(57)【要約】      （修正有）【課題】  小型に構成でき、比較的簡単な構成で、感度の良好な加速度センサを提供すること。【解決手段】  上面に凹部４ａが形成されたベース基板４と、下面に凹部５ｃが形成されたリッド基板５と、下面がベース基板４の上面に固定され、上面がリッド基板５の下面に固定される振動片基板１とを備え、振動片基板１は、枠部１ａと、この枠部１ａと一体に形成された第１の音叉型圧電振動片２及び第２の音叉型圧電振動片３を有し、第１及び第２の音叉型圧電振動片２、３は、ベース基板４の凹部４ａとリッド基板５の凹部５ｃとを向かい合わせにして間に形成される空間に収容され、圧電材料の基部２ａ、３ａ、及び基部から平行に延びる少なくとも一対の振動腕２ｂ、２ｃ、３ｂ、３ｃを具備し、かつ各振動腕の延びる方向が同一方向であり、第１の音叉型圧電振動片２と第２の音叉型圧電振動片３とでは各振動腕の向きが互いに逆向きになるように形成されている。【選択図】図１
2008039590.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動片基板を挟んで、該振動片基板の一方の面に接合されるベース基板と、該振動片基板の他方の面に接合されるリッド基板と
を備え、
前記振動片基板は、圧電材料で形成されていて、枠部と、この枠部と一体に形成された第１の音叉型圧電振動片及び第２の音叉型圧電振動片を有し、
前記第１及び第２の音叉型圧電振動片が、
それぞれ基部、及び前記基部と一体に形成され前記基部から平行に延びる少なくとも一対の振動腕を具備し、
かつ前記各振動腕の延びる方向が同一方向であり、前記第１の音叉型圧電振動片と第２の音叉型圧電振動片とでは各振動腕の向きが互いに逆向きになるように形成されていて、
さらに、
前記第１の音叉型圧電振動片を用いた発振回路と、
前記第２の音叉型圧電振動片を用い、前記発振回路から出力される信号を直接又は他の回路を介して入力されるフィルタ回路と
を有する  ことを特徴とする加速度センサ。
【請求項２】
前記第１及び第２の音叉型圧電振動片は、前記各振動腕の延びる方向が、検出すべき加速度が作用する方向と一致されているとともに、前記加速度が作用した際に、前記第１の音叉型圧電振動片の周波数が増加又は減少変化すると、前記第２の音叉型圧電振動片の周波数が逆に変化する構成としたことを特徴とする請求項１に記載の加速度センサ。
【請求項３】
加速度が作用した際に、前記発振回路の第１の音叉型圧電振動片の周波数が増加すると、前記フィルタ回路の周波数減衰特性が負の方向に周波数シフトし、
前記発振回路の第１の音叉型圧電振動片の周波数が減少すると、前記フィルタ回路の周波数減衰特性が正の方向に周波数シフトする
ことを特徴とする請求項１または２に記載の角速度センサ。
【請求項４】
加速度が作用した際に、前記発振回路の第１の音叉型圧電振動片の周波数が増加すると、前記フィルタ回路の周波数位相特性が負の方向に周波数シフトし、
前記発振回路の第１の音叉型圧電振動片の周波数が減少すると、前記フィルタ回路の周波数位相特性が正の方向に周波数シフトする
ことを特徴とする請求項１または２に記載の角速度センサ。
【請求項５】
前記フィルタ回路から出力される信号を整流する整流回路と、該整流回路から出力される信号を積分する積分回路とを有することを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の加速度センサ。
【請求項６】
前記発振回路から出力される信号の位相を９０度シフトさせた信号を前記フィルタ回路に出力する移相回路と、前記フィルタ回路から出力される信号と前記発振回路から出力される信号とを乗算する乗算回路と、前記乗算回路から出力される信号を積分する積分回路とを有することを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の加速度センサ。
【請求項７】
前記リッド基板の上面にフリップチップ実装された集積回路を有することを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の加速度センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、移動体などに作用する加速度を計測する加速度センサに係り、特に比較的簡単な構成で、感度に優れた加速度センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の加速度センサとしては、所定の質量を有するマス部と、これを支持する梁部などのバネ要素で形成されたものが知られている。
このような加速度センサでは、バネ要素に生じた応力が加速度に対応するので、この応力を検出することにより、加速度を知るようにしている。
具体的には、加速度がマス部に作用すると、該マス部は、該バネ要素に生じた応力がマス部の慣性力とつりあうまで変位する。したがって、この変位から、バネ要素に生じた応力を検出し、加速度を知ることができるものである。
しかしながら、このような方式の加速度センサでは、応力検出に半導体センサなどの特別な検出手段を用いる必要があることや、応力−電圧変換効率の問題などが指摘されている。
【０００３】
そこで、支持基台に平行ビーム振動体を接続して支持し、該平行ビーム振動体をマス部材に接続するとともに、平行ビーム振動体を励振する手段、および平行ビーム振動体の振動数を検出する手段を設けた構成の加速度センサも提案されている（特許文献１、図１、図２参照）。
このような構成の加速度センサによれば、加速度により生じるマス部の慣性力によって平行ビーム振動体のビームが撓む。これにより平行ビーム振動体は形状剛性が変化し、その共振振動数が変化する。この振動数変化を検出することで、加速度を検出しようとするものである。
該加速度センサは、上記のような構成であるため、平行ビーム振動体の周波数を周波数カウンタなどの検出手段で検出するため、従来のような半導体センサなどの特別な手段が不要であり、変換効率の問題もない。
【特許文献１】特開平９−２５７８３０号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１の加速度センサでは、比較的大きな形状と質量をもつマス部を必要とし、その分小型化が困難である。
また、加速度に対応した応力感度が最適な振動モードが選択されていないなどの問題がある。
