(57)【要約】【課題】マスクケースからマスクカセットへマスクを入れ替える作業を容易に行なうことのできるマスクケース、マスクカセット、パターン転写方法及び表示装置の製造方法の提供を目的とする。【解決手段】マスクケース１は、フォトマスク１０とマスクカセット１００を搬送可能に収容するマスクケースであって、マスク保持手段４及びカセット保持手段５を備え、フォトマスク１０がマスクカセット１００から取り出される際、マスクカセット１００にフォトマスク１０がセットされた状態で取り出される構成としてある。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスクと、
製造装置及び／又は検査装置において使用される、前記マスクが少なくとも載置されるマスクカセットと
を搬送可能に収容するマスクケースであって、
前記マスクが前記マスクケースから取り出される際、前記マスクカセットに前記マスクが少なくとも載置された状態で取り出されることを特徴とするマスクケース。
【請求項２】
前記マスクを保持するマスク保持手段と、
前記マスクカセットを保持するカセット保持手段と、
前記マスク保持手段及びカセット保持手段が設けられたケース本体と、
このケース本体に着脱自在に取り付けられ、前記マスクを覆うケース蓋とを備えたことを特徴とする請求項１に記載のマスクケース。
【請求項３】
前記マスクを前記マスクカセットから浮いた状態に支持し、かつ、前記マスクカセットを所定の方向にガイドする支持部材を備えており、前記マスクを取り出す際、前記マスクカセットを所定の方向に移動させると、前記マスクカセットに前記マスクが少なくとも載置されることを特徴とする請求項１又は２に記載のマスクケース。
【請求項４】
前記支持部材を、マスク支持ピンとしたことを特徴とする請求項３に記載のマスクケース。
【請求項５】
前記マスク保持手段が、前記マスクカセットに少なくとも載置された状態の前記マスクを保持することを特徴とする請求項２に記載のマスクケース。
【請求項６】
製造装置及び／又は検査装置において使用される、マスクが少なくとも載置されるマスクカセットであって、
前記マスクカセットを収容するマスクケースに保持される際に、マスク保持手段又はマスク支持部材が前記マスクを保持又は支持するための、貫通孔及び／又は開口部を有することを特徴とするマスクカセット。
【請求項７】
マスクを収容するマスクケースに、前記マスクから離れた状態で収容され、さらに、前記マスクが前記マスクケースから取り出される際、前記マスクカセットに前記マスクが少なくとも載置された状態で取り出されるマスクカセットであって、
前記マスクを取り出す際、前記マスクカセットを所定の方向に移動させるためのガイド部材にガイドされる、被ガイド面を有することを特徴とするマスクカセット。
【請求項８】
前記ガイド部材が、前記マスクを前記マスクカセットから浮いた状態に支持するマスク支持ピンであり、かつ、前記被ガイド面が、前記マスクカセットに形成され、前記マスク支持ピンが貫通する貫通孔の孔表面であることを特徴とする請求項７に記載のマスクカセット。
【請求項９】
マスクを搬送するためのマスクケースから該マスクを取り出す工程と、
露光装置に、前記マスクカセットに載置されて搭載された前記マスクを用いてパターン転写する露光工程と
を有するパターン転写方法において、
前記マスクが前記マスクケースから取り出される際、前記マスクカセットに前記マスクが少なくとも載置された状態で取り出されることを特徴とするパターン転写方法。
【請求項１０】
マスクを搬送するためのマスクケースから該マスクを取り出す工程と、
露光装置に、前記マスクカセットに載置されて搭載された前記マスクを用いて、表示装置に使用される被転写体にパターン転写する露光工程と
を有する表示装置の製造方法において、
前記マスクが前記マスクケースから取り出される際、前記マスクカセットに前記マスクが少なくとも載置された状態で取り出されることを特徴とする表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マスクケース、マスクカセット、パターン転写方法及び表示装置の製造方法に関し、特に、液晶ディスプレイパネル（ＬＣＤＰ）やプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）等の製造工程で使用する、大型のフォトマスクを搬送し、かつ、フォトマスク使用に際して、露光装置への着脱が簡便であり、着脱時のパーティクル汚染や、破損などを抑止できるマスクケース、マスクカセット、パターン転写方法及び表示装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＬＣＤＰやＰＤＰ等の表示装置の製造工程において、パネル面付数の増加が製造コスト低減の手法として一般化され、パネル用マザー基板のサイズが大型化する傾向にある。これにともない、ＬＣＤＰやＰＤＰ等の表示装置の製造工程においては、パターン転写に用いられるフォトマスクも大型化する傾向にある。また、上記大型化されたフォトマスクは、マスクメーカからマスクユーザに輸送される際、輸送時の衝撃から保護するために、マスクケース内部に収容され固定された状態で輸送されている。
