【手続補正書】
【提出日】平成20年12月12日(2008.12.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ソフトウェアによる制御に基づいて基板を処理する基板処理装置であって、
ネットワークを介して接続するライセンス情報提供装置より前記ソフトウェアに対するライセンス情報を定期的に受信するライセンス情報受信手段と、
前記ライセンス情報提供装置のネットワーク上のアドレス情報を前記ライセンス情報より抽出するライセンス情報解析手段と、
前記ライセンス情報より抽出された前記アドレス情報と当該基板処理装置に予め保存されている前記ライセンス情報提供装置の前記アドレス情報とを比較するライセンス判定手段とを有し、
二つの前記アドレス情報の値が一致しない場合は、前記ソフトウェアの少なくとも一部の機能の実行を制限することを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
前記ライセンス情報解析手段は、前記基板処理装置ごとに固有の値を有する装置固有情報を前記ライセンス情報より抽出し、
前記ライセンス判定手段は、前記ライセンス情報より抽出された前記装置固有情報と当該基板処理装置の前記装置固有情報とを比較し、
二つの前記装置固有情報の値が一致しない場合は、前記ソフトウェアの少なくとも一部の機能の実行を制限することを特徴とする請求項１記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記ライセンス情報解析手段は、前記ソフトウェアの使用が許可される前記基板処理装置の前記アドレス情報を前記ライセンス情報より抽出し、
前記ライセンス判定手段は、前記ライセンス情報より抽出された前記基板処理装置の前記アドレス情報と当該基板処理装置に設定されている前記アドレス情報とを比較し、
二つの前記アドレス情報が一致しない場合は、前記ソフトウェアの少なくとも一部の機能の実行を制限することを特徴とする請求項１又は２いずれか一項記載の基板処理装置。
【請求項４】
前記基板処理装置に予め保存されている前記ライセンス情報提供装置の前記アドレス情報は、前記ライセンス情報提供装置より最初に受信された前記ライセンス情報に含まれていたものであることを特徴とする請求項１乃至３いずれか一項記載の基板処理装置。
【請求項５】
前記ライセンス情報が受信されたときからの相対的な時間の経過を管理する期限管理手段と、
前記相対的な時間の経過が前記ライセンス情報の有効期限の所定の期間内に達したときに、前記ライセンス情報の更新要求を前記ライセンス情報提供装置に送信するライセンス情報要求手段とを有することを特徴とする請求項１乃至４いずれか一項記載の基板処理装置。
【請求項６】
前記ライセンス情報の更新要求が送信されてから所定の期間内に前記ライセンス情報が受信されない場合は、前記ソフトウェアの少なくとも一部の機能の実行を制限することを特徴とする請求項５記載の基板処理装置。
【請求項７】
ソフトウェアによる制御に基づいて基板を処理する基板処理装置に、
ネットワークを介して接続するライセンス情報提供装置より前記ソフトウェアに対するライセンス情報を定期的に受信するライセンス情報受信手順と、
前記ライセンス情報提供装置のネットワーク上のアドレス情報を前記ライセンス情報より抽出するライセンス情報解析手順と、
前記ライセンス情報より抽出された前記アドレス情報と当該基板処理装置に予め保存されている前記ライセンス情報提供装置の前記アドレス情報とを比較するライセンス判定手順とを実行させ、
二つの前記アドレス情報の値が一致しない場合は、前記ソフトウェアの少なくとも一部の機能の実行を制限させるためのライセンス管理プログラム。
【請求項８】
前記ライセンス情報解析手順は、前記基板処理装置ごとに固有の値を有する装置固有情報を前記ライセンス情報より抽出し、
前記ライセンス判定手順は、前記ライセンス情報より抽出された前記装置固有情報と当該基板処理装置の前記装置固有情報とを比較し、
二つの前記装置固有情報の値が一致しない場合は、前記ソフトウェアの少なくとも一部の機能の実行を制限させることを特徴とする請求項７記載のライセンス管理プログラム。
【請求項９】
