(57)【要約】【課題】マスキングテープの基板からの剥離時に、粘着剤層の一部が残渣として基板上に残ることを防止する。【解決手段】マスキングテープ１は、基材１１、および、基材１１の一方の面に形成されて基板９の主面９０に粘着する粘着剤層１２を備え、基板９の非塗布領域に貼付されて非塗布領域に対する有機ＥＬ液の付着を防止する。マスキングテープ１では、長手方向に垂直な任意の断面の幅方向の両側において、基材１１の下面エッジ１１４が粘着剤層１２の上面エッジ１２３と重なり、粘着剤層１２の下面エッジ１２４が上面エッジ１２３よりも幅方向に関して内側に位置する。このため、マスキングテープ１が基板９から剥離される際に、粘着剤層１２の下面エッジ１２４近傍の部位が基材１１により強固に支持されることにより、粘着剤層１２の一部が残渣として基板９上に残ることを防止することができる。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の主面上の非塗布領域に貼付されて前記非塗布領域に対する流動性材料の付着を防止するマスキングテープであって、
テープ状の基材と、
前記基材の一方の面に形成された粘着剤層と、
を備え、
前記粘着剤層および前記基材の長手方向に垂直な断面において、前記基材の前記粘着剤層側の面の幅方向の一方側にて前記長手方向に伸びる第１エッジが、前記粘着剤層の前記基材側の面の前記一方側にて前記長手方向に伸びる第２エッジと重なり、
前記粘着剤層の前記基材側とは反対側の面の前記一方側にて前記長手方向に伸びる第３エッジが、前記幅方向に関して前記第２エッジよりも内側に位置する、または、同じ位置に位置することを特徴とするマスキングテープ。
【請求項２】
請求項１に記載のマスキングテープであって、
前記粘着剤層および前記基材の前記断面において、前記粘着剤層の前記一方側の側面が、前記幅方向に関して前記基材の前記一方側の前記第１エッジの位置よりも外側にはみ出さないことを特徴とするマスキングテープ。
【請求項３】
請求項２に記載のマスキングテープであって、
前記粘着剤層および前記基材の前記断面において、前記粘着剤層の前記側面が直線状であることを特徴とするマスキングテープ。
【請求項４】
請求項３に記載のマスキングテープであって、
前記粘着剤層および前記基材の前記断面において、前記基材の前記一方側の側面と前記粘着剤層の前記側面とが直線状に連続していることを特徴とするマスキングテープ。
【請求項５】
請求項３または４に記載のマスキングテープであって、
前記粘着剤層および前記基材の前記断面において、前記粘着剤層の前記基材側とは反対側の前記面と前記粘着剤層の前記側面との為す角度が９０°以上１６０°以下であることを特徴とするマスキングテープ。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかに記載のマスキングテープであって、
前記粘着剤層が、アクリル系ポリマーを含有することを特徴とするマスキングテープ。
【請求項７】
請求項６に記載のマスキングテープであって、
前記アクリル系ポリマーが、主モノマー１００重量部に対して官能基含有モノマーを０．５重量部以上含有することを特徴とするマスキングテープ。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれかに記載のマスキングテープであって、
前記粘着剤層および前記基材の前記断面において、前記基材の前記粘着剤層側の前記面の他方側の第１エッジが、前記粘着剤層の前記基材側の前記面の前記他方側の第２エッジと重なり、
前記粘着剤層の前記基材側とは反対側の前記面の前記他方側の第３エッジが、前記幅方向に関して前記他方側の前記第２エッジよりも内側に位置する、または、同じ位置に位置することを特徴とするマスキングテープ。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれかに記載のマスキングテープであって、
貼付される基板がガラス基板であることを特徴とするマスキングテープ。
【請求項１０】
請求項１ないし９のいずれかに記載のマスキングテープであって、
貼付される基板が有機ＥＬ表示装置用の基板であることを特徴とするマスキングテープ。
【請求項１１】
請求項１ないし１０のいずれかに記載のマスキングテープであって、
基板に対して相対的に移動するノズルから前記基板に向けて流動性材料を連続的に吐出することにより前記基板の主面に前記流動性材料を塗布する際に前記基板に貼付されることを特徴とするマスキングテープ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板の主面上の非塗布領域に貼付されて当該非塗布領域に対する流動性材料の付着を防止するマスキングテープに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、有機ＥＬ（Electro Luminescence）材料を利用した有機ＥＬ表示装置の開発が行われており、例えば、高分子有機ＥＬ材料を用いたアクティブマトリックス駆動方式の有機ＥＬ表示装置の製造では、ガラス基板（以下、単に「基板」という。）に対して、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）回路の形成、陽極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）電極の形成、隔壁の形成、正孔輸送材料を含む流動性材料（以下、「正孔輸送液」という。）の塗布、加熱処理による正孔輸送層の形成、有機ＥＬ材料を含む流動性材料（以下、「有機ＥＬ液」という。）の塗布、加熱処理による有機ＥＬ層の形成、陰極の形成、および、絶縁膜の形成による封止が順次行われる。
