(57)【要約】【課題】ＮＯｘの検出精度に優れた混成電位式のＮＯｘセンサを提供すること。【解決手段】被測定ガスが導入されるガス検知室３と該ガス検知室３に導入された被測定ガス中のＮＯ2の濃度を検出するセンサセル２とをする混成電位式のＮＯｘセンサ。センサセル２は、酸素イオン伝導性のセンサ用固体電解質体２１と、該センサ用固体電解質体２１におけるガス検知室３側の面に配設され少なくとも酸素及びＮＯｘに活性な検知電極２２と、少なくとも酸素に活性な参照電極２３とを有し、検知電極２２と参照電極２３との間の電位差の大きさによりＮＯ2の濃度を検出するよう構成されている。ガス検知室３には、検知電極２２付近の酸素を排出する酸素ポンプセル４の一方の電極である酸素ポンプ電極４２が配設されている。【選択図】図１
2008281430.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定ガスが導入されるガス検知室と該ガス検知室に導入された上記被測定ガス中のＮＯ2の濃度を検出するセンサセルとを有し、
上記センサセルは、酸素イオン伝導性のセンサ用固体電解質体と、該センサ用固体電解質体における上記ガス検知室側の面に配設され少なくとも酸素及びＮＯｘに活性な検知電極と、少なくとも酸素に活性な参照電極とを有し、上記検知電極と上記参照電極との間の電位差の大きさによりＮＯ2の濃度を検出するよう構成されている混成電位式のＮＯｘセンサであって、
上記ガス検知室には、上記検知電極付近の酸素を排出する酸素ポンプセルの一方の電極である酸素ポンプ電極が配設されていることを特徴とする混成電位式のＮＯｘセンサ。
【請求項２】
請求項１において、上記ガス検知室には、該ガス検知室に導入される上記被測定ガス中のＮＯをＮＯ2に酸化させる変換電極が配設されていることを特徴とする混成電位式のＮＯｘセンサ。
【請求項３】
請求項１又は２において、上記ガス検知室には、該ガス検知室に導入される上記被測定ガス中の還元性ガスを酸化させる酸化電極が配設されていることを特徴とする混成電位式のＮＯｘセンサ。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項において、上記酸素ポンプ電極は、上記センサ用固体電解質体における上記ガス検知室側の面に配設されていることを特徴とする混成電位式のＮＯｘセンサ。
【請求項５】
請求項４において、上記酸素ポンプ電極は、上記検知電極に隣接配置されていることを特徴とする混成電位式のＮＯｘセンサ。
【請求項６】
請求項５において、上記酸素ポンプ電極は、上記検知電極の周囲を囲むように隣接配置されていることを特徴とする混成電位式のＮＯｘセンサ。
【請求項７】
請求項５において、上記検知電極と上記酸素ポンプ電極とは、互いに櫛状に噛合されて隣接配置されていることを特徴とする混成電位式のＮＯｘセンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被測定ガス中のＮＯｘ濃度を検出する混成電位式のＮＯｘセンサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、被測定ガスが導入されるガス検知室と該ガス検知室に導入された上記被測定ガス中のＮＯ2の濃度を検出するセンサセルとを有する混成電位式のＮＯｘセンサが知られている（例えば、特許文献１参照）。
図８に示すごとく、センサセル９２は、酸素イオン伝導性のセンサ用固体電解質体９２１と、該センサ用固体電解質体９２１におけるガス検知室９３側の面に配設され少なくとも酸素及びＮＯｘに活性な検知電極９２２と、少なくとも酸素に活性な参照電極９２３とを有する。
