(57)【要約】【課題】施工現場において屑が発生することを防止することができる管路の施工方法を提供する。【解決手段】本発明にかかる第１管路３６の施工方法は、浄化した空気を清浄室１１に供給する浄化室２０を備え、清浄室の内部に設けた被流体供給装置に清浄室の外部の流体供給装置から流体を供給するクリーンルーム１０に適用し、流体供給装置１３から製造装置１２に流体を供給する第１管路を浄化室を貫通する態様で設けるものである。この第１管路の施工方法は、互いに対応する位置に貫通孔を有する一対のパネル２２，２４を形成するパネル形成工程と、浄化室を構成する壁１８，１９を、一対のパネルが対向する態様で構築する壁構築工程と、一方のパネルの貫通孔および他方のパネルの貫通孔に、第１管部材３１の一端をそれぞれ通過させた後、管部材の一端を流体供給装置に接続し、かつ管部材の他端を製造装置に接続する管路構築工程とを含む。【選択図】        図１
2008281038.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
浄化した空気を清浄室に供給する浄化室を備え、前記清浄室の内部に設けた被流体供給装置に前記清浄室の外部の流体供給装置から流体を供給するクリーンルームに適用し、前記流体供給装置から前記被流体供給装置に流体を供給する管路を前記浄化室を貫通する態様で設ける管路の施工方法において、
互いに対応する位置に貫通孔を有する一対のパネルを形成するパネル形成工程と、
前記浄化室を構成する壁を、前記一対のパネルが対向する態様で構築する壁構築工程と、
一方のパネルの前記貫通孔および他方のパネルの前記貫通孔に、管部材の一端をそれぞれ通過させた後、前記管部材の一端を前記流体供給装置に接続し、かつ前記管部材の他端を前記被流体供給装置に接続する管路構築工程と
を含むことを特徴とする管路の施工方法。
【請求項２】
浄化した空気を清浄室に供給する浄化室を備え、前記清浄室の内部に設けた流体排出装置から前記清浄室の外部の被流体排出装置に流体を排出するクリーンルームに適用し、前記流体排出装置から前記被流体排出装置に流体を排出する管路を前記浄化室を貫通する態様で設ける管路の施工方法において、
互いに対応する位置に貫通孔を有する一対のパネルを形成するパネル形成工程と、
前記浄化室を構成する壁を、前記一対のパネルが対向する態様で構築する壁構築工程と、
一方のパネルの前記貫通孔および他方のパネルの前記貫通孔に、管部材の一端をそれぞれ通過させた後、前記管部材の一端を前記流体排出装置に接続し、かつ前記管部材の他端を前記被流体排出装置に接続する管路構築工程と
を含むことを特徴とする管路の施工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、浄化した空気を清浄室に供給する浄化室を備え、前記清浄室の内部に設けた被流体供給装置に前記清浄室の外部の流体供給装置から流体を供給するクリーンルームに適用し、前記流体供給装置から前記被流体供給装置に流体を供給する管路を前記浄化室を貫通する態様で設ける管路の施工方法、および浄化した空気を清浄室に供給する浄化室を備え、前記清浄室の内部に設けた流体排出装置から前記清浄室の外部の被流体排出装置に流体を排出するクリーンルームに適用し、前記流体排出装置から前記被流体排出装置に流体を排出する管路を前記浄化室を貫通する態様で設ける管路の施工方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工場や液晶パネル製造工場等の工場の内部には、通常、図１８に示すように、クリーンルーム１が設けられている。このクリーンルーム１は、清浄室３と浄化室４とを備えている。
【０００３】
清浄室３は、その内部の空気に含まれる粒子状物質の数が予め設定された基準値より小さくなるよう空調された室である。この清浄室３の内部には、半導体や液晶パネル等の製品を製造するための製造装置（被流体供給装置）２が設置されている。
【０００４】
浄化室４は、空気から塵等の異物を除去し、浄化した空気を清浄室３に供給するための室であって、清浄室３の上部に設けてある。この浄化室４は、下部壁３ａ、上部壁３ｂ、および不図示の側部壁で画成してある。
【０００５】
