(57)【要約】【課題】  本発明の目的は、エキシマランプ１の点灯時の内側管４の管軸方向への熱膨張による損傷や破損を防止し、エキシマランプ１の点灯開始時の外側電極８と内側電極３間の沿面放電を防止すると共に、エキシマ発光を開始することにある。【解決手段】  本発明は、放電ガスが封入された放電容器と、前記放電容器内に配置し、放電容器と離隔した誘電体材料と、前記誘電体材料内に配置し、前記放電容器内の管軸方向に延在すると共に、一端を放電容器の端部で封止した内側電極と、前記内側電極と接続し、放電容器から突出した外部リードと、前記放電容器の外周面に配置された外側電極とからなるエキシマランプにおいて、導電部材が、放電容器の外周面に配置され、内側電極と電気的に接続されることを特徴とする。【選択図】  図１
2008059888.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電ガスが封入された放電容器と、前記放電容器内に配置し、放電容器と離隔した誘電体材料と、
前記誘電体材料内に配置し、前記放電容器内の管軸方向に延在すると共に、放電容器の端部で封止した内側電極と、
前記内側電極と接続し、放電容器から突出した外部リードと、
前記放電容器の外周面に配置した外側電極とからなるエキシマランプにおいて、
導電部材を、放電容器の外周面に配置し、内側電極と電気的に接続したことを特徴とするエキシマランプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、誘電体材料を介在させて放電してエキシマ発光するエキシマランプに関するものであり、特に放電容器内に内側電極を有するエキシマランプに係わるものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体の製造工程や液晶板の製造工程において、真空紫外光を照射して表面処理をする光源としてエキシマランプが用いられる。
【０００３】
エキシマランプについての技術は、例えば、特開２００５−１００９３４公報及び特開２００６−１２６８０公報に開示されている。
図１３に従来のエキシマランプ１を示す。図１３（ａ）は、エキシマランプ１の管軸方向に沿った方向の断面図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
エキシマランプ１は、全体が管状の放電容器２から構成されており、放電ガスが充填された発光部２１と、放電容器２の管軸方向の両端に発光部２１を気密に封止する放電容器２の封止部２２が形成される。放電容器２内には、内側電極３が放電容器２の概略管軸を延在するように配置される。放電容器２の封止部２２の両端に突出する外部リード６が配置され、内側電極３と外部リード６は封止部２２に埋設された金属箔７により接続される。誘電体材料からなる内側管４は、その管軸方向の端部が放電容器２の内面に接しないように離隔されると共に、コイル状の内側電極３１の外周に配置される。内側管４はその外周面に円盤状の支持部材５が配置され、支持部材５は放電容器２の内周に配置される。外側電極８は、内側管４の径方向にある放電容器２の外周面に、内側管４の管軸方向の両端より短くなるように配置される。
外部リード６に接続される図示しない交流電源から電圧を印加されることにより、金属箔７を介して接続される内側電極３にも同様に電圧が印加される。エキシマランプ１は、外側電極８と内側電極３の電位差により、外側電極８と内側電極３との間にある誘電体としての放電容器２及び内側管４を介してエキシマ発光が発生する。
内側管４の管軸方向の両端が放電容器２に接しないように離隔されることにより、エキシマランプ１点灯時に、内側管４は、放電容器２内の管軸方向への熱膨張が拘束されることなく、自由に伸縮される。このため、内側管４は、内側管４の管軸方向の端部での応力集中や熱歪みによる損傷や破損を防止できる。
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−１００９３４公報
【特許文献２】特開２００６−１２６８０公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、内側管４の管軸方向の両端が放電容器２に接しないように離隔されることにより、放電容器２の封止部２２と内側管４の間で内側管４により覆われない径方向に露出した内側電極３３が形成され、エキシマランプ１の点灯開始時に内側管４に覆われない径方向に露出した内側電極３３と外側電極８の間でアーク状の沿面放電が発生し、エキシマ発光が開始できないことが分かった。沿面放電が発生すると、外部電極８の沿面放電発生部分が高温になって酸化し、導電性を失ってしまう。さらに、内側電極３の沿面放電発生部分は赤熱し、切断されてしまう。
そこで、本発明の目的は、エキシマランプ１の点灯時の内側管４の管軸方向への熱膨張による損傷や破損を防止し、エキシマランプ１の点灯開始時の外側電極８と内側電極３間の沿面放電を防止すると共に、エキシマ発光を開始することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載のエキシマランプは、放電ガスが封入された放電容器と、前記放電容器内に配置し、放電容器と離隔した誘電体材料と、前記誘電体材料内に配置し、前記放電容器内の管軸方向に延在すると共に、一端を放電容器の端部で封止した内側電極と、前記内側電極と接続し、放電容器から突出した外部リードと、前記放電容器の外周面に配置された外側電極とからなるエキシマランプにおいて、導電部材が、放電容器の外周面に配置され、内側電極と電気的に接続されることを特徴とする。
【０００７】
本発明は上記構成によって、以下の効果を有する。
放電容器内に配置された誘電体材料が放電容器と離隔されることにより、エキシマランプ点灯時の内側管の管軸方向への熱膨張による損傷や破損を防止することができる。さらに、導電部材が、放電容器の外周面に配置され、内側電極と電気的に接続されることにより、エキシマランプの点灯開始時の外側電極と内側電極との間での沿面放電を防止することができ、沿面放電による外側電極の酸化及び内側電極の切断を防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
＜第１の実施例＞
本発明のエキシマランプの第１の実施例を、図１を用いて説明する。
