(57)【要約】【課題】複数の基板が棚状に保持される保持具から保持アームにより基板を取り出すときに、この保持アームと基板との接触を防止すること。【解決手段】検査ユニット６に、水平な光軸Ｌを形成する光センサ６２を、ウエハ搬送機構４の搬送基体５に対して相対的に昇降させたときに、フォーク４１の周端面が前記光軸Ｌを横切る位置に設ける。キャリアＣからウエハＷを取り出す前に、前記フォーク４１を検査ユニット６１に挿入し、搬送基体５を光センサ６２に対して相対的に昇降させて、前記光センサ６２からの受光ー非受光の検出結果を取得する。この検出結果と、前記搬送基体５の高さ位置とに基づいて、前記フォーク４１の水平面に対する姿勢が正常であるか否かを判断し、フォーク４１の姿勢が異常であると判断されたときに、前記キャリアＣから次のウエハＷの取り出しを行う前に前記ウエハ搬送機構４を停止する。【選択図】図５
2008235841.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送基体に略水平な保持アームを進退自在に設けて構成した基板搬送手段を用い、複数の基板が棚状に保持される保持具から基板を取り出す基板移載装置において、
水平な光軸を形成し、前記搬送基体に対して相対的に昇降させたときに、保持アームの周端面が前記光軸を横切る位置に設けられた光センサと、
前記搬送基体を前記光センサに対して相対的に昇降させる昇降手段と、
前記光軸に対する前記搬送基体の高さ位置を検出する高さ位置検出手段と、
前記保持アームが基板を保持していない状態で、搬送基体を光センサに対して相対的に昇降させることにより取得した前記光センサからの受光ー非受光の検出結果と、前記搬送基体の高さ位置とに基づいて、前記保持アームの水平面に対する前後の姿勢が正常であるか否かを判断する判断手段と、
この判断手段により保持アームの姿勢が異常であると判断されたときに、前記保持具から次の基板の取り出しを行う前に前記基板搬送手段を停止するように制御する手段とを備えたことを特徴とする基板移載装置。
【請求項２】
前記搬送基体には、各々基板を保持するための略水平な複数の保持アームが互いに独立して、あるいは一括して進退できるように積層して設けられていることを特徴とする請求項１記載の基板移載装置。
【請求項３】
複数の保持アームが共通の光センサの光軸を横切るように前記搬送基体を昇降させ、前記判断手段は前記複数の保持アームの各々について、前記姿勢が正常であるか否かを判断することを特徴とする請求項２記載の基板移載装置。
【請求項４】
前記搬送基体に、各々基板を保持するための略水平な複数の保持アームが互いに独立して積層して設けられた基板搬送手段において、一の保持アームの前記姿勢が異常であると判断されたときに、他の保持アームにより前記保持具から次の基板の取り出しを行うように前記基板搬送手段を制御する手段を備えたことを特徴とする請求項２又は３記載の基板移載装置。
【請求項５】
前記判断手段は、前記搬送基体の高さ位置と、前記光センサからの受光-非受光の検出結果とに基づいて、更に前記保持アームの進退軸周りの姿勢が正常であるか否かを判断することを特徴とする請求項１ないし４のいずれか一に記載の基板移載装置。
【請求項６】
前記光センサは距離センサであり、前記判断手段は、前記搬送基体の高さ位置と、前記距離センサと検査対象の保持アームとの距離の検出結果とに基づいて、更に前記保持アームの左右方向の姿勢が正常であるか否かを判断することを特徴とする請求項１ないし４のいずれか一に記載の基板移載装置。
【請求項７】
搬送基体に略水平な保持アームを進退自在に設けて構成した基板搬送手段を用い、複数の基板が棚状に保持される保持具から基板を取り出す基板移載方法において、
前記基板搬送手段により前記保持具から次の基板を取り出す前に、前記保持アームが基板を保持していない状態で、前記搬送基体を水平な光軸を有する光センサに対して相対的に昇降させ、前記光軸に対する前記搬送基体の高さ位置と、前記光センサからの受光-非受光の検出結果とを取得する工程と、
前記取得した前記光センサの検出結果と前記搬送基体の高さ位置とに基づいて、前記保持アームの水平面に対する前後の姿勢が正常であるか否かを判断する工程と、
前記保持アームの姿勢が異常であると判断されたときに、前記保持具から次の基板の取り出しを行う前に当該基板搬送手段を停止するように制御する工程と、を含むことを特徴とする基板移載方法。
【請求項８】
前記搬送基体の高さ位置と、前記光センサからの受光-非受光の検出結果とに基づいて、更に前記保持アームの進退軸周りの姿勢が正常であるか否かを判断する工程を含むことを特徴とする請求項７記載の基板移載方法。
【請求項９】
前記光センサは距離センサであり、前記搬送基体の高さ位置と、前記距離センサからの検出結果とに基づいて、更に前記保持アームの左右方向の姿勢が正常であるか否かを判断する工程を含むことを特徴とする請求項７記載の基板移載方法。
【請求項１０】
搬送基体に略水平な保持アームを進退自在に設けて構成した基板搬送手段を用い、複数の基板が棚状に保持される保持具から基板を取り出す基板移載装置に用いられ、コンピュータ上で動作するコンピュータプログラムを格納した記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、請求項７ないし９記載の基板移載方法を実施するようにステップが組まれていることを特徴とする記憶媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体ウエハ等の基板を基板保持具に搭載して所定の処理例えば熱処理を行う基板移載装置において、基板を棚状に保持する保持具から基板搬送手段により基板を取り出す技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置の一つとして、多数の半導体ウエハ（以下「ウエハ」という）に対して一括（バッチ）で熱処理を行う熱処理装置がある。この熱処理装置は、例えば図１６に示すように、複数枚のウエハ１を収納したキャリア１０が外部に対して搬入出される搬入出領域を備え、自動搬送ロボット又はオペレータにより、前記キャリア１０が前記搬入出領域に搬入される。そして移載装置１１により、前記キャリア１０内のウエハ１を、多数枚のウエハ１が棚状に保持されるウエハボート１２に移載して、当該ウエハボート１２を図示しない熱処理炉に搬入することにより、多数枚のウエハ１に対して同時に所定の熱処理が行われるように構成されている。
【０００３】
