(57)【要約】【課題】ＨＤＤの記録すべき情報の高密度化とデイスクの高速回転化に対処するために、共振周波数の高周波数化したデイスクドライブ用サスペンションを提供する。【解決手段】炭素０．０５重量％以下、マンガン１５重量％以上、１８重量％未満、クロム９重量％以上、１５重量％未満、ニッケル０．０１重量％以上、４重量％未満、アルミニウム０．０１重量％以上、０．０５重量％未満、窒素０．０１重量％以下、残部鉄からなり、イプシロン・マルテンサイト相が１０％以上である高強度高減衰能Ｆｅ−Ｍｎ−ＣｒーＮｉ合金をデイスクドライブ用サスペンションに適用し、ばね部の曲げ角度を０．０１ラジアン以上、０．１０ラジアン未満の歪を与えた状態で使用することによって上記課題を解決する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
マンガン１３重量％以上、１８重量％未満、クロム９重量％以上、１５重量％未満、ニッケル０．０１重量％以上、６重量％以下、その他元素及び残部鉄からなり、イプシロン・マルテンサイト相が１０％以上であることを特徴とする高強度高減衰能Ｆｅ−Ｍｎ−Ｃｒ−Ｎｉ合金を素材とした制振ばねデイスクドライブ用サスペンション。
【請求項２】
炭素０．０５重量％以下、アルミニウム０．０１重量％以上、０．０５重量％未満、窒素０．０１重量％以下を含有することを特徴とする高強度高減衰能Ｆｅ−Ｍｎ−Ｃｒ−Ｎｉ合金を素材とした請求項１記載の制振ばねデイスクドライブ用サスペンション。
【請求項３】
引張強度が７００ＭＰａ以上、１２００ＭＰａ以下、損失係数（η）が０．００５以上、０．１０以下であることを特徴とするの高強度高減衰能Ｆｅ−Ｍｎ−Ｃｒ−Ｎｉ合金を素材とした請求項１又は２記載の制振ばねデイスクドライブ用サスペンション。
【請求項４】
該高強度高振動減衰能Ｆｅ−Ｍｎ−Ｃｒ−Ｎｉ合金層及び粘弾性樹脂層が複合された構造をなし、ばね部及び端部補強リブ部は該合金のみによって構成されることを特徴とする請求項１、２又は３記載の制振ばねデイスクドライブ用サスペンション。
【請求項５】
該高強度高振動減衰能Ｆｅ−Ｍｎ−Ｃｒ−Ｎｉ合金又は該合金層及び粘弾性樹脂層が複合された構造をなし、ばね部は該合金のみによって構成され、ばね部に曲げ角度０．０１ラジアン以上、０．１ラジアン未満の歪を与えた状態で使用することを特徴とする請求項１、２、３又は４記載の制振ばねデイスクドライブ用サスペンション。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、制振性のあるばね材を使用した、パーソナルコンピュータ等の情報処理装置に内臓されているデイスクドライブ用サスペンションに関するものである。
【背景技術】
【０００２】  回転する磁気デイスク等に情報を記録し再生するためのハードデイスクドライブ（以下、「ＨＤＤ」という。）は、軸を中心に旋回可能なキャリッジをもっている。このキャリッジは、ポジショニング用モータによって、前記軸を中心に旋回駆動される。キャリッジは、アクチュエータアームとその先端部に設けたサスペンションとサスペンションに取付けたスライダ及びヘッド部を備えている。デイスクが回転すると、デイスクとスライダとの間にエアベアリングが形成され、サスペンション先端部のスライダがデイスク表面から僅かに浮上するようになって、記録及び再生が行われる。【０００３】  近年、ＨＤＤには、記録すべき情報の高密度化とデイスクの高速回転化が一段と進む傾向にある。このため、トラック幅は狭くなり、風乱やデイスクフラッタ等の外乱による振動が大きくなり、ヘッド部をトラック中心に正確に保持することが極めて困難となっている。【０００４】  これに対して、例えば、ＨＤＤのサスペンションにおいて剛体部を金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造とすることによって、全体的に軽量化を図りながら、共振周波数の高周波数化によって、デイスクの高速回転時の風乱等による振動を吸収する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。【０００５】  一方、従来から、自動車、精密機器、電子機器、医療機器の分野で、振動や騒音を軽減する機能をもつ制振ばね材料の提供が求められている。