Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成21年3月19日(2009.3.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発振されるべき電磁波に対して利得を有する利得媒質と、前記電磁波を共振させるための共振器構造と、前記利得媒質にポンピングエネルギーを注入するためのエネルギー注入手段を備えた発振素子であって、
前記利得媒質は、前記電磁波に対する誘電率実部が負の第一の負誘電率媒質と第二の負誘電率媒質で挟まれており、
前記第一の負誘電率媒質と前記第二の負誘電率媒質の少なくとも一方には、前記利得媒質との間の境界部に形成される空乏領域を変化させるための電界を印加する電界印加手段が設けられており、
前記エネルギー注入手段は、前記第一の負誘電率媒質に設けられた第一の電極と、前記第二の負誘電率媒質に設けられた第二の電極であり、
前記電界印加手段は、前記第一の負誘電率媒質と前記第二の負誘電率媒質の少なくとも一方に設けられた第三の電極であることを特徴とする発振素子。
【請求項２】
前記共振器構造は、前記電磁波を伝播させる導波路によって構成され、
前記利得媒質は前記電磁波の伝播方向に沿って伸びて、その厚さ方向の上下において、前記第一の負誘電率媒質の第一のクラッドと前記第二の負誘電率媒質の第二のクラッドで挟まれており、
前記利得媒質、前記第一のクラッドと第二のクラッドによって前記導波路を構成していることを特徴とする請求項１に記載の発振素子。
【請求項３】
前記負誘電率媒質は、金属、キャリアドープした半導体、又は金属とキャリアドープした半導体によって構成されることを特徴とする請求項１あるいは２に記載の発振素子。 
【請求項４】
前記利得媒質は、フォトンアシストトンネルに基づいた共鳴トンネルダイオードであることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の発振素子。
【請求項５】
前記電磁波は30GHz以上30THz以下の周波数領域内の周波数を含む電磁波であることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の発振素子。
【請求項６】
発振されるべき電磁波に対して利得を有する利得媒質と、前記電磁波を共振させるための共振器構造と、を含み構成される発振素子であって、
前記利得媒質を挟み構成され、前記電磁波に対する誘電率実部が負である第一の負誘電率媒質と第二の負誘電率媒質と、
前記第一の負誘電率媒質に設けられる第一の電極と、前記第二の負誘電率媒質に設けられる第二の電極とから成るエネルギー注入手段と、
前記第一の負誘電率媒質と前記第二の負誘電率媒質の少なくとも一方に設けられる第三の電極と、を備え、
前記第一の電極と前記第二の電極とは、前記利得媒質にポンピングエネルギーを注入可能に設けられ、
前記第三の電極は、電界を印加されることにより、前記利得媒質との間の境界部に形成される空乏領域を変化可能に設けられることを特徴とする発振素子。
【請求項７】
30GHz以上30THz以下の周波数領域から選択される周波数の電磁波を発振する発振素子であって、
前記電磁波に対する誘電率実部が負である第一の負誘電率媒質と、
前記電磁波に対する誘電率実部が負である第二の負誘電率媒質と、
前記第一の負誘電率媒質と前記第二の負誘電率媒質とに挟まれ、且つ前記電磁波に対して利得を有する利得媒質と、
前記電磁波を共振させるための共振器構造と、
前記利得媒質にキャリアを注入して駆動するための駆動用電極と、
前記第一及び第二の負誘電率媒質の少なくとも一方と、前記利得媒質との間に形成される空乏領域の厚さを変化させて、発振波長を制御するための制御用電極と、
を備え、
且つ前記制御用電極は、前記駆動用電極とは独立して電位付与ができるように構成されている、
ことを特徴とする発振素子。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記課題に鑑み、第1の本発明に係る発振素子は、発振されるべき電磁波に対して利得を有する利得媒質と、電磁波を共振させるための共振器構造と、利得媒質にポンピングエネルギーを注入するためのエネルギー注入手段を備えた発振素子である。そして、次の構成を備える。すなわち、前記利得媒質は、前記電磁波に対する誘電率実部が負の第一の負誘電率媒質と第二の負誘電率媒質で挟まれている。更に、前記第一の負誘電率媒質と前記第二の負誘電率媒質の少なくとも一方には、前記利得媒質との間の境界部に形成される空乏領域を変化させるための電界を印加する電界印加手段が設けられており、前記エネルギー注入手段は、前記第一の負誘電率媒質に設けられた第一の電極と、前記第二の負誘電率媒質に設けられた第二の電極であり、前記電界印加手段は、前記第一の負誘電率媒質と前記第二の負誘電率媒質の少なくとも一方に設けられた第三の電極である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また、上記課題に鑑み、第2の本発明に係る発振素子は、30GHz以上30THz以下の周波数領域から選択される周波数の電磁波を発振する発振素子であって、次の特徴を有する。すなわち、前記電磁波に対する誘電率実部が負である第一の負誘電率媒質と、前記電磁波に対する誘電率実部が負である第二の負誘電率媒質と、利得媒質と、前記電磁波を共振させるための共振器構造と、駆動用電極と、制御用電極と、を備える。前記利得媒質は、前記第一の負誘電率媒質と前記第二の負誘電率媒質とに挟まれ、且つ前記電磁波に対して利得を有する。前記駆動用電極は、前記利得媒質にキャリアを注入して駆動するための電極である。前記制御用電極は、前記第一及び第二の負誘電率媒質の少なくとも一方と、前記利得媒質との間に形成される空乏領域の厚さを変化させて、発振波長を制御するための電極である。更に、前記制御用電極は、前記駆動用電極とは独立して電位付与ができるように構成されている。
【手続補正書】
【提出日】平成21年7月27日(2009.7.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
図５は図１に示すコネクタ引抜工具をケーブルコネクタに装着した状態を示す斜視図、図６は図５に示すコネクタ引抜工具のロック解除レバーでケーブルコネクタのロックを解除した状態を示す斜視図、図７は操作部材の動作を示し、同図（ａ）はロック解除レバーを係止する前の状態を示す側面図、同図（ｂ）はロック解除レバーを係止した状態を示す側面図、図８は図６に示すコネクタ引抜工具のロック解除レバーを係止した状態を示す斜視図、図９は図８に示すコネクタ引抜工具のベースの突当て板を相手側コネクタに突き当てた状態を示す斜視図、図１０は図９に示すコネクタ引抜工具のスライダを後方へ移動させた状態を示す斜視図、図１１は図１０に示すコネクタ引抜工具のロック解除レバーを開いた状態を示す斜視図である。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
