(57)【要約】【課題】液滴吐出装置のインク流通部材に付着したインクの析出物を除去し、インク流通部材の寿命を延長することができる液滴吐出装置のクリーニング方法を提供する。【解決手段】インクの析出物を溶解可能な溶液Ｌにインクの流通経路を構成するインク流通部材である吐出ヘッド３４を浸すことで吐出ヘッド３４を洗浄する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクの液滴を吐出する液滴吐出装置のクリーニング方法であって、前記インクの析出物を溶解可能な溶液に前記インクの流通経路を構成するインク流通部材を浸すことで該インク流通部材を洗浄することを特徴とする液滴吐出装置のクリーニング方法。
【請求項２】
インクの液滴を吐出する液滴吐出装置のクリーニング方法であって、前記インクの析出物を溶解可能な溶液を前記インクの流通経路を構成するインク流通部材に循環させて該インクジェット装置を洗浄することを特徴とする液滴吐出装置のクリーニング方法。
【請求項３】
前記析出物が銀であり、前記溶液が硝酸５％溶液であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液滴吐出装置のクリーニング方法。
【請求項４】
前記析出物が銀であり、前記溶液が、アンモニアと過酸化水素水の混合比が１：１〜１：１０であり、その混合液の濃度が５〜５０％である水溶液であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液滴吐出装置のクリーニング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、液滴吐出装置のクリーニング方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、金属配線等を製造するインクジェット装置等の液滴吐出装置が知られている。この液滴吐出装置は、例えば、銀等の導電性材料を含有した液状のインクを吐出ヘッドのノズルから吐出し、基板上に微細配線等を形成するものである（特許文献１参照）。このような銀等の導電性材料の微粒子を含有したインクは、通常、低温焼成が可能となるように導電性材料の微粒子と分散液とのバランスが調整されている。
【特許文献１】特開２００５−３１７７４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記従来の液滴吐出装置では、導電性材料の微粒子を含有したインクが低温焼成可能に調整されているため、室温においても分散液の蒸発等によって導電性材料の微粒子と分散液とのバランスが崩れやすい。特にインクの液滴を吐出するノズルの近傍では、インクの比表面積が大きいため、分散液が蒸発しやすい。これにより、インクの分散液に分散した導電性材料の微粒子と分散液とのバランスが崩れ、微粒子同士が融着し、導電性材料がノズルの近傍に析出してしまうという課題がある。このように、インクの流通経路を構成するノズルの近傍にインクの析出物が付着すると、飛行曲がり等の不具合の要因となる。したがって、液滴吐出装置のノズル等、インクが流通するインク流通部材にインクの析出物の付着が認められた場合、飛行曲がり等の不具合を防止するためにその部材を交換しなくてはならず、析出物の付着によってその部材の寿命が限定されてしまうという課題がある。
【０００４】
そこで、この発明は、液滴吐出装置のインク流通部材に付着したインクの析出物を除去し、インク流通部材の寿命を延長することができる液滴吐出装置のクリーニング方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題を解決するために、本発明は、インクの液滴を吐出する液滴吐出装置のクリーニング方法であって、前記インクの析出物を溶解可能な溶液に前記インクの流通経路を構成するインク流通部材を浸すことで該インク流通部材を洗浄することを特徴とする。