【０００３】
有機ＥＬ表示装置の製造において、正孔輸送液または有機ＥＬ液を基板に塗布する装置の１つとして、特許文献１および特許文献２に示すように、流動性材料を連続的に吐出する複数のノズルを、基板に対して主走査方向および副走査方向に相対移動することにより、基板上に流動性材料をストライプ状に塗布する装置が知られている。
【０００４】
有機ＥＬ表示装置用の基板の表面には、正孔輸送液や有機ＥＬ液等の流動性材料が塗布されるべき塗布領域（すなわち、発光領域）の周囲に、ドライバ回路が組み込まれた領域や絶縁膜による封止のために必要な領域が設けられている。有機ＥＬ表示装置の製造では、正孔輸送層や有機ＥＬ層の形成工程においてこれらの塗布領域の周囲の領域（以下、「非塗布領域」という。）に流動性材料が付着する可能性があり、流動性材料が付着した状態で後工程が行われると電極の特性劣化や封止不良等が発生する可能性がある。したがって、基板の非塗布領域に流動性材料が付着することを防止する必要がある。
【０００５】
一方、特許文献３には、プリント基板に対するハンダの塗布作業において非塗布領域に貼付されて当該領域をハンダから保護するハンダマスキング用粘着テープが記載されている。当該粘着テープは、粘着テープの剥離時に基板に残る粘着剤の残渣を水洗浄により容易に除去することを目的としており、特許文献３では、水洗浄性が良好な水溶性粘着剤組成物の組成が開示されている。
【特許文献１】特開２００４−１１１０７３号公報
【特許文献２】特開２００４−８９７７１号公報
【特許文献３】特開平８−２５３７５７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、有機ＥＬ表示装置用の基板に対する流動性材料の塗布において、非塗布領域にマスキングテープを貼付することにより流動性材料の非塗布領域への付着を防止する場合、通常のマスキングテープを利用すると、マスキングテープを剥離する際にマスキングテープの粘着剤層の一部が基板上に付着した状態で粘着剤層から脱落してしまい、非塗布領域上に残渣として転写してしまう恐れがある。そして、非塗布領域にこのような残渣が付着した状態で後工程が行われると、電極の特性劣化や封止不良等の不具合が発生する恐れがある。
【０００７】
一方、有機ＥＬ表示装置では、基板に塗布された後の有機ＥＬ材料等に水分や溶剤等が付着すると有機ＥＬ層の特性に悪影響が及ぶため、水等を利用した液体洗浄により残渣を除去することはできない。
【０００８】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、マスキングテープの基板からの剥離時に、粘着剤層の一部が残渣として基板上に残ることを防止することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１に記載の発明は、基板の主面上の非塗布領域に貼付されて前記非塗布領域に対する流動性材料の付着を防止するマスキングテープであって、テープ状の基材と、前記基材の一方の面に形成された粘着剤層とを備え、前記粘着剤層および前記基材の長手方向に垂直な断面において、前記基材の前記粘着剤層側の面の幅方向の一方側にて前記長手方向に伸びる第１エッジが、前記粘着剤層の前記基材側の面の前記一方側にて前記長手方向に伸びる第２エッジと重なり、前記粘着剤層の前記基材側とは反対側の面の前記一方側にて前記長手方向に伸びる第３エッジが、前記幅方向に関して前記第２エッジよりも内側に位置する、または、同じ位置に位置する。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のマスキングテープであって、前記粘着剤層および前記基材の前記断面において、前記粘着剤層の前記一方側の側面が、前記幅方向に関して前記基材の前記一方側の前記第１エッジの位置よりも外側にはみ出さない。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載のマスキングテープであって、前記粘着剤層および前記基材の前記断面において、前記粘着剤層の前記側面が直線状である。
【００１２】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載のマスキングテープであって、前記粘着剤層および前記基材の前記断面において、前記基材の前記一方側の側面と前記粘着剤層の前記側面とが直線状に連続している。
【００１３】
請求項５に記載の発明は、請求項３または４に記載のマスキングテープであって、前記粘着剤層および前記基材の前記断面において、前記粘着剤層の前記基材側とは反対側の前記面と前記粘着剤層の前記側面との為す角度が９０°以上１６０°以下である。