【図１】図１はこの発明の一実施形態に係るコネクタ引抜工具を示し、同図（ａ）は正面図、同図（ｂ）は側面図、同図（ｃ）は平面図である。
【図２】図２は図１に示すコネクタ引抜工具をケーブルコネクタに装着した状態を示す斜視図である。
【図３】図３は図２に示すコネクタ引抜工具の先端部の斜視図である。
【図４】図４は図１に示すスライダの一部を示す斜視図である。
【図５】図５は図１に示すコネクタ引抜工具をケーブルコネクタに装着した状態を示す斜視図である。
【図６】図６は図５に示すコネクタ引抜工具のロック解除レバーでケーブルコネクタのロックを解除した状態を示す斜視図である。
【図７】図７は操作部材の動作を示し、同図（ａ）はロック解除レバーを係止する前の状態を示す側面図、同図（ｂ）はロック解除レバーを係止した状態を示す側面図である。
【図８】図８は図６に示すコネクタ引抜工具のロック解除レバーを係止した状態を示す斜視図である。
【図９】図９は図８に示すコネクタ引抜工具のベースの突当て板を相手側コネクタに突き当てた状態を示す斜視図である。
【図１０】図１０は図９に示すコネクタ引抜工具のスライダを後方へ移動させた状態を示す斜視図である。
【図１１】図１１は図１０に示すコネクタ引抜工具のロック解除レバーを開いた状態を示す斜視図である。
【手続補正書】
【提出日】平成21年7月30日(2009.7.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
また、ストリップ導体２０には、円孔２０Ａが設けられ、図２に示されるように、この円孔２０Ａは、円筒状のスルーホール２６と連結されている。なお、このスルーホール２６が銅箔１２と電気的に絶縁された給電点とされている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2008177660.tif 000001
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2008177660.tif 000002
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2008177660.tif 000003
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2008177660.tif 000004
【手続補正書】
【提出日】平成21年11月9日(2009.11.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
ただし、実際にマトリクスの１つの構成画素の画素値として設定されるのは、アドレス決定手段１０４から有効なマトリクスアドレスがマトリクス生成手段１０５に入力された場合のみである。アドレス決定手段１０４から有効なマトリクスアドレスがマトリクス生成手段１０５に入力された場合に、そのアドレス位置に、第１ＰＮ系列生成手段１０２から入力するビット情報に従った画素値（１＝白，０＝黒）が設定される。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７８】
この処理を順次、実行していくことで、マトリクス生成手段の生成する縦１６０画素×横６０画＝９６００画素の画像データの全画素値が設定されることになる。これは、先に説明したように、ＰＮ系列の特徴は、シフトレジスタ内のデータが全て０というパターンを除く全ての状態を取るため、第２ＰＮ系列データの周期を［２１４−１］とした場合、
第１〜１４ビット、
第２〜１５ビット、
第３〜１６ビット、
・・・
という設定でビットデータを選択していくと、［２１４−１］＝１６３８３のパターンが出現することになるからである。このように第２ＰＮ系列生成手段１０３の生成する第２ＰＮ系列データは１周期の中で１〜１６３８３の全ての値を取り得るため、１周期分の処理が終わった時点では確実にマトリクス上の全てのアドレスに対するビットが確定することになる。
【手続補正書】
【提出日】平成20年11月25日(2008.11.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポリアミド樹脂（ａ）３０〜６０重量％、リサイクルポリエチレンテレフタレート（ｂ）１０〜３０重量％、およびガラス繊維（ｃ）２０〜６０重量％から構成される樹脂組成物であって、該樹脂組成物中に電子顕微鏡で観察される樹脂相分離構造において、ポリアミド樹脂（ａ）が連続相、ポリエステル樹脂（ｂ）が分散相を形成する樹脂相分離構造を有することを特徴とする車体機構部品用ポリアミド樹脂組成物。
【請求項２】
ポリアミド樹脂（ａ）がナイロン６６であることを特徴とする請求項１に記載の車体機構部品用ポリアミド樹脂組成物。
【請求項３】
リサイクルポリエチレンテレフタレート（ｂ）が５０ｎｍ〜１０μｍの分散粒径で分散する樹脂相分離構造を有することを特徴とする請求項１または２に記載の車体機構部品用ポリアミド樹脂組成物。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載の車体機構部品用ポリアミド樹脂組成物からなる車体機構部品。
【請求項５】
シフトレバーベース、サンバイザーシャフトまたはコントロールレバーである請求項４に記載の車体機構部品。
【請求項６】
ポリアミド樹脂（ａ）３０〜６０重量％、フレーク状に粉砕したリサイクルポリエチレンテレフタレート（ｂ）１０〜３０重量％、およびガラス繊維（ｃ）２０〜６０重量％を溶融混練することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の車体機構部品用ポリアミド樹脂組成物の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
すなわち、本発明は、
（１）ポリアミド樹脂（ａ）３０〜６０重量％、リサイクルポリエチレンテレフタレート（ｂ）１０〜３０重量％、およびガラス繊維（ｃ）２０〜６０重量％から構成される樹脂組成物であって、該樹脂組成物中に電子顕微鏡で観察される樹脂相分離構造において、ポリアミド樹脂（ａ）が連続相、ポリエステル樹脂（ｂ）が分散相を形成する樹脂相分離構造を有することを特徴とする車体機構部品用ポリアミド樹脂組成物、
