(57)【要約】【課題】温度制御を高感度でおこなえる温度センサを組み込んだ電力制御装置及びその製造方法の提供。【解決手段】電力制御装置１００は、トレンチ型ＭＯＳＦＥＴ１２及びトレンチ型ダイオードデバイス１３がトレンチ４’，４で区画されている。トレンチ型ダイオードデバイス１３は、基板１、エピタキシャル層２、第１バイアス拡散層３、及び低ドープアノード層１０がこの順に積層され、第１バイアス拡散層３の一部は低ドープアノード層１０を貫通して表面に露出し、その上に第２バイアス拡散層１１が形成され、低ドープアノード層１０の上に高ドープアノード層７及びカソード層８が形成され、高ドープアノード層７側の表面からエピタキシャル層２に達する位置にトレンチ４が周囲を囲むように形成され、高ドープアノード層７、カソード層８、第２バイアス拡散層１１、及びトレンチ４にそれぞれ電極が設けられている。【選択図】図１
2008177250.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
同一基板上に、電力制御素子となるトランジスタ及び温度センサとなるダイオードが形成されている電力制御装置であって、
上記トランジスタは、
第１の導電タイプである高ドープドレイン部、第１の導電タイプである低ドープドレイン部、第２の導電タイプであるチャネルボディ部、及び第１の導電タイプであるソース部が、この順に隣接して積層された半導体基板上に、上記ソース部及び上記チャネルボディ部を貫通し上記低ドープドレイン部に達するトランジスタトレンチ部が設けられており、  上記トランジスタトレンチ部によってトランジスタ領域が区画されており、
上記ダイオードは、
第１の導電タイプである高ドープドレイン部、第１の導電タイプである低ドープドレイン部、第２の導電タイプである第１バイアス拡散部、第１の導電タイプである低ドープアノード部が、この順に隣接して積層されるとともに、上記第１バイアス拡散部の一部は上記低ドープアノード部を貫通して表面に露出するように形成され、
上記低ドープアノード部上には、第１の導電タイプである高ドープアノード部及び第２の導電タイプであるカソード部が隣接するように形成され、
上記露出した上記第１バイアス拡散部上には、第２の導電タイプである第２バイアス拡散部が形成され、
上記高ドープアノード部、カソード部、低ドープアノード部、及び上記第１バイアス拡散部を貫通し前記低ドープドレイン部に達するダイオードトレンチ部が設けられており、
上記高ドープアノード部にアノード電極が設けられ、上記カソード層にカソード電極が設けられ、上記バイアス拡散部に第１バイアス電極が設けられ、上記ダイオードトレンチ部に第２バイアス電極が設けられており、
上記ダイオードトレンチ部によってダイオード領域を区画されており、
上記トランジスタと上記ダイオードは隣接して形成されるが、電気的には絶縁されていることを特徴とする電力制御装置。
【請求項２】
上記第１の導電タイプがｐ型の半導体であり、上記第２の導電タイプがｎ型の半導体であることを特徴とする請求項１に記載の電力制御装置。
【請求項３】
上記第１の導電タイプがｎ型の半導体であり、上記第２の導電タイプがｐ型の半導体であることを特徴とする請求項１に記載の電力制御装置。
【請求項４】
上記ダイオードトレンチ部及び上記トランジスタトレンチ部がポリシリコンで形成されていることを特徴とする請求項１に記載の電力制御装置。
【請求項５】
上記ダイオードトレンチ部と、上記トランジスタトレンチ部とが電気的に接続されていないことを特徴とする請求項１に記載の電力制御装置。
【請求項６】
上記ダイオードが同一基板上に複数形成され、ダイオード列が形成されており、
上記ダイオード列は、
第１個目の上記ダイオードの上記高ドープアノード部が上記ダイオード列のアノード電極として形成されており、
第１個目の上記ダイオードの上記カソード部と次の上記ダイオードの上記高ドープアノード部とが電気的に接続され、ダイオード列要素が形成されており、
さらに上記ダイオード列要素の端の上記カソード部と次の上記ダイオードの上記高ドープアノード部とが電気的に接続され、あらたにダイオード列要素が形成されるダイオード列要素の電気的な接続が繰り返し形成されており、
最後の上記ダイオード列要素に電気的に接続された上記ダイオードの上記カソード部が上記ダイオード列のカソード電極として形成されており、
上記ダイオード列が、上記温度センサであることを特徴とする請求項１に記載の電力制御装置。
【請求項７】
上記ダイオード列が、上記トランジスタの周囲に形成されていることを特徴とする請求項６に記載の電力制御装置。
【請求項８】
上記第２バイアス拡散部と上記高ドープアノード部とが電気的に接続されていることを特徴とする請求項１に記載の電力制御装置。
【請求項９】
上記第２バイアス電極と上記アノード電極とが電気的に接続されていることを特徴とする請求項１に記載の電力制御装置。
【請求項１０】
同一基板上に、電力制御素子となるトランジスタがトランジスタトレンチ部によって区画されて形成されており、温度センサとなるダイオードがダイオードトレンチ部によって区画されて形成されている電力制御装置の製造方法であって、
第１の導電タイプである高ドープドレイン部、第１の導電タイプである低ドープドレイン部、第２の導電タイプであるチャネルボディ部を、この順に隣接して基板上に積層する第１積層工程と、
上記トランジスタトレンチ部を形成するトランジスタトレンチ形成工程と、
上記ダイオードトレンチ部を形成するダイオードトレンチ形成工程と、
上記ダイオードトレンチで区画された上記基板のチャネルボディ部上であり、かつ、上記高ドープドレイン部に対向する位置の一部をドープして第１の導電タイプである低ドープアノード部を形成する第２積層工程と、
上記低ドープアノード部の上に第１の導電タイプである高ドープアノード部及び第２の導電タイプであるカソード部が互いに隣接するようにドープする第３積層工程と、
上記ダイオードトレンチで区画された上記基板の上記チャネルボディ部上であり、かつ、上記高ドープドレイン部に対向する位置であるとともに上記低ドープアノード部が形成されずに上記チャネルボディ部が露出している位置をドープして第２の導電タイプである第２バイアス拡散部を形成する第４積層工程と、
上記トランジスタトレンチで区画された上記基板の上記チャネルボディ部上であり、かつ、上記高ドープドレイン部に対向する位置に第１の導電タイプであるソース拡散部を隣接して上記基板上に積層する第５積層工程とを有しており、
上記トランジスタトレンチ形成工程は、
上記ソース拡散部及び上記チャネルボディ部を貫通し、上記低ドープドレイン部に到達するようにエッチングしてトランジスタトレンチ溝を形成する工程と、
上記トランジスタトレンチ溝の表面にトランジスタゲート絶縁体を形成する工程と、
上記トランジスタゲート絶縁体で囲まれる領域にトランジスタゲート電極を形成する工程と、
上記トランジスタゲート電極の上に絶縁層を形成する工程とを含み、
上記ダイオードトレンチ形成工程は、
上記高ドープアノード部、上記カソード部、上記第２バイアス拡散部、上記低ドープアノード部、及び上記チャネルボディ部を貫通し、上記低ドープドレイン部に到達し、かつ、上記ダイオードを形成する上記高ドープアノード部、上記カソード部、上記第２バイアス拡散部、上記低ドープアノード部、及び上記チャネルボディ部を囲むようにエッチングしてダイオードトレンチ溝を形成する工程と、
上記ダイオードトレンチ溝の表面にダイオードゲート絶縁体を形成する工程と、
上記ダイオードゲート絶縁体で囲まれる領域に第２バイアス電極を形成する工程と、
上記第２バイアス電極の上に絶縁層を形成する工程とを含むことを特徴とする電力制御装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、温度センサ及び電力制御装置に関するものであり、特に電源制御用回路において有用なON抵抗の小さいトレンチ型ダイオードを用いた温度センサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電力制御を行う装置では、パワートランジスターなどの素子の統合によって、高い電流や電圧を扱えるようになってきている。
【０００３】
たとえば、縦型二重拡散構造電界効果トランジスタ（DMOS: Double diffused MOS field effect transistor)では、電力供給やモータの制御などのハイパワーの電流や電圧を扱うことが可能である。
【０００４】
そして、上記のような電力制御を行なう装置の動作を保証する回路として、たとえば温度センサなどが組み込まれている。上記の温度センサは、供給電力変換のための高電圧や高電流のスイッチ、または負荷のスイッチをおこなうための制御回路の一部として、制御回路と同じチップの中に組み込まれている。
【０００５】
図１０は、特許文献１に開示されている縦型二重拡散構造電界効果トランジスタ(DMOS)を示した断面図であり、制御回路として用いられるCMOSデバイスと上記DMOSとを統合したパワーICについて開示している断面図である。
【０００６】
パワーICは、一般的に図１０に示すような基板の上に形成されている。上記の基板には、図１０に示すようなCMOS，DMOSデバイスなどとともに制御回路及び動作を保証する回路などが組み込まれている。
【０００７】
大電力の制御を行う場合、制御する電流が大きくなる。パワートランジスタを用いて電力制御を行う場合、パワートランジスタの中に大電流が流れる。そのため、パワートランジスタ内で大きな電力が消費される。消費された電力は熱となって放出されるため、上記パワートランジスタを構成する半導体の温度Ｔｃｈが上昇する。
【０００８】
パワートランジスタなどの電力制御装置では、許容できる温度が設定されている。トランジスタの動作の信頼性を考慮すると、パワートランジスタの温度（Ｔｃｈ）はそれぞれに定められたシャットダウン温度（Ｔｃ）を超えないようにする必要がある。
【０００９】
上記Ｔｃの設定温度は、一般的には１５０〜１７５〔℃〕に設定されていることが多い。上記パワートランジスタの温度が上記シャットダウン温度Ｔｃを超えると、パワートランジスタを構成する幾つかの保護機構が実行され、パワートランジスタの温度を上げないように制御される。
【００１０】
次に、従来の温度測定回路について記載する。
【００１１】
図１１は、特許文献２に開示されている温度測定回路である。
【００１２】
上記回路において、パワーＭＯＳＦＥＴのＴｒ５０１は、ゲートＧの制御によって制御された電流Ｉ５０４を流している。
【００１３】
図１１の回路では、トランジスタＴｒ５０２は、トランジスタＴｒ５０１と熱的に接続されており、トランジスタＴｒ５０１の温度を測定している。また、トランジスタＴｒ５０３はトランジスタＴｒ５０１と熱的に接続されていない点を除けば、トランジスタＴｒ５０２と同一の構成である。トランジスタＴｒ５０３は温度測定の際の温度の基準として用いられる。
【００１４】
上記のＴｒ５０２及びＴｒ５０３には、それぞれ一定の電流Ｉ５０５とＩ５０６とが供給されている。上記のように、トランジスタＴｒ５０１とトランジスタＴｒ５０２とが熱的に接続されているので、パワーＭＯＳＦＥＴのトランジスタＴｒ５０１の温度が変化すると、Ｔｒ５０２の温度も同じように変化する。即ちＶｇｓ５１２が変化する。
【００１５】
