(57)【要約】【課題】  簡潔な構造で、表面の升目やポケット加工が不要で、簡単に素早い表面の仕上げ加工、製作及び補修コスト低減、測定物との間のゴミや異物の噛込み防止、連続的な高速測定検査等が可能で、測定物に合せた自由度に優れた測定用定盤を提供する。【解決手段】  本発明の測定用定盤は、板状の硬質部材からなり、複数のピン挿入孔１ａが開孔された基板１と、基板１のピン挿入孔１ａに圧入された硬質部材からなる複数のピン２とから構成され、これらピン２の上端部が同一平面上になるように仕上げられて測定物搭載面となる。さらに、ピン２には、エア流路孔２ｃが開孔され、ピン２の上端から基板１のピン挿入孔１ａを経由して圧縮空気が噴出されるか、又は真空吸引されることを特徴とする。【選択図】          図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状の硬質部材からなり、複数のピン挿入孔が開孔された基板と、
該基板のピン挿入孔に圧入された硬質部材からなる複数のピンとから構成され、
これらピンの上端部が、同一平面上になるように仕上げられて測定物搭載面となることを特徴とする測定用定盤。
【請求項２】
前記複数のピンが、前記基板上で２種類以上の異種部材に区分され配置されていることを特徴とする請求項１記載の測定用定盤。
【請求項３】
前記ピンが測定物の測定箇所に合せて、該測定物を３点で支持するように前記基板上に配置されていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の測定用定盤。
【請求項４】
前記基板が金属板であり、
前記ピンが、硬質セラミックス又は／及び超硬合金製であることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の測定用定盤。
【請求項５】
前記ピンは、少なくとも前記ピン挿入孔に挿入される部分が挿入方向に先細りテーパ状に形成されたテーパピンであり、前記基板のピン挿入孔に圧入されてテーパロックされることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項記載の測定用定盤。
【請求項６】
前記ピンは、前記ピン挿入孔に挿入される挿入部が細くストレート状又は挿入方向に先細りテーパ状に形成された段付きピンであり、前記基板のピン挿入孔に圧入されて固定されることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項記載の測定用定盤。
【請求項７】
前記ピンの上端面は、平面に対して略点又は線接触する凸曲面状に形成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１項記載の測定用定盤。
【請求項８】
前記ピンには、エア流路孔が開孔され、ピンの上端から前記基板のピン挿入孔を経由して圧縮空気が噴出されるか、又は真空吸引されることを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか１項記載の測定用定盤。
【請求項９】
前記基板の下面に、圧縮空気源及び真空源に連結された流路を切り替える切替弁を備えたエアチャンバが、前記複数のピン挿入孔を覆い密閉状態で設けられていることを特徴とする請求項８記載の測定用定盤。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、生産現場において加工物測定用等に使用する測定用定盤に関し、特に素材及び加工コスト低減を含む経済性及び測定物との接触形態の自由度に優れた測定用定盤に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、測定用定盤として単一素材の金属板が一般的に用いられていた（例えば、特許文献１）。特許文献１には、図７に示すように、反りを有する平板１０２を載置する測定用定盤１００と、加圧された平板１０２を一様に加圧する加圧ブロック１０５を有する加圧手段と、加圧された平板１０２に接触する測定子１１２及び測定ゲージ１１３を有する測定手段とを備えた平板厚さ測定装置が例示されている。
【０００３】
また、従来、測定物と測定用定盤との間へのゴミや異物などの噛込みを防いだり、測定物の表面をラッピングしたりするために、測定用定盤の表面に升目（グリット状の溝）あるいは所定パターンの多数のポケットを穿設するのが主流となっていた（例えば、特許文献２、３）。
【０００４】
