(57)【要約】【課題】片側光入射型の二層以上の積層光ディスクの接着層膜厚の均一性を高める。【解決手段】中心孔を有する第１の基板と、中心孔を有すると共に、紫外線硬化性樹脂を硬化した接着層を介して前記第１の基板に貼り合わされた第２の基板とを具備する光記録媒体であって、前記第１の基板および前記第２の基板の少なくともいずれかが、その貼り合わせ面において、記録領域よりも前記各中心孔側の領域である内周部に、前記記録領域の貼り合わせ面よりも高い凸部を有していることを特徴とする光記録媒体を提供する。【選択図】図１１
2008097801.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中心孔を有する第１の基板と、
中心孔を有すると共に、紫外線硬化性樹脂を硬化した接着層を介して前記第１の基板に貼り合わされた第２の基板とを具備する光記録媒体であって、
前記第１の基板および前記第２の基板の少なくともいずれかが、その貼り合わせ面において、記録領域よりも前記各中心孔側の領域である内周部に、前記記録領域の貼り合わせ面よりも高い凸部を有していることを特徴とする光記録媒体。
【請求項２】
前記第１の基板および前記第２の基板は、それぞれ、前記各内周部のうち、半径１７ｍｍよりも前記各中心孔側の領域であるインナーホルダー領域を有しており、
前記凸部は、その頂部が、前記各インナーホルダー領域の外周端近傍にあるように設けられていることを特徴とする請求項１に記載の光記録媒体。
【請求項３】
請求項１または２に記載の光記録媒体を製造する方法であって、
前記紫外線硬化性樹脂を硬化する前工程として、前記紫外線硬化性樹脂を介して前記第１の基板と前記第２の基板とを重ね合わせた状態とし、前記第１の基板の内周部を、前記第２の基板の内周部に対して相対的に押圧することを特徴とする光記録媒体の製造方法。
【請求項４】
請求項１または２に記載の光記録媒体を製造する光記録媒体の製造装置であって、
前記紫外線硬化性樹脂を介して前記第１の基板と前記第２の基板とを重ね合わせた状態で、前記紫外線硬化性樹脂に紫外線を照射する照射手段と、
前記照射手段により紫外線を照射する前工程に、前記紫外線硬化性樹脂を介して前記第１の基板と前記第２の基板とを重ね合わせた状態として、前記第１の基板の内周部を、前記第２の基板の内周部に対して相対的に押圧する押圧手段とを具備していることを特徴とする光記録媒体の製造装置。
【請求項５】
請求項１または２に記載の光記録媒体を構成する前記基板のうち、前記凸部を具備している基板の樹脂成形に用いるインナーホルダーであって、
前記基板成形用樹脂と接触する面に、凹部を具備していることを特徴とするインナーホルダー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ディスク状基板を貼り合わせた構成を有する光記録媒体、その製造方法、製造装置、及び基板成形用のインナーホルダーに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、レーザー光を照射することにより、所定の情報の記録、再生、及び消去を行うディスク型の光記録媒体が広く開発・実用化されている。
二枚の基板を、所定の樹脂の接着層を介して積層した構成の光ディスクが、製造、販売されており、具体的には、ＤＶＤやレーザーディスク等が挙げられる。
光記録媒体は、機能に応じた種々の構成を有しており、例えば、光透過性の支持基板上にピットやグルーブ等の微細凹凸が形成されているもの、所定の金属反射層、接着剤層、印字層等を介して積層された構成を有するものが知られている。
一般的に、光透過性の基板は、ガラス、ＰＣ（ポリカーボネート）、ＰＭＭＡ（アクリル樹脂）等よりなり、金属反射層は、Ａｕ、Ａｇ、Ａｌ合金により形成されており、接着剤層は、紫外線硬化型の樹脂より形成される。
