(57)【要約】【課題】横モードスプリアスによる周波数特性のゆがみを十分に減少させることが可能な弾性表面波素子を提供すること。【解決手段】弾性表面波のうち少なくとも横モード成分を表面波励振電極３の方向とは異なる方向へ反射する反射面７ａを有する反射部材７が圧電基板２上に設けられており、この反射面７ａが平面になっていると共に弾性表面波の伝播方向（圧電基板２の長手方向）に対して平面視で所定の角度α（α＝１０°〜４０°）を成すように設けられているので、当該反射面７ａにおいて横モード成分を表面波励振電極３とは異なる方向に反射・分散させることができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電基板と、
前記圧電基板上に設けられ、主振動モード成分及び横モード成分を含み前記圧電基板の表面を伝播する少なくとも一つの表面波の発信電極または前記発信電極及び前記発信電極からの信号の受信を行う表面波受信電極を含む表面波励振電極と、
前記圧電基板上に設けられ、前記表面波のうち少なくとも前記主振動モード成分を前記表面波励振電極の方向へ反射する反射器と、
前記圧電基板上に設けられ、前記表面波のうち少なくとも前記横モード成分を前記表面波励振電極の方向とは異なる方向へ反射する反射面を有する反射部材と
を具備し、
前記反射面が平面になっていると共に前記表面波の伝播方向に対して平面視で所定の角度を成すように設けられている
ことを特徴とする弾性表面波素子。
【請求項２】
前記表面波励振電極、前記反射器及び前記反射部材が、前記圧電基板上の第１方向上に順に設けられている
ことを特徴とする請求項１に記載の弾性表面波素子。
【請求項３】
前記反射部材が設けられた領域の前記第１方向の寸法が、前記反射器の前記第１方向の寸法よりも大きい
ことを特徴とする請求項２に記載の弾性表面波素子。
【請求項４】
前記反射部材が設けられた領域の前記第１方向に直交する第２方向の寸法が、前記反射器の前記第２方向の寸法よりも大きい
ことを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の弾性表面波素子。
【請求項５】
前記表面波励振電極及び前記反射器が、前記圧電基板上の第１方向上に設けられており、
前記反射部材が、前記表面波励振電極の前記第１方向に直交する第２方向側に設けられている
ことを特徴とする請求項１乃至請求項４のうちいずれか一項に記載の弾性表面波素子。
【請求項６】
前記表面波励振電極に対して前記第２方向側の反射部材が設けられた領域の前記第１方向の寸法が、前記表面波励振電極の前記第１方向の寸法よりも大きい
ことを特徴とする請求項５に記載の弾性表面波素子。
【請求項７】
前記反射器の前記表面波についての反射率が、完全反射に対して５０％以上９５％以下である
ことを特徴とする請求項１乃至請求項６のうちいずれか一項に記載の弾性表面波素子。
【請求項８】
前記反射部材が前記反射器に設けられている
ことを特徴とする請求項１乃至請求項７のうちいずれか一項に記載の弾性表面波素子。
【請求項９】
前記表面波が、レイリー波、セザワ波又はＳＨ波のうち少なくとも１種類の波を含んでいる
ことを特徴とする請求項１乃至請求項８のうちいずれか一項に記載の弾性表面波素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、弾性表面波素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
弾性表面波（Surface Acoustic Wave：ＳＡＷ）を利用した弾性表面波フィルタは、高周波領域のフィルタとして携帯電話などの通信機器をはじめ、各種電子機器に広く用いられている。このような弾性表面波フィルタは、水晶などからなる圧電基板上に櫛型の電極（Interdigital Transducer：ＩＤＴ）を配置した弾性表面波素子を備えている。
【０００３】
弾性表面波素子は、櫛型電極に電圧を印加することによって圧電基板上に弾性表面波を生成し、当該弾性表面波を圧電基板の表面に沿って伝播させる構成になっており、この構成に加えて櫛型電極を挟むように反射器が設けられているのが一般的である。反射器は、櫛型電極の外側に放出された弾性表面波を再び櫛型電極内へと反射するものである。反射器を設けることで弾性表面波の損失を抑えることが可能となっている。
