(57)【要約】【課題】優れた浄化性能を有し、且つ、小型化を実現できる浄化装置を提供する。【解決手段】液体状の脱臭剤（浄化剤）２が貯留された貯留槽１を備えた脱臭装置（浄化装置）１０において、貯留槽１の内部には、少なくともその高さ方向に積層され、且つ、隣接部で互いに連結された複数の貯留部１Ａ〜１Ｊを、貯留槽１の外部には、浄化後の気体を流出口４から吸引する吸引ポンプ５を設けるとともに、最上層の貯留部１Ａには流入口３を、最下層の貯留部１Ｊには流出口４を設けた構成とした。そして、臭気成分を含んだ気体を、流入口３から貯留槽１内に流入させて、流出口４から貯留槽１外に流出させるまでの間に、貯留槽１の上方から下方に向かって通過させ、各貯留部１Ａ〜１Ｊに貯留された脱臭剤２の中を通過・接触させることで、気体に含まれる臭気成分を除去できるように構成した。【選択図】図２
2008296156.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体状の浄化剤が貯留された貯留槽に、当該貯留槽内に気体を流入する流入口と、当該流入口から前記貯留槽内に流入した気体を前記浄化剤と気液接触させることで浄化した後、前記貯留槽外に排出する流出口と、を備えた浄化装置であって、
前記貯留槽の内部には、少なくともその高さ方向に積層され、且つ、隣接部で互いに連結された複数の貯留部を設け、前記貯留槽の外部には、前記浄化後の気体を前記流出口から吸引する吸引手段を設けるとともに、
前記複数の貯留部のうち、最上層の貯留部に前記流入口を設け、最下層の貯留部に前記流出口を設けることで、前記貯留槽内に流入した気体を前記貯留槽の上方から下方に向かって通過させることを特徴とする浄化装置。
【請求項２】
最上層の貯留部と、最下層の貯留部とを連結し、前記浄化剤を循環させるための循環手段を、さらに備えたことを特徴とする請求項１に記載の浄化装置。
【請求項３】
前記浄化後の気体に含まれる前記浄化剤を除去するための浄化剤除去手段を、さらに備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載の浄化装置。
【請求項４】
前記浄化剤は脱臭剤で、前記気体は臭気成分を含む気体であることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の浄化装置。
【請求項５】
前記浄化剤は水酸化カルシウム溶液で、前記気体は炭酸ガスを含む気体であることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の浄化装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、浄化装置に関し、特に、下水処理場などで生じる臭気成分（例えば、アンモニア、メルカプタン、硫化メチル、硫化水素）を除去するための脱臭装置として好適に用いることができる浄化装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、臭気成分を除去するための脱臭装置としては、脱臭部材が充填された脱臭槽を備え、この脱臭槽内に臭気成分を含んだ気体を通過させることで、臭気成分を脱臭部材で吸着して除去するように構成された装置が公知となっている。
【０００３】
特許文献１では、脱臭槽の下方から上方に向かってミスト除去部と脱臭部とを順に備え、臭気成分を含む気体を脱臭槽の下方から上方に向かって通過させることで、ミスト除去部で気体に含まれた水分を除去した後に、脱臭部で気体に含まれた臭気成分を吸着して除去するように構成された脱臭装置が提案されている。
【０００４】
ここで、ミスト除去部は、気体に含まれた水分による脱臭性能の劣化を防止するために設けられており、樹脂製の繊維を積層させたミストセパレータや、樹脂製、金属製、セラミックス製、及び陶器製の担体を一又は二以上混合したものを用いたミストセパレータで構成されている。また、脱臭部は、脱臭部材として、活性炭や、液体状の脱臭剤が噴霧された各種濾材などで構成されている。
【０００５】