図１（ａ）はエキシマランプ１の管軸方向に沿った方向の断面図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図であり、（ｃ）は導電部材９を拡大した斜視図である。図１３に示したものと同じものには同一の符号が付されている。
【０００９】
エキシマランプ１は、管状の例えば合成石英ガラスからなる放電容器２から構成されており、放電ガスとして例えばキセノンガスが充填された発光部２１と、放電容器２の管軸方向の両端に発光部２１を気密に封止する放電容器２の封止部２２が形成される。
内側電極３は、コイル状の例えばタングステンからなる内側電極３１の長手方向の両端に、棒状の例えばタングステンからなる内側電極３２を、コイル状の内側電極３１と棒状の内側電極３２の長手方向への中心軸が一致するように配置し、溶接等により接合させて形成される。放電容器２内には、内側電極３が放電容器２の概略管軸に延在するように配置される。
管状の誘電体材料からなる内側管４は、例えば合成石英ガラスから形成され、内側管４の管軸方向の両端が放電容器２に接しないように離隔されると共に、内側電極３の外周を包囲するように配置される。内側管４はその外周に円盤状の例えば合成石英ガラスからなる支持部材５が配置され、支持部材５は放電容器２の内部に配置される。
放電容器２の封止部２２の両端には突出する例えばタングステンからなる外部リード６が配置され、放電容器２の封止部２２は発光部２１の管軸方向の両端のパイプ体を溶融状態にして圧潰するピンチシール法により形成されたものであり、放電容器２の封止部２２内には内側電極３と外部リード６とを電気的に接続する例えばモリブデンからなる箔７が埋設される。また、放電容器２の封止部２２はパイプ体を溶融状態にして内部を減圧することにより形成するシュリンクシール法により形成しても良い。これにより、内側電極３には、内側管４の管軸方向の両端と放電容器２の封止部２２の間に、内側電極３の径方向を内側管４によって覆われないと共に放電容器２の封止部２２によって埋設されない径方向に露出した内側電極３３が形成される。
内側管４の径方向にある放電容器２の外周面に、網状の例えば銅・ニッケル合金からなる外側電極８が密着され、放電容器２の管軸方向において内側管４の管軸方向の両端より短くなるように配置される。
放電容器２の封止部２２から突出する一対の外部リード６のうち、一方の外部リード６は図示しない交流電源に接続される。
【００１０】
エキシマランプ１の具体的な数値例をあげると、放電容器２の管軸方向の長さは２２５０ｍｍであり、放電容器２の外径は１８．５ｍｍであり、内径は１６．５ｍｍであり、放電容器２の発光部２１に放電ガスとして封入されるキセノンガスの封入量は６６．５ＫＰａであり、内側管４の管軸方向の長さは２２００ｍｍであり、内側管４の外径は４ｍｍであり、内径は２ｍｍである。コイル状の内側電極３１の長手方向の長さは２０３０ｍｍであり、コイル状の内側電極３１の外径は１．８ｍｍであり、エキシマランプ１に供給される電圧波形は例えば矩形波であり、ピーク電圧が５ＫＶであり、周波数は６０ＫＨｚである。数値例はこれらに限られるものでないのは当然であるが、エキシマランプ１点灯時の内側管４の破損を防止するためには、内側管４の管軸方向の端部が放電容器２と接しないように離隔される必要がある。
【００１１】
導電部材９は例えばステンレスから形成され、囲繞部９１及び連接部９２から構成される。放電容器２の外周面に配置された囲繞部９１は、放電容器２の管軸方向に対して垂直方向の断面がＣ字状であり、概略円状の穴部を有し、囲繞部９１の開口部９１２近傍に囲繞部９１の径方向に伸びる突起９１１が設けられる。放電容器２の外周面に配置された連接部９２は、放電容器２の管軸方向に沿った方向の断面がＬ字状であり、放電容器２の管軸方向に伸びた連接部９２の一方の端部と囲繞部９１とが接続され、放電容器２の管軸方向に対して垂直方向に伸びた連接部９２の他方の端部に凹凸状の突起９２１が設けられる。
【００１２】
囲繞部９１は、板状の例えばステンレスを型に入れ、プレス加工等により放電容器２の管軸方向に対して垂直方向の断面がＣ字状に形成されると共に、囲繞部９１の開口部９１２近傍に囲繞部９１の径方向に伸びる突起９１１が形成される。連接部９２は、板状の例えばステンレスを型に入れ、プレス加工等により放電容器２の管軸方向の断面がＬ字状に形成される。連接部に設けられる突起９２１は、板状の例えばステンレスをプレス加工等により凹凸状に形成される。連接部に設けられる突起９２１は、放電容器２の外周面に配置させたときに外部リード６と凹凸が係合するように、連接部９２の端部に溶接等により接続される。
【００１３】
囲繞部９１は、撓める等して囲繞部９１の開口部９１２から放電容器２の外周面に挿入され、外側電極８と離隔され、内側管４の径方向にある放電容器２の外周面の概略一周に配置されると共に、囲繞部９１の付勢により放電容器２の外周に密着される。また、囲繞部９１は、囲繞部９１の概略円状の穴部９３から外部リード６を通って放電容器２の外周面に挿入させても良い。連接部９２は、その端部に設けられた凹凸状の突起９２１が外部リード６に接するように配置され、スポット溶接などにより接続される。
これにより、導電部材９の囲繞部９１は、内側管４の管軸方向の両端部の径方向にある放電容器２の外周と外側電極８との間にある放電容器２の外周面２３，２４の二箇所のそれぞれに配置され、外側電極８と離隔されることで電気的に接続されず、内側管４の管軸方向の端部の径方向にある放電容器２の外周から離隔された位置Ｌ１に配置されるため、内側管４の管軸方向の両端部の径方向にある放電容器２の外周と外側電極８との間にある放電容器２の管軸方向の外周面２３，２４の一部に配置される。さらに、導電部材９の囲繞部９１は、開口部９１２を有するため、放電容器２の外周面２３，２４の概略一周を取り囲む。その上、導電部材９の囲繞部９１は、連接部９２が外部リード６と接続されることで内側電極３と電気的に接続される。
【００１４】
囲繞部９１の開口部９１２近傍の囲繞部９１の径方向に伸びる突起９１１を設けることにより、囲繞部９１を放電容器２に配置するときに放電容器２の外周面への損傷を抑制することができる。
連接部９２の端部に設けられる突起９２１を凹凸状にすることにより、外部リード６を係合するように配置したとき、連接部９２の突起９２１と外部リード６との接する面が大きくなり、スポット溶接等によって接合性が良好となる。
【００１５】
エキシマランプ１の第１の実施例における本発明の効果を確認するため、実験を行なった。
