(57)【要約】【課題】  液体温調装置に対する各種メンテナンスを行う場合であっても開閉扉の開閉を不要とし、制御温度に対する外気の影響を最小限に抑制することにより、高精度で安定した温度制御を行う。【解決手段】  開閉扉３を有するケーシング２を備えるとともに、このケーシング２の内部に少なくとも液体Ｌを収容する貯留タンク４及びこの貯留タンク４に収容した液体Ｌを温調して外部の被温調物Ｍに循環させる液体循環回路５を備える液体温調装置１を構成するに際して、開閉扉３に、この開閉扉３の外部からケーシング２の内部のメンテナンスを行うことができる一又は二以上のメンテナンス用開口部６ａ…，６ｂ…を設けるとともに、このメンテナンス用開口部６ａ…，６ｂ…に透明の開閉カバー部７ａ…，７ｂ…を付設する。【選択図】  図１
2008202903.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
開閉扉を有するケーシングを備えるとともに、このケーシングの内部に少なくとも液体を収容する貯留タンク及びこの貯留タンクに収容した液体を温調して外部の被温調物に循環させる液体循環回路を備える液体温調装置において、前記開閉扉に、この開閉扉の外部から前記ケーシングの内部のメンテナンスを行うことができる一又は二以上のメンテナンス用開口部を設けるとともに、このメンテナンス用開口部に透明の開閉カバー部を付設してなることを特徴とする液体温調装置。
【請求項２】
前記開閉扉は、左右一対の扉部からなる観音開き式に構成するとともに、少なくとも一方の扉部は、左右に分割した複数の扉構成部材を回動結合部により回動自在に結合して構成することを特徴とする請求項１記載の液体温調装置。
【請求項３】
前記メンテナンス用開口部は、このメンテナンス用開口部を通して前記ケーシングの内部の表示要素を監視できる形状に形成することを特徴とする請求項１又は２記載の液体温調装置。
【請求項４】
前記メンテナンス用開口部は、このメンテナンス用開口部を通して、少なくとも、前記ケーシングの内部のスイッチ類に対する操作，前記貯留タンクに対する給液の一方又は双方を行うことができる形状に形成することを特徴とする請求項１又は２記載の液体温調装置。
【請求項５】
前記開閉カバー部は、前記開閉扉に対してヒンジ部を介して開閉可能に取付けるとともに、閉位置で前記開閉扉に対して固定可能な固定部を備えることを特徴とする請求項１又は２記載の液体温調装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、開閉扉を有するケーシングの内部に液体を収容する貯留タンク及び液体を温調して被温調物に循環させる液体循環回路を備える液体温調装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体処理装置等の被冷却物に冷却液を循環させて冷却を行う冷却装置は知られており、既に、本出願人もこの種の冷却装置に用いて好適な冷却装置を、特開２００５−２８２９３５号公報により提案した。同公報で開示される冷却装置は、冷却液タンクに収容した冷却液を、送液ポンプにより送り出すとともに、熱交換器を有する冷却部により冷却した後、被冷却物に供給して当該被冷却物を冷却するものであり、被冷却物を冷却した後の冷却液は、再び冷却液タンクに戻される。
【特許文献１】特開２００５−２８２９３５号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、上述した公報で開示される冷却装置は、冷却液を収容する冷却液タンク及びこの冷却液タンクに収容した冷却液を冷却して外部の被冷却物に循環させる機能を備えるが、このような冷却装置を独立した単一の冷却系として構成するとともに、複数の冷却系を共通のケーシングに収容して統合型の装置として構成する場合、次のような不具合を生じる問題があった。