一方、炭酸ガスを除去するための炭酸ガス除去装置としては、吸収部材が充填された吸収槽を備え、この吸収槽内に炭酸ガスを含んだ排ガスを通過させることで、炭酸ガスを吸収部材で吸着して除去するように構成された装置が公知となっている。
【０００６】
特許文献２では、排ガスを吸収液と接触させる吸収槽と、炭酸ガスを吸収して形成された炭酸カルシウムスラリーを吸収液から分離する分離装置と、分離した炭酸カルシウムスラリーを酸で中和する中和装置と、中和した炭酸カルシウムスラリーを炭酸カルシウムと排水とに分離する固液分離装置と、で構成された炭酸ガス除去装置が提案されている。
【０００７】
この炭酸ガス除去装置は、吸収槽の下方に排ガスを流入する流入口を、吸収槽の上方に炭酸ガスが除去された後の排ガスを流出する流出口が設けられた構成となっている。ここで、吸収部材は、吸収剤である水酸化カルシウム溶液が噴霧された各種濾材などで構成されている。
【特許文献１】特開２００２−１３６８３３号公報
【特許文献２】特開２００５−２１１８７８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上述した特許文献１及び２に記載の浄化装置においては、いずれも脱臭部材や吸収部材を介して、臭気成分や炭酸ガスを吸着・除去する構成となっていることから、脱臭部材や吸収部材が吸着により飽和したり、脱臭部材や吸収部材に水分が付着したりすると、その吸着効率が良好ではなくなるため、優れた浄化性能を得るという点でさらなる改善の余地があった。
【０００９】
また、上述した特許文献１及び２に記載の浄化装置において、浄化性能のさらなる向上を図るためには、脱臭部材や吸収部材と気体との接触面積を増大させるべく、脱臭部材や吸収部材の占有面積を大きくしたり、脱臭部材や吸収部材の設置数を増やしたりする必要があり、装置の小型化を実現することが難しいという不具合があった。
【００１０】
そこで、本発明は、上記不具合を解消するためになされたものであり、優れた浄化性能を有し、且つ、小型化を実現できる浄化装置を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
このような課題を解決するために、本発明に係る浄化装置は、液体状の浄化剤が貯留された貯留槽に、当該貯留槽内に気体を流入する流入口と、当該流入口から前記貯留槽内に流入した気体を前記浄化剤と気液接触させることで浄化した後、前記貯留槽外に排出する流出口と、を備えた浄化装置であって、前記貯留槽の内部には、少なくともその高さ方向に積層され、且つ、隣接部で互いに連結された複数の貯留部を設け、前記貯留槽の外部には、前記浄化後の気体を前記流出口から吸引する吸引手段を設けるとともに、前記複数の貯留部のうち、最上層の貯留部に前記流入口を設け、最下層の貯留部に前記流出口を設けることで、前記貯留槽内に流入した気体を前記貯留槽の上方から下方に向かって通過させる構成としている。
【００１２】
本構成によれば、流入口から流入された気体は、流出口から排出されるまでの間に、貯留槽の上方から下方に向かって複数の貯留部を通過し、各貯留部に貯留された液体状の浄化剤と直接気液接触することで浄化される。よって、気体と浄化剤とを他の部材（脱臭部材や吸収部材）を介してのみ接触させる従来の浄化装置と比べて、気体と浄化剤とを安定して効率よく接触させることができるため、優れた浄化性能を得ることが可能となる。
【００１３】
また、本構成によれば、複数の貯留部において、気体と浄化剤とを気液接触させることで浄化する構成としたことにより、従来の浄化装置のように、貯留槽内に脱臭部材や吸収部材を大量に配置する必要がないため、優れた浄化性能が得られる貯留槽の小型化を図ることができる。なお、貯留部の個数、貯留体積、配置形態は、浄化する気体の種類及び含有物質や、浄化装置の配置場所に応じて、適宜変更可能である。
【００１４】
さらに、本構成によれば、浄化後の気体を流出口から吸引する吸引手段を備えたことにより、貯留槽の上方に位置する流入口から流入された気体を、貯留槽の下方に位置する流出口まで効率よく搬送することができるため、各貯留部における浄化剤との気液接触を安定して行うことが可能となる。また、吸引手段を備えたことにより、浄化前の気体を、貯留槽の外部に漏出し難くすることが可能となる。
