(57)【要約】【課題】  油圧アクチュエータ制御回路に関する。【解決手段】  バルブアセンブリは油圧アクチュエータの第１及び第２ポート間の流量、供給ライン及び戻りラインの各々を制御する。第１電磁油圧比例バルブは供給ラインと第１ポート間に接続され、第２電磁油圧比例バルブは供給ラインと第２ポート間に接続される。第１平衡バルブは第２ポートを戻りラインに結合し、第１電磁油圧比例バルブと第１ポートにより作られた圧力に応答して動作する。第２電磁油圧比例バルブは供給ラインと第１ポート間に接続される。第２平衡バルブは第１ポートを戻りラインに結合し、第２電磁油圧比例バルブと第２ポートにより得られた圧力に応答して動作する。このように、第１平衡バルブの動作は第１電磁油圧比例バルブに対して従属動作し、第２平衡バルブの動作は第２電磁油圧比例バルブに対して従属動作する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
加圧流体を運ぶ供給ライン、タンクに接続された戻りライン、及び油圧アクチュエータを有する油圧システム用の制御バルブアセンブリにおいて、
前記油圧アクチュエータを前記制御バルブアセンブリに接続するための第１ワークポート及び第２ワークポートと；
前記供給ラインと前記第１ワークポート間に接続され且つその間の流体を制御するための第１比例バルブと；
前記供給ラインと前記第２ワークポート間に接続され且つその間の流体を制御するための第２比例バルブと；
前記戻りラインと前記第２ワークポート間に接続され且つ第１比例バルブと一致して動作するために従属動作する第１平衡バルブと；
前記戻りラインと前記第１ワークポート間に接続され且つ第２比例バルブと一致して動作するために従属動作する第２平衡バルブと；
を具備することを特徴とする制御バルブアセンブリ。
【請求項２】
前記第１比例バルブと前記第２比例バルブは電気的に動作することを特徴とする請求項１記載の制御バルブアセンブリ。
【請求項３】
前記第１比例バルブと前記第２比例バルブはポペットバルブであることを特徴とする請求項１記載の制御バルブアセンブリ。
【請求項４】
前記第１平衡バルブは前記第１比例バルブに対して非電気的に従属動作され、前記第２平衡バルブは前記第２比例バルブに対して非電気的に従属動作されることを特徴とする請求項１記載の制御バルブアセンブリ。
【請求項５】
前記第１平衡バルブは前記第１比例バルブの動作から得られた圧力に応答して動作し、前記第２平衡バルブは前記第２比例バルブの動作から得られた圧力に応答して動作することを特徴とする請求項１記載の制御バルブアセンブリ。
【請求項６】
前記第１平衡バルブは前記第１比例バルブと前記第１ワークポート間の第１ポイントの圧力に応答して前記戻りラインと前記第２ワークポート間の流体を制御し、第２平衡バルブは前記第２比例バルブと前記第２ワークポート間の第２ポイントの圧力に応答して前記戻りラインと前記第１ワークポート間の流体を制御することを特徴とする請求項１記載の制御バルブアセンブリ。
【請求項７】
前記第１ポイントと前記第１ワークポート間に接続され、流体が前記第１比例バルブから前記第１ワークポートにのみ流れるのを可能にする第１負荷チェックバルブと、前記第２ポイントと前記第２ワークポート間に接続され、流体が前記第２比例バルブから前記第２ワークポートにのみ流れるのを可能にする第２負荷チェックバルブをさらに具備することを特徴とする請求項６記載の制御バルブアセンブリ。
【請求項８】
前記第１ポイントに接続された第１流入部と前記第２ポイントに接続された第２流入部を有するシャトルバルブと、前記第１ポイント又は第２ポイントのより大きい圧力が現れる流出部とをさらに具備することを特徴とする請求項７記載の制御バルブアセンブリ。
【請求項９】
前記第１及び第２比例バルブの一方が開くと、前記第１及び第２比例ワークポートの他方の圧力にかかわらず、開口比例バルブが接続される前記第１又は第２ワークポートの圧力を示す信号を与える負荷検出回路をさらに具備することを特徴とする請求項１記載の制御バルブアセンブリ。
【請求項１０】
流体が前記第１比例バルブから前記第１ワークポートにのみ流れるように動作可能に接続された第１負荷チェックバルブと；
