(57)【要約】【課題】信頼性に優れ、無電解エッチングが可能な電解コンデンサ電極用アルミニウム箔を提供する。【解決手段】Ｓｉ：０．０１〜０．３０％、Ｆｅ：０．０１〜０．３０％、Ｎｉ：０．００２１〜０．０５％含有し、前記Ｆｅ含有量およびＳｉ含有量におけるＦｅ／Ｓｉ比が１〜４の組成を有する。さらに、円相当径１〜５μｍのＡｌ−Ｆｅ−Ｓｉ−Ｎｉ系の析出物が１０３〜１０６個／ｃｍ２の密度で存在するのが望ましい。前記組成のＡｌ合金に、５６０℃以上、１時間以上で均質化処理を施す。高い信頼性を維持したままエッチング性を向上させることができ、無電解エッチングの採用も可能となり、低コストで信頼性の高い電解コンデンサ電極を提供できる。【選択図】図１
2008177522.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
質量％で、Ｓｉ：０．０１〜０．３０％、Ｆｅ：０．０１〜０．３０％、Ｎｉ：０．００２１〜０．０５％含有し、前記Ｆｅ含有量およびＳｉ含有量におけるＦｅ／Ｓｉ比が１〜４であり、残部がＡｌと不可避不純物からなることを特徴とする電解コンデンサ電極用アルミニウム箔。
【請求項２】
質量％で、Ｓｉ：０．０１〜０．３０％、Ｆｅ：０．０１〜０．３０％、Ｎｉ：０．００２１〜０．０５％含有し、前記Ｆｅ含有量およびＳｉ含有量におけるＦｅ／Ｓｉ比が１〜４であり、残部がＡｌと不可避不純物からなる組成を有し、円相当径１〜５μｍのＡｌ−Ｆｅ−Ｓｉ−Ｎｉ系の析出物が１０３〜１０６個／ｃｍ２の密度で存在していることを特徴とする電解コンデンサ電極用アルミニウム箔。
【請求項３】
質量％で、Ｓｉ：０．０１〜０．３０％、Ｆｅ：０．０１〜０．３０％、Ｎｉ：０．００２１〜０．０５％含有し、前記Ｆｅ含有量およびＳｉ含有量におけるＦｅ／Ｓｉ比が１〜４であり、残部がＡｌと不可避不純物からなる組成に調整されたアルミニウム合金に、５６０℃以上、１時間以上で均質化処理を施すことを特徴とする電解コンデンサ電極用アルミニウム箔の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、電解コンデンサの電極に用いられるアルミニウム箔およびその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電解コンデンサの陰極に用いられるアルミニウム箔としては、純Ａｌ系と合金系（主にＡｌ−Ｃｕ系、Ａｌ−Ｍｎ系）が用いられている。このうち純Ａｌ系は、不純物が少なく、コンデンサ部品としての信頼性は高いが、溶解性が低いため、電解エッチングが採用されており、コストが高いという課題を有している。一方、合金系は不純物が多くコンデンサ部品としての信頼性が低いとされている。例えば、Ａｌ−Ｃｕ系（例えば、特許文献１参照）は、Ｃｕの含有によりエッチング性を向上させるものの、コンデンサに組み込んだ際に、電解液中に溶出したＣｕが析出し、短絡などの安全上（信頼性）の問題が発生する。また、Ａｌ−Ｍｎ系（例えば、特許文献２参照）は、Ｍｎの含有によりエッチング性を向上させるものの、エッチング時に溶出したＭｎを含有するエッチング液の廃液処理上の問題（環境問題）が発生する。ただし、これら合金系は、溶解性が高いため、無電解エッチングが可能であり、コストの低い製造方法としての採用が可能である。
両者は特性的には、ほぼ同等であるため、従来は、信頼性重視の観点からは純Ａｌ系が選定され、コスト重視の観点では合金系が選定されている。
【特許文献１】特開２００２−８０９２７号公報
【特許文献２】特開２００４−０７６０５９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで最近では、コンデンサが使用される製品の全体的な品質レベルの向上に伴い、コンデンサに対しても信頼性が重要視されるようになり、電極に使用されるアルミニウム箔も信頼性の高い純Ａｌ系が主流となる傾向にある。しかし、上記したように従来の純Ａｌ系アルミニウム箔は電解エッチングが必要なため高コストとなる問題点を有している。このため、純Ａｌ系の高信頼性と合金系の低コスト性の両者を兼ね備えた箔が要求されている。
