(57)【要約】【課題】スライダユニット内に配設した偏光プリズムと筒状部材とを対物レンズの光軸上に容易に切換配置することができること。【解決手段】光学顕微鏡１００は、微分干渉観察で干渉させる２つの偏光を合分岐するノマルスキープリズム１４と、対物レンズ７の光軸ＯＡに対して同軸な暗視野照明光路ＯＰ１と観察光路ＯＰ２とを隔離する遮光筒部品１５とを一体的に保持する保持機構３０１と、光軸ＯＡに対して直交した駆動軸ＭＡ方向に保持機構３０１を移動させて光軸ＯＡ上にノマルスキープリズム１４または遮光筒部品１５を電動で切換配置するとともに、ノマルスキープリズム１４を光軸ＯＡ上に配置した場合、ノマルスキープリズム１４を駆動軸ＭＡ方向に電動で微動させる電動駆動機構３０２と、をスライダ本体３０内に配設したスライダユニット１６を備え、スライダユニット１６は、対物レンズ７の瞳近傍でレボルバ装置１９に挿脱される。【選択図】        図１
2008026568.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも微分干渉観察と暗視野観察とを切り換えて標本観察を行うことができる光学顕微鏡において、
前記微分干渉観察で干渉させる２つの偏光を合分岐する偏光プリズムと、対物レンズのレンズ光軸に対して同軸な暗視野照明光路と観察光路とを隔離する筒状部材とを一体的に保持する保持機構と、
前記レンズ光軸に対する直交方向に前記保持機構を移動させて前記レンズ光軸上に前記偏光プリズムまたは前記筒状部材を電動で切換配置する電動駆動機構と、
を筐体内に配設したスライダユニットを備え、
前記スライダユニットは、前記対物レンズの瞳近傍で顕微鏡本体に挿脱されることを特徴とする光学顕微鏡。
【請求項２】
前記電動駆動機構は、前記偏光プリズムを前記レンズ光軸上に配置した場合、該偏光プリズムを前記レンズ光軸に対する直交方向に電動で微動させることを特徴とする請求項１に記載の光学顕微鏡。
【請求項３】
前記保持機構は、前記偏光プリズムを交換自在に保持することを特徴とする請求項１または２に記載の光学顕微鏡。
【請求項４】
前記保持機構は、前記偏光プリズムと前記筒状部材との保持間隔を前記直交方向に変更可能であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載の光学顕微鏡。
【請求項５】
前記保持機構は、前記筒状部材が前記レンズ光軸上に配置された場合の前記保持間隔に比して、前記偏向プリズムが前記レンズ光軸上に配置された場合の前記保持間隔を短縮することを特徴とする請求項４に記載の光学顕微鏡。
【請求項６】
前記電動駆動機構に前記偏向プリズムと前記筒状部材とを切換配置させるとともに、前記偏光プリズムを前記レンズ光軸上に配置させた場合、該偏向プリズムを前記直交方向に微動させる制御を行う制御手段を備えたことを特徴とする請求項１〜５のいずれか一つに記載の光学顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、少なくとも微分干渉観察と暗視野観察とを切り換えて標本観察を行うことができる光学顕微鏡に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば半導体ウェハ上に形成された回路パターンのように、表面上に微小な凹凸が形成され、全面でほぼ一様な反射率を有する標本の観察には、光の干渉を利用し、微小な凹凸に対応する光の位相差を明暗のコントラストに変換して観察像を形成する微分干渉観察を行うことができる光学顕微鏡が用いられている。
【０００３】
通常、このような光学顕微鏡は、より一般的な観察法である明視野観察や暗視野観察に切り換えて標本観察を行うことができるように構成されている。その場合、微分干渉観察は、直交した２つの偏光を生成して干渉させる光学素子としてのポラライザ、アナライザおよび偏光プリズムを、明視野観察あるいは暗視野観察を行う光学系に付加することで実現される。この偏光プリズムは、一般にノマルスキープリズムが用いられ、対物レンズの瞳近傍でその光軸上に配置される。
【０００４】
微分干渉観察では、干渉させる２つの偏光の位相差を調整するリタデーション（retardation）調整を行うため、対物レンズの光軸上に配置した偏光プリズムの位置を、その光軸に直交した方向に微調整する必要がある。このため、微分干渉観察は、明視野観察等に比して観察に手間と時間を要するという問題があった。これに対して、偏光プリズムの挿脱配置およびリタデーション調整を電動で行う光学顕微鏡が開発されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
特許文献１に記載の光学顕微鏡では、ノマルスキープリズムとアクチュエータとを一体的に設けたスライダユニットを備え、ノマルスキープリズムの挿脱配置とリタデーション調整とを電動動作させることで手間と時間とを省けるようにしている。このスライダユニットは、顕微鏡本体に対して挿脱可能であり、複数の光学顕微鏡間で汎用的に使用することができる。
【０００６】
【特許文献１】特開平９−３２５２８１号公報
【特許文献２】特開平１１−３２６７７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に記載の光学顕微鏡では、微分干渉観察から暗視野観察に切り換えた場合、つぎのような問題が生じる恐れがある。すなわち、特許文献１に記載の光学顕微鏡では、ノマルスキープリズムを対物レンズの光路から取り除き、暗視野観察を行う場合、ノマルスキープリズムの挿脱位置には、対物レンズの光軸に対して同軸な暗視野照明光路と観察光路とを隔離する隔壁等が存在しなくなる。このため、暗視野照明光の一部が周辺物で反射されることによって観察光路に入り込み、迷光の原因となる恐れがある。この問題を解決するには、例えば、ノマルスキープリズムを取り外したスペースに隔壁としての筒状部材を付加的に配置する必要がある。
【０００８】
また、微分干渉観察では、適切なコントラストの像を得るために対物レンズに応じて、２つの偏光のずらし量であるシアリング（shearing）量が異なるノマルスキープリズムを交換して使用する必要がある。さらに、瞳位置が異なる対物レンズを用いて観察を行う場合、その瞳位置に応じてノマルスキープリズムの光軸方向の配置位置を変更する必要がある。ところが、特許文献１に記載の光学顕微鏡では、このような交換や配置変更への対応が考慮されていない。
【０００９】