上記浄化室４には、例えばフィルタとファンとを有し、空気から異物を除去するためのファンフィルタユニット５が清浄室３に臨むよう設けられている。このファンフィルタユニット５を駆動した場合には、異物を含む浄化室４の空気をファンが回転することで、異物を除去しながらファンフィルタユニット５の内部に吸い込み、その異物を除去した空気を清浄室３に吐き出す。
【０００６】
上記浄化室４は、ファンフィルタユニット５をメンテナンスできる大きさを確保すれば十分であり、可及的に小さい方が好ましい。例えば、浄化室４に必要以上の大きさを確保すると、工場の建設コストが増大することとなるため、図１８に示すように、浄化室４の上下方向の大きさ（高さ）Ｈ５は、１０００ｍｍである。
【０００７】
上記工場において、クリーンルーム１の外部には、例えば上記製造装置２を冷却するため、水、空気等の流体をその製造装置２に供給するためのポンプ等の流体供給装置６が設けられている。また、これら流体供給装置６と上記製造装置２との間は、例えば３つの管部材７ａ，７ｂ，７ｃによって構成する管路７によって接続してあり、この管路７を通じて流体供給装置６から製造装置２に流体を供給することができる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、従来、上記管路７を設ける場合、工場を建設する施工現場において、流体供給装置６もしくは製造装置２から管部材７ａ，７ｂ，７ｃを現場合わせで順次接続し、上部壁３ｂに管部材７ａの一端を通過させるための貫通孔を形成し、かつ下部壁３ａに管部材７ｂの一端を通過させるための貫通孔を形成していた。
【０００９】
しかしながら、上記のように施工現場において貫通孔を形成した場合には、クリーンルーム１となる場所に屑が発生することとなる。
【００１０】
本発明は、上記実情に鑑み、施工現場において屑が発生することを防止することができる管路の施工方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の目的を達成するために、請求項１にかかる発明は、浄化した空気を清浄室に供給する浄化室を備え、前記清浄室の内部に設けた被流体供給装置に前記清浄室の外部の流体供給装置から流体を供給するクリーンルームに適用し、前記流体供給装置から前記被流体供給装置に流体を供給する管路を前記浄化室を貫通する態様で設ける管路の施工方法において、互いに対応する位置に貫通孔を有する一対のパネルを形成するパネル形成工程と、前記浄化室を構成する壁を、前記一対のパネルが対向する態様で構築する壁構築工程と、一方のパネルの前記貫通孔および他方のパネルの前記貫通孔に、管部材の一端をそれぞれ通過させた後、前記管部材の一端を前記流体供給装置に接続し、かつ前記管部材の他端を前記被流体供給装置に接続する管路構築工程とを含むことを特徴とする。
【００１２】
また、請求項２にかかる発明は、浄化した空気を清浄室に供給する浄化室を備え、前記清浄室の内部に設けた流体排出装置から前記清浄室の外部の被流体排出装置に流体を排出するクリーンルームに適用し、前記流体排出装置から前記被流体排出装置に流体を排出する管路を前記浄化室を貫通する態様で設ける管路の施工方法において、互いに対応する位置に貫通孔を有する一対のパネルを形成するパネル形成工程と、前記浄化室を構成する壁を、前記一対のパネルが対向する態様で構築する壁構築工程と、一方のパネルの前記貫通孔および他方のパネルの前記貫通孔に、管部材の一端をそれぞれ通過させた後、前記管部材の一端を前記流体排出装置に接続し、かつ前記管部材の他端を前記被流体排出装置に接続する管路構築工程とを含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の請求項１にかかる管路の施工方法によれば、互いに対応する位置に貫通孔を有する一対のパネルを形成するパネル形成工程と、浄化室を構成する壁を、一対のパネルが対向する態様で構築する壁構築工程と、一方のパネルの貫通孔および他方のパネルの貫通孔に、管部材の一端をそれぞれ通過させた後、管部材の一端を流体供給装置に接続し、かつ管部材の他端を被流体供給装置に接続する管路構築工程とを含むため、施工現場において、貫通孔を形成する必要をなくすことができ、それにより、貫通孔を形成する際に発生する屑が施工現場に生じることを防止することができる。
【００１４】
