(57)【要約】【課題】基板に供給する処理液を十分に除電するとともに、処理液を接地するためのアース線の長寿命化が実現できる基板処理装置を提供する。【解決手段】基板に供給される薬液の流路を形成する接地継手４２０に炭素電極ＣＥの一端部Ｅ１が挿入される。接地継手４２０から突出する炭素電極ＣＥの他端部Ｅ２には、第２のユニオンナット５２０が取り付けられ、炭素電極ＣＥの第２の溝部ｄ２にストッパリングＳＲが取り付けられる。そして、炭素電極ＣＥの他端部Ｅ２側から接続樹脂ＦＥが取り付けられる。さらに、炭素電極ＣＥの他端部Ｅ２にアース線３１０の一端が接続される。アース線３１０の他端は接地されている。この状態で、炭素電極ＣＥの他端部Ｅ２がアース線保護ブロック５００に挿入される。そして、雄ねじを形成するアース線保護ブロック５００の突出部６０１に第２のユニオンナット５２０が締め付けられる。【選択図】図６
2008235301.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に処理液を供給する処理液供給路を有し、この処理液供給路から供給された処理液を用いて基板に処理を行う基板処理装置であって、
前記処理液供給路の少なくとも一部を形成し、前記処理液が流通する流路が内部に形成された流路形成部材と、
前記流路形成部材の流路内の処理液と接触するように前記流路形成部材に挿入され、前記流路形成部材から突出する突出部を有する導電性の接液棒と、
前記接液棒の突出部の少なくとも一部を覆う管状のカバー部材と、
前記カバー部材の、前記流路形成部材に近い側の端部に螺合され、前記接液棒の突出部が貫通する貫通孔が形成された螺合部材と、
前記接液棒と前記カバー部材との間の隙間をシールするシール部材と、
前記カバー部材に挿入されるとともに、前記接液棒の突出部のうちの前記カバー部材で覆われた部分に接続され、接地されるアース線とを備えることを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
前記接液棒は炭素を含み、前記カバー部材はフッ素樹脂を含むことを特徴とする請求項１記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記流路形成部材、前記接液棒、螺合部材および前記カバー部材を収容するとともに、前記アース線が挿通するアース線挿通口が形成された隔壁で取り囲まれた収容室と、
前記カバー部材の前記流路形成部材から遠い側の端部と前記隔壁のアース線挿通口とを連絡するように設けられ、前記アース線が挿入される保護管とをさらに備え、
前記アース線は、前記保護管の内部を通って前記カバー部材の内部から前記収容室の外部に導かれることを特徴とする請求項１または２記載の基板処理装置。
【請求項４】
前記接液部材の突出部の外周面に径小部が形成されるとともに、前記径小部に嵌合される環状部材をさらに備え、
前記螺合部材が前記カバー部材に螺合された際に、前記前記螺合部材と前記カバー部材との間に前記環状部材が挟まれることにより、前記カバー部材に対して前記接液棒が固定されたことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の基板処理装置。
【請求項５】
前記螺合部材は、外周面に漸次径小となるテーパ雄ねじ部を有し、
前記カバー部材は、内周面に前記螺合部材の前記テーパ雄ねじ部に螺合するテーパ雌ねじ部を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の基板処理装置。
【請求項６】
前記接液棒の突出部および前記螺合部材は一体的に形成されているとともに、前記螺合部材は、外周面に雄ねじ部を有し、
前記カバー部材は、内周面に前記螺合部材の前記雄ねじ部に螺合する雌ねじ部を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に種々の処理を行う基板処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体ウェハ、フォトマスク用ガラス基板、液晶表示装置用ガラス基板、プラズマディスプレイ用ガラス基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板等の基板に種々の処理を行うために、基板処理装置が用いられている。
【０００３】
基板に対する種々の処理として、基板に処理液を供給することにより基板を洗浄する洗浄処理がある。洗浄処理では、処理液として洗浄液およびリンス液が用いられる。
【０００４】
洗浄液としては、ＢＨＦ（バッファードフッ酸）、ＤＨＦ（希フッ酸）、フッ酸、塩酸、硫酸、硝酸、リン酸、酢酸、シュウ酸およびアンモニア等の薬液が用いられる。リンス液としては、ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）等の有機溶剤または純水、炭酸水、水素水、電解イオン水等が用いられる。
【０００５】
処理液として薬液を用いる場合には、処理液用の配管を耐薬品性に優れた材料により形成する。例えば、特許文献１の基板処理装置においては、薬液が流れる薬液混合部の下流側と処理液供給ノズルの上流側とを接続する配管が、耐薬品性に優れたフッ素樹脂からなるチューブにより形成されている。
【０００６】
なお、フッ素樹脂としては、例えばＰＴＦＥ（四フッ化エチレン樹脂）およびＰＦＡ（四フッ化エチレン・パーフルオロアルコキシエチレン共重合体）がある。
【０００７】
処理液の流路として、上記の配管の他、例えば、ノズル、継ぎ手、溶接部、ポンプ、タンク、フィルタおよび各種センサにも耐薬品性に優れた材料が用いられる。これにより、基板処理装置内で、基板に供給される処理液が清浄に保たれるとともに、処理液の流路の長寿命化が実現される。
【０００８】
しかしながら、処理液の流路に用いられるフッ素樹脂は、絶縁性材料である。これにより、処理液がその流路（例えば、配管等）を移動すると、処理液と流路の内表面との間の摩擦により静電気が発生し、処理液が帯電する。その処理液が基板処理装置内でフッ素樹脂からなる流路を循環すると、処理液の帯電量が増加する。
【０００９】
帯電量の大きい処理液が基板に供給されると、処理対象となる基板が処理液により帯電したり、処理液が放電して基板に損傷を与える場合がある。特に、帯電量の大きい処理液は着火源にもなり得る。
【００１０】
また、帯電量の大きい処理液がさらに基板処理装置内の流路を循環すると、流路に設けられた種々のセンサ（例えば、温度センサまたは圧力センサ等）が誤動作したり、故障したりする場合がある。
【００１１】
これらのセンサは、例えば基板の処理条件の管理および維持のために用いられる。したがって、センサの誤動作および故障は、基板の処理不良を引き起こす。
【００１２】
そこで、流路内の処理液を炭素電極により接地する基板処理装置が提案されている（例えば、特許文献２参照）。この基板処理装置においては、処理液の流路を構成する部材（例えば、処理液貯留槽、フィルタまたは配管等）に炭素電極が取り付けられる。炭素電極は、その一部が流路内の処理液に接触するとともに接地される。それにより、流路内の処理液が炭素電極を通じて除電される。
【特許文献１】特開２００２−１７０８０３号公報
【特許文献２】特開２００６−２６９６７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
ところで、特許文献２の基板処理装置において、炭素電極を接地する場合、実際には炭素電極にアース線の一端が接続される。そして、そのアース線の他端が接地されることにより炭素電極が接地される。
【００１４】
アース線は、一般に、導電性材料からなる芯線が絶縁性材料により被覆された構造を有する。芯線の材料としては、例えば銅およびアルミニウムまたはこれらのいずれかを含む合金等が用いられる。また、芯線を被覆する材料（被覆チューブ）としては、例えば塩化ビニル等の絶縁性および耐薬品性を有する材料が用いられる。