これに対して、特許文献２に記載された光学顕微鏡がある。この光学顕微鏡は、対物レンズを保持するレボルバ装置内に筒状部材と、シアリング量が異なる複数のノマルスキープリズムとを備え、それぞれを光軸上に電動で切換配置できるようにしている。これによって、暗視野観察に切り換えた場合の迷光防止、シアリング量が異なるノマルスキープリズムへの切り換え、およびノマルスキープリズムの配置位置の変更に対応可能とされている。
【００１０】
しかしながら、特許文献２に記載の光学顕微鏡では、レボルバ装置が大型化および複雑化し、顕微鏡本体に対する着脱が困難であり、特定の光学顕微鏡にしか用いることができず、汎用性が損なわれるという問題があった。また、あらかじめ複数のノマルスキープリズムを備える必要があり、装置コストが高くなるという問題があった。
【００１１】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、小型かつ簡易な構成で汎用性および廉価性を維持したまま、対物レンズの光軸上に偏光プリズムと筒状部材とを容易に切換配置することができるとともに、偏光プリズムをシアリング量等が異なる偏光プリズムに交換することと、偏光プリズムの配置を対物レンズの瞳位置に応じて変更することとが可能なスライダユニットを備えた光学顕微鏡を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、請求項１にかかる光学顕微鏡は、少なくとも微分干渉観察と暗視野観察とを切り換えて標本観察を行うことができる光学顕微鏡において、前記微分干渉観察で干渉させる２つの偏光を合分岐する偏光プリズムと、対物レンズのレンズ光軸に対して同軸な暗視野照明光路と観察光路とを隔離する筒状部材とを一体的に保持する保持機構と、前記レンズ光軸に対する直交方向に前記保持機構を移動させて前記レンズ光軸上に前記偏光プリズムまたは前記筒状部材を電動で切換配置する電動駆動機構と、を筐体内に配設したスライダユニットを備え、前記スライダユニットは、前記対物レンズの瞳近傍で顕微鏡本体に挿脱されることを特徴とする。
【００１３】
また、請求項２にかかる光学顕微鏡は、上記の発明において、前記電動駆動機構は、前記偏光プリズムを前記レンズ光軸上に配置した場合、該偏光プリズムを前記レンズ光軸に対する直交方向に電動で微動させることを特徴とする。
【００１４】
また、請求項３にかかる光学顕微鏡は、上記の発明において、前記保持機構は、前記偏光プリズムを交換自在に保持することを特徴とする。
【００１５】
また、請求項４にかかる光学顕微鏡は、上記の発明において、前記保持機構は、前記偏光プリズムと前記筒状部材との保持間隔を前記直交方向に変更可能であることを特徴とする。
【００１６】
また、請求項５にかかる光学顕微鏡は、上記の発明において、前記保持機構は、前記筒状部材が前記レンズ光軸上に配置された場合の前記保持間隔に比して、前記偏向プリズムが前記レンズ光軸上に配置された場合の前記保持間隔を短縮することを特徴とする。
【００１７】
また、請求項６にかかる光学顕微鏡は、上記の発明において、前記電動駆動機構に前記偏向プリズムと前記筒状部材とを切換配置させるとともに、前記偏光プリズムを前記レンズ光軸上に配置させた場合、該偏向プリズムを前記直交方向に微動させる制御を行う制御手段を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明にかかる光学顕微鏡によれば、小型かつ簡易な構成で汎用性および廉価性を維持したままスライダユニットを実現し、このスライダユニット内に配設した偏光プリズムと筒状部材とを対物レンズの光軸上に容易に切換配置することができるとともに、偏光プリズムをシアリング量等が異なる偏光プリズムに交換することができ、偏光プリズムの配置を対物レンズの瞳位置に応じて変更することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、添付図面を参照して、本発明にかかる光学顕微鏡の好適な実施の形態を詳細に説明する。なお、この実施の形態により本発明が限定されるものではない。また、図面の記載において、同一部分には同一の符号を付している。
【００２０】
（実施の形態１）
まず、本発明の実施の形態１にかかる光学顕微鏡について説明する。図１は、本実施の形態１にかかる光学顕微鏡１００の要部構成を示す図である。光学顕微鏡１００は、少なくとも微分干渉観察と暗視野観察とを切り換えて標本観察が可能であって、図１では、特に微分干渉観察を行う場合の構成を示している。
【００２１】
この図に示すように、光学顕微鏡１００は、光源１、照明レンズ２、開口絞り３、視野絞り４、照明レンズ５、観察キューブ６および対物レンズ７を用いて構成される照明光学系１０と、対物レンズ７および観察キューブ６を兼用して構成される観察光学系１１とを備える。微分干渉観察に必要なポラライザ１２およびアナライザ１３は、それぞれ観察キューブ６の近傍で照明光学系１０内および観察光学系１１内に挿脱自在に配置される。また、微分干渉観察で干渉させる２つの偏光を合分岐する偏光プリズムとしてのノマルスキープリズム１４は、対物レンズ７の瞳近傍で、その光軸ＯＡ上に挿脱自在に配置される。
【００２２】
ハロゲンランプ等のランプを用いた光源１が発する照明光は、照明レンズ２，５によって結像され、光源１の共役像を対物レンズ７の瞳上に形成する。その後、照明光は、対物レンズ７によって標本８に照射される。その間、開口絞り３および視野絞り４は、それぞれ標本８に対する照明光の開口数および照明領域を規定する。また、ポラライザ１２は、照明光から所定の振動方向の直線偏光を抽出し、観察キューブ６は、この直線偏光をノマルスキープリズム１４に向けて反射させる。ノマルスキープリズム１４は、入射した直線偏光を、互いに直交した振動方向の２つの直線偏光に分岐し、分岐した２つの直線偏光を異なる方向に射出する。対物レンズ７は、この２つの直線偏光をテレセントリックに標本８に照射させる。
【００２３】
照射された２つの直線偏光は、標本８によって観察光として反射され、対物レンズ７を介してノマルスキープリズム１４に入射する。ノマルスキープリズム１４は、この２つの直線偏光を同軸に合成し、光軸ＯＡと平行に射出する。合成された２つの直線偏光は、観察キューブ６を透過し、アナライザ１３に入射する。アナライザ１３は、合成された２つの直線偏光の各々から共通した振動方向の直線偏光を抽出する。この抽出された観察光は、図示しない結像光学系を介して標本８の観察像を形成する。形成された観察像は、撮像装置によって撮像されて画像上で観察されるか、あるいは接眼レンズ等を介して目視観察される。
【００２４】
