(57)【要約】【課題】熟練したスキルを必要とせず、容易に表、裏側フィルムを位置合わせ調整する。【解決手段】走行する基板３の表裏面に表、裏側フィルム７，９を挟み込んでラミネートするラミネートロール１１と、基板３の表面側に向けて送出すべく第１リール軸１３に設けたロール状の表側フィルム７と、基板３の裏面側に向けて送出すべく第２リール軸１７に設けたロール状の裏側フィルム９を備える。第１リール軸１３を第１直動案内３７でラミネートロール１１の軸線方向と同方向の第１方向に移動自在に設けた表側フィルム送出部１５と、第２リール軸１７を第２直動案内で前記第１方向と同方向の第２方向に移動自在に設けた裏側フィルム送出部１９と、第１直動案内３７の第１ベース部６１と第２直動案内の第２ベース部６３を連動連結するユニット部４１Ａを第３直動案内４３で前記第１，第２方向と同方向の第３方向に移動自在に設けたユニット装置４１と、を備える。【選択図】図１
2008188901.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
走行する基板の表裏面に表、裏側フィルムを挟み込んでラミネートするラミネートロールと、前記基板の表面側に向けて送出すべく第１リール軸にロール状に巻回した表側フィルムと、前記基板の裏面側に向けて送出すべく第２リール軸にロール状に巻回した裏側フィルムと、を備えたフィルムラミネート装置において、
前記第１リール軸を第１直動案内で前記ラミネートロールの軸線方向と同方向の第１方向に移動自在に設けた表側フィルム送出部と、前記第２リール軸を第２直動案内で前記ラミネートロールの軸線方向と同方向の第２方向に移動自在に設けた裏側フィルム送出部と、前記第１直動案内の第１ベース部と第２直動案内の第２ベース部を連動連結するユニット部を設けると共にこのユニット部を第３直動案内で前記ラミネートロールの軸線方向と同方向の第３方向に移動自在に設けたユニット装置と、を備えたことを特徴とするフィルムラミネート装置。
【請求項２】
前記第１リール軸を前記第１方向に駆動する第１駆動部を設け、前記第２リール軸を前記第２方向に駆動する第２駆動部を設け、前記ユニット部を前記第３方向に駆動する第３駆動部を設けたことを特徴とする請求項１記載のフィルムラミネート装置。
【請求項３】
前記第１駆動部、第２駆動部及び第３駆動部を、それぞれ手動ハンドルで回転駆動する構成であることを特徴とする請求項２記載のフィルムラミネート装置。
【請求項４】
前記第１駆動部、第２駆動部及び第３駆動部を、それぞれ自動回転駆動手段で回転駆動する構成であることを特徴とする請求項２記載のフィルムラミネート装置。
【請求項５】
前記第１リール軸に前記第１方向の基準位置に対する移動位置を計測する第１計測部を設け、前記第２リール軸に前記第２方向の基準位置に対する移動位置を計測する第２計測部を設け、前記ユニット部に前記第３方向の基準位置に対する移動位置を計測する第３計測部を設けたことを特徴とする請求項１、２、３又は４記載のフィルムラミネート装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、フィルムラミネート装置に関し、特に走行する基板の表裏面に表、裏側フィルムを挟み込んでラミネートするフィルムラミネート装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、プリント配線板、例えばＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）は生産量が急増している。従来、プリント配線板の製造方法としては、プリント配線板の素材としての例えば所定の幅を具備したシート状の銅張積層板（ＣＣＬ）からなる薄い板状の部材の両面に回路を形成するものであり、長いシート状のＣＣＬ（ポリイミド等の薄い板状のベース部材の両面に薄い導体膜が形成されている部材）を所定の長さの単板に切断し、この切断された各単板を互いに重ね合わせて貫通孔を同時にあけ、この貫通孔にスルーホールメッキを施し、このスルーホールメッキが施された各単板の両面の導体膜に、エッチング等によって回路を形成する方法が知られている。
【０００３】
なお、上記のスルーホールメッキは、前記プリント配線板の両面に形成された回路同士を互いに電気的に接続するために行われるものである。
【０００４】
また、前記従来の方法では、前記スルーホールメッキが施された各単板に対して回路を設ける際に、１枚ずつ離されている各単板ごとに回路を形成している。
【０００５】
一方、前記従来の他の方法では、前記スルーホールメッキを施した各単板が接続用テープなどを用いて互いに接続されて長く形成してロール状に巻かれる。この長く接続された各単板がロールから繰り出されてその進む方向に送られつつ、前記各単板の両面に回路を形成し、別のロールに巻き取られるロール・ツゥ・ロール（Ｒ−Ｒ）方式が採られる。この方法のメリットは、「生産コストの低減」、「厚みが薄い高付加価値製品の生産が可能となる」などである。しかし、全ての工程をロール処理することはコスト面で最善ではないため、生産工程の途中で枚葉をロール化する工程が必要となる。
