(57)【要約】【課題】機能部材の合わせ面での振動損失を低減することができるとともに、低コスト化を図ることができる超音波モータを提供する。【解決手段】この超音波モータは、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する変換素子１３と、該変換素子１３に組み込まれる複数の機能部材１１，１２，１３，１４，１５からなる組合せ部材と、を備える。そして、組合せ部材のうちの３の機能部材１，１２，１３が、それぞれの機能に応じた金属粉末とバインダーとを混合した材料を用いた金属粉末射出成型法により成形されるとともに、成形後の焼結工程で同時に焼結されて一体化された焼結体２０とされている。【選択図】図１
2008160989.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気エネルギーを機械エネルギーに変換する変換素子と、該変換素子に組み込まれる複数の機能部材からなる組合せ部材と、を備える超音波モータであって、
前記組合せ部材のうちの少なくとも２つの機能部材が、それぞれの機能に応じた金属粉末とバインダーとを混合した材料を用いた金属粉末射出成型法により成形されるとともに、成形後の焼結工程で同時に焼結されて一体化された焼結体とされる、ことを特徴とする超音波モータ。
【請求項２】
前記組合せ部材は、前記機能部材として、前記変換素子を挟持する第１および第２の挟持部材と、該変換素子により振動が励起される弾性部材、前記変換素子と、前記第１の挟持部材、前記第２の挟持部材および前記弾性部材を締結する締結部材とを備える、ことを特徴とする請求項１に記載の超音波モータ。
【請求項３】
前記一体化された焼結体は、前記弾性部材、前記第１の挟持部材および前記締結部材のうちの少なくとも２つの機能部材を備える、ことを特徴とする請求項２に記載の超音波モータ。
【請求項４】
前記弾性部材、前記第１の挟持部材はマルテンサイト系ステンレス鋼材の金属粉末が用いられ、前記締結部材はオーステナイト系ステンレス鋼材の金属粉末が用いられる、ことを特徴とする請求項２又は３に記載の超音波モータ。
【請求項５】
前記マルテンサイト系ステンレス鋼材が、ＳＵＳ４４０ＣまたはＳＵＳ４２０ｊ２であり、前記オーステナイト系ステンレス鋼材が、ＳＵＳ３０３またはＳＵＳ３１６である、ことを特徴とする請求項４に記載の超音波モータ。
【請求項６】
前記一体化された焼結体は、焼結後、焼き入れ処理が施される、ことを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の超音波モータ。
【請求項７】
前記第１の挟持部材には摩擦部が設けられ、該摩擦部は、窒化処理が施される、ことを特徴とする請求項２〜６のいずれか一項に記載の超音波モータ。
【請求項８】
前記締結部材は、前記第２の挟持部材に溶接により固定される、ことを特徴とする請求項２〜７のいずれか一項に記載の超音波モータ。
【請求項９】
前記組合せ部材は、前記機能部材として、前記変換素子により振動が励起される弾性部材と、該変換素子に接合されて、前記弾性部材の振動が伝達されるとともに、摩擦部が設けられた摩擦部材と、少なくとも該弾性部材および前記摩擦部材のいずれかに接合されて、モータ回転部を支持する支持部材と、を備えることを特徴とする請求項１に記載の超音波モータ。
【請求項１０】
前記弾性部材および前記摩擦部材が、同一の金属粉末とバインダーとを混合した材料を用いた金属粉末射出成型法により一体に成形される、ことを特徴とする請求項９に記載の超音波モータ。
【請求項１１】
前記弾性部材および前記摩擦部材は、マルテンサイト系ステンレス鋼材の金属粉末が用いられる、ことを特徴とする請求項１０に記載の超音波モータ。
【請求項１２】
前記マルテンサイト系ステンレス鋼材は、ＳＵＳ４２０ｊ２またはＳＵＳ４４０Ｃである、ことを特徴とする請求項１１に記載の超音波モータ。
