(57)【要約】【課題】  径１０μｍ以下の微細なコンタクトホールを有するカラーフィルタを備える基板を配設した液晶表示装置の製造方法を提供すること。【解決手段】  （ａ）液晶表示装置の一方の基板上に、３３０ｎｍ以下の最大吸収波長を示す重合開始剤を含有する感光性着色組成物を塗布して、感光性着色層を形成する工程、（ｂ）２３０ｎｍ〜３３０ｎｍの波長を含む光源を用いて前記感光性着色層を露光する工程、及び（ｃ）前記感光性着色層を現像して、１０μｍ以下の径のコンタクトホールを有するカラーフィルタを形成する工程を具備することを特徴とする。【選択図】  図１
2008292603.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）液晶表示装置の一方の基板上に、３３０ｎｍ以下の最大吸収波長を示す重合開始剤を含有する感光性着色組成物を塗布して、感光性着色層を形成する工程、
（ｂ）２３０ｎｍ〜３３０ｎｍの波長を含む光源を用いて前記感光性着色層を露光する工程、及び
（ｃ）前記感光性着色層を現像して、１０μｍ以下の径のコンタクトホールを有するカラーフィルタを形成する工程
を具備することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項２】
前記重合開始剤が、アセトフェノン系光重合開始剤及び／又はスルホニウム有機ホウ素錯体であることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項３】
前記アセトフェノン系光重合開始剤とスルホニウム有機ホウ素錯体の比率が１：９〜９：１であることを特徴とする請求項２に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項４】
前記基板が、液晶を駆動するアクティブ素子の配設されたアレイ基板であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項５】
請求項４に記載のアレイ基板を備えたことを特徴とする液晶表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置及びその製造方法に係り、特に、微細なパターンのカラーフィルタを正確に形成することを可能とする液晶表示装置の製造方法及びそれによって得られた液晶表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
カラー液晶表示装置は、一般に、図３に示すように、アレイ基板１とカラーフィルタ基板２との間に液晶３を封入して構成される。アレイ基板１は、透明基板１１ａ上にＴＦＴ１２、透明電極１３ａ、及び配向膜（図示せず）を形成してなり、その反対側の面には偏光膜１４ａが設けられている。
【０００３】
カラーフィルタ基板２は、透明基板１１ｂの液晶側が多数の画素領域に区分され、画素領域と画素領域の境界に位置する画素間部位に遮光膜１５を設け、画素領域のそれぞれに、カラーフィルタを構成する透明着色層１６を配置し、更にその上に、オーバーコート層１７、透明電極１３ｂ、及び配向膜（図示せず）を形成してなる。透明着色層１６は、画素ごとに透過光を着色するもので、一般に、光の三原色に相当する赤色（Ｒ），緑色（Ｇ），青色（Ｂ）の三色の透明着色層が画素ごとに配列されている。なお、前記遮光膜１５は、これら各色に着色された透過光の混色を防止するものである。なお、透明基板１１ｂの画面観察者側には偏光膜１４ｂが積層されている。
【０００４】
また、アレイ基板１の外側には、バックライト１８が配置されている。
【０００５】
このような構成を有する液晶表示装置において、アレイ基板側の透明電極１３ａとカラーフィルタ基板側の透明電極１３ｂとの間に画素ごとに電圧を印加して光の透過・不透過を制御して、その透過光を表示光として画面表示する。
【０００６】
カラーフィルタ基板２における透明着色層１６の形成方法には種々の方法が知られているが、今日、もっとも一般的に用いられているのは、ネガ型感光性着色組成物の塗布膜をプロキシミティーアライナーによる近接露光方式で露光し、次いで現像して形成する方法（以下、フォトリソ工程と称する）である。すなわち、遮光膜１５を形成した透明基板１１ｂに感光性着色組成物を塗布し、この塗布膜に対し、透明着色層１６に対応するパターン形状の遮光層を備えるフォトマスクを数十〜数百μｍの間隔を隔てて配置し、このフォトマスクを介して塗布膜に紫外線を照射して、前記塗布膜を選択的に露光・硬化させる。そして、現像液で現像して未露光部位（未硬化部位）を除去することにより、透明着色層１５を形成するものである。なお、この工程を、各色の感光性着色組成物について繰り返すことにより、三色の透明着色層１６を形成することができる。
【０００７】
高精細液晶ディスプレイあるいはモバイル用途の液晶ディスプレイでは、視差の影響をなくし、広い視野角を確保するために、図４に示すように、ＴＦＴなどの液晶を駆動するアクティブ素子を有するアレイ基板１の側にカラーフィルタを配設する構造の採用が進んできている。すなわち、図３に示す構成のように、透明着色層１６をアレイ基板１の反対側の基板に配設する構成では、バックライト１８からの角度を持った光１９や反射型の場合の反射光２０が隣接する異色の画素を通過することになり、暗い表示や混色を発生しやすいという問題がある。
【０００８】
しかし、図４に示すように、アレイ基板１の側に透明着色層１６を配設する構成では、透明電極１２ａとＴＦＴ１２との電気的接続をとるために、コンタクトホール２１が必要となる。従って、モバイル向け液晶表示装置に代表されるように、高精細化が求められるディスプレイでは、コンタクトホール２１の高精細化も必要となってきている。例えば、２．４インチ型の携帯電話で従来の解像度がＱＶＧＡ（３２０×２４０画素）であったものが、ＶＧＡ（６４０×４８０画素）の解像度となった場合、ＲＧＢ材料層の１画素の幅が約７５μｍから約２５μｍにまで狭くなることになる。従って、２５μｍ幅の画素内に形成されるコンタクトホールも、より小さいもの、例えば、直径１０μｍあるいはそれ以下の大きさである必要がある。
【０００９】
コンタクトホールの影響は、その面積（半径の自乗）で効いてくるため、前記モバイル向けでは、表示への悪影響をさけるため、また、アライメント誤差（±５〜３μｍ）を吸収するため、直径１０μｍ以下のサイズのコンタクトホールが要求されている。
【００１０】
