(57)【要約】【課題】短絡不良の検査を簡便に行える分配回路の検査方法を提供する。【解決手段】第１入力端子３７ａ〜第４入力端子３７ｄに入力される複数の入力信号を、複数の出力端子４０に出力する分配回路３６の検査方法であって、検査する第１入力端子３７ａ〜第４入力端子３７ｄに入力信号を入力する入力工程と、第１入力端子３７ａ〜第４入力端子３７ｄに流れる電流量を測定する測定工程と、電流量から分配回路の良否判断をする良否判断工程とを有し、入力工程では、検査する入力端子と隣接する入力端子に異なる電圧の入力信号を入力することを特徴とする。【選択図】図４
2008281417.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の入力端子に入力される複数の入力信号を、複数の出力端子に出力する分配回路の検査方法であって、
検査する前記入力端子に入力信号を入力する入力工程と、
前記入力端子に流れる電流量を測定する測定工程と、
前記電流量から前記分配回路の良否判断をする良否判断工程と、
を有し、
前記入力工程では、検査する前記入力端子と隣接する前記入力端子に異なる電圧の前記入力信号を入力することを特徴とする分配回路の検査方法。
【請求項２】
請求項１に記載の分配回路の検査方法であって、
前記分配回路は、前記入力信号が出力される前記出力端子を選択する信号である出力端子選択信号を入力する前記入力端子を有し、
前記出力端子選択信号により、選択された前記出力端子に、前記入力信号を出力する出力工程をさらに有し、
前記出力工程では、検査する前記出力端子と隣接する前記出力端子に異なる電圧の前記入力信号を出力することを特徴とする分配回路の検査方法。
【請求項３】
請求項１に記載の分配回路の検査方法であって、
複数の前記入力端子は、配列して形成され、前記入力端子に、高い電圧と低い電圧とを交互に入力することを特徴とする分配回路の検査方法。
【請求項４】
請求項１に記載の分配回路の検査方法であって、前記入力信号は、電圧の異なる２つの信号であることを特徴とする分配回路の検査方法。
【請求項５】
請求項２に記載の分配回路の検査方法であって、
複数の前記出力端子に、前記入力信号を同時に出力して検査することを特徴とする分配回路の検査方法。
【請求項６】
請求項５に記載の分配回路の検査方法であって、
複数の前記出力端子は、配列して形成され、前記出力端子に、高い電圧と低い電圧とを交互に出力することを特徴とする分配回路の検査方法。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項に記載の分配回路の検査方法であって、
前記出力端子には、電流を流し難い回路が接続されていることを特徴とする分配回路の検査方法。
【請求項８】
請求項７に記載の分配回路の検査方法であって、前記出力端子には、圧電素子が接続されていることを特徴とする分配回路の検査方法。
【請求項９】
請求項８に記載の分配回路の検査方法であって、前記圧電素子は、液滴吐出ヘッドの内部の液状体を加圧して液滴を吐出させることを特徴とする分配回路の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、分配回路の検査方法に係り、特に、実装した回路の短絡不良を生産性良く検査する方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ワークに対して液滴を吐出する方法として、インクジェット式の液滴吐出装置を用いて吐出する方法が知られている。液滴吐出装置は、基板等のワークを載置するテーブルと、インクジェットヘッド（以下、液滴吐出ヘッドと称す）を配置するキャリッジとを備えている。そして、テーブルとキャリッジとを相対移動して、液滴吐出ヘッドからワークに対して液滴を吐出して、塗布していた。
【０００３】
この液滴吐出ヘッドは、複数のノズルと、ノズルと連通する圧力室を有し、各圧力室の圧力を変動させる圧電素子等の圧力変動素子を有している。この圧力変動素子へは、分配回路を介して、電力が供給される。この分配回路は、入力信号を入力するための複数の入力端子と、複数の出力端子と、出力端子を選択する選択信号を入力する入力端子とを有している。そして、この分配回路は、特定の入力端子に入力された入力信号を、選択信号により選択された出力端子に出力する。
【０００４】
分配回路の入力端子に、電圧の異なる複数の駆動信号を入力する。そして、出力端子には、圧力変動素子が接続され、選択信号により選択された複数の圧力変動素子毎に、電圧の異なる駆動信号を供給可能となっている。
【０００５】
この分配回路を製造する工程において、回路素子を半田付けなどの方法を用いて基板に実装した後、回路素子が正常に実装されたかを判断するために検査を行っている。この検査では、回線の短絡不良、導通不良、機能不良、外観不良等の検査が行われている。この検査項目の中で、短絡不良は、例えば、回路素子を半田付けしたとき、隣接する電極間に半田がまたがって付着することにより、電気的に短絡する不良である。
【０００６】
この短絡不良を生産性良く検査する方法が特許文献１に開示されている。これによると、検査する端子の信号の論理和と論理積との演算を行い、検査する端子の信号における、論理値”１”と”０”との組合せを検査することにより、短絡不良及び導通不良の検査を行っている。
【０００７】
【特許文献１】特開２００６−２５８７１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
分配回路には、複数の入力端子と出力端子を備えているので、総ての端子間の短絡不良を検査するには、総ての端子間において、順次検査をする必要があった。従って、端子数が多い程検査にかかる時間が長くなる。
【０００９】
本発明は、このような従来の問題点に着目してなされたもので、その目的は、回路不良の検査を簡便に行える分配回路の検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の分配回路の検査方法は、複数の入力端子に入力される複数の入力信号を、複数の出力端子に出力する分配回路の検査方法であって、検査する入力端子に入力信号を入力する入力工程と、入力端子に流れる電流量を測定する測定工程と、電流量から分配回路の良否判断をする良否判断工程と、を有し、入力工程では、検査する入力端子と隣接する入力端子に異なる電圧の入力信号を入力することを特徴とする。
