(57)【要約】      （修正有）【課題】複数の塗布液容器の切換えをして、塗布生産を継続して長時間行うにあたって、塗布液の粘度が塗布液容器ごとに大きく異なっても、塗布膜厚分布が均一になるように、切換前後の塗布液の混合比率を徐々に変えつつ、高精度に塗布液を塗布器に供給することと、空気の混入なく、塗布液容器塗布液の切換えを可能とする、簡便な構成でかつ、低コストな塗布液供給装置及び供給方法、ならびにこれらを用いた塗布装置および塗布方法を提供する。【解決手段】塗布液４０Ａ，４０Ｂを貯える複数の塗布液容器２Ａ，２Ｂから送出される塗布液の量を、それぞれ調整する複数の静的流量調整手段９Ａ，９Ｂと、それに連通し、該複数の塗布液容器から送出された塗布液を合流させる合流手段１０、および該合流手段の下流に配置され、合流後の塗布液を送出する送液手段を有する。【選択図】図１
2008272740.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布液を貯える複数の塗布液容器、該複数の塗布液容器から送出される塗布液の量をそれぞれ調整する複数の静的流量調整手段、該複数の静的流量調整手段に連通し、該複数の塗布液容器から送出された塗布液を合流させる合流手段、および該合流手段の下流に配置され、合流後の塗布液を送出する送液手段を有することを特徴とする塗布液供給装置。
【請求項２】
前記複数の塗布液容器内の塗布液の量を計測する液量測定器と、該液量測定器により測定された液量情報を元に前記複数の静的流量調整手段を制御する制御手段を有する請求項１に記載の塗布液供給装置。
【請求項３】
前記複数の静的流量調整手段の上流側に、前記複数の塗布液容器からの塗布液の送出を遮断可能な複数の開閉手段と、塗布液に含まれる気泡を排出する複数の気泡排出手段を有する請求項１または２に記載の塗布液供給装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載の塗布液供給装置と、吐出口を有する塗布器と、被塗布基材を保持する載置台と、前記塗布器と前記載置台を相対移動させる移動手段と、を備えることを特徴とする塗布装置。
【請求項５】
塗布液を送出する塗布液容器内に貯えられた塗布液の量が一定量以下となった際に他の塗布液容器から塗布液を合流させ、該他の塗布液容器からの塗布液の合流比率を段階的または連続的に上昇させることによって、複数の塗布液容器に貯えられた塗布液を順次切換えて送出する塗布液の供給方法であって、各塗布液容器からの塗布液の送出量を、静的流量調整手段を用いて調整することによって塗布液の合流比率を変更することを特徴とする塗布液供給方法。
【請求項６】
前記静的流量調整手段は複数の塗布液容器ごとに連通して複数配されており、第１段階においては該複数の静的流量調整手段のうち前記他の塗布液容器に連通した静的流量調整手段のみを、それを通過する塗布液の流量が漸次高くなるように作動させ、続く第２段階において、該複数の静的流量調整手段のうち前記塗布液の量が一定量以下となった塗布液容器に連通した静的流量調整手段のみを、それを通過する塗布液の流量が漸次低くなるように作動させる、ことで各静的流量調整手段を通過する塗布液の流量を変化させ、前記他の塗布液容器からの塗布液の合流比率を段階的または連続的に上昇させることを特徴とする請求項５に記載の塗布液供給方法。
【請求項７】
前記他の塗布液容器から塗布液を合流させる前に、該他の塗布液容器と静的流量調整手段の間に位置する塗布液中に存在する気泡を外部に排出する作業を行うことを特徴とする請求項５または６に記載の塗布液供給方法。
【請求項８】
請求項５〜７のいずれかに記載の塗布液供給方法を用いて、塗布液を吐出口を有する塗布器に供給し、載置台上に保持されている被塗布基材に向けて該塗布器の吐出口から塗布液を吐出しながら、該塗布器と該載置台を相対移動させて、被塗布基材上に塗布液を塗布する塗布方法。
【請求項９】
請求項８に記載の塗布方法を用いて被塗布基材上に塗布液を塗布する工程を含むプラズマディスプレイ用部材の製造方法。
【請求項１０】
請求項８記載の塗布方法を用いて被塗布基材上にガラス粉末を含む無機成分とバインダー樹脂を含む有機成分を含むガラスペーストを塗布し、パターン化した後に焼成することによって隔壁を形成することを特徴とするプラズマディスプレイ用背面板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、プラズマディスプレイ用背面板や前面板、カラー液晶ディスプレイ用カラーフィルター、ＴＦＴ用アレイ基板、光学フィルター、プリント基板、高機能フィルム等のディスプレイ用部材の製造分野に使用されるものであり、詳しくは複数の塗布液容器の切換時に、これらの塗布液容器から送出される塗布液の合流比率を段階的に変更させながら、合流された塗布液を塗布器に供給する塗布液供給装置および塗布液供給方法、並びにこの塗布液供給装置および塗布液供給方法を用いて被塗布基材表面に均一な塗布膜を形成する塗布装置および塗布方法、並びにこの塗布方法を用いてプラズマディスプレイ用部材を製造するプラズマディスプレイ用部材の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、スリットダイ等の塗布器を有するディスプレイ用部材等の被塗布基材に塗布をする枚葉型塗布装置では、塗布液を内蔵したバッチ式の塗布液容器を塗布液供給装置に接続し、塗布液容器内の塗布液を塗布液供給装置から塗布器に供給して塗布生産を行う。使用される塗布液は、タンク等の専用塗布液容器に充填された状態で塗布液製造者から出荷され、この塗布液容器をそのまま、塗布装置の塗布液供給装置の最上流部に接続すれば、外部からの異物混入や品質劣化の恐れなしに、塗布液容器内部の塗布液をすぐに使用できる。また、塗布液を使い切った塗布液容器は、そのまま塗布液製造者に返却されて再利用されるが、塗布液容器を使用する側には、塗布液容器の洗浄等のメンテナンスを行う必要がないので、コスト削減ができるという有益性が生じる。
【０００３】
この塗布液供給装置に接続される塗布液容器が１個の場合は、内部の塗布液残量がゼロに近づくと、塗布液供給装置から切り離される。続いて、次に使用される塗布液容器が、塗布液供給装置の最上流部に接続され、容器内部の塗布液が使用されることにより、塗布生産が継続される。しかしこの塗布液容器の切換方法では、切換中に気泡が混入するので、この気泡を塗布器より排除するのに長時間を要する。即ち、切換時間が長いので、塗布生産の中断時間も長くなって、塗布装置の稼働率低下を招く。
【０００４】
塗布液容器の切換えを無くし、長時間塗布生産を継続するために、塗布液供給装置の最上流部に、同容量の塗布液を内蔵する複数の塗布液容器を並列して接続し、複数の塗布液容器内の塗布液を同時並行的に塗布液供給装置に供給するものがある。この方法は、塗布液容器の個数によって塗布生産の継続時間が定まることになるが、複数の塗布液容器で一様に塗布液量が減少することはまれで、特定の塗布液容器の塗布液量が一早く減少して、塗布生産時間が想定よりもかなり短くなることがある。また、塗布液容器内の塗布液量がゼロになると、塗布液容器を全数交換することになるが、多くの塗布液容器の切換えに手間取って、塗布生産中断時間が長くなり、結局は１塗布液容器当たりの塗布生産中断時間が長くなって、非効率になることもある。
【０００５】
短時間で塗布液供給装置に接続する塗布液容器を切換えて、塗布生産の中断を最小にし、長期に渡って塗布生産を継続できる方法としては、図９（ａ）に示されるように、複数の塗布液容器１０２Ａ、１０２Ｂを塗布液供給装置１０４の最上流部に、塗布液の流路切換手段１０５を介して、予め各々接続するものがある。この方法では、例えば使用中である塗布液容器１０２Ａ内の塗布液１０３Ａの液量がゼロに近づくと、塗布液の流路切換手段１０５を用いて、塗布液送液経路を塗布液容器１０２Ａ側から塗布液容器１０２Ｂ側に切換えることにより、塗布液容器１０２Ｂ内の塗布液１０３Ｂが塗布液供給装置１０４からスリットダイ１０１に送液されるようになり、わずかな時間の塗布生産の中断で塗布液容器並びに塗布液の切換えが行われる。
【０００６】
