(57)【要約】【課題】吸着エラーの発生を防止できる実装機を提供する。【解決手段】本発明の実装機は、部品収容凹部に収容した部品を、部品供給部に順次供給する部品供給手段と、部品を吸引吸着可能な吸着部を有する部品吸着手段と、部品吸着手段の吸着部から外部にエアーを噴出させるエア噴出手段と、部品供給部に供給された部品を、部品吸着手段の吸着部で吸着する吸着処理と、吸着した部品を基板位置まで移動させて基板上に搭載する搭載処理とを行う実装制御手段と、吸着処理において部品吸着手段により部品を吸着する直前に、その部品が収容される部品収容凹部内に、エア噴出手段によってエアーを吹き付けるエアブロー処理を行うエアブロー制御手段と、を備える。【選択図】図９
2008235647.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品収容凹部に収容した部品を、部品吸着位置に順次供給する部品供給手段と、
部品を吸引吸着可能な吸着部を有する部品吸着手段と、
部品吸着手段の吸着部から外部にエアーを噴出させるエア噴出手段と、
部品吸着位置に供給された部品を、部品吸着手段の吸着部で吸着する吸着処理と、吸着した部品を基板位置まで移動させて基板上に搭載する搭載処理とを行う実装制御手段と、
吸着処理において部品吸着手段により部品を吸着する直前に、その部品が収容される部品収容凹部内に、エア噴出手段によってエアーを吹き付けるエアブロー処理を行うエアブロー制御手段と、を備えたことを特徴とする実装機。
【請求項２】
エアブロー処理が必要か否かを判断するエアブロー要否判断手段を備え、
エアブロー制御手段は、エアブロー要否判断手段からの情報に基づき、エアブロー処理が必要であると判断された際に、エアブロー処理を行うよう構成された請求項１に記載の実装機。
【請求項３】
部品吸着手段により部品の吸着を試行した回数に対し、部品の吸着が成功した回数の比率を吸着成功率としたとき、部品の種類毎の吸着成功率に関する情報を保持する吸着成功率情報保持手段を備え、
エアブロー要否判断手段は、吸着成功率情報保持手段からの情報に基づいて、エアブロー処理の要否を判断するよう構成された請求項２に記載の実装機。
【請求項４】
エアブロー処理の要否が部品種類毎に予め設定されたエアブロー要否情報を保持するエアブロー要否情報保持手段を備え、
エアブロー要否判断手段は、エアブロー要否情報保持手段からの情報に基づいて、エアブロー処理の要否を判断するよう構成された請求項２に記載の実装機。
【請求項５】
吸着する部品のサイズと、エアブロー制御手段によるエアブロー時間とを関連付けした情報を保持するサイズ／ブロー時間情報保持手段と、
サイズ／ブロー時間情報保持手段からの情報に基づいて、エアブロー制御手段によるエアブロー時間を調整する第１ブロー時間調整手段と、を備えた請求項１〜４のいずれか１項に記載の実装機。
【請求項６】
吸着する部品の形状と、エアブロー制御手段によるエアブロー時間とを関連付けした情報を保持する形状／ブロー時間情報保持手段と、
形状／ブロー時間情報保持手段からの情報に基づいて、エアブロー制御手段によるエアブロー時間を調整する第２ブロー時間調整手段と、を備えた請求項１〜５のいずれか１項に記載の実装機。
【請求項７】
部品吸着手段を構成する吸着ノズルを、交換するノズル交換手段と、
吸着ノズルの種類と、エアブロー制御手段によるエアブロー時間とを関連付けした情報を保持するノズル／ブロー時間情報保持手段と、
ノズル／ブロー時間情報保持手段からの情報に基づいて、エアブロー制御手段によるエアブロー時間を調整する第３ブロー時間調整手段と、を備えた請求項１〜６のいずれか１項に記載の実装機。
【請求項８】
部品吸着手段により部品の吸着を試行した回数に対し、部品の吸着が成功した回数の比率を吸着成功率としたとき、部品種類毎の吸着成功率に関する情報を保持する吸着成功率情報保持手段と、
吸着成功率情報保持手段からの情報に基づいて、エアブロー制御手段によるエアブロー時間を調整する第４ブロー時間調整手段と、を備えた請求項１〜７のいずれか１項に記載の実装機。
【請求項９】
エアブロー処理において、部品吸着手段の吸着部を、部品収容凹部の開放部周縁に接触させた状態で、部品収容凹部内にエアーを吹き付けるようにした請求項１〜８のいずれか１項に記載の実装機。
【請求項１０】
エアブロー処理において、部品吸着手段の吸着部を、部品収容凹部の開放部から離間させた状態で、部品収容凹部内にエアーを吹き付けるようにした請求項１〜８のいずれか１項に記載の実装機。
【請求項１１】
部品供給手段によって、部品収容凹部に収容した部品を部品吸着位置に順次供給する一方、部品吸着位置に供給された部品を、部品吸着手段の吸着部において吸着する吸着処理と、その部品を基板位置まで移動させて基板上に搭載する搭載処理とを行う実装機の部品吸着方法であって、
部品吸着手段の吸着部から外部にエアーを噴出させるエア噴出手段を準備する工程と、
吸着処理において部品吸着手段により部品を吸着する直前に、その部品が収容される部品収容凹部内に、エア噴出手段によってエアーを吹き付けるエアブロー処理を行う工程と、を含むことを特徴とする実装機の部品吸着方法。
【請求項１２】
部品吸着手段により部品の吸着を試行した回数に対し、部品の吸着が成功した回数の比率を吸着成功率としたとき、
吸着成功率が、所定値以下となった際に、エアブロー処理を行うようにした請求項１１に記載の実装機の部品吸着方法。
【請求項１３】
吸着処理に行う際に、予め特定された種類の部品に対して、エアブロー処理を行うようにした請求項１１に記載の実装機の部品吸着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、基板に部品を実装する実装機およびその部品吸着方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板上に電子部品を実装する実装機として、部品供給部に設置されたテープフィーダから供給される電子部品を、ヘッドの吸着ノズルにより吸引吸着して、基板位置まで移送して基板上に実装するものが周知である（特許文献１等）。
【０００３】
部品供給手段としてのテープフィーダは、そのリールに巻回されたリールテープに多数の部品が格納されている。一般的なリールテープは、テープボディに所定の間隔おきにキャビティが打ち抜き形成されるとともに、各キャビティ内に部品が収容されるようにして、テープボディの上下両面にトップテープおよびボトムテープが貼り付けられている。
【０００４】
このリールテープが、テープフィーダの先端部（部品吸着位置）に間欠的に繰り出される一方、繰り出されたリールテープのトップテープが順次剥離されて、キャビティの上面側が順次開放される。そしてそのキャビティの上面開放部に、ヘッドの吸着ノズルが配置されて、ノズルに負圧が供給されることにより、キャビティ内の部品がノズルに吸引吸着されるようになっている。
【特許文献１】特許第３８４９５８９号（特許請求の範囲、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、テープフィーダにセットされるリールテープは、格納される部品の種類や、製造されるメーカー等によって種類が異なるため、多種類のリールテープが存在している。このため中には、品質に劣るリールテープもあり例えば、キャビティ内に毛羽立ちが生じていたり、塵埃が混入されて、キャビティ内が汚染されたリールテープも存在している。特にボトムテープ用粘着剤の残渣等の粘着性異物がキャビティ内のボトムテープに付着していると、その粘着性異物によって部品がキャビティ内に付着されてしまう。そうすると、実装処理中に、吸着ノズルによって、部品を吸着できず、吸着エラー（吸着不良）が発生して、生産を中断せざるを得ず、稼働効率の低下を来すという問題があった。
【０００６】
この発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、吸着エラーが発生するのを有効に防止できて、稼働効率を向上させることができる実装機およびその部品吸着方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は下記の手段を提供する。
【０００８】
［１］  部品収容凹部に収容した部品を、部品吸着位置に順次供給する部品供給手段と、
部品を吸引吸着可能な吸着部を有する部品吸着手段と、
部品吸着手段の吸着部から外部にエアーを噴出させるエア噴出手段と、
部品吸着位置に供給された部品を、部品吸着手段の吸着部で吸着する吸着処理と、吸着した部品を基板位置まで移動させて基板上に搭載する搭載処理とを行う実装制御手段と、
吸着処理において部品吸着手段により部品を吸着する直前に、その部品が収容される部品収容凹部内に、エア噴出手段によってエアーを吹き付けるエアブロー処理を行うエアブロー制御手段と、を備えたことを特徴とする実装機。
【０００９】
［２］  エアブロー処理が必要か否かを判断するエアブロー要否判断手段を備え、
エアブロー制御手段は、エアブロー要否判断手段からの情報に基づき、エアブロー処理が必要であると判断された際に、エアブロー処理を行うよう構成された前項１に記載の実装機。
【００１０】
［３］  部品吸着手段により部品の吸着を試行した回数に対し、部品の吸着が成功した回数の比率を吸着成功率としたとき、部品の種類毎の吸着成功率に関する情報を保持する吸着成功率情報保持手段を備え、
