(57)【要約】【課題】孔あきサポートプレートとウエハとの間の、液状溶剤による接着部材の反応を促す液状溶剤当接ユニットを提供する。  【解決手段】サポートプレート面に液状溶剤を供給する供給部（１０３）と、前記供給された液状溶剤を前記サポートプレート面上の孔形成範囲に滞留させる滞留部（１０）と、前記孔形成範囲に滞留させた液状溶剤を回収する回収部（１０４）と、前記液状溶剤を振動させる振動部（１３）と、により構成する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
サポートプレート面に液状溶剤を供給する供給部と、
前記供給された液状溶剤を前記サポートプレート面上の孔形成範囲に滞留させる滞留部と、
前記孔形成範囲に滞留させた液状溶剤を回収する回収部と、
前記液状溶剤を振動させる振動部と、
を備えることを特徴とする液状溶剤当接ユニット。
【請求項２】
前記滞留部は、前記サポートプレート面の孔形成範囲上に滞留用空間を作る包囲部材であり、
前記滞留用空間が前記液状溶剤で満たされたことを検出する検出部を更に備える、
ことを特徴とする請求項１に記載の液状溶剤当接ユニット。
【請求項３】
前記サポートプレート面に供給される前記液状溶剤の温度を調節する温調部と、
前記液状溶剤の温度に応じて前記振動部の発振を制御する制御部と、
を更に備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の液状溶剤当接ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、二つの物体を貼り合わせている接着部材（接着剤、接着シート等）を液状溶剤で溶解するユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ウエハを薄化する技術及びその周辺技術が注目されている。ウエハはある程度薄化されると、面の強度が低下して面全体に撓みが発生するため、その取り扱いにおいて他の支持部材によるサポートが必要になってくる。そこで、ある程度薄化される予定のウエハは、予めガラス製又は鉄−ニッケル合金製等の支持板を貼り付ける等してその面強度を補強することにより、撓みのない状態で取り扱われる。
【０００３】
ウエハに対する上記支持板の貼り付けは、通常、ウエハとの間に接着性を有する部材を介在させて行われる。ウエハを薄化した後には、その支持板は不要になるため、ウエハから剥がし取られる。具体的には、支持板はウエハに接着剤等の接着部材で貼り付けられているため、その接着部材に例えばアルコール（特にエタノールやメタノールなどの分子量が小さいもの）、ケトン、またはアルコールとケトンとの混合溶液等の液状溶剤を接触させて溶解することにより支持板からウエハが剥がし取られる。
【０００４】
支持板には様々な形のものがあり、その中で、厚み方向に多数の微小の貫通孔が開けられたタイプのもの（本明細書において「サポートプレート」と呼ぶ）においては、ウエハとの間に介在させた接着部材に上記液状溶剤を上記貫通孔を通じて接触させることができる。これにより、上記接着部材の大部分に短時間で上記液状溶剤を反応させるようにしている。
【０００５】
なお、上記のような貫通孔を備えた鉄−ニッケル合金製のサポートプレートの構成については、特許文献１等に開示されている。  
【特許文献１】特開２００５−１９１５５０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述のように、ウエハの支持部材として貫通孔が開けられているサポートプレートを使用した場合、ウエハからの剥離は、液状溶剤を上記の多数の貫通孔を通じて上記接着部材に送り込むことにより行なわれる。上記貫通孔に液状溶剤が溜まると、上記貫通孔の開口部に露出している接着部材から接着部材の内部に向かって順次溶解が進む。
【０００７】
しかし、従来装置においては、上記貫通孔に液状溶剤がとどまり、循環が円滑に行われないため、実際は液状溶剤が接着部材の大部分と反応するまでかなりの時間がかかる。この反応時間は生産効率に直接反映されるため、反応時間に時間がかかることは問題である。