【００１５】
またさらに、本構成によれば、従来品の様に臭気成分を含んだ浄化前の気体を、送風ポンプを用いて貯留層の内部に送り込む構成ではなく、吸気ポンプで浄化後の気体を吸引するようになっているため、ポンプの劣化が起こりにくく、付属機器の延命化を図ることが可能となる。
【００１６】
ここで、本発明に係る浄化装置においては、最上層の貯留部と最下層の貯留部とを連結し、前記浄化剤を循環させるための循環手段を、さらに備えた構成とすることが好ましい。
この構成によれば、各貯留部に所定量の浄化剤を常時貯留させることができるとともに、浄化剤に貯留槽の上方から下方に向かう流れを形成することができるため、浄化剤による気体の浄化性能をより向上させることが可能となる。
【００１７】
また、本発明に係る浄化装置においては、前記浄化後の気体に含まれる前記浄化剤を除去するための浄化剤除去手段を、さらに備えた構成とすることが好ましい。
この構成によれば、浄化後の気体に含まれる浄化剤を確実に除去することができるため、浄化剤が吸引手段に入り込むことで生じる吸引手段の腐食や故障などの不具合を防止することが可能となる。
【００１８】
さらに、本発明に係る浄化装置は、前記浄化剤を脱臭剤とし、気体に含まれる臭気成分を除去する脱臭装置として好適に用いることができる。ここで、脱臭装置の具体例としては、下水処理場などで生じる臭気成分（例えば、アンモニア、メルカプタン、硫化メチル、硫化水素）を除去する脱臭装置や、プロパンガスのボンベを再生する時などに生じる臭気成分（例えば、メルカプタン）を除去するための脱臭装置が挙げられる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明に係る浄化装置によれば、流入口から流入された気体が、貯留槽の上方から下方に向かって複数の貯留部を通過する際に、各貯留部に貯留された液体状の浄化剤と気液接触することで浄化されるため、優れた浄化性能を得ることができるとともに、装置の小型化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明に係る実施形態について図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明に係る浄化装置の一例として脱臭装置を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は右側面図、（ｃ）は左側面図、（ｄ）は図１（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【００２１】
この脱臭装置（浄化装置）１０は、図１に示すように、全体として略矩形体状をなし、液体状の脱臭剤（浄化剤）２が貯留される耐薬品性材質の貯留槽１で構成されている。
【００２２】
貯留槽１の内部には、図１（ｄ）に示すように、その高さ方向（図１（ｄ）における上下方向）に積層され、上下層の隣接部で互いに連結された複数（本実施形態では１０層）の貯留部１Ａ〜１Ｊが設けられている。すなわち、略矩形体状の貯留槽１内部には、側面視略Ｓ字状に屈曲した複数（本実施形態では９枚）の板１１が、それぞれ底面１１ａの高さ位置が異なるように固定されることで、複数の貯留部１Ａ〜１Ｊが形成されている。なお、本実施形態では、最下層の貯留部１Ｊ以外の貯留部１Ａ〜１Ｉが、略同一形状及び略同一体積となるように構成されている。
【００２３】
ここで、各貯留部１Ａ〜１Ｊは、貯留槽１の内部に一端が接続され、水平方向に延伸する底面１１ａと、この底面１１ａの一端から垂直方向に延伸する側面１１ｂと、この側面１１ｂから下方に向かって傾斜し、上下の貯留部１Ａ〜１Ｊ間を互いに連結する連結部１１ｃとで構成されている。このため、各貯留部１Ａ〜１Ｊには、その底面１１ａから側面１１ｂの高さまで脱臭剤２が貯留されるとともに、貯留部１Ａ〜１Ｉに側面１１ｂの高さを超える脱臭剤２が貯留されると、傾斜面となった連結部１１ｃを介して、それぞれ下層の貯留部１Ｂ〜１Ｊに流れ込むようになっている。