また、センサセル９２は、検知電極９２２と参照電極９２３との間の電位差の大きさによりＮＯ2の濃度を検出するよう構成されている。
【０００３】
かかる従来のＮＯｘセンサにおいて、検知電極９２２に到達したＮＯｘは、以下のような反応をする。すなわち、検知電極９２２は例えばＷＯ3からなり、ＮＯ2が検知電極９２２を通過する際に以下の式（１）のような気相反応が起こる。
２ＮＯ2→２ＮＯ＋Ｏ2・・・（１）
【０００４】
しかしながら、ＮＯ2の濃度とＮＯの濃度とがある一定の濃度（平衡状態）に達する前に、酸素及びＮＯｘに活性な検知電極９２２とセンサ用固体電解質体９２１との界面にＮＯ2が達すると、以下の式（２）のようなカソーディック反応と、式（３）のようなアノーディック反応とが起こる。
２ＮＯ2＋４ｅ-→２ＮＯ＋２Ｏ2-・・・（２）
２Ｏ2-→Ｏ2＋４ｅ-・・・（３）
【０００５】
一方、酸素に活性な参照電極９２３においては、以下の式（４）に示される可逆反応が起こっている。
Ｏ2＋４ｅ-⇔２Ｏ2-・・・（４）
このように検知電極９２２と参照電極９２３とでは互いに異なる反応が起こっており、これに起因して両電極間に電位差が生じている。そして、このときの電位を混成電位といい、該混成電位を測定すれば被測定ガス中のＮＯｘ濃度を検出することができる。
【０００６】
しかしながら、検知電極９２２付近の酸素濃度が大きい場合には、出力される混成電位が小さくなってしまい（図４（ｃ）参照）、上記混成電位を充分な大きさとして得ることが困難となるおそれがある。その結果、ＮＯｘの検出精度に優れた混成電位式のＮＯｘセンサを得ることが困難となるという問題がある。
【０００７】
【特許文献１】特開２００２−２４３６９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、かかる従来の問題点に鑑みてなされたもので、ＮＯｘの検出精度に優れた混成電位式のＮＯｘセンサを提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、被測定ガスが導入されるガス検知室と該ガス検知室に導入された上記被測定ガス中のＮＯ2の濃度を検出するセンサセルとを有し、
上記センサセルは、酸素イオン伝導性のセンサ用固体電解質体と、該センサ用固体電解質体における上記ガス検知室側の面に配設され少なくとも酸素及びＮＯｘに活性な検知電極と、少なくとも酸素に活性な参照電極とを有し、上記検知電極と上記参照電極との間の電位差の大きさによりＮＯ2の濃度を検出するよう構成されている混成電位式ＮＯｘセンサであって、
上記ガス検知室には、上記検知電極付近の酸素を排出する酸素ポンプセルの一方の電極である酸素ポンプ電極が配設されていることを特徴とする混成電位式のＮＯｘセンサにある（請求項１）。
【００１０】
次に、本発明の作用効果につき説明する。
上記ガス検知室には、上記検知電極付近の酸素を排出する酸素ポンプセルの一方の電極である酸素ポンプ電極が配設されている。これにより、ＮＯｘの検出精度に優れた混成電位式のＮＯｘセンサを得ることができる。すなわち、上記ＮＯｘセンサにおいては、検知電極と参照電極との間の電位差の大きさによりＮＯ2の濃度を検出する。このとき、検知電極付近の酸素濃度が小さければ小さいほど、検知電極と参照電極との間の電位差（混成電位）を大きくすることができる。したがって、上記酸素ポンプによって検知電極付近の酸素の量を減らすことにより、微量のＮＯ2濃度に対しても充分な大きさの混成電位を検出することができる。その結果、ＮＯｘの検出精度に優れた混成電位式のＮＯｘセンサを得ることができる。
【００１１】
