(57)【要約】【課題】弾性体からの低分子量物質の染み出し抑制効果、トナー離型性に優れ、かつ繰り返しの画像形成によってもヒビ割れを生じにくい十分な可撓性を備えた表面を有する現像ローラを提供する。【解決手段】トナーを担持搬送し、感光ドラムの静電潜像をトナーで現像するための現像ローラであり、軸芯体、弾性層及び表面層をこの順に有し、該表面層は、ケイ素原子と化学結合している炭素原子を含む酸化ケイ素膜を含み、該酸化ケイ素膜は、ケイ素原子と化学結合を形成している酸素原子のケイ素原子に対する存在比（Ｏ／Ｓｉ）が０．６５以上１．９５以下であり、かつ、ケイ素原子と化学結合を形成している炭素原子のケイ素原子に対する存在比（Ｃ／Ｓｉ）が０．０５以上１．６５以下である。【選択図】図１
2008292986.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
トナーを担持搬送し、感光ドラムの静電潜像をトナーで現像するための現像ローラであって、
軸芯体、弾性層及び表面層をこの順に有し、
該表面層は、ケイ素原子と化学結合している炭素原子を含む酸化ケイ素膜を含み、
該酸化ケイ素膜は、ケイ素原子と化学結合を形成している酸素原子のケイ素原子に対する存在比（Ｏ／Ｓｉ）が０．６５以上１．９５以下であり、かつ、ケイ素原子と化学結合を形成している炭素原子のケイ素原子に対する存在比（Ｃ／Ｓｉ）が０．０５以上１．６５以下であることを特徴とする現像ローラ。
【請求項２】
前記表面層の膜厚が、１５ｎｍ以上５０００ｎｍ以下である請求項１に記載の現像ローラ。
【請求項３】
前記表面層の膜厚が、３００ｎｍ以上３０００ｎｍ以下である請求項２に記載の現像ローラ。
【請求項４】
前記表面層を有する弾性層の引張弾性率が、１．０ＭＰａ以上１００．０ＭＰａ以下である請求項１乃至３のいずれか１項に記載の現像ローラ。
【請求項５】
回転している現像ローラに５０Ｖの電圧を印加させた際に計測される電流値が、５μＡ以上５０００μＡ以下である請求項１乃至４のいずれかに記載の現像ローラ。
【請求項６】
前記表面層が前記弾性層の表面を被覆しており、かつ、該表面層が前記酸化ケイ素膜からなっている請求項１〜５のいずれか１項に記載の現像ローラ。
【請求項７】
電子写真画像形成装置本体に脱着可能に装着される電子写真プロセスカートリッジであって、
組み込まれた現像ローラが、請求項１乃至６のいずれか１項に記載の現像ローラであることを特徴とする電子写真プロセスカートリッジ。
【請求項８】
感光ドラム及び該感光ドラムに当接して配置される現像ローラを有する電子写真画像形成装置であって、
該現像ローラが、請求項１乃至６のいずれか１項に記載の現像ローラであることを特徴とする電子写真画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複写機、レーザープリンタの如き電子写真画像形成装置において用いられる現像ローラ、該現像ローラを備える電子写真プロセスカートリッジ及び電子写真画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
感光ドラム上の静電潜像をトナーにより可視化する現像方式として、弾性層を備えた現像ローラにトナーを担持させ、感光ドラムに当接しさせて現像を行う接触現像方式が提案されている。
【０００３】
接触現像に用いる現像ローラは、トナーを搬送しながら当接部材へ当接させられる。そのため現像ローラの表面のタック性が強い場合、搬送しているトナーが現像ローラ上に付着したままとなることがある。このように現像ローラ表面に付着したトナーは、その後現像ローラと感光ドラムの間で、繰り返し圧接されて徐々に劣化し、最終的には現像ローラ表面において融着し、フィルミングを引き起こすことがある。
【０００４】
かかるトナーのフィルミング防止対策をした現像ローラとして、トナーに対して離型性を有する無機粒子を弾性層の表面に振り掛けて付着させ、トナーに対する良好な帯電性を有し、かつフィルミングを抑制した弾性層付きのものが提案されている（特許文献１）。
【０００５】
しかし、本発明者らの検討によれば、この無機粒子は表面に付着している程度であるために、使用中に容易に脱離し、フィルミングの抑制効果を長期間に亘って持続させることは困難であった。
【０００６】
また、弾性層を備えた現像ローラにおいては、画像品位や感光ドラムの寿命に影響を与えることがある。
【０００７】
弾性層から染み出す低分子量物質の感光ドラムへの付着を抑制する必要があるが、特許文献１に係る現像ローラでは、当該低分子量物質の可能ドラムへの付着を良好に防ぐことは困難であった。
【０００８】
特許文献１では、その発明の詳細な説明の欄には、従来のトナーのフィルミング対策として弾性層の表面に少なくとも１種類の樹脂をコーティングしたタイプの現像ローラも挙げられている。そしてこのような現像ローラは、当該コーティング層の不十分な可撓性や弾性体に対する接着性により、信頼性に問題があったことも記載している。
【特許文献１】特開平０９−６２０８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明者らは、上記事情に鑑みて、接触現像に関係して、電子写真画像の高品位化をより一層を図る上で、以下のような要件を満たした表面層を備えた現像ローラの開発が重要であるとの認識を得るに至った。
１．弾性層からの低分子量成分の染み出しを有効に抑制できること。
２．トナー離型性に優れた表面を有すること。
３．十分な可撓性を有し、繰り返しの画像形成によってもヒビ割れを生じにくいこと。
【００１０】
したがって、本発明の課題は、上記１〜３の要件を満たした表面層を備えた現像ローラを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明者らは上記課題を解決するため、鋭意検討し、表面層を形成する材料を特定することにより達成できることを見出し、ついに本発明に至った。
【００１２】
すなわち、本発明は、トナーを担持搬送し、感光ドラムの静電潜像をトナーで現像するための現像ローラであって、
軸芯体、弾性層及び表面層をこの順に有し、
該表面層は、ケイ素原子と化学結合している炭素原子を含む酸化ケイ素の膜を含み、
該酸化ケイ素の膜は、ケイ素原子と化学結合を形成している酸素原子のケイ素原子に対する存在比（Ｏ／Ｓｉ）が０．６５以上１．９５以下であり、かつ、ケイ素原子と化学結合を形成している炭素原子のケイ素原子に対する存在比（Ｃ／Ｓｉ）が０．０５以上１．６５以下であることを特徴とする現像ローラである。
【００１３】
また、本発明に係る電子写真プロセスカートリッジは、電子写真画像形成装置本体に脱着可能に装着される電子写真プロセスカートリッジであって、組み込まれた現像ローラが、上記の現像ローラであることを特徴とする。
【００１４】
