(57)【要約】【課題】  特性にバラツキの無い小型で高精度な周波数検出型の圧力検出装置を提供すること。【解決手段】  それぞれの特性が互いに適合するように選択された容量変化型圧力センサ３０と、圧電振動子（圧電振動片）２１とを、それぞれ個々に収容する複数のキャビティ１５，１６を備えたパッケージ内に収容して並列接続した構造を有し、加えられた圧力の変化に応じて、前記容量変化型圧力センサ３０の容量が変化することで、圧電振動子２１の共振周波数または反共振周波数が変化することに基づいて、該圧力変化を検出する構成とした圧力検出装置。【選択図】  図１
2008039626.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
容量変化型圧力センサと、圧電振動子とを、それぞれ個々に収容する複数のキャビティを備えたパッケージ内に収容して並列接続した構造を有し、
加えられた圧力の変化に応じて、前記容量変化型圧力センサの容量が変化することで、圧電振動子の共振周波数または反共振周波数が変化することに基づいて、該圧力変化を検出する構成とした
ことを特徴とする圧力検出装置。
【請求項２】
前記パッケージが、個々に配線基板を有する２つのキャビティを上下に重ねて形成したものであり、一方のキャビティに前記圧電振動子を収容し、他方のキャビティに前記容量変化型圧力センサを収容したことを特徴とする請求項１に記載の圧力検出装置。
【請求項３】
前記パッケージが、共通の配線基板を挟んで、上下に２つのキャビティを形成したパッケージであり、一方のキャビティに前記圧電振動子を収容し、他方のキャビティに前記容量変化型圧力センサを収容したことを特徴とする請求項１に記載の圧力検出装置。
【請求項４】
前記パッケージが、ひとつのキャビティ内に、これよりも小さなキャビティを収容した構成であり、該小さなキャビティに前記圧電振動子を収容し、他方のキャビティに前記容量変化型圧力センサを収容したことを特徴とする請求項１に記載の圧力検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、受ける圧力に応じて変形し、容量変化する容量変化型圧力センサと圧電振動子を組み合わせた圧力検出装置の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
医療機器や工業機器において、圧力を検出する圧力検出装置の構成として、例えば図１０に示すような構成のものが使用されている（特許文献１、ＦｉＧ３参照）。
図１０はこのような圧力検出装置の要部を示しており、該装置においては、水晶振動片（水晶振動子）１と容量変化型圧力センサ２が並列に接続される構成である。
【０００３】
図１１（ａ）に示すように、容量変化型圧力センサ２は、作用する圧力に比例してその静電容量が増加するように変化する特性を有している。
また、図１１（ｂ）に模式的に示すように、上記容量変化型圧力センサと並列に接続された圧電振動子は、作用する圧力が大きくなると、容量変化型圧力センサの静電容量の増加に伴ない共振周波数や反共振周波数が下がる特性がある。特に反共振周波数においてはその傾向が顕著である。
圧力検出装置は、上記のような性質を利用して、圧力変化を周波数信号変化として検出するものである。
【０００４】
【特許文献１】ＵＳＰ，６３７８３６０，Ｂ１
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このような構成の圧力検出装置には、以下のような問題がある。
図１２は、４輪自動車のタイヤの空気圧検出装置を示すシステム図である。
図において、制御装置３は、各タイヤ４，４，４，４に備えられた上記圧力検出装置に接続されている。
この場合、各タイヤに個々に上記構成の圧力検出装置が備えられていて、各装置が検出したタイヤ圧を制御装置３に報知する構成とされている。
【０００６】
ここで、各タイヤ４，４，４，４に備えられた圧力検出装置においては、それぞれ圧電振動子と容量変化型圧力センサとが組み合わされて、各タイヤの空気圧を個別に検出するようになっているので、個々の圧力検出は同一の条件でなされる必要がある。