【請求項１３】
前記一体化された焼結体は、焼結後、焼き入れ処理が施される、請求項９〜１２に記載の超音波モータ。
【請求項１４】
前記一体化された焼結体は、少なくとも前記摩擦部に窒化処理が施される、ことを特徴とする請求項９〜１３に記載の超音波モータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、カメラレンズ、時計のカレンダー、複写機の感光ドラムの駆動に用いられる超音波モータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のこの種の超音波モータとしては、例えば、図７〜図９に示すものがある（特許文献１）。この超音波モータは、カメラレンズのオートフォーカス駆動に用いられる短軸型棒状超音波モータであり、図７および図８に示すように、弾性部材１、第１の挟持部材２、積層圧電素子３、第２の挟持部材４、およびシャフト５を備える。
【０００３】
弾性部材１、第１の挟持部材２、積層圧電素子３、第２の挟持部材４は、図の上方から下方に向けて順番に略同軸配置されており、中央部に貫通配置されたシャフト５の下端が第２の挟持部材４に螺合されている（図９（ａ）参照）。これにより、弾性部材１、第１の挟持部材２、および積層圧電素子３が所定の圧縮力で締め付けられる。
【０００４】
弾性部材１の周囲には、ロータ７が配置されている。ロータ７の下端面は、第１の挟持部材２の上面に形成された摩擦部２ａに接触している。また、ロータ７の上端面には、ロータ７と一体に回転する出力ギア８が凹凸嵌合されている。ギア８はフランジ１０によりシャフト５のスラスト方向（軸方向）に位置が固定されており、ロータ７とギア８の間には、ロータ７に対して第１の挟持部材２側への付勢力を付与するためのバネ９が設けられている。
【０００５】
積層圧電素子３は２つの電極郡を有しており、不図示の電源からそれぞれの電極郡に位相の異なる交流電界を印加すると、図９（ｂ）に示す曲げ振動が直交するように２つ励起される（もう一方は紙面に垂直な方向の曲げ振動）。この印加電界の位相を調整することにより、２つの直交する曲げ振動間に９０°の時間的な位相を与えることができる。
【０００６】
この結果、ロータ７が接触する第１の挟持部材２上には楕円運動が形成され、耐摩耗性を有する摩擦部２ａに押圧されたロータ７は該楕円振動により摩擦駆動されるため、該ロータ７、ギア８、バネ９が一体となって回転する。
【０００７】
この超音波モータは軸方向の長さが、対応する部材に同一符号を付した図１０に示す棒状超音波モータに比べて、軸方向長さが非常に短いにもかかわらず、出力的にはトルク、回転数ともにほぼ同等の性能を有しており、優れたモータである。
【０００８】
一方で、小さい（短い）超音波モータであるため、図１０に示す超音波モータと同等の出力を出すために振動部分には大きな振動歪みが生じる。特に、弾性部材１のくびれ部には大きな応力が発生するため、弾性部材１は高歪みでも振動減衰の小さな材料（高Ｑ材）が使用されている。また、第１の挟持部材２は、所定の圧縮力で積層圧電素子３を挟持する機能が要求されるため、中心部をシャフト５によって加圧されたときに適切な曲げ剛性を有し、積層圧電素子３を外周部まで加圧できる必要がある。また、第１の挟持部材２の一部には摩擦部２ａが形成されているため、耐摩耗処理がし易い（可能な）材質であることが要求される。
【０００９】
また、シャフト５には、弾性部材１から第２の挟持部材４までを適切な圧縮力で保持するために、該圧縮力に耐えうる適正な強度が求められる。更には、シャフト５のフランジ１０側の細い小径部分には振動部分の振動を阻害しないため、適切な強度と低減衰性能が要求される。
【００１０】