【００１４】
請求項６に記載の発明は、請求項１ないし５のいずれかに記載のマスキングテープであって、前記粘着剤層が、アクリル系ポリマーを含有する。
【００１５】
請求項７に記載の発明は、請求項６に記載のマスキングテープであって、前記アクリル系ポリマーが、主モノマー１００重量部に対して官能基含有モノマーを０．５重量部以上含有する。
【００１６】
請求項８に記載の発明は、請求項１ないし７のいずれかに記載のマスキングテープであって、前記粘着剤層および前記基材の前記断面において、前記基材の前記粘着剤層側の前記面の他方側の第１エッジが、前記粘着剤層の前記基材側の前記面の前記他方側の第２エッジと重なり、前記粘着剤層の前記基材側とは反対側の前記面の前記他方側の第３エッジが、前記幅方向に関して前記他方側の前記第２エッジよりも内側に位置する、または、同じ位置に位置する。
【００１７】
請求項９に記載の発明は、請求項１ないし８のいずれかに記載のマスキングテープであって、貼付される基板がガラス基板である。
【００１８】
請求項１０に記載の発明は、請求項１ないし９のいずれかに記載のマスキングテープであって、貼付される基板が有機ＥＬ表示装置用の基板である。
【００１９】
請求項１１に記載の発明は、請求項１ないし１０のいずれかに記載のマスキングテープであって、基板に対して相対的に移動するノズルから前記基板に向けて流動性材料を連続的に吐出することにより前記基板の主面に前記流動性材料を塗布する際に前記基板に貼付される。
【発明の効果】
【００２０】
本発明では、マスキングテープの基板からの剥離時に、粘着剤層が残渣として基板上に残ることを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
図１および図２は、本発明の第１の実施の形態に係るマスキングテープが貼付された基板に対して流動性材料を塗布する塗布装置３の構成を示す平面図および正面図である。塗布装置３は、平面表示装置用のガラス基板に画素形成材料を含む流動性材料を塗布する装置である。本実施の形態では、塗布装置３において、アクティブマトリックス駆動方式の有機ＥＬ（Electro Luminescence）表示装置用の基板９に、有機ＥＬ材料を含む流動性材料（以下、「有機ＥＬ液」という。）が塗布される。
【００２２】
図３は、マスキングテープ１が貼付された基板９を示す平面図である。図３では、塗布装置３（図１および図２参照）により有機ＥＬ液が塗布される領域（以下、「塗布領域」という。）９１に平行斜線を付す。本実施の形態では、基板９上に４つの塗布領域９１が設けられ、１枚の基板９から４つの有機ＥＬ表示装置用の基板が製造される。４つの塗布領域９１の周囲の格子状の領域９２は、ドライバ回路の組み込みや後工程における絶縁膜による封止等に利用されるため、有機ＥＬ液が塗布されるべきではない領域であり、以下、「非塗布領域９２」という。図３に示すように、マスキングテープ１は、基板９の主面９０上の非塗布領域９２に貼付される。
【００２３】
塗布装置３は、図２に示すように、基板９を保持する基板保持部３１を備え、また、図１および図２に示すように、基板保持部３１を基板９の主面９０に対して平行な所定の方向（すなわち、図１中の上下方向であり、以下、「副走査方向」という。）に水平移動する基板移動機構３２、基板保持部３１上の基板９に向けて３本のノズル３７から有機ＥＬ液を連続的に吐出する吐出機構である塗布ヘッド３４、塗布ヘッド３４を基板９の主面９０に平行であって副走査方向と垂直な方向（すなわち、図１中の左右方向であり、以下、「主走査方向」という。）に水平移動するヘッド移動機構３５、および、塗布ヘッド３４の３本のノズル３７に有機ＥＬ液を供給する流動性材料供給部３８を備える。
【００２４】
塗布ヘッド３４では、３本のノズル３７が、図１中の左右方向（すなわち、主走査方向）に関して略直線状に離れて配列されるとともに図１中の上下方向（すなわち、副走査方向）に僅かにずれて配置され、これらのノズル３７から吐出された有機ＥＬ液が、基板９の塗布領域９１（図３参照）に予め形成されている主走査方向に伸びる隔壁の間の溝に塗布される。本実施の形態では、隣接する２本のノズル３７の間の副走査方向に関する距離は、隔壁間のピッチ（以下、「隔壁ピッチ」という。）に等しい。塗布ヘッド３４では、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）と互いに色が異なる３種類の有機ＥＬ材料をそれぞれ含む３種類の有機ＥＬ液が３本のノズル３７から吐出される。
【００２５】
塗布装置３により有機ＥＬ液の塗布が行われる際には、まず、テープ貼付装置により図３に示す非塗布領域９２にマスキングテープ１が貼付された基板９が、図２に示す基板保持部３１に載置されて保持され、図１中に実線にて示す塗布開始位置に位置する。塗布ヘッド３４は予め図１および図２中に実線にて示す位置に位置している。
【００２６】
