(57)【要約】【課題】めっき厚のばらつきを小さくすることができ、かつ、めっき効率を向上させることができ、さらには、給電棒、陰極部、およびバレル容器の破損を防止できるバレルめっき装置、およびバレルめっき装置用の陰極装置を提供すること。【解決手段】本願発明に係るバレルめっき装置２は、めっき槽４と、陽極部６と、陰極部１０と、自転自在であるバレル容器１２と、バレル容器１２を自転させるバレル用駆動部と、陰極部１０が形成され、バレル容器１２の内部へ差し込まれる複数の給電棒８と、複数の給電棒８が連結されたリボルバー部１１とを有する。複数の給電棒８は、互いに所定の間隔をおいて配置され、複数の給電棒８のうち少なくともいずれかに対して、所定の閾値以上のトルクを与えることによって、複数の給電棒８が、リボルバー部１１の回転軸３６に対して、連動して回転する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
めっき槽と、
陽極部と、
陰極部と、
自転自在であるバレル容器と、
前記バレル容器を自転させるバレル用駆動部と、
前記陰極部が形成され、前記バレル容器の内部へ差し込まれる複数の給電棒と、
前記複数の給電棒が連結されたリボルバー部と、を有し、
前記複数の給電棒が、互いに所定の間隔をおいて配置され、
前記複数の給電棒のうち少なくともいずれかに対して、所定の閾値以上のトルクを与えることによって、前記複数の給電棒が、前記リボルバー部の回転軸に対して、連動して回転することを特徴とするバレルめっき装置。
【請求項２】
前記複数の給電棒に形成された前記陰極部のうち、前記バレル容器の内部に位置する被めっき物および／または導電性ダミーと接触する陰極部のみが、電源を介して前記陽極部と電気的に接続されることを特徴とする請求項１に記載のバレルめっき装置。
【請求項３】
前記バレル容器の自転時において、前記バレル容器の内壁と、前記給電棒との間に、非導電性ダミーが挟まった場合に、当該非導電性ダミーが、当該給電棒に対して、前記所定の閾値以上のトルクを与えることを特徴とする請求項１または２に記載のバレルめっき装置。
【請求項４】
前記複数の給電棒のうち少なくともいずれかに対して、所定の閾値以上のトルクを与えることによって、前記リボルバー部および前記複数の前記給電棒が、前記リボルバー部の回転軸に対して、一体となって回転することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のバレルめっき装置。
【請求項５】
前記複数の給電棒が、前記リボルバー部の前記回転軸に対して垂直な平面において、前記回転軸を中心とする略同心円上に配置されることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のバレルめっき装置。
【請求項６】
前記所定の閾値が、０Ｎ・ｍ超３０Ｎ・ｍ以下であることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のバレルめっき装置。
【請求項７】
前記給電棒が、当該給電棒の長軸回りに自転自在であることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のバレルめっき装置。
【請求項８】
陰極部と、
前記陰極部が形成された複数の給電棒と、
前記複数の給電棒が連結されたリボルバー部と、を有し、
前記複数の給電棒が、互いに所定の間隔をおいて配置され、
前記複数の給電棒のうち少なくともいずれかに対して、所定の閾値以上のトルクを与えることによって、前記複数の給電棒が、前記リボルバー部の回転軸に対して、連動して回転することを特徴とするバレルめっき装置用の陰極装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チップ部品用のバレルめっき装置、およびバレルめっき装置用の陰極装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
