【手続補正書】
【提出日】平成21年1月9日(2009.1.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハと、
前記ウェハ上面を複数の領域に区分し、区分された各領域に配置された複数のセンサと、
前記ウェハ表面で前記複数のセンサと電気的に接続され、外部接触子と接続して前記複数のセンサのセンサ出力を出力信号として出力する接点とを備える、ウェハ型センサ。
【請求項２】
前記ウェハ型センサは、前記複数のセンサのセンサ出力が与えられ、外部装置から与えられる選択信号に応じていずれかのセンサのセンサ出力を前記接点に出力する選択手段をさらに備える、請求項１に記載のウェハ型センサ。
【請求項３】
前記ウェハは、それぞれ１以上のセンサを含む１以上のグループにグループ分けされており、
前記選択手段は、前記グループ毎に設けられてグループ内のセンサのセンサ出力を選択する１以上のグループ別選択手段を含み、
前記接点は、前記グループ別選択手段毎に設けられ、対応するグループ別選択手段からのセンサ出力が与えられる１以上のグループ別接点を含む、請求項２に記載のウェハ型センサ。
【請求項４】
前記接点と前記センサとは、前記ウェハの同一面上に設けられる、請求項１〜３のいずれかに記載のウェハ型センサ。
【請求項５】
前記接点と前記センサとは、それぞれ前記ウェハの異なる面上に設けられる、請求項１〜３のいずれかに記載のウェハ型センサ。
【請求項６】
前記接点は、前記センサのセンサ出力を出力信号として出力する出力端子と、外部装置から選択信号が与えられる選択信号端子と、外部電源から電源電圧の供給を受ける電源端子とを含む、請求項１〜５のいずれかに記載のウェハ型センサ。
【請求項７】
ウェハ、前記ウェハ上面を複数の領域に区分し、区分された各領域に配置された複数のセンサ、および前記ウェハ表面で前記複数のセンサと電気的に接続され、前記複数のセンサのセンサ出力を出力信号として出力する接点を備えるウェハ型センサと、
前記ウェハ型センサの接点に接触可能な接触子と、
前記接触子が前記接点に接続されたことに応じて、前記複数のセンサのセンサ出力に基づいて、前記ウェハ上の各領域の状態を判別する判別手段とを備える、状態測定装置。
【請求項８】
状態測定機能を有する装置であって、
ウェハ、前記ウェハ上面に配置された複数のセンサ、および前記ウェハ表面で前記複数のセンサと電気的に接続され、前記複数のセンサのセンサ出力を出力信号として出力する接点を備えるウェハ型センサを収容可能な筐体と、
前記筐体内で、前記ウェハを加熱または冷却するプレートと、
前記筐体内部に配置され、前記ウェハ型センサの接点に接触可能な接触子と、
前記筐体外部に配置され、前記ウェハ型センサからのセンサ出力を管理するデータ管理部とを備える、装置。
【請求項９】
前記データ管理部は、前記接触子が前記接点に接続されたことに応じて、前記複数のセンサのセンサ出力に基づいて、前記ウェハ上の各領域の状態を判別する判別手段を含む、請求項８に記載の装置。
【請求項１０】
前記データ管理部は、前記判別手段による判別結果に基づいて、前記ウェハ上の各領域の温度分布を一定に保つために前記プレートの温度を補正する温度補正手段を含む、請求項９に記載の装置。
【請求項１１】
前記装置は、前記ウェハ型センサの上方に昇降自在に設けられた蓋部材をさらに備え、
前記接点は、前記ウェハの上面に設けられ、
前記接触子は、前記接点に対向するように前記蓋部材の下面に設けられ、前記蓋部材が降下したときに前記接点に接触する、請求項８〜１０のいずれかに記載の装置。
【請求項１２】
前記装置は、前記プレートから突出して前記ウェハ型センサを支持するピンをさらに備え、
前記接触子は、前記ピンの先端に設けられ、
前記接点は、前記接触子と対向するように前記ウェハの下面に設けられ、
前記接触子は、前記ウェハ型センサが前記ピン上に載置されたときに前記接点に接触する、請求項８〜１０のいずれかに記載の装置。
【請求項１３】
装置内に載置されたウェハ上の温度を測定する方法であって、
前記装置に対して加熱時間および加熱温度を含むレシピパラメータを入力する工程と、
ウェハと、前記ウェハ上面の複数の領域に区分し、区分された各領域に配置された複数の温度センサと、前記ウェハ表面で前記複数の温度センサと電気的に接続され、前記複数の温度センサのセンサ出力を出力信号として出力する接点とを有するウェハ型温度センサを前記装置内に搬入する工程と、
前記ウェハ型温度センサの接点と、前記装置内部に設けられた接触子とを接続する工程と、
前記装置の外部に設けられて前記ウェハ上の各領域の温度を判別する判別手段に、前記複数の温度センサのセンサ出力を前記接点を介して送信する工程と、
