【手続補正書】
【提出日】平成21年5月21日(2009.5.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
照明系からの露光光を、投影光学系と液体とを介して基板上に照射することによって前記基板を露光する露光装置において、
前記投影光学系の像面側に配置された光透過部を介して、前記投影光学系を通過した露光光を受光する受光器を有する計測手段を備え、
前記投影光学系と前記光透過部との間に液体がない状態で、前記計測手段の受光器で前記投影光学系を通過した露光光を受光することを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記計測手段の受光器で、前記光透過部及び前記投影光学系を通過した露光光を受光する際に、前記投影光学系の端面に入射する露光光の入射角は、該端面から投影光学系と前記光透過部との間の空間へ該露光光が出射するように調整されていることを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【請求項３】
前記投影光学系に露光光を導く照明系を更に備え、前記露光光束の角度調整は、前記照明系内の、前記投影光学系の瞳面と共役な面内における前記露光光の光束分布を調整することによって行われることを特徴とする請求項２記載の露光装置。
【請求項４】
前記露光光束の角度調整は、前記照明系のコヒーレンスファクタσを調整することによって行われることを特徴とする請求項２又は請求項３記載の露光装置。
【請求項５】
前記投影光学系の開口数ＮＡは１以上であって、前記照明系のコヒーレンスファクタσは０．０５〜０．５０であることを特徴とする請求項４記載の露光装置。
【請求項６】
前記計測手段は、前記光透過部からの光を受光器に入射させるための光学部材を有し、
前記光学部材は、前記光透過部からの光が気体中を通過しないように前記光透過部の近傍に配置されている
ことを特徴とする請求項１から請求項５の何れか一項に記載の露光装置。
【請求項７】
前記計測手段は、板状部材を有し、
前記板状部材の一方面が前記投影光学系に対向するように配置され、他方面の一部に前記光透過部が形成されていることを特徴とする請求項１から請求項６の何れか一項に記載の露光装置。
【請求項８】
照明系からの露光光を、投影光学系を介して基板上に照射することによって前記基板を露光する露光装置において、
前記投影光学系の像面側に配置され、前記投影光学系からの露光光が入射する光透過部と、該光透過部からの光を受光器に入射させるための集光部材とを有する計測手段を備え、
前記投影光学系からの露光光が気体中を通過せずに前記集光部材に入射するように、前記集光部材は、前記光透過部と前記受光器との間に配置されていることを特徴とする露光装置。
【請求項９】
前記投影光学系を通過した露光光は、液体を介して、前記計測手段の光透過部に入射することを特徴とする請求項８記載の露光装置。
【請求項１０】
前記集光部材は、前記投影光学系に対向する平坦部を有し、
前記光透過部は、前記平坦部に形成されていることを特徴とする請求項８又は請求項９記載の露光装置。
【請求項１１】
前記計測手段は、前記光透過部を有する板状部材を有し、前記集光部材は前記板状部材に密接していることを特徴とする請求項８又は請求項９記載の露光装置。
【請求項１２】
前記板状部材は、一方面が前記投影光学系に対向するように配置され、他方面の一部に前記光透過部が形成され、さらにその他方面に前記集光部材が密接していることを特徴とする請求項１１記載の露光装置。
【請求項１３】
投影光学系と液体とを介して露光光を基板上に照射することによって前記基板を露光する露光装置において、
前記投影光学系に対向するように一方面が配置され、他方面の一部に光透過部が形成された板状部材と、前記光透過部からの光を受光する受光器とを有する計測手段を備え、
前記計測手段の受光器による露光光の受光は、前記投影光学系と前記板状部材との間の液体を介して行われることを特徴とする露光装置。
【請求項１４】
照明系からの露光光を、投影光学系と液体とを介して基板上に照射することによって前記基板を露光する露光装置において、
前記投影光学系の像面側に配置され、前記投影光学系からの露光光が液体を介して入射する光透過部と、該光透過部からの光を受光器に入射させるための光学系とを有する計測手段を備え、