【０００８】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、サポートプレートとウエハとの間の、液状溶剤による接着部材の溶解反応を促す液状溶剤当接ユニットを提供することを目的とする。  
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は上記課題を解決するために以下のように構成する。
本発明の液状溶剤当接ユニットの態様の一つは、サポートプレート面に液状溶剤を供給する供給部と、前記供給された液状溶剤を前記サポートプレート面上の孔形成範囲に滞留させる滞留部と、前記孔形成範囲に滞留させた液状溶剤を回収する回収部と、前記液状溶剤を振動させる振動部と、から構成する。
【００１０】
上記液状溶剤当設ユニットにおいて、前記滞留部は、前記サポートプレート面の孔形成範囲上に滞留用空間を作る包囲部材であり、前記滞留用空間が前記液状溶剤で満たされたことを検出する検出部を更に備えることが好ましい。
【００１１】
また、上記液状溶剤当設ユニットは、前記サポートプレート面に供給される液状溶剤の温度を調節する温調部と、前記液状溶剤の温度や滞留状態、及び処理シーケンスに応じて前記振動部の発振を制御する制御部と、を更に備えることが好ましい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の液状溶剤当接ユニットは、液状溶剤の供給部と回収部を備えることにより、滞留部に供給された液状溶剤の流れを起こし、サポートプレートの上記貫通孔内の液状溶剤の循環をよくしている。そして更に、振動部を備えて上記貫通孔の中の液状溶剤を振動させるようにしている。これにより、サポートプレートとウエハとの間の、上記液状溶剤による接着部材の溶解反応が促進され、ウエハからサポートプレートを剥離する時間が大幅に短縮される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
図１は、本発明の実施の形態における液状溶剤当接ユニットの構成図である。同図（ａ）は、上記液状溶剤当接ユニットの平面図、同図（ｂ）は、同図（ａ）のＡ−Ａ´線の位置の断面図である。
【００１４】
同図に示す液状溶剤当接ユニット１は、液状溶剤を溜める滞留部と、液状溶剤を振動させる振動部とにより構成されている。
液状溶剤当接ユニット１は、下方向に延びる周壁１００が平板１０２の周端部に連結された包囲部材１０を備えている。周壁１００の下端面１０１には、内よりの周に沿って即ち同図（ａ）の内側と外側の破線の円Ｒ１，Ｒ２の間に、溝１０１ａが形成されており、この溝１０１ａに液状溶剤の液漏れを防止するためのＯリング１１が嵌められている。
【００１５】
周壁１００の内側に位置する平板１０２には厚み方向に２種類の貫通孔即ち一つの第一貫通孔１０３及び複数の第二貫通孔１０４）があけられている。第一貫通孔１０３は平板１０２の中心に、第二貫通孔１０４は周壁１００の近傍にここでは円周方向に等間隔に８つ設けられている。
【００１６】
上記振動部は、液状溶剤が供給される範囲を振動させるために設けられている。ここでは、同図（ａ）、（ｂ）に示すように、振動部としての振動子１３が、平板１０２の厚みの中、特に包囲部材１０によって形成される空間部（後において、「滞留用空間」とも呼ぶ）１２寄りに、空間部１２の方向に発振するように設けられている。なお、図には省略されているが、各振動子１３は駆動回路に接続されており、その駆動回路から発振が制御される。
【００１７】
図２は、上記液状溶剤当接ユニット１の使用状態を示した図である。同図（ａ）におけ
る液状溶剤当設ユニット１は、図１（ｂ）に示した液状溶剤当接ユニット１の断面図と同様のものである。図２（ｂ）は、同図（ａ）の一点鎖線で囲んだ部分Ｂの拡大図である。
【００１８】
同図（ａ）に示すように、液状溶剤当接ユニット１は、サポートプレートＳの面上にＯリング１１を押し当てて使用される。具体的には、サポートプレートＳの、ウエハＷを貼り付けた面とは反対側の面、特に同図（ａ）に縦縞の模様で示した貫通孔Ｈが形成されている範囲即ち孔形成範囲を包囲するように上記Ｏリング１１を押し当て、上記孔形成範囲上の空間に包囲部材１０とＯリング１１によって囲まれる滞留用空間１２を形成する。
【００１９】
