(57)【要約】【課題】バーンインボードを頻繁に着脱してもバーンインボード及びバーンインテスト装置を破損せず信頼性検証エラーの発生頻度を低減できるバーンインボード接続装置、これを備えたバーンインテスト装置及びバーンインボードの接続方法を提供する。【解決手段】バーンインボード接続装置２００は、バーンインテスト装置のチャンバ内のバーンインボード１３０に対して垂直の第１方向に移動し、バーンインボード１３０を支持する第１接続手段２１０と、バーンインボード１３０に対して平行の第２方向に移動することによって、第１接続手段２１０により支持されたバーンインボード１３０をチャンバ内部に設けられたコネクタ１０２に着脱する第２接続手段と、を備える。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
バーンインテスト装置のチャンバ内のバーンインボードに対して垂直の第１方向に移動し、前記バーンインボードを支持する第１接続手段と、
前記バーンインボードに対して平行の第２方向に移動することによって、前記第１接続手段により支持された前記バーンインボードを前記チャンバ内部に設けられたコネクタに着脱する第２接続手段と、を備えることを特徴とするバーンインボード接続装置。
【請求項２】
前記第１接続手段及び前記第２接続手段は、サーボモータによってそれぞれ駆動され、
前記サーボモータの回転速度が制御されることによって、前記バーンインボードの着脱衝撃が緩和されることを特徴とする請求項１に記載のバーンインボード接続装置。
【請求項３】
前記第１接続手段は、
第１サーボモータと、
前記バーンインボードに形成されたフィンガー溝に着脱されるフィンガーと、
前記フィンガーが設置され、前記バーンインボードに垂直の前記第１方向に移動することによって前記フィンガーを着脱する第１フレームと、
前記第１サーボモータの回転を前記第１フレームの直線運動に変換する第１動力伝達部と、を備えることを特徴とする請求項２に記載のバーンインボード接続装置。
【請求項４】
前記第２接続手段は、
第２サーボモータと、
前記第１フレームと連結され、前記バーンインボードと平行した第２方向に移動することによって、前記フィンガーを前記第２方向に移動させる第２フレームと、
前記第２サーボモータの回転を前記第２フレームの直線運動に変換する第２動力伝達部と、を備えることを特徴とする請求項３に記載のバーンインボード接続装置。
【請求項５】
前記第１フレームは、前記第２フレームに対して、前記バーンインボードに対して垂直の前記第１方向に独立的に移動し、前記第１及び前記第２フレームは、前記バーンインボードに平行する前記第２方向に共に移動することを特徴とする請求項４に記載のバーンインボード接続装置。
【請求項６】
前記第１フレーム及び第２フレームは、
前記第１フレームに形成されたスロットに、前記第２フレームに設けられたスライダーを移動自在に挿入することによって連結されることを特徴とする請求項４に記載のバーンインボード接続装置。
【請求項７】
前記動力伝達部は、
前記第１サーボモータ及び前記第２サーボモータそれぞれに連結されて回転されるものであって、前記第１フレーム及び前記第２フレームそれぞれに形成されたナット部に締結されるリードスクリューを備えることを特徴とする請求項４に記載のバーンインボード接続装置。
【請求項８】
前記第１サーボモータは、前記バーンインボードに垂直の前記第１方向に固定されて前記バーンインボードに平行する前記第２方向に設置され、
前記第２サーボモータは、前記第１及び前記第２方向に設置されることを特徴とする請求項２に記載のバーンインボード接続装置。
【請求項９】
前記コネクタは、前記バーンインボードが挿入される方向に向かって広くなるように形成された傾斜角を持つ表面を備えることを特徴とする請求項１に記載のバーンインボード接続装置。
【請求項１０】
前記傾斜角を持つ表面は、前記コネクタの上面及び下面のうちいずれか一つに形成されることを特徴とする請求項９に記載のバーンインボード接続装置。
【請求項１１】
前記バーンインボードを前記コネクタに着脱させるとき、前記第１接続手段が前記バーンインボードを前記第１方向に揺り動かすことを特徴とする請求項１に記載のバーンインボード接続装置。
【請求項１２】
前記バーンインボードを前記コネクタに挿入するとき、前記バーンインボードを押して前記バーンインボードを前記コネクタに堅強に結合させる圧着手段をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載のバーンインボード接続装置。
