(57)【要約】      （修正有）【課題】カラーフィルタの欠陥検査を行うことができるパラメータ調整方法を提供する。【解決手段】Ｒ着色部、Ｇ着色部及びＢ着色部の着色部と、ブラックマトリックス部を有するカラーフィルタの欠陥検査におけるパラメータ調整方法において、各着色部とＲ着色部、Ｇ着色部、Ｂ着色部に濃淡強調を行う際の濃淡強調幅をそれぞれ対応づけて記憶する記憶制御工程Ｓ１１と記憶手段を参照してカラーフィルタのＲ着色部、Ｇ着色部、Ｂ着色部のうちの観察対象となる着色部に対応づけて記憶された成分画像データを抽出する工程Ｓ１５と記憶手段を参照して抽出した成分画像データに対応付けて記憶されたＲ着色部、Ｇ着色部、Ｂ着色部、ブラックマトリックス部の階調順位を取得する工程Ｓ２７と階調順位に基づいて観察対象となる着色部のみに濃淡強調幅を用いて濃淡強調を行う工程Ｓ２８と濃淡強調を行った成分画像データを表示する表示工程Ｓ２９とを有する。【選択図】図７
2008039468.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｒ着色部、Ｇ着色部及びＢ着色部の着色部と、ブラックマトリックス部を有するカラーフィルタの欠陥検査におけるパラメータ調整方法において、
前記カラーフィルタの欠陥箇所をカメラにて撮影し、Ｒ、Ｇ、Ｂの３原色に分解されたＲ成分画像データ、Ｇ成分画像データ、Ｂ成分画像データを取得する成分画像データ取得工程と、
前記カラーフィルタの各着色部と、前記取得された各成分画像データの中から前記各着色部及び前記ブラックマトリックス部を階調値によって区分可能な成分画像データをそれぞれ対応づけて記憶手段に記憶し、かつ、前記各成分画像データと、前記各成分画像データに応じた前記Ｒ着色部、Ｇ着色部、Ｂ着色部、ブラックマトリックス部の階調順位をそれぞれ対応づけて前記記憶手段に記憶し、かつ、前記カラーフィルタの各着色部と、前記Ｒ着色部、Ｇ着色部、Ｂ着色部に濃淡強調を行う際の濃淡強調幅をそれぞれ対応づけて前記記憶手段に記憶する記憶制御工程と、
前記記憶手段を参照して、前記カラーフィルタのＲ着色部、Ｇ着色部、Ｂ着色部のうちの観察対象となる着色部に対応づけて記憶された前記成分画像データを抽出する成分画像データ抽出工程と、
前記記憶手段を参照して、前記抽出した成分画像データに対応付けて記憶されたＲ着色部、Ｇ着色部、Ｂ着色部、ブラックマトリックス部の階調順位を取得する階調順位取得工程と、
前記階調順位に基づいて観察対象となる着色部のみに前記濃淡強調幅を用いて濃淡強調を行う濃淡強調工程と、
前記濃淡強調を行った成分画像データを表示する表示工程と、
を有することを特徴とするカラーフィルタの欠陥検査におけるパラメータ調整方法。
【請求項２】
請求項１に記載のカラーフィルタの欠陥検査におけるパラメータ調整方法において、
前記記憶制御工程は、更に各成分画像データの総画素数に対して階調値が飽和している飽和画素数の比率と、前記飽和画素数の比率に応じた光量調整値を対応づけて前記記憶手段に記憶し、
前記カメラにて撮影した検査画像データにより取得した成分画像データの飽和画素数を計算し、前記飽和画素数の比率を算出する飽和画素数比率算出工程と、
前記算出した飽和画素数比率が予め設定した規定値以内であるか否かを判定する判定工程と、
前記判定工程により予め設定した規定値以内でないと判定した場合には、前記記憶手段を参照して、前記飽和画素数の比率に対応づけて記憶されている前記光量調整値を取得し、光源に光量調整を行う光量調整工程と、
を更に有することを特徴とするカラーフィルタの欠陥検査におけるパラメータ調整方法。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載のカラーフィルタの欠陥検査におけるパラメータ調整方法において、
前記カメラは、カラーカメラであり、
前記成分画像データ取得工程は、前記カラーカメラにて撮影して取得した検査画像データを用いて、コンピュータによりＲ、Ｇ、Ｂの３原色に分解された前記Ｒ成分画像データ、前記Ｇ成分画像データ、前記Ｂ成分画像データを取得することを特徴とするカラーフィルタの欠陥検査におけるパラメータ調整方法。
【請求項４】
請求項１又は請求項２に記載のカラーフィルタの欠陥検査におけるパラメータ調整方法において、
前記成分画像データ取得工程は、前記観察対象となるカラーフィルタの各着色部に対して吸収の多い波長帯である吸収波長帯のみ透過させる光を、前記カラーフィルタに順に照射させて、前記カラーフィルタの欠陥箇所を前記カメラにて順に撮影し、前記Ｒ成分画像データ、前記Ｇ成分画像データ、前記Ｂ成分画像データを夫々取得することを特徴とするカラーフィルタの欠陥検査におけるパラメータ調整方法。
【請求項５】
請求項１又は請求項２に記載のカラーフィルタの欠陥検査におけるパラメータ調整方法において、
前記成分画像データ取得工程は、前記カメラと前記光源との間に、前記観察対象となるカラーフィルタの各着色部に対して吸収の多い波長帯である吸収波長帯のみ透過するフィルタを介して、前記カラーフィルタの欠陥箇所を前記カメラにて順に撮影し、前記Ｒ成分画像データ、前記Ｇ成分画像データ、前記Ｂ成分画像データを夫々取得することを特徴とするカラーフィルタの欠陥検査におけるパラメータ調整方法。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５のいずれか一項に記載のカラーフィルタの欠陥検査におけるパラメータ調整方法において、