【０００３】
（従来例）
フォトマスクなどのマスクを搬送、保管するためのマスクケースとして、様々な構造のものが開発されている。
たとえば、特許文献１には、互いに当接される周縁フランジ部を有する本体部と蓋体部とからなり、内部に大型の精密シート状（半）製品を収容するための密封容器であって、本体部と蓋体部とはそれぞれ熱可塑性樹脂シートの補強用リブを設けた真空または圧空成型体からなることを特徴とする大型精密シート状（半）製品用密封容器の技術が開示されている。
この比較的軽量な大型精密シート状（半）製品用密封容器は、大型精密シート状（半）製品に不適当な応力を及ぼすことなく安全に、かつ、気密を保持した状態で、収容・支持し、搬送する。
また、フォトマスクなどのマスクを製造するマスクメーカは、製造したマスクなどを上記のようなマスクケースに収納した状態で、マスクユーザへ納品している。
【０００４】
一方、マスクユーザは、マスクメーカから納入されたフォトマスクを用いて所望のパターンを被転写体に転写し、表示装置などを製造している。この製造工程において、マスクユーザは、フォトマスクを専用のマスクカセットに収納した状態で、露光機（例えばマスクアライナー）に搬送したり、あるいは、使用したフォトマスクを露光機から他に搬送している。また、大型の露光装置は、フォトマスクを専用のマスクカセットにセットした状態で、装置内部を搬送している。
上記専用のマスクカセットは、露光装置などに対応して、様々な構造のものが使用されている。
【０００５】
たとえば、特許文献２には、液晶表示素子あるいは半導体素子の製造工程で使用される、露光装置や検査装置等へのマスクやレチクルあるいはガラス基板等（適宜、マスクと略称する。）を自動的に交換する基板交換装置の技術が開示されている。また、この文献には、露光装置等へのマスク交換の過程で使用される、読み取り可能な管理コードを取り付けた、防塵用のマスクカセットが記載されている。
このマスクカセットは、マスクカセット蓋と、マスクが位置決めされた状態で載置される、ほぼ矩形平板状のマスクカセット皿とで構成されている。
なお、上記基板交換装置は、マスク搬送機構を備えており、このマスク搬送機構は、マスクカセットから取り出したマスクを持ったまま露光装置へ移動し、露光装置のほぼ平板状の搭載台にマスクを搭載する。
【０００６】
ところで、上述したように、マスクメーカは、フォトマスクなどのマスクをマスクケースに収納した状態で、マスクユーザに納品していた。そのため、マスクユーザは、納入されたマスクを使用するには、まず、マスクをマスクケースから取り出し、専用のマスクカセットに入れ替えてから使用してきた。
【特許文献１】特開２００５−１７３５５６号公報
【特許文献２】特開２０００−１９７２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）、プラズマパネルディスプレイ（ＰＤＰ）、薄膜トランジスタ基板（ＴＦＴ）、カアラーフィルタ（ＣＦ）などの大型化にともない、これらの製造には、たとえば、約５００ｍｍ×７５０ｍｍ又はそれ以上といった、大型のフォトマスクが使用されるようになってきており、大型化の傾向は更に顕著になっている。そして、大型かつ重量の大きなフォトマスクのハンドリングを人手で行うと、作業者の大きな負荷になる。
特に、マスクユーザは、上述したように、所望のパターンを形成されたフォトマスクをマスクメーカから納入され、これを、輸送用のマスクケースから取り出し、露光装置用のマスクカセットに入れ替える作業を行なわなければならない。これは、上記のような大型のフォトマスクが非常に精緻な製品であって、接触や破損に対して極度の注意を払う必要があること、及び、大型になるほどハンドリングが難しくなることを考慮すると、作業者が受ける負担が大きすぎるといった問題があった。
【０００８】
本発明は、上記の事情にかんがみなされたものであり、マスクケースからマスクカセットへマスクを入れ替える作業を容易に行なうことのできるマスクケース、マスクカセット、パターン転写方法及び表示装置の製造方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため本発明のマスクケースは、マスクと、製造装置及び／又は検査装置において使用される、前記マスクが少なくとも載置されるマスクカセットとを搬送可能に収容するマスクケースであって、前記マスクが前記マスクケースから取り出される際、前記マスクカセットに前記マスクが少なくとも載置された状態で取り出される構成としてある。
【００１０】
