(57)【要約】【課題】難削材の重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。【解決手段】工具基体の表面に、（ａ）１〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、組成式：（Ｃｒ1−ＸＡｌＸ）Ｎあるいは組成式：（（Ｃｒ1−ＺＭＺ）1−ＸＡｌＸ）Ｎ（但し、Ｍは、Ｃｒを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上の添加成分を示し、０．４５≦Ｘ≦０．７５、０．０１≦Ｚ≦０．２５）を満足するＣｒとＡｌ（とＭ）の複合窒化物層からなる下部層、（ｂ）０．４〜２μｍの平均層厚を有する窒化バナジウム層からなる中間層、（ｃ）０．４〜２μｍの平均層厚を有する酸化バナジウム層からなる上部層、以上（ａ）〜（ｃ）で構成された硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具。【選択図】        なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に、
（ａ）１〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、
組成式：（Ｃｒ１−ＸＡｌＸ）Ｎ（但し、ＸはＡｌの含有割合を示し、原子比で、０．４５≦Ｘ≦０．７５である）を満足するＣｒとＡｌの複合窒化物層からなる下部層、
（ｂ）０．４〜２μｍの平均層厚を有する窒化バナジウム層からなる中間層、
（ｃ）０．４〜２μｍの平均層厚を有する酸化バナジウム層からなる上部層、
以上（ａ）〜（ｃ）で構成された硬質被覆層を形成してなる、難削材の重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具。
【請求項２】
炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に、
（ａ）１〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、
組成式：（（Ｃｒ１−ＺＭＺ）１−ＸＡｌＸ）Ｎ（ここで、Ｍは、Ｃｒを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上の添加成分を示し、また、ＸはＡｌの含有割合、ＺはＭの含有割合をそれぞれ示し、原子比で、０．４５≦Ｘ≦０．７５、０．０１≦Ｚ≦０．２５である）を満足するＣｒとＡｌとＭの複合窒化物層からなる下部層、
（ｂ）０．４〜２μｍの平均層厚を有する窒化バナジウム層からなる中間層、
（ｃ）０．４〜２μｍの平均層厚を有する酸化バナジウム層からなる上部層、
以上（ａ）〜（ｃ）で構成された硬質被覆層を形成してなる、難削材の重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具。
【請求項３】
添加成分Ｍが、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上であることを特徴とする、請求項２記載の難削材の重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、特にステンレス鋼や高マンガン鋼、さらに軟鋼などの難削材の切削加工を高切り込みや高送りなどの重切削条件で行った場合に、硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と潤滑性を発揮する表面被覆切削工具（以下、被覆工具という）に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、被覆工具には、各種の鋼や鋳鉄などの被削材の旋削加工や平削り加工にバイトの先端部に着脱自在に取り付けて用いられるスローアウエイチップ、前記被削材の穴あけ切削加工などに用いられるドリルやミニチュアドリル、さらに前記被削材の面削加工や溝加工、肩加工などに用いられるソリッドタイプのエンドミルなどがあり、また前記スローアウエイチップを着脱自在に取り付けて前記ソリッドタイプのエンドミルと同様に切削加工を行うスローアウエイエンドミル工具などが知られている。
【０００３】
また、被覆工具として、炭化タングステン（以下、ＷＣで示す）基超硬合金または炭窒化チタン（以下、ＴｉＣＮで示す）基サーメットで構成された工具基体の表面に、
組成式：（Ｃｒ１−ＰＡｌＰ）Ｎまたは組成式：（（Ｃｒ１−ＱＭＱ）１−ＰＡｌＰ）Ｎ（ここで、Ｍは、Ｃｒを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上の添加成分であり、また、Ｐ、Ｑは原子比によるＡｌ成分、Ｍ成分の含有割合を示す）
