(57)【要約】【課題】高精度の荷重測定を容易に行うことができかつロードセルに熱損傷を生じる恐れがなく、しかも装置構成が簡単でコスト低下を図ることができる熱圧着ヘッドの荷重測定装置を提供する。【解決手段】荷重測定装置３０を、被圧着体を受ける受台１１上に載置して設置する設置体３１と、ロードセル３３を収容配置した収容ブロック３２と、収容ブロック３２を設置体３１上に互いに当接可能に浮上させる浮上手段３４とを備えた構成とし、熱圧着ヘッド１２の軸線上の直下にロードセル３３が位置するように設置体３１を受台１１上に載置してこの荷重測定装置３０を設置し、荷重を測定するようにした。【選択図】図２
2008145254.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被圧着体を受ける受台上に載置して設置する設置体と、ロードセルを収容配置した収容ブロックと、収容ブロックを設置体上に互いに当接可能に浮上させる浮上手段とを備えたことを特徴とする熱圧着ヘッドの荷重測定装置。
【請求項２】
ロードセル上に接するように収容ブロックに荷重伝達断熱部材を取付け、収容ブロックと設置体の少なくとも一方に収容ブロックと設置体の当接面を構成する複数の突起を設けたことを特徴とする請求項１記載の熱圧着ヘッドの荷重測定装置。
【請求項３】
ロードセルの近傍と、ロードセルと荷重伝達断熱部材との接触部と、設置体と収容ブロックの間の少なくとも１箇所を冷却する冷却手段を設けたことを特徴とする請求項１又は２記載の熱圧着ヘッドの荷重測定装置。
【請求項４】
冷却手段は、設置体に作業者が把持するように設けられた把持部を通して受台側に向けて冷却風を吹き出す冷却風吹出手段からなることを特徴とする請求項３記載の熱圧着ヘッドの荷重測定装置。
【請求項５】
ロードセルの近傍に温度検出手段を配設し、検出温度が一定温度以上になると警報信号を発する手段を設けたことを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の熱圧着ヘッドの荷重測定装置。
【請求項６】
昇降駆動される熱圧着ヘッドの直下に固定設置されて被圧着体を受ける受台の上に、ロードセルを収容配置した収容ブロックを設置体に当接可能に浮上させて配設した荷重測定装置の設置体を載置して設置し、熱圧着ヘッドにてロードセルを押圧し、収容ブロックを設置体に当接させてロードセルに作用する加圧力を測定することを特徴とする熱圧着ヘッドの荷重測定方法。
【請求項７】
荷重測定装置を受台の上に載置して設置した時には、ロードセルの近傍と、ロードセルと荷重伝達断熱部材との接触部と、設置体と収容ブロックの間の少なくとも１箇所を冷却することを特徴とする請求項６記載の熱圧着ヘッドの荷重測定方法。
【請求項８】
冷却は、冷却風を吹き付けて行うことを特徴とする請求項７記載の熱圧着ヘッドの荷重測定方法。
【請求項９】
ロードセルの近傍の温度を検出し、検出温度が一定温度以上になると発せられる警報信号に基づいて、警報音の発生と熱圧着ヘッドの上昇の少なくとも何れか一方を行うことを特徴とする請求項６〜８の何れかに記載の熱圧着ヘッドの荷重測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱圧着装置において圧着時にその圧着部位に作用する荷重を測定する熱圧着ヘッドの荷重測定装置及び方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶パネルやプラズマディスプレイパネルなどのフラットディスプレイパネルの製造工程において、パネルにＴＣＰ（Ｔａｐｅ  Ｃａｒｒｉｅｒ  Ｐａｃｋａｇｅ）やＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｐｒｉｎｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）やＣＯＧ（Ｃｈｉｐ  Ｏｎ  Ｇｌａｓｓ）などの部品を熱圧着して実装したり、パネルに実装されたＴＣＰやＦＰＣにプリント回路基板を熱圧着することでパネルにプリント回路基板を実装したりする工程があり、それらの工程には熱圧着装置が用いられる。熱圧着装置では、パネルとその上に搭載された部品などの被圧着体を受台で支持した状態で、加圧手段にて加熱手段を備えた熱圧着ヘッドを被圧着体に対して所定の荷重で押し付けることで被圧着体を加熱・加圧し、熱圧着するように構成されている。
