(57)【要約】【課題】カラーフィルター形成時のリソグラフィー特性を低下させることなく、一重項酸素クエンチャーをカラーフィルター内に拡散することで、退色の問題を解決することを可能とする。【解決手段】入射光量を電気信号に変換する光電変換部２１を有する複数の画素部と、前記各画素部の光入射側に形成された染料系のカラーフィルター３１と、前記カラーフィルター３１に接触して形成された一重項酸素クエンチャーを含む有機膜４１、４２とを有し、前記一重項酸素クエンチャーが前記カラーフィルター３１に拡散されていることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射光量を電気信号に変換する光電変換部を有する複数の画素部と、
前記各画素部の光入射側に形成された染料系のカラーフィルターと、
前記カラーフィルターに接触して形成された一重項酸素クエンチャーを含む有機膜とを有し、
前記一重項酸素クエンチャーが前記カラーフィルターに拡散されている
ことを特徴とする固体撮像装置。
【請求項２】
前記カラーフィルターは複数色からなり、
前記各色のカラーフィルターを包含するように前記有機膜が形成されている
ことを特徴とする請求項１記載の固体撮像装置。
【請求項３】
入射光量を電気信号に変換する光電変換部を有する複数の画素部を備え、
前記各画素部の光入射側にカラーフィルターが形成された固体撮像装置の製造方法において、
前記カラーフィルターに接触するように一重項酸素クエンチャーを含む有機膜を形成する工程と、
前記有機膜中の一重項酸素クエンチャーを前記カラーフィルターに拡散する工程と
を備えたことを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
【請求項４】
前記一重項酸素クエンチャーを含む有機膜を形成する工程は、
前記カラーフィルターを形成する前に、前記カラーフィルターの下地層として一重項酸素クエンチャーを含む有機膜を形成する
ことを特徴とする請求項３記載の固体撮像装置の製造方法。
【請求項５】
前記一重項酸素クエンチャーを含む有機膜を形成する工程は、
前記カラーフィルターを形成した後に、前記カラーフィルターを被覆するように前記一重項酸素クエンチャーを含む有機膜を形成する
ことを特徴とする請求項３記載の固体撮像装置の製造方法。
【請求項６】
入射光を集光する集光光学部と、
前記集光光学部で集光した光を受光して光電変換する固体撮像装置と、
光電変換された信号を処理する信号処理部とを備え、
前記固体撮像装置は、
入射光量を電気信号に変換する光電変換部を有する複数の画素部と、
前記各画素部の光入射側に形成されたカラーフィルターと、
前記カラーフィルターに接触して形成された一重項酸素クエンチャーを含む有機膜とを有し、
前記一重項酸素クエンチャーが前記カラーフィルターに拡散されている
ことを特徴とする撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、固体撮像装置およびその製造方法、ならびに撮像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
監視カメラ、ビデオカメラ等、屋内、屋外で用いられる撮影機等には、カラー固体撮像素子（ＣＣＤ（Charge Coupled Device ）、ＣＭＯＳセンサ）が多く用いられている。例えば、図１４に示すように、固体撮像装置２０１は、光電変換部２２１の受光領域上に光を分光するためのカラーフィルター２３１、光を集光するためのマイクロレンズ２５１が形成された構成が採られている。
【０００３】
固体撮像装置のカラーフィルターに染料含有型カラーフィルターを用いた場合、顔料含有型カラーフィルターと比較して、画質ざらつき感が少ないという長所があるが、耐光性に劣るという短所がある。具体的には、例えば太陽光線や蛍光灯などに長時間曝されると退色し、本来の色が再現されなくなり、固体撮像装置として色再現性の悪化を招く問題がある。
【０００４】
