(57)【要約】【課題】クリーンブース内部の高清浄度域を更に向上させた空間を容易に、かつ高性能フィルタの負荷を低減し、フィルタの耐用年限を増大することを目的とする。【解決手段】クリーンブース１内部の高清浄度域１１を外側の低清浄度域９より区画する外側間仕切部材１０を垂設し、内外両側間仕切部材間に吹出空気流の清浄空気吹出面に対するレターン経路を形成することにより、フィルタの負荷を小さくし耐用年限を延用することができる循環風路形成装置が得られる。【選択図】図１
2008145052.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンブース内部を区画する内側間仕切部材と、前記クリーンブースの天井面又は側面に設けた清浄空気供給装置と、前記内側間仕切部材の下端と床面との間に設けた間隙と、クリーンブースの外側には、クリーンブースを覆うように設けた外側間仕切用ブースと、前記外側間仕切用ブースには、外側の低清浄度域より区画する外側間仕切部材を設け、前記清浄空気供給装置によってクリーンブース内部に吹き出した清浄空気は、前記内側間仕切部材と前記外側間仕切部材との間に形成されたレターン経路を通って循環することを特徴とする循環風路形成装置。
【請求項２】
クリーンブースに設けた清浄空気供給装置は、ファンとフィルタをチャンバ内に設けたファンフィルタユニットであることを特徴とする請求項１記載の循環風路形成装置。
【請求項３】
外側間仕切用ブースの天井面または側面に清浄空気供給装置を設けて、低清浄度域から外気導入の経路を形成した請求項１または２記載の循環風路形成装置。
【請求項４】
外側間仕切用ブースに設けた清浄空気供給装置は、ファンとフィルタをチャンバ内に設けたファンフィルタユニットであることを特徴とする請求項３記載の循環風路形成装置。
【請求項５】
外側間仕切用ブースに分子状汚染物質が低減可能な空気供給装置を設けて、低清浄度域から分子状汚染物質を低減した外気導入の経路を形成した請求項１〜４いずれかに記載の循環風路形成装置。
【請求項６】
外側間仕切用ブースの支柱下端に可動装置を設けた請求項１〜５いずれかに記載の循環風路形成装置。
【請求項７】
外側間仕切用ブースの天井面に吊り下げ可能な金具を備えた請求項１〜５いずれかに記載の循環風路形成装置。
【請求項８】
クリーンブースの天井面を外側間仕切部材に吊着した請求項１〜７いずれかに記載の循環風路形成装置。
【請求項９】
外側間仕切用ブースに設けた清浄空気供給装置から吹き出す風量は、クリーンブースに設けた清浄空気供給装置から吹き出す風量よりも少ないことを特徴とする請求項３または４に記載の循環風路形成装置。
【請求項１０】
運転開始時は、クリーンブースに設けた清浄空気供給装置を先に起動した後、外側間仕切用ブースに設けた清浄空気供給装置を起動することを特徴とする請求項９記載の循環風路形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は精密機械分野等において発塵を嫌う作業工程等に使用されるクリーンブースに係るものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のクリーンブースは、特許文献１に記載されているような構成が一般的であった。一般的なクリーンブースの構成を図７に示し、その構成について説明する。
【０００３】
図７に示すように、クリーンブースはビニルシートの間仕切によって高清浄度域が確保され、吹出空気はビニルシートの隙間から外部の低清浄度域に排出され、またクリーンブース内の吹出空気は外部の低清浄度域より供給されるようになっている。
【特許文献１】特開２００２−２８６２６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような従来のクリーンブースにおいては、吹出空気が低清浄度域から供給されるため、高性能フィルタの負荷が大きくなり、その交換周期が短くなるという課題があり、高性能フィルタの負荷を小さくし、その耐用年限を延用しうることが要求されている。
【０００５】