【請求項１３】
前記圧着手段は、
前記バーンインボードに接触する圧着棒と、
前記バーンインボードを前記コネクタに挿入するとき、前記バーンインボードを押す位置に前記圧着棒を移動させ、前記バーンインボードを前記コネクタから分離する前に記圧着棒を前記バーンインボードから回避させるリンクと、を備えることを特徴とする請求項１２に記載のバーンインボード接続装置。
【請求項１４】
前記リンクは、
前記圧着棒に連結される第１端部及び前記チャンバに連結される第２端部を持つ第１リンクと、
前記圧着棒に連結される第１端部及び前記第２接続手段に連結される第２端部を持つ第２リンクと、を備えることを特徴とする請求項１３に記載のバーンインボード接続装置。
【請求項１５】
前記圧着棒は、少なくとも前記バーンインボードの幅に該当する長さほど延びることを特徴とする請求項１４に記載のバーンインボード接続装置。
【請求項１６】
テストのためにバーンインボードが投入される所であって、前記バーンインボードが着脱されるコネクタを備えたチャンバと、
フィンガーを第１方向に移動させることによって前記フィンガーを前記バーンインボードに締結し、前記フィンガーを第２方向に移動させることによって、前記フィンガーに締結された前記バーンインボードを前記コネクタに着脱するバーンインボード接続装置と、を備え、
前記バーンインボード接続装置は、サーボモータの回転運動を前記フィンガーの直線運動に変換することによって作動されることを特徴とするバーンインテスト装置。
【請求項１７】
前記バーンインボードの着脱衝撃を緩和させるように、前記サーボモータの速度を制御する制御部をさらに備えることを特徴とする請求項１６に記載のバーンインテスト装置。
【請求項１８】
前記制御部は、
前記バーンインボードを前記コネクタに着脱させるとき、前記フィンガーが前記バーンインボードを揺り動かすように制御することを特徴とする請求項１７に記載のバーンインテスト装置。
【請求項１９】
前記バーンインボード接続装置は、
前記バーンインボードを前記コネクタに挿入するとき、前記バーンインボードを押して、前記バーンインボードを前記コネクタに堅強に結合させる圧着手段を備えることを特徴とする請求項１６に記載のバーンインテスト装置。
【請求項２０】
前記圧着手段は、
前記バーンインボードに接触する圧着棒と、
前記バーンインボードを前記コネクタに挿入するとき、前記バーンインボードを押す位置に前記圧着棒を移動させ、前記バーンインボードを前記コネクタから分離するとき、前記圧着棒を前記バーンインボードから回避させるリンクと、を備えることを特徴とする請求項１９に記載のバーンインテスト装置。
【請求項２１】
前記コネクタは、前記バーンインボードが挿入される方向に向かって広くなるように形成された傾斜角を持つ表面を持つことを特徴とする請求項１６に記載のバーンインテスト装置。
【請求項２２】
前記第１方向は、実質的に前記バーンインボードに垂直の方向であり、
前記第２方向は、実質的に前記バーンインボードに平行した方向であることを特徴とする請求項１６に記載のバーンインテスト装置。
【請求項２３】
前記バーンインボード接続装置は、
前記フィンガーが設置され、前記第１方向に移動することによって前記フィンガーを前記バーンインボードに着脱する第１フレームと、
前記第１フレームと連結され、前記第２方向に移動することによって前記バーンインボードを前記コネクタに着脱する第２フレームと、
前記サーボモータの回転を前記第１フレーム及び前記第２フレームの直線運動に変換するためのリードスクリューを備える動力伝達部と、を備えることを特徴とする請求項１６に記載のバーンインテスト装置。
【請求項２４】
前記第１フレームは、前記第２フレームに対して前記第１方向に互いに独立的に移動し、前記第１フレーム及び前記第２フレームは、前記第２方向に沿って共に移動することを特徴とする請求項２３に記載のバーンインテスト装置。
【請求項２５】
テストのためにバーンインボードが投入されるチャンバに設けられるコネクタに前記バーンインボードを着脱するバーンインボードの接続方法において、
フィンガーを第１方向に移動させることによって、前記フィンガーを前記バーンインボードに締結するステップと、
前記フィンガーを第２方向に移動させることによって、前記フィンガーに締結された前記バーンインボードを前記コネクタに着脱するステップと、
サーボモータの回転運動を直線運動に変換して前記フィンガーを駆動するステップと、を含むこと特徴とするバーンインボードの接続方法。
【請求項２６】