特許文献２には、測定用定盤そのものではないが、図８に示すように、表面にグリット状の溝２４が穿設され加工作用面となる球状黒鉛鋳鉄層２１が低熱膨張鋳鉄合金層ベースプレート２２上に締結ボルト２３により固着された２層構造のラッピング定盤が開示されている。このラッピング定盤は、測定用定盤に適用可能な構造である。
【０００５】
特許文献３には、図９（ａ）及び（ｂ）に示すように、測定用定盤３１の測定面部分３１ａを平面研削盤により平面研削加工を行なって所定平面度を有する面に形成した後、刃部の曲率半径が大きなボールエンドミル３２を備えたＮＣ機をプログラム制御して測定用定盤３１の測定面部分３１ａに０．０３〜０．０５ｍｍの深さを有する多数のポケット３３を平面格子状等のパターンで形成する測定用定盤の加工方法が開示されている。
【０００６】
また、図１０（ａ）及び（ｂ）に示すように、製作が容易でかつ被研磨物にスクラッチなどが発生するのを防止し得ることを意図して、円形状の取付板体４１の表面に穿設された凹部４１ａに取付板体４１とは別体の円柱形状の研磨用ビット４２を取付ボルト４３により多数取付けた研磨定盤が提案されている（例えば、特許文献４）。この研磨定盤も、測定用定盤に適用可能な構造である。
【特許文献１】実開昭６１−４８３０２号公報
【特許文献２】特開２０００−１５８３２６号公報
【特許文献３】特開平５−６９２１５号公報
【特許文献４】特開平１１−２９１１６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１の測定用定盤１００は、単一素材であるため所望の硬質材料を使用した定盤を製作する場合、使用するのに必要な大きさ以上の高価な硬質材料の素材寸法を要するとともに、精度を確保するために時間をかけてその表面全体を仕上げる必要があるなど製作あるいは補修のコストアップとなるという問題点があった。
【０００８】
また、特許文献２のラッピング定盤の構造は、低熱膨張鋳鉄合金層ベースプレート２２上に加工作用面となる球状黒鉛鋳鉄層２１を配した２層構造とすることにより素材コストを抑えるという上記特許文献１における問題点を改善してはいるものの、定盤の表面に升目（グリット状の溝）を穿設する必要があるとともに升目（グリット状の溝）の間の表面平坦部にゴミや異物などが付着して測定物との間に噛込み易い上、表面の仕上げ加工を含む加工コストも嵩む等の問題点が依然として残されている。
【０００９】
一方、特許文献３の測定用定盤は、その表面にＮＣ制御加工方法により効率よく多数のポケット３３を穿設することができるようになっているが、測定用定盤の硬質材料の素材、ＮＣ機及びその制御プログラム等が高価であり製作及び補修コストが嵩む上、ポケット３３の間の表面平坦部にゴミや異物などが付着して測定物との間に噛込み易い等の問題点が依然として残されている。
【００１０】
また、特許文献４の研磨定盤の構造は、取付板体４１の表面に加工作用面となる多数の円柱形研磨用ビット４２を配した２層構造とすることにより、前記特許文献２、３のような板状体の表面に升目あるいはポケットなどの溝部を加工するものに比べてバリの発生がないため被研磨物にスクラッチが発生するのを防止することができるとともに、高価な硬質材料の素材コストを抑えるという上記特許文献１及び３における問題点等を改善してはいるものの、研磨用ビット４２の表面平坦部にゴミや異物などが付着して測定物との間に噛込み易い上、多数の研磨用ビット４２表面の仕上げ加工を含む加工コストも嵩む等の問題点が依然として残されている。
【００１１】
本発明は、このような問題点を解決するためになされたものであり、簡潔な構造で、表面の升目（グリット状の溝）又は多数のポケット加工が不要で測定物との間にゴミや異物などの噛込みを防止することができ、表面の仕上げ加工が簡単に素早く可能であるとともに、連続的に素早く測定する高速測定検査が可能であり、製作及び補修コスト低減を含む経済性に優れるとともに測定物との接触形態の自由度に優れた測定用定盤を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するため、請求項１の発明の測定用定盤は、板状の硬質部材からなり、複数のピン挿入孔が開孔された基板と、該基板のピン挿入孔に圧入された硬質部材からなる複数のピンとから構成され、これらピンの上端部が同一平面上になるように仕上げられて測定物搭載面となることを特徴とする。
【００１３】
請求項２の発明は、請求項１記載の測定用定盤であって、前記複数のピンが、前記基板上で２種類以上の異種部材に区分され配置されていることを特徴とする。
