(57)【要約】      （修正有）【課題】研削時に、飛散する研削液に含まれる切粉によって、ガラス基板の表面に傷が生じるという事態を確実に抑制する。【解決手段】ガラス基板３に対して相対移動しながらガラス基板３の端面を研削する回転砥石４と、ガラス基板３の研削部周辺に研削液７を供給する研削液供給手段６とを備えたガラス基板の端面研削装置であって、回転砥石４によってガラス基板３の端面を研削するに際して、飛散する研削液７に含まれる切粉のガラス基板３の表面に沿う流れを遮断するように、ウォーターカーテン９を形成する水噴出手段８を配設する。【選択図】図２
2008087135.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板に対して相対移動しながらガラス基板の端面を研削する研削手段と、ガラス基板の研削部周辺に研削液を供給する研削液供給手段とを備えたガラス基板の端面研削装置において、
前記研削手段によってガラス基板の端面を研削するに際して、飛散する研削液に含まれる切粉のガラス基板の表面に沿う流れを遮断するように、水を噴出する水噴出手段を備えていることを特徴とするガラス基板の端面研削装置。
【請求項２】
ガラス基板に対して相対移動しながらガラス基板の端面を研削する研削手段と、ガラス基板の研削部周辺に研削液を供給する研削液供給手段とを備えたガラス基板の端面研削装置において、
前記研削手段によってガラス基板の端面を研削するに際して、切粉を含んだ状態で飛散する研削液に対して水を噴出し、該噴出した水と接触した後の切粉のガラス基板の表面に沿う移動速度を低下させる水噴出手段を備えていることを特徴とするガラス基板の端面研削装置。
【請求項３】
前記水噴出手段は、ガラス基板の内側からガラス基板の端部に向かって水を傾斜させた状態で噴出するように構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のガラス基板の端面研削装置。
【請求項４】
前記水噴出手段から噴出された水は、ウォーターカーテンを形成していることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のガラス基板の端面研削装置。
【請求項５】
前記研削手段が、ガラス基板の表面と直交する軸を中心として回転する回転砥石で構成され、且つその回転方向が、ガラス基板の研削部において前記回転砥石に対するガラス基板の移動方向と逆向きとなる方向であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のガラス基板の端面研削装置。
【請求項６】
前記研削液供給手段は、ガラス基板の研削完了領域側からガラス基板の研削部周辺に向かって研削液を噴出するように構成され、且つ、前記水噴出手段は、ガラス基板の未研削領域に重点的に水を噴出するように構成されていることを特徴とする請求項５に記載のガラス基板の端面研削装置。
【請求項７】
ガラス基板の研削部周辺に研削液を供給しながら、研削手段をガラス基板に対して相対移動させてガラス基板の端面を研削するガラス基板の端面研削方法において、
前記研削手段によってガラス基板の端面を研削するに際して、飛散する研削液に含まれる切粉のガラス基板の表面に沿う流れを遮断するように、水を噴出することを特徴とするガラス基板の端面研削方法。
【請求項８】
ガラス基板の研削部周辺に研削液を供給しながら、該研削手段をガラス基板に対して相対移動させてガラス基板の端面を研削するガラス基板の端面研削方法において、
前記研削手段によってガラス基板の端面を研削するに際して、切粉を含んだ状態で飛散する研削液に対して水を噴出し、該噴出した水と接触した後の切粉のガラス基板の表面に沿う移動速度を低下させることを特徴とするガラス基板の端面研削方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板の端面研削装置およびその端面研削方法に関し、詳しくは、ガラス基板の研削部に研削液を供給しながら、ガラス基板の端面を研削する技術の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