【００１１】
この分配回路の検査方法によれば、隣接する入力端子の間に異なる電圧の入力信号が入力される。分配回路では、入力端子間の抵抗は高くなっているので、入力端子間に電流が流れ難くなっている。そして、入力端子間に電流が流れるとき、入力端子間が短絡、もしくは、抵抗の低くなっている回路が形成されていることを判断することができる。従って、良否判断工程では、電流量から分配回路における入力端子の良否判断をすることができる。
【００１２】
例えば、分配回路を基板に半田付け等の方法により、実装するとき、半田の一部が、入力端子間を電気的に短絡させることがある。また、入力端子間が汚れることにより電流が流れ易くなることがある。この方法では、入力端子に入力信号を入力した後、電流を測定することにより、回路の良否を判断していることから、簡便な方法で分配回路の短絡不良を検査することができる。
【００１３】
本発明の分配回路の検査方法では、分配回路は、入力信号が出力される出力端子を選択する信号である出力端子選択信号を入力する入力端子を有し、出力端子選択信号により、選択された出力端子に、入力信号を出力する出力工程をさらに有し、出力工程では、検査する出力端子と隣接する出力端子に異なる電圧の入力信号を出力することを特徴とする。
【００１４】
この分配回路の検査方法によれば、出力工程において、検査する出力端子と隣接する出力端子に異なる電圧の入力信号を出力する。そして、隣接する出力端子間が短絡、もしくは、抵抗が低くなっている回路が形成されているとき、入力端子に電流が流れやすくなる。従って、良否判断工程では、入力端子に流れる電流量から分配回路における出力端子の良否判断をすることができる。
【００１５】
例えば、半田の一部や汚れが、出力端子間に付着することにより、出力端子間を電気的に短絡させていることがある。この方法では、入力端子に入力信号を入力した後、電流を測定することにより、回路の良否を判断していることから、簡便な方法で分配回路の良否判断することができる。
【００１６】
本発明の分配回路の検査方法は、複数の入力端子は、配列して形成され、入力端子に、高い電圧と低い電圧とを交互に入力することを特徴とする。
【００１７】
この分配回路の検査方法によれば、複数の入力端子のうち一つの入力端子が、隣接する入力端子と短絡、もしくは、抵抗の低くなっている回路が形成されているとき、入力信号のいずれかに流れる電流量が大きくなくので、電気的に短絡していることを検査することができる。従って、１回の検査で複数の端子を同時に検査することができる為、生産性良く検査することができる。
【００１８】
本発明の分配回路の検査方法では、入力信号は、電圧の異なる２つの信号であることを特徴とする。
【００１９】
この分配回路の検査方法によれば、入力信号が電圧の異なる２つの信号であることから、入力信号が電圧の異なる３つ以上の信号を用いて検査する場合に比べて、簡単な回路により構成することができる。
【００２０】
本発明の分配回路の検査方法は、複数の出力端子に、入力信号を同時に出力して検査することを特徴とする。
【００２１】
この分配回路の検査方法によれば、複数の出力端子に同時に出力して検査するので、１回の検査により、複数の出力端子への出力するときの検査を行うことができる。従って、出力端子に１つずつ出力して検査する場合に比べて、少ない回数で検査することができる為、生産性良く検査することができる。
【００２２】
本発明の分配回路の検査方法は、複数の出力端子は、配列して形成され、出力端子に、高い電圧と低い電圧とを交互に出力することを特徴とする。
【００２３】
この分配回路の検査方法によれば、複数の出力端子のうち、一つの出力端子が、隣接する出力端子と短絡、もしくは、抵抗の低くなっている回路が形成されているとき、入力信号のいずれかに流れる電流量が大きくなるので、電気的に短絡していることを検査することができる。従って、１回で複数の出力端子を検査することができる為、生産性良く検査することができる。
【００２４】
本発明の分配回路の検査方法において、出力端子には、電流を流し難い回路が接続されていることを特徴とする。
【００２５】
この分配回路の検査方法によれば、出力端子には、電流を流し難い回路が接続されているので、出力端子に電流を流し難い回路が接続されている状態において、入力端子および出力端子の検査を行うことができる。そして、出力端子に接続されている回路における短絡の検査を同時に行うことができるので、分配回路と出力端子に接続された回路とを別々に検査するときに比べて、生産性良く検査することができる。
【００２６】
本発明の分配回路の検査方法において、出力端子には、圧電素子が接続されていることを特徴とする。
【００２７】
この分配回路の検査方法によれば、出力端子には、圧電素子が接続されており、圧電素子は、電流を流し難いので、出力端子に圧電素子を接続した状態において、分配回路の検査を行うことができる。従って、分配回路の検査と、出力端子と圧電素子とを電気的に接続する回路の検査とを同時に行うことができるので、別々に検査するときに比べて、生産性良く検査することができる。
【００２８】
本発明の分配回路の検査方法において、圧電素子は、液滴吐出ヘッドの内部の液状体を加圧して液滴を吐出させることを特徴とする。
【００２９】
この分配回路の検査方法によれば、液滴吐出ヘッドの圧電素子を駆動する信号を分配する分配回路を生産性良く検査することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、本発明を具体化した実施例について図面に従って説明する。尚、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材毎に縮尺を異ならせて図示している。
（第１の実施形態）
本実施形態では、分配回路を用いた液滴吐出ヘッド及びこの液滴吐出ヘッドを用いた液滴吐出装置と、分配回路を検査する検査回路及び、本発明の特徴的な検査方法の例について、図１〜図８に従って説明する。
【００３１】
（液滴吐出装置）
最初に、ワークに液滴を吐出して塗布する液滴吐出装置１について図１〜図４に従って説明する。液滴吐出装置に関しては様々な種類の装置があるが、インクジェット法を用いた装置が好ましい。インクジェット法は微小な液滴の吐出が可能であるため、微細加工に適している。
