(57)【要約】【課題】膜強度に優れると共にレチキュレーションの発生を効果的に防止したブラックマトリックスの製造方法を提供する。【解決手段】仮支持体上に少なくとも感光性樹脂層を有する感光性転写材料を用いて該感光性樹脂層を基板に転写する転写工程と、基板上に転写された感光性樹脂層を画像様に露光し現像するする露光現像工程と、現像後の感光性樹脂層をメタルハライドランプによってポスト露光（好ましくは、露光照度が５０〜５００ｍＷ／ｃｍ２、露光エネルギーが５００〜５０００ｍＪ／ｃｍ２の範囲）するポスト露光工程と、ポスト露光後の感光性樹脂層をベークするベーク工程と、を有し、前記ポスト露光後のモノマー反応率が５〜４０％であり、前記ベーク後のモノマー反応率が６０〜１００％であるブラックマトリックスの製造方法。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
仮支持体上に少なくとも感光性樹脂層を有する感光性転写材料を用いて該感光性樹脂層を基板に転写する転写工程と、基板上に転写された感光性樹脂層を画像様に露光し現像する露光現像工程と、現像後の感光性樹脂層をメタルハライドランプによってポスト露光するポスト露光工程と、ポスト露光後の感光性樹脂層をベークするベーク工程と、を有し、
前記ポスト露光後ベーク前のモノマー反応率が５〜４０％であり、前記ベーク後のモノマー反応率が６０〜１００％であることを特徴とするブラックマトリックスの製造方法。
【請求項２】
前記ポスト露光時の露光エネルギーが５００〜５０００ｍＪ／ｃｍ２であることを特徴とする請求項１に記載のブラックマトリックスの製造方法。
【請求項３】
前記ポスト露光時の露光照度が５０〜５００ｍＷ／ｃｍ２であることを特徴とする請求項１または２に記載のブラックマトリックスの製造方法。
【請求項４】
請求項１〜３の何れか１項に記載のブラックマトリックスの製造方法によって製造されたことを特徴とするブラックマトリックス。
【請求項５】
請求項４に記載のブラックマトリックスを有する基板を用い、該ブラックマトリックスの開口部に２色以上の着色液体組成物を付与し、２色以上の複数の着色画素からなる着色画素郡を形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項６】
前記着色液体組成物を付与する方法として、インクジェット法およびスリットコート法から選択される１種を用いることを特徴とする請求項５に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項７】
請求項５または６に記載のカラーフィルタの製造方法により製造されたことを特徴とするカラーフィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ブラックマトリックスの製造方法およびそれによって得られたブラックマトリックスに関し、また、液晶表示装置等の表示装置に用いられ、該ブラックマトリックスを備えたカラーフィルタの製造方法およびそれによって得られたカラーフィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
表示装置用カラーフィルタは、ガラス等の基板上に赤色、緑色、青色のドット状画像（画素）をそれぞれマトリックス状に配置し、その境界をブラックマトリックスで区分した構造である。このようなカラーフィルタの製造方法としては、従来、支持体としてガラス等の基板を用い、１）着色した感光性樹脂液の塗布と露光および現像の繰り返しによる着色感光性樹脂液法（着色レジスト法）（例えば、特許文献１参照）、２）仮支持体上に形成した画像を順次、最終または仮の支持体上に転写する方法、３）予め着色した感光性樹脂液を仮支持体上に塗布することにより着色層を形成し、順次直接、基板上にこの感光性着色層を転写し、露光して現像することを色の数だけ繰り返す方法等により多色画像を形成する方法（転写方式）が知られている（例えば、特許文献２参照）。また、近年では４）ブラックマトリックスが形成された基板の、該ブラックマトリックスの開口部（間隙）にインクジェット法によって着色液体組成物（着色インク）を打滴して多色画像を形成する方法（例えば、特許文献３参照）も知られている。
【０００３】
上記多色画像の形成において、画像（画素）間の境界となるブラックマトリックスの製造方法としては、感光性樹脂液を仮支持体上に塗布することにより感光性樹脂層を形成し、直接基板上にこの感光性樹脂層を転写し、露光して現像することにより形成する方法が知られている。このブラックマトリックスの形成方法においては、露光現像の後、感光性樹脂層中のモノマーをベーク（加熱）等の方法により反応させて硬化させる。
【０００４】
インクジェット法などの上記従来における画素形成方法では、ブラックマトリックスにある程度の厚みが要求されることがあるが、厚みのあるブラックマトリックスを従来の光源にて露光、現像して形成した場合、後工程であるベーク工程を経た際にしばしば波打ち（レチキュレーションと呼ぶ）が発生し、得率を下げる要因となっていた。このレチキュレーションを回避するために、現像工程とベーク工程との間に「ポスト露光」と呼ばれる工程を挟む方法が開示されている（例えば、特許文献４参照）。
しかし、ポスト露光を行った場合でも、レチキュレーションの発生を完全に防止することができない場合があり、また得られたブラックマトリックスの膜強度が弱く膜はがれを引き起こすという問題もあり、更なる品質の向上が望まれていた。
【特許文献１】特開平１−１５２４４９号公報
【特許文献２】特開昭６１−９９１０２号公報
【特許文献３】特開平８−２２７０１２号公報
【特許文献４】特許第３５３４９９６号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記従来における欠点を解決することを目的とする。即ち本発明の目的は、膜強度に優れると共にレチキュレーションの発生を効果的に防止したブラックマトリックスの製造方法、膜強度に優れると共に良好な表面形状を有するブラックマトリックス、並びに該ブラックマトリックスを用いたカラーフィルタおよびその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記本発明における目的は、下記発明によって達成される。即ち、本発明のブラックマトリックスの製造方法は、
＜１＞  仮支持体上に少なくとも感光性樹脂層を有する感光性転写材料を用いて該感光性樹脂層を基板に転写する転写工程と、基板上に転写された感光性樹脂層を画像様に露光し現像する露光現像工程と、現像後の感光性樹脂層をメタルハライドランプによってポスト露光するポスト露光工程と、ポスト露光後の感光性樹脂層をベークするベーク工程と、を有し、前記ポスト露光後ベーク前のモノマー反応率が５〜４０％であり、前記ベーク後のモノマー反応率が６０〜１００％であるブラックマトリックスの製造方法である。
＜２＞  前記ポスト露光時の露光エネルギーが５００〜５０００ｍＪ／ｃｍ２である前記＜１＞に記載のブラックマトリックスの製造方法である。
＜３＞  前記ポスト露光時の露光照度が５０〜５００ｍＷ／ｃｍ２である前記＜１＞又は＜２＞に記載のブラックマトリックスの製造方法である。
【０００７】
また、本発明のブラックマトリックスは、
＜４＞  前記＜１＞〜＜３＞の何れか１項に記載のブラックマトリックスの製造方法によって製造されたブラックマトリックスである。
【０００８】
更に、本発明のカラーフィルタの製造方法は、
＜５＞  前記＜４＞に記載のブラックマトリックスを有する基板を用い、該ブラックマトリックスの開口部に２色以上の着色液体組成物を付与し、２色以上の複数の着色画素からなる着色画素郡を形成するカラーフィルタの製造方法である。
＜６＞  前記着色液体組成物を付与する方法として、インクジェット法およびスリットコート法から選択される１種を用いる前記＜５＞に記載のカラーフィルタの製造方法である。
【０００９】
また更に、本発明のカラーフィルタは、
＜７＞  前記＜５＞又は＜６＞に記載のカラーフィルタの製造方法により製造されたカラーフィルタである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、膜強度に優れると共にレチキュレーションの発生を効果的に防止したブラックマトリックスの製造方法、膜強度に優れると共に良好な表面形状を有するブラックマトリックス、並びに該ブラックマトリックスを用いたカラーフィルタおよびその製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明のブラックマトリックスの製造方法は、仮支持体上に少なくとも感光性樹脂層を有する感光性転写材料を用いて該感光性樹脂層を基板に転写する転写工程と、基板上に転写された感光性樹脂層を画像様に露光し現像する露光現像工程と、現像後の感光性樹脂層をメタルハライドランプによってポスト露光するポスト露光工程と、ポスト露光後ベーク前の感光性樹脂層をベークするベーク工程と、を有してなる製造方法であり、前記ポスト露光後ベーク前のモノマー反応率が５〜４０％であり、前記ベーク後のモノマー反応率が６０〜１００％であることを特徴とする。
ポスト露光用の露光手段としてメタルハライドランプを用い、且つポスト露光によって反応するモノマー反応率、およびその後のベークによって反応するモノマー反応率を制御することにより、膜強度に優れ、ベーク時におけるレチキュレーションの発生を効果的に防止した、高品質のブラックマトリックスを製造することができる。
以下、本発明のブラックマトリックスの製造方法を、工程の順を追って説明する。
【００１２】
＜ブラックマトリックスの製造方法＞
（１）転写工程
後述するブラックマトリックス用の感光性転写材料を用い、膜状に形成した感光性樹脂層を基板面に加熱及び／又は加圧したローラー又は平板で圧着又は加熱圧着することによって貼り付け、更に剥離して転写を行う。具体的には、特開平７−１１０５７５号公報、特開平１１−７７９４２号公報、特開２０００−３３４８３６号公報、特開２００２−１４８７９４号公報に記載のラミネーター及びラミネート方法が挙げられ、低異物の観点で、特開平７−１１０５７５号公報に記載の方法を用いるのが好ましい。
用いる感光性転写材料については後述する。
【００１３】
尚ここで、ブラックマトリックスが形成される基板としては、透明基板が好適であり、例えば、表面に酸化ケイ素皮膜を有するソーダガラス板、低膨張ガラス、ノンアルカリガラス、石英ガラス板等の公知のガラス板、あるいはプラスチックフィルム等を挙げることができる。また、基板は、予めカップリング処理を施しておくことにより、ブラックマトリックス用の感光性転写材料の感光性樹脂層との間の密着を良好にすることができる。カップリング処理としては、特開２０００−３９０３３号公報記載の方法が好適に用いられる。
【００１４】
上記のようにして感光性樹脂層を設ける場合、感光性樹脂層上には更に酸素遮断膜を設けることができる。これにより、露光感度をアップすることができる。尚、該酸素遮断膜としては、後述のブラックマトリックス用の感光性転写材料の中間層における構成と同様にすることができる。
【００１５】
（２）露光現像工程
感光性樹脂層の露光、現像は以下のようにして行なうことができる。
基板上に形成された感光性樹脂層の上方に、画像に応じた所定のマスクを配置し、該マスク及び場合により熱可塑性樹脂層と中間層とを介してマスクの更に上方（マスクの感光性樹脂層と対向しない側）から露光し（露光工程）、露光完了後、現像液を用いた現像処理を行なう（現像工程）。
【００１６】
