(57)【要約】  【課題】  捕獲した塵埃による目詰まりを防ぎ、圧力損失の上昇を抑制できるエアフィルタ濾材を提供する。  【解決手段】  ポリテトラフルオロエチレン多孔質膜１と繊維製通気性多孔材２とを含むエアフィルタ濾材であって、前記ポリテトラフルオロエチレン多孔質膜１の上流側に、繊維径が１〜１５μｍの範囲、その気孔率が７０％以上、その目付け量が６０ｇ／ｍ2以上である前記繊維製通気性多孔材２を配置する。前記繊維製通気性多孔材２としては、不織布が好ましく、その材質としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート等が使用できる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポリテトラフルオロエチレン多孔質膜と繊維製通気性多孔材とを含むエアフィルタ濾材であって、前記多孔質膜の気体の流れの上流側に前記繊維製通気性多孔材が配置され、前記繊維製通気性多孔材は、その繊維径が１〜１５μｍの範囲、その気孔率が７０％以上、その目付け量が６０ｇ／ｍ2以上であることを特徴とするエアフィルタ濾材。
【請求項２】
繊維製通気性多孔材が不織布である請求項１に記載のエアフィルタ濾材。
【請求項３】
請求項１または２に記載のエアフィルタ濾材を用いたエアフィルタユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ポリテトラフルオロエチレン（以下、「ＰＴＦＥ」という）多孔質膜を用いたエアフィルタ濾材に関し、さらに詳しくは、例えば、半導体工業や薬品工業等のクリーンルームで使用される空気や気体中の浮遊粒子の捕獲に用いるフィルタ濾材、ハードディスク内部に進入する塵埃やハードディスク内部で発生する塵埃の捕獲に用いるフィルタ濾材（例えば、ベントフィルタ濾材）、または掃除機により吸引した塵埃の捕獲に用いるフィルタ濾材として好ましく使用できるエアフィルタ濾材およびそれを用いたエアフィルタユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、クリーンルーム等で使用されるエアフィルタユニットには、ガラス繊維にバインダーを加えて抄紙したエアフィルタ濾材が多く使用されている。しかし、このような濾材には、例えば、濾材中の付着小繊維の存在や、加工による折り曲げ時の自己発塵というような問題がある。また、前記自己発塵を防止するために、バインダー量を増加させると、その圧力損失が増大する等のおそれもある（特開昭６３−１６０１９号公報）。さらに、このような濾材は、フッ酸等のある種の化学薬品と接触すると、ガラスおよびバインダーが劣化して発塵するという問題もある。
【０００３】
一方、ＰＴＦＥはクリーンな材料で、耐薬品性にも優れている。そこで、近年、前記ＰＴＦＥ多孔質膜が、エアフィルタ濾材として種々の分野で使用されており、特に、厳しい清浄環境が要求されている半導体製造等の分野におけるエアフィルタ濾材として有用である。
【０００４】
前記ＰＴＦＥ多孔質膜は、例えば、シート状ＰＴＦＥ成形体を作製し、これを二軸延伸して多孔質化することにより製造できる。このようにして製造されたＰＴＦＥ多孔質膜は、圧力損失が非常に低く、捕集効率が非常に高いため、塵埃捕集性能に優れている。しかしながら、前記ＰＴＦＥ多孔質膜は、延伸によりその厚みが薄くなるため強度が弱く、それ単独ではエアフィルタ濾材として使用が困難である。このため、前記ＰＴＦＥ多孔質膜に、補強材として通気性多孔材を複合または積層化したものがエアフィルタ濾材として使用されている（国際公開番号ＷＯ９４／１６８０２号公報、特許文献１）。
【０００５】
