(57)【要約】【課題】受光素子の交流特性の検査を高い精度で行うことで受光素子の品質を確保することが可能な受光素子の検査装置を提供する。【解決手段】照射された光に応じた電気信号を出力する受光素子１０を検査する検査装置１において、受光素子１０を検査する交流検査信号として、データ通信規格に準拠した同期信号および検査パターン信号を発生する検査信号発生部２と、交流検査信号を交流検査光として出射する光照射部３と、受光素子１０が交流検査光を受光することで出力される出力信号を第２記憶部８２に蓄積して、同期信号で同期したタイミングで第１記憶部８１に蓄積した検査パターンデータと比較し、比較した結果から受光素子１０の良否を判定する比較判定部８３とを備えた。【選択図】図１
2008026040.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
照射された光に応じた電気信号を出力する受光素子を検査する検査装置において、
前記受光素子を検査する交流検査信号として、同期信号および検査パターン信号を発生する検査信号発生部と、
前記交流検査信号を交流検査光として出射する光照射部と、
前記受光素子が前記交流検査光を受光することで出力される出力信号を、前記同期信号で同期したタイミングで前記検査パターン信号と比較し、比較した結果から前記受光素子の良否を判定する比較判定部とを備えたことを特徴とする受光素子の検査装置。
【請求項２】
前記受光素子からの出力信号と前記交流検査信号とをそれぞれ格納する記憶部が設けられ、
前記比較判定部は、前記記憶部に格納された受光素子からの出力信号および交流検査信号を比較することを特徴とする請求項１記載の受光素子の検査装置。
【請求項３】
前記検査信号発生部は、データ通信規定に準拠した信号を発生する機能を備えたことを特徴とする請求項１または２記載の受光素子の検査装置。
【請求項４】
前記光照射部は、ＬＥＤで形成されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかの項に記載の受光素子の検査装置。
【請求項５】
照射された光に応じた電気信号を出力する受光素子に、同期信号および検査パターン信号を交流検査信号として交流検査光に変換して出射し、
前記受光素子が前記交流検査光を受光することで出力される出力信号を、前記同期信号で同期したタイミングで前記検査パターン信号と比較し、比較した結果から前記受光素子の良否を判定することを特徴とする受光素子の検査方法。
【請求項６】
前記出力信号と前記検査パターン信号とを比較するときには、前記出力信号と前記検査パターン信号とをそれぞれ記憶部に蓄積した後に、前記記憶部からの出力信号と前記検査パターン信号とを比較することを特徴とする請求項５記載の受光素子の検査方法。
【請求項７】
前記交流検査信号は、データ通信規定に準拠した信号であることを特徴とする請求項５または６記載の受光素子の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、受光素子を検査する検査装置およびその検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
照射された光に応じた電気信号を出力する受光素子は、テレビ、ビデオ、オーディオ機器やＤＶＤ（Digital Versatile Disk）レコーダなどの遠隔操作を行うリモコンなど広く使用されている。また、受光素子は、ＩｒＤＡ（Infrared Data Association）などの赤外線データ通信規格に準拠した信号光で通信できるよう、ＰＣ（Personal Computer）や携帯電話などにも使用されている。
【０００３】
これらの装置に受光素子を実装する上で重要な特性として交流特性がある。受光素子を製造する場合には、この交流特性が所望とする特性となっているか検査する必要がある。交流特性を検査するには、受光素子がウェハ状態であるとウェハに形成されたテストパッドにプローブピンを当てて交流電気信号を印加する。しかしプローブ自体がアンテナの役割をしてしまいノイズを拾ってしまったり、テストパッド自体の容量が付加されてしまったりして正しい検査が困難である。従って、受光素子の検査は、交流特性の検査を省略して直流特性の検査のみが行われていたり、交流特性の検査に代わる検査が行われている。