【０００３】
ところで、近年は、液晶パネルやプラズマディスプレイパネルの急速な普及に対応するための大量生産と価格低下及び大型化が進んでおり、熱圧着不良による不良箇所の発生は生産性及びコストに対する影響が大変大きいため、熱圧着による接合品質の更なる向上の要望が高まっている。熱圧着の品質を向上するには、加熱温度とともに被圧着体に作用させる荷重を所定値に精度良く制御することが必要となるが、荷重を精度良く制御するためには被圧着体に作用する荷重を測定して加圧手段を精度良く調整設定する必要がある。
【０００４】
被圧着体に作用する荷重の測定は、被圧着体の品種が変わってその形状や大きさに応じて熱圧着ヘッドを交換した場合や、熱圧着ヘッドは同じでも被圧着体に作用させる荷重が変わる場合は必ず必要となる。さらに、被圧着体の品種や作用させる荷重が変わらなくても、環境温度の変化などによる作動流体の粘度の変化や機構部品の熱伸縮による摩擦力変化などによって被圧着体に作用する荷重が変化することがある一方で、品種によっては荷重精度に対する要求が厳しいことがあるため、生産開始時や、生産中断後の再開時や、生産中でも所定時間間隔毎に、荷重測定を行う必要がある場合がある。
【０００５】
従来、複数の熱圧着ヘッドを有する熱圧着装置において、上記荷重測定を容易に行えるようにするため、被圧着体を受ける受台と荷重を測定するロードセルとを可動基台上に設置し、受台とロードセルの何れかを熱圧着ヘッドの直下に選択的に位置させることができるようにし、さらにロードセルをガイドに沿って被圧着体の圧着面と同一高さの一定レベルを移動可能に構成し、１つのロードセルにて各熱圧着ヘッドの加圧力を作業性良く、測定できるようにしたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
また、被圧着体を受ける受台を固定設置してその上方に熱圧着ヘッドを昇降可能に配設し、荷重測定装置を受台と熱圧着ヘッドの間の作業位置と側方に退避した退避位置との間で移動可能に配設し、その荷重測定装置は、ロードセルを収容保持した保持部を一端に設けた収容ブロックを可動台上に昇降可能に支持し、その可動台を駆動装置にて作業位置と退避位置との間で移動駆動するように構成し、さらに保持部に冷却手段を設けたものも知られている（例えば、特許文献２参照）。
【０００７】
また、リニアガイドにて基端を昇降可能に支持されたアームの先端部に設けた熱圧着ヘッドを、被圧着体を受ける受台の上部に対向配置し、アームの基端部を加圧シリンダにて昇降駆動可能に構成するとともに加圧シリンダとアームの基端部を結合するジョイント部にロードセルを配設し、圧着荷重を常時監視するようにしたものも知られている（例えば、特許文献３参照）。
【特許文献１】特開平９−１６２２４２号公報
【特許文献２】特開２００６−１１４６８５号公報
【特許文献３】特開２００２−２６０８０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところが、特許文献１に記載された構成では、可動基台上に受台とロードセルを設けた構成であるため、可動基台を移動し、ガイドに沿ってロードセルを移動することで任意の熱圧着ヘッドによる圧着荷重を容易に測定することができるが、受台が可動基台上に設けられているので、熱圧着ツールと受台の間で高い平行度を確保するのが困難で、均一な圧着の実現が困難であるという問題がある。