チップコンデンサ、チップインダクタ、チップバリスタなどの電子部品では、キャップ状の外部電極がセラミック素子本体の長さ方向の両端側に形成されている。このような外部電極は、通常、電解めっき法等により形成される。電解めっき法で外部電極を形成する場合、一般的に、バレルめっき法を用いる（特許文献１参照）。
【０００３】
バレルめっき法では、バレル容器内に、被めっき物、導電性ダミー（メディア）を投入する。このバレル容器を、めっき槽に浸漬させた状態で回転させることによって、被めっき物をめっきする。なお、導電性ダミーは、陰極と被めっき物との間の導通を得るために用いられる。このような従来のめっき法では、バレル容器内の攪拌が不十分であるため、めっき厚がばらつき、めっき効率が低下する恐れがあった。この問題の対策としては、バレル容器内に、非導電性ダミー（攪拌部材）を投入することが挙げられる。この非導電性ダミーによって、バレル容器内の攪拌が促進される（特許文献２参照）。
【０００４】
しかしながら、従来のバレルめっき法では、陰極部の形成された給電棒と、バレル容器の内壁との間に、被めっき物、導電性ダミー、あるいは非導電性ダミーが挟まることが問題となる。特に、非導電性ダミーは、被めっき物、導電性ダミーに比べて寸法が大きいため、挟まりやすい。給電棒と、バレル容器の内壁との間に、非導電性ダミーが挟まると、バレル容器の回転速度が不安定になる。その結果、めっき厚がばらつき、めっき効率が低下する恐れがある。また、給電棒、陰極部、あるいはバレル容器が破損する恐れもある。
【特許文献１】登録実用新案公報第３０４９３５５号
【特許文献２】特開平１０−２１２５９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、このような実状に鑑みてなされ、その目的は、めっき厚のばらつきを小さくすることができ、かつ、めっき効率を向上させることができ、さらには、給電棒、陰極部、およびバレル容器の破損を防止できるバレルめっき装置、およびバレルめっき装置用の陰極装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本願発明に係るバレルめっき装置は、
めっき槽と、
陽極部と、
陰極部と、
自転自在であるバレル容器と、
前記バレル容器を自転させるバレル用駆動部と、
前記陰極部が形成され、前記バレル容器の内部へ差し込まれる複数の給電棒と、
前記複数の給電棒が連結されたリボルバー部と、を有し、
前記複数の給電棒が、互いに所定の間隔をおいて配置され、
前記複数の給電棒のうち少なくともいずれかに対して、所定の閾値以上のトルクを与えることによって、前記複数の給電棒が、前記リボルバー部の回転軸に対して、連動して回転することを特徴とする。
【０００７】
また、本願発明に係るバレルめっき装置用の陰極装置は、
陰極部と、
前記陰極部が形成された複数の給電棒と、
前記複数の給電棒が連結されたリボルバー部と、を有し、
前記複数の給電棒が、互いに所定の間隔をおいて配置され、
前記複数の給電棒のうち少なくともいずれかに対して、所定の閾値以上のトルクを与えることによって、前記複数の給電棒が、前記リボルバー部の回転軸に対して、連動して回転することを特徴とする。
【０００８】
好ましくは、前記バレル容器の自転時において、前記バレル容器の内壁と、前記給電棒との間に、非導電性ダミー（攪拌部材）が挟まった場合に、当該非導電性ダミーが、当該給電棒に対して、前記所定の閾値以上のトルクを与えることを特徴とする。
【０００９】
バレル容器の自転時において、バレル容器の内壁と、給電棒との間に、非導電性ダミーが挟まった場合、非導電性ダミーが、バレル容器の内壁および給電棒に対して、物理的負荷を与える。この負荷は、給電棒に対して、トルクとして作用する。このトルクが所定の閾値以上となると、複数の給電棒が、リボルバー部の回転軸に対して、連動して回転する。その結果、挟まった非導電性ダミーが、バレル容器の内壁と、給電棒との間から解放される。その結果、バレル容器の内壁および給電棒に対する物理的負荷が軽減、解消する。
