(57)【要約】【課題】急激な差圧の変化による差圧センサの破壊を防止することを可能とする差圧伝送器を実現すること。【解決手段】差圧伝送器において、一部が同一液体抵抗の液体配管にそれぞれ充填されると共にセンタダイアフラムで区分された同一液量の封入液を介して印加される２つの圧力を伝える差圧調整部と、前記差圧調整部から伝わる２つの前記圧力の差圧を測定する差圧センサとを備える。【選択図】                    図１
2008292185.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
差圧伝送器において、
一部が同一液体抵抗の液体配管にそれぞれ充填されると共にセンタダイアフラムで区分された同一液量の封入液を介して印加される２つの圧力を伝える差圧調整部と、
前記差圧調整部から伝わる２つの前記圧力の差圧を測定する差圧センサと
を備えたことを特徴とする差圧伝送器。
【請求項２】
前記差圧調整部が、
ダイアフラムにより受圧室の容積を変化させて印加される２つの前記圧力を前記同一液量の封入液にそれぞれ加える高圧側ダイアフラム部及び低圧側ダイアフラム部と、
前記高圧側ダイアフラム部及び低圧側ダイアフラム部から伝えられる圧力により前記センタダイアフラムを変形させ２つの受圧室の容積を変化させるセンタダイアフラム部と、
前記高圧側ダイアフラム部と前記センタダイアフラム部の一方の受圧室、並びに、前記低圧側ダイアフラム部と前記センタダイアフラム部の他方の受圧室とをそれぞれ接続する同一液体抵抗の液体配管と、
前記差圧センサと前記センタダイアフラム部の２つの受圧室とをそれぞれ接続する液体配管とから構成されたことを特徴とする
請求項１記載の差圧伝送器。
【請求項３】
前記差圧調整部が、
ダイアフラムにより受圧室の容積を変化させて印加される２つの前記圧力を前記同一液量の封入液にそれぞれ加える高圧側ダイアフラム部及び低圧側ダイアフラム部と、
前記高圧側ダイアフラム部及び低圧側ダイアフラム部から伝えられる圧力により前記センタダイアフラムを変形させ２つの受圧室の容積を変化させるセンタダイアフラム部と、
前記高圧側ダイアフラム部と前記センタダイアフラム部の一方の受圧室、並びに、前記低圧側ダイアフラム部と前記センタダイアフラム部の他方の受圧室とをそれぞれ接続する液体配管と、
前記差圧センサと前記センタダイアフラム部の２つの受圧室とをそれぞれ接続する同一液体抵抗の液体配管とから構成されたことを特徴とする
請求項１記載の差圧伝送器。
【請求項４】
前記差圧センサと前記センタダイアフラム部の２つの前記受圧室とをそれぞれ接続するどちらか一方の前記液体配管が、
液溜め部を有することを特徴とする
請求項２若しくは請求項３記載の差圧伝送器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、差圧伝送器に関して、特に急激な差圧の変化による差圧センサの破壊を防止する差圧伝送器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の差圧伝送器に関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
【０００３】
【特許文献１】特開平７−１２０３３８公報
【特許文献２】特開平８−１７８７８３公報
【０００４】
図２は従来の差圧伝送器の一例の構成ブロック図である。図２において、１、２はダイアフラム、３は側面にダイアフラム１と貼り合わされて第１の受圧室を構成する第１の溝が形成され、第１の溝が形成された側面に対向する側面にダイアフラム２と貼り合わされて第２の受圧室を構成する第２の溝が形成され、内部にセンタダイアフラムによって区分され第３及び第４の受圧室を構成する空間が形成される差圧調整部、４は半導体圧力センサなどの差圧センサ、５はセンタダイアフラム、１００、１０１はオイル、シリコンオイルなどの封入液である。