前記露光に用いる光源としては、感光性樹脂層を硬化しうる波長域の光（例えば、３６５ｎｍ、４０５ｎｍなど）を照射できるものであれば適宜選定して用いることができる。具体的には、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、メタルハライドランプ等が挙げられる。露光量（露光エネルギー）としては、通常５〜２００ｍＪ／ｃｍ２程度であり、好ましくは１０〜１００ｍＪ／ｃｍ２程度である。
【００１７】
前記現像液としては、特に制約はなく、特開平５−７２７２４号公報に記載のものなど、公知の現像液を使用することができる。なお、現像液は感光性樹脂層が溶解性を示す現像挙動をするものが好ましく、例えば、ｐＫａ＝７〜１３の化合物を０．０５〜５ｍｏｌ／ｌの濃度で含むものが好ましいが、更に水と混和性の有機溶剤を少量添加してもよい。水と混和性の有機溶剤としては、メタノール、エタノール、２−プロパノール、１−プロパノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクトン、γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸エチル、乳酸メチル、ε−カプロラクタム、Ｎ−メチルピロリドン等が挙げられる。有機溶剤の濃度は０．１〜３０質量％が好ましい。
また、現像液には、更に公知の界面活性剤を添加してもよく、添加する場合の添加濃度は０．０１〜１０質量％が好ましい。
【００１８】
現像の方式としては、パドル現像、シャワー現像、シャワー＆スピン現像、ディプ現像等、公知の方法のいずれでもよい。ここで、シャワー現像について説明する。
シャワー現像による場合、露光工程後の感光性樹脂層に現像液をシャワーにより吹き付けることにより、未硬化部分を除去することができる。なお、現像前に予め、感光性樹脂層の溶解性が低いアルカリ性の液をシャワーなどにより吹き付け、熱可塑性樹脂層、中間層などを除去しておくことが好ましい。また、現像後には、洗浄剤などをシャワーにより吹き付け、ブラシなどで擦りながら、現像残渣を除去することが好ましい。
現像液の液温度は２０℃〜４０℃が好ましく、また、現像液のｐＨは８〜１３が好ましい。
【００１９】
（３）ポスト露光工程
続いて、現像後のパターンが形成されている基板に対し、メタルハライドランプを用いてポスト露光を行なう。本発明においては、該ポスト露光によって反応する感光性樹脂層中のモノマー反応率を５〜４０％とすることを必須の要件とする。上記範囲が５％未満では、レチキュレーションの発生や膜強度の低下を抑制することができず、またブラックマトリックスの形成後に行われる画素の形成をインクジェット方式にて行う場合に、インクジェット溶剤に対する耐性が著しく悪化する。一方４０％を超えると、所望の膜強度を得えることができず膜はがれが発生する。上記ポスト露光によるモノマー反応率の範囲は、更に１０〜３５％であることが好ましく、２０〜３０％であることが特に好ましい。
尚、上記ポスト露光は、少なくとも基板の感光性樹脂層が形成されている側（オモテ面）から行うことが好ましく、更に両面から行ってもよい。
【００２０】
ここで、上記モノマー反応率の測定方法について説明する。
まず測定サンプルとして、ポスト露光後の感光性樹脂層から薄層を削りだし、ＫＢｒにて５０倍の錠剤（高さ５００μｍ、直径２ｍｍのもの）を作製する。
次いで、８１０ｃｍ−１と７００ｃｍ−１の波長での吸光度比をＦＴ−ＩＲ測定装置（ＦＴＳ−７０００／バリアン・テクノロジーズ・ジャパン(株)製）にて測定し、アクリレート等のモノマー（重合性化合物）の残存率を求めることによって、モノマー反応率を算出した。
【００２１】
上記ポスト露光後におけるモノマー反応率は、メタルハライドランプによるポスト露光照度およびポスト露光量（露光エネルギー）の両者を、適宜調整することによって制御することができる。
【００２２】
−ポスト露光照度−
本発明においてメタルハライドランプによるポスト露光の照度は、５０〜５００ｍＷ／ｃｍ２であることが好ましい。上記照度が５０ｍＷ／ｃｍ２以上であることにより、ポスト露光量（露光エネルギー）との関係でモノマー反応率を前記範囲に制御しやすいと共に、より高い膜強度を得ることができる。一方５００ｍＷ／ｃｍ２以下であることにより、ポスト露光量（露光エネルギー）との関係でモノマー反応率を前記範囲に制御しやすいと共に、ベーク時のレチキュレーションの発生をより効率的に抑制することができる。
また上記照度は１００〜３５０ｍＷ／ｃｍ２であることがより好ましく、１５０〜２５０ｍＷ／ｃｍ２であることが特に好ましい。
【００２３】
尚、ポスト露光照度は、照度計にて照度を測定することにより調整することができる。本発明においては、該照度計（照度測定装置）としてウシオ電機(株)製の「ＵＩＴ１５０」を用いた。
【００２４】
−ポスト露光量（露光エネルギー）−
本発明において、メタルハライドランプによる露光量（露光エネルギー）は、５００〜５０００ｍＪ／ｃｍ２であることが好ましい。上記露光エネルギーが５００ｍＪ／ｃｍ２以上であることにより、ポスト露光照度との関係でモノマー反応率を前記範囲に制御しやすいと共に、ベーク時のレチキュレーションの発生をより効率的に抑制することができ、またインクジェット法によって画素を形成する場合にあっては、より高いインク溶剤耐性を付与することができる。一方５０００ｍＪ／ｃｍ２以下であることにより、ポスト露光照度との関係でモノマー反応率を前記範囲に制御しやすいと共に、より高い膜強度を得ることができる。
また上記露光エネルギーは１０００〜３０００ｍＪ／ｃｍ２であることがより好ましく、１５００〜２５００ｍＪ／ｃｍ２であることが特に好ましい。
【００２５】
尚、ポスト露光量（露光エネルギー）の調整は、上記のようにしてポスト露光照度を調整した後、露光時間を選択することによって行うことができる。
【００２６】
ここで、本発明における上記露光照度および露光量（露光エネルギー）の測定は、測定装置としてウシオ電機(株)製の「ＵＩＴ１５０」を用い、測定波長を３６５ｎｍに設定して測定することができる。
【００２７】
−メタルハライドランプ−
本発明に用いるメタルハライドランプの露光機としては、例えば、アイグラフィックス社製メタルハライドランプ「アイマルチビーム」、「ハイラックスビーム」、「アイクリーネース」、松下電工(株)製「パナビーム」等が好適に用いられる。
【００２８】
（４）ベーク工程
次いで、ベーク処理を行なうことによってモノマーを反応させて感光性樹脂層を硬化し、ブラックマトリックスを得る。本発明においては、該ベークによって反応する感光性樹脂層中のモノマー反応率を６０〜１００％とすることを必須の要件とする。上記範囲が６０％未満では、ブラックマトリックスとしてのモノマー反応率が不十分であり、所望の膜強度を得ることができず、膜はがれ等の欠陥が生じる。またブラックマトリックスの形成後に行われる画素の形成をインクジェット方式にて行う場合に、インクジェット溶剤に対する耐性が著しく悪化する。上記ポスト露光によるモノマー反応率の範囲は、更に７０〜１００％であることが好ましく、８０〜１００％であることが特に好ましい。
【００２９】
上記ベーク処理後におけるモノマー反応率は、ベークの温度および時間によって制御することができる。
上記ベーク温度としては１２０〜２７０℃が好ましく、１８０〜２５０℃がより好ましく、２００〜２５０℃が特に好ましい。ベーク温度が１２０℃以上であることにより、ベーク時間との関係でモノマー反応率を前記範囲に制御しやすいと共に、短時間で処理できることにより、全体の生産時間の短縮を図ることができる。一方２７０℃以下であることにより、ベーク時間との関係でモノマー反応率を前記範囲に制御しやすいと共に、ポリマー分解によるブラックマトリックスの厚み減少を防ぐことができる。
【００３０】
また、ベーク時間は上記温度によって適宜調整することが好ましいが、２０〜１２０分が好ましく、３０〜８０分がより好ましく、４０〜６０分が特に好ましい。ベーク時間が２０分以上であることにより、ベーク温度との関係でモノマー反応率を前記範囲に制御しやすいと共に、低温で処理できることにより、生産設備への負荷を軽減することができる。一方１２０分以下であることにより、ベーク温度との関係でモノマー反応率を前記範囲に制御しやすいと共に、ポリマー分解によるブラックマトリックスの厚み減少を防ぐことができる。
【００３１】
ここで、上記ベーク処理に用いる装置としては、電気炉、乾燥器、ホットプレート、赤外線灯等が挙げられる。
【００３２】
尚、モノマー反応率の測定方法は、ベーク後の感光性樹脂層からサンプルを作製したこと以外は、前記ポスト露光後におけるモノマー反応率の測定方法と同様にして行うことができる。
【００３３】
≪感光性転写材料≫
次いで、上記ブラックマトリックスの製造方法に用いられる感光性転写材料について説明する。
本発明のブラックマトリックスの製造方法の前記（１）転写工程において用いられる感光性転写材料は、仮支持体上に少なくとも感光性樹脂層を有してなり、更に熱可塑性樹脂層や中間層（酸素遮断層）等を設けることができる。
【００３４】
−感光性樹脂層−
上記感光性転写材料における感光性樹脂層は、例えばモノマー（重合性化合物）や、開始剤、着色剤、バインダー等を含んで構成された感光性樹脂組成物を仮支持体上に塗布・乾燥することによって形成することができる。以下においては、まず上記感光性樹脂組成物の組成について説明する。
【００３５】
(ｉ)モノマー
感光性樹脂組成物に用いる重合性の多官能性モノマーとしては、下記化合物を単独でまたは他のモノマーと組合わせて使用することができる。具体的には、ｔ−ブチル（メタ）アクリレート、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、２−エチル−２−ブチル−プロパンジオールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ポリオキシエチル化トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリス（２−（メタ）アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート、１，４−ジイソプロペニルベンゼン、１，４−ジヒドロキシベンゼンジ（メタ）アクリレート、デカメチレングリコールジ（メタ）アクリレート、スチレン、ジアリルフマレート、トリメリット酸トリアリル、ラウリル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリルアミド、キシリレンビス（メタ）アクリルアミド、等が挙げられる。
【００３６】
また、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート等のヒドロキシル基を有する化合物とヘキサメチレンジイソシアネート、トルエンジイソシアネート、キシレンジイソシアネート等のジイソシアネートとの反応物も使用できる。
【００３７】
これらのうち、特に好ましいのは、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、トリス（２−アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレートである。
【００３８】
モノマーの感光性樹脂組成物における含有量としては、感光性樹脂組成物の全固形分（質量）に対して、５〜８０質量％が好ましく、１０〜７０質量％が特に好ましい。前記含有量が、５質量％未満であると、組成物の露光部でのアルカリ現像液への耐性が劣ることがあり、８０質量％を越えると、感光性樹脂組成物とした時のタッキネスが増加してしまい、取扱い性に劣ることがある。
