(57)【要約】      （修正有）【課題】純水や超純水中であっても、エロージョン等による損傷を抑えて、長期に亘って安定して使用できる純水用セラミックス摺動部材を提供する。【解決手段】ＳｉＣ焼結体からなり、超純水または純水中で使用されるセラミックス摺動部材３０，３８，３９であって、β−ＳｉＣのＳｉＣ焼結体中に占める割合は２０％以上で、平均的な結晶組織のアスペクト比は２以上である。【選択図】図１
2008267584.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＳｉＣ焼結体からなり、超純水または純水中で使用されるセラミックス摺動部材であって、
β−ＳｉＣのＳｉＣ焼結体中に占める割合は２０％以上で、平均的な結晶組織のアスペクト比は２以上であることを特徴とする純水用セラミックス摺動部材。
【請求項２】
ＳｉＣ焼結体の結晶粒子径の最大は２００μｍで、平均は２０μｍ以下であることを特徴とする請求項１記載の純水用セラミックス摺動部材。
【請求項３】
焼成前のＳｉＣ原料粉の段階でβ−ＳｉＣのＳｉＣ中に占める割合は９０％以上であることを特徴とする請求項１または２記載の純水用セラミックス摺動部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気抵抗率で１０ＭΩ・ｃｍ程度以上の超純水や電気抵抗率で１ＭΩ・ｃｍ程度以上の純水中で回転機械の軸受やメカニカルシール等として使用される純水用セラミックス摺動部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、回転機械であるキャンドモータポンプは、一般に、主軸を両側で支える２つのラジアル滑り軸受と、負荷側及び反負荷側の両軸方向のスラスト荷重を支える２つのスラスト滑り軸受を備えている。これらの滑り軸受として、耐摩耗性及び耐腐食性に優れたセラミックス軸受が広く使用されている。そして、取扱液を自己循環させ、取扱液によって、滑り軸受（セラミックス軸受）の潤滑とモータの冷却を行うようにしている。
【０００３】
回転機械には、固定側と回転側の両部品の端面や摺動面に接して運転される構造のものが多く、回転体と固定体とが機械的に摺動する部分に取付けられる部品に、滑り軸受やシール部材等の摺動部材が使用されている。例えば、滑り軸受は、主軸側に固定されて主軸側と一体に回転する回転側部材と、ケーシング側に固定される固体側部材を有し、両者を互いに摺動させるようにしており、セラミックス軸受の回転側部材及び固定側部材の一方を炭化ケイ素（ＳｉＣ）で、他方を炭素材料（Ｃ）で構成したり、両者を共にＳｉＣで構成したりすることが広く行われている。このＳｉＣは、六法晶を含むウルツ鉱型の結晶構造を有するα−ＳｉＣからなる。
【０００４】
また、回転機械において、主軸とケーシングとの間を水密的にシールするシール部材としても、α−ＳｉＣからなるセラミックスシール部材が広く使用されている。つまり、回転機械には、セラミックス軸受やセラミックスシール部材等のセラミックス摺動部材が広く使用されている。
【０００５】
ＳｉＣには、いくつかの製法があり、その中の最も主要な焼結法だけでも出発原料や焼成条件によりさまざまな特性をもつＳｉＣが製造でき、それぞれ実用に供されている。これらのＳｉＣは、一般的に熱的、化学的、および機械的特性に加え、耐摩耗性にも優れた材料であり、軸受やメカニカルシール等の摺動部材として広く使用されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
例えば、電気抵抗で０．０１ＭΩ・ｃｍ程度以上の水道水を取扱液とし、滑り軸受としてセラミックス軸受を使用したキャンドモータポンプにあっては、セラミックス軸受（滑り軸受）の摺動面を水道水（取扱液）で有効に潤滑しながら、セラミックス軸受の長期に亘る使用が可能である。しかし、電気抵抗で１ＭΩ・ｃｍ程度以上の純水や、電気抵抗で１０ＭΩ・ｃｍ程度以上の超純水を取扱液とし、滑り軸受としてセラミックス軸受を使用したキャンドモータポンプにあっては、セラミックス軸受の摺動面を純水や超純水（取扱液）で潤滑するときに該摺動面に純水や超純水中で徐々にすべり摩耗痕が発生し、摺動面の滑り損傷と考えられる摩耗に繋がってしまうことがある。
