(57)【要約】【課題】装置によって得られる情報を迅速に解析することが可能なプロセス管理システムを提供すること。【解決手段】装置の各部の状態を示す状態情報を取得する第１の取得手段（制御監視部２０）と、装置の制御に関する制御情報を取得する第２の取得手段（制御監視部２０）と、取得された状態情報と制御情報を対応付けする対応付手段（タイマ３４）と、対応付けがされた状態情報および制御情報を格納する格納手段（ログ格納装置２）と、解析処理を施す際の解析条件の入力を受ける入力手段（入力装置４ｉ）と、入力された解析条件を記憶する記憶手段（ＲＡＭ４ｃ）と、記憶された解析条件に従って、制御情報を参照して状態情報に対して解析処理を施す解析手段（ＣＰＵ４ａ）と、解析の結果として得られた情報を呈示する呈示手段（表示装置４ｈ）と、を有する。【選択図】図１
2008306088.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
装置の各部の状態を示す状態情報を取得する第１の取得手段と、
上記装置の制御に関する制御情報を取得する第２の取得手段と、
上記第１および第２の取得手段によって取得された上記状態情報と上記制御情報を対応付けする対応付手段と、
上記対応付手段によって対応付けがされた上記状態情報および上記制御情報を格納する格納手段と、
上記制御情報および上記状態情報に対して解析処理を施す際の解析条件の入力を受ける入力手段と、
上記入力手段から入力された上記解析条件を記憶する記憶手段と、
上記記憶手段に記憶された上記解析条件に従って、上記制御情報を参照して上記状態情報に対して解析処理を施す解析手段と、
上記解析手段の解析の結果として得られた情報を呈示する呈示手段と、
を有することを特徴とするプロセス管理システム。
【請求項２】
前記入力手段は、
複数の前記解析条件の雛形を有し、当該雛形を用いて解析条件の入力を受けるとともに、複数の雛形のいずれかの選択を受ける第１のインタフェースと、
上記第１のインタフェースを介して入力された各解析条件を実行するか否かの選択を受ける第２のインタフェースと、
を有することを特徴とする請求項１記載のプロセス管理システム。
【請求項３】
前記第２のインタフェースには、前記第１のインタフェースにおいて選択された解析条件を示す情報がテキスト情報として表示されることを特徴とする請求項２記載のプロセス管理システム。
【請求項４】
前記第２のインタフェースは、所定の操作が行われた場合には、前記第１のインタフェースを介して入力された解析条件を複製して、新たな他の解析条件を生成することを特徴とする請求項２または３記載のプロセス管理システム。
【請求項５】
前記呈示手段は、前記第２のインタフェースにおいて選択された解析条件に基づく解析結果の情報を、グラフとして呈示することを特徴とする請求項２から４のいずれか１項記載のプロセス管理システム。
【請求項６】
前記第１の取得手段および前記第２の取得手段が取得する情報の種類を指定するための第３のインタフェースを有し、
前記第１のインタフェースは、上記第３のインタフェースを介して指定された情報に基づく雛形を表示する、
ことを特徴とする請求項２から５のいずれか１項記載のプロセス管理システム。
【請求項７】
前記状態情報と前記制御情報は、電子ファイルとして供給され、
前記第１の取得手段および第２の取得手段は、それぞれ複数の電子ファイルを同時に取得する、
ことを特徴とする請求項１から６のいずれか１項記載のプロセス管理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プロセス管理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、例えば、特許文献１に開示されるようなプロセス装置（例えば、ＣＶＤ装置）を用いて加工対象を加工する際に、高いプロセス精度が求められるようになってきている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−１７４３７号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、特許文献１に示すようなプロセス装置では、従来、装置の各部の状態を示すアナログ波形をサンプリングして記憶装置に記憶しておき、加工対象に何らかの不具合が見つかった場合には記憶装置に記憶された情報に基づいて原因の解析を行っていた。
【０００５】
しかしながら、これらの作業は、手作業で行われていたことから、解析に時間を要するという問題点がある。また、前述したように、近年では、プロセス精度が高まっていることに関連して、プロセス上のわずかな差が、加工対象の性能を大きく左右するため、そのようなわずかな差をアナログ波形から手作業で検出するためには、多大な時間を要するという問題点がある。
【０００６】
本発明は、上記の事情に基づきなされたもので、その目的とするところは、装置によって得られる情報を迅速に解析することが可能なプロセス管理システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述の目的を達成するため、本発明のプロセス管理システムは、装置の各部の状態を示す状態情報を取得する第１の取得手段と、装置の制御に関する制御情報を取得する第２の取得手段と、第１および第２の取得手段によって取得された状態情報と制御情報を対応付けする対応付手段と、対応付手段によって対応付けがされた状態情報および制御情報を格納する格納手段と、制御情報および状態情報に対して解析処理を施す際の解析条件の入力を受ける入力手段と、入力手段から入力された解析条件を記憶する記憶手段と、記憶手段に記憶された解析条件に従って、制御情報を参照して状態情報に対して解析処理を施す解析手段と、解析手段の解析の結果として得られた情報を呈示する呈示手段と、を有する。これにより、装置によって得られる情報を迅速に解析することが可能なプロセス管理システムを提供することができる。
【０００８】
また、他の発明のプロセス管理装置は、上述の発明に加えて、入力手段が、複数の解析条件の雛形を有し、当該雛形を用いて解析条件の入力を受けるとともに、複数の雛形のいずれかの選択を受ける第１のインタフェースと、第１のインタフェースを介して入力された各解析条件を実行するか否かの選択を受ける第２のインタフェースと、を有する。これにより、第１のインタフェースにおいて雛形を用いて解析条件を簡易に入力することができるとともに、第２のインタフェースにおいて実行対象となる解析条件を簡易に選択することができる。
【０００９】
また、他の発明のプロセス管理装置は、上述の発明に加えて、第２のインタフェースには、第１のインタフェースにおいて選択された解析条件を示す情報がテキスト情報として表示される。これにより、設定された解析条件を容易に知ることができる。
【００１０】
また、他の発明のプロセス管理装置は、上述の発明に加えて、第２のインタフェースが、所定の操作が行われた場合には、第１のインタフェースを介して入力された解析条件を複製して、新たな他の解析条件を生成するようにしている。これにより、部分的に異なる解析条件を簡易に生成することができる。
【００１１】
また、他の発明のプロセス管理装置は、上述の発明に加えて、呈示手段が、第２のインタフェースにおいて選択された解析条件に基づく解析結果の情報を、グラフとして呈示するようにしている。これにより、解析の結果を視覚的に簡易に確認することができる。
【００１２】
また、他の発明のプロセス管理装置は、上述の発明に加えて、第１の取得手段および第２の取得手段が取得する情報の種類を指定するための第３のインタフェースを有し、第１のインタフェースは、第３のインタフェースを介して指定された情報に基づく雛形を表示するようにしている。これにより、第３のインタフェースにおいて、解析対象となる状態情報および制御情報を簡易に選択することが可能になる。
【００１３】
また、他の発明のプロセス管理装置は、上述の発明に加えて、状態情報と制御情報が、電子ファイルとして供給され、第１の取得手段および第２の取得手段は、それぞれ複数の電子ファイルを同時に取得するようにしている。このため、複数の電子ファイルを同時に対象として解析処理を実行することにより、例えば、異なる時期に生成された電子ファイルを解析することにより、経時的な変化を知ることができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、装置によって得られる情報を迅速に解析することが可能なプロセス管理システムを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の一実施の形態について図に基づいて説明する。なお、以下では、（Ａ）実施の形態の構成例、（Ｂ）実施の形態の動作の概要、（Ｃ）実施の形態の動作の詳細、（Ｄ）変形実施の態様の順に説明する。
【００１６】
（Ａ）実施の形態の構成例
【００１７】
図１は、本発明のプロセス管理システムの実施の形態の構成例を示す図である。この図に示すように、プロセス管理システムは、真空プロセス装置１、ログ格納装置２、ネットワーク３、および、解析装置４を主要な構成要素としている。
【００１８】
ここで、真空プロセス装置１は、例えば、ＰＶＤ（Physical Vapor Deposition）装置、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）装置、エッチング装置、インプラー装置、フォトリソグラフィー装置等によって構成されている。この例では、後述するように、ＰＶＤ装置を例に挙げている。
【００１９】