以上のごとく、本発明によれば、ＮＯｘの検出精度に優れた混成電位式のＮＯｘセンサを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明（請求項１）において、上記ガス検知室には、該ガス検知室に導入される上記被測定ガス中のＮＯをＮＯ2に酸化させる変換電極が配設されていることが好ましい（請求項２）。
この場合には、検知電極においてＮＯとＮＯ2とが共存することに起因してＮＯ2の検出精度が低下してしまうという不具合を防ぐことができ、ＮＯｘの検出精度に一層優れた混成電位式のＮＯｘセンサを得ることができる。
【００１３】
すなわち、ＮＯとＮＯ2とが共存する場合には、検知電極におけるＮＯによる出力電位とＮＯ2による出力電位とが互いに相殺されてＮＯ2の検出精度が低下してしまうこととなる（実施例１における式（１０）、式（８）参照）。したがって、ＮＯが検知電極に達する前に変換電極においてＮＯを酸化させてＮＯ2とすることで、上記のような不具合が発生することを回避することができる。これにより、ＮＯｘ濃度を一層正確に検出することができる混成電位式のＮＯｘセンサを得ることができる。
【００１４】
また、上記ガス検知室には、該ガス検知室に導入される上記被測定ガス中の還元性ガスを酸化させる酸化電極が配設されていることが好ましい（請求項３）。
この場合には、検知電極において還元性ガスとＮＯ2とが共存することに起因してＮＯ2の検出精度が低下してしまうという不具合を防ぐことができ、ＮＯｘの検出精度に一層優れた混成電位式のＮＯｘセンサを得ることができる。
【００１５】
すなわち、還元性ガスとＮＯ2とが共存する場合には、検知電極における還元性ガスによる出力電位とＮＯ2による出力電位とが互いに相殺されてＮＯ2の検出精度が低下してしまうこととなる（例えば、実施例１における式（１０）、式（６）参照）。したがって、ＮＯが検知電極に達する前に還元性ガスを酸化させることで、上記のような不具合が発生することを回避することができる。これにより、ＮＯｘ濃度を一層正確に検出することができる混成電位式のＮＯｘセンサを得ることができる。
上記還元性ガスとして、例えば、Ｈ2（水素）やＨＣ（炭化水素）やＣＯ（一酸化炭素）等がある。
【００１６】
また、上記酸素ポンプ電極は、上記センサ用固体電解質体における上記ガス検知室側の面に配設されていることが好ましい（請求項４）。
この場合には、検知電極付近の酸素濃度を効率的に低減することができ、ＮＯｘ濃度を一層正確に検出することができる。
【００１７】
また、上記酸素ポンプ電極は、上記検知電極に隣接配置されていることが好ましい（請求項５）。
この場合には、検知電極付近の酸素濃度を一層効率的に低減することができ、ＮＯｘ濃度を一層正確に検出することができる。
【００１８】
また、上記酸素ポンプ電極は、上記検知電極の周囲を囲むように隣接配置されていることが好ましい（請求項６）。
この場合には、検知電極付近の酸素濃度をより一層効率的に低減することができ、ＮＯｘ濃度をより一層正確に検出することができる。
【００１９】
また、上記検知電極と上記酸素ポンプ電極とは、互いに櫛状に噛合されて隣接配置されていてもよい（請求項７）。
この場合にも、検知電極付近の酸素濃度をより一層効率的に低減することができ、ＮＯｘ濃度をより一層正確に検出することができる。
【実施例】
【００２０】
（実施例１）
本発明の実施例に係る混成電位式のＮＯｘセンサにつき、図１〜図４を用いて説明する。
本例の混成電位式のＮＯｘセンサは、図１、図２に示すごとく、被測定ガスが導入されるガス検知室３と該ガス検知室３に導入された被測定ガス中のＮＯ2の濃度を検出するセンサセル２とを有する。
【００２１】
