(57)【要約】【課題】ランプ波形の出力電圧の上昇開始点及び出力安定時の出力電圧を適宜設定可能なランプ波形発生回路を提供する。【解決手段】トランジスタの差動対からなる電流調整部１０００とアンプ３によって帰還回路を構成する。電流調整部１０００の共通エミッタ端子に接続される放電電流源３０１のＯｎ・Ｏｆｆによって、積分コンデンサ７の充放電を制御することで、積分コンデンサ７の接続端に設けられた出力端子２００から出力されるランプ波形の出力を制御する。【選択図】図１
2008235563.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電流を充放電するコンデンサと、前記コンデンサを充電するための充電電流源と、前記コンデンサを放電するための放電電流源と、前記コンデンサ及び前記充電電流源と接続される電流調整部と、前記電流調整部と共に帰還回路を構成するアンプと、スイッチと、前記アンプに接続されランプ波形の開始電圧を定義する可変基準電圧源を含むランプ波形発生回路であって、
前記電流調整部は前記スイッチを介して前記放電電流源に接続され、
前記スイッチの動作によって前記コンデンサの充放電を行い、前記コンデンサと前記充電電流源の接続点よりランプ波形を出力することを特徴とするランプ波形発生回路。
【請求項２】
請求項１記載のランプ波形発生回路において、前記電流調整部は２つのトランジスタの差動対を含み、前記充電電流源に接続された前記差動対の一方のトランジスタのベース端子に前記アンプを接続し、他方のトランジスタのベース端子に参照基準電圧発生部を接続することを特徴とするランプ波形発生回路。
【請求項３】
電流を充放電する電流積分器と、前記電流積分器を充電するための充電電流源と、前記電流積分器を放電するための放電電流源と、前記電流積分器及び前記充電電流源と接続される電流調整部と、前記電流調整部と共に帰還回路を構成する差動増幅回路と、スイッチと、前記差動増幅回路に接続されランプ波形の開始電圧を定義する可変基準電圧源を含むランプ波形発生回路であって、
前記電流調整部は前記スイッチを介して前記放電電流源に接続され、
前記スイッチの動作によって前記電流積分器の充放電を行い、前記電流積分器と前記差動増幅回路の接続点よりランプ波形を出力することを特徴とするランプ波形発生回路。
【請求項４】
請求項３記載のランプ波形発生回路において、前記電流調整部は２つのトランジスタの差動対を含み、前記充電電流源に接続された前記差動対の一方のトランジスタのベース端子に参照基準電圧発生部を接続し、他方のトランジスタのベース端子に前記差動増幅回路を接続することを特徴とするランプ波形発生回路。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか一に記載のランプ波形発生回路において、さらに、第２のスイッチと第２の放電電流源を含み、前記第２の放電電流源は前記スイッチ及び前記放電電流源と並列に接続されていることを特徴とするランプ波形発生回路。
【請求項６】
電流を充放電するコンデンサと、前記コンデンサを充電するための充電電流源と、前記コンデンサを放電するための放電電流源と、第１の帰還回路と、第１のセレクタと、第２の帰還回路と、第２のセレクタとを含むランプ波形発生回路であって、
前記第１の帰還回路は前記第１のセレクタ及び前記コンデンサと接続され、
前記第２の帰還回路は前記第２のセレクタ及び前記コンデンサと接続され、
前記第１のセレクタは前記放電電流源を前記第１の帰還回路を経由して前記コンデンサに接続するか、前記放電電流源を直接前記コンデンサに接続するか、前記放電電流源を開放するか、を選択し、
前記第２のセレクタは前記充電電流源を前記第１の帰還回路を経由して前記コンデンサに接続するか、前記充電電流源を直接前記コンデンサに接続するか、前記充電電流源を開放するか、を選択し、
前記第１のセレクタが前記放電電流源を開放すると前記コンデンサの充電が開始され、
前記第２のセレクタが前記充電電流源を開放すると前記コンデンサの放電が開始され、
前記コンデンサと、前記第１の帰還回路、前記第２の帰還回路、前記第１のセレクタ及び前記第２のセレクタの接続点よりランプ波形を出力することを特徴とするランプ波形発生回路。
【請求項７】
請求項６記載のランプ波形発生回路において、更に、補助充電電流源と補助放電電流源と、第１のスイッチと、第２のスイッチを含み、
前記補助放電電流源は前記第１のスイッチを介して前記放電電流源と並列に前記第１のセレクタに接続され、
前記補助充電電流源は前記第２のスイッチを介して前記充電電流源と並列に前記第２のセレクタに接続されることを特徴とするランプ波形発生回路。
【請求項８】
請求項７記載のランプ波形発生回路において、前記第１のスイッチと、前記第２のスイッチの切り替えによって、前記第１の帰還回路及び前記第２の帰還回路の動作条件を満たすことを特徴とするランプ波形発生回路。
【請求項９】
請求項６ないし８のいずれか一に記載のランプ波形発生回路において、
前記第１の帰還回路は２つのトランジスタの差動対からなる電流調整回路、アンプ、可変基準電圧源を含み、
前記第２の帰還回路は２つのトランジスタの差動対からなる電流調整回路、アンプ、可変基準電圧源を含み、
前記第１の帰還回路の可変基準電圧源は低電圧側の安定電圧を設定し、
前記第２の帰還回路の可変基準電圧源は高電圧側の安定電圧を設定することを特徴とするランプ波形発生回路。
【請求項１０】