エキシマランプ１は、図１３に示した従来のエキシマランプ１を５本準備し、図１に示した本発明の導電部材９を配置したエキシマランプ１を５本準備した。従来及び本発明のエキシマランプ１は、放電容器２の管軸方向の長さが２２５０ｍｍ、発光部２１の外径が１８．５ｍｍ、発光部２１の内径が１６．５ｍｍ、内側管４の外径が１．８ｍｍ、コイル状の内側電極３１の長手方向の長さが２０３０ｍｍ、径方向に露出した内側電極の管軸方向の長さは１０ｍｍ、キセノンガスの発光部２１への封入量が６６．５ＫＰａである点で共通する。従来及び本発明のエキシマランプ１には、窒素雰囲気で、電圧波形が矩形波のピーク電圧５ＫＶ・周波数６０ＫＨｚを供給してランプ１を点灯させる。
本発明のエキシマランプ１には、内側管４の管軸方向の端部の径方向にある放電容器２の外周から外側電極３側へ５ｍｍ（図１中Ｌ１）の位置に、放電容器２の管軸方向への導電部材９の囲繞部９１の長さＬ２が３ｍｍで、放電容器２の管軸方向に対して垂直方向の長さＬ３が０．３ｍｍの導電部材の囲繞部９１を、放電容器２の外周の概略一周に密着するように配置させる。導電部材９の連接部９２は、外部リード６にスポット溶接により接続される。これにより、導電部材９の囲繞部９１は、内側管４の管軸方向の両端部の径方向にある放電容器２の外周と外側電極８との間にある放電容器２の外周面２３，２４の二箇所のそれぞれに配置され、外側電極８と離隔されることで電気的に接続されず、内側管４の管軸方向の端部の径方向にある放電容器２の外周から離隔された位置Ｌ１に配置されるため、内側管４の管軸方向の両端部の径方向にある放電容器２の外周と外側電極８との間にある放電容器２の管軸方向の外周面２３，２４の一部に配置される。さらに、導電部材９の囲繞部９１は、開口部９１２を有するため、放電容器２の外周面の概略一周を取り囲む。その上、導電部材９の囲繞部９１は、連接部９２が外部リード６と接続されることで内側電極３と電気的に接続される。
実験は、用意した従来及び本発明のエキシマランプ１のそれぞれにおいて、ランプ１点灯開始時の沿面放電の発生の有無を目視により確認した。
実験結果を図２に示す。沿面放電が発生したエキシマランプ１には×を付し、沿面放電が発生しなかったエキシマランプ１には○を付した。実験結果に示すように、従来のエキシマランプ１は５本すべてで沿面放電が発生したが、本発明のエキシマランプ１は５本すべてで沿面放電の発生を防止することができた。
実験結果から、従来のエキシマランプ１の沿面放電の発生及び本発明のエキシマランプ１の沿面放電の防止の効果について以下に考察する。
【００１６】
図３及び図１３を用いて従来のエキシマランプ１の沿面放電の発生について考察する。図３は、従来のエキシマランプ１の沿面放電の発生について説明するための図であり、図１３の放電容器２の管軸方向の一方の端部の拡大図である。
従来のエキシマランプ１はランプ１点灯開始時に、一方の外部リード６に接続された図示しない交流電源から電圧が印加されることにより、内側電極３は外側電極８より電位が高くなる。このため、内側電極３の近傍には電位の高い放電容器２５が形成され、電位の高い放電容器２５と外側電極８との間には、電位の低い放電容器２６が形成されると考えられる。これらを整理すると、ランプ１点灯開始時に、最も電位が高いのは内側電極３で、次は放電容器２で、最も電位の低いのは外側電極８となる。内側電極３と外側電極８との間にある放電容器２には、電位の高い放電容器２５が形成され、これより電位の低い放電容器２６が形成される。
ランプ１点灯開始時の電位の関係により、内側管４の管軸方向の端部とその近傍の封止部２２との間にある径方向に露出した内側電極３３からは、これより電位の低い放電容器２に向かって電荷が放出され、放出された電荷は放電容器２より電位の低い外側電極８に向かって移動すると考えられる。径方向に露出した内側電極３３から放出された電荷が外側電極８へ移動するため、径方向に露出した内側電極３３からは電荷が連続的に放出され、外側電極８へ連続的に移動されると考えられる。この電荷の連続的な放出と連続的な移動が、径方向に露出した内側電極３３と外側電極８の間での沿面放電になると考えられ、本実験の従来のエキシマランプ１のすべてで沿面放電が発生したと推測される。
【００１７】
次に、図１及び図４を用いて本発明の第１の実施例のエキシマランプ１の沿面放電の防止の効果について考察する。図４は、本発明の第１の実施例のエキシマランプ１の沿面放電の防止の効果について説明するための図であり、図１の放電容器２の管軸方向の一方の端部の拡大図である。
導電部材９の囲繞部９１は、内側管４の管軸方向の両端部の径方向にある放電容器２の外周と外側電極８との間にある放電容器２の外周面２３，２４の二箇所のそれぞれに配置され、外側電極８と離隔され、内側管４の管軸方向の端部の径方向にある放電容器２の外周から離隔された位置Ｌ１に配置されるため、内側管４の管軸方向の両端部の径方向にある放電容器２の外周と外側電極８との間にある放電容器２の管軸方向の外周面２３，２４の一部に配置される。さらに、導電部材９の囲繞部９１は、開口部９１２を有するため、放電容器２の外周面の概略一周を取り囲む。その上、導電部材９の囲繞部９１は、連接部９２が外部リード６と接続される。これにより、ランプ１点灯開始時に、導電部材９は、外側電極８と電気的に接続されることなく、内側電極３と同電位となる。放電容器２には、内側電極３の近傍に電位の高い放電容器２５が形成されると共に、導電部材９の近傍にも同様に電位の高い放電容器２５が形成され、内側電極３の近傍の電位の高い放電容器２５と導電部材９の近傍の電位の高い放電容器２５の間には電位の低い放電容器２６が形成されると考えられる。
導電部材９が外側電極８と離隔される共に内側管４の管軸方向の両端部の径方向にある放電容器２の外周と外側電極８との間にある放電容器２の外周面２３，２４に配置されることによって、電位の高い放電容器２５の範囲を従来のものより広く形成することができ、径方向に露出した内側電極３３からの電荷の放出を抑制できると考えられる。たとえ図４に示すように径方向に露出した内側電極３３から放電容器２へ電荷が放出されたとしても、電荷は、電位の高い放電容器２５に囲まれるため、電位の低い放電容器２６に留まることになり、外側電極８へ移動することができなくなると考えられる。電荷の移動が防止されることにより、径方向に露出した内側電極３３からの連続的な電荷の放出を防止できると考えられる。