【００１０】
本願発明に係るバレルめっき装置は、上記の機能を備えることによって、バレル容器の回転速度（自転速度）を安定させることができる。その結果、めっき厚のばらつきを防止し、かつ、めっき効率を安定させることができる。また、非導電性ダミーが、バレル容器の内壁および給電棒に対して与える物理的負荷を即時に軽減、解消することができる。その結果、給電棒、陰極部、およびバレル容器の破損を防止することができる。
【００１１】
好ましくは、前記複数の給電棒に形成された前記陰極部のうち、前記バレル容器の内部に位置する被めっき物および／または導電性ダミーと接触する陰極部のみが、電源を介して前記陽極部と電気的に接続される。
【００１２】
すなわち、複数の陰極部のうち、被めっき物および／または導電性ダミーと接触する陰極部のみが、通電され、被めっき物に対して、めっきを施す。一方、被めっき物および／または導電性ダミーと接触しない陰極部には、通電しない。その結果、陰極部自体の表面にめっきが施されることを防止することができる。
【００１３】
好ましくは、前記複数の給電棒のうち少なくともいずれかに対して、所定の閾値以上のトルクを与えることによって、前記リボルバー部および前記複数の前記給電棒が、前記リボルバー部の回転軸に対して、一体となって回転する。
【００１４】
あるいは、リボルバー部を構成する部位のうち、給電棒と連結する部位のみが、給電棒と一体となって回転し、給電棒と連動しない部位は、リボルバー部の回転軸に対して固定されていても良い。
【００１５】
好ましくは、前記複数の給電棒が、前記リボルバー部の前記回転軸に対して垂直な平面において、前記回転軸を中心とする略同心円上に配置される。さらに好ましくは、前記複数の給電棒が、前記略同心円上において、互いに等間隔をおいて配置される。
【００１６】
複数の給電棒が、リボルバー部の回転軸に対して、連動して回転した場合であっても、上記の配置をとることにより、複数の陰極部のうち少なくともいずれかを、被めっき物、導電性ダミーおよびめっき液と接触させることができる。換言すれば、めっき工程において、複数の陰極部のいずれも、被めっき物、導電性ダミーおよびめっき液と接触しないような事態を回避できる。その結果、めっき厚のばらつきを防止し、かつ、めっき効率を向上させることができる。
【００１７】
好ましくは、前記所定の閾値が、０Ｎ・ｍ超３０Ｎ・ｍ以下である。
【００１８】
好ましくは、前記給電棒が、当該給電棒の長軸回りに自転自在である。
【００１９】
各給電棒が自転自在であることによって、バレル容器内部の攪拌を促進することができる。また、給電棒とバレル容器内壁との間あるいは給電棒間に、非導電性ダミー（あるいは、被めっき物、導電性ダミー）が挟まり難くすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係るバレルめっき装置の概略断面図、
図２は、図１に示すバレルめっき装置の有する陰極装置（給電棒およびリボルバー部）の斜視図（概略図）、
図３は、図２に示す陰極装置を、リボルバー部の回転軸方向から観察した概略図、
図４は、図１に示すバレル容器および陰極装置（給電棒およびリボルバー部）の拡大断面図、
図５Ａは、図４に示す複数の給電棒を、リボルバー部の回転軸に垂直な平面で切断した断面をバレル容器側から観察した模式図、
図５Ｂは、図５Ａに示す複数の給電棒を９０°回転させた模式図、
図６は、本願発明の他の実施形態に係る陰極装置の斜視図（概略図）である。
【００２１】
バレルめっき装置の構成
図１に示すように、本実施形態に係るバレルめっき装置２は、主に、めっき槽４、陽極部６、給電棒８、陰極部１０、リボルバー部１１、リボルバー部１１の回転軸３６、およびバレル容器１２から構成される。陽極部６と、陰極部１０の少なくともいずれかは、電源３に電気的に接続される。
【００２２】