【０００４】
一方、圧電基板上を伝播する弾性表面波には主振動モードの他に横モードと呼ばれるモードが含まれており、この横モードによるスプリアス（横モードスプリアス）のため周波数特性がゆがめられてしまうという問題がある。これに対して、特許文献１に示すように、ＩＤＴに重み付けをする、ＩＤＴの接続部（バスバー部）の設計を変更するなどの手法によって横モードを減衰させ、周波数特性のゆがみを減少させようとする提案がなされている。  
【特許文献１】特開平５−２５１９８４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の構成では、表面集中型の弾性表面波についてはある程度の効果は認められるものの、レイリー波やセザワ波など比較的多く用いられる弾性表面波を伝播させる場合には横モードを減衰させることが困難であり、周波数特性のゆがみを十分に減少できないという問題がある。  
以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、横モードスプリアスによる周波数特性のゆがみを十分に減少させることが可能な弾性表面波素子を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明に係る弾性表面波素子は、圧電基板と、前記圧電基板上に設けられ、主振動モード成分及び横モード成分を含み前記圧電基板の表面を伝播する少なくとも一つの表面波の発信電極または前記発信電極及び前記発信電極からの信号の受信を行う表面波受信電極を含む表面波励振電極と、前記圧電基板上に設けられ、前記表面波のうち少なくとも前記主振動モード成分を前記表面波励振電極の方向へ反射する反射器と、前記圧電基板上に設けられ、前記表面波のうち少なくとも前記横モード成分を前記表面波励振電極の方向とは異なる方向へ反射する反射面を有する反射部材とを具備し、前記反射面が平面になっていると共に前記表面波の伝播方向に対して平面視で所定の角度を成すように設けられていることを特徴とする。  
本発明によれば、圧電基板上に設けられ表面波のうち少なくとも横モード成分を表面波励振電極の方向とは異なる方向へ反射する反射面を有する反射部材を具備しており、この反射面が平面になっていると共に表面波の伝播方向に対して平面視で所定の角度を成すように設けられているので、当該反射面において横モード成分を表面波励振電極とは異なる方向に反射・分散させることができる。このため、表面波励振電極内を伝播する横モード成分を減少させることができ、横モードスプリアスによる周波数特性のゆがみを十分に減少させることが可能となる。なお、「所定の角度」としては、横モード成分を十分に反射・分散させることが可能な角度することが好ましく、具体的には表面波の伝播方向に対して平面視で１０°〜４０°程度の角度を成すように設定することが好ましい。
【０００７】
また、前記表面波励振電極、前記反射器及び前記反射部材が、前記圧電基板上の第１方向上に順に設けられていることが好ましい。  
表面波励振電極で生成される表面波のうち特に横モード成分は反射器によって反射されずに通過することが多い。この反射器を通過した表面波は、圧電基板の端辺や圧電基板に設けられる他の部材などによって反射され再び表面波励振電極内に戻ってくることがある。この場合、表面波に含まれる横モード成分についても表面波励振電極内に戻ってくることになる。これに対して、本発明によれば、表面波励振電極、反射器及び反射部材が、圧電基板上の第１方向上に順に設けられているので、表面波励振電極で生成されて反射器を通過した表面波の横モード成分を確実に減衰させることができ、横モード成分が表面波励振電極内に戻ることを防ぐことができる。
【０００８】
また、前記反射部材が設けられた領域の前記第１方向の寸法が、前記反射器の前記第１方向の寸法よりも大きいことが好ましい。  
本発明によれば、反射部材が設けられた領域の第１方向の寸法が、反射器の第１方向の寸法よりも大きいので、確実に横モード成分を反射することができる。
【０００９】
また、前記反射部材が設けられた領域の前記第１方向に直交する第２方向の寸法が、前記反射器の前記第２方向の寸法よりも大きいことが好ましい。  
