(57)【要約】【課題】  位置決めの必要な精度を保証する際に連続的に調整可能な運動パラメータによるメニュー支援された制御を可能として、物体を位置決めする、特に試験器に適用する運動装置と位置決め方法を提供すること。【解決手段】  この発明は、運動装置の駆動手段が制御される、物体を位置決めする装置と方法に関する。このために、視覚的ジョイステッキが作動されて、それにより少なくとも直線状に運動装置の制御ユニットのデイスプレイによって移動可能なアクチュエータは駆動手段により実現できる運動方向が記号的に示される位置へ移動され、物体の運動用の駆動手段は示された運動方向にアクチュエータの切換え機能によって始動される。【選択図】    図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
制御装置が駆動手段により実現できる少なくとも一つの運動方向の記号化表示を備えるデイスプレイと記号化表示にて少なくとも直線的に移動できるアクチュエータとを包含し、そのアクチュエータにより半導体基板或いは以下に一般に物体と呼ばれる検査先端の運動用の駆動が表示された運動方向に開始できて、第一駆動手段と運動装置の制御装置により検査先端に対して半導体基板を位置決めする運動装置において、物体を移動させる駆動手段の速度が記号化表示において基準点からのアクチュエータの距離によって運動方向に制御できることを特徴とする運動装置。
【請求項２】
駆動手段により実現できる二つの運動方向が記号化表示で示される座標システムを形成し、位置決め運動の出発点が第一箇所として、その終了点が第二箇所として座標システムに示され、両運動方向から生じる物体の位置決め運動が座標システムにおいて両点を結ぶ直線によって形成される方向によって制御されることを特徴とする請求項１に記載の運動装置。
【請求項３】
運動装置は別の駆動手段を包含し、記号化表示が別の駆動手段に切換えでき、別の駆動手段の速度及び位置決め方向又はそのいずれか一方がアクチュエータと記号化表示によって制御できることを特徴とする請求項１或いは２に記載の運動装置。
【請求項４】
運動装置は別の駆動手段を包含し、制御ユニットのデイスプレイが別の記号化表示のアクチュエータによって別の駆動手段の速度及び位置決め方向又はそのいずれか一方を制御する別の記号化表示を包含することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかの一項に記載の運動装置。
【請求項５】
運動装置によって実現された運動が記号化表示に関連したデイスプレイに示され得ることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかの一項に記載の運動装置。
【請求項６】
デイスプレイ上には一つの運動装置の少なくとも一つの別の機能の記号が示されていて、その運動装置がアクチュエータにより選択できて操作できることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかの一項に記載の運動装置。
【請求項７】
運動装置に少なくとも一つ別の運動装置が付属されていて、制御装置が別の運動装置と接続されて、選択的に両運動装置の一方に適用できることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかの一項に記載の運動装置。
【請求項８】
半導体基板を試験する試験器において、半導体基板を保持する保持装置と、試験信号及び試験触れ作用又はいずれか一方により物体の作用に用いられる試験先端を保持する別の保持装置と、試験先端に対して物体を位置決めする請求項１乃至６のいずれかの一項に記載の運動装置とを備えることを特徴とする試験器。
【請求項９】
半導体基板を試験する試験器において、半導体基板を保持する保持装置と、試験信号及び試験触れ作用又はいずれか一方により物体の作用に用いられる試験先端を保持する別の保持装置と、試験先端に対して物体を位置決めする請求項７に記載の第一運動装置と、第二運動装置であって、第一運動装置の制御装置が第二運動装置と接続されて選択的に両運動装置のいずれか一方に適用できるものとを備えることを特徴とする試験器。
【請求項１０】
運動装置の制御ユニットのデイスプレイ上に少なくとも直線状に移動できるアクチュエータがデイスプレイ上の或る箇所に移動されるので、一方の運動装置の駆動手段が制御されて、半導体基板或いは、以下で一般に物体として表示される検査先端の運動用の駆動手段が示された運動方向にアクチュエータの切り換え機能によって始動されて、検査先端に対して物体を位置決めする方法において、デイスプレイ上に駆動手段により実現できる運動装置の記号化表示が行われ、アクチュエータが記号化表示において第一箇所から第二箇所まで移動され、両箇所が決定され、前記切換え機能が記号化表示における第二箇所で実施されて、それにより制御信号が発生され、駆動手段に伝送され、それにより駆動手段が両箇所の互いの間隔に比例するような速度により駆動されることを特徴とする位置決め方法。