周知のように、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、エレクトロルミネッセンスディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイなどの各種画像表示機器用のガラス基板の製作に際しては、複数枚のガラス基板が１枚の素板ガラスから作り出される手法が採用されるに至っている。そして、これに伴ってガラスメーカー等で製造される素板ガラスは、大型化が推進されているのが現状である。
【０００３】
これらの素板ガラスは、製造工程の終盤において、ガラス基板を矩形状で且つ所定の大きさに切断した後、その切断端面を研削する処理などを行うことにより、最終製品として得られる。
【０００４】
この種のガラス基板の端面を研削する手法としては、ガラス基板の端面に回転砥石を接触させた状態で、かかる回転砥石をガラス基板に対して相対移動させることで行われるのが通例である。このとき、ガラス基板の研削部の過熱を防止したり、摩擦を低減するために、ガラス基板の研削部周辺には、研削液が供給されるのが通例とされている。しかしながら、ガラス基板の研削部の周辺に供給された研削液は、研削液の供給方向や、回転砥石の回転方向等に起因してガラス基板の表面にも飛散し、この飛散した研削液に含まれている切粉がガラス基板の表面に付着してガラス基板の表面が汚染されるという事態が生じ得る。そこで、この種のガラス基板の端面研削装置においては、以下に示すような種々の対策が講じられているのが実情である。
【０００５】
例えば、下記の特許文献１には、ガラス基板の表面に、下方が開口したカバー（防塵カバー）を覆い被せてその開放側端部を密着させると共に、このカバーをガラス基板の表面に真空吸着し、この状態でガラス基板の端面を研削する手法が開示されている。また、同文献には、別の構成として、ガラス基板の表面から離間した状態でガラス基板の表面を覆うようにカバー（シールドパン）を配設し、カバー内部に供給した水をカバーとガラス基板の隙間から外側に流出させる手法が開示されている。また、下記の特許文献２にも、同様の構成が開示されており、カバー（フード）とガラス基板の隙間から流出した水を、ガラス基板の端面に向かって流すことで、この流出した水を研削液として利用する手法が提案されている。
【０００６】
しかしながら、上記の特許文献１や特許文献２に開示される手法では、ガラス基板の表面に切粉が付着するのを防止するためにカバーを配設する必要があることから、カバーを配設するスペースの確保や、カバーを保持する機構等が別途必要となることから、装置の不当な大型化や複雑化を招くと共に、これに伴う装置コストの高騰をも招くことになる。しかも、近年、液晶ディスプレイ用のガラス基板に代表されるように、各種ガラス基板には、大型化が推進されていることからも、ガラス基板の表面を覆うカバーをより大型化することが必要となり、上記の問題はより顕著なものとなって現れる。したがって、かかる手法は、実用的な対策とは成り得ない。
【０００７】
そこで、上記のようなカバーを用いることなく、切粉によるガラス基板の表面の汚染を防止する対策が提案されている。
【０００８】
例えば、下記の特許文献３には、ガラス基板の端面の研削が実行されるガラス基板の研削部よりもガラス基板の搬送方向下流側に、ガラス基板の表面に沿ってガラス基板の内側から外側に向かって流れる水流を生成する水ノズルと、同方向に流れる空気流を生成する空気ノズルとを搬送方向に間隔を空けて配設することにより、ガラス基板の端部に付着した切粉を水流で洗浄した後、その洗浄水を空気流でガラス基板外側に排出する方法が開示されている。また、別途空気ノズルを配設し、ガラス基板の表面に沿ってガラス基板の内側から研削部に向かって流れる空気流を生成する手法も開示されている。
【０００９】
なお、下記の特許文献４は、ガラス基板の切削装置に関するものであるが、ガラス基板の切削が実行される切削部から離れた位置に形成されたウォーターカーテンによって、ガラス基板の表面に沿ってガラス基板の端部側（切削部側）に流れる水流を形成し、この水流によってガラス基板の表面に略直交するように噴出された切削水をガラス基板の端部外方へ排出することで、切削水に含まれる切粉のガラス基板の表面への付着を防止することが開示されている。
【特許文献１】特開平１０−６１９５号公報
【特許文献２】特開平１０−５８２９３号公報
【特許文献３】特開２００６−２６７６６号公報