【０００５】
また、ダイアフラム１と差圧調整部３の図２中”ＳＰ１００”に示す受圧室は高圧側ダイアフラム部５１を、ダイアフラム２と差圧調整部３の図２中”ＳＰ１０１”に示す受圧室は低圧側ダイアフラム部５２を、センタダイアフラム５と差圧調整部３の図２中”ＳＰ１０２”及び”ＳＰ１０３”に示す受圧室はセンタダイアフラム部５３を、ダイアフラム１及び２、差圧調整部３、差圧センサ４及びセンタダイアフラム５は差圧伝送器２００をそれぞれ構成する。
【０００６】
ダイアフラム１は、差圧調整部３の側面に形成された第１の溝の開口部分を覆うように差圧調整部３と貼り合わされ、図２中”ＳＰ１００”に示す受圧室を構成する。
【０００７】
ダイアフラム２は、差圧調整部３の第１の溝と対向する側面に形成された第２の溝の開口部分を覆うように差圧調整部３と貼り合わされ、図２中”ＳＰ１０１”に示す受圧室を構成する。
【０００８】
また、センタダイアフラム５は、差圧調整部３内部に設けられた空間を２つに区切るように形成され、図２中”ＳＰ１０２”及び”ＳＰ１０３”に示す受圧室を構成する。
【０００９】
図２中”ＳＰ１００”に示す受圧室は図２中”ＰＰ２０２”に示す液体配管の一端に接続され、図２中”ＰＰ２０２”に示す液体配管の他端は図２中”ＰＰ２００”に示す液体配管の一端と合流して図２中”ＳＰ１０２”に示す受圧室と接続される。
【００１０】
図２中”ＰＰ２００”に示す液体配管の他端は差圧センサ４の高圧側導入口に接続され、差圧センサ４の低圧側導入口は図２中”ＰＰ２０１”に示す液体配管の一端に接続される。
【００１１】
そして、図２中”ＰＰ２０１”に示す液体配管の他端は図２中”ＳＰ１０３”に示す受圧室に接続され、図２中”ＳＰ１０３”に示す受圧室は図２中”ＰＰ２０３”に示す液体配管の一端に接続される。
【００１２】
さらに、図２中”ＰＰ２０３”に示す液体配管の他端は図２中”ＳＰ１０１”に示す受圧室に接続される。
【００１３】
また、封入液１００は、図２中”ＳＰ１００”に示す受圧室、図２中”ＰＰ２００”、”ＰＰ２０２”に示す液体配管及び図２中”ＳＰ１０２”に示す受圧室にそれぞれ充填される。
【００１４】
同様に、封入液１０１は、図２中”ＳＰ１０１”に示す受圧室、図２中”ＰＰ２０１”、”ＰＰ２０３”に示す液体配管及び図２中”ＳＰ１０３”に示す受圧室にそれぞれ充填される。
【００１５】
ここで、図２等に示す従来の差圧伝送器の動作について説明する。例えば、図２に示すように圧力”ＰＨ”がダイアフラム１に印加され、圧力”ＰＨ”よりも小さい圧力”ＰＬ”がダイアフラム２に印加される。
【００１６】
ダイアフラム１は圧力”ＰＨ”に応じて図２中”ＳＰ１００”に示す受圧室の容積を小さくするように変形する。
【００１７】
この場合、図２中”ＳＰ１００”に示す受圧室の容積が小さくなるので、封入液１００の圧力は高くなる。
【００１８】
また、封入液１００の圧力は、図２中”ＰＰ２０２”に示す液体配管を介してセンタダイアフラム５に伝えられる。
【００１９】
一方、ダイアフラム２は圧力”ＰＬ”に応じて図２中”ＳＰ１０１”に示す受圧室の容積を小さくするように変形する。
【００２０】
この場合、図２中”ＳＰ１０１”に示す受圧室の容積が小さくなるので、封入液１０１の圧力は高くなる。
【００２１】
そして、封入液１０１の圧力は、図２中”ＰＰ２０３”に示す液体配管を介してセンタダイアフラム５に伝えられる。
【００２２】
ダイアフラム１からの圧力”ＰＨ”よりもダイアフラム２からの圧力”ＰＬ”の方が小さいので、センタダイアフラム５は図２中”ＳＰ１０３”に示すダイアフラム２側の受圧室の容積を小さくするように変形する。