さらに、本発明に係る電子写真画像形成装置は、感光ドラム及び該感光ドラムに当接して配置される現像ローラを有する電子写真画像形成装置であって、該現像ローラが、上記の現像ローラであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明にかかる現像ローラによれば、弾性層からの低分子量物質の染み出しを有効に抑制できる。即ち、長時間、電子写真感光体に当接させた場合にも、当該電子写真感光体の表面への該弾性層から染み出した低分子量物質の付着を有効に抑えられる。その結果、安定して高品位な電子写真画像を得ることができる。
【００１６】
また、本発明にかかる現像ローラによれば、その表面におけるフィルミングの発生が抑制され、安定した画像を形成することができる。さらに、本発明にかかる現像ローラによれば、使用に伴うその表面層の剥離が有効に抑制できる。そのため、現像ローラのより一層の耐久性の向上を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明の現像ローラの１例の断面図を図１に示す。
【００１８】
本発明の現像ローラ１は、通常、金属の如き導電性材料で形成される軸芯体１１を有し、その外周面上に少なくとも１層の弾性層１２があり、さらに外周面に少なくとも１層の表面層１３が積層されている。
【００１９】
＜軸芯体１１＞
軸芯体１１は、本図では円柱状であるが、中空円筒状であってもよい。
【００２０】
現像ローラ１は、一般的に、電気的なバイアスを印加又は接地されて使用される。そこで、軸芯体１１は、支持部材であると共に、導電材として少なくとも表面が導電性であることが好ましい。従って、軸芯体１１は、少なくとも外周面がその上に形成される弾性層１２に所定の電圧を印加するに十分な導電性の材質からなる。具体的な軸芯体の構成としては以下のものが例示できる。
・Ａｌ、Ｃｕ合金、ＳＵＳの如き金属又は合金製の軸芯体。
・ＣｒやＮｉのメッキを表面に施した鉄製軸芯体。
・ＣｒやＮｉのメッキを表面に施した合成樹脂製の軸芯体。
【００２１】
電子写真画像形成装置に利用される現像ローラでは、軸芯体１１は、通常、外径４ｍｍから１０ｍｍの範囲とするのが適当である。
【００２２】
＜弾性層１２＞
弾性層１２は、原料主成分としてゴム又は樹脂を用いた成型体である。なお、原料主成分のゴムとして、従来、現像ローラに用いられている種々のゴムを用いることができる。具体的には、以下のものが挙げられる。エチレン−プロピレン−ジエン共重合ゴム（ＥＰＤＭ）、アクリルニトリル−ブタジエンゴム（ＮＢＲ）、クロロプレンゴム（ＣＲ）、天然ゴム（ＮＲ）、イソプレンゴム（ＩＲ）、スチレン−ブタジエンゴム（ＳＢＲ）、フッ素ゴム、シリコーンゴム、エピクロロヒドリンゴム、ＮＢＲの水素化物、多硫化ゴム、ウレタンゴムなど。
【００２３】
また、原料主成分の樹脂は主に熱可塑性樹脂であり、以下のものが挙げられる。低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）、高密度ポリエチレン（ＨＤＰＥ）、直鎖状低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）、エチレン−酢酸ビニル共重合樹脂（ＥＶＡ）の如きポリエチレン系樹脂；ポリプロピレン系樹脂；ポリカーボネート樹脂；ポリスチレン系樹脂；ＡＢＳ樹脂；ポリイミド；ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレートの如きポリエステル樹脂；フッ素樹脂；ポリアミド６、ポリアミド６６、ＭＸＤ６の如きポリアミド樹脂など。
【００２４】
そして、これらゴム及び樹脂は、単独であるいは２種以上を混合して用いられる。
【００２５】
さらに、本発明の現像ローラでは、弾性層自体に要求される機能に必要な、導電剤や非導電性充填剤のような成分、また、ゴム及び樹脂成型体とする際に利用される各種添加剤成分、例えば、架橋剤、触媒、分散促進剤の如きを原料主成分に適宜配合できる。
【００２６】
導電剤としては、イオン導電機構によるイオン導電性物質と、電子導電機構による導電付与剤があり、どちらか一方、或いは併用することも可能である。
【００２７】
電子導電機構による導電剤としては、以下のものが挙げられる。アルミニウム、パラジウム、鉄、銅、銀の如き金属の粉や繊維；酸化チタン、酸化スズ、酸化亜鉛の如き金属酸化物；硫化銅、硫化亜鉛等の如き金属化合物粉；適当な粒子の表面に酸化スズ、酸化アンチモン、酸化インジウム、酸化モリブデン、亜鉛、アルミニウム、金、銀、銅、クロム、コバルト、鉄、鉛、白金、ロジウムの如きを電解処理、スプレー塗工、混合振とうの如きにより付着させた粉；アセチレンブラック、ケッチェンブラック（商品名）、ＰＡＮ系カーボンブラック、ピッチ系カーボンブラック、カーボンナノチューブの如きカーボンブラック系の導電剤など。
【００２８】
また、イオン導電機構による導電付与剤として、以下のものが挙げられる。ＬｉＣＦ3ＳＯ3、ＮａＣｌＯ4、ＬｉＣｌＯ4、ＬｉＡｓＦ6、ＬｉＢＦ4、ＮａＳＣＮ、ＫＳＣＮ、ＮａＣｌの如きアルカリ金属塩；ＮＨ4Ｃｌ、ＮＨ4ＳＯ4、ＮＨ4ＮＯ3等のアンモニウム塩；Ｃａ（ＣｌＯ4）2、Ｂａ（ＣｌＯ4）2の如きアルカリ土類金属塩；これらの塩の１，４−ブタンジオール、エチレングリコール、ポリエチレングリコール、プロピレングリコール、ポリプロピレングリコールの如き多価アルコールやそれらの誘導体との錯体；これらの塩のエチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、ポリエチレングリコールモノメチルエーテル、ポリエチレングリコールモノエチルエーテルの如きモノオールとの錯体；第四級アンモニウム塩の如き陽イオン性界面活性剤；脂肪族スルホン酸塩、アルキル硫酸エステル塩、アルキルリン酸エステル塩の如き陰イオン性界面活性剤；ベタインの如き両性界面活性剤など。
【００２９】
これら導電剤は、単独で又は２種類以上を混合して使用することができる。
【００３０】
その他、弾性層に導電性を付与する手段として、導電剤に代えて、あるいは、導電剤とともに、導電性高分子化合物を添加する手法も利用できる。
【００３１】
導電性高分子化合物とは、ポリアセチレンの如き共役系を有するポリマーをホストポリマーとし、これにＩ2の如きドーパントをドープして導電化した高分子化合物である。
【００３２】
ホストポリマーとしては、例えば、以下のものが挙げられる。ポリアセチレン、ポリ（ｐ−フェニレン）、ポリピロール、ポリチオフェニン、ポリ（ｐ−フェニレンオキシド）、ポリ（ｐ−フェニレンスルフィド）、ポリ（ｐ−フェレンビニレン）、ポリ（２、６−ジメチルフェニレンオキサイド）、ポリ（ビスフェノールＡカーボネート）、ポリビニルカルバゾール、ポリジアセチレン、ポリ（Ｎ−メチル−４−ビニルピリジン）、ポリアニリン、ポリキノリン、ポリ（フェニレンエーテルスルフォン）など。
【００３３】