【０００４】
即ち、統合型の装置として構成する場合、通常、ケーシングの前面には開閉扉を付設し、この開閉扉を開くことにより必要な各種メンテナンスを行えるようにしているが、例えば、貯留タンクに収容した液体が減少し、該当する貯留タンクに液体を追加供給（給液）する場合、開閉扉を開いた際に外気がケーシングの内部に大量に進入し、進入した外気により各冷却系の制御温度が悪影響を受ける問題があり、この問題は、ケーシングの内部に配したスイッチ類を操作したり、流量等の表示を確認する場合にも同様に発生する。特に、半導体処理装置等の冷却に使用する場合、制御温度の誤差を±０．０１〔℃〕以下に抑える高度の制御精度が要求され、外気の影響は無視できない問題となる。
【０００５】
本発明は、このような背景技術に存在する課題を解決した液体温調装置の提供を目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、開閉扉３を有するケーシング２を備えるとともに、このケーシング２の内部に少なくとも液体Ｌを収容する貯留タンク４及びこの貯留タンク４に収容した液体Ｌを温調して外部の被温調物Ｍに循環させる液体循環回路５を備える液体温調装置１を構成するに際して、開閉扉３に、この開閉扉３の外部からケーシング２の内部のメンテナンスを行うことができる一又は二以上のメンテナンス用開口部６ａ…，６ｂ…を設けるとともに、このメンテナンス用開口部６ａ…，６ｂ…に透明の開閉カバー部７ａ…，７ｂ…を付設してなることを特徴とする。
【０００７】
この場合、発明の好適な態様により、開閉扉３は、左右一対の扉部３ｐ，３ｑからなる観音開き式に構成するとともに、少なくとも一方の扉部３ｐは、左右に分割した複数の扉構成部材３ｐａ，３ｐｂを回動結合部１１…により回動自在に結合して構成することができる。また、メンテナンス用開口部６ａ…，６ｂ…は、このメンテナンス用開口部６ａ…，６ｂ…を通してケーシング２の内部の表示要素１２…，１３…を監視できる形状に形成することができるとともに、メンテナンス用開口部６ａ…，６ｂ…を通して、少なくとも、ケーシング２の内部のスイッチ類１４…に対する操作，貯留タンク４に対する給液の一方又は双方を行うことができる形状に形成することができる。なお、開閉カバー部７ａ…，７ｂ…は、開閉扉３に対してヒンジ部１５ａ…，１５ｂ…を介して開閉可能に取付けるとともに、閉位置Ｘｃａ，Ｘｃｂで開閉扉３に対して固定可能な固定部１６ａ…，１６ｂ…を備えて構成できる。
【発明の効果】
【０００８】
このような構成を有する本発明に係る液体温調装置１によれば、次のような顕著な効果を奏する。
【０００９】
（１）  液体温調装置１における開閉扉３に、この開閉扉３の外部からケーシング２の内部のメンテナンスを行うことができるメンテナンス用開口部６ａ…，６ｂ…を設けるとともに、このメンテナンス用開口部６ａ…，６ｂ…に透明の開閉カバー部７ａ…，７ｂ…を付設したため、液体温調装置１に対する各種メンテナンスを行う場合であっても開閉扉３の開閉が不要となり、必要最小限のメンテナンス用開口部６ａ…，６ｂ…の開閉で足りる。この結果、制御温度に対する外気の影響が最小限に抑制され、高精度で安定した温度制御を行うことができる。
【００１０】
（２）  好適な態様により、開閉扉３を、左右一対の扉部３ｐ，３ｑからなる観音開き式に構成するとともに、少なくとも一方の扉部３ｐは、左右に分割した複数の扉構成部材３ｐａ，３ｐｂを回動結合部１１…により回動自在に結合して構成すれば、特に、液体温調装置１を狭いスペースに設置した場合であっても、開閉扉３を十分に開くことができ、設置性を高めることができるとともに、メンテナンス性の向上にも寄与できる。
【００１１】