ログ格納装置２は、真空プロセス装置１において生成されたログデータをネットワーク３を介して取得して格納するとともに、解析装置４から要求がなされた場合には、格納しているログデータをネットワーク３を介して送信する。
【００２０】
ネットワーク３は、例えば、ＬＡＮ（Local Area Network）等によって構成され、真空プロセス装置１、ログ格納装置２、解析装置４を相互に電気的に接続し、これらの間で、例えば、パケットによる情報通信を可能とする。
【００２１】
解析装置４は、例えば、パーソナルコンピュータによって構成され、ログ格納装置２に格納されているログデータをネットワーク３を介して取得し、種々の解析処理を実行する。
【００２２】
図２は、図１に示す真空プロセス装置１の詳細な構成例を示す図である。この図の例では、真空プロセス装置１は、チャンバ１０、ウエハステージ１１、ウエハ１２、ターゲット１３、イオンリフレクタ１４、マグネット１５、制御監視部２０、ＤＣ（Direct Current）電源部２１、ガス供給部２２、ガス流量制御部２３、圧力検出部２４、ヒータ制御部２５、ＲＦ（Radio Frequency）電源部２６、温度検出部２７、静電チャック部２８、ドライポンプ２９、ターボポンプ３０、ドライポンプ３１、ＩＲ（Ion Reflector）電源部３２、通信部３３、および、タイマ３４を主要な構成要素としている。
【００２３】
ここで、チャンバ１０は、例えば、石英、ステンレス、アルミ、銅、アルミナ、チタン等の部材によって構成された中空状の容器で、大気を遮断し、それぞれのプロセスに応じた高真空／内部雰囲気を保持する。
【００２４】
ウエハステージ１１は、ウエハ１２を載置するためのステージである。ウエハステージ１１の上部（図の上方向）にはウエハ１２を静電気力によって吸着するための静電チャック機構（不図示）が配設されている。また、その内部には、ヒータおよび温度検出用のセンサ（共に不図示）が配設されている。
【００２５】
加工対象としてのウエハ１２は、例えば、シリコン基板等であり、本装置では、シリコン基板上に、銅による配線をＰＶＤによって形成する。
【００２６】
ターゲット１３は、例えば、銅板によって構成されている。ターゲット１３に対してアルゴンのプラズマが衝突することにより構成粒子が反跳し、ウエハ１２上に堆積される。
【００２７】
イオンリフレクタ１４は、ターゲット１３およびウエハステージ１１を囲繞するように構成される円筒形状の部材であり、イオンに対して電気的な斥力を与えることによってこれを反射（加速）する機能を有する。
【００２８】
マグネット１５は、ターゲット１３の上部に配置され、プラズマ中のアルゴンイオンにローレンツ力を印加することによりこれを加速し、ターゲット１３から銅分子が放出される効率を高める機能を有する。
【００２９】
第１の取得手段、第２の取得手段、および、対応付手段の一部としての制御監視部２０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等を有するマイクロコンピュータによって構成され、ＲＯＭに格納されているプログラムに基づいて装置の各部を制御するとともに、ログデータを生成して、通信部３３およびネットワーク３を介して、ログ格納装置２に送信する。
【００３０】
ＤＣ電源部２１は、ターゲット１３がマイナス、グランドがプラスになるようにこれらの間に直流電圧を印加し、ターゲット１３とウエハ１２の間の空間に満たされているアルゴンガスをプラズマ化する。
【００３１】
ガス供給部２２は、チャンバ１０内部にガス流量制御部２３を経由してアルゴンガスを供給する。
【００３２】
ガス流量制御部２３は、例えば、マスフローコントローラ等によって構成され、制御監視部２０の制御に応じてガス供給部２２から供給されるガスの流量を制御するとともに、その時点におけるガス流量を制御監視部２０に通知する。
【００３３】
圧力検出部２４は、例えば、イオンゲージ、ピラニーゲージ等によって構成され、チャンバ１０内部の圧力を計測し、計測結果を制御監視部２０に通知する。
【００３４】
ヒータ制御部２５は、制御監視部２０の制御に応じて、ウエハステージ１１に内蔵されているヒータを制御し、ウエハ１２の温度が所望の温度になるようにする。
【００３５】
ＲＦ電源部２６は、グランドとウエハステージの間に高周波電力を印加し、ウエハ１２に対してＲＦバイアスを印加することにより、ウエハ１２をマイナスに帯電させ、プラスの電荷を有する銅イオンとの間に電気的な引力を生じせしめる。これにより、銅イオンが高速にウエハ１２に衝突するため、銅イオンがウエハ１２に形成された凹部の深部にまで到達する。
【００３６】
温度検出部２７は、ウエハステージ１１の温度を検出し、検出結果を制御監視部２０に通知する。
【００３７】
静電チャック部２８は、制御監視部２０の制御に応じて、ウエハステージ１１に設けられたチャック機構を制御して、ウエハ１２を吸着して固定させる。
【００３８】
ドライポンプ２９は、制御監視部２０の制御に応じて、チャンバ１０内部に存在する空気を外部に排出し、チャンバ１０の内部を真空状態にする。
【００３９】
ターボポンプ３０は、ドライポンプ２９よりも高い真空度を達成するためのポンプであり、チャンバ１０内部のガスを外部に排出する。
【００４０】
ドライポンプ３１は、ターボポンプ３０の排気側に接続され、ターボポンプ３０から排出されるガスを外部に排出することにより、ターボポンプ３０の効率を高める。
【００４１】
ＩＲ電源部３２は、制御監視部２０の制御に応じて、イオンリフレクタ１４がプラス、グランドがマイナスになるように直流電圧を印加し、イオンリフレクタ１４によって銅イオンを反射（加速）させる。
【００４２】
通信部３３は、ネットワーク３を介してログ格納装置２と制御監視部２０との間で通信を行う場合に、例えば、通信プロトコルに関する制御を行う。
【００４３】
対応付手段の一部としてのタイマ３４は、例えば、日時情報（年、月、時刻、）等の情報を生成し、制御監視部２０に供給する。制御監視部２０は、タイマ３４が生成した日時情報をタイムスタンプとして利用する。
【００４４】
図３は、図１に示すログ格納装置２の詳細な構成例を示す図である。この図に示すように、ログ格納装置２は、ＣＰＵ２ａ、ＲＯＭ２ｂ、ＲＡＭ２ｃ、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）２ｄ、Ｉ／Ｆ（Interface）２ｆ、および、バス２ｇを主要な構成要素としている。
【００４５】
ここで、ＣＰＵ２ａは、ＨＤＤ２ｄに格納されているプログラム２ｄ１およびＲＯＭ２ｂに格納されているプログラム（不図示）に基づいて装置の各部を制御するとともに、各種演算処理を実行する。また、ＣＰＵ２ａは、ＨＤＤ２ｄに格納されているプログラム２ｄ１に基づいて、真空プロセス装置１からログデータを取得して格納するとともに、解析装置４からの要求に応じてログデータを読み出して供給する。
【００４６】
ＲＯＭ２ｂは、ＣＰＵ２ａが実行する基本的なプログラムおよびデータを格納している半導体記憶装置である。ＲＡＭ２ｃは、ＣＰＵ２ａが実行するプログラムおよびデータを一時的に格納する半導体記憶装置である。
【００４７】
格納手段としてのＨＤＤ２ｄは、磁気記憶媒体であるハードディスクに情報を記憶したり、記憶されている情報を読み出したりする記憶装置である。なお、この例では、ＨＤＤ２ｄには、プログラム２ｄ１およびログデータ２ｄ２が格納されている。ここで、プログラム２ｄ１は、ログ格納装置２を制御するためのオペレーティングシステム等のプログラムおよびログデータを取得して格納するためのアプリケーションプログラム等を有している。ログデータ２ｄ２は、プログラム２ｄ１が実行されることによって起動されたアプリケーションプログラムによって真空プロセス装置１から取得されたログデータが格納されている。
【００４８】
Ｉ／Ｆ（Interface）２ｆは、ネットワーク３を介して真空プロセス装置１との間で情報を授受する際に、プロトコルに関する処理を実行する。バス２ｇは、ＣＰＵ２ａ、ＲＯＭ２ｂ、ＲＡＭ２ｃ、ＨＤＤ２ｄ、および、Ｉ／Ｆ２ｆを相互に電気的に接続して、これらの間で情報の授受を可能にする信号線群である。
【００４９】
図４は、図１に示す解析装置４の詳細な構成例を示す図である。この図に示すように、解析装置４は、ＣＰＵ４ａ、ＲＯＭ４ｂ、ＲＡＭ４ｃ、ＨＤＤ４ｄ、画像処理部４ｅ、Ｉ／Ｆ４ｆ、バス４ｇ、表示装置４ｈ、および、入力装置４ｉによって主に構成されている。
【００５０】
ここで、解析手段としてのＣＰＵ４ａは、ＨＤＤ４ｄに格納されているプログラム４ｄ１およびＲＯＭ４ｂに格納されているプログラムに基づいて、装置の各部を制御するとともに、各種の演算処理を実行する。また、ＣＰＵ４ａは、プログラム４ｄ１に基づいて、ログ格納装置２に格納されているログデータを取得し、解析処理を実行する。
【００５１】
ＲＯＭ４ｂは、ＣＰＵ４ａが実行する基本的なプログラムおよびデータを格納する半導体記憶装置である。記憶手段としてのＲＡＭ４ｃは、ＣＰＵ４ａが処理対象とするプログラムおよびデータを一時的に格納する半導体記憶装置である。また、ＲＡＭ４ｃは、取得されたログデータを格納するとともに、解析条件を格納する。
【００５２】
ＨＤＤ４ｄは、磁気記憶媒体であるハードディスクに情報を書き込んだり、書き込まれている情報を読み出したりする記憶装置である。この例では、プログラム４ｄ１が格納されている。プログラム４ｄ１は、例えば、解析装置４を制御するためのオペレーティングシステム等のプログラムおよびログデータを取得して解析するためのアプリケーションプログラム等を有している。
【００５３】