この発明は、小型に構成でき、比較的簡単な構成で、感度の良好な加速度センサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的は、第１の発明にあっては、振動片基板を挟んで、該振動片基板の一方の面に接合されるベース基板と、該振動片基板の他方の面に接合されるリッド基板とを備え、前記振動片基板は、圧電材料で形成されていて、枠部と、この枠部と一体に形成された第１の音叉型圧電振動片及び第２の音叉型圧電振動片を有し、前記第１及び第２の音叉型圧電振動片が、それぞれ基部、及び前記基部と一体に形成され前記基部から平行に延びる少なくとも一対の振動腕を具備し、かつ前記各振動腕の延びる方向が同一方向であり、前記第１の音叉型圧電振動片と第２の音叉型圧電振動片とでは各振動腕の向きが互いに逆向きになるように形成されていて、さらに、前記第１の音叉型圧電振動片を用いた発振回路と、前記第２の音叉型圧電振動片を用い、前記発振回路から出力される信号を直接又は他の回路を介して入力されるフィルタ回路ととを有する加速度センサにより、達成される。
【０００６】
第１の発明の構成によれば、第１の音叉型圧電振動片及び第２の音叉型圧電振動片を同一のウエハにフォトリソグラフィーで形成できるため、第１の音叉型圧電振動片及び第２の音叉型圧電振動片の振動腕は精密に平行となる。したがって、第１の発明の構成によれば、第１の音叉型圧電振動片及び第２の音叉型圧電振動片において、各振動腕の延びる方向が、精密に同一方向となる。
また、第１の発明の構成によれば、第１の音叉型圧電振動片及び第２の音叉型圧電振動片を同一のウエハに形成できるため、第１の音叉型圧電振動片と第２の音叉型圧電振動片とでは、温度差が殆どなく、周波数−温度特性も同一となる。
そして、音叉型圧電振動片は、その振動腕に対して平行に加速度が加えられた場合、振動腕の長さが、ごく僅かに延びたり縮んだりするが、発振回路が備える第１の音叉型圧電振動片とフィルタ回路が備える第２の音叉型圧電振動片とは、ともに、各振動腕の延びる方向が加速度が作用する方向と一致されている。しかも、発振回路が備える第１の音叉型圧電振動片とフィルタ回路が備える第２の音叉型圧電振動片とは各振動腕の向きが互いに逆向きになるように形成されている。
このため、発振回路が備える第１の音叉型圧電振動片の振動腕が僅かに延びれば、フィルタ回路が備える第２の音叉型圧電振動片の振動腕が僅かに縮むし、他方で、発振回路が備える第１の音叉型圧電振動片の振動腕が縮めば、フィルタ回路が備える第２の音叉型圧電振動片の振動腕が僅かに延びることとなる。
【０００７】
ここで、音叉型圧電振動片の振動腕の長さをｌとし、振動腕の幅をＷとすると、
（周波数）ｆ＝Ｗ／ｌ２・・・・・（式１）。
となる。
つまり、振動腕の長さが長いと、周波数は低くなり、振動腕の長さが短くなると周波数は高く変化する。
このことから、振動腕の方向に対して平行な成分を有する加速度が作用した際に、発振回路が備える第１の音叉型圧電振動片の周波数（「周波数値」、以下、同じ）が増加または減少する。そして、第２の音叉型圧電振動片によって決定されるフィルタ回路のフィルタ特性は、前記第１の音叉型圧電振動片の周波数の変化する方向とは逆方向にシフトする。なお、フィルタ特性としては、例えばフィルタ回路に入力される信号の周波数に対するフィルタ回路の減衰量の特性や、フィルタ回路に入力される信号の周波数に対するフィルタ回路の位相特性などがある。加速度が作用することにより、フィルタ回路のフィルタ特性が変化するとともに、フィルタ回路に入力される信号の周波数も変化するため、フィルタ回路の出力する信号の振幅や位相が大きく変化する。したがって、ひとつの音叉型圧電振動片に対して加速度が作用した場合における周波数変化分を検出する構成と比較すると、加速度検出の感度を向上させることが可能である。
また、第１の音叉型圧電振動片と第２の音叉型圧電振動片とには、同時に加速度が作用し、周波数変化も同時に、しかも瞬時に生じるので、応答がきわめて早い。
加速度を受けてバネ要素を変形させるマス部を必要としないので、小型に形成することができる。
【０００８】
第２の発明は、第１の発明の構成において、前記第１及び第２の音叉型圧電振動片は、前記各振動腕の延びる方向が、検出すべき加速度が作用する方向と一致されているとともに、前記加速度が作用した際に、前記第１の音叉型圧電振動片の周波数が増加又は減少変化すると、前記第２の音叉型圧電振動片の周波数が逆に変化する構成としたことを特徴とする。
【０００９】
第３の発明は、第１または２の発明の構成において、加速度が作用した際に、前記発振回路の第１の音叉型圧電振動片の周波数が増加すると、前記フィルタ回路の周波数減衰特性が負の方向に周波数シフトし、前記発振回路の第１の音叉型圧電振動片の周波数が減少すると、前記フィルタ回路の周波数減衰特性が正の方向に周波数シフトすることを特徴とする。
【００１０】
第４の発明は、第１または２の発明の構成において、加速度が作用した際に、前記発振回路の第１の音叉型圧電振動片の周波数が増加すると、前記フィルタ回路の周波数位相特性が負の方向に周波数シフトし、前記発振回路の第１の音叉型圧電振動片の周波数が減少すると、前記フィルタ回路の周波数位相特性が正の方向に周波数シフトすることを特徴とする。  
【００１１】
第５の発明は、第１ないし４のいずれかの発明の構成において、前記フィルタ回路から出力される信号を整流する整流回路と、前記整流回路から出力される信号を積分する積分回路を有することを特徴とする。
【００１２】
第５の発明の構成によれば、第１の音叉型圧電振動片の振動腕に平行な成分の加速度が加えられた場合、発振回路が備える音叉型圧電振動片の振動腕が僅かに延びる。したがって、発振回路が備える第１の音叉型圧電振動片の周波数が減少し、発振回路から出力される信号の周波数も減少する。なお、加速度が作用することで、第１の音叉型圧電振動片の振動腕が僅かに縮んだ場合には、第１の音叉型圧電振動片の周波数は増加し、発振回路から出力される信号の周波数は増加する。この音叉型圧電振動片の延びた場合と縮んだ場合における相違については、以下同じであるから、煩雑を避けるため、その一方のみを記載する。
他方で、フィルタ回路においては、加速度の影響により、減衰量−周波数特性が、減衰量が大きくなる方向にシフトする。
したがって、この減衰量−周波数特性のシフトしたフィルタ回路に、発振回路からの周波数が増加した信号が入力されれば、フィルタ回路における減衰量がより大きくなり、フィルタ回路から出力される信号の振幅は大きく変化し、これを整流して積分した値は、第１の音叉型圧電振動片を備える発振回路の出力信号の周波数変化分よりも、加速度の変化を大きく反映することとなる。
よって、積分回路から出力される信号を利用することにより、音叉型圧電振動片の減衰量−周波数特性の変化に基づく加速度検出の感度向上を図ることが可能となる。