しかしながら、圧電振動子と、容量変化型圧力センサとはそれぞれ特性がある。
例えば、圧電振動子は、共振周波数が高めであったり低めであったりするし、容量変化型圧力センサは、特定の圧力が作用した際の容量が大きめであったり小さめであったりする場合がある。
【０００７】
このため、特性にバラツキのあるこれら圧電振動子と容量変化型圧力センサとを組み合わせた圧力検出装置は、同じ自動車の各タイヤに取り付けられるもの同士で、出力に周波数バラツキを生じる場合がある。
そこで、図１３に示すように、補正回路５を余分に設けたり、このような回路を設けない場合には、図１２の制御装置３によりソフト的に調整したりする必要があった（図１１の点線参照）。
【０００８】
本発明は、以上の課題を解決するためになされたもので、特性にバラツキの無い小型で高精度な周波数検出型の圧力検出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的は、第１の発明にあっては、容量変化型圧力センサと、圧電振動子とを、それぞれ個々に収容する複数のキャビティを備えたパッケージ内に収容して並列接続した構造を有し、加えられた圧力の変化に応じて、前記容量変化型圧力センサの容量が変化することで、圧電振動子の共振周波数または反共振周波数が変化することに基づいて、該圧力変化を検出する構成とした圧力検出装置により、達成される。
【００１０】
第１の発明の構成によれば、容量変化型圧力センサと圧電振動子のそれぞれに関して、予め特性を調べて、互いに適合するものを組み合わせて個々のキャビティに収容し、これらキャビティを含むパッケージを形成したので、ひとつのパッケージ内に、互いに特性が適合した圧電振動子と容量変化型圧力センサとが組み合わせられてバランスのとれた、すなわち周波数ばらつきの抑えられた圧力検出装置が形成される。
これにより、特性にバラツキの無い小型で高精度な周波数検出型の圧力検出装置を提供することができる。
【００１１】
第２の発明は、第１の発明の構成において、前記圧電振動子として、周波数値が高めに出力されるものと、前記容量変化型圧力センサとして、容量値が大きめのものとを前記パッケージに収容したことを特徴とする。
第２の発明の構成によれば、周波数が高めの圧電振動子には、容量が大きめの容量変化型圧力センサが並列に接続されるので、互いに特性が調整されてバランスのとれた検出特性の装置を得ることができる。
【００１２】
第２の発明は、第１の発明の構成において、前記パッケージが、共通の配線基板を挟んで、上下に２つのキャビティを形成した所謂Ｈ型のパッケージであり、一方のキャビティに前記圧電振動子を収容し、他方のキャビティに前記容量変化型圧力センサを収容したことを特徴とする。
第２の発明の構成によれば、２つのキャビティに収容される各部品に関して、共通の配線基板を設けることで、高さ寸法を低減し、低背化を図ることができる。
【００１３】
第３の発明は、第１の発明の構成において、前記パッケージが、ひとつのキャビティ内に、これよりも小さなキャビティを収容した構成であり、該小さなキャビティに前記圧電振動子を収容し、他方のキャビティに前記容量変化型圧力センサを収容したことを特徴とする。
第３の発明の構成によれば、一方のキャビティ内に他方のキャビティを収容することにより、気密を必要とする小さなキャビティを、これを収容するキャビティが保護することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
図１および図２は第１の実施形態を示す図であり、図１（ａ）は圧力検出装置の概略平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ概略断面図、図２（ａ）は図１（ａ）のＢ−Ｂ概略断面図、図２（ｂ）は圧力検出装置の概略底面図である。
これらの図において、圧力検出装置１０は、パッケージ１１内に圧電振動片（圧電振動子）２１と容量変化型圧力センサ３０を収容している。
【００１５】