前記移載装置１１は、昇降自在、略鉛直軸まわりに回転自在、略水平方向に移動自在に構成された基台１４と、この基台１４に沿って進退自在に構成された、多数枚例えば５枚のウエハ１を保持するためのフォーク１３とを備えており、例えば５枚のフォーク１３により、キャリア１０内とウエハボート１２との間で、５枚のウエハ１を一括して搬送し、移載するようになっている。この際、例えばキャリア１０やウエハボート１２においては、ウエハ１は、上下に隣接するウエハ同士の間に所定間隔を空けた状態で、図示しない保持部にてその周縁部を保持されており、例えば５枚のフォーク１３の夫々を、キャリア１０やウエハボート１２に保持されているウエハ１の下方側の空間に差込み、次いで夫々のフォーク１３を上昇させ、前記保持部からウエハ１を浮上させて各々のフォーク１３上にウエハ１を受け取り、続いてフォーク１３を退行させることによって、前記キャリア１０やウエハボート１２からウエハ１を受け取るようになっている。そしてこの後移載装置１１によりウエハ１が移載しようとする対象に向けて搬送される。
【０００４】
ところで前記フォーク１３においては、その基端側がネジ止めされた状態で進退部１５に保持されているが、長期に亘り使用し続けたり、前記ネジ止めの調整ミス等によって、図１７に４番目のフォーク１３にて示すように、フォーク１３が水平面に対して平行にならずに、フォーク１３の先端が基準位置から上下方向に傾いてしまったり、フォーク１３自体に反りが発生して、このフォーク１３の先端が基準位置から上下方向に傾いてしまうことがある。
【０００５】
ここでキャリア１０やウエハボート１２におけるウエハ１同士の間の距離は約６ｍｍ〜１２ｍｍ程度であるので、このようにフォーク１３の先端が上下方向に傾くと、前記キャリア１０やウエハボート１２からウエハ１を受け取る際に、ウエハ１とフォーク１３とが接触し、これによってウエハ１表面に傷が形成されたり、フォーク１３との接触によりウエハ１表面が削られ、これがパーティクルの発生要因になることが知られている。
【０００６】
このため従来からウエハ１に対して、表面の傷やパーティクル付着の有無等の表面欠陥を検査することが行なわれているが、従来ではこのようなウエハ１の表面欠陥を検査する検査装置は熱処理炉とは別個の領域に設けられており、ウエハ１に対して所定の熱処理を行ない、このウエハ１をキャリア１０内に戻した後、このキャリア１０を検査装置に搬送し、キャリア１０内に含まれる検査用のウエハに対して所定の検査を行っていた。
【０００７】
そしてこの検査工程でウエハ１表面に傷やパーティクル付着等の欠陥が発見されたときには、この時点にて装置を緊急停止し、これらがフォーク１３の上下方向の傾きに由来するフォーク１３とウエハとの接触に起因するものであるかどうかを確認して、その場合には、フォーク１３の位置調整やメンテナンスを行なっていた。
【０００８】
しかしながら、このようにウエハ１に対して熱処理後に検査を行なうようにすると、表面欠陥が発見されたときには、熱処理炉では、既に検査されたウエハ１のロットのみならず、次のロットのウエハに対しても処理が行われている。このため、装置を緊急に停止し、フォーク１３の位置調整やメンテナンスを行なったとしても、その前に多量のウエハに対して表面欠陥が発生し、歩留まりが低下してしまうという問題があった。また装置を緊急停止して、フォーク１３のメンテナンスを行うと、このメンテナンスに要する時間は装置を稼働させることができず、装置稼働率が低下してしまうので、この点も生産性の悪化の要因となっていた。
【０００９】
また近年では、１バッチの処理枚数を増やして処理効率を高めるために、ウエハボート１２上のウエハの配列間隔が更に狭くなる傾向があり、またウエハがますます大口径化する傾向にあることから、これに伴い、フォーク１３の基端側から先端までの寸法が長くなり、さらにフォーク１３の水平面に対する傾きが大きくなることが懸念され、このような問題が顕在化してきている。
【００１０】
このため本発明者らは、キャリア１０からウエハ１を受け取る前に、フォーク１３の上下方向の傾きを検査して、事前に位置調整を行なうことにより、フォーク１３とキャリア１０内のウエハ１との接触を抑え、ウエハ１の表面欠陥の発生を防止することを検討している。ここでフォークの上下方向の傾きを検出する技術としては、特許文献１の構成が提案されている。
【００１１】
この特許文献１は、ロードロックチャンバの下壁部に光センサを取り付け、この光センサによりウエハ搬送ロボットのブレードまでの垂直方向の距離を計測し、前記ブレードの前垂れの度合いを計測する技術を提案するものである。しかしながらこの特許文献１の構成では、光センサの光軸は垂直方向に形成されているので、１枚のフォークに対してしか測定を行うことができず、例えば５枚のフォークを一括して進退させるタイプの移載装置においては、全てのフォークの上下方向の傾きを検査することはできないため、本発明の課題の解決を図ることはできない。
【００１２】
一方、特許文献２には、ウエハカセット内におけるウエハの位置ずれを反射型フォトセンサにより検出し、この検出値に基づいてロボットハンドを制御し、ウエハカセット内におけるウエハとロボットハンドとの接触を防止する技術が提案されている。しかしながら、この技術はウエハカセット内のウエハの位置ずれを問題としており、キャリアからウエハを受け取る前に、フォークの上下方向の傾きを検査して、位置調整を行うという本発明の課題には着目しておらず、本発明の課題の解決を図ることはできない。
【００１３】
【特許文献１】特開２００５−５１１７１号公報（請求項１、図５）
【特許文献２】特開２０００−１２４２９０号公報（請求項１、図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
本発明は、このような事情の下になされたものであり、その目的は、複数の基板が棚状に保持される保持具から保持アームにより基板を取り出すときに、この保持アームと基板との接触を防止することができる技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
このため本発明は、搬送基体に略水平な保持アームを進退自在に設けて構成した基板搬送手段を用い、複数の基板が棚状に保持される保持具から基板を取り出す基板移載装置において、
水平な光軸を形成し、前記搬送基体に対して相対的に昇降させたときに、保持アームの周端面が前記光軸を横切る位置に設けられた光センサと、
前記搬送基体を前記光センサに対して相対的に昇降させる昇降手段と、
前記光軸に対する前記搬送基体の高さ位置を検出する高さ位置検出手段と、
前記保持アームが基板を保持していない状態で、搬送基体を光センサに対して相対的に昇降させることにより取得した前記光センサからの受光ー非受光の検出結果と、前記搬送基体の高さ位置とに基づいて、前記保持アームの水平面に対する前後の姿勢が正常であるか否かを判断する判断手段と、
この判断手段により保持アームの姿勢が異常であると判断されたときに、前記保持具から次の基板の取り出しを行う前に前記基板搬送手段を停止するように制御する手段とを備えたことを特徴とする。
【００１６】
前記搬送基体には、各々基板を保持するための略水平な複数の保持アームが互いに独立して、あるいは一括して進退できるように積層して設けられている基板搬送手段に対しては、複数の保持アームが共通の光センサの光軸を横切るように前記搬送基体を昇降させ、前記判断手段は前記複数の保持アームの各々について、前記姿勢が正常であるか否かを判断するように構成してもよい。