また、吹出空気が低清浄度域から供給されるため、クリーンブース内部の清浄度向上に限界があるという課題があり、容易に清浄度向上ができることが要求されている。
【０００６】
さらに微細化加工進展に伴い塵埃だけでなく分子状汚染物質も除去された高清浄度な空間が要求されている。
【０００７】
本発明は、このような従来の課題を解決するものであり、内外両側間仕切部材間に吹出空気流の清浄空気吹出面に対するレターン経路を形成することができ、新鮮な外気を導入する経路も形成でき、分子状汚染物質を低減した外気を導入する経路も形成でき、また、高清浄度域をさらに向上させた空間を簡易で自由な場所に設けることを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明である循環風路形成装置の一つの手段は、クリーンブース内部を区画する内側間仕切部材と、前記クリーンブースの天井面又は側面に設けた清浄空気供給装置と、前記内側間仕切部材の下端と床面との間に設けた間隙と、クリーンブースの外側には、クリーンブースを覆うように設けた外側間仕切用ブースと、前記外側間仕切用ブースには、外側の低清浄度域より区画する外側間仕切部材を設け、前記清浄空気供給装置によってクリーンブース内部に吹き出した清浄空気は、前記内側間仕切部材と前記外側間仕切部材との間に形成されたレターン経路を通って循環することを特徴とするものである。
【０００９】
また、他の手段は、クリーンブースに設けた清浄空気供給装置はファンとフィルタをチャンバ内に設けたファンフィルタユニットであることを特徴とするものである。
【００１０】
また、他の手段は、外側間仕切用ブースの天井面または側面に清浄空気供給装置を設けて、低清浄度域から外気導入の経路を形成したものである。
【００１１】
本発明によれば、新鮮な外気を導入する経路も形成することができる循環風路形成装置が得られる。
【００１２】
また、他の手段は、外側間仕切用ブースに設けた清浄空気供給装置は、ファンとフィルタをチャンバ内に設けたファンフィルタユニットであることを特徴とするものである。
【００１３】
また、他の手段は、外側間仕切用ブースに分子状汚染物質が低減可能な空気供給装置を設けて、低清浄度域から分子状汚染物質が低減された外気導入経路を形成したものである。
【００１４】
本発明によれば、分子状汚染物質が低減された外気を導入する経路も形成することができる循環風路形成装置が得られる。
【００１５】
また、他の手段は、外側間仕切用ブースの支柱下端に可動装置を設けたものである。
【００１６】
本発明によれば、高清浄度域をさらに向上させた空間を簡易で自由な場所に設けることができる循環風路形成装置が得られる。
【００１７】
また、他の手段は、外側間仕切用ブースの天井面に吊り下げ可能な金具を備えたものである。
【００１８】
本発明によれば、循環風路を形成する外側間仕切用ブースの支柱を無くすことができ高清浄度域を自由に形成することができる循環風路形成装置が得られる。
【００１９】
また、他の手段はクリーンブースの天井面を外側間仕切用ブースに吊着したものである。
【００２０】
本発明によれば、高清浄度域を形成するクリーンブースの支柱を無くすことができ高清浄度域を有効に活用できる循環風路成形装置が得られる。
【００２１】
また、他の手段は、外側間仕切用ブースに設けた清浄空気供給装置から吹き出す風量は、クリーンブースに設けた清浄空気供給装置から吹き出す風量よりも少ないことを特徴とするものである。
【００２２】
本発明によれば、クリーンブースとレターン経路とを循環する風量を確保し、クリーンブースに設けた清浄空気供給装置にかかる汚染負荷を軽減することが可能となる。
【００２３】
また、他の手段は、運転開始時は、クリーンブースに設けた清浄空気供給装置を先に起動した後、外側間仕切用ブースに設けた清浄空気供給装置を起動することを特徴とするものである。
【００２４】
本発明によれば、運転開始時にクリーンブース内部とレターン経路の汚染負荷をあらかじめ除去しておくことにより、外側間仕切用ブースに設けた清浄空気供給装置を運転して低清浄度域からの空気を導入してもクリーンブース内を高度な清浄度域に保つことができる。