これらにより、本発明のエキシマランプ１の全てのランプで沿面放電を防止できたと推測される。本発明のエキシマランプ１は、導電部材９が外側電極８と電気的に接続されず、内側電極３と外側電極８との間の電位差により、誘電体材料である内側管４と放電容器２を介してエキシマ発光が開始された。
【００１８】
本発明のエキシマランプの別の実施例を、図５を用いて説明する。
図５（ａ）はエキシマランプ１の管軸方向に沿った方向の断面図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図である。図１に示したものと同じものには同一の符号が付されている。
図５のエキシマランプ１は導電部材９の囲繞部９１が膜状である点と、導電部材９の囲繞部９１と連接部９２が異なる材料からなる点で、図１と相違する。
【００１９】
導電部材９は、囲繞部９１及び連接部９２から構成される。囲繞部９１は膜状の例えば金から形成され、連接部９２は線状の例えばステンレスから形成される。
【００２０】
囲繞部９１は、外側電極８と離隔され、内側管４の径方向にある放電容器２の外周面の一周を被膜するように、例えば金を真空蒸着法等により、膜状に形成し配置される。真空蒸着法等により形成されることにより、放電容器２の外周面に密着することができる。連接部９２は、膜状の囲繞部９１を巻回し、外部リード６にスポット溶接等により接続される。
これにより、導電部材９の囲繞部９１は、内側管４の管軸方向の両端部の径方向にある放電容器２の外周と外側電極８との間にある放電容器２の外周面２３，２４の二箇所のそれぞれに配置され、放電容器２の外周面２３，２４の一周を取り囲み、外側電極８と離隔されることで電気的に接続されない。さらに、導電部材９の連接部９２は、囲繞部９１に巻回されることで電気的に接続される。その上、導電部材９の囲繞部９１は、連接部９２が外部リード６と接続されることで内側電極３と電気的に接続される。
【００２１】
ランプ１点灯開始時に、導電部材９は内側電極３と電気的に接続されることにより、内側電極３と同電位となる。このため、放電容器２には、内側電極３の近傍に電位の高い放電容器２が形成されると共に、導電部材９の近傍にも同様に電位の高い放電容器２が形成されると考えられる。
導電部材９が外側電極８と離隔され、内側管４の管軸方向の両端部の径方向にある放電容器２の外周と外側電極８との間にある放電容器２の外周面２３，２４に配置されると共に、内側電極３と電気的に接続されることによって、放電容器２の電位が高くすることができ、径方向に露出した内側電極３３からの電荷の放出を抑制できると考えられ、沿面放電を抑制できる。たとえ、径方向に露出した内側電極３３から放電容器２へ電荷が放出されたとしても、電荷は、電位の高い放電容器２に囲まれるため、外側電極８に移動することを防止することできると考えられ、沿面放電を防止できる。
【００２２】
本発明のエキシマランプの別の実施例を、図６及び図７を用いて説明する。
図６（ａ）はエキシマランプ１の管軸方向に沿った方向の断面図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図である。図１に示したものと同じものには同一の符号が付されている。図７は図６のエキシマランプ１の沿面放電の防止の効果について説明するための図であり、図６の管軸方向の一方の端部の拡大図である。
図６のエキシマランプ１は導電部材９が図１と同一であり、導電部材９の囲繞部９１の配置位置が図１と相違する。
【００２３】
導電部材９の囲繞部９１は、撓める等して囲繞部９１の開口部９１２から放電容器２の外周面に挿入され、外側電極８と離隔され、内側管４の径方向にある放電容器２の外周面の概略一周に配置されると共に、囲繞部９１の付勢により放電容器２の外周に密着される。また、囲繞部９１は、囲繞部９１の概略円状の穴部９３から外部リード６を通って放電容器２の外周面に挿入させても良い。連接部９２は、その端部に設けられた凹凸状の突起９２１が外部リード６に接するように配置され、スポット溶接などにより接続される。
これにより、導電部材９の囲繞部９１は、内側電極３の管軸方向の両端部の径方向に露出した内側電極３３の径方向にある放電容器２の外周面２７，２８の二箇所のそれぞれに配置され、外側電極８と離隔されることで電気的に接続されない。さらに、導電部材９の囲繞部９１は、開口部９１２を有するため、放電容器２の外周面２７，２８の概略一周を取り囲む。その上、導電部材９の囲繞部９１は、連接部９２が外部リード６と接続されることで内側電極３と電気的に接続される。
【００２４】
ランプ１点灯開始時に、導電部材９は、外側電極８と電気的に接続されることなく、内側電極３と同電位となる。放電容器２には、内側電極３の近傍に電位の高い放電容器２５が形成されると共に、導電部材９の近傍にも同様に電位の高い放電容器２５が形成され、内側電極３の近傍の電位の高い放電容器２５と導電部材９の近傍の電位の高い放電容器２５の間には電位の低い放電容器２６が形成されると考えられる。
導電部材９が外側電極８と離隔される共に内側電極３の管軸方向の両端部の径方向に露出した内側電極３３の径方向にある放電容器２の外周面２７，２８に配置されることによって、電位の高い放電容器２５の範囲を図３に示すような従来のものより広く形成することができ、径方向に露出した内側電極３３からの電荷の放出を抑制できると考えられる。たとえ図７に示すように径方向に露出した内側電極３３から放電容器２へ電荷が放出されたとしても、電荷は、電位の高い放電容器２５に囲まれるため、電位の低い放電容器２６に留まることになり、外側電極８へ移動することができなくなると考えられる。電荷の移動が防止されることにより、径方向に露出した内側電極３３からの連続的な電荷の放出を防止できると考えられる。
【００２５】
本発明のエキシマランプの別の実施例を、図８を用いて説明する。
図８（ａ）はエキシマランプ１の管軸方向に沿った方向の断面図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図である。図２に示したものと同じものには同一の符号が付されている。
図８のエキシマランプ１は導電部材９の囲繞部９１が膜状である点と、導電部材９の囲繞部９１と連接部９２が異なる材料からなる点で、図６と相違する。また、図８のエキシマランプ１は導電部材９が図２と同一であり、導電部材９の囲繞部９１の配置位置が図２と相違する。
【００２６】
