(57)【要約】【課題】光導波路とレンズとの位置合わせが容易であるタッチパネル用レンズ付き光導波路およびそれに用いる光導波路を提供する。【解決手段】レンズ体２の載置面２１に光導波路１ａ，１ｂが載置され、そのアンダークラッド層１１の一端縁部側の端面１１ａがレンズ体２のレンズ２２に当接するタッチパネル用レンズ付き光導波路であって、レンズ体２には、アンダークラッド層１１の端面１１ａに対峙する対峙面２２ａに凸部Ｂが形成され、この凸部Ｂに対応する凹部Ａがアンダークラッド層１１の端面１１ａに形成され、凸部Ｂと凹部Ａとの噛合により、アンダークラッド層１１の端面１１ａとレンズ体２の対峙面２２ａとが密着状態になっている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
アンダークラッド層と複数のコアとを備え各コアの端部が上記アンダークラッド層表面の一端縁部側に縁部に沿って並列形成された光導波路と、この光導波路を載置する載置面を有しこの載置面の端部をレンズに形成したレンズ体とからなり、このレンズ体の載置面に上記光導波路を載置した状態で、そのアンダークラッド層の上記コアの端部が形成された一端縁部側の端面が上記レンズ体のレンズに当接するタッチパネル用レンズ付き光導波路であって、上記レンズ体には、上記アンダークラッド層の端面に対峙する対峙面に凸部が形成され、この凸部に対応する凹部がアンダークラッド層の上記端面に形成され、上記凸部と凹部との噛合により、アンダークラッド層の上記端面とレンズ体の上記対峙面とが密着状態になっていることを特徴とするタッチパネル用レンズ付き光導波路。
【請求項２】
上記凸部および凹部が、それぞれ複数形成されている請求項１記載のタッチパネル用レンズ付き光導波路。
【請求項３】
上記請求項１または２記載のタッチパネル用レンズ付き光導波路に用いる光導波路であって、アンダークラッド層と、複数のコアとを備え、各コアの端部が上記アンダークラッド層表面の一端縁部側に縁部に沿って並列形成され、その一端縁部側の端面に凹部が形成されていることを特徴とする光導波路。
【請求項４】
上記凹部が、複数形成されている請求項３記載の光導波路。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、タッチパネル用レンズ付き光導波路およびそれに用いる光導波路に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
タッチパネルは、指や専用のペン等で液晶ディスプレイ等の画面に直接触れることにより、機器を操作等する入力装置であり、その構成は、操作内容等を表示するディスプレイと、このディスプレイの画面での上記指等の触れ位置（座標）を検知する検知手段とを備えたものとなっている。そして、その検知手段で検知した触れ位置の情報が信号として送られ、その触れ位置に表示された操作等が行われるようになっている。このようなタッチパネルを用いた機器としては、金融機関のＡＴＭ，駅の券売機，携帯ゲーム機等があげられる。
【０００３】
上記タッチパネルにおける指等の触れ位置の検知手段として、光導波路を用いたものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。すなわち、そのタッチパネルは、光導波路を四角形のディスプレイの画面周縁部に設置し、そのディスプレイの画面の一側部に設置された光導波路から多数の光をディスプレイの画面と平行かつ他側部に向かって出射し、それらの光を、他側部に設置された光導波路に入射させるようにしたものとなっている。この光導波路により、ディスプレイの画面上において、光を格子状に走らせた状態にしている。そして、この状態で指でディスプレイの画面に触れると、その指が光の一部を遮断するため、その遮断された部分の光を、光を入射する側の光導波路で感知することにより、上記指が触れた部分の位置を検知することができる。
【０００４】