本発明によれば、反射部材が設けられた領域の第２方向（第１方向に直交する方向）の寸法が、反射器の第２方向の寸法よりも大きいので、反射部材によって反射器の反射領域よりも広い領域をカバーすることができる。これにより、確実に横モード成分を減衰させることができる。
【００１０】
また、前記表面波励振電極及び前記反射器が、前記圧電基板上の第１方向上に設けられており、前記反射部材が、前記表面波励振電極の前記第１方向に直交する第２方向側に設けられていることが好ましい。  
本発明によれば、表面波励振電極及び反射器が、圧電基板上の第１方向上に設けられており、反射部材が表面波励振電極の第２方向（第１方向に直交する方向）側に設けられているので、反射器が設けられていない領域においても横モード成分を減衰させることができる。
【００１１】
また、前記表面波励振電極に対して前記第２方向側の反射部材が設けられた領域の前記第１方向の寸法が、前記表面波励振電極の前記第１方向の寸法よりも大きいことが好ましい。  
本発明によれば、表面波励振電極に対して第２方向側の反射部材が設けられた領域の第１方向の寸法が、表面波励振電極の第１方向の寸法よりも大きいので、反射部材によって表面波励振電極が設けられた領域よりも広い領域をカバーすることができる。これにより、横モード成分を確実に減衰させることができる。
【００１２】
また、前記反射器の前記表面波についての反射率が、完全反射に対して５０％以上９５％以下であることが好ましい。  
反射器の表面波についての反射率について、完全反射（反射率１００％）にする場合に比べて完全反射よりも低くする（反射率１００％未満）場合の方が横モードスプリアスの影響が少なく、周波数特性が高くなることが知られている。一方で、反射率を低くしすぎると、表面波の挿入損失が大きくなってしまうことが知られている。そこで、本発明では、反射器の表面波についての反射率が、完全反射に対して５０％以上９５％以下とした。反射率を５０％以上とすることにより、挿入損失を５ｄＢ程度に抑えることができる。５ｄＢ程度の挿入損失であれば、弾性表面波素子の動作に目だった悪影響を及ぼすことは無い。また、反射率を９５％以下とすることにより、周波数特性を確実に向上させることができる。
【００１３】
また、前記反射部材が前記反射器に設けられていることが好ましい。  
本発明によれば、反射部材が反射器に設けられていることとしたので、圧電基板上に設けられる反射部材がその分多くなる。これにより、確実に横モード成分を減衰させることができる。また、反射器内に反射部材を設けた分、圧電基板の他の部分に設ける反射部材を減らすことも可能である。この場合、圧電基板上に反射部材を設けるスペースを節約することが可能となるため、圧電基板を小型化できるという利点もある。
【００１４】
また、前記表面波が、レイリー波、セザワ波又はＳＨ波のうち少なくとも１種類の波を含んでいることが好ましい。  
本発明によれば、表面波が、レイリー波、セザワ波又はＳＨ波に含まれる横モード成分を減衰させることができるので、従来に比べて表面波の選択の範囲が広がることになる。また、多種類の表面波に対応可能となるため、弾性表面波素子の汎用性が高くなるという利点もある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
［第１実施形態］  
本発明の第１実施形態を図面に基づき説明する。  
図１は、本実施形態に係る弾性表面波素子の構成を示す平面図である。  
同図に示すように、弾性表面波素子１は、圧電基板２と、当該圧電基板２上に設けられた表面波励振電極３、反射器５及び反射部材７とを主体として構成されている。この弾性表面波素子１は、例えば高周波領域のフィルタや発振器用共振子として用いられる。
【００１６】
圧電基板２は、例えば水晶やタンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ３）、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ３）などの圧電材料からなる矩形の基材２ａ（図２参照）を主体とした基板である。圧電基板２は長手方向及び短手方向を有している。以下、図１において圧電基板２の短手方向を上下方向とも表記し、圧電基板２の長手方向を左右方向とも表記する。
【００１７】
表面波励振電極３は、圧電基板２上の表面中央部に設けられており、アルミニウムやアルミニウム合金などの金属材料からなる複数の電極指４と、当該複数の電極指４の一端を接続する４本のバスバー１１とを有している。  
