【手続補正書】
【提出日】平成20年12月25日(2008.12.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】 真空雰囲気内で対象物の位置決めを行なう位置決め装置であって、
第１の構造体と、
該第１の構造体に対して相対的に移動可能であり、該対象物を搭載する第２の構造体と、
該第１の構造体に設けられ、前記第２の構造体との間で輻射を利用して熱交換を行う輻射板と、
該輻射板の温度を調整する温度調整手段とを備え、
該温度調整手段は、前記第２の構造体または前記対象物の温度を制御するように、前記輻射板の温度を調整することを特徴とする位置決め装置。
【請求項２】 真空雰囲気内で対象物の位置決めを行なう位置決め装置であって、
第１の構造体と、
該第１の構造体に対して相対的に移動可能であり、該対象物を搭載する第２の構造体と、
該第１の構造体と該第２の構造体のそれぞれに設けられ、互いに対面するように形成される黒体部と
を有することを特徴とする位置決め装置。
【請求項３】 真空雰囲気内で対象物の位置決めを行なう位置決め装置であって、
第１の構造体と、
該第１の構造体に対して相対的に移動可能であり、該対象物を搭載する第２の構造体と、
該第１の構造体と該第２の構造体のそれぞれに設けられ、互いに対面し、樹脂、ガラス及び酸化層の少なくともいずれかを表面に備えた熱交換部と
を有することを特徴とする位置決め装置。
【請求項４】  前記輻射板が複数の領域に分割配置されていることを特徴とする請求項１に記載の位置決め装置。
【請求項５】  前記輻射板から熱を移動させるためのペルチェ素子及びヒートパイプのいずれかを備えることを特徴とする請求項１に記載の位置決め装置。
【請求項６】 前記輻射板から移動させた熱を、雰囲気温度及び周辺の構造体のどちらかと同じ温度の冷媒で回収することを特徴とする請求項１に記載の位置決め装置。
【請求項７】 真空雰囲気内で対象物の位置決めを行なう位置決め装置であって、
第１の構造体と、
該第１の構造体に対して相対的に移動可能であり、該対象物を搭載する第２の構造体と、
該第２の構造体を非接触で温度調節する温度調節機構と
を有することを特徴とする位置決め装置。
【請求項８】 前記温度調節機構にレーザ冷却装置が含まれていることを特徴とする請求項７に記載の位置決め装置。
【請求項９】 前記第２の構造体を非接触で支持する支持装置を有することを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の位置決め装置。
【請求項１０】 前記第２の構造体を前記第１の構造体に対して駆動する駆動装置を有することを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載の位置決め装置。
【請求項１１】  前記第２の構造体を非接触で駆動する駆動装置を有することを特徴とする請求項１〜１０のいずれかに記載の位置決め装置。
【請求項１２】  前記対象物の温度を計測する温度計測部を備えることを特徴とする請求項１〜１１のいずれかに記載の位置決め装置。
【請求項１３】  前記第１の構造体と前記第２の構造体の少なくとも一方はセラミック製であることを特徴とする請求項１〜１２のいずれかに記載の位置決め装置。
【請求項１４】  前記第２の構造体は、前記対象物を保持するチャック及び該チャックを保持する天板のどちらかであることを特徴とする請求項１〜１３のいずれかに記載の位置決め装置。
【請求項１５】  前記対象物の前記輻射板と対向する部分を放射率の高い材料にて形成することを特徴とする請求項１に記載の位置決め装置。
【請求項１６】  前記対象物の前記輻射板と対向する部分を放射率の低い材料にて形成することを特徴とする請求項１に記載の位置決め装置。
【請求項１７】  真空雰囲気内で対象物の位置決めを行なう位置決め装置であって、
第１の構造体と、
該第１の構造体に対して相対的に移動可能であり、該対象物を搭載する第２の構造体と、
前記第２構造体を非接触で駆動する駆動装置と、
前記第１構造体に対して前記第２構造体を非接触に支持する支持装置と、
前記第１構造体に設けられ、前記第１構造体と前記第２構造体との間で輻射を利用した熱交換を行う輻射板と、
前記輻射板の温度を調整する温度調整装置と、を有することを特徴とする位置決め装置。
【請求項１８】  請求項１〜１７のいずれかに記載の位置決め装置を備えることを特徴とする露光装置。
【請求項１９】  露光動作を制御する中央制御装置の信号に基づいて熱の輻射量を調整することを特徴とする請求項１８に記載の露光装置。