【請求項１１】
アクチュエータが駆動手段により実現できる二つの運動方向によって形成されている座標システムにおいて第一箇所から第二箇所まで移動され、アクチュエータの第二箇所への切換え機能の実施により速度の制御の他に両運動方向への駆動手段の制御を奏するような制御信号が発生され、駆動手段に伝送されので、物体のその運動方向から生じる位置決め運動の方向が座標システムにおいて両箇所を結ぶ直線によって形成されている方向と一致することを特徴とする請求項１０に記載の位置決め方法。
【請求項１２】
物体の現実の運動が記号化表示に関連したデイスプレイ上に示されることを特徴とする請求項１０或いは１１に記載の位置決め方法。
【請求項１３】
切換えスイッチの作動によって記号化表示におけるアクチュエータの場所変更による制御が運動装置の別の駆動手段に適用されることを特徴とする請求項１０乃至１２のいずれか一項に記載の位置決め方法。
【請求項１４】
半導体基板を試験する方法において、請求項１０乃至１２ののいずれかの一項に記載の位置決め方法によって、載置面によって形成される平面において第一保持装置の載置面に保持された半導体基板を位置決めし、別の保持装置に保持されている検査先端に対する位置決めが行われ、検査先端と半導体基板の間の送り運動によって検査先端により半導体基板に接触させ、半導体基板を試験する工程から成ることを特徴とする半導体基板試験方法。
【請求項１５】
切換えスイッチの作動によって第一位置決め方法の制御が第二位置決め方法に適用されるので、別の位置決め方法において半導体基板を位置決めするのを補って、検査先端が載置面と平行に位置する平面で半導体基板に対して位置決めされることを特徴とする請求項１４に記載の半導体基板試験方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、メニューに支援されて運動装置の駆動手段が制御されている半導体基板を位置決めする方法に関する。そのために、運動装置の制御ユニットのデイスプレイのメニュー面上を少なくとも直線状に移動できるアクチュエータは、駆動手段により実現できる運動方向が記号的に表示される位置に移動され、半導体基板或いは以下に一般に物体として表現される検査先端の運動用の駆動が表示された運動方向に開始できる。この発明は同様に位置決め方法を実施する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の運動装置は二つの物体を互いに相対的に位置決めするために異なった用途に使用される。例えば、一般に試験器として知られている検査ステーションにおける半導体基板の検査のために、接触作用させるか或いは測定信号を供給させる検査先端或いは半導体基板に対する観察のための光学装置を位置決めすることが必要である。この際に、両物体の一方のみ或いは両物体の運動が必要である。運動自体は個々に送るべきの始動或いは同様に位置順序の始動である。この列挙はこの発明に関連する運動装置を例として示していて、決して制限するものではない。
【０００３】
試験器には、検査すべき半導体基板が第一保持装置、即ちチャックに配置されている。このチャックが第一運動装置と結合されている。そのような運動装置はしばしばＸ−Ｙ−クロステーブルを包含し、そのクロステーブルは半導体仕上げにおいて常に上昇するスカラー量に基づいて必要であるような高い精度によってチャックとそれに伴う検査物体の位置決めを可能とする。
【０００４】
検査先端は別の運動装置と結合されている別の保持装置によって保持されている。この運動装置は僅かな自由度を有するか、或いは第一運動装置としてより小さい間隔を考慮するようにのみ用いられる。しばしば位置決めが二つの工程でも行われ、その大間かな位置決めと精密な位置決めがそれぞれに両運動装置によって或いは両方を補足して共通に実施できる。
【０００５】
位置決めと同様に検査は、しばしば同様に位置決めされなければならない光学装置によって行われる。光学装置の位置決めも、この発明による方法とこの発明による装置によって選択的に或いは検査物体及び検査先端又はいずれか一方を位置決めするのを補足して  実施できる。
【０００６】
両保持装置並びに光学装置が三つの運動方向に対して操縦できる間に、さらに、多数の検査先端を同時にしばしば検査物体の非常に小さい接触箇所と接触させるために、検査物体と試験先端の間の角度整合が行われる。
