(57)【要約】【課題】簡易な構成によって、光化学反応の発生を抑制することができ、光学部品に生じる曇りを低減できること。【解決手段】光源装置１０２は、筐体２２ａ内に収容された波長選択光学系３０を介し、ランプ２４が発した紫外光を射出する光源装置であって、筐体２２ａに設けられ、筐体２２ａ内の換気を行う換気ファン３５と、換気ファン３５に筐体２２ａ内の気体を、この気体中の不純物とともに排出させた後、ランプ２４が発した紫外光を波長選択光学系３０に入射させる制御を行う制御部３２と、を備える。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
筐体内に収容された光学系を介し、光源が発した紫外光を射出する光源装置において、
前記筐体に設けられ、該筐体内の換気を行う換気手段と、
前記換気手段に前記筐体内の気体を該気体中の不純物とともに排出させ、前記紫外光を前記光学系に入射させる制御を行う制御手段と、
を備えたことを特徴とする光源装置。
【請求項２】
前記制御手段は、前記換気手段に前記筐体内の気体を所定量排出させた後、前記光源に前記紫外光を発光させる制御を行うことを特徴とする請求項１に記載の光源装置。
【請求項３】
前記光源から前記光学系に至る光路の遮断および開放を行うシャッター手段を備え、
前記制御手段は、前記光源の起動時に、前記シャッター手段に前記光路を遮断させるとともに、前記換気手段に前記筐体内の気体を所定量排出させる制御を行うことを特徴とする請求項１または２に記載の光源装置。
【請求項４】
前記シャッター手段に前記光路の遮断および開放を指示する指示情報を取得する指示情報取得手段を備え、
前記制御手段は、前記光源の起動時に、前記シャッター手段に前記光路を遮断させるとともに、前記換気手段に前記筐体内の気体を所定量排出させた後、前記指示情報をもとに前記シャッター手段に前記光路の開放および遮断を行わせる制御を行うことを特徴とする請求項３に記載の光源装置。
【請求項５】
前記所定量は、前記筐体内の容積に等しいことを特徴とする請求項２〜４のいずれか一つに記載の光源装置。
【請求項６】
前記筐体は、該筐体内に外気を通気させる通気孔を有し、
前記通気孔は、前記筐体内に通気させる外気から不純物を取り除くフィルタ部材を備えることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一つに記載の光源装置。
【請求項７】
前記光学系を介した前記紫外光を一端から受光するとともに他端から射出する光伝送手段を備えたことを特徴とする請求項１〜６のいずれか一つに記載の光源装置。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか一つに記載の光源装置と、
前記光源装置が射出した紫外光によって観察対象を照明する照明手段と、
前記照明手段によって照明された前記観察対象を観察する観察手段と、
を備えたことを特徴とする顕微鏡装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光源が発した紫外光を射出する光源装置および顕微鏡装置に関し、特に、筐体内に収容された光学系を介して紫外光を射出する光源装置および顕微鏡装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体や磁気ヘッドなどの微細な構造を観察するため、光学顕微鏡が広く利用されている。近年では、観察対象の微細化にともない、観察光に紫外光を用いて高解像力化を実現した紫外線顕微鏡を利用する要望が高まっている。ところが、紫外光は波長が短くエネルギーが高いため、光路の雰囲気中に化学的に不安定な不純物が所定レベル以上の濃度で含まれていると、その不純物が紫外光と光化学反応を起こし、レンズ等の光学部品に曇りを生じさせる。これによって、紫外線顕微鏡では、顕微鏡としての光学性能を維持できなくなる恐れがある。
【０００３】