エアブロー要否判断手段は、吸着成功率情報保持手段からの情報に基づいて、エアブロー処理の要否を判断するよう構成された前項２に記載の実装機。
【００１１】
［４］  エアブロー処理の要否が部品種類毎に予め設定されたエアブロー要否情報を保持するエアブロー要否情報保持手段を備え、
エアブロー要否判断手段は、エアブロー要否情報保持手段からの情報に基づいて、エアブロー処理の要否を判断するよう構成された前項２に記載の実装機。
【００１２】
［５］  吸着する部品のサイズと、エアブロー制御手段によるエアブロー時間とを関連付けした情報を保持するサイズ／ブロー時間情報保持手段と、
サイズ／ブロー時間情報保持手段からの情報に基づいて、エアブロー制御手段によるエアブロー時間を調整する第１ブロー時間調整手段と、を備えた前項１〜４のいずれか１項に記載の実装機。
【００１３】
［６］  吸着する部品の形状と、エアブロー制御手段によるエアブロー時間とを関連付けした情報を保持する形状／ブロー時間情報保持手段と、
形状／ブロー時間情報保持手段からの情報に基づいて、エアブロー制御手段によるエアブロー時間を調整する第２ブロー時間調整手段と、を備えた前項１〜５のいずれか１項に記載の実装機。
【００１４】
［７］  部品吸着手段を構成する吸着ノズルを、交換するノズル交換手段と、
吸着ノズルの種類と、エアブロー制御手段によるエアブロー時間とを関連付けした情報を保持するノズル／ブロー時間情報保持手段と、
ノズル／ブロー時間情報保持手段からの情報に基づいて、エアブロー制御手段によるエアブロー時間を調整する第３ブロー時間調整手段と、を備えた前項１〜６のいずれか１項に記載の実装機。
【００１５】
［８］  部品吸着手段により部品の吸着を試行した回数に対し、部品の吸着が成功した回数の比率を吸着成功率としたとき、部品種類毎の吸着成功率に関する情報を保持する吸着成功率情報保持手段と、
吸着成功率情報保持手段からの情報に基づいて、エアブロー制御手段によるエアブロー時間を調整する第４ブロー時間調整手段と、を備えた前項１〜７のいずれか１項に記載の実装機。
【００１６】
［９］  エアブロー処理において、部品吸着手段の吸着部を、部品収容凹部の開放部周縁に接触させた状態で、部品収容凹部内にエアーを吹き付けるようにした前項１〜８のいずれか１項に記載の実装機。
【００１７】
［１０］  エアブロー処理において、部品吸着手段の吸着部を、部品収容凹部の開放部から離間させた状態で、部品収容凹部内にエアーを吹き付けるようにした前項１〜８のいずれか１項に記載の実装機。
【００１８】
［１１］  部品供給手段によって、部品収容凹部に収容した部品を部品吸着位置に順次供給する一方、部品吸着位置に供給された部品を、部品吸着手段の吸着部において吸着する吸着処理と、その部品を基板位置まで移動させて基板上に搭載する搭載処理とを行う実装機の部品吸着方法であって、
部品吸着手段の吸着部から外部にエアーを噴出させるエア噴出手段を準備する工程と、
吸着処理において部品吸着手段により部品を吸着する直前に、その部品が収容される部品収容凹部内に、エア噴出手段によってエアーを吹き付けるエアブロー処理を行う工程と、を含むことを特徴とする実装機の部品吸着方法。
【００１９】
［１２］  部品吸着手段により部品の吸着を試行した回数に対し、部品の吸着が成功した回数の比率を吸着成功率としたとき、
吸着成功率が、所定値以下となった際に、エアブロー処理を行うようにした前項１１に記載の実装機の部品吸着方法。
【００２０】
［１３］  吸着処理に行う際に、予め特定された種類の部品に対して、エアブロー処理を行うようにした前項１１に記載の実装機の部品吸着方法。
【発明の効果】
【００２１】
上記発明［１］にかかる実装機によると、部品吸着手段により部品を吸着する直前に、吸着部から、部品収容凹部内にエアーを吹き付けるため、部品を部品収容凹部から分離できて、部品を部品吸着手段により確実に吸着保持できる。従って、吸着エラーの発生を防止できて、稼働効率を向上させることができる。
【００２２】
上記発明［２］〜［４］にかかる実装機によると、必要に応じてエアブロー処理を行えるため、余計なエアブローを行う必要がなく、稼働効率をより一層向上させることができる。
【００２３】
上記発明［５］〜［８］にかかる実装機によると、ブロー時間を調整できるため、エアブロー処理による効果を確実に得ることができる。
【００２４】
上記発明［９］にかかる実装機によると、部品吸着手段により部品をより一層確実に吸着保持できる。
【００２５】
上記発明［１０］にかかる実装機によると、部品収容凹部内の塵埃等の異物を除去することができる。
【００２６】
上記発明［１１］にかかる実装機の部品吸着方法によると、上記と同様に、吸着エラーの発生を防止できて、稼働効率を向上させることができる。
【００２７】
上記発明［１２］［１３］にかかる実装機の部品吸着方法によると、上記と同様に、稼働効率をより一層向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
＜第１実施形態＞
図１はこの発明の第１実施形態に適用された実装機の一例を示す平面図である。同図に示すように、実装機は、基台１１上に配置されて基板Ｐを搬送するコンベア２０と、このコンベア２０の両側に設けられた部品供給部３０と、基台１１の上方に設けられた電子部品実装用のヘッドユニット４０とを備えている。
【００２９】
部品供給部３０は、コンベア２０に対してフロント側とリア側のそれぞれ上流部と下流部に設けられている。この実施形態では、部品供給部３０は、部品供給手段としてのテープフィーダ３１…を複数並べて取付可能に構成されている。
【００３０】
テープフィーダ３１…から供給される部品は、ヘッドユニット４０によってピックアップできるようになっている。
【００３１】
ヘッドユニット４０は、部品供給部３０から部品をピックアップしてプリント基板Ｐ上に装着し得るように、部品供給部３０とプリント基板Ｐ上の実装位置とにわたる領域を移動可能となっている。具体的には、ヘッドユニット４０は、Ｘ軸方向（コンベア２０の基板搬送方向）に延びるヘッドユニット支持部材４２にＸ軸方向に移動可能に支持されている。ヘッドユニット支持部材４２はその両端部においてＹ軸方向（水平面内でＸ軸と直交する方向）に延びるガイドレール４３，４３にＹ軸方向に移動可能に支持されている。そしてヘッドユニット４０は、Ｘ軸モータ４４によりボールねじ４５を介してＸ軸方向の駆動が行われ、ヘッドユニット支持部材４２は、Ｙ軸モータ４６によりボールねじ４７を介してＹ軸方向の駆動が行われるようになっている。
【００３２】
また、ヘッドユニット４０には、複数のヘッド４１…がＸ軸方向に並んで搭載されている。各ヘッド４１は、Ｚ軸モータを駆動源とする昇降機構による上下方向（Ｚ軸方向）に駆動されるとともに、Ｒ軸モータを駆動源とする回転駆動機構により回転方向（Ｒ軸方向）に駆動されるようになっている。
【００３３】
図６に示すように、各ヘッド４１…には、電子部品を吸引吸着して基板Ｐに装着するための吸着ノズル２…が搭載されている。
【００３４】
各ヘッド４１および各吸着ノズル２には、その内部にエア管路２３がそれぞれ設けられ、そのエア管路２３の先端が吸着ノズル２の先端部２１に配置されている。エア管路２３の基端側は二方に分岐されて、一方側が吸引ポンプ等の負圧発生手段２５に接続されるとともに、他方側が加圧ポンプ等の正圧発生手段２６に接続されている。さらにエア管路２３上には、管路２３内の負圧レベル（真空圧）を検出する負圧レベル検出センサ（図示省略）が設けられている。
【００３５】
そして負圧発生手段２５の駆動によって、エア管路２３内が負圧に設定されると、吸着ノズル２の先端部２１に、電子部品が吸着されるようになっている。さらに正圧発生手段の駆動によって、エア管路２３内に圧縮エアーが吹き込まれると、そのエアーが吸着ノズル２の先端部２１から外部に噴出されるようになっている。なおエアーを噴出させるエアブロー処理は、後述するように、部品を吸着する直前に行うようにしている。
【００３６】
本実施形態においては、吸着ノズル２によって部品吸着手段が構成されるとともに、吸着ノズル２の先端部２１によって吸着部が構成されている。さらにエア管路２３および正圧発生手段２６等によってエア噴出手段が構成されている。
【００３７】
図１に示すように、ヘッドユニット４０には例えば、ＣＣＤカメラ等からなる基板撮影カメラ４９が設けられている。この基板撮影カメラ４９は、基板Ｐに設けられた位置基準マークや基板ＩＤマークを認識できるようになっている。
【００３８】
さらに実装機におけるフロント側およびリア側の中間位置には、ラインセンサ等からなる部品撮影カメラ１２が設けられている。この部品撮影カメラ１２は、ヘッドユニット４０によって移送される部品を撮像して、部品の位置ずれ等を検出できるようになっている。
【００３９】
図２に示すように部品供給部３０におけるテープフィーダ３１…の取付部には、装着されたテープフィーダ３１の配置情報が記憶された記憶媒体としてのバーコードシール３０１がそれぞれ貼着されている。また実装機には、バーコードシール３０１の情報を読み取るためのバーコードリーダ（コード読取装置）１３が設けられている。従ってこのバーコードリーダ１３によって、テープフィーダ３１…の取付部のバーコードシール３０１を読み取ることにより、その取付部がどの位置であるか等の位置情報を知ることができるようになっている。
