【手続補正書】
【提出日】平成25年10月11日(2013.10.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
容器と、
前記容器内に画定される少なくとも２つのチャンバであって、それぞれの少なくとも２つのチャンバの各々内に前駆体物質を保持するように構成される少なくとも２つのチャンバと、
前記容器に固定結合され、前駆体物質を保持するように構成される前記少なくとも２つのチャンバの少なくとも一部を画定する少なくとも２つの多孔質分割器と、
搬送ガスを前記容器に送出するために前記容器に結合される入口と、
気化した前駆体物質および搬送ガスを含む前記容器から蒸気生成物を取り出すために前記容器に結合される出口と
を備える固体前駆体送出組立体であって、
前記少なくとも２つの多孔質分割器のうちの少なくとも１つが、圧力差が前記少なくとも２つの多孔質分割器のうちの前記少なくとも１つの両端に確立することを可能にするように、内部を通じての搬送ガスの流れに耐えるように構成される、固体前駆体送出組立体。
【請求項２】
前記少なくとも２つの多孔質分割器のうちの前記少なくとも１つが、所望の圧力差が前記少なくとも２つの多孔質分割器のうちの前記少なくとも１つの両端に確立されるまで内部を通じての搬送ガスの流れに耐えるように構成される、請求項１に記載の組立体。
【請求項３】
前記少なくとも２つの多孔質分割器の各々が、所望の圧力差が前記少なくとも２つの多孔質分割器のうちの前記各々の両端に確立されるまで内部を通じての搬送ガスの流れに耐えるように構成される、請求項１に記載の組立体。
【請求項４】
前記多孔質分割器のうちの少なくとも１つが金属フリットであり、前記金属フリットが前記容器の内面に溶接される、請求項１から３のいずれか一項に記載の組立体。
【請求項５】
前記容器内に画定される少なくとも３つのチャンバと、前記少なくとも３つのチャンバの少なくとも一部を画定する少なくとも３つの多孔質分割器とを備える、請求項１に記載の組立体。
【請求項６】
前記少なくとも２つのチャンバが、前記容器内に画定される４つのチャンバを含み、前記少なくとも２つの多孔質分割器が、前記容器に固定結合されると共に前記４つのチャンバの少なくとも一部を画定する３つの多孔質分割器を含む、請求項１に記載の組立体。
【請求項７】
前記４つのチャンバが、隣接したところで前記入口が搬送ガスを前記容器に送出する入口チャンバと、隣接したところで前記出口が前記容器から搬送ガスを取り出す出口チャンバと、前記入口チャンバと前記出口チャンバの間に配置された第１の前駆体チャンバおよび第２の前駆体チャンバとを含み、前記第１の前駆体チャンバおよび前記第２の前駆体チャンバが、前記容器内に前駆体物質を保持するように構成される、請求項６に記載の組立体。
【請求項８】
前記３つの多孔質分割器が、前記入口チャンバと前記第１の前駆体チャンバの間に配置される第１の多孔質分割器と、前記第１の前駆体チャンバと前記第２の前駆体チャンバの間に配置される第２の多孔質分割器と、前記第２の前駆体チャンバと前記出口チャンバの間に配置される第３の多孔質分割器とを備えており、前記第２の多孔質分割器および前記第３の多孔質分割器がそれぞれ、上に前駆体物質を保持するように構成され、搬送ガスが、前記入口から前記入口チャンバへ前記容器を通じ、前記第１の多孔質分割器を通じ、前記第１の前駆体チャンバを通じ、前記第２の多孔質分割器を通じ、前記第２の前駆体チャンバを通じ、前記第３の多孔質分割器を通じ、前記出口チャンバを通じて前記出口へ流れる、請求項７に記載の組立体。
【請求項９】
前記容器が上部を備え、前記入口が、前記容器の前記上部に結合される、請求項１に記載の組立体。
【請求項１０】
前記容器が下部を備え、前記出口が、前記容器の前記下部に結合される、請求項１または９のいずれか一項に記載の組立体。
【請求項１１】
前記出口が、前記容器の外側に概して配置されると共に前記容器の長さの少なくとも一部に沿って延びる管を備え、前記管が、前記出口を前記容器の前記下部に結合する、請求項１０のいずれか一項に記載の組立体。
【請求項１２】
前駆体物質で前記容器を満たすおよび／または再び満たすのに用いるために少なくとも２つの注入口をさらに備える、請求項１に記載の組立体。
【請求項１３】
前記前駆体物質がトリメチルインジウムである、請求項１に記載の組立体。
【請求項１４】
前記少なくとも２つのチャンバが、第１の前駆体チャンバおよび第２の前駆体チャンバを含み、それぞれが、内部に前駆体物質を保持するように構成されており、前記第１の前駆体チャンバの容積が、前記第２の前駆体チャンバの容積より大きい、請求項１に記載の組立体。
【請求項１５】
上部および下部を有する容器と、
