(57)【要約】【課題】長期にわたって不所望なガス分子を吸着することができ、安価で真空寿命が良好な画像表示装置、およびその製造方法を提供する。【解決手段】画像表示装置は、周辺部同士が接合された第１基板１１および第２基板１２を有する外囲器１０と、第１基板上に配置された表示面１６と、第２基板上に配置された複数の電子源と、ゲッタボックスは、外囲器に接合され第１ゲッタ室５４を規定した第１ゲッタボックス５０と、第１ゲッタボックスに重ねて設けられ、第２ゲッタ室６２を規定した第２ゲッタボックス６０と、を有している。第１ゲッタ室は、外囲器に形成された第１開孔２９を介して外囲器内に連通し、第２ゲッタ室は、第１ゲッタボックスに形成された第２開孔６３を通して第１ゲッタ室に連通し、第１および第２開孔は、外囲器の面方向において互いに異なる位置に設けられている。【選択図】      図２
2008235220.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
周辺部同士が接合された第１基板および第２基板を有する外囲器と、
前記第１基板上に配置された表示面と、
前記第２基板上に配置された複数の電子源と、
前記外囲器に接合され、前記外囲器内部に連通するゲッタ室を規定したゲッタボックスと、
前記ゲッタ室内に設けられたゲッタと、を備え、
前記ゲッタボックスは、前記外囲器に接合され第１ゲッタ室を規定した第１ゲッタボックスと、前記第１ゲッタボックスに重ねて設けられ、第２ゲッタ室を規定した第２ゲッタボックスと、を有し、前記第１ゲッタ室は、前記外囲器に形成された第１開孔を介して前記外囲器内に連通し、前記第２ゲッタ室は、前記第１ゲッタボックスおよび第２ゲッタボックスに連続して形成された第２開孔を通して第１ゲッタ室に連通し、前記第１開孔および第２開孔は、前記外囲器の面方向において互いに異なる位置に設けられている画像表示装置。
【請求項２】
前記ゲッタは、前記第１ゲッタ室内に配設されたバリウムを含む蒸発型ゲッタと、前記第２ゲッタ室内に配設されたジルコニウムまたはチタンを主成分とする非蒸発型ゲッタとを有している請求項１に記載の画像表示装置。
【請求項３】
周辺部同士が接合された第１基板および第２基板を有する外囲器と、前記第１基板上に配置された表示面と、前記第２基板上に配置された複数の電子源と、前記外囲器に接合され、前記外囲器内部に連通するゲッタ室を規定したゲッタボックスと、前記ゲッタ室内に設けられたゲッタと、を備えた画像表示装置の製造方法であって、
第１ゲッタボックス内および第２ゲッタボックス内にそれぞれゲッタを配置し、
前記ゲッタが配置された第１ゲッタボックスを前記外囲器に気密に接合し、前記第１ゲッタボックスにより、前記外囲器に形成された第１排気孔を通して外囲器内に連通する第１ゲッタ室を規定し、
前記外囲器内および外囲器内に連通した第１ゲッタ室内を排気し、
前記第２ゲッタボックス内を前記外囲器とは独立して排気し、
前記排気が終了した後、前記第２ゲッタボックスを第１ゲッタボックスに重ねて気密に接合して第２ゲッタ室を規定し、
前記第２ゲッタボックスを気密に接合した後、前記第１ゲッタ室と第２ゲッタ室とを連通させることを特徴とする画像表示装置の製造方法。
【請求項４】
前記第１ゲッタボックス内に蒸発型ゲッタを配置し、前記外囲器内および第１ゲッタ室内を排気した後、前記蒸発型ゲッタを加熱して前記第１ゲッタ室内にゲッタ膜を形成する請求項３に記載の画像表示装置の製造方法。
【請求項５】
前記第２ゲッタボックス内に非蒸発型ゲッタを配置し、前記前記第２ゲッタボックス内を排気しながら前記非蒸発型ゲッタを加熱して活性化する請求項３又は４に記載の画像表示装置の製造方法。
【請求項６】
前記第１ゲッタボックスおよび第２ゲッタボックスに第２開孔を形成して前記第２ゲッタ室を前記第１ゲッタ室に連通する請求項３に記載の画像表示装置の製造方法。
【請求項７】
前記第２ゲッタボックス内に前記ゲッタおよび壁面破壊部材を配置し、前記第２ゲッタボックスを前記第１ゲッタボックスに気密に接合した後、前記壁面破壊部材により、前記第１ゲッタボックスおよび第２ゲッタボックスの一部を破壊して前記第２開孔を形成する請求項６に記載の画像表示装置の製造方法。
