【手続補正書】
【提出日】平成21年4月28日(2009.4.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の撮像手段と、移動可能な載置台に設けられた第２の撮像手段と、を備えたアライメント機構を用いて、プローブの先端の水平方向の位置を検出するに先立って、上記載置台の上方に配置された複数のプローブの先端の高さを検出する方法であって、
上記第１の撮像手段を用いて、上記載置台に設けられた荷重センサの高さを検出する第１の工程と、
上記載置台を移動させて、上記荷重センサと上記プローブとを接触させて上記プローブの先端の高さを、上記載置台の移動量に基づいて検出する第２の工程と、を備え、
上記第１の工程と第２の工程の間で、ピンを用いて上記荷重センサの動作を確認する
ことを特徴とするプローブ先端の検出方法。
【請求項２】
上記第１の工程に先立って、上記第２の撮像手段を用いて上記ピンの高さを検出することを特徴とする請求項１に記載のプローブ先端の検出方法。
【請求項３】
上記第１の撮像手段を用いて、上記荷重センサの高さを再確認する工程を備えたことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のプローブ先端の検出方法。
【請求項４】
第１の撮像手段と、移動可能な載置台に設けられた第２の撮像手段と、を備えたアライメント機構を用いて、上記載置台の上方に配置された複数のプローブの位置合わせを行うアライメント方法であって、
上記載置台を移動させて、上記載置台に設けられた荷重センサと上記プローブとを接触させて上記プローブの先端の高さを、上記載置台の移動量に基づいて検出する第１の工程と、
上記プローブの先端の高さに基づいて上記載置台を移動させ、上記第２の撮像手段を用いて上記プローブの先端の水平方向の位置を検出する第２の工程と、を備え、
上記荷重センサの高さを検出する前に、ピンを用いて上記荷重センサの動作を確認する
ことを特徴とするアライメント方法。
【請求項５】
上記第１の工程に先立って、上記第１の撮像手段を用いて上記荷重センサの高さを検出することを特徴とする請求項４に記載のアライメント方法。
【請求項６】
上記荷重センサの動作を確認する前に、上記第２の撮像手段を用いて上記ピンの高さを検出することを特徴とする請求項４または請求項５に記載のアライメント方法。
【請求項７】
上記第１の撮像手段を用いて、上記荷重センサの高さを再確認する工程を備えたことを特徴とする請求項４〜請求項６のいずれか１項に記載のアライメント方法。
【請求項８】
コンピュータを駆動させて、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のプローブ先端の検出方法を実行させることを特徴とする記録媒体。
【請求項９】
コンピュータを駆動させて、請求項４〜請求項７のいずれか１項に記載のプローブ先端の検出方法を実行させることを特徴とする記録媒体。
【請求項１０】
被検査体を載置する移動可能な載置台と、この載置台の上方に配置された複数のプローブと、上記載置台上の被検査体と上記複数のプローブとの位置合わせる行うためのアライメント機構と、を備え、且つ、
上記アライメント機構は、第１の撮像手段と、上記載置台に設けられた第２の撮像手段と、を有し、
上記載置台に上記プローブの先端高さを検出する荷重センサを設けると共に上記荷重センサの動作を確認するピンを設けたことを特徴とするプローブ装置。
【請求項１１】
上記荷重センサは、荷重を検出するセンサ部と、このセンサ部を第１の位置と第２の位置との間で移動させる移動駆動機構と、上記第１、第２の位置を検出するセンサと、を備え、且つ、上記センサ部は、上記第１の位置で上記荷重を受けて弾力的に移動する荷重受部と、この荷重受部の移動に基づいて付勢されるスイッチと、を有することを特徴とする請求項１０に記載のプローブ装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の請求項１に記載のプローブ先端の検出方法は、第１の撮像手段と、移動可能な載置台に設けられた第２の撮像手段と、を備えたアライメント機構を用いて、プローブの先端の水平方向の位置を検出するに先立って、上記載置台の上方に配置された複数のプローブの先端の高さを検出する方法であって、上記第１の撮像手段を用いて、上記載置台に設けられた荷重センサの高さを検出する第１の工程と、上記載置台を移動させて、上記荷重センサと上記プローブとを接触させて上記プローブの先端の高さを、上記載置台の移動量に基づいて検出する第２の工程と、を備え、上記第１の工程と第２の工程の間で、ピンを用いて上記荷重センサの動作を確認することを特徴とするものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、本発明の請求項２に