また、音叉型圧電振動片の振動腕の周波数は温度が高くなると大きくなり、音叉型圧電振動片の減衰量−周波数特性は温度が高くなると減衰量が小さくなる方向にシフトする。したがって、第３の発明の構成において加速度センサの温度が高くなった場合、発振回路が備える音叉型圧電振動片の周波数が増加し、発振回路から出力される信号の周波数も増加する。
他方で、フィルタ回路においては、減衰量−周波数特性が、その特性波形のグラフ形状を保ったまま、減衰量が小さくなる方向にシフトする。
したがって、発振回路から周波数が増加（または減少）した信号が、減衰量が小さくなる方向に減衰量−周波数特性がシフトしたフィルタ回路に入力されるため、温度変化によるフィルタ回路における減衰量の変化は打ち消され、フィルタ回路から出力される信号の振幅は変化しない。
よって、周波数−温度特性により、加速度が作用していないのに温度の変化によって周波数が変化することに基づく検出値の悪影響、すなわち、正確な加速度信号と異なる値が検出されてしまうことを防止できる。
【００１３】
第６の発明は、第１ないし４のいずれかの発明の構成において、前記発振回路から出力される信号の位相を９０度シフトさせた信号を前記フィルタ回路に出力する移相回路と、前記フィルタ回路から出力される信号と前記発振回路から出力される信号とを乗算する乗算回路と、前記乗算回路から出力される信号を積分する積分回路とを有することを特徴とする。
第６の発明の構成によれば、加速度が作用していない場合は、発振回路から出力される信号とフィルタ回路から出力される信号は、位相差が９０度であるから、これらを乗算して積分すると、その値は０となる。
【００１４】
しかしながら、加速度が作用した場合は、発振回路が備える第１の音叉型圧電振動片の振動腕が僅かに延びる。したがって、発振回路においては、音叉型圧電振動片の周波数が減少し、位相−周波数特性も、その特性を表すグラフ形状を保ったまま、位相が大きくなる方向にシフトする。このため、発振回路から出力される信号は、位相（「位相値」、以下、同じ）が増加する。
他方で、フィルタ回路においては、第２の音叉型圧電振動片の振動腕が僅かに縮むから、第２の音叉型圧電振動片の周波数が増加し、位相−周波数特性も、その特性を表すグラフ形状を保ったまま、位相が小さくなる方向にシフトする。したがって、フィルタ回路から出力される信号の位相は減少する。
このため、発振回路から出力される信号の位相が増加する一方で、フィルタ回路から出力される信号の位相が減少することとなって、発振回路から出力される信号における位相とフィルタ回路から出力される信号の位相とが、両者の位相差を大きくする方向に変化する。したがって、これらを乗算して積分した値は、フィルタ回路を備えない場合と比較して大きくなり、加速度検出の感度向上が図られる。
【００１５】
また、音叉型圧電振動片の振動腕の周波数は、温度が高くなると大きくなり、音叉型圧電振動片の位相−周波数特性は、温度が高くなると位相が大きくなる方向にシフトする。したがって、第６の発明の構成において加速度センサの温度が高くなった場合、発振回路が備える音叉型圧電振動片の周波数が増加し、発振回路から出力される信号の位相は増加する。
他方で、フィルタ回路においては、位相−周波数特性が、その特性を表すグラフ形状を保ったまま、位相が大きくなる方向にシフトする。
したがって、発振回路から位相が増加した信号が、位相が大きくなる方向に位相−周波数特性がシフトしたフィルタ回路に入力されるため、温度変化によるフィルタ回路における位相の変化は打ち消され、発振回路から出力される信号とフィルタ回路から出力される信号の位相差は９０度のまま変化しない。
よって、加速度が作用していないのに温度の変化によって正確な加速度信号と異なる値が検出されてしまうことを防止できる。
【００１６】
第７の発明は、第１ないし６の発明の構成において、前記リッド基板の上面にフリップチップ実装された集積回路を有することを特徴とする。
第７の発明の構成によれば、実装スペースを小さくすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、この発明の好適な実施形態を添付図面を参照しながら、詳細に説明する。
尚、以下に述べる実施形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。
【００１８】
図１は、本発明の実施の形態に係る加速度センサ５０が備える振動片基板１の概略を示す図である。
図１に示すように、振動片基板１は、枠部１ａと、この枠部１ａと一体に形成された第１の音叉型圧電振動片２及び第２の音叉型圧電振動片３を備えている。後述するように、第１の音叉型圧電振動片２は、発振回路の一部を構成し、第２の音叉型圧電振動片３はフィルタ回路の一部を構成するものである。第１の音叉型圧電振動片２及び第２の音叉型圧電振動片３は、同じ構造のものである。第１の音叉型圧電振動片２は、圧電材料で形成された基部２ａと、この基部２ａと一体に形成され、該基部２ａから平行に僅かに延びる少なくとも一対の振動腕２ｂ、２ｃを備えている。同様に、第２の音叉型圧電振動片３は、圧電材料で形成された基部３ａと、この基部３ａと一体に形成され、該基部３ａから平行に延びる少なくとも一対の振動腕３ｂ、３ｃを備えている。第１の音叉型圧電振動片２及び第２の音叉型圧電振動片３は、各振動腕２ｂ、２ｃ、３ｂ、３ｃの延びる方向が、検出すべき加速度が作用する方向と一致されているとともに、第１の音叉型圧電振動片２と第２の音叉型圧電振動片３とでは、各振動腕２ｂ、２ｃ、３ｂ、３ｃの向きが互いに逆向きになるように配置されている。
【００１９】
ここで、第１の音叉型圧電振動片２及び第２の音叉型圧電振動片３は、例えば、圧電材料のうち、圧電基板として、例えば、第１の音叉型圧電振動片２及び第２の音叉型圧電振動片３を複数もしくは多数分離することができる大きさの水晶ウエハを用いて形成されている。この場合、水晶の単結晶から切り出す際、Ｘ軸が電気軸、Ｙ軸が機械軸及びＺ軸が光学軸となるように、このＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸からなる直交座標系において、Ｚ軸を中心に時計回りに０度ないし５度の範囲で回転して切り出した水晶Ｚ板を所定の厚みに切断研磨して得られるものを用いる。