【請求項８】
前記排気の前に、前記第１ゲッタボックスおよび第２ゲッタボックスの壁面の前記第２開孔形成予定部位を周辺の壁厚よりも薄く形成する請求項７に記載の画像表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、表示面が設けられた外囲器と、外囲器内のガスを吸着するゲッタとを備えた画像表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、軽量・薄型の画像表示装置として、液晶の配向を利用して光の強弱を制御する液晶ディスプレイ（以下、ＬＣＤと称する）、プラズマ放電の紫外線により蛍光体を発光させるプラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと称する）、電界放出型電子放出素子の電子ビームにより蛍光体を発光させるフィールドエミッションディスプレイ（以下、ＦＥＤと称する）、表面伝導型電子放出素子の電子ビームにより蛍光体を発光させる表面伝導型電子放出ディスプレイ（以下、ＳＥＤと称する）などが開発されている。
【０００３】
例えばＦＥＤでは、一般に、所定の隙間を置いて対向配置された前面基板および背面基板を有し、これらの基板は、矩形枠状の側壁を介して周辺部同士を互いに接合することにより真空外囲器を構成している。前面基板の内面には蛍光体スクリーンが形成され、背面基板の内面には蛍光体を励起して発光させる電子放出源として多数の電子放出素子が設けられている。
【０００４】
背面基板および前面基板に加わる大気圧荷重を支えるために、これら基板の間には複数の支持部材が配設されている。背面基板側の電位はほぼアース電位であり、蛍光面にはアノード電圧として例えば１０ｋＶが印加される。蛍光体スクリーンを構成する赤、緑、青の蛍光体に電子放出素子から放出された電子ビームを照射し、蛍光体を発光させることによって画像を表示する。
【０００５】
このようなＦＥＤにおいては、真空外囲器内部を高い真空度に維持することが重要となる。真空度が低いと、安定した電子放出ができず、画像表示装置の寿命が低下する。
【０００６】
そこで、長期間にわたって真空外囲器内部を高い真空度に維持するため、真空外囲器内部には不所望なガス分子を吸着するゲッタを設けることが通常行われる。このようなゲッタの配置構成として、例えば、蛍光表示管の外囲器周辺部にゲッタ室を設け、このゲッタ室内にゲッタを設ける構成が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】実用新案登録２５４７５０９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述した画像表示装置では、ゲッタ室を小さくするためにチタンまたはジルコニウムを主成分とする非蒸発型ゲッタを用いることが通常行われる。しかし、チタンまたはジルコニウムを主成分とする非蒸発型ゲッタは、一酸化炭素および二酸化炭素の吸着量が小さいため、外囲器内で発生した不所望なガスの吸着量を十分に確保することが困難となる。
【０００８】
この場合、一酸化炭素および二酸化炭素の吸着量が大きいバリウムゲッタを補助的に用いることが考えられる。しかし、ガス分子は選択的にゲッタに対して吸着されるものではないため、バリウムゲッタを設けた場合であっても、非蒸発型ゲッタは一酸化炭素および二酸化炭素を吸着する。従って、真空寿命を長くするためには、結局、非蒸発型ゲッタの量を増やす必要がある。非蒸発型ゲッタは一般に高価であるため、設置量を増やすと画像表示装置のコストが上昇する問題が生じる。
【０００９】
通常、非蒸発型ゲッタは、動作前に加熱して表面の酸化膜を内部に拡散させ、清浄な金属表面を露出させる活性化を行う必要がある。この活性化を、装置の製造過程において、外囲器内部の不所望なガスを排気する排気工程で行うと、そのガスにより非蒸発型ゲッタが汚染され十分に活性化できない問題がある。そこで、排気後に非蒸発型ゲッタを外部から加熱して活性化を行うことが考えられる。外部から加熱する方法として、例えば、高周波による加熱、あるいは、通電による加熱が考えられる。