【０００３】
なお、以下においては、支持基板上にピットやグルーブ等の溝が形成されたものや、所定の機能層が成膜されたもの、あるいはカバー基板としてのみ機能する光透過性の支持基板のいずれも単に「基板」と表記する。
【０００４】
接着層を介して二枚の基板を貼り合わせる方法としては、従来、紫外線硬化型樹脂を用いたラジカルＵＶ方式が広く知られている。
これは、記録層や反射層が形成されている基板面上に同心円状に、液状の紫外線硬化性樹脂（接着剤）をディスペンサーにより滴下し、他の一方の基板（例えばカバーとなる光透過性基板）を重ね合わせ、所定の回転数と回転時間でもって余分な紫外線硬化性樹脂を振り切り、その後紫外線を照射して光硬化させることにより、貼り合わせ型の光記録媒体を得るものである。
【０００５】
次に、従来の基板貼り合わせ工程について説明する。
なお便宜上、片側からレーザー光を入射させて記録や再生を行う形式の光ディスクにおいて、レーザー光入射面を下方に配置することとしたとき、下側になる基板をＬ0とし、上側になる基板をＬ1と呼ぶこととする。
【０００６】
二枚の基板を紫外線硬化性樹脂を介して貼り合わせる工程においては、通常、上方から紫外線照射を行って基板間の紫外線硬化型接着剤を光硬化させるが、かかる工程においてはＬ0基板を上向きにしてディスク搬送を行う。
Ｌ1基板の方は、バリア膜（反射層や記録層）が形成されている面を上にして、回転塗布装置のステージ（スピンテーブル）上にセットする。
回転ステージを、数十ｒｐｍ程度の回転速度で回転させながら、ディスペンサーによって液状の紫外線硬化性樹脂（粘度は約５００ｃｐ）を基板中心から約３０ｍｍの円周上に同心円状に滴下し、次いでＬ0基板を、光入射面側を上にして重ねあわせる。この後、回転ステージを数百〜数千ｒｐｍの回転速度で回転させて紫外線硬化性樹脂を基板の終端まで延展する。
その後、この重ね合せた基板を露光用ステージへ搬送し、紫外線硬化処理を行うことにより、貼り合わせ型の光ディスクが得られる。
【０００７】
ところで近年、特に、ＤＶＤの分野においては高速記録化への要望が高まってきており、軸方向加速度、トラック方向加速度の品質向上が重要視されている。
軸方向加速度（フォーカスエラー）については、例えば、Single  ＤＶＤ＋／−Ｒ／ＲＷや、ＤＶＤ＋Ｒ、各種二層構造の光ディスク等はオレンジブックによれば、残留フォーカス・トラッキングエラーで規定されており、軸方向加速度（フォーカスエラー）にして最外周で１．０ｍ／ｓ2以下が求められるようになってきている。トラック方向加速度（トラックエラー）に関しては、最外周で０．４ｍ／ｓ2以下であることが求められている。
なお、上記の軸方向加速度は、回転数が３０Ｈｚ（１８００ｒｐｍ）のとき、基準面と直行する方向における記録層の加速度で、３０Ｈｚから１．５ｋＨｚの帯域で測定している。ディスク基板表面の凹凸等が原因で加速度が悪化して大きな値を示す基板では、フォーカス・トラッキングサーボの引き込み応答性、追従性、安定性に影響を及ぼす。
上記ＦＥ（Focus Error）及びＴＥ（Tracking Error）は、例えば、浜松メトリックス社製  Ｅａ１のＦＥ／ＴＥ検査機を使用することにより、基板を高速で回転させた場合に、ＦＥ／ＴＥのそれぞれの振幅(大きさ)を計測できる。
【０００８】
通常、ＤＶＤ＋／−Ｒ／ＲＷドライブでは、再生時にディスク面のたわみ(面ブレ)で、ピックアップとディスクとの距離が変動し、フォーカス(焦点)が外れるのを防ぐ機能(フォーカスサーボ)と、ディスクのセンターホールの偏心が生じたり、トラックが局所で蛇行したりした場合にも、トラックを外れないように修正する機能(トラッキングサーボ)との、二つの光学的サーボを有している。この二つのサーボ動作中においては、正確にピットを読もうと、対物レンズを修正するための制御信号を計算している。