一方、カラーフィルター材に一重項酸素クエンチャーを添加することにより耐光性を向上させる技術である（例えば、特許文献１参照。）。しかしながら、カラーフィルター材（もしくはマイクロレンズ材）に一重項酸素クエンチャーを添加した場合、通常通りのフォトリソ法にてパタ−ン形成を行うと、形成機構における反応開始種（酸発生剤・重合開始剤・感光剤など）等の励起もクエンチングしてしまい、添加量によってはリソグラフィ−特性を大幅に低下させるという問題がある。従って、実状としては、耐光性を大幅向上するに必要な適切量を添加することができないという問題がある。
【０００５】
また、マイクロレンズに紫外線吸収剤を含有することにより、カラーフィルターの耐光性を向上するという技術がある（例えば、特許文献２参照。）。具体的には紫外線吸収剤はベンゾフェノン系、ベンゾトリアゾ−ル系のいずれかでもよく、特に紫外線(２００〜３８０ｎｍ)の吸収が大きく可視光領域(３８０〜７８０ｎｍ)に吸収のないものであればよいと記載されている。ただし、染料色素の光褪色による主メカニズムは、光により生成した一重項酸素による色素発色団の結合解離であることが知られており（例えば、特許文献３参照。）、紫外線照射起因による退色劣化の影響は少ないと考えられることから、本技術では十分に耐光性を向上することは難しい。
【０００６】
上記説明したように、固体撮像装置のカラーフィルターに染料系カラーフィルターを用いた場合、耐光性が弱いために、太陽光線などに長時間曝されると、本来の色再現特性を損なうという問題がある。染料色素の光退色メカニズムは、光により生成した一重項酸素による色素発色団の結合解離であることが知られている。そこで、カラーフィルター材料に一重項酸素クエンチャーを添加することにより耐光性を向上する技術が提案されている。しかし、カラーフィルター材（やマイクロレンズ材）に一重項酸素クエンチャーを添加した場合、リソグラフィ−特性を低下させるという問題があり、添加量に制限があるという課題がある。
【０００７】
【特許文献１】特開平１１−２２３７２０号公報
【特許文献２】特開２０００−１８３３２２号公報
【特許文献３】特開平１１−２２３７２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
解決しようとする問題点は、カラーフィルター材に一重項酸素クエンチャーを添加した場合、リソグラフィー特性を低下させるという問題があり、添加量に制限があるという課題がある点である。
【０００９】
本発明は、カラーフィルター形成時のリソグラフィー特性を低下させることなく、一重項酸素クエンチャーをカラーフィルター内に導入することで、退色の問題を解決することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１に係る本発明は、入射光量を電気信号に変換する光電変換部を有する複数の画素部と、前記各画素部の光入射側に形成された染料系のカラーフィルターと、前記カラーフィルターに接触して形成された一重項酸素クエンチャーを含む有機膜とを有し、前記一重項酸素クエンチャーが前記カラーフィルターに拡散されていることを特徴とする。
【００１１】
請求項１に係る本発明では、カラーフィルターに接触して形成された一重項酸素クエンチャーを含む有機膜とを有し、一重項酸素クエンチャーがカラーフィルター層に拡散されていることから。カラーフィルターが染料系のものであっても退色が抑制される。しかも、カラーフィルターを形成した後に一重項酸素クエンチャーを含む有機膜を形成して、一重項酸素クエンチャーがカラーフィルターに拡散されるので、カラーフィルターを形成する際のリソグラフィー特性を低下させることがない。
【００１２】
請求項３に係る本発明は、入射光量を電気信号に変換する光電変換部を有する複数の画素部を備え、前記各画素部の光入射側にカラーフィルターが形成された固体撮像装置の製造方法において、前記カラーフィルターに接触するように一重項酸素クエンチャーを含む有機膜を形成する工程と、前記有機膜中の一重項酸素クエンチャーを前記カラーフィルターに拡散する工程とを備えたことを特徴とする。
【００１３】
