(57)【要約】  【課題】クリーンルームにおける各種の機器、装置及び作業者等の人間の歩行等に起因する振動等を効果的に防振することができるようにしたクリーンルーム用床構造を提供する。  【解決手段】クリーンルーム内に設けられる床支持材と、前記床支持材上に係合固着される複数枚のパネル状床板と、前記床支持材に前記床板を係合固着する係合固着手段とを含み、前記床板が７０〜８０質量％の粒状花崗岩、１５〜１０質量％の結合材及び１５〜１０質量％の微粒子材を必須成分として含有するポリマーコンクリート組成物から形成されるようにした。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルーム内に設けられる床支持材と、前記床支持材上に係合固着される複数枚のパネル状床板と、前記床支持材に前記床板を係合固着する係合固着手段とを含み、前記床板が７０〜８０質量％の粒状花崗岩、１５〜１０質量％の結合材及び１５〜１０質量％の微粒子材を必須成分として含有するポリマーコンクリート組成物から形成されることを特徴とするクリーンルーム用床構造。
【請求項２】
前記粒状花崗岩の平均粒径が１０ｍｍ〜２ｍｍであることを特徴とする請求項１記載のクリーンルーム用床構造。
【請求項３】
前記結合材が硬化性樹脂及び硬化剤を含むことを特徴とする請求項１又は２記載のクリーンルーム用床構造。
【請求項４】
前記微粒子材が、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、水酸化アルミニウム、アルミナ、ムライト、炭化珪素、シリカ、フライアッシュ及びガラスから選択される１種以上であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項記載のクリーンルーム用床構造。
【請求項５】
前記微粒子材の平均粒径が、５〜５０μｍであることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項記載のクリーンルーム用床構造。
【請求項６】
前記係合固着手段が、係合固着部材と、前記床支持材に形成されかつ前記係合固着部材と係合する被係合固着部材と、前記床板の両側周辺部に埋設されかつ前記係合固着部材が挿通可能とされた貫通孔を有する穴付埋設部材とからなり、前記係合固着部材を前記穴付埋設部材を介して前記被係合固着部材に係合固着することによって、前記床支持材上に前記床板を係合固着するようにしたことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項記載のクリーンルーム用床構造。
【請求項７】
前記係合固着部材が先端部を雄螺子部としたボルトであり、前記被係合固着部材が前記床支持材に設けられかつ前記ボルトの先端螺子部が螺合される雌螺子部を備えた受金具であり、そして前記穴付埋設部材が前記ボルトを挿通可能とした貫通孔を穿設した穴付埋設金具であって、前記ボルトを前記穴付埋設金具の貫通孔に挿通しその先端部の雄螺子部を前記受金具の雌螺子部に螺合させることによって、前記床支持材上に前記床板を螺合固着するようにしたことを特徴とする請求項６記載のクリーンルーム用床構造。
【請求項８】
請求項６又は７記載のクリーンルーム用床構造に用いられる床板であって、中央部は肉厚に形成されるとともに、両側周辺部は肉薄に形成され、前記係合固着部材が挿通可能とされた貫通孔を有する穴付埋設部材が両側肉薄周辺部に埋設されている構造を有することを特徴とする床板。
【請求項９】
請求項８記載の床板を製造する際に用いられる型枠であって、４枚の側板を一対ずつの側板が互いに相対向するように接続して形成された四角形枠体と、該枠体の下部を閉塞するように設けられた底板と、相対向する一方の一対の側板の内面に横架するとともに相対向する他方の一対の側板に平行しかつ前記底板との間には空隙が形成されるように設けられた相対向する一対の邪魔板と、前記邪魔板と他方の側板との間に位置する底板部分に穿設された少なくとも１個の取付穴と、からなり、前記穴付埋設部材と、該穴付埋設部材の上部に着脱自在に嵌着されかつ中央部に挿通孔を穿設した穴付キャップ部材とを係止具によって前記取付穴に着脱自在に係止することができるようにしたことを特徴とする型枠。
【請求項１０】
