(57)【要約】【課題】従来に比較して、粒子凝集物が少ない粒子集合体を得ることが可能な粒子集合体の製造方法を提供すること。【解決手段】互いに分離独立している粒子と、粒子凝集物とを含む粒子集合体を準備し、粒子の粒径よりも開口径が若干大きく、かつ、粒子の粒径よりも深さが若干深い吸引孔が複数形成された吸引型を用いて、吸引型の吸引孔内に粒子集合体を吸引させる。吸引を続けたまま、吸引型の表面に粘着部材を接触させ、型表面に付着した余剰物を除去する。吸引を停止し、吸引孔内に吸引されていた粒子を吸引型から分離する。【選択図】図１
2008296185.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに分離独立している粒子と、粒子凝集物とを含む粒子集合体を準備し、
前記粒子の粒径よりも開口径が若干大きく、かつ、前記粒子の粒径よりも深さが若干深い吸引孔が複数形成された吸引型を用いて、前記吸引型の吸引孔内に前記粒子集合体を吸引させる吸引工程と、
前記吸引を続けたまま、前記吸引型の表面に粘着部材を接触させ、型表面に付着した余剰物を除去する除去工程と、
前記吸引孔内に吸引されていた粒子を前記吸引型から分離する分離工程と、
を有する粒子集合体の製造方法。
【請求項２】
前記吸引孔は、下記（１）および（２）の条件を満たすことを特徴とする請求項１に記載の粒子集合体の製造方法。
（１）吸引孔の開口径／粒径：１以上２未満
（２）吸引孔の深さ／粒径  ：１以上２未満
【請求項３】
前記除去は、前記吸引型の表面にて前記粘着部材を走行させることによることを特徴とする請求項１または２に記載の粒子集合体の製造方法。
【請求項４】
前記分離は、前記吸引孔からガスを排出し、前記吸引孔内から粒子を押し出すことによることを特徴とする請求項１から３の何れかに記載の粒子集合体の製造方法。
【請求項５】
前記吸引型は、隣接する吸引孔同士を繋ぐ溝部を有している、および／または、対向する相手先表面との接触を規制する規制部材を有していることを特徴とする請求項１から４の何れかに記載の粒子集合体の製造方法。
【請求項６】
前記吸引孔は、規則的に配列されていることを特徴とする請求項１から５の何れかに記載の粒子集合体の製造方法。
【請求項７】
前記粒子は、導電性粒子であることを特徴とする請求項１から６の何れかに記載の粒子集合体の製造方法。
【請求項８】
前記粒子は、前駆体粒子の表面に表面処理が施された粒子であることを特徴とする請求項１から７の何れかに記載の粒子集合体の製造方法。
【請求項９】
前記粒子は、高分子粒子の表面に導電性層が被覆された粒子であることを特徴とする請求項８に記載の粒子集合体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、粒子集合体の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、様々な産業分野において、機能を付与したり、物性を改良したりするなどの目的で、各種の粉末材料を利用する機会が増大している。
【０００３】
例えば、電気、電子機器等の分野では、樹脂フィルム中に導電性粉末を分散させることにより、異方導電性を付与した異方性導電膜などが使用されている。
【０００４】
通常、粉末材料は、製品性能に悪影響を及ぼさないようにするなどの観点から、互いに分離独立した粒子の集合体よりなっていることが望ましい。
【０００５】
ところが実際には、粒子集合体中には、粒子製造過程で生じた粒子凝集物が含まれていることが多い。
【０００６】
とりわけ、前駆体粒子の表面に表面処理が施された粒子の場合、その表面処理時に、複数の前駆体粒子が凝集した状態のまま、めっきなどの表面処理が施されてしまいやすい。そのため、このような場合には、粒子集合体中に粒子凝集物が比較的多く含まれることになる。
【０００７】
従来、粒子凝集物を除去する方法としては、例えば、数μｍ程度の目開きの篩いを用いた篩い分け装置（非特許文献１参照）などによる篩い式分級方法や、粒子の比重や遠心力の違いを利用した気流分級機（非特許文献２参照）などによる気流式分級方法などがある。
【０００８】