【０００９】
また、特許文献２に記載された構成では、荷重測定装置を移動機構にて作業位置と退避位置との間で移動させるように構成しているので、構成が複雑で設備コストが高くなり、特に例えば液晶パネルの組立ラインのように、ＡＣＦ（異方性導電フィルム）貼付工程、部品の仮圧着工程、１又は複数の本圧着工程などの複数の熱圧着工程に対応して、複数の熱圧着ヘッドが並列して配設されている場合には、各熱圧着ヘッド毎に荷重測定装置とその移動機構を設けることになるため、装置が大型化してさらにコスト高になる。また、荷重測定装置を移動機構によって各熱圧着ヘッドの作業位置に移動させるように構成しても、移動機構が著しく複雑かつ大型化して同様の問題を発生する。また、移動機構にて移動される収容ブロックの一端にロードセルが配置されているので、移動機構の位置決め精度によっては荷重測定時の平行度が十分に確保されず、荷重測定時に収容ブロックや移動機構にこじれが発生し、精度の良い荷重測定ができないという問題もある。
【００１０】
また、特許文献３に記載された構成では、加圧シリンダと熱圧着ヘッドとの間の加圧力伝達経路上にロードセルを配置しているので、圧着荷重を常時測定・監視することができるが、ロードセルが熱圧着ヘッドの軸線から遠く離れて配置されているので、熱圧着ヘッドによる加圧荷重とロードセルによる検出荷重との間にずれが発生するのを避けることができず、高精度の荷重測定ができないという問題がある。一方、ロードセルを熱圧着ヘッドの軸線上の近傍に配置した場合には、断熱材を介在させたとしても、４００℃にも達することがある熱圧着ヘッドから常時伝熱されることによって、許容温度が−１０℃〜８０℃のロードセルが熱損傷してしまったり、精度の良い荷重測定ができなくなるという問題がある。また、各熱圧着ヘッド毎に荷重測定装置を配設しているので、複数の熱圧着ヘッドを有する場合には装置コストが高くなるという問題もある。
【００１１】
本発明は、上記従来の問題に鑑み、高精度の荷重測定を容易に行うことができかつロードセルに熱損傷を生じる恐れがなく、しかも装置構成が簡単でコスト低下を図ることができ、複数の熱圧着ヘッドを有している場合にもコスト増加なしで対応できる熱圧着ヘッドの荷重測定装置及び方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の熱圧着ヘッドの荷重測定装置は、被圧着体を受ける受台上に載置して設置する設置体と、ロードセルを収容配置した収容ブロックと、収容ブロックを設置体上に互いに当接可能に浮上させる浮上手段とを備えたものである。
【００１３】
この構成によれば、受台上に熱圧着ヘッドの軸線上の直下にロードセルが位置するように設置体を載置するだけで、荷重測定装置を容易かつ熱圧着ヘッド及び受台との平行度を確保して適正に設置することができ、その設置状態ではロードセルの収容ブロックが設置体から浮上しているので、受台が先行する熱圧着動作によって温度上昇しているため、若しくは受台に加熱手段が設けられて高温状態になっているために、載置した設置体が時間経過とともにある程度温度上昇したとしても、収容ブロック及びロードセルの温度上昇を抑制することができる。その後、熱圧着ヘッドを下降させて加圧動作を行うと、収容ブロックが設置体に当接し、ロードセルに熱圧着ヘッドと同軸状態で加圧力が作用するため、ロードセルによって高精度に荷重を測定することができる。その際に、高温の熱圧着ヘッドからロードセルに熱が伝達され、また温度上昇した設置体から収容ブロックに熱が伝達されるが、荷重測定時間は数秒程度の短時間であり、上記のようにその前にロードセルが温度上昇していないので、測定中にロードセルが熱損傷するほど温度上昇することはなく高精度の荷重測定ができ、その測定後に熱圧着ヘッドが上昇することで、収容ブロック及びロードセルが、熱圧着ヘッド及び設置体から離間するので、加熱が停止されて温度が低下する。かくして、高精度の荷重測定を容易に行うことができかつロードセルに熱損傷を生じる恐れがなく、しかも荷重測定装置の構成が簡単であるためコスト低下を図ることができる。また、複数の熱圧着ヘッドを有している場合でも、この荷重測定装置を対向する受台上に上記のように設置することで、コスト増加なしで対応することができる。