本発明の請求項２にかかる管路の施工方法によれば、互いに対応する位置に貫通孔を有する一対のパネルを形成するパネル形成工程と、浄化室を構成する壁を、一対のパネルが対向する態様で構築する壁構築工程と、一方のパネルの貫通孔および他方のパネルの貫通孔に、管部材の一端をそれぞれ通過させた後、管部材の一端を流体排出装置に接続し、かつ管部材の他端を被流体排出装置に接続する管路構築工程とを含むため、施工現場において、貫通孔を形成する必要をなくすことができ、それにより、貫通孔を形成する際に発生する屑が施工現場に生じることを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、添付図面を適宜参照しながら、本発明にかかる管路の施工方法の好適な実施の形態について詳細に説明する。図１は、本発明にかかる管路の施工方法を適用することによって建設した例えば半導体製造工場や液晶パネル製造工場等の工場において、その工場の内部に設けたクリーンルーム１０を概念的に示したものである。
【００１６】
クリーンルーム１０は、清浄室１１と浄化室２０とを有している。清浄室１１は、その内部の空気に含まれる粒子状物質の数が予め設定された基準値より小さくなるよう空調された室である。この清浄室１１の内部には、図１および図２に示すように、半導体や液晶パネル等の製品を製造するための製造装置（被流体供給装置）１２が、床１５の上に設置されている。
【００１７】
クリーンルーム１０の外部には、製造装置１２を冷却するため、水、空気等の流体をその製造装置１２に供給するためのポンプ等の流体供給装置１３が設けられている。
【００１８】
浄化室２０は、浄化した空気を清浄室１１に供給するものであって、上記清浄室１１の上方に設けたものである。この浄化室２０には、ファンフィルタユニット１７を清浄室１１に臨むよう設けてある。このファンフィルタユニット１７は、ファンとフィルタとを有し、塵等の異物を除去した空気を清浄室１１に吐き出すものである。具体的には、ファンフィルタユニット１７は、その駆動によりファンを回転し、ファンの回転により異物を含む空気を内部に吸い込みつつフィルタで異物を除去し、その異物を除去した空気を清浄室１１に吐き出すものである。
【００１９】
このような浄化室２０は、例えば複数の壁で画成してある。より具体的には、浄化室２０の天部を構成する上部壁１８と、浄化室２０の底部を構成する下部壁１９と、浄化室２０の側部を構成する不図示の側部壁とで画成してある。
【００２０】
上部壁１８は、図３に示すように、複数の上部壁パネル２１と、１枚の第１パネル２２（パネル）とで構成してある。上部壁パネル２１は、例えば矩形状を成し、予め設定した幅Ｗ１および長さＬ１に形成してある。また、複数の上部壁パネル２１のうち、予め設定した２枚のものには、それぞれ切欠２１ａ，２１ｂを形成してある。なお、本実施の形態では、上部壁パネル２１を図２に示す梁２５で支持し、かつ下部壁１９を後述する梁２６で支持し、それらの梁２５，２６は吊り材２７によって支持するもので説明する。
【００２１】
第１パネル２２は、図３に示すように、上部壁パネル２１の切欠２１ａと、切欠２１ｂとによって形成される第１施工孔２８を閉塞する大きさに形成してある。この第１パネル２２には、図４に示すように、例えば複数の円形状を成した７つの貫通孔２２ａ，２２ｂ，２２ｃを形成してある。より具体的には、第１パネル２２には、比較的径の大きさが大きい第１貫通孔２２ａが１つ形成してあり、第１貫通孔２２ａよりも大きさが小さい第２貫通孔２２ｂが１つ形成してあり、かつ第２貫通孔２２ｂよりも大きさが小さい第３貫通孔２２ｃが５つ形成してある。これらの貫通孔２２ａ，２２ｂ，２２ｃの大きさは、上記製造装置１２に供給する流体の単位時間当たりの量によって予め設定してある。この実施の形態では、例えば第１貫通孔２２ａの大きさが２７０ｍｍであり、第２貫通孔２２ｂの大きさが１６０ｍｍであり、かつ第３貫通孔２２ｃの大きさが１４０ｍｍである。
【００２２】
下部壁１９は、図５に示すように、複数の下部壁パネル２３と、１枚の第２パネル２４（パネル）とで構成してある。下部壁パネル２３は、例えば矩形状を成し、予め設定した幅Ｗ２および長さＬ２に形成してある。また、複数の下部壁パネル２３のうち、予め設定した１枚のものには、第２施工孔２９を形成してある。この第２施工孔２９の縦横の大きさは、上記第１施工孔２８の縦横の大きさと同一である。
【００２３】
