(57)【要約】【課題】排気ガス発生装置から間欠的に排出される一回分の排気ガス量を多少増加したときでも、連続的に運転されている排気ガス処理装置に排気ガスを供給する排気捕集・供給装置を大型化せざるを得ない従来の排気捕集・供給装置の課題を解決する。【解決手段】排気ガス発生装置１０から間欠的に排出される排気ガスを捕集し、連続的に運転されている排気ガス処理装置１２に供給する排気捕集・供給装置１４であって、排気ガスを捕集し貯留する貯留タンク１６と、貯留タンク１６内に貯留された排気ガスを吸引して排気ガス処理装置１２に供給する連続的に駆動される真空ポンプ１８とを具備し、排気ガス発生装置１０から排気ガスが排出されたとき、排気ガスの排出に合わせて全開され貯留タンク１６に排気ガスを送り込む自動弁３０と、自動弁３０のバイパス配管３４に設けられ、自動弁３０よりも少量の排気ガスを連続的に貯留タンク１６に送り込むことができるように所定開度に調整されている手動弁３６とが併設されていることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
排気ガス発生装置から間欠的に排出される排気ガスを捕集し、連続的に運転されている排気ガス処理装置に供給する排気捕集・供給装置であって、
前記排気ガス発生装置と排気ガス処理装置との間に、前記排気ガスを捕集し貯留する貯留タンクと、前記貯留タンク内に貯留された排気ガスを吸引して排気ガス処理装置に供給する連続的に駆動される真空ポンプとを具備し、
前記排気ガス発生装置から間欠的に排気ガスが排出されたとき、前記排気ガスの排出に合わせて前記貯留タンクに排気ガスを送り込む間欠送込手段と、前記間欠送込手段よりも少量の排気ガスを連続的に前記貯留タンクに送り込む連続送込手段とが併設されていることを特徴とする排気捕集・供給装置。
【請求項２】
間欠送込手段が、排気ガス発生装置と貯留タンクとを接続する配管に設けられた自動弁と、前記排気ガス発生装置から排気ガスが排出されたとき、前記自動弁を全開とするように制御する制御手段とから成る請求項１記載の排気捕集・供給装置。
【請求項３】
制御手段が、排気捕集・供給装置の入口部の圧力が所定値以上となったとき、自動弁を全開となるように、前記自動弁を制御する請求項２記載の排気捕集・供給装置。
【請求項４】
制御手段が、排気ガス発生装置が排気ガスの排出動作に移行したとき、自動弁が全開となるように、前記自動弁を制御する請求項２記載の排気捕集・供給装置。
【請求項５】
連続送込手段が、排気ガス発生装置と排気ガス処理装置との間に設けられた間欠送込手段をバイパスするバイパス配管と、前記バイパス配管に設けられ、前記バイパス配管を通過する排気ガス量を所定値に制限する制限手段とから成る請求項１〜４のいずれか一項記載の排気捕集・供給装置。
【請求項６】
制限手段が、手動弁又はオリフィスである請求項５記載の排気捕集・供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は排気捕集・供給装置に関し、更に詳細には排気ガス発生装置から間欠的に排出される排気ガスを捕集し、連続的に運転されている排気ガス処理装置に供給する排気捕集・供給装置にある。
【背景技術】
【０００２】
有機溶媒を用いた洗浄装置からの有機溶媒ガスを含有する排気ガスを回収・処理し、有機溶媒ガスの大気中への放出を可及的に減少させるべく、有機溶媒の回収・処理システムが種々提案されている。
例えば、下記特許文献１には、図８に示す有機溶媒の回収・処理システムが提案されている。図８に示す有機溶媒の回収・処理システムは、有機溶剤を用いる洗浄槽１００の内部に開口されている吸引口１０２を具備する配管１０４に、三方弁１０６及び脈動吸収タンク１０８を介して連通された圧縮機１１０と、圧縮機１１０に凝縮器１１２を介して連通された回収液タンク１１４と、回収液タンク１１４に接続され、ガスと分離されて貯留された凝縮液を洗浄槽１００に戻す有機溶剤と水とを分離する水分離器１１６と、回収液タンク１１４に接続され、凝縮液と分離されたガス中の有機溶剤を冷却して分離する凝縮回収器１１８と、凝縮回収器１１８を冷却する冷凍機１２０とから構成される。