前記光透過部からの光が気体中を通過せずに前記光学系に入射するように、前記光学系は、前記光透過部と前記受光器との間に配置されていることを特徴とする露光装置。
【請求項１５】
前記計測手段の光学系は、前記光透過部からの光を集光して前記受光器に入射させる集光部材を含むことを特徴とする請求項１４記載の露光装置。
【請求項１６】
前記計測手段の光学系は、前記光透過部からの光を波面分割して各々を集光することにより前記受光器に入射させる波面分割素子を含むことを特徴とする請求項１５記載の露光装置。
【請求項１７】
前記集光部材は、マイクロレンズアレイ素子を含むことを特徴とする請求項１５又は請求項１６記載の露光装置。
【請求項１８】
前記計測手段の光学系は、前記光透過部からの光を屈折作用を利用して前記受光器に入射させることを特徴とする請求項１４から請求項１７の何れか一項に記載の露光装置。
【請求項１９】
前記計測手段の光学系は、前記光透過部からの光を拡散させて前記受光器に入射させる拡散部材を含むことを特徴とする請求項１４記載の露光装置。
【請求項２０】
前記計測手段の光学系は、前記光透過部からの光を導波して前記受光器に入射させる導波部材を含むことを特徴とする請求項１４記載の露光装置。
【請求項２１】
前記計測手段の光学系は、前記光透過部からの光を反射作用を利用して前記受光器に入射させることを特徴とする請求項１４記載の露光装置。
【請求項２２】
前記計測手段の光学系は、オプティカルインテグレータを含むことを特徴とする請求項２１記載の露光装置。
【請求項２３】
前記計測手段の光学系は、前記光透過部からの光を回折作用により前記受光器に入射させる回折素子を含むことを特徴とする請求項１４記載の露光装置。
【請求項２４】
前記計測手段の光学系は、前記光透過部から入射した光の射出面に所定の光学加工が施された光学部材を含むことを特徴とする請求項１４から請求項２３の何れか一項に記載の露光装置。
【請求項２５】
前記計測手段の光学系は、前記光透過部からの光の波長を変換した上で、前記受光器に入射させる波長変換部材を含むことを特徴とする請求項１４記載の露光装置。
【請求項２６】
前記計測手段の光学系は、蛍光部材を含むことを特徴とする請求項１４又は請求項２５記載の露光装置。
【請求項２７】
前記計測手段の光学系は、複数の光学素子を含み、
その複数の光学素子のうち前記光透過部に最も近い光学素子が前記光透過部に近接して配置されていることを特徴とする請求項１４から請求項２６の何れか一項に記載の露光装置。
【請求項２８】
投影光学系と液体を介して露光光で基板を露光する露光装置であって、
前記投影光学系の像面側に配置されかつ前記投影光学系と前記液体を介して前記露光光が入射する光透過部と、受光器と、前記光透過部からの光を前記受光器に入射させる光学部材と、を有する計測装置を備え、
前記光学部材は、前記光透過部からの光を拡散または回折し、前記受光器は、その拡散または回折された光を検出する露光装置。
【請求項２９】
投影光学系と液体を介して露光光で基板を露光する露光装置であって、
前記投影光学系の像面側に配置されかつ前記投影光学系と前記液体を介して前記露光光が入射する光透過部と、受光器と、前記光透過部からの光を前記受光器に入射させる光学部材と、を有する計測装置を備え、
前記光学部材は、前記光透過部からの光を内部で反射し、前記受光器は、その反射された光を検出する露光装置。
【請求項３０】
投影光学系と液体を介して露光光で基板を露光する露光装置であって、
前記投影光学系の像面側に配置されかつ前記投影光学系と前記液体を介して前記露光光が入射する光透過部と、受光器と、前記光透過部からの光を前記受光器に入射させる光学部材と、を有する計測装置を備え、
前記光学部材は、前記光透過部からの光を平行光とし、前記受光器は、その平行光を検出する露光装置。
【請求項３１】
投影光学系と液体を介して露光光で基板を露光する露光装置であって、
前記投影光学系の像面側に配置されかつ前記投影光学系と前記液体を介して前記露光光が入射する光透過部と、受光器と、前記光透過部からの光を前記受光器に入射させる光学部材と、を有する計測装置を備え、
前記光学部材は、前記光透過部からの光の射出面に所定の光学加工が施され、前記受光器は、前記射出面で偏向される光を検出する露光装置。
【請求項３２】