図１１に示す上記回路では、トランジスタＴｒ５０２のゲート−ソース電圧Ｖｇｓ５１２とトランジスタＴｒ５０３のゲート−ソース電圧Ｖｇｓ５１３とが測定されており、アンプＡＭＰによって比較されている。
【００１６】
ここで、トランジスタＴｒ５０１に一定の電流Ｉ５０４を回路に流す場合について記載する。トランジスタＴｒ５０１に電流を流すことによってトランジスタＴｒ５０１が加熱され、温度が上昇すると、熱結合しているトランジスタＴｒ５０２の温度も上昇する。トランジスタＴｒ５０２の温度が上昇するとトランジスタＴｒ５０２のゲート−ソース間の抵抗値が下がり、その結果ゲート−ソース電圧Ｖｇｓ５１２は減少する。
【００１７】
図１１に従って上記特許文献２の温度測定回路の動作について説明したが、上記の方法では、パワーＭＯＳＦＥＴのトランジスタＴｒ５０１の温度を正確に測定するためには安定性の高い電流Ｉ５０５とＩ５０６とを構成する電流源が必要である。そのため、簡潔な工程を用いて上記回路をICチップに搭載することは困難である。
【００１８】
図１２は、図１１とは異なる構成の温度測定回路である。
【００１９】
図１２に記載する回路では、ダイオード列Ｄ６０５〜Ｄ６０８がパワーＭＯＳＦＥＴのＴｒ６１１のチャネルの温度を測定する。上記ダイオード列Ｄ６０５〜Ｄ６０８とパワーＭＯＳＦＥＴのＴｒ６１１とは熱的に結合しており、パワーＭＯＳＦＥＴのＴｒ６１１の温度に依存して上記ダイオード列Ｄ６０５〜Ｄ６０８の温度が変化する。上記ダイオード列Ｄ６０５〜Ｄ６０８の温度が上昇すると、上記ダイオード列Ｄ６０５〜Ｄ６０８の抵抗値が下がり、上記ダイオード列Ｄ６０５〜Ｄ６０８での電圧降下が減少する。上記ダイオード列Ｄ６０５〜Ｄ６０８にかかる電圧と温度との関係は、上記ダイオード列Ｄ６０５〜Ｄ６０８の種類によって決定される。尚、ダイオード列Ｄ６０１〜Ｄ６０４はパワーＭＯＳＦＥＴのＴｒ６１１とは熱的に結合しておらず、回路の校正用として機能している。
【００２０】
上記の回路においては、トランジスタＴｒ６０９の動作を停止させるシャットダウン温度Ｔｃのときに、上記ダイオード列Ｄ６０５〜Ｄ６０８にかかる電圧が降下してトランジスタＴｒ６０９のゲート電圧を制御するように構成することができる。トランジスタＴｒ６０９の動作が停止すると、トランジスタＴｒ６１０のゲートの電位が上昇し、トランジスタＴｒ６１０のスイッチがONとなる。
【００２１】
トランジスタＴｒ６１０のスイッチがONとなることによって、パワーＭＯＳＦＥＴのＴｒ６１１のスイッチがOFFとなる。即ち、パワーＭＯＳＦＥＴのＴｒ６１１が使用されなくなる。
【００２２】
上記の図１２に記載する検出回路は、同じシリコンチップの中に搭載される温度検出手段として簡単な回路で実現されている。
【００２３】
一般的に、上記のような温度検出用ダイオードは、図１３や図１４に示されるような構造をしている。図１３では、上記温度検出用ダイオードがシリコン基板中に拡散ダイオードとして形成されている。また図１４では、ロコス(LOCOS: local field isolation oxide)によって電気的にＳｉ基板から分離された領域にポリシリコンダイオードを形成している。
【００２４】
図１５は、特許文献３に開示されているトレンチ型パワーＭＯＳＦＥＴの構造を示した図である。上記特許文献３では、トレンチ型パワーＭＯＳＦＥＴのトレンチアレイの中に組み込み型PN型ダイオードを形成することについて開示している。
【特許文献１】米国特許第４，７９５，７１６号明細書（平成元年（１９８９年）１月３日登録）
【特許文献２】米国特許第５，７９６，２９０号明細書（平成１０年（１９９８年）８月１８日登録）
【特許文献３】米国特許第６，０４６，４７０号明細書（平成元１２年（２０００年）４月４日登録）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２５】
しかしながら、上記従来の温度センサでは、電力制御装置の温度制御を高感度でおこなえないという問題点を有している。
【００２６】
ダイオードを用いる温度センサは、構造が単純である。そのため、上記特許文献２の方法のように安定性の高い複数の電流源などは必要ではなく、構成の単純さから温度センサとして好ましい。
【００２７】
しかしながら、温度センサに用いるダイオードは温度の変化に対して高感度である必要があり、また、理想的にはダイオードの温度Ｔｓとパワーデバイスの温度Ｔｃｈとが同じ温度になる（Ｔｓ＝Ｔｃｈ）ことが好ましい。
【００２８】
上記ダイオードが温度の変化に対して高感度であるためには、上記ダイオード毎の温度感受性を向上させるとともに、上記ダイオードを直列に接続し、ダイオード列として用いることによって温度に対する電圧の変化量を増大させることが行なわれている。上記ダイオード毎の温度感受性を向上させる方法については後述する。
【００２９】
パワーデバイスの温度Ｔｃｈがダイオードに伝わる過程について検討する。
【００３０】
図１６の（ａ）は、パワーＭＯＳＦＥＴと温度測定用のダイオード列との熱結合の様子を示した回路図であり、図１６の（ｂ）は、図１６の（ａ）に示す回路の熱回路図である。パワーＭＯＳＦＥＴの動作によって生じた熱Ｐｄは、パワーＭＯＳＦＥＴを構成する素子の温度をＴｃｈに上昇させる。また上記の熱はパワーＭＯＳＦＥＴを構成する素子に溜まる（ＣＴＨ）。また、発生した熱の一部はＧｐによってパワーＭＯＳＦＥＴを構成する素子の外部に放出される。
【００３１】
パワーＭＯＳＦＥＴと温度測定用のダイオード列とは、素子を構成する構造が異なっている。そのため、上記パワーＭＯＳＦＥＴと上記温度測定用のダイオード列との間には、熱伝導係数Ｇｃで示される熱の移動効率を示す定数が規定されている。上記熱伝導係数は大きいほど熱の移動効率が高いので、温度測定用のダイオード列によってパワーＭＯＳＦＥＴの温度を測定しようとする場合にも上記熱伝導係数が大きいことが望ましい。
【００３２】
熱伝導係数Ｇｃによって温度測定用のダイオード列に移動した熱は、温度測定用のダイオード列を構成する素子の温度をＴｓに上昇させる。また上記の熱は温度測定用のダイオード列を構成する素子に溜まる（ＣＴＨＳ）。また、発生した熱の一部はＧｓによって温度測定用のダイオード列を構成する素子の外部に放出される。
【００３３】
ここで、従来の図１３〜図１５に示されるパワーＭＯＳＦＥＴと温度測定用のダイオード列との間の熱結合に関する問題点を明らかにする。
【００３４】
図１３に記載するPNジャンクション拡散型ダイオードを用いる従来のセンサ構造では、パワーＭＯＳＦＥＴと温度測定用のダイオード列とを電気的に分離するために、上記温度測定用のダイオード列は上記パワーＭＯＳＦＥＴから離れた位置に形成されている。これは上記パワーＭＯＳＦＥＴと温度測定用のダイオード列とが、ともにシリコン基板の上に形成されており、電気的に絶縁する絶縁層を持たないためである。そのため、上記図１３のような構成をとった場合には、上記パワーＭＯＳＦＥＴと上記温度測定用のダイオード列との間は距離を置いて形成される。つまり、熱結合は弱くなり、熱伝導係数Ｇｃは小さくなる。さらに、PNダイオードを形成する工程がトレンチのプロセスとは工程上で互換ではないため、コストが高くなるという問題がある。
【００３５】
また、図１４に記載するＰｏｌｙＳｉを用いた従来の温度測定用のダイオード列では、ダイオードは、ロコスによって電気的にも熱的にもＳｉ基板から分離されて形成されている。
【００３６】
一般的に、LOCOSを形成するＳｉＯ２の熱伝導係数κｏｘはＳｉの熱伝導係数κＳｉと比較して小さいことが知られている。例えばκＳｉ／κｏｘ＝１０３．５７である。そのため、上記パワーＭＯＳＦＥＴと温度測定用のダイオード列とをLOCOSで隔てる図１４の構成では、熱の伝導は遅く、熱伝導係数Ｇｃは小さくなる。即ち、温度測定用のダイオード列の温度ＴｓはパワーＭＯＳＦＥＴの温度Ｔｃｈの変化に対して遅延して変化することになる。
【００３７】
さらに、図１４に開示されたダイオードでは、順方向電圧（ＶＦ）に対する温度係数（ＴＣＤ）がPNジャンクション拡散型ダイオードの温度係数（ＴＣＤ）に比べて小さい。そのため、PNジャンクション拡散型ダイオードを用いる場合と比較して、温度センサとしての感度が低いという問題点がある。
【００３８】
さらに、図１５に記載されているＭＯＳＦＥＴへの組み込み型PNダイオードＤ７０１、Ｄ７０１’，Ｄ７０２では、温度測定用のダイオードのPNジャンクションはトレンチから離れた位置に形成されている。このような構成が必要となるのは、パワーＭＯＳＦＥＴに寄生する電流の効果が上記組み込まれたPNダイオードＤ７０１、Ｄ７０１’，Ｄ７０２に及ばないようにする必要があるためである。
【００３９】
事実、上記特許文献３では、温度測定用のダイオードのカソードはトレンチのゲートから離さなければならないと記載されており、さらに特許文献３の請求項１では、カソード（第１拡散層）は第２拡散層を取り囲んでいる必要があると記載されている。換言すると、PNダイオードのカソードはトレンチから切り離されて形成される必要がある。
【００４０】
即ち、上記特許文献３の方法では、上記のように温度測定用のダイオードとパワーＭＯＳＦＥＴとを分離して構成する必要がある。つまり、パワーＭＯＳＦＥＴを構成するために大きな領域が必要であるとともに、温度測定用のダイオードとパワーＭＯＳＦＥＴと距離が大きくなり、結果として熱伝導係数Ｇｃが小さくなるという問題が発生する。
【００４１】
以上のように、従来のように電力制御装置に組み込まれた温度センサでは、高感度に電力装置の温度変化を検出することができなかった。
【００４２】
本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされたものであって、その目的は、温度制御を高感度でおこなうことができる温度センサを組み込んだ電力制御装置及びその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００４３】
本発明の電力制御装置は、上記課題を解決するために、同一基板上に、電力制御素子となるトランジスタ及び温度センサとなるダイオードが形成されている電力制御装置であって、上記トランジスタは、第１の導電タイプである高ドープドレイン部、第１の導電タイプである低ドープドレイン部、第２の導電タイプであるチャネルボディ部、及び第１の導電タイプであるソース部が、この順に隣接して積層された半導体基板上に、上記ソース部及び上記チャネルボディ部を貫通し上記低ドープドレイン部に達するトランジスタトレンチ部が設けられており、上記トランジスタトレンチ部によってトランジスタ領域が区画されており、上記ダイオードは、第１の導電タイプである高ドープドレイン部、第１の導電タイプである低ドープドレイン部、第２の導電タイプである第１バイアス拡散部、第１の導電タイプである低ドープアノード部が、この順に隣接して積層されるとともに、上記第１バイアス拡散部の一部は上記低ドープアノード部を貫通して表面に露出するように形成され、上記低ドープアノード部上には、第１の導電タイプである高ドープアノード部及び第２の導電タイプであるカソード部が隣接するように形成され、上記露出した上記第１バイアス拡散部上には、第２の導電タイプである第２バイアス拡散部が形成され、上記高ドープアノード部、カソード部、低ドープアノード部、及び上記第１バイアス拡散部を貫通し前記低ドープドレイン部に達するダイオードトレンチ部が設けられており、上記高ドープアノード部にアノード電極が設けられ、上記カソード層にカソード電極が設けられ、上記バイアス拡散部に第１バイアス電極が設けられ、上記ダイオードトレンチ部に第２バイアス電極が設けられており、上記ダイオードトレンチ部によってダイオード領域を区画されており、上記トランジスタと上記ダイオードは隣接して形成されるが、電気的には絶縁されていることを特徴としている。
