(57)【要約】      （修正有）【課題】フォトリソグラフィプロセスにおけるスライダーバーの連結方法とスライダーの製造方法を提供する。【解決手段】（１）粘着表面を有する保持装置を形成するステップと、（２）エアベアリング面を形成するために用いられる第１の表面及び当該第一の表面と対向する第２の表面を有する一組のスライダーバーを提供して、それらの第１の表面が前記粘着表面に対向するように、各スライダーバーを前記保持装置に固定するステップと、（３）封入接着剤で前記スライダーバーを互いに連結するステップと、（４）キャリアを提供して、それを前記スライダーバーに第２の表面に固定するステップと、（５）前記保持装置を撤去するステップと、を含む。【選択図】図８
2008059744.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（１）粘着表面を有する保持装置を形成するステップと、
（２）エアベアリング面を形成するために用いられる第１の表面及び当該第一の表面と対向する第２の表面を有する一組のスライダーバーを提供して、それらの第１の表面が前記粘着表面に対向するように、各スライダーバーを前記保持装置に固定するステップと、
（３）封入接着剤で前記スライダーバーを互いに連結するステップと、
（４）キャリアを提供して、それを前記スライダーバーに第２の表面に固定するステップと、
（５）前記保持装置を撤去するステップと、を含むことを特徴とするフォトリソグラフィプロセスにおけるスライダーバーの連結方法。
【請求項２】
前記ステップ（１）は、
（ａ）孔が形成されたフレームを１個提供するステップと、
（ｂ）前記粘着表面となる粘着層及び当該粘着層が一緒に積層されてなった非粘着層を含むフィルムを提供して、前記粘着層が前記フレームに対向するように、当該フィルムで前記フレームを被覆するステップと、
（ｃ）基板と、当該基板の上に位置し且つ一組の真空孔が形成された突出部を含む真空転送器具を提供するステップと、
（ｄ）前記真空転送器具を前記フレームに組み立てて、前記突出部が前記フレームの孔に収容され且つ前記フィルムの非粘着層と接触するようにして、前記保持装置を形成するステップと、を更に含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項３】
前記ステップ（１）の後に、真空孔と非粘着層によって限定された空間を真空状態にさせて空気圧力を発生し、これで前記フィルムを前記突出部の上に押し重ねるステップを更に含むことを特徴とする請求項２記載の方法。
【請求項４】
前記ステップ（３）は、
（ｉ）開口が形成された接着剤制限プレートを提供して、スライダーバーがその開口から露出するよう、当該接着剤制限プレートを前記フィルムの粘着層に固定するステップと、
（ｉｉ）前記封入接着剤を前記接着剤制限プレートの開口の中に注入するステップと、
（ｉｉｉ）前記接着剤制限プレートの開口内の封入接着剤を圧延して、この封入接着剤がスライダーバー間の空間に流入されるようにするステップと、
（ｉｖ）前記封入接着剤を固化して、すべてのスライダーバーが互いに連結されるようにするステップと、を更に含むことを特徴とする請求項３記載の方法。
【請求項５】
前記ステップ（５）は、
（Ａ）前記真空転送器具を前記フレームから撤去するステップと、
（Ｂ）前記フィルムを前記スライダーバーから取り外すステップと、を更に含むことを特徴とする請求項４記載の方法。
【請求項６】
前記ステップ（４）は、高速固化接着剤を提供して、それを前記スライダーバーの第２の表面に塗装するステップと、当該高速固化接着剤を用いて前記キャリアを前記スライダーバーの第２の表面に固定するステップと、を含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項７】
前記キャリアと前記スライダーバーの第２の表面との間には、前記高速固化接着剤による収縮応力を吸収するための弾性層が設けられていることを特徴とする請求項６記載の方法。
【請求項８】
前記封入接着剤として、シアノアクリレート接着剤が含まれることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項９】
（１）粘着性表面を有する保持装置を形成するステップと、
（２）エアベアリング面を形成するために用いられる第１の表面及び当該第一の表面と対向の第２の表面を有する一組のスライダーバーを提供して、それらの第１の表面が前記粘着表面に対向するように、各スライダーバーを前記保持装置に固定するステップと、
（３）封入接着剤で前記スライダーバーを互いに連結するステップと、
（４）キャリアを提供して、それを前記スライダーバーに第２の表面に固定するステップと、