続いて、ノズル３７から有機ＥＬ液の吐出が開始されるとともに、ヘッド移動機構３５が駆動されて塗布ヘッド３４の移動が開始される。塗布装置３では、ノズル３７から有機ＥＬ液を基板９に向けて連続的に吐出しつつ、ノズル３７を基板９に対して図１中の左側から右側へと（すなわち、主走査方向に）相対的に移動することにより、基板９の主面９０上の隔壁間の３つの隣接する溝に有機ＥＬ液が塗布される。
【００２７】
塗布ヘッド３４が図１および図２中に二点鎖線にて示す位置まで移動すると、基板移動機構３２が駆動され、基板９が基板保持部３１と共に図１中の上側に隔壁ピッチの３倍の距離だけ移動する。そして、塗布ヘッド３４が有機ＥＬ液を吐出しつつ図１中において右側から左側へと移動することにより、基板９上に３種類の有機ＥＬ液がストライプ状に塗布される。
【００２８】
図４は、マスキングテープ１が貼付された基板９を示す平面図であり、図５は、図４中のＡ−Ａの位置における基板９およびマスキングテープ１の断面図である。図１に示す塗布装置３では、塗布ヘッド３４の主走査方向への移動、および、塗布ヘッド３４の１回の主走査毎に行われる基板９の副走査方向へのピッチ移動が繰り返されることにより、図４および図５に示すように、基板９上のマスキングテープ１を含む領域（すなわち、非塗布領域９２に貼付されたマスキングテープ１上の領域、および、塗布領域９１の隔壁間の溝）に有機ＥＬ液９３がストライプ状に塗布される。そして、基板９が図１中に二点鎖線にて示す塗布終了位置まで移動すると、ノズル３７からの有機ＥＬ液の吐出が停止されて基板９に対する有機ＥＬ液の塗布が終了する。なお、図４では、図示の都合上、基板９上に塗布された有機ＥＬ液９３の幅およびピッチを実際よりも大きく描いている。
【００２９】
塗布装置３では、有機ＥＬ液９３の塗布が行われている間、塗布ヘッド３４のノズル３７（図１および図２参照）から有機ＥＬ液９３が連続的に吐出されている。塗布装置３では、非塗布領域９２のうち基板９の移動方向に垂直に伸びる領域（すなわち、図４中において左右方向に伸びる領域であり、マスキングテープ１の貼付が省略されている領域）に対して、塗布ヘッド３４を基板保持部３１の側方に設けられた受液部３６上に待機させた状態で、基板９を当該領域の幅（すなわち、図４中の上下方向の幅）と等しい距離だけ副走査方向に移動することにより、当該領域への有機ＥＬ液９３の塗布が回避される。
【００３０】
塗布装置３による有機ＥＬ液の塗布が終了すると、テープ剥離装置により基板９の主面９０からマスキングテープ１が剥離されることにより、基板９に対する有機ＥＬ液の塗布が終了する。塗布装置３による有機ＥＬ液の塗布では、マスキングテープ１を利用することにより、非塗布領域９２に対する有機ＥＬ液の付着を防止することができる。
【００３１】
図６は、図３に示すマスキングテープ１および基板９の一部を、図３中のＢ−Ｂの位置にてマスキングテープ１の長手方向に垂直に切断した断面図である。図６に示すように、マスキングテープ１は、テープ状の基材１１、および、基材１１の一方の面（すなわち、図６中における下側の面）に形成された粘着剤層１２を備える。マスキングテープ１の貼付時には、粘着剤層１２の後述する下面エッジ１２４の少なくとも一方を基板９上の塗布領域９１と非塗布領域９２（図３参照）との境界に一致させつつ、粘着剤層１２が基板９の主面９０に粘着する。図６に示すように、マスキングテープ１の断面は、基材１１および粘着剤層１２の幅方向（すなわち、図６中の左右方向）における中心線１００に関して線対称な逆台形であり、また、基材１１および粘着剤層１２の長手方向（すなわち、図３中の上下方向）の全長に亘って図６に示す断面と同形状である。
【００３２】
基材１１は、例えば、プラスチックフィルムにより形成される。基材１１として使用されるプラスチックフィルムは、例えば、ポリエチレンやポリプロピレン等のポリオレフィン系フィルム、ポリエチレンテレフタレートやポリブチレンテレフタレート等のポリエステル系フィルム、ナイロン等のポリアミド系フィルム、トリアセチルセルロースフィルム、ポリイミドフィルム等である。耐溶剤性、耐水性等の観点からは、ポリエステル系フィルムにより基材１１が形成されることが好ましく、また、耐熱性の観点からは、ポリイミドフィルムにより基材１１が形成されることが好ましい。
【００３３】
粘着剤層１２は、例えば、ポリエステル系粘着剤、または、アクリル系粘着剤により形成される。ポリエステル系粘着剤としては、粘着剤層１２の濡れ性を向上するという観点から、例えば、ポリカーボネートジオールやポリカプロラクトンジオール等から選択されるジオール化合物（好ましくは、水酸基価が３５〜１３０ＫＯＨｍｇ／ｇ（より好ましくは、４５〜１２０ＫＯＨｍｇ／ｇ）であるもの）と、セバシン酸、アジピン酸、アゼライン酸およびフタル酸から選択される二塩基酸とから得られるポリエステルを含有するものが好ましい。
【００３４】
ポリエステルの重量平均分子量（Ｍｗ）は、粘着剤としての凝集力を確保して耐熱性や耐久性を向上するという観点からは、１万以上（より好ましくは、２万以上）とされることが好ましく、粘度が過剰に高くなることを防止して粘着剤層１２の形成を容易とするという観点からは、１０万以下（より好ましくは、８万以下）とされることが好ましい。ここで、重量平均分子量とは、ゲルパーミエーションクロマトフラフィー（ＧＰＣ）による標準ポリスチレン換算の重量平均分子量を意味する。