を満足するＣｒとＡｌの複合窒化物層あるいはＣｒとＡｌとＭの複合窒化物層（以下、これらを総称して、（Ｃｒ，Ａｌ，Ｍ）Ｎで示す）からなる硬質被覆層を物理蒸着してなる被覆工具が知られており、かつ前記被覆工具の硬質被覆層である（Ｃｒ，Ａｌ，Ｍ）Ｎ層が、構成成分であるＡｌによって高温硬さ、同Ｃｒによって高温強度、また、ＣｒとＡｌの共存含有によって耐熱性が向上すること、さらに、Ｍ成分として、Ｃｒを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上を含有させた場合には、硬質被覆層の耐摩耗性、高温耐酸化性等の特性が向上することから、これを各種の一般鋼や普通鋳鉄などの連続切削や断続切削加工に用いた場合にすぐれた切削性能を発揮することも知られている。
【０００４】
さらに、上記の被覆工具が、例えば図２に概略説明図で示される物理蒸着装置の１種であるアークイオンプレーティング装置に上記の工具基体を装入し、ヒータで装置内を、例えば５００℃の温度に加熱した状態で、硬質被覆層の目標組成に対応した所定組成を有するＣｒ−Ａｌ合金あるいはＣｒ−Ａｌ−Ｍ合金（以下、これらを総称して、Ｃｒ−Ａｌ−Ｍ合金で示す）がセットされたカソード電極（蒸発源）とアノード電極との間に、例えば電流：９０Ａの条件でアーク放電を発生させ、同時に装置内に反応ガスとして窒素ガスを導入して、例えば２Ｐａの反応雰囲気とし、一方上記工具基体には、例えば−１００Ｖのバイアス電圧を印加した条件で、前記工具基体の表面に、目標組成の（Ｃｒ，Ａｌ，Ｍ）Ｎ層からなる硬質被覆層をそれぞれ蒸着することにより製造されることも知られている。
【特許文献１】特開平９−４１１２７号公報
【特許文献２】特開平１０−２５５６６号公報
【特許文献３】特開２００４−１０６１８３号公報
【特許文献４】特開２００４−２６９９８５号公報
【特許文献５】特開２００５−３３０５３９号公報
【特許文献６】特開２００６−８２２０９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年の切削加工装置のＦＡ化はめざましく、一方で切削加工に対する省力化および省エネ化、さらに低コスト化の要求は強く、これに伴い、切削工具には被削材の材種にできるだけ影響を受けない汎用性、すなわち、できるだけ多くの材種の切削加工が可能な切削工具が求められる傾向にあるが、上記の従来被覆工具においては、これを低合金鋼や炭素鋼などの一般鋼や、ダクタイル鋳鉄やねずみ鋳鉄などの普通鋳鉄の切削加工に用いた場合には問題はないが、特に切粉の粘性が高く、かつ工具表面に溶着し易いステンレス鋼や高マンガン鋼、さらに軟鋼などの難削材（被削材）の切削加工を、切刃部に局部的に高負荷がかかる高切り込みや高送りなどの重切削条件で行った場合には、切削時の発熱によって被削材および切粉は高温に加熱されて粘性度が一段と増大し、これに伴って硬質被覆層表面に対する粘着性および反応性が一段と増すようになり、この結果切刃部におけるチッピング（微少欠け）の発生が急激に増加し、これが原因で比較的短時間で使用寿命に至るのが現状である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
そこで、本発明者等は、上述のような観点から、特にステンレス鋼や高マンガン鋼や軟鋼などの難削材の切削加工を、高切り込みや高送りなどの重切削条件で行った場合に、硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する被覆工具を開発すべく、上記の従来被覆工具に着目し、研究を行った結果、
（ａ）上記従来被覆超硬工具の硬質被覆層である（Ｃｒ，Ａｌ，Ｍ）Ｎ層を下部層として１〜５μｍの平均層厚で形成し、これの上に上部層として酸化バナジウム（酸化バナジウムは、その酸化の程度によって、ＶＯ、Ｖ２Ｏ３およびＶＯ２など種々の化合物形態をとり得るが、以下、これらを総称してＶＯで示す）層を形成すると、前記ＶＯ層は潤滑性にすぐれ、この結果切削時の発熱で被削材（難削材）およびその切粉が高温加熱された状態でも切刃部（すくい面および逃げ面と、これら両面が交わる切刃稜線部）と被削材および切粉との間には常にすぐれた潤滑性、耐溶着性が確保され、前記被削材および切粉の切刃部表面に対する粘着性および反応性が著しく低減され、前記下部層である（Ｃｒ，Ａｌ，Ｍ）Ｎ層は十分に保護されるようになること。
【０００７】
（ｂ）しかし、（Ｃｒ，Ａｌ，Ｍ）Ｎ層からなる下部層上に、直接、上部層としてＶＯ層を設けた場合には、下部層である（Ｃｒ，Ａｌ，Ｍ）Ｎ層と上部層であるＶＯ層との密着性は十分でなく、また、上部層であるＶＯ層自体の高温強度も十分でないため、硬質被覆層の下部層と上部層の密着性不足、上部層の高温強度不足が原因でチッピング発生を十分防止することはできないこと。