請求項１ないし９のいずれか一に記載のランプ波形発生回路を用いることを特徴とする回路パターン検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子線の変更制御などに用いられるランプ波形発生回路、特に電流積分型のランプ波形発生回路に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の関連する技術として、例えば特開平６−１４２０９号公報（特許文献１）において、積分用コンデンサに流れる充電／放電電流を切り換えてランプ波形を発生する回路が開示されている。図１２に特許文献１に記載された従来回路例を示す。この図では、積分コンデンサ１０１の端子電圧を閾値電圧ＶＬ１０４、ＶＨ１０５を持つ二つの電圧比較回路１０２，１０３に与え、前記電圧比較回路の出力によってフリップフロップ１０６をセット及びリセットし、電流切換回路１０７によって切換信号の出力を行う。電流切換回路１０７は、ダイオードD１１とトランジスタＱ１１で構成される電流ミラー部と、定電流源Ｉ１１とスイッチングトランジスタＱ１２、Ｑ１３で構成される。この充放電電流の切換により積分コンデンサ１０１には充電電流と放電電流が繰り返し流れ、ランプ波形を発生すると記載されている。
【特許文献１】特開平６−１４２０９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、従来から用いられているランプ波形発生回路では、開始時電圧の設定ができないため、装置で必要となる偏向のオフセット制御が困難であるという問題があった。
【０００４】
本発明の目的は開始電圧制御が可能な電流積分型ランプ波形発生回路を提供することにある。
【０００５】
本発明の前記並びにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかになるであろう。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次の通りである。
【０００７】
本発明にかかわるランプ波形発生回路は、電流を充放電するコンデンサと、コンデンサを充電するための定電流源（充電電流源）と、放電するための定電流源（放電電流源）と、コンデンサ及び充電電流源と接続される電流調整部と、前記電流調整部と共に帰還回路を構成するアンプと、スイッチと、前記アンプに接続されランプ波形の開始電圧を定義する可変基準電圧源を含み、電流調整部はスイッチを介して放電電流源に接続され、スイッチの動作によってコンデンサの充放電を行い、コンデンサと充電電流源の接続点よりランプ波形を出力することを特徴とする。
【０００８】
また、本発明にかかわるランプ波形発生回路は、電流調整部に２つのトランジスタの差動対を含み、充電電流源に接続されたトランジスタのベース端子にアンプを接続し、他方のトランジスタのベース端子に参照基準電圧発生部を接続することを特徴とする。
【０００９】
また、本発明にかかわるランプ波形発生回路の別の形態としては、電流を充放電する電流積分器と、電流積分器を充電するための定電流源（充電電流源）と、放電するための定電流源（放電電流源）と、電流積分器及び充電電流源と接続される電流調整部と、電流調整部と共に帰還回路を構成する差動増幅回路と、スイッチと、差動増幅回路に接続されランプ波形の開始電圧を定義する可変基準電圧源を含むものであって、電流調整部はスイッチを介して放電電流源に接続され、スイッチの動作によって電流積分器の充放電を行い、電流積分器と差動増幅回路の接続点よりランプ波形を出力することを特徴とする。
【００１０】
このランプ波形発生回路は、電流調整部に２つのトランジスタの差動対を含み、充電電流源に接続されたトランジスタのベース端子に参照基準電圧発生部を接続し、他方のトランジスタのベース端子に差動増幅回路を接続してもよい。
【００１１】
さらにこのランプ波形発生回路は、第二のスイッチと第２の放電電流源を含み、前記第２の放電電流源は前記スイッチ及び前記放電電流源と並列に接続しても良い。
【００１２】
本発明にかかわるランプ波形発生回路の別の形態としては、電流を充放電するコンデンサと、このコンデンサを充電するための定電流源（充電電流源）と、放電するための定電流源（放電電流源）と、第１の帰還回路と、第１のセレクタと、第２の帰還回路と、第２のセレクタを含み、第１の帰還回路は第１のセレクタ及びコンデンサと接続され、第２の帰還回路は第２のセレクタ及びコンデンサと接続され、第１のセレクタは放電電流源を第１の帰還回路を経由してコンデンサに接続するか、放電電流源を直接コンデンサに接続するか、放電電流源を開放するか、を選択し、第２のセレクタは充電電流源を第１の帰還回路を経由してコンデンサに接続するか、充電電流源を直接前記コンデンサに接続するか、充電電流源を開放するか、を選択し、第１のセレクタが放電電流源を開放するとコンデンサの充電が開始され、第２のセレクタが充電電流源を開放するとコンデンサの放電が開始され、コンデンサと、第１の帰還回路、第２の帰還回路、第１のセレクタ及び第２のセレクタの接続点よりランプ波形を出力することを特徴とする。
【００１３】
このランプ波形発生回路は更に、補助充電電流源と補助放電電流源と、第１のスイッチと、第２のスイッチを含み、補助放電電流源は第１のスイッチを介して放電電流源と並列に第１のセレクタに接続され、補助充電電流源は第２のスイッチを介して充電電流源と並列に第２のセレクタに接続されてもよい。またこれらの第１のスイッチと、第２のスイッチの切り替えによって、第１の帰還回路及び第２の帰還回路の動作条件を満たしてもよい。
さらにこのランプ波形発生回路の第１の帰還回路は２つのトランジスタの差動対からなる電流調整回路、アンプ、可変基準電圧源を、第２の帰還回路は２つのトランジスタの差動対からなる電流調整回路、アンプ、可変基準電圧源を含み、第１の帰還回路の可変基準電圧源は低電圧側の安定電圧を設定し、第２の帰還回路の可変基準電圧源は高電圧側の安定電圧を設定してもよい。
【００１４】
これらのランプ波形発生回路を回路パターン検査装置に適用することも考えられる。
【発明の効果】
【００１５】
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下の通りである。
【００１６】