【００３５】
アクリル系粘着剤としては、例えば、（メタ）アクリル酸アルキルエステルと親水性モノマーとを単量体単位として含むアクリル系ポリマーを含有するものが好ましい。アクリル系ポリマーの重量平均分子量は、粘着剤としての凝集力を確保して耐熱性や耐久性を向上するという観点からは、３０万以上（より好ましくは、５０万以上）とされることが好ましく、粘度が過剰に高くなることを防止して粘着剤層１２の形成を容易とするという観点からは、２００万以下（より好ましくは、１７０万以下）とされることが好ましい。
【００３６】
（メタ）アクリル酸アルキルエステルのアルキル基としては、炭素数が２以上１４以下（より好ましくは４以上８以下）であるものが好ましく、例えば、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、イソアミル基、ヘキシル基、ヘプチル基、２−エチルヘキシル基、イソオクチル基、イソノニル基、イソデシル基が使用される。
【００３７】
親水性モノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシブチル等の水酸基含有単量体、（メタ）アクリル酸ジメチルアミノエチル、（メタ）アクリル酸ジエチルアミノエチル、（メタ）アクリル酸ｔ−ブチルアミノエチル等のアミノ基含有単量体、（メタ）アクリルアミド、Ｎ,Ｎ−ジエチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ,Ｎ−ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロール（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メトキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ブトキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ,Ｎ−メチレンビス（メタ）アクリルアミド、Ｎ−イソプロピルアクリルアミド、Ｎ,Ｎ−ジメチルアミノプロピルアクリルアミド等のアミド基含有単量体が使用される。また、（メタ）アクリロニトリル、Ｎ−（メタ）アクリロイルモルホリン、Ｎ−ビニル−２−ピロリドン、Ｎ−ビニルカプロラクタム、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−フェニルマレイミド等も親水性モノマーとして使用される。さらには、上記親水性モノマーが２種類以上組み合わされて使用されてもよい。本実施の形態では、粘着剤層１２はアクリル系ポリマーを含有しており、当該アクリル系ポリマーは、主モノマー１００重量部に対して官能基含有モノマーを０．５重量部以上（好ましくは１重量部以上、さらに好ましくは２重量部以上）含有する。
【００３８】
マスキングテープ１は、例えば、長さ２００ｍ、幅１ｍのプラスチックフィルムの一方の主面に粘着剤が塗布された後、カッタ等により幅方向において１０等分にカッティングされることにより製造される。
【００３９】
図６に示すマスキングテープ１では、粘着剤層１２の基材１１側の端面１２１（図６中の上側の端面であり、以下、「上面１２１」という。）と、基材１１側とは反対側の端面１２２（図６中の下側で基板９に当接する端面であり、以下、「下面１２２」という。）との間の距離、すなわち、粘着剤層１２の厚さは約１５μｍとされる。また、基材１１の粘着剤層１２側の端面１１２（以下、「下面１１２」という。）と、粘着剤層１２とは反対側の端面１１１（以下、「上面１１１」という。）との間の距離、すなわち、基材１１の厚さは約３７μｍとされる。なお、図６では、図示の都合上、マスキングテープ１の厚さを幅に比べて実際よりも厚く描いている（図８ないし図１１においても同様）。
【００４０】
図６に示すように、マスキングテープ１では、基材１１の下面１１２の長手方向に垂直な幅方向（すなわち、図６中の左右方向）の両側にて長手方向に伸びるエッジ１１４（以下、「下面エッジ１１４」という。）が、粘着剤層１２の上面１２１の両側にて長手方向に伸びるエッジ１２３（以下、「上面エッジ１２３」という。）と重なる。また、粘着剤層１２の下面１２２の両側にて長手方向に伸びるエッジ１２４（以下、「下面エッジ１２４」という。）は、幅方向に関して粘着剤層１２の上面エッジ１２３よりも内側に位置する。換言すれば、粘着剤層１２の下面エッジ１２４は、上面エッジ１２３よりもマスキングテープ１の幅方向における中心線１００に近づく側に位置する。
【００４１】
ここで、基材１１の下面エッジ１１４、粘着剤層１２の上面エッジ１２３および下面エッジ１２４を第１エッジ、第２エッジおよび第３エッジとした場合、マスキングテープ１では、第１エッジが第２エッジと重なり、第３エッジが幅方向に関して第２エッジよりも内側に位置することになる。
【００４２】