【００１７】
前記搬送基体に、各々基板を保持するための略水平な複数の保持アームが互いに独立して積層して設けられた基板搬送手段において、一の保持アームの前記姿勢が異常であると判断されたときに、他の保持アームにより前記保持具から次の基板の取り出しを行うように前記基板搬送手段を制御する手段を備えるように構成してもよい。
【００１８】
前記判断手段は、前記搬送基体の高さ位置と、前記光センサからの受光-非受光の検出結果とに基づいて、更に前記保持アームの進退軸周りの姿勢が正常であるか否かを判断するものであってもよい。また前記光センサとして距離センサを用い、前記判断手段は、前記搬送基体の高さ位置と、前記距離センサと検査対象の保持アームとの間の距離の検出結果とに基づいて、更に前記保持アームの左右方向の姿勢が正常であるか否かを判断するものであってもよい。
【００１９】
本発明の基板移載方法は、搬送基体に略水平な保持アームを進退自在に設けて構成した基板搬送手段を用い、複数の基板が棚状に保持される保持具から基板を取り出す基板移載方法において、
前記基板搬送手段により前記保持具から次の基板を取り出す前に、前記搬送基体を水平な光軸を有する光センサに対して相対的に昇降させたときに、保持アームの周端面が前記光軸を横切る位置に前記保持アームを位置させる工程と、
前記保持アームが基板を保持していない状態で、前記搬送基体を前記光センサに対して相対的に昇降させ、前記光軸に対する前記搬送基体の高さ位置と、前記光センサからの受光-非受光の検出結果とを取得する工程と、
前記取得した前記光センサの検出結果と前記搬送基体の高さ位置とに基づいて、前記保持アームの水平面に対する前後の姿勢が正常であるか否かを判断する工程と、
前記保持アームの姿勢が異常であると判断されたときに、前記保持具から次の基板の取り出しを行う前に当該基板搬送手段を停止するように制御する工程と、を含むことを特徴とする。
【００２０】
さらに本発明は、前記搬送基体の高さ位置と、前記光センサからの受光-非受光の検出結果とに基づいて、更に前記保持アームの進退軸周りの姿勢が正常であるか否かを判断する工程を含むものであってもよい。また前記光センサとして距離センサを用いる場合に、前記搬送基体の高さ位置と、前記距離センサからの検出結果とに基づいて、更に前記保持アームの左右方向の姿勢が正常であるか否かを判断する工程を含むようにしてもよい。
【００２１】
本発明の記憶媒体は、搬送基体に略水平な保持アームを進退自在に設けて構成した基板搬送手段を用い、複数の基板が棚状に保持される保持具から基板を取り出す基板移載装置に用いられ、コンピュータ上で動作するコンピュータプログラムを格納した記憶媒体であって、前記コンピュータプログラムは、前記基板移載方法を実施するようにステップが組まれていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、複数の基板が棚状に保持される保持具から保持アームにより基板を取り出す前に、保持アームの水平面に対する前後の姿勢が正常であるか否かを検査しているので、この保持アームと基板との接触を防止することができる。これにより保持アームと基板との接触に起因する基板の表面欠陥の発生を防ぐことができるので、製品の歩留まりが向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下に本発明に係る基板移載装置を、縦型熱処理装置に適用した実施の形態について説明する。図１は縦型熱処理装置の概観を示す斜視図、図２及び図３は夫々縦型熱処理装置の内部を示す縦断側面図及び概略平面図である。図中２は装置の外装体を構成する筐体であり、この筐体２内には、基板であるウエハＷを収納した保持具であるキャリアＣが装置に対して搬入、搬出されるための搬入搬出領域Ｓ１と、キャリアＣ内のウエハを搬送して後述の熱処理炉内に搬入するための移載領域であるローディングエリアＳ２とが設けられている。搬入搬出領域Ｓ１とローディングエリアＳ２とは隔壁２１により仕切られており、搬入搬出領域Ｓ１は大気雰囲気とされ、ローディングエリアＳ２は不活性ガス雰囲気例えば窒素（Ｎ２）ガス雰囲気又は清浄乾燥気体（パーティクル及び有機成分が少なく、露点−６０℃以下の空気）とされている。
【００２４】
前記搬入搬出領域Ｓ１は、装置の正面側から見て手前側に位置する第１の領域２２と、奥側に位置する第２の領域２３とからなる。第１の領域２２には、例えば２個のキャリアＣを載置するための第１の載置台２４が設けられている。キャリアＣとしては、基板である例えば直径３００ｍｍのウエハＷが複数枚例えば２５枚棚状に所定の配列間隔で配列されて収納され、前面の図示しない取り出し口が蓋体により塞がれた例えば樹脂からなる密閉型のキャリアＣが用いられる。    搬入搬出領域Ｓ１における第２の領域２３には第２の載置台２５が配置されている。また第２の領域２３の上部側にはキャリアＣを保管するキャリア保管部２６が設けられると共に、キャリアＣを第１の載置台２４、第２の載置台２５並びにキャリア保管部２６の間で搬送するキャリア搬送機構２７が設けられている。このキャリア搬送機構２７は、昇降自在に設けられると共に、左右に伸びるガイドレールを備えた昇降部２７ａと、前記ガイドレールにガイドされながら左右に移動する移動部２７ｂと、この移動部２７ｂに設けられ、キャリアＣの上面のフランジ部２０を保持部２７ｄにより保持してキャリアＣを水平方向に搬送する２本のアーム２７ｃとを備えている。
【００２５】
前記隔壁２１には、第２の載置台２５に載置されたキャリアＣが当該隔壁２１に当接したときに、キャリアＣ内とローディングエリアＳ２とを連通する開口部２０が形成されている。また隔壁２１におけるローディングエリアＳ２側には、前記開口部２０を開閉する扉２８が設けられると共に、この扉２８を閉じたままでキャリアＣの蓋体を開閉する蓋開閉機構２９が設けられている。前記扉２８は、キャリアＣの蓋体が開かれた後、図示しない扉開閉機構により蓋開閉機構２９と蓋体とを共にウエハＷの移載の邪魔にならないように例えば上方側又は下方側に退避するように構成される。また隔壁２１の開口部２０における側縁部側には不活性ガス供給管（図示せず）、開口部２０の下端側には排気路（図示せず）が夫々設けられており、これらにより蓋体が開かれたキャリアＣ内に不活性ガス例えば窒素ガスを供給して内部の空気と置換するためのガス置換手段が構成されている。
【００２６】
前記ローディングエリアＳ２には、下端が炉口として開口する縦型の熱処理炉３１が設けられ、この熱処理炉３１の下方側には、多数枚のウエハＷを棚状に所定の配列間隔（例えば上下方向に隣接する上方側のウエハの上面とそのウエハの下方側のウエハの上面との距離が８〜１６ｍｍ程度）に配列保持する基板保持具であるウエハボート３２がキャップ３４の上に載置されている。キャップ３４は昇降機構３５に支持されており、この昇降機構３５によりウエハボート３２が熱処理炉３１に対して搬入あるいは搬出される。またウエハボート３２と隔壁２１の開口部２０との間には、基板搬送手段であるウエハ搬送機構４が設けられていて、このウエハ搬送機構４によりウエハボート３２と第２の載置台２５上のキャリアＣとの間でウエハの搬送が行われる。またローディングエリアＳ２内の前記ウエハ搬送機構４よりアクセスできる位置、この例では前記開口部２０の下方側には、検査ユニット６が設けられている。
