(57)【要約】【課題】ＥＦＥＭおよび／または薄板状物処理室の内部構造物に清浄空気が当たっても、該清浄空気がバウンドすることなく、層流状態を保って、微粒子、または微粒子並びに有害ガスを除去する空気清浄装置を提供する。【解決手段】ＥＦＥＭ２および／または薄板状物処理室３の下流側に、ファン設置室２０を設けると共に、前記ファン設置室２０に吸引用ファン２２を設置し、且つ該吸引用ファン２２の下流側に高性能フィルタ２３、または高性能フィルタ２３とケミカルフィルタ２４とを組合わせ設置して形成された局所排気ユニット１４ａを設置して、該局所排気ユニット１４ａにより前記ＥＦＥＭ２および／または薄板状物処理室３内の微粒子、または微粒子並びに有害ガスを除去して清浄空気をクリーンルーム１内に排気する。【選択図】図１
2008296069.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＥＦＥＭおよび／または薄板状物処理室の下流側において、ファン設置室を設けると共に、前記ファン設置室に吸引用ファンを設置し、且つ該吸引用ファンの下流側に高性能フィルタ、または高性能フィルタとケミカルフィルタとを組合わせ設置して形成された局所排気ユニットを、前記ＥＦＥＭおよび／または薄板状物処理室に連設し、または、該ＥＦＥＭおよび／または薄板状物処理室に排気誘導管を介在せしめて連結し、且つ該局所排気ユニットにより前記ＥＦＥＭおよび／または薄板状物処理室内の微粒子、または微粒子並びに有害ガスを除去して清浄空気をクリーンルーム内に排気するようにしたことを特徴とする薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置。
【請求項２】
ＥＦＥＭの清浄空間部において、ロボットを載置する排気開口を備えた支持架台の下流側に間隔を有して底板を設けて、前記排気開口を通して排気された使用済み清浄空気の排気通路を設けると共に、区画壁によって、下流側のファン設置室と区画された排気ガイド室を設けて、該排気ガイド室の下方部に前記排気通路の下流側を連通する一方、前記ファン設置室に吸引用ファンを設置し、更に該吸引用ファンの下流側に、高性能フィルタ、または前記高性能フィルタとケミカルフィルタとを組合わせ設置して形成された局所排気ユニットを、前記ＥＦＥＭに連設して設置し、且つ該局所排気ユニットによりＥＦＥＭ内の微粒子、または微粒子並びに有害ガスを除去して清浄空気をクリーンルーム内に排気するようにしたことを特徴とする薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置。
【請求項３】
ＥＦＥＭの清浄空間部において、ロボットを載置する排気開口を備えた支持架台を設け、且つ前記ＥＦＥＭを構成する側壁面にファン設置室を設けて、該ファン設置室に吸引用ファンを設置し、更に該吸引用ファンの下流側に高性能フィルタを、または前記高性能フィルタとケミカルフィルタとを組合わせ設置して形成された局所排気ユニットを、前記ＥＦＥＭに連設して設置し、且つ該局所排気ユニットによりＥＦＥＭ内の微粒子、または微粒子並びに有害ガスを除去して清浄空気をクリーンルーム内に排気するようにしたことを特徴とする薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置。
【請求項４】
ＥＦＥＭの清浄空間部において、ロボットを載置する底板を設け、且つ前記ＥＦＥＭを構成する側壁面にファン設置室を設けて、該ファン設置室に吸引用ファンを設置し、更に該吸引用ファンの下流側に高性能フィルタを、または前記高性能フィルタとケミカルフィルタとを組合わせ設置して形成された局所排気ユニットを、前記ＥＦＥＭに連設して設置し、且つ該局所排気ユニットによりＥＦＥＭ内の微粒子、または微粒子並びに有害ガスを除去して清浄空気をクリーンルーム内に排気するようにしたことを特徴とする薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置。
【請求項５】
ＥＦＥＭの清浄空間部において、ロボットを載置する排気開口を備えた支持架台の下流側に間隔を有して設けられた区画壁によって、下流側のファン設置室と区画された排気ガイド室を設ける一方、前記ファン設置室に吸引用ファンを設置し、且つ該吸引用ファンの下流側に高性能フィルタ、または前記高性能フィルタとケミカルフィルタとを組合わせ設置し、更に前記高性能フィルタとケミカルフィルタの下流側の底板との間に排気誘導路を設けて形成された局所排気ユニットを、前記ＥＦＥＭに連設して設置し、且つ該局所排気ユニットにより前記ＥＦＥＭ内の微粒子、または微粒子並びに有害ガスを除去して清浄空気をクリーンルーム内に排気するようにしたことを特徴とする薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置。
【請求項６】
ＥＦＥＭの清浄空間部において、ロボットを載置する排気開口を備えた支持架台の下流側に間隔を有して底板を設けて、前記排気開口を通して排気された使用済み清浄空気の排気通路を設けると共に、区画壁によって、下流側のファン設置室と区画された排気ガイド室を設けて、該排気ガイド室の下方部に前記排気通路の下流側を連通する一方、前記ファン設置室に吸引用ファンを設置し、更に該吸引用ファンの下流側に、高性能フィルタ、または前記高性能フィルタとケミカルフィルタとを組合わせ設置して形成された局所排気ユニットを、前記排気ガイド室とファン設置室とを排気誘導管を介在せしめて連通することにより、前記ＥＦＥＭに連結して設置し、且つ該局所排気ユニットによりＥＦＥＭ内の微粒子、または微粒子並びに有害ガスを除去して清浄空気をクリーンルーム内に排気するようにしたことを特徴とする薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置。
【請求項７】
ＥＦＥＭの清浄空間部において、ロボットを載置する排気開口を備えた支持架台を設け、且つ前記ＥＦＥＭを構成する側壁面に排気ガイド室を突設する一方、ファン設置室に吸引用ファンを設置すると共に、該吸引用ファンの下流側に高性能フィルタを、または前記高性能フィルタとケミカルフィルタとを組合わせ設置して形成された局所排気ユニットを、前記排気ガイド室とファン設置室とを排気誘導管を介在せしめて連通することにより、前記ＥＦＥＭに連結して設置し、且つ該局所排気ユニットによりＥＦＥＭ内の微粒子、または微粒子並びに有害ガスを除去して清浄空気をクリーンルーム内に排気するようにしたことを特徴とする薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置。
【請求項８】
ＥＦＥＭの清浄空間部において、ロボットを載置する底板を設け、且つ前記ＥＦＥＭを構成する側壁面に排気ガイド室を突設する一方、ファン設置室に吸引用ファンを設置すると共に、該吸引用ファンの下流側に高性能フィルタを、または前記高性能フィルタとケミカルフィルタとを組合わせ設置して形成された局所排気ユニットを、前記排気ガイド室とファン設置室とを排気誘導管を介在せしめて連通することにより、前記ＥＦＥＭに連結して設置し、且つ該局所排気ユニットによりＥＦＥＭ内の微粒子、または微粒子並びに有害ガスを除去して清浄空気をクリーンルーム内に排気するようにしたことを特徴とする薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置。
【請求項９】
ＥＦＥＭの清浄空間部において、ロボットを載置する排気開口を備えた支持架台の下流側のグレーチング上に、上面に通気開口を備えた吸込みボックスを設置する一方、前記グレーチングの床下ピットに、ファン設置室に吸引用ファンを設置し、且つ該吸引用ファンの下流側に高性能フィルタ、または前記高性能フィルタとケミカルフィルタとを組合わせ設置して形成された局所排気ユニットが配設される一方、該局所排気ユニットと、前記ＥＦＥＭの吸込みボックスとを排気誘導管を介在せしめて連結して設置し、且つ該局所排気ユニットにより前記ＥＦＥＭ内の微粒子、または微粒子並びに有害ガスを除去して清浄空気をクリーンルーム内に排気するようにしたことを特徴とする薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置。
【請求項１０】
ＥＦＥＭの清浄空間部において、ロボットを載置する排気開口を備えた支持架台の下流側に間隔を有して底板を設けて、前記排気開口を通して排気された使用済み清浄空気の排気通路を設けると共に、区画壁によって、下流側のファン設置室と区画された排気ガイド室を設けて、該排気ガイド室の下方部に前記排気通路の下流側を連通する一方、前記ファン設置室に吸引用ファンを設置し、更に該吸引用ファンの下流側に、高性能フィルタ、または前記高性能フィルタとケミカルフィルタとを組合わせ設置して形成された局所排気ユニットを、前記排気ガイド室とファン設置室とを排気誘導管を介在せしめて連通することにより、前記ＥＦＥＭに連結してクリーンルームのグレーチングの下面の床下ピット内に設置し、且つ該局所排気ユニットによりＥＦＥＭ内の微粒子、または微粒子並びに有害ガスを除去して清浄空気をクリーンルーム内に排気するようにしたことを特徴とする薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置。
【請求項１１】
ＥＦＥＭの清浄空間部において、ロボットを載置する排気開口を備えた支持架台を設け、且つ前記ＥＦＥＭを構成する側壁面に排気ガイド室を突設する一方、ファン設置室に吸引用ファンを設置すると共に、該吸引用ファンの下流側に高性能フィルタを、または前記高性能フィルタとケミカルフィルタとを組合わせ設置して形成された局所排気ユニットを、前記排気ガイド室とファン設置室とを排気誘導管を介在せしめて連通することにより、前記ＥＦＥＭに連結してクリーンルームのグレーチングの下面の床下ピット内に設置し、且つ該局所排気ユニットによりＥＦＥＭ内の微粒子、または微粒子並びに有害ガスを除去して清浄空気をクリーンルーム内に排気するようにしたことを特徴とする薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置。
【請求項１２】
ＥＦＥＭの清浄空間部において、ロボットを載置する底板を設け、且つ前記ＥＦＥＭを構成する側壁面に排気ガイド室を突設する一方、ファン設置室に吸引用ファンを設置すると共に、該吸引用ファンの下流側に高性能フィルタを、または前記高性能フィルタとケミカルフィルタとを組合わせ設置して形成された局所排気ユニットを、前記排気ガイド室とファン設置室とを排気誘導管を介在せしめて連通することにより、前記ＥＦＥＭに連結してクリーンルームのグレーチングの下面の床下ピット内に設置し、且つ該局所排気ユニットによりＥＦＥＭ内の微粒子、または微粒子並びに有害ガスを除去して清浄空気をクリーンルーム内に排気するようにしたことを特徴とする薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置。
【請求項１３】
薄板状物処理室の清浄空間部において、薄板状物処理部を載置する排気開口を備えた支持架台の下流側に間隔を有して底板を設けて、前記排気開口を通して排気された使用済み清浄空気の排気通路を設けると共に、区画壁によって、下流側のファン設置室と区画された排気ガイド室を設けて、該排気ガイド室の下方部に前記排気通路の下流側を連通する一方、前記ファン設置室に吸引用ファンを設置し、更に該吸引用ファンの下流側に、高性能フィルタ、または前記高性能フィルタとケミカルフィルタとを組合わせ設置して形成された局所排気ユニットを、前記薄板状物処理室に連設して設置し、且つ該局所排気ユニットにより薄板状物処理室内の微粒子、または微粒子並びに有害ガスを除去して清浄空気をクリーンルーム内に排気するようにしたことを特徴とする薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置。
【請求項１４】
薄板状物処理室の清浄空間部において、薄板状物処理部を載置する排気開口を備えた支持架台を設け、且つ前記薄板状物処理室を構成する側壁面にファン設置室を設けて、該ファン設置室に吸引用ファンを設置し、更に該吸引用ファンの下流側に高性能フィルタを、または前記高性能フィルタとケミカルフィルタとを組合わせ設置して形成された局所排気ユニットを、前記薄板状物処理室に連設して設置し、且つ該局所排気ユニットにより薄板状物処理室内の微粒子、または微粒子並びに有害ガスを除去して清浄空気をクリーンルーム内に排気するようにしたことを特徴とする薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置。
【請求項１５】