【０００８】
（ｃ）上記ＶＯ層からなる上部層と、上記（Ｃｒ，Ａｌ，Ｍ）Ｎ層からなる下部層の間に、ＶＮ層からなる中間層を介在させた積層構造で硬質被覆層を構成すると、ＶＮ層は、ＶＯ層に不足する高温強度を補うとともに、ＶＮ層が、ＶＯ層からなる上部層と（Ｃｒ，Ａｌ，Ｍ）Ｎ層からなる下部層の双方に対する密着性に優れるので、上部層と下部層間にＶＮ層からなる中間層を介在させたことによりＶＯ層と（Ｃｒ，Ａｌ，Ｍ）Ｎ層の各層間の接合強度も改善され、したがって、このような積層構造からなる硬質被覆層は、ＶＯ層の備えるすぐれた潤滑性、耐溶着性を備えるとともに、ＶＮ層を介在させたことにより各層間の接合強度が改善されたものとなり、その結果として、硬質被覆層はすぐれた耐チッピング性を示すようになること。
【０００９】
（ｄ）上記（ｃ）の硬質被覆層は、例えば、図１（ａ）に概略平面図で、同（ｂ）に概略正面図で示される構造のアークイオンプレーティング装置、すなわち装置中央部に工具基体装着用回転テーブルを設け、前記回転テーブルを挟んで一方にはカソード電極（蒸発源）として金属Ｖを配置し、また、その他方にはカソード電極（蒸発源）として所定組成のＣｒ−Ａｌ−Ｍ合金を配置したアークイオンプレーティング装置を用い、この装置の前記回転テーブル上の中心軸から半径方向に所定距離離れた位置に外周部に沿って複数の工具基体をリング状に装着し、この状態で装置内雰囲気を窒素雰囲気として前記回転テーブルを回転させると共に、蒸着形成される硬質被覆層の層厚均一化を図る目的で工具基体自体も自転させながら、基本的に、まず前記Ｃｒ−Ａｌ−Ｍ合金のカソード電極（蒸発源）とアノード電極との間にアーク放電を発生させて、前記工具基体の表面に、下部層として（Ｃｒ，Ａｌ，Ｍ）Ｎ層を１〜５μｍの平均層厚で蒸着形成した後、
前記Ｃｒ−Ａｌ−Ｍ合金のカソード電極（蒸発源）とアノード電極との間のアーク放電を停止し、引き続いて装置内雰囲気を窒素雰囲気に保持したままで、カソード電極（蒸発源）である金属Ｖとアノード電極との間にアーク放電を発生させて、ＶＮ層を０．４〜２μｍの平均層厚で蒸着形成した後、前記金属Ｖとアノード電極との間のアーク放電を停止し、同時に装置内への窒素ガスの供給を停止し、装置内を約１０秒間真空引きし、
その後装置内への酸素ガスの供給を開始して装置内雰囲気を酸素雰囲気に切り替え、再びカソード電極（蒸発源）である金属Ｖとアノード電極との間にアーク放電を発生させて、前記ＶＮ層に重ねて０．４〜２μｍの平均層厚でＶＯ層を蒸着形成することにより、
下部層としての（Ｃｒ，Ａｌ，Ｍ）Ｎ層、中間層としてのＶＮ層および上部層としてのＶＯ層の積層構造からなる硬質被覆層を蒸着により形成することができること。
【００１０】
（ｅ）上記の下部層、中間層および上部層で構成された硬質被覆層を蒸着形成してなる被覆工具は、特に粘性および粘着性の高いステンレス鋼や高マンガン鋼、さらに軟鋼などの難削材の切削加工を、高負荷のかかる高切り込みや高送りなどの重切削条件で行っても、下部層である（Ｃｒ，Ａｌ，Ｍ）Ｎ層がすぐれた高温硬さ、耐熱性、高温強度を備え、あるいは層中にＭ成分が含有されている場合には、耐摩耗性、高温耐酸化性等がさらに向上し、また、上部層が、ＶＯ層の有するすぐれた潤滑性、耐溶着性を備えるとともに、ＶＮ層の介在により下部層と中間層間の接合強度も向上し、結果として、このような構造からなる硬質被覆層は、全体として、すぐれた潤滑性、耐溶着性とすぐれた高温強度、耐摩耗性、耐熱性等の優れた特性を具備したものとなり、難削材および切粉の切刃部表面に対する粘着性および反応性が著しく低減された状態で重切削加工が行われるようになることから、切刃部におけるチッピングの発生がなくなり、長期に亘ってすぐれた耐摩耗性を発揮するようになること。
以上（ａ）〜（ｅ）に示される研究結果を得たのである。
【００１１】
この発明は、上記の研究結果に基づいてなされたものであって、
「（１）  炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に、
（ａ）１〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、
組成式：（Ｃｒ１−ＸＡｌＸ）Ｎ（但し、ＸはＡｌの含有割合を示し、原子比で、０．４５≦Ｘ≦０．７５である）を満足するＣｒとＡｌの複合窒化物層からなる下部層、
（ｂ）０．４〜２μｍの平均層厚を有する窒化バナジウム層からなる中間層、
（ｃ）０．４〜２μｍの平均層厚を有する酸化バナジウム層からなる上部層、