（３）  好適な態様により、メンテナンス用開口部６ａ…，６ｂ…を、このメンテナンス用開口部６ａ…，６ｂ…を通してケーシング２の内部の表示要素１２…，１３…を監視できる形状に形成すれば、開閉扉３を開けることなく、メンテナンス用開口部６ａ…，６ｂ…を通して表示要素１２…，１３…を容易に監視することができる。
【００１２】
（４）  好適な態様により、メンテナンス用開口部６ａ…，６ｂ…を、このメンテナンス用開口部６ａ…，６ｂ…を通してケーシング２の内部のスイッチ類１４…に対する操作，貯留タンク４に対する給液の一方又は双方を行うことができる形状に形成すれば、開閉扉３を開けることなく、メンテナンス用開口部６ａ…，６ｂ…を通して、スイッチ類１４…に対する操作或いは貯留タンク４に対する給液を容易かつ確実に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
次に、本発明に係る最良の実施形態を挙げ、図面に基づき詳細に説明する。
【００１４】
まず、本実施形態に係る液体温調装置１の基本構成について、図１〜図６を参照して説明する。
【００１５】
液体温調装置１は、直方体状に構成したケーシング２を備え、ケーシング２の底面には四つのキャスタ２１…を備える。ケーシング２の前面部は全体を開放した開口部２ｆとし、この開口部２ｆに開閉扉３を付設する。開閉扉３は、左右一対の扉部３ｐ，３ｑからなる観音開き式に構成する。したがって、図１中、右側の扉部３ｐにおける右側端辺は、複数のヒンジ部２２…を介してケーシング２の開口部２ｆを形成する右側端辺に回動自在に結合するとともに、左側の扉部３ｑにおける左側端辺は、複数のヒンジ部２３…を介してケーシング２の開口部２ｆを形成する左側端辺に回動自在に結合する。また、右側の扉部３ｐは、左右に分割した二枚の扉構成部材３ｐａ，３ｐｂを回動結合部１１…により回動自在に結合して構成する。
【００１６】
他方、ケーシング２の内部には七チャンネルの温調系を配設する。一チャンネルの温調系は、液体Ｌを収容する貯留タンク４及びこの貯留タンク４に収容した液体Ｌを温調して外部の被温調物Ｍに循環させる液体循環回路５（図５参照）を備える。なお、残りの各チャンネルにおける温調系も貯留タンク４…及び液体循環回路５…により同様に構成する。例示の場合、図４に示すように、ケーシング２の内部に、上下三段の棚部２４，２５，２６を設け、特に、一番上の棚部２４は仕切癖としても機能させる。これにより、棚部２４から上方の空間を電気制御室Ｒｅとし、各種電気部品や電気基盤を配するとともに、棚部２４から下方の空間を液体処理室Ｒｓとし、上述した貯留タンク４…及び液体循環回路５…を配する。
【００１７】
そして、液体処理室Ｒｓにおける棚部２５に三つの貯留タンク４…を設置するとともに、棚部２６に四つの貯留タンク４…を設置する。なお、図５に示す液体循環回路５…を構成する送液ポンプ３１，熱交換器３２及び冷却部３３等も液体処理室Ｒｓ内に配されるが、図４では図示を省略した。また、棚部２４の前端から下方に垂直の支持パネル２７を設け、この支持パネル２７に、表示要素となるチャンネル毎の流量表示部１２…を配設するとともに、チャンネル毎のスイッチ類１４…を配設する。このスイッチ類１４…には、スイッチ部１４ｘ…及び調整ダイヤル部１４ｙ…が含まれる。
【００１８】
一方、貯留タンク４は、図５及び図６に示すように、上面部が開放されたタンク本体部４１と、このタンク本体部４１の上面部を覆う蓋部４２を備える。タンク本体部４１の前面部には、図６に示すように、表示要素となる液面計１３を付設する。この液面計１３は、前面部に上下端を連通接続した透明な湾曲チューブを利用した液面指示部４３と、この液面指示部４３の後方における前面部に表示したレベル表示部４４を備える。レベル表示部４４は、四つのレベル領域を色分けしたものであり、緑色の適性レベル領域Ａｓ，赤色の上限レベル領域Ａｕ，黄色の注意レベル領域Ａａ，赤色の下限レベル領域Ａｄが含まれる。