薄板状物処理室の清浄空間部において、薄板状物処理部を載置する底板を設け、且つ前記薄板状物処理室を構成する側壁面にファン設置室を設けて、該ファン設置室に吸引用ファンを設置し、更に該吸引用ファンの下流側に高性能フィルタを、または前記高性能フィルタとケミカルフィルタとを組合わせ設置して形成された局所排気ユニットを、前記薄板状物処理室に連設して設置し、且つ該局所排気ユニットにより薄板状物処理室内の微粒子、または微粒子並びに有害ガスを除去して清浄空気をクリーンルーム内に排気するようにしたことを特徴とする薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置。
【請求項１６】
薄板状物処理室の清浄空間部において、薄板状物処理部を載置する排気開口を備えた支持架台の下流側に間隔を有して設けられた区画壁によって、下流側のファン設置室と区画された排気ガイド室を設ける一方、前記ファン設置室に吸引用ファンを設置し、且つ該吸引用ファンの下流側に高性能フィルタ、または前記高性能フィルタとケミカルフィルタとを組合わせ設置し、更に前記高性能フィルタとケミカルフィルタの下流側の底板との間に排気誘導路を設けて形成された局所排気ユニットを、前記薄板状物処理室に連設して設置し、且つ該局所排気ユニットにより前記薄板状物処理室内の微粒子、または微粒子並びに有害ガスを除去して清浄空気をクリーンルーム内に排気するようにしたことを特徴とする薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置。
【請求項１７】
薄板状物処理室の清浄空間部において、薄板状物処理部を載置する排気開口を備えた支持架台の下流側に間隔を有して底板を設けて、前記排気開口を通して排気された使用済み清浄空気の排気通路を設けると共に、区画壁によって、下流側のファン設置室と区画された排気ガイド室を設けて、該排気ガイド室の下方部に前記排気通路の下流側を連通する一方、前記ファン設置室に吸引用ファンを設置し、更に該吸引用ファンの下流側に、高性能フィルタ、または前記高性能フィルタとケミカルフィルタとを組合わせ設置して形成された局所排気ユニットを、前記排気ガイド室とファン設置室とを排気誘導管を介在せしめて連通することにより、前記薄板状物処理室に連結して設置し、且つ該局所排気ユニットにより薄板状物処理室内の微粒子、または微粒子並びに有害ガスを除去して清浄空気をクリーンルーム内に排気するようにしたことを特徴とする薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置。
【請求項１８】
薄板状物処理室の清浄空間部において、薄板状物処理部を載置する排気開口を備えた支持架台を設け、且つ前記薄板状物処理室を構成する側壁面に排気ガイド室を突設する一方、ファン設置室に吸引用ファンを設置すると共に、該吸引用ファンの下流側に高性能フィルタを、または前記高性能フィルタとケミカルフィルタとを組合わせ設置して形成された局所排気ユニットを、前記排気ガイド室とファン設置室とを排気誘導管を介在せしめて連通することにより、前記薄板状物処理室に連結して設置し、且つ該局所排気ユニットにより薄板状物処理室内の微粒子、または微粒子並びに有害ガスを除去して清浄空気をクリーンルーム内に排気するようにしたことを特徴とする薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置。
【請求項１９】
薄板状物処理室の清浄空間部において、薄板状物処理部を載置する底板を設け、且つ前記薄板状物処理室を構成する側壁面に排気ガイド室を突設する一方、ファン設置室に吸引用ファンを設置する共に、該吸引用ファンの下流側に高性能フィルタを、または前記高性能フィルタとケミカルフィルタとを組合わせ設置して形成された局所排気ユニットを、前記排気ガイド室とファン設置室とを排気誘導管を介在せしめて連通することにより、前記薄板状物処理室に連結して設置し、且つ該局所排気ユニットにより薄板状物処理室内の微粒子、または微粒子並びに有害ガスを除去して清浄空気をクリーンルーム内に排気するようにしたことを特徴とする薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置。
【請求項２０】
薄板状物処理室の清浄空間部において、薄板状物処理部を載置する排気開口を備えた支持架台の下流側のグレーチング上に、上面に通気開口を備えた吸込みボックスを設置する一方、前記グレーチングの床下ピットに、ファン設置室に吸引用ファンを設置し、且つ該吸引用ファンの下流側に高性能フィルタ、または前記高性能フィルタとケミカルフィルタとを組合わせ設置して形成された局所排気ユニットが配設される一方、該局所排気ユニットと、前記薄板状物処理室の吸込みボックスとを排気誘導管を介在せしめて連結し、且つ該局所排気ユニットにより前記薄板状物処理室内の微粒子、または微粒子並びに有害ガスを除去して清浄空気をクリーンルーム内に排気するようにしたことを特徴とする薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置。
【請求項２１】
薄板状物処理室の清浄空間部において、薄板状物処理部を載置する排気開口を備えた支持架台の下流側に間隔を有して底板を設けて、前記排気開口を通して排気された使用済み清浄空気の排気通路を設けると共に、区画壁によって、下流側のファン設置室と区画された排気ガイド室を設けて、該排気ガイド室の下方部に前記排気通路の下流側を連通する一方、前記ファン設置室に吸引用ファンを設置し、更に該吸引用ファンの下流側に、高性能フィルタ、または前記高性能フィルタとケミカルフィルタとを組合わせ設置して形成された局所排気ユニットを、前記排気ガイド室とファン設置室とを排気誘導管を介在せしめて連通することにより、前記薄板状物処理室に連結してクリーンルームのグレーチングの下面の床下ピット内に設置し、且つ該局所排気ユニットにより薄板状物処理室内の微粒子、または微粒子並びに有害ガスを除去して清浄空気をクリーンルーム内に排気するようにしたことを特徴とする薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置。
【請求項２２】
薄板状物処理室の清浄空間部において、薄板状物処理部を載置する排気開口を備えた支持架台を設け、且つ前記薄板状物処理室を構成する側壁面に排気ガイド室を突設する一方、ファン設置室に吸引用ファンを設置すると共に、該吸引用ファンの下流側に高性能フィルタを、または前記高性能フィルタとケミカルフィルタとを組合わせ設置して形成された局所排気ユニットを、前記排気ガイド室とファン設置室とを排気誘導管を介在せしめて連通することにより、前記薄板状物処理室に連結してクリーンルームのグレーチングの下面の床下ピット内に設置し、且つ該局所排気ユニットにより薄板状物処理室内の微粒子、または微粒子並びに有害ガスを除去して清浄空気をクリーンルーム内に排気するようにしたことを特徴とする薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置。
【請求項２３】
薄板状物処理室の清浄空間部において、薄板状物処理部を載置する底板を設け、且つ前記薄板状物処理室を構成する側壁面に排気ガイド室を突設する一方、ファン設置室に吸引用ファンを設置する共に、該吸引用ファンの下流側に高性能フィルタを、または前記高性能フィルタとケミカルフィルタとを組合わせ設置して形成された局所排気ユニットを、前記排気ガイド室とファン設置室とを排気誘導管を介在せしめて連通することにより、前記薄板状物処理室に連結してクリーンルームのグレーチングの下面の床下ピット内に設置し、且つ該局所排気ユニットにより薄板状物処理室内の微粒子、または微粒子並びに有害ガスを除去して清浄空気をクリーンルーム内に排気するようにしたことを特徴とする薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、清浄空気雰囲気下において、半導体ウエハ、液晶パネル基板、有機エレクトロルミネッセンス表示基板、無機エレクトロルミネッセンス表示基板、プラズマディスプレイ基板、フィールドエミッティング表示基板等の薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置に関するものである。以下においては、薄板状物として半導体ウエハを例に挙げて説明するが、これは例示であり、本願発明を限定するものではない。
【背景技術】
【０００２】
薄板状物製造装置である、例えば、半導体ウエハの製造工程において、ウエハに塵埃や微小な有機物が付着し汚染されると、生産歩留まりが低下してしまうので、ウエハを運搬・加工処理および保管する際には、これらの汚染を防止するための高い清浄環境が必要である。
【０００３】
そして、現在、前記半導体ウエハの処理は、清浄度の余り高くないクリーンルーム内にＥＦＥＭ（Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ  Ｆｒｏｎｔ  Ｅｎｄ  Ｍｏｄｕｌｅ）と呼ばれる高い清浄室を設け、前記クリーンルーム内に搬送されてきたＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）と呼ばれる気密清浄容器からウエハをＥＦＥＭ内に取り出し、そして該取り出されたウエハをウエハ処理室へ移送することによりウエハの加工処理を行っている。
【０００４】
図１７は従来の薄板状物製造装置の概略縦断面図である。クリーンルーム４１内には、ＥＦＥＭ４２とウエハ等の薄板状物処理室４３を備えた薄板状物製造装置４４が配設されている。また、ＥＦＥＭ４２の前方側壁面４５には、ＦＯＵＰ４６内のウエハ等の薄板状物をＥＦＥＭ４２内に出し入れする開口部４７が設けられている。
【０００５】
更に、前記ＥＦＥＭ４２および薄板状物処理室４３内の上方部には、ファン４８と微粒子を除去するＵＬＰＡ・ＨＥＰＡフィルタより成る高性能フィルタ４９とを備えた、または前記ファン４８と高性能フィルタ４９並びに有害ガスを除去するケミカルフィルタ５０の両方を組合せたＦＦＵ(ファンフィルタユニット)５１(図１７のＦＦＵは、高性能フィルタ４９とケミカルフィルタ５０の両方を備えている)がそれぞれ設けられ、該ＦＦＵ５１より清浄空気５２をＥＦＥＭ４２および薄板状物処理室４３の清浄空間部５３内に層流状に送気して陽圧を維持すると共に、前記ＥＦＥＭ４２には、多数の排気開口５４を備えた枠状、またはスリット状の支持架台５５上にロボットＲが配設され、または前記薄板状物処理室４３には、多数の排気開口５４を備えた枠状、またはスリット状の支持架台５５上に薄板状物処理部５６が配設されている。そして、前記構成より成るＥＦＥＭ４２および薄板状物処理室４３は前記クリーンルーム４１内の床面５７上に設置されている。
【０００６】
ウエハ(図示せず)を収納したＦＯＵＰ４６は、ロードポートに載置され、前記クリーンルーム４１とは遮断された状態でＥＦＥＭ４２側の蓋４７が開放され、前記ＦＯＵＰ４６内のウエハ等の薄板状物はＥＦＥＭ４２内に設けられたロボット（搬送機）Ｒにより取出されて、薄板状物処理室４３内の薄板状物処理部５６内へ移送される。前記薄板状物処理部５６内において、ウエハの表面加工または表面処理が行われ、前記所定の加工または処理が完了すると、ウエハ等の薄板状物はロボットＲにより薄板状物処理部５６内からＥＦＥＭ４２内に取り出された後、ＦＯＵＰ４６内に戻される。前記ＥＦＥＭ４２および薄板状物処理室４３内には、各ＦＦＵ５１からの清浄空気５２が層流状に送気されて、該ＥＦＥＭ４２および薄板状物処理室４３内を、高清浄域に保つことができるよう形成されている。
【０００７】
一方、ＥＦＥＭ内にＦＦＵからの清浄空気を層流状に送気してロボット等の内部構造物に、前記層流状の清浄空気が当たっても乱流することなく、前記ＥＦＥＭ内を高清浄域に保つことができるようにした先行技術につき、過去の特許文献を遡及検索したところ、下記の特許文献１に開示されたものが公知である。
【０００８】
【特許文献１】特開２００４−２００６６９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
前記図１７に示す従来のＥＦＥＭ４２では、ＦＦＵ５１によって清浄空気５２が層流状に送気されて、該清浄空気５２で微粒子、または微粒子並びに有害ガスは押さえつけられて、該微粒子、または微粒子並びに有害ガスは速やかに排除されるようにみえる。しかしながら、ＥＦＥＭ４２内に配設されたロボットＲ等の内部構造物に、前記層流状に送気された清浄空気４２が当たると、該清浄空気５２はバウンドして乱流するので、ＥＦＥＭ４２内の微粒子、または微粒子並びに有害ガスが巻上げられて、ウエハが前記微粒子、または微粒子並びに有害ガスによって汚染されてしまう虞れがあるという課題があった。
【００１０】