しかしながら、このような高精細なコンタクトホールを有する透明着色層を形成するため、微細なパターン形状の遮光層を備えるフォトマスクを介して紫外線を照射して露光すると、そのフォトマスクの遮光層の端部から回折光が発生し、ネガ型感光性着色組成物の塗布膜がこの回折光に感光するため、そのコンタクトホール径を正確に制御できないという問題が生じていた。
【００１１】
一般に、回折光の強度は透過光（０次回折光）の光強度より小さいので、この強度差を利用してコンタクトホール径を正確に制御する方法も考えられる。すなわち、ネガ型感光性着色組成物に対する露光量の常用対数を横軸とし、現像後残膜率を縦軸としてプロットして得られた露光感度曲線では、立ち上がりの角度θの正接ｔａｎθが大きいほど、現像後の露光部と未露光部のコントラストが大きくなり、従って、その解像度が向上するのである。このことは、例えば、非特許文献１及び２に記載されている。
【００１２】
そして、この原理を利用して、必要な最小限の露光量で露光すれば、ネガ型感光性着色組成物の塗布膜は、透過光（０次回折光）に感光し、他方、これより強度の弱い回折光には感光しない。そして、これを現像すれば、露光部と非露光部とで残膜率が異なる透明着色層を形成することができ、したがって、微細な径のコンタクトホールを正確に形成することが可能になると考えられる。
【００１３】
他方、プロキシミティーアライナーによる近接露光方式において、解像度（Ｒ）は露光波長（λ）と露光ギャップ（Ｄ）の積の平方根に比例する（Ｒ∝√（λ・Ｄ））ことが知られており、露光ギャップを狭くすることによってもコンタクトホール径を正確に制御できると考えられる。すなわち、前記透明基板１１ａに塗布した感光性着色組成物膜と、前記フォトマスクとの間隔を通常の数十〜数百μｍからさらに近づけて露光することで、フォトマスクのパターンを忠実に再現でき、微細な径のコンタクトホールを正確に形成することが可能になると考えられる。
【非特許文献１】「最新高分子材料・技術総覧」、３７（１９８８）石川ら：テック出版
【非特許文献２】サイエンスフォーラム「有機エレクトロニクス材料」、１５（１９８６）谷口ら
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
しかしながら、本発明者の検討によれば、以上のようなｔａｎθの制御だけでは、径１０μｍあるいはそれ以下の大きさのコンタクトホールを正確に形成することは困難であった。また露光ギャップを狭くする方法は、マスク破損や共通欠陥などの歩留まり低下につながるため、数十μｍまでという限界があった。このため、微細な径のコンタクトホールを正確に形成することは困難であった。
【００１５】
本発明の目的は、ＴＦＴなどの液晶を駆動する電気的素子を配設したアレイ基板において、径１０μｍあるいはそれ以下の微細なコンタクトホールを有する透明着色層を形成することを可能とする液晶表示装置の製造方法、及びそれにより製造された液晶表示装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記課題を解決するため、本発明の第１の態様は、（ａ）液晶表示装置の一方の基板上に、３３０ｎｍ以下の最大吸収波長を示す重合開始剤を含有する感光性着色組成物を塗布して、感光性着色層を形成する工程、（ｂ）２３０ｎｍ〜３３０ｎｍの波長を含む光源を用いて前記感光性着色層を露光する工程、及び（ｃ）前記感光性着色層を現像して、１０μｍ以下の径のコンタクトホールを有するカラーフィルタを形成する工程を具備することを特徴とする液晶表示装置の製造方法を提供する。
【００１７】
このような液晶表示装置の製造方法において、前記重合開始剤として、アセトフェノン系光重合開始剤及び／又はスルホニウム有機ホウ素錯体を用いることができる。この場合、前記アセトフェノン系光重合開始剤とスルホニウム有機ホウ素錯体の比率を１：９〜９：１とすることができる。
【００１８】
前記カラーフィルタが形成される基板を、液晶を駆動するアクティブ素子の配設されたアレイ基板とすることができる。
【００１９】
本発明の第２の態様は、前記アレイ基板を備えたことを特徴とする液晶表示装置を提供する。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、10μm以下の径のコンタクトホールを有する透明着色層を精度良く形成することが可能である。そして、このため、コンタクトホールによる画質低下のない高解像度・高精細な液晶表示装置を製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
【００２２】
図１は、本発明の一実施形態に係るカラー液晶表示装置の構成を概略的に示す断面図である。図１において、カラー液晶表示装置は、アレイ基板１と対抗基板２との間に液晶３を封入して構成される。アレイ基板１は、透明基板１１ａ上に液晶を駆動するアクティブ素子であるＴＦＴ１２を設け、その上にカラーフィルタを構成する透明着色層１６及び透明電極１３ａを形成することにより構成されている。また、透明着色層１６にはコンタクトホール２１が形成され、このコンタクトホール２１を通してＴＦＴ１２と透明電極１３ａとが電気的に接続されている。なお、透明基板１１ａの反対側（背面側）には、偏光膜１４ａが配置されている。
【００２３】
透明着色層１６は、画素ごとに透過光を着色するもので、一般に、光の三原色に相当する赤色（Ｒ），緑色（Ｇ），青色（Ｂ）の三色の画素が配列されている。
【００２４】
対向電極２は、透明基板１１ｂ上に遮光膜１５及び透明電極１３ｂを形成してなり、その反対側には偏光膜１４ｂが配置されている。
【００２５】
そして、アレイ基板１の側の透明電極１３ａと対向基板側の透明電極１３ｂとの間に画素ごとに電圧を印加して光の透過・不透過を制御して、その透過光を表示光として画面表示する。
【００２６】
以上のように構成される液晶表示装置において、アレイ基板１に設けられた透明着色層１６からなるカラーフィルタは、アレイ基板１上に、３３０ｎｍ以下の最大吸収波長を示す重合開始剤を含有する感光性着色組成物を塗布して、感光性着色層を形成する工程、２３０ｎｍ〜３３０ｎｍの波長を含む光源を用いて感光性着色層を露光する工程、及び露光された感光性着色層を現像することにより形成される。
【００２７】
このような方法によると、感光性着色組成物が最大吸収波長が３３０ｎｍ以下の重合開始剤を少なくとも一種含有するため、従来の３６５ｎｍ（以下ｉ線と称する）を中心とする露光輝線より短波長の光で硬化させることができ、強度の弱い回折光による硬化が低減できることから、露光ギャップを狭くすることなく解像度を向上させることが可能となる。そのため、１０μｍ以下の径の微細なコンタクトホールを有する透明着色層を精度良く形成することが可能となる。