センサセル２は、図１〜図３に示すごとく、酸素イオン伝導性のセンサ用固体電解質体２１と、該センサ用固体電解質体２１におけるガス検知室３側の面に配設され酸素及びＮＯｘに活性な検知電極２２と、センサ用固体電解質体２１におけるガス検知室３と反対側の面に配され酸素に活性な参照電極２３とを有する。
【００２２】
また、センサセル２は、図１に示すごとく、検知電極２２と参照電極２３との間の電位差の大きさによりＮＯ2の濃度を検出するよう構成されている。
ガス検知室３には、図１〜図３に示すごとく、検知電極２２付近の酸素を排出する酸素ポンプセル４の一方の電極である酸素ポンプ電極４２が配設されている。
【００２３】
次に、本例のＮＯｘセンサにつき詳細に説明する。
本例のＮＯｘセンサは、例えば、自動車エンジンの排気系等に設置され、排気ガス中に含まれるＮＯｘの濃度を測定する混成電位式のＮＯｘセンサである。
【００２４】
該ＮＯｘセンサに内蔵されるＮＯｘセンサ素子１は、上記のごとく、センサ用固体電解質体２１と検知電極２２と参照電極２３とからなるセンサセル２を有する。センサ用固体電解質体２１は、例えばイットリア安定化ジルコニアからなる。検知電極２２は、例えばＷＯ3からなる。また、参照電極２３は、例えばＰｔからなる。
【００２５】
ガス検知室３には、上記のごとく、酸素ポンプセル４の一方の電極である酸素ポンプ電極４２が配設されている。
酸素ポンプ電極４２は、図１、図３に示すごとく、センサ用固体電解質体２１におけるガス検知室３側の面に配設されているとともに、検知電極２２に隣接配置されている。すなわち、酸素ポンプ電極４２と検知電極２２とは、互いに短絡しないように若干のクリアランスを設けた状態で配設されている。
また、酸素ポンプセル４のもう一方の電極である第二酸素ポンプ電極４３は、図１に示すごとく、センサ用固体電解質体２１における参照電極２３側の面に配設されている。
【００２６】
また、図１、図２に示すごとく、センサ用固体電解質体２１における参照電極２３が配設されている側の面には、大気が導入される第一大気室６１を形成する第一大気室形成層６１０が積層されている。該第一大気室形成層６１０は、例えば、Ａｌ2Ｏ3（アルミナ）からなる。
また、センサセル２の先端側には、開口部形成層８１が配設されている。そして、被測定ガスは、開口部形成層８１とセンサ用固体電解質体２１との間に配設された多孔質体８２を通過してガス検知室３に導入される。
【００２７】
また、ガス検知室３には、図１、図２に示すごとく、該ガス検知室３に導入される被測定ガス中のＮＯをＮＯ2に酸化させる酸化電極５２と、上記被測定ガス中の還元性ガスを酸化させる変換電極５３とが配設されている。そして、酸化電極５２及び変換電極５３は、酸素イオン伝導性のポンプ用固体電解質体５１の面上に配設されている。該ポンプ用固体電解質体５１は、例えばイットリア安定化ジルコニアからなる。変換電極５２は、例えばＰｔ（白金）−Ａｕ（金）合金からなる。また、酸化電極５３は、例えばＰｔからなる。
【００２８】
一方、図１、図２に示すごとく、ポンプ用固体電解質体５１における酸化電極５２及び変換電極５３が配設されている面と反対側の面には、供給電極５４が配設されている。
また、ポンプ用固体電解質体５１における供給電極５４が配設されている側の面には、大気が導入される第二大気室６２を形成するための第二大気室形成層６２０が積層されている。該第二大気室形成層６２０は、例えば、Ａｌ2Ｏ3（アルミナ）からなる。
【００２９】
また、図１、図２に示すごとく、第一大気室形成層６１０及び第二大気室形成層６２０には、それぞれ、絶縁層７３を介して、ＮＯｘセンサ素子１を加熱するヒータ７１を形成したヒータ基板７２が積層されている。該ヒータ基板７２は、例えば、Ａｌ2Ｏ3（アルミナ）からなる。
