(57)【要約】【課題】  薄板基材の搬送時における脱落や折れ、曲がり、割れ、破れなどのトラブルを防止し、かつ自動投入機や自動受取機などと組み合わせて自動化ラインとした場合にも、基材の倒れを防止することができ、薬液処理工程においては、容易に液切りできる搬送用治具とその治具を用いたプリント配線基板の製造方法を提供する。【解決手段】  剛性の高い材質の薄板からなる平面形状が門型形状をなし、搬送方向先端には先導部を有し、該先導部の両端から搬送方向と逆方向に延伸する袖部を有し、これら先導部と袖部に囲まれた中心部に基材を収納する凹部が形成されてなり、該凹部に面した先導部と袖部の内側は、先端が鋭角をなしてなる薄板基材の搬送用治具とする。この搬送用治具薄板基材を装着し、既存のプリント配線基板の製造ラインに使用すればトラブルを防止できる。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
剛性の高い材質の薄板からなる平面形状が門型形状をした搬送用治具であって、搬送方向先端には先導部を有し、該先導部の両端から搬送方向と逆方向に延伸する袖部を有し、これら先導部と袖部に囲まれた中心部に基材を収納する凹部が形成されてなり、該凹部に面した先導部と袖部の内側は、先端が鋭角をなしてなることを特徴とする薄板基材の搬送用治具。
【請求項２】
前記門型形状凹部の基板搬送方向の長さが、薄型基板の搬送方向の長さよりも長いことを特徴とする請求項１に記載の薄板基材の搬送用治具。
【請求項３】
前記薄板の厚さが０．２５ｍｍ以上０．８ｍｍ未満であることを特徴とする請求項１または２に記載の薄板基材の搬送用治具。
【請求項４】
前記凹部に面した先導部と袖部の内側先端が水平面となす角度θが、３０〜４５度であることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の薄板基材の搬送用治具。
【請求項５】
前記剛性の高い材質の薄板が、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、プロピレン樹脂、スチレン樹脂、塩化ビニル樹脂、フッ素樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリカーボネート樹脂のうちいずれか１種であることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の薄板基材の搬送用治具。
【請求項６】
前記剛性の高い材質の薄板が、プリント配線基板の材料を用いて作製されていることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の薄板基材の搬送用治具。
【請求項７】
前記請求項１から６のいずれか１項に記載の薄板基材の搬送用治具の凹部に薄板基材を収容し、背もたれ棒を有するラックを使用してローラコンベア方式のプリント配線基板の製造一貫ラインで処理することを特徴とするプリント配線基板の製造方法。
【請求項８】
前記薄板基材の搬送用治具の凹部に、薄板基材をテープで貼り付けて収容することを特徴とする請求項７に記載のプリント配線基板の製造方法。
【請求項９】
前記薄板基材をテープで貼り付けるに際して、薄板基材の搬送方向前端と幅方向の両端を、それぞれ搬送用治具の先導部と袖部に重なるようにしてテープで貼り付けることを特徴とする請求項７または８に記載のプリント配線基板の製造方法。
【請求項１０】
前記薄板基材をテープで貼り付けるに際して、搬送用治具の袖部が薄板基材の後端よりも後ろにはみ出している状態にして収容することを特徴とする請求項７から９
のいずれか１項に記載のプリント配線基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント配線基板用等の薄板基材の搬送用治具とそれを用いたプリント配線基板の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、プリント配線基板の製造工程ではエッチングレジストの現像工程、エッチング工程、エッチングレジストの剥離工程、ソルダーレジストの現像工程や各種前処理研磨工程、水洗工程など、さまざまな薬液処理が行われている。そしてこれらの薬液処理工程では、ローラコンベア方式により両面銅張積層板などの基材を搬送しながら、処理液を基材表面にシャワー状に吹き付ける装置が使用されている。
