(57)【要約】      （修正有）【課題】外形サイズが小型化されたプレーナー型アクチュエータの提供。【解決手段】枠状の可動部１３の内側に１本の直線状の梁部１２を一体的に形成し、その長手方向中央をＭＩＤ（Molded-Interconnect-Device）からなる柱状の支持部１１で支持する。可動部１３の表面にはガラス等からなる平板状のミラー部１４が接着固定され、可動部１３の裏面にはＡｌ等の金属薄膜からなるコイルパターンが形成されている。コイルパターンは可動部１３裏面を周回したうえで、その両端が梁部１２の長手方向中央へと引き回され、導電性接着剤を介して支持部１１外側面に形成された導電パターンと接続されている。コイルパターンに通電すると、可動部１３周辺に設置された永久磁石との間に駆動力が発生し、可動部１３は支持部１１を支点として梁部１２が捻じれる方向へ揺動する。【選択図】図１
2008026649.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも、
枠状の可動部と、
当該可動部の内側に形成された梁部と、
当該梁部を支持する支持部と、
前記可動部を揺動させる駆動力を発生する駆動力発生手段とで構成されることを特徴とするプレーナー型アクチュエータ。
【請求項２】
前記梁部は、両端が前記可動部に連結された直線状を成すことを特徴とする請求項１に記載のプレーナー型アクチュエータ。
【請求項３】
前記梁部は、一端が前記可動部に連結されていない片持ち形状を成すことを特徴とする請求項１に記載のプレーナー型アクチュエータ。
【請求項４】
前記梁部は、全端部が前記可動部に連結された十字形状を成すことを特徴とする請求項１に記載のプレーナー型アクチュエータ。
【請求項５】
前記梁部は、少なくとも一部が波形状を成すことを特徴とする請求項１〜４の何れか１つに記載のプレーナー型アクチュエータ。
【請求項６】
前記支持部の先端は複数に分岐し、前記梁部に係合していることを特徴とする請求項１〜５の何れか１つに記載のプレーナー型アクチュエータ。
【請求項７】
前記梁部には、当該梁部の長手方向を前記支持部に対して位置決めする突出部が設けられていることを特徴とする請求項１〜６の何れか１つに記載のプレーナー型アクチュエータ。
【請求項８】
前記駆動力発生手段は、前記可動部に形成されたコイルパターンと、前記可動部周辺に設置された静磁界発生手段とで構成されることを特徴とする請求項１〜７の何れか１つに記載のプレーナー型アクチュエータ。
【請求項９】
前記コイルパターンは、導電ワイヤーを介して外部端子と接続されていることを特徴とする請求項８に記載のプレーナー型アクチュエータ。
【請求項１０】
前記外部端子は、前記支持部の内側に配設されていることを特徴とする請求項９に記載のプレーナー型アクチュエータ。
【請求項１１】
前記支持部には、外部端子と電気的に接続された導電パターンが形成され、前記コイルパターンは、当該導電パターンと導電性接着剤を介して接続されていることを特徴とする請求項８に記載のプレーナー型アクチュエータ。
【請求項１２】
前記支持部の先端には段差部が設けられ、当該段差部に前記導電パターンの一端部が配置されると共に、当該導電パターンの一端部と概ね対向する位置に前記コイルパターンの一端部が配置され、当該段差部に前記導電性接着剤が充填されていることを特徴とする請求項１１に記載のプレーナー型アクチュエータ。
【請求項１３】
前記可動部にミラー部を設けたことを特徴とする請求項１〜１２の何れか１つに記載のプレーナー型アクチュエータ。
【請求項１４】
前記ミラー部は、前記可動部と一体的に形成されていることを特徴とする請求項１３に記載のプレーナー型アクチュエータ。
【請求項１５】
前記ミラー部の前記梁部と対向する位置に、前記梁部に向かって突出する突出部が一体的に形成されていることを特徴とする請求項１４に記載のプレーナー型アクチュエータ。
【請求項１６】
前記可動部を第一の可動部とし、当該第一の可動部内側に設けられた前記梁部を第一の梁部とし、前記第一の可動部を駆動させる駆動力発生手段を第一の駆動力発生手段とした場合に、
前記第一の可動部外周に第二の梁部を介して支持された第二の可動部と、
当該第二の可動部を揺動させる駆動力を発生する第二の駆動力発生手段とを有することを特徴とする請求項１〜１２の何れか１つに記載のプレーナー型アクチュエータ。
【請求項１７】
前記駆動力発生手段は、前記第二の可動部に設けられたコイルパターンと、前記第二の可動部周辺に設置された静磁界発生手段とで構成されることを特徴とする請求項１６に記載のプレーナー型アクチュエータ。
【請求項１８】
前記第二の可動部にミラー部を設けたことを特徴とする請求項１６、又は１７に記載のプレーナー型アクチュエータ。
【請求項１９】
前記可動部を第一の可動部とし、当該第一の可動部内側に設けられた前記梁部を第一の梁部とし、当該第一の梁部を支持する支持部を第一の支持部とし、前記第一の可動部を駆動させる駆動力発生手段を第一の駆動力発生手段とした場合に、
少なくとも、枠状の第二の支持部と、当該第二の支持部の内側に第二の梁部を介して支持された第二の可動部と、当該第二の可動部を揺動させる駆動力を発生する第二の駆動力発生手段とで構成されるアクチュエータを前記第一の可動部に接合したことを特徴とする請求項１〜１２の何れか１つに記載のプレーナー型アクチュエータ。
【請求項２０】
前記第二の駆動力発生手段は、前記第二の可動部に形成されたコイルパターンと、前記アクチュエータ周辺に設置された静磁界発生手段とで構成されることを特徴とする請求項１９に記載のプレーナー型アクチュエータ。
【請求項２１】
前記コイルパターンは前記第二の可動部裏面に形成され、前記第一の可動部表面には前記コイルパターンと接続される連絡用導電パターンが形成されると共に、当該連絡用導電パターンの少なくとも一部は前記第二の支持部に設けられた開口部から外部に露呈され、露呈された前記連絡用導電パターンの一部は導電ワイヤーを介して外部端子に接続されていることを特徴とする請求項２０に記載のプレーナー型アクチュエータ。
【請求項２２】
前記第一の可動部と前記第二の支持部との間にはスペーサーが挟持され、当該スペーサーの表面に前記連絡用導電パターンが形成されていることを特徴とする請求項２１に記載のプレーナー型アクチュエータ。
【請求項２３】
前記第二の可動部にミラー部を設けたことを特徴とする請求項１９〜２２の何れか１つに記載のプレーナー型アクチュエータ。
【請求項２４】
少なくとも、
請求項１３、１４、１５、１８、又は２３に記載のプレーナー型アクチュエータと、
当該プレーナー型アクチュエータが実装された配線基板と、
当該配線基板に接続された導電部材と、