請求項９記載の型枠を用いて請求項８記載の床板を製造する方法であって、前記穴付埋設部材と該穴付埋設部材の上部に着脱自在に嵌着されかつ中央部に挿通孔を穿設した穴付キャップ部材とを係止具によって前記型枠の取付穴に着脱自在に係止する工程と、前記型枠内の底板から邪魔板の下面まで及び前記穴付キャップ部材の位置までの下部空間に第一次ポリマーコンクリート組成物を投入する工程と、前記第一次ポリマーコンクリート組成物を硬化させる工程と、前記型枠の一対の邪魔板の間で前記硬化した第一次ポリマーコンクリート組成物の上面に形成された上部空間に第二次ポリマーコンクリート組成物を投入する工程と、前記第二次ポリマーコンクリートを硬化させ中央部が肉厚で両側周辺部が肉薄である床板成形体を形成する工程と、前記床板成形体から係止具を取り外す工程と、前記型枠から前記床板成形体を取り外す工程と、前記取り外された床板成形体の肉薄両側周辺部の表層部を所定厚さだけ切削して前記穴付キャップ部材を取り外すとともに前記穴付埋設部材の上面と前記肉薄両側周辺部の上面とを略面一とする工程と、を含むことを特徴とする床板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特殊なポリマーコンクリート成形体を用いるクリーンルーム用床構造、床板及び床板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製品等の精密な製品を製造する製造工場等においては、塵や埃の付着を防ぐ等の目的でクリーンルームが用いられている。クリーンルームの床には所定の機械的性質を具備することが必須であることの他に、清浄度を確保しかつ配管類を設置する必要上からグレーチング床が採用されるのが通常である。また、クリーンルーム内には振動の影響を受けやすい精密装置が設置されるので、作業者の歩行に起因する振動やクリーンルーム内に設置された各種の機器、装置に起因する振動等を効果的に防振する必要がある。従って、クリーンルームのグレーチング床としては、塵や埃の発生がなくかつ防振性に優れた床板や床構造を適用する必要がある。このグレーチングの材料としては、アルミニウムやステンレス等の金属材料の他に合成樹脂材料も使用される。このように種々の性能を具備する必要のあるクリーンルームの床については従来から多くの提案がなされている（特許文献１〜４）が、クリーンルームの床として十分なる性能を有しかつ低コストのグレーチング床はいまだ提供されているとはいえないのが現状である。一方、優れた防振性を示す材料としてポリマーコンクリート組成物が知られている（特許文献５〜６）。
【特許文献１】特開平８−１５６１３８号公報
【特許文献２】特開平１１−２４１４８９号公報
【特許文献３】特開２００１−１０７５４７号公報
【特許文献４】特開２００５−２４０５２１号公報
【特許文献５】特開２００４−３０００１０号公報
【特許文献６】特開２００４−３０００１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明者は、上記した従来技術の問題点に鑑み、クリーンルームのグレーチング床として所定の機械的性質及び優れた防振性を有しかつ低コストのグレーチング床を開発すべく鋭意研究を重ねた結果、ポリマーコンクリートの技術をグレーチング床の製造に適用することによって、従来にない優れた防振性能を有する上、コスト的にも低廉なクリーンルーム用床構造を製造することができることを見出し、本発明を完成したものである。
【０００４】
本発明は、クリーンルームにおける各種の機器、装置及び作業者等の人間の歩行等に起因する振動等を効果的に防振することができるようにしたクリーンルーム用床構造を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、本発明のクリーンルーム用床構造は、クリーンルーム内に設けられる床支持材と、前記床支持材上に係合固着される複数枚のパネル状床板と、前記床支持材に前記床板を係合固着する係合固着手段とを含み、前記床板が７０〜８０質量％の粒状花崗岩、１５〜１０質量％の結合材及び１５〜１０質量％の微粒子材を必須成分として含有するポリマーコンクリート組成物から形成されることを特徴とする。
【０００６】
前記粒状花崗岩は骨材として用いられるもので、その平均粒径は、１０ｍｍ〜２ｍｍであるのが好ましい。前記結合材は、硬化性樹脂及び硬化剤を含み、必要に応じて希釈材を含むものであり、前記ポリマーコンクリート組成物中の固形物を除いた液状組成物である。
【０００７】
硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル、不飽和ウレタン樹脂、メタクリル酸エステル樹脂、ポリオールとポリイソシアネートからなるポリウレタン樹脂などが挙げられ、硬化性、骨材との密着性の観点からエポキシ樹脂が好ましい。
【０００８】
エポキシ樹脂としては、ビスフェノールＡ、ビスフェノールＦの如きジフェノール類のジグリシジルエーテルや、前記ジフェノール類とエピクロルヒドリン等の初期縮合物が挙げられ、好ましくは、ビスフェノールＡ系エポキシ樹脂である。
【０００９】
エポキシ樹脂の硬化剤としては、ｍ−キシリレンジアミン、２，３，５−トリ（ジメチルアミノメチル）フェノール等の芳香族ポリアミン、ジエチルアミノプロピルアミン、ジエチレントリアミン等の脂肪族ポリアミンが挙げられる。硬化剤は、硬化性樹脂１００質量部に対して１０〜１００質量部、好ましくは３０〜７０質量部の比率で用いられることが好ましい。
【００１０】
前記結合材に使用できる希釈材としては、芳香族モノエポキシ化合物、例えばクレゾールグリシジルエーテルなどが硬化物の強度の向上にも寄与し好ましい。添加量は硬化性樹脂１００質量部に対し、３０質量部以下が好ましい。
【００１１】
前記微粒子材としては、無機微粒子材が好ましく、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、水酸化アルミニウム、アルミナ、ムライト、炭化珪素、シリカ、フライアッシュ、ガラス等が挙げられ、これらのうち溶融シリカ、ガラスビーズ、フライアッシュが特に好ましい。これらの混合物を使用することもできる。前記微粒子材の平均粒径としては、５〜５０μｍであり、好ましくは１０〜３０μｍ、より好ましくは１０〜２５μｍである。ここで粒径は、粒子の長軸長と短軸長の相加平均、即ち（長軸長＋短軸長）／２である（以下同様）。
【００１２】
本発明のクリーンルーム用床構造において、前記係合固着手段が、係合固着部材と、前記床支持材に形成されかつ前記係合固着部材と係合する被係合固着部材と、前記床板の両側周辺部に埋設されかつ前記係合固着部材が挿通可能とされた貫通孔を有する穴付埋設部材とからなり、前記係合固着部材を前記穴付埋設部材を介して前記被係合固着部材に係合固着することによって、前記床支持材上に前記床板を係合固着する構成が好ましい。
【００１３】
前記係合固着部材が先端部を雄螺子部としたボルトであり、前記被係合固着部材が前記床支持材に設けられかつ前記ボルトの先端螺子部が螺合される雌螺子部を備えた受金具であり、そして前記穴付埋設部材が前記ボルトを挿通可能とした貫通孔を穿設した穴付埋設金具であって、前記ボルトを前記穴付埋設金具の貫通孔に挿通しその先端部の雄螺子部を前記受金具の雌螺子部に螺合させることによって、前記床支持材上に前記床板を螺合固着するよう構成が好ましい。
【００１４】
本発明の床板は、本発明のクリーンルーム用床構造に用いられる床板であって、中央部は肉厚に形成されるとともに、両側周辺部は肉薄に形成され、前記係合固着部材が挿通可能とされた貫通孔を有する穴付埋設部材が両側肉薄周辺部に埋設されている構造を有することを特徴とする。
【００１５】
本発明の型枠は、本発明の床板を製造する際に用いられる型枠であって、４枚の側板を一対ずつの側板が互いに相対向するように接続して形成された四角形枠体と、該枠体の下部を閉塞するように設けられた底板と、相対向する一方の一対の側板の内面に横架するとともに相対向する他方の一対の側板に平行しかつ前記底板との間には空隙が形成されるように設けられた相対向する一対の邪魔板と、前記邪魔板と他方の側板との間に位置する底板部分に穿設された少なくとも１個の取付穴と、からなり、前記穴付埋設部材と、該穴付埋設部材の上部に着脱自在に嵌着されかつ中央部に挿通孔を穿設した穴付キャップ部材と、を係止具によって前記取付穴に着脱自在に係止することができるようにしたことを特徴
とする。
【００１６】
