(57)【要約】      （修正有）【課題】各種流体の供給や混合、反応、排出等を行う配管が平板内に集積され一体化されることにより、薄肉でコンパクト性に優れると共に、小型化、軽量化が容易で取り扱い性に優れ、配管に隙間や段差，継ぎ目等がなくゴミ等が混入し難く、流体の流れが滑らかで流路内への不純物等のコンタミネーションを防止して、化学的な安定性に優れ、流体のリークを確実に防止できる信頼性に優れる平板流路の提供。【解決手段】内部流路２が、下部基板の表面に形成された凹条流路溝と、凹条流路溝の周壁の上端側に形成された傾斜部と、凹条流路溝に覆設され傾斜部で下部基板に熱融着されて下部基板と一体化された閉塞部材とで形成されている。【選択図】図１
2008039100.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部流路と、前記内部流路に連通して形成された少なくとも２つの開口流路と、を有する熱可塑性樹脂製の平板流路であって、前記内部流路が、下部基板の表面に形成された凹条流路溝と、前記凹条流路溝の周壁の上端側に形成された傾斜部と、前記凹条流路溝に覆設され前記傾斜部で前記下部基板に熱融着されて前記下部基板と一体化された閉塞部材と、で形成されていることを特徴とする平板流路。
【請求項２】
前記下部基板及び前記閉塞部材の少なくともいずれか一方が改質ＰＴＦＥ又は改質ＰＴＦＥを主成分とする樹脂組成物で形成されていることを特徴とする平板流路。
【請求項３】
前記開口流路に連通し、前記下部基板又は前記閉塞部材の表面若しくは側面に突出して形成又は配設された外部接続部を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の平板流路。
【請求項４】
熱可塑性樹脂製の下部基板の表面に上面側の幅が広く下面側の幅が狭い台形状の断面を有する嵌合凹条溝を形成する嵌合凹条溝形成工程と、前記嵌合凹条溝の深さ方向に前記嵌合凹条溝の底面部と連続して凹条流路溝を形成する凹条流路溝形成工程と、熱可塑性樹脂製の上部基板の表面に前記嵌合凹条溝に嵌合される台形状の断面を有する嵌合凸条部を形成する嵌合凸条部形成工程と、一端が前記下部基板及び／又は前記上部基板の表面若しくは側面に開口し前記凹条流路溝と連通する空気孔を穿設する空気孔穿設工程と、前記嵌合凹条溝に前記嵌合凸条部を嵌合させるように前記下部基板に前記上部基板を覆設する基板積層工程と、前記下部基板と前記上部基板を加熱して前記嵌合凹条溝と前記嵌合凸条部の斜辺同士を熱融着させ前記凹条流路溝の開口部を前記嵌合凸条部で閉塞して内部流路を形成する内部流路形成工程と、を有することを特徴とする平板流路の製造方法。
【請求項５】
前記下部基板又は前記上部基板に前記内部流路と連通する２以上の開口流路を形設する開口流路形成工程を有することを特徴とする請求項４に記載の平板流路の製造方法。
【請求項６】
前記下部基板及び／又は前記上部基板の不要部分を切削する基板切削工程を有することを特徴とする請求項４又は５に記載の平板流路の製造方法。
【請求項７】
前記嵌合凸条部の外周に前記嵌合凸条部の底部よりも深い段差部を形成する段差部形成工程を有することを特徴とする請求項４乃至６の内いずれか１項に記載の平板流路の製造方法。
【請求項８】
前記嵌合凹条溝及び前記嵌合凸条部の断面形状が等脚台形であることを特徴とする請求項４乃至７の内いずれか１項に記載の平板流路の製造方法。
【請求項９】
前記嵌合凹条溝の下端部の幅と、前記凹条流路溝の上端部の幅が同一であることを特徴とする請求項４乃至８の内いずれか１項に記載の平板流路の製造方法。
【請求項１０】
前記嵌合凸条部の高さが前記嵌合凹条溝の深さよりも高く形成されていることを特徴とする請求項４乃至９の内いずれか１項に記載の平板流路の製造方法。
【請求項１１】
前記開口流路形成工程で形成される前記開口流路の位置が前記空気孔の位置であることを特徴とする請求項５乃至１０の内いずれか１項に記載の平板流路の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水道水，純水，アルコール，スラリー，浸食性の高い薬品等の液体或いはガス，水素，窒素等の気体等の各種流体の供給や排出等を行う流路を平板内に二次元的に集積し一体に形成することにより、薄肉でコンパクト性に優れ、継ぎ目がなくゴミ等が混入し難く、熱交換器、マイクロリアクタ、マイクロミキサー等として好適に用いることができる熱可塑性樹脂製の平板流路及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体や液晶或いは医薬品，食品，化粧品等の製造設備や実験設備等において、各種流体の供給や排出等を行う配管は、チーズやエルボ等の管継ぎ手を用いて複数のチューブ等の管状部材を接続している。
しかしながら、チューブ等の管状部材を管継ぎ手等を介してねじ止め等で連結するものは管継ぎ手が大きく高価であるために接続部が大型化するとともに組立コストが増大し、さらに管継ぎ手内に隙間や段差が生じ易く、ゴミ等が滞留し、流体の滑らかな流れを妨げる原因となり信頼性に欠けるという問題点を有していた。
そこで、装置間の稼働部での配管や配管距離が定まらない場合には、チューブに曲げ加工を施し、コイル状に成形したものを薬液、溶剤、各種ガスの移送や各種実験装置、分析機器、半導体装置等の配管に用いることが提案されている。
また、チューブをコイル状に巻いて束ねたものや蛇行させて束ねたものを薬液や純水等が貯留されたタンクの中に沈設して熱交換器として用いることも提案されている。
【０００３】
一方、近年の環境負荷の低減や化学反応の高速化・高効率化に対する要求から、マイクロマシニング技術を用いてシリコンやガラス、プラスチック等の基板上に微小流路を形成し、その微小空間を各種の化学反応や分析の場として利用するマイクロリアクタが注目を浴びている。特に、数センチ角のチップ上に微細加工を施して、上記の微小流路を多数形成し、前処理、分離、検出、廃棄などの各工程を同時並行的に行なうように集積したものはマイクロチャンネルチップと呼ばれ、バイオ、医療、農業、環境などの各種分野において、分析技術や新規物質の合成手段等として期待されている。
従来のマイクロリアクタ（マイクロチャンネルチップ）は、基板上に微細加工によって反応流路を形成し、蓋板の反応流路上に対応する位置に、試料溶液を注入するための注入孔と、反応後の反応溶液を取出すための取出孔を形成して、この基板と蓋板を静電接合や熱圧着又はふっ酸による接合で一体化している。
マイクロリアクタ（マイクロチャンネルチップ）の反応流路内では、溶液との反応、分離、抽出、分析等が行なわれるので、基板と蓋板との接合においては、反応流路内への不純物等のコンタミネーションを防止して、化学的に安定な状態を維持すること、及び、基板と蓋板とが強固に接合し、試料溶液や反応溶液のリークが発生しないことなどが必要とされる。このため、基板と蓋板との接合においては、可能な限り低温で、電場などのない条件で接合することが望まれている。
【０００４】
例えば（特許文献１）には「少なくとも第１流体と第２流体とがその中で反応できる複数の流路をその中に有する１枚のリアクタプレートと、およびリアクタプレートと面平行関係で設けられるリザーバプレートとを含み、リザーバプレートが少なくとも第１流体用の第１リザーバと第２流体用の第２リザーバとをその中に有し、リアクタプレート内の複数の流路が少なくとも第１および第２リザーバと流体連通しているリアクタ。」が開示されている。
また、（特許文献２）には「基板と蓋板とが接合層を介して接合されており、接合層が、ふっ素系樹脂を主として含有する溶液を加熱処理して形成したふっ素系樹脂層や有機金属化合物の加水分解・脱水縮合生成物を加熱処理して形成した金属酸化物層であることを特徴とするマイクロチャンネルチップ。」が開示されている。
【特許文献１】特開２００４−７４３３９号公報
【特許文献２】特表２００５−５２５２２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら上記従来の技術では、以下のような課題を有していた。
（１）チューブをコイル状に巻いて束ねたものや蛇行させて束ねたものは、嵩張り易く省スペース性に欠け、持ち運びや小型化が困難で取り扱い性、汎用性に欠けるという課題を有していた。
（２）（特許文献１）では、スリット状のマイクロチャネルが形成されたリアクタプレートの裏面に、マイクロチャネルと連通して流体を供給するための貫通スロットが形成されたガスケットを接合すると共に、リアクタプレートの表面を観察プレートで密封し、さらにトッププレートで保護しなければならず、構造が複雑で部品点数が多く、量産性に欠けるという課題を有していた。
また、複数のプレートを積層して接合するので、位置ずれが発生し易く、各々のプレートのパターンや材質の違いにより反りなどが発生し易く、流路の密閉性及び接合強度の信頼性に欠けるという課題を有していた。
更に、リアクタプレートに少なくとも２つのリザーバを有するリザーバプレートを積層するので、リアクタ全体の厚みが増し、省スペース性、取り扱い性に欠ける共に、リザーバのスロットとガスケットの貫通スロットとの位置決めが困難で組立作業性に欠けるという課題を有していた。