【００２３】
すなわち、センタダイアフラム部５３では、圧力”ＰＨ”及び圧力”ＰＬ”の差に応じてセンタダイアフラム５が変形することになる。
【００２４】
また、センタダイアフラム部５３は、図２中”ＰＰ２００”及び”ＰＰ２０１”に示す液体配管を介して圧力”ＰＨ”及び圧力”ＰＬ”をそれぞれ差圧センサ４に伝える。
【００２５】
特に図示して説明しないが、差圧センサ４は差圧調整部３からの圧力”ＰＨ”と圧力”ＰＬ”との差分となる圧力（差圧”ΔＰ”）を測定し、差圧に応じた電気信号に変換して外部回路（図示せず）に出力する。
【００２６】
このように、ダイアフラム１及び２が外部からの圧力に応じて図２中”ＳＰ１００”及び”ＳＰ１０１”に示す受圧室の容積を小さくするように変形し、センタダイアフラム５がダイアフラム１及び２から伝えられる圧力に応じて図２中”ＳＰ１０２”及び”ＳＰ１０３”に示す受圧室の容積を変化させ、圧力をそれぞれ差圧センサ４に伝えることにより、２つの圧力の差圧を測定することが可能となる。
【００２７】
一方、センタダイアフラム部が設けられずに高圧側ダイアフラム部と差圧センサ、低圧側ダイアフラム部と差圧センサとが液体配管を介してそれぞれ接続される差圧伝送器もまた従来から実現されている。
【００２８】
このような差圧伝送器では、圧力が差圧センサにそれぞれ直接伝えられるため、差圧が大きい場合に、急激に大きな差圧が伝えられ差圧センサが破壊されてしまうことがあったが、上述の差圧伝送器２００は、センタダイアフラム５がダイアフラム１及び２から伝えられる圧力に応じて図２中”ＳＰ１０２”及び”ＳＰ１０３”に示す受圧室の容積を変化させるので、圧力がセンタダイアフラム部５３から緩やかに伝えられて差圧センサの破壊を防止することが可能となる。
【００２９】
また、圧力”ＰＨ”と圧力”ＰＬ”との差がさらに大きくなる場合の従来の差圧伝送器２００の動作について図３を用いて説明する。図３は差圧がさらに大きくなる場合の従来の差圧伝送器の動作を説明する説明図である。図３において１、２、３、４、５、５１、５２、５３及び２００は図２と同一符号を付してある。また、図３は差圧がさらに大きくなる点以外は図２の差圧伝送器と同じ動作であるため適宜説明を省略する。
【００３０】
図３に示すように、圧力”ＰＨ”がさらに大きくなり圧力”ＰＨ”と圧力”ＰＬ”との差圧もまた大きくなる場合に、ダイアフラム１は圧力”ＰＨ”に応じて図３中”ＳＰ１００”に示す受圧室の容積をさらに小さくするように変形する。
【００３１】
また、図３中”ＳＰ１００”に示す受圧室の容積がさらに小さくなるので、封入液１００の圧力はさらに高くなる。
【００３２】
封入液１００の圧力は、図３中”ＰＰ２０２”に示す液体配管を介してセンタダイアフラム５に伝えられる。
【００３３】
センタダイアフラム５は、図３中”ＳＰ１０３”に示す受圧室の容積をさらに小さくするように変形する。
【００３４】
そして、センタダイアフラム５と図３中”ＳＰ１０３”に示す受圧室の内壁とが接する前に、ダイアフラム１は差圧調整部３の図３中”ＳＰ１００”に示す受圧室の内壁に接する。
【００３５】
また、ダイアフラム１が差圧調整部３の溝の内壁に接することにより、封入液１００に伝えられる圧力は一定の大きさ（以下、最大許容圧力）に留まるので、差圧がさらに大きくなったとしても封入液１００を介して伝えられる圧力は最大許容圧力に抑えられる。
【００３６】
このため、圧力”ＰＨ”と圧力”ＰＬ”との差が大きくなる場合であっても、最大許容圧力以上の圧力が封入液１００に伝えられないことにより、過大な差圧による差圧センサの破壊を防止することが可能となる。
【００３７】