更に、凝縮回収器１１８には、凝縮回収器１１８で凝縮された凝縮液を回収液タンク１１４に戻す配管１２２が接続され、且つ凝縮回収器１１８で凝縮されなかったガスを三方弁１２４を経由して入口側の三方弁１０６に戻す配管１２６が設けられている。
尚、三方弁１２４には、凝縮回収器１１８の内温を検出する温度センサー１２８が所定温度に到達したとき、凝縮回収器１１８内のガスを放出する放出管１３０が設けられている。
【特許文献１】実開平６−２９６０３号公報
【０００３】
図８に示す有機溶媒の回収・処理システムでは、洗浄槽１００から発生した有機溶剤含有の排気ガスの所定量を、吸引口１０２から配管１０４によって三方弁１０６及び脈動吸収タンク１０８を介して圧縮機１１０で圧縮した後、凝縮器１１２で冷却して回収液タンク１１４で固液分離し、凝縮液を水分離器１１６を経由して洗浄槽１００に戻すと共に、凝縮されなかったガスは冷凍機１２０によって冷却されている凝縮回収器１１８に供給する。一方、凝縮器１１２で凝縮しなかったガスを凝縮回収器１１８で更に冷却して固液分離し、凝縮された凝縮液を水分離器１１６に戻し、凝縮されなかったガスを三方弁１２４、配管１２６及び三方弁１０６を経由して脈動吸収タンク１０８に戻し、凝縮器１１２及び凝縮回収器１１８を再度通過させる。
この様に、凝縮器１１２及び凝縮回収器１１８で凝縮されなかったガスを循環している間に、凝縮回収器１１８の内温を検出する温度センサー１２８が所定温度に到達したとき、三方弁１２４を配管１３０側に切り換えて凝縮回収器１１８内のガスを放出する。
次いで、洗浄槽１００から発生した有機溶剤含有の排気ガスの所定量を、吸引口１０２から吸引して、排気ガス中の有機溶剤を回収する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
図８に示す有機溶媒の回収・処理システムでは、凝縮器１１２及び凝縮回収器１１８で凝縮されなかったガスを循環することによって、ガス中の有機溶媒を充分に回収できる。このため、凝縮回収器１１８で凝縮しなかったガスは非凝縮性ガスである空気の成分と判断して放出している。
この様に、図８に示す有機溶媒の回収・処理システムは、洗浄槽１００から有機溶剤含有の排気ガスが間欠的に排出される場合には、排気ガスが排出されない期間内に前回排出された排気ガスの処理を完了できれば、洗浄槽１００から排出される排気ガスの全量を処理できる。
しかし、図８に示す有機溶媒の回収・処理システムでは、凝縮器１１２及び凝縮回収器１１８を循環できるガス量は、脈動吸収タンク１０８に貯留できる量である。このため、洗浄槽１００から発生する一回分の排気ガス量が多くなるほど、他の設備が対応できる範囲内であっても、脈動吸収タンク１０８のみを大型化する必要がある。
また、図８に示す有機溶媒の回収・処理システムでは、洗浄槽１００から有機溶剤含有の排気ガスの排出間隔を短縮した場合等には、脈動吸収タンク１０８の大型化の他に、他の設備の性能向上を図ることが必要となる。このため、洗浄槽１００から有機溶剤含有の排気ガスの排出間隔が短縮された場合等には容易に対応することは困難である。
【０００５】
他方、図８に示す有機溶媒の回収・処理システムを構成する凝縮器１１２及び凝縮回収器１１８を循環するガス循環を停止し、排気ガスの連続処理ができるように、凝縮器１１２及び凝縮回収器１１８の性能を向上すると、脈動吸収タンク１０８に貯留された有機溶剤含有の排気ガスを連続的に処理でき、図８に示す有機溶媒の回収・処理装置の処理能力の向上を図ることができる。