前記計測装置は、前記露光光が気体を通ることなく前記光透過部を介して前記光学部材に入射する請求項２８から請求項３１の何れか一項に記載の露光装置。
【請求項３３】
前記光学部材は、前記光透過部が形成される、あるいは前記光透過部と接して設けられる請求項３１に記載の露光装置。
【請求項３４】
投影光学系と液体を介して露光光で基板を露光する露光装置であって、
前記投影光学系の像面側に配置されかつ前記投影光学系と前記液体を介して前記露光光が入射する光透過部と、受光器と、前記光透過部からの光を前記受光器に入射させる光学部材と、を有する計測装置を備え、
前記光学部材は、前記光透過部が形成される、あるいは前記光透過部と接して設けられる露光装置。
【請求項３５】
前記光学部材は、前記光透過部が形成される平坦部を有する請求項３０、３３、３４の何れか一項に記載の露光装置。
【請求項３６】
前記計測装置は、前記光学部材からの光を、気体を介して前記受光器で検出する請求項２８から請求項３５の何れかー項に記載の露光装置。
【請求項３７】
投影光学系と液体を介して露光光で基板を露光する露光装置であって、
前記投影光学系の像面側に配置されかつ前記投影光学系と前記液体を介して前記露光光が入射する光透過部と、受光器と、前記光透過部からの光を前記受光器に入射させる光学部材と、を有する計測装置を備え、
前記光学部材と前記受光器との間に液体が満たされる露光装置。
【請求項３８】
前記計測装置は、前記露光光が気体を通ることなく前記光透過部を介して前記光学部材に入射する請求項３７に記載の露光装置。
【請求項３９】
投影光学系と液体を介して露光光で基板を露光する露光装置であって、
前記投影光学系の像面側に配置されかつ前記投影光学系と前記夜体を介して前記露光光が入射する光透過部と、受光器と、前記光透過部からの光を前記受光器に入射させる光学部材と、を有する計測装置を備え、
前記受光器は前記光学部材に接して設けられる露光装置。
【請求項４０】
前記光学部材は、前記光透過部に接して設けられる請求項３９に記載の露光装置。
【請求項４１】
前記投影光学系の開口数ＮＡは１以上である請求項１４から請求項４０の何れか一項に記載の露光装置。
【請求項４２】
前記受光器による検出結果に基づいて前記投影光学系の結像特性、あるいは前記露光光の照射量情報を計測する請求項１４から請求項４１の何れか一項に記載の露光装置。
【請求項４３】
前記投影光学系の像面側で移動可能なステージを更に備え、
前記光透過部は、前記ステージに配置される請求項８から請求項４２の何れか一項に記載の露光装置。
【請求項４４】
前記光透過部はその表面が前記ステージ表面とほぼ面一となるように設けられる請求項４３に記載の露光装置。
【請求項４５】
前記ステージは、前記基板を保持可能である請求項４３又は４４に記載の露光装置。
【請求項４６】
請求項１から請求項４５の何れか一項に記載の露光装置を用いることを特徴とするデバイス製造方法。
【請求項４７】
投影光学系と液体とを介して露光光で基板を露光する露光方法であって、
前記投影光学系の光射出端の側に、前記露光光を計測する計測装置を設置する設置ステップと、
前記投影光学系の光射出端側の光路空間に前記液体を介在させずに前記計測装置で前記露光光を計測する計測ステップと、
前記計測結果に基づいて、前記光路空間に前記液体を介在させて前記基板を露光する露光ステップとを含み、
前記投影光学系の光射出端と前記光路空間との界面に入射する前記露光光の入射角が、前記計測ステップと前記露光ステップとで異なることを特徴とする露光方法。
【請求項４８】
投影光学系を介して露光光で基板を露光する露光方法であって、
前記投影光学系から射出された前記露光光を気体を通過させずに受光器で受光する計測ステップと、
前記投影光学系と液体とを介して前記基板上に前記露光光を照射することによって前記基板を露光する露光ステップと
を含むことを特徴とする露光方法。
【請求項４９】
投影光学系と液体とを介して露光光で基板を露光する露光方法であって、
前記投影光学系の像面側に光透過部を配置することと、
前記投影光学系と前記液体とを介して前記露光光を前記光透過部に照射することと、
前記光透過部からの光を、光学部材を介して受光器で検出することと、を含み、
前記露光光は気体を通ることなく前記透過部から前記光学部材に入射する露光方法。
【請求項５０】