（３）（特許文献２）では、平板状の基板と蓋板を接合層を介して単純に貼り合わせるだけなので、平面度が確保することが困難で、特に基板や蓋板自身に反りがある場合には、接合強度が不足して漏れが発生し易く、信頼性に欠けるという課題を有していた。
【０００６】
本発明は上記従来の課題を解決するもので、各種流体の供給や混合、反応、排出等を行う配管が平板内に集積され一体化されることにより、薄肉でコンパクト性に優れると共に、小型化、軽量化が容易で取り扱い性に優れ、配管に隙間や段差，継ぎ目等がなくゴミ等が混入し難く、流体の流れが滑らかで流路内への不純物等のコンタミネーションを防止して、化学的な安定性に優れ、流体のリークを確実に防止できる信頼性に優れる平板流路の提供、及び各種流体の供給や混合、反応、排出等を行う配管を集積して一体に形成することができ、流路の設計の自由度が高く汎用性に優れると共に、寸法精度の再現性、接合強度及び密封の信頼性に優れる平板流路の製造方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために本発明の平板流路及びその製造方法は、以下の構成を有している。
本発明の請求項１に記載の平板流路は、内部流路と、前記内部流路に連通して形成された少なくとも２つの開口流路と、を有する熱可塑性樹脂製の平板流路であって、前記内部流路が、下部基板の表面に形成された凹条流路溝と、前記凹条流路溝の周壁の上端側に形成された傾斜部と、前記凹条流路溝に覆設され前記傾斜部で前記下部基板に熱融着されて前記下部基板と一体化された閉塞部材と、で形成されている構成を有している。
この構成により、以下のような作用を有する。
（１）熱可塑性樹脂製の下部基板と閉塞部材を直接、熱融着することができるので、接合強度を高くすることができると共に、下部基板と閉塞部材を一体化し接合斑やピンホ−ル等の発生を防止でき、内部流路を流れる流体の漏れ等を防止することができる。
（２）２以上の開口流路と連通した内部流路が、下部基板と閉塞部材で挟まれて形成されているので、チーズやエルボ等の管継ぎ手が不要で配管をコンパクト化して薄肉化することができると共に、配管に隙間や段差，継ぎ目等がなくゴミ等が混入し難く、流体の流れが滑らかで製造設備等のコンタミネーションコントロール，マイクロバブルの発生の抑制や流量管理等を容易に行うことができる。
（３）内部流路と連通した少なくとも２以上の開口流路を有するので、開口流路とチーズやエルボ等の管継ぎ手やチューブ等の管状部材等を接続することができ、容易に既存の配管の途中にも組込むことができる。また、開口流路に各種管継ぎ手やチューブ等の管状部材を形成できる。
（４）下部基板と閉塞部材が平板状に一体化されて内部流路が形成されるので、軽量で取扱いが容易で組立作業性に優れる。
（５）下部基板に形成した凹条流路溝に閉塞部材を覆設することにより内部流路を形成するので、内部流路のパターンを自在に形成することができ、汎用性、設計自在性に優れる。特に急角度で曲がったり、交差したりすることがないように流路の直線部と直線部との接続部を円弧等で曲線状に形成することにより、流体の流れがスムーズになり、圧力損失を低減でき、流体へのストレスや気泡の発生を防止できる。
（６）内部流路に連通して形成された少なくとも２つの開口流路を有するので、１つの開口流路を供給口、もう１つの開口流路を排出口として、流体を循環させたり、２つ以上の開口流路からそれぞれ異なる種類の流体を供給し、内部流路の中で混合、反応させて残りの１つの開口流路から取り出したりすることができる。
（７）凹条流路溝に覆設された閉塞部材を凹条流路溝の周壁の上端側に形成された傾斜部で下部基板に熱融着して一体化するので、凹条流路溝と閉塞部材の位置合わせが容易で位置ずれを防止でき、下部基板や閉塞部材に反りなどがあっても両者を確実に密着させてリークの発生を防ぐことができ、内部流路の形状安定性、接合強度及び密封の信頼性に優れる。
【０００８】
ここで、下部基板及び閉塞部材を形成する熱可塑性樹脂としては、耐薬品性、耐熱性に優れ機械的強度の高いものが好ましく、四フッ化エチレン（ＰＴＦＥ，ＰＦＡ，ＦＥＰ，ＥＴＦＥ）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）等のフッ素樹脂、ポリエーテルエーテルケトン等が好適に用いられる。
内部流路の断面形状は、凹条流路溝の断面形状によって決定され、略矩形状、略逆三角形状、略半円状などの様々な形状に形成することができる。尚、内部流路の幅は、一定である必要はなく、場所に応じて広狭自在に形成することができる。内部流路の途中を幅広に形成するだけで、簡便に緩衝部や混合部（液溜まり部）を設けることができる。また、凹条流路溝の底部や周壁部に段差状や傾斜状の凹凸を設けた場合、流体の流れを乱流にして熱だまりや流体の短絡通過（ショートパス）を防止できる。これにより、熱交換器や循環式のケミカルヒータ等として使用した場合、流路内部の一部が極端に高温になったり、熱交換の効率が落ちたりすることを防止できる。
内部流路は１本の流路だけでなく、途中で複数の流路に分岐させたり、逆に複数の流路を１本に集合させたりすることもできる。１本の流路の中で断面積は一様でもよいし、段階的に断面積を増減させることや、断面積の異なる流路を接続することもできる。
また、１つの平板流路の中に複数の独立した（連通しない）内部流路を形成した場合、種類の異なる流体が流れる複数の配管を集積することができ省スペース性に優れる。
尚、傾斜部は、凹条流路溝の周壁部の上端側と下部基板の表面との間を面取りするようにして形成することができる。
【０００９】
開口流路は内部流路の端部だけでなく任意の位置及び方向に任意の数だけ設けることができる。また、各々の開口流路の径は同一である必要はなく、それぞれ異なっていてもよい。流体の物性や複数の流体を混合する際の混合比などに応じて、開口径を適宜、選択できる。
開口流路には、チューブ，パイプ等の管状部材、チーズ，エルボ等の管継ぎ手、圧力センサの受圧部，リークセンサの感知部，温度センサのセンサ部，流量計の発信部や受信部等の各種計測器類、バルブ，フランジ等の端部を接続することができる。管状部材，管継ぎ手，計測器類等の端部は、ねじ止め等で連結してもよいし、溶着により接合してもよい。流量計の場合、既存の流量計の発信部と受信部を平板流路の開口流路に接続するようにしてもよいし、流量計の測定流路に相当する部分を平板流路の内部流路として形成しておき発信部や受信部のみを配設するようにしてもよい。
また、開口流路の外周に凹条や凸条等の嵌合接続部を形設したり、円周上に固定用のねじ孔を穿設したりした場合、管継ぎ手や計測器類等を容易に接続することができ、施工性に優れる。
【００１０】
尚、下部基板の形状としては、略矩形状や略円形状以外に略Ｌ字型、略Ｔ字型、略十字型等の様々な形状に形成することができる。
この平板流路は、内部流路が、一体化された下部基板と閉塞部材によって密閉されているので、表面にアルミニウム等の熱伝導性のよい金属板を貼着し、加熱用ヒータを配設するだけで、薄型でコンパクトな循環式ケミカルヒータとして使用することができる。
また、壁の厚さを薄くして熱伝導性を向上させることにより、熱交換器として好適に用いることができる。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の平板流路であって、前記下部基板及び前記閉塞部材の少なくともいずれか一方が改質ＰＴＦＥ又は改質ＰＴＦＥを主成分とする樹脂組成物で形成されている構成を有している。
この構成により、請求項１の作用に加え、以下のような作用を有する。
（１）下部基板及び閉塞部材の少なくともいずれか一方を改質ＰＴＦＥ又は改質ＰＴＦＥを主成分とする樹脂組成物で形成することにより、加工が容易で量産性に優れると共に、寸法精度の再現性、密封の信頼性に優れる。
（２）下部基板や閉塞部材を改質ＰＴＦＥ又は改質ＰＴＦＥを主成分とする樹脂組成物で形成することにより、化学的安定性、耐腐食性に優れ、純水だけでなく、浸食性の高い薬品、溶剤などの様々な流体を用いることができ、付加価値が高く、汎用性、耐久性に優れる。
【００１２】
ここで、改質ＰＴＦＥとしては、その懸濁重合時に次の化学式（化１）、（化２）、（化３）で表されるパ−フルオル化エ−テルの１種以上を改質剤として添加して重合されたＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）が用いられる。
【化１】
2008039100.tif 000003
【化２】
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【化３】
2008039100.tif 000005
具体的には、ダイキン工業（株）製の商品名モ−ルディングパウダ−（Ｍ−１１１、Ｍ−１１２、Ｍ−１３９），三井デュポン社製（７０Ｊ），住友３Ｍ（ＴＦＭ１６００）やヘキスト社製のもの等が好適に用いられる。
組成物として配合される他の合成樹脂としてはＰＦＡ（テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル重合体）、ＰＴＦＥ等があげられる。
ＰＦＡを加えることにより、熱融着時間の短縮化が図られ、コストを低減することができる。また、従来のＰＴＦＥを加えることにより熱融着時の保形性を向上できると共に、希釈剤として優れコストを低減できる。
【００１３】