電極指４は、圧電基板２の短手方向に延在しており、圧電基板２の長手方向にストライプ状に配列されている。電極指４は、圧電基板２の長手方向に１本ずつ上下にずれるように配列されている。この電極指４のピッチは、フィルタリングする高周波の波長に対応しており、当該電極指４のピッチの２倍と同一の長さの波長を有する高周波が抽出されるようになっている。
【００１８】
バスバー１１は、例えば図中左上側、右下側、左下側、右上側に１つずつ設けられている（バスバー１１ａ〜１１ｄ）。図中左上側のバスバー１１ａは、図中左側に配列されている電極指４を一つおきに、当該電極指４の上側を接続するように設けられている。図中右下側のバスバー１１ｂは、図中右側に配列されている電極指４を一つおきに、当該電極指４の下側を接続するように設けられている。図中左下側のバスバー１１ｃは、図中左側に配列されている電極指４のうちバスバー１１ａに接続された電極指４とは異なる電極指４の下側を接続するように設けられている。図中右上側のバスバー１１ｄは、図中右側に配列されている電極指４のうちバスバー１１ｂに接続された電極指４とは異なる電極指４の上側を接続するように設けられている。このように、各バスバー１１によってそれぞれ複数の電極指４が接続されることで、４つの櫛型電極１２（１２ａ〜１２ｄ）が形成されている。
【００１９】
４つの櫛型電極１２は、図中上下に配置される櫛型電極１２同士が隙間を空けて噛み合った状態になっている。すなわち、櫛型電極１２ａと櫛型電極１２ｃとが噛み合っていると共に、櫛型電極１２ｂと櫛型電極１２ｄとが噛み合った状態になっている。櫛型電極１２の噛み合った部分の上下方向の寸法が交差幅Ｗ０である。この交差幅Ｗ０は、抽出する弾性表面波の波長をλとすると一般的には１０〜１５０λの長さになっている。
【００２０】
４つの櫛型電極１２のうち櫛型電極１２ａは、圧電基板２に電気信号を入力する入力電極１３ａに接続されている。櫛型電極１２ｂは、圧電基板２から電気信号を出力する出力電極１３ｂに接続されている。櫛型電極１２ｃ及び櫛型電極１２ｄは、それぞれグランド電極１３ｃ、１３ｄに接続されている。
【００２１】
反射器５は、表面波励振電極３で生成される表面波を反射するものであり、表面波励振電極３を挟むように当該表面波励振電極３の長手方向の両側に１つずつ設けられている。この反射器５は、アルミニウムやアルミニウム合金などの金属材料からなる複数の導体ストリップ６を有しており、各導体ストリップ６が圧電基板２の短手方向の両端を接続された構成になっている。反射器５は、表面波の反射率が完全反射に対して５０％以上９５％以下となるように形成されている。
【００２２】
反射部材７は、圧電基板２の長手方向の端辺側の領域１０に、表面波励振電極３及び反射器５を挟むように設けられている。したがって、表面波励振電極３から図中左方向に反射器５、領域１０と順に配列されていることになる。同様に、表面波励振電極３から図中右方向にも反射器５、領域１０が順に配列されていることになる。
【００２３】
この領域１０は、圧電基板２の短手方向の寸法Ｗ１が同方向における反射器５の寸法Ｗ２よりも大きくなっていると共に、圧電基板２の長手方向の寸法Ｌ１が同方向における反射器５の寸法Ｌ２よりも大きくなっている。したがって、反射器５に比べて広い領域に亘って設けられていることになる。
【００２４】
反射部材７は、この領域１０に複数配列されている。反射部材７の配置については、マトリクス状に配置しても良いし、ランダムな位置に配置しても良い。例えば図１においては、反射部材７が圧電基板２の短手方向に沿って配列されており、各販社部材７の短手方向のピッチが列毎に異なるように配置されている。
【００２５】
反射部材７は、表面波励振電極３から伝播される表面波のうち少なくとも横モードを反射する反射面７ａを有している。この反射面７ａは平面になっており、表面波の伝播方向（圧電基板２の長手方向）に対して平面視で例えば角度α（α＝１０°〜４０°）程度傾くように設けられている。本実施形態では、１つの反射部材７について、図中上側に傾く反射面及び図中下側に傾く反射面の２つの反射面７ａが設けられており、反射部材７の平面視での形状がＶ字状になっている。各反射部材７の寸法については圧電基板２上に配置可能な寸法であれば所望の寸法に設定することが可能である。反射部材７の形状及び寸法、反射面７ａの角度及び面積については、すべての反射部材７において同一としても良いし、反射部材７ごとに異なるようにしても良い。例えば図１においては、上記の反射部材７の列毎に反射部材７の形状、寸法、反射面７ａの角度、面積のそれぞれが異なるように設けられている。