【０００７】
物体の位置決めするために種々のモータ、例えばステップモータ或いは直流モータが使用され、それらモータは位置の始動のために重要な成分、速度と解像に関して二つの位置の間で相違する。個々の運動の実施のために使用されたモータは通常にはマイクロプロセッサーを備える制御部を有する。その操作は制御ユニット、大抵はコンピュータによって行われ、しばしばメニューに支援されている。
【０００８】
例えば、コンピュータの操作の際に、表示に示された個々の機能スイッチがカーソル或いは他の補助手段の一つにより選択され且つスイッチを入れられるので、メニュー制御された機能の選択と作動をカーソル、トラックボール、タッチスクリーン或いはジョイステックによって行うことは一般に知られている。この場合には、物体を位置決めする運動装置の制御のために、運動方向の他に、速度或いは解像が変更できないか、或いは機能スイッチの選択によって直接工程でしか変更できない問題が生じる。
【特許文献１】特開２００５−２１４９１５号公報
【特許文献２】特開２００５−１７２４６４号公報
【特許文献３】特開２００５−１０３７４１号公報
【特許文献４】特開２００４−３１３４９２号公報
【特許文献５】特開２０００−２９３６９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
それ故に、この発明の課題は、位置決めの必要な精度を保証する際に連続的に調整可能な運動パラメータによるメニュー支援された制御を可能として、物体を位置決めする、特に試験器に適用する運動装置と位置決め方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
記載された運動装置は、運動方向並びに運動の速度が連続的に且つ直接にメニューによって制御され得る物体を位置決めする運動装置の完全にメニュー制御された操作を可能とする。
【００１１】
このメニュー制御された操作は、複数の並列に或いは直列に互いに配置された運動装置に適用できるので、複数の運動装置によって実現する複雑な運動経過がメニュー制御され、方向と速度のために連続的に制御できる。
【００１２】
メニュー案内された速度制御は、残っている間隔に依存して、且つ各位置決め過程用の制御工程により克服すべき間隔の解像に依存して、速度を変更することを可能とする。
【００１３】
現実の状態や最終位置に対して残っている間隔における運動の速度や方向の最適化された適用のために、運動方向と速度の記号化表示が最終位置に関して物体の現実の位置の表示と組合せられ得る。この形式では、走行運動中に修正を行うか、或いは直線状運動経過以外を実施することが可能である。
【００１４】
次に、チャックの位置決めに基づいて位置決めする装置と方法が示されるべきである。別の一つの運動装置或いは前記別の一つの用途の場合における運動装置の使用がアナログ式に行われる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
図１には、この発明による運動装置の制御ユニットのメニューが示されている。メニューはアクチュエータ１としての針によりコンピュータマウス（図示されていない）或いはトラックボール或いは同様なものによるコンピュータの操作が一般に知られているような形式に操作される。次に、より良い概略の説明がコンピュータマウスによるアクチュエータ１の操作に基づいて記載される。
【００１６】
メニューは切換えスイッチ８を包含し、そのスイッチにより制御が制御ユニットによって操作すべき試験器の別の運動装置で切換えできて適用できる。選択は図１によるメニューにおいてプルダウン（引き下げ）メニューによって行われる。択一的構成において選択は複数のスイッチの多数によって行われ、そのスイッチの作動、例えばコンピュータマウスによって制御ユニットが選択された運動装置と接続されている。
【００１７】
一方の運動装置から他方の運動装置への切換えが行われるならば、以下に記載された機能は同じ形式で実施され、この際には、示された機能スイッチ２−６の各々が各選択すべき運動装置に適用できないことを可能とする。例えば、角度整合或いはＺ方向への運動或いはプログラムされた運動経過の作動が特定運動装置にしか実施できない。図１による表示には、切換えスイッチ８によって試験器のチャックの運動装置は、次に記載された機能スイッチ２−６がこの運動装置に適用されて描かれるように選択される。
【００１８】