ドーパントしては、Ｉ2の他、以下のものが挙げられる。Ｃｌ2、Ｂｒ2、ＩＣｌ、ＩＣｌ3、ＩＢｒ、ＩＦ3の如きハロゲン類；ＰＦ5、ＡｓＦ5、ＳｂＦ5、ＦｅＣｌ3、ＡｌＣｌ3、ＣｕＣｌ2の如きルイス酸類；Ｌｉ、Ｎａ、Ｒｂ、Ｃｓの如きアルカリ金属類；Ｂｅ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｃ、Ｂａの如きアルカリ土類金属類、パラトルエンスルホン酸、ベンゼンスルホン酸、アントラキノンスルホン酸、ナフタレンスルホン酸、ナフタレンジスルホン酸、ナフタレントリスルホン酸の如き芳香族スルホン酸又はそのアルカリ金属塩など。
【００３４】
これらの内、カーボンブラック系の導電剤は、比較的安価かつ容易に入手でき、また、主成分のゴム及び樹脂材料の種類に依らず、良好な導電性を付与できるため、好適である。
【００３５】
主成分のゴム及び樹脂材料中に、微粉末状の導電剤を分散させる手段としては、従来から利用される下記の手段を主成分のゴム及び樹脂材料に応じて適宜利用すればよい。例えば、ロールニーダー、バンバリーミキサー、ボールミル、サンドグラインダー、ペイントシェーカーの如きが挙げられる。
【００３６】
充填剤及び増量剤としては、以下のものが挙げられる。シリカ、石英微粉末、ケイソウ土、酸化亜鉛、塩基性炭酸マグネシウム、活性炭酸カルシウム、ケイ酸マグネシウム、ケイ酸アルミニウム、二酸化チタン、タルク、雲母粉末、硫酸アルミニウム、硫酸カルシウム、硫酸バリウム、ガラス繊維、有機補強剤、有機充填剤など。
【００３７】
これらの充填剤は表面を有機ケイ素化合物で処理して疎水化してもよい。
【００３８】
酸化防止剤としては、ヒンダードフェノール系酸化防止剤、フェノール系酸化防止剤、リン系酸化防止剤、アミン系酸化防止剤、硫黄系酸化防止剤の如き高分子化合物に対して使用される公知のものを適宜選択して使用できる。
【００３９】
加工助剤としては、公知の材料が使用可能である。具体的には、ステアリン酸、オレイン酸の如き脂肪酸、脂肪酸の金属塩やエステルなどが使用できる。
【００４０】
例えば、ゴム成型体をシリコーンゴムで作製するには、液状シリコーンゴムを主剤として用い、ポリオルガノハイドロジェンシロキサンを架橋成分とし、白金系触媒を用いて、ゴム成分相互の架橋を図る。
【００４１】
なお、感光ドラムと当接して、ニップ幅を確保し、加えて、好適なセット性を満たすものとするためには、弾性層の厚さは、好ましくは、０．５ｍｍ以上、より好ましくは１．０ｍｍ以上とする。また、弾性層の厚さの上限は、作製される現像ローラの外径精度を損なわない限り、特にない。しかしながら、弾性層の厚さを過度に厚くすると、現像ローラと当接部材を長時間当接させたまま放置すると、当接箇所の変形が大きくなり、歪みが残るので好ましくない。したがって、実用上、弾性層の厚さは６．０ｍｍ以下とするのが適当であり、５．０ｍｍ以下がより好ましい。なお、弾性層の厚さは、目的とするニップ幅を達成するため、その硬さに応じて、適宜決定する。
【００４２】
なお、本発明では、この弾性層の成形は、従来から知られている押出成形法、射出成形法等によって可能であるが、特に限定されない。層構成としては本発明に記載された特徴を有すれば、限定されず、２層以上とすることもできる。
【００４３】
また、表面層を有する弾性層の引張弾性率は、特に限定されるものではないが、１．０ＭＰａ以上１００．０ＭＰａ以下であることが好ましく、１．０ＭＰａ以上３０．０ＭＰａ以下であることがより好ましい。表面層を有する弾性層の引張弾性率を上記数値範囲内とすることにより、現像ローラを電子写真感光体等の当接部材へ長期間当接したまま放置しておいた場合でも、現像ローラの当接部に圧接永久歪が発生しにくい。また、当接部材と現像ローラ間を通過するトナーにかかる圧力が大きくなり過ぎず、トナーの外添剤の脱離や埋没、及びトナー内のワックス等の染み出しを有効に抑制することができる。
【００４４】
本発明における引張弾性率は、ＪＩＳ−Ｋ７１１３：１９９５に記載された方法に準じて測定される。なお、本発明においては、図２に示すように、長さ１００ｍｍでローラ半周分であるサンプルを現像ローラ１から切り取って、引張弾性率測定用試験片４０とする。
【００４５】
測定には、万能引張試験機「テンシロンＲＴＣ−１２５０Ａ」（商品名、株式会社オリエンテック製）を使用する。また、測定環境は、温度２０℃、湿度６０％ＲＨとする。測定は、試験片の両端各１０ｍｍをチャックに取り付け、チャック間長さ８０ｍｍ、測定速度２０ｍｍ／ｍｉｎで行う。得られた引張弾性率５試料の平均値を算出し、当該現像ローラの表面層を有する弾性層の引張弾性率とする。
【００４６】
＜表面層１３＞
本発明の現像ローラは、図１に示したように、弾性層１２の表面を被覆している表面層１３を有する。該表面層は、ケイ素原子と化学結合している炭素原子を含む酸化ケイ素膜（以降「ＳｉＯｘ膜」と記載することがある）の膜を含む。即ち、表面層１３に含まれるＳｉＯｘの膜は、Ｓｉ−Ｏ及びＳｉ−Ｃの化学結合を有する。そして、ケイ素原子と化学結合している酸素原子のケイ素原子に対する存在比（Ｏ／Ｓｉ）が０．６５以上１．９５以下である。また、ケイ素原子と化学結合を形成している炭素原子のケイ素原子に対する存在比（Ｃ／Ｓｉ）が０．０５以上１．６５以下である。
【００４７】
前記の存在比Ｏ／Ｓｉは１．３０以上１．８０以下であることがより好ましい。存在比Ｏ／Ｓｉが０．６５より小さいと弾性層から汚染物質がブリードするのを防ぐことが困難であり、現像ローラとして使用する際、当接する感光ドラムへの汚染が問題となる場合がある。また１．９５超では、ＳｉＯｘ膜自体が硬く、ヒビ割れが生じやすく、現像ローラとして使用した際、得られた画像にはヒビに起因してスジが発生しやすい。
【００４８】
また、前記の存在比Ｃ／Ｓｉは０．１０以上０．７０以下であることがより好ましい。存在比Ｃ／Ｓｉが０．０５より小さいと、酸化ケイ素の膜と弾性層表面との密着性が低下し、均一かつ適正な表面層を得ることが困難となることがある。また存在比Ｃ／Ｓｉが１．６５超では膜の表面がタック（粘着）性になりやすく、現像ローラとして使用する際、トナーへの離型性が低下し、フィルミングが発生しやすくなる。
【００４９】
なお、表面層中の各元素の存在比率は次のようにして求める。
【００５０】
Ｘ線光電子分光装置「Ｑｕａｎｔｕｍ２０００」（商品名、アルバック・ファイ株式会社製）を用い、Ｘ線源をＡｌＫαとして、現像ローラの表面層１３の表面をＳｉの２ｐ軌道、Ｏ及びＣの１ｓ軌道の結合エネルギーに起因するピークを測定する。それぞれのピークから各原子の存在比を算出し、得られた存在比よりＯ／Ｓｉ及びＣ／Ｓｉを求める。
【００５１】
また、ＳｉＯｘの化学結合については、フーリエ変換赤外分光分析(ＦＴ−ＩＲ)装置「ＳｐｅｃｔｒｕｍＯｎｅ」（商品名、株式会社パーキンエルマージャパン製）により、現像ローラの表面層１３を構成するＳｉＯｘ膜の表面のＩＲ測定にて確認する。すなわち、Ｓｉ−Ｏ振動ピーク（４５０ｃｍ-1）、Ｓｉ−Ｃ伸縮ピーク（８００−８２０ｃｍ-1）の存在により、Ｓｉ―Ｏ及びＳｉ−Ｃの化学結合の存在を確認する。なお、後述する方法にて形成される本発明に係る表面層のＯ／Ｓｉ及びＣ／Ｓｉの値の位置におけるバラツキは殆ど生じ得ないため、測定箇所は表面層の一箇所でよい。