【００１４】
また、ロードセル上に接するように収容ブロックに荷重伝達断熱部材を取付け、収容ブロックと設置体の少なくとも一方に収容ブロックと設置体の当接面を構成する複数の突起を設けると、加圧動作中に熱圧着ヘッドからロードセルへの適切な荷重伝達を図りながら熱伝達を抑制し、また設置体から収容ブロックへの熱伝達を抑制することができ、ロードセルの熱損傷をより効果的に防止することができる。
【００１５】
また、ロードセルの近傍と、ロードセルと荷重伝達断熱部材との接触部と、設置体と収容ブロックの間の少なくとも１箇所を冷却する冷却手段を設けると、ロードセル自体又は熱伝達部位を積極的に冷却することができ、さらに確実にロードセルの熱損傷を防止できる。なお、冷却手段として、ペルチェ素子などのその他の手段を用いることもできる。
【００１６】
また、冷却手段は、設置体に作業者が把持するように設けられた把持部を通して受台側に向けて冷却風を吹き出す冷却風吹出手段からなると、簡単な構成にて効果的に冷却することができる。
【００１７】
また、ロードセルの近傍に温度検出手段を配設し、検出温度が一定温度以上になると警報信号を発する手段を設けると、万一ロードセルの近傍の温度が一定温度以上になった時には検出できるので、例えば直ちに熱圧着ヘッドを上昇させるとともに、警報音を発して作業者が受台から荷重測定装置を取り外すようにする等、適切に対処することでロードセルの熱損傷を防止することができる。
【００１８】
また、本発明の熱圧着ヘッドの荷重測定方法は、昇降駆動される熱圧着ヘッドの直下に固定設置されて被圧着体を受ける受台の上に、ロードセルを収容配置した収容ブロックを設置体に当接可能に浮上させて配設した荷重測定装置の設置体を載置して設置し、熱圧着ヘッドにてロードセルを押圧し、収容ブロックを設置体に当接させてロードセルに作用する加圧力を測定するものである。
【００１９】
この構成によれば、上記のように高精度の荷重測定を容易に行うことができかつロードセルに熱損傷を生じる恐れがなく、また複数の熱圧着ヘッドを有している場合でも、この荷重測定装置を対向する受台上に上記のように設置することで、コスト増加なしで対応することができる。
【００２０】
また、荷重測定装置を受台の上に載置して設置した時には、ロードセルの近傍と、ロードセルと荷重伝達断熱部材との接触部と、設置体と収容ブロックの間の少なくとも１箇所を冷却すると、ロードセル自体又は熱伝達部位を積極的に冷却することができ、さらに確実にロードセルの熱損傷を防止できる。
【００２１】
また、冷却は、冷却風を吹き付けて行うと、簡単な構成にて効果的に冷却することができる。
【００２２】
また、ロードセルの近傍の温度を検出し、検出温度が一定温度以上になると発せられる警報信号に基づいて、警報音の発生と熱圧着ヘッドの上昇の少なくとも何れか一方を行うと、万一ロードセルの近傍の温度が一定温度以上になった時に適切に対処することでロードセルの熱損傷を防止することができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明の熱圧着ヘッドの荷重測定装置及び方法によれば、熱圧着ヘッドの軸線上の直下にロードセルが位置するように受台上に設置体を載置するだけで、容易かつ適正に荷重測定装置を設置することができ、かつその設置状態でロードセルは設置体から浮上しているので殆ど温度上昇することはなく、その後熱圧着ヘッドを下降させて加圧動作を行うとロードセルに熱圧着ヘッドと同軸上での位置構成で加圧力が作用するため高精度に荷重を測定することができ、さらに荷重測定時間は短時間であるため、測定中にロードセルが熱損傷するほど温度上昇することはなく、高精度の荷重測定ができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明の熱圧着ヘッドの荷重測定装置及び方法の一実施形態について、図１〜図６を参照しながら説明する。