【００３９】
(ii)開始剤
基板に転写した後の感光性樹脂層を硬化させる方法としては、熱開始剤を用いる熱開始系や光開始剤を用いる光開始系が一般的であるが、本発明では、光開始系を用いることが好ましい。ここで用いる光重合開始剤は、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、Ｘ線等の放射線の照射（露光ともいう）により、前記モノマーの重合を開始する活性種を発生し得る化合物であり、公知の光重合開始剤若しくは光重合開始剤系の中から適宜選択することができる。
【００４０】
例えば、トリハロメチル基含有化合物、アクリジン系化合物、アセトフェノン系化合物、ビスイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、α−ジケトン系化合物、多核キノン系化合物、キサントン系化合物、ジアゾ系化合物、等を挙げることができる。
【００４１】
具体的には、特開２００１−１１７２３０公報に記載の、トリハロメチル基が置換したトリハロメチルオキサゾール誘導体またはｓ−トリアジン誘導体、米国特許第４２３９８５０号明細書に記載のトリハロメチル−ｓ−トリアジン化合物、米国特許第４２１２９７６号明細書に記載のトリハロメチルオキサジアゾール化合物などのトリハロメチル基含有化合物；
【００４２】
９−フェニルアクリジン、９−ピリジルアクリジン、９−ピラジニルアクリジン、１，２−ビス（９−アクリジニル）エタン、１，３−ビス（９−アクリジニル）プロパン、１，４−ビス（９−アクリジニル）ブタン、１，５−ビス（９−アクリジニル）ペンタン、１，６−ビス（９−アクリジニル）ヘキサン、１，７−ビス（９−アクリジニル）ヘプタン、１，８−ビス（９−アクリジニル）オクタン、１，９−ビス（９−アクリジニル）ノナン、１，１０−ビス（９−アクリジニル）デカン、１，１１−ビス（９−アクリジニル）ウンデカン、１，１２−ビス（９−アクリジニル）ドデカン等のビス（９−アクリジニル）アルカン、などのアクリジン系化合物；
【００４３】
６−（ｐ−メトキシフェニル）−２，４−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、６−〔ｐ−（Ｎ，Ｎ−ビス（エトキシカルボニルメチル）アミノ）フェニル〕−２，４−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジンなどのトリアジン系化合物；その他、９，１０−ジメチルベンズフェナジン、ミヒラーズケトン、ベンゾフェノン／ミヒラーズケトン、ヘキサアリールビスイミダゾール／メルカプトベンズイミダゾール、ベンジルジメチルケタール、チオキサントン／アミン、２，２’−ビス（２，４−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビスイミダゾールなどが挙げられる。
【００４４】
上記のうち、トリハロメチル基含有化合物、アクリジン系化合物、アセトフェノン系化合物、ビスイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物から選択される少なくとも一種が好ましく、特に、トリハロメチル基含有化合物およびアクリジン系化合物から選択される少なくとも一種を含有することが好ましい。トリハロメチル基含有化合物、アクリジン系化合物は、汎用性でかつ安価である点でも有用である。
【００４５】
特に好ましいのは、トリハロメチル基含有化合物としては、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−スチリルスチリル）−１，３，４−オキサジアゾールであり、アクリジン系化合物としては、９−フェニルアクリジンであり、更に、６−〔ｐ−（Ｎ，Ｎ−ビス（エトキシカルボニルメチル）アミノ）フェニル〕−２，４−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−ブトキシスチリル）−５−トリクロロメチル−１，３，４−オキサジアゾールなどのトリハロメチル基含有化合物、およびミヒラーズケトン、２，２’−ビス（２，４−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビスイミダゾールである。
【００４６】
前記開始剤は、単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。前記開始剤の感光性樹脂組成物における総量としては、感光性樹脂組成物の全固形分（質量）の０．１〜２０質量％が好ましく、０．５〜１０質量％が特に好ましい。前記総量が、０．１質量％未満であると、組成物の光硬化の効率が低く露光に長時間を要することがあり、２０質量％を超えると、現像する際に、形成された画像パターンが欠落したり、パターン表面に荒れが生じやすくなることがある。
【００４７】
前記開始剤は、水素供与体を併用して構成されてもよい。該水素供与体としては、感度をより良化することができる点で、以下で定義するメルカプタン系化合物、アミン系化合物等が好ましい。ここでの「水素供与体」とは、露光により前記光重合開始剤から発生したラジカルに対して、水素原子を供与することができる化合物をいう。
【００４８】
前記メルカプタン系化合物は、ベンゼン環或いは複素環を母核とし、該母核に直接結合したメルカプト基を１個以上、好ましくは１〜３個、更に好ましくは１〜２個有する化合物（以下、「メルカプタン系水素供与体」という）である。また、前記アミン系化合物は、ベンゼン環或いは複素環を母核とし、該母核に直接結合したアミノ基を１個以上、好ましくは１〜３個、更に好ましくは１〜２個有する化合物（以下、「アミン系水素供与体」という）である。尚、これらの水素供与体は、メルカプト基とアミノ基とを同時に有していてもよい。
【００４９】
上記のメルカプタン系水素供与体の具体例としては、２−メルカプトベンゾチアゾール、２−メルカプトベンゾオキサゾール、２−メルカプトベンゾイミダゾール、２，５−ジメルカプト−１，３，４−チアジアゾール、２−メルカプト−２，５−ジメチルアミノピリジン、等が挙げられる。これらのうち、２−メルカプトベンゾチアゾール、２−メルカプトベンゾオキサゾールが好ましく、特に２−メルカプトベンゾチアゾールが好ましい。
【００５０】
上記のアミン系水素供与体の具体例としては、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４−ジエチルアミノアセトフェノン、４−ジメチルアミノプロピオフェノン、エチル−４−ジメチルアミノベンゾエート、４−ジメチルアミノ安息香酸、４−ジメチルアミノベンゾニトリル等が挙げられる。これらのうち、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンが好ましく、特に４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンが好ましい。
【００５１】
前記水素供与体は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができ、形成された画像が現像時に永久支持体上から脱落し難く、かつ強度および感度も向上させ得る点で、１種以上のメルカプタン系水素供与体と１種以上のアミン系水素供与体とを組合せて使用することが好ましい。
【００５２】
前記メルカプタン系水素供与体とアミン系水素供与体との組合せの具体例としては、２−メルカプトベンゾチアゾール／４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、２−メルカプトベンゾチアゾール／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−メルカプトベンゾオキサゾール／４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、２−メルカプトベンゾオキサゾール／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン等が挙げられる。より好ましい組合せは、２−メルカプトベンゾチアゾール／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−メルカプトベンゾオキサゾール／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンであり、特に好ましい組合せは、２−メルカプトベンゾチアゾール／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンである。
【００５３】
前記メルカプタン系水素供与体とアミン系水素供与体とを組合せた場合の、メルカプタン系水素供与体（Ｍ）とアミン系水素供与体（Ａ）との質量比（Ｍ：Ａ）は、通常１：１〜１：４が好ましく、１：１〜１：３がより好ましい。前記水素供与体の感光性樹脂組成物における総量としては、感光性樹脂組成物の全固形分（質量）の０．１〜２０質量％が好ましく、０．５〜１０質量％が特に好ましい。
【００５４】
(iii)着色剤
感光性樹脂組成物には、有機顔料、無機顔料、染料等を好適に用いることができ、感光性樹脂層に遮光性が要求される際には、カーボンブラック、酸化チタン、４酸化鉄等の金属酸化物粉、金属硫化物粉、金属粉といった遮光剤の他に、赤、青、緑色等の顔料の混合物等を用いることができ、公知の着色剤（染料、顔料）を使用することができる。該公知の着色剤のうち顔料を用いる場合には、感光性樹脂組成物中に均一に分散されていることが好ましい。
【００５５】
感光性樹脂組成物の固形分中の着色剤の比率は、充分に現像時間を短縮する観点から、３０〜７０質量％であることが好ましく、４０〜６０質量％であることがより好ましく、５０〜５５質量％であることが更に好ましい。
上記公知の染料ないし顔料としては、特開２００５−１７７１６号公報［００３８］〜［００５４］に記載の顔料及び染料、特開２００４−３６１４４７号公報［００６８］〜［００７２］に記載の顔料、特開２００５−１７５２１号公報［００８０］〜［００８８］に記載の着色剤等を好適に用いることができる。
【００５６】
上記顔料は分散液として使用することが望ましい。この分散液は、前記顔料と顔料分散剤とを予め混合して得られる組成物を、後述する有機溶媒（またはビヒクル）に添加して分散させることによって調製することができる。前記ビビクルとは、塗料が液体状態にある時に顔料を分散させている媒質の部分をいい、液状であって前記顔料と結合して塗膜を固める部分（バインダー）と、これを溶解希釈する成分（溶媒）とを含む。前記顔料を分散させる際に使用する分散機としては、特に制限はなく、例えば、朝倉邦造著、「顔料の事典」、第一版、朝倉書店、２０００年、４３８頁に記載されているニーダー、ロールミル、アトライダー、スーパーミル、ディゾルバ、ホモミキサー、サンドミル等の公知の分散機が挙げられる。更に該文献３１０頁記載の機械的摩砕により、摩擦力を利用し微粉砕してもよい。
【００５７】
(iv)バインダー（樹脂・ポリマー）