また、ポンプ用固体電解質体５１とセンサ用固体電解質体２１との間、及びポンプ用固体電解質体５１と開口部形成層８１との間にも、それぞれ、絶縁層７３が配設されている。
【００３０】
次に、本例の混成電位式のＮＯｘセンサのＮＯｘ濃度検出手順について説明する。
まず、多孔質体８２を通過してガス検知室３に導入された被測定ガスは、酸化電極５２の周辺へと達する。
【００３１】
そして、上記被測定ガス中に、例えば、還元性ガスとしてＣ3Ｈ6（プロピレン）とＮＯ2とが共存しているとすると、供給電極５４及び酸化電極５２において、それぞれ、以下の式（５）、式（６）のような反応が起こる。
Ｏ2＋４ｅ-→２Ｏ2-・・・（５）
Ｃ3Ｈ6＋９Ｏ2-→３ＣＯ2＋３Ｈ2Ｏ＋１８ｅ-・・・（６）
すなわち、本例のＮＯｘセンサは、酸化電極５２において被測定ガス中の還元性ガスを酸化させることにより、検知電極２２にまで還元性ガスが到達しないように構成されている。
【００３２】
また、供給電極５４及び変換電極５３において、それぞれ、以下の式（７）、式（８）のような反応が起こっている。
Ｏ2＋４ｅ-→２Ｏ2-・・・（７）
２ＮＯ＋２Ｏ2-→２ＮＯ2＋４ｅ-・・・（８）
すなわち、本例のＮＯｘセンサは、変換電極５３において被測定ガス中のＮＯを酸化させることにより、検知電極２２にまでＮＯが到達しないように構成されている。
【００３３】
被測定ガス中のＮＯ2は、検知電極２２を通過する際に以下の式（９）のように反応する。
２ＮＯ2→２ＮＯ＋Ｏ2・・・（９）
【００３４】
しかしながら、ＮＯ2の濃度とＮＯの濃度とがある一定の濃度（平衡状態）に達する前に、酸素及びＮＯｘに活性な検知電極２２とセンサ用固体電解質体２１との界面にＮＯ2が達すると、以下の式（１０）のようなカソーディック反応と、式（１１）のようなアノーディック反応とが起こる。
２ＮＯ2＋４ｅ-→２ＮＯ＋２Ｏ2-・・・（１０）
２Ｏ2-→Ｏ2＋４ｅ-・・・（１１）
【００３５】
一方、酸素に活性な参照電極２３においては、以下の式（１２）に示される可逆反応が起こっている。
Ｏ2＋４ｅ-⇔２Ｏ2-・・・（１２）
このように検知電極２２と参照電極２３とでは互いに異なる反応が起こっており、これに起因して両電極間に電位差が生じている。そして、このときの電位を混成電位といい、該混成電位を測定すれば被測定ガス中のＮＯｘ濃度を検出することができる。
【００３６】
次に、本例の作用効果につき説明する。
ガス検知室３には、検知電極２２付近の酸素を排出する酸素ポンプセル４の一方の電極である酸素ポンプ電極４２が配設されている。これにより、ＮＯｘの検出精度に優れた混成電位式のＮＯｘセンサを得ることができる。すなわち、本例のＮＯｘセンサにおいては、検知電極２２と参照電極２３との間の電位差の大きさによりＮＯ2の濃度を検出する。このとき、検知電極２２付近の酸素濃度が小さければ小さいほど、検知電極２２と参照電極２３との間の電位差（混成電位）を大きくすることができる。したがって、酸素ポンプ４２によって検知電極２２付近の酸素の量を減らすことにより、微量のＮＯ2濃度に対しても充分な大きさの混成電位を検出することができる。その結果、ＮＯｘの検出精度に優れた混成電位式のＮＯｘセンサを得ることができる。
【００３７】
これを、図４を用いて説明する。図４（ａ）〜（ｃ）に示す曲線Ｌ１は、ある酸素濃度の酸素雰囲気下において検知電極２２と参照電極２３との間で測定される電位と電流との関係を示すプロット線である。図４（ａ）に示す曲線Ｌ２は、二酸化窒素−酸素雰囲気下において検知電極２２と参照電極２３との間で測定される電位と電流との関係を示すプロット線である。
【００３８】
