(57)【要約】【課題】光学面の清浄を良好に行うことが可能な微小光学素子の洗浄方法を提供する。【解決手段】まず、表面に粘着剤２が形成された粘着剤シート１を用意する（ａ）。この粘着剤シート１の上に、微小光学素子３をピンセット等でつまんで押しつけること等により接触させる（ｂ）。そして、微小光学素子３を粘着剤シート１から剥離すると、微小光学素子３に接触した粘着剤２が粘着剤シート１から剥離され、微小光学素子３に転写される（ｃ）。この状態で、微小光学素子３を基板７の上に載置して押しつけると、粘着剤２が基板７と接着し、その結果、微小光学素子３が基板７の上に固定される。この操作を、必要回数繰り返して、基板７の上に多数の微小光学素子３を固定配置する（ｄ）。そして、この状態で微小光学素子３の光学面６に紫外線を照射して紫外線処理による洗浄を行う（ｅ）。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
以下の工程を有することを特徴とする微小光学素子の洗浄方法。
（１）表面に粘着剤が形成された粘着剤シートを用意する工程
（２）微小光学素子の光学面とは異なる面を、前記粘着剤シートに接触させ、前記反対の面に前記粘着剤を転写する工程
（３）前記微小光学素子の前記粘着剤が転写された面を、基板上に接触させ、前記微小光学素子を前記基板に貼付する工程
（４）前記（２）〜（３）の工程を必要な回数繰り返し、複数の前記微小光学素子を前記基板に貼付する工程
（５）前記基板に貼付された前記微小光学素子の光学面を洗浄する工程
【請求項２】
前記粘着剤が、シリコン樹脂であることを特徴とする請求項１に記載の微小光学素子の洗浄方法。
【請求項３】
前記粘着剤が、前記粘着剤シート上に、ドット状に形成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の微小光学素子の洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微小光学素子の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
基板の上に多層膜を成膜して形成されたフィルタや、マイクロレンズ等の微小光学素子は、多数が１つの基板上に形成された後、ダイシング加工等により一つ一つに裁断されて製品として出荷される。その際、次工程において、他の光学部品との接着を良好に行うため、光学面（光学的特性を与える側の面）が清浄な状態にすることを求められる場合がある。このような要求に応えるため、完成した微小光学素子の光学面に、プラズマ処理による洗浄や、紫外線照射処理による洗浄を施すことが行われている。
【０００３】
従来、このような洗浄処理を施す際には、表面に両面接着テープを貼り付けた基板の上に、完成した微小光学素子の光学面と反対の面を貼付することにより、微小光学素子を基板の上に多数貼り付け、一度に多数の微小光学素子に対して洗浄処理を行うことが行われていた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述した従来の方法には、以下のような問題点があった。すなわち、基板上に貼り付けられた両面接着テープには、微小光学素子が貼付されていない面が存在することになる。洗浄処理に際しては、これらの部分の接着剤もプラズマ処理や紫外線照射処理を受けて、その一部が分解し、洗浄機中に漂って、微小光学素子の光学面に付着する。これにより、光学面の洗浄が十分に行われず、微小光学素子の性能を劣化させる。
【０００５】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、光学面の清浄を良好に行うことが可能な微小光学素子の洗浄方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記課題を解決するための第１の手段は、以下の工程を有することを特徴とする微小光学素子の洗浄方法である。
【０００７】
（１）表面に粘着剤が形成された粘着剤シートを用意する工程
（２）微小光学素子の光学面とは異なる面を、前記粘着剤シートに接触させ、前記反対の面に前記粘着剤を転写する工程
（３）前記微小光学素子の前記粘着剤が転写された面を、基板上に接触させ、前記微小光学素子を前記基板に貼付する工程
（４）前記（２）〜（３）の工程を必要な回数繰り返し、複数の前記微小光学素子を前記基板に貼付する工程
（５）前記基板に貼付された前記微小光学素子の光学面を洗浄する工程
前記課題を解決するための第２の手段は、前記第１の手段であって、前記粘着剤が、シリコン樹脂であることを特徴とするものである。
【０００８】
前記課題を解決するための第３の手段は、前記第１の手段又は第２の手段であって、前記粘着剤が、前記粘着剤シート上に、ドット状に形成されていることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、光学面の清浄を良好に行うことが可能な微小光学素子の洗浄方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態の例を、図を用いて説明する。図１は、本発明の実施の形態の１例である微小光学素子の洗浄方法を説明するための図である。まず、表面に粘着剤２が形成された粘着剤シート１を用意する（ａ）。粘着剤シート１の例としては、コクヨＳ＆Ｔ株式会社製、ドットライナープロニーズ（商品名）を使用することができる。これは、図１に示すように、シートの上に、直径約１μｍの円柱状の粘着剤２がドット状に多数形成されたものである。
【００１１】
この粘着剤シート１の上に、微小光学素子３をピンセット等でつまんで押しつけること等により接触させる（ｂ）。この例においては、微小光学素子３は、基板４の上に多層膜５が形成されたフィルタ素子であり、多層膜５の表面が光学面６である。粘着剤シート１に押しつけられる面は、光学面６とは反対の面である。微小光学素子３の大きさは、例えば、厚さ0.5mm、幅×長さが２mm×４mmのものである。
【００１２】
そして、微小光学素子３を粘着剤シート１から剥離すると、微小光学素子３に接触した粘着剤２が粘着剤シート１から剥離され、微小光学素子３に転写される（ｃ）。この状態で、微小光学素子３を基板７の上に載置して押しつけると、粘着剤２が基板７と接着し、その結果、微小光学素子３が基板７の上に固定される。この操作を、必要回数繰り返して、基板７の上に多数の微小光学素子３を固定配置する（ｄ）。
【００１３】
そして、この状態で微小光学素子３の光学面６に紫外線を照射して紫外線処理による洗浄を行う（ｅ）。このとき、従来技術のように両面接着テープを使用していないので、その一部分の接着剤が紫外線照射処理を受けて、その一部が分解し、洗浄機中に漂って、微小光学素子の光学面に付着することを防止できる。紫外線処理による洗浄の代わりに、プラズマ処理による洗浄を行ってもよい。洗浄が終了した微小光学素子３は、基板７の上に保持したまま、又はゲルパックに移して保持した状態で次工程に搬送される。
【００１４】
なお、粘着剤シート１に用いられる粘着剤２は、微小光学素子３を粘着剤シート１に押しつけたとき転写可能なもの（一部が粘着剤シート１上に残ってもよい）であればよいが、シリコン樹脂を使用すると、化学的に安定なため、プラズマ処理又は紫外線照射処理により分解することが少なく、特に好ましい。又、粘着剤２の寸法や形状は、微小光学素子３を粘着剤シート１に押しつけたときに転写可能（一部が粘着剤シート１上に残ってもよい）であれば特に制限はない。しかし、粘着剤２が粘着剤シート１上にドット状に形成されていると、微小光学素子３に綺麗に転写可能であるので、特にドット状に形成されていることが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施の形態の１例である微小光学素子の洗浄方法を説明するための図である。
【符号の説明】
【００１６】
１…粘着剤シート、２…粘着剤、３…微小光学素子、４…基板、５…多層膜、６…光学面、７…基板
【図１】
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