画像処理部４ｅは、ＣＰＵ４ａから供給された描画命令に従って描画処理を実行し、得られた画像を映像信号に変換して表示装置４ｈに供給する。Ｉ／Ｆ４ｆは、入力装置４ｉおよびネットワーク３との間で情報を授受する際に、データの表現形式等を変換する。バス４ｇは、ＣＰＵ４ａ、ＲＯＭ４ｂ、ＲＡＭ４ｃ、ＨＤＤ４ｄ、画像処理部４ｅ、および、Ｉ／Ｆ４ｆを相互に電気的に接続し、これらの間で情報の授受を可能にする信号線群である。
【００５４】
呈示手段としての表示装置４ｈは、例えば、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）またはＣＲＴ（Cathode Ray Tube）ディスプレイ等によって構成され、画像処理部４ｅから供給された映像信号に対応する映像を表示部（不図示）に表示する。
【００５５】
入力手段としての入力装置４ｉは、例えば、キーボードまたはマウス等によって構成され、真空プロセス管理システムの管理者の操作に応じた情報を生成し、Ｉ／Ｆ４ｆを介してＣＰＵ４ａに供給する。
【００５６】
（Ｂ）実施の形態の動作の概要
【００５７】
本実施の形態の真空プロセス管理システムでは、真空プロセス装置１において、ウエハ１２に対するプロセス処理が開始されると、制御監視部２０は、予め設定されている制御プログラムに基づいて装置の各部（ＤＣ電源部２１、ガス流量制御部２３等）を制御し、プロセス処理を実行する。その際、制御監視部２０は、制御に関する制御情報としてのデータ（イベントデータ）を生成し、処理対象となっているウエハ１２を特定するためのＩＤ（以下、「ウエハＩＤ）と称する）を付加するとともに、タイマ３４から供給されるタイムスタンプを貼付する。また、制御監視部２０は、装置の各部の状態を示す状態情報としてのデータ（トレースデータ）を所定の周期（例えば、１０分の１秒間隔）で取得し、タイマ３４から供給されるタイムスタンプを貼付する。そして、得られたこれらの情報をログデータとして、ログ格納装置２に送信する。
【００５８】
ログ格納装置２は、真空プロセス装置１から供給されたログデータを、ログデータ２ｄ２としてＨＤＤ２ｄに格納する。
【００５９】
そして、例えば、製造したウエハ１２に不具合が生じた場合には、真空プロセス管理システムの管理者（以下、単に「管理者」と称する）は、解析装置４の入力装置４ｉを操作し、ログ格納装置２に格納されているログデータ２ｄ２を取得し、解析処理を施し、様々な観点から分析することにより、不具合の原因を特定する。
【００６０】
すなわち、管理者は、まず、解析装置４の入力装置４ｉを操作し、解析用のアプリケーションプログラム（以下、単に「プログラム」と称する）を起動する。プログラムが起動されると、図１０に示す第３のインタフェースとしての入力画面（詳細は後述する）が表示されるので、管理者は、解析対象となるトレースデータおよびイベントデータを指定する。
【００６１】
その結果、解析装置４は、指定されたトレースデータおよびログデータを、ＲＡＭ４ｃ上にダウンロードする。そして、解析装置４は、ダウンロードされたトレースデータと、イベントデータとを、タイムスタンプを参照して対応付けする処理を実行する。ここで、イベントデータは、例えば、ガス供給部２２からのガスの供給開始を示すデータと、加工対象であるウエハ１２のウエハＩＤと、ガスの供給が開始された日時を示すタイムスタンプとを含んでいる。また、トレースデータは、それぞれの時点におけるガスの流量を示すデータと、その時点のタイムスタンプとを含むデータである。解析装置４は、同じ日時のタイムスタンプが貼付されているイベントデータと、トレースデータとを対応付けすることにより、２つのデータを時間軸上において関連付けする。
【００６２】
つぎに、管理者は、解析装置４の入力装置４ｉを操作して、図１３に示す第２のインタフェースとしての入力画面（詳細は後述する）を表示させる。この入力画面では、「定義」ボタンを操作することにより後述する図１４に示す第１のインタフェースとしての入力画面（詳細は後述する）を表示させて解析条件を設定することができる。また、この入力画面では、複数の「定義」ボタンのそれぞれについて解析条件を設定することができる。さらに、この入力画面では、入力された複数の解析条件を、実行するか否かを画面左端に表示されているチェックボックスをチェックすることにより選択することができる。
【００６３】
図１３に示す入力画面の「定義」ボタンが操作された場合には、図１４に示す入力画面が表示される。この入力画面では、解析条件の雛形９１〜１０３のいずれかをラジオボタンによって選択するとともに、選択された解析条件の雛形を利用して解析条件を設定する。この例では、解析条件の雛形１００が選択されるとともに、「ＤＣ−ＯＮ開始０秒後からＤＣ−ＯＦＦ終了０秒後の間でＤＣ  Ｖｏｌｔａｇｅが２００以上、２５０以下の範囲にある時間」が条件として設定されている。
【００６４】
以上のような設定が完了すると、管理者は、解析装置４の入力装置４ｉを操作して、解析処理を実行させる。その結果、解析装置４は、入力された解析条件に応じた解析処理を実行する。具体的には、前述した例では、トレースデータである「ＤＣ  Ｖｏｌｔａｇｅ」を対象とし、イベントデータである「ＤＣ−ＯＮ」および「ＤＣ−ＯＦＦ」を参照し、「ＤＣ−ＯＮ開始０秒後からＤＣ−ＯＦＦ終了０秒後の間でＤＣ  Ｖｏｌｔａｇｅが２００以上、２５０以下の範囲にある時間」が解析される。そして、処理結果として得られた情報は、グラフとして表示装置４ｈに表示される。
【００６５】
管理者は、このようにして表示された情報を参照することで、不具合の原因を特定することができる。また、特定された不具合に基づいて、制御監視部２０に格納されている制御プログラムを変更することにより、不具合が再度発生しないようにすることができる。
【００６６】
（Ｃ）実施の形態の動作の詳細
【００６７】
つぎに、本発明の実施の形態の詳細な動作について説明する。以下では、（Ｃ−１）真空プロセス装置１におけるイベントデータの生成処理、（Ｃ−２）真空プロセス装置１におけるトレースデータの生成処理、（Ｃ−３）解析装置４における解析処理の順で説明を行う。
【００６８】
（Ｃ−１）真空プロセス装置１におけるイベントデータの生成処理
【００６９】
図５は、図２に示す真空プロセス装置１においてイベントデータを生成する処理の詳細を説明するフローチャートの一例である。なお、図５に示すフローチャートを説明する前に、図６を参照して、真空プロセス装置１において発生するイベントについて説明する。
【００７０】
真空プロセス装置１では、アルゴンガスによって生成されるプラズマによってターゲット１３としての銅をスパッタリングし、ウエハ１２上に堆積させる。真空プロセス装置１では、複数枚のウエハ１２を保持するウエハカセット（不図示）が真空プロセス装置１にセットされ、プロセスの開始が指示されると、ウエハカセットからウエハ１２が１枚ずつ抜き出されて、チャンバ１０内のウエハステージ１１上に載置される。つぎに、チャンバ１０内部が所定の真空度になるまでドライポンプ２９が駆動される。そして、所定の真空度に到達すると、ターボポンプ３０とドライポンプ３１がつづいて駆動される。この結果、チャンバ１０内部が所定の真空度に到達すると、図６に示すプロセスが開始される（ＳＴ１：プロセス開始のイベントが発生する）。
【００７１】
つぎに、制御監視部２０は、ＩＲ電源部３２を制御し、ＩＲ電源の供給を開始するとともに、静電チャック部２８を制御して静電チャック機構を機能させる（ＳＴ２）。この結果、イオンリフレクタ１４がプラスに、グランドがマイナスとなるように直流電圧が印加される。また、静電チャック部２８が機能することにより、ウエハ１２はウエハステージ１１に吸着されて固定された状態となる。
【００７２】
つぎに、制御監視部２０は、ガス流量制御部２３を制御することにより、ガスフローを開始する（ＳＴ３）。この結果、ガス供給部２２から供給されたアルゴンガスは、ガス流量制御部２３によって流量を調整された後、チャンバ１０内部に導入される。
【００７３】
つづいて、制御監視部２０は、ＤＣ電源部２１を制御し、ターゲット１３がマイナスに、グランドがプラスになるように直流電圧（スパッタリングパワー）を印加する（ＳＴ４：スパッタリングパワーオン）。この結果、ターゲット１３とウエハステージ１１の間でグロー放電が開始され、その結果として、アルゴンガスがプラズマ状態となる。プラズマ状態となったアルゴンガスの原子核（アルゴンイオン）は、プラスの電荷を帯びているので、マイナスの電圧が印加されているターゲットとの間で引力が働くため、これに吸い寄せられて加速され、ターゲット１３に衝突する。この結果、ターゲット１３を構成する銅から銅の分子が反跳される。反跳された銅の分子は、ウエハ１２の表面に堆積する。
【００７４】
つづいて、制御監視部２０は、ガス流量制御部２３を制御し、アルゴンガスの流量を減少させる（ＳＴ５）。つぎに、制御監視部２０は、ＲＦ電源部２６を制御し、ウエハステージ１１とグランドの間に高周波電力（ＲＦパワー）を印加する（ＳＴ６：ＲＦパワーオン）。プラズマ内においては、電子は、イオンよりも移動度が大きいため、銅の分子から電子が分離され、イオン化される（銅イオンとなる）。そして、分離された電子は、ウエハ１２上に集まるため、ウエハ１２はマイナスに帯電する。これにより、プラスの電荷を有する銅イオンと、マイナスに帯電したウエハ１２との間には電気的な引力が作用し、銅イオンは加速されて、ウエハ１２に衝突する。このため、ウエハ１２に形成された凹部の深部にまで銅イオンが到達する。また、高速に衝突することにより、凹部の開口部にバリ状の銅が形成されることが防止できる。さらに、銅イオンには、図２の横方向へ向かう速度よりも、下方向（ウエハ１２の方向）に向かう速度の方が大きくなるので、高アスペクト比を有する凹部の内部に対しても均一な銅膜を形成することができる。