パッケージ１１は、例えば、絶縁材料として、酸化アルミニウム質のセラミックグリーンシートを成形して形成される複数の基板１２、１３、１４を順次積層した後、焼結して、ほぼ矩形の箱型に形成されている。第１および第３の各基板１２，１４は、その内側に所定の孔を形成することで、積層した場合に内側に所定の内部空間である第１のキャビティ１５と第２のキャビティ１６を形成するようにされている。この第１のキャビティ１５と第２のキャビティ１６が、それぞれ容量変化型圧力センサ３０と、圧電振動片２１とを個別に収容するための収容空間である。
【００１６】
第２のキャビティ１６内には、圧電振動片２１をマウントし、蓋体１７として、例えば、ガラスリッドを用いて気密に封止するようにされている。この場合、気密なチャンバー内などにおいて、不活性ガス、例えば窒素などを導入して、蓋封止される。蓋体１７をガラスなどの光透過性の材料で形成すると、封止後に外部からレーザー光を照射して、第２のキャビティ１６内の圧電振動片２１に対して、質量削減方式による周波数調整を行うことが可能となる。
【００１７】
第２の基板１３は、第１のキャビティ１５と第２のキャビティ１６とを区画する基板であるとともに、表裏に導電パターンを形成することで、これらの各キャビティに収容される部品に対して、共通の配線基板とされている。
すなわち、図１（ａ）図１（ｂ）に示されているように、上側の第２のキャビティの内側底部である基板１３の表側には、長さ方向の端部の、幅方向両端部にそれぞれ電極部２５，２６が形成されており、その上に導電性接着剤２８，２８が塗布されて、さらにその上に圧電振動片２１が載置され、該導電性接着剤２８，２８が硬化されることにより接合されている。
【００１８】
圧電振動片２１は、この実施形態では、例えば水晶ウエハを矩形に切断研磨して形成した厚みすべり振動モードを有するＡＴカット水晶板から作られたＡＴカット振動片が使用されているが、これに限らず、音叉型圧電振動片や輪郭振動子、ＳＡＷ素子を使用することもできる。
圧電振動片２１の主面（表裏面）には、駆動電極である励振電極２２が形成されている。この励振電極は、長さ方向の一端であって、幅方向の端部に引き回された引出し電極２３，２４が形成されている。この引出し電極２３，２４の箇所が、上記導電性接着剤２８，２８上に載置され、接合されるようになっている。
【００１９】
パッケージ１１内部において、第２の基板１３表面の上記電極部２５，２６は、例えば、タングステンメタライズ上に金メッキすることにより形成されており、図１（ｂ）に示すように導電スルーホール２７により該第２の基板１３の裏面に連絡されており、図２（ｂ）に示すように該裏面に形成した電極部３３，３４と接続されている。
すなわち、第２の基板１３の裏面の第１のキャビティ１５には、容量変化型圧力センサ３０が収容されており、該第２の基板１３の裏面に接着剤３５により接合されているとともに、上記電極部３３，３４に対して、ワイヤボンディングなどにより電気的に接続されている。
【００２０】
また、図１（ｂ）および図２（ｂ）に示すように、パッケージ１１の下面四隅の近傍には、実装端子１８，１８，１９，１９が形成されている。
実装端子１８，１８は上記電極部３３，３４に対して、パッケージ１１内の導電パターンおよび導電スルーホール２９などにより接続されている。実装端子１９，１９はグランド端子などである。
【００２１】
次に、第１のキャビティ１５に収容されている容量変化型圧力センサ３０について説明する。
図３は、容量変化型圧力センサ３０の構成例を示す概略断面図である。
図において、容量変化型圧力センサ（以下、「圧力センサ」という）３０は、比較的厚みのある板状の基体３２の上に検出体４１を接合した構造である。
【００２２】
基体３２は、誘電体材料でなり、例えば、ガラス、セラミック板、硬質プラスチック、シリコンなどにより形成することができ、ガラスやシリコンを用いる場合、それらのウエハを加工する工程から作ることができる。
あるいは、基体３２をセラミックで形成する場合には、例えば、酸化アルミニウム質のセラミックグリーンシートを成形して、図示の形状とすることができる。基体３２の厚み寸法は例えば２００μｍ程度である。