これに対して、化学的に安定な不活性ガスを光路中に充満させることで光化学反応の発生を防止した紫外線顕微鏡が知られている（例えば、特許文献１参照）。また、紫外光を射出する光源装置を顕微鏡本体部から分離し、光ファイバを介して微弱な紫外光を供給することで光化学反応の発生を抑制した紫外線顕微鏡が開発されている（例えば、特許文献２参照）。特許文献２に記載の紫外線顕微鏡では、観察画像を得るために必要な最小限の光量の紫外光を供給することによって、顕微鏡本体部の光路で発生する光化学反応抑制し、光学部品に生じる曇りを低減させるようにしている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−１６１８９１号公報
【特許文献２】特開２００６−１５４２３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の紫外線顕微鏡では、光路を不活性ガスで充満させるために、光路の周囲に機密性が高い空間を確保するとともに、不活性ガスの循環機構を構成する必要があるなど、装置の構成が複雑かつ困難になるばかりか、装置コストを増大させるという問題があった。また、特許文献２に記載の紫外線顕微鏡では、顕微鏡本体部の光路中で発生する光化学反応は抑制されるものの、光源装置内は大光量のランプが内装されているために依然として光化学反応が発生しやすい状況にあり、光学部品に曇りが生じる恐れがあるという問題があった。
【０００６】
この問題について、図６を参照し、より具体的に説明する。図６は、特許文献２に記載の紫外線顕微鏡が備える光源装置の内部構成を示す図である。この光源装置は、光源としてのランプ１２４を有するランプハウス１２１と、ランプ１２４が発した光の中から所定波長域の紫外光を抽出する波長選択ユニット１２２と、波長選択ユニット１２２が抽出した紫外光を受光して顕微鏡本体部（不図示）へ導光する光ファイバ１２３と、を備える。
【０００７】
ランプハウス１２１は、ランプ１２４が発した光を集光するコレクタレンズ１２５を備え、波長選択ユニット１２２は、コレクタレンズ１２５が集光した光の中から所定波長域の紫外光を抽出するダイクロイックミラー１２６および波長選択フィルタ１２７と、抽出された紫外光を集光する集光レンズ１２８と、抽出された紫外光の光量調整を行うＮＤフィルタ１２９と、ＮＤフィルタ１２９を回転動作させるモータ１３０および動力伝達機構１３１と、モータ１３０の駆動制御を行う制御部１３２と、を備える。
【０００８】
かかる波長選択ユニット１２２では、ランプ１２４が発した光がコレクタレンズ１２５を介しただけで入射され、非常に強い紫外光が内部に照射されるばかりか、グリス等が混在した不純物を有するモータ１３０や、回路基板等の発ガス源を有した制御部１３２などが内部に存在するため、状況によっては光化学反応が発生しやすく、光学部品に曇りを生じさせる恐れがある。
【０００９】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、簡易な構成によって、光化学反応の発生を抑制することができ、光学部品に生じる曇りを低減させることができる光源装置および顕微鏡装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、請求項１にかかる光源装置は、筐体内に収容された光学系を介し、光源が発した紫外光を射出する光源装置において、前記筐体に設けられ、該筐体内の換気を行う換気手段と、前記換気手段に前記筐体内の気体を該気体中の不純物とともに排出させ、前記紫外光を前記光学系に入射させる制御を行う制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１１】
また、請求項２にかかる光源装置は、上記の発明において、前記制御手段は、前記換気手段に前記筐体内の気体を所定量排出させた後、前記光源に前記紫外光を発光させる制御を行うことを特徴とする。
【００１２】
また、請求項３にかかる光源装置は、上記の発明において、前記光源から前記光学系に至る光路の遮断および開放を行うシャッター手段を備え、前記制御手段は、前記光源の起動時に、前記シャッター手段に前記光路を遮断させるとともに、前記換気手段に前記筐体内の気体を所定量排出させる制御を行うことを特徴とする。
【００１３】
