【手続補正書】
【提出日】平成21年3月24日(2009.3.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象雰囲気中の有機物ガスの濃度を測定する有機物ガスの濃度測定装置において、
前記測定対象雰囲気を導入する気体導入口を有する捕集容器と、
前記捕集容器内に収容されて前記有機物ガスを捕集する捕集剤と、
前記捕集剤に捕集された有機物ガスを脱離させるために前記捕集剤を必要に応じて加熱する加熱手段と、
前記有機物ガスを捕集する際に前記捕集容器内の雰囲気を排出させるための排気ポンプが介設された排気系と、
前記捕集剤から脱離した有機物ガスを搬送するためのキャリアガスを供給するキャリアガス供給系と、
前記脱離した有機物ガスを前記キャリアガスと共に搬送する混合ガス搬送系と、
前記混合ガス搬送系に設けられて前記キャリアガス中の前記脱離した有機物ガスの濃度を測定する濃度測定部と、
装置全体の動作を制御する制御部と、
を備えたことを特徴とする有機物ガスの濃度測定装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記捕集剤に捕集された有機物ガスを脱離させる際に、前記捕集剤を第１の温度で所定時間加熱し、その時に前記脱離した有機物ガスの濃度を測定するように制御することを特徴とする請求項１記載の有機物ガスの濃度測定装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記捕集剤に捕集された有機物ガスを脱離させる際に、前記捕集剤を第１の温度で所定時間加熱し、その後、前記第１の温度よりも高い第２の温度で加熱すると共に、前記第２の温度の加熱時に前記脱離した有機物ガスの濃度を測定するように制御することを特徴とする請求項１記載の有機物ガスの濃度測定装置。
【請求項４】
前記第１の温度は、比較的沸点の低い有機物のガスとして脱離するような所定の温度範囲内の温度であることを特徴とする請求項２または３記載の有機物ガスの濃度測定装置。
【請求項５】
前記第１の温度の温度範囲は、６０〜２００℃未満の範囲内であることを特徴とする請求項４記載の有機物ガスの濃度測定装置。
【請求項６】
前記制御部は、前記有機物ガスを捕集する際に前記捕集剤を第３の温度に加熱し、前記捕集剤に捕集された有機物ガスを脱離させる際に前記捕集剤を前記第３の温度よりも高い第２の温度に加熱するように制御することを特徴とする請求項１記載の有機物ガスの濃度測定装置。
【請求項７】
前記第３の温度は、比較的沸点の低い有機物のガスが前記捕集剤に捕集されないような温度であることを特徴とする請求項６記載の有機物ガスの濃度測定装置。
【請求項８】
前記第２の温度は、前記捕集剤に捕集された全ての有機物ガスが脱離するような温度であることを特徴とする請求項３乃至７のいずれか一項に記載の有機物ガスの濃度測定装置。
【請求項９】
前記第２の温度は、２００〜４００℃の範囲内であることを特徴とする請求項８記載の有機物ガスの濃度測定装置。
【請求項１０】
前記測定対象雰囲気は、有機物ガスを除去する有機物ガス除去フィルタを通過した後の雰囲気であり、前記制御部は、前記濃度測定部の測定結果に応じて前記有機物ガス除去フィルタの寿命を判断する寿命判断機能を有していることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか一項に記載の有機物ガスの濃度測定装置。
【請求項１１】
測定対象雰囲気中のアミンガスの濃度を測定するアミンガスの濃度測定装置において、
前記測定対象雰囲気を導入する気体導入口を有する捕集容器と、
前記捕集容器内に収容されて前記アミンガスを捕集する捕集剤と、
前記捕集剤に捕集されたアミンガスを脱離させるために前記捕集剤を必要に応じて加熱する加熱手段と、
前記アミンガスを捕集する際に前記捕集容器内の雰囲気を排出させるための排気ポンプが介設された排気系と、