【００１５】
したがって、炭素電極とアース線との接続部では、炭素電極とアース線との間の電気的な導通を確保するために、被覆チューブの一部を芯線から剥ぎ取り、露出した芯線の部分を炭素電極に接続する必要がある。
【００１６】
しかしながら、芯線に用いられる導電性材料は腐食しやすい。このため、例えば処理液の流路の開放を伴うメンテナンス時に、炭素電極とアース線との接続部に薬液雰囲気が接触すると、露出した芯線の部分が腐食する。
【００１７】
本発明の目的は、基板に供給する処理液を十分に除電するとともに、処理液を接地するためのアース線の長寿命化が実現できる基板処理装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
（１）本発明に係る基板処理装置は、基板に処理液を供給する処理液供給路を有し、この処理液供給路から供給された処理液を用いて基板に処理を行う基板処理装置であって、処理液供給路の少なくとも一部を形成し、処理液が流通する流路が内部に形成された流路形成部材と、流路形成部材の流路内の処理液と接触するように流路形成部材に挿入され、流路形成部材から突出する突出部を有する導電性の接液棒と、接液棒の突出部の少なくとも一部を覆う管状のカバー部材と、カバー部材の、流路形成部材に近い側の端部に螺合され、接液棒の突出部が貫通する貫通孔が形成された螺合部材と、接液棒とカバー部材との間の隙間をシールするシール部材と、カバー部材に挿入されるとともに、接液棒の突出部のうちのカバー部材で覆われた部分に接続され、接地されるアース線とを備えるものである。
【００１９】
この基板処理装置において、流路形成部材は処理液供給路の少なくとも一部を形成し、流路形成部材の内部には処理液が流通する流路が形成されている。流路形成部材には、導電性の接液棒の一部が挿入される。これにより、接液棒が流路形成部材の流路を流通する処理液に接液する。
【００２０】
流路形成部材の外部において、接液棒の突出部が螺合部材に形成された貫通孔に挿入される。そして、螺合部材を貫通する接液棒の突出部の部分にアース線が接続される。
【００２１】
螺合部材を貫通する接液棒の突出部の部分が管状のカバー部材の内部に挿入される。これにより、接液棒の突出部の少なくとも一部がカバー部材により覆われる。それにより、接液棒とアース線との接続部がカバー部材の内部に配置される。
【００２２】
さらに、接液棒とカバー部材との隙間がシール部材によりシールされるとともに、螺合部材が流路形成部材に近い側のカバー部材の端部に螺合される。これにより、カバー部材の内部空間とカバー部材の外部空間とがシール部材により確実に遮断される。
【００２３】
接液棒に接続されたアース線は接地されている。これにより、処理液供給路の流路を流通して基板に供給される処理液が、接液棒により除電される。その結果、帯電する処理液が基板に供給されることによる基板の処理不良が防止される。
【００２４】
また、上記のように、カバー部材の内部空間はカバー部材の外部空間から確実に遮断されている。これにより、処理液供給路の開放を伴うメンテナンス時に、処理液の成分を含む雰囲気がカバー部材の内部に浸入することが十分に防止される。その結果、処理液の成分を含む雰囲気とアース線との接触に起因するアース線の腐食が防止され、アース線の長寿命化が実現される。
【００２５】
（２）接液棒は炭素を含み、カバー部材はフッ素樹脂を含んでもよい。
【００２６】
炭素材料は導電性および優れた耐薬品性を有する。これにより、処理液供給路の流路を流れる処理液が十分かつ確実に除電される。また、処理液が薬液である場合でも、接液棒は腐食しない。それにより、接液棒を交換するメンテナンスが不要となる。
【００２７】
また、フッ素樹脂は優れた耐薬品性を有する。これにより、薬液の成分を含む雰囲気が接触する場合でも、カバー部材は腐食しない。それにより、カバー部材を交換するメンテナンスが不要となる。
【００２８】
（３）基板処理装置は、流路形成部材、接液棒、螺合部材およびカバー部材を収容するとともに、アース線が挿通するアース線挿通口が形成された隔壁で取り囲まれた収容室と、カバー部材の流路形成部材から遠い側の端部と隔壁のアース線挿通口とを連絡するように設けられ、アース線が挿入される保護管とをさらに備え、アース線は、保護管の内部を通ってカバー部材の内部から収容室の外部に導かれてもよい。
【００２９】
この場合、収容室内部に、流路形成部材、接液棒、螺合部材およびカバー部材が収容される。収容室を取り囲む隔壁にはアース線挿通口が形成されている。
【００３０】
収容室内部においては、カバー部材の流路形成部材から遠い側の端部と隔壁に形成されたアース線挿通口とを連絡するように保護管が設けられる。
【００３１】
これにより、収容室内部において、カバー部材および保護管の内部空間をそれらの外部空間から確実に遮断することができる。
【００３２】
そして、カバー部材の内部で接液棒に接続されたアース線は、保護管の内部を通じて収容室の外部に導かれる。これにより、処理液供給路の開放を伴うメンテナンス時に、処理液の成分を含む雰囲気がアース線に接触することが十分に防止される。その結果、アース線の長寿命化が実現される。
【００３３】
（４）基板処理装置は、接液部材の突出部の外周面に径小部が形成されるとともに、径小部に嵌合される環状部材をさらに備え、螺合部材がカバー部材に螺合された際に、螺合部材とカバー部材との間に環状部材が挟まれることにより、カバー部材に対して接液棒が固定されてもよい。
【００３４】
この場合、接液棒の突出部が螺合部材の貫通孔に挿入された後、突出部の径小部に環状部材が嵌合される。そして、螺合部材が流路形成部材に近い側のカバー部材の端部に螺合される。
【００３５】
それにより、環状部材が螺合部材とカバー部材との間に挟まれる。その結果、接液棒の硬度とカバー部材の硬度とが著しく異なる場合であっても、接液棒がカバー部材に対して確実に固定される。
【００３６】
（５）螺合部材は、外周面に漸次径小となるテーパ雄ねじ部を有し、カバー部材は、内周面に螺合部材のテーパ雄ねじ部に螺合するテーパ雌ねじ部を有してもよい。
【００３７】
この場合、接液棒の突出部が螺合部材の貫通孔に挿入された後、螺合部材のテーパ雄ねじ部がカバー部材のテーパ雌ねじ部に螺合される。
【００３８】
これにより、接液部材が螺合部材の貫通孔に挿通された状態で、螺合部材により締め付けられる。その結果、接液棒の硬度とカバー部材の硬度とが著しく異なる場合であっても、接液棒がカバー部材に対して確実に固定される。
【００３９】
（６）接液棒の突出部および螺合部材は一体的に形成されているとともに、螺合部材は、外周面に雄ねじ部を有し、カバー部材は、内周面に螺合部材の雄ねじ部に螺合する雌ねじ部を有してもよい。
【００４０】
この場合、接液棒の突出部の雄ねじ部がカバー部材の雌ねじ部に螺合される。これにより、接液棒の硬度とカバー部材の硬度とが著しく異なる場合であっても、接液棒がカバー部材に対して確実に固定される。
【発明の効果】
【００４１】
本発明によれば、基板に供給する処理液を十分に除電するとともに、処理液を接地するためのアース線の長寿命化が実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４２】
本発明の一実施の形態に係る基板処理装置について説明する。以下の説明において、基板とは、半導体ウェハ、フォトマスク用ガラス基板、液晶表示装置用ガラス基板、プラズマディスプレイ用ガラス基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板等をいう。
【００４３】
