(57)【要約】【課題】シール部材の装着に好適なシール接続部の連結構造を提供すること。【解決手段】第１接続部１７Ａと第２接続部１７Ｂとの間にシール部材１０を配置し、連結部材３によって接続部分を連結するシール接続部の連結構造９において、第１及び第２接続部１７Ａ，１７Ｂは、嵌合凹溝７３Ａ，７３Ｂが端面外周に設けられ、嵌合凹溝７３Ａ，７３Ｂの端面側内壁に、嵌合凹溝７３Ａ，７３Ｂの開口部に向かって端面側に傾斜する接続部側テーパ７４Ａ，７４Ｂを有し、連結部材３は、固定部材４５によって固定される第１連結ブロック４１と第２連結ブロック４２とを有し、第１及び第２連結ブロック４１，４２に嵌合凹溝７３Ａ，７３Ｂに嵌合する嵌合凸部４９Ａ，４９Ａ，５０Ａ，５０Ｂが設けられ、嵌合凸部４９Ａ，４９Ｂ，５０Ａ，５０Ｂに接続部側テーパ７４Ａ，７４Ｂに対応する連結側テーパ５１Ａ，５１Ｂ，５２Ａ，５２Ｂを有する。【選択図】図８
2008267428.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の部品の第１接続部と第２の部品の第２接続部との間にシール部材を配置し、連結部材によって接続部分を連結するシール接続部の連結構造において、
前記第１及び前記第２接続部は、嵌合凹溝が端面外周に複数設けられ、
前記連結部材は、
固定部材によって固定される第１連結ブロックと第２連結ブロックとを有し、
前記第１及び前記第２連結ブロックに前記嵌合凹溝に嵌合する嵌合凸部が複数設けられている
ことを特徴とするシール接続部の連結構造。
【請求項２】
請求項１に記載するシール接続部の連結構造において、
前記嵌合凹溝は、端面側内壁に、前記嵌合凹溝の開口部に向かって前記端面側に傾斜する接続部側テーパを有し、
前記嵌合凸部は、前記接続部側テーパに対応する連結側テーパを有する
ことを特徴とするシール接続部の連結構造。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載するシール接続部の連結構造において、
前記連結部材は、前記第１及び前記第２の部品に対する回転を阻止する廻り止めが設けられている
ことを特徴とするシール接続部の連結構造。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３の何れか一つに記載するシール接続部の連結構造において、
前記第１及び前記第２接続部は、前記シール部材が装着される環状の装着溝を有し、
前記シール部材は、一端面に前記装着溝に嵌合してシールするシール部が形成され、他端面が閉鎖されており、前記他端面外周に前記第１及び前記第２接続部に設けた前記嵌合凹溝及び前記接続部側テーパと同じ嵌合凹溝及び接続部側テーパが設けられている
ことを特徴とするシール接続部の連結構造。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４の何れか一つに記載するシール接続部の連結構造において、
前記連結部材は、前記第１及び前記第２連結ブロックの取付方向、及び、前記第１及び前記第２接続部の接続方向に対して直交する方向から、前記第１及び前記第２連結ブロックが前記端面接続部分を保持する保持部分を挟んで前記第１及び前記第２連結ブロックに取り付けられ、前記第１及び前記第２連結ブロックを保持する第３連結ブロックと第４連結ブロックとを有する
ことを特徴とするシール接続部の連結構造。
【請求項６】
請求項５に記載するシール接続部の連結構造において、
前記第１及び前記第２連結ブロックは、前記第３及び前記第４連結ブロックを取り付けられる面から、前記端面接続部分を保持する保持部が設けられた側面と反対側に向かって傾斜する被加圧側テーパを有し、
前記第３及び前記第４連結ブロックは、前記第１及び前記第２連結ブロックに取り付けられる面に前記被加圧側テーパに対応する加圧側テーパを有する
ことを特徴とするシール接続部の連結構造。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６の何れか一つに記載するシール接続部の連結構造において、
前記シール部材は、圧入代を有する第１凹凸条と第２凹凸条を有し、
前記第１及び前記第２接続部は、前記第１凹凸条と前記第２凹凸条に対応する第１凸凹条と第２凸凹条とを有し、
前記第１及び前記第２凸凹条を前記第１及び前記第２凹凸条の圧入代にそれぞれ圧入してシールする
ことを特徴とするシール接続部の連結構造。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７の何れか一つに記載するシール接続部の連結構造において、
前記第１の部品と、前記第２の部品と、前記シール部材と、前記第１連結ブロックと、前記第２連結ブロックは、樹脂を材質とする
ことを特徴とするシール接続部の連結構造。
【請求項９】
請求項１乃至請求項８の何れか一つに記載するシール接続部の連結構造に用いられ、前記シール部材を前記第１及び前記第２接続部に圧入する圧入治具であって、
前記第１の部品を固定する固定部と、
前記固定部が前記第第１の部品を固定する固定位置に向かって直線往復運動する可動部と、
前記可動部に駆動力を与える駆動部とを有する
ことを特徴とする圧入治具。
【請求項１０】
請求項１乃至請求項８の何れか一つに記載するシール接続部の連結構造を用いて、第１流体機器と第２流体機器とを連結していることを特徴とする流体機器ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シール接続部の連結構造、流体機器ユニット及び圧入治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体製造工程や液晶製造工程などの薬液制御には、流量制御弁や開閉弁などのバルブ類や、フィルタ、圧力センサや流量センサなどのセンサ類、継手ブロックや流路ブロックなどの配管ブロック類など、流体機器が使用される。近年、装置のコンパクト化のため、これら流体機器の接続部同士を連結部材を用いて直接連結し、ユニット化することが行われている。図２９は、従来のシール接続部の連結構造を使用した流体機器ユニット１１００の断面図である。
【０００３】
従来の流体機器ユニット１１００は、第１バルブ１１０１Ａと第２バルブ１１０１Ｂの接続部をシール部材１１０２を介して突き合わせ、第１及び第２バルブ１１０１Ａ，１１０１Ｂの接続部分を連結部材１１０３を用いて連結したシール接続部の連結構造を使用し、第１及び第２バルブ１１０１Ａ，１１０１Ｂを連結している。
【０００４】
第１及び第２バルブ１１０１Ａ，１１０１Ｂは、樹脂製のバルブボディ１１０４Ａ，１１０４Ｂに駆動部１１０５Ａ，１１０５Ｂを図示しないボルトで固定したものである。バルブボディ１１０４Ａ，１１０４Ｂは、流路１１０６Ａ，１１０６Ｂが側面に開口し、各開口部の周りにフランジ部１１０７Ａ，１１０７Ｂが突設されている。各フランジ部１１０７Ａ，１１０７Ｂの端面には、第１及び第２環状突起１１０９Ａ，１１０９Ｂを備える凸凹条の装着溝１１０８Ａ，１１０８Ｂが流路１１０６Ａ，１１０６Ｂの開口部の周りに沿って形成されている。そして、シール部材１１０２の両端面には、第１及び第２環状突起１１０９Ａ，１１０９Ｂが圧入される第１及び第２環状溝１１０２ａ，１１０２ｂが形成されている。
【０００５】
連結部材１１０３は、樹脂製の第１連結ブロック１１１０と第２連結ブロック１１１１とに上下分割され、上方から図示しないボルトによって第１及び第２連結ブロック１１１０，１１１１を一体化している。第１及び第２連結ブロック１１１０，１１１１は、シール部材１１０２の第１及び第２環状溝１１０２ａ，１１０２ｂに第１及び第２環状突起１１０９Ａ，１１０９Ｂを圧入したフランジ部１１０７Ａ，１１０７Ｂを保持するため、フランジ部１１０７Ａ，１１０７Ｂが嵌合する第１及び第２保持溝１１１３，１１１４がそれぞれ内周面に沿って断面コの字状に形成されている。
【０００６】
かかる従来のシール接続部の連結構造によれば、第１及び第２バルブ１１０１Ａ，１１０１Ｂの接続部分を連結部材１１０３のみで連結するので、流体機器の組立性を良好にできる。
【０００７】
【特許文献１】特開２００７−２９０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、従来のシール接続部の連結構造は、第１及び第２連結ブロック１１１０，１１１１をフランジ部１１０７Ａ，１１０７Ｂの外周面に装着して図示しないボルトをしめつけて、フランジ部１１０７Ａ，１１０７Ｂの間にシール部材１１０２の装着するときに、シール部材１１０２がフランジ部１１０７Ａ，１１０７Ｂとの嵌め合い部分に反発力を生じることがあった。この反発力が大きい場合には、反発力に抗して図示しないボルトを締め付けるため、フランジ部１１０７Ａ，１１０７Ｂは、第１及び第２連結ブロック１１１０，１１１１の間で反発力に耐えきれずに変形し、シール部材１１０２を適切に装着することができなかった。
【０００９】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、シール部材の反発力に抗してシール部材を第１及び第２接続部の間に適切に装着できるシール接続部の連結構造、流体機器ユニット及び圧入治具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係るシール接続部の連結構造は、次のような構成を有している。
（１）第１の部品の第１接続部と第２の部品の第２接続部との間にシール部材を配置し、連結部材によって接続部分を連結するシール接続部の連結構造において、前記第１及び前記第２接続部は、嵌合凹溝が端面外周に複数設けられ、前記連結部材は、固定部材によって固定される第１連結ブロックと第２連結ブロックとを有し、前記第１及び前記第２連結ブロックに前記嵌合凹溝に嵌合する嵌合凸部が複数設けられている。