第２パネル２４は、その縦横の大きさが、上記第１パネル２２の縦横の大きさと同一である。すなわち、第２パネル２４は、第２施工孔２９を閉塞する大きさに形成してある。
【００２４】
また、この第２パネル２４には、図６に示すように、第１パネル２２の貫通孔２２ａ，２２ｂ，２２ｃに対応するよう複数の貫通孔２４ａ，２４ｂ，２４ｃを形成してある。すなわち、この第２パネル２４には、上記第１貫通孔２２ａと同一の大きさの第４貫通孔２４ａが、第１パネル２２における第１貫通孔２２ａを形成した位置と同じ位置となるよう１つ形成してある。また、第２パネル２４には、上記第２貫通孔２２ｂと同一の大きさの第５貫通孔２４ｂが、第１パネル２２における第２貫通孔２２ｂを形成した位置と同じ位置となるよう１つ形成してある。さらに、第２パネル２４には、上記第３貫通孔２２ｃと同一の大きさの第６貫通孔２４ｃが、第１パネル２２における第３貫通孔２２ｃを形成した位置とそれぞれ同じ位置となるよう５つ形成してある。この実施の形態では、例えば第４貫通孔２４ａの大きさが２７０ｍｍであり、第５貫通孔２４ｂの大きさが１６０ｍｍであり、かつ第６貫通孔２４ｃの大きさが１４０ｍｍである。
【００２５】
第１貫通孔２２ａおよび第４貫通孔２４ａには、図２および図７に示すように、一方の端部がそれらの貫通孔２２ａ，２４ａをそれぞれ通過し、両端が浄化室２０の外部に位置する第１管部材（管部材）３１を設けてある。
【００２６】
この第１管部材３１は、浄化室２０の上下方向の大きさよりも長くなるよう金属材料によって剛性を有するよう直線状に形成してあり、図１および図２に示すように、例えば可撓性を有する第２管部材３２と、製造装置１２に設けられ、バルブ３３ａを有する第３管部材３３と、曲部を１つ有する第４管部材３４と、上記流体供給装置１３に一端を接続してあり、他端にバルブ３５ａを設けてある供給管路３５とで第１管路（管路）３６を構成するものである。この第１管路３６は、上記製造装置１２と流体供給装置１３との間に設けるものであって、流体供給装置１３から製造装置１２に供給する流体を通すものである。
【００２７】
第１管部材３１の一方の端部と第２管部材３２の一方の端部との間、第２管部材３２の他方の端部と第３管部材３３の一方の端部との間、および第１管部材３１の他方の端部と第４管部材３４の一方の端部との間には、例えばソケット、プラグ、フランジ等の接続手段３７をそれぞれ設けてある。
【００２８】
第３貫通孔２２ｃのひとつおよび第６貫通孔２４ｃのひとつには、図２および図７に示すように、一方の端部がそれらの貫通孔２２ｃ，２４ｃをそれぞれ貫通し、両端が浄化室２０の外部に位置する第６管部材４１を設けてある。
【００２９】
この第６管部材４１は、浄化室２０の上下方向の大きさよりも長くなるよう金属材料によって剛性を有するよう直線状に形成してあり、図２に示すように、剛性を有し、曲部を２つ有する第７管部材４２と、製造装置１２に設けられ、バルブ４３ａを有する第８管部材４３と、図１に示すように、曲部を１つ有する第９管部材４４と、上記流体供給装置１３に一端を接続してあり、他端にバルブ４５ａを設けてある供給管路４５とで第２管路４６を構成するものである。この第２管路４６は、上記製造装置１２と流体供給装置１３との間に設けるものであって、流体供給装置１３から製造装置１２に供給する流体を通すものである。
【００３０】
第６管部材４１の一方の端部と第７管部材４２の一方の端部との間、第７管部材４２の他方の端部と第８管部材４３の一方の端部との間、および第６管部材の他方の端部と第９管部材４４の一方の端部との間には、例えばソケット、プラグ、フランジ等の接続手段４７をそれぞれ設けてある。
【００３１】
第３貫通孔２２ｃにおいて、第６管部材４１と第１パネル２２との隙間には、図７に示すように、第３密閉手段５５を設けてある。この第３密閉手段５５は、第３貫通孔２２ｃにおける第６管部材４１と第１パネル２２との間に生じる隙間を閉塞するもので、図１０に示すように、シーリングプレート５６と、アルミテープ５７と充填材５８とで構成してある。シーリングプレート５６は、図８に示すように、例えば塩化ビニル等の合成樹脂材料で、円形の孔５６ａを有する円環状に形成してある。アルミテープ５７は、シーリングプレート５６と第１パネル２２との隙間を塞ぐものである。充填材５８は、第６管部材４１とシーリングプレート５６との隙間に充填し、第６管部材４１とシーリングプレート５６との隙間に塞ぐものである。