以上（ａ）〜（ｃ）で構成された硬質被覆層を形成してなる、難削材の重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具。
（２）  炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に、
（ａ）１〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、
組成式：（（Ｃｒ１−ＺＭＺ）１−ＸＡｌＸ）Ｎ（ここで、Ｍは、Ｃｒを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上の添加成分を示し、また、ＸはＡｌの含有割合、ＺはＭの含有割合をそれぞれ示し、原子比で、０．４５≦Ｘ≦０．７５、０．０１≦Ｚ≦０．２５である）を満足するＣｒとＡｌとＭの複合窒化物層からなる下部層、
（ｂ）０．４〜２μｍの平均層厚を有する窒化バナジウム層からなる中間層、
（ｃ）０．４〜２μｍの平均層厚を有する酸化バナジウム層からなる上部層、
以上（ａ）〜（ｃ）で構成された硬質被覆層を形成してなる、難削材の重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具。
（３）  添加成分Ｍが、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上であることを特徴とする、請求項２記載の難削材の重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具。」
に特徴を有するものである。
【００１２】
つぎに、この発明の被覆工具の硬質被覆層の構成層に関し、上記の通りに数値限定した理由を説明する。
【００１３】
（ａ）下部層の組成および平均層厚
下部層を構成する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｍ）Ｎの構成成分であるＡｌ成分には硬質被覆層における高温硬さを向上させ、同Ｃｒ成分には高温強度を向上させ、また、ＣｒとＡｌの共存含有によって耐熱性を向上させる作用があり、さらに、Ｍ成分のうちの、Ｃｒを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、には硬質被覆層の耐摩耗性を向上させる作用があり、また、Ｙには硬質被覆層の高温耐酸化性を向上させる作用があるが、Ａｌの割合を示すＸ値がＣｒとの合量あるいはＣｒとＭの合量に占める割合（原子比、以下同じ）で０．４５未満になると、所定の高温硬さを確保することができず、これが耐摩耗性低下の原因となり、一方Ａｌの割合を示すＸ値が同０．７５を越えると、相対的にＣｒの含有割合が減少し、難削材の重切削加工で必要とされる高温強度を確保することができず、チッピングの発生を防止することが困難になり、さらに、Ｍ成分の含有割合を示すＺ値がＣｒとの合量に占める割合（原子比、以下同じ）で０．０１未満では、Ｍ成分を含有させたことによる耐摩耗性、高温耐酸化性等の特性向上が期待できず、一方同Ｚ値が０．２５を超えると、高温強度に低下傾向が現れるようになることから、Ｘ値を０．４５〜０．７５、Ｚ値を０．０１〜０．２５と定めた。
【００１４】
また、その平均層厚が１μｍ未満では、自身のもつすぐれた耐摩耗性を長期に亘って発揮するには不十分であり、一方その平均層厚が５μｍを越えると、上記の粘性の高い難削材の重切削加工では切刃部にチッピングが発生し易くなることから、その平均層厚を１〜５μｍと定めた。
【００１５】
（ｂ）窒化バナジウム層（ＶＮ層）からなる中間層の平均層厚
硬質被覆層の中間層を構成するＶＮ層は、それ自体すぐれた高温強度を有し、ＶＯ層の高温強度不足を補うが、ＶＮ層の平均層厚が０．４μｍ未満では、上部層の高温強度の改善が十分ではなく、一方その平均層厚が２μｍを越えると、難削材の重切削加工において硬質被覆層の上部層に必要とされる潤滑特性（表面滑り性）を十分発揮することができなくなり、また、硬質被覆層の高温硬さも低下することとなり、これが耐摩耗性低下の原因となることから、その平均層厚を０．４〜２μｍと定めた。
【００１６】
（ｃ）酸化バナジウム層（ＶＯ層）からなる上部層の平均層厚
硬質被覆層の上部層を構成するＶＯ層は、すぐれた潤滑性、耐溶着性を有し、被削材（難削材）および切粉に対する粘着性および反応性がきわめて低く、これは切削時に前記被削材が高温加熱された状態でも変わることなく維持されることから、下部層である（Ｃｒ，Ａｌ，Ｍ）Ｎ層を前記高温加熱された被削材および切粉から保護し、これのチッピング発生を抑制する作用を発揮するが、その平均層厚が０．４μｍ未満では、前記作用に所望の効果が得られず、一方その平均層厚が２μｍを越えて厚くなり過ぎると、ＶＮ層との積層構造で高温強度を補強したとしてもチッピングが発生し易くなることから、その平均層厚を０．４〜２μｍと定めた。