検出体４１は、好ましくはウエハ材料での加工が可能なものが選択され、例えば、シリコンや水晶材料から形成することができる。
【００２３】
この実施形態では、検出体４１は、例えば水晶から形成されており、図２（ｂ）から理解されるように、全体として正方形もしくは矩形の水晶板を加工して得られる。
具体的には、検出体４１は、厚みすべり振動モードを有するＡＴカット水晶板でなる水晶ウエハを用いて、該水晶板のほぼ中央部分を、図２（ｂ）に示すように、矩形に薄板に形成する。つまり、図３に示すように、例えば該水晶板の表面と裏面から、それぞれ中央領域について、矩形にハーフエッチングし、変形領域４２を形成する。この変形領域４２の下面が変形面４９である。変形領域４２は、後述するように圧力を受けて変形する領域である。
【００２４】
また、これと同時に変形領域４２に近接したその側方に貫通孔４５を穿設する。貫通孔４５は変形領域４２のハーフエッチングと同時に表裏からそれぞれエッチングし、変形領域の完成後に、該貫通孔４５の箇所だけエッチングを続行するようにして形成することができる。なお、この場合のエッチングは、例えばフッ酸溶液によるウエットエッチングが利用できる。また、表面のエッチング量（深さ）は例えば８４μｍ程度、裏面のエッチング量（深さ）は例えば６μｍ程度とすることができる。
そして、検出体４１は、図３に符号Ｓ１で示す気密空間を形成するように、例えば大気圧中で、基体３２に接合される。この接合は、基体３２の材料と、検出体４１の材料とがそれぞれウエハの状態において、行われるようにしてもよい。検出体４１の厚みは例えば、１００μｍ程度である。
【００２５】
この実施形態では、例えば、図３に示されているように、検出体４１の変形面４９の対向面である基体３２の上面には、第１の電極４４が形成されている。そして、図２に示すように、変形面４９に第２の電極４６が形成されている。
第１の電極４４は、基体３２の上面に設けた下地層４８の上に形成されている。第１の電極４４の膜厚は、例えば１５００オングストローム程度である。第２の電極４６の膜厚は、例えば２０００オングストローム程度である。
すなわち、例えば基体３２が水晶で、第１の電極４４を例えば金（Ａｕ）により形成する場合には、基体３２の表面に下地層４８を形成することが好ましく、これにより、基体３２に対する金の付着を良くし、あるいはメッキにより金を成膜することも可能となる。
また、第１の電極４４がアルミニウム（Ａｌ）もしくはその合金である場合には、基体３２の表面に直接、スパッタリングや蒸着などにより該第１の電極４４を成膜できるので、下地層４８は不要である。
【００２６】
電極の構成についてさらに説明する。
正方形の検出体４１の裏面５１の外周に沿ってその縁部には、導電部３７が形成されている。この導電部３７は基体３２と検出体４１を接合する役割を果たすと同時に、図３に示すように、固定電極である第１の電極４４から一体に延びる引出し電極４４ａと接続されて、第１の電極４４と電気的に接続されている。なお、導電部３７は検出体４１の表面５２側に引き回されて駆動電圧を供給するためのボンディングワイヤＷ２が接続されている。
【００２７】
図３に示すように、貫通孔４５には導電材料が充填されるなどして、導電スルーホールとされており、可動電極である第２の電極４６から延びる引出し電極４６ａと接続され、さらに該導電材料により、貫通孔４５の表面側の孔周辺に形成した電極パッド４６ｂと接続されている。この電極パット４６ｂには駆動用の電圧を供給するためのボンディングワイヤＷ１が接続されている。
さらに検出体４１の対向する端縁には、電極パッド４８ａ，４６ｂが形成されている。
【００２８】
さらに、図３を参照して理解されるように、第１の電極４４と、その表面側に形成される誘電体膜１２２との間には、接着補助層１２１が形成されている。
この誘電体膜１２２は、第１の電極４４と第２の電極４６同士の短絡を防止するために設けられる絶縁膜であり、ＳｉＯ２やＡｌ２Ｏ３、Ｓｉ３Ｎ４等により形成することがきる。