前記光透過部は、前記光学部材に形成される、あるいは前記光学部材と接して設けられる請求項４９に記載の露光方法。
【請求項５１】
前記光学部材による集光、波面分割、屈折、拡散、反射、回折、及び波長変換のいずれか１つによって、前記光透過部からの光を前記受光器に入射させる請求項４９又は５０に記載の露光方法。
【請求項５２】
投影光学系と液体とを介して露光光で基板を露光する露光方法であって、
前記投影光学系の像面側に光透過部を配置することと、
前記投影光学系と前記液体とを介して前記露光光を前記光透過部に照射することと、
前記光透過部からの光を光学部材で拡散または回折することと、
前記拡散または回折された光を受光器で検出することと、を含む露光方法。
【請求項５３】
投影光学系と液体とを介して露光光で基板を露光する露光方法であって、
前記投影光学系の像面側に光透過部を配置することと、
前記投影光学系と前記液体とを介して前記露光光を前記光透過部に照射することと、
前記光透過部からの光を光学部材の内部で反射することと、
前記反射された光を受光器で検出することと、を含む露光方法。
【請求項５４】
投影光学系と液体とを介して露光光で基板を露光する露光方法であって、
前記投影光学系の像面側に光透過部を配置することと、
前記投影光学系と前記液体とを介して前記露光光を前記光透過部に照射することと、
前記光透過部からの光を光学部材で平行光とすることと、
前記平行光を受光器で検出することと、を含む露光方法。
【請求項５５】
投影光学系と液体とを介して露光光で基板を露光する露光方法であって、
前記投影光学系の像面側に光透過部を配置することと、
前記投影光学系と前記液体とを介して前記露光光を前記光透過部に照射することと、
前記光透過部からの光を、所定の光学加工が射出面に施される光学部材で偏向することと、
前記偏向された光を受光器で検出することと、を含む露光方法。
【請求項５６】
前記露光光は気体を通ることなく前記光透過部を介して前記光学部材に入射する請求項５２から請求項５５の何れか一項に記載の露光方法。
【請求項５７】
前記光学部材は、前記光透過部が形成される、あるいは前記光透過部と接して設けられる請求項５５に記載の露光方法。
【請求項５８】
投影光学系と液体とを介して露光光で基板を露光する露光方法であって、
前記投影光学系の像面側に光透過部を配置することと、
前記投影光学系と前記液体とを介して前記露光光を前記光透過部に照射することと、
前記光透過部からの光を、前記光透過部が形成される、あるいは前記光透過部と接して設けられる光学部材を介して受光器で検出することと、を含む露光方法。
【請求項５９】
前記光学部材は、前記光透過部が形成される平坦部を有する請求項５４、５７、５８の何れか一項に記載の露光方法。
【請求項６０】
前記光学部材からの光を、気体を介して前記受光器で検出する請求項４９から請求項５９の何れか一項に記載の露光方法。
【請求項６１】
投影光学系と液体とを介して露光光で基板を露光する露光方法であって、
前記投影光学系の像面側に光透過部を配置することと、
前記投影光学系と前記液体とを介して前記露光光を前記光透過部に照射することと、
前記光透過部からの光を、光学部材を介して受光器で検出することと、を含み、
前記光学部材と前記受光器との間が液体で満たされる露光方法。
【請求項６２】
前記露光光は気体を通ることなく前記光透過部を介して前記光学部材に入射する請求項６１に記載の露光方法。
【請求項６３】
投影光学系と液体とを介して露光光で基板を露光する露光方法であって、
前記投影光学系の像面側に光透過部を配置することと、
前記投影光学系と前記液体とを介して前記露光光を前記光透過部に照射することと、
前記光透過部からの光を、光学部材を介して受光器で検出することと、を含み、
前記受光器は、前記光学部材に接して設けられる露光方法。
【請求項６４】
前記光透過部は、前記光学部材に接して設けられる請求項６３に記載の露光方法。
【請求項６５】
前記投影光学系の開口数ＮＡは１以上である請求項４９から請求項６４の何れか一項に記載の露光方法。
【請求項６６】
前記受光器による検出結果に基づいて前記投影光学系の結像特性、あるいは前記露光光の照射量情報を計測する請求項４９から請求項６５の何れか一項に記載の露光方法。
【請求項６７】
前記光透過部が設けられるステージによって前記投影光学系の像面側に前記光透過部を配置する請求項４９から請求項６６の何れか一項に記載の露光方法。