このようにすると、マスクメーカからマスクケースに収納された状態で納品されたマスクを、マスクユーザの作業者が、たとえば、露光装置などのマスクカセットに入れ替える作業を行なわなくてもすむので、作業者の負荷が大幅に軽減されるとともに、作業性が向上する。
また、入れ替え作業中に誤ってマスクを損傷させてしまうといった危険性を大幅に低減することができ、作業を安全に行なうことができる。
さらに、マスクが大型化すると、専用のハンドリング装置等を導入して、上記入れ替え作業を安全に行うことも想定されるが、このような、ハンドリング装置等を導入しなくても、安全に入れ替え作業を行うことができる。
【００１１】
なお、本発明においてはマスクとして、フォトマスク、レチクル、フォトマスクブランク、ガラス基板等を含むものとする。
また、製造装置として、デバイス製造用の露光装置、マスク供給装置、基板交換装置、マスク搬送装置など含むものとする。
さらに、“少なくとも載置される”とは、単に載置されることの他に、位置決めされた状態で支持されたり、位置決めされた状態で収容されたり、保持されること、あるいは、保持された状態で収容されることなど含んでいる。したがって、様々な構造を有するマスクカセットにセットされることも、“少なくとも載置される”に含まれる。また、たとえば、マスクメーカにて、マスクをマスクカセットに保持した状態で収容し、このマスクカセットをマスクケースに保持した状態で収容し、このマスクケースをマスクユーザに納品してもよく、マスクユーザは、マスクカセットごとマスクケースからマスクを取り出し、そのまま、露光装置等に供給することができる。
また、マスクカセットとは、製造装置及び／又は検査装置において使用され、フォトマスクが少なくとも載置されるカセットをいい、たとえば、上記マスクカセットを載置した状態で装置に搭載する目的で用いられる、マスクカセット皿や、着脱可能なマスク搭載台などを挙げることができる。
【００１２】
また、好ましくは、前記マスクを保持するマスク保持手段と、前記マスクカセットを保持するカセット保持手段と、前記マスク保持手段及びカセット保持手段が設けられたケース本体と、このケース本体に着脱自在に取り付けられ、前記マスクを覆うケース蓋とを備えるとよい。
このようにすると、マスクに損傷やパーティクル汚染が生じないように、密閉された状態で、マスク及びマスクカセットを安定に固定して収容することができる。これにより、空路や陸路等で、マスクの輸送を行った場合であっても、マスクがマスクカセット内部で振動し、破損したり、あるいは、摩擦によるパーティクルが大量に発生したり、さらには、精緻に形成されたパターンに損傷を与えるなどの不具合を回避することができる。
【００１３】
また、好ましくは、前記マスクを前記マスクカセットから浮いた状態に支持し、かつ、前記マスクカセットを所定の方向にガイドする支持部材を備えており、前記マスクを取り出す際、前記マスクカセットを所定の方向に移動させると、前記マスクカセットに前記マスクが少なくとも載置されるとよい。
このようにすると、マスク保持手段が、マスクカセットから浮いた状態のマスクを保持することができるので、マスクカセットとマスクが擦れてパーティクルが発生するといった不具合をより確実に防止することができる。
【００１４】
また、好ましくは、前記支持部材を、マスク支持ピンとするとよい。更には、該マスク支持ピンは、マスクカセットの一部を貫通し、マスクを支持するものであることが好ましい。
このようにすると、構造を単純化することができ、製造原価のコストダウンを図ることができるとともに、マスクカセットをマスクケースから取り出す際に、マスクカセットにマスクを容易に載置させた状態とすることができる。
【００１５】
また、好ましくは、前記マスク保持手段が、前記マスクカセットに少なくとも載置された状態の前記マスクを保持することもでできる。
このようにすると、マスク保持手段による保持状態を解除することによって、マスクがマスクカセットにセットされるので、作業を容易に行うことができる。
【００１６】
また、上記目的を達成するため本発明のマスクカセットは、製造装置及び／又は検査装置において使用される、マスクが少なくとも載置されるマスクカセットであって、前記マスクカセットを収容するマスクケースに保持される際に、マスク保持手段又はマスク支持部材が前記マスクを保持又は支持するための、貫通孔及び／又は開口部を有する構成としてある。
このように、本発明はマスクカセットとしても有効であり、マスクカセットがマスクケースに収容された状態であっても、マスクを確実に保持又は支持することができる。
【００１７】
また、上記目的を達成するため本発明のマスクカセットは、マスクを収容するマスクケースに、前記マスクから離れた状態で収容され、さらに、前記マスクが前記マスクケースから取り出される際、前記マスクカセットに前記マスクが少なくとも載置された状態で取り出されるマスクカセットであって、前記マスクを取り出す際、前記マスクカセットを所定の方向に移動させるためのガイド部材にガイドされる、被ガイド面を有する構成としてある。
