(57)【要約】【課題】ねじれ変形がなく、寸法精度に優れたガラススペーサを製造できる平面型ディスプレイ用ガラススペーサの製造方法及び平面型ディスプレイ用ガラススペーサを提供する。【解決手段】矩形断面のガラス母材（１）を加熱溶融して線引きがなされる線引炉（６）の炉心管（７）内を、ヘリウムガスが３０％以上含まれる雰囲気とし、ガラス母材（１）を溶融・延伸して平面型ディスプレイ用ガラススペーサ（１０）を製造する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形断面のガラス母材を加熱溶融して線引きがなされる線引炉の炉心管内を、ヘリウムガスが３０％以上含まれる雰囲気とすることを特徴とする平面型ディスプレイ用ガラススペーサの製造方法。
【請求項２】
前記炉心管は、前記ガラス母材の断面寸法より大きな断面寸法を有する管状であることを特徴とする請求項１に記載の平面型ディスプレイ用ガラススペーサの製造方法。
【請求項３】
前記炉心管の断面形状が、矩形状または円形状であることを特徴とする請求項１又は２に記載の平面型ディスプレイ用ガラススペーサの製造方法。
【請求項４】
前記ガラス母材の矩形断面の形状が、その長辺と短辺との比が４以上であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の平面型ディスプレイ用ガラススペーサの製造方法。
【請求項５】
前記炉心管内の前記ガラス母材の溶融温度を調整することにより、線引きされる平面型ディスプレイ用ガラススペーサの角部の曲率半径を１０μｍ以下とすることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の平面型ディスプレイ用ガラススペーサの製造方法。
【請求項６】
前記請求項１〜５のいずれかに記載の平面型ディスプレイ用ガラススペーサの製造方法を用いて作製した平面型ディスプレイ用ガラススペーサであって、当該ガラススペーサの断面形状が矩形で、その長辺と短辺との比が４以上であり、且つ角部の曲率半径が１０μｍ以下であることを特徴とする平面型ディスプレイ用ガラススペーサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、画面が平面状である平面型ディスプレイないしフラットパネルディスプレイに使用される、平面型ディスプレイ用ガラススペーサの製造方法及び平面型ディスプレイ用ガラススペーサに関する。
【背景技術】
【０００２】
フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）は、デジタル放送、ブロードバンドの普及に伴い今後大きな市場拡大が見込まれており、このＦＰＤの一つとして、フィールドエミッションディスプレイ（Ｆｉｅｌｄ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎ  Ｄｉｓｐｌａｙ；ＦＥＤ）も実用化に向けた開発が行われている。
【０００３】
従来のＦＥＤは、電子の入射により可視光を発生する画像形成用の蛍光体が、その内面に形成された前面ガラス基板と、電子放出素子がマトリックス状に配列された背面ガラス基板とを有し、これらガラス基板間に高真空状態の空間を気密に形成するために矩形の枠体が設けられると共に、大気圧を受けるガラス基板を前記枠体と共に支持するために、ガラス基板間には複数のガラススペーサが配置されている。
【０００４】
このガラススペーサは、ガラス母材を溶融・延伸することにより製造することが知られている。例えば、特許文献１では、予め側面を研磨した多角形断面を有する素材棒（ガラス母材）を垂直降下可能な機械系設備に結合し、加熱リング内に素材棒を降下させながら挿入して溶融した後、加熱リングの下方に設置された１対の駆動ベルトからなる延伸手段によって延伸してガラススペーサを作製する方法が提案されている。