【０００７】
下記の表１は、α−ＳｉＣ同士を、電気抵抗の異なる取扱液（水道水、純水及び超純水）の存在下で、０．５ＭＰａの圧力で押圧しながら、周速７．５９ｍ／ｓで互いに１００時間摺動させる摩擦摩耗試験を行った結果を示す。
【０００８】
【表１】
2008267584.tif 000003
【０００９】
この原因は、必ずしも明確ではないが、セラミックス軸受の摺動面が水道水の存在下で滑り接触する時に、摺動面に潤滑膜としてシリコン系水酸化物またはゲル状のシリコン系水和物が形成され、これが摺動面を保護するものと考えられているが、セラミックス軸受の摺動面を極端に溶存酸素が少ない純水や超純水中で摩擦する時には、摺動面にこれらの膜が形成されないためであると考えられる。
【００１０】
このように、ＳｉＣ（α−ＳｉＣ）は、摺動材料として優れた特性を備えているが、取扱液を純水や超純水とした回転機械の軸受等としてＳｉＣ（α−ＳｉＣ）を使用すると、原因不明の損傷トラブルにしばしば遭遇する。損傷は、ＳｉＣ摺動部材の摺動部だけでなく、摺動部材の接液部に生じることもある。
【００１１】
ＳｉＣ焼結体の損傷状態から耐エロージョン性に着目し以下のような試験を行った結果、ＳｉＣ結晶系や組織などの性状によって、耐エロージョン性に差があることをつかんだ。また、ＳｉＣの損傷が単なるエロージョンではなく、エロージョン・コロージョン的な損傷であることが判った。即ち、ＳｉＣ焼結体からなる試験片にある流速を持たせた流体を衝突させた場合、流体が０．０１ＭΩ・ｃｍ程度の水道水である場合にはＳｉＣに損傷は発生しない。これに対し、流体が電気抵抗で１０ＭΩ・ｃｍ程度以上の超純水の場合にＳｉＣに損傷が発生する。
【００１２】
この原因は、必ずしも明確ではないが、超純水をある流速でＳｉＣ焼結体に衝突させることにより、ＳｉＣ結晶の粒界に損傷が生じ、ＳｉＣ粒子の脱落が発生していることが一因と考えられる。また、このＳｉＣ粒子の脱落等による表面荒れが大きくなると、回転機械の軸受やシール部材にＳｉＣ焼結体を使用した場合に、異常にトルクが高くなる等の不具合につながることが考えられる。
【００１３】
本発明は上述の事情に鑑みなされたもので、純水や超純水中であっても、エロージョン等による損傷を抑えて、長期に亘って安定して使用できる純水用セラミックス摺動部材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
請求項１に記載の発明は、ＳｉＣ焼結体からなり、超純水中で使用されるセラミックス摺動部材であって、β−ＳｉＣのＳｉＣ焼結体中に占める割合は２０％以上で、平均的な結晶組織のアスペクト比は２以上であることを特徴とする純水用セラミックス摺動部材である。
【００１５】
β−ＳｉＣのＳｉＣ焼結体中に占める割合が２０％以上で、平均的な結晶組織のアスペクト比が２以上であるＳｉＣセラミックス摺動部材にあっては、超純水中で長時間使用しても、エロージョン等による損傷を抑えて、長期に亘る安定した使用が可能であることが確かめられている。これは、閃亜鉛型で立方晶の結晶構造を持つβ−ＳｉＣを含むＳｉＣ焼結体は、ＳｉＣ結晶組織が針状結晶となり易く、β−ＳｉＣのＳｉＣ焼結体中に占める割合が多いほどその傾向が強いため、針状結晶が互いに強固に絡み合って、厳しい摺動条件でも良好な摩擦摩耗特性を示し、耐エロージョン性に関しても、針状結晶が互いに強固に絡み合ってＳｉＣ粒子の脱落を最小限とする効果があり、しかも、ＳｉＣ結晶組織のアスペクト比（縦横比）が大きいほど、多くの結晶が互いに強固に絡み合いＳｉＣ粒子の脱落を最小限とする効果があるためであると考えられる。
【００１６】
請求項２に記載の発明は、ＳｉＣ焼結体の結晶粒子径の最大は２００μｍで、平均は２０μｍ以下であることを特徴とする請求項１記載の純水用セラミックス摺動部材である。