また、光導波路から直接空気中に出射した光は放射状に発散する。この状態では、光伝送効率が低い状態となっている。そこで、光伝送効率を高めるために、光を出射する光導波路の前方にレンズを配設することにより、光の発散を防止するとともに、光を入射させる光導波路側にも上記と同様にレンズを配設することにより、光を集束させた状態で、光導波路に入射させるようにしたレンズ付き光導波路が提案されている。このレンズ付き光導波路を図１０（ａ），（ｂ）に示す。図１０（ａ），（ｂ）では、そのレンズ付き光導波路は、光導波路１０を載置する載置面２１と、この載置面２１の一端縁部に突出形成されたレンズ２２とを備えたレンズ体２０に、光が上記レンズ２２を通過するよう光導波路１０を載置したものとなっている。そして、上記レンズ２２の屈折作用により、上記のように、出射する光の発散を防止し、入射する光を集束させるようにしている。
【特許文献１】ＵＳ２００４／０２０１５７９Ａ１
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記レンズ付き光導波路では、光導波路１０とレンズ２２との位置合わせを正確に行わなければ、光がレンズ２２を適正に通過せず、光伝送効率を充分に高めることができない。しかも、その位置合わせは困難で、手間と時間とを要する。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、光導波路とレンズとの位置合わせが容易であるタッチパネル用レンズ付き光導波路およびそれに用いる光導波路の提供をその目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するため、本発明は、アンダークラッド層と複数のコアとを備え各コアの端部が上記アンダークラッド層表面の一端縁部側に縁部に沿って並列形成された光導波路と、この光導波路を載置する載置面を有しこの載置面の端部をレンズに形成したレンズ体とからなり、このレンズ体の載置面に上記光導波路を載置した状態で、そのアンダークラッド層の上記コアの端部が形成された一端縁部側の端面が上記レンズ体のレンズに当接するタッチパネル用レンズ付き光導波路であって、上記レンズ体には、上記アンダークラッド層の端面に対峙する対峙面に凸部が形成され、この凸部に対応する凹部がアンダークラッド層の上記端面に形成され、上記凸部と凹部との噛合により、アンダークラッド層の上記端面とレンズ体の上記対峙面とが密着状態になっているタッチパネル用レンズ付き光導波路を第１の要旨とする。
【０００８】
また、本発明は、上記タッチパネル用レンズ付き光導波路に用いる光導波路であって、アンダークラッド層と、複数のコアとを備え、各コアの端部が上記アンダークラッド層表面の一端縁部側に縁部に沿って並列形成され、その一端縁部側の端面に凹部が形成されている光導波路を第２の要旨とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明のタッチパネル用レンズ付き光導波路は、光導波路のアンダークラッド層の端面に対峙する、レンズ体のレンズの対峙面に凸部が形成され、この凸部に対応する凹部がアンダークラッド層の上記端面に形成されているため、上記凸部と凹部とを噛合させるという簡単な作業により、光導波路とレンズとの位置合わせを行うことができ、アンダークラッド層の上記端面とレンズ体の上記対峙面とを密着させることができる。
【００１０】
上記凸部および凹部が、それぞれ複数形成されている場合には、光導波路とレンズとの位置合わせ精度が向上する。
【００１１】
本発明の光導波路は、アンダークラッド層の一端縁部の端面に凹部が形成されているため、複数の光導波路を重ねて仮置きする際に、上記凹部を利用して、その凹部を揃えて整理することができ、光導波路の管理を適正に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
つぎに、本発明の実施の形態を図面にもとづいて詳しく説明する。
【００１３】
