【手続補正書】
【提出日】平成21年2月23日(2009.2.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
炉内への排ガス導入ダクトを２つ以上有する略円筒状の排ガスの燃焼処理炉を有する炭素繊維製造用排ガス燃焼処理装置であって、その導入口が炉の端面の中心点を含む、中心軸方向に並行に取りつけられた１つのダクトＡおよび、炉の略円筒面の接面に対して９０°以外の方向で、少なくともその一部が略円筒面上に取りつけられた１つ以上のダクトＢを有し、ダクトＢの導入口がダクトＡのない端面よりもダクトＡのある端面に近い側に取りつけられていることを特徴とする炭素繊維製造用排ガス燃焼処理装置。
【請求項２】
ダクトＢが排ガスの燃焼処理炉の略円筒面上または略円筒面と端面との縁に取りつけられ、その取りつけ方向が、ダクトＢの導入口を通る炉の略円筒面に略垂直な平面上において傾けられた方向である請求項１に記載の炭素繊維製造用排ガス燃焼処理装置。
【請求項３】
排ガスの燃焼処理炉の形状について、以下の式を満たす請求項１または２に記載の炭素繊維製造用排ガス燃焼処理装置。
Ｄ／Ｌ≦０．４
ただし、Ｄ：燃焼処理炉の平均炉幅
Ｌ：燃焼処理炉の炉長
【請求項４】
排ガスの燃焼処理炉内において、ダクトAのない端面とダクトBとの間に、板によって炉の断面開口部面積が狭められている部分が、少なくとも１箇所設けられてなる請求項１〜３のいずれかに記載の炭素繊維製造用排ガス燃焼処理装置。
【請求項５】
板によって炉の断面開口部面積が狭められている部分における開口部面積が、炉の最も大きい断面開口部面積の60％以下である請求項４に記載の炭素繊維製造用排ガス燃焼処理装置。
【請求項６】
略円筒状の排ガスの燃焼処理炉を有する炭素繊維製造用排ガス燃焼処理装置において、処理する排ガスの全てを炉の中心軸方向に流れる中心流として導入し、空気を炉の内壁部を旋廻流として１ヶ所以上の導入口から該燃焼処理炉に導入することを特徴とする炭素繊維製造時の排ガス燃焼処理方法。
【請求項７】
略円筒状の排ガスの燃焼処理炉を有する炭素繊維製造用排ガス燃焼処理装置において、処理する排ガスの一部を炉の中心軸方向に流れる中心流として該燃焼処理炉へ導入し、残りの処理する排ガスを炉の内壁部を旋廻しながら流れる旋廻流として１ヶ所以上の導入口から該燃焼処理炉に導入し、さらに空気を炉の内壁部を旋廻流として排ガス導入口とは別の１ヶ所以上の導入口から該燃焼処理炉に導入することを特徴とする炭素繊維製造時の排ガス燃焼処理方法。
【請求項８】
略円筒状の排ガスの燃焼処理炉を有する炭素繊維製造用排ガス燃焼処理装置において、処理する排ガスの一部を炉の中心軸方向に流れる中心流として該燃焼処理炉へ導入し、残りの処理する排ガスを炉の内壁を旋回流として１ヶ所以上の導入口から該燃焼処理炉に導入することを特徴とする炭素繊維製造時の排ガス燃焼処理方法。
【請求項９】
略円筒状の排ガスの燃焼処理炉の内壁を旋廻流として導入される空気または高酸素濃度の排ガスに、導入前に助燃用燃焼ガスを混合する請求項６〜８のいずれかに記載の炭素繊維製造時の排ガス燃焼処理方法。
【請求項１０】
略円筒状の排ガスの燃焼処理炉に導入する低酸素濃度である排ガスのうちの少なくとも一部に、導入前に燃焼補助用として空気または高酸素濃度である排ガスを混合しておく請求項６〜９のいずれかに記載の排ガス燃焼処理方法。
【請求項１１】
燃焼処理炉内に導入する排ガスについて、以下の式を満たす請求項６〜１０のいずれかに記載の炭素繊維製造時の排ガス燃焼処理方法。
Ｄｖ／Ｌｖ≦０．４