また、図４（ｂ）、（ｃ）に示す曲線Ｌ３は、曲線Ｌ１における電流値と曲線Ｌ２における電流値との差をとり、その絶対値をプロットした線である。そして、図４（ｂ）に示す曲線Ｌ１と曲線Ｌ３とが交差するときの電位Ｖ１が混成電位となる。また、図４（ｃ）に示す曲線Ｌ４は、曲線Ｌ１における酸素雰囲気よりも酸素濃度を小さくした場合に検知電極２２と参照電極２３との間で測定される電位と電流との関係を示すプロット線である。
【００３９】
ここで、図４（ｃ）に示すごとく、曲線Ｌ１と曲線Ｌ３とが交差するときの混成電位をＶ１、曲線Ｌ４と曲線Ｌ３とが交差するときの混成電位をＶ２とすると、Ｖ２はＶ１よりも大きい値となることがわかる。すなわち、ＮＯ2の濃度が小さくても、検出電極２２付近の酸素濃度を小さくすることにより、充分な大きさを有する混成電位を検出することができることがわかる。
以上のごとく、本例のＮＯｘセンサにおいては、酸素ポンプ電極４２によって検知電極２２付近の酸素を排出することができるため、ＮＯｘの検出精度に優れたＮＯｘセンサを得ることができる。
【００４０】
また、ガス検知室３には、該ガス検知室３に導入される被測定ガス中の還元性ガスを酸化させる酸化電極５２が配設されている。これにより、検知電極２２において還元性ガスとＮＯ2とが共存することに起因してＮＯ2の検出精度が低下してしまうという不具合を防ぐことができ、ＮＯｘの検出精度に一層優れた混成電位式のＮＯｘセンサを得ることができる。
【００４１】
すなわち、還元性ガスとＮＯ2とが共存する場合には、検知電極２２における還元性ガスによる出力電位とＮＯ2による出力電位とが互いに相殺されてＮＯ2の検出精度が低下してしまうこととなる（例えば、上記式（１０）、式（６）参照）。したがって、ＮＯが検知電極２２に達する前に還元性ガスを酸化させることで、上記のような不具合が発生することを回避することができる。これにより、ＮＯｘ濃度を一層正確に検出することができる混成電位式のＮＯｘセンサを得ることができる。
【００４２】
また、ガス検知室３には、該ガス検知室３に導入される被測定ガス中のＮＯをＮＯ2に酸化させる変換電極５３が配設されている。これにより、検知電極２２においてＮＯとＮＯ2とが共存することに起因してＮＯ2の検出精度が低下してしまうという不具合を防ぐことができ、ＮＯｘの検出精度に一層優れた混成電位式のＮＯｘセンサを得ることができる。
【００４３】
すなわち、ＮＯとＮＯ2とが共存する場合には、検知電極２２におけるＮＯによる出力電位とＮＯ2による出力電位とが互いに相殺されてＮＯ2の検出精度が低下してしまうこととなる（上記式（１０）、式（８）参照）。したがって、ＮＯが検知電極２２に達する前にＮＯを酸化させてＮＯ2とすることで、上記のような不具合が発生することを回避することができる。これにより、ＮＯｘ濃度を一層正確に検出することができる混成電位式のＮＯｘセンサを得ることができる。
【００４４】
また、酸素ポンプ電極４２は、センサ用固体電解質体２１におけるガス検知室３側の面に配設されているとともに検知電極２２に隣接配置されている。これにより、検知電極２２付近の酸素濃度をより一層効率的に低減することができ、ＮＯｘ濃度をより一層正確に検出することができる。
【００４５】
以上のごとく、本例によれば、ＮＯｘの検出精度に優れた混成電位式のＮＯｘセンサを提供することができる。
【００４６】
（実施例２）
本例は、図５に示すごとく、酸素ポンプ電極４２が、検知電極２２の周囲を囲むように隣接配置されているセンサセル２を作製した例である。
なお、酸素ポンプ電極４２と検知電極２２とは互いに短絡しないように若干のクリアランスを設けた状態で配設されている。
その他は、実施例１と同様である。
【００４７】