本発明の床板の製造方法は、本発明の型枠を用いて本発明の床板を製造する方法であって、前記穴付埋設部材と該穴付埋設部材の上部に着脱自在に嵌着されかつ中央部に挿通孔を穿設した穴付キャップ部材とを係止具によって前記型枠の取付穴に着脱自在に係止する工程と、前記型枠内の底板から邪魔板の下面まで及び前記穴付キャップ部材の位置までの下部空間に第一次ポリマーコンクリート組成物を投入する工程と、前記第一次ポリマーコンクリート組成物を硬化させる工程と、前記型枠の一対の邪魔板の間で前記硬化した第一次ポリマーコンクリート組成物の上面に形成された上部空間に第二次ポリマーコンクリート組成物を投入する工程と、前記第二次ポリマーコンクリートを硬化させ中央部が肉厚で両側周辺部が肉薄である床板成形体を形成する工程と、前記床板成形体から係止具を取り外す工程と、前記型枠から前記床板成形体を取り外す工程と、前記取り外された床板成形体の肉薄両側周辺部の表層部を所定厚さだけ切削して前記穴付キャップ部材を取り外すとともに前記穴付埋設部材の上面と前記肉薄両側周辺部の上面とを略面一とする工程と、を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明のクリーンルーム用床構造によれば、クリ−ンルームにおける各種の機器、装置及び作業者等の人間の歩行等に起因する振動等を効果的に防振することができるという著大な効果が達成される。本発明の床板は本発明のクリーンルーム用床構造に好適に用いられるものである。本発明の床板の製造方法によれば、本発明の床板を効果的に製造することができる。本発明の型枠は本発明の床板の製造方法において有効に使用される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態について添付図面に基づいて説明するが、図示例は本発明の好ましい実施の形態を示すもので、本発明の技術思想から逸脱しない限り、種々の変形が可能であることはいうまでもない。
【００１９】
図１はクリーンルーム内の床支持材に設置された本発明の床板の係合固着状態を示す断面的説明図で、（ａ）は根太上に設置された床板の係合固着状態の一例、（ｂ）は根太上に設置された床板の係合固着状態の他の例、（ｃ）はベース床上に設置された床板の係合固着状態の一例をそれぞれ示す。図２は図１（ａ）の要部の拡大断面説明図である。図３はポリマーコンクリート組成物を本発明の床板に成形する際に用いられる型枠の１例を示す斜視説明図である。図４は本発明の床板の周辺部に埋設される穴付埋設金具とその埋設工程において用いられる穴付キャップ部材をボルトナットで型枠に装着した状態を示す側面的説明図である。図５は本発明方法において用いられる穴付埋設金具と穴付キャップ部材の摘示拡大分解斜視図である。図６は本発明方法においてポリマーコンクリート組成物を型枠を用いて床板を成形する手順を示す側面的説明図で、（ａ）は型枠の周辺部にボルトナットで穴付埋設金具と穴付キャップ部材を装着した状態、（ｂ）は（ａ）の状態で第一次ポリマーコンクリート組成物を穴付埋設金具と穴付キャップ部材が埋設されるように投入した状態、（ｃ）は（ｂ）の状態から第一次ポリマーコンクリートが硬化した後、型枠の中央部分に第二次ポリマーコンクリート組成物を投入して中央肉厚部を成形した状態、及び（ｄ）は第一次及び第二次ポリマーコンクリート組成物が硬化して床板成形体が形成された後、ボルトナットを外し次いで硬化した床板成形体を型枠から取り外した状態、（ｅ）は肉薄両側周辺部の表層部を所定厚さだけ切削して穴付埋設金具の上面と床板の肉薄両側周辺部の上面を面一にした状態として床板を完成した状態をそれぞれ示す。図７は本発明方法の工程順の一例を示すフローチャートである。
【００２０】
図１（ａ）は床支持材である根太上に設置された床板の係合固着状態の一例を示すものである。図１（ａ）において、１０は本発明に係るクリーンルーム用床構造である。前記クリーンルーム用床構造１０は、複数枚のパネル状床板１２をクリーンルーム内に設けられる床支持材である根太１４に係合固着手段１６で係合固着する構造を有している。前記床板１２は肉厚中央部１２ａと肉薄両側周辺部１２ｂとを有しており、図２に示すように、肉薄両側周辺部１２ｂには係合固着手段１６の一部を構成する貫通孔１７を有する穴付埋設部材である穴付埋設金具１８が埋設されている。また、図２に示すように、根太１４の上面には被係合固着部材である雌螺子部を備えた受部材である受金具２０が設けられている。２２は係合固着部材である先端部を雄螺子部としたボルトで、前記穴付埋設金具１８の貫通孔１７に挿通してその先端部の雄螺子部を受金具２０の雌螺子部に螺合することによって床板１２を根太１４の係合固着するものである。即ち、係合固着手段１６は穴付埋設部材である穴付埋設金具１８、被係合固着部材である受金具２０及び係合固着部材であるボルト２２から構成されるものである。
【００２１】