前記記憶制御工程は、前記カラーフィルタの各着色部と、前記成分画像データ取得工程により取得された各成分画像データの中から前記各着色部の吸収の多い成分画像データをそれぞれ対応づけて記憶手段に記憶することを特徴とするカラーフィルタの欠陥検査におけるパラメータ調整方法。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６のいずれか一項に記載のカラーフィルタの欠陥検査におけるパラメータ調整方法において、
前記カラーフィルタの欠陥は、カラーフィルタのシミ欠陥であることを特徴とするカラーフィルタの欠陥検査におけるパラメータ調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタの欠陥検査におけるパラメータ調整方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、情報化が益々進む中、表示装置が多くの分野、場所で使われており、特に最近では、ブラウン管方式の表示に代え、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display：液晶ディスプレイ）を、パソコンやカラーテレビの表示部として使用することが多くなった。このＬＣＤにおいて、カラー表示を行うためにカラーフィルタが用いられている。
【０００３】
ところで、上記ＬＣＤに用いられているカラーフィルタの欠陥の１つにシミがある。このシミは、外観検査装置にて検出可能であるが、検査装置では許容レベルの不良でも、人による拡大観察においては、非許容レベルの不良と判定されることがある。よって、人による拡大観察における検査が必要となる。しかし、このように人によるシミの検査は時間と手間がかかる。その上、カラーフィルタを人の手によって取り扱う為、新たな傷や汚れといった不良発生の原因となる危険性もある。そこで、外観検査装置にて欠陥位置と検出した検出位置付近について、人がカラーフィルタの拡大された撮影画像を観察して最終的なＯＫ／ＮＧの判定を出すカラーフィルタのシミ検査方法であって、局部的なシミの検査を、簡単に、手間がかからずにできる検査方法が特許文献１に記載されている。
【特許文献１】特開２００２−１３６４４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、このような方法においては、光源の劣化やカラーフィルタの品種が変わるごとに、カメラで撮影する際に、光量の設定や、Ｒ、Ｇ、Ｂの各着色部ごとに濃淡強調を行うための設定を手動で行う必要がある。そのため今後、多品種のカラーフィルタの生産が進むにつれて、そのカラーフィルタのシミ検査を行う際には、品種が変わるごとに逐一濃淡強調の設定を行う必要があり、手間と時間がかかってしまう。
【０００５】
本発明は、このような問題に鑑みなされたものであり、カラーフィルタの欠陥検査を行う際に、光源の劣化やカラーフィルタの品種によって、光量の設定や、Ｒ、Ｇ、Ｂの各着色部ごとに濃淡強調を行うための設定を逐一行う必要がなく、簡便にカラーフィルタの欠陥検査を行うことができるカラーフィルタの欠陥検査におけるパラメータ調整方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するための請求項１に記載の発明は、Ｒ着色部、Ｇ着色部及びＢ着色部の着色部と、ブラックマトリックス部を有するカラーフィルタの欠陥検査におけるパラメータ調整方法において、前記カラーフィルタの欠陥箇所をカメラにて撮影し、Ｒ、Ｇ、Ｂの３原色に分解されたＲ成分画像データ、Ｇ成分画像データ、Ｂ成分画像データを取得する成分画像データ取得工程と、前記カラーフィルタの各着色部と、前記取得された各成分画像データの中から前記各着色部及び前記ブラックマトリックス部を階調値によって区分可能な成分画像データをそれぞれ対応づけて記憶手段に記憶し、かつ、前記各成分画像データと、前記各成分画像データに応じた前記Ｒ着色部、Ｇ着色部、Ｂ着色部、ブラックマトリックス部の階調順位をそれぞれ対応づけて前記記憶手段に記憶し、かつ、前記カラーフィルタの各着色部と、前記Ｒ着色部、Ｇ着色部、Ｂ着色部に濃淡強調を行う際の濃淡強調幅をそれぞれ対応づけて前記記憶手段に記憶する記憶制御工程と、前記記憶手段を参照して、前記カラーフィルタのＲ着色部、Ｇ着色部、Ｂ着色部のうちの観察対象となる着色部に対応づけて記憶された前記成分画像データを抽出する成分画像データ抽出工程と、前記記憶手段を参照して、前記抽出した成分画像データに対応付けて記憶されたＲ着色部、Ｇ着色部、Ｂ着色部、ブラックマトリックス部の階調順位を取得する階調順位取得工程と、前記階調順位に基づいて観察対象となる着色部のみに前記濃淡強調幅を用いて濃淡強調を行う濃淡強調工程と、前記濃淡強調を行った成分画像データを表示する表示工程と、を有することを特徴とする。
【０００７】
これによれば、カラーフィルタの欠陥検査を行う際に、カラーフィルタの品種によってＲ、Ｇ、Ｂの各着色部ごとに濃淡強調を行うための設定を逐一行う必要がなく、簡便にカラーフィルタの欠陥検査を行うことができる。よって、Ｒ、Ｇ、Ｂの各着色部ごとに濃淡強調を行うための設定を手動で行うことによる検査前の設定時間を大幅に削減することができ、更に手動による設定ミスを無くすことができる。
【０００８】