また、光学顕微鏡１００は、微分干渉観察から暗視野観察に切り換える場合にノマルスキープリズム１４に換えて光軸ＯＡ上に配置する筒状部材としての遮光筒部品１５を備える。ノマルスキープリズム１４と遮光筒部品１５とは、一体の筐体を用いて構成されたスライダユニット１６内に配設されており、光学顕微鏡１００は、このスライダユニット１６を、対物レンズ７の瞳近傍で顕微鏡本体に対して挿脱自在に備える。また、スライダユニット１６内には、ノマルスキープリズム１４と遮光筒部品１５とを切換配置するための電動駆動機構が設けられ、光学顕微鏡１００は、この電動駆動機構の動作を制御する制御部１７を備えている。この制御部１７は、各種指示情報の入力を行う入力部１８が接続されており、入力部１８から取得する指示情報をもとに電動駆動機構の制御を行う。電動駆動機構の詳細は、別途後述する。なお、制御部１７および入力部１８は、パーソナルコンピュータやハンドコントローラもしくはハンドスイッチ等を用いて実現される。
【００２５】
図２−１および図２−２は、対物レンズ７が挿脱されるレボルバ装置１９の構成を示す図であって、スライダユニット１６がレボルバ装置１９に挿着された状態を示している。図２−１は平面図、図２−２は側面図であり、それぞれ一部を破断した断面図として示している。ノマルスキープリズム１４は、対物レンズ７の瞳近傍に配置する必要があることから、光学顕微鏡１００では、その顕微鏡本体の一部に相当するレボルバ装置１９にスライダ挿脱孔１９ａを設け、このスライダ挿脱孔１９ａ内にノマルスキープリズム１４、つまりスライダユニット１６を挿入して配置している。
【００２６】
スライダユニット１６は、スライダ挿脱孔１９ａの奥の当接面１９ｂに当接されるまで挿入され、当接面１９ｂに当接された状態で固定ツマミ１９ｃによって固定される。これによりスライダユニット１６は、レボルバ装置１９つまり対物レンズ７に対して所定位置に配設されて固定される。スライダユニット１６が固定された後、ノマルスキープリズム１４と遮光筒部品１５との配置の切り換えは、スライダユニット１６をレボルバ装置１９に対して移動させることなく行うことができる。その詳細は、別途後述する。
【００２７】
一方、図３−１および図３−２は、レボルバ装置１９にスライダユニット１６を挿着するとともに、スライダユニット１６内のノマルスキープリズム１４を光軸ＯＡ上から退避させた状態を示す図である。ここで図３−１は、従来技術にかかる状態としてノマルスキープリズム１４を退避させた光軸ＯＡ上の空間２０に何も配置していない状態を示し、図３−２は、その光軸ＯＡ上の空間２０に遮光筒部品１５を配置した状態を示している。
【００２８】
ノマルスキープリズム１４を退避させて暗視野観察を行う場合、図３−１に示す状態では、光軸ＯＡに沿った輪帯状の暗視野照明光路ＯＰ１を通過する暗視野照明光２１は、その一部が光路周辺物によって反射され、例えば迷光２２として観察光路ＯＰ２内に進入する場合がある。これに対して図３−２に示す状態では、遮光筒部品１５が暗視野照明光路ＯＰ１と観察光路ＯＰ２とを隔離しているため、迷光２２が観察光路ＯＰ２内に進入することはない。このように光学顕微鏡１００では、微分干渉観察から暗視野観察に切り換える場合、ノマルスキープリズム１４に換えて遮光筒部品１５を配置することで、迷光の発生を防止し、鮮明な標本像を得ることができる。
【００２９】
なお、微分干渉観察、暗視野観察、明視野観察以外の観察手法に切り換える場合には、スライダユニット１６は、必要に応じてスライダ挿脱孔１９ａから取り外すことができる。また、スライダユニット１６をスライダ挿脱孔１９ａに挿着する際、ここでは当接面１９ｂに当接させて処置位置に位置決めするものとして説明したが、専用の位置決め機構を別に設けてもよい。
【００３０】
なお、微分干渉観察を行うことができる従来の光学顕微鏡では、ノマルスキープリズムを挿脱配置するための挿脱孔が一般に装備されている。本実施の形態１にかかる光学顕微鏡１００は、そのような一般的な挿脱孔をスライダ挿脱孔１９ａとして利用することができるものであって、言い換えると、スライダユニット１６は、一般的な挿脱孔に対して挿着することで、従来の光学顕微鏡に対しても汎用的に使用することができる。
【００３１】
つぎに、スライダユニット１６の構成について詳細に説明する。図４−１および図４−２は、スライダユニット１６の外観構成を示す図である。図４−１は平面図であり、図４−２は側面図である。スライダユニット１６が備えるノマルスキープリズム１４、遮光筒部品１５、およびこれらの配置切換を行う電動駆動機構は、筐体としてのスライダ本体３０内に配設されている。スライダ本体３０は、カバー３２によってふたをされ、カバー３２は、４つのビス３１によってスライダ本体３０に取り付けられている。この状態で、スライダ本体３０内の電動駆動機構と、外部に設けられた制御部１７（図１参照）とは、ケーブル３３によって電気的に接続される。
【００３２】
なお、カバー３２には、暗視野観察を行う場合に暗視野照明光および観察光をそれぞれ通過させる開口Ａｕ１，Ａｕ２が設けられている。開口Ａｕ２は、明視野観察時に明視野照明光および観察光を通過させる。同様に、スライダ本体３０の底面部には、開口Ａｕ１，Ａｕ２に対向する位置に開口Ａｄ１，Ａｄ２が設けられている（図５−１参照）。
【００３３】
図５−１は、カバー３２を取り外した状態のスライダユニット１６を示す平面図である。この図に示すように、スライダユニット１６の内部構成は、ノマルスキープリズム１４および遮光筒部品１５を保持する保持機構３０１と、この保持機構３０１を駆動軸ＭＡに沿って移動させる電動駆動機構３０２とに大別される。図５−２は、保持機構３０１を主として示す側面断面図であり、図５−３は、電動駆動機構３０２を主として示す側面断面図である。また、図５−４は、図５−２および図５−３によって示されない部位を示す部分断面図である。
【００３４】
スライダ本体３０には、直動ガイド３４がビス３５で固定され、直動ガイド３４上には、プリズム固定部品３６がビス３７で固定されている。これによって、プリズム固定部品３６は、光軸ＯＡに直交した駆動軸ＭＡ方向に移動可能に設けられている。直動ガイド３４は、駆動時のピッチングおよびヨーイング等の駆動誤差が十分抑制され、直進性が高精度に確保されている。
【００３５】
プリズム固定部品３６には、ノマルスキープリズム１４が接着固定されるとともに、遮光筒部品１５がビス３９で固定されている。これによって、ノマルスキープリズム１４と遮光筒部品１５とは、一体的にプリズム固定部品３６に保持されている。このノマルスキープリズム１４と遮光筒部品１５との保持間隔は、所定の距離Ｄ１に設定されている。なお、この保持間隔は、ノマルスキープリズム１４の中心軸ＯＢと、遮光筒部品１５における筒部１５ａの中心軸ＯＣとの軸間距離に相当する。