メニューは、さらに、図１において矩形記号によって図示されている多数の機能スイッチ２−６を包含し、その矩形記号は機能スイッチ２−６により作動できる機能のピクトグラム（絵文字）化された表示を示す。これら機能スイッチ２−６はアクチュエータ１によって始動され、アクチュエータ１がこの機能スイッチに位置決めされている間にマウスクリックによって操作される。異なった機能スイッチ２−６の操作により運動装置により実現できる異なった機能が作動される。
【００１９】
第一機能スイッチ２は視覚的ジョイステッキ（図２、図３）を作動し、それによりチャックの運動装置の位置決め方向と位置決め速度が制御でき、これらはここでは切換えスイッチ８によって例として選択されていた。作動は再びマウスクリックによって行われ、それに関して図２或いは図３による表示が示されている。図２或いは図３による視覚的ジョイステッキが示されるか否かは、例えばメニューの別のスイッチによる予備選択によって行われ得る。
【００２０】
別の機能スイッチが図示された実施例ではチャック上の検査物体と検査先端の間のＺ方向への送り３並びに反対の方向への互いの離間を作動する。スイッチによってチャックのＺ駆動が作動され、スイッチがコンピュータマウスによって押されたままである限り、或いは選択的に第一スイッチ過程から第二スイッチ過程までの場合にＺ駆動が作動される。他の機能は制御すべき運動装置の配置に依存して行われ得る。
【００２１】
別の構成では、この機能スイッチ３のスイッチ入れによって一運動用の視覚的ジョイステッキがＺ方向のみに作動できるので、視覚的ジョイステッキ上の表示の切換えが図２或いは図３による記号化された方向表示と速度表示によって行われるか、或いはこの適切な修正が行われる。以下に記載されるように、図２或いは図３による視覚的ジョイステッキでは、表示が軸線により図示された両方向の一方に関連した特に垂直方向並びに送り用の速度である。
【００２２】
別の機能スイッチ４は検査先端に対するチャックの角度整合に用いられる。Ｚ方向への送り用の機能スイッチ３に関して既に記載されるように、機能スイッチ４のスイッチ入れによってチャックの回転装置の作動はスイッチが押されたままである限り、或いはスイッチが新たに押されるまで行われる。
【００２３】
Ｚ方向へのこの運動或いは回転運動のために、しばしば克服すべき間隔或いは角度が知られているので、この運動のために、或いは同様に他の公知の運動のために、経過が制御ユニットのメモリーに表示され、これはプログラムされた運動経過用の適切な機能スイッチ５のスイッチ入れによって実施され得る。この運動経過は、例えば狙った公知位置を始動するために或いは走査を行うために、Ｘ−Ｙ−平面でも行われ得るか、或いは複数の個別工程から構成される。Ｚ方向への公知の運動は、チャック或いは選択的に検査先端の運動による検査物体と検査先端の間の接触の形成である。そのようなプログラムでは、切換えスイッチの切換え過程も装備され得る。
【００２４】
個々の速度或いはすべての速度には、別の実施態様では、ある要因が適用できる、というのは、速度要因６用の機能スイッチによってマルチプリケータが選択されて、これが制御ユニットによって、例えば駆動手段の始動用の強化要因によって変換されるからである。速度要因は図示された実施態様では、スライドスイッチによって段階的に或いは他の機能スイッチによって不連続的に調整され得る。
【００２５】
補足的にメモリーがチャックの基準点の位置７の表示、例えば試験器に適用されたデカルト座標システムにおける載置面の中心を包含する。
【００２６】
図２と３では、視覚的ジョイステッキの機能態様が詳細に説明されている。制御ユニットのデイスプレイは、視覚的ジョイステッキが作動されるとすぐにか、或いはできれば、上記のように、Ｚ運動がそのために設けられた機能スイッチ３によって実施されるときに、運動装置により実現できる一つ或いは二つの運動方向の記号化された表示に交換される。図２と３による記号化された表示の作動はアクチュエータ１により視覚的ジョイステッキの機能スイッチ２への切換え機能によって行われる。
【００２７】
図２には、チャック駆動手段により実現できる二つの運動方向、Ｘ−方向とＹ−方向が図示されている。両方向は共通に座標原点１２を備える座標システムを定義する。Ｘ−方向とＹ−方向がＸ−Ｙ−クロステーブルにより移行できる両運動方向を表示する間に、座標原点１２がこの運動の始動点を示す。座標原点１２は運動工程の関連のある経過の終了後の運動を遠隔制御される。この形式では、座標原点１２が各運動経過或いはその部分的工程の開始時にいつもチャックの現実の位置を示す。検査すべき半導体基板の現実の表示は図２ではＸ−軸線とＹ−軸線に対して直角ではない、即ち両運動方向に対して整合されていない。なお、現実の表示に基づいて位置決めが行われ得る。選択的に、表示から確認すべき角度に基づいて角度整合が図１のメニューの適切な機能スイッチによって実施できる。