このような水晶ウエハをフォトリソグラフィーで形成することにより、枠部１ａと、この枠部１ａと一体に形成された第１の音叉型圧電振動片２及び第２の音叉型圧電振動片３を形成している。このため、第１の音叉型圧電振動片２及び第２の音叉型圧電振動片３の振動腕２ｂ、２ｃ、３ｂ、３ｃは精密に平行となる。したがって、第１の音叉型圧電振動片２及び第２の音叉型圧電振動片３において、各振動腕２ｂ、２ｃ、３ｂ、３ｃの延びる方向が、精密に同一方向となる。
また、第１の音叉型圧電振動片２及び第２の音叉型圧電振動片３は、同一の水晶ウエハに形成されるため、第１の音叉型圧電振動片２及び第２の音叉型圧電振動片３とでは、温度差が殆どなく、周波数−温度特性も同一となる。  
このような、振動片基板１は、第１の音叉型圧電振動片２及び第２の音叉型圧電振動片３において、各振動腕２ｂ、２ｃ、３ｂ、３ｃの延びる方向が精密に同一方向であり、温度差が殆どなく、周波数−温度特性も同一であるため、加速度センサに好適に利用することができる。
【００２０】
図２は、振動片基板１の上面に形成される電極を説明する図であり、図３は、振動片基板１の下面に形成される電極を説明する図である。
図２に示すように、振動片基板１には、第１の電極１１が形成されており、この第１の電極１１は、振動片基板１の上面における左半分の枠部１ａに引き回された部分と、この振動片基板１の上面における左半分の枠部１ａに引き回された部分から延長されて、第１の音叉型圧電振動片２の基部２ａを通り、振動腕２ｂの両側面と振動腕２ｃ中央部分との上面及び下面に引き回された部分とを有している。ここで、第１の電極１１において、振動片基板１の上面における左半分の枠部１ａに引き回された部分は、リッド基板５との陽極接合用のものであり、振動腕２ｂの両側面と振動腕２ｃの中央部分との上面及び下面に引き回された部分は、振動腕２ｂ、２ｃを励振させるためのものである。
【００２１】
また、図３に示すように、振動片基板１には、第２の電極１２が形成されており、この第２の電極１２は、振動片基板１の下面における左半分の枠部１ａに引き回された部分と、この振動片基板１の下面における左半分の枠部１ａに引き回された部分から延長されて、第１の音叉型圧電振動片２の基部２ａを通り、振動腕２ｂの中央部分と振動腕２ｃ両側面との上面及び下面に引き回された部分とを有している。ここで、第２の電極１２において、振動片基板１の下面における左半分の枠部１ａに引き回された部分は、ベース基板４との陽極接合用のものであり、振動腕２ｂの中央部分と振動腕２ｃの両側面との上面及び下面に引き回された部分は、振動腕２ｂ、２ｃを励振させるためのものである。
また、図２に示すように、振動片基板１には、第３の電極１３が形成されており、この第３の電極１３は、振動片基板１の上面における右半分の枠部１ａに引き回された部分と、この振動片基板１の上面における右半分の枠部１ａに引き回された部分から延長されて、第２の音叉型圧電振動片３の基部３ａを通り、振動腕３ｂの中央部分と振動腕３ｃ両側面との上面及び下面に引き回された部分とを有している。ここで、第３の電極１３において、振動片基板１の上面における右半分の枠部１ａに引き回された部分は、リッド基板５との陽極接合用のものであり、振動腕３ｂの中央部分と振動腕３ｃの両側面との上面及び下面に引き回された部分は、振動腕３ｂ、３ｃを励振させるためのものである。
【００２２】
また、図３に示すように、振動片基板１には、第４の電極１４が形成されており、この第４の電極１４は、振動片基板１の下面における右半分の枠部１ａに引き回された部分と、この振動片基板１の下面における右半分の枠部１ａに引き回された部分から延長されて、第２の音叉型圧電振動片３の基部３ａを通り、振動腕３ｂの両側面と振動腕３ｃ竜王部分との上面及び下面に引き回された部分とを有している。ここで、第４の電極１４において、振動片基板１の下面における右半分の枠部１ａに引き回された部分は、ベース基板４との陽極接合用のものであり、振動腕３ｂの両側面と振動腕３ｃの中央部分との上面及び下面に引き回された部分は、振動腕３ｂ、３ｃを励振させるためのものである。
これら第１の電極１１、第２の電極１２、第３の電極１３、第４の電極１４は、例えば水晶により形成された振動片基板１の表面に、例えばクロム（Ｃｒ）層を形成し、その上に金（Ａｕ）層を設けた共通の構造を備える。さらに、第１の電極１１、第２の電極１２、第３の電極１３、第４の電極１４において、枠部１ａに形成された陽極接合用の部分は、金層の上に、金属被覆層として、例えば、アルミニウム（Ａｌ）層や、これに代えて、タングステン、シリコン、ニッケル、チタン等を被覆して形成されている。
【００２３】
ここで、第１の電極１１、第２の電極１２に駆動電圧を印加すると、第１の音叉型圧電振動片２において、振動腕２ｂと２ｃとは、その先端部を互いに接近・離間させるようにして水平な屈曲運動を生じる。同様に、第３の電極１３、第４の電極１４に駆動電圧を印加すると、第２の音叉型圧電振動片３において、振動腕３ｂと３ｃとは、その先端部を互いに接近・離間させるようにして水平な屈曲運動を生じる。この屈曲運動による各振動腕２ｂ、２ｃ、３ｂ、３ｃの変形により圧電作用として生じる交流電流の周波数は、腕幅をＷとし、腕長さをｌとしたとき、
（周波数）ｆ＝Ｗ／ｌ２となる（式１）。
さらに、この第１の音叉型圧電振動片２及び第２の音叉型圧電振動片３は、好ましくは、全体として、きわめて小型に形成されていて、図１において、例えば、全長が、１３００μｍ程度、振動腕の長さが１０４０μｍ程度、腕幅が４０μｍないし５５μｍ程度とされたきわめて小型の圧電振動片である。
【００２４】
図４は、本発明の実施の形態に係る加速度センサ５０の概略を示す図である。
図４に示すように、本発明の実施の形態に係る加速度センサ５０は、第１の音叉型圧電振動片２及び第２の音叉型圧電振動片３が形成された振動片基板１と、この振動片基板１を間に挟むようにして、それぞれ振動片基板１に固定されるガラス製のベース基板４及びリッド基板５を備えている。ここで、振動片基板１の第１の音叉型圧電振動片２及び第２の音叉型圧電振動片３は、ベース基板４及びリッド基板５の内側の内部空間に収容されており、振動片基板１は、その枠部１ａの部分の上面及び下面が、ベース基板４及びリッド基板５と陽極接合されている。この加速度センサ５０の上面（すなわち、リッド基板５の上面）には、ＩＣチップ６が樹脂（図示せず）を用いてフリップチップ実装されている。ＩＣチップ６の各端子は、リッド基板５に形成された切り欠き５ａ、５ｂを通って、振動片基板１の上面に形成されたパッド電極９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄに、バンプ１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄで接続されている（パッド電極９ｃ、９ｄとバンプ１０ｃ、１０ｄは、図４に表れておらず、図示の他のパッド電極やバンプと対照の位置に形成されている。）。