【００４０】
図４，５に示すように各テープフィーダ３１は、リール３３が装着されており、このリール３３には、部品が格納されたリールテープが巻回されている。
【００４１】
図７に示すようにリールテープ３２は、テープボディ３２１を有し、そのテープボディ３２１に所定の間隔おきに多数のキャビティ３２５が設けられている。各キャビティ３２５は、テープボディ３２１の所要領域を打ち抜いて形成した貫通孔によって構成されている。そして各キャビティ３２５内にＩＣやトランジスタ等の小片状の部品Ｅが収容された状態で、テープボディ３２１の下面側にボトムテープ３２２が貼り付けられるとともに、上面側にトップテープ３２３が貼り付けられて、各キャビティ３２５内に部品が密閉される。
【００４２】
本実施形態においては、テープフィーダ３１、リールテープ３２およびリール３３によって、部品供給手段が構成されている。さらにテープボディ３２１のキャビティ３２５と、ボトムテープ３２２によって形成される凹部によって、部品収容凹部が構成されている。
【００４３】
このリールテープ３２がセットされたリール３３が、図４，５に示すようにテープフィーダ３１に装着されている。このテープフィーダ３１が装着された実装機は、後述の実装時において、テープ３２がリール３３から間欠的に繰り出されて、テープフィーダ３１の先端部（部品吸着位置）に間欠的に送り出される一方、図７に示すように送り出されたリールテープ３２のトップテープ３２３が順次剥離されて、各キャビティ３２５の上面側が順次開放される。そしてキャビティ３２５の上面開放部に、ヘッド４１の吸着ノズル２が配置されて、ノズル２に負圧が供給されることにより、キャビティ３２５内の部品がノズル２に吸引吸着されるようになっている。
【００４４】
各テープフィーダ３１の側面には、フィーダＩＤ情報が記憶された記憶媒体としてのバーコードシール３１２が貼着されており、このバーコードシール３１２を実装機に接続されたバーコードリーダ（コード読取装置）１３等で読み取ることにより、フィーダＩＤ等を知ることができるようになっている。
【００４５】
各テープフィーダ３１にセットされるリール３３の側面には、記憶媒体としてのバーコードシール３３６…が貼着されている。このバーコード３３６…には例えば、各リール３３をそれぞれ識別可能なリールＩＤ情報、各リール３３に巻回されたテープ３２に格納された部品の種類（メーカー品番）情報、テープに格納された部品の入り数（初期格納数）情報等が記憶されている。このバーコードシール３３６…を実装機に接続されたバーコードリーダ１３等で読み取ることにより、上記の各種情報を知ることができるようになっている。
【００４６】
図１に示すように実装機におけるフロント側の一側部には、ノズルステーション３が設けられている。ノズルステーション３には、複数の吸着ノズルをストック可能な複数のノズル格納部が設けられるとともに、そのノズル格納部に交換用吸着ノズルがストックされている。そしてヘッドユニット４０がノズルステーション３の位置まで移動した状態において、ヘッドユニット４０は、そのヘッド４１に装着された吸着ノズルを、ノズルステーション３にストックして、別の交換用吸着ノズルを装着できるようになっている。
【００４７】
図３は実装機の制御系を示すブロック図である。同図に示すように本実施形態の実装機は、パーソナルコンピュータ等からなる制御装置（コントローラ）６を備え、この制御装置６によって、実装機１の各種動作が制御されて、後に詳述する動作が自動的に実行される。
【００４８】
制御装置６は、演算処理部６０、実装プログラム記憶手段６３、搬送系データ記憶手段６４、モータ制御部６５、外部入出力部６６および画像処理部６７を備えている。
【００４９】
演算処理部６０は、実装機１の各種動作を統括的に管理する。
【００５０】
実装プログラム記憶手段６３は、基板Ｐに各電子部品を実装するための実装プログラム（生産プログラム）を記憶する。この生産プログラムには、基板Ｐの回路パターンに基づく各電子部品の実装位置（座標）や向きを示すマークや、各電子部品を認識するための形状データ、各電子部品に供給されるフィーダ３１の位置（座標）が含まれている。また実装プログラム記憶手段６３には、後述するエアブロー処理を実行するプログラムも含まれている。
【００５１】
搬送系データ記憶手段６４は、生産ライン上での基板Ｐの搬送に関する各種データが記憶されている。
【００５２】
またモータ制御部６５は、ヘッドユニット４０（ヘッド４１）のＸＹＺＲ各軸の駆動モータ等の動作を制御する。
【００５３】
外部入出力部６６は、実装機が備える各種センサ類、吸着ノズル進退用のエアシリンダ、負圧発生手段２５、正圧発生手段２６等の駆動部との間で各種情報の入出力を行う。各種センサ類には、ノズル２のエア管路内の負圧レベルを測定する上記負圧レベル検出センサも含まれている。
【００５４】
画像処理部６７は、部品撮影カメラ１２および基板撮影カメラ４９によって撮像された画像データを処理する。
【００５５】
また制御装置６には、各種の情報を表示するためのＣＲＴディスプレイ、液晶ディスプレイ等の表示ユニット６２が接続されている。さらに制御装置６には、各種の情報を入力するためのキーボードやマウス等の入力ユニット（図示省略）が接続されている。
【００５６】
さらに制御装置６は、実装機の動作を制御するのに必要な各種の情報が蓄積されたデータベース７１に接続されている。
【００５７】
データベース７１には、図１１に示すように、部品種類毎に予め設定された基準の吸着成功率に関する情報（生産実績管理情報表）が蓄積されている。
【００５８】
この表において、「部品品番」は、メーカー品番であり、部品（リール３３）の種類に相当する。
【００５９】
「ブロー状況」は、部品吸着時にエアブロー処理が必要であるか否かの状態を示す情報であり、必要でない場合には「未」、必要な場合には「実施」に設定される。
【００６０】
「実測吸着成功率」は、部品種類毎に、実際に計測される吸着成功率であり、吸着成功率＝吸着成功回数×１００／吸着試行回数の関係式で求められる。この実測の吸着成功率は、制御装置６に設定される生産プログラムに従って自動的に求められる。さらにこの実測吸着成功率は、部品を吸着する毎に更新されるダイナミックデータである。
【００６１】
「トリガー条件」は、基準となる吸着成功率であり、部品種類毎に特定されたデータである。後述するようにこのトリガー条件（基準の吸着成功率）よりも実測の吸着成功率が低くなった場合には、部品分離ブロー（エアブロー処理）が行われるようになっている。なおトリガー条件は、過去の生産データや実験データ等に基づいて求められる。
【００６２】
本実施形態において、リール３３をテープフィーダ３１にセットする際に、リール３３の上記バーコードシール３３５から実装機のバーコードリーダー１３によって、リールＩＤ情報を読み取るとともに、テープフィーダ３１の上記バーコードシール３１２に書き込まれたフィーダＩＤ情報を読み取ることにより、当該フィーダ３１から供給される部品と、図１１に示す生産実績情報とが関連付けされる。
【００６３】
さらにテープフィーダ３１を実装機に装着する際に、テープフィーダ３１のバーコードシール３１２に書き込まれたフィーダＩＤ情報を実装機のバーコードリーダ１３で読み取るとともに、そのフィーダ３１を取り付けようとしている部品供給部３０の上記バーコードシール３０１を読み取ることにより、フィーダ３１の取付位置情報と、そのテープフィーダ３１のリール３３から供給される部品情報とが関連付けされる。
【００６４】
本実施形態において、実装機は、実装処理を開始する前に、制御装置６に実装プログラム（生産プログラム）が読み込まれる。この生産プログラムには、基板Ｐの回路パターンに基づく各電子部品の実装位置（座標）や向きを示す情報や、各電子部品の認識部を認識するための形状情報、各電子部品が供給されるテープフィーダ等の位置（座標）や、各テープフィーダに装着されるリール（部品）の種類に関する情報のほか、実装手順に関する情報例えば、実装する部品をどのヘッド、どの種類のノズルによってどの順序で実装するか等の情報が含まれている。
【００６５】
この生産プログラムは、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、ディスケット等の記録媒体や、ハードディスク等の記憶装置、ＬＡＮやインターネットのネットワーク回線を介して上位のコンピュータ等から取り込まれる。
【００６６】
以上の構成の実装機においては、入力ユニットを介して入力された動作開始指令に応答して制御装置６が作動し、制御装置６が各駆動部の駆動を制御して、以下の動作が自動的に行われる。
【００６７】
まず実装機に未実装の基板Ｐが搬入されると、図１３に示すように、ヘッドユニット４０が部品供給部３０まで移動して、所定の電子部品がヘッドユニット４０の各吸着ノズル２によってそれぞれ吸着される（ステップＳＴ１）。
【００６８】
続いてヘッドユニット４０が基板Ｐの位置まで移動して、各吸着ノズル２に吸着された部品が、基板Ｐ上の所定位置にそれぞれ搭載される（ステップＳＴ２）。
【００６９】
その後、同様にして基板Ｐ上に電子部品が順次搭載されていく（ステップＳＴ３でＮＯ、ＳＴ１、ＳＴ２）。
【００７０】
こうして基板Ｐ上に当該実装機に割り付けられた全ての部品が搭載されると（ステップＳＴ３でＹＥＳ）、当該実装機による実装処理が終了し、実装された基板Ｐが搬出される一方、未実装の次の基板Ｐが実装位置まで搬入される。
