(57)【要約】【課題】多様化する平板状部材の塵埃を除去するに際して、柔軟な対応が可能であり、かつ、多様化する製造工程に柔軟に対応することが可能な除塵装置を提供すること。【解決手段】平板状部材２を搬送しながら平板状部材２の表面に付着した塵埃を除去する除塵装置１は、平板状部材２の上面に当接して塵埃を吸着する第１粘着ロール４と、平板状部材２の下面に当接して塵埃を吸着する第２粘着ロール５と、上下方向へ第１粘着ロール４を移動させる第１ロール移動手段と、上下方向へ第２粘着ロール５を移動させる第２ロール移動手段と、平板状部材２の下面に当接可能な当接部材１２を有する当接部１４と、上下方向に略直交する方向へ当接部１４を移動させる当接部移動手段とを備えている。【選択図】図１
2008272704.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板状部材を搬送しながら上記平板状部材の表面に付着した塵埃を除去する除塵装置において、
上記平板状部材の一方の表面に当接して上記塵埃を吸着する第１粘着ロールと、上記平板状部材の他方の表面に当接して上記塵埃を吸着する第２粘着ロールと、上記平板状部材の表面に略直交する第１方向へ上記第１粘着ロールを移動させる第１ロール移動手段と、上記第１方向へ上記第２粘着ロールを移動させる第２ロール移動手段と、上記平板状部材の一方の面あるいは他方の面に当接可能な当接部材を有する当接部と、上記第１方向に略直交する方向へ上記当接部を移動させる当接部移動手段とを備えることを特徴とする除塵装置。
【請求項２】
前記当接部材は、前記平板状部材の搬送方向に回転する当接ローラであることを特徴とする請求項１記載の除塵装置。
【請求項３】
前記当接部として、前記平板状部材の搬送方向と前記第１方向とに略直交する第２方向における前記平板状部材の一端部側に当接する前記当接部材を有する第１当接部と、上記第２方向における前記平板状部材の他端部側に当接する前記当接部材を有する第２当接部とを備えることを特徴とする請求項１または２記載の除塵装置。
【請求項４】
前記当接部移動手段として、前記第１当接部を前記第２方向へ移動させる第１当接部移動手段と、前記第２当接部を前記第２方向へ移動させる第２当接部移動手段とを備え、
上記第１当接部移動手段による前記第２方向への前記第１当接部の移動量が一定であり、上記第２当接部移動手段による前記第２方向への前記第２当接部の移動量が可変であることを特徴とする請求項３記載の除塵装置。
【請求項５】
前記第１方向は、上下方向であり、
前記第１粘着ロールは、前記平板状部材の一方の表面となる上面に当接し、
前記当接部材は、前記平板状部材の他方の表面となる下面に当接することを特徴とする請求項３または４記載の除塵装置。
【請求項６】
前記第１ロール移動手段は、粘着テープが巻回されるとともに前記第１粘着ロールに当接して前記第１粘着ロールに付着した前記塵埃を取り除く第１粘着テープロールと、前記第１粘着ロールと上記第１粘着テープロールとを連結する第１連結部と、上記第１粘着テープロールに連結され上記第１粘着テープロールを前記第１方向へ移動させる第１移動機構とを備え、
前記第２ロール移動手段は、粘着テープが巻回されるとともに前記第２粘着ロールに当接して前記第２粘着ロールに付着した前記塵埃を取り除く第２粘着テープロールと、前記第２粘着ロールと上記第２粘着テープロールとを連結する第２連結部と、上記第２粘着テープロールに連結され上記第２粘着テープロールを前記第１方向へ移動させる第２移動機構とを備えることを特徴とする請求項１から５いずれかに記載の除塵装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平板状部材の表面に付着した塵埃を除去する除塵装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、電子部品が実装されるプリント基板や液晶パネル等の各種の基板あるいは基板の原材料となるシート状部材等の平板状部材の表面に付着した塵埃を除去する除塵装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。この特許文献１に記載の除塵装置は、平板状部材の上面に当接して上面に付着した塵埃を吸着する粘着ロール（上粘着ロール）と、平板状部材の下面に当接して下面に付着した塵埃を吸着する粘着ロール（下粘着ロール）とを備え、平板状部材を搬送しながら、塵埃の除去を行っている。
【０００３】
また、特許文献１に記載の除塵装置では、下粘着ロールを回転可能に支持する軸受（下側軸受）は、除塵装置のフレームに固定されている。一方、上粘着ロールを回転可能に支持する軸受（上側軸受）は、引張りコイルバネを介して下側軸受に連結されており、上粘着ロールとともに上下方向にスライド可能となっている。なお、この除塵装置は、平板状部材の上下両面の塵埃を除去する場合にのみ使用される構成となっている。
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−２５４５９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、表面に付着した塵埃の除去が要求される平板状部材は多様化している。たとえば、一方の表面に予め電子部品が実装された平板状部材もある。かかる平板状部材では、電子部品が実装されていない他方の表面のみの塵埃の除去が要求される。また、近年、平板状部材を用いて製造される製品の製造工程も多様化している。
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載の除塵装置は、平板状部材の上下両面の塵埃を除去する場合にのみ使用される構成となっている。そのため、特許文献１に記載の除塵装置では、多様化する平板状部材の表面に付着した塵埃を除去するに際して、柔軟な対応が困難である。また、特許文献１に記載の除塵装置では、多様化する製造工程に柔軟に対応することも困難である。
【０００７】
