(57)【要約】【課題】対象物を均一な厚さにエッチングして製品の収率を向上させることができるエッチング装置及びこの装置を利用して対象物をエッチングする方法を提供すること。【解決手段】エッチング装置は対象物の厚さを薄くエッチングする過程において対象物に加えられる圧力を最小化し、エッチング溶液を対象物の全領域に均一の圧力でエッチング溶液を提供する。これによって、エッチング過程において、対象物の破損を防止し、対象物の厚さを均一にエッチングすることができるため、対象物の厚さを最小化することができる。【選択図】図１
2008026862.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に少なくとも一つの対象物が移動できる移動空間が形成され、前記移動空間に対象物をエッチングするためのエッチング溶液を収容し、地面に対して勾配が調節されるエッチングレールと、
前記エッチング溶液を前記エッチングレールに提供する溶液供給部とを含むことを特徴とするエッチング装置。
【請求項２】
前記エッチングレールは、
底面と、
前記底面のエッジから延長されて前記移動空間を形成する側壁とを含むことを特徴とする請求項１に記載のエッチング装置。
【請求項３】
前記エッチングレールは、
前記対象物の端部を支持して前記対象物を前記底面から所定の距離に離隔させ、前記対象物の移動経路をガイドするガイド部材をさらに含むことを特徴とする請求項２に記載のエッチング装置。
【請求項４】
前記ガイド部材は、
前記対象物の第１端部を支持する第１ガイド部材と、
前記第１端部と向き合う前記対象物の第２端部を支持する第２ガイド部材とを含むことを特徴とする請求項３に記載のエッチング装置。
【請求項５】
前記移動空間は多数の対象物を収容する大きさを有し
前記多数の対象物は前記移動空間内で前記エッチングレールの長さ方向と直交する方向に連続して配置されることを特徴とする請求項３に記載のエッチング装置。
【請求項６】
前記多数の対象物は、第１及び第２対象物を含み、
前記ガイド部材は、
前記第１対象物の互いに向き合う両端部をそれぞれ支持する第１及び第２ガイド部材と、
前記第２対象物の互いに向き合う両端部をそれぞれ支持する第３及び第４ガイド部材とを含むことを特徴とする請求項５に記載のエッチング装置。
【請求項７】
前記エッチングレールは前記底面と向き合う上面をさらに含むことを特徴とする請求項２に記載のエッチング装置。
【請求項８】
前記エッチングレールから排出されたエッチング溶液を貯蔵する溶液回収部と、
前記溶液回収部に貯蔵されたエッチング溶液を前記溶液供給部に提供するポンプ部とをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のエッチング装置。
【請求項９】
エッチングレールの内部に対象物をエッチングするエッチング溶液を供給する段階と、
地面に対する前記エッチングレールの勾配を調節する段階と、
前記エッチングレールの内部に前記対象物を引き入れて前記対象物をエッチングする段階とを含むことを特徴とするエッチング方法。
【請求項１０】
前記エッチングレールの勾配を調節する段階に続いて、
前記エッチングレールに貯蔵されたエッチング溶液を持続的に排出させ、前記エッチングレールに前記エッチング溶液を持続的に供給して前記エッチングレール内部のエッチング溶液を循環させる段階をさらに含むことを特徴とする請求項９に記載のエッチング方法。
【請求項１１】
対象物を地面に対して垂直方向に立てる固定部材と、
前記対象物の上部に具備され、前記対象物をエッチングするエッチング溶液が供給されて貯蔵される溶液貯蔵部、及び前記対象物と隣接して位置し、内部に前記溶液貯蔵部を収納する収納空間を有し、前記溶液貯蔵部から漏洩したエッチング溶液を外部に排出して前記対象物に提供する排出口が形成されたボディー部を具備するノズル部とを含むことを特徴とするエッチング装置。
【請求項１２】
前記ボディー部は、
上面と、
前記上面から延長されて前記収納空間を形成する側壁と、
開口されて前記排出口が形成された下面とを含むことを特徴とする請求項１１に記載のエッチング装置。
【請求項１３】
前記側壁は前記エッチング溶液が前記排出口を通じて外部に排出されるように前記上面から下に近接するほど狭くなることを特徴とする請求項１２に記載のエッチング装置。
【請求項１４】
前記排出口は前記対象物と対応するように位置することを特徴とする請求項１１に記載のエッチング装置。
【請求項１５】
前記固定部材は、
内部に前記対象物を挿入する挿入空間が形成され、前記エッチング溶液が前記対象物に提供されるように前記ノズル部と隣接した上面が開口され、前記対象物の表面に沿って前記挿入空間内に流入された前記エッチング溶液を排出するように下面が開口された収納部と、
前記収納部と結合し、前記対象物の端部を部分的に支持して前記対象物が前記収納部から離脱されることを防止する少なくとも一つの支持部と、
前記収納部と結合し、前記収納部を前記地面に対して垂直に立てるピックアップ部とを具備することを特徴とする請求項１１に記載のエッチング装置。
【請求項１６】
前記収納部は、
第１側板と、
前記第１側板の第１端部から延長された第１フレームと、
前記第１側板の第２端部から前記第１フレームと向き合うように延長され、前記第１フレームから所定の距離に離隔された第２フレームと、
前記第１側板と向き合い、前記第１及び第２フレームと連結された第２側板とを含み、
前記対象物は、前記第１フレームと前記第２フレームとの間に介在されたことを特徴とする請求項１５に記載のエッチング装置。
【請求項１７】
前記収納部は、
前記第１フレームから突き出されて前記対象物と前記第１フレームとの間の間隔を維持する少なくとも１つの第１離隔部と、
前記第２フレームから突き出されて前記対象物と前記第２フレームとの間の間隔を維持する少なくとも１つの第２離隔部とをさらに含むことを特徴とする請求項１６に記載のエッチング装置。
【請求項１８】
前記支持部は、
前記対象物の下端部を部分的に支持する第１板と、
前記第１板の端部から延長されて前記収納部と結合する第２板と、
前記第１板から突き出されて前記収納部と前記対象物との間の間隔を維持する突起とを含むことを特徴とする請求項１５に記載のエッチング装置。
【請求項１９】
対象物を地面に対して垂直に立てる段階と、
溶液貯蔵部の下に前記対象物を配置する段階と、
溶液貯蔵部に前記エッチング溶液を供給して前記溶液貯蔵部から前記エッチング溶液を漏洩させる段階と、