【００５２】
本発明にかかるＳｉＯｘの膜を弾性層の上に形成する方法としては、以下の方法が挙げられる。ディップコート、スプレーコート、ロールコート、リングコートの如き湿式コート法；真空蒸着、スパッタリング、イオンプレーティングの如き物理的気相成長（ＰＶＤ）法；プラズマＣＶＤ、熱ＣＶＤ、レーザーＣＶＤの如き化学的気相成長（ＣＶＤ）法など。
【００５３】
中でも、弾性層と表面層（ＳｉＯｘ膜）との密着性や処理時間及び処理温度、装置の簡便性、得られる表面層の均一性を考慮すると、プラズマＣＶＤ法が好ましい。
【００５４】
以下に、プラズマＣＶＤ法によるＳｉＯｘ膜の形成方法の１例を示す。
【００５５】
なお、図３は、このプラズマＣＶＤ法によるＳｉＯｘ膜を形成する装置の模式図である。
【００５６】
本装置は、真空チャンバ４１、平行に置かれた平板電極４２、原料ガスボンベ及び原料液体タンク４３、原料供給手段４４、チャンバ内のガス排気手段４５、高周波を供給する高周波供給電源４６及び弾性ローラ４８を回転するモータ４７により構成されている。
【００５７】
図３に示した装置を用いて、下記の手順（１）〜（４）によりＳｉＯｘ膜を表面層として有する現像ローラを製造することができる。
・手順（１）平板電極４２の間に軸芯体上に弾性層が形成された弾性ローラ４８を設置し、得られるＳｉＯｘの膜が均一となるように、モータ４７を駆動させて周方向に回転させる。
・手順（２）排気手段により、真空チャンバ４１内を真空に引く。
・手順（３）原料ガス導入口より原料ガスを導入し、平板電極４２に高周波供給電源４６により高周波電力を供給し、プラズマを発生させ、成膜を行う。
・手順（４）所定時間経過した後、原料ガス及び高周波電力供給を停止し、真空チャンバ４１内に空気又は窒素を大気圧まで導入（リーク）し、弾性ローラ４８を取り出す。
【００５８】
以上のような手順により炭素を含有するＳｉＯｘ膜からなる表面層を有する現像ローラを製造することが可能である。なお、プラズマＣＶＤ処理される弾性ローラ４８は、均一なプラズマ雰囲気下に置けるのであれば多数本を同時に処理してもよい。
【００５９】
ここで、原料ガスとして、通常、ガス状の或いはガス状化した有機ケイ素化合物を、必要により炭化水素化合物とともに、不活性ガス、酸化性ガス等の気体の共存下或いは不存在下に導入する。上記炭化水素化合物の例としては、例えば、トルエン、キシレン、メタン、エタン、プロパン、アセチレン等が挙げられる。
【００６０】
なお、有機ケイ素化合物としては、以下のものが挙げられる。１、１、３、３−テトラメチルジシロキサン、ヘキサメチルジシロキサン、ビニルトリメチルシラン、メチルトリメトキシシラン、ヘキサメチルジシラン、メチルシラン、ジメチルシラン、トリメチルシラン、テトラメチルシラン、ジエチルシラン、プロピルシラン、フェニルシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、オクタメチルシクロテトラシロキサンなど。
【００６１】
取扱い上の安全面から、１、１、３、３−テトラメチルジシロキサン、ヘキサメチルジシロキサン、テトラメチルシランが好ましい。
【００６２】
シラン源としては、有機ケイ素化合物に限定されるものではなく、シラン、アミノシラン、シラザンなども用いることができる。
【００６３】
なお、有機ケイ素化合物等がガス状であればそのまま使用し、常温で液体であれば加熱し気化させて不活性ガスにより搬送して、あるいは、不活性ガスにてバブリングして搬送して用いる。さらに常温で固体のものでは、加熱して気化させ、不活性ガスにより搬送して用いる。また、原料物質を減圧状態において、気化を促進させても良い。
【００６４】
なお、原料の有機ケイ素化合物が含酸素化合物である時は、酸素が無くてもＳｉＯｘ膜を堆積することが可能である。また、上記原料ガスとともに、又は原料ガスに加えて、真空チャンバ内へ、酸素、酸化力を有するガス（Ｎ2Ｏ、ＣＯ2等）の如き酸化性ガスを導入する。また、上記で使用できる不活性ガスとして、ヘリウム、アルゴン、窒素の如きを挙げることができる。
【００６５】
ＳｉＯｘ膜におけるケイ素原子、ケイ素原子に化学結合している酸素原子、及びケイ素原子に化学結合している炭素原子の存在比率は、導入する原料ガスの配合比、供給する高周波電力等により制御することが可能である。
【００６６】
具体的には、例えば、前記した有機ケイ素化合物と酸素ガスとの配合比において、酸素ガスの比率を高めることによりＯ／Ｓｉの値を増加させることができる。酸素ガスの比率を低下させることでＣ／Ｓｉの値を増加させることができる。
【００６７】
また、高周波電力を増加させることにより、Ｏ／Ｓｉ並びにＣ／Ｓｉの値を低下させることができる。更に、前記した炭化水素化合物を併用することにより、当該炭化水素化合物の使用量に応じて、Ｏ／Ｓｉ並びにＣ／Ｓｉの値を増加させることができる。
【００６８】
また、湿式法によるＳｉＯｘ膜の製造方法としては以下の方法が例示される。
【００６９】
無機高分子前駆体溶液（例えば、パーヒドロポリシラザン溶液等）と水酸基を有する高分子溶液（例えば、２−ヒドロキシエチルメタクリレート等）の混合物を、弾性層上に均一に塗布し、次いで加熱や紫外線の照射により当該混合物の塗膜を硬化させる方法。そして、この方法においては、無機高分子前駆体溶液と高分子溶液のモル比を変化させることによりＯ／Ｓｉ並びにＣ／Ｓｉの値を制御することができる。ここで、ＳｉＯｘ膜用の原料混合物を弾性層上に塗布する前に、弾性層表面に、該混合物が上手く塗布できるように、紫外線照射や電子線照射、あるいはプラズマ処理の如き活性化処理を施しても良い。
【００７０】
このようにして形成されたＳｉＯｘ膜の厚さは、１５ｎｍ以上５０００ｎｍ以下であることが好ましく、３００ｎｍ以上３０００ｎｍ以下であることがより好ましい。膜厚を上記の数値範囲内とすることで、長期の使用に伴う摩耗に対しても実用上十分となる。また、前記したＣＶＤ法でＳｉＯｘの膜を製造した場合であっても弾性層が過度に昇温して、弾性層の特性が変化してしまうことを有効に抑制できる。
【００７１】
なお、形成されたＳｉＯｘの膜の膜厚は、薄膜測定装置（商品名：Ｆ２０−ＥＸＲ；ＦＩＬＭＥＴＲＩＣＳ社製）を用いて、現像ローラの長手方向を端部より等間隔に３箇所、かつ周方向に等間隔に３箇所の合計９箇所を測定し、得られた値の平均値である。
【００７２】
また、本発明における現像ローラは、図４のようにして、現像ローラを回転させてＤＣ５０Ｖ印加させた際に計測される電流値が５μＡ以上５０００μＡ以下であることが好ましく、１００μＡ以上５００μＡ以下であることがより好ましい。該電流値を上記数値範囲とすることで、電子写真感光ドラムに形成された静電潜像をトナーにより現像する際、現像に十分な現像バイアスを得やすい。そのため、十分な濃度の電子写真画像を得ることができる。また電子写真感光ドラムの表面にピンホールが生じた際にもバイアスリークが発生しにくいため、当該ピンホールに起因する横スジ等が電子写真画像に発生することを有効に抑制できる。