ただし、Ｄｖ：燃焼処理炉内での旋廻流の平均径
Ｌｖ：中心流の燃焼処理炉内通過部の長さ
【請求項１２】
燃焼処理炉内に導入する排ガスの流量について、以下の式を満たす請求項６〜１１のいずれかに記載の炭素繊維製造時の排ガス燃焼処理方法。
Ｖｒ／Ｖｃ≧７
ただし、Ｖｒ：旋廻流量の和
Ｖｃ：中心流量
【請求項１３】
燃焼処理炉内に導入する排ガスの燃焼熱量について、以下の式を満たす請求項６〜１２のいずれかに記載の炭素繊維製造時の排ガス燃焼処理方法。
Ｑｂｅ‐ｒ／Ｑｂｅ‐ｃ≦０．３
ただし、Ｑｂｅ‐ｒ：旋廻流排ガス中に元来含まれる自燃成分の燃焼熱量
Ｑｂｅ‐ｃ：中心流排ガス中に元来含まれる自燃成分の燃焼熱量
【請求項１４】
燃焼処理炉内に導入されるガスの熱量について、以下の式を満たす請求項６〜１３のいずれかに記載の炭素繊維製造時の排ガス燃焼処理方法。
［Ｑｒ／Ｖｒ］／［Ｑｃ／Ｖｃ］≧０．１
ただし、
【数１】
2006308275.tif 000001
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】炭素繊維製造用排ガス燃焼処理装置および炭素繊維製造時の排ガス処理方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、炭素繊維製造時の排ガスを高温で燃焼させることにより分解処理するための炭素繊維製造用排ガス処理装置および炭素繊維製造時の排ガス処理方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明は、上記課題を達成するため以下の構成を採用する。すなわち、
（１）炉内への排ガス導入ダクトを２つ以上有する略円筒状の排ガスの燃焼処理炉を有する炭素繊維製造用排ガス燃焼処理装置であって、その導入口が炉の端面の中心点を含む、中心軸方向に並行に取りつけられた１つのダクトＡおよび、炉の略円筒面の接面に対して９０°以外の方向で、少なくともその一部が略円筒面上に取りつけられた１つ以上のダクトＢを有し、ダクトＢの導入口がダクトＡのない端面よりもダクトＡのある端面に近い側に取りつけられていることを特徴とする炭素繊維製造用排ガス燃焼処理装置。
（２）ダクトＢが排ガスの燃焼処理炉の略円筒面上または略円筒面と端面との縁に取りつけられ、その取りつけ方向が、ダクトＢの導入口を通る炉の略円筒面に略垂直な平面上において傾けられた方向である前記（１）に記載の炭素繊維製造用排ガス燃焼処理装置。
（３）排ガスの燃焼処理炉の形状について、以下の式を満たす前記（１）または（２）に記載の炭素繊維製造用排ガス燃焼処理装置。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
Ｄ／Ｌ≦０．４
ただし、Ｄ：燃焼処理炉の平均炉幅
Ｌ：燃焼処理炉の炉長
（４）排ガスの燃焼処理炉内において、ダクトAのない端面とダクトBとの間に、板によって炉の断面開口部面積が狭められている部分が、少なくとも１箇所設けられてなる前記（１）〜（３）のいずれかに記載の炭素繊維製造用排ガス燃焼処理装置。
（５）板によって炉の断面開口部面積が狭められている部分における開口部面積が、炉の最も大きい断面開口部面積の60％以下である前記（４）に記載の炭素繊維製造用排ガス燃焼処理装置。
（６）略円筒状の排ガスの燃焼処理炉を有する炭素繊維製造用排ガス燃焼処理装置において、処理する排ガスの全てを炉の中心軸方向に流れる中心流として導入し、空気を炉の内壁部を旋廻流として１ヶ所以上の導入口から該燃焼処理炉に導入することを特徴とする炭素繊維製造時の排ガス燃焼処理方法。