【００２８】
本発明者は、鋭意検討した結果、前述するように、最大吸収波長が３３０ｎｍ以下の重合開始剤を含む感光性着色組成物を用いることにより、径１０μｍあるいはそれ以下の微細なコンタクトホールを有する透明着色層を正確に形成できることを見出した。しかも、このような感光性着色組成物は、露光感度が高く、透明着色層の断面形状をテーパ形状に制御しやすいなどの利点を兼ね備えている。すなわち、より有効な電気的接続のため、コンタクトホールにテーパを付与することも可能である。
【００２９】
重合開始剤としては、アセトフェノン系光重合開始剤やスルホニウム有機ホウ素錯体、又はその混合物を好ましく用いることができる。アセトフェノン系光重合開始剤とスルホニウム有機ホウ素錯体の混合物を用いる場合、その比率は、１：９〜９：１であることが望ましい。
【００３０】
なお、γ及び現像後残膜率０となる露光量を制御するには、感光性着色組成物に適切な量の重合禁止剤を添加すれば良い。重合禁止剤としては、ハイドロキノン又はメトキノンを好ましく利用することができる。
【００３１】
透明着色層に径１０μｍあるいはそれ以下の微細なコンタクトホールを正確に形成するためには、より波長が短い露光光源を用いる方がよいが、露光ランプの特性上、波長を短くすると露光照度も低下するといった欠点がある。また、感光性着色組成物のもつ感光波長も光源の波長に合わせて最適化する必要があったが、これらの事情を鑑みて、露光照射面積を多く必要とするカラーフィルタ製造用露光ランプとして、２３０ｎｍから３３０ｎｍ、より好ましくは２５４ｎｍの波長の光を含むものが好適に利用できる。
【００３２】
以上のように、本実施形態に係る方法によれば、径１０μm以下の微細なコンタクトホールを有する透明着色層を形成することができるので、このような透明着色層からなるカラーフィルタを備える基板を用いることにより、高精細な液晶表示装置を提供することが可能となる。なお、本実施形態では、便宜的に、高精細なカラーフィルタの用途としてモバイルなどに多い液晶表示装置を例示しているが、径１０μｍ以下の微細な開口部に限らず、露光用マスクの微細なパターンを忠実に再現する目的で適用できるものであればどの用途に用いてもよい。なお、液晶表示装置は、反射型や半透過型の液晶表示装置であっても良い。
【００３３】
本実施形態において、透明着色層の形成に使用される感光性着色組成物は、必須成分として、光重合性モノマー、樹脂バインダー、重合開始剤、着色剤、及び溶剤を含有する。その他、重合禁止剤を含有することもできる。また、分散剤、光増感剤、及び連鎖移動剤等の添加剤を含有してもよい。
【００３４】
少なくとも１つの重合開始剤は、３３０ｎｍ以下の最大吸収波長を有するものである必要がある。この最大吸収波長は、（Ａ）光重合性モノマー、（Ｂ）樹脂バインダー、（Ｃ）重合開始剤、及び（Ｅ）溶剤を含有する感光性組成物を基材に塗布して得られる塗布膜の分光スペクトルを、紫外可視分光光度計などの光度計を用いて計測することにより、容易に実験的に求めることができる。
【００３５】
次に、本実施形態に用いる感光性着色組成物を構成する各成分について説明する。
【００３６】
（光重合性モノマー）
光重合性モノマーは、露光光線の照射によって重合し、感光性着色組成物の塗布膜を現像液不溶性に変化させるものである。一般には、ラジカルにより重合が誘起されるモノマーである。
【００３７】
このような光重合性モノマーとしては、水酸基を有する（メタ）アクリレートと多官能イソシアネートを反応させて得られる多官能ウレタンアクリレートを用いることができる。
【００３８】
水酸基を有する（メタ）アクリレートとしては、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールエチレンオキサイド変性ペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールプロピレンオキサイド変性ペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールカプロカラクトン変性ペンタ（メタ）アクリレート、グリセロールアクリレートメタクリレート、グリセロールジメタクリレート、２−ヒドロキシ−３−アクリロイルプロピルメタクリレート、エポキシ基含有化合物とカルボキシ（メタ）アクリレートの反応物、水酸基含有ポリオールポリアクリレート等が挙げられる。
【００３９】
また、多官能イソシアネートとしては、トリレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、ジフェニルメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ポリイソシアネート等が挙げられる。
【００４０】
なお、現像性、基板上に塗布し、乾燥させた後のタック性、組成物の安定性の観点から、感光性着色組成物中の光重合性モノマーの含有量は、組成物の総量１００重量％に対して２０重量％以下であることが好ましい。また、露光感度、得られるパターンの解像性及び耐溶剤性の観点から、１重量％以上であることが好ましい。
【００４１】
（樹脂バインダー）
樹脂バインダーは、未露光の感光性着色組成物の塗布膜を透明基板に接着させて固定すると共に、現像の際に現像液に溶解するものである。感光性のない樹脂であっても良いし、感光性のある樹脂であっても良い。
【００４２】
現在、現像液としては、環境に対する影響の少ないアルカリ現像液が多く使用されている。このため、樹脂バインダーとしては、アルカリ可溶型の樹脂を使用することが望ましい。例えば、カルボキシル基、スルホン基等の酸性官能基を有する非感光性樹脂である。このような非感光性樹脂としては、アクリル樹脂、α−オレフィン−（無水）マレイン酸共重体、スチレン−（無水）マレイン酸共重合体、スチレン−スチレンスルホン酸共重合体、エチレン−（メタ）アクリル酸共重合体、イソブチレン−（無水）マレイン酸共重合体等が挙げられる。好ましくは、アクリル樹脂、α−オレフィン−（無水）マレイン酸共重合体、スチレン−スチレンスルホン酸共重合体がよい。これらの中でも特に、アクリル樹脂は耐熱性、透明性が高いことから、好適に用いられる。また、重量平均分子量が１０００〜５０万、好ましくは５０００〜１０万の樹脂が好ましく使用できる。
【００４３】
