(57)【要約】【課題】複数の測定器を用いて複数の被検査機器に対して検査を実行する場合、使用測定器数を増加させることなく当該検査を実行可能として検査設備の低減を図る。【解決手段】複数の被検査機器１４に対して複数の測定器１６を用いて項目が異なる複数の検査を実行する検査装置２であって、各測定器１６を各被検査機器１４に個別に切替接続するためのリレー接点群４４ａ，４４ｂ等を含むリレーボックス８（切替接続手段）と、上記切替接続手段４２，４４の切替接続を制御するためのパーソナルコンピュータ６（制御手段）と、を備え、パーソナルコンピュータ６によりリレー接点群４４ａ，４４ｂの切替接続動作を制御して被検査機器１４それぞれに対して異なる測定器１６を用いた検査を並列実行する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の被検査機器に対して複数の測定器からなる測定器セットを用いて項目が異なる複数の検査を実行することができる検査装置であって、
各測定器を各被検査機器に個別に切替接続するための切替接続手段と、
上記切替接続手段の上記切替接続を制御するための制御手段と、
を備え、
上記制御手段により上記切替接続手段の切替接続動作を制御して少なくとも２台の被検査機器それぞれに対して異なる測定器を用いた検査を並列実行することが可能になっている、
ことを特徴とする検査装置。
【請求項２】
複数の被検査機器に対して複数の測定器からなる測定器セットを用いて項目が異なる複数の検査を実行する検査装置であって、
装置本体に、各測定器を各被検査機器に個別に切替接続するためのリレー接点群と、上記リレー接点群の切替接続動作を制御する制御手段と、を少なくとも備え、さらに、
上記装置本体に着脱可能とされ、上記被検査機器を測定位置にセットするためのフィクスチャ、を備え、
上記制御手段により、上記リレー接点群の切替接続を制御して少なくとも２台の被検査機器それぞれに対して異なる測定器を用いた検査を並列実行する制御を行う、
ことを特徴とする検査装置。
【請求項３】
上記装置本体が、フィクスチャを増設することが可能になっている、ことを特徴とする請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
上記装置本体が、フィクスチャを別のフィクスチャと交換可能になっている、ことを特徴とする請求項２または３に記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の被検査機器に対して複数の測定器を用いて検査を行う検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子機器は一般に工場で組み立てられた後、製品として出荷する前に被検査機器として種々な機能等の検査が行われる。このような被検査機器の検査には、複数の測定器を測定器セットとして必要な場合がある。
【０００３】
このような検査を１測定器セットで所定の検査工程に複数の被検査機器それぞれに検査を実行すると検査時間が長くなる。そこで、複数の測定器セットを使用し複数の被検査機器に同時並列に検査を実施すると検査時間は短縮する。
【０００４】
しかしながら、このような検査では、被検査機器数が増加すると、検査に要する測定器セット数が増大して検査設備コストが嵩む。
【０００５】
特許文献１には、１つの測定検査手段に、同種の複数の半導体素子を並列接続して同時検査を実施する検査装置が開示されている。
【０００６】
しかしながら、この検査装置でも上記と同様にして複数の測定器セットが必要となり、検査設備コストの増大は回避することができない。
【特許文献１】特許第２６４４５７９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
したがって、本発明により解決すべき課題は、複数の測定器を用いて複数の被検査機器に対して検査を行うための検査設備コストの低減を図ることである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
