(57)【要約】【課題】泥水の侵入防止、耐摩擦性および耐摩耗性の向上を図ることができる、簡易な構成で安価な転がり軸受用シール装置およびこれを用いた転がり軸受を提供する。【解決手段】内周に外側転走面が形成された外方部材または外周に外側転走面に対向する内側転走面が形成された内方部材の一方に固定され、シールリップを一体に有するシール部材１４とこのシール部材１４を補強する芯金１３とからなる環状のシール板１２と、外方部材または内方部材の他方に設けられシールリップに当接するスリンガ１１とを備えた転がり軸受用シール装置９であって、このシール装置９は、スリンガ１１とシール板１２とが断面が略Ｌ字状に形成されて互いに対向配置され、かつスリンガ１１はシールリップ１４ａ、１４ｂ、１４ｃの摺接する面にＡＤ法により形成されたセラミックス被膜１１ｃを有する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内周に外側転走面が形成された外方部材または外周に前記外側転走面に対向する内側転走面が形成された内方部材の一方に固定され、シールリップを一体に有するシール部材とこのシール部材を補強する芯金とからなる環状のシール板と、前記外方部材または前記内方部材の他方に設けられ前記シールリップに当接するスリンガと、を備えた転がり軸受用シール装置であって、
前記シール装置は、前記スリンガと前記シール板とが断面が略Ｌ字状に形成されて互いに対向配置され、かつ前記スリンガは前記シールリップの摺接する面にエアロゾルデポジション法により形成されたセラミックス被膜を有することを特徴とする転がり軸受用シール装置。
【請求項２】
前記セラミックス被膜は、平均粒子径 0.01μm〜2μm のセラミックス微粒子をエアロゾル原料として使用した被膜であることを特徴とする請求項１記載の軸受用シール装置。
【請求項３】
前記セラミックス微粒子は、窒化珪素もしくは炭化珪素の微粒子であることを特徴とする請求項２記載の転がり軸受用シール装置。
【請求項４】
内周に外側転走面が形成された外方部材と、外周に前記外側転走面に対向する内側転走面が形成された内方部材と、これら両転走面間に回転自在に収容された転動体と、前記外方部材と内方部材間に形成された環状空間に装着されたシール装置とを備えた転がり軸受であって、
前記シール装置は請求項１、請求項２または請求項３記載の転がり軸受用シール装置であることを特徴とする転がり軸受。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、自動車用ホイール等に用いられる転がり軸受用シール装置に関し、特に実使用条件化での泥水の侵入防止および、低摩擦トルクおよび低摩耗性の向上が図られた転がり軸受用シール装置および該シール装置が組込まれた転がり軸受に関する。
【背景技術】
【０００２】
自動車等の車輪を支持する車輪用軸受装置は、車輪を取り付けるためのハブ輪を複列の転がり軸受を介して回転自在に支承するもので、駆動輪用と従動輪とがある。構造上の理由から、駆動輪用では内輪回転方式が、従動輪用では内輪回転と外輪回転の両方式が一般的に採用されている。また、車輪用軸受装置には、懸架装置を構成するナックルとハブ輪との間に複列アンギュラ玉軸受等からなる車輪用軸受を嵌合させた第１世代と称される構造から、外方部材の外周に直接車体取付フランジまたは車輪取付フランジが形成された第２世代構造、また、ハブ輪の外周に一方の内側転走面が直接形成された第３世代構造、あるいは、ハブ輪と等速自在継手の外側継手部材の外周にそれぞれ内側転走面が直接形成された第４世代構造とに大別されている。
【０００３】
これらの軸受部には、軸受内部に封入されたグリースの漏れを防止するとともに、外部から雨水やダスト等の侵入を防止するためにシール装置が装着されている。近年、自動車のメンテナンスフリー化が進み、車輪用軸受装置においてもさらなる長寿命化が要求されるようになっているが、市場回収品の軸受損傷状況を検証すると、剥離等の本来の軸受寿命よりも、シール不具合による損傷が多くを占めている。したがってシール装置の密封性と耐久性を高めることにより、軸受寿命の向上を図ることができる
【０００４】