【００７５】
なお、イオン化された銅は、プラスの電荷を有するため、プラスの電圧が印加されたイオンリフレクタ１４との間に斥力が働くため、銅イオンはイオンリフレクタ１４によって反射（加速）され、プラズマの内部に引き戻される。これにより、銅膜の形成の効率を高めることができる。
【００７６】
そして、スパッタリングが開始されてから所定の時間が経過し、ウエハ１２上に堆積した銅の膜厚が所定の厚さに到達すると、制御監視部２０は、ＤＣ電源部２１を制御して、スパッタリングパワーをオフの状態にするとともに、ＲＦ電源部２６を制御してＲＦパワーをオフの状態にする（ＳＴ７）。これによりスパッタリングが終了する。
【００７７】
つづいて、制御監視部２０は、静電チャック部２８を制御して静電チャックをオフの状態にする（ＳＴ８）。つぎに、制御監視部２０は、ガス流量制御部２３を制御して、ガス供給部２２からのアルゴンガスの供給を停止する（ＳＴ９）。そして、制御監視部２０は、プロセスを終了する（ＳＴ１０）。
【００７８】
以上により、１枚のウエハ１２に対するプロセス処理が完了する。その後は、チャンバ１０内からプロセス処理が完了したウエハ１２が取り出され、つぎのウエハ１２がウエハカセットから抜き出され、チャンバ１０内のウエハステージ１１上に載置され、前述の場合と同様の処理が繰り返される。そして、ウエハカセットに配置されている全てのウエハ１２に対する処理が完了すると、１ロット分の処理が完了する。
【００７９】
つぎに、図５を参照して、真空プロセス装置１において、以上のプロセスが実行される際に、イベントデータを取得する処理について説明する。図５に示すフローチャートの処理が開始されると、以下のステップが実行される。
【００８０】
ステップＳ１０：制御監視部２０は、イベントが発生したか否かを判定し、イベントが発生した場合にはステップＳ１１に進み、それ以外の場合には同様の処理を繰り返す。すなわち、制御監視部２０は、図示せぬ制御プログラムに応じて制御を行う上で、図６に示すいずれかのイベントが発生した場合にはステップＳ１１に進み、それ以外の場合にはステップＳ１０の処理を繰り返す。
【００８１】
ステップＳ１１：制御監視部２０は、イベントデータを生成する。図７は、イベントデータの一例を示している。この例では、各行が１レコード分のイベントデータを示している。１レコード分のイベントデータは、タイムスタンプ（詳細は後述する）、実モジュールＩＤ、処理ＩＤ、ウエハＩＤ、および、メッセージを有している。ここで、タイムスタンプは後述するステップＳ１２の処理において貼付される情報である。真空プロセス装置識別情報としての実モジュールＩＤは、チャンバ１０を特定するためのＩＤである。図１の実施の形態では、真空プロセス装置１は、チャンバ１０を１つしか有していないが、真空プロセス装置１が複数のチャンバを有している場合や、システムが複数の真空プロセス装置を有している場合には、複数のチャンバのそれぞれに対して付与されるＩＤである。この例では、真空プロセス装置１は１台であるので、モジュールＩＤは全て「Ｆ１」となっている。
【００８２】
処理ＩＤは、処理の種類を特定するためのＩＤである。この例では、「ＳＰ−Ｓ」、「ＩＲ−ＯＮ」、「ＳＣ−ＯＮ」、「ＧＦ−Ｓ」、および、「ＤＣ−ＯＮ」が列挙されている。ここで、ＳＰ−Ｓは、図６のＳＴ１の「スパッタリングプロセス開始」を示している。ＩＲ−ＯＮは、図６のＳＴ２の「ＩＲ電源供給開始」を示している。ＳＣ−ＯＮは、図６のＳＴ２の「静電チャックオン」を示している。ＧＦ−Ｓは、図６のＳＴ３の「ガスフロー開始」を示している。また、ＤＣ−ＯＮは、図６のＳＴ４の「スパッタリングパワーオン」を示している。
【００８３】
加工対象識別情報としてのウエハＩＤは、ウエハ１２を特定するためのＩＤである。ここで、ハイフンの左側の数字は、ウエハカセット（ロット）を特定するための値である。また、ハイフンの右側の数字は、ウエハカセット内の処理順序（ウエハカセットのスロット）を示す値である。この例では、イベントデータは全て同一のウエハ１２に関するものであるので、ウエハＩＤとして「１−２」が格納されている。
【００８４】
メッセージは、解析処理において利用される付随的な情報であり、この例では、ＳＴＥＰ１，ＳＴＥＰ２等の情報が付与されている。
【００８５】
なお、ステップＳ１１の処理では、図７に示す１レコード分の情報のうち、イベントに応じた「処理ＩＤ」が生成されるとともに、チャンバおよびウエハに対応する「実モジュールＩＤ」および「ウエハＩＤ」が付加され、さらに、処理ＩＤに対応した「メッセージ」が付加されてイベントデータが生成される。
【００８６】
ステップＳ１２：制御監視部２０は、タイマ３４からイベントが発生した時点における日時情報を取得し、ステップＳ１１において生成したイベントデータに対して貼付する。このとき、タイマ３４が発生する日時情報の最小単位は、１０分の１秒である。このため、１００分の１秒以下の時間については、自動的に切り捨てまたは四捨五入がされる。具体的には、タイマ３４が発生する日時情報が「２００７／０１／１５  １３：１１：１６．５１」であった場合には、「１３：１１：１６．５１」の末尾の「１」が、例えば、四捨五入されて「１３：１１：１６．５」がタイムスタンプとなる。これにより、後述するように、トレースデータとの時間の単位が一致することになる。
【００８７】
以上の処理により、図７に示すように、年、月、日、および、時刻から構成されるタイムスタンプがイベントデータに対して付加されることになる。具体的には、図７の１行目のイベントデータでは、「２００７／０１／１５  １３：１１：１６．５」がタイムスタンプとして付加されている。
【００８８】
ステップＳ１３：制御監視部２０は、通信部３３およびネットワーク３を介して、ステップＳ１２において生成したイベントデータを、ログ格納装置２に対して送信する。ログ格納装置２では、ネットワーク３を介して送信されてきたイベントデータを、Ｉ／Ｆ２ｆによって受信し、ＨＤＤ２ｄにログデータ２ｄ２として格納する。これにより、ＨＤＤ２ｄには、図７に示すような形態により、イベントデータが格納される。なお、ステップＳ１３におけるイベントデータの送信単位としては、例えば、１レコード分のデータが完成した時点で送信してもよいし、所定数のレコード分のデータが集まった場合に送信してもよいし、あるいは、図６に示すプロセス終了からつぎのプロセス開始までの間（空き時間）において、まとめて送信するようにしてもよい。
【００８９】
ステップＳ１４：制御監視部２０は、処理を終了するか否かを判定し、終了しないと判定した場合にはステップＳ１０に戻って同様の処理を繰り返し、それ以外の場合には処理を終了する。例えば、管理者から終了の指示がなされた場合には処理を終了し、それ以外の場合にはステップＳ１０に戻って同様の処理を繰り返す。
【００９０】
以上の処理により、イベントログが生成されて、ログ格納装置２のＨＤＤ２ｄに格納されることになる。
【００９１】
（Ｃ−２）真空プロセス装置１におけるトレースデータの生成処理
【００９２】
つぎに、図８を参照して、真空プロセス装置１におけるトレースデータの生成処理について説明する。図８のフローチャートの処理が開始されると、以下のステップが実行される。
【００９３】
ステップＳ２０：制御監視部２０は、タイマ３４によって生成される日時情報を参照し、所定の時間が経過したか否かを判定する。例えば、制御監視部２０は、タイマ３４によって生成される日時情報を参照して、前回の処理が終了してから１０分の１秒が経過したか否かを判定し、経過したと判定した場合にはステップＳ２１に進み、それ以外の場合には同様の処理を繰り返す。より具体的には、前回の処理においてタイマ３４が発生する日時情報が「２００７／０１／１５  １３：１１：１６．４」であった場合に、日時情報が「２００７／０１／１５  １３：１１：１６．５」に変化した場合には、所定の時間が経過したと判定して、ステップＳ２１に進む。なお、この処理は、タイマ３４からの周期的な（１０分の１秒単位の）割り込み処理によって実行するようにしてもよい。
【００９４】
ステップＳ２１：制御監視部２０は、真空プロセス装置１の各部の状態を示す情報としてのトレースデータを取得する。図９は、トレースデータの一例を示している。この例では、各行が１レコード分のトレースデータを示している。１レコード分のトレースデータは「真空度」、「ＩＲ電圧」、「ガス流量」、「ＤＣ電圧」、「ＲＦ電力」、および、「ウエハ温度」その他によって構成されている。
【００９５】
ここで、「真空度」は、図２に示す圧力検出部２４によって測定された情報である。「ＩＲ電圧」は、ＩＲ電源部３２によってイオンリフレクタ１４とグランドとの間に印加されている直流電圧の電圧値を示す情報である。「ガス流量」は、ガス流量制御部２３によってガス供給部２２からチャンバ１０内部に供給されるガスの単位時間あたりの流量を示す情報である。「ＤＣ電圧」は、ＤＣ電源部２１によってターゲット１３とグランドとの間に印加されている直流電圧の電圧値を示す情報である。「ＲＦ電力」は、ＲＦ電源部２６によってウエハステージ１１とグランドとの間に印加されている交流電力の電力値を示す情報である。また、「ウエハ温度」は、温度検出部２７によって検出されたウエハ１２の温度を示す情報である。なお、図９は一例であって、これ以外の情報であってもよい。
【００９６】
なお、これらの情報は、略同時にサンプリングされて取得されるので、後述するタイムスタンプが示す日時のその瞬間における、真空プロセス装置１の各部の状態を示す情報となる。