このように、本発明はマスクカセットとしても有効であり、マスクをマスクカセットに入れ替える作業を行なわなくてもすむので、作業者の負荷が大幅に軽減されるとともに、作業性が向上する。また、マスクカセットとマスクが擦れてパーティクルが発生するといった不具合をより確実に防止することができる。
【００１８】
また、好ましくは、前記ガイド部材が、前記マスクを前記マスクカセットから浮いた状態に支持するマスク支持ピンであり、かつ、前記被ガイド面が、前記マスクカセットに形成され、前記マスク支持ピンが貫通する貫通孔の孔表面であるとよい。
このようにすると、構造を単純化することができ、製造原価のコストダウンを図ることができる。
【００１９】
上記目的を達成するため本発明のパターン転写方法は、マスクを搬送するためのマスクケースから該マスクを取り出す工程と、露光装置に、前記マスクカセットに載置されて搭載された前記マスクを用いてパターン転写する露光工程とを有するパターン転写方法において、前記マスクが前記マスクケースから取り出される際、前記マスクカセットに前記マスクが少なくとも載置された状態で取り出される方法としてある。
このように、本発明はパターン転写方法としても有効であり、マスクをマスクカセットに入れ替える作業を行なわなくてもすむので、作業者の負荷が大幅に軽減されるとともに、作業性が向上する。
【００２０】
上記目的を達成するため本発明の表示装置の製造方法は、マスクを搬送するためのマスクケースから該マスクを取り出す工程と、露光装置に、前記マスクカセットに載置されて搭載された前記マスクを用いて、表示装置に使用される被転写体にパターン転写する露光工程を有する表示装置の製造方法において、前記マスクが前記マスクケースから取り出される際、前記マスクカセットに前記マスクが少なくとも載置された状態で取り出される方法としてある。
このように、本発明は表示装置の製造方法としても有効であり、マスクをマスクカセットに入れ替える作業を行なわなくてもすむので、作業者の負荷が大幅に軽減されるとともに、作業性が向上する。
なお、表示装置として、液晶ディスプレイ、フラットパネルディスプレイ、プラズマパネルディスプレイなどを挙げることができる。
【発明の効果】
【００２１】
以上のように、本発明によれば、マスクユーザは、マスク製造者から納入されたマスクを、マスクケースからマスクカセットに入れ替えるという多大な負荷から開放される。特に、一辺が約３００ｍｍを越える大型マスクにおいては、本発明による負荷の軽減と、安全性が大きなメリットとなる。また、マスクカセットへの入替時のマスクのパーティクル付着や、不慮の破損が大幅に減少するという優れた効果を得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
[マスクケースの第一実施形態]
図１は、本発明の第一実施形態に係るマスクケースの、マスクの取付け状態を説明するための概略図であり、（ａ）は断面図を、（ｂ）はＡ−Ａ断面図を示している。
また、図２は、本発明の第一実施形態に係るマスクケースの、マスク保持手段及びカセット保持手段を説明するための概略拡大図であり、（ａ）は側面図を、（ｂ）は平面図を示している。
図１，２において、マスクケース１は、ケース本体２、ケース蓋３、マスク保持手段４及びカセット保持手段５とからなっており、フォトマスク１０とマスクカセット１００を搬送（輸送をも含む。）可能に収納する。
なお、本実施形態では、マスクとして大型のフォトマスク１０を用いているが、フォトマスク１０に限定されるものではない。
【００２３】
＜ケース本体＞
ケース本体２は、ほぼ矩形状の平板としてあり、周縁部に凸部２１が形成されている。凸部２１は、ケース蓋３と嵌合し、ケース蓋３の位置決めを行なう。
また、ケース本体２は、マスクカセット１００の周縁部が載置される取付け台２２が６箇所に設けられている。本実施形態では、矩形のフォトマスク１０の各辺の２箇所にそれぞれ取付け台２２を配設してあるが、この配置に限定されるものではなく、たとえば、フォトマスク１０の形状に応じて異なる配置としてもよい。
【００２４】
取付け台２２は、図２に示すように、マスク保持手段４のガイド部４５及びカセット保持手段５のガイド部５５がスライド自在に嵌入されるガイド溝２２１が形成され、さらに、ガイド溝２２１の下方に、ガイド溝２２１より溝幅の広いこま収納溝２２２が形成されている。
また、取付け台２２は、フォトマスク１０側の端部にマスク支持ピン２３が突設されている。
【００２５】
このマスク支持ピン２３は、先端部が細くなった形状のピンであり、マスクカセット１００の貫通孔１０２を貫通し、フォトマスク１０をマスクカセット１００から浮いた状態に支持する。また、マスク支持ピン２３は、貫通孔１０２に嵌入されており、マスクカセット１００を取り出し方向（図３参照）に持ち上げる際、方向がずれないようにマスクカセット１００をガイドする。支持部材として、マスク支持ピン２３を用いることにより、構造が単純化され、製造原価のコストダウンを図ることができる。