【００２４】
また、流入口３は、最上層の貯留部１Ａの上方に位置する脱臭装置１０の天井面に設けられているとともに、流出口４は、最下層の貯留部１Ｊの上方であって、脱臭装置１０の側面に設けられている。
【００２５】
さらに、流出口４の外部であって、貯留槽１の裏面には、脱臭（浄化）後の気体を流出口４から吸引により流出する吸引ポンプ（吸引手段）５が設けられている。
また、流出口４と吸引ポンプ５とを連結する連結パイプには、脱臭後の気体に含まれる脱臭剤（水分）を除去するミストセパレータ（脱臭剤除去手段）６が設けられている。さらに、吸引ポンプ５の後段には、脱臭後の気体をさらに脱臭する吸着体７が設けられている。
【００２６】
ここで、ミストセパレータ６は、樹脂製の繊維を積層させたミストセパレータや、樹脂製、金属製、セラミックス製、及び陶器製の担体を一又は二以上混合したものを用いたミストセパレータなど、公知のミストセパレータで構成されている。また、吸着体７は、公知の活性炭や各種濾材で構成されている。
【００２７】
さらに、最上層の貯留部１Ａと、最下層の貯留部１Ｊとは、連結パイプ８により連結されている。そして、この連結パイプ８の途中には、最下層の貯留部１Ｊに貯留された脱臭剤２を、再度最上層の貯留部１Ａに循環させる循環ポンプ（循環手段）９が設けられている。
【００２８】
ここで、液体状の脱臭剤２の種類、貯留槽１全体の大きさ、貯留槽１内に設ける各貯留部１Ａ〜１Ｊの条件（例えば、貯留体積、設置数、配置形態）、及び吸引ポンプ５や循環ポンプ９の操作条件は、気体に含まれる臭気成分の種類及び濃度や必要な脱臭性能に応じて、適宜決定する。
【００２９】
次に、本実施形態における脱臭装置１０を用いた脱臭方法について、図面を参照しながら説明する。
図２は、本発明に係る浄化装置の一例である脱臭装置の使用例を示す断面図である。
【００３０】
まず、液体状の脱臭剤２を、流入口３を介して貯留槽１の内部に流入し、貯留槽１内部に設けられた各貯留部１Ａ〜１Ｊにそれぞれ所定量の脱臭剤２を貯留しておく。
【００３１】
次に、吸引ポンプ５により貯留槽１の内部を吸引し、循環ポンプ９により脱臭剤２を循環させつつ、臭気成分を含んだ気体を流入口３から流入する。これにより、臭気成分を含んだ気体は、貯留槽１の上方から下方に向かって各貯留部１Ａ〜１Ｊを通過し、各貯留部１Ａ〜１Ｊに貯留された脱臭剤２を攪拌して気液接触することで脱臭された後、脱臭剤２により臭気成分が除去された後の気体が流出口４から流出される。なお、図２中、白い矢印は、臭気成分を含んだ気体の流れを示し、黒い矢印は、脱臭剤２の流れを示す。
【００３２】
そして、流出口４から流出された気体は、ミストセパレータ６を介して吸引ポンプ５内に吸引され、さらに、吸着体７を通過した後、大気中に放出される。
【００３３】
すなわち、本実施形態に係る脱臭装置１０によれば、気体と脱臭剤２とを、複数の貯留部１Ａ〜１Ｊにおける気液接触により、効率よく接触させることができるため、上述した従来の脱臭装置のように、気体と脱臭剤２とを脱臭部材を介して接触させる場合と比べて、優れた脱臭性能を得ることができる。
【００３４】
また、本実施形態に係る脱臭装置１０によれば、複数の貯留部１Ａ〜１Ｊにおける気液接触により脱臭させる構成としたことにより、上述した従来の脱臭装置のように、貯留層１の内部に脱臭部材や吸収部材を配置する必要がないため、優れた脱臭性能が得られる脱臭装置１０の小型化を実現できる。
【００３５】
さらに、本実施形態に係る脱臭装置１０によれば、脱臭後の気体を流出口４から吸引する吸引ポンプ５を備えたことにより、貯留槽１の上方に位置する流入口３から流入された気体を、貯留槽１の下方に位置する流出口４まで効率よく搬送することができるため、各貯留部１Ａ〜１Ｊにおける脱臭剤２との気液接触を確実に行うことができる。また、吸引ポンプ５を備えたことにより、脱臭前の気体を、脱臭装置１０の外部に漏出し難くすることができる。
【００３６】