前記プレーナー型アクチュエータが有する前記ミラー部へ光を導出する第一の光ファイバと、
前記ミラー部により反射された光が導入される第二の光ファイバと、
以上の各構成部材を収納する外装とで構成されることを特徴とする光減衰器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プレーナー型アクチュエータ、及びそれを用いた光減衰器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
現在、光スキャナ等に用いられる光偏向器として、枠状の支持部に梁部を介して平板状の可動部を支持したプレーナー型アクチュエータが知られている。
【０００３】
図２８は、従来のプレーナー型アクチュエータを示す上面図である。従来のプレーナー型アクチュエータでは、ＳＯＩ基板等の半導体基板からなる枠状の支持部（フレーム）１の内側に、平板状の可動部（可動板）２が一対の梁部（トーションバー）３により支持されている。可動部２と梁部３は、共に支持部１と一体的に形成されており、梁部３の捻り運動により可動部２が揺動可能となっている。また、可動部２の表面中央には、Ａｕ等の金属薄膜からなるミラー面４が形成され、更にそれを取り囲むようにＡｌ等の金属薄膜からなるコイルパターン（薄膜コイル）５が形成されている。この構成のプレーナー型アクチュエータにおいては、コイルパターン５に通電して静磁界を発生させ、支持部１の周囲に設置した永久磁石等の静磁界発生源６との磁力的な相互作用により可動部２を駆動させている。（例えば、特許文献１参照）
【０００４】
以上説明した従来のプレーナー型アクチュエータは、可動部２を一方向に揺動させるいわゆる一次元駆動型のプレーナー型アクチュエータであるが、可動部２を二方向へ揺動させる二次元駆動型のプレーナー型アクチュエータも提案されている。図２９は、従来の二次元駆動型のプレーナー型アクチュエータを示す上面図で、このように従来の二次元駆動型のプレーナー型アクチュエータでは、枠状の支持部１の内側に一対の梁部３を介して枠状の可動部（可動枠）７が揺動可能に支持されており、更にその枠状の可動部７の内側に一対の梁部８を介してミラー面４を有する平板状の可動部（可動板）２が揺動可能に支持されている。可動板２表面と可動枠７表面には、それぞれ静磁界発生用のコイルパターン５、９が形成され、支持部１の周囲にはそれらに対応する二対の永久磁石６が設置されている。可動枠７を支持する梁部３と可動板２を支持する梁部８とは、互いに直交する向きに配置されており、これにより可動枠７と可動板２とが互いに直交する方向へ揺動して可動板２の二次元駆動が成される。（例えば、特許文献２参照）
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−６６３６２号公報
【特許文献２】特開２００５−１６５２７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
以上説明した従来のプレーナー型アクチュエータでは、可動部の外側に梁部と支持部が配置されるため、プレーナー型アクチュエータの外形サイズが大きくなってしまうという問題があった。特に二次元駆動型のプレーナー型アクチュエータでは、可動板の外側に更に可動枠がある分、この問題がより顕著である。
【０００７】
本発明は、以上の問題点に鑑みてなされたものであり、外形サイズが小型化されたプレーナー型アクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
少なくとも、枠状の可動部と、当該可動部の内側に形成された梁部と、当該梁部を支持する支持部と、前記可動部を揺動させる駆動力を発生する駆動力発生手段とで構成されるプレーナー型アクチュエータとする。
【０００９】
前記梁部は、両端が前記可動部に連結された直線状を成すプレーナー型アクチュエータとする。
【００１０】
前記梁部は、一端が前記可動部に連結されていない片持ち形状を成すプレーナー型アクチュエータとする。
【００１１】
前記梁部は、全端部が前記可動部に連結された十字形状を成すプレーナー型アクチュエータとする。
【００１２】
前記梁部は、少なくとも一部が波形状を成すプレーナー型アクチュエータとする。
【００１３】
前記支持部の先端は複数に分岐し、前記梁部に係合しているプレーナー型アクチュエータとする。
【００１４】
前記梁部には、当該梁部の長手方向を前記支持部に対して位置決めする突出部が設けられているプレーナー型アクチュエータとする。
【００１５】
前記駆動力発生手段は、前記可動部に形成されたコイルパターンと、前記可動部周辺に設置された静磁界発生手段とで構成されるプレーナー型アクチュエータとする。
【００１６】
前記コイルパターンは、導電ワイヤーを介して外部端子と接続されているプレーナー型アクチュエータとする。
【００１７】
前記外部端子は、前記支持部の内側に配設されているプレーナー型アクチュエータとする。
【００１８】
前記支持部には、外部端子と電気的に接続された導電パターンが形成され、前記コイルパターンは、当該導電パターンと導電性接着剤を介して接続されているプレーナー型アクチュエータとする。
【００１９】
前記支持部の先端には段差部が設けられ、当該段差部に前記導電パターンの一端部が配置されると共に、当該導電パターンの一端部と概ね対向する位置に前記コイルパターンの一端部が配置され、当該段差部に前記導電性接着剤が充填されているプレーナー型アクチュエータとする。
【００２０】
前記可動部に、ミラー部を設けたプレーナー型アクチュエータとする。
【００２１】
前記ミラー部は、前記可動部と一体的に形成されているプレーナー型アクチュエータとする。
【００２２】
前記ミラー部の前記梁部と対向する位置には、前記梁部に向かって突出する突出部が一体的に形成されているプレーナー型アクチュエータとする。
【００２３】
前記可動部を第一の可動部とし、当該第一の可動部内側に設けられた前記梁部を第一の梁部とし、前記第一の可動部を駆動させる駆動力発生手段を第一の駆動力発生手段とした場合に、前記第一の可動部外周に第二の梁部を介して支持された第二の可動部と、当該第二の可動部を揺動させる駆動力を発生する第二の駆動力発生手段とを有するプレーナー型アクチュエータとする。
【００２４】
前記駆動力発生手段は、前記第二の可動部に設けられたコイルパターンと、前記第二の可動部周辺に設置された静磁界発生手段とで構成されるプレーナー型アクチュエータとする。
【００２５】
前記第二の可動部には、当該第二の可動部とは別体のミラー部が接合されているプレーナー型アクチュエータとする。
【００２６】