【０００４】
本発明は、上記事情を背景としてなされたものであり、無電解エッチングにおいても均一性の高いエッチングが可能であり、したがってコストが安く、かつ信頼性の高いアルミニウム箔およびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
すなわち、本発明のうち、第１の発明の電解コンデンサ電極用アルミニウム箔は、質量％で、Ｓｉ：０．０１〜０．３０％、Ｆｅ：０．０１〜０．３０％、Ｎｉ：０．００２１〜０．０５％含有し、前記Ｆｅ含有量およびＳｉ含有量におけるＦｅ／Ｓｉ比が１〜４であり、残部がＡｌと不可避不純物からなることを特徴とする。
【０００６】
第２の発明の電解コンデンサ電極用アルミニウム箔は、質量％で、Ｓｉ：０．０１〜０．３０％、Ｆｅ：０．０１〜０．３０％、Ｎｉ：０．００２１〜０．０５％含有し、前記Ｆｅ含有量およびＳｉ含有量におけるＦｅ／Ｓｉ比が１〜４であり、残部がＡｌと不可避不純物からなる組成を有し、円相当径１〜５μｍのＡｌ−Ｆｅ−Ｓｉ−Ｎｉ系の析出物が１０３〜１０６個／ｃｍ２の密度で存在していることを特徴とする。
【０００７】
第３の発明の電解コンデンサ電極用アルミニウム箔の製造方法は、質量％で、Ｓｉ：０．０１〜０．３０％、Ｆｅ：０．０１〜０．３０％、Ｎｉ：０．００５１〜０．０５％含有し、前記Ｆｅ含有量およびＳｉ含有量におけるＦｅ／Ｓｉ比が１〜４であり、残部がＡｌと不可避不純物からなる組成に調整されたスラブを、５６０℃以上、１時間以上で均質化処理を施すことを特徴とする。
【０００８】
本発明によれば、純Ａｌ系ベースへのＮｉ添加に加え、さらにＦｅ／Ｓｉ比の調整、さらには適切なプロセスでの製造により、無電解エッチングによっても、微細、かつ均一性の高いピットが形成される電解コンデンサ電極用アルミニウム箔を提供する。
以下に、本発明で規定するアルミニウム箔の成分限定理由および製造条件について説明する。なお、以下の成分含有量はいずれも質量％で示している。
【０００９】
Ｓｉ：０．０１〜０．３０％
Ｓｉは金属間化合物の析出を促し、また化合物中に取り込まれると、化合物の電位を貴にする作用があり、マトリックスとの電位差を増大させ、エッチング性を高めるので含有させる。ただし、０．０１％未満では、Ｓｉの絶対量が少なく、その作用が十分発揮されない。また、高純度化のためにコストアップとなる。一方、０．３０％を超えると、析出が進行し、過溶解となり、エッチング形態が不均一となるので、静電容量が低下する。このため、Ｓｉ含有量を上記範囲に定める。なお、望ましい下限は０．０２％、望ましい上限は０．１５％である。
【００１０】
Ｆｅ：０．０１〜０．３０％
Ｆｅはエッチングの起点となる析出物を形成させ、強度を高める作用があるので含有させる。ただし、０．０１％未満ではＦｅの絶対量が少なく、その作用が十分発揮されない。また、高純度化のためにコストアップとなる。一方、０．３０％を超えると、析出が進行し、過溶解となり、エッチング形態が不均一になるので、静電容量が低下する。このため、Ｆｅ含有量を上記範囲に定める。なお、望ましい下限は０．０２％、望ましい上限は０．１５％である。
【００１１】
Ｎｉ：０．００２１〜０．０５％
ＮｉはＡｌ−Ｆｅ−Ｓｉ−Ｎｉ系析出物を形成するので含有させる。該析出物はＡｌと比較して電位的に貴であり、バルクとの間で局部電池反応を起こし、カソードサイトとして作用することでエッチング性を向上させる。ただし、０．００２１％未満では十分な数のＡｌ−Ｆｅ−Ｓｉ−Ｎｉ系析出物が得られず、分散が不十分のため、不均一なエッチング形態となる。一方、０．０５％超では、大きな析出物が形成され易くなり、エッチングにより粗大なピットが発生するので、好ましくない。このため、Ｎｉ含有量を上記範囲に定める。なお、望ましい下限は０．００５１％、望ましい上限は０．０３％である。
【００１２】
Ｆｅ／Ｓｉ比：１〜４