【特許文献４】特開平１１−２６７９４０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ところで、回転砥石等の研削手段によってガラス基板の端面を研削する際に、飛散する研削液に含まれる切粉は、ガラス基板の表面に沿うように高速で飛散することが多く、このような場合には、切粉がガラス基板の表面に勢いよく接触して、ガラス基板の表面に微小な傷が多数生じ得る。そして、ガラス基板の表面に付着した切粉自体は、事後的にガラス基板を洗浄することにより除去することは可能であるが、切粉によってガラス基板の表面に傷が生じた場合には、その傷を取り除くことは実質的には不可能となる。特に、液晶ディスプレイ用のガラス基板に代表されるように、表面に高い平滑度が要求されるガラス基板においては、このような傷は致命的な欠陥となりやすく、製品価値の低下を招くのみならず、ひいては不良品として取り扱われるという事態をも招くことになる。
【００１１】
したがって、ガラス基板の端面を研削する場合には、切粉によってガラス基板の表面に傷が生じるという事態を如何にして抑制するかという事が重要となるが、このような観点から何ら対策が講じられていないのが実情である。すなわち、上記の特許文献３、４のいずれもが、切粉によるガラス基板の表面の汚染を防止することを目的とするものであって、かかる切粉によってガラス基板の表面に傷が生じるという事態については何ら考慮されていない。詳述すると、上記の特許文献３に開示の手法は、ガラス基板の研削部よりもガラス基板の搬送方向下流側に、ガラス基板の表面に沿うように形成された水流と空気流とによって、ガラス基板の表面に付着した切粉をガラス基板の端部外方へ排出するようにしていることから、ガラス基板の研削部から飛散する研削液に含まれる切粉が、ガラス基板の表面に沿う方向に勢いよく流れながらガラス基板の表面に付着した場合には、付着した切粉が水流と空気流によって排出される段階では既にガラス基板の表面に傷が生じているおそれがある。また、同文献に開示されているように、ガラス基板の研削部に向かって別途空気流を形成したとしても、研削液に含まれる切粉のガラス基板に沿う流れを的確に遮断することは困難であり、依然として切粉によってガラス基板の表面に傷が生じるおそれがある。
【００１２】
他方、上記の特許文献４に開示の手法であっては、ガラス基板の表面に対して略直交するように噴出された切削水に対して、ウォーターカーテンによって形成されたガラス基板の表面に沿う水流を接触させていることから、切削水がガラス基板の表面に沿う方向に加速されながら流されるおそれがある。そして、このような事態が生じた場合には、切削水に含まれる切粉が、ガラス基板の表面に擦れながら勢いよく接触し、ガラス基板の表面に傷が生じるおそれがある。
【００１３】
本発明は、研削時に、飛散する研削液に含まれる切粉によって、ガラス基板の表面に傷が生じるという事態を確実に抑制することを技術的課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記課題を解決するために創案された本発明に係る第１の装置は、ガラス基板に対して相対移動しながらガラス基板の端面を研削する研削手段と、ガラス基板の研削部周辺に研削液を供給する研削液供給手段とを備えたガラス基板の端面研削装置において、前記研削手段によってガラス基板の端面を研削するに際して、飛散する研削液に含まれる切粉のガラス基板の表面に沿う流れを遮断するように、水を噴出する水噴出手段を備えていることに特徴づけられる。
【００１５】
このような装置によれば、研削時に飛散する研削液に含まれる切粉は、水噴出手段から噴出された水によって、ガラス基板の表面に沿う流れが遮断される。すなわち、切粉のガラス基板の表面に沿う移動速度は、水噴射手段から噴出された水と接触した後、低下することになる。したがって、仮に、研削液に含まれる切粉が、ガラス基板の表面に到達したとしても、その切粉が勢いよくガラス基板の表面に接触することがなくなるので、ガラス基板の表面に傷が生じるという事態を確実に抑制することが可能となる。また、飛散する切粉を含んだ研削液は、水噴出手段から噴出した水と接触することで希釈化され、その結果として切粉とガラス基板の表面との間に液体が十分介在することになるので、切粉がガラス基板の表面と接触する確率自体を低減することも可能となる。
【００１６】
また、上記の課題を解決するために創案された本発明に係る第２の装置は、ガラス基板に対して相対移動しながらガラス基板の端面を研削する研削手段と、ガラス基板の研削部周辺に研削液を供給する研削液供給手段とを備えたガラス基板の端面研削装置において、前記研削手段によってガラス基板の端面を研削するに際して、切粉を含んだ状態で飛散する研削液に対して水を噴出し、該噴出した水と接触した後の切粉のガラス基板の表面に沿う移動速度を低下させる水噴出手段を備えていることに特徴づけられる。