【００９７】
ステップＳ２２：制御監視部２０は、タイマ３４からその時点における日時情報を取得し、ステップＳ２１において取得したトレースデータに対して貼付する。このとき、タイマ３４が発生する日時情報の最小単位は、１０分の１秒であるので、例えば、タイムスタンプとしては「２００７／０１／１５  １３：１１：１６．５」が貼付されることになる。これにより、前述したイベントデータとの時間の単位および周期が一致することになる。
【００９８】
以上の処理により、図９に示すように、年、月、日、および、時刻から構成されるタイムスタンプがトレースデータに対して付加されることになる。具体的には、図９の１行目のイベントデータでは、「２００７／０１／１５  １３：１１：１６．５」がタイムスタンプとして付加され、これは、図７の１行目のタイムスタンプと一致している。
【００９９】
ステップＳ２３：制御監視部２０は、通信部３３およびネットワーク３を介して、ステップＳ２２においてタイムスタンプが貼付されたトレースデータを、ログ格納装置２に対して送信する。ログ格納装置２では、ネットワーク３を介して送信されてきたトレースデータを、Ｉ／Ｆ２ｆによって受信し、ＨＤＤ２ｄにログデータ２ｄ２として格納する。これにより、ＨＤＤ２ｄには、図９に示すような形態により、トレースデータが格納される。なお、ステップＳ２３におけるトレースデータの送信単位としては、例えば、１レコード分のデータが完成した時点で送信してもよいし、所定数のレコード分のデータが集まった場合に送信してもよいし、あるいは、図６に示すプロセス終了からつぎのプロセス開始までの間（空き時間）において、まとめて送信するようにしてもよい。
【０１００】
ステップＳ２４：制御監視部２０は、処理を終了するか否かを判定し、終了しないと判定した場合にはステップＳ２０に戻って同様の処理を繰り返し、それ以外の場合には処理を終了する。例えば、管理者から終了の指示がなされた場合には処理を終了し、それ以外の場合にはステップＳ２０に戻って同様の処理を繰り返す。
【０１０１】
以上の処理により、トレースデータが生成されて、ログ格納装置２のＨＤＤ２ｄに格納されることになる。
【０１０２】
なお、以上のようにして生成されたイベントデータとトレースデータは、例えば、２ヶ月程度ログ格納装置２に保持し、２ヶ月が経過したこれらのデータについては順次ＨＤＤ２ｄから削除するようにしてもよい。その際、タイムスタンプを参照することにより、削除対象となるデータを容易に判別することができる。また、保持する期間は、ウエハ１２に対する不具合が判明する期間に応じて設定すればよい。例えば、１ヶ月程度で不具合が判明する場合には例えば２ヶ月程度保持し、３ヶ月程度で不具合が判明する場合には４ヶ月程度保持する。これ以外の期間であってもよいことは言うまでもない。
【０１０３】
（Ｃ−３）解析装置４における解析処理
【０１０４】
つぎに、図４に示す解析装置４において実行される解析処理について説明する。管理者が、解析装置４の入力装置４ｉを操作してプログラム４ｄ１に含まれている解析用のアプリケーションプログラムを起動すると、ＣＰＵ４ａは画面表示用のデータをプログラム４ｄ１のデータ領域から取得し、画像処理部４ｅに供給する。画像処理部４ｅは供給された画面表示用のデータに基づいて描画処理をし、得られた画像を映像信号に変換して表示装置４ｈに供給する。その結果、表示装置４ｈには、図１０に示すような入力画面５０が表示される。
【０１０５】
この入力画面５０は、データファイルに関する情報を入力するデータファイル領域５１、作業用フォルダ等の指定を行う設定領域５２、処理対象データを設定する処理対象データ設定領域５３、および、各種ボタン５８〜６３が表示されている。
【０１０６】
ここで、データファイル領域５１には、解析対象となるイベントファイルのファイル名を入力するテキストボックス５１ａ、解析対象となるトレースファイルのファイル名を入力するテキストボックス５１ｂ、テキストボックス５１ａに入力されたファイル名のイベントファイルを読み込む際に操作されるボタン５１ｃ、テキストボックス５１ｂに入力されたファイル名のトレースファイルを読み込む際に操作されるボタン５１ｄ、トレースファイルの対象実モジュールを指定するためのテキストボックス５１ｅ、および、テキストボックス５１ｅに候補となる実モジュールをプルダウン表示させるためのボタン５１ｆが表示されている。
【０１０７】
また、設定領域５２には、作業用のフォルダが入力されるテキストボックス５２ａ、解析結果のグラフを表示するアプリケーションプログラムの名称が入力されるテキストボックス５２ｂ、および、テキストボックス５２ａ，５２ｂにおいて選択可能な情報をそれぞれ表示させるためのボタン５２ｃ，５２ｄが表示されている。
【０１０８】
また、処理対象データ設定領域５３には、さらに、トレースデータの項目が表示されるとともに所望のトレースデータを選択するためのトレースデータ項目領域５４、イベントデータに関する情報が表示されるとともに所望のイベントデータを選択するためのイベントデータ領域５５、レシピに関する処理を行うためのレシピ領域５６、および、解析条件に関する処理を行うための解析条件領域５７が表示されている。
【０１０９】
ここで、トレースデータ項目領域５４には、トレースデータが表示される表示領域５４ａ、表示領域５４ａに表示された情報をスクロールする際に操作されるボタン５４ｂ〜５４ｄが表示されている。また、イベントデータ領域５５には、実モジュールが表示される表示領域５５ａ、ウエハＩＤが表示される表示領域５５ｂ、および、処理ＩＤが表示される表示領域５５ｃが表示されている。レシピ領域５６には、プロセスの流れを記述したレシピを設定する際に操作されるボタン５６ａ、レシピを保存する際に操作されるボタン５６ｂ、および、レシピを読み込む際に操作されるボタン５６ｃが表示されている。また、解析条件領域５７には、解析条件を定義する際に操作されるボタン５７ａ、解析条件を保存する際に操作されるボタン５７ｂ、および、解析条件を読み込む際に操作されるボタン５７ｃが表示されている。
【０１１０】
ボタン５８は、ヒストグラムを生成する際に操作されるボタンである。ボタン５９は、一次解析を行う際に操作されるボタンである。ボタン６０は、一次解析結果をファイルとして出力する際に操作されるボタンである。ボタン６１は表示用のデータを出力する際に操作されるボタンである。ボタン６２は、解析処理を実行する際に操作されるボタンである。ボタン６３は、当該アプリケーションプログラムの処理を終了する際に操作されるボタンである。
【０１１１】
このような入力画面５０において、管理者は、まず、テキストボックス５１ａに対して、解析しようとするイベントファイルのファイル名を入力する。具体的には、ボタン５１ｃを操作すると、読み込み可能なファイルの一覧が表示されるので、管理者は解析しようとするイベントファイルを指定する。その結果、解析装置４のＣＰＵ４ａは、ログ格納装置２からイベントデータを取得する。すなわち、ＣＰＵ４ａは、Ｉ／Ｆ４ｆおよびネットワーク３を介してログ格納装置２に対して指定されたイベントデータを送信するように要求を行う。ログ格納装置２のＣＰＵ２ａは、Ｉ／Ｆ２ｆを介してこの要求を受信し、ＨＤＤ２ｄに格納されているログデータ２ｄ２から指定されたイベントデータを取得して、Ｉ／Ｆ２ｆにより送信する。この結果、解析装置４のＣＰＵ４ａは、Ｉ／Ｆ４ａを介してイベントデータを受信する。そして、ＣＰＵ４ａは、受信したイベントデータを、ＲＡＭ４ｃの所定の領域に格納する。この結果、イベントデータ領域５５には、取得されたイベントデータに含まれている情報が一覧表示される（詳細は後述する）。
【０１１２】
つぎに、管理者は、テキストボックス５１ｅにおいて解析しようとする対象実モジュールを設定する。具体的には、ボタン５１ｆを操作することにより表示されるプルダウンメニューの中から解析しようとする実モジュールを選択する。なお、「実モジュール」とは、「チャンバ」を示し、複数存在するチャンバの中から所望のチャンバが選択される。
【０１１３】
つぎに、管理者は、テキストボックス５１ｂに対して、解析しようとするトレースファイルのファイル名を入力する。具体的には、ボタン５１ｄを操作すると、読み込み可能なファイルの一覧が表示されるので、管理者は解析しようとするトレースファイルを指定する。その結果、解析装置４のＣＰＵ４ａは、ログ格納装置２からトレースデータを取得する。すなわち、ＣＰＵ４ａは、Ｉ／Ｆ４ｆおよびネットワーク３を介してログ格納装置２に対して指定されたトレースデータを送信するように要求を行う。ログ格納装置２のＣＰＵ２ａは、Ｉ／Ｆ２ｆを介してこの要求を受信し、ＨＤＤ２ｄに格納されているログデータ２ｄ２から指定されたトレースデータを取得して、Ｉ／Ｆ２ｆにより送信する。この結果、解析装置４のＣＰＵ４ａは、Ｉ／Ｆ４ａを介してトレースデータを受信する。そして、ＣＰＵ４ａは、受信したイベントデータを、ＲＡＭ４ｃの所定の領域に格納する。この結果、トレースデータ項目領域５４には、取得されたトレースデータに含まれている情報が一覧表示される（詳細は後述する）。
【０１１４】
図１１は、イベントデータおよびトレースデータが読み込まれた際の入力画面の一例を示している。この例では、テキストボックス５１ａには解析対象であるイベントファイルのファイル名として「Ｃ：￥ｄａｔａ￥ｅｖｅｎｔ．ｄａｔ」が入力されている。また、テキストボックス５１ｂには解析対象であるトレースファイルのファイル名として「Ｃ：￥ｄａｔａ￥ｔｒａｃｅ．ｄａｔ」が入力されている。また、トレースファイルの対象実モジュールとしては、「Ｆ１」がテキストボックス５１ｅにおいて選択されている。なお、当該「Ｆ１」は、この例では、真空プロセス装置１のチャンバ１０に対応している。また、これらのファイル名は、一例であって、これ以外であってもよい。