前記可動部を第一の可動部とし、当該第一の可動部内側に設けられた前記梁部を第一の梁部とし、当該第一の梁部を支持する支持部を第一の支持部とし、前記第一の可動部を駆動させる駆動力発生手段を第一の駆動力発生手段とした場合に、少なくとも、枠状の第二の支持部と、当該第二の支持部の内側に第二の梁部を介して支持された第二の可動部と、当該第二の可動部を揺動させる駆動力を発生する第二の駆動力発生手段とで構成されるアクチュエータを前記第一の可動部に接合したプレーナー型アクチュエータとする。
【００２７】
前記第二の駆動力発生手段は、前記第二の可動部に形成されたコイルパターンと、前記アクチュエータ周辺に設置された静磁界発生手段とで構成されるプレーナー型アクチュエータとする。
【００２８】
前記コイルパターンは前記第二の可動部裏面に形成され、前記第一の可動部表面には前記コイルパターンと接続される連絡用導電パターンが形成されると共に、当該連絡用導電パターンの少なくとも一部は前記第二の支持部に設けられた開口部から外部に露呈され、露呈された前記連絡用導電パターンの一部は導電ワイヤーを介して外部端子に接続されているプレーナー型アクチュエータとする。
【００２９】
前記第一の可動部と前記第二の支持部との間にはスペーサーが挟持され、当該スペーサーの表面に前記連絡用導電パターンが形成されているプレーナー型アクチュエータとする。
【００３０】
前記第二の可動部にミラー部を設けたプレーナー型アクチュエータとする。
【００３１】
少なくとも、可動部にミラー部が設けられた前記プレーナー型アクチュエータと、当該プレーナー型アクチュエータが実装された配線基板と、当該配線基板に接続された導電部材と、前記プレーナー型アクチュエータが有する前記ミラー部へ光を導出する第一の光ファイバと、前記ミラー部により反射された光が導入される第二の光ファイバと、以上の各構成部材を収納する外装とで構成される光減衰器とする。
【発明の効果】
【００３２】
本発明のプレーナー型アクチュエータでは、枠状の可動部の内側に梁部を形成し、柱状の支持部材で支持する構成としているため、従来のように可動部の外側に可動部を支持するための梁部と支持部を設ける必要がなくなり、プレーナー型アクチュエータの外形サイズが小型化される。
【００３３】
また、本発明では梁部の捻り弾性を利用して可動部を揺動させているため、梁部を用いた従来のプレーナー型アクチュエータと比較して振れ角や共振周波数等の特性が大きく変わることはなく、従来品の代替物としての使用が可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
枠状に形成した可動部の内側に梁部を一体的に形成し、梁部をＭＩＤ（Molded-Interconnect-Device）からなる柱状の支持部材で支持する構成とする。
【実施例１】
【００３５】
図１は、本発明によるプレーナー型アクチュエータを示す分解斜視図である。尚、本実施例１を含め本明細書における断面図では、特に断りがない限りコイルパターンは図示省略とする。本実施例１によるプレーナー型アクチュエータは、先端が２つに分岐した音叉形状を成す支持部１１と、枠状に形成された平板の内側に一本の直線状の梁部１２が一体的に形成された可動部１３と、可動部１３と概ね同一外形の平板状のミラー部１４とで構成されている。
【００３６】
支持部１１は、樹脂を射出成形することで金属配線を一体的に形成したＭＩＤ（Molded-Interconnect-Device）で構成され、可動部１３はＳＯＩ基板等の半導体基板からなり、ミラー部１４は表面がミラー面として形成されたガラス等からなるもので、これら３つの構成部材は、支持部１１先端の音叉形状部位に可動部１３の梁部１２が係合したうえで接着固定され、更に可動部１３表面にミラー部１４が接着固定されることで互いに組み付けられている。
【００３７】
図２は、可動部の下面図で、当該図２に示すように可動部１３の裏面にはＡｌ等の金属薄膜からなるコイルパターン１５が形成されている。コイルパターン１５は、可動部１３裏面を周回したうえで梁部１２の長手方向中央へと引き回され、その両端部が幅広の電極端子１５ａとして形成されている。
【００３８】
図３は、支持部先端の拡大斜視図で、当該図３に示すようにＭＩＤからなる支持部１１の互いに対向する二側面には、Ａｌ等からなる導電パターン１６が形成されている。導電パターン１６は、支持部１１の下端部から上端部へ向かって延在しており、その先端は幅広の電極端子１６ａとして形成されている。
【００３９】
図４は、図１に示したプレーナー型アクチュエータのＡ−Ａ’断面図ならびにその要部拡大図で、当該図４に示すように可動部１３裏面に形成されたコイルパターン１５と支持部１１側面に形成された導電パターン１６とは、それら先端の電極端子１５ａと電極端子１６ａとが梁部１２と支持部１１との係合部位近傍において導電性接着剤１７を介して接続され、これによりコイルパターン１５と導電パターン１６との導通が成されると共に、導電性接着剤１７の接着力により梁部１２と支持部１１とが互いに固定されている。
【００４０】
本実施例１では、支持部１１側面に形成された導電パターン１６を介して可動部１３裏面に形成されたコイルパターン１５に電力を供給し、それにより発生する静磁界と可動部１３周辺に設置した永久磁石（不図示）との間に作用する磁力的相互作用により可動部１３を駆動させている。
【００４１】
図５は、図１に示したプレーナー型アクチュエータのＢ−Ｂ’断面図で、可動部１３に形成されたコイルパターン１５に電力が供給されると、可動部１３は支持部１１と梁部１２との係合部位を支点として梁部１２の長手方向を軸に図中矢印で示す方向へ揺動する。可動部１３が揺動すると、そこに固定されたミラー部１４も共に揺動し、ミラー部１４表面に照射される光の反射光路が変化して偏光器として機能する。
【００４２】
図６は、本実施例１によるプレーナー型アクチュエータの製造方法を示すＢ−Ｂ’断面図である。以下、当該図６を参照して本実施例１によるプレーナー型アクチュエータをＳＯＩ基板から作製する方法について説明する。尚、ここでは、フォトレジストの塗布・剥離工程等、通常のフォトリソグラフィープロセスにおいて周知の部分については説明を省略する。
【００４３】
工程（ａ）：ＳＯＩ基板１８の表裏面を熱酸化し、絶縁層である表面側シリコン酸化膜１９ａと裏面側シリコン酸化膜１９ｂを形成したうえで、裏面側シリコン酸化膜１９ｂ上にＡｌ等からなるコイルパターン１５を形成し、コイルパターン１５をＳｉＯ2等の絶縁膜２０で被覆する。
【００４４】