良好なエッチング性のためには、Ａｌ−Ｆｅ−Ｓｉ−Ｎｉ系析出物の適度な析出量が必要であり、該析出物はＦｅ／Ｓｉ比により制御することが可能である。ただし、該比が４を超えるとＦｅ量に対するＳｉ量が少なく、前記析出物が十分に析出せず、また析出物中へのＳｉの取り込みが不十分である。一方、該比１未満ではＦｅ量に対するＳｉ量が過剰となり、析出量が増大するため過溶解を発生させ、静電容量が低下する。このため、Ｆｅ／Ｓｉ比を上記範囲に定める。なお、望ましい下限は１．５、望ましい上限は３である。
【００１３】
均質化処理：５６０℃以上、１時間以上
高温での均質化処理により析出物へのＳｉの固溶が生じ、Ａｌ−Ｆｅ−Ｓｉ−Ｎｉ系の析出物を形成する。ただし、保持温度が５６０℃未満では、析出物中へのＳｉの固溶が不十分のため、Ａｌ−Ｆｅ−Ｓｉ−Ｎｉ系の析出物が形成され難い。一方、保持温度が５６０℃以上になると、析出物中へのＳｉの固溶が促進され、Ａｌ−Ｆｅ−Ｓｉ−Ｎｉ系の析出物が形成される。このため、均質化処理の条件を上記範囲に定める。なお、好適には保持温度５８０℃以上である。また、保持時間は下限４時間、上限１０時間が望ましい。
【００１４】
Ａｌ−Ｆｅ−Ｓｉ−Ｎｉ系析出物
（１）サイズ：円相当径１〜５μｍ
Ａｌ−Ｆｅ−Ｓｉ−Ｎｉ系析出物は、エッチング時の局部電池反応におけるカソードサイトとなり、エッチング性を高め、且つ深さ方向へのエッチングの進行を高める。ただし、サイズが１μｍ未満の場合、カソードサイトとしての効果が十分でなく、均一なエッチングが確実になされない。一方、５μｍ超の場合、カソードサイトとしての効果は十分であるが、析出物周辺が溶解することによって析出物の脱落が発生し、粗大なピットとなり好ましくない。このため、Ａｌ−Ｆｅ−Ｓｉ−Ｎｉ系析出物サイズは上記範囲が望ましい。なお、さらに望ましい下限は１．５μｍ、さらに望ましい上限は３μｍである。
（２）密度：１０３〜１０６個／ｃｍ２
上記サイズのＡｌ−Ｆｅ−Ｓｉ−Ｎｉ系析出物の密度が１０３個／ｃｍ２未満の場合、カソードサイトの数が不十分となり、均一にエッチングされず好ましくない。一方、１０６個／ｃｍ２超の場合、単位面積当たりの析出物数が多過ぎ、過溶解や表面の脱落が発生するため、好ましくない。このため、上記Ａｌ−Ｆｅ−Ｓｉ−Ｎｉ系析出物の密度は上記範囲が望ましい。なお、さらに望ましい下限は１０４個／ｃｍ２、さらに望ましい上限は１０５個／ｃｍ２である。
【発明の効果】
【００１５】
以上、説明したように本発明の電解コンデンサ電極用アルミニウム箔によれば、質量％で、Ｓｉ：０．０１〜０．３０％、Ｆｅ：０．０１〜０．３０％、Ｎｉ：０．００２１〜０．０５％含有し、前記Ｆｅ含有量およびＳｉ含有量におけるＦｅ／Ｓｉ比が１〜４であり、残部がＡｌと不可避不純物からなる組成に調整することで、適切な量のＡｌ−Ｆｅ−Ｓｉ−Ｎｉ系析出物が析出するように制御可能となる。さらに、円相当径１〜５μｍのＡｌ−Ｆｅ−Ｓｉ−Ｎｉ系析出物を１０３〜１０６個／ｃｍ２の密度で存在させることで、無電解エッチング時の局部電池反応における良好なカソードサイトとなり、エッチング性を確実に高める。
【００１６】
また、本発明の電解コンデンサ電極用アルミニウム箔の製造方法によれば、質量％で、Ｓｉ：０．０１〜０．３０％、Ｆｅ：０．０１〜０．３０％、Ｎｉ：０．００２１〜０．０５％含有し、前記Ｆｅ含有量およびＳｉ含有量におけるＦｅ／Ｓｉ比が１〜４であり、残部がＡｌと不可避不純物からなる組成に調整されたアルミニウム合金を、５６０℃以上、１時間以上で均質化処理を施すので、適切なサイズのＡｌ−Ｆｅ−Ｓｉ−Ｎｉ系析出物を適量で確実に均一形成することができる。
これらのことから、本発明は純Ａｌ系が持つ高い信頼性を維持したままエッチング性を向上させることができ、さらに無電解エッチングの採用も可能となるので、低コストで信頼性の高い電解コンデンサ電極を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下に、本発明の一実施形態を図１に基づいて説明する。