しかしこの塗布液容器、塗布液の切換方法では、同じ組成の塗布液であっても、その粘度が塗布液容器ごとに大きく異なっていると、新たな問題が生じる。例えば、図９（ａ）で、塗布液容器１０２Ａ内の塗布液１０３Ａを使用してスリットダイ１０１で基板に塗布しているときに、塗布液１０３Ａから塗布液容器１０２Ｂ内にある塗布液１０３Ｂに切換えると、塗布液１０３Ｂはスリットダイ１０１の中央から次第に長手方向に広がっていき、切換前の塗布液１０３Ａを押し出していく。この時塗布液１０３Ａと塗布液１０３Ｂの粘度が大きく異なっていると、塗布液押し出し時の抵抗の違いから、図９（ｂ）に示すようにスリットダイ１０１の長手方向で大きな膜厚むらが発生する。塗布液の粘度は、特に塗布液中に占める無機成分の割合が大きく粘度が高い場合は、組成が全く同一の塗布液であっても、塗布液調合時のロット間ばらつきや、塗布液が容器内に充填されて、製造現場で使用されるまでの時間経過の長短により、塗布液容器ごとに相対的に±１０％程度は異なっている場合がある。
【０００７】
以上のように各塗布液容器内の塗布液間で大きな粘度差があっても、塗布膜厚むらを発生させないで、複数の塗布液容器の切換えを行う手段が提案されている。それは、使用をまもなく終了する塗布液容器１０２Ａの塗布液１０３Ａと新たに切換える塗布液容器１０２Ｂの塗布液１０３Ｂの混合比率、即ち、合流比率（塗布液１０３Ａの量：塗布液１０３Ｂの量）を、（１００：０）から（０：１００）に徐々に変えて、切換えを行うものである（例えば特許文献１）。この切換手段を用いれば、図９（ａ）に示すスリットダイ１０１の内部で、極くわずかに粘度の異なる塗布液が長手方向に隣り合わせに並んで吐出されることになるので、膜厚むらは非常に小さくなる。しかし特許文献１の手段では、２つの塗布液容器の塗布液を２つのギアポンプで供給量をわずかに変えて混合比率を調整すると共に、混合した塗布液を一旦バッファー容器に蓄え、さらに攪拌混合しているので、非常に大がかりで複雑なシステムとなる。さらに塗布器に精度よく混合した塗布液を供給するには、別にポンプも必要となって、システムが複雑化すると共に、塗布液供給装置を構成する機器が多くなり、高コストな塗布液供給装置となる、という問題もある。
【０００８】
混合後のバッファー容器を使用せずに、２つの塗布液容器の塗布液を２つのベローズポンプで各々の供給量をわずかに変えて混合させてから、スタティックミキサーでさらに攪拌混合し、塗布器であるノズルに混合した塗布液を供給する塗布液供給装置がある（例えば特許文献２）。特許文献２に示される塗布液供給装置では、バッファー容器が無く、さらにノズルに塗布液を供給するポンプが、塗布液を混合するために送液するポンプと兼ねているので、よりシンプルなシステムとなっている。しかしノズルからの塗布液の吐出量速度を均一にするには、２つのベローズポンプで送液量を微調整して２つの塗布液の混合比率を変えながら、ノズルに一定量の塗布液を精度よく供給することが求められ、そのために２つのベローズポンプからの送液速度の総和を一定にすることが必要となる。しかし、非常に高度なポンプ制御を適用しても、２つのベローズポンプからの送液速度の総和を高精度に一定にすることは困難であり、ノズルからの塗布液吐出量速度は満足する精度にはならない。
【０００９】
さらにまた、複数の塗布液容器と塗布液装置を接続する時は接続部材として配管部材を使用するが、配管部材内の空気を排除する手段がないと、切換え後に空気が混合するという問題が生じる。しかしながら塗布液容器を接続する時の接続部材内の空気を排除する手段については、これまで全く開示されていない。
【特許文献１】特開平１１−１５１４３５号公報（第１１欄１行目〜第１７欄１４行目、図１）
【特許文献２】特開平１０−２４２０４５号公報（第５３欄１行目〜第６１欄４行目、図６）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、上記従来技術の問題点を解決するためになされたもので、その目的とするところは、複数の塗布液容器の切換えをして、塗布生産を継続して長時間行うにあたって、塗布液の粘度が塗布液容器ごとに大きく異なっても、塗布膜厚分布が均一になるように、切換前後の塗布液の混合比率を徐々に変えつつ、高精度に塗布液を塗布器に供給することと、空気の混入なく、塗布液容器と塗布液の切換えを可能とする、簡便な構成でかつ、低コストな塗布液供給装置及び供給方法、ならびにこれらを用いた塗布装置および塗布方法を提供することにある。さらにはこの塗布方法を用いたプラズマディスプレイ用部材の製造方法を提供して、高品質のプラズマディスプレイ用部材を低コストで製造できるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記本発明の目的は、以下に述べる手段によって達成される。
【００１２】
本発明の塗布液供給装置は、塗布液を貯える複数の塗布液容器、該複数の塗布液容器から送出される塗布液の量をそれぞれ調整する複数の静的流量調整手段、該複数の静的流量調整手段に連通し、該複数の塗布液容器から送出された塗布液を合流させる合流手段、および該合流手段の下流に配置され、合流後の塗布液を送出する送液手段を有することを特徴とする。
【００１３】
本発明の塗布液供給装置においては、前記複数の塗布液容器内の塗布液の量を計測する液量測定器と、該液量測定器により測定された液量情報を元に前記複数の静的流量調整手段を制御する制御手段を有することが好ましい。
【００１４】
本発明の塗布液供給装置においては、前記複数の静的流量調整手段の上流側に、前記複数の塗布液容器からの塗布液の送出を遮断可能な複数の開閉手段と、塗布液に含まれる気泡を排出する複数の気泡排出手段を有することが好ましい。
【００１５】
本発明の塗布装置は、上述の塗布液供給装置と、吐出口を有する塗布器と、被塗布基材を保持する載置台と、前記塗布器と前記載置台を相対移動させる移動手段と、を備えることを特徴とする。
【００１６】
本発明の塗布液供給方法は、塗布液を送出する塗布液容器内に貯えられた塗布液の量が一定量以下となった際に他の塗布液容器から塗布液を合流させ、該他の塗布液容器からの塗布液の合流比率を段階的または連続的に上昇させることによって、複数の塗布液容器に貯えられた塗布液を順次切換えて送出する塗布液の供給方法であって、各塗布液容器からの塗布液の送出量を、静的流量調整手段を用いて調整することによって塗布液の合流比率を変更することを特徴とする。
【００１７】
本発明の塗布液供給方法においては、前記静的流量調整手段は複数の塗布液容器ごとに連通して複数配されており、第１段階においては該複数の静的流量調整手段のうち前記他の塗布液容器に連通した静的流量調整手段のみを、それを通過する塗布液の流量が漸次高くなるように作動させ、続く第２段階において、該複数の静的流量調整手段のうち前記塗布液の量が一定量以下となった塗布液容器に連通した静的流量調整手段のみを、それを通過する塗布液の流量が漸次低くなるように作動させる、ことで各静的流量調整手段を通過する塗布液の流量を変化させ、前記他の塗布液容器からの塗布液の合流比率を段階的または連続的に上昇させることが好ましい。本発明の塗布液供給方法においては、前記他の塗布液容器から塗布液を合流させる前に、該他の塗布液容器と静的流量調整手段の間に位置する塗布液中に存在する気泡を外部に排出する作業を行うことが好ましい。
【００１８】
本発明の塗布方法は、上述の塗布液供給方法を用いて、塗布液を吐出口を有する塗布器に供給し、載置台上に保持されている被塗布基材に向けて該塗布器の吐出口から塗布液を吐出しながら、該塗布器と該載置台を相対移動させて、被塗布基材上に塗布液を塗布することを特徴とする。
【００１９】
本発明のプラズマディスプレイ用部材の製造方法は、上述の塗布方法を用いて被塗布基材上に塗布液を塗布する工程を含むことを特徴とする。
【００２０】
本発明のプラズマディスプレイ用背面板の製造方法は、上述の塗布方法を用いて被塗布基材上にガラス粉末を含む無機成分とバインダー樹脂を含む有機成分を含むガラスペーストを塗布し、パターン化した後に焼成することによって隔壁を形成することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