工程（ｂ）：表面側シリコン酸化膜１９ａをエッチングによりパターニングし、パターンニングした表面側シリコン酸化膜１９ａをエッチングマスクとして露出領域の上側シリコン層１８ａを中間層（ＳｉＯ2層）１８ｂが露出するまで異方性のドライエッチングにより除去し、更に露出した中間層１８ｂを異方性のウェットエッチングにより下側シリコン層１８ｃが露出するまで除去する。
【００４５】
工程（ｃ）：裏面側シリコン酸化膜１９ｂをエッチングによりパターンニングし、パターンニングした裏面側シリコン酸化膜１９ｂをエッチングマスクとして露出領域の下側シリコン層１８ｃを異方性のドライエッチングにより貫通するまで除去する。
【００４６】
工程（ｄ）：表面側シリコン酸化膜１９ａ表面に接着剤（不図示）を塗布し、ミラー部となるガラス基板１４を接合する。この際、接着剤として放熱性の高いシリコン樹脂系のものを使用すれば、コイルパターン１５で発生する熱が周囲に分散され、可動部１３やミラー部１４の反りを防止することができる。
【００４７】
その後、以上の工程により作製された可動部１３を、別途作製した支持部１１の先端に梁部１２の長手方向中央を位置決めし、梁部１２を支持部１１先端の音叉形状部に係合させたうえで接着剤（図４参照）により固定する。この際、接着剤に導電性接着剤を使用し、可動部１３に形成されたコイルパターン１５の先端部（電極端子１５ａ）と支持部１１に形成された導電パターン１６の先端部（電極端子１６ａ）とを覆うように塗布することで、一種類の接着剤で可動部１３の固定とコイルパターン１５の電気的接続を行うことができる。
【００４８】
以上説明した本実施例１によるプレーナー型アクチュエータにおいては、従来、可動部の外側へ平面的に突出した梁部が可動部の内側に形成されているため、可動部の外形サイズを小さくすることが可能である。また、梁部１２の捻り弾性を利用して可動部１３を揺動させているため、従来のプレーナー型アクチュエータに近い諸特性（振れ角や共振周波数等）を得ることができる。
【実施例２】
【００４９】
図７は、本発明によるプレーナー型アクチュエータの他の実施形態を示す図で、可動部からミラー部を取り外した状態を示す上面図である。本実施例２は、前述の実施例１に改良を加えたもので、可動部１３の支持部１１に対する位置決めが容易に行える構造を有しているものである。即ち、本実施例２においては、可動部１３が有する梁部１２の長手方向中央に、梁部１２の長手方向と直交する方向へ突出した２つの突出部１２ａが一体的に形成されている。更に、それに対応するように支持部１１の先端が４つに分岐しており、その分岐した先端の各枝部間に梁部１２と突出部１２ａが係合している。即ち、梁部１２の長手方向に沿って延びる枝部間の溝１１ａに梁部１２が係合し、それとは直交する方向へ延びる枝部間の溝１１ｂに突出部１２ａが係合している。
【００５０】
図８は、可動部の下面図で、本実施例２におけるコイルパターン１５は実施例１と同様のパターン形状を有しており、可動部１３裏面を周回したうえで梁部１２の長手方向中央に引き回され、その両端が幅広の電極端子１５ａとして形成されている。
【００５１】
図９は、支持部先端の拡大斜視図で、当該図９に示すように、支持部１１の先端は梁部１２中央の十字形状が係合するように４つに分岐していると共に、支持部１１の互いに対向する二側面には、支持部１１の下端部から上端部へ向かって延在するＡｌ等からなる導電パターン１６が形成されている。更に本実施例２では、互いに隣接する枝部の付根間に段差部１１ｃが設けられており、そこに導電パターン１６先端の電極端子１６ａが配設されている。
【００５２】
図１０は、図７に示したプレーナー型アクチュエータのＡ−Ａ’断面図ならびにその要部拡大部で、当該図７に示すように可動部１３裏面に形成されたコイルパターン１５と支持部１１側面に形成された導電パターン１６とは、実施例１と同様にそれら先端の電極端子１５ａと電極端子１６ａとが梁部１２と支持部１１との係合部位近傍において導電性接着剤１７を介して接続されることで導通が成されていると共に、導電性接着剤１７の接着力により梁部１２と支持部１１とが互いに固定されている。ここで、導電性接着剤１７は支持部１１先端の段差部１１ｃに充填されるため、導電性接着剤１７の流出が抑制されると共に、可動部１３と支持部１１との固定力を強化することができる。尚、支持部１１先端に段差部１１ｃを設ける構成は、実施例１にも適用が可能である。
【実施例３】
【００５３】
図１１は、本発明によるプレーナー型アクチュエータの他の実施形態を示す図で、（ａ）上面図、（ｂ）（ａ）のＡ−Ａ’断面図である。また、図１２は、可動部からミラー部を取り外した状態を示す上面図である。前述の実施例１、２では、可動部の裏面にコイルパターンが形成されていたのに対し、本実施例３では、図１２に示すように可動部１３の表面にコイルパターン２１が形成されている。コイルパターン２１の両端は幅広の電極端子２１ａとして形成され、可動部１３の表面上に配置されている。２つの電極端子２１ａは、図１１（ａ）に示すようにミラー部２２の互いに対向する二辺にそれぞれ設けられた開口部（切欠部）２２ａから露呈されており、可動部１３周辺に任意に設置された外部端子２３に導電ワイヤー２４を介して接続されている。
【００５４】
コイルパターン２１両端の電極端子２１ａは、可動部１３表面のどの位置に設けてもよいが、可動部１３が揺動する際に導電ワイヤー２４に掛かる不要な応力を低減して導電ワイヤー２４の断線を防止する意味では、梁部１２の概ね延長線上に配置するのが好ましい。
【００５５】
また、ミラー部２２は、図１１（ｂ）に示すように絶縁性接着剤２５を介して可動部１３に固定されており、これにより可動部１３の固定とコイルパターンの保護が同時に成されている。
【００５６】
図１３は、実施例３の変形例を示すＡ−Ａ’断面図である。可動部１３に形成されるコイルパターン２１は外部より好適に保護されるべきものであるが、その保護形態としては、図１１（ｂ）に示したようにミラー部２２を可動部１３に固定する際の接着剤２５を兼用して保護する形態の外に、図１３（ａ）に示すように可動部１３の表面側に凹部１３ａを設け、そこにコイルパターン２１を収容する形態や、それとは逆に図１３（ｂ）に示すようにミラー部２２の裏面側に凹部２２ｂを設ける形態、更には図１３（ｃ）に示すようにコイルパターン２１を直接ミラー部２２の表面上に配設して絶縁膜２６で被覆する形態等を取り得る。
【実施例４】
【００５７】
図１４は、本発明によるプレーナー型アクチュエータの他の実施形態を示す図で、（ａ）可動部からミラー部を取り外した状態を示す上面図、（ｂ）可動部にミラー部を接合した状態を示す（ａ）のＡ−Ａ’断面図である。本実施例４は、前述の実施例３の変形例であり、特徴は梁部の上下方向の形成位置（高さ）にある。即ち、前述の実施例３では、梁部１２は可動部１３の裏面寄りに設けられていたのに対し、本実施例４では可動部１３の表面寄りに設けられている。また、梁部１２を可動部１３の表面寄りに設けることによって支持部１１先端とミラー部２７裏面との距離が縮まり、可動部１３が揺動する際に支持部１１先端がミラー部２７裏面に接触する虞があるため、ミラー部２７の裏面側には凹部２７ａが設けられている。