このローラコンベア方式の処理装置は、例えば図１１に示すように、上側搬送ローラ８と下側搬送ローラ９が適当な間隔を置いて配置された構造になっている。このローラコンベアで薄板基材３を搬送しながら、ローラコンベア３１の上下に配置されたスプレーノズル１０から薄板基材３の両面に処理液１１を吹き付けることにより湿式処理が行われている。
近年、プリント配線基板の薄板化が進み、厚さが０．２ｍｍ以下の薄板基材では剛性が不足して、図１２（ａ）に示すように、基材の自重や処理液のスプレー圧により薄板基材３が曲がり、ローラコンベア３１の下側搬送ローラ９の間から脱落して不良となったり、図１２（ｂ）に示すように、上下の搬送ローラ８、９間にうまく引き込めずに、薄板基材３が折れ曲がったり、割れたり、破れたりというトラブルが発生している。
【０００３】
その解決策として、先導板を薄板基材の搬送方向先頭に接続し、上記ローラコンベア方式のトラブルを防止する技術が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
特許文献１に開示された技術例では、先導板と被処理基板との間の連結手段を改良して、簡単に、短時間で、確実に処理基板を着脱できるようにしている。
また、薄板基材をローラ搬送しつつ確実に各種の処理を施すことができるように、薄板基材の搬送方向先頭に先導板を接続する例として、基板よりも剛性の高い材料からなる先導板を薄板基材の搬送方向先頭に接続する方法も知られている（例えば、特許文献２参照。）。
特許文献２に開示された技術例では、先導板の末尾に凸片を凸設し、この凸片と被処理基板とをフッ素樹脂製のテープで貼り付け、ローラコンベア上を搬送することにより、搬送中に処理液や洗浄液等を噴射しても基板がローラコンベアから脱落するのを確実に防ぐことができ、基板処理効率を高く安定に保つことができるとされている。
【０００４】
先導板の形状例としては、図１３に示すように、全体が平面視で長方形を呈し、搬送される先端寄りに矩形の先導部５ａを有し、後寄りには基板と相似形のロの字形の中空部５ｂを有する先導板５を使用し、前記中空部５ｂ内に被処理薄板基板３を収容して、薄板基板３の周囲を先導板５にテープ４で貼り付け搬送する方法が開示されている。
また、先導板の他の形状例としては、図１４に示すように、先導板６の先導部６ａの両側から搬送方向と反対側に延在する一対の側片６ｃ、６ｄを一体に設け、これらの先導部６ａ及び側片６ｃ、６ｄに囲まれた門型形状の中空部６ｂの内側に薄板基板３を収容して、先導部６ａ及び側片６ｃ、６ｄと被処理薄板基板３とをフッ素樹脂製のテープ４で貼り付ける方法も開示されている。
【０００５】
このように先端に先導板を取り付けてローラコンベア上を搬送しながら、薬液処理や洗浄処理等の湿式処理が行われている。現像処理装置および水洗装置としてはローラコンベア方式の湿式処理装置を使用し、ローラコンベアで搬送される途中で現像液や洗浄水が順次薄板基材に吹き付けられる。各槽の境界には図１５で示すようなストレートロールまたはスポンジ状の吸水ロール１９が上下に設けられており、ストレートロールまたは吸水ロール１９で挟むことで薄板基材３表面の液切りを行い、次の処理槽へ処理液が持ち込まれるのを防止している。
図１６（ａ）は薬液処理装置を上から見た平面図、（ｂ）は（ａ）の線Ｅ−Ｅ’に沿った断面図、（ｃ）は（ａ）の線Ｆ−Ｆ’に沿った断面図である。図１６に示すように、図１３に示すロの字型形状の先導板５を貼り付けた薄板基材３はコンベア方式の薬液処理装置へ薄板基材３を貼り付けた側を上側にして投入する。
薄板基材３の搬送方向両端と幅方向の両端は、基材搬送用治具に貼り付けられているために、コンベア方式の薬液処理装置で弛みや跳ね上がりの搬送トラブルを発生させることは無く、Ｅ−Ｅ’断面やＦ−Ｆ’断面で見ても、薄板基板３の中央部のへこみも浅く残留する処理液１１の量も比較的少なくなる。
また、図１４に示す門型形状の先導板６を使用した場合には、薄板基材３の後端は門型の形状をした先導板側片が無い部分となるために、薄板基材後端側へ処理液１１が逃げることが可能で、図９（ｂ）及び（ｃ）に示したように薄板基材３の弛みも少なく、薄板基板３上に残留する処理液１１も少なくなり、次の処理槽への処理液の持ちこみ量を比較的少なくすることができるとされている。
【０００６】