また、取付け台２２及びマスク支持ピン２３の材料は、通常、金属が用いられるが、たとえば、マスクカセット１００やフォトマスク１０と接触する部分に樹脂などの材料からなる干渉部材（図示せず）を取り付けてもよい。
【００２６】
図示してないが、ケース本体２は、周縁部がアルミフレームによって補強された樹脂板からなり、下部両側に一対のキャスターが設けられ、さらに、両サイドの上部及び下部に取っ手が取り付けられている。また、ケース本体２は、ボルトやラチェット・バックル錠などの締結手段によって、ケース蓋３が取り付けられる。さらに、ケース本体２とケース蓋３は、Ｏリングなどのシール部材によって、密閉された状態で連結される。
【００２７】
＜ケース蓋＞
ケース蓋３は、ケース本体２に着脱自在に取り付けられる蓋である。このケース蓋３は、ケース本体２を覆う矩形箱状としてあり、矩形状の上板と、上板の周縁部に突設された側板とからなっている。
また、ケース蓋３は、図示してないが、周縁部がアルミフレームによって補強された樹脂板からなり、下部両側に一対のキャスターが設けられ、さらに、両サイドの上部及び下部に取っ手が取り付けられている。
【００２８】
＜マスク保持手段＞
マスク保持手段４は、フォトマスク１０を保持する手段であり、ケース本体２に位置調整自在に固定される。このマスク保持手段４は、取付け台２２に載置される螺着部４４と、螺着部４４から鉤状に突設された先端部に形成された載置面４１及び位置決め突出部４２と、螺着部４４の下面に突設され、ガイド溝２２１と嵌合するガイド部４５を備えている。
載置面４１は、フォトマスク１０の端面と当接し、マスクケース１が立てられた際、フォトマスク１０の荷重を受ける。また、位置決め突出部４２は、フォトマスク１０の方向に向かって広がる斜面を有している。この斜面は、フォトマスク１０を挟むようにして形成されており、フォトマスク１０の位置決め（フォトマスク１０の表面と直角方向の位置決め）を行なう。
【００２９】
螺着部４４は、ボルト４３が貫通する孔が穿設されており、この孔に挿入されたボルト４３が、こま収納溝２２２に移動自在に収納されたこま４６に締め込まれる。これにより、マスク保持手段４は、取付け台２２に螺着されるとともに、ボルト４３を緩めることにより、スライド方向に移動できる。また、載置面４１及び位置決め突出部４２の高さ位置は、マスク支持ピン２３に支持されたフォトマスク１０の高さ位置に対応させてあるので、マスク保持手段４をフォトマスク１０の方向に移動させて、螺着することにより、フォトマスク１０を容易に保持することができる。
【００３０】
＜カセット保持手段＞
カセット保持手段５は、マスクカセット１００を保持する手段であり、ケース本体２に位置調整自在に固定される。このカセット保持手段５は、取付け台２２に載置される螺着部５４と、螺着部５４から鉤状に突設された先端部に形成された保持面５１と、螺着部５４の下面に突設され、ガイド溝２２１と嵌合するガイド部５５を備えている。
保持面５１は、マスクカセット１００に向かって、斜め上方に傾斜した斜面である。この保持面５１は、取付け台２２に載置されたマスクカセット１００の上側角部と線接触し、マスクカセット１００を取付け台２２に押し付けるようにして、マスクカセット１００を保持する。
【００３１】
螺着部５４は、ボルト５３が貫通する孔が穿設されており、この孔に挿入されたボルト５３が、こま収納溝２２２に移動自在に収納されたこま５６に締め込まれる。これにより、カセット保持手段５は、取付け台２２に螺着されるとともに、ボルト５３を緩めることにより、スライド方向に移動できる。また、保持面５１の高さ位置は、取付け台２２に載置されたマスクカセット１００の高さ位置に対応させてあるので、カセット保持手段５をマスクカセット１００の方向に移動させて、螺着することにより、マスクカセット１００を容易に保持することができる。
【００３２】
＜マスクカセット＞
マスクカセット１００は、製造装置及び／又は検査装置（図示せず）において使用される、矩形状の平板としてあり、マスク支持ピン２３に対応する位置に貫通孔１０２が穿設されている。また、マスクカセット１００は、各貫通孔１０２に対応して、位置決めピン１０１が突設してあり、マスクカセット１００の上面に載置されたフォトマスク１０の位置決めを行なう。
なお、本実施形態のマスクカセット１００は、フォトマスク１０が載置され、さらに、位置決めピン１０１によって位置決めされることにより、フォトマスク１０がセットされる構成としてあるが、セットの形態は、この構成に限定されるものではない。
また、マスクカセット１００、マスク保持手段４及びカセット保持手段５の材料は、通常、金属が用いられるが、たとえば、マスクカセット１００やフォトマスク１０と接触する部分に樹脂などの材料からなる干渉部材（図示せず）を取り付けてもよい。
【００３３】
上記構成のマスクケース１の動作について説明する。