【００３６】
電動駆動機構３０２は、ステッピングモータ４０を備える。ステッピングモータ４０は、モータ取付部品４１にビス４２で固定され、モータ取付部品４１は、スライダ本体３０にビス４３で固定されている。ステッピングモータ４０のモータ軸４０ａは、カップリング４５を介して送りねじ４４にビス４６，４７を用いて結合されている。また、スライダ本体３０には、２つのベアリング４８，４９を内蔵した支持部品５０がビス５１によって固定されており、送りねじ４４の軸部４４ａは、このベアリング４８，４９に貫通支持されている。
【００３７】
ここで、モータ軸４０ａ、カップリング４５、ベアリング４８，４９および軸部４４ａの各中心軸は、スライダ本体３０に対して等しい高さに設けられるとともに、この中心軸に直交する方向へのずれや傾きが十分小さく抑えられている。このため、ステッピングモータ４０は、その駆動力を円滑に送りねじ４４に伝達することができ、送りねじ４４を回転させることができる。送りねじ４４には段差部４４ｂが設けられており、これによって送りねじ４４自体がステッピングモータ４０へ近づく方向に移動しないようにされている。また、送りねじ４４の先端部には抜け止め部材４４ｃが設けられており、これによって送りねじ４４が抜脱しないようにされている。
【００３８】
送りねじ４４の雄ねじ部４４ｄは、プリズム固定部品３６に設けられた雌ねじ部３６ａに噛合し、これによってステッピングモータ４０の回転動力は直動動力に変換され、プリズム固定部品３６に伝達される。プリズム固定部品３６に固定されたバネ掛け部品５２と、スライダ本体３０に固定されたバネ掛け部品５３には、引張バネ５４が係合されている。これによって、プリズム固定部品３６は常にバネ掛け部品５３に向けて付勢されることとなり、雄ねじ部４４ｄと雌ねじ部３６ａとの間のバックラッシュによるガタつきが発生しないようにされている。ここで、引張バネ５４による付勢力は、ステッピングモータ４０のトルクに影響を与えない程度に抑制されている。
【００３９】
一方、プリズム固定部品３６の一端には、センサ板５５がビス５６で固定されている。これに対して、スライダ本体３０には、フォトインタラプタ等による原点センサ５７がビス５８で固定されている。原点センサ５７は、遮光筒部品１５の中心軸ＯＣと光軸ＯＡとが一致したときにセンサ板５５を検出可能な位置に配設されている。これによって、原点センサ５７は、センサ板５５を検出したときのステッピングモータ４０の回転位置を、その基準位置として検出する。ステッピングモータ４０に接続された内部ケーブル５９と、原点センサ５７に接続された内部ケーブル６０とは、ケーブル３３内に導入され、まとめられている。ケーブル３３は、制御部１７に接続されており、電力供給もこのケーブル３３を介して行われる。ケーブル３３は、ケーブル固定部品６１とビス６２とによって、スライダ本体３０に固定されている。
【００４０】
制御部１７は、ケーブル３３および内部ケーブル５９を介して、ステッピングモータ４０に各種の制御信号を送る。これによって、制御部１７は、ステッピングモータ４０を駆動する制御を行う。また、ステッピングモータ４０に所定量の回転駆動を行わせ、ノマルスキープリズム１４と遮光筒部品１５とを光軸ＯＡ上に切換配置させる制御を行う。さらに、制御部１７は、ノマルスキープリズム１４を光軸ＯＡ上に配置させた場合、リタデーション調整のため、ステッピングモータ４０に微小量の回転駆動を行わせ、ノマルスキープリズム１４を駆動軸ＭＡ方向に微動させる制御を行う。
【００４１】
ここで、制御部１７は、入力部１８からの指示情報をもとに、ステッピングモータ４０に対する制御内容を判断する。また、制御部１７は、内部ケーブル６０およびケーブル３３を介して、原点センサ５７からその検出結果を取得し、ステッピングモータ４０の基準位置を確認する。
【００４２】
つづいて、制御部１７による制御をもとに電動駆動機構３０２が行う動作について説明する。まず、初期動作として、制御部１７により電源がオンされると、ステッピングモータ４０は、センサ板５５が原点センサ５７によって検出される基準位置まで回転駆動を行う。これにより、図５−１に示したように、遮光筒部品１５を光軸ＯＡ上に配置した状態、つまり遮光筒部品１５の中心軸ＯＣを光軸ＯＡに一致させた状態（初期状態）として、停止する。
【００４３】
つぎに、微分干渉観察に切り換える旨の指示情報が入力部１８から入力され、ノマルスキープリズム１４を光軸ＯＡ上に配置する旨の制御信号が制御部１７から入力された場合、ステッピングモータ４０は、基準位置から所定量の回転駆動を行う。この回転動力は、カップリング４５から送りねじ４４に伝達される。これによって、プリズム固定部品３６は、駆動軸ＭＡに沿ってノマルスキープリズム１４と遮光筒部品１５との保持間隔に等しい距離Ｄ１だけ初期状態から移動され、ノマルスキープリズム１４は、図６に示すように、光軸ＯＡ上に配置される。このとき、ノマルスキープリズム１４の中心軸ＯＢは、光軸ＯＡに一致する。なお、ステッピングモータ４０は、ノマルスキープリズム１４を光軸ＯＡ上から退避させる場合、上述の駆動と逆向きに基準位置まで回転駆動を行う。
【００４４】
つぎに、ノマルスキープリズム１４が光軸ＯＡ上に配置された状態で、リタデーション調整を行う旨の指示情報が入力部１８から入力され、ノマルスキープリズム１４を駆動軸ＭＡ方向に微動させる旨の制御信号が制御部１７から入力された場合、ステッピングモータ４０は、微小量の回転駆動を行う。このとき、ステッピングモータ４０は、図６に示した状態を基準として、図７−１および図７−２に示すように、所定の距離Ｄ２の範囲内でノマルスキープリズム１４を微動させる。言い換えると、ステッピングモータ４０は、光軸ＯＡに一旦一致させた中心軸ＯＢを、駆動軸ＭＡのいずれかの方向にそれぞれ距離Ｄ２の範囲内で微小距離だけ移動させる。その移動距離および移動方向は、入力部１８から入力される指示情報をもとに制御部１７によって指示される。
【００４５】
なお、ここでは、初期動作においてステッピングモータ４０が基準位置まで回転駆動を行った後、一旦停止するものとして説明したが、必ずしも停止させる必要はない。例えば、前回、電動駆動機構３０２の電源をオフする直前に微分干渉観察が行われていた場合、制御部１７は、初期動作に続けてノマルスキープリズム１４を光軸ＯＡ上に配置し、リタデーション調整を行うようにステッピングモータ４０を駆動させることもできる。この場合、制御部１７は、前回の微分干渉観察時のノマルスキープリズム１４の位置、つまりステッピングモータ４０の回転駆動位置等を、図示しない記憶部に記憶させるようにする。      