また最近ではローラコンベア方式の処理装置に、ローラコンベアの他に処理装置の前後に自動投入機や自動受取機を設置し、自動化を図ることが行われている。あるいはまた、必要により処理装置と自動受取機の間に吊下げ式乾燥炉などを設置することも行われている。
一例として図１７に、自動投入機、現像処理装置、水洗装置、熱風乾燥コンベア、吊下げ式乾燥炉、自動受取機で構成される、ソルダーレジスト現像・乾燥一貫ラインを例に挙げて説明する。図１７において３２は自動投入機，３３は現像処理装置，３４は水洗装置，３５は熱風乾燥コンベア，３６は吊下げ式乾燥炉，３７は自動受取機である。ここで自動投入機３２には、後述するようなラック７に収容された薄板基材３がセットされている。
【０００７】
吊下げ式乾燥炉３６は、図１８のように、搬送用爪２０が全周にわたって取り付けられたチェーン２１が配設されていて、搬送用爪２０に薄板基材３を懸垂状に挟持して乾燥ゾーン２６及び冷却ゾーン２７を通過して回動するように構成されており、入口側及び出口側のそれぞれに搬入用コンベア２２及び搬出用コンベア２３が設けられている。
薄板基材３は、搬入用コンベア２２で搬送され、薄板基材３の先端がリフト２４に取り付けられたリフトチャック２５の位置に来るまで搬送される。この位置で薄板基材３の先端がリフトチャック２５にてクランプされ、リフト２４により上昇させられ、搬送用爪２０の位置まで持ち上げられ、搬送用爪２０に受け渡される。搬送用爪２０はチェーン２１の回動により薄板基材３を吊下げたまま乾燥ゾーン２６および冷却ゾーン２７を通過する。搬出コンベア２３の上方に達した薄板基材３は、基材受取アーム２８に受け渡され、基材受取アーム２８に上端を保持された状態で水平方向に転じて、搬出コンベア２３上に載せられ、自動受取機へ送られる。
【０００８】
このようなソルダーレジスト現像・乾燥一貫ラインでは、先の特許文献１に開示されているような薄板基材の搬送方向の先端部にのみ先導板を取り付けた場合には、先端部以外は依然として薄板基材のみであり、基板のみで立っていることが困難で、フックに載ってエスカレータベルトの回転により上方へ運ばれた場合でも、上昇動作により図２２に示すように、薄板基板３がエスカレータベルト１５のフック１６からずり下がった状態になってしまい、上昇途中で脱落してしまうことも
あった。
【０００９】
図１７に示すソルダーレジスト現像・乾燥一貫ラインでは、図１９に示すような背もたれ棒１２を備えたラック７を使用して、図２０に示すようにこのラック７の背もたれ棒１２の間に、薄板基材３を立てかけて搬送することが試みられている。レジスト工程では基板表面同士を接触させることは不良発生につながるので、ラックを立てたときに薄板基板がしなって前後の基板と接触することを防止する必要がある。薄板基板同士の接触防止のためにはラックの使用が有効であり、１．０ｍｍ未満程度の基板に対してしばしば使用されている。この際、先の特許文献２に開示されているような図１３や図１４に示した、中空部を有する先導板からなる搬送用治具や先導板の先導部の両側から搬送方向と反対側に延在した一対の側片を有する搬送用治具を使用すれば、図２２に示すようなエスカレータベルト１５で持ち上げたときに、薄板基板３が前倒して脱落する現象を起こしたり、図２１に示すように背もたれ棒１２の間で薄板基材３がずり下がった状態になってしまう現象は起こらない。
【特許文献１】特開平０４−２４９４００号公報
【特許文献２】特開２０００−１５１０７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、プリント配線基板の基材が剛性に乏しい薄板基材である場合に、搬送時における脱落や折れ曲がり、割れ、破れなどのトラブルを防止し、かつ自動投入機や自動受取機などと組み合わせて自動化ラインとした場合にも、薄板基材の倒れを防止することができ、薬液処理工程においては、容易に液切りできる搬送用治具とその治具を用いたプリント配線基板の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために本発明は、剛性の高い材質の薄板からなる平面形状が門型形状をした搬送用治具であって、搬送方向先端には先導部を有し、該先導部の両端から搬送方向と逆方向に延伸する袖部を有し、これら先導部と袖部に囲まれた中心部に基材を収納する凹部が形成されてなり、該凹部に面した先導部と袖部の内側は、先端が鋭角をなしてなる薄板基材の搬送用治具を採用することとした。