液滴吐出装置のインク流通部材を流通するインクの分散あるいは溶解のバランスが崩れ、インク流通部材のインクと接触する箇所においてインクに分散あるいは溶解された物質が析出され、インク流通部材にインクの析出物が付着する場合がある。このような場合であっても、上記のようにすることで、インクの析出物を溶解可能な溶液にインク流通部材を浸して該溶液をインク流通部材のインクの流通経路に導入し、該溶液とインクの析出物とを接触させ、インクの析出物を該溶液に溶解させて除去することができる。したがって、インクの析出物が付着した場合、従来交換が必要であったインク流通部材を洗浄し再利用することができ、インク流通部材の寿命を延長させ、コストを削減することができる。
【０００６】
また、本発明は、インクの液滴を吐出する液滴吐出装置のクリーニング方法であって、前記インクの析出物を溶解可能な溶液を前記インクの流通経路を構成するインク流通部材に循環させて該インクジェット装置を洗浄することを特徴とする。
液滴吐出装置のインク流通部材を流通するインクの分散あるいは溶解のバランスが崩れ、インク流通部材のインクと接触する箇所においてインクに分散あるいは溶解された物質が析出され、インク流通部材にインクの析出物が付着する場合がある。このような場合であっても、上記のようにすることで、インクの析出物を溶解可能な溶液をインク流通部材に循環させることで、該溶液をインク流通部材のインクの流通経路に流通させ、該溶液とインクの析出物とを接触させ、インクの析出物を溶解させて除去することができる。したがって、インクの析出物が付着した場合、従来交換が必要であったインク流通部材を洗浄し再利用することができ、インク流通部材の寿命を延長させ、コストを削減することができる。
【０００７】
また、本発明の液滴吐出装置のクリーニング方法では、前記析出物が銀であり、前記溶液が硝酸５％溶液であってもよい。
このようにすることで、析出してインク流通部材に付着した銀を硝酸５％溶液によって選択的に溶解させ除去することができる。
【０００８】
また、本発明の液滴吐出装置のクリーニング方法では、前記析出物が銀であり、前記溶液が、アンモニアと過酸化水素水の混合比が１：１〜１：１０であり、その混合液の濃度が５〜５０％である水溶液であってもよい。
このようにすることで、析出してインク流通部材に付着した銀をアンモニアと過酸化水素水の混合液によって選択的に溶解させ除去することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
＜第一実施形態＞
次に、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
（液滴吐出装置）
図１に示すように、例えば、基板に微細な導電性パターン等を形成するための液滴吐出装置の一例であるインクジェット装置３０は、ベース３１、基板移動手段３２、ヘッド移動手段３３、吐出ヘッド３４、液供給手段３５、前記吐出ヘッドを制御するための制御装置４０等によって構成され、ベース３１の上に基板移動手段３２、ヘッド移動手段３３が設置されている。
【００１０】
基板移動手段３２はベース３１上に設けられ、Ｙ軸方向に沿って配置されたガイドレール３６を備えている。この基板移動手段３２は、例えばリニアモータ（図示せず）により、スライダ３７をガイドレール３６に沿って移動させるよう構成されている。
【００１１】
スライダ３７上にはステージ３９が固定され、基板移動手段３２がステージ３９の移動軸となっている。ステージ３９は、基板Ｓを位置決めし保持するためのものである。すなわち、このステージ３９は吸着保持手段（図示せず）を有し、この吸着保持手段を作動させることにより、基板Ｓをステージ３９の上に吸着保持するようになっている。基板Ｓは、例えば、ステージ３９の位置決めピン（図示せず）により、ステージ３９上の所定位置に正確に位置決めされ、保持されるようになっている。
【００１２】
ヘッド移動手段３３は、ベース３１の後部側に立てられた一対の架台３３ａ、３３ａと、これら架台３３ａ、３３ａ上に設けられた走行路３３ｂを備え、該走行路３３ｂをＸ軸方向、すなわち上記の基板移動手段３２のＹ軸方向と直交する方向に沿って配置されている。走行路３３ｂは、架台３３ａ、３３ａ間に渡された保持板３３ｃと、この保持板３３ｃ上に設けられた一対のガイドレール３３ｄ、３３ｄとを備え、ガイドレール３３ｄ、３３ｄの長さ方向に吐出ヘッド３４を搭載するキャリッジ４２が移動可能に保持されている。キャリッジ４２は、リニアモータ（図示せず）等の作動によってガイドレール３３ｄ、３３ｄ上を走行し、これにより吐出ヘッド３４をＸ軸方向に移動させるよう構成されている。
