Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成21年5月1日(2009.5.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
電気浸透材７３０は、シリカを材料として形成されたセラミック焼結体からなる多孔質形状に形成されており、その孔径は、数十（ｎｍ）〜数（μｍ）である。またこの電気浸透材７３０は、ポンプ収納空間７１１に嵌合可能な大きさに形成されている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
また、ポンプ収納部３３は、ポンプ体７０を収納可能な大きさに形成されている。そしてこのポンプ収納部３３は、第１本体部３０の軸方向の他端側の端面のうち、ポンプ体７０を収納したとき、ポンプ体７０の開口と対向する部分に、開口３３ｂが設けられている。ポンプ体７０への駆動液の注入は、この開口３３ｂを介して行う。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５９】
この第２本体部４０は、図４（ｂ）に示すように、基準軸αを軸として略円筒状に形成されている。具体的には、この第２本体部４０は、円筒形状に形成された軸方向に長尺な胴体部４１と、この胴体部４１の軸方向の一端に形成された略円錐形状の固定部４２とを有する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７０】
次に、本実施形態のポンプ体７０は、ポンプ収納空間７１１及びリザーバ空間７２１の並び方向の大きさが１８ｍｍ、この並び方向に沿った中心軸を中心とする径が７ｍｍの大きさに形成されている。また、ポンプ体７０は、重量が０．３４ｇで形成されている。また、本実施形態のピペット２は、ピペット本体３がペン形状に形成されている。そのため、このピペット２は、ポンプ体７０が小型軽量でありかつ、ピペット本体３がペン形状に形成されているので、細胞等の試料の採取する操作を行う場合でも、ピペット２を手で持ってペンを扱う間隔でスムーズに操作できる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７６】
上記実施形態では、ポンプ収納空間７１１及びリザーバ空間７２１の並び方向の大きさが１８ｍｍ、この並び方向に沿った中心軸を中心とする径が７ｍｍの大きさに形成されている。また、ポンプ体７０は、重量が０．３４ｇで形成されている。しかし、これに限られるものではなく、例えば、ポンプ体は、ポンプ収納空間７１１及びリザーバ空間７２１の並び方向の大きさが２０ｍｍ以下、この並び方向に沿った中心軸を中心とする径が１０ｍｍ以下の大きさに形成されていればよい。また、ポンプ体は、重量が１ｇ以下（好ましくは０．２〜０．７ｇ）に形成されていればよい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９５】
１…ピペット装置、２…ピペット、３…ピペット本体、７…ピペット芯材、９…コントローラ、３０…第１本体部、３１…胴体部、３２…固定部、３３…ポンプ収納部、３３ａ…周囲側面、３４…コネクタホルダ、４０…第２本体部、４１…胴体部、４２…固定部、７０…ポンプ体、７３…電気浸透流ポンプ、８０…キャピラリー、８１…大径細管、８２…小径細管、８３…第１チューブ、８４…接続チューブ、９０…コントローラ本体、９１…切替スイッチ、９２…調整ダイヤル、９３…コネクタホルダ、９８…電源供給部、９９…制御信号線、２００…コントローラ、２１０…操作部、２１２…セットアップボタン、２１４…電圧設定切換ボタン、２１６…マックスボタン、２１８…電圧粗調整ダイヤル、２２０…電圧微調整ダイヤル、２３０…液晶表示部、２４０…ポンプ制御回路、２５２…ＣＰＵ、２５４…ＲＯＭ、２５６…ＲＡＭ、２６０…バス、２７０…入出力回路、３１０…ネジ山、４１０…ネジ溝、７００…ポンプ本体部、７０１…管部、７０１ａ…他方の吸排口、７１０…ポンプ部、７１１…ポンプ収納空間、７２０…リザーバ部、７２１…リザーバ空間、７３０…電気浸透材、７３２…第１電極、７３２ａ…メッシュ電極部、７３２ｂ…端子棒電極部、７３４…第２電極、７３４ａ…メッシュ部、７３４ｂ…電極端子棒、８２０…スリーブ
【手続補正書】
【提出日】平成21年2月12日(2009.2.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
有効量のポリガンマグルタミン酸と薬学的に許容される担体を含むマクロファージの活性、Ｔリンパ球およびＢリンパ球の増殖活性誘導用組成物。
【請求項２】
ポリガンマグルタミン酸は、１ｋＤａ〜１５０００ｋＤａの分子量を有することを特徴とする請求項１に記載のマクロファージの活性、Ｔリンパ球およびＢリンパ球の増殖活性誘導用組成物。
【請求項３】
ポリガンマグルタミン酸を含有するワクチン用アジュバント。
【請求項４】
ポリガンマグルタミン酸は、１ｋＤａ〜１５０００ｋＤａの分子量を有することを特徴とする請求項３に記載のワクチン用アジュバント。
【請求項５】
ポリガンマグルタミン酸および食品学的に許容される添加剤を含み、マクロファージの活性、Ｔリンパ球およびＢリンパ球の増殖活性誘導効果を有する機能性食品。
【請求項６】
有効量のポリガンマグルタミン酸を含むことを特徴とするマクロファージの活性、Ｔリンパ球およびＢリンパ球の増殖活性誘導効果を有する家畜用飼料組成物。
【請求項７】
ポリガンマグルタミン酸を、人間を除いて免疫増強が必要な動物に有効量を投与することを特徴とする動物のマクロファージの活性、Ｔリンパ球およびＢリンパ球の増殖活性誘導方法。
【手続補正書】
【提出日】平成20年12月5日(2008.12.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
防護装置、特に自動機械における危険領域の防護装置であって、
防護域(６，６')を光学的に監視するための光学装置であって、それぞれ少なくとも１つの撮像ユニット(８，８')を有する少なくとも２個の光学ユニット(２，４)を前記防護域(６，６')を挟んで対向配置して成る光学装置を備え、
前記光学ユニットが、前記防護域への侵入が発生したときに前記機械を停止させるための評価・切替ユニット(２２)に接続され、
前記撮像ユニット(８，８')が、前記防護域(６，６')を挟んで反対側に配置された標識(１０'，１０)を少なくとも撮影し、
前記評価・切替ユニット(２２)が、撮影された画像を基準画像と比較する比較ユニット(１２)を備え、
各光学ユニット(２，４)が、前記反対側に配置された標識(１０'，１０)を照明するための少なくとも１つの照明装置(２８，２８')を備え、かつ、
前記第１及び第２の光学ユニット(２，４)が、同一の構成を有し、互いに長手方向に反転した形で対向し、かつ距離をおいて配置されたものにおいて、
前記撮像ユニット(８，８')、反対側の光学ユニット(４，２)に対向する標識(１０'，１０)、及び前記照明装置(２８，２８')が、共通のケーシング(１４，１４')に格納され、かつ該ケーシング(１４，１４')を基準に調整されること、