この結果、高圧側ダイアフラム部及び低圧側ダイアフラム部が外部から印加される圧力に応じて高圧側ダイアフラム部及び低圧側ダイアフラム部の受圧室の容積を小さくするように変形し封入液を介して圧力をセンタダイアフラム部にそれぞれ伝え、センタダイアフラム部が高圧側ダイアフラム部及び低圧側ダイアフラム部から伝えられる圧力に応じてセンタダイアフラムで区分される受圧室の内壁に接する前に高圧側ダイアフラム部、若しくは、低圧側ダイアフラム部のダイアフラムが受圧室の内壁に接することにより、過大な差圧による差圧センサの破壊を防止することが可能となる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００３８】
しかしながら、図２等に示す従来例では、封入液１００と封入液１０１との量が異なると共に、図２中”ＰＰ２０２”及び”ＰＰ２０３”に示す液体配管の液体抵抗もまた異なるので、急激に差圧が変化すると一時的に過大な差圧が生じてしまう。
【００３９】
このため、差圧が急激に変化する場合に、封入液の量及び液体抵抗がそれぞれ異なるので、高圧側ダイアフラム部からの圧力がセンタダイアフラムに伝えられる時間と低圧側ダイアフラム部からの圧力がセンタダイアフラムに伝えられる時間とが異なることにより、センタダイアフラムが一時的に大きく変形し過大な差圧が生じて差圧センサ４が破壊されてしまうことがあった。
従って、本発明が解決しようとする課題は、急激な差圧の変化による差圧センサの破壊を防止することを可能とする差圧伝送器を実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【００４０】
上記のような課題を達成するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、
差圧伝送器において、
一部が同一液体抵抗の液体配管にそれぞれ充填されると共にセンタダイアフラムで区分された同一液量の封入液を介して印加される２つの圧力を伝える差圧調整部と、前記差圧調整部から伝わる２つの前記圧力の差圧を測定する差圧センサとを備えたことにより、急激な差圧の変化による差圧センサの破壊を防止することが可能となる。
【００４１】
請求項２記載の発明は、
請求項１記載の発明である差圧伝送器において、
前記差圧調整部が、
ダイアフラムにより受圧室の容積を変化させて印加される２つの前記圧力を前記同一液量の封入液にそれぞれ加える高圧側ダイアフラム部及び低圧側ダイアフラム部と、前記高圧側ダイアフラム部及び低圧側ダイアフラム部から伝えられる圧力により前記センタダイアフラムを変形させ２つの受圧室の容積を変化させるセンタダイアフラム部と、前記高圧側ダイアフラム部と前記センタダイアフラム部の一方の受圧室、並びに、前記低圧側ダイアフラム部と前記センタダイアフラム部の他方の受圧室とをそれぞれ接続する同一液体抵抗の配管と、前記差圧センサと前記センタダイアフラム部の２つの受圧室とをそれぞれ接続する配管とから構成されたことにより、急激な差圧の変化による差圧センサの破壊を防止することが可能となる。
【００４２】
請求項３記載の発明は、
請求項１記載の発明である差圧伝送器において、
前記差圧調整部が、ダイアフラムにより受圧室の容積を変化させて印加される２つの前記圧力を前記同一液量の封入液にそれぞれ加える高圧側ダイアフラム部及び低圧側ダイアフラム部と、前記高圧側ダイアフラム部及び低圧側ダイアフラム部から伝えられる圧力により前記センタダイアフラムを変形させ２つの受圧室の容積を変化させるセンタダイアフラム部と、前記高圧側ダイアフラム部と前記センタダイアフラム部の一方の受圧室、並びに、前記低圧側ダイアフラム部と前記センタダイアフラム部の他方の受圧室とをそれぞれ接続する液体配管と、前記差圧センサと前記センタダイアフラム部の２つの受圧室とをそれぞれ接続する同一液体抵抗の液体配管とから構成されたことにより、急激な差圧の変化による差圧センサの破壊を防止することが可能となる。