【００４６】
また、例えば制御部１７は、標本８に対向配置される複数の対物レンズ７ごとに最適なリタデーション量、つまりステッピングモータ４０の回転駆動位置を記憶部に記憶させ、この記憶させた情報に基づいてノマルスキープリズム１４を、対物レンズ７の交換に連動して自動的に配置させることもできる。なお、制御部１７によるノマルスキープリズム１４の配置制御は、以上のものに限定されず、種々の方法および手順が実現可能である。
【００４７】
以上説明したように、本実施の形態１にかかる光学顕微鏡１００では、少なくとも微分干渉観察と暗視野観察とを切り換えて標本観察を行うことができ、微分干渉観察で干渉させる２つの偏光を合分岐する偏光プリズムとしてのノマルスキープリズム１４と、対物レンズ７の光軸ＯＡに対して同軸な暗視野照明光路ＯＰ１と観察光路ＯＰ２とを隔離する筒状部材としての遮光筒部品１５とを一体的に保持する保持機構３０１と、光軸ＯＡに対して直交した駆動軸ＭＡ方向に保持機構３０１を移動させて光軸ＯＡ上にノマルスキープリズム１４または遮光筒部品１５を電動で切換配置するとともに、ノマルスキープリズム１４を光軸ＯＡ上に配置した場合、このノマルスキープリズム１４を駆動軸ＭＡ方向に電動で微動させる電動駆動機構３０２と、をスライダ本体３０内に配設したスライダユニット１６を備え、このスライダユニット１６は、対物レンズ７の瞳近傍で顕微鏡本体の一部を成すレボルバ装置１９に挿脱される。
【００４８】
このため、光学顕微鏡１００では、対物レンズ７の光軸ＯＡ上にノマルスキープリズム１４と遮光筒部品１５とを容易に切換配置することができる。また、光学顕微鏡１００では、保持機構３０１および電動駆動機構３０２が特段に複雑な機構を用いることなく実現可能であるため、小型かつ簡易な構成で汎用性および廉価性を維持したままスライダユニット１６を実現することができる。
【００４９】
（実施の形態２）
つぎに、本発明の実施の形態２にかかる光学顕微鏡について説明する。上述した実施の形態１では、スライダユニット１６は特定のノマルスキープリズム１４を備えるようにしていたが、本実施の形態２では、ノマルスキープリズム１４をシアリング量等が異なるノマルスキープリズムに交換できるようにするとともに、瞳位置が異なる対物レンズに応じてノマルスキープリズムの配置位置を変更できるようにしている。
【００５０】
図８−１〜図８−３は、本実施の形態２にかかる光学顕微鏡が備えるスライダユニット１１６の外観構成を示す図である。図８−１は平面図、図８−２は側面図、図８−３は底面図である。これらの図に示すように、スライダユニット１１６は、スライダユニット１６の構成をもとに、スライダ本体３０に替えてスライダ本体１３０を備えるとともに、スライダ本体１３０の底面部にビス７１によって着脱自在に取り付けられるアクセスパネル７０を備える。これによって、スライダユニット１１６では、アクセスパネル７０を取り外すだけで、スライダ本体１３０内に配設された後述の保持機構に容易にアクセスすることができる。なお、本実施の形態２にかかる光学顕微鏡は、スライダユニット１６に替えてスライダユニット１１６を備える以外、光学顕微鏡１００と同一の構成を備えるものである。
【００５１】
図９−１および図９−２は、スライダユニット１１６の内部構成を示す図である。図９−１は、カバー３２を取り外した状態を示す平面図である。この図に示すように、スライダユニット１１６の内部構成は、スライダユニット１６の内部構成をもとに、保持機構３０１に替えて保持機構３０３を備える。すなわち、大別して保持機構３０３と電動駆動機構３０２とを用いて構成されている。図９−２は、保持機構３０３を主として示す側面断面図である。これらの図に示すように、保持機構３０３は、保持機構３０１の構成をもとに、プリズム固定部品３６に替えてプリズム保持部品７２およびプリズム固定部品７３を備える。遮光筒部品１５は、プリズム固定部品７３にビス３９で固定されている。
【００５２】
図１０−１および図１０−２は、保持機構３０３におけるノマルスキープリズム１４および遮光筒部品１５の周辺部の部分構成示す図である。図１０−１は側面図であり、図１０−２は底面図である。これらの図に示すように、ノマルスキープリズム１４は、プリズム保持部品７２に接着固定され、プリズム保持部品７２は、ビス７４によってプリズム固定部品７３に着脱自在に取り付けられている。プリズム保持部品７２とプリズム固定部品７３とは、各々の取付面７２ａ，７３ａを当接させているため、着脱を繰り返しても常に所定の位置関係が再現される。
【００５３】
保持機構３０３では、プリズム固定部品７３に対してプリズム保持部品７２を着脱し、ノマルスキープリズム１４を他のノマルスキープリズムに交換することで、そのシアリング量等を適宜変更することができる。また、プリズム保持部品７２を他のプリズム保持部品に交換することで、ノマルスキープリズムの保持位置、つまり光軸ＯＡ上での配置位置を適宜変更することができる。
【００５４】
ここで、その交換手順の一例を説明する。まず、スライダユニット１１６をスライダ挿脱孔１９ａから抜き出し、図１１に示すように、スライダ本体１３０からアクセスパネル７０を取り外す。つぎに、図１２−１に示すように、ノマルスキープリズム１４とともにプリズム保持部品７２をプリズム固定部品７３から取り外す。そして、ノマルスキープリズム１４またはプリズム保持部品７２の少なくとも一方を、各々対応する他の部品に交換してプリズム固定部品７３に取付け戻す。その後、アクセスパネル７０をスライダ本体１３０に取り付け、スライダユニット１１６をスライダ挿脱孔１９ａに挿着する。
【００５５】
図１２−２および図１２−３は、ノマルスキープリズム１４の交換部品の一例を示す図である。これらの図では、ノマルスキープリズム１４に替えて、シアリング量が異なるノマルスキープリズム１４’をプリズム保持部品７２に着接した場合を示している。これによって、スライダユニット１１６は、より大きなシアリング量を発揮することができる。なお、図１２−２は平面図であり、図１２−３は側面断面図である。
【００５６】
一方、図１２−４および図１２−５は、プリズム保持部品７２の交換部品の一例を示す図である。これらの図では、プリズム保持部品７２に替えて、それよりも外形が厚く、ノマルスキープリズム１４を保持する高さが異なるプリズム保持部品７２’を用い、これにノマルスキープリズム１４を着接した場合を示している。これによって、スライダユニット１１６は、対物レンズ７よりも瞳位置が高い対物レンズに対してノマルスキープリズム１４を適正に配置することができる。なお、図１２−４は平面図であり、図１２−５は一部破断した側面図である。