前記補強材としては、ＰＴＦＥ多孔質膜とのラミネート時に収縮せず、プリーツ加工等に対しても適度な剛性が得られることから、一般的に、ポリエチレン（ＰＥ）製の合成繊維で構成された、芯鞘構造のスパンボンドタイプ不織布が用いられている。例えば、前記ＰＴＦＥ多孔質膜に前記不織布等の補強材を積層したフィルタ濾材をプリーツ加工して用いたエアフィルタユニットでは、粒径０．１μｍの粒子に対する捕集効率が９９．９９９９９９％以上と非常に優れた塵埃捕集性能を有し、これによりクリーンルーム等の清浄環境を一段と向上することが可能となっている。しかしながら、前記補強材は、塵埃をほとんど捕獲せずに透過させてしまうため、ＰＴＦＥ多孔質膜において、捕獲した塵埃による目詰まりが起こり易く、使用しているうちにその圧力損失が大きく上昇するという問題がある。
【特許文献１】国際公開第ＷＯ９４／１６８０２号パンフレット
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
そこで、本発明の目的は、圧力損失の上昇が抑制されたエアフィルタ濾材およびそれを用いたエアフィルタユニットの提供である。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するために、本発明のエアフィルタ濾材は、ＰＴＦＥ多孔質膜と繊維製通気性多孔材とを含むエアフィルタ濾材であって、前記多孔質膜の気体の流れの上流側に前記繊維製通気性多孔材が配置され、前記繊維製通気性多孔材は、その繊維径が１〜１５μｍの範囲、その気孔率が７０％以上、その目付け量が６０ｇ／ｍ2以上であることを特徴とする。
【０００８】
前記物性を有する繊維製通気性多孔材は、補強材としての機能を有することに加え、それ自身も塵埃捕集機能を有し、プレフィルターとして作用する。このため、本発明のエアフィルタ濾材は、ＰＴＦＥ多孔質膜における目詰まりが防止され、これに起因する圧力損失の上昇を抑制でき、その使用寿命も長くなる。なお、従来の通気性多孔材が塵埃をほとんど捕獲できないのは、その繊維径が約２０μｍ以上と太いことが一因であると、本発明者らは推察している。
【０００９】
また、前記繊維製通気性多孔材において、前記繊維径は１〜５μｍの範囲、前記気孔率は７０〜９０％の範囲、前記目付け量は６０〜２００ｇ／ｍ2の範囲であることがそれぞれ好ましい。
【００１０】
本発明のエアフィルタユニットは、本発明のエアフィルタ濾材を用いることを特徴とする。本発明のエアフィルタ濾材を用いたエアフィルタユニットは、捕獲した塵埃による目詰まりが起こりにくく、使用寿命も長くなることから、低コスト化を図ることができる。特に、厳しい清浄環境が要求される半導体製造等において使用するエアフィルタユニットとして有用である。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のエアフィルタ濾材は、ＰＴＦＥ多孔質膜の上流側に、繊維径が１〜１５μｍ、気孔率７０％以上、目付け量６０ｇ／ｍ2以上の繊維製通気性多孔材を積層することにより、捕獲した塵埃による目詰まりが起こり難く、圧力損失の上昇を抑制できるため、使用寿命を長くできる。このようなエアフィルタ濾材を、例えば、半導体製造におけるクリーンルームのエアフィルタユニットに使用すれば、フィルタの目づまりが起こり難く、その寿命も長いため、低コスト化を図ることが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明のエアフィルタ濾材は、前述のようにＰＴＦＥ多孔質膜と前記物性の繊維製通気性多孔材とを含み、前記多孔質膜の上流側に前記繊維製通気性多孔材が配置されている。
【００１３】
前記ＰＴＦＥ多孔質膜としては、使用用途に応じた性能が発揮されるものであれば、特に制限されないが、例えば、半導体製造用クリーンルーム等におけるエアフィルタ濾材に使用する場合は、塵埃捕集性能を表すＰｅｒｆｏｒｍａｎｃｅｏｆ ｆｉｌｔｅｒ（ＰＦ）値が、１５より大きいことが好ましく、２０〜４０の範囲がより好ましい。なお、前記ＰＦ値は、下記式（数１）より求めることができ、下記式（数１）における捕集効率および圧力損失は、後述する方法により求めることができる。