前記溶液貯蔵部にから漏洩したエッチング溶液をガイドして前記対象物の上端部に提供する段階とを含むことを特徴とするエッチング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はエッチング装置及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
最近、液晶表示装置の薄型化及びスリム化のために液晶表示パネルの厚さ及び重さを減少させる技術が開発されている。液晶表示パネルの厚さを減少させるための方法では液晶表示パネルを形成するためのガラス母基板をエッチングして液晶表示パネルの厚さを最小化する方法がある。
一般的に、ガラス母基板をエッチングする方法ではガラス母基板をエッチング溶液に浸すディッピング（Ｄｉｐｐｉｎｇ）方法及びガラス母基板の表面にエッチング溶液を噴射するスプレー（Ｓｐｒａｙ）方法が広く利用されている。
【特許文献１】韓国公開特許2000-19079号公報
【特許文献２】韓国公開特許2002-56049号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、ディッピング方法はエッチング槽にエッチング溶液を満たした後、エッチング溶液にガラス母基板を所定の時間の間つけてガラス母基板をエッチングする。エッチング槽の内部には気泡を発生させてエッチング時間を短縮させるエアチューブ及びバブル板が具備される。このようなディッピング方法は気泡がガラス母基板に均一に提供されなければ、ガラス母基板が不均一にエッチングされる。これを防止するため、気泡を均一に提供しなければならないが、気泡の量と大きさを調節しにくい。
【０００４】
一方、スプレー方法はノズルを通じてエッチング溶液をガラス母基板に噴射してガラス母基板をエッチングする。このようなスプレー方法はノズルからエッチング溶液が噴射されることから、ノズルの噴射圧力によってガラス母基板が割れる恐れがある。すなわち、ガラス母基板がノズルの噴射圧力が耐えられない厚さにエッチングされれば、ガラス母基板がノズルの噴射圧力を耐えることができずに割れてしまう。
【０００５】
そこで、本発明の目的は、対象物を均一の厚さにエッチングして製品の収率を向上させることができるエッチング装置を提供することにある。
また、本発明の目的は、上述したエッチング装置を利用して対象物をエッチングする方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記した本発明の目的を実現するための発明１の特徴によるエッチング装置は、エッチングレール及び溶液供給部からなる。
エッチングレールは内部に少なくとも一つの対象物が移動することができる移動空間が形成され、前記移動空間に対象物をエッチングするためのエッチング溶液を収容し、地面に対して勾配が調節される。溶液供給部は前記エッチング溶液を前記エッチングレールに提供する。
【０００７】
このとき、エッチングレールにより地面に対する勾配が調節されることで、対象物のエッチング時間及びエッチング程度が調節される。また、対象物は、エッチングレールが傾いた方向に水平移動する。このような場合、対象物とエッチング溶液との間に摩擦が発生するため、対象物のエッチングが促進される。
このように対象物がエッチング溶液が収容されたエッチングレール内部で水平移動されることで、エッチング過程において対象物に加えられる圧力を最小化し、対象物の全領域に均一な圧力をかけることができる。したがって、対象物の破損を防止し、対象物を均一にエッチングすることができるため、対象物の厚さを最小化することができる。
【０００８】
また、エッチングレールにより勾配が調節されることで、エッチング溶液を外部に排出して対象物とエッチング溶液とが反応して形成されるスラッジ（Ｓｌｕｄｇｅ）がエッチングレールの内部に沈殿することを防止することができる。
発明２は、発明１において、前記エッチングレールは、底面、及び前記底面のエッジから延長されて前記移動空間を形成する側壁を含む。
【０００９】
発明３は、発明２において、前記エッチングレールは、前記対象物の端部を支持して前記対象物を前記底面から所定の距離に離隔させ、前記対象物の移動経路をガイドするガイド部材をさらに含むことができる。これによって、移動空間に収容されたエッチング溶液が対象物の全領域に均一に提供されるため、対象物の厚さを均一にエッチングすることができる。
【００１０】
発明４は、発明３において、前記ガイド部材は、前記対象物の第１端部を支持する第１ガイド部材と、前記第１端部と向き合う前記対象物の第２端部を支持する第２ガイド部材とを含むことを特徴とする。第１及び第２ガイド部材により、対象物を底面から離隔し、エッチング溶液を対象物の全領域に均一に提供し、対象物の厚さを均一にエッチングすることができる。
【００１１】
発明５は、発明３において、前記移動空間は多数の対象物を収容する大きさを有し、前記多数の対象物は前記移動空間内で前記エッチングレールの長さ方向と直交する方向に連続して配置されることを特徴とする。
発明６は、発明５において、前記多数の対象物は、第１及び第２対象物を含み、前記ガイド部材は、前記第１対象物の互いに向き合う両端部をそれぞれ支持する第１及び第２ガイド部材と、前記第２対象物の互いに向き合う両端部をそれぞれ支持する第３及び第４ガイド部材とを含むことを特徴とする。
【００１２】
発明７は、発明２において、前記エッチングレールは前記底面と向き合う上面をさらに含むことを特徴とする。
発明８は、発明１において、前記エッチングレールから排出されたエッチング溶液を貯蔵する溶液回収部と、前記溶液回収部に貯蔵されたエッチング溶液を前記溶液供給部に提供するポンプ部とをさらに含むことを特徴とする。
【００１３】
また、上記した本発明の目的を実現するための発明９の特徴によるエッチング方法は次のとおりである。
まず、エッチングレールの内部に対象物をエッチングするエッチング溶液を供給する。地面に対する前記エッチングレールの勾配を調節した後、前記エッチングレールの内部に前記対象物を引入させて前記対象物をエッチングする。このエッチング方法によれば、発明１と同様の作用効果を得ることができる。
【００１４】
発明１０は、発明９において、前記エッチングレールの勾配を調節する段階に続いて、前記エッチングレールに貯蔵されたエッチング溶液を持続的に排出させ、前記エッチングレールに前記エッチング溶液を持続的に供給して前記エッチングレール内部のエッチング溶液を循環させる段階をさらに含むことを特徴とする。
ここで、前記エッチングレールの勾配が調節されれば、前記エッチングレールに貯蔵されたエッチング溶液が排出されるため、前記エッチングレールに前記エッチング溶液を供給する。これによって、前記エッチングレール内部のエッチング溶液が循環される。これにより、常にエッチングレール内部にエッチング溶液を供給することができ、またスラッジを除去ずることができる。