好ましくは、この場合、誘電体膜の膜厚は５０００オングストローム以下であり、これを１０００オングストローム未満とすることにより、膜の引っ張り応力が制限され、膜の引っ張り応力による悪影響が抑制される。
【００２９】
また、接着補助層１２１は、例えば、クロム（Ｃｒ），ニッケル（Ｎｉ），チタン（Ｔｉ）のいずれかの金属層もしくは各金属の合金層により形成することができる。これらの金属は、基体３２の表面に、例えば、蒸着やスパッタリングなどの手法により成膜することができる。そして、これらクロム（Ｃｒ），ニッケル（Ｎｉ），チタン（Ｔｉ）のいずれかの金属層もしくは各金属の合金は、誘電体材料である例えば水晶による基体に対して付着しやすく、ＳｉＯ２などの誘電体膜１２２を強固に接着できる。
ここで、図３に示すように、接着補助層１２１は、第１の電極４４より大きく形成されている。このため、該接着補助層１２１は第１の電極４４を完全に覆うことができるので、該第１の電極４４の剥離、損傷などを確実に防止することができる。
【００３０】
圧力センサ３０は以上のように構成されており、以下のように動作することができる。
圧力センサ３０を例えば大気中に配置する。この状態では、気密空間Ｓ１の気圧は大気圧なので外部の気圧とつり合っており、検出体４１の変形領域４２は変形しない。
ここで、圧力変化がある場合には、その圧力変化を変形領域４２が受けると、第１の電極４４と第２の電極４６間の容量値が変化し、該容量変化に基づいて、その圧力を検出することができる。
【００３１】
すなわち、変形領域４２が受ける圧力に応じて、該変形領域４２が下方に凸となるように変形し、変形面４９が基体３２の上面に接触すると、接触面積に応じて、第１の電極４４と第２の電極４６の間に絶縁体としての基体３２が介在されて、その面積分だけ第１の電極４４と第２の電極４６の対向面積が増大する。そして、第１の電極４４と第２の電極４６の対向面積が増大すると、容量値Ｃが増大する。
【００３２】
そして、本実施形態では、基体３２の表面に形成された第１の電極４４と誘電体膜１２２との間、すなわち、第１の電極４４の表面には、接着補助層１２１が形成されている。これにより、第１の電極４４と誘電体膜１２２との接着強度が高められており、そのため、例えば、高温度下、高湿度下などの環境変化や、外部からの衝撃などにより、第１の電極４４を覆う誘電体膜１２２が容易に剥離しないようにされている。
このため、電極同士のリークを生じるような誘電体膜１２２の剥離を防止して安定して動作し得る。
【００３３】
第１の実施形態は以上のように構成されており、本実施形態の圧力検出装置１０においては、図示しない二次基板などに実装されることによって、実装端子１８，１８から供給された駆動電圧が、図１において、導電スルーホール２９、電極部３３，３４、導電スルーホール２７、電極部２５，２６を介して、引出し電極２３，２４を経て、圧電振動片２１の励振電極２２に印加される。
これにより、圧電振動片２１は共振周波数で振動するように励振され、該圧電振動片２１は固有振動をする。ここで、圧力検出装置１０に外部から、例えば気圧の変化として圧力が作用すると、容量変化型圧力センサ３０は上述した原理で、容量が変化する。
そして、圧電振動片２１と容量変化型圧力センサ３０は並列に接続されているから、並列容量が変化し、図４に示すように、圧電振動片２１の反共振周波数が変化するので、この周波数信号を検出することにより、印加された圧力を検出することができる。
【００３４】
ここで、容量変化型圧力センサ３０と圧電振動片２１とは、それぞれに関して、予め特性を調べて、互いに適合するものを組み合わせてある。このため、パッケージ１１内には互いに特性が適合した圧電振動片２１と容量変化型圧力センサ３０とが組み合わせられてバランスのとれた圧力検出装置１０が形成されている。
これにより、特性にバラツキの無い小型で高精度な周波数検出型の圧力検出装置１０を提供することができる。
【００３５】