【００１１】
（２）（１）に記載の発明において、前記嵌合凹溝は、端面側内壁に、前記嵌合凹溝の開口部に向かって前記端面側に傾斜する接続部側テーパを有し、前記嵌合凸部は、前記接続部側テーパに対応する連結側テーパを有する。
【００１２】
（３）（１）又は（２）に記載の発明において、前記連結部材は、前記第１及び前記第２の部品に対する回転を阻止する廻り止めが設けられている。
【００１３】
（４）（１）乃至（３）の何れか一つに記載の発明において、前記第１及び前記第２接続部は、前記シール部材が装着される環状の装着溝を有し、前記シール部材は、一端面に前記装着溝に嵌合してシールするシール部が形成され、他端面が閉鎖されており、前記他端面外周に前記第１及び前記第２接続部に設けた前記嵌合凹溝及び前記接続部側テーパと同じ嵌合凹溝及び接続部側テーパが設けられている。
【００１４】
（５）（４）に記載の発明において、前記連結部材は、前記第１及び前記第２連結ブロックの取付方向、及び、前記第１及び前記第２接続部の接続方向に対して直交する方向から、前記第１及び前記第２連結ブロックが前記端面接続部分を保持する保持部分を挟んで前記第１及び前記第２連結ブロックに取り付けられ、前記第１及び前記第２連結ブロックを保持する第３連結ブロックと第４連結ブロックとを有する。
【００１５】
（６）（１）乃至（５）の何れか一つに記載の発明において、前記第１及び前記第２連結ブロックは、前記第３及び前記第４連結ブロックを取り付けられる面から、前記端面接続部分を保持する保持部が設けられた側面と反対側に向かって傾斜する被加圧側テーパを有し、前記第３及び前記第４連結ブロックは、前記第１及び前記第２連結ブロックに取り付けられる面に前記被加圧側テーパに対応する加圧側テーパを有する。
【００１６】
（７）（１）乃至（６）の何れか一つに記載の発明において、前記シール部材は、圧入代を有する第１凹凸条と第２凹凸条を有し、前記第１及び前記第２接続部は、前記第１凹凸条と前記第２凹凸条に対応する第１凸凹条と第２凸凹条とを有し、前記第１及び前記第２凸凹条を前記第１及び前記第２凹凸条の圧入代にそれぞれ圧入してシールする。
【００１７】
（８）（１）乃至（７）の何れか一つに記載の発明において、前記第１の部品と、前記第２の部品と、前記シール部材と、前記第１連結ブロックと、前記第２連結ブロックは、樹脂を材質とする。
【００１８】
本発明に係る圧入治具は、次のような構成を有している。
（９）（１）乃至（８）の何れか一つに記載の発明に用いられ、前記シール部材を前記第１及び前記第２接続部に圧入する圧入治具であって、前記第１の部品を固定する固定部と、前記固定部が前記第第１の部品を固定する固定位置に向かって直線往復運動する可動部と、前記可動部に駆動力を与える駆動部とを有する。
【００１９】
本発明に係る流体機器ユニットは、次のような構成を有している。
（１０）（１）乃至（８）の何れか一つに記載の発明を用いて、第１流体機器と第２流体機器とを連結している。
【発明の効果】
【００２０】
本発明のシール接続部の連結構造は、第１及び第２接続部が嵌合凹溝を複数有し、連結部材を構成する第１及び第２連結ブロックが嵌合凹溝に対応する嵌合凸部を複数有しており、第１及び第２連結ブロックと第１及び第２接続部との接触面積が大きい。そのため、シール部材を第１及び第２接続部の間に装着するときに、シール部材の反発力が大きい場合でも、第１及び第２連結ブロックと第１及び第２接続部に面圧が分散するため、第１及び第２接続部が、変形しにくく、シール部材を十分な力で押し潰すことが可能である。よって、本発明のシール接続部の連結構造によれば、シール部材を第１及び第２接続部の間に適切に装着することができる。
【００２１】
本発明のシール接続部の連結構造は、第１及び第２接続部に設けた嵌合凹溝の端面側内壁に、嵌合凹溝の開口部に向かって端面側に傾斜する接続部側テーパを有し、第１及び第２連結ブロックに設けた嵌合凸部が接続部側テーパに対応する連結側テーパを有し、接続部側テーパと連結側テーパとを接触させた状態で、第１及び第２連結ブロックが第１及び第２接続部を連結する。これにより、本発明のシール接続部の連結構造は、第１及び第２連結ブロックから第１及び第２接続部に端面接続部分側への力を作用させるので、シール部材の反発力に抗してシール接続部の接続状態を維持することができる。
【００２２】
本発明のシール接続部の連結構造は、第１及び第２連結ブロックが第１及び第２の部品に対して回転することを連結部材の廻り止めが阻止するので、第１及び第２連結ブロックを第１及び第２接続部に取り付けるときに、嵌合凸部と嵌合凹溝との位置関係がずれにくい。
【００２３】
本発明のシール接続部の連結構造は、シール部材が、第１及び第２接続部の環状突起が圧入される環状溝が一端面に形成され、他端面が閉鎖され、他端面外周に第１及び第２接続部に設けた嵌合凹溝及び接続部側テーパと同じ嵌合凹溝及び接続部側テーパが設けられているので、シール部材を第１又は第２接続部に装着して第１及び第２連結ブロックをそのまま取り付ければ、流路を簡単に遮断できる。
【００２４】
本発明のシール接続部の連結構造は、第１及び第２連結ブロックが、第１及び第２連結ブロックの取付方向、及び、第１及び第２接続部の接続方向に対して直交する方向から、第１及び第２連結ブロックが第１及び第２接続部の端面接続部を保持する保持部を挟むように、第３及び第４連結ブロックを取り付けられて保持されるので、第１及び第２連結ブロックが第１及び第２接続部の連結状態を保持する保持力が低下しにくい。
【００２５】
本発明のシール接続部の連結構造は、第１及び第２連結ブロックが、第３及び第４連結ブロックを取り付けられる面から、第１及び第２接続部の端面接続部分を保持する保持部が設けられた側面と反対側に向かって傾斜する被加圧側テーパを有し、 第３及び第４連結ブロックが、第１及び第２連結ブロックに取り付けられる面に被加圧側テーパに対応する加圧側テーパを有しており、被加圧側テーパに加圧側テーパを接触させた状態で第３及び第４連結ブロックを第１及び第２連結ブロックに取り付ける。そのため、本発明のシール接続部の連結構造によれば、第１及び第２連結ブロックが第１及び第２接続部に与える端面接続部側への力を増大させることができる。
【００２６】
本発明のシール接続部の連結構造は、シール部材に設けた第１及び第２凹凸条の圧入代に対して、第１及び第２接続部に設けた第１及び第２凸凹条を圧入するときに、過大な荷重を要するが、第１及び第２接続部に設けた複数の嵌合凹溝と、第１及び第２連結ブロックに設けた複数の嵌合凸部との各接触面に面圧が分散するので、第１及び第２接続部の変形を抑制できる。
【００２７】
本発明のシール接続部の連結構造は、第１の部品と第２の部品とシール部材と第１連結ブロックと第２連結ブロックが樹脂を材質とし、クリープしやすいが、第１及び第２連結ブロックが樹脂を材質とする第１及び第２接続部を個別に連結し、樹脂を挟み込む量が少ないため、クリープの影響を小さくできる。
【００２８】
また、シール部材を第１及び第２接続部に圧入する場合には、圧入治具の固定部によって第１の部品を固定した後、第２接続部が第１接続部に対向するように第２の部品を圧入治具の可動部にセットし、その後、駆動部によって可動部を駆動して第２の部品を第１の部品側に移動させて、第２接続部を第１接続部に押し付け、シール部材を第１及び第２接続部に圧入する。その後、駆動部によって可動部を後退させ、第１の部品を固定部から開放する。それから、第１及び第２連結ブロックを第１及び第２接続部に取り付ける。よって、本発明の圧入治具によれば、シール部材を第１及び第２接続部に圧入する圧入荷重が大きく、第１及び第２連結ブロックを第１及び第２接続部に取り付けるときの力のみではシール部材を第１及び第２接続部に装着できない場合でも、シール部材を第１及び第２接続部に簡単に装着できる。
【００２９】
上記本発明のシール接続部の連結構造を用いて第１流体機器と第２流体機器とを連結した流体機器ユニットによれば、シール部材を第１及び第２流体機器の間に適切に装着することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
次に、本発明に係るシール接続部の連結構造、流体機器ユニット及び圧入治具の一実施形態について図面を参照して説明する。
【００３１】
（第１実施形態）
＜流体機器ユニットの全体構成＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る流体機器ユニット１の外観斜視図である。
流体機器ユニット１は、「第１流体機器」及び「第２流体機器」の一例である継手ブロック４，４と第１バルブ２Ａと第２バルブ２Ｂとを連結し、ユニット全体の剛性を確保するために、それらをレール部材５に取り付けて構成されている。継手ブロック４と第１バルブ２Ａと第２バルブ２Ｂは、シール接続部の連結構造９を使用して連結されている。シール接続部の連結構造９は、継手ブロック４と第１バルブ２Ａとの接続部分、及び、第１バルブ２Ａと第２バルブ２Ｂとの接続部分、第２バルブ２Ｂと継手ブロック４との接続部分に、シール部材１０をそれぞれ配置し、各接続部分を連結部材３を用いて個別に連結している。第１実施形態では、第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂに設けた接続部１７Ａ，１７Ｂと、連結部材３を構成する第１及び第２連結ブロック４１，４２の形状に特徴を有する。
【００３２】
＜第１バルブ及び第２バルブの構成＞
第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂは、同一構造をなす。第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂは、バルブボディ１１Ａ，１１Ｂに駆動部１２Ａ，１２Ｂが取り付けられている。駆動部１２Ａ，１２Ｂは、耐腐食性を確保するために、樹脂を材質とする部品を構成部品に使用する（但し、例えば、駆動部１２Ａ，１２Ｂがエアオペレイトタイプである場合の付勢バネのように、樹脂では機能を発揮できない構成部品を除く。）。