【００３２】
図１は、液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図である。液滴吐出装置１により、機能液が吐出され塗布される。図１に示すように、液滴吐出装置１には、直方体形状に形成される基台２を備えている。本実施形態では、この基台２の長手方向をＹ方向とし、Ｙ方向と直交する方向をＸ方向とする。
【００３３】
基台２の上面２ａには、Ｙ方向に延在する一対の案内レール３ａ，３ｂがＹ方向全幅にわたり凸設されている。その基台２の上側には、一対の案内レール３ａ，３ｂに対応する図示しない直動機構を備えた走査手段を構成するステージ４が取付けられている。そのステージ４の直動機構は、例えば案内レール３ａ，３ｂに沿ってＹ方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するＹ軸モータ（図示しない）に連結されている。そして、所定のステップ数に相対する駆動信号をＹ軸モータに入力すると、Ｙ軸モータが正転又は逆転して、ステージ４が同ステップ数に相当する分だけ、Ｙ軸方向に沿って所定の速度で往動又は、復動する（Ｙ方向に走査する）ようになっている。
【００３４】
さらに、基台２の上面２ａには、案内レール３ａ，３ｂと平行に主走査位置検出装置５が配置され、ステージ４の位置が計測できるようになっている。そのステージ４の上面には、載置面６が形成され、その載置面６には、図示しない吸引式の基板チャック機構が設けられている。そして、載置面６にワークとしての基板７を載置すると、基板チャック機構によって、その基板７が載置面６の所定位置に位置決めされて、固定されるようになっている。
【００３５】
基台２のＸ方向両面には、一対の支持台８ａ，８ｂが立設され、その一対の支持台８ａ，８ｂには、Ｘ方向に延びる案内部材９が架設されている。案内部材９の上側には、吐出する機能液を供給可能に収容する収容タンク１０が配設されている。一方、その案内部材９の下側には、Ｘ方向に延びる案内レール１１がＸ方向全幅にわたり凸設されている。
【００３６】
案内レール１１に沿って移動可能に配置されるキャリッジ１２は、略底面が菱形の角柱状に形成されている。そのキャリッジ１２には、ステージ４と同様の直動機構が配置されているので、キャリッジ１２はＸ方向に沿って往動又は復動可能となっている。案内部材９とキャリッジ１２との間には、副走査位置検出装置１３が配置され、キャリッジ１２の位置が計測できるようになっている。そして、キャリッジ１２の下面（ステージ４側の面）には、液滴吐出ヘッド１４が凸設されている。従って、ステージ４とキャリッジ１２とを移動することにより、基板７の所望の場所と対向する場所に、液滴吐出ヘッド１４を位置することが可能となっている。
【００３７】
図２（ａ）は、キャリッジを示す模式平面図である。図２（ａ）に示すように、キャリッジ１２には、６個の液滴吐出ヘッド１４が配置され、液滴吐出ヘッド１４の表面には、ノズルプレート１７が配置されている。ノズルプレート１７には、ノズル１８が複数、配置されている。ノズル１８の数は、吐出するパターンと基板７の大きさに合わせて設定すればよく、本実施形態においては、例えば、１個のノズルプレート１７には、１２個のノズル１８の配列が１列形成されている。
【００３８】
図２（ｂ）は、キャリッジを示す模式側面図であり、図２（ａ）に示すキャリッジをＹ方向から見た図である。図２（ｂ）に示すように、キャリッジ１２は、ベース板１９を備えている。ベース板１９の上側には、走査手段としての移動機構２０が配置されており、キャリッジ１２が、案内レール１１に沿って移動するための機構が収納されている。
【００３９】
ベース板１９の下側には、支持部２１を介して駆動回路基板２２が配置されている。そして、駆動回路基板２２の下側には、ヘッド駆動回路２３が配置されている。さらに、ベース板１９には、支持部２４を介して、ヘッド取付板２５が配置され、ヘッド取付板２５の下面には、液滴吐出ヘッド１４が配置されている。ヘッド駆動回路２３と液滴吐出ヘッド１４とは、図示しないケーブルにより接続され、ヘッド駆動回路２３が出力する駆動信号が、液滴吐出ヘッド１４に入力されるようになっている。
【００４０】
ベース板１９の下側には、供給装置２６が配置され、図１に示す収容タンク１０と供給装置２６との間、及び、供給装置２６と液滴吐出ヘッド１４との間は、図示しないチューブにより接続されている。そして、収容タンク１０から供給される機能液が、供給装置２６により液滴吐出ヘッド１４に供給されるようになっている。
【００４１】
図２（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの構造を説明するための要部模式断面図である。図２（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド１４は、ノズルプレート１７を備え、ノズルプレート１７には、ノズル１８が形成されている。ノズルプレート１７の上側であって、ノズル１８と相対する位置には、ノズル１８と連通するキャビティ２７が形成されている。そして、液滴吐出ヘッド１４のキャビティ２７には、収容タンク１０に貯留されている液状体としての機能液２８が供給される。
【００４２】
キャビティ２７の上側には、上下方向（Ｚ方向）に振動して、キャビティ２７内の容積を拡大縮小する振動板２９と、上下方向に伸縮して振動板２９を振動させる圧電素子３０が配設されている。圧電素子３０が上下方向に伸縮して振動板２９を加圧して振動し、振動板２９がキャビティ２７内の容積を拡大縮小してキャビティ２７を加圧する。それにより、キャビティ２７内の圧力が変動し、キャビティ２７内に供給された機能液２８は、ノズル１８を通って吐出されるようになっている。
【００４３】
そして、液滴吐出ヘッド１４が圧電素子３０を制御駆動するための駆動信号を受けると、圧電素子３０が伸張して、振動板２９がキャビティ２７内の容積を縮小する。その結果、液滴吐出ヘッド１４のノズル１８からは、縮小した容積分の機能液２８が液滴３１として吐出される。
【００４４】