【００４３】
請求項４記載の発明は、
請求項２若しくは請求項３記載の発明である差圧伝送器において、
前記差圧センサと前記センタダイアフラム部の２つの前記受圧室とをそれぞれ接続するどちらか一方の前記液体配管が、液溜め部を有することにより、急激な差圧の変化による差圧センサの破壊を防止することが可能となる。
【発明の効果】
【００４４】
本発明によれば次のような効果がある。
請求項１、２及び請求項４の発明によれば、
高圧側ダイアフラム部及び低圧側ダイアフラム部が同一液量の封入液を介して外部から印加される圧力をそれぞれ伝え、同一液体抵抗の液体配管が封入液を介して高圧側ダイアフラム部及び低圧側ダイアフラム部から伝えられる圧力をセンタダイアフラム部にそれぞれ伝え、センタダイアフラム部が同一液体抵抗の液体配管から伝えられる圧力に応じてセンタダイアフラムで区分される受圧室の容積を変化させ圧力を差圧センサにそれぞれ伝えることにより、急激な差圧の変化による差圧センサの破壊を防止することが可能となる。
【００４５】
請求項１、３及び請求項４の発明によれば、
高圧側ダイアフラム部及び低圧側ダイアフラム部が同一液量の封入液を介して外部から印加される圧力をそれぞれ伝え、センタダイアフラム部が高圧側ダイアフラム部及び低圧側ダイアフラム部から伝えられる圧力に応じてセンタダイアフラムで区分される受圧室の容積を変化させ、同一液体抵抗の液体配管が封入液を介してセンタダイアフラム部からそれぞれ伝えられる圧力を差圧センサに伝えることにより、急激な差圧の変化による差圧センサの破壊を防止することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４６】
図１は本発明に係る差圧伝送器の一実施例の構成ブロック図である。図１において、６、７はダイアフラム、８は側面にダイアフラム６と貼り合わされ第１の受圧室を構成する第１の溝が形成され、第１の溝が形成された側面に対向する側面にダイアフラム７と貼り合わされ第２の受圧室を構成する第２の溝が形成され、内部にセンタダイアフラムによって区分され第３及び第４の受圧室を構成する空間が形成される差圧調整部、９は半導体圧力センサなどの差圧センサ、１０はセンタダイアフラム、１１は液溜め、１１０、１１１はオイルなどの封入液である。
【００４７】
また、ダイアフラム６と差圧調整部８の図１中”ＳＰ１１０”に示す受圧室は高圧側ダイアフラム部６１を、ダイアフラム７と差圧調整部８の図１中”ＳＰ１１１”に示す受圧室は低圧側ダイアフラム部６２を、センタダイアフラム１０と差圧調整部８の図１中”ＳＰ１１２”及び”ＳＰ１１３”に示す受圧室はセンタダイアフラム部６３を、ダイアフラム６及び７、差圧調整部８、差圧センサ９及びセンタダイアフラム１０は差圧伝送器２１０をそれぞれ構成する。
【００４８】
ダイアフラム６は、差圧調整部８の側面に形成された第１の溝の開口部分を覆うように差圧調整部８と貼り合わされ、図１中”ＳＰ１１０”に示す受圧室を構成する。
【００４９】
ダイアフラム７は、差圧調整部８の第１の溝と対向する側面に形成された第２の溝の開口部分を覆うように差圧調整部８と貼り合わされ、図１中”ＳＰ１１１”に示す受圧室を構成する。
【００５０】
また、センタダイアフラム１０は、差圧調整部８内に設けられた空間を２つに区切るように形成され、図１中”ＳＰ２１２”及び”ＳＰ２１３”に示す受圧室を構成する。
【００５１】
図１中”ＳＰ１１０”に示す受圧室は図１中”ＰＰ２１２”に示す液体配管の一端に接続され、図１中”ＰＰ２１２”に示す液体配管の他端は図１中”ＰＰ２１０”に示す液体配管の一端と合流して図１中”ＳＰ１１２”に示す受圧室に接続される。