そこで、本発明の課題は、多様化する平板状部材の塵埃を除去するに際して、柔軟な対応が可能であり、かつ、多様化する製造工程に柔軟に対応することが可能な除塵装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するため、本発明は、平板状部材を搬送しながら平板状部材の表面に付着した塵埃を除去する除塵装置において、平板状部材の一方の表面に当接して塵埃を吸着する第１粘着ロールと、平板状部材の他方の表面に当接して塵埃を吸着する第２粘着ロールと、平板状部材の表面に略直交する第１方向へ第１粘着ロールを移動させる第１ロール移動手段と、第１方向へ第２粘着ロールを移動させる第２ロール移動手段と、平板状部材の一方の面あるいは他方の面に当接可能な当接部材を有する当接部と、第１方向に略直交する方向へ当接部を移動させる当接部移動手段とを備えることを特徴とする。
【０００９】
本発明の除塵装置は、平板状部材の一方の表面に当接して塵埃を吸着する第１粘着ロールを平板状部材の表面に略直交する第１方向へ移動させる第１ロール移動手段と、平板状部材の他方の表面に当接して塵埃を吸着する第２粘着ロールを第１方向へ移動させる第２ロール移動手段と、平板状部材の一方の面あるいは他方の面に当接可能な当接部材を有する当接部と、第１方向に略直交する方向へ当接部を移動させる当接部移動手段とを備えている。
【００１０】
そのため、当接部移動手段によって当接部材を有する当接部を退避させ、かつ、第１粘着ロールと第２粘着ロールとを用いることで、平板状部材の両面の塵埃を除去することができる。また、第１ロール移動手段あるいは第２ロール移動手段によって、第１粘着ロールあるいは第２粘着ロールの一方を退避させ、かつ、第１粘着ロールあるいは第２粘着ロールの他方と当接部材とを用いることで、第１粘着ロールあるいは第２粘着ロールと平板状部材とを密着させて、平板状部材の片面のみの塵埃を除去することができる。さらに、第１ロール移動手段あるいは第２ロール移動手段によって、第１粘着ロールおよび第２粘着ロールを退避させることで、平板状部材の両面の塵埃の除去を行うことなく、平板状部材の搬送のみを行うことも可能になる。このように、本発明では、多様化する平板状部材の塵埃を除去するに際して、柔軟な対応が可能になり、また、多様化する製造工程に柔軟に対応することが可能になる。
【００１１】
本発明において、当接部材は、平板状部材の搬送方向に回転する当接ローラであることが好ましい。このように構成すると、平板状部材の片面のみの塵埃を除去する場合、あるいは、平板状部材の両面の塵埃の除去を行うことなく平板状部材の搬送のみを行う場合に、当接ローラによって、平板状部材を搬送方向へ適切に搬送することが可能になる。
【００１２】
本発明において、除塵装置は、当接部として、平板状部材の搬送方向と第１方向とに略直交する第２方向における平板状部材の一端部側に当接する当接部材を有する第１当接部と、第２方向における平板状部材の他端部側に当接する当接部材を有する第２当接部とを備えることが好ましい。このように構成すると、第１当接部と第２当接部とによって、第２方向における平板状部材の両端側を支持することができる。そのため、平板状部材の片面のみの塵埃を除去する場合には、第１粘着ロールあるいは第２粘着ロールと平板状部材とを適切に密着させることが可能になる。また、平板状部材の両面の塵埃の除去を行うことなく平板状部材の搬送のみを行う場合には、平板状部材の適切な搬送が可能になる。
【００１３】
本発明において、除塵装置は、当接部移動手段として、第１当接部を第２方向へ移動させる第１当接部移動手段と、第２当接部を第２方向へ移動させる第２当接部移動手段とを備え、第１当接部移動手段による第２方向への第１当接部の移動量が一定であり、第２当接部移動手段による第２方向への第２当接部の移動量が可変であることが好ましい。このように構成すると、当接部材を使用する際に、移動量が一定である第１当接部側を基準側とすることができる。そのため、搬送方向に直交する方向における平板状部材の幅が変動する場合であっても、第１当接部および第２当接部の位置出しが容易になる。
【００１４】
本発明において、第１方向は、上下方向であり、第１粘着ロールは、平板状部材の一方の表面となる上面に当接し、当接部材は、平板状部材の他方の表面となる下面に当接することが好ましい。このように構成すると、塵埃の除去が行われない平板状部材の他方の表面を下側へ向けることができる。そのため、平板状部材の一方の表面の塵埃を除去する際に、平板状部材の他方の表面に塵埃が付着するのを抑制することができる。
【００１５】
本発明において、第１ロール移動手段は、粘着テープが巻回されるとともに第１粘着ロールに当接して第１粘着ロールに付着した塵埃を取り除く第１粘着テープロールと、第１粘着ロールと第１粘着テープロールとを連結する第１連結部と、第１粘着テープロールに連結され第１粘着テープロールを第１方向へ移動させる第１移動機構とを備え、第２ロール移動手段は、粘着テープが巻回されるとともに第２粘着ロールに当接して第２粘着ロールに付着した塵埃を取り除く第２粘着テープロールと、第２粘着ロールと第２粘着テープロールとを連結する第２連結部と、第２粘着テープロールに連結され第２粘着テープロールを第１方向へ移動させる第２移動機構とを備えることが好ましい。このように構成すると、第１粘着テープロールを移動させる第１移動機構によって第１粘着ロールを移動させ、第２粘着テープロールを移動させる第２移動機構によって第２粘着ロールを移動させることができる。その結果、第１粘着ロールを移動させるための専用の機構および第２粘着ロールを移動させるための専用の機構が不要となり、除塵装置の構成を簡素化することができる。
【発明の効果】
【００１６】
以上のように、本発明の除塵装置では、多様化する平板状部材の塵埃を除去するに際して、柔軟な対応が可能になる。また、本発明の除塵装置では、多様化する製造工程に柔軟に対応することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１８】