流体が前記第２比例バルブから前記第２ワークポートにのみ流れるように動作可能に接続された第２負荷チェックバルブと；
をさらに具備することを特徴とする請求項１記載の制御バルブアセンブリ。
【請求項１１】
前記第１平衡バルブと平行に接続され、流体が前記戻りラインから前記第２ワークポートにのみ流れるのを可能にするチェックバルブと；
前記第２平衡バルブと平行に接続され、流体が前記戻りラインから前記第１ワークポートにのみ流れるのを可能にする他のチェックバルブと；
をさらに具備することを特徴とする請求項１記載の制御バルブアセンブリ。
【請求項１２】
前記第１平衡バルブは、前記第１電磁油圧比例バルブの動作により得られた圧力に応答して、前記戻りラインと前記第２ワークポート間の流量を制御し、前記第２平衡バルブは、前記第２電磁油圧比例バルブの動作により得られた圧力に応答して、前記戻りラインと前記第１ワークポート間の流量を制御することを特徴とする請求項１０記載の制御バルブアセンブリ。
【請求項１３】
加圧流体を運ぶ供給ライン、タンクに接続された戻りライン、及び油圧アクチュエータを有する油圧システム用の制御バルブアセンブリにおいて、
第１ノード及び第２ノードと；
前記供給ラインと前記第１ノード間に接続され、その間に流れる流量を制御する第１電磁油圧比例バルブと；
流体が前記第１ノードから前記油圧アクチュエータの前記第１ポートにのみ流れるように動作可能に接続された第１負荷チェックバルブと；
前記供給ラインと前記第２ノード間に接続され、その間に流れる流量を制御する第２電磁油圧比例バルブと；
流体が前記第２ノードから前記油圧アクチュエータの前記第２ポートにのみ流れるように動作可能に接続された第２負荷チェックバルブと；
前記戻りラインと前記第２ポート間に接続され、前記第１電磁油圧比例バルブと前記第１ポート間の前記第１ノードの圧力に応答して、その間の流体を制御する第１平衡バルブと；
前記戻りラインと前記第１ポート間に接続され、前記第２電磁油圧比例バルブと前記第２ポート間の前記第２ノードの圧力に応答して、その間の流体を制御する第２平衡バルブと；
を具備することを特徴とする制御バルブアセンブリ。
【請求項１４】
前記第１平衡バルブと平行に接続され、流体が前記戻りラインから前記第２ポートにのみ流れるのを可能にする第１チェックバルブと；
前記第２平衡バルブと平行に接続され、流体が前記戻りラインから前記第１ポートにのみ流れるのを可能にする第２チェックバルブと；
をさらに具備することを特徴とする請求項１３記載の制御バルブアセンブリ。
【請求項１５】
前記第１及び第２ノードの圧力のより大きい圧力を示す信号を与える負荷検出回路をさらに具備することを特徴とする請求項１３記載の制御バルブアセンブリ。
【請求項１６】
前記第１及び第２電磁油圧比例バルブがポペットバルブであることを特徴とする請求項１５記載の制御バルブアセンブリ。
【請求項１７】
加圧流体を運ぶ供給ライン、タンクに接続された戻りライン、及び油圧アクチュエータを有する油圧システム用の制御バルブアセンブリにおいて、
前記油圧アクチュエータを前記制御バルブアセンブリに接続するための第１ワークポートと前記第２ワークポートと；
前記供給ラインと前記第１ワークポート間に接続され、その間の流体を制御する第１電磁油圧比例バルブと；
前記供給ラインと前記第２ワークポート間に接続され、その間の流体を制御する第２電磁油圧比例バルブと；
前記戻りラインと前記第２ワークポート間に接続され、前記第１電磁油圧比例バルブと前記第１ワークポート間の第１ノードの圧力に応答して流体を制御する第１平衡バルブと；
前記戻りラインと前記第１ワークポート間に接続され、前記第２電磁油圧比例バルブと前記第２ワークポート間の第２ノードの圧力に応答して流体を制御する第２平衡バルブと；
を具備することを特徴とする制御バルブアセンブリ。
【請求項１８】
前記第１平衡バルブと平行に接続され、流体が前記戻りラインから前記第２ワークポートにのみ流れるのを可能にする第１チェックバルブと；
前記第２平衡バルブと平行に接続され、流体が前記戻りラインから前記第１作用ポートにのみ流れるのを可能にする第２チェックバルブと；
をさらに具備することを特徴とする請求項１７記載の制御バルブアセンブリ。