（２）ポリアミド樹脂（ａ）がナイロン６６であることを特徴とする（１）に記載の車体機構部品用ポリアミド樹脂組成物、
（３）リサイクルポリエチレンテレフタレート（ｂ）が５０ｎｍ〜１０μｍの分散粒径で分散する樹脂相分離構造を有することを特徴とする（１）または（２）に記載の車体機構部品用ポリアミド樹脂組成物、
（４）（１）〜（３）のいずれかに記載の車体機構部品用ポリアミド樹脂組成物からなる車体機構部品、
（５）シフトレバーベース、サンバイザーシャフトまたはコントロールレバーである（４）に記載の車体機構部品、
（６）ポリアミド樹脂（ａ）３０〜６０重量％、フレーク状に粉砕したリサイクルポリエチレンテレフタレート（ｂ）１０〜３０重量％、およびガラス繊維（ｃ）２０〜６０重量％を溶融混練することを特徴とする（１）〜（３）のいずれかに記載の車体機構部品用ポリアミド樹脂組成物の製造方法、
を提供するものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
さらに本発明で用いられるポリエステル樹脂（ｂ）として、環境保護や廃棄物量削減の観点から、リサイクルポリエチレンテレフタレートを用いる。本発明におけるリサイクルポリエチレンテレフタレートとは、繊維、フィルム、プラスチック等のポリエステル製品を製造するさまざまな行程で発生する屑や、ＰＥＴボトルなどの使用済み成形体から回収されて得られるポリエチレンテレフタレートなどをいうものである。この中でも本発明においては外来異物等の混入が少なくかつ粘度のバラツキが少ないという観点において、繊維、フィルム、プラスチック等の製造工程で発生する屑を使用することが好ましく、特にフィルム製品を製造する際に発生するポリエチレンテレフタレート屑がより好ましい。また、エクストルーダーなどで均一に溶融させる観点からフレーク状に細かくして用いることが好ましい。またリサイクルポリエチレンテレフタレートには本発明の目的、効果を損なわない範囲であれば、ダル化剤などの粒子や酸化防止剤などの安定剤、光安定剤、紫外線吸収剤、帯電防止剤、充填材、架橋剤などの添加剤が含まれていてもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
比較例１
ポリアミド樹脂（ａ）としてナイロン６６（９８重量％濃硫酸中、２５℃、０．０１ｇ／ｍｌ濃度で測定した相対溶液粘度２．７、融点２５５℃）を５６重量％と、ポリエステル樹脂（ｂ）としてポリエチレンテレフタレート（固有粘度０．６６、カルボキシル末端基量３８ｅｑ／ｔ）を１４重量％と、ガラス繊維（ｃ）（日本電気硝子（株）、Ｔ−２８９）を３０重量％用いてシリンダ温度２８０℃に設定したＴＥＸ−３０型２軸押出機（日本製鋼所）に投入し、溶融混練して熱可塑性樹脂組成物を得た。得られた樹脂組成物はペレタイズした後、８０℃で１０時間真空乾燥し、シリンダ温度２８０℃、金型温度８０℃で射出成形を行い、ＡＳＴＭ試験片を得た。特性の評価を表１に示した。本実施例の樹脂組成物を用いた成形品は強度が高く、吸水性の低いものであった。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
比較例２，３
各原料を表１の配合割合で用いる以外は、比較例１と同様にしてポリアミド樹脂組成物を得、特性の評価を行った。結果を表１に示した。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
実施例１
ポリアミド樹脂（ａ）として比較例１で用いたナイロン６６を４２重量％と、ポリエステル樹脂（ｂ）として、廃棄物として粉砕処理されたリサイクルポリエチレンテレフタレート樹脂を１８重量％と、ガラス繊維（ｃ）を４０重量％用いる以外は比較例１と同様にして、ポリアミド樹脂組成物を得、特性の評価を行った。結果を表１に示した。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
比較例４
ポリアミド樹脂（ａ）として比較例１で用いたナイロン６６を７０重量％とガラス繊維（ｃ）を３０重量％用いて比較例１と同様にポリアミド樹脂組成物を得、特性を評価した。結果を表１に示した。得られた成形品は吸水による寸法変化が大きくなるものであった。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
比較例５〜６
各原料を表１の配合割合で用いる以外は、比較例１と同様にしてポリアミド樹脂組成物を得、特性の評価を行った。結果を表１に示した。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
【表１】
2007119702.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成21年8月17日(2009.8.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ａ）少なくとも１種の熱可塑性ポリエステル１０〜９９重量部、および
Ｂ）少なくとも１種のオレフィンと、炭素原子１〜４個を有する少なくとも１種の脂肪族アルコールのメタクリル酸エステルまたはアクリル酸エステルとからなる少なくとも１種のコポリマー１〜２０重量部、
を含む、熱可塑性成形用組成物であって、
前記コポリマーＢ）のＭＦＩが５０ｇ／１０分以上である、熱可塑性成形用組成物。
【請求項２】
前記脂肪族アルコールが炭素原子４個を含むことを特徴とする、請求項１に記載の熱可塑性成形用組成物。
【請求項３】
前記コポリマーＢ）の４重量％未満が、エポキシド、オキセタン、酸無水物、イミド、アジリジン、フラン、酸、アミン、オキサゾリンからなる群から選択されるさらなる反応性官能基を含むモノマー単位を含むことを特徴とする、請求項１または２に記載の熱可塑性成形用組成物。
【請求項４】
前記コポリマーＢ）のＭＦＩが８０〜９００ｇ／１０分であることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一項に記載の熱可塑性成形用組成物。
【請求項５】
Ａ）およびＢ）に加えて、下記の一連の成分：
Ｃ）０．００１〜７０重量部の、少なくとも１種の充填剤または強化材、
Ｄ）０．００１〜５０重量部の、少なくとも１種の難燃化添加剤、
Ｅ）０．００１〜８０重量部の、少なくとも１種のエラストマー変性剤、
Ｆ）０．００１〜８０重量部の、ポリカーボネート、
Ｇ）０．００１〜１０重量部の、その他の従来の添加剤、
を１種または複数種含むことを特徴とする、請求項１〜４のいずれか一項に記載の熱可塑性成形用組成物。
【請求項６】