（１）本発明第１による検査装置は、複数の被検査機器に対して複数の測定器からなる測定器セットを用いて項目が異なる複数の検査を実行することができる検査装置であって、各測定器を各被検査機器に個別に切替接続するための切替接続手段と、上記切替接続手段の上記切替接続を制御するための制御手段と、を備え、上記制御手段により上記切替接続手段の切替接続動作を制御して少なくとも２台の被検査機器それぞれに対して異なる測定器を用いた検査を並列実行することが可能になっていることを特徴とするものである。
【０００９】
上記検査の対象は特に限定しないが、被検査機器の機能の検査が好ましい。この機能には導通検査、通信機能検査、その他の検査を例示することができる。
【００１０】
被検査機器はその種類に限定されない。半導体素子、電子機器、制御機器、等、その名称を問わず、あらゆる機器に適用することができる。
【００１１】
測定器の種類は限定せず、例えば電流計、電圧計、電力計を含むことができることはもちろんのこと、例えば被検査機器が、多数の接点の出力状態をシリアル伝送する制御機器、例えばＰＬＣ（プログラマブルロジックコントローラ）である場合、ＰＬＣの検査に必要とする、交流信号の実効値を測定するためのデジタル・マルチメータ（ＤＭＭ）、その他等を含むことができる。
【００１２】
切替接続手段は、特に限定しないが、例えばリレーを例示することができる。制御手段は、特に限定しないが、例えばパーソナルコンピュータを例示することができる。
【００１３】
検査を並列実行するとは、２つ以上の被検査機器に対する検査を時間的に同時進行で実行することである。
【００１４】
本発明第１によると、上記測定器セット内で異なる測定器を用いて複数の被検査機器に対しての検査を並列実行することができるので、上記測定器セット内の測定器の遊休時間を減少させることができ、同じ測定器を同時並列実行する場合では少なくとも２台以上必要となっていた従来と比較して検査設備の低減を図ることができるようになる。
【００１５】
（２）本発明第２による検査装置は、複数の被検査機器に対して複数の測定器からなる測定器セットを用いて項目が異なる複数の検査を実行する検査装置であって、装置本体に、各測定器を各被検査機器に個別に切替接続するためのリレー接点群と、上記リレー接点群の切替接続動作を制御する制御手段と、を少なくとも備え、上記装置本体に着脱可能とされ、上記被検査機器を測定位置にセットするためのフィクスチャ、を備え、上記制御手段により、上記リレー接点群の切替接続を制御して少なくとも２台の被検査機器それぞれに対して異なる測定器を用いた検査を並列実行する、ことを特徴とするものである。上記制御手段は好ましくはパーソナルコンピュータである。上記制御手段はＰＬＣやその周辺機器例えばコンソール等との組み合わせでも構わない。
【００１６】
本発明第２によると、制御手段のリレー接点群に対する制御により、少なくとも２台の被検査機器に対して異なる測定器を用いて並列実行することができるように構成したので、測定器セット内の測定器の遊休時間を減少させることができ、従来と比較して検査設備の低減を図ることができるようになる。
【００１７】
本発明第２の好適な一態様は、上記装置本体が、フィクスチャを増設することが可能になっていることである。この態様では、検査設備が嵩むことなく被検査機器の数を容易に増加させることができるようになる。
【００１８】
本発明第２の好適な一態様は、上記装置本体が、フィクスチャを別のフィクスチャと交換可能になっていることである。この態様では、多品種少量生産される被検査機器の検査に容易に対応することができるようになる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、複数の被検査機器に対して異なる測定器を用いた検査を並列実行することができるから、そうした複数の測定器を用いて複数の被検査機器に対して検査を行うための検査設備コストの低減を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、添付した図面を参照して、本発明の実施の形態に係る検査装置を説明する。
【００２１】
図１に実施の形態の検査装置の外観を示す。
【００２２】
この検査装置は、Ｉ／Ｏ、通信、制御等の機能を保有する制御機器（被検査機器）の最終組立後の検査装置である。
【００２３】
検査装置２は、モニタ４、制御手段であるパーソナルコンピュータ６、切替接続手段であるリレーボックス８、測定器ラック１０、検査治具であるフィクスチャ１２で構成されている。
【００２４】