この制御信号が、フォーカスエラー信号・トラッキングエラー信号といわれるものであり、通常、ＦＥ／ＴＥと表現し、以下の意味となる。
ＦＥ：フォーカスエラー：ピックアップが、ディスク表面にレーザーの焦点を合わせる為の制御信号（フォーカシングアクチュエータ制御信号）のレベルの振幅をＤＡＣ（Digital to Analog Converter）で取り込んだ値。これにより、成形の悪いディスクや、反りや面ブレがある物理特性の悪いディスクを記録前に見つけることが可能である。このＦＥの値の変動が少ないほど、面ブレが少ないと判断される。
ＴＥ：トラッキングエラー：ピックアップがディスクのウォブルに追従するための制御信号（トラッキングアクチュエータ制御信号）のレベルの振幅をＤＡＣで取り込んだ値。
上述したことから、これらＦＥ／ＴＥにより、高速回転時のメディア加速度を検査することが可能である。
【０００９】
貼り合わせ型の光記録媒体に関し、上述した特性の向上を図るためには、基板間の接着層の膜厚と面内均一性の正確な制御が必須となる。
かかる観点から基板を貼り合わる方法に関して従来においても種々の検討がなされてはいるが（例えば、下記特許文献１参照。）、今後、一層高速記録化が進むと予想される光記録媒体の分野においては更なる改良が必須となってきている。
【００１０】
【特許文献１】特許第３６３４９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
そこで本発明においては、二枚の基板を接着剤層を介して貼り合わせた構成の光記録媒体を製造するに際し、接着剤層の膜厚と面内均一性の正確な制御を可能とし、上記ＦＥ／ＴＥ特性に優れた、高密度で高速記録に好適な光記録媒体、光記録媒体の製造方法、製造装置、及び基板樹脂成形用のインナーホルダーを提供することを目的とした。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
請求項１の発明においては、中心孔を有する第１の基板と、中心孔を有すると共に紫外線硬化性樹脂を硬化した接着層を介して前記第１の基板に貼り合わされた第２の基板とを具備する光記録媒体であって、前記第１の基板および前記第２の基板の少なくともいずれかが、その貼り合わせ面において、記録領域よりも前記各中心孔側の領域である内周部に、前記記録領域の貼り合わせ面よりも高い凸部を有していることを特徴とする光記録媒体を提供する。
【００１３】
請求項２の発明においては、前記第１の基板および前記第２の基板は、それぞれ、前記各内周部のうち、半径１７ｍｍよりも前記各中心孔側の領域であるインナーホルダー領域を有しており、前記凸部は、その頂部が、前記各インナーホルダー領域の外周端近傍にあるように設けられていることを特徴とする請求項１に記載の光記録媒体を提供する。
【００１４】
請求項３の発明においては、請求項１または２に記載の光記録媒体を製造する方法であって、前記紫外線硬化性樹脂を硬化する前工程として、前記紫外線硬化性樹脂を介して前記第１の基板と前記第２の基板とを重ね合わせた状態とし、前記第１の基板の内周部を、前記第２の基板の内周部に対して相対的に押圧することを特徴とする光記録媒体の製造方法を提供する。
【００１５】
請求項４の発明においては、請求項１または２に記載の光記録媒体を製造する光記録媒体の製造装置であって、前記紫外線硬化性樹脂を介して前記第１の基板と前記第２の基板とを重ね合わせた状態で、前記紫外線硬化性樹脂に紫外線を照射する照射手段と、前記照射手段により紫外線を照射する前工程に、前記紫外線硬化性樹脂を介して前記第１の基板と前記第２の基板とを重ね合わせた状態として、前記第１の基板の内周部を、前記第２の基板の内周部に対して相対的に押圧する押圧手段とを具備していることを特徴とする光記録媒体の製造装置を提供する。
【００１６】