【００１７】
このような装置によれば、研削時に飛散する研削液に含まれる切粉は、水噴出手段によって噴出された水と接触した後、そのガラス基板の表面に沿う移動速度が低下する。したがって、仮に、切粉が、ガラス基板の表面に到達したとしても、その切粉が勢いよくガラス基板の表面に接触することがなくなるので、ガラス基板の表面に傷が生じるという事態を確実に抑制することが可能となる。また、飛散する切粉を含んだ研削液は、水噴出手段から噴出した水と接触することで希釈化され、その結果として切粉とガラス基板の表面との間に液体が十分介在することになるので、切粉がガラス基板の表面と接触する確率自体を低減することも可能となる。
【００１８】
上記の装置において、前記水噴出手段は、ガラス基板の内側からガラス基板の端部に向かって水を傾斜させた状態で噴出するように構成されていることが好ましい。
【００１９】
このようにすれば、水噴出手段から噴出した水によって移動速度が低下された切粉（切粉を含む研削液）をガラス基板の端部外方へと円滑に排出することができ、ガラス基板の表面を清浄な状態に保つことが可能となる。
【００２０】
上記の装置において、前記水噴出手段から噴出された水は、ウォーターカーテンを形成していることが好ましい。
【００２１】
このようにすれば、飛散した研削液に含まれる切粉と、水噴出手段から噴出された水（ウォーターカーテン）とが、確実に接触するので、切粉によるガラス基板表面への傷の発生をより確実に抑制することが可能となる。
【００２２】
上記の装置において、前記研削手段が、ガラス基板の表面と直交する軸を中心として回転する回転砥石で構成され、且つその回転方向が、ガラス基板の研削部において前記回転砥石に対するガラス基板の移動方向と逆向きとなる方向であることが好ましい。
【００２３】
このようにすれば、研削すべきガラス基板の板厚が、非常に薄い場合であっても、その端面に面取り等の研削を円滑且つ確実に実行することができる。具体的には、例えば回転砥石の研削面を断面円弧状の凹部とすることで、単一の回転砥石で、ガラス基板の端面のＲ面取りを実行することが可能となる。
【００２４】
この場合、前記研削液供給手段は、ガラス基板の研削完了領域側からガラス基板の研削部周辺に向かって研削液を噴出するように構成され、且つ、前記水噴出手段は、ガラス基板の未研削領域に重点的に水を噴出するように構成されていることが好ましい。
【００２５】
研削液は、ガラス基板の過熱を防止したり、摩擦を低減するという機能を有するため、ガラス基板の研削部に的確に供給することが望ましく、上記のように回転砥石を配置した場合（特に回転砥石の研削面を断面円弧状の凹部とした場合）には、ガラス基板の研削完了領域側からガラス基板の研削部周辺に向かって研削液を噴出することで、ガラス基板の研削部に的確に研削液を的確に供給することが可能となる。このとき、供給された研削液は、回転砥石の回転方向（ガラス基板の研削部において回転砥石に対するガラス基板の移動方向と逆向きとなる方向）に起因して、ガラス基板の未研削領域側へと勢いよく飛散する。そこで、水噴出手段からこの未研削領域に水を重点的に噴出することで、研削液に含まれる切粉によるガラス基板表面への傷の発生を確実に抑制することが可能となる。
【００２６】
上記課題を解決するために創案された本発明に係る第１の方法は、ガラス基板の研削部周辺に研削液を供給しながら、研削手段をガラス基板に対して相対移動させてガラス基板の端面を研削するガラス基板の端面研削方法において、前記研削手段によってガラス基板の端面を研削するに際して、飛散する研削液に含まれる切粉のガラス基板の表面に沿う流れを遮断するように、水を噴出することに特徴づけられる。
【００２７】
このような方法によれば、上記の段落［００１５］に記載した事項と同様の作用効果を享受することができる。
【００２８】
また、上記課題を解決するために創案された本発明に係る第２の方法は、ガラス基板の研削部周辺に研削液を供給しながら、該研削手段をガラス基板に対して相対移動させてガラス基板の端面を研削するガラス基板の端面研削方法において、前記研削手段によってガラス基板の端面を研削するに際して、切粉を含んだ状態で飛散する研削液に対して水を噴出し、該噴出した水と接触した後の切粉のガラス基板の表面に沿う移動速度を低下させることに特徴づけられる。
