(57)【要約】【課題】本発明は、実使用環境中に存在する粉塵に対する受光素子の対塵性能を検査する受光素子の対塵性能検査方法及びそれを用いた受光素子の製造方法に関し、実使用環境中に存在する粉塵に対する受光素子の対塵性能を検査する受光素子の対塵性能検査方法及びそれを用いた受光素子の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】多数の粉体２５を混入した液体２３を受光素子１の受光面２上方に滴下し、受光面２上方を乾燥して受光面２上方に粉体２５を残留させ、受光面２上方の粉体２５の残留量に基づいて受光素子１の対塵性能を検査する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
粉体を混入した液体を受光素子の受光面上方に滴下し、
前記受光面上方を乾燥して前記受光面上方に前記粉体を残留させ、
前記受光面上方の前記粉体の残留量に基づいて前記受光素子の対塵性能を検査すること
を特徴とする受光素子の対塵性能検査方法。
【請求項２】
請求項１記載の受光素子の対塵性能検査方法であって、
前記粉体は、前記受光素子の実使用環境中に存在する粉塵とほぼ同じ粒径を有していること
を特徴とする受光素子の対塵性能検査方法。
【請求項３】
請求項２記載の受光素子の対塵性能検査方法であって、
前記粒径は、５μｍ〜３０μｍであること
を特徴とする受光素子の対塵性能検査方法。
【請求項４】
請求項２又は３に記載の受光素子の対塵性能検査方法であって、
前記粉体は、関東ロームであること
を特徴とする受光素子の対塵性能検査方法。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の受光素子の対塵性能検査方法であって、
前記受光面内に設けられた受光部に入射する光の光量を光電変換した電気信号の電圧値に基づいて前記残留量を判定すること
を特徴とする受光素子の対塵性能検査方法。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の受光素子の対塵性能検査方法であって、
前記液体中に前記粉体がほぼ均一に存在するようにしてから前記液体を前記受光素子の前記受光面上方に滴下すること
を特徴とする受光素子の対塵性能検査方法。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか１項に記載の受光素子の対塵性能検査方法であって、
前記粉体の混入量は、予め求められた前記受光素子の使用年数に対する前記受光面上方への前記粉体の付着面積率に基づいて決定されること
を特徴とする受光素子の対塵性能検査方法。
【請求項８】
光を受光する受光部を基板上に形成する工程と、前記基板上にカバー層を形成する工程と、実使用環境中に存在する粉塵に対する対塵性能を検査する工程とを有する受光素子の製造方法であって、
前記対塵性能を検査する工程に請求項１乃至７のいずれか１項に記載の受光素子の対塵性能検査方法を用いること
を特徴とする受光素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、実使用環境中に存在する粉塵に対する受光素子の対塵性能を検査する受光素子の対塵性能検査方法及びそれを用いた受光素子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
入射した光の光量を電気信号に変換する受光素子は、例えば光ヘッドに用いられている。光ヘッドに用いられる受光素子は、受光部が形成されたシリコン基板と、当該シリコン基板を配置する回路基板とを有している。また、受光素子は、シリコン基板上に形成された電極パッドと、回路基板上に形成された電極端子と、電極パッドと電極端子とを接続する配線とで構成されたボンディング部を有している。さらに受光素子は、受光部及びボンディング部上を覆うように両基板に跨って配置されたカバー層を有している。カバー層は、水分による腐食や空気中の粉塵による短絡不良がボンディング部で発生するのを防止する保護部材として機能する。
【０００３】
カバー層は透明樹脂で形成されており、受光部が光記録媒体で反射した光を受光できるようになっている。受光素子は、受光部で受光した光の光量を光電変換して、ボンディング部から電気信号を出力するようになっている。当該電気信号に基づいて、光記録媒体に記録された情報を含む再生信号や光ヘッドの焦点誤差又はトラッキング誤差の調整に用いられる誤差検出信号が生成される。
