(57)【要約】【課題】二端子測定法よりも精度よく抵抗を測定できるとともに四端子測定法よりも簡単かつ低コストに抵抗を測定できる、抵抗測定装置およびそれを備える基板検査装置ならびに抵抗測定方法およびそれを備える基板検査方法を提供する。【解決手段】基板検査装置１０は、定電流源２０の＋端を基板１００のランド１０４ａに接続するプローブ２４、電圧計２２の＋端を基板１００のランド１０４ｂに接続するプローブ２６、ならびにリード線３２，３４，３８ａおよびスイッチ３６ａ，３６ｃによって電気的に接続される定電流源２０の−端と電圧計２２の−端とを基板１００のランド１０６ａに接続するプローブ４０ａを含む。定電流源２０からの定電流はランド１０４ａと１０６ａとの間に供給され、これに伴って生じる電圧が電圧計２２によって測定される。ＣＰＵ４４は定電流と電圧計２２が測定した電圧とに基づいて抵抗を算出する。【選択図】図１
2008039498.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
導体に供給すべき定電流を発生させる定電流源、
前記導体に生じる電圧を測定する電圧測定手段、
前記導体の第１検査点に前記定電流源の一端を接続する第１接続手段、
前記導体の第２検査点に前記電圧測定手段の一端を接続する第２接続手段、
前記定電流源の他端と前記電圧測定手段の他端とを電気的に接続しかつ前記導体の第３検査点に接続される第３接続手段、および
前記定電流源が発生させる前記定電流と前記電圧測定手段が測定する電圧とに基づいて抵抗を算出する算出手段を備える、抵抗測定装置。
【請求項２】
前記第３接続手段はさらに前記導体の第４検査点に接続可能であり、
前記定電流源の他端と前記電圧測定手段の他端とを前記第３検査点に接続する状態および前記定電流源の他端と前記電圧測定手段の他端とを前記第４検査点に接続する状態の一方から他方に前記第３接続手段を切り替える切り替え手段をさらに含む、請求項１に記載の抵抗測定装置。
【請求項３】
前記導体が設けられる基板を検査する基板検査装置であって、
請求項１または２に記載の抵抗測定装置、および
前記抵抗測定装置によって測定される抵抗と所定値との比較結果に基づいて前記導体の導通状態を判定する判定手段を備える、基板検査装置。
【請求項４】
前記基板の一方主面と他方主面とには、一対多または多対多の関係を有するように接続される前記導体の検査点が設けられる、請求項３に記載の基板検査装置。
【請求項５】
定電流源の一端に接続される第１接続手段を導体の第１検査点に接続し、電圧測定手段の一端に接続される第２接続手段を前記導体の第２検査点に接続し、前記定電流源の他端と前記電圧測定手段の他端とを電気的に接続する第３接続手段を前記導体の第３検査点に接続する第１工程、
前記第１接続手段と前記第３接続手段とを介して前記定電流源から前記第１検査点と前記第３検査点との間に定電流を供給する第２工程、
前記第２接続手段と前記第３接続手段とを介して前記第２検査点と前記第３検査点とに接続される前記電圧測定手段によって電圧を測定する第３工程、および
前記定電流源が発生させる前記定電流と前記電圧測定手段が測定した電圧とに基づいて抵抗を算出する第４工程を備える、抵抗測定方法。
【請求項６】
前記定電流源の他端と前記電圧測定手段の他端とを前記第３検査点に接続する状態から前記定電流源の他端と前記電圧測定手段の他端とを前記導体の第４検査点に接続する状態に前記第３接続手段を切り替える第５工程、
前記第１接続手段と前記第３接続手段とを介して前記定電流源から前記第１検査点と前記第４検査点との間に前記定電流を供給する第６工程、
前記第２接続手段と前記第３接続手段とを介して前記第２検査点と前記第４検査点とに接続される前記電圧測定手段によって電圧を測定する第７工程、および
前記定電流源が発生させる前記定電流と前記電圧測定手段が測定した電圧とに基づいて抵抗を算出する第８工程をさらに含む、請求項５に記載の抵抗測定方法。