具体的には、周波数が所望の値よりも高めにずれた圧電振動片２１と、容量値が大きめにずれた容量変化型圧力センサ３０を、パッケージ１１に収容し、これらが並列接続されることで、高めにずれた圧電振動片２１の周波数を容量変化型圧力センサ３０の容量値ずれ分により所望の値へ調整することができる。よって互いに特性が調整されてバランスのとれた検出特性の装置を得ることができる。
同様に、圧電振動片２１として、周波数値が低めに出力されるものと、容量変化型圧力センサ３０として、容量値が小さめのものとを並列に接続すれば、この場合にも互いに特性が調整されてバランスのとれた検出特性の装置を得ることができる。
【００３６】
また、図５を参照すると、符号Ａで示した複数のサンプルは、検出体の材料として水晶を用いた容量変化型圧力センサ３０の特性の相違に基づいて、所定の圧力値に対応した容量値のバリエーションを示し、符号Ｂは半導体圧力センサにおける同様な値を示している。
図示の結果から明らかなように、検出体の材料として水晶を用いた容量変化型圧力センサ３０では、特性上、バラツキ自体があまり大きくなく、半導体圧力センサでは極端にバラツキが大きい。検出体４１の材料として水晶を用いた方が個体差が小さいのは、検出体４１の変形領域４２の厚みをエッチング等で加工する際、変形領域４２の表裏にプローブ電極等を接触させて共振周波数を計測しながら加工することが可能であるためである。
このことから、容量変化型圧力センサ３０について、予めその特性を調べて、上述のようにして圧電振動片２１と適切に組み合わせることにより、きわめて精度の高い圧力検出装置１０を得ることができる。
また、この実施形態では、パッケージ１１が、上述の構成を備えているから、２つのキャビティ１５，１６に収容される各部品に関して、共通の配線基板１３を設けることで、高さ寸法を低減し、低背化を図ることができる。
【００３７】
図６および図７は、第２の実施形態に係る圧力検出装置１０−１を示している。
図６（ａ）は圧力検出装置の概略平面図、図６（ｂ）は図６（ａ）のＣ−Ｃ概略断面図、図７（ａ）は図６（ａ）のＤ−Ｄ概略断面図、図７（ｂ）は圧力検出装置の概略底面図である。
この第２の実施形態において、図１ないし図３と同じ符号を付した箇所は、共通する構成であるから重複する説明は省略し、以下、相違点を中心に説明する。
【００３８】
これらの図において、パッケージ１１−１は、それぞれ基板を２枚重ねて形成した２つのキャビティを縦に重ねた形態である。
セラミック製の基板５５の上には基板５５ａを重ねて、該基板５５ａの内側を除去することにより第１のキャビティ１５が形成されている。第１のキャビティ１５内には、容量変化型圧力センサ３０が収容されている。第１のキャビティ１５は塞がれていないので、内部は、装置周囲の気圧と同じである。
【００３９】
基板５５ａの上端には、接続電極５７が形成されている。接続電極５７は、実装端子１８，１９とパッケージ内の図示しない導電スルーホールや、パッケージ外側のキャスタレーションに図示しない導電パターンを引き回すことにより接続されている。
その上には、底面に接続端子５８を形成した基板５６がハンダや導電性接着剤５９により電気的に接続されて、固定されている。
基板５６には、基板５６ａを積層し、該基板５６ａの内側を除去することにより内側に第２のキャビティ１６を形成している。この第２のキャビティ１６には圧電振動片２１が収容されて、蓋体１７により気密に封止されている。
【００４０】
本実施形態は、以上のように構成されており、第１の実施形態と同様の作用効果を発揮できるとともに、キャビティを２つ設けて、部品を縦２段に収容することで、実装スペースを小さくすることができる。
【００４１】
図８および図９は、第３の実施形態に係る圧力検出装置１０−２を示している。
図８（ａ）は圧力検出装置の概略平面図、図８（ｂ）は図８（ａ）のＥ−Ｅ概略断面図、図９（ａ）は図８（ａ）のＦ−Ｆ概略断面図、図９（ｂ）は圧力検出装置の概略底面図である。
この第３の実施形態において、図１ないし図３と同じ符号を付した箇所は、共通する構成であるから重複する説明は省略し、以下、相違点を中心に説明する。
【００４２】