まず、マスクケース１は、図１（ａ）に示す状態で、フォトマスク１０及びマスクカセット１００が収納されている。また、マスクケース１は、輸送される際には、通常、立てられた状態で輸送される。
次に、マスクケース１からフォトマスク１０が取り出される動作について、図面を参照して説明する。
【００３４】
図３は、本発明の第一実施形態に係るマスクケースの、マスクの取外し状態を説明するための概略断面図を示している。
同図において、マスクユーザに納品されたマスクケース１は、まず、水平に寝かされ、図１（ａ）の状態から、ケース蓋３が取り外される。次に、各ボルト４３及びボルト５３が緩められ、マスク保持手段４及びカセット保持手段５が、上方に取り出されるマスクカセット１００と干渉しない位置まで、スライド方向に移動される。
【００３５】
次に、マスクカセット１００が、作業者によって、取り出し方向（真上方向）に持ち上げられる。この際、マスク支持ピン２３が、マスクカセット１００がフォトマスク１０と当接し、位置決めピン１０１によって位置決めされるまで、マスクカセット１００をガイドするので、フォトマスク１０に異常な衝撃を与えることなく、マスクカセット１００をフォトマスク１０にスムースに当接させることができる。すなわち、作業者は、位置決めピン１０１のガイドに従って、徐々にマスクカセット１００を持ち上げるだけで、フォトマスク１０が位置決めピン１０１によって位置決めされた状態でマスクカセット１００に載置される。これにより、フォトマスク１０がマスクケース１から取り出される際、マスクカセット１００にフォトマスク１０がセットされた状態で、フォトマスク１０が取り出される。
【００３６】
また、マスクカセット１００にセットされたフォトマスク１０が、露光装置などで使用され、たとえば、次回の製造日まで保管される際には、上記手順をもどることにより、容易かつ安全にフォトマスク１０をマスクケース１に収納させることができる。すなわち、作業者は、フォトマスク１０がセットされたマスクカセット１００を、貫通孔１０２にマスク支持ピン２３が貫通するように降下させると、マスク支持ピン２３がマスクカセット１００を真下方向にガイドするので、フォトマスク１０に異常な衝撃を与えることなく、マスクカセット１００から浮かせることができ、マスクカセット１００を取付け台２２にスムースに載置させることができる。すなわち、作業者は、位置決めピン１０１のガイドに従って、徐々にマスクカセット１００を降下させるだけで、フォトマスク１０がマスク支持ピン２３によって支持され、かつ、マスクカセット１００を取付け台２２に載置させることができる。
【００３７】
上述したように、本実施形態のマスクケース１によれば、マスクメーカからマスクケース１に収納された状態で納品されたフォトマスク１０を、マスクユーザの作業者が、たとえば、露光装置などのフォトマスク１０に入れ替える作業を行なわなくてもすむので（極めて容易に、かつ、安全に入れ替え作業を行なうことができるので）、作業者の負荷が大幅に軽減されるとともに、作業性が向上する。
また、入れ替え作業中に誤ってフォトマスク１０を損傷させてしまうといった危険性を大幅に低減することができ、作業を安全に行なうことができる。
【００３８】
また、マスク保持手段４及びカセット保持手段５を設けることにより、フォトマスク１０及びマスクカセット１００を確実に保持することができるので、空路や陸路等で、フォトマスク１０の輸送を行った場合であっても、フォトマスク１０が破損したり、あるいは、摩擦によるパーティクルが大量に発生したり、さらには、精緻に形成されたパターンに損傷を与えるなどの不具合を回避することができる。
さらに、マスクケース１は、マスク支持ピン２３を設けて、フォトマスク１０をマスクカセット１００から浮いた状態に支持し、かつ、マスクカセット１００を所定の方向にガイドするので、マスクカセット１００とフォトマスク１０が擦れてパーティクルが発生するといった不具合をより確実に防止することができる。
【００３９】
[マスクケースの第二実施形態]
図４は、本発明の第二実施形態に係るマスクケースの、マスクの取付け状態を説明するための概略図であり、（ａ）は断面図を、（ｂ）はＢ−Ｂ断面図を示している。
また、図５は、本発明の第二実施形態に係るマスクケースの、マスク保持手段及びカセット保持手段を説明するための概略拡大図であり、（ａ）は側面図を、（ｂ）は平面図を示している。
図４，５において、第二実施形態のマスクケース１ａは、第一実施形態のマスクケース１と比べて、マスクカセット１００ａが、フォトマスク１０を位置決めした状態で収納する構造としてあり、これにともない、マスク保持手段４ａ、カセット保持手段５ａ及びの構造が相違する。他の構成要素は、ほぼ第一実施形態と同様としてある。
したがって、図４、５において、図１、２と同様の構成部分については同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００４０】