【００２５】
本実施形態は、図５に示すように、ガラス基板２にＴＣＰ３などの部品を実装して液晶表示パネル１を製造するものであり、図６（ａ）、（ｂ）に示すように、実装ライン４にガラス基板２を供給することで、まずＡＣＦ貼付装置５にてガラス基板２における互いに隣り合う長辺と短辺に設けられたＴＣＰ３を接合する部位にＡＣＦ９を貼り付けるＡＣＦ貼付工程が行われ、次にＴＣＰ仮圧着装置６にてガラス基板２にＴＣＰ３を仮圧着するＴＣＰ仮圧着工程が行われ、次に第１のＴＣＰ本圧着装置７にてガラス基板２の長辺側のＴＣＰ３を本圧着するＴＣＰ本圧着工程１が行われ、次に第２のＴＣＰ本圧着装置８にてガラス基板２の短辺側のＴＣＰ３を本圧着するＴＣＰ本圧着工程２が行われ、ガラス基板２にＴＣＰ３を実装した液晶表示パネル１が製造されて排出される。
【００２６】
これらＡＣＦ貼付装置５、ＴＣＰ仮圧着装置６、ＴＣＰ本圧着装置７、８は、基本構成が同一の熱圧着装置１０にて構成されている。熱圧着装置１０の基本構成は、図６（ｂ）に示すように、ガラス基板２を受ける受台１１と、ガラス基板２上に供給されたＡＣＦ９やガラス基板２上に搭載し又は搭載されたＴＣＰ３を加熱・加圧して、貼付や仮圧着や本圧着を行う熱圧着ヘッド１２と、熱圧着ヘッド１２を受台１１に向けて昇降駆動するとともに所定の加圧荷重を負荷する加圧手段１３とを備えている。なお、以下の説明においては、ガラス基板２などの基板とその基板上に搭載されて熱圧着される各種部品とを被圧着体１４と称する。
【００２７】
上記熱圧着装置１０の具体構成について、図１を参照して説明する。図１において、熱圧着装置１０のＸ方向両側に、被圧着体１４を搬入・搬出する搬送手段１５（一側のみ図示）が配設されている。熱圧着装置１０の基台１６上には、Ｙ方向一側部に配設されて被圧着体１４の圧着部位を下方から支持する受台１１と、搬入側の搬送手段１５から受け取った被圧着体１４の圧着部位を受台１１上に位置決めし、熱圧着終了後の被圧着体１４を搬出側の搬送手段１５に受け渡す移載装置１７と、受台１１と協働して被圧着体１４の熱圧着を行う圧着ユニット１８とが配設されている。
【００２８】
受台１１は、石英やセラミックスからなる受け部材１１ａを台部１１ｂ上に設置して構成されている。移載装置１７は、水平な２方向のＸ方向とＹ方向、上下方向のＺ方向及び垂直軸芯回りのθ方向に移動及び位置決めできるように、Ｙテーブル１７ａと、Ｘテーブル１７ｂと、昇降機構１７ｃと、回転機構１７ｄとを備え、回転機構１７ｄ上に被圧着体１４を吸着保持するよう構成されている。
【００２９】
圧着ユニット１８は、その熱圧着ヘッド１２が受台１１の直上に対向するように配設され、この熱圧着ヘッド１２を門型のフレーム１９に設置された加圧手段１３にて上下移動及び加圧するように構成されている。熱圧着ヘッド１２は、その下端に圧着部位を押圧する圧着ツール２０が装着され、かつこの圧着ツール２０を加熱するヒータ２１が内蔵されている。なお、受台１１の台部１１ｂの上端部にも、被圧着体１４を下方から加熱するヒータ２２（図６及び後述の図２参照）が配設されている。２３は、基台１６上の受台１１近傍に配設された認識カメラで、被圧着体１４の位置を認識する。
【００３０】
次に、加圧手段１３を駆動制御して熱圧着ヘッド１２にて熱圧着を行う際に、被圧着体１４に作用する荷重を高精度に制御するために、熱圧着動作時の荷重を測定する荷重測定装置３０の構成を、図２を参照して説明する。
【００３１】