バレル容器１２は、その少なくとも一部が、めっき槽４を満たすめっき液１４に浸漬されるように設置される。バレル容器１２の内部には、被めっき物、導電性ダミー、および非導電性ダミー（攪拌部材）等が投入される（図示省略）。バレル容器１２には、その外部から内部へめっき液１４が浸透する構造を備えている。本実施形態においては、バレル容器１２の側面に、複数の通孔１６（開口部）が貫通している。この通孔１６を通じて、めっき液１４が、めっき槽４と、バレル容器１２の内部との間を移動することができる。通孔１６の代わりとして、バレル容器１２の側面がメッシュ構造を有しても良い。
【００２３】
バレル容器１２、ギア１８、および回転軸２０は連結され、連動する。回転軸２０は、回動自在となるようにフレーム２２に取り付けられている。よって、回転軸２０と連動するバレル容器１２も、自転自在となる。また、ギア１８と噛み合うギア２４、回転軸２６、およびギア２８は連結され、連動する。回転軸２６は、回動自在となるようにフレーム２２に取り付けられている。ギア２８と噛み合うギア３０、およびギア３０と連結、連動する回転軸３２は、モーター３４によって回転させることができる。
【００２４】
このように、バレル容器１２、ギア１８，２４，２８，３０，回転軸２０，２６，３２は、モーター３４によって駆動され、連動する。すなわち、ギア１８，２４，２８，３０，回転軸２０，２６，３２、およびモーター３４は、バレル容器１２を自転させるための駆動機構（以下、バレル用駆動部と記す）を構成する。このバレル用駆動部によって、バレル容器１２を自転させることができる。また、モーター３４と接続したバレル自転制御装置３５によって、バレル容器１２の回転速度（自転速度）を自在に制御することができる。バレルめっき装置２の稼働時には、バレル容器１２が、回転軸２０を中心に自転することによって、バレル容器１２の内部に位置するめっき液１４、被めっき物、導電性ダミーが攪拌される。さらに、バレル容器内の非導電性ダミーが、この攪拌を促進する。
【００２５】
バレル容器１２の形状は、特に限定されないが、通常、回転軸２０を対称軸とする回転対称性のある形状である。特に、バレル容器１２の断面（回転軸２０に対して垂直方向の断面）が、正多角形であるバレル容器は、断面が円形であるバレル容器に比べて、バレル容器１２の内部を攪拌する効果に優れている。また、バレル容器１２の素材としては、特に限定されないが、通常、プラスチック等が用いられる。
【００２６】
リボルバー部１１は、リボルバー部１１の回転軸３６に連結している。回転軸３６は、フレーム３８に連結、固定されている。回転軸３６に垂直な方向におけるリボルバー部１１の断面は、円形である。回転軸３６の中心が、この円の中心を貫くような位置関係で、リボルバー部１１と回転軸３６とが連結されている。
【００２７】
リボルバー部１１の側面（バレル容器１２側）には、複数（本実施形態では４本）の給電棒８が連結、固定されている。よって、リボルバー部１１と、複数の給電棒８との相対的な位置関係は、常に固定されている。また、各給電棒８の先端（バレル容器側）には、それぞれ陰極部１０が形成されている。
【００２８】
給電棒８の形状は、図１に示すような棒状に限定されない。例えば、給電棒８が板状であって良い。または、めっき液中での抵抗を軽減するような流線形状であっても良い。あるいは、各給電棒８は曲がっていても良い。
【００２９】
複数の給電棒８は、バレル容器１２のワーク出入口から、バレル容器１２の内部へ差し込まれる。複数の給電棒８は、その先端に形成された陰極部１０のうち少なくともいずれかが、バレル容器１２の内部に浸透するめっき液１４、被めっき物、および導電性ダミーと接触するように配置される。また、各給電棒８、および各陰極部１０は、バレル容器１２の内壁と接触しないように配置される（図４参照）。
【００３０】
図２に示すように、リボルバー部１１、複数の給電棒８、および複数の陰極部１０から、陰極装置５が構成される。各給電棒８の間には、各給電棒８が互いに接触しないように所定の間隔が設けられる。各給電棒８間の間隔は、被めっき物、導電性ダミー、および非導電性ダミーの寸法に合わせて、適宜設定すればよい。すなわち、給電棒８の間に、被めっき物、導電性ダミーあるいは非導電性ダミーが挟まることを防止できるような間隔を設定することが好ましい。また、各給電棒８は、回転軸３６に対して、角度θだけ傾けられている。角度θとしては、特に限定されない。例えば、各給電棒８と、回転軸３６とが、互いに平行（角度θ＝０°）であってもよい。