【００１５】
また、上記した本発明の目的を実現するための発明１１の特徴によるエッチング装置は、固定部材及びノズル部からなる。
固定部材は対象物を地面に対して垂直方向に立てる。ノズル部は溶液貯蔵部及びボディー部を具備する。溶液貯蔵部は前記対象物の上部に具備され、前記対象物をエッチングするエッチング溶液が供給されて貯蔵される。ボディー部は前記対象物と隣接して位置し、内部に前記溶液貯蔵部を収納する収納空間を有し、前記溶液貯蔵部から漏洩したエッチング溶液を外部に排出して前記対象物に提供する排出口が形成される。
【００１６】
漏洩したエッチング溶液は対象物に滴下される。したがって、対象物に加えられる圧力を最小化し、対象物に均一な圧力をかけることができる。これによって、対象物の破損を防止し、対象物を均一にエッチングすることができるため、対象物の厚さを最小化することができる。
発明１２は、発明１１において、前記ボディー部は、上面、前記上面から延長されて前記収納空間を形成する側壁、及び開口されて前記排出口が形成された下面を具備する。
【００１７】
発明１３は、発明１２において、前記側壁は前記エッチング溶液が前記排出口を通じて外部に排出されるように前記上面から下に近接するほど狭くなる。
発明１４は、発明１１において、前記排出口は前記対象物と対応するように位置することを特徴とする。
発明１５は、発明１１において、前記固定部材は、内部に前記対象物を挿入する挿入空間が形成され、前記エッチング溶液が前記対象物に提供されるように前記ノズル部と隣接した上面が開口され、前記対象物の表面に沿って前記挿入空間内に流入された前記エッチング溶液を排出するように下面が開口された収納部と、前記収納部と結合し、前記対象物の端部を部分的に支持して前記対象物が前記収納部から離脱されることを防止する少なくとも一つの支持部と、前記収納部と結合し、前記収納部を前記地面に対して垂直に立てるピックアップ部とを具備することを特徴とする。
【００１８】
発明１６は、発明１５において、前記収納部は、第１側板と、前記第１側板の第１端部から延長された第１フレームと、前記第１側板の第２端部から前記第１フレームと向き合うように延長され、前記第１フレームから所定の距離に離隔された第２フレームと、前記第１側板と向き合い、前記第１及び第２フレームと連結された第２側板とを含み、前記対象物は、前記第１フレームと前記第２フレームとの間に介在されたことを特徴とする。
【００１９】
発明１７は、発明１６において、前記収納部は、前記第１フレームから突き出されて前記対象物と前記第１フレームとの間の間隔を維持する少なくとも１つの第１離隔部と、前記第２フレームから突き出されて前記対象物と前記第２フレームとの間の間隔を維持する少なくとも１つの第２離隔部とをさらに含むことを特徴とする。これによって、対象物に提供されたエッチング溶液が対象物の表面に沿って均一に流れることができるため、対象物が均一にエッチングされる。
【００２０】
発明１８は、発明１５において、前記支持部は、前記対象物の下端部を部分的に支持する第１板と、前記第１板の端部から延長されて前記収納部と結合する第２板と、前記第１板から突き出されて前記収納部と前記対象物との間の間隔を維持する突起とを含むことを特徴とする。
また、上記した前記本発明の目的を実現するための発明１９の特徴によるエッチング方法は次のとおりである。
【００２１】
まず、対象物を地面に対して垂直に立てる。溶液貯蔵部の下に前記対象物を配置し、溶液貯蔵部に前記エッチング溶液を供給して前記溶液貯蔵部から前記エッチング溶液を漏洩させる。前記溶液貯蔵部から漏洩したエッチング溶液をガイドして前記対象物の上端部に提供する。このエッチング方法によれば、発明１１と同様の作用効果を得ることができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、対象物を均一の厚さにエッチングして製品の収率を向上させることができるエッチング装置を提供することができる。
また、本発明によれば、上述したエッチング装置を利用して対象物をエッチングする方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、添付の図を参照して、本発明をより詳細に説明する。
図１は本発明の一実施形態に係るエッチング装置を示した図である。
図１は参照すれば、エッチング装置１００はガラス母基板１０をエッチングするエッチングレール１１０、及び前記ガラス母基板１０をエッチングするエッチング溶液を貯蔵する溶液供給部１２０を含む。
【００２４】
図２は図１に示したエッチングレールを示した分解斜視図であり、図３は図２の切断線Ｉ−Ｉ'に沿って切断した断面図であり、図４は図２の切断線ＩＩ−ＩＩ'に沿って切断した断面図である。
図２及び図３を参照すれば、前記エッチングレール１１０は内部に前記ガラス母基板１０が移動することができる移動空間ＭＳを有し、前記移動空間ＭＳには前記エッチング溶液が収容される。
【００２５】
具体的に、前記エッチングレール１１０は底面１１１、前記底面１１１から延長されて前記移動空間ＭＳを形成する側壁１１２及び前記底面１１１と向き合う上面１１３を具備する。
前記側壁１１２には、一部分が除去されて互いに向き合う第１及び第２開口部１１２ａ、１１２ｂが形成される。前記ガラス母基板１０は前記第１開口部１１２ａを通じて前記移動空間ＭＳの中に引入れられ、前記第２開口部１１２ｂを通じて引き出される。
【００２６】
この実施形態において、前記エッチングレール１１０は前記第１及び第２開口部１１２ａ、１１２ｂが形成されて両端部が開口される。しかし、前記エッチングレール１１０には、前記第１及び第２開口部１１２ａ、１１２ｂを開閉することができる開閉部材をさらに具備して前記移動空間ＭＳを密閉することもできる。すなわち、前記ガラス母基板１０が前記移動空間ＭＳの中に収納されれば、前記開閉部材を前記エッチングレール１１０に結合して前記移動空間ＭＳを密閉する。そして、前記ガラス母基板１０を前記エッチングレール１１０に引入れまたは引き出す時は前記開閉部材を前記エッチングレール１１０から分離する。
【００２７】
前記底面１１１には、一部分が除去されて前記エッチング溶液を排出する排出口１１１ａが形成され、前記排出口１１１ａは前記第２開口部１１２ｂと隣接して位置する。
前記上面１１３は前記側壁１１２と結合し、一部分が除去されて前記エッチング溶液が供給される流入口１１３ａが形成される。前記流入口１１３ａは前記第１開口部１１２ａと隣接して位置し、前記エッチング溶液は前記流入口１１３ａを通じて前記移動空間ＭＳの中に流入される。
