(57)【要約】【課題】気流の影響によらず、容易に搬送物を載置位置に載置する。【解決手段】走行機構１７がレール１１に沿ってポート４３上に移動する。昇降機構１３が懸垂ベルト１４を繰り出すことによって、ＦＯＵＰ２１が降下する。距離センサ３１が降下距離を測定し、ＦＯＵＰ２１が位置決めピン２３近傍まで降下したと判断した場合、風向風速センサ２５が水平方向に関する風向及び流速を測定し、重量センサ３０がＦＯＵＰ２１の重量を測定する。次に、ズレ量記憶部が参照されて位置ズレ量が推定され、この位置ズレ量に基づいて、水平移動機構１２によって昇降機構１３が水平方向に移動する。そして、再度昇降機構１３が懸垂ベルト１４を繰り出すことによって、ＦＯＵＰ２１は降下して、ＦＯＵＰ２１の位置決めピン２３と位置決め穴とが重ね合う。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
天井に敷設された軌道と、
前記軌道上に設置されており、搬送物を把持可能な把持機構を有する搬送台車と、
前記搬送台車に前記軌道上を走行させて、前記搬送台車を水平方向に関して載置位置まで移動させる走行機構と、
前記走行機構が前記搬送台車を水平方向に関して前記載置位置まで移動させた後に、前記把持機構を鉛直方向に関して前記載置位置まで移動させる昇降機構と、
前記昇降機構が前記把持機構を移動させる際に前記把持機構を水平方向に移動させる水平補正機構と、
水平方向に関して発生した気流の流速を測定する前記搬送台車に固定された流速測定手段と、
前記流速測定手段が測定した流速を有する気流が前記流速測定手段が固定された位置に発生しているときに前記昇降機構が前記把持機構を鉛直方向に関して前記載置位置まで移動させた場合の前記把持機構の第１位置と、前記流速測定手段が固定された位置に水平方向に関して気流が発生していないときに前記昇降機構が前記把持機構を鉛直方向に関して前記載置位置まで移動させた場合の前記把持機構の第２位置との水平方向に関するズレ量及びズレ方向を推定するズレ量推定手段と、
前記ズレ量推定手段が推定した前記ズレ方向に関して前記ズレ量推定手段が推定した前記ズレ量だけ前記把持機構を移動させるように前記水平補正機構を制御する補正制御手段とを備えていることを特徴とする天井走行搬送装置。
【請求項２】
前記流速測定手段が固定された位置に発生する気流の流速に関連付けて、当該流速を有する気流が前記流速測定手段が固定された位置に発生しているときの前記第１位置と、前記第２位置との水平方向に関するズレ量及びズレ方向を記憶しているズレ量記憶手段をさらに備えており、
前記ズレ量推定手段は、前記流速測定手段が測定した流速に関連付けて、前記ズレ量記憶手段が記憶した前記ズレ量及び前記ズレ方向を推定値として決定することを特徴とする請求項１に記載の天井走行搬送装置。
【請求項３】
前記搬送物の重量を取得する重量取得手段と、
前記流速測定手段が固定された位置に発生する気流の流速及び前記搬送物の重量に関連付けて、前記搬送物が当該重量を有しており且つ当該流速を有する気流が前記流速測定手段が固定された位置に発生しているときの前記第１位置と、前記第２位置との水平方向に関するズレ量及びズレ方向を記憶しているズレ量記憶手段とをさらに備えており、
前記ズレ量推定手段は、前記流速測定手段が測定した流速及び前記重量取得手段が取得した前記搬送物の重量に関連付けて、前記ズレ量記憶手段が記憶した前記ズレ量及び前記ズレ方向を推定値として決定することを特徴とする請求項１に記載の天井走行搬送装置。
【請求項４】
前記搬送物の重量を取得する重量取得手段と、
前記昇降機構が前記把持機構を降下させた距離を取得する距離取得手段と、
前記流速測定手段が固定された位置に発生する気流の流速、前記搬送物の重量及び前記把持機構の降下距離に関連付けて、前記搬送物が当該重量を有しており、前記把持機構が当該降下距離だけ降下しており且つ当該流速を有する気流が前記流速測定手段が固定された位置に発生しているときの前記第１位置と、前記第２位置との水平方向に関するズレ量及びズレ方向を記憶しているズレ量記憶手段とをさらに備えており、