（５）前記保持装置を撤去するステップと、
（６）前記スライダーバーの第１の表面をエッチングするステップと、
（７）前記スライダーバーを切断して独立したスライダーを形成するステップと、を含むことを特徴とするスライダーの製造方法。
【請求項１０】
前記ステップ（１）は、
（ａ）孔が形成されたフレームを１個提供するステップと、
（ｂ）前記粘着表面となる粘着層及び当該粘着層が一緒に積層されてなった非粘着層を含むフィルムを提供して、前記粘着層が前記フレームに対向するように、当該フィルムで前記フレームを被覆するステップと、
（ｃ）基板と、当該基板の上に位置し且つ一組の真空孔が形成された突出部を含む真空転送器具を提供するステップと、
（ｄ）前記真空転送器具を前記フレームに組み立てて、前記突出部が前記フレームの孔に収容され且つ前記フィルムの非粘着表面と接触するようにして、前記保持装置を形成するステップと、を含むことを特徴とする請求項９記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、情報記憶用ディスクドライブに使われるスライダーの製造方法に係り、特に、フォトリソグラフィプロセス（photolithography  process）においてそのスライダーを連結させる方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ディスクドライブシステムは情報記録装置としてよく使われ、このような装置は磁気媒体を介してデータを記録し、また、その磁気媒体の上方に設けられた可動式読取り／書込みヘッドを用いて、選択的に磁気媒体からのデータの読取りまたは磁気媒体へのデータの書込みを行う。
【０００３】
図１ａは従来のディスクドライブ２００を示す図であり、ディスク１０１は、スピンドルモーター１０２に取付けられてそれの駆動により回転する。ボイスコイルモーター１０４にはヘッドジンバルアセンブリ１００が搭載されている。該ヘッドジンバルアセンブリ１００は、読取り／書込みヘッドが装着されたスライダー１０３を備えている。ボイスコイルモータは、前記ボイスコイルモータのアーム１０４の動作を制御し、更には、スライダー１０３がディスク１０１表面のトラック間で移動するように制御して、これで読取り／書込みヘッドのディスク１０１に対する情報の読取り／書込み操作を行う。運行中、読取り／書込みヘッドを備えたスライダー１０３は、ディスク１０１と空力的に接触して、揚力が発生される。この揚力は、ヘッドジンバルアセンブリ１００のサスペンションにより印加された弾性力と大きさが同じ且つ方向が反対で、互いに平衡になり、これにより、モータアーム１０４のラジアルストロークの全過程において、回転するディスク１０１の表面上方で予定の浮上量を形成して維持する。
【０００４】
図１ｂは、図１ａに示されたスライダーを底部から見上げた時の斜視図である。当図に示すように、前記スライダー１０３の一側辺には磁性の読取り／書込みヘッド１１６が形成されて、ディスク１０１に対するデータの読取り／書込み操作を行うために用いられる。このスライダー１０３は、ディスク１０１と対向するエアベアリング面（air  bear  surface、ＡＢＳ）１１７を備える。ディスクドライブの運行時、前記スライダー１０３のエアベアリング面１１７と高速に回転するディスク１０１の間には空力的接触が発生され、これにより、前記スライダー１０３が前記ディスク１０１の上方に動態的に浮上されるようにして情報の読取り／書込み操作を完成する。
【０００５】
また、ディスクに相対するスライダーの読取り／書込み操作をさらに順調に行うために、このスライダーの良好な飛行安定性が必要で、即ち、ディスクの上方を飛行するスライダーの浮上高さを一定値に保持しなければならない。つまり、スライダーの飛行安定性が悪いと、浮上高さが安定できなくなって、高くなったり低くなったりする。例えば、浮上高さが高すぎると、スライダーは読取り／書込み操作を順調に行うことができなく、逆に、浮上高さが低すぎると、スライダーによりディスクに傷をつける可能性があって、ディスク及び／或いはスライダーを破損することができる。
【０００６】
勿論、スライダーのエアベアリング面の加工精度も前記飛行安定性に影響を与える要因である。以下、スライダーのエアベアリング面の形成プロセスについて簡単に説明する。通常、スライダーのエアベアリング面は、フォトリソグラフィプロセス及び真空エッチングプロセス（vacuum  etching  process）を順に行うことによって形成されるまず、エアベアリング面の形成面（ABS-forming  surface）にフォトレジスト層を被覆し（photo-resist  coating）；次に、露光によってエアベアリング面のパターン（ABS  pattern）を前記フォトレジスト層に伝送し；そして、現像（developing）工程を行って、フォトレジスト層の露光できなかった部位を撤去し；最後に、イオンビームで前記エアベアリング面の形成面のフォトレジスト層に被覆されなかった部位をエッチングして、エアベアリング面を形成する。