更に、前記図１７に示す従来のＥＦＥＭ４２では、清浄空気５２の下降風速を速くしないと、微小粒子の速やかなるＥＦＥＭ４２内からの排出が行えないが、逆に気流風速が速いとＥＦＥＭ４２の支持架台５５の排気開口５４の開口面積や、該ＥＦＥＭ４２の設置場所によっては、微粒子、または微粒子並びに有害ガスがクリーンルーム４１内の床面５７にバウンドして巻き上がるという課題があった。また、逆に前記気流速度が遅いと、前記ＥＦＥＭ４２内の陽圧度が確保できないため、微粒子、または微粒子並びに有害ガスを速やかに排出できず、従って、ロボットＲ等からの発塵や有害ガスを押出すことができないという課題があった。そして、前記微粒子、または微粒子並びに有害ガスの巻上げ防止を図るため、図１７に示すようなパーティクルセパレータ５８を設ける等の対策が必要となるという課題があった。
【００１１】
一方、特許文献１記載のものは、ＥＦＥＭ内において、ロボットの搬送アームの下方に複数個の開口部を有する第１の仕切り板と、前記ロボットを設置した底壁よりも上部に気体を通さない第２の仕切り板を設置して、ＦＦＵの吹出し口と第１の仕切り板との間の清浄空間内の流れを層流に保つよう形成されている。また、清浄空間部に送気されたＦＦＵからの清浄空気は、前記清浄空間部を清浄にした後、循環路を通ってＦＦＵに還流されて循環使用するよう形成されている。
【００１２】
而して、特許文献１記載のものは、ロボットの搬送アームが第１の仕切り板よりも上方へ突出しているために、気流が早すぎると、該ロボットの搬送アームに層流状に送気された清浄空気が当たって、該清浄空気はバウンドして乱流するのでＥＦＥＭ内の微粒子、または微粒子並びに有害ガスが巻上げられて、ウエハが前記微粒子、または微粒子並びに有害ガスによって汚染されてしまうという課題があった。
【００１３】
また、特許文献１記載のものは、清浄空間部を清浄にした後の清浄空気はＦＦＵに還流させて循環使用するため、ＦＦＵを構成するモータの熱によって、清浄空気が加熱されるので、前記加熱された空気の冷却構造を備えていないと、該加熱された空気の熱分が清浄空間部に充満して、該清浄空間部の温度が上昇するので、ウエハに悪影響を与える虞れがあるという課題があった。
【００１４】
本発明は前記課題を解決すべくなされたものであって、ＦＦＵから層流状に送気された清浄空気をＥＦＥＭ内の下流側から吸込むようにすることにより、ロボット等の内部構造物があっても、層流状態を維持して乱流を防止すると共に、微粒子、または微粒子並びに有害ガスを吸込んで、該微粒子、または微粒子並びに有害ガスを局所排気ユニットにより除去して、クリーンルーム内に清浄空気として排気し、更に、ＦＦＵを構成するモータによって清浄空気が加熱されても、前記清浄空気の使用後は局所排気ユニットを介してクリーンルーム内に排気されるという非循環方式とすることにより、ウエハに悪影響を与えることのないようにした薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置を提供しようとするものである。
【００１５】
更に、本発明においては、局所排気ユニットは、目的に応じて、ＥＦＥＭのみに、またはウエハ等の薄板状物処理室のみに、あるいは両方に設置することもできる薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明は、ＥＦＥＭおよび／または薄板状物処理室の下流側において、ファン設置室を設けると共に、前記ファン設置室に吸引用ファンを設置し、且つ該吸引用ファンの下流側に高性能フィルタ、または高性能フィルタとケミカルフィルタとを組合わせ設置して形成された局所排気ユニットを、前記ＥＦＥＭおよび／または薄板状物処理室に連設し、または、該ＥＦＥＭおよび／または薄板状物処理室に排気誘導管を介在せしめて連結し、且つ該局所排気ユニットにより前記ＥＦＥＭおよび／または薄板状物処理室内の微粒子、または微粒子並びに有害ガスを除去して清浄空気をクリーンルーム内に排気するという手段を採用することにより、上記課題を解決した。
【発明の効果】
【００１７】
ＦＦＵからＥＦＥＭおよび／または薄板状物処理室の清浄空間部へ層流状に送気された清浄空気がロボット等の内部構造物に当たっても、局所排気ユニットに備えられた吸引用ファンを駆動することにより、前記清浄空気がＥＦＥＭおよび／または薄板状物処理室の下流側から吸込まれてバウンドすることなく、層流状を維持し、微粒子、または微粒子並びに有害ガスを巻上げることがないので、ウエハ等の薄板状物が汚染されることもない。
【００１８】
更に、局所排気ユニットに吸引された微粒子、または微粒子並びに有害ガスは、高性能フィルタ、または高性能フィルタ並びにケミカルフィルタによって除去され、清浄空気となってクリーンルーム内に排気されるので、該クリーンルームを汚染することもない。
【００１９】
また更に、ＦＦＵを構成するモータの発熱によって清浄空気が加熱されても、使用済みの清浄空気は局所排気ユニットを介してクリーンルームへ排気されるという非循環方式であるため、ウエハ等の薄板状物に悪影響を与えることがない。
【００２０】
そして更に、前記局所排気ユニットは、ＥＦＥＭおよび／または薄板状物処理室に最初から取付けることも可能であると共に、ＥＦＥＭおよび／または薄板状物処理室に後付けで取付けることも可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
本発明は、ＥＦＥＭおよび／または薄板状物処理室の下流側において、ファン設置室を設けると共に、前記ファン設置室に吸引用ファンを設置し、且つ該吸引用ファンの下流側に高性能フィルタ、または高性能フィルタとケミカルフィルタとを組合わせ設置して形成された局所排気ユニットを、前記ＥＦＥＭおよび／または薄板状物処理室に連設し、または、該ＥＦＥＭおよび／または薄板状物処理室に排気誘導管を介在せしめて連結し、且つ該局所排気ユニットにより前記ＥＦＥＭおよび／または薄板状物処理室内の微粒子、または微粒子並びに有害ガスを除去して清浄空気をクリーンルーム内に排気するようにした薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置である。
【実施例１】
【００２２】
図１は、本発明薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の実施例１を示す側面側から見た概略縦断面図である。クリーンルーム１内にＥＦＥＭ２とウエハ等の薄板状物処理部２９を設けた薄板状物処理室３を備えた薄板状物製造装置４が配設されている。また、ＥＦＥＭ２の前方側壁面５には、ＦＯＵＰ６内のウエハ等の薄板状物をＥＦＥＭ２内に出し入れする開口部７が設けられている。
【００２３】
更に、前記ＥＦＥＭ２および薄板状物処理室３内の上方部には、ファン８とＵＬＰＡ・ＨＥＰＡフィルタ等の高性能フィルタ９およびケミカルフィルタ１０より成るＦＦＵ１１が設けられ、該ＦＦＵ１１より清浄空気１２をＥＦＥＭ２および薄板状物処理室３の清浄空間部１３内に層流状に送気して陽圧を維持するよう形成されると共に、前記ＥＦＥＭ２の清浄空間部１３の下流側には、局所排気ユニット１４ａが連設されている。また、清浄空間部１３内の下流側の、枠状またはスリット状の排気開口１５を備えた支持架台１６上には、ロボットＲが載置されている。
【００２４】
前記ＦＦＵ１１を構成する高性能フィルタ９は、微粒子を除去するため、必ず備える必要があるが、更に有害ガスをも除去する必要がある場合は、前記高性能フィルタ９と有害ガスを除去するケミカルフィルタ１０とを共に組合わせ設置する。図１においては、高性能フィルタ９とケミカルフィルタ１０とを組合わせ設置したものが図示されている。
【００２５】
前記局所排気ユニット１４ａは、前記ロボットＲを載置した支持架台１６の下流側に間隔を有して底板１７を設けて、使用済みとなった清浄空気１２'の排気通路１８を設けると共に、前記前方側壁面５に区画壁１９によって（なお、図１においては、前方側壁面５に区画壁１９が設けられているが、その他の側壁面に区画壁を設けてもよい）、下流側のファン設置室２０と区画された排気ガイド室２１を設けて、該排気ガイド室２１の下方部と前記排気通路１８を連通する一方、前記ファン設置室２０に吸引用ファン２２を設置し、更に該吸引用ファン２２の下流側にＵＬＰＡ・ＨＥＰＡフィルタ等より成る微粒子を除去する高性能フィルタ２３を、または微粒子を除去すると共に、有害ガスを除去する必要がある場合は、前記高性能フィルタ２３とケミカルフィルタ２４とを組合せ設置して形成される。以下の説明は、高性能フィルタ２３とケミカルフィルタ２４とを組合わせ設置したものとして説明する。
【００２６】
前記構成より成る本発明実施例１の薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の作用について説明すると、ロボットＲを設置したＥＦＥＭ２の清浄空間部１３内にＦＦＵ１１から清浄空気１２を層流状に送気すると共に、局所排気ユニット１４ａの吸引用ファン２２を駆動すると、ＦＦＵ１１からの層流状の清浄空気１２がロボットＲや内部構造物に当たって、一瞬、該層流状の空気流がバウンドして、乱れそうになるが、吸引用ファン２２によって、使用済みの清浄空気１２'が排気開口１５から吸引されて垂直状態で引張られて、前記層流状の清浄空気１２の流れが乱れず、乱流を生じないので、ＥＦＥＭ２内の微粒子および有害ガスが巻上げられることがなく、また、ウエハが前記微粒子および有害ガスによって汚染されることがないので、ウエハの生産歩留まりの低下を防止できる。
【００２７】
そして、ＥＦＥＭ２内の微粒子および有害ガスは、前記局所排気ユニット１４ａを構成する吸引用ファン２２によって吸引されて、高性能フィルタ２３およびケミカルフィルタ２４によって除去されて、該ＥＦＥＭ２内の微粒子および有害ガスを処理して、使用済みの清浄空気１２'となってクリーンルーム１内に排気されるので、該クリーンルーム１を微粒子および有害ガスで汚染させることもない。
【００２８】
更に、ＦＦＵ１１が作動すると、該ＦＦＵ１１を構成するモータが発熱し、加熱された清浄空気１２がＥＦＥＭ２内の清浄空間部１３内に充満してしまい、ウエハに悪影響を与える虞れがあるが、該熱分は局所排気ユニット１４ａの吸引用ファン２２によって常に吸引されている非循環方式を採用しているので、前記熱分が清浄空間部１３内に充満することがなく、ウエハに悪影響を与える虞れがない。
【００２９】
更にまた、局所排気ユニット１４ａを構成する吸引用ファン２２の風量調整ができるようにすることにより、ＦＦＵ１１からの下降風速を必要以上に速くすることなく、気流とのバランスを取ることが可能となるので、ＦＦＵ１１の省エネ運転が可能となると共に、清浄空間部１３内の気流調整のみならず陽圧度維持が図れ、微粒子および有害ガスにより、ウエハが汚染されることがないようにすることができる。
【実施例２】
【００３０】
図２は、本発明薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の実施例２を示す正面側から見た概略縦断面図である。実施例２の説明において、実施例１と同一構成のものは同一符号を用いて説明する。なお、図２においては、本発明薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置を正面側から見ているため、薄板状物処理室は省略され図示されていない。
【００３１】
図２において、ＥＦＥＭ２内の上方部には、ファン８と高性能フィルタ９およびケミカルフィルタ１０より成るＦＦＵ１１が設けられ、該ＦＦＵ１１より清浄空気１２をＥＦＥＭ２の清浄空間部１３内に層流状に送気して陽圧を維持するよう形成されると共に、前記ＥＦＥＭ２の清浄空間部１３の下流側である該ＥＦＥＭ２を構成する側面側壁面２５には、局所排気ユニット１４ｂが連設されている。また、清浄空間部１３内の下流側の、枠状またはスリット状の排気開口１５を備えた支持架台１６上には、ロボットＲが載置されている。なお、図示していないが、実施例２においても、薄板状物処理室３にＦＦＵ１１が設置されている。
【００３２】
前記ＦＦＵ１１を構成する高性能フィルタ９は、微粒子を除去するため、必ず備える必要があるが、更に有害ガスをも除去する必要がある場合は、前記高性能フィルタ９と有害ガスを除去するケミカルフィルタ１０とを共に組合わせ設置する。図２においては、高性能フィルタ９とケミカルフィルタ１０とを組合わせ設置したものが図示されている。
【００３３】
実施例２においては、局所排気ユニット１４ｂは、ＥＦＥＭ２の側面側壁面２５に設けられているため、清浄空間部１３内に層流状に送気されて使用された後の使用済みの清浄空気１２'は、すべて局所排気ユニット１４ｂへ吸引されることなく、一部は排気開口１５を経てクリーンルーム１の床面２６に沿ってクリーンルーム１内へ排気される。