【００１４】
（数１）
ＰＦ値＝−［Ｌｏｇ（１−捕集効率）］×１００／圧力損失
捕集効率の単位：％圧力損失の単位： ｍｍＨ2Ｏ
前記ＰＴＦＥ多孔質膜において、その厚みは、作製するエアフィルタ濾材の大きさ等により適宜決定されるが、例えば、２〜１００μｍの範囲であり、その孔径は、例えば、０．５〜５０μｍの範囲である。
【００１５】
前記ＰＴＦＥ多孔質膜の製造方法は特に制限されず、例えば、特開平１０−０３００３１号公報、国際公開番号ＷＯ９４／１６８０２号公報等に記載されている製造方法があげられる。
【００１６】
前記ＰＴＦＥ多孔質膜の製造方法の一例を以下に示す。まず、未焼成のＰＴＦＥ微粉末に液状潤滑剤を加えて混合する。前記ＰＴＦＥ微粉末としては、特に制限されず、市販のものが使用できる。前記液状潤滑剤としては、前記ＰＴＦＥ微粉末の表面をぬらすことができ、後で除去できるものであれば特に制限されず、ナフサ、ホワイトオイル、流動パラフィン、トルエン、キシレン等の炭化水素油や、アルコール類、ケトン類およびエステル類の溶媒等が使用できる。また、これらは、二種類以上併用してもよい。
【００１７】
前記ＰＴＦＥ微粉末に対する液状潤滑剤の添加割合は、前記ＰＴＦＥ微粉末の種類、液状潤滑油の種類および後述するシート成形の条件等により適宜決定されるが、例えば、ＰＴＦＥ微粉末１００重量部に対して、液状潤滑剤１５〜３５重量部の範囲である。
【００１８】
つぎに、前記混合物を未焼成状態でシート状に成形する。前記成形方法としては、例えば、前記混合物をロッド状に押し出した後、対になったロールにより圧延する圧延法や、板状に押し出してシート状にする押し出し法があげられる。また、前記両方法を組み合せてもよい。このシート状成形体の厚みは、後に行う延伸の条件等により適宜決定されるが、例えば、０．１〜０．５ｍｍの範囲である。
【００１９】
なお、得られたシート状成形体に含まれる前記液状潤滑剤は、続いて行う延伸工程前に、加熱法または抽出法等により除去しておくことが好ましい。前記抽出法に使用する溶媒は、特に制限されないが、例えば、ノルマルデカン、ドデカン、ナフサ、ケロシン、スモイル等があげられる。
【００２０】
つぎに、前記シート状成形物に対して延伸を行う。この延伸は、二軸延伸が好ましい。例えば、前記シート状成形物の長手方向において、その長さが２〜６０倍の範囲になるように、温度１５０〜３９０℃で延伸し、続いて、前記シート状成形物の幅方向において、その長さが１０〜６０倍の範囲になるように、温度４０〜１５０℃で延伸する。以上のようにして、ＰＴＦＥ多孔質膜が製造できる。
【００２１】
なお、ＰＴＦＥ多孔質膜の製造方法は特に制限されず、前述のように用途に応じた性能が発揮されるＰＴＦＥ多孔質膜を製造できればよい。
【００２２】
つぎに、前記繊維製通気性多孔材は、前述のような繊維径、気孔率および目付け量であれば、これ以外の性質、構造、形態等は特に制限されないが、通気性に優れた材料である不織布、織布、メッシュ（網目状シート）等が使用でき、この中でも、強度、柔軟性、作業性の点で優れることから不織布がより好ましい。また、その繊維は、単繊維や、フィラメントからなるものがあげられ、好ましくは、使用中にエアフィルタから繊維が脱落することを防止できることから、前記フィラメントからなるものである。
【００２３】
前記繊維の材質としては、特に制限されないが、例えば、ＰＥ、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）およびこれらの複合材等があげられる。また、前記繊維は、芯鞘構造の複合繊維であり、芯部分が鞘部分よりも相対的に融点が高い合成繊維であることが好ましい。このような芯鞘構造の繊維からなる繊維製通気性多孔材を用いれば、ＰＴＦＥ多孔質膜と加熱によりラミネートしても、収縮することを防止できる。前記芯鞘構造の繊維としては、例えば、芯部分がＰＥＴ製で、鞘部分がＰＥ製であるものや、芯部分がＰＰ製で、鞘部分がＰＥ製であるものがあげられる。