また、処理液には薬液およびリンス液が含まれる。薬液とは、例えばバッファードフッ酸（ＢＨＦ）、希フッ酸（ＤＨＦ）、フッ酸（フッ化水素水：ＨＦ）、塩酸、硫酸、硝酸、リン酸、酢酸、シュウ酸もしくはアンモニア水等の水溶液、またはそれらの混合溶液をいう。なお、混合溶液としては、例えば高温に加熱された硫酸（Ｈ２ＳＯ４）と過酸化水素水（Ｈ２Ｏ２）との混合液（以下、ＳＰＭと略記する）、アンモニアと過酸化水素水との混合溶液（ＳＣ１）、または塩酸（ＨＣｌ）と過酸化水素水との混合液（以下、ＳＣ２と略記する）が用いられる。
【００４４】
リンス液とは、例えば純水、炭酸水、オゾン水、磁気水、還元水（水素水）もしくはイオン水、またはＩＰＡ（イソプロピルアルコール）等の有機溶剤をいう。
【００４５】
＜１＞  第１の実施の形態
（１）  基板処理装置の構成
図１は、第１の実施の形態に係る基板処理装置の平面図である。図１に示すように、基板処理装置１００は、処理領域Ａ，Ｂを有し、処理領域Ａ，Ｂ間に搬送領域Ｃを有する。また、基板処理装置１００は、処理領域Ａ，Ｂおよび搬送領域Ｃと離間した位置に薬液キャビネット２００を有する。
【００４６】
処理領域Ａには、制御部４、流体ボックス部２ａ，２ｂおよび洗浄処理部５ａ，５ｂが配置されている。
【００４７】
図１の流体ボックス部２ａ，２ｂの各々は、洗浄処理部５ａ，５ｂへの処理液の供給および洗浄処理部５ａ，５ｂからの処理液の廃棄等に関する配管、継ぎ手、バルブ、流量計、レギュレータ、ポンプ、温度調整器、処理液貯留タンク等の流体関連機器を収納する。
【００４８】
洗浄処理部５ａ，５ｂでは、薬液による基板Ｗの洗浄処理（以下、薬液処理と呼ぶ）、リンス液による基板Ｗの洗浄処理（以下、リンス処理と呼ぶ）および基板Ｗの乾燥処理が行われる。
【００４９】
本実施の形態において、例えば洗浄処理部５ａ，５ｂで用いられる薬液はＳＰＭ、ＳＣ２またはフッ酸であり、リンス液は純水である。
【００５０】
処理領域Ｂには、流体ボックス部２ｃ，２ｄおよび洗浄処理部５ｃ，５ｄが配置されている。流体ボックス部２ｃ，２ｄおよび洗浄処理部５ｃ，５ｄの各々は、上記流体ボックス部２ａ，２ｂおよび洗浄処理部５ａ，５ｂと同様の構成を有し、洗浄処理部５ｃ，５ｄは洗浄処理部５ａ，５ｂと同様の処理を行う。
【００５１】
薬液キャビネット２００は、後述する薬液タンク４１０（図２）とともに、薬液に関する配管、継ぎ手、バルブ、流量計、レギュレータ、ポンプ、温度調整器等の流体関連機器を収納する。
【００５２】
基板Ｗの薬液処理時には、薬液キャビネット２００から流体ボックス部２ａ〜２ｄを通じて洗浄処理部５ａ〜５ｄに薬液が供給される（矢印Ａ１）。また、使用済みの薬液は、洗浄処理部５ａ〜５ｄから流体ボックス部２ａ〜２ｄを通じて薬液キャビネット２００に回収される（矢印Ａ２）。
【００５３】
以下の説明において、基板処理装置１００内の流体関連機器における処理液の経路を流路と称する。
【００５４】
薬液キャビネット２００および流体ボックス部２ａ〜２ｄの各々において、薬液は上記流体関連機器を循環する。薬液の流路を構成する流体関連機器は、耐薬品性に優れた材料により形成されている。
【００５５】
耐薬品性に優れた材料として、フッ素樹脂がある。フッ素樹脂としては、例えば、ＰＴＦＥ（四フッ化エチレン樹脂）またはＰＦＡ（四フッ化エチレン・パーフルオロアルコキシエチレン共重合体）が用いられる。
【００５６】
本実施の形態において、薬液キャビネット２００内の流体関連機器の一部には、その内部を流れる薬液に接触するように炭素電極が設けられている。この炭素電極は、後述するアース線３１０（図２）により接地される。詳細は後述する。
【００５７】
以下の説明において、洗浄処理部５ａ〜５ｄを処理ユニットと総称する。
【００５８】
搬送領域Ｃには、基板搬送ロボットＣＲが設けられている。処理領域Ａ，Ｂの一端部側には、基板Ｗの搬入および搬出を行うインデクサＩＤが配置されており、インデクサロボットＩＲはインデクサＩＤの内部に設けられている。インデクサＩＤには、基板Ｗを収納するキャリア１が載置される。
【００５９】
インデクサＩＤのインデクサロボットＩＲは、矢印Ｕの方向に移動し、キャリア１から基板Ｗを取り出して基板搬送ロボットＣＲに渡し、逆に、一連の処理が施された基板Ｗを基板搬送ロボットＣＲから受け取ってキャリア１に戻す。
【００６０】
基板搬送ロボットＣＲは、インデクサロボットＩＲから渡された基板Ｗを指定された処理ユニットに搬送し、または、処理ユニットから受け取った基板Ｗを他の処理ユニットまたはインデクサロボットＩＲに搬送する。
【００６１】
本実施の形態においては、洗浄処理部５ａ〜５ｄのいずれかにおいて基板Ｗに薬液処理およびリンス処理が行われた後に、基板搬送ロボットＣＲにより基板Ｗが洗浄処理部５ａ〜５ｄから搬出され、インデクサロボットＩＲを介してキャリア１に搬入される。
【００６２】
制御部４は、ＣＰＵ（中央演算処理装置）を含むコンピュータ等からなり、処理領域Ａ，Ｂの各処理ユニットの動作、搬送領域Ｃの基板搬送ロボットＣＲの動作およびインデクサＩＤのインデクサロボットＩＲの動作を制御する。
【００６３】
なお、薬液キャビネット２００にも図示しない制御部が設けられている。薬液キャビネット２００の制御部は、後述する薬液操作パネル２１０（図３）の作業者による操作に基づいて薬液キャビネット２００の各構成部の動作を制御する。
【００６４】
（２）  洗浄処理部および薬液キャビネットの構成
図２は、図１の洗浄処理部５ａ〜５ｄおよび薬液キャビネット２００の構成を説明するための図である。
【００６５】
図２では、洗浄処理部５ａ〜５ｄの構成とともに、薬液キャビネット２００の構成が示されている。薬液キャビネット２００は、制御ボックス３００および薬液ボックス４００を備える。薬液ボックス４００の内部には、薬液を貯留する薬液タンク４１０が設置されている。薬液キャビネット２００の詳細は後述する。
【００６６】
（２−ａ）  洗浄処理部
洗浄処理部５ａ〜５ｄは、基板Ｗを水平に保持するとともに基板Ｗの中心を通る鉛直な軸の周りで基板Ｗを回転させるためのスピンチャック２１を備える。スピンチャック２１は、チャック回転駆動機構３６によって回転される回転軸２５の上端に固定されている。基板Ｗは、薬液処理、リンス処理および乾燥処理時に、スピンチャック２１により水平に保持された状態で回転する。
【００６７】
スピンチャック２１の外方にモータ６０が設けられている。モータ６０には、回動軸６１が接続されている。回動軸６１には、アーム６２が水平方向に延びるように連結され、アーム６２の先端に薬液ノズル５０が設けられている。
【００６８】
モータ６０、回動軸６１およびアーム６２の内部を通るように薬液供給管６３が設けられている。薬液供給管６３は流体ボックス部２ａ〜２ｄを通って薬液キャビネット２００の薬液ボックス４００に延びている。
【００６９】
基板Ｗの薬液処理時には、モータ６０により回動軸６１が回転するとともにアーム６２が回動し、薬液ノズル５０がスピンチャック２１により保持された基板Ｗの上方に移動する。そして、薬液キャビネット２００から薬液ノズル５０に薬液が供給される。一方、薬液処理を行わない間は、薬液ノズル５０は基板Ｗの外方の所定位置に退避される。
【００７０】
また、スピンチャック２１の外方にモータ７１が設けられている。モータ７１には、回動軸７２が接続されている。回動軸７２には、アーム７３が水平方向に延びるように連結され、アーム７３の先端にリンスノズル７０が設けられている。
【００７１】
モータ７１、回動軸７２およびアーム７３の内部を通るようにリンス液供給管７４が設けられている。リンス液供給管７４は流体ボックス部２ａ〜２ｄに接続されている。
【００７２】
基板Ｗのリンス処理時には、モータ７１により回動軸７２が回転するとともにアーム７３が回動し、リンスノズル７０がスピンチャック２１により保持された基板Ｗの上方に移動する。そして、流体ボックス２ａ〜２ｄからリンスノズル７０にリンス液が供給される。一方、リンス処理を行わない間は、リンスノズル７０は基板Ｗの外方の所定位置に退避される。