（７）略円筒状の排ガスの燃焼処理炉を有する炭素繊維製造用排ガス燃焼処理装置において、処理する排ガスの一部を炉の中心軸方向に流れる中心流として該燃焼処理炉へ導入し、残りの処理する排ガスを炉の内壁部を旋廻しながら流れる旋廻流として１ヶ所以上の導入口から該燃焼処理炉に導入し、さらに空気を炉の内壁部を旋廻流として排ガス導入口とは別の１ヶ所以上の導入口から該燃焼処理炉に導入することを特徴とする炭素繊維製造時の排ガス燃焼処理方法。
（８）略円筒状の排ガスの燃焼処理炉を有する炭素繊維製造用排ガス燃焼処理装置において、処理する排ガスの一部を炉の中心軸方向に流れる中心流として該燃焼処理炉へ導入し、残りの処理する排ガスを炉の内壁を旋回流として１ヶ所以上の導入口から該燃焼処理炉に導入することを特徴とする炭素繊維製造時の排ガス燃焼処理方法。
（９）略円筒状の排ガスの燃焼処理炉の内壁を旋廻流として導入される空気または高酸素濃度の排ガスに、導入前に助燃用燃焼ガスを混合する前記（６）〜（８）のいずれかに記載の炭素繊維製造時の排ガス燃焼処理方法。
（１０）略円筒状の排ガスの燃焼処理炉に導入する低酸素濃度である排ガスのうちの少なくとも一部に、導入前に燃焼補助用として空気または高酸素濃度である排ガスを混合しておく前記（６）〜（９）のいずれかに記載の排ガス燃焼処理方法。
（１１）燃焼処理炉内に導入する排ガスについて、以下の式を満たす前記（６）〜（１０）のいずれかに記載の炭素繊維製造時の排ガス燃焼処理方法。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
Ｄｖ／Ｌｖ≦０．４
ただし、Ｄｖ：燃焼処理炉内での旋廻流の平均径
Ｌｖ：中心流の燃焼処理炉内通過部の長さ
（１２）燃焼処理炉内に導入する排ガスの流量について、以下の式を満たす前記（６）〜（１１）のいずれかに記載の炭素繊維製造時の排ガス燃焼処理方法。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
Ｖｒ／Ｖｃ≧７
ただし、Ｖｒ：旋廻流量の和
Ｖｃ：中心流量
（１３）燃焼処理炉内に導入する排ガスの燃焼熱量について、以下の式を満たす前記（６）〜（１２）のいずれかに記載の炭素繊維製造時の排ガス燃焼処理方法。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
Ｑｂｅ‐ｒ／Ｑｂｅ‐ｃ≦０．３
ただし、Ｑｂｅ‐ｒ：旋廻流排ガス中に元来含まれる自燃成分の燃焼熱量
Ｑｂｅ‐ｃ：中心流排ガス中に元来含まれる自燃成分の燃焼熱量
（１４）燃焼処理炉内に導入されるガスの熱量について、以下の式を満たす前記（６）〜（１３）のいずれかに記載の炭素繊維製造時の排ガス燃焼処理方法。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
以下に説明するとおり、本発明の炭素繊維製造用排ガス燃焼処理装置または炭素繊維製造時の排ガス燃焼処理方法では、燃焼処理炉内の温度斑が小さく、排ガスが高温部分に効率的に接触するため、排ガスを確実に燃焼させて分解処理、無害化することができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
以下、図面に示す実施態様に基づいて、本発明についてさらに詳細に説明する。
