(57)【要約】【課題】解像度を低下させることなく、撮像手段と照明手段を１回走査するだけで、透過照明画像と反射照明画像の両方を得ることができるパターン検査装置を提供すること。【解決手段】ＴＡＢテープ５の検査パターン５ａが搬送されてくると、透過照明手段１ａと反射照明手段１ｂにより透過照明光、反射照明光を照射し、走査手段２により、検査パターン５ａ全体が検査部１の下を通過するように走査する。これにより、制御部４に検査パターン５ａの透過照明画像、反射照明画像が取り込まれて記憶される。制御部４は、記憶した透過照明画像と透過照明用の基準パターンを比較し、透過照明画像の配線パターンが、基準パターンに対して所定の寸法の範囲内にあるかどうか、すなわち、配線パターンに「太り」または「細り」があるかを検査し、検査パターン５ａの良否を判定する。【選択図】          図１
2008026212.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パターンが形成された基板に対し、当該基板を透過する透過照明光と、当該基板で反射する反射照明光とを照射することにより、
上記基板の透過照明画像と反射照明画像とを得、両画像に基づき、上記パターンの良否を判定するパターン検査装置において、
検査を行う基板の領域を拡大して投影する１つのレンズと、
上記レンズの視野内にある基板の領域の一部である第１の領域に対し、反射照明光を照射する反射照明手段と、
上記レンズの視野内にある基板の領域の他の一部の領域である第２の領域に対し、透過照明光を照射する透過照明手段と、
上記反射照明手段により照明され、上記レンズにより拡大された第１の領域を撮像する第１の撮像手段と、
上記透過照明手段により照明され、上記レンズにより拡大された第２の領域を撮像する第２の撮像手段と、
上記第１の領域と上記第２の領域とが並ぶ方向に平行に、上記基板と、上記２つの撮像手段および上記レンズとを相対的に移動させる移動手段とを備えた
ことを特徴とするパターン検査装置。
【請求項２】
上記基板は、樹脂フィルム上に金属による配線パターンが形成された長尺帯状のＴＡＢテープであり、
上記移動手段は、上記ＴＡＢテープをテープ長手方向に搬送する搬送機構である
ことを特徴とする請求項１に記載ののパターン検査装置。
【請求項３】
上記基板は、樹脂フィルム上に金属による配線パターンが形成された長尺帯状のＴＡＢテープであり、
上記移動手段は、上記２つの撮像手段および上記レンズを一式で、上記ＴＡＢテープの長手方向に移動する撮像及びレンズユニット移動機構である
ことを特徴とする請求項１に記載のパターン検査装置。
【請求項４】
上記基板は、樹脂フィルム上に金属による配線パターンが形成された長尺帯状のＴＡＢテープであり、
上記移動手段は、上記２つの撮像手段および上記レンズを一式で、上記ＴＡＢテープの幅方向に移動する撮像及びレンズユニット移動機構である
ことを特徴とする請求項１に記載のパターン検査装置。
【請求項５】
上記反射照明手段から照射される反射照明光の波長と、上記透過照明手段から照射される透過照明光の波長とは、同じ波長である
ことを特徴とする請求項１，２，３または請求項４に記載のパターン検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パターンの検査装置に関し、特に、ＴＡＢ（Ｔａｐｅ  Ａｕｔｏｍａｔｅｄ  Ｂｏｎｄｉｎｇ）テープ等の基板に形成された配線パターンを、反射照明と透過照明により照明し、得られた反射照明画像と透過照明画像を比較して、良否の判定を行う配線パターン検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
配線パターンの検査において、基板表面または裏面に付着したごみ（異物）と配線パターンの欠陥とを区別し、誤検知を防ぐ方法及び装置として、例えば特許文献１、特許文献２、特許文献３等が提案されている。
上記公報には、配線パターンが形成された基板の、反射照明光を受像して得られた反射照明画像と、透過照明光を受像して得られた透過照明画像とを比較し、両方の画像に共通して現れた不良を、配線パターンの欠陥とすることが記載されている。