このように、弾性部材１、第１の挟持部材２、第２の挟持部材４、およびシャフト５にはそれぞれ異なる特殊な機能（性能）が要求され、従来においては、それぞれの機能に合うように部材ごとに材料を選定している。
【特許文献１】特開２００６−１８０５８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかし、上記特許文献１では、部材同士の分割面（合わせ面）ができるため、積層圧電素子３により弾性部材１に所定の振動が励起されると、その振動歪みによりこの合わせ面での振動損失が非常に大きくなる。特に、短軸型の超音波モータは、高出力を出すため非常に大きな振動応力が発生し、この振動応力が弾性部材１と第１の挟持部材２との合わせ面近傍に集中する。
【００１２】
弾性部材１と第１の挟持部材２との合わせ面を無くすように、例えば弾性部材１と第１の挟持部材２とを一体化した部材に変えようとすると、この一体化部材の加工工数が非常に増大し、部材コストが増大してしまう。特に、弾性部材１と第１の挟持部材２とに要求される機能を共に満足する材料は、高硬度の材料であることが多いため、加工性が悪くコストアップの原因になる。
【００１３】
そこで、本発明は、機能部材の合わせ面での振動損失を低減することができるとともに、低コスト化を図ることができる超音波モータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記目的を達成するために、本発明は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する変換素子と、該変換素子に組み込まれる複数の機能部材からなる組合せ部材と、を備える超音波モータであって、前記組合せ部材のうちの少なくとも２つの機能部材が、それぞれの機能に応じた金属粉末とバインダーとを混合した材料を用いた金属粉末射出成型法により成形されるとともに、成形後の焼結工程で同時に焼結されて一体化された焼結体とされる、ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、変換素子に接合される組合せ部材のうちの少なくとも２つの機能部材を、それぞれの機能に応じた金属粉末とバインダーとを混合した材料を用いた金属粉末射出成型法により成形する。そして、複数の成形体を焼結工程で同時に焼結して一体化した焼結体としている。これにより、機能部材の合わせ面での振動損失を低減することができ、モータ効率を向上させることができる。また、複雑な形状の機能部材でも、複数の機能部材の成形体を組み合わせ、かつ同時焼結で一体化することで、加工コストを大幅に削減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態を図を参照して説明する。
【００１７】
図１は本発明の第１の実施形態である超音波モータを説明するための断面図、図２は本発明の第１の実施形態である超音波モータの製造方法を説明するための図である。
【００１８】
本発明の第１の実施形態である超音波モータは、図１に示すように、弾性部材１１、第１の挟持部材１２、積層圧電素子（変換素子）１３、第２の挟持部材１４、およびシャフト（締結部材）１５を備える。
【００１９】
弾性部材１１、第１の挟持部材１２、積層圧電素子１３、第２の挟持部材１４は、図の上方から下方に向けて順番に略同軸配置されており、中央部に貫通配置されたシャフト１５の下端が第２の挟持部材１４に溶接等により固定されている。
【００２０】
弾性部材１１の周囲には、ロータ１７が配置されている。ロータ１７の下端面は、第１の挟持部材１２の上面に形成された摩擦部１２ｃに接触しており、該接触部分の接触幅は小さく、かつ適度なバネ性を有している。また、ロータ１７の上端面には、ロータ１７と一体に回転する出力ギア１８が凹凸嵌合されている。
【００２１】