【０００７】
関連領域において、通常、スライダーの加工プロセスは一組のスライダーバーを対象として行い、各スライダーバーは複数のスライダー本体（slider  bodies）から構成されている。製品タイプによって、１個のスライダーバーは３０〜１００個のスライダー本体を含むことができる。これらのスライダーバーは、接着剤により一緒に封入されてバーアセンブリを形成する。加工完了後、これらのバーアセンブリを相互分離させて、各々バーを切断して独立したスライダーを形成する。
【０００８】
図２ａ〜２ｂにはスライダー形成用のスライダーバーが示されている。図に示すように、スライダーバー２の幅をＷ、厚さをＴとする。当該スライダーバー２はエアベアリング面の形成面３を有する。図２ｃには前記スライダーバー２を搭載するためのキャリア１が示されている。以下、従来のスライダーバーの連結方法に対して説明する。まず、図３に示すように、接着剤塗布機６を介して高速硬化接着剤（fast-curing  glue）５を前記キャリア１に塗布する。次に、図４に示すように、真空ピックアップヘッド（vacuum  pickup  head）７を用いて前記スライダーバー２を前記キャリア１に移動し、且つ前記高速硬化接着剤５で該スライダーバー２を該キャリア１に粘着させる。ここで、前記スライダーバー２は前記高速硬化接着剤５と接触するスライダー取付面４を含み、当該スライダー取付面４は前記エアベアリング面の形成面３と対応している。そして、図５に示すように、上記両ステップを繰返し行って、前記スライダーバー２が前記キャリア１に付着されるようにする。また次に、前記高速硬化接着剤５が完全に硬化されるように、前記スライダーバーを１〜３時間維持して、これにより該スライダーバー２を前記キャリア１に固着させる。続いて、図６に示すように、接着剤塗布機８を介して、封入接着剤９を前記スライダーバー２の間のギャップに塗布する。最後に、前記封入接着剤９が次第に硬化されるように、紫外線で該封入接着剤９に対して露光を行い、これで、すべてのスライダーバー２を一緒に固定させてスライダーバーアセンブリを形成する。
【０００９】
図７ａには、一緒に封入され且つ前記キャリア１に粘着された一組のスライダーバー２が示されている。図７ｂは図７ａのＺ−Ｚ線に沿った断面図である。図７ｂを参照すると、前記スライダーバー２の間にあるギャップ（符号無し）には一組の接着剤の陥凹３０形成されている。これらの陥凹３０は、前記封入接着剤９が硬化プロセスにおいて自然に収縮されて形成されたものである。また、図７ａ〜７ｂを参照すると、前記スライダーバー２のエアベアリング面の形成面３と前記陥凹３０は共にスライダーバーのアセンブリの基本表面を形成し、当該基本表面の上にフォトレジスト層を塗布する。
【００１０】
更に、図７ｂから、前記スライダーバーアセンブリ（slider  row  bar  assembly）の基本表面の平面度は主に前記陥凹３０及び前記スライダーバー２の厚さの一貫性によって決られることが容易に理解できる。まず、通常、前記スライダーバー２は数百マイクロメートルのようなとても小さい厚さを有するので、スライダーバー２の厚さの一貫性を向上させることが非常に難しくなる。一方、前記封入接着剤９の内部特性の原因で、前記陥凹３０の形成は避けることができない。従来のスライダーバーの連結プロセスでは、各々のスライダーバー２及びその下面に位置した接着剤５の厚さ（即ち、スライダーバー及び接着剤５には厚さの差異がある）が異なっており、且つ陥凹３０が存在するので、スライダーバーアセンブリの基本表面の平面度がひどく低下される。これに従って、スライダーバーアセンブリの基本表面に塗布されたフォトレジスト層の平面度も悪くなる。
【００１１】
但し、エアベアリング面を形成するフォトリソグラフィプロセスにおいて、エアベアリング面の製造精度に対するフォトレジスト層の平面度の影響がとても重要である。具体に言うと、例えばエアベアリング面の形成面を被覆したフォトレジスト層の平面度が悪い場合、所定のエアベアリング面のパターンに比べ、露光によりフォトレジスト層に伝送されるエアベアリング面のパターンには形状のひずみが発生される。従って、エッチング工法でスライダーバーに形成されたエアベアリング面のパターンと所定のエアベアリング面のパターンがマッチされない。これにより、このようなエアベアリング面のパターンを有するスライダーの飛行安定性を悪くさせ、且つディスクドライブの飛行性能を悪くさせて、ディスク及び／或いはスライダーの破損をもたらすことができる。