【０００６】
上記のプリント配線板の製造工程の中には、ロール状の単板が別のロールへ送られる際に、各単板の両面に薄い回路を形成する回路形成工程が行われる。この回路形成工程では上記の走行するロール状の基板の表裏面に表、裏側フィルムがフィルムラミネート装置によりラミネートされる。
【０００７】
このラミネート工程では、一般的に上記の表、裏側フィルムとしてドライフィルム（通称、「ＤＦ」という）が基板にラミネートされる。前記ドライフィルムは紫外線が当たると硬化するものである。ラミネート工程の次工程である露光工程にてパターンが前記ドライフィルムに描かれるが、前記ドライフィルムに紫外線を当てることで実現している。
【０００８】
上記のドライフィルムを基板にラミネートする装置が通称ＤＦラミネータと呼ばれており、基板がロール状のままでドライフィルムをラミネートしていく装置が“Ｒ−Ｒ  ＤＦラミネータ”と呼んでいる。
【０００９】
図５を参照するに、従来の “Ｒ−Ｒ  ＤＦラミネータ”、つまりフィルムラミネート装置１０１は、ロール状に卷回した基板１０３を送出する基板送出部１０５と、この基板送出部１０５から送出された基板１０３の表裏面に表、裏側フィルム１０７，１０９を挟み込んでラミネートする２対の上部、下部ラミネートロール１１１Ａ，１１１Ｂでなるラミネートロール１１１と、第１リール軸１１３にロール状に巻回した表側フィルム１０７を前記基板１０３の表面側に向けて送出する表側フィルム送出部１１５と、第２リール軸１１７にロール状に巻回した裏側フィルム１０９を前記基板１０３の裏面側に向けて送出する裏側フィルム送出部１１９と、前記基板１０３の表裏面に表、裏側フィルム１０７，１０９をラミネートしたラミネート基板１０３Ａをロール状に巻き取る基板巻取部１２１と、で構成されている。なお、上記の表、裏側フィルム１０７，１０９としてはドライフィルムが用いられている。
【００１０】
また、上記の基板送出部１０５と基板巻取部１２１には、材料（ロール状の基板１０３）の張力を一定にするための機構が設けられている。なお、上記の表側フィルム１０７には第１保護フィルム１２３が付いており、裏側フィルム１０９には第２保護フィルム１２５が付いているので、前記各第１，第２保護フィルム１２３，１２５は表、裏側フィルム１０７，１０９が送出されている途中でロール１２７，１２９を介して剥がされている。剥がした第１，第２保護フィルム１２３，１２５はそれぞれ第１，第２保護フィルム巻取部１３１，１３３に巻き取られ、製造が終了したところで廃却されている。
【００１１】
また、上記の２対の上部、下部ラミネートロール１１１Ａ，１１１Ｂは、例えば１００〜１５０°Ｃ程度に加熱されており、基板１０３が流れているときは常に上部、下部ラミネートロール１１１Ａ，１１１Ｂは密着していて、この密着部分で表、裏側フィルム１０７，１０９が基板１０３にラミネートされる。したがって、一旦、表、裏側フィルム１０７，１０９のラミネートが開始されると、フィルムラミネート装置１０１は途中で運転を止めることができない。
【００１２】
従来のフィルムラミネート装置１０１は、表、裏側フィルム１０７，１０９の第１，第２リール軸１１３，１１７が表裏用に１本ずつあり、基板１０３の幅方向と同方向に左右にそれぞれ独立して作動する構成である。基板１０３をフィルムラミネート装置１０１にセットした後に、前記基板１０３の表裏面に表、裏側フィルム１０７，１０９を貼り付けてラミネートするが、前記基板１０３が蛇行した場合は、この蛇行に合わせて上記の第１，第２リール軸１１３，１１７をそれぞれ別々に作動して表、裏側フィルム１０７，１０９の位置を調整する必要がある。
【００１３】
上記のフィルムラミネート装置１０１に類似の装置は、例えば特許文献１に示されている。
【特許文献１】特開２０００−３３４８３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
ところで、従来のフィルムラミネート装置１０１においては、以下の問題点があった。
【００１５】
（１）基板１０３の両面に表、裏側フィルム１０７，１０９をラミネートする場合、表、裏側フィルム１０７，１０９の熱圧着位置を作業者により手作業で位置合わせ調整する必要があるが、この位置合わせ調整が難しいために、熟練したスキルを必要とする。
【００１６】