【００１４】
請求項３の発明は、請求項１又は請求項２記載の測定用定盤であって、前記ピンが測定物の測定箇所に合せて、該測定物を３点で支持するように前記基板上に配置されていることを特徴とする。
【００１５】
請求項４の発明は、請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の測定用定盤であって、前記基板が金属板であり、前記ピンが、硬質セラミックス又は／及び超硬合金製であることを特徴とする。
【００１６】
請求項５の発明は、請求項１乃至請求項４のいずれか１項記載の測定用定盤であって、前記ピンは、少なくとも前記ピン挿入孔に挿入される部分が挿入方向に先細りテーパ状に形成されたテーパピンであり、前記基板のピン挿入孔に圧入されてテーパロックされることを特徴とする。
【００１７】
請求項６の発明は、請求項１乃至請求項４のいずれか１項記載の測定用定盤であって、前記ピンは、前記ピン挿入孔に挿入される挿入部が細くストレート状又は挿入方向に先細りテーパ状に形成された段付きピンであり、前記基板のピン挿入孔に圧入されて固定されることを特徴とする。
【００１８】
請求項７の発明は、請求項１乃至請求項６のいずれか１項記載の測定用定盤であって、前記ピンの上端面は、平面に対して略点又は線接触する凸曲面状に形成されていることを特徴とする。
【００１９】
請求項８の発明は、請求項１乃至請求項７のいずれか１項記載の測定用定盤であって、前記ピンには、エア流路孔が開孔され、ピンの上端から前記基板のピン挿入孔を経由して圧縮空気が噴出されるか、又は真空吸引されることを特徴とする。
【００２０】
請求項９の発明は、請求項８記載の測定用定盤であって、前記基板の下面に、圧縮空気源及び真空源に連結された流路を切り替える切替弁を備えたエアチャンバが、前記複数のピン挿入孔を覆い密閉状態で設けられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
請求項１の発明によれば、基板の表面に複数配置された硬質部材からなるピンの上端部を測定物搭載面とすることにより、従来の測定用定盤に比べて次のような効果がある。
【００２２】
（１）測定物に適したピンの素材選択及び配置とすることができることから測定定盤の形態の自由度が向上する。
【００２３】
（２）ピンの上端部の研磨、ラッピングなどによる仕上げ加工が容易で、加工時間を大幅に短縮することができる。
【００２４】
（３）測定用定盤の表面に升目（グリット状の溝）あるいは多数のポケットを設ける必要がなく、ピンの上端部面積及び測定物との接触面積が僅少であるためゴミや異物などが付着し難く、測定物との間へのゴミや異物などの噛込み防止が大幅に向上する。したがって、測定結果にゴミや異物などによる影響を及ぼすことがない。
【００２５】
（４）ピンが基板のピン挿入孔に圧入されているので、摩耗など損傷したピンだけを前記ピン挿入孔の下側から力を加えて容易に抜き取り新しいピンと交換できるので、補修時間を大幅に低減することができる。
【００２６】
このように、簡潔な構造で、測定物搭載面となるピンが小容積であることから、ピンの高価な硬質素材を含む製作及び補修等のコスト低減が可能で、経済性及び測定物との接触形態の自由度に優れた測定用定盤を提供することができる。
【００２７】
請求項２の発明によれば、請求項１の発明と同様な効果を有するのに加えて、前記複数のピンが、前記基板上で２種類以上の異種部材に区分され配置された構成であるため、測定物に適したピンの素材選択及び配置とすることが容易になることから測定定盤の形態の自由度が一層向上するという効果がある。
【００２８】
請求項３の発明によれば、請求項１又は請求項２の発明と同様な効果を有するのに加えて、ピンが測定物の測定箇所に合せて測定物を３点で支持するように基板上に配置された構成であることから、測定物の測定箇所以外の面に測定用定盤が接触することがないため測定物の平面度が測定物の厚みなどの測定結果に影響を及ぼすことがなく、測定結果の正確性を確保することができるという効果がある。すなわち、従来の平坦な測定用定盤での測定における、測定用定盤表面と接触する測定物の平面度が測定結果に影響を及ぼし易いという問題点を改善するものである。
【００２９】