【００２６】
このように構成された弾性表面波素子１の動作を説明する。入力電極１３ａに所定の電気信号を供給すると、櫛型電極１２ａを介して圧電基板２に電圧が加わり、圧電効果によって圧電基板２の表面に表面波が発生する。このとき発生する表面波は、圧電基板２の表面と平行な変位成分を有する弾性表面波であり、例えばレイリー波、セザワ波、ＳＨ波などである。
【００２７】
図２に示すように、圧電基板２の表面に発生した弾性表面波ｋは導波路層２０を圧電基板２の長手方向に沿って伝播する。この弾性表面波ｋは、高速位相領域２２との境界で全反射を繰り返しながら低速位相領域２１内を伝播する。この全反射時の角度θは伝搬角と呼ばれている。主振動モード成分のうち、一定の角度範囲の伝搬角で高速位相領域２２に入射する弾性表面波の成分については、導波モード成分と呼ばれている。当該伝搬角θの範囲を超えて高速位相領域２２との境界に入射する弾性表面波は、全反射せずにエネルギーを放射しながら減衰する。本実施形態では、低速位相領域２１は表面波励振電極３に該当し、高速位相領域２２はバスバー１１に該当する。
【００２８】
導波モード成分は、圧電基板２の長手方向に沿って伝搬する主振動モード成分の他、当該主振動モード成分の伝搬方向に対して横方向（圧電基板２の短手方向）の変位する成分も有している。この横方向に変位する成分は横モード成分と呼ばれている。横モード成分は、主振動モード成分とは別の周波数特性を示すため、周波数特性の歪みの原因となる。この横モードによる周波数特性の歪みは、横モードスプリアスと呼ばれている。
【００２９】
図１に示すように、このような成分を含んだ弾性表面波Ｓ１は、圧電基板２の表面（導波路層２０）を長手方向に沿って伝播し、櫛型電極１２ｂに達する。また、弾性表面波のうち一部（Ｓ２）は反射器５によって反射され、エネルギーが閉じ込められて表面横波と呼ばれる弾性表面波となる。櫛型電極１２ａからの弾性表面波成分Ｓ１及び反射器５からの弾性表面波成分Ｓ２が櫛型電極１２ｂに達すると、当該弾性表面波成分Ｓ１、Ｓ２の振幅に応じた電圧が櫛型電極１２ｂと櫛型電極１２ｄとの間に発生する。このとき発生した電圧が出力信号として出力電極１３ｂから抽出されることになる。
【００３０】
一方、反射器５の弾性表面波についての反射率が５０％以上９５％以下であるため、弾性表面波のうち反射器５で反射されない成分Ｓ３がある。この反射器５を透過する成分Ｓ３は、上述の横モード成分を多く含んでいる。この成分Ｓ３は、反射器５を透過して反射部材７が設けられた領域１０に達すると、図３に示すように、反射部材７の反射面７ａによって表面波励振電極３とは異なる方向に反射又は分散されることになる。
【００３１】
このように、本実施形態によれば、弾性表面波のうち少なくとも横モード成分を表面波励振電極３の方向とは異なる方向へ反射する反射面７ａを有する反射部材７が圧電基板２上に設けられており、この反射面７ａが平面になっていると共に弾性表面波の伝播方向（圧電基板２の長手方向）に対して平面視で所定の角度α（α＝１０°〜４０°）を成すように設けられているので、当該反射面７ａにおいて横モード成分を表面波励振電極３とは異なる方向に反射・分散させることができる。このため、表面波励振電極３内を伝播する横モード成分を減少させることができ、横モードスプリアスによる周波数特性のゆがみを十分に減少させることが可能となる。
【００３２】
また、表面波励振電極３で生成される弾性表面波のうち特に横モード成分は反射器５によって反射されずに通過することが多い。この反射器５を通過した弾性表面波は、圧電基板２の端辺などによって反射され再び表面波励振電極３内に戻ってくることがある。この場合、弾性表面波に含まれる横モード成分についても表面波励振電極３内に戻ってくることになる。これに対して、本実施形態によれば、表面波励振電極３、反射器５及び反射部材７が、圧電基板２上の左右方向上にそれぞれ順に設けられているので、表面波励振電極３で生成されて反射器５を通過して伝播してきた弾性表面波の横モード成分を確実に減衰させることができ、横モード成分が表面波励振電極３内に戻ることを防ぐことができる。