【０００５】
また、特許文献２の製造方法では、ワイヤに吊り下げられた矩形断面のガラス母材の供給速度をモータ駆動によって制御しながら、ガラス母材の下端を順次、筒状の加熱炉内に送り込んでガラス母材を溶融し、加熱炉の直下に設置された１対の延伸ロールにより加熱炉から引き出されたガラススペーサ基体を挟持しながら所定の延伸速度で延伸してガラススペーサを作製する方法が提案されている。上記加熱炉の断面形状は、長方形（矩形）である筒状をしており、加熱炉の内側には、長方形の内壁面の各辺に沿って電気ヒータがそれぞれ設けられている。
【０００６】
【特許文献１】特開平７−１４４９３９号公報
【特許文献２】特開２００４−１４１９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、従来、円柱形の光ファイバ用ガラス母材を線引きして光ファイバを製造するときに用いられていた線引炉の炉心管を、矩形断面の長尺線状体であるガラススペーサ基体を連続的に線引する際にも、使用するのが好ましい。その理由は、次の通りである。
（１）ガラス溶融部雰囲気を、ヒータおよび周辺の耐火材、断熱材からの発塵したダストから遮蔽し、ガラス母材の表面を清浄に保つことにより、ガラススペーサ基体の強度を維持する。
（２）ガラス母材を溶融する部分の雰囲気ガスを整流し、線引中のガラススペーサ基体の形状を安定化させる。                                            
従って、寸法精度、強度に優れた高品質なガラス線状体を得るためには炉心管を用いる方が望ましい。
また、線引炉に炉心管を使用する場合、炉心管内の雰囲気は、大きく酸化雰囲気と不活性雰囲気に大別される。いずれの雰囲気でもガラス母材の線引は可能であるが、一般に、ヒータや炉心管の材質がカーボンである場合は、その酸化消耗を防ぐために炉心管内を不活性雰囲気とする。一方、ヒータ、炉心管の材質に酸化劣化の懸念がない場合は、いずれの雰囲気でもよい。
【０００８】
しかしながら、炉心管内の雰囲気が、例えば、空気、窒素ガスあるいはアルゴンガスの雰囲気では、線引き中のガラススペーサ基体が、その長手方向の軸回りに正逆方向に回転を繰り返し（ねじれ回転がほぼ周期的に交互に反転し）てしまい、作製した矩形断面のガラススペーサには、ツイスト状のねじれ変形が発生してしまうことがある。そして、線引きして得られるガラススペーサの幅（矩形断面の長辺）の寸法も周期的に±数１０〜１００μｍ以上の範囲で変動してしまう。なお、上記のねじれ変形は、ガラススペーサの幅寸法が大きくなるほど顕著となる。
ＦＥＤ内に使用されるガラススペーサは、前面ガラス基板と背面ガラス基板との間隔を一定に高精度に保持するために、高い幅寸法精度が要求されるが、ガラススペーサがツイスト状にねじれている場合、ガラススペーサをガラス基板へ実装すること自体が難しく、また、幅寸法にバラツキのあるガラススペーサをガラス基板に実装すると、ＦＥＤ内を真空化した際にガラススペーサの幅寸法の大きい箇所に偏った高荷重が加わり、一部のガラススペーサがＦＥＤ内で破壊されることがある。
【０００９】
本発明は、上記課題を解決し、ねじれ変形がなく、寸法精度に優れたガラススペーサを製造できる平面型ディスプレイ用ガラススペーサの製造方法及び平面型ディスプレイ用ガラススペーサを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明は次のように構成されている。