図２において、荷重測定装置３０は、被圧着体１４を受ける受台１１上に載置して設置する設置体３１と、ロードセル３３を収容配置した収容ブロック３２と、収容ブロック３２を設置体３１上に互いに当接可能に浮上させる浮上手段３４とを備えている。浮上手段３４は、具体的には設置体３１に対して収容ブロック３２を上下移動自在にガイドするガイド部材３５と、設置体３１と収容ブロック３２の間に介装され、収容ブロック３２を上方に移動付勢する圧縮コイルばねなどの弾性体３６にて構成されている。ガイド部材３５は特に強度は必要とされないので、断熱性の高い合成樹脂等で構成したものが好適である。収容ブロック３２の下面（設置体３１の上面でも良い）には、収容ブロック３２が弾性体３６に抗して押し下げられ、設置体３１に当接する際に、相互の接触面積を小さくして熱伝達を抑制する複数の突起３７が突設されている。
【００３２】
収容ブロック３２の上面には、ロードセル３３上に接するように荷重伝達断熱部材３８が取付けられている。荷重伝達断熱部材３８は、一対の金属プレート３９ａ、３９ｂ間に断熱材４０を挟んで構成され、その一方の金属プレート３９ａの一端部が収容ブロック３２の上面に位置調整可能に固定されており、金属プレート３９ａが撓むことでロードセル３３に荷重が伝達される。尚、金属プレート３９ａの一端部を収容ブロック３２の上面に熱圧着ヘッド１２の動作方向に可動可能に設けてもよい。
【００３３】
設置体３１の一端には、荷重測定装置３０を作業者が手で把持して受台１１に設置したり、取り外して移動させるための把持部４１が設けられ、設置体３１の下部には、受台１１の受け部材１１ａを跨いで台部１１ｂの上面及び両側面上端部に丁度係合する規制凹部４２が設けられ、位置決めされて支持されるように構成されている。
【００３４】
また、ロードセル３３の近傍と、ロードセル３３と荷重伝達断熱部材３８との接触部と、設置体３１と収容ブロック３２の間に冷却風を吹き出してこれらを冷却する冷却手段４３が設けられている。なお、これらの内の少なくとも１箇所に冷却風を吹き出して冷却するようにしても良い。冷却手段４３は、具体的には、冷却エア源４５に接続された冷却風通路４４にて、把持部４１を通って、設置体３１と収容ブロック３２の間の吹き出し口４４ａ、ロードセル３３の周囲の冷却通路４６への吹き出し口４４ｂ、及びロードセル３３と荷重伝達断熱部材３８の間の吹き出し口４４ｃからそれぞれ受台１１側に向けて冷却風を吹き出すように構成されている。
【００３５】
ロードセル３３の近傍には、熱電対から成る温度検出手段４７が配設され、この温度検出手段４７による検出信号は警報信号発信部（図示せず）に入力され、検出温度が一定温度以上になると警報信号を発するように構成されている。また、警報信号が発せられると、ブザーなどの警告音発生手段（図示せず）が作動するとともに、熱圧着装置１０の制御部（図示せず）にこの警報信号が入力されて、加圧手段１３を作動させて熱圧着ヘッド１２を緊急上昇させるように構成されている。また、ロードセル３３の検出信号は、モニター（図示せず）に入力され、測定した荷重を表示するとともに、熱圧着装置１０の制御部（図示せず）にその測定データを出力するように構成されている。
【００３６】
次に、以上の構成の荷重測定装置３０による荷重測定動作について、図４を参照して説明する。まず、冷却手段４３を作動させ、各吹き出し口４４ａ、４４ｂ、４４ｃから冷却風を吹き出して冷却ブローを開始した後（ステップＳ１）、図１及び図２に示すように、荷重測定装置３０をそのロードセル３３が熱圧着ヘッド１２の軸線上の直下に位置するように受台１１上に設置する（ステップＳ２）。その際には、作業者が荷重測定装置３０の把持部４１を手で持って、設置体３１を受台１１上に載置するだけでよい。また、この時冷却手段４３にて把持部４１を通して受台１１側に冷却風等の冷媒を供給することにより、把持部４１の温度が効果的に下がり、作業者の作業が容易になる。
