【手続補正書】
【提出日】平成24年11月16日(2012.11.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
上述した目的は、請求項１による測定機と、請求項９による方法とにより達成される。
本発明の一形態としての測定機は、測定容積内において測定センサ（３）を移動させるための可動ユニット（７）を備える測定機であって、
前記可動ユニット（７）は、駆動手段（１３）の推力を受けて軸線に沿って移動可能であり且つ動的変形を受ける少なくとも一つの可動部材（８、１２、４２、５６）を含み、
前記測定機は、
前記動的変形により生じる相対変位の影響を受ける前記可動部材（８、１２、４２、５６）の第一と第二の部分のうちの前記第一の部分に固定されたレーザエミッタ（２２）と、前記可動部材の第二の部分に固定され且つ前記レーザエミッタ（２２）により生成されたレーザ光（２６）を受領するように設計された標的（２８）と、が設けられたレーザセンサ（１６）と、
前記標的（２８）上におけるレーザ光（２６）の入射点の非変形状態における基準位置からの変位に応じて、前記可動ユニット（７）の動的変形の結果として生じる前記測定機（１）の測定誤差を補正するための手段（１４）と、
を備えることを特徴とする測定機である。
本発明の他の形態としての方法は、駆動手段（１３）の推力を受けて軸線に沿って移動可能であり且つ動的変形を受ける少なくとも一つの可動部材（８、１２、４２、５６）を含み、測定容積内において測定センサ（３）を移動させるための可動ユニット（７）が設けられた測定機（１）における動的変形による測定誤差の補正のための方法であって、
前記可動ユニット（７）の可動部材（８、１２、４２、５６）の第一の部分に固定されたエミッタ（２２）によってレーザ光（２６）を生成するステップと、
前記可動部材（８、１２、４２、５６）の第二の部分に固定された標的（２８）上における前記レーザ光（２６）の入射点の変位であって、前記可動ユニット（７）の非変形状態に対応する基準位置からの変位を検出するステップと、
少なくとも前記変位の関数として、前記測定機（１）の測定誤差を補正するステップと、
を備える方法である。
本発明は、また、以下の適用例としても実現可能である。
［適用例１］
測定容積内において測定センサ（３）を移動させるための可動ユニット（７）を備える測定機であって、
前記可動ユニット（７）は、駆動手段（１３）の推力を受けて軸線に沿って移動可能であり且つ動的変形を受ける少なくとも一つの部材（８、１２、４２、５６）を含み、
前記測定機は、
前記動的変形により生じる相対変位の影響を受ける前記可動部材（８、１２、４２、５６）の第一と第二の部分のうちの前記第一の部分に固定されたレーザエミッタ（２２）と、前記可動部材の第二の部分に固定され且つ前記レーザエミッタ（２２）により生成されたレーザ光（２６）を受領するように設計された標的（２８）と、が設けられたレーザセンサ（１６）と、
前記標的（２８）上におけるレーザ光（２６）の入射点の非変形状態における基準位置からの変位に応じて、前記可動ユニット（７）の動的変形の結果として生じる前記測定機（１）の測定誤差を補正するための手段（１４）と、
を備えることを特徴とする測定機。
［適用例２］
適用例１記載の測定機であって、
前記標的（２８）は、ＰＳＤであることを特徴とする測定機。
［適用例３］
適用例１又は２記載の測定機であって、
前記可動部材は、ビーム状要素（１０、１２、５６）を含み、
前記エミッタ（２２）及び前記標的（２８）は、前記ビーム状要素（１０）の両端に設置されることを特徴とする測定機。
［適用例４］
適用例１又は２記載の測定機であって、
前記可動部材（８）は、第一の端部及び第二の端部を有する少なくとも一つの要素（８ａ）と、第一の端部及び第二の端部を有する第二の要素（８ｃ）とを含み、