（除塵装置の概略構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる除塵装置１の概略構成を正面から説明するための図である。図２は、図１のＥ−Ｅ断面の概略構成を説明するための図である。図３は、図１のＦ−Ｆ方向から除塵装置１の概略構成を説明するための図であり、（Ａ）は平板状部材２の両面の塵埃３の除去が行われるときの状態を示し、（Ｂ）は平板状部材２の上面のみの塵埃３の除去が行われるときの状態あるいは平板状部材２の両面の塵埃３の除去が行われず搬送のみが行われるときの状態を示す。図４は、図１に示す除塵装置１において、平板状部材２の両面の塵埃３の除去が行われるときの状態を示す概念図である。図５は、図１に示す除塵装置１において、平板状部材２の上面のみの塵埃３の除去が行われるときの状態を示す概念図である。図６は、図１に示す除塵装置１において、平板状部材２の両面の塵埃３の除去が行われず搬送のみが行われるときの状態を示す概念図である。
【００１９】
なお、図１では、平板状部材２の両面の塵埃３の除去が行われず搬送のみが行われるときの除塵装置１が図示されている。また、図２では、平板状部材２の両面の塵埃３の除去が行われるときの除塵装置１が図示されている。また、以下の説明では、図１の左を「左」、図１の右を「右」、図１の上を「上」、図１の下を「下」、図１の紙面手前を「前」、図１の紙面奥を「後（後ろ）」とする。
【００２０】
本形態の除塵装置１は、電子部品が実装されるプリント基板や液晶パネル等の各種の基板あるいは基板の原材料となるシート状部材等の平板状部材２の表面に付着した塵埃３を除去するための装置である。具体的には、除塵装置１は、平板状部材２を右から左に向かって搬送しながら、平板状部材２の表面に付着した塵埃３を除去するための装置である。
【００２１】
この除塵装置１は、図１〜図６に示すように、平板状部材２の上面に当接して塵埃３を吸着する２本の第１粘着ロール４と、平板状部材２の下面に当接して塵埃３を吸着する２本の第２粘着ロール５と、粘着テープが巻回されるとともに第１粘着ロール４に当接して第１粘着ロール４に付着した塵埃３を取り除く第１粘着テープロール６と、粘着テープが巻回されるとともに第２粘着ロール５に当接して第２粘着ロール５に付着した塵埃３を取り除く第２粘着テープロール７と、平板状部材２を装置内部へ搬入する搬入機構８と、平板状部材２を装置内部から搬出する搬出機構９と、第１粘着ロール４および第２粘着ロール５を回転駆動する駆動機構１０とを備えている。なお、図３（Ｂ）では、第２粘着ロール５等の図示が省略されている。
【００２２】
本形態の除塵装置１では、図４に示すように、平板状部材２の上下両面の塵埃３の除去を行うことが可能となっている。また、除塵装置１では、図５に示すように、平板状部材２の上面のみの塵埃３の除去を行うことが可能となっている。さらに、除塵装置１では、図６に示すように、平板状部材２の上下両面の塵埃３の除去を行わずに平板状部材２の搬送のみを行うことが可能となっている。
【００２３】
また、除塵装置１は、上述の構成に加え、平板状部材２の下面に当接可能な当接部材としての当接ローラ１２を有する当接部としての第１当接部１３および第２当接部１４と、第１当接部１３を前後方向へ移動させる当接部移動手段（第１当接部移動手段）としての第１当接部移動機構１５と、第２当接部１４を前後方向へ移動させる当接部移動手段（第２当接部移動手段）としての第２当接部移動機構１６と、第１粘着ロール４と第１粘着テープロール６とを連結する第１連結部１７と、第２粘着ロール５と第２粘着テープロール７とを連結する第２連結部１８と、第１粘着テープロール６を上下方向へ移動させる第１移動機構としてのエアシリンダ１９と、第２粘着テープロール７を上下方向へ移動させる第２移動機構としてのエアシリンダ２０とを備えている。
【００２４】
なお、図１では、第２当接部移動機構１６等の図示が省略され、図２では、第１当接部１３、第２当接部１４、第１当接部移動機構１５および第２当接部移動機構１６等の図示が省略されている。
【００２５】
第１粘着ロール４および第２粘着ロール５は、表面に粘着力を有するシリコンゴム等のゴム部材によって形成されている。図２に示すように、第１粘着ロール４は回転軸２２の外周面に固定され、第２粘着ロール５は回転軸２３の外周面に固定されている。第１粘着ロール４と第２粘着ロール５とは上下方向で対向するように配置されており、第１粘着ロール４と第２粘着ロール５との間を平板状部材２が通過するように構成されている。また、２本の第１粘着ロール４は、図１に示すように、所定の間隔をあけた状態で左右方向に隣接するように配置されている。同様に、２本の第２粘着ロール５も左右方向に所定の間隔をあけた状態で隣接するように配置されている。
【００２６】
第１粘着テープロール６および第２粘着テープロール７には、粘着テープの粘着面が表側を向くように粘着テープが巻回されている。第１粘着テープロール６、第２粘着テープロール７はそれぞれ第１粘着ロール４、第２粘着ロール５に当接して、第１粘着ロール４、第２粘着ロール５に付着した塵埃３を取り除くように構成されており、第１粘着テープロール６、第２粘着テープロール７の粘着力が低下すると、粘着テープが順次剥がされていく。
【００２７】
図２に示すように、第１粘着テープロール６は回転軸２４の外周面に固定され、第２粘着テープロール７は回転軸２５の外周面に固定されている。また、第１粘着テープロール６は第１粘着ロール４よりも上側に配置され、第２粘着テープロール７は第２粘着ロール５よりも下側に配置されている。また、左右方向では、第１粘着テープロール６の軸中心が２本の第１粘着ロール４の軸中心間の略中心位置となるように、第１粘着テープロール６が配置され、第２粘着テープロール７の軸中心が２本の第２粘着ロール５の軸中心間の略中心位置となるように、第２粘着テープロール７が配置されている。
【００２８】
