(57)【要約】【課題】信頼性が高く、表示品位の優れた表示装置を提供すること。【解決手段】本発明の一態様にかかる表示装置のＴＦＴアレイ基板１０１は、表示領域２に形成された複数の走査信号線３と、表示領域２に形成され、表示信号線５と、表示領域２内にマトリクス状に配置されたＴＦＴ３１と、表示領域２の外側に配置された額縁領域５０に設けられ、走査信号線３に対応して設けられた複数の走査引き回し配線４と、複数の走査引き回し配線４の上に設けられたゲート絶縁膜１０とゲート絶縁膜１０の上に形成され、所定の電位が供給される第１の導電層８と、を備え、第１の導電層８が、シール材１２の外側において複数の走査引き回し配線４を覆うように形成されているものである。【選択図】  図１
2008026869.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画素電極を有するアレイ基板と、
前記アレイ基板に対向配置され、対向電極を有する対向基板と、
表示領域を囲むように形成され、前記アレイ基板及び前記対向基板を貼り合わせるシール材と、
前記アレイ基板と、前記対向基板と、前記シール材と、で形成される空間に設けられた表示材料とを備えた表示装置であって、
前記アレイ基板上は、
前記表示領域に形成された複数の走査信号線と、
前記表示領域に形成され、前記複数の走査信号線と交差する複数の表示信号線と、
前記表示領域内にマトリクス状に配置され、前記走査信号線と前記表示信号線とに接続されたスイッチング素子と、
前記表示領域の外側に配置された額縁領域に設けられ、前記複数の走査信号線に対応して設けられた複数の走査引き回し配線と、
前記複数の走査引き回し配線の上に設けられた絶縁膜と、
前記絶縁膜の上に形成され、所定の電位が供給される導電層と、を備え、
前記導電層が、前記シール材の外側において前記複数の走査引き回し配線を覆うように形成されている表示装置。
【請求項２】
前記導電層の表示領域側に配置された修復パターンを備え、
前記修復パターンが前記複数の引き回し配線のそれぞれと交差する請求項１に記載の表示装置。
【請求項３】
前記導電層がシール材の直下まで延在され、
前記導電層が形成される領域のうち、前記シール材の直下の領域では、前記シール材の外側の領域よりも、前記走査引き回し配線と前記導電層との間に存在する絶縁膜の厚さが厚くなっていることを特徴とする請求項１又は２に記載の表示装置。
【請求項４】
前記導電層が前記シール材の内側まで延設され、
前記シール材の直下、及び内側において、前記走査引き回し配線と前記導電層との重なり合う面積が、前記走査引き回し配線の配置順にしたがって変化している請求項１、２又は３に記載の表示装置。
【請求項５】
前記シール材のパターンの外形端と、前記導電層のパターン端と略一致することを特徴とする請求項１又は２に記載の表示装置。
【請求項６】
前記導電層に供給される所定の電位が、前記対向電極に供給される共通電位であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の表示装置。
【請求項７】
前記導電層に供給される所定の電位が、前記対向電極に供給される共通電位の平均電位と略等しい電位であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の表示装置。
【請求項８】
前記導電層に供給される所定の電位が、表示信号線の表示信号電位の中心電位と略等しい電位であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の表示装置。
【請求項９】
前記導電層が前記表示信号線、又は前記画素電極と同じ層で形成されていることを特徴とする請求項１乃至８のいずれかに記載の表示装置。
【請求項１０】
前記スイッチング素子は薄膜トランジスタであり、前記導電膜が前記薄膜トランジスタの半導体層と同じ層で形成されていることを特徴とする請求項１乃至８のいずれかに記載の表示装置。
【請求項１１】
前記スイッチング素子は薄膜トランジスタであり、前記薄膜トランジスタの半導体層と同じ層で形成されたパターンが、前記導電層と前記絶縁膜との間に設けられていることを特徴とする請求項１乃至９のいずれかに記載の表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置は、通常、それぞれに透明電極が形成された上下一対の電極基板を、基板の画像表示部外縁に形成されたシール材により貼り合わせ、その内部に液晶を封入するよう構成されている。また、液晶表示装置には、アクティブマトリクス型とパッシブマトリクス型のものがある。アクティブマトリクス型の液晶表示装置は、スイッチング素子である薄膜トランジスタがマトリクス状に形成されたＴＦＴアレイ基板を有している。そして、ＴＦＴアレイ基板と対向基板がシール材を介して貼り合わされている。そして、ＴＦＴアレイ基板と対向基板との間には液晶が封入されている。
【０００３】
ＴＦＴアレイ基板の表示領域には、走査信号線と、表示信号線と、画素電極とが形成される。走査信号線を伝播する走査信号によって、スイッチング素子であるＴＦＴがＯＮ／ＯＦＦ制御される。表示信号線を伝播する表示信号がＴＦＴを介して画素電極に供給される。そして、画素電極に表示信号が供給されると、対向電極と画素電極との間に表示信号に応じた表示電圧が印加され、液晶が駆動する。
【０００４】
走査信号線を伝播する走査信号、及び表示信号線を伝播する表示信号とは、ドライバＩＣから供給される。従って、表示領域の外側の額縁領域には、ドライバＩＣから走査信号線、及び表示信号線までの間の引き回し配線が形成されている。さらに、額縁領域には、シール材、及び共通配線が形成される。この共通配線によって、共通電位を与えるための共通信号が伝播される。
【０００５】
ここで、額縁領域において、引き回し配線と、対向電極とが、シール材又は液晶を挟んで向き合う場合、両者の寄生容量によって、表示信号と共通信号とが、干渉してしまう。従って、そのノイズのため、表示品位が劣化してしまうことがある。
【０００６】
これを改善するため、表示信号線と接続された引き回し配線の上層に導電層を形成する文献が開示されている（特許文献１参照）。そして、導電層にグランド電位を与えることで、表示信号線を対向電極からシールドして、信号の干渉を軽減している。これにより、表示信号と共通信号との干渉に基づく表示品位の劣化を改善することができる。
【０００７】
また、表示領域の左右両外側に引き回し配線が形成される表示装置において、使用する駆動回路又は額縁領域の面積の制約により、引き回し配線長が局所的に異なる場合がある。この時に生じる配線負荷（抵抗）の差が、走査信号の遅延量の差となる。また、この表示装置では、額縁領域に、走査信号線の引き回し配線と表示信号線の引き回し配線とが交差する交差部が存在する。この交差部の数や、面積が局所的に異なることがある。これらが走査信号線の引き回し配線の配線負荷の差となり、走査信号の遅延量に差が生じてしまう。このような遅延量の差に起因する画素電極電位のばらつきが表示ムラとして視認され、表示品位が低下してしまう。
【０００８】
これを改善するための文献が開示されている（特許文献２参照）。この文献では、額縁領域に配置された走査信号線の引き回し配線の一部と重複する導電膜を形成している。そして、この導電膜と走査信号線間に容量を形成する。さらに、この導電膜以外の箇所において配線負荷が小さい引き回し配線については、導電膜との重なり面積を大きくする。これにより、引き回し配線間の配線負荷の差が低減され、表示品位の劣化を改善することができる。
【０００９】
【特許文献１】特開２００１−１８３６９６号公報
【特許文献２】特開２００５−２６６３９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