【００７３】
スピンチャック２１は、処理カップ２３内に収容されている。処理カップ２３の内側には、筒状の仕切壁３３が設けられている。また、スピンチャック２１の周囲を取り囲むように、基板Ｗのリンス処理に用いられたリンス液を回収して廃棄するための廃棄空間３１が形成されている。
【００７４】
さらに、廃棄空間３１を取り囲むように、処理カップ２３と仕切壁３３との間に基板Ｗの薬液処理に用いられた薬液を回収して基板処理装置１００内で循環させるための循環液空間３２が形成されている。
【００７５】
廃棄空間３１には、図示しない廃棄設備に接続された廃棄系配管へリンス液を導くための廃棄管３４が接続されている。廃棄管３４は流体ボックス２ａ〜２ｄに延びている。
【００７６】
循環液空間３２には、薬液キャビネット２００へ回収された薬液を導くための回収管３５が接続されている。回収管３５は流体ボックス２ａ〜２ｄを通って薬液キャビネット２００の薬液ボックス４００に延びている。
【００７７】
処理カップ２３の上方には、基板Ｗからの薬液またはリンス液が外方へ飛散することを防止するためのスプラッシュガード２４が設けられている。このスプラッシュガード２４は、回転軸２５に対して回転対称な形状からなっている。スプラッシュガード２４の上端部の内面には、断面く字状の廃棄案内溝４１が環状に形成されている。
【００７８】
また、スプラッシュガード２４の下端部の内面には、外側下方に傾斜する傾斜面からなる回収液案内部４２が形成されている。回収液案内部４２の上端付近には、処理カップ２３の仕切壁３３を受け入れるための仕切壁収納溝４３が形成されている。
【００７９】
スプラッシュガード２４は、図示しないガード昇降駆動機構により上下動可能に支持されている。
【００８０】
スピンチャック２１上に基板Ｗが搬入される際、およびスピンチャック２１上から基板Ｗが搬出される際には、スプラッシュガード２４は、その上端部がスピンチャック２１の上端部よりも低くなるように移動する。
【００８１】
基板Ｗの薬液処理時には、スプラッシュガード２４は、回収液案内部４２がスピンチャック２１に保持された基板Ｗの外周端面に対向するように移動する。これにより、薬液処理時に基板Ｗから外方へ飛散した薬液が回収液案内部４２により循環液空間３２に導かれ、回収管３５を通して薬液キャビネット２００の薬液ボックス４００に送られる。
【００８２】
基板Ｗのリンス処理時には、スプラッシュガード２４は、廃棄案内溝４１がスピンチャック２１に保持された基板Ｗの外周端面に対向するように移動する。これにより、リンス処理時に基板Ｗから外方へ飛散したリンス液が廃棄案内溝４１により廃棄空間３１に導かれ、廃棄管３４を通して廃棄される。
【００８３】
洗浄処理部５ａ〜５ｄ内の各構成部の動作は、図１の制御部４により制御される。
【００８４】
（２−ｂ）  薬液キャビネット
薬液キャビネット２００において、洗浄処理部５ａ〜５ｄから薬液ボックス４００に延びる回収管３５および薬液供給管６３は、ともに薬液タンク４１０に接続されている。なお、図２において、回収管３５および薬液供給管６３には図示しないフィルタ、ポンプおよび薬液温度調整器等が介挿されている。
【００８５】
薬液タンク４１０に貯留された薬液は、薬液供給管６３を通じて洗浄処理部５ａ〜５ｄに供給され（矢印Ａ１）、薬液処理に用いられた薬液は洗浄処理部５ａ〜５ｄから回収管３５を通じて薬液タンク４１０に回収される（矢印Ａ２）。これにより、基板処理装置１００と薬液キャビネット２００との間で薬液が循環する。
【００８６】
薬液ボックス４００において、薬液供給管６３には接地継手４２０が介挿されている。接地継手４２０には棒状の炭素電極ＣＥが取り付けられている。
【００８７】
具体的には、薬液の流路を構成する接地継手４２０の内部に、炭素電極ＣＥの一端が挿入されている。これにより、炭素電極ＣＥは、その一端が接地継手４２０の内部を流れる薬液と接触する。
【００８８】
炭素電極ＣＥの他端は、接地継手４２０の外部に突出している。この状態で、炭素電極ＣＥの他端には、アース線３１０の一端が接続されている。図２では、実線で示された配管３４，３５，６３，７４と区別するために、アース線３１０を一点鎖線で示している。
【００８９】
アース線３１０は、薬液ボックス４００から制御ボックス３００の内部に延びており、その他端が制御ボックス３００内で接地されている。これにより、本実施の形態に係る基板処理装置１００においては、薬液供給管６３を流れる薬液が上記の炭素電極ＣＥにより接地される。なお、炭素電極ＣＥとしては、例えばグラッシーカーボン（登録商標：東海カーボン株式会社）が用いられる。
【００９０】
グラッシーカーボンは、優れた導電性および耐薬品性を有する。また、グラッシーカーボンは表面がガラスのように形成されており、樹脂に比べて非常に高い硬度を有する。
【００９１】
ここで、薬液キャビネット２００の外観およびその内部構造について説明する。図３は、薬液キャビネット２００の外観およびその内部構造を説明するための図である。図３（ａ）に薬液キャビネット２００の外観斜視図が示され、図３（ｂ）に薬液キャビネット２００内の概略図が示されている。
【００９２】
図３（ａ）に示すように、薬液キャビネット２００は、略直方体形状を有する。薬液キャビネット２００の上部には、薬液操作パネル２１０が設けられている。作業者は、薬液操作パネル２１０を操作することにより、図２の洗浄処理部５ａ〜５ｄへの薬液の供給条件、例えば薬液の供給量および供給する薬液の温度を調整することができる。
【００９３】
以下の説明において、薬液操作パネル２１０が設けられた薬液キャビネット２００の一面を薬液キャビネット２００の正面とする。
【００９４】
薬液キャビネット２００の側面下部には、薬液メンテナンスカバー２２０が開閉可能に取り付けられている。作業者は、薬液メンテナンスカバー２２０を開くことにより薬液ボックス４００内のメンテナンスを行うことができる。
【００９５】
制御ボックス３００の背面下部には、薬液供給管６３および回収管３５が接続されている。
【００９６】
図３（ｂ）に示すように、薬液キャビネット２００の内部では、制御ボックス３００および薬液ボックス４００が上下に積層された状態で配置されている。
【００９７】
これら制御ボックス３００および薬液ボックス４００は、それぞれ図示しない壁部材によりその内部空間が密閉された構造を有する。したがって、制御ボックス３００の内部雰囲気と薬液ボックス４００の内部雰囲気とは、確実に遮断されている。
【００９８】
（３）  薬液キャビネット内の薬液供給系
図４は、図３の薬液キャビネット２００の縦線断面図である。図４に示すように、薬液キャビネット２００の内部において、制御ボックス３００および薬液ボックス４００のそれぞれの内部雰囲気は、隔壁３４０により確実に遮断されている。制御ボックス３００には、図示しない制御部および電気系統（電子機器、電気配線等）が収納されている。
【００９９】
薬液ボックス４００においては、図４では図示しない薬液タンク４１０（図２）に貯留された薬液が、トラップタンク４３０に供給される（矢印Ｆ１）。トラップタンク４３０に供給された薬液は、直管４３１，４３２，４３３およびそれらを連結する２個の継手を通して接地継手４２０に送られる（矢印Ｆ２）。
【０１００】
接地継手４２０には、上述のように炭素電極ＣＥの一端が挿入されている。接地継手４２０から突出する炭素電極ＣＥの他端は、アース線保護ブロック５００に挿入され、その内部でアース線３１０と接続されている。アース線保護ブロック５００には、アース線保護チューブ１０が接続されている。アース線保護チューブ１０は、フッ素樹脂からなる。
【０１０１】