請求項３に係る本発明では、カラーフィルターに接触して一重項酸素クエンチャーを含む有機膜が形成され、一重項酸素クエンチャーがカラーフィルターに拡散されることから。カラーフィルター、特に染料系のカラーフィルターの退色が抑制される。しかも、カラーフィルターを形成した後に一重項酸素クエンチャーを含む有機膜を形成して、一重項酸素クエンチャーがカラーフィルターに拡散されるので、すなわち、カラーフィルターの形成時にはカラーフィルターに一重項酸素クエンチャーが導入されていないので、カラーフィルターを形成する際のリソグラフィー特性を低下させることがない。
【００１４】
請求項６に係る本発明は、入射光を集光する集光光学部と、前記集光光学部で集光した光を受光して光電変換する固体撮像装置と、光電変換された信号を処理する信号処理部とを備え、前記固体撮像装置は、入射光量を電気信号に変換する光電変換部を有する複数の画素部と、前記各画素部の光入射側に形成されたカラーフィルターと、前記カラーフィルターに接触して形成された一重項酸素クエンチャーを含む有機膜とを有し、前記一重項酸素クエンチャーが前記カラーフィルターに拡散されていることを特徴とする。
【００１５】
請求項６に係る本発明では、本願発明の固体撮像装置を用いることから、上記説明したのと同様に、カラーフィルターの退色が抑制されるので、退色に係わる画質の劣化が抑制される。
【発明の効果】
【００１６】
請求項１に係る本発明によれば、カラーフィルターに一重項酸素クエンチャーが拡散されているため、カラーフィルターの耐光性が向上できるので、固体撮像装置の品質の向上が図れるという利点がある。
【００１７】
請求項３に係る本発明によれば、カラーフィルターを形成してから一重項酸素クエンチャーを拡散するため、カラーフィルターの耐光性が向上できるので、固体撮像装置の品質の向上が図れるという利点がある。また、リソグラフィー特性を低下させることなく、カラーフィルターの加工ができる。よって高精度の加工ができるという利点がある。
【００１８】
請求項６に係る本発明によれば、本願発明の固体撮像装置を用いることから、上記説明したのと同様に、カラーフィルター作製時のリソグラフィー特性を劣化させることなく、カラーフィルターの耐光性を高めることが可能になるので、画質の向上が図れるという利点がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
請求項１に係る本発明の一実施の形態（実施例）を、図１の概略構成断面図および図２の平面レイアウト図によって説明する。なお、図１は図２中のＡ−Ａ’線断面を示す。
【００２０】
図１および図２に示すように、半導体基板１１には画素を分離する画素分離領域１２が形成されている。上記半導体基板１１には、例えばＳＯＩ（Silicon on insulator）基板のシリコン層もしくはシリコン基板が用いられる。また、画素分離領域１２は、例えばｐ型ウエル領域で形成されている。上記画素分離領域１２によって区分される領域には、光電変換部２１が形成されている。光電変換部２１の一方側には上記画素分離領域１２が形成され、他方側に読み出し領域２２を介して垂直転送部２３が形成されている。上記垂直転送部２３条にはゲート絶縁膜２４を介して転送電極２５（２５−１、２５−２）が形成されている。この転送電極２５は上記読み出し領域２２上に延長形成されていて、読み出しゲートを構成していてもよい。上記転送電極２５を被覆するように、絶縁膜２６を介して遮光膜２７が形成されている。上記光電変換部２１上の上記遮光膜２７には開口部２８が形成されている。さらに、上記遮光膜２７を被覆するようにパッシベーション膜２９、平坦化膜３０が形成されている。そして、平坦化膜３０上にカラーフィルター３１が形成されている。
【００２１】
このカラーフィルター３１は、例えば、赤色（Ｒ）のカラーフィルター３１Ｒ、緑色（Ｇ）のカラーフィルター３１Ｇ、青色（Ｂ）のカラーフィルター３１Ｂの３色からなり、例えば、図３の平面レイアウト図に示すように、市松状に配置されている。例えば、カラーフィルター３１Ｒ、のカラーフィルター３１Ｇが交互に配列された列と、カラーフィルター３１Ｂ、のカラーフィルター３１Ｇが交互に配列された列とが、行方向に同色が隣接しないように、列方向に１列毎に交互に配置されている。