【００５８】
また、梁部１２表面は可動部１３表面と同一平面上にあり、コイルパターン２８は可動部１３表面を周回したうえで梁部１２表面の長手方向中央に引き回され、そこに電極端子２８ａが形成されている。電極端子２８ａは、可動部１３内側の貫通部分に配設された任意の外部端子２３と導電ワイヤー２４により接続されている。尚、外部端子２３は、例えば可動部１３の裏面側から表面側へ向かって突き出た柱状の端子として構成されている。
【００５９】
以上のように外部端子２３を可動部１３の内側に配置すれば、可動部１３の周囲に外部端子を設置するためのスペースが不要となり、プレーナー型アクチュエータの外形サイズを実質的に小型化することができる。また、電極端子２８ａは非可動の梁部１２上に配設されているため、可動部１３の揺動時に導電ワイヤー２４に不要な応力が掛かることはなく、導電ワイヤー２４の断線を防止することができる。更に本実施例４では、梁部１２の中心軸を可動部１３の重心に近づけることができるため、可動部１３の駆動が安定化する。尚、本実施例４を実施するうえでは、導電ワイヤー２４がミラー部２７裏面に接触しないように、ミラー部２７裏面に凹部２７ａを形成しておくなどしてミラー部２７裏面側に十分な空間を形成しておく必要がある。
【００６０】
図１５は、本実施例４によるプレーナー型アクチュエータの製造方法を示すＡ−Ａ’断面図である。以下、当該図１５を参照して本実施例４によるプレーナー型アクチュエータをＳＯＩ基板から作製する方法について説明する。尚、ここでは、フォトレジストの塗布・剥離工程等、通常のフォトリソグラフィープロセスにおいて周知の部分については説明を省略する。
【００６１】
工程（ａ）：ＳＯＩ基板１８の表裏面を熱酸化し、絶縁層である表面側シリコン酸化膜１９ａと裏面側シリコン酸化膜１９ｂを形成したうえで、表面側シリコン酸化膜１９ａ上にＡｌ等からなるコイルパターン２８を形成し、コイルパターン２８をＳｉＯ2等の絶縁膜２０で被覆する。
【００６２】
工程（ｂ）：裏面側シリコン酸化膜１９ｂをエッチングによりパターニングし、パターンニングした裏面側シリコン酸化膜１９ｂをエッチングマスクとして露出領域の下側シリコン層１８ｃを中間層（ＳｉＯ2層）１８ｂが露出するまで異方性のドライエッチングにより除去し、更に露出した中間層１８ｂを異方性のウェットエッチングにより上側シリコン層１８ａが露出するまで除去する。
【００６３】
工程（ｃ）：表面側シリコン酸化膜１９ａをエッチングによりパターンニングし、パターニングした表面側シリコン酸化膜１９ａをエッチングマスクとして露出領域の上側シリコン層１８ａを異方性のドライエッチングにより貫通するまで除去する。
【００６４】
工程（ｄ）：別途作製した支持部１１の先端に梁部１２の長手方向中央を位置決めし、梁部１２を支持部１１先端の音叉形状部位に係合させたうえで接着剤（図４参照）により固定する。その後、梁部１２表面に形成された電極端子２８ａと外部端子２３とをワイヤーボンディングにより導電ワイヤー２４で接続し、次いで表面側シリコン酸化膜１９ａ表面に接着剤（好ましくは絶縁性接着剤）２９を塗布したうえでガラス基板２７を接合する。尚、この際、接着剤として放熱性の高いシリコン樹脂系のものを用いれば、コイルパターン２８で発生する熱が分散されて可動部１３やミラー部（ガラス板）２７の反りを防止することができる。
【実施例５】
【００６５】
図１６は、本発明によるプレーナー型アクチュエータの他の実施形態を示すＡ−Ａ’断面図である。前述した実施例１〜４では、ミラー部は可動部とは別体のガラス板で構成されていたのに対し、本実施例５では、図１６に示すように可動部３０と一体的に形成されている。この場合、ミラー部３１の表面にはＡｕ等の金属薄膜によりミラー面３２が形成されており、ミラー部３１を別体にする場合と比べて部品点数を削減することができると共に、可動部を軽量化することができる。
【００６６】
また、可動部３０裏面の梁部３３と対向する位置には、梁部３３へ向かって突出した突出部３０ａが一体的に形成されている。突出部３０ａは、外部からの衝撃などにより可動部３０が瞬間的に上下方向へ大きく振動した際に、梁部３３と接触することで梁部３３の振動を抑制するストッパーとしての役割を果たし、これにより梁部３３の破損（折れ）を防止することができる。
【００６７】
図１７は、本実施例５によるプレーナー型アクチュエータの製造方法を示すＡ−Ａ’断面図である。以下、当該図１７を参照して本実施例５によるプレーナー型アクチュエータをＳＯＩ基板から作製する方法について説明する。尚、ここでは、フォトレジストの塗布・剥離工程等、通常のフォトリソグラフィープロセスにおいて周知の部分については説明を省略する。
【００６８】
工程（ａ）：ＳＯＩ基板１８の表裏面を熱酸化し、絶縁層である表面側シリコン酸化膜１９ａと裏面側シリコン酸化膜１９ｂを形成したうえで、裏面側シリコン酸化膜１９ｂ上にＡｌ等からなるコイルパターン１５を形成し、コイルパターン１５をＳｉＯ2等の絶縁膜２０で被覆する。
【００６９】
工程（ｂ）：裏面側シリコン酸化膜１９ｂをエッチングによりパターニングし、パターニングした裏面側シリコン酸化膜１９ｂをエッチングマスクとして露出領域の下側シリコン層１８ｃを中間層（ＳｉＯ2層）１８ｂが露出するまで異方性のドライエッチングにより除去し、露出した中間層１８ｂを異方性のウェットエッチングにより上側シリコン層１８ａが露出するまで除去し、更に露出した上側シリコン層１８ａを異方性のドライエッチングにより貫通しない程度に一定量除去する。
【００７０】
工程（ｃ）：梁部３３と上側シリコン層１８ａとを繋いでいる中間層１８ｂをウェットエッチングにより除去し、次いで上側シリコン酸化膜１９ａ上にＡｕ等からなる金属薄膜を蒸着やスパッタリングにより堆積してミラー面３２を形成する。その後、以上の工程により作製された可動部３０を別途作製した支持部１１の先端に梁部３３の長手方向中央を位置決めし、梁部３３を支持部１１先端の音叉形状部位に係合させたうえで接着剤（図４参照）により固定する。
【００７１】