結晶粒子径の最大が２００μｍで、平均が２０μｍ以下であるＳｉＣセラミックス摺動部材にあっては、超純水中で長時間使用しても、表面に荒れが殆ど発生せず、表面状態が良好であることが確かめられている。これは、結晶粒子経が小さいほど、ＳｉＣ焼結体からのＳｉＣ粒子の脱落が無く、これによって、より均一に損傷し、深くまで流体が入っていかないので、更に損傷が少なくなるばかりでなく、表面荒れに関しても最小限とする効果があるためであると考えられる。
【００１７】
請求項３に記載の発明は、焼成前のＳｉＣ原料粉の段階でβ−ＳｉＣのＳｉＣ中に占める割合は９０％以上であることを特徴とする請求項１または２記載の超純水用セラミックス摺動部材である。
β−ＳｉＣのＳｉＣ中に占める割合が９０％以上であるＳｉＣ原料粉を焼成することで、β−ＳｉＣのＳｉＣ中に占める割合が２０％以上のＳｉＣ焼結体を容易に製造することができる。
【発明の効果】
【００１８】
この発明によれば、例え純水や超純水中で長時間使用しても、摺動面のみならず、接液面のエロージョン等により損傷の発生を抑えて、セラミックス摺動部材の長期に亘る安定した使用が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
図１は、セラミックス軸受に適用した本発明の実施の形態のセラミックス摺動部材を備えたキャンドモータポンプを示す。図１に示すように、キャンドモータポンプは、吸込側ケーシング１と、吐出側ケーシング５と、この吸込側ケーシング１と吐出側ケーシング５との間を接続する外筒９とを備えている。吸込側ケーシング１、外筒９及び吐出側ケーシング５は、開口部側の端部外周部に、それぞれ外方に延設された鍔部１ａ，９ａ，９ｂ，５ａを備えている。そして、吸込側ケーシング１と外筒９とは、相隣接する鍔部１ａ，９ａを鋳鉄等の鋳物製のフランジ２０，２０により挟持するとともに、ボルト４５を締め付けることで一体に接続されている。また、吐出側ケーシング５と外筒９とは、同様に、相隣接する鍔部５ａ，９ｂを鋳鉄等の鋳物製のフランジ２１，２１により挟持するとともに、ボルト４５を締め付けられることで一体に接続されている。そして、これら吸込側ケーシング１、吐出側ケーシング５及び外筒９とでポンプケーシングが構成され、このポンプケーシング内にキャンドモータ２２が配設されている。
【００２０】
吸込側ケーシング１は、円錐台状の本体部２と、この本体部２より吸込側に延設された吸込ノズル３を備えている。また、吐出側ケーシング５も、吸込側ケーシング１とほぼ同様に、円錐台状の本体部６と、この本体部６より吐出し側に延設された吐出ノズル７とを備えている。
【００２１】
吸込側ケーシング１の内側には内ケーシング１０が設けられており、この内ケーシング１０は、容器状の本体部１１と、この本体部１１より吸込側に延設された円筒状の吸込側部１２とから構成されており、本体部１１と吸込側部１２との間にはＯリング等の弾性材からなるシール部材１８が介装されている。そして、内ケーシング１０の本体部１１の内側にガイドベーンまたはボリュートを構成する案内装置１３が設置されている。案内装置１３はインロー嵌合部を有し、このインロー嵌合部がキャンドモータ２２のモータフレーム２３と嵌合されている。このキャンドモータ２２のモータフレーム２３は高い剛性を有している。モータフレーム２３に案内装置１３が支持されるため、結果として、内ケーシング１０は、高い剛性を有したキャンドモータ２２のモータフレーム２３に支持されることになる。
【００２２】
内ケーシング１０の吸込側部１２の一端は、吸込ノズル３の近傍まで延びている。そして、内ケーシング１０の吸込側部１２の端部と吸込側ケーシング１の吸込ノズル３との間隙にはシール部材１４が介装されており、このシール部材１４によって吸込側（低圧側）と吐出側（高圧側）とがシールされている。
【００２３】
内ケーシング１０の内側には羽根車１５が収容されており、この羽根車１５は、キャンドモータ２２の主軸１６に固定され支持されている。また、吸込ノズル３及び吐出ノズル７には、それぞれ中間リング４６，４６を介して吸込フランジ４８及び吐出フランジ４９がそれぞれ固定されている。
【００２４】