すなわち、電流積分型ランプ波形発生回路においてランプ波形の発生開始を適宜操作可能にすること、及び開始時電圧を設計時に任意に設定できることで、当該電流積分型ランプ波形発生回路が適用される装置で必要となる偏向のオフセット制御が実現可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下に、図面を参酌して本発明の各実施の形態を説明する。
【００１８】
（第１の実施の形態）
図１は本発明にかかわるランプ波形発生回路の第１の実施の形態を表す回路図であり、図２はこの回路を動作させた際の動作波形を表す波形図である。
【００１９】
本実施の形態におけるランプ波形発生回路は、スイッチ１、アンプ３、可変基準電圧発生部４、参照基準電圧発生部６、積分コンデンサ７、タイミング信号発生部８、トランジスタＱ１、トランジスタＱ２、出力端子２００、定電流源（充電電流源）３００及び定電流源（放電電流源）３０１より構成される。充電電流源３００の電流値をＩ２と、放電電流源３０１の電流値をＩ１と定義する。
【００２０】
トランジスタＱ１、トランジスタＱ２はいずれもＮＰＮ型トランジスタであり、この２つで差動対を構成する。トランジスタＱ１のコレクタ端子は充電電流源３００を介してＶｃｃに接続される。またトランジスタＱ２のコレクタ端子は直接Ｖｃｃに接続される。そしてトランジスタＱ２のベース端子に参照基準電圧発生部６を接続することで電流調整部１０００として動作する。この電流調整部１０００の２つのトランジスタの共通エミッタ端子と放電電流源３０１はスイッチ１を介して接続される。
【００２１】
このスイッチ１のＯｎ・Ｏｆｆによって、電流調整部１０００に放電電流源３０１の放流電流を流すか否かが切り替えられる。スイッチ１のＯｎ・Ｏｆｆはタイミング信号発生部８の出力信号Ｖｐ１によって制御される。なお、以下の説明ではタイミング信号発生部８の出力がＨｉｇｈになったときにスイッチ１がＯｎになるものとして説明する。
【００２２】
積分コンデンサ７は容量Ｃを有する。積分コンデンサ７は充電電流源３００とトランジスタＱ１の接続点で接地される。積分コンデンサ７は充電電流源３００の電流Ｉ２とトランジスタＱ１のコレクタ電流である放電電流Ｉ１ｂにより充放電を繰り返す。この充放電の繰り返しにより、出力端子２００からランプ波形を示す電圧Ｖｏｕｔが出力される。
【００２３】
アンプ３は積分コンデンサ７の端子電圧と可変基準電圧発生部４の出力電圧ＶＢとの差分を増幅してトランジスタＱ１のベース端子に電圧Ｖｏａｍｐを出力する。
【００２４】
アンプ３の出力電圧Ｖｏａｍｐ（トランジスタＱ１のベース端子電圧）と参照基準電圧発生部６の出力電圧（トランジスタＱ２のベース端子電圧）との差分の電圧値Ｖｒｅｆに基づき、トランジスタＱ１、トランジスタＱ２よりなる差動対は放電電流Ｉ１ｂを調整する。この放電電流Ｉ１ｂの調整により、積分コンデンサ７の放電量を制御する。
【００２５】
可変基準電圧発生部４は本発明の特徴である開始時電圧の設定を行う可変基準電圧源である。スイッチ１をＯｎにするとトランジスタＱ１、トランジスタＱ２よりなる差動対に放電電流源３０１の放流電流Ｉ１が流される。このとき（スイッチ１がＯｎのとき）、アンプ３と電流調整部１０００は帰還回路を構成し、出力端子２００の電圧Ｖｏｕｔと可変基準電圧発生部４の出力電圧ＶＢが等しくなるように動作する。
【００２６】
具体的には、Ｖｏｕｔ＞ＶＢのとき、Ｖｏａｍｐが上昇し、放電電流Ｉ１ｂが大きくなると共に、電圧Ｖｏｕｔが低下し、ＶＢに近づく。一方、Ｖｏｕｔ＜ＶＢのとき、Ｖｏａｍｐが低下し、つれてＩ１ｂも小さくなり、電圧Ｖｏｕｔが上昇しＶＢ１に近づく。この動作により放電電流Ｉ１ｂがバランスされる。最終的にＩ２＝Ｉ１ｂとなったとき（積分コンデンサ７からの放電がなくなったとき）、可変基準電圧発生部４の出力電圧ＶＢと出力端子２００の電圧Ｖｏｕｔが等しくなり、電圧Ｖｏｕｔが一定となる。
【００２７】
なお、この回路を構成する際には、Ｉ１＞Ｉ２とすることを留意しなければならない。
【００２８】
次に、図２を用いて本発明にかかわるランプ波形回路の動作を波形図で説明する。本図においては、事前に可変基準電圧発生部４の電圧ＶＢをＶＢ１にしてスイッチ１をＯｎにし、出力端子２００の電圧がＶＢ１で安定したところから説明を開始する。
【００２９】
上述の通り、図２の開始点ｔ０でＶｏｕｔがＶＢ１で一定となると、スイッチ１がＯｆｆになるまではその状態でＶｏｕｔは安定する。タイミング信号発生部８の出力によってｔ１のタイミングでスイッチ１がＯｆｆになると、トランジスタＱ１、トランジスタＱ２よりなる差動対の共通エミッタ端子の電流Ｉ１ａ及び放電電流Ｉ１ｂが０になる。結果、積分コンデンサ７のみに充電電流源３００の電流Ｉ２が流れ、積分コンデンサ７が充電（チャージアップ）される。このときの電流の増加ペース（図２ｔ１〜ｔ３のＶｏｕｔの傾き）はｄＶ／ｄｔ＝Ｉ２／Ｃとなる。
【００３０】
規定の電圧までＶｏｕｔが上昇し、積分コンデンサ７の放電を図る場合、タイミング信号発生部８によってスイッチ１をＯｎにする。本図ではｔ３のタイミングがこれにあたる。この際出力端子２００の電圧Ｖｏｕｔが可変基準電圧発生部４の電圧より高いため（Ｖｏｕｔ＞ＶＢ）、Ｉ１ｂ＝Ｉ１となるべく積分コンデンサ７は放電を始める。この際の傾きはｄＶ／ｄｔ＝（Ｉ２−Ｉ１）／Ｃとなり、Ｉ１ｂの値は充電電流源３００の電流Ｉ２以上の電流値となる（図２のｔ３〜ｔ４の電流値Ｉ１ｂを参照）。
【００３１】
なお、積分コンデンサのチャージアップ期間中（図２ｔ１〜ｔ３）に可変基準電圧発生部４の値を変更することで（図２ｔ２のタイミング）、ｔ３でのスイッチ１Ｏｎ以降の放電の目標となる出力端子２００の電圧レベルを変更することが可能である。図２ではｔ２のタイミングで可変基準電圧発生部４の出力電圧ＶＢをＶＢ２（ＶＢ２＞ＶＢ１）に上昇させている。
【００３２】
この変更後の目標電圧レベルＶＢ２に出力端子２００の電圧Ｖｏｕｔが到達すると（図２ｔ４）、出力端子２００の電圧Ｖｏｕｔが一定となる（図２ｔ４〜ｔ５）。
【００３３】
以後、同様の動作を繰り返すことでランプ波形を継続的に出力することが可能となる。