【００２８】
図３及び図４を参照すれば、前記エッチングレール１１０は前記ガラス母基板１０の位置をガイドするガイド部材をさらに含む。
前記ガイド部材は第１及び第２ガイド部材１１４、１１５からなる。前記第１及び第２ガイド部材１１４は前記移動空間ＭＳに具備され、前記ガラス母基板１０を前記底面１１１から所定の距離に離隔する。
【００２９】
すなわち、前記第１ガイド部材１１４は前記ガラス母基板１０の第１端部を支持する。前記第２ガイド部材１１５は前記第１ガイド部材１１４と向き合い、前記ガラス母基板１０の第２端部を支持する。
この実施形態において、前記第１及び第２ガイド部材１１４、１１５は、図４に示すように横向きの‘Ｕ’字形状を有するが、前記第１及び第２ガイド部材１１４、１１５は‘Ｌ’字形状または棒形状を有してもよい。
【００３０】
前記第１及び第２ガイド部材１１４、１１５は前記ガラス母基板１０を前記底面１１１及び前記上面１１３から離隔する。これによって、前記移動空間ＭＳに収容されたエッチング溶液３０が前記ガラス母基板１０の全領域に均一に提供されるため、前記ガラス母基板１０の厚さを均一にエッチングすることができる。
特に、前記エッチングレール１１０は前記底面１１１が地面と向き合うように配置され、前記地面に対して勾配が調節される。前記エッチングレール１１０は前記地面に対する勾配を調節して前記ガラス母基板１０のエッチング時間及びエッチング程度を調節する。
【００３１】
すなわち、前記エッチングレール１１０が前記地面に対して一方向に傾けば、前記移動空間ＭＳに具備された前記ガラス母基板１０は前記エッチングレール１１０が傾いた方向に移動する。このような場合、前記ガラス母基板１０と前記エッチング溶液３０との間に摩擦が発生するため、前記ガラス母基板１０のエッチングが促進される。
ここで、前記エッチングレール１１０は前記エッチングレール１１０の長さ方向に傾き、前記ガラス母基板１０は前記移動空間ＭＳ内で水平移動する。すなわち、前記ガラス母基板１０は前記エッチングレール１１０の中で前記底面１１１と平行に配置され、前記エッチングレール１１０が傾けば、前記移動空間ＭＳの中で水平移動される。これによって、前記エッチングレール１１０は前記ガラス母基板１０に加えられる圧力を最小化することができ、前記ガラス母基板１０に均一な圧力をかけることができるため、前記ガラス母基板１０の破損を防止し、前記ガラス母基板１０を均一にエッチングすることができる。
【００３２】
再び図１、図３及び図４を参照すれば、前記エッチングレール１１０の上部には前記溶液供給部１２０が具備される。前記溶液供給部１２０は前記エッチング溶液を貯蔵し、前記エッチング溶液を前記エッチングレール１１０に提供する。
前記エッチングレール１１０が前記地面に対して一方向に傾けば、前記移動空間ＭＳに収容されたエッチング溶液３０も前記ガラス母基板１０とともに前記エッチングレール１１０が傾いた方向に移動する。ここで、前記第１開口部１１２ａに位置する第１端部１１１ｂが上に上がり、前記第２開口部１１２ｂが位置する第２端部１１１ｃが下に下がるように前記底面１１１が傾けば、前記エッチングレール１１０に収容されたエッチング溶液３０が前記第２開口部１１２ｂに移動し、前記エッチング溶液３０が前記排出口１１１ａを通じて外部に排出される。
【００３３】
前記エッチングレール１１０に収容されたエッチング溶液３０が排出されれば、前記エッチングレール１１０は前記溶液供給部１２０から前記エッチング溶液が排出された量だけ前記エッチング溶液が再び供給される。すなわち、前記エッチングレール１１０は持続的に前記エッチング溶液を排出し、前記溶液供給部１２０から持続的に前記エッチング溶液が供給されるため、前記移動空間ＭＳは常に前記エッチング溶液で満たされる。
【００３４】
このように、前記エッチングレール１１０は勾配を調節して前記ガラス母基板１０を均一にエッチングし、前記エッチング溶液を外部に排出して前記ガラス母基板１０と前記エッチング溶液が反応して形成されたスラッジ（Ｓｌｕｄｇｅ）が前記エッチングレール１１０の内部に沈殿することを防止することができる。
一方、前記エッチング装置１００は前記エッチングレール１１０から排出されたエッチング溶液を回収する溶液回収部１３０、前記溶液回収部１３０に貯蔵されたエッチング溶液を前記溶液供給部１２０に提供するポンプ部１４０、及び第１、第２、第３及び第４連結管１５１、１５２、１５３、１５４をさらに含む。
【００３５】
前記溶液回収部１３０は前記エッチングレール１１０から排出されたエッチング溶液を貯蔵する。また、溶液回収部１３０は、スラッジを除去してポンプ部１４０にエッチング溶液を供給する。
前記ポンプ部１４０は前記溶液回収部１３０に貯蔵されたエッチング溶液を前記溶液供給部１２０に提供する。
【００３６】
前記第１、第２、第３及び第４連結管１５１、１５２、１５３、１５４は前記エッチング溶液が移動する移動通路を提供する。
すなわち、前記第１連結管１５１は前記エッチングレール１１０及び前記溶液供給部１２０と連結され、前記溶液供給部１２０から排出されたエッチング溶液を前記エッチングレール１１０に提供する。ここで、前記第１連結管１５１は一端部が前記エッチングレール１１０に形成された前記流入口１１３ａ（図２参照）に挿入される。
【００３７】
前記第２連結管１５２は前記エッチングレール１１０及び前記溶液回収部１３０と連結され、前記エッチングレール１１０から排出されたエッチング溶液を前記溶液回収部１３０に提供する。
前記第３連結管１５３は前記溶液回収部１３０及び前記ポンプ部１４０と連結され、前記溶液回収部１３０から排出されたエッチング溶液を前記ポンプ部１４０に提供する。
【００３８】
前記第４連結管１５４は前記溶液供給部１２０及び前記ポンプ部１４０と連結され、前記ポンプ部１４０から排出されたエッチング溶液を前記溶液供給部１２０に提供する。
このように、前記第１、第２、第３及び第４連結管１５１、１５２、１５３、１５４は前記エッチングレール１１０、前記溶液供給部１２０、前記溶液回収部１３０及び前記ポンプ部１４０を連結して前記エッチング溶液が供給及び回収される経路を提供する。
【００３９】
図５Ａ乃至図５Ｃは図４に示したエッチングレールの他の一例を示した断面図である。
図５Ａに示したエッチングレール１６０はガイド部材を除いては図４に示したエッチングレール１１０と同一の構成を有する。したがって、以下、前記エッチングレール１６０に対する具体的な説明において、図４に示したエッチングレール１１０と同一の構成要素に対しては参照番号を併記し、それに対する具体的な説明は略する。