【００１２】
以上の問題点に鑑みて、改良されたスライダーバーの連結方法を提供して、従来の技術における欠点を克服することが必要である。
【発明の開示】
【００１３】
本発明の一つの目的は、フォトリソグラフィプロセスにおいてスライダーバーを連結する方法を提供することで、これによると連結されたスライダーバーのエアベアリング面の形成面の平面度を大幅に向上させることができる。
【００１４】
また、本発明の他の目的は、スライダーの製造方法を提供することで、これによるとスライダーの加工精度を向上させることができる。
【００１５】
以上目的を達成するために、本発明のフォトリソグラフィプロセスにおけるスライダーバーの連結方法は、（１）粘着表面を有する保持装置を形成するステップと、（２）エアベアリング面を形成するために用いられる第１の表面及び当該第一の表面と反対の第２の表面を有する一組のスライダーバーを提供して、それらの第１の表面が前記粘着表面に対向するように、各スライダーバーを前記保持装置に固定するステップと、（３）封入接着剤（encapsulating  glue）で前記スライダーバーを互いに連結するステップと、（４）キャリアを提供して、それを前記スライダーバーに第２の表面に固定するステップと、（５）前記保持装置を撤去するステップと、を含む。
【００１６】
本発明の実施例において、前記ステップ（１）は、（ａ）孔が形成されたフレームを１個提供するステップと、（ｂ）前記粘着表面となる粘着層及び当該粘着層が一緒に積層されてなった非粘着層を含むフィルムを提供して、前記粘着層が前記フレームに対向するように、当該フィルムで前記フレームを被覆するステップと、（ｃ）基板と、当該基板の上に位置し且つ一組の真空孔が形成された突出部を含む真空転送器具（vacuum  transfer  fixture）を提供するステップと、（ｄ）前記真空転送器具を前記フレームに組み立てて、前記突出部が前記フレームの孔に収容され且つ前記フィルムの非粘着層と接触するようにして、前記保持装置を形成するステップとを更に含むことが好ましい。また、本発明の実施例において、前記スライダーバーの連結方法は、前記ステップ（１）の後に、真空孔と非粘着層によって限定された空間を真空状態にさせて空気圧力を発生して、これで前記フィルムを前記突出部の上に押し重ねるステップを更に含むことが好ましい。
【００１７】
また、前記ステップ（３）は、（ｉ）開口が形成された接着剤制限プレート（glue-restraining  plate）を提供して、スライダーバーがその開口から露出するよう、当該接着剤制限プレートを前記フィルムの粘着層に固定するステップと、（ｉｉ）前記封入接着剤を前記接着剤制限プレートの開口の中に入れるステップと、（ｉｉｉ）前記接着剤制限プレートの開口内の封入接着剤を圧延して、この封入接着剤がスライダーバー間の空間に流入されるようにするステップと、（ｉｖ）前記封入接着剤を固化して、すべてのスライダーバーが互いに連結されるようにするステップとを更に含むことが好ましい。
【００１８】
また、前記ステップ（４）は、高速固化接着剤（fast-curing  glue）を提供して、それを前記スライダーバーの第２の表面に塗装するステップと、当該高速固化接着剤を用いて前記キャリアを前記スライダーバーの第２の表面に固定するステップとを含むことが好ましい。
【００１９】
また、前記ステップ（５）は、（Ａ）前記真空転送器具を前記フレームから撤去するステップと、（Ｂ）前記フィルムを前記スライダーバーから取り外すステップを含むことが好ましい。また、前記封入接着剤として、例えばシアノアクリレート接着剤などの何れか適当な接着剤を採用することができる。
【００２０】
そして、上記他の目的を達成するために、本発明のスライダーの製造方法は、（１）粘着性表面を有する保持装置を形成するステップと、（２）エアベアリング面を形成するために用いられる第１の表面及び当該第一の表面と反対の第２の表面を有する一組のスライダーバーを提供して、それらの第１の表面が前記粘着表面に対抗するように、各スライダーバーを前記保持装置に固定するステップと、（３）封入接着剤で前記スライダーバーを互いに連結するステップと、（４）キャリアを提供して、それを前記スライダーバーに第２の表面に固定するステップと、（５）前記保持装置を撤去するステップと、（６）前記スライダーバーの第１の表面をエッチングするステップと、（７）前記スライダーバーを切断して独立したスライダを形成するステップと、