さらに、本実施形態に係る脱臭装置１０によれば、最上層の貯留部１Ａと、最下層の貯留部１Ｊとを連結パイプ８で連結し、この連結パイプ８の途中に脱臭剤２を循環させる循環ポンプ９を備えたことにより、各貯留部１Ａ〜１Ｊに所定量の脱臭剤２を常時貯留させ、且つ、脱臭剤２に貯留槽１の上方から下方に向かう流れを形成することができる。よって、脱臭剤２による脱臭性能をより向上させることができる。
【００３７】
さらに、本実施形態に係る脱臭装置１０によれば、脱臭後の気体に含まれる脱臭剤２を除去するためのミストセパレータ６を備えたことにより、脱臭後の気体に含まれる脱臭剤２を確実に除去することができる。よって、脱臭剤２が吸引ポンプ５に入り込むことを抑制できるため、脱臭剤２の混入により生じる吸引ポンプ５の腐食や故障を防止することができる。
【００３８】
さらに、本実施形態に係る脱臭装置１０によれば、吸引ポンプ５の後段に吸着体７をさらに備えたことにより、貯留槽１から吸引した気体をさらに脱臭して大気中に放出することができる。
【００３９】
なお、本実施形態に係る脱臭装置１０においては、貯留槽１の裏面に吸引ポンプ５、ミストセパレータ６、及び吸着体７を備えた構成について説明したが、これらの設置場所はこれに限らず、適宜変更可能である。
【００４０】
また、本実施形態に係る脱臭装置１０においては、貯留槽１の内部に、その高さ方向に積層され、且つ、隣接部で互いに連結された複数の貯留部１Ａ〜１Ｊを設けた構成について説明したが、貯留部１Ａ〜１Ｊの配置数及び配置形態はこれに限らず、脱臭装置１０の設置スペースや脱臭する気体の種類及び濃度に応じて、適宜変更可能である。例えば、脱臭装置の高さをあまり高くできない場合には、その高さ方向に設ける貯留部の配置数を減らして、その分、横方向に複数個並べて配置するようにしてもよい。
【００４１】
さらに、本実施形態に係る脱臭装置１０においては、効率よく気体と脱臭剤２とを接触させるために、上下の板１１間に形成される空間のうち、上下の貯留部１Ａ〜１Ｊ間を連結し、気体及び脱臭剤２が通過可能な連結通路以外の空間には、充填材を充填することが好ましい。
【００４２】
さらに、本実施形態に係る脱臭装置１０においては、流入口３を最上層の貯留部１Ａより上部に設け、流出口４を最下層の貯留部１Ｊの上部に設けた構成としたが、流入口３が流出口４よりも上層側に形成されるのであれば、設置場所はこれに限らない。例えば、流入口３を最下層の貯留部１Ｊ以外の各貯留部１Ａ〜１Ｉにそれぞれ設け、気体に含まれる臭気成分の濃度に応じて、異なる流入口３から気体を流入させるようにしてもよい。
【００４３】
具体的には、臭気成分の濃度が比較的高い気体を脱臭する際には、最上層の貯留部１Ａに設けられた流入口３から貯留槽１内に流入させ、臭気成分の濃度が比較的低い気体を脱臭する際には、中間層の貯留部１Ｅに設けられた流入口３から流入させるようにする。これにより、一つの脱臭装置１０で、臭気成分の濃度が異なる気体を同時に効率よく脱臭することが可能となる。
【実施例】
【００４４】
以下、本実施形態における脱臭装置１０の脱臭性能について検証した結果を示す。
【００４５】
まず、上述した図１に示す脱臭装置１０の貯留槽１内に、液体状の脱臭剤２を貯留部１Ａ〜１Ｊに貯留させて、臭気成分（硫化水素及びメルカプタン）を含む気体の脱臭試験を行った。
【００４６】
この脱臭試験は、試料気体として、下記表１に示すように、硫化水素及びメルカプタンの含有量がそれぞれ異なる複数種類の気体を用いて、これらの気体を、それぞれ吸引ポンプ５により２０００リットル／ｍｉｎで吸引し、約２０〜３０ｋｍ／ｈで貯留槽１内に流入させることで行った。
【００４７】
そして、貯留槽１の流入口３に流入させる前の気体と、貯留槽１の流出口４から流出させた後の気体（具体的には、流出口４から排出され、ミストセパレータ７を通過する前の気体）とを分析し、各気体に含まれる臭気成分の含有量の測定と臭気の確認を行った。ここで、臭気成分の含有量は、北川式検知管を用い、各気体の濃度を３〜５回測定し、測定濃度から平均値を算出して臭気成分濃度とするとともに、感覚的な臭気の確認は、試験員が直接臭いを嗅ぎ評価した。これらの結果は、下記表１に併せて示した。