前記キャンドモータ２２のモータフレーム２３は、略円筒状のフレーム外胴２４と、このフレーム外胴２４の両側開口部に設けられたフレーム側板２５，２６とから構成されている。フレーム外胴２４は、その外周部に軸方向に沿って放射状に複数のリブ２４ａが形成されている。この複数のリブ２４ａは、プレス成形によってフレーム外胴２４に一体に形成され、そして、これらリブ２４ａの外側面がポンプケーシングの外筒９の内周面に嵌合されるとともに、この嵌合部で両者はスポット溶接等で接合され一体化されている。
【００２５】
前記モータフレーム２３内には、ステータ２７及びロータ２８が配設されている。ロータ２８は、主軸１６によって支持されており、ステータ２７の内側には円筒状のキャン２９が嵌着されている。フレーム側板２５と主軸１６との間には、ラジアル滑り軸受としてのセラミックス軸受（セラミックス摺動部材）３０が設けられている。
【００２６】
前記セラミックス軸受（ラジアル滑り軸受）３０は、主軸１６に固定された該主軸と１６と一体に回転する回転側部材としての内輪５１と、フレーム側板２５に固定された固定側部材としての外輪５２とを備えている。このセラミックス軸受３０の内輪（回転側部材）５１及び外輪（固定側部材）５２は、共に、β−ＳｉＣのＳｉＣ中に占める割合が２０％以上で、平均的な結晶組織のアスペクト比が２以上のＳｉＣ焼結体から構成されている。
【００２７】
なお、この例では、内輪５１及び外輪５２の双方を、β−ＳｉＣのＳｉＣ中に占める割合が２０％以上で、平均的な結晶組織のアスペクト比が２以上のＳｉＣ焼結体で構成しているが、内輪５１及び外輪５２の一方のみを、β−ＳｉＣのＳｉＣ中に占める割合が２０％以上で、平均的な結晶組織のアスペクト比が２以上のＳｉＣ焼結体で構成してもよい。
【００２８】
図２に示すエロージョン試験装置を使用し、結晶系や結晶組織などの異なる種々のＳｉＣ焼結体を試料片として、該試料片に対するエロージョン試験を行った結果を表２に示す。図２に示すエロージョン試験装置は、ホルダ１００で鉛直方向に保持した試験片１０２の表面に向けて、送水ポンプ１０４から送水される水（超純水または水道水）を噴射ノズル１０６から噴射するように構成されている。噴射ノズル１０６から噴射される水の流速は２８ｍ／ｓ、水温は３０℃で、試験時間は１００ｈである。また、噴射ノズル１０６から試験片１０２までの距離は、２５ｍｍである。
【００２９】
【表２】
2008267584.tif 000004
【００３０】
表２において、アスペクト比及び結晶粒子径は、倍率×１００および×５００で組織写真（約７０ｍｍ×約９０ｍｍ）を任意の箇所で撮影して測定した値である。結晶粒子径に関しては、縦と横で粒子径の長さの長い方を数値として表している。また、β−ＳｉＣ比率は、焼成後におけるＳｉＣ焼結体中のβ−ＳｉＣの比率である。
【００３１】
この表２から、β−ＳｉＣのＳｉＣ焼結体中に占める割合が２０％以上で、平均的な結晶組織のアスペクト比が２以上である試料片（ＳｉＣ焼結体）にあっては、浸食量が０．０１０（ｍｍ３）以下となって、超純水中で長時間使用しても、エロージョン等による損傷を抑えて、長期に亘る安定した使用が可能であることが判る。これは、閃亜鉛型で立方晶の結晶構造を持つβ−ＳｉＣを含むＳｉＣ焼結体は、ＳｉＣ結晶組織が針状結晶となり易く、β−ＳｉＣのＳｉＣ焼結体中に占める割合が多いほどその傾向が強いため、針状結晶が互いに強固に絡み合って、厳しい摺動条件でも良好な摩擦摩耗特性を示し、耐エロージョン性に関しても、針状結晶が互いに強固に絡み合ってＳｉＣ粒子の脱落を最小限とする効果があり、しかも、ＳｉＣ結晶組織のアスペクト比（縦横比）が大きいほど、多くの結晶が互いに強固に絡み合いＳｉＣ粒子の脱落を最小限とする効果があるためであると考えられる。
【００３２】
また、結晶粒子径の最大が２００μｍで、平均が２０μｍ以下の試料片（ＳｉＣ焼結体）にあっては、試験後の表面に殆ど荒れがなく、表面状態が良好であることが判る。これは、結晶粒子経が小さいほど、ＳｉＣ焼結体からのＳｉＣ粒子の脱落が無く、これによって、より均一に損傷し、深くまで流体が入っていかないので、更に損傷が少なくなるばかりでなく、表面荒れに関しても最小限とする効果がるためであると考えられる。このため、結晶粒子径の最大が２００μｍで、平均が２０μｍ以下のＳｉＣ焼結体で内輪５１及び外輪５２を構成することが好ましい。
