(57)【要約】【課題】エンドレススチールベルトの蛇行を自動的に、かつ、確実に修正することができるエンドレススチールベルト蛇行修正装置を提供する。【解決手段】エンドレススチールベルト１２を架け渡すプーリ１６の右側の回転軸３２の位置が最大距離に到達したときには、その最大距離の位置を新たな基準点として蛇行修正を行うものである。【選択図】      図１
2008063019.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対のプーリに掛け渡されたエンドレススチールベルトを、前記プーリを回転させて走行させるエンドレススチールベルト蛇行修正装置において、
前記一対のプーリの中の一方のプーリにおける一方の回転軸を回転自在に固定する固定手段と、
前記一方のプーリの他方の回転軸を、走行方向と平行な方向であって、かつ、基準点を中心に走行方向または反走行方向に移動させる移動手段と、
前記エンドレススチールベルトの一方の縁部の位置を検出するセンサーと、
前記センサーが前記一方の縁部の位置ずれを検出したときは、前記移動手段によって前記他方の回転軸を所定距離移動させて前記位置ずれを修正する修正手段と、
前記所定距離が最大距離に到達したときに前記基準点を前記最大距離の位置に変更する変更手段と、
を有する
ことを特徴とするエンドレススチールベルト蛇行修正装置。
【請求項２】
請求項１記載のエンドレススチールベルトを加熱室内部に収納し、
前記エンドレススチールベルト上にダイによって塗工液を幅方向に連続して塗工して長尺状のウエブを形成する
ことを特徴とする請求項１記載の成膜装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エンドレススチールベルトを走行させるエンドレススチールベルト蛇行修正装置とそれを用いた成膜装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、エンドレススチールベルトを加熱室内部に配置し、走行するエンドレススチールベルト上に樹脂を幅方向に連続して塗工することによってエンドレススチールベルト表面に長尺状のフィルムを形成するエンドレススチールベルト蛇行修正装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平２−６３８３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記のようなエンドレススチールベルト蛇行修正装置において、エンドレススチールベルトはステンレス３０１相当の材料から形成され、その価格が高価であると共に、表面の傷が即座に製品不良となるため、特に加熱室内部の昇温及び降温時の安定走行が要求される。即ち、蛇行制御が要求されている。
【０００４】
エンドレススチールベルト走行の蛇行制御とフィルム走行の蛇行制御の大きな違いは、蛇行修正動作を行ってからの蛇行が修正されるまでの時間の違いにある。すなわち、フィルムに比べエンドレススチールベルトは蛇行が修正される時間に遅れが生じる。
【０００５】
そこで、本発明は上記問題点に鑑み、エンドレススチールベルトの蛇行を自動的に、かつ、確実に修正することができるエンドレススチールベルト蛇行修正装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、一対のプーリに掛け渡されたエンドレススチールベルトを、前記プーリを回転させて走行させるエンドレススチールベルト蛇行修正装置において、前記一対のプーリの中の一方のプーリにおける一方の回転軸を回転自在に固定する固定手段と、前記一方のプーリの他方の回転軸を、走行方向と平行な方向であって、かつ、基準点を中心に走行方向または反走行方向に移動させる移動手段と、前記エンドレススチールベルトの一方の縁部の位置を検出するセンサーと、前記センサーが前記一方の縁部の位置ずれを検出したときは、前記移動手段によって前記他方の回転軸を所定距離移動させて前記位置ずれを修正する修正手段と、前記所定距離が最大距離に到達したときに前記基準点を前記最大距離の位置に変更する変更手段と、を有することを特徴とするエンドレススチールベルト蛇行修正装置である。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、エンドレススチールベルトの蛇行の修正を確実に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明の一実施形態のエンドレススチールベルト蛇行修正装置を成膜装置１０に適用した場合について図１〜図５に基づいて説明する。