【００３２】
第６貫通孔２４ｃにおいて、第６管部材４１と第２パネル２４との隙間には、図１０に示すように、第４密閉手段６０を設けてある。この第４密閉手段６０は、第６貫通孔２４ｃにおける第６管部材４１と第２パネル２４との間に生じる隙間を閉塞するもので、シーリングプレート６１と、充填材６２とで構成してある。シーリングプレート６１は、例えば塩化ビニル等の合成樹脂材料で、円形の孔６１ａ有する円環状に形成してある。充填材６２は、第６管部材４１とシーリングプレート６１との隙間に充填し、第６管部材４１とシーリングプレート６１との隙間に塞ぐものである。
【００３３】
なお、第１貫通孔２２ａにおいて、第１管部材３１と第１パネル２２との間には、図９に示すように、第１密閉手段５０を設けてある。第１密閉手段５０は、第１貫通孔２２ａにおける第１管部材３１と第１パネル２２との間に生じる隙間を閉塞するもので、上記第３密閉手段５５と同様の構成を有している。より具体的には、第１密閉手段５０は、図８に示すように、円形の孔５１ａを有し、円環状に形成したシーリングプレート５１と、不図示のアルミテープと充填材とで構成してある。アルミテープは、上記シーリングプレート５１と第１パネル２２との隙間を塞ぐものである。充填材は、第１管部材３１とシーリングプレート５１との隙間に充填し、第１管部材３１とシーリングプレート５１との隙間を塞ぐものである。また、第４貫通孔２４ａにおいて、第１管部材３１と第２パネル２４との間には、図９に示すように、第２密閉手段５２を設けてある。第２密閉手段５２は、図示省略するが、第４貫通孔２４ａにおいて、第１管部材３１と第２パネル２４との間に生じる隙間を閉塞するもので、上記第４密閉手段６０と同様の構成を有している。より具体的には、第２密閉手段５２は、図９に示すように、不図示のシーリングプレートと充填材とで構成してある。充填材は、第１管部材３１とシーリングプレートとの隙間に充填し、第１管部材３１とシーリングプレートとの隙間を塞ぐものである。
【００３４】
また、管路を構成する管部材の一方の端部を通過させる必要がない第３貫通孔２２ｃおよび第６貫通孔２４ｃには、図２に示すように、第３貫通孔２２ｃを閉塞する第１閉塞手段３８を設け、かつ第６貫通孔２４ｃを閉塞する第２閉塞手段４８を設けてある。
【００３５】
第１閉塞手段３８は、図１０に示すように、第３貫通孔２２ｃを塞ぐプラグ３８ａと、そのプラグ３８ａと第１パネル２２との隙間を塞ぐアルミテープ３８ｄとで構成してある。プラグ３８ａは、円板状の本体部３８ｂと、その本体部３８ｂから下方に向けて突出し、第３貫通孔２２ｃに係合する係合部３８ｃとを備えている。
【００３６】
第２閉塞手段４８は、図１０および図１１に示すように、例えば２枚の円板４８ａ，４８ｂと、１枚の板材４８ｃと、２本のネジ４８ｄとで構成してある。各円板４８ａ，４８ｂの縦横の大きさは、第６貫通孔２４ｃの縦横の大きさよりも大きい。このような第２閉塞手段４８は、第６貫通孔２４ｃを塞ぐ態様で、１枚の円板４８ａを第２パネル２４の下方に配置し、かつ１枚の円板４８ｂを第２パネル２４の上方に載置してから、上記円板４８ｂの上方に板材４８ｃを配置し、それら円板４８ａ，４８ｂおよび板材４８ｃをネジ４８ｄで締結することで、第６貫通孔２４ｃを閉塞してある。
【００３７】
また、第２貫通孔２２ｂには、図７に示すように、第２貫通孔２２ｂを閉塞する第３閉塞手段３９を設けてある。この第３閉塞手段３９は、図示省略するが、第１閉塞手段３８と同様の構成を有している。
【００３８】
さらに、第５貫通孔２４ｂには、図示省略するが、第５貫通孔２４ｂを閉塞する第４閉塞手段を設けてある。この第４閉塞手段は、第２閉塞手段４８と同様の構成を有している。
【００３９】
また、上記第１管部材３１および上記第６管部材４１は、図７および図９に示す支持手段７０によって支持する。支持手段７０は、梁２５と梁２５との間に掛け渡す態様で設けた２本で一対の第１棒状部材７１ａ，７１ｂと、それら第１棒状部材７１ａ，７１ｂの間に掛け渡す態様で設けた１本の第２棒状部材７１ｃと、第１管部材３１の周囲に掛け回す態様で第２棒状部材７１ｃに取り付ける取付具７１ｄと、第６管部材４１の周囲に掛け回す態様で１本の第１棒状部材７１ａに取り付ける取付具７１ｅとで構成してある。