【００２２】
また、上記平坦化膜２８と上記カラーフィルター３１との間には、一重項酸素クエンチャーを含む有機膜４１が形成されている。また、カラーフィルター３１間およびカラーフィルター３１上にも一重項酸素クエンチャーを含む有機膜４２が形成されている。上記有機膜４１、４２からの一重項酸素クエンチャーの拡散によって、上記各カラーフィルター３１には一重項酸素クエンチャーが導入されている。このように、カラーフィルター３１が形成された後に一重項酸素クエンチャーが導入されていることに特徴がある。
【００２３】
上記一重項酸素クエンチャーを含む有機膜４１、４２は両方が形成されていてもよく、もしくはどちらか一方が形成されていてもよい。要するに、有機膜４１、４２中の一重項酸素クエンチャーが適切な量だけ、カラーフィルター３１に拡散されて導入されればよい。上記一重項酸素クエンチャーは、分光特性として、透過率が十分に高く、可視光領域に吸収がない、もしくはほとんどない（例えば９０％以上の可視光透過率を有する）ものであればよい。例えば、ジアルキルホスフェイト、ジアルキルジチオカルバネ−ト、ベンゼンジチオ−ル等の金属錯体がよく、その金属としては、ニッケル、銅またはコバルトが良い。例えば、化学式（１）、（２）に表すようなものがある。なお、一重項酸素クエンチャーは、紫外線吸収剤のように、紫外線(２００ｎｍ〜３８０ｎｍ)に吸収が大きいなどの分光特性を有する必要は無い。
【００２４】
【化１】
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【００２５】
【化２】
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【００２６】
さらに、上記有機膜４２上の所望に位置に、上記各光電変換部２１に入射光を集光する集光レンズ５１が形成されている。上記集光レンズ５１を被覆するように、一重項酸素クエンチャーを含む有機膜４３が形成されている。このように、集光レンズ５１上にも一重項酸素クエンチャーを含む有機膜４３が形成されることで、集光レンズ５１を通してカラーフィルター３１に一重項酸素クエンチャーを拡散させることができる。
【００２７】
請求項１に係る本発明では、カラーフィルターに接触して形成された一重項酸素クエンチャーを含む有機膜とを有し、一重項酸素クエンチャーがカラーフィルター層に拡散されていることから。カラーフィルターが染料系のものであっても退色が抑制される。しかも、カラーフィルターを形成した後に一重項酸素クエンチャーを含む有機膜を形成して、一重項酸素クエンチャーがカラーフィルターに拡散されるので、カラーフィルターを形成する際のリソグラフィー特性を低下させることがない。よって、カラーフィルターに一重項酸素クエンチャーが拡散されているため、カラーフィルターの耐光性が向上できるので、固体撮像装置の品質の向上が図れるという利点がある。
【００２８】
次に、請求項３に係る本発明の固体撮像装置の製造方法の一実施の形態（第１実施例）を、図４〜図７の製造工程断面図によって説明する。
【００２９】
図４（１）に示すように、半導体基板１１には画素を分離する画素分離領域１２が形成されている。上記半導体基板１１には、例えばＳＯＩ（Silicon on insulator）基板のシリコン層もしくはシリコン基板が用いられる。また、画素分離領域１２は、例えばｐ型ウエル領域で形成されている。上記画素分離領域１２によって区分される領域には、光電変換部２１が形成されている。光電変換部２１の一方側には上記画素分離領域１２が形成され、他方側に読み出し領域２２を介して垂直転送部２３が形成されている。上記垂直転送部２３条にはゲート絶縁膜２４を介して転送電極２５が形成されている。この転送電極２５は上記読み出し領域２２上に延長形成されていて、読み出しゲートを構成していてもよい。上記転送電極２５を被覆するように、絶縁膜２６を介して遮光膜２７が形成されている。上記光電変換部２１上の上記遮光膜２７には開口部２８が形成されている。さらに、上記遮光膜２７を被覆するようにパッシベーション膜２９、平坦化膜３０が形成されている。