＜マスクカセット＞
マスクカセット１００ａは、製造装置及び／又は検査装置（図示せず）において使用される、矩形状の平板としてあり、周縁部に、フォトマスク１０を位置決めするとともに収納する壁部１１３が突設してある。この壁部１１３は、ほぼ矩形環状の形状としてあり、下から順に、フォトマスク１０の周縁部が載置される載置面１１１と、フォトマスク１０の側面と当接して位置決めを行なう位置決め面１１２と、フォトマスク１０を容易に収納するために傾斜したガイド面１１４を備えている。
また、マスクカセット１００ａは、マスク保持手段４ａに対応する位置に、開口部１１５を形成してある。これにより、マスクカセット１００ａは、載置面１１１に載置されたフォトマスク１０を保持するために、マスク保持手段４ａが移動できる。
【００４１】
＜マスク保持手段＞
マスク保持手段４ａは、フォトマスク１０を保持する手段であり、ケース本体２に位置調整自在に固定される。このマスク保持手段４ａは、載置面４１及び位置決め突出部４２の高さ位置を、マスクカセット１００ａに収納されたフォトマスク１０の高さ位置に対応させてあるので、開口部１１５を利用して、マスク保持手段４ａをフォトマスク１０の方向に移動させて、螺着することにより、フォトマスク１０を容易に保持することができる。
【００４２】
＜カセット保持手段＞
カセット保持手段５ａは、マスクカセット１００ａを保持する手段であり、ケース本体２に位置調整自在に固定される。このカセット保持手段５ａは、保持面５１の高さ位置を、マスクカセット１００ａの壁部１１３の高さ位置に対応させてあるので、カセット保持手段５ａをマスクカセット１００ａの方向に移動させて、螺着することにより、マスクカセット１００ａを容易に保持することができる。また、保持面５１は、マスクカセット１００ａの壁部１１３の上側角部と線接触し、マスクカセット１００ａを取付け台２２に押し付けるようにして、マスクカセット１００ａを保持する。
【００４３】
上記構成のマスクケース１ａの動作について説明する。
まず、マスクケース１ａは、図４（ａ）に示す状態で、フォトマスク１０及びマスクカセット１００ａが収納されている。
次に、マスクケース１ａからフォトマスク１０が取り出される動作について、図面を参照して説明する。
【００４４】
図６は、本発明の第二実施形態に係るマスクケースの、マスクの取外し状態を説明するための概略断面図を示している。
同図において、マスクユーザに納品されたマスクケース１ａは、まず、水平に寝かされ、図４（ａ）の状態から、ケース蓋３が取り外される。次に、各ボルト４３が緩められ、マスク保持手段４ａが、上方に取り出されるマスクカセット１００ａと干渉しない位置まで、スライド方向に移動される。この動作によって、マスク保持手段４ａの保持状態が解除されるので、フォトマスク１０が位置決め面１１２によって位置決めされた状態でマスクカセット１００ａに載置される。これにより、フォトマスク１０がマスクケース１ａから取り出される際、マスクカセット１００ａにフォトマスク１０がセットされた状態で、フォトマスク１０が取り出される。
【００４５】
次に、各ボルト５３が緩められ、カセット保持手段５ａが、上方に取り出されるマスクカセット１００ａと干渉しない位置まで、スライド方向に移動される。この動作によって、カセット保持手段５ａの保持状態が解除されるので、マスクカセット１００ａに位置決めされた状態で収納されたフォトマスク１０を容易に、かつ、安全にマスクケース１ａから取り出すことができる。
【００４６】
また、マスクカセット１００ａにセットされたフォトマスク１０が、露光装置などで使用され、たとえば、次回の製造日まで保管される際には、上記手順をもどることにより、容易かつ安全にフォトマスク１０をマスクケース１ａに収納させることができる。すなわち、作業者は、フォトマスク１０がセットされたマスクカセット１００ａを、取付け台２２に載置する(この載置位置を決めるために、位置決め手段(図示せず)を設けるとよい。)。次に、カセット保持手段５ａにて、マスクカセット１００ａを保持し、続いて、マスク保持手段４ａによりフォトマスク１０を保持することにより、安全かつ容易にフォトマスク１０をマスクケース１ａに収納することができる。
【００４７】
上述したように、本実施形態のマスクケース１ａによれば、マスクケース１とほぼ同様の効果を得ることができ、さらに、マスク保持手段４ａによる保持状態を解除することによって、フォトマスク１０がマスクカセット１００ａにセットされるので、作業を容易に行なうことができる。
【００４８】
[マスクカセットの一実施形態]
また、本発明はマスクカセットとしても有効である。本発明のマスクカセットは、上記マスクカセット１００とほぼ同様な構造としてあり、フォトマスク１０を取り出す際、マスクカセット１００を所定の方向に移動させるためのマスク支持ピン２３にガイドされる、被ガイド面(図２（ａ）に示す貫通孔１０２の孔表面)を有する構成としてある。