また、請求項４にかかる光源装置は、上記の発明において、前記シャッター手段に前記光路の遮断および開放を指示する指示情報を取得する指示情報取得手段を備え、前記制御手段は、前記光源の起動時に、前記シャッター手段に前記光路を遮断させるとともに、前記換気手段に前記筐体内の気体を所定量排出させた後、前記指示情報をもとに前記シャッター手段に前記光路の開放および遮断を行わせる制御を行うことを特徴とする。
【００１４】
また、請求項５にかかる光源装置は、上記の発明において、前記所定量は、前記筐体内の容積に等しいことを特徴とする。
【００１５】
また、請求項６にかかる光源装置は、上記の発明において、前記筐体は、該筐体内に外気を通気させる通気孔を有し、前記通気孔は、前記筐体内に通気させる外気から不純物を取り除くフィルタ部材を備えることを特徴とする。
【００１６】
また、請求項７にかかる光源装置は、上記の発明において、前記光学系を介した前記紫外光を一端から受光するとともに他端から射出する光伝送手段を備えたことを特徴とする。
【００１７】
また、請求項８にかかる顕微鏡装置は、上記のいずれか一つに記載の光源装置と、前記光源装置が射出した紫外光によって観察対象を照明する照明手段と、前記照明手段によって照明された前記観察対象を観察する観察手段と、を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明にかかる光源装置および顕微鏡装置によれば、簡易な構成によって、光化学反応の発生を抑制することができ、光学部品に生じる曇りを低減させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、添付図面を参照して、本発明にかかる光源装置および顕微鏡装置の好適な実施の形態を詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。また、図面の記載において、同一部分には同一の符号を付している。
【００２０】
（実施の形態１）
まず、本発明の実施の形態１にかかる光源装置および顕微鏡装置について説明する。図１は、本実施の形態１にかかる光源装置を備えた顕微鏡装置としての紫外線顕微鏡装置１００の要部構成を示す図である。この図に示すように、紫外線顕微鏡装置１００は、顕微鏡本体部１０１と、光源装置１０２とを備える。顕微鏡本体部１０１は、標本１が載置されるステージ２と、標本１の上部に配置される対物レンズ３と、レボルバ４を介して対物レンズ３を保持するとともに焦準機構５を介してステージ２を支持する架台６と、架台６の上部に積層して載置された可視光投光管７および紫外光投光管９と、接眼鏡筒１０を介して紫外光投光管９上に配置された接眼ユニット１１と、紫外光結像鏡筒１２を介して紫外光投光管９上に配置されたカメラ１３と、を備える。
【００２１】
光源装置１０２は、紫外光を発する光源としてのランプ２４を有したランプハウス２１と、ランプ２４が発した光の中から所定波長域の紫外光を抽出する波長選択ユニット２２と、波長選択ユニット２２が抽出した紫外光を受光して顕微鏡本体部１０１へ導光する光伝送手段としての光ファイバ２３と、を備える。
【００２２】
顕微鏡本体部１０１では、対物レンズ３は、倍率、対応波長等が異なる他の対物レンズとともに、交換自在にレボルバ４に取り付けられており、レボルバ４の回転動作に応じて標本１の上部に選択的に配置される。ステージ２は、焦準機構５によって昇降移動されることで、標本１と対物レンズ３との相対距離を変化させ、焦点合わせを行う。また、ステージ２は、端部に設けられたハンドル２ａの回動操作に応じて、対物レンズ３の光軸に直交した面内で移動されることで、対物レンズ３に対する標本１の観察位置を変化させる。
【００２３】
可視光投光管は、可視光を発する光源としてのランプ８ａを有したランプハウス８が後端部（図中、右端部）に着脱自在に設けられている。ランプ８ａには、例えばハロゲンランプが用いられる。ランプ８ａが発した可視光は、可視光投光管の内部に設けられたレンズ系７ａおよびビームスプリッタ７ｂと、レボルバ４に取り付けられた可視光対応の対物レンズとを介し、標本１に照射される。この照射された可視光は、標本１で反射され、再び可視光対応の対物レンズおよびビームスプリッタ７ｂを介した後、紫外光投光管９が有するダイクロイックミラー９ｃを透過し、接眼鏡筒１０内に設けられた結像レンズ１０ａによって結像される。このようにして結像された標本１の可視光観察像は、接眼ユニット１１を介して観察される。