炭素電極ＣＥの他端に接続されたアース線３１０は、薬液ボックス４００から制御ボックス３００の内部へ延びるアース線保護チューブ１０の内部を通って制御ボックス３００内の図示しない接地端子に接続されている。
【０１０２】
これにより、接地継手４２０に送られた薬液は、炭素電極ＣＥの一端に接触することにより炭素電極ＣＥおよびアース線３１０を通して除電される。接地継手４２０において、除電された薬液は直管４３４を通してフィルタ４４０に送られる（矢印Ｆ３）。
【０１０３】
フィルタ４４０によりろ過された薬液は、直管４３５を通してさらに図示しない他の配管に送られる（矢印Ｆ４）。このようにして、薬液タンク４１０内の薬液が流体ボックス２ａ〜２ｄ（図２）を通して洗浄処理部５ａ〜５ｄ（図２）に送られる。
【０１０４】
これにより、洗浄処理部５ａ〜５ｄでは、基板Ｗの処理に用いられる薬液が除電されているので、帯電する薬液が基板Ｗに供給されることによる基板の処理不良が防止される。
【０１０５】
上記のトラップタンク４３０、直管４３１〜４３５、フィルタ４４０および複数の継手が図２の薬液供給管６３を構成する。これらの構成部材は、フッ素樹脂により形成されている。
【０１０６】
上述のように、作業者は、薬液キャビネット２００の側面下部に設けられた薬液メンテナンスカバー２２０を開くことにより、薬液ボックス４００内部のメンテナンスを行う。
【０１０７】
薬液ボックス４００のメンテナンス時には、例えば図２の薬液タンク４１０が開放される。薬液タンク４１０が開放されると、その内部に貯留された薬液が蒸発する。そのため、薬液タンク４１０の開放を伴うメンテナンス時においては、薬液ボックス４００の内部に薬液雰囲気が発生する場合がある。
【０１０８】
この場合においても、薬液キャビネット２００内では、制御ボックス３００の内部雰囲気と薬液ボックス４００の内部雰囲気とが確実に遮断されているので、制御ボックス３００内には薬液雰囲気が浸入しない。
【０１０９】
これにより、制御ボックス３００内に設けられた図示しない制御部および電気系統は、薬液ボックス４００の内部で薬液雰囲気が発生しても、その薬液雰囲気の影響を受けることが防止されている。
【０１１０】
（４）  炭素電極の周辺構造
図４の炭素電極ＣＥの周辺構造について詳細を説明する。
【０１１１】
図５は図４の接地継手４２０およびアース線保護ブロック５００に炭素電極ＣＥを取り付ける際の取り付け手順を示す図であり、図６は図４の接地継手４２０に取り付けられた炭素電極ＣＥおよびその周辺部材の構造を示す図である。図５および図６では、炭素電極ＣＥの周辺部材の一部が断面図で示されている。
【０１１２】
図５（ａ）に示すように、炭素電極ＣＥには種々の部材が取り付けられる。以下の説明において、接地継手４２０に挿入される炭素電極ＣＥの端部を一端部Ｅ１と称し、アース線３１０と接続される炭素電極ＣＥの端部を他端部Ｅ２と称する。
【０１１３】
本実施の形態に係る炭素電極ＣＥの略中央部には、第１の溝部ｄ１が形成されている。第１の溝部ｄ１から他端部Ｅ２側へ所定の間隔で離間した位置に第２の溝部ｄ２が形成されている。炭素電極ＣＥにおいて、第１の溝部ｄ１および第２の溝部ｄ２は、他の部位に比べてやや径小となっている。また、炭素電極ＣＥの他端部Ｅ２には、接続孔ＨＣが形成されている。
【０１１４】
初めに、矢印ｖ１で示すように、第１の溝部ｄ１にストッパリングＳＲを取り付ける。ストッパリングＳＲは、フッ素樹脂からなる。ストッパリングＳＲの内径は第１の溝部ｄ１の外径とほぼ同じであり、ストッパリングＳＲの一部には切り欠きＫが形成されている。図５（ａ）では、ストッパリングＳＲの形状を明瞭とするために、ストッパリングＳＲの断面および側面図が示されている。
【０１１５】
第１の溝部ｄ１にストッパリングＳＲを取り付けると、ストッパリングＳＲの外周面が炭素電極ＣＥの外周面から突出する。
【０１１６】
続いて、フッ素樹脂からなる第１および第２のユニオンナット５１０，５２０を用意する。これらの第１および第２のユニオンナット５１０，５２０は、それぞれねじ込み開口部５１２，５２２および電極挿通孔５１１，５２１を有する。電極挿通孔５１１，５２１の内径は、炭素電極ＣＥの外径とほぼ等しい。
【０１１７】
矢印ｖ２，ｖ３で示すように、炭素電極ＣＥの他端部Ｅ２側から第１および第２のユニオンナット５１０，５２０を取り付ける。この取り付け時には、第１のユニオンナット５１０における電極挿通孔５１１の形成面（以下、第１のナット面５１１Ｓと呼ぶ）と、第２のユニオンナット５２０における電極挿通孔５２１の形成面（以下、第２のナット面５２１Ｓと呼ぶ）とを互いに対向させる。
【０１１８】
この状態で、図５（ｂ）に示すように、第１および第２のユニオンナット５１０，５２０を炭素電極ＣＥの第１および第２の溝部ｄ１，ｄ２の間に移動させる。そして、矢印ｖ４で示すように、第２の溝部ｄ２にストッパリングＳＲを取り付ける。第２の溝部ｄ２においてもストッパリングＳＲの外周面が炭素電極ＣＥの外周面から突出する。
【０１１９】
これにより、第１および第２のユニオンナット５１０，５２０の移動が炭素電極ＣＥの第１の溝部ｄ１と第２の溝部ｄ２との間で規制される。この状態で、矢印ｖ５で示すように、炭素電極ＣＥの一端部Ｅ１側から接続樹脂（フェルール）ＦＥを取り付ける。また、矢印ｖ６で示すように、炭素電極ＣＥの他端部Ｅ２側からも接続樹脂ＦＥを取り付ける。本実施の形態では、接続樹脂ＦＥはフッ素樹脂である。
【０１２０】
図５（ｃ）に示すように、接地継手４２０は一体的に形成された突出部４２３を有する。この突出部４２３には、接地継手４２０内の流路空間４２１と、接地継手４２０の外部空間とを連通させる貫通孔４２２が形成されている。この貫通孔４２２に上記の炭素電極ＣＥの一端部Ｅ１を挿入する。
【０１２１】
突出部４２３の外周面にはねじ切り加工が施されている。これにより、突出部４２３が雄ねじとなる。そこで、矢印ｖ７で示すように、突出部４２３に第１のユニオンナット５１０（雌ねじ）を締め付ける。この場合、第１のユニオンナット５１０は、第１のナット面５１１ＳによりストッパリングＳＲおよび接続樹脂ＦＥを接地継手４２０に向かって押圧する。
【０１２２】
これにより、突出部４２３の端部と炭素電極ＣＥに取り付けられたストッパリングＳＲとの間で接続樹脂ＦＥが圧縮され、変形する。それにより、接地継手４２０内部の流路空間４２１と接地継手４２０の外部空間との連通状態が完全に遮断される。すなわち、流路空間４２１を流れる薬液が接地継手４２０から外部に漏れ出すことが完全に防止される。このようにして、接地継手４２０に炭素電極ＣＥの一端部Ｅ１が挿入される。
【０１２３】
図５（ｃ）の矢印ｖ８で示すように、炭素電極ＣＥの他端部Ｅ２に形成された接続孔ＨＣにアース線３１０の芯線３１１を接続する。なお、アース線３１０は、芯線３１１およびそれを被覆する被覆チューブにより構成される。本実施の形態では、芯線３１１として例えば銅線が用いられる。また、芯線３１１を被覆する材料（被覆チューブ）として例えば塩化ビニルが用いられる。
【０１２４】
アース線保護ブロック５００はフッ素樹脂からなる。アース線保護ブロック５００は一体的に形成された突出部６０１を有し、その突出部６０１の内部を通るようにアースガイド孔５９０が形成されている。突出部６０１の端部には、アースガイド孔５９０の一部を構成する開口部６０１Ｐが形成されている。以下の説明では、アースガイド孔５９０の内部空間を接続部保護空間ＩＳと呼ぶ。
【０１２５】
アース線３１０の芯線３１１が接続された炭素電極ＣＥの他端部Ｅ２を、開口部６０１Ｐから接続部保護空間ＩＳ内に挿入する。
【０１２６】
突出部６０１の外周面にはねじ切り加工が施されている。これにより、突出部６０１は雄ねじとなる。そこで、矢印ｖ９で示すように、突出部６０１に第２のユニオンナット５２０（雌ねじ）を締め付ける。この場合、第２のユニオンナット５２０は、第２のナット面５２１ＳによりストッパリングＳＲおよび接続樹脂ＦＥをアース線保護ブロック５００に向かって押圧する。