【００３０】
このような状態で上記平坦化膜２８上に一重項酸素クエンチャーを含む有機膜４１を形成する。一重項酸素クエンチャーとしては、分光特性として、透過率が十分に高く、可視光領域に吸収がない、もしくはほとんどない（例えば９０％以上の可視光透過率を有する）ものであればよい。例えば、ジアルキルホスフェイト、ジアルキルジチオカルバネ−ト、ベンゼンジチオ−ル等の金属錯体がよく、その金属としては、ニッケル、銅またはコバルトが良い。例えば、前記化学式（１）、（２）に表すようなものがある。また、有機膜４１を構成する樹脂、硬化剤、溶媒等は、分光特性としては透過率が十分に高く、可視光領域に吸収がほとんどない（例えば９０％以上の可視光透過率を有する）ものであればよい。またカラーフィルタ材やマイクロレンズ材等の塗布による溶け出しなどが起こらない程度の硬化密度を得られる組成で有している必要がある。例えば、ノボラック樹脂、硬化剤はメラミン系硬化剤などを用いることができる。
【００３１】
次に、図４（２）に示すように、上記有機膜４１上に、例えば、緑色のカラーフィルター３１Ｇを形成するためのカラーフィルター層３２Ｇを形成する。
【００３２】
次に、図５（３）に示すように、前記カラーフィルター層３２Ｇをパターニングして、所望の位置に、緑色のカラーフィルター３１（３１Ｇ）を上記カラーフィルター層３２Ｇで形成する。
【００３３】
次に、図５（４）に示すように、上記有機膜４１上に、例えば、赤色のカラーフィルター３１Ｒを形成するためのカラーフィルター層を形成し、それをパターニングして、所望の位置に、赤色のカラーフィルター３１（３１Ｒ）を上記カラーフィルター層で形成する。同様に、上記有機膜４１上に、例えば、青色のカラーフィルター３１Ｂを形成するためのカラーフィルター層を形成し、それをパターニングして、所望の位置に、青色のカラーフィルター３１（３１Ｂ）を上記カラーフィルター層で形成する。上記カラーフィルター３１Ｒ、３１Ｇ、３１Ｂの作製順は限定されず、どのカラーフィルターを先に形成してもよい。上記カラーフィルター３１Ｒ、３１Ｇ、３１Ｂを形成する際に、隣接するカラーフィルター間隔に隙間３３を形成しておく。
【００３４】
次に、図６（５）に示すように、上記カラーフィルター３１Ｒ、３１Ｇ、３１Ｂを被覆するように、一重項酸素クエンチャーを含む有機膜４２を形成する。この一重項酸素クエンチャーを含む有機膜４２は、上記有機膜４１と同様なる材質のものを用いる。この有機膜４２は上記隙間３３内部を埋め込むように形成される。
【００３５】
次に、図６（６）に示すように、上記有機膜４２上の所望に位置に、上記各光電変換部２１に入射光を集光する集光レンズ５１を形成する。
【００３６】
次に、図７（７）に示すように、上記集光レンズ５１を被覆するように、一重項酸素クエンチャーを含む有機膜４３を形成する。このように、集光レンズ５１上にも一重項酸素クエンチャーを含む有機膜４３を形成することで、集光レンズ５１を通してカラーフィルター３１に一重項酸素クエンチャーを拡散させることができる。
【００３７】
次に、上記有機膜４１〜４３を加熱処理することで、有機膜４１〜４３中の一重項酸素クエンチャーをカラーフィルター３１内に拡散させる。この一重項酸素クエンチャーの拡散処理は、加熱処理の他に、光照射、超音波照射、マイクロ波照射等によっても行うことができる。上記一重項酸素クエンチャーは、例えば熱拡散によってカラーフィルター３１に拡散されるので、有機膜４１〜４２を加熱する処理であれば有効である。また、熱処理と光照射とを併用することもできる。例えば紫外線キュア処理により行うことができる。
【００３８】