【特許文献１】特開２００４−６１４９１号公報
【特許文献２】特開２００５−２４３８６号公報
【特許文献３】特開２００４−２１２１５９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記特許文献２の段落００１４−００１５には、反射（落射）照明画像と透過照明画像を得る手順が、次のように示されている。
(i) 基板に対して透過照明光を照射し、撮像手段（ＣＣＤラインセンサ１ｃ）と透過照明手段１ａを走査し、基板の透過照明画像を得る。
(ii)照明を反射（落射）照明に切り換え、撮像手段（ＣＣＤラインセンサ１ｃ）と反射（落射）照明手段１ｂを走査し、基板の反射照明画像を得る。
このように、特許文献２に記載のものでは、透過照明画像と反射照明画像の二種類の画像を得るために、１ヵ所の検査領域において、撮像手段と照明手段を２回走査しなければならない。そのため検査に時間がかかるという問題が生じた。
【０００４】
上記問題の解決手段として、前記特許文献３に記載された技術は重要な示唆を与える。同公報では、透過照明光と反射照明光の波長を変え、それぞれの波長を独立して検出できるセンサを用いることにより、透過照明画像と反射照明画像を同時に得ることが示されている。
この技術を利用すれば、検査領域に透過照明光と反射照明光を同時に照射し、撮像手段と照明手段を１回走査するだけで、透過照明画像と反射照明画像の両方を得ることができる。
しかし、この方法には、次のような問題がある。
実際の配線パターン検査装置においては、撮像手段（ＣＣＤセンサ）の光入射側には検査する領域を拡大して撮像手段上に投影するためのレンズ（複数のレンズを組み合わせたレンズユニット）が設けられる。最近は、年々微細化する配線パターンを精度よく検査するために、より解像度のよいレンズが要望されている。
【０００５】
透過照明光と反射照明光の波長が異なる場合、このレンズユニットは、透過照明光も反射照明光も等しく撮像手段上に結像投影させなければならない。すなわち、レンズユニットは、波長の異なる光に対して同等の光学特性を有する必要がある。
しかし、一般に、波長の異なる光に対して同等の光学特性を有するための設計は、ある一つの波長の光（単色光）を結像させる光学系の設計よりも難しく、解像度も低下する。解像度を良くするためには、レンズの材料が高価になるなど装置のコストが高くなる。
本発明は上記事情に鑑みなされたものであって、本発明の目的は、解像度を低下させることなく、撮像手段と照明手段を１回走査するだけで、透過照明画像と反射照明画像の両方を得ることができるパターン検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（１）レンズによって投影される基板の検査領域（レンズの視野領域）を、反射照明光を照射する第１の領域と、透過照明光を照射する第２の領域の二つに分け、上記レンズの視野内にある基板の領域の一部である第１の領域に対し反射照明光を照射する反射照明手段と、上記レンズの視野内にあり上記反射照明光により照明されない他の一部の領域である第２の領域に対し、透過照明光を照射する透過照明手段とを設ける。また、第１の領域を撮像するための第１の撮像手段と、第２の領域を撮像するための第２の撮像手段とを設ける。
そして、第１の領域と第２の領域とが並ぶ方向に、上記基板と、２つの撮像手段およびレンズとを相対的に走査移動させ、１回の走査移動により検査領域の反射照明画像と透過照明画像を得て、両画像に基づき、上記パターンの良否を判定する。
（２）上記（１）において、上記基板は樹脂フィルム上に金属による配線パターンが形成された長尺帯状のＴＡＢテープであり、上記移動手段が上記ＴＡＢテープをテープ長手方向に搬送する。
（３）上記（１）において、上記基板は、樹脂フィルム上に金属による配線パターンが形成された長尺帯状のＴＡＢテープであり、上記移動手段が上記２つの撮像手段および上記レンズを一式で、上記ＴＡＢテープの長手方向に移動させる。