上記構成によれば、検知電極２２付近の酸素濃度を効率的に低減することができ、ＮＯｘ濃度を一層正確に検出することができる。すなわち、検知電極２２の周囲を酸素ポンプ電極４２が取り囲むことにより、検知電極２２の周囲から、検知電極２２の周辺の酸素をガス検知室３から効率良く排出することができる。
その他、実施例１と同様の作用効果を有する。
【００４８】
（実施例３）
本例は、図６に示すごとく、検知電極２２と酸素ポンプ電極４２とが、互いに櫛状に噛合されて隣接配置されているセンサセル２を作製した例である。すなわち、検知電極２２及び酸素ポンプ電極４２には、それぞれセンサ用固体電解質体２１の軸方向に直交する方向に複数の凸部２２１、４２１が設けられている。そして、検知電極２２の隣り合う凸部２２１の間に酸素ポンプ電極４２の凸部４２１を配置し、酸素ポンプ電極４２の隣り合う凸部４２１の間に検知電極２２の凸部２２１を配置することにより、検知電極２２と酸素ポンプ電極４２とが組み合わされている。
なお、酸素ポンプ電極４２と検知電極２２とは、互いに短絡しないように若干のクリアランスを設けた状態で配設されている。
その他は、実施例１と同様である。
【００４９】
本例の場合には、酸素ポンプ電極４２が検知電極２２に入り組んだ状態に配されているため、検知電極２２付近の酸素濃度を効率的に低減することができ、ＮＯｘ濃度を一層正確に検出することができる。
その他、実施例１と同様の作用効果を有する。
【００５０】
（実施例４）
本例は、図７に示すごとく、渦状に形成された検知電極２２とそれを取り巻くように渦状に形成された酸素ポンプ電極４２とが、互いに組み合わせてなるセンサセル２を作製した例である。
なお、酸素ポンプ電極４２と検知電極２２とは、互いに短絡しないように若干のクリアランスを設けた状態で配設されている。
その他は、実施例１と同様である。
【００５１】
本例の場合には、酸素ポンプ電極４２が検知電極２２に入り組んだ状態に配されているため、検知電極２２付近の酸素濃度を効率的に低減することができ、ＮＯｘ濃度を一層正確に検出することができる。なお、図７に示すように、酸素ポンプ電極４２が検知電極２２よりも外側に配設されるよう構成することにより、上記の作用効果を効果的に発揮することができる。
その他、実施例１と同様の作用効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】実施例１における、混成電位式のＮＯｘセンサに配設されるＮＯｘセンサ素子の軸方向に直交する方向の断面説明図。
【図２】実施例１における、混成電位式のＮＯｘセンサに配設されるＮＯｘセンサ素子の軸方向の断面説明図。
【図３】実施例１における、積層方向から見たときのセンサセルの説明図。
【図４】実施例１における、（ａ）検知電極と参照電極との間で測定される電位と電流との関係を示す線図、（ｂ）混成電位を測定する方法を示す説明図、（ｃ）酸素濃度が異なる場合の混成電位を比較した図。
【図５】実施例２における、積層方向から見たときのセンサセルの説明図。
【図６】実施例３における、積層方向から見たときのセンサセルの説明図。
【図７】実施例４における、積層方向から見たときのセンサセルの説明図。
【図８】従来例における、混成電位式のＮＯｘセンサに配設されるＮＯｘセンサ素子の断面説明図。
【符号の説明】
【００５３】
２  センサセル
２１  センサ用固体電解質体
２２  検知電極
２３  参照電極
３  ガス検知室
４  酸素ポンプセル
４２  酸素ポンプ電極
【図１】
2008281430.tif 000003
【図２】
2008281430.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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