前記ライセンス情報解析手順は、前記ソフトウェアの使用が許可される前記基板処理装置の前記アドレス情報を前記ライセンス情報より抽出し、
前記ライセンス判定手順は、前記ライセンス情報より抽出された前記基板処理装置の前記アドレス情報と当該基板処理装置に設定されている前記アドレス情報とを比較し、
二つの前記アドレス情報が一致しない場合は、前記ソフトウェアの少なくとも一部の機能の実行を制限させることを特徴とする請求項７又は８いずれか一項記載のライセンス管理プログラム。
【請求項１０】
前記基板処理装置に予め保存されている前記ライセンス情報提供装置の前記アドレス情報は、前記ライセンス情報提供装置より最初に受信された前記ライセンス情報に含まれていたものであることを特徴とする請求項７乃至９いずれか一項記載のライセンス管理プログラム。
【請求項１１】
前記ライセンス情報が受信されたときからの相対的な時間の経過を管理する期限管理手順と、
前記相対的な時間の経過が前記ライセンス情報の有効期限の所定の期間内に達したときに、前記ライセンス情報の更新要求を前記ライセンス情報提供装置に送信するライセンス情報要求手順とを有することを特徴とする請求項７乃至１０いずれか一項記載のライセンス管理プログラム。
【請求項１２】
前記ライセンス情報の更新要求が送信されてから所定の期間内に前記ライセンス情報が受信されない場合は、前記ソフトウェアの少なくとも一部の機能の実行を制限させることを特徴とする請求項１１記載のライセンス管理プログラム。
【請求項１３】
請求項７乃至１２いずれか一項記載のライセンス管理プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【請求項１４】
請求項１乃至６いずれか一項記載の基板処理装置とネットワークを介して接続するライセンス情報提供装置であって、
当該ライセンス情報提供装置の前記アドレス情報に基づいて前記ライセンス情報を生成するライセンス情報生成手段と、
前記ライセンス情報を前記基板処理装置に送信するライセンス情報送信手段とを有することを特徴とするライセンス情報提供装置。
【請求項１５】
前記ソフトウェアの使用が許可される前記基板処理装置の前記固有情報を管理するライセンス管理手段を有し、
前記ライセンス情報生成手段は、前記ライセンス管理手段に管理されている前記固有情報に基づいて前記ライセンス情報を生成することを特徴とする請求項１４記載のライセンス情報提供装置。
【請求項１６】
前記ライセンス管理手段は、前記ソフトウェアの使用が許可される前記基板処理装置の前記アドレス情報を管理し、
前記ライセンス情報生成手段は、前記ソフトウェアの使用が許可される前記基板処理装置の前記アドレス情報に基づいて前記ライセンス情報を生成することを特徴とする請求項１５記載のライセンス情報提供装置。
【請求項１７】
前記基板処理装置より前記ライセンス情報の更新要求を受信する更新要求受信手段と、
前記更新要求に含まれている、前記更新要求の送信元の前記基板処理装置の前記固有情報と、前記ライセンス管理手段に管理されている前記装置固有情報とを比較することにより前記ライセンス情報の更新の許否を判定する更新判定手段とを有し、
前記ライセンス情報生成手段は、前記更新判定手段によって前記ライセンス情報の更新が許可された場合に前記ライセンス情報を生成することを特徴とする請求項１５又は１６記載のライセンス情報提供装置。
【請求項１８】
当該ライセンス情報提供装置がネットワークに接続されているか否かを判定するネットワーク接続判定手段を有し、
前記ライセンス情報生成手段は、該ライセンス情報提供装置がネットワークに接続されていると判定された場合に前記ライセンス情報を生成することを特徴とする請求項１４乃至１７いずれか一項記載のライセンス情報提供装置。
【請求項１９】
請求項１乃至６いずれか一項記載の基板処理装置とネットワークを介して接続するライセンス情報提供装置に、
当該ライセンス情報提供装置の前記アドレス情報に基づいて前記ライセンス情報を生成するライセンス情報生成手順と、
前記ライセンス情報を前記基板処理装置に送信するライセンス情報送信手順とを実行させるためのライセンス情報提供プログラム。
【請求項２０】
前記ソフトウェアの使用が許可される前記基板処理装置の前記固有情報を管理するライセンス管理手順を有し、