【００２４】
つぎに、本発明のエアフィルタ濾材は、例えば、前記ＰＴＦＥ多孔質膜の気体の流れの上流側に前記繊維製通気性多孔材を積層することにより製造できる。前記積層方法としては、特に制限されないが、例えば、加熱処理により接着する方法や、接着材料により接着する方法等があげられる。
【００２５】
前記加熱処理により積層する場合は、例えば、前記ＰＴＦＥ多孔質膜と前記繊維製通気性多孔材とを重ね合わせ、これを加熱部材と接触させ、前記繊維製通気性多孔材の一部を溶融させて接着することにより行うことができる。特に、前記両者を重ね合わせ、これを加熱したロール間に通す方法は、加熱作業を連続して実施できるため好ましい。前記加熱処理の条件は、前記繊維製通気性多孔材の材質等により適宜決定されるが、例えば、処理温度は前記繊維製通気性多孔材の融点以上が好ましい。
【００２６】
また、前記接着材料により積層する場合は、例えば、前記ＰＴＦＥ多孔質膜と前記繊維製通気性多孔材との間に接着材料を介在させればよい。前記接着材料としては、例えば、低融点のＰＥパウダー等が使用できる。
【００２７】
本発明のエアフィルタ濾材の構造は、前述のように、前記多孔質膜の気体の流れの上流側に前記繊維製通気性多孔材が配置されていればよく、その他の構成は特に制限されない。例えば、ＰＴＦＥ多孔質膜は１層でもよいし、２層以上でもよい。前記ＰＴＦＥ多孔質膜の積層体を有する場合、その積層数は、例えば、２〜１０層の範囲である。前記ＰＴＦＥ多孔質膜は、同一のＰＴＦＥ多孔質膜を使用してもよいし、異なるＰＴＦＥ多孔質膜を使用してもよい。前記ＰＴＦＥ多孔質膜相互を積層する方法としては、例えば、前記ＰＴＦＥ多孔質膜の成膜時に圧着積層する方法や、熱融着する方法等があげられる。
【００２８】
また、ＰＴＦＥ多孔質膜の下流側には、上流側と同様に、前記繊維製通気性多孔材が配置されてもよいし、異なる通気性多孔材が配置されてもよい。
【００２９】
このように、本発明のエアフィルタ濾材の構成は特に制限されず、例えば、図１に示すように、ＰＴＦＥ多孔質膜１の気体の流れ（矢印）の上流側の面にのみ繊維製通気性多孔材２が配置されてもよいし、図２に示すように、ＰＴＦＥ多孔質膜１の両面に繊維製通気性多孔材２が配置されてもよい。また、図３に示すように、ＰＴＦＥ多孔質膜１の気体の流れ（矢印）の上流側の面に接着層３を介して繊維製通気性多孔材２が配置されてもよい。
【００３０】
本発明のエアフィルタ濾材の全体厚みは、例えば、厚み０．２〜２．０ｍｍの範囲であり、好ましくは、０．２５〜１．０ｍｍの範囲である。
【００３１】
つぎに、本発明のエアフィルタユニットは、本発明のエアフィルタ濾材を使用する以外は、常法により製造でき、例えば、本発明のエアフィルタ濾材を連続したＷ字状にひだ折り加工（プリーツ加工）し、これに枠付けすれば製造できる。
【００３２】
［実施例］
つぎに、本発明の実施例について、比較例と併せて説明する。なお、実施例および比較例における繊維製通気性多孔材およびエアフィルタ濾材の各特性の測定方法は、以下に示すとおりである。
【００３３】
（１）繊維径繊維製通気性多孔材の表面を走査顕微鏡（ＳＥＭ）写真に撮り、その繊維径を測定した。
【００３４】
（２）目付け量繊維製通気性多孔材を１００ｃｍ2にサンプリングし、その重さを電子天秤により測定して１ｍ2当たりの質量（ｇ）を求めた。
【００３５】
（３）気孔率繊維製通気性多孔材の厚みを、ダイヤルシックネスゲージ（測定子径：１０φ、最小目盛り：１０μｍ）を用いて５点測定し、その平均値を求めた。前記厚みの平均値と前記繊維製通気性多孔材の目付け量の値とを下記式（数２）に代入して気孔率を算出した。