図３は、液滴吐出ヘッドの電気制御ブロック図である。図３において、液滴吐出装置１は、装置全体の動作を制御する全体制御装置３４を備えている。全体制御装置３４は、プロセッサとして各種の演算処理を行うＣＰＵ（演算処理装置）と、各種情報を記憶するメモリ及び外部インターフェースを有している。メモリには、液滴吐出装置１における動作の制御手順が記述されているプログラムソフトが記憶されている。さらに、基板７に吐出するときの吐出位置データと、吐出駆動電圧等の駆動データ等が記憶されている。そして、ＣＰＵはプログラムソフトの制御手順に従い、外部インターフェースと接続されているユニットを駆動して、装置全体の動作を制御するようになっている。
【００４５】
全体制御装置３４は、外部インターフェースを介して駆動回路基板２２と電気的に接続されている。駆動回路基板２２は、主に、１個の吐出制御回路３５と６個のヘッド駆動回路２３とを備えている。吐出制御回路３５及びヘッド駆動回路２３の個数は、これに限らず、装置の仕様に合わせて適正な個数を配置するのが好ましい。
【００４６】
吐出制御回路３５は、全体制御装置３４と電気的に接続されている。そして、全体制御装置３４は、機能液２８を吐出するノズル１８に係るデータと、吐出するときに圧電素子３０を駆動する駆動信号データ及び吐出タイミングデータ等を吐出制御回路３５に出力する。吐出制御回路３５は、ヘッド駆動回路２３と電気的に接続され、ヘッド駆動回路２３は、液滴吐出ヘッド１４と電気的に接続されている。そして、吐出制御回路３５は、入力されたノズル１８に係るデータ及び駆動信号データを用いて、吐出する液滴吐出ヘッド１４毎に駆動信号データ等を分配する。そして、ヘッド駆動回路２３毎に駆動信号データと吐出タイミングデータ等を出力する。
【００４７】
液滴吐出ヘッド１４は、分配回路３６と圧電素子３０とを備えている。そして、分配回路３６はヘッド駆動回路２３及び圧電素子３０と電気的に接続されている。ヘッド駆動回路２３は、入力された駆動信号データと吐出タイミングデータ等のデータとを用いて、出力端子選択信号としての波形選択信号を形成する。この波形選択信号は、ヘッド駆動回路２３が液滴吐出ヘッド１４に出力する複数の駆動信号において、各圧電素子３０と駆動信号とを関係づける信号である。そして、機能液２８を吐出するタイミングに合わせて、圧電素子３０を駆動する複数の種類の駆動信号と、波形選択信号とを出力する。駆動信号の種類の数は、駆動する液滴吐出ヘッド１４に要求される性能に合わせて、選択すれば良く、例えば、本実施形態においては、４種類の駆動信号を用いることを採用している。この駆動信号は、略台形状のパルス波形であり、ピーク電圧の異なる波形を４種類出力可能となっている。
【００４８】
分配回路３６は、入力された４種類の駆動信号と波形選択信号とを用いて、各圧電素子３０に異なる駆動信号を出力する。そして、駆動信号が入力された圧電素子３０が収縮した後伸張することにより、液滴吐出ヘッド１４から機能液２８が吐出される。
【００４９】
液滴吐出ヘッド１４のノズル１８から供給装置２６までの流路は、ノズル１８毎に異なっている。そして、流路を流れる機能液２８の流体抵抗についても、ノズル１８毎に異なっている。このとき、流体抵抗の大きい流路では、機能液２８が流れ難いので、各々の圧電素子３０に同じ駆動振動を用いて駆動するとき、各ノズル１８から吐出する機能液２８の吐出量が、異なる吐出量となることがある。また、圧電素子３０を駆動する電圧は、高い電圧で駆動する方が、低い電圧で駆動するときに比べて、吐出量を大きくすることができる。従って、流体抵抗の大きい流路のノズル１８に対応する圧電素子３０には、流体抵抗の小さい流路のノズル１８に対応する圧電素子３０よりも高い電圧で駆動することにより、各ノズル１８から吐出される吐出量のばらつきを小さくすることができる。つまり、各圧電素子３０を駆動する駆動信号の電圧を制御することにより、各ノズル１８から吐出される吐出量のばらつきを小さくすることができる。
【００５０】
図４は、分配回路の電気制御ブロック図である。図４において、分配回路３６は、入力端子としての第１入力端子３７ａ〜第４入力端子３７ｄ及び入力端子としての選択入力端子３８を備えている。第１入力端子３７ａ〜第４入力端子３７ｄには、それぞれ第１駆動信号〜第４駆動信号が入力信号として入力される。第１駆動信号〜第４駆動信号は、圧電素子３０を駆動する信号であり、各々ピーク電圧の異なる波形となっている。そして、選択入力端子３８には、波形選択信号が入力される。
【００５１】
分配回路３６は、複数の選択回路３９を備え、各選択回路３９は、第１入力端子３７ａ〜第４入力端子３７ｄ及び出力端子４０と接続されている。さらに、分配回路３６は、選択制御回路４１を備え、選択制御回路４１は、選択入力端子３８及び選択回路３９と接続されている。選択回路３９の個数は、液滴吐出ヘッド１４におけるノズル１８の個数に合わせて設定すれば良く、本実施形態では、例えば、１２個を採用している。
【００５２】
各選択回路３９は、第１スイッチ回路４２ａ〜第４スイッチ回路４２ｄを有しており、第１スイッチ回路４２ａ〜第４スイッチ回路４２ｄは、それぞれ、第１入力端子３７ａ〜第４入力端子３７ｄと選択制御回路４１及び出力端子４０と接続している。そして、選択制御回路４１は、第１スイッチ回路４２ａを制御して、第１入力端子３７ａと出力端子４０との間の回路を入れるか切るかの制御を行う。同様に、選択制御回路４１は、第２スイッチ回路４２ｂ〜第４スイッチ回路４２ｄを制御して、第２入力端子３７ｂ〜第４入力端子３７ｄと出力端子４０との間の回路を入れるか切るかの制御を行う。
【００５３】
このとき、選択制御回路４１は、第１入力端子３７ａ〜第４入力端子３７ｄの内、１つの端子と出力端子４０との間の回路のみ通電可能とし、他の３つの端子と出力端子４０との間の回路を切るように制御を行う。従って、第１入力端子３７ａ〜第４入力端子３７ｄにそれぞれ第１駆動信号〜第４駆動信号を入力するとき、出力端子４０には、第１駆動信号〜第４駆動信号の内１つの信号のみ出力されるようになっている。
【００５４】
分配回路３６には、接地端子４３が配置され、出力端子４０と接地端子４３との間には、圧電素子３０が接続される。そして、出力端子４０に第１駆動信号〜第４駆動信号の内、１つの駆動信号が出力されるとき、圧電素子３０が、出力された駆動信号の電圧に応じて伸縮することにより、駆動信号の電圧に応じた量の機能液２８が吐出される。
【００５５】
（検査回路）