【００４４】
上記の構成によれば、同一基板上に電力制御素子となるトランジスタと温度センサとなるダイオードとがそれぞれトランジスタトレンチ及びダイオードトレンチによって区画されて形成されている。つまり、上記の電力制御素子及び上記温度センサはそれぞれ上記のトランジスタトレンチ及びダイオードトレンチで囲まれた部分を単位として上記基板上で組み合わせることができるため、上記温度センサの配置を自由に行うことができる。
【００４５】
また、上記ダイオードトレンチは、上記高ドープアノード部、カソード部、低ドープアノード部、及び上記第１バイアス拡散部を貫通し、上記低ドープドレイン部に到達するように形成され、かつ、上記ダイオードを形成する高ドープアノード部、カソード部、低ドープアノード部、第１バイアス拡散部、及び第２バイアス拡散部を囲むように形成されている。そのため、上記ダイオードを構成する高ドープアノード部と、低ドープアノード部と、上記カソード部とはその下に形成されている第１バイアス拡散部及び上記ダイオードトレンチに囲まれて形成されている。
【００４６】
上記第２バイアス拡散部には第１バイアス電極が設けられており、上記第１バイアス電極に電位を与えてバイアスすることにより、上記のように構成されるダイオードが基板に形成されているトランジスタ及び他のダイオードからの電位変動を受けないように構成することができる。
【００４７】
また、上記電力制御装置を構成するトランジスタが垂直トレンチ型ＭＯＳＦＥＴで構成されており、トランジスタのゲート電極を構成するトランジスタトレンチによってそれぞれのトランジスタが区画されている。
【００４８】
即ち、上記ダイオード及び上記トランジスタはそれぞれがトランジスタトレンチ及びダイオードトレンチ、即ちトレンチで隔てられた位置に形成されており、上記トランジスタで発生した熱は隣接するトレンチを経由して速やかに上記ダイオードに伝導することができる。上記トランジスタ及びダイオードは、電力制御装置を構成する基板上に形成される積層構造の殆ど同じ階層に構成される構造であるので、上記トランジスタ及び上記ダイオードは基板上に平面的に配置することができるとともに、上記のように配置を行うことによって上記トランジスタ及び上記ダイオードをトレンチによって隔てただけの位置に形成することができ、上記トランジスタと上記ダイオードとの熱伝導効率をさらに向上させることができる。
【００４９】
また、上記の電力制御装置では、従来のように熱伝導性の劣るLOCOS膜を用いて上記トランジスタとダイオードとを区画せず、熱の伝導性に優れる上記トランジスタトレンチ及び上記ダイオードトレンチによって区画することができる。つまり上記トランジスタから上記ダイオードへの熱の伝導性に優れた構成とすることができる。特に上記ダイオードを温度センサとして用いる場合には、上記電力制御装置の温度変化に対する感受性が高い温度センサを実現することができる。
【００５０】
尚、上記第１の導電タイプがｐ型の半導体であり、上記第２の導電タイプがｎ型の半導体である構成であってもよいし、上記第１の導電タイプがｎ型の半導体であり、上記第２の導電タイプがｐ型の半導体である構成であってもよい。
【００５１】
また、上記ダイオードトレンチ部及び上記トランジスタトレンチ部がポリシリコンで形成されている構成であってもよい。
【００５２】
上記の構成によれば、電力制御装置に形成されるトレンチ部がポリシリコンで構成されている。ポリシリコンは熱の伝導性が高いため、上記トランジスタ及び上記ダイオードの熱伝導効率をさらに向上させることができる。
【００５３】
また、上記ダイオードトレンチ部と、上記トランジスタトレンチ部とが電気的に接続されていない構成であってもよい。
【００５４】
上記の構成によれば、ダイオードを区画するトレンチ部とトランジスタを区画するトレンチ部が電気的に接続されていないため、上記ダイオードはトランジスタを制御するために上記トランジスタトレンチ部に印加される電圧の影響を受けることがない。
【００５５】
また、上記ダイオードが同一基板上に複数形成され、ダイオード列が形成されており、上記ダイオード列は、第１個目の上記ダイオードの上記高ドープアノード部が上記ダイオード列のアノード電極として形成されており、第１個目の上記ダイオードの上記カソード部と次の上記ダイオードの上記高ドープアノード部とが電気的に接続され、ダイオード列要素が形成されており、さらに上記ダイオード列要素の端の上記カソード部と次の上記ダイオードの上記高ドープアノード部とが電気的に接続され、あらたにダイオード列要素が形成されるダイオード列要素の電気的な接続が繰り返し形成されており、最後の上記ダイオード列要素に電気的に接続された上記ダイオードの上記カソード部が上記ダイオード列のカソード電極として形成されており、上記ダイオード列が、上記温度センサである構成であってもよい。
【００５６】
上記の構成によれば、ダイオード列によって温度センサが構成されている。上記温度センサでは、温度の変化はダイオードによる電圧降下の大きさを基にして測定している。そのため、上記ダイオードを複数直列に接続したダイオード列を温度センサとして用いると、温度変化による電圧降下の大きさが単一のダイオードによって生じる電圧降下よりも大きくなるので、電力制御装置の温度の変化を高感度に検出することができる。
【００５７】
また、上記ダイオード列が、上記トランジスタの周囲に形成されている構成であってもよい。
【００５８】
上記の構成によれば、上記ダイオード列が上記トランジスタの周囲に形成されているため、上記トランジスタと上記ダイオード列との熱結合が向上する。即ち、熱の伝導効率を向上させることができ、上記温度センサの温度に対する感受性を高めることができる。
【００５９】
また、上記第２バイアス拡散部と上記高ドープアノード部とが電気的に接続されている構成であってもよい。
【００６０】
上記の構成によれば、上記ダイオードを構成する上で寄生して生じるバイポーラトランジスタの動作を停止することができる。上記の寄生するバイポーラトランジスタは、上記低ドープアノード部をエミッタ、上記第１バイアス拡散部をベース、上記高ドープドレイン部をコレクタとするバイポーラトランジスタであるが、上記第２バイアス拡散部と上記高ドープアノード部とが電気的に接続されていることによってエミッタ−ベース間の電位を等しくすることができ、これによって上記の寄生するバイポーラトランジスタの動作を停止することができる。
【００６１】
特に上記のようにダイオード列を形成している場合では、高ドープアノード部の半導体の極性がｐ型であれば、構成するダイオード列による電圧降下によって、エミッタにかかる電圧がベースにかかる電圧よりも低くなるため、上記の寄生するバイポーラトランジスタの動作を停止することができる。また高ドープアノード部の半導体の極性がｎ型であれば、構成するダイオード列による電圧降下によって、エミッタにかかる電圧がベースにかかる電圧よりも高くなるため、上記の寄生するバイポーラトランジスタの動作を停止することができる。
【００６２】
また、上記第２バイアス電極と上記アノード電極とが電気的に接続されている構成であってもよい。
【００６３】
上記の構成によれば、上記ダイオードを構成する上で寄生して生じるＭＯＳＦＥＴの動作を停止することができる。上記の寄生するＭＯＳＦＥＴは、上記ダイオードトレンチ部をゲート、上記高ドープアノード部をソース、上記高ドープドレイン部をドレインとするＭＯＳＦＥＴであるが、上記第２バイアス電極と上記アノード電極とが電気的に接続されていることによってゲート−ソース間の電位Ｖｇｓが等しくなり、これによって上記の寄生するＭＯＳＦＥＴの動作を停止することができる。
【００６４】
特に上記のようにダイオード列を形成している場合では、アノード電極の半導体の極性がｐ型であれば、構成するダイオード列による電圧降下によってゲートの電位の方がソースの電位より高くなり、上記の寄生するＭＯＳＦＥＴの動作を停止することができる。またアノード電極の半導体の極性がｎ型であれば、構成するダイオード列による電圧降下によってゲートの電位の方がソースの電位より低くなり、上記の寄生するＭＯＳＦＥＴの動作を停止することができる。
【００６５】
また、本発明の電力制御装置の製造方法は、上記課題を解決するために、同一基板上に、電力制御素子となるトランジスタがトランジスタトレンチ部によって区画されて形成されており、温度センサとなるダイオードがダイオードトレンチ部によって区画されて形成されている電力制御装置の製造方法であって、第１の導電タイプである高ドープドレイン部、第１の導電タイプである低ドープドレイン部、第２の導電タイプであるチャネルボディ部を、この順に隣接して基板上に積層する第１積層工程と、上記トランジスタトレンチ部を形成するトランジスタトレンチ形成工程と、上記ダイオードトレンチ部を形成するダイオードトレンチ形成工程と、上記ダイオードトレンチで区画された上記基板のチャネルボディ部上であり、かつ、上記高ドープドレイン部に対向する位置の一部をドープして第１の導電タイプである低ドープアノード部を形成する第２積層工程と、上記低ドープアノード部の上に第１の導電タイプである高ドープアノード部及び第２の導電タイプであるカソード部が互いに隣接するようにドープする第３積層工程と、上記ダイオードトレンチで区画された上記基板の上記チャネルボディ部上であり、かつ、上記高ドープドレイン部に対向する位置であるとともに上記低ドープアノード部が形成されずに上記チャネルボディ部が露出している位置をドープして第２の導電タイプである第２バイアス拡散部を形成する第４積層工程と、上記トランジスタトレンチで区画された上記基板の上記チャネルボディ部上であり、かつ、上記高ドープドレイン部に対向する位置に第１の導電タイプであるソース拡散部を隣接して上記基板上に積層する第５積層工程とを有しており、上記トランジスタトレンチ形成工程は、上記ソース拡散部及び上記チャネルボディ部を貫通し、上記低ドープドレイン部に到達するようにエッチングしてトランジスタトレンチ溝を形成する工程と、上記トランジスタトレンチ溝の表面にトランジスタゲート絶縁体を形成する工程と、上記トランジスタゲート絶縁体で囲まれる領域にトランジスタゲート電極を形成する工程と、上記トランジスタゲート電極の上に絶縁層を形成する工程とを含み、上記ダイオードトレンチ形成工程は、上記高ドープアノード部、上記カソード部、上記第２バイアス拡散部、上記低ドープアノード部、及び上記チャネルボディ部を貫通し、上記低ドープドレイン部に到達し、かつ、上記ダイオードを形成する上記高ドープアノード部、上記カソード部、上記第２バイアス拡散部、上記低ドープアノード部、及び上記チャネルボディ部を囲むようにエッチングしてダイオードトレンチ溝を形成する工程と、上記ダイオードトレンチ溝の表面にダイオードゲート絶縁体を形成する工程と、上記ダイオードゲート絶縁体で囲まれる領域に第２バイアス電極を形成する工程と、上記第２バイアス電極の上に絶縁層を形成する工程とを含むことを特徴としている。
【００６６】
上記の構成によれば、上記トランジスタ及び上記ダイオードは同一基板上に形成され、かつ、それらを同一の工程で形成することができる。即ち、製造するための工程を単純にすることができる。