上記課題を解決するための請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のカラーフィルタの欠陥検査におけるパラメータ調整方法において、前記記憶制御工程は、更に各成分画像データの総画素数に対して階調値が飽和している飽和画素数の比率と、前記飽和画素数の比率に応じた光量調整値を対応づけて前記記憶手段に記憶し、前記カメラにて撮影した検査画像データにより取得した成分画像データの飽和画素数を計算し、前記飽和画素数の比率を算出する飽和画素数比率算出工程と、前記算出した飽和画素数比率が予め設定した規定値以内であるか否かを判定する判定工程と、前記判定工程により予め設定した規定値以内でないと判定した場合には、前記記憶手段を参照して、前記飽和画素数の比率に対応づけて記憶されている前記光量調整値を取得し、光源に光量調整を行う光量調整工程と、を更に有することを特徴とする。
【０００９】
これによれば、カラーフィルタの欠陥検査を行う際に、光源の劣化によって光量の設定を逐一行う必要がなく、簡便にカラーフィルタの欠陥検査を行うことができる。よって、光源の劣化によって光量の設定を手動で行うことによる検査前の設定時間を大幅に削減することができ、更に手動による設定ミスを無くすことができる。
【００１０】
上記課題を解決するための請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載のカラーフィルタの欠陥検査におけるパラメータ調整方法において、前記カメラは、カラーカメラであり、前記成分画像データ取得工程は、前記カラーカメラにて撮影して取得した検査画像データを用いて、コンピュータによりＲ、Ｇ、Ｂの３原色に分解された前記Ｒ成分画像データ、前記Ｇ成分画像データ、前記Ｂ成分画像データを取得することを特徴とする。
【００１１】
これによれば、カラーフィルタの欠陥検査を行う際に、カラーフィルタの品種によってＲ、Ｇ、Ｂの各着色部ごとに濃淡強調を行うための設定を逐一行う必要がなく、簡便にカラーフィルタの欠陥検査を行うことができる。よって、Ｒ、Ｇ、Ｂの各着色部ごとに濃淡強調を行うための設定を手動で行うことによる検査前の設定時間を大幅に削減することができ、更に手動による設定ミスを無くすことができる。
【００１２】
上記課題を解決するための請求項４に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載のカラーフィルタの欠陥検査におけるパラメータ調整方法において、前記成分画像データ取得工程は、前記観察対象となるカラーフィルタの各着色部に対して吸収の多い波長帯である吸収波長帯のみ透過させる光を、前記カラーフィルタに順に照射させて、前記カラーフィルタの欠陥箇所を前記カメラにて順に撮影し、前記Ｒ成分画像データ、前記Ｇ成分画像データ、前記Ｂ成分画像データを夫々取得することを特徴とする。
【００１３】
これによれば、カラーカメラを用いることなく観察対象となるカラーフィルタの着色部に対する成分画像データを取得することができる。また、カラーフィルタの欠陥検査を行う際に、カラーフィルタの品種によってＲ、Ｇ、Ｂの各着色部ごとに濃淡強調を行うための設定を逐一行う必要がなく、簡便にカラーフィルタの欠陥検査を行うことができる。よって、Ｒ、Ｇ、Ｂの各着色部ごとに濃淡強調を行うための設定を手動で行うことによる検査前の設定時間を大幅に削減することができ、更に手動による設定ミスを無くすことができる。
【００１４】
上記課題を解決するための請求項５に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載のカラーフィルタの欠陥検査におけるパラメータ調整方法において、前記成分画像データ取得工程は、前記カメラと前記光源との間に、前記観察対象となるカラーフィルタの各着色部に対して吸収の多い波長帯である吸収波長帯のみ透過するフィルタを介して、前記カラーフィルタの欠陥箇所を前記カメラにて順に撮影し、前記Ｒ成分画像データ、前記Ｇ成分画像データ、前記Ｂ成分画像データを夫々取得することを特徴とする。
【００１５】
これによれば、カラーカメラを用いることなく観察対象となるカラーフィルタの着色部に対する成分画像データを取得することができる。また、カラーフィルタの欠陥検査を行う際に、カラーフィルタの品種によってＲ、Ｇ、Ｂの各着色部ごとに濃淡強調を行うための設定を逐一行う必要がなく、簡便にカラーフィルタの欠陥検査を行うことができる。よって、Ｒ、Ｇ、Ｂの各着色部ごとに濃淡強調を行うための設定を手動で行うことによる検査前の設定時間を大幅に削減することができ、更に手動による設定ミスを無くすことができる。
【００１６】
上記課題を解決するための請求項６に記載の発明は、請求項１乃至請求項５のいずれか一項に記載のカラーフィルタの欠陥検査におけるパラメータ調整方法において、前記記憶制御工程は、前記カラーフィルタの各着色部と、前記成分画像データ取得工程により取得された各成分画像データの中から前記各着色部の吸収の多い成分画像データをそれぞれ対応づけて記憶手段に記憶することを特徴とする。
【００１７】
これによれば、カラーフィルタの各着色部に対して、検査画像データにより取得されたＲ成分画像データ、Ｇ成分画像データ、Ｂ成分画像データの中から各着色部の吸収の多い成分画像データをそれぞれ対応付けて記憶させておき、観察対象となる着色部の欠陥検査を行う際に当該着色層に対応付けられている成分画像データを用いて濃淡強調を行うことによって、観察対象となる着色部の濃淡を更に強調することができ、観察対象となる着色部の欠陥検査がよりし易くなる。
【００１８】
更に、カラーフィルタの欠陥検査を行う際に、カラーフィルタの品種によってＲ、Ｇ、Ｂの各着色部ごとに濃淡強調を行うための設定を逐一行う必要がなく、簡便にカラーフィルタの欠陥検査を行うことができる。よって、Ｒ、Ｇ、Ｂの各着色部ごとに濃淡強調を行うための設定を手動で行うことによる検査前の設定時間を大幅に削減することができ、更に手動による設定ミスを無くすことができる。