【００２５】
図５は、本発明の実施の形態に係る加速度センサ５０の概略分解斜視図を示す図である。
図５に示すように、第１の音叉型圧電振動片２及び第２の音叉型圧電振動片３が形成された振動片基板１には、パッド電極９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄが設けられている。このパッド電極９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄは、振動片基板１の枠部１ａに形成された電極（後述）と接触しないように、シール材７を設けて、周辺を絶縁した上に設けられている。このパッド電極９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄとＩＣチップ６の端子とを接続するために、図４で説明したように、リッド基板５に、切り欠き５ａ、５ｂが形成されている。
リッド基板５とベース基板４は、同じ外形状のものが使用されており、振動片基板１の外形と同じ外形を備えている。そして、リッド基板５は、凹部５ｃを備えており、ベース基板４は凹部４ａを備えている。リッド基板５とベース基板４は、凹部５ｃと凹部４ａを互いに向かい合わせにして、間に振動片基板１を挟んで固定されるようになっており、これにより、各凹部５ｃと凹部４ａは、第１の音叉型圧電振動片２及び第２の音叉型圧電振動片３を収容する内部空間を形成するようにされている。リッド基板５とベース基板４は、それぞれガラス製の同じ材料で形成されている。
【００２６】
図６、７は、本発明の実施の形態に係る加速度センサ５０の概略断面図であり、図６（ａ）は図２におけるＡ−Ａ断面であり、図６（ｂ）は図２におけるＢ−Ｂ断面であり、また、図７（ａ）は図２におけるＣ−Ｃ断面であり、図７（ｂ）は図２におけるＤ−Ｄ断面をそれぞれ示す概略図である。
図６、７に示すように、第１の電極１１、第２の電極１２、第３の電極１３、第４の電極１４は、加速度センサ５０の側面を通って、ベース基板１の底面まで引き回されて、それぞれ、このベース基板１の底面の端部に設けた実装電極１７、１８、１６、１５に接続されている。
【００２７】
ここで、図６に示されているように、振動片基板１の上面はリッド基板５が陽極接合で固定され、振動片基板２の下面はベース基板４が陽極接合で固定されている。この陽極接合は、表面どうしを密着させて固相のまま接合する手法で、平滑な表面をもつ面どうしで、その表面原子の結合を生じさせて接合する方法である。ここでは、図６示すように、第１の電極１１、第２の電極１２、第３の電極１３、第４の電極１４が陽極になるようにして、直流電源１９から直流電圧を印加する。すると、ガラス製であるリッド基板５とベース基板４にイオンが移動し、これらと第１の電極１１、第２の電極１２、第３の電極１３、第４の電極１４とのギャップ及びその近傍に形成された空間電荷層に、継続して印加された電圧がかかるようになる。
これにより、リッド基板５及びベース基板４と、第１の電極１１、第２の電極１２、第３の電極１３、第４の電極１４との間に静電引力が発生し、互いに密着して、強電界によりガラス側から電極側へイオンの移動がすすみ、界面で電極側の原子と共有結合を生じて、結合が行われると考えられる。なお、この過程は、逆電圧を利用して、可逆的に進行させることもできる。本実施の形態では、この陽極接合により、リッド基板５とベース基板４との間に振動片基板１を挟むようにして形成された内部空間が、気密状態で封止されている。
なお、図２および図３において、枠部に形成された電極同士の隙間には、接着剤などを充填して仮止めを兼ねて気密を保つようにする。
【００２８】
本実施形態の加速度センサ５０は、以上のように構成されており、次に、この加速度センサ５０の製造方法を説明する。
図８は、加速度センサ５０の製造方法の実施形態を示すフローチャートである。  
図８において、リッド基板５とベース基板４の製造工程がＳＴ１１からＳＴ１４までに示されており、振動片基板１の製造工程がＳＴ２１からＳＴ２４までに示されている（前工程）。
先ず、この前工程を説明する。
リッド基板５とベース基板４はともに同じガラス材料から形成される。すなわち、陽極接合を可能とするため、あるいは陽極接合を容易にするために、イオンの拡散しやすいガラス材料を選択し、アルカリ金属を含有するもので、エッチング加工に適するものを選択する。これらの条件において、例えば、ソーダガラスが適している。
【００２９】
リッド基板５とベース基板４は、それぞれ上述した材料からなる所定の大きさのガラス基板を用いて、それぞれの外形をエッチングして形成する。
そのため、各外形に適合して、ガラス基板（図示せず）に、リッド基板５とベース基板４の各外形に対応した耐蝕膜を予め形成する（ＳＴ１１）。次いで、リッド基板５とベース基板４について、それぞれエッチングにより外形を形成する（ＳＴ１２）。
【００３０】
次に、耐蝕膜を剥離することにより、図５等で説明したリッド基板５とベース基板４の外形を形成する（ＳＴ１３）。
続いて、リッド基板５とベース基板４に必要な耐蝕膜を形成して、ハーフエッチングすることにより、図５に説明した各凹部５ｃ、４ａを形成する（ＳＴ１４）。
以上により、リッド基板５及びベース基板４を完成する。
【００３１】
振動片基板１は、例えば、水晶ウエハ等の基板を用いて、振動片基板１の外形に対応した耐蝕膜をこの基板（図示せず）に予め形成する（ＳＴ２１）。
次に、フッ酸等のエッチング液を用いて、振動片基板１の外形をエッチングにより形成し（ＳＴ２２）、耐蝕膜を剥離する（ＳＴ２３）。
次いで、振動片基板１として動作に必要とされる電極と陽極接合の接合膜として使用する電極とを形成する。このような電極は、例えば、図２、図３で説明した構成のものであり、これらの図に基づいて説明した第１の電極１１、第２の電極１２、第３の電極１３、第４の電極１４とを形成することになる（ＳＴ２４）。
すなわち、第１の電極１１、第２の電極１２、第３の電極１３、第４の電極１４は、振動片基板１の該当する箇所に、例えばクロム（Ｃｒ）層を形成し、その上に金（Ａｕ）層を設けた共通の構成を先に形成し、さらに、枠部１ａに形成された陽極接合用の部分は、金層の上に陽極接合のための金属被覆層として、例えば、アルミニウム（Ａｌ）層や、これに代えて、タングステン、シリコン、ニッケル、チタン等をスパッタリングや蒸着等の手法で設ける。
【００３２】
次に後工程を説明する。