【０００４】
交流特性の検査に代わる検査の一例として、特許文献１に記載の受光ＩＣ周波数特性選別装置による検査が知られている。
【０００５】
特許文献１に記載の受光ＩＣ周波数特性選別装置は、受光ＩＣチップの受光部に交流光信号を照射し、その受光ＩＣチップの出力にピークホールド回路を備えることで、交流光信号の振幅に応じた直流信号がピークホールド回路から出力されるので、この出力をテスタで読み取れば、規定周波数でのゲインを測定できるというものである。
【特許文献１】特開２００２−９３２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献１に記載の受光ＩＣ周波数特性選別装置では、ピークホールド回路を用いてその出力を測定しているので、ピーク電圧値のみの検査であり、受光素子の出力波形にばらつきがあると正しい検査を行うことができない。従って、受光素子の交流特性が仕様を満足していないおそれがある。
【０００７】
検査では不良と判定されなかった受光素子がリモコンや通信装置に実装されてしまうと、実装後の装置試験で初めて不具合が判明することになってしまうので、受光素子の品質を確保できない。
【０００８】
そこで本発明は、受光素子の交流特性の検査を高い精度で行うことで受光素子の品質を確保することが可能な受光素子の検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、照射された光に応じた電気信号を出力する受光素子に、同期信号および検査パターン信号を交流検査信号として交流検査光に変換して出射し、受光素子が前記交流検査光を受光することで出力される出力信号を、同期信号で同期したタイミングで検査パターン信号と比較し、結果から前記受光素子の良否を判定することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明は、受光素子へ入力する光の元となる入力信号（検査パターン信号）と、受光素子から出力された出力信号とが同期した状態で比較することで、受光素子の交流特性として期待している出力波形が得られないときには高い精度で検出することができるので、受光素子の品質を確保することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本願の第１の発明は、照射された光に応じた電気信号を出力する受光素子を検査する検査装置において、受光素子を検査する交流検査信号として、同期信号および検査パターン信号を発生する検査信号発生部と、交流検査信号を交流検査光として出射する光照射部と、受光素子が交流検査光を受光することで出力される出力信号を、同期信号で同期したタイミングで検査パターン信号と比較し、比較した結果から受光素子の良否を判定する比較判定部とを備えたことを特徴としたものである。
【００１２】
検査信号発生部は、受光素子を検査する交流検査信号を発生する。この交流検査信号は、同期信号と検査データとを備えている。光照射部は、交流検査信号を交流検査光として受光素子に照射する。受光素子は、この交流検査光を受光して出力信号を出力する。そして比較判定部は、受光素子からの出力信号を、同期信号で同期したタイミングで検査パターン信号と比較し、この比較した結果に基づいて良否を判定する。このように、受光素子へ入力する光の元となる入力信号（検査パターン信号）と、受光素子から出力された出力信号とが同期した状態で比較することで、受光素子の交流特性として期待している出力波形が得られない不具合を高い精度で検出することができる。従って、出力波形が歪んでいたり、出力されなかったり、パルス幅が仕様に満たなかったりするような交流特性の不良が検出できる。
【００１３】
本願の第２の発明は、受光素子からの出力信号と交流検査信号とをそれぞれ格納する記憶部が設けられ、比較判定部は、記憶部に格納された受光素子からの出力信号および交流検査信号を比較することを特徴としたものである。
【００１４】
記憶部に、受光素子からの出力信号と交流検査信号とをそれぞれ予め格納した後に、比較判定部により格納された出力信号と交流検査信号を読み出して比較することで、一度に様々な交流特性の検査が行えない場合でも、その検査項目を行うときに記憶部から読み出して行うことで、比較判定部として高速な処理性能を必要としない。