【００２４】
なお、ここでは、接眼ユニット１１を有する接眼鏡筒１０を用いて標本１の観察を行うものとしたが、接眼鏡筒１０および接眼ユニット１１に替えて、標本１の可視光観察像を撮像するカメラを用いて観察を行うこともできる。また、接眼鏡筒１０に替えて、接眼ユニット１１とカメラとを取り付け可能な三眼鏡筒を用いることで、接眼ユニット１１を介した目視観察と、カメラによる画像観察とを両方行うことができる。
【００２５】
紫外光投光管９は、光ファイバ２３の射出端が後端部に着脱自在に取り付けられる。光ファイバ２３によって波長選択ユニット２２から導入された紫外光は、紫外光投光管９の内部に設けられたコレクタレンズ９ａ、ハーフミラー９ｂおよびダイクロイックミラー９ｃと、ビームスプリッタ７ｂと、紫外光に対応する対物レンズ３とを介し、標本１に照射される。この照射された紫外光は、標本１で反射され、再び対物レンズ３、ビームスプリッタ７ｂおよびダイクロイックミラー９ｃを介し、ハーフミラー９ｂで反射される。その後、紫外光結像鏡筒１２内に設けられた結像レンズ１２ａによって、カメラ１３の撮像面１３ａ上に結像される。このようにして結像された標本１の紫外光観察像は、カメラ１３によって撮像され、カメラコントローラ１４を介してディスプレイ１５に表示出力されて、観察される。
【００２６】
つづいて、光源装置１０２について説明する。図２は、光源装置１０２が備えるランプハウス２１および波長選択ユニット２２の内部構成を示す図である。この図に示すように、ランプハウス２１は、ランプ２４およびコレクタレンズ２５を筐体２１ａ内に備える。コレクタレンズ２５は、筐体２１ａに設けられた射出口２１ｂ内に配置されており、ランプ２４が発した光は、コレクタレンズ２５を介して筐体２１ａ外に射出される。
【００２７】
波長選択ユニット２２は、筐体２２ａの内部に、ダイクロイックミラー２６、波長選択フィルタ２７、集光レンズ２８およびＮＤフィルタ２９を用いて構成された波長選択光学系３０を備える。また、筐体２２ａ内には、ＮＤフィルタ２９を回動させる駆動機構３１と、光源装置１０２が有する各部の処理および動作を制御する制御部３２とが設けられ、筐体２２ａの外側正面部（図中、左側の外壁部）には、外部インターフェースとしての制御パネル３３が設けられている。
【００２８】
制御パネル３３は、図３に示すように、メインスイッチ３３ａ、ＮＤフィルタ調整ツマミ３３ｂおよび外部制御端子３３ｃが設けられ、制御部３２に電気的に接続されている。また、外部制御端子３３ｃは、ランプハウス２１内に設けられたランプコントローラ３４に電気的に接続されている。一方、筐体２２ａの上面部には、換気手段としての換気ファン３５、筐体２２ａの下面部には、フィルタ３７を有した通気孔３６がそれぞれ設けられている。換気ファン３５は、制御部３２に電気的に接続されている。
【００２９】
波長選択光学系３０は、ランプ２４が発し、コレクタレンズ２５によって導入された光の中から所定波長域の紫外光を抽出し、光ファイバ２３に入射させる。波長選択光学系３０は、ダイクロイックミラー２６がコレクタレンズ２５から導入された光を反射させ、波長選択フィルタ２７がダイクロイックミラー２６で反射された光を透過させることで、所定波長域の紫外光を抽出する。抽出された紫外光は、集光レンズ２８によって、ＮＤフィルタ２９を介し、光ファイバ２３内に導入されるとともに、光ファイバ２３によって顕微鏡本体部１０１に導光され、紫外光投光管９へ供給される。
【００３０】