被検査機器１４との電気的接続や被検査機器１４の測定検査位置への４隅位置決め等は、フィクスチャ１２で行う。フィクスチャ１２と測定器ラック１０内の測定器１６との切替接続はリレーボックス８で行う。
【００２５】
検査装置２全体の制御、コマンドの送受信等はパーソナルコンピュータ６で行う。検査装置２の装置本体は、モニタ４、パーソナルコンピュータ６、リレーボックス８、で主に構成される。
【００２６】
図２に検査装置２にフィクスチャ１２を追加して検査能力を増加した検査装置２の外観を示す。
【００２７】
図１ではフィクスチャ１２は２台であり、被検査機器１４を２台検査することができるが、図２ではフィクスチャ１２は４台であり、被検査機器１４を一度に４台検査することができる。すなわち、フィクスチャ１２は図１の２台から図２の４台にその台数を増加させることができる。
【００２８】
図３にフィクスチャ１２の分解構成を示す。
【００２９】
フィクスチャ１２は、被検査機器１４を測定位置にセットするためのものであり、上昇下降可能なプロービング治具１８と、被検査機器１４の主たる位置決めを行う下治具２０とからなり、被検査機器１４を引き込む機能、左右上下から両治具１８，２０が備えるプローブ先端を被検査機器１４に当てる機能を保有している。
【００３０】
プロービング治具１８の昇降は、図示略のエアシリンダ等を駆動源として行うことができるようにしている。この場合、プロービング治具１８を垂直方向に直線移動可能でかつ適正なプローブ接触圧を提供するためエアシリンダのエアー圧を調節するとよい。
【００３１】
多品種少量生産に対応するため、プロービング治具１８と下治具２０とを被検査機器１４に対応して別の治具と交換することができるようにしている。フィクスチャ１２は、検査装置２の装置本体から着脱交換可能になっている。プロービング治具１８はモジュール構造になっており、親治具１８ａと子治具１８ｂとで構成されている。
【００３２】
なお、フィクスチャ１２は、上記治具１８，２からのプローブ入力に基づいて被検査機器１４の認識処理を行い、検査開始時にはパーソナルコンピュータ６に被検査機器１４の情報を送信する機能を有する回路部を有することができる。フィクスチャ１２には図示略の無線通信手段として無線ＬＡＮを設け、検査情報信号の通信をパーソナルコンピュータ６６と行うようにすることができる。
【００３３】
以上の構成を有する検査装置２をさらに詳細すると、検査装置２は、架台２２の下段台板２４上にパーソナルコンピュータ６が、中段台板２６上にリレーボックス８が搭載されている。上段台板２８上に２枚の被検査機器搭載板３３が並置されている。これら搭載板３３上に被検査機器１４が搭載されている。この場合、被検査機器１４はそれぞれ被検査機器搭載板３３上に設置された検査ボックス３０内に配置されフィクスチャ１２で固定されている。
【００３４】
１枚の被検査機器搭載板３３上には、１つの下治具ガイドレール３２と、この下治具ガイドレール３２後部側に設置された１つの検査ボックス３０とが設置されている。検査ボックス３０内には下治具ガイドレール３２でガイドされた下治具２０（下フィクスチャ）とプロービング治具１８（上フィクスチャ）とが配置されている。下治具２０とプロービング治具１８とは被検査機器１４を固定するフィクスチャ１２を構成する。
【００３５】
下治具２０は４つの支柱３５で上下２段に分離した治具板３４，３６を有し、上段の治具板３６上に左右一対のコネクタ３８，４０（コネクタ４０は図面に表れない）が対向配置されている。
【００３６】
プロービング治具１８は親治具１８ａと子治具１８ｂとからなり、下治具２０上方に配置される。子治具１８ｂは親治具１８ａの切欠凹所１８ｃに交換可能に収納される。子治具１８ｂは矢印Ｐ，Ｑで示すように別の子治具１８ｂ１，１８ｂ２と被検査機器に応じて交換可能になっている。子治具１８ｂ１，１８ｂ２は図中で裏向きで示されていて、その裏面に複数のピン列１８ｄ１，１８ｄ２が被検査機器１４に対応する数で突設されている。
【００３７】
ピン列１８ｄ１は３列構成であり、ピン列１８ｄ２は２列構成になっている。
【００３８】