図６に示すように、粘着剤層１２の両側の側面１２５は直線状とされ、幅方向に関して基材１１の両側の下面エッジ１１４の位置よりも内側に位置しており、両側の下面エッジ１１４の位置よりも外側にははみ出さない。また、基材１１の両側の側面１１５は、粘着剤層１２の両側の側面１２５と直線状に連続している。換言すれば、基材１１の両側面１１５および粘着剤層１２の両側面１２５が連続する平滑面とされ、基板９の主面９０から厚さ方向に離れるに従って、マスキングテープ１の中心線１００から離れて基板９の主面９０上に張り出す逆テーパ状とされる。マスキングテープ１では、粘着剤層１２の下面１２２と粘着剤層１２の両側の側面１２５との為す角度θはそれぞれ約１００°とされる。
【００４３】
上述のように、マスキングテープ１の断面は長手方向の全長に亘って同形状とされるため、図６に示すマスキングテープ１の形状に関する上記説明は、マスキングテープ１（すなわち、基材１１および粘着剤層１２）の長手方向に垂直な任意の断面において同様である。
【００４４】
図７．Ａは、長手方向に垂直な断面の形状がマスキングテープ１とは異なる比較例のマスキングテープ７１を基板７９の一部と共に示す断面図である。また、図７．Ｂおよび図７．Ｃは、比較例のマスキングテープ７１が基板７９から剥離される様子を示す図である。図７．Ａに示すように、比較例のマスキングテープ７１では、粘着剤層７１２の下面エッジ７１２４が上面エッジ７１２３よりも幅方向に関して外側に位置する。したがって、粘着剤層７１２の下面エッジ７１２４近傍の部位は、基材７１１により上方から支持されていない。このため、マスキングテープ７１が基板７９から剥離される際に、図７．Ｂに示すように、粘着剤層７１２の下面エッジ７１２４近傍の部位が、基材７１１により局所的に撓みつつ強い力で上向きに引っ張られ、図７．Ｃに示すように、粘着剤層７１２から脱落して残渣７１２ａとして基板７９の主面７９０上に残ってしまう。
【００４５】
これに対して、上記実施の形態に係るマスキングテープ１では、長手方向に垂直な任意の断面の幅方向の両側において、粘着剤層１２の下面エッジ１２４が上面エッジ１２３よりも幅方向に関して内側に位置する。このため、マスキングテープ１が基板９から剥離される際に、粘着剤層１２の下面エッジ１２４近傍の部位が、基材１１により強固に支持されて安定して上向きに引っ張られる。これにより、粘着剤層１２の一部が残渣として基板９上に残ることを防止することができる。その結果、塗布領域９１のみに有機ＥＬ液が塗布されており、かつ、非塗布領域９２に有機ＥＬ液やマスキングテープ１の残渣が付着していない基板９を容易に得ることができる。
【００４６】
このように、基板９の非塗布領域９２に対する有機ＥＬ液の付着を防止し、さらに、剥離後に粘着剤層１２が基板９上に残渣として残らないマスキングテープ１は、基板９に対して相対的に移動するノズル３７から基板９に向けて有機ＥＬ液を連続的に吐出する塗布装置３における有機ＥＬ液の塗布に特に適している。
【００４７】
また、マスキングテープ１では、粘着剤層１２の両側面１２５全体が、幅方向に関して基材１１の両側の下面エッジ１１４の位置よりも内側に位置する。これにより、マスキングテープ１の貼付や剥離を行う装置において、マスキングテープ１を繰り出したり巻き取る際に、マスキングテープ１の側面に当接して案内するガイドローラ等に粘着剤層１２が接触することを防止することができる。その結果、ガイドローラ等との摩擦による粘着剤層１２からの発塵を防止することができる。
【００４８】
マスキングテープ１では、長手方向に垂直な任意の断面において粘着剤層１２の両側面１２５が直線状とされるため、カッティングにより所望の形状の粘着剤層１２を容易に形成することができる。また、基材１１の両側面１１５が粘着剤層１２の両側面と直線状に連続していることにより、マスキングテープ１を容易に形成することができる。
【００４９】
次に、本発明の第２の実施の形態に係るマスキングテープについて説明する。図８は、第２の実施の形態に係るマスキングテープ１ａを基板９の一部と共に示す断面図であり、第１の実施の形態に係るマスキングテープ１の長手方向に垂直な断面図である図６に対応する。図８に示すように、マスキングテープ１ａは、図６に示すマスキングテープ１とは異なり、長手方向に垂直な断面の形状が長方形とされる。その他の構成は図６と同様であり、以下の説明において同符号を付す。図８に示すマスキングテープ１ａは、図３に示すマスキングテープ１と同様に、塗布装置３（図１および図２参照）における基板９に対する有機ＥＬ液の塗布の際に基板９の主面９０に貼付される。
【００５０】
マスキングテープ１ａの断面は、第１の実施の形態と同様に、基材１１および粘着剤層１２の幅方向（すなわち、図８中の左右方向）における中心線１００に関して線対称であり、また、基材１１および粘着剤層１２の長手方向の全長に亘って図８に示す断面と同形状である。
【００５１】
上述のように、マスキングテープ１ａの断面形状は長方形であるため、図８に示すように、マスキングテープ１ａの幅方向の両側では、基材１１の下面エッジ１１４が粘着剤層１２の上面エッジ１２３と重なるとともに、粘着剤層１２の下面エッジ１２４が、幅方向に関して上面エッジ１２３と同じ位置に位置する。
【００５２】