【００１９】
上記課題を解決するための請求項７に記載の発明は、請求項１乃至請求項６のいずれか一項に記載のカラーフィルタの欠陥検査におけるパラメータ調整方法において、前記カラーフィルタの欠陥は、カラーフィルタのシミ欠陥であることを特徴とする。
【００２０】
これによれば、カラーフィルタのシミ欠陥検査を行う際に、カラーフィルタの品種によってＲ、Ｇ、Ｂの各着色部ごとに濃淡強調を行うための設定を逐一行う必要がなく、簡便にカラーフィルタのシミ欠陥検査を行うことができる。よって、Ｒ、Ｇ、Ｂの各着色部ごとに濃淡強調を行うための設定を手動で行うことによる検査前の設定時間を大幅に削減することができ、更に手動による設定ミスを無くすことができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、カラーフィルタの欠陥検査を行う際に、カラーフィルタの品種によってＲ、Ｇ、Ｂの各着色部ごとに濃淡強調を行うための設定を逐一行う必要がなく、簡便にカラーフィルタの欠陥検査を行うことができる。よって、Ｒ、Ｇ、Ｂの各着色部ごとに濃淡強調を行うための設定を手動で設定することによる検査前の設定時間を大幅に削減することができ、更に手動による設定ミスを無くすことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の最良の実施形態を図面を用いて説明する。
【００２３】
［調整装置］
まず、本実施形態に係るカラーフィルタの欠陥検査におけるパラメータ調整方法に用いられる調整装置について、図１を用いて概念的に説明する。なお、本実施形態において、カラーフィルタの欠陥検査とは、具体的に、カラーフィルタのシミ欠陥検査であるものとし、以下カラーフィルタのシミ欠陥を検査する場合について説明する。ここでシミ部とは、部分的に周辺部と濃度が異なる箇所で、例えば、異物上に着色部が形成された場合、その部分が盛り上がり突起状になり、この部分を突起部と言うが、突起部は、一般にシミ状になり、シミ部となる。なお、本実施形態におけるパラメータ調整方法は、光量調整値及び濃淡強調幅等を調整する方法として以下説明する。
【００２４】
図１に示すように、当該調整装置１は、画像取得装置２と、コンピュータ３とにより構成されている。詳細に説明すると、画像取得装置２は、成分画像データ取得手段としてのカメラ１１、顕微鏡１２、ホルダー１３、光源１４により構成されており、ホルダー１３の上に欠陥検査を行う対象であるカラーフィルタ１５を設置し、カメラ１１によってカラーフィルタ１５の画像を撮像する。なお、カメラ１１は、デジタルカメラであってもアナログカメラであっても、フィルムカメラであってもよいが、本実施形態においてカメラ１１は、デジタルカメラを用いた場合について説明する。また、カメラ１１が、カラーカメラである場合について以下説明する。コンピュータ３は、入力部２１、表示手段としての表示部２２、記憶手段としての記憶部２３、外部機器接続部２４、成分画像データ取得手段、成分画像データ抽出手段、階調順位取得手段、濃淡強調手段、飽和画素数比率算出手段、判定手段、光量調整手段としての制御部２５により構成されており、画像取得装置２とコンピュータ３は互いに情報の授受が可能に接続されている。
【００２５】
このような構成からなる本実施形態における調整装置１では、まず、カラーフィルタ１５の欠陥位置の拡大像をカメラ１１にて撮影し、Ｒ、Ｇ、Ｂの３原色に分解されたＲ成分画像データ、Ｇ成分画像データ、Ｂ成分画像データを取得する。次に、カラーフィルタ１５の各着色部と、取得された各成分画像データの中から各着色部及びブラックマトリックス部を階調値によって区分可能な画像データをそれぞれ対応づけて記憶し、各成分画像データと、各成分画像データに応じたＲ着色部、Ｇ着色部、Ｂ着色部、ブラックマトリックス部の階調順位をそれぞれ対応づけて記憶し、かつ、カラーフィルタ１５の各着色部と、R着色部、G着色部、B着色部に濃淡強調を行う際の濃淡強調幅をそれぞれ対応づけて記憶させる。次に、記憶手段を参照して、カラーフィルタ１５のＲ着色部、Ｇ着色部、Ｂ着色部のうちの観察対象となる着色部に対応づけて記憶された成分画像データを抽出し、記憶手段を参照して、取得した成分画像データに対応付けて記憶されたＲ着色部、Ｇ着色部、Ｂ着色部、ブラックマトリックス部の階調順位を取得する。次に、階調順位に基づいて観察対象となる着色部のみに濃淡強調幅を用いて濃淡強調を行い、濃淡強調を行った成分画像データを表示する。
【００２６】
このような構成をとることにより、カラーフィルタの欠陥検査を行う際に、カラーフィルタの品種によってＲ、Ｇ、Ｂの各着色部ごとに濃淡強調を行うための設定を逐一行う必要がなく、簡便にカラーフィルタの欠陥検査を行うことができる。よって、Ｒ、Ｇ、Ｂの各着色部ごとに濃淡強調を行うための設定を手動で設定することによる検査前の設定時間を大幅に削減することができ、更に手動による設定ミスを無くすことができる。
【００２７】
〔コンピュータの構成及び機能〕
次に、図２を用いて、本実施形態にかかる調整装置を構成するコンピュータの構造及び機能について説明する。
【００２８】
図２は、コンピュータの概要構成を示すブロック図である。
【００２９】
同図に示すようにコンピュータ３は、入力部２１と、表示部２２と、記憶部２３と、画像取得装置２との間で必要な情報の授受を行うための外部機器接続部２４と、演算機能を有するＣＰＵ（Central Processing Unit）、作業用ＲＡＭ（Random Access Memory）、各種データ及びプログラムを記憶するＲＯＭ（Read Only Memory）等から構成された制御部２５と、により構成されており、各部材はバス２６を介して相互に接続されている。