ギア１８は、フランジ２１によりシャフト１５のスラスト方向（軸方向）に位置が固定されており、ロータ１７とギア１８との間には、ロータ１７に対して第１の挟持部材１２側への付勢力を付与するためのバネ１９が設けられている。フランジ２１は、バネ１９の反力を受けるため、シャフト１５の上端にカシメ固定されている。なお、超音波モータの基本的動作については、従来例（図９）で説明した内容と同様なので説明を省略する。
【００２２】
ここで、この実施形態では、弾性部材１１、第１の挟持部材１２、およびシャフト１５の３つの機能部材を、それぞれの機能に応じた金属粉末と樹脂等のバインダーとを混合した材料を用いた金属粉末射出成型法（ＭＩＭ法）により成形する（図２（ａ）参照）。そして、複数の機能部材の成形体を焼結工程で同時に焼結して一体化した焼結体２０としている（図２（ｂ）参照）。
【００２３】
焼結体２０のシャフト１５の下端は、積層圧電素子１３の中央の穴を貫通して、上述したように、第２の挟持部材１４に溶接等により固定されている。これにより、焼結体２０の第１の挟持部材１２と第２の挟持部材１４との間に積層圧電素子１３を所定の圧縮力で挟持して、振動子を構成している。
【００２４】
金属粉末射出成型法により成形された弾性部材１１の成形体は、図２に示すように、下端面が平坦な接合面１１ａとされ、該接合面１１ａが第１の挟持部材１２の成形体の上面に接合される。シャフト１５の成形体は、軸方向の略中央部に突き当て用の段部１５ａを有しており、この段部１５ａが弾性部材１１の成形体に設けられた突き当て面１１ｂに接合される。また、シャフト１５の成形体の下端部（溶接部）は溶接性を考慮して、図２（ｂ）に示すように、先端を尖らせた円錐部、または  図２（ｃ）に示すように、複数の円錐部等が設けられている。
【００２５】
弾性部材１１、第１の挟持部材１２、およびシャフト１５は、機能的にそれぞれ異なる特性が要求される。弾性部材１１は、特に大きく曲げ振動を生じる部材であるので、高歪みでも振動減衰が小さい材料（高Ｑ材）が適している。また、第１の挟持部材１２は、ロータ１７と接触して摩擦駆動力を発生する摩擦部１２ｃが形成されるので、耐摩耗性が要求される。また、第１の挟持部材１２は、シャフト１５および第２の挟持部材１４により積層圧電素子１３を所定の圧縮力で挟持するため、適切な曲げ剛性も必要となる。さらに、シャフト１５は、第１の挟持部材１２および第２の挟持部材１４とともに積層圧電素子１３を所定の圧縮力で挟持して固定する機能が要求されるため、適正な材料強度が必要であると同時に溶接性の良い部材である必要がある。
【００２６】
そこで、この実施形態では、弾性部材１１および第１の挟持部材１２の成形体には、焼き入れ等の熱処理により材料の硬度を増すことができると共に機械的Ｑ値を上げることができるマルテンサイト系ステンレス鋼材（ＳＵＳ４４０Ｃ）の金属粉末を用いている。また、シャフト１５の成形体には、溶接性に優れるオーステナイト系ステンレス鋼材（ＳＵＳ３０３）の金属粉末を用いている。
【００２７】
ここで、異種金属からなる複数の成形体を同時焼結する方法として、金属粉末の粒度（粒径）等を調整することによって焼結の進行度を調整し、異種材料同士を同時に焼結可能とする公知技術を採用している（例えば、特開２００１−１４０００２号公報、特開平８−９８４５９号公報など参照）。
【００２８】
特開２００１−１４０００２号公報によれば、金属粉末の粒度が小さいと同じ温度でも焼結進行速度が速くなり、粒度が大きいと遅くなることが開示されている。すなわち、焼結温度が高い方の金属粉末の粒度を小さくし、焼結温度が低い方の金属粉末の粒度を大きくしておけば、同じ温度で焼結しても温度による焼結進行速度の差を埋めることができ、同時焼結が可能となる。
【００２９】
この実施形態では、焼結温度が高いＳＵＳ４４０Ｃの金属粉末の粒度を小さくし、ＳＵＳ３０３の金属粉末の粒度を大きく設定することにより、弾性部材１１、第１の挟持部材１２、およびシャフト１５の成形体を同時焼結して一体化された焼結体２０を得ている。