（２）上記の（１）で調整をしても、ラミネート開始から最初の５分程度の間は基板１０３や表、裏側フィルム１０７，１０９などの各材料がパスラインになじむまで、基板１０３や表、裏側フィルム１０７，１０９の蛇行が起きる場合がある。この蛇行が起きると、基板１０３に対して表、裏側フィルム１０７，１０９の位置がずれるので、フィルムラミネート装置１０１が動いている状態で再調整する必要がある。この再調整には、第１，第２リール軸１１３，１１７を別々に作動せしめて上記の蛇行に合わせて表、裏側フィルム１０７，１０９が基板１０３の規定位置にラミネートされるように位置合わせ調整するため熟練したスキルを必要とするので、この調整をできる人が限られてしまう。
【００１７】
（３）上記の（１）から（２）を行う理由は、基板１０３の両面に表、裏側フィルム１０７，１０９をラミネートする場合、露光工程で用いるためのマスクアライメント用穴が基板１０３の端部に開いているが、表、裏側フィルム１０７，１０９が前記マスクアライメント用穴にかかってしまうと、露光工程でアライメント動作のエラーを招く場合があるからである。表、裏側フィルム１０７，１０９がマスクアライメント用穴にかかっているときと、かかっていないときがあるのは作業者の違いによることが多い。つまり、作業者によって半製品のでき具合に差がある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
上記発明が解決しようとする課題を達成するために、この発明のフィルムラミネート装置は、走行する基板の表裏面に表、裏側フィルムを挟み込んでラミネートするラミネートロールと、前記基板の表面側に向けて送出すべく第１リール軸にロール状に巻回した表側フィルムと、前記基板の裏面側に向けて送出すべく第２リール軸にロール状に巻回した裏側フィルムと、を備えたフィルムラミネート装置において、
前記第１リール軸を第１直動案内で前記ラミネートロールの軸線方向と同方向の第１方向に移動自在に設けた表側フィルム送出部と、前記第２リール軸を第２直動案内で前記ラミネートロールの軸線方向と同方向の第２方向に移動自在に設けた裏側フィルム送出部と、前記第１直動案内の第１ベース部と第２直動案内の第２ベース部を連動連結するユニット部を設けると共にこのユニット部を第３直動案内で前記ラミネートロールの軸線方向と同方向の第３方向に移動自在に設けたユニット装置と、を備えたことを特徴とするものである。
【００１９】
また、この発明のフィルムラミネート装置は、前記フィルムラミネート装置において、前記第１リール軸を前記第１方向に駆動する第１駆動部を設け、前記第２リール軸を前記第２方向に駆動する第２駆動部を設け、前記ユニット部を前記第３方向に駆動する第３駆動部を設けることが好ましい。
【００２０】
また、この発明のフィルムラミネート装置は、前記フィルムラミネート装置において、前記第１駆動部、第２駆動部及び第３駆動部を、それぞれ手動ハンドルで回転駆動する構成であることが好ましい。
【００２１】
また、この発明のフィルムラミネート装置は、前記フィルムラミネート装置において、前記第１駆動部、第２駆動部及び第３駆動部を、それぞれ自動回転駆動手段で回転駆動する構成であることが好ましい。
【００２２】
また、この発明のフィルムラミネート装置は、前記フィルムラミネート装置において、前記第１リール軸に前記第１方向の基準位置に対する移動位置を計測する第１計測部を設け、前記第２リール軸に前記第２方向の基準位置に対する移動位置を計測する第２計測部を設け、前記ユニット部に前記第３方向の基準位置に対する移動位置を計測する第３計測部を設けることが好ましい。
【発明の効果】
【００２３】
以上のごとき課題を解決するための手段から理解されるように、この発明によれば、表、裏側フィルムが巻かれている２つの第１，第２リール軸をそれぞれラミネートロールの軸線方向と同方向に移動自在とする第１，第２直動案内を設け、さらに第１，第２直動案内を連動連結するユニット部をラミネートロールの軸線方向と同方向に移動自在とする第３直動案内を設けたので、基板や表、裏側フィルムの蛇行が起きた場合でも、この蛇行に合わせて、表、裏側フィルムが巻かれている第１，第２リールを第３直動案内に沿って同時に同方向に同量だけ動かすことができ、基板に対する表、裏側フィルムの位置合わせを容易に行うことができる。
【００２４】
また、表、裏側フィルムのうちの一方側が基板とずれている場合は、表、裏側フィルムの第１，第２リール軸の該当する側を移動することで、表、裏側フィルムの該当する側を容易に移動調整することができる。
【００２５】
したがって、表、裏側フィルムの位置合わせが容易になる。その結果、誰でも簡単に操作できるようになるので、作業者が変わっても、品質の安定した半製品を供給できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、この発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００２７】