【００２７】
続いて前記ウエハ搬送機構４及び検査ユニット６について図を参照して詳細に説明する。先ずウエハ搬送機構４の全体構成について図３〜図７に基づいて説明すると、このウエハ搬送機構４は、ウエハＷを保持する複数枚例えば５枚の保持アームから構成されるフォーク４１（４１ａ〜４１ｅ）と、これらフォーク４１ａ〜４１ｅを進退自在に支持する搬送基体５とを備えており、この搬送基体５は、モータＭ１よりなる回転機構５１によって鉛直軸回りに回動自在、昇降機構５２により昇降自在、およびキャリアＣの配列方向に沿って左右に伸びるガイドレール５３に沿って左右方向に移動自在に構成されている。前記昇降機構５２は例えば昇降軸５２ａをモータＭ２より回転させることにより搬送基体５を昇降させるように構成されており、このモータＭ２はエンコーダ５４に接続されている。
【００２８】
前記フォーク４１は、例えば夫々ウエハＷを保持し得るように第１のフォーク４１ａ、第２のフォーク４１ｂ、第３のフォーク４１ｃ、第４のフォーク４１ｄ、第５のフォーク４１ｅの５段構成になっており、これらフォーク４１ａ〜４１ｄは、例えば図７に示すように、平面的に見て所定の空間を挟んで進退方向に伸びる２本の腕部４２ａ，４２ｂを備えている。このようなフォーク４１ａ〜４１ｅでは、例えば図６及び図７に示すように、フォーク４１の腕部４２ａ，４２ｂの先端側の２箇所と、基端側の２箇所に夫々形成された段部４３ａ，４３ｂ，４３ｃ，４３ｄにウエハの周縁部を載置することにより、ウエハをフォーク４１から僅かに浮上させた状態で保持するようになっている。前記フォーク４１の基端部は、保持部材４４を介して進退機構４５に取り付けられている。
【００２９】
この進退機構４５について図６を参照して説明すると、この例のフォーク４１ａ〜４１ｅは例えば第３のフォーク４１ｃが単独で搬送基体５に沿って進退自在に構成されており、この第３のフォーク４１ｃ以外のフォーク４１ａ，４１ｂ，４１ｄ，４１ｅは４本同時に進退するように構成されている。つまり前記搬送基体５には、第３のフォーク４１ｃを前方側に移動させるための第１の進退機構４５ａと、第３のフォーク４１ｃ以外の４枚のフォーク４１ａ，４１ｂ，４１ｄ，４１ｅを、４枚同時に前方側に移動させるための第２の進退機構４５ｂとが、夫々搬送基体５に沿って前後方向に進退移動自在に設けられている。
【００３０】
例えば第２の進退機構４５ａにおいては、搬送基体５の長手方向の一端側と他端側とに、進退移動駆動部である図示しないステッピングモータにより駆動される駆動プーリ４６と従動プーリ４７とが配設され、これら駆動プーリ４６と従動プーリ４７とにタイミングベルト４８が巻き掛けられ、このタイミングベルト４８に前記第２の進退機構４５ｂの下端側が接続されている。この際、搬送基体５の上面には第２の進退機構４５ｂの移動を許容するスリット（図示せず）が設けられている。第１の進退機構４５ａも第２の進退機構４５ｂと同様に構成されており、こうしてウエハ搬送機構４では、第１の進退機構４５ａの単独動によって１枚のウエハＷを搬送する枚葉搬送と、第１及び第２の進退機構４５ａ，４５ｂの共同によって複数枚例えば５枚のウエハＷを同時に搬送する一括搬送との両方を行うことができるように構成されている。
【００３１】
続いて検査ユニット６について説明する。この検査ユニット６はフォーク４１ａ〜４１ｅの水平面に対する前後の姿勢が正常であるか否かを検査するものであり、前記姿勢が正常であるか否かについては、フォーク４１ａ〜４１ｅの先端が上下方向に傾いているか否かを検査することにより判断している。前記検査ユニット６は、フォーク４１ａ〜４１ｅがアクセスできる位置、この例では第２の載置台２５の下方側に、フォーク４１ａ〜４１ｅがアクセスする面がローディングエリアＳ２内に開口するように設けられている。
【００３２】
例えばこの検査ユニット６は、その前面が開口すると共に、この開口部６０を介してフォーク４１ａ〜４１ｅの先端が筐体６１内の検査位置まで一括して挿入でき、さらにその位置からフォーク４１ａ〜４１ｅが一括して昇降できる大きさの筐体６１と、この筐体６１に取り付けられた光センサ６２と、を備えている。
【００３３】
この光センサ６２は例えば透過型光センサよりなり、水平な光軸Ｌを形成するように筐体６１に設けられ、例えば筐体６１の一方の側壁部に発光部６３が取り付けられると共に、この発光部６３の光軸Ｌ上に、この発光部６３と対向するように受光部６４が取り付けられている。またウエハ搬送機構４の搬送基体５と光センサ６２とは相対的に昇降自在に構成され、この例では前記昇降機構５２が昇降手段に相当する。さらに前記エンコーダ５４は、前記光軸Ｌに対する搬送基体５の高さ位置を検出する高さ位置検出手段に相当し、前記光軸Ｌに対する搬送基体５の高さ位置情報がエンコーダ５４を介して制御部１００に出力されるようになっている。ここで前記検査位置とは、例えばフォーク４１ａ〜４１ｅの先端から４０ｍｍ（図７の距離Ａ１）程度までが筐体６１内に挿入される位置をいう。
【００３４】
この際、筐体６１の大きさ及び光センサ６２の取り付け位置は、例えば図６に示すように、例えばフォーク４１ａ〜４１ｅが前記検査位置まで挿入されたときに、光センサ６２の光軸Ｌが最上段のフォーク４１ａの直ぐ上方側に形成されると共に、この位置からフォーク４１ａ〜４１ｅが上昇したときに、最下段のフォーク４１ｅが光センサ６２の光軸Ｌの直ぐ上方側に位置できるように夫々設定される。この際前記光軸Ｌは例えばフォーク４１ａ〜４１ｅの先端から５〜１０ｍｍ（図７の距離Ａ２）程度に位置することが好ましい。ここで前記距離Ａ１と距離Ａ２はＡ１＞Ａ２であれば自由に設定できるが、この例ではフォーク４１ａ〜４１ｅに載置されたウエハＷの段部４３ａ，４３ｂ近傍の側面に対して前記光軸Ｌが位置するように前記距離Ａ２が設定されている。
【００３５】
前記光センサ６２としては、例えばファイバーセンサが用いられ、このファイバーセンサを用いることにより、投光角度を２〜３度に設定することができるので、精度の良い検出を行うことができる。また光センサ６２の受光ー非受光の検出結果は後述する制御部７に出力されるようになっている。
【００３６】
続いて前記基板移載装置に設けられる制御部７について図５を参照して説明する。この制御部７は、例えばコンピュータからなり、プログラム、メモリ、ＣＰＵ７１からなるデータ処理部を備えていて、前記プログラムには制御部７から基板移載装置の各部に制御信号を送り、後述の搬送順序を進行させるように命令（各ステップ）が組み込まれている。また前記コンピュータの画面は表示手段８１をなすものであり、この表示手段８１によって、所定の基板処理や検査処理の選択や、各処理におけるパラメータの入力操作を行うことができるように構成されると共に、後述する検査結果が表示されるようになっている。このプログラムは、コンピュータ記憶媒体例えばフレキシブルディスク、コンパクトディスク、ハードディスク、ＭＯ（光磁気ディスク）等の記憶部に格納されて制御部７にインストールされる。