を含む。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、図面を参照して本発明の実施例について説明する。
【００２２】
まず、本発明の第一実施例の、フォトリソグラフィプロセスにおいて一組のスライダーバーを連結する方法に対して詳細に説明する。図８に示すように、この連結方法は、粘着性表面を有する保持装置を形成するステップ１０１と、エアベアリング面を形成するために用いられる第１の表面及び当該第一の表面と反対の第２の表面を有する一組のスライダーバーを提供して、それらの第１の表面が前記粘着表面に対向するように、各スライダーバーを前記保持装置に固定するステップ１０２と、封入接着剤で前記スライダーバーを互いに連結するステップ１０３と、キャリアを提供して、それを前記スライダーバーに第２の表面に固定するステップ１０４と、前記保持装置を撤去するステップ１０５とを含む。
【００２３】
図９ａ〜９ｄは前記ステップ１０１を示す。図９ａに示すように、まず、孔３１が形成され且つ周辺に一組のネジ孔１１が形成されたフレーム１０を提供する。当該フレーム１０は、例えば鋼或いはセラミックなどの材料から形成されることができて、十分な硬度を提供する。並びに、粘着層１２ｂ及び当該粘着層１２ｂに積層された非粘着層１２ａを含むフィルム１２を提供する。この粘着層１２ｂをフレーム１０に粘着させることを介して、フィルム１２をフレーム１０に付着し、これで、このフレーム１０の孔３１がフィルム１２に完全に被覆されるようにする。次に、図９ｂに示すように、前記フィルム１２の前記フレーム１０の周辺を越えた部分を切除して、このフィルム１２がフレーム１０と一致した形状を持つようにする。
【００２４】
そして、図９ｃ〜９ｄに示すように、真空転送器具１３を提供する。当該真空転送器具１３は、基板１３２と、当該基板１３２から延伸して形成された突出部１５を含む。この基板１３２の周縁には、前記フレーム１０のネジ孔１１と対応する一組のネジ孔１４が形成されている。また、前記突出部１５には一組の真空孔１６が形成されている。また次に、前記真空転送器具１３を前記フレーム１０に組立てて、前記突出部１５が前記孔３１に収容されるようにし（図９ａを参照）、且つ前記フィルム１２の非粘着層１２ａでその突出部１５を被覆して（図９ａを参照）、保持装置３００を形成する。前記真空転送器具１３は、一組のネジ（図示せず）を相応するネジ孔１１及び１４に挿通させることによって前記フレーム１０に組立てられることができる。最後に、ポンプなどの適当なデバイスを用いて、前記真空転送器具１３の真空孔１６とフィルム１２の間に形成された空間を真空化させ、従って、空気圧力を発生して、前記フィルム１２を前記突出部１５に押し重ねる。
【００２５】
図１０ａ〜１０ｄは前記ステップ１０２を示す。図面に示すように、一組のスライダーバー１８を前記保持装置３００に固定させる。各スライダーバー１８は幅Ｗ１及び厚さＴ１を有する。また、各スライダーバー１８は、エアベアリング面を形成するために用いられる第１の表面１９（エアベアリング面の形成面、図１３ｄを参照）及び当該第一の表面１９と対向している第２の表面１８２（スライダー取付面）を有する。この第一の表面１９は、例えばフォトリソグラフィプロセスの続行の製造プロセスで処理されて、その表面にエアベアリング面のパターンを形成する。このプロセスにおいて、真空ピックアップヘッド１７を繰返し使用して、これにより、スライダーバー１８を固定し且つそれを前記フィルム１２の粘着層１２ｂに移動する。そして、各スライダーバー１８を前記粘着層１２ｂに接着させ、且つ前記第一の表面１９をこの粘着層１２ｂに接着させる。
【００２６】
図１１ａ〜１１ｄは前記ステップ１０３を示す一連図である。まず、図１１ａに示すように、真空ピックアップヘッド２０を用いて開口２１１が形成された接着剤制限プレート（glue-restraining  plate）２１を移動して、それを前記フィルム１２の粘着層１２ｂに接着させて、該粘着層１２ｂに固持されたスライダーバー１８が前記開口２１１から露出されるようにする。次に、図１１ｂに示すように、接着剤塗布機２２を用いて、例えばシアノアクリレート接着剤（cyanoacrylate）などの封入接着剤２３を前記開口２１１の中に塗布せさせる。続いて、図１１ｃ〜１１ｄに示すように、この開口２１１の中に収容された封入接着剤２３を圧延して、この封入接着剤がスライダーバー１０間のギャップに均一に流入されるようにする。ここで、前記圧延プロセスをラミネーター（laminator）２７０で完成する。具体に言うと、このラミネーター２７０は一対のローラー２７と、これらローラー２７の間に位置するライナーフィルム（liner  film）２８を含む。もちろん、同じ機能が実現できる条件で、前記ラミネーター２７０はその他の適当な構造を有することもできる。圧延プロセスを行う場合、前記ライナーフィルム２８は前記スライダーバー１８の第二の表面１８２を被覆し、前記二つのローラー２７は当該ライナーフィルム２８を沿って回して、これにより前記封入接着剤２３が押出されるようにする。最後に、この封入接着剤２３を凝固させて、前記すべてのスライダーバー１８が相互粘着されるようにする。