【００３３】
β−ＳｉＣ原料粉を出発原料としても、ＳｉＣ焼結体には、β−ＳｉＣばかりでなく、α−ＳｉＣも存在する。β−ＳｉＣの占める割合は、焼成条件等により変わることが分かっており、一部にβ−ＳｉＣの結晶構造を含むＳｉＣ焼結体の場合、他の結晶構造はα−ＳｉＣとなる。ここで、焼成前のＳｉＣ原料粉の段階でβ−ＳｉＣのＳｉＣ中に占める割合を９０％以上することで、β−ＳｉＣのＳｉＣ中に占める割合が２０％以上のＳｉＣ焼結体を容易に製造することができる。
【００３４】
前記フレーム側板２６には、弾性体４４を介して軸受ハウジング３２が着脱可能に設けられており、この軸受ハウジング３２には、外輪３３と固定側リング３４とがそれぞれ保持されており、外輪３３は、主軸１６に固着された内輪３５と互いに摺動するようになっている。この外輪３３と内輪３５とで、前述のセラミックス軸受（セラミックス摺動部材）３０と同様な構成のセラミックス軸受（ラジアル滑り軸受）３８が構成されている。
【００３５】
主軸１６の吐出側端部には、スラストディスク３６が固定されており、スラストディスク３６には、前記固定側リング３４と対向して配置されて互いに摺動する回転側リング３７が備えられている。この固定側リング（固定側部材）３４と回転側リング（回転側部材）３７で、スラスト滑り軸受としてセラミックス軸受（セラミックス摺動部材）３９が構成されている。このセラミックス軸受（スラスト滑り軸受）３９の固定側リング３４及び回転側リング３７は、前述のセラミックス軸受３０の内輪５１及び外輪５２と同様に、共に共に、β−ＳｉＣのＳｉＣ中に占める割合が２０％以上で、平均的な結晶組織のアスペクト比が２以上のＳｉＣ焼結体、好ましくは、結晶粒子径の最大が２００μｍで、平均が２０μｍ以下のＳｉＣ焼結体で構成されている。なお、固定側リング３４及び回転側リング３７の一方を、β−ＳｉＣのＳｉＣ中に占める割合が２０％以上で、平均的な結晶組織のアスペクト比が２以上のＳｉＣ焼結体で構成してもよい。
【００３６】
フレーム側板２６にはフィルタを構成する端板４０が固定されている。端板４０は、略半球形に突出した整流部４１を有し、この整流部４１に半径方向内方から外方に放射状に伸びる複数のスリット４２が形成されている。端板４０の整流部４１は、吐出側ケーシング５内の流れの流線に沿うように略半球形状に形成されており、羽根車１５から吐出された流体は、外筒９とフレーム外胴２４間に形成された流路５０を通って吐出側ケーシング５内に流入した後、整流部４１の整流作用によって整流されて吐出口に導かれる。
【００３７】
整流部４１に放射状にスリット４２を形成したため、このスリット４２がフィルタとして機能し、流体がこのスリット４２を通ってキャンドモータ２２内に流入する際に、流体内の異物がスリット４２に捕捉され除去される。このスリット４２は、流れの方向に沿うように形成されているため、一旦、スリット４２に捕捉された異物は、流速により流れ方向に押されて移動し、スリット４２から除去され、スリット４２の目詰まりが防止される。即ち、スリット４２は、その形状によって自浄作用を有するようになっている。なお、端板４０は、軸受ハウジング３２をフレーム側板２６に固定するための押え板の役割をも果している。
【００３８】
前記キャンドモータポンプの作用を説明すると、吸込ノズル３より吸い込まれた流体は、内ケーシング１０の吸込側部１２を通って羽根車１５内に導かれる。回転する羽根車１５から吐出された流体は、案内装置１３を経て遠心方向から軸方向に流れ方向が転換された後、外筒９とキャンドモータ２２のフレーム外胴２４との間に形成された流路５０に流入し、この流路５０を通って吐出側ケーシング５内に流入する。その後、流体は、端板４０の整流部４１によって整流された後、吐出側ケーシング５に一体に形成された吐出ノズル７より吐出される。