この実施の形態に係るプリント配線板（プリント基板）は、薄い板状の部材の表面と裏面の両面に薄い導電膜（たとえば銅箔で形成されている導電膜）が予め設けられており、前記導電膜を加工して製造されるものである。前記薄い板状の部材（素材）は、例えば可撓性を備えているシート状の銅張積層板（通常、「ＣＣＬ」という）であり、ポリイミド製ベースフィルムの両面に導電膜が密着して形成されている。
【００２８】
ここで、前記プリント配線板の製造方法について概略的に説明する。
【００２９】
図４を参照するに、まず、所定の幅を具備した長いシート状のＣＣＬが前記幅方向に伸びた切断線で所定の長さに切断されて単板とされる。なお、上記のＣＣＬの所定の幅は、通常、２５０〜５００ｍｍである（ステップＳ１）。
【００３０】
上記の複数枚の単板（１０枚程度）が各端面を互いに一致するように重ね合わされてから、パンチやドリルを用いて前記複数枚の単板にほぼ同時に貫通孔があけられる。この貫通孔は両面の回路の導通をとるための穴である。このように複数枚の単板をまとめて穿孔することにより作業効率が向上する（ステップＳ２）。
【００３１】
次いで、前記貫通孔をあけた各単板はスルーホールメッキが施されて両面の回路の導通がとれる（ステップＳ３）。
【００３２】
次に、前記スルーホールメッキを施した各単板同士を互いに接続する単板接続工程が行われる。すなわち、前記各単板が厚さ方向で互いに重ならないように各単板の端部同士を互いに近接して（接触させてもしくは僅かに離して）互いに対向させて配置される。この近接している各単板の端部が所定の幅を備えた接続用テープにより前記各単板の厚さ方向の一方の面から前記互いに近接している端面の部位を覆うように貼り付けられて互いに接続されて長く形成され、例えばリール（ボビン）にロール状に巻かれる（ステップＳ４）。
【００３３】
次に、各単板の両面に回路を形成する回路形成工程が行われる。上記のように長く形成されてロール状に巻かれた各単板は、そのロールから繰り出しながら加工装置内に送り込まれ、各単板に加工した後の印刷配線板が別のロールに巻き取られるロール・ツゥ・ロール（Ｒ−Ｒ）方式が採られる。このとき、上記のロール状の単板が別のロールへ送られる際に、各単板の両面に薄い回路が形成される。すなわち、各単板の導電膜の表面をきれいにする整面処理、ドライフィルムラミネート、露光、現像、エッチング及び回路研磨等の工程を経て印刷回路が形成される。
【００３４】
より詳しく説明すると、まず、前記単板の両面（表面と裏面）に設けられている薄い導電膜の表面の酸化被膜を除去して油膜や微細なゴミを除去するための整面処理が行われる。
【００３５】
この整面処理された導電膜の表面にはドライフィルムが貼り付けられ、前記単板の両面に回路を形成するためのマスクが前記ドライフィルムに設置された状態で露光が行われる。
【００３６】
前記パターン基板（マスク）を取り除いて現像処理が行われ、前記ドライフィルムに前記パターン基板の回路形態が転写される。
【００３７】
続いて、エッチング処理によって上記の導電膜の一部が除去され、前記パターン基板の回路と同じ形態の回路が前記単板の両面に形成される。この後、前記基板の両面に残存している前記ドライフィルムが除去される。
【００３８】
以上のように、複数枚の単板が互いに重ね合わせて貫通孔があけられるので、スルーホールメッキのための貫通孔を効率よく形成できる。さらに、スルーホールメッキが施された各単板を接続してロール状に巻かれた後に、このロール状の各単板が繰り出されて別のロールへ送られる際に、各単板の両面に回路が形成されるので、ほぼ連続的に回路を効率良く形成することができる（ステップＳ５）。
【００３９】
続いて、上記の接続された各単板が分離され（ステップＳ６）、この分離後に、各単板の両面に薄いカバーレイが貼り付けられてから型抜きをして（ステップＳ７）、プリント配線板が製造される。
【００４０】
以上のように、製造されたプリント配線板は、両面に回路を備えていると共に、前記両面の各回路を互いに電気的に接続するためのスルーホールを有するものであり、このプリント配線板を従来よりも効率よく製造することができる。
【００４１】
また、上記のプリント配線板の製造方法によれば、単板同士の接続に接続用テープが使用されているので、単板に与える影響を少なくして（たとえば、接続部位で単板を傷つけることなく）、単板の接続を速やかに容易に行うことができ、接続された単板を分離することも容易になっている。
【００４２】
次に、上記プリント基板の製造方法のうちで、この発明の実施の形態に係るフィルムラミネート装置について図面を参照して説明する。このフィルムラミネート装置は上述したステップＳ５の回路形成工程で用いられるものである。
【００４３】