また、感光性樹脂としては、反応性官能基を有する線状高分子に、この反応性官能基と反応可能な置換基を有する（メタ）アクリル化合物、ケイヒ酸等を反応させて、エチレン不飽和二重結合を該線状高分子に導入した樹脂が挙げられる。また、反応性官能基を有する（メタ）アクリル化合物、ケイヒ酸等に、この反応性官能基と反応可能な置換基を有する線状高分子を反応させて、エチレン不飽和二重結合を該線状高分子に導入した樹脂が挙げられる。前記反応性官能基としては、水酸基、カルボキシル基、アミノ基等が例示でき、この反応性官能基と反応可能な置換基としては、イソシアネート基、アルデヒド基、エポキシ基等が例示できる。
【００４４】
また、スチレン−無水マレイン酸共重合物やα−オレフィン−無水マレイン酸共重合物等の酸無水物を含む線状高分子を、ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート等の水酸基を有する（メタ）アクリル化合物によりハーフエステル化したものも、感光性樹脂として使用できる。
【００４５】
これら感光性樹脂は、重量平均分子量が５０００〜１０万のものが好適である。
【００４６】
（着色剤）
着色剤は、透明着色層を着色して、液晶表示装置の表示光を着色するものである。着色剤としては、顔料や染料を利用することができるが、耐久性に優れている点で、顔料を使用することが望ましい。顔料としては、有機顔料と無機顔料のいずれであっても良いが、有機顔料が好ましく使用できる。また、その配合量は特に限定されるものではないが、感光性着色組成物の総量１００重量％に対して、１〜２０重量％程度であることが好ましい。
【００４７】
以下に、着色層用の有機顔料の具体例をカラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）ナンバーで示す。
【００４８】
Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ：  ＜Ｃ．Ｉ＞１，１：２，１：ｘ，９：ｘ，１５，１５：１，１５：２，１５：３，１５：４，１５：５，１５：６，１６，２２，２４，２４：ｘ，５６，６０，６１，６２，８０
Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ：  ＜Ｃ．Ｉ＞１，１：ｘ，３，３：３，３：ｘ，５：１，１９，２３，２７，２９，３０，３２，３７，４０，４２，５０
Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ：  ＜Ｃ．Ｉ＞１，１：ｘ，２，２：ｘ，４，７，１０，３６，３７
Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｏｒａｎｇｅ：  ＜Ｃ．Ｉ＞２，５，１３，１６，１７：１，３１，３４，３６，３８，４３，４６，４８，４９，５１，５２，５５，５９，６０，６１，６２，６４，７１，７３
Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ：＜Ｃ．Ｉ＞１，２，３，４，５，６，７，９，１０，１４，１７，２２，２３，３１，３８，４１，４８：１，４８：２，４８：３，４８：４，４９，４９：１，４９：２，５２：１，５２：２，５３：１，５７：１，６０：１，６３：１，６６，６７，８１：１，８１：３，８１：ｘ，８３，８８，９０，９７，１１２，１１９，１２２，１２３，１４４，１４６，１４９，１６６，１６８，１６９，１７０，１７１，１７２，１７５，１７６，１７７，１７８，１７９，１８０，１８４，１８５，１８７，１８８，１９０，１９２，２００，２０２，２０６，２０７，２０８，２０９，２１０，２１５，２１６，２１７，２２０，２２３，２２４，２２６，２２７，２２８，２４０，２４６，２５４，２５５，２６４，２７２，２７９
Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ：  ＜Ｃ．Ｉ＞１，２，３，４，５，６，１０，１２，１３，１４，１５，１６，１７，１８，２０，２４，３１，３２，３４，３５，３５：１，３６，３６：１，３７，３７：１，４０，４２，４３，５３，５５，６０，６１，６２，６３，６５，７３，７４，７７，８１，８３，８６，９３，９４，９５，９７，９８，１００，１０１，１０４，１０６，１０８，１０９，１１０，１１３，１１４，１１５，１１６，１１７，１１８，１１９，１２０，１２３，１２５，１２６，１２７，１２８，１２９，１３７，１３８，１３９，１４４，１４６，１４７，１４８，１５０，１５１，１５２，１５３，１５４，１５５，１５６，１６１，１６２，１６４，１６６，１６７，１６８，１６９，１７０，１７１，１７２，１７３，１７４，１７５，１７６，１７７，１７９，１８０，１８１，１８２，１８５，１８７，１８８，１９３，１９４，１９９，２１３，２１４
また、上記有機顔料と組み合わせて、彩度と明度のバランスを取りつつ良好な塗布性、感度、現像性等を確保するために、無機顔料を組み合わせて用いることも可能である。無機顔料としては、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら（赤色酸化鉄（ＩＩＩ））、カドミウム赤、群青、紺青、酸化クロム緑、コバルト緑等の金属酸化物粉、金属硫化物粉、金属粉等が挙げられる。さらに、調色のため、耐熱性を低下させない範囲内で染料を添加することもできる。
【００４９】
（分散剤）
着色剤として顔料を使用する場合には、この顔料を分散させるための分散剤を含有させることが望ましい。分散剤としては、界面活性剤、顔料の中間体、染料の中間体、ソルスパース等が使用される。分散剤の添加量は特に限定されるものではないが、顔料の配合量１００重量％に対して、１〜１０重量％とすることが好ましい。
【００５０】
（重合開始剤）
重合開始剤としてはアセトフェノン系光重合開始剤、もしくはスルホニウム有機ホウ素錯体が好適に使用できる。アセトフェノン系光重合開始剤の具体例としては、ジエトキシアセトフェノン、４−ｔ−ブチル−ジクロロアセトフェノン、４−フェノキシジクロロアセトフェノン、１−（４−イソプロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オン、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノプロパン−１−オン、１−［４−（２−ヒドロキシエトキシ）−フェニル］−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン等が挙げられる。スルホニウム有機ホウ素錯体は、下記一般式（１）で表されるものである。