前記成分を適切な重量割合で混合することを特徴とする、請求項１〜５のいずれか一項に記載の熱可塑性成形用組成物を調製するための方法。
【請求項７】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の成形用組成物を射出成形または押出し成形することにより得られる成形品または半製品。
【請求項８】
ランナーシステムにより、射出成形加工において、請求項１〜５のいずれか一項に記載の成形用組成物を少なくとも４個の型に充填することにより得られる、多数個取りシステム。
【手続補正書】
【提出日】平成21年8月31日(2009.8.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
（ａ）少なくとも一般式（１）で表されるフッ素含有シラン化合物および一般式（２）で表されるエポキシ基含有シラン化合物を共重合成分とするフッ素含有シロキサンポリマーを含有することを特徴とする熱硬化性樹脂組成物。
Ｒ１ｍＳｉ（ＯＲ２）４−ｍ          （１）
（ただし、Ｒ１はフッ素数３〜１７のフルオロアルキル基を表す。Ｒ２はメチル基、エチル基またはイソプロピル基を表し、それぞれ同一でも異なっていても良い。ｍは１または２を表す。ｍが２のとき、Ｒ１はそれぞれ同一でも異なっていても良い。）
Ｒ３ｎＳｉ（ＯＲ４）４−ｎ          （２）
（ただし、Ｒ３は水素原子の一部がエポキシ基またはグリシドキシ基で置換されたアルキル基を表す。Ｒ４はメチル基、エチル基またはイソプロピル基を表し、それぞれ、同一でも異なっていても良い。ｎは１または２を表す。ｎが２のとき、Ｒ３はそれぞれ同一でも異なっていても良い。）
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明は、上記課題を解決するため、主として次の構成を有する。すなわち、（ａ）少なくとも一般式（１）で表されるフッ素含有シラン化合物および一般式（２）で表されるエポキシ基含有シラン化合物を共重合成分とするフッ素含有シロキサンポリマーを含有することを特徴とする熱硬化性樹脂組成物である。
Ｒ１ｍＳｉ（ＯＲ２）４−ｍ          （１）
（ただし、Ｒ１はフッ素数３〜１７のフルオロアルキル基を表す。Ｒ２はメチル基、エチル基またはイソプロピル基を表し、それぞれ同一でも異なっていても良い。ｍは１または２を表す。ｍが２のとき、Ｒ１はそれぞれ同一でも異なっていても良い。）
Ｒ３ｎＳｉ（ＯＲ４）４−ｎ          （２）
（ただし、Ｒ３はアルキル基の水素原子の一部がエポキシ基またはグリシドキシ基で置換された置換体を表す。Ｒ４はメチル基、エチル基またはイソプロピル基を表し、それぞれ同一でも異なっていても良い。ｎは１または２を表す。ｎが２のとき、Ｒ３はそれぞれ同一でも異なっていても良い。）
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明に用いられる（ａ）フッ素含有シロキサンポリマーに下記一般式（２）で表されるエポキシ基含有シラン化合物を導入することにより、ポリマー内に水酸基を導入し、硬化膜を形成した場合、膜上へのレジストの塗布性を良好にする。該エポキシ基含有シラン化合物を用いることにより、フッ素原子を多く含む低屈折率の硬化膜においても、フッ素の有する撥水性を抑制し、“はじき”などの塗布異常を防ぐことができる。
Ｒ３ｎＳｉ（ＯＲ４）４−ｎ          （２）
ただし、Ｒ３はアルキル基の水素原子の一部がエポキシ基またはグリシドキシ基で置換された置換体を表す。Ｒ４はメチル基、エチル基またはイソプロピル基を表し、それぞれ同一でも異なっていても良い。ｎは１または２を表す。ｎが２のとき、Ｒ３はそれぞれ同一でも異なっていても良い。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８１】
実施例３
メチルトリエトキシシラン１０６．９８ｇ（０．６モル）、ヘプタデカフルオロデシルトリメトキシシラン１１３．６２ｇ（０．２モル）、γ−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、４４．０６ｇ（０．２モル）をプロピレングリコールモノプロピルエーテル（沸点１５０℃）３３８．０７ｇに溶解し、これに、水５７．６０ｇ、リン酸１．３２ｇを撹拌しながら加えた。得られた溶液をバス温１０５℃で２時間加熱し、内温を９０℃まで上げて、主として副生するメタノールからなる成分を留出せしめた。次いでバス温１４０℃で２．０時間加熱し、内温を１１８℃まで上げて、主として水とプロピレングリコールモノプロピルエーテルからなる成分を留出せしめた後、室温まで冷却し、固形分濃度２４．３重量％のポリマー溶液Ｃを得た。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８７】
実施例７
実施例２で得られた固形分濃度３０．９重量％のポリマー溶液Ｂから８０．９ｇはかり取り、プロピレングリコールモノブチルエーテル１９．１ｇを混合し、光酸発生剤  ＴＰＳ−１０９（みどり化学（株）製）０．７５ｇと、ｎ−ブチロニトリル（東京化成工業（株）製）１．２５ｇ、増感剤９，１０−ジプロポキシアントラセン（東京化成工業（株）製）０．５ｇを添加し、室温にて２時間撹拌、熱硬化性樹脂組成物Ｂ１を得た。得られた熱硬化性樹脂組成物Ｂ１を用いて、前記のように感光特性について評価した。また、樹脂膜を１６０℃で１０分間熱処理して低屈折率透明硬化膜を作製し、屈折率、耐薬品性、透明性、平坦化性、表面ぬれ性、耐熱性について評価を行った。
【手続補正書】
【提出日】平成21年8月10日(2009.8.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ａ）９９〜１０重量部の、少なくとも１種の半晶質熱可塑性ポリアミド、および
Ｂ）１〜２０重量部の、少なくとも１種のオレフィンと、１〜４個の炭素原子を有する脂肪族アルコールの少なくとも１種のメタクリル酸エステルまたはアクリル酸エステルと、からなる少なくとも１種のコポリマー
を含む成形組成物であって、
前記コポリマーＢ）のＭＦＩが５０ｇ／１０分以上である、成形組成物。
【請求項２】
前記コポリマーＢ）の４重量％未満が、エポキシド、オキセタン、無水物、イミド、アジリジン、フラン、酸、アミン、オキサゾリンからなる群より選択されるさらなる反応性官能基を含むモノマー単位からなることを特徴とする、請求項１に記載の成形組成物。
【請求項３】
前記コポリマーＢ）のＭＦＩが８０〜９００ｇ／１０分であることを特徴とする、請求項１または２に記載の成形組成物。