図６で説明したように、振動片基板１を、リッド基板５及びベース基板４に対して陽極接合する（ＳＴ３５）。図６のように、リッド基板５及びベース基板４と、これらを振動片基板１に対して接合するための接合膜である枠部１ａに形成された電極との間で、これら電極が陽極になるようにして、直流電源１９から直流電圧を印加する。
次に、アニール処理を行う（ＳＴ３６）。
次いで、個々の製品の大きさにダイシングされ（ＳＴ３７）、必要な検査等を行って加速度センサ５０が完成する（ＳＴ３８）。
【００３３】
（第１の例）
図９は、本発明の実施の形態に係る加速度センサ５０に第１の例の電気的構成を適用した加速度センサ１００を示すブロック図である。
図９に示すように、第１の例に係る加速度センサ１００は、発振回路１１０と、フィルタ回路１２０と、このフィルタ回路１２０から出力される信号を整流する整流回路１３０と、この整流回路１３０から出力される信号を積分する積分回路１４０とを有している。
【００３４】
発振回路１１０においては、上述した第１の音叉型圧電振動片２を第１の音叉型圧電振動片１１１として用いている。
また、フィルタ回路１２０においては、上述した第２の音叉型圧電振動片３を第２の音叉型圧電振動片１２１として用いている。図１で説明したように、この第２の音叉型圧電振動片１２１は、発振回路１１０の第１の音叉型圧電振動片１１１とは、その振動腕の向きが逆である。フィルタ回路１２０には、発振回路１１０から出力される信号が直接に入力される。
整流回路１３０は、例えばダイオード１３１を含んでおり、フィルタ回路１２０の出力信号を整流して、積分回路１４０に出力する。
【００３５】
この第１の例に係る加速度センサ１００に加速度が作用した場合、その成分に、発振回路１１０の第１の音叉型圧電振動片１１１及びフィルタ回路１２０の第２の音叉型圧電振動片１２１の振動腕に平行な成分が含まれていると、次のような物理的な変化がある。
すなわち、発振回路１１０の第１の音叉型圧電振動片１１１とフィルタ回路１２０の第２の音叉型圧電振動片１２１とにおいて振動腕の向きが逆である。このため、発振回路１１０が備える第１の音叉型圧電振動片１１１の振動腕の長さが僅かに延びれば、フィルタ回路１２０が備える第２の音叉型圧電振動片１２１の振動腕の長さが僅かに縮む。他方、発振回路１１０が備える第１の音叉型圧電振動片１１１の振動腕が縮めば、フィルタ回路１２１が備える第２の音叉型圧電振動片１２１の振動腕が僅かに延びることとなる。
【００３６】
したがって、発振回路１１０が備える第１の音叉型圧電振動片１１１の周波数が増加または減少する一方、フィルタ回路１２０が備える第２の音叉型圧電振動片１２１の周波数が減少または増加する（式１参照）。
よって、第１の例に係る加速度センサ１００において、加速度を作用させ、発振回路１１０が備える第１の音叉型圧電振動片１１１の周波数とフィルタ回路１２１が備える第２の音叉型圧電振動片１２１の周波数との差をとった場合、その絶対値は、発振回路１１０の第１の音叉型圧電振動片１１１の周波数変化分よりも大きくなる。
【００３７】
図１０は、フィルタ回路１２０が備える第２の音叉型圧電振動片１２１の減衰量−周波数特性を示す図（その１）であり、図において、特性１や特性２で示すグラフはフィルタ回路の周波数減衰特性を示している。
第１の例に係る加速度センサにおいて、加速度を作用させる前の発振回路１１０の周波数をｆ１とすると、フィルタ回路１２０には、周波数がｆ１の信号が入力されるから、フィルタ回路１２０における減衰量はＡ１となる。
ここで、第１の例に係る加速度センサに、たとえば図１に示すＤ１の方向に加速度が作用した場合は、発振回路１１０が備える第１の音叉型圧電振動片１１１の振動腕が僅かに縮む。したがって、発振回路１１０が備える第１の音叉型圧電振動片１１１の周波数は減少し、発振回路１１０から出力される信号の周波数も減少して、ｆ２となる。
【００３８】
他方で、フィルタ回路１２０においては、図１０に示すように、減衰量−周波数特性が、その特性を表すグラフ形状を保ったまま、減衰量が小さくなる方向にシフトする（図１０では、シフト前の特性を実線（特性１）で示し、シフト後の特性を破線（特性２）で示している）。
したがって、第１の例に係る加速度センサ１００に、たとえばＤ１の方向に加速度が作用した場合は、フィルタ回路１２０に発振回路１１０からの周波数ｆ２の信号が入力され、減衰量はＡ２となる。
【００３９】
よって、第１の例に係る加速度センサに、たとえばＤ１の方向に加速度を作用させると、フィルタ回路１２０の減衰量がＡ１からＡ２に変化することとなる。つまり、フィルタ回路の周波数減衰特性は特性１から特性２に変化する。
したがって、第１の例に係る加速度センサ１００においては、発振回路１１０から出力される信号の周波数と、フィルタ回路１２０の減衰量−周波数特性とが、互いに逆に変化する結果、フィルタ回路１２０から出力される信号の振幅が大きく変化する。よって、フィルタ回路１２０から出力される信号を整流して積分した値は、発振回路１１０から出力される信号の振幅の変化を整流して積分した値よりも大きくなり、加速度の変化を大きく反映することとなる。したがって、第１の例に係る加速度センサによれば、加速度検出の感度向上を図ることが可能となる。
【００４０】
図１１は、フィルタ回路１２０が備える第２の音叉型圧電振動片１２１の減衰量−周波数特性を示す図（その２）であり、フィルタ回路の周波数位相特性を示している。
以下、図１１を参照しつつ、第１の例に係る加速度センサ１００によれば、音叉型圧電振動片の周波数−温度特性に影響されずに、正確な加速度が検出できる点について説明する。
【００４１】
第１の例に係る加速度センサ１１０において、環境温度の変化によって、例えば、発振回路１１０が備える第１の音叉型圧電振動片１１１の周波数が増加し（高くなり）、発振回路１１０から出力される信号の周波数も増加する（高くなる）（ここでは、ｆ１からｆ２に増加するものとする）。
他方で、環境温度の変化により、フィルタ回路１２０においては、減衰量−周波数特性が、そのグラフ形状を保ったまま、減衰量が小さくなる方向にシフトする（図１１に、シフト前の特性を実線で示し、シフト後の特性を破線で示した）。
したがって、図１１に示すように、発振回路１１０からｆ２の周波数が、図１１中の破線で示される減衰量−周波数特性を有するフィルタ回路１２０に入力されるため、減衰量はＡ１のまま変化せず、温度変化によるフィルタ回路１２０における減衰量の変化は打ち消され、フィルタ回路１２０から出力される信号の振幅は変化しない。