【００２７】
図１２ａ〜１２ｂは前記ステップ１０４を示す一連図である。まず、図１２ａに示すように、接着剤塗布機２５を用いて高速硬化接着剤２４を前記スライダーバー１８の第二の表面１８２に塗布する。次に、図１２ｂに示すように、真空ピックアップヘッド（vacuum  pickup  head）２７を用いてキャリア２６を移動し、且つ前記高速硬化接着剤２４で当該キャリア２６を前記スライダーバー１８の第二の表面１８２に固着させて、スライダーバー１８の全体がこのキャリア２６に完全に被覆されるようにする。
【００２８】
なお、前記スライダーバー１８と前記キャリア２６の間には弾性層（elastic  layer）２９が設けられている（図１３ｄを参照）。また、自体特性によって前記高速硬化接着剤２４が収縮される時には収縮応力が発生される。この収縮応力の原因で、前記キャリア２６及び当該キャリア２６に搭載されたスライダーバー１８には不利な変形が発生される。但し、前記弾性層２９があるため、このような変形は減少されることができる。また、この弾性層２９は前記高速硬化接着剤２４の硬化剤（curing  agent）としても用いられて、硬化プロセスに有利である。しかしながら、本実施例においては前記弾性層にて応力を吸収したが、この応力が非常に小さい時はこの弾性層を使用しないこともできる。
【００２９】
図１３ａ〜１３ｄは前記ステップ１０５を示す一連図である。まず、図１３ａに示すように、前記フレーム１０から前記真空転送器具１３を撤去して組合体（combination）８００を形成する。ここで、フレーム１０から真空転送器具１３を撤去する前に、前記フィルム１２に印加されてそれを前記真空転送器具１３の突出部１５に押し付ける空気圧力を排除することが好ましく、これによって、撤去プロセスがより簡単になる。次に、図１３ｂに示すように、前記組合体８００を逆転して、前記フィルムの非粘着層１２ａを上方に向けるようにする。続いて、図１３ｃに示すように、前記フィルム１２の非粘着層１２ａを粘着層１２ｂから剥離し、更に、この粘着層１２ｂを、溶解法などの適切な方式によって前記スライダーバー１８から取り外す。また、前記フィルム１２を取り外して組合体９００を形成する。図１３ｄは図１３ｃに示された組合体９００のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。同図に示すように、前記スライダーバー１８を封入接着剤２３で互いに粘着させることによってスライダーバーのアセンブリ１８を形成し、また接着剤制限プレート２１にてこの封入接着剤２３を抑制する。そして、前記キャリア２６及び弾性層２９は高速硬化接着剤２４によって前記接着剤制限プレート２１に固着される。特に、前記スライダーバー１８の第一の表面１９は、それぞれ完璧に位置合わせされて、比較的に高い平面度を持つ。
【００３０】
図１４は、従来の方法及び本発明の実施例の方法によって形成されたスライダーバーアセンブリのエアベアリング面の形成面表面のスキャン特性をそれぞれ示す図である。同図に示すように、従来の方法によるスライダーバーアセンブリの表面のスキャン特性を表す曲線８１に比べ、本発明の方法によるスライダーバーアセンブリの表面のスキャン特性を表す曲線８０の方がさらに滑らかになっている。言葉を換えて言うと、本発明の方法によると従来の方法よりもさらに望ましいスライダーバーアセンブリの表面の平面度を得ることができる。
【００３１】
図１６は、スライダーバーアセンブリのエアベアリング面の形成面に形成された接着剤陥凹４００を示す図である。同図に示すように、この陥凹４００の深さ（２３Ｒで表示）はただ１マイクロメートルであるが、従来の方法により形成された陥凹３０の深さ（９Ｒで表示、図１５を参照）は２０マイクロメートルにも達する。即ち、スライダーバーアセンブリは従来の方法によって形成された陥凹より浅くなっている。
【００３２】