【００５７】
以上説明したように、本実施の形態２にかかるスライダユニット１１６が備える保持機構３０３は、偏光プリズムとしてのノマルスキープリズム１４と、その保持部品であるプリズム保持部品７２とをプリズム固定部品７３に対して容易に交換自在に保持している。このため、本実施の形態２にかかる光学顕微鏡は、シアリング量等が異なるノマルスキープリズムを適宜交換して使用することができるとともに、対物レンズの瞳位置に応じてノマルスキープリズムを適正に配置することができる。また、これらの交換ならびに配置変更を容易に行うことができる。
【００５８】
これによって、本実施の形態２にかかる光学顕微鏡は、一層機能的に微分干渉観察に供することができる。また、スライダユニット１１６は、より機能的かつ汎用的に、微分干渉観察が可能な従来の光学顕微鏡にも適用することができる。なお、スライダユニット１１６では、アクセスパネル７０を設け、スライダユニット１１６を部分的に開口するだけで部品交換を行うことができるようにしているため、交換作業時に内部に侵入するゴミ等の量を低減することができる。
【００５９】
（実施の形態３）
つぎに、本発明の実施の形態３にかかる光学顕微鏡について説明する。上述した実施の形態１および２では、ノマルスキープリズム１４と遮光筒部品１５との保持間隔が所定の距離Ｄ１に固定されていたが、本実施の形態３では、その保持間隔を変えられるようにしている。
【００６０】
図１３−１は、本実施の形態３にかかる光学顕微鏡が備えるスライダユニット２１６の内部構成を示す図である。この図に示すように、スライダユニット２１６は、スライダユニット１６の構成をもとに、保持機構３０１に替えて保持機構３０４を備える。つまり、スライダユニット２１６は、スライダ本体３０の内部に、大別して保持機構３０４と電動駆動機構３０２とを備えている。図１３−２は、保持機構３０４の一部を側面図として示している。なお、本実施の形態３にかかる光学顕微鏡は、スライダユニット１６に替えてスライダユニット２１６を備える以外、光学顕微鏡１００と同一の構成を備えるものである。
【００６１】
図１３−１および図１３−２に示すように、保持機構３０４は、保持機構３０１の構成をもとに、遮光筒部品１５、ビス３９およびプリズム固定部品３６に替えて、遮光筒部品８０、規制ピン８１およびプリズム固定部品８２を備えるとともに、バネ掛け部品８３および圧縮バネ８４をさらに備える。遮光筒部品８０には、長穴部８０ａが駆動軸ＭＡと平行に２ヶ所に設けられており、この長穴部８０ａを通して４つの規制ピン８１がプリズム固定部品８２に取り付けられている。
【００６２】
また、遮光筒部品８０の端部８０ｂは、折り曲げられ、穴８０ｃが設けられている。この端部８０ｂに対向するプリズム固定部品８２の端部には、穴８０ｃを貫通してバネ掛け部品８３が取り付けられている。さらに、バネ掛け部品８３先端の抜け止め部８３ａと、遮光筒部品８０の端部８０ｂとの間には、バネ掛け部品８３の軸部８３ｂが挿通された状態で圧縮バネ８４が挟持されている。
【００６３】
ノマルスキープリズム１４と遮光筒部品８０との保持間隔、すなわちノマルスキープリズム１４の中心軸ＯＢと、遮光筒部品８０における筒部８０ｄの中心軸ＯＣ’との軸間距離は、圧縮バネ８４の付勢力によって遮光筒部品８０の端部８０ｂがプリズム固定部品８２に押し付けられた状態のとき、実施の形態１および２と同様に所定の距離Ｄ１となる。なお、圧縮バネ８４の付勢力は、ステッピングモータ４０の駆動力に対して影響を与えない程度の大きさに設定されている。
【００６４】
また、遮光筒部品８０は、プリズム固定部品８２に対し、規制ピン８１のフランジ部８１ａによって上下方向（光軸ＯＡ方向）の移動が制限される一方、長穴部８０ａおよび４つの規制ピン８１と、穴８０ｃおよびバネ掛け部品８３とによって、駆動軸ＭＡ方向に移動可能に設けられている。
【００６５】
つづいて、ノマルスキープリズム１４を光軸ＯＡ上に配置する際の電動駆動機構３０２および保持機構３０４の動作について説明する。まず、初期動作として、制御部１７により電源がオンされると、ステッピングモータ４０は、基準位置まで回転駆動を行い、図１３−１に示した初期状態とする。
【００６６】
つぎに、微分干渉観察に切り換える旨の指示情報が入力部１８から入力され、ノマルスキープリズム１４を光軸ＯＡ上に配置する旨の制御信号が制御部１７から入力された場合、ステッピングモータ４０は、基準位置から所定量の回転駆動を行う。この回転動力は、カップリング４５から送りねじ４４に伝達される。これによって、プリズム固定部品８２つまりノマルスキープリズム１４は、駆動軸ＭＡに沿って保持間隔と等しい距離Ｄ１だけ初期状態から移動される。
【００６７】
このとき、遮光筒部品８０は、プリズム固定部品８２が距離Ｄ１の移動を終える前に、図１４−１に示すように、筒部８０ｄがスライダ本体３０の内壁部３０ａに当接される。この時点でプリズム固定部品８２の移動量が距離Ｄ３だけ残されているものとすると、その後にプリズム固定部品８２が移動を続けることで、ノマルスキープリズム１４と遮光筒部品８０との保持間隔、つまり中心軸ＯＢと中心軸ＯＣ’との軸間距離は、図１４−２に示すように、距離Ｄ１よりも距離Ｄ３だけ短い距離Ｄ４とされる。
【００６８】
この状態で、遮光筒部品８０の端部８０ｂは、対向するプリズム固定部品８２の端部から距離Ｄ３だけ離隔され、圧縮バネ８４は、端部８０ｂによって距離Ｄ３だけ圧縮されている。また、規制ピン８１に対する遮光筒部品８０の長穴部８０ａの位置は、駆動軸ＭＡ方向に距離Ｄ３だけシフトしている。これに対して、筒部８０ｄは、内壁部３０ａに当接されてからその位置を変化させない。
【００６９】
一方、ステッピングモータ４０は、ノマルスキープリズム１４を光軸ＯＡ上から退避させる場合、上述の駆動と逆向きに基準位置まで回転駆動を行う。その際、ノマルスキープリズム１４つまりプリズム固定部品８２が距離Ｄ３だけ移動されるまで、筒部８０ｄは、圧縮バネ８４の付勢力によって内壁部３０ａに当接され続ける一方、中心軸ＯＢと中心軸ＯＣ’との軸間距離は、移動距離に応じて距離Ｄ１まで拡張される（図１４−１参照）。それ以降、軸間距離は距離Ｄ１を維持し、筒部８０ｄは、プリズム固定部品８２とともに移動して、光軸ＯＡ上に再配置される（図１３−１参照）。
【００７０】