前記捕集剤から脱離したアミンガスを搬送するためのキャリアガスを供給するキャリアガス供給系と、
前記脱離したアミンガスを前記キャリアガスと共に搬送する混合ガス搬送系と、
前記混合ガス搬送系に設けられて前記キャリアガス中の前記脱離したアミンガスの濃度を測定する濃度測定部と、
装置全体の動作を制御する制御部と、
を備えたことを特徴とするアミンガスの濃度測定装置。
【請求項１２】
前記アミンガスの捕集時に前記捕集容器を冷却する冷却手段が設けられることを特徴とする請求項１１記載のアミンガスの濃度測定装置。
【請求項１３】
測定対象雰囲気中のアミンガスの濃度を測定するアミンガスの濃度測定装置において、
前記測定対象雰囲気を導入する気体導入口を有する捕集容器と、
前記アミンガスの捕集時に前記捕集容器を冷却する冷却手段と、
前記前記捕集容器に捕集された前記アミンガスを脱離させるために前記捕集容器を必要に応じて加熱する加熱手段と、
前記アミンガスを捕集する際に前記捕集容器内の雰囲気を排出させるための排気ポンプが介設された排気系と、
前記捕集容器から脱離したアミンガスを搬送するためのキャリアガスを供給するキャリアガス供給系と、
前記脱離したアミンガスを前記キャリアガスと共に搬送する混合ガス搬送系と、
前記混合ガス搬送系に設けられて前記キャリアガス中の前記脱離したアミンガスの濃度を測定する濃度測定部と、
装置全体の動作を制御する制御部と、
を備えたことを特徴とするアミンガスの濃度測定装置。
【請求項１４】
前記冷却手段は、０℃以下に冷却することを特徴とする請求項１２又は１３記載のアミンガスの濃度測定装置。
【請求項１５】
前記制御部は、前記捕集されたアミンガスを脱離させる際に、所定の温度で所定時間加熱し、その時に前記脱離したアミンガスの濃度を測定するように制御することを特徴とする請求項１１乃至１４のいずれか一項に記載のアミンガスの濃度測定装置。
【請求項１６】
前記捕集されたアミンガスを脱離させる時の前記所定の温度の最大値は３００℃であることを特徴とする請求項１５記載のアミンガスの濃度測定装置。
【請求項１７】
前記測定対象雰囲気は、アミンガスを除去するアミンガス除去フィルタを通過した後の雰囲気であり、前記制御部は、前記濃度測定部の測定結果に応じて前記アミンガス除去フィルタの寿命を判断する寿命判断機能を有していることを特徴とする請求項１１乃至１６のいずれか一項に記載のアミンガスの濃度測定装置。
【請求項１８】
測定対象雰囲気中の有機物ガスの濃度を測定する有機物ガスの濃度測定方法において、
前記測定対象雰囲気を捕集剤に所定の時間だけ接触させて前記測定対象雰囲気中の有機物ガスを捕集する捕集工程と、
前記捕集剤にキャリアガスを流しつつ前記捕集剤を第１の温度に加熱して前記捕集剤に捕集されている沸点が比較的低い有機物のガスを脱離させる工程と、
前記捕集剤にキャリアガスを流しつつ前記捕集剤を前記第１の温度よりも高い第２の温度に加熱して前記捕集剤に捕集されている全ての有機物ガスを脱離させて前記キャリアガス中の有機物ガスの濃度を測定する測定工程と、
を備えたことを特徴とする有機物ガスの濃度測定方法。
【請求項１９】
測定対象雰囲気中の有機物ガスの濃度を測定する有機物ガスの濃度測定方法において、
前記測定対象雰囲気を捕集剤に所定の時間だけ接触させて前記測定対象雰囲気中の有機物ガスを捕集する捕集工程と、
前記捕集剤にキャリアガスを流しつつ前記捕集剤を第１の温度に加熱して前記捕集剤に捕集されている沸点が比較的低い有機物のガスを脱離させて前記キャリアガス中の有機物ガスの濃度を測定する測定工程と、
を備えたことを特徴とする有機物ガスの濃度測定方法。
【請求項２０】
測定対象雰囲気中の有機物ガスの濃度を測定する有機物ガスの濃度測定方法において、
前記捕集剤を比較的沸点の低い有機物の多くが捕集されないような第３の温度に加熱しつつ前記測定対象雰囲気を捕集剤に所定の時間だけ接触させて前記測定対象雰囲気中の有機物ガスを捕集する捕集工程と、