【請求項４】
適当であれば、Ａ）およびＢ）に加えて、一連の以下のもの：
Ｃ）０．００１〜７０重量部の、少なくとも１種のフィラーまたは補強用材料、
Ｄ）０．００１〜６５重量部の、少なくとも１種の難燃化添加剤、
Ｅ）０．００１〜８０重量部の、少なくとも１種のエラストマー変性剤、
Ｆ）０．００１〜１０重量部の、その他の慣用される添加剤、
Ｇ）０．５〜３０重量部の、相溶化剤、
の１種または複数の成分を含むことを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一項に記載の成形組成物。
【請求項５】
前記成分を適切な重量比率で混合することを特徴とする、請求項１〜４のいずれか一項に記載のポリアミド成形組成物を製造する方法。
【請求項６】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の成形組成物を射出成形または押出し成形することにより得られる成形品または半製品。
【請求項７】
ランナーシステムを使用することにより、射出成形加工において少なくとも４個の金型に請求項１〜４のいずれか一項に記載の成形組成物を充填することにより得られる、多数個取りシステム。
【手続補正書】
【提出日】平成21年2月20日(2009.2.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明の１つの観点に係る複合構造物は、基板と、エアロゾルデポジション法を用いて、無機材料で形成された原料粉を基板に向けて吹き付けて原料粉を下層に衝突させることにより、衝突の際に原料粉が変形及び／又は破砕することによって新たに生じる活性面を有する粒子同士を結合させて原料粉を堆積させることによって、基板上に直接又は間接的に形成された多結晶の構造物であって、不純物として重量で１００ｐｐｍ以下のカーボンを含有し、又は、平均結晶粒径が４００ｎｍより大きい多結晶の構造物とを具備する。
【手続補正書】
【提出日】平成21年4月14日(2009.4.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
補助パイル（４）と主パイル（３）とを合体させる装置を有する、被印刷体処理機械（１８）のための排紙装置または給紙装置であって、前記合体させる装置は、前記主パイルと前記補助パイルの間に出し入れすることが可能な、駆動装置（１２）によってモータ駆動される櫛歯状部材（１０）と、該櫛歯状部材（１０）の前記駆動装置を制御する制御コンピュータ（１９）と、を備える、排紙装置または給紙装置において、
前記制御コンピュータ（１９）には速度曲線が記憶されており、該速度曲線は、前記主パイルおよび前記補助パイル（３，４）内にある被印刷体（２０）に応じて異なる、前記櫛歯状部材（１０）の前記駆動装置のための速度曲線を含むことを特徴とする、排紙装置または給紙装置。
【請求項２】
前記櫛歯状部材（１０）の前記駆動装置のための、前記櫛歯状部材（１０）のロッドの形状に応じた前記速度曲線が記憶されている、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記給紙装置（１４）内の吸着ヘッド（１５）を作動させるための、使用する前記被印刷体（２０）に応じた前記速度曲線が前記制御コンピュータ（１９）に記憶されている、請求項１または２に記載の装置。
【請求項４】
前記補助パイル（４）の荷重を計測するセンサ（１７）が設けられている、請求項１から３のいずれか１項に記載の装置。
【請求項５】
前記主パイルと前記補助パイルの合体が、前記補助パイル（４）の測定された荷重に応じて行われる、請求項４に記載の装置。
【請求項６】
前記補助パイル（４）と前記主パイル（３）の間での前記櫛歯状部材（１０）の引き出しが前記補助パイル（４）の計測された荷重に応じて行われる、請求項４または５に記載の装置。
【請求項７】
使用する前記被印刷体（２０）のデータ、または、前記被印刷体処理機械（１８）の動作速度のデータ、または、前記被印刷体処理機械（１８）若しくは前記給紙装置（１４）の他の動作パラメータに基づいて、前記主パイル（３）と前記補助パイル（４）を合体させる最適な開始位置が算出される、請求項１から６のいずれか１項に記載の装置。
【請求項８】
請求項１から７のいずれか１項に記載の装置（１４）を備えている枚葉紙オフセット印刷機（１８）。
【請求項９】
請求項１から７のいずれか１項に記載の装置（１４）を作動させる方法において、
前記主パイル（３）と前記補助パイル（４）の合体中に前記補助パイル（４）の荷重を常に計測し、前記補助パイル（４）による負荷が大きい時に前記櫛歯状部材（１０）の引き出しを中断することを特徴とする方法。
【請求項１０】
前記補助パイル（４）の荷重の測定値が所定の値を下回っている時に前記主パイル（３）と前記補助パイル（４）を同期して移動させる、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記補助パイル（４）上の荷重が所定の値を下回っている時に前記主パイル（３）と前記補助パイル（４）の間から前記櫛歯状部材（１０）を引き出す、請求項１０に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成21年2月18日(2009.2.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記式（１）で示されるカルニチン誘導体および／または下記式（２）で示されるカルニチン誘導体の塩を含有することを特徴とする皮膚外用剤；
【化１】
2007119441.tif 000001
（式（１）中、Ｒ1およびＲ2はそれぞれ独立に、分岐を有していてもよい炭素数１〜１８の飽和または不飽和の脂肪族炭化水素基を表す。）
【化２】
2007119441.tif 000002
（式（２）中、Ｒ1およびＲ2は式（１）と同義であり、Ｘ-はカルニチン誘導体のカチオ
ン部と電気的に中性となる無機アニオンまたは有機アニオンを表し、Ｙ+はカルニチン誘
導体のアニオン部と電気的に中性となる無機カチオンまたは有機カチオンを表す。）。
【請求項２】
前記式（１）および式（２）中の、Ｒ1およびＲ2のいずれか一方が炭素数６の直鎖アルキル基であり、他方が炭素数８の直鎖アルキル基であることを特徴とする請求項１に記載の皮膚外用剤。
【請求項３】
前記式（２）中のＸ-が、水酸化物イオン、硝酸イオン、硫酸イオン、炭酸イオン、炭