【発明の効果】
【００６７】
本発明の電力制御装置は、以上のように、上記トランジスタは、第１の導電タイプである高ドープドレイン部、第１の導電タイプである低ドープドレイン部、第２の導電タイプであるチャネルボディ部、及び第１の導電タイプであるソース部が、この順に隣接して積層された半導体基板上に、上記ソース部及び上記チャネルボディ部を貫通し上記低ドープドレイン部に達するトランジスタトレンチ部が設けられており、上記トランジスタトレンチ部によってトランジスタ領域が区画されており、上記ダイオードは、第１の導電タイプである高ドープドレイン部、第１の導電タイプである低ドープドレイン部、第２の導電タイプである第１バイアス拡散部、第１の導電タイプである低ドープアノード部が、この順に隣接して積層されるとともに、上記第１バイアス拡散部の一部は上記低ドープアノード部を貫通して表面に露出するように形成され、上記低ドープアノード部上には、第１の導電タイプである高ドープアノード部及び第２の導電タイプであるカソード部が隣接するように形成され、上記露出した上記第１バイアス拡散部上には、第２の導電タイプである第２バイアス拡散部が形成され、上記高ドープアノード部、カソード部、低ドープアノード部、及び上記第１バイアス拡散部を貫通し前記低ドープドレイン部に達するダイオードトレンチ部が設けられており、上記高ドープアノード部にアノード電極が設けられ、上記カソード層にカソード電極が設けられ、上記バイアス拡散部に第１バイアス電極が設けられ、上記ダイオードトレンチ部に第２バイアス電極が設けられており、上記ダイオードトレンチ部によってダイオード領域を区画されており、上記トランジスタと上記ダイオードは隣接して形成されるが、電気的には絶縁されている。
【００６８】
また、本発明の電力制御装置の製造方法は、以上のように、第１の導電タイプである高ドープドレイン部、第１の導電タイプである低ドープドレイン部、第２の導電タイプであるチャネルボディ部を、この順に隣接して基板上に積層する第１積層工程と、上記トランジスタトレンチ部を形成するトランジスタトレンチ形成工程と、上記ダイオードトレンチ部を形成するダイオードトレンチ形成工程と、上記ダイオードトレンチで区画された上記基板のチャネルボディ部上であり、かつ、上記高ドープドレイン部に対向する位置の一部をドープして第１の導電タイプである低ドープアノード部を形成する第２積層工程と、上記低ドープアノード部の上に第１の導電タイプである高ドープアノード部及び第２の導電タイプであるカソード部が互いに隣接するようにドープする第３積層工程と、上記ダイオードトレンチで区画された上記基板の上記チャネルボディ部上であり、かつ、上記高ドープドレイン部に対向する位置であるとともに上記低ドープアノード部が形成されずに上記チャネルボディ部が露出している位置をドープして第２の導電タイプである第２バイアス拡散部を形成する第４積層工程と、上記トランジスタトレンチで区画された上記基板の上記チャネルボディ部上であり、かつ、上記高ドープドレイン部に対向する位置に第１の導電タイプであるソース拡散部を隣接して上記基板上に積層する第５積層工程とを有しており、上記トランジスタトレンチ形成工程は、上記ソース拡散部及び上記チャネルボディ部を貫通し、上記低ドープドレイン部に到達するようにエッチングしてトランジスタトレンチ溝を形成する工程と、上記トランジスタトレンチ溝の表面にトランジスタゲート絶縁体を形成する工程と、上記トランジスタゲート絶縁体で囲まれる領域にトランジスタゲート電極を形成する工程と、上記トランジスタゲート電極の上に絶縁層を形成する工程とを含み、上記ダイオードトレンチ形成工程は、上記高ドープアノード部、上記カソード部、上記第２バイアス拡散部、上記低ドープアノード部、及び上記チャネルボディ部を貫通し、上記低ドープドレイン部に到達し、かつ、上記ダイオードを形成する上記高ドープアノード部、上記カソード部、上記第２バイアス拡散部、上記低ドープアノード部、及び上記チャネルボディ部を囲むようにエッチングしてダイオードトレンチ溝を形成する工程と、上記ダイオードトレンチ溝の表面にダイオードゲート絶縁体を形成する工程と、上記ダイオードゲート絶縁体で囲まれる領域に第２バイアス電極を形成する工程と、上記第２バイアス電極の上に絶縁層を形成する工程とを含んでいる構成である。
【００６９】
上記の構成によれば、上記の電力制御素子及び上記温度センサはそれぞれ上記のトランジスタトレンチ及びダイオードトレンチで囲まれた部分を単位として上記基板上で組み合わせることができるため、上記温度センサの配置を自由に行うことができる。
【００７０】
また、上記ダイオードは、その下に形成されているチャネルボディ部及び上記ダイオードトレンチに囲まれて形成されている。上記バイアス拡散部には第１バイアス電極が設けられており、上記第１バイアス電極に電位を与えてバイアスすることにより、上記のように構成されるダイオードが基板に形成されているトランジスタ及び他のダイオードからの電位変動を受けないように構成することができる。
【００７１】
また、上記の電力制御装置では、従来のように熱伝導性の劣るLOCOS膜を用いて上記トランジスタとダイオードとを区画せず、熱の伝導性に優れる上記トランジスタトレンチ及び上記ダイオードトレンチによって区画することができる。つまり上記トランジスタから上記ダイオードへの熱の伝導性に優れた構成とすることができる。特に上記ダイオードを温度センサとして用いる場合には、上記電力制御装置の温度変化に対する感受性が高い温度センサを実現することができる。
【００７２】
また上記の構成によれば、上記トランジスタ及び上記ダイオードは同一基板上に形成され、かつ、それらを同一の工程で形成することができる。即ち、製造するための工程を単純にすることができる。特にトランジスタを垂直トレンチ型ＭＯＳＦＥＴとして形成すると、上記製造工程をさらに単純に構成することができる。
【００７３】
それゆえ、温度制御を高感度でおこなうことができる温度センサを組み込んだ電力制御装置を提供することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００７４】
本発明の一実施形態について図１〜図９に基づいて説明すれば、以下の通りである。
【００７５】
本実施の形態では、トレンチ型ダイオードデバイスの詳細について記載する。また、本実施の形態のトレンチ型ダイオードデバイスを有する温度センサ、及び上記温度センサとトレンチ型ＭＯＳＦＥＴとで構成される電力制御装置について記載する。
【００７６】
図１は、本発明のトレンチ型ダイオードデバイスを用いた電力制御装置の実施の一形態を示す見取り図であり、本実施の形態でのトレンチ型ＭＯＳＦＥＴと温度センサとの構造を示す断面の見取り図である。
【００７７】
また、図２は、図１のトレンチ型ダイオードデバイスの一つを拡大した断面の見取り図である。
【００７８】
本実施の形態の温度センサは、トレンチ型ダイオードデバイス１３を１個用いたダイオートまたは複数直列に接続したダイオード列で構成される。温度の変化はダイオードによる電圧降下の大きさを基にして測定する。特にダイオード列を用いて温度センサを構成すると、温度変化による電圧降下の大きさが単一のダイオードによって生じる電圧降下よりも大きくなるので、電力制御装置の温度の変化を高感度に検出することができる。
【００７９】
本実施の形態のトレンチ型ダイオードデバイス１３の構造は、図１に示すようにトレンチ型ＭＯＳＦＥＴ１２の構造と似ている。
【００８０】
まず、本実施の形態でのトレンチ型ＭＯＳＦＥＴ１２の構成を図１を用いて説明する。
【００８１】
本実施の形態でのトレンチ型ＭＯＳＦＥＴ１２では、高密度にドープされた基板１及びエピタキシャル層２である半導体層とＭＯＳＦＥＴの第１バイアス拡散層３’である半導体層とを有する。上記基板１の上に上記エピタキシャル層２が形成され、さらに上記エピタキシャル層２の上に第１バイアス拡散層３’が形成される。上記エピタキシャル層２は基板１よりも低密度にドープされた部位であり、ドリフト部を形成している。また、上記第１バイアス拡散層３’の上には、ソース拡散層７’が形成される。上記第１バイアス拡散層３’の上に、第２ボディ拡散層８’がソース拡散層７’に隣り合うように設けられていてもよい。
【００８２】
上記基板1、エピタキシャル層２、及びソース拡散層７’の極性（第1の極性）と第１バイアス拡散層３’及び第２ボディ拡散層８’の極性（第２の極性）とは反対であり、本実施の形態では第1の極性をｐ型として記載している。上記極性は設計によって適宜変更できるものであり、上記第1の極性をｎ型として実施することも可能である。
【００８３】
また、本実施の形態でのトレンチ型ＭＯＳＦＥＴ１２では、ゲート電極６’とゲート電極の周囲に設けられているゲート絶縁体５’とは、ソース拡散層７’、第２ボディ拡散層８’及び第１バイアス拡散層３’を貫通し、エピタキシャル層２の一部に到達するトレンチ４’を形成している。また、ゲート電極６’はゲート電極Ｇに接続されている。また、本実施の形態のゲート電極６’は、ポリシリコンで形成されていることが好ましい。
【００８４】
そして、ソース拡散層７’及び第２ボディ拡散層８’は図示しないトップの金属被覆に接続され、ソース電極Ｓを形成する。また、上記基板１の底部には金属被覆９が形成され、ドレイン電極Ｄが形成される。
【００８５】
本実施の形態のトレンチ型ＭＯＳＦＥＴ１２では、ソース拡散層７’に印加している電位よりも低い電位をゲート電極６’に印加すると、上記トレンチ４’が第１バイアス拡散層３’へチャネルを形成し、反転層を形成する。そのためソース拡散層７’とエピタキシャル層２との間に電流を流すことができる。つまり、ＭＯＳＦＥＴ１２の電気の伝導を制御することができる。即ち、これらは従来のトレンチ型ＭＯＳＦＥＴの構造と同じ構造である。
【００８６】
次に、本実施の形態のトレンチ型ダイオードデバイス１３の構成を図１を用いて説明する。
【００８７】
本実施の形態でのトレンチ型ダイオードデバイス１３では、高密度にドープされた基板1及びエピタキシャル層２である半導体層とＭＯＳＦＥＴの第１バイアス拡散層３である半導体層とを有する。上記基板１の上に上記エピタキシャル層２が形成され、さらに上記エピタキシャル層２の上に第１バイアス拡散層３が形成される。上記エピタキシャル層２は基板１よりも低密度にドープされた部位であり、ドリフト部を形成している。
【００８８】
また、本実施の形態でのトレンチ型ダイオードデバイス１３では、上記第１バイアス拡散層３の上部に低密度にドープされた低ドープアノード層１０が形成され、それらの上部に高ドープアノード層７、カソード層８、第２バイアス拡散層１１、カソード層８を電気的に分離する為の分離用拡散層１９、及び第２バイアス拡散層１１が形成される。高ドープアノード層７及びカソード層８は、隣り合うように形成される。そして第２バイアス拡散層１１は上記高ドープアノード層７及びカソード層８とは分離用拡散層１９を挟んで形成されている。高ドープアノード層７、カソード層８、及び分離用拡散層１９は低ドープアノード層１０の上に形成されるが、第２バイアス拡散層１１は後述するように第１バイアス拡散層３の上部に形成される。低ドープアノード層１０、カソード層８、及び第２バイアス拡散層１１については後に詳しく記載する。
【００８９】