前記ライセンス情報生成手順は、前記ライセンス管理手順において管理されている前記固有情報に基づいて前記ライセンス情報を生成することを特徴とする請求項１９記載のライセンス情報提供プログラム。
【請求項２１】
前記ライセンス管理手順は、前記ソフトウェアの使用が許可される前記基板処理装置の前記アドレス情報を管理し、
前記ライセンス情報生成手順は、前記ソフトウェアの使用が許可される前記基板処理装置の前記アドレス情報に基づいて前記ライセンス情報を生成することを特徴とする請求項２０記載のライセンス情報提供プログラム。
【請求項２２】
前記基板処理装置より前記ライセンス情報の更新要求を受信する更新要求受信手順と、
前記更新要求に含まれている、前記更新要求の送信元の前記基板処理装置の前記固有情報と、前記ライセンス管理手順において管理されている前記装置固有情報とを比較することにより前記ライセンス情報の更新の許否を判定する更新判定手順とを有し、
前記ライセンス情報生成手順は、前記更新判定手順において前記ライセンス情報の更新が許可された場合に前記ライセンス情報を生成することを特徴とする請求項２０又は２１記載のライセンス情報提供プログラム。
【請求項２３】
当該ライセンス情報提供装置がネットワークに接続されているか否かを判定するネットワーク接続判定手順を有し、
前記ライセンス情報生成手順は、該ライセンス情報提供装置がネットワークに接続されていると判定された場合に前記ライセンス情報を生成することを特徴とする請求項１９乃至２２いずれか一項記載のライセンス情報提供プログラム。
【請求項２４】
請求項１９乃至２４いずれか一項記載のライセンス情報提供プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【請求項２５】
ソフトウェアによる制御に基づいて基板を処理する基板処理装置と、前記基板処理装置に対して前記ソフトウェアに関するライセンス情報を提供するライセンス情報提供装置とを有するライセンス管理システムであって、
前記基板処理装置は、
前記ライセンス情報提供装置より前記ソフトウェアに対するライセンス情報を定期的に受信するライセンス情報受信手段と、
前記ライセンス情報提供装置のネットワーク上のアドレス情報を前記ライセンス情報より抽出するライセンス情報解析手段と、
前記ライセンス情報より抽出された前記アドレス情報と当該基板処理装置に予め保存されている前記ライセンス情報提供装置の前記アドレス情報とを比較するライセンス判定手段とを有し、
二つの前記アドレス情報の値が一致しない場合は、前記ソフトウェアの少なくとも一部の機能の実行を制限することを特徴とするライセンス管理システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
ＭＣ９０及び９１は、それぞれ処理システム５及び搬送システム６の動作を制御する副制御部（スレーブ制御部）である。各ＭＣは、ＤＩＳＴ（Distribution）ボード９６によってＧＨＯＳＴネットワーク９５を介してＩ／Ｏ（入出力）モジュール９７又は９８にそれぞれ接続される。ＧＨＯＳＴネットワーク９５は、ＭＣが有するＭＣボードに搭載されたＧＨＯＳＴ（General High-Speed Optimum Scalable Transceiver）と称されるＬＳＩによって実現されるネットワークである。ＧＨＯＳＴネットワーク９５には、最大で３１個のＩ／Ｏモジュールを接続可能であり、ＧＨＯＳＴネットワーク９５では、ＭＣがマスタに該当し、Ｉ／Ｏモジュールがスレーブに該当する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
初期キー６２１が、メーカーにおいて生成される場合、基板処理装置２のユーザは、キーサーバアドレス及び装置アドレスを決めた後、それらの値と装置シリアル番号とをメーカーに対して電子メール又は郵便等によって通知する。メーカーは、通知された情報に基づいて初期キー６２１をキー生成アルゴリズムを用いて生成し、生成された初期キー６２１をＣＤ−ＲＯＭやフロッピー（登録商標）ディスク等の記録媒体によって、又はネットワークを介してユーザに配布する。なお、初期キー６２１のライセンスキーサーバ６０への入力は、メーカーの作業員に限られず、ユーザによって行われてもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