【００３４】
前記局所排気ユニット１４ｂは、ＥＦＥＭ２を構成する側面側壁面２５にファン設置室２０を設けて、該ファン設置室２０に吸引用ファン２２を設置し（なお、図２においては、側面側壁面２５にファン設置室２０を設けているが、その他の側壁面に設けてもよい）、更に該吸引用ファン２２の下流側に微粒子を除去するＵＬＰＡ・ＨＥＰＡフィルタ等より成る高性能フィルタ２３を、または微粒子を除去すると共に、有害ガスを除去する必要がある場合は、前記高性能フィルタ２３とケミカルフィルタ２４とを組合わせ設置して形成される。以下の説明は、高性能フィルタ２３とケミカルフィルタ２４の両者を組合わせ設置したものとして説明する。
【００３５】
前記構成より成る本発明実施例２の薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の作用について説明すると、ロボットＲを設置したＥＦＥＭ２の清浄空間部１３内にＦＦＵ１１から清浄空気１２を層流状に送気すると共に、局所排気ユニット１４ｂの吸引用ファン２２を駆動すると、ＦＦＵ１１からの層流状の清浄空気１２がロボットＲや内部構造物に当たって、一瞬、該層流状の空気流がバウンドして乱れそうになるが、実施例１と異なり、使用済みの一部の清浄空気１２'は、吸引用ファン２２によって吸引されて水平状態で引張られると共に、使用済みのその他の清浄空気１２'は排気開口１５を経て、クリーンルーム１の床面２６に沿ってクリーンルーム１内へ排気されるので、前記層流状の清浄空気１２の流れが乱れず、乱流を生ずることなく、ＥＦＥＭ２内の微粒子および有害ガスが巻上げられることがなく、また、ウエハが前記微粒子および有害ガスによって汚染されることがないので、ウエハの生産歩留まりの低下を防止できる。なお、前記１の床面２は通気孔のない平板状のものであるが、該床面２６に代えて通気孔のあるグレーチングとしても、本発明は適用できる。そして、その他の作用および効果については、実施例１と同一であるので説明を省略する。
【実施例３】
【００３６】
図３は、本発明薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の実施例３を示す正面側から見た概略縦断面図である。実施例３の説明において、実施例１と同一構成のものは同一符号を用いて説明する。なお、図３においては、本発明薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置を正面側から見ているため、薄板状物処理室は省略され図示されていない。
【００３７】
図３において、ＥＦＥＭ２内の上方部には、ファン８と高性能フィルタ９およびケミカルフィルタ１０より成るＦＦＵ１１が設けられ、該ＦＦＵ１１より清浄空気１２をＥＦＥＭ２の清浄空間部１３内に層流状に送気して陽圧を維持するよう形成されると共に、前記ＥＦＥＭ２の清浄空間部１３の下流側である該ＥＦＥＭ２を構成する側面側壁面２５には、局所排気ユニット１４ｃが連設されている。また、清浄空間部１３内の下流側に、底壁１６ａが設置され、且つ該底壁１６ａ上には、ロボットＲが載置されている。前記底壁１６ａは、実施例２と異なり、排気開口を備えていない。なお、図示していないが、実施例３においても、薄板状物処理室３にＦＦＵ１１が設置されている。
【００３８】
前記ＦＦＵ１１を構成する高性能フィルタ９は、微粒子を除去するため、必ず備える必要があるが、更に有害ガスをも除去する必要がある場合は、前記高性能フィルタ９と有害ガスを除去するケミカルフィルタ１０とを共に組合わせ設置する。図３においては、高性能フィルタ９とケミカルフィルタ１０とを組合わせ設置したものが図示されている。
【００３９】
前記局所排気ユニット１４ｃは、ＥＦＥＭ２を構成する側面側壁面２５にファン設置室２０を設けて、該ファン設置室２０に吸引用ファン２２を設置し（なお、図３においては、側面側壁面２５にファン設置室２０を設けているが、その他の側壁面に設けてもよい）、更に該吸引用ファン２２の下流側に微粒子を除去するＵＬＰＡ・ＨＥＰＡフィルタ等より成る高性能フィルタ２３を、または微粒子を除去すると共に、有害ガスを除去する必要がある場合は、前記高性能フィルタ２３とケミカルフィルタ２４とを組合わせ設置して形成される。以下の説明は、高性能フィルタ２３とケミカルフィルタ２４の両者を組合わせ設置したものとして説明する。
【００４０】
前記構成より成る本発明実施例３の薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の作用について説明すると、ロボットＲを設置したＥＦＥＭ２の清浄空間部１３内にＦＦＵ１１から清浄空気１２を層流状に送気すると共に、局所排気ユニット１４ｃの吸引用ファン２２を駆動すると、ＦＦＵ１１からの層流状の清浄空気１２がロボットＲや内部構造物に当たって、一瞬、該層流状の空気流がバウンドして乱れそうになるが、実施例２と異なり、使用済みの清浄空気１２'は、すべてが吸引用ファン２２によって吸引されて水平状態で引張られるので、前記層流状の清浄空気１２の流れが乱れず、乱流を生ずることなく、ＥＦＥＭ２内の微粒子および有害ガスが巻上げられることがなく、また、ウエハが前記微粒子および有害ガスによって汚染されることがないので、ウエハの生産歩留まりの低下を防止できる。そして、その他の作用および効果については、実施例１と同一であるので説明を省略する。
【実施例４】
【００４１】
図４は、本発明薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の実施例４を示す正面側から見た概略縦断面図である。実施例４の説明において、実施例１と同一構成のものは同一符号を用いて説明する。なお、図４においては、本発明薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置を正面側から見ているため、薄板状物処理室は省略され図示されていない。
【００４２】
図４において、ＥＦＥＭ２内の上方部には、ファン８と高性能フィルタ９およびケミカルフィルタ１０より成るＦＦＵ１１が設けられ、該ＦＦＵ１１より清浄空気１２をＥＦＥＭ２の清浄空間部１３内に層流状に送気して陽圧を維持するよう形成されると共に、前記ＥＦＥＭ２の清浄空間部１３の下流側には、局所排気ユニット１４ｄが連設されている。また、清浄空間部１３内の下流側の、枠状またはスリット状の排気開口１５を備えた支持架台１６上には、ロボットＲが載置されている。なお、図示されていないが、実施例４においても、薄板状物処理室３の上方部にＦＦＵ１１が設置されている。
【００４３】
なお、前記ＦＦＵ１１を構成する高性能フィルタ９は、微粒子を除去するため、必ず備える必要があるが、更に有害ガスをも除去する必要がある場合は、前記高性能フィルタ９と有害ガスを除去するケミカルフィルタ１０とを共に組合わせ設置する。図４においては、高性能フィルタ９とケミカルフィルタ１０とを組合わせ設置したものが図示されている。
【００４４】
前記局所排気ユニット１４ｄは、前記ロボットＲを載置した支持架台１６の下流側に、間隔を有して設けられた区画壁１９によって下流側のファン設置室２０と区画された排気ガイド室２１を設ける一方、前記ファン設置室２０に吸引用ファン２２を設置し、且つ該吸引用ファン２２の下流側にＵＬＰＡ・ＨＥＰＡフィルタ等より成る微粒子を除去する高性能フィルタ２２を、または微粒子を除去すると共に、有害ガスを除去する必要がある場合は、前記高性能フィルタ２２とケミカルフィルタ２３とを組合わせ設置し、更に前記高性能フィルタ２２とケミカルフィルタ２３の下流側の底板２７との間に微粒子を除去し、且つ有害ガスを除去した後の使用済みの清浄空気１２'をクリーンルーム１内へ排気する排気誘導路２８を設けて形成されている。以下の説明は、高性能フィルタ２３とケミカルフィルタ２４とを組合わせ設置したものとして説明する。
【００４５】
前記構成より成る本発明実施例４の薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の作用について説明すると、ロボットＲを設置したＥＦＥＭ２の清浄空間部１３内にＦＦＵ１１から清浄空気１２を層流状に送気すると共に、局所排気ユニット１４ｄの吸引用ファン２２を駆動すると、ＦＦＵ１１からの層流状の清浄空気１２がロボットＲや内部構造物に当たって、一瞬、該層流状の空気流がバウンドして、乱れそうになるが、吸引用ファン２２によって、使用済みの清浄空気１２'が排気開口１５から吸引されて垂直状態で引張られるので、前記層流状の清浄空気１２の流れが乱れず、乱流を生ずることなく、ＥＦＥＭ２内の微粒子および有害ガスが巻上げられることがなく、また、ウエハが前記微粒子および有害ガスによって汚染されることがないので、ウエハの生産歩留まりの低下を防止できる。
【００４６】
そして、ＥＦＥＭ２内の微粒子および有害ガスは、前記局所排気ユニット１４ｄを構成する吸引用ファン２２によって吸引されて、高性能フィルタ２３およびケミカルフィルタ２４によって除去されて、該ＥＦＥＭ２内の微粒子および有害ガスを処理して、排気誘導路２８から清浄空気となってクリーンルーム１内に排気されるので、該クリーンルーム１を微粒子および有害ガスで汚染させることもない。そして、その他の作用および効果については、前記実施例１と同一であるので説明を省略する。
【実施例５】
【００４７】
図５は、本発明薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の実施例５を示す側面側から見た概略縦断面図である。実施例５の説明において、実施例１と同一構成のものは、同一符号を用いて説明する。クリーンルーム１内にＥＦＥＭ２とウエハ等の薄板状物処理部２９を設けた薄板状物処理室３を備えた薄板状物製造装置４が配設されている。また、ＥＦＥＭ２の前方側壁面５には、ＦＯＵＰ６内のウエハ等の薄板状物をＥＦＥＭ２内に出し入れする開口部７が設けられている。
【００４８】
更に、前記ＥＦＥＭ２および薄板状物処理室３内の上方部には、ファン８とＵＬＰＡ・ＨＥＰＡフィルタ等の高性能フィルタ９およびケミカルフィルタ１０より成るＦＦＵ１１が設けられ、該ＦＦＵ１１より清浄空気１２をＥＦＥＭ２および薄板状物処理室３の清浄空間部１３内に層流状に送気して陽圧を維持するよう形成されると共に、前記ＥＦＥＭ２の清浄空間部１３の下流側には、排気誘導管３０を介在せしめて、局所排気ユニット１４ｅが連結されている。また、清浄空間部１３内の下流側の、枠状またはスリット状の排気開口１５を備えた支持架台１６上には、ロボットＲが載置されている。
【００４９】
なお、前記ＦＦＵ１１を構成する高性能フィルタ９は、微粒子を除去するため、必ず備える必要があるが、更に有害ガスをも除去する必要がある場合は、前記高性能フィルタ９と有害ガスを除去するケミカルフィルタ１０とを共に組合わせ設置する。図５においては、高性能フィルタ９とケミカルフィルタ１０とを組合わせ設置したものが図示されている。
【００５０】
前記局所排気ユニット１４ｅは、前記ロボットＲを載置した支持架台１６の下流側に間隔を有して底板１７を設けて、使用済みとなった清浄空気１２'の排気通路１８を設けると共に、前記前方側壁面５に区画壁１９によって区画された排気ガイド室２１を設けて（なお、図５においては、前方側壁面５に区画壁１９が設けられているが、その他の側壁面に区画壁を設けてもよい）、該排気ガイド室２１の下方部と前記排気通路１８を連通する一方、前記区画壁１９と排気ガイド室２１とを排気誘導管３０によって開口連結すると共に、前記ファン設置室２０に吸引用ファン２２を設置し、更に該吸引用ファン２２の下流側にＵＬＰＡ・ＨＥＰＡフィルタ等より成る微粒子を除去する高性能フィルタ２３を、または微粒子を除去すると共に、有害ガスを除去する必要がある場合は、前記高性能フィルタ２３とケミカルフィルタ２４とを組合せ設置して形成される。以下の説明は、高性能フィルタ２３とケミカルフィルタ２４とを組合わせ設置したものとして説明する。
【００５１】
前記構成より成る本発明実施例５の薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の作用について説明すると、ロボットＲを設置したＥＦＥＭ２の清浄空間部１３内にＦＦＵ１１から清浄空気１２を層流状に送気すると共に、局所排気ユニット１４ｅの吸引用ファン２２を駆動すると、ＦＦＵ１１からの層流状の清浄空気１２がロボットＲや内部構造物に当たって、一瞬、該層流状の空気流がバウンドして、乱れそうになるが、吸引用ファン２２によって、使用済みの清浄空気１２'が排気開口１５から吸引されて垂直状態で引張られて、前記層流状の清浄空気１２の流れが乱れず、乱流を生じないので、ＥＦＥＭ２内の微粒子および有害ガスが巻上げられることがなく、また、ウエハが前記微粒子および有害ガスによって汚染されることがないので、ウエハの生産歩留まりの低下を防止できる。