これに応えるものとしてばね性を有しかつ振動減衰能のある材料として、Ｍｎ−Ｃｕ合金、Ｍｇ−Ｚｒ合金、Ｍｇ−Ｎｉ合金、Ａｌ−Ｚｎ合金、Ｆｅ−Ｃｒ−Ａｌ合金、Ｎｉ−Ｔｉ合金、Ｃｕ−Ａｌ−Ｎｉ合金等が知られている。このような材料は、振動減衰能は優れているが、機械的性質、即ち、ばね特性が不良で特殊用途以外には使用が不可能であり、また高価な元素を多く含んでいるため合金材料に起因した価格上昇となり工業的用途が極めて制限されている。【０００６】  このような問題を解決するために、機械的強度が高く、振動減衰能を有する材料として、高強度高減衰能Ｆｅ−Ｃｒ−Ｍｎ合金及びその製造方法が開示されている。この特許には、Ｃｒ：９〜１５重量％、Ｍｎ：１８〜２６重量％、Ｆｅ：残部からなる素材を１０００〜１１５０℃の温度で溶体化熱処理した後に冷却し、１５〜８０％の冷間加工を加えることによって４０％以上のイプシロン・マルテンサイト相を発現させることを特徴とする高強度高減衰能Ｆｅ−Ｃｒ−Ｍｎ合金及びその製造方法が開示されている。上記Ｆｅ−Ｃｒ−Ｍｎ合金は、組成的にステンレス鋼をベースとしたものであり、従って、その機械的性質はステンレス鋼とほぼ同等であり、かつ、振動減衰能に優れているので、上記の問題点を解決する発明である（例えば、特許文献２参照）。【０００７】  ここで、特許文献２によって開示された技術によれば、マンガン組成を１８〜２６重量％と主張しているが、この材料を溶製する場合、マンガン成分が蒸発し易いため添加するマンガン合金の歩留まりが悪く、かつマンガンは溶製時に用いられる耐火物の溶損を促進させるという難点があるので、マンガン成分を可能な限り低くすることが製造コストの点で求められている。【０００８】  本発���者は、既に、上記の問題を解決した、炭素０．０５重量％以下、マンガン１３重量％以上、１８重量％未満、クロム９重量％以上、１５重量％未満、ニッケル０．０１重量％以上、６重量％未満、アルミニウム０．０１重量％以上、０．０５重量％未満、窒素０．０１重量％以下、残部鉄からなり、イプシロン・マルテンサイト相が１０％以上であることを特徴とする高強度高減衰能Ｆｅ−Ｍｎ−Ｃｒ−Ｎｉ合金を提案している（特許文献３参照）。【０００９】
【特許文献１】特開２００３−５９２２３
【特許文献２】特許第３３７８５６５号公報
【特許文献３】特願２００６−１１３８３４
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】  前述したように、ＨＤＤには、記録すべき情報の高密度化とデイスクの高速回転化が一段と進む傾向にある。従って、アクチュエータからスライダまでの構造部材であるキャリッジアームとサスペンションとの共振モードの振幅制御とその共振周波数の高周波数化が重要な課題となっている。この対策として、例えば、特許文献１によって開示された技術によれば、ＨＤＤのサスペンションにおいて剛体部を金属プレート間に樹脂層を介在させて少なくとも３層構造とすることによって、全体的に軽量化を図りながら、共振周波数の高周波数化によって、デイスクの高速回転時の風乱等による振動を吸収する方法が提案されている。しかしながら、前記特許には金属プレートが特定していないので、複合層のサスペンションの振動吸収効果が十分に発揮されない。【００１１】  本発明者は、自らの発明した高強度高減衰能Ｆｅ−Ｍｎ−Ｃｒ−Ｎｉ合金をＨＤＤ用サスペンションに適用して上記の課題を解決すべく、鋭意研究開発を進めた結果、上記合金をサスペンションのばね部及び強度部材に適用して剛性の向上と同時に共振周波数の高周波数化を実現する効果的な方法を見出した。そして、樹脂層との複合化によって、更に、共振周波数の改善を図ることができ本発明に至った。
【課題を解決するための手段】