本発明の第１の態様は、矩形断面のガラス母材を加熱溶融して線引きがなされる線引炉の炉心管内を、ヘリウムガスが３０％以上含まれる雰囲気とすることを特徴とする平面型ディスプレイ用ガラススペーサの製造方法である。
【００１１】
本発明の第２の態様は、第１の態様の平面型ディスプレイ用ガラススペーサの製造方法において、前記炉心管は、前記ガラス母材の断面寸法より大きな断面寸法を有する管状であることを特徴とする。
【００１２】
本発明の第３の態様は、第１の態様又は第２の態様の平面型ディスプレイ用ガラススペーサの製造方法において、前記炉心管の断面形状が、矩形状または円形状であることを特徴とする。
【００１３】
本発明の第４の態様は、第１〜第３の態様のいずれかの平面型ディスプレイ用ガラススペーサの製造方法おいて、前記ガラス母材の矩形断面の形状が、その長辺と短辺との比が４以上であることを特徴とする。
【００１４】
本発明の第５の態様は、第１〜第４の態様のいずれかの平面型ディスプレイ用ガラススペーサの製造方法おいて、前記炉心管内の前記ガラス母材の溶融温度を調整することにより、線引きされる平面型ディスプレイ用ガラススペーサの角部の曲率半径を１０μｍ以下とすることを特徴とする。
【００１５】
本発明の第６の態様は、第１〜第５の態様のいずれかの平面型ディスプレイ用ガラススペーサの製造方法を用いて作製した平面型ディスプレイ用ガラススペーサであって、当該ガラススペーサの断面形状が矩形で、その長辺と短辺との比が４以上であり、且つ角部の
曲率半径が１０μｍ以下であることを特徴とする平面型ディスプレイ用ガラススペーサである。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の平面型ディスプレイ用ガラススペーサの製造方法によれば、ヘリウムガスが３０％以上含まれる雰囲気にある炉心管内において、ガラス母材を溶融・延伸しているので、ねじれ変形がなく寸法精度の高い平面型ディスプレイ用ガラススペーサが得られる。
また、本発明の平面型ディスプレイ用ガラススペーサによれば、ガラススペーサの角部の曲率半径が１０μｍ以下であるため、長辺と短辺との比が４以上の細長い矩形断面形状のガラススペーサであっても、平面型ディスプレイ面に傾斜するすることなく垂直に設置することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明に係る平面型ディスプレイ用ガラススペーサの製造方法及び平面型ディスプレイ用ガラススペーサの実施形態を図面を用いて説明する。
【００１８】
図１は、本実施形態の平面型ディスプレイ用ガラススペーサを製造するガラススペーサ線引装置を示す。
図１において、１は矩形断面を有しアルミノケイ酸塩系ガラス等からなるガラス母材であり、ガラス母材１の上端部は母材把持部２に把持され懸垂支持されている。母材把持部２は上盤３と下盤４との間に垂直（鉛直）方向に配設されたスライドレール５にガイドされて、垂直方向に上下に移動可能に設けられている。母材把持部２には、サーボモータ（図示せず）が連結されており、このサーボモータの駆動制御によって、母材把持部２に支持されたガラス母材１は高精度に垂直降下されるよう構成されている。
【００１９】
ガラス母材１の下端部は、ガラス母材１を加熱溶融して線引する線引炉６の中心部に位置する炉心管７の上部開口から挿入されている。炉心管７は高純度のカーボン等からなり、図２（ａ）の斜視図および図２（ｂ）の横断面図に示すように、ガラス母材１の横断面寸法より大きな横断面寸法を有し、ガラス母材１の矩形断面形状に比例するような矩形の管状・筒状である。炉心管７はその軸心を垂直にして設けられ、矩形断面の炉心管７及びガラス母材１の長辺（幅）と短辺（厚さ）とを対応させて、ガラス母材１が炉心管７内に挿入される。炉心管７の下部開口は底板８によって遮蔽され、底板８の中心部には溶融紡糸されたガラススペーサ（ガラススペーサ基体）１０を取り出すための開口（下口）９が形成されている。