図１ａは本発明に係る炭素繊維製造用排ガス燃焼処理装置の一例を示す見取り図で、図１ｂはその側面図、図１ｃは図１ｂで示すＡ−Ａ′矢視断面図である。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本炭素繊維製造用排ガス処理装置における燃焼処理炉（以下、単に炉ということがある）１の例では排ガス導入のダクトを３つ有しており、形状は略円筒状である。ここで略円筒とは、両端面間６−１，６−２の間のどの断面においてもその形状が真円または楕円である円筒を含むものであり、楕円の場合はその楕円について、短径／長径≧０．８を満たすものであることが好ましい。また、計器のための孔や扉などによる凹凸や製作上形成される歪みや凹凸はその有無に関係なく略円筒に該当するとみなす。また略円筒面とは、略円筒の曲面を形成している側面のことである。ここで、略円筒状の端面６−１、６−２と円筒面５のなす角度θ１、θ２は９０°が望ましいが、占めるスペースの観点から７０°〜１００°であってもよい。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
図２、図３は本発明の炭素繊維製造用排ガス燃焼処理装置の他の実施例を示す側面図である。前述のとおり、図１ａ〜図１ｃに示す例の炭素繊維製造用排ガス燃焼処理装置では図１ｃからわかるように、導入ダクト３−１、３−２はその取りつけ方向と該導入口３−１−ａ、３−２−ａにおける炉の略円筒面の接面７−１、７−２とのなす角度γ１、γ２が９０°以外であり、角度γ１、γ２は２０°〜６０°であることが好ましい。また図１ｂからわかるように、その取りつけ方向は、導入ダクト３−１、３−２の導入口３−１−ａ、３−２−ａを通る、炉の略円筒面に略垂直な平面８−１、８−２上にある。ここで、略垂直な平面というのは平面８−１や８−２の、炉の略円筒面とのなす角度β１、β２が８５°〜９５°であることが好ましい。この構成により、図２、図３に示すように、導入ダクト３−１、３−２の取りつけ方向がそれぞれ導入ダクト３−１、３−２の導入口３−１−ａ、３−２−ａを通る炉の略円筒面５に垂直な平面８−１、８−２上にない場合よりも円筒の燃焼処理炉１内での旋廻流の旋廻数が多くなり、炉壁部分での流れの斑がなくなるため、より確実に旋廻流が中心炎を包み込むことができ、排ガスをより効率的に分解させることができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
次に、本発明の炭素繊維製造用排ガス燃焼処理装置を用いた炭素繊維製造時の排ガス燃焼処理方法について説明する。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
本発明の炭素繊維製造時の排ガス排ガス燃焼処理方法の一実施態様として、燃焼処理させる排ガスは全て導入ダクト２より炉の中心軸方向に流れる中心流として燃焼処理炉１内へ導入させて炉内で中心火炎を形成させ、一方で導入ダクト３−１からは空気を導入させて旋廻流を形成させる方法がある。上記方法により、旋廻流が中心火炎を包みこむため中心流の壁部近くにおける温度低下が抑制され、また中心火炎の炉壁部への流出を防止することができるため、全体として排ガスの燃焼効率が高くなる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
実施例１
アクリル系繊維として、アクリロニトリル系の重合体を紡糸、延伸、水洗した後、油剤を付着し、繊維糸条を得た。この糸条の群を連続生産にて炭素繊維にすべく、この糸条の群の高温処理炉（１）入側での合計の通過量を２００ｋｇ／ｈとして、高温熱処理炉（１）にて２００℃〜３００℃の空気雰囲気下で８０分間熱処理したのち、高温熱処理炉（２