（４）上記（１）において、上記基板は、樹脂フィルム上に金属による配線パターンが形成された長尺帯状のＴＡＢテープであり、上記移動手段が上記２つの撮像手段および上記レンズを一式で、上記ＴＡＢテープの幅方向に移動させる。
（５）反射照明光の波長と透過照明光の波長を同じにする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明においては、以下の効果を得ることができる。
（１）レンズの視野領域を、透過照明光を照射する領域と、反射照明光を照射する領域の二つに分け、それぞれの領域に反射照明光と透過照明光を照射し、それぞれに対応して設けた撮像手段により受像するように構成したので、撮像手段と照明手段を１回走査するだけで、透過照明画像と反射照明画像の両方を得ることができる。
（２）透過照明光と反射照明光は同じ波長を使うことにより、レンズは特定の波長のみが結像する設計を行なうことができ、撮像される画像の解像度を良くすることができる。
（３）レンズが１つだけでよく、高価なレンズ材料を使用する必要もないので、装置コストの上昇を防ぐことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
図１は、本発明の第１の実施例の配線パターン検査装置のブロック図である。なお、以下に示すいずれの実施例においても、基板がＴＡＢテープである場合について説明するが、本発明は、ＴＡＢテープの他、透過照明が可能な種々の基板のパターン検査に適用することができる。例えば、シリコンウエハは赤外線を透過するので、反射照明光及び透過照明光に赤外線を使用すれば、上記とシリコンウエハ上に形成された配線パターンに対し同様の検査を行なうことができる。
本実施例のパターン検査装置は、同図に示すように、ＴＡＢテープ５を搬送する送り出しリール１１や巻き取りリール１２等からなるテープ搬送機構１０、送り出しリール１１から送り出されたＴＡＢテープ５に透過照明光、反射照明光を照射しパターン５ａを撮像する検査部１、検査部１をＴＡＢテープの検査パターン５ａ上で走査する走査手段２、不良のパターンにマークをつけるマーカ部３を備える。
マーカ部３では、不良と判定されたパターンに対しパンチでの穿孔や、その部分が不良品であることが目視ですぐに確認できるように色塗りなどのマークを施す。
【０００９】
また、本実施例の配線パターン検査装置は、撮像した透過照明画像パターン、反射照明画像パターンと基準となるマスターパターンとを比較し、製品の良否を判定するとともに、検査部１、走査手段２、マーカ部３、及びテープ搬送機構１０の動作を制御する制御部４を備える。制御部４には、あらかじめパターン検査の基準となる基準パターンが入力されている。基準パターンには、反射照明用のものと透過照明用のものとの２種類がある。なお、基準パターンは、良品と判定されている実際の配線パターンを撮像した画像であっても良いし、ＣＡＤデータを利用したものであっても良い。
【００１０】
次に、上記検査部の構成例について説明する。
検査部１は、図１に示すように、ＴＡＢテープ５の検査を行なう領域を拡大して投影する投影する１つのレンズ（レンズユニット）６、このレンズ６の視野内にある基板の領域、即ちレンズにより拡大されている基板の領域の一部に対し、ＴＡＢテープ５の裏面側から透過光により照明する透過照明手段１ａ、およびレンズ６の視野内にある基板の領域の透過照明光により照明されない領域において、表面側から反射光（落射光）により照明する反射照明手段１ｂを備える。さらに、レンズ６のＴＡＢテープ５の反対側に設けられた、透過照明光による検査パターン５ａの像を撮像する撮像手段１ｃ、および反射照明光による検査パターン５ａの像を撮像する撮像手段１ｄを備える。
透過照明手段１ａの光源は、ＴＡＢテープ５の樹脂フィルムを透過し、ＴＡＢテープ５に形成されたパターンでは反射される波長を放射するものを適宜選択する。本実施例では波長８５０ｎｍ以上の光を出射するＬＥＤを使用し、反射照明手段１ｂの光源も同じものを用いた。
レンズ６は、複数のレンズが組み合わされて鏡筒に収納されたものであり、波長８５０ｎｍの光に対して所望の光学特性を有するように設計されている。