ここで、梁部３３と突出部３０ａとの間には中間層１８ｂの厚さに相当する間隙が存在しているが、可動部３０の揺動範囲（最大振れ角）が大きい場合には、可動部３０が揺動する際に支持部１１先端が可動部３０裏面の突出部３０ａに接触してしまう虞があるため、工程（ｂ）の後に図１７に示す工程（ｂ’）のように上側シリコン層１８ａ（特に突出部３０ａ）を等方性のドライエッチング等により一部除去し、梁部３３と突出部３０ａとの間の空間を広げるのが好ましい。こうすることで、支持部１１先端が突出部３０ａに接触するのを防止して可動部３０の広い揺動範囲を確保しつつ、突出部３０ａによる梁部３３の緩衝効果を得ることが可能となる。
【実施例６】
【００７２】
図１８は、本発明によるプレーナー型アクチュエータの他の実施形態を示す図で、可動部からミラー部を取り外した状態を示す斜視図である。本実施例６は、可動部の二次元駆動が可能な構成を有するもので、前述の実施例１〜５の如き一次元駆動型の可動部（以下、内側可動部）３４を囲繞するように枠状の可動部（以下、外側可動部）３５が一対の梁部３６を介して一体的に形成されている。外側可動部３５を支持する一対の梁部３６は、内側可動部３４が有する梁部３７とは中心軸が直交するように配置されており、これにより内側可動部３４と外側可動部３５とは互いに直行する方向へ揺動する。
【００７３】
また、内側可動部３４の裏面には、前述の図２に示した実施例１の如く、内側可動部３４を駆動させるためのコイルパターン（不図示）が形成され、それと同様に外側可動部３５の裏面には、外側可動部３５を駆動させるためのコイルパターン（不図示）が形成されている。コイルパターンは、可動部３４、３５の表面に形成して導電ワイヤーで接続するようにしてもよいが、可動部３４、３５が揺動することで導電ワイヤーが断線する虞があるため（特に二次元動作をする外側可動部３５に関しては）、可動部３４、３５の裏面に形成して図４に示した如く導電性接着剤で支持部１１側と導通させるのが好ましい。
【００７４】
図１９は、図１８に示した可動部にミラー部を接合した状態を示すＡ−Ａ’断面図である。本実施例６においては、外側可動部３５を内側可動部３４とは独立して揺動させるために、ミラー部３８を外側可動部３５にのみ接合してミラー部３８と内側可動部３５とを互いに切り離しておくと共に、外側可動部３５の揺動時にミラー部３８裏面が内側可動部３４に接触しないように、外側可動部３５の揺動範囲（最大振れ角）に応じてミラー部３８裏面と内側可動部３４との間にある程度の空間を設けておく必要がある。その実施形態としては、図１９（ａ）に示すようにガラス等からなるミラー部３８の裏面に外側可動部３５の内側輪郭線に概ね沿った外形を有する凹部３８ａを設けたり、図１９（ｂ）に示すようにミラー部３８と外側可動部３５との間に枠状のスペーサー３９（材質は適宜選択）を介在させたり、図１９（ｃ）に示すように外側可動部３５を内側可動部３４に対して肉厚に形成すればよい。
【００７５】
以上のように、本実施例６では内側可動部３４を支持するための梁部３７が内側可動部３４の内側に形成されているため、少なくともその分、従来の二次元駆動型のプレーナー型アクチュエータより外形サイズを小型化することができる。
【実施例７】
【００７６】
図２０は、本発明によるプレーナー型アクチュエータの他の実施形態を示す図で、可動部の模式的な分解斜視図である。また、図２１は、図２０に示した可動部を支持部に組み付けた状態を示すＡ−Ａ’断面図である。本実施例７は、前述の実施例６と同様に可動部の二次元駆動を実現するもので、前述の実施例１〜５の如き一次元駆動型のプレーナー型アクチュエータ（以下、第一のアクチュエータ）４０の上に、枠状のスペーサー４１（材質は適宜選択）を介して従来の如き一次元駆動型のプレーナー型アクチュエータ（以下、第二のアクチュエータ）４２が積層されている。第一のアクチュエータ４０と第二のアクチュエータ４２とは、各々が有する梁部４３、４４の中心軸が互いに直交するように配置されており、これにより、第一のアクチュエータ４０の可動部４５と第二のアクチュエータ４２の可動部４６とは互いに直交する方向へ揺動する。第二のアクチュエータ４２の可動部４６表面には、Ａｕ等の金属薄膜からなるミラー面４７が形成されており、照射された光を二次元方向へ反射する。
【００７７】
スペーサー４１は、第二のアクチュエータ４２の可動部４６が揺動する際に可動部４６が第一のアクチュエータ４０の梁部４３に接触しないように、第二のアクチュエータ４２の可動部４６と第一のアクチュエータ４０の梁部４３との間に空間を形成するためのものであるが、可動部４５の揺動範囲（最大振れ角）が小さく、可動部４６が梁部４３に接触する虞がないのであれば省略することも可能である。
【００７８】
図２２は、図２０に示したプレーナー型アクチュエータにおけるコイルパターンの接続方法を説明するための図で、（ａ）上面図、（ｂ）側面図である。本実施例７において、第一のアクチュエータ４０を駆動させるためのコイルパターン（不図示）は、前述の図２に示した実施例１の如く可動部４５の裏面に形成され、梁部４３と支持部１１との連結部位において導電性接着剤を介して支持部１１側と接続されている。
【００７９】
一方で、第二のアクチュエータ４２を駆動させるためのコイルパターン４８は、図２２中点線で示すように可動部４６裏面を周回したうえで支持枠４９側へ引き回され、その両端が幅広の電極端子４８ａとして形成されている。電極端子４８ａは、スペーサー４１表面に形成された連絡用導電パターン５０の一端に設けられた電極端子５０ａに接続され、連絡用導電パターン５０の他端は幅広の電極端子５０ｂとして形成されて支持枠４９外周に設けられた開口部（切欠部）４９ａから外部に露呈され、導電ワイヤー２４を介して外部端子２３に接続されている。
【００８０】
連絡用導電パターン５０の電極端子５０ｂと外部端子２３は、共に第一のアクチュエータ４０が有する梁部４３の概ね軸線上に配置されており、可動部４５の揺動時に導電ワイヤー２４に掛かる応力が低減されるようになっている。また、連絡用導電パターン５０の電極端子５０ｂを外部に露呈するために支持枠４９外周に設けられた開口部４９ａには、絶縁性樹脂、好ましくは導電ワイヤー２４への応力が緩和されるように軟質系の絶縁性樹脂を塗布するようにしてもよい。
【００８１】
図２３は、第二のアクチュエータ４２とスペーサー４１とを分離して見開き状態に展開した平面図で、第二のアクチュエータ４２裏面に形成されたコイルパターン４８と、スペーサー４１表面に形成された連絡用導電パターン５０とは、導電性接着剤５１を介して各々の電極端子４８ａ、５０ａ同士が接続されることで導通している。尚、ここで用いる導電性接着剤５１を第二のアクチュエータ４２とスペーサー４１とを接合するための接着剤として兼用することも可能である。
【００８２】