【００３０】
このようにして得られた焼結体２０には、焼結後に焼き入れ等の熱処理を施し、マルテンサイト系ステンレス鋼部分を硬質化した。また、摩擦部１２ｃには、さらに耐摩耗性を向上させるためにイオン窒化処理を施した。
【００３１】
以上説明したように、この実施形態では、弾性部材１１、第１の挟持部材１２、およびシャフト１５の３つの機能部材を、それぞれの機能に応じた金属粉末と樹脂等のバインダーとを混合した材料を用いた金属粉末射出成型法により成形する。そして、複数の機能部材からなる成形体を焼結工程で同時に焼結して一体化した焼結体２０とし、焼結体２０のシャフト１５を積層圧電素子１３の中央の穴に貫通させ、第１の挟持部材１２と第２の挟持部材１４との間に積層圧電素子１３を所定の圧縮力で挟持する。
【００３２】
これにより、機能部材の合わせ面での振動損失を低減することができ、モータ効率を向上させることができる。また、複雑な形状の機能部材でも、複数の機能部材の成形体を組み合わせ、かつ同時焼結で一体化しているので、加工コストを大幅に削減することができる。
【００３３】
次に、図３を参照して、本発明の第２の実施形態である超音波モータについて説明する。図３は本発明の第２の実施形態である超音波モータを説明するための図であり、（ａ）は振動子の断面図、（ｂ）は各機能部材の成形体を示す断面図である。なお、上記第１の実施形態に対して重複又は相当する部分については、図に同一符号を付して、その説明を省略する。
【００３４】
本発明の第２の実施形態である超音波モータは、図３（ｂ）に示すように、弾性部材１１および第１の挟持部材１２を、同一の金属粉末と樹脂バインダーとを混合した材料を用いた金属粉末射出成型法により一体に成形する。また、シャフト１５を、機能に応じた金属粉末と樹脂バインダーとを混合した材料を用いた金属粉末射出成型法により一体に成形する。次に、弾性部材１１および第１の挟持部材１２の成形体とシャフト１５の成形体とを焼結工程で同時に焼結して一体化した焼結体２０としている（図３（ａ）参照）。
【００３５】
ここで、弾性部材１１および第１の挟持部材１２の成形体は、マルテンサイト系ステンレス鋼材（ＳＵＳ４２０ｊ２）の金属粉末を用い、シャフト１５の成形体には、オーステナイト系ステンレス鋼材（ＳＵＳ３１６）の金属粉末を用いた。また、上記第１の実施形態と同様に、焼結温度が高いＳＵＳ４２０ｊ２の金属粉末の粒度をＳＵＳ３１６よりも小さくして異種金属からなる２つの成形体の同時焼結を行った。
【００３６】
そして、図３（ａ）に示すように、焼結体２０のシャフト１５の下端を、積層圧電素子１３の中央の穴に貫通させて第２の挟持部材１４に溶接等により固定する。これにより、第１の挟持部材１２と第２の挟持部材１４との間に積層圧電素子１３を所定の圧縮力で挟持して、振動子を構成している。その他の構成および作用効果は、上記第１の実施形態と同様である。
【００３７】
次に、図４を参照して、本発明の第３の実施形態である超音波モータについて説明する。図４は本発明の第３の実施形態である超音波モータを説明するための図であり、（ａ）は各機能部材の成形体を示す断面図、（ｂ）は振動子の断面図である。なお、上記第１の実施形態に対して重複又は相当する部分については、図に同一符号を付して、その説明を省略する。
【００３８】
本発明の第３の実施形態である超音波モータは、図４（ａ）に示すように、シャフト１５をシャフト上分割体１５ａとシャフト下分割体１５ｂとに２つに分割している。
【００３９】
そして、シャフト上分割体１５ａおよび弾性部材１１を、同一の金属粉末と樹脂バインダーとを混合した材料を用いた金属粉末射出成型法により一体に成形する。また、シャフト下分割体１５ｂを、その機能に応じた金属粉末と樹脂バインダーとを混合した材料を用いた金属粉末射出成型法により一体に成形する。さらに、上面側の外周縁に摩擦部１２ｃが設けられる第１の挟持部材１２を、金属粉末と樹脂バインダーとを混合した材料を用いた金属粉末射出成型法により成形する。