前記第２又は第１の光学ユニット(４，２)の照明装置(２８'，２８)から、前記第１又は第２の光学ユニット(２，４)の撮像ユニット(８，８')に、該撮像ユニット(８，８')の所定の撮像感度より高いレベル及び／又は低いレベルの光を当てることができること、及び、
前記第１又は第２の光学ユニット(２，４)の照明装置(２８，２８')が、前記第２又は第１の光学ユニット(４，２)の撮像ユニット(８，８')から見える位置にあること、
を特徴とする防護装置。
【請求項２】
請求項１に記載の防護装置において、前記標識(１０，１０')を記憶するための手段を備えることを特徴とするもの。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の防護装置において、前記照明装置(２８，２８')の少なくとも１つの作動パラメータを変更するための手段(１８，１８')を備えることを特徴とするもの。
【請求項４】
請求項３に記載の防護装置において、前記照明装置(２８，２８')の作動パラメータを変更するための手段(１８，１８')を周期的に作動させることができることを特徴とするもの。
【請求項５】
請求項３又は４に記載の防護装置において、前記照明装置(２８，２８')の作動パラメータが、光の強度及び／又は光のパルス幅及び／又は光のパルス間隔及び／又は光の波長であることを特徴とするもの。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載の防護装置において、前記評価・切替ユニット(２２)が別のケーシング(１６)に格納されることを特徴とするもの。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかに記載の防護装置において、前記光学ユニット(２，４)が、情報伝送路(２６，２６')により前記評価・切替ユニット(２２)に接続されることを特徴とするもの。
【請求項８】
請求項７に記載の防護装置において、前記情報伝送路(２６，２６')が、ケーブル接続方式、バス接続方式、或いは無線伝送方式で構成されることを特徴とするもの。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれかに記載の防護装置において、前記標識(１０，１０')が前記ケーシング(１４，１４')の側面全体に延在していることを特徴とするもの。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれかに記載の防護装置において、追加の標識(１０，１０')をモジュールの形で前記ケーシング(１４，１４')に取り付けることができることを特徴とするもの。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれかに記載の防護装置において、前記ケーシング(１４，１４')が、前記標識(１０，１０')を適合させるために短縮可能に構成されることを特徴とするもの。
【請求項１２】
請求項１〜１１のいずれかに記載の防護装置において、前記撮像ユニット(８，８')及び照明装置(２８，２８')のための開口(３０，３２)が前記標識(１０，１０')の暗色領域(３４)に配置されることを特徴とするもの。
【請求項１３】
請求項１〜１２のいずれかに記載の防護装置において、別々の光学ユニット(２，４)の撮像ユニット(８，８')が同じ寸法の撮像面を有し、この撮像面に、様々な大きさ、及び様々な位置で標識(１０，１０')の像が結像されることを特徴とするもの。
【手続補正書】
【提出日】平成20年12月2日(2008.12.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
内外輪の軌道面間に複数の転動体が環状の保持器で保持され、これらの転動体が前記軌道面間を公転する転がり軸受において、前記転動体の公転速度を検出する手段と、前記転がり軸受の回転速度を検出する手段とを設け、これらの手段で検出される前記転がり軸受の回転速度と前記転動体の公転速度との速度差を時間積分して、この速度差の時間積分値が所定の値に達したときに、警報を発するようにしたことを特徴とする転がり軸受。
【手続補正書】
【提出日】平成21年5月11日(2009.5.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
化粧料組成物であって、生理的に許容される媒体中に、該組成物を365nmなる波長の光で照明した際に、少なくとも3種の光ルミネッセンスピークが、可視スペクトル内に、夫々異なる波長にて観測されるように選択される、少なくとも1種の光ルミネッセンス剤を含むことを特徴とする、上記化粧料組成物。
【請求項２】
該組成物が、少なくとも3種の異なる光ルミネッセンス剤を含み、かつ該組成物が、紫外光で照明された場合に、夫々異なる波長を持つ、該夫々の光ルミネッセンス剤に関連する、少なくとも3種の光ルミネッセンスピークが観測されるように、該3種の光ルミネッセンス剤を選択する、請求項1記載の化粧料組成物。
【請求項３】
化粧料組成物であって、生理的に許容される媒体中に、該組成物を365nmなる波長の光で照明した際に、少なくとも3種の光ルミネッセンスピークが、可視スペクトル内に、夫々異なる波長にて観測され、最大強度を持つピークと最小強度を持つピークとの間の強度比が、20以下となるように選択される、少なくとも1種の光ルミネッセンス剤を含むことを特徴とする、上記化粧料組成物。
【請求項４】
該最大強度を持つピークと最小強度を持つピークとの間の強度比が、3以下である、請求項3記載の化粧料組成物。
【請求項５】
該光ルミネッセンス剤によって発せられる光が、実質的に白色光となるように、該光ルミネッセンス剤を選択する、上記請求項の何れか1項に記載の組成物。
【請求項６】
第一のピークが、約446nm〜約500nmなる範囲内の波長を持ち、第二のピークが、約500nm〜約578nmなる範囲内の波長を持ち、かつ第三のピークが、約620nm〜約700nmなる範囲内の波長を持つ、上記請求項の何れか1項に記載の組成物。
【請求項７】
第一のピークが、約400nm〜約446nmなる範囲内の波長を持ち、第二のピークが、約500nm〜約578nmなる範囲内の波長を持ち、かつ第三のピークが、約592nm〜約620nmなる範囲内の波長を持つ、上記請求項の何れか1項に記載の組成物。
【請求項８】
第一のピークが、約446nm〜約500nmなる範囲内の波長を持ち、第二のピークが、約578nm〜約592nmなる範囲内の波長を持ち、かつ第三のピークが、約620nm〜約700nmなる範囲内の波長を持つ、上記請求項の何れか1項に記載の組成物。
【請求項９】
少なくとも1種の光ルミネッセンス剤が、少なくとも一つの希土類元素を含むドーパントでドープされている、上記請求項の何れか1項に記載の組成物。
【請求項１０】
該少なくとも1種の光ルミネッセンス剤が、粒状であり、かつ該光ルミネッセンス剤粒子の平均粒径が、約1nm〜約10nmなる範囲にある、上記請求項の何れか1項に記載の組成物。