前記接点と前記接触子との連結を解除して、前記ウェハ型温度センサを前記装置内から搬出する工程とを含む、温度測定方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】ウェハ型センサ、状態測定装置、状態測定機能を有する装置および温度測定方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
この発明は、ウェハ型センサ、ウェハ型センサを用いた状態測定装置、状態測定機能を有する装置および温度測定方法に関し、例えばウェハを加熱する加熱板の温度を測定する装置および方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
そこで、この発明の目的は、温度等の物理状態の測定工程を自動化することができ、かつ、高温中でも測定精度が劣化しないウェハ型センサ、ウェハ型センサを用いた状態測定装置、状態測定機能を有する装置、および温度測定方法を提供することである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
この発明に係るウェハ型センサは、ウェハと、ウェハ上面を複数の領域に区分し、区分された各領域に配置された複数のセンサと、ウェハ表面で複数のセンサと電気的に接続され、外部接触子と接続して複数のセンサのセンサ出力を出力信号として出力する接点とを備える。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
上記構成とすることにより、既存の搬送装置を使用してウェハ型センサの搬入および搬出の工程を自動化することができる。その結果、温度等の状態測定の際にケーブルの接続等の手作業の工程を排除することができるので、装置の作業効率を高めることができる。また、装置内外を接続するケーブルを必要としないので、装置を密封することが可能となる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
好ましくは、ウェハ型センサは、複数のセンサのセンサ出力が与えられ、外部装置から与えられる選択信号に応じていずれかのセンサのセンサ出力を接点に出力する選択手段をさらに備える。これにより、ウェハ表面の接点の数を削減することが可能となる。同時に、装置側に設けられる接点に対応する接触子の数をも削減することができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
好ましくは、ウェハは、それぞれ１以上のセンサを含む１以上のグループにグループ分けされており、選択手段は、グループ毎に設けられてグループ内のセンサのセンサ出力を選択する１以上のグループ別選択手段を含み、接点は、グループ別選択手段毎に設けられ、対応するグループ別選択手段からのセンサ出力が与えられる１以上のグループ別接点を含む。一つの選択手段に全てのセンサを接続してもよいが、ウェハ上面のグループ毎に複数の選択手段を設けることにより、センサと選択手段との間の配線を簡素化することができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
一実施形態として、接点とセンサとはウェハの同一面上に設けられる。また、他の実施形態として、接点とセンサとはそれぞれウェハの異なる面上に設けられる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
接点は、例えば、センサのセンサ出力を出力信号として出力する出力端子と、外部装置から選択信号が与えられる選択信号端子と、外部電源から電源電圧の供給を受ける電源端子とを含む。上記構成の接点が外部接触子に接続されると、出力端子、選択信号端子、および電源端子が外部接触子側の対応する端子にそれぞれ接続される。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
この発明に係る状態測定装置は、ウェハ、ウェハ上面を複数の領域に区分し、区分された各領域に配置された複数のセンサ、およびウェハ表面で複数のセンサと電気的に接続され、複数のセンサのセンサ出力を出力信号として出力する接点を備えるウェハ型センサと、ウェハ型センサの接点に接触可能な接触子と、接触子が接点に接続されたことに応じて、複数のセンサのセンサ出力に基づいて、ウェハ上の各領域の状態を判別する判別手段とを備える。上記構成の状態測定装置は、センサと判別手段とを有線で接続しているので、高温中でも高精度の測定結果を得ることができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