【００２０】
炉心管７の外周部は、ヒータ１１を内蔵する炉体１２により包囲されている。炉体１２は耐火材や断熱材からなる。ヒータ１１にはその温度を制御する温度制御手段（図示せず）が接続され、炉心管７内のガラス母材１の溶融温度が制御される。炉体１２の上部には、炉心管７内にヘリウムガスを含むガス（炉心ガス）１４を導入するための導入管１３が連結されている。ガス１４は、全量ヘリウムガスか、ヘリウムガスとヘリウムガス以外の窒素ガス、アルゴンガス、空気等のガスを１種類以上含む混合ガスである。炉心管７などの酸化劣化防止のためには、ガス１４は、全量ヘリウムガス、ヘリウムガスとアルゴンガスの混合ガス、ヘリウムガスと窒素ガスの混合ガスなど、不活性なガスが好ましい。ガス１４の総流量は、例えば、１０Ｌ（リットル）／分程度が供給される。導入管１３には、炉心管７内に供給するガス１４の総流量（ガスの質量、体積量など）や、混合ガスの場合には各ガスの流量比などを調節して供給するために、例えば、マスフローコントローラ、ガスボンベなどを備えたガス供給手段（図示せず）が接続されている。
【００２１】
線引炉６の直下には、線引きされたガラススペーサ１０の外径を測定するレーザー式の外径測定器１５が設置され、更に外径測定器１５の下方には、ヒータ１１によって加熱さ
れたガラス母材１より溶融垂下したガラスを延伸するために、ガラススペーサ１０を挟持して引き取る一対のローラを有する引取ローラ１６が設けられている。外径測定器１５は、測定用レーザー光の照射方向がガラススペーサ１０の幅（矩形断面の長辺）方向に設定され、ガラススペーサ１０の幅寸法を常時計測する。外径測定器１５が測定した測定値、またはこの測定値と所望の基準値・設定値との偏差を示す信号１８が、外径測定器１５から制御手段１７に入力される。制御手段１７は、入力された信号１８に基づき、ガラススペーサ１０の幅寸法が一定の基準値・設定値に保たれるように、引取ローラ１６の回転速度・引取速度をコントロールするための制御信号１９を引取ローラ１６に出力するように構成されている。
【００２２】
ガラス母材１を溶融・延伸してガラススペーサ１０を製造するときには、ヒータ１１の加熱により炉心管７内を予めガラス母材１の溶融温度以上に昇温すると共に、導入管１３からガス１４を供給して炉心管７内をヘリウムガスが３０％以上含まれる雰囲気にして、ガラス母材１を炉心管７内に挿入する。そして、ガラス母材１を一定速度で降下させて炉心管７内に送り込む一方、ガラススペーサ１０の幅寸法を外径測定器１５により計測しながら、ガラススペーサ１０の幅が一定値となるように、引取ローラ１６の引取速度を制御してガラススペーサ１０を引き取る。引き取られるガラススペーサ１０の断面形状は、ガラス母材１の断面形状とほぼ相似形に形成される。得られた長尺のガラススペーサ１０は、所望の長さにせん断され、平面型ディスプレイ用のガラススペーサ１０が作製される。
【００２３】
導入管１３から線引炉６に導入されたガス（炉心ガス）１４は、炉心管７上部から炉心管７内に流入し、炉心管７を流下し、炉心管７底部の開口９から流出する。ガス１４は、全量ヘリウムガスか、或いはヘリウムガスと窒素ガス等との混合ガスである。ガス１４に含まれるヘリウムガスは、高いガス動粘性係数を有するため、ガラス母材１が溶融される溶融部分周辺の炉心管７内の雰囲気ガスは、乱流の発生が防止され整流化される。特に、ガス１４に含まれるヘリウムガスの流量分率ないし混合比を３０％以上とすると、線引中のガラススペーサ（ガラススペーサ基体）１０のねじれ回転が確実に阻止され、ねじれ変形がなく且つ幅寸法及び厚さ寸法の変動量も少ない、安定化した形状のガラススペーサ１０を作製できる。