上記基板1、エピタキシャル層２、高ドープアノード層７、及び低ドープアノード層１０の極性（第1の極性）と第１バイアス拡散層３、カソード層８、及び第２バイアス拡散層１１の極性（第２の極性）とは反対であり、本実施の形態では第1の極性をｐ型として記載している。上記極性は設計によって適宜変更できるものであり、上記第1の極性をｎ型として実施することも可能である。
【００９０】
また、本実施の形態でのトレンチ型ダイオードデバイス１３では、ゲート電極６とゲート電極の周囲に設けられているゲート絶縁体５とは、高ドープアノード層７、カソード層８、分離用拡散層１９、第２バイアス拡散層１１、低ドープアノード層１０、及び第１バイアス拡散層３を貫通し、エピタキシャル層２の一部に到達するトレンチ４を形成している。またトレンチ４は、上記の高ドープアノード層７、カソード層８、分離用拡散層１９、第２バイアス拡散層１１、低ドープアノード層１０、第１バイアス拡散層３、及びエピタキシャル層２の一部（以降、ダイオード要素と記載）を取り囲むように形成される。そのため、本実施の形態でのトレンチ型ダイオードデバイス１３では、それぞれのダイオード要素がトレンチ４によって隔てられて形成されている。
【００９１】
また、本実施の形態のゲート電極６は、ポリシリコンで形成されていることが好ましい。ゲート電極６がポリシリコンで形成されていることにより、本実施の形態での複数のトレンチ型ダイオードデバイス１３を隔てているトレンチ４の熱伝導効率を高くすることができる。また、トレンチ型ＭＯＳＦＥＴ１２のトレンチ４’のゲート電極６’もポリシリコンで形成されていると、トレンチ型ＭＯＳＦＥＴ１２で発生した熱がトレンチ型ダイオードデバイス１３に伝導する効率を高めることができる。即ち、トレンチ型ＭＯＳＦＥＴ１２とトレンチ型ダイオードデバイス１３との熱結合を高めることができる。
【００９２】
そして、高ドープアノード層７は図示しないトップの金属被覆に接続される。また金属被覆９はデバイスの底部に金属被覆を形成しており、ドレイン電極Ｄを形成している。
【００９３】
また、本実施の形態のトレンチ型ダイオードデバイス１３では、図２に示すように、上記第２の極性である第１バイアス拡散層３が第1の極性をもつ低ドープアノード層１０を取り囲むように覆っている。また、トレンチ４の近くにある第１バイアス拡散層３の一部は低ドープアノード層１０とトレンチ４の間から基板１とは反対側へ伸展しており、第２の極性を持つ第２バイアス拡散層１１に接続している。上記第２バイアス拡散層１１は第１バイアス電極ＶＢに接続している。第１バイアス電極ＶＢは、エピタキシャル層２と上記ダイオード要素との電気的な接続の影響を抑えるためのバイアス電位ＶＢを印加する電極である。バイアス電位ＶＢを印加することによる動作の詳細については後述する。
【００９４】
低ドープアノード層１０の上部には、第1の極性をもつ高ドープアノード層７と第２の極性をもつカソード層８とが形成される。本実施の形態では、高ドープアノード層７と低ドープアノード層１０とはトレンチ型ダイオードデバイス１３のアノード（Ａ）を構成し、カソード層８はカソード（Ｋ）を構成する。上記高ドープアノード層７及びカソード層８はそれぞれアノード電極ＥＡ及びカソード電極ＥＡに接続されている。
【００９５】
また、本実施の形態のトレンチ型ダイオードデバイス１３のトレンチ４は、本実施の形態のトレンチ型ＭＯＳＦＥＴ１２のトレンチ４’とは別に形成されており、それぞれに形成されるゲート電極６’及びゲート電極６は独立しており、電気的にも接続されていない。トレンチ型ダイオードデバイス１３のゲート電極６は、第２バイアス電極ＤＧに接続されている。第２バイアス電極ＤＧに電圧を印加し、本実施の形態のトレンチ型ダイオードデバイス１３に寄生するＭＯＳＦＥＴの動作を抑える作用については後述する。
【００９６】
一般的に、トレンチ型ＭＯＳＦＥＴを構成する第１バイアス拡散層３のドーピング密度は３×１０１６〜４×１０１７〔ａｔ／ｃｍ３〕であり、第１バイアス拡散層３の層の厚さＸｊｎは１〜４〔μｍ〕である。また低ドープアノード層１０のドーピング密度は１×１０１６〜１×１０１８〔ａｔ／ｃｍ３〕であり、低ドープアノード層１０の厚さＸｊｐは０．５〜３〔μｍ〕である。また高ドープアノード層７のドーピング密度は約１×１０２０〔ａｔ／ｃｍ３〕であり、高ドープアノード層７の厚さＸｊｐ＋は０．１〜０．５〔μｍ〕である。また、カソード層８の厚さＸｊｎ＋は０．１〜０．５〔μｍ〕である。
【００９７】
本実施の形態でのトレンチ型ＭＯＳＦＥＴ１２及びトレンチ型ダイオードデバイス１３でも、上記の構成は特に限定されない。また、本実施の形態のトレンチ型ダイオードデバイス１３は順方向領域で使用されるため、上記構成であってもブレイクダウンをおこすことはない。
【００９８】
本実施の形態のトレンチ型ＭＯＳＦＥＴ１２及びトレンチ型ダイオードデバイス１３は、例えば、図１に示すように、トレンチ型ＭＯＳＦＥＴ１２のすぐ隣に本実施の形態のトレンチ型ダイオードデバイス１３を形成することができる。上記のように構成することにより、トレンチ型ＭＯＳＦＥＴ１２で発生した熱を本実施の形態のトレンチ型ダイオードデバイス１３に速やかに伝達することができる。また従来のポリシリコン型ダイオードとトレンチ型ＭＯＳＦＥＴとを組み合わせる構成と比較すると、LOCOSを形成することなくダイオードを形成することができるため、トレンチ型ＭＯＳＦＥＴからダイオードへの熱伝導が向上するとともに、LOCOSを構成するための基板領域を新たに設ける必要がなく、トレンチ型ＭＯＳＦＥＴとダイオードによる温度センサとを備える電力制御装置を小型に構成することができる。
【００９９】
図１では、トレンチ型ＭＯＳＦＥＴ１２とトレンチ型ダイオードデバイス１３とがそれぞれ近くにまとめられて、トレンチ型ＭＯＳＦＥＴ群とトレンチ型ダイオードデバイス群とが隣り合う構成となっているが、上記のトレンチ型ＭＯＳＦＥＴ１２とトレンチ型ダイオードデバイス１３との配置はこれには限定されない。即ち、目的とする装置の構成によって適宜自由に設定することができる。例えば、上記トレンチ型ＭＯＳＦＥＴ１２とトレンチ型ダイオードデバイス１３とが交互、または必要に応じて入り混じって配置される構成などとすることができる。即ち、電力制御素子であるパワーＭＯＳＦＥＴの近くにＰＮジャンクション型のダイオードを有する電力制御装置を構成することができる。
【０１００】
尚、本発明の温度センサと組み合わせて電力制御装置を構成するパワーＭＯＳＦＥＴは、本実施の形態のようにトレンチ型ＭＯＳＦＥＴ１２であることが好ましいが、例えばプレーナ型のＭＯＳＦＥＴと組み合わせて構成することも可能である。例えば、図３のようにソースＳ’’、ゲートＧ’’、及びドレインＤ’’を有するプレーナ型ＭＯＳＦＥＴ１２’’が、トレンチ４を挟んで本実施の形態のトレンチ型ダイオードデバイス１３と組み合わされるような電力制御装置を構成することができる。この場合には、プレーナ型ＭＯＳＦＥＴ１２’’と上記温度センサとの間がトレンチ４によって隔てられる構成となるため、従来のようにLOCOSによる熱の伝達の阻害は発生せず、またＭＯＳＦＥＴのすぐそばに温度センサを設けることができるため、電力制御装置の温度制御を高感度で行うことができる。
【０１０１】
次に、本実施の形態のトレンチ型ダイオードデバイス１３の動作について記載する。
【０１０２】
本実施の形態のトレンチ型ダイオードデバイス１３は、第1の極性をもつ層と第２の極性をもつ層とが積層することによって、図２及び図４に図示するような等価回路として実現されている。
【０１０３】
即ち、本実施の形態のトレンチ型ダイオードデバイス１３では、カソード層８をエミッタとし、高ドープアノード層７及び低ドープアノード層１０をベースとし、第１バイアス拡散層３をコレクタとする、トレンチ４によって囲われている領域の中に形成されるＮＰＮバイポーラトランジスタＱが形成されている。上記ＮＰＮバイポーラトランジスタＱは、順方向のエミッタ−ベース接合によってダイオードとして機能するように構成されている。上記高ドープアノード層７及びカソード層８はそれぞれアノード電極ＥＡ及びカソード電極ＥＡに接続されており、上記第１バイアス拡散層３は第２バイアス拡散層１１を経由して電極Ｂに接続されている。
【０１０４】
また、本実施の形態のトレンチ型ダイオードデバイス１３では、低ドープアノード層１０をエミッタとし、第１バイアス拡散層３をベースとし、エピタキシャル層２をコレクタとする、寄生するＰＮＰバイポーラトランジスタＱｐも形成されている。上記低ドープアノード層１０は高ドープアノード層７を経由してアノード電極ＥＡに接続し、上記第１バイアス拡散層３は第２バイアス拡散層１１を経由して電極Ｂに接続し、上記エピタキシャル層２は基板１及び金属被覆９を経由してドレイン電極Ｄに接続している。
【０１０５】
さらに、本実施の形態のトレンチ型ダイオードデバイス１３では、図４に図示するような等価回路で示されるＭＯＳＦＥＴのＴｒｐが寄生している。上記の寄生するＭＯＳＦＥＴのＴｒｐでは、トレンチ４のゲート電極６がゲートを構成し、高ドープアノード層７及び低ドープアノード層１０がソースを構成し、エピタキシャル層２がドレインを構成している。上記ソース及びドレインの間には第１バイアス拡散層３が挟み込まれており、トレンチ型のＭＯＳＦＥＴを構成している。尚、上記ゲート電極６は第２バイアス電極ＤＧに接続し、上記高ドープアノード層７はアノード電極ＥＡに接続し、上記エピタキシャル層２は基板１及び金属被覆９を経由してドレイン電極Ｄに接続している。
【０１０６】
特に、上記の寄生するＭＯＳＦＥＴのＴｒｐは、トレンチ４がゲートとして機能し、第１バイアス拡散層３に反転層を形成すると、本実施の形態のトレンチ型ダイオードデバイスのアノード（Ａ）とエピタキシャル層２とを電気的に接続してしまう。すなわち、上記の寄生するＭＯＳＦＥＴのＴｒｐを動作させると、本実施の形態でのトレンチ型ダイオードデバイス１３の動作が不安定になる可能性を有している。
【０１０７】
そのため、本実施の形態のトレンチ型ダイオードデバイス１３では、上記トレンチ４のゲート電極６が適当な電位に接続されることによって上記問題を解消している。たとえば、図５に示す回路図のように、本実施の形態のトレンチ型ダイオードデバイス１３では、トレンチ４のゲートの第２バイアス電極ＤＧがダイオードのアノード（Ａ）に接続される。
【０１０８】
上記のように接続することによって、上記の寄生するＭＯＳＦＥＴのＴｒｐではゲート−ソース間の電位Ｖｇｓが等しくなり、寄生するＭＯＳＦＥＴのＴｒｐはＯＦＦの状態になる。即ち上記寄生するＭＯＳＦＥＴのＴｒｐ自体の動作を停止することができ、本実施の形態でのトレンチ型ダイオードデバイスの動作を安定させることができる。
【０１０９】
また、本実施の形態のトレンチ型ダイオードデバイス１３では、第１バイアス電極ＶＢにバイアス電位ＶＢを印加することにより、上記のそれぞれのダイオード要素の動作をエピタキシャル層２などによる電気的な動作から切り離すことができる。即ち、上記トレンチ４と、第１バイアス拡散層３に印加されるバイアス電位ＶＢとによって、それぞれのトレンチ型ダイオードデバイス１３は周囲のトレンチ型ＭＯＳＦＥＴ１２及びトレンチ型ダイオードデバイス１３から、機械的、電気的に隔離される。
【０１１０】