【００３０】
入力部２１は、キーボード等に具備された数字キー等の各種操作キー等であって、例えば、カラーフィルタのシミ欠陥の良否を判定する者が、光量調整値、検査画像データ、階調順位、濃淡強調幅等を設定する際に用い、当該操作に対応する入力情報を生成して制御部２５へ出力する。
【００３１】
表示部２２は、画像取得装置２との間で情報を送受信する際に制御部２５を介して表示情報として受け取り表示する。例えば、画像取得装置２により得られた検査画像データを表示部２２に表示したり、濃淡強調を行った後の成分画像データを表示したりする。
【００３２】
記憶部２３は、表示部２２に表示すべき情報等を蓄積記憶し、必要に応じて蓄積記憶情報として制御部２５に出力する。
【００３３】
ここで、当該記憶部２３の細部構成について、図３〜図６を用いて説明する。なお、図３〜図６は、コンピュータの記憶部の細部構成を示すブロック図であり、図３〜６に示すように、記憶部２３は、光量調整値情報データベース２３Ａ、検査画像データ情報データベース２３Ｂ、階調順位情報データベース２３Ｃ、濃淡強調幅情報データベース２３Ｄにより構成されている。
【００３４】
＜光量調整値情報データベース２３Ａ＞
図３に示すように光量調整値情報データベース２３Ａは、飽和画素数の比率と、光量調整値が対応付けられて記憶されている。ここで、飽和画素数の比率とは、飽和画素数が総画素数に占める割合のことをいう。具体的に説明すると、画像取得装置２により取得したカラーフィルタ１５の欠陥位置付近の検査画像データをＲ、Ｇ、Ｂの３原色に分解して得られたＲ成分画像データ、Ｇ成分画像データ、Ｂ成分画像データに対して、それぞれ各成分画像データの総画素数のうち飽和している（階調値２５５）画素数（飽和画素数）の数（飽和画素数の比率）に応じて、光量の調整を行うため、飽和画素数の比率に応じて光量調整値を対応づけて記憶させておくものである。例えば、図３に示すように、飽和画素数の比率１００％に対しては光量調整値−６４を対応させて記憶させ、飽和画素数の比率７５％に対しては光量調整値−４８を対応させて記憶させ、以下同様にして飽和画素数の比率と、光量調整値を対応づけて記憶させておく。
【００３５】
＜検査画像データ情報データベース２３Ｂ＞
検査画像データ情報データベース２３Ｂは、カラーフィルタ１５の各着色部に対して、検査画像データにより取得されたＲ成分画像データ、Ｇ成分画像データ、Ｂ成分画像データの中から各着色部及びブラックマトリックス部を階調値によって区分可能な成分画像データを各着色部のシミ欠陥を検出するために用いるためそれぞれ対応付けて記憶させておく。なお、上述したように、カラーフィルタ１５の各着色部に対して、検査画像データにより取得されたＲ成分画像データ、Ｇ成分画像データ、Ｂ成分画像データの中から各着色部及びブラックマトリックス部を階調値によって区分可能な成分画像データをそれぞれ対応付けて記憶させておくことによって、観察対象となる着色部の濃淡強調を行うことができ、適切に観察対象となる着色部の欠陥検査を行うことができるが、本実施形態においては、図４に示すように、カラーフィルタ１５の各着色部に対して、検査画像データにより取得されたＲ成分画像データ、Ｇ成分画像データ、Ｂ成分画像データの中から各着色部の吸収の多い成分画像データをそれぞれ対応付けて記憶させておく場合について説明する。このように、カラーフィルタ１５の各着色部に対して、検査画像データにより取得されたＲ成分画像データ、Ｇ成分画像データ、Ｂ成分画像データの中から各着色部の吸収の多い成分画像データをそれぞれ対応付けて記憶させておき、観察対象となる着色部の欠陥検査を行う際に当該着色層に対応付けられている成分画像データを用いて濃淡強調を行うことによって、観察対象となる着色部の濃淡を更に強調することができ、観察対象となる着色部の欠陥検査がよりし易くなるためである。具体的には、Ｒ着色部、Ｇ着色部、Ｂ着色部をもつカラーフィルタ１５のシミ欠陥検査の場合、Ｒ着色部、Ｇ着色部、Ｂ着色部にそれぞれ、Ｇ成分画像データ、Ｒ成分画像データ、Ｇ成分画像データを対応付けて記憶させておく。
【００３６】
＜階調順位情報データベース２３Ｃ＞
図５に示すように階調順位情報データベース２３Ｃは、各成分画像データと、各成分画像データに応じたＲ着色部、Ｇ着色部、Ｂ着色部、ブラックマトリックス部の階調順位をそれぞれ対応づけて記憶させておく。具体的には、まず、各成分画像データに対して、図９のような横軸に階調値、縦軸に画素数をとったヒストグラムを作成する。このヒストグラムは、画素数の大きい４つのピーク（Ｇ着色部、Ｂ着色部、Ｒ着色部、ブラックマトリックス部）をもつグラフとなる。後述するように各着色部の濃淡強調を行うために使用する成分画像データがＧ成分画像データである場合には、階調順位をＧ着色部→Ｂ着色部→Ｒ着色部→ブラックマトリックス部と記憶させておく。使用する成分画像データがＲ成分画像データである場合には、階調順位をＲ着色部→Ｇ着色部→Ｂ着色部→ブラックマトリックス部と記憶させておき、使用する成分画像データがＢ成分画像データである場合には、階調順位をＢ着色部→Ｇ着色部→Ｒ着色部→ブラックマトリックス部と記憶させておく。
【００３７】
＜濃淡強調幅情報データベース２３Ｄ＞
図６に示すように濃淡強調幅情報データベース２３Ｄは、カラーフィルタの各着色部と、Ｒ着色部、Ｇ着色部、Ｂ着色部に濃淡強調を行う際の濃淡強調幅をそれぞれ対応づけて記憶させておく。具体的には、各着色部ともに濃淡強調幅を−５〜５階調と記憶させておく。
【００３８】