本発明の合金組成に調整したアルミニウム合金は、半連続鋳造などによる常法などにより溶製することができる（工程１）。本発明としては特にその溶製方法が特定されるものではない。得られた合金鋳塊は、５６０℃以上、１時間以上の均質化処理（工程２）を行う。該均質化処理は、適宜の加熱炉などを用いて行うことができ、加熱方法、加熱手段が特に限定されるものではない。均質化処理後のアルミニウム合金に対しては、常法により熱間圧延を行うことができる。熱間圧延前（工程４）には、アルミニウム合金に対し均熱する（工程３）こともでき、例えば５３０℃以上に加熱する。本発明としては、熱間圧延における条件は特に限定をされるものではない。熱間処理後に、箔圧延を含む冷間圧延を行う。
【００１８】
冷間圧延に際しては中間焼鈍を行ってもよい。この中間焼鈍前に、７５％以上、９８％未満の圧下率で冷間圧延（工程５）を行うのが望ましい。中間焼鈍（工程６）は、３００〜５００℃の加熱温度を条件にして１〜９時間の保持時間で行うことができる。中間焼鈍は、既知の焼鈍炉などを用いて行うことができる。中間焼鈍後は、最終厚さの箔にまで冷間圧延（工程７）を行う。中間焼鈍後の圧下率は本発明としては特に限定をしないが、例えば７０〜９９％の圧下率とすることができる。
上記冷間圧延によって、例えば数十μｍから１００μｍ程度のアルミニウム箔を得ることができるが、本発明としては最終品としてのアルミニウム箔の厚さが特に限定されるものではない。
【００１９】
上記各工程を経て得られたアルミニウム箔には、その後、熱処理を施すことなく、エッチング処理（工程８）がなされる。なお、冷間圧延終了後に熱処理を行うと、回復や再結晶が起こり、強度低下を引き起こすため、冷間圧延後に熱処理を施さないのが望ましい。
エッチング工程は塩酸を主体とする電解液や塩酸を含まない（１０００ｐｐｍ以下）電解液を用いた電解エッチングや無電解エッチングにより行うことができる。コスト面では無電解エッチングが有利である。
エッチング処理においては、ピットが高密度で均一に形成され、未エッチング部が生じることなく高い粗面化率が得られる。この箔を化成処理し、必要な耐電圧を得た後、常法により電解コンデンサに電極として組み込むことにより静電容量の高いコンデンサが得られる。本発明としては化成処理の方法が特に限定されるものではない。
【００２０】
本発明は電解コンデンサの陰極として使用するのが好適であるが、本発明としてはこれに限定されるものではなく、例えば耐電圧の低い電解コンデンサの陽極としても使用することができる。
【実施例１】
【００２１】
次に、本発明の実施例を説明する。
表１に示す組成（残部Ａｌおよび不可避不純物）において、常法によりアルミニウム合金鋳塊を溶製し、該アルミニウム合金鋳塊に対し、表１に示す条件において均質化処理を行った。その後、５３０℃×４時間で均熱処理した後、熱間圧延で板厚７ｍｍに仕上げた後、圧下率８５％で冷間圧延を行い、その後、４００℃×４時間の条件で中間焼鈍を行い、さらに、最終板厚５０μｍに冷間圧延をして供試材を得た。
得られた供試材について、ＳＥＭ−ＥＤＳによりＡｌ−Ｆｅ−Ｓｉ−Ｎｉ系析出物として確認された粒子に対し、画像解析を行う方法により断面部のＡｌ−Ｆｅ−Ｓｉ−Ｎｉ系析出物（１〜５μｍ円相当径）の密度を観察した。その結果を表１に示した。
【００２２】
上記供試材を、
第１段階：６Ｍ−ＨＣｌ＋０．５Ｍ−Ｈ３ＰＯ４、５０℃×６０ｓｅｃ
第２段階：２Ｍ−ＨＣｌ＋１．５Ｍ−Ｈ３ＰＯ４、４０℃×１８０ｓｅｃ
の条件でエッチング処理した後、８５℃のアジピン酸アンモニウム溶液中で３Ｖ化成後、静電容量を測定した。静電容量は、供試材Ｎｏ．１の静電容量を１００とした相対評価により行った。これらの結果を表１に示した。
表１から明らかなように、本発明のアルミニウム材組成を有するものは優れた静電容量を有しており、さらに、本発明の製造条件の採用によって該静電容量はより優れたものとなった。特に、Ａｌ−Ｆｅ−Ｓｉ−Ｎｉ系析出物（１〜５μｍ円相当径）が本発明範囲内の密度で析出していた供試材は、エッチングの結果、より優れた静電容量を示した。一方、本発明のアルミニウム材組成を有しないものは、静電容量に劣っていた。
【００２３】
【表１】