酸水素イオン、ハロゲン化物イオン、蟻酸イオン、酢酸イオン、クエン酸イオン、酒石酸イオン、シュウ酸イオン、フマル酸イオン、分岐を有していてもよい炭素数３〜２０の飽和もしくは不飽和脂肪酸のアニオン、カルニチンまたはその誘導体のアニオン、アスコルビン酸のアニオン、アスコルビルリン酸またはその誘導体のアニオンからなる群より選ばれるものであることを特徴とする請求項１または２に記載の皮膚外用剤。
【請求項４】
前記式（２）中のＹ+が、水素イオン、ナトリウムイオン、カリウムイオン、カルシウ
ムイオン、マグネシウムイオン、亜鉛イオン、アンモニウムイオン、カルニチンまたはその誘導体のカチオンからなる群より選ばれるものであることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の皮膚外用剤。
【請求項５】
前記式（１）で示されるカルニチン誘導体および／または前記式（２）で示されるカルニチン誘導体の塩を０．０１〜２０質量％の量で含有することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の皮膚外用剤。
【請求項６】
請求項１〜４のいずれかに記載されたカルニチン誘導体および／またはカルニチン誘導体の塩を０．０１〜２０質量％の量で含有することを特徴とする化粧料。
【請求項７】
脂質代謝促進用化粧料であることを特徴とする請求項６に記載の化粧料。
【請求項８】
下記式（７）で示されることを特徴とするカルニチン誘導体。
【化３】
2007119441.tif 000003
【請求項９】
下記式（８）で示されることを特徴とするカルニチン誘導体の塩；
【化４】
2007119441.tif 000004
（式（８）中、Ｘ-はカルニチン誘導体のカチオン部と電気的に中性となる無機アニオン
または有機アニオンを表し、Ｙ+はカルニチン誘導体のアニオン部と電気的に中性となる
無機カチオンまたは有機カチオンを表す。）。
【請求項１０】
前記式（８）中のＸ-が、水酸化物イオン、硝酸イオン、硫酸イオン、炭酸イオン、炭
酸水素イオン、ハロゲン化物イオン、蟻酸イオン、酢酸イオン、クエン酸イオン、酒石酸イオン、シュウ酸イオン、フマル酸イオン、分岐を有していてもよい炭素数３〜２０の飽和もしくは不飽和脂肪酸のアニオン、カルニチンまたはその誘導体のアニオン、アスコルビン酸のアニオン、アスコルビルリン酸またはその誘導体のアニオンからなる群より選ばれるものであることを特徴とする請求項９に記載のカルニチン誘導体の塩。
【請求項１１】
前記式（８）中のＹ+が、水素イオン、ナトリウムイオン、カリウムイオン、カルシウ
ムイオン、マグネシウムイオン、亜鉛イオン、アンモニウムイオン、カルニチンまたはその誘導体のカチオンからなる群より選ばれるものであることを特徴とする請求項９または１０に記載のカルニチン誘導体の塩。
【手続補正書】
【提出日】平成21年1月21日(2009.1.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
粉状農薬組成物が、熱硬化性樹脂で固められ被覆されてなる被覆粒状農薬組成物。
【請求項２】
熱硬化性樹脂がウレタン樹脂、尿素樹脂又はエポキシ樹脂である請求項１に記載された被覆粒状農薬組成物。
【請求項３】
熱硬化性樹脂がウレタン樹脂である請求項１に記載された被覆粒状農薬組成物。
【請求項４】
熱硬化性樹脂がエポキシ樹脂である請求項１に記載された被覆粒状農薬組成物。
【請求項５】
粉状農薬組成物が農薬活性化合物と希釈粉体とを含有する組成物である請求項１〜４のいずれかに記載された被覆粒状農薬組成物。
【請求項６】
希釈粉体が鉱物質粉体である請求項５に記載された被覆粒状農薬組成物。
【請求項７】
粉状農薬組成物が農薬活性化合物として５−クロロ−Ｎ−（１，３−ジヒドロ−１，１，３−トリメチル−４−イソベンゾフラニル）−１，３−ジメチルピラゾール−４−カルボキサミド又は（Ｅ）−Ｎ−（６−クロロ−３−ピリジルメチル）−Ｎ−エチル−Ｎ'−メチル−２−ニトロビニリデンジアミンを含有する組成物である請求項１〜４のいずれかに記載された被覆粒状農薬組成物。
【請求項８】
粉状農薬組成物の体積中位径が１〜１００μｍであり、被覆粒状農薬組成物の体積中位径が１０〜２００μｍである請求項１〜７のいずれかに記載された被覆粒状農薬組成物。
【請求項９】
以下の工程を有することを特徴とする被覆粒状農薬組成物の製造方法。
（１）粉状農薬組成物と熱硬化性樹脂の原料となる第１液状原料とを混合する工程、
（２）前工程で得られた混合物に熱硬化性樹脂の原料となる第２液状原料を添加する工程、
（３）該第１液状原料と該第２液状原料とを反応させて熱硬化性樹脂を生成させることで粒状農薬を得る工程、及び
（４）前工程で得られた粒状農薬に熱硬化性樹脂の原料となる第１液状原料と第２液状原料とを同時又は順次加え、該第１液状原料と該第２液状原料とを反応させて、該粒状農薬を熱硬化性樹脂で被覆する工程。
【請求項１０】
熱硬化性樹脂がウレタン樹脂又は尿素樹脂であり、第１液状原料がポリオール又はポリアミンであり、第２液状原料がポリイソシアネートである請求項９に記載された製造方法。
【請求項１１】
熱硬化性樹脂がウレタン樹脂であり、第１液状原料がポリオールであり、第２液状原料がポリイソシアネートである請求項９に記載された製造方法。
【請求項１２】
ポリオールの粘度が１０００ｍ・Ｐａ（２５℃）以下であり、ポリイソシアネートの粘度が３００ｍ・Ｐａ（２５℃）以下である請求項１１に記載された製造方法。
【請求項１３】
熱硬化性樹脂がエポキシ樹脂であり、第１液状原料がポリアミンであり、第２液状原料がポリグリシジルエーテル又はポリグリシジルアミンである請求項９に記載された製造方法。
【請求項１４】
粉状農薬組成物が農薬活性化合物と希釈粉体とを含有する組成物である請求項９〜１３のいずれかに記載された製造方法。
【請求項１５】
粉状農薬組成物が農薬活性化合物として５−クロロ−Ｎ−（１，３−ジヒドロ−１，１，３−トリメチル−４−イソベンゾフラニル）−１，３−ジメチルピラゾール−４−カルボキサミド又は（Ｅ）−Ｎ−（６−クロロ−３−ピリジルメチル）−Ｎ−エチル−Ｎ'−メチル−２−ニトロビニリデンジアミンを含有する組成物である請求項９〜１３のいずれかに記載された製造方法。
【請求項１６】
請求項１〜８いずれか一項記載の被覆粒状農薬組成物を含有する固形製剤。
【請求項１７】
請求項１〜８いずれか一項記載の被覆粒状農薬組成物を含有する農薬粒剤。
【手続補正書】
【提出日】平成21年10月6日(2009.10.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機材料により形成された複数の絶縁層と、該絶縁層の表面に形成される配線導体と、前記配線導体と電気的に接続され、前記絶縁層を厚み方向に貫通する複数の貫通導体と、を有する多層配線基板と、