図１および図２（ａ），（ｂ）は、本発明のタッチパネル用レンズ付き光導波路の一実施の形態を示している。この実施の形態のタッチパネル用レンズ付き光導波路は、四角形の枠状のレンズ体２と、２つのＬ字状の光導波路１ａ，１ｂとを備えている。上記四角形の枠状のレンズ体２は、枠状の内周側がレンズ２２のレンズ曲面に形成され、外周側に載置面２１が形成されている。そして、上記２つのＬ字状の光導波路１ａ，１ｂが、そのレンズ体２の四角形に沿って、上記載置面２１に載置されている。上記レンズ体２のレンズ２２には、外周側に凸部Ｂが形成され（図３参照）、光導波路１ａ，１ｂには、内周側に凹部Ａが形成され（図４参照）、この凸部Ｂと凹部Ａとの噛合により、上記レンズ体２に光導波路１ａ，１ｂが正確に位置決めされ、アンダークラッド層１１の端面１１ａがレンズ２２の外周面（対峙面）２２ａに密着した状態になっている。なお、図１および図２（ａ），（ｂ）において、符号１２はコア、符号１３はオーバークラッド層を示す。
【００１４】
より詳しく説明すると、上記レンズ体２は、図１〜図３に示すように、四角形の枠状をしており、その枠状の外周側に載置面２１が形成され、内周側がレンズ曲面に形成されてレンズ２２となっている。上記レンズ２２は、載置面２１側（外周側）が略直角の切欠状壁面に形成されてアンダークラッド層１１の端面１１ａ（図４参照）に対峙する対峙面２２ａになっている。この対峙面２２ａに直方体状の凸部Ｂが一体的に形成されている。この凸部Ｂは、この実施の形態では、枠状のレンズ２２の四角形の各辺の両端部に形成されており、上記載置面２１に対しても一体的になっている。
【００１５】
上記Ｌ字状の光導波路１ａ，１ｂにおいては、図１，図２（ａ），（ｂ）および図４に示すように、アンダークラッド層１１の表面に複数のコア１２がアンダークラッド層１１の長手方向に沿って所定間隔で並列形成されている。各コア１２の一端部は、アンダークラッド層１１の表面の内側端縁部側に並列した状態で配設されており、他端部側は、オーバークラッド層１３に被覆された状態で、アンダークラッド層１１のＬ字状に沿ってＬ字状の一端部ａ，ｂ（図１では図の右下部）まで延びている。注目すべきは、上記アンダークラッド層１１の内側端縁部側の端面１１ａに、上記レンズ体２の凸部Ｂ（図３参照）と噛合する凹部Ａ（図４参照）が形成されており、凸部Ｂと凹部Ａとの噛合（嵌め合い）により、アンダークラッド層１１の、コア１２の端部が形成された一端縁部側の端面１１ａとレンズ体２の対峙面２２ａ（図３参照）とが密着状態になることである。これにより、簡単かつ正確な位置合わせができるようになる。なお、図１および図２（ａ），（ｂ）では、コア１２の数を略して図示している。
【００１６】
そして、上記レンズ体２に光導波路１ａ，１ｂが載置されてなる四角形の枠状のタッチパネル用レンズ付き光導波路は、図５（ａ），（ｂ）に示すように、タッチパネル３０の四角形のディスプレイ３１の画面の周縁部に設置される。上記２つのＬ字状の光導波路１ａ，１ｂのうち一方は、光Ｌを出射する光導波路１ａであり、そのＬ字状の一端部ａ（図の右下部）では、コア１２に光源（図示せず）が接続される。また、光導波路１ａ，１ｂのうちの他方は、出射された光Ｌを入射する光導波路１ｂであり、そのＬ字状の一端部ｂ（図の右下部）では、コア１２に検出器（図示せず）が接続される。
【００１７】
そして、上記タッチパネル用レンズ付き光導波路では、光導波路１ａのコア１２の端部から出射した光Ｌは、上記レンズ体２のレンズ２２の屈折作用により、発散が抑制され、その状態で、上記ディスプレイ３１の画面に沿って進む。一方、入射する光Ｌは、上記レンズ体２のレンズ２２の屈折作用により、集束した光Ｌとなって光導波路１ｂのコア１２内に入射する。
【００１８】
なお、上記タッチパネル用レンズ付き光導波路の寸法等は、タッチパネル３０のディスプレイ３１の大きさ等に対応するよう設定すればよく、特に限定されるものではないが、例えば、上記枠状のレンズ体２の寸法は、４０〜５００ｍｍ（縦）×４０〜５００ｍｍ（横）程度、載置面２１部分の厚み（高さ）が０．１〜５ｍｍ程度、その幅が１．５〜８０ｍｍ程度、レンズ２２部分の厚み（高さ）が０．５〜１０ｍｍ程度、その幅が０．１〜２０ｍｍ程度、凸部Ｂが２０μｍ〜２ｍｍ（縦）×２０μｍ〜２ｍｍ（横）×１０μｍ〜５ｍｍ（高さ）程度に設定される。また、Ｌ字状の光導波路１ａ，１ｂの寸法は、縦も横も４０〜５００ｍｍ程度、幅が１〜４０ｍｍ程度に設定される。凹部Ａの縦と横は、上記凸部Ｂと同寸法に設定され、その高さはアンダークラッド層１１と同寸法（５〜５０μｍ）に設定される。光を出射する（光を入射する）コア１２の数も、ディスプレイ３１の画面に表示される操作内容の数等に対応するよう設定すればよく、特に限定されるものではないが、例えば、Ｌ字状の各辺に５０〜３０００本程度に設定される。