さらに、寄生するＰＮＰバイポーラトランジスタＱｐは、エミッタ−ベース電位をＶＥＢ≦０とすることによってＯＦＦの状態とすることができる。例えば図６に示す回路図のように、本実施の形態のトレンチ型ダイオードデバイス１３のアノード電極ＥＡと第１バイアス拡散層３から伸びる第１バイアス電極ＶＢとを電気的に接続し、電位ＶＢをアノードの電位と等しくしてしまっても良い。このように接続することによって、少なくともＶＥＢ＝０とすることができるため、上記Ｑｐを動作させることなく、本実施の形態のトレンチ型ダイオードデバイス１３を動作させることができる。
【０１１１】
また、上記トレンチ型ダイオードデバイス１３のアノード（Ａ）とカソード（Ｋ）とを直列につなぎ、ダイオード列を形成することもできる。図７に本実施の形態のトレンチ型ダイオードデバイス１３を直列につないだダイオード列２００の一例を示す。図７に示すダイオード列２００では、本実施の形態のトレンチ型ダイオードデバイス１３を複数個設け、１番目のトレンチ型ダイオードデバイス１３のカソード電極ＥＡと２番目のトレンチ型ダイオードデバイス１３のアノード電極ＥＡとを接続し、ダイオード列要素１３’とする。同様に接続していき、ｉ番目のトレンチ型ダイオードデバイス１３までを接続したダイオード列要素１３’の端のカソード電極ＥＡとｉ＋１番目のトレンチ型ダイオードデバイス１３のアノード電極ＥＡとを接続し、Ｎ個のダイオードを直列に接続する。
【０１１２】
それぞれのトレンチ型ダイオードデバイス１３に寄生するＭＯＳＦＥＴのＴｒｐ及びＰＮＰバイポーラトランジスタＱｐは、例えば以下のように電極を接続することによって動作を停止させることができる。
【０１１３】
まず、図１のように形成された複数のトレンチ型ダイオードデバイス１３では、それぞれのドレイン電極Ｄは共通であるので接続されている。次に、それぞれのトレンチ型ダイオードデバイス１３の第１バイアス電極ＶＢを上記１番目のトレンチ型ダイオードデバイス１３のアノード電極ＥＡに接続する。また、それぞれのトレンチ型ダイオードデバイス１３の第２バイアス電極ＤＧを上記１番目のトレンチ型ダイオードデバイス１３のアノード電極ＥＡに接続する。本実施の形態では、上記のように接続した１番目のトレンチ型ダイオードデバイス１３のアノード電極ＥＡをアノードとし、Ｎ番目のトレンチ型ダイオードデバイス１３のカソード電極ＥＡをカソードとするダイオード列を形成している。
【０１１４】
上記のように接続すると、寄生するＰＮＰバイポーラトランジスタＱｐのベース電位が全て１番目のトレンチ型ダイオードデバイス１３のアノードの電位に固定される。また、寄生するＭＯＳＦＥＴのＴｒｐのゲート電位が全て１番目のトレンチ型ダイオードデバイス１３のアノードの電位に固定される。
【０１１５】
２番目以降ｉ番目のトレンチ型ダイオードデバイス１３のアノード電極ＥＡｉは一つ前のトレンチ型ダイオードデバイス１３のカソード電極ＥＡｉ−１に接続されるため、ｉ番目のトレンチ型ダイオードデバイス１３のアノードの電位は１番目のアノードの電位と比較して、ｉ−１個のダイオード列での電圧降下に相当する電圧だけ電位が降下している。即ちｉ番目のトレンチ型ダイオードデバイス１３に寄生するＰＮＰバイポーラトランジスタＱｐｉのエミッタ電位は、ｉ−１個のダイオード列での電圧降下に相当する電圧だけ電位が降下している。また、ｉ番目のトレンチ型ダイオードデバイス１３に寄生するＭＯＳＦＥＴのＴｒｐｉのソース電位は、ｉ−１個のダイオード列での電圧降下に相当する電圧だけ電位が降下している。
【０１１６】
一方、ｉ番目のＰＮＰバイポーラトランジスタＱｐｉのベース電位は、１番目のトレンチ型ダイオードデバイス１３のアノードの電位に固定されている。このため、寄生するＰＮＰバイポーラトランジスタＱｐのエミッタにかかる電位をベースにかかる電位よりも低くすることができる。即ち、寄生するＰＮＰバイポーラトランジスタＱｐｉの動作を停止させることができる。
【０１１７】
また、ｉ番目のＭＯＳＦＥＴのＴｒｐｉのゲート電位は、１番目のトレンチ型ダイオードデバイス１３のアノードの電位に固定されている。このため、寄生するＭＯＳＦＥＴのＴｒｐのゲートにかかる電位をソースにかかる電位よりも高くすることができる。即ち、寄生するＭＯＳＦＥＴのＴｒｐｉの動作を停止させることができる。
【０１１８】
尚、上記では半導体の第１の極性がｐ型である場合について記載したが、第１の極性がｎ型である場合であっても同様にダイオード列に寄生するＮＰＮバイポーラトランジスタＱｐｉ’及びＭＯＳＦＥＴのＴｒｐｉ’の動作を停止させることができる。半導体の第１の極性がｎ型の場合には、ＮＰＮバイポーラトランジスタＱｐｉ’では構成するダイオード列による電圧降下によって、エミッタにかかる電位がベースにかかる電位よりも高くなるため、上記の寄生するバイポーラトランジスタの動作を停止することができる。また、ＭＯＳＦＥＴのＴｒｐｉ’では、構成するダイオード列による電圧降下によってゲートの電位の方がソースの電位より低くなり、上記の寄生するＭＯＳＦＥＴの動作を停止することができる。
【０１１９】
本実施の形態のトレンチ型ダイオードデバイス１３は、上記のような構成をとり、寄生するＭＯＳＦＥＴのＴｒｐ及びＰＮＰバイポーラトランジスタＱｐの動作を停止させることができる。また、各トレンチ型ダイオードデバイス１３は、トレンチ型ＭＯＳＦＥＴ１２及びトレンチ型ダイオードデバイス１３から機械的、電気的に隔離されており、かつ、上記トレンチ型ＭＯＳＦＥＴ１２及びトレンチ型ダイオードデバイス１３はトレンチ４，４’を隔てた位置に隣接して配置することができる。上記トレンチ４，４’はゲート電極６、６’とゲート絶縁体５、５’とによって構成されており、ゲート電極６、６’がポリシリコンで構成されているので、熱の伝導性がよい。即ちトレンチ型ＭＯＳＦＥＴ１２で発生した熱は速やかにトレンチ型ダイオードデバイス１３に伝達される。
【０１２０】
次に、本実施の形態でのトレンチ型ＭＯＳＦＥＴ１２及びトレンチ型ダイオードデバイス１３の製造方法を、図８に基づいて説明する。図８の（ａ）〜（ｇ）は、本実施の形態のトレンチ型ＭＯＳＦＥＴ１２及びトレンチ型ダイオードデバイス１３の製造方法の各段階での状態を示す断面の見取り図である。本実施の形態では、トレンチ型ＭＯＳＦＥＴ１２を図８（ａ）〜（ｇ）の左側、トレンチ型ダイオードデバイス１３を図８（ａ）〜（ｇ）の右側に形成する場合について説明する。トレンチ型ＭＯＳＦＥＴ１２とトレンチ型ダイオードデバイス１３とを設ける個数及び形成する位置などは、目的とする装置の構成によって適宜自由に設定することができる。尚、本実施の形態では、第１の極性がｐ型のトレンチ型ＭＯＳＦＥＴ１２及びトレンチ型ダイオードデバイス１３の製造方法について記載するが、上記極性は設計によって適宜変更できるものであり、上記第1の極性をｎ型として実施することも可能である。
【０１２１】
まず、図８（ａ）のように、高密度にドープされたｐ型の極性を持つ基板１を形成する。典型的な例として、その抵抗率が０．０１〔Ω・ｃｍ〕以下となるようにｐ型に高密度にドープされている。
【０１２２】
次に、上記基板１の上に、当該基板１より低密度にドープされたｐ型の層をエピタキシャル成長させてエピタキシャル層２を形成する。このように形成されるエピタキシャル層２の抵抗率及び層の厚さは、目的とする半導体装置の電気的な特性によって設定することができる。例えば、製造する半導体装置が縦型のｐ型ＭＯＳＦＥＴであり、そのＭＯＳＦＥＴのＶｄｓｓが約４０〔Ｖ〕である半導体装置を製造する場合には、上記エピタキシャル層２の有する抵抗率は１．５〜３〔Ω・ｃｍ〕であることが好ましく、また上記エピタキシャル層２の層の厚さは５〜１０〔μｍ〕であることが好ましい。
【０１２３】
次に、上記エピタキシャル層２の上に、ＭＯＳＦＥＴの第１バイアス拡散層３’及びトレンチ型ダイオードデバイスの第１バイアス拡散層３を形成する。
【０１２４】
上記第１バイアス拡散層３，３’は、ｎ型の極性を有する物質を上記基板１と反対の方向から打ち込むことによって形成する。例えばリン原子などをドーパントとして用いることができる。また、上記第１バイアス拡散層３，３’の層の厚さ（Ｘｊｎ）及びドープする密度は目的とする半導体装置の電気的な特性によって設定することができる。例えば層の厚さを１．５〔μｍ〕とし、ドープする密度は第１バイアス拡散層３，３’の表面において１×１０１７〜３×１０１７〔ａｔ/ｃｍ３〕であるように形成してもよい。
【０１２５】
尚、本実施の形態の図８では、トレンチ型ＭＯＳＦＥＴ１２の図７に示す切断面から遠い領域１４には第１バイアス拡散層３’を形成していないが、領域１４においても第１バイアス拡散層３’を形成してもよい。上記の領域１４に第１バイアス拡散層３’を形成しない場合には、上記領域１４をレジストなどによってマスクした後、第１バイアス拡散層３’のドープを行えばよい。
【０１２６】
次に、図８（ｂ）のように、第１バイアス拡散層３，３’の上側に酸化膜１５を形成する。さらにフォトレジスト剤１６を酸化膜１５の上に設けた後に、トレンチ４，４’を形成する位置のパターニングを行い、さらにトレンチ４，４’を形成する部分のフォトレジスト剤１６を除去する。これらのパターン形成は、公知の方法で行うことができる。
【０１２７】
次に、図８（ｃ）のように、上記のパターンをエッチングマスクとして用い、上記積層された基板をエッチングする。エッチングは公知の方法を用いることができる、例えばドライエッチングなどの方法を用いることができる。
【０１２８】
エッチングは上記積層された基板の基板１とは反対側の表面から行い、酸化膜１５及び第１バイアス拡散層３，３’を貫通し、エピタキシャル層２の一部に到達するようにトレンチ４，４’を形成する。
【０１２９】
上記トレンチ４，４’の深さＸｔは第１バイアス拡散層３，３’の層の厚さＸｊｎよりも深く形成される。例えば、トレンチ４，４’の深さＸｔは２〜３．５〔μｍ〕としてもよい。
【０１３０】
次に、トレンチ４，４’を形成し、酸化膜１５及びフォトレジスト剤１６を除去した後、図８（ｄ）のように上記トレンチ４，４’の表面に２０〜５０〔ｎｍ〕の酸化膜１７を熱形成などによって形成し、さらにウエットエッチングによって上記酸化膜１７を除去する。
【０１３１】
上記の工程によって、トレンチ４，４’の側壁がスムースになり、また上記ドライエッチングの工程によって生じたトレンチ４，４’表面のダメージを取り除くことができる。
【０１３２】
酸化膜１７を除去した後、図８（ｅ）のようにゲート絶縁体５，５’を形成する。ゲート絶縁体５，５’は、例えばトレンチ４，４’の側壁を酸化して成長させてもよい。ゲート絶縁体５，５’の厚さは、目的とする半導体装置の電気的な特性によって決定すればよい。例えば上記のｐ型ＭＯＳＦＥＴを製造する場合には、ゲート絶縁体５，５’の厚さを３０〜１００〔ｎｍ〕とすればよい。
【０１３３】
そして、トレンチ４，４’のゲート絶縁体５，５’に囲まれた領域にポリシリコンを充填し、ゲート電極６，６’を形成する。上記ゲート電極６，６’はｎ型のドーパントを用いてドーピングされる。ドーピングの密度は、例えば５×１０１９〔ａｔ／ｃｍ３〕より高い密度であることが好ましい。そして、ゲート電極６，６’の上にＣＶＤ酸化物を堆積させ、ゲート電極６，６’を孤立化させる。
【０１３４】
そして、フォトレジスト剤１８を上記の積層された基板の基板１とは反対側の表面に設け、図８（ｆ）のようにトレンチ型ダイオードデバイス１３の第１バイアス拡散層３の位置位置のパターニングを行う。さらに第１バイアス拡散層３を形成する位置のフォトレジスト剤１８を除去する。これらのパターニングは、公知の方法で行うことができる。
【０１３５】