このような構成の搬送用治具を使用すれば、剛性に乏しい薄板基材を自動化ラインで処理する場合にも、搬送時の脱落や折れ曲がり、割れ、破れなどのトラブルを防止することができ、薬液処理工程においても容易に液切りできる利点がある。
【００１２】
本発明の搬送用治具では、前記門型形状凹部の基板搬送方向の長さは、薄型基板の搬送方向の長さよりも長いことが好ましい。門型形状凹部を被処理基板よりも後方にはみ出させることにより、基板をラックに立てかける場合でも先端の損傷を防ぐことができる。
薄板の厚さは０．２５ｍｍ以上０．８ｍｍ未満とすることが好ましい。
また、凹部に面した先導部と袖部の内側先端が水平面となす角度θは、３０〜４５度とすることが好ましい。
【００１３】
本発明の搬送用治具は、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、プロピレン樹脂、スチレン樹脂、塩化ビニル樹脂、フッ素樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリカーボネート樹脂のうちいずれか１種の剛性の高い材質の薄板を使用して作製すれば良く、例えばプリント配線基板の材料を用いて作製することができる。
【００１４】
本発明のプリント配線基板の製造方法は、上記に記載の本発明の薄板基材の搬送用治具の凹部に薄板基材を収容し、背もたれ棒を有するラックを使用してローラコンベア方式のプリント配線基板の製造一貫ラインで処理するプリント配線基板の製造方法とした。
このような製造方法を採用すれば、剛性に乏しい薄板基材を自動化ラインで処理する場合にも、搬送時の脱落や折れ曲がり、割れ、破れなどのトラブルを防止することができ、薬液処理工程においても容易に液切りすることができる。
【００１５】
本発明のプリント配線基板の製造方法においては、前記薄板基材の搬送用治具の凹部に、薄板基材をテープで貼り付けて収容する。また、薄板基材をテープで貼り付けるに際して、薄板基材の搬送方向前端と幅方向の両端をそれぞれ搬送用治具の先導部と袖部に重なるようにしてテープで貼り付けるのが好ましい。さらに薄板基材をテープで貼り付けるに際しては、搬送用治具の袖部が薄板基材の後端よりも後ろにはみ出している状態にして収容するのが好ましい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の効果としては、剛性に乏しい薄板基材を用いてプリント配線基板を製造する場合、薄板基材の搬送時における脱落や折れ、曲がり、割れ、破れなどを防止できることから歩留まり及び製品品質を向上させ、かつ自動投入機や自動受取機などと組み合わせて自動化ラインとした場合にも、基材の倒れを防止することができることから省力化も可能となり、製造効率を大幅に向上させることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明の搬送用治具の平面図を図１（ａ）に、（ａ）の線Ａ−Ａ’に沿った断面図を図１（ｂ）に示す。
本発明の搬送用治具１は、図１（ａ）に示すような門型の形状をした搬送用治具である。搬送用治具１の搬送方向先端には先導部１ａを有し、先導部１ａの両端からは搬送方向と逆方向に延伸する袖部１ｂ，１ｃを有し、これら先導部１ａと袖部１ｂ，１ｃに囲まれた中心部に搬送用治具の凹部２が形成されている。
図２（ａ）に本発明の搬送用治具１に薄板基材３をテープ４で貼り付けた状態を平面視して示し、図２（ｂ）は（ａ）に示した搬送用治具１を図示矢印の方向から見た図である。本発明の搬送用治具１では、図２に示すように搬送用治具の凹部２内に薄板基材３をテープ４で貼り付けて使用する。薄板基材３は搬送用治具１の１ｂ、１ｃ内側に僅かに重ねてある。
【００１８】
この際、図３に示すように門形をした搬送用治具の凹部２の幅方向の長さ２Ｗ及び搬送方向の長さ２Ｌは、３辺で基板が３ｍｍ程度重なる寸法に基板の大きさに応じて設定する。搬送方向の長さ２Ｌは、基板の搬送方向の長さよりも長く設定して、搬送用治具の凹部が薄型基板の後方に少しはみ出すように構成するのが好ましい。そして、薄板基材３を図２（ａ），（ｂ）に示したように、搬送方向前端と幅方向の両端が搬送用治具１に重なるようにしてテープ４で貼り付ける。搬送用治具１の後端１ｄは、薄板基材３の後端よりも後ろにはみ出している状態にする。薄板基材３が長方形の場合には、短い辺が基板の搬送方向に向くように貼り付ける。このようにすれば各工程での処理時間を短縮することが可能となる。