【発明の効果】
【００１７】
この発明の被覆工具は、硬質被覆層を構成する下部層の（Ｃｒ，Ａｌ，Ｍ）Ｎ層が、すぐれた高温硬さ、耐熱性、高温強度を有し、あるいは、さらにすぐれた耐摩耗性、高温耐酸化性を有し、また、ＶＮ層を介在させて積層構造として形成した上部層が、すぐれた潤滑性（表面滑り性）、耐溶着性、高温強度を兼ね備えていることから、硬質被覆層は全体として、すぐれた高温硬さ、耐熱性、高温強度等に加え、すぐれた潤滑性、耐溶着性を備えたものとなり、その結果、特に粘性および粘着性の高いステンレス鋼や高マンガン鋼、さらに軟鋼などの難削材の大きな発熱を伴い、かつ、高負荷のかかる重切削加工であっても、すぐれた耐チッピング性を示し、長期に亘ってすぐれた耐摩耗性を発揮するものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
つぎに、この発明の被覆工具を実施例により具体的に説明する。
【実施例１】
【００１９】
原料粉末として、いずれも１〜３μｍの平均粒径を有するＷＣ粉末、ＴｉＣ粉末、ＺｒＣ粉末、ＶＣ粉末、ＴａＣ粉末、ＮｂＣ粉末、Ｃｒ３Ｃ２粉末、ＴｉＮ粉末、ＴａＮ粉末、およびＣｏ粉末を用意し、これら原料粉末を、表１に示される配合組成に配合し、ボールミルで７２時間湿式混合し、乾燥した後、１００ＭＰａ の圧力で圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を６Ｐａの真空中、温度：１４００℃に１時間保持の条件で焼結し、焼結後、ＩＳＯ規格・ＣＮＭＧ１２０４０８のチップ形状をもったＷＣ基超硬合金製の工具基体Ａ−１〜Ａ−１０を形成した。
【００２０】
また、原料粉末として、いずれも０．５〜２μｍの平均粒径を有するＴｉＣＮ（質量比で、ＴｉＣ／ＴｉＮ＝５０／５０）粉末、Ｍｏ２Ｃ粉末、ＺｒＣ粉末、ＮｂＣ粉末、ＴａＣ粉末、ＷＣ粉末、Ｃｏ粉末、およびＮｉ粉末を用意し、これら原料粉末を、表２に示される配合組成に配合し、ボールミルで２４時間湿式混合し、乾燥した後、１００ＭＰａの圧力で圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を２ｋＰａの窒素雰囲気中、温度：１５００℃に１時間保持の条件で焼結し、焼結後、ＩＳＯ規格・ＣＮＭＧ１２０４０８のチップ形状をもったＴｉＣＮ基サーメット製の工具基体Ｂ−１〜Ｂ−６を形成した。
【００２１】
（ａ）ついで、上記の工具基体Ａ−１〜Ａ−１０およびＢ−１〜Ｂ−６のそれぞれを、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、図１に示されるアークイオンプレーティング装置内の回転テーブル上の中心軸から半径方向に所定距離離れた位置に外周部にそって装着し、前記回転テーブルを挟んで相対向する両側にカソード電極（蒸発源）を配置し、その一方にはカソード電極（蒸発源）として金属Ｖを配置し、また、その他方にはカソード電極（蒸発源）として所定組成の下部層形成用のＣｒ−Ａｌ−Ｍ合金を配置し、
（ｂ）まず、装置内を排気して０．１Ｐａ以下の真空に保持しながら、ヒーターで装置内を５００℃に加熱した後、前記回転テーブル上で自転しながら回転する工具基体に−１０００Ｖの直流バイアス電圧を印加し、かつカソード電極の前記下部層形成用Ｃｒ−Ａｌ−Ｍ合金とアノード電極との間に１００Ａの電流を流してアーク放電を発生させ、もって工具基体表面を前記Ｃｒ−Ａｌ−Ｍ合金によってボンバード洗浄し、
（ｃ）次に、装置内に反応ガスとして窒素ガスを導入して４Ｐａの反応雰囲気とすると共に、前記回転テーブル上で自転しながら回転する工具基体に−１００Ｖの直流バイアス電圧を印加し、かつカソード電極の前記Ｃｒ−Ａｌ−Ｍ合金とアノード電極との間に１２０Ａの電流を流してアーク放電を発生させ、前記工具基体の表面に、表３、表４に示される目標組成、目標層厚の下部層としての（Ｃｒ，Ａｌ，Ｍ）Ｎ層を１〜５μｍの平均層厚で蒸着形成した後、前記Ｃｒ−Ａｌ−Ｍ合金のカソード電極（蒸発源）とアノード電極との間のアーク放電を停止し、
（ｄ）引き続いて装置内雰囲気を２Ｐａの窒素雰囲気に保持したままで、カソード電極（蒸発源）である金属Ｖとアノード電極との間に１２０Ａの電流を流してアーク放電を発生させて、表３、表４に示される目標層厚のＶＮ層を蒸着形成した後、前記金属Ｖとアノード電極との間のアーク放電を停止し、同時に装置内への窒素ガスの供給を停止し、装置内を約１０秒間真空引きし、