【請求項７】
前記導体が設けられる基板を検査する基板検査方法であって、
請求項５または６に記載の抵抗測定方法によって測定される抵抗と所定値との比較結果に基づいて前記導体の導通状態を判定する、基板検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、抵抗測定装置およびそれを備える基板検査装置ならびに抵抗測定方法およびそれを備える基板検査方法に関し、より特定的には、３つ以上の検査点を有する導体の抵抗を測定する抵抗測定装置およびそれを備える基板検査装置、ならびに当該導体の抵抗を測定する抵抗測定方法およびそれを備える基板検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、基板検査装置では、基板に設けられる配線パターンの２つのランド間の抵抗を測定することによって、配線パターンの導通状態を検査することが知られている。抵抗測定方法としては、たとえば、特許文献１に開示されているような二端子測定法や特許文献２に開示されているような四端子測定法等が採用される。
【０００３】
二端子測定法では、１つのプローブによって定電流源の一端と電圧計の一端とを電気的に接続して一方のランドに接続するとともに、もう１つのプローブによって定電流源の他端と電圧計の他端とを電気的に接続して他方のランドに接続し、２つのランド間の抵抗を測定する。また、四端子測定法では、定電流源の一端に接続されるプローブと電圧計の一端に接続されるプローブとを一方のランドに接続するとともに、定電流源の他端に接続されるプローブと電圧計の他端に接続されるプローブとを他方のランドに接続し、２つのランド間の抵抗を測定する。
【特許文献１】特開２００４−１０１２７５号公報
【特許文献２】特開２００５−３２１２１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、二端子測定法では、測定した抵抗に一方のランドとプローブの接触子との接触抵抗および他方のランドとプローブの接触子との接触抵抗が含まれる。各接触抵抗は一定ではないために、二端子測定法では２つのランド間の抵抗を正確に測定できないという問題があった。
【０００５】
一方、四端子測定法では、電流が導体から電圧計側にほとんど流れないので接触抵抗の影響を受けない反面、二端子測定法の倍の接触子が必要になるのでコストが上昇してしまう。さらには、２つの接触子を１つのランドに接触させるために接触子の加工精度や接触子の位置精度に対する要求が厳しくなり、コストが大幅に上昇しかつ測定作業に要する手間が大幅に増すという問題があった。
【０００６】
それゆえに、この発明の主たる目的は、二端子測定法用の接続手段を用いて二端子測定法よりも精度よく抵抗を測定できるとともに、四端子測定法よりも簡単かつ低コストに抵抗を測定できる、抵抗測定装置およびそれを備える基板検査装置ならびに抵抗測定方法およびそれを備える基板検査方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述の目的を達成するために、請求項１に記載の抵抗測定装置は、導体に供給すべき定電流を発生させる定電流源、前記導体に生じる電圧を測定する電圧測定手段、前記導体の第１検査点に前記定電流源の一端を接続する第１接続手段、前記導体の第２検査点に前記電圧測定手段の一端を接続する第２接続手段、前記定電流源の他端と前記電圧測定手段の他端とを電気的に接続しかつ前記導体の第３検査点に接続される第３接続手段、および前記定電流源が発生させる前記定電流と前記電圧測定手段が測定する電圧とに基づいて抵抗を算出する算出手段を備える。
【０００８】
請求項２に記載の抵抗測定装置は、請求項１に記載の抵抗測定装置において、前記第３接続手段はさらに前記導体の第４検査点に接続可能であり、前記定電流源の他端と前記電圧測定手段の他端とを前記第３検査点に接続する状態および前記定電流源の他端と前記電圧測定手段の他端とを前記第４検査点に接続する状態の一方から他方に前記第３接続手段を切り替える切り替え手段をさらに含むことを特徴とする。