前記捕集剤にキャリアガスを流しつつ前記捕集剤を前記第３の温度よりも高い第２の温度に加熱して前記捕集剤に捕集されている全ての有機物ガスを脱離させて前記キャリアガス中の有機物ガスの濃度を測定する測定工程と、
を備えたことを特徴とする有機物ガスの濃度測定方法。
【請求項２１】
前記測定対象雰囲気は、有機物ガスを除去する有機物ガス除去フィルタを通過した後の雰囲気であり、前記測定工程の後に、前記測定工程の測定結果に基づいて前記有機物ガス除去フィルタの寿命を判断する寿命判断工程を有することを特徴とする請求項１８乃至２０のいずれか一項に記載の有機物ガスの濃度測定方法。
【請求項２２】
測定対象雰囲気中のアミンガスの濃度を測定するアミンガスの濃度測定方法において、
前記測定対象雰囲気を捕集剤に所定の時間だけ接触させて前記測定対象雰囲気中のアミンガスを捕集する捕集工程と、
前記捕集剤にキャリアガスを流しつつ前記捕集剤を所定の温度に加熱して前記捕集剤に捕集されているアミンガスを脱離させて前記キャリアガス中のアミンガスの濃度を測定する測定工程と、
を備えたことを特徴とするアミンガスの濃度測定方法。
【請求項２３】
測定対象雰囲気中のアミンガスの濃度を測定するアミンガスの濃度測定方法において、
前記測定対象雰囲気を冷却された捕集容器に所定の時間だけ流通させて前記測定対象雰囲気中のアミンガスを捕集する捕集工程と、
前記捕集容器にキャリアガスを流しつつ前記捕集容器を所定の温度に加熱して前記捕集容器に捕集されているアミンガスを脱離させて前記キャリアガス中のアミンガスの濃度を測定する測定工程と、
を備えたことを特徴とするアミンガスの濃度測定方法。
【請求項２４】
前記測定対象雰囲気は、アミンガスを除去するアミンガス除去フィルタを通過した後の雰囲気であり、前記測定工程の後に、前記測定工程の測定結果に基づいて前記アミンガス除去フィルタの寿命を判断する寿命判断工程を有することを特徴とする請求項２２又は２３記載のアミンガスの濃度測定方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
この場合、例えば請求項７に規定するように、前記第３の温度は、比較的沸点の低い有機物のガスが前記捕集剤に捕集されないような温度である。
また例えば請求項８に規定するように、前記第２の温度は、前記捕集剤に捕集された全ての有機物ガスが脱離するような温度である。
また例えば請求項９に規定するように、前記第２の温度は、２００〜４００℃の範囲内である。
また例えば前記排気系と前記キャリアガス供給系と前記混合ガス搬送系とには、それぞれ必要に応じて開閉される開閉弁が介設されている。
また例えば前記処理容器の気体導入口には開閉弁が設けられており、該開閉弁は前記キャリアガスを供給する時には閉じられる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また例えば前記混合ガス搬送系には、該混合ガス搬送系に流れる有機物ガスの液化を防止するための加温機構が設けられている。
また例えば前記捕集容器の気体導入口には、半導体製造装置内における被処理体を搬送するための大気圧の搬送領域の雰囲気、或いはクリーンルーム内の雰囲気を取り込んで導くための単数、または複数の雰囲気導出管が共通に連通されており、前記雰囲気導出管には、選択的に開閉される選択開閉弁が設けられている。
このように、複数の異なる領域の測定対象雰囲気を選択的に取り込んで、その測定対象雰囲気中の有機物ガスの濃度を選択的に、且つリアルタイムで測定することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
この場合、例えば前記選択開閉弁は、前記雰囲気導出管が共通に連結される部分に設けられる多方弁よりなる。
また例えば前記雰囲気導出管には、該雰囲気導出管に流れる有機物ガスの液化を防止するための加温機構が設けられている。
また例えば請求項１０に規定するように、前記測定対象雰囲気は、有機物ガスを除去する有機物ガス除去フィルタを通過した後の雰囲気であり、前記制御部は、前記濃度測定部の測定結果に応じて前記有機物ガス除去フィルタの寿命を判断する寿命判断機能を有している。