図１（ｂ）は床支持材である根太上に設置された床板の係合固着状態の一例を示すものである。上述した図１（ａ）においては、受金具２０は根太１４の上面に直接設けた例場合を示したが、図１（ｂ）においては、根太１４上に長尺の支持部材２４を設置し、その長尺支持部材２４の上面に受金具を設けた構造としてある。なお、受金具を含めた係合固着手段１６の構成は図１（ａ）及び図２の場合と同様であるので再度の説明は省略する。
【００２２】
図１（ｃ）は床支持材であるベース床上に設置された床板の係合固着状態の一例を示すものである。図１（ａ）及び図１（ｂ）においては、いずれも根太１４に受金具２０を設けた場合を説明したが、図１（ｃ）では床支持材としてベース床２６を用いた場合を示したものである。この場合は、ベース床２６上に基板２８を設置し、この基板２８上に長尺のベース支持部材３０を設けた構成としてある。なお、受金具を含めた係合固着手段１６の構成は図１（ａ）及び図２の場合と同様であるので再度の説明は省略する。
【００２３】
本発明の最大の特徴は、前記床板１２が特殊なポリマーコンクリート組成物を硬化させて形成されたポリマーコンクリート成形体であることにある。このポリマーコンクリート組成物は、７０〜８０質量％の粒状花崗岩、１５〜１０質量％の結合材及び１５〜１０質量％の微粒子材を必須成分として含有するものである。
【００２４】
前記粒状花崗岩は骨材として用いられるもので、その平均粒径は、１０ｍｍ〜２ｍｍであるのが好ましい。前記結合材は、硬化性樹脂及び硬化剤を含み、必要に応じて希釈材を含むものであり、前記ポリマーコンクリート組成物中の固形物を除いた液状組成物である。
【００２５】
硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル、不飽和ウレタン樹脂、メタクリル酸エステル樹脂、ポリオールとポリイソシアネートからなるポリウレタン樹脂などが挙げられ、硬化性、骨材との密着性の観点からエポキシ樹脂が好ましい。
【００２６】
エポキシ樹脂としては、ビスフェノールＡ、ビスフェノールＦの如きジフェノール類のジグリシジルエーテルや、前記ジフェノール類とエピクロルヒドリン等の初期縮合物が挙げられ、好ましくは、ビスフェノールＡ系エポキシ樹脂である。
【００２７】
エポキシ樹脂の硬化剤としては、ｍ−キシリレンジアミン、２，３，５−トリ（ジメチルアミノメチル）フェノール等の芳香族ポリアミン、ジエチルアミノプロピルアミン、ジエチレントリアミン等の脂肪族ポリアミンが挙げられる。硬化剤は、硬化性樹脂１００質量部に対して１０〜１００質量部、好ましくは３０〜７０質量部の比率で用いられることが好ましい。硬化剤は作業体系、時節温度にあわせ硬化時間を調整するように投入することが望ましい。
【００２８】
前記結合材に使用できる希釈材としては、芳香族モノエポキシ化合物、例えばクレゾールグリシジルエーテルなどが硬化物の強度の向上にも寄与し好ましい。添加量は硬化性樹脂１００質量部に対し、３０質量部以下が好ましい。
【００２９】
前記微粒子材としては、無機微粒子材が好ましく、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、水酸化アルミニウム、アルミナ、ムライト、炭化珪素、シリカ、フライアッシュ、ガラス等が挙げられ、これらのうち溶融シリカ、ガラスビーズ、フライアッシュが特に好ましい。これらの混合物を使用することもできる。前記微粒子材の平均粒径としては、５〜５０μｍであり、好ましくは１０〜３０μｍ、より好ましくは１０〜２５μｍである。ここで粒径は、粒子の長軸長と短軸長の相加平均、即ち（長軸長＋短軸長）／２である。
【００３０】
次に、前記パネル状床板の製造に用いられる型枠について説明する。図３は本発明のパネル状床板の製造に用いられる型枠を示す斜視説明図である。図３において、４０は本発明のパネル状床板の製造に用いられる型枠である。前記型枠４０は、４枚の側板４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄを一対ずつの側板４２ａ、４２ｃ及び４２ｂ、４２ｄが互いに相対向するように接続して形成された四角形枠体４４を有している。前記枠体４４の下部は底板４６によって閉塞されている。４８ａ、４８ｂは相対向する一対の邪魔板で、相対向する一方の一対の側板４２ａ、４２ｃの内面に横架するとともに相対向する他方の一対の側板４２ｂ、４２ｄに平行しかつ前記底板４６との間には空隙５０を形成するように設けられている。５２は取付穴で、前記邪魔板４８ａ、４８ｂと他方の側板４２ｂ、４２ｄとの間に位置する底板部分４６ａ、４６ｂに穿設されている。前記取付穴５２は底板４６の隅角部に一個づつ合計４箇所設けるのが好適である。