【０００９】
請求項３に記載の基板検査装置は、前記導体が設けられる基板を検査する基板検査装置であって、請求項１または２に記載の抵抗測定装置、および前記抵抗測定装置によって測定される抵抗と所定値との比較結果に基づいて前記導体の導通状態を判定する判定手段を備える。
【００１０】
請求項４に記載の基板検査装置は、請求項３に記載の基板検査装置において、前記基板の一方主面と他方主面とには、一対多または多対多の関係を有するように接続される前記導体の検査点が設けられることを特徴とする。
【００１１】
請求項５に記載の抵抗測定方法は、定電流源の一端に接続される第１接続手段を導体の第１検査点に接続し、電圧測定手段の一端に接続される第２接続手段を前記導体の第２検査点に接続し、前記定電流源の他端と前記電圧測定手段の他端とを電気的に接続する第３接続手段を前記導体の第３検査点に接続する第１工程、前記第１接続手段と前記第３接続手段とを介して前記定電流源から前記第１検査点と前記第３検査点との間に定電流を供給する第２工程、前記第２接続手段と前記第３接続手段とを介して前記第２検査点と前記第３検査点とに接続される前記電圧測定手段によって電圧を測定する第３工程、および前記定電流源が発生させる前記定電流と前記電圧測定手段が測定した電圧とに基づいて抵抗を算出する第４工程を備える。
【００１２】
請求項６に記載の抵抗測定方法は、請求項５に記載の抵抗測定方法において、前記定電流源の他端と前記電圧測定手段の他端とを前記第３検査点に接続する状態から前記定電流源の他端と前記電圧測定手段の他端とを前記導体の第４検査点に接続する状態に前記第３接続手段を切り替える第５工程、前記第１接続手段と前記第３接続手段とを介して前記定電流源から前記第１検査点と前記第４検査点との間に前記定電流を供給する第６工程、前記第２接続手段と前記第３接続手段とを介して前記第２検査点と前記第４検査点とに接続される前記電圧測定手段によって電圧を測定する第７工程、および前記定電流源が発生させる前記定電流と前記電圧測定手段が測定した電圧とに基づいて抵抗を算出する第８工程をさらに含むことを特徴とする。
【００１３】
請求項７に記載の基板検査方法は、前記導体が設けられる基板を検査する基板検査方法であって、請求項５または６に記載の抵抗測定方法によって測定される抵抗と所定値との比較結果に基づいて前記導体の導通状態を判定する。
【００１４】
請求項１に記載の抵抗測定装置では、定電流源の一端に接続される第１接続手段を導体の第１検査点に接続し、電圧測定手段の一端に接続される第２接続手段を導体の第２検査点に接続し、定電流源の他端と電圧測定手段の他端とを電気的に接続する第３接続手段を導体の第３検査点に接続する。定電流源は第１接続手段と第３接続手段とを介して導体の第１検査点と第３検査点との間に定電流を供給し、電圧測定手段は第２検査点に接続される第２接続手段と第３検査点に接続される第３接続手段とを介して電圧を測定する。電圧測定手段の内部抵抗は非常に大きいので、電圧測定手段の一端から他端までの経路において定電流源の一端から他端までの経路に重複しない区間には電流がほとんど流れない。このために、電圧測定手段によって測定される電圧は、定電流源の一端から他端までの経路と電圧測定手段の一端から他端までの経路とにおいて重複する区間の電圧に略等しい。したがって、算出した抵抗は、第２接続手段と第２検査点との接触抵抗をほとんど含んでいない。このように第２検査点と第２接続手段との接触抵抗をほとんどなくすことができるので、１つの接触子を有する従来の二端子測定法用の接続手段を用いて二端子測定法よりも精度よく抵抗を測定できる。また、各検査点に接続手段の１つの接触子を接触させればよいので、四端子測定法よりも接続手段の接触子の数を削減でき、測定作業を簡単にできる。つまり、四端子測定法よりも簡単かつ低コストに抵抗を測定できる。請求項５に記載の抵抗測定方法についても同様である。