【００４０】
次に、この発明にかかる管路の施工する施工方法を、順を追って説明する。なお、ここでは、第１管路３６を施工する場合を例示し、説明の都合上、第２管路４６の施工については省略する。
【００４１】
先ず、準備として、複数の上部壁パネル２１、複数の下部壁パネル２３、第１パネル２２、および第２パネル２４をパネル製作工場において形成する（パネル形成工程）。
【００４２】
形成する前には、予め、上部壁パネル２１の縦横の大きさ、下部壁パネル２３の縦横の大きさ、第１パネル２２の縦横の大きさ、第２パネル２４の縦横の大きさを設定する。
【００４３】
第１パネル２２を形成する際には、パネル製作工場において、その第１パネル２２に、第１貫通孔２２ａ、第２貫通孔２２ｂ、および第３貫通孔２２ｃを形成する。同様に、第２パネル２４を形成する際には、パネル製作工場において、その第２パネル２４に、第４貫通孔２４ａ、第５貫通孔２４ｂ、および第６貫通孔２４ｃを形成する。第１パネル２２には、図１５に示す各貫通孔２２ａ，２２ｂ，２２ｃを塞ぐプレート８１をパネル製作工場でそれぞれ取り付けてあり、かつ第１パネル２２には、図１４および図１５に示すように、各貫通孔２４ａ，２４ｂ，２４ｃを塞ぐプレート８２をパネル製作工場でそれぞれ取り付けてある。
【００４４】
また、複数の上部壁パネル２１のうちの一つには、パネル製作工場において、切欠２１ａを形成する。同様に、複数の上部壁パネル２１のうち、切欠２１ａを形成したものと異なる別の一つには、パネル製作工場において、切欠２１ｂを形成する。
【００４５】
さらに、複数の下部壁パネル２３のうちの一つには、パネル製作工場において、第２施工孔２９を形成する。
【００４６】
先ず、予め設定した間隔で梁２５を等間隔に設け、図１２に示すように、当接する態様で梁２５の上方に上部壁パネル２１を取り付ける。この際、切欠２１ａを形成した上部壁パネル２１および切欠２１ｂを形成した上部壁パネル２１は使用せず、それらの代わりにダミー上部壁パネル２１ｙ，２１ｚを互いに隣接する態様で梁の上方に取り付ける。このダミー上部壁パネル２１ｙ，２１ｚは、複数の上部壁パネル２１と同様に、パネル製作工場で予め形成したものであり、その縦横の大きさは、上部壁パネル２１の縦横の大きさと同一である。また、複数の上部壁パネル２１およびダミー上部壁パネル２１ｙ，２１ｚによって、上部壁１８を構築する。
【００４７】
次に、図１３に示すように、クリーンルーム１０の外部に設置した流体供給装置１３から、一端にバルブ３５ａを設けた供給管路３５を構築する。また、上部壁１８の下方領域に、予め設定した間隔で梁２６を等間隔に設ける。
【００４８】
次いで、図１４に示すように、当接する態様で梁２６の上方に下部壁パネル２３を取り付ける。この際、２枚のダミー上部壁パネル２１ｙ，２１ｚの下方に、第２施工孔２９を形成した下部壁パネル２３を配置する。複数の下部壁パネル２３によって、下部壁１９を構築する。下部壁１９を構築する際には、予め設定した個所にファンフィルタユニット１７を設け、かつ第２施工孔２９に、第２パネル２４を嵌め込む。
【００４９】
次に、２枚のダミー上部壁パネル２１ｙ，２１ｚを梁２５から取り外し、図１５に示すように、ダミー上部壁パネル２１ｙ，２１ｚに代えて、切欠２１ａを形成した上部壁パネル２１を当接する態様で梁２５の上方に取り付け、かつ切欠２１ｂを形成した上部壁パネル２１を当接する態様で梁２５の上方に取り付ける。切欠２１ａと切欠２１ｂによって形成される第１施工孔２８には、第１パネル２２を嵌め込む。
【００５０】
この状態では、上下方向において、第１貫通孔２２ａと第４貫通孔２４ａとが合致し、第２貫通孔２２ｂと第５貫通孔２４ｂとが合致し、各第３貫通孔２２ｃと各第６貫通孔２４ｃとがそれぞれ合致し、かつ第１パネル２２と第２パネル２４とが互いに対向する態様で、浄化室２０を構成する上部壁１８と下部壁１９とが構築されることとなる。また、適宜のタイミングで側部壁を設け、上部壁１８と下部壁１９と側部壁とで浄化室２０を画成する（壁構築工程）。さらに、上記バルブ３５ａに、第４管部材３４の一端を取り付ける。
【００５１】