ＮＤフィルタ２９は、透過する紫外光の光量を減衰させることで、光ファイバ２３に導入する紫外光の光量を調整する。具体的には、ＮＤフィルタ２９は、例えば円盤状に成形されたガラス基板を有し、その周縁部で周方向に、紫外光に対する透過率が連続的もしくは段階的に変化するように形成されている。そのガラス基板は、中心部が動力伝達機構３１ａを介してモータ３１ｂに係合されており、モータ３１ｂの回転駆動に応じて周方向に回動可能に設けられている。これによって、ＮＤフィルタ２９は、モータ３１ｂの回転駆動に応じて紫外光に対する透過率を変化させ、光ファイバ２３に入射させる紫外光の光量を変化させることができる。
【００３１】
ここで、モータ３１ｂは、ケーブル３１ｃを介して制御部３２に電気的に接続されている。制御部３２は、モータ３１ｂを駆動制御し、ＮＤフィルタ２９を回動させることで、光ファイバ２３に導入する紫外光の光量を調整する。その際、制御部３２は、制御パネル３３に設けられたＮＤフィルタ調整ツマミ３３ｂの設定状態に応じて、ＮＤフィルタ２９の回転位置（停止位置）を決定する。
【００３２】
このように紫外光の光量調整を行うことで、光源装置１０２は、カメラ１３が標本１の観察像を撮像するために必要な最小限の光量の紫外光を顕微鏡本体部１０１へ供給することができる。このため、顕微鏡本体部１０１では、光化学反応の発生を抑制することができ、光化学反応によって光学部品に生じる曇りを低減させることができる。
【００３３】
なお、ここでは、制御部３２がＮＤフィルタ２９を回動させて光量調整を行うものとしたが、例えば手動操作に応じてＮＤフィルタ２９を回動させて光量調整を行う構成としてもよい。あるいは、外部装置からの制御に応じてＮＤフィルタ２９を回動させて光量調整を行う構成としてもよい。
【００３４】
一方、換気ファン３５は、筐体２２ａの換気孔３５ａに設けられ、制御部３２からの指示に基づいて稼働し、筐体２２ａ内の空気等の気体を、その気体中の不純物とともに筐体２２ａ外に排出する。同時に、通気孔３６は、筐体２２ａ内に外気を通気させる。その際、通気孔３６は、孔内もしくは孔端部に設けられたフィルタ３７によって、筐体２２ａ内に通気させる外気から不純物を取り除く。これによって、光源装置１０２は、筐体２２ａ内の換気を行うことができ、筐体２２ａ内から不純物を除去することができる。なお、外気に含まれる不純物が十分に少ない場合などには、フィルタ３７を省くこともできる。
【００３５】
制御部３２は、メインスイッチ３３ａがオンされ、光源装置１０２が起動された場合、換気ファン３５を稼働させ、筐体２２ａ内の気体を、気体中の不純物とともに所定量排出させた後、ランプ２４を点灯する制御を行う。その際、制御部３２は、例えば所定量として、少なくとも筐体２２ａ内の容積に等しい量の気体を排出させるように換気ファン３５を制御する。具体的には、制御部３２は、換気ファン３５による単位時間当たりの排気量をもとに予め設定された排出時間以上、換気ファン３５を稼働させることで、筐体２２ａ内の容積以上の気体を排出させるようにする。その後、制御部３２は、ランプコントローラ３４にランプ点灯を指示する信号を出力し、ランプコントローラ３４にランプ２４を点灯させ、ランプ２４に紫外光を発光させる。なお、換気ファン３５に排出させる所定量の気体は、光源装置の内部で光化学反応の発生を抑制できるレベルに気体中の不純物を希釈できる量であればよい。
【００３６】
これによって、光源装置１０２では、コレクタレンズ２５から波長選択ユニット２２内に紫外光を導入する前に、筐体２２ａ内に蓄積された不純物を排出することができ、筐体２２ａ内の不純物の濃度レベルを低減させることができる。また、波長選択ユニット２２内に紫外光を導入した後も、換気ファン３５を連続的あるいは断続的に稼働することで、筐体２２ａ内の不純物濃度を低レベルに維持することができる。このため、光源装置１０２では、光化学反応の発生を抑制することができ、波長選択光学系３０が備える光学部品に生じる曇りを低減させることができる。
【００３７】
なお、光源装置１０２では、メインスイッチ３３ａがオンされた場合に、制御部３２が換気ファン３５の稼働とランプ２４の点灯とを一連の動作として制御するものとしたが、例えば、ランプ２４の点灯を個別に指示するスイッチ等を設け、制御部３２は、このスイッチ等からの指示情報の入力を制御するようにしてもよい。具体的には、例えば換気ファン３５が所定時間稼働された場合に限って、ランプ２４の点灯を指示する指示情報の入力が可能となるように制御を行うことができる。