対向電極が設けられた対向基板とＴＦＴアレイ基板との間には、多くの場合、５μｍ程度のスペースしかない。また、対向電極の上には保護膜となる絶縁膜を形成しないことが多いため、ＴＦＴアレイ基板上の引き回し配線に生じる腐食反応は、対向電極との間に発生するものが多い。さらに、上記の不具合は、製造直後では発生が認められず、一定時間使用した後に発生することが多い。特に、屋外で使用される携帯電話や、自動車に搭載される表示装置は、高温、あるいは多湿下で使用されること多く、水分の浸入に起因する腐食反応が促進されてしまう。従って、上記の表示装置では、不具合発生の頻度が高くなる。
【００１１】
また、走査信号線には、ＴＦＴアレイ基板中のＴＦＴをオン／オフする走査信号が伝播される。そのため、ほとんどの時間、ＴＦＴをオフするための電位が走査信号線に供給されている。よって、対向電極に供給される共通電位との間には、１０Ｖ以上の電位差が生じてしまう。一方、表示信号線には、画像データに応じた表示信号が伝播する。このため、表示信号線の平均電位は、共通電位と略同じか数Ｖ程度の差である。従って、走査信号線と表示信号線とを比較した場合、走査信号線の方が対向電極との電位差が大きくなる。よって、走査信号線の引き回し配線に、腐食反応に起因する不具合が多く発生してしまう。このように、従来の表示装置では、引き回し配線の腐食によって、表示品位が低下してしまうという問題点がある。
本発明はこのような問題点を鑑みてなされたものであり、信頼性が高く、表示品位の高い表示装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の第１の態様にかかる表示装置は、画素電極を有するアレイ基板と、前記アレイ基板に対向配置され、対向電極を有する対向基板と、表示領域を囲むように形成され、前記アレイ基板及び前記対向基板を貼り合わせるシール材と、前記アレイ基板と、前記対向基板と、前記シール材と、で形成される空間に設けられた表示材料とを備えた表示装置であって、前記アレイ基板上には、前記表示領域に形成された複数の走査信号線と、前記表示領域に形成され、前記複数の走査信号線と交差する複数の表示信号線と、前記表示領域内にマトリクス状に配置され、前記走査信号線と前記表示信号線とに接続されたスイッチング素子と、前記表示領域の外側に配置された額縁領域に設けられ、前記複数の走査信号線に対応して設けられた複数の走査引き回し配線と、前記複数の走査引き回し配線の上に設けられた絶縁膜と、前記絶縁膜の上に形成され、所定の電位が供給される導電層とを備え、前記導電層が、前記シール材の外側において前記複数の走査引き回し配線を覆うように形成されているものである。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、信頼性が高く、表示品位の高い表示装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下に、本発明を適用可能な実施の形態が説明される。以下の説明は、本発明の実施の形態を説明するものであり、本発明が以下の実施形態に限定されるものではない。説明の明確化のため、以下の記載は、適宜、省略及び簡略化がなされている。又、当業者であれば、以下の実施の形態の各要素を、本発明の範囲において容易に変更、追加、変換することが可能であろう。尚、各図において同一の符号を付されたものは同様の要素を示しており、適宜、説明が省略される。
【００１５】
実施の形態１．
本実施の形態にかかる液晶表示装置は、ＴＦＴアレイ基板と対向基板との間に挟持された液晶を備えている。そして、ＴＦＴアレイ基板と対向基板とは、表示領域を囲むよう枠状に形成されたシール材によって貼り合わせられている。ＴＦＴアレイ基板には、走査信号線と表示信号線とが設けられている。そして、走査信号線と接続される走査引き回し配線の上層に第１の導電層を形成している。この第１の導電層は、少なくともシール材の外側で走査引き回し配線を覆うように形成され、所定の電位が与えられる。なお、本実施の形態では、以下に、表示装置の一例であるアクティブマトリクス型液晶表示装置について説明するが、本発明はアクティブマトリクス型液晶表示装置に限られるものはない。すなわち、アレイ基板と、対向基板との間に、液晶や粒子や液体等の表示材料が設けられた表示装置であれば、適用可能である。従って、一対の基板に表示材料が挟持されたセル構成を有する電子ペーパなどにも適応可能である。
【００１６】
本実施の形態にかかる液晶表示装置について図１、及び図２を用いて説明する。図１は、本実施の形態にかかる液晶表示装置に用いられる液晶表示パネルの端部の構成を模式的に示す平面図である。なお、図１では、液晶表示パネル１の右下角近傍の端部が示されている。図２では、図１のＡ−Ａ断面図である。また、本実施の形態では、ＴＦＴアレイ基板１０１には、ボトムゲート型のＴＦＴ３１が形成されているとして説明する。なお、図２では、右側に走査引き回し配線４が設けられている箇所における断面が示され、左側に表示引き回し配線６が設けられている箇所における断面が示されている。
【００１７】
矩形状のＴＦＴアレイ基板１０１上に、複数の走査信号線３が平行に形成されている。図１中、複数の走査信号線３は一定の間隔で、横方向に沿って、配置される。第１の絶縁膜であるゲート絶縁膜１０を介して走査信号線３と交差するように複数の表示信号線５が形成されている。すなわち、走査信号線３を覆うように設けられたゲート絶縁膜１０上に、表示信号線５が走査信号線３と直交する方向に沿って設けられている。図１中、複数の表示信号線５は一定の間隔で、縦方向に沿って形成される。ＴＦＴアレイ基板１０１には、例えば、ガラス基板などの透明な絶縁性基板を用いることができる。走査信号線３と表示信号線５とは、同程度の膜厚で形成されることが多い。ゲート絶縁膜１０は、例えば酸化シリコン膜や窒化シリコン膜により形成することができる。走査信号線３には、走査信号が供給され、表示信号線５には画像データに応じた表示信号が供給される。走査信号線３、及び表示信号線５は、例えば、ＡｌやＣｒなどの金属薄膜によって形成されている。
【００１８】
走査信号線３と表示信号線５との交差点近傍には、スイッチング素子であるＴＦＴ３１が形成される。ＴＦＴ３１は、表示領域２内にアレイ状に配列されている。ＴＦＴ３１は、表示信号線５と同じ層で形成されたドレイン電極及びソース電極を備えている。ソース電極とドレイン電極とは、半導体層を介して接続されている。このＴＦＴ３１を介して、表示信号線５と画素電極３２とが接続される。したがって、走査信号によってＴＦＴ３１をオン状態にすることによって、表示信号線５から画素電極３２に表示信号が供給される。これにより、対向基板１３に設けられた対向電極３３との間に、液晶３０を駆動するための駆動電圧が印加される。対向電極３３は、例えば、対向基板１３の略全面に形成され、画素電極３２と対向配置されている。なお、対向電極３３と、画素電極３２とは、例えば、ＩＴＯなどの透明導電膜で形成されている。
【００１９】
画素電極３２と表示信号線５との間には、第２の絶縁膜である層間絶縁膜１１が形成されている。そして、層間絶縁膜１１に設けられたコンタクトホールを介して、ＴＦＴのドレイン電極と、画素電極３２とが接続される。画素電極３２はアレイ状に配設される。画素電極３２が設けられている各々の箇所が画素となる。複数の画素がアレイ状に配列されている領域が表示領域２となる。表示領域２は矩形状に形成されている。走査信号線３、及び表示信号線５は表示領域２内に形成されている。そして、この表示領域２の外側が額縁領域５０となる。すなわち、表示領域２の端辺２ａよりも内側（左上側）の領域が表示領域２となり、表示領域２の端辺２ａよりも外側（右下側）の領域が額縁領域５０となる。なお、層間絶縁膜１１は、例えば酸化シリコン膜や窒化シリコン膜、あるいは有機絶縁膜により形成することができる。
【００２０】