【００１３】
ここで、このキャリッジ４２は、ガイドレール３３ｄ、３３ｄの長さ方向、すなわちＸ軸方向に、例えば、１μｍ単位で移動が可能になっており、このような移動は制御装置４０によって制御されるようになっている。吐出ヘッド３４は、キャリッジ４２に取付部４３を介して回動可能に取り付けられている。取付部４３にはモータ４４が設けられ、吐出ヘッド３４はその支持軸（図示せず）がモータ４４に連結している。このような構成のもとに、吐出ヘッド３４はその周方向に回動可能となっている。また、モータ４４も制御装置４０に接続され、吐出ヘッド３４の周方向への回動も制御装置４０によって制御されるようになっている。なお、制御装置４０は、後述するように予め設定された駆動波形を吐出ヘッド３４に印加することにより、吐出ヘッド３４の吐出を制御するようになっている。
【００１４】
図２に示すように、吐出ヘッド３４は、例えばステンレス製のノズルプレート１２と振動板１３とを備え、仕切部材（リザーバプレート）１４を介して両者を接合したものである。ノズルプレート１２と振動板１３との間には、仕切部材１４によって複数のキャビティ１５とリザーバ１６とが形成され、これらキャビティ１５とリザーバ１６とは流路１７を介して連通している。
【００１５】
各キャビティ１５とリザーバ１６は、その内部にインクを満たしてこれを収容するようになっており、これらの間の流路１７はリザーバ１６からキャビティ１５にインクを供給する供給口として機能するようになっている。ノズルプレート１２には、図３に示すようにその吐出側（外側）にクレータメッキ１２ａが施されており、これによって撥液性が付与されている。なお、このクレータメッキ１２ａの外面が、本発明における吐出ヘッド３４のノズル形成面、すなわち吐出面となっている。
【００１６】
また、このクレータメッキ１２ａを形成したノズルプレート１２には、キャビティ１５からインクを吐出するための孔状のノズル１８が縦横に整列した状態で複数形成されている。ノズル１８は、ノズルプレート１２に形成されたノズル孔部１８ａと、該ノズル孔部１８ａより吐出側、すなわち外側において、クレータメッキ１２ａに形成された吐出側開口部１８ｂとから構成されている。これらノズル孔部１８ａと吐出側開口部１８ｂとは、いずれも開口形状が円形のもので、同一の中心軸を有するものである。また、吐出側開口部１８ｂは、ノズル孔部１８ａより大きな内径を有する開口からなっている。
【００１７】
一方、振動板１３には、図２に示すようにリザーバ１６内に開口する孔１９が形成されており、この孔１９には、図１に示すように、液供給手段３５が接続されるようになっている。また、液供給手段３５は、インクを充填したタンク４５と、このタンク４５からインクを供給するためのチューブ４６とからなっていて、このチューブ４６が、図２に示す孔１９に接続されている。
【００１８】
また、振動板１３のキャビティ１５に向く面と反対側の面上には、図３に示すように圧電素子（ピエゾ素子）２０が接合されている。この圧電素子２０は、吐出ヘッド３４においてアクチュエーターとして機能するもので、一対の電極２１、２１間に挟持され、インクジェット装置３０が備えている制御装置４０によって外側に突出するようにして撓ませるように構成されたものである。
【００１９】
このように構成されたインクジェット装置３０にインクの液滴２２を吐出させるためには、図１に示すように、まずタンク４５からチューブ４６を介して、図２に示す孔１９にインクを供給し、リザーバ１６、流路１７を通してキャビティ１５にインクを充填する。次いで、図３に示す圧電素子２０の電極２１、２１間に通電し、制御装置４０によって任意の吐出波形を印加する。圧電素子２０は、電極２１、２１間に通電されて吐出波形が印加されると吐出波形に応じて撓曲する。そして、圧電素子２０が撓曲すると、圧電素子２０に接合された振動板１３は、圧電素子２０と一体になって同時に外側へ撓曲し、これによりキャビティ１５の容積を増大させる。
【００２０】