【請求項１９】
前記第１及び第２電磁油圧比例バルブがポペットバルブであることを特徴とする請求項１７記載の制御バルブアセンブリ。
【請求項２０】
前記第１ノードと前記第１ワークポート間に接続され、流体が前記第１電磁油圧比例バルブから前記第１ワークポートにのみ流れるのを可能にする第１負荷チェックバルブと；
前記第２ノードと前記第２ワークポート間に接続され、流体が前記第２電磁油圧比例バルブから前記第２ワークポートにのみ流れるのを可能にする第２負荷チェックバルブと；
をさらに具備することを特徴とする請求項１７記載の制御バルブアセンブリ。
【請求項２１】
前記第１及び第２ノードの圧力のより大きい圧力を示す信号を与える負荷検出回路をさらに具備することを特徴とする請求項１７記載の制御バルブアセンブリ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
関連出願の相互参照
適用なし。
連邦政府委託研究に関する申立て   
適用なし。
本発明は農業用、建設用、産業用装置のような機械を動作させるための油圧システムに関し、特に、機械の油圧アクチュエータに出入りする流量を制御するためのバルブアセンブリに関する。
【背景技術】
【０００２】
農業、建設、及び産業用装置はシリンダ／ピストン構成及び油圧モータのような油圧アクチュエータにより駆動される可動部材を有する。従来、油圧アクチュエータへの流体の供給は手動レバーにより動くスプールを有するバルブにより制御された。スプールがバルブ本体内の種々の位置に動くことにより、ポンプからシリンダの一方のチャンバーに流れる加圧流量及び他方のチャンバーから排出される流量を比例的に変化させる。流量を変更することにより、ピストン及びピストンに接続された機械部材を比例的に異なる速度で駆動させる。
【０００３】
現在、手動油圧バルブから離れ、電気制御とソレノイドバルブの使用に移る傾向にある。この型の制御は制御バルブを運転席の近くに配置する必要がなく、付随の油圧アクチュエータの近くに取付け可能なので油圧配管を簡単にすることができる。電気動作型バルブはさらにアクチュエータのコンピュータ制御を可能にする。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
共通電気制御型油圧システムは四辺形の２つの異なるコーナー間に互いに流体的に接続された４個の電磁油圧比例ポペットバルブのホイートストンブリッジ構成を採用している。ブリッジの２つの対向するコーナーは２個の異なるシリンダチャンバーに接続される。一方の残りのコーナーは加圧流体を運ぶ供給導管に接続され、最後のコーナーはタンク戻り導管に接続される。油圧シリンダを動作させるために、ブリッジの反対側の２つのコーナーが開くと、供給導管からの流体は一方のシリンダチャンバーに流れ、他方のシリンダチャンバーから排出する流体は戻り導管に流れる。どちらかの対の対向するバルブが開き、シリンダの動きの方向、伸張、又は後退を決定する。ブリッジの対向する側の２つの電磁油圧比例バルブが共に開いても、各バルブは電気的に独立して動作し、別個の電気アクチュエータ及び駆動回路を要求する。これにより、油圧アクチュエータに対する流量及び油圧アクチュエータからの流量を個別に計量することができる。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
加圧流体を運ぶ供給ライン、タンクに接続された戻りライン、及び油圧アクチュエータを有する油圧システム用の制御バルブアセンブリが提供される。本制御バルブアセンブリは油圧アクチュエータを制御バルブアセンブリに接続するための第１ワークポート及び第２ワークポートを有する。第１電磁油圧比例バルブは供給ラインと第１ワークポート間に接続され、その間に流れる流量を制御する。第２電磁油圧比例バルブは供給ラインを第２ワークポートに接続し、その間に流れる流量を制御する。
【０００６】
第１平衡バルブは戻りラインと第２ワークポート間に接続され、第１電磁油圧比例バルブと第１ワークポート間の第１ノードの圧力に応答してその間に流れる流量を制御する。第２平衡バルブは戻りラインと第１ワークポート間に接続され、第２電磁油圧比例バルブと第２ワークポート間の第２ノードの圧力に応答してその間に流れる流量を制御する。