【００２８】
座標システムでは、アクチュエータ１が視覚的ジョイステッキで移動するように、記入された白い点として図示されている。視覚的ジョイステッキは駆動手段により比較可能に物理的ジョイステッキに一緒に作用する。このために、視覚的ジョイステッキのアクチュエータ運動或いは部分運動の最終点としてそれぞれに調整された箇所とそれぞれの箇所にアクチュエータ１により実施された切換え機能がチャック駆動手段の制御に適した制御信号の発生に用いられる。
【００２９】
チャックの表面によって定義されたＸ−Ｙ−平面内部でチャック位置を始動するために、ジョイステッキが座標システムにおいて第一箇所から第二箇所へのＸ−とＹ−の運動方向の記号化表示１０に示されている。より良い表示のために、図２には、視覚的ジョイステッキの運動を記号化させるベクトル１３が示されている。これは構成では表示の一部であって、例えばアクチュエータ１がとどまれる方向を示すための表示である。
【００３０】
第一箇所、即ちベクトル１３の始動点が位置決め経過の出発点であり、終了点が複雑な位置決め経過の先行した一部部分である間に、第二箇所、即ち即ちベクトル１３の終了点が位置決め経過の終了点と一致し、公知の調整すべき位置に基づいて検査物体にプログラムできるか、或いは検査物体の縮尺による現実の画像（図２）或いは概略的画像（図３）に基づいて記号化表示で光学的に確認すべきである。記号化表示における検査物体の現実の画像或いは概略的画像によって、或いは少なくとも記号化表示への幾何学的関連によって物体の運動が走行して示される。この形式では、多数の個々の運動から構成される進行する運動を簡単に実現すべきである。
【００３１】
記号化表示１０におけるアクチュエータ１の運動後に、切換え機能によって、実施例では、例えばコンピュータマウスにより一般に実現できる切換え機能によって第二箇所に実施される。それにより制御ユニットには、制御信号が発生され、チャックの駆動手段に伝送される。
【００３２】
アクチュエータ１の運動に基づいて、駆動手段がＸ−方向とＹ−方向に制御されるので、Ｘ−方向とＹ−方向における個別運動がある程度に混合されて、ベクトル１３の方向に一致する発生位置決め運動が与えられる。
【００３３】
Ｘ−Ｙ−クロステーブルとデカルト座標システムでは、座標システムの基準点が進行して第一箇所とそれで新たな運動の出発点と一致される限り、両運動方向における運動が簡単な形式でＸ−とＹ−座標から確認すべきである。この場合には、検査物体が座標システムの下で、座標システムの検査物体の画像形成では観察位置の下であちらへ移動される。
【００３４】
記号化表示１０におけるアクチュエータ１の運動によって、駆動手段により伝送された制御信号により方向の他に運動の速度が制御される。速度の尺度として、ベクトル１３の値、即ちその長さが用いられる。この尺度は駆動手段の定義された速度に適用される。各別の運動用の距離の値を駆動速度用の要因として使用できるために、運動の座標システムがいつも遠隔制御されるので、運動の終了点が次の運動用の座標原点１２になる。
【００３５】
運動前に或いは二つの部分工程の間では、速度の確認が速度要因用の図１に図示されている機能機能スイッチ６によって別の要因が基礎とされ得る。より大きな間隔の克服のために或いは大間かな位置決めのためには、この要因が１より大きくでき、運動の減速のために、例えば精密位置決めのためには、この要因が１より小さくできる。
【００３６】
別の構成では、選択的に、ベクトル１３の値と速度の間の比例する関係の代わり、両値が自由選択可能な機能によって互いに接続すべきであることが行われ得る。対数を用いる機能の担保も可能である。ベクトル値と速度の間のこの関係は制御ユニットにおいてプログラムできる。
【００３７】
比較可能な形式では、視覚的ジョイステッキが運動の実施のためにも、一方向のみに、例えば上記のようにＺ方向に利用できる。この場合には、方向は座標原点１２からのアクチュエータ１の移動によってＺ方向の記号化表示１０の半分に調整される。アクチュエータ１が記号化表示１０の上半分に示されるならば、正のＺ方向の運動が行われる。ベクトル１３が下半分に示され、チャックが負のＺ方向に移動する。同様にそれは制御ユニットの適切なプログラムによってＸ−方向或いはＹ−方向に適用できる。
【００３８】
図２に図示されるように、検査物体の現実の背景前の運動方向の記号化表示１０のために、例えばＺ方向における運動の際に異なった現実の絵を準備することが必要であり、機能スイッチ２−６の操作によって交換され得る。
【００３９】