【化１】
2008292603.tif 000003
［式（１）において、Ｒ１は、ベンジル基、置換されたベンジル基、フェナシル基、置換されたフェナシル基、アリールオキシ基、置換されたアリールオキシ基、アルケニル基、置換されたアルケニル基から選ばれる基を表し、Ｒ２およびＲ３は、それぞれ独立に、Ｒ１ を構成できる基と同じ基か、またはアルキル基、置換されたアルキル基、アリール基、置換されたアリール基、アラルキル基、置換されたアラルキル基、アルキニル基、置換されたアルキニル基、脂環基、置換された脂環基、アルコキシ基、置換されたアルコキシ基、アルキルチオ基、置換されたアルキルチオ基、アミノ基、置換されたアミノ基、またはＲ２とＲ３が相互に結合した環状構造を表し、Ｒ４は酸素原子または孤立電子対を表し、Ｒ５、Ｒ６、Ｒ７およびＲ８は、それぞれ独立に、アルキル基、置換されたアルキル基、アリール基、置換されたアリール基、アラルキル基、置換されたアラルキル基、アルキニル基、置換されたアルキニル基を表す（但し、Ｒ５、Ｒ６、Ｒ７およびＲ８の全てが、アリール基または置換されたアリール基となることはない。）］
また、このアセトフェノン系光重合開始剤、もしくはスルホニウム有機ホウ素錯体またはオキソスルホニウム有機ホウ素錯体に加えて、他の重合開始剤を併用することもできる。このような重合開始剤としては、例えば、オキシムエステル系化合物、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、チオキサンソン系化合物、トリアジン系化合物、ホスフィン系化合物、キノン系化合物、カルバゾール系化合物、イミダゾール系化合物、チタノセン系化合物等が挙げられる。
【００５１】
また、オキシムエステル系化合物としては、１，２−オクタンジオン，１−〔４−（フェニルチオ）−，２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）〕、Ｏ−（アセチル）−Ｎ−（１−フェニル−２−オキソ−２−（４’−メトキシ−ナフチル）エチリデン）ヒドロキシルアミンである。
【００５２】
ベンゾイン系化合物としては、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンジルジメチルケタール等が例示できる。
【００５３】
ベンゾフェノン系化合物としては、ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、ベンゾイル安息香酸メチル、４−フェニルベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、アクリル化ベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４’−メチルジフェニルサルファイド等が例示できる。
【００５４】
チオキサンソン系化合物としては、チオキサンソン、２−クロルチオキサンソン、２−メチルチオキサンソン、イソプロピルチオキサンソン、２，４−ジイソプロピルチオキサンソン等が例示できる。
【００５５】
トリアジン系化合物としては、２，４，６−トリクロロ−ｓ−トリアジン、２−フェニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−トリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−ピペニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−スチリルｓ−トリアジン、２−（ナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−メトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４−トリクロロメチル−（ピペロニル）−６−トリアジン、２，４−トリクロロメチル（４’−メトキシスチリル）−６−トリアジン等が例示できる。
【００５６】
ホスフィン系化合物としては、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイド、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド等が例示できる。
【００５７】
また、キノン系化合物としては、９，１０−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、エチルアントラキノン等が例示できる。
【００５８】
重合開始剤の使用量は、感光性着色組成物の全固形分量を基準として０．５〜５０重量％が好ましく、より好ましくは３〜３０重量％である。
【００５９】
（光増感剤）
本発明に係る感光性着色組成物には、重合開始剤に加えて光増感剤を添加することが好ましい。
【００６０】
光増感剤としては、アミン系化合物を例示することができる。例えば、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、４−ジメチルアミノ安息香酸メチル、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸２−ジメチルアミノエチル、４−ジメチルアミノ安息香酸２−エチルヘキシル、Ｎ，Ｎ−ジメチルパラトルイジン、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（エチルメチルアミノ）ベンゾフェノン等である。
【００６１】
また、α−アシロキシムエステル、アシルフォスフィンオキサイド、メチルフェニルグリオキシレート、ベンジル、９，１０−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、エチルアンスラキノン、４，４’−ジエチルイソフタロフェノン、３，３’，４，４’−テトラ（ｔ−ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン等を増感剤として使用することもできる。
【００６２】
これら増感剤の使用量は、光重合開始剤と増感剤の合計量を基準として０．５〜６０重量％が好ましく、より好ましくは３〜４０重量％である。
【００６３】
（重合禁止剤）