【００３３】
また、本実施形態によれば、反射部材７の設けられた領域１０の左右方向（圧電基板２の長手方向）の寸法が、反射器５の左右方向の寸法よりも大きいので、確実に横モード成分を反射することができる。
【００３４】
また、本実施形態によれば、反射部材７の設けられた領域１０の上下方向（圧電基板２の短手方向）の寸法が、反射器５の上下方向の寸法よりも大きいので、反射部材７によって反射器５の反射領域よりも広い領域をカバーすることができる。これにより、確実に横モード成分を減衰させることができる。
【００３５】
［第２実施形態］  
次に、本発明の第２実施形態を説明する。本実施形態では、反射部材の配置及び構成が第１実施形態とは異なっており、その他の構成は第１実施形態と同一である。以下、第１実施形態とは構成の異なる点を中心に説明する。
【００３６】
本実施形態に係る弾性表面波素子１０１では、反射部材１０７が圧電基板１０２の長手方向の端辺側の領域１１０に表面波励振電極１０３及び反射器１０５を挟むように設けられているほか、反射器１０５が設けられない領域、すなわち、表面波励振電極１０３に対して圧電基板１０２の短手方向側の領域１２０にも設けられている。
【００３７】
領域１２０に設けられている反射部材１０７には、反射面１０７ａが圧電基板１０２の短手方向の両側に設けられたＶ字型の反射部材のほか、反射面１０７ａが片側にのみ設けられた反射部材も含まれている。この領域１２０は、圧電基板１０２の長手方向における寸法Ｗ３が、同方向における表面波励振電極１０３の寸法Ｗ４よりも大きくなっている。
【００３８】
このように、本実施形態では、反射部材１０７が表面波励振電極１０３に対して圧電基板２の短手方向側の領域１２０に設けられているので、反射器１０５が設けられていない領域１２０においても横モード成分を減衰させることができる。  
また、領域１２０のうち圧電基板１０２の長手方向における寸法Ｗ３が、同方向における表面波励振電極１０３の寸法Ｗ４よりも大きくなっているので、反射部材１０７によって表面波励振電極１０３が設けられた領域よりも広い領域をカバーすることができる。これにより、横モード成分を確実に減衰させることができる。
【００３９】
本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。  
例えば、図５に示すように、反射器５に直接反射部材７及び反射面７ａを設ける構成にしても構わない。反射部材７が反射器５にも設けられていることとしたので、圧電基板２上に設けられる反射部材７がその分多くなる。このとき、図５に示すように弾性表面波の伝播方向（図中波線矢印で示す）に向かう側（図中上側）に設けても良いし、当該伝播方向に向かう方向とは反対側（図中下側）に設けても良い。これにより、確実に横モード成分を減衰させることができる。また、反射器５内に反射部材７を設けた分、圧電基板２の他の部分に設ける反射部材７を減らすことも可能である。この場合、圧電基板２上に反射部材７を設けるスペースを節約することが可能となるため、圧電基板２を小型化できるという利点もある。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の第１実施形態に係る弾性表面波素子の構成を示す平面図。
【図２】弾性表面波素子うち圧電基板の表面の構成を示す斜視図。
【図３】反射部材において弾性表面波が反射される様子を示す図。
【図４】本発明の第２実施形態に係る弾性表面波素子の構成を示す平面図。
【図５】本発明に係る弾性表面波素子の他の構成を示す平面図。
【符号の説明】
【００４１】
１、１０１…弾性表面波素子  ２、１０２…圧電基板  ３、１０３…表面波励振電極  ４…電極指  ５、１０５…反射器  ７、１０７…反射部材  ７ａ、１０７ａ…反射面  １０、１１０、１２０…領域
【図１】
2008160668.tif 000003
【図２】
2008160668.tif 000004
【図３】
2008160668.tif 000005
【図４】
2008160668.tif 000006
【図５】
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