しかしながら、依然として、洗浄槽１００から発生する一回分の排気ガス量が増加すると、他の設備が対応できる範囲内であっても、脈動吸収タンク１０８のみを大型化する必要があり、有機溶媒の回収・処理システムは大型化する。
そこで、本発明は、排気ガス発生装置から間欠的に排出される一回分の排気ガス量を多少増加したときでも、排気ガスを貯留し且つ連続的に運転されている排気ガス処理装置に排気ガスを供給するタンク等の排気捕集・供給装置を大型化せざるを得ない従来の排気捕集・供給装置の課題を解決し、排気ガス発生装置から間欠的に排出される一回分の排気ガス量が多少増加しても、タンク等の排気捕集・供給装置を大型化することを要しない排気捕集・供給装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者等は、前記課題を解決すべく検討した結果、排気ガス発生装置と排気ガス処理装置との間に、排気ガスを捕集し貯留する貯留タンクと、貯留タンク内に貯留された排気ガスを吸引して排気ガス処理装置に供給する連続的に駆動される真空ポンプとを設けることによって、排気ガス発生装置から排気ガスを排出する際に、貯留タンクを減圧状態とすることによって多量の排気ガスを貯留できることを知った。
更に、真空ポンプを連続して駆動するためには、排気ガスの排出に合わせて貯留タンクに排気ガスを送り込む間欠送込手段よりも少量の排気ガスを連続的に貯留タンクに送り込む連続送込手段を設けることが必要であることを見出し、本発明に到達した。
【０００７】
すなわち、本発明は、排気ガス発生装置から間欠的に排出される排気ガスを捕集し、連続的に運転されている排気ガス処理装置に供給する排気捕集・供給装置であって、前記排気ガス発生装置と排気ガス処理装置との間に、前記排気ガスを捕集し貯留する貯留タンクと、前記貯留タンク内に貯留された排気ガスを吸引して排気ガス処理装置に供給する連続的に駆動される真空ポンプとを具備し、前記排気ガス発生装置から間欠的に排気ガスが排出されたとき、前記排気ガスの排出に合わせて前記貯留タンクに排気ガスを送り込む間欠送込手段と、前記間欠送込手段よりも少量の排気ガスを連続的に前記貯留タンクに送り込む連続送込手段とが併設されていることを特徴とする排気捕集・供給装置にある。
かかる本発明において、間欠送込手段として、排気ガス発生装置と貯留タンクとを接続する配管に設けられた自動弁と、前記排気ガス発生装置から排気ガスが排出されたとき、前記自動弁を全開とするように制御する制御手段とから成る間欠送込手段を好適に採用できる。この制御手段としては、排気捕集・供給装置の入口部の圧力が所定値以上となったとき、自動弁を全開となるように、前記自動弁を制御する制御手段、或いは排気ガス発生装置が排気ガスの排出動作に移行したとき、自動弁が全開となるように、前記自動弁を制御する制御手段を採用できる。
また、連続送込手段として、排気ガス発生装置と排気ガス処理装置との間に設けられた間欠送込手段をバイパスするバイパス配管と、前記バイパス配管に設けられ、前記バイパス配管を通過する排気ガス量を所定値に制限する制限手段とから成る連続送込手段を好適に採用できる。この制限手段としては、手動弁又はオリフィスを用いることができる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明に係る排気捕集・供給装置によれば、連続的に運転されている排気ガス処理装置に対し、排気ガス発生装置から間欠的に排出される排気ガスの処理量を平均化でき、排気ガス処理装置の処理性能を、排気ガス発生装置から排出される排気ガスの瞬間最大量に合わせることを要しない。
また、排気ガスの排出に合わせて貯留タンクに排気ガスを送り込む間欠送込手段と、間欠送込手段よりも少量の排気ガスを連続的に貯留タンクに送り込む連続送込手段を設けることによって、連続駆動される真空ポンプによって吸引でき、排気ガス発生装置から排気ガスを排出する際に、貯留タンクを減圧状態とすることによって多量の排気ガスを貯留でき、貯留タンクの小型化を図ることができる。