【００１５】
請求項２に記載の抵抗測定装置では、第３検査点に定電流源の他端と電圧測定手段の他端とを接続する状態および第４検査点に定電流源の他端と電圧測定手段の他端とを接続する状態の一方から他方に第３接続手段を切り替え、電圧を測定する。これによって、定電流源の他端と電圧測定手段の他端とを第３検査点に接続した状態と、定電流源の他端と電圧測定手段の他端とを第４検査点に接続した状態とで抵抗を別々に算出できる。請求項６に記載の抵抗測定方法についても同様である。
【００１６】
請求項３に記載の基板検査装置では、簡単かつ低コストに構成しつつも抵抗の測定精度の低下を抑えることができるので、判定結果の信頼性の低下を抑えることができる。また、定電流源の他端と電圧測定手段の他端とを第３検査点に接続した状態と、定電流源の他端と電圧測定手段の他端とを第４検査点に接続した状態とで抵抗を別々に測定することによって、導体の２つの区間の導通状態を別々に判定できる。これら２つの判定結果のうちいずれか一方が不良である場合、導体において第２検査点と第３検査点との間および第２検査点と第４検査点との間の重複する部分以外に不良箇所が存在することとなる。したがって、２つの判定結果を比較することによって、導体において不良箇所が存在する範囲を特定できる。請求項７に記載の基板検査方法についても同様である。
【００１７】
このような基板検査装置は、たとえば請求項４に記載するような、その一方主面に設けられる検査点の数とその他方主面に設けられる検査点の数とが一対多または多対多の関係を有する基板の検査に好適に用いられる。
【発明の効果】
【００１８】
この発明によれば、二端子測定法用の接続手段を用いて二端子測定法よりも精度よく抵抗を測定できるとともに、四端子測定法よりも簡単かつ低コストに抵抗を測定できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、図面を参照して、この発明の実施の形態について説明する。
図１を参照して、この実施形態では、基板１００を検査するための基板検査装置１０にこの発明の抵抗測定装置を適用する場合について説明する。まず、検査対象である基板１００について説明する。
【００２０】
絶縁体からなる基板１００には、銅等の導体からなる配線パターン１０２が設けられる。配線パターン１０２は、基板１００の一方主面１００ａに複数のランド１０４を有し、基板１００の他方主面１００ｂに複数のランド１０６を有する。或るランド１０４は、他の全てのランド１０４と全てのランド１０６に接続される。同様に、或るランド１０６は、全てのランド１０４と他の全てのランド１０６に接続される。つまり、一方主面１００ａと他方主面１００ｂとには、多対多の関係を有するようにランド１０４と１０６とが設けられる。図１の基板１００には６つのランド１０４と７つのランド１０６が示されているが、実際の基板には一方主面と他方主面とにそれぞれ数百のランドが設けられる。
【００２１】
この実施形態では、ランド１０４，１０６が検査点に相当する。図１において、左から２番目のランド１０４に符号「１０４ａ」を付し、左端のランド１０４に符号「１０４ｂ」を付す。また、図１において、左端のランド１０６に符号「１０６ａ」を付し、左から２番目のランド１０６に符号「１０６ｂ」を付す。この実施形態では、ランド１０４ａを第１検査点とし、ランド１０４ｂを第２検査点とし、ランド１０６ａを第３検査点とし、ランド１０６ｂを第４検査点とする。
【００２２】
このような基板１００を検査するための基板検査装置１０は、配線パターン１０２に生じる電圧を測定するための測定部１２、基板検査装置１０の各構成要素を制御するためのコントローラ１４、オペレータがデータ入力や指示を行うための入力部１６、およびオペレータに報知すべき情報を表示する表示部１８を含む。
【００２３】