本実施形態に用いる感光性着色組成物には、重合禁止剤を添加することができる。この重合禁止剤の種類と添加量に応じて、γ（コントラスト）と現像後残膜率０となる露光量とを制御できる点で、その添加は重要である。
【００６４】
重合禁止剤としては、下記化学式（２）で表される化合物が好ましく使用できる。例えば、ハイドロキノン、メトキノン等である。
【化２】
2008292603.tif 000004
【００６５】
なお、式中、Ｒ９は、水酸基又はアルコキシ基を示し、Ｒ１０は、ＣｎＨ２＋１（ｎ＝０〜４）を示す）。
【００６６】
また、これに加えて、ピロガロール、ｔｅｒｔ−ブチルカテコール、塩化第一銅、２，６−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−ｐ−クレゾール等を使用することもできる。
【００６７】
重合禁止剤の使用量としては、感光性着色組成物の全固形分量を基準として０．００１〜０．０５０重量％が好ましい。０．００１重量％以下では重合禁止剤の添加効果が不十分であり、０．０５０重量％を越えると感度の低下が生じ、逆効果である。
【００６８】
（連鎖移動剤）
また、本実施形態に用いる感光性着色組成物には、連鎖移動剤としての働きをする多官能チオールを含有させることができる。多官能チオールは、チオール基を２個以上有する化合物であればよく、例えば、ヘキサンジチオール、デカンジチオール、１，４−ブタンジオールビスチオプロピオネート、１，４−ブタンジオールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、トリメチロールプロパントリスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリス（３−メルカプトブチレート）、ペンタエリスリトールテトラキスチオグリコレート、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート、トリメルカプトプロピオン酸トリス（２−ヒドロキシエチル）イソシアヌレート、１，４−ジメチルメルカプトベンゼン、２、４、６−トリメルカプト−ｓ−トリアジン、２−（Ｎ，Ｎ−ジブチルアミノ）−４，６−ジメルカプト−ｓ−トリアジン等が挙げられる。
【００６９】
多官能チオールの使用量は、着色組成物の全固形分量を基準として０．１〜３０重量％が好ましく、より好ましくは１〜２０重量％である。０．１重量％未満では多官能チオールの添加効果が不充分であり、３０重量％を越えると感度が高すぎて逆に解像度が低下する。
【００７０】
（溶剤）
溶剤は、透明基板上への均一な塗布を可能とすると共に、着色剤を均一に分散させる機能をゆするものである。溶剤としては、水、有機溶剤等が利用できる。有機溶剤としては、シクロヘキサノン、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、１−メトキシ−２−プロピルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチルベンゼン、エチレングリコールジエチルエーテル、キシレン、エチルセロソルブ、メチル−ｎアミルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテルトルエン、メチルエチルケトン、酢酸エチル、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、ブタノール、イソブチルケトン、石油系溶剤等が挙げられる。
【００７１】
（感光性着色組成物の調製方法）
次に、本実施形態に用いる感光性着色組成物の調製方法について説明する。本実施形態に用いる感光性着色組成物は、公知の方法により調製することができる。例えば、光重合性モノマー、樹脂バインダー、顔料、分散剤及び溶剤とを含む感光性青色着組成物は以下の（１）〜（４）のいずれかの方法により調製することができる。
【００７２】
（１）光重合性モノマー又は樹脂バインダー、あるいはその両者を溶剤に溶解した溶液に、顔料と分散剤を予め混合して調製した顔料組成物を添加して分散させ、残りの成分を添加する。
【００７３】
（２）光重合性モノマー又は樹脂バインダー、あるいはその両者を溶剤に溶解した溶液に、顔料と分散剤を別々に添加して分散させた後、残りの成分を添加する。
【００７４】
（３）光重合性モノマー又は樹脂バインダー、あるいはその両者を溶剤に溶解した溶液に、顔料を分散させた後、顔料分散剤を添加した後、残りの成分を添加する。
【００７５】
（４）光重合性モノマー又は樹脂バインダー、あるいはその両者を溶剤に溶解した溶液を２種類調製し、顔料と分散剤を予め別々に分散させてから、これらを混合し、残りの成分を添加する。なお、顔料と分散剤のうち一方は溶剤にのみ分散させても良い。
【００７６】
ここで、顔料や分散剤の分散は、三本ロールミル、二本ロールミル、サンドミル、ニーダー、ディゾルバー、ハイスピードミキサー、ホモミキサー、アトライター等の各種分散装置を用いて行うことができる。
【００７７】
また、顔料と分散剤を予め混合して顔料組成物を調製する場合、粉末の顔料と粉末の分散剤を単に混合するだけでも良いが、（ａ）ニーダー、ロール、アトライター、スーパーミル等の各種粉砕機により機械的に混合する、（ｂ）顔料を溶剤に分散させた後、分散剤を含む溶液を添加し、顔料表面に分散剤を吸着させる、（ｃ）硫酸等の強い溶解力を持つ溶媒に顔料と分散剤を共溶解した後、水等の貧溶媒を用いて共沈させるなどの混合方法を採用することが好ましい。
【００７８】
（アレイ基板へのカラーフィルタの形成方法）
次に、感光性着色組成物を用いたアレイ基板の形成方法について説明する。
【００７９】
まず、画素間部位に遮光膜を備える透明基板を準備する。ＴＦＴなどアクティブ素子を配設したアレイ基板としては、ガラス基板が好ましい。また、ポリカーボネート、ポリメタクリル酸メチル、ポリエチレンフタレート等の樹脂を基板として使用することもできる。コントラスト確保のためのブラックマトリクスとしての遮光膜は金属の薄膜であって良い。また、ブラックマトリクスとして、黒色顔料を混合した樹脂皮膜を利用することも可能である。反射型や投射型液晶表示向けには、基板をシリコンなど半導体基板としても良い。
【００８０】
アレイ基板上に、前記感光性着色組成物を均一に塗布し乾燥させて塗布膜を形成する。塗布方法としては、スプレーコート法、スピンコート法、ロールコート等が利用できる。
【００８１】