【非特許文献１】株式会社セイシン企業、“粉体測定機器  旋回気流式フルイ分け装置”、［online］、［平成１９年５月９日検索］、インターネット＜ＵＲＬ：http://www.betterseishin.co.jp/jigyou02/spin_air/index.shtml＞
【非特許文献２】株式会社セイシン企業、“粉体設備機器  高効率精密気流分級機”、［online］、［平成１９年５月９日検索］、インターネット＜ＵＲＬ：http://www.betterseishin.co.jp/jigyou01/k9/index.shtml＞
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、従来知られる分級方法を適用しても、以下の点で、粒子集合体中に含まれる粒子凝集物の除去が不完全であった。
【００１０】
すなわち、篩い式分級方法では、比較的大きな塊状の粒子凝集物と、個々の粒子とを分級することは可能である。しかし、同程度の大きさの粒子が複数個繋がったような粒子凝集物は、篩いの目をすり抜けてしまう。そのため、この方法では、粒子凝集物の極めて少ない粒子集合体を得ることは困難であった。
【００１１】
一方、気流式分級方法では、粒子と粒子凝集物との間で比重や遠心力にそれほど差がない場合には、得られる粒子集合体中に不要な粒子凝集物が混入してしまう。そのため、この方法によっても、粒子凝集物の極めて少ない粒子集合体を得ることは困難であった。
【００１２】
本発明は、上記問題点を鑑みてなされたもので、従来に比較して、粒子凝集物が少ない粒子集合体を得ることが可能な粒子集合体の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決するため、本発明に係る粒子集合体の製造方法は、互いに分離独立している粒子と、粒子凝集物とを含む粒子集合体を準備し、上記粒子の粒径よりも開口径が若干大きく、かつ、上記粒子の粒径よりも深さが若干深い吸引孔が複数形成された吸引型を用いて、上記吸引型の吸引孔内に上記粒子集合体を吸引させる吸引工程と、上記吸引を続けたまま、上記吸引型の表面に粘着部材を接触させ、型表面に付着した余剰物を除去する除去工程と、上記吸引孔内に吸引されていた粒子を上記吸引型から分離する分離工程とを有することを要旨とする。
【００１４】
ここで、上記吸引孔は、下記（１）および（２）の条件を満たしていると良い。
（１）吸引孔の開口径／粒径：１以上２未満
（２）吸引孔の深さ／粒径  ：１以上２未満
【００１５】
また、上記除去は、上記吸引型の表面にて上記粘着部材を走行させることによると良い。
【００１６】
また、上記分離は、上記吸引孔からガスを排出し、上記吸引孔内から粒子を押し出すことによると良い。
【００１７】
また、上記吸引型は、隣接する吸引孔同士を繋ぐ溝部を有している、および／または、対向する相手先表面との接触を規制する規制部材を有していても良い。
【００１８】
また、上記吸引孔は、規則的に配列されていても良い。
【００１９】
また、上記粒子は、導電性粒子であると良い。
【００２０】
また、上記粒子は、前駆体粒子の表面に表面処理が施された粒子であると良く、好ましくは、高分子粒子の表面に導電性層が被覆された粒子であると良い。
【発明の効果】
【００２１】
上記製造方法によれば、吸引された粒子は、吸引孔内に完全に収容されている。一方、吸引された粒子凝集物は、吸引孔内に完全に収容されず、その一部が吸引孔から突出している。
【００２２】
そのため、この状態で、吸引を続けたまま、吸引型の表面に粘着部材を接触させると、余剰物である粒子凝集物が粘着部材に付着し、吸引孔から粒子凝集物が引きずり出される。例えば、２〜４個程度のほぼ同じ粒径の粒子が縦に連なった粒子凝集物などであっても、比較的容易に除去できる。
【００２３】
その後、吸引されていた個々の粒子が吸引型から分離される。それ故、従来に比較して、粒子凝集物の極めて少ない粒子集合体を得ることができる。さらに、上記製造方法によれば、一つずつ個別に粒子を分離して取り出すことも可能になる。
【００２４】
また、上記製造方法は、機械化を行いやすい。そのため、自動で確実に粒子凝集物を除去しやすくなるなどの利点がある。
【００２５】