搬入機構８は、除塵装置１の右端側に配置されている。また、搬入機構８は、図３に示すように、前後方向の両端側に配置されている。この搬入機構８は、平板状部材２の前端部側または後端部側の下面に当接して平板状部材２を搬送する搬送ベルト２６と、搬送ベルト２６が掛け渡された複数のプーリ２７と、複数のプーリ２７のうちの１つが出力軸に固定された駆動モータ（図示省略）とを備えている。
【００２９】
搬出機構９は、除塵装置１の左端側に配置されている。また、搬入機構８と同様に、搬出機構９は、前後方向の両端側に配置されている。この搬出機構９は、搬入機構８と同様に、平板状部材２の前端部側または後端部側の下面に当接して平板状部材２を搬送する搬送ベルト２８と、搬送ベルト２８が掛け渡された複数のプーリ２９と、複数のプーリ２９のうちの１つが出力軸に固定された駆動モータ（図示省略）とを備えている。
【００３０】
駆動機構１０は、除塵装置１の後面側に配置されている。この駆動機構１０は、図２に示すように、駆動モータ３０と、回転軸２２、２３の後端にそれぞれ固定された従動歯車３１、３２と、駆動モータ３０の出力軸に固定されるとともに、従動歯車３１、３２に噛み合う駆動歯車３３とを備えている。すなわち、駆動モータ３０の動力は、駆動歯車３３および従動歯車３１、３２を介して回転軸２２、２３に伝達される。
【００３１】
第１当接部１３は、除塵装置１の後面側に配置され、第２当接部１４は、除塵装置１の前面側に配置されている。また、左右方向では、第１当接部１３および第２当接部１４は、第１粘着ロール４および第２粘着ロール５の配置位置とほぼ同じ位置に配置されている。第１当接部１３は、複数の当接ローラ１２と、複数の当接ローラ１２を回転可能に保持するブロック状のローラ保持部材３５とを備えている。同様に、第２当接部１４は、複数の当接ローラ１２と、複数の当接ローラ１２を回転可能に保持するブロック状のローラ保持部材３６とを備えている。
【００３２】
複数の当接ローラ１２は、左右方向に隣接するように配置されている。また、当接ローラ１２は、上述のように、平板状部材２の下面に当接可能となっている。具体的には、第１当接部１３に設けられた当接ローラ１２は、平板状部材２の後端部側の下面に当接可能となっている。また、第２当接部１４に設けられた当接ローラ１２は、平板状部材２の前端部側の下面に当接可能となっている。この当接ローラ１２は、図示を省略する駆動モータに連結されており、平板状部材２の搬送方向に回転する。すなわち、当接ローラ１２は、図１における反時計方向に回転する。
【００３３】
第１当接部移動機構１５は、ローラ保持部材３５に連結されたエアシリンダ３７を備えている。すなわち、第１当接部１３は、エアシリンダ３７によって前後方向へ移動する。そのため、第１当接部１３の前後方向への移動量は一定である。たとえば、第１当接部１３の前後方向での移動量は１０ｍｍ程度である。
【００３４】
第２当接部移動機構１６は、ローラ保持部材３６に固定されたチェーン３８と、チェーン３８が掛け渡された一対のスプロケット３９（図３では、一方のスプロケット３９のみを図示）と、一方のスプロケット３９が出力軸に固定された駆動モータ４０と、第２当接部１４を前後方向へ案内する一対のガイドレール４１を備えている。駆動モータ４０は、たとえば、ステッピングモータである。本形態では、第２当接部１４は、駆動モータ４０によって前後方向へ移動するため、前後方向への第２当接部１４の移動量は任意に設定することが可能である。すなわち、前後方向への第２当接部１４の移動量は可変である。
【００３５】
平板状部材２の上下両面の塵埃３の除去を行う場合には、第１当接部１３および第２当接部１４は図３（Ａ）に示す状態となる。すなわち、この場合には、第１当接部１３が後面側へ退避するとともに、第２当接部１４は前面側に退避する。また、平板状部材２の上面のみの塵埃３の除去を行う場合、あるいは、平板状部材２の上下両面の塵埃３の除去を行わずに平板状部材２の搬送のみを行う場合には、第１当接部１３および第２当接部１４は図３（Ｂ）に示す状態となる。すなわち、この場合には、第１当接部１３が前面側へ移動するとともに、第２当接部１４が後面側に移動する。図３（Ｂ）に示すように、第１当接部１３が前面側へ移動するとともに、第２当接部１４が後面側に移動すると、当接ローラ１２は平板状部材２の下面に当接可能となり、当接ローラ１２による平板状部材２の搬送が可能になる。
【００３６】
なお、第２当接部移動機構１６は、チェーン３８およびスプロケット３９に代えて、ワイヤまたはベルトとプーリとを備えていても良い。また、第２当接部移動機構１６は、チェーン３８およびスプロケット３９に代えて、駆動モータ４０の出力軸に固定されたリードスクリューを備え、リードスクリューによって、第２当接部１４を移動させても良い。
【００３７】
第１粘着ロール４および第２粘着ロール５は、上下方向へスライドするように構成されている。本形態では、第１粘着ロール４は、第１粘着テープロール６と、第１連結部１７と、エアシリンダ１９と等から構成される第１ロール移動手段によって、上下方向へ移動するように構成されている。また、第２粘着ロール５は、第２粘着テープロール７と、第２連結部１８と、エアシリンダ２０と等から構成される第２ロール移動手段によって、上下方向へ移動するように構成されている。以下、第１ロール移動手段および第２ロール移動手段の詳細な構成を説明する。
【００３８】
（第１ロール移動手段、第２ロール移動手段の構成）
図７は、図１に示す除塵装置１において、平板状部材２の両面の塵埃３の除去が行われるときの除塵装置１の要部の概略構成を正面から説明するための図である。図８は、図１に示すフレーム４６に形成されたガイド溝４６ａを説明するための図である。
【００３９】
以下、図１、図２および図７、図８を用いて、第１粘着ロール４を上下方向へ移動させる第１ロール移動手段、および、第２粘着ロール５を上下方向へ移動させる第２ロール移動手段の構成を説明する。
【００４０】