よって、第１の例に係る加速度センサ１００によれば、加速度が作用していないのに温度の変化によって正確な加速度信号と異なる値が検出されてしまうことを防止できる。
【００４２】
図１２は、図９の回路の動作を説明するタイムチャートである。
図において、信号Ａは発振器１１０から出力される信号であり、信号Ａはフィルタ１２１に入力される。
フィルター１２１はバンドパスフィルタであり、バンドパスフィルタ１２１では、第１の音叉型圧電振動片１２１の伝送特性に対応して、発振器１１０が設定した周波数の信号が所定の減衰量で減衰されて出力される。その出力信号がＢである。
信号Ｂは整流回路１３０に入力されて、Ｃに示すように整流され、積分回路１４０によって、直流信号とされる。この電圧レベルが加速度に対応する。
ここで、加速度印加時には、整流回路１３０の出力信号は図１２のＣ’に示すように、振幅レベルが変化する。
このように、加速度変化による周波数シフトを減衰量変化として、電圧レベルの変化に換算することができる。
【００４３】
（第２の例）
図１３は、加速度センサ５０に第２の例である電気的構成を適用した加速度センサ２００を示すブロック図である。
加速度センサ２００に関しては、音叉型圧電振動片などの構成に関しては、第１の例と同じであるから重複する説明は省略し、相違点である電気的構成を中心に説明する。
【００４４】
図１３に示すように、第２の例に係る加速度センサ２００は、発振回路２１０と、フィルタ回路２２０と、発振回路１１０から出力される信号の位相を９０度シフトさせてフィルタ回路２２０に出力する移相回路２３０と、フィルタ回路２２０から出力される信号と発振回路２１０から出力される信号を乗算する乗算回路２４０と、乗算回路２４０から出力される信号を積分する積分回路２５０とを有している。
【００４５】
発振回路２１０においては、上述した第１の音叉型圧電振動片２を第１の音叉型圧電振動片２１１として用いている。また、フィルタ回路２２０は、上述した第２の音叉型圧電振動片３を第２の音叉型圧電振動片２２１として用いている。
【００４６】
図１で説明したように、発振回路２１０の第１の音叉型圧電振動片２１１とフィルタ回路２２０の第２の音叉型圧電振動片２２１とは逆向きに配置されている。このため、加速度センサ２００に加速度が作用した場合、その成分に、発振回路２１０の第１の音叉型圧電振動片２１１及びフィルタ回路２２０の第２の音叉型圧電振動片２２１の振動腕に平行な成分が含まれていれば以下のように検出できる。
すなわち、発振回路２１０が備える第１の音叉型圧電振動片２１１の振動腕の長さが僅かに延びれば、フィルタ回路２２０が備える第２の音叉型圧電振動片２２１の振動腕の長さがが僅かに縮む。
他方、発振回路２１０が備える第１の音叉型圧電振動片２１１の振動腕の長さが僅かに縮めば、フィルタ回路２２１が備える第２の音叉型圧電振動片２２１の振動腕の長さが僅かに延びる関係である。
【００４７】
したがって、発振回路２１０が備える第１の音叉型圧電振動片２１１の周波数が増加または減少する一方、フィルタ回路２２０が備える第２の音叉型圧電振動片２２１の周波数が減少または増加する。よって、第２の例に係る加速度センサ２００において、加速度を作用させ、発振回路２１０が備える第１の音叉型圧電振動片２１１の周波数とフィルタ回路２２１が備える第２の音叉型圧電振動片２２１の周波数との差をとった場合、その絶対値は、発振回路２１０の第１の音叉型圧電振動片２１１の周波数変化分よりも大きくなる。
【００４８】
図１４は、発振回路２１０が備える第１の音叉型圧電振動片２１１の位相差−周波数特性と、フィルタ回路２２０が備える第２の音叉型圧電振動片２２１の位相差−周波数特性と、を示す図（その１）である。
第２の例に係る加速度センサ２００において、加速度が作用していない場合は、発振回路２１０から出力される信号とフィルタ回路２２０から出力される信号は、位相差が９０度であるから、これらを乗算して積分すると、その値は０となる（後述）。
しかしながら、第２の例に係る加速度センサ２００において、たとえば図１に示すＤ１の方向に加速度が作用した場合は、発振回路２１０が備える第１の音叉型圧電振動片２１１の振動腕が僅かに縮む。したがって、発振回路２１０においては、第１の音叉型圧電振動片２１１の周波数が高くなり、位相−周波数特性も、図１４の特性を表すグラフ形状を保ったまま、位相が小さくなる（位相が遅れる）方向にシフトする（図１４中、シフト前の特性を実線で示し、シフト後の特性を破線ハで示す）。このため、発振回路２１０から出力される信号は、位相が減少する。
【００４９】
他方、フィルタ回路２２０においては、第２の音叉型圧電振動片２２１の振動腕が僅かに延びるから、第２の音叉型圧電振動片２２１の周波数が増加し、位相−周波数特性も、そのグラフ形状を保ったまま、位相が大きくなる（位相が進む）方向にシフトする（図１４中、シフト前の特性を実線で示し、シフト後の特性を破線イで示す）。したがって、フィルタ回路２２０から出力される信号の位相は増加する。
このため、第２の例に係る加速度センサ２００においては、発振回路２１０から出力される信号の位相が増加する一方で、フィルタ回路２２０から出力される信号の位相が減少することとなって、発振回路２１０から出力される信号における位相とフィルタ回路２２０から出力される信号の位相とが、両者の位相差を大きくする方向に変化する。したがって、これらを乗算して積分した値は、フィルタ回路２２０を備えない場合と比較して大きくなり、加速度検出の感度向上が図られる。
【００５０】
図１５は、発振回路２１０が備える第１の音叉型圧電振動片２１１の位相−周波数特性と、フィルタ回路２２０が備える第２の音叉型圧電振動片２２１の位相−周波数特性とを示す図（その２）である。
以下、図１５を参照しつつ、第２の例に係る加速度センサ２００によれば、加速度が作用していないのに温度の変化によって正確な加速度信号と異なる値が検出されてしまうことを防止できる点について説明する。
音叉型圧電振動片の置かれた温度環境が変化した場合、発振回路２１０の第１の音叉型圧電振動片２１１とフィルタ回路２１０の第２の音叉型圧電振動片２２１とは、位相が大きくなる方向に同じだけシフトする（図１５中、シフト前の特性を実線で示し、シフト後の特性を破線イ）で示す。したがって、第２の例に係る加速度センサにおいては、温度変化の前後で、発振回路２１０の第１の音叉型圧電振動片２１１の屈曲振動とフィルタ回路２１０の第２の音叉型圧電振動片２２１の屈曲振動との位相差が変化せず、発振回路２１０から出力される信号とフィルタ回路２２０から出力される信号の位相差は９０度のまま変化しない。