【００７３】
直径φ４０ｍｍのＳＵＳ製円筒状電極５１に、現像ローラ１の軸芯体露出部に各５００ｇの荷重を加え、該現像ローラ１の外周面を当接させる。この状態で円筒状電極５１を回転させ、連れ周りにより、現像ローラ１を周方向に２４ｒｐｍの速度で回転させる。回転が安定したところで、直流電源５２より軸芯体に電圧を印加し、円筒状電極との間に５０Ｖの電圧をかける。なお、この時の環境は２０℃、５０％ＲＨとする。その時の電流計５３にて電流値を現像ローラ１の１周分計測し、その平均値を求めて、電流値とする。なお、本明細書ではこのようにして計測した電流値を「現像ローラの電流値」という。この現像ローラの電流値を適正かつ均一に制御することは、トナーが移動するための電界強度を適正かつ均一に保つ点で重要である。
【００７４】
上記本発明の現像ローラは、複写機、ファクシミリ、プリンタの如き画像形成装置に現像ローラとして、また、プロセスカートリッジタイプの画像形成装置においてはプロセスカートリッジの現像ローラとして有用である。
【００７５】
本発明の現像ローラを搭載したカラー電子写真画像形成装置の一例を図５に模式図と示した。この図５により以下説明する。
【００７６】
図５の模式図に示すカラー電子写真画像形成装置は、イエローＹ、マゼンダＭ、シアンＣ及びブラックＢＫの色トナー毎に設けられた画像形成部１０（１０ａ〜１０ｄ）をタンデム形式で有している。該画像形成部１０は、仕様は各色トナー特性に応じて少し差異があるものの、基本的構成において同じである。画像形成部１０には、矢印方向に回転する潜像担持体としての感光ドラム２１が設けられている。その周囲には、感光ドラム２１を一様に帯電するための帯電部材２６、一様に帯電した感光ドラム２１にレーザー光２５を照射して静電潜像を形成する露光手段、該静電潜像にトナーを供給して静電潜像を現像する現像装置２２が設けられている。更に、感光ドラム２１上のトナー像を、給紙ローラ対３７により供給され搬送ベルト３４によって搬送される紙等の記録媒体３６の裏面から電源３２に接続された転写ローラにより転写バイアスを印加して記録媒体３６上に転写する転写ローラ３１を有する転写部材が設けられている。搬送ベルト３４は、駆動ローラ３０、従動ローラ３５及びテンションローラ３３に懸架され、各画像形成部で形成されたトナー像を記録媒体３６上に順次重畳して転写するように、画像形成部と同期して移動して記録媒体３６を搬送するよう制御されている。なお、記録媒体３６は、搬送ベルト３４にさしかかる直前に設けられた、電源３２に接続されている吸着ローラ３８の働きにより、搬送ベルト３４に静電的に吸着されて、搬送されるようになっている。
【００７７】
更に、カラー電子写真画像形成装置には、記録媒体３６上に重畳転写したトナー像を加熱などにより定着する定着装置２９と、画像形成された記録媒体を装置外に排紙する搬送装置（図示せず）とが設けられている。なお、記録媒体３６は剥離装置３９の働きにより搬送ベルト３４から剥がされて定着装置２９に送られるようになっている。
【００７８】
一方、画像形成部１０には感光ドラム２１上に転写されずに残存する転写残トナーを除去し表面をクリーニングするクリーニングブレード２８を有するクリーニング部材と、感光ドラムから掻き取られたトナーを収納する廃トナー容器２７とが設けられている。クリーニングされた感光ドラム２１は画像形成可能となって待機するようになっている。
【００７９】
なお、感光ドラム２１、帯電部材２６、現像装置２２、クリーニングブレード２８及び廃トナー容器２７を一体として、プロセスカートリッジとすることも可能である。
【００８０】
上記画像形成部１０に設けられる現像装置２２には、トナー２３を収容したトナー容器２４と、トナー容器の開口を閉塞するように設置され、トナー容器から露出した部分で感光ドラムと対向する現像ローラ１が設けられている。トナー容器２４内には、現像ローラ１に当接し現像ローラ１にトナーを供給するローラ状のトナー塗布部材７と、現像ローラ１に供給したトナーを薄膜状に形成すると共に、摩擦帯電を行うトナー量規制ブレード９が設けられている。トナー塗布部材７としては、例えば、軸体上に、発泡スポンジ体やポリウレタンフォームを設けたものや、レーヨン又はポリアミドのような繊維を植毛したファーブラシ構造のものが、現像ローラ１上の残留トナーを除去する点から好ましい。このトナー塗布部材７は現像ローラ１と適切な当接幅を有して配置することが好ましく、また、現像ローラ１に対してその当接部においてカウンター方向に回転することが好ましい。
【００８１】
本発明のプロセスカートリッジは、上記したように、電子写真画像形成装置本体に脱着可能であり、上記の現像ローラを具備するものである。なお、単色の画像形成装置用のプロセスカートリッジについて、図６にその一例の模式図を示す。
【００８２】
現像ローラ１は感光ドラム２１及びトナー塗布部材７に接する状態で装着されている。トナー容器２４に入れられたトナー２３は、トナー塗布部材７によって現像ローラ１に供給することができる。このときその量はトナー量規制ブレード９で調整される。一方、帯電部材２６で帯電された感光ドラム２１上にレーザー光２５により静電潜像が形成され、該静電潜像は、現像ローラ１に担持搬送されたトナーにより顕像化され、トナー像とされる。この感光ドラム２１のトナー像は紙等の記録媒体上に転写される。そして、感光ドラム２１上に残ったトナーは、クリーニングブレード２８によって掻き取られ、廃トナー容器２７に掻き落とされる構造となっている。
【実施例】
【００８３】
以下、実施例を示し、本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれによって限定されるものではない。
【００８４】
また、使用した試薬等は、特に明記しない限り、純度９９．５％以上のものである。
【００８５】
製造例１（弾性ローラ１の製造）
下記の材料を配合して液状シリコーンゴムのベース材料とした。
・両末端ビニル基のジメチルポリシロキサン（ビニル基含有量０．１５質量％）：１００質量部、
・充填剤としての石英粉末（商品名：Ｍｉｎ−ＵＳｉｌ；Ｐｅｎｎｓｙｌｖａｎｉａ  Ｇｌａｓｓ  Ｓａｎｄ社製）：７質量部、及び、
・カーボンブラック（商品名：デンカブラック、粉状品；電気化学工業株式会社製）１０質量部。
【００８６】
上記ベース材料に、硬化触媒として塩化白金酸とジビニルテトラメチルジシロキサンとの錯体の溶液（０．５質量％）０．５質量部を配合したＡ液を調製した。また、上記ベース材料に、両末端Ｓｉ−Ｈ基のジメチルシロキサン−メチルハイドロジェンシロキサン共重合体（Ｓｉ原子に結合するＨ含有量０．３０質量％）１．５質量部を配合したＢ液を調製した。
【００８７】