【００１２】  本発明が提供する制振ばねデイスクドライブ用サスペンションは、マンガン１３重量％以上、１８重量％未満、クロム９重量％以上、１５重量％未満、ニッケル０．０１重量％以上、６重量％未満、その他元素及び残部鉄からなり、イプシロン・マルテンサイト相が１０％以上であることを特徴とする高強度高減衰能Ｆｅ−Ｍｎ−Ｃｒ−Ｎｉ合金を素材とするものである（以下、「第１の発明」という）。【００１３】  本発明が提供する制振ばねデイスクドライブ用サスペンションは、第１の発明に加えて、炭素０．０５重量％以下、アルミニウム０．０１重量％以上、０．０５重量％未満、窒素０．０１重量％以下、炭素０．０５重量％以下を含有することを特徴とする高強度高減衰能Ｆｅ−Ｍｎ−Ｃｒ−Ｎｉ合金を素材とするものである（以下、「第２の発明」という）。【００１４】  更に、本発明が提供する制振ばねデイスクドライブ用サスペンションは、引張強度が７００ＭＰａ以上、１２００ＭＰａ以下、そして、ＪＩＳＧ０６０２に定められた方法によって測定した損失係数（以下、「損失係数（η）」という。）が０．００５以上、０．１０以下であることを特徴とする高強度高減衰能Ｆｅ−Ｍｎ−Ｃｒ−Ｎｉ合金を素材とするものである（以下、「第３の発明」という）。【００１５】  また、本発明が提供する制振ばねデイスクドライブ用サスペンションは、該高強度高振動減衰能Ｆｅ−Ｍｎ−Ｃｒ−Ｎｉ合金或いは該合金層及び粘弾性樹脂層が複合された構造をなし、ばね部及び端部補強リブ部は該合金のみによって構成されることを特徴とする（以下、「第４の発明」という）。【００１６】  そして、本発明が提供する制振ばねデイスクドライブ用サスペンションは、該高強度高振動減衰能Ｆｅ−Ｍｎ−Ｃｒ−Ｎｉ合金で構成されたばね部に曲げ角度０．０１ラジアン以上、０．１ラジアン未満の歪を与えた状態で使用することを特徴とする（以下、「第５の発明」という）。
【発明の効果】
【００１７】  本発明の方法によって高強度高減衰能Ｆｅ−Ｍｎ−Ｃｒ−Ｎｉ合金をＨＤＤ用サスペンションに適用すると、剛性の向上と同時に共振周波数の高周波数化が可能となり、風乱やデイスクフラッタ等の外乱による振動を吸収し、記録すべき情報の高密度化とデイスクの高速回転化を一段と向上させることができる。そして、該合金層と粘弾性層と複合させることによって、更に、共振周波数の上昇を図ることができ、前述の課題を解決することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】  以下に、本発明の実施形態について説明する。【００１９】  第１の発明において、ニッケル含有量を０．０１重量％以上、６重量％以下とすることによってマンガン含有量を１３重量％以上、１８重量％未満とすることが出来、これによって振動減衰能を発現するγ／ε相間の相互作用効果を維持しつつ、且つ、合金の溶製を容易にすることによって製造コストを低減することを目的にしている。即ち、本発明者らは鋼のオーステナイト安定の作用をするニッケル成分とマンガン成分との関係を検討した結果、オーステナイト安定指標としてＡ値＝Ｍｎ（％）＋Ｎｉ（％）の関係を見出し、このＡ値を用いて、耐火物の溶損による溶製コストを上げるマンガン成分の一部をニッケル成分に置換することを試みた。ニッケル含有量を０．０１量％以上、６重量％以下とすることによってマンガン含有量を１３重量％以上、１８重量％未満とすることが出来ることを見出した。ここで、ニッケル含有量が０．０１重量％未満の場合は上記のγ相を安定させる効果が不十分であり、また、６重量％を越えると製造コストを不必要に上げるので得策ではない。これによってマンガン含有量を１３重量％以上、１８重量％未満に低く限定することができる。【００２０】  第２の発明は、振動減衰能を害する元素の制御方法に関するものであり、炭素含有量を０．０５重量％以下とするのは、振動減衰能を発現するγ／ε相間の相互作用に悪影響を及ぼす不純物元素、特に、炭素の上限を定めることによって振動減衰能の向上及び安定を計るためであり、炭素含有量が０．０５重量％を越えると振動減衰能を示す損失係数（η）が低下しかつ不安定になるためである。【００２１】  また、炭素と同様の影響を及ぼす窒素については、鋼中の窒素量を０．０１重量％以下にして、かつ、アルミニウム含有量を０．０１重量％以上、０．０５重量％以下とすることによって鋼中の窒素をＡｌＮの大きい介在物の形にすることによって、溶解製造時に大気中より不可避的に混入する固溶窒素の振動減衰能を低下させる害を無くすためである。即ち、アルミニウム含有量が０．０１重量％未満であると上記の鋼中窒素と結合するに必要なアルミニウム含有量が不足する場合がり、０．０５重量％を越えると過剰のアルミニウムによって合金の表面や内部にＡｌ２Ｏ３系の欠陥が発生しやすくなるためである。また、鋼中の窒素が０．