【００４８】
また、比較例として、図３に示す従来の脱臭装置１０Ａを用いて、上述と同様の試料気体に対して脱臭試験を行った。この脱臭装置１０Ａは、図３に示すように、液体状の脱臭剤２を噴霧した濾材１０ａが充填された脱臭槽１ａで構成されているとともに、気体の流入口３は脱臭槽１ａの下方に設けられ、気体の流出口４が脱臭槽１ａの上方に設けられている。すなわち、この脱臭装置１０Ａは、脱臭槽１ａの下方から上方に向かって、臭気成分を含んだ気体を通過させることで、臭気成分を脱臭剤２が噴霧された濾材１０ａで吸着して除去できるように構成されている。
【００４９】
なお、図３中の符号１０ｂは、液体状の脱臭剤２を濾材１０ａに噴霧するためのノズルを指し、符号
１０ｃは脱臭剤２を脱臭槽１ａ内部で循環させる循環ポンプを指す。
また、この脱臭試験は、臭気成分を含んだ気体をそれぞれ送風ポンプにより２０００リットル／ｍｉｎで脱臭槽１ａ内に流入させることで行った。
【００５０】
【表１】
2008296156.tif 000003
【００５１】
表１に示すように、本実施形態における脱臭装置１０を用いて行った実施例Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１０では、従来の脱臭装置１０Ａを用いて行った比較例Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１０と比べて、脱臭前の気体に含まれる臭気成分が完全に除去されていることが確認できた。なお、検知管の検出限界濃度は硫化水素、メルカプタン共に０．２ｐｐｍであり、それ以下のものは検出限界以下（ＮＤ）とした。
【００５２】
なお、本実施形態及び実施例では、本発明に係る浄化装置を脱臭装置１０として使用した場合について説明したが、本発明はこれに限らず、浄化装置を炭酸ガス除去装置として使用する場合にも好適に用いることができる。
【００５３】
この場合には、上述した図１に示す装置において、脱臭剤２の代わりに水酸化カルシウム溶液（浄化剤）を貯留した貯留槽１の内部に、流入口３を介して炭酸ガスを含む気体を流入する。これにより、気体中に含まれた炭酸ガスは、貯留槽１の上方から下方に向かって通過する際に、水酸化カルシウム溶液と気液接触することで水酸化カルシウム溶液に吸収され、炭酸カルシウムとして回収することが可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
本発明に係る浄化装置は、病院、倉庫、下水処理場、店舗、家庭などで生じる臭気成分を除去する脱臭装置や、プロパンガスのボンベを再生する時などに生じる臭気成分（例えば、メルカプタン）を除去する脱臭装置として利用したり、排ガス中に含まれる炭酸ガスを除去するための炭酸ガス除去装置として利用したりする他、空気中に浮遊するアレルギー成分（例えば、杉花粉）を除去するための空気清浄器としても利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明に係る浄化装置の一例として脱臭装置を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は右側面図、(ｃ)は左側面図、（ｄ）は図１（ａ）のＡ−Ａ断面図、である。
【図２】本発明に係る浄化装置の一例である脱臭装置の使用例を示す断面図である。
【図３】比較例で用いた従来の脱臭装置を示す側面図である。
【符号の説明】
【００５６】
１        貯留槽
１Ａ〜１Ｊ  貯留部
２        脱臭剤（浄化剤）
３        流入口
４        流出口
５        吸引ポンプ（吸引手段）
６        ミストセパレータ（浄化剤除去手段）
７        吸着体
８        連結パイプ
９        循環ポンプ（循環手段）
１０        脱臭装置（浄化装置）
【図１】
2008296156.tif 000004
【図２】
2008296156.tif 000005
【図３】
2008296156.tif 000006