前記バーンインボードの着脱衝撃を緩和させるように、前記サーボモータの速度を制御するステップをさらに含むことを特徴とする請求項２５に記載のバーンインボードの接続方法。
【請求項２７】
前記バーンインボードを前記コネクタに着脱させるとき、前記フィンガーが前記バーンインボードを揺り動かすステップをさらに含むことを特徴とする請求項２６に記載のバーンインボードの接続方法。
【請求項２８】
前記バーンインボードを前記コネクタに挿入するとき、前記バーンインボードを前記コネクタに堅強に結合させるために、前記バーンインボードに垂直の方向に前記バーンインボードを押すステップをさらに含むことを特徴とする請求項２７に記載のバーンインボードの接続方法。
【請求項２９】
前記コネクタは、前記バーンインボードが前記コネクタに脱着されるときに発生する衝撃を減少させるための傾斜勾配を持つことを特徴とする請求項２８に記載のバーンインボードの接続方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体テスト装置に関し、具体的にはバーンインボード接続装置、バーンインテスト装置及びバーンインボードの接続方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置がウェーハレベルテストを通過した後、半導体装置はウェーハから個別化されてパッケージングされ、バーンインテスト装置により行われるＭＢＴ（Ｍｏｎｉｔｏｒｉｎｇ Ｂｕｒｎ−ｉｎ Ｔｅｓｔ）ステップを経る。前記ＭＢＴステップでは、バーンインボード上のソケットにパッケージングされた装置が挿入され、多様なバーンインボードを受容できるラック上に前記バーンインボードが搭載され、極限条件下で前記パッケージングされた装置の信頼性を試験するために、前記ラックがバーンインテスト装置のチャンバ内に配置され、前記パッケージングされた装置に電気的信号及び熱が一定時間印加される。
【０００３】
ＭＢＴ工程で、バーンインボードに装着されたパッケージング素子とバーンインテスト装置とのシグナル連結時、バーンインテスト装置本体に設けられた本体ボードとバーンインボードとを互いに電気的に連結させねばならない。また、テストが完了したバーンインボードをバーンインテスト装置から取り出す時には、本体ボード及びバーンインボードの電気的接触を分離しなくてはならない。
【０００４】
この時、本体ボード上のコネクタに対して、バーンインボードは頻繁に着脱される。このような着脱過程では、本体ボードのコネクタとバーンインボードとの間で、物理的な力によって接触不良、摩擦による摩耗、接触抵抗の増大によるシグナル歪曲、連結部破損などの問題が発生し、これによって信頼性テスト工程でエラー発生頻度が高まる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の技術的課題は、前述した問題点を改善するためのものであり、バーンインボードの頻繁な着脱作業にもかかわらず、信頼性検証エラーの発生頻度を低減できるバーンインボード接続装置、これを備えたバーンインテスト装置及びバーンインボードの接続方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前述した目的を達成するために、本発明のバーンインボード接続装置は、バーンインテスト装置のチャンバ内のバーンインボードに対して垂直の第１方向に移動し、前記バーンインボードを支持する第１接続手段と、前記バーンインボードに対して平行の第２方向に移動することによって、前記第１接続手段により支持された前記バーンインボードを前記チャンバ内部に設けられたコネクタに着脱する第２接続手段と、を備える。ここで、前記第１接続手段及び第２接続手段は、サーボモータによってそれぞれ駆動され、前記サーボモータの回転速度が制御されることによって、前記バーンインボードの着脱衝撃が緩和される。
【０００７】
前記第１接続手段は、第１サーボモータと、前記バーンインボードに形成されたフィンガー溝に着脱されるフィンガーと、前記フィンガーが設置され、前記バーンインボードに垂直の前記第１方向に移動することによって前記フィンガーを着脱する第１フレームと、前記第１サーボモータの回転を前記第１フレームの直線運動に変換する第１動力伝達部と、を備える。
【０００８】
前記第２接続手段は、第２サーボモータと、前記第１フレームと連結され、前記バーンインボードと平行した第２方向に移動することによって前記フィンガーを前記第２方向に移動させる第２フレームと、前記第２サーボモータの回転を前記第２フレームの直線運動に変換する第２動力伝達部と、を備える。