【００５２】
そして、ＥＦＥＭ２内の微粒子および有害ガスは、前記局所排気ユニット１４ｅを構成する吸引用ファン２２によって、前記排気誘導管３０を介して吸引されて、高性能フィルタ２３およびケミカルフィルタ２４によって除去され、該ＥＦＥＭ２内の微粒子および有害ガスを処理して、使用済みの清浄空気１２'となってクリーンルーム１内に排気されるので、該クリーンルーム１を微粒子および有害ガスで汚染させることもない。
【００５３】
更に、ＦＦＵ１１が作動すると、該ＦＦＵ１１を構成するモータが発熱し、加熱された清浄空気１２がＥＦＥＭ２内の清浄空間部１３内に充満してしまい、ウエハに悪影響を与える虞れがあるが、該熱分は局所排気ユニット１４ｅの吸引用ファン２２によって常に吸引されている非循環方式を採用しているので、前記熱分が清浄空間部１３内に充満することがなく、ウエハに悪影響を与える虞れがない。
【００５４】
更にまた、局所排気ユニット１４ｅを構成する吸引用ファン２２の風量調整ができるようにすることにより、ＦＦＵ１１からの下降風速を必要以上に速くすることなく、気流とのバランスを取ることが可能となるので、ＦＦＵ１１の省エネ運転が可能となると共に、清浄空間部１３内の気流調整のみならず陽圧度維持が図れ、微粒子および有害ガスにより、ウエハが汚染されることがないようにすることができる。
【実施例６】
【００５５】
図６は、本発明薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の実施例６を示す正面側から見た概略縦断面図である。実施例６の説明において、実施例１と同一構成のものは同一符号を用いて説明する。なお、図６においては、本発明薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置を正面側から見ているため、薄板状物処理室は省略され図示されていない。
【００５６】
図６において、ＥＦＥＭ２内の上方部には、ファン８と高性能フィルタ９およびケミカルフィルタ１０より成るＦＦＵ１１が設けられ、該ＦＦＵ１１より清浄空気１２をＥＦＥＭ２の清浄空間部１３内に層流状に送気して陽圧を維持するよう形成されると共に、前記ＥＦＥＭ２の清浄空間部１３の下流側である該ＥＦＥＭ２を構成する側面側壁面２５には、排気誘導管３０を介在せしめて、局所排気ユニット１４ｆが連結されている。また、清浄空間部１３内の下流側の、枠状またはスリット状の排気開口１５を備えた支持架台１６上には、ロボットＲが載置されている。なお、図示していないが、実施例２においても、薄板状物処理室３にＦＦＵ１１が設置されている。
【００５７】
前記ＦＦＵ１１を構成する高性能フィルタ９は、微粒子を除去するため、必ず備える必要があるが、更に有害ガスをも除去する必要がある場合は、前記高性能フィルタ９と有害ガスを除去するケミカルフィルタ１０とを共に組合わせ設置する。図６においては、高性能フィルタ９とケミカルフィルタ１０とを組合わせ設置したものが図示されている。
【００５８】
実施例６においては、局所排気ユニット１４ｆは、ＥＦＥＭ２の側面側壁面２５と排気誘導管３０を介在せしめて連結されているため、清浄空間部１３内に層流状に送気されて使用された後の使用済みの清浄空気１２'は、すべて局所排気ユニット１４ｆへ吸引されることなく、一部は排気開口１５を経てクリーンルーム１の床面２６に沿ってクリーンルーム１内へ排気される。
【００５９】
前記局所排気ユニット１４ｆは、ＥＦＥＭ２を構成する側面側壁面２５に排気ガイド室２１を突設し、且つ該排気ガイド室２１とファン設置室２０とを排気誘導管３０によって連結すると共に（なお、図６においては、側面側壁面２５に突設された排気ガイド室２１と排気誘導管３０が連結されているが、その他の側壁面に排気ガイド室を突設し、且つ該排気ガイド室に排気誘導管を連結してもよい）、該ファン設置室２０に吸引用ファン２２を設置し、更に該吸引用ファン２２の下流側に微粒子を除去するＵＬＰＡ・ＨＥＰＡフィルタ等より成る高性能フィルタ２３を、または微粒子を除去すると共に、有害ガスを除去する必要がある場合は、前記高性能フィルタ２３とケミカルフィルタ２４とを組合わせ設置して形成される。以下の説明は、高性能フィルタ２３とケミカルフィルタ２４の両者を組合わせ設置したものとして説明する。
【００６０】
前記構成より成る本発明実施例６の薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の作用について説明すると、ロボットＲを設置したＥＦＥＭ２の清浄空間部１３内にＦＦＵ１１から清浄空気１２を層流状に送気すると共に、局所排気ユニット１４ｆの吸引用ファン２２を駆動すると、ＦＦＵ１１からの層流状の清浄空気１２がロボットＲや内部構造物に当たって、一瞬、該層流状の空気流がバウンドして乱れそうになるが、実施例５と異なり、使用済みの一部の清浄空気１２'は、吸引用ファン２２によって排気誘導管３０を介して吸引されて水平状態で引張られると共に、使用済みのその他の清浄空気１２'は排気開口１５を経て、クリーンルーム１の床面２６に沿ってクリーンルーム１内へ排気されるので、前記層流状の清浄空気１２の流れが乱れず、乱流を生ずることなく、ＥＦＥＭ２内の微粒子および有害ガスが巻上げられることがなく、また、ウエハが前記微粒子および有害ガスによって汚染されることがないので、ウエハの生産歩留まりの低下を防止できる。なお、前記クリーンルーム１の床面２は通気孔のない平板状のものであるが、該床面２６に代えて通気孔のあるグレーチングとしても、本発明は適用できる。そして、その他の作用および効果については、実施例５と同一であるので説明を省略する。
【実施例７】
【００６１】
図７は、本発明薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の実施例７を示す正面側から見た概略縦断面図である。実施例７の説明において、実施例１と同一構成のものは同一符号を用いて説明する。なお、図７においては、本発明薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置を正面側から見ているため、薄板状物処理室は省略され図示されていない。
【００６２】
図７において、ＥＦＥＭ２内の上方部には、ファン８と高性能フィルタ９およびケミカルフィルタ１０より成るＦＦＵ１１が設けられ、該ＦＦＵ１１より清浄空気１２をＥＦＥＭ２の清浄空間部１３内に層流状に送気して陽圧を維持するよう形成されると共に、前記ＥＦＥＭ２の清浄空間部１３の下流側である該ＥＦＥＭ２を構成する側面側壁面２５には、排気誘導管３０を介在せしめて、局所排気ユニット１４ｇが連結されている。また、清浄空間部１３内の下流側に、底壁１６ａが設置され、且つ該底壁１６ａ上には、ロボットＲが載置されている。底壁１６ａは、実施例６と異なり、排気開口を備えていない。なお、図示していないが、実施例７においても、薄板状物処理室３にＦＦＵ１１が設置されている。
【００６３】
なお、前記ＦＦＵ１１を構成する高性能フィルタ９は、微粒子を除去するため、必ず備える必要があるが、更に有害ガスをも除去する必要がある場合は、前記高性能フィルタ９と有害ガスを除去するケミカルフィルタ１０とを共に組合わせ設置する。図７においては、高性能フィルタ９とケミカルフィルタ１０とを組合わせ設置したものが図示されている。
【００６４】
前記局所排気ユニット１４ｇは、ＥＦＥＭ２を構成する側面側壁面２５に排気ガイド室２１を突設し、且つ該排気ガイド室２１とファン設置室２０とを排気誘導管３０によって連結すると共に（なお、図７においては、側面側壁面２５に突設された排気ガイド室２１と排気誘導管３０が連結されているが、その他の側壁面に排気ガイド室を突設し、且つ該排気ガイド室に排気誘導管を連結してもよい）、該ファン設置室２０に吸引用ファン２２を設置し、更に該吸引用ファン２２の下流側に微粒子を除去するＵＬＰＡ・ＨＥＰＡフィルタ等より成る高性能フィルタ２３を、または微粒子を除去すると共に、有害ガスを除去する必要がある場合は、前記高性能フィルタ２３とケミカルフィルタ２４とを組合わせ設置して形成される。以下の説明は、高性能フィルタ２３とケミカルフィルタ２４の両者を組合わせ設置したものとして説明する。
【００６５】
前記構成より成る本発明実施例７の薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の作用について説明すると、ロボットＲを設置したＥＦＥＭ２の清浄空間部１３内にＦＦＵ１１から清浄空気１２を層流状に送気すると共に、局所排気ユニット１４ｇの吸引用ファン２２を駆動すると、ＦＦＵ１１からの層流状の清浄空気１２がロボットＲや内部構造物に当たって、一瞬、該層流状の空気流がバウンドして乱れそうになるが、実施例６と異なり、使用済みの清浄空気１２'は、すべてが吸引用ファン２２によって吸引されて排気誘導管３０を介して水平状態で引張られるので、前記層流状の清浄空気１２の流れが乱れず、乱流を生ずることなく、ＥＦＥＭ２内の微粒子および有害ガスが巻上げられることがなく、また、ウエハが前記微粒子および有害ガスによって汚染されることがないので、ウエハの生産歩留まりの低下を防止できる。そして、その他の作用および効果については、実施例１と同一であるので説明を省略する。
【実施例８】
【００６６】
図８は、本発明薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の実施例８を示す正面側から見た概略縦断面図である。実施例８の説明において、実施例１と同一構成のものは同一符号を用いて説明する。なお、図８においては、本発明薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置を正面側から見ているため、薄板状物処理室は省略され図示されていない。
【００６７】
図８において、ＥＦＥＭ２内の上方部には、ファン８と高性能フィルタ９およびケミカルフィルタ１０より成るＦＦＵ１１が設けられ、該ＦＦＵ１１より清浄空気１２をＥＦＥＭ２の清浄空間部１３内に層流状に送気して陽圧を維持するよう形成されると共に、前記ＥＦＥＭ２の清浄空間部１３の下流側には、局所排気ユニット１４ｈが連設されている。また、清浄空間部１３内の下流側の、枠状またはスリット状の排気開口１５を備えた支持架台１６上には、ロボットＲが載置されている。なお、図示していないが、実施例８においても、薄板状物処理室３にＦＦＵ１１が設置されている。
【００６８】
前記ＦＦＵ１１を構成する高性能フィルタ９は、微粒子を除去するため、必ず備える必要があるが、更に有害ガスをも除去する必要がある場合は、前記高性能フィルタ９と有害ガスを除去するケミカルフィルタ１０とを共に組合わせ設置する。図８においては、高性能フィルタ９とケミカルフィルタ１０とを組合わせ設置したものが図示されている。
【００６９】
前記局所排気ユニット１４ｈは、クリーンルーム１のグレーチング３１の下面の床下ピット３２内に設置されており、且つ該局所排気ユニット１４ｈは、前記ロボットＲを載置した支持架台１６の下流側のグレーチング３１上に上面に通気開口３３を備えた吸込みボックス３４が設置されると共に、該吸込みボックス３４の底板３５およびグレーチング３１とを貫通して、前記吸込みボックス３４とファン設置室２０とを排気誘導管３０を介在せしめて連結する一方、前記ファン設置室２０に吸引用ファン２２を設置し、且つ該吸引用ファン２２の下流側にＵＬＰＡ・ＨＥＰＡフィルタ等より成る微粒子を除去する高性能フィルタ２３を、または微粒子を除去すると共に、有害ガスを除去する必要がある場合は、前記高性能フィルタ２３とケミカルフィルタ２４とを組合わせて形成されている。以下の説明は、高性能フィルタ２３とケミカルフィルタ２４の両者を組合わせ設置したものとして説明する。
【００７０】
前記構成より成る本発明実施例８の薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の作用について説明すると、ロボットＲを設置したＥＦＥＭ２の清浄空間部１３内にＦＦＵ１１から清浄空気１２を層流状に送気すると共に、局所排気ユニット１４ｈの吸引用ファン２２を駆動すると、ＦＦＵ１１からの層流状の清浄空気１２がロボットＲや内部構造物に当たって、一瞬、該層流状の空気流がバウンドして乱れそうになるが、使用済みの清浄空気１２'は、吸引用ファン２２によって吸引されて水平状態で引張られるので、前記層流状の清浄空気１２の流れが乱れず、乱流を生ずることなく、ＥＦＥＭ２内の微粒子および有害ガスが巻上げられることがなく、また、ウエハが前記微粒子および有害ガスによって汚染されることがないので、ウエハの生産歩留まりの低下を防止できる。
【００７１】