ＰＦＡの配合量としては１ｗｔ％〜９５ｗｔ％、好ましくは１ｗｔ％〜８０ｗｔ％が用いられる。１ｗｔ％よりも少なくなるにつれ添加効果が認められ難く、また８０ｗｔ％よりも多くなるにつれ、熱融着時の保形性が低下し、内部流路の寸法精度の低下を招き易くなる傾向がある。特に、９５ｗｔ％より多くなるにつれ、内部流路の変形が発生し易くなる傾向が顕著になり好ましくない。
従来のＰＴＦＥの配合量としては１ｗｔ％〜９０ｗｔ％、好ましくは１ｗｔ％〜７０ｗｔ％が用いられる。１ｗｔ％よりも少なくなるにつれ添加効果が認められ難く、また７０ｗｔ％よりも多くなるにつれ、接合強度の低下を招き易くなる傾向がある。特に、９０ｗｔ％よりも多くなるにつれ、接合が不十分となり漏れ等が発生し易くなる傾向が顕著になり好ましくない。
【００１４】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の平板流路であって、前記開口流路に連通し前記下部基板又は前記閉塞部材の表面若しくは側面に突出して形成又は配設された外部接続部を備えている構成を有している。
この構成により、請求項１又は２の作用に加え、以下のような作用を有する。
（１）開口流路に連通し下部基板又は閉塞部材の表面若しくは側面に突出して形成又は配設された外部接続部を備えているので、外部接続部を介して開口流路に管継ぎ手や計測器類等を容易に接続することができ施工性に優れる。
【００１５】
ここで、外部接続部は削り出しにより下部基板又は閉塞部材と一体に形成してもよいし、ＰＦＡをパイプ状や各種継ぎ手形状等に形成したものを嵌着後、溶着してもよい。
外部接続部に雄ねじ部や雌ねじ部を形設した場合、管継ぎ手や計測器類等の接続を簡便に行うことができ組立作業性、メンテナンス性に優れる。また、外部接続部を介して複数の平板流路を直列或いは並列に接続することができる。特に、複数の平板流路を積層するようにして接続した場合、流路の長い配管を省スペースに収めることができる。その場合、各々の平板流路の内部流路のパターンは任意に選択することができ、複雑な配管を簡便に実現することができ生産性、汎用性に優れる。
【００１６】
本発明の請求項４に記載の平板流路の製造方法は、熱可塑性樹脂製の下部基板の表面に上面側の幅が広く下面側の幅が狭い台形状の断面を有する嵌合凹条溝を形成する嵌合凹条溝形成工程と、前記嵌合凹条溝の深さ方向に前記嵌合凹条溝の底面部と連続して凹条流路溝を形成する凹条流路溝形成工程と、熱可塑性樹脂製の上部基板の表面に前記嵌合凹条溝に嵌合される台形状の断面を有する嵌合凸条部を形成する嵌合凸条部形成工程と、一端が前記下部基板及び／又は前記上部基板の表面若しくは側面に開口し前記凹条流路溝と連通する空気孔を穿設する空気孔穿設工程と、前記嵌合凹条溝に前記嵌合凸条部を嵌合させるように前記下部基板に前記上部基板を覆設する基板積層工程と、前記下部基板と前記上部基板を加熱して前記嵌合凹条溝と前記嵌合凸条部の斜辺同士を熱融着させ前記凹条流路溝の開口部を前記嵌合凸条部で閉塞して内部流路を形成する内部流路形成工程と、を備えている構成を有している。
この構成により、以下のような作用を有する。
（１）凹条流路溝形成工程により、嵌合凹条溝の深さ方向に嵌合凹条溝の底面部と連続して凹条流路溝を形成するので、嵌合凹条溝に嵌合凸条部を嵌合しても凹条流路溝が潰れることがなく、確実に内部流路を形成することができ、寸法精度の再現性に優れる。
（２）嵌合凹条溝が、上面側の幅が広く下面側の幅が狭い台形状の断面を有し、嵌合凸条部が、嵌合凹条溝に嵌合される台形状の断面を有することにより、基板積層工程で下部基板に上部基板を覆設した際に、嵌合凹条溝に嵌合凸条部を簡便に嵌合させることができ、位置決めが容易で、熱融着による位置ずれが発生し難く、流路形状の信頼性に優れる。
（３）下部基板の嵌合凹条溝と上部基板の嵌合凸条部を熱融着して一体化することができ、内部流路を流れる流体の漏れ等を確実に防止することができる。
（４）嵌合凹条溝が、上面側の幅が広く下面側の幅が狭い台形状の断面を有することにより、嵌合凹条溝と嵌合凸条部の斜辺同士を密着させて接触面積を拡大することができるので、母材である下部基板や上部基板自体に反り等が発生している場合でも、嵌合凸条部で凹条流路溝の開口部を確実に閉塞して内部流路を形成することができ、接合強度及び密封の信頼性を向上させることができる。
（５）空気孔穿設工程で一端が下部基板の表面若しくは側面に開口し凹条流路溝と連通する空気孔を穿設することにより、後工程の内部流路形成工程において下部基板及び上部基板を加熱した際に、凹条流路溝の内部で膨張した空気を空気孔から下部基板の外部に逃がすことができ、上部基板の嵌合凸条部を下部基板の嵌合凹条溝に密着させて確実に凹条流路溝を閉塞して内部流路を形成することができる。
（６）下部基板に形成した凹条流路溝の開口部を嵌合凸条部で閉塞して内部流路を形成できるので、凹条流路溝形成工程において、下部基板の面内に任意のパターンで二次元的に流路を形成することができ、流路の設計の自由度が高く汎用性に優れる。
（７）嵌合凸条部形成工程により、上部基板の表面に嵌合凹条溝に対応させて嵌合凸条部を形成するので、様々なパターンに形成される嵌合凸条部を上部基板で一体に取り扱うことができ、基板積層工程で下部基板と上部基板を積層するだけで内部流路を形成でき、部品点数が少なく、施工性、量産性に優れる。
【００１７】
ここで、下部基板及び上部基板を形成する熱可塑性樹脂は請求項１及び２で説明したものと同様である。
内部流路形成工程における加熱温度Ｔは、熱可塑性樹脂の種類によっても異なるが、改質ＰＴＦＥ又は改質ＰＴＦＥを主成分とする樹脂組成物を使用する場合は、２５０℃≦Ｔ≦４５０℃であることが好ましい。加熱温度Ｔが２５０℃よりも低くなるにつれ未接合部が発生し易くなる傾向があり、加熱温度Ｔが４５０℃よりも高くなるにつれ合成樹脂が劣化し機械的強度が低下し易くなる傾向があり、いずれも好ましくない。
嵌合凹条溝形成工程と凹条流路溝形成工程は、いずれを先に行ってもよいが、嵌合凹条溝形成工程で嵌合凹条溝を形成した後に凹条流路溝形成工程で凹条流路溝を形成した場合は、凹条流路溝の加工深さを浅くすることができ量産性に優れると共に、凹条流路溝の上端側で潰れや変形などが発生せず、形状安定性に優れる。
【００１８】
嵌合凸条部の高さを嵌合凹条溝の深さと同等以上に形成した場合、嵌合凹条溝の斜辺（傾斜部）の全面を嵌合凸条部の斜辺（傾斜部）で覆うことができ、接合面積が最大となり、内部流路の密封の信頼性に優れる。尚、必ずしも嵌合凹条溝の斜辺（傾斜部）の全面を嵌合凸条部の斜辺で覆う必要はなく、嵌合凸条部の高さが、嵌合凹条溝の深さよりも短い場合でも、嵌合凹条溝の斜辺（傾斜部）の少なくとも一部を嵌合凸条部で閉塞して内部流路の密閉性を確保できる範囲であれば問題ない。
【００１９】
空気孔穿設工程において穿設する空気孔の位置は、内部流路と連通する任意の位置に設けることができる。尚、空気孔穿設工程は、内部流路形成工程よりも前であれば、いつ行ってもよい。
内部流路への流体の供給及び内部流路からの流体の排出のためには、内部流路に連通して形成された少なくとも２つの開口流路が必要であるが、空気孔穿設工程において、開口流路の位置に合わせて空気孔を穿設することにより、空気孔をそのまま開口流路として利用することができ、別途、開口流路形成工程を行う必要がない。
尚、設計上の都合等により、開口流路の位置に合わせて空気孔を穿設できない場合には、開口流路形成工程を行う必要がある。また、空気孔の孔径が小さく、開口流路の孔径として不十分な場合や、内部流路形成工程における加熱による熱膨張で、空気孔が閉塞された場合も、開口流路形成工程によって空気孔を拡大するか、改めて開口流路を形成する必要がある。
【００２０】
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の平板流路の製造方法であって、前記下部基板又は前記上部基板に前記内部流路と連通する２以上の開口流路を形設する開口流路形成工程を備えている構成を有している。
この構成により、請求項４の作用に加え、以下のような作用を有する。
（１）開口流路形成工程で、下部基板又は上部基板に内部流路と連通する２以上の開口流路を形設することにより、内部流路への流体の供給及び内部流路からの流体の排出を行うことができ、流体の循環や内部流路内での流体の混合、反応等の作業を行うことができる汎用性に優れた平板流路を形成することができる。
【００２１】
ここで、開口流路形成工程において形成する開口流路は、内部流路と連通する任意の位置及び方向に設けることができる。
設計上の都合等により、開口流路の位置に合わせて空気孔を穿設できない場合には、空気孔閉塞工程が必要となる。空気孔に円柱状等に形成された蓋部材を嵌着後、溶着することにより閉塞できる。尚、空気孔の孔径が比較的、小さい場合や深さが浅い場合には、内部流路形成工程における加熱による熱膨張で、自然に閉塞されることも期待できるが、信頼性の面からは、空気孔閉塞工程を行うことが望ましい。
開口流路の開口部は下部基板又は上部基板の表面に形成してもよいし、下部基板又は上部基板の側面に形成してもよい。開口流路を下部基板又は上部基板の側面で開口させた場合、平板流路と管状部材や管継ぎ手などとの接続部が下部基板又は上部基板の側面に配置されるため、下部基板又は上部基板の表面に出っ張りがなく、平板流路同士或いは平板流路と他の部材を表面で密着若しくは近接させて配置することができ、省スペース性、配置の自在性に優れる。