次に、分配回路を検査するときに用いる検査回路について図５を用いて説明する。図５は、短絡検査回路の電気制御ブロック図である。図５に示すように、短絡検査回路４６は、分配回路３６と電気的に接続して使用する回路である。短絡検査回路４６は、ＣＰＵ４７（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）、メモリ４８、入力インターフェース４９を備えている。メモリ４８には、検査手順に従って、動作を指示するプログラムデータや、各種設定データが格納されている。そして、ＣＰＵ４７は、プログラムデータに従って、入力インターフェース４９と接続する回路に指示信号を出力するようになっている。
【００５６】
短絡検査回路４６は、それぞれ４個の電圧出力回路５０及び電圧計測回路５１を備え、入力インターフェース４９と接続されている。そして、各電圧出力回路５０は、抵抗素子５２を介して、第１検査出力端子５３ａ〜第４検査出力端子５３ｄと接続されている。同じく、各電圧計測回路５１は、第１検査出力端子５３ａ〜第４検査出力端子５３ｄと接続され、各端子の電圧を計測可能となっている。そして、各電圧出力回路５０が抵抗素子５２に出力する電圧と、第１検査出力端子５３ａ〜第４検査出力端子５３ｄにおける電圧及び抵抗素子５２の抵抗値とを用いて、第１検査出力端子５３ａ〜第４検査出力端子５３ｄを流れる電流値を計測可能となっている。そして、第１検査出力端子５３ａ〜第４検査出力端子５３ｄは、それぞれ、第１入力端子３７ａ〜第４入力端子３７ｄと接続されている。従って、短絡検査回路４６は、第１入力端子３７ａ〜第４入力端子３７ｄに所定の電圧を入力して、第１入力端子３７ａ〜第４入力端子３７ｄを流れる電流を計測可能となっている。
【００５７】
入力インターフェース４９には、選択信号形成回路５４が接続され、選択信号形成回路５４は、選択出力端子５５と接続されている。そして、選択出力端子５５は、選択入力端子３８と接続されている。選択信号形成回路５４は、波形選択信号を形成する回路であり、波形選択信号が、ＣＰＵ４７の指示に基づき、形成される。短絡検査回路４６は、波形選択信号を用いて、第１入力端子３７ａ〜第４入力端子３７ｄから入力される信号をどの出力端子４０に出力するかを、指示することが可能となっている。
【００５８】
短絡検査回路４６は、表示装置５６と入力装置５７とを備え、表示装置５６と入力装置５７とは、入力インターフェース４９に接続されている。作業者は、入力装置５７を用いて、検査条件を入力した後、表示装置５６を用いて、検査条件を確認することが可能となっている。さらに、作業者が、入力装置５７を用いて、検査の開始と停止との指示を行い、検査結果を表示装置５６を用いて確認することが可能となっている。
【００５９】
（検査方法）
次に、上述した短絡検査回路４６を用いて、分配回路を検査する検査方法について、図６〜図８を用いて説明する。図６は、分配回路を検査する製造工程を示すフローチャートである。図７〜図８は、短絡検査回路を用いた分配回路の検査方法を説明する図である。
【００６０】
図６において、ステップＳ１は、入力工程に相当し、分配回路の入力端子に、入力信号を入力する工程である。次にステップＳ２に移行する。ステップＳ２は、出力工程に相当し、入力信号を分配した後、複数の出力端子に出力する工程である。次にステップＳ３に移行する。ステップＳ３は、測定工程に相当し、入力端子を流れる電流量を計測する工程である。次にステップＳ４に移行する。
【００６１】
ステップＳ４は、良否判断工程に相当し、分配回路に短絡不良がないか否かを判断する工程である。短絡不良があるとき（Ｎｏのとき）、製造工程を終了する。ステップＳ４において、短絡不良がないとき（Ｙｅｓのとき）、ステップＳ５に移行する。
【００６２】
ステップＳ５は、検査終了判断工程に相当し、検査する信号における総ての組合せについて計測したか、を判断する工程である。計測していない信号の組合せがあるとき（Ｎｏのとき）、ステップＳ１に移行する。検査する信号における総ての組合せについて測定したとき（Ｙｅｓのとき）、工程を終了する。以上で、分配回路を検査する製造工程を終了する。
【００６３】
次に、図４、図７及び図８を用いて、図６に示したステップと対応させて、分配回路を検査する検査方法を詳細に説明する。図７（ａ）〜図７（ｂ）は、ステップＳ１に対応する図であり、図７（ａ）は、入力端子に入力する電圧レベルを説明するための図である。図７（ｂ）は、出力端子の分配対応を説明するための図である。ステップＳ１では、図４における第１入力端子３７ａ〜第４入力端子３７ｄに高い電圧もしくは低い電圧を入力する。そして、選択入力端子３８には、波形選択信号を入力する。
【００６４】
図７（ａ）は、検査回数毎に、高い電圧の入力信号が入力される端子と低い電圧が入力される端子とを示している。左端の欄は、検査番号を示しており、１回目の検査における検査番号を１番とする。同じく、２〜４回目の検査における検査番号を２番〜４番とする。２〜５列目の欄には、それぞれ、第１入力端子３７ａ〜第４入力端子３７ｄに入力する電圧レベルを示している。例えば、１番の検査において、短絡検査回路４６は、第１入力端子３７ａに高い電圧を入力して、第２入力端子３７ｂ〜第４入力端子３７ｄに、低い電圧を入力する。ここで、高い電圧と低い電圧とは、圧電素子３０を駆動する駆動波形の電圧に基づいて設定されれば良く。例えば、本実施形態においては、高い電圧に１２ボルト、低い電圧に接地電圧である０ボルトを採用している。
【００６５】
２番の検査においては、第２入力端子３７ｂに高い電圧を入力して、第１入力端子３７ａ、第３入力端子３７ｃ及び第４入力端子３７ｄには、低い電圧を入力する。３番の検査においては、第３入力端子３７ｃに高い電圧を入力して、第１入力端子３７ａ、第２入力端子３７ｂ及び第４入力端子３７ｄには、低い電圧を入力する。４番の検査においては、第４入力端子３７ｄに高い電圧を入力して、第１入力端子３７ａ〜第３入力端子３７ｃには、低い電圧を入力する。
【００６６】
つまり、１番の検査においては、第１入力端子３７ａに高い電圧を入力し、２番の検査においては、第２入力端子３７ｂに高い電圧を入力する。３番の検査においては、第３入力端子３７ｃに高い電圧を入力し、４番の検査においては、第４入力端子３７ｄに高い電圧を入力する。そして、他の入力端子には低い電圧を入力する。
