【手続補正書】
【提出日】平成21年1月19日(2009.1.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を局所的に加熱・冷却し、その熱応力によって前記被加工物に亀裂を生じさせて前記被加工物を割断するレーザー割断装置であって、
前記被加工物を保持する保持機構と、
前記保持機構に保持された前記被加工物にレーザービームを照射して該被加工物を局所的に加熱・冷却する加工機構と、
を具備し、
前記保持機構は、互いに略平行に、かつ、互いに略等間隔に配置された複数の支持部を具備し、前記支持部の高さを調整して前記被加工物に想定される前記割断予定線が突出するように前記被加工物を保持することにより、前記被加工物を湾曲して保持することを特徴とするレーザー割断装置。
【請求項２】
被加工物を局所的に加熱・冷却し、その熱応力によって前記被加工物に亀裂を生じさせて前記被加工物を割断するレーザー割断装置であって、
前記被加工物を保持する保持機構と、
前記保持機構に保持された前記被加工物にレーザービームを照射して該被加工物を局所的に加熱・冷却する加工機構と、
を具備し、
前記保持機構は、前記被加工物と対向する対向面を有するとともに、割断予定線に沿って延びるとともに互いに割断予定線を横切る方向に並んで配置されて噴出される前の気体を収容する複数の収容部を備え前記被加工物に向かって気体を噴出することによって前記被加工物を前記対向面に対して浮かせた状態に保つエアーフロート機構を具備し、
前記被加工物において前記被加工物に想定される前記割断予定線の近傍への噴出圧力は、前記割断予定線が最も突出するように、前記被加工物において前記割断予定線の近傍以外の部位への噴出圧力よりも高くして、前記被加工物を湾曲して保持することを特徴とするレーザー割断装置。
【請求項３】
被加工物を局所的に加熱・冷却し、その熱応力によって前記被加工物に亀裂を生じさせて前記被加工物を割断する割断方法であって、
互いに略平行に、かつ、互いに略等間隔に配置された複数の支持部を具備する保持機構により、前記支持部の高さを調整して、前記被加工物に想定される前記割断予定線が突出するように前記被加工物を保持し、
前記割段予定線を中心として該被加工物の両側に引張応力が作用するように、該被加工物を変形させることを特徴とする割断方法。
【請求項４】
被加工物を局所的に加熱・冷却し、その熱応力によって前記被加工物に亀裂を生じさせて前記被加工物を割断する割断方法であって、
前記被加工物を、前記被加工物と対向する対向面を有するとともに、割断予定線に沿って延びるとともに互いに割断予定線を横切る方向に並んで配置し噴出する前の気体を収容する複数の収容部から噴出口を通し前記被加工物に向かって気体を噴出することによって前記被加工物を前記対向面に対して浮かせた状態に保つエアーフロート機構により、多数のエア噴出口から噴出させたエアにより浮かせた状態で保持し、
前記被加工物において前記割断予定線の近傍への噴出圧力は、前記割断予定線が最も突出するように、前記被加工物において前記割断予定線の近傍以外の部位への噴出圧力よりも高くすることを特徴とする割断方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本願の請求項１の発明のレーザー割断装置は、被加工物を局所的に加熱・冷却し、その熱応力によって前記被加工物に亀裂を生じさせて前記被加工物を割断するレーザー割断装置であって、前記被加工物を保持する保持機構と、前記保持機構に保持された前記被加工物にレーザービームを照射して該被加工物を局所的に加熱・冷却する加工機構とを備える。前記保持機構は、互いに略平行に、かつ、互いに略等間隔に配置された複数の支持部を具備し、前記支持部の高さを調整して前記被加工物に想定される前記割断予定線が突出するように前記被加工物を保持することにより、前記被加工物を湾曲して保持する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本願の請求項２の発明のレーザー割断装置は、被加工物を局所的に加熱・冷却し、その熱応力によって前記被加工物に亀裂を生じさせて前記被加工物を割断するレーザー割断装置であって、前記被加工物を保持する保持機構と、前記保持機構に保持された前記被加工物にレーザービームを照射して該被加工物を局所的に加熱・冷却する加工機構と、を備える。前記保持機構は、前記被加工物と対向する対向面を有するとともに、割断予定線に沿って延びるとともに互いに割断予定線を横切る方向に並んで配置されて噴出される前の気体を収容する複数の収容部を備え前記被加工物に向かって気体を噴出することによって前記被加工物を前記対向面に対して浮かせた状態に保つエアーフロート機構を備える。前記被加工物において前記被加工物に想定される前記割断予定線の近傍への噴出圧力は、前記割断予定線が最も突出するように、前記被加工物において前記割断予定線の近傍以外の部位への噴出圧力よりも高くして、前記被加工物を湾曲して保持する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本願の請求項３の発明の割断方法は、被加工物を局所的に加熱・冷却し、その熱応力によって前記被加工物に亀裂を生じさせて前記被加工物を割断する割断方法であって、互いに略平行に、かつ、互いに略等間隔に配置された複数の支持部を具備する保持機構により、前記支持部の高さを調整して、前記被加工物に想定される前記割断予定線が突出するように前記被加工物を保持し、前記割段予定線を中心として該被加工物の両側に引張応力が作用するように、該被加工物を変形させる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本願の請求項４の発明の割断方法は、被加工物を局所的に加熱・冷却し、その熱応力によって前記被加工物に亀裂を生じさせて前記被加工物を割断する割断方法であって、前記被加工物を、前記被加工物と対向する対向面を有するとともに、割断予定線に沿って延びるとともに互いに割断予定線を横切る方向に並んで配置し噴出する前の気体を収容する複数の収容部から噴出口を通し前記被加工物に向かって気体を噴出することによって前記被加工物を前記対向面に対して浮かせた状態に保つエアーフロート機構により、多数のエア噴出口から噴出させたエアにより浮かせた状態で保持し、前記被加工物において前記割断予定線の近傍への噴出圧力は、前記割断予定線が最も突出するように、前記被加工物において前記割断予定線の近傍以外の部位への噴出圧力よりも高くする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】