【００３４】
このような構成により、スイッチ１によってランプ波形の開始点を自由に制御可能とすること、及び安定時の出力端子２００の電圧Ｖｏｕｔの電圧値を制御可能とする電流積分型ランプ波形発生回路を構成することができる。
【００３５】
なお、ここでは電流調整部１０００はトランジスタＱ１及びトランジスタＱ２を用いることとしたが、このトランジスタＱ１及びトランジスタＱ２をＭＯＳＦＥＴなどの他の素子で構成可能なことは言うまでもない。
【００３６】
（第２の実施の形態）
次に、図３及び図４を利用して、本発明の第２の実施の形態を説明する。
【００３７】
図３は本実施の形態のランプ波形発生回路の回路図であり、図４はこの回路を動作させた際の動作波形を表す波形図である。まず回路説明を図３に基づき行う。
【００３８】
本実施の形態ではスイッチ１、可変基準電圧発生部４、参照基準電圧発生部６、タイミング信号発生部８、トランジスタＱ１、トランジスタＱ２、出力端子２００、充電電流源３００は、第1の実施の形態と同様の構成をとる。
【００３９】
これに対し、第１の実施の形態における積分コンデンサ７の代わりとして、アンプ１１とコンデンサ１２からなる電流積分器７´を配する。なお、コンデンサ１２の容量はＣ２と定義する。
【００４０】
また、アンプ３の代わりに電圧帰還用アンプ２１及びその周辺回路としての抵抗２２、２３、２４、２５からなる増幅回路（差動増幅回路）３´を含む。
【００４１】
更に第１の実施の形態ではスイッチ１及びそれを動作させるタイミング信号発生部８、放電電流源３０１は一組であったが、本実施の形態では更に、スイッチ２、第２タイミング信号発生部９及び定電流源（第二放電電流源）３１１を含む。
【００４２】
電流積分器７´はアンプ１１とコンデンサ１２からなるミラー積分回路を構成している。この電流積分器７´の出力は積分コンデンサ７と異なり極性が反転する。よって、反転増幅回路の出力Ｖｏｕｔは図４に示すとおり、第１の実施の形態の場合と異なり極性反転した出力となる。これに伴い、図１ではトランジスタＱ１のベース端子にアンプ３の出力が接続されていたものが、本図においては差動対の相対するトランジスタＱ２のベース端子に接続される。これに対応して、参照基準電圧発生部６はトランジスタＱ１のベース端子に接続される。
【００４３】
増幅回路３´と電流調整部１０００は帰還回路を構成し、可変基準電圧発生部４の出力電圧ＶＢと出力端子２００の電圧Ｖｏｕｔの電圧値が等しくなるよう動作する。
【００４４】
この増幅回路３´の抵抗２２、抵抗２３、抵抗２４、抵抗２５の値をそれぞれＲ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４とすると、動作条件はＲ１＝Ｒ３、Ｒ２＝Ｒ４とする必要がある（オペアンプを用いた差動増幅回路の動作条件）。このような構成にすることで、アンプ２１の入力バイアス電流によるオフセット電圧を小さくし、開始電圧の設定精度をより高精度化できる。
【００４５】
ここで、前述した増幅回路３´のオフセット電圧を小さくするためには、Ｖｏｕｔ＝ＶＢの固定時にＶｏａｍｐ２と参照基準電圧発生部６の出力電圧が等しくなるようにし、抵抗２３に参照基準電圧発生部６の出力電圧を与えることが望ましい（図３におけるＶｒｅｆ２）。これは、Ｑ１とＱ２のコレクタ電流が等しくなることを示しており、Ｉ１ｂ＝Ｉ２よりＩ１＝２・Ｉ２とすればよい。
【００４６】
これにより、電圧帰還用アンプ２１の利得が十分大きいときに、増幅回路３´の電圧利得はＲ２・Ｒ３／（（Ｒ１＋Ｒ２）・Ｒ３）となる。Ｖｏｕｔ＞ＶＢのとき、増幅回路３´と電流調整部１０００による帰還回路は増幅回路の出力電圧Ｖｏａｍｐ２を上昇させてＩ１ｂを小さくし、Ｖｏｕｔを下げる。一方、Ｖｏｕｔ＜ＶＢのとき、Ｖｏａｍｐ２を下降させて放電電流値Ｉ１ｂを大きくし、Ｖｏｕｔをあげる。ＶｏｕｔとＶＢが等しくなるとＩ１ｂ＝Ｉ２となり、ＶｏｕｔはＶＢで固定される。結果、電圧帰還用アンプ２１の入力バイアス電流によるオフセット電圧を小さくし、開始電圧の設定を高精度化できる。
【００４７】
また、電圧帰還用アンプ２１の入力バイアス電流が電流積分器７´に直接流れないため積分精度が高くなる。更には、Ｑ１のコレクタ端子の電位が仮想接地となるために、充放電電流の電圧依存性が低減され、結果図１の回路と比べて直線性が良いという利点がある。
【００４８】
本実施の形態では、放電用の定電流源を放電電流源３０１と第二放電電流源３１１の２つ備えている。ここで放電電流源３０１の電流は実施の形態１同様Ｉ１として、第二放電電流源３１１の電流はＩ１´として説明する。
【００４９】
このように放電用に２つの定電流源を持つ目的は、一方を開始電圧の定義のために用い、他方を放電時のみ用いることで、放電時の出力端子２００の出力電圧の傾きを急峻にすることである。
【００５０】
すなわち、放電電流源３０１を開始点電圧の定義のために用いる。一方、第二放電電流源３１１は第１の実施の形態で述べた放電時の傾きであるｄＶ／ｄｔ＝（Ｉ２−Ｉ１）／Ｃ２をｄＶ／ｄｔ＝（Ｉ２−（Ｉ１＋Ｉ１´））／Ｃ２とすることでより第１の実施の形態に比べ、開始点電圧に早く戻ることが可能となる（ここでは図２との対比にのみ着目しているため上述した電流積分器７´の極性反転は考慮していない）。なお、第１の実施の形態と同じく、本実施の形態においても（Ｉ１＋Ｉ１´）＞Ｉ２（スイッチ２の状況によってはＩ１＞Ｉ２）という動作条件は具備する必要がある。またＩ１´＞０である。
【００５１】
この放電時の傾き（ｄＶ／ｄｔ）を急峻にするスイッチ２、第２タイミング信号発生部９及び第二放電電流源３１１に関する構造は、第１の実施の形態にも適用可能である。
【００５２】