【００３７】
また制御部７には、ウエハ搬送機構４のフォーク４１ａ〜４１ｅの水平面に対する前後の姿勢を検査するための検査プログラム７２や基準データ記憶部７３、取得データ記憶部７４も含まれており、フォーク４１ａ〜４１ｅの昇降機構５２、エンコーダ５４や光センサ６２、コンピュータの表示手段８１、アラーム発生手段８２にも所定の制御信号が送られるように構成されている。
【００３８】
前記基準データ記憶部７３とは、フォーク４１ａ〜４１ｅの水平面に対する前後の姿勢が正常であるときの、搬送基体５の高さ位置データと、そのときの光センサ６２からの光軸Ｌを遮断するか否かの受光-非受光のデータ（検出結果）とを対応づけた基準テーブルＴ１〜Ｔｎを格納する手段である。フォーク４１ａ〜４１ｅは夫々の上下方向の配列間隔を変えられるように構成されているので、この配列間隔に応じた複数の基準テーブルの他、後述する他の手法による検査に用いられる基準テーブルが用意され、格納される。
【００３９】
ここで光センサ６２からの受光ー非受光のデータは、受光のときには「１（ＯＮ）」、非受光のときには「０（ＯＦＦ）」として取得され、前記基準テーブルＴ１〜Ｔｎは、フォーク４１ａ〜４１ｅの水平面に対する前後の姿勢が正常であるウエハ搬送機構４を用いて、搬送基体５を全てのフォーク４１ａ〜４１ｅが前記光軸Ｌを横切るように前記光軸Ｌに対して昇降させ、このときの搬送基体５の高さ位置をエンコーダ５４のパルス値として得ると共に、光センサ６２の受光ー非受光の検出結果を得、これらを対応付けたパルスパターンを取得することにより作成される。また取得データ記憶部７４とは、検査対象のウエハ搬送機構４の搬送基体５を前記光軸Ｌに対して昇降させたときに、搬送基体５の高さ位置と光センサ６２からの受光ー非受光のデータを取得し、格納する手段である。
【００４０】
前記検査プログラム７２は、検査時にウエハ搬送機構４の駆動を制御する手段や、フォーク４１ａ〜４１ｅの前記姿勢が正常であるか否かを判断する判断手段を備えている。この判断手段とは、前記基準データ記憶部７３に格納された基準テーブルＴ１〜Ｔｎと、前記取得データ記憶部７４に格納された取得データとを比較し、フォーク４１ａ〜４１ｅの姿勢が正常であるか否かを判断すると共に、正常であるときにはウエハ搬送装置にキャリアＣからの次のウエハＷの取り出しの開始指令を出力する一方、異常が発見されたときにウエハ搬送機構４にキャリアＣからの次のウエハＷの取り出しの停止指令と、所定のアラーム表示指令とを出力する手段である。ここでアラーム表示とは、この例ではアラーム発生手段８２例えばランプの点灯やアラーム音の発生、コンピュータの表示手段８１へのアラーム表示をいう。
【００４１】
続いてこのような縦型熱処理装置におけるウエハＷの流れについて説明すると、先ずクリーンルームの天井部に沿って移動する図示しない自動搬送ロボットによりキャリアＣが第１の載置台２４に載置される。続いてキャリア搬送機構２７により前記キャリアＣが第２の載置台２５に搬送され、このキャリアＣは図示しない機構により隔壁２１の開口部２０に気密に当接される。なおキャリアＣは、一旦キャリア保管部２６に収納された後、第２の載置台２５に搬送される場合もある。
【００４２】
この後蓋開閉機構２９によりキャリアＣから蓋体が取り外され、続いて図示しないガス供給管から不活性ガス例えば窒素ガスがキャリアＣ内に向けて吹き出されて、キャリアＣ内及びキャリアＣと扉２８との間の空間が窒素ガスにより置換される。その後、扉２８、蓋開閉機構２９及び蓋体が例えば上昇して開口部２０から退避し、キャリアＣ内とローディングエリアＳ２とが連通した状態となる。これによりウエハ搬送機構４は、キャリアＣ内のウエハＷを順次取り出してウエハボート３２に移載し、キャリアＣ内のウエハＷが空になると、上述と逆の動作でキャリアＣの蓋体が閉じられ、第２の載置台２５が後退してキャリアＣが隔壁２１から離れ、キャリア搬送機構２７によりキャリア保管部２６に搬送されて一時的に保管される。一方ウエハボート３２に所定枚数のウエハＷが搭載されると、熱処理炉３１に搬入されてウエハＷに対して熱処理たとえばＣＶＤ、アニール処理、酸化処理などが行われる。熱処理が終了すると、上述と逆の動作でウエハＷがキャリアＣ内に戻される。
【００４３】
続いてウエハ搬送機構４の検査工程について図８〜図１０を参照して説明する。この検査工程は、装置の立ち上げ時や、ロット処理のない合間の時間帯、例えばウエハボート３２のクーリング処理を行っている間や、キャリアＣが載置台２４に載置され、蓋体が取り外されて、キャリアＣ内及びキャリアＣと扉２８との間の空間が窒素ガスにより置換される処理の間等に実施される。またキャリアＣやウエハボート３２からウエハＷを取り出す毎に実施するようにしてもよいし、設定された枚数のウエハＷを取り出す毎や所定時間毎に実施するようにしてもよい。
【００４４】
この検査工程においては、先ず例えばコンピュータの表示手段８１により所定の基準テーブルＴ１を選択しておく。そして図９（ａ）に示すように、５枚のフォーク４１ａ〜４１ｅを筐体６１の開口部６０に対向させて、これら５枚のフォーク４１ａ〜４１ｅの先端を前記検査ユニット６の検査位置まで一括して挿入する（ステップＳ１）。次いで搬送基体５を、後述する第１の高さ位置Ｚ１に移動させ、この位置から図９（ｂ）、図９（ｃ）に示すように、後述する第１０の高さ位置Ｚ１０まで上昇させ、このときの光センサ６２からの受光ー非受光のデータを取得する。そして各高さ位置Ｚ１〜Ｚ１０における光センサ６２のデータを取得する毎に、基準テーブルＴ１のデータと比較し、これらのデータの一致ー不一致を判断する（ステップＳ２、ステップＳ３）。
【００４５】
ここで前記第１の高さ位置Ｚ１〜第１０の高さ位置Ｚ１０について説明すると、夫々基準テーブルＴ１において、第１の高さ位置Ｚ１は第１のフォーク４１ａの周側面が前記光軸Ｌを横切る高さ、第２の高さ位置Ｚ２は第１のフォーク４１ａと第２のフォーク４１ｂとの間に光センサ６２の光軸Ｌが位置する高さ、第３の高さ位置Ｚ３は第２のフォーク４１ｂの周側面が前記光軸Ｌを横切る高さ、第４の高さ位置Ｚ４は第２のフォーク４１ｂと第３のフォーク４１ｃとの間に前記光軸Ｌが位置する高さ、第５の高さ位置Ｚ５は第３のフォーク４１ｃの周側面が前記光軸Ｌを横切る高さ、第６の高さ位置Ｚ６は第３のフォーク４ｃと第４のフォーク４ｄの間に前記光軸Ｌが位置する高さ、第７の高さ位置Ｚ７は第４のフォーク４１ｄの周側面が前記光軸Ｌを横切る高さ、第８の高さ位置Ｚ８は第４のフォーク４ｄと第５のフォーク４ｅとの間に前記光軸Ｌが位置する高さ、第９の高さ位置Ｚ９は第５のフォーク４ｅの周側面が前記光軸Ｌを横切る高さ、第１０の高さ位置Ｚ１０は第５のフォーク４１ｅの下方側に前記光軸Ｌが位置する高さであり、これらは基準テーブルＴ１作成時にエンコーダ５４のパルス値として取得しておく。そして検査時には、エンコーダ５４のパルス値により搬送基体５の光軸Ｌに対する高さ位置が決定されるので、搬送基体５が前記高さ位置Ｚ１〜Ｚ１０にあるときの光センサ６２のデータを取得する。