前記第１フレームは、前記第２フレームに対して、前記バーンインボードに対して垂直の前記第１方向に独立的に移動し、前記第１及び前記第２フレームは、前記バーンインボードに平行する前記第２方向に共に移動する。
【０００９】
前記第１フレーム及び第２フレームは、前記第１フレームに形成されたスロットに前記第２フレームに設けられたスライダーを移動自在に挿入することによって連結される。
前記動力伝達部は、前記第１サーボモータ及び第２サーボモータそれぞれに連結されて回転されるものであって、前記第１フレーム及び第２フレームそれぞれに形成されたナット部に締結されるリードスクリューを備える。
【００１０】
前記第１サーボモータは、前記バーンインボードに垂直の前記第１方向に固定されて前記バーンインボードに平行する前記第２の水平方向に設置され、前記第２サーボモータは、前記第１及び前記第２方向に設置される。
前記コネクタは、前記バーンインボードが挿入される方向に向かって広くなるように形成された傾斜角を持つ表面を備える。ここで、前記傾斜角を持つ表面は、前記コネクタの上面及び下面のうちいずれか一つに形成されることが望ましい。
【００１１】
前記バーンインボードを前記コネクタに着脱させるとき、前記第１接続手段が前記バーンインボードを前記第１方向に揺り動かす。
一態様として、前記バーンインボード接続装置は、前記バーンインボードを前記コネクタに挿入するとき、前記バーンインボードを押して前記バーンインボードを前記コネクタに堅強に結合させる圧着手段をさらに備える。
【００１２】
ここで、前記圧着手段は、前記バーンインボードに接触する圧着棒と、前記バーンインボードを前記コネクタに挿入するとき、前記バーンインボードを押す位置に前記圧着棒を移動させ、前記バーンインボードを前記コネクタから分離する前に記圧着棒を前記バーンインボードから回避させるリンクと、を備える。
前記リンクは、前記圧着棒に連結される第１端部及び前記チャンバに連結される第２端部を持つ第１リンクと、前記圧着棒に連結される第１端部及び前記第２接続手段に連結される第２端部を持つ第２リンクと、を備える。ここで、前記圧着棒は、少なくとも前記バーンインボードの幅に該当する長さほど延びる。
【００１３】
一方、本発明のバーンインテスト装置は、テストのためにバーンインボードが投入される所であって、前記バーンインボードが着脱されるコネクタを備えたチャンバと、フィンガーを第１方向に移動させることによって前記フィンガーを前記バーンインボードに締結し、前記フィンガーを第２方向に移動させることによって、前記フィンガーに締結された前記バーンインボードを前記コネクタに着脱するバーンインボード接続装置と、を備え、前記バーンインボード接続装置は、サーボモータの回転運動を前記フィンガーの直線運動に変換することによって作動される。
【００１４】
前記バーンインテスト装置は、前記バーンインボードの着脱衝撃を緩和させるように、前記サーボモータの速度を制御する制御部をさらに備える。
前記制御部は、前記バーンインボードを前記コネクタに着脱させるとき、前記フィンガーが前記バーンインボードを揺り動かすように制御する。
前記バーンインボード接続装置は、前記バーンインボードを前記コネクタに挿入するとき、前記バーンインボードを押して、前記バーンインボードを前記コネクタに堅強に結合させる圧着手段を備える。
【００１５】
ここで、前記圧着手段は、前記バーンインボードに接触する圧着棒と、前記バーンインボードを前記コネクタに挿入するとき、前記バーンインボードを押す位置に前記圧着棒を移動させ、前記バーンインボードを前記コネクタから分離するとき、前記圧着棒を前記バーンインボードから回避させるリンクと、を備える。
【００１６】
前記コネクタは、前記バーンインボードが挿入される方向に向かって広くなるように形成された傾斜角を持つ表面を持つ。
前記バーンインテスト装置は、前記バーンインボード接続装置が、前記フィンガーが設置され、前記第１方向に移動することによって前記フィンガーを前記バーンインボードに着脱する第１フレームと、前記第１フレームと連結され、前記第２方向に移動することによって前記バーンインボードを前記コネクタに着脱する第２フレームと、前記サーボモータの回転を前記第１フレーム及び第２フレームの直線運動に変換するためのリードスクリューを備える動力伝達部と、を備える。ここで、前記第１フレームは、前記第２フレームに対して前記第１方向に互いに独立的に移動し、前記第１フレーム及び前記第２フレームは、前記第２方向に沿って共に移動する。