内封された潤滑材を封止する構成の転がり軸受に用いるシールの密封性や耐久性を向上させるために、外輪側（または内輪側）に固定されたシール部材に設けたシールリップ（特にサイドリップ）が、内輪側（または外輪側）に対向して摺接するスリンガ金属面表面に施される硬質クロムメッキや無電解ニッケルメッキ等のメッキ処理、硬質金属メッキ、焼入処理、窒化珪素等のセラミックコーティングおよび各種皮膜をＰＶＤ法又はＣＶＤ法により施す、等の硬化処理が知られている（特許文献１参照）。
また、シールの接触抵抗による軸受の回転トルクを減少させるため、ラジアルリップを無くして２重の第１および第２サイドリップで構成し、スリンガ金属面表面に摺接させた。このことで高い密封性を確保するとともに、シールの接触抵抗を小さくする例が知られている（特許文献２参照）。
【０００５】
しかしながら、特許文献１に示されるような転がり軸受用シールにおける、泥水環境での泥粒等による研磨作用により生じるスリンガがシールのサイドリップとの摺接部における摩耗問題を、例えば硬質クロムメッキや硬質金属メッキ等の表面硬化層の形成で対策したとしても、ラジアルリップ部の摺接によりトルクが大きくなるという不具合があった。
また、特許文献２においても２重の第１および第２サイドリップで構成し、スリンガ金属面表面に摺接させることで、やはり特に第１サイドリップ部での摩耗問題が生じた。また車両の低燃費化からも、さらなるシールの接触抵抗に起因する摩擦力を減少させる必要がある。
【特許文献１】特開２００３−２６２２３１号公報
【特許文献２】特開２００５−２９１３０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明はこのような従来の問題に鑑みてなされたもので、シールリップと摺接する金属表面の摩耗量を減少させることができ、泥水の侵入防止および、耐摩擦性および耐摩耗性の向上を図ることができる、簡易な構成で安価な転がり軸受用シール装置およびこれを用いた転がり軸受を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の転がり軸受用シール装置は、内周に外側転走面が形成された外方部材または外周に上記外側転走面に対向する内側転走面が形成された内方部材の一方に固定され、シールリップを一体に有するシール部材とこのシール部材を補強する芯金とからなる環状のシール板と、上記外方部材または上記内方部材の他方に設けられ上記シールリップに当接するスリンガと、を備えた転がり軸受用シール装置であって、上記シール装置は、上記スリンガと上記シール板とが断面が略Ｌ字状に形成されて互いに対向配置され、かつ上記スリンガは上記シールリップの摺接する面にエアロゾルデポジション法(以下、ＡＤ法と記す)により形成されたセラミックス被膜を有することを特徴とする。
【０００８】
上記セラミックス被膜は、平均粒子径 0.01μm〜2μm のセラミックス微粒子をエアロゾル原料として使用した被膜であることを特徴とする。
また、上記セラミックス微粒子は、窒化珪素もしくは炭化珪素の微粒子であることを特徴とする。
【０００９】
本発明の転がり軸受は、内周に外側転走面が形成された外方部材と、外周に上記外側転走面に対向する内側転走面が形成された内方部材と、これら両転走面間に回転自在に収容された転動体と、上記外方部材と内方部材間に形成された環状空間に装着されたシール装置とを備えた転がり軸受であって、上記転がり軸受用シール装置を用いることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の転がり軸受用シール装置は、シールリップを一体に有するシール部材とこのシール部材を補強する芯金とからなる環状のシール板と、シールリップに当接するスリンガとを備えた転がり軸受用シール装置であって、上記スリンガはシールリップの当接する面にＡＤ法により形成された摩擦係数の低いセラミックス被膜を有するので、スリンガとシールリップとの摺接部において泥水環境で泥粒等が侵入しても、摩擦による回転トルクの増大や摩耗による摺接面の損傷等を防止することができ、密封性が向上する。
また、セラミックス被膜は窒化珪素の微粒子から形成されるので、摺接面でのトライボケミカル反応により酸化珪素が生成し、母材同士の固体接触を防ぎ、摩耗を減少させるとともに侵入した水と反応することで、潤滑材として作用して摩擦低減効果を付与することができる。