前記ズレ量推定手段は、前記流速測定手段が測定した流速、前記重量取得手段が取得した前記搬送物の重量及び前記距離取得手段が取得した距離に関連付けて、前記ズレ量記憶手段が記憶した前記ズレ量及び前記ズレ方向を推定値として決定することを特徴とする請求項３に記載の天井走行搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送物を昇降可能に保持しつつ、天井に敷設された軌道を走行する天井走行搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体デバイスの製造設備においては、半導体ウェハが収納されたＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）を昇降可能なグリッパによって把持しつつ、天井に敷設された軌道を走行することで種々の半導体製造装置間を移動する搬送台車を備えた天井走行搬送装置が用いられている。半導体製造装置は、軌道の直下に近接して配置されており、当該半導体製造装置においてＦＯＵＰの載置位置であるポートが軌道の直下に位置するようになっている。したがって、かかる搬送装置の搬送台車は、これから搬送を行うＦＯＵＰをグリッパによって把持した後、グリッパを上昇させることによってＦＯＵＰを回収することができる。ＦＯＵＰを回収した搬送台車は、次の工程を行う他の半導体製造装置まで軌道を走行する。そして、搬送台車は、製造装置のポート上で停止し、ＦＯＵＰを把持しているグリッパを降下させて、当該ポートにＦＯＵＰを載置することができる。
【０００３】
このとき、搬送物は載置位置に位置ズレのない状態で正確に載置しないと、装置内で処理できなくなる場合があるために、搬送台車を装置上の正確な位置で停止させる必要がある。
【０００４】
このような位置ズレを解消する搬送システムとして特許文献１のように、位置補正器と補正シートとを備えたものがある。位置補正器は、ＦＯＵＰと同形状をしており、内部に直下を撮像するＣＣＤカメラを備えている。補正シートは、円の一部が欠損した形状の認識マークを描いたプレートであり、ＦＯＵＰの載置位置であるポート上に設けられている。この搬送システムは、位置ズレのない場合に得られる基準画像を記憶している。ＣＣＤカメラが撮像した画像と基準画像とを重合することで、搬送台車の位置ズレを補正する。
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−１７０５４４号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
この搬送システムは、クリーンルーム内に設置される。クリーンルームは、製造工程ごとにドアや窓などで区切られていることが多く、それぞれのクリーンルーム内の気圧が異なることがある。このとき、ドアや窓を開くことにより、気圧の高いクリーンルームから気圧の低いクリーンルームへ向かう気流が発生する。ドアや窓の近傍に設置された半導体製造装置のポートに搬送物を載置する際には、グリッパに把持された搬送物がこの気流に流されて位置ズレを起こしやすい。
【０００７】
特許文献１に記載の搬送システムでは、例えば、ドアや窓を開けていない状態で位置ズレ補正を行っている場合において、ドアや窓を開くことにより気流が発生してしまうと、グリッパに把持された搬送物が流されているため、位置ズレ補正した位置からさらに位置ズレが生じてしまう。このように、位置ズレ補正後に気流が発生した場合には、位置ズレ補正の効果が得られないため、搬送物を装置上に正確に載置することが困難となる。
【０００８】
本発明の主たる目的は、気流の影響によらず、正確に搬送物を載置位置に載置することができる天井走行搬送装置を提供することである。
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
【０００９】