次に、この塗布膜にフォトマスクを重ね、このフォトマスクを介して塗布膜を選択的に露光して、この露光部位を硬化させる。なお、この露光部位は、カラーフィルタ基板の透明着色皮膜のパターン形状に対応するパターンで、コンタクトホールを除く部位である。露光はプロキシミティーアライナーによる近接露光方式で行うことができる。
【００８２】
露光波長は、通常の超高圧水銀灯より得られる紫外線が多く使用されるが、好ましくは２３０ｎｍから３３０ｎｍの露光強度比が高い遠紫外線が用いられ、より好ましくは２５４ｎｍ波長の輝線を含む遠紫外線である（図２）。
【００８３】
なお、露光に先立ち、塗布膜上に水溶性樹脂あるいはアルカリ水溶性樹脂（例えばポリビニルアルコールや水溶性アクリル樹脂等）の溶液を塗布しても良い。これら樹脂の塗布によって、雰囲気中の酸素による重合阻害を抑制することができ、前記塗布膜の感度を向上させることができる。
【００８４】
次に、露光された前記塗布膜を現像する。現像液としては、アルカリ水溶液又は有機アルカリ溶液等のアルカリ現像液が使用できる。アルカリ水溶液としては、炭酸ソーダ、苛性ソーダ等が例示でき、有機アルカリ溶液としては、ジメチルベンジルアミン、トリエタノールアミン等が例示できる。また、必要に応じて消泡剤や界面活性剤が添加された現像液を使用しても良い。
【００８５】
そして、着色剤の色彩を代えて、前記塗布工程から露光・現像工程を繰り返す。すなわち、この繰り返しによって、例えば、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の三色のカラーフィルタを、必要に応じてシアン、マゼンタ、イエローなどの補色のカラーフィルタを、あるいは透明な（白）のカラーフィルタをアレイ基板の画素部位に形成することができる。なお、これらカラーフィルタに加えて、さらに無着色の透明樹脂層を形成し、カラーフィルタ基板とアレイ基板との間隙（セルギャップ）を制御することも可能である。加えて、一定の距離に保つ柱状の凸部やセルギャップに段差を形成するためのスペーサなどの突起や  液晶の配向制御の突起を形成することもできる。
【００８６】
必要に応じ、カラーフィルタ上に  光の散乱膜や透明樹脂層などパターン形成して、これらパターン上に、透明電極と配向膜とを形成してアレイ基板とすることができる。
【００８７】
各色カラーフィルタによる画素領域を、透過部と反射部とに区分するため、光反射性の薄膜（アルミニウム金属などの）反射電極を形成して、反射や半透過型液晶表示装置のアレイ基板として使用しても良い。
【００８８】
なお、ブラックマトリクスは、アレイ基板側と対抗基板側のいずれに配設することも可能であるが、表示のコントラストを確保するためには、対抗基板側に配設することが好ましい。以下の実施例では、対抗基板側に配設した。
【実施例】
【００８９】
以下に、本発明の実施例及び比較例を示し、本発明についてより具体的に説明する。なお、着色組成物例および比較例の記載のなかで、「部」とは「重量部」を意味する。
【００９０】
（青色組成物の調製）
本実施例に用いる感光性の青色着色組成物の調製例を説明する。
【００９１】
下記の組成の混合物を均一に撹拌混合した後、直径１ｍｍのガラスビーズを用いて、サンドミルで５時間分散した後、５μｍのフィルタで濾過し、銅フタロシアニン分散体を作製した。
【００９２】
青用顔料：ε型銅フタロシアニン顔料(C.I. Pigment Blue 15:6)        １２．０部
（ＢＡＳＦ製「ヘリオゲンブルーＬ−６７００Ｆ」）
顔料分散剤（ゼネカ社製「ソルスパース２００００」）                  ２．４部
アクリル樹脂溶液                                                  ２８．１部
シクロヘキサノン                                                  ５７．５部
次いで、下記組成の混合物を均一になるように攪拌混合した後、１μｍのフィルタで濾過して、青色レジスト材として調製した着色組成物を得た。
【００９３】
銅フタロシアニン分散体                                            ４５．０部
アクリル樹脂溶液                                                  １２．５部
トリメチロールプロパントリアクリレート                              ４．８部
（新中村化学社製「ＮＫエステルＡＴＭＰＴ」）
光重合開始剤（チバガイギー社製「イルガキュアー９０７」）            ２．５部
増感剤（保土ヶ谷化学社製「ＥＡＢ−Ｆ」）                            ０．２部
シクロヘキサノン                                                  ３５．０部
［本発明に関わる感光性着色組成物例２〜１２および比較例１〜６］
下記表１に示した各着色組成物例および各比較例の色に相当する顔料を以下の中から選択した。また、顔料、顔料分散剤、アクリル樹脂、モノマー、光重合開始剤、増感剤、有機溶剤の配合量を表１及び表２に示す割合（着色組成物全量を１００とした重量部・溶剤分及び顔料分１００に対する割合）に変更した以外は、実施例１と同様にして各色レジスト材として調製した着色組成物を得た。
【表１】
2008292603.tif 000005
【００９４】
【表２】
2008292603.tif 000006
【００９５】
赤用顔料：ジケトピロロピロール系顔料(C.I. Pigment Red 254)        ５．０８部
（チバガイギー社製「イルガフォーレッドＢ−ＣＦ」）
アントラキノン系顔料(C.I. Pigment Red 177)              ０．８２部
（チバガイギー社製「クロモフタールレッドＡ２Ｂ」）
アントラキノン系顔料(C.I. Pigment Yellow 199)           ０．２０部
（チバガイギー社製「クロモフタールエローＧＴ-ＡＤ」）
計６．１０部
緑用顔料：ハロゲン化銅フタロシアニン系顔料                        ３．６０部
(C.I. Pigment Green 36)（東洋インキ製造社製「リオノールグリーン６ＹＫ」）
ニッケルアゾ錯体系顔料(C.I. Pigment Yellow 150)          ２．００部
（ランクセス社製「Ｅ４ＧＮ」）
計５．６０部
青用顔料：ε型銅フタロシアニン顔料(C.I. Pigment Blue 15:6)        ５．４０部