なお、親治具１８ａとその親治具１８ａに装着する子治具１８ｂ，１８ｂ１，１８ｂ２の組み合わせが多くなるときに、子治具１８ｂ，１８ｂ１，１８ｂ２の装着ミスが発生する可能性がある。そこで、親治具１８ａに子治具１８ｂ，１８ｂ１，１８ｂ２を装着したときに親治具１８ａの抵抗値Ｒ０に子治具１８ｂ，１８ｂ１，１８ｂ２それぞれの抵抗値Ｒｘ（例えばｘ＝１は子治具１８ｂの抵抗値、ｘ＝２は子治具１８ｂ１の抵抗値、ｘ＝３は子治具１８ｂ２の抵抗値）が直列に加わり、合計抵抗値（Ｒ０＋Ｒｘ）の値を識別することにより装着された子治具１８ｂ，１８ｂ１，１８ｂ２の種類を判定することができるようにしてもよい。
【００３９】
また、治具の接続等に用いるコネクタに例えばＺＩＦコネクタ等を用いて挿抜操作を容易にすることができる。この場合、治具が完全に装着されたか否かをセンサ等を用いて確認することができるようにしてもよい。
【００４０】
図１には２つの検査ボックス３０、図２では４つの検査ボックス３０が設置されているが、これら検査ボックス３０のうち図中左端の検査ボックス３０上にのみモニタ４が１つ設置されている。１つの架台２２には２台のフィクスチャ１２が搭載可能であり、また、架台２２は図２で示すように増設することにより、フィクスチャ１２を偶数で増設していくことができる。
【００４１】
図４に検査装置２のハードウエアの概略構成を示し、図５にリレーボックス８内の詳細を示す。
【００４２】
検査装置２は、パーソナルコンピュータ６と、リレーボックス８と、測定器ラック１０と、複数のフィクスチャ１２とを備える。リレーボックス８内にはリレー制御回路４２と、被検査機器１４（第１被検査機器１４１、第２被検査機器１４２）の信号を切り替えるリレーマトリクス回路４４と、が設けられている。リレーマトリクス回路４４は、リレー接点群４４ａ，４４ｂとリレー配線４４ｃとを含み、リレー制御回路４２の制御を通じてリレー接点群４４ａ，４４ｂが切替接続を制御されることにより、測定器１６（電流計１６１、電圧計１６２、電力計１６３等）の切替をすることができるようになっている。
【００４３】
リレーマトリクス回路４４は複数のポートを有し、いずれのポートを使用しても同様に切り替えることができるようになっていて、複数のフィクスチャ１２と接続することができる。
【００４４】
フィクスチャ１２は被検査機器１４に対して上記したようにプローブやコネクタ等により電気的接続を行う。それぞれ１つの測定器に対してパーソナルコンピュータ６が使用状況を監視して同時に信号が重なるときは一方をウェイトさせて競合を回避することができるようになっている。測定器ラック１０は電流計、電圧計、電力計等の測定器を含む。
【００４５】
パーソナルコンピュータ６は、通信制御機能、測定器制御機能、検査プログラム実行機能、検査結果受取機能、検査結果出力機能、治具制御機能、検査項目管理機能、等を有する。
【００４６】
パーソナルコンピュータ６は通信制御機能により図示略の各種検査モジュールを制御し、測定器制御機能により測定器ラック１０を制御すると共に該測定器ラック１０からの結果を受け取り、配線制御機能によりリレーボックス８を制御し、検査プログラム実行機能により被検査機器１４に検査指示を行い、検査結果受取機能によりリレーボックス８から検査結果を送り込ませかつ検査結果出力機能に検査結果を送り、検査結果出力機能により検査結果をファイルや作業者に出力し、治具制御機能によりフィクスチャ１２に指示をする。
【００４７】
測定器ラック１０には電流計１６１、電圧計１６２、電力計１６３、その他各種の測定器１６が収納されており、これら測定器１６は、パーソナルコンピュータ６により測定動作を制御され、パーソナルコンピュータ６に測定結果を出力する。
【００４８】
リレーボックス８は複数の測定器１６のいずれをも複数の被検査機器１４それぞれに個別に切替接続することが可能な切替接続機能を有しており、パーソナルコンピュータ６によりその切替接続を制御される。フィクスチャ１２は被検査機器１４の形状を吸収することができる機能と、インタフェースを吸収する機能とを有するとともに、被検査機器１４に電気的に導通している。
【００４９】
リレーボックス８は、複数の測定器１６それぞれの測定信号を複数の被検査機器１４にリレーマトリクス回路４４内のリレー接点群４４ａ，４４ｂを切替接続して個別に入力することが可能であり、複数の被検査機器１４それぞれの測定結果信号を、複数の測定器１６それぞれにリレーマトリクス回路４４内のリレー接点群４４ａ，４４ｂを切替接続して入力することが可能である。
【００５０】