さらに、タンク本体部４１の側面部には、内部の液体Ｌの流出口４５ｏ及び流入口（戻り口）４５ｉを設けるとともに、タンク本体部４１の底面部には、先端を前方に向けたドレン口を兼用する給水口４６を設ける。また、蓋部４２には、先端を前方に向けた空気抜口４７を設ける。なお、４８ａ，４８ｂは、蓋部４２に取付けたフロートスイッチである。そして、流出口４５ｏには、図５に示すように、送液ポンプ３１及び熱交換器３２を順次接続し、この熱交換器３２が、外部に設置された被温調部Ｍの流入口Ｍｉに接続されるとともに、貯留タンク４の流入口４５ｉが被温調部Ｍの流出口Ｍｏに接続される。その他、３３は、熱交換器３２に付設した冷却部３３を示す。
【００１９】
次に、本実施形態に係る液体温調装置１の要部を構成する開閉扉３について、図１〜図６を参照して具体的に説明する。
【００２０】
開閉扉３には、この開閉扉３の外部からケーシング２の内部のメンテナンスを行うことができる複数のメンテナンス用開口部６ａ…，６ｂ…を形成する。メンテナンス用開口部６ａ…，６ｂ…は、このメンテナンス用開口部６ａ…，６ｂ…を通してケーシング２の内部の表示要素、即ち、流量表示部１２…及び液面計１３…を監視できる形状に形成する。具体的には、右側の扉部３ｐを構成する二枚の扉構成部材３ｐａ，３ｐｂに、ケーシング２の内部のスイッチ類１４…に対する操作を行うことができる形状のメンテナンス用開口部６ａ…を形成する。したがって、メンテナンス用開口部６ａ…は左右に計二つ設けられる。さらに、左側の扉部３ｑ及び二枚の扉構成部材３ｐａ，３ｐｂには、貯留タンク４に対する給液を行うことができる形状のメンテナンス用開口部６ｂ…を形成する。したがって、メンテナンス用開口部６ｂ…は、左右に三つ配した上下二段の計六つ設けられる。
【００２１】
また、各メンテナンス用開口部６ａ…，６ｂ…には透明の開閉カバー部７ａ…，７ｂ…を付設する。各開閉カバー部７ａ…，７ｂ…は透明なアクリル板を用いる。この場合、メンテナンス用開口部６ａ…には開閉カバー部７ａ…を付設する。開閉カバー部７ａは、図１及び図２に示すように、上端辺を離間した二つのヒンジ部１５ａ…を介して扉部３ｐに取付けるとともに、開閉カバー部７ａが閉位置Ｘｃａにあるときに、当該開閉カバー部７ａの下端辺付近を離間した三つの固定部１６ａ…により扉部３ｐに対して固定可能に構成する。固定部１６ａ…には固定ネジ５１ａ…を用いる。この固定ネジ５１ａ…は、開閉カバー部７ａに形成した挿通孔を通して扉部３ｐに形成したネジ孔５２ａ…に螺着（着脱）することができる。
【００２２】
他方、メンテナンス用開口部６ｂ…には開閉カバー部７ｂ…を付設する。開閉カバー部７ｂは、図１及び図２に示すように、下端辺を離間した二つのヒンジ部１５ｂ…を介して扉部３ｐに取付けるとともに、開閉カバー部７ｂが閉位置Ｘｃｂにあるときに、当該開閉カバー部７ｂの上端辺付近を離間した三つの固定部１６ｂ…により扉部３ｐに対して固定可能に構成する。固定部１６ｂ…には固定ネジ５１ｂ…を用いる。この固定ネジ５１ｂ…は、開閉カバー部７ｂに形成した挿通孔を通して扉部３ｐに形成したネジ孔５２ｐ…に螺着（着脱）することができる。なお、図１において、６１は扉部３ｑに配設した主操作部を示す。
【００２３】
次に、本実施形態に係る液体温調装置１の使用方法について、図１〜図６を参照して説明する。
【００２４】
まず、液体温調装置１の基本的な動作は次のようになる。各貯留タンク４には、所定の液体Ｌが収容されているものとする。液体Ｌとしては、ウェハレジスト液，エッチング液，光ディスク塗布液，液晶ガラス塗布液等の薬液や溶液を含む各種液体を適用できるが、一例として冷却液Ｌが収容されているものとする。図６中、Ｌｆは液面を示し、適性レベル領域Ａｓまで冷却液Ｌが収容されている。この状態で送液ポンプ３１を作動させれば、貯留タンク４内の冷却液Ｌが流出口４５ｏから流出し、送液ポンプ３１を通して熱交換器３２に供給される。そして、冷却部３３により冷却（熱交換）された冷却液Ｌは、流入口Ｍｉを通して、半導体処理装置等の被温調物Ｍに供給される。また、被温調物Ｍで使用された冷却液Ｌは被温調物Ｍの流出口Ｍｏから貯留タンク４の流入口（戻り口）４５ｉに戻され、戻された冷却液Ｌは貯留タンク４内に貯留される。