【００１９】
つぎに、本発明のタッチパネル用レンズ付き光導波路の製造方法の一例について説明する。この製造方法では、下記に詳述するように、光導波路１ａ，１ｂとレンズ体２とを別々に作製した後、両者を接着している。
【００２０】
すなわち、上記光導波路１ａ，１ｂの作製は、まず、図６（ａ）〜（ｃ）に示すように、平板状の基台１４を準備する。この基台１４としては、特に限定されるものではなく、その形成材料としては、例えば、樹脂，ガラス，シリコン，金属等があげられ、上記樹脂としては、例えば、ポリエチレンナフタレート，ポリプロピレン，ポリエチレン，ポリエステル，ポリアクリレート，ポリカーボネート，ポリノルボルネン，ポリイミド等があげられる。また、基台１４の厚みは、特に限定されないが、通常、２０μｍ（フィルム状の基台１４）〜５ｍｍ（板状の基台１４）の範囲内に設定される。
【００２１】
ついで、上記基台１４の表面の所定領域に、アンダークラッド層１１を形成する。このアンダークラッド層１１の形成材料としては、感光性樹脂，ポリイミド樹脂，エポキシ樹脂等があげられる。そして、アンダークラッド層１１の形成の際には、まず、上記樹脂が溶媒に溶解しているワニスを基台１４上に塗布する。このワニスの塗布は、例えば、スピンコート法，ディッピング法，キャスティング法，インジェクション法，インクジェット法等により行われる。ついで、これを硬化させる。この硬化に際して、アンダークラッド層１１の形成材料として感光性樹脂が用いられる場合は、所望のアンダークラッド層１１の形状（上記凹部Ａが形成されている形状）に対応する開口パターンが形成されているフォトマスクを介して照射線により露光する。この露光された部分がアンダークラッド層１１となる。または、アンダークラッド層１１の形成材料としてポリイミド樹脂が用いられる場合は、通常、３００〜４００℃×６０〜１８０分間の加熱処理により硬化させた後、上記凹部Ａに対応する部分をカッター等により切り取る。アンダークラッド層１１の厚みは、通常、５〜５０μｍの範囲内に設定される。このようにして、凹部Ａが形成されたアンダークラッド層１１を作製する。
【００２２】
つぎに、図７（ａ）〜（ｃ）に示すように、上記アンダークラッド層１１の表面に、後の選択露光によりコア１２〔図８（ａ）〜（ｃ）参照〕となる樹脂層１２ａを形成する。この樹脂層１２ａの形成材料としては、通常、感光性樹脂があげられ、上記アンダークラッド層１１および下記オーバークラッド層１３〔図９（ａ）〜（ｃ）参照〕の形成材料よりも屈折率が大きい材料が用いられる。この屈折率の調整は、例えば、上記アンダークラッド層１１，コア１２，オーバークラッド層１３の各形成材料の種類の選択や組成比率を調整して行うことができる。そして、上記樹脂層１２ａの形成は、特に制限されないが、上記と同様、例えば、感光性樹脂が溶媒に溶解しているワニスをアンダークラッド層１１上に塗布した後、乾燥することにより行われる。なお、上記ワニスの塗布は、上記と同様、例えば、スピンコート法，ディッピング法，キャスティング法，インジェクション法，インクジェット法等により行われる。また、上記乾燥は、通常、５０〜１２０℃×１０〜３０分間の加熱処理により行われる。
【００２３】
そして、上記樹脂層１２ａを、所望のコア１２〔図８（ａ）〜（ｃ）参照〕パターンに対応する開口パターンが形成されているフォトマスクを介して照射線により露光する。この露光された部分が、後にコア１２となる。その露光用の照射線としては、例えば、可視光，紫外線，赤外線，Ｘ線，α線，β線，γ線等が用いられる。好適には、紫外線が用いられる。紫外線を用いると、大きなエネルギーを照射して、大きな硬化速度を得ることができ、しかも、照射装置も小型かつ安価であり、生産コストの低減化を図ることができるからである。紫外線の光源としては、例えば、低圧水銀灯，高圧水銀灯，超高圧水銀灯等があげられ、紫外線の照射量は、通常、１０〜１００００ｍＪ／ｃｍ2 、好ましくは、５０〜３０００ｍＪ／ｃｍ2 である。
【００２４】