また、コイルパターン４８や連絡用導電パターン５０の形成位置や接続方法は、以上説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば第二のアクチュエータ４２を駆動するためのコイルパターン４８を第二のアクチュエータ４２の可動部４６表面に形成したり、スペーサー４１を用いない場合には、スペーサー４１表面の連絡用導電パターン５０を第一のアクチュエータ４０の可動部４５表面に形成するようにしてもよい。但し、第二のアクチュエータ４２を駆動させるためのコイルパターン４８を図２２に示したように第二のアクチュエータ４２の裏面側に形成すれば、第二のアクチュエータ４２の可動部４６表面全体をミラー面として使用できるため好ましい。
【００８３】
また、図示は省略するが、スペーサー４１の表裏面に位置決めピンを設け、それを各アクチュエータに設けた位置決めピン挿入用の穴部に係合させるようにすれば、各部材同士を容易且つ精確に位置決めすることができる。
【実施例８】
【００８４】
図２４は、本発明によるプレーナー型アクチュエータの他の実施形態を示す図で、（ａ）可動部からミラー部を取り外した状態を示す上面図、（ｂ）可動部にミラー部を接合した状態を示す（ａ）のＡ−Ａ’断面図である。本実施例８は、可動部を二次元駆動させる別の実施形態で、枠状に形成された可動部５２の内側に十字形状の梁部５３が形成されているものである。梁部５３の中央部位は、前述の図９に示した実施例２の如く先端が４つに分岐した支持部１１により支持されており、可動部５２は支持部１１を支点として二次元方向へ揺動する。
【００８５】
可動部５２が二次元方向へ揺動する際、梁部５３の長手方向には梁部５３を屈曲させようとする力が働くことになるが、梁部５３には捻り弾性だけでなく屈曲する方向への撓み弾性があるため、可動部５２はその撓み弾性に抗しつつ梁部５３の長手方向へもある程度揺動する。
【００８６】
図２５は、図２４に示した実施例８の変形例を示す上面図である。図２４に示した実施形態では梁部５３は直線状であるため、梁部５３の長手方向への変位量が少なく可動部５２の揺動範囲が狭いが、梁部５３の形状を図２５に示すように波形状とすることで、可動部５２の揺動範囲を拡大することが可能である。尚、梁部５３は少なくともその一部が波形状となっていればよく、必ずしも梁部全体が波形状となっている必要はない。また、梁部を波形状とすることで可動部の揺動範囲を拡大することは、前述の実施例１〜７に対しても適用が可能である。
【００８７】
本実施例８においては、梁部５３を十字形状、特に中央で交差する正十字形状とすることで可動部５２の質量的なバランスがよくなることに加え、前述の実施例６、７のように可動部の質量を大きく増加させることがないため、可動部の駆動を安定化することができる。更に、実施例６、７と同様の二次元駆動を達成しながらも、それらのように外形サイズや厚みサイズが増加することはなく、実施例１に示したような一次元駆動型のものと同サイズが実現可能である。
【実施例９】
【００８８】
図２６は、本発明によるプレーナー型アクチュエータの他の実施形態を示す図で、（ａ）可動部からミラー部を取り外した状態を示す上面図、（ｂ）可動部にミラー部を接合した状態を示す（ａ）のＡ−Ａ’断面図である。本実施例９は、可動部を二次元駆動させる別の実施形態で、梁部５４が片持ち形状となっているところに特徴がある。梁部５４の一端は可動部５５の内側に連結され、他端は可動部５５に連結されていない自由端となっており、自由端は支持部１１の先端に係合したうえで接着剤（不図示）により固定されている。
【００８９】
可動部５５は、前述の実施例８と同様に梁部５４の捻り方向と撓み方向へ揺動し、二次元的な駆動が成される。この構成では、梁部５４の一端が自由端として可動部５５とは分離されているため、前述の実施例８と比較して駆動の安定性の面では劣るものの、梁部の長手方向への撓み量が大きくなるため、可動部の揺動範囲を拡大することができる。
【実施例１０】
【００９０】
図２７は、本発明によるプレーナー型アクチュエータを使用した光減衰器を示す図で、（ａ）斜視図、（ｂ）（ａ）のＡ−Ａ’断面図である。本発明によるプレーナー型アクチュエータを利用した機器としては、例えば光減衰器が挙げられる。本実施例１０における光減衰器においては、まず、前述の図１に示した実施例１の如き一次元駆動型のプレーナー型アクチュエータ５６がリジッドタイプの配線基板５７上に実装された状態で円筒状の外装５８内部に収納されている。実装に際しては、プレーナー型アクチュエータ５６の支持部１１表面に形成された導電パターン（不図示）と、配線基板５７表面に形成された導電パターン（不図示）とが半田や導電性接着剤（不図示）により接続される。
【００９１】
配線基板５７は、静磁界発生手段である永久磁石５９上に固定されており、永久磁石５９自体は、外装５８の一端部に嵌合された端子部材６０に固定されている。端子部材６０には、導電材質のリード６１が貫通されており、リード６１の外装５８内部側の端部には、例えばＦＰＣ等の導電部材６２の一端部が接続されている。ＦＰＣ６２の他端部は、プレーナー型アクチュエータ５６が実装された回路基板５７に接続され、これによりプレーナー型アクチュエータ５６とリード６１との導通が成されている。
【００９２】
また、外装５８の端子部材６０が嵌合された側とは反対側の端部には、プレーナー型アクチュエータ５６のミラー部５６ａへ外部から光を導入するための第一の光ファイバ６３と、ミラー部５６ａで反射された光を外部へ導出するための第二の光ファイバ６４が固定され、更にそれらの光路中には光路変換用のレンズ６５が配置されている。尚、光路変換をする必要が無い場合には、レンズ６５は省略しても構わない。
【００９３】
第一の光ファイバ６３を通して外装５８内部へ導入された光は、レンズ６５により光路がミラー部５６ａ中央側へと変換されたうえでミラー部５６ａ表面に照射される。ミラー部５６ａ表面に照射された光はミラー部５６ａ表面で反射され、再度レンズ６５により光路が変換されたうえで第二の光ファイバ６４を通して外装５８外部へと導出される。ミラー部５６ａは、光の減衰量に応じて所定の角度に傾斜し、それにより反射光の光路が変化して第二の光ファイバ６４へ導入される光量が増減する。
【００９４】
図２７からも明らかなように、光減衰器の外形サイズはプレーナー型アクチュエータ５６の外形サイズに依存しており、プレーナー型アクチュエータ５６の外形サイズが小型化されれば、それに伴って光減衰器の外形サイズも小型化される。本発明によるプレーナー型アクチュエータ５６においては、従来のように可動部外周には梁部と支持部が配置されておらず、外形サイズが可動部の外形サイズにまで小型化されているため、それを光減衰器に適用した場合には、光減衰器の外形サイズもそれに応じて大幅に小型化される。
【００９５】