この実施形態では、基板６１の上に、好ましくは、例えばガラスなどの光透過性の材料で形成された大きなキャップ状もしくは箱状のカバー６３を接合することにより、大きな容積を持つ第１のキャビティ１５を形成している。
基板６１の上面には、やや外寸の小さい第２の基板６２を重ねて接合し、その内側の材料を除去することにより、第２のキャビティ１６を形成している。つまり、第１のキャビティ１５内に、第２のキャビティ１６を収容するように構成されている。
第２のキャビティ１６内には圧電振動片２１を接合して収容し、蓋体１７により気密に封止している。
【００４３】
蓋体１７上には、接着剤３５を用いて、容量変化型圧力センサ３０を接合している。これにより容量変化型圧力センサ３０は第１のキャビティ１５内に収容されている。
カバー６３には、外部と連通する通気孔６４を設けている。
つまり、第１のキャビティ１５内は、装置の周囲と同じ気圧となるようにされている。
【００４４】
本実施形態は、以上のように構成されており、第１の実施形態と同様の作用効果を発揮できるとともに、一方のキャビティ内１５に他方のキャビティ１６を収容することにより、気密を必要とする小さな第２のキャビティ１６を、これを収容する第１のキャビティ１５により保護することができる。
【００４５】
本発明は上述の実施形態に限定されない。実施形態や変形例の各構成はこれらを適宜組み合わせたり、省略し、図示しない他の構成と組み合わせることができる。
上述の実施形態では、矩形のパッケージを用いているが、円形や楕円形のパッケージを形成してもよい。
容量変化型圧力センサ３０の検出体４１は矩形のものとして説明されているが、正方形でも円形などでもよい。また、その変形面４９を矩形のものとして説明しているが、これを円形や正方形としてもよい。
容量変化型圧力センサ３０の基体３２を構成する基板は、単層のものとして説明されているが、複数層設けてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る圧力検出装置の構成を示す図。
【図２】本発明の第１の実施形態に係る圧力検出装置の構成を示す図。
【図３】図１の圧力検出装置の容量変化型圧力センサの構成を示す概略切断端面図。
【図４】図１の圧力検出装置の検出の例を示す図。
【図５】図１の圧力検出装置の容量変化型圧力センサの特性を説明する図。
【図６】本発明の第２の実施形態に係る圧力検出装置の構成を示す図。
【図７】本発明の第２の実施形態に係る圧力検出装置の構成を示す図。
【図８】本発明の第３の実施形態に係る圧力検出装置の構成を示す図。
【図９】本発明の第３の実施形態に係る圧力検出装置の構成を示す図。
【図１０】従来の圧力検出装置の要部の構成例を示す図。
【図１１】従来の圧力検出装置における圧力検出を説明するための図。
【図１２】従来の圧力検出装置が適用されるタイヤ空気圧検出装置のシステム図。
【図１３】従来の圧力検出装置の要部の他の構成例を示す図。
【符号の説明】
【００４７】
１０・・・圧力検出装置、１１・・・パッケージ、１５・・・第１のキャビティ、１６・・・第２のキャビティ、２１・・・圧電振動片、２２・・・励振電極、３０・・・（容量変化型）圧力センサ、３２・・・基体、４１・・・検出体、４２・・・変形領域、４４・・・第１の電極、４６・・・第２の電極
【図１】
2008039626.tif 000003
【図２】
2008039626.tif 000004
【図３】
2008039626.tif 000005
【図４】
2008039626.tif 000006
【図５】
2008039626.tif 000007
【図６】
2008039626.tif 000008
【図７】
2008039626.tif 000009
【図８】
2008039626.tif 000010
【図９】
2008039626.tif 000011
【図１０】
2008039626.tif 000012
【図１１】
2008039626.tif 000013
【図１２】
2008039626.tif 000014
【図１３】
2008039626.tif 000015