以下図４を用いて、本回路の具体的な動作について説明する。なお、本図においても、事前に可変基準電圧発生部４の電圧ＶＢをＶＢ１にしてスイッチ１をＯｎにし、出力端子２００の電圧がＶＢ１で安定したときをｔ０として説明をする。またｔ０のときにスイッチ２はＯｆｆとする。これは既述の通り、放電電流源３０１は開始電圧を定義するために用いられるのに対し、第二放電電流源３１１は出力電圧放電時の出力端子２００の出力電圧の傾きを急峻にすることであり、出力安定時においてはＯｆｆで良いためである。
【００５３】
ランプ波形の発生を要すると、タイミング信号発生部８はスイッチ１をＯｆｆにする（図４ｔ１）。これにより、電流調整部１０００に電流が流れなくなる。結果、電流積分器７´のみに充電電流源３００の電流Ｉ２が流れコンデンサ１２がチャージアップされる。この際、出力端子２００の出力電圧Ｖｏｕｔは（−Ｉ２／Ｃ２）の傾きで下降する。
【００５４】
コンデンサ１２が一定量チャージアップされ、これ以上のランプ波形の発生を要しないとコンデンサ１２の放電を図る（図４ｔ３）。この際、タイミング信号発生部８はスイッチ１を、第２タイミング信号発生部９はスイッチ２をそれぞれＯｎにする。このとき、Ｖｏｕｔ＜ＶＢであるため、Ｉ１ｂ＝Ｉ１＋Ｉ１´となり出力電圧はｄＶ／ｄｔ＝（（Ｉ１＋Ｉ１´−Ｉ２）／Ｃ２）の傾きで上昇する。
【００５５】
なお、可変基準電圧発生部４の出力である開始電圧ＶＢの値を変更する場合、電流積分器７´のコンデンサ１２のチャージ中に変更を行うのは第１の実施の形態と同様である（図４ｔ２）。この図ではｔ２のタイミングでＶＢの値をＶＢ１からＶＢ２に変更している。
【００５６】
放電が完了し、Ｉ１ｂ＝Ｉ２になったら、第２タイミング信号発生部９はスイッチ２をＯｆｆにする（図４ｔ４）。これにより、ｔ２で設定した開始電圧ＶＢ２でＶｏｕｔが安定する（図４ｔ４〜ｔ５）。
【００５７】
このように、放電電流をＩ１とＩ１´に分けて、開始電圧固定時にはＩ１のみを、放電動作時にはＩ１＋Ｉ１´を流すことにより、放電時の傾きを大きくし、かつ、開始電圧を高精度に設定することが可能になる。
【００５８】
なお、ここでは電流調整部１０００はトランジスタＱ１及びトランジスタＱ２を用いることとしたが、このトランジスタＱ１及びトランジスタＱ２をＭＯＳＦＥＴなどの他の素子で構成してもよいことは第１の実施の形態同様である。
【００５９】
また、Ｉ１ａとＩ１ａ´の組み合わせによって、傾きの異なるランプ波形を作り出すことも可能である。
【００６０】
（第３の実施の形態）
次に図５、図６及び図７を利用して、本発明の第３の実施の形態を説明する。
【００６１】
第２の実施の形態では、放電時のタイミング制御を正確に行う必要があった。図５ではこの問題について述べる。
【００６２】
この図５のｔ４´のタイミング（スイッチ２を開放するタイミング）と図３のｔ４のタイミングに着目する。
【００６３】
すなわち、電流積分器７´の出力から電流調整部１０００までの応答遅れ時間ｔｄがあり、放電時にスイッチ２の開放が遅れると、出力端子２００の電圧ＶｏｕｔがそのままｄＶ／ｄｔ＝（（Ｉ１＋Ｉ１´−Ｉ２）／Ｃ２）でｔｄまでの間上昇を続ける。そして、電流調整部１０００が応答した時間（図５ｔ４´）になると、今度はｄＶ／ｄｔ＝−（Ｉ２／Ｃ２）で出力電圧Ｖｏｕｔが低下を始め、最終的にはＶｏｕｔ＝ＶＢ２で収束する。
【００６４】
しかし、このようにタイミングがずれることにより、開始電圧への収束が遅れると、結局本来の目的である、「開始電圧の出力の安定」が図れないこととなる。特に、フィードバックの応答遅れがあるため、dＶ／ｄｔが大きい状態（電流が大きい状態）では、開始点への収束にかかる時間が長くなる。
【００６５】
図６はこの問題点に着目した本実施の形態を表すランプ波形発生回路の回路図であり、図７はこの回路を動作させた際の動作波形を表す波形図である。
【００６６】
まず回路説明を図６に基づき行う。なお、第２の実施の形態と共通する回路要素の説明は省略する。
【００６７】
第２の実施の形態では放電時の急速な開始電圧への移行を可能にした。しかし、スイッチ２のＯｎ・Ｏｆｆについて第２タイミング発生部９による能動的かつ精密な制御が必要であった。
【００６８】
本発明の第３の実施の形態では、タイミング信号発生部８の代わりに、コンパレータ（比較器）２６とスイッチ基準電圧発生回路２７及びＡＮＤ回路２８を使用し、能動的な動作を不要なものとしている。
【００６９】
出力端子２００の電圧Ｖｏｕｔがスイッチ基準電圧発生回路２７の電圧より大きくなるとコンパレータ２６の出力はＨｉｇｈからＬｏｗに切り替わる。ＡＮＤ回路２８は、タイミング信号発生部８の出力がＨｉｇｈであり、かつ、コンパレータ２６の出力もＨｉｇｈのときにスイッチ２をＯｎするように動作する。
【００７０】
これによりスイッチ基準電圧発生回路２７の電圧を可変基準電圧発生部４の出力電圧ＶＢより少し低い電圧に設定することにより、能動的な動作を必要とすることなく図３中のタイミング信号発生部８とほぼ同様の動作が可能となる。
【００７１】
次に図７の波形図でこの実施の形態の回路の動作を説明する。なお、図７においても電流積分器７´のコンデンサ１２のチャージ期間であるｔ３までは図４の動作と同じである。よって、このタイミングまでの説明は省略する。
【００７２】
これ以上のランプ波形の発生が不要となりコンデンサ１２の放電に移行する際（図７ｔ３）、タイミング発生回路８によりスイッチ１はＯｎになる。このタイミングではスイッチ基準電圧発生回路２７の電圧よりも出力端子２００の電圧Ｖｏｕｔのほうが低い為、コンパレータ２６の出力はＨｉｇｈとなる。よって、コンパレータ２６の出力及びタイミング信号発生部８の出力のいずれもがＨｉｇｈになるため、スイッチ２がＯｎになる。これによりＩ１ｂ＝Ｉ１＋Ｉ１´となり、ｄＶ／ｄｔ＝（（Ｉ１＋Ｉ１´−Ｉ２）／Ｃ２）の傾きで急速に出力端子２００の電圧Ｖｏｕｔが上昇する。
【００７３】
出力端子２００の電圧Ｖｏｕｔが上昇するといずれはコンパレータ２６における比較の対象であるスイッチ基準電圧発生回路２７の電圧と逆転する。この逆転が生じるとコンパレータ２６の出力がＨｉｇｈからＬｏｗに変化するため、ＡＮＤ回路２８の出力もＬｏｗになる。これにより、スイッチ２がＯｆｆになり、Ｉ１ｂの値（放電電流値）がＩ１ｂ＝Ｉ１となる。結果、出力端子２００の電圧Ｖｏｕｔの上昇の傾きが鈍化する（図７ｔ４）。