【００１５】
本願の第３の発明は、検査信号発生部は、データ通信規定に準拠した信号を発生する機能を備えたことを特徴としたものである。
【００１６】
検査信号発生部が、データ通信規定に準拠した信号を発生することで、装置に実装して使用される実際の信号により近い状態で検査することができるので、より高い精度で不良を検出することが可能である。また受光素子は、受光する際に、長い期間Ｈレベルとなる同期信号の後の短いパルスを出力できない不具合が発生することがある。従って、交流検査信号を単調なパルス信号とするとこのような不具合を検出することができない。検査信号発生部が発生する交流検査信号を、データ通信規定に準拠した信号とすることで、パルス信号が単調なパルスの繰り返しにならないため、多様なパターンで発生する不具合でも検出することが可能である。
【００１７】
本願の第４の発明は、光照射部は、ＬＥＤで形成されていることを特徴としたものである。
【００１８】
光照射部をＬＥＤとすることで、レーザ光とする場合に比較して安価でメンテナンスが容易である。
【００１９】
本願の第５の発明は、照射された光に応じた電気信号を出力する受光素子に、同期信号および検査パターン信号を交流検査信号として交流検査光に変換して出射し、受光素子が交流検査光を受光することで出力される出力信号を、同期信号で同期したタイミングで検査パターン信号と比較し、比較した結果から受光素子の良否を判定することを特徴としたものである。
【００２０】
まず、受光素子を検査する交流検査信号を交流検査光として受光素子に照射する。この交流検査信号は、同期信号と検査データとを備えている。受光素子はこの交流検査光を受光して出力信号を出力するので、受光素子からの出力信号を、同期信号で同期したタイミングで検査パターン信号と比較する。そして比較した結果に基づいて良否を判定する。このように、受光素子へ入力する光の元となる入力信号（検査パターン信号）と、受光素子から出力された出力信号とが同期した状態で比較することで、受光素子の交流特性として期待している出力波形が得られない不具合を高い精度で検出することができる。従って、出力波形が歪んでいたり、出力されなかったり、パルス幅が仕様に満たなかったりするような交流特性の不良が検出できる。
【００２１】
本願の第６の発明は、出力信号と検査パターン信号とを比較するときには、出力信号と検査パターン信号とをそれぞれ記憶部に蓄積した後に、記憶部からの出力信号と検査パターン信号とを比較することを特徴としたものである。
【００２２】
記憶部に、受光素子からの出力信号と交流検査信号とをそれぞれ予め格納した後に、格納された出力信号と交流検査信号を読み出して比較することで、一度に様々な交流特性の検査が行えない場合でも、その検査項目を行うときに記憶部から読み出して行うことで、高速な処理性能を必要としない。
【００２３】
本願の第７の発明は、交流検査信号は、データ通信規定に準拠した信号であることを特徴としたものである。
【００２４】
交流検査信号をデータ通信規定に準拠した信号とすることで、装置に実装して使用される実際の信号により近い状態で検査することができるので、より高い精度で不良を検出することが可能である。また受光素子は、受光する際に、長い期間Ｈレベルとなる同期信号の後の短いパルスを出力できない不具合が発生することがある。従って、交流検査信号を単調なパルス信号とするとこのような不具合を検出することができない。交流検査信号を、データ通信規定に準拠した信号とすることで、パルス信号が単調なパルスの繰り返しにならないため、多様なパターンで発生する不具合でも検出することが可能である。
【００２５】
（実施の形態）
本発明の実施の形態に係る受光素子の検査装置について図面に基づいて説明する。図１は、本発明の実施の形態に係る受光素子の検査装置の構成を説明する図である。
【００２６】
図１に示すように、検査装置１は、受光素子１０の交流特性を検査する装置である。検査装置１は、信号発生部２と、光照射部３と、搭載部４と、信号変換部５と、表示部６、操作部７と、制御部８とを備えている。
【００２７】