【００３３】
「第１の部品」及び「第２の部品」の一例であるバルブボディ１１Ａ，１１Ｂは、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）やＰＦＡ（四フッ化エチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）などの樹脂を略直方体形状にしたものであり、「第１流路」の一例である一次側ポート１３Ａ，１３Ｂと、「第２流路」の一例である二次側ポート１４Ａ，１４Ｂとが弁座１５Ａ，１５Ｂを介して連通している。弁座１５Ａ，１５Ｂには、駆動部１２Ａ，１２Ｂの駆動力によって往復直線運動する樹脂製のダイアフラム１６Ａ，１６Ｂが当接又は離間して弁の開閉を行う。バルブボディ１１Ａ，１１Ｂは、対向する側面に、一次側ポート１３Ａ，１３Ｂと二次側ポート１４Ａ，１４Ｂがそれぞれ開口し、各ポート１３Ａ，１３Ｂ，１４Ａ，１４Ｂの開口部外周に沿って接続部１７Ａ，１７Ｂが筒状に突設されている。
【００３４】
バルブボディ１１Ａ，１１Ｂの下面には、耐腐食性の観点からＰＦＡやＰＰＳなどの樹脂を略直方体形状に成形した取付ブロック１９Ａ，１９Ｂが取り付けられている。取付ブロック１９Ａ，１９Ｂの下面には、レール部材５のレール溝６にスライド可能に係合する係合部２０Ａ，２０Ｂが設けられている。
【００３５】
図２は、図１に示す第１バルブ２Ａとレール部材５との関係を説明する図であり、（ａ）は第１バルブ２Ａの側面図を示し、（ｂ）はレール部材５の断面図を示す。図３は、図１に示す第１バルブ２Ａの下面図である。ここでは、第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂが同一構造であるので、第１バルブ２Ａを例に挙げて係合部２０Ａの構成を説明する。
図２（ａ）に示すように、係合部２０Ａは、取付ブロック１９Ａの下面から下方に突き出す脚部２１Ａと、脚部２１Ａの先端部に一体成形された本体部２２Ａとからなる。
【００３６】
図２（ｂ）に示すように、レール部材５は、一対の突出片７，７が上面開口部の両側内壁から内向きに突出し、一対の突出片７，７の間に形成される間隙８の幅寸法Ｘがレール溝６の幅寸法Ｙより狭くされている。
【００３７】
図２の（ａ）及び（ｂ）に示すように、脚部２１Ａは、外径寸法Ｘ’が間隙８の幅寸法Ｘより小さく、一対の突出片７，７の間に形成される間隙８内で回転しうる大きさ形状で形成されている。
【００３８】
図３に示すように、本体部２２Ａは、底面が略菱形をなす。本体部２２Ａは、一対の突出片７，７の間を通過できるように、短手方向の幅寸法Ｙ’’が脚部２１Ａの幅寸法Ｘ’と同一であって、間隙８の寸法Ｘより小さくされている。本体部２２Ａは、レール溝６内に配置された後にレール溝６内で向きを変えることにより、両端がレール部材５の突出片７，７に掛止されるように、本体部２２Ａの長手方向の幅寸法Ｙ’を、短手方向の幅寸法Ｙ’’及び間隙８の幅寸法Ｘより大きく、レール溝６の幅寸法Ｙより小さくしている。本体部２２Ａの外周縁には、一対の係止面２３Ａが脚部２１Ａを挟んで平行に形成され、レール溝６を構成する側壁に突き当てられて係止されるようになっている。本体部２２Ａは、レール溝６の内壁と突出片７，７に摺接するように厚さが設定されている。
【００３９】
従って、第１バルブ２Ａは、係合部２０Ａの本体部２２Ａをレール部材５の間隙８からレール溝６内に挿入した後、一対の係止面２３Ａ，２３Ａがレール溝６を構成する側壁に当接して係止されるまで回転されると、本体部２２Ａの両端が突出片７，７に引っかかってレール溝６から抜けなくなり、レール部材５にスライド可能に取り付けられる。よって、第１バルブ２Ａは、レール部材５に単体で着脱できる。
【００４０】
＜継手ブロックの構成＞
図１に示す継手ブロック４は、ＰＦＡやＰＰＳなどの樹脂でブロック状に成形されている。継手ブロック４は、一方の側面に配管が接続される配管ポート２４が設けられ、他方の側面に配管ポート２４に連通する流路２５が開口している。流路２５の開口部には、第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂの接続部１７Ａ，１７Ｂと同様の形状を有する接続部２６が設けられている。継手ブロック４は、取付ブロック１９Ａの係合部２０Ａと同一形状の係合部２８が下面に突設された取付ブロック２７に保持されている。よって、継手ブロック４は、第１バルブ２Ａと同様、レール部材５に単体で着脱できる。
【００４１】
＜レール部材の構成＞
図４は、図１に示す流体機器ユニット１の部分分解斜視図である。
レール部材５は、ＰＦＡやＰＰＳなどの樹脂をストレート形状に成形した複数のＳ型レール部品３１をボルト３０（図１参照）で連結し、その両端部にレールエンド部品３２をボルト３０で連結して構成されており、流体機器のレイアウトに応じて全長が調整できるようになっている。レール部品３１，３２には、ゴムや樹脂を材質とするキャップ２９が、ボルト３０の頭部を覆うように装着され、ボルト３０が腐食性雰囲気にさらされることを防止している。尚、レールエンド部品３２には、取付孔３９が形成された取付部３８を一体成形され、レール部材５を介して第１バルブ２Ａ等を半導体製造装置や液晶製造装置などの外部装置に組み付けるようになっている。
【００４２】
レール部材５には、位置決め部材３３がスライド可能に取り付けられている。位置決め部材３３は、ＰＦＡやＰＰＳなどの樹脂をコの字状に成形したものであり、レール部材５のレール溝６に摺動可能に嵌め合わされるＴ字形のガイド部３４が内面に突設されている。位置決め部材３３の両側面には、固定ねじ３６をねじ込むためのねじ孔３５が形成されている。位置決め部材３３は、固定ねじ３６の先端部をレール部材５に押し付けることにより、レール部材５の任意の位置に固定され、相互に連結された継手ブロック４や第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂをレール部材５に対して位置決めする。尚、ねじ孔３５には、樹脂やゴムなどを材質とするキャップ３７が装着され、固定ねじ３６が腐食性雰囲気にさらされることを防止する。
【００４３】
＜シール接続部の連結構造＞
次に、シール接続部の連結構造９について説明する。ここでは、第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂの接続部分を例に挙げて説明する。
図４に示すように、連結部材３は、第１連結ブロック４１と第２連結ブロック４２とに上下２分割されている。第１及び第２連結ブロック４１，４２は、ＰＦＡやＰＰＳなどの樹脂をブロック状に成形したものである。第１及び第２連結ブロック４１，４２は、例えば、第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂの接続部１７Ａ，１７Ｂを上下方向から挟み込んで保持するために、互いに当接する面に保持面４３，４４が半円状に形成されている。第１及び第２連結ブロック４１，４２は、「固定部材」の一例であるボルト４５，４５を上方から締結されて固定される。
【００４４】
図５は、図１に示す第１バルブ２Ａと第２バルブ２Ｂのシール構造を示す分解拡大断面図である。
第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂは、接続部１７Ａ，１７Ｂの端面に第１及び第２装着溝７１Ａ，７１Ｂが射出成形又は切削加工により形成されている。第１及び第２装着溝７１Ａ，７１Ｂは、ポート開口部の外側に沿って環状に設けられている。第１及び第２装着溝７１Ａ，７１Ｂは、シール部材１０の取付方向を制限しないために同一形状にされている。第１及び第２装着溝７１Ａ，７１Ｂは、第１及び第２環状突起７２Ａ，７２Ｂを備える凸凹条をなす。
【００４５】
図６は、図５に示す接続部に使用するシール部材１０の平面図である。図７は、図６に示すシール部材１０のＡ−Ａ断面図である。
シール部材１０は、ＰＦＡやＰＰＳなどの樹脂を環状に成形したものである。シール部材１０は、接続部１７Ａ，１７Ｂへの取付方向を限定しないために、両端面が同一形状をなす。
【００４６】
シール部材１０は、環状に形成されたシール本体部６１の両端面に、第１及び第２環状突起７２Ａ，７２Ｂに嵌合する第１及び第２環状溝６２，６３がそれぞれ形成されている。第１及び第２環状溝６２，６３は、幅寸法Ｗ３が、第１及び第２環状突起７２Ａ，７２Ｂの幅Ｗ１（図５参照）と同一に設定されている。第１及び第２環状溝６２，６３は、開口部より奥側の内周壁と外周壁が、肉厚方向Ｘにそれぞれ肉厚にされている。そのため、第１及び第２環状溝６２，６３は、開口部より奥側の幅Ｗ２が、開口部の幅Ｗ３より小さくされ、開口部に段差が設けられている。よって、シール部材１０は、第１及び第２シール部材６２，６３の開口部に、第１及び第２環状突起７２Ａ，７２Ｂをガイドするガイド部６５，６６が設けられている。
【００４７】
図５に示すように、第１及び第２環状溝６２，６３の開口部より奥側の幅Ｗ２は、第１及び第２環状突起７２Ａ，７２Ｂの幅Ｗ１より小さく、第１及び第２環状溝６２，６３の内周壁と外周壁には、厚さｔ，ｔ’の圧入代６４がそれぞれ設けられている。尚、ｔ，ｔ’は、均一なシール力を考慮すれば理想的には同一であることが望ましいが、寸法公差などを考慮して、ｔ，ｔ’とする。
【００４８】