【０００４】
ところで、光ヘッドが長期間使用環境下に置かれると、受光素子のカバー層に空気中に存在する塵及び埃等の粉塵が堆積することがある。空気中の粉塵が受光素子のカバー層に堆積すると、光記録媒体で反射した光は当該粉塵に遮られて受光部に到達し難くなる。これにより、受光素子で受光される光の光量は低下する。そうすると、受光光の光量を光電変換して得られる電気信号の電圧値が低下するので、高品質な再生信号や誤差検出信号が得られ難くなる。
【特許文献１】特開２００５−５３６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
受光素子の対塵性能は、例えばＪＩＳ規格Ｄ０２０７で定められている粉塵環境試験機を用いて受光素子に付着する粉塵量に基づいて検査する方法が考えられる。しかし、粉塵環境試験機は受光素子が設置される試験層内に粉塵を噴射して落下させるので、試験槽内の至る場所で粉塵の存在率等を均一にできない。このため、粉塵環境試験機を用いた受光素子の対塵性能検査方法は、試験層内の受光素子の配置位置に基づく粉塵量のばらつきに起因する誤差が含まれてしまうという問題がある。
【０００６】
本発明の目的は、実使用環境中に存在する粉塵に対する受光素子の対塵性能を検査する受光素子の対塵性能検査方法及びそれを用いた受光素子の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的は、粉体を混入した液体を受光素子の受光面上方に滴下し、前記受光面上方を乾燥して前記受光面上方に前記粉体を残留させ、前記受光面上方の前記粉体の残留量に基づいて前記受光素子の対塵性能を検査することを特徴とする受光素子の対塵性能検査方法よって達成される。
【０００８】
上記本発明の受光素子の対塵性能検査方法であって、前記粉体は、前記受光素子の実使用環境中に存在する粉塵とほぼ同じ粒径を有していることを特徴とする。
【０００９】
上記本発明の受光素子の対塵性能検査方法であって、前記粒径は、５μｍ〜３０μｍであることを特徴とする。
【００１０】
上記本発明の受光素子の対塵性能検査方法であって、前記粉体は、関東ロームであることを特徴とする。
【００１１】
上記本発明の受光素子の対塵性能検査方法であって、前記受光面内に設けられた受光部に入射する光の光量を光電変換した電気信号の電圧値に基づいて前記残留量を判定することを特徴とする。
【００１２】
上記本発明の受光素子の対塵性能検査方法であって、前記液体中に前記粉体がほぼ均一に存在するようにしてから前記液体を前記受光素子の前記受光面上方に滴下することを特徴とする。
【００１３】
上記本発明の受光素子の対塵性能検査方法であって、前記粉体の混入量は、予め求められた前記受光素子の使用年数に対する前記受光面上方への前記粉体の付着面積率に基づいて決定されることを特徴とする。
【００１４】
また、上記目的は、光を受光する受光部を基板上に形成する工程と、前記基板上にカバー層を形成する工程と、実使用環境中に存在する粉塵に対する対塵性能を検査する工程とを有する受光素子の製造方法であって、前記対塵性能を検査する工程に上記本発明の受光素子の対塵性能検査方法を用いることを特徴とする受光素子の製造方法によって達成される。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、実使用環境中に存在する粉塵に対する受光素子の対塵性能が検査できる。さらに、本発明によれば、対塵性能に優れる受光素子を製造できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明の一実施の形態による受光素子の対塵性能検査方法及びそれを用いた受光素子の製造方法について図１乃至図４を用いて説明する。本実施の形態では、光ヘッドに用いられる受光素子を例にとって説明する。まず、本実施の形態による受光素子の対塵性能検査方法に用いられる受光素子の概略構成例について図１を用いて説明する。図１は、光ヘッドに用いられる２種類の受光素子１、１０の外観斜視図である。
【００１７】