【０１２７】
これにより、突出部６０１の端部と炭素電極ＣＥに取り付けられたストッパリングＳＲとの間で接続樹脂ＦＥが圧縮され、変形する。それにより、アース線保護ブロック５００内部の接続部保護空間ＩＳとアース線保護ブロック５００の外部空間との連通状態が完全に遮断され、接続部保護空間ＩＳが密閉状態になる。
【０１２８】
すなわち、アース線保護ブロック５００の外部空間の雰囲気が、アース線保護ブロック５００内部の接続部保護空間ＩＳに浸入することが完全に防止される。
【０１２９】
アース線保護ブロック５００には、突出部６０１と異なる部位に、チューブ接続部５９１が形成されている。チューブ接続部５９１には、フッ素樹脂製のナット５９２によりアース線保護チューブ１０が接続される。
【０１３０】
これにより、アース線保護ブロック５００の接続部保護空間ＩＳと、アース線保護チューブ１０の内部空間とが連通する。また、接続部保護空間ＩＳおよびアース線保護チューブ１０の内部空間とアース線保護ブロック５００の外部空間との連通状態が完全に遮断される。
【０１３１】
図６に示すように、アース線保護ブロック５００に接続されたアース線保護チューブ１０は、隔壁３４０に取り付けられた雰囲気遮断部材３４１を通して制御ボックス３００の内部空間まで延びている。
【０１３２】
炭素電極ＣＥに接続されたアース線３１０は、接続部保護空間ＩＳおよびアース線保護チューブ１０の内部を通って制御ボックス３００（図２）内の図示しない接地端子に接続される。
【０１３３】
（５）  効果
（５−ａ）  薬液の除電についての効果
本実施の形態に係る基板処理装置１００においては、洗浄処理部５ａ〜５ｄに供給される薬液が炭素電極ＣＥおよびアース線３１０を通して除電される。これにより、帯電する薬液が基板Ｗに供給されることによる基板Ｗの処理不良が十分に防止される。
【０１３４】
（５−ｂ）  炭素電極の固定についての第１の効果
薬液タンク４１０の開放を伴う薬液ボックス４００のメンテナンス時には、薬液ボックス４００の内部に薬液雰囲気が発生する。したがって、このような薬液雰囲気がアース線３１０の芯線３１１に接触すると、芯線３１１が腐食するおそれがある。
【０１３５】
これに対して、本実施の形態では、第２のユニオンナット５２０をアース線保護ブロック５００の突出部６０１に締め付ける際に、接続樹脂ＦＥが圧縮され、変形する。これにより、アース線保護ブロック５００内部の接続部保護空間ＩＳとアース線保護ブロック５００の外部空間との連通状態が完全に遮断される。
【０１３６】
それにより、薬液雰囲気が炭素電極ＣＥとアース線３１０との接続部に接触することが確実に防止される。その結果、アース線３１０の長寿命化が実現される。
【０１３７】
（５−ｃ）  炭素電極の固定についての第２の効果
炭素電極ＣＥとして用いられるグラッシーカーボンは、本実施の形態において用いられる、ＰＴＦＥまたはＰＦＡ等のフッ素樹脂に比べて非常に高い硬度を有し、塑性変形が生じにくい。
【０１３８】
このように、高い硬度を有する材料（グラッシーカーボン）を、その硬度よりも著しく低い硬度を有する材料（フッ素樹脂）に取り付ける場合、低い硬度を有する材料が変形しやすい。したがって、本来、炭素電極ＣＥをフッ素樹脂からなる部材に取り付けるとともに、固定することは非常に困難である。
【０１３９】
本実施の形態では、炭素電極ＣＥに第１の溝部ｄ１および第２の溝部ｄ２が形成されている。そして、第１の溝部ｄ１および第２の溝部ｄ２にストッパリングＳＲが取り付けられることにより、炭素電極ＣＥの外周面にストッパリングＳＲの突出部分が形成される。
【０１４０】
そして、第１のユニオンナット５１０を接地継手４２０の突出部４２３に締め付けることにより、第１のナット面５１１ＳでストッパリングＳＲの突出部分を容易に押圧することができる。それにより、高い硬度を有する炭素電極ＣＥが、低い硬度を有する接地継手４２０に確実に固定される。
【０１４１】
また、第２のユニオンナット５２０をアース線保護ブロック５００の突出部６０１に締め付けることにより、第２のナット面５２１ＳでストッパリングＳＲの突出部分を容易に押圧することができる。それにより、高い硬度を有する炭素電極ＣＥが低い硬度を有するアース線保護ブロック５００に確実に固定される。
【０１４２】
（５−ｄ）  炭素電極の固定についての第３の効果
上記に加え、本実施の形態では、第１のユニオンナット５１０を接地継手４２０の突出部４２３に締め付ける際に、接続樹脂ＦＥが圧縮され、変形する。これにより、接地継手４２０内部の流路空間４２１と接地継手４２０の外部空間との連通状態が完全に遮断される。それにより、流路空間４２１を流れる薬液が接地継手４２０から外部に漏れ出すことが完全に防止される。
【０１４３】
（５−ｅ）  アース線保護チューブの効果
薬液ボックス４００内において、アース線３１０は、フッ素樹脂により形成されたアース線保護ブロック５００およびアース線保護チューブ１０の内部に収容されている。
【０１４４】
これにより、薬液ボックス４００の内部で薬液雰囲気が発生する場合でも、発生した薬液雰囲気がアース線３１０の芯線３１１に接触することが確実に防止される。その結果、アース線３１０の長寿命化が実現される。
【０１４５】
（６）  他の例
薬液を除電するために用いる電極は、炭素電極ＣＥに限られず、導電性および耐薬品性を有する材料により形成されたものであればよい。例えば、導電性を有する樹脂材料により形成されてもよい。
【０１４６】
アース線３１０の芯線３１１の材料としては、銅に限らず、導電性を有する材料を用いることができる。例えば、銅を含む合金を用いてもよいし、銀およびアルミニウムまたはこれらのいずれかを含む合金等を用いてもよい。
【０１４７】
本実施の形態では、薬液キャビネット２００内で薬液が除電されるように、薬液供給管６３に介挿された接地継手４２０に炭素電極ＣＥが取り付けられているが、炭素電極ＣＥを取り付ける箇所はこれに限定されない。
【０１４８】
例えば、薬液キャビネット２００の内部において、炭素電極ＣＥは、薬液の流路を構成する薬液タンク４１０に取り付けてもよいし、薬液に関する配管、フィルタ、バルブ、流量計、レギュレータ、ポンプ、温度調整器等の流体関連機器であればいずれの箇所に取り付けてもよい。さらに、炭素電極ＣＥは、基板処理装置１００の内部における薬液供給管６３または回収管３５に取り付けてもよい。
【０１４９】
さらに、本実施の形態では、洗浄処理部５ａ〜５ｄに供給される薬液を除電するための構成を説明したが、上記構成は洗浄処理部５ａ〜５ｄに供給されるリンス液を除電するために用いることもできる。
【０１５０】
この場合、例えば流体ボックス２ａ〜２ｄにおいて、洗浄処理部５ａ〜５ｄにリンス液を供給するリンス液供給管７４の流路に炭素電極ＣＥを取り付ける。そして、炭素電極ＣＥをアース線３１０を用いて接地する。これにより、帯電するリンス液が基板Ｗに供給されることによる基板Ｗの処理不良が十分に防止される。
【０１５１】
＜２＞  第２の実施の形態
以下、第２の実施の形態に係る処理液供給装置およびそれを備える基板処理装置について第１の実施の形態と異なる点を説明する。
【０１５２】
本実施の形態では、炭素電極ＣＥとアース線３１０との接続部周辺の構造が第１の実施の形態と異なる。
【０１５３】
図７は、第２の実施の形態における炭素電極ＣＥとアース線３１０との接続部周辺の構造を示す図である。図７においても、炭素電極ＣＥの周辺部材の一部が断面図で示されている。なお、炭素電極ＣＥの一端部Ｅ１側の周辺構造については説明を省略する。
【０１５４】
図７（ａ）にアース線保護ブロック５００Ｂに炭素電極ＣＥを取り付ける際の取り付け手順が示されている。図７（ａ）に示すように、アース線保護ブロック５００Ｂには突出部６０２が形成されている。