（ｅ）その後装置内への酸素ガスの供給を開始して蒸着装置内の雰囲気を０．２Ｐａの酸素雰囲気に切り替え、再びカソード電極（蒸発源）である金属Ｖとアノード電極との間に１２０Ａの電流を流してアーク放電を発生させ、前記ＶＮ層上に、同じく表３、表４に示される目標層厚のＶＯ層を蒸着形成した後、前記金属Ｖとアノード電極との間のアーク放電を停止し、装置内への酸素ガスの供給を停止し、装置内を約１０秒間真空引きし、
上記（ａ）〜（ｅ）により硬質被覆層を蒸着形成し、本発明被覆工具としての本発明表面被覆スローアウエイチップ（以下、本発明被覆チップと云う）１〜３９をそれぞれ製造した。
【００２２】
また、比較の目的で、これら工具基体Ａ−１〜Ａ−１０およびＢ−１〜Ｂ−６を、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、それぞれ図２に示されるアークイオンプレーティング装置に装入し、カソード電極（蒸発源）として所定組成のＣｒ−Ａｌ−Ｍ合金を装着し、まず、装置内を排気して０．１Ｐａ以下の真空に保持しながら、ヒーターで装置内を５００℃に加熱した後、前記工具基体に−１０００Ｖの直流バイアス電圧を印加し、かつカソード電極のＣｒ−Ａｌ−Ｍ合金とアノード電極との間に１００Ａの電流を流してアーク放電を発生させ、もって工具基体表面を前記Ｃｒ−Ａｌ−Ｍ合金でボンバード洗浄し、ついで装置内に反応ガスとして窒素ガスを導入して３Ｐａの反応雰囲気とすると共に、前記工具基体に印加するバイアス電圧を−１００Ｖに下げて、前記所定組成の各カソード電極とアノード電極との間にアーク放電を発生させ、もって前記工具基体Ａ−１〜Ａ−１０およびＢ−１〜Ｂ−６のそれぞれの表面に、表５、表６に示される目標組成および目標層厚の（Ｃｒ，Ａｌ，Ｍ）Ｎ層で構成された硬質被覆層を蒸着形成することにより、比較被覆工具としての表面被覆スローアウエイチップ（以下、比較被覆チップと云う）１〜１６をそれぞれ製造した。
【００２３】
つぎに、上記の各種の被覆チップを、いずれも工具鋼製バイトの先端部に固定治具にてネジ止めした状態で、本発明被覆チップ１〜３９および比較被覆チップ１〜１６について、
被削材：ＪＩＳ・ＳＣＭｎＨ１の長さ方向等間隔４本縦溝入り丸棒、
切削速度：  ２２０  ｍ／ｍｉｎ．、
切り込み：  ３  ｍｍ、
送り：  ０．５  ｍｍ／ｒｅｖ．、
切削時間：  ５  分、
の条件（切削条件Ａ）での高マンガン鋼の乾式断続高切り込み切削加工試験（通常の切り込みは１．５ｍｍ）、
被削材：ＪＩＳ・ＳＵＳ３０４の丸棒、
切削速度：  ２３０  ｍ／ｍｉｎ．、
切り込み：  ２  ｍｍ、
送り：  ０．５  ｍｍ／ｒｅｖ．、
切削時間：  １０  分、
の条件（切削条件Ｂ）でのステンレス鋼の乾式連続高切り込み切削加工試験（通常の切り込みは１．５ｍｍ）、
被削材：ＪＩＳ・Ｓ１１Ｃの長さ方向等間隔４本縦溝入り丸棒、
切削速度：  ２３０  ｍ／ｍｉｎ．、
切り込み：  ３  ｍｍ、
送り：  ０．５  ｍｍ／ｒｅｖ．、
切削時間：  ５  分、
の条件（切削条件Ｃ）での軟鋼の乾式断続高送り切削加工試験（通常の送りは０．２５ｍｍ／ｒｅｖ．）、を行い、いずれの切削加工試験でも切刃の逃げ面摩耗幅を測定した。この測定結果を表７、表８に示した。
【００２４】
【表１】
2008188735.tif 000002
【００２５】
【表２】
2008188735.tif 000003
【００２６】
【表３】
2008188735.tif 000004
【００２７】
【表４】
2008188735.tif 000005
【００２８】
【表５】
2008188735.tif 000006
【００２９】
【表６】
2008188735.tif 000007
【００３０】
【表７】
2008188735.tif 000008
【００３１】
【表８】
2008188735.tif 000009
【実施例２】
【００３２】
実施例１と同様、いずれも１〜３μｍの平均粒径を有するＷＣ粉末、ＴｉＣ粉末、ＺｒＣ粉末、ＶＣ粉末、ＴａＣ粉末、ＮｂＣ粉末、Ｃｒ３Ｃ２粉末、ＴｉＮ粉末、ＴａＮ粉末、およびＣｏ粉末からなる原料粉末を、表１に示される配合組成に配合し、ボールミルで７２時間湿式混合し、乾燥した後、１００ＭＰａ の圧力で圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を６Ｐａの真空中、温度：１４００℃に１時間保持の条件で焼結し、直径が１３ｍｍの工具基体形成用丸棒焼結体を形成し、さらに前記の丸棒焼結体から、研削加工にて、切刃部の直径×長さが１０ｍｍ×２２ｍｍの寸法、並びにねじれ角３０度の４枚刃スクエア形状をもったＷＣ基超硬合金製の工具基体（エンドミル）Ａ−１〜Ａ−１０をそれぞれ製造した。
【００３３】
