(57)【要約】【課題】スライダの作動性低下やレール周辺の汚染を招くことなくスライダ内への異物の侵入を抑制することのできるリニアガイド装置を提供する。【解決手段】スライダのエンドキャップ端面７ａに異物吸引ユニット１１を設け、この異物吸引ユニット１１で案内レールに付着した異物を吸引してスライダ内への異物の侵入を防止するようにした。【選択図】図３
2008267546.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
案内レールと、この案内レールの長手方向に相対移動するスライダ本体の両端面にエンドキャップを装着してなるスライダと、このスライダのスライダ本体に形成された転動体転動溝と前記案内レールの外表面に形成された転動体転動溝との間に転動自在に設けられた多数の転動体とを具備してなるリニアガイド装置において、
前記案内レールに付着した異物を吸引する異物吸引ユニットを前記スライダのエンドキャップ端面に設けたことを特徴とするリニアガイド装置。
【請求項２】
請求項１記載のリニアガイド装置において、前記異物吸引ユニットを前記案内レールの上面部及び左右側面部に対して非接触に設けたことを特徴とするリニアガイド装置。
【請求項３】
請求項１または２記載のリニアガイド装置において、前記案内レールの上面部及び左右側面部に接触するサイドシールを前記スライダのエンドキャップ端面と前記異物吸引ユニットとの間に設けたことを特徴とするリニアガイド装置。
【請求項４】
請求項１または２記載のリニアガイド装置において、前記案内レールの上面部及び左右側面部に接触する接触式シールリップを前記異物吸引ユニットに設けたことを特徴とするリニアガイド装置。
【請求項５】
案内レールと、この案内レールの長手方向に相対移動するスライダ本体の両端面にエンドキャップを装着してなるスライダと、このスライダのスライダ本体に形成された転動体転動溝と前記案内レールの外表面に形成された転動体転動溝との間に転動自在に設けられた多数の転動体と、前記スライダのエンドキャップ端面に設けられたサイドシールとを具備してなるリニアガイド装置において、
前記サイドシールにより前記案内レールの表面から除去されて掻き集められた異物を吸引する異物吸引ユニットを前記スライダに設けたことを特徴とするリニアガイド装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体製造装置、工作機械、測定機器などで用いられるリニアガイド装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
工作機械などで用いられるリニアガイド装置は、一般に、直線状に形成された案内レールと、この案内レールの長手方向に相対移動するスライダ本体の両端面にエンドキャップを装着してなるスライダと、このスライダのスライダ本体に形成された転動体転動溝と案内レールの外表面（例えば左右側面部）に形成された転動体転動溝との間に転動自在に設けられた多数の転動体とを備えており、このようなリニアガイド装置のスライダ内に塵埃等の異物が入り込むと、スライダ内に入り込んだ異物によって転動体の転がり運動が阻害され、スライダの作動性が悪化することがある。
【０００３】
そこで、スライダのエンドキャップ端面にサイドシール（「防塵シール」ともいう）を取り付け、このサイドシールのリップ部を案内レールの上面部や左右側面部に接触させてスライダ内への異物の侵入を防止したもの（例えば、特許文献１参照）や、スライダの摺動方向両端部分に空気吹き出し装置を設け、この空気吹き出し装置から吹き出される空気によって案内レールに付着した異物を排除するようにしたもの（例えば、特許文献２参照）などが知られている。
【特許文献１】実開昭６３−１４５０１９号公報
【特許文献２】実公平６−３８１７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に示されたリニアガイド装置では、案内レールに付着する異物の付着量が増えると、サイドシールのリップ部によって案内レールの外表面から剥離した異物がサイドシールのリップ部に堆積する可能性がある。このため、サイドシールのリップ部に堆積した異物によってスライダの作動性が損なわれるという問題がある。
一方、特許文献２に示されたものでは、案内レールに付着した異物が空気吹き出し装置からの空気によって案内レールの周囲に飛散するため、レール周辺を汚染してしまうおそれがある。
【０００５】
本発明は上述した問題点に着目してなされたものであり、その目的は、スライダの作動性低下やレール周辺の汚染を招くことなくスライダ内への異物の侵入を抑制することのできるリニアガイド装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するために、請求項１記載の発明に係るリニアガイド装置は、案内レールと、この案内レールの長手方向に相対移動するスライダ本体の両端面にエンドキャップを装着してなるスライダと、このスライダのスライダ本体に形成された転動体転動溝と前記案内レールの外表面に形成された転動体転動溝との間に転動自在に設けられた多数の転動体とを具備してなるリニアガイド装置において、前記案内レールに付着した異物を吸引する異物吸引ユニットを前記スライダのエンドキャップ端面に設けたことを特徴とする。