感光性樹脂組成物に用いるバインダーとしては、側鎖にカルボン酸基やカルボン酸塩基などの極性基を有するポリマーが好ましい。その例としては、特開昭５９−４４６１５号公報、特公昭５４−３４３２７号公報、特公昭５８−１２５７７号公報、特公昭５４−２５９５７号公報、特開昭５９−５３８３６号公報、および特開昭５９−７１０４８号公報に記載されているようなメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等を挙げることができる。また側鎖にカルボン酸基を有するセルロース誘導体も挙げることができる。この他に水酸基を有するポリマーに環状酸無水物を付加したものも好ましく使用することができる。また、特に好ましい例として、米国特許第４１３９３９１号明細書に記載のベンジル（メタ）アクリレートと（メタ）アクリル酸との共重合体や、ベンジル（メタ）アクリレートと（メタ）アクリル酸と他のモノマーとの多元共重合体を挙げることができる。これらの極性基を有するバインダーポリマーは、単独で用いてもよく、或いは通常の膜形成性のポリマーと併用する組成物の状態で使用してもよい。
【００５８】
感光性樹脂組成物は、必要に応じて更に公知の添加剤、例えば、可塑剤、充填剤、安定化剤、重合禁止剤、界面活性剤、溶媒、密着促進剤等を含有させることができる。さらに感光性樹脂組成物は少なくとも１５０℃以下の温度で軟化もしくは粘着性になることが好ましく、熱可塑性であることが好ましい。かかる観点からは、相溶性の可塑剤を添加することで改質することができる。
【００５９】
(ｖ)溶媒
感光性樹脂組成物においては、上記成分の他に、更に有機溶媒を用いてもよい。有機溶媒の例としては、メチルエチルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン、シクロヘキサノール、メチルイソブチルケトン、乳酸エチル、乳酸メチル、カプロラクタム等を挙げることができる。
【００６０】
(vi)界面活性剤
本発明のブラックマトリックスの形成に適用される感光性転写材料においては、後述するスリット状ノズル等を用いることにより、感光性樹脂組成物を、仮支持体に塗布することができる。この場合において、該感光性樹脂組成物中に適切な界面活性剤を含有させることにより、均一な膜厚に制御でき、塗布ムラを効果的に防止することができる。
上記界面活性剤としては、特開２００３−３３７４２４号公報、特開平１１−１３３６００号公報に開示されている界面活性剤が、好適なものとして挙げられる。
尚、感光性樹脂組成物の全固形分に対する界面活性剤の含有量は、０．００１〜１質量％が一般的であり、０．０１〜０．５質量％が好ましく、０．０３〜０．３質量％が特に好ましい。
【００６１】
(vii)紫外線吸収剤
感光性樹脂組成物には、必要に応じて紫外線吸収剤を含有することができる。紫外線吸収剤としては、特開平５−７２７２４号公報記載の化合物の他、サリシレート系、ベンゾフェノン系、ベンゾトリアゾール系、シアノアクリレート系、ニッケルキレート系、ヒンダードアミン系などが挙げられる。
具体的には、フェニルサリシレート、４−ｔ−ブチルフェニルサリシレート、２，４−ジ−ｔ−ブチルフェニル−３’，５’−ジ−ｔ−４’−ヒドロキシベンゾエート、４−ｔ−ブチルフェニルサリシレート、２，４−ジヒドロキシベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−４−メトキシベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−４−ｎ−オクトキシベンゾフェノン、２−（２’−ヒドロキシ−５’−メチルフェニル）ベンゾトリアゾール、２−（２’−ヒドロキシ−３’−ｔ−ブチル−５’−メチルフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾール、エチル−２−シアノ−３，３−ジ−フェニルアクリレート、２，２’−ヒドロキシ−４−メトキシベンゾフェノン、ニッケルジブチルジチオカーバメート、ビス（２，２，６，６−テトラメチル−４−ピリジン）−セバケート、４−ｔ−ブチルフェニルサリシレート、サルチル酸フェニル、４−ヒドロキシ−２，２，６，６−テトラメチルピペリジン縮合物、コハク酸−ビス（２，２，６，６−テトラメチル−４−ピペリデニル）−エステル、２−［２−ヒドロキシ−３，５−ビス（α，α−ジメチルベンジル）フェニル］−２Ｈ−ベンゾトリアゾール、７−｛［４−クロロ−６−（ジエチルアミノ）−５−トリアジン−２−イル］アミノ｝−３−フェニルクマリン等が挙げられる。
尚、感光性樹脂組成物の全固形分に対する紫外線吸収剤の含有量は、０．５〜１５質量％が一般的であり、１〜１２質量％が好ましく、１．２〜１０質量％が特に好ましい。
【００６２】
(viii)熱重合防止剤
また、感光性樹脂組成物には、熱重合防止剤を含むことが好ましい。該熱重合防止剤の例としては、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、ｐ−メトキシフェノール、ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ピロガロール、ｔ−ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４’−チオビス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２’−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２−メルカプトベンズイミダゾール、フェノチアジン等が挙げられる。
尚、感光性樹脂組成物の全固形分に対する熱重合防止剤の含有量は、０．０１〜１質量％が一般的であり、０．０２〜０．７質量％が好ましく、０．０５〜０．５質量％が特に好ましい。
また、感光性樹脂組成物においては、上記添加剤の他に、特開平１１−１３３６００号公報に記載の「接着助剤」や、その他の添加剤等を含有させることができる。
【００６３】
(ix)金属粒子
本発明のブラックマトリックスの形成に用いられる感光性樹脂組成物には、添加剤として、金属粒子を含有することができる。該金属粒子は、２種以上の金属を組み合わせて用いてもよく、金属化合物でもよいし、金属化合物と金属との複合粒子でもよい。本発明における金属粒子としては、例えば、特開２００６−１８２０１号公報の段落番号［００２４］〜［００２７］に記載のコアシェル微粒子や、特開２００５−０１７３２２号公報の段落番号［００１８］〜［００２４］に記載のアスペクト比が２以上である金属粒子等が好ましいものとして挙げられる。更に、前記金属粒子は、単独で用いても、合金として用いても、カーボンブラックなどの顔料と共に用いてもいずれであっても良い。
【００６４】
前述の通り、本発明の感光性転写材料には、感光性樹脂層以外の層を設けることができる。以下、感光性転写材料のその他の構成について説明する。
−仮支持体−
上記の感光性転写材料における仮支持体としては、化学的および熱的に安定であって、可撓性の物質で構成されるものから適宜選択することができる。具体的には、テフロン（登録商標）、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレン等、薄いシート若しくはこれらの積層体が好ましい。前記仮支持体の厚みとしては、５〜３００μｍが適当であり、好ましくは２０〜１５０μｍである。中でも２軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムが特に好ましい。
【００６５】
−中間層（酸素遮断層）−
本発明における感光性転写材料においては、露光時の酸素を遮断する目的から、仮支持体上に形成された感光性樹脂層上に酸素遮断層を設けることが好ましい。
本発明で言う酸素遮断層とは、５００ｃｍ３／（ｍ２・ｄａｙ・ａｔｍ）以下の酸素透過率を有する層であるが、酸素透過率は１００ｃｍ３／（ｍ２・ｄａｙ・ａｔｍ）以下であることが好ましく、５０ｃｍ３／（ｍ２・ｄａｙ・ａｔｍ）以下であることがより好ましい。酸素透過率が５００ｃｍ３／（ｍ２・ｄａｙ・ａｔｍ）以下であることにより、効率的に酸素を遮断することができ、ブラックマトリックスを所望の形状にすることが容易となる。
具体的にはポリエチレン、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルアルコールなどを主成分とする層が好ましいが、このうちポリビニルアルコールを主成分とするものがより好ましい。ポリビニルアルコールとしては鹸化度が８０％以上のものが好ましい。本発明に係る酸素遮断層における前記ポリビニルアルコールの含有量としては、２５質量％〜９９質量％が好ましく、５０質量％〜９０質量％がより好ましく、５０質量％〜８０質量％が特に好ましい。また、必要に応じてポリビニルピロリドン、ポリアクリルアミドなどのポリマーを添加してもよいが、このうちポリビニルピロリドンが好ましい。これらのポリマーの添加量は層全体の１〜４０質量％、より好ましくは１０〜３５質量％である。ポリビニルピロリドンの添加量が多すぎると酸素遮断性が不充分になる場合がある。
【００６６】
−熱可塑性樹脂層−
上記の感光性転写材料は、必要に応じて熱可塑性樹脂層を有していてもよい。かかる熱可塑性樹脂層とは、アルカリ可溶性であることが好ましく、少なくとも樹脂成分を含んで構成され、該樹脂成分としては、実質的な軟化点が８０℃以下であることが好ましい。このような熱可塑性樹脂層が設けられることにより、後述するブラックマトリックス形成方法において、基板（永久支持体）との良好な密着性を発揮することができる。
軟化点が８０℃以下のアルカリ可溶性の熱可塑性樹脂としては、エチレンとアクリル酸エステル共重合体のケン化物、スチレンと（メタ）アクリル酸エステル共重合体のケン化物、ビニルトルエンと（メタ）アクリル酸エステル共重合体のケン化物、ポリ（メタ）アクリル酸エステル、（メタ）アクリル酸ブチルと酢酸ビニル等の（メタ）アクリル酸エステル共重合体などのケン化物、等が挙げられる。
熱可塑性樹脂層には、上記の熱可塑性樹脂の少なくとも一種を適宜選択して用いることができ、更に「プラスチック性能便覧」（日本プラスチック工業連盟、全日本プラスチック成形工業連合会編著、工業調査会発行、１９６８年１０月２５日発行）による、軟化点が約８０℃以下の有機高分子のうちアルカリ水溶液に可溶なものを使用することができる。
また、軟化点が８０℃を超えるの有機高分子物質についても、その有機高分子物質中に該高分子物質と相溶性のある各種可塑剤を添加することで、実質的な軟化点を８０℃以下に下げて用いることもできる。また、これらの有機高分子物質には、仮支持体との接着力を調節する目的で、実質的な軟化点が８０℃を越えない範囲で、各種ポリマーや過冷却物質、密着改良剤或いは界面活性剤、離型剤、等を加えることもできる。
好ましい可塑剤の具体例としては、ポリプロピレングリコール、ポリエチレングリコール、ジオクチルフタレート、ジヘプチルフタレート、ジブチルフタレート、トリクレジルフォスフェート、クレジルジフェニルフォスフェート、ビフェニルジフェニルフォスフェートを挙げることができる。
【００６７】
−保護フイルム−
感光性樹脂層の上には、貯蔵の際の汚染や損傷から保護するために薄い保護フイルムを設けることが好ましい。保護フイルムは仮支持体と同じかまたは類似の材料からなってもよいが、感光性樹脂層から容易に分離されねばならない。保護フイルム材料としては例えばシリコーン紙、ポリオレフィン若しくはポリテトラフルオロエチレンシートが適当である。尚、保護フイルムの厚さは、４〜４０μｍが一般的であり、５〜３０μｍが好ましく、１０〜２５μｍが特に好ましい。
【００６８】
−感光性転写材料の作製−
本発明における感光性転写材料は、感光性樹脂組成物を仮支持体上に塗布、乾燥することによって作製することができる。
例えば、仮支持体上に熱可塑性樹脂層と、中間層と、感光性樹脂層と、を有する転写材料であれば、仮支持体上に熱可塑性樹脂層の組成物を溶解した塗布液（熱可塑性樹脂層用塗布液）を塗布し、乾燥することにより熱可塑性樹脂層を設け、その後熱可塑性樹脂層上に熱可塑性樹脂層を溶解しない溶剤を用い、中間層（酸素遮断層）の組成物を溶解した塗布液を塗布、乾燥し、更にその後、中間層を溶解しない溶剤を用い、感光性樹脂組成物の塗布液を塗布、乾燥して設けることにより作製することができる。