【００３９】
一方、羽根車１５の主板１５ａとフレーム側板２５との間には間隙が形成されているため、羽根車１５の回転によって、この間隙内に円板摩擦が生じ、この間隙に減圧効果が生ずる。そのため、端板４０のスリット４２よりキャンドモータ２２内に流入した流体は、矢印で示されるように、軸受ハウジング３２の開口３２ａを通り、更にロータ２８とステータ２７のキャン２９との間隙を通って、フレーム側板２５の開口２５ａより羽根車１５の主板１５ａの裏側に流出する循環路が形成される。そして、この取扱液がキャンドモータ２２の内部を循環する間に、セラミックス軸受３０，３８，３９の摺動面が取扱液で潤滑され、同時にキャンドモータ２２も取扱液で冷却される。
【００４０】
この取扱液として、電気抵抗で１ＭΩ・ｃｍ程度以上の純水や、電気抵抗で１０ＭΩ・ｃｍ程度以上の超純水を使用しても、セラミックス軸受３０，３８，３９の摺動面や接液面に発生する摩耗を軽微に抑え、これによって、セラミックス軸受３０，３８，３９の長期に亘る安定した使用が可能となる。
なお、上記の例では、セラミックス摺動部材としてセラミックス軸受を用いたキャンドモータポンプに適用した例を示しているが、セラミックス摺動部材としてＳｉＣからなるセラミックシール部材を用いた回転機械に適用することもできる。
【００４１】
図３は、セラミックシール部材に適用した本発明の他の実施の形態のセラミックス摺動部材（セラミックシール部材）を備えた純水用回転機械の要部を示す。この例は、回転軸６０にスリーブ６２を取付け、このスリーブ６２の周囲を、互いに端面を摺接する可動シール部材６４と静止シール部材６６を有するメカニカルシール６８でシールするようにしている。そして、この例では、可動シール部材６４と静止シール部材６６の双方を、β−ＳｉＣのＳｉＣ中に占める割合が２０％以上で、平均的な結晶組織のアスペクト比が２以上のＳｉＣ焼結体、好ましくは、結晶粒子径の最大が２００μｍで、平均が２０μｍ以下のＳｉＣ焼結体で構成している。なお、可動シール部材６４と静止シール部材６６の一方のみを、β−ＳｉＣのＳｉＣ中に占める割合が２０％以上で、平均的な結晶組織のアスペクト比が２以上のＳｉＣ焼結体製とし、他方をＳｉＣまたは他のセラミックス製としてもよい。
【００４２】
この例にあっても、この取扱液として、電気抵抗で１ＭΩ・ｃｍ程度以上の純水や、電気抵抗で１０ＭΩ・ｃｍ程度以上の超純水を使用しても、メカニカルシール６８の可動シール部材６４と静止シール部材６６との摺動面や接液面に発生する摩耗を軽微に抑え、これによって、メカニカルシール６８の長期に亘る安定した使用が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】セラミック軸受に適用した本発明の実施の形態のセラミック摺動部材を備えたキャンドモータポンプを示す断面図である。
【図２】エロージョン試験装置の概要図である。
【図３】セラミックシール部材に適用した本発明の他の実施の形態のセラミックス摺動部材を備えた純水用回転機械の要部を示す断面図である。
【符号の説明】
【００４４】
１  吸込側ケーシング
３  吸込ノズル
５  吐出側ケーシング
７  吐出ノズル
１０  内ケーシング
１３  案内装置
１５  羽根車
１６  主軸
２２  キャンドモータ
２３  モータフレーム
２７  ステータ
２８  ロータ
２９  キャン
３０  セラミックス軸受（ラジアル滑り軸受）
３２  軸受ハウジング
３３  外輪（固定側部材）
３４  固定側リング（固定側部材）
３５  内輪（回転側部材）
３６  スラストディスク
３７  回転側リング（回転側部材）
３８  セラミックス軸受（ラジアル滑り軸受）
３９  セラミックス軸受（スラスト滑り軸受）
５１  内輪（回転側部材）
５２  外輪（固定側部材）
６０  回転軸
６４  可動シール部材
６６  静止シール部材
６８  メカニカルシール
【図１】
2008267584.tif 000005
【図２】
2008267584.tif 000006
【図３】
2008267584.tif 000007