【手続補正書】
【提出日】平成21年10月26日(2009.10.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
非経口投与のために適した薬学的組成物であって、該薬学的組成物は、有効量のピペラシリンおよび６．３〜６．７の範囲に調整されたｐＨを有する緩衝溶液を含み、ここで、該薬学的組成物は、さらにクエン酸緩衝剤を含む、薬学的組成物。
【請求項２】
前記有効量のピペラシリンは、ピペラシリンナトリウムの形態で提供され、そして該ピペラシリンの濃度は、２０〜８０ｍｇ／ｍｌ溶液の範囲内である、請求項１に記載の薬学的組成物。
【請求項３】
前記ピペラシリンの濃度は、３０〜７０ｍｇ／ｍｌ溶液の範囲内である、請求項２に記載の薬学的組成物。
【請求項４】
前記ピペラシリンの濃度は、３８〜６２ｍｇ／ｍｌ溶液の範囲内である、請求項２に記載の薬学的組成物。
【請求項５】
前記ｐＨは、６．５に調整されている、請求項１に記載の薬学的組成物。
【請求項６】
前記緩衝剤は、クエン酸ナトリウムである、請求項６に記載の薬学的組成物。
【請求項７】
前記クエン酸ナトリウム緩衝剤の濃度は、１〜４ｍｇ／ｍｌ溶液の範囲内である、請求項６に記載の薬学的組成物。
【請求項８】
前記クエン酸ナトリウム緩衝剤の濃度は、１．５〜３．５ｍｇ／ｍｌ溶液の範囲内である、請求項７に記載の薬学的組成物。
【請求項９】
前記クエン酸ナトリウム緩衝剤の濃度は、１．８〜３．２ｍｇ／ｍｌ溶液の範囲内である、請求項７に記載の薬学的組成物。
【請求項１０】
さらに、有効量のタゾバクタムを含む、請求項１に記載の薬学的組成物。
【請求項１１】
前記有効量のタゾバクタムは、タゾバクタムナトリウムの形態で提供され、そして該タゾバクタムの濃度は、０．０〜９．０ｍｇ／ｍｌ溶液の範囲内である、請求項１０に記載の薬学的組成物。
【請求項１２】
前記タゾバクタムの濃度は、４〜８ｍｇ／ｍｌ溶液の範囲内である、請求項１１に記載の薬学的組成物。
【請求項１３】
前記タゾバクタムの濃度は、４．８〜７．８ｍｇ／ｍｌ溶液の範囲内である、請求項１１に記載の薬学的組成物。
【請求項１４】
前記ｐＨは、６．５に調整されている、請求項１０に記載の薬学的組成物。
【請求項１５】
前記薬学的組成物を生理学的に等張性にさせるために有効量のデキストロースをさらに含む、請求項１に記載の薬学的組成物。
【請求項１６】
前記デキストロースの濃度は、５〜３０ｍｇ／ｍｌ溶液の範囲内である、請求項１５に記載の薬学的組成物。
【請求項１７】
前記デキストロースの濃度は、６〜２２ｍｇ／ｍｌ溶液の範囲内である、請求項１６に記載の薬学的組成物。
【請求項１８】
ピペラシリンを含む薬学的組成物を作製するプロセスであって、該薬学的組成物は、７日を超える冷蔵保存寿命を有し、該プロセスは、以下の工程：
ａ）有効量のピペラシリンを適切な液体に溶解して予備混合溶液を形成する工程；
ｂ）該予備混合溶液のｐＨを６．３〜６．７の範囲へと調整する工程；
ｃ）該予備混合溶液を適切な容器に充填する工程；および
ｄ）５℃±３℃での適切な雰囲気中に該予備混合溶液の容器を格納する工程、を包含する、プロセス。
【請求項１９】
有効量のタゾバクタムを前記予備混合溶液中に溶解させる工程をさらに包含する、請求項１８に記載のプロセス。
【請求項２０】
前記溶液を緩衝化する工程をさらに包含する、請求項１８に記載のプロセス。
【請求項２１】
前記適切な雰囲気が−２０℃以下である、請求項１８に記載のプロセス。
【請求項２２】
前記予備混合溶液に、前記薬学的組成物を生理学的に等張性にさせる量のデキストロースを添加する工程をさらに包含する、請求項１８に記載のプロセス。
【請求項２３】
前記有効量のピペラシリンは、２０〜８０ｍｇ／ｍｌの適切な液体の範囲内の濃度でピペラシリンナトリウムによって提供される、請求項１８に記載のプロセス。
【請求項２４】
前記ピペラシリンの濃度は、３０〜７０ｍｇ／ｍｌの適切な液体の範囲内である、請求項２３に記載のプロセス。
【請求項２５】
前記ピペラシリンの濃度は、３８〜６２ｍｇ／ｍｌの適切な液体の範囲内である、請求項２３に記載のプロセス。
【請求項２６】
前記有効量のタゾバクタムは、０．０〜９．０ｍｇ／ｍｌの適切な液体の範囲内の濃度でタゾバクタムナトリウムによって提供される、請求項１９に記載のプロセス。
【請求項２７】
前記タゾバクタムの濃度は、４〜８ｍｇ／ｍｌの適切な液体の範囲内である、請求項３２に記載のプロセス。
【請求項２８】
前記タゾバクタムの濃度は、４．８〜７．８ｍｇ／ｍｌの適切な液体の範囲内である、請求項２６に記載のプロセス。
【請求項２９】
前記溶液を緩衝化する工程をさらに包含する、該予備混合溶液を緩衝化する工程は、該予備混合溶液に有効量のクエン酸塩を添加する工程を包含する、請求項１９に記載のプロセス。
【請求項３０】
前記予備混合溶液のｐＨは、６．５である、請求項１８に記載のプロセス。
【手続補正書】
【提出日】平成21年5月8日(2009.5.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
多量の燃料油及びカルボン酸とピリジンのヒドロカルビル誘導体との反応により形成される塩を少量含む、燃料油組成物。
【請求項２】
ピリジンのヒドロカルビル誘導体が以下の一般式により表される、請求項１に記載の燃料油組成物：
2006316059.tif 000001
（式中、nは、1〜5の整数であり；それぞれのRは、独立して、炭素数1〜30のヒドロカルビル基を表す）。
【請求項３】
nが少なくとも2である、請求項２に記載の燃料油組成物。
【請求項４】
少なくとも一つのR基が、アルキル基又はアルケニル基である、請求項２又は３に記載の燃料油組成物。
【請求項５】
カルボン酸が脂肪酸又は脂肪酸の混合物である、請求項１〜４のいずれか１項に記載の燃料油組成物。
【請求項６】
カルボン酸がトール油脂肪酸(TOFA)を含む、請求項１〜５のいずれか１項に記載の燃料油組成物。
【請求項７】
燃料油の硫黄含量が0.05質量％未満である、請求項１〜６のいずれか１項に記載の燃料油組成物。
【請求項８】
硫黄含量が0.2質量％未満の燃料油の潤滑性を改良するための、請求項１〜６のいずれか１項に記載の塩の使用。
【手続補正書】
【提出日】平成20年12月22日(2008.12.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
含窒素化合物を含んでなる、濃度が５０質量％以上の高濃度アニオン界面活性剤用添加剤であって、前記含窒素化合物が、下記式１：
【化１】
2006316265.tif 000001
（式中、Ｒ1は炭素数５〜２３の水酸基を有していてもよい炭化水素基、Ｒ2は水素原子、あるいは炭素数１〜３のアルキル基、Ｒ3は炭素数１〜６のアルキレン基又は炭素数２〜６のアルケニレン基を示す。）で表されるアミドアルコール化合物；
下記式６：
ＲＯ（ＡＯ）mＳＯ3Ｍ1          （６）