図６及び図７に示すように、シール部材１０は、シール本体部６１の外周面に沿って、張出部６７が一体的に設けられている。張出部６７は、外径が接続部１７Ａ，１７Ｂの直径より大きく、外縁端が接続部１７Ａ，１７Ｂの端面より外側に出るようになっている。張出部６７は、任意の方向に変更できるように膜状に形成されている。張出部６７は、外縁端に沿って、把持部６８が設けられている。把持部６８は、シール本体部６１と同心円状に設けられ、全長Ｗ１２がシール本体部６１の軸線方向の全長Ｗ１１より大きくされ、両端がシール本体部６１の端面よりも軸線方向に突き出している。張出部６７の両端面には、溝６９が把持部６８にかけて放射線状に形成され、接続部１７Ａ，１７Ｂの端面に接触したときに、接続部１７Ａ，１７Ｂに密着してシールしないようにしている。
【００４９】
図５に示すように、接続部１７Ａ，１７Ｂの外周面には、嵌合凹溝７３Ａ，７３Ｂが環状に形成されている。嵌合凹溝７３Ａ，７３Ｂは、接続部１７Ａ，１７Ｂの端面と平行に２本ずつ形成されている。接続部１７Ａ，１７Ｂは、嵌合凹溝７３Ａ，７３Ｂの端面側内壁に、嵌合凹溝７３Ａ，７３Ｂの開口部に向かって端面側に傾斜する接続部側テーパ７４Ａ，７４Ｂが形成されている。
【００５０】
図８は、図１に示すシール接続部の連結構造９の拡大断面図である。
シール接続部の連結構造９は、連結部材３を構成する第１及び第２連結ブロック４１，４２が、接続部１７Ａ，１７Ｂの端面接続部分から外側に出ている把持部３８を収納するために、保持面４３，４４の中央部分に沿って凹溝４７，４８を環状に形成されている。保持面４３，４４は、接続部１７Ａ，１７Ｂの嵌合凹溝７３Ａ，７３Ｂに嵌合する嵌合凸部４９Ａ，４９Ｂ，５０Ａ，５０Ｂが環状に突設されている。嵌合凸部４９Ａ，４９Ｂ，５０Ａ，５０Ｂは、凹溝４７の両側に２本ずつ凹溝４７と平行に設けられている。嵌合凸部４９Ａ，４９Ｂ，５０Ａ，５０Ｂの内周壁（凹溝４７側の側壁）には、嵌合凹溝７３Ａ，７３Ｂの接続部側テーパ７４Ａ，７４Ｂに対応する連結側テーパ５１Ａ，５１Ｂ，５２Ａ，５２Ｂが設けられている。連結側テーパ５１Ａ，５１Ｂ，５２Ａ，５２Ｂは、接続部側テーパ７４Ａ，７４Ｂと同一の傾斜角度で、先端部へ行くにつれて外側（凹溝４７，４８と反対側）へ傾斜している。
【００５１】
図９は、図１に示す連結部材３の断面図である。
第１連結ブロック４１は、ボルト４５を挿通する挿通孔５３，５３が、保持面４３の両側に上下方向に貫通して形成されている。第１連結ブロック４１は、第２連結ブロック４２と対向する面（図中下面）に、円筒部５４，５４が挿通孔５３，５３と同軸上に突設されている。一方、第２連結ブロック４２は、第１連結ブロック４１と対向する面（図中上面）の挿通孔５３，５３に対応する位置からボルト孔５５，５５が穿設されている。第２連結ブロック４２は、ボルト孔５５，５５の開口部に、円筒部５４，５４が隙間無く嵌め込まれる嵌込孔５６，５６が開設されている。
【００５２】
尚、第１連結ブロック４１の挿通孔５３，５３には、ゴムや樹脂を材質とするキャップ４６，４６が装着される。従って、第１及び第２連結ブロック４１，４２を固定するボルト４５，４５は、円筒部５４とキャップ４６によって外気から遮断され、腐食性雰囲気にさらされない。また、ボルト４５で固定された第１及び第２連結ブロック４１，４２の間に隙間があっても、円筒部５４，５４を嵌込孔５６，５６に嵌め込んでボルト４５，４５が外部から見えないので、ボルト４５，４５が腐食しない。
【００５３】
＜流体機器の連結方法＞
次に、流体機器の連結方法について説明する。ここでは、第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂの連結を例に挙げて説明する。図１０〜図１２は、図１に示す第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂの連結手順を説明する図である。
【００５４】
先ず、図１０（ａ）に示すように、把持部６８を手指で掴み、第１バルブ２Ａの接続部１７Ａの外周に沿わせるように把持部６８の一端を接続部１７Ａに嵌め合わせ、第１環状溝６２のガイド部６５に第１環状突起７２Ａの先端を挿入する。
そして、図１０（ｂ）に示すように、シール部材１０に設けた把持部６８の他端に第２バルブ２Ｂの接続部１７Ｂを嵌め合わせ、第２バルブ２Ｂの第２環状突起７２Ｂの先端を第２環状溝６３のガイド部６６に挿入する。
これにより、接続部１７Ａ，１７Ｂがシール部材１０によって位置合わせされる。
【００５５】
次に、図１１（ａ）に示すように、接続部１７Ａ，１７Ｂを上下方向から挟むように、第１及び第２連結ブロック４１，４２を接続部１７Ａ，１７Ｂに装着する。すると、第１及び第２連結ブロック４１，４２の嵌合凸部４９Ａ，４９Ｂ，５０Ａ，５０Ｂに設けた連結側テーパ５１Ａ，５１Ｂ，５２Ａ，５２Ｂが、接続部１７Ａ，１７Ｂに形成した嵌合凹溝７３Ａ，７３Ｂの接続部側テーパ７４Ａ，７４Ｂの端に接触する。
【００５６】
そこで、ボルト４５，４５（図４参照）を第１連結ブロック４１から第２連結ブロック４２に挿通して、第２連結ブロック４２のボルト孔５５にねじ込み、第１及び第２連結ブロック４１，４２に図中上下方向の推力を与える。第１連結ブロック４１，４２は、連結側テーパ５１Ａ，５１Ｂ，５２Ａ，５２Ｂを、接続部１７Ａ，１７Ｂの接続部側テーパ７４Ａ，７４Ｂに接触させながら、徐々に近づく。このとき、ボルト４５，４５が第１及び第２連結ブロック４１，４２に与える図中上下方向の推力が、連結側テーパ５１Ａ，５１Ｂ，５２Ａ，５２Ｂと接続部側テーパ７４Ａ，７４Ｂの接触面において横方向の力に変換され、接続部１７Ａ，１７Ｂに端面側への力を作用させる。この力によって、接続部１７Ａ，１７Ｂは、第１及び第２環状突起７２Ａ，７２Ｂをシール部材１０のガイド部６５，６６から圧入代６４に圧入する。
【００５７】
図１１（ｂ）に示すように、接続部１７Ａ，１７Ｂの端面がシール部材１０の張出部６７を挟み込むように突き合わされると、ボルト４５，４５の回転トルクが大きくなるので、ボルト４５、４５の回転を停止する。この初期状態では、第１及び第２連結ブロック４１，４２は、嵌合凸部４９Ａ，４９Ｂ，５０Ａ，５０Ｂの先端部が接続部１７Ａ，１７Ｂの嵌合凹溝７３Ａ，７３Ｂとの間に隙間Ｓを形成している。
【００５８】
このように連結された第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂは、バルブボディ１１Ａ，１１Ｂ及びシール部材１０が樹脂を材質とし、圧入部に発生する反発力によって、接続部１７Ａ，１７Ｂに離間する方向の力が作用する。しかし、接続部１７Ａ，１７Ｂは、複数の嵌合凹溝７３Ａ，７３Ｂに面圧が分散する。しかも、連結部材３は、連結側テーパ５１Ａ，５１Ｂ，５２Ａ，５２Ｂが接続部１７Ａ，１７Ｂの接続部側テーパ７４Ａ，７４Ｂに当接して、ボルト４５，４５の図中上下方向の締結力を水平方向の力に変換して接続部１７Ａ，１７Ｂに伝達し、図１１（ｂ）の図中矢印方向に示すように、接続部１７Ａ，１７Ｂを端面接続部分側へ押圧する。このため、接続部１７Ａ，１７Ｂは、圧入部に発生する反発力を連結部材３から受ける力によって打ち消し、初期のシール荷重を維持できる。
【００５９】
もっとも、例えば、流体機器ユニット１に高温薬液を流す場合や、流体機器ユニット１を長年使用する場合には、第１及び第２連結ブロック４１，４２やバルブボディ１１Ａ，１１Ｂにクリープが生じ、ボルト４５，４５が緩むことがある。この場合には、嵌合凸部４９Ａ，４９Ｂ，５０Ａ，５０Ｂの先端部と接続部１７Ａ，１７Ｂの嵌合凹溝７３Ａ，７３Ｂとの間に隙間Ｓを形成しているので、ボルト４５，４５を増し締めして、接続部１７Ａ，１７Ｂに与える水平方向の推力を大きくすることができる。
【００６０】
尚、増し締めは、図１２に示すように、第１及び第２連結ブロック４１，４２の嵌合凸部４９Ａ，４９Ｂ，５０Ａ，５０Ｂの先端部が、接続部１７Ａ，１７Ｂの嵌合凹溝７３Ａ，７３Ｂの底壁に突き当たるまで行うことができる。
【００６１】
＜作用効果＞
第１実施形態のシール接続部の連結構造９は、接続部１７Ａ，１７Ｂが嵌合凹溝７３Ａ，７３Ｂを複数有し、連結部材３を構成する第１及び第２連結ブロック４１，４２が嵌合凹溝７３Ａ，７３Ｂに対応する嵌合凸部４９Ａ，４９Ｂ，５０Ａ，５０Ｂを複数有しており、第１及び第２連結ブロック４１，４２と第１及び第２接続部１７Ａ，１７Ｂとの接触面積が大きい。そのため、シール部材１０を第１及び第２接続部１７Ａ，１７Ｂの間に装着するときに、シール部材１０の反発力が大きい場合でも、第１及び第２連結ブロック４１，４２と第１及び第２接続部１７ＡＡ，１７Ｂに面圧が分散するため、第１及び第２接続部１７Ａ，１７Ｂが、変形しにくく、シール部材１０を十分な力で押し潰して設定されたシール力を得ることが可能である。よって、第１実施形態のシール接続部の連結構造９によれば、シール部材１０を第１及び第２接続部１７Ａ，１７Ｂの間に適切に装着することができる。
【００６２】
第１実施形態のシール接続部の連結構造９は、接続部１７Ａ，１７Ｂに設けた嵌合凹溝７３Ａ，７３Ｂの端面側内壁に接続部側テーパ７４Ａ，７４Ｂを設けるとともに、第１及び第２連結ブロック４１，４２に設けた嵌合凸部４９Ａ，４９Ｂ，５０Ａ，５０Ｂに接続部側テーパ７４Ａ，７４Ｂに対応する連結側テーパ５１Ａ，５１Ｂ，５２Ａ，５２Ｂを設け、接続部側テーパ７４Ａ，７４Ｂと連結側テーパ５１Ａ，５１Ｂ，５２Ａ，５２Ｂとを接触させた状態で、第１及び第２連結ブロック４１，４２が接続部１７Ａ，１７Ｂを連結する。これにより、第１実施形態のシール接続部の連結構造９は、第１及び第２連結ブロック４１，４２から接続部１７Ａ，１７Ｂに、接続部１７Ａ，１７Ｂの端面接続部分側への力を作用させるので（図１１（ｂ）参照）、シール部材１０の反発力に抗してシール接続部の接続状態を維持することができる。
【００６３】