【００３７】
その後、熱圧着装置１０の制御部（図示せず）にて測定動作が開始され、加圧手段１３にて熱圧着ヘッド１２が下降動作され（ステップＳ３）、熱圧着ヘッド１２が荷重伝達断熱部材３８を介してロードセル３３を押し下げ、図３に示すように、収容ブロック３２が下降して設置体３１に当接することで、ロードセル３３が加圧手段１３に設定された荷重で加圧される（ステップＳ４）。この加圧による荷重測定時間は、通常３〜５秒程度であり、その間に温度検出手段４７による検出信号からロードセル３３近傍の温度が許容耐熱温度以下を保っているか否かを判断し（ステップＳ５）、許容耐熱温度以下でない場合は、警告音が発せられるとともに、熱圧着装置１０の制御部（図示せず）にエラー通知がなされ（ステップＳ６）、熱圧着ヘッド１２が緊急上昇される（ステップＳ７）。
【００３８】
ロードセル３３の近傍の温度が許容耐熱温度以下に保たれている場合、次に荷重測定が適正に行えたか否かの判定を行い（ステップＳ８）、適正に行えた場合は熱圧着ヘッド１２が上昇動作され（ステップＳ９）、それに伴って次の測定までロードセル３３を収容した収容ブロック３２が受台１１上の設置体３１から浮上し、受台１１からの伝熱が抑制される（ステップＳ１０）。次に、上記荷重測定を所要のｎ回（通常、３〜５回の測定を行って、その平均値を測定値とする）繰り返したか否かの判定を行い（ステップＳ１１）、ｎ回に達していない場合は、ステップＳ３にリターンしてｎ回の測定を行う。
【００３９】
許容耐熱温度以下でないためステップＳ６でエラー通知がなされ、ステップＳ７で熱圧着ヘッド１２が緊急上昇された場合、ステップＳ８で荷重測定が適正でないと判定された場合、及び所定のｎ回の測定が終了した場合は、荷重測定装置３０を受台１１から取り外し（ステップＳ１２）、上記冷却ブローを終了し（ステップＳ１３）、荷重測定動作を終了する。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
本発明の熱圧着ヘッドの荷重測定装置及び方法によれば、受台上に容易に荷重測定装置を設置することができ、かつその設置状態でロードセルは設置体から浮上しているので温度上昇を抑制することができ、その後熱圧着ヘッドを下降させて加圧動作を行うとロードセルに加圧力が作用して高精度に荷重を測定することができ、さらに荷重測定時間は短時間であるため、測定中にロードセルが熱損傷するほど温度上昇することはなく、高精度の荷重測定ができるので、各種基板に部品を熱圧着する熱圧着装置に好適に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の一実施形態の荷重測定装置を適用する熱圧着装置の概略構成を示す全体斜視図。
【図２】同実施形態の荷重測定装置の設置状態を示す縦断面図。
【図３】同実施形態の荷重測定装置による荷重測定状態を示す縦断面図。
【図４】同実施形態における荷重測定動作のフロー図。
【図５】被圧着体の一例としての液晶表示パネルの斜視図。
【図６】同液晶表示パネルの組立ラインを示し、（ａ）は組立ラインの平面図、（ｂ）は各工程の説明図。
【符号の説明】
【００４２】
１０  熱圧着装置
１１  受台
１２  熱圧着ヘッド
１４  被圧着体
３０  荷重測定装置
３１  設置体
３２  収容ブロック
３３  ロードセル
３４  浮上手段
３７  突起
３８  荷重伝達断熱部材
４１  把持部
４３  冷却手段
４４  冷却風通路
４４ａ、４４ｂ、４４ｃ  吹き出し口
４７  温度検出手段
【図１】
2008145254.tif 000003
【図２】
2008145254.tif 000004
【図３】
2008145254.tif 000005
【図４】
2008145254.tif 000006
【図５】
2008145254.tif 000007
【図６】
2008145254.tif 000008