図１ないしは図３を参照するに、フィルムラミネート装置１は、ロール状に卷回した基板３を送出する基板送出部５と、この基板送出部５から送出された基板３の表裏面に表、裏側フィルム７，９を挟み込んでラミネートするラミネートロール１１と、上記の走行する基板３の上方に位置する第１リール軸１３にロール状に巻回した表側フィルム７を前記基板３の表面側に向けて送出する表側フィルム送出部１５と、上記の走行する基板３の下方に位置する第２リール軸１７にロール状に巻回した裏側フィルム９を前記基板３の裏面側に向けて送出する裏側フィルム送出部１９と、前記基板３の表裏面に表、裏側フィルム７，９をラミネートしたラミネート基板３Ａをロール状に巻き取る基板巻取部２１と、で構成されている。
【００４４】
なお、上記のラミネートロール１１は、この実施の形態では、２対の上部、下部ラミネートロール１１Ａ，１１Ｂからなり、この上部、下部ラミネートロール１１Ａ，１１Ｂと表側フィルム送出部１５と裏側フィルム送出部１９は、図２及び図３に示されているように、構造部材からなる装置本体２３に設けられている。また、上記の表、裏側フィルム７，９としてはドライフィルムが用いられている。
【００４５】
また、上記の基板送出部５と基板巻取部２１は、図２に示されているように、上記の装置本体２３の前後（図２及び図３において左右）に配置されている。上記の基板送出部５と基板巻取部２１には、材料（ロール状の基板３）の張力を一定にするための図示しない機構が設けられている。
【００４６】
また、上記の表側フィルム７には第１保護フィルム２５が付いており、裏側フィルム９には第２保護フィルム２７が付いているので、前記各第１，第２保護フィルム２５，２７は表、裏側フィルム７，９が送出されている途中でロール２９，３１を介して剥がされる。そのために、上記の装置本体２３には、表側フィルム７から剥離された第１保護フィルム２５を巻き取る第１保護フィルム巻取部３３と、裏側フィルム９から剥離した第２保護フィルム２７を巻き取る第２保護フィルム巻取部３５が備えられている。なお、各第１，第２保護フィルム巻取部３３，３５に巻き取られた各第１，第２保護フィルム２５，２７は、回路形成工程が終了した時点で廃却されている。
【００４７】
また、上記の２対の上部、下部ラミネートロール１１Ａ，１１Ｂは、例えば１００〜１５０°Ｃ程度に加熱されており、基板３が流れているときは常に上部、下部ラミネートロール１１Ａ，１１Ｂが密着しており、この密着部分で表、裏側フィルム７，９が基板３にラミネートされる。
【００４８】
また、図１に示されているように、前記表側フィルム送出部１５には前記第１リール軸１３を前記ラミネートロール１１の軸線方向（図１において左右方向）と同方向の第１方向に移動自在にするための第１直動案内としての例えば第１直動ベアリング３７が設けられており、前記裏側フィルム送出部１９には前記第２リール軸１７を前記ラミネートロール１１の軸線方向（図１において左右方向）と同方向の第２方向に移動自在にするための第２直動案内としての例えば第２直動ベアリング３９が設けられている。
【００４９】
さらに、前記第１直動ベアリング３７と第２直動ベアリング３９を連動連結するユニット部４１Ａを設けると共にこのユニット部４１Ａを前記ラミネートロール１１の軸線方向（図１において左右方向）と同方向の第３方向に移動自在にするための第３直動案内としての例えば第３直動ベアリング４３を備えたユニット装置４１が設けられている。
【００５０】
より詳しくは、図３に示されているように、表側フィルム送出部１５は、表側フィルム７をロール状に巻回した第１リール軸１３が支持部材４５に軸承されている。この支持部材４５は装置本体２３の上部に第１直動ベアリング３７を介して前記ラミネートロール１１の軸線方向（基板３の幅方向に相当）と同方向の第１方向に移動自在に設けられており、前記支持部材４５は表側フィルム微調整ハンドル４７（手動ハンドル）で回転駆動される第１駆動部としての例えばボールねじ機構４９により第１直動ベアリング３７にガイドされて前記第１方向（図１において左右方向）に駆動される構成である。なお、上記の支持部材４５には、図３に示されているように前記第１方向の基準位置に対する移動位置を計測する第１計測部としての例えば第１目盛５１が設けられている。
【００５１】
一方、裏側フィルム送出部１９は、裏側フィルム９をロール状に巻回した第２リール軸１７が支持部材５３に軸承されている。この支持部材５３は装置本体２３の下部に第２直動ベアリング３９を介して前記ラミネートロール１１の軸線方向（図１において左右方向）と同方向の第２方向に移動自在に設けられており、前記支持部材５３は裏側フィルム微調整ハンドル５５（手動ハンドル）で回転駆動される第２駆動部としての例えばボールねじ機構５７により第２直動ベアリング３９にガイドされて前記第２方向（図１において左右方向）に駆動される構成である。なお、上記の支持部材５３には、図３に示されているように前記第２方向の基準位置に対する移動位置を計測する第２計測部としての例えば第２目盛５９が設けられている。
【００５２】
また、表側フィルム送出部１５では、第１直動ベアリング３７とボールねじ機構４９が第１ベース部としての例えば連結ベース部材６１で一体的に設けられており、前記連結ベース部材６１は装置本体２３の上部に固定した第３直動ベアリング４３Ａを介して前記ラミネートロール１１の軸線方向と同方向の第３方向に移動自在に設けられている。