また、上記一重項酸素クエンチャーの拡散処理は、カラーフィルター３１を形成した後に行うこともできる。すなわち、有機膜４２を形成した後に行うこともできる。また、有機膜４１で十分な一重項酸素クエンチャーがカラーフィルター３１に拡散される場合には、有機膜４２、４３を形成する必要はない。同様に、有機膜４２で十分な一重項酸素クエンチャーがカラーフィルター３１に拡散される場合には、有機膜４１、４３を形成する必要はない。有機膜４１、４２で十分な一重項酸素クエンチャーがカラーフィルター３１に拡散される場合には、有機膜４３を形成する必要はない。
【００３９】
次に、請求項３に係る本発明の固体撮像装置の製造方法の一実施の形態（第２実施例）を、図８〜図１２の製造工程断面図によって説明する。
【００４０】
図８（１）に示すように、半導体基板１１には画素を分離する画素分離領域１２が形成されている。上記半導体基板１１には、例えばＳＯＩ（Silicon on insulator）基板のシリコン層もしくはシリコン基板が用いられる。また、画素分離領域１２は、例えばｐ型ウエル領域で形成されている。上記画素分離領域１２によって区分される領域には、光電変換部２１が形成されている。光電変換部２１の一方側には上記画素分離領域１２が形成され、他方側に読み出し領域２２を介して垂直転送部２３が形成されている。上記垂直転送部２３条にはゲート絶縁膜２４を介して転送電極２５が形成されている。この転送電極２５は上記読み出し領域２２上に延長形成されていて、読み出しゲートを構成していてもよい。上記転送電極２５を被覆するように、絶縁膜２６を介して遮光膜２７が形成されている。上記光電変換部２１上の上記遮光膜２７には開口部２８が形成されている。さらに、上記遮光膜２７を被覆するようにパッシベーション膜２９、平坦化膜３０が形成されている。
【００４１】
このような状態で上記平坦化膜２８上に一重項酸素クエンチャーを含む有機膜４１を形成する。一重項酸素クエンチャーとしては、分光特性として、透過率が十分に高く、可視光領域に吸収がない、もしくはほとんどない（例えば９０％以上の可視光透過率を有する）ものであればよい。例えば、ジアルキルホスフェイト、ジアルキルジチオカルバネ−ト、ベンゼンジチオ−ル等の金属錯体がよく、その金属としては、ニッケル、銅またはコバルトが良い。例えば、前記化学式（１）、（２）に表すようなものがある。また、有機膜４１を構成する樹脂、硬化剤、溶媒等は、分光特性としては透過率が十分に高く、可視光領域に吸収がほとんどない（例えば９０％以上の可視光透過率を有する）ものであればよい。またカラーフィルタ材やマイクロレンズ材等の塗布による溶け出しなどが起こらない程度の硬化密度を得られる組成で有している必要がある。例えば、ノボラック樹脂、硬化剤はメラミン系硬化剤などを用いることができる。
【００４２】
次に、図８（２）に示すように、上記有機膜４１上に、例えば、緑色のカラーフィルター３１Ｇを形成するためのカラーフィルター層３２Ｇを形成する。
【００４３】
次に、図９（３）に示すように、前記カラーフィルター層３２Ｇをパターニングして、所望の位置に、緑色のカラーフィルター３１（３１Ｇ）を上記カラーフィルター層３２Ｇで形成する。
【００４４】
次に、図９（４）に示すように、上記カラーフィルター３１Ｇを被覆するように、一重項酸素クエンチャーを含む有機膜４４を形成する。この一重項酸素クエンチャーを含む有機膜４４は、上記有機膜４１と同様なる材質のものを用いる。
【００４５】
次に、図１０（５）に示すように、上記有機膜４４上に、例えば、赤色のカラーフィルター３１Ｒを形成するためのカラーフィルター層を形成し、それをパターニングして、所望の位置に、赤色のカラーフィルター３１（３１Ｒ）を上記赤色のカラーフィルター層で形成する。同様に、上記有機膜４１上に、例えば、青色のカラーフィルター３１Ｂを形成するためのカラーフィルター層を形成し、それをパターニングして、所望の位置に、青色のカラーフィルター３１（３１Ｂ）を上記青色のカラーフィルター層で形成する。上記カラーフィルター３１（３１Ｒ、３１Ｇ、３１Ｂ）の作製順は限定されず、どのカラーフィルター３１を先に形成してもよい。
【００４６】
次に、図１０（６）に示すように、上記各カラーフィルター３１Ｒ、３１Ｇ、３１Ｂを被覆するように、一重項酸素クエンチャーを含む有機膜４５を形成する。この一重項酸素クエンチャーを含む有機膜４５は、上記有機膜４１と同様なる材質のものを用いる。この有機膜４５はカラーフィルター３１間に隙間が形成されている場合には、その隙間を埋め込むように形成される。