表示領域２の外側には額縁領域５０が配置されている。額縁領域５０は、矩形状の表示領域２を囲むように配置される。すなわち、額縁領域５０は、略ロの字型に形成されている。ＴＦＴアレイ基板１０１の額縁領域５０には、端子１５が形成されている。この端子１５の上には、例えば、駆動ＩＣが実装される。駆動ＩＣは、ＴＦＴアレイ基板１０１の下辺近傍の端部に配設されている。例えば、走査信号用のドライバＩＣと表示信号用のドライバＩＣとを兼用する駆動ＩＣを用いることができる。すなわち、駆動ＩＣから、走査信号と、表示信号とが出力される。駆動ＩＣは、端子１５を介して走査信号線３と接続される走査引き回し配線４と、表示信号線５と接続される表示引き回し配線６とが接続されている。
【００２１】
額縁領域５０には、複数の表示信号線５と対応する複数の表示引き回し配線６が形成されている。複数の表示引き回し配線６は、隣の配線と導通しないように、所定の間隔を隔てて設けられている。表示引き回し配線６は、端子１５から表示領域２の下辺まで設けられている。そして、表示引き回し配線６は、表示領域２の下側の端辺２ａで、表示信号線５と接続されている。そして、駆動ＩＣからの端子１５に入力された表示信号は表示引き回し配線６を介して、表示信号線５に供給される。表示引き回し配線６と表示信号線５とは、同一の導電層で形成されている。すなわち、表示引き回し配線６と表示信号線５とは一体的にパターニングされている。なお、図１において、端子１５の近傍部分の各表示信号用引回し配線６については省略して図示している。
【００２２】
さらに、額縁領域５０には、複数の走査信号線３に対応する複数の走査引き回し配線４が形成されている。走査引き回し配線４は、表示領域２の右下の角の外側を通って、端子１５から表示領域２の右側の端辺２ａまで設けられている。そして、表示領域２内に設けられた複数の走査信号線３と複数の走査引き回し配線４とがそれぞれ接続されている。すなわち、駆動ＩＣからの走査信号は走査引き回し配線４を介して、走査信号線３に入力される。複数の走査引き回し配線４は、隣の配線と導通しないように、所定の間隔を隔てて設けられている。走査信号線３と走査引き回し配線４とは、例えば、同一の導電層で形成されている。すなわち、走査引き回し配線４と走査信号線３とは一体的にパターニングされている。額縁領域５０上に設けられた複数の走査引き回し配線４は、表示領域２の下辺側の走査信号線３から順番に接続されている。換言すると、表示領域２の最も下辺側に配置された走査信号線３と、最も左側に配置された走査引き回し配線４とが、接続される。そして、額縁領域５０の上部側に行くにしたがい、走査引き回し配線４の本数が少なくなる。
【００２３】
走査引き回し配線４の外側には、共通配線７が形成されている。共通配線７は額縁領域５０に形成されている。換言すると、走査引き回し配線４は、共通配線７と表示領域２の間に配設される。また、共通配線７は、シール材１２の外側に形成されている。共通配線７の露出部分には、トランスファ電極１６が設けられている。トランスファ電極１６は、例えば、銀ペーストのような導電材、あるいは、スペーサなどに導電性物質をコーティングした部材であり、対向電極３３と接続されている。すなわち、駆動ＩＣから端子１５を介して共通配線７に共通電位を与えるための共通信号が入力される。そして、この共通信号が、共通配線７と接続されたトランスファ電極１６を介して、対向電極３３に入力される。このように、トランスファ電極１６によって、共通配線７と対向基板１３に設けられた対向電極３３とが導通する。トランスファ電極１６は、例えば、シール材１２のパターン下以外に形成することができる。駆動ＩＣが設けられている端部と反対側の端部まで、共通配線７を延設して、そこにトランスファ電極１６を設けることも可能である。
【００２４】
走査信号線３、及び走査引き回し配線４の上には、ゲート絶縁膜１０が形成されている。すなわち、ゲート絶縁膜１０は、走査信号線３、及び走査引き回し配線４を覆うように形成される。そして、ゲート絶縁膜１０の上に、表示信号線５、表示引き回し配線６、及び共通配線７が形成される。表示信号線５、表示引き回し配線６、及び共通配線７の上には、層間絶縁膜１１が形成される。すなわち、層間絶縁膜１１は表示信号線５、表示引き回し配線６、及び共通配線７を覆うように形成される。そして、層間絶縁膜１１の上に、画素電極３２が形成される。
【００２５】
対向基板１３としては、ガラス基板などの透明な絶縁性基板が用いられる。カラー液晶表示装置では、対向基板１３に、図示しないカラーフィルタやブラックマトリクス（ＢＭ）がマトリクス状に形成される。さらに、カラーフィルタ及びＢＭの上には、画素電極３２と対向する対向電極３３が対向基板１３の略全面に設けられている。この対向電極３３は、上記のトランスファ電極１６に接続される。ＴＦＴアレイ基板１０１と対向基板１３とが対向配置され、シール材１２によって貼り合わせられている。シール材１２は、表示領域２を囲むよう枠状に形成されている。すなわち、シール材１２は、表示領域２の端辺２ａの外側に配置される。そして、シール材１２は、走査引回し配線４、及び表示信号用引回し配線６の一部の上に配置されている。
【００２６】
このような対向基板１３とＴＦＴアレイ基板１０１との間には、液晶３０が挟持される。すなわち、ＴＦＴアレイ基板１０１と対向基板１３とシール材１２とで囲まれた空間に液晶３０が封入されている。これにより、液晶表示パネル１が構成される。また、ＴＦＴアレイ基板１０１と対向基板１３との間隔を一定に保つスペーサ（図示せず）を配設してもよい。この液晶表示パネルの背面側には、バックライトユニットが配設される。バックライトユニットは、面全体に均一な光を出射する面状光源装置である。バックライトユニットは、ＬＥＤや蛍光管などの光源と、光源からの光を面全体に導く導光板と、拡散シートやプリズムシートなどの光学シートを備えている。さらに、外部の制御回路とＴＦＴアレイ基板１０１とが、例えば、フレキシブル配線基板を介して接続される。外部の制御回路からの、電源電圧、制御信号及び画像データに基づいて、駆動ＩＣが表示信号、走査信号及び共通信号を出力する。そして、対向電極３３と、画素電極３２との間に、印加される電圧によって液晶が駆動する。これにより、液晶表示パネル１の透過光量が制御される。なお、ＴＦＴアレイ基板１０１又は対向基板１３に、液晶３０を配向させるための配向膜を設けてもよい。また、液晶表示パネルには、偏光フィルム等を貼り付けてもよい。
【００２７】
ここで、額縁領域５０において、走査引き回し配線４の上には第１の導電層８が形成され、表示引き回し配線６の上には、第２の導電層９が形成されている。第１の導電層８は、ゲート絶縁膜１０の上に形成されている。第１の導電層８としては、表示信号線５と同じ層の金属薄膜を用いることができる。これにより、製造工程の増加を防ぐことができる。第１の導電層８は端子１５ａと接続されている。そして、第１の導電層８は走査引き回し配線４に沿うよう、図１中、上方向に延設されている。第１の導電層８は、複数の走査引き回し配線４を覆うよう、幅広に形成されている。また、第１の導電層８は、シール材１２に沿って形成され、シール材１２よりも幅広にパターニングされている。すなわち、第１の導電層８は、シール材１２からはみ出して形成されている。従って、第１の導電層８の一部は、シール材１２の外側に配置されている。そして、第１の導電層８はシール材１２の外側から内側まで設けられている。これにより、複数の走査引き回し配線４のうち、シール材１２の外側に配置されたほとんどの箇所が、第１の導電層８によって覆われる。すなわち、複数の走査引き回し配線４のうち、最も外側に配置された走査引き回し配線４よりも、第１の導電層８のパターンが外側に配置されている。
【００２８】