円筒形金型の中心部に、表面をプライマー処理した直径６ｍｍ、長さ２５０ｍｍのＳＵＭ材製円柱状軸芯体を配置した。この金型に、Ａ液及びＢ液を質量比１：１で混合したものを注入し、温度１３０℃で２０分間、加熱硬化し、さらに温度２００℃で４時間ポストキュアーして、長さ２４０ｍｍ、厚み３ｍｍの弾性層を有する弾性ローラ１を得た。
【００８８】
製造例２（弾性ローラ２の製造）
下記の材料を直径３０ｍｍ、Ｌ／Ｄ３２の２軸押出機を用いて熔融混練し押出して樹脂混合物を調製した。
・ポリオレフィン系エラストマー（商品名：サントプレーン８２１１−２５；ＡＥＳジャパン株式会社製）：１００質量部、及び、
・ＭＴカーボンブラック（商品名：サーマックスフローフォームＮ９９０；ＣＡＮＣＡＢ社製）：４０質量部。
【００８９】
次いで、上記樹脂混合物をペレット化した。このペレットを、クロスヘッド押出機を用いて、軸芯体（直径６ｍｍ、長さ２５０ｍｍ）上に樹脂層を形成した。この樹脂層の端部を切断し、さらに樹脂層部分を回転砥石で研磨して、厚み３ｍｍの弾性層を有する弾性ローラ２を得た。
【００９０】
製造例３（弾性ローラ３の製造）
ポリオレフィン系エラストマー（サントプレーン８２１１−２５；ＡＥＳジャパン株式会社製）を、オレフィン系エラストマー（商品名：サントプレーン８２１１−４５；ＡＥＳジャパン株式会社製）に換えた以外は、上記製造例２と同様にして弾性ローラ３を得た。
【００９１】
製造例４（弾性ローラ４の製造）
ポリオレフィン系エラストマー（商品名：サントプレーン８２１１−２５；ＡＥＳジャパン株式会社製）をＬＤＰＥ（商品名：ノバテックＬＤ  ＬＪ９０２；日本ポリエチレン株式会社製）に換えた以外は、上記製造例２と同様にして弾性ローラ４を得た。
【００９２】
製造例５（弾性ローラ５の製造）
ポリオレフィン系エラストマー（商品名：サントプレーン８２１１−２５；ＡＥＳジャパン株式会社製）をＬＤＰＥ「ノバテックＬＤ  ＬＪ８０２；日本ポリエチレン株式会社製）に換えた以外は上記製造例２と同様にして弾性ローラ５を得た。
【００９３】
製造例６（弾性ローラ６の製造）
ポリオレフィン系エラストマー（商品名：サントプレーン８２１１−２５；ＡＥＳジャパン株式会社製）をＥＶＡ（商品名：エバフレックス  ＥＶ４５ＬＸ；三井・デュポンポリケミカル株式会社製）に換えた以外は上記製造例２と同様にして弾性ローラ６を得た。
【００９４】
（実施例１）
弾性ローラ１を図３に示したプラズマＣＶＤ装置内に設置した。その後、真空ポンプを用いて真空チャンバ内を１Ｐａまで減圧にした。その後、原料ガスとしてヘキサメチルジシロキサン蒸気１．０ｓｃｃｍ、酸素１．５ｓｃｃｍ及びアルゴンガス２２．５ｓｃｃｍの混合ガスを真空チャンバ内に導入し、真空チャンバ内の圧力を２５．３Ｐａとした。圧力が一定になった後、高周波電源より、周波数１３．５６ＭＨｚ、１２０Ｗの電力を平板電極に供給し、電極間にプラズマを発生させた。真空チャンバ内に設置した弾性ローラ１を２４ｒｐｍで回転させて、３分間処理した。処理終了後電力供給を停止し、真空チャンバ内に残留している原料ガスを排気し、空気を真空チャンバ内に大気圧になるまで導入した。その後、表面層が形成された現像ローラを取り出した。
【００９５】
得られた現像ローラの表面を、Ｘ線光電子分光装置で、存在比Ｏ／Ｓｉ及び存在比Ｃ／Ｓｉを求めたところ、それぞれ１．５６、０．３２であった。
【００９６】
また、現像ローラの表面層の膜厚を、薄膜測定装置（商品名：Ｆ２０−ＥＸＲ；ＦＩＬＭＥＴＲＩＣＳ社製）を用いて測定したところ、膜厚は１５３０ｎｍであった。なお、測定は現像ローラの長手方向等分された３箇所、かつ周方向等分された３箇所の合計９箇所で行い、得られた値の平均値を膜厚とした。
【００９７】
さらに、温度２０℃、湿度５０％ＲＨ環境下において、５０Ｖの電圧を印加させて、２４ｒｐｍの速度で回転させながら測定した現像ローラの電流値は、２７０μＡであった。
【００９８】
現像ローラから図２に従って作製した長さ１００ｍｍのローラ半周分の試験片を用いて測定した表面層を有する弾性層（以下、「弾性層＋表面層」という）の引張弾性率は１．０ＭＰａであった。なお、引張弾性率は、測定を５試料について、万能引張試験機（商品名：テンシロンＲＴＣ−１２５０Ａ；株式会社オリエンテック製）にて、温度２０℃、湿度６０％ＲＨの測定環境で行い、その平均値とした。
【００９９】
（実施例２）
弾性ローラ２を用い、かつ、表面層の形成におけるプラズマＣＶＤ処理の時間を４分間とした。それ以外は、実施例１と同様にして現像ローラを調製した。得られた現像ローラの各種特性について実施例１と同様に解析した。その結果を表１に示す。
【０１００】
（実施例３）
プラズマＣＶＤ処理の時間を１０秒とした以外は、実施例２と同様にして現像ローラを得た。この現像ローラの解析結果を表１に示す。
【０１０１】
（実施例４）
プラズマＣＶＤ処理の時間を８秒とした以外は、実施例２と同様にして現像ローラを得た。この現像ローラの解析結果を表１に示す。
【０１０２】
（実施例５）
プラズマＣＶＤ処理の時間を１０分とした以外は、実施例２と同様にして現像ローラを得た。この現像ローラの解析結果を表１に示す。
【０１０３】
（実施例６）
プラズマＣＶＤ処理の時間を１１分とした以外は、実施例２と同様にして現像ローラを得た。この現像ローラの解析結果を表１に示す。
【０１０４】
（実施例７）
表面層の形成において、原料ガスの組成をヘキサメチルジシロキサン蒸気１．０ｓｃｃｍ、酸素２．５ｓｃｃｍ及びアルゴンガス２１．５ｓｃｃｍとした。またプラズマＣＶＤ処理の時間を３０秒間とした。それ以外は、実施例２と同様にして現像ローラを得た。この現像ローラの解析結果を表１に示す。
【０１０５】
（実施例８）
表面層の形成において、原料ガスの組成をヘキサメチルジシロキサン蒸気１．０ｓｃｃｍ、酸素０．５ｓｃｃｍ及びアルゴンガス２３．５ｓｃｃｍとした。また、プラズマＣＶＤ処理の時間を６分間とした。それ以外は、実施例２と同様にして現像ローラを得た。この現像ローラの解析結果を表１に示す。
【０１０６】
（実施例９）
表面層の形成において、プラズマＣＶＤ処理の時間を３分とした以外は、実施例８と同様にして現像ローラを得た。この現像ローラの解析結果を表１に示す。
【０１０７】
（実施例１０）
表面層の形成において、プラズマＣＶＤ処理の時間を１分とした以外は、実施例８と同様にして現像ローラを得た。この現像ローラの解析結果を表１に示す。
【０１０８】
（実施例１１）
弾性ローラ３を用いた以外は、実施例２と同様にして現像ローラを得た。この現像ローラの解析結果を表１に示す。
【０１０９】
（実施例１２）
弾性ローラ４を用いた以外は、実施例２と同様にして現像ローラを得た。この現像ローラの解析結果を表１に示す。
【０１１０】
（実施例１３）
弾性ローラ５を用いた以外は、実施例１と同様にして現像ローラを得た。この現像ローラの解析結果を表１に示す。
【０１１１】
（実施例１４）
弾性ローラ６を用いた以外は、実施例１同様にして現像ローラを得た。この現像ローラの解析結果を表１に示す。