【００２５】
一方、液体温調装置１の監視やメンテナンスは次のように行われる。開閉扉３には、この開閉扉３の外部からケーシング２の内部のメンテナンスを行うことができるメンテナンス用開口部６ａ…，６ｂ…を有するとともに、このメンテナンス用開口部６ａ…，６ｂ…に付設した透明の開閉カバー部７ａ…，７ｂ…を有するため、透明の開閉カバー部７ａ…，７ｂ…及びメンテナンス用開口部６ａ…，６ｂ…を通してそのまま内部を監視することができる。したがって、流量表示部１２…を監視するに際して開閉扉３に触れる必要はなく、透明の開閉カバー部７ａ…及びメンテナンス用開口部６ａ…を通して流量表示部１２…を容易に監視できる。
【００２６】
また、透明の開閉カバー部７ａ…の固定部１６ａ…による固定を解除、即ち、固定ネジ５１ａ…を離脱し、図２に示すように、開閉カバー部７ａ…を矢印Ｒｃａ方向に開けば、メンテナンス用開口部６ａ…を通してケーシング２の内部におけるスイッチ類１４…、具体的には、スイッチ部１４ｘ…及び調整ダイヤル部１４ｙ…に対する操作を行うことができる。このように、開閉扉３を開けることなく、メンテナンス用開口部６ａ…を通してスイッチ類１４…を容易かつ確実に操作することができ、この際に開放されるのは小窓となる一つのメンテナンス用開口部６ａのみとなる。
【００２７】
さらに、メンテナンス用開口部６ｂ…に付設した透明の開閉カバー部７ｂ…の固定部１６ｂ…による固定を解除、即ち、固定ネジ５１ｂ…を離脱し、図２に示すように、開閉カバー部７ｂ…を矢印Ｒｃｂ方向に開けば、図５に示すように、メンテナンス用開口部６ｂ…を通して貯留タンク４に対する給液を行うことができる。給液には、給水源側ホースの先端に設けたカップリングインサート部７１ｓ及び給水口４６に内蔵するカップリングボディ部７２ｓからなるカップリングユニットと、吸気用のホースの先端に設けたカップリングインサート部７１ｒ及び空気抜口４７に内蔵するカップリングボディ部７２ｒからなるカップリングユニットを用いる。
【００２８】
給液を行う際には、まず、カップリングインサート部７１ｓを、メンテナンス用開口部６ｂを通して給水口４６に差し込む。これにより、カップリングインサート部７１ｓとカップリングボディ部７２ｓがワンタッチで接続される。この場合、カップリングボディ部７２ｓはバルブを内蔵し、カップリングインサート部７１ｓが差し込まれないときは閉じているが、カップリングインサート部７１ｓが差し込まれることにより開く。また、不図示のラッチ機構が付設されており、カップリングボディ部７２ｓにカップリングインサート部７１ｓが完全に差し込まれればラッチ（ロック）が行われ、カップリングインサート部７１ｓの抜け止めがなされるとともに、不図示の解除ボタンを押すことによりラッチ（ロック）の解除が行われ、カップリングインサート部７１ｓを引き抜くことができる。同様に、カップリングインサート部７１ｒを、メンテナンス用開口部６ｂを通して空気抜口４７に差し込む。これにより、カップリングインサート部７１ｒとカップリングボディ部７２ｒがワンタッチで接続される。なお、空気抜口４７側におけるカップリングユニットも上述した給水口４６側のカップリングユニットと同じであり、同様のバルブ及びラッチ機構が付設されている。
【００２９】
これにより、給水口４６から貯留タンク４に対して給水源から給水を行うことができる。この際、貯留タンク４内の空気は空気抜口４７から排出される。このように、開閉扉３を開けることなく、メンテナンス用開口部６ｂ…を通して貯留タンク４に対する給液を容易かつ確実に行うことができ、この際に開放されるのは小窓となる一つのメンテナンス用開口部６ｂのみとなる。