【００５２】
図１中”ＰＰ２１０”に示す液体配管の他端は差圧センサ９の高圧側導入口に接続され、差圧センサ９の低圧側導入口は図１中”ＰＰ２１１”に示す液溜め１１を有する液体配管の一端に接続される。
【００５３】
そして、図１中”ＰＰ２１１”に示す液体配管の他端は図１中”ＳＰ１１３”に示す受圧室に接続され、図１中”ＳＰ１１３”に示す受圧室は図２中”ＰＰ２１３”に示す液体配管の一端に接続される。
【００５４】
さらに、図１中”ＰＰ２１３”に示す液体配管の他端は図１中”ＳＰ１１１”に示す受圧室に接続される。
【００５５】
封入液１１０は、図１中”ＳＰ１１０”に示す受圧室、図１中”ＰＰ２１０”、”ＰＰ２１２”に示す液体配管及び図１中”ＳＰ１１２”に示す受圧室にそれぞれ充填される。
【００５６】
同様に、封入液１１１は、図１中”ＳＰ１１１”に示す受圧室、図１中”ＰＰ２１１”、”ＰＰ２１３”に示す液体配管、図１中”ＳＰ１１３”に示す受圧室及び液溜め１１にそれぞれ充填される。
【００５７】
ちなみに、液溜め１１は、図１中”ＳＰ１１０”、”ＳＰ１１２”に示す受圧室の容積と図１中”ＰＰ２１０”、”ＰＰ２１２”に示す液体配管の容積との合計と、図１中”ＳＰ１１１”、”ＳＰ１１３”に示す受圧室の容積と図１中”ＰＰ２１１”、”ＰＰ２１３”に示す液体配管との容積の合計とが同一になるような大きさの容積で形成される。
【００５８】
すなわち、差圧調整部８にそれぞれ封入される封入液１１０と封入液１１１とは同一の液量となる。
【００５９】
また、図１中”ＰＰ２１２”及び図１中”ＰＰ２１３”に示す液体配管は、断面積が微小に形成され、同一の液体抵抗になるように形成される。
【００６０】
ここで、図１等に示す本発明に係る差圧伝送器の一実施例の動作について図２を用いて説明する。例えば、図１に示すように圧力”ＰＨ”がダイアフラム６に印加され、圧力”ＰＨ”よりも小さい圧力”ＰＬ”がダイアフラム７に印加される。
【００６１】
ダイアフラム６は圧力”ＰＨ”に応じて図１中”ＳＰ１１０”に示す受圧室の容積を小さくするように変形する。
【００６２】
この場合、図１中”ＳＰ１１０”に示す受圧室の容積が小さくなるので、封入液１１０の圧力は高くなる。
【００６３】
また、封入液１１０の圧力は、図１中”ＰＰ２１２”に示す液体配管を介してセンタダイアフラム１０に伝えられる。
【００６４】
一方、ダイアフラム７は圧力”ＰＬ”に応じて図１中”ＳＰ１１１”に示す受圧室の容積を小さくするように変形する。
【００６５】
この場合、図１中”ＳＰ１１１”に示す受圧室の容積が小さくなるので、封入液１１１の圧力は高くなる。
【００６６】
そして、封入液１１１の圧力は、図１中”ＰＰ２１３”に示す液体配管を介してセンタダイアフラム１０に伝えられる。
【００６７】
センタダイアフラム１０は、ダイアフラム６からの圧力”ＰＨ”よりもダイアフラム７からの圧力”ＰＬ”の方が小さいので、図１中”ＳＰ１１３”に示す受圧室の容積を小さくするように変形する。
【００６８】
すなわち、センタダイアフラム部６３では、圧力”ＰＨ”及び圧力”ＰＬ”の差に応じてセンタダイアフラム１０が変形することになる。
【００６９】
また、センタダイアフラム部６３は、図２中”ＰＰ２１０”及び”ＰＰ２１１”に示す液体配管を介して圧力”ＰＨ”及び圧力”ＰＬ”をそれぞれ差圧センサ９に伝える。
【００７０】
特に図示して説明しないが、差圧センサ９は差圧調整部８からの圧力”ＰＨ”と圧力”ＰＬ”との差分となる圧力（差圧”ΔＰ”）を測定し、差圧に応じた電気信号に変換して外部回路（図示せず）に出力する。
【００７１】