【０１１２】
（実施例１５）
実施例２における表面層の形成条件を、原料ガス組成１、１、３、３−テトラメチルジシロキサン蒸気１．０ｓｃｃｍ、酸素２．５ｓｃｃｍ及びアルゴンガス２２．５ｓｃｃｍ、チャンバ内圧力５０．６Ｐａ、及び高周波電源１３．５６ＭＨｚ、２００Ｗに変えた。さらに、プラズマＣＶＤ処理の時間を１分間とした。それ以外は実施例２と同様にして現像ローラを得た。この現像ローラの解析結果を表１に示す。
【０１１３】
（実施例１６）
原料ガス組成をテトラメチルシラン蒸気１．０ｓｃｃｍ、酸素０．５ｓｃｃｍ及びアルゴンガス２２．５ｓｃｃｍと変え、プラズマＣＶＤ処理の時間を１０分とした。それ以外は、実施例２と同様にして現像ローラを得た。この現像ローラの解析結果を表１に示す。
【０１１４】
（実施例１７）
弾性ローラ２の弾性層の表面をエキシマ光にて表面処理した。次いで、パーヒドロポリシラザン溶液（商品名：アクアミカＮＰ１１０−５；ＡＺエレクトロニックマテリアルズ株式会社製）２５０ｇと２−ヒドロキシエチルメタクリレート３ｇの混合溶液をディップ法により塗工した。その後、１昼夜風乾して、表面層が形成された現像ローラを得た。この現像ローラの解析結果を表１に示す。
【０１１５】
（実施例１８）
表面層の形成において、プラズマ処理の時間を６分間とした以外は、実施例１と同様にして現像ローラを得た。この現像ローラの解析結果を表１に示す。
【０１１６】
（実施例１９）
表面層の形成において、原料ガス組成をヘキサメチルジシロキサン蒸気１．０ｓｃｃｍ及びアルゴンガス２１．５ｓｃｃｍと変え、プラズマＣＶＤ処理の時間を３分とした以外は、実施例１と同様にして現像ローラを得た。この現像ローラの解析結果を表１に示す。
【０１１７】
（実施例２０）
実施例１の表面層の形成において、原料ガス組成としてヘキサメチルジシロキサン蒸気２０ｓｃｃｍを真空チャンバ内に導入し、真空チャンバ内の圧力を６Ｐａとした。さらに高周波電源により１５０Ｗの電力を平行平板電極に供給し、５分間処理した。それ以外は、実施例１と同様にして現像ローラを得た。この現像ローラの解析結果を表１に示す。
【０１１８】
（実施例２１）
実施例２０の表面層の形成において、原料ガスとしてヘキサメチルジシロキサン蒸気１０ｓｃｃｍ及びトルエン蒸気１０ｓｃｃｍの混合ガスを真空チャンバ内に導入し、真空チャンバ内の圧力を６Ｐａとした。それ以外は、実施例２０と同様にして現像ローラを得た。この現像ローラの解析結果を表１に示す。
【０１１９】
（実施例２２）
実施例２１の表面層の形成において、原料ガスとしてヘキサメチルシロキサン蒸気３ｓｃｃｍを真空チャンバ内に導入し、真空チャンバ内の圧力を２Ｐａとした。さらに高周波電源により２００Ｗの電力を平行平板電極に供給した。それ以外は、実施例２１と同様にして現像ローラを得た。この現像ローラの解析結果を表１に示す。
【０１２０】
（実施例２３）
実施例２２の表面層の形成において、原料ガスとしてヘキサメチルジシロキサン蒸気１０ｓｃｃｍ及びトルエン蒸気２０ｓｃｃｍの混合ガスを真空チャンバ内に導入し、真空チャンバ内圧力を８Ｐａとした。さらに高周波電源により３０Wの電力を平行平板電極に供給した。それ以外は、実施例２２と同様にして現像ローラを得た。この現像ローラの解析結果を表１に示す。
【０１２１】
（比較例１）
実施例１の表面層の形成において、原料ガス組成をテトラメチルシラン蒸気１．０ｓｃｃｍ、酸素２．５ｓｃｃｍ及びアルゴンガス２１．５ｓｃｃｍに変えた。また、プラズマＣＶＤ処理の時間を２分とした。それ以外は実施例１と同様にして現像ローラを得た。この現像ローラの解析結果を表１に示す。
【０１２２】
（比較例２）
実施例２０の表面層の形成において、原料ガスとしてヘキサメチルジシロキサン蒸気３０ｓｃｃｍを真空チャンバ内に導入し、真空チャンバ内の圧力を６Ｐａとした。さらに、高周波電源により２００Ｗの電力を供給した。それ以外は実施例２０と同様にして現像ローラを得た。この現像ローラの解析結果を表１に示す。
【０１２３】
（比較例３）
加熱硬化型シリコーン接着シール剤（商品名、ＴＳＥ３２５１−Ｃ；モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ社製）を固形分で５％の濃度に調整したメチルエチルケトンを主溶媒とする混合溶液を調製した。この混合溶液にカーボンブラック（商品名：デンカブラック；電気化学工業株式会社製、粉状品）を、樹脂成分に対し２１質量％添加し、十分に攪拌して表面層形成用の塗工液を調製した。
【０１２４】
弾性層の表面をエキシマ光にて表面処理した弾性ローラ１を上記塗工液に浸漬し、引き上げて乾燥させ、更に、１４０℃にて２時間加熱処理して現像ローラを得た。この現像ローラの解析結果を表１に示す。
【０１２５】
【表１】
2008292986.tif 000003
【０１２６】
＜評価１＞
上記実施例及び比較例で得られた現像ローラについて下記の評価を行った。評価結果を表２に示す。
【０１２７】
なお、評価に用いたレーザープリンタ（商品名：レーザーショットＬＢＰ−１３１０；キヤノン株式会社製）は、Ａ４用紙縦出力用のマシンであり、記録メディアの出力スピードが１６ｐｐｍ、画像の解像度が１２００ｄｐｉである。また、現像ローラのトナー量規制ブレードへの当接圧力及び進入量は、現像ローラ上のトナー担持量が０．３５ｍｇ／ｃｍ2となるようにした。
【０１２８】
（１）表面層のひび割れに由来する画像欠陥の有無、及びその程度の評価；
実施例、比較例で作成した現像ローラを、レーザープリンタ（商品名：レーザーショットＬＢＰ−１３１０；キヤノン株式会社製）のカートリッジに、現像ローラとして組み込んだ。このカートリッジを該レーザープリンタに装填し、温度２５℃、湿度５０％ＲＨの環境下で電子写真画像を出力した。具体的には、ブラックトナーを用いて１％印字物を１万枚出力し、次いで評価用のベタ黒画像及びハーフトーン画像を順に１枚ずつ出力した。なお、ハーフトーン画像は、濃度計（商品名：マクベスカラーチェッカーＲＤ−１２５５；マクベス株式会社製）を用いた測定による濃度が０．７のものである。当該ベタ黒画像及びハーフトーン画像について、現像ローラの表面層のヒビ割れに由来する画像欠陥を以下の基準に基づき評価した。
「なし」：当該画像に現像ローラ表面層のヒビ割れに起因するスジの発生が認められない。「軽微」：当該画像に現像ローラ表面層のヒビ割れに起因するスジが認められるものの、実用上問題がない。
「あり」：当該画像に現像ローラ表面層のヒビ割れに起因するスジが認められる。
【０１２９】
（２）フィルミング
上記（１）の評価に供した画像の出力後に現像ローラの表面を顕微鏡（商品名：デジタルマイクロスコープＶＨ−８０００；キーエンス社製）にて観察した。そして、フィルミングの有無、並びに上記（１）の評価に供した画像におけるフィルミング由来の画像欠陥の有無を以下の基準で評価した。
「Ａ」：現像ローラ上にフィルミングなし。
