の中に移動させることである。
【０００５】
このようなデバイス搬送装置では、第１ポケット１から第２ポケット３に、または第２ポケット３から第１ポケット１にデバイス２が搬送された際にデバイス２の位置がずれてしまい、第１または第２ポケット内に入らずデバイス２がポケットの縁に乗り上げてしまうことがある。従って、それぞれのポケット１，３はデバイス２に対して大きめに作られている。
【０００６】
しかし、ポケットが大き過ぎるとポケットにデバイスが入った後のデバイスの位置がふらつき、搬送先のポケットの位置に対して誤差が大きくなる。逆に小さ過ぎると、前述のように搬送先のポケットに入らず縁に乗り上げてしまい搬送が中断したり、デバイスを破損してしまう不都合が生じる。
【０００７】
このことから、ポケットの大きさはある狭い許容範囲内で作られており、ポケット間移動が難しくなっている。
そのため従来は、デバイス２を第１ポケット１から取り出した後、カメラ４で撮影し、第２ポケット３に対するデバイス２のズレ量（ＸＹ面内位置と回転量）を測定している。そして、デバイス２を保持した搬送手段（図示せず）の位置をこのズレ量だけ補正してから、第２ポケット３側に移動することによって、確実な搬送を行っている。
【０００８】
しかしなから、従来の搬送装置では映像のブレを防ぐため、カメラ４で撮影する間はデバイス２の搬送を一旦静止しなければならなかったため、装置の単位時間当たりの搬送能力が低下するという問題があった。
即ち、鮮明な映像の撮影をするためには、デバイスをポケット間で減速、静止、加速するための余計な動作が必要となる。
【０００９】
本発明は、デバイス２を保持した搬送手段を静止させることなく、デバイス画像を鮮明に撮影することにより、デバイス搬送能力を向上させたデバイス搬送装置を実現することを目的とする。
【００１０】
なお、デバイス搬送装置に関する先行技術としては下記の特許文献が知られている。
【特許文献１】特開平７−２６３５１７号公報
【特許文献２】特開２００５−３３７７６７号公報
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【００１１】
このような課題を達成するための本発明のデバイス搬送装置の構成は、請求項１においては、
所定の距離を隔てて配置された２つの容器とこれら容器の一方に収納されたデバイスと、このデバイスを把持若しくは吸着して空中を移動させ他方の容器に収納する搬送手段と、
前記２つの容器の中間に設けられ前記空中を移動するデバイスを撮影するカメラと、前記カメラの映像に基づいて、前記デバイスが他方の容器まで搬送されている間に前記デバイスの水平方向の位置を変位させる水平位置変位手段を備えたデバイス搬送装置において、前記カメラをデバイスの移動方向に変位させるカメラ変位手段を設けたことを特徴とする。
【００１２】
請求項２においては、請求項１に記載のデバイス搬送装置において、
カメラ変位手段はカメラとデバイスの速度が一致しているタイミングで撮影を行うことを特徴とする。
【００１３】
請求項３においては、請求項１または２に記載のデバイス搬送装置において、
前記水平位置変位手段はＸＹ方向への駆動機構と回転機構を備えたことを特徴とする。
【００１４】
請求項４においては、請求項１乃至３のいずれかに記載のデバイス搬送装置において、
前記デバイスはＩＣであって、２つの容器の一方はＩＣの電気的特性をテストするテストサイトの容器、他方の容器は前記テスト終了後のＩＣを収納する容器であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
以上説明したことから明らかなように、本発明の請求項１乃至４によれば、
所定の距離を隔てて配置された２つの容器とこれら容器の一方に収納されたデバイスと、このデバイスを把持若しくは吸着して空中を移動させ他方の容器に収納する搬送手段と、
前記２つの容器の中間に設けられ前記空中を移動するデバイスを撮影するカメラと、前記カメラの映像に基づいて、前記デバイスが他方の容器まで搬送されている間に前記デバイスの水平方向の位置を変位させる水平位置変位手段を備えたデバイス搬送装置において、前記カメラをデバイスの移動方向に変位させるカメラ変位手段を設け、カメラとデバイスの速度が一致しているタイミングで撮影を行う。そして、この水平位置変位手段はＸＹ方向への駆動機構と回転機構を備えているので、撮影のためにデバイスを減速、停止、加速させることなくぶれのない映像を撮影することができる。その結果、デバイス搬送能力を向上させたデバイス搬送装置を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下本発明を、図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明の一実施例を示すデバイス搬送手段の要部構成を示すものである。