リレーボックス８は、測定器１６それぞれと被検査機器１４それぞれを切替接続することができる測定器側リレー接点群４４ａと、被検査機器側リレー接点群４４ｂと、これら両リレー接点群４４ａ、４４ｂ間のリレー配線４４ｃとを含む。
【００５１】
リレーボックス８はまた、パーソナルコンピュータ６からのリレー制御回路４２に対する制御入力により、測定器側リレー接点群４４ａと、被検査機器側リレー接点群４４ｂとがオンオフを制御されて、測定器１６それぞれの測定信号を被検査機器１４に入力制御し、また、被検査機器１４それぞれの測定結果信号を測定器１６それぞれに出力制御するものであり、そのリレー配線４４ｃの具体構成は図に示す通りであり詳細は説明簡略化のため略する。
【００５２】
図６ないし図９を参照して検査装置２の検査を説明する。
【００５３】
図６に検査フローチャートを示す。また、検査装置２により検査する被検査機器１４は第１、第２被検査機器１４１，１４２の２つとし、第１被検査機器１４１の検査テーブルを図７に、第２被検査機器１４２の検査テーブルを図８に示す。図９に監視プログラムを示す。
【００５４】
検査テーブルは「状態」、「検査項目」、「プログラム」、「使用測定器」が記述される。「状態」は、検査プログラムの実行状態を示しており、「Ｒｕｎ（実行中）」、「Ｓｋｉｐ（検査飛ばし）」、「Ｐａｓｓ（検査終了）」、「空欄（検査可能）」を表している。
【００５５】
図９の監視プログラムは、フィクスチャ番号（検査場所）、被検査機器１４１，１４２の型式、実行中のプログラム、使用測定器１６１−１６３を監視しており、検査項目のＳｋｉｐ  Ｏｎ／Ｏｆｆをする機能がある。
【００５６】
図６のフローチャートは、１つの検査装置で２台の第１、第２の被検査機器１４１，１４２を実行するフローチャートである。検査を開始すると（ｎ１，ｎ２）、図７、図８の検査テーブルを参照して第１、第２の被検査機器１４１，１４２それぞれの検査項目を確認し、全ての検査項目がＰａｓｓ（検査終了）なら検査を終了する（ｎ３，ｎ４）。
【００５７】
全ての検査項目がＰａｓｓ（検査終了）ではないが空欄が無い場合は検査実行待ちし（ｎ５，ｎ６）、空欄がある場合は、検査を開始して（状態：Ｒｕｎ）、測定器１６１−１６３が使用中であることを監視プログラムに伝える（ｎ５，ｎ７，ｎ８，ｎ９）とともに状態をＰａｓｓ（ｎ１０）にする。
【００５８】
監視プログラムは、未検査項目の中から、その測定器１６１−１６３を使用する検査項目がある場合は、その項目をＳｋｉｐ（検査飛ばし）にし、検査が終わると空欄にする。そして、最終的に全ての検査項目がなくなったら検査終了となる。
【００５９】
なお、図７、図８で検査項目は電流、電圧、電力、プログラムはＡ−Ｄの各プログラム、使用測定器１６１−１６３はそれぞれ電流計、電圧計、電力計である。
【００６０】
図１０に検査工程を示す。
【００６１】
この検査工程の説明の理解のため、被検査機器は２台（第１被検査機器１４１，第２被検査機器１４２）とし、測定器は３台（電流計１６１，電圧計１６２，電力計１６３）とする。また検査工程数はＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄの４つとする。各被検査機器１４１，１４２はいずれも４検査Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄを実施する。
【００６２】
第１検査Ａにおいて第１被検査機器１４１は電流計１６１を用い、第２被検査機器１４２は電圧計１６２を用いる。
【００６３】
第２検査Ｂにおいて第１被検査機器１４１は電圧計１６２を用い、第２被検査機器１４２は電流計１６１を用いる。
【００６４】
第３検査Ｃにおいて、第１被検査機器１４１は電流計１６１、電圧計１６２を用い、第２被検査機器１４２は電力計１６３を用いる。
【００６５】
第４検査Ｄにおいて第１被検査機器１４１は電力計１６３を用い、第２被検査機器１４２は電流計１６１、電圧計１６２を用いる。
【００６６】
すなわち、実施の形態の検査装置では、上記３つの測定器のうち、電流計１６１、電圧計１６２は第１ないし第４検査Ａ−Ｄのすべてにおいて使用されており、遊休状態はない。また、電力計１６３は第１、第２検査Ａ，Ｂでは遊休状態であるが、第３、第４検査Ｃ，Ｄでは使用されている。
【００６７】