この発明に係る装置は、状態測定機能を有する装置である。具体的には、ウェハ、ウェハ上面に配置された複数のセンサ、およびウェハ表面で複数のセンサと電気的に接続され、複数のセンサのセンサ出力を出力信号として出力する接点を備えるウェハ型センサを収容可能な筐体と、筐体内でウェハを加熱または冷却するプレートと、筐体内部に配置され、ウェハ型センサの接点に接触可能な接触子と、筐体外部に配置され、ウェハ型センサからのセンサ出力を管理するデータ管理部とを備える。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
データ管理部の一実施形態としては、接触子が接点に接続されたことに応じて、複数のセンサのセンサ出力に基づいて、ウェハ上の各領域の状態を判別する判別手段を含む。また、データ管理部の他の実施形態としては、判別手段による判別結果に基づいて、ウェハ上の各領域の温度分布を一定に保つためにプレートの温度を補正する温度補正手段を含む。上記構成とすることにより、装置内のウェハの状態測定を自動化することができる。また、ウェハ型センサと筐体外部のデータ管理部とは有線で接続されているのでＡ／Ｄコンバータを用いる必要がなく、高温中でも高精度の測定結果を得ることができる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
一実施形態として、装置はウェハ型センサの上方に昇降自在に設けられた蓋部材をさらに備える。そして、接点はウェハの上面に設けられ、接触子は接点に対向するように蓋部材の下面に設けられ、蓋部材が降下したときに接点に接触する。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
他の実施形態として、装置は、プレートから突出して前記ウェハ型センサを支持するピンをさらに備える。そして、接触子はピンの先端に設けられ、接点は接触子と対向するようにウェハの下面に設けられ、接触子は、ウェハ型センサがピン上に載置されたときに接点に接触する。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
この発明に係る装置における接点と接触子との接続は、両者が接触したときに接続され、両者が離れたときに接続が解除されるレセプタクル方式を採用する。これにより、接点と接触子との接続を自動化することができる。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
この発明に係る温度測定方法は、装置内に載置されたウェハ上の温度を測定する方法である。具体的には、第１の工程として、装置に対して加熱時間および加熱温度を含むレシピパラメータを入力する。第２の工程として、ウェハと、ウェハ上面の複数の領域に区分し、区分された各領域に配置された複数の温度センサと、ウェハ表面で複数の温度センサと電気的に接続され、複数の温度センサのセンサ出力を出力信号として出力する接点とを有するウェハ型温度センサを前記装置内に搬入する。第３の工程として、ウェハ型温度センサの接点と、装置内部に設けられた接触子とを接続する。第４の工程として、装置の外部に設けられてウェハ上の各領域の温度を判別する判別手段に、複数の温度センサのセンサ出力を接点を介して送信する。第５の工程として、接点と接触子との連結を解除して、ウェハ型温度センサを装置内から搬出する。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
上記の温度測定方法は、作業員による手作業の必要がなく、全ての工程を自動で行うことができる。その結果、温度測定の度に装置を停止する必要がなくなるので、装置の作業効率が向上する。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
この発明により、温度等の状態の測定工程を自動化することができ、かつ、高温中でも測定精度が劣化しないウェハ型センサ、ウェハ型センサを用いた状態測定装置、状態測定機能を有する装置、および温度測定方法を得ることができる。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
図１〜図６を参照して、この発明の一実施形態に係るウェハ型センサ、ウェハ型センサを利用した状態測定装置、状態測定機能を有する装置、およびこのような装置における温度測定方法を説明する。なお、センサが計測するのは、温度、加速度、圧力、傾斜度、静電容量等の諸物理量（物理状態）であるが、以下に説明する実施形態では、物理量の代表例として、温度を例示的に記載する。また、状態測定機能を有する装置として、例示的に、温度測定機能を有する熱処理装置を記載する。