【００１７】
一方、本発明によるバーンインボードの接続方法は、テストのためにバーンインボードが投入されるチャンバに設けられるコネクタに前記バーンインボードを着脱するバーンインボードの接続方法において、フィンガーを第１方向に移動させることによって、前記フィンガーを前記バーンインボードに締結するステップと、前記フィンガーを第２方向に移動させることによって、前記フィンガーに締結された前記バーンインボードを前記コネクタに着脱するステップと、サーボモータの回転運動を直線運動に変換して前記フィンガーを駆動するステップと、を含む。ここで、前記バーンインボードの着脱衝撃を緩和させるように、前記サーボモータの速度を制御するステップをさらに含む。
【００１８】
前記バーンインボードを前記コネクタに着脱させるとき、前記フィンガーが前記バーンインボードを揺り動かすステップをさらに含む。また、前記バーンインボードを前記コネクタに挿入するとき、前記バーンインボードを前記コネクタに堅強に結合させるために、前記バーンインボードに垂直の方向に前記バーンインボードを押すステップをさらに含む。また、前記コネクタは、前記バーンインボードが前記コネクタに脱着されるときに発生する衝撃を減少させるための傾斜勾配を持つ。
（発明の効果）
【００１９】
本発明のバーンインボード接続装置、これを備えたバーンインテスト装置及びバーンインボードの接続方法は、次のような長所を持つ。
まず、ＭＢＴテスト設備で信頼性テストのためのバーンインボードの頻繁な着脱作業にかかわらず、バーンインボード及びバーンインテスト装置の破損を防止できる。そして、ＭＢＴテスト工程でバーンインボード及びコネクタの接触摩擦による摩耗や粉塵発生を防止して、接触不良によるテストシグナルの歪曲を抑制できる。これにより、設備稼動率が向上するので、工程時間を短縮して量産性を改善でき、テスト品質を向上させることができる。また、バーンインボード及びバーンインテスト装置の価格を考慮するとき、バーンインボード接続装置を改善するための比較的低コストで高い品質向上効果を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下では、添付した図面を参照して、本発明の実施形態について詳細に説明する。本発明の実施形態は、添付図面に図示されたところに限定されず、同じ発明の範ちゅう内で多様に変形できるということを明らかにする。
【００２１】
図１は、本発明のバーンインテスト装置１００の斜視図である。バーンインテスト装置１００はチャンバ１１０を備え、バーンインボード１３０がラック１２０に積載された状態でチャンバ１１０に投入される。ウェーハ単位のテストを完了した素子はパッケージングされた素子１３３に加工され、バーンインテスト装置１００は、パッケージングされた素子１３３単位で信頼性テストを行う。複数のパッケージングされた素子１３３はバーンインボード１３０上に配列され、バーンインボード１３０の端子部１３２は、チャンバ１１０の内部に配置された本体ボード（図示せず）のコネクタ（図３の１０２参照）と接続されて信号及び電力を伝達される。
【００２２】
図２は、本発明のバーンインボード接続装置の主要部を示す概略図である。図３は、本発明のバーンインボード接続装置に対するバーンインボード挿入前の状態の側面を示す概略図である。図４は、本発明のバーンインボード接続装置に対するバーンインボード挿入後の状態の側面を示す概略図である。
図２から図４を共に参照すれば、複数のフィンガー２１２を備えた第１接続手段２１０、第２接続手段２２０、圧着手段３００が図示される。フィンガー２１２は、複数のバーンインボード１３０をホールディングできるように複数に設けられるが、説明の便宜上、図３及び図４では一つのフィンガー２１２のみを示し、同様に圧着手段３００も、複数のバーンインボード１３０に対応できるように複数に設けられるが、説明の便宜上、一つの圧着手段３００のみを示す。
【００２３】
バーンインテスト装置１００のチャンバ１１０に投入されたバーンインボード１３０は、バーンインボード接続装置２００によってコネクタ１０２に付着される。バーンインボード接続装置２００は、バーンインボード１３０を移動させる間にバーンインボード１３０をホールディングする第１接続手段２１０と、ホールディングされたバーンインボード１３０をコネクタ１０２に着脱する第２接続手段２２０と、を備える。
【００２４】