【００３６】
（数２）
気孔率（％）＝［Ａ−（Ｂ／Ｃ）］／Ａ
Ａ ： 繊維製通気性多孔材に用いた材質の真比重（ｇ／ｍ2）
Ｂ ： 目付け量（ｇ／ｍ2）
Ｃ ： 平均厚み（μｍ）
（４）圧力損失サンプル（ＰＴＦＥ多孔質膜またはエアフィルタ濾材、以下同じ）を有効面積１００ｃｍ2の円形ホルダーにセットし、入口側から大気塵を供給しつつ、前記入口側と出口側に圧力差を与え、前記サンプルの透過流速を５．３ｃｍ／秒に調整して前記大気塵を透過させ、一定時間毎の圧力損失（単位：ｍｍＨ2Ｏ）を圧力計（マノメーター）で測定した。エアフィルタ濾材の場合、サンプルは、大気塵を供給する入口側に、エアフィルタ濾材の上流側（繊維製通気性多孔材側）が位置するようにセットした。なお、前記大気塵とは、雰囲気中に浮遊している塵埃をいう。
【００３７】
（５）Ｄｕｓｔ Ｈｏｌｄｉｎｇ Ｃａｐａｃｉｔｙ（ＤＨＣ）
圧力損失の測定方法と同様にしてサンプルに大気塵を透過させ、一定時間毎に、前記サンプルの重量変化を電子天秤で測定した。
【００３８】
（６）捕集効率圧力損失の測定方法と同様にしてサンプルをセットした。そして、サンプルの透過速度を５．３ｃｍ／秒にして、前記サンプルの上流側に、粒径０．５μｍ以上の多分散ジオクチルフタレート（以下、「ＤＯＰ」という）粒子を約１０7個／リットルになるように供給し、前記上流側のＤＯＰ粒子濃度とサンプルを透過してきた下流側のＤＯＰ粒子濃度とをパーティクルカウンターで測定して下記式（数３）により捕集効率を求めた。ただし、対象粒子は、粒径０．５μｍ以上の範囲のものとした。
【００３９】
（数３）
捕集効率（％）＝［１−（下流側濃度／上流側濃度）］×１００
下流側濃度の単位：粒子個数／リットル
上流側濃度の単位：粒子個数／リットル
【実施例１】
【００４０】
ＰＴＦＥファインパウダー（フルオンＣＤ−１２３、旭・ＩＣＩフロロポリマーズ社製）１００重量部に対して液状潤滑剤（流動パラフィン）３０重量部を均一に混合し、この混合物を圧力２０ｋｇ／ｃｍ2で予備成形した。ついで、予備成形物をロッド状に押し出し成形し、このロッド状物を一対の金属製圧延ロール間に通して、厚み０．２ｍｍの長尺のシート状ＰＴＦＥ成形体を得た。つぎに、ノルマルデカンを用いた抽出法により、前記シート状ＰＴＦＥ成形体から前記液状潤滑剤を除去した後、これを管状芯体にロール状に捲回した。
【００４１】
前記捲回したシート状ＰＴＦＥ成形体を、ロール延伸法により、その長さが長手方向に２０倍になるように、３７０℃で延伸を行った。続いて、このシート状ＰＴＦＥ成形体を、テンターを用いて、その長さが幅方向に１０倍になるように１００℃で延伸し、焼成状態のＰＴＦＥ多孔質膜を得た。
【００４２】
前記ＰＴＦＥ多孔質膜の上流側に配置する繊維製通気性多孔材として、表示規格が繊維径約１０μｍ、目付け量６０ｇ／ｍ2の市販のＰＰ不織布を用いた。そして、前記ＰＴＦＥ多孔質膜の上流側に、前記繊維製通気性多孔材を重ね、前記ＰＴＦＥ多孔質膜の下流側に、繊維径２０μｍ、目付け量３０ｇ／ｍ2のＰＥ／ＰＥＴ芯鞘不織布を重ねた後、これを１４５℃に加熱した一対のロール間に通過させることによりラミネートを行い、エアフィルタ濾材を作製した。
【実施例２】
【００４３】
ＰＴＦＥ多孔質膜の上流側に積層する繊維製通気性多孔材として、表示規格が繊維径約１０μｍ、目付け量８０ｇ／ｍ2の市販のＰＰ不織布を用いた以外は、前記実施例１と同様にして、ＰＴＦＥ多孔質膜の作製およびエアフィルタ濾材の作製を行った。
【実施例３】
【００４４】
ＰＴＦＥ多孔質膜の上流側に積層する繊維製通気性多孔材として、表示規格が繊維径約１０μｍ、目付け量１００ｇ／ｍ2の市販のＰＰ不織布を用いた以外は、前記実施例１と同様にして、ＰＴＦＥ多孔質膜の作製およびエアフィルタ濾材の作製を行った。
【実施例４】
【００４５】