また、セラミックス被膜をＡＤ法で形成することで、ＰＶＤ法やＣＶＤ法で形成するセラミックス被膜に比べ成膜速度が格段に早くかつ高真空を必要としないため非常に安価に製造できる。
【００１１】
本発明の転がり軸受は上記シール装置を用いるので、シール装置における摺接面で、摩擦による回転トルクの増大や摩耗による摺接面の損傷等を防止することができ、長寿命化が図れる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態を図面に基いて詳細に説明する。
図１は、本発明の転がり軸受の実施形態を示す縦断面図である。この転がり軸受は、自動車の駆動輪を懸架装置に対して回転自在に支持する車輪用軸受に適用したものである。図２は図１のインナー側に設置される本発明のシール装置の一例を示す要部拡大図である。図３は図２のスリンガを示す斜視図である。なお、以下の説明では、車両に組み付けた状態で車両の外側寄りとなる側をアウター側(図面左側)、中央寄り側をインナー側(図面右側)という。
【００１３】
この車輪用軸受は従道輪用で、内方部材１と外方部材１０、および両部材１、１０間に転動自在に収容された複列の転動体(ボール)７、７とを備え、第３世代と称される構成をなしている。内方部材１は、ハブ輪２と、このハブ輪２に所定の締め代を介して圧入された内輪３とからなる。
【００１４】
ハブ輪２は一端部に車輪を取り付けるための車輪取付フランジ４を一体に有し、外周に一方(アウター側)の内側転走面２ａと、この内側転走面２ａから軸方向に延びる小径段部２ｂが形成されている。また、車輪取付フランジ４の周方向等配位置にはハブボルト４ａが植設されている。内輪３は外周に他方(インナー側)の内側転走面３ａが形成され、ハブ輪２の小径段部２ｂに所定の締め代を介して圧入されている。そして小径段部２ｂの端部を径方向外方に塑性変形させて形成した加締部５によって予圧が付与された状態で、ハブ輪２に対して軸方向に固定されている。
【００１５】
外方部材１０は、外周に懸架装置を構成するナックル(図示せず)に取り付けられるための車体取付フランジ１０ｂを一体に有し、内周に内方部材１の内側転走面２ａ、３ａに対向する複列の外側転走面１０ａ、１０ａが形成されている。これら両転走面１０ａ、２ａおよび１０ａ、３ａ間には保持器６を介して複列の転動体７、７が転動自在に収容されている。この外方部材１０はＳ５３Ｃ等の炭素 0.40〜0.80 重量％を含む中炭素鋼で形成され、少なくとも複列の外側転走面１０ａ、１０ａが、高周波焼入れによって 58〜64 HRCの範囲に表面が硬化処理されている。
【００１６】
外方部材１０の両端部にはシール装置８、９が装着され、外方部材１０と内方部材１との間に形成される環状空間の開口部を密封している。少なくともシール装置９が本発明の転がり軸受用シール装置である。このシール装置８、９により、軸受内部に封入された潤滑グリースの外部への漏洩と、外部から雨水やダスト等が軸受内部に侵入するのを防止している。
【００１７】
ハブ輪２はＳ５３Ｃ等の炭素 0.40〜0.80 重量％を含む中炭素鋼で形成され、アウター側のシール装置８のシールランド部となる車輪取付フランジ４の基部から小径段部２ｂにわたって高周波焼入れによって 58〜64 HRC の範囲に表面が硬化処理されている。なお加締部５は鍛造後の生のままとされている。一方、内輪３は、ＳＵＪ２等の高炭素クロム鋼で形成され、ズブ焼入れによって芯部まで 58〜64 HRC の範囲に硬化処理されている。
【００１８】
ここでインナー側の本発明のシール装置９は、図２に拡大して示すように、互いに対向配置されたスリンガ１１と環状のシール板１２とからなる。スリンガ１１はオーステナイト系ステンレス鋼鈑（ＪＩＳ規格のＳＵＳ３０４系等）、あるいは、防錆処理された冷間圧延鋼鈑（ＪＩＳ規格のＳＰＣＣ系等）をプレス加工にて断面が略Ｌ字状に形成され、内輪３に圧入される円筒部１１ａと、この円筒部１１ａから径方向に延びる立板部１１ｂとからなる。図２および図３に示すように、スリンガ１１は、外側シールリップ１４ａの摺接する面である立板部１１ｂ、および、中側シールリップ１４ｂ、内側シールリップ１４ｃの摺接する面である円筒部１１ａにＡＤ法によりセラミックス被膜１１ｃが形成されている。これら防錆処理およびセラミックス被膜１１ｃにより、スリンガ１１の摺接面での発錆および摩耗を防止することができるので、シール装置９の耐久性が向上し、低コスト化を図ることができる。なお、セラミックス被膜１１ｃは、少なくとも各シールリップ先端が摺接する付近に形成すればよい。