上述のように、第１ロール移動手段は、第１粘着テープロール６と、第１連結部１７と、エアシリンダ１９とを備え、第２ロール移動手段は、第２粘着テープロール７と、第２連結部１８と、エアシリンダ２０とを備えている。また、図２に示すように、第１ロール移動手段および第２ロール移動手段は、前後方向の両面側に配置されている。
【００４１】
第１連結部１７は、第１粘着ロール４の回転軸２２の端部を回転可能に支持する軸受ブロック４２と、軸受ブロック４２に固定されたピン４３と、第１粘着テープロール６の回転軸２４の端部を回転可能に支持する軸受ブロック４４と、ピン４３が挿通される長孔４５ａが形成され軸受ブロック４４の下端側に固定されたガイド板４５とを備えている。また、軸受ブロック４２、４４は、除塵装置１のフレーム４６に形成されたガイド溝４６ａによって、上下方向へ案内されるように構成されている。
【００４２】
軸受ブロック４２は、左右方向に隣接して配置される２本の回転軸２２の端部を回転可能に支持している。ピン４３は、軸受ブロック４２から前後方向外側に突出するように軸受ブロック４２に固定されている。ガイド板４５に形成された長孔４５ａは、上下方向を長手方向として形成されており、長孔４５ａに挿通されたピン４３は、長孔４５ａ内で上下方向に相対移動可能となっている。
【００４３】
軸受ブロック４４には、エアシリンダ１９のロッドの先端が固定されている。具体的には、エアシリンダ１９のロッドの先端が下側を向いた状態で、軸受ブロック４４に、エアシリンダ１９のロッドが固定されている。また、軸受ブロック４４の左右方向の幅は、軸受ブロック４２の左右方向の幅よりも狭くなっている。
【００４４】
フレーム４６は、図２に示すように、除塵装置１の前面側および後面側の両面側に配置されている。ガイド溝４６ａは、下側に向かって開口する略Ｕ形状に形成されている。具体的には、ガイド溝４６ａは、図８に示すように、軸受ブロック４２の左右方向の幅に対応するように形成された第１溝部４６ｂと、軸受ブロック４４の左右方向の幅に対応するように形成された第２溝部４６ｃとから構成されている。第１溝部４６ｂは、軸受ブロック４２を上下方向へ案内し、第２溝部４６ｃは、軸受ブロック４４を上下方向へ案内する。また、第１溝部４６ｂと第２溝部４６ｃとの境界には段部４６ｄが形成されている。
【００４５】
図１に示すように、第１粘着ロール４が上昇している状態では、軸受ブロック４２が段部４６ｄに当接し、ピン４３が長孔４５ａの下端に当接している。また、２本の第１粘着ロール４と第１粘着シートロール６との間には隙間が形成されている。
【００４６】
この状態から第１粘着ロール４を下降させるときには、エアシリンダ１９のヘッド側に圧縮空気を供給して、エアシリンダ１９のロッドを下方向へ突出させる。エアシリンダ１９のロッドが下方向へ突出すると、軸受ブロック４４とともに第１粘着シートロール６が下降する。また、ピン４３が長孔４５ａの下端に当接した状態で、軸受ブロック４２とともに第１粘着ロール４が下降する。
【００４７】
第１粘着ロール４を下降させる際には、後述のように、第２粘着ロール５が上昇しているか、あるいは、図３（Ｂ）に示すように、第１当接部１３が前面側に移動し、第２当接部１４が後面側に移動している。そのため、下降していく第１粘着ロール４は、やがて、第２粘着ロール５あるいは当接ローラ１２に当接する。第１粘着ロール４が第２粘着ロール５あるいは当接ローラ１２に当接した後も、第１粘着シートロール６は、２本の第１粘着ロール４に当接するまで（すなわち、図７に示す状態まで）下降する。
【００４８】
第１粘着ロール４と第１粘着シートロール６とを下降させる際には、上下方向における第１粘着ロール４と第１粘着シートロール６との相対距離が変わるため、図７に示すように、ピン４３は、ガイド板４５に対して上側へ相対移動する。また、この際には、軸受ブロック４２が第１溝部４６ｂによって下方向に案内され、軸受ブロック４４が第２溝部４６ｃによって下方向に案内される。
【００４９】
なお、第１粘着シートロール６が第１粘着ロール４に当接した後も、エアシリンダ１９のヘッド側には圧縮空気が供給されている。そのため、第１粘着シートロール６は、所定の力で２本の第１粘着ロール４に当接している。
【００５０】
一方、図７に示す状態から第１粘着ロール４を上昇させるときには、エアシリンダ１９のロッド側に圧縮空気を供給して、エアシリンダ１９のロッドを引っ込める。エアシリンダ１９のロッドが引っ込むと、まず、軸受ブロック４４とともに第１粘着シートロール６のみが上昇する。やがて、ピン４３が長孔４５ａの下端に当接する。ピン４３が長孔４５ａの下端に当接すると、軸受ブロック４２が段部４６ｄに当接するまで、第１粘着シートロール６とともに第１粘着ロール４が上昇する。
【００５１】
第２連結部１８も、第１連結部１７と同様に構成されている。すなわち、第２連結部１８は、軸受ブロック４２、ピン４３、軸受ブロック４４およびガイド板４５のそれぞれに相当する軸受ブロック４７と、ピン４８と、軸受ブロック４９と、ガイド板５０とを備えている。
【００５２】
具体的には、第２連結部１８は、２本の回転軸２３の端部を回転可能に支持する軸受ブロック４７と、軸受ブロック４７から前後方向外側に突出するように軸受ブロック４７に固定されたピン４８と、第２粘着テープロール７の回転軸２５の端部を回転可能に支持する軸受ブロック４９と、長孔４５ａに相当する長孔５０ａが形成され軸受ブロック４９の上端側に固定されたガイド板５０とを備えている。なお、軸受ブロック４９には、エアシリンダ２０のロッドの先端が上側を向いた状態で、エアシリンダ２０のロッドの先端が固定されている。
【００５３】
軸受ブロック４７、４９は、除塵装置１のフレーム５１に形成されたガイド溝５１ａによって、上下方向へ案内されるように構成されている。フレーム４６と同様に、フレーム５１は、除塵装置１の前面側および後面側の両面側に配置されている。ガイド溝５１ａは、上側に向かって開口する略Ｕ形状に形成されている。具体的には、ガイド溝５１ａは、ガイド溝４６ａと同様に形成されている。すなわち、ガイド溝５１ａは、第１溝部４６ｂに相当する第１溝部５１ｂと、第２溝部４６ｃに相当する第２溝部５１ｃとから構成されている。また、第１溝部５１ｂと第２溝部５１ｃとの境界には段部５１ｄが形成されている。