請求項５の発明においては、請求項１または２に記載の光記録媒体を構成する前記基板のうち、前記凸部を具備している基板の樹脂成形に用いるインナーホルダーであって、前記基板成形用樹脂と接触する面に、凹部を具備していることを特徴とするインナーホルダーを提供する。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、貼り合わせ型の光記録媒体を構成する基板の少なくともいずれかにおいて、記録領域よりも中心孔側の領域（内周部）に、記録領域の基板高さよりも高くなっている凸部を設けたものとし、かつ凸部は、その頂部が、前記インナーホルダー領域の外周端近傍にあるようにしたことにより、光記録媒体の基板間接着剤層の膜厚の均一化と面内均一性の向上を図ることができ、フォーカスエラー（ＦＥ）、トラッキングエラーの劣化を効果的に抑制できた。
【００１８】
また、光記録媒体の製造における歩留まりの飛躍的な向上が図られ、低コストかつ簡易な工程により、高品質な光記録媒体が作製できた。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明について、図を参照して具体的に説明するが、本発明は以下の例に限定されるものではない。
すなわち、以下においては二枚の基板を貼り合わせて作製する光ディスクを例に挙げるが、本発明はこの例に限られず、複数の基板を貼り合わせて光透過層（接着層）を形成する工程を有するものであれば、いかなる場合においても適用でき、また、光記録媒体の構造に関しても、所望の機能に応じて適宜変更することができるものとする。
【００２０】
本例における光記録媒体は、中心孔を有する二枚のディスク状基板（第１の基板、第２の基板）が、紫外線硬化性樹脂による接着層を介して積層された構成を有している。
支持基板の材料は、従来公知のものをいずれも適用できる。但し、基板間に介在させる紫外線硬化性樹脂を光硬化させるため、紫外線照射側の基板は、紫外線に対する透過性を有している材料からなるものとする。
第１の基板、及び第２の基板は、最終的に目的とする光記録媒体に応じて、種々の構成を有しているものとする。例えば、ガラスや、ＰＣ（ポリカーボネート）、ＰＭＭＡ（アクリル樹脂）等の光透過性の支持基板面上にピットやグルーブ等の微細凹凸が形成されているもの、金属反射層、光磁気記録層、相変化記録層等が形成されているものが挙げられる。
これら第１の基板、及び第２の基板の双方に記録層が形成されていてもよく、一方の基板のみに記録層を有し、他の一方の基板はカバー基板としてのみ機能するものとしてもよい。
【００２１】
本発明の光記録媒体の具体的な例として、図１に、ＤＶＤ−ＲＯＭ  ＤＬの概略断面図を示し、図２に、ＤＶＤ＋Ｒ  ＤＬの概略断面図を示す。これらのように、第１の基板１１と第２の基板１２との間に各種層が形成されており、基板間は接着層を介して貼り合わされた構成を有している。
【００２２】
次に、本発明の光記録媒体を製造する工程について、図を参照して具体的な態様を挙げて説明するが、本発明は、これらに限定されるものではない。
【００２３】
〔第一の実施形態〕
中心孔を有するディスク形状の支持基板を用意し、これに所定の記録層（図示せず）を形成し、第１の基板１１とする。
図３に示すように、第１の基板１１の記録層形成面を上にして、回転ステージ２０上で減圧吸着する。
なお、この例においては、第１の基板１１の、記録領域よりも中心孔側（内周部）に、基板高さが、記録領域に相当する領域の基板高さよりも、５〜２０μｍ高くなっている凸部が形成されているものとする。
なおここで内周部とは、半径６０ｍｍの光ディスクにおいて半径２２ｍｍから開始する記録領域よりも中心孔側の領域を言うものとする
【００２４】
次に回転ステージ２０を数十ｒｐｍ程度の回転数で回転させながら、ディスペンサー（図示せず）によって紫外線硬化性樹脂３０（粘度：５００ｃｐ）を、ディスク基板の中心から約３０ｍｍの円周上に同心円状に滴下する。