ついで、これらの工具基体（エンドミル）Ａ−１〜Ａ−１０の表面をアセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図１に示されるアークイオンプレーティング装置に装入し、上記実施例１と同一の条件で、表１０に示される目標組成および目標層厚の（Ｃｒ，Ａｌ，Ｍ）Ｎ層、および、同じく表９に示される目標層厚のＶＮ層とＶＯ層からなる硬質被覆層を蒸着形成することにより、本発明被覆工具としての本発明表面被覆超硬製エンドミル（以下、本発明被覆エンドミルと云う）１〜２７をそれぞれ製造した。
【００３４】
また、比較の目的で、上記の工具基体（エンドミル）Ａ−１〜Ａ−１０の表面をアセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図２に示されるアークイオンプレーティング装置に装入し、上記実施例１と同一の条件で、表１０に示される目標組成および目標層厚の（Ｃｒ，Ａｌ，Ｍ）Ｎ層からなる硬質被覆層を蒸着することにより、従来被覆工具としての表面被覆超硬製エンドミル（以下、比較被覆エンドミルと云う）１〜１０をそれぞれ製造した。
【００３５】
つぎに、上記本発明被覆エンドミル１〜２７および比較被覆エンドミル１〜１０について、
被削材−平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＪＩＳ・ＳＣＭｎＨ１の板材、
切削速度：  ５０  ｍ／ｍｉｎ．、
溝深さ（切り込み）：  ４．５  ｍｍ、
テーブル送り：  ２５０  ｍｍ／分、
の条件（切削条件Ｄ）での高マンガン鋼の乾式高切り込み溝切削加工試験（通常の溝深さは３ｍｍ）、
被削材−平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＪＩＳ・ＳＵＳ３０４の板材、
切削速度：  ６０  ｍ／ｍｉｎ．、
溝深さ（切り込み）：  ３．５  ｍｍ、
テーブル送り：  ２４０  ｍｍ／分、
の条件（切削条件Ｅ）でのステンレス鋼の乾式高送り溝切削加工試験（通常のテーブル送りは１２０ｍｍ／分）、
被削材−平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＪＩＳ・Ｓ１１Ｃの板材、
切削速度：  ４０  ｍ／ｍｉｎ．、
溝深さ（切り込み）：  ７  ｍｍ、
テーブル送り：  １５０  ｍｍ／分、
の条件（切削条件Ｆ）での軟鋼の乾式高切り込み溝切削加工試験（通常の溝深さは５ｍｍ）、
をそれぞれ行い、いずれの溝切削加工試験でも切刃部の外周刃の逃げ面摩耗幅が使用寿命の目安とされる０．１ｍｍに至るまでの切削溝長を測定した。この測定結果を表９、表１０にそれぞれ示した。
【００３６】
【表９】
2008188735.tif 000010
【００３７】
【表１０】
2008188735.tif 000011
【実施例３】
【００３８】
上記の実施例２で製造した直径が１３ｍｍの丸棒焼結体を用い、この丸棒焼結体から、研削加工にて、溝形成部の直径×長さがそれぞれ８ｍｍ×２２ｍｍの寸法、並びにねじれ角３０度の２枚刃形状をもったＷＣ基超硬合金製の工具基体（ドリル）Ａ−１〜Ａ−１０をそれぞれ製造した。
【００３９】
ついで、これらの工具基体（ドリル）Ａ−１〜Ａ−１０の切刃に、ホーニングを施し、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図１に示されるアークイオンプレーティング装置に装入し、上記実施例１と同一の条件で、表１１に示される目標組成および目標層厚の（Ｃｒ，Ａｌ，Ｍ）Ｎ層、および、同じく表１１に示される目標層厚のＶＮ層とＶＯ層からなる硬質被覆層を蒸着形成することにより、本発明被覆工具としての本発明表面被覆超硬製ドリル（以下、本発明被覆ドリルと云う）１〜２７をそれぞれ製造した。
【００４０】
また、比較の目的で、上記の工具基体（ドリル）Ａ−１〜Ａ−１０の表面に、ホーニングを施し、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図２に示されるアークイオンプレーティング装置に装入し、上記実施例１と同一の条件で、表１２に示される目標組成および目標層厚を有する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｍ）Ｎ層からなる硬質被覆層を蒸着形成することにより、比較被覆工具としての表面被覆超硬製ドリル（以下、比較被覆ドリルと云う）１〜１０をそれぞれ製造した。
【００４１】
つぎに、上記本発明被覆ドリル１〜２７および比較被覆ドリル１〜１０について、
被削材−平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＪＩＳ・ＳＣＭｎＨ１の板材、