このように搬送用治具１の袖部１ｂ，１ｃを薄板基材３の後端よりも後ろにはみ出させることにより、後述するようにラックに立てかける際にラックの底部には搬送用治具だけが接触し、薄板基材の下端は接触しないので薄板基材後端を保護する効果が生まれ、薄板基材の割れ、破れなどの発生が皆無となり、薄い基板の下端が損傷するのを防止することができる。
【００１９】
本発明の搬送用治具は、ラックに立てかけられた状態で自立でき、コンベア方式の薬液処理装置での搬送中に、コンベアからの脱落、折れ、破れ、割れ等が発生しない剛性を持った材質・板厚で出来ており、処理液への耐性もある材質で出来ていることが必要である。このような特性を有する材料としては、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、プロピレン樹脂、スチレン樹脂、塩化ビニル樹脂、フッ素樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリカーボネート樹脂のうちいずれか１種の剛性の高い材質の薄板を使用することができる。例えばプリント配線基板の材料を用いて作製することができる。プリント配線基板の材料は入手しやすく、加工もしやすく、処理液への耐性にも優れる材料である。プリント配線基板の材料としては銅層の無い積層板が便利である。これは、両面銅張積層板の両面の銅箔をエッチングして全面除去することで容易に得ることができる。
【００２０】
また、搬送用治具の厚さは、ローラコンベア方式の薬液処理装置での搬送中に脱落、折れ、破れ等が発生しない厚さが選択されるが、搬送用治具自体が厚すぎる場合には、ストレートロールでの液切りや吸水ロールでの水分除去が不十分となりやすく、後工程での表面処理ムラの原因となるため、０．２５ｍｍ以上で０．８０ｍｍ未満とすることが望ましい。
【００２１】
また、図１において斜線部で示した、先導部１ａと袖部１ｂ，１ｃで囲まれた搬送用治具の凹部２に面した内側２ａ，２ｂ，２ｃは、図１（ｂ）に断面で示すように先端が鋭角になるように削って形成されている。先導部１ａと袖部１ｂ，１ｃの搬送用治具の凹部２に面した内側が水平面となす角度θは、３０〜４５度程度とするのがよい。
搬送用治具の凹部２の内側をこのような鋭角に構成することにより、図５（ａ）に示すように、薄板基材３と搬送用治具１が接する部分は広く開いており、液体が溜まりづらく、搬送用治具１と薄板基材３の接合面に残留する薬液や洗浄水などの液体３８の量を極めて少なくすることができる。
先導部１ａや袖部１ｂ，１ｃの先端を図５（ｂ）のように直角に構成しておくと、薄板基材３と搬送用治具１の接する部分に液体が溜まりやすく、搬送用治具１と薄板基材３との接合面に残留する液体３８の量が多くなるので好ましくない。
【００２２】
搬送用治具の加工方法の一例を挙げれば、プリント配線基板の外形加工で使用されるルータ加工機で、図１に示す門型形状に加工した後、薄板基材と重なる凹部の端面が図１（ｂ）のように鋭角になるようにヤスリがけして搬送用治具を得ることが出来る。
ここで、凹部は、図３に示したように幅方向の長さ２Ｗは処理する薄板基材の長さより短く、搬送方向の長さ２Ｌは処理する薄板基材の長さより長く形成する。実際には、搬送用治具と薄板基材との重なり幅が大きすぎる場合には処理液が隙間に入り込み、後の処理槽へ多量の液体が持ち込まれたり、薄板基材の乾燥後に染み出してきて、薄板基材を汚染することがあるので、重なり幅が３ｍｍから１０ｍｍ程度になるように凹部２の寸法を決定することが望ましい。当然、外形寸法は、自動投入・コンベア搬送・自動受取の各装置で搬送・受け渡しが可能な大きさとなり、トラブルの発生しない寸法で作製されねばならない。
【００２３】
図４に、本発明の搬送用治具１に薄板基材３を貼り付け搬送する状態の側面図を示す。剛性の高い板材からなる搬送用治具１の表面に、薄板基材３がテープ４で貼り付けて固定してある。薄板基材３を表面に搭載した搬送用治具１は、図面右側の矢印方法に移動して搬送される。
搬送用治具に薄板基材を貼り付ける際には、薄板基材の搬送方向の前端と幅方向の両端を搬送用治具と重ねたうえでテープで貼り付ける。このテープは、薬液処理装置での搬送中に剥がれることの無い粘着力を持ち、処理液への耐性も備えたテープが用いられる。また、乾燥装置など高温にさらされる処理にも投入されるので、耐熱性も兼ね備えている必要がある。