ここで、上記吸引孔が、上記（１）および（２）の条件を満たす場合には、吸引孔内に一つずつ粒子が収容されやすくなる。そのため、上記作用効果を奏しやすくなる。
【００２６】
また、吸引型の表面にて粘着部材を走行させた場合には、粒子凝集物を連続的に除去することが可能になる。そのため、生産性の向上に寄与することができる。
【００２７】
また、吸引孔からガスを排出し、吸引孔内から粒子を押し出した場合には、吸引型から粒子を分離しやすくなる。
【００２８】
また、上記吸引型が、隣接する吸引孔同士を繋ぐ溝部を有している場合には、次の利点がある。例えば、吸引された粒子を配列させて分離させるときに、容器などの対向する相手先表面と吸引型との距離が近くなる。このとき、上記溝部がある場合には、この溝部が、エア等の排出ガスの通り道（逃げ道）となる。そのため、吸引された粒子を配列させつつ分離しやすくなるなどの利点がある。
【００２９】
また、上記吸引型が、対向する相手先表面との接触を規制する規制部材を有している場合には、規制部材により、吸引型と対向する相手先表面との間に必ず隙間が生じ、この隙間が、エア等の排出ガスの通り道（逃げ道）となる。そのため、上記と同様にして、吸引された粒子を配列させつつ分離しやすくなるなどの利点がある。
【００３０】
また、上記吸引孔が規則的に配列されている場合には、吸引された粒子を分離した後に、規則的に個々の粒子が配列している粒子集合体を得ることができる。
【００３１】
また、上記粒子が、高分子粒子の表面に導電性層が被覆された粒子など、前駆体粒子の表面に表面処理が施された粒子である場合、その粒子製造過程において、複数の前駆体粒子が凝集したままの状態で導電性層などの表面処理層が被覆されることがある。そのため、粒子凝集物が比較的生じやすい。上記製造方法によれば、このような粒子を用いた場合であっても、粒子凝集物を効率良く除去することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、本実施形態に係る粒子集合体の製造方法（以下、「本製造方法」ということがある。）について詳細に説明する。
【００３３】
本製造方法は、粒子凝集物を含んだ粒子集合体から粒子凝集物を効率良く取り除くことが可能な方法である。本製造方法は、吸引工程と、除去工程と、分離工程とを有している。以下、各工程毎に説明する。
【００３４】
１．吸引工程
図１は、本製造方法における吸引工程の一例を模式的に示した図である。図１に示すように、吸引工程は、吸引型１０の吸引孔１２内に、粒子集合体１４を吸引させる工程である。
【００３５】
ここで、原料粉末となる粒子集合体１４は、主に、互いに分離独立している粒子１４ａの集まりよりなっている。また、粒子集合体１４は、粒子１４ａ以外にも、粒子凝集物１４ｂを含んでいる。
【００３６】
粒子凝集物１４ｂは、複数の粒子が凝集した物である。具体的には、例えば、複数の粒子１４ａが静電気力や吸着現象などにより塊状に凝集した物、粒子１４ａが表面処理されている場合に、粒子１４ａの前駆体である前駆体粒子が複数塊状に凝集し、そのまま表面処理が施されることにより、一体になってしまった物などを例示することができる。
【００３７】
なお、粒子集合体１４は、ゴミなどの異物ができる限り含まれていないものを用いることが好ましい。もっとも、異物を含んでいる場合でも、本製造方法における次工程によれば、おおよそ取り除くことが可能である。
【００３８】
粒子集合体１４を構成する粒子１４ａは、無機材料よりなっていても良いし、有機材料よりなっていても良い。あるいは、無機材料と有機材料との複合体よりなっていても構わない。
【００３９】
上記粒子１４ａとしては、具体的には、金属粒子；樹脂粒子の表面に１層または２層以上の金属めっき層（電解めっき、無電解めっきなど）やスパッタ層などを有する粒子；カーボン粒子；シリカ粒子；セラミック粒子；樹脂粒子；トナー粒子など、各種の材質よりなる粒子を例示することができる。これらは１種または２種以上含まれていても良い。
【００４０】
好ましくは、高分子粒子などの前駆体粒子の表面に、電解めっき・無電解めっきなどの金属めっき、スパッタなどの表面処理が施された粒子などである。これらの粒子は、その製造時に、複数の前駆体粒子が凝集したままの状態で表面処理されることがあり、粒子凝集物が発生しやすいからである。