そして、同図（ａ）に破線矢印で示したように、液状溶剤を滞留用空間１２に供給する孔として第一貫通孔１０３を使用し、液状溶剤を滞留用空間１２から回収する孔として８つの第二貫通孔１０４を使用する。同図（ａ）には省略されているが、例えば、正圧をかけてタンクから液状溶剤を送り出すように構成された供給装置と第一貫通孔１０３を、負圧をかけてタンクへ液状溶剤を回収するように構成された回収装置と第二貫通孔１０４を、それぞれ、屈曲自在のホース等を使用して接続する。
【００２０】
液状溶剤としては、接着部材を溶解する例えばアルコール（特にエタノールやメタノールなどの分子量が小さいもの）、ケトン、またはアルコールとケトンとの混合溶液等を使用する。  
【００２１】
第一貫通孔１０３を上記供給装置に接続し、そして第二貫通孔１０４を上記回収装置に接続すると、供給タンク内の液状溶剤は同図（ａ）の破線矢印で示したように第一貫通孔１０３を通じて滞留用空間１２に入り、滞留用空間１２内に溜まった液状溶剤は第二貫通孔１４を通じて回収用タンク側へ吸い出される。
【００２２】
一方、各振動子１３は同図（ａ）に示すように振動子駆動部１５からの信号により発振し、これにより、滞留用空間１２に溜まった液状溶剤が振動する。
同図（ｂ）はそのときのサポートプレートＳの貫通孔Ｈ内の様子を示している。上述したように液状溶剤が第一貫通孔１０３から滞留用空間１２へ供給され、そして第二貫通孔１０４から回収されると、滞留用空間１２内に液状溶剤による対流が生じる。この対流は、同図（ｂ）に示すように各貫通孔Ｈ内においても対流を引き起こし、液状溶剤を貫通孔Ｈ内に静止させずに循環させる。更に、各貫通孔Ｈ内に満たされた液状溶剤は、振動しているため、その分子の振動により接着部材ＡＤとの反応を更に促進させる。
【００２３】
なお、各振動子１３を駆動する場合、滞留用空間１２に液状溶剤が満たされない状態であると、液状溶剤が満たされていない空間の気体分子にまで振動を与えることになる。しかし、液状溶剤が満たされていない空間の気体分子にまで振動を与えることは好ましくないことが実験により得られている。そのため、振動子１３の駆動は、滞留用空間１２に液状溶剤が満たされてから実行することが好ましい。
【００２４】
図３は、滞留用空間１２に液状溶剤が満たされてから振動子１３の駆動を行う液状溶剤当接ユニットの構成例である。
同図の液状溶剤当接ユニット２は、上述した液状溶剤当接ユニット１に更に、滞留用空間１２に液状溶剤が満たされたことを検出する検出部を設けたものである。
【００２５】
同図に示すように、ここでは上記検出部として液面センサ２０を用いたものを示してる。液状溶剤の液面Ｌは同図に実線矢印で示すように下から上へ上昇するので、上記空間部１２の上方が液で満たされているかどうかを検出することができる位置、例えば空間部１
２の上端部と接する位置に、上記液面センサ２０を配置する。そして、その液面センサ２０から液状溶剤が満たされたことを感知した信号が入力されているときにだけ振動子駆動部１５´から振動子１３を駆動させる。
【００２６】
なお、包囲部材１０は、図示のように水平ではなく、傾けた状態にする使用方法も可能である。また、空間部１２は図示したように下に向けて使用するのではなく、上向きにする等の使用方法も可能である。そのような場合においては、滞留用空間１２に液状溶剤が最後に満たされる空間が液状溶剤で満たされているかどうかを検出することが可能な位置に上記液面センサを設けるようにする。また、様々な向きでの使用が可能なように、滞留用空間１２内の複数の領域において液状溶剤が満たされているかどうかを検出することができるようにしてもよい。そのような場合においては、包囲部材１０に複数箇所に液面センサを設けて、全ての液面センサから液状溶剤が満たされたことを感知した信号が入力されているときにだけ振動子駆動部１５´から振動子１３を駆動させるようにする。
【００２７】
また、接着部材と液状溶剤とを効率よく反応させるためには液状溶剤の温度が適切でなければならない。一方、液状溶剤の分子を振動させた場合、その分子の振動により液状溶剤の温度が上昇してしまう。そのため、振動による影響を考慮して、液状溶剤の温度を適切な温度に調節することも重要になる。
【００２８】
図４は、液状溶剤の温度に応じて振動子を制御するようにした場合の液状溶剤当接ユニットの構成例である。