このように、ダイアフラム６及び７が外部からの圧力に応じて図１中”ＳＰ１１０”及び”ＳＰ１１１”に示す受圧室の容積を小さくするように変形し、センタダイアフラム１０が高圧側ダイアフラム部６１及び低圧側ダイアフラム部６２から伝えられる圧力に応じて図１中”ＳＰ１１２”及び”ＳＰ１１３”に示す受圧室の容積を変化させて得られた差圧を差圧センサ９に伝えることにより、２つの圧力の差圧を計測することが可能となる。
【００７２】
また、差圧が急激に変化する場合であっても、封入液１１０及び１１１の量及び図１中”ＰＰ２１２”及び”ＰＰ２１３”に示す液体配管の液体抵抗は同一なので、封入液１１０の圧力と封入液１１１の圧力がセンタダイアフラム１０に伝えられる時間が等しくなり、過大な差圧が生じないことになる。
【００７３】
例えば、圧力”ＰＨ”が急激に大きくなり圧力”ＰＨ”と圧力”ＰＬ”との差圧もまた急激に大きくなる場合に、ダイアフラム６は圧力”ＰＨ”に応じて図１中”ＳＰ１１０”に示す受圧室の容積を小さくするように変形する。
【００７４】
また、図１中”ＳＰ１１０”に示す受圧室の容積が小さくなるので、封入液１１０の圧力は高くなる。
【００７５】
封入液１１０の圧力は、図１中”ＰＰ２１２”に示す液体配管を介してセンタダイアフラム１０に伝えられる。
【００７６】
同様に、圧力”ＰＬ”に応じてダイアフラム７が変形し、封入液１１１の圧力が高くなって図１中”ＰＰ２１３”に示す液体配管を介してセンタダイアフラム１０に伝えられる。
【００７７】
この時、封入液１１０及び封入液１１１の液量が同一であり、図１中”ＰＰ２１２”及び”ＰＰ２１３”に示す液体配管の液体抵抗もまた同一であるため、ダイアフラム６から封入液１１０を介して圧力がセンタダイアフラム１０に伝えられる時間とダイアフラム７から封入液１１１を介して圧力がセンタダイアフラム１０に伝えられる時間とは等しくなる。
【００７８】
このため、封入液１１０の圧力と封入液１１１の圧力がセンタダイアフラム１０に伝えられる時間が等しくなることにより、センタダイアフラム部６３で過大な差圧が生じないことになる。
【００７９】
センタダイアフラム１０は、ダイアフラム６からの圧力”ＰＨ”よりもダイアフラム７からの圧力”ＰＬ”の方が小さいため、図１中”ＳＰ１１３”に示す受圧室の容積を小さくするように変形する。
【００８０】
また、センタダイアフラム１０と図１中”ＳＰ１１３”に示す受圧室の内壁とが接する前に、ダイアフラム６は差圧調整部８の図１中”ＳＰ１１０”に示す受圧室の内壁に接する。
【００８１】
そして、ダイアフラム６が差圧調整部８の溝の内壁に接することにより、封入液１１０に伝えられる圧力は一定の大きさ（以下、最大許容圧力）に留まるので、差圧がさらに大きくなったとしても封入液１１０に伝えられる圧力は最大許容圧力に抑えられる。
【００８２】
このため、圧力”ＰＨ”と圧力”ＰＬ”との差が急激に大きくなる場合であっても、最大許容圧力以上の圧力が封入液１１０に伝わらないことにより、過大な差圧による差圧センサの破壊を防止することが可能となる。
【００８３】
この結果、高圧側ダイアフラム部及び低圧側ダイアフラム部が同一液量の封入液を介して外部から印加される圧力をそれぞれ伝え、同一液体抵抗の液体配管が封入液を介して高圧側ダイアフラム部及び低圧側ダイアフラム部から伝えられる圧力をセンタダイアフラム部にそれぞれ伝え、センタダイアフラム部が同一液体抵抗の液体配管から伝えられる圧力に応じてセンタダイアフラムで区分される受圧室の容積を変化させて圧力を差圧センサにそれぞれ伝えることにより、差圧センサの破壊を防止することが可能となる。
【００８４】