【００３１】
図３に示すように、好ましくは、複数の給電棒８が、リボルバー部１１の回転軸３６（図示省略）に対して垂直な平面において、回転軸３６を中心とする略同心円５０の上に配置される。また、好ましくは、各給電棒は、同心円５０上において、回転軸３６を挟んで対称的な位置関係にある。さらに、好ましくは、複数の給電棒８が、略同心円５０の上において、互いに等間隔で設置される。
【００３２】
なお、複数の給電棒８が、リボルバー部１１の回転軸３６を中心とする２重の同心円上に配置されてもよい（図示省略）。また、同心円５０の上に配置される給電棒８の数は、特に限定されない。
【００３３】
本実施形態においては、複数の給電棒８のうち少なくともいずれかに対して、所定の閾値以上のトルクを与えると、複数の給電棒８およびリボルバー部１１が、リボルバー部１１の回転軸３６に対して、一体となって（連動して）回転する。なお、この回転に際して、回転軸３６は、常にフレーム３８（図１）に固定されている。よって、リボルバー部１１は、回転軸３６に対して、独立して回転する。
【００３４】
図４に示すように、バレル容器１２が回転方向Ｒ１に自転する際に、非導電性ダミー４２が、バレル容器１２の内壁と給電棒８ａとの間に挟まることがある。このとき、バレル容器１２の自転によって、非導電性ダミー４２が、給電棒８ａに押し付けられる。その結果、非導電性ダミー４２が、給電棒８ａに対して、物理的負荷（トルク）を与える。このトルクが、所定の閾値以上になると、即時に、複数の給電棒８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄ、およびリボルバー部１１が、リボルバー部１１の回転軸３６に対して、一体となって回転方向Ｒ２に回転する。その結果、非導電性ダミー４２が、バレル容器１２の内壁と給電棒８ａとの間から解放される。よって、非導電性ダミー４２が、バレル容器１２の内壁および給電棒８ａに対して与える物理的負荷も、即時に軽減、解消される。
【００３５】
このように、バレル容器１２の内壁と給電棒８ａとの間から、挟まった非導電性ダミー４２を即時に解放させることによって、バレル容器１２の回転速度（自転速度）を安定させることができる。その結果、めっき厚のばらつきを防止し、かつ、めっき効率を安定させることができる。また、非導電性ダミー４２が、バレル容器１２の内壁および給電棒８ａに対して与える物理的負荷を、即時に軽減、解消することができるため、給電棒８ａが折れ曲がることを防止し、陰極部１０ａ、またはバレル容器１２の内壁の破損を防止できる。
【００３６】
なお、非導電性ダミー４２が給電棒８ａに対して及ぼす物理的負荷（トルク）が、所定の閾値未満である場合、複数の給電棒８ａ〜ｄおよびリボルバー部１１は回転しない。
【００３７】
上述したトルクの閾値は、特に限定されないが、好ましくは、０Ｎ・ｍ超３０Ｎ・ｍ以下、より好ましくは０Ｎ・ｍ超１０Ｎ・ｍ以下程度である。閾値をこの範囲内とすることによって、めっき厚のばらつきを防止し、かつ、めっき効率を安定させることができる。また、給電棒８ａ、陰極部１０ａ、およびバレル容器１２の破損を防止することができる。なお、トルクの閾値は、バレル容器１２の回転速度等の諸条件に合わせて、適宜設定すればよい。なお、上述したリボルバー部１１の動作を実現するための具体的機構としては、特に限定されないが、ラチェット等が例示される。
【００３８】