【００３０】
よって、このような液体温調装置１によれば、液体温調装置１に対する各種メンテナンスを行う場合であっても開閉扉３の開閉が不要となり、必要最小限のメンテナンス用開口部６ａ…，６ｂ…の開閉で足りる。この結果、制御温度に対する外気の影響が最小限に抑制され、高精度で安定した温度制御を行うことができる。
【００３１】
他方、このような日常的な監視やメンテナンス以外の点検や修理等の場合には、開閉扉３を開けて行えばよい。この場合、開閉扉３は、左右一対の扉部３ｐ，３ｑからなる観音開き式に構成するとともに、右側の扉部３ｐは、左右に分割した二枚の扉構成部材３ｐａ，３ｐｂを回動結合部１１…により回動自在に結合して構成するため、図３に示すように、扉部３ｑを矢印Ｆｑ方向に回動変位させて開閉できるとともに、扉部３ｐを矢印Ｆｐ方向に回動変位させて開閉でき、この際、扉部３ｐを構成する各扉構成部材３ｐａ，３ｐｂは回動結合部１１…を介して自在に折畳み可能となる。これにより、液体温調装置１を狭いスペースに設置した場合であっても、開閉扉３を十分に開くことができ、設置性を高めることができるとともに、メンテナンス性の向上にも寄与できる。
【００３２】
以上、最良の実施形態について詳細に説明したが、本発明は、このような実施形態に限定されるものではなく、細部の構成，形状，数量等において、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、任意に変更，追加，削除することができる。
【００３３】
例えば、液体循環回路５における送液ポンプ３１，熱交換器３２，冷却部３３は、必ずしもケーシング２の内部に配することを要せず、他の別体のケーシングに配してもよい。また、開閉扉３は、左右一対の扉部３ｐ，３ｑからなる観音開き式を例示したが、スライドドア式など、その開閉形式は任意である。さらに、開閉カバー部７ａ…，７ｂ…の開閉形式も回転式を例示したが、スライド式であってもよい。他方、一方の扉部３ｐを二分割にした場合を例示したが、任意の複数分割を排除しないとともに、他方の扉部３ｑに適用してもよい。また、メンテナンスは、例示の態様のみならず、各種のメンテナンス態様が含まれる。なお、液体温調装置１の用途は、半導体関連分野をはじめ、液晶関連分野，光ディスク関連分野，バイオテクノロジ関連分野などの各種分野に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の最良の実施形態に係る液体温調装置の一部抽出拡大図を含む外観正面図、
【図２】同液体温調装置の一部抽出拡大断面図を含む側面図、
【図３】同液体温調装置の外観平面図、
【図４】同液体温調装置の開閉扉を開いた状態を示す正面図、
【図５】同液体温調装置における液体循環回路図を含む貯留タンクの側面図、
【図６】同液体温調装置における貯留タンクの正面図、
【符号の説明】
【００３５】
１：液体温調装置，２：ケーシング，３：開閉扉，３ｐ：扉部，３ｑ：扉部，３ｐａ：扉構成部材，３ｐｂ：扉構成部材，４：貯留タンク，５：液体循環回路，６ａ…：メンテナンス用開口部，６ｂ…：メンテナンス用開口部，７ａ…：開閉カバー部，７ｂ…：開閉カバー部，１１…：回動結合部，１２…：表示要素，１３…：表示要素，１４…：スイッチ類，１５ａ…：ヒンジ部，１５ｂ…：ヒンジ部，１６ａ…：固定部，１６ｂ…：固定部，Ｌ：液体，Ｍ：被温調物，Ｘｃａ：閉位置，Ｘｃｂ：閉位置
【図１】
2008202903.tif 000003
【図２】
2008202903.tif 000004
【図３】
2008202903.tif 000005
【図４】
2008202903.tif 000006
【図５】
2008202903.tif 000007
【図６】
2008202903.tif 000008