本発明の塗布液供給装置及び供給方法によれば、複数の塗布液容器から送出される塗布液の切換えに際して、静的流量調整手段で複数の塗布液容器からの塗布液の合流比率を段階的に変化させて合流させるので、切換前後で塗布液の粘度が塗布液容器ごとに大きく異なっても、合流後の塗布液の粘度変化はわずかとなるために、塗布幅方向の塗布膜厚分布は均一になる。また、独立した１台の送液手段で塗布器に常に一定の塗布液量を高精度で供給できるのであるから、塗布方向の塗布膜厚分布も均一になる。さらに、塗布液容器ごとの送液手段や、合流後のバッファー容器を必要としないので、塗布液供給装置を構成する機器数は少なく、その結果簡易かつ低コストな構成の塗布液供給装置を実現できる。
【００２２】
またさらに、静的流量調整手段の上流側に、気泡を排出する複数の気泡排出手段を設けているので、塗布液容器を切換える時に、接続部材である送液配管内に混入する気泡を確実に除去でき、空気混入なしに塗布液の切換えを容易に行うことができる。
【００２３】
本発明になる塗布装置並びに塗布方法によれば、上記の優れた塗布液供給装置並びに供給方法を用いて塗布を行うのであるから、粘度の大きく異なる塗布液の切換えを行っても、塗布幅方向ならびに塗布方向に均一な塗布膜を容易に形成することができる。
【００２４】
また本発明になるプラズマディスプレイ用部材の製造方法によれば、上記の優れた塗布液方法を用いてプラズマディスプレイ用部材を製造するのであるから、均一な塗布膜を有する品質の極めて高いプラズマディスプレイ用部材を高い生産性で製造することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、図面を参照して、本発明の好ましい実施態様を説明する。
【００２６】
図１は、本発明による塗布液供給装置１の構成を模式的に示す概略正面図、図２は本発明に用いる可変抵抗式流量調整器の構成を示す拡大正面断面図、図３は本発明に用いる可変抵抗式流量調整器の別の構成を示す拡大正面断面図である。図１に示される塗布液供給装置１は、先に使用する塗布液４０Ａを貯える塗布液容器２Ａと、次に使用する塗布液４０Ｂを貯える塗布液容器２Ｂと、塗布液容器２Ａ、２Ｂに配管３Ａ、３Ｂを介して連通して塗布液の送出／遮断が可能な開閉手段であるバルブ４Ａ、４Ｂと、前記バルブ４Ａ、４Ｂに配管５Ａ、５Ｂを介して連通すると共に、塗布液に含まれる気泡を配管７Ａ、７Ｂを介して排出可能な気泡排出手段である気泡抜きバルブ６Ａ、６Ｂと、前記気泡抜きバルブ６Ａ、６Ｂに配管８Ａ、８Ｂを介して連通し塗布液容器２Ａ、２Ｂから送出される塗布液の流量を調整する静的流量調整手段である可変抵抗式流量調整器９Ａ、９Ｂと、塗布液容器２Ａ、２Ｂから送出された塗布液を可変抵抗式流量調整器９Ａ、９Ｂの下流側で合流させる合流手段である合流器１０と、前記合流器１０を通過した合流後の塗布液を攪拌混合するスタティックミキサー１１と、前記スタティックミキサー１１と配管１２、吸引用バルブ１３を介して連通していると共に、混合された塗布液４１を下流方向に送出する送液手段である定容量ポンプ１４と、定容量ポンプ１４の下流側と配管１５を介して連通している吐出用バルブ１６とからなる。そして塗布液供給装置１は配管１７を介してスリットダイである塗布器１８に連通している。なお吸引用バルブ１３、吐出用バルブ１６は、それぞれ塗布液の送出／遮断を任意に実施することができる。
【００２７】
本発明における静的流量調整手段とは、ポンプの回転数を変更して流量を調整するような動的な流量調整手段とは異なり、流路の抵抗を変更するなどの静的な手段によって流量を調整する手段を指し、図２、図３で示すような可変抵抗式流量調整器を用いることが好ましい。
【００２８】
塗布液容器２Ａ、２Ｂには、それぞれの塗布液容器２Ａ、２Ｂ内の塗布液４０Ａ、４０Ｂの量を計測する液量測定器１９Ａ、１９Ｂが取り付けられている。この液量測定器１９Ａ、１９Ｂは、レーザー光を塗布液容器内の塗布液の液面に照射し、反射光を採取して測定する方式のものが好ましいが、塗布液容器内の塗布液量を測定できれば、この方式に限定されるものではない。なお液量測定器１９Ａ、１９Ｂは、制御手段であるコントローラー２０に電気的に接続されており、塗布液容器２Ａ、２Ｂ内の塗布液量に応じて、可変抵抗式流量調整器９Ａ、９Ｂに制御信号が送られて、可変抵抗式流量調整器９Ａ、９Ｂを各々通過する塗布液量が調整される。
【００２９】
なお、塗布液容器２Ａ、２Ｂは密閉容器で、それぞれ加圧源２１Ａ、２１Ｂに接続されており、定圧力供給手段として一定圧力のエアーや、Ｎ２等の不活性ガスで加圧されていることが好ましい。加圧源２１Ａ、２１Ｂからの加圧力は、精密レギュレーターなどの圧力調整手段（図示せず）により、任意の値に調整することができるが、好ましくは０．０１〜１ＭＰａ、より好ましくは０．１〜０．５ＭＰａである。
【００３０】
塗布液容器２Ａ、２Ｂの下流側に接続されているバルブ４Ａ、４Ｂは、ダイヤフラムバルブであり、それぞれ塗布液の送出／遮断を任意に実施することができる。また、塗布液容器２Ａ、配管３Ａ、バルブ４Ａで交換ユニット２２Ａ、塗布液容器２Ｂ、配管３Ｂ、バルブ４Ｂで交換ユニット２２Ｂを構成しており、塗布液容器２Ａ、２Ｂ内の塗布液４０Ａ、４０Ｂが無くなれば、配管５Ａ、５Ｂとの脱着を行って、交換ユニット２２Ａ、２２Ｂの単位で塗布液が充填されたものと交換される。また交換ユニット２２Ａ、交換ユニット２２Ｂをそれぞれ構成する機器は、全く同じものであり、それぞれの塗布液容器内に貯蔵する塗布液量のみが異なる。
【００３１】
次に、気泡抜きバルブ６Ａ、６Ｂは三方ボールバルブになっている。塗布液容器２Ａ、２Ｂから可変抵抗式流量調整器９Ａ、９Ｂへ塗布液を供給する時は、配管５Ａ、５Ｂと配管８Ａ、８Ｂが通じるように制御される。交換ユニット２２Ａ、２２Ｂを交換して、配管５Ａ、５Ｂに空気が混入した場合は、気泡抜きバルブ６Ａ、６Ｂを、配管５Ａ、５Ｂと配管７Ａ、７Ｂが通じるように制御し、配管７Ａ、７Ｂが合流した合流配管２３の端末に接続された真空ポンプ２４で、配管５Ａ、５Ｂに混入した空気を、配管７Ａ、７Ｂを通じて外部に排出する。
【００３２】
気泡抜きバルブ６Ａ、６Ｂのそれぞれの下流側にある可変抵抗式流量調整器９Ａと可変抵抗式流量調整器９Ｂは全く同じ構成である。
【００３３】
可変抵抗式流量調整器９Ａ、９Ｂは、図２に詳細が示されているように、シリンダ２５Ａ、２５Ｂと、可動シャフト２６Ａ、２６Ｂと、ボールネジ２７Ａ、２７Ｂと、可動シャフト２６Ａ、２６Ｂとボールネジ２７Ａ、２７Ｂと連結する連結器２８Ａ、２８Ｂと、ボールネジ２７Ａ、２７Ｂを回転駆動する駆動モーター２９Ａ、２９Ｂと、からなる。
【００３４】
可動シャフト２６Ａ、２６Ｂは、図示しないリニアガイドにより、矢印で示されるＺ方向に案内されている。そしてＡＣサーボモーター等を用いた駆動モーター２９Ａ、２９Ｂの回転運動が、ボールネジ２７Ａ、２７Ｂとナットである連結器２８Ａ、２８Ｂで直線運動に変換されて、可動シャフト２６Ａ、２６ＢはＺ方向に自在に往復動できる。この可動シャフト２６Ａ、２６Ｂの外面３０Ａ、３０Ｂとシリンダ２５Ａ、２５Ｂの内面３１Ａ、３１Ｂは、同芯で円錐角が略同一の円錐面となっている。
【００３５】
可動シャフト２６Ａ、２６Ｂの外面３０Ａ、３０Ｂとシリンダ２５Ａ、２５Ｂの内面３１Ａ、３１Ｂとの間の隙間量ＳＡ、ＳＢは、可動シャフト２６Ａ、２６ＢのＺ方向移動によって、ゼロから最大値まで変化する。すなわち、可動シャフト２６Ａ、２６ＢがＺ方向の上方である塗布液流入口３２Ａ、３２Ｂの方に移動して限界位置にある時は隙間量ＳＡ、ＳＢはゼロ、逆に可動シャフト２６Ａ、２６ＢがＺ方向の下方である塗布液流出口３３Ａ、３３Ｂの方に移動して限界位置にある時は、隙間量ＳＡ、ＳＢは最大となる。隙間量ＳＡ、ＳＢがゼロの時には塗布液４０Ａ、４０Ｂは通過できない。隙間量ＳＡ、ＳＢが各々ゼロより大きくなると、塗布液４０Ａ、４０Ｂはシリンダ２５Ａ、２５Ｂに設けられた塗布液流入口３２Ａ、３２Ｂから、塗布液流出口３３Ａ、３３Ｂと移動でき、塗布液が可変抵抗式流量調整器９Ａ、９Ｂを通過することになる。可変抵抗式流量調整器９Ａ、９Ｂの隙間量がＳＡ、ＳＢの時に、塗布液４０Ａ、４０Ｂが各々可変抵抗式流量調整器９Ａ、９Ｂを通過する時の流量（単位時間当たりの液量）をＱＡ、ＱＢとすると、可変抵抗式流量調整器９Ａ、９Ｂの流路抵抗、すなわち圧力損失ΔＰＡ、ΔＰＢは、ΔＰＡ＝ＱＡ・ηＡ・ｆＡ（ＳＡ）、ΔＰＢ＝ＱＢ・ηＢ・ｆＢ（ＳＢ）、で示される。ここで、ｆＡ（ＳＡ）、ｆＢ（ＳＢ）は可動シャフト２６Ａ、２６Ｂの外面３０Ａ、３０Ｂと、シリンダ２５Ａ、２５Ｂの内面３１Ａ、３１Ｂで構成される流路形状で算出される係数で、１／（長さ）３のディメンジョンを有する。このｆＡ（ＳＡ）、ｆＢ（ＳＢ）は、例えば図４に示されるように、隙間量ＳＡ、ＳＢが大きくなると反比例して減少する。ｆＡ（ＳＡ）、ｆＢ（ＳＢ）は塗布液４０Ａ、４０Ｂの粘度ηＡ、ηＢに依存せず、可変抵抗式流量調整器９Ａ、９Ｂの流路形状だけで定まるもので、単純な流路形状であれば理論的に算出される。流路形状が複雑であれば、粘度ηＡ、ηＢが既知の塗布液を、流量ＱＡ、ＱＢで可変抵抗式流量調整器９Ａ、９Ｂを通過させる時の圧力損失ΔＰＡ、ΔＰＢを実測し、ｆＡ（ＳＡ）＝ΔＰＡ／（ＱＡ・ηＡ）、ｆＢ（ＳＢ）＝ΔＰＢ／（ＱＢ・ηＢ）より算出してもよい。