そして、ＥＦＥＭ２内の微粒子および有害ガスは、前記局所排気ユニット１４ｈを構成する吸引用ファン２２によって、前記排気誘導管３０を介して吸引されて、高性能フィルタ２３およびケミカルフィルタ２４によって除去され、該ＥＦＥＭ２内の微粒子および有害ガスを処理して、清浄空気となって床下ピット３２からクリーンルーム１内に排気されるので、該クリーンルーム１を微粒子および有害ガスで汚染させることもない。そして、その他の作用および効果については、実施例１と同一であるので説明を省略する。
【００７２】
なお、図示していないが、前記実施例５〜７の薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の各局所排気ユニット１４ｅ〜１４ｇを、前記実施例８と同様に、クリーンルーム１のグレーチング３１の下面の床下ピット３２内に設置すると共に、該局所排気ユニット１４ｅ〜１４ｇの各ファン設置室２０と、各ＥＦＥＭ２の各排気ガイド室２１とを連結する各排気誘導管３０を、グレーチング３１を貫通して設けてもよい。
【実施例９】
【００７３】
図９は、本発明薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の実施例９を示す側面側から見た概略縦断面図である。実施例９は、実施例１と同一構成の局所排気ユニットを薄板状物処理室３に装置したものであるが、図９においては、ＥＦＥＭ２には局所排気ユニットを装置していないものとして図示されていない。
【００７４】
図９において、薄板状物処理室３内の上方部には、ファン８とＵＬＰＡ・ＨＥＰＡフィルタ等より成る高性能フィルタ９およびケミカルフィルタ１０より成るＦＦＵ１１が設けられ、該ＦＦＵ１１より清浄空気１２を薄板状物処理室３の清浄空間部１３内に層流状に送気して陽圧を維持するよう形成されると共に、前記薄板状物処理室３の清浄空間部１３の下流側には、局所排気ユニット１４ｉが連設されている。また、清浄空間部１３内の下流側の、排気開口１５を備えた支持架台１６上には、薄板状物処理部２９が載置されている。
【００７５】
なお、前記ＦＦＵ１１を構成する高性能フィルタ９は、微粒子を除去するため、必ず備える必要があるが、更に有害ガスをも除去する必要がある場合は、前記高性能フィルタ９と有害ガスを除去するケミカルフィルタ１０とを組合わせ設置する。図９においては、高性能フィルタ９とケミカルフィルタ１０とを組合わせ設置したものが図示されている。
【００７６】
前記局所排気ユニット１４ｉは、前記薄板状物処理部２９を載置した支持架台１６の下流側に間隔を有して、底板１７を設けて使用済みの清浄空気１２'の排気通路１８を設けると共に、後方側壁面３６に区画壁１９によって（なお、図９においては、後方側壁面３６に区画壁１９が設けられているが、その他の側壁面に区画壁を設けてもよい。）、下流側のファン設置室２０と区画された排気ガイド室２１を設けて、該排気ガイド室２１の下方部と前記排気通路１８を連通する一方、前記ファン設置室２０に吸引用ファン２２を設け、更に該吸引用ファン２２の下流側にＵＬＰＡ・ＨＥＰＡフィルタ等より成る微粒子を除去する高性能フィルタ２３を、または微粒子を除去すると共に、有害ガスを除去する必要がある場合は、前記高性能フィルタ２３とケミカルフィルタ２４とを組合わせ設置して形成されている。以下の説明は、高性能フィルタ２３とケミカルフィルタ２４とを組合わせ設置したものとして説明する。
【００７７】
前記構成より成る本発明実施例９の薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の作用について説明すると、薄板状物処理室３の清浄空間部１３内にＦＦＵ１１から清浄空気１２を層流状に送気すると共に、局所排気ユニット１４ｉの吸引用ファン２２を駆動すると、ＦＦＵ１１から層流状に送気された清浄空気１２が薄板状物処理室３内の内部構造物に当たって、一瞬、該層流状の空気流がバウンドして、乱れそうになるが、吸引用ファン２２によって、前記清浄空気１２が排気開口１５から吸引されて垂直状態で引張られるので、前記層流状の清浄空気１２の流れが乱れず、乱流を生じないので、薄板状物処理室３内の微粒子および有害ガスが巻上げられることがなく、また、ウエハが前記微粒子および有害ガスによって汚染されることがないので、ウエハの生産歩留まりの低下を防止できる。
【００７８】
そして、薄板状物処理室３内の微粒子および有害ガスは、前記局所排気ユニット１４ｉを構成する吸引用ファン２２によって吸引されて、高性能フィルタ２３およびケミカルフィルタ２４によって除去されて、該薄板状物処理室３内の微粒子および有害ガスを処理して、清浄空気となってクリーンルーム１内に排気されるので、該クリーンルーム１を微粒子および有害ガスで汚染させることもない。
【００７９】
更に、ＦＦＵ１１が作動すると、該ＦＦＵ１１を構成するモータが発熱し、加熱された清浄空気１２が薄板状物処理室３内の清浄空間部１３内に充満してしまい、ウエハに悪影響を与える虞れがあるが、該熱分は局所排気ユニット１４ｉの吸引用ファン２２によって常に吸引されている非循環方式を採用しているので、前記熱分が清浄空間部１３内に充満することがなく、ウエハに悪影響を与える虞れがない。
【００８０】
更にまた、局所排気ユニット１４ｉを構成する吸引用ファン２２の風量調整ができるようにすることにより、ＦＦＵ１１からの下降風速を必要以上に速くすることなく、気流とのバランスを取ることが可能となるので、ＦＦＵ１１の省エネ運転が可能となると共に、清浄空間部１３内の気流調整のみならず、陽圧度維持が図れ、微粒子および有害ガスにより、ウエハが汚染されることがないようにすることができる。
【実施例１０】
【００８１】
図１０は、本発明薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の実施例１０を示す側面側から見た概略縦断面図である。実施例１０は、実施例２と同一構成の局所排気ユニットを薄板状物処理室３に装置したものであるが、図１０においては、ＥＦＥＭ２には局所排気ユニットを設置していないものとして図示されていない。
【００８２】
図１０において、薄板状物処理室３内の上方部には、ファン８とＵＬＰＡ・ＨＥＰＡフィルタ等より成る高性能フィルタ９およびケミカルフィルタ１０より成るＦＦＵ１１が設けられ、該ＦＦＵ１１より清浄空気１２を薄板状物処理室３の清浄空間部１３内に層流状に送気して陽圧を維持するよう形成されると共に、前記薄板状物処理室３の清浄空間部１３の下流側である該薄板状物処理室３の後方側壁面３６には、局所排気ユニット１４ｊが連設されている。また、清浄空間部１３内の下流側の、枠状またはスリット状の排気開口１５を備えた支持架台１６上には、薄板状物処理部２９が載置されている。
【００８３】
前記ＦＦＵ１１を構成する高性能フィルタ９は、微粒子を除去するため、必ず備える必要があるが、更に有害ガスをも除去する必要がある場合は、前記高性能フィルタ９と有害ガスを除去するケミカルフィルタ１０とを組合わせ設置する。図１０においては、高性能フィルタ９とケミカルフィルタ１０とを組合わせ設置したものが図示されている。
【００８４】
前記局所排気ユニット１４ｊは、前記薄板状物処理室３を構成する側面側壁面３７にファン設置室２０を設けて、該ファン設置室２０に吸引用ファン２２を設置し（なお、図１０においては、後方側壁面３６にファン設置室２０を設けているが、その他の側壁面に設けてもよい。）、更に該吸引用ファン２２の下流側に微粒子を除去するＵＬＰＡ・ＨＥＰＡフィルタ等より成る高性能フィルタ２３を、または微粒子を除去すると共に、有害ガスを除去する必要がある場合は、前記高性能フィルタ２３とケミカルフィルタ２４とを組合わせ設置して形成される。以下の説明は、高性能フィルタ２３とケミカルフィルタ２４とを組合わせ設置したものとして説明する。
【００８５】
前記構成より成る本発明実施例１０の薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の作用について説明すると、薄板状物処理部２９を設置した薄板状物処理室３の清浄空間部１３内にＦＦＵ１１から清浄空気１２を層流状に送気すると共に、局所排気ユニット１４ｊの吸引用ファン２２を駆動すると、ＦＦＵ１１からの層流状の清浄空気１２が内部構造物に当たって、一瞬、該層流状の空気流がバウンドして乱れそうになるが、実施例９と異なり、使用済みの一部の清浄空気１２'は、吸引用ファン２２によって吸込まれて水平状態で引張られると共に、使用済みのその他の清浄空気１２'は、排気開口１５を経てクリーンルーム１の床面２６に沿って該クリーンルーム１内へ排気されるので、前記層流状の清浄空気１２の流れが乱れず、乱流を生ずることなく、薄板状物処理室３内の微粒子および有害ガスが巻上げられることがなく、また、ウエハが前記微粒子および有害ガスによって汚染されることがなく、ウエハの生産歩留まりの低下を防止できる。なお、前記クリーンルーム１の床面２６は通気孔のない平板状のものであるが、該床面２６に代えて通気孔のあるグレーチングとしても、本発明は適用できる。そして、その他の作用および効果については、実施例９と同一であるので説明を省略する。
【実施例１１】
【００８６】
図１１は、本発明薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の実施例１１を示す側面側から見た概略縦断面図である。実施例１１は、実施例２と同一構成の局所排気ユニットを薄板状物処理室３に装置したものであるが、図１１においては、ＥＦＥＭ２には局所排気ユニットを設置していないものとして図示されていない。
【００８７】
図１１において、薄板状物処理室３内の上方部には、ファン８とＵＬＰＡ・ＨＥＰＡフィルタ等より成る高性能フィルタ９およびケミカルフィルタ１０より成るＦＦＵ１１が設けられ、該ＦＦＵ１１より清浄空気１２を薄板状物処理室３の清浄空間部１３内に層流状に送気して陽圧を維持するよう形成されると共に、前記薄板状物処理室３の清浄空間部１３の下流側である該薄板状物処理室３の側面側壁面３７には、局所排気ユニット１４ｋが連設されている。また、清浄空間部１３内の下流側に、底壁１６ａが設置され、且つ該底壁１６ａ上には、薄板状物処理部２９が載置されている。前記底壁１６ａは、前記実施例１０と異なり、排気開口を備えていない。
【００８８】
前記ＦＦＵ１１を構成する高性能フィルタ９は、微粒子を除去するため、必ず備える必要があるが、更に有害ガスをも除去する必要がある場合は、前記高性能フィルタ９と有害ガスを除去するケミカルフィルタ１０とを組合わせ設置する。図１１においては、高性能フィルタ９とケミカルフィルタ１０とを組合わせ設置したものが図示されている。
【００８９】
前記局所排気ユニット１４ｋは、前記薄板状物処理室３を構成する側面側壁面３７の背面側にファン設置室２０を設けて、該ファン設置室２０に吸引用ファン２２を設置し（なお、図１１においては、側面側壁面３７にファン設置室２０を設けているが、その他の側壁面に設けてもよい。）、更に該吸引用ファン２２の下流側に微粒子を除去するＵＬＰＡ・ＨＥＰＡフィルタ等より成る高性能フィルタ２３を、または微粒子を除去すると共に、有害ガスを除去する必要がある場合は、前記高性能フィルタ２３とケミカルフィルタ２４とを組合わせ設置して形成される。以下の説明は、高性能フィルタ２３とケミカルフィルタ２４とを組合わせ設置したものとして説明する。
【００９０】
前記構成より成る本発明実施例１１の薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の作用について説明すると、薄板状物処理部２９を設置した薄板状物処理室３の清浄空間部１３内にＦＦＵ１１から清浄空気１２を層流状に送気すると共に、局所排気ユニット１４ｋの吸引用ファン２２を駆動すると、ＦＦＵ１１からの層流状の清浄空気１２が内部構造物に当たって、一瞬、該層流状の空気流がバウンドして乱れそうになるが、実施例１０と異なり、使用済みのすべての清浄空気１２'は、吸引用ファン２２によって吸込まれて水平状態で引張られて、クリーンルーム１内へ排気されるので、前記層流状の清浄空気１２の流れが乱れず、乱流を生ずることなく、薄板状物処理室３内の微粒子および有害ガスが巻上げられることがなく、また、ウエハが前記微粒子および有害ガスによって汚染されることがなく、ウエハの生産歩留まりの低下を防止できる。そして、その他の作用および効果については、実施例１０と同一であるので説明を省略する。
【実施例１２】
【００９１】
図１２は、本発明薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の実施例１２を示す側面側から見た概略縦断面図である。実施例１２は、実施例４と同一構成の局所排気ユニットを薄板状物処理室３に装置したものであるが、図１２においては、ＥＦＥＭ２には局所排気ユニットを装置していないものとして図示されていない。