【００１０】
しかし、高周波による加熱の場合、画像表示装置を構成する材料も一緒に加熱されるため、前面基板および背面基板が温度上昇して破壊されるおそれが生じる。また、通電による加熱では、ゲッタ室に通電導線を設けておく必要があるが、その通電導線はゲッタボックスを構成するガラスと熱膨張が近い鉄−ニッケル合金である必要がある。このような合金は電気抵抗が大きいため通電による発熱が大きくなり、ゲッタボックスが熱応力により破壊されるおそれが生じる。
【００１１】
この発明は以上の点に鑑みなされたもので、長期にわたって不所望なガス分子を吸着することができ、安価で真空寿命が良好な画像表示装置、およびその製造方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
この発明の態様に係る画像表示装置は、周辺部同士が接合された第１基板および第２基板を有する外囲器と、前記第１基板上に配置された表示面と、前記第２基板上に配置された複数の電子源と、前記外囲器に接合され、前記外囲器内部に連通するゲッタ室を規定したゲッタボックスと、前記ゲッタ室内に設けられたゲッタと、を備え、  
前記ゲッタボックスは、前記外囲器に接合され第１ゲッタ室を規定した第１ゲッタボックスと、前記第１ゲッタボックスに重ねて設けられ、第２ゲッタ室を規定した第２ゲッタボックスと、を有し、前記第１ゲッタ室は、前記外囲器に形成された第１開孔を介して前記外囲器内に連通し、前記第２ゲッタ室は、前記第１ゲッタボックスおよび第２ゲッタボックスに連続して形成された第２開孔を通して第１ゲッタ室に連通し、前記第１開孔および第２開孔は、前記外囲器の面方向において互いに異なる位置に設けられている。
【００１３】
この発明の他の態様に係る画像表示装置の製造方法は、周辺部同士が接合された第１基板および第２基板を有する外囲器と、前記第１基板上に配置された表示面と、前記第２基板上に配置された複数の電子源と、前記外囲器に接合され、前記外囲器内部に連通するゲッタ室を規定したゲッタボックスと、前記ゲッタ室内に設けられたゲッタと、を備えた画像表示装置の製造方法であって、
第１ゲッタボックス内および第２ゲッタボックス内にそれぞれゲッタを配置し、前記ゲッタが配置された第１ゲッタボックスを前記外囲器に気密に接合し、前記第１ゲッタボックスにより、前記外囲器に形成された第１排気孔を通して外囲器内に連通する第１ゲッタ室を規定し、前記外囲器内および外囲器内に連通した第１ゲッタ室内を排気し、前記第２ゲッタボックス内を前記外囲器とは独立して排気し、前記排気が終了した後、前記第２ゲッタボックスを第１ゲッタボックスに重ねて気密に接合して第２ゲッタ室を規定し、前記第２ゲッタボックスを気密に接合した後、前記第１ゲッタ室と第２ゲッタ室とを連通させることを特徴とする画像表示装置の製造方法である。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の様態によれば、長期にわたって不所望なガス分子を吸着することができ、安価で真空寿命が良好な画像表示装置、およびその製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下図面を参照しながら、この発明の画像表示装置をＦＥＤに適用した実施形態について詳細に説明する。  
図１および図２に示すように、ＦＥＤは、それぞれ矩形状のガラス板からなる前面基板１１、および背面基板１２を備え、これらの基板は所定の間隔で対向配置されている。第２基板としての背面基板１２は、第１基板としての前面基板１１よりも大きな寸法に形成されている。前面基板１１および背面基板１２は、矩形枠状の側壁１８を介して周縁部同士が接合され、内部が真空状態に維持された偏平な外囲器１０を構成している。接合部材として機能する側壁１８は、例えば、低融点ガラス、低融点金属等の封着材１９、２３により、前面基板１１の周縁部および背面基板１２の周縁部に封着され、これらの基板同士を接合している。
【００１６】