撮像手段１ｃ，１ｄは、上記照明光の波長に受光感度を有する。例えばＣＣＤラインセンサまたはエリアセンサであり、以下では、撮像手段１ｃ，１ｄとしてＣＣＤラインセンサを用いる場合について説明する。
【００１１】
図２は、検査部１の付近を拡大して示したものである。図２（ａ）は撮像手段側からＴＡＢテープ側を見た様子を示し、図２（ｂ）は側面図である。
図２（ａ）に示されるように、レンズ６の視野内にある基板の領域（レンズ６により拡大される基板の領域）は、反射照明手段１ｂにより反射照明光が照射される領域Ｘ（反射照明領域Ｘ）と、透過照明手段１ａにより透過照明光が照射される基板の領域Ｙ（透過照明領域Ｙ）との２つの領域に分けられる。なお、同図の矢印方向（ＴＡＢテープ５の長手方向）を反射照明領域Ｘと透過照明領域Ｙが並ぶ方向と定義する。
また、レンズ６の基板と反対側には、透過照明領域Ｙが投影される位置には透過照明像を撮像する第１の撮像手段１ｃが、反射照明領域Ｘが投影される位置には反射照明像を撮像する第２の撮像手段１ｄが設けられる。
透過照明光と反射照明光とは、検査を行なう基板上で混ざり合うことがないように、透過照明手段１ａと反射照明手段１ｂの照明光の出射側には、両照明手段の長さに対応したシリンドリカルレンズ１ｅが配置され、照明光は照明手段の幅方向に集光される。また、このように照明光を集光することにより、透過照明領域Ｙと反射照明領域Ｘを接近させることができ、レンズ６及び検査部１を小型化できる。
【００１２】
なお、図３に示すように、２つの照明領域と撮像素子１ｃ、１ｄに対応して、２台のレンズ６ａ，６ｂを設けることも考えられるが、以下のような理由で実際的ではない。
レンズは高解像度のため高い光学性能を要求されるので高価になる。レンズが２台になると、レンズのコストが２倍になり、装置全体のコストが高価になる。
また、背景技術で示したように、検査においては反射照明画像と透過照明画像を比較するので、両画像は同等の解像度を有さなければならない。そのためには２本のレンズの光学特性を一致させることが必要になるが、実際は両者を精度良く一致させることは困難であり、また一致させようとするとコストが高くなる。
さらに、前記したようにレンズは、複数のレンズを組み合わせて構成したものであり、レンズが２台になると、重量が重くなり装置が大型化する。
【００１３】
図４は、検査パターン５ａを撮像する動作を説明する図であり、同図は、撮像手段１ｃ，１ｄ、レンズ６、透過照明手段１ａと反射照明手段１ｂ（検査部１）を一体でＴＡＢテープの搬送方向に移動させる場合を示している。
この場合、反射照明領域Ｘと透過照明領域Ｙは、ＴＡＢテープ５の長手方向に並んで形成され、検査部１を走査する走査手段２により、ＴＡＢテープ５の検査パターン５ａ上で、撮像手段（ＣＣＤラインセンサ）１ｃ，１ｄ、レンズ６、透過照明手段１ａと反射照明手段１ｂを同図の矢印方向に走査される。
検査パターン５ａは、まず透過照明により照明され、第１の撮像手段１ｃにより透過照明画像が得られる。続いて反射照明により照明されて第２の撮像手段１ｄにより反射照明画像が得られる。
検査部１の全体が検査パターン５ａ上を通過することにより、検査パターン５ａの全体の透過照明画像と反射照明画像とが得られる。
【００１４】
なお、反射照明手段１ｂによる反射照明領域Ｘと透過照明手段１ａによる透過照明領域Ｙ、及び第１の撮像手段１ｃ、第２の撮像手段１ｄは、走査方向に対して直交する方向の長さが、１回の走査で検査パターン５ａの幅を覆う長さに設定する必要がある。
透過照明手段１ａ、反射照明手段１ｂの光源は、例えばＬＥＤを複数並べて構成される。したがって、透過照明領域Ｙ、反射照明領域Ｘの長さの調節は、それぞれの照明手段１ａ、１ｂのＬＥＤの、検査パターン５ａの幅方向に並べる個数を変えることにより行なう。
一方、第１の撮像手段１ｃ、第２の撮像手段１ｄに用いるＣＣＤラインセンサは、市販されているものは長さが決まっている。そのため、幅の広い検査パターンを撮像するためには、図５に示すように、複数のＣＣＤラインセンサを並べて配置する。
【００１５】