【００５４】
また、フレーム５１には、図示を省略するストッパ部材が形成されている。このストッパ部材は、軸受ブロック４７が下側から当接可能となる位置に配置されている。具体的には、上下方向において、搬送ベルト２６、２８と平板状部材２との当接部分と第２粘着ロール５の上端とがほぼ同じになる位置で軸受ブロック４７が下側から当接可能となる位置にストッパ部材が配置されている。
【００５５】
図１に示すように、第２粘着ロール５が下降している状態では、軸受ブロック４７が段部５１ｄに当接し、ピン４８が長孔５０ａの上端に当接している。また、２本の第２粘着ロール５と第２粘着シートロール７との間には隙間が形成されている。
【００５６】
この状態から第２粘着ロール５を上昇させるときには、エアシリンダ２０のヘッド側に圧縮空気を供給して、エアシリンダ２０のロッドを上方向へ突出させる。エアシリンダ２０のロッドが突出すると、軸受ブロック４９とともに第２粘着シートロール７が上昇し、やがて、２本の第２粘着ロール５に当接する。第２粘着シートロール７が２本の第２粘着ロール５に当接すると、フレーム５１に形成されたストッパに軸受ブロック４７が下側から当接するまで（すなわち、図７に示す状態まで）、第２粘着シートロール７とともに２本の第２粘着ロール５が上昇する。
【００５７】
第２粘着ロール５と第２粘着シートロール７とを上昇させる際には、上下方向における第２粘着ロール５と第２粘着シートロール７との相対距離が変わるため、図７に示すように、ピン４８は、ガイド板５０に対して下側へ相対移動する。また、この際には、軸受ブロック４７が第１溝部５１ｂによって上方向に案内され、軸受ブロック４９が第２溝部５１ｃによって上方向に案内される。
【００５８】
なお、フレーム５１に形成されたストッパに軸受ブロック４７が当接した後も、エアシリンダ２０のヘッド側には圧縮空気が供給されている。そのため、第２粘着シートロール７は、所定の力で２本の第２粘着ロール５に当接している。
【００５９】
一方、図７に示す状態から第２粘着ロール５を下降させるときには、エアシリンダ２０のロッド側に圧縮空気を供給して、エアシリンダ２０のロッドを引っ込める。エアシリンダ２０のロッドが引っ込むと、まず、軸受ブロック４９とともに第２粘着シートロール７および第２粘着シートロール７に当接する第２粘着ロール５が下降する。やがて、軸受ブロック４７が段部５１ｄに当接する。軸受ブロック４７が段部５１ｄに当接すると、第２粘着ロール５は停止し、ピン４８が長孔５０ａの上端に当接するまで、第２粘着シートロール７のみが下降する。
【００６０】
（除塵装置の使用態様）
以上のように構成された除塵装置１の使用態様を図１、図３〜図７を用いて説明する。
【００６１】
平板状部材２の上下両面に電子部品等が実装されておらず、平板状部材２の両面に付着した塵埃３の除去を行うときには、図４に示すように、第１粘着ロール４と第１粘着シートロール６とを下降させた状態にするとともに、第２粘着ロール５と第２粘着シートロール７とを上昇させた状態にする。
【００６２】
具体的には、図３（Ａ）に示すように、第１当接部１３を後面側へ退避させるとともに、第２当接部１４を前面側に退避させる。また、上述のように、第２粘着ロール５と第２粘着シートロール７とを上昇させ、第１粘着ロール４と第１粘着シートロール６とを下降させる。
【００６３】
その後、搬入機構８および搬出機構９を起動する。また、駆動モータ３０を起動して、第１粘着ロール４と第２粘着ロール５とを回転させ、第１粘着ロール４と第２粘着ロール５との間を平板状部材２を通過させる。第１粘着ロール４と第２粘着ロール５との間を平板状部材２が通過すると、図４に示すように、平板状部材２の両面に付着した塵埃３が第１粘着ロール４、第２粘着ロール５に吸着されて平板状部材２の両面から除去される。
【００６４】
また、第１粘着シートロール６は、所定の力で第１粘着ロール４に当接し、第２粘着シートロール７は、所定の力で第２粘着ロール５に当接しているため、第１粘着ロール４、第２粘着ロール５の回転に伴って、第１粘着シートロール６、第２粘着シートロール７も回転する。第１粘着シートロール６、第２粘着シートロール７が回転すると、第１粘着ロール４、第２粘着ロール５に付着した塵埃３が第１粘着シートロール６、第２粘着シートロール７によって取り除かれる。
【００６５】
ここで、本形態では、２本の第２粘着ロール５への第２粘着シートロール７の当接力が、２本の第１粘着ロール４への第１粘着シートロール６の当接力よりも大きくなるように、エアシリンダ１９のヘッド側に供給される圧縮空気の圧力およびエアシリンダ２０のヘッド側に供給される圧縮空気の圧力が調整されている。また、第１粘着ロール４と第２粘着ロール５との間を平板状部材２が通過する際に、第２粘着ロール５が動かず（すなわち、フレーム５１に形成されたストッパに軸受ブロック４７が当接した状態が維持され）、かつ、第１粘着ロール４が平板状部材２の厚さに応じて上方向に移動するように、エアシリンダ１９のヘッド側に供給される圧縮空気の圧力およびエアシリンダ２０のヘッド側に供給される圧縮空気の圧力が調整されている。
【００６６】
なお、第１粘着ロール４、第２粘着ロール５、第１粘着シートロール６および第２粘着シートロール７の自重、第１粘着ロール４、第２粘着ロール５による平板状部材２の表面の除塵能力、第１粘着ロール４や第２粘着ロール５等の除塵装置１の各部品にかかる負荷および平板状部材２にかかる負荷等を考慮すると、２本の第１粘着ロール４への第１粘着シートロール６の当接力と、２本の第２粘着ロール５への第２粘着シートロール７の当接力との比率は、１：４であることが好ましい。
【００６７】