【００７１】
なお本実施形態においては、実装処理を行うための制御装置６の機能（プログラム）によって実装制御手段が構成されている。
【００７２】
次に吸着処理（図１３ステップＳＴ１）について詳細に説明する。図１４に示すように吸着すべき部品がある場合には（ステップＳ１でＮＯ）、吸着すべき部品が決定され（ステップＳ２）、さらにその部品を供給するテープフィーダ（リール）の部品供給位置（ＸＹＺＲ座標位置）が決定される（ステップＳ３）。なお吸着すべき部品が決定されると、その部品を吸着するノズルの種類（ノズル番号）も特定される。
【００７３】
吸着すべき部品および位置（部品吸着位置、部品供給位置）が決定されると、吸着すべき部品に対し、エアブロー処理（部品分離ブロー）が必要であるか否かが判断されるが（ステップＳ４）、その判断動作の詳細については後に説明することにして、ここでは、部品分離ブローが不要で（ステップＳ４でＮＯ）、通常の吸着動作（ステップＳ５）を行う場合を先に説明する。
【００７４】
通常の吸着動作においてはまず、必要に応じて、ノズル交換が行われる。すなわちヘッドユニット４０に、吸着すべき部品に対応するノズル２が装着されていない場合には、ヘッドユニット４０がノズルステーション３の位置まで移動した後、そのヘッドユニット４０に装着された吸着ノズルが、ノズルステーション３に格納されて、対応する所定の吸着ノズルが装着される。
【００７５】
本実施形態においては、ノズル２の交換を行うための制御装置６の機能（プログラム）によってノズル交換手段が構成されている。
【００７６】
ノズル交換後、図１５に示すように、ヘッドユニット４０の吸着ヘッド２が、吸着すべき部品の吸着位置に向かって平面方向内で移動する（ステップＳ５０１）。
【００７７】
ヘッドユニット４０が目標位置に向けて移動していき（ステップＳ５０２でＮＯ）、ノズル２が、吸着すべき部品の上方位置（目標位置）に到達すると（ステップＳ５０２でＹＥＳ）、図８に示すように吸着ノズル２（ヘッド４１）がＺ軸に沿って下方へ移動する（ステップＳ５０３）。
【００７８】
吸着ノズル２が降下していき（ステップＳ５０４でＮＯ）、目標位置まで降下すると（ステップＳ５０４でＹＥＳ）、吸着ノズル２の先端部２１がテープボディ３２１におけるキャビティ３２５の上面周縁部に接触する。これによりキャビティ３２５がノズル先端部２１によって閉塞されてキャビティ３２５が密閉される（図９参照）。
【００７９】
その状態で、負圧発生手段２５が駆動して、ノズル先端部２１が負圧に設定される（ステップＳ５０５）。これにより部品Ｅがノズル２により吸引吸着される。
【００８０】
その後、吸着ノズル２がＺ軸に沿って上昇して（ステップＳ５０６）、部品吸着が成功した否かが判断される（ステップＳ５０７）。
【００８１】
部品Ｅの吸着が成功したか否かの判定方法は次のようにして行われる。
【００８２】
すなわち吸着ノズル２が負圧に設定されて上昇した際に（ステップＳ５０５，Ｓ５０６）、部品Ｅが確実に吸着されていると、部品Ｅが吸着されていない場合と比較して、吸着ノズル２におけるエア管路２３内の気圧が低くなる。従って制御装置６は、このエア管路２３内の気圧を検出する負圧レベル検出センサからの出力信号に基づき、エア管路２３内の気圧が、予め設定された所定の圧力よりも低い場合には（負圧レベルが高い場合）には、部品Ｅの吸着が成功したと判断される一方、エア管路２３内の気圧が、所定の圧力よりも高い場合には（負圧レベルが低い場合には）、部品Ｅの吸着が失敗したと判断される。
【００８３】
部品吸着が成功した場合（ステップＳ５０７でＹＥＳ）、吸着動作が終了する一方、失敗した場合には（ステップＳ５０７でＮＯ）、吸着エラーとなり、実装動作が中断されて、エラー警告されて、オペレータに通知される（ステップＳ５０８）。エラー警告としては、モニターへの表示や、ブザー音、警告灯などが用いられる。
【００８４】
なお部品吸着の成功／不成功に関する情報は、制御装置６に送信されて、後述のブロー要否の判断基準となる吸着成功率に反映される。例えば吸着成功の場合には、当該部品に対応する実測の吸着成功率（図１１参照）において、試行回数および成功回数がそれぞれ１つずつ加えられる一方、不成功の場合には、試行回数のみが１つ加えられて、実測の吸着成功率が更新される。
【００８５】
こうして吸着動作が繰り返される一方、各部品毎の実測の吸着成功率（図１１参照）が求められる。
【００８６】
一方、図１４の吸着動作における部品分離ブローの要否判断（ステップＳ４）は、次のようにして行われる。まず生産実績管理情報表（図１１）が参照されて、吸着すべき部品を供給するリール（部品種類）におけるトリガー条件（基準の吸着成功率）が制御装置６に取得される一方（ステップＳ４０１）、そのトリガー条件と、供給するリール（部品種類）に対する吸着成功率（実測の吸着成功率）とが比較される（ステップＳ４０２）。そして実測吸着成功率が、トリガー条件よりも高い場合（ステップＳ４０２でＮＯ）、部品分離ブローが不要であると判断されて、上記した通常の吸着動作が行われる。なおブローが不要であると判断された場合には（ステップＳ４０２でＮＯ）、生産実績管理情報表（図１１）における当該部品の「ブロー使用」の欄は「未」の状態で維持される。
【００８７】
実測吸着成功率が、トリガー条件よりも低い場合（ステップＳ４０２でＹＥＳ）、部品分離ブローが必要であると判断される。こうしてブローの実施が決定されると（ステップＳ４０３）、生産実績管理情報表（図１１）における当該部品の「ブロー使用」の欄が「実施」に書き換えられる。
【００８８】
例えば図１１の品番「ＡＡＡＡ」「ＢＢＢＢＢ」「ＡＢＣＤＥ」の部品は、全てトリガー条件よりも高く、部品分離ブローが不要であると判断される。
【００８９】
また品番「ＡＢＣＤＥ」の部品において、実装を繰り返すうち、実測吸着成功率が低下して、図１２に示すようにトリガー条件よりも低くなると、当該部品「ＡＢＣＤＥ」の部品は部品分離ブローが必要であると判断される。
【００９０】
本実施形態においては、エアブロー（エアブロー処理）が必要か否かを判断する制御装置６の機能（プログラム）によってエアブロー要否判断手段が構成されている。さらに吸着成功率に関する情報を保持するデータベース７１や制御装置６の実装プログラム記憶手段６３によって、吸着成功率情報保持手段（エアブロー要否情報保持手段）が構成されている（後述の第２，３実施形態においても同じである）。
【００９１】
なお、以前の生産で測定した情報（部品種類毎の実測吸着成功率）を継承する場合には、データ量が多く、実測吸着成功率にバラツキが生じないため、生産開始直後からブロー要否判断（ステップＳ４）を正確に行うことができる。しかしながら、以前の生産での情報を継承しないような場合に、サンプル数が少ないため、各部品種類毎の吸着成功率にバラツキが生じて、部品分離ブローの要否判断（ステップＳ４）を正確に行えないことがある。従って、以前の情報を継承しない場合には、部品分離ブローの要否判断（ステップＳ４）を生産開始直後から行わずに、ある程度生産時間が経過して、実測吸着成功率にバラツキがなくなってから、行うようにすれば良い。
【００９２】
また実装機によって算出された実測の吸着成功率は、同一種類の部品（同一種類のリール）の他の部品（他のリール）の吸着成功率として用いることも可能である。例えば部品切れ等により、リール（テープフィーダ）を差し替える際に、差し替え後のリールの実測の吸着成功率として、差し替え前のリール（部品）における実測の吸着成功率を、そのまま継承するようにしても良い。
【００９３】
図１４に示すようにブローが必要である場合（ステップＳ４でＹＥＳ）、ブロー時間が設定される（ステップＳ６）。
【００９４】
ブロー時間の設定手順は図１８に示すように、当該部品（リール）に対し、既にブローが実施されているか否かが判断され（ステップＳ６０１）、未だ部品分離ブローが実施されていない場合には（ステップＳ６０１でＮＯ）、予め設定された基準のブロー時間が設定される（ステップＳ６０２）。例えば基準のブロー時間として「１０ｍｓｅｃ」が設定され、制御装置６の実装プログラム記憶手段６３に保持される。本実施形態において、基準のブロー時間は、部品にかかわらず一定に設定されているが、部品種類等に応じて適宜、変更するようにしても良い。
【００９５】
なおブローが既に実施されているか否かの判断は、データベース７１に保持された生産実績管理情報表（図１１，１２）に基づいて行われる。すなわち吸着すべき部品に対し、ブローが必要であると判断された場合（ステップＳ４でＹＥＳ）、生産実績管理情報表の当該部品における「ブロー状況」の欄が参照されて、その欄が「未」に設定されていれば、未だブローが実施されていないと判断される一方、同欄が「実施」に設定されていれば、既にブローが実施されていると判断される。
【００９６】
こうして基準のブロー時間が設定されると（図１４のステップＳ６）、ブロー付吸着動作が行われる（ステップＳ７）。
【００９７】
ブロー付の吸着動作においては、必要に応じて上記ノズル交換を行った後、図１６に示すように、ヘッドユニット４０の吸着ヘッド２が、部品の吸着位置に向かって平面方向に沿って移動する（ステップＳ７０１）。
【００９８】