【００４０】
第１の挟持部材１２の成形体の上面中央部には、シャフト上分割体１５ａおよび弾性部材１１の成形体の下端に設けられた凸部１１ａが嵌合される凹部１２ａが形成されている。第１の挟持部材１２の成形体の下面中央部には、シャフト下分割体１５ｂの上端が嵌合される凹部１２ｂが形成されている。
【００４１】
次に、シャフト上分割体１５ａおよび弾性部材１１の成形体とシャフト下分割体１５ｂの成形体と第１の挟持部材１２の成形体とを互いに嵌合した状態で焼結工程で同時に焼結して一体化した焼結体２０としている（図４（ｂ）参照）。
【００４２】
ここで、シャフト上分割体１５ａおよび弾性部材１１の成形体には、マルテンサイト系ステンレス鋼材（ＳＵＳ４２０ｊ２）の金属粉末を用いている。また、摩擦部１２ｃが形成される第１の挟持部材１２には、耐摩耗性に優れたマルテンサイト系ステンレス鋼材（ＳＵＳ４４０Ｃ）の金属粉末を用いている。さらに、シャフト下分割体１５ｂの成形体には、溶接性に優れたオーステナイト系ステンレス鋼材（ＳＵＳ３０３）の金属粉末を用いている。
【００４３】
そして、図４（ｂ）に示すように、焼結体２０のシャフト下分割体１５ｂを、積層圧電素子１３の中央の穴および第２の挟持部材１４の中央の穴に貫通させ、シャフト下分割体１５ｂの先端と第２の挟持部材１４の中央の穴の内径部とを溶接等により固定する。これにより、第１の挟持部材１２と第２の挟持部材１４との間に積層圧電素子１３を所定の圧縮力で挟持して、振動子を構成している。その他の構成および作用効果は、上記第１の実施形態と同様である。
【００４４】
次に、図５を参照して、本発明の第４の実施形態である超音波モータについて説明する。図５は本発明の第４の実施形態である超音波モータを説明するための図であり、（ａ）は振動子の断面図、（ｂ）は各部材の成形体を示す断面図である。なお、上記第１の実施形態に対して重複又は相当する部分については、図に同一符号を付して、その説明を省略する。
【００４５】
本発明の第４の実施形態である超音波モータは、図５（ｂ）に示すように、弾性部材１１および第１の挟持部材１２を、同一の金属粉末と樹脂バインダーとを混合した材料を用いた金属粉末射出成型法により一体に成形する。また、摩擦部材１６を、その機能に応じた金属粉末と樹脂バインダーとを混合した材料を用いた金属粉末射出成型法により一体に成形する。さらに、シャフト１５を、その機能に応じた金属粉末と樹脂バインダーとを混合した材料を用いた金属粉末射出成型法により一体に成形する。
【００４６】
次に、弾性部材１１および第１の挟持部材１２の成形体と摩擦部材１６の成形体とシャフト１５の成形体とを焼結工程で同時に焼結して一体化した焼結体２０としている（図５（ａ）参照）。
【００４７】
ここで、弾性部材１１および第１の挟持部材１２の成形体、摩擦部材１６の成形体には、マルテンサイト系ステンレス鋼材（ＳＵＳ４４０Ｃ）の金属粉末を用い、シャフト１５の成形体には、オーステナイト系ステンレス鋼材（ＳＵＳ３１６）の金属粉末を用いた。
【００４８】
そして、図５（ａ）に示すように、焼結体２０のシャフト１５の下端部を積層圧電素子１３の中央の穴に貫通させ、シャフト１５の下端部に形成した雄ねじを第２の挟持部材１４の中央部に形成した雌ねじに螺合して締め付け固定する。これにより、第１の挟持部材１２と第２の挟持部材１４との間に積層圧電素子１３を所定の圧縮力で挟持して、振動子を構成している。なお、シャフト１５の雄ねじおよび第２の挟持部材１４の雌ねじは、射出成形時に型で成形してもよいし、焼結後の後加工（例えば旋盤加工等）で形成してもよい。その他の構成および作用効果は、上記第１の実施形態と同様である。