次に、他方のディスク基板（第２の基板１２）を重ね合わせて貼り合わせ、回転ステージ２０を、数百〜数千回転／ｒｐｍで回転させ、紫外線硬化性樹脂３０をディスク終端まで展開させる（図４）。このスピンアウトにより余分な紫外線硬化性樹脂は振り切られるが、液状の紫外線硬化性樹脂は外周部に偏ることとなり、ディスクの内周部から中央部ではは薄層となって面内で樹脂厚には偏りが生じる。
【００２５】
次に、搬送吸着ヘッドによって重ね合わせた基板を搬送し、紫外線樹脂に対する露光硬化工程に移行する（図５）。
紫外線露光工程の前段階として、図６に示すように、所定の押圧手段によって記録領域よりも内周部を押圧し、特に第１の基板１１の凸部１１ａ上の紫外線硬化性樹脂を、図中矢印に示すように、記録領域側に押し出すようにする。
これにより、スピンアウト工程で薄くなってしまった記録領域部分の紫外線硬化性樹脂が補填され、全面に渡って膜厚を均一化できる。
その後、図７に示すように、所定の紫外線照射手段を用いて紫外線露光を行い接着層を形成し、最終的に目的とする光記録媒体が得られる。
【００２６】
〔第二の実施形態〕
この例においては、第１の基板１１、第２の基板１２のそれぞれに紫外線硬化性樹脂を塗布し、回転によりスピンアウトし、その後、第１の基板と前記第２の基板とを重ね合せる（図８、図９）。
紫外線露光工程の前段階として、図１０に示すように記録領域よりも内周部を押圧手段により押圧し、特に第１の基板１１の凸部１１ａ上の紫外線硬化性樹脂を、図中矢印に示すように、記録領域側に押し出すようにする。
これにより、前記紫外線硬化性樹脂３０のスピンアウト工程で薄くなってしまった記録領域部分の紫外線硬化性樹脂が補填され、全面に渡って膜厚を均一化できる。
その後、紫外線露光を行い、接着層を形成し、最終的に目的とする光記録媒体が得られる。
【００２７】
〔実施例１〕
内周部（記録領域よりも中心孔側の領域）に５μｍ高さの凸部を有する第１の基板と、フラットの第２の基板とを、紫外線硬化性樹脂を介して重ね合わせ、基板の内周部の凸部上の紫外線硬化性樹脂を押圧（押し込み）によって記録領域側に押し出す処理を施し、その後紫外線硬化を行って接着層を形成し、光ディスクを作製した。
上記押圧においては、基板面に垂直な方向に移動可能な円筒形状を具備する押圧手段を用いることとし、これを０．０１ｍｍ単位で制御して上下方向に駆動し、基板内周面に接触させ、押圧した。
なお、測定用サンプルとして、以下の４通りの押圧工程を行った光ディスクを用意した。
０．００ｍｍ：押圧装置が基板面に接触させた。
０．２０ｍｍ：押圧装置により基板面接触から０．２ｍｍ押し込んだ。
０．４０ｍｍ：押圧装置により基板面接触から０．４ｍｍ押し込んだ。
−０．２０ｍｍ：押圧装置が基板面に接触せず、両基板は上部基板を自由落下させることによって重ね合わせた。
上記４種類のサンプルにおける、基板押し込み量と、接着層膜厚との関係を測定した。測定結果を図１１に示す。
押し込み量ごとに、各半径位置における最大値を結んだグラフＡと、各半径位置における最小値を結んだグラフＢとを示した。
所定の半径範囲（例えば２３〜２５ｍｍ）におけるグラフＡの最大値から、その半径範囲におけるグラフＢの最小値を引いた値が、その半径範囲における面内膜厚さとなる。
【００２８】
図１１中に、代表的に、０．２ｍｍ押し込みを行った場合と、０．４ｍｍ押し込みを行った場合の、最大値と最小値の差を示した。
これによると、内周部に凸部を有する基板と、内周部がフラットな基板とを重ね合わせて、内周部を押圧して貼り合わせた場合、内周部の凸部上の樹脂が記録領域（特に半径２３ｍｍ〜３５ｍｍの領域）に移動するようになり、前工程のスピンアウトによって失われた樹脂が補填され、接着層の膜厚を４５μｍ〜５５μｍで、面内均一性が１０μｍ以下を実現できることが確かめられた。