外囲器１０の内部には、前面基板１１および背面基板１２に加わる大気圧荷重を支えるため、複数の板状の支持部材１４が設けられている。これらの支持部材１４は、外囲器１０の一辺と平行な方向にそれぞれ延在しているとともに、上記一辺と直交する方向に沿って所定の間隔を置いて配置されている。各支持部材１４の長手方向両端部は、それぞれ側壁１８と隙間を置いて対向している。なお、支持部材は、板状に限らず、柱状としてもよい。
【００１７】
図２および図３に示すように、前面基板１１の内面には、表示面として機能する蛍光体スクリーン１６が形成されている。この蛍光体スクリーン１６は、赤、緑、青の蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂ、およびこれらの蛍光体層間に位置した黒色の遮光層２０を並べて構成されている。赤、緑、青の３色の蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂは、第１方向に隙間を置いて交互に並んで形成され、同一色の蛍光体層が第１方向と直交する第２方向に隙間を置いて配列されている。蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂはそれぞれ、赤、緑、青の単色でサブピクセルを構成し、３色のサブピクセルを合わせて一画素を構成している。
【００１８】
蛍光体スクリーン１６上には、アルミニウム膜等からなるメタルバック層１７が形成されている。本実施形態によれば、メタルバック層１７は、縦方向および横方向に分断され、互いに電気的に分離した複数の分断領域を有している。電気的に分断したメタルバック層１７は、蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂに夫々重なって設けられている。
【００１９】
図２に示すように、背面基板１２の内面上には、画像表示面の蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂを励起する電子源として、それぞれ電子ビームを放出する多数の電子放出素子２２が設けられている。すなわち、背面基板１２の内面上には、導電性カソード層２４が形成され、この導電性カソード層上には多数のキャビティ２５を有した二酸化シリコン膜２６が形成されている。二酸化シリコン膜２６上には、モリブデンやニオブ等からなるゲート電極２８が形成されている。背面基板１２の内面上において各キャビティ２５内にはモリブデンなどからなるコーン状の電子放出素子２２が設けられている。これらの電子放出素子２２は、画素に対応して複数列および複数行に配列されている。
【００２０】
導電性カソード層２４およびゲート電極２８は、それぞれ直交する方向にストライプ状に形成され、背面基板１２の周縁部には、これら導電性カソード層およびゲート電極に電位を供給する多数本の配線２１が形成されている。
【００２１】
このようなＦＥＤでは、画像を表示する場合、蛍光体スクリーン１６およびメタルバック層１７にアノード電圧を印加して、電子放出素子２２から放出された電子ビームをアノード電圧により加速して蛍光体スクリーンへ衝突させる。これにより、蛍光体スクリーン１６の蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂが励起されて発光し、カラー画像を表示する。
【００２２】
図２に示すように、ＦＥＤは、外囲器１０の周辺部外面に取り付けられた第１ゲッタボックス５０、および第１ゲッタボックスに重ねて取り付けられた第２ゲッタボックス６０を備えている。第１ゲッタボックス５０は、例えば、前面基板１１および背面基板１２と同じ材料のガラスにより矩形箱状に形成され、封着材５２により、背面基板１２の外面の側縁部に接合されている。この第１ゲッタボックス５０および背面基板１２により、第１ゲッタ室５４が規定されている。第１ゲッタ室５４は、背面基板１２に形成された第１排気孔（第１開孔）２９を通して外囲器１０内部に連通している。
【００２３】