【００２２】
請求項６に記載の発明は、請求項４又は５に記載の平板流路の製造方法であって、前記下部基板及び／又は前記上部基板の不要部分を切削する基板切削工程を備えている構成を有している。
この構成により、請求項４又は５の作用に加え、以下のような作用を有する。
（１）基板切削工程で下部基板及び／又は上部基板の不要部分を切削することにより、平板流路全体の厚さや内部流路の上面側及び下面側の壁の厚さを任意に選択することができるので、用途に応じて熱伝導性や断熱性を自在に設定することができ、設計自在性、汎用性に優れる。
【００２３】
ここで、基板切削工程で不要部分を切削する際に、開口流路の外周に凹条や凸条等の嵌合接続部を形設したり、開口流路に連通させて外部接続部を突設したりできる。これにより、管継ぎ手や計測器類等を簡便に接続することができる。また、基板切削工程で不要部分を取り除くことができるので、初期の下部基板及び上部基板に十分な厚みを持たせて反りやうねりを低減することができると共に、内部流路形成工程の加熱時における熱変形を効果的に防ぐことができ形状安定性に優れる。
尚、下部基板に熱融着されて下部基板と一体化された上部基板が、請求項１で説明した閉塞部材であるが、基板切削工程で上部基板を切削した場合は、切削されずに残った部分が閉塞部材となる。よって、下部基板の表面まで切削を行った場合には、嵌合凹条溝に嵌合された嵌合凸条部の少なくとも一部が閉塞部材となる。
【００２４】
請求項７に記載の発明は、請求項４乃至６の内いずれか１項に記載の平板流路の製造方法であって、前記嵌合凸条部の外周に前記嵌合凸条部の底部よりも深い段差部を形成する段差部形成工程を備えている構成を有している。
この構成により、請求項４乃至６の内いずれか１項の作用に加え、以下のような作用を有する。
（１）段差部形成工程において、嵌合凸条部の外周に嵌合凸条部の底部よりも深い段差部を形成することにより、基板積層工程で下部基板と上部基板を積層した際に、両者が嵌合凹条溝と嵌合凸条部のみで当接して密着し、内部流路形成工程で加熱することにより、嵌合凹条溝と嵌合凸条部の斜辺（傾斜部）のみが熱融着して一体化するので、接合面積が小さく、加熱時間を短くすることができ生産性に優れると共に、下部基板及び上部基板が熱の影響を受け難く、反り等の発生量を低減でき寸法精度の再現性に優れる。
（２）下部基板と上部基板が全面で接合されず、嵌合凹条溝と嵌合凸条部の接合面の端部である嵌合凸条部の外周を目視することができるので、内部流路のリークの確認が容易で、不良品の投入を確実に防止することができ、品質管理が容易で製品歩留まりを向上することができる。
【００２５】
請求項８に記載の発明は、請求項４乃至７の内いずれか１項に記載の平板流路の製造方法であって、前記嵌合凹条溝及び前記嵌合凸条部の断面形状が等脚台形である構成を有している。
この構成により、請求項４乃至７の内いずれか１項の作用に加え、以下のような作用を有する。
（１）嵌合凹条溝及び嵌合凸条部の加工時に傾斜部（斜辺）の角度を左右で同一（左右対称）にすることにより、嵌合凹条溝及び嵌合凸条部の断面形状を等脚台形とすることができ、加工が容易で生産性に優れる。
（２）接合部の形状（傾斜角度）が左右対称で、接合面積が凹条流路溝の左右で等しくなるので、内部流路形成工程において加圧した際に、接合部に均等に圧力をかけることができ、嵌合凹条溝と嵌合凸条部を確実に密着させることができ、接合斑がなく、接合強度を向上させることができる。
【００２６】
ここで、嵌合凹条溝及び嵌合凸条部の加工には共通の工具（刃物）を使用することができ、両者の傾斜部（斜辺）の角度を簡便に揃えることができる。また、嵌合凹条溝及び嵌合凸条部のそれぞれについて、傾斜部（斜辺）の角度が左右で同一なので、同じ刃物を用いて短時間で加工を行うことができ生産性に優れる。
尚、傾斜部は凹条流路溝の幅方向の両側だけでなく、長手方向の両端部にも形成することが好ましい。傾斜部を凹条流路溝の周壁の上端側の全周に渡って形成することにより、内部流路の全周を確実に密封することができるためである。
【００２７】
請求項９に記載の発明は、請求項４乃至８の内いずれか１項に記載の平板流路の製造方法であって、前記嵌合凹条溝の下端部の幅と、前記凹条流路溝の上端部の幅が同一である構成を有している。
この構成により、請求項４乃至８の内いずれか１項の作用に加え、以下のような作用を有する。
（１）嵌合凹条溝の下端部の幅と、凹条流路溝の上端部の幅が同一であることにより、嵌合凹条溝と凹条流路溝の位置合わせが容易で生産性に優れる。
（２）嵌合凹条溝の傾斜部の下端部に連続して凹条流路溝が形成され、嵌合凹条溝と凹条流路溝の間に平坦状の段差部が形成されることがないので、嵌合凹条溝と嵌合凸条部を傾斜部で確実に密着させることができ、接合強度及び密封の信頼性を向上させることができる。
【００２８】
ここで、凹条流路溝の断面形状は、請求項１で説明したように、様々な形状に形成することができるが、凹条流路溝の断面形状を上面側の幅が広く下面側の幅が狭い台形状や略逆三角形状に形成する場合は、嵌合凹条溝と凹条流路溝を同時に形成することもできる。嵌合凹条溝の深さと凹条流路溝の深さを合わせた深さの台形状若しくは逆三角形状の溝を形成すれば、嵌合凸条部の高さ分が嵌合凹条溝の深さとなり、残りが内部流路となるためである。
【００２９】
請求項１０に記載の発明は、請求項４乃至９の内いずれか１項に記載の平板流路の製造方法であって、前記嵌合凸条部の高さが前記嵌合凹条溝の深さよりも高く形成されている構成を有している。
この構成により、請求項４乃至９の内いずれか１項の作用に加え、以下のような作用を有する。
（１）嵌合凸条部の高さを嵌合凹条溝の深さよりも高く形成することにより、寸法のばらつきを吸収して嵌合凸条部の傾斜部（斜辺）で確実に嵌合凹条溝を閉塞することができ、密封の信頼性を向上させることができる。
【００３０】
請求項１１に記載の発明は、請求項５乃至１０の内いずれか１項に記載の平板流路の製造方法であって、前記開口流路形成工程で形成される前記開口流路の位置が前記空気孔の位置である構成を有している。
この構成により、請求項５乃至１０の内いずれか１項の作用に加え、以下のような作用を有する。
（１）開口流路形成工程において空気孔の位置に開口流路を穿設することにより、完成した平板流路には開口流路以外に開口部がなく、空気孔を閉塞する工程が不要で生産性に優れると共に、流体の漏れが発生せず信頼性に優れる。
ここで、後工程の開口流路形成工程において開口流路が穿設される位置に合わせて前工程の空気孔穿設工程で空気孔を穿設しておくことで、無駄な工程が不要で生産性、信頼性に優れる。
【発明の効果】
【００３１】
以上のように、本発明の平板流路及びその製造方法によれば、以下のような有利な効果が得られる。
請求項１に記載の発明によれば、以下のような効果を有する。
（１）熱可塑性樹脂製の下部基板と閉塞部材を直接、熱融着して一体化することにより、接合強度が高く、接合斑やピンホ−ル等の発生を防止でき、内部流路を流れる流体の漏れ等を確実に防止することができる接合の信頼性、耐久性に優れた平板流路を提供することができる。
（２）開口流路と内部流路との接続にチーズやエルボ等の管継ぎ手を用いることなく、内部流路を形成できるので、配管をコンパクト化することができ省スペース性に優れると共に、配管に隙間や段差，継ぎ目等がなくゴミ等が混入し難く、流体の流れが滑らかで製造設備等のコンタミネーションコントロール，マイクロバブルの発生の抑制や流量管理等が容易な信頼性、取扱性に優れた平板流路を提供することができる。
（３）内部流路のパターンの設計自在性に優れ、流体の流れをスムーズにして圧力損失を低減でき、流体へのストレスや気泡の発生を防止できる信頼性、汎用性に優れた平板流路を提供することができる。
（４）内部流路に連通して形成された複数の開口流路の内、１つを供給口、もう１つを排出口として、流体を循環させたり、２つ以上の開口流路からそれぞれ異なる種類の流体を供給し、内部流路の中で混合、反応させて残りの１つの排出口から取り出したりすることができ、熱交換器、マイクロリアクタ、マイクロミキサー等として好適に用いることができる信頼性、汎用性に優れた平板流路を提供することができる。
（５）凹条流路溝の周壁の上端側に形成された傾斜部により、凹条流路溝と閉塞部材の位置合わせが容易で位置ずれを防止でき、下部基板や閉塞部材に反りなどがあっても両者を確実に密着させてリークの発生を防ぐことができ、内部流路の形状安定性、接合強度及び密封の信頼性に優れた平板流路を提供することができる。
【００３２】
請求項２に記載の発明によれば、請求項１の効果に加え、以下のような効果を有する。
（１）下部基板及び閉塞部材の少なくともいずれか一方を改質ＰＴＦＥ又は改質ＰＴＦＥを主成分とする樹脂組成物で形成することにより、加工が容易で量産性に優れ、寸法精度の再現性、密封の信頼性に優れると共に、化学的安定性、耐腐食性に優れ、純水だけでなく、浸食性の高い薬品、溶剤などの様々な流体を用いることができ、付加価値が高く、汎用性、耐久性に優れた平板流路を提供することができる。
【００３３】
請求項３に記載の発明によれば、請求項１又は２の効果に加え、以下のような効果を有する。