【０００７】
請求項２記載の発明に係るリニアガイド装置は、請求項１記載のリニアガイド装置において、前記異物吸引ユニットを前記案内レールの上面部及び左右側面部に対して非接触に設けたことを特徴とする。
請求項３記載の発明に係るリニアガイド装置は、請求項１または２記載のリニアガイド装置において、前記案内レールの上面部及び左右側面部に接触するサイドシールを前記スライダのエンドキャップ端面と前記異物吸引ユニットとの間に設けたことを特徴とする。
【０００８】
請求項４記載の発明に係るリニアガイド装置は、請求項１または２記載のリニアガイド装置において、前記案内レールの上面部及び左右側面部に接触する接触式シールリップを前記異物吸引ユニットに設けたことを特徴とする。
請求項５記載の発明に係るリニアガイド装置は、案内レールと、この案内レールの長手方向に相対移動するスライダ本体の両端面にエンドキャップを装着してなるスライダと、このスライダのスライダ本体に形成された転動体転動溝と前記案内レールの外表面に形成された転動体転動溝との間に転動自在に設けられた多数の転動体と、前記スライダのエンドキャップ端面に設けられたサイドシールとを具備してなるリニアガイド装置において、
前記サイドシールにより前記案内レールの表面から除去されて掻き集められた異物を吸引する異物吸引ユニットを前記スライダに設けたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１及び５記載の発明に係るリニアガイド装置によれば、案内レールに付着する異物の付着量が増えてもサイドシールのリップ部に異物が堆積したり、案内レールの周囲に飛散したりすることがないので、スライダの作動性低下やレール周辺の汚染を招くことなくスライダ内への異物の侵入を抑制することができる。
請求項２記載の発明に係るリニアガイド装置によれば、異物吸引ユニットが案内レールの上面部及び左右側面部に対して非接触に設けられているため、スライダの摺動抵抗を増大させることなくスライダ内への異物の侵入を抑制することができる。
【００１０】
請求項３及び４記載の発明に係るリニアガイド装置によれば、スライダ内への異物の侵入を確実に抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は本発明の第１の実施形態に係るリニアガイド装置の斜視図、図２は図１に示すリニアガイド装置の断面図、図３は図１に示すスライダの分解斜視図、図４は図２に示す異物吸引ユニットの斜視図であり、図１に示されるように、第１の実施形態に係るリニアガイド装置は、案内レール１及びスライダ３を備えている。
【００１２】
案内レール１は直線状に形成されており、この案内レール１の左右側面部１ｂには、転動体転動溝２が案内レール１の長手方向に沿って二条ずつ形成されている。これらの転動体転動溝２はスライダ３のスライダ本体４に形成された転動体転動溝５（図２参照）と各々対向しており、転動体転動溝２と転動体転動溝５との間には、球形状をなす多数の転動体６が転動自在に設けられている。
【００１３】
スライダ３は、スライダ本体４の両端に一対のエンドキャップ７を有している。これらのエンドキャップ７内にはリターンガイド（図示せず）が組み込まれており、リターンガイドとエンドキャップ７との間には、ほぼＵ字状に湾曲した方向転換路（図示せず）が形成されている。
転動体６は、スライダ３が案内レール１の長手方向に相対移動すると、これに伴って転動体転動溝２，５の溝面を転動するようになっている。そして、転動体転動溝２，５の溝面を転動した転動体６は前記した方向転換路で方向転換した後、スライダ本体４内に形成された転動体戻し通路８（図２参照）を通過して元の位置に戻るようになっている。
【００１４】
エンドキャップ７は例えば二本のエンドキャップ取付用螺子９（図３参照）によってスライダ本体４の端面に装着されており、これらエンドキャップ７の端面７ａには、異物吸引ユニット１１が案内レール１の上面部１ａ及び左右側面部１ｂに対して非接触に且つエンドキャップ端面７ａとの間にサイドシール１０（図３参照）を介在させて設けられている。
【００１５】
異物吸引ユニット１１はエンドキャップ７と反対側の端面部にコ字状の異物吸引口１１ａ（図４参照）を有しており、案内レール１の上面部１ａ及び左右側面部１ｂに付着した塵埃等の異物は異物吸引口１１ａから異物吸引ユニット１１の内部に吸引されるようになっている。また、異物吸引ユニット１１は円筒状に形成された吸引ホース接続部１１ｂを側面部に有しており、この吸引ホース接続部１１ｂには、吸引ポンプ等の吸引装置（図示せず）が不図示の吸引ホースを介して接続されている。