また、第１の導電層８は、走査引き回し配線４が設けられている領域のうち、対向電極３３が設けられている領域で、走査引き回し配線４を覆うように形成される。すなわち、走査引き回し配線４の上部に対向電極３３が存在する領域では、走査引き回し配線４と対向電極３３との間に第１の導電層８が配置される。そして、第１の導電層８は、複数の走査引き回し配線４を保護するよう、走査引き回し配線４と対向電極３３とが対向する略全ての領域に形成される。第１の導電層８には、端子１５ａを介して駆動ＩＣから所定の電位が供給される。
【００２９】
さらに、表示引き回し配線６の上には、第２の導電層９が形成されている。第２の導電層９は、層間絶縁膜１１の上に形成されている。第２の導電層９は、例えば、画素電極３２と同じ層によって形成することができる。これにより、製造工程の増加を防ぐことができる。第２の導電層９は、走査引き回し配線４に対する第１の導電層８と同様に、シール材１２の外側の表示引き回し配線６を覆うように形成されている。
【００３０】
第２の導電層９は端子１５ｂと接続されている。そして、第２の導電層９は複数の表示引き回し配線６を覆うよう、図１中、左方向に延設されている。また、第２の導電層９のパターンは、シール材１２に沿って形成されている。第２の導電層９は、シール材１２からはみ出して形成されている。すなわち、第２の導電層９の一部は、シール材１２の外側に配置されている。そして、第２の導電層９はシール材１２の外側から内側まで設けられている。これにより、複数の表示引き回し配線６のうち、シール材１２の外側に配置されたほとんどの箇所が、第２の導電層９によって覆われる。
【００３１】
また、第２の導電層９は、表示引き回し配線６が設けられている領域のうち、対向電極３３が設けられている領域で、表示引き回し配線６を覆うように形成される。すなわち、表示引き回し配線６の上部に対向電極３３が存在する領域では、表示引き回し配線６と対向電極３３との間に第２の導電層９が配置される。そして、第２の導電層９は、複数の表示引き回し配線６を保護するよう、表示引き回し配線６と対向電極３３とが対向する略全ての領域に形成される。第２の導電層９には、端子１５ｂを介して駆動ＩＣから所定の電位が供給される。
【００３２】
なお、液晶表示パネル１の対向基板１３の切断工程における切断ばらつきによって、対向基板１３の端辺１３ａが本来の設計位置から数百μｍ程度ずれることがある。このような場合、例えば、図１に示すように、端子１５側では、第１の導電層８や第２の導電層９が対向基板１３の端辺１３ａから、はみ出して形成される。この結果、対向電極３３が形成されていない領域に、第１の導電層８、及び第２の導電層９がはみ出す。
【００３３】
このように、第１の導電層８、及び第２の導電層９によって、引き回し配線を保護することができる。これについて、図３、及び図４について説明する。図３、及び図４はＴＦＴアレイ基板１０１の欠陥箇所近傍の構成を模式的に示す断面図である。例えば、走査引き回し配線４の上に第１の導電層８が配置されている箇所で、ゲート絶縁膜１０に膜欠陥１７やカバレッジ欠陥１８が存在するとする。ここで、膜欠陥１７では、ゲート絶縁膜１０にピンホールなどが存在し、第１の導電層８と走査引き回し配線４とが絶縁できていない。また、カバレッジ欠陥１８では、走査引き回し配線４のパターンの端がゲート絶縁膜１０によって完全に覆われていない。よって、膜欠陥１７、又はカバレッジ欠陥１８がある走査引き回し配線４では、第１の導電層８と短絡している。
【００３４】
第１の導電層８と走査引き回し配線４との導通を検査する工程を製造工程中に設けることによって、欠陥がある液晶表示パネル１を初期不良品として検出することができる。例えば、ＴＦＴアレイ基板１０１と対向基板１３とを貼り合わせて、液晶表示パネル１を製造した後に、第１の導電層８と走査引き回し配線４との導通を検査する。そして、第１の導電層８と走査引き回し配線４とが導通している場合、不良品として検出する。一方、第１の導電層８と走査引き回し配線４とが絶縁されている場合、良品として、次の製造工程に進める。これにより、不良品が次の製造工程に進むのを防ぐことができるため、生産性を向上することができる。なお、導通を検査する工程は、例えば、液晶を注入して、注入口を封止する工程の後に行うことができる。
【００３５】
一方、ゲート絶縁膜１０の膜欠陥１７やカバレッジ欠陥１８が微小である場合、第１の導電層８と走査引き回し配線４とが導通しない。すなわち、図４に示すように、第１の導電層８と走査引き回し配線４とが短絡しない程度に、膜欠陥１７やカバレッジ欠陥１８が、小さいとする。このような場合、第１の導電層８が走査引き回し配線４の上の微小な膜欠陥１７やカバレッジ欠陥１８をカバーする。従って、ＴＦＴアレイ基板１０１の表面に水分等が付着した場合でも、水分等が膜欠陥１７やカバレッジ欠陥１８に侵入するのを防ぐことができる。これにより、走査引き回し配線４が水分等から保護されるため、走査引き回し配線４に対する腐食反応を防ぐことができる。従って、表示品位の劣化を防ぐことができる。さらに、出荷後の表示品位の劣化を防ぐことができ、信頼性を向上することができる。
【００３６】
なお、上記の説明では、第１の導電層８によって、走査引き回し配線４を保護する例について示したが、図３、図４のカッコ内に示すよう第２の導電層９によって表示引き回し配線６を保護することも可能である。すなわち、図３、図４に示すように、表示引き回し配線６の上部を覆うように第２の導電層９を設ける。これにより、膜欠陥１７やカバレッジ欠陥１８から表示引き回し配線６を保護することができる。よって、表示品位の劣化を防ぐことができ、信頼性を向上することができる。
【００３７】
ここで、第１の導電層８、及び第２の導電層９に供給する電位は、対向電極３３に供給する共通電位に近い電位であることが好ましい。すなわち、対向電極３３の電位と、第１の導電層８、及び第２の導電層９との間で腐食（電蝕）反応が生じない電位差以下にするよう、第１の導電層８、及び第２の導電層９に信号を入力する。例えば、第１の導電層８、及び第２の導電層９には、端子１５から共通信号を入力することができる。これにより、第１の導電層８、及び第２の導電層９が、対向電極３３と等しい共通電位となる。よって、例えば、第１の導電層８の上の層間絶縁膜１１に欠陥が有る場合でも、水分等に起因する腐食反応が第１の導電層８に対して発生するのを防ぐことができる。
【００３８】
なお、第１の導電層８、又は第２の導電層９に端子１５から共通電位を供給する場合、第１の導電層８、又は第２の導電層９を図１中の共通配線７として機能させることも可能になる。例えば、第１の導電層８のパターン幅を共通配線７まで広くすることができる。これにより、共通配線７の実効的な配線幅が増加して、配線抵抗を低減することができる。よって、共通信号の遅延を改善することができ、表示品位を向上することができる。端子１５には、駆動ＩＣから直接、共通信号を入力してもよい。
【００３９】
なお、回路制約あるいは第１の導電層８や第２の導電層９が他の配線と交差するなどの理由で第１の導電層８や第２の導電層９に電位を供給する端子１５を設けることが困難である場合、対向電極３３から共通信号を入力することができる。具体的には、第１の導電層や第２の導電層９の上にも、トランスファ電極１６を設ける。これにより、トランスファ電極１６を介して第１の導電層８や第２の導電層９と対向電極３３が接続される。対向電極３３には、例えば、共通配線７に接続された他のトランスファ電極１６を介して駆動ＩＣから共通信号が入力されている。従って、駆動ＩＣから対向電極３３を介して第１の導電層８や第２の導電層９に共通電位が供給される。
【００４０】