（１）開口流路に連通し下部基板又は閉塞部材の表面若しくは側面に突出して形成又は配設された外部接続部を介して開口流路に管継ぎ手や計測器類等を容易に接続することができる施工性に優れた平板流路を提供することができる。
【００３４】
請求項４に記載の発明によれば、以下のような効果を有する。
（１）嵌合凹条溝の深さ方向に嵌合凹条溝の底面部と連続して凹条流路溝が形成されることにより、凹条流路溝を潰すことなく、嵌合凹条溝に嵌合凸条部を確実に嵌合して内部流路を形成することができる寸法精度の再現性に優れた平板流路の製造方法を提供することができる。
（２）嵌合凸条部及び嵌合凹条溝が、上面側の幅が広く下面側の幅が狭い台形状の断面を有することにより、基板積層工程において、嵌合凹条溝に嵌合凸条部を簡便に嵌合させて位置決めすることができ、熱融着による位置ずれが発生し難く、流路形状の信頼性に優れた平板流路の製造方法を提供することができる。
（３）嵌合凹条溝と嵌合凸条部の斜辺同士を密着させて接触面積を拡大することにより、下部基板や上部基板に反り等が発生している場合でも、嵌合凸条部で凹条流路溝の開口部を確実に閉塞して内部流路を形成することができる接合強度及び密封の信頼性に優れた平板流路の製造方法を提供することができる。
【００３５】
請求項５に記載の発明によれば、請求項４の効果に加え、以下のような効果を有する。
（１）開口流路形成工程で、下部基板又は上部基板に内部流路と連通する２以上の開口流路を形設することにより、任意の場所や方向で、内部流路への流体の供給及び内部流路からの流体の排出を行うことができ、流体の循環や内部流路内での流体の混合、反応等の作業を行うことができる汎用性に優れた平板流路を形成することができる設計自在性に優れた平板流路の製造方法を提供することができる。
【００３６】
請求項６に記載の発明によれば、請求項４又は５の効果に加え、以下のような効果を有する。
（１）基板切削工程で下部基板及び／又は上部基板の不要部分を切削する際に、平板流路全体の厚さや内部流路の上面側及び下面側の壁の厚さを任意に選択することができ、用途に応じて熱伝導性や断熱性を自在に設定することができる設計自在性、汎用性に優れた平板流路の製造方法を提供することができる。
【００３７】
請求項７に記載の発明によれば、請求項４乃至６の内いずれか１項の効果に加え、以下のような効果を有する。
（１）嵌合凸条部の外周に嵌合凸条部の底部よりも深い段差部を形成することにより、嵌合凹条溝と嵌合凸条部の斜辺のみを熱融着して下部基板と上部基板を一体化することができ、接合面積を小さくして、加熱時間を短くすることができ生産性に優れると共に、下部基板及び上部基板が熱の影響を受け難く、反りや歪等の変形の発生量を低減できる寸法精度の再現性に優れた平板流路の製造方法を提供することができる。
（２）内部流路からのリークを平板流路の表面上で観察して確認することができるので、接合不良を確実に検出して不良品の投入を未然に防ぐことができる量産性に優れた平板流路の製造方法を提供することができる。
【００３８】
請求項８に記載の発明によれば、請求項４乃至７の内いずれか１項の効果に加え、以下のような効果を有する。
（１）嵌合凹条溝及び嵌合凸条部の加工時に傾斜部（斜辺）の角度を左右で同一（左右対称）にし、断面形状を等脚台形とすることにより、加工が容易で生産性に優れると共に、接合面積が凹条流路溝の左右で等しくなり、内部流路形成工程において加圧した際に、接合部に均等に圧力をかけることができ、嵌合凹条溝と嵌合凸条部を確実に密着させることができ、接合斑がなく、接合強度の均一性、信頼性に優れた平板流路の製造方法を提供することができる。
【００３９】
請求項９に記載の発明によれば、請求項４乃至８の内いずれか１項の効果に加え、以下のような効果を有する。
（１）嵌合凹条溝の下端部の幅と、凹条流路溝の上端部の幅が同一であることにより、嵌合凹条溝と凹条流路溝の位置合わせが容易で生産性に優れると共に、嵌合凹条溝と凹条流路溝の間に平坦状の段差部が形成されることがなく、嵌合凹条溝と嵌合凸条部を傾斜部で確実に密着させることができ、接合強度及び密封の信頼性に優れた平板流路の製造方法を提供することができる。
【００４０】
請求項１０に記載の発明によれば、請求項４乃至９の内いずれか１項の効果に加え、以下のような効果を有する。
（１）嵌合凸条部の高さを嵌合凹条溝の深さよりも高く形成することにより、嵌合凹条溝の傾斜部（斜辺）に嵌合凸条部の傾斜部（斜辺）を漏れなく密着させて熱融着することができ、嵌合凹条溝を確実に閉塞して内部流路を形成することができる接合及び密閉の信頼性、生産性に優れた平板流路の製造方法を提供することができる。
【００４１】
請求項１１に記載の発明によれば、請求項５乃至１０の内いずれか１項の効果に加え、以下のような効果を有する。
（１）開口流路形成工程において空気孔の位置に開口流路を穿設することにより、完成した平板流路には開口流路以外に開口部がなく、空気孔を閉塞する工程が不要で生産性に優れると共に、流体の漏れを確実に防止できる信頼性に優れた平板流路の製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４２】
以下、本発明の実施の形態における平板流路及びその製造方法について、以下図面を参照しながら説明する。
（実施の形態１）
図１（ａ）は本発明の実施の形態１における平板流路を示す透視斜視図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ線矢視断面図である。
図１中、１は改質ＰＴＦＥ又は改質ＰＴＦＥを主成分とする樹脂組成物で形成された本発明の実施の形態１における平板流路、１ａは平板流路１の下面、１ｂは平板流路１の上面、２は平板流路１の内部に二次元的に蛇行して形成された内部流路、４ａ，４ｂは内部流路２に連通する開口流路３ａ，３ｂを有し平板流路１の下面１ａ側及び上面１ｂ側にそれぞれ突出して形成された２つの外部接続部、５は平板流路１の対角線上に穿設された２つの位置決め孔、６は平板流路１をねじ止めなどにより固定するために任意の場所に穿設された４つの固定孔である。
【００４３】
以上のように形成された本発明の実施の形態１における平板流路の製造方法について説明する。
図２（ａ）は本発明の実施の形態１における平板流路の製造方法の基板積層工程に用いる下部基板を示す斜視図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）のＢ−Ｂ線矢視断面図である。
図２中、１０は改質ＰＴＦＥ又は改質ＰＴＦＥを主成分とする樹脂組成物で形成された下部基板、１０ａは下部基板１０の下面、１０ｂは下部基板１０の上面、１０ｃは下部基板１０の対角線上に穿設された２つの位置決め孔、１１は下部基板１０の表面（上面１０ｂ側）に上面１０ｂ側の幅が広く下面１０ａ側の幅が狭い断面が等脚台形状に形成された嵌合凹条溝、１１ａは嵌合凹条溝１１の傾斜部、１２は嵌合凹条溝１１の深さ方向に嵌合凹条溝１１と連続して形成された凹条流路溝、１２ａは凹条流路溝１２の底部、１２ｂは凹条流路溝１２の周壁部、１３は一端が下部基板１０の下面１０ａに開口し凹条流路溝１２の端部と連通して穿設された空気孔である。
【００４４】
図３（ａ）は本発明の実施の形態１における平板流路の製造方法の嵌合凹条溝形成工程を示す要部拡大断面図であり、図３（ｂ）は本発明の実施の形態１における平板流路の製造方法の凹条流路溝形成工程を示す要部拡大断面図である。
図３（ａ）中、１１ｂは嵌合凹条溝１１の底面部である。
まず、下部基板１０の対角線上に加工及び組立の基準となる２つの位置決め孔１０ｃを穿設する（図２参照）。
次に、嵌合凹条溝形成工程において、図３（ａ）に示すように、下部基板１０の上面１０ｂに等脚台形状の断面を有する嵌合凹条溝１１を任意のパターン（図２（ａ）参照）で形成する。
続いて、凹条流路溝形成工程において、図３（ｂ）に示すように、嵌合凹条溝１１の深さ方向に嵌合凹条溝１１の底面部１１ｂ（図３（ａ）参照）と連続して凹条流路溝１２を形成する。この結果、凹条流路溝１２の周壁部１２ｂの上端側と下部基板１０の上面１０ｂとの間が、凹条流路溝１２の全周に渡って傾斜部１１ａで面取りされたような形状となる。嵌合凹条溝形成工程と凹条流路溝形成工程は、いずれを先に行ってもよいが、嵌合凹条溝形成工程で嵌合凹条溝１１を形成した後に凹条流路溝形成工程で凹条流路溝１２を形成した場合は、初めに凹条流路溝１２を形成するよりも、凹条流路溝１２の加工深さを浅くすることができ量産性に優れると共に、凹条流路溝１２の上端側で潰れや変形などが発生せず、形状安定性に優れる。
最後に、空気孔穿設工程において、図１の開口流路３ａに相当する位置に、図２に示したように、一端が下部基板１０の下面１０ａに開口し凹条流路溝１２と連通する空気孔１３を穿設する。
【００４５】
図４（ａ）は本発明の実施の形態１における平板流路の製造方法の基板積層工程に用いる上部基板を示す斜視図であり、図４（ｂ）は図４（ａ）のＣ−Ｃ線矢視断面図である。
図４中、１５は改質ＰＴＦＥ又は改質ＰＴＦＥを主成分とする樹脂組成物で形成された上部基板、１５ａは上部基板１５の下面、１５ｂは上部基板１５の上面、１５ｃは上部基板１５の対角線上に穿設された２つの位置決め孔、１６は下部基板１０の嵌合凹条溝１１に対応するように上部基板１５の表面（上面１５ｂ側）に上面１５ｂ側の幅が広く下面１５ａ側の幅が狭い断面が等脚台形状に形成された嵌合凸条部、１６ａは嵌合凸条部１６の傾斜部、１７は嵌合凸条部１６の外周に嵌合凸条部１６の底部よりも深く形成された段差部、１８は上部基板１５の下面１５ａから上面１５ｂまで貫通して穿設された空気孔である。