ヘッドユニット４０が目標位置に向けて移動していき（ステップＳ７０２でＮＯ）、目標位置に到達すると（ステップＳ７０２でＹＥＳ）、吸着ノズル２がＺ軸に沿って移動する（ステップＳ７０３）。
【００９９】
図８に示すように吸着ノズル２が降下していき（ステップＳ７０４でＮＯ）、目標位置まで降下すると（ステップＳ７０４でＹＥＳ）、図９に示すように吸着ノズル２の先端部２１がテープボディ３２１におけるキャビティ３２５の周縁部に接触する。これによりキャビティ３２５の上面開放部がノズル先端部２１に閉塞されて、キャビティ３２５が密閉される。
【０１００】
その状態で正圧発生手段２６が駆動して、ノズル内のエア管路２３が正圧に設定されて、ノズル先端部２１から、キャビティ３２５内にエアーＡが吹き込まれる（ステップＳ７０５〜Ｓ７０７）。なおステップＳ７０６の一定時間とは、ブロー時間に相当するものであり、ブロー時間が経過するまで待機し（ステップＳ７０６でＮＯ）、ブロー時間経過後（ステップＳ７０６でＹＥＳ）、ブローが停止される（ステップＳ７０７）。
【０１０１】
このようにキャビティ３２５内にエアーＡが吹き込まれると、部品Ｅがキャビティ３２５内で振動する。
【０１０２】
このとき仮に図９に示すように、キャビティ３２５内に、粘着剤残渣等の異物Ｄが残存して、その異物Ｄを介して部品Ｅがキャビティ３２５内に付着していたり、塵埃や塵等の異物Ｄが混入して、その異物Ｄに絡まって部品Ｅがキャビティ３２５内に保持されていたとしても、図１０に示すように吸着ノズル２からキャビティ３２５内にエアーＡが吹き込まれて、部品Ｅが振動するため、部品Ｅがキャビティ３２５および異物Ｄから切り離されて、フリーな状態となる。
【０１０３】
こうして部品Ｅがキャビティ３２５内から切り離された後、負圧発生手段２５が駆動して、ノズル先端部２１に負圧が供給される（ステップＳ７０８）。これにより部品Ｅがノズル２により吸着保持される。
【０１０４】
なお本実施形態においては、エアブローを実行する制御装置６の機能（プログラム）によってエアブロー制御手段が構成されている（後述の第２〜４実施形態においても同じ）。
【０１０５】
その後、吸着ノズル２がＺ軸に沿って上昇して（ステップＳ７０９）、部品吸着が成功した否かが上記と同様に判断される（ステップＳ７１０）。
【０１０６】
そして部品吸着が成功した場合（ステップＳ７１０でＹＥＳ）、吸着動作が終了する一方、失敗した場合には（ステップＳ７１０でＮＯ）、吸着エラーとなり、実装動作が中断されて、エラー警告されて（ステップＳ７１１）、オペレータに通知される。
【０１０７】
なお部品吸着の成功／不成功に関する情報は、上記と同様に制御装置６に送信されて、後述のブロー要否の判断基準となる吸着成功率に反映される。
【０１０８】
図１８に示すブロー時間の設定において、既にブロー実施されている場合には（ステップＳ６０１でＹＥＳ）、ブロー時間が延長される（ステップＳ６０３）。例えば基準のブロー時間に、所定の割合分（１０％分等）上乗せした時間が、ブロー時間として設定される（図１４のステップＳ６）。
【０１０９】
こうしてブロー時間が設定された後、上記したブロー付吸着動作（図１６）と同様に吸着動作が行われる。なおこのようにブロー時間が延長された場合、図１６のステップＳ７０６の一定時間とは、延長されたブロー時間に相当するものであり、ブロー時間が経過するまで待機し（ステップＳ７０６でＮＯ）、ブロー時間経過後（ステップＳ７０６でＹＥＳ）、ブローが停止される。
【０１１０】
なお本実施形態においては、実測の吸着成功率に応じて、ブロー時間を延長させる制御装置６の機能（プログラム）によって、第４ブロー時間調整手段が構成されている。
【０１１１】
以上の吸着動作が、ヘッドユニット４０の全てのノズル２に対し行われて、各ノズル２に部品が吸着されて（図１４のステップＳ１でＹＥＳ）、吸着処理が終了する。その後は、ヘッドユニット４０が基板位置まで移動して各部品が基板に搭載される（図１３のステップＳＴ２）。
【０１１２】
以上のように、本実施形態の実装機によれば、吸着ノズル２により部品Ｅを吸着する直前に、吸着ノズル２の先端部２１から、部品Ｅが収容されるリールテープ３２のキャビティ３２５内にエアーＡを導入するエアブロー処理を行っているため、混入異物によって部品Ｅがキャビティ３２５内に付着していたとしても、エアブローにより部品Ｅが振動して、キャビティ３２５内から切り離される。そしてこのように部品Ｅがキャビティ３２５内から切り離されたフリーの状態で、吸着ノズル２により吸引しているため、部品Ｅを吸着ノズル２により確実に吸着保持できて、部品Ｅを確実にキャビティ３２５から取り出すことができ、吸着エラーの発生を防止することができる。従って、吸着エラーにより生産が中断されるのを有効に防止できて、稼働効率を向上させることができる。
【０１１３】
さらに本実施形態においては、各部品種類毎（リールテープ毎）に吸着ノズル２による吸着成功率を測定し、その吸着成功率が低い部品種類（リールテープ）の部品を吸着する際に、部品分離ブローを行うようにしているため、つまり部品分離ブローの要否を判断して、必要な部品に対してのみ、部品分離ブローを行うようにしているため、余計なエアブローを行わずに済み、その分、処理時間を短縮できて、稼働効率を向上させることができる。なお言うまでもなく、部品分離ブローを行わない部品は、吸着成功率が高い部品であるため、吸着ミスが発生することはない。
【０１１４】
また本実施形態においては、所定時間の部品分離ブローを行っても、吸着成功率が改善しないような部品（リールテープ）に対しては、例えばキャビティ３２５内に強固に付着している可能性の高い部品等に対しては、ブロー時間を延長するようにしているため、長時間の部品分離ブローによって部品をキャビティ３２５内から有効に切り離すことができる。従ってキャビティ３２５内に強固に付着した部品であっても、吸着ノズル２によって確実に吸着でき、吸着性能を一層向上させることができる。
【０１１５】
また本実施形態では、キャビティ３２５内に異物が混入しているような品質の劣るテープ（リール）を使用することができるため、あらゆる種類のリールを使用でき、汎用性の向上およびコストの削減を図ることができる。
【０１１６】
なお上記実施形態においては、エアブローを行う際に、吸着ノズル２の先端部２１を、リールテープ３２におけるキャビティ３２５の周縁部に密着させるようにしているが、それだけに限られず、本発明においては、吸着ノズル２の先端部２１をリールテープ３２に接触させずに非接触状態で（例えば図８に示す状態で）、吸着ノズル２の先端部２１からキャビティ３２５内にエアーＡを導入するようにしても良い。この場合には、キャビティ３２５内の気圧上昇は小さくなるものの、部品Ｅを振動させることはできるため、部品Ｅがキャビティ３２５内に異物混入等によって付着していても、その部品Ｅをキャビティ３２５から切り離すことができ、確実に吸着することができる。
【０１１７】
さらに本実施形態においては、部品Ｅを吸着する際にも、吸着ノズル２の先端部２１を、リールテープ３２のキャビティ周縁部に密着させているが、それだけに限られず、本発明においては、吸着ノズル２の先端部２１をリールテープ３２に対し非接触状態で、吸引して、部品を吸着するようにしても良い。
【０１１８】
また上記実施形態においては、実測の吸着成功率が所定以下となった場合には、当該部品に対しエアブローを行うようにしているが、それだけに限られず、本発明においては、吸着エラー回数が所定回数以上となった場合に、当該部品（リールテープ）に対しエアブローを行うようにしても良い。
【０１１９】
＜第２実施形態＞
次に本発明の第２実施形態である実装機について説明する。第２実施形態の実装機は、上記第１実施形態の実装機に対し、部品分離ブローの要否判断方法と、エアブロー時間の調整方法とが基本的に異なるのみで、その他の構成は上記第１実施形態と実質的に同様である。
【０１２０】
本第２実施形態の実装機では、部品種類（リール）毎に予め、部品分離ブローの要否を決定し、特定の部品種類に対してのみエアブローを行うとともに、部品の体積（大きさ、サイズ）、部品の形状（種類）および吸着ノズルの種類によって、エアブロー時間が調整される。
【０１２１】
すなわち本実施形態の実装機において、データベース７１には、上記第１実施形態の生産実績管理情報表（図１１）に代えて、図１９に示す部品管理情報表が設けられている。
【０１２２】
この表において、「部品品番」および「トリガー条件（基準吸着成功率）」は、上記第１実施形態と同様である。
【０１２３】
「既存吸着成功率」は、過去の生産データや実験データ等を基に算出された部品種類（リール）毎の吸着成功率である。
【０１２４】
「ブロー要否」は、部品吸着時にエアブローが必要であるか否かの状態を示す情報であり、既存吸着成功率が、基準吸着成功率よりも低い場合には「要（ブロー必要）」に、高い場合には「否（ブロー不要）」に自動的に設定される。
【０１２５】
またデータベース７１には図２０に示すように、部品種類毎の部品に関する情報（生産プログラム部品情報表）が蓄積されている。
【０１２６】
この表において、「部品品番」は上記と同様、メーカー品番であり、部品（リール３３）の種類に相当する。
【０１２７】
「寸法Ｘ」「寸法Ｙ」「寸法Ｚ」は、各部品のＸＹＺ軸方向の各寸法である。さらに「形状」は、各部品の形状を表す情報である。さらに「ノズル番号」は、各部品を吸着する際に使用されるノズルの番号であり、ノズルの種類に相当する。