同図の液状溶剤当接ユニット３は、既述の液状溶剤当接ユニット１に更に、温調部３０と、発振制御部３１とを設けたものである。
【００２９】
温調部３０は、第二貫通孔１０４から回収された液状溶剤の温度を測定して第一貫通孔１０３へ供給する液状溶剤が所定の温度になるように加熱又は冷却する温度調節装置よりなる。また、発振制御部３１は、振動子１３の駆動部１５´´を制御する制御回路よりなる。発振制御部３１は、温調部３０で測定された回収液の温度をモニタしながら駆動部１５´´の出力を制御する。例えば、温調部３０で測定された液状溶剤の温度が設定温度を超えている場合は、駆動部１５´´の出力をＯＦＦにし即ち発振を止め、設定温度以下の場合は、駆動部１５´´の出力をＯＮにする即ち発振させる。
【００３０】
なお、発振制御部３１は、駆動部１５´´のＯＮ／ＯＦＦ制御ではなく、駆動部の出力値を任意の値に上げたり下げたりするものであってもよい。
また、接着剤溶解時の温度は好ましくは３０℃〜５０℃であり、場合によっては振動を使用せずに、液状溶剤を温調することでサポートプレートとウェハを剥離してもよい。
【００３１】
また、同図の液状溶剤当接ユニット３は、図３の液状溶剤当接ユニット２に設けた検出部を備えるようにしてもよい。
また、以上の説明では、滞留用空間を包囲部材１０とＯリング１１により形成したが、その他の形態で滞留用空間を形成してもよい。例えば、Ｏリング及びＯリングを嵌める溝を構成せずに包囲部材のみで滞留用空間を形成してもよい。この場合、包囲部材とサポートプレートとを液状溶剤が表面張力により漏れない間隔に維持するようにする。
【００３２】
以上のように、本発明の実施の形態における液状溶剤当接ユニットにおいては、包囲部材によりサポートプレートの貫通孔の形成範囲に液状溶剤を溜めるための空間即ち滞留用空間を形成した。更に、この滞留用空間へ液状溶剤を供給すると共にその滞留用空間から
液状溶剤を回収できるようにした。そして、振動部を設け、上記滞留用空間に供給した液状溶剤を振動させられるようにした。そのため、サポートプレートの孔形成範囲の貫通孔内において液状溶剤が振動すると共に、サポートプレートの貫通孔の内外にその液状溶剤が循環するようになる。その結果、孔あきサポートプレートとウエハとの間の、上記液状溶剤による接着部材の溶解反応が促進され、ウエハからの孔あきサポートプレートの剥離が短時間ですませられるようになる。
【００３３】
また、更に、滞留用空間に液状溶剤が満たされたことを検出する検出部を設けた場合においては、滞留用空間に液状溶剤が満たされてないときに振動が発振されないようになり、そのため、液状溶剤が満たされていない空間にある気体分子を振動させることが回避される。そして、上記検出部を設けることによって、振動による溶解反応を適正なタイミングで実施することが可能になる。
【００３４】
また、更に、温調部と、液状溶剤の温度により振動子の発振制御部を設けた場合においては、振動を発振し続けることによる液状溶剤の温度上昇を回避できる。そのため、液状溶剤の温度を常に設定範囲内に維持し、溶解反応に適した温度の液状溶剤をサポートプレートの貫通孔に供給して、接着部材と反応させることができる。その結果、振動による溶解反応を適正な温度で実施することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の実施の形態における液状溶剤当接ユニットの構成例（その一）を示す図である。
【図２】上記液状溶剤当接ユニットの使用状態を示す図である。
【図３】本発明の実施の形態における液状溶剤当接ユニットの構成例（その二）を示す図である。
【図４】本発明の実施の形態における液状溶剤当接ユニットの構成例（その三）を示す図である。
【符号の説明】
【００３６】
１  液状溶剤当接ユニット１
１０  包囲部材１０
１１  Ｏリング
１２  空隙部、滞留用空間
１３  振動子
１００  周端部
１０１  端面
１０２  平板
１０３  第一貫通孔
１０４  第二貫通孔
Ｒ１、Ｒ２  円
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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