）にて５００℃〜１８００℃の窒素雰囲気下で１０分間熱処理し、炭素繊維を得た。この時、高温処理炉（１）での新鮮空気の給気流量、排ガス流量はともに３５００Ｎｍ３／ｈ、排ガス温度は２００℃とした。また高温処理炉（２）での新鮮窒素の給気流量、排ガス流量はともに３００Ｎｍ３／ｈ、排ガス温度は４００℃とした。これら排ガスには有毒で環境負荷の高いＨＣＮが含まれている（排ガスを放出する前にＨＣＮを分解処理する必要がある。）が、本例では高温熱処理炉（１）の排ガス中のＨＣＮの濃度が０．１ｖｏｌ％、高温処理炉（２）からの排ガス中のＨＣＮの濃度が２ｖｏｌ％であった。また、この時、各排ガスの自燃成分の燃焼熱量は、高温処理炉（１）からの排ガスで１１ｋｃａｌ／Ｎｍ３、高温処理炉（２）からの排ガスで１２５０ｋｃａｌ／Ｎｍ３となった。これらの排ガスを炉長Ｌが３ｍ、炉幅Ｄが１．１ｍである図１ａ〜図１ｃに示す形式の炭素繊維製造用排ガス燃焼処理装置にて燃焼分解処理を実施した。導入ダクト２からは予め１５０Ｎｍ３／ｈの空気と混合させた高温熱処理炉（２）からの排ガス３００Ｎｍ３／ｈを導入口２−ａにて４００℃で導入した。また、導入ダクト３−１からは灯油５０ｌ／ｈと高温熱処理炉（１）からの排ガスのうち５００Ｎｍ３／ｈを混合したガスを導入口３−１−ａにて２００℃で導入し、導入口で点火させた。灯油の燃焼熱量は８０００ｋｃａｌ／ｌであった。また導入ダクト３−２からは高温処理炉（１）からの残りの排ガス３０００Ｎｍ３／ｈを導入口３−２−ａにて２００℃で導入した。以上のようにして燃焼分解処理を実施した結果、炉内燃焼温度は８００℃となり、処理後排ガスのＨＣＮ濃度は５ｖｏｌｐｐｍとなり十分分解処理できていた。なお前述、及び後述の実施例、比較例における空気、排ガスの比熱はすべて０．３５ｋｃａｌ／Ｎｍ３・℃であった。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
実施例２
実施例１において糸条の群３組を組別に高温熱処理炉（１）、高温熱処理炉（２）にて焼成し炭素繊維を得た。この時、各組にて糸条の群の高温熱処理炉（１）入側での合計の通過量を７００ｋｇ／ｈとし、各組の高温処理炉（１）での新鮮空気の給気流量、排ガス流量はともに１１５００Ｎｍ３／ｈ、各組の高温処理炉（２）での新鮮窒素の給気流量、排ガス流量はともに１０００Ｎｍ３／ｈとし、残りの炉の条件は実施例１と同様とした。この時、各組の高温熱処理炉（１）の排ガス中のＨＣＮの濃度が０．１ｖｏｌ％、各組の高温熱処理炉（２）からの排ガス中のＨＣＮの濃度が２ｖｏｌ％であった。またこの時の排ガスの自燃成分の燃焼熱量は、高温熱処理炉（１）からの排ガスで各組１０ｋｃａｌ／Ｎｍ３、各高温熱処理炉（２）からの排ガスで各組１３１０ｋｃａｌ／Ｎｍ３となった。これら各組からの排ガスを高温熱処理炉別毎に混合させ、高温処理炉（１）からの総排ガス量３４５００Ｎｍ３／ｈと高温熱処理炉（２）からの総排ガス量３０００Ｎｍ３／ｈを、炉長Ｌが６．２ｍ、炉幅Ｄが２ｍである図１に示す形式の炭素繊維製造用排ガス燃焼処理装置にて燃焼分解処理を実施した。導入ダクト２からは予め１５００Ｎｍ３／ｈの空気と混合させた高温熱処理炉（２）からの排ガス３０００Ｎｍ３／ｈを導入口２−ａにて４００℃で導入した。また導入ダクト３−１からは灯油５００ｌ／ｈと高温熱処理炉（１）からの排ガスのうち５０００Ｎｍ３／ｈを混合したガスを導入口３−１−ａにて２００℃で導入し、導入口で点火させた。灯油の燃焼熱量は８０００ｋｃａｌ／ｌであった。また導入ダクト３−２からは高温処理炉（１）からの残りの排ガス２９５００Ｎｍ３／ｈを導入口３−２−ａにて２００℃で導入した。以上のようにして燃焼分解処理を実施した結果、炉内燃焼温度は８００℃となり処理後排ガスのＨＣＮ濃度は５ｖｏｌｐｐｍとなり十分分解処理できていた。 