【０１２８】
またデータベース７１には、図２１に示すように部品体積（部品大きさ）とブロー時間とが関連付けされた情報（体積／ブロー時間情報表）、図２２に示すようにノズル番号とブロー時間係数とが関連付けされた情報（ノズル／ブロー時間係数情報表）、および図２３に示すように部品形状とブロー時間係数とが関連付けされた情報（形状／ブロー時間係数情報表）が蓄積されている。
【０１２９】
図２１の体積／ブロー時間情報表において、「体積」は、実装処理される部品種類毎の体積に相当し、生産プログラム部品情報表（図２０）の「寸法Ｘ」×「寸法Ｙ」×「寸法Ｚ」によって求められる。
【０１３０】
「ブロー時間」は、後述するように部品吸着時にエアーブローを行う際に、そのブロー時間を求める際の基準となる時間である。
【０１３１】
図２２に示すようにノズル／ブロー時間係数情報表において、「ノズル番号」は、上記生産プログラム部品情報表（図２０）の「ノズル番号」に相当する。
【０１３２】
「ブロー時間係数」は、吸着ノズルの種類毎に設定される係数であって、後述するようにエアブロー時間を調整する際に用いられる。
【０１３３】
図２３に示すように形状／ブロー時間係数情報表において、「形状」は、部品種類毎の部品の形状に関する情報である。
【０１３４】
「ブロー時間係数」は、部品の形状毎に設定される係数であって、後述するようにエアブロー時間を調整する際に用いられる。
【０１３５】
また本第２実施形態においても、上記第１実施形態と同様、部品供給部３０、テープフィーダ３１およびリール３３の各バーコードシール３０１，３１２，３３５から、バーコードリーダ１３等により各種情報を読み取ることにより、フィーダ３１の取付位置情報と、その位置のフィーダ（リール）から供給される部品情報とが関連付けされる。
【０１３６】
本第２実施形態の実装機では、上記第１実施形態と同様に、実装処理（図１３参照）が行われるが、その実装処理の吸着処理（図１４参照）におけるブロー要否判断（ステップＳ４）の判断方法と、ブロー時間設定（ステップＳ６）におけるブロー時間調整方法が、上記第１実施形態と相違する。
【０１３７】
すなわちブロー要否判断（ステップＳ４）においては、部品管理情報表（図１９）が参照されて、吸着すべき部品に関する情報が制御装置６に取得される。そして当該部品を供給するリール（部品種類）の「ブロー要否」の欄が、「否」の場合には、ブローが不要であると判断され（ステップＳ４でＮＯ）、「要」の場合には、ブローが必要であると判断される（ステップＳ４でＹＥＳ）。
【０１３８】
ブローが不要である場合には、上記第１実施形態の通常の吸着動作（図１５）と同様な動作が行われる。
【０１３９】
一方、ブローが必要な場合には（図１４のステップＳ４でＹＥＳ）、ブロー時間が設定される（ステップＳ６）。
【０１４０】
ブロー時間の設定手順は図２４に示すように、生産プログラム部品情報表（図２０）から、当該部品のＸＹＺ軸寸法が制御装置６に取得される（ステップＳ６１１）、続いて同表から当該部品のノズル番号および部品形状が制御装置６に取得される（ステップＳ６１２，Ｓ６１３）。
【０１４１】
次に、取得したＸＹＺ軸寸法から、当該部品の体積が算出される。既述したように部品の体積は、「寸法Ｘ」×「寸法Ｙ」×「寸法Ｚ」によって求められる。例えば品番「ＡＡＡＡＡ」の部品では、ＸＹＺ寸法がいずれも「１．０ｍｍ」であるため、当該部品の体積は、１．０ｍｍ×１．０ｍｍ×１．０ｍｍ＝１．０ｍｍ3 と算出される。
【０１４２】
次に算出された部品の体積が、体積／ブロー時間情報表（図２１）に照合されて、その部品体積に対応するブロー時間（基準のブロー時間）が制御装置６に取得される（ステップＳ６１４）。例えば「ＡＡＡＡＡ」の部品は、体積が「１．０ｍｍ3 」であるから、基準のブロー時間として「１０ｍｓｅｃ」が取得される。
【０１４３】
次に吸着すべき部品の形状が、形状／ブロー時間係数情報表（図２２）に照合されて、その形状に対応するブロー時間係数（形状ブロー時間係数）が制御装置６に取得される（ステップＳ６１５）。例えば「ＡＡＡＡＡ」の部品は、ＳＯＰ形状であるから、その形状のブロー時間係数として「０．８」が取得される。
【０１４４】
次に部品を吸着するノズル２の種類（ノズル番号）が、ノズル番号／ブロー時間係数情報表（図２３）に照合されて、そのノズルに対応するブロー時間係数（ノズルブロー時間係数）が制御装置６に取得される（ステップＳ６１６）。例えば「ＡＡＡＡＡ」の部品は、「００１」のノズルに対応しているため、そのノズルのブロー時間係数として「１．０」が取得される。
【０１４５】
次に基準のブロー時間に各係数がかけ合わされて、ブロー時間が調整される（ステップＳ６１７）。これにより適切なブロー時間（調整済ブロー時間）が求められる。具体的には「調整済ブロー時間」＝「基準ブロー時間」×「形状ブロー時間係数」×「ノズルブロー時間係数」の関係式を用いてブロー時間が調整される。例えば部品「ＡＡＡＡＡ」の場合、基準ブロー時間が「１０ｍｓｅｃ」、形状ブロー時間係数が「０．８」、ノズルブロー時間係数が「１．２」であるから、調整済ブロー時間は、「１０ｍｓｅｃ」×「０．８」×「１．２」＝「９．６ｍｓｅｃ」となる。
【０１４６】
こうしてブロー時間が設定された後、ブロー付吸着動作が行われる（図１４のステップＳ７）。このブロー付吸着動作は、図１６に示す上記第１実施形態のブロー付吸着動作と同様である。この場合言うまでもなく、ブロー時間は、上記調整済ブロー時間となる。具体的には、同図のステップＳ７０６の経過時間が、上記調整済ブロー時間となる。
【０１４７】
本第２実施形態において、他の構成は、上記第１実施形態と同様である。
【０１４８】
さらにサイズ（体積）／ブロー時間情報表（図２１）、形状／ブロー時間係数情報表（図２３）、およびノズル／ブロー時間係数情報表（図２２）を保持するデータベース７１や制御装置６の実装プログラム記憶手段６３によって、サイズ（体積）／ブロー時間情報保持手段、形状／ブロー時間（係数）情報保持手段、およびノズル／ブロー時間（係数）情報表保持手段がそれぞれ構成されている。
【０１４９】
さらにサイズ（体積）／ブロー時間情報表（図２１）、形状／ブロー時間係数情報表（図２３）、およびノズル／ブロー時間係数情報表（図２２）に基づいて、ブロー時間を調整する制御装置６の機能（プログラム）によって、第１ブロー時間調整手段、第２ブロー時間調整手段、および第３ブロー時間調整手段がそれぞれ構成されている（後述の第３，４実施形態においても同じ）。
【０１５０】
この第２実施形態の実装機においても、上記第１実施形態と同様に、混入異物によって部品Ｅがキャビティ３２５内に付着していていも、エアブローにより部品Ｅをキャビティ３２５内から切り離すことができるため、部品Ｅをノズル２により確実に吸着でき、吸着エラーの発生を防止でき、生産性を向上させることができる。
【０１５１】
さらに吸着エラーが発生し易い部品にのみ、エアーブローを行っているため、余計なエアブローによる時間ロスがなくなり、生産効率を一層向上させることができる。
【０１５２】
また本実施形態においては、吸着する部品の体積（大きさ）、形状、ノズルの種類によって、ブロー時間を調整しているため、部品毎に適切なブロー時間で、エアブローを行うことができる。従ってエアブローによって、部品Ｅをキャビティ３２５内からより確実に切り離すことができ、吸着ノズル２により部品Ｅを、より確実に吸着できて、吸着性能をより一層向上させることができる。
【０１５３】
＜第３実施形態＞
次に本発明の第３実施形態である実装機について説明する。この第３実施形態の実装機は、上記第２実施形態の実装機に対し、エアブロー時間の調整方法が基本的に異なるのみで、その他の構成は実質的に上記第２実施形態と同様である。
【０１５４】
本第３実施形態の実装機では、エアブロー時間の基準となる基準のブロー時間を、吸着ノズルの種類によって特定している。
【０１５５】
すなわち本実施形態の実装機において、データベース７１には、上記生産プログラム部品情報表（図２０）、上記形状／ブロー時間係数情報表（図２３）に加え、図２５に示すようにノズル番号とブロー時間とが関連付けされた情報（ノズル／ブロー時間情報表）が蓄積されている。
【０１５６】
図２５に示すノズル／ブロー時間情報表において、「ノズル番号」は、生産プログラム部品情報表（図２０）の「ノズル番号」に相当する。
【０１５７】
「ブロー時間」は、後述するように部品吸着時にエアーブローを行う際に、そのブロー時間を求める際の基準となる時間である。
【０１５８】
また本第３実施形態においても、上記実施形態と同様、上記実施形態と同様、部品供給部３０、テープフィーダ３１およびリール３３の各バーコードシール３０１，３１２，３３５から、バーコードリーダ１３等により各種情報を読み取ることにより、フィーダ３１の取付位置情報と、そのフィーダ（リール）から供給される部品情報とが関連付けされる。
【０１５９】
本第３実施形態の実装機では、上記第２実施形態と同様に、吸着処理（図１４参照）が行われるが、吸着処理のブロー時間設定（ステップＳ６）におけるブロー時間調整方法が、上記第２実施形態と相違する。
【０１６０】
すなわちブロー時間設定（ステップＳ６）においては、生産プログラム部品情報表（図２０）から、吸着すべき部品に対応するノズル番号（ノズル種類）が制御装置６に取得される（ステップＳ６２１）。例えば吸着すべき部品の品番が「ＡＢＣＤＥ」である場合、それに対応するノズル番号「００２」が取得される。