図１（ａ）に示すように、受光素子１は、薄板形状の回路基板７と、薄板形状のカバー層３とを有し、全体として直方体形状を有している。回路基板７のほぼ中央には、薄板形状のシリコン基板９が実装されている。受光素子１は、シリコン基板９の基板面のほぼ中央に形成された受光部１１を有している。受光部１１は受光面２の平面内に設けられている。受光部１１は、光ヘッドの焦点誤差及びトラッキング誤差の誤差検出信号を差動信号に基づいて生成したり、波長の異なる光を受光したりするように、例えば図中に破線で示すように６個の領域に電気的に分割されている。
【００１８】
カバー層３はシリコン基板９及び回路基板７に跨って形成されている。カバー層３は、例えばエポキシ樹脂材料又はシリコーン樹脂材料の透明絶縁性材料で形成されている。
【００１９】
シリコン基板９は、シリコン基板９の対向する一対の端辺に沿ってそれぞれ形成された複数の電極パッド１３を有している。シリコン基板９の当該端辺に沿って、回路基板７の対向する一対の端辺には、例えば電極パッド１３と同数の電極端子１５が形成されている。受光素子１は、電極端子１５を用いて受光素子１を実装する実装基板（不図示）と電気的に接続される。複数の電極パッド１３は複数の配線１７により複数の電極端子１５にそれぞれ電気的に接続されている。受光素子１は受光した光の光量を受光部１１で光電変換して電極パッド１３から電気信号を出力する。当該電気信号は配線１７及び電極端子１５を介して受光素子１が実装された実装基板上の所定の回路に入力される。なお、シリコン基板９及び回路基板７により、ＣＯＢ（Ｃｈｉｐ  Ｏｎ  Ｂｏａｒｄ）基板が構成されている。
【００２０】
カバー層３は、電極パッド１３、配線１７及び電極端子１５によって構成されるボンディング部を覆って形成されている。このため、カバー層３は水分によるボンディング部の腐食や粉塵によるボンディング部の短絡を防止することができる。
【００２１】
一方、図１（ｂ）に示すように、受光素子１０は、カバー層５の形状を除いて受光素子１と同様の形状を有している。受光素子１０のカバー層５は、受光部１１を露出する開口部４を有している。カバー層５は、受光素子１０の外周囲側から開口部４側に向かって厚さが薄くなるように傾斜して、受光部１１上がへこんだ形状を有している。カバー層５の開口部４近傍は曲面状に形成されている。
【００２２】
次に、本実施の形態による受光素子の対塵性能検査方法について図２乃至図４を用いて説明する。図２は、受光素子の対塵性能検査方法を模式的に示している。図２では、受光素子１が例示されているが、受光素子１０も同様にして対塵性能が検査される。本実施の形態による受光素子の対塵性能検査方法は、図２（ａ）に示すように、まず受光面２を液体滴下装置２１に向けて、受光素子１を液体滴下装置２１の鉛直下方に配置する。液体滴下装置２１は、筐体３１と、試験用の多数の粉体２５が混入された液体２３を収納する液体収納容器２７と、筐体３１の鉛直下方に配置されて液体２３を滴下するノズル２９とを有している。液体２３には、例えば水道水や純水が用いられる。液体２３は粉体２５を受光面２上方に安定に付着させるためのバインダー（接合剤）として機能する。次いで、液体２３中に多数の粉体２５がほぼ均一に存在するように、例えば液体収納容器２７内の液体２３を攪拌する。液体２３は常に攪拌されていてもよいし、あるいは滴下する直前に攪拌されてもよい。次いで、液体２３を液体収納容器２７から筐体３１に流入してノズル２９から受光素子１の受光面２上方のカバー層３上に滴下する。
【００２３】
ここで、本実施の形態に使用する試験用の粉体２５について説明する。受光素子１を備えた光ヘッドは、一般に室内で使用される。室内の空気中に存在する塵埃を調べたところ、綿埃と砂埃とに大別できることがわかった。綿埃は砂埃に比べると大きいので光ヘッドの内部にほとんど入り込まない。このため、綿埃の受光素子１の対塵性能への影響は無視できる。これに対し、砂埃は相対的に小さいので光ヘッド内部にまで入り込んで、受光素子１の対塵性能に影響を及ぼす可能性がある。そこで、本実施の形態では、室内に存在する砂埃とほぼ同じ粒径の粉体が用いられている。具体的には、粒径が５μｍ〜３０μｍの粉体が用いられ、例えば粒径が約１０μｍの粉体が用いられる。本実施の形態では、例えばＪＩＳ規格Ｚ８９０１で定められた試験用粉体８種（関東ローム）が用いられる。
【００２４】