測定部１２は、直流定電流を発生させる定電流源２０、および定電流源２０からの定電流の供給に伴って配線パターン１０２に生じる電圧を測定する電圧計２２を含む。定電流源２０は＋端と−端とを有し、定電流源２０の＋端にはプローブ２４の一端が接続される。また、電圧測定手段である電圧計２２は＋端と−端とを有し、電圧計２２の＋端にはプローブ２６の一端が接続される。プローブ２４は他端に接触子２８を有し、プローブ２６は他端に接触子３０を有する。
【００２４】
プローブ２４は、接触子２８をランド１０４ａに接触させることによってランド１０４ａに定電流源２０の＋端を接続する。同様に、プローブ２６は、接触子３０をランド１０４ｂに接触させることによってランド１０４ｂに電圧計２２の＋端を接続する。この実施形態では、プローブ２４が第１接続手段に相当し、プローブ２６が第２接続手段に相当する。
【００２５】
なお、実際には、プローブ２４および２６に加えて各ランド１０４に対応して定電流源２０または電圧計２２に接続される図示しないプローブが設けられる。各ランド１０４に対応するプローブにはそれぞれ図示しないスイッチが設けられる。コントローラ１４が各プローブのスイッチを制御することによって、或る１つのランド１０４に定電圧源２０の＋端が接続され、他の１つのランド１０４に電圧計２２の＋端が接続される。
【００２６】
また、定電流源２０の−端にはリード線３２が接続され、電圧計２２の−端にはリード線３４が接続される。リード線３２にはスイッチ３６ａの一端とスイッチ３６ｂの一端とが接続され、リード線３４にはスイッチ３６ｃの一端とスイッチ３６ｄの一端とが接続される。スイッチ３６ａの他端とスイッチ３６ｃの他端とはリード線３８ａによって接続され、スイッチ３６ｂの他端とスイッチ３６ｄの他端とはリード線３８ｂによって接続される。リード線３８ａにはプローブ４０ａの一端が接続され、リード線３８ｂにはプローブ４０ｂの一端が接続される。スイッチ３６ａ〜３６ｄは、プローブ４０ａと４０ｂとのいずれか一方を定電流源２０の−端と電圧計２２の−端とに接続するように、コントローラ１４によって制御される。たとえば、図１には、スイッチ３６ａと３６ｃとを閉じてスイッチ３６ｂと３６ｄとを開いた状態が示されている。この状態では、リード線３２，３４，３８ａおよびスイッチ３６ａ，３６ｃを介して定電流源２０の−端と電圧計２２の−端とが電気的に接続され、かつプローブ４０ａが定電流源２０の−端と電圧計２２の−端とに接続される。
【００２７】
プローブ４０ａは他端に接触子４２ａを有し、プローブ４０ｂは他端に接触子４２ｂを有する。プローブ４０ａは、接触子４２ａをランド１０６ａに接触させることによってランド１０６ａに定電流源２０の−端と電圧計２２の−端とを接続する。同様に、プローブ４０ｂは、接触子４２ｂをランド１０６ｂに接触させることによってランド１０６ｂに定電流源２０の−端と電圧計２２の−端とを接続する。
【００２８】
この実施形態では、リード線３２，３４，３８ａ，３８ｂとプローブ４０ａ，４０ｂとによって第３接続手段が構成される。また、スイッチ３６ａ〜３６ｄによって切り替え手段が構成される。
【００２９】
なお、図１には、ランド１０６ａ，１０６ｂに対応するプローブ４０ａ，４０ｂ、リード線３８ａ，３８ｂおよびスイッチ３６ａ〜３６ｂが示されているが、実際には、各ランド１０６に対応して１つのプローブおよび２つのスイッチが設けられている。そして、いずれか１つのランド１０６に対応する２つのスイッチのみが閉じた状態になるように、コントローラ１４によって各スイッチが制御される。これによって、１つのランド１０６のみに定電流源２０の−端と電圧計２２の−端とが接続される。
【００３０】
コントローラ１４は、図示しないバスで互いに接続されるＣＰＵ４４、ＲＯＭ４６およびＲＡＭ４８を含む。この実施形態では、測定部１２とコントローラ１４とによって抵抗測定装置が構成される。
【００３１】