０１重量％を越えると、これと結合するアルミニウム含有量が多く必要となるため、アルミニウムによるＡｌ２Ｏ３系の欠陥が増大するためである。【００２２】  本発明は、上記の第１及び第２の発明に記載の条件を設定することによって、特許文献２の発明よりも、安定した振動減衰能を有する高強度高減衰能Ｆｅ−Ｍｎ−Ｃｒ−Ｎｉ合金をより安価かつ安定して提供することができる。【００２３】  第３の発明において、該高強度高減衰能Ｆｅ−Ｍｎ−Ｃｒ−Ｎｉ合金の引張強度が７００ＭＰａ以上１２００ＭＰａ以下及び損失係数（η）が０．００５以上０．１０以下としたのは、引張強度が７００ＭＰａ未満、損失係数（η）が０．００５未満であると、ばね性或いは制振性の観点から高機能なＨＤＤ用サスペンションが得られないためであり、また、引張強度が１２００ＭＰａ以下又は損失係数（η）が０．１０以下としたのは、これを越えると機械的性質特に延性が劣化するためである。【００２４】  第４の発明において、制振ばねデイスクドライブ用サスペンションが、該高強度高振動減衰能Ｆｅ−Ｍｎ−Ｃｒ−Ｎｉ合金或いは該合金層及び粘弾性樹脂層が複合された構造をなし、ばね部及び端部補強リブ部は該合金のみによって構成されるのは、これによって、サスペンションの剛性を上げ、軽量化と同時に共振周波数の高周波数化を図るためである。【００２５】  第５の発明において、該高強度高振動減衰能Ｆｅ−Ｍｎ−Ｃｒ−Ｎｉ合金で構成されたばね部に曲げ角度０．０１ラジアン以上、０．１ラジアン未満の歪を与えた状態で使用するのは、曲げ角度０．０１ラジアン未満であると該合金のばね効果が十分でなく、振動吸収能も不十分となるためであり、また、曲げ角度０．１ラジアン以上になると長時間使用によってへたりが生じる恐れがあり、また、スライダのデイスクへの押付け力が過大となりデイスクの記録面を損傷させる恐れが生じるためである。【００２６】  本発明の合金は、冷間加工によって加工誘起イプシロン・マルテンサイトを生成させ、そのε／γ相界面が受けた振動を振動摩擦によって吸収することによって、材料としての制振性が発現するものである。そのため、材料に所定範囲の予歪を与えるように設計することによって効果的に制振性を発現させることができる。この時の予歪を定量的に表現するために下記の式におけるθラジアンによって曲げ角度を表現した。【００２７】
【数１】
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ここで、ｌはサスペンション部の長さ（ｍｍ）、ｈは予歪による変位（ｍｍ）である。【００２８】  以下、実際の例について説明する。
【実施例１】  実施例１は、第１及び第２の発明の実施例である。
組成が本発明の範囲内である、炭素０．０２重量％、マンガン１７重量％、クロム１２重量％、ニッケル３重量％、アルミニウム０．０３重量％、窒素０．００５重量％、残部鉄からなる組成を高周波溶解炉で溶解・鋳造し、５ｋｇのインゴットを得た。得られたインゴットを表面切削加工した後、１１００℃ｘ１時間加熱処理した後、熱間圧延によって板厚５．０ｍｍの板にした後に、酸洗によって表面の酸化層を除去した後に冷間圧延を行い１．０ｍｍの板を得て後、９００℃にて溶体化熱処理を行ったのち３０％の冷間加工の振動減衰能を付与する処理を行いこれを実施例１とした。
【比較例１】
【００２９】  比較例１として、炭素０．０６重量％、マンガン１７重量％、クロム１２重量％、ニッケル３重量％、アルミニウム０．０３重量％、窒素０．００５重量％、残部鉄からなる合金を高周波溶解炉で溶解・鋳造し、５ｋｇのインゴットを得た。得られたインゴットを表面切削加工した後、１１００℃ｘ１時間加熱処理し熱間圧延によって板厚５．０ｍｍにした後に、酸洗によって表面の酸化層を除去した後に冷間圧延を行い１．０ｍｍの板を得て後、９００℃にて溶体化熱処理を行った後、３０％の冷間加工の振動減衰能を付与する処理を行いこれを比較例１とした。
【比較例２】
【００３０】  比較例２として、炭素０．０２重量％、マンガン１７重量％、クロム１２重量％、ニッケル３重量％、アルミニウム０．００５重量％、窒素０．０１０重量％、残部鉄からなる合金を高周波溶解炉で溶解・製造し、５ｋｇのインゴットを得た。得られたインゴットを表面切削加工した後、１１００℃ｘ１時間加熱処理し熱間圧延によって板厚５．０ｍｍにした後に、酸洗によって表面の酸化層を除去した後に冷間圧延を行い１．０ｍｍの板を得て後、９００℃にて溶体化熱処理を行った後、３０％の冷間加工の振動減衰能を付与する処理を行いこれを比較例２とした。