【００９２】
図１２において、薄板状物処理室３内の上方部には、ファン８とＵＬＰＡ・ＨＥＰＡフィルタ等より成る高性能フィルタ９およびケミカルフィルタ１０より成るＦＦＵ１１が設けられ、該ＦＦＵ１１より清浄空気１２を薄板状物処理室３の清浄空間部１３内に層流状に送気して陽圧を維持するよう形成されると共に、前記薄板状物処理室３の下流側には、局所排気ユニット１４ｌが連設されている。また、清浄空間部１３内の下流側の、枠状またはスリット状の排気開口１５を備えた支持架台１６上には、薄板状物処理部２９が載置されている。
【００９３】
なお、前記ＦＦＵ１１を構成する高性能フィルタ９は、微粒子を除去するため、必ず備える必要があるが、更に有害ガスをも除去する必要がある場合は、前記高性能フィルタ９と有害ガスを除去するケミカルフィルタ１０とを組合わせ設置する。図１２においては、高性能フィルタ９とケミカルフィルタ１０とを組合わせ設置したものが図示されている。
【００９４】
前記局所排気ユニット１４ｌは、前記薄板状物処理部２９を載置した支持架台１６の下流側に間隔を有して設けられた区画壁１９によって下流側のファン設置室２０と区画された排気ガイド室２１を設ける一方、前記ファン設置室２０に吸引用ファン２２を設置し、且つ該吸引用ファン２２の下流側にＵＬＰＡ・ＨＥＰＡフィルタ等より成る微粒子を除去する高性能フィルタ２３を、または微粒子を除去すると共に、有害ガスを除去する必要がある場合は、前記高性能フィルタ２３とケミカルフィルタ２４とを組合わせ設置し、更に前記高性能フィルタ２２およびケミカルフィルタ２３の下流側の底板２７との間に微粒子を除去し、且つ有害ガスを除去した後の使用済みの清浄空気１２'をクリーンルーム１内へ排気する排気誘導路２８を設けて形成されている。以下の説明は、高性能フィルタ２２とケミカルフィルタ２３とを組合わせ設置したものとして説明する。
【００９５】
前記構成より成る本発明実施例１２の薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の作用について説明すると、薄板状物処理部２９を設置した薄板状物処理室３の清浄空間部１３内にＦＦＵ１１から清浄空気１２を層流状に送気すると共に、局所排気ユニット１４ｌの吸引用ファン２２を駆動すると、ＦＦＵ１１からの層流状の清浄空気１２が内部構造物に当たって、一瞬、該層流状の空気流がバウンドして、乱れそうになるが、吸引用ファン２２によって、前記清浄空気１２が排気開口１５から吸込まれて垂直状態で引張られるので、前記層流状の清浄空気１２の流れが乱れず、乱流を生ずることなく、薄板状物処理室３内の微粒子および有害ガスが巻上げられることがなく、また、ウエハが前記微粒子および有害ガスによって汚染されることがないので、ウエハの生産歩留まりの低下を防止できる。
【００９６】
そして、薄板状物処理室３内の微粒子および有害ガスは、前記局所排気ユニット１４ｌを構成する吸引用ファン２２によって吸引されて、高性能フィルタ２３およびケミカルフィルタ２４によって除去され、該薄板状物処理室３内の微粒子および有害ガスを処理して、排気誘導路２８から清浄空気となってクリーンルーム１内に排気されるので、該クリーンルーム１を微粒子および有害ガスで汚染させることもない。そして、その他の作用および効果については、前記実施例４と同一であるので説明を省略する。
【実施例１３】
【００９７】
図１３は、本発明薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の実施例１３を示す側面側から見た概略縦断面図である。実施例１３は、実施例１と同一構成の局所排気ユニットを薄板状物処理室３に装置したものであるが、図１３においては、ＥＦＥＭ２には局所排気ユニットを装置していないものとして図示されていない。
【００９８】
図１３において、薄板状物処理室３内の上方部には、ファン８とＵＬＰＡ・ＨＥＰＡフィルタ等より成る高性能フィルタ９およびケミカルフィルタ１０より成るＦＦＵ１１が設けられ、該ＦＦＵ１１より清浄空気１２を薄板状物処理室３の清浄空間部１３内に層流状に送気して陽圧を維持するよう形成されると共に、前記薄板状物処理室３の清浄空間部１３の下流側には、排気誘導管３０を介在せしめて局所排気ユニット１４ｍが連結されている。また、清浄空間部１３内の下流側の、排気開口１５を備えた支持架台１６上には、薄板状物処理部２９が載置されている。
【００９９】
なお、前記ＦＦＵ１１を構成する高性能フィルタ９は、微粒子を除去するため、必ず備える必要があるが、更に有害ガスをも除去する必要がある場合は、前記高性能フィルタ９と有害ガスを除去するケミカルフィルタ１０とを組合わせ設置する。図１３においては、高性能フィルタ９とケミカルフィルタ１０とを組合わせ設置したものが図示されている。
【０１００】
前記局所排気ユニット１４ｍは、前記薄板状物処理部２９を載置した支持架台１６の下流側に間隔を有して、底板１７を設けて使用済みの清浄空気１２'の排気通路１８を設けると共に、後方側壁面３６に区画壁１９によって（なお、図１３においては、後方側壁面３６に区画壁１９が設けられているが、その他の側壁面に区画壁を設けてもよい。）、下流側のファン設置室２０と区画された排気ガイド室２１を設けて、該排気ガイド室２１の下方部と前記排気通路１８を連通する一方、前記区画壁１９と排気ガイド室２１とを排気誘導管３０によって開口連結すると共に、前記ファン設置室２０に吸引用ファン２２を設け、更に該吸引用ファン２２の下流側にＵＬＰＡ・ＨＥＰＡフィルタ等より成る微粒子を除去する高性能フィルタ２３を、または微粒子を除去すると共に、有害ガスを除去する必要がある場合は、前記高性能フィルタ２３とケミカルフィルタ２４とを組合わせ設置して形成されている。以下の説明は、高性能フィルタ２３とケミカルフィルタ２４とを組合わせ設置したものとして説明する。
【０１０１】
前記構成より成る本発明実施例１３の薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の作用について説明すると、薄板状物処理室３の清浄空間部１３内にＦＦＵ１１から清浄空気１２を層流状に送気すると共に、局所排気ユニット１４ｍの吸引用ファン２２を駆動すると、ＦＦＵ１１から層流状に送気された清浄空気１２が薄板状物処理室３内の内部構造物に当たって、一瞬、該層流状の空気流がバウンドして、乱れそうになるが、吸引用ファン２２によって、前記使用済みの清浄空気１２'が排気開口１５から吸引されて垂直状態で引張られるので、前記層流状の清浄空気１２の流れが乱れず、乱流を生じないので、薄板状物処理室３内の微粒子および有害ガスが巻上げられることがなく、また、ウエハが前記微粒子および有害ガスによって汚染されることがないので、ウエハの生産歩留まりの低下を防止できる。
【０１０２】
そして、薄板状物処理室３内の微粒子および有害ガスは、前記局所排気ユニット１４ｍを構成する吸引用ファン２２によって、前記排気誘導管３０を介して吸引されて、高性能フィルタ２３およびケミカルフィルタ２４によって除去されて、該薄板状物処理室３内の微粒子および有害ガスを処理して、清浄空気となってクリーンルーム１内に排気されるので、該クリーンルーム１を微粒子および有害ガスで汚染させることもない。
【０１０３】
更に、ＦＦＵ１１が作動すると、該ＦＦＵ１１を構成するモータが発熱し、加熱された清浄空気１２が薄板状物処理室３内の清浄空間部１３内に充満してしまい、ウエハに悪影響を与える虞れがあるが、該熱分は局所排気ユニット１４ｍの吸引用ファン２２によって常に吸引されている非循環方式を採用しているので、前記熱分が清浄空間部１３内に充満することがなく、ウエハに悪影響を与える虞れがない。
【０１０４】
更にまた、局所排気ユニット１４ｍを構成する吸引用ファン２２の風量調整ができるようにすることにより、ＦＦＵ１１からの下降風速を必要以上に速くすることなく、気流とのバランスを取ることが可能となるので、ＦＦＵ１１の省エネ運転が可能となると共に、清浄空間部１３内の気流調整のみならず、陽圧度維持が図れ、微粒子および有害ガスにより、ウエハが汚染されることがないようにすることができる。
【実施例１４】
【０１０５】
図１４は、本発明薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の実施例１４を示す側面側から見た概略縦断面図である。実施例１４は、実施例２と同一構成の局所排気ユニットを薄板状物処理室３に装置したものであるが、図１４においては、ＥＦＥＭ２には局所排気ユニットを設置していないものとして図示されていない。
【０１０６】
図１４において、薄板状物処理室３内の上方部には、ファン８とＵＬＰＡ・ＨＥＰＡフィルタ等より成る高性能フィルタ９およびケミカルフィルタ１０より成るＦＦＵ１１が設けられ、該ＦＦＵ１１より清浄空気１２を薄板状物処理室３の清浄空間部１３内に層流状に送気して陽圧を維持するよう形成されると共に、前記薄板状物処理室３の清浄空間部１３の下流側である該薄板状物処理室３の後方側壁面３６には、排気誘導管３０を介在せしめて局所排気ユニット１４ｎが連結されている。また、清浄空間部１３内の下流側の、枠状またはスリット状の排気開口１５を備えた支持架台１６上には、薄板状物処理部２９が載置されている。
【０１０７】
前記ＦＦＵ１１を構成する高性能フィルタ９は、微粒子を除去するため、必ず備える必要があるが、更に有害ガスをも除去する必要がある場合は、前記高性能フィルタ９と有害ガスを除去するケミカルフィルタ１０とを組合わせ設置する。図１４においては、高性能フィルタ９とケミカルフィルタ１０とを組合わせ設置したものが図示されている。
【０１０８】
前記局所排気ユニット１４ｎは、前記薄板状物処理室３を構成する側面側壁面３７の背面側に排気ガイド室２１を突設し、且つ該排気ガイド室２１とファン設置室２０とを排気誘導管３０によって連結すると共に（なお、図１４においては、後方側壁面３６に突設された排気ガイド室２１と排気誘導管３０が連結されているが、その他の側壁面に排気ガイド室を突設し、且つ該排気ガイド室に排気誘導管を連結してもよい。）、該ファン設置室２０に吸引用ファン２２を設置し、更に該吸引用ファン２２の下流側に微粒子を除去するＵＬＰＡ・ＨＥＰＡフィルタ等より成る高性能フィルタ２３を、または微粒子を除去すると共に、有害ガスを除去する必要がある場合は、前記高性能フィルタ２３とケミカルフィルタ２４とを組合わせ設置して形成される。以下の説明は、高性能フィルタ２３とケミカルフィルタ２４とを組合わせ設置したものとして説明する。
【０１０９】
前記構成より成る本発明実施例１４の薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の作用について説明すると、薄板状物処理部２９を設置した薄板状物処理室３の清浄空間部１３内にＦＦＵ１１から清浄空気１２を層流状に送気すると共に、局所排気ユニット１４ｎの吸引用ファン２２を駆動すると、ＦＦＵ１１からの層流状の清浄空気１２が内部構造物に当たって、一瞬、該層流状の空気流がバウンドして乱れそうになるが、実施例１３と異なり、使用済みの一部の清浄空気１２'は、吸引用ファン２２によって排気誘導管３０を介して吸込まれて水平状態で引張られると共に、使用済みのその他の清浄空気１２'は、排気開口１５を経てクリーンルーム１の床面２６に沿って該クリーンルーム１内へ排気されるので、前記層流状の清浄空気１２の流れが乱れず、乱流を生ずることなく、薄板状物処理室３内の微粒子および有害ガスが巻上げられることがなく、また、ウエハが前記微粒子および有害ガスによって汚染されることがなく、ウエハの生産歩留まりの低下を防止できる。なお、前記クリーンルーム１の床面２は通気孔のない平板状のものであるが、該床面２６に代えて通気孔のあるグレーチングとしても、本発明は適用できる。そして、その他の作用および効果については、実施例９と同一であるので説明を省略する。
【実施例１５】
【０１１０】
図１５は、本発明薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の実施例１５を示す側面側から見た概略縦断面図である。実施例１５は、実施例３と同一構成の局所排気ユニットを薄板状物処理室３に装置したものであるが、図１５においては、ＥＦＥＭ２には局所排気ユニットを設置していないものとして図示されていない。
【０１１１】
図１５において、薄板状物処理室３内の上方部には、ファン８とＵＬＰＡ・ＨＥＰＡフィルタ等より成る高性能フィルタ９およびケミカルフィルタ１０より成るＦＦＵ１１が設けられ、該ＦＦＵ１１より清浄空気１２を薄板状物処理室３の清浄空間部１３内に層流状に送気して陽圧を維持するよう形成されると共に、前記薄板状物処理室３の清浄空間部１３の下流側である該薄板状物処理室３の後方側壁面３６には、排気誘導管３０を介在せしめて局所排気ユニット１４ｏが連結されている。また、清浄空間部１３内の下流側に、底壁１６ａが設置され、且つ該底壁１６ａ上には、物薄板状物処理部２９が載置されている。前記底壁１６ａは、前記実施例１４と異なり、排気開口を備えていない。