【００７４】
その後、Ｉ１ｂ＝Ｉ２となったときに、出力端子２００の電圧Ｖｏｕｔの値がｔ２で設定した開始電圧ＶＢ２になる。以降、出力端子２００の電圧Ｖｏｕｔの値は安定し、ランプ波形出力動作が終了する（図７ｔ５）。
【００７５】
このように、コンパレータ２６の使用により、スイッチ１の操作以外に能動的な制御を行うことなく、第２の実施の形態の動作を行うことが可能となる。
【００７６】
なお、可変基準電圧発生部４の出力電圧は「可変」であるため、スイッチ基準電圧発生回路２７も可変基準電圧発生部４の出力に連動して、可変基準電圧発生部４の出力電圧より常に若干下回るように変動するようにしても良い。また、可変基準電圧発生部４の動作想定範囲の出力電圧の最小値よりも若干下回る電圧に設定しても良い。
【００７７】
（第４の実施の形態）
第１の実施の形態ないし第３の実施の形態では開始点電圧の制御及び充電開始時刻の制御を目的としていた。一方で、昇圧時の上止点（第２及び第３の実施の形態では下止点）は積分コンデンサ７の容量の上限を除けば安定的な動作を補償するものではなかった。これに対し、この第４の実施の形態では開始点だけで無く上止点（下止点）での電圧値の設定を可能とすることを目的とする。以下図を用いて説明する。
【００７８】
図８は第4の実施の形態のランプ波形発生回路の回路図である。図９はこの回路を動作させた際の動作波形を表す波形図である。本実施の形態の回路は第１の実施の形態の回路を元に変形させたものである。まず回路説明を図８に基づき行う。
【００７９】
第１の実施の形態ないし第３の実施の形態では、積分コンデンサ７（または電流積分器７´）の放電側にのみトランジスタの差動対（電流調整部１０００）を設けていた。これに対し、本実施の形態では、ＰＮＰ型トランジスタによる差動対と参照基準電圧発生部３３からなる電流調整部１００１を充電電流源３００側に設ける。これにより、上止点（ず９のｔ２〜ｔ４）でも出力端子２００の電圧を安定させることを可能にしている。この電流調整部を動作させるために、アンプ３１、可変基準電圧発生部３２、及びセレクタ４３が設けられている。
【００８０】
また、補助充電電流源３３０、補助放電電流源３３１も追加されている。この補助充電電流源３３０の電流値はＩ２´´であり、補助放電電流源３３１の電流値はＩ１´´とする。
【００８１】
アンプ３１は積分コンデンサ７の端子電圧と可変基準電圧発生部３２の出力電圧値ＶＢＢとの差分を増幅する。アンプ３１の出力はトランジスタＱ３のベース端子に接続される。
【００８２】
トランジスタＱ３のベース端子の電圧（アンプ３１の出力電圧）と、トランジスタＱ４のベース端子の電圧（参照基準電圧発生部３３の出力電圧）の差分を参酌して、放流電流Ｉｂ２がトランジスタＱ３のコレクタ端子より積分コンデンサ７の接続端に出力される。
【００８３】
また、差動対（電流調整部）が２つ入ることに伴い、充電電流源３００側の電流調整部１００１もしくは放電電流源３０１側の電流調整部１０００を一時的にカットする必要がある。これを達成するために、セレクタ４１及びセレクタ４３を介している。
【００８４】
さらに、充電電流源３２０とスイッチ４４、補助放電電流源３３１とスイッチ４２を図１の回路に付加すると共に、これらのセレクタ４１、スイッチ４２、セレクタ４３及びスイッチ４４の動作の制御のためにタイミング制御部４０が設けられている。
【００８５】
セレクタ４３は、積分コンデンサ７の充電に電流調整部１００１を利用するか（Ｏｕｔ１）、充電電流源３００側に直結するか（Ｏｕｔ２）、それとも積分コンデンサ７から充電電流源３００を切り離すか（Ｏｕｔ３）を決定する。同様に、セレクタ４１は、積分コンデンサ７の放電時に電流調整部１０００を利用するか（Ｏｕｔ１）、放電電流源３０１側に直結するか（Ｏｕｔ２）、あるいは放電電流源３０１等と積分コンデンサ７を切り離すか（Ｏｕｔ３）を選択する。この２つのセレクタはタイミング制御部４０により制御される。
【００８６】
スイッチ４４は補助充電電流源３３０を用いるか、を決定する。
【００８７】
同様に、スイッチ４２は補助放電電流源３３１を用いるかを決定する。
【００８８】
これらにより、図３の放電電流源３１１同様の効果（（ｄＶ／ｄｔ）の調整）を補助放電電流源３３１は狙うこともできる。しかし、これらのスイッチが図８の構成をとるのには動作条件の具備がその主目的である。
【００８９】
本実施の形態においても電流調整部１０００もしくは、電流調整部１００１を動作させるためには第１の実施の形態等の差動増幅器の動作条件を具備する必要がある。すなわち電流調整部１０００を利用する際には「放電電流源側の電流（Ｉ１＋Ｉ１´´）＞充電電流源側の電流（Ｉ２）」が動作条件である。一方、電流調整部１００１を利用する際には「放電電流源側の電流（Ｉ１）＜充電電流源側の電流（Ｉ２＋Ｉ２´´）」である。
【００９０】
この条件を具備するために補助充電電流源３３０と補助放電電流源３３１が用意し、これらを充電電流源３００や放電電流源３０１と組み合わせて用いることで、上記動作条件の具備が容易に行える。
【００９１】
なお、電流量の大きさの異なる電流源を２つ用意してセレクタで切り替えるようなやり方も考えられる（図１３参照）。しかし、この２つの電流源を切り替えて用いると、切り替え途中の一時的とはいえ、下止点の開始電圧ＶＢや上止点の開始電圧ＶＢＢの精度が低下する。
【００９２】
本実施の形態のように、絶えず一定の電流が電流源によって流れ続け、特定の条件で補助用の電流源を接続するほうが上述した上止点や下止点における開始電圧が安定する。このため計測分野における利用を考えれば図８に示したような構成をとるほうがよい。ただし、状況が許すのであれば図１３の構成も選択肢の一つであろう。
【００９３】