第１実施形態のシール接続部の連結構造９は、シール部材１０に設けた第１及び第２環状溝６２，６３の圧入代６４に対して、第１及び第２接続部１７Ａ，１７Ｂに設けた第１及び第２環状突起７２Ａ，７２Ｂを圧入するときに、過大な荷重を要するが、第１及び第２接続部１７Ａ，１７Ｂに設けた複数の嵌合凹溝７３Ａ，７３Ｂと、第１及び第２連結ブロック４１，４２に設けた複数の嵌合凸部４９Ａ，４９Ｂ，５０Ａ，５０Ｂとの各接触面に面圧が分散するので、接続部１７Ａ，１７Ｂの変形を抑制できる。
【００６４】
第１実施形態のシール接続部の連結構造９は、バルブボディ１１Ａ，１１Ｂと、シール部材１０と、第１及び第２連結ブロック４１，４２が樹脂を材質とし、クリープしやすい。例えば、第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂの第１及び第２接続部１７Ａ，１７Ｂをシール部材１０を介して対向配置し、バルブボディ１１Ａの側面からバルブボディ１１Ａ，１１Ｂにボルトを貫き通し、バルブボディ１１Ｂの側面に装着したナットにボルトを締め付けることにより、バルブボディ１１Ａ，１１Ｂの第１及び第２接続部１７Ａ，１７Ｂを連結した場合には、ボルトとナットが樹脂を挟み込む量が多くなるため、第１及び第２接続部１７Ａ，１７Ｂの連結にクリープが影響しやすい。クリープによってボルトの締結力が低下すると、第１及び第２接続部１７Ａ，１７Ｂの連結荷重が減るため、シール力が低下する問題がある。しかし、第１実施形態のシール接続部の連結構造９は、バルブボディ１１Ａ，１１Ｂ第１及び第２連結ブロック４１、４２が樹脂を材質とする第１及び第２接続部を個別に連結し、樹脂を挟み込む量が少ないため、第１及び第２接続部１７Ａ，１７Ｂにクリープが影響しにくい。これにより、第１実施形態のシール接続部の連結構造９は、第１及び第２接続部１７Ａ，１７Ｂの連結荷重が減りにくく、組立時のシール力を長期間維持することができる。
【００６５】
しかも、樹脂は柔らかく変形しやすい。そのため、上記のように樹脂製のバルブボディ１１Ａ，１１Ｂにボルトを貫き通してナットに締め付けることにより第１及び第２接続部１７Ａ，１７Ｂを連結すると、ボルトを締め付けるときに、バルブボディ１１Ａ，１１Ｂに一体的に設けた弁座１５Ａ，１５Ｂや第１及び第２接続部１７Ａ，１７Ｂが変形し、第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂの性能に支障を来す恐れがある。しかし、第１実施形態のシール接続部の連結構造９は、第１及び第２接続部１７Ａ，１７Ｂを第１及び第２連結ブロック４１，４２で上下２方向から挟み込んで連結するため、第１及び第２連結ブロック４１，４２を第１及び第２接続部１７Ａ，１７Ｂの外周に装着してボルト４５を締め付けるときに、弁座１５Ａ，１５Ｂや第１及び第２接続部１７Ａ，１７Ｂなどが変形せず、第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂの性能に支障を来さない。
【００６６】
第１実施形態の流体機器ユニット１は、シール接続部の連結構造９を用いて、例えば第１バルブ２Ａと第２バルブ２Ｂとを連結しているので、シール部材１０の第１及び第２環状溝６２，６３の圧入代６４に第１及び第２接続部１７Ａ，１７Ｂの第１及び第２環状突起７２Ａ，７２Ｂを圧入した圧入部分が、設定されたシール力を発生するように、第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂの間にシール部材１０を適切に装着することができる。
【００６７】
第１実施形態の流体機器ユニット１は、連結部材３によって第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂと継手ブロック４とを個別に連結するので、例えば、第２バルブ２Ｂの交換や、流体機器の追加変更などを簡単に行うことができる。すなわち、例えば、第２バルブ２Ｂから連結部材３，３を取り外して第１バルブ２Ａと継手ブロック４との連結を解除した後、第２バルブ２Ａをレール部材５から取り外し、その後、新しいバルブ２をレール部材５に取り付けてから、連結部材３によって新しいバルブ２に第１バルブ２Ａと継手ブロック４を連結すれば、交換が必要な第２バルブ２Ｂのみをレール部材５に着脱して交換できる。また、例えば、第２バルブ２Ｂと継手ブロック４とを連結する連結部材３を取り外した後、レール部材５に沿って継手ブロック４を第２バルブ２Ｂから離す方向へ移動させて継手ブロック４と第２バルブ２Ｂとの間に隙間を設け、その隙間にバルブ２等の流体機器を配置し、連結ブロック３を用いて追加した流体機器に第２バルブ２Ｂと継手ブロック４とを連結すれば、流体機器ユニット１に流体機器を追加できる。
【００６８】
（第２実施形態）
続いて、本発明の第２実施形態について説明する。図１３は、本発明の第２実施形態に係る流体機器ユニット及びシール接続部の連結構造に使用される第１バルブ２Ａに装着された連結部材８０を示す外観斜視図である。図１４は、図１３に示す連結部材８０を分解した斜視図である。
第２実施形態の流体機器ユニット及びシール接続部の連結構造は、連結部材８０が４個の部材で構成されている点が、連結部材３を２個の部品で構成した第１実施形態と相違する。よって、ここでは、第１実施形態と相違する点を中心に説明し、共通する点は図面に第１実施形態と同一符号を付し、説明を適宜省略する。
【００６９】
＜連結部材の構成＞
連結部材８０は、横方向から接続部１７Ａ，１７Ｂを挟み込むように接続部１７Ａ，１７Ｂに取り付けられる第１及び第２連結ブロック８１，８２と、第１及び第２連結ブロック８１，８２に上下方向から取り付けられる第３及び第４連結ブロック８３，８４とを備える。すなわち、第３及び第４連結ブロック８３，８４は、第１及び第２連結ブロック８１，８２の取付方向、及び、接続部１７Ａ，１７Ｂの接続方向に対して直交する方向から、第１及び第２連結ブロック８１，８２の保持面４３，４４を挟んで第１及び第２連結ブロック８１，８２に取り付けられる。第１〜第４連結ブロック８１〜８４は、何れもＰＦＡやＰＰＳなどの樹脂を材質とする。
【００７０】
第１及び第２連結ブロック８１，８２は、互いに当接する当接面に第１実施形態と同様の保持面４３，４４が形成されている。保持面４３，４４には、第１実施形態と同様に、凹溝４７，４８と嵌合凸部４９Ａ，４９Ｂ，５０Ａ，５０Ｂと連結側テーパ５１Ａ，５１Ｂ，５２Ａ，５２Ｂが設けられている。第１及び第２連結ブロック８１，８２は、保持面４３，４４の側方に長孔８５，８５が上下に貫通して形成されている。長孔８５，８５は、第１及び第２連結ブロック８１，８２を接続部１７Ａ，１７Ｂに取り付ける取付方向に沿って長く形成されている。第１及び第２連結ブロック８１，８２の上下端面には、長孔８５，８５より内側に被加圧側テーパ８６がそれぞれ形成されている。被加圧側テーパ８６は、第３及び第４連結ブロック８３，８４が取り付けられる上下端面から、保持面４３，４４が設けられた側面と反対側に向かって傾斜している。
【００７１】
第３及び第４連結ブロック８３，８４は、第１及び第２連結ブロック８１，８２の上下端面に取り付けられる面に、被加圧側テーパ８６に対応する加圧側テーパ８８が形成されている。第３連結ブロック８３は、加圧側テーパ８８の外側にボルト４５，４５が挿通される挿通孔８７，８７が形成されている。第４連結ブロック８４は、加圧側テーパ８８の外側に、図示しないボルト孔が形成されている。
【００７２】
＜流体機器の連結方法＞
次に、連結部材８０を使用した流体機器の連結方法について説明する。ここでは、第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂの連結を例に挙げて説明する。
第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂの第１及び第２環状突起７２Ａ，７２Ｂをシール部材１０に設けた第１及び第２環状溝６２，６３のガイド部６５，６６に挿入するように、シール部材１０を接続部１７Ａ，１７Ｂの間に装着する。そして、第１及び第２連結ブロック８１，８２に設けた嵌合凸部４９Ａ，４９Ｂ，５０Ａ，５０Ｂの連結側テーパ５１Ａ，５１Ｂ，５２Ａ，５２Ｂを接続部１７Ａ，１７Ｂに設けた嵌合凹溝７３Ａ，７３Ｂの接続部側テーパ７４Ａ，７４Ｂに接触させるように、第１及び第２連結ブロック８１，８２を対して水平方向（横方向）から取り付ける。
【００７３】
そして、加圧側テーパ８８を被加圧側テーパ８６に接触させるように、第３及び第４連結ブロック８３，８４を第１及び第２連結ブロック８１，８２の上下に配置する。第３連結ブロック８３の挿通孔８７，８７と第１及び第２連結ブロック８１，８２の長孔８５，８５と第４連結ブロック８４の図示しないボルト孔とが連通するように位置合わせし、ボルト４５，４５を挿通孔８７，８７から図示しないボルト孔へと挿通して締め付け、第３及び第４連結ブロック８３，８４に上下方向の力を加える。すると、第３及び第４連結ブロック８３，８４に加えた上下方向の力が、加圧側テーパ８８と被加圧側テーパ８６との接触面によって水平方向の力に変換され、第１及び第２連結ブロック８１，８２を互いに近づける。このとき、第１及び第２連結ブロック８１，８２の長孔８５，８５が第１及び第２連結ブロック８１，８２の取付方向に長く形成されるため、第１及び第２連結ブロック８１，８２の移動を阻害しない。
【００７４】
第１及び第２連結ブロック８１，８２は、互いに近づきながら、嵌合凸部４９Ａ，４９Ｂ，５０Ａ，５０Ｂを接続部１７Ａ，１７Ｂの嵌合凹溝７３Ａ，７３Ｂに嵌合させる。このとき、第１及び第２連結ブロック８１，８２の連結側テーパ５１Ａ，５１Ｂ，５２Ａ，５２Ｂと接続部１７Ａ，１７Ｂの接続部側テーパ７４Ａ，７４Ｂとを接触面が、第１及び第２連結ブロック８１，８２の取付方向に作用する力を、接続部１７Ａ，１７Ｂの端面方向の力に変換し、接続部１７Ａ，１７Ｂに互いに近づく方向の力を作用させる。
【００７５】