実施の形態では、第１、第２被検査機器１４１，１４２を同一の検査を同時に実行することがないようにして第１ないし第４検査Ａ−Ｄをすべて実行するが、そのための使用測定器に同一の測定器を２台必要とせず、１つでよい。
【００６８】
すなわち、電流計１６１、電圧計１６２、電力計１６３は１つである。これに対して、従来では、第１、第２被検査機器１４１，１４２は同一の検査を同時並列に実行していたから、同一の測定器をそれぞれ２台ずつ必要とする。
【００６９】
以上から本実施の形態では、測定器の必要数が、従来よりも少なくて済むようになるから、検査設備に要する費用を大幅に低減することができる。本実施の形態の同時並列検査は、プログラム上で、使用しているリソースを常に確認し、検査可能な項目を次々と実行することで、複数の被検査機器１４を１つの検査装置２で行うことができる。
【００７０】
これに対して従来の検査装置では、生産能力を上げるために測定器を含め、同じ検査装置が２台必要となっている。本実施の形態ではフィクスチャ１２のみを複数にして、同じ被検査機器１４を同時検査することで、検査能力を向上することができる。プログラム上で、検査可能な検査項目を次々と実行することにより、従来と比較して測定器の稼働率を上げて検査能力を向上させることができる。
【００７１】
図１１に被検査機器１４が同一種類の機器ではなく、他種の被検査機器の場合の検査（混流検査）の場合のリレーボックス８を示し、図１２は図１１の検査工程を示す。
【００７２】
混流検査は、種類の異なる被検査機器１４を同時検査することで、検査能力を向上する。図１１で被検査機器を説明の都合で第１被検査機器１４３、第２被検査機器１４４と称する。
【００７３】
この混流検査の場合、第１の被検査機器１４３と第２の被検査機器１４４それぞれの検査Ａ，Ｂ，Ｄを行う場合、第１被検査機器１４３に対して検査Ａを電流計１６１で、第２被検査機器１４４の検査Ｂを電力計１６３で同時に行い、第１被検査機器１４３に対して検査Ｂを電圧計１６２で、第２被検査機器１４４の検査Ｄを電流計１６１で同時に行っている。
【００７４】
また、共通して使う電力計１６１は、交互に使い、その間は他の検査をしているので、非常に効率的な検査となる。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】図１は本発明の実施の形態に係る検査装置の外観を示す図である。
【図２】図２は検査能力を増加した実施の形態に係る検査装置の外観を示す図である。
【図３】図３は実施の形態の検査装置に用いるフィクスチャの構成を示す図である。
【図４】図４は実施の形態の検査装置のハードウェア構成を示す図である。
【図５】図５は図４のリレーボックスの詳細を示す図である。
【図６】図６は実施の形態の検査装置の動作説明に用いるフローチャートである。
【図７】図７は第１の被検査機器の検査テーブルを示す図である。
【図８】図８は第２の被検査機器の検査テーブルを示す図である。
【図９】図９は監視プログラムを示す図である。
【図１０】図１０は検査工程を示す図である。
【図１１】図１１は混流検査を行うリレーボックスの詳細を示す図である。
【図１２】図１２は図１１の検査工程を示す図である。
【符号の説明】
【００７６】
２  検査装置
４  モニタ
６  パーソナルコンピュータ（制御手段）
８  リレーボックス（切替接続手段）
４２  リレー制御回路
４４  リレーマトリクス回路
４４ａ，４４ｂ  リレー接点群
４４ｃ  リレー配線
１０  測定器ラック
１２  フィクスチャ
１４  被検査機器
１４１  第１被検査機器
１４２  第２被検査機器
１６  測定器
１６１  電流計（第１測定器）
１６２  電圧計（第２測定器）
１６３  電力計（第３測定器）
１８  プロービング治具
２０  下治具
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2008039452.tif 000009
【図８】
2008039452.tif 000010
【図９】
2008039452.tif 000011
【図１０】
2008039452.tif 000012
【図１１】
2008039452.tif 000013
【図１２】
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