このように、濃度測定部の測定結果に応じて有機物ガス除去フィルタの寿命を判断することができる。
この場合、例えば前記制御部は、前記判断結果が寿命の到来を示した時にはその旨をオペレータに知らせるアラーム部を有する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
請求項１１に係る発明は、測定対象雰囲気中のアミンガスの濃度を測定するアミンガスの濃度測定装置において、前記測定対象雰囲気を導入する気体導入口を有する捕集容器と、前記捕集容器内に収容されて前記アミンガスを捕集する捕集剤と、前記捕集剤に捕集されたアミンガスを脱離させるために前記捕集剤を必要に応じて加熱する加熱手段と、前記アミンガスを捕集する際に前記捕集容器内の雰囲気を排出させるための排気ポンプが介設された排気系と、前記捕集剤から脱離したアミンガスを搬送するためのキャリアガスを供給するキャリアガス供給系と、前記脱離したアミンガスを前記キャリアガスと共に搬送する混合ガス搬送系と、前記混合ガス搬送系に設けられて前記キャリアガス中の前記脱離したアミンガスの濃度を測定する濃度測定部と、装置全体の動作を制御する制御部と、を備えたことを特徴とするアミンガスの濃度測定装置である。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
このように、捕集剤を収容した捕集容器内に測定対象雰囲気を流してアミンガスを捕集し、この後に捕集剤を加熱して上記捕集したアミンガスを加熱して脱離させてこのアミンガスの濃度を測定するようにしたので、測定対象雰囲気中のアミンガスをリアルタイムで測定することができる。
この場合、例えば請求項１２に規定するように、前記アミンガスの捕集時に前記捕集容器を冷却する冷却手段が設けられる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
請求項１３に係る発明は、測定対象雰囲気中のアミンガスの濃度を測定するアミンガスの濃度測定装置において、  前記測定対象雰囲気を導入する気体導入口を有する捕集容器と、前記アミンガスの捕集時に前記捕集容器を冷却する冷却手段と、前記前記捕集容器に捕集された前記アミンガスを脱離させるために前記捕集容器を必要に応じて加熱する加熱手段と、前記アミンガスを捕集する際に前記捕集容器内の雰囲気を排出させるための排気ポンプが介設された排気系と、前記捕集容器から脱離したアミンガスを搬送するためのキャリアガスを供給するキャリアガス供給系と、前記脱離したアミンガスを前記キャリアガスと共に搬送する混合ガス搬送系と、前記混合ガス搬送系に設けられて前記キャリアガス中の前記脱離したアミンガスの濃度を測定する濃度測定部と、装置全体の動作を制御する制御部と、を備えたことを特徴とするアミンガスの濃度測定装置である。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
このように、捕集剤を収容した捕集容器内に測定対象雰囲気を流してアミンガスを捕集し、この後に捕集剤を加熱して上記捕集したアミンガスを加熱して脱離させてこのアミンガスの濃度を測定するようにしたので、測定対象雰囲気中のアミンガスをリアルタイムで測定することができる。
また、この場合には、特に低沸点のアミンガスを捕集してその濃度をリアルタイムで測定することができる。
この場合、例えば請求項１４に規定するように、前記冷却手段は、０℃以下に冷却する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
また例えば請求項１５に規定するように、前記制御部は、前記捕集されたアミンガスを脱離させる際に、所定の温度で所定時間加熱し、その時に前記脱離したアミンガスの濃度を測定するように制御する。
