【手続補正書】
【提出日】平成21年8月24日(2009.8.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コンピュータ実行型ファクトリーオートメーション・ライフサイクルを規定するための方法であって：
ａ）  ライフサイクル活動フレームワーク・コンポーネントを規定し、インストールし、及び管理する段階と；
ｂ）  ファクトリー・モデリング・ライフサイクル活動フレームワーク・コンポーネントを規定する段階と；及び
ｃ）  生産制御、監視及び追跡ライフサイクル活動フレームワーク・コンポーネントを規定する段階と
を具備することを特徴とする方法。
【請求項２】
管理ライフサイクル活動フレームワーク・コンポーネントを規定する段階は、セキュリティ・コンポーネント、ＧＵＩコンソール・コンポーネント、実行並びにライセンス管理コンポーネント、及びサガ管理コンポーネントを含むグループから選択された一つ以上のフレームワーク・コンポーネントを規定する段階を具備し、
ファクトリー・モデリング・ライフサイクル活動フレームワーク・コンポーネントを規定する段階は、コンテクスト・レゾリューション・コンポーネント、構築管理コンポーネント及びカレンダ・コンポーネントを含むグループから選択された一つ以上のフレームワーク・コンポーネントを規定する段階を具備することを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
生産、制御、監視及び追跡ライフサイクル活動フレームワーク・コンポーネントを規定する段階は、視覚的ワークフロウ・コンポーネント、リソース調整コンポーネント、イベント監視コンポーネント及びリソース表コンポーネントを含むグループから選択された一つ以上のフレームワーク・コンポーネントを規定する段階を具備することを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
生産結果ライフサイクル活動フレームワーク・コンポーネントの一つ以上の解析を規定するための方法を追加的に具備する、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
生産結果ライフサイクル活動フレームワーク・コンポーネントの一つ以上の解析を規定する段階は、データ・マネージャ・コンポーネントの規定を具備することを特徴とする、請求項４に記載の方法。
【請求項６】
一つ以上の生産結果ライフサイクル活動フレームワーク・コンポーネントと、ファクトリー・モデリング・ライフサイクル活動フレームワーク・コンポーネントを含むグループから選択されたコンポーネントとの間の相互干渉を規定するための方法を追加的に規定することを特徴とする、請求項４に記載の方法。
【請求項７】
ＳＷ開発及び統合ライフサイクル活動を追加的に規定することを特徴とする、請求項１の方法。
【請求項８】
生産計画ライフサイクル活動を追加的に規定することを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
ファクトリーオートメーションライフサイクルを規定する段階は、集積回路構造を処理するためのファクトリーオートメーションライフサイクルを規定する段階を具備することを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
ファクトリーオートメーションライフサイクルを規定する段階はさらに、前記フレームワーク・コンポーネントが、ツール統合コンポーネントと通信するために適応するように、フレームワーク・コンポーネントを規定する段階を追加的に具備し、前記フレームワーク・コンポーネントは、インストール及び管理ライフサイクル活動フレームワーク・コンポーネント、ファクトリー・モデリング・ライフサイクル活動フレームワーク・コンポーネント、及び生産、制御、監視及び追跡ライフサイクル活動フレームワーク・コンポーネントを含むグループから選択されることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
生産制御、監視及び追跡ライフサイクル活動コンポーネントを規定する段階は、視覚的ワークフロウ・コンポーネントを規定する段階を具備することを特徴とする、請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
請求項１に記載の方法であって、
一つ以上のコンピュータの手段によって一つ以上のフレームワーク・ソフトウェア・コンポーネントを含むファクトリーオートメーションライフサイクルをランさせる段階と；
前記システムを管理するための一つ以上のコンピュータ実行型命令を供給するための一つ以上のアプリケーション・ソフトウェア・コンポーネントをランさせる段階であって、前記一つ以上のフレームワーク・コンポーネントが、前記アプリケーション・コンポーネントを管理するために適応する前記段階と；
前記一つ以上の命令が、変更される必要があるかを決定する段階と；
前記命令が変更される必要がない場合に、前記一つ以上の命令を前記システムに通信する段階と；
それによって変更された命令を形成する一つ以上のフレームワーク・コンポーネントの手段によって、それらが変更される必要がある場合に命令を変更する段階と；及び
前記変更された命令を前記システムに通信する段階と
をさらに具備する方法。
【請求項１３】
前記システムにおいて前記一つ以上の命令を実行することによって、前記処理システムを管理する段階を追加的に具備することを特徴とする、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記フレームワーク・コンポーネントの一つ以上をランする段階は、セキュリティ・コンポーネント、ＧＵＩコンソール・コンポーネント、実行並びにライセンス管理コンポーネント、サガ管理コンポーネント、コンテクスト・レゾリューション・コンポーネント、構築管理コンポーネント、カレンダ・コンポーネント、視覚的ワークフロウ・コンポーネント、リソース調整コンポーネント、イベント監視コンポーネント、リソース表コンポーネント、及びデータ・マネージャ・コンポーネントを含むグループから選択された一つ以上のコンポーネントをランさせる段階を具備し、