【００３８】
また、光源装置１０２では、換気ファン３５は、筐体２２ａに直接設けられるものとして説明したが、例えば排気管等の通気部材を介してファンを設けてもよい。さらに、光源装置１０２では、筐体２２ａ内の気体を排出する排気側にファンを設けるものとしたが、排気側に限定する必要はなく、通気孔３６のように外気を内部に通気させる吸気側にファンを設けてもよく、排気側と吸気側との両方にファンを設けてもよい。
【００３９】
また、光源装置１０２では、換気ファン３５を筐体２２ａの上面部、通気孔３６を筐体２２ａの下面部に設けるものとしたが、この配置に限定されるものではなく、換気ファン３５および通気孔３６は、それぞれ筐体２２ａの任意の壁面部に設けることができる。ただし、不純物の発生源となるモータ３１ｂ、ケーブル３１ｃ、制御部３２等が、筐体２２ａ内の気体の流れに対して波長選択光学系３０を構成する光学部品よりも下流、つまり換気ファン３５に近いところに配置されるように、換気ファン３５および通気孔３６を設けることが好ましい。
【００４０】
以上説明したように、本実施の形態１にかかる光源装置１０２および紫外線顕微鏡装置１００は、波長選択ユニット２２の筐体２２ａに設けられ、筐体２２ａ内の換気を行う換気ファン３５と、換気ファン３５に筐体２２ａ内の気体を、この気体中の不純物とともに所定量排出させた後、ランプ２４に紫外光を発光させる制御を行う制御部３２と、を備えている。これによって、簡易な構成で、光化学反応の発生を抑制することができ、光学部品に生じる曇りを低減させることができるとともに、光学部品の性能を長期間維持することができ、装置の長寿命化を促進させることができる。
【００４１】
（実施の形態２）
つぎに本発明の実施の形態２にかかる光源装置および顕微鏡装置について説明する。上述した実施の形態１では、筐体２２ａ内の気体を所定量排出させた後、ランプ２４を点灯させる制御を行うものとしていたが、本実施の形態２では、ランプ２４から波長選択光学系３０に至る光路を遮断することによって、光源装置の起動とともにランプ２４を点灯できるようにしている。
【００４２】
図４は、本実施の形態２にかかる光源装置２０２の要部構成を示す図である。この図に示すように、光源装置２０２は、光源装置１０２の構成をもとに、波長選択ユニット２２に替えて波長選択ユニット４２を備える。また、波長選択ユニット４２は、波長選択ユニット２２の構成をもとに、制御部３２および制御パネル３３に替えて制御部５２および制御パネル５３を備えるとともに、シャッター５８をさらに備える。その他の構成は、実施の形態１と同じであり、同一構成部分には同一符号を付して示している。なお、本実施の形態２にかかる顕微鏡装置は、顕微鏡本体部１０１と光源装置２０２とを用いて構成されるものである。
【００４３】
シャッター５８は、コレクタレンズ２５とダイクロイックミラー２６との間に配置され、ランプ２４から波長選択光学系３０に至る光路の遮断および開放を行う。具体的には、シャッター５８は、コレクタレンズ２５とダイクロイックミラー２６との間の光路上に挿脱配置され、挿入された場合、コレクタレンズ２５を介したランプ２４からの光、特に紫外光が、波長選択光学系３０に入射されないように、その光路を遮断する。逆に、光路上から取り除かれた場合、ランプ２４が発した光を、波長選択光学系３０に入射させる。シャッター５８は、制御部５２に電気的に接続されており、制御部５２からの指示に基づいて挿脱駆動される。なお、ここでは、シャッター５８は、挿脱配置されることで光路を遮断および開放するものとしたが、例えば虹彩絞りのように、光路上に設けた遮光部材を開閉する機構であってもよい。
【００４４】
制御パネル５３は、図５に示すように、制御パネル３３の構成をもとに、シャッター開閉スイッチ５３ｄをさらに備える。シャッター開閉スイッチ５３ｄは、シャッター５８に光路の遮断および開放を指示する指示情報を外部から取得し、制御部５２に出力する。具体的には、シャッター開閉スイッチ５３ｄは、例えばオンされた場合、シャッター５８に光路の遮断を行わせる指示情報を出力し、オフされた場合、シャッター５８に光路の開放を行わせる指示情報を出力する。
