(57)【要約】【課題】非破壊で半導体チップと配線基板の接合の良否を判断することができる半導体装置の製造方法を提供する。【解決手段】本発明に係る半導体装置の製造方法は、半導体チップ１０の能動面に形成されたバンプ１２を、配線基板が有する配線２１の端部２１ａに押し付け、配線２１のうちバンプ１２に当接している領域の周囲に位置する領域をベース基板２０から剥離させる工程と、メッキ金属２１ｂを溶融させることにより、メッキ金属２１ｂとバンプ１２とで合金を形成してバンプ１２と配線２１を接合し、かつ配線２１とベース基板２０の間の空間にメッキ金属を浸透させる工程と、配線２１とベース基板２０の間の空間に浸透したメッキ金属２１ｄの浸透面積、浸透幅、又は浸透長さが基準値以上の場合に、バンプ１２と配線２１の接続が良好であると判断する工程とを具備する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面がメッキ金属でメッキされた配線をベース基板上に有する配線基板を準備する工程と、
半導体チップの能動面に形成されたバンプを、前記配線基板の前記配線の端部に押し付けることにより、前記配線の端が前記ベース基板に接合した状態を維持しつつ、前記配線のうち前記バンプに当接している部分の周囲を、前記ベース基板から剥離させる工程と、
前記配線の端部に位置する前記メッキ金属を溶融させることにより、前記メッキ金属と前記バンプとで合金を形成して前記バンプと前記配線を接合し、かつ前記配線と前記ベース基板の間の空間に前記メッキ金属を浸透させる工程と、
前記配線と前記ベース基板の間の空間に浸透した前記メッキ金属の浸透面積、浸透幅、又は浸透長さが基準値以上の場合に、前記バンプと前記配線の接続が良好であると判断する工程と、
を具備する半導体装置の製造方法。
【請求項２】
前記ベース基板及び前記配線上に形成され、前記配線の端部以外の領域を覆う保護層を具備し、
前記配線のうち前記バンプに当接する部分から前記配線の先端までの距離は、４０μｍ以上であり、
前記配線の厚さは１０μｍ以下である請求項１に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項３】
前記配線の端部に形成され、前記バンプが当接されるべき領域の近傍に位置する切欠部をさらに具備する請求項１又は２に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項４】
前記配線は銅配線であり、前記メッキ金属はＳｎである請求項１〜３のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項５】
表面がメッキ金属でメッキされた配線を基板上に有する配線基板と、
前記配線基板に実装され、能動面にバンプを有する半導体チップと、
を具備し、
前記バンプは、前記配線に接合しており、
前記配線は、前記バンプと接合している部分の周囲に位置する切欠部を有する半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体チップを配線基板に接合する半導体装置の製造方法及び半導体装置に関する。特に本発明は、非破壊で半導体チップと配線基板の接合の良否を判断することができる半導体装置の製造方法及び半導体装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図５は、半導体チップ１１０を配線基板に搭載した半導体装置の構成を説明するための断面図である。本図に示す例において、配線基板のベース基板１２０上には、銅配線１２２が形成されている。銅配線１２２は、端部１２２ａを除いて保護樹脂層１２４によって被覆されている。銅配線１２２の端部１２２ａはメッキ層（図示せず）によって被覆されている。半導体チップ１１０のバンプ１１０ａは、端部１２２ａに形成されたメッキ層と共晶合金を形成することにより、銅配線１２２に接合している（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−３４４７８０号公報（図４）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
半導体チップのバンプと配線基板の配線の接合の良否を非破壊で検査することは、半導体装置の信頼性を向上させるために重要である。しかし、従来は、接合の良否を非破壊で検査することは難しかった。本発明は上記のような事情を考慮してなされたものであり、その目的は、非破壊で半導体チップと配線基板の接合の良否を判断することができる半導体装置の製造方法及び半導体装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するため、本発明に係る半導体装置の製造方法は、表面がメッキ金属でメッキされた配線をベース基板上に有する配線基板を準備する工程と、
半導体チップの能動面に形成されたバンプを、前記配線基板の前記配線の端部に押し付けることにより、前記配線の端が前記ベース基板に接合した状態を維持しつつ、前記配線のうち前記バンプに当接している部分の周囲を、前記ベース基板から剥離させる工程と、