次に、液体２３に混入される粉体２５の混入量について図３を用いて説明する。粉体２５の混入量は、受光素子の使用年数と受光面上方に付着した粉体の付着面積率との関係と、粉体の付着面積率と液体に混入される粉体の混入量との関係とを用い、受光素子の使用年数に対する粉体の混入量から決定される。これらの関係は、例えば受光素子の対塵性能が検査される前に予め求められる。
【００２５】
図３（ａ）は、受光素子の使用年数に対する受光面上方に付着した粉体の付着面積率の特性を例示している。横軸は、受光素子の使用年数（年）を表し、縦軸は粉体の付着面積率を表している。付着面積率とは、受光面内に設けられた受光部を含むカバー層表面の所定領域の面積に対する当該所定領域内に付着した粉体の面積の比率をいう。図３（ｂ）は、粉体の付着面積率と、液体の体積に対する粉体の混入量との関係を例示している。横軸は、粉体の付着面積率（％）を表し、縦軸は液体の体積に対する粉体の混入量（ｍｇ／ｍｌ）を表している。
【００２６】
図３（ａ）に示す特性は、例えば上記の粉塵環境試験機の試験槽内に噴射する粉体の量に基づいて得られる。例えばＩＥＣ６０７２１−３−３規格を基準として試験槽内に所定年数に相当する粉体を噴射して、受光素子の受光面上方に粉体を付着させる。次いで、受光素子の受光面上方に付着した粉体の面積を例えば輝度ヒストグラムを用いた画像処理により算出する。試験槽内に噴射する粉体の量を変えながら、受光面上方の付着面積率を算出することにより、図３（ａ）に示す特性が得られる。
【００２７】
図３（ｂ）に示す特性は、例えば図２（ａ）に示す液体滴下装置２１を用いて求められる。例えば、所定量の液体中に対塵性能検査に用いるのと同様の粉体を混入して、例えばカバー層と同じ材料で形成された基板上に液体を滴下して当該基板を乾燥させて粉体を残留する。粉体の付着面積率を図３（ａ）と同様の手法により求める。これにより、粉体の付着面積率と液体の体積に対する粉体の混入量との関係が得られる。液体の体積を一定として混入する粉体の量を変えて、上記測定を繰り返すことにより、図３（ｂ）に示す特性が得られる。なお、付着面積率の算出時に基準とする領域の面積は、図３（ａ）の縦軸の付着面積率を算出したのと同じ面積とする。これにより、図３（ａ）の縦軸と図３（ｂ）の横軸とを共通化できるので、両特性に基づいて、検査対象とする使用年数に対して混入すべき粉体の混入量を容易に求めることがきる。
【００２８】
図２に戻って、図２（ｂ）に示すように、受光素子１上に液体２３を滴下したら、受光素子１の受光面２上方のカバー層３を例えば自然乾燥して液体２３を蒸発させ、受光面２上方に粉体２５を残留する。粉体２５を残留するために、自然乾燥ではなく受光素子１を加熱して乾燥してもよい。
【００２９】
次に、受光面２上方の粉体２５の残留量に基づいて受光素子１の対塵性能を検査する。粉体２５の残留量は、受光面２内に設けられた受光部１１に入射する光の光量を光電変換した電気信号の電圧値に基づいて判定される。液体２３滴下前の受光素子１のカバー層３表面には、粉体２５が付着していない。このため、受光素子１に入射した光は光量がほとんど減衰せずに受光部１１で受光される。従って、光の光量を光電変換した電気信号の電圧値は設計値にほぼ等しくなる。これに対し、図２（ｃ）に示すように、液体２３を滴下して乾燥した後の受光素子１のカバー層３表面には、粉体２５が残留している。このため、受光素子１に入射した光Ｌ１は粉体２５に妨げられるので、受光部１１に入射する光Ｌ２の光量は光Ｌ１の光量より低くなる。このため、液体２３滴下前後で同じ光量の光Ｌ１を受光素子１に入射したとしても、液体２３滴下後の受光素子１が出力する電気信号は液体２３滴下前の受光素子１が出力する電気信号より電圧値が低くなる。
【００３０】
一方、受光部１１の電気的特性である光電変換特性は粉体２５の付着の有無で変わらない。また、粉体２５の残留量は図３（ａ）、及び、図３（ｂ）から求めた実使用期間における粉塵の付着量であるので、液体２３滴下前後で同じ光量の光を受光素子１に入射し、当該光量を光電変換した電気信号の電圧値の差は受光素子１を当該の期間で実使用した場合の光電変換特性の劣化を示す。そこで、受光素子の対塵性能は、光電変換により得られた電気信号の電圧値を液体滴下前後で比較して検査される。当該電気信号の電圧値の低下量が所定値以下であれば、受光素子１の対塵性能が高いという検査結果が得られる。一方、当該電気信号の電圧値の低下量が所定値以上であれば、受光素子１は対塵性能に劣るという検査結果が得られる。