ＣＰＵ４４は、ＲＯＭ４６等に格納される各種のプログラムを実行し、基板検査装置１０の各構成要素に指示を与え、かつそれらの動作を制御する。この実施形態では、ＣＰＵ４４が算出手段および判定手段としても機能する。
【００３２】
ＲＯＭ４６は、基板検査装置１０を動作させるプログラムや所定データ等を格納している。具体的に、記憶手段であるＲＯＭ４６には、図２に示す動作を実行するためのプログラムや測定した抵抗と比較するための所定値（基準抵抗）に対応する所定データが格納されている。
【００３３】
ＲＡＭ４８は、制御手段であるＣＰＵ４４の作業領域として使用される。ＲＡＭ４８には各種プログラムが展開され、ＲＡＭ４８はそれらのプログラムによる処理結果、処理のための一時データ、および表示部１８に表示させる表示内容に対応するデータ等を保持する。
【００３４】
入力部１６はキーボードやマウス等からなり、表示部１８はＣＲＴモニタ等からなる。報知手段である表示部１８は、コントローラ１４のＲＡＭ４８上に展開される表示用データに対応する表示内容（テキスト、画像等）を表示する。具体的に、表示部１８には、配線パターン１０２の導通状態の判定結果等が表示される。
【００３５】
ついで、図２を参照して、基板検査装置１０の動作の一例について説明する。
ここでは、ランド１０４ａと１０６ａとに定電流源２０を接続しかつランド１０４ｂと１０６ａとに電圧計２２を接続した状態を初期状態として、配線パターン１０２の導通状態を判定する場合について説明する。つまり、図１の状態を初期状態として、配線パターン１０２の導通状態を判定する場合について説明する。
【００３６】
まず、ＣＰＵ４４の指示に従って定電流源２０が定電流を発生させる。定電流源２０からの定電流は、プローブ２４を介してランド１０４ａから配線パターン１０２に供給され、ランド１０６ａからプローブ４０ａ、リード線３８ａ、スイッチ３６ａおよびリード線３２を介して定電流源２０に戻る。つまり、定電流源２０からの定電流が配線パターン１０２のランド１０４ａと１０６ａとの間に供給（印加）される（ステップＳ１）。
【００３７】
つづいて、プローブ２６と、プローブ４０ａ、リード線３８ｂ、スイッチ３６ｃおよびリード線３４とを介して、電圧計２２によって電圧が測定される（ステップＳ３）。電圧計２２の内部抵抗は非常に大きいので（たとえば１ＧΩ程度）、ステップＳ１で配線パターン１０２に供給される定電流は、ランド１０４ｂ側にほとんど流入しない。したがって、ステップＳ３では、定電流源２０の＋端から−端までの経路と電圧計２２の＋端から−端までの経路とにおいて重複する区間の電圧が測定される。具体的に、図３（ａ）をも参照して、初期状態では、配線パターン１０２において太線で示す区間（以下、区間Ａ１という）、およびプローブ４０ａの接触子４２ａからリード線３８ａまでの太線で示す区間（以下、区間Ｂ１という）の電圧が測定される。ステップＳ３で測定された電圧はコントローラ１４に入力され、ＲＡＭ４８に保持される。
【００３８】
つづいて、ＣＰＵ４４は、定電流源２０が発生させる電流とステップＳ３で測定した電圧とに基づいて抵抗を算出する（ステップＳ５）。具体的には、ステップＳ３で測定した電圧を定電流源２０が発生させる電流で割ることによって抵抗を算出する。ステップＳ５で算出される抵抗は、区間Ａ１およびＢ１の抵抗であるので、ランド１０４ｂとプローブ２６の接触子３０との接触抵抗は含んでいない。
【００３９】
つづいて、ＣＰＵ４４によって、ステップＳ５で算出した抵抗とＲＯＭ４６に格納されているデータに基づく所定値（たとえば１０Ω）とが比較される（ステップＳ７）。ステップＳ５で算出した抵抗が所定値以上である場合、ＣＰＵ４４は、区間Ａ１の導通状態が良好であると判定する（ステップＳ９）。一方、ステップＳ５で算出した抵抗が所定値に対して所定値未満である場合、ＣＰＵ４４は、区間Ａ１の導通状態が不良であると判定する（ステップＳ１１）。なお、区間Ａ１の導通状態が良好であれば、ランド１０４ａからランド１０６ａまでの間の導通状態、およびランド１０４ｂからランド１０６ａの導通状態が良好であることはいうまでもない。