【００３６】
さて、隙間量ＳＡ、ＳＢが大きくなると、上記のように、ｆＡ（ＳＡ）、ｆＢ（ＳＢ）が小さくなるので、同じ流量ＱＡ、ＱＢで粘度ηＡ、ηＢの塗布液４０Ａ、４０Ｂを流そうとすると、ΔＰＡ＝ＱＡ・ηＡ・ｆＡ（ＳＡ）、ΔＰＢ＝ＱＢ・ηＢ・ｆＢ（ＳＢ）より、流路抵抗である圧力損失ΔＰＡ、ΔＰＢは小さくなるので、塗布液が流れ易くなる。逆に隙間量ＳＡ、ＳＢが小さくなると、ｆＡ（ＳＡ）、ｆＢ（ＳＢ）が大きくなるので、同じ流量ＱＡ、ＱＢなら圧力損失ΔＰＡ、ΔＰＢは大きくなるので、塗布液は流れにくくなる。言い換えると、隙間量ＳＡ、ＳＢが小さいと流路抵抗が大きくなるので塗布液の流量ＱＡ、ＱＢが小さくなり、逆に隙間量ＳＡ、ＳＢが大きいと流路抵抗が小さくなるので、塗布液の流量ＱＡ、ＱＢが大きくなる。すなわち、隙間量ＳＡ、ＳＢの大きさによって可変抵抗式流量調整器９Ａ、９Ｂを通過する塗布液の流量ＱＡ、ＱＢを制御できる。上記したように、隙間量ＳＡ、ＳＢの大きさは可動シャフト２６Ａ、２６ＢのＺ方向位置によって一義的に定まるのであるから、可動シャフト２６Ａ、２６ＢのＺ方向位置を定めることによって、可変抵抗式流量調整器９Ａ、９Ｂを通過する塗布液の流量を静的に調整できることになる。すなわち、可変抵抗式流量調整器９Ａ、９Ｂは静的流量調整手段となる。なお隙間量ＳＡ、ＳＢの最大値は、好ましくは１０ｍｍ以下、より好ましくは５ｍｍ以下とする。この範囲であれば、可変抵抗式流量調整器９Ａ、９Ｂを通過する塗布液の流量を微細に調整することが可能となる。
【００３７】
なお本実施態様では、隙間量ＳＡ、ＳＢが連続的に変化する例を示したが、図３に示すような、隙間量ＳＡ、ＳＢが可動シャフト２６Ａ、２６ＢのＺ方向位置により段階的に変化するものであってもよい。この場合は可動シャフト２６Ａ、２６Ｂの外面３０Ａ、３０Ｂは直径一定の円筒面である。一方シリンダ２５Ａ、２５Ｂの内面３１Ａ、３１Ｂは外面３０Ａ、３０Ｂと同芯であり、その内径は、Ｚ方向の最上部で外面３０Ａ、３０Ｂの直径と同じ大きさとなっているが、Ｚ方向下方に向かうにしたがって、段階的に大きくなっていき、最下部で最大となる。そしてそこでの外面３０Ａ、３０Ｂと内面３１Ａ、３１Ｂ間の隙間量が最大値となる。また可動シャフト２６Ａ、２６Ｂの外面３０Ａ、３０Ｂと、シリンダの内面３１Ａ、３１Ｂ間の形状関係が、以上説明したものと逆であってもよい。
【００３８】
再び図１を見ると、可変抵抗式流量調整器９Ａ、９Ｂを通過した塗布液は、合流器１０で合流後にスタティックミキサー１１で攪拌混合される。スタティックミキサー１１は、例えば、金属製からなる円筒管内に、複数の邪魔板を多段に配置して構成される。個々の邪魔板は、略正方形の板の一辺を９０度程度捻って形成された邪魔板を、複数多段に配置して構成したものを用いることが好ましい。
【００３９】
スタティックミキサー１１で攪拌混合された塗布液４１は、吸引用バルブ１３を経て、１台の定容量ポンプ１４で塗布器１８に、高精度の送液速度にて一定量供給される。この定容量ポンプ１４は、シリンダ３２とピストン３３が架台３４に取り付けられている。ここでピストン３３は図示しない駆動機構によってＺ方向である上下方向に自在に往復動できる。ピストン３３の先端部には、Ｏリング等のリング状のシール材３５が取り付けられており、外部に混合された塗布液４１が漏出しないようシリンダ３２の内面と密着してシールしている。駆動機構を構成するＺ方向である上下方向の案内には、図示しないリニアガイドを、駆動にはＡＣサーボモーターとボールネジを用いており、ピストン３３を所定の速度で往復動させることができる。
【００４０】
このピストン型ポンプである定容量ポンプ１４を用いて、実際に塗布液容器２Ａ、２Ｂ内の塗布液を塗布器１８へ供給するには、まず吸引用バルブ１３を開く一方で吐出用バルブ１６を閉じた後に、ピストン３３を下側に一定量移動させて、塗布液をシリンダ３２内に、ピストン３３内に設けられた塗布液流通路３６を通じて充填する。続いて吸引用バルブ１３を閉じ、吐出用バルブ１６を開いてから、ピストン３３を上側に所定の速度で一定量移動させれば、シリンダ３２内の塗布液を塗布器１８内部へ一定の送液速度で供給できる。この一連の動作により塗布液は、吸引用バルブ１３から吐出用バルブ１６に向けて、一定の送液速度にて一定容量流される。
【００４１】
以上の塗布液供給装置１を構成する各部材の塗布液接液表面は、例えば、フッ素系樹脂コーティング、ハードクロムメッキ、ＴｉＮ被膜、アルマイト等による耐腐食性、耐溶剤性皮膜が施されていることが、塗布液が付着しにくくクリーンに保たれるので、好ましい。また各構成部品間を接続する配管は、例えば、フッ素系樹脂製ホース、シリコン製ブレードホース、ポリエチレン製ホース、ポリプロピレン製ホース等の可撓性ホースの他、金属製の配管を使用してもよい。
【００４２】
次に、以上の構成を説明した本発明の塗布液供給装置１を用いての、複数の塗布液容器内の塗布液の切換えを、塗布液容器２Ａの塗布液４０Ａと塗布液容器２Ｂの塗布液４０Ｂの混合比率、すなわち合流比率を変更しながら塗布器に供給する塗布液供給方法を含めて、詳しく説明する。
【００４３】
まず、可変抵抗式流量調整器９Ｂの隙間量ＳＢがゼロ、可変抵抗式流量調整器９Ａの隙間量ＳＡが最大、すなわち塗布液は、可変抵抗式流量調整器９Ｂは通過せず、塗布液容器２Ａ内の塗布液４０Ａのみが可変抵抗式流量調整器９Ａを通過して、定容量ポンプ１４から塗布器１８に一定流量で供給されて、被塗布基材に塗布が行われているとする。また塗布液は、塗布液容器２Ａ、２Ｂから塗布器１８まで、全ての流路に充填されている。ここで、塗布液容器２Ｂを交換ユニット２２Ｂごと新たなものと交換するために、現在の交換ユニット２２Ｂを配管５Ｂから切り離した後、塗布液容器２Ｂからバルブ４Ｂまで塗布液４０Ｂが充填されている新しい交換ユニット２２Ｂと置き場所を入れ替える。そして新しい交換ユニット２２Ｂのバルブ４Ｂと、配管５Ｂを接続し、塗布液容器２Ｂに加圧源２１Ｂから、加圧源２１Ａから塗布液容器２Ａに付加されているのと略同一の一定圧力を付加する。この時、バルブ４Ｂは閉となっているので塗布液４０Ｂはまだ流れないが、配管５Ｂ接続時に配管５Ｂに空気が混入して気泡を含むので、これを排除するために、まず気泡抜きバルブ６Ｂを配管５Ｂと配管７Ｂが通じるように操作する。続いて、真空ポンプ２４の駆動を開始してから、バルブ４Ｂを開とすると、塗布液４０Ｂはバルブ４Ｂから配管５Ｂ、気泡抜きバルブ６Ｂ、配管７Ｂと流れ、この塗布液４０Ｂの流れと共に配管５Ｂ内の気泡も一緒に配管７Ｂに流されて、外部に排出される。気泡が気泡抜きバルブ６Ｂよりも下流となる外部に排出された時点で、真空ポンプ２４を停止し、その後に気泡抜きバルブ６Ｂを配管５Ｂと配管８Ｂが通じるように操作する。この気泡抜きバルブ６Ｂの操作を行うと塗布液４０Ｂの配管７Ｂへの流れは止められるが、配管８Ｂには塗布液４０Ｂが充填されており、可変抵抗式流量調整器９Ｂも、その隙間量ＳＢがゼロ、即ち、バルブとして閉となっているので、塗布液４０Ｂは配管８Ｂの方にも流れることはできず、塗布液容器２Ｂと同じ圧力で加圧された状態で停止する。
【００４４】
さて、塗布液容器２Ａの塗布液４０Ａを使用して、塗布生産を継続中、塗布液容器２Ａに取り付けられた液量測定器１９Ａにより、塗布液容器２Ａ内の塗布液４０Ａの液量が、予め定められた規定量になったと検知されると、塗布液容器２Ｂからの塗布液４０Ｂを、塗布液容器２Ａからの塗布液４０Ａと混合する操作を開始する。即ち、液量測定器１９Ａからの情報がコントローラー２０に伝えられ、このコントローラー２０が可変抵抗式流量調整器９Ａ、９Ｂの駆動モーター２９Ａ、２９Ｂに動作指令信号をそれぞれ伝送し、塗布液容器２Ａ内の塗布液４０Ａの液量に応じた塗布液の混合比率となるように、可動シャフト２６Ａ、２６ＢのＺ方向位置を変えて、隙間量ＳＡ、ＳＢを変える。