導電部材９の囲繞部９１は、内側電極３の管軸方向の両端部の径方向に露出した内側電極３３の径方向にある放電容器２の外周面２７，２８の二箇所のそれぞれに配置され、放電容器２の外周面２７，２８の一周を取り囲み、外側電極８と離隔されることで電気的に接続されない。さらに、導電部材９の連接部９２は、囲繞部９１に巻回されることで電気的に接続される。その上、導電部材９の囲繞部９１は、連接部９２が外部リード６と接続されることで内側電極３と電気的に接続される。
【００２７】
ランプ１点灯開始時に、導電部材９は内側電極３と電気的に接続されることにより、内側電極３と同電位となる。このため、放電容器２には、内側電極３の近傍に電位の高い放電容器２が形成されると共に、導電部材９の近傍にも同様に電位の高い放電容器２が形成されると考えられる。
導電部材９が外側電極８と離隔され、内側電極３の管軸方向の両端部の径方向に露出した内側電極３３の径方向にある放電容器２の外周面２７，２８に配置されると共に、内側電極３と電気的に接続されることによって、放電容器２の電位が高くすることができ、径方向に露出した内側電極３３からの電荷の放出を抑制できると考えられ、沿面放電を抑制できる。たとえ、径方向に露出した内側電極３３から放電容器２へ電荷が放出されたとしても、電荷は、電位の高い放電容器２に囲まれるため、外側電極８に移動することを防止することできると考えられ、沿面放電を防止できる。
【００２８】
図１及び図５に示した実施例から、導電部材９が外部電極８と離隔され、内側管４の管軸方向の両端部の径方向にある放電容器２の外周と外側電極８との間にある放電容器２の外周面２３，２４に配置されると共に、内側電極３と電気的に接続されることによって、沿面放電の発生を防止できると分かった。また、図６及び図８に示した実施例から、導電部材９が外部電極８と離隔され、内側電極３の管軸方向の両端部の径方向に露出した内側電極３３の径方向にある放電容器２の外周面２７，２８に配置されると共に、内側電極３と電気的に接続されることによって、沿面放電を防止できると分かった。
以上の実施例から考えると、導電部材９が、外側電極８と離隔され、放電容器２の外周面に配置されると共に、内側電極３と電気的に接続されることにより、放電容器２の電位が高くなるので、径方向に露出した内側電極３３からの電荷の放出又は移動を防止でき、沿面放電の発生を防止できる。
沿面放電を防止できたエキシマランプ１は、導電部材９が外側電極８と電気的に接続されていないことにより、内側電極３と外側電極８との間に電位差が生じ、誘電体材料である内側管４と放電容器を介してエキシマ発光が開始される。
【００２９】
＜第２の実施例＞
本発明のエキシマランプの第２の実施例を、図９を用いて説明する。
図９（ａ）はエキシマランプ１の管軸方向に沿った方向の断面図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図である。図１に示したものと同じものには同一の符号が付されている。
図９のエキシマランプ１は導電部材９がコイル状である点で図１，図５，図６及び図８と相違し、導電部材９の配置位置が図１，図５，図６及び図８と相違する。
【００３０】
導電部材９は例えばステンレスから形成され、囲繞部９１及び連接部９２から構成される。囲繞部９１は連接部９２より大径のコイル状であり、連接部９２は囲繞部９１より小径のコイル状であり、導電部材９の中心軸に延在する図示しない穴部がある。
【００３１】
導電部材９は、線状の例えばステンレスを、大きな外径を有する大径円筒体の円筒軸方向にある一方の端面と小さい外径を有する小径円筒体の円筒軸方向にある一方の端面とを接続させた複径円筒体に、連続的に巻回させることにより、コイル状に形成される。
【００３２】
導電部材９を形成するのに利用する複合円筒体は、大径円筒体の径を放電容器の径より小径に設計することにより、放電容器の外周面に配置させたときの導電部材に付勢を持たせることができる。
【００３３】
導電部材９は、その中心軸に延在する囲繞部９１側の穴部９３から外部リード６を通って放電容器２の外周面に挿入され、外側電極８と離隔され、少なくとも内側管４の径方向にある放電容器２の外周面の概略一周に配置され、連続的に放電容器２の封止部２２までを取り囲むように巻回され、囲繞部９１の付勢により放電容器２の外周に密着される。コイル状の囲繞部９１から連続的に巻回するように続くコイル状の連接部９２は放電容器２の封止部２２端部から外部リード６の外周までに巻回するように配置され、スポット溶接等により外部リード６と接続される。このため、囲繞部９１は内側管４の径方向にある放電容器２の外周面の少なくとも概略一周から放電容器２の封止部２２までを巻回するように配置される。
これにより、導電部材９の囲繞部９１は、内側管４の管軸方向の両端部の径方向にある放電容器２の外周と外側電極８との間にある放電容器２の外周面２３，２４の二箇所に配置され、放電容器２の外周面２３，２４の概略一周を取り囲み、外側電極８と離隔されることで電気的に接続される。さらに、導電部材９の囲繞部９１は、内側管４の管軸方向の端部の径方向にある放電容器２の外周から封止部２２の端部までの放電容器２の外周面を、コイル状なので隙間を形成しながら連続的に巻回するように概略覆うことで、内側電極３の管軸方向の両端部の径方向に露出した内側電極３３の径方向にある放電容器２の外周面２７，２８の二箇所にも配置される。その上、導電部材９の囲繞部９１は、連接部９２が外部リード６と接続されることで内側電極３と電気的に接続される。
【００３４】
ランプ１点灯開始時に、導電部材９は内側電極３と電気的に接続されることにより、内側電極３と同電位となる。このため、放電容器２には、内側電極３の近傍に電位の高い放電容器２が形成されると共に、導電部材９の近傍にも同様に電位の高い放電容器２が形成されると考えられる。
導電部材９が外側電極８と離隔され、内側管４の管軸方向の両端部の径方向にある放電容器２の外周と外側電極８との間にある放電容器２の外周面２３，２４に配置され、さらに内側電極３の管軸方向の両端部の径方向に露出した内側電極３３の径方向にある放電容器２の外周面２７，２８に配置され、その上放電容器２の封止部２２の外周面に配置されると共に、内側電極３と電気的に接続されることによって、放電容器２の電位が高くすることができ、径方向に露出した内側電極３３からの電荷の放出を抑制できると考えられ、沿面放電を抑制できる。たとえ、径方向に露出した内側電極３３から放電容器２へ電荷が放出されたとしても、電荷は、電位の高い放電容器２に囲まれるため、外側電極８に移動することを防止することできると考えられ、沿面放電を防止できる。