期限管理部８４は、ライセンスキーが受信されたときからの相対的な時間の経過を管理することにより、ライセンスキーの有効期限の満了を検知する。期限管理部８４は、例えば、ライセンスカウンタ８０５を用いてライセンスキーの有効期限の満了を検知する。ライセンスカウンタ８０５は、ライセンスキーが受信された際に初期化され、そのご単位時間ごと（例えば、１日ごと）にインクリメントされるカウンタである。期限管理部８４は、カウンタの値がライセンスキーの有効期限を示す値に達したとき、又はライセンスキーの有効期限の所定期間内の値に達したとき、キー更新部８５に対してライセンスキーの更新を指示する。なお、タイマーによる絶対的な日付ではなく相対値であるライセンスカウンタ８０５によって有効期限を管理することで、基板処理装置２のタイマーの日付の変更によるライセンスキーの有効期限の不正な延長を防止することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
なお、図４では、ライセンスキーサーバ６０と基板処理装置２とが一対一の関係で示されているが、一台のライセンスキーサーバ６０が、複数台の基板処理装置２に対してライセンスキーを提供するようにしてもよい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６３】
続いて、キー解析部８２は、初期キー６２１の正当性が認められたことを受け、初期キー６２１より解読されたキーサーバアドレスを初期値のキーサーバアドレス８０２として、また、解読されたライセンス日付をライセンス日付８０１として保存する（Ｓ２０７）。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７２】
両者が一致する場合（Ｓ３０７でＹｅｓ）、ライセンス判定部８３は、解読された装置シリアル番号（すなわち、初期キー６２１に含まれていた装置シリアル番号）と予め基板処理装置２内に保存されている装置シリアル番号８０４とを比較することにより、当該更新キーが確かに当該基板処理装置２に対するものであるか否かを判定する。両者が一致すれば、当該更新キーは当該基板処理装置２に対するものであると判定する。両者が異なれば、当該更新キーは当該基板処理装置２に対するものでないと判定する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７７】
更新判定部６５は、受け取った装置シリアル番号８０４と装置アドレス８０３との組を、ライセンス管理部６３に保存されている装置シリアル番号及び装置アドレスの組と比較することにより、ライセンスキーの更新要求元がライセンスキーが発行されている基板処理装置２であるか否かを判定する（Ｓ４０２）。装置シリアル番号８０４と装置アドレス８０３との組が、ライセンス管理部６３に管理されている一覧に含まれていない場合（Ｓ４０２）、更新判定部６５は、更新要求元はライセンス対象ではないとして、その後の処理を中止する。したがって、この場合、更新キーの発行は行われない。なお、ここで、装置シリアル番号８０４が、ライセンス管理部６３に保存されている値に一致する場合に、装置アドレス８０３のみが異なる場合は、基板処理装置２がネットワーク上移動された蓋然性が認められる。したがって、ステップＳ４０２においても、基板処理装置２の移動は検出され得る。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８２】