【請求項６８】
前記光透過部はその表面が前記ステージ表面とほぼ面一である請求項６７に記載の露光方法。
【請求項６９】
前記露光時、前記基板は前記ステージで保持される請求項６７又は６８に記載の露光方法。
【請求項７０】
請求項４７から請求項６９の何れか一項に記載の露光方法を用いることを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記の課題を解決するため、本発明に係る実施形態に対応付けした以下の構成を採用している。但し、各要素に付した括弧付き符号はその要素の例示に過ぎず、各要素を限定するものではない。
本発明の第１の観点による露光装置は、照明系（ＩＳ）からの露光光を、投影光学系（ＰＬ）と液体（ｗ）とを介して基板（Ｗ）上に照射することによって前記基板を露光する露光装置（ＥＸ）において、前記投影光学系の像面側に配置された光透過部（３１、３２）を介して、前記投影光学系を通過した露光光を受光する受光器（３６、３７）を有する計測手段（２７）を備え、前記投影光学系と前記光透過部との間に液体がない状態で、前記計測手段の受光器で前記投影光学系を通過した露光光を受光することを特徴としている。
この発明によると、投影光学系の像面側に液体が供給されていない状態で、投影光学系を通過した露光光が投影光学系の像面側に配置された光透過部を介して計測手段の受光器で受光される。
本発明の第２の観点による露光装置は、照明系（ＩＳ）からの露光光を、投影光学系（ＰＬ）を介して基板（Ｗ）上に照射することによって前記基板を露光する露光装置（ＥＸ）において、前記投影光学系の像面側に配置され、前記投影光学系からの露光光が入射する光透過部（３１、４４、５６）と、該光透過部からの光を受光器に入射させるための集光部材（４１、４５、５２、５７、６２、７１）とを有する計測手段（４０、５０、６０、７０）を備え、前記投影光学系からの露光光が気体中を通過せずに前記集光部材に入射するように、前記集光部材は、前記光透過部と前記受光器との間に配置されていることを特徴としている。
この発明によると、投影光学系からの露光光のうち、光透過部を透過した光は気体中を通過せずに集光部材に入射して集光される。尚、光透過部から集光部材に気体を通過しないように光を導くには、種々の方法があるが、光透過部と集光部材を接合しても良く、或いは、気体以外の媒質であって光透過性の媒質、例えば、液体、超臨界流体、ペースト、固体を光透過部と集光部材との間に、例えば薄膜状に介在させても良い。
本発明の第３の観点による露光装置は、投影光学系（ＰＬ）と液体（ｗ）とを介して露光光を基板（Ｗ）上に照射することによって前記基板を露光する露光装置（ＥＸ）において、前記投影光学系に対向するように一方面が配置され、他方面の一部に光透過部（５６）が形成された板状部材（５１）と、前記光透過部からの光を受光する受光器（５３）とを有する計測手段（５０）を備え、前記計測手段の受光器による露光光の受光は、前記投影光学系と前記板状部材との間の液体（ｗ）を介して行われることを特徴としている。
この発明によると、投影光学系からの露光光は液体を介して板状部材に入射し、板状部材に入射した光のうち光透過部を通過した光が計測手段が備える受光器に受光される。それゆえ、液浸露光の状態で露光光を計測することができる。
本発明の第４の観点による露光装置は、照明系（ＩＳ）からの露光光を、投影光学系（ＰＬ）と液体（ｗ）とを介して基板（Ｗ）上に照射することによって前記基板を露光する露光装置（ＥＸ）において、前記投影光学系の像面側に配置され、前記投影光学系からの露光光が液体を介して入射する光透過部（３１、３２、４４、５６）と、該光透過部からの光を受光器（３６、３７）に入射させるための光学系（４１、４５、５２、５７、６２、７１、８１、８６、９１、１０１、１１１）とを有する計測手段（４０、５０、６０、７０、８０、８５、９０、１００、１１０）を備え、前記光透過部からの光が気体中を通過せずに前記光学系に入射するように、前記光学系は、前記光透過部に近接して配置されていることを特徴としている。