また、平板状部材２の片面に電子部品等が実装されており、平板状部材２の他の片面に付着した塵埃３の除去を行うときには、図５に示すように、第１粘着ロール４と第１粘着シートロール６とを下降させた状態にするとともに、第２粘着ロール５と第２粘着シートロール７とを下降させた状態にする。すなわち、第２粘着ロール５と第２粘着シートロール７とを退避させる。
【００６８】
具体的には、上述のように、第２粘着ロール５と第２粘着シートロール７とを下降させる。また、図３（Ｂ）に示すように、第１当接部１３を前面側へ移動させるとともに、第２当接部１４を後面側に移動させて、当接ローラ１２に平板状部材２の下面が当接可能な状態とする。また、上述のように、第１粘着ロール４と第１粘着シートロール６とを下降させる。
【００６９】
その後、搬入機構８、搬出機構９を起動する。また、当接ローラ１２が連結された駆動モータを起動し、当接ローラ１２を回転させる。さらに、駆動モータ３０を起動して、第１粘着ロール４を回転させ、電子部品等が実装された実装面を下側に向けた状態で、第１粘着ロール４の下側を平板状部材２を通過させる。第１粘着ロール４の下側を平板状部材２が通過する際には、平板状部材２の前後両端部側の下面に当接ローラ１２が当接して平板状部材２が下側から支持されているため、第１粘着ロール４と平板状部材２の上面とが密着する。したがって、図５に示すように、平板状部材２の上面に付着した塵埃３が第１粘着ロール４に吸着されて平板状部材２の上面から除去される。
【００７０】
その際には、第１粘着ロール４の回転に伴って、第１粘着シートロール６も回転して、第１粘着ロール４に付着した塵埃３が第１粘着シートロール６によって取り除かれる。また、エアシリンダ１９のヘッド側に供給される圧縮空気の圧力は、平板状部材２の両面に付着した塵埃３の除去を行うときと同様に設定されているため、平板状部材２の厚さに応じて第１粘着ロール４は上方向に移動する。
【００７１】
さらに、平板状部材２の両面に電子部品等が実装されており、平板状部材２の上下両面の塵埃３の除去を行わずに平板状部材２の搬送のみを行うときには、図６に示すように、第１粘着ロール４と第１粘着シートロール６とを上昇させた状態にするとともに、第２粘着ロール５と第２粘着シートロール７とを下降させた状態にする。すなわち、第１粘着ロール４、第１粘着シートロール６、第２粘着ロール５および第２粘着シートロール７を退避させる。
【００７２】
具体的には、上述のように、第２粘着ロール５と第２粘着シートロール７とを下降させ、第１粘着ロール４と第１粘着シートロール６とを上昇させる。また、図３（Ｂ）に示すように、第１当接部１３を前面側へ移動させるとともに、第２当接部１４を後面側に移動させる。
【００７３】
その後、搬入機構８および搬出機構９を起動する。また、当接ローラ１２が連結された駆動モータを起動し、当接ローラ１２を回転させて、平板状部材２の上下両面の塵埃３の除去を行わずに平板状部材２の搬送のみを行う。
【００７４】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態の除塵装置１は、第１粘着テープロール６と第１連結部１７とエアシリンダ１９と等から構成され第１粘着ロール４を上下方向へ移動させる第１ロール移動手段と、第２粘着テープロール７と第２連結部１８とエアシリンダ２０と等から構成され第２粘着ロール５を上下方向へ移動させる第２ロール移動手段とを備えている。また、除塵装置１は、平板状部材２の下面に当接可能な当接ローラ１２を有する第１当接部１３および第２当接部１４と、第１当接部１３、第２当接部１４をそれぞれ前後方向へ移動させる第１当接部移動機構１５および第２当接部移動機構１６とを備えている。
【００７５】
そのため、図４に示すように、第１当接部１３および第２当接部１４を退避させるとともに、第１粘着ロール４と第２粘着ロール５とを用いることで、平板状部材２の上下両面の塵埃３を除去することができる。また、図５に示すように、第２粘着ロール５を下降（退避）させるとともに、第１粘着ロール４と当接ローラ１２とを用いることで、第１粘着ロール４と平板状部材２の上面とを密着させて、平板状部材２の上面のみの塵埃３を除去することができる。さらに、図６に示すように、第１粘着ロール４を上昇（退避）させ、第２粘着ロール５を下降（退避）させるとともに、当接ローラ１２を用いることで、平板状部材２の搬送のみを行うことができる。このように、本形態の除塵装置１では、電子部品等の実装状態等に応じて平板状部材２が多様化する場合であっても、多様化する平板状部材２の塵埃３を除去するに際して、柔軟な対応が可能になる。また、本形態の除塵装置１を用いると、多様化する製造工程に柔軟に対応することが可能になる。
【００７６】
特に、本形態の除塵装置１は、平板状部材２の下面に当接可能な当接部材としての当接ローラ１２を備えている。そのため、平板状部材２の上面のみの塵埃３を除去する場合、あるいは、平板状部材２の搬送のみを行う場合に、当接ローラ１２によって平板状部材２を搬送方向へ適切に搬送することができる。
【００７７】
本形態では、第１当接部１３に設けられた当接ローラ１２は、平板状部材２の後端部側の下面に当接可能であり、第２当接部１４に設けられた当接ローラ１２は、平板状部材２の前端部側の下面に当接可能である。そのため、第１当接部１３と第２当接部１４とによって、前後方向における平板状部材２の両端側を支持することができる。したがって、平板状部材２の上面のみの塵埃３を除去する場合には、平板状部材２を下側から確実に支持して、第１粘着ロール４と平板状部材２の上面とを適切に密着させることができる。また、平板状部材２の搬送のみを行う場合には、平板状部材２を適切に搬送することができる。さらに、平板状部材２の下面に電子部品等が実装されている場合には、当接ローラ１２と電子部品等との接触を防止することができる。
【００７８】
本形態では、前後方向への第１当接部１３の移動量が一定であり、前後方向への第２当接部１４の移動量が可変である。そのため、当接ローラ１２を使用する際に、移動量が一定である第１当接部１３側を基準側とすることができる。したがって、たとえば、前後方向における平板状部材２の幅が変動する場合であっても、前後方向における第１当接部１３および第２当接部１４の位置出しが容易になる。