【０１５５】
その突出部６０２の内部を通るようにアースガイド孔５９０が形成されている。突出部６０２は、その内部でねじ切り加工が施されたねじ受け部ＴＮ１およびねじ受け部ＴＮ１に隣接するように形成された押圧孔部ＳＢ１を有する。
【０１５６】
これにより、突出部６０２のねじ受け部ＴＮ１が雌ねじとなる。押圧孔部ＳＢ１の内周面には、テーパ状の段差が形成されている。突出部６０２の端部には、アースガイド孔５９０の一部を構成する開口部６０２Ｐが形成されている。
【０１５７】
本実施の形態において、炭素電極ＣＥをアース線保護ブロック５００Ｂに取り付ける際には、第１の実施の形態において用いられた第２のユニオンナット５２０に代えて管用テーパねじ５３０が用いられる。
【０１５８】
管用テーパねじ５３０は押圧部５３１、テーパ部５３２およびねじ頭部５３３からなる。テーパ部５３２は、ねじ頭部５３３から押圧部５３１にかけて漸次径小となるように形成されるとともに、その外周面にねじ切り加工が施されている。管用テーパねじ５３０の内部には、その軸心に沿って炭素電極ＣＥの外径とほぼ同じ内径を有する貫通孔が形成されている。
【０１５９】
まず、矢印ｘ１で示すように、炭素電極ＣＥに形成された第３の溝部ｄ３にストッパリングＳＲを取り付ける。そして、矢印ｘ２で示すように、炭素電極ＣＥの他端部Ｅ２側から接続樹脂ＦＥを取り付ける。
【０１６０】
この状態で、矢印ｘ３で示すように、炭素電極ＣＥの他端部Ｅ２に形成された接続孔ＨＣにアース線３１０の芯線３１１を接続する。
【０１６１】
そして、炭素電極ＣＥに管用テーパねじ５３０を取り付け、アース線３１０の芯線３１１が接続された炭素電極ＣＥの他端部Ｅ２を、開口部６０２Ｐから接続部保護空間ＩＳ内に挿入する。
【０１６２】
矢印ｘ４で示すように、突出部６０２のねじ受け部ＴＮ１（雌ねじ）に管用テーパねじ５３０（雄ねじ）を締め付ける。この場合、管用テーパねじ５３０は、押圧部５３１によりストッパリングＳＲおよび接続樹脂ＦＥをアース線保護ブロック５００Ｂに向かって押圧する。
【０１６３】
これにより、突出部６０２の押圧孔部ＳＢ１の端部と炭素電極ＣＥに取り付けられたストッパリングＳＲとの間で接続樹脂ＦＥが圧縮され、変形する。それにより、アース線保護ブロック５００Ｂ内部の接続部保護空間ＩＳとアース線保護ブロック５００Ｂの外部空間との連通状態が完全に遮断され、接続部保護空間ＩＳが密閉状態となる。
【０１６４】
また、管用テーパねじ５３０は、ねじ受け部ＴＮ１にねじ込まれることにより、貫通孔に挿入された炭素電極ＣＥの外周面をその軸心に向かって押圧する。これにより、管用テーパねじ５３０の内部で炭素電極ＣＥが確実に固定される。すなわち、炭素電極ＣＥとアース線保護ブロック５００Ｂとが確実に固定される。
【０１６５】
上記のようにしてアース線保護ブロック５００Ｂに炭素電極ＣＥが取り付けられた状態が図７（ｂ）に示されている。
【０１６６】
上記構成により、本実施の形態においても、薬液雰囲気が炭素電極ＣＥとアース線３１０との接続部に接触することが確実に防止される。その結果、アース線３１０の長寿命化が実現される。
【０１６７】
本実施の形態では、炭素電極ＣＥとアース線３１０との接続部周辺の構造について説明したが、接地継手４２０（図６）に挿入される炭素電極ＣＥの一端部Ｅ１周辺の構造も上記と同じである。これにより、接地継手４２０の流路空間４２１（図６）を流れる薬液が外部に漏れ出すことが確実に防止される。
【０１６８】
＜３＞  第３の実施の形態
以下、第３の実施の形態に係る処理液供給装置およびそれを備える基板処理装置について第２の実施の形態と異なる点を説明する。
【０１６９】
本実施の形態では、炭素電極ＣＥの構造、炭素電極ＣＥとアース線３１０との接続部周辺の構造が第２の実施の形態と異なる。
【０１７０】
図８は、第３の実施の形態における炭素電極ＣＥとアース線３１０との接続部周辺の構造を示す図である。図８においても、炭素電極ＣＥの周辺部材の一部が断面図で示されている。なお、炭素電極ＣＥの一端部Ｅ１側の周辺構造については説明を省略する。
【０１７１】
図８（ａ）にアース線保護ブロック５００Ｃに炭素電極ＣＥを取り付ける際の取り付け手順が示されている。
【０１７２】
図８（ａ）に示すように、本実施の形態で用いられる炭素電極ＣＥには、溝部が形成されていない。炭素電極ＣＥの他端部Ｅ２には、接続孔ＨＣが形成されている。
【０１７３】
アース線保護ブロック５００Ｃには突出部６０３が形成されている。その突出部６０３の内部を通るようにアースガイド孔５９０が形成されている。突出部６０３は、内部にねじ切り加工が施されたねじ受け部ＴＮ２およびねじ受け部ＴＮ２に隣接するように形成された押圧孔部ＳＢ２を有する。これにより、突出部６０３のねじ受け部ＴＮ２の内周面が雌ねじとなる。
【０１７４】
これらのねじ受け部ＴＮ２および押圧孔部ＳＢ２の外周面には、ねじ切り加工が施されている。これにより、突出部６０３のねじ受け部ＴＮ２および押圧孔部ＳＢ２の外周面が雄ねじとなる。突出部６０３の端部には、アースガイド孔５９０の一部を構成する開口部６０３Ｐが形成されている。
【０１７５】
本実施の形態において、炭素電極ＣＥをアース線保護ブロック５００Ｃに取り付ける際には、第１の実施の形態において用いられた管用テーパねじ５３０に加えて第３のユニオンナット５４０が用いられる。第３のユニオンナット５４０は、ねじ込み開口部５４２および電極挿通孔５４１を有する。電極挿通孔５４１の内径は炭素電極ＣＥの外径とほぼ等しい。以下の説明において、第３のユニオンナット５４０における電極挿通孔５４１の形成面を第３のナット面５４１Ｓと呼ぶ。
【０１７６】
まず、矢印ｙ１で示すように、炭素電極ＣＥの他端部Ｅ２側から接続樹脂ＦＥを取り付ける。この状態で、矢印ｙ２で示すように、炭素電極ＣＥの他端部Ｅ２に形成された接続孔ＨＣにアース線３１０の芯線３１１を接続する。
【０１７７】
そして、炭素電極ＣＥに管用テーパねじ５３０を取り付け、アース線３１０の芯線３１１が接続された炭素電極ＣＥの他端部Ｅ２を、開口部６０３Ｐから接続部保護空間ＩＳ内に挿入する。
【０１７８】
矢印ｙ３で示すように、突出部６０３のねじ受け部ＴＮ２の内周面（雌ねじ）に管用テーパねじ５３０（雄ねじ）を締め付ける。この場合、管用テーパねじ５３０は、押圧部５３１により接続樹脂ＦＥをアース線保護ブロック５００Ｃに向かって押圧する。また、管用テーパねじ５３０は、ねじ受け部ＴＮ２にねじ込まれることにより、貫通孔に挿入された炭素電極ＣＥの外周面をその軸心に向かって押圧する。
【０１７９】
この状態で、矢印ｙ４で示すように、突出部６０３のねじ受け部ＴＮ２および押圧孔部ＳＢ２の外周面（雄ねじ）に第３のユニオンナット５４０（雌ねじ）を締め付ける。この場合、第３のユニオンナット５４０は、第３のナット面５４１Ｓにより管用テーパねじ５３０のねじ頭部５３３をアース線保護ブロック５００Ｃに向かって押圧する。
【０１８０】
上記のように、本実施の形態においては、管用テーパねじ５３０および第３のユニオンナット５４０が接続樹脂ＦＥをアース線保護ブロック５００Ｃに向かって押圧する。これにより、突出部６０３の押圧孔部ＳＢ２の端部と管用テーパねじ５３０との間で接続樹脂ＦＥが圧縮され、変形する。それにより、アース線保護ブロック５００Ｃ内部の接続部保護空間ＩＳとアース線保護ブロック５００Ｃの外部空間との連通状態が完全に遮断され、接続部保護空間ＩＳが密閉状態になる。
【０１８１】
また、管用テーパねじ５３０は、炭素電極ＣＥの外周面を押圧した状態で第３のユニオンナット５４０によりそのねじ頭部５３３が押圧されている。これにより、管用テーパねじ５３０の突出部６０３への締め付け状態が確実に維持される。その結果、管用テーパねじ５３０の内部で炭素電極ＣＥが確実に固定される。すなわち、炭素電極ＣＥとアース線保護ブロック５００Ｃとが確実に固定される。