本発明の天井走行搬送装置は、天井に敷設された軌道と、前記軌道上に設置されており、搬送物を把持可能な把持機構を有する搬送台車と、前記搬送台車に前記軌道上を走行させて、前記搬送台車を水平方向に関して載置位置まで移動させる走行機構と、前記走行機構が前記搬送台車を水平方向に関して前記載置位置まで移動させた後に、前記把持機構を鉛直方向に関して前記載置位置まで移動させる昇降機構と、前記昇降機構が前記把持機構を移動させる際に前記把持機構を水平方向に移動させる水平補正機構と、水平方向に関して発生した気流の流速を測定する前記搬送台車に固定された流速測定手段と、前記流速測定手段が測定した流速を有する気流が前記流速測定手段が固定された位置に発生しているときに前記昇降機構が前記把持機構を鉛直方向に関して前記載置位置まで移動させた場合の前記把持機構の第１位置と、前記流速測定手段が固定された位置に水平方向に関して気流が発生していないときに前記昇降機構が前記把持機構を鉛直方向に関して前記載置位置まで移動させた場合の前記把持機構の第２位置との水平方向に関するズレ量及びズレ方向を推定するズレ量推定手段と、前記ズレ量推定手段が推定した前記ズレ方向に関して前記ズレ量推定手段が推定した前記ズレ量だけ前記把持機構を移動させるように前記水平補正機構を制御する補正制御手段とを備えている。
【００１０】
この天井走行搬送装置によれば、流速測定手段が測定した流速に基づいて、把持機構の水平方向に関するズレ量及びズレ方向を推定している。これにより、気流の影響によらず、正確に搬送物を載置位置に載置することができる。
【００１１】
また、本発明の天井走行搬送装置は、前記流速測定手段が固定された位置に発生する気流の流速に関連付けて、当該流速を有する気流が前記流速測定手段が固定された位置に発生しているときの前記第１位置と、前記第２位置との水平方向に関するズレ量及びズレ方向を記憶しているズレ量記憶手段をさらに備えており、前記ズレ量推定手段は、前記流速測定手段が測定した流速に関連付けて、前記ズレ量記憶手段が記憶した前記ズレ量及び前記ズレ方向を推定値として決定することが好ましい。これによると、あらかじめズレ量及びズレ方向を記憶しておくことにより、搬送物を載置しようとするたびにズレ量及びズレ方向を算出したりする必要がないため、迅速に搬送物を載置位置に載置することができる。
【００１２】
さらに、本発明の天井走行搬送装置は、前記搬送物の重量を取得する重量取得手段と、前記流速測定手段が固定された位置に発生する気流の流速及び前記搬送物の重量に関連付けて、前記搬送物が当該重量を有しており且つ当該流速を有する気流が前記流速測定手段が固定された位置に発生しているときの前記第１位置と、前記第２位置との水平方向に関するズレ量及びズレ方向を記憶しているズレ量記憶手段とをさらに備えており、前記ズレ量推定手段は、前記流速測定手段が測定した流速及び前記重量取得手段が取得した前記搬送物の重量に関連付けて、前記ズレ量記憶手段が記憶した前記ズレ量及び前記ズレ方向を推定値として決定することが好ましい。これによると、重量取得手段が搬送物の重量を取得して、その重量を考慮してズレ量を推定している。これにより、搬送物の重量の違いによらず、正確に搬送物を載置位置に載置することができる。
【００１３】
加えて、本発明の天井走行搬送装置は、前記搬送物の重量を取得する重量取得手段と、前記昇降機構が前記把持機構を降下させた距離を取得する距離取得手段と、前記流速測定手段が固定された位置に発生する気流の流速、前記搬送物の重量及び前記把持機構の降下距離に関連付けて、前記搬送物が当該重量を有しており、前記把持機構が当該降下距離だけ降下しており且つ当該流速を有する気流が前記流速測定手段が固定された位置に発生しているときの前記第１位置と、前記第２位置との水平方向に関するズレ量及びズレ方向を記憶しているズレ量記憶手段とをさらに備えており、前記ズレ量推定手段は、前記流速測定手段が測定した流速、前記重量取得手段が取得した前記搬送物の重量及び前記距離取得手段が取得した距離に関連付けて、前記ズレ量記憶手段が記憶した前記ズレ量及び前記ズレ方向を推定値として決定することが好ましい。これによると、距離取得手段が把持機構の降下距離を取得して、その降下距離を考慮してズレ量を推定している。これにより、降下距離の違いによらず、正確に搬送物を載置位置に載置することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の好適な一実施形態について、図面を参照しつつ説明する。図１は、本実施形態に係る天井走行搬送装置であるＯＨＴ（Over head Hoist Transport）の概略構成を示す斜視図である。