【００４５】
制御部５２は、メインスイッチ３３ａがオンされ、光源装置２０２が起動された場合、ランプ２４を点灯し、シャッター５８に光路の遮断を行わせるとともに、制御部３２と同様に、換気ファン３５を稼働させ、筐体２２ａ内の気体を、気体中の不純物とともに所定量排出させる制御を行う。その後、制御部５２は、シャッター開閉スイッチ５３ｄから入力される指示情報をもとに、シャッター５８に光路の開放および遮断を適宜行わせる制御を行う。
【００４６】
あるいは、制御部５２は、ランプ２４の起動時に、シャッター５８に光路の遮断を行わせるとともに、換気ファン３５に所定量の気体を排出させた後、自動的にシャッター５８に光路の開放を行わせるようにしてもよい。その後、制御部５２は、シャッター開閉スイッチ５３ｄから入力される指示情報をもとに、シャッター５８に光路の遮断および開放を適宜行わせる制御を行うことができる。
【００４７】
これによって、光源装置２０２では、コレクタレンズ２５から波長選択光学系３０に紫外光を入射させる前に、筐体２２ａ内に蓄積された不純物を排出することができ、筐体２２ａ内の不純物の濃度レベルを低減させることができる。また、波長選択ユニット２２内に紫外光を導入した後も、換気ファン３５を連続的あるいは断続的に稼働することで、筐体２２ａ内の不純物濃度を低レベルに維持することができる。このため、光源装置２０２では、光化学反応の発生を抑制することができ、波長選択光学系３０が備える光学部品に生じる曇りを低減させることができる。
【００４８】
また、光源装置２０２では、筐体２２ａ内に蓄積された不純物を換気ファン３５によって排出するとともに、ランプ２４を点灯し、ランプ２４のウォームアップを並行して行うことができるため、ランプ２４のウォームアップに要する時間を浪費することなく、効率的に装置を稼働させることができる。
【００４９】
さらに、光源装置２０２では、ランプ２４を点灯し、シャッター５８に光路の開放を行わせた後、シャッター開閉スイッチ５３ｄによって適宜シャッター５８に光路の遮断および開放を行わせることができるため、例えばカメラ１３によって標本１の紫外光観察像を撮像するときのみ顕微鏡本体部１０１に紫外光を供給するなど、顕微鏡本体部１０１に対して間欠的に必要最小限の紫外光を供給することができる。これによって、顕微鏡本体部１０１内で発生する光化学反応を一層抑制することができ、顕微鏡本体部１０１内の光学部品に生じる曇りをさらに低減することができる。
【００５０】
なお、この例のように、カメラ１３による撮像と、シャッター５８による光路の開放および遮断とを同期動作させる際、カメラコントローラ１４からの指示に基づいて、カメラ１３とシャッター５８とを駆動させるようにしてもよい。あるいは、カメラコントローラ１４と制御部５２との処理を統括制御する制御部をさらに備えてもよい。
【００５１】
ここまで、本発明を実施する最良の形態を実施の形態１および２として説明したが、本発明は、上述した実施の形態１および２に限定されず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲であれば、種々の変形が可能である。
【００５２】
例えば、上述した実施の形態１および２では、波長選択ユニット２２，４２から顕微鏡本体部１０１まで光ファイバ２３によって紫外光を伝送するようにしていたが、ミラー、レンズ、ガラスロッド等を用いて光路形成した光学系を介して伝送してもよい。
【００５３】
また、上述した実施の形態１および２では、光ファイバ２３を介して波長選択ユニット２２，４２を顕微鏡本体部１０１から離隔して設けるものとしたが、波長選択ユニットを顕微鏡本体部に一体に設けるようにしてもよい。その場合、例えば、波長選択光学系を筐体で囲繞し、顕微鏡本体部内の光学系から隔離するとともに、その筐体内部を換気する換気機構を設けることで、光化学反応および曇りの発生に対して波長選択ユニット２２，４２と同等の効果を奏することができる。
【００５４】