【０１１２】
前記ＦＦＵ１１を構成する高性能フィルタ９は、微粒子を除去するため、必ず備える必要があるが、更に有害ガスをも除去する必要がある場合は、前記高性能フィルタ９と有害ガスを除去するケミカルフィルタ１０とを組合わせ設置する。図１５においては、高性能フィルタ９とケミカルフィルタ１０とを組合わせ設置したものが図示されている。
【０１１３】
前記局所排気ユニット１４ｏは、前記薄板状物処理室３を構成する後方側壁面３６に排気ガイド室２１を突設し、且つ該排気ガイド室２１とファン設置室２０とを排気誘導管３０によって連結すると共に（なお、図１５においては、後方側壁面３６に突設された排気ガイド室２１と排気誘導管３０が連結されているが、その他の側壁面に排気ガイド室を突設し、且つ該排気ガイド室に排気誘導管を連結してもよい。）、該ファン設置室２０に吸引用ファン２２を設置し、更に該吸引用ファン２２の下流側に微粒子を除去するＵＬＰＡ・ＨＥＰＡフィルタ等より成る高性能フィルタ２３を、または微粒子を除去すると共に、有害ガスを除去する必要がある場合は、前記高性能フィルタ２３とケミカルフィルタ２４とを組合わせ設置して形成される。以下の説明は、高性能フィルタ２３とケミカルフィルタ２４とを組合わせ設置したものとして説明する。
【０１１４】
前記構成より成る本発明実施例１５の薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の作用について説明すると、薄板状物処理部２９を設置した薄板状物処理室３の清浄空間部１３内にＦＦＵ１１から清浄空気１２を層流状に送気すると共に、局所排気ユニット１４ｏの吸引用ファン２２を駆動すると、ＦＦＵ１１からの層流状の清浄空気１２が内部構造物に当たって、一瞬、該層流状の空気流がバウンドして乱れそうになるが、実施例１４と異なり、使用済みのすべての清浄空気１２'は、吸引用ファン２２によって吸込まれて水平状態で引張られてクリーンルーム１内へ排気されるので、前記層流状の清浄空気１２の流れが乱れず、乱流を生ずることなく、薄板状物処理室３内の微粒子および有害ガスが巻上げられることがなく、また、ウエハが前記微粒子および有害ガスによって汚染されることがなく、ウエハの生産歩留まりの低下を防止できる。そして、その他の作用および効果については、実施例１４と同一であるので説明を省略する。
【実施例１６】
【０１１５】
図１６は、本発明薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の実施例１６を示す側面側から見た概略縦断面図である。実施例１６は、実施例４と同一構成の局所排気ユニットを薄板状物処理室３に装置したものであるが、図１６においては、ＥＦＥＭ２には局所排気ユニットを装置していないものとして図示されていない。
【０１１６】
図１６において、薄板状物処理室３内の上方部には、ファン８とＵＬＰＡ・ＨＥＰＡフィルタ等より成る高性能フィルタ９およびケミカルフィルタ１０より成るＦＦＵ１１が設けられ、該ＦＦＵ１１より清浄空気１２を薄板状物処理室３の清浄空間部１３内に層流状に送気して陽圧を維持するよう形成されると共に、前記薄板状物処理室３の下流側には、排気誘導管３０を介在させて局所排気ユニット１４ｐが連結されている。また、清浄空間部１３内の下流側の、枠状またはスリット状の排気開口１５を備えた支持架台１６上には、薄板状物処理部２９が載置されている。
【０１１７】
なお、前記ＦＦＵ１１を構成する高性能フィルタ９は、微粒子を除去するため、必ず備える必要があるが、更に有害ガスをも除去する必要がある場合は、前記高性能フィルタ９と有害ガスを除去するケミカルフィルタ１０とを組合わせ設置する。図１６においては、高性能フィルタ９とケミカルフィルタ１０とを組合わせ設置したものが図示されている。
【０１１８】
前記局所排気ユニット１４ｐは、クリーンルーム１のグレーチング３１の下面の床下ピット３２内に設置されており、且つ該局所排気ユニット１４ｐは、前記薄板状物処理部２９を載置した支持架台１６の下流側のグレーチング３１上に、上面に通気開口３３を備えた吸込みボックス３４が設置されると共に、該吸込みボックス３４の底板３５およびグレーチング３１とを貫通して、前記吸込みボックス３４とファン設置室２０とを排気誘導管３０を介在せしめて連結する一方、前記ファン設置室２０に吸引用ファン２２を設置し、且つ該吸引用ファン２２の下流側にＵＬＰＡ・ＨＥＰＡフィルタ等より成る微粒子を除去する高性能フィルタ２３を、または微粒子を除去すると共に、有害ガスを除去する必要がある場合は、前記高性能フィルタ２３とケミカルフィルタ２４とを組合わせ設置して形成されている。以下の説明は、高性能フィルタ２３とケミカルフィルタ２４とを組合わせ設置したものとして説明する。
【０１１９】
前記構成より成る本発明実施例１６の薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の作用について説明すると、薄板状物処理部２９を設置した薄板状物処理室３の清浄空間部１３内にＦＦＵ１１から清浄空気１２を層流状に送気すると共に、局所排気ユニット１４ｐの吸引用ファン２２を駆動すると、ＦＦＵ１１からの層流状の清浄空気１２が内部構造物に当たって、一瞬、該層流状の空気流がバウンドして、乱れそうになるが、使用済みの清浄空気１２'は、吸引用ファン２２によって吸引されて、排気開口１５から吸込まれて垂直状態で引張られるので、前記層流状の清浄空気１２の流れが乱れず、乱流を生ずることなく、薄板状物処理室３内の微粒子および有害ガスが巻上げられることがなく、また、ウエハが前記微粒子および有害ガスによって汚染されることがないので、ウエハの生産歩留まりの低下を防止できる。
【０１２０】
そして、薄板状物処理室３内の微粒子および有害ガスは、前記局所排気ユニット１４ｐを構成する吸引用ファン２２によって、前記排気誘導管３０を介して吸引されて、高性能フィルタ２３およびケミカルフィルタ２４によって除去され、該薄板状物処理室３内の微粒子および有害ガスを処理して、床下ピット３２から清浄空気となってクリーンルーム１内に排気されるので、該クリーンルーム１を微粒子および有害ガスで汚染させることもない。そして、その他の作用および効果については、前記実施例４と同一であるので説明を省略する。
【０１２１】
なお、図示していないが、前記実施例１３〜１５の薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の各局所排気ユニット１４ｍ〜１４ｏを、前記実施例１６と同様に、クリーンルーム１のグレーチング３１の下面の床下ピット３２内に設置すると共に、該局所排気ユニット１４ｍ〜１４ｏの各ファン設置室２０と、各薄板状物処理室３の各排気ガイド室２１とを連結する各排気誘導管３０を、グレーチング３１を貫通して設けてもよい。
【０１２２】
なお、実施例５〜８を示す図５〜図８、および実施例１３〜１６を示す図１３〜図１６には図示していないが、ＥＦＥＭ２に実施例１〜４による局所排気ユニット１４ａ〜１４ｄ、および実施例９〜１２による局所排気ユニット１４ｉ〜１４ｌのいずれかを設置すると共に、薄板状物処理室３に実施例５〜８による局所排気ユニット１４ｅ〜１４ｈ、および実施例１３〜１６による局所排気ユニット１４ｍ〜１４ｐのいずれかを設置してもよく、その組合せは任意である。
【０１２３】
また、前記実施例１〜１６に示す各局所排気ユニット１４ａ〜１４ｐは、いずれもＥＦＥＭ２および／または薄板状物処理室３に最初から取付けることができるし、また後付けで取付けることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１２４】
【図１】本発明薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の実施例１を示す側面側から見た概略縦断面図である。
【図２】本発明薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の実施例２を示す正面側から見た概略縦断面図である。
【図３】本発明薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の実施例３を示す正面側から見た概略縦断面図である。
【図４】本発明薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の実施例４を示す正面側から見た概略縦断面図である。
【図５】本発明薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の実施例５を示す側面側から見た概略縦断面図である。
【図６】本発明薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の実施例６を示す正面側から見た概略縦断面図である。
【図７】本発明薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の実施例７を示す正面側から見た概略縦断面図である。
【図８】本発明薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の実施例８を示す正面側から見た概略縦断面図である。
【図９】本発明薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の実施例９を示す側面側から見た概略縦断面図である。
【図１０】本発明薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の実施例１０を示す側面側から見た概略縦断面図である。
【図１１】本発明薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の実施例１１を示す側面側から見た概略縦断面図である。
【図１２】本発明薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の実施例１２を示す側面側から見た概略縦断面図である。
【図１３】本発明薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の実施例１３を示す側面側から見た概略縦断面図である。
【図１４】本発明薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の実施例１４を示す側面側から見た概略縦断面図である。
【図１５】本発明薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の実施例１５を示す側面側から見た概略縦断面図である。
【図１６】本発明薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置の実施例１６を示す側面側から見た概略縦断面図である。
【図１７】従来の薄板状物製造装置における、微粒子、または微粒子並びに有害ガスの除去を目的とする空気清浄装置を側面側から見た概略縦断面図である。
【符号の説明】
【０１２５】
１      クリーンルーム
２      ＥＦＥＭ
３      薄板状物処理室
４      薄板状物製造装置
５      前方側壁面
６      ＦＯＵＰ
７      開口部
８      ファン
９      高性能フィルタ
１０    ケミカルフィルタ
１１    ＦＦＵ
１２    清浄空気
１２'    使用済みの清浄空気
１３    清浄空間部
１４ａ〜１４ｐ    局所排気ユニット
１５    排気開口
１６    支持架台
１６ａ  底壁
１７    底板
１８    排気通路
１９    区画壁
２０    ファン設置室
２１    排気ガイド室
２２    吸引用ファン
２３    高性能フィルタ
２４    ケミカルフィルタ
２５    側面側壁面
２６    床面
２７    底板
２８    排気誘導路
２９    薄板状物処理部
３０    排気誘導管
３１    グレーチング
３２    床下ピット
３３    通気開口
３４    吸込みボックス
３５    底板
３６    後方側壁面
３７    側面側壁面
【図１】
2008296069.tif 000003
【図２】
2008296069.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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