前記第一及び第二の要素（８ａ、８ｂ）は、前記それぞれの第一の端部に対応する領域において互いに接続され、前記第一及び第二の要素は中空であり、
前記エミッタ（２２）は、前記第二の要素（８ｃ）の第一の端部に配置されると共に、前記第一の要素（８ａ）の第二の端部（９）に対して固定された剛体支持部（２０）に固定され、
前記標的（２８）は、前記第二の要素（８ｃ）の前記第二の端部に固定されることを特徴とする測定機。
［適用例５］
適用例１〜４の何れか一項に記載の測定機であって、
前記レーザセンサ（１６）は、前記可動部材（８ｃ、５６）の内部に収容され、前記レーザ光（２６）は、前記可動部材の空洞（２４）を通って延びることを特徴とする測定機。
［適用例６］
適用例１〜５の何れか一項に記載の測定機であって、
前記可動部材（８）は、ベッド（５）上を移動可能であると共に、二本の直立部（８ａ、８ｂ）及びクロス部材（８ｃ）が設けられたブリッジ構造を有するキャリッジであり、
前記キャリッジの第一の直立部（８ａ）は、前記ベッド（５）上で摺動可能なモータ駆動スライド（９）を含むことを特徴とする測定機。
［適用例７］
適用例４に従属する適用例６に記載の測定機であって、
前記第一の要素は、前記第一の直立部（８ａ）により構成され、
前記第二の要素は、前記クロス部材（８ｃ）により構成され、
前記剛体支持部は、前記第一の直立部（８ａ）内部に延びると共に、底端部（２０ａ）が前記第一の直立部（８ａ）の前記スライド（９）に固定され、上端部が前記クロス部材（８ｃ）の第一の端部においてその内部に延びるバー（２０）により構成され、
前記エミッタ（２２）は、前記バー（２０）の前記上端部に固定され、前記レシーバは、前記クロス部材の内部（２４）において、その反対の一端部に設置されることを特徴とする測定機。
［適用例８］
適用例４に従属する適用例６に記載の測定機であって、
前記第一の要素は、前記クロス部材（８ｃ）であり、
前記第二の要素は、前記第二の直立部（８ｂ）であり、
前記剛体支持部は、クロス部材（８ｃ）の長手方向の空洞（２４）内部に延びると共に、一端部が前記第一の直立部（８ａ）に固定されたバー（３１）により構成され、
前記エミッタ（２２）は、前記バー（３１）の反対端部に固定され、前記標的（２８）は、前記第二の直立部（８ｂ）の最下部に収容されることを特徴とする測定機。
［適用例９］
駆動手段（１３）の推力を受けて軸線に沿って移動可能であり且つ動的変形を受ける少なくとも一つの部材（８、１２、４２、５６）を含み、測定容積内において測定センサ（３）を移動させるための可動ユニット（７）が設けられた測定機（１）における動的変形による測定誤差の補正のための方法であって、
前記可動ユニット（７）の可動部材（８、１２、４２、５６）の第一の部分に固定されたエミッタ（２２）によってレーザ光（２６）を生成するステップと、
前記可動部材（８、１２、４２、５６）の第二の部分に固定された標的（２８）上における前記レーザ光（２６）の入射点の変位であって、前記可動ユニット（７）の非変形状態に対応する基準位置からの変位を検出するステップと、
少なくとも前記変位の関数として、前記測定機（１）の測定誤差を補正するステップと、
を備える方法。
［適用例１０］
適用例９記載の方法であって、
前記レーザ光の入射点の変位を検出するステップは、前記標的を形成するＰＳＤ（２８）を介して実行されることを特徴とする方法。
［適用例１１］
適用例９又は１０記載の方法であって、
前記測定誤差を補正するステップは、入力量（ｕ）の測定値と、前記レーザビームの入射点の変位を含む出力量（ｙ）のサブセットの測定値とに応じて、前記測定誤差の推定量を提供する推定量フィルタ（Ｍ）を用いて得られることを特徴とする方法。