【００５３】
一方、裏側フィルム送出部１９では、第２直動ベアリング３９とボールねじ機構５７が第２ベース部としての例えば連結ベース部材６３で一体的に設けられており、前記連結ベース部材６３は装置本体２３の下部に固定した第３直動ベアリング４３Ｂを介して前記ラミネートロール１１の軸線方向と同方向の第３方向に移動自在に設けられている。
【００５４】
なお、この実施の形態では、上記の２つの第３直動ベアリング４３Ａ，４３Ｂがセットになって第３直動ベアリング４３を構成している。また、上記の第１〜第３方向はすべて同じ方向であるが、説明の便宜上、各第１〜第３直動ベアリング３７，３９，４３に対応して区別して記載している。
【００５５】
また、ユニット部４１Ａとしては、この実施の形態では図３に示されているように、前記第１直動ベアリング３７の連結ベース部材６１（第１ベース部）と第２直動ベアリング３９の連結ベース部材６３（第２ベース部）を回転駆動伝達用の歯車機構６５を用いて間接的に連動連結する構成である。
【００５６】
表側フィルム送出部１５の連結ベース部材６１は、その下部に設けた第３駆動部としての例えばボールねじ機構６７により第３直動ベアリング４３Ａにガイドされて前記第３方向（図１において左右方向）に駆動される構成である。また、ボールねじ機構６７の図示しないボールねじの一端には傘歯車６９Ａが設けられている。
【００５７】
また、装置本体２３の高さ方向の中間位置には、ウォームホイール７１を備えたウォームホイール軸７３と前記ウォームホイール７１に噛合するウォーム７５を備えたウォーム軸７７が設けられており、このウォーム軸７７の一端には図３の２点鎖線で示されているようにユニット用微調整ハンドル７９（手動ハンドル）が設けられている。
【００５８】
また、前記ウォームホイール軸７３の図３において左端には傘歯車６９Ｂが設けられている。さらに、前記傘歯車６９Ｂと傘歯車６９Ａとの間には、伝達用回転シャフト８１が装置本体２３に軸受部８１Ａで軸承されており、前記伝達用回転シャフト８１の下端には前記傘歯車６９Ｂに噛合する傘歯車６９Ｃが設けられ、前記伝達用回転シャフト８１の上端には前記傘歯車６９Ａに噛合する傘歯車６９Ｄが設けられている。
【００５９】
一方、裏側フィルム送出部１９の連結ベース部材６３は、その下部に設けた第３駆動部としての例えばボールねじ機構８３により第３直動ベアリング４３Ｂにガイドされて前記第３方向（図１において左右方向）に駆動される構成である。また、ボールねじ機構８３の図示しないボールねじの一端には傘歯車８５Ａが設けられている。
【００６０】
また、前記ウォームホイール軸７３の図３において右端には傘歯車８５Ｂが設けられている。さらに、前記傘歯車８５Ｂと傘歯車８５Ａとの間には、２本の伝達用回転シャフト８７が装置本体２３に軸受部８７Ａで軸承されており、１本目の伝達用回転シャフト８７の上端には前記傘歯車８５Ｂに噛合する傘歯車８５Ｃが設けられ、前記伝達用回転シャフト８７の下端には傘歯車８５Ｄが設けられ、２本目の伝達用回転シャフト８７の右端には前記傘歯車８５Ｄに噛合する傘歯車８５Ｅが設けられ、前記伝達用回転シャフト８７の左端には前記傘歯車８５Ａに噛合する傘歯車８５Ｆが設けられている。
【００６１】
以上のことから、ユニット用微調整ハンドル７９を回転してウォーム軸７７のウォーム７５が回転すると、ウォーム７５に噛合するウォームホイール７１を介してウォームホイール軸７３が回転する。表側フィルム送出部１５では、前記ウォームホイール軸７３の回転が、傘歯車６９Ｂ、傘歯車６９Ｃ、傘歯車６９Ｄ、傘歯車６９Ａの順に伝達されてボールねじ機構６７が回転駆動される。一方、裏側フィルム送出部１９では、前記ウォームホイール軸７３の回転が、傘歯車８５Ｂ、傘歯車８５Ｃ、傘歯車８５Ｄ、傘歯車８５Ｅ、傘歯車８５Ｆ、傘歯車８５Ａの順に伝達されてボールねじ機構８３が回転駆動される。
【００６２】
したがって、表側フィルム送出部１５の連結ベース部材６１と裏側フィルム送出部１９の連結ベース部材６３が、同期して前記第３方向（図１において左右方向）の同じ方向に移動調整されることになる。
【００６３】
なお、上記のユニット部４１Ａの連結ベース部材６１には、前記第３方向の基準位置に対する移動位置を計測する第３計測部としての例えばユニット移動用目盛８９が設けられている。
【００６４】
なお、この実施の形態のユニット装置４１としては、前述したように回転駆動伝達用の歯車機構６５を用いて第１直動ベアリング３７と第２直動ベアリング３９を間接的に連動連結する構成であるが、他の実施の形態のユニット装置４１としては、前述した第１直動ベアリング３７に一体の連結ベース部材６１と第２直動ベアリング３９に一体の連結ベース部材６３が図示しない連結部材で直接的にかつ一体的に連結されるユニット部を設けると共にこのユニット部が装置本体２３に固定した図示しないボールねじ機構により前記第３方向に駆動される構成であっても、あるいは、連結ベース部材６１と連結ベース部材６３を連動連結するための他の機構であってもよい。