【００４６】
そして判断手段による取得データと基準テーブルＴ１のデータとの比較の結果、図１０（ａ）に示すように、全てのデータが前記基準テーブルＴ１の信号パターンと一致するときには、フォーク４１ａ〜４１ｅの前記姿勢を正常であると判断して、キャリアＣからの次のウエハＷの取り出しを開始するように、ウエハ搬送機構４に指令を出力する（ステップＳ４）。一方、図１０（ｂ）に示すように、取得データと基準テーブルＴ１のデータが一つでも一致しないときには、フォーク４１ａ〜４１ｅの前記姿勢に異常があると判断する。つまり図１０（ｂ）に示す例は、例えば第４のフォーク４１ｄの先端が下方向に傾いている場合を示しており、この場合には、例えば前記第７の高さ位置Ｚ７では第４のフォーク４１ｄが存在しないので、光センサ６２のデータは受光（１）となる一方、前記第８の高さ位置Ｚ８では下方側に垂れた第４のフォーク４１ｄにより前記光軸Ｌが遮断されるので光センサ６２のデータは非受光（０）となる。このため結果として検査時の取得データは、図１０（ｂ）に示すように基準テーブルＴ１のデータとは異なってしまう。なお判断手段による取得データと基準テーブルＴ１のデータとの比較は、光センサ６２からのデータを取得する毎に行うようにしてもよいし、全てのデータを取得した後に行うようにしてもよい。
【００４７】
このようにフォーク４１ａ〜４１ｅの前記姿勢に異常があると判断したときには、コンピュータの表示手段８１や、アラーム発生手段８２にアラーム表示を行うように指令を出力すると共に（ステップＳ５）、フォーク４１ａ〜４１ｅを検査ユニット６から搬出して停止するように、ウエハ搬送機構４に指令を出力する（ステップＳ６）。そして作業者によりフォーク４１ａ〜４１ｅが夫々水平面に対して平行になるように調整やメンテナンスを行なった後、キャリアＣの次のウエハＷの取り出しを開始して、既述と同様に、キャリアＣ内のウエハＷを順次取り出してウエハボート３２に移載する作業を行う。
【００４８】
このような装置では、キャリアＣからウエハ搬送機構４によりウエハＷを取り出す前に、フォーク４１ａ〜４１ｅの前記姿勢が正常であるか否かについて検査を行い、異常であると判断したときには、ウエハ搬送機構４によるキャリアＣからのウエハＷの取り出しを行わず、フォーク４１ａ〜４１ｅの調整を行なった後、キャリアＣからのウエハＷの取り出しを行うようにしている。このため、キャリアＣからウエハＷを取り出す際の、フォーク４１ａ〜４１ｅとウエハＷとの接触を防止できるので、この接触によるウエハＷの傷の発生や、パーティクルの発生を防ぐことができ、製品の歩留まりの低下が抑えられる。ここでウエハＷは、極めて小さな傷やパーティクルが付着しただけでも製品として出荷できないため、フォーク４１ａ〜４１ｅとウエハＷとの接触を防止することは、歩留まりの低下を抑えるために有効である。
【００４９】
またフォーク４１ａ〜４１ｅの検査工程は、既述のようにキャリアＣ内の不活性ガスの置換処理等と並行して行われるので、別個にフォーク４１ａ〜４１ｅの検査時間を用意する必要がなく、スループットの低下を抑えることができる。さらに仮にフォーク４１ａ〜４１ｅの前記姿勢に異常が発見されたとしても、次のウエハＷをキャリアＣから取り出す前にフォーク４１ａ〜４１ｅの調整を行なうので、従来のようにウエハＷの処理を行っている間に装置を緊急停止する事態が発生しない。このため装置稼働率が低下するおそれがなく、この点からも生産性の悪化を抑えることができる。
【００５０】
さらに複数のフォーク４１ａ〜４１ｅに対しての前記姿勢が正常であるか否かの検査は、共通の光センサ６２を用いて、搬送基体５を光軸Ｌに対して相対的に昇降させることによって、各々のフォーク４１ａ〜４１ｅについて光センサ６２からのデータを取得し、こうして各々のフォーク４１ａ〜４１ｅの姿勢が正常であるか否かを判断しているので、検査に要する作業が容易であり、また短時間で精度良く検査を行なうことができる。
【００５１】
このように、共通の光センサ６２を用いて、ローディングエリアＳ２を開放することなく複数枚のフォーク４１ａ〜４１ｅに対して検査を行なうことができるので、検査に要するコストが低減される。またフォーク４１ａ〜４１ｅを光センサ６２に対して相対的に昇降させて検査を行なっているので、検査作業に要するスペースの占有面積が小さく、省スペース化を図ることができる。
【００５２】
ここでフォーク４１ａ〜４１ｅの前記姿勢が正常であるか否かの検査は、前記姿勢に異常が認められたフォーク４１ａ〜４１ｅを調整した後に再度行なうようにしてもよく、この場合には調整後のフォーク４１ａ〜４１ｅの水平度を自動的に確認できるので、フォーク４１ａ〜４１ｅの調整精度の向上を図ることができる。
【００５３】
以上において本発明は、図１１に示すように、光センサとして反射型光センサ６５を用いることができ、この場合には、フォーク４１ａ〜４１ｅを筐体６１内の前記検査位置まで挿入したときに、発光部６６からの光がフォーク４１ａ〜４１ｅの周側面により反射され、その反射光の光軸Ｌ上に受光部６７が位置するように、発光部６６と受光部６７とが夫々配置される。
【００５４】
続いて本発明の他の実施の形態として、透過型光センサ６２や反射型光センサ６５を用いて、フォーク４１ａ〜４１ｅの進退軸周りの姿勢が正常であるか否かを更に判断する場合について説明する。前記進退軸周りの姿勢に異常がある場合とは、図１２に示すように、例えばフォーク４１が前記進退軸Ｂを中心に回転している場合をいう。  
この検査では、例えばフォーク４１ａ〜４１ｅを検査ユニット６の前記検査位置までに挿入し、例えば搬送基体５を、第１のフォーク４１ａが前記光軸Ｌの下方側に位置する高さから、第５のフォーク４１ｅが光センサ６２の光軸Ｌの上方側に位置する高さまで上昇させながら、このときの光センサ６２のデータを、搬送基体５の前記光軸Ｌに対する高さ位置と対応づけて所定のタイミングで連続して取得する。こうしてフォーク４１ａ〜４１ｅを光センサ６２に対して相対的に昇降させたときに、各フォーク４１ａ〜４１ｅが前記光軸Ｌを遮断するときのフォーク４１ａ〜４１ｅの厚み（高さ量）を、例えばエンコーダ５４のパルス数をカウントすることで取得する。
【００５５】
例えば図１３を用いて、第１のフォーク４１ａが前記進退軸Ｂ周りに傾いている場合を例にして具体的に説明すると、フォーク４１ａが傾いていると前記光軸Ｌを遮断するときの厚み（高さ量）が大きくなる。そして制御部７に、フォーク４１ａ〜４１ｅの前記姿勢が正常であるときの、光センサ６２のデータとフォーク４１ａ〜４１ｅの高さ位置データとを対応付けた基準テーブルＴ２を格納しておくと共に、この基準テーブルＴ２のデータと、検査時に取得したデータ８１と比較して、各フォーク４１ａ〜４１ｅの厚みが適正であるか否かを判断する手段を設け、前記進退軸Ｂ周りの傾きの有無について判断する。