信号発生部２は、受光素子１０を検査する交流検査信号として、同期信号および検査パターン信号を発生する。この交流検査信号は、データ通信規定に準拠した信号である。データ通信規格とは、信号フォーマットを業界団体などが規定したもので、例えば、テレビやビデオを遠隔操作するリモコンであれば財団法人家電製品協会（家製協）が規定する家製協フォーマットや、ＰＣや携帯電話での通信であれば業界団体であるＩｒＤＡ（Infrared Data Association）が規定した赤外線通信の規格などをいう。また他の団体が規格したものでも、受光素子１０が使用される状況に応じて適宜選択することができる。
【００２８】
ここで、信号フォーマットについて図２および図３に基づいて詳細に説明する。図２は、リモコンに用いられる家製協フォーマットを示す図で、（Ａ）は信号フォーマットを示す図、（Ｂ）はビットストラクチャを示す図である。図３は、ＩｒＤＡでの規定を示す図であり、（Ａ）はフォーマットを示す図、（Ｂ）はベースバンド変調を示す図、（Ｃ）は４値ＰＰＭを示す図である。
【００２９】
図２（Ａ）に示すように、家製協フォーマットは、同期信号となるリーダＬと、検査パターン信号となるカスタムコードＣ、パリティＰ、データＤ、およびトレーラＴＲとで構成される。リーダＬは、８パルス分のＨレベルと４パルス分のＬレベルとで構成され、信号の先頭を示すマーカである。受信側ではこのリーダＬにより同期をとる。カスタムコードＣは、２バイトで構成され、製品を供給する会社を識別するためのコードである。パリティＰは、３バイト目の上位４ビットで構成される。データＤは、３バイト目の下位４ビットからトレーラＴＲまでで構成され、データ長は各製造会社で任意となっている。トレーラＴＲは、１パルス時間のＨレベルと、８ｍｓ以上のＬレベルで構成され、信号の終了を示すマーカである。
【００３０】
図２（Ｂ）に示すように、この家製協フォーマットのビットストラクチャでは、「０」であれば基本パルス幅Ｔの１ＴのＨレベルと１ＴのＬレベルとなっており、また「１」であれば１ＴのＨレベルと３ＴのＬレベルとなっている。
【００３１】
また、ＩｒＤＡでは、図３（Ａ）に示すような信号フォーマットとなっている。図３（Ａ）に示すように、転送レートが9.6kbps〜115.2kbps時のパケットフォーマットでは、同期信号となるスタートフラグと、検査パターン信号となるアドレスフィールド、制御フィールド、データフィールド、ＦＣＳ（frame check sequence）フィールド、およびストップフラグとで構成されている。
【００３２】
スタートフラグは、信号の先頭を示すマーカで、受信側では同期とりを行うためのフラグである。アドレスフィールドは、送信先相手を指定するアドレスが格納されるフィールドである。制御フィールドは、通信を送信するフィールドである。データフィールドは、通信内容を格納するフィールドである。ＦＣＳフィールドは、伝送誤り検出用に付加されるフィールドである。ストップフラグは、信号の終了を示すマーカである。
【００３３】
ＩｒＤＡでは、３種類の変調方式が用いられている。図３（Ｂ）では「０」のみに基準パルス幅のパルスを送信するベースバンド変調、図３（Ｃ）では、パルスの位置によって２ビットを送信する４値ＰＰＭなどの変調方式が用いられている。
【００３４】
信号発生部２は、この各種のデータ通信規定に準拠した信号を、受光素子１０が実装される装置に応じて適宜選択して出力することが可能である。
【００３５】
このように信号発生部２がデータ通信規定に準拠した信号を発生することで、受光素子１０が装置に実装されたときに使用される実際の信号により近い状態で検査することができる。
【００３６】
図１に戻って、光照射部３は、信号発生部２からの交流検査信号を交流検査光として受光素子１０へ出射する発光手段である。光照射部３は、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）とするのが望ましい。ＬＥＤは、レーザ発光装置と比較して安価でメンテナンスが容易である。また近年では数百ＭＨｚの遮断周波数を有するものもあるため、受光素子の周波数特性を検査する場合でも使用することができる。また光照射部３をＬＥＤとすることで広範囲に交流検査光を照射することができるので、受光素子１０の受光部が複数ある場合には一度に検査することも可能である。
【００３７】