【００４１】
粒子１４ａの大きさは、特に限定されるものではない。もっとも、本製造方法は、篩い式や気流式などの従来の分級方法では分級し難かった数μｍ程度の大きさの粒子に対して適用すると効果的である。
【００４２】
粒子１４ａの粒径（平均粒径、以下、省略）の好ましい上限としては、１０μｍ以下、９μｍ以下、８μｍ以下などを例示することができる。一方、好ましい下限としては、１μｍ以上、２μｍ以上、３μｍ以上などを例示することができる。
【００４３】
一方、吸引型１０は、その表面に複数の吸引孔１２を備えている。吸引型１０の材質は、特に限定されるものではなく、金属、ガラス、セラミックス、シリコンなどの無機材料、光硬化型樹脂、熱硬化型樹脂などの各種の有機材料、あるいは、これらを複合した複合材料などを例示することができる。
【００４４】
なお、吸引型１０の吸引孔１２は、吸引型１０の材質に応じ、ドライエッチング、ウェットエッチングなどのエッチング法、レーザー加工法、電鋳法、光造形法などの各種の微細加工プロセスを適宜利用して形成することができる。
【００４５】
ここで、吸引孔１２は、上記粒子１４ａの粒径よりも開口径が大きく、かつ、上記粒子１４ａの粒径よりも深さが深く形成されている。互いに分離独立した粒子１４ａを、吸引型１０の表面に突出させることなく、各吸引孔１２内に実質的に一つずつ吸引させるためである。
【００４６】
吸引孔１２の開口径および深さは、粒子１４ａの粒径との関係において、具体的には、下記の関係を満たしていることが好ましい。
（１）吸引孔１２の開口径／粒径：１以上２未満
（２）吸引孔１２の深さ／粒径  ：１以上２未満
【００４７】
吸引孔１２の開口径／粒径の上限は、より好ましくは、１．８以下、さらにより好ましくは、１．５以下、最も好ましくは、１．３以下である。一方、吸引孔１２の深さ／粒径の下限は、より好ましくは、１．０５以上、さらにより好ましくは、１．１以上である。
【００４８】
なお、各吸引孔１２は、その底部にそれぞれ貫通孔１６が形成されている。そして、この吸引型１０を、図示しないエアポンプなどの吸引装置などに装着すれば、貫通孔１６を介して、吸引装置の吸気・排気に連動してエア等のガスを吸引孔１２より出し入れすることが可能になる。
【００４９】
上記吸引孔１２は、隣接する吸引孔１２同士が、型表面に形成された溝部（図示されない）により繋がっていても良い。例えば、吸引された粒子１４ａを配列させて分離させたいときには、容器などの相手先表面と吸引型１０との距離が近くなる。このとき、上記溝部がある場合には、この溝部が、エア等の排出ガスの通り道となる。そのため、吸引された粒子１４ａを配列させつつ分離しやすくなる。
【００５０】
他にも、吸引孔１２の形成面に、容器など対向する相手先表面と接触しないように接触を規制する規制部材を設けても良い。規制部材の形態は、特に限定されるものではないが、ピンなどの突起物、形成面に立設した壁部などを例示することができる。規制部材は、吸引孔１２が形成されている領域の外周などに設けることができる。規制部材の高さは、粒子１４ａの粒径よりも低く形成するのが好ましい。
【００５１】
上記吸引孔１２は、型表面に規則的に配列されて形成されていても良いし、型表面にランダムに形成されていても良い。吸引孔１２が規則的に配列されている場合には、後述する分離工程を経た後、吸引孔１２の配列に合わせて粒子を配列すること可能になる。そのため、規則的な配列を有する粒子集合体１４’を得ることができるなどの利点がある。
【００５２】
上記粒子集合体１４を準備し、上記吸引型１０を用いて、吸引型１０の吸引孔１２内に粒子集合体１４を吸引させるには、具体的には、下記のようにして行うことができる。
【００５３】
図１（ａ）に示すように、先ず、平面上に粒子集合体１４を散布する。なお、トレイなどの容器１８上に粒子集合体１４を散布しても構わない。次いで、エアポンプなどを備えた吸引装置（図示されない）に取り付けられた上記吸引型１０の吸引孔１２形成面を、散布された粒子集合体１４に近接させる。その後、吸引（図中、上向きの矢印）を開始する。なお、吸引型１０を粒子集合体１４に近接させている途中に吸引を開始しても良い。
【００５４】