【発明の効果】
【００２５】
以上のように本発明によれば、高清浄度域より排出された清浄なレターン空気を主に吸引することによって、フィルタの負荷を小さくし、その耐用年限を延用しうることができ、かつ高清浄度域をさらに向上させた空間を設けることができるという有利な効果が得られる。
【００２６】
また、外側間仕切用ブースに清浄空気供給装置を設けて、低清浄度域から外気導入の経路を形成できる構成にしたものであり、新鮮な外気を導入することにより、作業空間を快適なものにできるという有利な効果が得られる。
【００２７】
また、外側間仕切用ブースに分子状汚染物質が低減可能な空気供給装置を設けて、低清浄度域から分子状汚染物質を低減した外気導入の経路を形成できる構成にしたものであり、新鮮な外気を導入するとともに、分子状汚染物質も低減することができるという有利な効果が得られる。
【００２８】
また、外側間仕切用ブースの支柱下端に可動装置を設ける構成にしたものであり、高清浄度域をさらに向上させた空間を簡易で自由な場所に設けることができるという有利な効果が得られる。
【００２９】
また、クリーンブースの天井面を外側間仕切用ブースに吊着した構成にしたものであり、高清浄度域を形成するクリーンブースの支柱を無くすことができ高清浄度域を有効に活用できるという有利な効果が得られる。
【００３０】
また、外側間仕切用ブースの天井面に吊り下げ可能な金具を備えた構成にしたものであり、循環風路を形成する外側間仕切用ブースの支柱を無くすことができ高清浄度域を自由に形成することができるという有利な効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
本発明の請求項１に記載の発明は、クリーンブース内部を区画する内側間仕切部材と、前記内側間仕切部材の天井面又は側面に設けた清浄空気供給装置と、前記内側間仕切部材の下端と床面との間に設けた間隙と、クリーンブースの外側には、クリーンブースを覆うように設けた外側間仕切用ブースと、前記外側間仕切用ブースには、外側の低清浄度域より区画する外側間仕切部材を設け、前記清浄空気供給装置によってクリーンブース内部に吹き出した清浄空気は、前記内側間仕切部材と前記外側間仕切部材との間に形成されたレターン経路を通って循環するものであり、高清浄度域より主にレターン空気を吸引することによって、フィルタの負荷を小さくし、その耐用年限を延用しうることができ、かつ高清浄度域をさらに向上させた空間を設けることができるという作用を有する。
【００３２】
請求項２記載の発明は、クリーンブースに設けた清浄空気供給装置をファンとフィルタをチャンバ内に設けたファンフィルタユニットで構成したものである。
【００３３】
請求項３記載の発明は、外側間仕切用ブースの天井面または側面に清浄空気供給装置を設けて、低清浄度域から外気導入の経路を形成したものであり、新鮮な外気を導入することにより、作業空間を快適なものにできるという作用を有する。
【００３４】
請求項４記載の発明は、外側間仕切用ブースに設けた清浄空気供給装置をファンとフィルタをチャンバ内に設けたファンフィルタユニットで構成したものである。
【００３５】
請求項５に記載の発明は、外側間仕切用ブースに分子状汚染物質が低減可能な空気供給装置を設けて、低清浄度域から分子状汚染物質を低減した外気導入の経路を形成できる構成にしたものであり、新鮮な外気を導入するとともに、分子状汚染物質も低減することができるという作用を有する。
【００３６】
請求項６に記載の発明は、外側間仕切用ブースの支柱下端に可動装置を設ける構成にしたものであり、高清浄度域をさらに向上させた空間を簡易で自由な場所に設けることができるという作用を有する。
【００３７】
請求項７に記載の発明は、外側間仕切用ブースの天井面に吊り下げ可能な金具を備えた構成にしたものであり、循環風路を形成する外側間仕切用ブースの支柱を無くすことができ高清浄度域を自由に形成することができるという作用を有する。
【００３８】