また例えば請求項１６に規定するように、前記捕集されたアミンガスを脱離させる時の前記所定の温度の最大値は３００℃である。
また例えば前記冷却手段と前記加熱手段とは、熱電変換手段により兼用される。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
また例えば前記排気系と前記キャリアガス供給系と前記混合ガス搬送系とには、それぞれ必要に応じて開閉される開閉弁が介設されている。
また例えば前記処理容器の気体導入口には開閉弁が設けられており、該開閉弁は前記キャリアガスを供給する時には閉じられる。
また例えば前記混合ガス搬送系には、該混合ガス搬送系に流れるアミンガスの液化を防止するための加温機構が設けられている。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
また例えば前記捕集容器の気体導入口には、半導体製造装置内における被処理体を搬送するための大気圧の搬送領域の雰囲気、或いはクリーンルーム内の雰囲気を取り込んで導くための単数、または複数の雰囲気導出管が共通に連通されており、前記雰囲気導出管には、選択的に開閉される選択開閉弁が設けられている。
また例えば前記選択開閉弁は、前記雰囲気導出管が共通に連結される部分に設けられる多方弁よりなる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
また例えば前記雰囲気導出管には、該雰囲気導出管に流れるアミンガスの液化を防止するための加温機構が設けられている。
また例えば請求項１７に規定するように、前記測定対象雰囲気は、アミンガスを除去するアミンガス除去フィルタを通過した後の雰囲気であり、前記制御部は、前記濃度測定部の測定結果に応じて前記アミンガス除去フィルタの寿命を判断する寿命判断機能を有している。
また例えば前記制御部は、前記判断結果が寿命の到来を示した時にはその旨をオペレータに知らせるアラーム部を有する。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
請求項１８に係る発明は、測定対象雰囲気中の有機物ガスの濃度を測定する有機物ガスの濃度測定方法において、前記測定対象雰囲気を捕集剤に所定の時間だけ接触させて前記測定対象雰囲気中の有機物ガスを捕集する捕集工程と、前記捕集剤にキャリアガスを流しつつ前記捕集剤を第１の温度に加熱して前記捕集剤に捕集されている沸点が比較的低い有機物のガスを脱離させる工程と、前記捕集剤にキャリアガスを流しつつ前記捕集剤を前記第１の温度よりも高い第２の温度に加熱して前記捕集剤に捕集されている全ての有機物ガスを脱離させて前記キャリアガス中の有機物ガスの濃度を測定する測定工程と、を備えたことを特徴とする有機物ガスの濃度測定方法である。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
請求項１９に係る発明は、測定対象雰囲気中の有機物ガスの濃度を測定する有機物ガスの濃度測定方法において、前記測定対象雰囲気を捕集剤に所定の時間だけ接触させて前記測定対象雰囲気中の有機物ガスを捕集する捕集工程と、前記捕集剤にキャリアガスを流しつつ前記捕集剤を第１の温度に加熱して前記捕集剤に捕集されている沸点が比較的低い有機物のガスを脱離させて前記キャリアガス中の有機物ガスの濃度を測定する測定工程と、を備えたことを特徴とする有機物ガスの濃度測定方法である。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
請求項２０に係る発明は、測定対象雰囲気中の有機物ガスの濃度を測定する有機物ガスの濃度測定方法において、前記捕集剤を比較的沸点の低い有機物の多くが捕集されないような第３の温度に加熱しつつ前記測定対象雰囲気を捕集剤に所定の時間だけ接触させて前記測定対象雰囲気中の有機物ガスを捕集する捕集工程と、前記捕集剤にキャリアガスを流しつつ前記捕集剤を前記第３の温度よりも高い第２の温度に加熱して前記捕集剤に捕集されている全ての有機物ガスを脱離させて前記キャリアガス中の有機物ガスの濃度を測定する測定工程と、を備えたことを特徴とする有機物ガスの濃度測定方法である。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