【００２４】
なお、図１に示す上記実施形態では、炉心管７上部からガス（炉心ガス）１４の全量を投入したが、例えば炉心管の下部にもガス投入口を設けて分割して炉心ガスを投入しても差し支えない。特に、炉心ガスの総流量を多くする場合は、分割して投入した方がガラススペーサ幅寸法の変動量を抑制するには好ましい。
【００２５】
また、図１及び図２に示す上記実施形態では、線引炉６の炉心管として、断面形状が矩形の炉心管７を用いたが、図３に示すような断面形状が円形の管状の炉心管３０を使用してもよい。炉心管３０においても、炉心管３０の断面寸法（内径寸法）はガラス母材１の断面寸法（矩形断面の長辺寸法）より大きく、炉心管３０内の中心部にガラス母材１が挿入される。なお、炉心管は、矩形や円形の断面形状のものに限らず、例えば、矩形断面のガラス母材１の長辺／短辺の比に対応させた長軸・短軸寸法の楕円形状の炉心管を用いてもよい。
線引炉に炉心管を用いると、ヒータや炉体などから発塵したダストを遮蔽でき、ガラス母材の表面を清浄に保てガラススペーサの強度低下を防止できると共に、炉心ガスの整流化が図れてガラススペーサの形状が安定化し、寸法精度、強度に優れた高品質なガラススペーサが得られる。
【００２６】
図４には、作製されたガラススペーサ１０を、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）の一つであるフィールドエミッションディスプレイ（ＦＥＤ）に適用した実施形態を示す。このＦＥＤは、電子の入射により可視光を発生する画像形成用の蛍光体と電極とが、そ
の内面４１ａ側に形成された透明ガラス板等からなる前面基板４１と、前記蛍光体に対向する、その内面４２ａに電子放出素子がマトリックス状に配列された背面基板４２とを有する。前面基板４１と背面基板４２とは所定の距離を隔てて平行に配置される。これら基板４１，４２間を高真空状態に気密に形成するために矩形状などの枠体４３が設けられ、また枠体４３内の基板４１，４２間には、大気圧を受ける基板４１，４２を支持して平行に隔てるために、複数のガラススペーサ１０が設けられる。ガラススペーサ１０は、その矩形断面の幅（長辺）方向を、基板４１，４２の内面４１ａ，４２ａに直交させて設置される。
【００２７】
ところで、背面基板４２の電子放出素子面から前面基板４１の蛍光体面までの距離、つまりＦＥＤ内の基板４１，４２間に設けられるガラススペーサ１０の幅寸法を大きくすることにより、ＦＥＤにおける輝度向上や高精細化が可能である。しかし、基板４１，４２に接触するガラススペーサ１０の幅方向に直交する側面の寸法（ガラススペーサ１０の厚さ寸法）には、配線パターン上などの制約があり、ガラススペーサ１０の厚さ寸法をあまり大きくすることができない。従って、ＦＥＤにおける輝度向上などのためには、ガラススペーサ１０の幅寸法が大きく、ガラススペーサ１０の断面形状の幅（長辺）／厚さ（短辺）比が４以上のもの、さらには１５以上の細長い断面形状のガラススペーサ１０が好ましいが、本発明の製造方法を用いれば、断面形状の幅（長辺）／厚さ（短辺）比が大きいガラススペーサでも、ねじれ変形が発生することなく形状・寸法が安定したガラススペーサを作製することができる。
【００２８】