請求項８に記載の発明は、クリーンブースの天井面を外側間仕切用ブースに吊着した構成にしたものであり、高清浄度域を形成するクリーンブースの支柱を無くすことができ高清浄度域を有効に活用できるという作用を有する。
【００３９】
請求項９記載の発明は、外側間仕切用ブースに設けた清浄空気供給装置から吹き出す風量は、クリーンブースに設けた清浄空気供給装置から吹き出す風量よりも少ないことを特徴とするものであり、クリーンブースとレターン経路とを循環する風量を確保し、内側間仕切部材に設けた清浄空気供給装置にかかる汚染負荷を軽減することが可能となる。
【００４０】
請求項１０記載の発明は、クリーンブースに設けた清浄空気供給装置を先に起動した後、外側間仕切用ブースに設けた清浄空気供給装置を起動することを特徴とするものであり、運転開始時にクリーンブース内部とレターン経路の汚染負荷をあらかじめ除去しておくことにより、外側間仕切用ブースに設けた清浄空気供給装置を運転して低清浄度域からの空気を導入してもクリーンブース内を高度な清浄度域に保つことができる。
【００４１】
以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明する。
【００４２】
（実施の形態１）
図１に示すように、クリーンブース１は上方に高性能フィルタ２を装着している清浄空気供給装置３を配設しており、クリーンブース１外側面にはビニール等の内側間仕切部材４を垂設したもので構成されている。なお内側間仕切部材４と床面５との間には間隙が設けられている。また、外側間仕切用ブース６は、隅角部に配設された支柱７と天井面８とでクリーンブース１を囲う様に構成されており、低清浄度域９との仕切りのため、外側間仕切用ブース６外側面には、ビニール等の外側間仕切部材１０が垂設した構成となっている。外側間仕切部材１０と内側間仕切部材４との間にはレターン経路２１が形成され、全体として循環風路形成装置２０を構成している。
【００４３】
上記構成において、高性能フィルタ２を装着している清浄空気供給装置３より高清浄度域１１より吹出された清浄空気流は、内側間仕切部材４と床面５との間より、内側間仕切部材４と外側間仕切部材１０との間に形成されたレターン経路２１に入り、吸込口１２より清浄空気供給装置３に還流される。
【００４４】
このような循環風路形成装置２０によれば、クリーンブースに設けられた清浄空気供給装置３は、高清浄度域１１からレターン経路２１に排出されたレターン空気を主に吸引することによって、高性能フィルタ２の負荷を小さくし、その耐用年限を延用しうることができ、かつ高清浄度域１１をさらに向上させた空間を設けることができる。
【００４５】
なお、清浄空気供給装置３は、チャンバ内にファンとフィルタを設け、フィルタにより塵埃を除去して清浄空気を吹き出すファンフィルタユニットを用いると良い。
【００４６】
また、図１において、清浄空気供給装置３は、クリーンブース１の天井面に設けたが、クリーンブース１の側面に設けても良い。
【００４７】
（実施の形態２）
図２に示すように、外側間仕切用ブース６の天井面８に清浄空気供給装置３を設置した構成となっている。
【００４８】
上記構成により、低清浄度域９から外気導入の経路を形成でき、新鮮な外気を導入することにより、作業空間を快適なものにできる。
【００４９】
清浄空気供給装置３は、実施の形態１と同様に、チャンバ内にファンとフィルタを設け、フィルタにより塵埃を除去して清浄空気を吹き出すファンフィルタユニットを用いると良い。
【００５０】
なお、図２において、外側間仕切用ブース６に設けた清浄空気供給装置３は、外側間仕切用ブース６の天井面に設けたが、側面に設けても良い。
【００５１】
また、外側間仕切用ブース６に設けた清浄空気供給装置３の合計風量は、クリーンブース１に設けた清浄空気供給装置３の合計風量よりも少なくすることによって、クリーンブース１内部の高清浄度域１１とレターン経路２１を循環する風量を確保することができる。
【００５２】