【００２４】
例えば０．２ｍｍ以下の剛性の低い材料からなる薄板基材３を貼り付けた搬送用治具を、図１９に示したような背もたれ棒１２を有するラック７に収容して、一貫ラインの自動投入機にセットする。
この時、搬送用治具１を使用すれば、搬送用治具１の後端１ｄが薄板基材３の末端３ａよりも後ろに張り出しているので、図６に示すように薄板基材３の末端３ａが直接ラック７に接触しないので、薄くて脆い薄板基材３が割れたり損傷することはない。
【００２５】
自動投入機３２（図１７参照。）にセットされたラック７は、図７に拡大して示すように、先頭の薄板基材３−１が基材取り出し位置１３に到着するまでラック搬送ベルト１４で搬送される。この時、背もたれ棒１２は全て後傾している（図８（ａ）参照。）。
次に基材取り出し位置１３に到着したラック７は、薄板基材３−１と直後の背もたれ棒１２ｂと共に、傾斜方向を反転させられ（図８（ｂ）参照。）、続けて、背もたれ棒１２ｂの傾斜方向を反転させることで、背もたれ棒１２ａと１２ｂは、Ｖ字状に開いた状態になり、薄板基材３−１は背もたれ棒１２ａの側へ寄りかかった状態になる（図８（ｃ）参照。）。
【００２６】
次に、エスカレータベルト１５が回転し、エスカレータベルト１５に取り付けられているフック１６が上昇して薄板基材３−１の下端がフック１６に載り（図８（ｄ）参照。）、フック１６が薄板基材３−１の下端を保持したまま、エスカレータベルト１５は回転し、図７に示すように起倒コンベア１７に薄板基材３−１を乗せ移す。
そして、薄板基材３−１が起倒コンベア１７に乗り移ったところで、起倒コンベア１７は薄板基材３−１を載せた状態で水平まで倒れ、現像ライン入口のコンベア１８に薄板基材３−１を供給する。
【００２７】
コンベア１８に搭載された薄板基材３は、薄板基材３を貼り付けた側を上側にしてコンベア方式の薬液処理装置に挿入する。図９（ａ）に平面図で示すように、薄板基材３は矢印の向きに示した搬送方向前端と幅方向の両端を搬送用治具１に貼り付けてあるために、コンベア方式の薬液処理装置で搬送トラブルを発生させることは無い。
また、薄板基材３の後端は門型の形状をした搬送用治具が無い部分に面しているために、薄板基材後端側へ処理液が逃げることが可能となり、次の槽への処理液の持ち込み量を少なくすることができる。
図９（ａ）は薬液処理装置の現像処理装置や水洗装置の間等に設置される吸水ロール部分の平面図を示し、図９（ｂ）は（ａ）の線Ｃ−Ｃ’に沿った断面図を示し、図９（ｃ）は（ａ）の線Ｄ−Ｄ’に沿った断面図である。図９（ｂ）、（ｃ）に示すように、本発明の搬送用治具１に貼り付けた薄板基材３は、吸水ロール１９部分での弛みも少なく、薄板基材３表面に残留する処理液１１の量を極めて少なくすることができる。
【００２８】
薬液処理を終えた薄板基材３は図１７に示すように、吊り下げ式乾燥炉３６を通過する間に乾燥され、自動受取機３７に送られる。
図１０に示すように、自動受取機３７は受取アーム２９に薄板基材３を載せた状態で支点を中心に回転し、Ｌ形ラック３０に薄板基材３を立てかける。
プリント配線基板を製造するための各工程を経て必要な加工を終えた段階で、薄板基材は搬送用治具からはずされるが、この搬送用治具は１回の使用で使用不能になることは無く、繰り返し再利用が可能である。
【００２９】
以上説明したように本発明によれば、プリント配線基板の基材が剛性に乏しい薄板基材である場合でも、搬送時における脱落や折れ曲がり、割れ、破れなどのトラブルを防止することができ、かつ自動投入機や自動受取機等と組み合わせて自動化ラインに組み込んだ場合にも、基材の倒れを防止することができ、薬液処理工程においては容易に液切りできる搬送用治具であり、この搬送用治具を用いたプリント配線基板の製造方法は各装置の円滑な稼働をもたらし、生産性向上が期待できる。
【実施例１】
【００３０】
板厚０．５０ｍｍ、銅箔厚３５μｍ、サイズ５１５×５１５ｍｍの両面銅張積層板（松下電工製Ｒ−１７６６）の両面の銅箔を、塩化第二鉄エッチング液で全面除去した。銅箔を除去した積層板をルータで外寸４８０×４４２ｍｍ、内寸４１２ｍｍ×３２９ｍｍの門型形状に加工した。さらに、ヤスリがけを行い基材と接する端面が鋭角になるように仕上げ、搬送用治具を作製した。
次に、板厚０．０５ｍｍ、銅箔厚１２μｍ、サイズ４０５×３３５ｍｍの両面銅張積層板（住友ベークライト製ＥＬＣ−４７８５ＧＳ）に、公知の方法により孔明け、スルーホールメッキ、回路形成を行い、両面に回路パターンが形成された薄板基材を作製した。