従来の技術に比べ、本発明においては、スライダーの取付面ではなく、前記スライダーバー１８のエアベアリング面の形成面１９を基準面としたので、スライダーバーの厚さ差による影響を減少し、更に完全に避けることができる。なお、前記スライダーバー１８のエアベリング面の形成面１９が前記器具１３の突出部１５にしっかり押されて、この突出部により前記形成面の接着剤の収縮が阻止されるので、主には前記スライダーバーの第二の表面（スライダー取付面）１８２で接着剤陥凹が発生される；このため、エアベリング面の形成面の総合平面度に対する接着剤陥凹４００の影響を大幅に減少することができる。つまり、前記スライダーバーアセンブリ（相互連結されたスライダーバー）のエアベリング面の形成面の平面度が大いに向上できて、本発明の方法によって製造されたスライダーは優良な飛行安定性を持ち、更にディスクドライブ装置も良好な飛行安定性を持って、ディスク及び／或いはスライダーの間には破損が発生できない。
【００３３】
図１７に示すように、本発明のスライダーの製造方法は、粘着性表面を有する保持装置を形成するステップ２０１と、エアベアリング面を形成するために用いられる第１の表面及び当該第一の表面と対向の第２の表面を有する一組のスライダーバーを提供して、それらの第１の表面が前記粘着表面に対向するように、各スライダーバーを前記保持装置に固定するステップ２０２と、封入接着剤で前記スライダーバーを互いに連結するステップ２０３と、キャリアを提供して、それを前記スライダーバーに第２の表面に固定するステップ２０４と、前記保持装置を撤去するステップ２０５と、前記スライダーバーの第１の表面をエッチングするステップ２０６と、前記スライダーバーを切断して独立したスライダーを形成するステップ２０７と、を含む。
【００３４】
以上、最良の実施形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は上記実施形態に限定されなく、本発明の精神から逸脱せずに様々な変形、同等の結合が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１ａ】図１ａは、従来のディスクドライブ装置の斜視図である。
【図１ｂ】図１ｂは、図１ａに示されたディスクドライブ装置のスライダーの斜視図である。
【図２ａ】図２ａは、スライダーバーの連結プロセスに使われるスライダーバーの斜視図である。
【図２ｂ】図２ｂは、図２ａに示されたスライダーバーのＡ部の局部拡大図である。
【図２ｃ】図２ｃは、従来のスライダーバーの連結方法に使われるキャリアの斜視図である。
【図３】図３は、高速硬化接着剤を図２ｃに示されたキャリアに塗布させるプロセスを示す図ある。
【図４】図４は、スライダーバーを図２ｃに示されたキャリアに粘着させるプロセスを示す図ある。
【図５】図５は、図２ｃに示されたキャリアに固定された一組のスライダーバーを示す図である。
【図６】図６は、封入接着剤を図５に示されたスライダーバーの間にあるギャップに塗布させるプロセスを示す図である。
【図７ａ】図７ａは、図６に示されたプロセスが終わった後、一緒に封入され且つキャリアに固定された一組のスライダーバーを示す図である。
【図７ｂ】図７ｂは、図７ａのＺ−Ｚ線に沿った断面図である。
【図８】図８は、本発明の実施例に開示された一組のスライダーバーを相互連結するプロセスを説明するプロセスチャートである。
【図９ａ】図９ａは、一組のスライダーバーを臨時的に固定させるために用いられる保持装置の形成プロセスを示す一連図である。
【図９ｂ】図９ｂは、一組のスライダーバーを臨時的に固定させるために用いられる保持装置の形成プロセスを示す一連図である。
【図９ｃ】図９ｃは、一組のスライダーバーを臨時的に固定させるために用いられる保持装置の形成プロセスを示す一連図である。
【図９ｄ】図９ｄは、一組のスライダーバーを臨時的に固定させるために用いられる保持装置の形成プロセスを示す一連図である。
【図１０ａ】図１０ａは、図９ａ〜９ｄに示されたプロセスによって形成された保持装置に一組のスライダーバーを付着させるプロセスを示す一連図である。
【図１０ｂ】図１０ｂは、図９ａ〜９ｄに示されたプロセスによって形成された保持装置に一組のスライダーバーを付着させるプロセスを示す一連図である。
【図１０ｃ】図１０ｃは、図９ａ〜９ｄに示されたプロセスによって形成された保持装置に一組のスライダーバーを付着させるプロセスを示す一連図である。
【図１１ａ】図１１ａは、図１０ａ〜１０ｃに示されたプロセスによって保持装置に搭載されたスライダーバーを封入させるプロセスを示す一連図である。
【図１１ｂ】図１１ｂは、図１０ａ〜１０ｃに示されたプロセスによって保持装置に搭載されたスライダーバーを封入させるプロセスを示す一連図である。
【図１１ｃ】図１１ｃは、図１０ａ〜１０ｃに示されたプロセスによって保持装置に搭載されたスライダーバーを封入させるプロセスを示す一連図である。
【図１１ｄ】図１１ｄは、図１０ａ〜１０ｃに示されたプロセスによって保持装置に搭載されたスライダーバーを封入させるプロセスを示す一連図である。