搭載部４は、受光素子１０を検査するときに搭載して、受光素子１０へ電源を供給すると共に、受光素子１０からの出力信号を信号変換部５へ出力する。ここで搭載部４と、搭載部４に搭載されて交流特性が検査される受光素子１０とについて、図４から図６に基づいて詳細に説明する。図４は、被検査素子である受光素子１０が検査装置１に接続された状態を示す図である。図５は、受光素子１０の回路を示す図である。図６は、受光素子１０の受光部を示す図である。
【００３８】
図４に示すように、受光素子１０は、光ピックアップに用いられるＰＤＩＣ（Photo Detect Integrated Circuit）で、ＣＤまたはＤＶＤを読み取る際に用いられる。受光素子１０は、検査装置１の搭載部４に搭載され、検査される。
【００３９】
受光素子１０は、入力端子、出力端子、電源端子、グランド端子の合計１２端子を備えている。ＳＷ端子は、ＣＤを読み取るときと、ＤＶＤを読み取るときとで異なるゲインの切り替えを指定する入力端子である。Ｖｒｅｆ端子は、基準電圧である＋２．１Ｖを入力する入力端子である。Ｆ１端子〜Ｆ４端子およびＥ１端子，Ｅ２端子は、受光素子１０の受光部で受けた光から発生する電圧を出力する出力端子である。Ｖｃｃ端子は、＋５Ｖの電圧が印加される電源端子である。ＧＮＤ端子はグランド端子である。ＲＦは電圧の加算合計を出力する出力端子である。
【００４０】
図５（Ａ）に示すように受光素子１０には、受光部１０２と、切替部１０３と、増幅部１０４とを備えた第１受光回路１０１が設けられ、図５（Ｂ）に示すように受光部１０２と増幅部１０４とを備えた第２受光回路１０５が設けられている。受光部１０２は、受光すると電圧を発生するフォトダイオードである。受光部１０２は、図６に示すようにＣＤ用に用いられるフォトダイオードＡ１〜Ｄ１と、ＤＶＤ用に用いられるフォトダイオードＡ２〜Ｄ２と、フォトダイオードＥ１，Ｅ２とが設けられている。フォトダイオードＡ１〜Ｄ１と、ＤＶＤ用に用いられるフォトダイオードＡ２〜Ｄ２との出力は、ＳＷ端子から入力された信号に基づいて切替部１０３により切り替えられる。そして、第１受光回路１０１の出力はＦ１端子〜Ｆ４端子へ出力され、第２受光回路１０５の出力は、Ｅ１端子，Ｅ２端子へ出力される。つまり受光素子１０には、図５（Ａ）に示す第１受光回路が４回路設けられ、図５（Ｂ）に示す第２受光回路が２回路設けられている。
【００４１】
図４に示すように、このような受光素子１０を搭載する搭載部４は、受光素子１０を搭載したときに接触するように形成された配線パターンが設けられている。この配線パターンは、出力端子であるＦ１端子〜Ｆ４端子およびＥ１端子，Ｅ２端子には、抵抗Ｒ１〜Ｒ７を介して基準電圧である２．１Ｖへ接続している。またＧＮＤ端子は、検査装置１のグランドへ、Ｖｃｃ端子は＋５Ｖへ接続している。そして、Ｆ１端子〜Ｆ４端子およびＥ１端子，Ｅ２端子と接続する配線パターンには検査パッドＰ１〜Ｐ７が設けられており、図示しないプローブがこの検査パッドＰ１〜Ｐ７に接触することで、出力端子からの信号を信号変換部５へ出力するように搭載部４は信号変換部５に接続される。
【００４２】
図１に戻って、信号変換部５は、アナログ信号をデジタル信号へ変換するもので、第１ＡＤ変換部５１と第２ＡＤ変換部５２とを備えている。第１ＡＤ変換部５１は、信号発生部２が発生する交流検査信号を入力して、交流検査データとして出力する。第２ＡＤ変換部５２は、受光素子からの出力信号を入力して、被検査データとして出力する。信号変換部５は、高い周波数の交流検査信号を、大きいビット数で量子化するためには高速処理可能なＡＤ変換器を用いるのが望ましい。
【００４３】
表示部６は、制御部８からの出力により、設定画面や、操作画面や、検査波形を表示するもので、ＣＲＴ（Cathode Ray Tube）またはＬＣＤ（Liquid Crystal Display）などが使用できる。
【００４４】
操作部７は、キーボードや、操作パネル、または表示部６の表面に設けられたタッチパネルとすることができる。操作部７により入力されたデータは制御部８に通知される。
【００４５】