【００３１】
図４は、光電変換により得られた電気信号の電圧値を液体滴下前後で比較した結果を示している。図４（ａ）は、受光素子の使用年数が５年相当の結果を示し、図４（ｂ）は、受光素子の使用年数が１０年相当の結果を示している。図４に示すように、本実施の形態では、受光素子１と同一形状の２個の被検体ＳＰＬ１−１、ＳＰＬ１−２及び受光素子１０と同一形状の２個の被検体ＳＰＬ１０−１、ＳＰＬ１０−２の対塵性能が検査されている。受光素子の使用年数５年及び１０年に相当する粉体の混入量は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に基づいて決定される。例えば、使用年数５年の場合には、粉体の付着面積率は約３％（＝付着面積：１００００μｍ２／所定領域面積：３４１０００μｍ２）となり、液体の体積に対する粉体の混入量は約０．３（ｍｇ／ｍｌ）となる。例えば液体２３としての水道水の体積が２０ｍｌとすると、約６ｍｇの粉体２５が液体２３に混入される。また、受光素子の使用年数１０年の場合には、粉体の付着面積率は約１２％（＝付着面積：４００００μｍ２／所定領域面積：３４１０００μｍ２）となり、液体の体積に対する粉体の混入量は約０．５（ｍｇ／ｍｌ）となる。例えば液体２３としての水道水の体積が２０ｍｌとすると、約１０ｍｇの粉体２５が液体２３に混入される。
【００３２】
受光素子の対塵性能は、液体滴下前後の電気信号の電圧低下率に基づいて粉体の残留量が判定されて検査される。ここで、光電変換により得られる電気信号の電圧値を、液体滴下前をＶ１とし、液体滴下後をＶ２とすると、電圧値Ｖ１に対する電圧値Ｖ２の電圧低下率ΔＶ（％）は、以下の式（１）のように表すことができる。
【００３３】
ΔＶ＝（Ｖ２−Ｖ１）／Ｖ１×１００  ・・・（１）
【００３４】
本実施の形態では、６分割された受光部１１の領域毎に電圧低下率ΔＶが算出される。図４（ａ）及び図４（ｂ）の最左欄の最小値とは、６分割された受光部１１の領域のうちの液体滴下前後で電圧値が最も低下した領域での電圧低下率ΔＶをいい、最大値とは、６分割された受光部１１の領域のうちの液体滴下前後で電圧値が最も低下しなかった領域での電圧低下率ΔＶをいい、平均値とは、６分割された受光部１１の領域での電圧低下率ΔＶを平均した値をいう。
【００３５】
図４（ａ）に示すように、受光素子の使用期間が５年相当では、被検体ＳＰＬ１−１、ＳＰＬ１−２の電圧低下率ΔＶは、−９％〜１％の範囲に含まれている。また、被検体ＳＰＬ１０−１、ＳＰＬ１０−２の電圧低下率ΔＶは、−６％〜５％の範囲に含まれている。被検体ＳＰＬ１−１、ＳＰＬ１−２、ＳＰＬ１０−１、ＳＰＬ１０−２の最大値は、いずれも正になり、液体滴下前より液体滴下後の方が電気信号の電圧値が高くなっている。電圧低下率ΔＶが正の値になるのは、使用した測定器が２〜５％程度の測定誤差を有していることが原因であり、見方を変えれば、光電変換により得られた電気信号の電圧値が液体滴下前後でほとんど変化していないこと示す。
【００３６】
例えば、受光素子の対塵性能の良否を判定するための閾値を電圧低下率ΔＶの平均値＝−１０％とする。被検体ＳＰＬ１−１、ＳＰＬ１−２、ＳＰＬ１０−１、ＳＰＬ１０−２の電圧低下率ΔＶの平均値は全て−１０％以上である。被検体ＳＰＬ１−１、ＳＰＬ１−２、ＳＰＬ１０−１、ＳＰＬ１０−２は液体２３滴下後の電気信号の電圧値の低下が小さく、粉体２５の影響が少ないと判定される。従って、受光素子１、１０は、５年程度の実使用期間に対して、対塵性能に優れているという検査結果を得ることができる。
【００３７】
また、図４（ａ）に示すように、被検体ＳＰＬ１−１、ＳＰＬ１−２の電圧低下率ΔＶと、被検体ＳＰＬ１０−１、ＳＰＬ１０−２の電圧低下化率ΔＶとの間に顕著な差はない。従って、受光素子１、１０は、実使用期間５年相当では、ほぼ同じ対塵性能を有しているという検査結果を得ることができる。
【００３８】
図４（ｂ）に示すように、受光素子の使用期間が１０年相当では、被検体ＳＰＬ１−１、ＳＰＬ１−２の電圧低下率ΔＶは、液体滴下後に電気信号の電圧値が最も低下したことを示す最小値がそれぞれ−４０．６２％、−５３．２９％となる。また、被検体ＳＰＬ１−１、ＳＰＬ１−２の電圧低下率ΔＶの平均値はそれぞれ−１１．９２％、−１８．３１％となり上記の閾値以下になる。被検体ＳＰＬ１−１、ＳＰＬ１−２は液体２３滴下後の電気信号の電圧値の低下が大きく、受光素子１は、１０年程度の実使用期間に対し、対塵性能が劣っているという検査結果を得ることができる。