【請求項２０】  請求項１８または１９に記載の露光装置を用いてデバイスを製造することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するための本発明の位置決め装置は、真空雰囲気内で対象物の位置決めを行なう位置決め装置であって、第１の構造体と、該第１の構造体に対して相対的に移動可能であり、該対象物を搭載する第２の構造体と、該第１の構造体に設けられ、前記第２の構造体との間で輻射を利用して熱交換を行う輻射板と、該輻射板の温度を調整する温度調整手段とを備え、該温度調整手段は、前記第２の構造体または前記対象物の温度を制御するように、前記輻射板の温度を調整することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の位置決め装置は、さらに真空雰囲気内で対象物の位置決めを行なう位置決め装置であって、第１の構造体と、該第１の構造体に対して相対的に移動可能であり、該対象物を搭載する第２の構造体と、該第１の構造体と該第２の構造体のそれぞれに設けられ、互いに対面するように形成される黒体部とを有することを特徴とする。
さらに、真空雰囲気内で対象物の位置決めを行なう位置決め装置であって、
第１の構造体と、該第１の構造体に対して相対的に移動可能であり、該対象物を搭載する第２の構造体と、該第１の構造体と該第２の構造体のそれぞれに設けられ、互いに対面し、樹脂、ガラス及び酸化層の少なくともいずれかを表面に備えた熱交換部とを有することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明の位置決め装置は、さらに、真空雰囲気内で対象物の位置決めを行なう位置決め装置であって、第１の構造体と、該第１の構造体に対して相対的に移動可能であり、該対象物を搭載する第２の構造体と、該第２の構造体を非接触で温度調節する温度調節機構とを有することを特徴とする。
さらに、真空雰囲気内で対象物の位置決めを行なう位置決め装置であって、第１の構造体と、該第１の構造体に対して相対的に移動可能であり、該対象物を搭載する第２の構造体と、前記第２構造体を非接触で駆動する駆動装置と、前記第１構造体に対して前記第２構造体を非接触に支持する支持装置と、前記第１構造体に設けられ、前記第１構造体と前記第２構造体との間で輻射を利用した熱交換を行う輻射板と、前記輻射板の温度を調整する温度調整装置と、を有することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
また、この位置決め装置１は、真空雰囲気内で、Ｘ方向用の１個（構成次第では２個）、Ｙ方向用の２個、Ｚ方向用３個（不図示）の計６個（２個以外図示）またはそれ以上のリニアモータが用いられる。リニアモータは、位置決め対象物を駆動する駆動装置として、図２に示すように、可動子１０１及び固定子１０２を有し、Ｘ，Ｙ，Ｚの各軸方向及びＸ，Ｙ，Ｚ各軸周りの６自由度に対して位置決め対象物の微動位置決めのための駆動を行う。位置決めにはローレンツ力を利用することにより、天板１１１等の位置決め対象物は外部との振動絶縁が行われている。また天板と駆動装置（リニアモータ）とは比接触である（図２）。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
ここで、位置決め対象物である基板１１４及びそれを保持する保持部材としてのチャック１１３や天板１１１等は、底板１１０及び外部（底板を支持する定盤や露光装置を構成する構造体など）との物理的接続がセンサ等の細かい電気配線などのみでなされている。一方、露光動作に伴い露光光Ｌによる基板１１４の発熱や静電チャック１１３からの発熱が生じる。しかし、上記構成のため、周辺の気体・液体への熱伝達や固体を通して熱伝導により移動する熱量は、無視できる程小さい。このため、基板１１４やチャック１１３、天板１１１などの位置決め対象物の部材は次第に温度上昇を招く。これの対策として、本実施形態では、輻射板２００の温度は、必要熱移動量によるが、例えば０〜１０℃のように、低くする。このように、輻射板２００の温度が低いことで、天板１１１などの位置決め対象物の部材の熱は、天板１１１の裏側から輻射板２００を介して底板１１０側への輻射により熱移動する。即ち、本実施例の位置決め装置は、第1の構造体に設けられた輻射板と第２の構造体である天板との間で輻射を利用して熱交換を行う。これにより、基板１１４とチャック１１３及び天板１１１などに流入した熱量は、輻射板２００を介して非接触にて逃がすことができ、これらの部材（天板などの位置決め対象物）の温度上昇は避けることができる。このように、輻射板２００の温度を低く調整することによって天板などの位置決め対象物の温度調整を行う。また、輻射板２００の輻射領域は適当な間隔を保って複数配置されている。これにより、天板１１１内での温度分布に基づく部分的温度差は最小限に抑えることができる。