制御部８は、検査装置１全体を統括制御する制御手段であり、第１記憶部８１と、第２記憶部８２と、比較判定部８３とを備えている。第１記憶部８１は、第１ＡＤ変換部５１からの交流検査データを蓄積する。従って、第１記憶部８１は、交流検査信号の同期信号を同期データとして、交流検査信号の検査パターン信号の波形データを検査パターンデータとして蓄積している。第２記憶部８２は、第２ＡＤ変換部５２からの被検査データの波形データを蓄積する。第１記憶部８１および第２記憶部８２は、高速で処理された信号変換部５のデータを格納する必要があるので、書き込み速度が高速なメモリとするのが望ましい。
【００４６】
比較判定部８３は、第１記憶部８１に蓄積された同期データに基づいて、第２記憶部８２に蓄積された被検査データと同期をとり、第１記憶部８１に蓄積された検査パターンデータと、第２記憶部８２に蓄積された被検査データとを比較して、受光素子１０の良否を判定する手段である。
【００４７】
なお、図１においては、信号変換部５の第２ＡＤ変換部５２と制御部８の第２記憶部８２とを１組のみ図示しているが、受光素子１０の出力が、図４に示すように６出力であるときには６組設けるようにしてもよい。また、１組のみ備え、比較判定部８３が順次受光素子１０との接続を切り替えるようにして受光素子１０からの出力信号を信号変換部５でデジタル信号に変換して、第２記憶部８２で蓄積するようにしてもよい。交流特性の検査を光照射部３からの一度の交流検査光の照射で行いたい場合には、受光素子１０の出力数に応じて第２ＡＤ変換部５２と第２記憶部８２とを備えるのが望ましい。
【００４８】
以上のように構成される本発明の実施の形態に係る受光素子の検査装置１の動作を図７から図９に基づいて説明する。図７および図８は、本発明の実施の形態に係る受光素子の検査装置１の動作を示すフローチャートである。図９は、受光素子１０の出力が異常発振しているときの波形を示す図である。なお本実施の形態では、信号発生部２から発生する交流検査信号を、データ通信を行うときに使用されるＩｒＤＡに準拠した信号で、変調を４値ＰＰＭとしたときの場合を説明する。
【００４９】
図７に示すように、まず信号発生部２から規定の交流波形である交流検査信号を発生させて光照射部３へ出力する。光照射部３は、交流検査信号に基づき交流波形光である交流検査光を受光素子１０へ照射する（Ｓ１１０）。
【００５０】
信号発生部２から出力された交流検査信号は、第１ＡＤ変換部５１により交流検査データとして出力される。交流検査光を受光した受光素子１０は、その交流検査光に応じた出力信号を出力する。この出力信号は第２ＡＤ変換部５２に入力され、被検査データとして出力される。そして、第１ＡＤ変換部５１から出力された交流検査データは、第１記憶部８１に、第２ＡＤ変換部５２から出力された被検査データは第２記憶部８２に、それぞれ交流波形データを蓄積する（Ｓ１２０）。
【００５１】
制御部８の比較判定部８３は、まず第１記憶部８１に蓄積された交流検査データから同期データとなるスタートフラグを読み込む。そして第２記憶部８２に蓄積された被検査データからスタートフラグを検索して、蓄積された位置を確認する。比較判定部８３は、被検査データからスタートフラグが格納された位置を確認すると、第１記憶部８１に蓄積された検査パターンデータと、第２記憶部８２に蓄積されたスタートフラグ以降の被検査データとを比較することで、交流検査データに同期したタイミングで被検査データについて各検査を行う。つまり比較判定部８３が、第１記憶部８１と第２記憶部８２とのそれぞれに蓄積されたスタートフラグで同期をとり、それ以降のデータを比較することで、信号発生部２からパルスが出力されたタイミングに基づいて確実に受光素子１０からの出力を検査することができる。従って、受光素子の交流特性として期待している出力波形が得られない不具合を高い精度で検出することができる。また、比較判定部８３は、第２記憶部８２に蓄積された被検査データに、蓄積されているはずの同期データであるスタートフラグが検出できないときには、その時点で異常と判定する。
【００５２】
検査としては、まず異常発振検査を行う（Ｓ１３０）。異常発振とは、受光素子１０への交流検査光が変化しない無信号状態であるにも関わらず、受光素子１０の出力信号が微弱に変動する発振状態となってしまっている状態のことをいう。比較判定部８３は、検査パターンデータが変化していない無信号状態のときでも、被検査データが変化していることにより、異常発振であると判定する。比較判定部８３による判定の結果、発振が認められる場合には、Ｓ２８０へ移行し、発振していない場合には次の検査を行う（Ｓ１４０）。