また、ガラススペーサ１０の角部は、１０μｍ以下であることが好ましい。図５に示すように、角部の丸み（曲率半径）Ｒが小さいガラススペーサ１０Ａ（図示例ではＲ＝５μｍ）では、接着ガラス４３などを用いて基板４２（４１）面に垂直に接着固定できる。しかしながら、角部の丸みＲが大きいガラススペーサ１０Ｂ（図示例ではＲ＝４０μｍ）では、基板４２（４１）との接地面積が減少し、ガラススペーサ１０Ｂを固定する際の安定性が悪く、接着固定後のガラススペーサ１０Ｂが垂直状態（鎖線で示す）から傾斜した状態（実線で示す）で固定されることがある。特に、角部の丸みＲが１０μｍを越える場合に、この傾斜固定が顕著となる。そして、ガラススペーサ１０が傾斜固定されたＦＥＤでは、電子軌道の乱れすなわち画像の乱れや、ガラススペーサ１０が受ける荷重にバラツキが生じ、一部のガラススペーサ１０が破損してしまう。
ガラススペーサ１０の角部の丸みＲは、線引炉内の溶融温度に関係し、溶融温度が高いとＲは大きくなり、溶融温度が低いとＲは小さくなる傾向にあり、線引炉内の溶融温度を調整することにより、角部の丸み（曲率半径）Ｒが１０μｍ以下のガラススペーサ１０を作製できる。具体的には、７５０℃〜７７０℃の溶融温度であることが好ましい。溶融温度が７５０℃よりも低い場合、角部の丸みＲは５μｍ以下になるものの、線引張力が過大となって線引き中に断線が発生する危険性が増大する。また、溶融温度が７７０℃よりも高い場合、角部の丸みＲを安定して１０以下にすることができなくなる。
【００２９】
次に、本発明の実施例を説明する。
（実施例１）
この実施例では、図１に示す矩形断面の炉心管７を用いたガラススペーサ線引装置と、図１のガラススペーサ線引装置における線引炉６を図３の円形断面の炉心管３０を用いた線引炉に変更したガラススペーサ線引装置とを用いて、ガラススペーサを製造した。矩形断面の炉心管７は、内壁面の寸法が長辺１４０ｍｍ、短辺２５ｍｍのもの、円形断面の炉心管３０は、内径が１３０ｍｍのものを用い、両炉心管ともに、高純度のカーボンで作製した。
【００３０】
線引炉の炉心管内の雰囲気ガスに、ヘリウムガスとアルゴンガスの混合ガス（総流量を１０Ｌ／分とした）を用い、線引炉の炉心管内を予め約７６０℃に昇温し、炉心管内にガ
ラス母材を挿入した。ガラス母材には、幅１２０ｍｍ、厚さ１０．５ｍｍ、長さ１２００ｍｍの長方形断面のアルミノケイ酸塩系ガラスを用いた。このガラス母材を１２ｍｍ／分の一定速度で炉心管内へ送り込み、線引炉の底部開口から取り出されたガラススペーサ（ガラススペーサ基体）を約５０ｍ／分で線引した。得られたガラススペーサ（ガラススペーサ基体）を所定の長さにせん断し、断面寸法が幅２．０ｍｍ（基準値）×厚さ０．１５ｍｍ（幅／厚さ比が約１３）であり、角部の丸みＲが１０μｍ以下のガラススペーサを作製し、ガラススペーサの形状等を電子顕微鏡によって確認した。
【００３１】
炉心管内に供給する総流量１０Ｌ／分のヘリウム・アルゴン混合ガスを、ヘリウムガスとアルゴンガスの流量比率を変えた場合の、線引きされたガラススペーサのねじれ発生の有無、およびガラススペーサの幅寸法の変動量を評価した。
このとき、上記寸法の矩形断面を有する炉心管を用いた場合と、上記寸法の円形断面を有する炉心管用いた場合との２パターンについて上記の評価を行った。
【００３２】
この評価結果を図６に示す。炉心管の断面形状が矩形状、円形状の両方の場合において、ヘリウム流量が２Ｌ／分未満すなわちヘリウム流量分率が２０％未満では、ガラススペーサの幅寸法の変動量が急激に大きくなり、ヘリウム流量分率が１０％未満では、長さ数１００ｍｍの周期でガラススペーサにツイスト状のねじれ変形も発生してしまった。一方、炉心管内におけるヘリウム流量分率が３０％以上では、ガラススペーサにツイスト（ねじれ）変形も見られず、かつ幅寸法の変動も小さい。
また、断面形状が矩形状の炉心管を用いた場合においては、炉心管内のヘリウム流量分率が３０％以上でねじれ変形がなく、かつ幅寸法の変動幅が２０μｍ未満である安定したガラススペーサを得ることができた。さらに、ヘリウム流量分率が５０％以上では幅寸法の変動幅が１０μｍ未満であるガラススペーサを得ることができた。