なお、第１の導電層８や第２の導電層９に供給する電位は、共通電位に限られるものではない。例えば、共通電位の平均電位と同じ電位を供給してもよい。あるいは、表示信号線５を伝播する表示信号電位の中心電位と同じ電位を与えてもよい。走査信号よりも、対向電極３３の共通電位に近い電位を第１の導電層８、及び第２の導電層９に供給する。これにより、第１の導電層８や第２の導電層９と、対向電極３３との間の電位差を小さくすることができ、欠陥箇所での電食反応の発生を防ぐことができる。すなわち、共通電位と電位差の大きい走査引き回し配線４の上に、第１の導電層８を設けることによって、ＴＦＴアレイ基板１０１表面に水分等が付着した場合であっても、走査引き回し配線４に腐食反応が生じるのを防ぐことができる。
【００４１】
なお、上記の説明では、第１の導電層８が表示信号線５、及び表示引き回し配線６と同じ層で形成されている例について説明したが、これに限るものではない。例えば、第１の導電層８を画素電極３２と同じ層によって形成することも可能である。この場合、第１の導電層８、及び第２の導電層９が画素電極３２と同じ層によって形成される。また、第１の導電層８をＴＦＴ３１の半導体層と同じ層によって形成してもよい。この場合、第１の導電層８は、ゲート絶縁膜１０の上に形成され、層間絶縁膜１１に覆われる。すなわち、表示信号線５と同じ層によって形成される場合と同様、ゲート絶縁膜１０と層間絶縁膜１１との間に第１の導電層８が設けられる。さらに、上記の説明では、第２の導電層９が画素電極３２と同じ層で形成されている例について説明したが、表示信号線５と同じ層によって形成することも可能である。この場合、表示引き回し配線６を走査配線３と同じ層で形成する。そして、表示引き回し配線６と表示信号線５とを接続するため、レイヤーの変換部を形成する。これにより、第１の導電層８と第２の導電層９とが同じ導電層で形成される。また、このように下層側へレイヤー変換された表示引き回し配線６を用いる場合、ＴＦＴ３１の半導体層と同じ層などによって第２の導電層９を形成することが可能となる。なお、本発明にかかる液晶表示装置は、ボトムゲート型のＴＦＴ３１に限られるものではない。このように、ＴＦＴアレイ基板１０１の配線構成によって、第１の導電層８、及び第２の導電層９のレイヤーを適宜変更することが可能である。
【００４２】
以上のように、額縁領域５０に配置された走査引き回し配線４上に、ゲート絶縁膜１０を介して第１の導電層８を配置する。そして、少なくともシール材１２の外側では、走査引き回し配線４を第１の導電層８で覆う。これにより、ゲート絶縁膜１０に膜欠陥１７がある場合、短絡欠陥として検出することができる。よって、腐食反応による出荷後の表示品位の劣化を防ぐことができる。また、ゲート絶縁膜１０の膜欠陥１７が微小である場合、第１の導電層８によって微小な膜欠陥１７が覆われているため、腐食反応を防ぐことができる。すなわち、ＴＦＴアレイ基板１０１に付着した水分等が、ＴＦＴアレイ基板１０１の内部に侵入するのを防ぐことができる。よって、走査引き回し配線４と対向電極３３との電位差によって生じる腐食反応、及び断線発生を防止することができ、信頼性を向上することができる。さらに、第１の導電層８には、共通電位に近い電位が与えられているため、第１の導電層８と対向電極３３との間で生じる腐食反応を防ぐことができる。
【００４３】
実施の形態２．
本実施の形態では、実施の形態１と同様に、表示装置の一例である液晶表示装置について説明する。本実施の形態にかかる液晶表示装置について図５、及び図６を用いて説明する。図５は、液晶表示パネル１の端部の構成を示す平面図であり、図６は、図５のＢ−Ｂ断面図である。なお、本実施の形態にかかる液晶表示装置の基本的構成については、実施の形態１と同様であるため、説明を省略する。例えば、第１の導電層８は、シール材１２の外側において、走査引き回し配線４の略全てを覆うように形成されている。
【００４４】
さらに、本実施の形態にかかる液晶表示装置のＴＦＴアレイ基板１０１は、図５に示すように、修復パターン１９を有している。この修復パターン１９によって走査引き回し配線４の短絡を修復することができる。修復パターン１９は、第１の導電層８よりも表示領域２側に形成されている。すなわち、修復パターン１９は、表示領域２の端辺２ａと第１の導電層８との間に配置されている。そして、修復する前は、修復パターン１９と走査引き回し配線４は絶縁されている。
【００４５】
図５に示すように、修復パターン１９は、第１の導電層８のパターンから分岐されている。すなわち、第１の導電層８と修復パターン１９との間の領域では、走査引き回し配線４の上に導電膜が形成されていない。また、修復パターン１９は、図６に示すように、層間絶縁膜１１とゲート絶縁膜１０との間に配置されている。さらに、本実施の形態では、図６に示すように、第１の導電層８が層間絶縁膜１１の上に形成されている。すなわち、修復パターン１９は、表示信号線５と同じ層で形成され、第１の導電層８は画素電極３２と同じ層で形成されている。修復パターン１９は、層間絶縁膜１１に設けられたコンタクトホール３６、３７を介して第１の導電層８に接続されている。すなわち、修復パターン１９の両端が第１の導電層８と重複し、その重複する領域に２つのコンタクトホール３６、３７が形成されている。
【００４６】
ここで、コンタクトホール３６はシール材１２の外側に配置されている。また、コンタクトホール３６は、ＴＦＴアレイ基板１０１の対向基板１３が設けられていない領域に形成されている。一方、コンタクトホール３７は、シール材１２の内側に配置されている。ここで、修復パターン１９は、複数の走査引き回し配線４のそれぞれと、２箇所で交差するよう形成されている。すなわち、対向基板１３が設けられていない領域において、修復パターン１９は走査引き回し配線４のそれぞれと交差する。さらに、表示領域２と第１の導電層８の間において、修復パターン１９は、走査引き回し配線４のそれぞれと交差する。このように、修復パターン１９はそれぞれの走査引き回し配線４を２回横切るよう形成されている。換言すると、シール材１２外側のコンタクトホール３６において第１の導電層８から分岐された修復パターン１９は、シール材１２の外側で、走査引き回し配線４のそれぞれの上を横切った後、シール材１２の内側まで延設される。さらにシール材１２の内側まで延設された修復パターン１９は、再度、走査引き回し配線４のそれぞれの上を横切った後、コンタクトホール３７において第１の導電層８と接続される。ここで、コンタクトホール３７は、修復パターン１９が全ての走査引き回し配線４の上を横切るよう、コンタクトホール３６が設けられた側と反対側の端部まで延設される。従って、例えば、コンタクトホール３７は駆動ＩＣ側の端部と反対側の端部近傍に配置される。
【００４７】
このような修復パターン１９を形成することによって、走査引き回し配線４の短絡を修復することができる。例えば、図７に示すように層間絶縁膜１１に膜欠陥１７が存在し、走査引き回し配線４ａが第１の導電層８と短絡してしまったとする。この場合、走査引き回し配線４ａが短絡したままでは、走査引き回し配線４と接続された走査信号線３に走査信号を入力することができない。よって、表示領域２に線欠陥が発生してしまう。このような短絡を、修復パターン１９によって、修復することができる。
【００４８】
具体的には、膜欠陥１７の両側に導通部２１、２３を形成する。すなわち、シール材１２の外側において、走査引き回し配線４ａと修復パターン１９とが交差する箇所に導通部２１を形成する。また、シール材１２の内側において、走査引き回し配線４ａと修復パターン１９とが交差する箇所に導通部２３を形成する。導通部２１は、例えば、交差箇所にレーザ光を照射することによって形成される。すなわち、交差箇所にレーザ光を照射することによって、修復パターン１９と短絡した走査引き回し配線４ａとが導通する。そして、修復パターン１９と第１の導電層８とを切断部２２において切断する。切断部２２は、導通部２１、２３よりも修復パターン１９の端部側の２箇所に形成される。具体的には、導通部２１とコンタクトホール３６との間に１つの切断部２２が形成され、導通部２３とコンタクトホール３７との間にもう一つの切断部２２が形成される。ここで、切断部２２にレーザ光を照射することによって、第１の導電層８から修復パターン１９を切断することができる。さらに、膜欠陥１７による短絡箇所を挟むように、２つの切断部２０を形成する。切断部２０では、レーザ照射等によって走査引き回し配線４ａが切断される。走査引き回し配線４ａを切断する２つの切断部２０の間に、膜欠陥１７による短絡箇所が配置される。これにより、走査引き回し配線４ａの両端部分が短絡箇所と切り離される。切断部２０は、第１の導電層８と重複しない箇所に形成される。