ＰＴＦＥ多孔質膜の上流側に積層する繊維製通気性多孔材として、表示規格が繊維径約３μｍ、目付け量１００ｇ／ｍ2の市販のＰＰ不織布を用いた以外は、前記実施例１と同様にして、ＰＴＦＥ多孔質膜の作製およびエアフィルタ濾材の作製を行った。
【００４６】
（比較例１）
ＰＴＦＥ多孔質膜の上流側に積層する繊維製通気性多孔材として、表示規格が繊維径約２０μｍ、目付け量７０ｇ／ｍ2の市販のＰＰ不織布を用いた以外は、前記実施例１と同様にして、ＰＴＦＥ多孔質膜の作製およびエアフィルタ濾材の作製を行った。
【００４７】
実施例および比較例において、エアフィルタ濾材の作製前に、ＰＴＦＥ多孔質膜の上流側に積層する繊維製通気性多孔材について、繊維径、目付け量、気孔率および捕集効率を測定した結果を下記表１に示す。また、実施例および比較例において作製したエアフィルタ濾材について、圧力損失およびＤＨＣを測定した結果を図４に示す。
【００４８】
【表１】
2008296222.tif 000003
【００４９】
前記表１に示すように、各実施例で使用した通気性多孔性材料は、比較例１の繊維製通気性多孔材に比べて、それぞれ繊維径が細く、粒径０．５μｍ以上の塵埃の捕集効率が高かった。このような捕集効率の高い繊維製通気性多孔材を使用した各実施例のエアフィルタ濾材は、図４に示すように、比較例のエアフィルタ濾材に比べて、同じＤＨＣ値における圧力損失の上昇が低かった。また、実施例１、２、３からわかるように、使用した繊維製通気性多孔材の目付け量が大きいほど、同じＤＨＣ値におけるエアフィルタ濾材の圧力損失はさらに低くなり、実施例３、４からわかるように、使用した繊維製通気性多孔材の繊維径が細いほど、同じＤＨＣ値におけるエアフィルタ濾材の圧力損失がさらに低くなった。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明のエアフィルタ濾材の一例の構成概略を示す断面図である。
【図２】本発明のエアフィルタ濾材のその他の例の構成概略を示す断面図である。
【図３】本発明のエアフィルタ濾材のさらにその他の例の構成概略を示す断面図である。
【図４】本発明の一実施例におけるエアフィルタ濾材のＤＨＣと圧力損失との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
【００５１】
１ ： ＰＴＦＥ多孔質膜
２ ： 繊維製通気性多孔材
３ ： 接着剤層
【図１】
2008296222.tif 000004
【図２】
2008296222.tif 000005
【図３】
2008296222.tif 000006
【図４】
2008296222.tif 000007
【手続補正書】
【提出日】平成20年7月23日(2008.7.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポリテトラフルオロエチレン多孔質膜と繊維製通気性多孔材とを含むエアフィルタ濾材であって、前記多孔質膜の気体の流れの上流側に前記繊維製通気性多孔材が配置され、前記繊維製通気性多孔材は、その繊維径が１〜１５μｍの範囲、その気孔率が７０％以上、その目付け量が６０ｇ／ｍ2以上であり、前記繊維製通気性多孔材単体での捕集効率が８２％以上であることを特徴とするエアフィルタ濾材。
【請求項２】
大気塵を透過させる前の圧力損失が、２０ｍｍＨ2Ｏ以下である請求項１に記載のエアフィルタ濾材。
【請求項３】
大気塵を透過させる前の圧力損失が、１５〜２０ｍｍＨ2Ｏの範囲である請求項１または２に記載のエアフィルタ濾材。
【請求項４】
繊維製通気性多孔材が不織布である請求項１〜３のいずれかに記載のエアフィルタ濾材。
【請求項５】
前記不織布が、ポリプロピレン製である請求項４に記載のエアフィルタ濾材。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載のエアフィルタ濾材を用いたエアフィルタユニット。