【００３５】
本発明のエキシマランプの別の実施例を、図１０を用いて説明する。
図１０（ａ）はエキシマランプ１の管軸方向に沿った方向の断面図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図である。図９に示したものと同じものには同一の符号が付されている。
図１０のエキシマランプ１は導電部材９が網状である点で、図９と相違する。
【００３６】
導電部材９は、網状の例えば銅・ニッケル合金から形成される。導電部材９は例えば平面状のものを、放電容器２の外周に巻回して円筒状にしたものである。また、伸縮性を有すると共に円筒軸に延在する穴部を有する円筒状であってもかまわない。
【００３７】
平面状の導電部材９は、外側電極８と離隔され、内側管の径方向にある放電容器の外周面の一周に密着するように巻回されると共に、連続的に外部リード６に接続させるように巻回される。また、導電部材９が円筒状であった場合は、円筒状の中心軸に延在する図示しない穴部から外部リード６を通って放電容器２の外周面に挿入し、縮径させて密着するように配置しても良い。平面状または円筒状のいずれの導電部材９も外部リードとスポット溶接等によって接続される。このため、導電部材９は内側管４の径方向にある放電容器２の外周面の少なくとも概略一周から放電容器２の封止部２２までを被覆するように配置される。
これにより、導電部材９は、内側管４の管軸方向の両端部の径方向にある放電容器２の外周と外側電極８との間にある放電容器２の外周面２２，２３の二箇所のそれぞれに配置され、放電容器２の外周面２３，２４の一周を取り囲み、外側電極８と離隔されることで電気的に接続される。さらに、導電部材９は、内側管４の管軸方向の端部の径方向にある放電容器２の外周から封止部２２の端部までの放電容器２の外周面を、網状なので隙間を形成しながら概略覆うことで、内側電極３の管軸方向の両端部の径方向に露出した内側電極３３の径方向にある放電容器２の外周面２７，２８の二箇所にも配置される。その上、導電部材９は、外部リード６と接続されることで内側電極３と電気的に接続される。
【００３８】
ランプ１点灯開始時に、導電部材９は内側電極３と電気的に接続されることにより、内側電極３と同電位となる。このため、放電容器２には、内側電極３の近傍に電位の高い放電容器２が形成されると共に、導電部材９の近傍にも同様に電位の高い放電容器２が形成されると考えられる。
導電部材９が外側電極８と離隔され、内側管４の管軸方向の両端部の径方向にある放電容器２の外周と外側電極８との間にある放電容器２の外周面２３，２４に配置され、さらに内側電極３の管軸方向の両端部の径方向に露出した内側電極３３の径方向にある放電容器２の外周面２７，２８に配置され、その上放電容器２の封止部２２の外周面に配置されると共に、内側電極３と電気的に接続されることによって、放電容器２の電位が高くすることができ、径方向に露出した内側電極３３からの電荷の放出を抑制できると考えられ、沿面放電を抑制できる。たとえ、径方向に露出した内側電極３３から放電容器２へ電荷が放出されたとしても、電荷は、電位の高い放電容器２に囲まれるため、外側電極８に移動することを防止することできると考えられ、沿面放電を防止できる。
【００３９】
図９及び図１０に示した実施例から、導電部材９が外部電極８と離隔され、内側管４の管軸方向の両端部の径方向にある放電容器２の外周と外側電極８との間にある放電容器２の外周面２３，２４に配置され、さらに内側電極３の管軸方向の両端部の径方向に露出した内側電極３３の径方向にある放電容器２の外周面２７，２８に配置され、その上放電容器２の封止部２２の外周面に配置されると共に、内側電極３と電気的に接続されることによって、沿面放電の発生を防止できると分かった。
以上の実施例から考えると、第１の実施例と同様に、導電部材９が、外側電極８と離隔され、放電容器２の外周面に配置されると共に、内側電極３と電気的に接続されることにより、放電容器２の電位が高くなるので、径方向に露出した内側電極３３からの電荷の放出又は移動を防止でき、沿面放電の発生を防止できる。
沿面放電を防止できたエキシマランプ１は、導電部材９が外側電極８と電気的に接続されていないことにより、内側電極３と外側電極８との間に電位差が生じ、誘電体材料である内側管４と放電容器を介してエキシマ発光が開始される。
【００４０】
なお、本発明の実施例は上記のものに限定されるものでなく、以下に説明する図１１及び図１２のものであってもかまわない。
【００４１】
本発明のエキシマランプの別の実施例を、図１及び図１１を用いて説明する。
図１１（ａ）はエキシマランプ１の管軸方向に沿った方向の断面図である。図１に示したものと同じものには同一の符号が付されている。
図１１のエキシマランプ１は内側管の管軸方向の一方の端部が封止され、内側管の封止された端部と封止部の間に内側電極３が形成されないと共に、内側管の封止された端部側の放電管の封止部に外部リードや金属箔が配置されない点で、図１と相違する。
【００４２】
エキシマランプ１は、管状の例えば合成石英ガラスからなる放電容器２から構成されており、放電ガスとして例えばキセノンガスが充填された発光部２１と、放電容器２の管軸方向の両端に発光部２１を気密に封止する放電容器２の封止部２２が形成される。
【００４３】
内側電極３は、コイル状の例えばタングステンからなる内側電極３１の長手方向の一方の端部に、棒状の例えばタングステンからなる内側電極３２を、コイル状の内側電極３１と棒状の内側電極３２の長手方向への中心軸が一致するように配置し、溶接等により接合させて形成される。放電容器２内には、内側電極３が放電容器２の概略管軸に延在するように配置される。
【００４４】
管状の誘電体材料からなる内側管４は、例えば合成石英ガラスからなり、内側管４の管軸方向にある一方の端部をバーナー等で高温に熱することで溶融し、縮径することで封止される。一方の端部が封止された内側管４は、その管軸方向の両端が放電容器２に接しないように離隔されると共に、内側管４の管軸方向にある内側管４の封止部４１から内側電極３が突出しないように内側電極３の外周を包囲するように配置される。
内側管４はその外周に円盤状の例えば合成石英ガラスからなる支持部材５が配置され、支持部材５は放電容器２の内部に配置される。
【００４５】