この際、吸引圧力は、吸引する粒子１４ａの大きさ、比重、吸引型１０の材質、強度などを考慮して最適な圧力に調整すれば良い。
【００５５】
図１（ｂ）に示すように、吸引を開始すると、吸引孔１２一つに対して粒子１４ａが一つ吸い込まれる。吸い込まれた粒子１４ａは、吸引孔１２内に納まっており、吸引孔１２より外部には突出していない。
【００５６】
一方、粒子凝集物１４ｂは、吸引孔１２内に吸い込まれても、必ずその一部が吸引孔１２内から突出した状態になっている。また、吸引孔１２内に吸い込まれた粒子１４ａに、静電気力や吸着現象により引っ付いてしまった粒子１４ａも、粒子凝集物１４ｂと同様に、必ずその一部が吸引孔１２内から突出した状態になっている。
【００５７】
なお、吸引型１０の表面のうち、吸引孔１２が形成されていない部分にも、粒子１４ａが少なからず付着しているものと考えられる。
【００５８】
２．除去工程
図２は、本製造方法における除去工程の一例を模式的に示した図である。図２に示すように、除去工程は、上記吸引を続けたまま、吸引型１０の表面に粘着部材２０を接触させ、型表面に存在する余剰物を除去する工程である。
【００５９】
上記余剰物としては、上記吸引工程により、吸引孔１２内に吸い込まれた粒子凝集物１４ｂや、吸引孔１２内に吸い込まれた粒子１４ａに静電気力や吸着現象により引っ付いてしまった粒子１４ａや、吸引型１０の表面のうち、吸引孔１２が形成されていない部分に付着している粒子１４ａなどが挙げられる。
【００６０】
粘着部材２０は、上記余剰物に対して粘着性を備えておれば良く、準備した粒子集合体１４の材質などを考慮して最適なものを選択すれば良い。粘着部材２０の形態は、フィルム状、シート状、板状などの平面状、ロール状など、何れの形態であって良い。
【００６１】
この除去工程では、吸引型１０の表面に粘着部材２０を接触させる。これにより、粘着部材２０に上記余剰物が付着し除去される。この際、吸引孔１２内にその一部が吸い込まれていた粒子凝集物１４ｂなどは、粘着部材２０の粘着力によって吸引孔１２から引きずり出されることになる。なお、粒子１４ａは、吸引状態のまま吸引孔１２内に収容されているため、粘着部材２０には接触しない。
【００６２】
上記接触は、具体的には、例えば、吸引型１０の表面に粘着部材２０を押しつけたり、吸引型１０の表面にて粘着部材２０を走行させたりして行うことができる。前者の場合には、平面状の粘着部材を、後者の場合には、ロール状の粘着部材２０を好適に用いることができる。前者の場合、平面状の粘着部材を、リール状の巻き取られた連続フィルムとして用意した際には、吸引型１０の表面に粘着部材２０を押しつけ、上記余剰物が付着した部位を巻き取りながら、常に新しい粘着部材２０を使用することができる。そのため、余剰物の除去性に優れ、連続生産にも適するなどの利点がある。一方、後者のように、ロール状の粘着部材２０を用いた場合には、上記走行が行いやすく、連続生産に適するなどの利点がある。
【００６３】
３．分離工程
図３は、本製造方法における分離工程の一例を模式的に示した図である。図３に示すように、分離工程は、吸引孔１２内に吸引されていた粒子１４ａを吸引型１０から分離する工程である。
【００６４】
上記分離方法としては、具体的には、例えば、吸引を停止し、自重により粒子１４ａを落下させる方法、吸引孔１２からエアなどのガスを排出し、吸引孔１２から粒子１４ａを押し出す方法などを例示することができる。
【００６５】
後者による場合には、吸引孔１２から強制的に粒子１４ａが排出される。そのため、吸引型１０から粒子１４ａを分離しやすい利点がある。なお、この場合、吸引を一旦停止した後にガスの排気を行っても良いし、吸引から直ぐに排気へ切り替えを行うことによっても良い。
【００６６】
この際、排気圧力は、粒子１４ａの大きさ、比重、吸引型１０の材質、強度などを考慮して最適な圧力に調整すれば良い。
【００６７】
なお、分離した粒子１４ａは、他の平面状、例えば、容器２２上などに集合させれば良い。
【００６８】
上記分離工程を経れば、粒子凝集物１４ｂの極めて少ない粒子集合体１４’を得ることができる。また、上記分離工程を経ると、図３に示すように、一つずつ個別に粒子１４ａを分離して取り出すことができる。そのため、吸引孔１２を予め規則的に配列しておけば、その配列を反映した粒子集合体１４’を得ることも可能になる。