【００５６】
この際、例えば取得したデータ８３のフォーク４１ａ〜４１ｅの高さ量と、基準テーブルＴ２のデータのフォーク４１ａ〜４１ｅの高さ量との誤差が所定の範囲内であれば、フォーク４１ａ〜４１ｅの前記姿勢が正常であると判断して、ウエハ搬送機構４によるキャリアＣからのウエハＷの取り出しを開始し、これを超えていれば異常があるとして、ウエハ搬送機構４によるキャリアＣからのウエハＷの取り出しを停止するようにウエハ搬送機構４を制御して、フォーク４１ａ〜４１ｅの調整作業を行う。
【００５７】
また本発明では、既述のように、フォーク４１ａ〜４１ｅを光センサ６２に対して相対的に昇降させたときに、エンコーダ５４のパルス数をカウントすることによって、上下に隣接するフォーク４１ａ〜４１ｅ同士の間隔についてもデータを取得することができる。このためこのフォーク４１ａ〜４１ｅ同士の間隔のデータを継続的に取得し、所定のタイミングで前記データを監視することによって、フォーク４１ａ〜４１ｅの状態や姿勢の経時変化の傾向を確認できる。またこのデータを蓄積することによって、フォーク４１ａ〜４１ｅをどの程度使用し続けたときに、フォーク４１ａ〜４１ｅの前記姿勢が正常の範囲を超えるかについて予測することができ、フォーク４１ａ〜４１ｅの姿勢に異常が発生する前に、所定のタイミングでフォーク４１ａ〜４１ｅのメンテナンスを行うことができる。
【００５８】
さらに他の実施の形態として、光センサとして距離センサ６８を用いて、フォーク４１ａ〜４１ｅの水平面に対する前後の姿勢が正常であるか否かを検査する場合について説明する。この例では、例えば図１４（ａ）に示すように、水平な光軸Ｌを形成して、筐体６１の側壁とフォーク４１ａ〜４１ｅの周側面との距離を測定する距離センサ６８が用いられる。この際、距離センサ６８により、フォーク４１ａ〜４１ｅの片側において、筐体６１との距離を測定するようにしてもよいし、フォーク４１ａ〜４１ｅの両側において、筐体６１との距離を測定するようにしてもよい。
【００５９】
この実施の形態では、図１４（ｂ）に示すように、予め前記姿勢が正常であるときのフォーク４１ａ〜４１ｅについて、搬送基体５が前記第１の高さ位置Ｚ１〜第１０の高さ位置Ｚ１０にあるときの、距離センサ８２の距離データを取得して、距離センサ８２の光軸Ｌに対する搬送基体５の高さ位置データと、距離センサ８２の距離データを対応付けた基準テーブルＴ３を作成して、制御部７に格納しておく。そして制御部７にこの基準テーブルＴ３のデータと、検査時に所定の検査高さ位置にて取得した距離データとを比較し、前記各フォーク４１ａ〜４１ｅについて前記姿勢が正常であるか否かを判断する手段を設ける。
【００６０】
つまりフォーク４１ａ〜４１ｅの姿勢が正常であれば、基準テーブルＴ３の距離データと取得データとは同じになるので、例えば取得データと基準テーブルＴ３の距離データとの誤差が所定範囲内であれば、フォーク４１ａ〜４１ｅの姿勢が正常であるとして、ウエハ搬送機構４によるキャリアＣからのウエハＷの取り出しを開始し、これを超えていればフォーク４１ａ〜４１ｅの姿勢に異常があるとして、ウエハ搬送機構４によるキャリアＣからのウエハＷの取り出しを停止するようにウエハ搬送機構４を制御し、フォーク４１ａ〜４１ｅの調整作業を行う。
【００６１】
この場合、各フォーク４１ａ〜４１ｅが前記光軸Ｌを横切るときの距離データに比べて、上下に隣接するフォーク４１ａ〜４１ｅ同士の間に前記光軸Ｌが位置するときの距離データは大きくなるので、予め設定された基準値に対して取得された距離データが小さければ受光（「１（ＯＮ）」）、前記基準値に対して取得された距離データが大きければ非受光（「０（ＯＦＦ）」）として、距離センサ６８からのデータを受光ー非受光のデータとして取得するようにしてもよい。
【００６２】
さらに上述の距離センサ６８を用いて、フォーク４１ａ〜４１ｅの水平面に対する左右方向の姿勢が正常であるか否かについて判断するようにしてもよい。この場合には、例えば制御部７に、図１４（ｂ）に示す前記基準テーブルＴ３のデータと、検査時に取得した距離データとを比較する手段を設け、この手段では例えば第１の高さ位置Ｚ１の取得データが基準テーブルＴ３の距離データよりも大きいときには、図１４（ａ）に一点鎖線にて示すように、第１のフォーク４１ａが左方向に傾いていると判断する。このようにしてフォーク４１ａ〜４１ｅの左右方向の傾きを検査し、傾いていないときにはフォーク４１ａ〜４１ｅの姿勢が正常であるとして、ウエハ搬送機構４によるキャリアＣからのウエハＷの取り出しを開始し、傾いているときにはフォーク４１ａ〜４１ｅの姿勢に異常が見られるとして、ウエハ搬送機構４によるキャリアＣからのウエハＷの取り出しを停止するようにウエハ搬送機構４を制御し、フォーク４１ａ〜４１ｅの調整作業を行う。
【００６３】
続いて前記フォーク４１ａ〜４１ｅの上下方向の傾きを検査するときの検査高さ位置の最適な位置決め手法について説明する。先ず図１５（ａ）に示すように、搬送基体５を、第１のフォーク４１ａが前記光軸Ｌを横切る高さから、第５のフォーク４１ｅが前記光軸Ｌの上方側に位置する高さまで上昇させ、このときの前記光軸Ｌに対する搬送基体５の高さ位置データをエンコーダ５４のパルス値として取得しながら、同時に光センサ６２により各フォーク４１ａ〜４１ｅの受光ー非受光のデータを取得し、これら前記高さ位置データと光センサ６２のデータとを互いに対応づけてデータ１として取得する。
【００６４】
続いて図１５（ｂ）に示すように、搬送基体５を、第５のフォーク４１ｅが前記光軸Ｌを横切る高さから、第１のフォーク４１ａが前記光軸Ｌの下方側に位置する高さまで下降させ、データ１と同様に、高さ位置データと光センサ６２のデータとを対応づけてデータ２として取得する。
【００６５】
ここで図１５（ｃ）では、第１のフォーク４１ａを例にしてデータ１とデータ２とを示しているが、光センサ６２のデータは、「０」のときはフォーク４１ａが前記光軸Ｌを横切るときであり、「１」のときは前記光軸Ｌが隣接するフォーク４１ｂとの間に位置するときである。このため前記第１の高さ位置Ｚ１は「０」のときの第１のデータの高さ位置の平均値ｘ１と第２のデータの高さ位置の平均値ｘ２とを求め、これらｘ１，ｘ２の平均値を、正常な姿勢の第１のフォーク４１ａが前記光軸Ｌを横切る第１の高さ位置Ｚ１と設定することが好ましい。
【００６６】
また前記第２の高さ位置Ｚ２は「１」のときの第１のデータの高さ位置の平均値ｘ３と第２のデータの高さ位置の平均値ｘ４とを求め、これらｘ３，ｘ４の平均値を、共に正常な姿勢の第１のフォーク４１ａと第２のフォーク４１ｂとの間に光軸Ｌが位置する第２の高さ位置Ｚ２と設定することが好ましい。
【００６７】