【比較例３】
【００３１】  比較例３として、炭素０．０６重量％、マンガン２２重量％、クロム１２重量％、ニッケル０．０１重量％、アルミニウム０．００５重量％、窒素０．０１０重量％、残部鉄からなる合金を高周波溶解炉で溶解製造し、５ｋｇのインゴットを得た。得られたインゴットを表面切削加工した後、１１００℃ｘ１時間加熱処理し熱間圧延によって板厚５．０ｍｍにした後に、酸洗によって表面の酸化層を除去した後に冷間圧延を行い１．０ｍｍの板を得て後、１０５０℃にて溶体化熱処理を行った後、３０％の冷間加工の振動減衰能を付与する処理を行いこれを比較例３とした。
【比較例４】
【００３２】  比較例４として、炭素０．０２重量％、マンガン１７重量％、クロム０．０１重量％、ニッケル０．０１量％、アルミニウム０．００１重量％、窒素０．０１０重量％、残部鉄からなる合金を高周波溶解炉で溶解製造し、５ｋｇのインゴットを得た。得られたインゴットを表面切削加工した後、１１００℃ｘ１時間加熱処理し熱間圧延によって板厚５．０ｍｍにした後に、酸洗によって表面の酸化層を除去した後に冷間圧延を行い１．０ｍｍの板を得て後、１０５０℃にて溶体化熱処理を行った後、１５％の冷間加工の振動減衰能を付与する処理を行いこれを比較例４とした。
【００３３】また、比較例５として、同板厚の市販のＳＵＳ３０４の板を用いた。
【００３４】  表１．に各々の供試材の組成を示す。さらに、本発明材、比較材１、２、３、４及び５より試験片を採取して、振動減衰能を示す損失係数（η）を測定した結果を表２に示す。本発明材は良好な損失係数（η）を示す。これに対して、比較材１、２、３及び４は、圧延及び冷間加工のプロセスは同じであるが、損失係数（η）は大幅に低く、かつ、部位によりバラツキがある。比較材５は、当然のことながら市販品ＳＵＳ３０４なので振動減衰能は極めて低い。これは、比較材１の場合、炭素含有量が０．０６％と過大なためによるものである。また、比較材２の場合は、鋼の精錬過程で不可避的に混入溶解した固溶Ｎ（０．０１０重量％）がアルミニウムによって固定されていない為にγ／ε相間の振動減衰能効果を阻害しているものと考えられる。これに対して、本発明材は、全ての窒素（０．０１０重量％）はアルミニウムによってＡｌＮの大型の介在物となっているために、固溶窒素の害は無くなっている。また、比較材３の場合は、比較材２と同様に、固溶窒素がγ／ε相間の振動減衰能を阻害しているものと考えられる。以上の実施例は、本発明が、振動減衰能の安定に効果を発揮していることを示している。
【表１】
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【表２】
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【実施例２】  実施例２は、第３の発明の実施例である。【００３５】  本発明になるＦｅ−Ｍｎ−Ｃｒ−Ｎｉ合金、即ち、実施例１における本発明例のサンプルについて、冷間加工率と損失係数（η）、引張強さ及び伸び値との関係を実験によって求めた。即ち、本発明になるＦｅ−Ｍｎ−Ｃｒ−Ｎｉ合金に５、１０、２０、３０、５０、６０及び７０％の冷間加工を施し、損失係数（η）、引張強さ及び伸び値を測定した。その結果を表５．に示す。これによると、５％の冷間加工率では、損失係数（η）及び引張強さともに不十分である。１０〜６０％の冷間加工率では、損失係数（η）、引張強さ及び伸び値ともに良好である。７０％の冷間加工率では、伸び値が極めて悪くもはや材料としての延性を失っている。即ち、本発明になるＦｅ−Ｍｎ−Ｃｒ−Ｎｉ合金は、冷間加工率とともに損失係数（η）、引張強さが共に向上するという優れた材料特性を有することが明らかである。そして、用途に応じて最適の冷間加工率を選択することができる。
【表３】