【００６７】
図７（ｂ）は、波形選択信号により、どの出力端子４０に、どの入力信号を出力するかを示している。図７（ｂ）において、上の行の欄には、出力端子番号が、１番〜１２番まで配置され、下の行の欄には、入力端子番号が配置されている。この入力端子番号の１番〜４番は、それぞれ、第１入力端子３７ａ〜第４入力端子３７ｄを示す。また、出力端子番号は、図４の出力端子４０において、上から順番に１番〜１２番の番号が設定されている。そして、下の行における番号の入力端子に入力される信号が、上の行における番号の出力端子に出力されるように、選択信号形成回路５４が波形選択信号を設定する。
【００６８】
そして、第１入力端子３７ａに入力される入力信号は、１番、５番、９番の出力端子４０に出力され、第２入力端子３７ｂに入力される入力信号は、２番、６番、１０番の出力端子４０に出力される。第３入力端子３７ｃに入力される入力信号は、３番、７番、１１番の出力端子４０に出力され、第４入力端子３７ｄに入力される入力信号は、４番、８番、１２番の出力端子４０に出力される。
【００６９】
ステップＳ２では、電圧が、ステップＳ１において入力される入力信号に基づいて、出力端子４０に出力される。図４において、選択入力端子３８に入力される波形選択信号に基づき、第１スイッチ回路４２ａ〜第４スイッチ回路４２ｄが設定される。そして、入力信号に基づいた電圧が出力端子４０に出力される。図７（ｃ）は、ステップＳ２に対応する図であり、出力端子の電圧レベルを説明するための図である。図７（ｃ）において、１行目は、出力端子番号を示している。そして、２行目〜５行目は、短絡不良のないとき、各検査番号において、各端子に出力される電圧レベルを示している。
【００７０】
検査番号が１番のとき、第１入力端子３７ａに高い電圧が入力されて、第１入力端子３７ａの信号が、１番、５番、９番の出力端子４０に出力される。従って、１番、５番、９番の出力端子４０には、高い電圧レベルの出力信号が出力され、他の出力端子４０には、低い電圧の出力信号が出力される。同じく、検査番号が２番のとき、２番、６番、１０番の出力端子４０には、高い電圧レベルの出力信号が出力され、他の出力端子４０には、低い電圧の出力信号が出力される。検査番号が３番のとき、３番、７番、１１番の出力端子４０には、高い電圧レベルの出力信号が出力され、他の出力端子４０には、低い電圧の出力信号が出力される。検査番号が４番のとき、４番、８番、１２番の出力端子４０には、高い電圧レベルの出力信号が出力され、他の出力端子４０には、低い電圧の出力信号が出力される。
【００７１】
ステップＳ３では、電圧計測回路５１が、第１検査出力端子５３ａ〜第４検査出力端子５３ｄの内、高い電圧を出力する端子の電圧を計測する。検査番号が１番のとき、第１検査出力端子５３ａの電圧を計測する。そして、検査番号が２番〜４番のとき、それぞれ第２検査出力端子５３ｂ〜第４検査出力端子５３ｄの電圧を計測する。
【００７２】
ステップＳ４では、ステップＳ３にて計測した電圧に基づいて短絡不良の有無を判断する。計測した電圧が高い電圧と略同じ電圧であるとき、計測した端子を流れる電流量は小さく、短絡不良はないと判断できる。一方、計測した電圧が低下しているとき、短絡不良により電流が流れていると判断する。
【００７３】
図８は、ステップＳ４に対応する図であり、検査対象端子番号を説明する図である。図８において、左側の列は、検査番号を示している。中央の列は、短絡不良が、第１入力端子３７ａ〜第４入力端子３７ｄにあるとき、どの端子が短絡している可能性があるかを示している。右側の列は、短絡不良が出力端子４０にあるとき、何番目の端子が短絡している可能性があるかを示している。
【００７４】
検査番号が１番のとき、第１入力端子３７ａを流れる電流量が大きいときには、第１入力端子３７ａと第２入力端子３７ｂとが短絡している可能性がある。出力端子４０では、１番、５番、９番の出力端子４０に高い電圧が出力されているので、１番、５番、９番の出力端子４０と隣接する出力端子４０とが短絡している可能性がある。
【００７５】
検査番号が２番のとき、第２入力端子３７ｂを流れる電流量が大きいときには、第１入力端子３７ａと第２入力端子３７ｂ及び、第２入力端子３７ｂと第３入力端子３７ｃとが短絡している可能性がある。出力端子４０では、２番、６番、１０番の出力端子４０に高い電圧が出力されているので、２番、６番、１０番の出力端子４０と隣接する出力端子４０とが短絡している可能性がある。
【００７６】
検査番号が３番のとき、第３入力端子３７ｃを流れる電流量が大きいときには、第２入力端子３７ｂと第３入力端子３７ｃ及び、第３入力端子３７ｃと第４入力端子３７ｄとが短絡している可能性がある。出力端子４０では、３番、７番、１１番の出力端子４０に高い電圧が出力されているので、３番、７番、１１番の出力端子４０と隣接する出力端子４０とが短絡している可能性がある。
【００７７】
検査番号が４番のとき、第４入力端子３７ｄを流れる電流量が大きいときには、第３入力端子３７ｃと第４入力端子３７ｄとが短絡している可能性がある。出力端子４０では、４番、８番、１２番の出力端子４０に高い電圧が出力されているので、４番、８番、１２番の出力端子４０と隣接する出力端子４０とが短絡している可能性がある。
【００７８】
以上の検査により、検査番号１番〜４番を行うことにより、第１入力端子３７ａ〜第４入力端子３７ｄの隣接し合う端子が短絡するとき、短絡不良を検出することができる。そして、１番〜１２番の出力端子４０において、隣接し合う端子が短絡するとき、短絡不良を検出することができる。
【００７９】
ステップＳ５において、検査番号１番〜４番の検査を行ったことを確認した後、分配回路を検査する製造工程を終了する。
【００８０】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、隣接する第１入力端子３７ａ〜第４入力端子３７ｄの間に異なる電圧の入力信号が入力される。そして、ステップＳ４の良否判断工程では、電流量から第１入力端子３７ａ〜第４入力端子３７ｄの良否判断をしている。従って、簡便な方法で分配回路の良否判断をすることができる。
【００８１】