なお、上述した実施の形態１および２では、コレクタレンズ２５は、ランプハウス２１内に設けられるものとしたが、これは、コレクタレンズ２５がランプ２４からの照射光によって高温にさらされるため、光化学反応による曇りが発生しにくいことによる。しかしながら、この配置に限定する必要はなく、コレクタレンズ２５を波長選択ユニット内、つまり換気する空間内に設けることもできる。
【００５５】
また、上述した実施の形態１および２では、波長選択ユニット２２，４２は、換気ファン３５と通気孔３６とを各々１つ有するものとしたが、１つに限定する必要はなく、それぞれ複数有するようにしてもよい。この場合、例えば換気ファンを波長選択ユニットの下部に設けることで、空気よりも比重が重いガス等の不純物をより効率的に排出することができ、換気に要する時間の短縮化をはかることができる。
【００５６】
さらに、上述した実施の形態２では、シャッター５８は、コレクタレンズ２５からダイクロイックミラー２６に至る光路を遮断および開放するものとしたが、ランプ２４からコレクタレンズ２５に至る光路を遮断および開放するものとしてもよい。これにともなって、シャッター５８をランプハウス２１内に設けるようにしてもよい。
【００５７】
また、紫外投光管９など、光源装置から紫外光が導入される投光管に換気手段を設け、上述の実施の形態１および２にかかる光源装置１０１，２０２と同様の制御を行うようにしても構わない。
【００５８】
なお、上述した実施の形態１および２では、顕微鏡本体部１０１は、標本の上部から照明および観察を行う正立顕微鏡であるものとして説明したが、標本の下部から照明および観察を行う倒立顕微鏡とすることもできる。また、顕微鏡本体部１０１は、落射照明を行うものとして説明したが、透過照明を行うものであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の実施の形態１にかかる光源装置および顕微鏡装置の全体構成を示す図である。
【図２】図１に示した光源装置の構成を示す図である。
【図３】図２に示した制御パネルの構成を示す図である。
【図４】本発明の実施の形態２にかかる光源装置の構成を示す図である。
【図５】図４に示した制御パネルの構成を示す図である。
【図６】従来技術にかかる光源装置の構成を示す図である。
【符号の説明】
【００６０】
１    標本
２    ステージ
２ａ    ハンドル
３    対物レンズ
４    レボルバ
５    焦準機構
６    架台
７    可視光投光管
７ａ    レンズ系
７ｂ    ビームスプリッタ
８    ランプハウス
８ａ    ランプ
９    紫外光投光管
９ａ    コレクタレンズ
９ｂ    ハーフミラー
９ｃ    ダイクロイックミラー
１０    接眼鏡筒
１０ａ    結像レンズ
１１    接眼ユニット
１２    紫外光結像鏡筒
１２ａ    結像レンズ
１３    カメラ
１３ａ    撮像面
１４    カメラコントローラ
１５    ディスプレイ
２１    ランプハウス
２１ａ    筐体
２１ｂ    射出口
２２，４２    波長選択ユニット
２２ａ    筐体
２３    光ファイバ
２４    ランプ
２５    コレクタレンズ
２６    ダイクロイックミラー
２７    波長選択フィルタ
２８    集光レンズ
２９    ＮＤフィルタ
３０    波長選択光学系
３１    駆動機構
３１ａ    動力伝達機構
３１ｂ    モータ
３１ｃ    ケーブル
３２，５２    制御部
３３，５３    制御パネル
３３ａ    メインスイッチ
３３ｂ    ＮＤフィルタ調整ツマミ
３３ｃ    外部制御端子
３４    ランプコントローラ
３５    換気ファン
３５ａ    換気孔
３６    通気孔
３７    フィルタ
５３ｄ    シャッター開閉スイッチ
５８    シャッター
１００    紫外線顕微鏡装置
１０１    顕微鏡本体部
１０２，２０２    光源装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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