切削速度：  ７０  ｍ／ｍｉｎ．、
送り：  ０．４  ｍｍ／ｒｅｖ、
穴深さ：  １０  ｍｍ、
の条件（切削条件Ｇ）での高マンガン鋼の湿式高送り穴あけ切削加工試験（通常の送りは０．２ｍｍ／ｒｅｖ）、
被削材−平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＪＩＳ・ＳＵＳ３０４の板材、
切削速度：  １００  ｍ／ｍｉｎ．、
送り：  ０．４  ｍｍ／ｒｅｖ、
穴深さ：  １０  ｍｍ、
の条件（切削条件Ｈ）でのステンレス鋼の湿式高送り穴あけ切削加工試験（通常の送りは０．２ｍｍ／ｒｅｖ）、
被削材−平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＪＩＳ・Ｓ１１Ｃの板材、
切削速度：  ４５  ｍ／ｍｉｎ．、
送り：  ０．３  ｍｍ／ｒｅｖ、
穴深さ：  ７  ｍｍ、
の条件（切削条件Ｉ）での軟鋼の湿式高送り穴あけ切削加工試験（通常の送りは０．２ｍｍ／ｒｅｖ）、
をそれぞれ行い、いずれの湿式高速穴あけ切削加工試験（水溶性切削油使用）でも先端切刃面の逃げ面摩耗幅が０．３ｍｍに至るまでの穴あけ加工数を測定した。この測定結果を表１１、表１２にそれぞれ示した。
【００４２】
【表１１】
2008188735.tif 000012
【００４３】
【表１２】
2008188735.tif 000013
【００４４】
この結果得られた本発明被覆工具としての本発明被覆チップ１〜３９、本発明被覆エンドミル１〜２７、および本発明被覆ドリル１〜２７の硬質被覆層を構成する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｍ）Ｎ層（下部層）の組成、並びに、比較被覆工具としての比較被覆チップ１〜１６、比較被覆エンドミル１〜１０、および比較被覆ドリル１〜１０の（Ｃｒ，Ａｌ，Ｍ）Ｎ層からなる硬質被覆層の組成を、透過型電子顕微鏡を用いてのエネルギー分散Ｘ線分析法により測定したところ、それぞれ目標組成と実質的に同じ組成を示した。
【００４５】
さらに、本発明被覆工具の硬質被覆層の中間層を構成する窒化バナジウム層、上部層を構成する酸化バナジウム層の組成を同じく透過型電子顕微鏡を用いてのエネルギー分散Ｘ線分析法により測定したところ、窒化バナジウム層はＶＮを主体とする組織、また、酸化バナジウム層は、ＶＯを主体とし、これにＶ２Ｏ３およびＶＯ２などを含有する混合組織を示した。
【００４６】
また、上記の硬質被覆層を構成する各層の平均層厚を走査型電子顕微鏡を用いて断面測定したところ、いずれも目標層厚と実質的に同じ平均値（５ヶ所の平均値）を示した。
【００４７】
表７〜１２に示される結果から、本発明被覆工具は、いずれも特に粘性および粘着性の高いステンレス鋼や高マンガン鋼、さらに軟鋼などの難削材の高切り込みや高送りなどの重切削条件での切削加工でも、硬質被覆層の下部層である（Ｃｒ，Ａｌ，Ｍ）Ｎ層が工具基体表面に強固に密着接合した状態で、すぐれた高温硬さ、耐熱性、高温強度、あるいは、これに加えてさらにすぐれた耐摩耗性、高温耐酸化性を有し、かつ、窒化バナジウム層を中間層として介在した酸化バナジウム層からなる上部層によって、前記被削材および切粉との間のすぐれた潤滑性、耐溶着性が確保されていることによって、チッピングの発生なく、長期に亘ってすぐれた耐摩耗性を発揮するのに対して、硬質被覆層が（Ｃｒ，Ａｌ，Ｍ）Ｎ層で構成され、窒化バナジウム層および酸化バナジウム層を備えない比較被覆工具においては、いずれも前記難削材の重切削加工では被削材（難削材）および切粉と前記硬質被覆層との粘着性および反応性が一段と高くなるために、切刃部にチッピングが発生するようになり、比較的短時間で使用寿命に至ることが明らかである。
【００４８】
上述のように、この発明の被覆工具は、一般鋼や普通鋳鉄などの切削加工は勿論のこと、特に上記の難削材の重切削加工でもすぐれた耐チッピング性を発揮し、長期に亘ってすぐれた切削性能を示すものであるから、切削加工装置のＦＡ化、並びに切削加工の省力化および省エネ化、さらに低コスト化に十分満足に対応できるものである。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明被覆工具を構成する硬質被覆層を形成するのに用いたアークイオンプレーティング装置を示し、（ａ）は概略平面図、（ｂ）は概略正面図である。
【図２】比較被覆工具を構成する硬質被覆層を形成するのに用いた従来のアークイオンプレーティング装置の概略説明図である。
【図１】
2008188735.tif 000014
【図２】
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