入口チャンバ、出口チャンバ、ならびに第１の前駆体チャンバおよび第２の前駆体チャンバを含む前記容器内に画定される４つのチャンバであって、前記第１の前駆体チャンバおよび前記第２の前駆体チャンバが、前記容器内に前駆体物質を保持するように構成される４つのチャンバと、
前記容器の内部部分に固定結合および封止され、前記容器内の前記４つのチャンバの少なくとも一部を画定する３つの焼結フリットであって、前記焼結フリットのうちの少なくとも１つが、前記第１の前駆体チャンバ内で前駆体物質を上に保持するように構成され、前記焼結フリットのうちの少なくとも１つが、前記第２の前駆体チャンバ内で前駆体物質を上に保持するように構成される、それぞれが２５ミクロンより小さい細孔径を有する３つの焼結フリットと、
搬送ガスを前記容器に送出するために前記容器の前記上部に結合される入口と、
気化した前駆体物質および搬送ガスを含む前記容器からの蒸気生成物を取り出すのに用いるために前記容器の前記下部に結合される出口と
を備える固体前駆体送出組立体。
【請求項１６】
前記３つの焼結フリットがそれぞれ、所望の圧力差が両端に確立されるまで前記焼結フリットを通じての搬送ガスの流れに耐えるように構成される、請求項１５に記載の組立体。
【請求項１７】
前記出口が、前記容器の外側に概して配置されると共に前記容器の長さの少なくとも一部に沿って延びる管を備え、前記管が、前記出口を前記容器の前記下部に結合する、請求項１５に記載の組立体。
【請求項１８】
前記容器が金属容器であり、各前記３つの焼結フリットが、前記金属容器の内部部分に溶接される、請求項１５から１７のいずれか一項に記載の組立体。
【請求項１９】
前記第１の前駆体チャンバの容積が、前記第２の前駆体チャンバの容積より大きい、請求項１５に記載の組立体。
【請求項２０】
マルチチャンバ固体前駆体送出組立体中の搬送ガスを用いて気化した前駆体物質を回収する方法であって、
搬送ガスをマルチチャンバ固体前駆体送出組立体に送出するステップと、
所望の圧力差が、第１の前駆体チャンバを第２の前駆体チャンバから隔てる前記マルチチャンバ固体前駆体送出組立体の第１の焼結フリットの両端に存在するまで、前記第１の前駆体チャンバ内に配置された前駆体物質のほぼ上方の前記マルチチャンバ固体前駆体送出組立体の前記第１の前駆体チャンバの上部空間内に搬送ガスを保持するステップであって、そのときに前記搬送ガス、および前記搬送ガスによって回収された気化した前駆体物質が、前記第１の焼結フリットを通じて前記第２の前駆体チャンバへ流れるステップと、
所望の圧力差が、前記第２の前駆体チャンバを第３のチャンバから隔てる前記マルチチャンバ固体前駆体送出組立体の第２の焼結フリットの両端に存在するまで、前記第２の前駆体チャンバ内に配置された前駆体物質のほぼ上方の前記マルチチャンバ固体前駆体送出組立体の前記第２の前駆体チャンバの上部空間内に前記搬送ガスを保持するステップであって、そのときに前記搬送ガス、および前記搬送ガスによって回収された気化した前駆体物質が、前記第２の焼結フリットを通じて前記第３のチャンバへ流れるステップと、
前記搬送ガス、および前記搬送ガスによって回収された気化した前駆体物質を前記マルチチャンバ固体前駆体送出組立体から取り出すステップと
を含む方法。
【請求項２１】
前記第３のチャンバが出口チャンバである、請求項２０に記載の方法。
【請求項２２】
第１の前駆体チャンバの上部空間内に搬送ガスを保持するステップは、前記第１の焼結フリットの両端での前記所望の圧力差が前記第１の前駆体チャンバでの平均圧力の約０．５パーセントから約５０パーセントであるときまで、前記第１の前駆体チャンバの上部空間内に搬送ガスを保持することを含み、
第２の前駆体チャンバの上部空間内に搬送ガスを保持するステップは、前記第２の焼結フリットの両端での前記所望の圧力差が前記第２の前駆体チャンバでの平均圧力の約０．５パーセントから約５０パーセントであるときまで、前記第２の前駆体チャンバの上部空間内に搬送ガスを保持することを含む、請求項２０に記載の方法。
【請求項２３】
前記少なくとも２つの多孔質分割器の前記少なくとも１つの両端での前記圧力差が、前記少なくとも２つの多孔質分割器の前記少なくとも１つの上流の前記チャンバでの平均圧力の約０．５パーセントから約５０パーセントである、請求項１に記載の組立体。
【請求項２４】
前記少なくとも２つの多孔質分割器が、２５ミクロンより小さい細孔径を有する、請求項１に記載の組立体。
【請求項２５】
前記３つの焼結フリットのそれぞれの両端での前記所望の圧力差は、それぞれの前記焼結フリットのすぐ上流の前記チャンバでの平均圧力の約０．５パーセントから約５０パーセントである、請求項１６に記載の組立体。