【００２９】
比較として、フラットの基板を二枚使用して、紫外線硬化性樹脂を介して貼り合わせ、光記録媒体を作製した。
なお、紫外線硬化工程の前段階として、基板の内周部の紫外線硬化性樹脂を基板の押圧（押し込み）によって記録領域側に押し出す処理を施した。このときの、基板内周部の押し込み量と、接着層膜厚との関係を測定した。
なお、測定サンプルは、以下の３種類とする。
０．００ｍｍ：押圧装置が基板面に接触させた。
０．２０ｍｍ：押圧装置により基板面接触から０．２０ｍｍ押し込んだ。
０．５０ｍｍ：押圧装置により基板面接触から０．５０ｍｍ押し込んだ。
図１２に、３種類のサンプルにおける測定結果を示す。
【００３０】
図１２に示すように、内周部がフラット形状の基板を貼り合わせた場合には、紫外線硬化性樹脂の内周部から記録領域側への大きな移動効果が得られなかった。
上述した結果から、本願発明方法によれば、スピンアウトによって失われた記録領域における樹脂を、内周部における押し込みによって補填でき、かかる押し込み量を適切に制御することにより、光記録媒体の実用面の観点から接着層膜厚と面内均一性を好適なものとすることができることが確かめられた。
【００３１】
〔実施例２〕
次に、光ディスクを構成する基板を射出成形する際に用いた３種類のスタンパーホルダーの概略断面図を示す（図１３〜図１５）。
可動鏡面（コア）４１、キャビリング４２によって形成される領域に樹脂４３が流し込まれ、スタンパ４４によって所定の微細凹凸の形成がなされ、カットパンチ４５によって中心孔が打ち抜かれる。
【００３２】
図１３のインナーホルダー４６は、樹脂との接触面がフラットとなっており、可動ブッシュ４７との挟み込みにより、成形基板の信号形成領域よりも中心孔側（内周部）はフラット形状となる。
図１４のインナーホルダー４６は、樹脂との接触面に、断面形状が□型の凹部が切削形成されており、これによって成形基板の信号形成領域よりも中心孔側（内周部）には、断面が□型の凸部が形成されるようになされている。
図１５のインナーホルダー４６は、樹脂との接触面に、断面形状が△型の凹部が切削形成されており、これによって成形基板の信号形成領域よりも中心孔側（内周部）には、断面が△型（基板断面方向において先端部が鮮鋭な形状）の凸部が形成されるようになされている。
図１４、図１５のインナーホルダー４６を適用することにより、本発明の光記録媒体を構成する基板の凸部は、基板の内周部のうち半径１７ｍｍよりも前記中心孔側の領域であるインナーホルダー領域の外周端近傍（例えば１１〜１７ｍｍ）に設けられる。
特に図１５のインナーホルダーによって成形される基板においては、上述した押圧操作による紫外線硬化性樹脂の内周部からの移動効果が高いことが確かめられた。
【００３３】
次に、図１３〜図１５に示したスタンパーホルダーを用いて、図１６〜図１９に示すような断面形状の基板（単板）５０〜５３を射出成形した。
これらを適宜組み合わせて光記録媒体のサンプルを作製する。
図１６は、内周部がフラット形状の基板５０の断面図である。
図１７は、図１４に示した凹部の切削深さが４０μｍのインナーホルダーを用いて射出成形した、内周部に凸部を有する基板５１の断面図である。
図１８は、図１４に示した凹部の切削深さが１０μｍのインナーホルダーを用いて射出成形した、内周部に凸部を有する基板５２の断面図である。
図１９は、図１３に示したインナーホルダーをそのまま使用せず、かかるインナーホルダーの底面を水平にカットし、これを用いて記録領域よりも高さ１５μｍの空間を形成して射出成形した、内周部に凸部を有する基板５３の断面図である。
図１６〜図１９に示した基板断面図の左欄に、作製した基板の図中ｃ、ｈの寸法を示した。
【００３４】
なお、下記においてサンプルとした光記録媒体においては、記録／再生用の光を入射する面側の基板をＬ0といい、他の基板をＬ1というものとする。