（式中、Ｒは炭素数９〜２４の炭化水素基、Ａは炭素数２〜４のアルキレン基、Ｍ1は水素原子、アルカリ金属又はＮＨ4、ｍは平均値で０．５〜１．５の数を示す）で表される化合物を１種以上；および
水を含むアニオン界面活性剤組成物。
【請求項２】
前記式６の化合物１００質量部に対して、前記高濃度アニオン界面活性剤用添加剤を０．１〜５０質量部、及び水を１０〜６０質量部の割合で含む請求項１に記載のアニオン界面活性剤組成物。
【請求項３】
請求項１に記載の式６の化合物を１種以上主成分として含み、請求項１に記載の式１で示される含窒素化合物を１種以上及び水を更に含むアニオン界面活性剤プレミックス。
【手続補正書】
【提出日】平成21年5月8日(2009.5.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
不飽和（共）重合体中に存在するオレフィン系二重結合を選択的に水素化する方法であって、
（ａ）水素化すべき（共）重合体の、所望により窒化もしくは酸化された有機化合物または芳香族化合物から選択される変性剤（Ｃ）、を含む炭化水素溶液を調製する工程と、
（ｂ）前記（共）重合体溶液中に、水素雰囲気中で、
（ｂ１）一種以上の非溶剤系希釈剤中に分散された、少なくとも一種の、一般式(I)  （Ｃ５Ｈ５）２Ｔｉ（Ｒ）（Ｒ１）を有する（式中、ＲおよびＲ１は、ハロゲンであって、同一または異なるものである）、ビス−（シクロペンタジエニル）チタン誘導体、
（ｂ２）少なくとも一種の、一般式(II)  Ｍ（Ｒ２）（Ｒ３）を有する（Ｍは亜鉛およびマグネシウムから選択されるものであり、Ｒ２およびＲ３は、Ｃ１〜Ｃ１６アルキルから選択されるものであって、同一または異なるものである）有機誘導体、および
（ｂ３）少なくとも一種の変性剤（Ｃ）
を加えて、インシチュウ（ｉｎ−ｓｉｔｕ）で触媒溶液を形成する工程と、
を含んでなり、前記選択的水素化が、水素雰囲気中で行われる、方法。
【請求項２】
ＲおよびＲ１がＣｌである、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
Ｍがマグネシウムであり、Ｒ２およびＲ３が、Ｃ１〜Ｃ８アルキルから選択されるものであって、同一または異なるものである、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記式(II)  Ｍ（Ｒ２）（Ｒ３）の誘起誘導体と前記チタン誘導体とのモル比が、１／１〜１０／１である、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記変性剤（Ｃ）が、テトラヒドロフラン、エチレングリコールのＣ１〜Ｃ２０エーテル、ジエチレングリコールのＣ１〜Ｃ２０エーテル、およびトルエンから選択される、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記変性剤（Ｃ）とＴｉのモル比が０．０１／１〜２００／１である、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記方法が、温度２０℃〜１１０℃、および水素圧１〜５０バールで行われる、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記共役ジエンの重合体が、１，３−ブタジエン、イソプレン、２，３−ジメチル−１，３−ブタジエン、１，３−ペンタジエン、２−メチル−１，３−ペンタジエン、１，３−ヘキサジエン、４，５−ジエチル−１，３−オクタジエン、および３−ブチル−１，３−オクタジエンの重合体から選択されるものである、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
前記共役ジエンの共重合体が、共役ジエン／ビニルアレーンの共重合体から選択されるものである、請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
前記共役ジエンの共重合体が、スチレン−イソプレン−スチレン（ＳＩＳ）、およびスチレン−ブタジエン−スチレン（ＳＢＳ）から選択されるものである、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記式(I)のチタン誘導体が、ＴＨＦ３，０００〜１０，０００ｐｐｍを含むシクロヘキサンの懸濁液として供給される、請求項１に記載の方法。
【請求項１２】
水素化される（共）重合体の量に対する前記式(I)の化合物の量（Ｔｉのｐｐｍとして表す）が、５〜５００ｐｐｍである、請求項１に記載の方法。
【請求項１３】
前記工程（ｂ）における、触媒のインシチュウ形成が、水素圧０．０１〜３ＭＰａ、好ましくは０．０５〜０．５ＭＰａで行われる、請求項１〜１２のいずれか一項に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成21年5月11日(2009.5.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
主要量のガソリン又はディーゼル燃料の沸点範囲の沸点を有する炭化水素、および炭化水素アミドのモル当りアルキレンオキシド３乃至５０モルを有するアルキレンオキシド付加炭化水素アミド反応生成物であって、下記の工程により製造され、そして反応生成物中のアミン副生物の量がアルキレンオキシド付加炭化水素アミド反応生成物の全質量に基づき７質量％以下であり、かつ反応生成物のアミド：エステル比が０．１：１乃至１．１：１の範囲にある反応生成物を含む燃料組成物：（ａ）まず、脂肪酸または脂肪酸の低級アルキルエステルを、アンモニアまたはモノ又はジヒドロキシ炭化水素アミンと反応させ、そして（ｂ）次に、得られた中間体をアルキレンオキシドと反応させて、アルキレンオキシド付加炭化水素アミド、モノ及びジエステル生成物の混合物およびアミン副生物からなる反応生成物とする。
【請求項２】
アルキレンオキシド付加炭化水素アミドが、炭化水素アミドモル当りアルキレンオキシド３乃至２０モルを有する請求項１に記載の燃料組成物。
【請求項３】
アルキレンオキシド付加炭化水素アミドが、炭化水素アミドモル当りアルキレンオキシド４乃至１５モルを有する請求項２に記載の燃料組成物。
【請求項４】
アルキレンオキシド付加炭化水素アミドが、炭素原子数４〜３０のアルキル又はアルケニルアミドから誘導されたものである請求項１に記載の燃料組成物。
【請求項５】
アルキレンオキシド付加炭化水素アミドが、炭素原子数６〜２４のアルキル又はアルケニルアミドから誘導されたものである請求項４に記載の燃料組成物。
【請求項６】
アルキル又はアルケニルアミドがヤシ油脂肪酸アミドである請求項５に記載の燃料組成物。
【請求項７】
ヤシ油脂肪酸アミドが、ヤシ油脂肪酸又はエステルとジエタノールアミンとの反応により得られたものである請求項６に記載の燃料組成物。
【請求項８】
脂肪酸がＣ4〜Ｃ30の脂肪酸である請求項１に記載の燃料組成物。
【請求項９】
脂肪酸がＣ6〜Ｃ24の脂肪酸である請求項１に記載の燃料組成物。
【請求項１０】