内側管４の管軸方向にある封止されない端部の近傍にある放電容器２の封止部２２には突出する例えばタングステンからなる外部リード６が配置され、内側管４の封止部４１の近傍にある放電容器２の封止部２２には外部リード６が配置されずに、放電容器２の封止部２２は発光部２１の管軸方向の両端のパイプ体を溶融状態にして圧潰するピンチシール方により形成されたものであり、内側管４の管軸方向にある封止されない端部の近傍にある放電容器２の封止部２２内には内側電極３と外部リード６とを電気的に接続する例えばモリブデンからなる箔７が埋設される。一方、内側管４の封止部４１の近傍にある放電容器２の封止部２２には、外部リード６が配置されず、箔７が埋設されない。また、放電容器２の封止部２２はパイプ体を溶融状態にして内部を減圧することにより形成するシュリンクシール法により形成しても良い。これにより、内側管４の管軸方向にある封止されない端部とその近傍の放電容器２の封止部２２の間には、内側電極３の径方向を内側管４によって覆われないと共に放電容器２の封止部２２によって埋設されない径方向に露出した内側管３３が形成される。一方、内側管４の封止部４１とその近傍にある放電容器２の封止部２２の間には径方向に露出した内側電極３３が形成されない。
【００４６】
内側管４の径方向にある放電容器２の外周面に、網状の例えば銅・ニッケル合金からなる外側電極８が密着され、放電容器２の管軸方向において内側管４の管軸方向の両端より短くなるように配置される。
放電容器２の封止部２２から突出する外部リード６には図示しない交流電源に接続される。
【００４７】
本実施例に用いられる導電部材９は、図１（ｃ）に示すものと同一である。
導電部材９の囲繞部９１は、外側電極８と離隔され、径方向に露出した内側電極３３の近傍で内側管４の径方向にある放電容器２の外周面の径方向に概略一周に配置されると共に、囲繞部９１の付勢により放電容器２の外周面の概略一周に密着される。導電部材９の連接部９２は、その端部に設けられた凹凸状の突起９２１が外部リードに接するように配置され、スポット溶接等により接続される。
これにより、導電部材９の囲繞部９１は、内側管４の管軸方向の封止されない端部の径方向にある放電容器２の外周と外側電極８との間にある放電容器２の外周面２３に配置され、外側電極８と離隔されることで電気的に接続されず、内側管４の管軸方向の端部の径方向にある放電容器２の外周から離隔された位置に配置されるため、内側管４の管軸方向の両端部の径方向にある放電容器２の外周と外側電極８との間にある放電容器２の管軸方向の外周面２３の一部に配置される。さらに、導電部材９の囲繞部９１は、開口部９１２を有するため、放電容器２の外周面の概略一周を取り囲む。その上、導電部材９の囲繞部９１は、連接部９２が外部リード６と接続されることで内側電極３と電気的に接続される。
【００４８】
ランプ１点灯開始時に、導電部材９は内側電極３と電気的に接続されることにより、内側電極３と同電位となる。このため、放電容器２には、内側電極３の近傍に電位の高い放電容器２が形成されると共に、導電部材９の近傍にも同様に電位の高い放電容器２が形成されると考えられる。
導電部材９が外側電極８と離隔され、放電容器２の外周面に配置されると共に、内側電極３と電気的に接続されることによって、放電容器２の電位が高くすることができ、径方向に露出した内側電極３３からの電荷の放出を抑制できると考えられ、沿面放電を抑制できる。たとえ、径方向に露出した内側電極３３から放電容器２へ電荷が放出されたとしても、電荷は、電位の高い放電容器２に囲まれるため、外側電極８に移動することを防止することできると考えられ、沿面放電を防止できる。
また、内側管４に封止部４１を形成し、内側管４の封止部４１から内側電極３を突出させないように覆うことにより、内側管４の封止部４１とその近傍の放電容器２の封止部２２の間に径方向に露出した内側電極３３は形成されないため、内側管４の封止部４１とその近傍の放電容器２の封止部２２の間からの電荷の放出を防止できる。
沿面放電を防止できたエキシマランプ１は、導電部材９が外側電極８と電気的に接続されていないことにより、内側電極３と外側電極８との間に電位差が生じ、誘電体材料である内側管４と放電容器を介してエキシマ発光が開始される。
上記のように、本発明のエキシマランプ１は放電容器２の管軸方向の両端に導電部材９を必ずしも配置する必要はなく、径方向に露出した内側電極３３が形成されない側には導電部材９を配置しなくてもかまわない。
【００４９】
本発明のエキシマランプの別の実施例を、図１，図１０及び図１２を用いて説明する。
図１２（ａ）はエキシマランプ１の管軸方向に沿った方向の断面図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図である。図１１に示したものと同じものには同一の符号が付されている。
図１２のエキシマランプ１は、内側電極３が棒状である点，外側電極８が放電容器の管軸方向に対して垂直方向の断面が円弧の板状である点，及び，放電容器２の両端に配置される導電部材９が双方で異なるものを用いた点で、図１及び図１０と相違する。
【００５０】
内側電極３は、棒状の例えばタングステンからなる内側電極３２であり、放電容器２内に放電容器２の概略管軸に延在するように配置される。
【００５１】
外側電極８は、板状の例えばアルミニウムをプレス加工等により、放電容器２の外周面に配置されたときに、放電容器の管軸方向に対して垂直方向の断面が円弧となる板状に形成される。
内側管４の径方向にある放電容器２の外周面に、板状の外側電極８が密着され、放電容器２の管軸方向において内側管４の管軸方向の両端より短くなるように配置される。
【００５２】
本実施例に用いられる導電部材９は、一方が図１に示す導電部材９と同一であり、他方は図１０に示す導電部材９と同一である。図１及び図１０の導電部材９を参照して、図９のエキシマランプ１の導電部材９の配置について説明する。
図１と同一の導電部材９の囲繞部９１は、外側電極８と離隔され、内側管４の径方向にある放電容器２の外周面の概略一周に配置されると共に、囲繞部９１の付勢により放電容器２の外周面の概略一周に密着される。図１と同一の導電部材９の連接部９２は、その端部に設けられた凹凸状の突起９２１が外部リードに接するように配置され、スポット溶接等により接続される。