【００３１】
本発明の床板の材料として使用されるポリマーコンクリート成形体は金属より強度が落ちる（後掲するポリマーコンクリート床板の物機械的性質を示す表１参照）ため係止具挿通用貫通孔、例えば取り付けボルト用の穴を形成するためには貫通孔を形成した穴付埋設部材、好ましくは金属性部材からなる穴付埋設金具を埋設することが必要である。クリーンルーム内はサビなどの塵を嫌うため上記金属製部材の材質はステンレス材が望ましい。以下に、穴付埋設金具の埋設方法について説明する。図４は床板の周辺部に埋設される穴付埋設金具とその埋設工程において用いられる穴付キャップ部材をボルトナットで型枠に装着した状態を示す側面的説明図である。図５は穴付埋設金具と穴付キャップ部材の摘示拡大分解斜視図である。
【００３２】
前記取付穴５２（図３）には、図４に示すように、前記穴付埋設金具１８と、該穴付埋設金具１８の埋設工程において用いられる穴付キャップ部材５４と、が係止具５６（図４）の図示例ではボルト５６ａ及びナット５６ｂが例示されている）によって着脱自在に係止される。前記穴付埋設金具１８は、前述したごとく、貫通孔１７を有し、該貫通孔１７は、図５に示されるごとく、径大上部１７ａ、径小中央部１７ｂ、及び径中下部１７ｃの３つの中空部分に分けて形成されている。前記穴付キャップ部材５４は、前記穴付埋設金具１８の上部に着脱自在に嵌着されかつ中央部に穿設された挿通孔５５を有している。該穴付キャップ部材５４は前記穴付埋設金具１８と外径が同一の中央主体部５８と、前記穴付埋設金具１８の径大上部１７ａに嵌合する径小段部６０と、上部摘み部６２とを有している。
【００３３】
続いて、本発明の床板の製造方法について図６及び図７を用いて説明する。図６は本発明方法においてポリマーコンクリート組成物を型枠を用いて床板を成形する手順を示す側面的説明図である。図７は本発明方法の工程順の一例を示すフローチャートである。
【００３４】
まず、型枠４０を準備する（図７のステップ１０２）。前記穴付埋設部材１８と該穴付埋設部材１８の上部に着脱自在に嵌着されかつ中央部に挿通孔５５を穿設した穴付キャップ部材５４とを係止具５６（ボルト５６ａ及びナット５６ｂ）によって前記型枠４０の取付穴５２（好ましくは４箇所）に着脱自在に係止する（図６（ａ）及び図７のステップ１０２）。前記型枠４０内の底板４６から邪魔板４８ａ、４８ｂの下面まで及び前記穴付キャップ部材の位置までの下部空間５１（図６（ａ）の例では、底板４６から高さ９５ｍｍまで）に第一次ポリマーコンクリート組成物Ｐ１を投入し加振を行い充填する（図６（ｂ）及び図７のステップ１０４）。
【００３５】
次いで、充填した前記第一次ポリマーコンクリート組成物Ｐ１を２〜３時間養生することによりその表皮部分を硬化させる（図７のステップ１０６）。前記型枠４０の一対の邪魔板４８ａ、４８ｂの間で前記表皮の硬化した第一次ポリマーコンクリート組成物Ｐ１の上面に形成された上部空間５３（図６（ｂ）の例では、底板４６から１５０ｍｍの高さまで）に第二次ポリマーコンクリート組成物Ｐ２を投入し再び加振充填を行う（図６（ｃ）及び図７のステップ１０８）。前記第二次ポリマーコンクリート組成物Ｐ２を型枠４０の水平を保った状態で２４時間養生して内部まで硬化させ中央部が肉厚で両側周辺部が肉薄である床板成形体Ｐ３を形成する（図７のステップ１１０）。前記床板成形体Ｐ３から係止具５６を取り外す（図７のステップ１１２）。前記型枠４０から前記床板成形体Ｐ３を取り外す（図６（ｄ）及び図７のステップ１１４）。前記取り外された床板成形体Ｐ３の肉薄両側周辺部１２ｂの表層部Ｔを所定厚さ（図６（ｄ）の例では、底板４６から９０ｍｍの高さになるまで、即ち５ｍｍ）だけ切削加工して前記穴付埋設部材１８の上面と前記肉薄両側周辺部１２ｂの上面とを略面一とする（図７のステップ１１６）。前記穴付キャップ部材５４を取り外す（図６（ｅ）及び図７のステップ１１８）。これによって床板１２が完成する。
【００３６】