これら２つのスイッチもタイミング制御部４０によりＯｎ、Ｏｆｆが切り替えられる。
【００９４】
次に図９を利用してこの回路の具体的な動作を説明する。これまでの実施の形態同様、可変基準電圧発生部４の出力電圧ＶＢをＶＢ１に設定した後、セレクタ４１をＯｕｔ１に、スイッチ４２をＯｎにして、ＶＢがＶＢ１に安定したところから説明する。また、セレクタ４３は充電電流源３００と積分コンデンサ７を直結し（Ｏｕｔ２）、スイッチ４４をＯｆｆにした状態から説明をはじめる。なお、この状態で電流調整部１０００の動作条件を満たすためにＩ１＋Ｉ１´´＞Ｉ２を具備しなければならない。
【００９５】
ランプ波形を作る際（図９ｔ１）には、タイミング制御部４０はセレクタ４１をＯｕｔ３に切り替えることで放電電流源３０１等から積分コンデンサ7を切り離す。これと同時に、セレクタ４３をＯｕｔ２にして充電電流源３００に積分コンデンサ7を直結する。これにより、積分コンデンサ７の充放電電流Ｉ１ｂ、Ｉ１ｃ、Ｉ２ｂ、Ｉ２ｃのうち、Ｉ１ｃとＩ２ｂには電流は流れない。また、Ｉ２ｃの電流値は充電電流源３００の電流値Ｉ２となる。
【００９６】
これにより積分コンデンサ７に流れる電流はＩ２のみであり、出力端子２００の出力電圧ＶｏｕｔはｄＶ／ｄｔ＝Ｉ２／Ｃの傾きで上昇する。
【００９７】
次に、上止点となるＶＢＢにＶｏｕｔが到達するタイミング（図９ｔ２）で、タイミング制御部４０はセレクタ４１をＯｕｔ２に、スイッチ４２をＯｆｆに、セレクタ４３をＯｕｔ１に、スイッチ４４をＯｎにする。これにより、積分コンデンサ７の充放電電流Ｉ１ｂ、Ｉ１ｃ、Ｉ２ｂ、Ｉ２ｃのうち、Ｉ１ｂとＩ２ｃには電流が流れず、Ｉ１ｃの放電電流値はＩ１となる。
【００９８】
このタイミングで、電流調整部１００１により出力端子２００の出力電圧Ｖｏｕｔは可変基準電圧発生部３２の出力電圧ＶＢＢ１と等しくなり、収束時のＩ２ｂの電流値はＩ１となる。このタイミングでもＩ２ｂの最大値はＩ１ｃよりも大きくならなければならず、かつＩ２＋Ｉ２´´＞Ｉ１となるように各電流源を設計するように留意せねばならない。電流調整部１００１の差動増幅の条件を具備するためである。
【００９９】
なお、図９上ではスイッチ４２はｔ２のタイミング（セレクタ４１がＯｕｔ２になるタイミング）でＯｆｆになっていればよく、それ以前の状態は特に問わない。
【０１００】
さらに、降圧側でのランプ波形発生のために出力端子２００の出力電圧Ｖｏｕｔを可変基準電圧発生部３２の出力電圧ＶＢＢから低下させる際には（図９ｔ４）、タイミング制御部４０はセレクタ４１をＯｕｔ２に、スイッチ４２をＯｆｆに、セレクタ４３をＯｕｔ３に、スイッチ４４をＯｆｆにする。これにより積分コンデンサ7に流れる電流はＩ１ｃ＝Ｉ１のみとなり、出力電圧ＶｏｕｔはｄＶ／ｄｔ＝−Ｉ１／Ｃの傾きで下降する。
【０１０１】
そして、可変基準電圧発生部４の出力電圧ＶＢの値まで出力端子２００の出力電圧Ｖｏｕｔが低下すると、セレクタ４１をＯｕｔ１、スイッチ４２をOｎ、セレクタ４３をＯｕｔ２に切り替える。出力電圧Ｖｏｕｔは、そこで安定する（図９ｔ５）。
【０１０２】
なお、図９上ではスイッチ４４はｔ５のタイミング（セレクタ４３がＯｕｔ２になるタイミング）までＯｆｆになっていればよく、必ずしもこのタイミングでＯｆｆにする必要は無い。
【０１０３】
このｔ５のタイミングでも、電流調整部１０００の動作条件であるＩ１＋Ｉ１´´＞Ｉ２を具備しなければならない。
【０１０４】
可変基準電圧発生部４の出力電圧ＶＢを変化させるのであれば、積分コンデンサ７の充電開始から放電開始まで（図９ｔ１からｔ4の期間）であることは第１の実施の形態と同様である。図９ではｔ３のタイミングで可変基準電圧発生部４の出力電圧ＶＢを変化させている。
【０１０５】
また、可変基準電圧発生部３２の出力電圧ＶＢＢを変化させるのであれば、積分コンデンサ７の放電開始から充電開始まで（図９ｔ４からｔ７の期間）に行わねばならない。図９においてはｔ６のタイミングで可変基準電圧発生部３２の出力電圧ＶＢＢを変化させている。
【０１０６】
以降、ｔ５のタイミング以降は前述の動作を繰り返すことにより、固定電圧値の下止点と上止点が安定したランプ波形を出力することが可能となる。
【０１０７】
この実施の形態でも、各電流調整部のトランジスタをＭＯＳＦＥＴなどの他の素子で構成してよいことは言うまでもない。
【０１０８】
（第５の実施の形態）
上述した各実施の形態の各ランプ波形発生回路は回路パターン検査装置への適用が可能である。図１０は、第1の実施の形態のランプ波形発生回路を回路パターン検査装置に適用したときの概略図であり、図１１に同検査装置の検査例を示す。
【０１０９】
本実施の形態の回路パターン検査装置は半導体基板（ウェハー）上に形成された回路パターンの検査を行う装置である。走査型電子顕微鏡（Ｓｃａｎｎｉｎｇ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）の技術を応用しており、電子線により半導体基板を走査して、電子線の照射によって半導体基板から発生する二次電子を検出し、二次電子画像を用いて回路パターン検査を行う。
【０１１０】
図１０におけるランプ波形発生部５３は第１の実施の形態記載の回路である。
【０１１１】
電子光学系７７において、電子銃６１より出た一次電子線６２は、ブランキング偏向器６３、スリット６４、ビーム偏向器６０、ＥｘＢ偏向器６５、対物レンズ６６を通ってＸ−Ｙステージ６８上の被検査基板６７に焦点を結んで照射される。一次電子線６２が照射されると、被検査基板６７からは二次電子６９が発生する。二次電子６９は、ＥｘＢ偏向器６５により偏向され、検出器７０で検出される。
【０１１２】
ここで、被検査基板６７をＸ−Ｙステージ６８によりＹ方向へ連続的に移動させながら、一次電子線６２が被検査基板６７上でＸ方向に繰返し走査するようにビーム偏向器６０を動作させる。この繰り返し走査に同期して被検査基板６７から発生する二次電子６９を検出器７０で検出することで、被検査基板６７の二次元の電子線画像が得られる。ここでＸ−Ｙステージ６８をＸ方向へ移動する場合は、一次電子線６２が被検査基板６７上をＹ方向に繰返し走査するように制御を行う。