（サンプル１）
基板Ｌ0：図１６のフラット基板５０
基板Ｌ1：図１９の内周部に凸部を有する基板５３
（サンプル２）
基板Ｌ0：図１６のフラット基板５０
基板Ｌ1：図１８の内周部に凸部を有する基板５２
（サンプル３）
基板Ｌ0：図１６のフラット基板５０
基板Ｌ1：図１７の内周部に凸部を有する基板５１
（サンプル４）
基板Ｌ0：図１９の内周部に凸部を有する基板５３
基板Ｌ1：図１９の内周部に凸部を有する基板５３
（サンプル５）
基板Ｌ0：図１８の内周部に凸部を有する基板５２
基板Ｌ1：図１８の内周部に凸部を有する基板５２
（サンプル６）
基板Ｌ0：図１７の内周部に凸部を有する基板５１
基板Ｌ1：図１７の内周部に凸部を有する基板５１
（サンプル７）
基板Ｌ0：図１７の内周部に凸部を有する基板５１
基板Ｌ1：図１８の内周部に凸部を有する基板５２
（サンプル８）
基板Ｌ0：図１８の内周部に凸部を有する基板５２
基板Ｌ1：図１７の内周部に凸部を有する基板５１
【００３５】
上記８種類のサンプル光記録媒体のそれぞれについて、基板間の接着層の膜厚を、ＥＴＡ社製ＥＴＡ−ＲＴを用いて測定し、グラフを示した（図２０〜図２７）。なお、図２０〜図２７の測定結果においては、膜厚最大値と膜厚最小値を検出した。
図２０〜図２７に示す膜厚測定結果から明らかなように、両基板の凸部高さの合計が、５０μｍを越える（サンプル６）を除いて、記録領域（特にＲ２３ｍｍ〜３５ｍｍの領域）において、膜厚のばらつきが１０μｍ未満に抑制できており、実用上良好な膜厚均一性が実現できた。特に（サンプル２、３、５、７、８）においては、トラッキングエラーの評価も極めて良好であることが確かめられた。
この結果から、両基板をあわせた凸段差は、５〜４５μｍの範囲に設定することが好適であることが確かめられた。
【００３６】
また、（サンプル２、５）の光記録媒体が、基板Ｌ1の内周ＴＥも良好であった。
ここで内周ＴＥとは、浜松メトリックス社製  ＴＥ／ＦＥ検査機  Ｅａ１上の記録層形成領域内周部（Ｒ＝２４ｍｍ）ＴＥ値を意味する。
これは相対値によって測定し、値が低ければ低いほど実用上良好である。
【００３７】
〔実施例３〕
図１６に示したフラット基板５０と、図１７〜図１９に示した、それぞれ内周部に凸部を有する基板５１〜５３とを組み合わせてサンプル光記録媒体を作製し、それぞれの基板Ｌ1の内周ＴＥを測定した。測定結果を図２８に示す。
上記と同様に内周ＴＥは、浜松メトリックス社製  ＴＥ／ＦＥ検査機  Ｅａ１上の記録層形成領域内周部（Ｒ＝２４ｍｍ）ＴＥ値を意味するものとし、相対値によって表わされる。
【００３８】
これによると、図１９のインナーホルダー底面を水平カットしたものによって基板の内周部に凸部を形成した基板５３を適用したサンプルのみ、基板Ｌ1の内周ＴＥが実用上基準値よりも劣っているという結果が得られた。
これは、図１９の基板ように、インナーホルダー底面を水平カットしたものによって内周部に凸部を形成した場合には射出成形の際に、インナーホルダーがスタンパ近傍にまで食い込み、スタンパの内孔周囲の樹脂を歪ませてしまい、グルーブの形状劣化を招来するためである。これが内周ＴＥの悪化の原因となっているのである。以下これについて詳細に説明する。
インナーホルダーは、全体として円筒状に形成されており、樹脂射出部の外周側に設けられた環状穴部に螺入することで、スタンパの内周部を固定するものである。すなわち、インナーホルダーの一方の端部には、スタンパの内孔の周縁部を掛止する爪部が径方向外方に突設され、外周面には、環状穴部の内面に形成された雌ネジに螺合する雄ネジが形成されている。インナーホルダーの螺入具合は、インナーホルダーの長さによって調整されている。つまり、インナーホルダーは、その螺入先端部が、環状穴部の底面に当接するまで、螺入される。