【００１９】
一方、シール板１２は断面が略Ｌ字状に形成され、外方部材１０に装着されている。このシール板１２は芯金１３と、この芯金１３に加硫接着されたシール部材１４とからなる。芯金１３は、オーステナイト系ステンレス鋼鈑（ＪＩＳ規格のＳＵＳ３０４系等）、あるいは、防錆処理された冷間圧延鋼鈑（ＪＩＳ規格のＳＰＣＣ系等）からプレス加工にて形成され、外方部材１０の端部に内嵌された円筒部１３ａと、この円筒部１３ａから径方向内方に延びる立板部１３ｂとからなる。
【００２０】
シール部材１４はニトリルゴム等の弾性部材からなり、スリンガ１１の立板部１１ｂに摺接する外側シールリップ１４ａ、円筒部１１ａに摺接する中側シールリップ１４ｂ、および内側シールリップ１４ｃを有している。外側シールリップ１４ａは芯金１３の立板部１３ｂから外径側に傾斜して形成され、その先端がスリンガ１１の立板部１１ｂに所定の締め代をもって摺接している。中側シールリップ１４ｂ、内側シールリップ１４ｃは芯金１３の立板部１３ｂから内径側に傾斜して形成され、それらの先端がスリンガ１１の円筒部１１ａに所定の締め代をもって摺接している。
【００２１】
なお、ここでは転動体７にボールを使用した複列アンギュラ玉軸受を例示したが、本発明はこれに限らず、転動体７に円錐ころを使用した複列円錐ころ軸受であってもよい。また、本発明に係る転がり軸受（装置）は、内輪回転方式であれば例示した第３世代構造以外にも、例えば、第１世代や第２世代あるいは第４世代構造にも適用することができる。また、第１世代および第２世代の場合、本発明に係る転がり軸受用シール装置は、インナー側だけでなくアウター側にも適用することができる。
【００２２】
図４は図１の本発明のシール装置の他の実施例を示す要部拡大図である。図５は図４のスリンガを示す斜視図である。この実施例は図２および図３にて説明したシール装置のシールリップとセラミックス被膜の設置形態を以下のように変更したものである。
図４および図５に示すようにスリンガ１１はサイドリップ１４ｅ、１４ｆの摺接する面である立板部１１ｂにＡＤ法によりセラミックス被膜１１ｄが形成されている。これら防錆処理およびセラミックス被膜により、スリンガ１１の摺接面での発錆および摩耗を防止することができるので、シール装置９の耐久性が向上し、低コスト化を図ることができる。なお、セラミックス被膜１１ｄは、少なくとも各シールリップ先端が摺接する付近に形成すればよい。
【００２３】
一方シール部材１４はニトリルゴム等の弾性部材からなり、スリンガ１１の立板部１１ｂに摺接する第１および第２のサイドリップ１４ｅ、１４ｆを有している。これら第１および第２のサイドリップ１４ｅ、１４ｆは、芯金１３の立板部１３ｂから外径側に傾斜して形成され、それらの先端がスリンガ１１の立板部１１ｂに所定の締め代をもって摺接している。
【００２４】
また、シール部材１４は芯金１３の円筒部１３ａの外表面に回りこんで固着され、気密性の向上を図るとともに、芯金１３の立板部１３ｂの内縁にまで回り込んで固着され、円筒状の内端部１４ｄが形成されている。そして、この内端部１４ｄとスリンガ１１の円筒部１１ａとの間に環状のすきまを形成してラビリンスシール１６が構成され、軸受内部に封入されたグリースが外部に漏洩するのを防止している。さらにスリンガ１１における立板部１１ｂの外縁と芯金１３とを僅かなすきまを介して対峙させてラビリンスシール１５が構成され、外部から雨水やダスト等が直接第１および第２のサイドリップ１４ｅ、１４ｆに降りかかるのを防止している。
【００２５】
このように本実施形態では、スリンガ１１の立板部１１ｂに所定の締め代をもって摺接する第１および第２のサイドリップ１４ｅ、１４ｆを有し、スリンガ１１における立板部１１ｂの外縁と芯金１３との間に構成されたラビリンスシール１５に加え、シール部１４の内端部１４ｄとスリンガ１１の円筒部１１ａとの間にラビリンスシール１６が構成されているので、高い密封性を確保するとともに、軸受の低トルク化を図った転がり軸受用シール装置を提供することができる。