【００３９】
これに対し、被検体ＳＰＬ１０−１、ＳＰＬ１０−２の電圧低下率ΔＶは、−２％〜４％の範囲に含まれる。被検体ＳＰＬ１０−１、ＳＰＬ１０−２の電圧低下率ΔＶの平均値は上記の閾値以上になる。被検体ＳＰＬ１０−１、ＳＰＬ１０−２は液体２３滴下後の電気信号の電圧値の低下が少なく、受光素子１０は、１０年程度の実使用期間に対し、優れた対塵性能を有しているという検査結果を得ることができる。さらに、受光素子１０は受光素子１に比べて対塵性能に優れていることも判定できる。
【００４０】
以上説明したように、本実施の形態によれば、粉体が混入された液体を受光素子の受光面上方に直接滴下するので、検査装置に依存する誤差が極めて低減された受光素子の対塵性能の検査が可能になる。これにより、カバー層の形状が異なる受光素子間の対塵性能の比較検査を高精度に行うことができる。また、実使用環境中に存在する粉塵とほぼ同じ粒径の粉体を用い、さらに実使用期間に応じて液体中の粉体量を変えることにより、実使用環境中に存在する粉塵に対する受光素子の対塵性能を検査できる。さらに、本実施の形態によれば、受光素子に付着する粉体の付着量を光電変換特性によって数値化して判定できるので、受光素子の対塵性能を客観的に検査できる。さらに、受光素子の対塵性能の検査結果に基づいて、対塵性能の優れた受光素子を選別して出荷できる。
【００４１】
次に、本実施の形態による受光素子の製造方法について図１を参照しつつ説明する。本実施の形態による受光素子１、１０の製造方法は、光を受光する受光部１１や電極パッド１３をシリコン基板９上に形成する工程と、シリコン基板９を電極端子１５や不図示の回路パターンが形成された回路基板７上に実装する工程と、電極パッド１３と電極端子１５とを配線１７で接続する工程と、シリコン基板９及び回路基板７上にカバー層３、５を形成する工程と、実使用環境中に存在する粉塵に対する対塵性能を検査する工程とを有している。受光素子１、１０の対塵性能を検査する工程には、上記の受光素子の対塵性能検査方法が用いられる。従って、本実施の形態によれば、対塵性能に優れる受光素子を製造することができる。
【００４２】
本発明は、上記実施の形態に限らず種々の変形が可能である。
上記実施の形態では、光ヘッドに用いられる受光素子１、１０を例にとって説明したが、本発明はこれに限られない。本実施の形態は、光ヘッド用途以外の受光素子にも適用できる。例えば、実使用環境雰囲気中に存在する粉塵とほぼ同じ粒径の試験用の粉体を選択し、受光素子が実使用環境で使用される状態が再現できるだけの粉体が混入された液体を受光素子の受光面上方に滴下することにより、上記実施の形態と同様の効果が得られる。
【００４３】
カバー層３、５と異なる形状のカバー層を有する受光素子であっても、上記実施の形態と同様の効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の一実施の形態による受光素子の対塵性能検査方法に用いられる受光素子１、１０の外観斜視図である。
【図２】本発明の一実施の形態による受光素子の対塵性能検査方法を模式的に示す図である。
【図３】本発明の一実施の形態による受光素子の対塵性能検査方法であって、液体２３中に混入される粉体量を説明するための図である。
【図４】本発明の一実施の形態による受光素子の対塵性能検査方法であって、光電変換により得られた電気信号の電圧値を液体滴下前後で比較した結果を示す図である。
【符号の説明】
【００４５】
１、１０  受光素子
２  受光面
３、５  カバー層
４  開口部
７  回路基板
９  シリコン基板
１１  受光部
１３  電極パッド
１５  電極端子
１７  配線
２１  液体滴下装置
２３  液体
２５  粉体
２７  液体収納容器
２９  ノズル
３１  筐体
【図１】
2008026119.tif 000003
【図２】
2008026119.tif 000004
【図３】
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【図４】
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