次いで、各貫通孔２２ａ，２２ｂ，２２ｃを塞ぐプレート８１を第１パネル２２から取り外し、かつ各貫通孔２４ａ，２４ｂ，２４ｃを塞ぐプレート８２を第２パネル２４から取り外す。その後、図１６に示すように、第１貫通孔２２ａおよび第４貫通孔２４ａに、第１管部材３１の一方の端を入れ、第１管部材３１の一端と、第４管部材３４の他端とを、接続手段３７で接続する。また、５つのうち１つの第３貫通孔２２ｃおよび、５つのうち１つであって上記第３貫通孔２２ｃに対応する第６貫通孔２４ｃに、第６管部材４１の一方の端を入れる。
【００５２】
第１管部材３１と第１貫通孔２２ａとの隙間には、第１密閉手段５０を設ける。さらに、第１管部材３１と第４貫通孔２４ａとの隙間には、第２密閉手段５２を設ける。
【００５３】
また、５つのうち４つの第３貫通孔２２ｃには、第１閉塞手段３８を設け、かつ５つのうち４つの第６貫通孔２４ｃには、第２閉塞手段４８を設ける。さらに、第２貫通孔２２ｂには、第３閉塞手段５５を設け、かつ第５貫通孔２４ｂには、第４閉塞手段を設ける。また、第１管部材３１および第６管部材４１を支持する支持手段７０を設ける。
【００５４】
次に、図１７に示すように、床１５の上に製造装置１２を設置した後、第３管部材３３の一端と、第２管部材３２の他端とを接続手段３７で接続する。その後、第２管部材３２の一端と、第１管部材３１の一端とを接続手段３７で接続する。このようにして、第１管部材３１と第２管部材３２と第３管部材３３と第４管部材３４と供給管路３５とで第１管路３６を構築し、製造装置１２と、流体供給装置１３とを第１管路３６で接続する（管路構築工程）。
【００５５】
本発明の実施の形態にかかる管路の施工方法によれば、互いに対応する位置に貫通孔
２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２４ａ，２４ｂ，２４ｃを有する一対のパネル２２，２４を形成するパネル形成工程と、浄化室２０を構成する壁１８，１９を、一対のパネル２２，２４が対向する態様で構築する壁構築工程と、第１パネル２２の貫通孔２２ａ，２２ｂ，２２ｃおよび第２パネル２４の貫通孔２４ａ，２４ｂ，２４ｃに、管部材３１，４１の一端をそれぞれ通過させた後、管部材３１，４１の一端を流体供給装置１３に接続し、かつ管部材３１，４１の他端を被流体供給装置１２に接続する管路構築工程とを含むため、施工現場において、パネル２２，２４に貫通孔２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２４ａ，２４ｂ，２４ｃを形成する必要をなくすことができ、それにより、貫通孔２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２４ａ，２４ｂ，２４ｃを形成する際に発生する屑が施工現場に生じることを防止することができる。
【００５６】
また、第１管部材３１は、浄化室２０の上下方向の大きさよりも長くなるよう形成してあり、第１パネル２２の第１貫通孔２２ａおよび第２パネル２４の第４貫通孔２４ａに、第１管部材３１の一方の端部を通過させてあるため、第１管路３６を構築する際に、浄化室２０の内部で管部材の接続作業を行う必要がない。よって、第１管路３６を施工する際の作業性が向上することとなる。しかも、浄化室２０の内部で管部材の接続作業を行う必要がないため、浄化室２０の上下方向の大きさを可及的に小さくすることができる。本実施の形態では、図１および図２に示す浄化室２０の上下方向の大きさＨ１は、１０００ｍｍである。
【００５７】
さらに、第６管部材４１は、浄化室２０の上下方向の大きさよりも長くなるよう形成してあり、第１パネル２２の第３貫通孔２２ｃおよび第２パネル２４の第６貫通孔２４ｃに、第６管部材４１の一方の端部を通過させてあるため、第２管路４６を構築する際に、浄化室２０の内部で第６管部材４１の接続作業を行う必要がない。よって、第２管路４６を施工する際の作業性が向上することとなる。
【００５８】
また、パネル製作工場において、上部壁パネル２１に切欠２１ａを形成し、上部壁パネル２１に切欠２１ｂを形成し、下部壁パネル２３に第２施工孔２９を形成するため、切欠２１ａ，２１ｂおよび第２施工孔２９をパネル２２，２４に形成する際に発生する屑が施工現場に生じることを防止することができる。
【００５９】
なお、上述した実施の形態には、一対のパネル２２，２４を１組、設けるもので説明した。しかし、この発明は、それに限られず、例えばクリーンルーム１０に設ける製造装置１２の数に応じて複数組のパネル２２，２４を設けても良い。