【００６９】
もっとも、得られた粒子集合体１４’は、上記配列を崩して集合されたものであっても良い。用途に合わせて適宜選択することができる。
【００７０】
なお、上記説明した一連の工程は、複数回繰り返し行っても良い。この場合には、粒子凝集物１４ｂが除去された粒子集合体１４’の収量を多くすることができる。
【実施例】
【００７１】
以下、実施例を用いて本発明を詳細に説明する。
【００７２】
（粒子凝集物を含む粒子集合体の準備）
互いに分離独立している複数の樹脂めっき粒子と、粒子製造過程で複数の樹脂粒子が凝集したままめっき処理されている粒子凝集物とを含む粒子集合体（積水化学工業（株）製、「ミクロパールＡＵ−２０４」、平均粒径４μｍ）を準備した。
【００７３】
（吸引型の準備）
図４に示すように、直径６インチ、厚み５２５μｍのシリコンウェハ表面に、ドライエッチングにより複数の吸引孔１２を形成した吸引型１０を準備した。
【００７４】
ここで、各々の吸引孔１２は、略円柱状であり、その開口径Ｒは直径５μｍ、吸引孔１２の深さＤは６μｍであり、各吸引孔１２間のピッチＰは１０μｍとした。
【００７５】
上記吸引孔１２は、シリコンウェハ表面の１００ｍｍ角の領域に、千鳥状に規則的に配列されて形成されている。各吸引孔１２の底部には、直径２μｍ、長さ６μｍの貫通孔１６がそれぞれ形成されている。これら各貫通孔１６は、シリコンウェハの他方の表面に形成された一つの空間Ｓにそれぞれ連通されている。なお、図示されてはいないが、隣接する各吸引孔１２同士は、シリコンウェハ表面に形成された溝部により繋がっている。
【００７６】
また、吸引型１０の空間Ｓには、多孔質カーボン材Ｇを充填したステンレス製ケースＣが取り付けられている。このケースＣには、吸排気孔Ｅが形成されており、吸排気孔ＥからエアＡの出し入れを行うことにより、吸引孔１２より吸気、排気が可能とされている。
【００７７】
＜実施例１＞
ステンレス製トレイに、準備した粒子凝集物を含む粒子集合体（１ｇ）を散布した。
【００７８】
次いで、吸引型の吸引孔形成面を上記粒子集合体に近づけ、吸排気孔からエアを吸気（０．４ＭＰａ）することにより、吸引孔内に粒子集合体を吸引させた。
【００７９】
次いで、上記吸引を続けたまま、吸引型表面に微粘着テープ（（株）きもと製、「ビューフルＥＰ５０ＬＳ」）を押しつけ、吸引型表面に付着していた余剰物を除去した。
【００８０】
次いで、上記吸引を停止した後、エアを排気（吸気とは逆に０．４ＭＰａ）することにより、吸引孔内に吸引されていた粒子を別のステンレス製トレイ上に押し出し、吸引型から分離した。なお、トレイ上には、一つ一つの樹脂めっき粒子が、吸引型の吸引孔の配列に合わせて配列されていた。
【００８１】
以上により、本発明の工程を経た粒子集合体を得た。
【００８２】
＜比較例１＞
準備した粒子凝集物を含む粒子集合体そのものを、比較例１の粒子集合体とした。
【００８３】
＜比較例２＞
メッシュの目開きが６μｍの篩いを装着した篩い分け装置（（株）セイシン企業製、「スピンエアーシーブＳＡＭ−７５Ｓ」）を用い、準備した粒子凝集物を含む粒子集合体（１０ｇ）の分級を行った。これにより篩い式分級法を経た粒子集合体を得た。
【００８４】
＜比較例３＞
気流分級装置（（株）セイシン企業製、「クラッシールＮ−０１」）を用い、準備した粒子凝集物を含む粒子集合体（５０ｇ）の分級を行った。なお、分級処理時の条件は、分級点５μｍ、分級ローターの回転数１００００ｒｐｍ、分級風量１．５ｍ３／ｍｉｎとした。これにより気流式分級法を経た粒子集合体を得た。
【００８５】
＜評価＞
上記実施例および比較例にて得られた各粒子集合体をそれぞれ０．０５ｇを採取した。次いで、採取した各粒子集合体を、グリセリンと純水とを２：１の質量比で混合したグリセリン水溶液３０ｃｃに添加した。次いで、このグリセリン水溶液を超音波洗浄器に３０秒間かけることにより、水溶液中に粒子を分散させて各サンプル分散液を準備した。
【００８６】