【００１５】
本実施形態に係るＯＨＴ１は、半導体デバイスの製造設備において半導体ウェハが収納されたＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）２１を搬送する搬送装置である。図１に示すように、ＯＨＴ１は、天井に敷設されたレール１１と、ＦＯＵＰ２１を保持しつつレール１１に懸垂状態で支持案内されて走行する搬送台車１０とを備えている。レール１１の直下近傍には、複数の半導体製造装置４０（例えば、半導体ウェハ処理装置、保管装置等：図１においては１台の半導体製造装置４０のみを示している）が配置されている。
【００１６】
搬送台車１０は、走行機構１７、水平移動機構１２（水平補正機構）、昇降機構１３、懸垂ベルト１４、把持機構１５、グリッパ１６、風向風速センサ２５（流速測定手段）、重量センサ３０（重量取得手段）及び距離センサ３１（距離取得手段）を有している。
【００１７】
走行機構１７は、レール１１に沿って走行可能となっており、水平移動機構１２とレール１１との間に設置されている。走行機構１７は、水平移動機構１２をレール１１に沿って移動させる。水平移動機構１２の下方には、昇降機構１３が設置されている。水平移動機構１２は、走行機構１７を介してレール１１から吊り下げられており、昇降装置１３を水平方向に関して移動させる。昇降機構１３には、４本の懸垂ベルト１４が設置されている。昇降機構１３は、懸垂ベルト１４を巻き上げたり繰り出したりする。懸垂ベルト１４の下端には、把持機構１５が固定されており、懸垂ベルト１４が巻き上げられると把持機構１５が上昇し、懸垂ベルト１４が繰り出されると把持機構１５が下降する。把持機構１５において、レール１１に沿った前後方向（方向Ｄ１）に関して互いに対向する一対の側面には、グリッパ１６が設置されている。グリッパ１６は、ＦＯＵＰ２１を把持したり、把持しているＦＯＵＰ２１を解離したりする。
【００１８】
把持機構１５の上面には、風向風速センサ２５及び距離センサ３１が設置されており、把持機構１５の内部には重量センサ３０が設置されている。
【００１９】
風向風速センサ２５は、軸２６、本体２７及びプロペラ２８から構成されている。軸２６の一端は、把持機構１５の上面に接続されており、他端は、本体２７に接続されている。本体２７は、軸２６に回転可能に接続されており、その先端にプロペラ２８が接続されている。風向風速センサ２５は、水平方向に関して発生した気流によって本体２７が回転して、プロペラ２８が気流の風向に対して対向する。これより、気流の風向を電気信号として取得する。また、気流の流速によってプロペラ２８の回転速度が変化する。これにより、気流の流速を電気信号として取得する。これら測定した気流の風向及び流速から取得された電気信号は、後述する制御装置１９に伝送される。
【００２０】
重量センサ３０は、把持機構１５内に設置されており、グリッパ１６によって把持されているＦＯＵＰ２１の重量を電気信号として制御装置１９に伝送する。
【００２１】
距離センサ３１は、把持機構１５の上面に固定されており、昇降機構１３の下面との距離である把持機構１５の降下距離を測定している。そして、この測定した距離を電気信号として制御装置１９に伝送する。
【００２２】
半導体製造装置４０は、開口４２から装置内部へ半導体ウェハの取り込み及び取り出しを行うための中継場所、すなわちＦＯＵＰ２１の載置位置となるポート４３を備えており、このポート４３はレール１１の直下に位置するようになっている。ポート４３の上面は水平であり、位置決めテーブル２２が固定されている。ＦＯＵＰ２１は位置決めテーブル２２上に載置される。位置決めテーブル２２は平板状の部材であり、その上面には上方に向かって突出する３本の位置決めピン２３が固定されている。一方、図２に示されているように、ＦＯＵＰ２１の下面は平坦であり、３つの位置決め穴２４が形成されている。位置決め穴２４は、図２のように凹型の形状を有していてもよいし、ＦＯＵＰ２１の底板を貫通する貫通孔であってもよい。