以下では、図４、図５Ａ、および図５Ｂを用いて、給電棒８ａ〜８ｄの回転について詳説する。図４と、図５Ａとは、給電棒８ａ〜８ｄの位置が対応している。本実施形態においては、図５Ａに示すように、非導電性ダミー４２が、給電棒８ａに対して、力ｆを及ぼし、トルクを与える。このトルクが閾値以上となると、給電棒８ａ〜８ｄは、それぞれ回転角度ω（９０°）だけ回転し、図５Ｂに示す定位置へそれぞれ移動した後に停止する。その結果、図４に示す非導電性ダミー４２は、バレル容器１２の内壁と、給電棒８ａとの間から解放される。よって、非導電性ダミー４２が、バレル容器１２の内壁および給電棒８ａに対して与える物理的負荷が軽減、解消する。
【００３９】
なお、図５Ａの回転角度ωは９０°に限定されない。４つの給電棒８ａ〜８ｄは、そのいずれかに対して所定の閾値以上のトルクを与えると、（３６０×ｎ／４）°だけ回転した後に定位置にて停止する（ｎは、任意の正の整数）。換言すれば、バレル容器１２の内壁と、給電棒８ａとの間から、非導電性ダミー４２が解放されるまでに、給電棒８ａ〜８ｄは、（３６０×ｎ／４）°だけ回転した後に停止する。すなわち、給電棒８ａ〜８ｄの回転角度ωは、不連続となる。例えば、ｍ個（ｍは、任意の２以上の整数）の給電棒が、同心円５０上に等間隔に配置される場合、各給電棒の回転角度ωは、（３６０×ｎ／ｍ）°となる。
【００４０】
本実施形態においては、図４に示すように、複数の陰極部１０ａ〜１０ｄのうち、陰極部１０ｄのみが、めっき液１４中の被めっき物５０および／または導電性ダミー５２と接触する位置にある。好ましくは、バレル容器１２の内部に位置する被めっき物５０および／または導電性ダミー５２と接触する陰極部１０ｄのみが、電源３（図１）を介して陽極部６（図１）と電気的に接続される。すなわち、図４の陰極部１０ｄのみが、通電され、被めっき物５０に対して、めっきを施すことができる。
【００４１】
一方、図４の陰極部１０ａは、めっき液１４中に浸漬されてはいるが、被めっき物５０および導電性ダミー５２と接触していない。また、陰極部１０ｂ，１０ｃは、めっき液１４中に浸漬されていない。これらの陰極部１０ａ，１０ｂ，１０ｃは、通電されない。その結果、陰極部１０ａ，１０ｂ，１０ｃの表面にめっきが形成されることを防止できる。
【００４２】
なお、陰極部１０ｄのみが、常に通電されるわけではない。本実施形態においては、図５Ａ，５Ｂに示すように、回転軸３６を原点とするＸ−Ｙ座標系において、Ｘ軸方向に位置する給電棒に形成された陰極部のみが、被めっき物および／または導電性ダミーと接触し、かつ、陽極と電気的に接続される。換言すれば、Ｘ軸方向に位置する給電棒に形成された陰極部のみが、被めっき物にめっきを施すことができる。
【００４３】
図５Ａでは、給電棒８ｄがＸ軸方向に位置する。よって、給電棒８ｄに形成された陰極部１０ｄ（図４）のみが、通電され、被めっき物５０にめっきを施すことができる。ここで、図５Ａの給電棒８ａ〜８ｄを、回転角度ω（９０°）だけ回転させると、図５Ｂに示すように、給電棒８ｄに代わって、給電棒８ａが、Ｘ軸方向に位置する。よって、図５Ｂの状態では、給電棒８ａに形成された陰極部１０ａのみが、通電され、被めっき物にめっきを施すことができる。
【００４４】
なお、給電棒８ａ〜８ｄが、図５Ｂの状態から更に回転方向Ｒ２へ９０°回転すると、陰極部１０ｂのみに通電され、更に回転方向Ｒ２へ９０°回転すると、陰極部１０ｃのみに通電される。
【００４５】
なお、図４の被めっき物５０および導電性ダミー５２と接触する陰極部のみに、自動的に通電させる機構は、上記のものに限定されない。また、被めっき物５０および導電性ダミー５２と接触する陰極部が複数であっても良い。この場合、被めっき物５０および導電性ダミー５２と接触する複数の陰極部が通電される。
【００４６】
本実施形態においては、図５Ａ，５Ｂに示すように、給電棒８ａ〜８ｄは、回転軸３６を中心とする略同心円５０の上に、等間隔で設置される。さらに、各給電棒は、同心円５０上において、回転軸３６を挟んで対称的な位置関係にある。
【００４７】
その結果、給電棒８ａ〜８ｄが、回転軸３６に対して、連動して回転しても、陰極部１０ａ〜１０ｄのうち少なくともいずれかを、図４に示すように、被めっき物５０および／または導電性ダミー５２と接触させることができる。換言すれば、めっき工程において、複数の陰極部１０ａ〜１０ｄのいずれも、被めっき物５０、および導電性ダミー５２と接触しないような事態を回避できる。その結果、めっき厚のばらつきを防止し、かつ、めっき効率を向上させることができる。