【０１１５】
トレースデータ項目領域５４の表示領域５４ａには、図９に示すトレースデータに対応する情報が一覧表示されている。具体的には、真空度に対応する情報「Ｖａｃｕｕｍ」、ＩＲ電圧に対応する「ＩＲ  Ｖｏｌｔａｇｅ」、および、その他の情報が表示されている。また、イベントデータ領域５５の表示領域５５ａには真空プロセス装置１のチャンバ１０に対応する「Ｆ１」を含む実モジュールの一覧が表示されている。表示領域５５ｂには、イベントデータに含まれるウエハＩＤが一覧表示されている。表示領域５５ｃには、イベントデータに含まれる処理ＩＤが一覧表示されている。
【０１１６】
管理者は、図１１に示す表示領域５４ａにおいて、解析対象とするトレースデータの項目を選択する。すなわち、管理者は、表示領域５５ａにおいて実モジュールを選択するとともに、表示領域５５ｂにおいて対象となるウエハＩＤを選択する。例えば、管理者は、表示領域５４ａにおいて全てのトレースデータ項目を選択するとともに、表示領域５５ａにおいて実モジュール「Ｆ１」を選択し、さらに、表示領域５５ｂにおいて全てのウエハＩＤを選択する。
【０１１７】
このような状態において、管理者によってボタン５９が操作されると、イベントデータとトレースデータを関連付けする処理が実行される。つまり、ＣＰＵ４ａは、ＲＡＭ４ｃに格納されているイベントデータと、トレースデータを、それぞれに１レコード単位で貼付されているタイムスタンプを参照して、対応付けする処理を実行する。すなわち、同一の日時情報を有するタイムスタンプが貼付されているイベントデータと、トレースデータとを対応付けする処理を実行する。なお、トレースデータは、１０分の１秒単位で周期的にサンプリングされるが、イベントデータはイベントが発生した時点において生成されるので、非周期的なデータである。したがって、これらを対応付けした場合には、図１２に示すような状態となる。この図の例は、図７に示す処理ＩＤと、図９に示すトレースデータとを対応付けして示している。行と行の間の点は、その間のトレースデータを省略していることを示している。
【０１１８】
このようにして、トレースデータと、イベントデータとを、タイムスタンプを参照して対応付けすることにより、トレースデータが標識化される。標識化されたトレースデータを用いることにより、後述するように、データの解析処理を容易かつ迅速に行うことができる。
【０１１９】
なお、ボタン６０を操作することにより、以上のようにして対応付けを行ったデータを、ファイルとして出力することもできる。このようにして出力されたファイルは、所定のアプリケーションプログラムで参照することができる。
【０１２０】
つぎに、管理者は、解析条件を設定する。ここで、新たな解析条件を設定する際には、ボタン５７ａを操作し、既存の解析条件を利用する場合にはボタン５７ｃを操作する。以下では、新たな解析条件を設定する場合について説明する。
【０１２１】
管理者がボタン５７ａを操作すると、ＣＰＵ４ａは、プログラム４ｄ１に含まれている入力画面表示用のデータを取得し、画像処理部４ｅに供給する。画像処理部４ｅは描画処理を実行し、得られた画像を表示装置４ｈに供給する。その結果、表示装置４ｈには、図１３に示す入力画面７０が表示される。この例では、入力画面７０の左端には、チェックボックス７１ａ〜８０ａが表示されている。また、その右隣には、ボタン７１ｂ〜８０ｂがそれぞれ表示されている。さらに、その右隣には、テキストボックス７１ｃ〜８０ｃおよびテキストボックス７１ｄ〜８０ｄが表示されている。入力画面７０の下部には、表示対象解析条件定義選択領域８１が表示され、その右隣には、ボタン８２〜８４が表示されている。
【０１２２】
ここで、チェックボックス７１ａ〜８０ａは、その右側に表示されている解析条件を実行するか否かを指定する。すなわち、図１０に示すボタン６２が操作された場合に、右側に表示されている解析条件（定義）を実行する場合にはチェックボックスにチェックを入れる。ボタン７１ｂ〜８０ｂは、解析条件を設定する際に操作され、これらのボタン７１ｂ〜８０ｂが操作されると、図１４に示す入力画面９０が表示され、当該入力画面９０において解析条件を設定することができる。テキストボックス７１ｃ〜８０ｃには、それぞれの解析条件の名前（図１４のテキストボックス１０４に入力された情報）が表示される。また、テキストボックス７１ｄ〜８０ｄには、図１４に示す入力画面９０において設定された解析条件を示すテキスト情報が表示される。表示対象解析条件定義選択領域８１では、複数の定義のいずれのグループを表示するかをラジオボタンによって選択する。この例では、定義１〜１０に対応するラジオボタンが選択されているので、定義１〜１０が表示されている。ボタン８２は、後述するように、所定の定義を複製（コピー）する際に操作されるボタンである。ボタン８３は、チェックボックスがチェックされた定義をリセットする際に操作されるボタンである。ボタン８４は、当該入力画面７０を閉じる際に操作されるボタンである。
【０１２３】
このような入力画面７０において、例えば、ボタン７１ｂが操作されると、ＣＰＵ４ａは、プログラム４ｄ１に含まれている入力画面表示用のデータを取得し、画像処理部４ｅに供給する。画像処理部４ｅは描画処理を実行し、得られた画像を表示装置４ｈに供給する。その結果、表示装置４ｈには、図１４に示すような入力画面９０が表示される。この表示例では、入力画面９０内には、解析条件の雛形９１〜１０３が表示され、その下には、テキストボックス１０４およびボタン１０５，１０６が表示されている。
【０１２４】
ここで、雛形９１〜１０３は、解析条件を入力する雛形である。具体的には、雛形９１は、所定のイベントの「開始または終了」のｘ秒後から、所定のトレースデータが値ｙを「上回るまたは下回る」までの時間を条件として設定する。この例では、「イベント「ＳＰ−Ｓ」の「開始」の「０」秒後から、トレースデータ「ＰＧ」が「０」を「上回る」までの時間」が初期状態として表示されている。なお、イベントデータおよびトレースデータの選択肢は、読み込まれたトレースデータおよびイベントデータから取得されたものが表示される。
【０１２５】
雛形９２は、所定のイベントの「開始または終了」のｘ秒後から所定のトレースデータと他の所定のトレースデータを四則演算した結果がｙプラスマイナスｚ％以内になるまでの時間を条件として設定する。雛形９３は、所定のイベントの「開始または終了」のｘ秒後から、所定のイベントの「開始または終了」のｙ秒後までの時間を条件として設定する。雛形９４は、所定のイベントの「開始または終了」のｘ秒後以降で所定のトレースデータの値がｙプラスマイナスｚ％の範囲にある「時間、最小値、最大値、平均値、または、中央値」を条件として設定する。雛形９５は、所定のイベントの「開始または終了」のｘ秒後以降で所定のトレースデータの値と他のトレースデータの値を四則演算した結果がｙプラスマイナスｚ％の範囲にある「時間、最小値、最大値、平均値、または、中央値」を条件として設定する。雛形９６は、所定のイベントの「開始または終了」のｘ秒後から所定のイベントの「開始または終了」ｙ秒後の間で所定のトレースデータの値がｚプラスマイナスｗ％の範囲にある「時間、最小値、最大値、平均値、または、中央値」を条件として設定する。雛形９７は、所定のイベントの「開始または終了」のｘ秒後から所定のイベントの「開始または終了」ｙ秒後の間で所定のトレースデータと他のトレースデータの四則演算の結果がｚプラスマイナスｗ％の範囲にある「時間、最小値、最大値、平均値、または、中央値」を条件として設定する。雛形９８は、所定のイベントの「開始または終了」のｘ秒後以降で所定のトレースデータの値がｙ以上ｚ以下の範囲にある「時間、最小値、最大値、平均値、または、中央値」を条件として設定する。雛形９９は、所定のイベントの「開始または終了」のｘ秒後以降で所定のトレースデータと他のトレースデータの四則演算の結果がｙ以上ｚ以下の範囲にある「時間、最小値、最大値、平均値、または、中央値」を条件として設定する。雛形１００は、所定のイベントの「開始または終了」のｘ秒後から所定のイベントの「開始または終了」ｙ秒後の間で所定のトレースデータの値がｚ以上ｗ以下の範囲にある「時間、最小値、最大値、平均値、または、中央値」を条件として設定する。雛形１０１は、所定のイベントの「開始または終了」から所定のイベントの「開始または終了」の間で所定のトレースデータと他のトレースデータとの四則演算の結果がｘ以上ｙ以下の範囲にある「時間、最小値、最大値、平均値、または、中央値」を条件として設定する。雛形１０２は、所定のイベントの「開始または終了」のｘ秒後の所定のトレースデータの値を条件として設定する。雛形１０３は、所定のイベントの「開始または終了」から所定のイベントの「開始または終了」の間で所定のトレースデータが「最小値、最大値、平均値、または、中央値」になる時間を条件として設定する。
【０１２６】
テキストボックス１０４には、解析条件の名前が入力され、当該名前は、図１３のテキストボックス７１ｃ〜８０ｃの対応するテキストボックス内に表示される。ボタン１０５は、入力された解析条件を登録する際に操作され、ボタン１０６は入力された解析条件をキャンセルする場合に操作される。
【０１２７】