外部機器接続部２４は、光量調整値データベースを用いて光源ボリュームの外部入力調整を行ったり、カメラケーブルを介して画像取得装置２のカメラ１１との間で検査画像情報データを受信する際に通信情報を受信し制御部２５に出力するものである。
【００３９】
制御部２５は、図示しないＣＰＵ、作業用ＲＡＭ、ＲＯＭ及び発振回路等を備えて構成されており、図示しない操作部からの操作信号に基づいて、当該操作信号に含まれている操作情報に対応する動作を実現すべく上記各構成部材を制御するための制御情報を生成し、バス２６を介して当該制御情報を該当する構成部材に出力して当該各構成部材の動作を統轄制御する。
【００４０】
［調整処理］
次に、図７を用いて調整処理（光量調整処理及び濃淡強調調整処理）について説明する。
【００４１】
図７は、調整処理を示すフローチャートであり、当該フローチャートにより示される処理は、制御部２５内の図示しないＲＯＭ等の制御に基づいて実行されるものである。
【００４２】
（光量調整処理）
まず、各成分画像データの総画素数に対して階調値が２５５である飽和画素数の比率と、飽和画素数の比率に応じた光量調整値を対応づけて記憶させる（ステップＳ１１）。
【００４３】
例えば、図３に示すように（詳細には上記＜光量調整値情報データベース２３Ａ＞の説明参照）、飽和画素数の比率（飽和画素数が総画素数に占める割合）が１００％である場合には光量変更値−６４、飽和画素数の比率が７５％である場合には光量変更値−４８、飽和画素数の比率が５０％である場合には光量変更値−３２・・・と飽和画素数の比率と光量変更値をそれぞれ対応付けて記憶させる。
【００４４】
次に、カラーフィルタの欠陥位置を検出する（ステップＳ１２）。
【００４５】
例えば、外観検査装置を用いてシミ検査の対象であるカラーフィルタ１５の欠陥位置を検出する。
【００４６】
次に、カラーフィルタの欠陥位置の拡大像をカメラ１１にて撮影し（ステップＳ１３）、検査画像データを取得する（ステップＳ１４）。
【００４７】
図１に示すように、カラーフィルタ１５の欠陥位置の拡大像をカメラ１１にて撮影する。撮影したカラーフィルタ１５の拡大像（検査画像データ）は、例えば、表示部２２に表示される。この検査画像データは、Ｒ着色部、Ｇ着色部、Ｂ着色部を含むものであり、図１に示す表示部２２にて見ることができる。
【００４８】
次に、検査画像データを用いて、コンピュータによりＲ、Ｇ、Ｂの３原色に分解されたＲ成分画像データ、Ｇ成分画像データ、Ｂ成分画像データを取得する（ステップＳ１５）。
【００４９】
具体的には、カメラ１１にて撮像することによって得られた検査画像データを用いて、コンピュータによりＲ、Ｇ、Ｂの３原色に分解されたＲ成分画像データ、Ｇ成分画像データ、Ｂ成分画像データを取得する。なお、カメラ１１の機能により、カメラ１１にて検査画像データをＲ、Ｇ、Ｂの３原色に分解し、Ｒ成分画像データ、Ｇ成分画像データ、Ｂ成分画像データを取得することができる機能を有する場合には、上記コンピュータにおける処理は行わなくてもよい。
【００５０】
次に、カメラにて撮影した検査画像データにより取得した成分画像データの飽和画素数を計算する（ステップＳ１６）。
【００５１】
上述したように、検査画像データをＲ、Ｇ、Ｂの３原色に分解し得られたＲ成分画像データ、Ｇ成分画像データ、Ｂ成分画像データに対して、各成分画像データの総画素数のうち飽和している（階調値２５５）の画素数（飽和画素数）の数をそれぞれ計算（カウント）する。具体的には、図８に示すように、成分画像データの総画素数が１６画素であり、そのうち飽和画素数が１２画素である場合には、飽和画素数を１２と計算（カウント）する。
【００５２】
次に、飽和画素数の比率を算出し（ステップＳ１７）、算出した飽和画素数の比率が予め設定した規定値以内であるか否かを判定する（ステップＳ１８）。
【００５３】
各成分画像データの総画素数のうち飽和画素数をそれぞれカウントした後、各成分画像データの飽和画素数の比率がそれぞれ規定値以内であるか否かを判定する。ここで、飽和画素数の比率とは、飽和画素数が総画素数に占める割合のことをいう。具体的には、上述するように成分画像データの総画素数が１６画素であり、そのうち飽和画素数が１２画素であるとカウントした場合には、飽和画素数の比率は７５％と算出される。飽和画素数の比率が既定値以内である場合とは、例えば、飽和画素数の比率が規定値（１％）以内であると予め設定した場合、飽和画素数の比率が７５％である場合には規定値ではないとの判定がなされる。なお、飽和画素数の比率が規定値（１％）以内である場合には、光量を変更する必要はない。
【００５４】
次に、飽和画素数の比率が予め設定した既定値以内でないと判定された場合（ステップＳ１８：ＮＯ）には、飽和画素数の比率に対応づけて記憶されている光量調整値を取得する（ステップＳ１９）。
【００５５】
具体的には、成分画像データの飽和画素比率が７５％である場合には、図３に示すように記憶部２３を参照して光量変更値−４８が取得される（詳細には上記＜光量調整値情報データベース２３Ａ＞の説明参照）。
【００５６】
次に、光源に光量調整値を出力し、光量調整を行う（ステップＳ２０）。
【００５７】
現在の光ボリュームの値が２００である場合には、上述のように取得された光量変更値−４８を参照し、光ボリュームの値を４８下げ、１５２に調整する。同様の動作を各成分に対して行う。
【００５８】