【００５３】
図９に示すように、例えば、基準信号として交流検査信号を、「００」，「０１」，「１０」，「１１」としたときに、受光素子１０が正常であれば、そのパルスの状態と反転した状態の出力となる。しかし受光素子１０の出力が異常発振しているときは無信号状態であっても、出力に微弱な変動が発生している。従って、比較判定部８３は、検査パターンデータが変化していない無信号状態のときでも、被検査データが変化していることを検出することで異常発振をしていることを判定することができる。
【００５４】
次にビットエラー検査を行う（Ｓ１５０）。ビットエラーとは、交流検査光としてパルスを受光素子１０に印加しているにも関わらず、受光素子１０の出力信号にはパルスが出力されない状態をいう。比較判定部８３は、検査パターンデータにパルス出力があるときに、被検査データにパルス出力がないことによりビットエラーであると判定する。比較判定部８３による判定の結果、ビットエラーが認められる場合には、Ｓ２８０へ移行し、ビットエラーが発生していない場合には次の検査を行う（Ｓ１６０）。
【００５５】
次に、パルス幅検査を行う（Ｓ１７０）。パルス幅検査とは、照射される交流検査光に対して受光素子１０から出力される受信パルスの幅が、データ通信規格を満たしているか否かを検査するものである。交流検査信号が４値ＰＰＭである場合には、通常のパルス幅はシングルのパルス幅であるが、信号が「１１」、「００」となると検査パルス光としてダブルとなるので、シングルだけでなくダブルのときの受信パルス幅も規格を満足する必要がある。比較判定部８３は、パルス幅検査を、検査パターンデータにパルス出力があるときの被検査データのパルス幅を測定して、許容される範囲より外れた幅である場合に異常であると判定する。比較判定部８３による判定の結果、パルス幅が、仕様を満たしていないことが認められる場合には、Ｓ２８０へ移行し、パルス幅に問題がない場合には次の検査を行う（Ｓ１８０）。
【００５６】
図８に示すように、検査項目として次に出力電圧値検査を行う（Ｓ１９０）。出力電圧値検査は、受光素子１０からの出力電圧が受光素子１０の仕様の出力電圧値を満たしているか否かを検査するものである。比較判定部８３は、検査パターンデータにパルス出力があるときの被検査データのパルスの電圧値を測定して、許容される範囲より外れた電圧値である場合に異常であると判定する。比較判定部８３による判定の結果、パルスの電圧値が、仕様を満たしていないことが認められる場合には、Ｓ２８０へ移行し、パルスの電圧値に問題がない場合には次の検査を行う（Ｓ２００）。
【００５７】
次に、立ち上がり時間検査を行う（Ｓ２１０）。立ち上がり時間検査とは、パルスがＬレベルからＨレベルまでに変化に要する時間が、所定時間を満たしているか否かを検査するものである。例えば、パルスの立ち上がり＋１０％から＋９０％までに要する時間を立ち上がり時間として検査する。比較判定部８３は、検査パターンデータにパルス出力があるときの被検査データのパルスの立ち上がり時間を測定して、許容される範囲より外れた時間である場合に異常であると判定する。比較判定部８３による判定の結果、パルスの立ち上がり時間が、仕様を満たしていないことが認められる場合には、Ｓ２８０へ移行し、パルスの立ち上がり時間に問題がない場合には次の検査を行う（Ｓ２２０）。
【００５８】
次に、立ち下がり時間検査を行う（Ｓ２３０）。立ち下がり時間検査とは、パルスがＨレベルからＬレベルまでに変化に要する時間が、所定時間を満たしているか否かを検査するものである。例えば、パルスの立ち下がり＋９０％から＋１０％までに要する時間を立ち下がり時間として検査する。比較判定部８３は、検査パターンデータにパルス出力があるときの被検査データのパルスの立ち下がり時間を測定して、許容される範囲より外れた時間である場合に異常であると判定する。比較判定部８３による判定の結果、パルスの立ち下がり時間が、仕様を満たしていないことが認められる場合には、Ｓ２８０へ移行し、パルスの立ち下がり時間に問題がない場合には次の検査を行う（Ｓ２４０）。
【００５９】