請求項４の発明によれば、請求項１乃至請求項３のいずれか１項の発明と同様な効果を有するのに加えて、小容積のピンを大容積の基板の金属とは異質の硬質セラミックス又は／及び超硬合金製とすることにより、高価な硬質セラミックスや超硬合金等の素材コストを大幅に削減することができるとともに、測定用定盤の補修時にはピン上端のみを研磨、ラッピングなどによる再仕上げ加工するか又は損耗したピンのみを調整した新品と交換すればよいので、測定用定盤の製作及び補修コスト共大幅に削減することができるという効果がある。
【００３０】
請求項５の発明によれば、請求項１乃至請求項４のいずれか１項の発明と同様な効果を有するのに加えて、前記ピンは、少なくとも前記ピン挿入孔に挿入される部分が挿入方向に先細りテーパ状に形成され、ピン挿入孔に圧入されてテーパロックされるので、ピンの取付け固定がワンタッチででき、かつピン取付けの信頼性が向上するとともに、損傷したピンをピン挿入孔の下側から力を加えて一層容易に抜き取り新しいピンと交換できるので、測定用定盤の製作及び補修コスト共さらに大幅に削減することができるという効果がある。
【００３１】
請求項６の発明によれば、請求項１乃至請求項４のいずれか１項の発明と同様な効果を有するのに加えて、ピンをピン挿入孔に挿入部が細くストレート状又は挿入方向に先細りテーパ状に形成された段部まで圧入して固定することにより、基板からのピン突出長さが均一化され、基板へのピン装着の信頼性が一層向上する。これにより、ピンの上端部からなる測定物搭載面の平面仕上げ時間が大幅に短縮され、測定用定盤の製作及び補修コスト共一層削減することができるという効果がある。
【００３２】
請求項７の発明によれば、請求項１乃至請求項６のいずれか１項の発明と同様な効果を有するのに加えて、ピンの上端面が平面に対して略点又は線接触する凸曲面状に形成されているので、ピンの上端部面積及び測定物との接触面積が僅少であるためゴミや異物などが一層付着し難く、測定物との間へのゴミや異物などの噛込み防止がさらに大幅に向上し、測定結果にゴミや異物などによる影響を及ぼすことがないという効果がある。
【００３３】
請求項８の発明によれば、請求項１乃至請求項７のいずれか１項の発明と同様な効果を有するのに加えて、エア流路孔が開孔されたピンの上端から噴出される圧縮空気により、測定物に対するゴミなどの付着物が除去されるので測定結果にゴミや異物などによる影響を及ぼすことが一層改善されるとともに、例えば各種メディアディスクなどの測定物を浮上させて移動を容易にすることができるので摺り傷の発生や高精度な平面同士で発生し易いリンキング（吸付き）を防止することができる。
【００３４】
また、これとは反対に、ピンの上端のエア流路孔から真空吸引することにより、例えば各種メディアディスクなどの測定物をピン上端に容易に定着することができるので、測定効率を上げることができるなどの効果がある。
【００３５】
請求項９の発明によれば、請求項８の発明と同様な効果を有するのに加えて、基板の下面のエアチャンバに設けられた切替弁によりピン上端からの圧縮空気噴出と真空吸引とを交互に切替えることができるので、測定物の除塵、浮遊移動、定着、及び測定の一連の作業を連続的に行う高速測定検査が容易に可能になる。これにより、測定検査の経済性が一層向上するという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
以下、本発明の測定用定盤を実施するための最良の形態の具体例を、添付図面を参照しながら詳細に説明する。
【実施例１】
【００３７】
図１は本発明の実施例１の測定用定盤の平面図、図２はその縦断面図である。
【００３８】
実施例１の測定用定盤は、板状の硬質部材からなる基板１と、基板１の表面に複数配置された硬質部材からなるピン２とから構成されている。
【００３９】
図２に示すように、基板１には複数のピン挿入孔１ａが開孔されており、ピン２は、基板１上からピン挿入孔１ａに圧入され固定されており、ピン２の上端部が同一平面上になるように、研磨、ラッピングなどにより例えば平面度０．０００１ｍｍオーダーの精度で仕上げられて測定物１０の搭載面となる。
【００４０】
この例では、少なくともピン挿入孔１ａに挿入される部分が挿入方向に先細りテーパ状に形成されたテーパピンであり、ピン挿入孔１ａに所定の一定の力で圧入されテーパロックされている。ピン径は、異物付着防止、平面度仕上げ加工の容易性、コスト等の面から細い方がよいが、研削力に対して変形せずテーパ加工精度が保持できる例えば１０ｍｍ前後程度が最適である。一方、ピン挿入孔１ａは、ピンを圧入可能なピン径より若干細めのストレート孔で、あるいはピンより緩傾斜のテーパ孔としてもよい。
【００４１】