このような入力画面９０において、管理者が、例えば、雛形１００の各種ボタン等を操作して「ＤＣ−ＯＮ開始０秒後からＤＣ−ＯＦＦ終了０秒後の間でＤＣ  Ｖｏｌｔａｇｅが２００以上２５０以下の範囲である時間」を条件として設定した後、対応するラジオボタン（左側に表示されるラジオボタン）を選択したとする。そして、テキストボックス１０４に解析条件の名前として「Ｓｐｔ  Ｔｉｍｅ」を入力し、ボタン１０５を操作すると、表示装置４ｈには、図１５に示す確認画面１２０が表示される。この確認画面１２０では、メッセージとして「設定する条件は以下です。よろしいですか？」および「ＤＣ−ＯＮ開始０秒後からＤＣ−ＯＦＦ終了０秒後の間でＤＣ  Ｖｏｌｔａｇｅが２００以上２５０以下の範囲である時間」が表示され、その下にはボタン１２２，１２３が表示されている。このような確認画面１２０に表示されたメッセージを参照し、表示した内容が正しい場合には、ボタン１２２を操作し、それ以外の場合にはボタン１２３を操作する。ボタン１２２が操作されると、図１４に示す入力画面９０において入力された解析条件がＲＡＭ４ｃに格納される。具体的には、図１４に示すボタンが操作されて選択された条件および入力された情報が格納される。
【０１２８】
また、図１５に示すボタン１２２が操作されると、図１６に示すように、入力画面７０のテキストボックス７１ｃには、図１４のテキストボックス１０４に入力された「Ｓｐｔ  Ｔｉｍｅ」が表示され、また、テキストボックス７１ｄには、雛形１００を用いて設定された解析条件を示すテキスト情報（ＤＣ−ＯＮ開始０秒後からＤＣ−ＯＦＦ終了０秒後の間でＤＣ  Ｖｏｌｔａｇｅが２００以上２５０以下の範囲である時間）が表示される。また、左側のチェックボックスには、この定義を実行することを示すチェックが表示されている。これらの表示を参照することにより、管理者は、定義１として設定された解析条件の名前と内容とを知ることができる。
【０１２９】
なお、このような状態において、ボタン８４を操作した後、図１１に示すボタン６２を操作すると、定義１に基づく解析処理が実行されることになる。具体的には、いまの例では、実モジュールＩＤが「Ｆ１」であるチャンバにおいてプロセス処理が実行されたウエハ１２のＤＣ−ＯＮ（図６のＳＴ４）開始０秒後からＤＣ−ＯＦＦ終了（図６のＳＴ７）０秒後の間でＤＣ  Ｖｏｌｔａｇｅが２００以上２５０以下の範囲にある時間が解析される。この場合、ＣＰＵ４ａは、まず、イベントデータから実モジュールＩＤが「Ｆ１」であるレコードを検索する。その結果、図７に示すデータが該当することから、図７に示すデータが取得される。
【０１３０】
つぎに、ＣＰＵ４ａは、ＤＣ−ＯＮに対応する処理ＩＤである「ＤＣ−ＯＮ」と、ＤＣ−ＯＦＦに該当する処理ＩＤである「ＤＣ−ＯＦＦ」とを取得されたデータから検索する。つづいて、ＣＰＵ４ａは、処理ＩＤ「ＤＣ−ＯＮ」と、処理ＩＤ「ＤＣ−ＯＦＦ」のそれぞれのイベントデータに貼付されているタイムスタンプを取得する。
【０１３１】
つづいて、ＣＰＵ４ａは、取得した２つのタイムスタンプが示す期間に含まれているＤＣ電圧のトレースデータを取得する。すなわち、ＣＰＵ４ａは、図９に示すトレースデータから上述した２つのタイムスタンプを始点および終点とした場合に、これらの範囲に含まれているＤＣ電圧に関するトレースデータを取得する。以上の処理により、指定されたチャンバの指定されたウエハの指定された範囲に属するＤＣ電圧に関するトレースデータが取得される。
【０１３２】
なお、対象となるウエハが複数存在する場合には、上述のような処理をウエハ毎に繰り返し実行するようにすればよい。また、複数のトレースデータが対象となっている場合は、タイムスタンプによって指定される期間に属する該当するトレースデータ群を取得するようにすればよい。
【０１３３】
また、トレースデータの所定のポイントから、一定の時間が経過した場合を基準として範囲が設定された場合には、該当するトレースデータのタイムスタンプに対して、前述した一定の時間を加算して得られた時刻を基準として前述の場合と同様の処理を実行すればよい。
【０１３４】
また、イベントデータと、トレースデータの双方を使用して範囲を決定する場合には、前述の処理によって特定されたトレースデータが、所定の条件を満たした場合を始点または終点として、範囲を決定するようにすればよい。
【０１３５】
また、取得したトレースデータの最大値、最小値、平均値、中央値を求める場合には、取得したトレースデータの中で最大となる値、最小となる値、平均値となる値、中央値となる値を求めるようにすればよい。さらに、トレースデータの比較（例えば、相関関数の計算）を行う場合には、トレースデータ同士で相関関数を演算するようにすればよい。
【０１３６】
図１７は、以上の解析処理の結果として、表示装置４ｈに表示されるグラフの一例である。このグラフは、横軸がスロットを示し、縦軸が時間を示している。このグラフから、ＤＣ−ＯＮ開始０秒後からＤＣ−ＯＦＦ終了０秒後の間でＤＣ  Ｖｏｌｔａｇｅが２００以上２５０以下の範囲にある時間は、スロットによらず約３５秒程度であることが分かる。このような解析結果のグラフを参照することにより、管理者は、ＤＣ電圧の傾向を知ることができる。
【０１３７】
以上は、定義を直接指定する場合の説明であるが、本発明の実施の形態では、定義を複製（コピー）して新たな定義を生成することができる。この点についてつぎに説明する。
【０１３８】
図１３に示す入力画面７０においてボタン８２が操作されると、ＣＰＵ４ａは、プログラム４ｄ１に含まれている入力画面表示用のデータを取得し、画像処理部４ｅに供給する。画像処理部４ｅは描画処理を実行し、得られた画像を表示装置４ｈに供給する。その結果、表示装置４ｈには、図１８に示す入力画面１３０が表示される。この例では、テキストボックス１３１，１３３およびボタン１３２，１３４，１３５が表示されている。テキストボックス１３１には複製元の定義が入力される。テキストボックス１３３には複製先の定義が入力される。また、ボタン１３２は、複製元の候補となる定義（入力済の定義）をプルダウメニューとして一覧表示する際に操作されるボタンである。また、ボタン１３４は、複製先の候補となる定義（未入力の定義）をプルダウメニューとして一覧表示する際に操作されるボタンである。ボタン１３５は複製元の定義を複製先の定義に複製する際に操作されるボタンである。
【０１３９】
このような入力画面１３０において、例えば、複製元として「定義１」を選択し、複製先として「定義２」を選択し、ボタン１３５が操作されたとすると、ＲＯＭ４ｃに格納されている定義１に関する情報が取得され、定義２の情報として複製される。この結果、図１９に示すように、入力画面７０では、定義２に定義１と同一の情報が表示されることになる。すなわち、この例では、テキストボックス７２ｃには「Ｓｐｔ  Ｔｉｍｅ」が表示され、また、テキストボックス７２ｄには「ＤＣ−ＯＮ開始０秒からＤＣ−ＯＦＦ終了０秒の間でＤＣ  Ｖｏｌｔａｇｅが２００以上、２５０以下である時間」が表示されている。また、チェックボックス７２ａがチェックされた状態となっている。
【０１４０】
このような入力画面７０において、ボタン７２ｂが操作されると、図２０に示す入力画面９０が表示される。この例は、定義１のコピーであるので、表示当初は、図１４と同様の情報が表示される。すなわち、雛形１００において「ＤＣ−ＯＮ開始０秒からＤＣ−ＯＦＦ終了０秒の間でＤＣ  Ｖｏｌｔａｇｅが２００以上、２５０以下である時間」が解析条件として入力されるとともに、対応するラジオボタンがチェックされた状態となっている。このような入力画面９０において、雛形１００の末尾（右端）のテキストボックスにおいて「時間」が「最大値」に変更され、また、テキストボックス１０４において「Ｓｐｔ  Ｔｉｍｅ」が「Ｓｐｔ  Ｍａｘ」に変更された後に、ボタン１０５が操作されると、図２１に示すように、テキストボックス７２ｃに表示されていた「Ｓｐｔ  Ｔｉｍｅ」が「Ｓｐｔ  Ｍａｘ」に変更され、また、テキストボックス７２ｄに表示されていた「ＤＣ−ＯＮ開始０秒からＤＣ−ＯＦＦ終了０秒の間でＤＣ  Ｖｏｌｔａｇｅが２００以上、２５０以下である時間」が「ＤＣ−ＯＮ開始０秒からＤＣ−ＯＦＦ終了０秒の間でＤＣ  Ｖｏｌｔａｇｅが２００以上、２５０以下である最大値」に変更される。
【０１４１】
このような状態において、ボタン８４を操作した後、図１１に示すボタン６２が操作されると、前述の場合と同様の流れにより、定義１および定義２に対応する解析処理が実行される。その結果、定義１に対応する解析結果として、図１７に示すグラフが表示装置４ｈに表示されるとともに、図２２に示すグラフが表示装置４ｈに併せて表示される。図２２の表示例では、横軸はスロットであり、縦軸は電圧となっている。また、黒丸がそれぞれのロットの最大電圧を示している。このようなグラフを参照することにより、管理者は、指定された範囲におけるＤＣ電圧の最大値を知ることができる。なお、図１７と図２２のグラフを同じ平面上に併せて表示するようにしてもよい。
【０１４２】
なお、以上は１つまたは２つの定義に関する説明であるが、３つ以上の定義についても同様に解析処理を実行することができる。その場合には、３種類以上のグラフが表示装置４ｈに表示されることになる。また、図２１の例では、定義１〜１０のみが表示されているが、表示対象解析条件定義選択領域のラジオボタンを選択することにより、定義１１〜２０、または、定義２１〜３０を表示し、それぞれの定義を設定し、設定された定義を含む解析処理を実行することも可能である。なお、この例では、定義は３０種類としたが、これ以下またはこれ以上であってもよい。
【０１４３】
以上に説明したように、本発明の実施の形態によれば、イベントデータとトレースデータのそれぞれに対してタイムスタンプを貼付して対応付けし、イベントデータをトリガとして、所望のトレースデータを取得できるようにしたので、所望のタイミングのデータを迅速に検索することができる。