脂肪酸がＣ6〜Ｃ20の脂肪酸である請求項９に記載の燃料組成物。
【請求項１１】
脂肪酸がヤシ油脂肪酸である請求項１０に記載の燃料組成物。
【請求項１２】
脂肪酸の低級アルキルエステルの低級アルキル基が炭素原子数１〜６である請求項１に記載の燃料組成物。
【請求項１３】
脂肪酸の低級アルキルエステルの低級アルキル基が炭素原子数１〜４である請求項１２に記載の燃料組成物。
【請求項１４】
脂肪酸の低級アルキルエステルの低級アルキル基が炭素原子数１〜２である請求項１３に記載の燃料組成物。
【請求項１５】
低級アルキルエステルがメチルエステルである請求項１に記載の燃料組成物。
【請求項１６】
モノ又はジヒドロキシ炭化水素アミンが、エタノールアミン、ジエタノールアミン、プロパノールアミンおよびジプロパノールアミンからなる群より選ばれる請求項１に記載の燃料組成物。
【請求項１７】
炭化水素アミンがジヒドロキシ炭化水素アミンである請求項１６に記載の燃料組成物。
【請求項１８】
ジヒドロキシ炭化水素アミンがジエタノールアミンである請求項１７に記載の燃料組成物。
【請求項１９】
アルキレンオキシドが、エチレンオキシド、プロピレンオキシド、ブチレンオキシド、ペンチレンオキシドまたはそれらの混合物からなる群より選ばれる請求項１に記載の燃料組成物。
【請求項２０】
アルキレンオキシドが、エチレンオキシド、プロピレンオキシドまたはそれらの混合物からなる群より選ばれる請求項１９に記載の燃料組成物。
【請求項２１】
アルキレンオキシド付加炭化水素アミドが、ヤシ油脂肪酸アミドとエチレンオキシドまたはプロピレンオキシドとの反応から誘導されたものである請求項１に記載の燃料組成物。
【請求項２２】
アルキレンオキシド付加炭化水素アミドが、ヤシ油脂肪酸アミドとプロピレンオキシドとの反応から誘導されたものである請求項２１に記載の燃料組成物。
【請求項２３】
アルキレンオキシド付加炭化水素アミドが、燃料中に１０乃至１００００質量ｐｐｍの範囲で存在する請求項１に記載の燃料組成物。
【請求項２４】
アルキレンオキシド付加炭化水素アミドが、燃料中に１０乃至５０００質量ｐｐｍの範囲で存在する請求項２３に記載の燃料組成物。
【請求項２５】
アルキレンオキシド付加炭化水素アミドが、燃料中に１０乃至１０００質量ｐｐｍの範囲で存在する請求項２４に記載の燃料組成物。
【請求項２６】
アルキレンオキシド付加炭化水素アミドが、燃料中に５０乃至５００質量ｐｐｍの範囲で存在する請求項２５に記載の燃料組成物。
【請求項２７】
アミン副生物が、アルキレンオキシド付加炭化水素アミド反応生成物の全質量に基づき４質量％以下である請求項１に記載の燃料組成物。
【請求項２８】
アミン副生物が、アルキレンオキシド付加炭化水素アミド反応生成物の全質量に基づき２質量％以下である請求項１に記載の燃料組成物。
【請求項２９】
アミン副生物が、ジエタノールアミン、アルコキシル化ジエタノールアミンまたはそれらの混合物である請求項１に記載の燃料組成物。
【請求項３０】
アミン副生物がアルコキシル化ジエタノールアミンである請求項２９に記載の燃料組成物。
【請求項３１】
アルコキシル化ジエタノールアミンがプロポキシル化ジエタノールアミンである請求項３０に記載の燃料組成物。
【請求項３２】
アミド対エステル比が０．３：１乃至０．９：１の範囲にある請求項１に記載の燃料組成物。
【請求項３３】
アミド対エステル比が０．５：１乃至０．７：１の範囲にある請求項３２に記載の燃料組成物。
【請求項３４】
内燃機関において燃料組成物の抗乳化性および潤滑油混和性を改善する方法であって、内燃機関を請求項１に記載の燃料組成物を用いて作動させることからなる方法。
【手続補正書】
【提出日】平成21年2月16日(2009.2.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２５】
(３)  ローレンツ磁気力面が引き伸ばす平等磁界Ｂの磁力線
ここで、『11  ウイングローター２』で述べたようにウイングローター２を回転させると、Ｎ極側から見るとそのローレンツ磁気力面は、θ＝０°から段々とその羽根を横方向に広げて大きくなってくる。そしてθ＝９０°になるまで羽根を広げ続け、その面に関与してくる平等磁界Ｂの磁力線を次々と斜め下側に引き下げて迂回させるから、磁力線はどんどんと縦方向にも横方向にも引き伸ばされて行く事になる。例えば図２１、で点ａをＮからＳへ直進する磁力線がある。それがローレンツ磁気力面にさえぎられて、１５°では１５°回転する時間に、縦方向にも横方向にもνの長さ分の速度で引き伸ばされてそれだけの距離を迂回し、裏側でも同じように迂回してからＳへ直進しなければならない。３０°でも４５°でも、９０°に至るまで点ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆ、ｇ、ｈ、ｉ、ｊ、のどの点を通る磁力線もνの長さ分の速度で引き伸ばされてそれだけの距離を迂回してからＳへ直進する事になる。図２１、でローレンツ磁気力面が９０°回転して、平等磁界Ｂの磁力線を、平均引き伸ばし長さｌ(ｍ)，平均引き伸ばし速度ν(ｍ／ｓ)で引き伸ばしたからその反力を受ける。
【手続補正書】
【提出日】平成21年8月10日(2009.8.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記一般式（１）で示される化合物の少なくとも１種を用いることを特徴とする光電変換材料。
【化１】
2008098138.tif 000001
（式中、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３は脂肪族基、芳香族基、複素環基を表す。なおＲ２、Ｒ３は互いに連結して環を形成していても良い。Ｒ４はｐＫａ６未満の酸性基を置換基として有する脂肪族基、芳香族基を表す。Ｒ５は炭素数４以上１４以下の脂肪族基を表す。Ｒ６は炭素数４以下の脂肪族基を表す。Ｌは共役メチン基ユニットを表す。）
【請求項２】
前記一般式（１）において、Ｒ１が芳香族基であり、Ｒ２、Ｒ３が互いに連結して飽和の５または６員環を形成していることを特徴とする請求項１に記載の光電変換材料。
【請求項３】
前記一般式（１）において、Ｒ１が置換基を有していても良い下記式（２）〜（５）で示される芳香族基であり、Ｒ２、Ｒ３が互いに連結して飽和の５員環を形成していることを特徴とする請求項２に記載の光電変換材料。
【化２】
2008098138.tif 000002
【請求項４】
表面に導電性を有する基板と、その導電性表面上に被覆された半導体層と、その半導体層の表面に吸着した色素からなる半導体電極において、色素として請求項１、請求項２および請求項３のいずれかに記載の化合物を少なくとも１種以上用いることを特徴とする半導体電極。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】光電変換材料および半導体電極
【手続補正書】
【提出日】平成21年10月6日(2009.10.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源からの光を用いて被照明面を照明する照明光学系であって、