【００４５】
具体的に、塗布液容器２Ａ内の塗布液４０Ａの液量に応じて塗布液４０Ａと塗布液４０Ｂの混合比率を変えていく一例を図５に示す。図５では、塗布液容器２Ａ内の塗布液４０Ａの液量Ｌ［Ｌ］と、塗布液４０Ａ、４０Ｂをそれぞれ可変抵抗式流量調整器９Ａ、９Ｂを通過させる流量ＱＡ［ｍ3／ｓ］、ＱＢ［ｍ3／ｓ］の定容量ポンプ１４から吸引される流量Ｑ［ｍ3／ｓ］＝ＱＡ［ｍ3／ｓ］＋ＱＢ［ｍ3／ｓ］に対する流量比ＲＡ＝ＱＡ／Ｑ、ＲＢ＝ＱＢ／Ｑの関係が示されている。図５では、塗布液容器２Ａ内の塗布液４０Ａの液量ＬがＬ１〜Ｌ１０の時に、流量比ＲＡ、ＲＢは０、Ｒ１〜Ｒ９、１の値を取ることが示されており、同じ塗布液４０Ａの液量Ｌの時にはＲＡ＋ＲＢ＝１となる。なお図５で、液量Ｌ１からＬ１０に向かうほど塗布液４０Ａの液量Ｌは小さくなっている。ここで、ＲＡ：ＲＢ＝ＱＡ：ＱＢであるので、流量比ＲＡとＲＢの比率が、塗布液４０Ａと塗布液４０Ｂの混合比率となる。この図５で示される塗布液４０Ａ、４０Ｂのそれぞれの流量比ＲＡ、ＲＢを実現するために、可変抵抗式流量調整器９Ａ、９Ｂでの隙間量ＳＡ、ＳＢは、以下に述べるように定められることが好ましい。
【００４６】
塗布液４０Ａ、４０Ｂには、塗布液容器２Ａ、２Ｂに接続された加圧源２１Ａ、２１Ｂによって略同一の圧力が加えられている。したがって、配管８Ａと合流器１０の間で可変抵抗式流量調整器９Ａに付加される圧力差と、配管８Ｂと合流器１０の間で可変抵抗式流量調整器９Ｂに付加される圧力差は、同じΔＰとなる。この圧力差ΔＰと、塗布液４０Ａ、４０Ｂの粘度、流量であるηＡ、ηＢ、ＱＡ、ＱＢと、可変抵抗式流量調整器９Ａ、９Ｂの隙間量ＳＡ、ＳＢとの間には、前述したように、ΔＰ＝ＱＡ・ηＡ・ｆＡ（ＳＡ）＝ＱＢ・ηＢ・ｆＢ（ＳＢ）の関係がある。これより、ＲＡ／ＲＢ＝ＱＡ／ＱＢ＝（ηＢ・ｆＢ（ＳＢ））／（ηＡ・ｆＡ（ＳＡ））の関係が導き出される。この関係式より、塗布液４０Ａの液量Ｌにしたがって、流量比ＲＡ／ＲＢを図５より与え、同じく隙間量ＳＡを与えれば、隙間量ＳＢが求められる。例えば隙間量ＳＡは、その最大値ＳＡ１０を１０等分してＳＡ１〜ＳＡ１０を算出し、塗布液４０Ａの液量ＬがＬ１になれば隙間量ＳＡを最大値のＳＡ１０からＳＡ９にし、液量Ｌ１０になればＳＡ１からゼロにするようにする。このように塗布液４０Ａの液量Ｌに対応して与えられた隙間量ＳＡを使用して、ＲＡ／ＲＢ＝（ηＢ・ｆＢ（ＳＢ））／（ηＡ・ｆＡ（ＳＡ））より、ＳＡ１〜ＳＡ１０に対応させて、ＳＢの値ＳＢ１〜ＳＢ１０を算出する。ただし、隙間量ＳＡがゼロの時は、隙間量ＳＢはその最大値ＳＢ１０を取る。このような算出を事前に行って、表１に示すような、塗布液４０Ａの液量Ｌに対する、流量比ＲＡ、ＲＢ、隙間量ＳＡ、ＳＢのテーブルを作成し、それにしたがって可変抵抗式流量調整器９Ａ、９Ｂの制御を行う。なお隙間量ＳＢを求める場合、粘度ηＡ、ηＢの差が小さければηＡ＝ηＢとして取り扱ってもよい。
【００４７】
【表１】
2008272740.tif 000003
【００４８】
さて、表１にしたがって、塗布液容器２Ａの塗布液４０の液量Ｌが、予め定められた規定量であるＬ１になると、塗布液４０Ａの流量比ＲＡを１からＲ９に、塗布液４０Ｂの流量比ＲＢを０からＲ１になるように、可変抵抗式流量調整器９Ａの隙間量ＳＡをＳＡ１０からＳＡ９に、可変抵抗式流量調整器９Ｂの隙間量ＳＢをゼロからＳＢ９にする。すなわち塗布液４０Ａが全量定容量ポンプ１４に供給されていたのを、塗布液４０Ａと塗布液４０ＢをＲ９：Ｒ１の比率で混合、すなわち合流して供給する。この隙間量ＳＡ、ＳＢを実現するために、コントローラー２０が可変抵抗式流量調整器９Ａ、９Ｂの可動シャフト２６Ａ、２６ＢをＺ方向に移動させる。そして塗布液容器２Ａの塗布液４０Ａの液量ＬがＬ２〜Ｌ９と減少していくのにしたがって、塗布液４０Ａの流量比はＲ８〜Ｒ１に、塗布液４０Ｂの流量比はＲ２〜Ｒ９に段階的に変化し、これに合わせて可変抵抗式流量調整器９Ａ、９Ｂの隙間量ＳＡ、ＳＢも、表１に示されるように、段階的に変化させていく。これによって、塗布液４０Ａの混合比率は次第に減少し、それに反して塗布液４０Ｂの混合比率は次第に増加する。そして塗布液容器２Ａの塗布液４０Ａの液量がＬ１０になると、塗布液４０Ａの流量比は０、塗布液４０Ｂの流量比は１となるので、塗布液４０Ｂのみが全量定容量ポンプ１４に供給されるように、可変抵抗式流量調整器９Ａの隙間量ＳＡはゼロ、可変抵抗式流量調整器９Ｂの隙間量ＳＢが最大値のＳＢ１０となる。塗布液４０Ｂが全量定容量ポンプ１４に供給された段階で、塗布液４０Ａから塗布液４０Ｂへの切換え、即ち塗布液容器２Ａから２Ｂへの切換えが完了する。切換えが完了したら、バルブ４Ａを閉とし、いつでも交換ユニット２２Ａを、塗布液が充填された新しいものと交換できるようにする。以降の塗布液容器の切換えは、交換ユニット２２Ｂを、交換ユニット２２Ａに変えて同じ操作を繰り返せば、際限なく行えることになる。
【００４９】
以上の図５、表１に基づいて、塗布液４０Ａと塗布液４０Ｂの混合比率を段階的に変えながら塗布液を塗布器１８に供給すると、塗布器１８内では塗布液は図６に示すように分布する。図６は、塗布液切換時の塗布液の塗布器１８内での分布を示す概略側面断面図である。最初に塗布器１８内は図６（ａ）に示されるように塗布液４０Ａのみが充満している。次に、塗布液容器２Ａ内の塗布液４０Ａの液量がＬ１となって、塗布液４０Ａと塗布液４０Ｂが、流量比Ｒ９：Ｒ１の比率で混合されると、この混合された塗布液４１は、図６（ｂ）に示されるように、塗布液４０Ａだけが充満していた塗布器１８内で、塗布液供給口４２の周辺の領域に広がっていく。ところで、塗布器１８の長手方向の塗布液吐出量分布は、塗布液吐出口３７の間隙の長手方向分布と、塗布液粘度の長手方向分布により定まる。図６（ｂ）で示される塗布器１８内の塗布液４０Ａと混合された塗布液４１の長手方向分布に対応して、粘度分布が生じることになるが、塗布液４０Ａと混合された塗布液４１の粘度の相違は、混合された塗布液４１の塗布液４０Ａに対する塗布液４０Ｂの混合比率を考慮すると、極くわずかである。したがって、図６（ｂ）の状態では、塗布器１８内には長手方向に異なる粘度の塗布液があるものの、粘度差が極くわずかであるので、長手方向の塗布液吐出量分布は、塗布液４０Ａのみが充満していた図６（ａ）の状態と比べると、ほとんど変化しない。図６（ｂ）の状態からさらに混合された塗布液４１が、定容量ポンプ１４から供給されると、図６（ｃ）に示されるように、混合された塗布液４１の占める領域が、塗布液供給口４２を中心として長手方向に拡大し、逆に塗布液４０Ａの占める領域は長手方向端部に残るのみとなる。図６（ｃ）に示す状態であっても、塗布液４０Ａと混合された塗布液４１の粘度の相違は極くわずかであるので、塗布器１８からの長手方向の塗布液吐出量分布は、図６（ａ）、（ｂ）の状態の時と比べても、ほとんど変化しない。図６（ｃ）の状態からさらに混合された塗布液４１が、定容量ポンプ１４から供給されると、図６（ｄ）に示されるように、混合された塗布液４１が、塗布器１８内の全領域に広がる。この状態では混合された塗布液４１のみが塗布器１８内にあるのであるから、長手方向に粘度変化はなく、当然のごとく、塗布器１８からの長手方向の塗布液吐出量分布は変化しない。図６（ａ）〜図６（ｄ）にかけて、塗布器１８からの長手方向の塗布液吐出量分布は、塗布液４０Ａのみを吐出していた時と比べて変化せず均一であるのであるから、このようにして塗布器１８から吐出された塗布液を基板Ａに塗布しても、塗布膜の塗布器１８の長手方向、即ち幅方向の塗布膜厚分布も変化せず、均一となる。
【００５０】