【００６０】
また、上述した実施の形態には、清浄室１１の上方に浄化室２０を設けるクリーンルーム１０に適用するもので説明した。しかし、この発明は、それに限られず清浄室１１に対する浄化室２０の位置は、上方だけに限られない。例えば、清浄室１１の側方に浄化室２０を設けるクリーンルーム１０、清浄室１１の下方に浄化室２０を設けるクリーンルーム１０にも適用することができる。
【００６１】
さらに、上述した実施の形態には、流体供給装置１３から製造装置１２に供給する流体を通す管路を施工するもので説明した。しかし、この発明はそれに限られず、例えば、製造装置１２（流体排出装置）と、クリーンルーム１０の外部に設け、製造装置１２から排出される空気、水等の流体を排出する被流体排出装置との間に設け、排出する流体を通す管路を施工する場合にも適用することができる。
【００６２】
また、本実施の形態では、例えば製造装置１２に供給する流体の種類に応じて、第１貫通孔２２ａおよび第４貫通孔２４ａに第１管部材３１の一端を通過させ、１つの第３貫通孔２２ｃおよび１つの第６貫通孔２４ｃに第２管部材３２の一端を通過させ、４つの第３貫通孔２２ｃと、４つの第６貫通孔２４ｃと、第２貫通孔２２ｂと、第５貫通孔２４ｂとには、管部材の一端を通過させないもので説明した。しかし、必要に応じて、第２貫通孔２２ｂおよび第５貫通孔２４ｂにも管部材の一方の端部を通過させ、その管部材によって、製造装置１２と流体供給装置１３とを接続する不図示の管路を構成しても良い。もちろん、必要に応じて、残りの第３貫通孔２２ｃおよび残りの第６貫通孔２４ｃにも、適宜管部材の一方の端部を通過させ、その管部材によって、製造装置１２と流体供給装置１３とを接続する不図示の管路を構成しても良い。また、製造装置１２を変更した場合には、その変更に応じて適宜の貫通孔に管部材の一端を通過させても良い。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明にかかる管路の施工方法を適用して構築した第１管路、第２管路、清浄室および浄化室の概要を示す説明図である。
【図２】図１に示した第１管路および第２管路を示す側面図である。
【図３】図１に示した浄化室の上部壁を構築する上部壁パネルを示す平面図である。
【図４】図１に示した浄化室の上部壁が備える第１パネルを示す平面図である。
【図５】図１に示した浄化室の下部壁を構築する下部壁パネルを示す平面図である。
【図６】図１に示した浄化室の下部壁が備える第２パネルを示す平面図である。
【図７】図１に示した浄化室を上方から見た平面図である。
【図８】図１に示した浄化室に設けるシーリングプレートと第１パネルとの関係を示す平面図である。
【図９】図１に示した浄化室の断面側面図である。
【図１０】図１に示した浄化室を貫通する第６管部材の詳細を示す断面側面図である。
【図１１】図１０における矢視Ａから見た平面図であって、図６に示した第２パネルが有する第６貫通孔を塞ぐ第２閉塞手段を示す平面図である。
【図１２】本発明にかかる管路の施工方法を示す施工図である。
【図１３】本発明にかかる管路の施工方法を示す施工図である。
【図１４】本発明にかかる管路の施工方法を示す施工図である。
【図１５】本発明にかかる管路の施工方法を示す施工図である。
【図１６】本発明にかかる管路の施工方法を示す施工図である。
【図１７】本発明にかかる管路の施工方法を示す施工図である。
【図１８】クリーンルームの概要を示す説明図である。
【符号の説明】
【００６４】
１０    クリーンルーム
１１    清浄室
１２    製造装置（被流体供給装置）
１３    流体供給装置
１８    上部壁（壁）
１９    下部壁（壁）
２０    浄化室
２２    第１パネル（パネル）
２２ａ  第１貫通孔
２２ｂ  第２貫通孔
２２ｃ  第３貫通孔
２４    第２パネル（パネル）
２４ａ  第４貫通孔
２４ｂ  第５貫通孔
２４ｃ  第６貫通孔
３１    第１管部材（管部材）
３６    第１管路（管路）
４１    第６管部材（管部材）
４６    第２管路（管路）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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