次に、図８（ｇ）のように１１Ｂ＋イオンを１×１０１３〜３×１０１３〔ａｔ／ｃｍ３〕の密度でドーピングし、ｐ型の低ドープアノード層１０を形成する。ｐ型の低ドープアノード層１０の層の厚さＸｊｐは、例えば０．７〜１〔μｍ〕とすればよい。
【０１３６】
続けて、公知の方法などによって、低ドープアノード層１０の露出している表面であり、かつ、高ドープアノード層７を形成する領域及び第１バイアス拡散層３の露出している表面であり、かつ、ソース拡散層７’を形成する領域にｐ型のドーパントをドープし、高ドープアノード層７及びソース拡散層７’を形成する。また、低ドープアノード層１０の露出している表面であり、かつ、カソード層８を形成する領域、第１バイアス拡散層３の露出している表面であり、かつ、第２バイアス拡散層１１を形成する領域、及び第１バイアス拡散層３’の露出している表面であり、かつ、カソード層８を形成する領域にｎ型のドーパントをドープし、カソード層８、第２バイアス拡散層１１、及びカソード層８を形成する。カソード層８と第２バイアス拡散層１１との間には、公知の方法によってバイアス分離用拡散層１９が形成される。
【０１３７】
そして、公知の方法を用いて、トレンチ型ＭＯＳＦＥＴ１２のソース拡散層７’にソース電極Ｓを形成し、ゲート電極６’にゲート電極Ｇを形成し、基板１の底面に金属被覆９を形成し、ドレイン電極Ｄを形成する。
【０１３８】
また、公知の方法を用いて、トレンチ型ダイオードデバイス１３の高ドープアノード層７にアノード電極ＥＡを形成し、カソード層８にカソード電極ＥＡを形成し、第２バイアス拡散層１１に第１バイアス電極ＶＢを形成し、ゲート電極６に第２バイアス電極ＤＧを形成する。
【０１３９】
上記のように、本実施の形態のトレンチ型ＭＯＳＦＥＴ１２及びトレンチ型ダイオードデバイス１３は、公知の方法によって製造することができる。
【０１４０】
即ち、これらは従来のトレンチ型ＭＯＳＦＥＴの構造と似た構造及びプロセスで形成することができる。即ち、本実施の形態のトレンチ型ダイオードデバイス１３は、従来のトレンチ型ＭＯＳＦＥＴと同じプロセスを用いて形成することができ、同じ基板上に形成することができる。
【０１４１】
次に、図９を用いて上記トレンチ型ダイオードデバイス１３を用いた温度センサについて説明する。即ち、本実施の形態では、上記のトレンチ型ダイオードデバイス１３が温度センサとして動作する。
【０１４２】
図９は、本実施の形態でのシャットダウン回路３００について記載している回路図である。本実施の形態のシャットダウン回路３００は、パワーＭＯＳＦＥＴ３０１に発生する熱によってシャットダウン回路３００の温度が温度Ｔｃまで上昇するとシャットダウンする回路である。尚、図９の温度センサ３０５が、図１に記載されたトレンチ型ダイオードデバイス１３を直列に接続したダイオード列である。
【０１４３】
本実施の形態のダイオード列では、上記トレンチ型ダイオードデバイス１３がＮ個直列に接続されている。実施の形態１では、図７のようにダイオード列が、ＮＰＮバイポーラトランジスタＱ、寄生するＭＯＳＦＥＴのＴｒｐ、及び寄生するＰＮＰバイポーラトランジスタＱｐによって形成される回路図で示した。本実施の形態では、上記のように図７の説明で示した方法によって上記の寄生するＭＯＳＦＥＴのＴｒｐ及び寄生するＰＮＰバイポーラトランジスタＱｐの動作を停止させることができることを示したので、便宜上寄生するＭＯＳＦＥＴのＴｒｐは記載していない。また、図９のパワーＭＯＳＦＥＴ３０１は、図１に記載されたトレンチ型ＭＯＳＦＥＴ１２によってアレイ状に形成されたパワーＭＯＳＦＥＴを示している。
【０１４４】
上記のパワーＭＯＳＦＥＴ３０１は、ゲート端子がパワーＭＯＳＦＥＴ３０１の制御信号を入力するゲート電極３０２と、シャットダウン制御信号を出力するトランジスタ３０８のドレイン端子とに接続している。また、上記のパワーＭＯＳＦＥＴ３０１のソース端子は電極３０３に接続しており、供給電圧Ｖｄｄが印加されている。また、パワーＭＯＳＦＥＴ３０１のドレイン端子とアース端子との間には、電力の負荷回路３０４が接続されている。
【０１４５】
上記に示したとおり、本実施の形態でのダイオード列はエピタキシャル層２及びカソード層８をエミッタとし、高ドープアノード層７及び低ドープアノード層１０をベースとし、第１バイアス拡散層３をコレクタとする、トレンチ４によって囲われている領域の中に形成されているＮＰＮバイポーラトランジスタＱの順方向のエミッタ−ベース接合によって実現されており、ｉ番目（ｉは１≦ｉ＜Ｎの自然数）のＮＰＮバイポーラトランジスタＱｉのエミッタ端子がｉ＋１番目のＮＰＮバイポーラトランジスタＱｉ＋１のベース端子に接続されるように配線される。即ち、ｉ番目のトレンチ型ダイオードデバイス１３のカソード電極ＥＡｉが、ｉ＋１番目のトレンチ型ダイオードデバイス１３のアノード電極ＥＡｉ＋１に接続されている。Ｎ番目のＮＰＮバイポーラトランジスタＱＮのエミッタが出力する電位、即ち上記ダイオード列のカソード（Ｋ）が出力する電位をＶＧ１とする。尚、Ｎ＝１の場合であってもよく、その場合にはＮＰＮバイポーラトランジスタＱ１のエミッタが出力する電位を上記ダイオード列のカソード（Ｋ）が出力する電位をＶＧ１とすればよい。
【０１４６】
本実施の形態では、上記トレンチ型ダイオードデバイス１３によるダイオード列のアノード（Ａ）、即ち１番目のＮＰＮバイポーラトランジスタＱ１のベースが電極３０３から供給される供給電圧Ｖｄｄに接続している。また、上記ダイオード列のカソード（Ｋ）、即ちＮ番目のＮＰＮバイポーラトランジスタＱＮのエミッタがトランジスタ３０６のゲートに接続している。
【０１４７】
トランジスタ３０６は、パワーＭＯＳＦＥＴ３０１をシャットダウンするための閾値電位ＶＴＯと、上記ダイオード列のカソード（Ｋ）によって出力される電圧降下量とを検出するコンパレータ（比較測定器）である。図９ではトランジスタ３０６はｐ型のトランジスタとして記載したが、同様の機能をもつ素子であればいずれであっても用いることができる。
【０１４８】
上記トランジスタ３０６のソース端子は電極３０３から供給される供給電圧Ｖｄｄに接続しており、ドレイン端子はラッチ３０７に接続している。またラッチ３０７は、トランジスタ３０８にも接続している。ラッチ３０７は、トランジスタ３０６からの入力がある限りトランジスタ３０８に対して供給電圧Ｖｄｄを出力する一方、トランジスタ３０６からの入力がなくなるとトランジスタ３０８に対する出力を停止する回路である。
【０１４９】
また、トランジスタ３０９と電圧分圧用抵抗器３１０〜３１５とは、回路をバイアスするための電圧の基準値を形成するように動作する。
【０１５０】
次に、本実施の形態のダイオード列を用いた温度センサの動作について説明する。
【０１５１】
まず、パワーＭＯＳＦＥＴ３０１の温度が上昇する場合について考える。パワーＭＯＳＦＥＴ３０１と温度センサ３０５とは、図１及び実施の形態１に示すようにお互い近くに設けられており、熱の伝導効率が高い、即ち熱伝導係数Ｇｃが大きくなるように構成されている。
【０１５２】
パワーＭＯＳＦＥＴ３０１によって電力制御がおこなわれると、パワーＭＯＳＦＥＴ３０１の中で大きな電力が消費され、上記パワーＭＯＳＦＥＴ３０１の温度Ｔｃｈが上昇する。すると、パワーＭＯＳＦＥＴ３０１の温度Ｔｃｈが上昇し、上記の熱が温度センサ３０５に伝導する。温度センサ３０５では、伝わってきた熱によって温度センサ３０５の温度が上昇する。
【０１５３】
温度センサ３０５では、温度が上昇するのに伴い、温度センサ３０５を構成するそれぞれのダイオードでの順方向電圧（ＶＦ）が小さくなる。温度による順方向電圧（ＶＦ）の減少する割合は、ダイオードの種類によって定められており、ＴＣＤとして定義されている。本実施の形態での温度センサ３０５を構成するトレンチ型ダイオードデバイスは、ＰＮジャンクション型の接合によって形成されているため、ダイオードの温度係数（ＴＣＤ）の絶対値が大きい。即ち、温度センサとしての感度が高い。
【０１５４】
本実施の形態では、温度センサ３０５はＮ個のダイオード列によって構成されるため、温度センサ３０５全体での電圧降下は、
ＶＤ＝Ｎ×ＶＦ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・（１）
と記載することができる。
【０１５５】
上記のように、温度センサ３０５の温度が上昇すると、温度センサ３０５を構成するそれぞれのダイオードでの順方向電圧（ＶＦ）が小さくなる。すると、数式（１）に従って、ダイオード列の順方向電圧の値ＶＤも小さくなる。そのため、ダイオード列のカソード（Ｋ）の電位ＶＧ１が上昇する。
【０１５６】
ＶＧ１が上昇すると、トランジスタ３０６のゲートの電位は上昇してＶｄｄに近づき、トランジスタ３０６のゲート−ソース間電位が減少する。
【０１５７】
パワーＭＯＳＦＥＴ３０１のシャットダウン温度Ｔｃでは、トランジスタ３０６のゲート−ソース間電位がさらに減少し、トランジスタ３０６がＯＮ状態からＯＦＦ状態に変化する。トランジスタ３０６からの入力が途絶えると、ラッチ３０７はトランジスタ３０８に対する出力を停止する。
【０１５８】
この結果、トランジスタ３０８のゲート−ソース間電位はＶｄｄとなり、トランジスタ３０８はＯＮ状態となる。トランジスタ３０８がＯＮ状態となると、パワーＭＯＳＦＥＴ３０１のゲート端子にはＶｄｄが印加される。つまり、この状態ではパワーＭＯＳＦＥＴ３０１のゲート−ソース間電位の差がなくなる。その結果、パワーＭＯＳＦＥＴ３０１は動作を停止（シャットダウン）する。
【０１５９】
ここで、温度センサ３０５に用いられたダイオード列を形成している全てのダイオード要素が同じ順方向電圧降下ＶＦ及び温度係数ＴＣＤを持ち、トランジスタ３０６が閾値電位ＶＴＯと温度係数ＴＣＴｒを持っていると仮定する（第一近似）。パワーＭＯＳＦＥＴ３０１がシャットダウンする温度Ｔｃでは、ダイオード列及びトランジスタ３０６は、温度Ｔｃで動作することになる。このとき、Ｎ個のダイオード列での電圧降下は
Ｎ×｛１−ＴＣＤ×（Ｔｃ−Ｔ０）｝×ＶＦＴ０・・・・・・・・・・・・・・・・（２）
と表現できる。また、トランジスタ３０６の閾値電位の変化は
｛１−ＴＣＴｒ×（Ｔｃ−Ｔ０）｝×ＶＴ０・・・・・・・・・・・・・・・・・・（３）
と表現することができる。ここにＴ０は基準となる環境の温度であり、ＶＦＴ０はＴ０での本実施の形態でのダイオードの順方向電圧降下であり、ＶＴ０はＴ０でのトランジスタ３０６の閾値電位である。
【０１６０】
本実施の形態では、トランジスタ３０６のゲート端子には供給電圧Ｖｄｄから数式（２）で求められる電圧降下した電位が入力される。一方、ソース端子には供給電圧Ｖｄｄが入力される。トランジスタ３０６では、該トランジスタ３０６の動作を入切する閾値電位が式（３）のように温度に依存している。トランジスタ３０６は、該トランジスタ３０６のソース端子に印加される供給電圧Ｖｄｄから数式（３）で求められる閾値電位を差し引いた電位（ソース実効電位）が、ゲート端子に入力される電位に対して高い場合に動作を行うのであるが、上記ソース実効電位とゲート端子に入力される電位とが等しいか、ソース実行電位がゲートに入力される電位に対して低くなる場合に動作を停止する。
【０１６１】
即ち、上記の式（２）及び式（３）の値がほぼ等しくなる場合にトランジスタ３０６は動作を停止する。即ち、次の関係式（４）を解くことによってＴｃと上記係数との関係式を導くことができる。