最後に、ジッタ検査を行う（Ｓ２５０）。ジッタ検査とは、信号発生部２が発生する交流検査信号と受光素子１０からの出力信号との時間差が、所定時間を満たしているか否かを検査するものである。比較判定部８３は、検査パターンデータにパルス出力があるときの被検査データのパルスの遅れ時間を測定して、許容される範囲より外れた時間である場合に異常であると判定する。比較判定部８３による判定の結果、パルスの遅れ時間が、仕様を満たしていないことが認められる場合には、Ｓ２８０へ移行し、パルスの遅れ時間に問題がない場合には、Ｓ２７０へ移行する（Ｓ２６０）。４値ＰＰＭではパルスの立つ位置により、２ビット情報を表すことになる。従って、ジッタが大きいと位置情報を正しく受け取ることができないため、実使用上問題となる。
【００６０】
次に検査を行う受光素子１０の有無を判定し、次に検査する受光素子１０が有る場合にはＳ１１０へ移行し、無い場合には検査を終了する（Ｓ２７０）。
【００６１】
Ｓ２８０では、各検査において検査した受光素子１０に異常があると判定されたことで、制御部８によりその旨を表示部６に表示を行う。そしてＳ２７０へ移行して次の検査する受光素子１０の有無を判定する。
【００６２】
Ｓ２７０にて、次に検査を行う受光素子１０がない場合には検査を終了する。また次に検査する受光素子１０が準備されている場合にはＳ１１０へ戻り検査を続ける。
【００６３】
このように、比較判定部８３が、交流検査データのスタートフラグに基づいて同期したタイミングで被検査データに含まれるパルスの検査を、検査パターンデータを参照しながら行うので、受光素子１０から出力されるパルスの有無や、パルスの立ち上がり、パルスの立ち下がり、パルスの遅れなどの各種の交流特性を、高い精度で検査することができる。従って、受光素子１０の品質を確保することができる。
【００６４】
更に、受光素子１０を検査するパルス波形である交流検査信号を、交流検査データとして第１記憶部に記憶しているので、異常発振、ビットエラー、出力電圧値、パルスの立ち上がり、パルスの立ち下がり、パルスの遅れを一度に検査でき、検査時間の短縮化が可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００６５】
本発明は、受光素子の交流特性の検査を高い精度で行うことで受光素子の品質を確保することが可能なので、受光素子の検査装置およびその検査方法に好適である。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】本発明の実施の形態に係る受光素子の検査装置の構成を説明する図
【図２】リモコンに用いられる家製協フォーマットを示す図で、（Ａ）は信号フォーマットを示す図、（Ｂ）はビットストラクチャを示す図
【図３】ＩｒＤＡでの規定を示す図であり、（Ａ）はフォーマットを示す図、（Ｂ）はベースバンド変調を示す図、（Ｃ）は４値ＰＰＭを示す図
【図４】被検査素子である受光素子が検査装置に接続された状態を示す図
【図５】受光素子の回路を示す図
【図６】受光素子の受光部を示す図
【図７】本発明の実施の形態に係る受光素子の検査装置１の動作を示すフローチャートの図
【図８】本発明の実施の形態に係る受光素子の検査装置１の動作を示すフローチャートの図
【図９】受光素子の出力が異常発振しているときの波形を示す図
【符号の説明】
【００６７】
１  検査装置
２  信号発生部
３  光照射部
４  搭載部
５  信号変換部
６  表示部
７  操作部
８  制御部
１０  受光素子
５１  第１ＡＤ変換部
５２  第２ＡＤ変換部
８１  第１記憶部
８２  第２記憶部
８３  比較判定部
１０１  第１受光回路
１０２  受光部
１０３  切替部
１０４  増幅部
１０５  第２受光回路
【図１】
2008026040.tif 000003
【図２】
2008026040.tif 000004
【図３】
2008026040.tif 000005
【図４】
2008026040.tif 000006
【図５】
2008026040.tif 000007
【図６】
2008026040.tif 000008
【図７】
2008026040.tif 000009
【図８】
2008026040.tif 000010
【図９】
2008026040.tif 000011