【図１２ａ】図１２ａは、図１１ａ〜１１ｄに示されたプロセスによって相互一緒に封入されたスライダーバーの背面にキャリアを取付けるプロセスを示す一連図である。
【図１２ｂ】図１２ｂは、図１１ａ〜１１ｄに示されたプロセスによって相互一緒に封入されたスライダーバーの背面にキャリアを取付けるプロセスを示す一連図である。
【図１３ａ】図１３ａは、保持装置を撤去させるプロセスを示す図である。
【図１３ｂ】図１３ｂは、保持装置を撤去させるプロセスを示す図である。
【図１３ｃ】図１３ｃは、保持装置を撤去させるプロセスを示す図である。
【図１３ｄ】図１３ｄは、保持装置を撤去させるプロセスを示す図である。
【図１４】図１４は、従来の方法及び本発明の実施例の方法によって形成されたスライダーバーアセンブリの表面のスキャン特性をそれぞれ示す図である。
【図１５】図１５は、従来の方法によって封入された一組のスライダーバーの処理待ち表面の接着剤陥凹を示す図である。
【図１６】図１６は、本発明の方法によって封入された一組のスライダーバーの処理待ち表面の接着剤陥凹を示す図である。
【図１７】図１７は、本発明の実施例に開示されたスライダーの加工を示すフローチャートである。
【図１ａ】
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【図１ｂ】
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【図２ａ】
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【図２ｂ】
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【図２ｃ】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７ａ】
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【図７ｂ】
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【図８】
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【図９ａ】
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【図９ｂ】
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【図９ｃ】
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【図９ｄ】
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【図１０ａ】
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【図１０ｂ】
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【図１０ｃ】
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【図１１ａ】
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【図１１ｂ】
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【図１１ｃ】
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【図１１ｄ】
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【図１２ａ】
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【図１２ｂ】
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【図１３ａ】
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【図１３ｂ】
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【図１３ｃ】
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【図１３ｄ】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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