（２）本実施形態によれば、ステップＳ２の出力工程において、検査する出力端子４０と隣接する出力端子４０に異なる電圧の入力信号を出力する。そして、隣接する出力端子４０間が短絡、もしくは、抵抗の低くなっている回路が形成されているとき、入力端子に電流が流れやすくなる。そして、ステップＳ４の良否判断工程では、電流量から分配回路における出力端子の良否判断をしている。従って、出力端子４０の数が多いときにも、簡便な方法で分配回路の良否判断をすることができる。
【００８２】
（３）本実施形態によれば、複数の出力端子４０に、電圧信号を同時に出力して検査するので、１回の検査により、複数の出力端子へ出力するときの検査を行うことができる。従って、出力端子４０に１つずつ出力して検査する場合に比べて、少ない回数で生産性良く検査することができる。
【００８３】
（４）本実施形態によれば、入力信号が２つの電圧からなることから、入力信号が３つ以上の電圧からなる場合に比べて、簡単な回路により構成することができる。
【００８４】
（５）本実施形態によれば、出力端子４０に圧電素子３０が接続されている状態において、第１入力端子３７ａ〜第４入力端子３７ｄおよび出力端子４０の検査を行っている。そして、出力端子４０と圧電素子３０との間における短絡の検査を同時に行うことができるので、分配回路３６と出力端子４０に接続された圧電素子３０とを別々に検査するときに比べて、生産性良く検査することができる。
【００８５】
（第２の実施形態）
本実施形態では、分配回路を検査する、本発明の特徴的な検査方法の一実施形態について図９〜図１１を用いて説明する。この実施形態が第１の実施形態と異なるところは、高い電圧と低い電圧を端子に交互に出力して検査する点にある。
【００８６】
図９は、分配回路を検査する製造工程を示すフローチャートであり、図１０及び図１１は、短絡検査回路を用いた分配回路の検査方法を説明する図である。図９において、ステップＳ１１は、入力工程に相当し、分配回路の入力端子に、入力信号を入力する工程である。次にステップＳ１２に移行する。ステップＳ１２は、出力工程に相当し、入力信号を分配して、出力端子に出力する工程である。次にステップＳ１３に移行する。ステップＳ１３は、測定工程に相当し、入力端子を流れる電流量を計測する工程である。次にステップＳ１４に移行する。
【００８７】
ステップＳ１４は、良否判断工程に相当し、分配回路に短絡不良がないか否かを判断する工程である。短絡不良があるとき（Ｎｏのとき）及び、短絡不良がないとき（Ｙｅｓのとき）、分配回路を検査する製造工程を終了する。
【００８８】
次に、図４、図１０及び図１１を用いて、図９に示したステップと対応させて、分配回路を検査する検査方法を詳細に説明する。図１０（ａ）〜図１０（ｂ）は、ステップＳ１１に対応する図であり、図１０（ａ）は、入力端子に入力する電圧レベルを説明するための図である。図１０（ｂ）は、出力端子の分配対応を説明するための図である。ステップＳ１１では、図４における第１入力端子３７ａ〜第４入力端子３７ｄに高い電圧もしくは低い電圧が入力される。そして、選択入力端子３８には、波形選択信号が入力される。
【００８９】
図１０（ａ）は、高い電圧の入力信号が入力される端子と低い電圧が入力される端子とを示している。第１入力端子３７ａ及び第３入力端子３７ｃには、高い電圧を入力して、第２入力端子３７ｂ及び第４入力端子３７ｄには低い電圧を入力する。そして、配列された入力端子に、高い電圧と低い電圧とが交互に入力される。
【００９０】
図１０（ｂ）は、波形選択信号により、どの出力端子４０に、どの入力信号が出力されるかを示している。図１０（ｂ）において、上の行の欄には、出力端子番号が、１番〜１２番まで配置され、下の行の欄には、入力端子番号が配置されている。そして、下の行における番号の入力端子に入力される信号が、上の行における番号の出力端子に出力されるように、選択信号形成回路５４が波形選択信号を設定する。
【００９１】
そして、第１入力端子３７ａに入力される入力信号は、１番、５番、９番の出力端子４０に出力され、第２入力端子３７ｂに入力される入力信号は、２番、６番、１０番の出力端子４０に出力される。第３入力端子３７ｃに入力される入力信号は、３番、７番、１１番の出力端子４０に出力され、第４入力端子３７ｄに入力される入力信号は、４番、８番、１２番の出力端子４０に出力される。
【００９２】
ステップＳ１２では、ステップＳ１１において入力される入力信号に基づいて出力される。図４において、選択入力端子３８に入力される波形選択信号に基づき、第１スイッチ回路４２ａ〜第４スイッチ回路４２ｄが設定される。そして、入力信号に基づいた電圧が出力端子４０に出力される。図１０（ｃ）は、ステップＳ１２に対応する図であり、図１０（ｃ）は、出力端子の電圧レベルを説明するための図である。図１０（ｃ）において、１行目は、出力端子番号を示している。そして、２行目は、短絡不良のないとき、各出力端子４０における電圧レベルを示している。
【００９３】
そして、第１入力端子３７ａ及び第３入力端子３７ｃに高い電圧が入力されて、第１入力端子３７ａ及び第３入力端子３７ｃの信号が、１番、３番、５番、７番、９番、１１番の出力端子４０に出力される。従って、１番、３番、５番、７番、９番、１１番の出力端子４０には、高い電圧レベルの出力信号が出力され、他の出力端子４０には、低い電圧の出力信号が出力される。
【００９４】
ステップＳ１３では、電圧計測回路５１が、第１検査出力端子５３ａ及び第３検査出力端子５３ｃの電圧を計測する。ステップＳ１４では、ステップＳ１３にて計測した電圧に基づいて短絡不良の有無を判断する。計測した電圧が高い電圧と略同じ電圧であるとき、計測した端子を流れる電流量は小さく、短絡不良はないと判断できる。一方、計測した電圧が低下しているとき、短絡不良により電流が流れていると判断する。
【００９５】
図１１は、ステップＳ１４に対応する図であり、検査対象端子番号を説明する図である。図１１において、左端の列は、電圧を計測する端子番号である検査端子番号を示しており、ステップＳ１３にて計測する入力端子を示している。中央の列は、短絡不良が、第１入力端子３７ａ〜第４入力端子３７ｄにあるとき、どの端子が短絡している可能性があるかを示している。右端の列は、短絡不良が出力端子４０にあるとき、何番目の端子が短絡している可能性があるかを示している。
【００９６】