【００４９】
次に、図６を参照して、本発明の第５の実施形態である超音波モータについて説明する。図６は本発明の第５の実施形態である超音波モータを説明するための図であり、（ａ）は超音波モータの断面図、（ｂ）は振動子の断面図である。なお、上記第１の実施形態に対して重複又は相当する部分については、図に同一符号を付して、その説明を省略する。
【００５０】
本発明の第５の実施形態である超音波モータは、図６（ａ）に示すように、上記第１の実施形態の第１の挟持部材１２に相当する部分が摩擦部材２２とされ、シャフト１５に相当する部分が支持シャフト２５とされている。即ち、上記第１実施形態の第２の挟持部材１４は省略され、摩擦部材２２の下面に積層圧電素子１３が接合されて、更なる短軸化を図った例である。従って、支持シャフト２５の下端は、摩擦部材２２の下面から突出することなく、モータ回転部の支持部材として機能する。また、摩擦部材２２の上面の周囲には、摩擦部２２ａが設けられている。
【００５１】
そして、弾性部材１１および摩擦部２２ａを有する摩擦部材２２を、同一の金属粉末と樹脂バインダーとを混合した材料を用いた金属粉末射出成型法により一体に成形する。また、支持シャフト２５を、その機能に応じた金属粉末と樹脂バインダーとを混合した材料を用いた金属粉末射出成型法により一体に成形する。
【００５２】
次に、弾性部材１１および摩擦部材２２の成形体と支持シャフト２５の成形体とを焼結工程で同時に焼結して一体化した焼結体２０としている。
【００５３】
ここで弾性部材１１および摩擦部材２２の成形体には、マルテンサイト系ステンレス鋼材（ＳＵＳ４４０ＣあるいはＳＵＳ４２０ｊ２）の金属粉末を用い、支持シャフト２５の成形体には、オーステナイト系ステンレス鋼材（ＳＵＳ３０３）の金属粉末を用いている。その他の構成および作用効果は、上記第１の実施形態と同様である。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の第１の実施形態である超音波モータを説明するための断面図である。
【図２】本発明の第１の実施形態である超音波モータの製造方法を説明するための図であり、（ａ）は各部材の成形体を示す断面図、（ｂ）は成形体の同時焼結後の断面図、（ｃ）はシャフト下端部の形状の変形例を示す図である。
【図３】本発明の第２の実施形態である超音波モータを説明するための図であり、（ａ）は振動子の断面図、（ｂ）は各部材の成形体を示す断面図である。
【図４】本発明の第３の実施形態である超音波モータを説明するための図であり、（ａ）は各部材の成形体を示す断面図、（ｂ）は振動子の断面図である。
【図５】本発明の第４の実施形態である超音波モータを説明するための図であり、（ａ）は振動子の断面図、（ｂ）は各部材の成形体を示す断面図である。
【図６】本発明の第５の実施形態である超音波モータを説明するための図であり、（ａ）は超音波モータの断面図、（ｂ）は振動子の断面図である。
【図７】従来の短軸型棒状超音波モータの斜視図である。
【図８】図７に示す超音波モータの断面図である。
【図９】（ａ）は図７に示す超音波モータの振動子の断面図、（ｂ）は振動子の振動モード図である。
【図１０】従来の棒状超音波モータの断面図である。
【符号の説明】
【００５５】
１１  弾性部材
１２  第１の挟持部材
１２ｃ  摩擦部
１３  積層圧電素子（変換素子）
１４  第２の挟持部材
１５  シャフト（締結部材）
１６  摩擦部材
１７  ロータ
１８  ギア
１９  バネ
２１  フランジ
２２  摩擦部材
２２ａ  摩擦部
２５  支持シャフト（支持部材）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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