その結果、本願発明に係る排気捕集・供給装置を、排気ガスを間欠的に排出する排気ガス発生装置と排気ガス処理装置との間に設けることによって、排気ガスの回収・処理システムの小型化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明に係る排気捕集・供給装置を具備する排気ガス処理システムの一例を図１に示す。図１に示す排気ガス処理システムでは、排気ガス発生装置１０と連続運転される排気ガス処理装置１２との間に、排気捕集・供給装置１４が設けられている。
かかる排気ガス発生装置１０には、間欠的に運転される洗浄装置等の有機溶剤を間欠的に使用する有機溶剤使用装置１０ａと、有機溶剤使用装置１０ａを減圧状態とする真空ポンプ１０ｂと、真空ポンプ１０ｂで吸引された有機溶剤含有のガスを回収溶媒中にバブリングして有機溶剤を回収する回収槽１０ｃとから構成される。
また、排気捕集・供給装置１４には、内圧を検出する圧力センサー１６ａを具備する貯留タンク１６と連続運転される真空ポンプ１８とが設けられている。貯留タンク１６と連続運転される真空ポンプ１８との配管２０には、真空ポンプ１８から貯留タンク１６への逆流を防止するチャッキバルブ２２が設けられている。更に、真空ポンプ１８は、インバータ２４によって一定回転数に制御されている。
【００１０】
かかる貯留タンク１６と排気ガス発生装置１０の回収槽１０ｃとの間には、間欠送込手段と連続送込手段とが併設されている。
この間欠送込手段には、排気ガス発生装置１０と貯留タンク１６とを接続する配管２６に、手動弁２８と自動弁３０とが設けられている。自動弁３０は、配管２６の回収槽１０ｃ側に設けられた、大気圧との差圧を検出する差圧センサー３２が所定値以下となったとき、全閉から全開とされるように制御されている。
また、かかる間欠送込手段と併設される連続送込手段には、配管２６に設けられた手動弁２８と自動弁３０とをバイパスするバイパス配管３４に、バイパス配管３４を通過する排気ガス量を所定値に制限する制限手段としての手動弁３６が設けられている。この手動弁３６によって、バイパス配管３４を通過する排気ガス量を、間欠送込手段を構成する配管２６を通過する排気ガス量よりも少量に制限する。かかるバイパス配管３４は、回収槽１０ｃから連続して少量の排気ガスを連続的に貯留タンク１６に送り込むことができ、真空ポンプ１８を連続して駆動できる。
図１に示すバイパス配管３４に設けた流量計３８は、バイパス配管３４を通過する排ガス流量を測定し、配管２６の貯留タンク１６の近傍に設けた流量計４０は、貯留タンク１６に供給される排気ガス量を測定する。また、真空ポンプ１８と排気ガス処理装置１２との間に設けた流量計４２は、排気ガス処理装置１２に供給される排気ガス量を測定する。
尚、排気ガス処理装置１２としては、連続して運転できるものであればよく、排気ガス中の有機溶媒を冷凍して分離する冷凍式であってもよく、排気ガス中の有機溶媒を触媒存在下で燃焼処理する燃焼処理式であってもよい。
【００１１】
図１に示す有機溶剤使用装置１０ａからは、有機溶剤を含有する排気ガスが間欠的に大量に排出され、有機溶剤の一部は回収槽１０ｃで回収されるものの、有機溶剤が含有された排気ガスは排気捕集・供給装置１４に供給される。
回収槽１０ｃから間欠的に発生する有機溶剤を含有する排気ガスは、当初は、バイパス配管３４のみを通過して、真空ポンプ１８によって減圧状態の貯留タンク１６に供給されるが、配管２６内の圧力が高まって差圧センサー３２で測定される差圧が所定値以下に到達したとき、自動弁３０が全開とされ、主として配管２６を通過して排気ガスを貯留タンク１６に供給される。
回収槽１０ｃからの排気ガスの発生が終了し、差圧センサー３２で測定される差圧が所定値を超えたとき、自動弁３０が全閉とされる。その後、貯留タンク１６に貯留された排気ガスは、バイパス配管３４を通過して貯留タンク１６に供給される排気ガスと共に、連続して駆動されている真空ポンプ１８によって排気ガス処理装置１２に連続して供給されて処理される。