Ｎ｛１−ＴＣＤ×（Ｔｃ−Ｔ０）｝×ＶＦＴ０≒｛１−ＴＣＴｒ（Ｔｃ−Ｔ０）｝×ＶＴ０・・・・・（４）
上記式（４）をＴｃについて解くと、
Ｔｃ≒Ｔ０＋（ＮＶＦＴ０−ＶＴ０）／（ＮＶＦＴ０×ＴＣＤ−ＶＴ０×ＴＣＴｒ）・・（５）
が得られる。
【０１６２】
〔比較例〕
本実施の形態の温度センサと従来の温度センサとの熱伝導係数Ｇｃについて比較する。
【０１６３】
従来の温度センサの例として、図１４に記載するトレンチ型ＭＯＳＦＥＴに組み込まれた温度センサを考える。
【０１６４】
熱伝導係数Ｇｃは、パワーＭＯＳＦＥＴから温度センサへの熱の伝わり易さを示す係数であり、上記係数は大きいほど熱が伝わり易いことを示す。
【０１６５】
理解を単純化するために、本実施の形態の図１と従来の図１４とに記載するトレンチ型ＭＯＳＦＥＴの大きさ及び材質が同じ構成であると仮定する。LOCOSはシリコン酸化膜であるのでＳｉＯ２である。
【０１６６】
本実施の形態のパワーＭＯＳＦＥＴ１２と温度センサとは、同じトレンチ構造をしているため、パワーＭＯＳＦＥＴで発生した熱はトレンチ４，４’を伝わって温度センサ、即ち本実施の形態のトレンチ型ダイオードデバイス１３に到達する。このとき、本実施の形態での熱伝導係数ＧｃＴＤは、トレンチを構成するシリコン（Ｓｉ）の熱伝導係数κＳｉに比例し、トレンチの幅ｗＴに反比例すると考えられる。
【０１６７】
一方、従来の図１４に記載する温度センサは、パワーＭＯＳＦＥＴの近くの基板上に設けられたLOCOS上に形成される。即ち、パワーＭＯＳＦＥＴで発生した熱は、パワーＭＯＳＦＥＴと温度センサとが設けられる距離をＳｉ基板内で伝導した後、さらにLOCOS層を伝導して到達することになる。LOCOSを形成するＳｉＯ２の熱伝導係数κｏｘは、Ｓｉの熱伝導係数κＳｉと比較して小さい。例えばκＳｉ／κｏｘ＝１０３．５７である。そのため、従来の構成では、熱伝導係数Ｇｃは主にLOCOS層を通過する熱の伝導効率によって決定される。
【０１６８】
つまり、従来の図１４に記載する温度センサでは、熱伝導係数Ｇｃｋｎｏｗｎは、ＬＯＣＯＳ層を構成するＳｉＯ２の熱伝導係数κｏｘに比例し、LOCOS層の厚さｄに反比例すると考えることができる。
【０１６９】
本実施の形態の熱伝導係数ＧｃＴＤと従来の図１４に記載する温度センサの熱伝導係数Ｇｃｋｎｏｗｎとは、上記のように構成されるので、その比をとると、
ＧｃＴＤ／Ｇｃｋｎｏｗｎ＝（κＳｉ／κｏｘ）×（ｄ／ｗＴ）・・・・・・・・・・・・（６）
と記載することができる。
【０１７０】
一般的には、トレンチの幅及びLOCOS層の厚さはそれぞれ０．５〔μｍ〕程度であるので、上記熱伝導係数はκＳｉ／κｏｘにのみ依存し、本実施の形態のパワーＭＯＳＦＥＴと温度センサとの熱伝導係数ＧｃＴＤは、従来の図１４に記載する温度センサに対して約１００倍大きいことがわかる。
【０１７１】
また、図１３及び図１５に記載するような従来の温度センサでは、パワーＭＯＳＦＥＴと温度センサとを電気的に分離するために、上記温度センサは上記パワーＭＯＳＦＥＴから離れた位置に形成されている。即ち、熱結合が弱くなると考えられる。
【０１７２】
以上のように、本発明の電力制御装置の温度センサは、従来のトレンチ型ＭＯＳＦＥＴと同じプロセスを用いて形成することができ、同じ基板上に形成することができる。
【０１７３】
また、本発明の電力制御装置の温度センサは、温度感受性の高いダイオードによって構成されており、かつ、上記温度センサはトレンチ型ＭＯＳＦＥＴと同様の製造工程で製造することができる。即ち、電力制御装置を製造するための工程を単純にすることができる。
【０１７４】
また、上記の温度センサはパワーＭＯＳＦＥＴの近くに熱伝導効率の高いトレンチを挟んだ状態で形成することができるので、パワーＭＯＳＦＥＴと温度センサとの熱結合を向上させることができ、パワーＭＯＳＦＥＴの動作の信頼性を向上させることができる。
【０１７５】
尚、本発明の温度センサと組み合わせて電力制御装置を構成するパワーＭＯＳＦＥＴは、本実施の形態のようにトレンチ型のパワーＭＯＳＦＥＴであることが好ましいが、プレーナ型のＭＯＳＦＥＴと組み合わせて構成することも可能である。
【０１７６】
また、本発明の電力制御装置の温度センサは、トレンチ構造によってパワーＭＯＳＦＥＴと温度測定用のダイオード列とを電気的に分離することができる。
【０１７７】
さらに本発明の電力制御装置の温度センサは、トレンチ構造によって生じる、寄生ＭＯＳＦＥＴのＴｒｐの動作を停止することができ、また寄生するＰＮＰバイポーラトランジスタＱｐの動作を停止することができるので、漏れ電流を減らすことができる。
【０１７８】
また、本発明の電力制御装置の温度センサは、PNジャンクション型のダイオードを用いて構成することができるので、温度感受性を向上させることができる。特に従来のＰｏｌｙＳｉのダイオードと比較して、パワーＭＯＳＦＥＴと温度センサとを離れた位置に形成する必要がないため、温度感受性を向上させることができる。
【０１７９】
即ち、上記の構成によって、トレンチ型パワーＭＯＳＦＥＴにさらなる効果を与えることができる。
【０１８０】
なお本発明は、以上説示した各構成に限定されるものではなく、特許請求の範囲に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施例にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【０１８１】
以上のように、本発明では、トレンチ型ダイオードがトレンチ型ＭＯＳＦＥＴなどのトランジスタの近くにトレンチを介して組み込まれる構成であるため、ＭＯＳＦＥＴの温度制御を高感度でおこなうことが可能となる。そのため、本発明は、パワーＭＯＳＦＥＴに代表される各種トレンチ構造を有する電力制御装置や温度制御機構が必要な半導体装置の分野に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１８２】
【図１】本発明におけるトレンチ型ダイオードデバイスを用いた電力制御装置の実施の一形態を示す見取り図であり、本実施の形態でのトレンチ型ＭＯＳＦＥＴと温度センサとの構造を示す断面の見取り図である。
【図２】本発明におけるトレンチ型ダイオードデバイスを用いた電力制御装置の実施の一形態を示す見取り図であり、図１のトレンチ型ダイオードデバイスの一つを拡大した断面の見取り図である。
【図３】本発明におけるトレンチ型ダイオードデバイスを用いた電力制御装置の別の実施の一形態を示す見取り図であり、図１のトレンチ型ＭＯＳＦＥＴがプレーナ型ＭＯＳＦＥＴに変更された電力制御装置の構造を示す断面の見取り図である。
【図４】本発明におけるトレンチ型ダイオードデバイスを用いた電力制御装置の実施の一形態を示す回路図であり、図２のトレンチ型ダイオードデバイスの等価回路を記載した回路図である。
【図５】本発明におけるトレンチ型ダイオードデバイスを用いた電力制御装置の実施の一形態を示す回路図であり、図４の第２バイアス電極とアノード電極とが接続されている回路図である。
【図６】本発明におけるトレンチ型ダイオードデバイスを用いた電力制御装置の実施の一形態を示す回路図であり、図４の第１バイアス電極がアノード電極に接続されている回路図である。
【図７】本発明におけるトレンチ型ダイオードデバイス列を用いた電力制御装置の実施の一形態を示す回路図であり、図４のトレンチ型ダイオードデバイスのアノード電極とカソード電極とが直列に接続された回路図である。
【図８】本発明におけるトレンチ型ダイオードデバイスを用いた電力制御装置の製造方法を示す見取り図であり、図１のトレンチ型ＭＯＳＦＥＴと温度センサとを製造する工程を段階的に示す断面の見取り図である。
【図９】本発明におけるトレンチ型ダイオードデバイスを用いた電力制御装置の実施の一形態を示す回路図であり、図１に記載されたトレンチ型ダイオードデバイスを直列に接続したダイオード列によって構成される温度センサを組み込んだシャットダウン回路についての回路図である。
【図１０】従来の制御回路を組み込んだパワーＩＣを示す断面図であり、（ａ）は縦型二重拡散構造電界効果トランジスタの構造を示す断面図であり、（ｂ）は低電圧のＮＭＯＳの構造を示す断面図であり、（ｃ）は比較的電圧の高くないＰＭＯＳの構造を示す断面図であり、（ｄ）は高電圧のＰＭＯＳの構造を示す断面図であり、（ｅ）は低電圧のＰＭＯＳの構造を示す断面図であり、（ｆ）はデプレーション型のＮＭＯＳを示す断面図であり、（ｇ）は高電圧のＰＭＯＳを示す断面図である。
【図１１】従来の温度測定回路を示す回路図である。
【図１２】従来の別の温度測定回路を示す回路図である。
【図１３】従来の図１１に示された回路図を実現するパワーＩＣを示す断面の見取り図である。
【図１４】従来の図１１に示された回路図を実現する別のパワーＩＣを示す断面の見取り図である。
【図１５】従来のパワーＩＣを示す断面の見取り図である。
【図１６】従来のパワーＩＣを用いた回路図と熱回路図であり、（ａ）はパワーＭＯＳＦＥＴと温度測定用のダイオード列との熱結合の様子を示した回路図であり、（ｂ）は、（ａ）に示す回路の熱回路図である。
【符号の説明】
【０１８３】
１          基板（高ドープドレイン部）
２          エピタキシャル層（低ドープドレイン部）
３          第１バイアス拡散層（チャネルボディ部）
３’        第１バイアス拡散層（チャネルボディ部、第１バイアス拡散部）
４          トレンチ（ダイオードトレンチ部、ダイオードトレンチ溝）
４’        トレンチ（トランジスタトレンチ部、トランジスタトレンチ溝）
５          ゲート絶縁体（ダイオードゲート絶縁体）
５’        ゲート絶縁体（トランジスタゲート絶縁体）
６          ゲート電極（ダイオードゲート電極）
６’        ゲート電極（トランジスタゲート電極）
７          高ドープアノード層（高ドープアノード部）
７’        ソース拡散層（ソース部）
８          カソード層（カソード部）
８’        第２ボディ拡散層（第２高ドープボディ部）
１０          低ドープアノード層（低ドープアノード部）
１１          第２バイアス拡散層（第２バイアス拡散部）
１２          トレンチ型ＭＯＳＦＥＴ（トランジスタ）
１３          トレンチ型ダイオードデバイス（ダイオード）
１３’        ダイオード列要素
１９          分離用拡散層
１００          電力制御装置
２００          ダイオード列
３００          シャットダウン回路
３０１          パワーＭＯＳＦＥＴ
３０５          温度センサ
ＥＡ            アノード電極
ＥＢ            カソード電極
Ｄ              ドレイン電極（ドレイン電極またはソース電極）
ＤＧ            第２バイアス電極
Ｇ              ゲート電極
Ｓ              ソース電極（ソース電極またはドレイン電極）
ＶＢ            第１バイアス電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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