本発明の床板の製造に用いられるポリマーコンクリート組成物は型枠の中で硬化及び成形を行うため、形状の復元性（量産性）が高く接着性もよいことから材質のことなる部品をあらかじめ型の中でインサートすることができ、従来のアルミ製床板に比べ、振動減衰性がすぐれている。また、本発明ではポリマーコンクリート組成物としては、クリーンルーム用床板製造に適した特殊な組成を採用した。本発明の床板の製造に用いるポリマーコンクリート組成物の組成は略９０％が石材等であるため石材等による振動減衰性がある。結合材としてはエポキシ樹脂を使用するのが好適であるが、エポキシ樹脂は強度にすぐれ、クリーンルーム内に設置する高荷重な装置に対しても十分に耐える強度を持ち合わせている利点がある。
【００３７】
前述したように、本発明の床板は特定の組成を有するポリマーコンクリート組成物から構成される。本発明で用いられるポリマーコンクリート組成物の好適な組成は粒状花崗岩７０〜８０％、エポキシ樹脂１５〜１０％、及び微粒子材１５〜１０％を必須成分として含有するものである。この組成のポリマーコンクリート組成物により成形した床板の機械的性質を従来のアルミ床板と比較して表１に示す。
【００３８】
【表１】
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【実施例】
【００３９】
以下に本発明の実施例を挙げて具体的に説明するが、この実施例は例示的に示されるもので限定的に解釈されるものではない。
【００４０】
（実施例１）
本発明の床板を次のように製造した。あらかじめ混練されたポリマーコンクリート組成物用Ａ剤はビスフェノールＡ系エポキシ樹脂と微粒子充填材（溶融シリカ）で構成されている。骨材となる花崗岩は床板の寸法（６００×６００ｍｍ）を考慮して平均粒径が１０ｍｍ〜２ｍｍ程度に粉砕した粒を用いた。これらの花崗岩粒とＡ剤を質量部で１０対２．５の割合で真空脱泡装置付攪拌器により混練した。このとき、Ａ剤の流動性と混練性をあげるためＡ剤及び花崗岩粒の温度は２５℃以上４０℃以下に調整した。Ａ剤と花崗岩粒が十分に混ざりあった後、エポキシ樹脂の硬化剤Ｂ剤（変性脂肪族ポリアミン等からなる混合物）を投入した。Ｂ剤投入後、再び混練を行うと同時に真空脱泡を行った。ここで、混練と共に混練物上に気泡がなくなるまで十分な脱泡を行った。十分な脱泡と混練が終了したら速やかに混練りした材料を予め用意した離型剤を施した金属性型枠（図３に示した形状のもの）に流し込み、振動を与え充填を行った。床板の成形の完了までの作業は図７に示した手順と同様に行ったので詳細な手順の説明は省略する。実際の作業においては、ポリマーコンクリート組成物用Ａ剤はＢ剤を投入後、１時間ほどで硬化が始まるため加振時間は１時間から混練及び型枠への投入時間を差引いた時間となるので、混練りした材料には十分な加振を加える必要があるためＢ剤投入後は速やかな作業が必要となる。
【００４１】
（測定例１〜３）
従来のグレーチングパネルと同じサイズの６枚の床板（本発明床板）を実施例1の手順によって作製し準備した。従来のグレーチングパネルを用いて根太上に作製された工場の床エリアから６枚のグレーチングパネルを外しその部分に上記6枚の本発明床板を図１（ａ）に示したように設置した。その防振性能について、工場通常稼動時における常時微動（空調のみ）（測定例１）と、一人歩行時（測定例２）及び台車走行時（測定例３）の影響について実験を行った。測定点における振動特性を把握するために１／３オクターブバンドスペクトルを求めた。測定位置は、本発明床板上、根太上、グレーチングパネル上の計３点の測定点を設け、それぞれ水平２方向（Ｘ，Ｙ方向）と上下（Ｚ）方向の３成分について測定を行った。
【００４２】
上記した測定の結果を図８〜１０（測定例１−１〜１−３）、図１１〜１３（測定例２−１〜２−３）及び図１４〜１６（測定例３−１〜３−３）に示した。なお、台車走行時（測定例３）の根太上における実験は、根太上だけで台車を走行させることが困難なため、測定できなかった。そのため、図１４、図１５及び図１６において根太上の測定結果は図示されない。１／３オクターブバンドスペクトル解析は、ＪＩＳＣ１５１３「オクターブ及び１／３オクターブバンド分析器」に準拠した方法によって算出した。測定モードは全ケース加速度とし、Ａ／Ｄ変換時のサンプリングピッチは５００Ｈｚとした。いずれの場合も業界における床振動許容値（図８〜図１０において、作業所、事務所・学校、住宅・病院、精密作業区域における許容値を測定例１〜３の測定値と共に実線で示した）を下回っており、また、一人歩行時や台車走行時の振動に対して特に高周波数領域において増幅を抑えている効果が見受けられた。これらの実験の結果、本発明の床板の防振性能が高いことが確認できた。
【００４３】
