【手続補正書】
【提出日】平成21年4月2日(2009.4.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
予め設定されている透過特性を有するとともに、圧電性を有するフィルタ本体と、
前記フィルタ本体に形成されている少なくとも２つの電極とを備え、
前記少なくとも２つの電極間には、前記フィルタ本体を励振させるための駆動電圧が印加されることを特徴とする光学フィルタ。
【請求項２】
予め設定されている透過特性を有するフィルタ本体と、
透過性を有し、前記フィルタ本体の光入射面上に重ね合わせて接合されている圧電部材と、
前記圧電部材に形成されている少なくとも２つの電極とを備え、
前記少なくとも２つの電極間には、前記圧電部材を励振させるための駆動電圧が印加されることを特徴とする光学フィルタ。
【請求項３】
前記少なくとも２つの電極のうち、一方の電極は、前記圧電部材の光入射面上に形成されている電極であり、他方の電極は、前記圧電部材の光射出面を覆うように該光射出面上に形成されている透明電極であることを特徴とする請求項２に記載の光学フィルタ。
【請求項４】
予め設定されている透過特性を有するフィルタ本体と、
透過性を有し、前記フィルタ本体の光入射面上に重ね合わせて接合されている圧電部材と、
前記圧電部材に形成され、駆動電圧の印加により前記圧電部材の光入射面上に表面弾性波を励振させるためのトランスデューサと
を備えることを特徴とする光学フィルタ。
【請求項５】
前記トランスデューサは、単相電極トランスデューサであることを特徴とする請求項４に記載の光学フィルタ。
【請求項６】
前記トランスデューサは、すだれ状電極トランスデューサであることを特徴とする請求項４に記載の光学フィルタ。
【請求項７】
前記すだれ状電極トランスデューサは、一方向性すだれ状電極トランスデューサであることを特徴とする請求項６に記載の光学フィルタ。
【請求項８】
前記トランスデューサに印加される駆動電圧は、予め定められた周波数を有する交流電圧であり、該駆動電圧の印加は、予め定められた時間に亘り周期的に繰り返し行われることを特徴とする請求項４ないし７のいずれか１つに記載の光学フィルタ。
【請求項９】
撮像素子と、前記撮像素子の光入射面側に配置されている光学フィルタとを備え、前記撮像素子と前記光学フィルタとの間に形成される空間を外部から遮断するように構成されている撮像装置において、
前記光学フィルタは、請求項１ないし８のいずれか１つに記載の光学フィルタからなり、
前記光学フィルタに対して、該光学フィルタを励振させるための駆動電圧または光学フィルタの光入射面上に表面弾性波を励振させるための駆動電圧を印加するための駆動電圧印加手段が設けられていることを特徴とする撮像装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明は、上記第１の目的を達成するため、予め設定されている透過特性を有するとと
もに、圧電性を有するフィルタ本体と、前記フィルタ本体に形成されている少なくとも２つの電極とを備え、前記少なくとも２つの電極間には、前記フィルタ本体を励振させるための駆動電圧が印加されることを特徴とする光学フィルタを提供する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明は、上記第１の目的を達成するため、予め設定されている透過特性を有するフィルタ本体と、透過性を有し、前記フィルタ本体の光入射面上に重ね合わせて接合されている圧電部材と、前記圧電部材に形成されている少なくとも２つの電極とを備え、前記少なくとも２つの電極間には、前記圧電部材を励振させるための駆動電圧が印加されることを特徴とする光学フィルタを提供する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
Ｐ＝Ｖ／ｆ                                                    …（１）
本実施の形態においては、表面弾性波の伝播速度Ｖが４０００ｍ／ｓｅｃ、交流電圧３０７の周波数ｆが５０ＭＨｚであるとし、梯子状電極３０４ａの電極間のピッチＰは、上記（１）式により、８０μmに設定されているとする。そして、このピッチＰを有する梯子状電極３０４ａが形成された場合、表面弾性波３０８が最も強く励振されたことが確認されている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
単相電極トランスデューサ３０４に対する交流電圧３０７の印加は、図６に示すように、予め定められた時間に亘り、時間Ｂが経過する毎に繰り返し行われる。すなわち、交流電圧３０７の印加は、予め定められた時間中、周期的に繰り返し行われる。ここで、１回当たりの交流電圧３０７の印加時間は、時間Ａに設定されている。本実施の形態においては、時間Ａが２０μｓｅｃに設定され、時間Ｂが２００μｓｅｃに設定されている。そして、上記交流電圧３０７の印加を周期的に繰り返し行う予め定められた時間としては、例えば１５秒以上に設定されている。また、圧電部材３０２などの発熱を抑制するために、時間Ａを短くし、時間Ｂを長くするように設定すればよい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
上記単相電極トランスデューサ３０４（電極３０４ａ，３０４ｂ間）に上記交流電圧３０７が印加されると、図７に示すように、圧電部材３０２の表面（光入射面）のみに表面弾性波３０８が励振され、表面弾性波３０８の伝播部位が楕円運動する。ここで、圧電部材３０２の表面には、この表面に付着した塵埃３１１の重力による自重、および静電気力などによる予圧３０９が働いている。このとき、表面弾性波３０８の伝播部位の楕円運動と上記予圧３０９により、付着している塵埃３１１には、摩擦力３１０が働き、これにより、付着している塵埃３１１は、図中の矢印３１２が示す方向（電極３０４へ向う方向）へ移動する。そして、上記交流電圧３０７が予め定められた期間（例えば１５秒以上の期間）に亘り印加されると、圧電部材３０２の表面上にある塵埃３１１が、取り除かれることになる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
本実験においては、まず、上記塵埃が、圧電部材３０２の有効領域３０６にふりかけられる。この塵埃をふりかける操作は、有効領域３０６における塵埃の付着密度が略均一になるように行われ、その結果は、顕微鏡により観察される。ここでは、最終的に、塵埃の付着密度が、約１０００粒／ｍｍ２であることが確認されている。そして、圧電部材３０
２の表面に表面弾性波３０８を励振させるために、上記単相電極トランスデューサ３０４に対して交流電圧３０７が、上述したように予め定められた期間に亘り周期的に繰り返し印加される。その後、有効領域３０６上の塵埃の除去状態が、顕微鏡を用いて観察される。その結果、有効領域３０６から全ての塵埃が取り除かれたことを確認することができた。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
本実施の形態の光学フィルタ５０１においては、図９に示すように、上記第４の実施の形態のすだれ状電極トランスデューサに代えて、グループ形一方向性すだれ状電極トランスデューサ５０４が形成されている。ここで、圧電部材５０２、フィルタ本体５０３は、上記第４の実施の形態における圧電部材４０２、フィルタ本体４０３と同等のものであり、その説明は省略する。