つぎに、ノマルスキープリズム１４が光軸ＯＡ上に配置された状態で、リタデーション調整を行う旨の指示情報が入力部１８から入力され、ノマルスキープリズム１４を駆動軸ＭＡ方向に微動させる旨の制御信号が制御部１７から入力された場合、ステッピングモータ４０は、微小量の回転駆動を行う。このとき、ステッピングモータ４０は、図１４−２に示した状態を基準として、図１５−１および図１５−２に示すように、所定の距離Ｄ２の範囲内でノマルスキープリズム１４を微動させる。言い換えると、ステッピングモータ４０は、光軸ＯＡに一旦一致させた中心軸ＯＢを、駆動軸ＭＡのいずれかの方向にそれぞれ距離Ｄ２の範囲内で微小距離だけ移動させる。その移動距離および移動方向は、入力部１８から入力される指示情報をもとに制御部１７によって指示される。
【００７１】
その際、遮光筒部品８０の筒部８０ｄは、内壁部３０ａに当接され続け、その位置を変化させない。これに対して、中心軸ＯＢと中心軸ＯＣ’との軸間距離は、距離（Ｄ４−Ｄ２）〜（Ｄ４＋Ｄ２）の範囲内で変化する。なお、ここでは、距離Ｄ２が距離Ｄ３に等しいものとして図１５−１および図１５−２を示している。また、距離Ｄ２，Ｄ３は、暗視野照明光を通過させる略輪帯状の開口Ａｄ１，Ａｕ１の幅にほぼ等しいものとしている。これによって、距離Ｄ１は、機構的に可能な最小距離にほぼ等しく設定されている。
【００７２】
以上説明したように、本実施の形態３にかかるスライダユニット２１６が備える保持機構３０４は、偏光プリズムとしてのノマルスキープリズム１４と、筒状部材としての遮光筒部品８０の筒部８０ｄとの保持間隔を駆動軸ＭＡ方向に変更可能とし、特に、筒部８０ｄが光軸ＯＡ上に配置された場合の保持間隔に比して、ノマルスキープリズム１４が光軸ＯＡ上に配置された場合の保持間隔を短縮するようにしている。このため、本実施の形態３にかかる光学顕微鏡では、スライダユニット２１６を一層小型化して備えることができ、顕微鏡本体構成の省スペース化を促進することができる。また、スライダユニット２１６を、微分干渉観察が可能な従来の光学顕微鏡にも一層汎用的に適用することができる。
【００７３】
なお、本実施の形態３では、ノマルスキープリズム１４と遮光筒部品８０の筒部８０ｄとの保持間隔を変更可能とするため、圧縮バネ８４を用いた機構を備えるものとして説明したが、かかる機構に限定されるものではない。例えば、ゴムのような弾性材料を用いて筒部８０ｄを構成してもよい。この場合、筒部８０ｄは、内壁部３０ａに当接された後、さらにプリズム固定部品８２によって押し込まれた場合に、駆動軸ＭＡ方向に円筒形状を潰すようにしてその形状を変形させることで、保持間隔を縮めることができる。また、ノマルスキープリズム１４が退避された場合に、その形状を復元可能とすることで、繰り返し用いることができる。この他にも、例えば、プリズム固定部品８２を押し込んだ場合、駆動軸ＭＡ方向ばかりでなく、それと直交した方向にも筒部８０ｄを退避移動させることで、駆動軸ＭＡ方向に要する退避スペースを削減することができる。
【００７４】
ここまで、本発明を実施する最良の形態を実施の形態１〜３として説明したが、本発明は、上述した実施の形態１〜３に限定されず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲であれば、種々の変形が可能である。
【００７５】
例えば、上述した実施の形態１〜３では、電動駆動機構３０２は、プリズム固定部品３６，７３，８２を直動させる機構として直動ガイド３４を備えるものとしたが、直動ガイドに限定されるものではなく、他のガイド機構を用いることもできる。また、プリズム固定部品３６，７３，８２を移動させる駆動源としてステッピングモータ４０を１つ備えるものとしたが、ステッピングモータに限定されず、他のアクチュエータを用いることもできる。さらに、アクチュエータは１つに限定されず複数とすることもでき、例えばノマルスキープリズムと遮光筒部品を切換配置するための粗動用アクチュエータと、リタデーション調整を行うための微動用アクチュエータとを備えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】本発明の実施の形態１にかかる光学顕微鏡の構成を示す図である。
【図２−１】図１に示した光学顕微鏡が備えるレボルバ装置とスライダユニットとの構成を示す図である。
【図２−２】図１に示した光学顕微鏡が備えるレボルバ装置とスライダユニットとの構成を示す図である。
【図３−１】遮光筒部品の作用を説明する図である。
【図３−２】遮光筒部品の作用を説明する図である。
【図４−１】実施の形態１にかかるスライダユニットの外観構成を示す図である。
【図４−２】実施の形態１にかかるスライダユニットの外観構成を示す図である。
【図５−１】実施の形態１にかかるスライダユニットの内部構成を示す図である。
【図５−２】実施の形態１にかかるスライダユニットの内部構成を示す図である。
【図５−３】実施の形態１にかかるスライダユニットの内部構成を示す図である。
【図５−４】実施の形態１にかかるスライダユニットの内部構成を示す図である。
【図６】実施の形態１にかかるノマルスキープリズムと遮光筒部品の配置切換動作を説明する図である。
【図７−１】実施の形態１にかかるリタデーション調整動作を説明する図である。
【図７−２】実施の形態１にかかるリタデーション調整動作を説明する図である。
【図８−１】実施の形態２にかかるスライダユニットの外観構成を示す図である。
【図８−２】実施の形態２にかかるスライダユニットの外観構成を示す図である。
【図８−３】実施の形態２にかかるスライダユニットの外観構成を示す図である。
【図９−１】実施の形態２にかかるスライダユニットの内部構成を示す図である。
【図９−２】実施の形態２にかかるスライダユニットの内部構成を示す図である。
【図１０−１】実施の形態２にかかるスライダユニットが備える保持機構の部分構成を示す図である。
【図１０−２】実施の形態２にかかるスライダユニットが備える保持機構の部分構成を示す図である。
【図１１】図８−３に示したアクセスパネルを取り外した状態のスライダユニットを示す図である。
【図１２−１】プリズム保持部品とプリズム固定部品とを分離した状態を示す図である。
【図１２−２】ノマルスキープリズムの交換部品の一例を示す図である。
【図１２−３】ノマルスキープリズムの交換部品の一例を示す図である。
【図１２−４】プリズム保持部品の交換部品の一例を示す図である。
【図１２−５】プリズム保持部品の交換部品の一例を示す図である。
【図１３−１】実施の形態３にかかるスライダユニットの内部構成を示す図である。
【図１３−２】実施の形態３にかかるスライダユニットが備える保持機構の部分構成を示す図である。