【００４９】
このように、短絡した走査引き回し配線４ａと修復パターン１９との交差箇所に２つの導通部２１、２３を形成し、修復パターン１９に２つの切断部２２を形成し、かつ走査引き回し配線４ａに２つの切断部２０を形成することで、短絡した走査引き回し配線４ａの信号経路をバイパスすることができる。すなわち、短絡した走査引き回し配線４ａと接続される走査信号線３には、端子１５から走査引き回し配線４ａ、導通部２１、修復パターン１９、導通部２３、走査引き回し配線４ａの順番で、走査信号が供給される。よって、走査引き回し配線４ａに対応する走査信号線３に、このバイパス経路を介して走査信号を入力することができる。これにより、走査引き回し配線４ａと修復パターン１９とが短絡することによって生じる線欠陥を修復することができる。よって、線欠陥がなく、表示品位の高い表示装置を提供することができる。
【００５０】
なお、導通部２１、２３や切断部２２を形成する際のレーザ照射で、層間絶縁膜１１がダメージを受けることがある。このダメージ箇所に水分等が付着して、かつダメージ箇所の近傍に異なる電位を持つ配線等が存在すると、走査引き回し配線４とその配線等の間で腐食反応を起こすことがある。このような腐食反応を防ぐため、導通部２１、及び１つの切断部２２は、対向電極３３と対向しない領域に形成することが好ましい。すなわち、対向電極３３が設けられている領域の外側に、レーザ光を照射して、導通部２１、及び一つの切断部２２を形成する。一方、導通部２３、及びもう一つの切断部２２は、水分の浸入がほとんどない、シール材１２の内側に形成することが好ましい。従って、対向基板１３の端辺１３ａよりも外側において、レーザ光を照射して、一つの切断部２２と導通部２１を形成する。これにより、対向電極３３が設けられていない領域に、１つの切断部と導通部２１とが形成される。さらに、シール材１２の内側の表示領域２近傍において、レーザ光を照射して、もう一つの切断部２２と導通部２３を形成する。これにより、液晶３０が充填され、外部からの水分等の浸入がほとんど無い箇所に１つの切断部２２と導通部２３が形成される。よって、レーザ照射箇所における電食反応を防ぐことができ、表示品位を向上することができる。
【００５１】
上記の修復工程を製造工程に組み込むことで、線欠陥を修復することができる。例えば、第１の導電層８と走査引き回し配線４との導通を検査する検査工程で、第１の導電層８と導通している走査引き回し配線４ａを特定する。検査工程は、例えば、ＴＦＴアレイ基板１０１と対向基板１３との貼り合わせ工程の後に行うことができる。第１の導電層８と短絡した走査引き回し配線４ａに対して、導通部２１、２３を形成する。さらに、２つの切断部２２を形成し、修復パターン１９と第１の導電層８を切断する。これにより、短絡が発生した不良品を修復して、次の製造工程に進ませることができる。よって、生産性を向上することができる。なお、導通を検査する工程は、例えば、液晶を注入して、注入口を封止する工程の後に行うことができる。
【００５２】
このように、第１の導電層８から分岐した修復パターン１９を設けることで、第１の導電層８と走査引き回し配線４の短絡を修復することができる。すなわち、修復パターン１９を、短絡箇所を回避する冗長配線として利用することができるため、歩留まり改善を図ることができる。なお、上記の説明では、走査引き回し配線４に対する構成について、主に説明したが、表示引き回し配線６に対しても修復パターン１９を設け、修復することが可能である。なお、上記のコンタクトホール３６、３７を形成せずに、短絡箇所を修復することも可能である。この場合、修復パターン１９が第１の導電層８と電気的に接続されていないフローティング状態となる。この構成では、切断部２２を形成せずに、バイパス経路を形成することができる。よって、簡便に短絡を修復することができる。
【００５３】
実施の形態３．
本実施の形態では、実施の形態１と同様に、表示装置の一例である液晶表示装置について説明する。本実施の形態にかかる液晶表示装置について図８、及び図９を用いて説明する。図８は、液晶表示パネル１の端部の構成を示す平面図であり、図９は、図８のＣ−Ｃ断面図である。なお、本実施の形態にかかる液晶表示装置の基本的構成については、実施の形態１と同様であるため、説明を省略する。すなわち、第１の導電層８は、シール材１２の外側において、走査引き回し配線４の略全てを覆うように形成されている。
【００５４】
本実施の形態では、走査引き回し配線４が、第１の導電層８に加えて第３の導電層２８によって覆われている。ここで、第３の導電層２８は、シール材１２のパターンの直下において、走査引き回し配線４を覆う。従って、第１の導電層８は、シール材１２の外形端の外側、及び内形端の内側に離間して配置されている。換言すると、第１の導電層８は、シール材１２に沿って、シール材１２の両側に形成されている。そして、離間した第１の導電層８の間の領域であって、層間絶縁膜１１の上に、第３の導電層２８が形成されている。第３の導電膜２８は、例えば、画素電極３２と同じ層で形成することができる。
【００５５】
ここで、第１の導電層８は、実施の形態１と同様に、表示信号線５と同じ層で形成されているが、第３の導電層２８は、層間絶縁膜１１の上に形成している。これにより、シール材１２直下の絶縁膜を他の箇所よりも厚くすることができる。従って、シール材１２の直下の領域では、シール材１２の外側の領域及びシール材１２の内側の領域よりも、走査引き回し配線４との導電層の間に存在する絶縁膜の厚さが厚くなっている。すなわち、シール材１２の直下の領域において、第１の導電層８と、走査引き回し配線４の間に存在するゲート絶縁膜１０、及び層間絶縁膜１１の合計膜厚が、シール材１２直下以外の領域よりも厚くなっている。なお、シール材１２の形成工程において、最大２００μｍ程度の位置ズレがあるため、導電層と走査引き回し配線４との絶縁膜を厚くする領域は、この位置ズレのばらつきを考慮して設定する。
【００５６】
このように、シール材１２の直下の領域に対して、絶縁膜を厚く形成することによって、貼り合わせ工程における絶縁膜のダメージを軽減することができる。すなわち、貼り合わせ工程では、ＴＦＴアレイ基板１０１と対向基板１３との間にシール材１２を設け、両基板を圧着しながら、シール材１２を硬化する。この圧着時において、シール材１２直下では、絶縁膜にダメージが生じることがある。特に、シール材１２に所定のセルギャップ（基板間隔）を維持するためのスペーサを含有させる場合がある。このようなスペーサは、例えば、数ミクロン径のビーズ状、あるいは棒状に、ガラスや硬質樹脂などの硬い材料から構成される。このような場合、圧着時に、シール材１２の直下の層間絶縁膜１１に傷、あるいは凹みなどの欠陥が生じる可能性が高い。シール材１２中のスペーサによって第１の導電層８と走査引き回し配線４とが短絡することがある。しかしながら、本実施の形態では、走査引き回し配線４の上層に形成された絶縁膜が厚くなっているため、ダメージが緩和される。
【００５７】