前記光源からの光を平行化する第１光学ユニットと、
母線方向が揃った複数の円筒反射面を備え、前記第１光学ユニットからの光で複数の２次光源を形成する反射型インテグレータと、
前記母線方向に垂直に配置された開口絞りと、
前記複数の２次光源それぞれからの光を被照明面上で重ね合わせる第２光学ユニットとを有する照明光学系であって、
前記反射型インテグレータは、それぞれが複数の円筒反射面を備える複数のインテグレータ部を含み、前記複数のインテグレータ部を、前記母線方向に垂直で且つ前記円筒反射面の配列方向とは垂直な方向に並べて、前記開口絞りの入射側に配置することを特徴とする照明光学系。
【請求項２】
前記反射型インテグレータは、それぞれが複数の円筒反射面を備える第１のインテグレータ部及び第２のインテグレータ部と、該第１のインテグレータ部に隣接した第１の平面ミラーと、前記第２のインテグレータ部に隣接した第２の平面ミラーとを含み、前記第１のインテグレータ部と第２のインテグレータ部を、それぞれの反射面を対向させて前記開口絞りの入射側に配置すると共に、前記第１の平面ミラーを前記開口絞りの入射側に、前記第２の平面ミラーを前記開口絞りの射出側に配置し、前記第１のインテグレータ部で反射した光が前記開口絞りの開口部を通過して前記第２の平面ミラーに入射し、前記第１の平面ミラーで反射した光が前記第２のインテグレータ部に入射することを特徴とする請求項１記載の照明光学系。
【請求項３】
前記開口絞りに設けられた開口部の形状は、有効光源の半分の形状であることを特徴とする請求項２記載の照明光学系。
【請求項４】
前記複数のインテグレータ部を、それぞれの反射面が同じ方向に向くように、前記開口絞りの入射側に配置することを特徴とする請求項１記載の照明光学系。
【請求項５】
前記開口絞りに設けられた開口部の形状は、有効光源と同一形状であることを特徴とする請求項４記載の照明光学系。
【請求項６】
前記開口部の中心から最も離れた前記インテグレータ部の前記円筒反射面は前記開口部の輪郭部に隣接することを特徴とする請求項５記載の照明光学系。
【請求項７】
被照明面に配置されたマスクを照明する、請求項１乃至６のうちいずれか一項記載の照明光学系と、
前記マスクのパターンを被露光体に投影する投影光学系とを有することを特徴とする露光装置。
【請求項８】
請求項７記載の露光装置を用いて被露光体を露光するステップと、
露光された前記被露光体を現像するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】照明光学系および露光装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は照明光学系に関する。本発明の露光装置は、例えば、波長１０ｎｍ乃至２００ｎｍの極端紫外線（Extreme Ultra Violet：ＥＵＶ）領域、又はＸ線領域の光源を利用する露光装置に好適である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明は、有効光源の歪みを抑えて良好な照明を行うことが可能な照明光学系に関する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の一側面としての照明光学系は、光源からの光を用いて被照明面を照明する照明光学系であって、前記光源からの光を平行化する第１光学ユニットと、母線方向が揃った複数の円筒反射面を備え、前記第１光学ユニットからの光で複数の２次光源を形成する反射型インテグレータと、前記母線方向に垂直に配置された開口絞りと、前記複数の２次光源それぞれからの光を被照明面上で重ね合わせる第２光学ユニットとを有する照明光学系であって、前記反射型インテグレータは、それぞれが複数の円筒反射面を備える複数のインテグレータ部を含み、前記複数のインテグレータ部を、前記母線方向に垂直で且つ前記円筒反射面の配列方向とは垂直な方向に並べて、前記開口絞りの入射側に配置することを特徴とする。
本発明の別の側面としての露光装置は、被照明面に配置されたマスクを照明する上述の照明光学系と、前記マスクのパターンを被露光体に投影する投影光学系を有することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６３】
プレート１９０は、ウエハや液晶基板などの被処理体（被露光体）でありフォトレジストが塗布されている。プレートステージ１９４は、チャック１９２を介してプレート１９０を支持する。プレートステージ１９４は、リニアモータを利用してＸＹＺ方向にプレート１９０を移動することができる。マスク１７０とプレート１９０は、同期走査され、プレートステージ１９４とマスクステージ１７４の位置は、例えば、レーザ干渉計などの測長器により監視される。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７０】
開口絞り１５０Ａはインテグレータ部１４３からの光が通過する開口部１５１Ａを有する。開口絞り１５０Ａの開口部１５１Ａは、ｙ軸方向に並列に配置された２枚以上のインテグレータ部１４３の円筒反射面１４４Ａに垂直に配置される。また、図１９（ａ）及び図１９（ｂ）に示すように、インテグレータ部１４３の数に拘らず、ｚ軸から最も離れた位置に配置されたインテグレータ部１４３の円筒反射面１４４Ａ（輪郭部）は、開口部１５１Ａの円と隣接する。開口部１５１Ａは、標準的な照明モードにおける開口である。従って、実施例１とは異なり、変形照明時には、図２１に示すような回転対称な開口絞りを用いる。（ａ）は通常照明の大σ、（ｂ）は通常照明の小σ、（ｃ）は輪帯照明、（ｄ）は四重極照明の各モードに対応している。
【手続補正書】
【提出日】平成21年10月15日(2009.10.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
正負一対の電極をその間にセパレータを介在させて巻回し、引き出し電極を有したコンデンサ素子と、このコンデンサ素子を駆動用電解液とともに収容した有底筒状のケースと、このケースの開口部を封止した端子板と、この端子板上に設けた圧力調整弁とで構成されるコンデンサにおいて、
前記圧力調整弁は、有底筒状の弁体と通気孔を有するキャップとを備え、前記弁体の底面部で前記端子板に設けた貫通孔を塞ぐと共に、この弁体の上面部から前記キャップで押さえつけて弁体壁面を弁体円筒部の内側若しくは外側に向かって座屈させるように構成したコンデンサ。
【請求項２】
前記弁体の上面部は円筒の中心から外側に向かって高さが徐々に低くなっていく、または高くなっていくテーパ状を形成している請求項１に記載のコンデンサ。
【請求項３】
前記弁体は上面部の直径より下面部の直径が小さい、すり鉢状である請求項１に記載のコンデンサ。
【請求項４】
前記弁体はエチレンプロピレンゴムまたはイソプレンイソブチレンゴムである請求項１に記載のコンデンサ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