以上、本発明の実施例について説明したが、本発明によるプレーナー型アクチュエータは、ＳＯＩ基板のみならずモノリシックなシリコン基板から作製することも可能である。
【００９６】
駆動力発生手段としては、薄膜コイル（コイルパターン）を磁性体薄膜からなる薄膜磁石で置き換え、可動部周辺に設置した電磁石との間で駆動力を発生させたり、薄膜コイルをＡｌ等の金属薄膜からなる平面電極で置き換え、可動部周辺に設置した電極との間で駆動力を発生させるいわゆる静電駆動方式としたり、更には圧電駆動方式、熱駆動方式等とすることも可能であり、適宜選択され得るものである。
【００９７】
可動部や梁部の形状も本明細書で例示したものに限定されず、その他種々の形態を取り得るものである。また、本発明の技術内容は、互いを適宜組み合わせて実施することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００９８】
【図１】本発明によるプレーナー型アクチュエータを示す分解斜視図（実施例１）
【図２】可動部の下面図（実施例１）
【図３】支持部先端の拡大斜視図（実施例１）
【図４】図１に示したプレーナー型アクチュエータのＡ−Ａ’断面図ならびにその要部拡大図（実施例１）
【図５】図１に示したプレーナー型アクチュエータのＢ−Ｂ’断面図（実施例１）
【図６】プレーナー型アクチュエータの製造方法を示すＢ−Ｂ’断面図（実施例１）
【図７】本発明によるプレーナー型アクチュエータの他の実施形態を示す図で、可動部からミラー部を取り外した状態を示す上面図（実施例２）
【図８】可動部の下面図（実施例２）
【図９】支持部先端の拡大斜視図（実施例２）
【図１０】図７に示したプレーナー型アクチュエータのＡ−Ａ’断面図ならびにその要部拡大部（実施例２）
【図１１】本発明によるプレーナー型アクチュエータの他の実施形態を示す図で、（ａ）上面図、（ｂ）（ａ）のＡ−Ａ’断面図（実施例３）
【図１２】可動部からミラー部を取り外した状態を示す上面図（実施例３）
【図１３】実施例３の変形例を示すＡ−Ａ’断面図（実施例３）
【図１４】本発明によるプレーナー型アクチュエータの他の実施形態を示す図で、（ａ）可動部からミラー部を取り外した状態を示す上面図、（ｂ）可動部にミラー部を接合した状態を示す（ａ）のＡ−Ａ’断面図（実施例４）
【図１５】プレーナー型アクチュエータの製造方法を示すＡ−Ａ’断面図（実施例４）
【図１６】本発明によるプレーナー型アクチュエータの他の実施形態を示すＡ−Ａ’断面図（実施例５）
【図１７】プレーナー型アクチュエータの製造方法を示すＡ−Ａ’断面図（実施例５）
【図１８】本発明によるプレーナー型アクチュエータの他の実施形態を示す図で、可動部からミラー部を取り外した状態を示す斜視図（実施例６）
【図１９】図１８に示した可動部にミラー部を接合した状態を示すＡ−Ａ’断面図（実施例６）
【図２０】本発明によるプレーナー型アクチュエータの他の実施形態を示す図で、可動部の模式的な分解斜視図（実施例７）
【図２１】図２０に示した可動部を支持部に組み付けた状態を示すＡ−Ａ’断面図（実施例７）
【図２２】図２０に示したプレーナー型アクチュエータにおけるコイルパターンの接続方法を説明するための図で、（ａ）上面図、（ｂ）側面図（実施例７）
【図２３】第二のアクチュエータとスペーサーとを分離して見開き状態に展開した平面図（実施例７）
【図２４】本発明によるプレーナー型アクチュエータの他の実施形態を示す図で、（ａ）可動部からミラー部を取り外した状態を示す上面図、（ｂ）可動部にミラー部を接合した状態を示す（ａ）のＡ−Ａ’断面図（実施例８）
【図２５】図２４に示した実施例８の変形例を示す上面図（実施例８）
【図２６】本発明によるプレーナー型アクチュエータの他の実施形態を示す図で、（ａ）可動部からミラー部を取り外した状態を示す上面図、（ｂ）可動部にミラー部を接合した状態を示す（ａ）のＡ−Ａ’断面図（実施例９）
【図２７】本発明によるプレーナー型アクチュエータを使用した光減衰器を示す図で、（ａ）斜視図、（ｂ）（ａ）のＡ−Ａ’断面図（実施例１０）
【図２８】従来の一次元駆動型のプレーナー型アクチュエータを示す上面図
【図２９】従来の二次元駆動型のプレーナー型アクチュエータを示す上面図
【符号の説明】
【００９９】
１      支持部
２      可動部
３      梁部
４      ミラー面
５      コイルパターン
６      永久磁石
７      可動枠
８      梁部
９      コイルパターン
１１    支持部
１１ａ  枝部間の溝
１１ｂ  枝部間の溝
１１ｃ  段差部
１２    梁部
１２ａ  突出部
１３    可動部
１３ａ  凹部
１４    ミラー部
１５    コイルパターン
１５ａ  電極端子
１６    導電パターン
１６ａ  電極端子
１７    導電性接着剤
１８    ＳＯＩ基板
１８ａ  上側シリコン層
１８ｂ  中間層
１８ｃ  下側シリコン層
１９ａ  表面側シリコン酸化膜
１９ｂ  裏面側シリコン酸化膜
２０    絶縁膜
２１    コイルパターン
２１ａ  電極端子
２２    ミラー部
２２ａ  開口部（切欠部）
２２ｂ  凹部
２３    外部端子
２４    導電ワイヤー
２５    絶縁性接着剤
２６    絶縁膜
２７    ミラー部
２７ａ  凹部
２８    コイルパターン
２８ａ  電極端子
２９    絶縁性接着剤
３０    可動部
３０ａ  突出部
３１    ミラー部
３２    ミラー面
３３    梁部
３４    内側可動部
３５    外側可動部
３６    梁部
３７    梁部
３８    ミラー部
３８ａ  凹部
３９    スペーサー
４０    第一のアクチュエータ
４１    スペーサー
４２    第二のアクチュエータ
４３    梁部
４４    梁部
４５    可動部
４６    可動部
４７    ミラー面
４８    コイルパターン
４８ａ  電極端子
４９    支持部
４９ａ  開口部（切欠部）
５０    連絡用導電パターン
５０ａ  電極端子
５０ｂ  電極端子
５１    導電性接着剤
５２    可動部
５３    梁部
５４    梁部
５５    可動部
５６    プレーナー型アクチュエータ
５６ａ  ミラー部
５７    回路基板
５８    外装
５９    永久磁石
６０    端子部材
６１    リード
６２    ＦＰＣ
６３    第一の光ファイバ
６４    第二の光ファイバ
６５    レンズ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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