このように、本実施の形態では、走査引き回し配線４を覆う導電層を、シール材直下とそれ以外とで、異なる層で形成する。そして、シール材１２直下の領域で、絶縁膜の合計厚さが厚くなるようにする。このとき、シール材１２直下のみ、絶縁膜の層数を増やしてもよく、１層以上の絶縁膜の厚さを厚くしてもよい。これにより、シール材１２直下の領域において、絶縁膜の合計厚さを厚くすることができる。従って、圧着時におけるシール材１２直下でのダメージを軽減することができ、表示品位を向上することができる。なお、上記の説明では、走査引き回し配線４について説明したが、表示引き回し配線６についても同様である。すなわち、シール材１２直下において、表示引き回し配線６を覆う第４の導電層２９を、第２の導電層９と異なる層で形成する。これにより、シール材１２直下の絶縁膜の合計膜厚が厚くなり、シール材１２直下に生じるダメージを軽減することができる。よって、表示品位を向上することができる。なお、本実施の形態では、表示引き回し配線６と走査引き回し配線４とが同じ層で形成されている。そして、表示引き回し配線６と表示信号線５とを接続するため、レイヤーの変換部を形成する。また、第１の導電層８と第２の導電層９とが同じ導電層で形成される。従って、表示引き回し配線６が、表示信号線５と同じ層の第２の導電層９と、画素電極３２と同じ層の第４の導電層２９で覆われる。
【００５８】
このように、シール材１２が形成される領域では、導電層と走査引き回し配線４との間に存在する絶縁膜を、他の領域よりも厚くする。これにより、スペーサによる欠陥発生を防ぐことができる。なお、上記の説明では、走査引き回し配線４に対する構成について、主に説明したが、表示引き回し配線６についても、シール材直下とそれ以外とで、上層の絶縁膜の厚さを変えてもよい。
【００５９】
実施の形態４．
本実施の形態では、実施の形態１と同様に、表示装置の一例である液晶表示装置について説明する。本実施の形態にかかる液晶表示装置について図１０、及び図１１を用いて説明する。図１０は、液晶表示パネル１の端部の構成を示す平面図であり、図１１は、図１０のＤ−Ｄ断面図である。なお、本実施の形態にかかる液晶表示装置の基本的構成については、実施の形態１と同様であるため、説明を省略する。すなわち、第１の導電層８は、シール材１２の外側において、走査引き回し配線４の略全てを覆うように形成されている。
【００６０】
本実施の形態では、第１の導電層８のパターン端をシール材１２のパターン端１２ａと略一致させている。すなわち、シール材１２の外形端と、第１の導電層８の内側のパターン端が略同じ位置にある。従って、第１の導電層８は、シール材１２の内側まで延設されていない。さらに、シール材１２の直下のほとんどの領域には、第１の導電層８が設けられていない。
【００６１】
なお、シール材１２の形成工程において、最大２００μｍ程度の位置ずれがあるため、この位置ずれのばらつきを考慮して、シール材１２と第１の導電層８とは、図１１に示すように、ある程度オーバラップするように形成する。もちろん、第１の導電層８とシール材１２とを重ならないように形成して、第１の導電層８をシール材１２の外側のみに配置してもよい。このようにした場合でも、シール材１２の外側で対向電極３３と対向する領域では、第１の導電層８が走査引き回し配線４のほとんど全ての部分を覆う。従って、腐食反応の発生を防ぐことがきる
【００６２】
さらに、上記の構成とすることによって、第１の導電層８のパターンが小さくなる。従って、第１の導電層８と走査引き回し配線４とが重複する領域の面積が小さくなる。これにより、第１の導電層８と走査引き回し配線４とが短絡する確率を減少させることができる。よって、初期検査での歩留まりを向上することができ、生産性を向上することができる。例えば、液晶を注入して、注入口を封止する工程の後に導通を検査することで、歩留まりを改善することができる。
【００６３】
また、本実施の形態では、シール材１２にバリア性を持つ材料を用いることが好ましい。すなわち、シール材１２自体に、水分を通しにくい材質を用いる。この場合、液晶表示パネル１の外部にある水分、あるいは液体が、シール材１２内に浸入することを防ぐことができる。このように、シール材１２に水分等の浸入を軽減する材質を用いた場合、走査引き回し配線４と、対向電極３３との間で、腐食反応が発生する領域は、シール材１２の外側となることが多い。従って、シール材１２の外側のみに第１の導電層８を形成した場合でも、表示品位の劣化を防ぐことができる。
【００６４】
このように、対向電極３３と対向し、かつシール材１２のパターン端１２ａよりも外側の領域では腐食反応が生じやすい。従って、この領域を中心に第１の導電層８を形成することで、実用上十分なレベルで、腐食反応の発生を防ぐことができる。さらに、第１の導電層８と走査引き回し配線４との重複面積を減らすことができるため、短絡確率を低減することができる。加えて、容量の増加による配線負荷の増加を防ぐことができ、信号遅延を防ぐことが可能となる。これにより、表示品位を向上することができる。
【００６５】
実施の形態５．
本実施の形態では、実施の形態１と同様に、表示装置の一例である液晶表示装置について説明する。本実施の形態にかかる液晶表示装置について図１２を用いて説明する。図１２は、液晶表示パネル１の端部の構成を示す平面図である。なお、本実施の形態にかかる液晶表示装置の基本的構成については、実施の形態１と同様であるため、説明を省略する。すなわち、第１の導電層８は、シール材１２の外側において、走査引き回し配線４の略全てを覆うように形成されている。
【００６６】
さらに、本実施の形態では、第１の導電層８のパターン形状が実施の形態４と異なっている。具体的には、走査引き回し配線４と第１の導電層８との重なり合う面積が、走査引き回し配線４の配置順にしたがって段階的に変化するよう、第１の導電層８のパターンを徐々に変化させている。ここで、大部分がシール材１２の外側に配置される走査引き回し配線４では、第１の導電層８との重複面積が広くなる。一方、大部分がシール材１２の内側に配置される走査引き回し配線４では、第１の導電層８との重複面積が小さくなる。この重複面積の違いによって、走査引き回し配線４間で、容量が変化する。すなわち、重複面積によって、走査引き回し配線４の容量が変化して、信号の遅延量が変化する。例えば、大部分がシール材１２の外側に配置される走査引き回し配線４では、容量が大きく増加する。一方、大部分がシール材１２の内側に配置される走査引き回し配線４では、容量の増加がほとんどない。
【００６７】
ここで、重複面積が異なり、容量の増加量が大きく異なる走査引き回し配線４が隣接すると、信号遅延の差が表示に現れてしまうことがある。すなわち、隣接する走査引き回し配線４で信号遅延の差が大きいと、表示として認識される程度の画素電位の差となり表示ムラが発生してしまう。このような場合、上記のように、第１の導電層８のパターン形状を徐々に変化させて、重複面積を走査引き回し配線４毎に徐々に変化させる。これにより、隣接する走査引き回し配線４の間における信号遅延の差を低減することができる。このように、本実施の形態によれば、走査引き回し配線４の容量増加を段階的に変化させることができるため、信号遅延も段階的に変化する。そして、その変化が表示上認識できないレベルまで低減することが可能となり、表示品位を向上することができる。
【００６８】
具体的には、配線長の長い走査引き回し配線４については、シール材１２の外側のみ第１の導電層８を重複させる。一方、配線長の短い走査引き回し配線４については、シール材１２の内側においても第１の導電層８を重複させる。そして、その間の走査引き回し配線４については、シール材１２の直下の一部分、及び外側において第１の導電層８を重複させる。従って、図１２に示すように第１の導電層８のパターン幅は、上下方向の位置によって、異なる。シール材１２の直下、あるいは内側の領域において、第１の導電層８が形成されている領域を走査引き回し配線４毎に徐々に減らしていく。
【００６９】