多数の電極層およびセラミックにより形成された誘電体層を交互に積層して成る積層体と、前記積層体を積層方向に貫通する複数の貫通孔に導体が充填されて成る第１、第２の引き出し電極部と、を有するコンデンサ素子と、を備え、
前記多層配線基板は、前記絶縁層の少なくとも一層に前記コンデンサ素子が内蔵される空洞部を有し、
前記貫通導体の一つは前記第１の引き出し電極部の直上に位置して該第１の引き出し電極部と接続され、前記貫通導体の他の一つは前記第２の引き出し電極部と重ならない位置に配されるとともに前記配線導体を介して前記第２の引き出し電極部と接続されていることを特徴とするコンデンサ素子内蔵多層配線基板。
【請求項２】
有機材料により形成された複数の絶縁層と、該絶縁層の表面に形成される配線導体と、前記配線導体と電気的に接続され、前記絶縁層を厚み方向に貫通する複数の貫通導体と、を有する多層配線基板と、
多数の電極層およびセラミックにより形成された誘電体層を交互に積層して成る積層体と、前記積層体を積層方向に貫通する貫通孔に導体が充填されて成る引き出し電極部と、を有するコンデンサ素子と、を備え、
前記多層配線基板は、前記絶縁層の少なくとも一層に前記コンデンサ素子が内蔵される空洞部を有し、
前記貫通導体の一つは前記引き出し電極部と対応する箇所に位置して該引き出し電極部の一方端と接続され、前記貫通導体の他の一つは前記引き出し電極部と重ならない位置に配されるとともに前記配線導体を介して前記引き出し電極部の他方端と接続されていることを特徴とするコンデンサ素子内蔵多層配線基板。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】コンデンサ素子内蔵多層配線基板
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の一形態に係るコンデンサ素子内蔵配線基板は、有機材料により形成された複数の絶縁層と、該絶縁層の表面に形成される配線導体と、前記配線導体と電気的に接続され、前記絶縁層を厚み方向に貫通する複数の貫通導体と、を有する多層配線基板と、多数の電極層およびセラミックにより形成された誘電体層を交互に積層して成る積層体と、前記積層体を積層方向に貫通する複数の貫通孔に導体が充填されて成る第１、第２の引き出し電極部と、を有するコンデンサ素子と、を備え、前記多層配線基板は、前記絶縁層の少なくとも一層に前記コンデンサ素子が内蔵される空洞部を有し、前記貫通導体の一つは前記第１の引き出し電極部の直上に位置して該第１の引き出し電極部と接続され、前記貫通導体の他の一つは前記第２の引き出し電極部と重ならない位置に配されるとともに前記配線導体を介して前記第２の引き出し電極部と接続されていることを特徴とする。
また、本発明の一形態に係るコンデンサ素子内蔵配線基板は、有機材料により形成された複数の絶縁層と、該絶縁層の表面に形成される配線導体と、前記配線導体と電気的に接続され、前記絶縁層を厚み方向に貫通する複数の貫通導体と、を有する多層配線基板と、多数の電極層およびセラミックにより形成された誘電体層を交互に積層して成る積層体と、前記積層体を積層方向に貫通する貫通孔に導体が充填されて成る引き出し電極部と、を有するコンデンサ素子と、を備え、前記多層配線基板は、前記絶縁層の少なくとも一層に前記コンデンサ素子が内蔵される空洞部を有し、前記貫通導体の一つは前記引き出し電極部と対応する箇所に位置して該引き出し電極部の一方端と接続され、前記貫通導体の他の一つは前記引き出し電極部と重ならない位置に配されるとともに前記配線導体を介して前記引き出し電極部の他方端と接続されていることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成21年9月7日(2009.9.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に放射ビームを投影する投影システムと、
前記基板を検査する検出器と、
前記基板を支持し、前記投影システム及び前記検出器に対して前記基板を移動させる基板テーブルと、
前記基板の経路上方に前記投影システム及び前記検出器を保持し、前記検出器に対する前記投影システムの相対位置を確実に固定する基準枠と、を備え、
前記検出器は、前記基板の移動中において前記基板の一部分が前記放射ビームで露光される前に当該一部分を検査することを特徴とするリソグラフィ装置。
【請求項２】
前記基準枠は、確実に相対位置が安定するように非常に小さい熱膨張を有する材料から形成されていることを特徴とする請求項１に記載のリソグラフィ装置。
【請求項３】
前記検出器は、前記基板の全幅にわたって基板の複数の部分を同時に検査するための複数のセンサを有することを特徴とする請求項１に記載のリソグラフィ装置。
【請求項４】
検査結果に基づいて露光条件を調整する制御器をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載のリソグラフィ装置。
【請求項５】
個別制御可能要素アレイを使用してビームにパターンを与えることを特徴とする請求項１に記載のリソグラフィ装置。
【請求項６】
複数の個別制御可能要素アレイをさらに備えることを特徴とする請求項５に記載のリソグラフィ装置。
【請求項７】
検出器に対する投影システムの相対位置を確実に固定する基準枠によって基板の移動経路上方において連結されている検出器及び投影システムに対して基板を移動させ、
前記検出器を使用して前記基板の一部分を検査し、
検査結果に従って露光条件を調整しながら前記投影システムを使用して前記基板の一部分を露光することを含むことを特徴とするデバイス製造方法。
【請求項８】
前記基準枠は、確実に相対位置が安定するように非常に小さい熱膨張を有する材料から形成されていることを特徴とする請求項７に記載の方法。
【請求項９】
基板を移動させているときに前記検査及び露光を行うことを特徴とする請求項７に記載の方法。
【請求項１０】
連続する複数回の露光の合間に前記検出器及び投影システムに対して基板を移動させることを特徴とする請求項７に記載の方法。
【請求項１１】
露光中において前記検出器及び投影システムに対して基板を移動させることを特徴とする請求項７に記載の方法。
【請求項１２】
検査された基板の一部分が検査に引き続いて露光されることを特徴とする請求項７に記載の方法。
【請求項１３】
前記露光条件は重ね合わせ精度が最適化されるよう調整されることを特徴とする請求項７に記載の方法。
【請求項１４】
前記検出器及び投影システムに対して実質的に一定の速度で基板を移動させることを特徴とする請求項７に記載の方法。