前記配線の端部に位置する前記メッキ金属を溶融させることにより、前記メッキ金属と前記バンプとで合金を形成して前記バンプと前記配線を接合し、かつ前記配線と前記ベース基板の間の空間に前記メッキ金属を浸透させる工程と、
前記配線と前記ベース基板の間の空間に浸透した前記メッキ金属の浸透面積、浸透幅、又は浸透長さが基準値以上の場合に、前記バンプと前記配線の接続が良好であると判断する工程とを具備する。
【０００６】
この半導体装置の製造方法によれば、非破壊で半導体チップと配線基板の接合の良否を判断することができる。
前記配線基板の前記基板上に形成され、前記配線の端部以外の領域を覆う保護層を具備している場合、前記配線のうち前記バンプに当接する部分から前記配線の先端までの距離は、４０μｍ以上であり、前記配線の厚さは１０μｍ以下であるのが好ましい。前記配線の端部に形成され、前記バンプが当接されるべき領域の近傍に位置する切欠部をさらに具備してもよい。前記配線が銅配線である場合、前記メッキ金属は例えばＳｎである。
【０００７】
本発明に係る半導体装置は、表面がメッキ金属でメッキされた配線を基板上に有する配線基板と、
前記配線基板に実装され、能動面にバンプを有する半導体チップと、
を具備し、
前記バンプは、前記配線に接合しており、
前記配線は、前記バンプと接合している部分の周囲に位置する切欠部を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。図１の各図は本発明の第１の実施形態に係る半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。本図に示す半導体装置の製造方法は、半導体チップのバンプを配線基板の配線に接合し、その後接合の良否を非破壊で検査するものである。
【０００９】
まず図１（Ａ）に示すように、ベース基板２０、配線２１及び保護樹脂層２２を有する配線基板を準備する。ベース基板２０は例えばフレキシブル基板であるが、リジッド基板であってもよいし、リジッドフレキシブル基板であってもよい。ベース基板２０の材質は特に限定されず、またベース基板２０の内部に配線層を有していてもよい。
【００１０】
配線２１はベース基板２０の上に形成されている。配線２１はベース基板２０に直接形成されていてもよいし、接着剤を介してベース基板２０に貼り付けられていてもよい。配線２１は、例えばＣｕ、Ｃｒ、Ｔｉ、Ｎｉ、Ｔｉ−Ｗのうちいずれかが単層又は複数層積層された構造である。配線２１の表面には、メッキ層２１ｂが形成されている。メッキ層２１ｂは、例えばＳｎであり、配線２１及び後述するバンプ双方と合金を形成する金属により形成されている。配線２１の厚さは、１０μｍ以下であるのが好ましい。このようにすると、後述する接合工程で端部２１ａの先端がベース基板２０から剥離することを抑制できる。なお配線２１は、配線２１となる金属層をベース基板２０の全面に形成し、その後金属層を選択的に除去することにより形成される。金属層の形成方法としては、例えばスパッタリング法により金属層を形成する方法、または金属箔を接着層を用いてベース基板２０に貼り付ける方法がある。
【００１１】
保護樹脂層２２は、配線２１のうち端部２１ａ以外の領域を被覆している。保護樹脂層２２は、例えばソルダーレジストである。
【００１２】
また配線基板は、吸湿していた水分を除去することを目的として、あらかじめ熱処理（プリキュア）が行われることがある。この熱処理工程で熱が過剰に加わると、メッキ層２１ｂと配線２１の合金化が進み、後述する接合工程で接合が不良になる。
【００１３】
次いで、半導体チップ１０をボンディングツール１に保持させ、半導体チップ１０の能動面を配線基板のベース基板２０のうち配線を有する面に対向させる。半導体チップ１０は、複数のパッド（図示せず）及びこれらパッド上それぞれに形成されたバンプ１２を能動面に有している。バンプ１２は、例えば金バンプである。半導体チップ１０の能動面をベース基板２０に対向させた状態において、配線２１の端部２１ａは、バンプ１２と対向している。配線基板のベース基板２０に対して垂直な方向から見た場合、端部２１ａの先端から、バンプ１２のうち端部２１ａの先端に最も近い部分までの距離Ｌは、４０μｍ以上あるのが好ましい。このようにすると、後述する接合工程で端部２１ａの先端がベース基板２０から剥離することを抑制できる。
【００１４】
次いで図１（Ｂ）に示すように、ボンディングツール１を配線基板に向けて移動し、半導体チップ１０のバンプ１２を配線基板の配線２１の端部２１ａ上に一定の力で押し付ける。このときの押し付け力は、例えば１０ｍｇｆ／μｍ２以上である。これにより配線２１の端部２１ａのうち、バンプ１２の周囲に位置する部分は剥離する。ただし、端部２１ａの先端はベース基板２０に接合したままである。
【００１５】