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【実施例３】  実施例３は、第４の発明の実施例である。【００３６】  本発明になるＦｅ−Ｍｎ−Ｃｒ−Ｎｉ合金、即ち、実施例１のサンプルを用いて、冷間圧延によって１５０μｍの板を得た。これを９５０℃ｘ１ｍｉｎの条件で溶体化熱処理を行い、これに制振性付与のために５０％の冷間加工を行い７５μｍ箔を作成した。比較例として、市販のＳＵＳ３０４の同板厚の箔を用いた。これを図１に示す形状に加工した。サンプル寸法は、保持部は、厚さ７５μｍｘ  １０ｍｍｘ１０ｍｍ、振動部は、厚さ７５μｍｘ上底２ｍｍｘ下底５ｍｍｘ高さ１０ｍｍの台形状である。
振動伝達率ｖｓ  加振周波数の測定において、加振器は、ＢＫ社製加振器、加振最大２ｋＨｚであり、レーザー振動計は、ポリテック社製ＰＳＶ−１００、検出能２０ｋＨｚ、分解能１μｍを用い非接触で測定した。振動伝達率はゲイン（＝測定加速度／加振加速度）で表示する。測定結果を図３に示す。表４に振動伝達率測定の第１次共振点における共振周波数及び相対値としての損失係数（η＊）の改善効果を示す。即ち、共振周波数で比較例の５３８Ｈｚから本発明例の８８６Ｈｚへと６４％の改善効果、又、損失係数（η＊）では２倍の改善効果が確認された。【００３７】  実施例３においては、加振器の最大加振能力が２ｋＨｚのため、この加振可能周波数域での本発明例と現在サスペンションに使用されている比較例ＳＵＳ３０４との相対比較である。この素材を用いて本来のサスペンションに組立てた状態であれば、サスペンションとしての剛性が十分高いので、上記の第１次共振周波数は実使用で問題とする周波数、例えば、１０数ｋＨｚ付近での試験ができ、そこでの同様な効果が確認できるであろう。
【表４】
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【実施例４】  実施例４は、第４の発明のもう一つ実施例である。【００３８】  図４に示すように、実施例３で用いた本発明例のサンプルに、粘弾性樹脂層を形成して２層複合材（実施例４）とした。粘弾性樹脂層厚は５０μｍである。試験条件は実施例３と同じである。表５に振動伝達率測定の第１次共振点における諸振動数値の改善効果を示す。即ち、２層複合化することによって、実施例３の結果より更に共振周波数で５６％、損失係数（η＊）で３倍の改善が期待できる。
【表５】
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【実施例５】  実施例５は、第４の発明の実施例である。【００３９】実施例３本発明例のサンプルを用いて図５に示す方法によって予歪を与えた。即ち、加振器５０２に測定範囲では共振しない支持板５０３を固定し、これにサンプル５０１を支持部５０３に固定して、スペーサ５０４によって予歪を与えた。図５に示すばね角度θを、０、０．００５、０．０２及び０．０５に変化させた。これらの状態で、実施例３と同じ方法によって振動伝達率ｖｓ周波数の測定を行った。結果を表６に示す。即ち、予歪量が０．０１ラジアン以上で本発明の効果を発揮していることが分る。ただし、予歪の上限値に関しては、材料のへたりやデイスク表面の損傷という別の観点から制限されるので、０．１ラジアンを上限とする。【００４０】本発明は、上記の思想をみたすものであれば、本発明とみなすことは云うまでもない。
【表６】
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【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】振動伝達率測定用サンプルの平面図。
【図２】振動伝達率測定方法を示した図。
【図３】実施例３の測定結果を示した図。
【図４】実施例４のサンプルの長手方向断面図。
【図５】実施例５の概念を示した図。
【符号の説明】
【００４２】１０１：サンプルの支持部
１０２：サンプルの振動部
２０１：加振器
２０２：サンプル
２０３：レーザー振動計
２０４：レーザービーム
４０１：支持部（本発明材）
４０２：振動部（本発明材）
４０３：粘弾性樹脂層
５０１：サンプル
５０２：加振器
５０３：剛性支持体
５０４：予歪を与えるためのスペーサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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