【００２３】
３本の位置決めピン２３と３つの位置決め穴２４とは互いに対応し合っている。２本の位置決めピン２３同士の水平方向に関する位置関係は、２つの位置決め穴２４の水平方向に関する位置関係と同じである。つまり、水平方向に関して３本の位置決めピン２３と３つの位置決め穴２４とを重ね合わせることができる。
【００２４】
次に、ＯＨＴ１の電気的構成について図３を参照して説明する。ＯＨＴ１は、制御装置１９を有している。制御装置１９は、プロセッサユニット、メモリ及びバス等の各種ハードウェアと、メモリ等の記憶装置に記憶されたプログラムからなるソフトウェアとから構成されている。メモリには、後述する位置情報記憶部１９ａ、移動制御部１９ｂ、ズレ量記憶部１９ｃ（ズレ量記憶手段）、ズレ量推定部１９ｄ（ズレ量推定手段）及び補正制御部１９ｅ（補正制御手段）として機能するようにハードウェアを動作させるためのプログラムが記憶されている。かかるプログラムに沿ってプロセッサユニット等のハードウェアが動作することにより、位置情報記憶部１９ａ、移動制御部１９ｂ、ズレ量記憶部１９ｃ、ズレ量推定部１９ｄ及び補正制御部１９ｅが実現する。なお、制御部１９は汎用のコンピュータにソフトウェアをインストールすることによって構築されてもよいし、はじめから位置情報記憶部１９ａ、移動制御部１９ｂ、ズレ量記憶部１９ｃ、ズレ量推定部１９ｄ及び補正制御部１９ｅの機能に特化した装置として実現されていてもよい。
【００２５】
位置情報記憶部１９ａは、ＯＨＴ１によって搬送されたＦＯＵＰ２１の位置決め穴２４と位置決めピン２３とがちょうど嵌合するように位置決めテーブル２２上にＦＯＵＰ２１が載置される水平位置及び鉛直位置を示す位置データを記憶している。かかる位置データはオペレータが手動、もしくはＯＨＴ１が自動で調整したりして取得されたものである。
【００２６】
移動制御部１９ｂは、位置情報記憶部１９ａが記憶している位置データに基づいて、走行機構１７が水平移動機構１２をレール１１に沿って移動させたり、昇降機構１３が懸垂ベルト１４を巻き上げたり繰り出したりするのを制御する。また、把持機構１５がＦＯＵＰ２１を把持したり、把持しているＦＯＵＰ２１を解離したりするのを制御する。
【００２７】
ここで、移動制御部１９ｂが、位置情報記憶部１９ａが記憶している位置データに基づいて、昇降機構１３が懸垂ベルト１４を繰り出すよう制御している場合において、位置決めピン２３と位置決め穴２４とが嵌合しないことがある。これは、以下のような理由による。つまり、半導体製造装置４０の内部には図示しないファンが設けられている。このファンの駆動により、内部から開口４２を介して外部すなわちポート４３に向かって水平方向に関して気流が発生する。この気流によって、把持機構１５は風向に向かって流れる。この状態でＦＯＵＰ２１を載置しようとすると、水平方向に関して気流が発生していない場合に比べて、把持機構１５が流されている距離だけＦＯＵＰ２１の位置決め穴２４と位置決めピン２３とに位置ズレが生じてしまうからである。
【００２８】
そこで、本発明においては、あらかじめ気流によって把持機構１５が流されている距離すなわち位置ズレ量を測定している。気流による把持機構１５の位置ズレ量の測定方法について、図４を参照して説明する。図４は、気流による把持機構１５の位置ズレ量を測定する試験設備の正面図である。
【００２９】
試験設備５０は、ＯＨＴ１、載置台３６及び送風機３５を備えている。載置台３６は、ポート４３と同等の高さを有している。ＯＨＴ１は、載置台３６の上面から所定距離（ポート４３における位置決めピン２３の高さ）だけ離した状態でＦＯＵＰ２１を保持する。送風機３５は、所望の流速の気流を発生させるものである。この設備において、送風機３５から把持機構１５へ向かって気流を発生することにより、気流による把持機構１５の位置ズレ量を測定する。