【０１１３】
検出器７０で検出された信号は、プリアンプ７１で増幅された後、Ａ／Ｄ変換回路７２によってデジタル信号に変換される。画像処理部７３は同デジタル信号をもとに２次元の画像を生成し、同画像内にある欠陥を検出し、ホストコンピュータ７８に検出結果を送る。なお、上記検出器７０は、被検査基板から発生する二次電子６９を検出するように構成したが、被検査基板から発生する反射電子、透過電子若しくは吸収電子を検出してもよい。
【０１１４】
制御部５１はホストコンピュータ７８からの信号を受け、電子銃６１、画像処理部７３、ブランキング偏向制御回路７４、ビーム偏向制御回路８０、ＥｘＢ偏向制御回路７５、対物レンズ電源７６、Ｘ−Ｙステージ６８の制御を行う。
【０１１５】
同様に、制御部５１からの制御信号５６，５７，５８，５９により、ビーム偏向制御回路５２内のランプ波形発生部５３はランプ波形を出力アンプ５５に出力する。ここで制御信号５６はＤ／Ａ変換回路（ＤＡＣ）５４のデータ設定を行い、同出力電圧はランプ波形発生部５３中のＶＢ電圧となる。
【０１１６】
制御信号５８、制御信号５９はＤ／Ａ変換回路８１，Ｄ／Ａ変換回路８２のデータ設定を行い、同出力によりランプ波形発生部５３中の電流源Ｉ１とＩ２の設定を行う。制御信号５７はランプ波形発生部５３中のＶｐ１として与えられ、スイッチ１のタイミング制御を行う。
【０１１７】
出力アンプ５５は同出力信号を増幅してビーム偏向器６０に印加する。ここで出力信号は、検査ラインを生成する波形と、次の検査ラインの始点までの振り戻し波形からなっており、この波形の繰り返し走査により図１１に示すように被検査領域７９上に一次電子線６２を照射する。Ｘ方向成分用とＹ方向成分用の2系統のビーム偏向制御回路を備えることで、斜め方向のビーム走査が可能となる。
【０１１８】
検査装置は、検査ライン（１）、（２）、（３）・・・に同期して検出信号を画像化して二次元画像を生成するが、図１０に示すようにある回転角度θを持った被検査試料に対して検査を行う場合、例えばＸ方向のビーム偏向は、検査ラインごとに異なるオフセット（△ｘ）に設定するためには、ランプ波形は検査ラインごとに異なる開始電圧の設定を行う必要がある。そこで、検査ラインごとに制御信号５６によりＤ／Ａ変換回路５４の出力電圧を変えることで、被検査試料の回転に対応可能となる。
【０１１９】
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものでなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【０１２０】
本発明を用いてランプ波形発生回路を構成することにより、開始電圧制御が可能な電流積分型ランプ波形発生回路を実現できる。これにより回路パターン検査装置を始めとした各種装置に電流積分型ランプ波形発生回路を適用することができ、装置の低雑音・高精度化が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０１２１】
【図１】本発明の第1の実施の形態にかかわるランプ波形発生回路の回路図である。
【図２】本発明の第1の実施の形態にかかわるランプ波形発生回路の波形図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態にかかわるランプ波形発生回路の回路図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態にかかわるランプ波形発生回路の波形図である。
【図５】本発明の第３の実施の形態の説明に用いる波形図である。
【図６】本発明の第３の実施の形態にかかわるランプ波形発生回路の回路図である。
【図７】本発明の第３の実施の形態にかかわるランプ波形発生回路の波形図である。
【図８】本発明の第４の実施の形態にかかわるランプ波形発生回路の回路図である。
【図９】本発明の第４の実施の形態にかかわるランプ波形発生回路の波形図である。
【図１０】本発明の第５の実施の形態にかかわる回路パターン検査装置の概略図である。
【図１１】本発明の第５の実施の形態にかかわる回路パターン検査装置の検査例である。
【図１２】従来のランプ波形発生回路の構成を示す回路図である。
【図１３】本発明の第４の実施の形態の説明のためのスイッチ周辺の回路図である。
【符号の説明】
【０１２２】
１…スイッチ、２…スイッチ、３…アンプ、４…可変基準電圧発生部、６…参照基準電圧発生部、７…積分コンデンサ、８…タイミング信号発生部、９…第二タイミング信号発生部、３１…アンプ、３２…可変基準電圧発生部、
５１…制御部、５２…ビーム偏向制御回路、５３…ランプ波形発生部、５４…デジタル・アナログ変換回路（ＤＡＣ）、５５…出力アンプ、
６０…ビーム偏向器、６１…電子銃、６２…一次電子線、６３…ブランキング偏向器、６４…スリット、６５…ＥｘＢ偏向器、６６…対物レンズ、６７…被検査基板、６８…Ｘ−Ｙステージ、６９…二次電子、７０…検出器、
７１…プリアンプ、７２…アナログ・デジタル（Ａ／Ｄ）変換回路、７３…画像処理部、７４…ブランキング偏向制御回路、７５…ＥｘＢ偏向制御回路、７６…対物レンズ電源、７７…電子光学系、７８…ホストコンピュータ、７９…被検査領域、８０…ビーム偏向制御回路、
８１…デジタル・アナログ変換回路、８２…デジタル・アナログ（Ｄ／Ａ）変換回路、
２００…出力端子、３００…定電流源（充電電流源）、３０１…定電流源（放電電流源）、３１１…定電流源、３３０…補助充電電流源、３３１…補助放電電流源、１０００…電流調整部、１００１…電流調整部。
【図１】
2008235563.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
2008235563.tif 000015