【０００７】
好ましい実施例は第１平衡バルブと平行に第１チェックバルブを設け、流量が戻りラインから第２ワークポートへのみに流れるのを可能にする。この実施例において、第２チェックバルブは第２平衡バルブと平行に接続され、流量が戻りラインから第１ワークポートへのみに流れるのを可能にする。
【０００８】
制御バルブアセンブリの他の形式において、第１負荷チェックバルブは第１ノードと第１ワークポート間に接続され、流体が第１電磁油圧比例バルブから第１ワークポートへのみに流れるのを可能にする。第２負荷チェックバルブは第２ノードと第２ワークポートに接続し、流体が第２電磁油圧比例バルブから第２ワークポートへのみに流れるのを可能にする。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
まず図１を参照すると、テレハンドラー１０は、本発明が広範囲の機械に応用できるという理解の下で、本発明が使用可能な機械の一例である。テレハンドラー１０は運転席１４を有する台車１２を有する。台車１２は地面１９を跨いだ１対の後輪１６を駆動するためのエンジン又はバッテリ駆動モーター（図示せず）を支持している。１対の前輪１８は運転席１４から操縦される。ブーム２０は台車１２の後部に軸動的に取り付けられ、アーム２２はブーム内で伸縮自在に滑動する。ロード（負荷）キャリア２４はブーム２０から遠いアーム２２の端部に軸動的に取り付けられ、負荷２６を持ち上げるためのいくつかの構造体の１つから構成される。例えば、負荷キャリア２４は部品が包装されているパレットを上昇させるための１対のフォーク２８を有する。
【００１０】
図２をさらに参照すると、テレハンドラー１０はブーム２０、アーム２０及び負荷キャリア２４の動きを制御する油圧システム３０を有する。作動液は流体が従来の圧力流量補償ポンプ３４により排出され、チェックバルブ３６を介してテレハンドラーを通過する供給ライン３８に供給されるリザーバ又はタンク３２に溜められる。代案として、オープン中央ポンプが出力圧力を制御するためその流出部のアンロードバルブと共に利用できる。タンク戻りライン４０はテレハンドラーを貫流し、タンク３２に戻る作動液のための導管を提供する。１対の圧力センサー４２と４４はそれぞれ供給ライン３８とタンク戻りライン４０内の圧力を示す電気信号を出力する。
【００１１】
供給ライン３８は作動液を第１バルブアセンブリ５０に供給し、バルブアセンブリ５０はブーム２０を上昇及び下降させるブーム油圧シリンダ５６に出入りする流量を制御する４個の電磁油圧比例バルブ（ＥＨＰ）バルブ５１、５２、５３及び５４のホイートストンブリッジからなる。システム３０内のこれらのＥＨＰ バルブ５１−５４の各々と他の電磁油圧比例バルブは２つのポートのみを有し、好ましくは双方向ポペットバルブであり、バルブを貫通する方向に流れる作動液の流量を制御し、例えば、米国特許第６，３２８，２７５号に記載された型である。しかしながら、他の型の制御バルブも使用できる。
【００１２】
第１対のＥＨＰバルブ５１及び５２は供給ライン３８からブームシリンダ５６内のシリンダの一方の側のヘッドチャンバー５７に流れ、且つピストンの反対側のロッドチャンバー５５からタンク戻りライン４０に流れる流量を統括する。この動作はシリンダ５６からピストンロッドを伸張させ、ブーム２０を上昇させる。第２対のＥＨＰバルブ５３及び５４は供給ラインからロッドチャンバー５５に流れ且つヘッドチャンバー５７からピストンロッドをシリンダ５６内に後退させブーム２０を降下させるタンク戻りラインに流れる流量を制御する。加圧流体が一方のシリンダに送られ、他方のシリンダから排出される流量を制御することにより、ブーム２０は制御された方法で上昇及び降下される。第１対の圧力センサー５８及び５９はブームシリンダ５６の２つのチャンバー内の圧力を示す電気信号を出力する。
【００１３】
