【手続補正書】
【提出日】平成21年5月20日(2009.5.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射するノズル開口を有し、位置合わせ用のアライメントマークが設けられた液体噴射ヘッドを、当該アライメントマークを用いて相対的に位置合わせする際に用いる液体噴射ヘッドのアライメント治具であって、
前記アライメントマークが位置合わせされる基準マークが設けられた透明部材からなるマスクと、
このマスクの液体噴射ヘッド側の面とは反対側の面から前記基準マークを視認可能に当該反対側に接着されたマスク取付板と、
前記マスク取付板を支持する支持部材に前記マスク取付板を機械的に着脱自在に固定する固定手段とを具備することを特徴とする液体噴射ヘッドのアライメント治具。
【請求項２】
請求項１に記載する液体噴射ヘッドのアライメント治具において、
前記固定手段は頭部とネジ部を有しており、
前記マスクには前記固定手段の頭部の直径よりも大きな直径を有する第１挿通孔が形成され、
前記マスク取付板には前記固定手段の頭部の直径より小さな直径を有しかつ前記ネジ部が挿通可能な第２挿通孔が形成され、
前記支持部材には前記ネジ部と螺合可能な螺合部が形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッドのアライメント治具。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載する液体噴射ヘッドのアライメント治具において、
前記マスクの前記液体噴射ヘッド側には、前記マスクとは反対側の面に前記液体噴射ヘッドが載置されるベース治具
を具備することを特徴とする液体噴射ヘッドのアライメント治具。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３に記載する液体噴射ヘッドのアライメント治具において、
前記マスクの前記液体噴射ヘッド側には、前記アライメントマークに向けて突出する凸部が設けられていると共に、この凸部の上面に前記基準マークが設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドのアライメント治具。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４の何れかに記載する液体噴射ヘッドのアライメント治具と、
当該アライメント治具の前記マスク取付板を支持する前記支持部材と、
前記マスクの前記基準マークとは反対側に配設されて、前記基準マーク、及び前記アライメントマークの方向に向けられた光軸を有する撮像手段とを具備することを特徴とする液体噴射ヘッドのアライメント装置。
【請求項６】
請求項５に記載する液体噴射ヘッドのアライメント装置において、
前記撮像手段は、前記光軸を共有する一つの光学系により前記アライメントマークに焦点を合わせ得ると共に他の光学系が前記基準マークに焦点を合わせ得るように構成した二焦点顕微鏡であることを特徴とする液体噴射ヘッドのアライメント装置。
【請求項７】
請求項５又は請求項６に記載する液体噴射ヘッドのアライメント装置において、
前記光軸を固定する一方、位置合わせの対象となる前記基準マークと前記アライメントマークとが前記光軸上又はその近傍に占位するように、前記マスク取付板が固定された前記支持部材と、前記液体噴射ヘッドとを一体的に移動させるように構成したことを特徴とする液体噴射ヘッドのアライメント装置。
【請求項８】
液体を噴射するノズル開口を有し、位置合わせ用のアライメントマークが設けられた液体噴射ヘッドを、当該アライメントマークを用いて相対的に位置合わせする際に用いられて、アライメントマークが位置合わせされる基準マークが設けられた透明部材からなるマスクをアライメント装置の支持部材に取り付ける液体噴射ヘッドのマスクの取付方法であって、
前記マスクの前記液体噴射ヘッド側の面とは反対側から前記基準マークが視認可能となるようにマスク取付板を前記マスクの当該液体噴射ヘッドの面とは反対側に接着し、
前記液体噴射ヘッドの前記アライメントマークが上面側に配設される前記支持部材の底面側に配設されると共に前記アライメントマークと前記基準マークとを撮像する撮像手段の光軸上に前記基準マークが占位するように前記マスクを前記マスク取付板を介して前記支持部材に機械的に着脱自在に固定することを特徴とする液体噴射ヘッドのアライメント治具の取付方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
上記目的を達成するための本発明の第１の態様は、液体を噴射するノズル開口を有し、位置合わせ用のアライメントマークが設けられた液体噴射ヘッドを、当該アライメントマークを用いて相対的に位置合わせする際に用いる液体噴射ヘッドのアライメント治具であって、前記アライメントマークが位置合わせされる基準マークが設けられた透明部材からなるマスクと、このマスクの液体噴射ヘッド側の面とは反対側の面から前記基準マークを視認可能に当該反対側に接着されたマスク取付板と、前記マスク取付板を支持する支持部材に前記マスク取付板を機械的に着脱自在に固定する固定手段とを具備することを特徴とする液体噴射ヘッドのアライメント治具にある。
かかる第１の態様では、マスクはマスク取付板に接着されているため、機械的な固定手段を用いてマスク取付板を支持部材に対して固定・取外しをすることにより、マスクを支持部材に対して着脱自在に固定することができる。これにより、例えば表面に傷が付いたマスクを新たなマスクに交換する作業は簡易なものとなり、更に交換作業に要する時間を短縮して生産性の向上を図ることができる。
また静電チャックや真空吸着などの電力を必要とする固定手段を用いる場合と比較して、機械的な固定手段は格段に安価に実現することができると共に、アライメント装置全体に占めるスペースが小さくなるというメリットがある。更に、静電チャック等の電力を必要とする固定手段を用いる場合に懸念される、電力供給の一時的な停止に伴うマスクの位置ズレや再度の位置合わせ作業の発生を回避して、マスクを長期間に亘って安定的に固定することができる。
本発明の第２の態様は、第１の態様に記載する液体噴射ヘッドのアライメント治具において、前記固定手段は頭部とネジ部を有しており、前記マスクには前記固定手段の頭部の直径よりも大きな直径を有する第１挿通孔が形成され、前記マスク取付板には前記固定手段の頭部の直径より小さな直径を有しかつ前記ネジ部が挿通可能な第２挿通孔が形成され、前記支持部材には前記ネジ部と螺合可能な螺合部が形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッドのアライメント治具にある。