なお、図１等に示す実施例では、図１中”ＰＰ２１２”及び図１中”ＰＰ２１３”に示す液体配管は、断面積が微小に形成され同一の液体抵抗になるように形成されると例示されているが、特にこれに限定されるものではなく、同一の液体抵抗を有する液体抵抗部（後述する）が設置されるものであっても構わない。
【００８５】
ちなみに、上述の液体抵抗部は、細管、オリフィス及び局所的に絞られた絞り部を有する配管等から構成されるものである。
【００８６】
例えば、一方の液体抵抗部は、一端が高圧側ダイアフラム部６１に接続される液体配管に接続され、他端が図１中”ＳＰ１１２”に示す受圧室に接続される液体配管にそれぞれ接続されるように設けられ、封入液１１０が充填される。
【００８７】
また、他方の液体抵抗部は、一端が低圧側ダイアフラム部６２に接続される液体配管に接続され、他端が図１中”ＳＰ１１３”に示す受圧室に接続される液体配管にそれぞれ接続されるように設けられ、封入液１１１が充填される。
【００８８】
このため、液体抵抗部の液体抵抗が同一であると共に封入液１１０及び１１１の量もまた同一であるので、封入液１１０の圧力と封入液１１１の圧力がセンタダイアフラム１０に伝えられる時間が等しくなり、過大な差圧が生じないことになる。
【００８９】
また、図１等に示す実施例では、高圧側ダイアフラム部６１とセンタダイアフラム部６３、低圧側ダイアフラム部６２とセンタダイアフラム部６３とにそれぞれ接続される図１中”ＰＰ２１２”及び”ＰＰ２１３”に示す液体配管の液体抵抗が同一であると例示されているが、特にこれに限定されるものではなく、図１中”ＰＰ２１０”及び”ＰＰ２１１”に示すセンタダイアフラム部と差圧センサとに接続される液体配管の断面積が、それぞれ微小に形成されて互いに同一の液体抵抗となるように形成されるものであっても構わない。
【００９０】
このように、図１中”ＰＰ２１０”及び”ＰＰ２１１”に示す液体配管の液体抵抗が同一であるような構成であっても、圧力”ＰＨ”と圧力”ＰＬ”との差が急激に大きくなる場合に、図１中”ＰＰ２１０”及び”ＰＰ２１１”に示す液体配管が封入液の圧力の急激な変化を吸収するので、圧力”ＰＨ”と圧力”ＰＬ”とが差圧センサに伝えられる時間は等しくなり、過大な差圧による差圧センサの破壊を防止することが可能となる。
【００９１】
また、図１等に示す実施例では、図１中”ＰＰ２１０”に示すセンタダイアフラム部６の高圧側の受圧室と差圧センサ９を接続する液体配管の一端は図１中”ＰＰ２１２”に示す液体配管の他端と合流し、他端は差圧センサ９の高圧側導入口に接続されると例示されているが、特にこれに限定されるものではなく、図１中”ＰＰ２１０”に示す液体配管は、図１中”ＳＰ１１２”に示す受圧室及び差圧センサにそれぞれ接続されるのであればどのような構成であっても構わない。
【００９２】
また、図１等に示す実施例では、図１中”ＰＰ２１１”に示す差圧センサ９とセンタダイアフラム部１０とを接続する液体配管が液溜め１１を有すると例示されているが、特にこれに限定されるものではなく、液溜めを構成要素としないものであっても構わない。
【図面の簡単な説明】
【００９３】
【図１】本発明に係る差圧伝送器の一実施例の構成ブロック図である。
【図２】従来の差圧伝送器の一例の構成ブロック図である。
【図３】従来の差圧伝送器の動作を説明する説明図である。
【符号の説明】
【００９４】
１、２、６、７  ダイアフラム
３、８  差圧調整部
４、９  差圧センサ
５、１０  センタダイアフラム
５１、６１  高圧側ダイアフラム部
５２、６２  低圧側ダイアフラム部
５３、６３  センタダイアフラム部
１００、１０１、１１０、１１１  封入液
２００、２１０  差圧伝送器
【図１】
2008292185.tif 000003
【図２】
2008292185.tif 000004
【図３】
2008292185.tif 000005