【００１２】
図１に示す排気捕集・供給装置１４を、排気ガスが間欠的に３０００リットル／分の速度で５〜６秒間排出される排気ガス発生装置１０に装着した場合について、排気ガス処理装置１２に供給する排気ガス流量（流量計４２で測定）と貯留タンク１６の圧力（圧力センサー１６ａで測定）とを図２に示す。この貯留タンク１６としては、容量１６０リットルのタンクを用いた。
この排気ガス発生装置１０では、４分２０秒サイクル排気ガスが排出され、排気ガスが排出される際に、自動弁３０が３０秒間全開となった。
図２から明らかな様に、自動弁３０が全閉となっている間の排気ガス処理装置１２に供給される排気ガス流量は、５０リットル／分程度となっている。この排気ガス流量はバイパス配管３４を経由して貯留タンク１６に供給される流量と等しい。一方、自動弁３０が全開となっている間の排気ガス処理装置１２に供給される排気ガス流量は、２００リットル／分程度に増加しているが、排気ガス処理装置１２で充分に処理できる範囲内である。
【００１３】
この様に、自動弁３０が全開となっている間の排気ガス処理装置１２に供給される排気ガス流量が、自動弁３０が全閉となっている間の排気ガス処理装置１２に供給される排気ガス流量に比較して増加している。しかし、排気ガス発生装置１０から瞬間的に発生する３０００リットル／分の排気ガス発生量に比較して、充分に均一化されている。
また、貯留タンク１６の内圧も、自動弁３０が全開となっている間は概略大気圧と等しい圧力まで昇圧するが、自動弁３０が全閉となった後、徐々に低下して自動弁３０が全開となる直前には、−６５Ｐａ程度の減圧状態となっている。このため、排気ガス発生装置１０から瞬間的に発生する３０００リットル／分の排気ガス発生量に対して、貯留タンク１６として、容量が１６０リットル程度のタンクで充分に用いることができる。
図１に示す排気捕集・供給装置１４を、排気ガスが間欠的に排出される排気ガス発生装置１０と連続して運転される排気ガス処理装置１２との間に設けることによって、排気ガス発生装置１０から間欠的に排気ガスが排出されても、排気ガス処理装置１２に対する負荷を可及的に平均化できる。このため、排気ガス処理装置１２としては、排気ガス発生装置１０から間欠的に発生する排気ガス量を、排気ガスの排出サイクル内で連続して処理できる能力を有していればよく、排気ガス発生装置１０から排出される排気ガスの瞬間最大量に合わせた能力とした排気ガス処理装置に比較して、排気ガス処理装置１２の小型化を図ることができる。
【００１４】
ところで、図１に示す排気捕集・供給装置１４では、差圧センサー３２の設置場所の選定に注意を要する。この差圧センサー３２での差圧検出が、排気ガス発生装置１０からの排気ガスの排出開始からの時間遅れが存在すると、自動弁３０が全開となるタイミングが遅れて貯留タンク１６の圧力が更に高くなる。貯留タンク１６の圧力が高くなり過ぎると、排気ガス発生装置１０に背圧が掛かり、排気ガスが排気ガス発生装置１０から充分に排出され難くなる傾向にある。
かかる自動弁３０の全開タイミングの遅れを防止するには、図３に示す様に、排気ガス発生装置１０を制御する制御部、例えば有機溶剤使用装置１０ａを制御する制御部４４から排気ガス発生の信号を受け取り、自動弁３０を全開とすることが好ましい。
尚、図３に示す排気ガス発生装置１０、排気捕集・供給装置１４及び排気ガス処理装置１２、及びこれらの構成装置については、図１に示す排気ガス発生装置１０、排気捕集・供給装置１４及び排気ガス処理装置１２、及びこれらの構成装置と同一装置であるものについては、図１と同一番号を付して詳細な説明を省略した。
【００１５】