そして、爪部が形成された端部側の環状端面は、樹脂射出部から射出された樹脂（溶融状態）と接触する面であり、この環状端面に環状の凹部が形成されている。
図１９の基板は、インナーホルダーの環状端面に凹部を形成する代わりに、螺入先端部を軸方向に対して垂直にカットしたもの（軸方向の寸法が短いもの）を用いて成形したものである。この場合、インナーホルダーは、カットしていないものに比べ、より深く環状凹部に螺入することになる。このため、インナーホルダーの環状端面に凹部を形成した場合と同様に、基板のインナーホルダー領域に凸部を形成することができる。しかし、インナーホルダーを環状凹部に深く螺入するため、スタンパの内孔周囲が歪んでしまい、その結果、基板の記録領域の内周部が歪んでしまう。
よって、本発明においては、光記録媒体を構成する基板の内周部の凸部を、図１７、図１８のように、インナーホルダーに凹部を切削形成しておいたものを用いて形成することが好適である。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】光記録媒体の一例の概略断面図を示す。
【図２】光記録媒体の他の一例の概略断面図を示す。
【図３】本発明の光記録媒体製造方法の一工程図を示す。
【図４】二枚の基板を紫外線硬化性樹脂を介して重ね合わせた状態図を示す。
【図５】重ね合わせた基板を光照射ステージへと搬送する状態図を示す。
【図６】重ね合わせた基板を光照射ステージに載置した状態図を示す。
【図７】紫外線露光工程図を示す。
【図８】本発明に係る光記録媒体製造方法の他の一例の一工程図を示す。
【図９】二枚の基板を紫外線硬化性樹脂を介して重ね合せる状態図を示す。
【図１０】紫外線硬化性樹脂のスピンアウト工程を示す。
【図１１】基板の押し込み量と接着層膜厚との関係の測定結果を示す。
【図１２】比較サンプルによるの基板の押し込み量と接着層膜厚との関係の測定結果を示す。
【図１３】内周部がフラットの基板を作製する工程図を示す。
【図１４】内周部に凸部を有する基板を作製する工程図を示す。
【図１５】内周部に断面が三角形の凸部を有する基板を作製する工程図を示す。
【図１６】射出成形用インナーホルダー底面がフラットのものを用いて作製された基板の概略断面図を示す。
【図１７】射出成形用インナーホルダー底面に凹部が切削されているものを用いて作製された基板の概略断面図を示す。
【図１８】射出成形用インナーホルダー底面に凹部が切削されているものを用いて作製された基板の概略断面図を示す。
【図１９】射出成形用インナーホルダーの底面をカットして短くしたものを用いて作製した基板の概略断面図を示す。
【図２０】サンプル１の接着層膜厚の測定結果を示す。
【図２１】サンプル２の接着層膜厚の測定結果を示す。
【図２２】サンプル３の接着層膜厚の測定結果を示す。
【図２３】サンプル４の接着層膜厚の測定結果を示す。
【図２４】サンプル５の接着層膜厚の測定結果を示す。
【図２５】サンプル６の接着層膜厚の測定結果を示す。
【図２６】サンプル７の接着層膜厚の測定結果を示す。
【図２７】サンプル８の接着層膜厚の測定結果を示す。
【図２８】Ｌ1基板の内周ＴＥ（トラッキングエラー）の測定結果を示す。
【符号の説明】
【００４０】
１１  第１の基板
１１ａ  凹部
１２  第２の基板
２０  回転ステージ
３０  紫外線硬化性樹脂
４１  可動鏡面（コア）
４２  キャビリング
４４  スタンパ
４５  カットパンチ
４６  インナーホルダー
４７  可動ブッシュ
４８  凹部
４９  凹部
５０  基板（内周部フラット）
５１  基板（内周部凸部有り）
５２  基板（内周部凸部有り）
５３  基板（内周部凸部有り）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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