さらに、視覚的ジョイステッキの記載の機能は、制御ユニットとそれで視覚的ジョイステッキと接続された他の駆動手段に、即ち運動方向と実現可能な速度に適用できる。例えば、座標システムが極座標システムとして定義されていて、速度が半径の変更によって、回転すべき角度が角度変更によって先行するアクチュエータ位置に対するアクチュエータの場所の調整後に制御されるときに、角度整合の値と速度が視覚的ジョイステッキによって制御できる。けれども、この場合には、座標原点は、角度変更を決定できるように、上述のように運動を遠隔制御されない。
【００４０】
図４は概略的に半導体基板を試験する試験器を示す。
【００４１】
試験器は半導体基板２７が載置できるチャック２５を有する。チャック２５はチャック運動装置２６を包含し、この運動装置によりチャック２５がＸ−方向、Ｙ−方向とＺ−方向に移動させ、Ｚ−軸線を中心にある角度範囲に回転できる。運動装置２６を含めるチャック２５が下側と横にケーシング壁２２により包囲される。
【００４２】
チャック２５と同時に半導体基板に対向位置してゾンデ保持板２４が配置されていて、ケーシング壁２２を上方へ切り立たせる。ゾンデ保持板２４には、ゾンデ保持具、所謂検査ヘッド３１によってゾンデ３４が組み立てられ、ゾンデはゾンデ保持板２４の中央開口３６を通して半導体基板２７に電気的に接触されている。各検査ヘッド３１は一つ或いは複数のゾンデ３４を保持し、固有の運動装置、電気的に作動される駆動手段をもつゾンデ運動装置３２を包含する。ゾンデ運動装置３２によって各ゾンデ或いはそのグループが半導体基板２７への方向に、即ちＺ−方向に位置決めできる。検査ヘッド３１が同様にケーシング壁２２により包囲される。
【００４３】
チャック２５の運動とゾンデ先端３５と半導体基板２７の接触中に半導体基板２７或いは少なくとも一つのその基板の断片が顕微鏡ユニット３８によって観察すべきである。そのために、ケーシング壁２２はゾンデ保持板２４の中央開口３６を越えて覗き窓を有し、この覗き窓を越えて顕微鏡ユニット３８が配置されている。顕微鏡ユニット３８は同様に電気的に作動できる駆動手段をもつ顕微鏡運動装置（図示されていない）を包含する。
【００４４】
チャック２５、検査ヘッドと顕微鏡ユニットの運動装置２６、３２は適した接続器３９を介して選択的にケーブルなしに制御ユニット４０と接続されていて、実施例では、コンピュータと接続されている。コンピュータ４０によって全ての運動装置の駆動手段が上記形式で作動されて制御される。そのために、コンピュータ４０が図１による記号化表示１０又は図２或いは図３による視覚的ジョイステッキを表示するデイスプレイ４２と接続されていて並びにデイスプレイ４２上のアクチュエータを操作するコンピュータマウス４４と接続されている。制御ユニット４０には、上述の速度要因或いは速度機能のような、全ての運動装置の制御のために必要なパラメータ、機能、補正などが記憶されている。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】制御ユニットを操作する運動装置の制御ユニットのメニューを示す。
【図２】半導体基板の現実の表示の背景に対して一つの運動装置により移行できる一つ或いは二つの運動方向を備える視覚的ジョイステックを示す。
【図３】半導体基板の概略的表示の背景に対して一つの運動装置により移行できる一つ或いは二つの運動方向を備える視覚的ジョイステックを示す。
【図４】図１による運動装置により半導体基板を試験する試験器を示す。
【符号の説明】
【００４６】
１．．．．．アクチュエータ
２−６．．．機能スイッチ                                                        ２．．．．．視覚的ジョイステック
３．．．．．送り運動
４．．．．．角度整合
５．．．．．プログラム可能な運動経過
６．．．．．速度要因
７．．．．．現実座標の表示
８．．．．．切換えスイッチ
１０．．．．記号化表示
１２．．．．座標原点
１３．．．．ベクトル
２１．．．．基板
２２．．．．ケーシング壁
２４．．．．ゾンデ保持板
２５．．．．チャック
２６．．．．チャック運動装置
２７．．．．半導体基板
３１．．．．ゾンデ保持具。検査ヘッド
３２．．．．ゾンデ位置決めユニット
３４．．．．ゾンデ
３５．．．．ゾンデ先端
３６．．．．中央開口
３８．．．．顕微鏡
３９．．．．接続器
４０．．．．制御ユニット
４２．．．．デイスプレイ
４４．．．．コンピュータマウス
【図１】
2008272931.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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