【００４７】
次に、図１１（７）に示すように、上記有機膜４５上の所望に位置に、上記各光電変換部２１に入射光を集光する集光レンズ５１を形成する。
【００４８】
次に、図１２（８）に示すように、上記集光レンズ５１を被覆するように、一重項酸素クエンチャーを含む有機膜４３を形成する。このように、集光レンズ５１上にも一重項酸素クエンチャーを含む有機膜４３を形成することで、集光レンズ５１を通してカラーフィルター３１に一重項酸素クエンチャーを拡散させることができる。
【００４９】
次に、上記有機膜４１、４３〜４５を加熱処理することで、有機膜４１、４３〜４５中の一重項酸素クエンチャーをカラーフィルター３１内に拡散させる。この一重項酸素クエンチャーの拡散処理は、加熱処理の他に、光照射、超音波照射、マイクロ波照射等によっても行うことができる。上記一重項酸素クエンチャーは、例えば熱拡散によってカラーフィルター３１に拡散されるので、有機膜４１、４３〜４５を加熱する処理であれば有効である。また、熱処理と光照射とを併用することもできる。例えば紫外線キュア処理により行うことができる。
【００５０】
また、上記一重項酸素クエンチャーの拡散処理は、カラーフィルター３１を形成した後に行うこともできる。すなわち、有機膜４５を形成した後に行うこともできる。また、有機膜４１で十分な一重項酸素クエンチャーがカラーフィルター３１に拡散される場合には、有機膜４３〜４５を形成する必要はない。同様に、有機膜４４で十分な一重項酸素クエンチャーがカラーフィルター３１に拡散される場合には、有機膜４１、４３、４５を形成する必要はない。有機膜４１、４５で十分な一重項酸素クエンチャーがカラーフィルター３１に拡散される場合には、有機膜４３、４４を形成する必要はない。
【００５１】
上記製造方法では、カラーフィルター３１に接触して一重項酸素クエンチャーを含む有機膜４１、４４、４５が形成され、一重項酸素クエンチャーがカラーフィルター３１に拡散されることから。カラーフィルター３１、特に染料系のカラーフィルターの退色が抑制される。しかも、カラーフィルター３１を形成した後に一重項酸素クエンチャーを含む有機膜４１、４４，４５から一重項酸素クエンチャーがカラーフィルター３１に拡散されるので、すなわち、カラーフィルター３１の形成時にはカラーフィルター３１に一重項酸素クエンチャーが導入されていないので、カラーフィルター３１を形成する際のリソグラフィー特性を低下させることがない。
【００５２】
よって、特に染料系のカラーフィルター３１の耐光性が向上できるので、固体撮像装置１の品質の向上が図れるという利点がある。また、リソグラフィー特性を低下させることなく、カラーフィルター３１の加工ができる。よって高精度の加工ができるという利点がある。
【００５３】
次に、上記一重項酸素クエンチャーの効果を説明する。石英ガラス基板上にカラーフィルター形成膜を塗布し、露光、現像、キュア処理を行い、試料１を形成した。この形成方法で、緑、赤、青の３色のカラーフィルター形成膜の試料１を形成した。また、石英ガラス基板上にカラーフィルター形成膜を塗布し、露光、現像、キュア処理を行い、カラーフィルター上に一重項酸素クエンチャーを含む有機膜を形成し、その後キュアを行って、有機膜中の一重項酸素クエンチャーをカラーフィルター中に拡散させて、試料２を形成した。この形成方法で、緑、赤、青の３色のカラーフィルター形成膜の試料２を形成した。ここで用いた一重項酸素クエンチャーを含む有機膜は、ポリヒドロシキスチレン樹脂１００部に対して前記化学式（１）に示した一重項酸素クエンチャー５部を添加したものである。
【００５４】