よって、第２の例に係る加速度センサ２００によれば、加速度が作用していないのに温度の変化によって正確な加速度信号と異なる値が検出されてしまうことを防止できる。
【００５１】
図１６は、図１３の回路の動作を説明するためのタイムチャートである。
図１６において、図１３で説明した発振回路２１０から出る矩形波Ａに対して、発振器イから入力されたサイン波が、移相回路２３０を経て出力されるサイン波Ｂは９０度位相ずれしている。
加速度が働かない状態であれば、これらを乗算回路２４０で乗算した結果出力されるＣの信号を積分回路で積分した結果は、ゼロである。
【００５２】
ここで、位相−周波数特性を示す図１４において、上述したように、発振器回路２１０の第１の音叉型圧電振動片２１１の共振点であるピーク値を示す０の箇所が符合イで示すように、その周波数のズレとともにずれると、フィルタ回路２２０の第２の音叉型圧電振動片２２１は、そのピーク値０が符合ハで示すように、逆方向にずれる。
つまり、ピーク値がずれるということは、φだけ位相がずれることであり、上述したように、ピーク値の周波数は互いに逆方向に、「ずれ」を強める方向に変化する。
このため、Ｂの信号はＤのように位相ずれし、乗算回路２４０を通った信号ＣはＦのようになる。これを積分すると、ｈが出てくるので、このｈが加速度として検出される。
【００５３】
以上説明した例に係る加速度センサは、第１の音叉型圧電振動片２及び第２の音叉型圧電振動片３が同一のウエハにフォトリソグラフィーで形成されているため、第１の音叉型圧電振動片２及び第２の音叉型圧電振動片３の各振動腕の延びる方向が精密に同一方向である。したがって、第１の音叉型圧電振動片２及び第２の音叉型圧電振動片３とにおいて、各振動腕に作用する加速度の方向が精密に同じとなるため、第１の音叉型圧電振動片２及び第２の音叉型圧電振動片３とが異なる方向の加速度を検出してしまうということがなくなり、所定の方向の加速度を精密に検出することが可能となる。
さらに、以上説明した例に係る加速度センサにおいては、第１の音叉型圧電振動片２及び第２の音叉型圧電振動片３が同一のウエハに形成されているため、第１の音叉型圧電振動片２及び第２の音叉型圧電振動片３において、温度差が殆どなく、周波数−温度特性も同一であるため、第１の音叉型圧電振動片２及び第２の音叉型圧電振動片３の温度に変化が生じても、周波数の変化分は精密に打ち消される。
【００５４】
本発明は上述の実施形態に限定されない。各実施形態の各構成はこれらを適宜組み合わせたり、省略し、図示しない他の構成と組み合わせることができる。特に、圧電振動片の電極の引き回し構造は、上述の実施形態で説明した例に限らず、種々の構造を採用することができる。また、この発明は、第１の音叉型圧電振動片２及び第２の音叉型圧電振動片３が形成された振動片基板１をパッケージ内に収容するものであれば、圧電振動子、圧電発振器等の名称にかかわらず、全ての圧電デバイスに適用することができる。また、上記の説明では、ベース基板４とリッド基板５をガラス製として、振動片基板１と陽極接合したが、本発明では、ベース基板とリッド基板とを水晶で作成し、振動片基板と直接接合することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の実施の形態に係る加速度センサ５０が備える振動片基板１の概略を示す図。
【図２】振動片基板１の上面に形成される電極を説明する図。
【図３】振動片基板１の下面に形成される電極を説明する図。
【図４】本発明の実施の形態に係る加速度センサ５０の概略を示す図。
【図５】本発明の実施の形態に係る加速度センサ５０の概略分解斜視図を示す図。
【図６】本発明の実施の形態に係る加速度センサ５０の概略断面図であり、図６（ａ）は図２におけるＡ−Ａ断面図、図６（ｂ）は図２におけるＢ−Ｂ断面図。
【図７】本発明の実施の形態に係る加速度センサ５０の概略断面図であり、図７（ａ）は図２におけるＣ−Ｃ断面図、図７（ｂ）は図２におけるＤ−Ｄ断面図。
【図８】加速度センサ５０の製造方法の実施形態を示すフローチャート。
【図９】本発明の実施の形態に係る加速度センサ５０を用いた加速度センサ１００の電気的構成の第１の例を示すブロック図。
【図１０】フィルタ回路１２０が備える第２の音叉型圧電振動片１２１の減衰量−周波数特性を示す図（その１）。
【図１１】フィルタ回路１２０が備える第２の音叉型圧電振動片１２１の減衰量−周波数特性を示す図（その２）。
【図１２】図９の回路の動作を説明するタイムチャートである。
【図１３】本発明の第２の例に係る加速度センサ２００の電気的構成を示すブロック図。
【図１４】発振回路２１０が備える第１の音叉型圧電振動片２１１の位相差−周波数特性と、フィルタ回路２２０が備える第２の音叉型圧電振動片２２１の位相差−周波数特性と、を示す図（その１）である。
【図１５】発振回路２１０が備える第１の音叉型圧電振動片２１１の位相−周波数特性と、フィルタ回路２２０が備える第２の音叉型圧電振動片２２１の位相−周波数特性とを示す図（その２）。
【図１６】図１３の回路の動作を説明するためのタイムチャート。
【符号の説明】
【００５６】
１・・・振動片基板、１ａ・・・枠部、２・・・第１の音叉型圧電振動片、３・・・第２の音叉型圧電振動片、２ａ・・・基部、３ａ・・・基部、２ｂ・・・振動腕、２ｃ・・・振動腕、３ｂ・・・振動腕、３ｃ・・・振動腕、４・・・ベース基板、４ａ・・・凹部、５・・・リッド基板、５ａ・・・凹部、５ｂ・・・切り欠き、６・・・ＩＣチップ、７・・・シール材、９ａ・・・パッド電極、９ｂ・・・パッド電極、９ｃ・・・パッド電極、９ｄ・・・パッド電極、１０ａ・・・バンプ、１０ｂ・・バンプ、１０ｃ・・・バンプ、１０ｄ・・・バンプ、１１・・・第１の電極、１２・・・第２の電極、１３・・・第３の電極、１４・・・第４の電極、１５・・・実装電極、１６・・・実装電極、１７・・・実装電極、１８・・・実装電極、１９・・・直流電源、１００・・・加速度センサ、１１０・・・発振回路、１２０・・・フィルタ回路、１３０・・・整流回路、１４０・・・積分回路、１１１・・・第２の音叉型圧電振動片１２１・・・音叉型圧電振動片、１３１・・・ダイオード、２００・・・加速度センサ、２１０・・・発振回路、２２０・・・フィルタ回路、２３０・・・移相回路、２４０・・・乗算回路、２５０・・・積分回路、２１１・・・第２の音叉型圧電振動片、２２１・・・音叉型圧電振動片。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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