この場合、例えば請求項２１に規定するように、前記測定対象雰囲気は、有機物ガスを除去する有機物ガス除去フィルタを通過した後の雰囲気であり、前記測定工程の後に、前記測定工程の測定結果に基づいて前記有機物ガス除去フィルタの寿命を判断する寿命判断工程を有する。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
請求項２２に係る発明は、測定対象雰囲気中のアミンガスの濃度を測定するアミンガスの濃度測定方法において、前記測定対象雰囲気を捕集剤に所定の時間だけ接触させて前記測定対象雰囲気中のアミンガスを捕集する捕集工程と、前記捕集剤にキャリアガスを流しつつ前記捕集剤を所定の温度に加熱して前記捕集剤に捕集されているアミンガスを脱離させて前記キャリアガス中のアミンガスの濃度を測定する測定工程と、を備えたことを特徴とするアミンガスの濃度測定方法である。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
請求項２３に係る発明は、測定対象雰囲気中のアミンガスの濃度を測定するアミンガスの濃度測定方法において、前記測定対象雰囲気を冷却された捕集容器に所定の時間だけ流通させて前記測定対象雰囲気中のアミンガスを捕集する捕集工程と、前記捕集容器にキャリアガスを流しつつ前記捕集容器を所定の温度に加熱して前記捕集容器に捕集されているアミンガスを脱離させて前記キャリアガス中のアミンガスの濃度を測定する測定工程と、を備えたことを特徴とするアミンガスの濃度測定方法である。
この場合、例えば請求項２４に規定するように、前記測定対象雰囲気は、アミンガスを除去するアミンガス除去フィルタを通過した後の雰囲気であり、前記測定工程の後に、前記測定工程の測定結果に基づいて前記アミンガス除去フィルタの寿命を判断する寿命判断工程を有する。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
本発明に係る有機物ガスの濃度測定方法、その濃度測定装置、アミンガスの濃度測定方法及びその濃度測定装置によれば、次のように優れた作用効果を発揮することができる。
請求項１、２に係る発明によれば、捕集剤を収容した捕集容器内に測定対象雰囲気を流して有機物ガスを捕集し、この後に捕集剤を加熱して上記捕集した有機物ガスを脱離させてこの有機物ガスの濃度を測定するようにしたので、測定対象雰囲気中の有機物ガスの濃度をリアルタイムで測定することができる。
請求項３〜５、８、９、１８、１９に係る発明によれば、捕集剤を第１の温度で加熱した時に脱離した有機物ガスの濃度は測定せず、第２の温度で加熱した時に脱離した有機物ガスの濃度のみを測定するようにしたので、特定の物性を有する有機物ガスの濃度のみをリアルタイムに測定することができる。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
請求項６、７、２０に係る発明によれば、有機物ガスの捕集時に捕集剤を第３の温度に加熱することにより、特定の物性を有する有機物ガスを捕集しないようにして上記物性とは逆の物性を有する有機物ガスのみを捕集することができる。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
請求項１０、２１に係る発明によれば、濃度測定部の測定結果に応じて有機物ガス除去フィルタの寿命を判断することができる。
請求項１１〜１７及び２２〜２４に係る発明によれば、測定対象雰囲気中からアミンガスを捕集し、この後に脱離させてこのアミンガスの濃度を測定するようにしたので、測定対象雰囲気中のアミンガスの濃度をリアルタイムで測定することができる。