回路パターンが形成された薄板基材に、公知の方法でレジスト塗工、レジスト露光を行った。
レジスト露光を終えた薄板基材を、図２のように薄板基材の搬送方向の前端と幅方向の両端が、搬送用治具と約３ｍｍ重なるように配置してテープ（Ideal Tape Company製9190）で貼り付けた。つまり、薄板基材の搬送方向の前端と幅方向の両端は、搬送用治具にしっかり固定され、搬送方向の後端は、搬送用治具の後端よりも約１０ｍｍ前に位置するように貼り付けた。
【００３１】
薄板基材を貼り付けた搬送用治具は、自動投入機用の揺動可能な背もたれ棒を備えたラックの背もたれ棒の間に搬送用治具が張り出している側を下側にして１枚ずつ収納した。
搬送用治具の後端が約１０ｍｍ張り出すように薄板基材を貼り付けているので、ラックに立てかけても、薄板基材の後端はラックに接触せず、背もたれ棒の揺動動作でもラックの底部と擦れることの無いように保護されている。
ローラコンベア方式の薬液処理装置での搬送時に、搬送用治具の薄板基材を貼り付けた面が上側になるような向きで、薄板基材を貼り付けた搬送用治具を収納したラックを自動投入機にセットし、自動投入作業を起動した。
搬送用治具に薄板基材を貼り付けたことで、図８（ｃ）のように寄りかかった状態を保ち、図８（ｄ）のように搬送用治具の下端がフックにのり、エスカレータベルトが上昇中も図２２のごとく、煽られることもなく、正常に投入することができた。
現像・水洗・熱風乾燥ラインに投入された搬送用治具に貼り付けた薄板基材は、搬送方向前方端と幅方向の両端の３辺を搬送用治具に貼り付けられているために、ローラコンベアの間から脱落して搬送不能になったり、薄板基材が折れたり、割れたり、破れたりというトラブルの発生は無く、現像・水洗・熱風乾燥処理を完了できた。
【００３２】
その後、吊下げ式乾燥炉の搬入用コンベアに搬送されてきた搬送用治具に貼り付けた薄板基材は、搬送方向前方端の搬送用治具がリフトチャックにクランプされ、上昇し、搬送用爪の位置まで持ち上げられ、搬送用爪に受け渡された。リフトチャックと搬送用爪にクランプされる部分は、どちらも剛性の高い搬送用治具の部分であり、クランプすることで破れるようなトラブルは発生しなかった。
搬送用爪に吊下げられた搬送用治具に貼り付けた薄板基材は、チェーンの回動により乾燥ゾーン・冷却ゾーンを通過し、搬出用コンベアの上方に達した。搬出用コンベアの上方に達した搬送用治具に貼り付けられた薄板基材は、基材受取アームに受け渡され、搬出用コンベア上に載せられ、自動受取機へ送られたが、基材受取アームも搬送用治具の部分をクランプするので、トラブルの発生は無かった。
自動受取機へ送られた搬送用治具に貼り付けた薄板基材は、搬送用治具が張り出している側を上側にして搬送用治具の搬送方向前端がＬ型ラックの底部に接する向きで、Ｌ型ラックに立てかけられた。
【００３３】
このように、揺動可能な背もたれ棒を備えたラックに収納し、自動投入機にセットして以降、自動受取機でＬ型ラックに受け取られるまでの一連の処理は自動で行われ、人手を必要としなかった。Ｌ型ラックに受け取られた搬送用治具薄板基材を、１枚ずつテープを剥がし確認したところ、折れ・割れ・破れなどの不良は発生していなかった。搬送用治具自体も折れ・割れ・破れの発生は無く、再使用可能な状態であった。
搬送用治具から取り外した薄板基材にＮｉＡｕメッキを施したところ、ＮｉＡｕメッキの不具合の発生も無く、処理槽間での液切り状態も問題なかったことが確認できた。
【００３４】
（比較例１）
板厚０．５０ｍｍ、銅箔厚３５μｍ、サイズ５１５×５１５ｍｍの両面銅張積層板（松下電工製Ｒ−１７６６）の両面の銅箔を塩化第二鉄エッチング液で全面除去した。搬送用治具として銅箔を除去した前記積層板をルータで外寸４８０×４４２ｍｍに加工し、その内側を内寸３９９ｍｍ×３２９ｍｍにくり抜いて、図１３に示したような中央部がロの字型の形状をした従来型の先導板を作製した。（図１３参照。）
実施例と同様に作製され、レジスト露光を終えた薄板基材を、上記のロの字型の先導板に基板と先導板とが約３ｍｍ重なるように配置し、テープ（Ideal Tape Company製9190）で貼り付けた。
以下、実施例と同様に処理した結果、薄板基材の折れ・割れ・破れなどの発生は無かったが、ＮｉＡｕメッキを施したところ、ＮｉＡｕメッキの光沢ムラが発生した。