次に、前記図１、図２、図４により本実施例のパターン検査装置の動作について説明する。なお、パターンの検査のための制御（アルゴリズム）は、前記特許文献２に記載されたものと、基本的には同じである。
ＴＡＢテープ５には、同一の配線パターンが複数連続して製作されており、制御部４はテープ搬送機構１０を駆動し、ＴＡＢテープ５を検査部１に搬送する。
ＴＡＢテープ５の検査対象となる検査パターン５ａが前記テープ搬送機構１０により検査部１の所定位置まで搬送されてくると、その位置でＴＡＢテープ５が停止する。
透過照明手段１ａにより、ＴＡＢテープ５の下方（配線パターン５ａが設けられていない方の側）から、レンズ６の視野内の基板領域におけるテープ搬送方向上流側に対して透過照明光を照射する。
また、反射照明手段１ｂにより、ＴＡＢテープ５の上方（配線パターン５ａが設けられている方の側）から、レンズ６の視野内の基板領域におけるテープ搬送方向下流側に対して反射照明光を照射する。
【００１６】
走査手段２により、検査部１（透過照明手段１ａ、反射照明手段１ｂ、撮像手段１ｃ，１ｄ、レンズ６）を、反射照明領域Ｘと透過照明領域Ｙ領域が並ぶ方向に、即ちＴＡＢテープ５の長手方向に検査パターン５ａ全体が検査部１の下を通過するように走査する。
これにより、透過照明手段１ａから出射される照明光がＴＡＢテープ５を透過して撮像手段（ＣＣＤラインセンサ）１ｃで受光され、制御部４には検査パターン５ａの透過照明画像が取り込まれて記憶される。
また、反射光照明手段１ｂから出射される照明光がＴＡＢテープ５で反射して撮像手段（ＣＣＤラインセンサ）１ｄで受光され、制御部４には検査パターン５ａの反射照明画像が取り込まれて記憶される。図６は、細り、太り、異物などがある場合の透過照明画像と反射照明画像の一例を示す図である。
【００１７】
制御部４は、記憶した透過照明画像と透過照明用の基準パターンを比較し、透過照明画像の配線パターンが、基準パターンに対して所定の寸法の範囲内にあるかどうか、すなわち、配線パターンに「太り」または「細り」があるかを検査する。
そして、配線パターンに不良が検出されなかった場合は、検査した配線パターンは良品と判定される。
一方、図６（ａ）に示すように透過照明画像と透過照明用の配線パターンが、基準パターンに対して細い場合、検査した配線パターンは配線欠けの不良品と判定される。
また透過照明用の配線パターンが、例えば図６（ｂ）に示すように基準パターンに対して太い場合、検査した配線パターンは不良候補と判定される。不良候補の配線パターンの、太りがある部分を含む領域Ａの位置を記憶する。
ついで、上記領域Ａに対応した位置の周辺の所定範囲の反射照明画像の画像と、反射照明用の基準パターンの同じ位置の画像を比較し、細り及び太りの検査を行なう。
この検査の結果、図６（ｂ）に示すように透過照明画像による検査結果と同様に反射照明画像でも太りが検知された場合には、配線パターンは不良品と判定される。
【００１８】
一方、透過照明画像により太りが検出されたにもかかわらず、図６（ｃ）に示すように反射照明画像では透過照明画像による検査結果とは反対に、細りが検知された場合、透過照明画像による太りの原因を、パターン上の「異物」と判定し、配線パターンは良品と判定される。
また、透過照明画像により太りが検出されたにもかかわらず、図６（ｄ）に示すように、反射照明画像では太りも細りも検知されなかった場合は、透過照明画像による太りの原因を、パターン下側での太り（根残り）によるものとし、配線パターンは不良品と判定される。
検査されたパターンが不良品と判定されれば、そのパターンの位置が制御部に記憶され、当該パターンがテープ搬送機構１０によりマーカ部３に搬送された時、穿孔や色付け等のマーキングが行なわれる。
検査パターン５ａの検査が終われば、テープ搬送機構１０によりＴＡＢテープ５が搬送され、次の検査対象となる検査パターンが検査部１の所定位置まで搬送される。
【００１９】
図７は、本発明の第２の実施例の配線パターン検査装置のブロック図である。本実施例においては、検査部１には走査手段が設けられておらず固定されている。そのため、検査部１が検査パターン５ａを撮像するための、検査部１とＴＡＢテープ５との相対的な移動は、テープ搬送機構１０により行なわれる。