この発明によると、投影光学系からの露光光のうち、光透過部を透過した光は計測手段に設けられた光学系によって気体中を通過しないよう導かれて受光器に入射する。それゆえ、受光器は光透過部を透過した光を効率良く受光できる。光透過部から光学系に気体を通過しないように光を導くには、前述のように気体以外の媒質を介在させてもよい。なお、光学系は一つの光学部材であってもよいし、複数の光学部材から構成されていてもよい。
本発明の第５の観点による露光装置は、投影光学系と液体を介して露光光で基板を露光する露光装置であって、前記投影光学系の像面側に配置されかつ前記投影光学系と前記液体を介して前記露光光が入射する光透過部と、受光器と、前記光透過部からの光を前記受光器に入射させる光学部材と、を有する計測装置を備え、前記光学部材は、前記光透過部からの光を拡散または回折し、前記受光器は、その拡散または回折された光を検出することを特徴としている。
本発明の第６の観点による露光装置は、投影光学系と液体を介して露光光で基板を露光する露光装置であって、前記投影光学系の像面側に配置されかつ前記投影光学系と前記液体を介して前記露光光が入射する光透過部と、受光器と、前記光透過部からの光を前記受光器に入射させる光学部材と、を有する計測装置を備え、前記光学部材は、前記光透過部からの光を内部で反射し、前記受光器は、その反射された光を検出することを特徴としている。
本発明の第７の観点による露光装置は、投影光学系と液体を介して露光光で基板を露光する露光装置であって、前記投影光学系の像面側に配置されかつ前記投影光学系と前記液体を介して前記露光光が入射する光透過部と、受光器と、前記光透過部からの光を前記受光器に入射させる光学部材と、を有する計測装置を備え、前記光学部材は、前記光透過部からの光を平行光とし、前記受光器は、その平行光を検出することを特徴としている。
本発明の第８の観点による露光装置は、投影光学系と液体を介して露光光で基板を露光する露光装置であって、前記投影光学系の像面側に配置されかつ前記投影光学系と前記液体を介して前記露光光が入射する光透過部と、受光器と、前記光透過部からの光を前記受光器に入射させる光学部材と、を有する計測装置を備え、前記光学部材は、前記光透過部からの光の射出面に所定の光学加工が施され、前記受光器は、前記射出面で偏向される光を検出することを特徴としている。
本発明の第９の観点による露光装置は、投影光学系と液体を介して露光光で基板を露光する露光装置であって、前記投影光学系の像面側に配置されかつ前記投影光学系と前記液体を介して前記露光光が入射する光透過部と、受光器と、前記光透過部からの光を前記受光器に入射させる光学部材と、を有する計測装置を備え、前記光学部材は、前記光透過部が形成される、あるいは前記光透過部と接して設けられることを特徴としている。
本発明の第１０の観点による露光装置は、投影光学系と液体を介して露光光で基板を露光する露光装置であって、前記投影光学系の像面側に配置されかつ前記投影光学系と前記液体を介して前記露光光が入射する光透過部と、受光器と、前記光透過部からの光を前記受光器に入射させる光学部材と、を有する計測装置を備え、前記光学部材と前記受光器との間に液体が満たされることを特徴としている。
本発明の第１１の観点による露光装置は、投影光学系と液体を介して露光光で基板を露光する露光装置であって、前記投影光学系の像面側に配置されかつ前記投影光学系と前記夜体を介して前記露光光が入射する光透過部と、受光器と、前記光透過部からの光を前記受光器に入射させる光学部材と、を有する計測装置を備え、前記受光器は前記光学部材に接して設けられることを特徴としている。
本発明の第１の観点によるデバイス製造方法は、上記の何れかの露光装置を用いることを特徴としている。
本発明の第１の観点による露光方法は、投影光学系（ＰＬ）と液体とを介して露光光で基板（Ｗ）を露光する露光方法であって、前記投影光学系の光射出端の側に、前記露光光を計測する計測装置（２７）を設置する設置ステップと、前記投影光学系の光射出端側の光路空間に前記液体を介在させずに前記計測装置で前記露光光を計測する計測ステップ（Ｓ１４、Ｓ１５）と、前記計測結果に基づいて、前記光路空間に前記液体を介在させて前記基板を露光する露光ステップ（Ｓ１９）とを含み、前記投影光学系の光射出端と前記光路空間との界面に入射する前記露光光の入射角が、前記計測ステップと前記露光ステップとで異なることを特徴としている。