【０１６１】
次に、取得したノズル番号が、ノズル／ブロー時間情報表（図２５）に照合されて、そのノズル番号に対応するブロー時間（基準のブロー時間）が制御装置６に取得される（ステップＳ６２２）。例えばノズル番号「００２」のノズルに対応する基準ブロー時間として「１３ｍｓｅｃ」が取得される。
【０１６２】
次に吸着すべき部品の形状が、形状／ブロー時間係数情報表（図２３）に照合されて、その形状に対応するブロー時間係数（形状ブロー時間係数）が制御装置６に取得される（ステップＳ６２３）。例えば「ＡＢＣＤＥ」の部品は、チップ形状であるから、その形状のブロー時間係数として「１．０」が取得される。
【０１６３】
次に基準のブロー時間に形状ブロー時間係数がかけ合わされて、ブロー時間が調整される（ステップＳ６２４）。これにより適切なブロー時間（調整済ブロー時間）が求められる。つまり「調整済ブロー時間」＝「基準ブロー時間」×「形状ブロー時間係数」の関係式を用いてブロー時間が調整される。例えば部品「ＡＢＣＤＥ」の場合、基準ブロー時間が「１３ｍｓｅｃ」、形状ブロー時間係数が「１．０」であるから、調整済ブロー時間は、「１３ｍｓｅｃ」×「１．０」×＝「１３ｍｓｅｃ」となる。
【０１６４】
こうしてブロー時間が設定された後、ブロー付吸着動作が行われる（図１４のステップＳ７）。このブロー付吸着動作は、図１５に示す上記第１，２実施形態のブロー付吸着動作と同様である。この場合言うまでもなく、ブロー時間は、上記調整済ブロー時間となる。具体的には、同図のステップＳ７０６の経過時間が、上記調整済ブロー時間となる。
【０１６５】
本第３実施形態において、他の構成は、上記第２実施形態と同様である。
【０１６６】
この第３実施形態の実装機においても、上記第１，２実施形態と同様に、吸着エラーの発生を防止できる上、高い稼働効率を維持することができる。
【０１６７】
＜第４実施形態＞
次に本発明の第４実施形態である実装機について説明する。第４実施形態の実装機では、吸着処理時に、部品をリールテープ３２のキャビティ３２５から分離させる部品分離ブローに加えて、必要に応じてゴミ除去ブローを行う。このゴミ除去ブローは、後に詳述するが、部品分離ブローを行う前に、吸着ノズル２の先端部２１を、テープボディ３２１から離間させた状態（非接触状態）で、キャビティ３２５内にエアーを導入することにより、キャビティ３２５内に混入された塵埃等のゴミを吹き飛ばして除去するエアブロー処理である。
【０１６８】
この実装機のデータベース７１には、図２７に示すように、部品種類（リール種類）と、エアブローとが関連付けされた情報（部品管理情報表）が蓄積されている。
【０１６９】
この表において、「部品品番」は、メーカー品番であり、「メーカー」はメーカー名である。
【０１７０】
「ゴミ除去ブロー」は、ゴミ除去ブローを行うか否かに関する情報であり、「部品分離ブロー」は、部品分離ブローを行うか否かに関する情報である。
【０１７１】
なお「ゴミ除去ブロー」および「部品分離ブロー」は、過去の生産データや実験データに基づいて決定された情報である。
【０１７２】
この実装機では、上記実施形態と同様に、実装処理（図１３参照）が行われるが、その実装処理の吸着処理において、以下の動作が行われる。
【０１７３】
すなわち図２８に示すように、吸着すべき部品がある場合には（ステップＴ１でＮＯ）、吸着すべき部品が決定され（ステップＴ２）、さらにその部品を供給するテープフィーダ（リール）の部品供給位置（ＸＹＺＲ座標位置）が決定される（ステップＴ３）。
【０１７４】
続いて、部品管理情報表（図２７）から、ブロー要否に関する情報（部品／ブロー情報）が取得される（ステップＴ４）。例えば図２９に示すように、吸着すべき部品が「ＡＢＣＤＥ」の場合には、「ゴミ除去ブローする」「部品分離ブローしない」という情報が制御装置６に取得される。
【０１７５】
取得した部品／ブロー情報（図２９）が参照されて、吸着すべき部品に対し、ブローが必要であるか否かが判断される（ステップＴ５）。そして当該部品において、ゴミ除去ブローおよび部品分離ブロー共に不要の場合には（ステップＴ５でＮＯ）、上記図１５に示す通常の吸着動作が行われる（ステップＴ６）。
【０１７６】
次に部品／ブロー情報（図２９）が参照されて、当該部品に対し、ゴミ除去ブローが必要であるか否かが判断される（ステップＴ７）。
【０１７７】
なお本第４実施形態では、ゴミ除去ブローの要否判断を、予め設定された部品／ブロー情報表を基に行っているが、それだけに限られず、この判断方法として、上記第１〜３実施形態におけるエアブロー（部品分離ブロー）の要否判断方法と同様の方法を用いることができる。例えば上記第１実施形態のように、部品種類毎の吸着成功率を実測データとして求めて、その吸着成功率がトリガー条件（基準の吸着成功率）と照合して、ゴミ除去ブローの要否を判断する方法（図１７参照）や、上記第２，３実施形態のように、過去の生産データや実験データ等から部品種類毎（リール毎）に予め、ゴミ除去ブローを行うか否かを決定しておく方法等を好適に採用することができる。なお言うまでもなく、トリガー条件等は、ゴミ除去ブローに合わせて適宜変更すれば良い。
【０１７８】
ゴミ除去ブローが必要である場合には（ステップＴ７でＹＥＳ）、ゴミ除去ブローのブロー時間が設定される（ステップＴ８）。
【０１７９】
ゴミ除去ブローのブロー時間の設定方法は、上記第１〜３実施形態における部品分離ブローのブロー時間設定方法と同様な方法を用いることができる。例えば上記第１実施形態のように、部品種類等にかかわらず予め、ブロー時間を設定しておき、ブロー時間を、吸着成功率等の要素を参考に適宜修正して、ブロー時間を調整する方法や、基準のブロー時間を部品の大きさ（体積）やノズルの種類等に基づいて設定しておき、その基準のブロー時間を、部品の形状、ノズルの種類等の要素参考に適宜調整する方法等を用いることができる。なお言うまでもなく、基準のブロー時間や、各係数等は、ゴミ除去ブローに合わせて適宜変更すれば良い。
【０１８０】
こうしてブロー時間が設定されると、ゴミ除去ブローが行われる（ステップＴ９）。このゴミ除去ブロー動作においては、図３０に示すように、ヘッドユニット４０がＸＹＲ軸方向に移動して、ノズル２が、吸着すべき部品の上方位置（目標位置）に到達する（ステップＴ７０１）。
【０１８１】
続いてノズル２の下降（Ｚ軸移動）が開始されるとともに（ステップＴ６０２）、その下降中に、つまり、ノズル２の先端部２１がテープボディ３２１から離間した状態で、ノズル先端部２１からエアーが噴出されて、リールテープ３２のキャビティ３２５内に吹き込まれる（ステップＴ７０３）。
【０１８２】
このエアブローは、上記図２８のステップＴ８で設定されたブロー時間が経過するまで継続され（図３０のステップＴ７０４でＮＯ）、ブロー時間が経過すると（ステップＴ７０４でＹＥＳ）、エアブロー（ゴミ除去ブロー）が終了する（ステップＴ７０５）。
【０１８３】
このようにノズル２がテープボディ３２１から離間された状態で、加圧エアーがキャビティ３２５内に導入されることにより、キャビティ３２５内に混入された塵埃等の異物が外部に吹き飛ばされて除去される。
【０１８４】
なおエアブローを開始するタイミングは、ノズル２の降下によりノズル先端部２１がテープボディ３２１に接触する時点から逆算して求められる。すなわちノズル２の降下速度と、設定されたブロー時間とに基づいて、ノズル２が目標降下位置（テープボディとの接触位置）に到達した時点でエアブローが終了されるように、エアブローの開始時点が求められている。従ってエアブローが終了すると同時に、ノズル先端部２１がテープボディ上面に接触するようにしている。
【０１８５】
本実施形態においては、ゴミ除去ブローもエアブロー処理に含まれるものであり、ゴミ除去ブローを行う制御装置６の機能（プログラム）によって、エアブロー制御手段が構成されている。
【０１８６】
こうしてゴミ除去ブロー（図２８のステップＴ９）が終了し、ノズル２が目標降下位置まで下降する（ステップＴ１０でＹＥＳ）。
【０１８７】
なお本第４実施形態においては、ノズル２が降下している最中に、ゴミ除去ブローを行うようにしているが、それだけに限られず、例えばノズル２を停止させた状態で、ゴミ除去ブロー（エアブロー）を行うようにしても良い。例えば吸着ノズル２をテープ３２に向けてＺ軸移動（下降）させる際に、下降途中で停止させて、その停止状態で、ゴミ除去ブローを開始し、ブローが終了した後、ノズル２の下降を再開してテープ３２に接触させるようにしても良い。
【０１８８】
一方、ゴミ除去ブローが必要でない場合（図２８のステップＴ７でＮＯ）、ヘッドユニット４０がＸＹＲ軸方向に移動して、ノズル２が、吸着すべき部品の上方位置（目標位置）に移動する（ステップＴ１８）。
【０１８９】
続いてノズル２が下降し（ステップＴ１９）、目標降下位置へと移動していく（ステップＴ１０でＮＯ）。
【０１９０】
ノズル２の下降が完了すると（ステップＴ１０でＹＥＳ）、部品分離ブローが必要であるか否かが判断される（ステップＴ１１）。この判断は、部品／ブロー情報（図２９）に基づいて行われる。
【０１９１】