例えば、第１接続手段２１０は、第１方向に移動してバーンインボード１３０をホールディングし、第２接続手段２２０は、第２方向に移動してバーンインボード１３０をコネクタ１０２に着脱させる。図示された実施形態によれば、第１方向は、バーンインボード１３０に垂直のｚ軸方向に該当し、第２方向は、バーンインボード１３０に平行したｘ軸方向に該当する。しかし、第１方向及び第２方向は図示されたところに限定されるものではない。
【００２５】
バーンインボード接続装置２００は、フィンガー２１２を第１方向に移動させることによってフィンガー２１２をバーンインボード１３０に締結し、バーンインボード１３０にフィンガー２１２が締結されれば、バーンインボード１３０は移動自在な状態にホールディングされる。バーンインボード接続装置２００は、フィンガー２１２を第２方向に移動させることによって、バーンインボード１３０の端子部１３２をコネクタ１０２に着脱する。
【００２６】
仮に、空圧または油圧を利用するアクチュエータでバーンインボード１３０をハンドリングする場合、バーンインボード１３０の端子部１３２がコネクタ１０２に接触するときに瞬間的に過度な接触衝撃が局部的に発生することによって、接触不良及び接続部分が破損される恐れがある。本発明の一実施形態では、サーボモータ２１６、２２６の回転を利用してバーンインボード接続装置２００を駆動するので、速度の急激な変化が抑制されて瞬間的な接触衝撃が減少し、装置の制御性が良好になる。バーンインボード接続装置２００は、サーボモータ２１６、２２６の回転をフィンガー２１２の直線運動に変換することによって、バーンインボード１３０の端子部１３２及びチャンバ１１０のコネクタ１０２に接触衝撃や破損を引き起こさずにバーンインボード１３０をハンドリングする。
【００２７】
第１接続手段２１０は、第１フレーム２１１、第１サーボモータ２１６、フィンガー２１２及びリードスクリュー２１７を備える動力伝達部を備える。フィンガー２１２が装着される第１フレーム２１１は、第１サーボモータ２１６が回転すれば、フィンガー２１２と共にバーンインボード１３０に垂直の方向に移動する。図示された実施形態によれば、第１フレーム２１１が上側へ移動する時にフィンガー２１２がフィンガー溝１３４に締結され、第１フレーム２１１が下側へ移動する時にフィンガー２１２がフィンガー溝１３４から分離される。フィンガー２１２の数はｙ軸方向に、バーンインボード１３０の両側上のバーンインボード１３０の数と同一でありうる。
【００２８】
第２接続手段２２０は、第２フレーム２２１、第２サーボモータ２２６及び以下で説明されるリードスクリュー２２７を備える第２動力伝達部を備える。第２フレーム２２１は第１フレーム２１１と連結されることによって、第２サーボモータ２２６が回転すれば、第２フレーム２２１と第１フレーム２１１とは共に、フィンガー２１２がバーンインボード１３０をホールディングしたままでバーンインボード１３０と平行した方向に移動する。すなわち、第１フレーム２１１は、第２フレーム２２１と独立的に第１方向に移動し、第２フレーム２２１は、第１フレーム２１１及びバーンインボード１３０をホールディングしたフィンガー２１２と共に第２方向に移動する。ここで、第１フレーム２１１が第１方向に移動するとき、第２フレーム２２１による干渉を防止できる干渉防止手段が必要である。
【００２９】
一実施形態として、干渉防止手段は、第１フレーム２１１に形成されたスロット２１４と、第２フレーム２２１に設けられたスライダー２２４とを備える。スライダー２２４は、第１方向に沿って移動自在にスロット２１４に挿入され、第２方向に沿うスライダー２２４の移動はスロット２１４によって拘束される。また、第１サーボモータ２１６はバーンインボード１３０の垂直方向には固定され、バーンインボード１３０の水平方向には移動自在に設置される。すなわち、第１サーボモータ２１６は、チャンバフレーム１１５に沿ってガイドされ、第２方向に移動自在な第１サーボモータ固定台２１９に設置される。第２サーボモータ２２６は、チャンバフレーム１１５に直接固定されることによって、第１方向及び第２方向にいずれも固設される。
【００３０】
第１及び第２動力伝達部は、第１サーボモータ２１６に連結されるリードスクリュー２１７及び第２サーボモータ２２６に連結されるリードスクリュー２２７をそれぞれ備える。また、動力伝達部は、第１フレーム２１１に形成されたナット部２１８及び第２フレーム２２１に形成されたナット部２２８を備える。リードスクリュー２１７、２２７は、ナット部２１８、２２８にそれぞれ締結されることによって、サーボモータ２１６、２２６の回転を、第１フレーム２１１及び第２フレーム２２１それぞれの直線運動に変換する。