検査部１の構成は、第１の実施例と基本的に同一であり、レンズ６、このレンズ６の視野内にある基板の領域の一部に対しＴＡＢテープ５の裏面側から透過光により照明する透過照明手段１ａ、およびレンズ６の視野内にある基板の他の一部の領域に対し、ＴＡＢテープ５の表面側から反射光により照明する反射照明手段１ｂと、透過照明光による検査パターン５ａの像を撮像する撮像手段１ｃ、および反射照明光による検査パターン５ａの像を撮像する撮像手段１ｄを備える。
【００２０】
次に図８を用いて、検査パターン５ａを撮像する動作を説明する。
第１の実施例と同様に、反射照明領域Ｘと透過照明領域Ｙは、ＴＡＢテープ５の長手方向に並んで形成され、レンズ６の上には、透過照明領域Ｙを撮像する第１の撮像手段１ｃと、反射照明領域Ｘを撮像する第２の撮像手段１ｄが設けられている。
ＴＡＢテープ５の検査パターン５ａを、第１及び第２の撮像素子１ｃ、Ｉｄにより撮像する際には、テープ搬送機構１０により、ＴＡＢテープ５が、同図の矢印方向（ＴＡＢテープ５の長手方向、即ち反射照明領域Ｘと透過照明領域Ｙが並ぶ方向）に走査される。
検査パターン５ａの全体が、検査部１の下を通過することにより、検査パターン５ａの全体の透過照明画像と反射照明画像とが得られる。
【００２１】
本実施例の装置の動作は、基本的には第１の実施例と同じであり、異なる部分を中心に説明する。
テープ搬送機構１０により、ＴＡＢテープ５が検査部１に搬送される。
ＴＡＢテープ５の検査対象となる検査パターン５ａが、検査部１の所定位置（検査部１の搬送方向上流側）まで搬送されてくると、その位置でＴＡＢテープ５の搬送が一端停止する。
透過照明手段１ａと反射照明手段１ｂにより、レンズ６の視野内が分けられて照明され、透過照明領域Ｙと反射照明領域Ｘとが、ＴＡＢテープ５の搬送方向に並んで形成される。
テープ搬送機構１０により、ＴＡＢテープ５が搬送され、検査パターン５ａ全体が反射照明領域Ｘと透過照明領域Ｙ領域が並ぶ方向に走査される。これにより、ＣＣＤラインセンサ１ｃにより検査パターン５ａの透過照明画像が、ＣＣＤラインセンサ１ｄにより検査パターン５ａの反射照明画像が取り込まれて、制御部４に記憶される。
制御部４は、記憶した透過照明画像と透過照明用の基準パターンを比較し、第１の実施例において示した手順により、検査パターン５ａの良否が判定され、不良の場合はマーカ部３によりマーキングが施される。
検査パターン５ａの検査が終われば、テープ搬送機構１０によりＴＡＢテープ５が搬送され、次の検査対象となる検査パターンが検査部１の所定位置まで搬送される。
【００２２】
図９は、本発明の第３の実施例の配線パターン検査装置のブロック図である。本実施例においては、第１の実施例と同様に、検査部１には走査手段２’が設けられているが、走査手段２’は検査部１を、ＴＡＢテープ５の搬送方向とは直交する方向（ＴＡＢテープ５の幅方向）に移動させるものである。
したがって、検査部１の透過照明手段１ａ、反射照明手段１ｂ、及びそれらに対応する撮像手段１ｃ，１ｄの配置は、第１、第２の実施例に対して、レンズ６の光軸を中心にして９０°回転した状態に配置される。なお、図９においては、図が煩雑になるのを避けるため、透過照明手段１ａと、透過照明画像を受像する第１の撮像手段１ｃのみが示されているが、実際はその奥側に、反射照明手段１ｂと、反射照明画像を受像する第２の撮像手段１ｄが設けられている。
【００２３】
図１０を用いて、検査パターン５ａを撮像する動作を説明する。
第１、第２の実施例とは異なり、反射照明領域Ｘと透過照明領域Ｙは、ＴＡＢテープ５の長手方向に対し直交する方向（ＴＡＢテープ５の幅方向）に並んで形成される。レンズ６の上には、透過照明領域Ｙを撮像する第１の撮像手段１ｃと、反射照明領域Ｘを撮像する第２の撮像手段１ｄが設けられている。
走査手段２’により、透過照明手段１ａ、反射照明手段１ｂ、撮像手段（ＣＣＤラインセンサ）１ｃ，１ｄを、反射照明領域Ｘと透過照明領域Ｙ領域が並ぶ方向、即ちＴＡＢテープ５の長手方向に直交する方向（ＴＡＢテープ５の幅方向）に走査する。