ピン２の上端面は、角部が欠損防止のため丸み加工（図示しない）されるとともに、例えば球面状など平面に対して略点又は線接触する凸曲面状に形成することが望ましい。
【００４２】
このように、基板１の表面に複数配置されたピン２の上端部を測定物搭載面とすることにより、従来の測定用定盤に比べて、ピン２の上端面の研磨、ラッピングなどによる仕上げ加工が容易で、加工時間が大幅に短縮することができる。また、従来のように測定用定盤の表面に升目（グリット状の溝）あるいは多数のポケットを設ける必要がなく、ピン２の上端部面積及び測定物１０との接触面積が僅少であるため測定物１０と測定用定盤のピン２との間にゴミや異物などが噛込み難く、測定結果にゴミや異物などによる影響を及ぼすことがない。
【００４３】
また、ピン２は、図１の例では基板１上で硬質セラミックス製ピン２ａと超硬合金製ピン２ｂとの２種類の異種部材に区分され配置されている。従来の鋳物や天然石の定盤では、摩耗し易く、特に後者は材質的に不均一であるという欠点があるが、例えばＳｉＣ、ＳｉＮ、ジルコニア（酸化ジルコニウム：ＺｒＯ２）などの硬質セラミックス製及びＷＣ系超硬、サーメットなどの超硬合金製のものは、実績的にも摩耗がなく安定した定盤とすることができる。
【００４４】
ピン２が２種類の異種部材に区分され配置されることにより、測定物に適したピン２の素材選択及び配置とすることが容易になるため、測定定盤の形態の自由度を一層向上させることができる。
【００４５】
基板１は、ピン２がピン挿入孔１ａに圧入されテーパロックされ、測定物の重量にも十分耐えられる比較的硬質の鋳鋼その他各種材料の金属板あるいは非金属部材により適宜形成することができる。特に、屋外における防錆さらには食品関係用など衛生性が要求される場合には、Ａｌ合金、ＳＵＳなど又はこれらを鉄鋼材料と合せた合板などが用いられる。
【００４６】
ピン２の上端面としては、平面に対して略点接触する球面状などの他に、図示しないが、線接触する円筒曲面状あるいは小面積の小円形平面状などとすることもできる。球面状の方が先端部の面積が小さく表面にゴミや異物などが付着し難い点では最も優れているが、特に、大きな重量の測定物に対しては後者の方が線接触あるいは面接触により接触応力（ヘルツ接触応力又はヘルツ応力）を低く抑えることができる点で有利といえる。
【００４７】
以上のように、小容積のピン２を大容積の基板１の金属とは異質の硬質セラミックス又は／及び超硬合金製とすることにより高価な硬質セラミックスや超硬合金等の素材コストを大幅に削減することができる。また、測定用定盤の補修時にはピン２の上端のみを研磨、ラッピングなどによる再仕上げ加工するか又は損耗したピンのみを調整した新品と交換すればよい。ピン２は、ピン挿入孔１ａに圧入されテーパロックされるので、ピンの取付け固定が信頼性高くワンタッチでできるとともに、損傷したピン２をピン挿入孔１ａの下側から力を加えて容易に抜き取り新しいピンと交換できるので、測定用定盤の製作及び補修コスト共大幅に削減することができる。
【実施例２】
【００４８】
図３は本発明の実施例２の測定用定盤の平面図、図４はその側面（要部縦断面）図である。ここで分かり易くするため、実施例２においても、実施例１に対して部分的に形状が異なっていても同一の機能を有する部材には同一の符号を付して対応させてある。
【００４９】
実施例２の測定用定盤は、ピン２が測定物１０の測定箇所に合せて、測定物１０を３点で支持するように基板１上に配置されている構成である。
【００５０】
この例においては、図３、４に示すように、測定物１０を基板１上の３個のピン２による３点で支持するように移動させながら、そのピン２の１点上で順次ダイヤルゲージ２０やインジケータ（図示しない）などにより測定物１０の厚みを測定することができる。
【００５１】
したがって、実施例２においては、測定物１０の測定箇所以外の面に測定用定盤が接触することがないため、従来の平坦な測定用定盤におけるような測定物１０の平面度が測定物１０の厚みなどの測定結果に影響を及ぼすことがなく、測定結果の正確性を確保することができる。
【実施例３】
【００５２】
図５は、本発明の実施例３の測定用定盤の要部縦断面図である。ここで分かり易くするため、実施例３においても、実施例１又は２に対して部分的に形状が異なっていても同一の機能を有する部材には同一の符号を付して対応させてある。
【００５３】
実施例３の測定用定盤は、ピン２の軸心に沿ってエア流路孔２ｃが開孔され、ピン２の上端から基板１のピン挿入孔１ａを経由して圧縮空気が噴出されるか、又は真空吸引される構成である。
【００５４】