【００４６】
図５（ａ）は本発明の実施の形態１における平板流路の製造方法の嵌合凸条部形成工程を示す要部拡大断面図であり、図５（ｂ）は本発明の実施の形態１における平板流路の製造方法の段差部形成工程を示す要部拡大断面図である。
図５（ａ）中、１６ｂは嵌合凸条部１６の底部である。
まず、上部基板１５の対角線上に加工及び組立の基準となる２つの位置決め孔１５ｃを穿設する。
次に、嵌合凸条部形成工程において、図５（ａ）に示すように、上部基板１５の上面１５ｂ側に等脚台形状の断面を有する嵌合凸条部１６を嵌合凹条溝１１のパターンに合わせて形成する（図２（ａ），図４（ａ）参照）。
続いて、段差部形成工程において、図５（ｂ）に示すように、嵌合凸条部１６の外周に嵌合凸条部１６の底部１６ｂよりも深い段差部１７を形成する。
最後に、空気孔穿設工程において、図１の開口流路３ｂに相当する位置に、図４に示したように、上部基板１５を貫通する空気孔１８を穿設する。
尚、空気孔１３，１８の孔径は十分に空気が流通できる大きさで、開口流路３ａ，３ｂ（図１参照）の孔径と同等以下であればよい。また、空気孔１３，１８は内部流路２となる凹条流路溝１２の内部にある空気を排出できればよいので、いずれか一方だけ設けてもよい
【００４７】
図６は本発明の実施の形態１における平板流路の製造方法の基板積層工程を示す斜視図であり、図７（ａ）は本発明の実施の形態１における平板流路の製造方法の内部流路形成工程を示す斜視図であり、図７（ｂ）は図７（ａ）のＤ−Ｄ線矢視断面図である。
図６の基板積層工程において、図４に示した上部基板１５の下面１５ａと上面１５ｂを逆さまにし、図２に示した下部基板１０の嵌合凹条溝１１に上部基板１５の嵌合凸条部１６を嵌合させるように下部基板１０に上部基板１５を覆設する。このとき、位置決めピン（図示せず）を下部基板１０の位置決め孔１０ｃ及び上部基板１５の位置決め孔１５ｃに挿通することにより、下部基板１０と上部基板１５の位置決め固定を行う。
これにより、図７（ｂ）に示すように、嵌合凹条溝１１と嵌合凸条部１６の傾斜部（斜辺）１１ａ，１６ａ同士が密着する。図２（ａ），図４（ａ）に示したように、傾斜部１１ａ，１６ａを嵌合凹条溝１１及び嵌合凸条部１６の幅方向の両側だけでなく、長手方向の両端部にも形成することにより、内部流路２となる凹条流路溝１２の全周を確実に密封することができる。
尚、嵌合凹条溝１１及び嵌合凸条部１６の加工には共通の工具（刃物）を使用することができ、両者の傾斜部（斜辺）１１ａ，１６ａの角度を簡便に揃えることができる。また、嵌合凹条溝１１及び嵌合凸条部１６のそれぞれについて、傾斜部（斜辺）１１ａ，１６ａの角度が左右で同一なので、同じ刃物を用いて短時間で加工を行うことができ生産性に優れる。
【００４８】
次に、図７に示すように、内部流路形成工程において、基板積層工程で積層された下部基板１０と上部基板１５を加熱して嵌合凹条溝１１と嵌合凸条部１６の傾斜部（斜辺）１１ａ，１６ａ同士を熱融着させ嵌合凹条溝１１の開口部を嵌合凸条部１６で閉塞して内部流路２を形成する。嵌合凸条部１６の高さを嵌合凹条溝１１の深さと同等以上に形成することにより、嵌合凹条溝１１の傾斜部（斜辺）１１ａの全面を嵌合凸条部１６の傾斜部（斜辺）１６ａで覆うことができ、接合面積が最大となり、内部流路２の密封の信頼性に優れる。尚、必ずしも嵌合凹条溝１１の傾斜部（斜辺）１１ａの全面を嵌合凸条部１６の傾斜部（斜辺）１６ａで覆う必要はなく、嵌合凸条部１６の高さが、嵌合凹条溝１１の深さよりも短い場合でも、嵌合凹条溝１１の傾斜部（斜辺）１１ａの凹条流路溝１２側の周辺を嵌合凸条部１６で閉塞して内部流路２の密閉性を確保できる範囲であれば問題ない。
尚、内部流路形成工程における加熱の際には、前述の空気孔穿設工程で穿設された空気孔１３，１８から内部流路２の内部で膨張した空気を下部基板１０及び上部基板１５の外部に排出することができ、下部基板１０と上部基板１５を確実に密着させることができる。
【００４９】
次に、開口流路形成工程により開口流路３ａ，３ｂを形成するが、図７（ｂ）に示すように、空気孔穿設工程で穿設される空気孔１３，１８の位置と、開口流路形成工程において形成される開口流路３ａ，３ｂの位置を予め一致させることができ、空気孔１３，１８の孔径が開口流路３ａ，３ｂの孔径と同等で、十分な精度が保たれている場合には、この工程を省くことができ生産性に優れる。
尚、空気孔１３，１８の孔径が開口流路３ａ，３ｂの孔径よりも小さい場合や空気孔１３，１８が変形している場合、或いは設計の制約上の問題で開口流路３ａ，３ｂの位置に空気孔１３，１８を穿設できない場合には、開口流路形成工程により開口流路３ａ，３ｂを形成する必要がある。
設計上の都合等により、開口流路３ａ，３ｂの位置に合わせて空気孔１３，１８を穿設できない場合には、空気孔閉塞工程が必要となる。空気孔１３，１８に円柱状等に形成された蓋部材を嵌着後、溶着することにより閉塞できる。尚、空気孔１３，１８の孔径が比較的、小さい場合や深さが浅い場合には、内部流路形成工程における加熱による熱膨張で、自然に閉塞されることも期待できるが、信頼性の面からは、空気孔閉塞工程を行うことが望ましい。
【００５０】
次に、図７の状態から、基板切削工程において下部基板１０及び上部基板１５の不要部分を切削することにより、図１に示した平板流路１が得られる。このとき、下部基板１０に熱融着されて下部基板１０と一体化された嵌合凸条部１６の上面１５ｂ側の一部が閉塞部材となって凹条流路溝１２の開口部を閉塞することになる。基板切削工程で不要部分を取り除くことができるので、初期の下部基板１０及び上部基板１５に十分な厚みを持たせて反りやうねりを低減することができると共に、内部流路形成工程の加熱時における熱変形を効果的に防ぐことができ形状安定性に優れる。また、開口流路３ａ，３ｂの外周にパイプ状の外部接続部４ａ，４ｂを形設することができるので、外部接続部４ａ，４ｂを介して開口流路３ａ，３ｂに管継ぎ手や計測器類或いは他の平板流路等を容易に接続することができる。特に、外部接続部４ａ，４ｂの外周に雄ねじ部を形設したり、内周に雌ねじ部を形設したりした場合、管継ぎ手や計測器類等の接続を簡便に行うことができ組立作業性、メンテナンス性に優れる。また、外部接続部４ａ，４ｂは円筒状以外に複数の接続部を備えた各種継手形状に形成した場合、複雑な配管との接続を簡便に行なうことができる。
尚、外部接続部４ａ，４ｂは基板切削工程によって平板流路１と一体に形設する以外に、外部接続部形設工程として、内部流路２に連通し平板流路１の下面１ａ及び上面１ｂに突出したパイプ状の外部接続部４ａ，４ｂを溶着により配設することもできる。
外部接続部４ａ，４ｂを溶着により配設する場合、外部接続部４ａ，４ｂの材質としてはＰＦＡが好ましい。また、平板流路１の下面１ａ及び上面１ｂの外部接続部４ａ，４ｂの端部との溶着面に凸条部又は凹条部を形成した場合、外部接続部４ａ，４ｂの端面を確実に凸条部又は凹条部に突き当てて溶着することができ密封の信頼性に優れる。
【００５１】
この平板流路１は、１つの開口流路３ａを供給口、もう１つの開口流路３ｂを排出口として、流体を循環させることができ、薄型で軽量な熱交換器として用いることができる。
また、この平板流路１は、内部流路２が、一体化された下部基板１０と閉塞部材によって密閉されているので、パッキンなどのシール手段を要しない。また、平板流路１の下面１ａや上面１ｂにアルミニウム等の熱伝導性のよい金属板を直接貼着し、加熱用ヒータを配設するだけで、循環式ケミカルヒータとして使用することができる。
尚、外部接続部４ａ，４ｂを介して複数の平板流路１を接続することができるので、複数の平板流路１を積層するようにして配置することにより、流路の長い配管を省スペースに収めることができる。その場合、各々の平板流路１の内部流路２のパターンは任意に選択することができ、複雑な配管を簡便に実現することができ生産性、汎用性に優れる。
また、開口流路の数を増やして３つ以上にした場合、２つ以上の開口流路（供給口）からそれぞれ異なる種類の流体を供給し、内部流路２の中で混合、反応させて残りの１つの開口流路（排出口）から取り出すことができ、マイクロミキサーやマイクロリアクタとして用いることができる。
【００５２】
次に、本発明の実施の形態１における平板流路の内部流路の変形例について説明する。
図８（ａ）は本発明の実施の形態１における平板流路の内部流路の第１の変形例を示す要部平面図であり、図８（ｂ）は本発明の実施の形態１における平板流路の内部流路の第２の変形例を示す要部平面図である。
図８（ａ）において、第１の変形例における内部流路２ａが実施の形態１と異なるのは、内部流路２ａの途中に凹条流路溝１２よりも幅広に形成された緩衝部２０を有する点である。これにより、熱だまりや流体の短絡通過（ショートパス）を防止でき、特にマイクロミキサーやマイクロリアクタとして好適に用いることができる。尚、緩衝部２０については、対応する嵌合凹条溝や嵌合凸条部を幅広に形成するだけでよく、基板積層工程、内部流路形成工程については実施の形態１と同様である。