この目的を達成するために、本発明は、正負一対の電極をその間にセパレータを介在させて巻回し、引き出し電極を有したコンデンサ素子と、このコンデンサ素子を駆動用電解液とともに収容した有底筒状のケースと、このケースの開口部を封止した端子板と、この端子板上に設けた圧力調整弁とで構成されるコンデンサにおいて、前記圧力調整弁は、有底筒状の弁体と通気孔を有するキャップとを備え、前記弁体の底面部で前記端子板に設けた貫通孔を塞ぐと共に、この弁体の上面部から前記キャップで押さえつけて弁体壁面を弁体円筒部の内側若しくは外側に向かって座屈させるように構成したコンデンサとするものである。
【手続補正書】
【提出日】平成21年1月6日(2009.1.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布膜が形成された基板の周縁部に対して露光処理を行う周辺露光装置において、
表面に塗布膜が形成された基板を水平に保持するための基板保持部と、
この基板保持部に保持された基板の外縁の位置データを検出するための位置検出手段と、
前記基板保持部に保持された基板の周縁部に対して露光処理を行うための周辺露光手段と、  
前記基板保持部に保持され、前記周縁部に露光処理が行われた基板に対して、その露光された領域に現像液を供給し、前記露光された領域の塗布膜を溶解して除去するための現像液供給手段と、
前記基板保持部に保持された基板と前記周辺露光手段とを相対的に水平方向に移動させるための位置合わせ手段と、
前記周辺露光手段により露光処理を行う際に、前記基板の外縁の位置データに基づいて、基板の外縁と周辺露光手段との位置関係が一定になるように前記位置合わせ手段を制御する制御手段と、を備えることを特徴とする周辺露光装置。
【請求項２】
前記基板保持部に保持され、前記周縁部の露光処理が行われた基板に対して、前記露光された領域に洗浄液を供給して当該領域を洗浄するための洗浄液供給手段を備えることを特徴とする請求項１記載の周辺露光装置。
【請求項３】
前記請求項１又は２記載の周辺露光装置を備え、
キャリア載置部にキャリアにより搬入された基板を処理部に受け渡し、この処理部にて前記基板に対して塗布膜の形成を行なった後、前記周辺露光装置において、基板の周縁部の不要な塗布膜に対する露光処理と、この露光が行われた領域の現像処理とを行ない、次いで基板をインターフェイス部を介して露光装置に搬送し、前記インターフェイス部を介して戻ってきた露光処理後の基板を前記処理部にて現像処理して前記キャリア載置部に受け渡すことを特徴とする塗布、現像装置。
【請求項４】
前記露光装置は、基板表面に液層を形成して露光を行う液浸露光処理が行われる装置であることを特徴とする請求項３記載の塗布、現像装置。
【請求項５】
前記請求項１又は２記載の周辺露光装置は、前記インターフェイス部に設けられることを特徴とする請求項３又は４記載の塗布、現像装置。
【請求項６】
前記塗布膜は、反射防止膜とこの上に形成されるレジスト膜とを含むことを特徴とする請求項３ないし５のいずれか一に記載の塗布、現像装置。
【請求項７】
前記周辺露光装置にて処理される基板は、基板表面に反射防止膜形成用の塗布液が塗布された後、基板の周縁部の不要な反射防止膜が除去され、次いでこの反射防止膜の上にレジスト液が塗布された後、基板の周縁部の不要なレジスト膜が除去されているものであることを特徴とする請求項３ないし６のいずれか一に記載の塗布、現像装置。
【請求項８】
塗布膜が形成された基板に対して、前記基板の周縁部に露光処理を行う周辺露光方法において、
表面に塗布膜が形成された基板を基板保持部に水平に保持させる工程と、
次いで前記基板保持部に保持された基板の外縁の位置データを検出する工程と、
次いで前記基板の外縁の位置データに基づいて、前記基板保持部に保持された基板に対して周辺露光手段を相対的に水平方向に移動させて、前記基板の外縁と前記周辺露光手段との位置関係が一定になるように位置合わせを行ないながら、前記周辺露光手段により基板の周縁部に対して露光処理を行う工程と、
次いで前記基板の外縁の位置データに基づいて、前記基板保持部に保持された基板に対して現像液供給手段を相対的に水平方向に移動させて、前記基板の外縁と前記現像液供給手段との位置関係が一定になるように位置合わせを行ないながら、現像液供給手段により前記基板の周縁部の露光された領域に現像液を供給し、前記露光された領域の塗布膜を溶解して除去する工程と、を含むことを特徴とする周辺露光方法。
【請求項９】
基板の表面に塗布膜を形成する工程と、
次いで請求項８記載の周辺露光方法を用いて、基板の周縁部の塗布膜を除去する工程と、
次いで前記前記周縁部の塗布膜が除去された基板に対して、基板表面に液層を形成して露光を行う液浸露光処理を行う工程と、
次いで前記液浸露光処理が行われた基板に対して現像処理を行う工程と、を含むことを特徴とする塗布、現像方法。
【請求項１０】
塗布膜が形成された基板の周縁部に対して露光を行う周辺露光装置に用いられ、コンピュータ上で動作するコンピュータプログラムを格納した記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、請求項８記載の周辺露光方法を実施するようにステップが組まれていることを特徴とする記憶媒体。
【手続補正書】
【提出日】平成20年12月10日(2008.12.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
原版と基板とを位置合わせして投影光学系を介して該原版のパターンを該基板に投影して該基板を露光する露光装置であって、
位置合わせのための計測を行う計測システムと、
前記計測システムを支持する第１支持体と、
前記投影光学系を支持する第２支持体と、
を備え、
前記第１支持体と前記第２支持体とが分離されていることを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記第１支持体と前記第２支持体とを支持するベースフレームをさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記第１支持体と前記ベースフレームとの間に配置された第１振動低減ユニットと、
前記第２支持体と前記ベースフレームとの間に配置された第２振動低減ユニットと、
を更に備えることを特徴とする請求項２に記載の露光装置。
【請求項４】
前記第１支持体と前記投影光学系との位置関係を計測する第２計測システムを更に備え、前記第２計測システムによる計測結果に基づいて前記第１支持体と前記投影光学系との位置関係が調整されることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項５】
前記計測システムが、前記投影光学系の光軸に沿った方向における基板の位置を計測するＺ計測器と、前記光軸に直交する方向における基板上のマークの位置を計測するＸＹ計測器とを含むことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項６】