【図１４−１】実施の形態３にかかるノマルスキープリズムと遮光筒部品の配置切換動作を説明する図である。
【図１４−２】実施の形態３にかかるノマルスキープリズムと遮光筒部品の配置切換動作を説明する図である。
【図１５−１】実施の形態３にかかるリタデーション調整動作を説明する図である。
【図１５−２】実施の形態３にかかるリタデーション調整動作を説明する図である。
【符号の説明】
【００７７】
１    光源
２，５    照明レンズ
３    開口絞り
４    視野絞り
６    観察キューブ
７    対物レンズ
８    標本
１０    照明光学系
１１    観察光学系
１２    ポラライザ
１３    アナライザ
１４    ノマルスキープリズム
１５    遮光筒部品
１５ａ    筒部
１６，１１６，２１６    スライダユニット
１７    制御部
１８    入力部
１９    レボルバ装置
１９ａ    スライダ挿脱孔
１９ｂ    当接面
１９ｃ    固定ツマミ
２０    空間
２１    暗視野照明光
２２    迷光
３０，１３０    スライダ本体
３０ａ    内壁部
３１，３５，３７，３９，４２，４３，４６，４７，５１，５６，５８，６２，７１，７４    ビス
３２    カバー
３３    ケーブル
３４    直動ガイド
３６    プリズム固定部品
４０    ステッピングモータ
４１    モータ取付部品
４４    送りねじ
４５    カップリング
４８，４９    ベアリング
５０    支持部品
５２，５３    バネ掛け部品
５４    引張バネ
５５    センサ板
５７    原点センサ
５９，６０    内部ケーブル
６１    ケーブル固定部品
７０    アクセスパネル
７２    プリズム保持部品
７３    プリズム固定部品
８０    遮光筒部品
８０ａ    長穴部
８０ｂ    端部
８０ｃ    穴
８０ｄ    筒部
８１    規制ピン
８２    プリズム固定部品
８３    バネ掛け部品
８４    圧縮バネ
１００    光学顕微鏡
３０１，３０３，３０４    保持機構
３０２    電動駆動機構
ＭＡ    駆動軸
ＯＡ    光軸
ＯＢ，ＯＣ，ＯＣ’    中心軸
ＯＰ１    暗視野照明光路
ＯＰ２    観察光路
【図１】
2008026568.tif 000003
【図２−１】
2008026568.tif 000004
【図２−２】
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【図３−１】
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【図３−２】
2008026568.tif 000007
【図４−１】
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【図４−２】
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【図５−１】
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【図５−２】
2008026568.tif 000011
【図５−３】
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【図５−４】
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【図６】
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【図７−１】
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【図７−２】
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【図８−１】
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【図８−２】
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【図８−３】
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【図９−１】
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【図９−２】
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【図１０−１】
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【図１０−２】
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【図１１】
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【図１２−１】
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【図１２−２】
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【図１２−３】
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【図１２−４】
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【図１２−５】
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【図１３−１】
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【図１３−２】
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【図１４−１】
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【図１４−２】
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【図１５−１】
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【図１５−２】
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