測定には携帯用振動計を使用した。これは、６チャンネルの振動計とパソコンを搭載したもので、計測と同時に波形をＡ／Ｄ変換し、パソコンのハードディスク上に記録するものです。
振動計の仕様を以下に示す。
携帯用振動計（ＳＰＣ−３５Ｆ：東京測振製）
測定範囲：±１０ｇａｌ，±１０００ｇａｌ
感度：１Ｖ／ｇａｌ，０．０１Ｖ／ｇａｌ
周波数範囲：ＤＣ〜３００Ｈｚ
ＡＤ変換器：１６ｂｉｔ
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】クリーンルーム内の床支持材に設置された本発明の床板の係合固着状態を示す断面的説明図で、（ａ）は根太上に設置された床板の係合固着状態の一例、（ｂ）は根太上に設置された床板の係合固着状態の他の例、（ｃ）はベース床上に設置された床板の係合固着状態の一例をそれぞれ示す。
【図２】図１（ａ）の要部の拡大断面説明図である。
【図３】ポリマーコンクリート組成物を本発明の床板に成形する際に用いられる型枠の１例を示す斜視説明図である。
【図４】本発明の床板の周辺部に埋設される穴付埋設金具とその埋設工程において用いられる穴付キャップ部材をボルトナットで型枠に装着した状態を示す側面的説明図である。
【図５】本発明方法において用いられる穴付埋設金具と穴付キャップ部材の摘示拡大分解斜視図である。
【図６】本発明方法においてポリマーコンクリート組成物を型枠を用いて床板を成形する手順を示す側面的説明図で、（ａ）は型枠の周辺部にボルトナットで穴付埋設金具と穴付キャップ部材を装着した状態、（ｂ）は（ａ）の状態で第一次ポリマーコンクリート組成物を穴付埋設金具と穴付キャップ部材が埋設されるように投入した状態、（ｃ）は（ｂ）の状態から第一次ポリマーコンクリートが硬化した後、型枠の中央部分に第二次ポリマーコンクリート組成物を投入して中央肉厚部を成形した状態、及び（ｄ）は第一次及び第二次ポリマーコンクリート組成物が硬化して床板成形体が形成された後、ボルトナットを外し次いで硬化した床板成形体を型枠から取り外した状態、（ｅ）は肉薄両側周辺部の表層部を所定厚さだけ切削して穴付埋設金具の上面と床板の肉薄両側周辺部の上面を面一にした状態として床板を完成した状態をそれぞれ示す。
【図７】本発明方法の工程順の一例を示すフローチャートである。
【図８】測定例１−１において各測定点における振動特性の測定値を床振動許容値と対比して示すグラフである。
【図９】測定例１−２において各測定点における振動特性の測定値を床振動許容値と対比して示すグラフである。
【図１０】測定例１−３において各測定点における振動特性の測定値を床振動許容値と対比して示すグラフである。
【図１１】測定例２−１において各測定点における振動特性の測定値を床振動許容値と対比して示すグラフである。
【図１２】測定例２−２において各測定点における振動特性の測定値を床振動許容値と対比して示すグラフである。
【図１３】測定例２−３において各測定点における振動特性の測定値を床振動許容値と対比して示すグラフである。
【図１４】測定例３−１において各測定点における振動特性の測定値を床振動許容値と対比して示すグラフである。
【図１５】測定例３−２において各測定点における振動特性の測定値を床振動許容値と対比して示すグラフである。
【図１６】測定例３−３において各測定点における振動特性の測定値を床振動許容値と対比して示すグラフである。
【符号の説明】
【００４５】
１０：クリーンルーム用床構造、１２：パネル状床板、１２ａ：肉厚中央部、１２ｂ：肉薄両側周辺部、１４：根太、１６：係合固着手段、１７：貫通孔、１７ａ：径大上部、１７ｂ：径小中央部、１７ｃ：径中下部、１８：穴付埋設部材、２０：受金具、２２：ボルト、２４：支持部材、２４：長尺支持部材、２６：ベース床、２８：基板、３０：ベース支持部材、４０：型枠、４２ａ：側板、４２ｂ：側板、４４：四角形枠体、４６：底板、４６ａ：底板部分、４８ａ：邪魔板、５０：空隙、５１：下部空間、５２：取付穴、５３：上部空間、５４：穴付キャップ部材、５５：挿通孔、５６：係止具、５６ａ：ボルト、５６ｂ：ナット、５８：中央主体部、６０：径小段部、６２：上部摘み部、Ｐ１：第一次ポリマーコンクリート組成物、Ｐ２：第二次ポリマーコンクリート組成物、Ｐ３：床板成形体、Ｔ：表層部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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