次に図５、表１で、塗布液容器２Ａ内の塗布液４０Ａの液量がＬ２になると、塗布液４０Ａと塗布液４０Ｂが流量比Ｒ８：Ｒ２の比率で混合された塗布液が塗布器１８に供給されるが、この流量比Ｒ８：Ｒ２の比率で混合された塗布液を図６の混合された塗布液４１、塗布液４０Ａと塗布液４０Ｂを流量比Ｒ９：Ｒ１の比率で混合された塗布液を図６の塗布液４０Ａに置き換えて見れば、上記したことと全く同じことがいえる。すなわち混合比率の異なる塗布液が塗布器１８に供給されても、それまでの塗布液と粘度の相違が極くわずかであるので、塗布器１８からの長手方向塗布液吐出量分布はほとんど変化せず、その結果、塗布器１８から吐出された塗布液を被塗布基材に塗布して塗布膜を形成しても、塗布膜の幅方向膜厚分布も変化せず、均一となる。同じことが、塗布液容器２Ａの塗布液４０Ａの液量がＬ１０となって、塗布液容器２Ｂの塗布液４０Ｂのみが塗布器１８に供給される時まで続く。すなわち本発明による塗布液供給方法を用いれば、塗布液容器２Ａの塗布液４０Ａを塗布液容器２Ｂの塗布液４０Ｂに切換えても、粘度変化が極くわずかとなるように塗布液４０Ａと塗布液４０Ｂの混合比率を段階的に変化させるので、塗布器１８から吐出される塗布液の長手方向吐出量分布は変化せず、その結果、被塗布基材に塗布して塗布膜を形成しても、塗布膜の幅方向膜厚分布も変化せず、均一となる。本発明の塗布液供給装置１では、１台の定容量ポンプ１４によって一定の流量で塗布液を塗布器１８に供給し、一方塗布液４０Ａと塗布液４０Ｂの混合比率は、可変抵抗式流量調整器９Ａ、９Ｂの隙間量ＳＡ、ＳＢを制御することで定めており、定容量ポンプ１４の上流側にバッファーとなる容器は不要である。すなわち、途中にバッファー容器が無く、１台の定容量ポンプ１４と、粘度の異なる塗布液の混合比率、すなわち合流比率を調整する静的流量調整手段の必要最低限度の手段のみがあるシンプルな設備で、塗布膜の幅方向膜厚分布を均一に保ったままで塗布液容器や粘度が異なる塗布液への切換えを容易に行うことができる。
【００５１】
なお図５の塗布液容器２Ａ内の塗布液４０Ａの液量Ｌ１〜Ｌ１０と、これに対する、塗布液４０Ａと塗布液４０Ｂの混合比率を定めることになる塗布液４０Ａ、４０Ｂの流量比Ｒ１〜Ｒ９は、塗布液４０Ａと塗布液４０Ｂの粘度の相違に基づいて定めればよいが、混合された塗布液４１の粘度変化が好ましくは１００ｍＰａ・ｓ以下、より好ましくは１０ｍＰａ・ｓ以下になるようにする。また上記の実施態様例では、塗布液４０Ａの液量Ｌを１０段階にわけ、それに応じて流量比ＲＡ、ＲＢを与えたが、何段階に分けるかはこれに限られるものではなく、混合する塗布液の粘度変化が好ましい範囲となるように定めればよい。
【００５２】
また、可変抵抗式流量調整器９Ａ、９Ｂの隙間量ＳＡ、ＳＢの変化は、上記実施態様例のように段階的であっても良いし、連続的であっても良い。
【００５３】
次に、本発明の塗布液供給装置１を用いた塗布装置５０を、図７を参照して説明する。
【００５４】
図７は、塗布装置５０の概略正面図である。
【００５５】
塗布装置５０は、基台５１を備えており、基台５１上には、一対のガイドレール５２が設けられている。このガイドレール５２上には載置台であるステージ５３が配置されており、ステージ５３は図示しないリニアモーターで駆動されて、図７に示すＸ方向に自在に往復動する。また、ステージ５３の上面は吸着孔からなる真空吸着面となっており、被塗布基材である基板Ａを吸着保持することができる。
【００５６】
基台５１の中央を見ると、門型の支柱５４がある。支柱５４の右側で紙面の手前側と奥側の両側に、上下昇降装置ユニット６０が備えられており、この上下昇降装置ユニット６０に塗布を行う塗布器１８が取り付けられている。
【００５７】
この塗布器１８を昇降させる上下昇降装置ユニット６０は、塗布器１８を吊り下げる形で保持する吊り下げ保持台６１、吊り下げ保持台６１を昇降させる昇降台６２、昇降台６２を上下方向に案内するガイド６３、モーター６４の回転運動を昇降台６２の直線運動に変換するボールネジ６５より構成されている。
【００５８】
上下昇降装置ユニット６０は塗布器１８の長手方向の両端部を支持するよう左右一対あって、各々が独立に昇降できるので、塗布器１８の長手方向の水平に対する傾き角度を任意に設定することができる。これによって塗布器１８の塗布液吐出口３７と基板Ａを、塗布器１８の長手方向に渡って略平行にすることができる。さらに、この上下昇降装置ユニット６０によって、ステージ５３上の基板Ａと塗布器１８の塗布液吐出口３７の間に隙間、即ち、クリアランスを、任意の大きさに設けることができる。
【００５９】
次に基台５１の右側を見ると、基板Ａの厚さを測定する厚さセンサー７０が支持台７１に取り付けられている。厚さセンサー７０はレーザーを使用したものであることが好ましい。厚さセンサー７０により基板Ａの厚さを測定することで、どのような厚さの基板Ａに対しても、塗布器１８の塗布液吐出口３７と基板Ａの隙間であるクリアランスを、常に一定にすることができる。
【００６０】
また、塗布装置５０に装着された塗布器１８の図示されていない塗布液供給口には、本発明の塗布液供給装置１が配管１７を介して常時接続されており、これにより塗布液供給装置１から塗布液を、塗布器１８の塗布液供給口から塗布器１８の内部にあるマニホールド部３８に供給することができる。マニホールド部３８に入った塗布液は塗布器１８の長手方向に均等に拡幅されて、スリット部３９を経て、塗布液吐出口３７から吐出される。
【００６１】
なお、制御信号にて動作するリニアモーター、モーター６４、塗布液供給装置１等は全て制御装置７２に電気的に接続されている。そして、制御装置７２に組み込まれた自動運転プログラムにしたがって制御指令信号が各機器に送信されて、予め定められた動作を行う。なお、条件変更時は操作盤７３に適宜変更パラメータを入力すれば、それが制御装置７２に伝達されて、運転動作の変更が実現できる。
【００６２】
次に、本発明の塗布液供給装置１を用いた塗布方法について詳述する。
【００６３】
まず、塗布装置５０の各動作部の原点復帰が行われると、各移動部はスタンバイ位置に移動する。即ち、ステージ５３は図７の右端部（破線で示す位置）、塗布器１８はＺ方向の最上部に移動する。ここで、塗布液容器２Ａから塗布器１８まで塗布液４０Ａは既に充満されており、塗布器１８内部の残留エアーを排出する作業も同じく終了している。このときの塗布液供給装置１の状態は、シリンダ３２に塗布液４０Ａが充填、吸引用バルブ１３は閉、吐出用バルブ１６は開、そしてピストン３３は最下端の位置にあり、いつでも塗布液を塗布器１８に供給できるようになっている。
【００６４】
最初に、ステージ５３の表面に図示しないリフトピンを上昇させ、図示しないローダから基板Ａがリフトピン上部に載置される。次にリフトピンを下降させて基板Ａをステージ５３上面に載置し、同時に吸着保持する。
【００６５】
そしてステージ５３を所定の塗布速度にて移動開始し、厚さセンサー７０がその下を通過する基板Ａの厚さを測定し、測定した基板Ａの厚さデータに基づき、上下昇降装置ユニット６０を駆動して、塗布器１８の塗布液吐出口３７を基板Ａから予め与えたクリアランスだけ離れた位置まで近接させる。基板Ａの塗布開始部が塗布器１８の塗布液吐出口３７の真下に達したら、定容量ポンプ１４のピストン３３を所定速度で上昇させ、塗布器１８から塗布液を基板Ａに向かって吐出し、基板Ａへの塗布を始めて、ビードＢに引き続いて塗布膜Ｃを形成する。基板Ａの塗布終了部が塗布器１８の塗布液吐出口３７の位置に来たらピストン３３を停止させて塗布液の供給を停止し、続いて、上下昇降装置ユニット６０を駆動して、塗布器１８を上昇させる。これによって基板Ａと塗布器１８の間に形成されたビードＢが断ち切られ、塗布が終了する。
【００６６】
これらの動作中ステージ５３は動き続け、終点位置にきたときに停止し、基板Ａの吸着を解除して図示されないリフトピンを上昇させて基板Ａを持ち上げる。このとき、図示されないアンローダによって基板Ａの下面が保持され、次の工程に基板Ａを搬送する。基板Ａをアンローダに受け渡したら、ステージ５３はリフトピンを下降させ原点位置に復帰する。
【００６７】
その後定容量ポンプ１４は、吐出用バルブ１６を閉、吸引用バルブ１３を開として、ピストン３３を一定速度で下降させ、塗布液容器２Ａ内の塗布液４０Ａを定容量ポンプ１４のシリンダ３２に充填する。充填完了後、ピストン３３を停止させ、吸引用バルブ１３を閉、吐出用バルブ１６を開として、次の基板Ａが来るのを待ち、同じ動作を繰り返す。なお、塗布器１８を基板Ａの塗布開始部に近接する前に、塗布器１８の塗布液吐出口３７周辺を清掃あるいは初期化することが好ましい。
【００６８】
また、塗布液を塗布液容器２Ａの塗布液４０Ａから塗布液容器２Ｂの塗布液４０Ｂに切換える場合は、上記の本発明の塗布液供給方法を用いて適切な混合比率で２つの塗布液を混合しながら塗布器１８に供給し、上記の塗布方法で塗布をすれば、塗布液４０Ａを基板Ａに塗布をするのと全く同じように塗布が行える。すなわち、塗布液を塗布液４０Ａから塗布液４０Ｂに切換える途中、あるいは切換え後も、得られる塗布膜の幅方向膜厚分布は同じく均一となる。