そして図１（Ｃ）に示すように、バンプ１２を端部２１ａに押し付けた状態で、これらに熱を加える。これにより、端部２１ａのメッキ層２１ｂは溶融する。溶融したメッキ層２１ｂの一部はバンプ１２及び配線２１の端部２１ａそれぞれと共晶合金を形成してフィレット２１ｃとなり、バンプ１２と端部２１ａを接合する。また溶融したメッキ層２１ｂの他の一部は、配線２１の端部２１ａとベース基板２０の剥離によって生じた空間に流入し、メッキ這い回り部２１ｄを形成する。
【００１６】
上記した水分除去のための熱処理工程（プリキュア工程）においてメッキ層２１ｂと配線２１の合金化が進んでいる場合、接合工程においてメッキ層２１ｂは溶融しないため、メッキ這い回り部２１ｄは形成されないか、又は形成された場合でも基準値未満になる。従って、メッキ這い回り部２１ｄの面積、幅又は長さが基準値以上である場合に、配線２１の端部２１ａとバンプ１２の接合が良好であると判断できる。なおメッキ這い回り部２１ｄの面積、幅又は長さは、光学顕微鏡を用いることにより非破壊で目視測定できる。
【００１７】
図２の各図は、メッキ這い回り部２１ｄの長さｋと、バンプ１２及び配線２１の接合性の良否を説明するための模式図である。図２（Ａ）に示すように、メッキ這い回り部２１ｄの面積が十分に大きい場合、例えばメッキ這い回り部２１ｄの長さｋが基準値以上になる。このような場合、配線２１の端部２１ａとバンプ１２の接合性は良好であると判断できる。
【００１８】
図２（Ｂ）は、メッキ這い回り部２１ｄがほとんどない場合を示している。このような場合、配線２１の端部２１ａとバンプ１２の接合強度は低く、接合性は不良であると判断できる。
【００１９】
図３は、図２に示したメッキ這い回り部２１ｄの長さｋと配線剥離率の相関の一例を示すグラフである。ｋ＝０の場合、ほぼすべてのサンプルにおいて、配線２１の端部２１ａとバンプ１２に剥離が生じていた。これに対し、ｋ＝１．４μｍの場合は、ほぼすべてのサンプルにおいて端部２１ａとバンプ１２で剥離は生じていなかった。このため、例えば図３の測定を行った条件では、ｋ≧１．４μｍの場合は配線２１の端部２１ａとバンプ１２の接合が良好であると判断できる。
【００２０】
以上、本発明の第１の実施形態によれば、半導体チップ１０のバンプ１２と配線基板の配線２１の端部２１ａを接合した後、バンプ１２と端部２１ａの接合部の周囲に形成されたメッキ這い回り部２１ｄの面積、幅又は長さを測定し、この測定結果が基準値以上であるか否かを判断することにより、バンプ１２と端部２１ａの接合が良好であるか否かを非破壊で検査することができる。バンプ１２と端部２１ａの接合が不良である場合、例えば水分除去のための熱処理工程で用いられる装置に異常が生じたと判断することができる。
【００２１】
図４は、本発明の第２の実施形態に係る半導体装置の製造方法を説明するための模式図である。本図は、配線２１の端部２１ａの平面形状を示している。本実施形態に係る半導体装置の製造方法は、端部２１ａが、バンプ１２と接合する部分の近傍に位置する切欠部２１ｅを有する点を除いて、第１の実施形態と同様である。切欠部２１ｅは、例えば金属層を選択的に除去して配線２１を形成する工程で形成される。
【００２２】
本実施形態によれば、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。また接合時に切欠部２１ｅに溶融したメッキ層２１ｂが集まりやすくなり、その結果フィレット２１ｃが大きくなって配線２１の端部２１ａとバンプ１２の接合強度が高くなる。
【００２３】
また、バンプ１２を端部２１ａに押し付け、端部２１ａのうちバンプ１２の周囲に位置する部分をベース基板２０から剥離させる際に、バンプ１２を押し付けることにより端部２１ａに生成した歪が端部２１ａの先端に伝播することを抑制できる。このため、端部２１ａの先端がベース基板２０から剥離することを抑制できる。
【００２４】
尚、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】各図は第１の実施形態に係る半導体装置の製造方法を説明するための断面図。
【図２】各図はメッキ這い回り部２１ｄの長さｋとバンプ１２及び配線２１の接合性の良否を説明するための模式図。
【図３】メッキ這い回り部２１ｄの長さｋと配線剥離率の相関の一例を示すグラフ。
【図４】第２の実施形態に係る半導体装置の製造方法を説明するための模式図。
【図５】半導体チップ１１０を配線基板に搭載した半導体装置の構成を説明する断面図。
【符号の説明】
【００２６】
１…ボンディングツール、１０,１１０…半導体チップ、１２,１１０ａ…バンプ、２０,１２０…ベース基板、２１…配線、２１ａ…端部、２１ｂ…メッキ層、２１ｃ…フィレット、２１ｄ…メッキ這い回り部、２１ｅ…切欠部、２２,１２４…保護樹脂層、１２２…銅配線、１２２ａ…端部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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