【請求項１５】
投影システムに対する検出器の相対位置は実質的に固定され既知であることを特徴とする請求項７に記載の方法。
【請求項１６】
投影システムに対する検出器の相対位置を露光中に監視することをさらに含むことを特徴とする請求項７に記載の方法。
【請求項１７】
前記基板の一部分は基板の幅全体を含むことを特徴とする請求項７に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成21年2月6日(2009.2.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向配置された１／４波長共振器を複数有すると共に、隣り合う２つの前記１／４波長共振器同士が互いにインターディジタル結合された第１の共振器と、
対向配置された他の１／４波長共振器を複数有すると共に、隣り合う２つの前記他の１／４波長共振器同士が互いにインターディジタル結合された第２の共振器と
を備え、
前記第１の共振器と前記第２の共振器とが全体として所定角度で交差する方向に沿って延設されて互いに電磁結合されている
ことを特徴とするフィルタ。
【請求項２】
前記第１の共振器を構成する前記１／４波長共振器の短絡端と、前記第２の共振器を構成する前記他の１／４波長共振器の短絡端とが、互いに角度を持った２つの別々のグランド電極に接続されている
ことを特徴とする請求項１に記載のフィルタ。
【請求項３】
前記第１の共振器と前記第２の共振器は、直方体形状の誘電体ブロック内に形成されており、前記誘電体ブロックの互いに対向する第１の面および第２の面と、前記第１の面および第２の面に直交し、前記誘電体ブロックの互いに対向する第３の面および第４の面にはそれぞれグランド電極が形成され、
前記第１の共振器を構成する前記１／４波長共振器の短絡端は、前記誘電体ブロックの前記第１の面および第２の面に形成されたグランド電極に接続され、
前記第２の共振器を構成する前記他の１／４波長共振器の短絡端は、前記誘電体ブロックの前記第３の面および第４の面に形成された他のグランド電極に接続されている
ことを特徴とする請求項２に記載のフィルタ。
【請求項４】
前記第１の共振器を構成する前記１／４波長共振器の短絡端と、前記第２の共振器を構成する前記他の１／４波長共振器の短絡端とが、互いに同じグランド電極または互いに平行な別々のグランド電極に接続されている
ことを特徴とする請求項１に記載のフィルタ。
【請求項５】
前記１／４波長共振器の短絡端に設けられた補助電極と、
前記他の１／４波長共振器の短絡端に設けられた他の補助電極とをさらに備え、
前記補助電極と前記他の補助電極とが互いに異なる方向に沿って延設され、前記１／４波長共振器の短絡端と前記他の１／４波長共振器の短絡端とが、前記補助電極と前記他の補助電極とを介して互いに同じグランド電極または互いに平行な別々のグランド電極に接続されている
ことを特徴とする請求項４に記載のフィルタ。
【請求項６】
対向配置されたさらに他の１／４波長共振器を複数有すると共に、対向する前記さらに他の１／４波長共振器同士が互いにインターディジタル結合された第３の共振器をさらに備え、
前記第３の共振器と前記第２の共振器とが全体として所定角度で交差するように配置されて互いに電磁結合されている
ことを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載のフィルタ。
【請求項７】
前記第２の共振器が、前記第１の共振器と前記第３の共振器との間に配置されており、
前記第１の共振器および前記第２の共振器の間と、前記第２の共振器および前記第３の共振器の間とにそれぞれ容量性結合電極が配置されている
ことを特徴とする請求項６に記載のフィルタ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明によるフィルタは、対向配置された１／４波長共振器を複数有すると共に、隣り合う２つの１／４波長共振器同士が互いにインターディジタル結合された第１の共振器と、対向配置された他の１／４波長共振器を複数有すると共に、隣り合う２つの他の１／４波長共振器同士が互いにインターディジタル結合された第２の共振器とを備え、第１の共振器と第２の共振器とが全体として所定角度で交差する方向に沿って延設されて互いに電磁結合されているものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明によるフィルタにおいて、第１の共振器を構成する１／４波長共振器の短絡端と、第２の共振器を構成する他の１／４波長共振器の短絡端とが、互いに角度を持った２つの別々のグランド電極に接続されていても良い。
例えば、第１の共振器と第２の共振器が、直方体形状の誘電体ブロック内に形成されており、誘電体ブロックの互いに対向する第１の面および第２の面と、第１の面および第２の面に直交し、誘電体ブロックの互いに対向する第３の面および第４の面にはそれぞれグランド電極が形成されている場合において、第１の共振器を構成する１／４波長共振器の短絡端を、誘電体ブロックの第１の面および第２の面に形成されたグランド電極に接続し、第２の共振器を構成する他の１／４波長共振器の短絡端を、誘電体ブロックの第３の面および第４の面に形成された他のグランド電極に接続するようにしても良い。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
または、本発明によるフィルタにおいて、第１の共振器を構成する１／４波長共振器の短絡端と、第２の共振器を構成する他の１／４波長共振器の短絡端とが、互いに同じグランド電極または互いに平行な別々のグランド電極に接続されていても良い。
この場合において、１／４波長共振器の短絡端に設けられた補助電極と、他の１／４波長共振器の短絡端に設けられた他の補助電極とをさらに備えていても良い。そして、補助電極と他の補助電極とが互いに異なる方向に沿って延設され、１／４波長共振器の短絡端と他の１／４波長共振器の短絡端とが、補助電極と他の補助電極とを介して互いに同じグランド電極または互いに平行な別々のグランド電極に接続されていても良い。
第１の共振器における短絡端と第２の共振器における短絡端とを互いに同じグランド電極または互いに平行な別々のグランド電極に接続した場合、互いに角度を持った別々のグランド電極に接続した場合に比べて、グランド電極の近傍で第１の共振器と第２の共振器とが電磁結合するので結合が強まる。第１の共振器における短絡端と第２の共振器における短絡端とを、互いに異なる角度を持った別々の補助電極を介してグランド電極に接続することで、グランド電極を介した結合が弱められる。