なお部品分離ブローの要否判断方法としては、上記第１〜３実施形態におけるエアブロー（部品分離ブロー）の要否判断方法と同様の方法も用いることができる。例えば上記第１実施形態のように、部品種類毎の吸着成功率を実測データとして求めて、その吸着成功率がトリガー条件（基準の吸着成功率）と照合して、部品分離ブローの要否を判断する方法（図１７参照）や、上記第２，３実施形態のように、過去の生産データや実験データ等から部品種類毎（リール毎）に予め、部品分離ブローを行うか否かを決定しておく方法等を好適に採用することができる。
【０１９２】
部品分離ブローが必要な場合には（ステップＴ１１でＹＥＳ）、部品分離ブローのブロー時間が設定される（ステップＴ１２）。
【０１９３】
部品分離ブローのブロー時間の設定方法は、上記第１〜３実施形態における部品分離ブローのブロー時間設定方法と同様な方法を用いることができる。
【０１９４】
こうしてブロー時間が設定されると、部品分離ブローが開始される（ステップＴ１３）。
【０１９５】
このエアブローは、ステップＴ１２で設定されたブロー時間が経過するまで継続され（ステップＴ１４でＮＯ）、ブロー時間が経過すると（ステップＴ１４でＹＥＳ）、部品分離ブローが終了する（ステップＴ１５）。
【０１９６】
その後、ノズル先端部２１に負圧が供給されて（ステップＴ１６）、部品Ｅがノズル２により吸引吸着された後、その吸着ノズル２がＺ軸に沿って上昇する（ステップＴ１７）。
【０１９７】
一方、部品分離ブローが必要でない場合（ステップＴ１１でＮＯ）、部品分離ブロー（ステップＴ１２〜Ｔ１５）は行われずに、ノズル２が部品を吸着して上昇する（ステップＴ１６，Ｔ１７）。
【０１９８】
以上の吸着動作が、ヘッドユニット４０の全てのノズル２に対し行われて、全てのノズル２に部品が吸着されると（図２８のステップＴ１でＹＥＳ）、吸着処理が終了する。
【０１９９】
なお本第４実施形態においては、ゴミ除去ブローおよび部品分離ブローが必要か否かを判断する制御装置６の機能（プログラム）によってエアブロー要否判断手段が構成されている。さらにブロー要否判断に用いられる部品管理情報表（図２７）を保持するデータベース７１や制御装置６の実装プログラム記憶手段６３によって、エアブロー要否情報保持手段が構成されている。
【０２００】
以上のように、本第４実施形態の実装機によれば、吸着ノズル２により部品Ｅを吸着する前に、吸着ノズル２の先端部２１から、部品Ｅが収容されるリールテープ３２のキャビティ３２５内にエアーを導入して、キャビティ３２５内に混入した塵埃等の異物を吹き飛ばすようにしているため、キャビティ３２５内を異物等のないクリーンな状態に設定することができる。従って、異物等の悪影響がなく、キャビティ３２５内の部品Ｅを、吸着ノズル２により確実に吸着できて、吸着エラーの発生をより確実に防止することができる。
【０２０１】
さらにゴミ除去ブローは、必要な場合にのみ行うようにしているため、ゴミ除去ブローによる時間ロスもほとんどなく、高い稼働効率を維持することができる。
【０２０２】
また本第４実施形態においても、上記第１〜３実施形態と同様に、ノズル２による部品を吸着する直前に、部品分離ブローを行って、部品Ｅをキャビティ３２５内から切り離すようにしているため、吸着エラーの発生を防止できる上、稼働効率を向上させることができる。
【０２０３】
＜変形例＞
本発明においては、上記第１〜４実施形態におけるエアブローの要否判断方法や、エアブロー時間の設定方法を、適宜組み合わせるようにしても良い。
【０２０４】
例えば部品分離ブローの要否判断は、第１〜４実施形態のうち一の実施形態の判断方法で行って、ブロー時間の設定は、他の実施形態の設定方法で行うようにしても良い。
【０２０５】
さらに部品分離ブローの要否判断方法を途中で変更するようにしても良い。例えば生産開始直後は、部品分離ブローの要否判断を、第１〜４実施形態のうち一の実施形態の判断方法で行うとともに、生産開始から所定時間が経過した後や、所定の生産量が終了した後、部品分離ブローの容易判断を、他の実施形態の判断方法で行うようにしても良い。
【０２０６】
また部品分離ブローのブロー時間設定方法も上記実施形態のものに限られることはなく、例えば第１〜４実施形態のブロー時間設定方法のうち２つ以上の方法を組み合わせて行うようにしても良い。例えば第２，３実施形態のブロー時間設定方法に、第１実施形態の吸着成功率の要素を取り入れるようにしても良い。
【０２０７】
さらにゴミ除去ブローの要否判断方法やブロー時間設定方法も同様に、各要否判断方法を併用したり、各方法を途中で切り替えるようにしていも良く、さらに各方法のうち２つ以上の方法を組み合わせるようにしても良い。
【図面の簡単な説明】
【０２０８】
【図１】この発明の実施形態にかかる実装機を示す平面図である。
【図２】実施形態の実装機を示す正面図である。
【図３】実施形態の実装機の制御系を示すブロック図である。
【図４】実施形態の実装機に適用されたテープフィーダを示す側面図である。
【図５】同図（ａ）は実施形態のテープフィーダのリールを示す側面図、同図（ｂ）はテープフィーダ本体を示す側面図である。
【図６】実施形態の実装機におけるヘッド周辺を概略的に示す拡大断面図である。
【図７】実施形態の実装機に適用されたリールテープを示す拡大断面図である。
【図８】実施形態においてノズルが接触する直前のリールテープを示す拡大断面図である。
【図９】実施形態においてエアブロー中のリールテープを示す拡大断面図である。
【図１０】実施形態において部品吸着直前のリールテープを示す拡大断面図である。
【図１１】第１実施形態で使用された生産実績管理情報表を示す図である。
【図１２】第１実施形態で使用された生産実績管理情報表を実測吸着成功率が変化した状態で示す図である。
【図１３】第１実施形態の実装処理動作を説明するためのフローチャートである。
【図１４】第１実施形態の吸着処理動作を説明するためのフローチャートである。
【図１５】第１実施形態の通常吸着動作を説明するためのフローチャートである。
【図１６】第１実施形態のブロー付吸着動作を説明するためのフローチャートである。
【図１７】第１実施形態のブロー実施判定動作を説明するためのフローチャートである。
【図１８】第１実施形態のブロー時間設定動作を説明するためのフローチャートである。
【図１９】この発明の第２実施形態で使用された部品管理情報表を示す図である。
【図２０】第２実施形態で使用された生産プログラム部品情報表を示す図である。
【図２１】第２実施形態で使用された体積／ブロー時間情報表を示す図である。
【図２２】第２実施形態で使用されたノズル／ブロー時間係数情報表を示す図である。
【図２３】第２実施形態で使用された形状／ブロー時間係数情報表を示す図である。
【図２４】第２実施形態のブロー時間設定動作を説明するためのフローチャートである。
【図２５】この発明の第３実施形態で使用されたノズル／ブロー時間情報表を示す図である。
【図２６】第３実施形態のブロー時間設定動作を説明するためのフローチャートである。
【図２７】この発明の第４実施形態で使用された部品管理情報表を示す図である。
【図２８】第４実施形態の吸着処理動作を説明するためのフローチャートである。
【図２９】第４実施形態の部品／ブロー情報を示す図である。
【図３０】第４実施形態のゴミ除去ブロー動作を説明するためのフローチャートである。
【符号の説明】
【０２０９】
２  吸着ノズル（部品吸着手段）
２１  先端部（吸着部）
３１  テープフィーダ（部品供給手段）
３２  リールテープ（部品供給手段）
３２５  キャビティ（部品収容凹部）
３３  リール（部品供給手段）
Ａ  エアー
Ｅ  部品
Ｐ  基板
【図１】
2008235647.tif 000003
【図２】
2008235647.tif 000004
【図３】
2008235647.tif 000005
【図４】
2008235647.tif 000006
【図５】
2008235647.tif 000007
【図６】
2008235647.tif 000008
【図７】
2008235647.tif 000009
【図８】
2008235647.tif 000010
【図９】
2008235647.tif 000011
【図１０】
2008235647.tif 000012
【図１１】
2008235647.tif 000013
【図１２】
2008235647.tif 000014
【図１３】
2008235647.tif 000015
【図１４】
2008235647.tif 000016
【図１５】
2008235647.tif 000017
【図１６】
2008235647.tif 000018
【図１７】
2008235647.tif 000019
【図１８】
2008235647.tif 000020
【図１９】
2008235647.tif 000021
【図２０】
2008235647.tif 000022
【図２１】
2008235647.tif 000023
【図２２】
2008235647.tif 000024
【図２３】
2008235647.tif 000025
【図２４】
2008235647.tif 000026
【図２５】
2008235647.tif 000027
【図２６】
2008235647.tif 000028
【図２７】
2008235647.tif 000029
【図２８】
2008235647.tif 000030
【図２９】
2008235647.tif 000031
【図３０】
2008235647.tif 000032