前記計測システムが、原版の位置を計測する第１計測器及び基板の位置を計測する第２計測器の少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項７】
基板を計測する計測ステーションと、前記計測に基づいて該基板を位置決めしながら該基板を露光するための露光ステーションとを備えることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項８】
原版と基板とを位置合わせして投影光学系を介して該原版のパターンを該基板に投影して該基板を露光する露光装置において、
前記原版または前記基板の位置を計測する計測システムと、
前記投影光学系の位置を計測する第２計測システムと、
前記計測システムおよび前記第２計測システムを支持する第１支持体と、
前記投影光学系を支持する第２支持体と、を備え、
前記第１支持体と前記第２支持体の間の経路には、少なくとも１つの振動低減ユニットが配置されることを特徴とする露光装置。
【請求項９】
デバイス製造方法であって、
請求項１乃至８のいずれか１項に記載の露光装置を使って、基板に塗布された感光剤に潜像パターンを形成する工程と、
前記潜像パターンを現像する工程と、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の第１の側面に係る露光装置は、原版と基板とを位置合わせして投影光学系を介して該原版のパターンを該基板に投影して該基板を露光する露光装置に関する。前記露光装置は、位置合わせのための計測を行う計測システムと、前記計測システムを支持する第１支持体と、前記投影光学系を支持する第２支持体とを備え、前記第１支持体と前記第２支持体とが分離されている。
本発明の第２の側面に係る露光装置は、原版と基板とを位置合わせして投影光学系を介して該原版のパターンを該基板に投影して該基板を露光する露光装置に関する。前記露光装置は、前記原版または前記基板の位置を計測する計測システムと、前記投影光学系の位置を計測する第２計測システムと、前記計測システムおよび前記第２計測システムを支持する第１支持体と、前記投影光学系を支持する第２支持体と、を備え、前記第１支持体と前記第２支持体の間の経路には、少なくとも１つの振動軽減ユニットが配置される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
露光装置１００は、レチクル１０２を光ビームで照明する照明光学系１０１と、レチクル１０２を保持して駆動するレチクルステージ装置１０３とを備える。露光装置１００はまた、レチクル１０２に描画されたパターンをウエハ１１６に投影する投影光学系１０６と、ウエハ１１６を保持して駆動するウエハステージ装置１１７とを備える。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
照明光学系１０１は、ペデスタル（設置台）１１９に搭載されたベースフレーム１２０によって支持される。レチクルステージ装置１０３は、レチクル１０２を保持して移動する可動部（レチクル１０２を保持して移動する部分）１０３ａと、可動部１０３ａを駆動する駆動部１０３ｂとを含む。可動部１０３ａの位置は、レーザー干渉計１０４によって計測される。
【手続補正書】
【提出日】平成21年8月19日(2009.8.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＬＥＤを光源とし、楕円系反射面型と放物系反射面型との複数の方式の光学ユニットが組合わされて成る車両用灯具において、前記複数の方式の光学ユニットそれぞれの発光部間隔が離れており当該光学ユニット間には導光レンズが設けられ、
前記導光レンズが、前記複数の方式の光学ユニットのうちいずれか一つの光学ユニットの前記光源の光を導入することにより発光することを特徴とする車両用灯具。
【請求項２】
前記導光レンズが、棒状に形成され、
前記いずれか一つの光学ユニットの前記光源近傍に設けられる一方の先端部と、前記複数の方式の光学ユニットのうち他の光学ユニットの発光部近傍に設けられる他方の先端部とを備えることを特徴とする請求項１記載の車両用灯具。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明は、上記した従来の問題を解決するための具体的手段として、ＬＥＤを光源とし、楕円系反射面型と放物系反射面型との複数の方式の光学ユニットが組合わされて成る車両用灯具において、前記複数の方式の光学ユニットそれぞれの発光部間隔が離れており当該光学ユニット間には導光レンズが設けられ、前記導光レンズが、前記複数の方式の光学ユニットのうちいずれか一つの光学ユニットの前記光源の光を導入することにより発光することを特徴とする車両用灯具、及び、前記導光レンズが、棒状に形成され、前記いずれか一つの光学ユニットの前記光源近傍に設けられる一方の先端部と、前記複数の方式の光学ユニットのうち他の光学ユニットの発光部近傍に設けられる他方の先端部とを備える車両用灯具を提供することで課題を解決するものである。
【手続補正書】
【提出日】平成21年7月30日(2009.7.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ユーザによって押下される複数のキーと、当該キーの天面を露出させる開口部を有するカバー部材とを有する操作装置であり、複数のキーが連結するように、キーの素材となる弾性シートを成形することで得られる連結キーを備える操作装置において、
前記連結キーは、ユーザによって押下される複数の押下部と、各押下部を結合する連結部と、連結部の下部に設けられる空洞部とから構成され、
前記各キーの押下部は、当該押下部における前記空洞部に面していない側面に、前記押下部が押下された際の回動支点となる第１の拘束部を有し、
前記カバー部材は、前記開口部における前記第１の拘束部と対向する位置に、前記第１の拘束部と嵌合する第２の拘束部を有することを特徴とする操作装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
上記目的を達成するために、請求項１記載の操作装置は、ユーザによって押下される複数のキーと、当該キーの天面を露出させる開口部を有するカバー部材とを有する操作装置であり、複数のキーが連結するように、キーの素材となる弾性シートを成形することで得られる連結キーを備える操作装置において、前記連結キーは、ユーザによって押下される複数の押下部と、各押下部を結合する連結部と、連結部の下部に設けられる空洞部とから構成され、前記各キーの押下部は、当該押下部における前記空洞部に面していない側面に、前記押下部が押下された際の回動支点となる第１の拘束部を有し、前記カバー部材は、前記開口部における前記第１の拘束部と対向する位置に、前記第１の拘束部と嵌合する第２の拘束部を有することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】