（ＢＡＳＦ製「ヘリオゲンブルーＬ−６７００Ｆ」）
（感度評価）
各実施例及び比較例において調製した各感光性着色組成物について、その感度を、以下のようにして評価した。
【００９６】
すなわち、はじめに、アレイ基板上に、得られた感光性組成物をスピンコート法により塗布した後乾燥させ、膜厚２．０μｍの塗布膜を形成した。次いで、７０℃で２０分間のプリベークを行なった後、露光光源に遠紫外線を使用したDEEPUV露光機による近接露光方式で、５０μｍの細線パターンを備えたフォトマスクを介して紫外線露光を行なった。露光量は５ｍＪ／ｃｍ2〜５０ｍＪ／ｃｍ2の１０水準とした。
【００９７】
次に、有機アルカリ現像液を用いて現像した後、水洗して、パターニングを完了した。
【００９８】
得られたフィルタセグメントの膜厚を未露光・未現像部分の膜厚（２．０μｍ）で割ってその残膜率を算出した。そして、横軸を露光量の常用対数、縦軸を現像後残膜率として露光感度曲線をプロットした。得られた露光感度曲線から、露光感度曲線の立ち上がり始めの露光量を立ち上がり露光量、残膜率が８５％以上に達する最小露光量を飽和露光量とした。
【００９９】
（感光性着色組成物のパターニング性能評価）
各実施例及び比較例において調製した各感光性着色組成物について、そのパターニング性能を、以下のようにして評価した。
【０１００】
すなわち、はじめに、ガラス基板上に、得られた感光性着色組成物をスピンコート法により塗布した後乾燥させ、膜厚２．０μｍの塗布膜を形成した。次に、７０℃で２０分間のプリベークを行なった後、露光光源に遠紫外線を使用したDEEP UV露光機による近接露光方式で、幅６〜２０μｍの８角形のホールパターンを備えたフォトマスクを介して遠紫外線露光を行なった。露光量は前記で述べた飽和露光量でおこなった。
【０１０１】
次に、有機アルカリ現像液を用いてシャワー現像した後、水洗して、パターニングを完了した。現像時間は、それぞれ、未露光の塗布膜を洗い流すのに適正な時間とした。次に、２３０℃で６０分間加熱処理をして試験用基板を製造した。
【０１０２】
そして、得られた透明着色層のコンタクトホールの微細性について、（１）最小解像度（コンタクトホール径）、（２）コンタクトホールの内壁の断面形状により評価した。
【０１０３】
（１）については、光学顕微鏡を用いて、下記の基準で評価した。
【０１０４】
○：コンタクトホール内に色残りがない
×：コンタクトホール内に色残りがある
また、（２）については、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いて、下記の基準で評価した。
【０１０５】
○：順テーパー形状もしくはノンテーパー形状
×：逆テーパー形状
得られた結果を下記表３及び表４に示す。
【表３】
2008292603.tif 000007
【０１０６】
【表４】
2008292603.tif 000008
【０１０７】
上記表３及び表４に示すように、３３０nm以下に最大吸収波長を有する重合開始剤を含有する感光性着色組成物を調製した実施例１〜１２では、いずれもコンタクトホール径８μmまでの大きさのコンタクトホールを正確に形成できるとともに、断面形状が良好であることが確認できた。
【０１０８】
なお、重合開始剤として、特に、スルホニウム有機ホウ素錯体単独、又はアセトフェノン系光重合開始剤とスルホニウム有機ホウ素錯体の混合物を用いた場合（実施例２、４〜７、１１、１２には、コンタクトホール径６μmもの微細なコンタクトホールを正確に形成できることが確認できた。
【０１０９】
これに対し、３３０nmを超える最大吸収波長を有する重合開始剤を含有する感光性着色組成物を調製した比較例１〜６では、いずれも８μm以下の径のコンタクトホールを得ることと、断面形状が良好であることのいずれか一方を満たしていないことがわかる。
【０１１０】
〔アレイ基板への感光性着色組成物の適用〕
ＴＦＴ素子の配設されたアレイ基板上に、前記した青色着色組成物をスピンコート法により塗布し乾燥させ２μｍの青色塗膜を形成した。７０℃で１０分間のプリベークの後、フォトマスクを用いて２５４ｎｍの波長を含むＤＥＥＰＵＶ露光機による近接露光で露光した。  
有機アルカリによる現像にて１／３の画素のＴＦＴ素子上に８μｍ径のコンタクトホールを有する青色のカラーフィルタを形成した。現像工程の後、２００℃で３０分の硬膜処理を行い、青色カラーフィルタとした。
【０１１１】
該青色カラーフィルタを形成したアレイ基板に、青色と同様の工程にて、１／３の画素のＴＦＴ素子上緑色着色組成物を用いて、８μｍ径のコンタクトホールを有する緑色カラーフィルタを形成した。
【０１１２】
２色のカラーフィルタを形成した前記アレイ基板上の残りの１／３の入色部分に、赤色着色組成物を用いて、同様にして８μｍ径のコンタクトホールを有する赤色カラーフィルタを形成した。
【０１１３】
次に、スパッタリング装置を用いて、全面に酸化インジウムと酸化錫の混合酸化物である透明導電膜を形成し、さらに公知のフォトリソグラフィの手法でパターン形成し、ＴＦＴ画素毎の透明電極を形成した。
【０１１４】
このようにして、図１に示すような、微細なコンタクトホールを有するカラーフィルタを備えるアレイ基板を得ることができ、液晶表示装置を製造することができた。
【０１１５】
以上の実施例で製造した図１に示す液晶表示装置では、カラーフィルタ上に直接、透明電極を配設する構成としたが、あらかじめ透明樹脂をカラーフィルタ上に形成しても良い。また、カラーフィルタを配設するアレイ基板に  部分的にアルミニウムなどの光反射性の金属薄膜のパターンを反射電極として形成しても良いし、さらに  カラーフィルタ形成前に透明樹脂や透明な無機膜を形成しても良い。
【図面の簡単な説明】
【０１１６】
【図１】本発明の一実施形態に係る液晶表示装置を示す断面図である。
【図２】輝線スペクトルを示す特性図である。
【図３】従来の構成の液晶表示装置を示す断面図である。
【図４】従来の構成の他の液晶表示装置を示す断面図である。
【符号の説明】
【０１１７】
１…アレイ基板、２…カラーフィルタ基板、３…液晶、１１ａ,１１ｂ…透明基板、１２…ＴＦＴ、１３ａ,１３ｂ…透明電極、１４ａ,１４ｂ…偏光膜、１５…遮光膜、１６…透明着色層、１７…オーバーコート層、１８…バックライト。
【図１】
2008292603.tif 000009
【図２】
2008292603.tif 000010
【図３】
2008292603.tif 000011
【図４】
2008292603.tif 000012