すなわち、ユーザが、基板処理装置２におけるソフトウェアの使用を継続したい場合、ライセンスキーサーバ６０がネットワークを介して接続されていなければならない。ライセンスキーサーバ６０が接続されていなければ、更新キーが提供されないからである。そこで、ユーザが、基板処理装置２とライセンスキーサーバ６０とを一緒に転売し、移設しようとしたとする。しかし、この場合、キーサーバアドレス６２２のＩＰアドレスは、移設先のネットワークに対応するものに変更されなければならない。その結果、更新キーに含まれるキーサーバアドレス６２２と、基板処理装置２に保存されている初期値のキーサーバアドレス８０２とが一致せず（図７のＳ３０６でＮｏ）、機能制限フラグはＯＮにされる。なお、移設後のキーサーバアドレス６２２と、初期値のキーサーバアドレス８０２との不一致を避けるために、キーサーバアドレス６２２の値を変更しないままにしておくのは困難である。更新キーの生成時には、ネットワーク接続判定部６６によりライセンスキーサーバ６０がネットワークに接続されていることが確認されるところ（図８のＳ４０３）、キーサーバアドレスが変更されないままでは、移設先のネットワークに正常に接続できないからである。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８９】
なお、ライセンスキーサーバ６０も共に転売により移設する場合は、キーサーバアドレス６２２を変更せざるをえない。したがって、この場合も、機能制限フラグ８０６はＯＮとされ、ソフトウェアの不正使用は効果的に制限される。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９１】
図１０において、ライセンスキーサーバ６０は、インターネット等の広域ネットワーク１８０を介して基板処理装置２と接続されている。基板処理装置２は、ネットワーク１７０を介して広域ネットワーク１８０と接続している。第三の実施の形態は、ライセンスキーサーバ６０が、基板処理装置２のメーカー側に設置されている場合等に考えられる構成例である。基板処理装置２の概略構成例（図１）、ライセンスキーサーバ６０のハードウェア構成例（図３）、及びライセンス管理システムを実現するためのライセンスキーサーバ６０と基板処理装置２との機能構成例（図４）は、第一の実施の形態と同様でよい。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９６】
図１における基板処理装置２と図１１における基板処理装置３とについて大きく異なる点は、基板処理装置２が４つの処理チャンバ（１２Ａ〜１２Ｄ）を有しているのに対し、基板処理装置３は６つの処理チャンバ（１２Ａ〜１２Ｆ）を有している点である。また、移載室８の構成についても異なり、基板処理装置３における移載アーム部１６は、レール１７Ａ及び１７Ｂに沿った直進運動とアームの起点を中心とした回転運動とによってウエハＷを搬送する。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０９】
第２のプロセスシップ２１２は、ウエハＷにＣＯＲ処理を施す第２の真空処理室としての第２のプロセスユニット２３４と、該第２のプロセスユニット２３４に真空ゲートバルブ２３５を介して接続された、ウエハＷにＰＨＴ処理を施す第３の真空処理室としての第３のプロセスユニット２３６と、第２のプロセスユニット２３４及び第２のプロセスユニット２３６にウエハＷを受け渡すリンク型シングルピックタイプの第２の搬送アーム２３７を内蔵する第２のロード・ロックユニット２４９とを有する。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１９】
第２のロード・ロックユニット２４９は、第２の搬送アーム２３７を内蔵する筐体状の搬送室２７０を有する。また、ローダーユニット２１３の内部圧力は大気圧に維持される一方、第２のプロセスユニット２３４及び第３のプロセスユニット２３６の内部圧力は真空に維持される。このため、第２のロード・ロックユニット２４９は、第３のプロセスユニット２３６との連結部に真空ゲートバルブ２５４を備えると共に、ローダーユニット２１３との連結部に大気ドアバルブ２５５を備えることによって、その内部圧力を調整可能な真空予備搬送室として構成される。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３６】
図１６において、ＭＣ２９０，２９１，２９２は、それぞれ第１のプロセスシップ２１１、第２のプロセスシップ２１２及びローダーユニット２１３の動作を制御する副制御部（スレーブ制御部）である。各ＭＣが、ＤＩＳＴ（Distribution）ボード９６によってＧＨＯＳＴネットワーク９５を介して各Ｉ／Ｏ（入出力）モジュール２９７，２９８，２９９にそれぞれ接続される点は、図２と同様である。