【００４０】
つづいて、区間Ａ１の判定結果に対応するデータをＲＡＭ４８に保持し、スイッチ３６ａ〜３６ｄを動作させる（ステップＳ１３）。具体的には、図３（ｂ）に示すように、スイッチ３６ａと３６ｃとを開きかつスイッチ３６ｂと３６ｄとを閉じることによって、ランド１０６ａに定電流源２０の−端と電圧計２２の−端とを接続する状態から、ランド１０６ｂに定電流源２０の−端と電圧計２２の−端とを接続する状態に切り替える。そして、ステップＳ３に戻って電圧を測定する。このとき測定されるのは図３（ｂ）に太線で示す区間Ａ２およびＢ２の電圧である。この電圧を用いてステップＳ５で抵抗を算出し、算出した抵抗をステップＳ７で所定値と比較し、区間Ａ２の導通状態を判定する。
【００４１】
その後、ステップＳ１３で、スイッチ３６ｂと３６ｄとを開きかつ他のランド１０６に対応する図示しない２つのスイッチを閉じて、ステップＳ３に戻る。そして、各ランド１０６を定電流源２０の−端と電圧計２２の−端とに接続して導通状態を判定し、基板１００の検査を終了する。配線パターン１０２の全ての区間の判定結果が良好であれば基板１００が良品である旨のメッセージが表示部１８に表示され、１つでも不良判定があれば基板１００が不良品である旨のメッセージが表示部１８に表示される。
【００４２】
なお、配線パターン１０２をもれなく検査できるように、各ランド１０４に対応するプローブのスイッチが制御される。具体的に、たとえば、図３（ｂ）の状態の後には、ランド１０４ａの２つ右隣のランド１０４（図１参照）に定電流源２０の＋端を接続しかつランド１０４ｂの２つ右隣のランド１０４（図１参照）に電圧計２２の＋端を接続するように、各ランド１０４に対応するプローブのスイッチが制御される。
【００４３】
また、ステップＳ７では１つの所定値（閾値）を用いてもよいし、配線パターン１０２の区間毎に異なる所定値を用いてもよい。１つの所定値を用いる場合、導通状態が良好であるときの各区間の抵抗の平均、ランド１０６に接するプローブの抵抗、およびランド１０６と接触子との接触抵抗の予想値の和を所定値とすればよい。また、配線パターン１０２の区間毎に異なる所定値を用いる場合、たとえば区間Ａ１の導通状態を判定するときには、導通状態が良好であるときの区間Ａ１の抵抗、区間Ｂ１の抵抗（プローブ４０ａの抵抗）、および接触子４２ａとランド１０６ａとの接触抵抗の予想値の和を所定値とすればよい。
【００４４】
このような基板検査装置１０によれば、電圧計２２によって測定される電圧は、定電流源２０の＋端から−端までの経路と電圧計２２の＋端から−端までの経路とにおいて重複する区間の電圧に略等しい。したがって、算出される抵抗はプローブ２６の接触子３０とランド１０４ｂとの接触抵抗をほとんど含んでおらず、二端子測定法と比べて接触抵抗を半分にできる。このように、それぞれ１つの接触子を有する二端子測定法用のプローブ２４，２６，４０ａを用いて二端子測定法よりも精度よく抵抗を測定できる。また、３つのランドにそれぞれプローブの１つの接触子を接触させればよいので、四端子測定法よりも接触子の数を削減でき、測定作業を簡単にできる。つまり、四端子測定法よりも簡単かつ低コストに抵抗を測定できる。このように、簡単かつ低コストに構成しつつも抵抗の測定精度の低下を抑えることができるので、判定結果の信頼性の低下を抑えることができる。
【００４５】