【００３１】
第１サーボモータ２１６及び第１動力伝達部は、ｙ軸に沿って複数に設けられ、第１フレーム２１１に複数のスロット２１４が形成され、第１フレーム２１１は、複数のスライダー２２４によってガイドされる。したがって、第１接続手段２１０は、第１方向に直線移動して揺れが防止される。一方、第２サーボモータ２２６及び第２動力伝達部はｚ軸に沿って複数に設けられ、複数のスライダー２２４がｘ軸に沿って同じ変位を移動するように制御される。したがって、第１フレーム２１１及び第２フレーム２２１は、第２方向に直線移動して揺れが防止される。
【００３２】
バーンインボード１３０の端子部１３２及びコネクタ１０２がスムーズに着脱されるように、コネクタ１０２は、バーンインボード１３０が挿入される方向に向かって広がるように傾斜勾配Φで傾斜した表面を持つ。バーンインボード１３０の端子部１３２及びコネクタ１０２が正確に第２方向に沿って着脱されるように、傾斜勾配Φはコネクタ１０２の上面及び下面のうちいずれか一つに形成され、残りの面は直線形状になることが望ましい。
【００３３】
一実施形態では、バーンインボード１３０の端子部１３２及びコネクタ１０２の着脱時、バーンインボード１３０を揺り動かすことによってバーンインボード１３０の着脱容易性を改善できる。一実施形態として、第２接続手段２２０が第２方向に移動してバーンインボード１３０を着脱する時、第２フレーム２２１に対して独立的に移動自在な第１フレーム２１１が、第１方向に往復動しつつバーンインボード１３０を第１方向に揺り動かす。これにより、着脱時に端子部１３２及びコネクタ１０２の破損を防止できる。
【００３４】
そして、傾斜が形成される側に圧着手段３００が設けられて、バーンインボード１３０の接続状態を補強できる。圧着手段３００は、バーンインボード１３０の挿入時にバーンインボード１３０を押してコネクタ１０２に堅強に結合させる。バーンインボード１３０の分離時に圧着手段３００はバーンインボード１３０から分離されることによって、バーンインボード１３０を押す力を除去する。
【００３５】
図５は、本発明のフィンガー２１２及び圧着手段３００の主要部を示す平面図である。図２から図５を共に参照すれば、圧着手段３００は、圧着棒３１０及びリンク３１１、３１２を備える。傾斜勾配Φがバーンインボード１３０の下面に設けられる図示された実施形態で、圧着棒３１０は、バーンインボード１３０の下面を押しつつ少なくともバーンインボード１３０の幅に該当する長さほど延びることが望ましい。リンク３１１、３１２は、バーンインボード１３０の挿入時にバーンインボード１３０を押す位置に圧着棒３１０を移動させ、バーンインボード１３０の分離時にバーンインボード１３０から圧着棒３１０を回避させる。
【００３６】
圧着棒３１０の円滑な動作のためにリンク３１１、３１２は、２節リンク構造として、第１リンク３１１と第２リンク３１２とを備えることが望ましい。第１リンク３１１の第１端部は圧着棒３１０に連結され、他端部はチャンバ１１０の壁を形成するチャンバフレーム１１５に連結される。第２リンク３１２の第１端部は圧着棒３１０に連結され、他端部は、第２接続手段２２０の第２フレーム２２１に連結される。第１リンク３１１及び第２リンク３１２の両端部は、圧着棒３１０、チャンバフレーム１１５及び第２フレーム２２１にヒンジ３１５で結合されるので回動自在である。
【００３７】
図６は、本発明のバーンインテスト装置１００のブロック図である。図７は、本発明のサーボモータ２１６、２２６の回転速度を示す特性図である。図２から図７を共に参照して、バーンインテスト装置１００及びバーンインボード１３０の接続方法を説明する。既述の内容は重複的に記載しない。本発明のバーンインテスト装置１００は、チャンバ１１０、バーンインボード接続装置２００及び制御部４００を備える。バーンインテスト装置１００は、テスト命令を入力する入力部４２０及びテスト結果を表示するディスプレイ部４１０をさらに備えることができる。ラック１２０に積載されたバーンインボード１３０は、ドア１１１を開けてチャンバ１１０に投入される。
【００３８】
制御部４００は、チャンバセンサー１１９を利用してチャンバ１１０内部のテスト環境を設定値で制御する一方、バーンインボード１３０の着脱衝撃を緩和させるように、第１サーボモータ２１６及び第２サーボモータ２２６の回転速度を制御する。本発明のバーンインボード１３０の接続方法として、フィンガー２１２を第１方向に移動させることによってフィンガー２１２をバーンインボード１３０に締結し、フィンガー２１２を第２方向に移動させることによってフィンガー２１２に締結されたバーンインボード１３０をコネクタ１０２に着脱させ、サーボモータ２１６、２２６の回転運動を直線運動に変換してフィンガー２１２を駆動する。