このように決定すると、搬送基体５を光軸Ｌの上方側から下降させて各フォーク４１ａ〜４１ｅに対して検査を行なう場合であっても、光軸Ｌの下方側から上昇させて各フォーク４１ａ〜４１ｅに対して検査を行なう場合であっても、各フォーク４１ａ〜４１ｅが前記光軸Ｌを横切る高さ位置と、上下に隣接するフォーク４１ａ〜４１ｅ同士の間に光軸Ｌが位置する高さ位置とが確実に精度よく自動的決定できる。従って検査時の高さ位置を作業者が目視にて決定する場合に比べて、決定作業に要する労力が大幅に軽減されると共に、検査高さ位置のばらつきの発生が抑えられる。
【００６８】
さらに本発明は、１枚づつ独立して駆動できるように構成される複数のフォークを備える構成のウエハ搬送機構にも適用ができる。この場合、例えばフォーク４１ａ〜４１ｅの水平面に対する前後の姿勢が正常であるか否かの検査工程は、フォーク４１ａ〜４１ｅを１枚づつ検査ユニット６に挿入して行うようにしてもよいし、複数枚のフォーク４１ａ〜４１ｅを一括して検査ユニット６に挿入して行うようにしてもよい。
【００６９】
また複数枚のフォーク４１ａ〜４１ｅの１枚のフォーク４１ａに異常があった場合には、当該フォーク４１ａは使用せずに、残りの正常のフォーク４１ｂ〜４１ｅのみを使用して、キャリアＣに残っているウエハＷを全てウエハボート３２に移載させてから装置を停止し、その後フォーク４１ａの調整作業を行なうようにしてもよい。
【００７０】
さらに本発明では、複数の縦型熱処理装置を備え、これら装置をホストコンピュータにより管理する場合であって、ロット処理のない合間の時間帯を利用してフォーク４１ａ〜４１ｅの姿勢が正常であるか否かについて検査し、実ロットについて処理を行なう前に、フォーク４１ａ〜４１ｅの姿勢の異常を検知した場合には、この旨をホストコンピュータに通知し、ホストコンピュータにより、フォーク４１ａ〜４１ｅの異常が検知された装置で処理を行う予定のロットを他の装置に振り分けるように制御し、工場の自動生産ラインの効率化を図るようにしてもよい。
【００７１】
また本発明では、進退機構４５の進退軸の水平面に対する前後の姿勢についても検査することができる。この場合には、例えばフォーク４１ａ〜４１ｅの進退方向の２箇所の位置、例えば先端近傍の位置と基端側近傍の位置とにおいて、光センサ６２による受光ー非受光のデータを取得し、これら取得データと搬送基体５の高さ位置とに基づいて、前記進退軸の上下方向の傾きの有無が判断される。つまり前記２箇所の位置の光センサ６２からのデータが異なっていれば、前記進退軸が上下方向に傾いていると判断され、前記姿勢に異常がある場合と判断される。
【００７２】
さらに本発明は、保持アームが１枚である基板搬送手段に対しても適用でき、また複数枚の保持アームを備えた基板搬送手段に対しては、保持アームと同じ数の光センサを用いて、同時に複数枚の保持アームに対して水平面に対する前後の姿勢の検査を行なうようにしてもよいし、複数個の光センサを用いて複数枚の保持アームの内の何枚かに対して同時に前記姿勢の検査を行なうようにしてもよい。
【００７３】
さらにまた本発明は、キャリアＣが高さ方向に２段に設けられる構成の装置にも適用でき、この場合には各キャリアＣ毎に、これらキャリアＣの近傍に検査ユニットを設けても良い。また本発明の保持具は、キャリアＣのみならずウエハボート３２も含まれ、ウエハボート３２の近傍に検査ユニットを設けるようにしてもよい。
【００７４】
さらにまた上述の実施の形態では半導体ウエハを移載する装置について説明したが、ＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）やマスク等に使用されるガラス基板を移載する装置についても本発明は適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】本発明にかかる基板移載装置の一実施の形態の全体構成を示す斜視図である。
【図２】前記基板移載装置を示す断面図である。
【図３】前記基板移載装置を示す平面図である。
【図４】前記基板移載装置に設けられるウエハ搬送機構とキャリアと検査ユニットとを示す概略斜視図である。
【図５】前記ウエハ搬送機構と制御部とを示す構成図である。
【図６】前記ウエハ搬送機構と検査ユニットとを示す断面図である。
【図７】前記ウエハ搬送機構と検査ユニットとを示す平面図である。
【図８】前記ウエハ搬送機構の検査工程を説明するためのフローチャートである。
【図９】前記ウエハ搬送機構の検査工程を説明するための工程図である。
【図１０】前記ウエハ搬送機構の検査工程を説明するための工程図である。
【図１１】光センサの他の例を示す平面図である。
【図１２】前記ウエハ搬送機構の進退軸周りの傾きを説明するための平面図と正面図である。
【図１３】前記ウエハ搬送機構の進退軸周りの傾きの検査工程を説明するための説明図である。
【図１４】前記ウエハ搬送機構の左右方向の傾きの検査工程を説明するための説明図である。
【図１５】前記ウエハ搬送機構の検査高さ位置の決定方法の一例を示す説明図である。
【図１６】従来の移載装置のフォークを示す側面図である。
【図１７】従来の移載装置のフォークを示す側面図である。
【符号の説明】
【００７６】
Ｗ            半導体ウエハ
Ｃ            キャリア
３２          ウエボート
４            ウエハ搬送機構
４１          フォーク
５            搬送基体
５１          回転機構
５２          昇降機構
５４          エンコーダ
６            検査ユニット
６１          筐体
６２          光センサ
６３          発光部
６４          受光部
６５          反射型光センサ
６８          距離センサ
７            制御部
７２          検査プログラム
７３          基準データ記憶部
７４          取得データ記憶部          
８１          表示手段
８２          アラーム発生手段
【図１】
2008235841.tif 000003
【図２】
2008235841.tif 000004
【図３】
2008235841.tif 000005
【図４】
2008235841.tif 000006
【図５】
2008235841.tif 000007
【図６】
2008235841.tif 000008
【図７】
2008235841.tif 000009
【図８】
2008235841.tif 000010
【図９】
2008235841.tif 000011
【図１０】
2008235841.tif 000012
【図１１】
2008235841.tif 000013
【図１２】
2008235841.tif 000014
【図１３】
2008235841.tif 000015
【図１４】
2008235841.tif 000016
【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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