【００６５】
次に、この実施の形態のフィルムラミネート装置１の作用、効果について説明する。
【００６６】
上記構成により、基板送出部５から送出された基板３が、図２に示されているように、２対の上部、下部ラミネートロール１１Ａ，１１Ｂの間を通過して装置本体２３の前方側の基板巻取部２１にロール状に巻き取られる。このとき、走行する基板３の張力は基板送出部５と基板巻取部２１の間で一定にされている。
【００６７】
その後、基板３の表裏面に表、裏側フィルム７，９を貼り付けてラミネートするために、表側フィルム７が表側フィルム送出部１５から前記基板３の表面側に向けて送出される。このとき、表側フィルム７に付いている第１保護フィルム２５がロール２９を介して剥がされて第１保護フィルム巻取部３３に巻き取られるので、表側フィルム７だけが上部ラミネートロール１１と基板３の表面との間に差し挟まれることになる。
【００６８】
このとき、作業者により手作業で、表側フィルム７が基板３の所定位置に、例えばその幅方向でほぼ中心に位置合わせされる。すなわち、表側フィルム送出部１５では、表側フィルム微調整ハンドル４７を回転することで、第１リール軸１３を支持する支持部材４５がボールねじ機構４９で駆動される際に第１直動ベアリング３７にガイドされてラミネートロール１１の軸線方向と同方向の第１方向（図１において左右方向）に移動される。その結果、第１リール軸１３が前記第１方向に移動するので、表側フィルム７が基板３の蛇行に合わせて第１方向に移動調整される。なお、このときの第１リール軸１３の第１方向の基準位置に対する移動位置は、第１目盛５１で計測することができる。
【００６９】
一方、裏側フィルム９が裏側フィルム送出部１９から前記基板３の裏面側に向けて送出される。このとき、裏側フィルム９に付いている第２保護フィルム２７がロール３１を介して剥がされて第２保護フィルム巻取部３５に巻き取られるので、裏側フィルム９だけが下部ラミネートロール１１と基板３の裏面との間に差し挟まれることになる。
【００７０】
このとき、作業者により手作業で、裏側フィルム９が基板３の所定位置に、例えばその幅方向でほぼ中心に位置合わせされる。すなわち、裏側フィルム送出部１９では、裏側フィルム微調整ハンドル５５を回転することで、第２リール軸１７を支持する支持部材５３がボールねじ機構５７で駆動される際に第２直動ベアリング３９にガイドされてラミネートロール１１の軸線方向と同方向の第２方向（図１において左右方向）に移動される。その結果、第２リール軸１７が前記第２方向に移動するので、裏側フィルム９が基板３の蛇行に合わせて第２方向に移動調整される。なお、このときの第２リール軸１７の第２方向の基準位置に対する移動位置は、第２目盛５９で計測することができる。
【００７１】
したがって、表、裏側フィルム７，９が単独で基板３の所定位置に位置合わせするときは、上記の表側フィルム送出部１５の第１リール軸１３と裏側フィルム送出部１９の第２リール軸１７を、それぞれ別々に作動せしめることで、表、裏側フィルム７，９の位置を容易に調整できる。
【００７２】
以上のように位置合わせされた表、裏側フィルム７，９は、前方へ走行する基板３の表裏面に２対の上部、下部ラミネートロール１１Ａ，１１Ｂの間で熱圧着されてラミネートされる。なお、上記の表、裏側フィルム７，９のラミネートが開始されると、フィルムラミネート装置１は途中で運転を止めることができないものである。
【００７３】
ところが、ラミネート開始から最初の５分程度の間は、基板３や表、裏側フィルム７，９の蛇行が起きる場合がある。この蛇行が起きたときは、上述した基板３や表、裏側フィルム７，９の蛇行に合わせて基板３と表、裏側フィルム７，９の幅方向の位置を調整する必要がある。その理由は、基板３の両面に表、裏側フィルム７，９をラミネートする場合、露光工程で用いるためのマスクアライメント用穴が基板３の端部に開いているが、表、裏側フィルム７，９が前記マスクアライメント用穴にかかってしまうと、露光工程でアライメント動作のエラーを招く場合があるからである。
【００７４】
このとき、例えば、基板３が図１において左にずれた場合は、ユニット用微調整ハンドル７９を回転することで、容易に表側フィルム送出部１５の連結ベース部材６１と裏側フィルム送出部１９の連結ベース部材６３を同時に同期して前記第３方向の左へ同量だけ移動調整することができる。あるいは、基板３が図１において右にずれた場合は、ユニット用微調整ハンドル７９を上記の逆方向へ回転することで、容易に表側フィルム送出部１５の連結ベース部材６１と裏側フィルム送出部１９の連結ベース部材６３を同時に同期して前記第３方向の右へ同量だけ移動調整することができる。