【００４０】
図５Ａを参照すれば、前記エッチングレール１６０は底面１１１、側壁１１２、上面１１３及びガイド部材を含み、ガラス母基板１０、２０が移動することができる移動空間ＭＳを有する。前記移動空間ＭＳは多数のガラス母基板１０、２０を収容することができる大きさを有する。
この実施形態において、前記多数のガラス母基板１０、２０は第１及び第２ガラス母基板１０、２０を含むが、前記ガラス母基板の個数は前記移動空間ＭＳの大きさに応じて増加することもできる。
【００４１】
前記ガイド部材は第１、第２、第３及び第４ガイド部材１６１、１６２、１６３、１６４からなる。
この実施形態において、前記エッチングレール１６０は４つのガイド部材１６１、１６２、１６３、１６４を具備するが、前記ガイド部材の個数は前記移動空間ＭＳの大きさ及び前記ガラス母基板１０、２０の大きさに応じて増加、または減少することができる。
【００４２】
前記第１、第２、第３及び第４ガイド部材１６１、１６２、１６３、１６４は前記エッチングレール１６０の幅方向に沿って順次に配置される。前記第１及び第２ガイド部材１６１、１６２は前記第１ガラス母基板１０の両端部を支持し、前記第３及び第４ガイド部材１６３、１６４は前記第２ガラス母基板２０の両端部を支持する。
一方、図５Ｂに示したエッチングレール１７０はガイド部材を除いては図４に示したエッチングレール１１０と同一の構成を有する。したがって、以下、前記エッチングレール１７０に対する具体的な説明において、図４に示したエッチングレール１１０と同一の構成要素に対しては参照番号を併記し、それに対する具体的な説明は略する。
【００４３】
図５Ｂを参照すれば、前記エッチングレール１７０は底面１１１、側壁１１２、上面１１３及びガイド部材を含み、ガラス母基板１０、２０が移動することができる移動空間ＭＳを有する。前記移動空間ＭＳは多数のガラス母基板１０、２０を収容することができる大きさを有する。
この実施形態において、前記多数のガラス母基板１０、２０は第１及び第２ガラス母基板１０、２０を含むが、前記ガラス母基板の個数は前記移動空間ＭＳの大きさに応じて増加することもできる。
【００４４】
前記ガイド部材は第１、第２、第３及び第４ガイド部材１７１、１７２、１７３、１７４からなる。
この実施形態において、前記エッチングレール１７０は４つのガイド部材１７１、１７２、１７３、１７４を具備するが、前記ガイド部材の個数は前記移動空間ＭＳの大きさ及び前記ガラス母基板１０、２０の大きさに応じて増加、または減少してもよい。
【００４５】
前記第１及び第２ガイド部材１７１、１７２は互いに向き合い、前記第１ガラス母基板１０の両端部を支持する。前記第３ガイド部材１７３は前記第１ガイド部材１７１の上部に位置し、前記第４ガイド部材１７４は前記第２ガイド部材１７２の上部に位置する。前記第３及び第４ガイド部材１７３、１７４は互いに向き合い、前記第２ガラス母基板２０の両端部を支持する。これによって、前記第１ガラス母基板１０の上部に前記第２ガラス母基板２０が配置される。
【００４６】
図５Ａ及び図５Ｂのようにガイド部材を複数組設けることで、複数枚のガラス母基板を処理することができる。よって、ガラス母基板の製造コストを下げ、製造スピードを向上することができる。
一方、図５Ｃに示したエッチングレール１８０は上面を除いては図４に示したエッチングレール１１０と同一の構成を有する。したがって、以下、前記エッチングレール１８０に対する具体的な説明において、図４に示したエッチングレール１１０と同一の構成要素に対しては参照番号を併記し、それに対する具体的な説明は略する。
【００４７】
図５Ｃを参照すれば、前記エッチングレール１８０は底面１１１、前記底面１１１のエッジから延長されてガラス母基板１０が移動することができる移動空間ＭＳを形成する側壁１１２、及び第１及び第２ガイド部材１１４、１１５を含む。
前記エッチングレール１８０は上部が開口されて前記ガラス母基板１０の引き入れ及び引き出しが容易である。前記第１及び第２ガイド部材１１４、１１５は前記ガラス母基板１０の位置をガイドし、前記ガラス母基板１０が前記エッチングレール１８０から離脱されることを防止する。
【００４８】
この実施形態において、前記エッチングレール１８０は２つのガイド部材１１４、１１５を具備するが、前記ガイド部材１１４、１１５の個数は前記移動空間ＭＳの大きさ及び前記ガラス母基板１０の大きさに応じて増加してもよい。
以下、図面を参照して前記エッチングレール１００が前記ガラス母基板１０をエッチングする過程を具体的に説明する。
【００４９】
図６は本発明の一実施形態に係るガラス母基板をエッチングする方法を示したフローチャートであり、図７は図１に示したエッチングレールにおいてガラス母基板をエッチングする過程を示した断面図である。
図１、図６及び図７を参照すれば、まず、前記溶液供給部１２０は前記第１連結管１５１を通じて前記エッチング溶液を前記エッチングレール１１０に提供し、前記エッチングレール１１０の前記移動空間ＭＳはエッチング溶液３０を収容する（段階Ｓ１１０）。
【００５０】
前記エッチングレール１１０は前記地面に対する勾配を調節して前記地面に対して所定の角度で傾く（段階Ｓ１２０）。ここで、前記エッチング装置１００において前記エッチングレール１１０は前記勾配を調節して前記ガラス母基板１０のエッチング程度を決める。
前記エッチングレール１１０の前記移動空間ＭＳに前記ガラス母基板１０を引き入れ、前記ガラス母基板１０は前記エッチングレール１１０の傾いた方向に沿って移動する（段階Ｓ１３０）。
【００５１】
このように、前記ガラス母基板１０が前記エッチングレール１１０の前記移動空間ＭＳの中で水平移動しながらエッチングされるため、均一にエッチングされる。また、エッチング過程において、前記ガラス母基板１０に加えられる圧力を最小化することができるため、前記ガラス母基板１０の破損を防止することができ、前記ガラス母基板１０の厚さを最小化することができる。
【００５２】
前記エッチングレール１１０が前記地面に対して所定の角度で傾けば、前記エッチングレール１１０が傾いた方向に沿って前記移動空間ＭＳに収容されたエッチング溶液３０が循環される（段階Ｓ１４０）。