図１及び図３に示す排気捕集・供給装置１４では、真空ポンプ１８の回転数を一定で連続運転していた。かかる真空ポンプ１８の回転数を、排気ガス発生装置１０から排気ガスが排出されたとき増大できれば、図２に示す貯留タンク１６の圧力のピークを更に低くなるように抑制でき、貯留タンク１６の圧力を更に均一化できる。
この様に、真空ポンプ１８の回転数を、排気ガス発生装置１０から排気ガスが排出されたとき増大するには、図４に示す排気捕集・供給装置１４を採用することによって可能にできる。
図４に示す排気捕集・供給装置１４では、差圧センサー３２で検出した差圧データを制御部４６に発信する。制御部４６では、受信した差圧データに基づいて排気ガス発生装置１０から排気ガスが排出されていると判断した場合には、自動弁３０に全開信号を発信すると共に、真空ポンプ１８の回転数を制御しているインバータ２４に回転数増加の信号を発信する。
【００１６】
図４に示す制御部４６での制御方法を図５のフローチャートに示す。先ず、ステップＳ１０で真空ポンプ１８をスタートさせると共に、真空ポンプ１８の回転数を予めインバータ２４に設定していた回転数とする。
次いで、ステップＳ１２において、差圧センサー３２で検出した大気圧との差圧データが予め設定しておいた所定圧よりも大きい場合には、排気ガス発生装置１０から排気ガスが排出されていないと判断し、ステップＳ１４，Ｓ１６で自動弁３０の全閉状態を維持すると共に、真空ポンプ１８の回転数も予めインバータ２４に設定していた回転数を維持する。
一方、ステップＳ１２において、差圧センサー３２で検出した差圧データが予め設定しておいた所定圧以下の場合は、排気ガス発生装置１０から排気ガスが排出されていると判断し、ステップＳ１８で自動弁３０を全開とすると共に、ステップＳ２０で真空ポンプ１８の回転数も予めインバータ２４に設定していた回転数よりも増加する。かかる自動弁３０を全開とし且つ真空ポンプ１８の回転数の増加することによって、貯留タンク１６内に貯留されている排気ガスの排気ガス処理装置１２への供給量を増加することができ、貯留タンク１６の内圧上昇を抑制できる。
この自動弁３０の全開状態及び真空ポンプ１８の回転数の増加状態は、ステップＳ１２において、差圧センサー３２で検出した差圧データが予め設定しておいた所定圧よりも大きくなるまで継続する。
ステップＳ１２において、差圧センサー３２で検出した差圧データが予め設定しておいた所定圧よりも大きくなったとき、排気ガス発生装置１０からの排気ガスの排出が終了したものと判断し、ステップＳ１４，Ｓ１６で自動弁３０を全閉とし且つ真空ポンプ１８の回転数も予めインバータ２４に設定していた回転数とする。
図５に示す制御方法では、ステップＳ２２で真空ポンプ１８が停止していると判断したとき、制御部４６での制御は終了する。
【００１７】
図４に示す排気捕集・供給装置１４でも、図１に示す様に、差圧センサー３２で検出した差圧データに基づいて制御部４６が排気ガス発生装置１０からの排気ガスの排出開始・排出停止を判断しているが、図３に示す様に、排気ガス発生装置１０を制御する制御部、例えば有機溶剤使用装置１０ａを制御する制御部４４から排気ガス発生の信号を制御部４６が受け取るようにしてもよいことは勿論のことである。
尚、図４に示す排気ガス発生装置１０、排気捕集・供給装置１４及び排気ガス処理装置１２、及びこれらの構成装置については、図１に示す排気ガス発生装置１０、排気捕集・供給装置１４及び排気ガス処理装置１２、及びこれらの構成装置と同一装置であるものについては、図１と同一番号を付して詳細な説明を省略した。
【００１８】
図１〜図５に示す排気捕集・供給装置１４では、間欠送込手段として用いる自動弁３０は、全開―全閉弁（ＯＮ−ＯＦＦ弁）である。このため、連続送込手段としてのバイパス配管３４を設けている。
この点、図６に示す様に、開度調整できる制御弁４８を採用することによって間欠送込手段と連続送込手段とを併合できる。