【０１８２】
上記のようにしてアース線保護ブロック５００Ｃに炭素電極ＣＥが取り付けられた状態が図８（ｂ）に示されている。
【０１８３】
上記構成により、本実施の形態においても、薬液雰囲気が炭素電極ＣＥとアース線３１０との接続部に接触することが確実に防止される。その結果、アース線３１０の長寿命化が実現される。
【０１８４】
本実施の形態では、炭素電極ＣＥとアース線３１０との接続部周辺の構造について説明したが、接地継手４２０（図６）に挿入される炭素電極ＣＥの一端部Ｅ１周辺の構造も上記と同じである。これにより、接地継手４２０の流路空間４２１（図６）を流れる薬液が外部に漏れ出すことが確実に防止される。
【０１８５】
＜４＞  第４の実施の形態
以下、第４の実施の形態に係る処理液供給装置およびそれを備える基板処理装置について第２の実施の形態と異なる点を説明する。
【０１８６】
本実施の形態では、炭素電極ＣＥの構造、および炭素電極ＣＥとアース線３１０との接続部周辺の構造が第２の実施の形態と異なる。
【０１８７】
図９は、第４の実施の形態における炭素電極ＣＥとアース線３１０との接続部周辺の構造を示す図である。図９においても、炭素電極ＣＥの周辺部材の一部が断面図で示されている。なお、炭素電極ＣＥの一端部Ｅ１側の周辺構造については説明を省略する。
【０１８８】
図９（ａ）にアース線保護ブロック５００Ｄに炭素電極ＣＥを取り付ける際の取り付け手順が示されている。
【０１８９】
図９（ａ）に示すように、本実施の形態で用いられる炭素電極ＣＥは、テーパねじＪが一体成形されている。このテーパねじＪは、押圧部ｊ１、テーパ部ｊ２およびねじ頭部ｊ３からなる。テーパ部ｊ２は、ねじ頭部ｊ３から押圧部ｊ１にかけて漸次径小となるように形成されるとともに、その外周面にねじ切り加工が施されている。これにより、テーパ部ｊ２が雄ねじとなる。
【０１９０】
アース線保護ブロック５００Ｄには突出部６０４が形成されている。その突出部６０４の内部を通るようにアースガイド孔５９０が形成されている。突出部６０４は、その内部でねじ切り加工が施されたねじ受け部ＴＮ３およびねじ受け部ＴＮ３に隣接するように形成された押圧孔部ＳＢ３を有する。
【０１９１】
これにより、突出部６０４のねじ受け部ＴＮ３が雌ねじとなる。突出部６０４の端部には、アースガイド孔５９０の一部を構成する開口部６０４Ｐが形成されている。
【０１９２】
まず、矢印ｚ１で示すように、炭素電極ＣＥのテーパ部ｊ２にシールテープ６００を巻回する。このシールテープ６００は、フッ素樹脂からなる。
【０１９３】
また、矢印ｚ２で示すように、炭素電極ＣＥの他端部Ｅ２に形成された接続孔ＨＣにアース線３１０の芯線３１１を接続する。
【０１９４】
そして、矢印ｚ３で示すように、アース線３１０の芯線３１１が接続された炭素電極ＣＥの他端部Ｅ２を開口部６０４Ｐから接続部保護空間ＩＳ内に挿入し、突出部６０４のねじ受け部ＴＮ３（雌ねじ）にテーパねじＪ（雄ねじ）を締め付ける。
【０１９５】
これにより、炭素電極ＣＥのテーパ部ｊ２に巻回されたシールテープ６００により、アース線保護ブロック５００Ｄ内部の接続部保護空間ＩＳとアース線保護ブロック５００Ｄの外部空間との連通状態が完全に遮断され、接続部保護空間ＩＳが密閉状態になる。
【０１９６】
上記のようにしてアース線保護ブロック５００Ｄに炭素電極ＣＥが取り付けられた状態が図９（ｂ）に示されている。
【０１９７】
上記構成により、本実施の形態においても、薬液雰囲気が炭素電極ＣＥとアース線３１０との接続部に接触することが確実に防止される。その結果、アース線３１０の長寿命化が実現される。
【０１９８】
また、炭素電極ＣＥにテーパねじＪが一体形成されているので、テーパねじＪを突出部６０４に締め付けることにより、炭素電極ＣＥとアース線保護ブロック５００Ｄとが確実に固定される。
【０１９９】
本実施の形態では、炭素電極ＣＥとアース線３１０との接続部周辺の構造について説明したが、接地継手４２０（図６）に挿入される炭素電極ＣＥの一端部Ｅ１周辺の構造も上記と同じである。これにより、接地継手４２０の流路空間４２１（図６）を流れる薬液が外部に漏れ出すことが確実に防止される。
【０２００】
＜５＞  請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応関係
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。
【０２０１】
上記各実施の形態においては、薬液供給管６３、回収管３５およびリンス液供給管７４が処理液供給路の例であり、接地継手４２０が流路形成部材の例であり、炭素電極ＣＥが接液棒の例であり、アース線保護ブロック５００，５００Ｂ，５００Ｃ，５００Ｄがカバー部材の例であり、第２のユニオンナット５２０、管用テーパねじ５３０、第３のユニオンナット５４０、テーパねじＪが螺合部材の例であり、接続樹脂ＦＥおよびシールテープ６００がシール部材の例である。
【０２０２】
また、隔壁３４０の雰囲気遮断部材３４１の取り付け部分がアース線挿通口の例であり、薬液ボックス４００が収容室の例であり、アース線保護チューブ１０が保護管の例であり、第２の溝部ｄ２が径小部の例であり、ストッパリングＳＲが環状部材の例である。
【０２０３】
さらに、管用テーパねじ５３０のテーパ部５３２がテーパ雄ねじ部の例であり、突出部６０２，６０３，６０４のそれぞれのねじ受け部ＴＮ１，ＴＮ２，ＴＮ３の内周面がテーパ雌ねじ部の例であり、テーパねじＪのテーパ部ｊ２が雄ねじ部の例であり。突出部６０４のねじ受け部ＴＮ３の内周面が雌ねじ部の例である。
【０２０４】
請求項の各構成要素として、請求項に記載されている構成または機能を有する他の種々の要素を用いることもできる。
【産業上の利用可能性】
【０２０５】
本発明は、半導体ウェハ、フォトマスク用ガラス基板、液晶表示装置用ガラス基板、光ディスク用ガラス基板等の基板製造等のために利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【０２０６】
【図１】第１の実施の形態に係る基板処理装置の平面図である。
【図２】図１の洗浄処理部および薬液キャビネットの構成を説明するための図である。
【図３】図１の薬液キャビネットの外観およびその内部構造を説明するための図である。
【図４】図３の薬液キャビネットの縦断面図である。
【図５】図４の接地継手およびアース線保護ブロックに炭素電極を取り付ける際の取り付け手順を示す図である。
【図６】図４の接地継手に取り付けられた炭素電極およびその周辺部材の構造を示す図である。
【図７】第２の実施の形態における炭素電極とアース線との接続部周辺の構造を示す図である。
【図８】第３の実施の形態における炭素電極とアース線との接続部周辺の構造を示す図である。
【図９】第４の実施の形態における炭素電極とアース線との接続部周辺の構造を示す図である。
【符号の説明】
【０２０７】
１０  アース線保護チューブ
３５  回収管
６３  薬液供給管
７４  リンス液供給管
１００  基板処理装置
２００  薬液キャビネット
３４０  隔壁
３４１  雰囲気遮断部材
４００  薬液ボックス
４２０  接地継手
５００，５００Ｂ，５００Ｃ，５００Ｄ  アース線保護ブロック
５２０  第２のユニオンナット
５３０  管用テーパねじ
５３２  テーパ部
５４０  第３のユニオンナット
６００  シールテープ
６０２，６０３，６０４  突出部
ＣＥ  炭素電極
ｄ２  第２の溝部
ＦＥ  接続樹脂
Ｊ  テーパねじ
ｊ２  テーパ部
ＳＲ  ストッパリング
ＴＮ１，ＴＮ２，ＴＮ３  ねじ受け部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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