【００３９】
図７の水平軸は時間を表し、垂直軸はサーボモータ２１６、２２６の回転速度を表す。バーンインボード１３０の着脱衝撃を減らすために、例えば、加速区間０〜ｔ１でサーボモータ２１６、２２６は線形的に加速され、定速区間ｔ１〜ｔ２でサーボモータ２１６、２２６は一定の速度で回転され、減速区間ｔ２〜ｔ３でサーボモータ２１６、２２６は線形的に減速される。サーボモータ２１６、２２６の回転速度が加速区間から定速区間を経て減速区間に至る間、バーンインボード１３０をコネクタ１０２に挿入（または分離）する１サイクルの動作が完成される。サーボモータ２１６、２２６の急激な加速及び減速を抑制すれば、バーンインボード１３０の接触衝撃を大幅低減させることができる。
【００４０】
図７の特性図とは別途に、バーンインボード１３０を着脱時、制御部４００はフィンガー２１２を、バーンインボード１３０を揺り動かすように制御できる。例えば、第２サーボモータ２２６の回転によってフィンガー２１２が第２方向に移動しつつバーンインボード１３０が挿入される時、第１サーボモータ２１６を一定の時間に正逆方向に回転させることによって、バーンインボード１３０を第１方向に揺り動かせば、バーンインボード１３０を容易に挿入できる。
【００４１】
それだけではなく、コネクタ１０２に傾斜勾配が形成されてバーンインボード１３０を押す圧着手段３００が設けられることによって、バーンインボード１３０が堅強に締結されて着脱動作がスムーズに行われる。
そして、スロット２１４とスライダー２２４との結合面に異物が介入されるか、動力伝達部のうちいずれか一つに異常が発生すれば、第１及び第２サーボモータ２１６、２２６の回転が抑制されることによって過電流が流れる。制御部４００は、第１及び第２サーボモータ２１６、２２６の過負荷を感知する瞬間、第１及び第２サーボモータ２１６、２２６の動作を停止させることによって、バーンインテスト装置１００の予期せぬ破損を防止できる。すなわち、制御部４００は、第１サーボモータ２１６または第２サーボモータ２２６の負荷を感知することによって、第１接続手段２１０及び第２接続手段２２０の異常有無を感知し、第１または第２サーボモータ２１６、２２６に過負荷がかかれば、バーンインボード接続装置２００の駆動を停止することによって、バーンインボード１３０またはバーンインテスト装置１００の破損を防止する。
【００４２】
本発明は図面に図示された実施形態を参考して説明されたが、それは例示的なものに過ぎず、当業者ならば、これより多様な変形及び均等な他の実施形態が可能であるという点を理解できるであろう。したがって、本発明の真の技術的保護範囲は、特許請求の範囲によって定められねばならない。
（産業上の利用可能性）
【００４３】
本発明は、半導体テスト装置関連の技術分野に好適に用いられる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明のバーンインテスト装置の外観を示す斜視図である。
【図２】本発明のバーンインボード接続装置の主要部を示す概略図である。
【図３】本発明のバーンインボード接続装置に対してバーンインボード挿入前の状態の側面を示す概略図である。
【図４】本発明のバーンインボード接続装置に対してバーンインボード挿入後の状態の側面を示す概略図である。
【図５】本発明のフィンガー及び圧着手段を示す概略図である。
【図６】本発明のバーンインテスト装置をブロックごとに示した概略図である。
【図７】本発明のサーボモータの回転速度を示す特性図である。
【符号の説明】
【００４５】
１０２：コネクタ、１１５：チャンバフレーム、１２０：ラック、１３０：バーンインボード、１３２：端子部、１３４：フィンガー溝、２００：バーンインボード接続装置、２１０：第１接続手段、２１１：第１フレーム、２１２：フィンガー、２１４：スロット、２１６：第１サーボモータ、２１７、２２７：リードスクリュー、２１８：ナット部、２１９：第１サーボモータ固定台、２２０：第２接続手段、２２４：スライダー、２２６：第２サーボモータ、３００：圧着手段、３１０：圧着棒、３１１、３１２：リンク、３１５：ヒンジ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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