また、前記の仮支持体上に熱可塑性樹脂層および中間層を設けたシート、および保護フイルム上に感光性樹脂層を設けたシートを用意し、中間層と感光性樹脂層が接するように相互に貼り合わせることによっても、更には、前記の仮支持体上に熱可塑性樹脂層を設けたシート、および保護フイルム上に感光性樹脂層および中間層を設けたシートを用意し、熱可塑性樹脂層と中間層が接するように相互に貼り合わせることによっても、作製することができる。
尚、上記作製方法における塗布は、公知の塗布方法等によって行うことができ、例えば、スリット状ノズルを備えたスリットコータを用いる方法、特開平５−２２４０１１号公報記載のスピンコート法、特開平９−３２３４７２号公報記載のダイコート法などを用いることができる。また、例えば「コーティング工学（原崎  勇次著、朝倉書店、昭和４７等発行）」に記載されている方法等が挙げられる。
【００６９】
＜ブラックマトリックス＞
上記製造方法によって、本発明のブラックマトリックスを製造することができる。上記方法によって製造されることにより、膜強度に優れると共に良好な表面形状を有するブラックマトリックスを得ることができる。
【００７０】
尚、本発明のブラックマトリックスは、５５５ｎｍにおいて高い光学濃度を有することが好ましく、更にその値は２．５以上が好ましく、２．５〜１０．０がより好ましく、２．５〜６．０が更に好ましく、３．０〜５．０が特に好ましい。また、感光性樹脂層は、好ましくは光開始系で硬化させる為、露光波長（一般には紫外域）に対する光学濃度も重要である。すなわち、その値は２．０〜１０．０が好ましく、更には２．５〜６．０がより好ましく、３．０〜５．０が特に好ましい。２．０未満ではブラックマトリックス形状が望みのものとならない恐れがあり、１０．０を超えると、重合を開始することができずブラックマトリックスそのものを作ることが困難となる。
また、上記のごとく形成される、本発明のブラックマトリックスの幅および高さは、幅（即ちカラーフィルタを形成した場合における画素と画素との間隔）が１５〜１００μｍであることが好ましく、また高さ（即ち基板からブラックマトリックスの頂点までの距離）が１．８〜３．０μｍであることが好ましい。従来では、特に高さのある（膜厚が厚い）ブラックマトリックスを製造した場合、高い膜強度を得ること、レチキュレーションの発生を抑制することが困難であったが、本発明のブラックマトリックスの製造方法によれば、高さが上記範囲のように高いブラックマトリックスを製造した場合であっても、良好な膜強度、レチキュレーション抑制効果を発揮することができる。従って、高さが上記範囲のように高いブラックマトリックスの製造においては、特に本発明の製造方法を適用することが好ましい。
【００７１】
＜カラーフィルタの製造方法＞
本発明のカラーフィルタの製造方法は、前記ブラックマトリックスを有する基板を用い、該ブラックマトリックスの開口部（画素形成用の間隙）に２色以上の着色液体組成物を付与し、２色以上の複数の着色画素からなる着色画素郡を形成することを特徴とする。上記着色液体組成物を付与する方法としては、特に限定されるものではなくインクジェット法やスリットコート法、ストライプギーサー塗布法（細かな液滴吐出用の穴が開いたギーサーを用いて液滴を基板上に付与しストライプ状の画素を形成する方法）など公知の方法を適宜用いることができる。特に本発明においては、インクジェット法またはスリットコート法を用いることが好ましい。
【００７２】
（撥水処理）
本発明のカラーフィルタを製造するにあたり、特に上記着色画素郡をインクジェット法にて形成する場合には、基板上に形成されているブラックマトリックスに、あらかじめ撥水処理を施すことが好ましい。撥水処理を施すことにより、ブラックマトリックス上面の水接触角を調整することができ、その後の着色画素形成においてインクジェットなどの方法で、着色液体組成物の液滴をブラックマトリックス間（開口部）に付与した時に、インクがブラックマトリックスを乗り越えて、隣の色と混色するなどの不都合を抑制すことができる。
【００７３】
撥水処理としては、ブラックマトリックスに撥水材料を含有させる方法、ブラックマトリックスに撥水層を新たに設ける方法、ブラックマトリックス上面に撥水材料を塗布する方法、ブラックマトリックス上面に直接結合した、撥油・撥水性の化合物を生成させる方法、プラズマ処理によりブラックマトリックスに撥水性を付与する方法（プラズマ撥水化処理）などが挙げられる。これらの中でも、工程の簡便さの観点から、プラズマ撥水化処理が特に好ましい。
【００７４】
プラズマ撥水化処理とは、ブラックマトリックスが形成された基板に対して、フッ素原子を含有するガスの存在下で、プラズマ処理を行うものである。
本方法においては少なくともフッ素原子を含有するガスを導入し、該ガスとしては、ＣＦ４、ＣＨＦ３、Ｃ２Ｆ６、ＳＦ６、Ｃ３Ｆ８、Ｃ５Ｆ８から選択されるハロゲンガスを１種以上用いることが好ましい。特に、Ｃ５Ｆ８（オクタフルオロシクロペンテン）は、オゾン破壊能が０であると同時に、大気寿命が従来のガスに比べて（ＣＦ４：５万年、Ｃ４Ｆ８：３２００年）０．９８年と非常に短い。従って、地球温暖化係数が９０（ＣＯ２＝２とした１００年積算値）と、従来のガスに比べて（ＣＦ４：６５００、Ｃ４Ｆ８：８７００）非常に小さく、オゾン層や地球環境保護に極めて有効であり、本発明で使用する上で望ましい。
【００７５】
さらに、導入ガスとしては、必要に応じて酸素、アルゴン、ヘリウム等のガスを併用しても良い。本工程においては、上記ＣＦ４、ＣＨＦ３、Ｃ２Ｆ６、ＳＦ６、Ｃ３Ｆ８、Ｃ５Ｆ８から選択されるハロゲンガスを１種以上とＯ２との混合ガスを用いると、本工程において処理されるブラックマトリックス表面の撥インク性の程度を制御することが可能になる。但し、当該混合ガスにおいて、Ｏ２の混合比率が３０質量％を超えるとＯ２による酸化反応が支配的になり、撥インク性向上効果が妨げられる、また、Ｏ２混合比率が３０質量％を超えると樹脂に対するダメージが顕著になるため、当該混合ガスを用いる場合にはＯ２の混合比率が３０％以下の範囲で使用することが好ましい。
【００７６】
プラズマの発生方法としては、低周波放電、高周波放電、マイクロ波放電等の方式を用いることができ、プラズマ処理の際の圧力、ガス流量、放電周波数、処理時間等の条件は任意に設定することができる。
【００７７】
（各画素の形成）
本発明のカラーフィルタは、本発明のブラックマトリックスが形成された基板を用い、該ブラックマトリックスで離画された領域（開口部）に着色液体組成物（以下、「インク」と称す場合がある）を液滴付与して、着色画素を形成することにより製造することができる。
【００７８】
具体的には、基板上に形成されたブラックマトリックス間の開口部に対し、２色以上の画素（例えば、ＲＧＢ各画素）を形成する為の着色液体組成物を液滴付与することによりブラックマトリックスの開口部に侵入させて２色以上の色を有する複数の画素を形成する。
【００７９】
この着色液体組成物をブラックマトリックス開口部に侵入させる方法としては、スリットコート法やインクジェット法、ストライプギーサー塗布法など公知のものを使用することができる。
【００８０】
各画素の形成のために用いるインクジェット法に関しては、インクを熱硬化させる方法、光硬化させる方法、あらかじめ基板上に透明な受像層を形成しておいてから打滴する方法など、公知の方法を用いることができる。
【００８１】
好ましくは、各画素を形成した後、加熱処理（いわゆるベーク処理）する加熱工程を設ける。ベーク処理としては、着色液体組成物を付与した基板を、電気炉、乾燥器等の中で加熱する、あるいは赤外線ランプを照射する等の方法が挙げられる。加熱の温度および時間は、着色液体組成物の組成や、形成された画素の厚み等にもよるが、一般に１２０〜２７０℃で２０〜１２０分間加熱することが好ましい。
【００８２】
このようにして形成されたカラーフィルタのパターン形状は特に限定されるものではなく、一般的なブラックマトリックス形状であるストライプ状であっても、格子状であっても、さらにはデルタ配列状であってもよい。
【００８３】
−スリットコート方式−
スリットコート方式とは、スリットコート用の着色液体組成物を、液が吐出する部分にスリット状の穴を有するスリット状ノズルによって塗布する方法を指す。
スリット状ノズル（スリットコータ）の具体例としては、特開２００４−８９８５１号公報、特開２００４−１７０４３号公報、特開２００３−１７００９８号公報、特開２００３−１６４７８７号公報、特開２００３−１０７６７号公報、特開２００２−７９１６３号公報、特開２００１−３１０１４７号公報等に記載のスリット状ノズル、及びスリットコータが挙げられる。
【００８４】
上記スリットコート方式に用いる着色液体組成物としては、バインダー、モノマー又はオリゴマー、光重合開始剤又は光重合開始剤系、着色剤、等を含む着色液体組成物が好ましく、以下、上記成分について説明する。
【００８５】
（ａ）バインダー
上記着色液体組成物に用いるバインダーとしては、側鎖にカルボン酸基やカルボン酸塩基などの極性基を有するポリマーが好ましい。その例としては、特開昭５９−４４６１５号公報、特公昭５４−３４３２７号公報、特公昭５８−１２５７７号公報、特公昭５４−２５９５７号公報、特開昭５９−５３８３６号公報及び特開昭５９−７１０４８号公報に記載されているようなメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等を挙げることができる。また側鎖にカルボン酸基を有するセルロース誘導体も挙げることができ、またこの他にも、水酸基を有するポリマーに環状酸無水物を付加したものも好ましく使用することができる。また、特に好ましい例として、米国特許第４１３９３９１号明細書に記載のベンジル（メタ）アクリレートと（メタ）アクリル酸との共重合体や、ベンジル（メタ）アクリレートと（メタ）アクリル酸と他のモノマーとの多元共重合体を挙げることができる。これらの極性基を有するバインダーポリマーは、単独で用いてもよく、或いは通常の膜形成性のポリマーと併用する組成物の状態で使用してもよく、上記着色液体組成物の全固形分に対する含有量は２０〜５０質量％が一般的であり、２５〜４５質量％が好ましい。
【００８６】
（ｂ）モノマー又はオリゴマー
上記着色液体組成物に用いるモノマー又はオリゴマーとしては、エチレン性不飽和二重結合を２個以上有し、光の照射によって付加重合するモノマー又はオリゴマーであることが好ましい。そのようなモノマー及びオリゴマーとしては、分子中に少なくとも１個の付加重合可能なエチレン性不飽和基を有し、沸点が常圧で１００℃以上の化合物を挙げることができる。その例としては、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート及びフェノキシエチル（メタ）アクリレートなどの単官能アクリレートや単官能メタクリレート；ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタントリアクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジアクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（アクリロイルオキシプロピル）エーテル、トリ（アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート、トリ（アクリロイルオキシエチル）シアヌレート、グリセリントリ（メタ）アクリレート；トリメチロールプロパンやグリセリン等の多官能アルコールにエチレンオキシド又はプロピレンオキシドを付加した後（メタ）アクリレート化したもの等の多官能アクリレートや多官能メタクリレートを挙げることができる。