【０００９】
（１）成膜装置１０の構成
図１に基づいて成膜装置１０の構成について説明する。
【００１０】
エンドレススチールベルト１２が一対のプーリ１４，１６に架け渡されている。このエンドレススチールベルト１２はステンレス３０１相当の材料からなり、その幅は、例えば、８００〜２５０００ｍｍである。
【００１１】
プーリ１６は、モータ４０によって回転して、エンドレススチールベルト１２を例えば、２５ｍ／分で走行させる。
【００１２】
このエンドレススチールベルト１２と一対のプーリ１４，１６は加熱室１８内部に収納されている。加熱室１８内部は、例えば１８０℃に加熱されている。
【００１３】
エンドレススチールベルト１２の上方にはダイ２０が配置され、エンドレススチールベルト１２の幅方向に沿って連続して塗工液を供給する。これによって、エンドレススチールベルト１２の表面に一定の膜厚で塗工液が塗工されて乾燥し、長尺状のフィルム２２が形成される。このフィルム２２は、エンドレススチールベルト１２をほぼ一周し、プーリ１６側から加熱室１８の外部に搬出される。
【００１４】
（２）蛇行の修正
次に、成膜装置１０において、エンドレススチールベルト１２の蛇行を修正する構成について説明する。
【００１５】
図１に示すように、プーリ１４の左側の回転軸２４には、支点２６を中心に回動するテコ２８の一方の端部が取り付けられ、このテコ２８の他方の端部には油圧シリンダー３０が取り付けられている。この油圧シリンダー３０を移動させることによってテコ２８が支点２６を中心に回動し、回転軸２４が走行方向と平行に移動する。図１において回転軸２４が左側に移動するとエンドレススチールベルト１２のテンションが上がり、右側に移動するとテンションが下がってエンドレススチールベルト１２が緩くなる方向になる。
【００１６】
プーリ１４の右側の回転軸３２についても同様の構造が設けられ、油圧シリンダー３４によって走行方向と平行に移動する。
【００１７】
図２に示すようにエンドレススチールベルト１２の右側の縁部には光学式のセンサー３６が設けられ、エンドレススチールベルト１２の右側の縁部が、縁基準位置を中心に幅方向に何ｍｍ移動したかを検知することができる。ここで縁部がエンドレススチールベルト１２の内側に移動するとプラス、外側に移動するとマイナスに設定されている。
【００１８】
左側の油圧シリンダー３０、右側の油圧シリンダー３４の移動寸法を検出するために、各油圧シリンダー３０，３４に位置発振器が設けられている。
【００１９】
図３に示すように、成膜装置１０におけるエンドレススチールベルト蛇行修正装置の制御部３８には、左側の油圧シリンダー３０、右側の油圧シリンダー３４、センサー３６がそれぞれ接続されている。
【００２０】
（４）蛇行修正のための制御方法
上記構成の成膜装置１０においてエンドレススチールベルト１２の蛇行を修正する制御方法について説明する。この制御方法には、自動モードと手動モードとセンターモードの３種類がある。
【００２１】
手動モードは、制御部３８に設けられている不図示の入力装置を用いて左側の油圧シリンダー３０、右側の油圧シリンダー３４を操作し、センサー３６とは関係なしに移動させて蛇行を修正するものである。即ち、従来の方法である。
【００２２】
センターモードは、予め決められたベルト位置に左側の油圧シリンダー３０と右側の油圧シリンダー３４とを移動させて決められたテンションでエンドレススチールベルト１２を走行させるものである。このセンターモードは、以下で説明する自動モードの初期状態のモードである。
【００２３】
次に、自動モードについて説明する。
【００２４】
（５）自動モードの制御方法
自動モードの制御方法について図４と図５に基づいて説明する。
【００２５】
図５は、自動モードのフローチャートである。
【００２６】
まず、センターモードにおいてエンドレススチールベルト１２を走行させる。
【００２７】
ステップ１において、センサー３６でエンドレススチールベルト１２の蛇行状態を検出しステップ２に進む。
【００２８】
ステップ２において、センサー３６が、エンドレススチールベルト１２の右側の縁部が縁基準位置よりもずれているか否かで蛇行しているか否かを判断する。即ち、縁基準位置よりもずれていればエンドレススチールベルト１２が蛇行していると判断しステップ３に進む。また、蛇行していなければステップ１に戻る。