第２制御バルブアセンブリ６０はアーム油圧シリンダ６６に出入りする作動液流量を制御する。この制御バルブアセンブリは供給及びタンクライン３８及び４０とアームシリンダ６６のチャンバー間のホイートストンブリッジ構成に接続された他の組の４個のＥＦＰバルブ６１、６２、６３及び６４と、アームシリンダ６６のチャンバーとからなる。第２制御バルブアセンブリ６０の動作はブーム２０に対してアーム２２を伸張及び後退させる。第２対の圧力センサー６８及び６９はアーム油圧シリンダ６６の２個のチャンバー内の圧力を示す電気信号を出力する。
【００１４】
第３制御バルブアセンブリ７０はアーム２２の遠端部に対して負荷キャリア２４を上下方向に傾斜させる負荷キャリア油圧シリンダ７６に出入りする流量を制御する。このバルブアセンブリは２個の圧力動作型平衡バルブ７３及び７４と共に結合された２個のＥＨＰバルブ７１及び７２のみを有する他のアセンブリと異なる。第１ＥＨＰバルブ７１は供給ライン３８から、負荷キャリアシリンダ７６のヘッドチャンバー７７のための第１ポートがつながる、第１ワークポート７８へ流れる流量を制御し、第２ＥＨＰバルブ７２は供給ラインからロッドチャンバー７５の第２ポートに接続された第２ワークポート７９に流れる流量を制御する。第１負荷チェックバルブ８０が第１ＥＨＰバルブ７１とヘッドチャンバー間の通路に設けられ、第２負荷チェックバルブ８１が第２ＥＨＰバルブ７２とロッドチャンバー間の通路に設けられる。
【００１５】
第１平衡バルブ７３はロッドチャンバー７５をタンク戻りライン４０に接続され、第２平衡バルブ７４はヘッドチャンバー７７とタンク戻りライン間に接続される。２個の平衡バルブ７３と７４は圧力動作型パイロットバルブである。第１平衡バルブ７３は第１ＥＨＰバルブ７１と第１負荷チェックバルブ８０間の第１ノード８２の圧力により駆動され、ＥＨＰバルブと共に動作するために非電気的に従属駆動される。第２平衡バルブ７４は第２ＥＨＰバルブ７２と第２負荷チェックバルブ８１間の第２ノード８３の圧力で駆動され、第２ＥＨＰバルブと共に動作するために非電気的に従属駆動される。関連する第１又は第２負荷チェックバルブ８０又は８１の動作に関連して第１又は第２ＥＨＰバルブ７１又は７２の内部チェック（逆止め）機能と、各第１又は第２平衡バルブ７３又は７４の固有な戻りラインの漏洩により、適切な平衡バルブが開口のために電気的に活性化される何れかのＥＨＰバルブの開口で開口することを保証する。第１又は第２チェックバルブ８６又は８８は一体化された部品であり、第１又は第２平衡バルブ７３又は７４の機能はタンク戻りラインから付随のワークポート７８又は７９にのみ流れる流量がシリンダ７６内でのキャビテーションを防止する。
【００１６】
第１及び第２ノード８２及び８３の圧力のより大きい方がシャトルバルブ８４で選択され、負荷圧力センサー８５に加えられる。第１又は第２ＥＨＰバルブ７１又は７２の一方が開口すると、選択された圧力は開口したＥＨＰバルブに接続されたワークポートの圧力に相当する。この現象は、第１又は第２チェックバルブ８６又は８８がより大きな圧力がシャトルバルブ８４に達するのを防止するので、たとえ他のワークポートの負荷圧力より大きくても生じる。
【００１７】
３個の制御バルブアセンブリ５０、６０及び７０が電子制御装置９０からの電気信号により動作される。制御装置９０はマイクロコンピュータと、このマイクロコンピュータにより使用されるプログラムとデータを蓄積するメモリに基いた通常のハードウエア設計を有する。マイクロコンピュータはオペレータ入力装置、センサー、及び油圧システム３０のバルブに接続する制御装置内の入出力回路に接続される。具体的には、制御装置９０はオペレータによる要望されるブームアーム負荷キャリアアセンブリの動きを示すテレハンドラー運転席１４（図１）内のジョイスティック９２からのオペレータ入力信号を受信する。圧力センサー４２、４４、５８、５９、６８、及び８５からの信号は制御装置により受信される。制御ソフトウエアの実行中に、制御装置９０は３個の制御バルブアセンブリ５０、６０及び７０内のバルブ類を動作させる信号を発生させることにより入力信号に応答する。
【００１８】