【００６９】
なお上記に詳細を示した塗布液供給方法では、塗布液容器２Ａ内の塗布液４０Ａの液量Ｌが、予め定められた規定量になった時に、塗布液容器２Ａ、２Ｂのそれぞれに連通して配されている静的流量調整手段である可変抵抗式流量調整器９Ａ、９Ｂを同時に作動させている。具体的には同時に可動シャフト２６Ａ、２６ＢのＺ方向位置を変えて、隙間量ＳＡは最大値ＳＡ１０から漸次小さくし、隙間量ＳＢはゼロから漸次大きくしている。この操作によって可変抵抗式流量調整器９Ａを通過する塗布液の流量ＱＡは低くなり、一方可変抵抗式流量調整器９Ｂを通過する塗布液の流量ＱＢは高くなる。流量比ＲＡ、ＲＢはそれぞれ流量ＱＡ、ＱＢに比例し、ＲＡ：ＲＢ＝ＱＡ：ＱＢの比率、すなわち混合比率で塗布液容器２Ａ、２Ｂの塗布液４０Ａと塗布液４０Ｂを合流して供給し、塗布液容器の切換えを行っていた。
【００７０】
それに対して、塗布液容器２Ａ内の塗布液４０Ａの液量Ｌが予め定められた規定量になった時に、第１段階として塗布液容器２Ａに連通した可変抵抗式流量調整器９Ａは作動させずに、他の塗布液容器となる塗布液容器２Ｂに連通した静的流量調整手段である可変抵抗式流量調整器９Ｂのみを作動させて、隙間量ＳＡは変化しない状態で隙間量ＳＢをゼロから漸次大きくするようにしてもよい。この操作によって、当然可変抵抗式流量調整器９Ｂを通過する塗布液の流量ＱＢはゼロから次第に高くなるが、それにあわせて隙間量ＳＡが変化しない可変抵抗式流量調整器９Ａを通過する塗布液の流量ＱＡは低くなる。その結果、隙間量ＳＢを適切に調整することによって、ＲＡ：ＲＢ＝ＱＡ：ＱＢで示される所定の比率、すなわち混合比率で塗布液容器２Ａ、２Ｂの塗布液４０Ａと塗布液４０Ｂを合流して供給し、塗布液容器２Ｂの塗布液４０Ｂの混合比率、すなわち合流比率を段階的または連続的に上昇させることができる。そしてさらに、塗布液容器２Ｂの塗布液４０Ｂの混合比率、すなわち合流比率が予め定めた値、例えばＱＡ：ＱＢ＝１：０からＱＡ：ＱＢ＝１：１に達してから、第２段階として可変抵抗式流量調整器９Ｂは作動させないで、塗布液４０Ａの液量Ｌが予め定められた規定量になった塗布液容器である塗布液容器塗布液容器２Ａに連通した可変抵抗式流量調整器９Ａのみを作動させ、隙間量ＳＢは変化しない状態で隙間量ＳＡを漸次小さくするようにしてもよい。この操作によって、当然可変抵抗式流量調整器９Ａを通過する塗布液の流量ＱＡは次第に操作前より低くなるが、それにあわせて隙間量ＳＢが変化しない可変抵抗式流量調整器９Ｂを通過する塗布液の流量ＱＢは高くなる。その結果、隙間量ＳＡを適切に調整することによって、ＲＡ：ＲＢ＝ＱＡ：ＱＢで示される混合比率で塗布液容器２Ａ、２Ｂの塗布液４０Ａと塗布液４０Ｂを合流して供給し、塗布液容器２Ｂの塗布液４０Ｂの混合比率を、上記の予め定めた値、例えばＱＡ：ＱＢ＝１：１から段階的または連続的にＱＡ：ＱＢ＝０：１まで上昇させることができる。
【００７１】
以上のように、可変抵抗式流量調整器９Ａ、９Ｂのいずれか一方を作動させて、隙間量ＳＡ、ＳＢのどちらか一方のみを変化させて塗布液４０Ｂの混合比率を上昇させるようにすると、混合比率調整のための制御パラメータが一つとなる。これによって、所定の流量を得るために設定する隙間量ＳＡ、ＳＢは、互いが制約されることなく独立して単純に決定することができるので、調整が容易となる。また隙間量ＳＡ、ＳＢは独立して操作できるので、隙間量ＳＡの時間に対する変化率と、隙間量ＳＢの時間に対する変化率を、同じにすることも異ならすことも自在に行える。さらに同じ混合比率、すなわちＲＡ：ＲＢ＝ＱＡ：ＱＢを実現する時に、隙間量ＳＡ、ＳＢのどちらか一方のみを変化させる時の方が、隙間量ＳＡ、ＳＢの変化量が大きくなるので、隙間量ＳＡ、ＳＢに対する混合比率の分解能が高くなり、より精密に混合比率を調整することが可能となる。さらにまた、可変抵抗式流量調整器９Ａ、９Ｂの隙間量ＳＡ、ＳＢのどちらか一方を最大量で固定にして、他方のみを変化させる時は、可変抵抗式流量調整器９Ａ、９Ｂを通過する塗布液４０Ａ、４０Ｂの圧力損失は、隙間量ＳＡ、ＳＢの両方を変化させるときよりも小さくなる。これにより、塗布液容器２Ａ、２Ｂへの加圧圧力が同じ時に、より高い速度で混合された塗布液４１を定容量ポンプ１４に供給することが可能となり、塗布のタクトタイムを短くするとともに、塗布液４０Ａから塗布液４０Ｂへの切替時間も短くすることができる。このことは、同じ速度で混合された塗布液４１を定容量ポンプ１４に供給するのに、塗布液容器２Ａ、２Ｂへの加圧圧力を小さくしてもよいことを意味する。塗布液容器２Ａ、２Ｂへの加圧圧力を小さくすることで、空気の塗布液４０Ａ、４０Ｂへの溶存量を少なくしたり、塗布液容器２Ａ、２Ｂの耐圧強度を低くして製作コストを低くできるという効果も得られる。
【００７２】
なお、塗布膜形成に用いられる塗布液としては、流動性をもつ液体であれば特に限定されないが、例えば、水や有機溶媒に、高分子材料やガラス、金属などの無機材料を溶解もしくは分散させたものが好適に用いられる。その他着色用ペースト、レジスト用ペースト、表面保護用ペースト、帯電防止用ペースト、あるいは、滑性用ペーストなども好適に使用される。
【００７３】
本発明が適用できる塗布液としては、粘度が１乃至１００，０００ｍＰａ・ｓのものが好ましく、特に１，０００ｍＰａ・ｓ乃至５０，０００ｍＰａ・ｓの高粘度塗布液に対して、本発明は抜群の効果を発揮するものであり、ニュートニアンとなる粘度特性を有する塗布液にも、チキソ性を有する塗布液にも、本発明は適用できる。基板Ａとしてはガラスの他にアルミ等の金属板、セラミック板、樹脂板、シリコンウェハー等を用いてもよい。さらに使用する塗布条件としては、基板Ａと塗布器１８の塗布液吐出口３７間の間隔であるクリアランスが３０乃至５００μｍ、より好ましくは４０乃至３００μｍ、塗布速度が０．１ｍ／分乃至１０ｍ／分、より好ましくは０．５ｍ／分乃至６ｍ／分、塗布膜Ｃの厚さが５〜４００μｍ、より好ましくは２０〜３００μｍである。
【００７４】
以上のような構成の塗布液供給装置１を用いた塗布装置５０で塗布を行えば、塗布液の切換えの有無にかかわらず、平均厚みに対する最大偏差が５％以下の高い膜厚精度の塗布膜を容易に得ることができ、かつ、塗布生産を停止させずに塗布液容器を繰り返し際限なく交換することができる。特に隔壁用ペースト等の高粘度の塗布液を用いて均一な塗布膜の形成が要求されるプラズマディスプレイパネル用背面板等のプラズマディスプレイ用部材を製造するための塗布装置や製造装置、に好適に本発明は用いられるが、その他カラー液晶ディスプレイ用カラーフィルターなども含めたディスプレイ用部材を製造するための塗布装置や製造装置にも本発明は用いることができる。
【００７５】
なお上記の実施態様において、塗布器１８への塗布液供給手段として用いた定容量ポンプ１４は、定容量性を備えた供給手段であるならばいかなるものを用いてもよく、例えば、シリンジポンプ、ギアポンプ、モーノポンプ、ダイヤフラムポンプ等が好ましく適用される。また定容量ポンプの代わりに、塗布液容器２Ａ、２Ｂに一定圧力を付加して、エアーや窒素ガス等による圧送供給で塗布液を塗布器１８に供給してもよい。
【００７６】
また上記実施態様において、塗布器１８であるスリットダイでは、特に材質は限定されないが、ステンレス、超硬合金等の金属材料の他、セラミックスや、あるいはこれらの材料に表面処理を施工したものを用いてもよい。特にステンレスは、耐薬品性を有し、安価なため、好適に用いることができる。
【００７７】
以上の実施態様では、ガラス基板などの枚葉被塗布基材に対する塗布を説明したが、フィルム、金属シートや金属箔、紙等の長尺のウエブ（長尺の被塗布基材）への塗布にも、本発明の塗布液供給装置１を適用してもよい。
【実施例】
【００７８】
次に、本発明を、具体的実施例を用いて、さらに説明する。
【００７９】
実施例１：