図８（ｂ）において、第２の変形例における内部流路２ｂが実施の形態１と異なるのは、１本の幅広の凹条流路溝２２ａと２本の幅狭の凹条流路溝２２ｂが接続されて内部流路２ｂが形成されている点である。内部流路２ｂの途中を分岐若しくは合流させることにより、単一若しくは複数の流体の分離、混合などを行うことができ、特にマイクロミキサーやマイクロリアクタとして好適に用いることができる。尚、各々の凹条流路溝２２ａ，２２ｂの幅は適宜、選択することができる。また、各々の凹条流路溝２２ａ，２２ｂの中で断面積は一様でもよいし、段階的に断面積を増減させることもできる。
【００５３】
本実施の形態では、略矩形状の下部基板１０及び上部基板１５により略矩形状の平板流路１を形成したが、下部基板１０と上部基板１５及び出来上がりの平板流路１の形状は、略矩形状以外に、略円形状、略Ｌ字型、略Ｔ字型、略十字型等の様々な形状に形成することができる。尚、下部基板１０及び上部基板１５の両方を改質ＰＴＦＥ又は改質ＰＴＦＥを主成分とする樹脂組成物で形成する代りに、いずれか一方のみを改質ＰＴＦＥ又は改質ＰＴＦＥを主成分とする樹脂組成物で形成してもよい。また、下部基板１０及び上部基板１５の材質として四フッ化エチレン（ＰＴＦＥ，ＰＦＡ，ＦＥＰ，ＥＴＦＥ）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）等のフッ素樹脂、ポリエーテルエーテルケトン等の熱可塑性樹脂を用いても同様に平板流路１を形成することができる。
【００５４】
内部流路２の断面形状は、凹条流路溝１２の断面形状によって決定され、略矩形状以外に、略逆三角形状、略半円状などの様々な形状に形成することができる。尚、凹条流路溝１２の断面形状を上面側の幅が広く下面側の幅が狭い台形状や略逆三角形状に形成する場合は、嵌合凹条溝１１と凹条流路溝１２を同時に形成することもできる。嵌合凹条溝１１の深さと凹条流路溝１２の深さを合わせた深さの台形状若しくは逆三角形状の溝を形成すれば、嵌合凸条部１６の高さ分が嵌合凹条溝１１の深さとなり、残りが内部流路２となるためである。また、凹条流路溝１２の底部１２ａや周壁部１２ｂに段差状や傾斜状の凹凸を設けた場合、流体の流れを乱流にして熱だまりや流体の短絡通過（ショートパス）を防止できる。これにより、熱交換器や循環式のケミカルヒータ等として使用した場合、流路内部の一部が極端に高温になったり、熱交換の効率が落ちたりすることを防止できる。
【００５５】
開口流路３ａ、３ｂの配置や数は、本実施の形態に限定されるものではなく、内部流路２の端部以外の任意の位置及び方向に任意の数だけ設けることができる。また、各々の開口流路３ａ、３ｂの径は同一である必要はなく、流体の物性や複数の流体を混合する際の混合比などに応じて、それぞれの開口径を適宜、選択できる。
尚、１つの平板流路１の中に複数の独立した（連通しない）内部流路２を形成した場合、種類の異なる流体が流れる複数の内部流路２を集積することができ省スペース性に優れる。
さらに、開口流路３ａ、３ｂの開口部は平板流路１の下面１ａや上面１ｂ以外に平板流路１の側面に形成してもよい。開口流路３ａ、３ｂを平板流路１の側面で開口させた場合、平板流路１と管状部材や管継ぎ手などとの接続部が平板流路１の側面に配置されるため、平板流路１の下面１ａや上面１ｂに出っ張りがなく、平板流路１同士或いは平板流路１と他の部材を下面１ａや上面１ｂで密着若しくは近接させて配置することができ、省スペース性、配置の自在性に優れる。
【００５６】
以上のように実施の形態１における平板流路は構成されているので、以下の作用を有する。
（１）熱可塑性樹脂製の下部基板１０と閉塞部材となる上部基板１５の嵌合凸条部１６を直接、熱融着することができるので、接合強度を高くすることができると共に、下部基板１０と閉塞部材を一体化し接合斑やピンホ−ル等の発生を防止でき、内部流路２を流れる流体の漏れ等を防止することができる。
（２）２以上の開口流路３ａ，３ｂと連通した内部流路２が、下部基板１０と上部基板１５で挟まれて形成されるので、チーズやエルボ等の管継ぎ手が不要で配管をコンパクト化して薄肉化することができると共に、配管に隙間や段差，継ぎ目等がなくゴミ等が混入し難く、流体の流れが滑らかで製造設備等のコンタミネーションコントロール，マイクロバブルの発生の抑制や流量管理等を容易に行うことができる。
（３）内部流路２と連通した少なくとも２以上の開口流路３ａ，３ｂを有することにより、開口流路３ａ，３ｂとチーズやエルボ等の管継ぎ手やチューブ等の管状部材等を接続することができ、容易に既存の配管の途中にも組込むことができる。また、開口流路３ａ，３ｂに各種管継ぎ手やチューブ等の管状部材を形成できる。
（４）下部基板１０と閉塞部材が平板状に一体化されて内部流路２が形成されるので、軽量で組立作業が容易で取扱い性に優れる。
（５）下部基板１０に形成した凹条流路溝１２に閉塞部材を覆設することにより内部流路２を形成するので、内部流路２のパターンを自在に形成することができ、汎用性、設計自在性に優れる。特に急角度で曲がったり、交差したりすることがないように流路の直線部と直線部との接続部を円弧等で曲線状に形成することにより、流体の流れがスムーズになり、圧力損失を低減でき、流体へのストレスや気泡の発生を防止できる。
（６）内部流路２に連通して形成された２つの開口流路３ａ，３ｂを有することにより、１つの開口流路３ａを供給口、もう１つの開口流路３ｂを排出口として、流体を循環させることができる。３つ以上の開口流路を有する場合、２つ以上の開口流路を供給口としてそれぞれ異なる種類の流体を供給し、内部流路２の中で混合、反応させて残りの開口流路を排出口として取り出したりすることができる。
（７）凹条流路溝１２に覆設された閉塞部材を凹条流路溝１２の周壁部１２ｂの上端側に形成された傾斜部１１ａで下部基板１０に熱融着して一体化するので、凹条流路溝１２と閉塞部材の位置合わせが容易で位置ずれを防止でき、下部基板１０や閉塞部材（上部基板１５）に反りなどがあっても両者を確実に密着させてリークの発生を防ぐことができ、内部流路２の形状安定性、接合強度及び密封の信頼性に優れる。
（８）下部基板１０及び閉塞部材（上部基板１５）の少なくともいずれか一方を改質ＰＴＦＥ又は改質ＰＴＦＥを主成分とする樹脂組成物で形成することにより、加工が容易で量産性に優れると共に、寸法精度の再現性、密封の信頼性に優れる。
（９）下部基板１０や閉塞部材（上部基板１５）を改質ＰＴＦＥ又は改質ＰＴＦＥを主成分とする樹脂組成物で形成することにより、化学的安定性、耐腐食性に優れ、純水だけでなく、浸食性の高い薬品、溶剤などの様々な流体を用いることができ、付加価値が高く、汎用性、耐久性に優れる。
（１０）開口流路２に連通し下部基板１０の表面に突出して形成又は配設された外部接続部４ａ，４ｂを備えているので、外部接続部４ａ，４ｂを介して開口流路３ａ，３ｂに管継ぎ手や計測器類等を容易に接続することができ施工性に優れる。
【００５７】
以上のように実施の形態１における平板流路の製造方法は構成されているので、以下の作用を有する。
（１）凹条流路溝形成工程により、嵌合凹条溝１１の深さ方向に嵌合凹条溝１１の底面部１１ｂと連続して凹条流路溝１２を形成するので、嵌合凹条溝１１に嵌合凸条部１６を嵌合しても凹条流路溝１２が潰れることがなく、確実に内部流路２を形成することができ、寸法精度の再現性に優れる。
（２）嵌合凹条溝１１が、上面側の幅が広く下面側の幅が狭い台形状の断面を有し、嵌合凸条部１６が、嵌合凹条溝１１に対応して嵌合される台形状の断面を有することにより、基板積層工程で下部基板１０に上部基板１５を覆設した際に、嵌合凹条溝１１に嵌合凸条部１６を簡便に嵌合させることができ、位置決めが容易で、熱融着による位置ずれが発生し難く、流路形状の信頼性に優れる。
（３）下部基板１０の嵌合凹条溝１１と上部基板１５の嵌合凸条部１６を熱融着して一体化することができ、内部流路２を流れる流体の漏れ等を確実に防止することができる。
（４）嵌合凹条溝１１が、上面１０ｂ側の幅が広く下面１０ａ側の幅が狭い台形状の断面を有することにより、嵌合凹条溝１１と嵌合凸条部１６の傾斜部（斜辺）１１ａ，１６ａ同士を密着させて接触面積を拡大することができるので、下部基板１０や上部基板１５に反り等が発生している場合でも、嵌合凸条部１６で凹条流路溝１２の開口部を確実に閉塞して内部流路２を形成することができ、接合強度及び密封の信頼性を向上させることができる。
（５）空気孔穿設工程で一端が下部基板１０の表面に開口し凹条流路溝１２と連通する空気孔１３，１８を穿設することにより、後工程の内部流路形成工程において下部基板１０及び上部基板１５を加熱した際に、凹条流路溝１２の内部で膨張した空気を空気孔１３，１８から外部に逃がすことができ、上部基板１５の嵌合凸条部１６を下部基板１０の嵌合凹条溝１１に密着させて確実に凹条流路溝１２を閉塞して内部流路２を形成することができる。
（６）下部基板１０に形成した凹条流路溝１２の開口部を嵌合凸条部１６で閉塞して内部流路２を形成できるので、凹条流路溝形成工程において、下部基板１０の面内に任意のパターンで二次元的に流路を形成することができ、流路の設計の自由度が高く汎用性に優れる。
（７）嵌合凸条部形成工程により、上部基板１０の表面に嵌合凹条溝１１に対応させて嵌合凸条部１６を形成するので、様々なパターンに形成される嵌合凸条部１６を上部基板１５で一体に取り扱うことができ、基板積層工程で下部基板１０と上部基板１５を積層するだけで内部流路２を形成でき、部品点数が少なく、施工性、量産性に優れる。