一方、断面形状が円形状の炉心管を用いた場合においては、矩形断面形状の炉心管に比べてガラススペーサ幅寸法の変動幅がやや大きいものの、炉心管内のヘリウム流量分率が３０％以上でねじれ変形がなく、かつ幅寸法の変動幅が３０μｍ未満である安定したガラススペーサを得ることができ、また、ヘリウム流量分率が５０％以上ではねじれ変形のない幅寸法の変動幅が２０μｍ未満のガラススペーサを得ることができた。
【００３３】
（実施例２）
次に、線引炉の炉心管内の雰囲気ガスとして、ヘリウムガスと窒素ガスとからなる混合ガスを投入し、その流量比率を変えた場合のガラススペーサの幅寸法の変動量を評価した。その評価結果を図７に示す。
この実施例２においては、上記実施例１の炉心管内の雰囲気ガスを、ヘリウムガスと窒素ガスの混合ガスに変更した以外は、上記実施例１の製造方法および評価方法と同様に行った。
【００３４】
図７に示すように、炉心管の断面形状が矩形状、円形状の両方の場合において、炉心管内のヘリウム流量が２Ｌ／分未満、すなわち、ヘリウム流量分率が２０％未満では、ガラススペーサの幅寸法の変動量が急激に大きくなり、ヘリウム流量分率が１０％未満でガラススペーサにツイスト状のねじれ変形が発生してしまった。
一方、断面形状が矩形状である場合において、炉心管内のヘリウム流量分率が３０％以上で、ねじれ変形がなく、かつ幅寸法の変動幅が３０μｍ未満のガラススペーサを得ることができた。
【００３５】
以上の評価結果から、線引炉の炉心管内の雰囲気ガスが、その３０％以上、より好ましくは５０％以上がヘリウムガスであることにより、線引き時のガラススペーサのねじれ発生を防止でき、ガラススペーサの幅寸法を低減することができる。したがって、上記実施例の製造方法によれば、ガラススペーサの幅寸法が増大した場合であっても、ねじれ変形
のない寸法精度の高いガラススペーサを提供できることが確認された。
【００３６】
上述した実施例では、ヘリウム・アルゴンの混合ガスおよびヘリウム・窒素の混合ガスの総流量が１０Ｌ／分の場合の線引結果を示したが、総流量１５Ｌ／分、２０Ｌ／分の場合でもほぼ同様の結果が得られた。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明に係る平面型ディスプレイ用ガラススペーサの製造方法に用いられるガラススペーサ線引装置の概略構成図である。
【図２】図１のガラススペーサ線引装置の炉心管を示すものであって、（ａ）は斜視図、（ｂ）は横断面図である。
【図３】炉心管の他の実施形態を示す横断面図である。
【図４】ガラススペーサをＦＥＤに適用した実施形態を示す断面図である。
【図５】ＦＥＤ用基板上にガラススペーサを固定した時の、ガラススペーサの角部の丸みＲによる傾斜状況を説明する断面図である。
【図６】ヘリウム・アルゴンの混合ガス雰囲気で線引した場合のガラススペーサの幅寸法変動量の測定結果である。
【図７】ヘリウム・窒素の混合ガス雰囲気で線引した場合のガラススペーサの幅寸法変動量の測定結果である。
【符号の説明】
【００３８】
１  ガラス母材
２  母材把持部
６  線引炉
７  炉心管
９  開口
１０  ガラススペーサ
１１  ヒータ
１２  炉体
１３  導入管
１４  ガス
１５  外径測定器
１６  引取ローラ
１７  制御手段
３０  炉心管
４１  前面基板
４２  背面基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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