【００７９】
本形態では、平板状部材２の一方の表面のみの塵埃３を除去する場合には、第１粘着ロール４が平板状部材２の上面に当接し、当接ローラ１２が平板状部材２に下面に当接する。そのため、塵埃３の除去が行われない平板状部材２の他方の表面を下側へ向けることができる。したがって、平板状部材２の一方の表面の塵埃３を除去する際に、塵埃３の除去が行われない平板状部材２の他方の表面に塵埃３が付着するのを抑制することができる。
【００８０】
本形態では、第１粘着ロール４を上下方向へ移動させる第１ロール移動手段が、第１粘着テープロール６と第１連結部１７とエアシリンダ１９と等から構成され、第２粘着ロール５を上下方向へ移動させる第２ロール移動手段が、第２粘着テープロール７と第２連結部１８とエアシリンダ２０と等から構成されている。そのため、第１粘着テープロール６を移動させるエアシリンダ１９によって第１粘着ロール４を移動させ、第２粘着テープロール７を移動させるエアシリンダ２０によって第２粘着ロール５を移動させることができる。したがって、第１粘着テープロール６を移動させる機構と第１粘着ロール４を移動させる機構とを別個に設ける必要がなくなる。また、第２粘着テープロール７を移動させる機構と第２粘着ロール５を移動させる機構とを別個に設ける必要がなくなる。その結果、除塵装置１の構成を簡素化することができる。
【００８１】
（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。たとえば、上述した形態では、第１粘着ロール４と第２粘着ロール５とが上下方向で対向するように配置されているが、第１粘着ロール４と第２粘着ロール５とが前後方向で対向するように配置されても良い。
【００８２】
上述した形態では、除塵装置１は、平板状部材２の後端部側の下面に当接する当接ローラ１２を有する第１当接部１３と、平板状部材２の前端部側の下面に当接する当接ローラ１２を有する第２当接部１４との２つの当接部を備えている。この他にもたとえば、除塵装置１は、前後方向における平板状部材２の中心部分の下面の２箇所にそれぞれ当接する２つの当接部を備えていても良い。また、除塵装置１は、１つのみの当接部を備えていても良いし、３つ以上の当接部を備えていても良い。
【００８３】
また、除塵装置１は、第１当接部１３および第２当接部１４を備えていなくても良い。この場合には、搬入機構８、搬出機構９のそれぞれを左右方向に移動させる移動機構を設け、平板状部材２の上面のみの塵埃３の除去を行うとき、あるいは、平板状部材２の搬送のみを行うときに、搬入機構８および／または搬出機構９を第１粘着ローラ４の下側まで移動させれば良い。なお、この場合には、搬送ベルト２６および／または搬送ベルト２８は、平板状部材２の下面に当接する当接部材となり、搬入機構８および／または搬出機構９は、当接部材を有する当接部となる。また、搬入機構８、搬出機構９のそれぞれを左右方向に移動させる移動機構は、当接部を移動させる当接部移動機構となる。
【００８４】
上述した形態では、当接ローラ１２は、図示を省略する駆動モータに連結されている。この他にもたとえば、当接ローラ１２は、駆動モータに連結されずに、搬入機構８や搬出機構９で搬送される平板状部材２に追従して、平板状部材２の搬送方向に回転する従動ローラであっても良い。また、上述した形態では、平板状部材２の下面に当接可能な当接部材は当接ローラ１２である。この他にもたとえば、当接部材は、複数のプーリに掛け渡され、平板状部材２の搬送方向へ移動可能な搬送ベルトであっても良い。また、当接部材は、平板状部材２の下面に当接可能な突起状の固定部材やブロック状の固定部材であっても良い。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】本発明の実施の形態にかかる除塵装置の概略構成を正面から説明するための図である。
【図２】図１のＥ−Ｅ断面の概略構成を説明するための図である。
【図３】図１のＦ−Ｆ方向から除塵装置の概略構成を説明するための図であり、（Ａ）は平板状部材の両面の塵埃の除去が行われるときの状態を示し、（Ｂ）は平板状部材の上面のみの塵埃の除去が行われるときの状態あるいは平板状部材の両面の塵埃の除去が行われず搬送のみが行われるときの状態を示す。
【図４】図１に示す除塵装置において、平板状部材の両面の塵埃の除去が行われるときの状態を示す概念図である。
【図５】図１に示す除塵装置において、平板状部材の上面のみの塵埃の除去が行われるときの状態を示す概念図である。
【図６】図１に示す除塵装置において、平板状部材の両面の塵埃の除去が行われず搬送のみが行われるときの状態を示す概念図である。
【図７】図１に示す除塵装置において、平板状部材の両面の塵埃の除去が行われるときの除塵装置の要部の概略構成を正面から説明するための図である。
【図８】図１に示すフレームに形成されたガイド溝を説明するための図である。
【符号の説明】
【００８６】
１  除塵装置
２  平板状部材
３  塵埃
４  第１粘着ロール
５  第２粘着ロール
６  第１粘着テープロール（第１ロール移動手段の一部）
７  第２粘着テープロール（第２ロール移動手段の一部）
１２  当接ローラ（当接部材）
１３  第１当接部（当接部）
１４  第２当接部（当接部）
１５  第１当接部移動機構（第１当接部移動手段、当接部移動手段）
１６  第２当接部移動機構（第２当接部移動手段、当接部移動手段）
１７  第１連結部（第１ロール移動手段の一部）
１８  第２連結部（第２ロール移動手段の一部）
１９  エアシリンダ（第１移動機構、第１ロール移動手段の一部）
２０  エアシリンダ（第２移動機構、第２ロール移動手段の一部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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