【００３０】
次に、測定条件について説明する。気流の発生方向は、図４中右方向である把持機構１５にグリッパ１６が設置されている側面方向（以後、Ｘ方向と称す）及び図４中紙面方向（以後、Ｙ方向と称す）の２通りからとする。気流の流速は、０、０．３６、０．６５、０．８８、１．０５ｍ／ｓの５通りとする。ここで、気流の流速とは風向風速センサ２５によって測定された流速とする。把持機構１５の上面と昇降機構１３の下面との距離は、２．５、０．５ｍの２通りとする。グリッパ１６が把持しているＦＯＵＰ２１の重量は、ＦＯＵＰ２１を把持していないグリパ１６のみの状態の重量、ＦＯＵＰ２１内に半導体ウェハを収納していない状態の重量、ＦＯＵＰ２１内に半導体ウェハを収納している状態の重量の３通りとする。これらの測定条件で測定した測定結果を表１に示す。なお、昇降機構１３の下面との距離を２．５、０．５ｍの２通りとしているのは、半導体製造装置によって載置位置が異なるからである。
【００３１】
【表１】
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【００３２】
表１より距離、重量及び風向に応じた流速を横軸及び位置ズレ量を縦軸とした近似曲線が求められ、この近似曲線から位置ズレ量を算出することができる。例えば、ＦＯＵＰ２１内に半導体ウェハが収納してあり、昇降機構１３によって把持機構１５を２．５ｍ降下させた位置が載置位置である場合、気流の流速が０．８８ｍ／ｓであると、Ｘ方向に０．８ｍｍ、Ｙ方向に１．９ｍｍだけ位置ズレする。
【００３３】
図３に戻って、ズレ量記憶部１９ｃは、前述した表１のデータを記憶している。ズレ量推定部１９ｄは、ズレ量記憶部１９ｃが記憶しているデータを参照して、風向風速センサ２５が測定した風向及び流速、重量センサ３０が測定したＦＯＵＰ２１の重量、並びに距離センサ３１が測定した距離にしたがって、Ｘ及びＹ方向の位置ズレ量を推定する。補正制御部１９ｅは、ズレ量推定部１９ｄが推定した位置ズレ量に基づいて、水平移動機構１２が昇降機構１３を水平方向に移動させるのを制御する。これにより位置ズレを解消することができ、水平方向に関して３本の位置決めピン２３と３つの位置決め穴２４とを重ね合わせることができる。
【００３４】
具体的に、ＦＯＵＰ２１がポート４３に載置されるまでの動作について説明する。まず。位置情報記憶部１９ａが記憶している位置データに基づいて、走行機構１７がレール１１に沿ってポート４３上に移動する。そして、昇降機構１３が懸垂ベルト１４を繰り出すことによって、ＦＯＵＰ２１が降下する。距離センサ３１が降下距離を測定し、ＦＯＵＰ２１が位置決めピン２３近傍まで降下したと判断した場合、風向風速センサ２５が水平方向に関する風向及び流速を測定し、重量センサ３０がＦＯＵＰ２１の重量を測定する。次に、ズレ量記憶部１９ｃが参照されて位置ズレ量が推定され、この位置ズレ量に基づいて、水平移動機構１２によって昇降機構１３が水平方向に移動する。そして、再度昇降機構１３が懸垂ベルト１４を繰り出すことによって、ＦＯＵＰ２１は降下して、ＦＯＵＰ２１の位置決めピン２３と位置決め穴２４とが重ね合う。こうして、ＦＯＵＰ２１は、ポート４３上に正確に載置される。
【００３５】
このＯＨＴ１によれば、風向風速センサ２５が測定した流速に基づいて、把持機構１５の水平方向に関するズレ量及びズレ方向を推定している。これにより、気流の影響によらず、正確にＦＯＵＰ２１をポート４３に載置することができる。
【００３６】
また、ズレ量記憶部１９ｃによってズレ量及びズレ方向を記憶していることによって、ＦＯＵＰ２１を載置しようとするたびにズレ量及びズレ方向を推定する必要がないため、迅速にＦＯＵＰ２１をポート４３に載置することができる。
【００３７】
さらに、重量センサ３０がＦＯＵＰ２１の重量を測定して、その重量を考慮してズレ量を推定しているため、ＦＯＵＰ２１の重量の違いによらず、正確にＦＯＵＰ２１をポート４３に載置することができる。
【００３８】