第２ゲッタボックス６０は、例えば、前面基板１１および背面基板１２と同じ材料のガラスにより矩形箱状に形成され、封着材５３により、第１ゲッタボックス５０の外面に接合されている。この第２ゲッタボックス６０および第１ゲッタボックス５０の底壁により第２ゲッタ室６２が規定されている。第２ゲッタ室６２は、第１ゲッタボックス５０の底壁および第２ゲッタボックス６０の上面に形成された第２排気孔（第２開孔）６４を通して第１ゲッタ室５４に連通している。これにより、第１ゲッタ室５４および第２ゲッタ室６２は、外囲器１０内部に連通した真空空間を構成している。第２ゲッタボックス６０の底壁には、ゲッタボックス内を排気するための第３排気孔６７が形成されている。この第３排気孔６７は、蓋部材６８により気密に閉塞されている。
【００２４】
第１排気孔２９と第２排気孔６４とは、その配設位置が外囲器１０の面方向に互いにずれた異なる位置に形成されている。これは後述するゲッタ室の連通工程において第１ゲッタボックス５０の飛散材が外囲器１０の内部に入り込まないようにするためである。また、外囲器１０の第１ゲッタ室５４と反対側の端部には、後述する排気工程で外囲器１０内部を排気するための第４排気孔３０（図４参照）が設けられている。
【００２５】
第１ゲッタ室５４内において、ゲッタボックス５０の内面上には、例えば、バリウムからなる蒸発型ゲッタ５６が成膜されている。第２ゲッタ室６２の内部には、例えば、ジルコニウムを主成分とする非蒸発型ゲッタ６６が配設されている。
【００２６】
上記のように構成されたＦＥＤによれば、動作時に外囲器１０内に放出されたガスは、第１排気孔２９を通して第１ゲッタ室５４内に入り、更に、第２排気孔６４を通して第２ゲッタ室６２に流入する。放出ガスの内、一酸化炭素および二酸化炭素は、第１ゲッタ室５４内で蒸発型ゲッタ５６に吸着され、この蒸発型ゲッタ５６に吸着されなかった水素を主成分とするガスが第２ゲッタ室６２に到達して非蒸発型ゲッタ６６に吸着される。これにより、蒸発型ゲッタ５６および非蒸発型ゲッタ６６により、不所望なガスをそれぞれ選択的に吸着できるようになる。そのため、非蒸発型ゲッタ６６が一酸化炭素および二酸化炭素を吸着する量が小さくなり、少ないゲッタ量で真空寿命の長いＦＥＤとすることができる。
【００２７】
次に、上記構成を有するＦＥＤの製造方法について詳細に説明する。  
まず、前面基板１１となる板ガラスに蛍光体スクリーン１６を形成する。これは、前面基板１１と同じ大きさの板ガラスを準備し、この板ガラスにプロッターマシンで蛍光体ストライプパターンを形成する。この蛍光体ストライプパターンを形成した板ガラスと前面基板用の板ガラスとを位置決め治具に載せて露光台にセットする。この状態で、露光、現像することにより、前面基板１１となるガラス板上に蛍光体スクリーンを形成する。その後、蛍光体スクリーン１６に重ねてメタルバック層１７を形成する。
【００２８】
続いて、背面基板１２用の板ガラスに電子放出素子２２を形成する。これはまず、導電性カソード層２４を板ガラス上に形成し、このカソード層上に例えば熱酸化法やＣＶＤ法あるいはスパッタリング法により２酸化シリコン膜の絶縁膜を形成する。この後、この絶縁膜上に、例えばスパッタリング法や電子ビーム蒸着法によりモリブデンやニオブなどのゲート電極形成用の金属膜を形成する。次に、この金属膜上に、形成すべきゲート電極に対応した形状のレジストパターンをリソグラフィーにより形成する。このレジストパターンをマスクとして金属膜をウェットエッチング法またはドライエッチング法によりエッチングし、ゲート電極２８を形成する。
【００２９】
この後、レジストパターン及びゲート電極２８をマスクとして絶縁膜をウェットエッチングまたはドライエッチング法によりエッチングして、キャビティ２５を形成する。そして、レジストパターンを除去した後、背面基板表面に対して所定角度傾斜した方向から電子ビーム蒸着を行うことにより、ゲート電極２８上に例えばアルミニウムやニッケルからなる剥離層を形成する。その後、背面基板表面に対して垂直な方向からカソード形成用の材料として例えばモリブデンを電子ビーム蒸着法により蒸着する。これによって、キャビティ２５の内部に電子放出素子２２が形成される。次に、剥離層をその上に形成された金属膜とともにリフトオフ法により除去する。
【００３０】