エア流路孔２ｃが開孔されたピン２の上端から噴出される圧縮空気により、測定物１０に対するゴミなどの付着物が除去されるので測定結果にゴミや異物などによる影響を及ぼすことが一層改善される。また、例えば各種メディアディスクなどの測定物を浮上させて移動を容易にすることができるので、摺り傷の発生や高精度な平面同士で発生し易いリンキング（吸付き）を防止することができる。
【００５５】
これとは反対に、ピン２の上端のエア流路孔２ｃから真空吸引することにより、例えば各種メディアディスクなどの測定物をピン２の上端に容易に定着することができ、測定効率を上げることができる
【００５６】
さらに、基板１の下面には、圧縮空気源連結管６及び真空源連結管７に連結された流路を切り替える切替弁５が連結管４により連結されたエアチャンバ３が、複数のピン挿入孔１ａを覆い密閉状態で設けられている。
【００５７】
したがって、実施例３においては、前記実施例と同様な優れた利点を有するのに加えて、基板１の下面のエアチャンバ３に設けられた切替弁５によりピン２上端からの圧縮空気噴出と真空吸引とを交互に切替えることができるので、測定物１０の除塵、浮遊移動、定着、及び測定の一連の作業を連続的に行う高速検査が容易に可能になり、測定検査の経済性が一層向上する。
【実施例４】
【００５８】
図６は、本発明の実施例４の測定用定盤の要部縦断図である。
【００５９】
実施例４の測定用定盤においては、ピン２００が、ピン挿入孔１ａに挿入される挿入部２０１が若干細くストレート状又は挿入方向に先細りテーパ状に形成された段２０２付きピンとなっている構成である。
【００６０】
この例では、ピン２００は、段２０２部が基板１の上面に当接するまでピン挿入孔１ａに挿入部２０１が圧入されて固定される。
【００６１】
このため、基板１からのピン２００の突出長さが均一化され、基板１へのピン２００装着の信頼性が向上し、ピン２００の上端部からなる測定物搭載面の平面仕上げ時間が大幅に短縮され、測定用定盤の製作及び補修コスト共一層削減することができる
【００６２】
以上のように、本発明によれば、基板１の表面に複数配置された硬質部材からなるピン２の上端部を測定物搭載面とする簡潔な構造で、測定物搭載面となるピン２が小容積であることから、ピン２の高価な硬質素材を含む製作及び補修等のコスト低減が可能で、経済性及び測定物１０との接触形態の自由度に優れた測定用定盤を提供することができる。
【００６３】
なお、本発明の測定用定盤１は、図１〜６等に示した実施例以外にも例えばピンの形状や配置形態あるいはその他の部材を含む材質等を任意に変更した構成とすることができる。例えば、ピンの材質として、硬質セラミックス、超硬合金の他に、ダイヤやその他の硬質部材を測定物の特性に合せて任意に単独又は組合せて用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明の実施例１の測定用定盤の平面図である。
【図２】図１の測定用定盤の縦断面図である。
【図３】本発明の実施例２の測定用定盤の平面図である。
【図４】図３の測定用定盤の側面（要部縦断面）図である。
【図５】本発明の実施例３の測定用定盤の側面（要部縦断面）図である。
【図６】本発明の実施例４の測定用定盤の要部縦断面図である。
【図７】従来の特許文献１の測定用定盤の側面図である。
【図８】従来の特許文献２のラッピング定盤の構造を示す説明図（断面図）である。
【図９】（ａ）は従来の特許文献３の測定用定盤の加工方法の実施例を示す説明図、（ｂ）は（ａ）の加工方法により形成された定盤測定面の平面図である。
【図１０】（ａ）は従来の特許文献４の測定用定盤の平面図、（ｂ）は（ａ）の要部断面図である。
【符号の説明】
【００６５】
１      基板
２、２００      ピン
２ａ    セラミック製ピン
２ｂ    超硬合金製ピン
２ｃ    エア流路孔
３      エアチャンバ
４      連結管
５      切替弁
６      圧縮空気源連結管
７      真空源連結管
１０    測定物
２０    ダイヤルゲージ
２０１  挿入部
２０２  段部
【図１】
2008272911.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2008272911.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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