かかる第２の態様では、固定手段であり頭部とネジ部を有する取付ネジの固定・取外しによりマスクを支持部材に対して容易に着脱することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明の第３の態様は、第１又は第２の態様に記載する液体噴射ヘッドのアライメント治具において、前記マスクの前記液体噴射ヘッド側には、前記マスクとは反対側の面に前記液体噴射ヘッドが載置されるベース治具を具備することを特徴とする液体噴射ヘッドのアライメント治具にある。
かかる第３の態様では、基準マークとアライメントマークとの間にベース治具が配設されることで、液体噴射ヘッドが接触することを回避して、例えばマスク表面上に傷が付く等のマスクの破損を防止することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明の第４の態様は、第１乃至第３の態様に記載する液体噴射ヘッドのアライメント治具において、前記マスクの前記液体噴射ヘッド側には、前記アライメントマークに向けて突出する凸部が設けられていると共に、この凸部の上面に前記基準マークが設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドのアライメント治具にある。
かかる第４の態様では、基準マークとアライメントマークとの間の距離を小さくすることができる結果、光軸のずれを可及的に小さくでき、またマスクを厚い部材、すなわち十分な剛性を有する部材で支持することができ、前記部材の撓み等によるずれを生起することもないので、高精度の位置合わせを行うことができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明の第５の態様は、第１乃至第４の何れかの態様に記載する液体噴射ヘッドのアライメント治具と、当該アライメント治具の前記マスク取付板を支持する前記支持部材と、前記マスクの前記基準マークとは反対側に配設されて、前記基準マーク、及び前記アライメントマークの方向に向けられた光軸を有する撮像手段とを具備することを特徴とする液体噴射ヘッドのアライメント装置にある。
かかる第５の態様では、光学手段を介してマスクに設けられた基準マーク、及びノズルプレートに設けられたアライメントマークを確認することができる。これにより、基準マークにアライメントマークを合致させて正確に複数の液体噴射ヘッドを位置合わせすることができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明の第６の態様は、第５の態様に記載する液体噴射ヘッドのアライメント装置において、前記撮像手段は、前記光軸を共有する一つの光学系により前記アライメントマークに焦点を合わせ得ると共に他の光学系が前記基準マークに焦点を合わせ得るように構成した二焦点顕微鏡であることを特徴とする液体噴射ヘッドのアライメント装置にある。
かかる第６の態様では、二焦点顕微鏡を用いて基準マークとアライメントマークとを同時に見ることができるので、一つの光学系と他の光学系とで個別に焦点を合わせた基準マークとアライメントマークとの画像を重ね合わせて位置合わせを行なうことができる。すなわち、各光学系の被写界深度を可及的に小さくしてその分倍率を大きくすることができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明の第７の態様は、第５又は第６の態様に記載する液体噴射ヘッドのアライメント装置において、前記光軸を固定する一方、位置合わせの対象となる前記基準マークと前記アライメントマークとが前記光軸上又はその近傍に占位するように、前記マスク取付板が固定された前記支持部材と、前記液体噴射ヘッドとを一体的に移動させるように構成したことを特徴とする液体噴射ヘッドのアライメント装置にある。
かかる第７の態様では、光軸が固定されているので、マスクと液体噴射ヘッドを支持する支持部材との移動に伴う位置調整を迅速且つ高精度に行うことができる。すなわち、光軸を移動させた場合の光軸のずれを調整するより前記マスク及び支持部材の姿勢を維持する方が遥かに容易である。光学系の姿勢が一寸変化しただけで光軸は大きくずれるからである。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明の第８の態様は、液体を噴射するノズル開口を有し、位置合わせ用のアライメントマークが設けられた液体噴射ヘッドを、当該アライメントマークを用いて相対的に位置合わせする際に用いられて、アライメントマークが位置合わせされる基準マークが設けられた透明部材からなるマスクをアライメント装置の支持部材に取り付ける液体噴射ヘッドのマスクの取付方法であって、前記マスクの前記液体噴射ヘッド側の面とは反対側から前記基準マークが視認可能となるようにマスク取付板を前記マスクの当該液体噴射ヘッドの面とは反対側に接着し、前記液体噴射ヘッドの前記アライメントマークが上面側に配設される前記支持部材の底面側に配設されると共に前記アライメントマークと前記基準マークとを撮像する撮像手段の光軸上に前記基準マークが占位するように前記マスクを前記マスク取付板を介して前記支持部材に機械的に着脱自在に固定することを特徴とする液体噴射ヘッドのアライメント治具の取付方法にある。
かかる第８の態様では、マスクを支持部材の取り付けるに先立ち、マスクをマスク取付板に接着し、機械的な固定手段を用いてマスク取付板を支持部材に対して固定・取外しをする。これにより、マスクを支持部材に対して着脱自在に固定することができる。この結果、例えば表面に傷が付いたマスクを新たなマスクに交換する作業は簡易なものとなり、更にかかる交換作業に要する時間を短縮して生産性の向上を図ることができる。
また静電チャックや真空吸着などの電力を必要とする固定手段を用いる場合と比較して、機械的な固定手段は格段に安価に実現することができると共に、アライメント装置全体に占めるスペースが小さくなるというメリットがある。更に、静電チャック等の電力を必要とする固定手段を用いる場合に懸念される、電力供給の一時的な停止に伴うマスクの位置ズレや再度の位置合わせ作業の発生を回避して、マスクを長期間に亘って安定的に固定することができる。