光量調整を行った後、再度光量が調整された光源を用いて検査画像データが取得される（ステップＳ１４）。その後、上述した動作と同様に検査画像データをＲ、Ｇ、Ｂの３原色に分解し、得られたＲ成分画像データ、Ｇ成分画像データ、Ｂ成分画像データ（ステップＳ１５）に対して、各成分画像データの飽和画素数をそれぞれカウント（ステップＳ１６）し、各飽和画素数の比率が既定値以内である場合（ステップＳ１８：ＹＥＳ）には、ステップＳ２１に進み、各飽和画素数の比率が既定値以内でない場合（ステップＳ１８：ＮＯ）には、再度光量の調整が行われ（ステップＳ１９、２０）、光量を調整後、再度検査画像データが取得され、各飽和画素数の比率が既定値以内になるまでこの動作が続けられる（ステップＳ１３〜Ｓ２０）。
【００５９】
（濃淡強調調整処理）
次に、検査対象画像データを取得する（ステップＳ２１）。
【００６０】
飽和画素数の比率が既定値以内であると判定された後、検査画像データを検査対象画像データとして取得する。
【００６１】
次に、検査対象画像データをＲ、Ｇ、Ｂの３原色に分解されたＲ成分画像データ、Ｇ成分画像データ、Ｂ成分画像データを取得する（ステップＳ２２）。
【００６２】
なお、光量調整を行わない場合には、検査画像データを検査対象画像データとして取得し、その際すでに検査画像データをＲ成分画像データ、Ｇ成分画像データ、Ｂ成分画像データに分解している場合には、上記したＲ成分画像データ、Ｇ成分画像データ、Ｂ成分画像データを検査対象画像データとして用いることができる。
【００６３】
次に、各着色部と、取得された各成分画像データの中から各着色部の吸収の多い成分画像データをそれぞれ対応づけて記憶させる（ステップＳ２３）。
【００６４】
例えば、図４に示すように（詳細には、＜検査画像データ情報データベース２３Ｂ＞の説明参照）、Ｒ着色部、Ｇ着色部、Ｂ着色部をもつカラーフィルタのシミ欠陥検査の場合、Ｒ着色部、Ｇ着色部、Ｂ着色部にそれぞれ、Ｇ成分画像データ、Ｒ成分画像データ、Ｇ成分画像データを対応付けて記憶させておく。
【００６５】
次に、各成分画像データと、各成分画像データに応じたＲ着色部、Ｇ着色部、Ｂ着色部、ブラックマトリックス部の階調順位をそれぞれ対応づけて記憶させる（ステップＳ２４）。
【００６６】
例えば、図５に示すように（詳細には、＜階調順位情報データベース２３Ｃ＞の説明参照）、使用する成分画像データがＧ成分画像データである場合には、階調順位をＧ着色部→Ｂ着色部→Ｒ着色部→ブラックマトリックス部と記憶させる。使用する成分画像データがＲ成分画像データである場合には、階調順位をＲ着色部→Ｇ着色部→Ｂ着色部→ブラックマトリックス部と記憶させる。使用する成分画像データがＢ成分画像データである場合には、階調順位をＢ着色部→Ｇ着色部→Ｒ着色部→ブラックマトリックス部と記憶させる。
【００６７】
次に、カラーフィルタの各着色部と、Ｒ着色部、G着色部、B着色部に濃淡強調を行う際の濃淡強調幅をそれぞれ対応づけて記憶させる（ステップＳ２５）。
【００６８】
例えば図６に示すように（詳細には、＜濃淡強調幅情報データベース２３Ｄ＞の説明参照）、濃淡強調幅を−５〜５階調と記憶させる。
【００６９】
次に、記憶手段を参照して、カラーフィルタのＲ着色部、Ｇ着色部、Ｂ着色部のうちの観察対象となる着色部に対応づけて記憶された成分画像データを抽出する（ステップＳ２６）。
【００７０】
なお、以下はＲ着色部、Ｇ着色部、Ｂ着色部をもつカラーフィルタのＢ着色部におけるシミ欠陥検査の場合についての濃淡強調処理を行う場合について説明する。Ｂ着色部についてシミ欠陥検査をする場合は、図４に示すように（記憶部２３の＜検査画像データ情報データベース２３Ｂ＞の説明参照）、Ｂ着色部に対応付けて記憶されているＧ成分画像データを取得する。ここで、Ｇ成分画像データに対して、図９のような横軸に階調値、縦軸に画素数をとったヒストグラムを作成する。このヒストグラムは、画素数の大きい４つのピーク（Ｇ着色部、Ｂ着色部、Ｒ着色部、ブラックマトリックス部）をもつグラフとなる。
【００７１】
次に、記憶手段を参照して、抽出した成分画像データについてそれぞれＲ着色部、Ｇ着色部、Ｂ着色部、ブラックマトリックス部の階調順位を取得する（ステップＳ２７）。
【００７２】
具体的には、図５に示すように（記憶部２３の＜階調順位情報データベース２３Ｃ＞の説明参照）、成分画像データに対応付けて記憶されている階調順位を取得することによりヒストグラムの各着色部の階調順位を決定する。Ｒ着色部、Ｇ着色部、Ｂ着色部をもつカラーフィルタのＧ成分画像データの階調の度数分布は、図９に示すようになり、Ｇ成分画像データの場合、明るい方からＧ着色部→Ｂ着色部→Ｒ着色部→ブラックマトリックス部となる。
【００７３】
次に、階調順位取得工程により取得された階調順位に基づいて観察対象となる着色部のみに濃淡強調幅を用いて濃淡強調を行う（ステップＳ２８）。
【００７４】
上述するように、Ｂ着色部のＧ成分画像データにおいてＢ着色部は、階調Ｐ１から階調Ｐ２の範囲の階調幅ａにあるため、階調Ｐ１から階調Ｐ２の範囲についてのみ濃淡強調が行われればよい。この際、図６に示すように（記憶部２３の＜濃淡強調幅情報データベース２３Ｄ＞の説明参照）、Ｂ着色部に対応付けて記憶されている濃淡強調幅−５〜５を取得することにより濃淡強調を行う。
【００７５】
次に、濃淡強調を行った成分画像データを表示し（ステップＳ２９）、表示部２２に表示された成分画像データを観察して、シミ欠陥の良否を判定する（ステップＳ３０）。
【００７６】
以上説明したように、カラーフィルタの欠陥検査を行う際に、光源の劣化やカラーフィルタの品種によって、光量の設定（光量調整）や、Ｒ、Ｇ、Ｂの各着色部ごとに濃淡強調を行うための設定（濃淡強調調整）を逐一行う必要がなく、簡便にカラーフィルタの欠陥検査を行うことができる。よって、光源の劣化によって光量の設定を手動で行うことや、Ｒ、Ｇ、Ｂの各着色部ごとに濃淡強調を行うための設定を手動で行うことによる検査前の設定時間を大幅に削減することができ、更に手動による設定ミスを無くすことができる。