【００２９】
ステップ３において、センサー３６が検知した縁基準位置が、プラス側かマイナス側かを判断し、マイナス側であればステップ４に進み、プラス側であればステップ８に進む。
【００３０】
ステップ４では、縁基準位置がマイナス側に移動しているため、右側の油圧シリンダー３４を移動させて、プーリ１４の右側の回転軸３２をプラス側に修正する必要がある。そのため、まず、そのプラス側に修正できるか否かを判断する。すなわち、右側の回転軸３２は、図４に示すように軸基準点を０にして＋３ｍｍ〜−３ｍｍの範囲で移動可能である。そして、油圧シリンダー３４の最大制御量である最大範囲（＋３ｍｍ）まで移動していれば、それ以上移動できないことになる。そのため、最大範囲まで移動しているときはステップ６に進み、最大範囲まで移動していなければステップ５に進む。
【００３１】
ステップ５においては、回転軸３２が最大範囲まで移動していないため、右側の油圧シリンダー３４を駆動して、センサー３６の検知位置が縁基準位置になるようにフィードバック制御する。そして修正が済めばステップ１に戻る。なお、左側の回転軸２４は基準になるため位置は固定しておく。
【００３２】
ステップ６において、ステップ４で最大範囲移動している状態と判断されているので、図４に示すように第１段階の軸基準点における最大範囲の位置を第２段階の軸基準点として０リセットして、所定時間の経過をまつ。そして、ステップ５で、この第２段階の基準点を中心に右側の油圧シリンダー３４を移動させ、蛇行状態を修正しステップ１に戻る。
【００３３】
ステップ３において、プラス側にエンドレススチールベルト１２の右側の縁部が移動していると判断されたときも、上記で説明したステップ４からステップ６と同様に制御を行い蛇行状態を修正する（ステップ７〜９参照）。
【００３４】
（７）効果
以上のように、蛇行量をデジタル化し、エンドレススチールベルト１２の蛇行量が最大範囲に達したときに、軸基準点を０リセットする。これにより、昇温、降温時にエンドレススチールベルト１２の周長変化で最大範囲に達し、それ以上油圧シリンダー３４が動けない状態となって、エンドレススチールベルト１２が大きく蛇行したりすることがない。これは、０リセット機能の追加で、油圧シリンダー３４が再度移動できる距離を確保できるためである。
【００３５】
なお、この０リセット機能は、エンドレススチールベルト１２特有の修正の遅れを考慮し、リセット開始から所定の時間（例えば、１分間）は、０リセット値に達していても再度０リセットしないようにするのがよい。
【００３６】
最初から基準点を中心に大きな距離を移動可能とするよりも、ずれた方向に対して０リセットを繰り返してその移動範囲を制限することにより、エンドレススチールベルト１２の周長変化があっても、エンドレススチールベルト１２に負担を掛けることなしにその蛇行量を段階的に修正していくことができる。即ち、最初から回転軸３２が長い距離移動可能とすると、エンドレススチールベルト１２を引っ張ったり緩めたりする距離が大きくなりエンドレススチールベルト１２に負担を掛けるためである。
【００３７】
（変更例）
本発明は上記各実施形態に限らず、その主旨を逸脱しない限り種々に変更することができる。
【００３８】
例えば、上記実施形態では、右側の回転軸３２を移動させたが、これに代えて左側の回転軸２４を移動させてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の一実施形態を示すエンドレススチールベルト蛇行修正装置の構成図である。
【図２】エンドレススチールベルトとプーリを上方から見た説明図である。
【図３】エンドレススチールベルト蛇行修正装置のブロック図である。
【図４】０リセット機能の説明図である。
【図５】自動モードのフローチャートである。
【符号の説明】
【００４０】
１０  成膜装置
１２  エンドレススチールベルト
１４  プーリ
１６  プーリ
１８  加熱室
２０  ダイ
２２  フィルム
２４  左側の回転軸
３０  左側の油圧シリンダー
３２  右側の回転軸
３４  右側の油圧シリンダー
３６  センサー
３８  制御部
４０  モータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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