図６に示す排気捕集・供給装置１４では、排気ガス発生装置１０の回収槽１０ｃと貯留タンク１６とを接続する配管２６に、手動弁２８、制御弁４８及び流量計４０を設け、制御弁４８の開度を制御部５０で制御する。この制御部５０には、差圧センサー３２で検出した差圧データ及び流量計４０で検出した流量データが入力され、主として差圧センサー３２で検出した差圧データに基づいて制御弁４８の開度を制御する。
かかる制御部５０での制御を図７のフローチャートに示す。先ず、ステップＳ３０において、真空ポンプ１８の運転を開始した後、ステップＳ３２で制御弁４８の開度を予め設定した設定開度とする。
【００１９】
次に、ステップＳ３４において、差圧センサー３２で検出した大気圧との差圧データを予め設定した所定圧と比較し、検出した差圧データが所定圧よりも高い場合は、排気ガス発生装置１０から排気ガスが排出されていないものと判断し、ステップＳ３２に戻る。
他方、差圧センサー３２で検出した差圧データが所定圧以下の場合は、排気ガス発生装置１０から排気ガスが排出されているものと判断し、ステップＳ３６に移行して制御弁４８を全開とする。
また、制御弁４８が全開の状態で差圧センサー３２が検出した差圧データが所定圧よりも高い場合には、ステップ３４において、排気ガス発生装置１０からの排気ガスの排出が終了したものと判断し、制御弁４８を所定開度とするステップＳ３２に移行する。
かかる図７に示すフローチャートでは、ステップ３８で真空ポンプ１８が停止されたときには、制御部５０の制御も終了する。
尚、図６に示す排気ガス発生装置１０、排気捕集・供給装置１４及び排気ガス処理装置１２、及びこれらの構成装置については、図１に示す排気ガス発生装置１０、排気捕集・供給装置１４及び排気ガス処理装置１２、及びこれらの構成装置と同一装置であるものについては、図１と同一番号を付して詳細な説明を省略した。
【００２０】
以上、説明してきた図１、図３及び図４のバイパス配管３４に設けた手動弁３６は、バイパス配管３４を通過する排気ガス量を所定値に制限する制限手段であるため、他の制限手段、例えばオリフィスに代えてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明に係る排気捕集・供給装置の一例を具備した排気ガス処理システムの概略図である。
【図２】図１に示す排気捕集・供給装置を構成する貯留タンクの内圧及び排気ガス処理装置への排気ガス供給量の経時変化を示すグラフである。
【図３】本発明に係る排気捕集・供給装置の他の例を具備した排気ガス処理システムの概略図である。
【図４】本発明に係る排気捕集・供給装置の他の例を具備した排気ガス処理システムの概略図である。
【図５】図４に示す制御部の制御方法を説明するフローチャートである。
【図６】本発明に係る排気捕集・供給装置の他の例を具備した排気ガス処理システムの概略図である。
【図７】図６に示す制御部の制御方法を説明するフローチャートである。
【図８】従来の排気ガス処理システムの概略図である。
【符号の説明】
【００２２】
１０  排気ガス発生装置
１２  排気ガス処理装置
１４  排気捕集・供給装置
１６  貯留タンク
１６ａ  圧力センサー
１８  真空ポンプ
２２  チャッキバルブ
２４  インバータ
２０，２６  配管
３０  自動弁
３２  差圧センサー
３４  バイパス配管
３６  手動弁
３８，４０，４２  流量計
４４，４６，５０  制御部
４８  制御弁
【図１】
2008272639.tif 000003
【図２】
2008272639.tif 000004
【図３】
2008272639.tif 000005
【図４】
2008272639.tif 000006
【図５】
2008272639.tif 000007
【図６】
2008272639.tif 000008
【図７】
2008272639.tif 000009
【図８】
2008272639.tif 000010