加えて、距離センサ３１が把持機構１５の降下距離を測定して、その降下距離を考慮してズレ量を推定しているため、降下距離の違いによらず、正確にＦＯＵＰ２１をポート４３に載置することができる。
【００３９】
以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な変更が可能なものである。例えば、本実施形態において、距離センサ３１によって把持機構１５の降下距離を測定していたが、距離センサ３１に限らず懸垂ベルト１４の巻き上げられた長さもしくは繰り出された長さを測定して、把持機構１５の降下距離を測定してもよい。
【００４０】
また、本実施の形態においては、ＦＯＵＰ２１内には、半導体ウェハが収納されていたが、半導体ウェハに限らず、ディスク基板、液晶基板及び電子基板などいかなるものが収納されていてもよい。
【００４１】
さらに、本実施の形態においては、重量センサ３０及び距離センサ３１を備えていたが、あらかじめ各装置において載置されるＦＯＵＰ２１の重量や把持機構１５の降下距離を制御部１９に記憶させておけば、重量センサ３０及び距離センサ３１を備えている必要はない。
【００４２】
加えて、本実施の形態においては、風向風速センサ２５によって水平方向に関する気流の風向及び流速を測定していたが、風向風速センサ２５に限らず、風速センサを複数備えることによって、気流の風向及び流速を測定してもよい。例えば、図５のように把持機構１５の４面の側面全てに風速センサ１２５を備えて、これらから風向及び流速を測定してもよい。このとき、風速センサ１２５は、風車式、熱線式、ピトー管式など種々の風速センサが挙げられる。
【００４３】
また、本実施の形態においては、半導体製造装置４０の内部から発生する気流について説明したが、半導体製造装置４０の内部から発生する気流に限らず、クリーンルーム間の気圧の違いによってクリーンルームの開閉扉近傍に生じる気流など、把持機構１５の周囲で生じる種々の気流に関して本発明を適用することができる。
【００４４】
加えて、本実施の形態において、ズレ量推定部１９ｄは、ズレ量記憶部１９ｃが記憶しているデータを参照して、風向風速センサ２５が測定した風向及び流速、重量センサ３０が測定したＦＯＵＰ２１の重量、並びに距離センサ３１が測定した距離にしたがって、Ｘ及びＹ方向の位置ズレ量を推定していたが、ズレ量記憶部１９ｃを備えずに、図６に示すように、モデルを作成して、理論的に算出してもよい。例えば、重力Ｍｇ及び気流による風圧Ｆから、ＦＯＵＰ２１の気流による移動軌跡の接線である重力Ｍｇのサイン成分及び風圧Ｆのコサイン成分はつりあう。そして、この重力Ｍｇのサイン成分及び風圧Ｆのコサイン成分から位置ズレ量δを算出するモデル関数を導出して、位置ズレ量を算出してもよい。このモデル関数によれば、風向風速センサ２５が測定した風向及び流速、重量センサ３０が測定したＦＯＵＰ２１の重量、並びに距離センサ３１が測定した距離を代入することにより、位置ズレ量を算出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の実施形態に係る搬送システムの構成を示す斜視図である。
【図２】図１のＦＯＵＰに形成された位置決め穴と位置決めテーブルに固定された位置決めピンとの位置関係を示す斜視図である。
【図３】制御部の内部ブロック図である。
【図４】気流による把持機構の位置ズレ量を測定する試験設備の正面図である。
【図５】本発明の実施形態に係る搬送システムの変形例の構成を示す斜視図である。
【図６】気流による把持機構の位置ズレ量を算出する変形例の説明図である。
【符号の説明】
【００４６】
１  ＯＨＴ
１０  搬送台車
１１  レール
１２  水平移動機構
１３  昇降機構
１５  把持機構
１７  走行機構
１９ｄ  ズレ量推定部
１９ｅ  補正制御部
２１  ＦＯＵＰ
２５  風向風速センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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