【００７５】
したがって、ユニット用微調整ハンドル７９を回転するだけで、上述した基板３や表、裏側フィルム７，９の蛇行に合わせて、表、裏側フィルム７，９を同時に同量だけ前記第３方向（ラミネートロール１１の軸線方向もしくは表、裏側フィルム７，９の幅方向）へ移動調整でき、基板３に対する位置合わせを容易に行うことができる。
【００７６】
なお、上記のラミネート処理中に、表、裏側フィルム７，９のうちの一方側がずれている場合は、表、裏側フィルム微調整ハンドル４７，５５のうちの該当する側を回転することで、表、裏側フィルム７，９のうちの該当する側を容易に移動調整することができる。
【００７７】
以上のことから、表、裏側フィルム７，９の位置合わせが容易になる。その結果、誰でも簡単に操作できるようになるので、作業者が変わっても、品質の安定した半製品を供給できる。
【００７８】
また、前述した実施の形態では、作業者が表、裏側フィルム微調整ハンドル４７，５５及びユニット用微調整ハンドル７９などの手動ハンドルを操作して表、裏側フィルム７，９のズレを調整しているが、上記の手動ハンドルに替えてモータ等の自動回転駆動手段を用いて正逆回転するように構成することができる。例えば、表側フィルム送出部１５のボールねじ機構４９（第１駆動部）が表側フィルム微調整用サーボモータで正逆回転駆動され、裏側フィルム送出部１９のボールねじ機構６７（第２駆動部）が裏側フィルム微調整用サーボモータで正逆回転駆動され、ユニット装置４１のボールねじ機構６７（第３駆動部）及びボールねじ機構８３（第３駆動部）が回転駆動伝達用の歯車機構６５を介してユニット用微調整用サーボモータで正逆回転駆動される構成とし、前記各サーボモータがそれぞれボタンスイッチの操作により正逆回転制御できる構成とすることができる。
【００７９】
また、この発明のフィルムラミネート装置は、前述した実施の形態のようにドライフィルムのラミネート装置に限らず、材料の表裏に同時にフィルムをラミネートする装置に対しても適用できる。
【００８０】
また、表、裏側フィルム７，９の端面位置が合うように、第１リール軸１３にロール状に巻回した表側フィルム７の端面と、第２リール軸１７にロール状に巻回した裏側フィルム９の端面を、同じ位置で突当てる機構を設けることもできる。この機構により表、裏側フィルム７，９の端面位置合わせを簡単に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００８１】
【図１】この発明の実施の形態のフィルムラミネート装置の概略的な側面図である。
【図２】この発明の実施の形態のフィルムラミネート装置の概略的な正面図である。
【図３】この発明の実施の形態のフィルムラミネート装置の正面図である。
【図４】プリント配線板の製造を示すフローチャート図である。
【図５】従来のフィルムラミネート装置の概略的な正面図である。
【符号の説明】
【００８２】
１  フィルムラミネート装置
３  基板
３Ａ  ラミネート基板
５  基板送出部
７  表側フィルム
９  裏側フィルム
１１  ラミネートロール
１１Ａ  上部ラミネートロール
１１Ｂ  下部ラミネートロール 
１３  第１リール軸
１５  表側フィルム送出部
１７  第２リール軸
１９  裏側フィルム送出部
２１  基板巻取部
２３  装置本体
２５  第１保護フィルム
２７  第２保護フィルム
３３  第１保護フィルム巻取部
３５  第２保護フィルム巻取部
３７  第１直動ベアリング（第１直動案内）
３９  第２直動ベアリング（第２直動案内）
４１  ユニット装置
４１Ａ  ユニット部
４３、４３Ａ、４３Ｂ  第３直動ベアリング（第３直動案内）
４５  支持部材
４７  表側フィルム微調整ハンドル（手動ハンドル）
４９  ボールねじ機構（第２駆動部）
５１  第１目盛（第１計測部）
５３  支持部材
５５  裏側フィルム微調整ハンドル（手動ハンドル）
５７  ボールねじ機構（第２駆動部）
５９  第２目盛（第２計測部）
６１  連結ベース部材（第１ベース部；表側フィルム送出部１５の）
６３  連結ベース部材（第２ベース部；裏側フィルム送出部１９の）
６５  回転駆動伝達用の歯車機構
６７  ボールねじ機構（第３駆動部）
６９Ａ〜６９Ｄ  傘歯車
７１  ウォームホイール
７３  ウォームホイール軸
７５  ウォーム
７７  ウォーム軸
７９  ユニット用微調整ハンドル（手動ハンドル）
８１  伝達用回転シャフト
８３  ボールねじ機構（第３駆動部）
８５Ａ〜８５Ｆ  傘歯車
８７  伝達用回転シャフト
８９  ユニット移動用目盛（第３計測部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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