【００２９】
このような方法によれば、上記の段落［００１７］に記載した事項と同様の作用効果を享受することができる。
【発明の効果】
【００３０】
以上のように本発明によれば、水噴出手段から噴出された水により、研削時に飛散する研削液に含まれる切粉のガラス基板の表面に沿う移動速度が低下させるので、仮に切粉がガラス基板表面に接触した場合であっても、ガラス基板の表面に傷が生じるという事態を的確に抑制することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
以下、本発明の実施形態を添付図面を参照して説明する。
【００３２】
先ず、図１に示す概略平面図に基づいて、本発明の一実施形態に係るガラス基板の端面研削装置の全体構成を説明する。なお、本実施形態では、ガラス基板は、液晶ディスプレイ用のガラス基板とする。
【００３３】
同図に示すように、この端面研削装置１は、上流側搬送手段２Ａによりガラス基板３を水平姿勢で水平方向（同図の右方向）に搬送すると共に、その下流側に隣接する旋回手段２Ｘによりガラス基板３を９０°水平旋回させ、更にその下流側に隣接する下流側搬送手段２Ｂにより水平旋回後のガラス基板３を同方向に搬送する構成とされている。なお、上流側搬送手段２Ａと下流側搬送手段２Ｂは、実質的に同一の構成を備えているので、下記では上流側搬送手段２Ａについて具体的に説明し、下流側搬送手段２Ｂについては具体的な説明を省略する。
【００３４】
上流側搬送手段２Ａは、ガラス基板３を例えば真空吸着等によって位置決めした状態で搬送し得るように構成されている。さらに、この上流側搬送手段２Ａ上に位置決めされた状態で搬送されるガラス基板３の左右両側方（搬送方向と直交する方向の両側方）には、研削手段としての一対の回転砥石４が配設されている。そして、各回転砥石４によって研削されるガラス基板３の研削部５の周辺には、研削液供給手段６から研削液（例えば、純水）７が供給されるようになっている。
【００３５】
詳述すると、上記の回転砥石４は、ガラス基板３の表面に対して直交する軸を中心として回転するように構成されており、その回転方向は、ガラス基板３の研削部５においてガラス基板３の搬送方向と逆向きとなる方向（搬送方向の下流側から上流側に向く方向）とされている。なお、図示しないが、回転砥石４の外周面（研削面）は、本実施形態では断面略円弧状の凹部を呈し、ガラス基板３の端面を一度にＲ面取りするように構成されている。
【００３６】
また、上記の研削液供給手段６は、ガラス基板３の搬送方向における回転砥石４よりも下流側（ガラス基板３の研削完了領域側）から、ガラス基板３の研削部５と接触する直前の回転砥石４の研削面に向かって、ガラス基板の表面と略平行に研削液７を噴出するように構成されている。このようにすれば、ガラス基板３の研削部５に円滑に研削液７を供給することが可能となり、ガラス基板の端面研削を安定して行うことができる。
【００３７】
一方、このようにガラス基板３の研削部５の周辺に供給された研削液７は、切粉を含んだ状態で、ガラス基板３の研削部５周辺からその内側の中央部に向かって、概ねガラス基板３の表面に沿うように勢いよく飛散する。そこで、図１および図２に示すように、ガラス基板３の両端部にそれぞれ水噴出手段８を配設し、この水噴出手段８から水をガラス基板３の端部に向かって噴出することで、水噴出手段８の先端とガラス基板３の端部との間にウォーターカーテン９を形成している。詳述すると、このウォーターカーテン９は、飛散する研削液７に含まれる切粉のガラス基板３の表面に沿う流れを遮断するように、研削液７に含まれる切粉のガラス基板３の表面に沿う流れ方向と交差する方向（図例では、ガラス基板３の端辺と略平行な方向）に沿って形成されている。このようにすれば、研削部５周辺から飛散する研削液７に含まれる切粉のガラス基板３の表面に沿う流れは、ウォーターカーテン９によって遮断される。すなわち、切粉のガラス基板３の表面に沿う移動速度は、切粉（切粉を含んだ研削液７）がウォーターカーテン９と接触した後、低下することになる。したがって、仮に、研削液７に含まれる切粉が、ガラス基板３の表面に到達したとしても、その切粉が勢いよくガラス基板３の表面に接触することがなくなるので、ガラス基板３の表面に傷が生じるという事態を確実に抑制することが可能となる。また、飛散する切粉を含んだ研削液７は、ウォーターカーテン９（水噴出手段８から噴出した水）と接触することで希釈化され、その結果として切粉とガラス基板３の表面との間に液体が十分介在することになるので、切粉がガラス基板３の表面と接触する確率自体を低減することも可能となる。なお、水噴出手段８から噴出される水の水量は、例えば４〜６リットル／分に設定される。