すなわち、前記エッチングレール１１０が傾けば、前記移動空間ＭＳに収容されたエッチング溶液３０も前記エッチングレール１１０が傾いた方向に移動する。前記移動空間ＭＳに収容された前記エッチング溶液３０は、前記エッチングレール１１０の前記第２端部１１１ｃ（図３参照）が下に傾けば、前記排出口１１１ａを通じて外部に排出される。前記エッチング溶液が排出されると同時に前記エッチングレール１１０には前記溶液供給部１２０から前記エッチング溶液が供給される。外部に排出されたエッチング溶液３０は前記第２連結管１５２を通じて前記溶液回収部１３０に貯蔵され、前記溶液回収部１３０に貯蔵されたエッチング溶液は前記第３連結管１５３を通じて前記ポンプ部１４０に供給される。前記ポンプ部１４０は前記エッチング溶液を前記第４連結管１５４を通じて前記溶液供給部１２０に提供する。
【００５３】
この実施形態において、前記エッチングレール１１０は前記ガラス母基板１０をエッチングする間に前記エッチング溶液を持続的に排出し、前記溶液供給部１２０から前記エッチング溶液が持続的に供給される。
しかし、前記エッチングレール１１０は前記ガラス母基板１０をエッチングする間に前記エッチング溶液が持続的に排出及び供給されない場合もある。このような場合、前記エッチングレール１１０は前記ガラス母基板１０が引入れられると、前記ガラス母基板１０の離脱を防止するために前記移動空間ＭＳが密閉される。密閉されたエッチングレール１１０は、図７に示すように前記底面１１１の第１端部１１１ｂが下に下るように傾き、また反対に前記底面１１１の第２端部１１１ｃが下に下るように傾く。前記エッチングレール１１０はこのような過程を繰り返して前記ガラス母基板１０をエッチングする。ここで、前記エッチングレール１１０を傾斜させる回数は前記ガラス母基板１０のエッチング量によって決められる。
【００５４】
図８は本発明の他の実施形態に係るエッチング装置を示した図である。
図８を参照すれば、エッチング装置７００はガラス母基板１０を固定する固定部材２００、前記固定部材２００を移送する移送ローラ３１０、３２０、前記ガラス母基板１０にエッチング溶液を提供するノズル部４００、前記エッチング溶液を貯蔵する溶液供給部５００、及び前記エッチング溶液が移動する導管部６００を含む。
【００５５】
前記固定部材２００は前記ガラス母基板１０を収納し、前記ガラス母基板１０を地面に対して垂直に立てる。
図９は図８に示した固定部材を示した斜視図であり、図１０は図９の切断線ＩＩＩ−ＩＩＩ'に沿って切断した断面図である。
図９及び図１０を参照すれば、前記固定部材２００は前記ガラス母基板１０を収納する収納部２１０、前記ガラス母基板１０を前記収納部２１０に固定する多数の支持部、前記収納部２１０を前記地面に対して垂直に立てる第１及び第２ピックアップローラ部２３１、２３２、及び第１及び第２ピックアップローラ部２３１、２３２と結合する多数の挿入部を含む。
【００５６】
前記収納部２１０は上面及び下面が開口され、内部に前記ガラス母基板１０が収納される挿入空間ＩＳが形成される。具体的に、前記収納部２１０は第１フレーム２１１、前記第１フレーム２１１と向き合う第２フレーム２１２、前記第１及び第１フレーム２１１、２１２と連結された第１及び第２側板２１３、２１４を含む。
この実施形態において、前記第１及び第２フレーム２１１、２１２は中央部が除去されて‘Ｕ’字形状を有し、これによって、前記収納部２１０の全体重さを減少させることができる。しかし、前記第１及び第２フレーム２１１、２１２は中央部が除去されないこともできる。
【００５７】
前記第１側壁２１３は前記第１フレーム２１１の第１端部から延長されて前記第２フレーム２１２と連結される。前記第２側壁２１４は前記第１側壁２１３と向き合い、前記第１フレーム２１１の第２端部から延長されて前記第２フレーム２１２と連結される。
ここで、前記挿入空間ＩＳは前記第１及び第２フレーム２１１、２１２と前記第１及び第２側壁２１３、２１４によって定義される。前記ガラス母基板１０が前記挿入空間ＩＳに挿入されれば、前記第１及び第２フレーム２１１、２１２は前記ガラス母基板１０と向き合う。
【００５８】
図１１は図９に示した‘Ａ’部分を拡大して示した斜視図であり、図１２は図９に示した‘Ａ’部分を拡大して示した平面図である。
図９、図１１及び図１２を参照すれば、第１及び第２フレーム２１１、２１２の離隔距離Ｄ１は前記ガラス母基板１０の厚さＤ２よりさらに大きい。これによって、前記収納部２１０は前記ノズル部４００から提供されたエッチング溶液が前記ガラス母基板１０の表面に沿って流れることができる十分な空間を確保することができる。
【００５９】
このように、前記第１及び第２フレーム２１１、２１２の離隔距離Ｄ１が前記ガラス母基板１０の厚さＤ２より大きくて、前記ガラス母基板１０が前記挿入空間ＩＳ内で流動される。前記ガラス母基板１０が流動されれば、前記第１及び第２フレーム２１１、２１２のうちのいずれか一つと前記ガラス母基板１０が密着されるため、前記エッチング溶液が前記ガラス母基板１０の表面に沿って均一に流れることができない。
【００６０】
これを防止するため、前記収納部２１０は第１、第２、第３及び第４離隔部２１５ａ、２１５ｂ、２１５ｃ、２１５ｄをさらに含む。
この実施形態において、前記収納部２１０は４つの離隔部２１５ａ、２１５ｂ、２１５ｃ、２１５ｄを具備するが、前記離隔部の個数は前記収納部２１０の大きさに応じて増加、または減少してもよい。
【００６１】
前記第１、第２、第３及び第４離隔部２１５ａ、２１５ｂ、２１５ｃ、２１５ｄは前記ガラス母基板１０の上端部を支持する。すなわち、前記第１及び第３離隔部２１５ａ、２１５ｃは前記第１フレーム２１１から突き出されて前記挿入空間ＩＳ内に位置する。前記第２及び第４離隔部２１５ｂ、２１５ｄは前記第２フレーム２１２から突き出されて前記挿入空間ＩＳ内に位置する。
【００６２】
前記第１離隔部２１５ａは前記第３離隔部２１５ｃと互いに対向して位置し、前記第２離隔部２１５ａと２１５ｂとは互いに隣接して位置する。
この実施形態において、前記第１離隔部２１５ａと前記第２離隔部２１５ｂは互いにずれた位置で対向しているが、前記第１及び第２離隔部２１５ａ、２１５ｂが互いに向い合って位置してもよい。
【００６３】
前記第１離隔部２１５ａは前記ガラス母基板１０を前記第１フレーム２１１から適正距離に離隔して前記ガラス母基板１０と前記第１フレーム２１１が密着されることを防止する。第３離隔部２１５ｃも第１離隔部２１５ａと同様に作用する。
前記第２離隔部２１５ｂは前記ガラス母基板１０を前記第２フレーム２１２から適正距離に離隔して前記ガラス母基板１０と前記第１フレーム２１１が密着されることを防止する。第４離隔部２１５ｄも第２離隔部２１５ｂと同様に作用する。
【００６４】
この実施形態において、前記第３及び第４離隔部２１５ｃ、２１５ｄの配置関係は前記第１及び第２離隔部２１５ａ、２１５ｂの配置関係と同一であり、前記第３及び第４離隔部２１５ｃ、２１５ｄの機能が前記第１及び第２離隔部２１５ａ、２１５ｂと同一であるため、以下、前記第３及び第４離隔部２１５ｃ、２１５ｄに対する具体的な説明は略する。