上記露光後、光反応を完結させるために、加熱処理を行う。この加熱処理は、８０〜２５０℃、好ましくは、１００〜２００℃にて、１０秒〜２時間、好ましくは、５分〜１時間の範囲内で行う。その後、現像液を用いて現像を行うことにより、樹脂層１２ａにおける未露光部分を溶解させて除去し、樹脂層１２ａをパターン形成する〔図８（ａ）〜（ｃ）参照〕。そして、そのパターン形成された樹脂層１２ａ中の現像液を加熱処理により除去し、図８（ａ）〜（ｃ）に示すように、コア１２パターンを形成する。この加熱処理は、通常、８０〜１２０℃×１０〜３０分間の範囲内で行われる。また、各コア１２の厚みは、通常、１０〜７０μｍの範囲内に設定され、その幅は、通常、５〜３０μｍの範囲内に設定される。さらに、各コア１２の先端から出射する光の発散を防止したり、各コア１２の先端に入射する光を集束させたりして、光伝送効率をより高めることができる観点から、各コア１２の先端は、レンズ形状に形成されることが好ましい。なお、上記現像は、例えば、浸漬法，スプレー法，パドル法等が用いられる。また、現像剤としては、例えば、有機系の溶媒，アルカリ系水溶液を含有する有機系の溶媒等が用いられる。このような現像剤および現像条件は、感光性樹脂組成物の組成によって、適宜選択される。
【００２５】
つぎに、図９（ａ）〜（ｃ）に示すように、上記コア１２の端部以外の部分を埋設するように、オーバークラッド層１３を形成する。このオーバークラッド層１３の形成材料としては、上記アンダークラッド層１１と同様の材料があげられる。そのうち、このオーバークラッド層１３の形成材料は、上記アンダークラッド層１１の形成材料と同じであってもよいし、異なっていてもよい。また、オーバークラッド層１３の形成方法も上記アンダークラッド層１１の形成方法と同様にして行われる。そして、オーバークラッド層１３の厚みは、通常、２０〜１００μｍの範囲内に設定される。
【００２６】
ついで、基台１４をアンダークラッド層１１から剥離する。ここで、基台１４とアンダークラッド層１１とは、その形成材料から、接着力が弱く、基台１４とオーバークラッド層１３とをエアー吸着により引っ張ることにより、簡単に剥離することができる。これにより、光導波路１ａ，１ｂが得られる。
【００２７】
一方、上記レンズ体２の作製は、樹脂を型成形することにより行われ、これにより、載置面２１，レンズ２２，凸部Ｂが形成される。上記樹脂としては、例えば、ポリカーボネート，エポキシ樹脂，アクリル樹脂等があげられる。
【００２８】
そして、得られた上記レンズ体２（図３参照）の載置面２１に接着剤を塗布した後、そのレンズ体２の凸部Ｂと光導波路１ａ，１ｂ（図４参照）の凹部Ａとを噛合させることにより〔図１，図２（ａ），（ｂ）参照〕、レンズ体２に対して光導波路１ａ，１ｂを正確に位置決めし、アンダークラッド層１１の端面１１ａをレンズ体２の外周面（対峙面）２２ａに密着させる。この状態で、光導波路１ａ，１ｂをレンズ体２の載置面２１に載置し、レンズ体２と光導波路１ａ，１ｂとを接着させる。なお、上記接着剤として紫外線硬化型接着剤を用いた場合は、光導波路１ａ，１ｂを載置面２１に載置した後、光導波路１ａ，１ｂを通して、紫外線を照射し、接着させる。このようにして、本発明のタッチパネル用レンズ付き光導波路〔図１，図２（ａ），（ｂ）参照〕を製造することができる。
【００２９】
このように、本発明のタッチパネル用レンズ付き光導波路は、レンズ体２に凸部Ｂが形成され、そのレンズ体２に載置される光導波路１ａ，１ｂに、上記凸部Ｂと噛合する凹部Ａが形成されているため、上記レンズ体２のレンズ２２と光導波路１ａ，１ｂとの正確な位置合わせを容易に行うことができる。
【００３０】
さらに、光導波路１ａ，１ｂに凹部Ａが形成されているため、複数の光導波路１ａ，１ｂを重ねて仮置きする際に、上記凹部Ａを利用して、その凹部Ａを揃えて整理ができ、光導波路１ａ，１ｂの管理を適正に行うことができる。
【００３１】
なお、上記実施の形態では、レンズ体２のレンズ２２に当接するのはアンダークラッド層１１のみとなっているため、アンダークラッド層１１にのみ凹部Ａを形成したが、アンダークラッド層１１の端縁もオーバークラッド層１３の端縁もレンズ体２のレンズ２２に当接するように光導波路が形成されている場合は、オーバークラッド層１３の端縁にも、アンダークラッド層１１の端縁に形成した凹部Ａと同様の凹部Ａを形成し、それに対応するよう、レンズ体２の凸部Ｂを形成してもよい。