更に特公昭４８−４１７０８号公報、特公昭５０−６０３４号公報及び特開昭５１−３７１９３号公報に記載されているウレタンアクリレート類；特開昭４８−６４１８３号公報、特公昭４９−４３１９１号公報及び特公昭５２−３０４９０号公報に記載されているポリエステルアクリレート類；エポキシ樹脂と（メタ）アクリル酸の反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能アクリレー卜やメタクリレートを挙げることができる。
これらの中で、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジぺンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジぺンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレートが好ましい。
また、この他、特開平１１−１３３６００号公報に記載の「重合性化合物Ｂ」も好適なものとして挙げることができる。
これらのモノマー又はオリゴマーは、単独でも、二種類以上を混合して用いてもよく、上記着色液体組成物の全固形分に対する含有量は５〜５０質量％が一般的であり、１０〜４０質量％が好ましい。
【００８７】
（ｃ）光重合開始剤又は光重合開始剤系
上記着色液体組成物に用いる光重合開始剤又は光重合開始剤系としては、米国特許第２３６７６６０号明細書に開示されているビシナルポリケタルドニル化合物、米国特許第２４４８８２８号明細書に記載されているアシロインエーテル化合物、米国特許第２７２２５１２号明細書に記載のα−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第３０４６１２７号明細書及び同第２９５１７５８号明細書に記載の多核キノン化合物、米国特許第３５４９３６７号明細書に記載のトリアリールイミダゾール二量体とｐ−アミノケトンの組み合わせ、特公昭５１−４８５１６号公報に記載のベンゾチアゾール化合物とトリハロメチル−ｓ−トリアジン化合物、米国特許第４２３９８５０号明細書に記載されているトリハロメチル−トリアジン化合物、米国特許第４２１２９７６号明細書に記載されているトリハロメチルオキサジアゾール化合物等を挙げることができる。特に、トリハロメチル−ｓ−トリアジン、トリハロメチルオキサジアゾール及びトリアリールイミダゾール二量体が好ましい。
また、この他、特開平１１−１３３６００号公報に記載の「重合開始剤Ｃ」も好適なものとしてあげることができる。
これらの光重合開始剤又は光重合開始剤系は、単独でも、２種類以上を混合して用いてもよいが、特に２種類以上を用いることが好ましい。少なくとも２種の光重合開始剤を用いると、表示特性、特に表示のムラが少なくできる。
上記着色液体組成物の全固形分に対する光重合開始剤又は光重合開始剤系の含有量は、０．５〜２０質量％が一般的であり、１〜１５質量％が好ましい。
【００８８】
（ｄ）着色剤
上記着色液体組成物に用いる着色剤としては、特に限定されるものではなく、適宜従来公知の着色剤を用いることができるが、良好なカラー色相を得るとの観点から、(ｉ)Ｒ（レッド）の着色液体組成物においてはＣ．Ｉ．ピグメント・レッド（Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．）２５４及びＣ．Ｉ．ピグメント・レッド（Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．）１７７を併用して用い、(ii)Ｇ（グリーン）の着色液体組成物においてはＣ．Ｉ．ピグメント・グリーン（Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｇ．）３６及びＣ．Ｉ．ピグメント・エロー（Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｙ．）１５０を併用して用い、(iii)Ｂ（ブルー）の着色液体組成物においてはＣ．Ｉ．ピグメント・ブルー（Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｂ．）１５：６及びＣ．Ｉ．ピグメント・バイオレット（Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｖ．）２３を併用して用いることが好ましい。
【００８９】
また、上記着色剤の他、必要に応じて公知の着色剤を添加することができる。該公知の着色剤のうち顔料を用いる場合には、着色液体組成物中に均一に分散されていることが望ましく、そのため粒径が０．１μｍ以下、特には０．０８μｍ以下であることが好ましい。
上記公知の着色剤としては、具体的には、特開２００５−１７７１６号公報［００３８］〜［００４０］に記載の色材や、特開２００５−３６１４４７号公報［００６８］〜［００７２］に記載の顔料、特開２００５−１７５２１号公報［００８０］〜［００８８］に記載の着色剤を好適に用いることができる。
【００９０】
また、これらの顔料は分散液として使用することが望ましい。この分散液は、前記顔料と顔料分散剤とを予め混合して得られる組成物を、後述する有機溶媒（又はビヒクル）に添加して分散させることによって調製することができる。前記ビビクルとは、塗料が液体状態にあるときに顔料を分散させている媒質の部分をいい、液状であって前記顔料と結合して塗膜を固める部分（バインダー）と、これを溶解希釈する成分（有機溶媒）とを含む。前記顔料を分散させる際に使用する分散機としては、特に制限はなく、例えば、ニーダー、ロールミル、アトライダー、スーパーミル、ディゾルバ、ホモミキサー、サンドミル等の公知の分散機が挙げられる。
本発明で用いる着色剤（顔料）は、粒径０．１μｍ以下、特には粒径０．０８μｍ以下であることが好ましい。
【００９１】
（ｅ）その他の添加剤
・溶媒
上記着色液体組成物においては、上記成分の他に、更に有機溶媒を用いてもよい。有機溶媒の例としては、メチルエチルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン、シクロヘキサノール、メチルイソブチルケトン、乳酸エチル、乳酸メチル、カプロラクタム等を挙げることができる。
【００９２】
・界面活性剤
従来用いられてきたカラーフィルタにおいては、高い色純度を実現するために各画素の色が濃くなり、画素の膜厚のムラが、そのまま色ムラとして認識されるという問題があった。そのため、画素の膜厚に直接影響する、着色液体組成物の付与時の、膜厚変動の良化が求められていた。
本発明のカラーフィルタにおいては、均一な膜厚に制御でき、塗布ムラ（膜厚変動による色ムラ）を効果的に防止するという観点から、該着色液体組成物中に適切な界面活性剤を含有させることが好ましい。
上記界面活性剤としては、特開２００３−３３７４２４号公報、特開平１１−１３３６００号公報に開示されている界面活性剤が、好適なものとして挙げられる。
【００９３】
また、本発明の着色液体組成物においては、上記添加剤の他に、上記ブラックマトリックス作製に用いた熱重合防止剤や紫外線吸収剤、特開平１１−１３３６００号公報に記載の「接着助剤」や、その他の添加剤等を含有させることができる。
【００９４】
−インクジェット方式−
本発明に用いるインクジェット方式としては、帯電したインクを連続的に噴射し電場によって制御する方法、圧電素子を用いて間欠的にインクを噴射する方法、インクを加熱しその発泡を利用して間欠的に噴射する方法等、各種の方法を採用できる。
用いるインクは油性、水性であっても使用できる。また、そのインクに含まれる着色剤は染料、顔料ともに使用でき、耐久性の面からは顔料の使用がより好ましい。また、公知のカラーフィルタ作製に用いる、塗布方式の着色インク（着色液体組成物、例えば、特開２００５−３８６１号公報［００３４］〜［００６３］記載）や、特開平１０−１９５３５８号公報［０００９］〜［００２６］に記載のインクジェット用組成物を使用することもできる。
インクジェット方式に用いるインクには、着色後の工程を考慮し、加熱によって硬化する、または紫外線などのエネルギー線によって硬化する成分を添加することもできる。加熱によって硬化する成分としては各種の熱硬化性樹脂が広く用いられ、またエネルギー線によって硬化する成分としては例えばアクリレート誘導体またはメタクリレート誘導体に光反応開始剤を添加したものを例示できる。特に耐熱性を考慮してアクリロイル基、メタクリロイル基を分子内に複数有するものがより好ましい。これらのアクリレート誘導体、メタクリレート誘導体は水溶性のものが好ましく使用でき、水に難溶性のものでもエマルション化するなどして使用できる。
この場合、前記＜ブラックマトリックスの製造方法＞の項の感光性樹脂組成物で挙げたモノマーや開始剤、バインダー等を含んで構成された感光性樹脂組成物であって着色剤を適宜選択したものを、好適なものとして用いることができる。
【００９５】
これらの方法によって得られるカラーフィルタは、液晶表示素子、電気泳動表示素子、エレクトロクロミック表示素子、ＰＬＺＴ等と組合せて表示素子として用いられる。カラーカメラやその他のカラーフィルタを用いる用途にも使用できる。
当該表示装置としては、液晶表示装置、プラズマディスプレイ表示装置、ＥＬ表示装置、ＣＲＴ表示装置などの表示装置などが挙げられる。表示装置の定義や各表示装置の説明は例えば「電子ディスプレイデバイス（佐々木  昭夫著、（株）工業調査会  １９９０年発行）」、「ディスプレイデバイス（伊吹  順章著、産業図書（株）平成元年発行）」などに記載されている。
本発明のカラーフィルタを備えた表示装置のうち、液晶表示装置は特に好ましい。液晶表示装置については例えば「次世代液晶ディスプレイ技術（内田  龍男編集、（株）工業調査会  １９９４年発行）」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。本発明はこれらのなかで特にカラーＴＦＴ方式の液晶表示装置に対して有効である。カラーＴＦＴ方式の液晶表示装置については例えば「カラーＴＦＴ液晶ディスプレイ（共立出版（株）１９９６年発行）」に記載されている。さらに本発明はもちろんＩＰＳなどの横電界駆動方式、ＭＶＡなどの画素分割方式などの視野角が拡大された液晶表示装置にも適用できる。これらの方式については例えば「ＥＬ、ＰＤＰ、ＬＣＤディスプレイ−技術と市場の最新動向−（東レリサーチセンター調査研究部門  ２００１年発行）」の４３ページに記載されている。
【００９６】
液晶表示装置はカラーフィルタ以外に電極基板、偏光フィルム、位相差フィルム、バックライト、スペーサ、視野角補償フィルムなどさまざまな部材から構成される。本発明のカラーフィルタはこれらの公知の部材で構成される液晶表示装置に適用することができる。これらの部材については例えば「’９４液晶ディスプレイ周辺材料・ケミカルズの市場（島  健太郎  （株）シーエムシー  １９９４年発行）」、「２００３液晶関連市場の現状と将来展望（下巻）（表  良吉  （株）富士キメラ総研  ２００３年発行）」に記載されている。
【００９７】
尚、対象用途としては、テレビ、パーソナルコンピュータ、液晶プロジェクター、ゲーム機、携帯電話などの携帯端末、デジタルカメラ、カーナビなどの用途に特に制限なく適用できる。
【実施例】
【００９８】