【００３８】
さらに、本実施形態では、ウォーターカーテン９は、ガラス基板３の内側上方からガラス基板３の端部に向かって斜め下方に水を噴出することで形成されている。したがって、ウォーターカーテン９によってガラス基板３の表面に沿う移動速度が低減された切粉を含む研削液７をガラス基板３の端部外方へと好適に排出することができ、ガラス基板３の表面を清浄な状態に保つことも可能となる。より具体的には、ガラス基板３の端部に向かってウォーターカーテン９を形成することで、液晶ディスプレイ用のガラス基板の中央部に形成される有効面に傷が生じることを的確に防止し、且つその有効面を清浄な状態に保つことができる。
【００３９】
また、この実施形態ではウォーターカーテン９は、回転砥石４の下流側の領域（ガラス基板３の研削完了領域）よりもその上流側の領域（ガラス基板３の未研削領域）の方が長尺となるように、ガラス基板３の端部と略平行に形成されている。これは、ガラス基板３の表面と直交する軸を中心として回転する前記回転砥石４によって、研削液７がガラス基板の上流側の領域に多く飛散することから、かかる領域（未研削領域）に重点的に水を供給するためである。
【００４０】
なお、本発明は、以下に示すような種々の変形が可能である。
【００４１】
例えば、上記の実施形態では、ガラス基板３の上面側にのみ、水噴出手段８を配設したものを説明したが、必要に応じて、ガラス基板３の下面側にも水噴出手段を配設してもよい。
【００４２】
また、上記の実施形態では、ガラス基板３の端部と略平行にウォーターカーテン９を形成するものを説明したが、例えば、図３に示すように、ウォーターカーテン９ａをガラス基板３の端辺と平行な線と交差するように形成してもよい。このようにすれば、ウォーターカーテン９ａは、ガラス基板３の端部に対して、その幅方向にある程度の幅をもって水を噴出することで形成されることになるので、ガラス基板３の搬送経路上におけるばたつきを抑え、安定した姿勢でガラス基板３を搬送することが可能となる。
【００４３】
また、上記の実施形態では、ガラス基板３を搬送しながら、その搬送経路の側方に固定配設された研削手段（回転砥石４）でガラス基板３の端面を研削するものを説明したが、例えばガラス基板を固定した状態で、研削手段をガラス基板の研削すべき端部に沿って移動させてもよいし、或いはガラス基板と研削手段との双方を相対移動させるようにしてもよい。このように、研削手段を移動される場合には、研削液供給手段と、水供給手段との双方を、研削手段と共に移動可能に構成することが好ましい。さらに、回転砥石を研削すべきガラス基板の端部に沿って複数個隣接させて研削手段を構成してもよい。この場合、各回転砥石に対応する位置に、研削液供給手段と、水供給手段とをそれぞれ配設することが好ましい。
【００４４】
さらに、上記の実施形態では、液晶用ディスプレイ用のガラス基板の端面を研削する場合を例にとって説明したが、本発明に係るガラス基板の端面研削装置およびその方法は、液晶ディスプレイ用のガラス基板の他に、プラズマディスプレイ、エレクトロルミネッセンスディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイ等の各種画像表示機器用のガラス基板や、各種電子表示機能素子や薄膜を形成するための基材として用いられるガラス基板のように、表面に高い平滑度が要求されるガラス基板の端面研削に際しても好適に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の実施形態に係るガラス基板の端面研削装置の全体構成を示す概略平面図である。
【図２】前記端面研削装置の要部を示す概略斜視図である。
【図３】前記端面研削装置の変形例を示す概略斜視図である。
【符号の説明】
【００４６】
１     端面研削装置
３     ガラス基板
４     回転砥石
５     研削部
６     研削液供給手段
７     研削液
８     水噴出手段
９     ウォーターカーテン
【図１】
2008087135.tif 000003
【図２】
2008087135.tif 000004
【図３】
2008087135.tif 000005