マスキングテープ１ａの長手方向に垂直な断面では、直線状の粘着剤層１２の両側の側面１２５全体が、基材１１の両側の下面エッジ１１４と幅方向に関して同じ位置に位置し、下面エッジ１１４の位置よりも外側にはみ出さない。また、基材１１の両側の側面１１５は、粘着剤層１２の両側の側面１２５と直線状に連続する。マスキングテープ１ａでは、粘着剤層１２の両側の側面１２５と下面１２２との為す角度θはそれぞれ９０°とされる。
【００５３】
第２の実施の形態に係るマスキングテープ１ａでは、長手方向に垂直な任意の断面の幅方向の両側において、粘着剤層１２の上面エッジ１２３が下面エッジ１１４と幅方向に関して同じ位置に位置することにより、第１の実施の形態と同様に、マスキングテープ１ａが基板９から剥離される際に、粘着剤層１２の一部が残渣として基板９上に残ることを防止することができる。また、粘着剤層１２の両側の側面１２５が、幅方向に関して基材１１の下面エッジ１１４の位置よりも外側にはみ出さないことにより、マスキングテープ１ａの側面にガイドローラ等が強く摩擦することを防止することができ、第１の実施の形態と同様に、粘着剤層１２からの発塵を防止することができる。
【００５４】
マスキングテープ１ａでは、第１の実施の形態と同様に、長手方向に垂直な任意の断面において粘着剤層１２の両側面１２５が直線状とされるため、粘着剤層１２を容易に形成することができる。また、基材１１の両側面１１５が粘着剤層１２の両側面１２５と直線状に連続することにより、マスキングテープ１ａを容易に形成することができる。
【００５５】
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、様々な変更が可能である。
【００５６】
上記実施の形態に係るマスキングテープでは、基材１１の両側の下面エッジ１１４が、マスキングテープの全長に亘って粘着剤層１２の両側の上面エッジ１２３と重なっているが、例えば、粘着剤層１２から粘着剤の微小部分が脱落したり、マスキングテープの製造時の僅かな製造誤差等により、マスキングテープの長手方向のごく一部において、粘着剤層１２の上面エッジ１２３が基材１１の下面エッジ１１４から僅かにずれていてもよい。換言すれば、基材１１の両側の下面エッジ１１４は、マスキングテープのほぼ全長に亘って粘着剤層１２の両側の上面エッジ１２３と重なっている。この場合であっても、上記実施の形態と同様に、マスキングテープが基板９から剥離される際に、粘着剤層１２の一部が残渣として基板９上に残ることを防止することができる。
【００５７】
上記実施の形態に係るマスキングテープでは、粘着剤層１２の両側面１２５と下面１２２とがそれぞれ為す角度θは、必ずしも１００°または９０°には限定されないが、９０°以上１６０°以下（より好ましくは、９０°以上１５０°以下）とされることが好ましい。角度θが９０°以上とされることにより、粘着剤層１２の下面エッジ１２４の真上において基材１１の下面１１２まで連続的に粘着剤を存在させることができる。その結果、マスキングテープの剥離時に、粘着剤層１２の下面エッジ１２４近傍の部位が基材１１に強固に支持されて基板９から剥離されるため、当該部位が粘着剤層１２から脱落して基板９上に残ってしまうことをより確実に防止することができる。また、角度θが１６０°以下とされることにより、有機ＥＬ液がマスキングテープと基板９との間に浸入することを防止し、非塗布領域９２に対する有機ＥＬ液の付着（すなわち、マスキング不良）を防止することができる。
【００５８】
図９ないし図１５は、他の好ましいマスキングテープの例を示す断面図である。図９ないし図１５に示すマスキングテープ１ｂ〜１ｈは、断面が幅方向における中心線１００に関して線対称な形状を有し、第１の実施の形態と同様に、基材１１の下面エッジ１１４が粘着剤層１２の上面エッジ１２３と重なる。
【００５９】
図９ないし図１３に示すように、マスキングテープ１ｂ〜１ｆでは、第１の実施の形態と同様に、幅方向の両側において粘着剤層１２の上面エッジ１２３が下面エッジ１２４よりも外側に位置する。図９および図１０に示すマスキングテープ１ｂ，１ｃでは、粘着剤層１２の側面１２５が基板９の主面９０に対して逆テーパ状に張り出している。マスキングテープ１ｂでは、基材１１の上面エッジ１１３が下面エッジ１１４よりも幅方向の内側に位置し、マスキングテープ１ｃでは、基材１１の上面エッジ１１３と下面エッジ１１４とが幅方向に関して同じ位置に位置する。
【００６０】
図１１ないし図１３に示すマスキングテープ１ｄ〜１ｆでは、粘着剤層１２の側面１２５が幅方向の外側に凸状となっている。マスキングテープ１ｄでは、基材１１の上面エッジ１１３が下面エッジ１１４よりも幅方向の内側に位置し、マスキングテープ１ｅでは、基材１１の上面エッジ１１３と下面エッジ１１４とが幅方向に関して同じ位置に位置する。また、マスキングテープ１ｆでは、基材１１の上面エッジ１１３は下面エッジ１１４よりも外側に位置する。
【００６１】
図１４および図１５に示すマスキングテープ１ｇ，１ｈでは、第２の実施の形態と同様に、幅方向の両側において粘着剤層１２の上面エッジ１２３と下面エッジ１２４とが幅方向に関して同じ位置に位置する。マスキングテープ１ｇでは、基材１１の上面エッジ１１３が下面エッジ１１４よりも幅方向の内側に位置し、マスキングテープ１ｈでは、基材１１の上面エッジ１１３が下面エッジ１１４よりも外側に位置する。