続いて、上面が開口した第１ゲッタボックス５０および密閉型の第２ゲッタボックス６０を用意する。第１ゲッタボックス５０および第２ゲッタボックス６０の第２排気孔６４を形成する部分の壁、ここでは、第１ゲッタボックス５０の底壁の一部および第２ゲッタボックス６０の天井壁７４の一部をブラスト処理し、周囲の壁の厚さよりも薄くしておく。また、第２ゲッタボックス６０の底壁には、第３排気孔６７を予め形成しておく。第１ゲッタボックス５０内に、バリウムを主成分とする蒸発型ゲッタ材料を配置し、第２ゲッタボックス６０内に、ジルコニウムおよびチタンの少なくとも一方を主成分とする非蒸発型ゲッタ６６を第３排気孔６７から投入して配置する。
【００３１】
次いで、支持部材１４および側壁１８を背面基板１２に対してフリットガラスを用いて取り付け、更に、背面基板の側壁上と、対応する前面基板１１の外周部に封着材としてのフリットガラスを塗布して仮焼成する。また、第１ゲッタボックス５０の背面基板１２に相対する端部、および第２ゲッタボックス６０に相対する底部に、それぞれ封着材としてのフリットガラスを塗布して仮焼成しておく。
【００３２】
図４に示すように、これら背面基板１２、前面基板１１、第１ゲッタボックス５０をそれぞれ所定位置に配置し、排気カートに設置してインライン型の連続炉に投入する。また、第２ゲッタボックス６０は、背面基板等とは独立に排気カートに設置してインライン型の連続炉に投入する。この際、第２ゲッタボックス６０内の所定位置に壁面破壊部材７６を導入しておく。壁面破壊部材７６としては、例えば、先の尖った針状の金属部材を用いることができる。
【００３３】
図４に示すように、背面基板１２は、外囲器内部を排気するための第４排気孔３０に排気カートの排気ライン７０に接続された状態で載置される。排気カートは本引き用ポンプおよび粗引き用ポンプにより排気ライン７０および第４排気孔３０を通して外囲器内部を排気する。それらの構造は公知のものを使用することができ、詳細な説明は省略する。また、第２ゲッタボックス６０の第３排気孔６７には、上記とは別の排気ライン７２が接続され、外囲器とは別に、第２ゲッタボックス６０内部が排気できる状態とする。
【００３４】
その後、背面基板１２、前面基板１１、第１ゲッタボックス５０は連続炉内を移動しながら４５０℃まで加熱される。この際、電子放出素子２２の酸化を防ぐため、連続炉の加熱部は窒素が導入および循環されて非酸化性雰囲気を形成し、酸素濃度が所定の割合以下になるように制御されている。
【００３５】
第２ゲッタボックス６０は外囲器と一緒に連続炉内を移動しながら４５０℃まで加熱される。第２ゲッタボックス６０は内部が昇温直後から廃棄され、非蒸発型ゲッタ６６の活性化が始まる３００℃以上において、第２ゲッタボックス６０内部が１０-2Ｐａ以下の圧力となり、非蒸発型ゲッタ６６は不所望なガスによる汚染がほとんどなく効率的に活性化される。
【００３６】
一方、加熱によりフリットガラスが溶融し、このフリットガラスにより、背面基板１２、前面基板１１、側壁１８、支持部材１４、第１ゲッタボックス５０が互いに封着され、第１ゲッタボックスを有した外囲器１０が形成される。フリットガラスが固化した後、排気ライン７０を通して外囲器１０内部の排気を開始する。
【００３７】
排気中は加熱温度を４００℃に設定し、所定速度で外囲器１０を移動させながら排気を継続する。これにより、前面基板１１および背面基板１２の表面から脱離したガス成分が外囲器１０の外部へ排出される。また、第２ゲッタボックス６０内に配置された非蒸発型ゲッタ６６の活性化も継続され、表面清浄な金属面が露出される。
【００３８】
図５に示すように、外囲器１０内を所定の真空度まで排気した後、排気カートの排気ライン７０内部に予め設置しておいた蓋部材８０により第４排気孔３０を気密封止する。また、第２ゲッタボックス６０内を所定の真空度まで排気した後、同じく別の排気ライン７２内部に予め設置しておいた蓋部材６８により、第３排気孔６７を気密封止する。
【００３９】
次いで、図６に示すように、第２ゲッタボックス６０を第１ゲッタボックス５０の底面上に配置し、４５０℃で局所加熱して第１ゲッタボックス５０に接合する。その後、外囲器１０全体を降温し、外囲器全体の温度が所望の温度まで下がった時点で、外囲器を連続炉から取り出す。これにより、第１および第２ゲッタボックス５０、６０を備えた外囲器が形成される。