すると、キャビティ１５内には増大した容積分に相当するインクが、リザーバ１６から流路１７を介してキャビティ１５内に流入する。同時に、リザーバ１６には、キャビティ１５に流入した容積分に相当するインクが、タンク４５からチューブ４６、孔１９を介して供給され、再びリザーバ１６内にインクが充填された状態となる。
【００２１】
そして、このような状態から圧電素子２０への通電を解除し、あるいは吐出波形によって逆の電位で通電すると、圧電素子２０と振動板１３はともに元の形状に戻る。よって、キャビティ１５も元の容積に戻ることから、キャビティ１５内部のインクの圧力が上昇し、ノズル１８のノズル孔部１８ａからインクが液滴２２となって吐出される。
【００２２】
このようにして吐出動作を行うと、キャビティ１５内のインクの一部がノズル１８のノズル孔部１８ａ内に残った状態となり、図３に示すように、ノズル孔部１８ａにインクのメニスカスＭが位置させられた状態となる。吐出ヘッド３４内のインクは、表面積の大きいメニスカスＭ部分で外気に接するため、ノズル孔部１９ａにおいてインク中の分散液が気化しやすい。インクとして、例えば、銀微粒子を分散液である水または１−３プロパンジオール等に分散させたものを用いる場合、通常、インクは低温焼成可能に調整され、室温においても分散液の蒸発によって銀微粒子と分散液のバランスが崩れやすい。したがって、図４に示すように、ノズル孔部１８ａの近傍で分散液の蒸発によって銀微粒子と分散液のバランスが崩れて銀微粒子同士が融着し、銀Ａｇがノズル孔部１８ａの近傍に析出してしまう。
【００２３】
このように、インクの流通経路を構成するインク流通部材である吐出ヘッド３４のノズル孔部１８ａの近傍に析出した銀Ａｇが付着すると飛行曲がり等の不具合の要因となる。また、ノズル孔部１８ａの他にも、タンク４５、チューブ４６、ノズルプレート１２、振動板１３、リザーバ１６、流路１７、キャビティ１５、あるいは吐出側開口部１８ｂとノズル孔部１８ａとの間等に銀Ａｇが析出して付着した場合も、インクの供給不良等、様々な不具合を引き起こす要因となり得る。
【００２４】
（液滴吐出装置のクリーニング方法）
次に、この実施の形態における液滴吐出装置のクリーニング方法について説明する。
図５に示すように、容器Ｖには銀Ａｇを選択的に溶解可能な溶液Ｌが貯留されている。このような溶液Ｌとしては、例えば、硝酸５％溶液、またはアンモニア：過酸化水素水：水を１：１：１０の混合液等を好適に用いることができる。まず、銀Ａｇが析出してノズル１８ａの近傍に付着した吐出ヘッド３４をインクジェット装置３０から取り外す。そして、吐出ヘッド３４を、把持具等（不図示）によって把持し、容器Ｖ内に貯留された溶液Ｌに浸す。これにより、溶液Ｌがノズル孔部１８ａおよび孔１９から吐出ヘッド３４内部に侵入し、ノズル孔部１８ａ、キャビティ１５、流路１７およびリザーバ１６を順次満たしていく。このとき、少なくとも銀Ａｇが付着した箇所の周囲が完全に溶液Ｌによって満たされるようにする。
【００２５】
これにより、吐出ヘッド３４のノズル１８の近傍に付着した銀Ａｇの周囲が溶液に満たされ、銀Ａｇが溶解を始める。銀Ａｇが溶解を始めてから一定時間、例えば、約３０秒経過した後、把持具を引き上げて液滴吐出ヘッド３４を溶液Ｌから取り出し、液滴吐出ヘッド３４の内部に侵入した溶液Ｌがノズル孔部１８ａまたは孔１９から排出されるようにする。そして、吐出ヘッド３４の内部に侵入した溶液Ｌが排出された後、再び液滴吐出ヘッド３４を溶液Ｌに浸して銀Ａｇが付着した箇所の周囲が溶液Ｌによって満たされるようにし、一定時間、例えば、約３０秒経過した後、把持具を引き上げて液滴吐出ヘッド３４を溶液Ｌから取り出す。これにより、吐出ヘッド３４内部に溶液Ｌが滞留することを防止して溶液Ｌを吐出ヘッド３４内部に循環させることができる。これを繰り返すことにより、液滴吐出ヘッド３４のノズル孔部１８ａの近傍に付着した銀Ａｇは溶液Ｌによって徐々に溶解して行き、最終的には取り除かれる。銀Ａｇが取り除かれた吐出ヘッド３４は、例えば、水等の洗浄液に繰り返し浸して洗浄する。このように、吐出ヘッド３４に付着した溶液Ｌを洗浄した後、乾燥させ、吐出ヘッド３４を再利用する。
【００２６】