【００６２】
マスキングテープ１ｂ〜１ｈが基板９から剥離される際にはそれぞれ、第１および第２の実施の形態と同様に、粘着剤層１２の下面エッジ１２４近傍の部位が基材１１に強固に支持されることにより、粘着剤層１２の一部が残渣として基板９上に残ることを防止することができる。
【００６３】
上述のマスキングテープ１，１ａ〜１ｈは、必ずしも幅方向における中心線１００に関して線対称である必要はなく、例えば、幅方向の一方側においてのみ、粘着剤層１２の上面エッジ１２３が下面エッジ１２４よりも外側に位置し、基材１１の下面エッジ１１４が粘着剤層１２の上面エッジ１２３と重なる形状とされてもよい。このようなマスキングテープは、例えば、粘着剤層１２の当該一方側の下面エッジ１２４を、基板９の塗布領域９１と非塗布領域９２との境界に一致させるとともに、他方側の下面エッジ１２４を基板９の非塗布領域９２上の切断領域（すなわち、１枚の基板９から複数枚の有機ＥＬ表示装置用の基板を得る際に切断されるため製品として使用されない領域であり、隣接する塗布領域９１の間に位置する非塗布領域９２のほぼ中央に位置する。）に位置させて貼付される。
【００６４】
マスキングテープは、上述の有機ＥＬ液の塗布以外に、有機ＥＬ表示装置用の基板９に対して正孔輸送材料を含む流動性材料を塗布する際に、非塗布領域９２に対する流動性材料の付着防止に利用されてもよい。ここで、「正孔輸送材料」とは、有機ＥＬ表示装置の正孔輸送層を形成する材料であり、「正孔輸送層」とは、有機ＥＬ材料により形成された有機ＥＬ層へと正孔を輸送する狭義の正孔輸送層のみを意味するのではなく、正孔の注入を行う正孔注入層も含む。
【００６５】
また、マスキングテープは、必ずしも有機ＥＬ表示装置用の有機ＥＬ材料または正孔輸送材料を画素形成材料として含む流動性材料の塗布の際にのみ利用されるわけではなく、例えば、液晶表示装置やプラズマ表示装置等の平面表示装置用の基板に対し、着色材料や蛍光材料等の他の種類の画素形成材料を含む流動性材料を塗布する場合やその他の流動性材料を塗布する場合に利用されてもよい。さらには、有機薄膜太陽電池用基板や半導体ウエハ、光ディスク用基板等の様々な基板に対する流動性材料の塗布の際に利用されてもよい。
【００６６】
上記実施の形態では、ノズルから基板に向けて流動性材料を連続的に吐出して塗布する方法について説明したが、マスキングテープは、これ以外の塗布方法（例えば、インクジェット法やスピンコート法）により流動性材料を基板に塗布する際にも利用されてよい。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】第１の実施の形態に係る塗布装置の平面図である。
【図２】塗布装置の正面図である。
【図３】基板の平面図である。
【図４】基板の平面図である。
【図５】基板の断面図である。
【図６】マスキングテープおよび基板の一部を示す断面図である。
【図７．Ａ】比較例のマスキングテープおよび基板の一部を示す断面図である。
【図７．Ｂ】比較例のマスキングテープおよび基板の一部を示す断面図である。
【図７．Ｃ】比較例のマスキングテープおよび基板の一部を示す断面図である。
【図８】第２の実施の形態に係るマスキングテープおよび基板の一部を示す断面図である。
【図９】マスキングテープの他の例を示す断面図である。
【図１０】マスキングテープの他の例を示す断面図である。
【図１１】マスキングテープの他の例を示す断面図である。
【図１２】マスキングテープの他の例を示す断面図である。
【図１３】マスキングテープの他の例を示す断面図である。
【図１４】マスキングテープの他の例を示す断面図である。
【図１５】マスキングテープの他の例を示す断面図である。
【符号の説明】
【００６８】
１，１ａ〜１ｈ    マスキングテープ
９    基板
１１    基材
１２    粘着剤層
３７    ノズル
９０    主面
９２    非塗布領域
９３    有機ＥＬ液
１１４    下面エッジ
１１５    側面
１２２    下面
１２３    上面エッジ
１２４    下面エッジ
１２５    側面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７．Ａ】
2008024857.tif 000009
【図７．Ｂ】
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【図７．Ｃ】
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【図８】
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【図９】
2008024857.tif 000013
【図１０】
2008024857.tif 000014
【図１１】
2008024857.tif 000015
【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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