【００４０】
上述した製造方法とすることにより、排気工程中に同時に非蒸発型ゲッタ６６を活性化することができ、安価なプロセスとすることができるとともに、排気後に非蒸発型ゲッタを加熱して活性化する場合の不具合を避けることができる。
【００４１】
外囲器１０を取り出した後、第１ゲッタボックス５０内に配置された蒸発型ゲッタ５６を高周波加熱により加熱し、ゲッタボックス内面にゲッタ膜を蒸着形成する。このゲッタ材料はバリウムが主成分であるため、蒸着温度が比較的低く、加熱時間も３０秒以内でよい。そのため、ＦＥＤの構成部材が上記の高周波加熱によって加熱される割合は小さく、構成部材に悪影響を及ぼすことはない。
【００４２】
ゲッタ膜の蒸着形成後、第２ゲッタボックス６０内に予め導入してあった壁面破壊部材７６により第１ゲッタボックス５０および第２ゲッタボックス６０の第２排気孔６４に対応する部分の壁を破壊して第２排気孔を形成し、第２ゲッタボックス６０と第１ゲッタボックス５０とを同一の真空空間に連通する。この際、第１排気孔２９と第２排気孔６４との配設位置を外囲器１０の面方向において異なる位置に形成しているため、第１ゲッタボックス壁の破壊による破片が外囲器１０内部に入り込むことはなく、この飛散材による耐圧劣化などの問題を防ぐことができる。
【００４３】
以上のことから、本実施形態によれば、長期にわたって不所望なガス分子を吸着することができ、安価で真空寿命が良好な画像表示装置、およびその製造方法を提供することができる。
【００４４】
この発明は上述した実施の形態に限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。実施の形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよいし、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
【００４５】
上述した実施形態では、内面に蛍光体スクリーンを有する前面基板を備えたＦＥＤを例にとって説明したが、この発明はこれに限定されること無く、ＳＥＤ、ＰＤＰ、蛍光表示管など他のデバイスに対しても適用することができる。また、ゲッタはバリウム、ジルコニウムに限らず、使用するデバイスの真空特性や放出ガス特性などに合わせ、種々選択することができる。
【００４６】
ゲッタ室およびゲッタボックスの大きさ、形状、設置数は、上記実施形態に限られるものではなく、変更可能であり、例えば側壁の一部を切り欠いてゲッタ室を真空外囲器の側面に設けても良い。ＦＥＤを構成する構造物の形状、寸法、配置、あるいは材料など、好適なものを選択することができることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】図１は、この発明の実施形態に係るＦＥＤを一部破断して示す斜視図。
【図２】図２は、図１の線Ａ−Ａに沿ったＦＥＤの断面図。
【図３】図３は、前記ＦＥＤの前面基板および蛍光体スクリーンの一部を拡大して示す平面図。
【図４】図４は、上記ＦＥＤの製造における排気工程を概略的に示す図。
【図５】図５は、上記ＦＥＤの製造における封着工程を概略的に示す図。
【図６】図６は、上記ＦＥＤの製造において、第１ゲッタ室および第２ゲッタ室を接続する工程を概略的に示す図。
【符号の説明】
【００４８】
１０…外囲器、  １１…前面基板、  １２…背面基板、  １４…支持部材、
１６…蛍光体スクリーン、  １７…メタルバック層、  １８…側壁、
２２…電子放出素子、  Ｒ、Ｇ、Ｂ…蛍光体層、  ２９…第１排気孔、
５０…第１ゲッタボックス、  ５４…第１ゲッタ室、  ５６…蒸発型ゲッタ、
６０…第２ゲッタボックス、  ６２…第２ゲッタ室、  ６４…第２排気孔、
６６…非蒸発型ゲッタ、  ６７…第３排気孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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