【００２６】
さらに、これら第１および第２のサイドリップ１４ｅ、１４ｆにおいて、第１のサイドリップ１４ｅの締め代が第２のサイドリップ１４ｆの締め代よりも大きく設定されている。これにより第２のサイドリップ１４ｆの摩耗を抑制するとともに、第１のサイドリップ１４ｅが摩耗して締め代が減少しても第２のサイドリップ１４ｆとの２つのサイドリップで長期間にわたって高い密封性を維持することができる。
【００２７】
本発明においてＡＤ法によるセラミックス被膜の形成方法は、原料となるセラミックス微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを基材であるスリンガに向けてエアロゾル噴射ノズルより噴射し、エアロゾルをこの基材表面に高速で衝突させ、微粒子の構成材料からなる被膜を基材上に形成させる被膜形成方法である。
【００２８】
本発明においてＡＤ法によるセラミックス被膜を形成するための、エアロゾル原料となるセラミックス微粒子としては、例えば、アルミナ、ジルコニア、チタニア等の酸化物、炭化珪素、窒化珪素等の微粒子が挙げられる。なお、セラミックス微粒子以外でも、シリコン、ゲルマニウムなどのへき開性の強い脆性材料の微粒子を使用することも可能である。
これらの中で特に好適なセラミックスは、窒化珪素、炭化珪素である。窒化珪素や炭化珪素による水中での摩擦摩耗低減機構について、摩擦面でのトライボケミカル反応により酸化珪素が生成し、その酸化珪素は母材と比べて柔らかく、摺接面において母材同士の固体接触を防ぎ、その塑性変形により応力集中を緩和して破壊にいたる摩耗を減少させる。さらに水と反応することで、より柔らかい水酸化物もしくは水和物になりこれが潤滑材として作用して摩擦低減効果を付与する。
シールリップ表面とセラミックス被膜が形成されたスリンガ表面との間の上記摩擦係数低減効果により摺接面での接触抵抗が減少し、軸受の回転トルクが減少する。
【００２９】
本発明において使用するセラミックス微粒子の平均粒子径は、0.01μm 〜2μm であることが好ましい。0.01μm 未満では凝集しやすくエアロゾル化は困難であり、2μm をこえると成膜には寄与しない微粒子の割合が増加し、成膜効率が低下してコストが高くなる。なお、本発明において平均粒子径は日機装株式会社製：レーザー式粒度分析計マイクロトラックＭＴ３０００によって測定した値である。
また、被膜形成を良好に行なうため、基材への衝突時に微粒子が容易に粉砕するように、ボールミル、ジェットミル等の粉砕機を用いて微粒子にクラックを予め形成しておくことが好ましい。
【００３０】
本発明においてスリンガに被膜を形成する方法を、図６に示す被膜形成装置１７に基づいて説明する。
セラミックス微粒子をエアロゾル発生装置２４に投入し、真空ポンプ２６を起動して真空チャンバー１９を介してエアロゾル発生装置２４を減圧する。ガス供給設備２３からエアロゾル発生装置２４に搬送ガスを供給して、セラミックス微粒子と搬送ガスとからなるエアロゾルを形成する。エアロゾルは真空チャンバー１９のエアロゾル噴射ノズル１８に供給される。なお、使用可能な搬送ガスとしては、アルゴン、窒素、ヘリウム等の不活性ガスが挙げられる。また真空ポンプへの微粒子や異物の混入を防ぐためフィルター２５が設けられている。
【００３１】
真空チャンバー１９内において、エアロゾル噴射ノズル１８から基材であるスリンガ２２に向けてこのエアロゾルを噴射し、スリンガ２２にセラミックス被膜を形成する。
スリンガ２２は、位置決め用ＸＹテーブル２０に連設する対象物回転用モータ２１に取り付け、対象物回転用モータ２１により回転させられ（図中Ｂ）、位置決め用ＸＹテーブル２０により水平方向に移動させられる（図中Ａ）。スリンガを回転・移動させつつ、該スリンガの立板部へのエアロゾル噴射を行ない被膜を形成する。被膜形成は、所定の膜厚となるまで行なう。
【実施例】
【００３２】
実施例１