一つ以上のアプリケーション・コンポーネントをランさせる段階は、品質管理コンポーネント、ツール統合コンポーネント、装置管理コンポーネント、レシピ管理コンポーネント、発送並びにスケジュール・コンポーネント、材料取り扱いコンポーネント、進行中作業コンポーネント、及びレガシー・システム・インターフェース・コンポーネントを含むグループから選択された一つ以上のコンポーネントをランさせる段階を具備することを特徴とする、請求項１２に記載の方法。
【請求項１５】
通信段階は、ツール統合コンポーネントの手段によって通信する段階を具備することを特徴とする、請求項１２に記載の方法。
【請求項１６】
通信段階は、
ａ）  ツール・インターフェース・プログラムと；及び
ｂ）  ツール統合コンポーネント・アダプタと
の手段による通信段階を具備することを特徴とする、請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
前記一つ以上のコンピュータ実行型命令は、視覚的フレームワーク・コンポーネント命令であることを特徴とする、請求項１５に記載の方法。
【請求項１８】
サーバ構築ビルディング・ブロック、持続性ビルディング・ブロック、共通ＧＵＩ制御ビルディング・ブック、パブリッシュ・サブスクライブ・メッセージ・ビルディング・ブロック、ダイナミックＡＰＩ発見ビルディング・ブロック、関連ビルディング・ブロック、履歴ビルディング・ブロック、汎用サービス実行者ビルディング・ブロック、分類ビルディング・ブロック、顧客規定属性ビルディング・ブロック、状態モデル・ビルディング・ブロック、ネーム空間ビルディング・ブロック、スケジュール／デートブック・ビルディング・ブロック、テンプレート・ビルディング・ブロック、変形オブジェクト・ビルディング・ブロック、及びナビゲーション・ビルディング・ブロックを含むグループから選択されたひとつ以上のソフトウェア・ビルディング・ブロックの手段によって、一つ以上のフレームワーク・コンポーネントを形成する段階を追加的に具備することを特徴とする、請求項１２に記載の方法。
【請求項１９】
一つ以上のフレームワーク・コンポーネントをランさせる段階は、前記一つ以上のフレームワーク・コンポーネントの一つのデータ構造を、フレームワーク・コンポーネント及びアプリケーション・コンポーネントを含むグループから選択された前記一つ以上のコンポーネントの一つのデータ構造に通信する手段を追加的に具備することを特徴とする、請求項１２に記載の方法。
【請求項２０】
処理システムを管理する段階は、集積回路構造を処理するためのシステムを管理する段階を具備することを特徴とする、請求項１２に記載の方法。
【請求項２１】
前記システムは、一つ以上のウェーハ組み立てツールを具備することを特徴とする、請求項２０に記載の方法。
【請求項２２】
製品を処理するための装置であって、
ａ）  製品処理装置と；
ｂ）  少なくとも一つの電子データ処理のための中央処理装置と；
ｃ）  前記中央処理装置を前記製品処理装置に動作可能にリンクするためのリンクと；
ｄ）  デジタル・コード化されたデータ構造を記録するためのメモリであって、前記少なくとも一つの中央処理装置に動作可能にリンクされるメモリと；及び
ｅ）  データ構造は：（１）管理ライフサイクル活動フレームワーク・コンポーネントと、（２）ファクトリー・モデリング・ライフサイクル活動フレームワーク・コンポーネントと、及び（３）生産制御及び追跡ライフサイクル活動フレームワーク・コンポーネントとを含むファクトリーオートメーションライフサイクルを具備することを特徴とする、メモリに記録されたデジタル・コード化された第一のデータ構造と
を具備する装置。
【請求項２３】
前記管理ライフサイクル活動フレームワーク・コンポーネントは、セキュリティ・コンポーネント、ＧＵＩコンソール・コンポーネント、実行並びにライセンス管理コンポーネント及びサガ管理コンポーネントを含むグループから選択された一つ以上のフレームワーク・コンポーネントを具備することを特徴とする、請求項２２に記載の装置。
【請求項２４】
前記ファクトリー・モデリング・ライフサイクル活動フレームワーク・コンポーネントは、コンテクスト・レゾリューション・コンポーネント、構築管理コンポーネント及びカレンダ・コンポーネントを含むグループから選択されたひとつ以上のフレームワーク・コンポーネントを具備することを特徴とする、請求項２２に記載の装置。
【請求項２５】
生産制御及び追跡ライフサイクル活動フレームワーク・コンポーネントは、視覚的ワークフロウ・コンポーネント、リソース調整コンポーネント、イベント監視コンポーネント及びリソース表コンポーネントを含むグループから選択された一つ以上のフレームワーク・コンポーネントを具備することを特徴とする、請求項２２に記載の装置。
【請求項２６】
生産結果ライフサイクル活動フレームワーク・コンポーネントの一つ以上の解析を追加的に具備することを特徴とする、請求項２２に記載の装置。
【請求項２７】
アプリケーション・コンポーネントを含むデジタル・コード化された第二のデータ構造を追加的に具備し、前記第一のデータ構造は前記第二のデータ構造を管理するために適応し、
前記フレームワーク・コンポーネントの一つ以上を形成するためのソフトウェア・ビルディング・ブロックを含むデジタル・コード化された第三のデータ構造を追加的に具備する、請求項２２に記載の装置。
【請求項２８】
前記第一のデータ構造は：
ａ）  ＧＵＩコンソール・コンポーネントを含むデジタル・コード化された第四のデータ構造と；及び
ｂ）  構築管理コンポーネントを含むデジタル・コード化された第五のデータ構造と
を具備することを特徴とする、請求項２２に記載の装置。
【請求項２９】
前記第四の及び第五のデータ構造は、相互干渉のために適応することを特徴とする、請求項２８に記載の装置。
【請求項３０】
前記リンクは：（１）ツール統合コンポーネント・アダプタと及び（２）ツール・インターフェース・プログラムとを含むツール統合コンポーネントを具備することを特徴とする、請求項２２に記載の装置。
【請求項３１】
集積回路構造を処理するための装置を具備することを特徴とする、請求項２２に記載の装置。