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
実施例３
図２で示す形式の炭素繊維製造用排ガス燃焼処理装置を用い、実施例１と同様な条件でガスを燃焼処理炉１に導入して燃焼分解処理を行った。このときの炉内燃焼温度も８００℃となり、処理後排ガスのＨＣＮ濃度は１５ｖｏｌｐｐｍとなり分解処理できていた。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
実施例５
実施例１において、炉長Ｌが２．５ｍ、炉幅Ｄは１．５ｍである図１ａ〜図１ｃで示す形式の炭素繊維製造用排ガス燃焼処理装置を用い、他の条件は同様にして燃焼分解処理を行なった。この時炉内燃焼温度は８００℃となり、処理後のＨＣＮの濃度は２０ｖｏｌｐｐｍとなりやや分解処理能力は減少していた。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
比較例１
図１ａ〜図１ｃに示す炭素繊維製造用排ガス燃焼処理装置において、図４に示す導入ダクト２がない形式の炭素繊維製造用排ガス燃焼処理装置を用いて実施例１と同様に排出される排ガスに対し、導入ダクト３−１からは、高温処理炉（１）からの排ガスのうち５００Ｎｍ３／ｈと灯油５０１／ｈとを混合させたガスを導入口３−１−ａにて２００℃で燃焼処理炉１内に導入し、点火させた。また導入ダクト３−２からは高温処理炉（１）からの残りの排ガス３０００Ｎｍ３／ｈと高温処理炉（２）から排出される３００Ｎｍ３／ｈとを混合させたガスを導入口３−２−ａにて２００℃で燃焼処理炉１内に導入した。以上のようにして燃焼分解処理を行った結果、炉
内燃焼温度は８００℃となったが、旋廻流しか生じていないため、処理後のＨＣＮの濃度は２００ｖｏｌｐｐｍとなり分解処理能力は不十分であった。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
比較例２
図１に示す炭素繊維製造用排ガス燃焼処理装置において、図５に示す導入ダクト３−１，３−２がない形式の炭素繊維製造用排ガス燃焼処理装置を用いて、実施例１と同様に排出される排ガスに対し、導入ダクト２から高
温処理炉（１）からの排ガス３５００Ｎｍ３／ｈと灯油５０ｌと高温処理炉（２）からの排出ガス３００Ｎｍ３／ｈを予め混合した後、導入口２−ａにて２００℃で燃焼処理炉１に導入して点火し、燃焼分解処理を行った。この時炉内燃焼温度は８００℃となったが、中心流しか生じていないため処理後のＨＣＮの濃度は５００ｖｏｌｐｐｍとなり分解処理能力は不十分であった。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
【図１ａ】本発明の炭素繊維製造用排ガス燃焼処理装置の一例を示す見取り図である。
【図１ｂ】図１ａの側面図である。
【図１ｃ】図１ｂのＡ−Ａ’矢視図である。
【図２】本発明の炭素繊維製造用排ガス燃焼処理装置の他の実施例を示す側面図である。
【図３】本発明の炭素繊維製造用排ガス燃焼処理装置のさらに他の実施例を示す側面図である。
【図４】従来の排ガス燃焼処理装置の一例を示す見取り図である。
【図５】従来の排ガス燃焼処理装置の他の一例を示す見取り図である。
【図６】本発明の炭素繊維製造用排ガス燃焼処理装置のさらに他の実施例を示す透視側面図である。
【図７】本発明の炭素繊維製造用排ガス燃焼処理装置のさらに他の実施例を示す透視側面図である。