よって、シール部材１０は、ボルト４５，４５を図示しないボルト孔に締結する締結力によって接続部１７Ａ，１７Ｂの第１及び第２環状突起７２Ａ，７２Ｂを第１及び第２環状溝６２，６３の圧入代６４に圧入する。
【００７６】
＜作用効果＞
第２実施形態の流体機器ユニット及びシール接続部の連結構造は、第１実施形態の作用効果に加え、以下の作用効果を奏する。
第２実施形態の流体機器ユニット及びシール接続部の連結構造は、第１及び第２連結ブロック８１，８２が、第１及び第２連結ブロック８１，８２の取付方向、及び、接続部１７Ａ，１７Ｂの接続方向に対して直交する方向から、第１及び第２連結ブロック８１，８２の保持面４３，４４挟むように、第３及び第４連結ブロック８３，８４を取り付けられて保持されるので、ボルト４５，４５が緩みにくく、第１及び第２連結ブロック８１，８２が接続部１７Ａ，１７Ｂの連結状態を保持する保持力が低下しにくい。
【００７７】
第２実施形態の流体機器ユニット及びシール接続部の連結構造は、第１及び第２連結ブロック８１，８２が、第３及び第４連結ブロック８３，８４を取り付けられる面から、接続部１７Ａ，１７Ｂの保持面４３，４４が設けられた側面と反対側に向かって傾斜する被加圧側テーパ８６，８６を有し、 第３及び第４連結ブロック８３，８４が、第１及び第２連結ブロック８１，８２に取り付けられる面に被加圧側テーパ８６，８６に対応する加圧側テーパ８８，８８を有しており、被加圧側テーパ８６，８６に加圧側テーパ８８，８８を接触させた状態で第３及び第４連結ブロック８３，８４を第１及び第２連結ブロック８１，８２に取り付ける。そのため、第２実施形態のシール接続部の連結構造によれば、第１及び第２連結ブロック８１，８２が接続部１７Ａ，１７Ｂに与える端面接続部側への力を増大させることができる。また、２本のボルト４５，４５のみで第１〜第４連結ブロック８１〜８４を固定し、接続部１７，１７Ｂを連結することができる。
【００７８】
しかも、第１及び第２連結ブロック８１，８２を接続部１７Ａ，１７Ｂに対して水平方向から取り付け、第３及び第４ブロック８３，８４を上下方向から第１及び第２連結ブロック８１，８２に取り付けており、ボルト４５，４５によって第１〜第４連結ブロック８１〜８４を上方から固定するときに、第１及び第２連結ブロック８１，８２に作用する上下方向の力が水平方向に変換されて接続部１７Ａ，１７Ｂに伝達される。そのため、連結部の剛性の向上を図りつつ、連結部材８０の取付性を良好にすることができる。
【００７９】
（第３実施形態）
続いて、本発明の第３実施形態について図面を参照して説明する。図１５は、本発明の第３実施形態に係る流体機器ユニット９０の外観斜視図である。
第３実施形態の流体機器ユニット９０は、連結部材９３に廻り止め９４を設けたシール接続部の連結構造９９を使用する点が、第１実施形態と主に相違する。よって、ここでは、第１実施形態と相違する点を中心に説明し、共通する点は図面に第１実施形態と同一符号を付し、説明を適宜省略する。
【００８０】
＜流体機器ユニット＞
第３実施形態の流体機器ユニット９０は、第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂと継手９７とを連結部材９３を用いて連結した第１ラインＬ１と、第３〜第５バルブ２Ｃ，２Ｄ，２Ｅと継手９７とを連結部材９３を用いて連結した第２ラインＬ２とを備える。継手９７は、取付ブロック２７を備えない点が第１実施形態の継手ブロック４と相違する。分岐管９１とエルボ管９２は、「第１又は第２の部品」、「流体機器」の一例であって、樹脂を材質する。分岐管９１とエルボ管９２の各端面には、接続部９１ｃ，９２ｃが設けられている。接続部９１ｃ，９２ｃには、第１バルブ２Ａの接続部１７Ａの装着溝７１、環状突起７２、嵌合凹溝７３、接続部側テーパ７４と同様な装着溝９１ｄ，９２ｄ、環状突起９１ｅ，９２ｅ、嵌合凹溝９１ａ，９２ａ、接続部側テーパ９１ｂ，９２ｂが設けられている。分岐管９１は、連結部材９３を用いて第３及び第４バルブ２Ｃ，２Ｄに連結され、更に、連結部材９３を用いてエルボ管９２の一端に連結されている。エルボ管９２の他端は、連結部材９３を用いて第１バルブ２Ａに連結されている。
【００８１】
＜連結部材＞
図１８は、図１５に示す連結部材９３とレール部材５の断面図である。
連結部材９３は、第１及び第２連結ブロック４１，９８を備える。第２連結ブロック９８は、下面に廻り止め９４が突設されていることを除き、第１実施形態の第２連結ブロック４２と同様に構成されている。廻り止め９４は、レール部材５に設けた一対の突出片７，７の間隙８に挿入され、一対の突出片７，７に係止されて第２連結ブロック４２が第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂ（バルブボディ１１Ａ，１１Ｂ）に対して回転することを阻止する。
【００８２】
尚、廻り止め９４はレール部材５の間隙８に挿入するものに限らない。
例えば、図１９に示す第１変形例のように、レール部材５の両側面に摺接するように、第２連結ブロック９８の下面に廻り止め９５，９５を設けてもよい。尚、廻り止め９５は、レール部材５の一方の側面に摺接するように、第２連結ブロック９８の下面に１個設けてもよい。
また、例えば、図２０に示す第２変形例のように、例えば第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂ（バルブボディ１１Ａ，１１Ｂ）の両側面に当接するように、第１及び第２連結ブロック４１，９８に廻り止め９６，９６，９６，９６を設けてもよい。廻り止め９６は、第１及び第２連結ブロック４１，９８の何れか一方に設けてもよい。また、廻り止め９６は、４箇所に設けなくても、少なくとも１箇所で第１又は第２バルブ２Ａ，２Ｂに当接するようにしてもよい。
【００８３】
＜作用効果＞
第３実施形態の流体機器ユニット９０及びシール接続部の連結構造９９は、第１実施形態のシール接続部の連結構造９の作用効果に加え、第１及び第２連結ブロック４１，９８がバルブボディ１１Ａ，１１Ｂに対して回転することを廻り止め９４（９５，９６）が阻止するので、第１及び第２連結ブロック４１，９８を接続部１７Ａ，１７Ｂに取り付けるときに、嵌合凸部４９Ａ，４９Ｂ，５０Ａ，５０Ｂと嵌合凹溝７３Ａ，７３Ｂとの位置関係がずれにくい。そのため、第１及び第２連結ブロック４１，９８を接続部１７Ａ，１７Ｂに取り付けるときに、嵌合凸部４９Ａ，４９Ｂ，５０Ａ，５０Ｂや嵌合溝７３Ａ，７３Ｂが損傷しにくい。
【００８４】
また、第３実施形態の流体機器ユニット９０及びシール接続部の連結構造９９は、連結部材９３が、接続部１７Ａ，１７Ｂの端面に対して傾かないので、嵌合凸部４９Ａ，４９Ｂ，５０Ａ，５０Ｂを接続部１７Ａ，１７Ｂの嵌合凹溝７３Ａ，７３Ｂに対して円周方向に均一な力で嵌合することができる。そのため、接続部１７Ａ，１７Ｂの第１及び第２環状突起７２Ａ，７２Ｂをシール部材１０の第１及び第２環状溝６２，６３の圧入代６４に円周方向にほぼ均一な力で圧入することができ、シール荷重を円周方向に均一にすることができる。
【００８５】
更に、第３実施形態の流体機器ユニット９０及びシール接続部の連結構造９９は、「流体機器」の一例である分岐管９１とエルボ管９２の端面に接続部９１ｃ，９２ｃを設け、その接続部９１ｃ，９２ｃに複数の嵌合凹溝９１ａ，９２ａを形成しているので、シール部材１０を装着溝９１ｄ，９２ｄに装着して、連結部材９３を用いて他の配管や第１バルブ２Ａなどの流体機器に分岐管９１やエルボ管９２を個別に連結したときに、面圧が分散し、シール部材１０を適切に装着することができる。
【００８６】
（第４実施形態）
続いて、本発明の第４実施形態について説明する。図２１は、本発明の第４実施形態に係る流体機器ユニット１００の外観斜視図である。
第４実施形態の流体機器ユニット１００及びシール接続部の連結構造１０５は、遮蔽シール部材１０１を使用する点が第３実施形態と相違する。よって、ここでは、第３実施形態と相違する点を中心に説明し、共通する点は第３実施形態と同一符号を図面に付し、説明を適宜省略する。
【００８７】
＜流体機器ユニットの構成＞
流体機器ユニット１００は、ラインを増設しやすいように、第３及び第４バルブ２Ｃ，２Ｄに連結される第１分岐管９１を、第１バルブ２Ａに連結される第２分岐管９１に連結部材９３を用いて連結している。第２分岐管９１は、第１分岐管９１と第１バルブ２Ａに接続しないポートが、遮蔽シール部材１０１によって閉鎖されている。
【００８８】
＜遮蔽シール部材の構成＞
図２２は、図２１に示す遮蔽シール部材１０１の外観斜視図である。図２３は、図６に示す遮蔽シール部材１０１の断面図である。
遮蔽シール部材１０１は、ＰＦＡやＰＰＳなどの樹脂を略円柱状に成形した遮蔽本体部１１１の一端面に、シール部材１０と同様に環状溝６２と圧入代６４とガイド部６５と把持部６８と溝６９とが形成されている。遮蔽シール部材１０１は、例えば第２分岐管９１の端面に形成された装着溝９１ｄの環状突起９１ｅを環状溝６２の圧入代６４に圧入されてシールする。この意味で、遮蔽シール部材１０１の一端面に設けた環状溝６２と圧入代６４は、「シール部」の一例になり得る。遮蔽シール部材１０１の他端面は、遮蔽本体部１０２によって閉鎖されている。遮蔽本体部１０２の外周面には、接続部１７Ａの嵌合凹溝７３Ａと同一形状の嵌合凹溝１０３が２本平行に形成され、嵌合凹溝１０３の内周壁には、接続部１７Ａの接続部側テーパ７４Ａと同一形状の接続部側テーパ１０４が設けられている。
【００８９】
＜流路遮蔽方法＞
次に、遮蔽シール部材１０１を用いて流路を遮蔽する方法を説明する。