【００３５】
（比較例２）
板厚０．８０ｍｍ、銅箔厚３５μｍ、サイズ５１５×５１５ｍｍの両面銅張積層板（松下電工製Ｒ−１７６６）を材料にして、比較例１と同様に加工して図１４に示したような中央部に門型形状の中空部を有する板基材用搬送用治具を作成した。
搬送用治具以外は、実施例と同様の条件で処理を行った結果、薄板基材の折れ・割れ・破れの発生は無かったが、乾燥ジミに起因するＮｉＡｕメッキの光沢ムラが発生した。
【００３６】
以上のように、本発明の搬送用治具を使用することで、各製造工程で発生する薄板基材の折れ・割れ・破れ等を防止できるのみでなく、処理が完了した薄板基材の表面状態で、シミや変色、ムラなどの防止をすることも可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】（ａ）は本発明の搬送用治具の平面図、（ｂ）は（ａ）の線Ａ−Ａ’に沿った断面図を示す。
【図２】（ａ）は本発明の搬送用治具へ薄板基材を取り付けた状態を示す平面図で、（ｂ）は（ａ）の線Ｂ−Ｂ’に沿った断面図を示す。
【図３】本発明の搬送用治具の寸法を説明する図である。
【図４】本発明の搬送用治具の側面図である。
【図５】搬送用治具の端面形状の効果を説明する図で、（ａ）は本発明の場合を、（ｂ）は従来の場合を示す。
【図６】本発明の搬送用治具をラックに収納した状態を示す外観斜視図である。
【図７】自動投入機の動作を説明する図である。
【図８】ラックからの薄板基材を取り出す動作の説明図である。
【図９】本発明の搬送用治具を使用した場合の液切りの様子を説明する図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）の線Ｃ−Ｃ’に沿った断面図、（ｃ）は（ａ）の線Ｄ−Ｄ’に沿った断面図である。
【図１０】自動受取機の動作を説明する図である。
【図１１】ローラコンベア方式の薬液処理装置を示す側面図である。
【図１２】ローラコンベア方式の薬液処理装置でのトラブル例の模式図である。
【図１３】従来のロの字型の形状をした搬送用治具へ薄板基材を貼り付けた状態を示す平面図である。
【図１４】従来の門型の形状をした搬送用治具へ薄板基材を貼り付けた状態を示す平面図である。
【図１５】吸水ロールの外観斜視図である。
【図１６】従来の搬送用治具を使用した場合の吸水ロールでの液だまりの様子を示した図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）の線Ｅ−Ｅ’に沿った断面図、（ｃ）は線Ｆ−Ｆ’に沿った断面図である。
【図１７】ソルダーレジスト現像・乾燥一貫ラインの構成を示す側面図である。
【図１８】吊下げ式乾燥炉の機能を説明する図である。
【図１９】ラックの外観斜視図である。
【図２０】ラックに薄板基材を収納した状態を表す側面図である。
【図２１】薄板基材をラックに立てた状態でのトラブル例を表す側面図である。
【図２２】薄板基材の自動投入機でのトラブル例を示す模式図である。
【符号の説明】
【００３８】
１  搬送用治具
１ａ，５ａ，６ａ  先導部
１ｂ、１ｃ  袖部
１ｄ  後端
２  凹部
２ａ、２ｂ、２ｃ  内側
２Ｗ  凹部の幅方向長さ
２Ｌ  凹部の搬送方向長さ
３  薄板基材
４  テープ
５，６  先導板
５ｂ，６ｂ      中空部
７  ラック
８  上側搬送ローラ
９  下側搬送ローラ
１０  スプレーノズル
１１  処理液
１２、１２ａ、１２ｂ  背もたれ棒
１３  基材取り出し位置
１４  ラック搬送ベルト
１５  エスカレータベルト
１６  フック
１７  起倒コンベア
１８  現像ライン入口のコンベア
１９  吸水ロール
２０  搬送用爪
２１  チェーン
２２  搬入用コンベア
２３  搬出用コンベア
２４  リフト
２５  リフトチャック
２６  乾燥ゾーン
２７  冷却ゾーン
２８  基材受取アーム
２９  受取アーム
３０  Ｌ型ラック
３１  コンベア
３２  自動投入機
３３  現像処理装置
３４  水洗装置
３５  熱風乾燥コンベア
３６  吊下げ式乾燥炉
３７  自動受取機
３８  液体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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