「Ｂ」：現像ローラ上に軽微にトナーのフィルミングが発生しているものの、評価画像には当該フィルミングに起因する画像欠陥が認められない。
「Ｃ」：現像ローラ上へのトナーのフィルミングが発生しており、評価画像に当該フィルミングに起因する画像欠陥が認められる。
【０１３０】
（３）染み出し
本発明に係る表面層による現像ローラの弾性層からの低分子量物質の染み出しの抑制効果を以下のようにして試験した。
【０１３１】
実施例、比較例で作成した新品の現像ローラをプロセスカートリッジに組み込み、トナー量規制ブレード及び感光ドラムと当接させたまま４０℃、９５％ＲＨの環境下で３０日間放置した。その後、放置後のプロセスカートリッジをレーザープリンタに組み込み、ベタ黒画像及びハーフトーン画像を出力した。得られた出力画像を目視にて観察し、弾性層からの染み出し物が感光ドラムへ付着したことによる電子写真画像への不具合の発生の有無及びその程度を下記の基準に基づき評価した。
「なし」：染み出し物の付着による画像の不具合はない。
「軽微」：染み出し物の付着による画像の不具合はわずかに認められるものの、実用上問題がない。
「あり」：染み出し物の付着による画像の不具合が観察される。
【０１３２】
【表２】
2008292986.tif 000004
【０１３３】
表２に示したように、評価項目（１）の結果から、本発明に係る現像ローラは、十分な可撓性を備えていることが分った。また、評価項目（２）の結果から、本発明に係る現像ローラは、トナー離型性に優れた表面を有することが分った。更に、評価項目（３）の結果から、本発明に係る現像ローラは、弾性層からの低分子量成分の染み出しを有効に抑制できることが分った。
【０１３４】
＜評価２＞
次に、実施例１〜２３にて作成した現像ローラについて、更に、下記の評価項目（４）〜（９）について評価した。その結果を表３に示す。
【０１３５】
（４）カブリ；
評価項目（１）において出力したベタ白画像を、フォトボルト反射濃度計（商品名：ＴＣ−６ＤＳ／Ａ；東京電色株式会社製）で反射濃度を測定し、未印字部分との差をカブリ（％）とし、下記基準で評価した。
Ａ：１．５％未満。
Ｂ：１．５％以上３．０％未満。
Ｃ：３．０％以上。
【０１３６】
（５）画像濃度；
評価項目（１）において出力したベタ黒画像を濃度計（商品名：マクベスカラーチェッカーＲＤ−１２５５；マクベス株式会社製）を用いて測定し、下記基準にて評価した。
Ａ：いずれも１．３以上１．６未満である。
Ｂ：一方が１．３以上１．６未満であるが、他方が１．３未満又は１．６以上である。
Ｃ：いずれも１．３未満又は１．６以上である。
【０１３７】
（６）濃度ムラ；
評価項目（１）において出力したベタ黒画像及びハーフトーン画像について、濃度ムラを目視により観察し、下記基準で評価した。なお、濃度ムラは、一般に、ハーフトーン画像で最も見やすく、ベタ黒画像では比較的見やすい。
Ａ：いずれの画像でも肉眼では確認されず良好。
Ｂ：ハーフトーン画像に濃度ムラが見られ、ベタ黒画像には濃度ムラは見られない。
Ｃ：いずれの画像でも濃度ムラが見られるもの。
【０１３８】
（７）リーク画像；
評価項目（１）において出力したベタ黒画像及びハーフトーン画像について、感光ドラムの周期で発生する横スジの発生の有無、程度を目視により確認した。そして、以下の基準で評価した。
「なし」：横スジの発生が認められない。
「軽微」：横スジの発生がわずかに認められるものの実用上問題が無い。
「あり」：横スジの発生が認められる。
【０１３９】
（８）耐久性；
評価項目（１）の評価に供した画像の出力後の現像ローラの表面をデジタルマイクロスコープ（商品名：ＶＨ―８０００；株式会社キーエンス製）にて観察し、表面層の剥離の有無及びその程度を観察し、下記の基準で評価した。
「なし」：表面層の剥離が認められなかった。
「軽微」：表面層の軽微な剥離が認められた。
「あり」：表面層の剥離が認められる。
【０１４０】
（９）セット性；
現像ローラがトナー量規制ブレードと当接していることによるセット性を下記のようにして試験した。
【０１４１】
各実施例に係る新品の現像ローラをプロセスカートリッジに組み込み、トナー量規制ブレードと当接させたまま４０℃、９５％ＲＨの環境下で３０日間放置した。その後、放置後のプロセスカートリッジをレーザープリンタに組み込み、ベタ黒画像及びハーフトーン画像を出力した。当該画像を目視にて観察し、トナー量規制ブレード当接跡による横スジの発生の有無、及びその程度を下記の基準に基づき評価した。
「なし」：当接跡に基づく横スジが認められない。
「軽微」：当接跡に基づく横スジはわずかに認められるものの、実用上問題がない。
「あり」：当接跡に基づく横スジが認められる。
【０１４２】
【表３】
2008292986.tif 000005
【図面の簡単な説明】
【０１４３】
【図１】現像ローラの１例の断面図である。
【図２】引張弾性率の測定用試験片の採取方法を示す説明図である。
【図３】プラズマＣＶＤ法によるＳｉＯｘ膜製造装置の模式図である。
【図４】現像ローラの電流値の測定方法を示す説明図である。
【図５】本発明の現像ローラを搭載した現像装置の一例を示す模式図である。
【図６】本発明の現像ローラを搭載したプロセスカートリッジを示す模式図である。
【符号の説明】
【０１４４】
１        現像ローラ
７        トナー塗布部材
９        トナー量規制ブレード
１０      画像形成部
１０ａ〜１０ｄ画像形成部（各色用）
１１      軸芯体
１２      弾性層
１３      表面層
２１      感光ドラム
２２      現像装置
２３      トナー
２４      トナー容器
２５      レーザー光
２６      帯電部材
２７      廃トナー容器
２８      クリーニングブレード
２９      定着装置
３０      駆動ローラ
３１      転写ローラ
３２      電源
３３      テンションローラ
３４      搬送ベルト
３５      従動ローラ
３６      記録媒体
３７      給紙ローラ対
３８      吸着ローラ
３９      剥離装置
４０      引張弾性率測定用試験片
４１      真空チャンバ
４２      平板電極
４３      原料ガスボンベ及び原料液体タンク
４４      原料供給手段
４５      排気手段
４６      高周波供給手段
４７      モータ
４８      弾性ローラ
５１      円筒状電極
５２      直流電源
５３      電流計
【図１】
2008292986.tif 000006
【図２】
2008292986.tif 000007
【図３】
2008292986.tif 000008
【図４】
2008292986.tif 000009
【図５】
2008292986.tif 000010
【図６】
2008292986.tif 000011