以下、本発明を実施例に基づきさらに詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。尚、特に断りのない限り、以下の実施例において「部」とは「質量部」を表し、「％」は「質量％」を表し、「分子量」は「重量平均分子量」を表す。
【００９９】
〔実施例１〕
［ブラックマトリックス形成用の感光性樹脂組成物の調製］
感光性樹脂組成物Ｋ１は、まず表１に記載の量のＫ顔料分散物１、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートをはかり取り、温度２４℃（±２℃）で混合して１５０ｒｐｍで１０分間攪拌し、次いで、表１に記載の量のメチルエチルケトン、バインダー２、ハイドロキノンモノメチルエーテル、ＤＰＨＡ液、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−［４’−（Ｎ，Ｎ−ビスジエトキシカルボニルメチル）アミノ−３’−ブロモフェニル］−ｓ−トリアジン、界面活性剤１をはかり取り、温度２５℃（±２℃）でこの順に添加して、温度４０℃（±２℃）で１５０ｒｐｍで３０分間攪拌することによって得られる。なお、表１に記載の材料の組成は詳しくは以下の通りとなっている。
【０１００】
＜Ｋ顔料分散物１＞
・カーボンブラック（デグッサ社製  Ｎｉｐｅｘ３５）                  １３．１０％
・分散剤１（下記化合物１）                                            ０．６５％
・ポリマー（ベンジルメタクリレート／メタクリル酸＝７２／２８モル比
のランダム共重合物、分子量３．７万）  ６．７２％
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート                  ７９．５３％
【０１０１】
【化１】
2008026391.tif 000002
【０１０２】
＜バインダー２＞
・ポリマー（ベンジルメタクリレート／メタクリル酸＝７８／２２モル比
のランダム共重合物、分子量３．８万）      ２７％
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート                        ７３％
【０１０３】
＜ＤＰＨＡ液＞
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
（重合禁止剤ＭＥＨＱ  ５００ｐｐｍ含有、日本化薬(株)製、
商品名：ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ）    ７６％
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート                        ２４％
【０１０４】
＜界面活性剤１＞
・下記構造物１                                                            ３０％
（ｎ＝６、ｘ＝５５、ｙ＝５、Ｍｗ＝３３９４０、Ｍｗ／Ｍｎ＝２．５５
ＰＯ：プロピレンオキサイド、ＥＯ：エチレンオキサイド）
・メチルエチルケトン                                                      ７０％
【０１０５】
【化２】
2008026391.tif 000003
【０１０６】
【表１】
2008026391.tif 000004
【０１０７】
［ブラックマトリックス形成用の転写材料の作製］
厚さ７５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム仮支持体の上に、スリット状ノズルを用いて、下記処方Ｈ１からなる熱可塑性樹脂層用塗布液を塗布、乾燥させた。次に、下記処方Ｐ１からなる中間層用塗布液を塗布、乾燥させた。更に、前記感光性樹脂組成物を塗布、乾燥させた。このようにして仮支持体の上に乾燥膜厚が１４．６μｍの熱可塑性樹脂層と、乾燥膜厚が１．６μｍの中間層と、乾燥膜厚が２．２μｍの感光性樹脂層を設け、最後に保護フイルム（厚さ１２μｍポリプロピレンフィルム）を圧着した。
こうして仮支持体と熱可塑性樹脂層と中間層（酸素遮断膜）とブラック（Ｋ）の感光性樹脂層とが一体となった感光性転写材料を作製し、サンプル名を感光性転写材料Ｋ１とした。
【０１０８】
＜熱可塑性樹脂層用塗布液：処方Ｈ１＞
・メタノール                                                          １１．１部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート                    ６．３６部
・メチルエチルケトン                                                  ５２．４部
・メチルメタクリレート／２−エチルヘキシルアクリレート／
ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体
（共重合組成比（モル比）＝５５／１１．７／４．５／２８．８、
分子量＝１０万、Ｔｇ≒７０℃）      ５．８３部
・スチレン／アクリル酸共重合体（共重合組成比（モル比）＝６３／３７、
分子量＝１万、Ｔｇ≒１００℃）  １３．６部
・２，２−ビス［４−（メタクリロキシポリエトキシ）フェニル］プロパン
（新中村化学工業（株）製）    ９．１部
・前記界面活性剤１                                                    ０．５４部
【０１０９】
＜中間層用塗布液：処方Ｐ１＞
・ＰＶＡ２０５（ポリビニルアルコール、(株)クラレ製、
鹸化度＝８８％、重合度５５０）              ３２．２部
・ポリビニルピロリドン（アイエスピー・ジャパン社製、Ｋ−３０）        １４．９部
・蒸留水                                                                ５２４部
・メタノール                                                            ４２９部
【０１１０】
［ブラックマトリックスの製造］
無アルカリガラス基板を、２５℃に調整したガラス洗浄剤液をシャワーにより２０秒間吹き付けながらナイロン毛を有する回転ブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液（Ｎ−β（アミノエチル）γ−アミノプロピルトリメトキシシラン０．３質量％水溶液、商品名：ＫＢＭ６０３、信越化学工業（株）製）をシャワーにより２０秒間吹き付け、純水シャワー洗浄した。この基板を基板予備加熱装置で１００℃２分間加熱した。
【０１１１】
(1)転写工程
得られたシランカップリング処理ガラス基板に、上記の製法にて作製された感光性転写材料から保護フィルムを除去し、除去後に露出した感光性樹脂層の表面と前記シランカップリング処理ガラス基板の表面とが接するように重ね合わせ、ラミネータ（株式会社日立インダストリイズ製（ＬａｍｉｃＩＩ型））を用いて、前記１００℃２分間加熱した基板に、ゴムローラー温度１３０℃、線圧１００Ｎ／ｃｍ、搬送速度２．２ｍ／分でラミネートした。
【０１１２】
(2)露光現像工程
続いてポリエチレンテレフタレートの仮支持体を、熱可塑性樹脂層との界面で剥離し、仮支持体を除去した。仮支持体を剥離後、超高圧水銀灯を有するプロキシミティー型露光機（日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社製）で、基板とマスク（画像パターンを有す石英露光マスク）を垂直に立てた状態で、露光マスク面と前記感光性樹脂層の間の距離を２００μｍに設定し、露光量７０ｍＪ／ｃｍ２でパターン露光した。
【０１１３】
次に、トリエタノールアミン系現像液（トリエタノールアミン３０％、商品名：Ｔ−ＰＤ２、富士写真フイルム（株）製）を純水で１２倍（Ｔ−ＰＤ２を１部と純水を１１部の割合で混合）に希釈した液（３０℃）を用いて５０秒間、フラットノズルで圧力０．０４ＭＰａとしてシャワー現像し、熱可塑性樹脂層と中間層とを除去した。引き続き、この基板上にエアを吹きかけて液切りした後、純水をシャワーにより１０秒間吹き付け、純水シャワー洗浄を行ない、エアを吹きかけて基板上の液だまりを減らした。
引き続いて、炭酸Ｎａ系現像液（０．３８モル／リットルの炭酸水素ナトリウム、０．４７モル／リットルの炭酸ナトリウム、５％のジブチルナフタレンスルホン酸ナトリウム、アニオン界面活性剤、消泡剤、及び安定剤含有；商品名：Ｔ−ＣＤ１、富士写真フイルム（株）製）を純水で５倍に希釈した液（２９℃）を用いて３０秒間、コーン型ノズルで圧力０．１５ＭＰａにてシャワー現像を行なって感光性樹脂層を現像除去し、パターン像を得た。
続いて、洗浄剤（燐酸塩、珪酸塩、ノニオン界面活性剤、消泡剤、及び安定剤含有；商品名：Ｔ−ＳＤ１、富士写真フイルム（株）製）を純水で１０倍に希釈した液（３３℃）を用いて２０秒間、コーン型ノズルで圧力０．０２ＭＰａにてシャワーにして吹きかけ、更にナイロン毛を有す回転ブラシによってパターン像を擦って残渣除去を行ない、ブラックマトリックスを得た。
【０１１４】
(3)ポスト露光工程および(4)ベーク工程
さらにその後、ブラックマトリックスが形成された基板に対し、下記表４に記載のランプ（ポスト露光方法）、ポスト露光照度、ポスト露光エネルギー条件により、ポスト露光を行った。
また、２２０℃の温度で下記表４に記載の時間、熱処理（ベーク）を行ない、光学濃度（ＯＤ）４．０、膜厚２．０μｍ、幅１００μｍの開口部を有するストライプ状のブラックマトリックスが形成された基板を得た。
【０１１５】
（撥インク化プラズマ処理）
ブラックマトリックスを形成した基板に、カソードカップリング方式平行平板型プラズマ処理装置を用いて、以下の条件にて撥インク化プラズマ処理を行った。
使用ガス  ：ＣＦ４
ガス流量  ：８０ｓｃｃｍ
圧力      ：４０Ｐａ
ＲＦパワー：５０Ｗ
処理時間  ：３０ｓｅｃ
【０１１６】
［着色画素形成用インクの調製］
＜顔料分散液の調製＞
ブロム化フタロシアニングリーン（Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ３６、商品名：Ｒｉｏｎｏｌ  Ｇｒｅｅｎ  ６ＹＫ、東洋インキ製造（株）製）に分散剤１（前記化合物１）及び溶剤（１，３−ブタンジオールジアセテート／以下１，３−ＢＧＤＡと略す）を下記表２に示す如く配合し、プレミキシングの後、モーターミルＭ−５０（アイガー・ジャパン社製）で、直径０．６５ｍｍのジルコニアビーズを用い、周速９ｍ／ｓで９時間分散し、Ｇ用顔料分散液（Ｇ１）を調製した。
次いで、Ｇ用顔料分散液（Ｇ１）において、顔料及びその他の成分を下記表２に示す如く配合した以外はＧ用顔料分散液（Ｇ１）と同様にして、Ｇ用顔料分散液（Ｇ２），Ｒ用顔料分散液（Ｒ１），（Ｒ２），Ｂ用顔料分散液（Ｂ１），（Ｂ２）を調製した。
【０１１７】
【表２】
2008026391.tif 000005
【０１１８】
尚、上記表２に記載の材料について詳細を示す。
・Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｙ．１５０（商品名：Bayplast  Yellow  5GN01、バイエル株式会社製）
・Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．１７７（商品名：Ｃｒｏｍｏｐｈｔａｌ  Ｒｅｄ  Ａ２Ｂ、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ（株）製）
・Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｒ．２５４（商品名：Ｉｒｇａｐｈｏｒ  Ｒｅｄ  Ｂ−ＣＦ、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ（株）製）
・Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｂ．１５：６（商品名：Ｒｉｏｎｏｌ  Ｂｌｕｅ  ＥＳ、東洋インキ製造（株）製）
・Ｃ．Ｉ．Ｐ．Ｖ．２３（商品名：Ｈｏｓｔａｐｅｒｍ  Ｖｉｏｌｅｔ  ＲＬ−ＮＦ、クラリアントジャパン（株）製）
【０１１９】
＜着色画素形成用インクの調製＞
下記表３に示す処方のとおり、溶剤、モノマー、界面活性剤および熱重合開始剤成分を混合して、２５℃で３０分間攪拌したのち、不溶物が無いことを確認し、モノマー液を調製した。次に、Ｇ用顔料分散液（Ｇ１）、Ｇ用顔料分散液（Ｇ２）を攪拌しながら、前記モノマー液をゆっくりと添加し、２５℃で３０分間攪拌し、Ｇ用インクジェットインク（インクＧ−１）を調製した。
また、同様に下記表３に示す処方のとおり、Ｒ用インクジェットインク（インクＲ−１）、Ｂ用インクジェットインク（インクＢ−１）を調製した。
【０１２０】
【表３】
2008026391.tif 000006
【０１２１】
尚、上記表３に記載の材料について詳細を示す。
・１，３−ＢＧＤＡ（１，３−ブタンジオールジアセテート；沸点２３２℃）
・ＰＧＭＥＡ（プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート；沸点１４６℃）
・アロニクスＭ−３０９（トリメチロールプロパントリアクリレート，粘度８５ｍＰａ・ｓ（ａｔ２５℃）、東亜合成（株）製）
・熱重合開始剤（Ｖ−４０、アゾビス（シクロヘキサン−１−カルボニトリル）、和光純薬（株）製）
【０１２２】
［インクジェット方式による画素部の形成］
次に上記記載のインクＲ−１、Ｇ−１、Ｂ−１を用いて、上記で得られたカラーフィルタ基板のブラックマトリックスで離画された領域（開口部）に、Ｄｉｍａｔｉｘ社製インクジェットヘッド（ＳＥ−１２８、ヘッド温度２８℃）により所望の濃度になるまでインクの吐出を行い１２０℃で２分間プリベークを行った後に、２３０℃オーブン中で３０分ベークすることでブラックマトリックス並びに画素を完全に硬化させ、Ｒ、Ｇ、Ｂのパターンからなるカラーフィルタを作製した。
【０１２３】
［表示装置の作製］
上記より得たカラーフィルタ基板のＲ画素、Ｇ画素、及びＢ画素並びにブラックマトリックスの上に更に、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）の透明電極をスパッタリングにより形成した。
次いで、特開２００６−６４９２１号公報の実施例１に従い、前記で形成したＩＴＯ膜上のブラックマトリックス上部に相当する部分にスペーサを形成した。
別途、対向基板としてガラス基板を用意し、カラーフィルタ基板の透明電極上及び対向基板上にそれぞれＰＶＡモード用にパターニングを施し、その上に更にポリイミドよりなる配向膜を設けた。
【０１２４】
その後、カラーフィルタの画素群を取り囲むように周囲に設けられたブラックマトリックス外枠に相当する位置に紫外線硬化樹脂のシール剤をディスペンサ方式により塗布し、ＰＶＡモード用液晶を滴下し、対向基板と貼り合わせた後、貼り合わされた基板をＵＶ照射した後、熱処理してシール剤を硬化させた。このようにして得た液晶セルの両面に、（株）サンリツ製の偏光板ＨＬＣ２−２５１８を貼り付けた。次いで、赤色（Ｒ）ＬＥＤとしてＦＲ１１１２Ｈ（スタンレー（株）製のチップ型ＬＥＤ）、緑色（Ｇ）ＬＥＤとしてＤＧ１１１２Ｈ（スタンレー（株）製のチップ型ＬＥＤ）、青色（Ｂ）ＬＥＤとしてＤＢ１１１２Ｈ（スタンレー（株）製のチップ型ＬＥＤ）を用いてサイドライト方式のバックライトを構成し、前記偏光板が設けられた液晶セルの背面となる側に配置し、液晶表示装置とした。
【０１２５】
〔実施例２〜１３、比較例１〜４〕
実施例１において、ブラックマトリックスの作製工程におけるポスト露光方法、ポスト露光照度、ポスト露光エネルギー、ベーク時間の条件を下記表４に記載の条件に変更した以外は、実施例１と同様の方法でブラックマトリックスを形成し、またカラーフィルタ、液晶表示装置を作製した。
【０１２６】
〔実施例１４〕
実施例１において、ＲＧＢ画素の形成方法を、ＷＯ２００６０３８７３１に「Ｅｘａｍｐｌｅ１６」として記載のスリットコート法に変更した以外は、実施例１と同様の方法でブラックマトリックスを形成し、またカラーフィルタ、液晶表示装置を作製した。
【０１２７】
〔実施例１５〕
実施例１において、ブラックマトリックスの作製工程におけるポスト露光方法、ポスト露光照度、ポスト露光エネルギー、ベーク時間の条件を下記表４に記載の条件に変更した以外は、実施例１と同様の方法でブラックマトリックスを形成し、またカラーフィルタ、液晶表示装置を作製した。尚、ポスト露光はオモテ面（ブラックマトリックス形成側）からのみ照射した。
【０１２８】
〔実施例１６〕
実施例１において、ブラックマトリックスの作製工程におけるポスト露光方法、ポスト露光照度、ポスト露光エネルギー、ベーク時間の条件を下記表４に記載の条件に変更した以外は、実施例１と同様の方法でブラックマトリックスを形成し、またカラーフィルタ、液晶表示装置を作製した。尚、ポスト露光は裏面（ブラックマトリックスを形成する反対側）からのみ照射した。
【０１２９】
【表４】
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【０１３０】
尚、ポスト露光に用いた露光機は、メタルハライドランプとしては（アイグラフィックス社製メタルハライドランプ「アイマルチビーム」）を、高圧水銀灯としては（日立ハイテク電子エンジニアリング（株）製の超高圧水銀灯ランプ）を用いた。
【０１３１】
ポスト露光照度は、照度計（下記測定装置）にて照度を測定することにより設定した。また、ポスト露光量（露光エネルギー）は、上記のようにして露光照度を設定した後、露光時間を選択することで調整した。
尚、上記露光照度および露光量（露光エネルギー）の測定は、測定装置としてウシオ電機(株)製の「ＵＩＴ１５０」を用い、測定波長を３６５ｎｍに設定して測定した。
【０１３２】
［モノマー反応率の測定］
まずポスト露光後のモノマー反応率に関しては、測定サンプルとしてポスト露光後の感光性樹脂層から薄層を削りだし、ＫＢｒにて５０倍の錠剤（高さ５００μｍ、直径２ｍｍのもの）を作製した。次いで、８１０ｃｍ−１と７００ｃｍ−１の波長での吸光度比をＦＴ−ＩＲ測定装置（ＦＴＳ−７０００／バリアン・テクノロジーズ・ジャパン(株)製）にて測定し、アクリレートの残存率を求めることによって、モノマー反応率を算出した。
また、ベーク後のモノマー反応率は、ベーク後の感光性樹脂層からサンプルを作製したこと以外は、同様にして算出した。
【０１３３】
［評価方法］
上記より得られたブラックマトリックス、および液晶表示装置について下記の様に評価を行った。
−膜力学強度−
ブラックマトリックスを形成したガラス基板に、接着剤を用いて別のガラス基板を貼り合わせ、その後、カミソリ刃を隙間に入れて力をかけてブラックマトリックスが破壊される際の力を測定した。尚、上記「破壊される際の力」の測定には、測定装置として「フォースゲージ２０１３Ｍ（ＩＭＡＤＡ製）」を用い、測定条件は以下のようにした。
ガラス基板：２５ｍｍ幅×５０ｍｍ長さ
接着剤：ＳＴＲＵＣＴＢＯＮＤ（三井化学社製）
接着剤面積（１ｍｍ×２０ｍｍ）
接着後熱処理１５０℃／６０分
フォースゲージの引張り速度：２５ｍｍ／分
【０１３４】
測定結果から、以下の基準により評価した。
○  ：１Ｎ／ｃｍ（幅）以上
△  ：０．５Ｎ／ｃｍ（幅）以上、１Ｎ／ｃｍ（幅）未満
×  ：０．３Ｎ／ｃｍ（幅）以上、０．５Ｎ／ｃｍ（幅）未満
××：０．３Ｎ／ｃｍ（幅）未満
【０１３５】
−インクジェット溶剤耐性−
ブラックマトリックスが形成されたガラス基板を、メチルカルビトールに５分間浸漬した後、７０℃オーブンにて１０分乾燥し、表面を顕微鏡で観察した。
○  ：異常なし
△  ：ブラックマトリックスエッジ部に異常あり
×  ：ブラックマトリックスエッジ部に加え、他の箇所にも若干の異常あり
××：全面にわたって顕著な異常あり
【０１３６】
−レチキュレーション−
前記［ブラックマトリックスの製造］における(4)ベーク工程の後に、表面観察を行った。
○  ：顕微鏡観察（５０倍）で異常なし
△  ：顕微鏡観察（５０倍）で若干のシワが観察された
×  ：顕微鏡観察（５０倍）で顕著なシワが観察された
××：目視で白濁して見える
【０１３７】
【表５】
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【０１３８】
〔実施例１７〕
実施例１において、ブラックマトリックスの乾燥膜厚を１．６μｍとした以外、同様の方法でブラックマトリックスを形成し、またカラーフィルタ、液晶表示装置を作製した。
【０１３９】
〔比較例５〜８〕
比較例１〜４において、ブラックマトリックスの乾燥膜厚を１．６μｍとした以外、同様の方法でブラックマトリックスを形成し、またカラーフィルタ、液晶表示装置を作製した。
【０１４０】
実施例１７および比較例５〜８にて得られたブラックマトリックス、および液晶表示装置について、実施例１と同様に評価を行った。
【０１４１】
【表６】
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【０１４２】
〔実施例１８〕
実施例１において、感光性樹脂組成物Ｋ１に用いた＜バインダー２＞中のポリマーを「ベンジルメタクリレート／メタクリル酸／ヒドロキシエチルメタクリレート＝７１／１２／１７モル比のランダム共重合物、分子量４．０万」に変更し、さらに、＜ＤＰＨＡ液＞中のジペンタエリスリトールヘキサアクリレートを「ジペンタエリスリトールペンタアクリレート（東亜合成社製、商品名：Ｍ−４５０）」に変更した以外、同様の方法でブラックマトリックスを形成し、またカラーフィルタ、液晶表示装置を作製した。
【０１４３】
〔実施例１９〜２２および比較例９〜１１〕
実施例３，９，１２，１３および比較例１，２，４において、感光性樹脂組成物Ｋ１に用いた＜バインダー２＞中のポリマーを「ベンジルメタクリレート／メタクリル酸／ヒドロキシエチルメタクリレート＝７１／１２／１７モル比のランダム共重合物、分子量４．０万」に変更し、さらに、＜ＤＰＨＡ液＞中のジペンタエリスリトールヘキサアクリレートを「ジペンタエリスリトールペンタアクリレート（東亜合成社製、商品名：Ｍ−４５０）」に変更した以外、同様の方法でブラックマトリックスを形成し、またカラーフィルタ、液晶表示装置を作製した。
【０１４４】
上記実施例１８〜２２および比較例９〜１１における、ポスト露光後のモノマー反応率およびベーク後のモノマー反応率を下記表に示す。
【０１４５】
【表７】
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【０１４６】
実施例１８〜２２および比較例９〜１１にて得られたブラックマトリックス、および液晶表示装置について、実施例１と同様に評価を行った。
【０１４７】
【表８】
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