上記試料１、２に１００万ｌｘｓの光を照射した後、透過分光を測定した。波長４００ｎｍ〜７００ｎｍの領域の分光透過率変化を差分（積分値）を合計し、平均化した。その結果、試料１では、緑のカラーフィルター形成膜では８．３、赤のカラーフィルター形成膜では３．９、青のカラーフィルター形成膜では５．１という値となった。一方、試料２では、緑のカラーフィルター形成膜では２．１、赤のカラーフィルター形成膜では１．０、青のカラーフィルター形成膜では１．４という値となった。いずれも、一重項酸素クエンチャーが拡散されたカラーフィルターの耐光性が向上されたことが確認できた。なお、値が０となれば、全く耐光性が劣化していないことになる。
【００５５】
次に、請求項６の発明に係る撮像装置に係る一実施の形態（実施例）を、図１３のブロック図によって説明する。
【００５６】
図１３に示すように、撮像装置１００は、撮像部１０１に固体撮像装置（図示せず）を備えている。この撮像部１０１の集光側には像を結像させる結像光学系１０２が備えられ、また、撮像部１０１には、それを駆動する駆動回路、固体撮像装置で光電変換された信号を画像に処理する信号処理回路等を有する信号処理部１０３が接続されている。また上記信号処理部によって処理された画像信号は画像記憶部（図示せず）によって記憶させることができる。このような撮像装置１００において、上記固体撮像素子には、前記実施の形態で説明した固体撮像装置１ないし固体撮像装置４を用いることができる。
【００５７】
本発明の撮像装置１００では、本願発明の固体撮像装置１を用いることから、固体撮像装置１に上記説明したのと同様な効果を得ることができ、耐光性に優れた固体撮像装置を備えた撮像装置を提供することができるという利点がある。よって、退色による画質の劣化がない高品質は画質を得ることができる。
【００５８】
なお、本発明の撮像装置１００は、上記構成に限定されることはなく、固体撮像装置を用いる撮像装置であれば如何なる構成のものにも適用することができる。
【００５９】
上記固体撮像装置１はワンチップとして形成された形態であってもよいし、撮像部と、信号処理部または光学系とがまとめてパッケージングされた撮像機能を有するモジュール状の形態であってもよい。また、本発明は、固体撮像装置のみではなく、撮像装置にも適用可能である。この場合、撮像装置として、高画質化の効果が得られる。ここで、撮像装置は、例えば、カメラや撮像機能を有する携帯機器のことを示す。また「撮像」は、通常のカメラ撮影時における像の撮りこみだけではなく、広義の意味として、指紋検出なども含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】請求項１に係る本発明の固体撮像装置の一実施の形態（実施例）を示した概略構成断面図である。
【図２】本発明の固体撮像装置の平面レイアウト図である。
【図３】カラーフィルターの配置の一例を示した平面レイアウト図である。
【図４】請求項３に係る本発明の固体撮像装置の製造方法の一実施の形態（第１実施例）を示した製造工程断面図である。
【図５】本発明の固体撮像装置の製造方法の第１実施例を示した製造工程断面図である。
【図６】本発明の固体撮像装置の製造方法の第１実施例を示した製造工程断面図である。
【図７】本発明の固体撮像装置の製造方法の第１実施例を示した製造工程断面図である。
【図８】請求項３に係る本発明の固体撮像装置の製造方法の一実施の形態（第２実施例）を示した製造工程断面図である。
【図９】本発明の固体撮像装置の製造方法の第２実施例を示した製造工程断面図である。
【図１０】本発明の固体撮像装置の製造方法の第２実施例を示した製造工程断面図である。
【図１１】本発明の固体撮像装置の製造方法の第２実施例を示した製造工程断面図である。
【図１２】本発明の固体撮像装置の製造方法の第２実施例を示した製造工程断面図である。
【図１３】請求項６の発明に係る撮像装置に係る一実施の形態（実施例）を示したブロック図である。
【図１４】従来の固体撮像装置の一例を示した略構成断面図である。
【符号の説明】
【００６１】
１…固体撮像装置、２１…光電変換部、３１…カラーフィルター、４１，４２…有機膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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