2008177522.tif 000003
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の一実施形態における工程順を示すフロー図である。
【図１】
2008177522.tif 000004
【手続補正書】
【提出日】平成20年1月16日(2008.1.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
質量％で、Ｓｉ：０．０１〜０．３０％、Ｆｅ：０．０１〜０．３０％、Ｎｉ：０．００２１〜０．０５％含有し、前記Ｆｅ含有量およびＳｉ含有量におけるＦｅ／Ｓｉ比が１．５〜４であり、残部がＡｌと不可避不純物からなることを特徴とする電解コンデンサ電極用アルミニウム箔。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
すなわち、本発明のうち、第１の発明の電解コンデンサ電極用アルミニウム箔は、質量％で、Ｓｉ：０．０１〜０．３０％、Ｆｅ：０．０１〜０．３０％、Ｎｉ：０．００２１〜０．０５％含有し、前記Ｆｅ含有量およびＳｉ含有量におけるＦｅ／Ｓｉ比が１．５〜４であり、残部がＡｌと不可避不純物からなることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
以上、説明したように本発明の電解コンデンサ電極用アルミニウム箔によれば、質量％で、Ｓｉ：０．０１〜０．３０％、Ｆｅ：０．０１〜０．３０％、Ｎｉ：０．００２１〜０．０５％含有し、前記Ｆｅ含有量およびＳｉ含有量におけるＦｅ／Ｓｉ比が１．５〜４であり、残部がＡｌと不可避不純物からなる組成に調整することで、適切な量のＡｌ−Ｆｅ−Ｓｉ−Ｎｉ系析出物が析出するように制御可能となる。さらに、円相当径１〜５μｍのＡｌ−Ｆｅ−Ｓｉ−Ｎｉ系析出物を１０３〜１０６個／ｃｍ２の密度で存在させることで、無電解エッチング時の局部電池反応における良好なカソードサイトとなり、エッチング性を確実に高める。
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2008177522.tif 000005
【手続補正書】
【提出日】平成20年6月16日(2008.6.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
質量％で、Ｓｉ：０．０１〜０．１５％、Ｆｅ：０．０１〜０．１５％、Ｎｉ：０．００５１〜０．０５％含有し、前記Ｆｅ含有量およびＳｉ含有量におけるＦｅ／Ｓｉ比が１〜４であり、残部がＡｌと不可避不純物からなる組成を有し、円相当径１〜５μｍのＡｌ−Ｆｅ−Ｓｉ−Ｎｉ系の析出物が１０３〜１０５個／ｃｍ２の密度で存在していることを特徴とする電解コンデンサ電極用アルミニウム箔。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
この発明は、電解コンデンサの電極に用いられるアルミニウム箔に関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
本発明は、上記事情を背景としてなされたものであり、無電解エッチングにおいても均一性の高いエッチングが可能であり、したがってコストが安く、かつ信頼性の高いアルミニウム箔を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
すなわち、本発明のうち、第１の発明の電解コンデンサ電極用アルミニウム箔は、質量％で、Ｓｉ：０．０１〜０．１５％、Ｆｅ：０．０１〜０．１５％、Ｎｉ：０．００５１〜０．０５％含有し、前記Ｆｅ含有量およびＳｉ含有量におけるＦｅ／Ｓｉ比が１〜４であり、残部がＡｌと不可避不純物からなる組成を有し、円相当径１〜５μｍのＡｌ−Ｆｅ−Ｓｉ−Ｎｉ系の析出物が１０３〜１０５個／ｃｍ２の密度で存在していることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
Ｓｉ：０．０１〜０．１５％