【００７７】
なお、本発明は、上述したように本実施形態において説明した場合に限定されることはなく、Ｒ、Ｇ、Ｂ以外の着色部を有する多色カラーフィルタにおいても有効に用いることができる。また、カメラ１１がフィルムカメラである場合には、カラーフィルタの欠陥位置の拡大像をフィルムカメラにて撮影し、撮影された写真をスキャナ等で読み取ってコンピュータに検査画像データを送信し、当該検査画像データを用いてコンピュータによりＲ、Ｇ、Ｂの３原色に分解されたＲ成分画像データ、Ｇ成分画像データ、Ｂ成分画像データを取得する（Ｓ１３〜Ｓ１５）。その後の工程は上述の実施の形態にて説明した場合と同様である。
【００７８】
上述したように本発明のカラーフィルタの欠陥検査におけるパラメータ調整方法の実施形態において、カラーフィルタの欠陥検査を行う際に用いられる成分画像データを取得する方法として、カラーフィルタの欠陥箇所をカメラにて撮影し、Ｒ、Ｇ、Ｂの３原色に分解されたＲ成分画像データ、Ｇ成分画像データ、Ｂ成分画像データを取得する場合について説明したが（図７のＳ１３〜Ｓ１５参照）、他の方法として、観察対象となるカラーフィルタの各着色部に対して吸収の多い波長帯である吸収波長帯のみ透過させる光を、カラーフィルタに順に照射させて、カラーフィルタの欠陥箇所をカメラにて順に撮影し、Ｒ成分画像データ、Ｇ成分画像データ、Ｂ成分画像データを夫々取得する方法が挙げられる。
【００７９】
具体的には、観察対象となるカラーフィルタ１５の各着色部（Ｒ着色部、Ｇ着色部、Ｂ着色部）に対してそれぞれ吸収の多い波長帯である吸収波長帯のみ透過させる光を、光源１４よりカラーフィルタ１５に順に照射させて、カラーフィルタ１５の欠陥箇所をカメラ１１にて順に撮影する。ここで、上記光は光源１４よりカラーフィルタ１５全面が照射されるように照射する。このように、それぞれの光を照射してカラーフィルタ１５の欠陥箇所をカメラ１１にて順に撮影することにより、Ｒ成分画像データ、Ｇ成分画像データ、Ｂ成分画像データを夫々取得することができる。その後の工程は上述の実施の形態にて説明した場合と同様である。
【００８０】
更に、カメラと光源１４との間に、観察対象となるカラーフィルタの各着色部に対して吸収の多い波長帯である吸収波長帯のみ透過するフィルタを介して、カラーフィルタの欠陥箇所をカメラにて順に撮影し、Ｒ成分画像データ、Ｇ成分画像データ、Ｂ成分画像データを夫々取得する方法が挙げられる。
【００８１】
具体的には、まずカメラ１１と光源１４との間に、観察対象となるカラーフィルタ１５の各着色部（Ｒ着色部、Ｇ着色部、Ｂ着色部）に対してそれぞれ吸収の多い波長帯である吸収波長帯のみ透過するフィルタを順に挿入する。ここで、カメラ１１と光源１４との間とは、図１に示すカメラ１１を覆う位置、又は顕微鏡１２を覆う位置、光源１４を覆う位置等が挙げられる。このように、それぞれのフィルタを挿入し、そのフィルタを介して、カラーフィルタ１５の欠陥箇所をカメラ１１にて順に撮影することにより、Ｒ成分画像データ、Ｇ成分画像データ、Ｂ成分画像データを夫々取得することができる。その後の工程は上述の実施の形態にて説明した場合と同様である。
【００８２】
以上説明したように、上記の構成をとることによりカラーカメラを用いることなく（モノクロカメラを用いて）観察対象となるカラーフィルタの着色部に対する成分画像データを取得することができる。また、カラーフィルタの欠陥検査を行う際に、カラーフィルタの品種によってＲ、Ｇ、Ｂの各着色部ごとに濃淡強調を行うための設定を逐一行う必要がなく、簡便にカラーフィルタの欠陥検査を行うことができる。よって、Ｒ、Ｇ、Ｂの各着色部ごとに濃淡強調を行うための設定を手動で行うことによる検査前の設定時間を大幅に削減することができ、更に手動による設定ミスを無くすことができる。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】調整装置を示す概略図である。
【図２】コンピュータの概要構成を示すブロック図である。
【図３】コンピュータの記憶部の細部構成を示すブロック図である。
【図４】コンピュータの記憶部の細部構成を示すブロック図である。
【図５】コンピュータの記憶部の細部構成を示すブロック図である。
【図６】コンピュータの記憶部の細部構成を示すブロック図である。
【図７】本発明の調整処理を示すフローチャートである。
【図８】光源ボリュームについて説明するための図である。
【図９】Ｇ成分画像データのヒストグラム図である。
【符号の説明】
【００８４】
１・・・調整装置
２・・・画像取得装置
３・・・コンピュータ
１１・・・カメラ
１２・・・顕微鏡
１３・・・ホルダー
１４・・・光源
１５・・・カラーフィルタ
２１・・・入力部
２２・・・表示部
２３・・・記憶部
２４・・・外部機器接続部
２５・・・制御部
２６・・・バス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2008039468.tif 000006
【図５】
2008039468.tif 000007
【図６】
2008039468.tif 000008
【図７】
2008039468.tif 000009
【図８】
2008039468.tif 000010
【図９】
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