記載のプローブ先端の検出方法は、請求項１に記載の発明において、上記第１の工程に先立って、上記第２の撮像手段を用いて上記ピンの高さを検出することを特徴とするものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、本発明の請求項３に記載のプローブ先端の検出方法は、請求項１または請求項２に記載の発明において、上記第１の撮像手段を用いて、上記荷重センサの高さを再確認する工程を備えたことを特徴とするものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、本発明の請求項４に記載のアライメント方法は、第１の撮像手段と、移動可能な載置台に設けられた第２の撮像手段と、を備えたアライメント機構を用いて、上記載置台の上方に配置された複数のプローブの位置合わせを行うアライメント方法であって、上記載置台を移動させて、上記載置台に設けられた荷重センサと上記プローブとを接触させて上記プローブの先端の高さを、上記載置台の移動量に基づいて検出する第１の工程と、上記プローブの先端の高さに基づいて上記載置台を移動させ、上記第２の撮像手段を用いて上記プローブの先端の水平方向の位置を検出する第２の工程と、を備え、上記荷重センサの高さを検出する前に、ピンを用いて上記荷重センサの動作を確認することを特徴とするものである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、本発明の請求項５に記載のアライメント方法は、請求項４に記載の発明において、上記第１の工程に先立って、上記第１の撮像手段を用いて上記荷重センサの高さを検出することを特徴とするものである。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、本発明の請求項６に記載のアライメント方法は、請求項４または請求項５に記載の発明において、上記荷重センサの動作を確認する前に、上記第２の撮像手段を用いて上記ピンの高さを検出することを特徴とするものである。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また、本発明の請求項７に記載のアライメント方法は、請求項４〜請求項６のいずれか１項に記載の発明において、上記第１の撮像手段を用いて、上記荷重センサの高さを再確認する工程を備えたことを特徴とするものである。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、本発明の請求項８に記載の記録媒体は、コンピュータを駆動させて、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のプローブ先端の検出方法を実行させることを特徴とするものである。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
また、本発明の請求項９に記載の記録媒体は、コンピュータを駆動させて、請求項４〜請求項７のいずれか１項に記載のプローブ先端の検出方法を実行させることを特徴とするものである。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また、本発明の請求項１０に記載のプローブ装置は、被検査体を載置する移動可能な載置台と、この載置台の上方に配置された複数のプローブと、上記載置台上の被検査体と上記複数のプローブとの位置合わせる行うためのアライメント機構と、を備え、且つ、上記アライメント機構は、第１の撮像手段と、上記載置台に設けられた第２の撮像手段と、を有し、上記載置台に上記プローブの先端高さを検出する荷重センサを設けると共に上記荷重センサの動作を確認するピンを設けたことを特徴とするものである。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
また、本発明の請求項１１に記載のプローブ装置は、請求項１０に記載の発明において、上記荷重センサは、荷重を検出するセンサ部と、このセンサ部を第１の位置と第２の位置との間で移動させる移動駆動機構と、上記第１、第２の位置を検出するセンサと、を備え、且つ、上記センサ部は、上記第１の位置で上記荷重を受けて弾力的に移動する荷重受部と、この荷重受部の移動に基づいて付勢されるスイッチと、を有することを特徴とするものである。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
本発明によれば、プローブカード位置のティーチング操作なして、如何なるプローブカードであっても、アライメント時に光学的手段によらずプローブカードのプローブの先端の高さを確実且つ高精度に検出するプローブ先端の検出方法、アライメント方法及びこれらの方法を記録した記憶媒体、並びにプローブ装置を提供することができる。