なお、図１においても搬送装置、コンタクトヘッド、ＸＹ駆動および回転機構、制御装置等については省略している。
【００１７】
図１において、５はアクチュエータであり、例えばレール６およびスライダー７で構成されている。カメラ４はスライダー７上に設置されている。図示の例では矢印で示すようにスライダー７に取り付けられたカメラ４がデバイス２の搬送方向と同一方向に駆動されている。
なお、アクチュエータ５の駆動装置としては例えばリニアモータ、ボールネジ、ベルト駆動などであってもよい。
【００１８】
次に図２を用いて搬送装置の動作について説明する。
はじめに、カメラ４はスタート地点（図１で示すレール６の右端）に待機している。
次に、時間ｔ０からデバイス２が搬送手段の吸着手段（図示省略）で吸着されて第１ポケット１から引き上げられ移動加速が開始される。
【００１９】
そして、時間ｔ２においてデバイス２の速度Ｖ１が定速度ＶＥに到達する。
アクチュエータ５に搭載されたカメラ４は時間ｔ1から移動加速を開始し、時間ｔ３に移動速度Ｖ２が定速度ＶＥに到達する。
【００２０】
カメラ４での撮影は時間ｔ３から開始され、時間ｔ４に終了する（露光時間＝ｔ４−ｔ３）。カメラ４は、時間ｔ５から減速し、時間ｔ６に停止する。
一方デバイス２は時間ｔ７から減速し、搬送先の第２ポケット３上まで搬送されて時間ｔ８で停止する。
【００２１】
カメラ４は撮像した画像を図示しない制御装置に送出し、制御装置は時間ｔ８までの間に基準位置とのずれを演算し、図示しない水平位置変位手段によりデバイス２のＸ、Ｙ、θ方向のずれが補正され、第２ポケット３に載置される。
【００２２】
第２ポケット３にデバイス２が載置されると搬送手段はわずかに上昇し、この間に第２ポケット３が間欠移動し、未検査のデバイス２が搬送手段の下に移動する。
次に図示しない搬送手段の吸着パッドが未検査のデバイス２を吸着し、逆方向に前述と同様の動作を繰り返す。
【００２３】
上述の構成によれば、デバイス２は第１ポケット１から取り出された後、最短時間で搬送先の第２ポケット３上に移動するが、途中で停止することなく加速、等速、減速が行われるので、ハンドラ装置の単位時間当たりのデバイス搬送性能は最大となる。
そして、等速期間中にカメラ４も同速度で移動しているため、この間に撮影した画像には画像流れがなく、鮮明な撮影ができる。
【００２４】
例えば、従来は、デバイスの移動速度ＶＥは２０００［ｍｍ／ｓｅｃ］程度、加速度は４０００［ｍｍ／ｓｅｃ２］であり、一般的なＣＣＤカメラの露光時間３３[ｍｓｅｃ]の間に、約６６［ｍｍ］もデバイスが移動してしまい、デバイスの画像を撮影するためには、加速、減速に約１秒をかけて、静止させなければならなかった。
【００２５】
本発明では、その必要がなく、例えば、１時間当たり３６００個のデバイスを搬送している場合、従来は、搬送能力が１／２になってしまうことに対し、本発明では、搬送能力を全く損なうことなしに、撮影が可能である。
【００２６】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。図では省略したが搬送体の機構やコンタクトヘッドの形状およびＸ，Ｙ，θ方向の移動手段は公知のものを用いることができる。
要はデバイスの搬送速度が定速度に達したときに、その速度と同速度でカメラを移動させながら画像流れのない状態で撮影が行われる構成であればよい。
従って本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形を含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明を適用したデバイス搬送装置の要部構成図である。
【図２】本発明のデバイス搬送装置のデバイスとカメラの動作説明図である。
【図３】従来のデバイス搬送装置の要部構成図である。
【符号の説明】
【００２８】
１      第１ポケット（ＩＣソケット）
２      デバイス（ＩＣ）
３      第２ポケット
４      カメラ
５      アクチュエータ
６      レール
７      ステージ
【図１】
2008182052.tif 000003
【図２】
2008182052.tif 000004
【図３】
2008182052.tif 000005