したがって、本実施の形態によれば、インク中の銀微粒子の分散のバランスが崩れ、吐出ヘッド３４のノズル孔部１８ａの近傍に銀Ａｇが析出され付着した場合であっても、吐出ヘッド３４を溶液Ｌに浸すことで、溶液Ｌを吐出ヘッド３４の内部に導入し、溶液Ｌと析出した銀Ａｇを接触させ、銀Ａｇを溶解させて除去することができる。したがって、銀Ａｇが付着した場合、従来、飛行曲がり等の不具合を防止するために交換が必要であった吐出ヘッド３４を再利用することができ、吐出ヘッド３４の寿命を延長させ、コストを削減することができる。
【００２７】
また、溶液Ｌとして硝酸５％溶液、またはアンモニア：過酸化水素水：水を１：１：１０の混合液を用いることにより、ステンレスによって形成されたインク流通部材、例えば、吐出ヘッド３４のノズルプレート１２、振動板１３等に影響を与えることなく、ノズル孔部１８ａの近傍に付着した銀Ａｇを溶解させ、銀Ａｇを選択的に取り除くことができる。
【００２８】
以上説明したように、本実施の形態の液滴吐出装置３０のクリーニング方法によれば、液滴吐出装置３０のインク流通部材である吐出ヘッド３４に付着したインクの析出物である銀Ａｇを除去し、吐出ヘッド３４の寿命を延長することができる。
【００２９】
＜第二実施形態＞
次に、本発明の第二実施形態について、図１〜図４を援用し、図６を用いて説明する。上述の第一実施形態では、インク流通部材を溶液に浸す方法を用いたが、本実施の形態では溶液循環装置を用いて溶液をインク流通部材に循環させる点で異なっている。その他の点は第一実施形態と同様であるので、同一の部分には同一の符号を付して、説明は省略する。
【００３０】
（溶液循環装置）
図６に示すように、溶液循環装置１００は内部に液体を貯留可能に設けられた容器Ｖ´を備えている。容器Ｖ´の上部と下部には開口部が設けられ、該開口部には容器Ｖ´を外部に連結するためのノズルＮ１，Ｎ２が設けられている。ノズルＮ１，Ｎ２の先端部にはそれぞれノズルＮ１，Ｎ２を外部に接続するためのフランジ部Ｆ１，Ｆ２が設けられている。容器Ｖ´の下部のノズルＮ１は、両端にフランジ部Ｆ３，Ｆ４が設けられた洗浄チューブＴ１によって、バルブＧを介してポンプＰの吸い込み口のフランジ部Ｆ５に連結されている。ポンプＰは、図示しない電源装置および制御装置等に連結されている。ポンプＰの吐出口のフランジ部Ｆ６には、洗浄チューブＴ２の一端側に設けられたフランジ部Ｆ７が連結され、洗浄チューブＴ２の他端側は、吐出ヘッド３４の複数のノズル１８に合わせて分岐され、フランジ部Ｆ８を介してノズル１８に連結可能に構成されている。また、容器Ｖ´の上部のノズルＮ２のフランジ部Ｆ２にも洗浄チューブＴ３の一端側に設けられたフランジ部Ｆ１０が連結され、洗浄チューブＴ３の他端側に設けられたフランジ部Ｆ９は吐出ヘッド３４の孔１９に連結可能に設けられている。
【００３１】
ここで、容器Ｖ´、洗浄チューブＴ１〜Ｔ３、フランジ部Ｆ１〜Ｆ１０、バルブＧ，ポンプＰ等は、インクの析出物である銀Ａｇを溶解する溶液Ｌに影響されない材質、例えば、ステンレス等によって形成されている。フランジ部Ｆ８，Ｆ９と吐出ヘッド３４のノズル１８および孔１９の連結方法は、液密に連結することができるものであれば特に限定されないが、例えば、フランジ部Ｆ８，Ｆ９を外部から吐出ヘッド３４に押圧し固定する固定具等を用いてもよい。また、吐出ヘッド３４の外側に凸部（不図示）を設け、洗浄チューブのフランジ部に凹部（不図示）を設け、凸部と凹部とを嵌合させ係止させるようにしてもよい。また、フランジ部Ｆ１〜Ｆ１０同士の固定はボルト、ナット等の締結具を用いてもよい。
【００３２】
（液滴吐出装置のクリーニング方法）
まず、バルブＧを閉じた状態で、容器Ｖ´の内部に溶液Ｌとして硝酸５％溶液、またはアンモニア：過酸化水素水：水を１：１：１０の混合液を満たしておく。次いで、銀Ａｇが析出して付着したインク流通部材、例えば、吐出ヘッド３４をインクジェット装置３０から取り外す。そして、フランジ部Ｆ８，Ｆ９を吐出ヘッド３４のノズル１８および孔１９にそれぞれ連結する。次に、バルブＧを開いてポンプＰを作動させ、容器Ｖ´内の溶液ＬをポンプＰの吸い込み口から吸引すると共に吐出口から吐出して、吐出ヘッド３４のノズル孔部１８ａから吐出ヘッド３４の内部に溶液Ｌを送り込む。吐出ヘッド３４の内部に送り込まれた溶液Ｌはノズル孔部１８ａ、キャビティ１５、流路１７およびリザーバ１６を順次満たした後、孔１９から排出される。孔１９から排出された溶液Ｌは、洗浄チューブＴ３を通ってノズルＮ２から再び容器Ｖ´内に戻される。