【００４８】
バレルめっき工程
次に、本実施形態に係るバレルめっき装置２（図１）を用いためっき工程について概説する。一具体例として、積層セラミックコンデンサの製造について説明する。
【００４９】
まず、チタン酸バリウム等の誘電体粒子を含むペーストから、グリーンシートを形成する。次に、グリーンシートの表面に、Ｎｉ等を含む内部電極ペーストを印刷する。次に、内部電極ペーストが印刷されたグリーンシートを複数積層し、積層方向の両端面に保護用グリーンシートを積層して、積層体を得る。次に、この積層体を所定の寸法に切断して、グリーンチップを得る。このグリーンチップに対して、脱バインダ処理、焼成処理、および熱処理を行って、コンデンサ素子本体が得られる。
【００５０】
次に、コンデンサ素子本体の長手方向の両端部に、外部電極を形成する。各外部電極は、通常、下地層、中間めっき層、および外側めっき層の３層から構成される。下地層は、コンデンサ素子本体の両端部に、電極ペースト膜（Ａｇ，Ｃｕ等）を塗布し、これに焼き付け処理を行うことで形成される。中間めっき層は、ＮｉまたはＮｉ合金膜等で構成され、無電解めっき法により形成される。外側めっき層は、電解めっき法により形成され、ＳｎあるいはＳｎ合金のめっき層で構成される。
【００５１】
以下では、本実施形態に係るバレルめっき装置２を用いて、外側めっき層を形成する工程について説明する。
【００５２】
まず、下地層および中間めっき層が既に形成されたコンデンサ素子本体（被めっき物５０）と、導電性ダミー５２と、非導電性ダミー４２とを、バレル容器１２のワーク出入口から、バレル容器１２の内部へ投入する（図４）。なお、投入する非導電性ダミー４２の数量は、特に限定されず、バレル容器１２の容量、被めっき物、導電性ダミーの数量等に合わせて、適宜選択すれば良い。
【００５３】
コンデンサ素子本体５０（被めっき物５０）の寸法は、特に限定されないが、通常、縦（０．６〜５．６ｍｍ）×横（０．３〜５．０ｍｍ）×厚み（０．１〜１．９ｍｍ）程度である。
【００５４】
導電性ダミー５２としては、特に限定されないが、Ｆｅボール、Ｎｉボール等（球状の金属粒子）を用いる。導電性ダミー５２の球径は、特に限定されないが、好ましくは、０．３〜３．０ｍｍ程度である。
【００５５】
非導電性ダミー４２の形状としては、特に限定されないが、通常、縦（１０〜３０ｍｍ）×横（１０〜３０ｍｍ）×  厚み（１０〜３０ｍｍ）程度の多面体である。非導電性ダミー４２の材質としては、特に限定されないが、好ましくは、ダミー外部は、主に、硬化ポリ塩化ビニル、ポリプロピレン等で構成され、ダミー内部は、主に、鉛等の金属で構成される。
【００５６】
上記の寸法を有するコンデンサ素子本体５０および導電性ダミー５２を用いる場合、給電棒間の間隔ｄ（図５Ｂ）は、特に限定されないが、好ましくは、５０〜７０ｍｍである。
【００５７】
次に、給電棒８ａ〜８ｄを、図４に示すように、バレル容器１２のワーク出入口から、バレル容器１２の内部へ差し込む。このとき、給電棒８ａ〜８ｄのうち少なくともいずれか（図４では給電棒８ｄ）は、バレル容器内部に浸透しためっき液１４、コンデンサ素子本体５０、および導電性ダミー５２と、常に接触する位置に配置される。また、給電棒８ａ〜８ｄおよび陰極部１０ａ〜１０ｄは、バレル容器１２の内壁と接触しないように配置される。なお、めっき液１４の具体的な組成は、外側めっき層の成分を含むものであれば良く、特に限定されない。
【００５８】
次に、バレル用駆動部によって、バレル容器１２を自転させる。次に、陽極部６（図１）、電源３（図１）、および陰極部１０ｄ（図４）が互いに接続される。その結果、コンデンサ素子本体５０の両端部に、めっき膜（外側めっき層）が形成される。
【００５９】