【００６５】
このように、前記第１、第２、第３及び第４離隔部２１５ａ、２１５ｂ、２１５ｃ、２１５ｄは前記第１及び第２フレーム２１１、２１２から前記ガラス母基板１０を離隔する。これによって、前記ガラス母基板１０に提供されたエッチング溶液が前記ガラス母基板１０の表面に沿って均一に流れることができるため、前記ガラス母基板１０が均一にエッチングされる。
【００６６】
再び、図９を参照すれば、前記収納部２１０は下面が開口されるため、前記ガラス母基板１０が前記収納部２１０から離脱されることができる。前記多数の支持部は前記収納部２１０と結合して前記ガラス母基板１０が前記収納部２１０から離脱されることを防止する。
すなわち、前記多数の支持部は第１、第２、第３、第４、第５及び第６支持部２２１、２２２、２２３、２２４、２２５、２２６からなり、前記ガラス母基板１０の側部を支持する。
【００６７】
この実施形態において、前記固定部材２００は６個の支持部２２１、２２２、２２３、２２４、２２５、２２６からなるが、前記支持部の個数は前記ガラス母基板１０の大きさに応じて増加、または減少してもよい。
前記第１、第３及び第５支持部２２１、２２３、２２５は前記第１フレーム２１１と結合し、所定の距離に離隔されて位置する。前記第２、第４及び第６支持部２２２、２２４、２２６は前記第２フレーム２１２と結合し、所定の距離に離隔されて位置する。
【００６８】
前記第１、第３及び第５支持部２２１、２２３、２２５は前記第２、第４及び第６支持部２２２、２２４、２２６とそれぞれ向き合う。
この実施形態において、前記第１、第２、第３、第４、第５及び第６支持部２２１、２２２、２２３、２２４、２２５、２２６は互いに同一の構造を有するため、以下、前記第１支持部２２１を一例にして前記第１、第２、第３、第４、第５及び第６支持部２２１、２２２、２２３、２２４、２２５、２２６の構造に対して具体的に説明する。
【００６９】
図１３は図９の切断線ＩＶ−ＩＶ'に沿って切断した断面図である。
図９及び図１３を参照すれば、前記第１支持部２２１は前記ガラス母基板１０の側部を支持する第１枚２２１ａ及び前記第１板２２１ａの端部から延長されて前記ガラス母基板１０と向き合う第２板２２１ｂを具備する。前記第１板２２１ａは前記挿入空間ＩＳ（図１０参照）に位置し、前記第２板２２１ｂは前記ガラス母基板１０から所定の距離離隔されて位置する。
【００７０】
また、前記第１支持部２２１は前記第１板２２１ａから突き出されて形成された突起２２１ｃをさらに具備する。前記突起２２１ｃは前記第２板２２２ｂから前記ガラス母基板１０を離隔して前記ガラス母基板１０と前記第１フレーム２１１との間の距離を維持する。
前記第２支持部２２２は前記第１支持部２２１と互いに向き合う。前記第２支持部２２２に形成された突起２２２ｃは前記ガラス母基板１０と前記第２フレーム２１２との間の距離を維持する。
【００７１】
再び図８及び図９を参照すれば、前記第１及び第２ピックアップローラ部２３１、２３２は円柱状を有し、前記地面に対して垂直方向に延長される。前記第１及び第２ピックアップローラ部２３１、２３２は互いに対向して位置し、前記収納部２１０が移動する方向に沿って一方向に回転する。
この実施形態において、前記固定部材２００は２つのピックアップローラ部２３１、２３２を具備するが、前記ピックアップローラ部の個数は前記固定部材２００の大きさに応じて増加、または減少してもよい。
【００７２】
第１及び第２ピックアップローラ部２３１、２３２は前記多数の挿入部に挿入されて前記収納部２１０と結合する。前記多数の挿入部は第１、第２、第３及び第４挿入部２４１、２４２、２４３、２４４からなる。
この実施形態において、前記固定部材２００は４つの挿入部２４１、２４２、２４３、２４４を具備するが、前記挿入部の個数は前記収納部２１０の大きさ及びピックアップローラ部の個数に応じて増加、または減少してもよい。
【００７３】
前記第１、第２、第３及び第４挿入部２４１、２４２、２４３、２４４は前記第１フレーム２１１と結合し、前記第１フレーム２１１の各角に隣接して位置する。
前記第１及び第２挿入部２４１、２４２には前記第１ピックアップローラ部２３１を挿入する挿入ホールがそれぞれ形成され、前記第１ピックアップローラ部２３１は前記第１及び第２挿入部２４１、２４２に挿入されて前記収納部２１０を固定する。
【００７４】
前記第３及び第４挿入部２４３、２４４には前記第２ピックアップローラ部２３２を挿入する挿入ホールがそれぞれ形成され、前記第２ピックアップローラ部２３２は前記第３及び第４挿入部２４３、２４４に挿入されて前記収納部２１０を固定する。
このように、前記収納部２１０は前記第１及び第２ピックアップローラ部２３１、２３２によって前記地面に対して垂直に固定されるため、前記収納部２１０に収納された前記ガラス母基板１０も前記地面に対して垂直に配置される。
【００７５】
一方、前記固定部材２００は前記第１及び第２移送ローラ３１０、３２０の上部に安着され、前記第１及び第２移送ローラ３１０、３２０は一方向に回転して前記固定部材２００を移送する。
前記固定部材２００の上部には前記ノズル部４００が具備される。前記ノズル部４００は前記ガラス母基板１０をエッチングする前記エッチング溶液を前記ガラス母基板１０に提供する。
【００７６】
以下、図面を参照して前記ノズル部４００の構造に対して具体的に説明する。
図１４は図８の切断線Ｖ−Ｖ'に沿って切断した断面図であり、図１５は図８に示したボディー部を示した斜視図であり、図１６は図１４の‘Ｂ’部分を拡大して示した断面図である。
図１４乃至図１６を参照すれば、前記ノズル部４００は前記エッチング溶液を収納する溶液貯蔵部４１０及び内部に前記溶液貯蔵部４１０を収納するボディー部４２０を含む。
【００７７】
前記溶液貯蔵部４１０は上面が開口され、前記溶液供給部５００（図８参照）から前記エッチング溶液が提供されて貯蔵される。
前記ボディー部４２０は前記溶液貯蔵部４１０を貯蔵する収納空間を有し、底面が開口されて排出口４２３が形成される。前記排出口４２３は前記溶液貯蔵部４１０から漏洩したエッチング溶液を排出する。すなわち、前記溶液供給部５００（図８参照）から前記エッチング溶液が過多に供給されて前記溶液貯蔵部４１０に貯蔵されたエッチング溶液４０が漏洩する。漏洩したエッチング溶液は前記排出口４２３を通じて外部に排出され、外部に排出されたエッチング溶液は前記ガラス母基板１０の上端部に提供される。
【００７８】