【０１４４】
また、本発明の実施の形態によれば、イベントデータを基準として、所定の範囲のトレースデータを指定し、この範囲に含まれるトレースデータを表示したり、解析処理を施したりするようにしたので、特定の範囲のトレースデータを迅速かつ簡易に取得し、解析することができる。
【０１４５】
また、本発明の実施の形態によれば、イベントデータに対してウエハＩＤを付加して格納するようにしたので、所望のウエハに関するトレースデータを簡易かつ迅速に検索することができる。また、ウエハＩＤとして、ロットと、ロット内の処理順序（スロット）を示す符号を使用するようにしたので、所定のロットの所定の処理順序のウエハに関するトレースデータを簡易かつ迅速に検索することができる。また、同様にチャンバに対する実モジュールＩＤを付加するようにしたので、複数チャンバが存在する場合であっても、所望のチャンバのトレースデータを簡易かつ迅速に検索し、解析することができる。
【０１４６】
また、本発明の実施の形態によれば、図１４に示す入力画面９０において、複数の雛形のいずれかを用いて解析条件を定義するとともに、図１３に示す入力画面７０において、所望の定義を選択して実行するようにした。これにより、解析条件を簡単に生成するとともに、所望の解析条件を選択して解析処理を実行することが可能になる。
【０１４７】
また、本発明の実施の形態によれば、図１４に示す入力画面９０において設定された条件を、図１５に示す確認画面１２０においてテキスト情報として表示して確認を促すとともに、図１６に示す入力画面７０にも表示するようにした。このため、解析条件を間違いなく入力することができる。また、設定済の解析条件を容易に知ることが可能になる。
【０１４８】
また、本発明の実施の形態によれば、解析条件を複写することができるようにしたので、同様の条件を複数生成する場合には、管理者の操作を簡略化することができる。
【０１４９】
（Ｄ）変形実施の態様
【０１５０】
なお、上述の実施の形態は、本発明の好適な例であるが、本発明は、これらに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々の変形、変更が可能である。
【０１５１】
例えば、以上の実施の形態では、真空プロセス装置１としては、ＰＶＤによる銅のスパッタリングを行う装置を例に挙げて説明したが、これ以外のプロセス装置であってもよい。具体的には、前述したように、ＣＶＤ装置、エッチング装置、インプラー装置、フォトリソグラフィー装置を真空プロセス装置１として用いることができる。また、以上では、真空下におけるプロセス装置を例に挙げて説明したが、必ずしも真空下に限定されるものではない。
【０１５２】
また、以上の実施の形態では、真空プロセス装置１が１台の場合を例に挙げて説明したが、真空プロセス装置は複数存在してもよい。その場合には、実モジュールＩＤによって、複数の真空プロセス装置を区別するようにすればよい。
【０１５３】
また、以上の実施の形態では、ログ格納装置２を真空プロセス装置１とは独立した構成としたが、これらを一体としてもよい。すなわち、ログ格納装置２を真空プロセス装置１の一部として構成してもよい。
【０１５４】
また、以上の実施の形態では、解析装置４は、真空プロセス装置１およびログ格納装置２とは独立した構成としたが、解析装置４を真空プロセス装置１またはログ格納装置２の一部として構成してもよい。
【０１５５】
また、以上の実施の形態では、ネットワーク３を介して、真空プロセス装置１、ログ格納装置２、および、解析装置４を相互に接続するようにしたが、これらをネットワーク３を介さずに直接接続するようにしてもよい。具体的には、ＵＳＢ（Universal Serial Bus）その他のインタフェースによって直接接続することができる。
【０１５６】
また、以上の実施の形態では、図９に示すように、トレースデータは、常に一定の周期で取得するようにしたが、例えば、プロセス処理中とそれ以外の場合において、取得する周期を変更するようにしてもよい。具体的には、プロセス処理中は、短い周期（例えば、１０分の１秒）でトレースデータを取得し、それ以外の場合には長い周期（例えば、１秒）でトレースデータを取得するようにしてもよい。これにより、トレースデータの量を減らすことができるので、ＨＤＤ２ｄの必要な容量を削減できる。
【０１５７】
また、以上の実施の形態では、イベントデータとトレースデータとを別々に格納するようにしたが、例えば、図１２に示すように予め対応付けしてから格納するようにしてもよい。そのような方法によれば、解析装置４側で対応付け処理を実行する必要がなくなるので、解析処理の待ち時間を短くすることができる。
【０１５８】
また、以上の実施の形態では、解析装置４は、全てのイベントデータとトレースデータをログ格納装置２から取得し、取得した後に範囲および対象を絞り込むようにしたが、対象および範囲の指定を受けた後に、必要なデータのみをログ格納装置２から取得するようにしてもよい。そのような方法によれば、ＲＡＭ４ｃの容量に比して、イベントデータおよびトレースデータのデータ量が大きい場合であっても解析処理を実行することができる。
【０１５９】
また、以上の実施の形態では、イベントデータのメッセージを利用する場合については言及していないが、メッセージを利用して範囲を指定するようにしてもよい。具体的には、例えば、図７に示す「ＳＴＥＰ１」および「ＳＴＥＰ２」等のメッセージを利用して、範囲を指定することも可能である。
【０１６０】
また、以上の実施の形態では、トレースデータおよびイベントデータとしてはそれぞれ単一のファイルを対象として処理を行うようにしたが、複数のトレースデータおよびイベントデータを対象として処理を行うようにしてもよい。そのような方法によれば、時間的に前後するデータを対象として解析処理を行うことにより、例えば、経時的な変化を知ることができる。なお、複数のデータを読み込む場合、時間的に重複したデータ（同一のタイムスタンプが付与されたデータ）が読み込まれたときには、データが重複して処理不能となってしまうので、時間的に重複しないデータのみを処理対象とできるように、タイムスタンプを参照して、時間的な重複の有無を予め判断するようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【０１６１】
本発明は、例えば、ＰＶＤ装置、または、ＣＶＤ装置等の真空プロセス装置を管理する管理システムに適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１６２】
【図１】本発明の実施の形態に係るプロセス管理システムの構成例を示すブロック図である。
【図２】図１に示す真空プロセス装置の構成例を示す図である。
【図３】図１に示すログ格納装置の構成例を示すブロック図である。
【図４】図１に示す解析装置の構成例を示すブロック図である。
【図５】図２に示す真空プロセス装置においてイベントデータを生成する処理の一例を示すフローチャートである。
【図６】図２に示す真空プロセス装置において実行されるイベントの一例を示す図である。
【図７】図５に示すフローチャートによって生成されるイベントデータの一例を示す図である。
【図８】図２に示す真空プロセス装置においてトレースデータを取得する処理の一例を示すフローチャートである。
【図９】図５に示すフローチャートによって生成されるトレースデータの一例を示す図である。
【図１０】アプリケーションプログラムが起動された場合に最初に表示される入力画面の一例を示す図である。
【図１１】図１０に示す画面において所定のイベントデータおよびトレースデータが読み込まれた際の表示例である。
【図１２】一次解析処理によって対応付けがされたイベントデータとトレースデータの一例である。
【図１３】図１０に示す入力画面において解析条件を定義するためのボタンが操作された場合に表示される入力画面の一例である。
【図１４】図１３に示す入力画面において定義を設定するためのボタンが操作された場合に表示される入力画面の一例である。
【図１５】図１４に示す入力画面において解析条件を登録するためのボタンが操作された場合に表示される確認画面の一例である。
【図１６】図１５に示す確認画面において確認を行った後に表示される入力画面の一例である。
【図１７】図１６に示す定義を実行した場合に表示されるグラフの一例である。
【図１８】定義を複写する際に表示される画面の一例である。
【図１９】図１８に示す画面によって複写が実行された場合の入力画面の一例である。
【図２０】複写後の解析条件を再設定する場合を示す入力画面の一例である。
【図２１】図２０の入力画面によって再設定された定義が表示された入力画面の一例である。
【図２２】図２１に示す入力画面において定義された解析条件を実行した場合に表示されるグラフの一例である。
【符号の説明】
【０１６３】
１  真空プロセス装置、２  ログ格納装置、２ｄ  ＨＤＤ（格納手段）、３  ネットワーク、４  解析装置、４ａ  ＣＰＵ（解析手段）、４ｃ  ＲＡＭ（記憶手段）、４ｈ  表示装置（呈示手段）、４ｉ  入力装置（入力手段）、１２  ウエハ（加工対象）、２０  制御監視部（第１の取得手段、第２の取得手段、対応付手段の一部）、３４  タイマ（対応付手段の一部）、５０  入力画面（第３のインタフェース）、７０  入力画面（第２のインタフェース）、９０  入力画面（第１のインタフェース）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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