これにより、導電部材９の囲繞部９１は、内側管４の管軸方向の封止されない端部の径方向にある放電容器２の外周と外側電極８との間にある放電容器２の外周面２３に配置され、外側電極８と離隔されることで電気的に接続されず、内側管４の管軸方向の端部の径方向にある放電容器２の外周から離隔された位置に配置されるため、内側管４の管軸方向の両端部の径方向にある放電容器２の外周と外側電極８との間にある放電容器２の管軸方向の外周面２３の一部に配置される。さらに、導電部材９の囲繞部９１は、開口部９１２を有するため、放電容器２の外周面の概略一周を取り囲む。その上、導電部材９の囲繞部９１は、連接部９２が外部リード６と接続されることで内側電極３と電気的に接続される。
一方、図１０と同一の導電部材９は、外側電極８と離隔され、図１と同一の導電部材９と離隔され、内側管の径方向にある放電容器の外周面を少なくとも概略一周に密着するように配置されると共に、連続的に外部リード６に接続させるように巻回される。図１０と同一の導電部材９も外部リードとスポット溶接等によって接続される。このため、導電部材９は内側管４の径方向にある放電容器２の外周面の少なくとも概略一周から放電容器２の封止部２２までを被覆するように配置される。
これにより、導電部材９は、内側管４の管軸方向の端部の径方向にある放電容器２の外周と外側電極８との間にある放電容器２の外周面２４に配置され、放電容器２の外周面２４の一周を取り囲み、外側電極８と離隔されることで電気的に接続される。さらに、導電部材９は、内側管４の管軸方向の端部の径方向にある放電容器２の外周から封止部２２の端部までの放電容器２の外周面を、網状なので隙間を形成しながら概略覆うことで、内側電極３の管軸方向の一方の端部の径方向に露出した内側電極３３の径方向にある放電容器２の外周面２８にも配置される。その上、導電部材９は、外部リード６と接続されることで内側電極３と電気的に接続される。
【００５３】
ランプ１点灯開始時に、図１及び図１０と同一の導電部材９は内側電極３と電気的に接続されることにより、内側電極３と同電位となる。このため、放電容器２には、内側電極３の近傍に電位の高い放電容器２が形成されると共に、図１及び図１０と同一の導電部材９の近傍にも同様に電位の高い放電容器２が形成されると考えられる。
図１及び図１０と同一の導電部材９が外側電極８と離隔され、放電容器２の外周面に配置されると共に、内側電極３と電気的に接続されることによって、放電容器２の電位が高くすることができ、径方向に露出した内側電極３３からの電荷の放出を抑制できると考えられ、沿面放電を抑制できる。たとえ、径方向に露出した内側電極３３から放電容器２へ電荷が放出されたとしても、電荷は、電位の高い放電容器２に囲まれるため、外側電極８に移動することを防止することできると考えられ、沿面放電を防止できる。
沿面放電を防止できたエキシマランプ１は、導電部材９が外側電極８と電気的に接続されていないことにより、内側電極３と外側電極８との間に電位差が生じ、誘電体材料である内側管４と放電容器を介してエキシマ発光が開始される。
上記のように、本発明のエキシマランプ１は放電容器２の管軸方向の両端に配置される導電部材９は必ずしも同一である必要はなく、異なる導電部材９であってもかまわない。また、放電容器２の管軸方向の両端に配置される導電部材９の配置位置は必ずしも同じである必要はなく、放電容器２の外周面に配置されれば良い。
【００５４】
また、エキシマランプ１の数値例は上記のものに限定されるものでなく、放電容器２の管軸方向の長さが２２０〜２７００ｍｍ、放電容器２の外径が１０〜４０ｍｍ、放電容器２の内径が８〜３０ｍｍ、内側管４の管軸方向の長さが１７０〜２６５０ｍｍ、内側管４の外径が２〜３２ｍｍ、内側管４の内径が１〜３０ｍｍであってもかまわない。コイル状の内側電極３１の長手方向の長さが１９０〜２５００ｍｍ、コイル状の内側電極３１の外径が１〜３０ｍｍであってもかまわない。エキシマランプ１に供給されるピーク電圧が１〜８ＫＶ、周波数が５〜５００ＫＨｚであってもかまわない。
【００５５】
導電部材９は、金属や合金に限定されるものでなく、例えばインジウムスズ酸化物（ＩＴＯ：Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）等をスパッタ蒸着等により形成しても良く、導電性を有したものであれば良い。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明のエキシマランプの説明図である。
【図２】実験結果の説明図である。
【図３】実験結果の説明図である。
【図４】実験結果の説明図である。
【図５】本発明のエキシマランプの説明図である。
【図６】本発明のエキシマランプの説明図である。
【図７】本発明のエキシマランプの説明図である。
【図８】本発明のエキシマランプの説明図である。
【図９】本発明のエキシマランプの説明図である。
【図１０】本発明のエキシマランプの説明図である。
【図１１】本発明のエキシマランプの説明図である。
【図１２】本発明のエキシマランプの説明図である。
【図１３】従来のエキシマランプの説明図である。
【符号の説明】
【００５７】
１            エキシマランプ
２            放電容器
２１          発光部
２２          放電容器の封止部
２３，２４    内側管の端部の径方向にある放電容器の外周と外側電極との間にある放電容器の外周面
２５          電位の高い放電容器
２６          電位の低い放電容器
２７，２８    径方向に露出した内側電極の径方向にある放電容器の外周面
３            内側電極
３１          コイル状の内側電極
３２          棒状の内側電極
３３          径方向に露出した内側電極
４            内側管
４１          内側管の封止部
５            支持部材
６            外部リード
７            箔
８            外側電極
９            導電部材
９１          囲繞部
９１１        囲繞部に設けた突起
９１２        開口部
９２          連接部
９２１        連接部に設けた突起
９３          穴部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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