遮蔽シール部材１０１は、第２分岐管９１の端面に設けた環状突起９１ｅを環状溝６２のガイド部６５に挿入した状態で、第２分岐管９１に取り付けられる。連結部材９３は、第２分岐管９１と遮蔽シール部材１０１の端面接続部分を上下方向から挟むように第２分岐管９１と遮蔽シール部材１０１との接続部に取り付けられる。そして、ボルト４５，４５を第１及び第２連結ブロック４１，９８に締め付けると、第１及び第２連結ブロック４１，９８の連結側テーパ５１Ａ，５１Ｂ，５２Ａ，５２Ｂが、第２分岐管９１の接続部側テーパ９１ｂと、遮蔽シール部材１０１の接続部側テーパ１０４に摺接し、第２分岐管９１と遮蔽シール部材１０１に互いに近づく方向の力を付与する。これにより、第２分岐管９１の環状突起９１ｅが遮蔽シール部材１０１の環状溝６２に設けた圧入代６４に圧入される。よって、第２分岐管９１は、遮蔽シール部材１０１との圧入部分でシールされた状態で、遮蔽シール部材１０１に流路を遮蔽される。
【００９０】
＜作用効果＞
従って、第４実施形態の流体機器ユニット１００及びシール接続部の連結構造１０５は、第３実施形態の作用効果に加え、以下の作用効果を奏する。
遮蔽シール部材１０１が、第２配管９１の環状突起９１を圧入される環状溝６２が一端面に形成され、他端面が閉鎖され、他端面外周に接続部１７Ａ，１７Ｂに設けた嵌合凹溝７３Ａ，７３Ｂ及び接続部側テーパ７４Ａ，７４Ｂと同じ嵌合凹溝１０３及び接続部側テーパ１０４が設けられているので、例えば、遮蔽シール部材１０１を第２分岐管９１の接続部９１ｃに装着して第１及び第２連結ブロック４１，９８をそのまま取り付ければ、第２分岐管９１の一端開口部を遮蔽して、流路を簡単に遮断できる。しかも、遮蔽シール部材１０１は、第１及び第２連結ブロック４１，９８の間に収まるため、流路遮断構造がコンパクトである。
【００９１】
また、第４実施形態の流体機器ユニット１００及びシール接続部の連結構造１０５は、ライン増設時には、連結部材９３の第１及び第２連結ブロック４１，９８を取り外して遮蔽シール部材１０１を第２分岐管９１の端面から取り外し、第２分岐管９１と増設する配管との接続部分にシール部材１０を介在させ、連結部材９３で接続部分を連結する。よって、第４実施形態の流体機器ユニット１００及びシール接続部の連結構造１０５によれば、ラインエンドに遮蔽シール部材１０１を配置することにより、既存の分岐管９１や連結部材９３などを用いてライン増設を簡単に行うことができる。
【００９２】
（第５実施形態）
続いて、本発明の第５実施形態について説明する。図２４は、本発明の第５実施形態に係る圧入治具１１０の外観斜視図であって、流体機器をセットされた状態を示す。
第１実施形態では、シール部材１０の第１及び第２環状溝６２，６３に設けた圧入代６４に、流体機器に設けた第１及び第２環状突起７２Ａ，７２Ｂを圧入してシールを行っている。圧入荷重は、例えば４０００Ｎにもなることがあった。この場合、手作業でシール部材１０の圧入代６４に第１及び第２環状突起７２Ａ，７２Ｂを圧入できないことはもちろん、第１及び第２連結ブロック４１，４２を接続部１７Ａ，１７Ｂに取り付ける際に発生する推力のみで、シール部材１０の圧入代６４に第１及び第２環状突起７２Ａ，７２Ｂを圧入できないこともあった。そこで、第５実施形態では、圧入治具１１０を使用してシール部材１０の装着を行う。
【００９３】
圧入治具１１０は、治具本体部１１１の下面に、レール部材５に設けた一対の突出片７，７の間に挿入されて回転を阻止する廻り止め１１９が突設されている。治具本体部１１１の両側面には、例えば、第２バルブ２Ａを治具本体部１１１に対して固定する「固定部」の一例であるアーム１１２，１１３が設けられている。アーム１１２，１１３は、治具本体部１１１の両側に幅寸法を設定変更できるように保持されており、保持具１１４，１１５が固定されている。
【００９４】
治具本体部１１１には、ガイド棒１１７が、アーム１１２，１１３の間を水平方向（図中Ｐ１，Ｐ２方向）に直線往復運動するように保持されている。ガイド棒１１７の先端部には、押圧ブロック１１６が固定されている。押圧ブロック１１６は、内径が接続部１７Ｂの外径より大きい円筒状をなす。ガイド棒１１７と押圧ブロック１１６は、アーム１１２，１１３が第１バルブ２Ａを固定する固定位置に向かって直線往復運動することから、「可動部」の一例になり得る。
【００９５】
治具本体部１１１の側面には、ハンドル１１８が図中Ｒ１，Ｒ２方向にできるように設けられている。ハンドル１１８は、治具本体部１１１内に設けた図示しないカム機構や歯車機構などの回転力を推進力に変換して動力を伝達する動力伝達機構を介してガイド棒１１７に連結し、ハンドル１１８を図中Ｒ１方向に回転させたときには、押圧ブロック１１６を突出させるようにガイド棒１１７が図中Ｐ１方向へ移動する一方、ハンドル１１８を図中Ｒ２方向に回転させたときには、押圧ブロック１１６を退避させるようにガイド棒１１７が図中Ｐ２方向へ移動する。よって、ハンドル１１８と図示しない動力伝達機構は、ガイド棒１１７に駆動力を与えることから、「駆動部」の一例になり得る。
【００９６】
＜治具によるシール部材の装着手順＞
図２５〜図２７は、圧入治具１１０によるシール部材１０の圧入手順を示す図である。ここでは、第２バルブ２Ｂを第１バルブ２Ａに連結する場合を例に挙げて説明する。
図２５に示すように、レール部材５には、継手ブロック４と第１バルブ２Ａと第２バルブ２Ｂとが取り付けられている。第１バルブ２Ａの第１環状突起７２Ａをシール部材１０のガイド部６５に挿入するように、シール部材１０を接続部１７Ａに取り付ける。そして、圧入治具１１０の廻り止め１１９をレール部材５に設けた一対の突出片７，７の間に挿入するように、圧入治具１１０をレール部材５にセットし、圧入治具１１０が圧入時に第１バルブ２Ａ等に対して回転することを防止する。この時点で、第１バルブ２Ａと第２バルブ２Ｂと圧入治具１１０は、レール部材５によって同一直線上に位置合わせされる。
【００９７】
それから、圧入治具１１０をレール部材５に沿ってスライドさせ、保持具１１４，１１５を第１バルブ２Ａの接続部１７Ａに位置合わせする。そして、保持具１１４，１１５が接続部１７Ａを両側から保持するようにアーム１１２，１１３の幅を調節し、アーム１１２，１１３を固定する。
【００９８】
その後、図２６に示すように、圧入治具１１０を動かないように押さえながら、ハンドル１１８を図中Ｒ１方向に回転させ、ガイド棒１１７を図中Ｐ１方向へ移動させる。押圧ブロック１１６は、第２バルブ２Ｂを第１バルブ２Ａ側に押圧し、第２バルブ２Ｂをレール部材５に沿ってスライドさせる。やがて、第２バルブ２Ｂの接続部１７Ｂがシール部材１０の把持部６８に挿入され、さらに、第２環状突起７２Ｂをシール部材１０の第２環状溝６３のガイド部６６に挿入する。このとき、第１バルブ２Ａは、接続部１７Ａを保持具１１４，１１５に保持されているため、動かない。
【００９９】
さらに、ハンドル１１８を図中Ｒ１方向に回転させると、第２バルブ２Ｂが第１バルブ２Ａ側へ移動し、第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂの第１及び第２環状突起７２Ａ，７２Ｂがシール部材１０に設けた第１及び第２環状溝６２，６３の圧入代６４に圧入される。このとき、第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂは係合部２０Ａ，２０Ｂによって、圧入治具１１０は廻り止め１１９によって、それぞれ回転止めされているので、第２バルブ２Ｂの接続部１７Ｂは第１バルブ２Ａの接続部１７Ａに対して水平方向に真っ直ぐ押し付けられ、第１及び第２環状突起７２Ａ，７２Ｂを第１及び第２環状溝６２，６３に円周方向にほぼ均一な圧力で圧入することができる。
【０１００】
ハンドル１１８が動かなくなったら、図２７に示すように、ハンドル１１８を図中Ｒ２方向へ回転させ、ガイド棒１１７を図中Ｐ２方向へ後退させる。すると、押圧ブロック１１６が第２バルブ２Ｂの側面から離間する。その後、アーム１１２，１１３の固定を解除して第１バルブ２Ａの接続部１７Ａを保持具１１４，１１５から開放する。
【０１０１】
上記のようにして接続部１７Ａ，１７Ｂの間にシール部材１０を圧入保持したら、連結部材３を接続部１７Ａ，１７Ｂに取り付ける。
【０１０２】
＜作用効果＞
よって、第５実施形態の圧入治具１１０によれば、シール部材１０の第１及び第２環状溝６２，６３の圧入代６４に接続部１７Ａ，１７Ｂの第１及び第２環状突起７２Ａ，７２Ｂを圧入する圧入荷重が大きく、第１及び第２連結ブロック４１，４２を接続部１７Ａ，１７Ｂに取り付ける場合の推力のみではシール部材１０を接続部１７Ａ，１７Ｂに装着できない場合でも、例えば、第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂを圧入治具１１０にセットしてハンドル１１８を回転させるだけで、シール部材１０の圧入代６４に接続部１７Ａ，１７Ｂの第１及び第２環状突起７２Ａ，，７２Ｂを圧入することができ、シール部材１０を接続部１７Ａ，１７Ｂに簡単に装着できる。
【０１０３】
尚、圧入荷重が大きいほど、接続部１７Ａ，１７Ｂやシール部材１０が発生する反発力が大きくなるが、圧入後は、第１及び第２連結ブロック４１，４２を用いて接続部１７Ａ，１７Ｂの面圧を分散するので、接続部１７Ａ，１７Ｂが変形しにくく、シール荷重が低下しにくい。
【０１０４】
また、第５実施形態の圧入治具１１０は、流体機器ユニット１のレール部材５を利用して、第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂと圧入治具１１０とを一直線上に配置し、第２バルブ２Ｂの接続部１７Ｂを第１バルブ２Ａの１７Ａに対して水平方向に真っ直ぐ押し付けてシール部材１０を装着できるので、圧入時における接続部１７Ａ，１７Ｂの位置合わせが容易である。よって、第５実施形態の圧入治具１１０によれば、圧入式のシール部材１１０を接続部１７Ａ，１７Ｂに簡単に装着できる。
【０１０５】