Ｓｉは金属間化合物の析出を促し、また化合物中に取り込まれると、化合物の電位を貴にする作用があり、マトリックスとの電位差を増大させ、エッチング性を高めるので含有させる。ただし、０．０１％未満では、Ｓｉの絶対量が少なく、その作用が十分発揮されない。また、高純度化のためにコストアップとなる。一方、０．１５％を超えると、析出が進行し、過溶解となり、エッチング形態が不均一となるので、静電容量が低下する。このため、Ｓｉ含有量を上記範囲に定める。なお、望ましい下限は０．０２％である。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
Ｆｅ：０．０１〜０．１５％
Ｆｅはエッチングの起点となる析出物を形成させ、強度を高める作用があるので含有させる。ただし、０．０１％未満ではＦｅの絶対量が少なく、その作用が十分発揮されない。また、高純度化のためにコストアップとなる。一方、０．１５％を超えると、析出が進行し、過溶解となり、エッチング形態が不均一になるので、静電容量が低下する。このため、Ｆｅ含有量を上記範囲に定める。なお、望ましい下限は０．０２％である。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
Ｎｉ：０．００５１〜０．０５％
ＮｉはＡｌ−Ｆｅ−Ｓｉ−Ｎｉ系析出物を形成するので含有させる。該析出物はＡｌと比較して電位的に貴であり、バルクとの間で局部電池反応を起こし、カソードサイトとして作用することでエッチング性を向上させる。ただし、０．００５１％未満では十分な数のＡｌ−Ｆｅ−Ｓｉ−Ｎｉ系析出物が得られず、分散が不十分のため、不均一なエッチング形態となる。一方、０．０５％超では、大きな析出物が形成され易くなり、エッチングにより粗大なピットが発生するので、好ましくない。このため、Ｎｉ含有量を上記範囲に定める。なお、望ましい上限は０．０３％である。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
Ａｌ−Ｆｅ−Ｓｉ−Ｎｉ系析出物
（１）サイズ：円相当径１〜５μｍ
Ａｌ−Ｆｅ−Ｓｉ−Ｎｉ系析出物は、エッチング時の局部電池反応におけるカソードサイトとなり、エッチング性を高め、且つ深さ方向へのエッチングの進行を高める。ただし、サイズが１μｍ未満の場合、カソードサイトとしての効果が十分でなく、均一なエッチングが確実になされない。一方、５μｍ超の場合、カソードサイトとしての効果は十分であるが、析出物周辺が溶解することによって析出物の脱落が発生し、粗大なピットとなり好ましくない。このため、Ａｌ−Ｆｅ−Ｓｉ−Ｎｉ系析出物サイズは上記範囲が望ましい。なお、さらに望ましい下限は１．５μｍ、さらに望ましい上限は３μｍである。
（２）密度：１０３〜１０５個／ｃｍ２
上記サイズのＡｌ−Ｆｅ−Ｓｉ−Ｎｉ系析出物の密度が１０３個／ｃｍ２未満の場合、カソードサイトの数が不十分となり、均一にエッチングされず好ましくない。一方、１０５個／ｃｍ２超の場合、単位面積当たりの析出物数が多過ぎ、過溶解や表面の脱落が発生するため、好ましくない。このため、上記Ａｌ−Ｆｅ−Ｓｉ−Ｎｉ系析出物の密度は上記範囲が望ましい。なお、さらに望ましい下限は１０４個／ｃｍ２である。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
以上、説明したように本発明の電解コンデンサ電極用アルミニウム箔によれば、質量％で、Ｓｉ：０．０１〜０．１５％、Ｆｅ：０．０１〜０．１５％、Ｎｉ：０．００５１〜０．０５％含有し、前記Ｆｅ含有量およびＳｉ含有量におけるＦｅ／Ｓｉ比が１〜４であり、残部がＡｌと不可避不純物からなる組成を有し、円相当径１〜５μｍのＡｌ−Ｆｅ−Ｓｉ−Ｎｉ系の析出物が１０３〜１０５個／ｃｍ２の密度で存在していることで、無電解エッチング時の局部電池反応における良好なカソードサイトとなり、エッチング性を確実に高める。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
【表１】
2008177522.tif 000006