【００３２】
また、上記実施の形態では、レンズ体２の凸部Ｂを、枠状のレンズ２２の四角形の各辺に２個形成したが、これに限定されるものではなく、１個でもよいし、３個以上でもよい。さらに、上記凸部Ｂの形状も、直方体状に限定されるものではなく、半円柱状等の他の形状でもよい。そして、それに対応して、凹部Ａの形状も適宜設定される。
【００３３】
さらに、上記実施の形態では、オーバークラッド層１３を形成しているが、このオーバークラッド層１３は必須ではなく、場合によってオーバークラッド層１３を形成しないで光導波路を構成してもよい。
【００３４】
また、上記実施の形態では、光導波路１ａ，１ｂの形状を、Ｌ字状の光導波路１ａ，１ｂを対向させて四角形の枠状にしたが、これに限定されるものではなく、４つのＩ字状の光導波路１ａ，１ｂで四角形の枠状を形成してもよいし、それらを一体化した四角形の枠状としてもよいし、また、その枠状の形状は、他でもよく、例えば、六角形等の多角形，円形等でもよい。
【００３５】
つぎに、実施例について比較例と併せて説明する。但し、本発明は、実施例に限定されるわけではない。
【実施例１】
【００３６】
〔アンダークラッド層およびオーバークラッド層の形成材料〕
下記の一般式（１）で示されるビスフェノキシエタノールフルオレングリシジルエーテル（成分Ａ）３５重量部、脂環式エポキシである３，４−エポキシシクロヘキセニルメチル−３’，４’−エポキシヘキセンカルボキシレート（ダイセル化学社製、セロキサイド２０２１Ｐ）（成分Ｂ）４０重量部、シクロヘキセンオキシド骨格を有する脂環式エポキシ樹脂（ダイセル化学社製、セロキサイド２０８１）（成分Ｃ）２５重量部、４，４’−ビス〔ジ（β−ヒドロキシエトキシ）フェニルスルフィニオ〕フェニルスルフィド−ビス−ヘキサフルオロアンチモネートの５０％プロピオンカーボネート溶液（成分Ｄ）２重量部とを混合することにより、アンダークラッド層およびオーバークラッド層の形成材料を調製した。
【００３７】
【化１】
2008281780.tif 000003
【００３８】
〔コアの形成材料〕
上記成分Ａ：７０重量部、１，３，３−トリス｛４−〔２−（３−オキセタニル）〕ブトキシフェニル｝ブタン：３０重量部、上記成分Ｄ：１重量部を乳酸エチルに溶解することにより、コアの形成材料を調製した。
【００３９】
〔光導波路の作製〕
ポリエチレンナフタレート製基台〔１６０ｍｍ×１６０ｍｍ×１８８μｍ（厚み）〕の表面に、上記アンダークラッド層の形成材料をスピンコート法により塗布した後、形成するアンダークラッド層と同形状（２個の凹部が形成されている形状）の開口パターンが形成されたフォトマスクを介して、２０００ｍＪ／ｃｍ2 の紫外線照射による露光を行った。つづいて、１００℃×１５分間の加熱処理を行うことにより、アンダークラッド層を形成した。このアンダークラッド層の厚みを接触式膜厚計で測定すると３０μｍであった。また、形成した各凹部の寸法は、０．３ｍｍ×０．３ｍｍとした。さらに、このアンダークラッド層の、波長８３０ｎｍにおける屈折率は、１．５４２であった。
【００４０】
そして、上記アンダークラッド層の表面に、コアの形成材料をスピンコート法により塗布した後、１００℃×１５分間の乾燥処理を行った。ついで、その上方に、形成するコアパターンと同形状の開口パターンが形成された合成石英系のクロムマスク（フォトマスク）を配置し、その上方から、コンタクト露光法にて４０００ｍＪ／ｃｍ2 の紫外線照射による露光を行った後、１２０℃×１５分間の加熱処理を行った。つぎに、γ−ブチロラクトン水溶液を用いて現像することにより、未露光部分を溶解除去した後、１２０℃×３０分間の加熱処理を行うことにより、コアを形成した。形成した各コアの断面寸法は、ＳＥＭで測定したところ、幅１２μｍ×高さ２４μｍであった。また、コアの、波長８３０ｎｍにおける屈折率は、１．６０２であった。
【００４１】