まず、粘度が２２，０００ｍＰａ・ｓの塗布液３０Ｌを、塗布液４０Ａとして塗布液容器２Ａに、一方塗布液４０Ａと同じ組成で粘度が２０，０００ｍＰａ・ｓの塗布液３０Ｌを、塗布液４０Ｂとして塗布液容器２Ｂに、それぞれ準備した。塗布器１８には、塗布液吐出口３７の間隙が５００μｍ、長手方向長さが５３４ｍｍのものを用いた。そして、図７に示す塗布液供給装置１を用いた塗布装置５０で、初めに塗布液容器２Ａ内の塗布液４０Ａを使用して、塗布厚さ２６０μｍ、塗布速度３ｍ／分、塗布器１８の塗布液吐出口３７とガラス基板間のクリアランス３００μｍにて、５７０ｍｍ（幅）×９６４ｍｍ（長）のガラス基板上に塗布して、塗布幅５３４ｍｍで塗布長さが９６４ｍｍの塗布膜を形成した。そして、塗布後のガラス基板を、塗布装置５０から移載機で取り出して、輻射ヒータを用いた乾燥炉に投入し、１００℃で２０分間乾燥した。乾燥後、塗布開始位置から塗布方向に２０ｍｍ、４８２ｍｍ、９４４ｍｍの３ヶ所の位置での、ガラス基板に形成された塗布膜の幅方向膜厚分布を、レーザフォーカス式非接触膜厚計を、ガラス基板幅方向（塗布器１８の長手方向）に移動させることで測定した。測定された幅方向膜厚分布の最大偏差を塗布膜厚の平均値で割って百分率（％）で示した幅方向膜厚精度は、いずれも３．５〜４．５％の範囲にあり、目標の５％以下を達成した。次に塗布液容器２Ａ内の塗布液４０Ａの液量が少なくなってきたので、図８に示す塗布液容器２Ａの塗布液４０Ａの液量Ｌごとに定められた流量比ＲＡ、ＲＢに基づいて、塗布液４０Ａと塗布液４０Ｂを混合することにした。事前に、この流量比ＲＡ、ＲＢが実現できる可変抵抗式流量調整器９Ａ、９Ｂの隙間量ＳＡ、ＳＢを算出して、表２に示すテーブルを作成した。そして表２に従って、塗布液４０Ａの液量Ｌごとに、隙間量ＳＡ、ＳＢを変えて塗布液４０Ａと４０Ｂの混合比率を制御しながら、塗布液４０Ａを塗布液４０Ｂに切換えた。
【００８０】
【表２】
2008272740.tif 000004
【００８１】
塗布液４０Ｂの混合を開始してからと、塗布液４０Ｂに完全に切換えてから塗布したそれぞれ２０枚の基板に対して、乾燥塗布膜の幅方向膜厚精度を同様にして求めたところ、いずれも３．８〜４．５％の範囲にあった。また、幅方向膜厚分布もほとんど差異が認められなかった。以降同様にして塗布液の切換えを逐次行って、合計１０，０００枚の塗布を行ったが、すべての塗布膜の幅方向膜厚精度は目標の５％以下であった。また、塗布液切換に伴う塗布生産の中断時間はゼロであった。
【００８２】
実施例２：
図８に示す塗布液容器２Ａの塗布液４０Ａの液量Ｌごとに定められた流量比ＲＡ、ＲＢを実現するために、表３に示すテーブルに基づいて、塗布液４０Ａ、４０Ｂの混合比率がＲＡ：ＲＢ＝０．５：０．５＝１：１になるまでは、隙間量ＳＡは最大値で隙間量ＳＢのみをゼロから漸次大きくし、塗布液４０Ａ、４０Ｂの混合比率がＲＡ：ＲＢ＝１：１に達してから塗布液４０Ａの液量Ｌが０．９Ｌになるまでは、隙間量ＳＢは最大値で隙間量ＳＡのみを漸次小さくして塗布液を供給した他は、実施例１と全く同様に実施した。
【００８３】
【表３】
2008272740.tif 000005
【００８４】
隙間量ＳＢのみを漸次大きくし塗布液４０Ｂの混合を開始してからと、塗布液４０Ａ、４０Ｂの混合比率がＲＡ：ＲＢ＝１：１に達して隙間量ＳＡのみ漸次小さくしてからと、塗布液４０Ｂに完全に切換えてからと、で塗布したそれぞれ２０枚の基板に対して、乾燥塗布膜の幅方向膜厚精度を同様にして求めたところ、いずれも３．９〜４．３％の範囲にあった。また、幅方向膜厚分布もほとんど差異が認められなかった。以降同様にして塗布液の切換えを逐次行って、合計１０，０００枚の塗布を行ったが、すべての塗布膜の幅方向膜厚精度は目標の５％以下であった。また、塗布液切換に伴う塗布生産の中断時間はゼロであった。
【００８５】
比較例１：
可変抵抗式流量調整器９Ａ、９Ｂを塗布液供給装置１から取り外し、塗布液容器２Ａ内の塗布液４０Ａの液量Ｌが２Ｌとなってから、バルブ４Ａを閉、バルブ４Ｂを開にし、塗布器１８に供給する塗布液を塗布液４０Ａから塗布液４０Ｂに一気に切換える以外は実施例１と全く同様にしてガラス基板上に塗布膜を形成して乾燥すると共に、塗布膜の膜厚測定を行った。塗布膜の幅方向膜厚精度は、塗布液４０Ａのみで塗布していた時は、目標の５％以下であったが、塗布液４０Ｂへの切換えを開始してから２０枚目までは、塗布膜の幅方向膜厚精度は７．０〜１５．０％となり、目標の５％を越えた。そして塗布液４０Ｂに切換えてから２１枚目以降は全て、塗布膜の幅方向膜厚精度は目標の５％以下となった。
【００８６】
実施例３：
実施例１で塗布膜が形成されたガラス基板を、隣り合った電極間に隔壁が形成されるように設計されたフォトマスクを用いて、露光し、次いで、現像と焼成を行って、ピッチ２５０μｍ、線幅５０μｍ、高さ１２０μｍ、でストライプ状の１，２８７本の隔壁を形成した。そして、この隔壁内にＲ、Ｇ、Ｂの蛍光体ペーストを順次スクリーン印刷によって塗布してから、８０℃１５分で乾燥し、最後に４６０℃１５分の焼成を行って、プラズマディスプレイの背面板を作製した。得られたプラズマディスプレイの背面板の品質は申し分ないものであった。次に、このプラズマディスプレイの背面板と前面板とを合わせ、封着後、Ｘｅ５％、Ｎｅ９５％の混合ガスを封入し、駆動回路を接続した。以上のようにして得られた１０，０００枚のプラズマディスプレイを駆動したところ、いずれも欠陥のない良好な画質を有するプラズマディスプレイであることが確認された。
【図面の簡単な説明】
【００８７】
【図１】本発明による塗布液供給装置の構成を模式的に示す概略正面図である。
【図２】本発明に用いる可変抵抗式流量調整器の構成を示す拡大正面断面図である。
【図３】本発明に用いる可変抵抗式流量調整器の別の構成例を示す拡大正面図である。
【図４】本発明に用いる可変抵抗式流量調整器の隙間量ＳＡ、ＳＢとｆＡ（ＳＡ）、ｆＢ（ＳＢ）の関係を模式的に示すグラフである。
【図５】本発明の塗布液供給方法の一例における塗布液の液量と塗布液の流量比との関係を示す線図である。
【図６】塗布液切換時の塗布液の塗布器内での分布を示す概略側面断面図である。
【図７】本発明にかかる塗布装置の概略正面図である。
【図８】実施例１での塗布液の液量と塗布液の流量比との関係を示す線図である。
【図９】従来の塗布液供給方法の一例を示す概略説明図である。
【符号の説明】
【００８８】
１：塗布液供給装置
２Ａ、２Ｂ：塗布液容器
３Ａ、３Ｂ：配管
４Ａ、４Ｂ：バルブ
５Ａ、５Ｂ：配管
６Ａ、６Ｂ：気泡抜きバルブ
７Ａ、７Ｂ：配管
８Ａ、８Ｂ：配管
９Ａ、９Ｂ：可変抵抗式流量調整器
１０：合流器
１１：スタティックミキサー
１２：配管
１３：吸引用バルブ
１４：定容量ポンプ
１５：配管
１６：吐出用バルブ
１７：配管
１８：塗布器
１９Ａ、１９Ｂ：液量測定器
２０：コントローラー
２１Ａ、２１Ｂ：加圧源
２２Ａ、２２Ｂ：交換ユニット
２３：合流配管
２４：真空ポンプ
２５Ａ、２５Ｂ：シリンダ
２６Ａ、２６Ｂ：可動シャフト
２７Ａ、２７Ｂ：ボールネジ
２８Ａ、２８Ｂ：連結器
２９Ａ、２９Ｂ：駆動モーター
３０Ａ、３０Ｂ：外面
３１Ａ、３１Ｂ：内面
３２：シリンダ
３３：ピストン
３４：架台
３５：シール材
３６：塗布液流通路
３７：塗布液吐出口
３８：マニホールド部
３９：スリット部
４０Ａ、４０Ｂ：塗布液
４１：混合された塗布液
４２：塗布液供給口
５０：塗布装置
５１：基台
５２：ガイドレール
５３：ステージ
５４：支柱
６０：上下昇降装置ユニット
６１：保持台
６２：昇降台
６３：ガイド
６４：モーター
６５：ボールネジ
７０：厚さセンサー
７１：支持台
７２：制御装置
７３：操作盤
１０１：スリットダイ
１０２Ａ、１０２Ｂ：塗布液容器
１０３Ａ、１０３Ｂ：塗布液
１０４：塗布液供給装置
１０５：流路切換手段
Ａ：基板
Ｂ：ビード
Ｃ：塗布膜
Ｌ：塗布液４０Ａの液量
Ｑ、ＱＡ、ＱＢ：流量
ＲＡ、ＲＢ：流量比
ＳＡ、ＳＢ：隙間量
ηＡ、ηＢ：粘度
【図１】
2008272740.tif 000006
【図２】
2008272740.tif 000007
【図３】
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【図４】
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【図５】
2008272740.tif 000010
【図６】
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【図７】
2008272740.tif 000012
【図８】
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【図９】
2008272740.tif 000014