このように、走査引き回し配線４と第１の導電層８との重複面積を走査引き回し配線４毎に徐々に変化させる。例えば、走査引き回し配線４が設けられている順に、シール材１２の直下、及び内側における重複面積を減少させる。すなわち、シール材１２の直下、及び内側において、走査引き回し配線４と第１の導電層８との重なり合う面積が、走査引き回し配線４の配置順にしたがって変化している。これにより、走査引き回し配線４の負荷が、徐々に変化する。従って、負荷の変化に伴う信号遅延量の差によって生じる画素電極電位の差が視認されるレベル以下にまで抑制することが可能になる。
【００７０】
実施の形態６．
本実施の形態では、実施の形態１と同様に、表示装置の一例である液晶表示装置について説明する。本実施の形態にかかる液晶表示装置について図１３を用いて説明する。図１３は、液晶表示パネル１の端部の構成を示す断面図であり、図１のＡ−Ａ断面を示している。なお、本実施の形態にかかる液晶表示装置の基本的構成については、実施の形態１と同様であるため、説明を省略する。すなわち、第１の導電層８は、シール材１２の外側において、走査引き回し配線４の略全てを覆うように形成されている。
【００７１】
図１３に示すように、本実施の形態では、走査引き回し配線４が、第１の導電層８に加えて第５の導電層２５によって覆われている。第５の導電層２５は、第１の導電層８と略同じ形状を有している。そして、第１の導電層８よりも走査引き回し配線４側において、第１の導電層８と重複するように、第５の導電層２５が配置される。
【００７２】
ここで、第５の導電層２５は、ＴＦＴ３１の半導体層と同じ層によって形成される。従って、走査引き回し配線４を覆うゲート絶縁膜１０の上に第５の導電層２５が形成され、さらにその上に第１の導電層８が積層される。すなわち、第１の導電層８とゲート絶縁膜１０との間に、ＴＦＴ３１の半導体層と同じ層で形成された半導体パターン（第５の導電層２５）が設けられている。よって、第１の導電層８の下側において、走査引き回し配線４が半導体パターン（第５の導電層２５）に覆われる。
【００７３】
また、図１３において、表示引き回し配線６が、第２の導電層９に加えて第６の導電層２６によって覆われている。第６の導電層２６は、第２の導電層９と略同じ形状を有している。そして、第２の導電層９よりも表示引き回し配線６側において、第２の導電層９と重複するように、第６の導電層２６が配置される。
【００７４】
ここで、第６の導電層２６は、ＴＦＴ３１の半導体層と同じ層によって形成される。このため、表示引き回し配線６を走査配線３と同じ層で形成し、表示引き回し配線６と表示信号線５とを接続するため、レイヤーの変換部を形成する。これにより、第１の導電層８と第２の導電層９とが同じ導電層で形成される。従って、表示引き回し配線６を覆うゲート絶縁膜１０の上に第６の導電層２６が形成される。さらに、この第６の導電層２６を覆う層間絶縁膜１１の上に、第２の導電層９が積層される。すなわち、第２の導電層９とゲート絶縁膜１０との間に、ＴＦＴ３１の半導体層と同じ層で形成された半導体パターン（第６の導電層２６）が設けられている。よって、第２の導電層９の下側において、表示引き回し配線６が半導体パターン（第６の導電層２６）に覆われる。
【００７５】
なお、上記の説明では、第２の導電層２６が画素電極３２と同じ層で形成されている例について説明したが、図１４のように表示信号線５と同じ層によって形成してもよい。図１４は、液晶表示パネル１の端部の別の構成を示す断面図であり、図１のＡ−Ａ断面を示している。この場合、第２の導電層２６は、表示信号線５及び第１の導電層８と同じ層で形成される。従って、表示引き回し配線６を覆うゲート絶縁膜１０の上に第６の導電層２６が形成され、さらにその上に第２の導電層９が積層される。第５、第６の導電層２５、２６として、例えば、アモルファスシリコンが用いられる。
【００７６】
このように、本実施の形態では、半導体層と同じ層で形成された第５の導電層２５が、第１の導電層８とゲート絶縁膜１０との間に設けられる。すなわち、第１の導電層８よりも下側において、第１の導電層８よりも導電率の低い第５の導電層２５に走査引き回し配線４が覆われる。これにより、第１の導電層８と走査引き回し配線４とが短絡する確率を低減することができ、歩留まりを向上することができる。例えば、液晶を注入して、注入口を封止する工程の後に導通を検査することで、不良品が次の製造工程に進むのを防止でき、生産性を向上できる。また、表示引き回し配線６についても同様の効果を奏する。
【００７７】
なお、実施の形態６では、第１の導電層８のパターン形状が実施の形態１と同様の場合について例示的に説明をしたが、これに限るものではない。例えば、実施の形態２〜５と同様のパターン形状を有していてもよく、適宜これらを組み合わせることができる。また、実施の形態１〜６では、走査引き回し配線４と対向電極３３とが対向する略全ての領域に、第１の導電層８を形成する場合について説明したが、これに限定されるものではない。走査引き回し配線４と対向電極３３とが対向する一部の領域に第１の導電層８を形成し、残りの略全ての領域は樹脂コーティング等により走査引き回し配線の腐食を防止してもよい。額縁領域５０のうち、駆動ＩＣが実装されるＴＦＴアレイ基板１０１の端辺では、比較的容易に樹脂コーティングが可能である。この場合、樹脂コーティングが困難な駆動ＩＣ実装領域以外の辺において、第１の導電層８を形成するとよい。上記の説明は、表示引き回し配線６についても同様である。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】実施の形態１にかかる液晶表示装置の液晶表示パネルの端部の構成を示す平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】ＴＦＴアレイ基板の欠陥近傍の構成を示す断面図である。
【図４】ＴＦＴアレイ基板の軽微な欠陥近傍の構成を示す断面図である。
【図５】実施の形態２にかかる液晶表示装置の液晶表示パネルの端部の構成を示す平面図である。
【図６】図５のＢ−Ｂ断面図である。
【図７】実施の形態２にかかる液晶表示装置において、断線を修復した後の液晶表示パネルの端部の構成を示す平面図である。
【図８】実施の形態３にかかる液晶表示装置の液晶表示パネルの端部の構成を示す平面図である。
【図９】図８のＣ−Ｃ断面図である。
【図１０】実施の形態４にかかる液晶表示装置の液晶表示パネルの端部の構成を示す平面図である。
【図１１】図１０のＤ−Ｄ断面図である。
【図１２】実施の形態５にかかる液晶表示装置の液晶表示パネルの端部の構成を示す平面図である。
【図１３】実施の形態６にかかる液晶表示装置の液晶表示パネルの端部の構成を示す断面図である。
【図１４】実施の形態６にかかる液晶表示装置の液晶表示パネルの端部の別の構成を示す断面図である。
【符号の説明】
【００７９】
１  液晶表示パネル、２  表示領域、２ａ  表示領域の端辺、３  走査信号線、
４  走査引き回し配線、５  表示信号線、６  表示引き回し配線、
７  共通配線、８  第１の導電層、９  第２の導電層、１０  ゲート絶縁膜、
１１  層間絶縁膜、１２  シール材、１２ａ  シール材のパターン端、１３  対向基板、１３ａ  対向基板の端辺、１５  端子、１６  トランスファ電極、
１７  膜欠陥、１８  カバレッジ欠陥、１９  修復パターン、２０  切断部、
２１  導通部、２２  切断部、２３  導通部、２５  第５の導電層、
２６  第６の導電層、２８  第３の導電層、２９  第４の導電層、３０  液晶、
３１  ＴＦＴ、３２  画素電極、３３  対向電極、３６  コンタクトホール、
３７  コンタクトホール、５０  額縁領域、１０１  ＴＦＴアレイ基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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