【００３３】
上述のように、溶液Ｌを吐出ヘッド３４内部に循環させることで、ノズル孔部１８ａの近傍に付着した銀Ａｇの周囲を溶液Ｌによって満たすだけでなく、吐出ヘッド３４内部に溶液Ｌを常に循環させておくことができる。これにより、上述の第一実施形態と比較して、溶液Ｌを、より効率よく銀Ａｇに接触させて溶解させることができる。また、溶液ＬがポンプＰによって圧力および流速を付与された状態で銀Ａｇと接触するため、吐出ヘッド３４の内部に付着した銀Ａｇに溶液Ｌによって外力を付与することができる。これにより、銀Ａｇをより剥離させやすくすることができる。したがって、本実施の形態によれば、第一実施形態と同様の効果が得られるだけでなく、より短時間かつより少量の溶液Ｌでインクの析出物である銀Ａｇを溶解・剥離させ、取り除くことができる。
【００３４】
また、吐出ヘッド３４に付着した銀Ａｇを取り除いた後、同様の溶液循環装置を用いて吐出ヘッド３４の内部に水等の洗浄液を循環させ、吐出ヘッド３４内部に残留した溶液Ｌを洗浄し、取り除くことができる。このとき、水等の洗浄液を循環させず、吐出ヘッド３４内部に常に新しい洗浄液を流過させるようにしてもよい。この場合、例えば容器Ｖ´に常に新しい洗浄液を供給すると共に、吐出ヘッド３４から排出された洗浄液を容器Ｖ´に戻さず、廃液処理装置等に送るようにする。このようにすることで、より効果的に吐出ヘッド３４内部に残留した溶液Ｌを水等の洗浄液によって洗浄し、取り除くことができる。洗浄液によって洗浄した吐出ヘッド３４は、第一実施形態と同様に乾燥させ、再利用することができる。
【００３５】
尚、この発明は上述した実施形態に限られるものではなく、インクの析出物を溶解可能な溶液として、塩酸、硫酸、燐酸、硝酸、酢酸、炭酸、蟻酸、安息香酸、亜塩素酸、次亜塩素酸、亜硫酸、亜硝酸、次亜硝酸、亜燐酸、次亜燐酸等を用いるものであってもよい。この場合、インクの析出物およびインク流通部材、溶液循環装置等の材質、組成等を考慮して、インクの析出物を選択的に溶解可能な溶液を用いることが望ましい。
【００３６】
また、溶液循環装置の構成は、上述した実施形態に限られず、インク流通部材の内部に溶液を循環させることができるものであればよい。
また、液滴吐出装置は基板に導電性パターン等を形成するためのものに限られず、同様の構成を有する様々な用途の液滴吐出装置に本発明を適用可能であることはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の第一実施形態に係る液滴吐出装置の斜視図である。
【図２】本発明の第一実施形態に係る吐出ヘッドの斜視図である。
【図３】本発明の第一実施形態に係る吐出ヘッドの要部側断面図である。
【図４】本発明の第一実施形態に係る吐出ヘッドの要部拡大側断面図である。
【図５】本発明の第一実施形態に係る吐出ヘッドのクリーニング方法の説明図である。
【図６】本発明の第二実施形態に係る吐出ヘッドのクリーニング方法の説明図である。
【符号の説明】
【００３８】
１２  ノズルプレート（インク流通部材）、１３  振動板（インク流通部材）、１４  仕切部材（インク流通部材）、１５  キャビティ（インク流通部材）、１６  リザーバ（インク流通部材）、１７  流路（インク流通部材）、１８  ノズル（インク流通部材）、１８ａ  ノズル孔部（インク流通部材）、１９  孔（インク流通部材）、２２  液滴、３０  インクジェット装置（液滴吐出装置）、３４  吐出ヘッド（インク流通部材）、３５  液供給手段（インク流通部材）、４５  タンク（インク流通部材）、４６  チューブ（インク流通部材）、Ａｇ  銀（析出物）、Ｌ  溶液
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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