ついで、上記各コアを包含するように、上記オーバークラッド層の形成材料をスピンコート法により塗布した後、形成するオーバークラッド層と同形状の開口パターンが形成されたフォトマスクを介して、２０００ｍＪ／ｃｍ2 の紫外線照射による露光を行った。つづいて、１５０℃×６０分間の加熱処理を行うことにより、オーバークラッド層を形成した。このオーバークラッド層の厚み（アンダークラッド層表面からの厚み）を接触式膜厚計で測定すると４０μｍであった。また、このオーバークラッド層の、波長８３０ｎｍにおける屈折率は、１．５４２であった。
【００４２】
そして、ポリエチレンナフタレート製基台をアンダークラッド層から剥離する。これにより、アンダークラッド層とコアとオーバークラッド層とからなり、アンダークラッド層の端縁に上記凹部が形成された光導波路を得た。
【００４３】
〔レンズ体の作製〕
エポキシ樹脂を材料として金型成形することにより、載置面，レンズ，２個の凸部が形成されたレンズ体を作製した。各凸部の寸法は、０．３ｍｍ×０．３ｍｍ×１００μｍ（高さ）とした。
【００４４】
〔タッチパネル用レンズ付き光導波路の作製〕
そして、上記レンズ体の載置面に紫外線硬化型接着剤を塗布した後、レンズ体の凸部と光導波路の凹部とを噛合させることにより、レンズ体に対して光導波路を正確に位置決めし、アンダークラッド層の端面をレンズ体に密着させた。この状態で、光導波路をレンズ体の載置面に載置した。その後、光導波路を通して、紫外線を照射し、レンズ体の載置面に光導波路を接着させた。このようにして、タッチパネル用レンズ付き光導波路を作製した。
【００４５】
上記タッチパネル用レンズ付き光導波路の作製においては、レンズ体のレンズと光導波路との正確な位置合わせが容易であった。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明のタッチパネル用レンズ付き光導波路の一実施の形態を模式的に示す平面図である。
【図２】（ａ）は図１のＸ1 −Ｘ1 断面図、（ｂ）は図１のＸ2 −Ｘ2 断面図である。
【図３】上記タッチパネル用レンズ付き光導波路を構成するレンズ体の要部を拡大して模式的に示す斜視図である。
【図４】上記タッチパネル用レンズ付き光導波路を構成する光導波路の要部を拡大して模式的に示す斜視図である。
【図５】上記タッチパネル用レンズ付き光導波路を用いたタッチパネルを模式的に示し、（ａ）はその平面図であり、（ｂ）はその断面図である。
【図６】上記タッチパネル用レンズ付き光導波路の製造方法を模式的に示し、（ａ）はその平面図であり、（ｂ）は（ａ）のＸ1 −Ｘ1 断面図であり、（ｃ）は（ａ）のＸ2 −Ｘ2 断面図である。
【図７】上記タッチパネル用レンズ付き光導波路の製造方法を模式的に示し、（ａ）はその平面図であり、（ｂ）は（ａ）のＸ1 −Ｘ1 断面図であり、（ｃ）は（ａ）のＸ2 −Ｘ2 断面図である。
【図８】上記タッチパネル用レンズ付き光導波路の製造方法を模式的に示し、（ａ）はその平面図であり、（ｂ）は（ａ）のＸ1 −Ｘ1 断面図であり、（ｃ）は（ａ）のＸ2 −Ｘ2 断面図である。
【図９】上記タッチパネル用レンズ付き光導波路の製造方法を模式的に示し、（ａ）はその平面図であり、（ｂ）は（ａ）のＸ1 −Ｘ1 断面図であり、（ｃ）は（ａ）のＸ2 −Ｘ2 断面図である。
【図１０】従来のタッチパネル用レンズ付き光導波路を模式的に示し、（ａ）はその平面図であり、（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｘ断面図である。
【符号の説明】
【００４７】
１ａ，１ｂ  光導波路
２  レンズ体
１１  アンダークラッド層
１１ａ  端面
２１  載置面
２２ａ  外周面（対峙面）
Ａ  凹部
Ｂ  凸部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2008281780.tif 000007
【図５】
2008281780.tif 000008
【図６】
2008281780.tif 000009
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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