この方法によると、計測ステップにおける前記投影光学系の光射出端と前記光路空間との界面に入射する露光光の入射角を、前記露光ステップにおける入射角より小さく調整することによって投影光学系と計測装置との間の光路空間に液体に存在していなくても計測装置は良好に露光光を受光することができ、その受光した光で結像状態や露光光の調整を実行することができる。
本発明の第２の観点による露光方法は、投影光学系（ＰＬ）を介して露光光で基板（Ｗ）を露光する露光方法であって、前記投影光学系から射出された前記露光光を気体を通過させずに受光器で受光する計測ステップと、前記投影光学系と液体とを介して前記基板上に前記露光光を照射することによって前記基板を露光する露光ステップとを含むことを特徴としている。
この方法によれば、露光光を気体中を通過せずに受光素子に送ることができるため、投影光学系の開口数が大きくなっても、投影光学系を通過した露光光を良好に受光することができる。
本発明の第３の観点による露光方法は、投影光学系と液体とを介して露光光で基板を露光する露光方法であって、前記投影光学系の像面側に光透過部を配置することと、前記投影光学系と前記液体とを介して前記露光光を前記光透過部に照射することと、前記光透過部からの光を、光学部材を介して受光器で検出することと、を含み、前記露光光は気体を通ることなく前記透過部から前記光学部材に入射することを特徴としている。
本発明の第４の観点による露光方法は、投影光学系と液体とを介して露光光で基板を露光する露光方法であって、前記投影光学系の像面側に光透過部を配置することと、前記投影光学系と前記液体とを介して前記露光光を前記光透過部に照射することと、前記光透過部からの光を光学部材で拡散または回折することと、前記拡散または回折された光を受光器で検出することと、を含むことを特徴としている。
本発明の第５の観点による露光方法は、投影光学系と液体とを介して露光光で基板を露光する露光方法であって、前記投影光学系の像面側に光透過部を配置することと、前記投影光学系と前記液体とを介して前記露光光を前記光透過部に照射することと、前記光透過部からの光を光学部材の内部で反射することと、前記反射された光を受光器で検出することと、を含むことを特徴としている。
本発明の第６の観点による露光方法は、投影光学系と液体とを介して露光光で基板を露光する露光方法であって、前記投影光学系の像面側に光透過部を配置することと、前記投影光学系と前記液体とを介して前記露光光を前記光透過部に照射することと、前記光透過部からの光を光学部材で平行光とすることと、前記平行光を受光器で検出することと、を含むことを特徴としている。
本発明の第７の観点による露光方法は、投影光学系と液体とを介して露光光で基板を露光する露光方法であって、前記投影光学系の像面側に光透過部を配置することと、前記投影光学系と前記液体とを介して前記露光光を前記光透過部に照射することと、前記光透過部からの光を、所定の光学加工が射出面に施される光学部材で偏向することと、前記偏向された光を受光器で検出することと、を含むことを特徴としている。
本発明の第８の観点による露光方法は、投影光学系と液体とを介して露光光で基板を露光する露光方法であって、前記投影光学系の像面側に光透過部を配置することと、前記投影光学系と前記液体とを介して前記露光光を前記光透過部に照射することと、前記光透過部からの光を、前記光透過部が形成される、あるいは前記光透過部と接して設けられる光学部材を介して受光器で検出することと、を含むことを特徴としている。
本発明の第９の観点による露光方法は、投影光学系と液体とを介して露光光で基板を露光する露光方法であって、前記投影光学系の像面側に光透過部を配置することと、前記投影光学系と前記液体とを介して前記露光光を前記光透過部に照射することと、前記光透過部からの光を、光学部材を介して受光器で検出することと、を含み、前記光学部材と前記受光器との間が液体で満たされることを特徴としている。
本発明の第１０の観点による露光方法は、投影光学系と液体とを介して露光光で基板を露光する露光方法であって、前記投影光学系の像面側に光透過部を配置することと、前記投影光学系と前記液体とを介して前記露光光を前記光透過部に照射することと、前記光透過部からの光を、光学部材を介して受光器で検出することと、を含み、前記受光器は、前記光学部材に接して設けられることを特徴としている。
本発明の第２の観点によるデバイス製造方法は、上記の何れかの露光方法を用いることを特徴としている。