立板部（図３の１１ｂ）を有するスリンガ（ＳＵＳ４３０製、円筒部：内径 61.5 mm×外径 63.1 mm×長さ 5.5 mm、立板部：5.8 mm×外径 75 mm×厚み 0.8 mm）を準備した。このスリンガを図６に示すＡＤ法による被膜形成装置のＸＹテーブル２０に連設する、対象物回転モータ２１に取り付け、セラミックス材料として窒化珪素（宇部興産社製、ＳＮ−Ｅ１０、平均粒子径 0.55μm ）をエアロゾル発生装置２４に投入し、真空ポンプ２６を起動して、真空チャンバー１９を 100 Pa 以下に減圧し、搬送ガスとして窒素ガスをガス供給設備２３からエアロゾル発生装置２４に供給し、エアロゾルを発生させた。このエアロゾルをエアロゾル噴射ノズル１８（開口サイズ：10 mm×2.0 mm ）から基材であるスリンガの立板部１１ｂに噴射し、厚さ 5μm の窒化珪素被膜を形成した。
得られたスリンガをシール装置（シールリップ間に 0.3 g グリース塗布）に取り付け、以下に示す方法で評価した。結果を表１に示す。
【００３３】
＜トルク試験＞
作成したシール装置について、シール回転試験機を用いて以下の条件で 30 分後の安定した状態でのトルクを測定した。結果を表１に示す。
回転速度：1000 rpm
軸の偏心：0.05 mm  Ｔ．Ｉ．Ｒ（Total Indication Reading）
取付け偏心：0.05 mm  Ｔ．Ｉ．Ｒ
リップ締め代：シール設計形状の中央値
【００３４】
実施例２
実施例１においてセラミックス原料として炭化珪素（昭和電工社製、ＤＵＡ−１、平均粒子径 0.45μm ）を用いたこと以外は実施例１と同様に処理して得られたシール装置を上記方法で評価した。結果を表１に併記する。
【００３５】
比較例１
セラミックス被膜を形成せずに得られたシール装置を上記方法で評価した。結果を表１に併記する。
【００３６】
【表１】
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【産業上の利用可能性】
【００３７】
本発明の転がり軸受用シール装置は、シールリップの摺接する面にＡＤ法により形成された摩擦係数の低いセラミックス被膜を有するスリンガを用いているので、スリンガとシールリップとの摺接部において泥水環境で泥粒等が侵入しても、摩擦による回転トルクの増大や摩耗による摺接面の損傷等を防止することができ、密封性が向上する。このため、この転がり軸受用シール装置を使用した転がり軸受は、泥水の浸入する環境で使用されても軸受寿命に優れ、自動車用ホイール等に用いられる車輪用軸受等として好適に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の転がり軸受を示す縦断面図である。
【図２】図１のインナー側のシール装置の一例を示す要部拡大断面図である。
【図３】図２のスリンガを示す斜視図である。
【図４】図１のインナー側のシール装置の他の例を示す要部拡大断面図である。
【図５】図４のスリンガを示す斜視図である。
【図６】被膜形成装置を示す図である。
【符号の説明】
【００３９】
１    内方部材
２    ハブ輪
２ａ、３ａ  内側転走面
２ｂ  小径段部
３    内輪
４    車体取付フランジ
４ａ  ハブボルト
５    加締部
６    保持器
７    転動体
８    アウター側シール装置
９    インナー側シール装置
１０    外方部材
１０ａ  外側転走面
１０ｂ  車体取付フランジ
１１    スリンガ
１１ａ、１３ａ  円筒部
１１ｂ、１３ｂ  立板部
１１ｃ  セラミックス被膜
１１ｄ  セラミックス被膜
１２    シール板
１３    芯金
１４    シール部材
１４ａ  外側シールリップ
１４ｂ  中側シールリップ
１４ｃ  内側シールリップ
１４ｄ  内端部
１４ｅ  第１のサイドリップ
１４ｆ  第２のサイドリップ
１５    ラビリンスシール
１６    ラビリンスシール
１７    被膜形成装置
１８    エアロゾル噴射ノズル
１９    真空チャンバー
２０    位置決め用ＸＹテーブル
２１    対象物回転用モータ
２２    スリンガ（基材）
２３    ガス供給設備
２４    エアロゾル発生装置
２５    フィルター
２６    真空ポンプ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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