本実施形態においては、図４に示すように、バレル容器１２の自転時において、非導電性ダミー４２が、バレル容器１２の内壁および給電棒８ａとの間に挟まれることがある。このとき、非導電性ダミー４２は、バレル容器１２の内壁および給電棒８ｄに対して、物理的負荷を与える。この負荷は、給電棒８ｄに対してトルクとして作用する。トルクが所定の閾値以上となると、即時に、複数の給電棒８ａ〜８ｄが、リボルバー部１１の回転軸３６に対して、連動して回転する。その結果、非導電性ダミー４２が、バレル容器１２の内壁と、給電棒８ｄとの間から、即時に解放される。よって、非導電性ダミー４２が、バレル容器１２の内壁および給電棒８ｄに対して及ぼす物理的負荷が、即時に軽減、解消される。
【００６０】
本実施形態に係るバレルめっき装置は、上記の機能を備えることによって、バレル容器１２の回転速度（自転速度）を安定させることができる。その結果、めっき厚のばらつきを防止し、かつ、めっき効率を安定させることができる。また、給各電棒、各陰極部、およびバレル容器１２の内壁の破損を防止することができる。
【００６１】
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々に改変することができる。
【００６２】
例えば、図６に示す陰極装置５のように、リボルバー部１１を構成する部位のうち、給電棒８ａ〜８ｄと連結する部位（リング６２）のみが、給電棒８ａ〜８ｄと一体となって回転しても良い。一方、リボルバー部１１を構成する部位のうち、給電棒８ａ〜８ｄと連動しない部位（リング受け部６４）は、リボルバー部１１の回転軸３６に対して固定されていても良い。この場合も、上述の実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
【００６３】
また、図１〜６に示す各給電棒が、当該給電棒の長軸回りに自転自在であっても良い。この場合も、上述の実施形態と同様の作用効果を奏することができる。各給電棒が自転自在であることによって、バレル容器内部の攪拌を促進することができる。また、各給電棒とバレル容器の内壁との間、あるいは各給電棒間に、非導電性ダミー、被めっき物、および導電性ダミーが挟まり難くなる。
【００６４】
本発明のバレルめっき装置は、積層セラミックコンデンサの他に、チップインダクタ、チップバリスタ等の電子部品の製造に適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】図１は  本発明の一実施形態に係るバレルめっき装置の概略断面図である。
【図２】図２は、図１に示すバレルめっき装置の有する陰極装置（給電棒およびリボルバー部）の斜視図（概略図）である。
【図３】図２に示す陰極装置を、リボルバー部の回転軸方向から観察した概略図である。
【図４】図４は、図１に示すバレル容器および陰極装置（給電棒およびリボルバー部）の拡大断面図である。
【図５】図５Ａは、図４に示す複数の給電棒を、リボルバー部の回転軸に垂直な平面で切断した断面をバレル容器側から観察した模式図であり、図５Ｂは、図５Ａに示す複数の給電棒を９０°回転させた模式図である。
【図６】図６は、本願発明の他の実施形態に係る陰極装置の斜視図（概略図）である。
【符号の説明】
【００６６】
２…  バレルめっき装置
４…  めっき槽
５…  陰極装置
６…  陽極部
８，８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄ…  給電棒
１０…  陰極部
１１…  リボルバー部
１２…  バレル容器
３６…  リボルバー部の回転軸
４２…  非導電性ダミー
【図１】
2008001970.tif 000003
【図２】
2008001970.tif 000004
【図３】
2008001970.tif 000005
【図４】
2008001970.tif 000006
【図５】
2008001970.tif 000007
【図６】
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