検査端子番号が１番のとき、第１入力端子３７ａを流れる電流量を計測する。そして、電流量が大きいとき、第１入力端子３７ａと第２入力端子３７ｂとが短絡している可能性がある。出力端子４０では、１番、５番、９番の出力端子４０に高い電圧が出力されているので、１番、５番、９番の出力端子４０と隣接する出力端子４０とが短絡している可能性がある。
【００９７】
検査端子番号が３番のとき、第３入力端子３７ｃを流れる電流量を計測する。そして、電流量が大きいとき、第２入力端子３７ｂと第３入力端子３７ｃ、及び第３入力端子３７ｃと第４入力端子３７ｄとが短絡している可能性がある。出力端子４０では、３番、７番、１１番の出力端子４０に高い電圧が出力されているので、３番、７番、１１番の出力端子４０と隣接する出力端子４０とが短絡している可能性がある。
【００９８】
以上の検査により、第１入力端子３７ａ〜第４入力端子３７ｄの隣接し合う端子が短絡するとき、短絡不良を検出することができる。さらに、１番〜１２番の出力端子４０において、隣接し合う端子が短絡するとき、短絡不良を検出することができる。そして、良否判断を行って、分配回路を検査する製造工程を終了する。
【００９９】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、第１入力端子３７ａ及び第３入力端子３７ｃのいずれかに流れる電流量を計測した後、隣接する入力端子が電気的に短絡しているか否かを検査している。従って、１回の検査で第１入力端子３７ａ〜第４入力端子３７ｄの検査することができる為、生産性良く検査することができる。
【０１００】
（２）本実施形態によれば、第１入力端子３７ａ及び第３入力端子３７ｃのいずれかに流れる電流量を計測した後、隣接する出力端子４０が電気的に短絡しているか否かを検査している。従って、１回の検査で１２個の出力端子４０の検査をすることができる為、生産性良く検査することができる。
【０１０１】
尚、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、種々の変更や改良を加えることも可能である。変形例を以下に述べる。
（変形例１）
前記第１の実施形態及び前記第２の実施形態において、電圧計測回路５１及び抵抗素子５２を用いて入力端子を流れる電流量を計測したが、これに限らない。電流量を測定する回路を用いて、直接入力端子を流れる電流量を測定しても良い。同様に、短絡検査を行うことができる。
【０１０２】
（変形例２）
前記第１の実施形態及び前記第２の実施形態において、高い電圧は１２ボルト、低い電圧は０ボルトに設定したが、これに限らない。高い電圧を０ボルト、低い電圧を負の電圧に設定しても良い。他にも、高い電圧は正の電圧、低い電圧は負の電圧に設定しても良い。さらに、複数の電圧レベルの電圧を入力して検査しても良い。分配回路が作動する電圧に合わせて検査することができる。
【０１０３】
（変形例３）
前記第１の実施形態及び前記第２の実施形態において、出力端子４０には、圧電素子３０を接続したが、これに限らず、電流を流し難い回路、又は素子を接続しても良い。同様に、生産性良く分配回路の短絡検査を行うことができる。
【０１０４】
（変形例４）
前記第１の実施形態及び前記第２の実施形態において、キャビティ２７を加圧する加圧手段に、圧電素子３０を用いたが、他の方法でも良い。例えば、静電気の引力及び斥力を用いて振動板２９を変形させて、加圧しても良い。このときにも、生産性良く分配回路の短絡検査を行うことができる。
【０１０５】
（変形例５）
前記第１の実施形態及び前記第２の実施形態において、出力端子４０に、電流を流し易い回路、又は、素子を接続するとき、分配回路３６から出力しないように、選択制御回路４１を制御しても良い。そして、入力端子の短絡検査を行っても良い。入力端子の数が多いとき、簡便な方法で、入力端子の短絡検査を行うことができる。
【０１０６】
（変形例６）
前記第１の実施形態及び前記第２の実施形態において、液滴吐出ヘッド１４を駆動する電力を分配する回路を検査したが、これに限らない。分配回路の出力端子に、表示素子が接続されている場合や、アクチュエータを駆動する素子及び回路が接続されている場合にも用いることができる。このときにも、生産性良く分配回路の短絡検査を行うことができる。
【０１０７】
（変形例７）
前記第２の実施形態において、１２個の出力端子４０において、交互に高い電圧と低い電圧とを出力したが、これに限らない。出力端子４０の配列において、低い、高い、低い、低い、高い、低いの順に電圧を出力しても良い。高い電圧の端子と低い電圧の端子とが隣接するので、短絡するとき、流れる電流量が増加することにより、短絡検査を生産性良く行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【０１０８】
【図１】第１の実施形態に係る液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。
【図２】（ａ）は、キャリッジを示す模式平面図、（ｂ）は、キャリッジを示す模式側面図、（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの構造を説明するための要部模式断面図。
【図３】液滴吐出ヘッドの電気制御ブロック図。
【図４】分配回路の電気制御ブロック図。
【図５】短絡検査回路の電気制御ブロック図。
【図６】分配回路を検査する製造工程を示すフローチャート。
【図７】短絡検査回路を用いた分配回路の検査方法を説明する図。
【図８】短絡検査回路を用いた分配回路の検査方法を説明する図。
【図９】第２の実施形態に係る分配回路を検査する製造工程を示すフローチャート。
【図１０】短絡検査回路を用いた分配回路の検査方法を説明する図。
【図１１】短絡検査回路を用いた分配回路の検査方法を説明する図。
【符号の説明】
【０１０９】
１４…液滴吐出ヘッド、２８…液状体としての機能液、３０…圧電素子、３１…液滴、３６…分配回路、３７ａ…入力端子としての第１入力端子、３７ｂ…入力端子としての第２入力端子、３７ｃ…入力端子としての第３入力端子、３７ｄ…入力端子としての第４入力端子、３８…入力端子としての選択入力端子、４０…出力端子。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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