具体的に、前記ボディー部４２０は上面４２１及び前記上面４２１の端部から延長されて前記収納空間を形成する側壁４２２を具備する。前記上面４２１は一部分が除去されて貫通ホール４２１ａが形成される。前記導管部６００は前記貫通ホール４２１ａに挿入されて前記溶液供給部５００からのエッチング溶液を前記溶液貯蔵部４１０に提供する。
前記側壁４２２は前記上面４２１から下に接近するほど狭く形成される。すなわち、前記側壁４２２は前記上面４２１から前記排出口４２３に行くほど狭く形成されて前記溶液貯蔵部４１０から漏洩したエッチング溶液を前記排出口４２３側にガイドする。
【００７９】
前記排出口４２３を通じて排出されたエッチング溶液は前記ノズル部４００の下に配置された前記ガラス母基板１０の上端部に滴下され、前記ガラス母基板１０の表面に沿って前記ガラス母基板１０の下端部に流れる。ここで、前記固定部材２００は前記排出口４２３を通じて滴下されたエッチング溶液から前記ガラス母基板１０に加えられる圧力を最小化するために前記ノズル部４００と隣接するように配置される。
【００８０】
このように、前記エッチング溶液は前記ガラス母基板１０の表面に沿って流れながら前記ガラス母基板１０をエッチングする。ここで、前記収納部２１０は下部が開口される。したがって、前記ガラス母基板１０に沿って流れるエッチング溶液は前記収納部２１０の開口された下部を通じて前記固定部材２００の外部に排出される。
以下、図面を参照して前記エッチング装置７００が前記ガラス母基板１０をエッチングする過程を具体的に説明する。
【００８１】
図１７は本発明の他の実施形態に係るガラス母基板をエッチングする方法を示したフローチャートである。
図８、図１６及び図１７を参照すれば、まず、前記ガラス母基板１０を前記収納部２１０（図９参照）に挿入した後、前記収納部２１０に前記第１及び第２ピックアップローラ部２３１、２３２を挿入して前記収納部２１０を前記地面に対して垂直に立てる（段階Ｓ２１０）。これによって、前記ガラス母基板１０が前記地面に対して垂直に配置される。
【００８２】
前記第１及び第２移送ローラ３１０、３２０を回転させて前記固定部材２００を前記ノズル部４００の下に配置し、前記ガラス母基板１０の上端部を前記ノズル部４００の前記排出口４２３（図１４参照）に対応するように配置する（段階Ｓ２２０）。
前記溶液供給部５００は前記導管部６００を通じて前記エッチング溶液を前記溶液貯蔵部４１０に供給して、前記溶液貯蔵部４２０に貯蔵されたエッチング溶液４０を漏洩させる（段階Ｓ２３０）。
【００８３】
漏洩したエッチング溶液は前記ボディー部４２０の側壁４２２に沿って流れて前記排出口４２３を通じて外部に排出され、前記ノズル部４００から排出されたエッチング溶液は前記ノズル部４００の下に配置された前記ガラス母基板１０に提供される（段階Ｓ２４０）。
前記ガラス母基板１０の上端部に滴下されたエッチング溶液は前記ガラス母基板１０の表面に沿って流れながら前記ガラス母基板１０をエッチングする。
【００８４】
このように、前記エッチング装置７００は前記ノズル部４００を前記ガラス母基板１０と隣接するように配置し、エッチング溶液を前記ガラス母基板１０の上端部に滴下して前記ガラス母基板１０に加えられる圧力を最小化する。これによって、エッチング過程において前記ガラス母基板１０の破損を防止することができ、前記ガラス母基板１０の厚さを最小化することができる。また、前記ノズル部４００は前記ガラス母基板１０の上端部に均一に前記エッチング溶液を滴下するため、前記エッチング溶液が前記ガラス母基板１０に均一に塗布される。これによって、前記ガラス母基板１０を均一にエッチングすることができる。
【００８５】
以上、実施形態を参照して説明したが、該当の技術分野の熟練された当業者は特許請求の範囲に記載した本発明の思想及び領域から逸脱しない範囲内で本発明を多様に修正及び変更させることができることを理解することができるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００８６】
【図１】本発明の一実施形態によるエッチング装置を示した図である。
【図２】図１に示したエッチングレールを示した分解斜視図である。
【図３】図２の切断線Ｉ−Ｉ'に沿って切断した断面図である。
【図４】図２の切断線ＩＩ−ＩＩ'に沿って切断した断面図である。
【図５Ａ】図４に示したエッチングレールの他の一例を示した断面図である。
【図５Ｂ】図４に示したエッチングレールの他の一例を示した断面図である。
【図５Ｃ】図４に示したエッチングレールの他の一例を示した断面図である。
【図６】本発明の一実施形態によるガラス母基板をエッチングする方法を示したフローチャートである。
【図７】図１に示したエッチングレールでガラス母基板をエッチングする過程を示した断面図である。
【図８】本発明の他の実施形態に係るエッチング装置を示した図である。
【図９】図８に示した固定部材を示した斜視図である。
【図１０】図９の切断線はＩＩＩ−ＩＩＩ'に沿って切断した断面図である。
【図１１】図９に示した‘Ａ’部分を拡大して示した斜視図である。
【図１２】図９に示した‘Ａ’部分を拡大して示した平面図である。
【図１３】図９の切断線ＩＶ−ＩＶ'に沿って切断した断面図である。
【図１４】図８の切断線Ｖ-Ｖ'に沿って切断した断面図である。
【図１５】図８に示したボディー部を示した斜視図である。
【図１６】図１４の‘Ｂ’部分を拡大して示した断面図である。
【図１７】本発明の他の実施形態に係るガラス母基板をエッチングする方法を示したフローチャートである。
【符号の説明】
【００８７】
１０，２０  ガラス母基板                  
３０，４０  エッチング溶液
１００，７００  エッチング装置                   
１１０  エッチングレール
１２０，５００  溶液供給部                
１３０  溶液回収部
１４０  ポンプ部                          
１５１，１５２，１５３，１５４  連結管
２００  固定部材                          
３１０，３２０  移送ローラ
４００  ノズル部                          
６００  導管部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図５Ｃ】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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