【００１６】
このような構成において、異物吸引ユニット１１の吸引ホース接続部１１ｂに接続された吸引ポンプ等の吸引装置を作動させると、図５に示すように、案内レール１の上面部１ａや左右側面部１ｂに付着した塵埃等の異物１２が異物吸引ユニット１１の異物吸引口１１ａから異物吸引ユニット１１内に吸引される。そして、異物吸引口１１ａから異物吸引ユニット１１内に吸引された異物１２は吸引装置の後段に設けられた異物回収装置（図示せず）で回収される。
【００１７】
したがって、上述した第１の実施形態では、特許文献１に示されたもののように、案内レール１に付着する異物の付着量が増えてもサイドシール１０のリップ部に異物が堆積したり、特許文献２に示されたもののように、案内レール１に付着した異物が案内レール１の周囲に飛散したりすることがないので、スライダ３の作動性低下やレール周辺の汚染を招くことなくスライダ３内への異物の侵入を抑制することができる。
【００１８】
また、異物吸引ユニット１１が案内レール１の上面部１ａ及び左右側面部１ｂに対して非接触に設けられているため、スライダ３の摺動抵抗を増大させることなくスライダ３内への異物の侵入を抑制することができる。
さらに、エンドキャップ７の端面７ａと異物吸引ユニット１１との間にサイドシール１０が設けられているため、異物吸引ユニット１１で吸引除去できなかった異物がスライダ３の内部に入り込むことも防止できる。したがって、スライダ３内への異物の侵入を確実に抑制することができる。
【００１９】
上述した第１の実施形態では、スライダ３のエンドキャップ端面７ａと異物吸引ユニット１１との間にサイドシール１０を設けたものを例示したが、図６に示す第２の実施形態のように、案内レール１の上面部１ａ及び左右側面部１ｂに接触する接触式シールリップ１３を異物吸引ユニット１１に設けても第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００２０】
図７は本発明の第３の実施形態を示す図であり、この第３の実施形態が第１の実施形態と異なる点は、サイドシール１０により案内レール１の表面から除去されて掻き集められた異物を吸引する異物吸引ユニット１４をスライダ３のエンドキャップ端面７ａに設けた点である。
このような構成によると、図８のように、サイドシール１０により案内レール１の表面から除去されて掻き集められた異物が異物吸引ユニット１４の異物吸引口１４ａから異物吸引ユニット１４の内部に吸引され、吸引ユニット１４内に吸引された異物は吸引ユニット１４の吸引ホース接続部１４ｂに接続された吸引ホース内を通って不図示の吸引装置にて回収されるので、第１及び第２の実施形態と同様に、スライダ３の作動性低下やレール周辺の汚染を招くことなくスライダ３内への異物の侵入を抑制することができる。
【００２１】
図９は本発明の第４の実施形態を示す図であり、この第４の実施形態が第３の実施形態と異なる点は、サイドシール１０のリップ１０ａをスライダ３と反対側に突出させた点であり、作用は第３の実施形態と同じである。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るリニアガイド装置の斜視図である。
【図２】図１に示すリニアガイド装置の断面図である。
【図３】図１に示すスライダの分解斜視図である。
【図４】図２に示す異物吸引ユニットの斜視図である。
【図５】図４に示す異物吸引ユニットの作用を説明するための図である。
【図６】本発明の第２の実施形態に係るリニアガイド装置の要部を示す図である。
【図７】本発明の第３の実施形態に係るリニアガイド装置の要部を示す図である。
【図８】図７に示す異物吸引ユニットの作用を説明するための図である。
【図９】本発明の第４の実施形態を示す図である。
【符号の説明】
【００２３】
１  案内レール
２  案内レールの転動体転動溝
３  スライダ
４  スライダ本体
５  スライダ本体の転動体転動溝
６  転動体
７  エンドキャップ
８  転動体戻し通路
９  エンドキャップ取付用螺子
１０  サイドシール
１１  異物吸引ユニット
１１ａ  異物吸引口
１１ｂ  吸引ホース接続部
１２  異物
１３  接触式シールリップ
１４  異物吸引ユニット
【図１】
2008267546.tif 000003
【図２】
2008267546.tif 000004
【図３】
2008267546.tif 000005
【図４】
2008267546.tif 000006
【図５】
2008267546.tif 000007
【図６】
2008267546.tif 000008
【図７】
2008267546.tif 000009
【図８】
2008267546.tif 000010
【図９】
2008267546.tif 000011