また、外側間仕切用ブース６に設けた清浄空気供給装置３と、クリーンブース１に設けた清浄空気供給装置３とを統合して制御を行う制御装置（図示せず）を設け、制御装置は、運転開始時には、まずクリーンブース１に設けられた清浄空気供給装置３を運転し、その後、所定時間経過後に外側間仕切用ブース６に設けられた清浄空気供給装置３を起動するように制御する。このような運転方法によって、あらかじめクリーンブース１内の塵埃を除去した後に、外側の低清浄度域９からの空気を導入することになる為、一時期に高い汚染負荷に対応する必要がなくなり、結果、クリーンブース１内を素早く所定の清浄度に到達させることが可能になる。
【００５３】
（実施の形態３）
図３に示すように、外側間仕切用ブース６の天井面８に分子状汚染物質が低減可能なケミカルフィルターを搭載した空気供給装置１３を設置した構成となっている。
【００５４】
上記構成により、低清浄度域９から外気導入の経路を形成でき、新鮮な外気を導入するとともに、分子状汚染物質も低減することができる。
【００５５】
なお、本実施の形態ではクリーンブース１の上方に配設されている清浄空気供給装置３を、分子状汚染物質が低減できる空気供給装置１３としても効果に差異が無いことは言うまでもない。
【００５６】
（実施の形態４）
図４に示すように、外側間仕切用ブース６の隅角部に配設された支柱７の下端にキャスター１４を取りつけた構成となっている。
【００５７】
上記構成により、さまざまな場所にあるクリーンブース１に対して、高性能フィルタ２の負荷低減が必要な際に、簡易に設置および移動ができる。
【００５８】
（実施の形態５）
図５に示すように、クリーンブース１の天井面１５を外側間仕切用ブース６に吊着した構成となっている。
【００５９】
上記構成により、高清浄度域１１を形成するクリーンブース１の支柱を無くすこと安価なクリーンブース１にすることができ、さらに高清浄度域１１を有効に活用することができる。また、外側間仕切用ブース６と一体型となることで必要な場所に高清浄度域１１を設置できる。
【００６０】
（実施の形態６）
図６に示すように、外側間仕切用ブース６の天井面８に吊り下げ可能な金具１６であるアイボルトを備えた構成となっている。
【００６１】
上記構成により、循環風路を形成する外側間仕切用ブース６の支柱を無くすことができ高清浄度域１１を自由に形成することができ、設置場所の床面を必要とせずに高清浄度域１１が形成できる。
【産業上の利用可能性】
【００６２】
高度な清浄領域を必要とする産業に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の実施の形態１の循環風路形成装置の構成を示す断面図
【図２】同実施の形態２の循環風路形成装置の天井面に設置された清浄空気供給装置を示す断面図
【図３】同実施の形態３の循環風路形成装置の天井面に設置された分子状汚染物質が低減可能な空気供給装置を示す断面図
【図４】同実施の形態３の循環風路形成装置の隅角部に配設された支柱下端に取りつけたキャスターを示す断面図
【図５】同実施の形態５のクリーンブースの天井面を循環風路形成装置に吊着した構成を示す断面図
【図６】同実施の形態６の循環風路形成装置の天井面に吊り下げ可能な金具を備えた構成を示す断面図
【図７】従来のクリーンブースの構成を示す断面図
【符号の説明】
【００６４】
１    クリーンブース
２    高性能フィルタ
３    清浄空気供給装置
４    内側間仕切部材
５    床面
６    外側間仕切用ブース
７    支柱
８    天井面
９    低清浄度域
１０  外側間仕切部材
１１  高清浄度域
１２  吸込口
１３  空気供給装置
１４  キャスター
１５  天井面
１６  金具
２０  循環風路形成装置
２１  レターン経路
【図１】
2008145052.tif 000003
【図２】
2008145052.tif 000004
【図３】
2008145052.tif 000005
【図４】
2008145052.tif 000006
【図５】
2008145052.tif 000007
【図６】
2008145052.tif 000008
【図７】
2008145052.tif 000009