また、第５実施形態の圧入治具１１０は、ハンドル１１８の回転力を図示しない動力伝達機構によってガイド棒１１７に伝達し、第２バルブ２Ｂに圧入に必要な推力を与えるので、小さな力でシール部材１０の圧入代６４に接続部１７Ａ，１７Ｂの第１及び第２環状突起７２Ａ，７２Ｂを圧入できる。
【０１０６】
尚、圧入治具１１０の構成部品を樹脂で形成すれば、摩耗粉などのゴミの発生を抑制し、圧入治具１１０の使用時にゴミがシール面に付着することを防止できる。
【０１０７】
（第６実施形態）
次に、本発明の第６実施形態について図面を参照して説明する。図２８本発明の第６実施形態に係り、分岐管９１とエルボ管９２の接続部分に取り付けられた圧入治具１２０の外観斜視図である。
第６実施形態の圧入治具１２０は、レール部材５に取り付けられない点が第５実施形態の圧入治具１１０と相違する。よって、ここでは、第５実施形態と相違する点を中心に説明し、共通する点は図面に第５実施形態と同じ符号を付し、説明を適宜省略する。
【０１０８】
＜圧入治具の全体構成＞
圧入治具１２０は、使用時に摩耗粉などのゴミを発生しないために、樹脂を材質としている。圧入治具１２０は、治具本体部１２１に一対のアーム１１２，１１３が離間距離を調整できるように保持され、アーム１１２，１１３に保持具１１４，１１５が保持されている。治具本体部１２１は、中空円筒状をなし、内周面に雌ねじが形成されている。治具本体部１２１には、外周面に雄ねじが形成された作動棒１２２が螺入されている。作動棒１２２は、一端に押圧ブロック１１６が固設され、他端にハンドル１２３が固設されており、ハンドル１２３を図中矢印Ｒ３，Ｒ４方向に回転させることにより押圧ブロック１１６を図中Ｐ３，Ｐ４方向に直線往復運動させるようになっている。
【０１０９】
尚、第６実施形態では、ハンドル１２３と治具本体部１２１の雌ねじと作動棒１２２の雄ネジによって「駆動部」の一例を構成し、作動棒１２２と押圧ブロック１１６とにより「可動部」の一例を構成する。
【０１１０】
＜治具によるシール部材の装着手順＞
次に、圧入治具１２０を使用して分岐管９１とエルボ管９２との間にシール部材１０を圧入する方法について説明する。
分岐管９１の環状突起９１ｅとエルボ管９２の環状突起９２ｅをシール部材１０の第１及び第２環状溝６２，６３のガイド部６５に挿入する。押圧ブロック１１６を後退させた状態で、保持具１１４，１１５でエルボ管９２を挟むようにアーム１１２，１１３の位置を調整して固定する。その後、ハンドル１２３を図中Ｒ３方向へ回転させて、押圧ブロック１１６を図中Ｐ３方向へ突出させ、分岐管９１をエルボ管９１側に押圧して、分岐管９１の環状突起９１ｅとエルボ管９２の環状突起９２ｅをシール部材１０の第１及び第２環状溝６２，６３の圧入代６４に圧入する。それから、ハンドル１２３を図中Ｒ４方向に回転させて押圧ブロック１１６を図中Ｐ４方向へ後退させた後、アーム１１２，１１３を広げて保持具１１４，１１５をエルボ管９２から取り外す。
【０１１１】
＜作用効果＞
従って、第６実施形態の圧入治具１２０は、第５実施形態の作用効果に加え、レール部材５に取り付けずに、シール部材１０の圧入代６４に分岐管９１とエルボ管９２の環状突起９１ｅ，９２ｅを圧入し、シール部材１０を分岐管９１とエルボ管９２の接続部分に装着することが可能である。そのため、第６実施形態の圧入治具１２０は、使用場所が限定されない。
尚、第６実施形態では、分岐管９１とエルボ管９２の連結に圧入治具１２０を使用したが、第５実施形態と同様、レール部材５に取り付けられた第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂの連結に圧入治具１２０を使用しても良い。
【０１１２】
尚、本発明は、上記実施形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。
（１）例えば、上記実施形態では、嵌合凹溝７３と嵌合凸部４９，５０を２本ずつ設けたが、１本ずつ設けてもよいし、３本以上設けてもよい。
（２）例えば、上記実施形態では、第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂの連結を中心に説明したが、バルブ類やセンサ類の連結や、配管ブロック同士の連結や、配管の連結など、各種流体機器の連結に上記シール接続部の連結構造を適用できる。
（３）例えば、上記第２実施形態では、第１及び第２連結ブロック８１，８２を横方向、第３及び第４連結ブロック８３，８４を上下方向から取り付けたが、これらの取付方向はこれに限定されず、例えば、第１及び第２連結ブロック８１，８２を上下方向、第３及び第４連結ブロック８３，８４を横方向から取り付けてもよい。
（４）例えば、上記第５実施形態では、圧入治具１１０が第１バルブ２Ａを左右から挟むように固定したが、例えば、Ｌ字形のアームを治具本体部１１１の上面に設け、上方から第１バルブ２Ａにアームを引っ掛けるようにして第１バルブ２Ａを固定してもよい。
（５）例えば、上記実施形態ではレール部材５を複数のレール部品３１，３２で構成したが、１個の部品で構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１１３】
【図１】本発明の第１実施形態に係る流体機器ユニットの外観斜視図である。
【図２】図１に示す第１バルブとレール部材との関係を説明する図であり、（ａ）は第１バルブの側面図を示し、（ｂ）はレール部材の断面図を示す。
【図３】図１に示す第１バルブの下面図である。
【図４】図１に示す流体機器ユニットの部分分解斜視図である。
【図５】図１に示す第１バルブと第２バルブのシール構造を示す分解拡大断面図である。
【図６】図５に示す接続部に使用するシール部材の平面図である。
【図７】図６に示すシール部材のＡ−Ａ断面図である。
【図８】図１に示すシール接続部の連結構造の拡大断面図である。
【図９】図１に示す連結部材の断面図である。
【図１０】図１に示す流体機器の連結手順を説明する図である。（ａ）は一方の流体機器にシール部材を仮装着した状態を示す。（ｂ）は、他方のシール部材にシール部材を仮装着した状態を示す。
【図１１】図１に示す流体機器の連結手順を説明する図である。（ａ）は、連結部材装着前の状態を示す。（ｂ）は、連結部材装着後の初期状態を示す。
【図１２】図１に示す流体機器の連結手順を説明する図であり、増し締め後の状態を示す図である。
【図１３】本発明の第２実施形態に係る流体機器ユニット及びシール接続部の連結構造に使用される流体機器に装着された連結部材を示す外観斜視図である。
【図１４】図１３に示す連結部材を分解した斜視図である。
【図１５】本発明の第３実施形態に係る流体機器ユニットの外観斜視図である。
【図１６】図５に示す第１ラインの断面図である。
【図１７】図５に示す第２ラインの断面図である。
【図１８】図１５に示す連結部材とレール部材の断面図である。
【図１９】図１８に示す連結部材の第１変形例を示す図である。
【図２０】図１８に示す連結部材の第２変形例を示す図である。
【図２１】本発明の第４実施形態に係る流体機器ユニットの外観斜視図である。
【図２２】図２１に示す遮蔽シール部材の外観斜視図である。
【図２３】図６に示す遮蔽シール部材の断面図である。
【図２４】本発明の第５実施形態に係る圧入治具の外観斜視図であって、流体機器をセットされた状態を示す。
【図２５】図２４に示す圧入治具によるシール部材の圧入手順を示す側面図であって、圧入前の状態を示す。
【図２６】図２４に示す圧入治具によるシール部材の圧入手順を示す側面図であって、加圧時の状態を示す。
【図２７】図２４に示す圧入治具によるシール部材の圧入手順を示す側面図であって、圧入後の状態を示す。
【図２８】本発明の第６実施形態に係り、第１及び第２の部品の接続部分に取り付けられた圧入治具の外観斜視図である。
【図２９】従来のシール接続部の連結構造を使用した流体機器ユニットの断面図である。
【符号の説明】
【０１１４】
１，９０，１００  流体機器ユニット
２Ａ、２Ｂ  バルブ（流体機器）
４  継手ブロック（流体機器）
３，８０，９３  連結部材
９  シール接続部の連結構造
１０  シール部材
１１Ａ，１１Ｂ  バルブボディ（第１の部品、第２の部品）
１３Ａ  二次側ポート（第２の流路）
１４Ｂ  一次側ポート（第１の流路）
１７Ａ，１７Ｂ  接続部（第１接続部、第２接続部）
２５  流路
２６  接続部
４１  第１連結ブロック
４２  第２連結ブロック
４５  ボルト（固定部材）
４９Ａ，４９Ｂ，５９Ａ，５０Ｂ  嵌合凸部
５１Ａ，５１Ｂ，５２Ａ，５２Ｂ  連結側テーパ
６２  環状溝（シール部）
６４  圧入代（シール部）
７３Ａ，７３Ｂ  嵌合凹溝
７４Ａ，７４Ｂ  接続部側テーパ
８１  第１連結ブロック
８２  第２連結ブロック
８３  第３連結ブロック
８４  第４連結ブロック
８６  被加圧側テーパ
８８  加圧側テーパ
９１  分岐管（第１又は第２の部品、流体機器）
９１ａ  嵌合凹溝
９１ｂ  接続部側テーパ
９１ｃ  接続部
９２  エルボ管（第１又は第２の部品、流体機器）
９２ａ  嵌合凹溝
９２ｂ  接続部側テーパ
９２ｃ  接続部
９３  連結部材
９４，９５，９６  廻り止め
９８  第２連結ブロック
９９  シール接続部の連結構造
１０１  遮蔽シール部材（シール部材）
１０３  嵌合凹溝
１０４  接続部側テーパ
１０５  シール接続部の連結構造
１１０  圧入治具
１１２，１１３  アーム（固定部）
１１７  ガイド棒（可動部）
１１８  ハンドル（駆動部）
１２０  圧入治具
１２２  ガイド棒（可動部）
１２３  ハンドル（駆動部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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