検査パターン５ａの全体が、検査部１の下を通過することにより、検査パターン５ａの全体の透過照明画像と反射照明画像とが得られる。
【００２４】
本実施例の装置の動作は、基本的には第１の実施例と同じであり、異なる部分を中心に説明する。
テープ搬送機構１０により、ＴＡＢテープ５が検査部１に搬送される。ＴＡＢテープ５の検査対象となる検査パターン５ａが、検査部１の所定位置（検査部１の搬送方向上流側）まで搬送されてくると、その位置でＴＡＢテープ５の搬送が一旦停止する。
透過照明手段１ａと反射照明手段１ｂにより、レンズ６の視野内が分けられて照明され、透過照明領域Ｙと反射照明領域Ｘとが、ＴＡＢテープ５の幅方向に並んで形成される。
走査手段２’により、検査部１が、反射照明領域Ｘと透過照明領域Ｙ領域が並ぶ方向、即ちＴＡＢテープ５の幅方向に、検査パターン５ａ全体が検査部１の下を通過するようにされる。
これにより、撮像手段（ＣＣＤラインセンサ）１ｃにより検査パターン５ａの透過照明画像が、撮像手段（ＣＣＤラインセンサ）１ｄにより検査パターン５ａの反射照明画像が取り込まれて、制御部４に記憶される。
制御部４は、記憶した透過照明画像と透過照明用の基準パターンを比較し、第１の実施例において示した手順により、検査パターン５ａの良否が判定され、不良の場合はマーカ部３によりマーキングが施される。
【００２５】
検査パターン５ａの検査が終われば、テープ搬送機構１０によりＴＡＢテープ５が搬送され、次の検査対象となる検査パターンが検査部１の所定位置まで搬送される。
なお、第１の実施例で述べたとおり、反射照明領域Ｘと透過照明領域Ｙ、及び第１の撮像手段１ｃ第２の撮像手段１ｄは、走査方向に対して直交する方向の長さが、１回の走査で検査する領域を覆う長さに設定する必要がある。前記図５に示すように、複数のＣＣＤラインセンサを並べて配置すれば、１回の検査部１の走査で画像を取り込める検査領域が広げられるので、ＴＡＢテープ全体の検査時間を短くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の第１の実施例の配線パターン検査装置のブロック図である。
【図２】検査部の付近を拡大して示した図である。
【図３】２つの照明領域と撮像素子に対応させて２台のレンズを設けた場合を示す図である。
【図４】第１の実施例において検査パターンを撮像する動作を説明する図である。
【図５】幅の広い検査パターンを撮像するため複数のＣＣＤラインセンサを並べた配置した場合を示す図である。
【図６】透過照明画像と反射照明画像の例を示す図である。
【図７】本発明の第２の実施例の配線パターン検査装置のブロック図である。
【図８】第２の実施例において検査パターンを撮像する動作を説明する図である。
【図９】本発明の第３の実施例の配線パターン検査装置のブロック図である。
【図１０】第３の実施例において検査パターンを撮像する動作を説明する図である。
【符号の説明】
【００２７】
１      検査部
１ａ    透過照明手段
１ｂ    反射照明手段
１ｃ，１ｄ  撮像手段（ＣＣＤラインセンサ）
１ｅ    シリンドリカルレンズ
２，２’走査手段
３      マーカ部
４      制御部
５      ＴＡＢテープ
５ａ    検査パターン
６      レンズ
１１    送り出しリール１１
１２    巻き取りリール
１０    テープ搬送機構
【図１】
2008026212.tif 000003
【図２】
2008026212.tif 000004
【図３】
2008026212.tif 000005
【図４】
2008026212.tif 000006
【図５】
2008026212.tif 000007
【図６】
2008026212.tif 000008
【図７】
2008026212.tif 000009
【図８】
2008026212.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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