このように、本発明はマスクカセット１００としても有効であり、フォトマスク１０をマスクカセット１００に入れ替える作業を行なわなくてもすむので、作業者の負荷が大幅に軽減されるとともに、作業性が向上する。また、マスクカセット１００とフォトマスク１０が擦れてパーティクルが発生するといった不具合をより確実に防止することができる。
【００４９】
[パターン転写方法の一実施形態]
また、本発明はパターン転写方法としても有効である。本発明のパターン転写方法は、フォトマスク１０を搬送するためのマスクケース１から、フォトマスク１０取り出す工程と、露光装置に、前記マスクカセット１００に載置されて搭載された前記マスク１０を用いてパターン転写する露光工程とを有するパターン転写方法において、フォトマスク１０がマスクケース１から取り出される際、マスクカセット１００にフォトマスク１０が、セットされた状態で取り出される方法としてある。
このように、本発明はパターン転写方法としても有効であり、フォトマスク１０をマスクカセット１００に入れ替える作業を行なわなくてもすむので、作業者の負荷が大幅に軽減されるとともに、作業性が向上する。
【００５０】
[表示装置の製造方法の一実施形態]
また、本発明は表示装置の製造方法としても有効である。本発明の表示装置の製造方法は、フォトマスク１０マスクを搬送するためのマスクケース１から、フォトマスク１０を取り出す工程と、露光装置に、前記マスクカセット１００に載置されて搭載された前記マスク１０を用いて、表示装置に使用される被転写体にパターン転写する露光工程を有する表示装置の製造方法において、フォトマスク１０がマスクケース１から取り出される際、マスクカセット１００にフォトマスク１０がセットされた状態で取り出される方法としてある。
このように、本発明は表示装置の製造方法としても有効であり、フォトマスク１０をマスクカセット１００に入れ替える作業を行なわなくてもすむので、作業者の負荷が大幅に軽減されるとともに、作業性が向上する。
【００５１】
以上、本発明のマスクケース、マスクカセット、パターン転写方法及び表示装置の製造方法について、好ましい実施形態を示して説明したが、本発明に係るマスクケース、マスクカセット、パターン転写方法及び表示装置の製造方法は、上述した実施形態にのみ限定されるものではなく、本発明の範囲で種々の変更実施が可能であることは言うまでもない。
たとえば、マスク保持手段とカセット保持手段が一体的に連結した構造であってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
本発明は、マスクを保管するためのマスクケースにも適用でき、特に、ＬＣＤＰやＰＤＰ等の製造工程で使用する大型のマスクに好適である。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】図１は、本発明の第一実施形態に係るマスクケースの、マスクの取付け状態を説明するための概略図であり、（ａ）は断面図を、（ｂ）はＡ−Ａ断面図を示している。
【図２】図２は、本発明の第一実施形態に係るマスクケースの、マスク保持手段及びカセット保持手段を説明するための概略拡大図であり、（ａ）は側面図を、（ｂ）は平面図を示している。
【図３】図３は、本発明の第一実施形態に係るマスクケースの、マスクの取外し状態を説明するための概略断面図を示している。
【図４】図４は、本発明の第二実施形態に係るマスクケースの、マスクの取付け状態を説明するための概略図であり、（ａ）は断面図を、（ｂ）はＢ−Ｂ断面図を示している。
【図５】図５は、本発明の第二実施形態に係るマスクケースの、マスク保持手段及びカセット保持手段を説明するための概略拡大図であり、（ａ）は側面図を、（ｂ）は平面図を示している。
【図６】図６は、本発明の第二実施形態に係るマスクケースの、マスクの取外し状態を説明するための概略断面図を示している。
【符号の説明】
【００５４】
１，１ａ  マスクケース
２  ケース本体
３  ケース蓋
４，４ａ  マスク保持手段
５，５ａ  カセット保持手段
１０  フォトマスク
２１  凸部
２２  取付け台
２３  マスク支持ピン
４１  載置面
４２  位置決め突出部
４３  ボルト
４４  螺着部
４５  ガイド部
４６  こま
５１  保持面
５３  ボルト
５４  螺着部
５５  ガイド部
５６  こま
１００，１００ａ  マスクカセット
１０１  位置決めピン
１０２  貫通孔
１１１  載置面
１１２  位置決め面
１１３  壁部
１１４  ガイド面
１１５  開口部
２２１  ガイド溝
２２２  こま収納溝
【図１】
2008087811.tif 000003
【図２】
2008087811.tif 000004
【図３】
2008087811.tif 000005
【図４】
2008087811.tif 000006
【図５】
2008087811.tif 000007
【図６】
2008087811.tif 000008