制御装置を命令して負荷キャリア２４を動かすために、オペレータは所望の動きを示すやり方でジョイスティック９２を操作する。この動作により、所望の方向の動きを発生するために第１及び第２ＥＨＰバルブ７１及び７２のどちらか一方を開口すべきかをそれに応じて決定する制御装置９０に信号を送る。もしジョイスティック信号が負荷キャリア２４のフォーク２８の端部を下方に傾斜させることを指定すると、ピストンロッド９４は負荷キャリアシリンダ７６から伸張しなければならない。したがって、供給ライン３８からヘッドチャンバー７７に流体を運ぶために第１ＥＨＰバルブ７１を開口しなければならない。この流体は第１チェックバルブ８０を強制的に開き、流体がヘッドチャンバー７７に流入するのを可能にする。この作用により、第１ＥＨＰバルブ７１と第１チェックバルブ８０間の第１ノード８２で比較的高圧になる。この圧力は第１平衡バルブ７３に加えられ、このバルブを強制的に開き、負荷キャリアシリンダ７６のロッドチャンバー７５とタンク戻りライン４０間の通路を提供する。このように加圧された流体はヘッドチャンバー７７に加えられ、ロッドチャンバー７５内の流体がタンク３２に排出され、ピストンロッド９４を負荷キャリアシリンダから伸張する。
【００１９】
もしジョイスティック９２からの信号が負荷キャリアフォーク２８の端部を上方向に傾斜させることを指定すると、ピストンロッド９４を負荷キャリアシリンダ７６内に後退しなければならない。この動きを達成するため、第２ＥＨＰバルブ７２は開き、流体を供給ライン３８からロッドチャンバー７５に運ばなければならない。今、比較的高い圧力が第２ＥＨＰバルブ７２と第２チェックバルブ８１間の第２ノード８３に生じると、第２平衡バルブ７４を強制的に開き、ヘッドチャンバー７７とタンク戻りライン４０間にドレイン通路を形成する。この作用の結果として、加圧流体はロッドチャンバー７５に加えられ、ヘッドチャンバー７７内の流体はタンク３２に排出され、ピストンロッド９４を負荷キャリアシリンダ内に後退させる。
【００２０】
負荷キャリアシリンダ７６を反対方向に駆動する流体は２個の電気動作型バルブのみを有するバルブアセンブリにより制御される。このようにして、電気アクチュエータの数と第３バルブアセンブリ７０を動作させるために必要な電気駆動回路の量は各々４個の電気動作型バルブを有する他のバルブアセンブリ５０及び６０のために要求される数から減じられる。負荷キャリアシリンダ７６のため、２個のＥＨＰバルブ７１及び７２は供給ライン３８からの加圧流体の供給を制御し、これらのＥＨＰバルブの動作に対して従属動作する２個の平衡バルブ７３と７４は負荷キャリアシリンダから排出される流体を制御する。
【００２１】
前述の説明は主として本発明の好ましい実施例に向けられた。本発明の範囲内で種々の代案に注目したが、当業者が本発明の実施例の開示から明らかである追加の代案を実現するであろうことが予期される。したがって、本発明の範囲は特許請求の範囲から決定されるべきであり、上記開示により限定されるべきではない。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】図１は本発明を内蔵するテレハンドラーを示している。
【図２】図２はテレハンドラーの油圧回路を示す概略図である。
【符号の説明】
【００２３】
１０    テレハンドラー
１２    台車
１４    運転席
１６    後輪
１８    前輪
２０    ブーム
２２    アーム
２４    ロード（負荷）キャリア
２６    負荷
３０    油圧システム
３２    タンク
３４    ポンプ
３６    チェックバルブ
３８    供給ライン
４０    タンク戻りライン
４２、４４、５８、５９、６８、６９、８５    圧力センサー
５０、６０    制御バルブアセンブリ
５１、５２、５３、５４    電磁油圧比例（ＥＨＰ）バルブ
５５    ロッドチャンバー
５６    ブーム油圧シリンダ
５７    ヘッドチャンバー
６６    アームシリンダ
７３、７４    平衡バルブ
９０    電子制御装置
９２    ジョイスティック
【図１】
2008039184.tif 000003
【図２】
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【外国語明細書】
2008039184.tif 000005
2008039184.tif 000006
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