次に、粒子形状画像解析装置（（株）セイシン企業製、「ＰＩＴＡ−１」）を用い、当該装置のチャネル内を、第１キャリア液および第２キャリア液とともに流れるサンプル分散液について撮影した画像から、各サンプル分散液中に含まれる互いに分離独立した樹脂めっき粒子、２個の樹脂めっき粒子が繋がった凝集物、３個の樹脂めっき粒子が繋がった凝集物、４個以上の樹脂めっき粒子が繋がった凝集物の数を数えた。
【００８７】
なお、測定時の条件は、第１キャリア液流量：２５００ｐｌｕｓｅ、第２キャリア液流量：１００００ｐｌｕｓｅ、サンプル分散液流量：１０００ｐｌｕｓｅ、観察倍率：２０倍、調光フィルタ：ＨＤ２、撮影回数：３０００回とした。
【００８８】
表１にその結果を示す。
【００８９】
【表１】
2008296185.tif 000003
【００９０】
表１に示した結果を相対評価すると以下のことが分かる。すなわち、比較例１および比較例２によれば、篩い式分級方法では、同程度の大きさの粒子が複数個繋がったような粒子凝集物は、篩いの目をすり抜けてしまうことが分かる。つまり、この方法では、粒子凝集物の極めて少ない粒子集合体を得ることは困難であると言える。
【００９１】
一方、比較例１および比較例３によれば、気流式分級方法でも、やはり、篩い式分級方法と同様に、得られる粒子集合体中に不要な粒子凝集物が混入してしまうことが分かる。そのため、この方法によっても、粒子凝集物の極めて少ない粒子集合体を得ることは困難であると言える。
【００９２】
これらに対し、実施例１は、粒子凝集物が全くなく、従来に比較して、粒子凝集物の極めて少ない粒子集合体が得られることが分かる。
【００９３】
また、撮影した画像によれば、原料粉末である比較例１の粒子集合体中には、２〜４個程度のほぼ同じ粒径の粒子が縦に連なった粒子凝集物が見られたが、本発明によれば、このような状態の粒子凝集物も、比較的容易に除去することが可能であった。
【００９４】
また、このことから、粘着テープに付着した余剰物には、粒子凝集物が含まれていると言える。それ以外にも、静電気力などにより、吸引型の吸引孔以外の表面に吸着した単独の樹脂めっき粒子なども、上記余剰物中に含まれているものと推察される。
【００９５】
以上、本発明の一実施形態、一実施例について説明したが、本発明は上記実施形態、実施例に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の改変が可能である。
【００９６】
例えば、上記実施例では、粒子集合体を構成する粒子として、主に樹脂めっき粒子を用いたが、それ以外にも、金属粒子、セラミック粒子、シリカ粒子、カーボンブラック、トナーなど各種の粒子に対して、本発明を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００９７】
【図１】本発明の一実施形態に係る粒子集合体の製造方法における吸引工程の一例を模式的に示した図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る粒子集合体の製造方法における除去工程の一例を模式的に示した図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る粒子集合体の製造方法における分離工程の一例を模式的に示した図である
【図４】実施例で用意した吸引型、これを取り付ける吸引装置の一部を模式的に示した断面図である。
【符号の説明】
【００９８】
１０    吸引型
１２    吸引孔
１４    粒子集合体
１４ａ  互いに分離独立した粒子
１４ｂ  粒子凝集物
１６    貫通孔
１８    容器
２０    粘着部材
２２    容器
Ｒ      開口径
Ｄ      深さ
Ｐ      ピッチ
Ｓ      空間
Ｇ      多孔質カーボン材
Ｃ      ケース
Ｅ      吸排気孔
Ａ      エア
【図１】
2008296185.tif 000004
【図２】
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【図３】
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【図４】
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