（８）開口流路形成工程で、下部基板１０に内部流路２と連通する２以上の開口流路３ａ，３ｂを形設することにより、内部流路２への流体の供給及び内部流路２からの流体の排出を行うことができ、流体の循環や内部流路２内での流体の混合、反応等の作業を行うことができる汎用性に優れた平板流路１を形成することができる。
（９）基板切削工程で下部基板１０及び上部基板１５の不要部分を切削することにより、平板流路１全体の厚さや内部流路２の上面１ｂ側及び下面１ａ側の壁の厚さを任意に選択することができるので、用途に応じて熱伝導性や断熱性を自在に設定することができ、設計自在性、汎用性に優れる。
（１０）段差部形成工程において、嵌合凸条部１６の外周に嵌合凸条部１６の底部１６ｂよりも深い段差部１７を形成することにより、基板積層工程で下部基板１０と上部基板１５を積層した際に、両者が嵌合凹条溝１１と嵌合凸条部１６のみで当接して密着し、内部流路形成工程で加熱することにより、嵌合凹条溝１１と嵌合凸条部１６の傾斜部（斜辺）１１ａ，１６ａのみが熱融着して一体化するので、接合面積が小さく、加熱時間を短くすることができ生産性に優れると共に、下部基板１０及び上部基板１５が熱の影響を受け難く、反り等の発生量を低減でき寸法精度の再現性に優れる。
（１１）下部基板１０と上部基板１５が全面で接合されず、嵌合凹条溝１１と嵌合凸条部１６の接合面の端部である嵌合凸条部１６の外周を目視することができるので、内部流路２のリークの確認が容易で、不良品の投入を確実に防止することができ、品質管理が容易で製品歩留まりを向上することができる。
（１２）嵌合凹条溝１１及び嵌合凸条部１６の加工時に傾斜部（斜辺）１１ａ，１６ａの角度を左右で同一（左右対称）にすることにより、嵌合凹条溝１１及び嵌合凸条部１６の断面形状を等脚台形とすることができ、加工が容易で生産性に優れる。
（１３）接合部の形状（傾斜角度）が左右対称で、接合面積が凹条流路溝１２の左右で等しくなるので、内部流路形成工程において加圧した際に、接合部に均等に圧力をかけることができ、嵌合凹条溝１１と嵌合凸条部１６を確実に密着させることができ、接合斑がなく、接合強度を向上させることができる。
（１４）嵌合凹条溝１１の下面１０ａ側（底面部１１ｂ）の幅と、凹条流路溝１２の上端側の幅が同一であることにより、嵌合凹条溝１１と凹条流路溝１２の位置合わせが容易で生産性に優れる。
（１５）嵌合凹条溝１１の傾斜部１１ａの下端部に連続して凹条流路溝１２が形成され、嵌合凹条溝１１と凹条流路溝１２の間に平坦状の段差部が形成されることがないので、嵌合凹条溝１１と嵌合凸条部１６を傾斜部１１ａ，１６ａで確実に密着させることができ、接合強度及び密封の信頼性を向上させることができる。
（１６）嵌合凸条部１６の高さを嵌合凹条溝１１の深さよりも高く形成することにより、寸法のばらつきを吸収して嵌合凸条部１６の傾斜部（斜辺）１６ａで確実に嵌合凹条溝１１を閉塞することができ、密封の信頼性を向上させることができる。
（１７）開口流路形成工程において空気孔１２，１８の位置に開口流路３ａ，３ｂを穿設することにより、完成した平板流路１には開口流路３ａ，３ｂ以外に開口部がなく、空気孔１３，１８を閉塞する工程が不要で生産性に優れると共に、流体の漏れが発生せず信頼性に優れる。
【００５８】
（実施の形態２）
図９は本発明の実施の形態２における平板流路の内部流路を示す平面図である。
実施の形態２における平板流路が実施の形態１と異なるのは、１つの平板流路の中に２つの独立した（連通しない）内部流路２ｃ，２ｄが形成されている点である。
一方の内部流路２ｃは、蛇行して形成された凹条流路溝１２の両端部に開口流路接続部１２ｃが形成されている。
他方の内部流路２ｄは、供給口となる開口流路が接続される４箇所の開口流路接続部１２ｄと反応部（液溜まり）２０ａの間が幅狭の凹条流路溝３２ａで接続され、排出口となる開口流路が接続される開口流路接続部１２ｅと反応部（液溜まり）２０ａの間が幅広の凹条流路溝３２ｂで接続されている。
尚、実施の形態２における平板流路の製造方法は、実施の形態１と同様であるので、説明を省略する。
【００５９】
図９において、１つの平板流路の中に２つの独立した（連通しない）内部流路２ｃ，２ｄを有することにより、各々の内部流路２ｃ，２ｄを別々の目的で使用することができる。内部流路２ｄは、最大で４種類の薬液を開口流路接続部１２ｄに接続される開口流路から供給することができ、それらを反応部（液溜まり）２０ａで反応させ、開口流路接続部１２ｅに接続される開口流路から取り出すことができる。このとき、開口流路接続部１２ｄ，１２ｅに接続される開口流路の径は流体の物性や複数の流体を混合する際の混合比などに応じて、適宜、選択できる。
尚、内部流路２ｃ，２ｄは独立した配管として使用する以外に、内部流路２ｃを平板流路全体の温度制御のための媒体流路として使用することもでき、加熱用ヒータなどを用いることなく、内部流路２ｄにおける反応液の加熱などを簡便に行うことができる。
【００６０】
以上のように実施の形態２における平板流路は構成されているので、実施の形態１に加え、以下の作用を有する。
（１）１つの平板流路の中に複数の独立した（連通しない）内部流路２ｃ，２ｄを有することにより、種類の異なる流体が流れる複数の配管を集積することができ省スペース性に優れる。
（２）各々の内部流路２ｃ，２ｄの構成や流路のパターンなどに応じて多目的に使い分けることができ汎用性に優れる。
【産業上の利用可能性】
【００６１】
本発明は、各種流体の供給や混合、反応、排出等を行う配管が平板内に二次元的に集積され一体化されることにより、薄肉でコンパクト性に優れると共に、小型化、軽量化が容易で取り扱い性に優れ、配管に隙間や段差，継ぎ目等がなくゴミ等が混入し難く、流体の流れが滑らかで流路内への不純物等のコンタミネーションを防止して、化学的な安定性に優れ、流体のリークを確実に防止できる信頼性に優れる平板流路の提供、及び各種流体の供給や混合、反応、排出等を行う配管を二次元的に集積して一体に形成することができ、流路の設計の自由度が高く汎用性に優れると共に、寸法精度の再現性、接合強度及び密封の信頼性に優れる平板流路の製造方法の提供を行うことができ、環境負荷の低減や化学反応の高速化・高効率化を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】（ａ）本発明の実施の形態１における平板流路を示す透視斜視図（ｂ）図１（ａ）のＡ−Ａ線矢視断面図
【図２】（ａ）本発明の実施の形態１における平板流路の製造方法の基板積層工程に用いる下部基板を示す斜視図（ｂ）図２（ａ）のＢ−Ｂ線矢視断面図
【図３】（ａ）本発明の実施の形態１における平板流路の製造方法の嵌合凹条溝形成工程を示す要部拡大断面図（ｂ）本発明の実施の形態１における平板流路の製造方法の凹条流路溝形成工程を示す要部拡大断面図
【図４】（ａ）本発明の実施の形態１における平板流路の製造方法の基板積層工程に用いる上部基板を示す斜視図（ｂ）図４（ａ）のＣ−Ｃ線矢視断面図
【図５】（ａ）本発明の実施の形態１における平板流路の製造方法の嵌合凸条部形成工程を示す要部拡大断面図（ｂ）本発明の実施の形態１における平板流路の製造方法の段差部形成工程を示す要部拡大断面図
【図６】本発明の実施の形態１における平板流路の製造方法の基板積層工程を示す斜視図
【図７】（ａ）本発明の実施の形態１における平板流路の製造方法の内部流路形成工程を示す斜視図（ｂ）図７（ａ）のＤ−Ｄ線矢視断面図
【図８】（ａ）本発明の実施の形態１における平板流路の内部流路の第１の変形例を示す要部平面図（ｂ）本発明の実施の形態１における平板流路の内部流路の第２の変形例を示す要部平面図
【図９】本発明の実施の形態２における平板流路の内部流路を示す平面図
【符号の説明】
【００６３】
１  平板流路
１ａ，１０ａ，１５ａ  下面
１ｂ，１０ｂ，１５ｂ  上面
２，２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ  内部流路
３ａ，３ｂ  開口流路
４ａ，４ｂ  外部接続部
５，１０ｃ，１５ｃ  位置決め孔
６  固定孔
１０  下部基板
１１  嵌合凹条溝
１１ａ，１６ａ  傾斜部
１１ｂ  底面部
１２，２２ａ，２２ｂ，３２ａ，３２ｂ  凹条流路溝
１２ａ，１６ｂ  底部
１２ｂ  周壁部
１２ｃ，１２ｄ，１２ｅ  開口流路接続部
１３，１８  空気孔
１５  上部基板
１６  嵌合凸条部
１７  段差部
２０  緩衝部
２０ａ  反応部
【図１】
2008039100.tif 000006
【図２】
2008039100.tif 000007
【図３】
2008039100.tif 000008
【図４】
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【図５】
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【図６】
2008039100.tif 000011
【図７】
2008039100.tif 000012
【図８】
2008039100.tif 000013
【図９】
2008039100.tif 000014