また、定電流源２０と電圧計２２とが接続されるランド１０６を変更して得られる２つの判定結果を比較することによって、配線パターン１０２において不良箇所が存在する範囲を特定できる。たとえば、区間Ａ１｛図３（ａ）参照｝の判定結果と区間Ａ２｛図３（ｂ）参照｝の判定結果とを比較して、区間Ａ１の判定結果が不良である場合、区間Ａ１において区間Ａ２に重複する部分以外に不良箇所が存在することとなる。つまり、図４（ａ）に示す区間Ａ３に不良箇所が存在することとなる。一方、区間Ａ１の判定結果と区間Ａ２の判定結果とを比較して、区間Ａ２の判定結果が不良である場合、区間Ａ２において区間Ａ１に重複する部分以外に不良箇所が存在することとなる。つまり、図４（ｂ）に示す区間Ａ４に不良箇所が存在することとなる。このように２つの判定結果を比較することによって、いずれか一方の判定結果が不良である場合に配線パターン１０２において不良箇所が存在する範囲を特定できる。不良箇所の存在範囲の特定は、ＣＰＵ４４が行ってもよいし、基板検査装置１０を操作するオペレータが行ってもよい。ＣＰＵ４４が不良箇所の存在範囲を特定する場合、不良箇所が存在する範囲を表示部１８にメッセージや画像等によって表示すればオペレータにとっての利便性を向上できる。
【００４６】
なお、上述の実施形態では、各ランド１０６に対応してプローブを設ける場合について説明したが、この発明はこれに限定されない。たとえば、プローブ４０ａのみを設け、移動機構によってプローブ４０ａを移動させることで各ランド１０６にプローブ４０ａを接触させるようにしてもよい。この場合、当該移動機構が切り替え手段として機能する。また、定電流源２０の＋端にはプローブ２４のみを接続しかつ電圧計２２の＋端にはプローブ２６のみを接続し、プローブ２４および２６を移動機構によって移動させてもよい。
【００４７】
なお、上述の実施形態では、直流定電流を配線パターン１０２に供給する場合について説明したが、交流定電流を配線パターン１０２に供給するようにしてもよい。
【００４８】
また、上述の実施形態では、一方主面と他方主面とにランドが設けられる両面基板を検査対象とする場合について説明したが、検査対象となる基板はこれに限定されない。この発明は、一方主面のみに検査点が設けられている基板の検査にも適用できる。また、基板の形状、材質等は特に限定されず、基板の用途も特に限定されない。たとえば、フレキシブル基板、多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、および半導体パッケージ用のパッケージ基板等、種々の基板において導体を検査できる。
【００４９】
さらに、３つ以上の検査点を有していれば導体の各検査点の接続態様は特に限定されない。たとえば、図１に示す基板１００のように或る検査点から他の検査点までの経路の一部と或る検査点からその他の検査点までの経路の一部とが重複していてもよいし、或る検査点から他の検査点までの経路と或る検査点からその他の検査点までの経路とに重複する部分がなくてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】この発明の実施形態の一例を示す図解図である。
【図２】導通状態の判定動作の一例を示すフロー図である。
【図３】ランドの接続態様と抵抗の測定区間との関係を示す図解図である。
【図４】２つの判定結果のいずれか一方が不良である場合に配線パターンにおいて不良箇所が存在する範囲を示す図解図である。
【符号の説明】
【００５１】
１０      基板検査装置
１２      測定部
１４      コントローラ
２０      定電流源
２２      電圧計
２４，２６，４０ａ，４０ｂ      プローブ
２８，３０，４２ａ，４２ｂ      接触子
３２，３４，３８ａ，３８ｂ      リード線
３６ａ，３６ｂ，３６ｃ，３６ｄ      スイッチ
４４      ＣＰＵ
４６      ＲＯＭ
４８      ＲＡＭ
１００      基板
１００ａ      一方主面
１００ｂ      他方主面
１０２      配線パターン
１０４，１０６      ランド
【図１】
2008039498.tif 000003
【図２】
2008039498.tif 000004
【図３】
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【図４】
2008039498.tif 000006