(57)【要約】【課題】搬送手段とガイド軸と間に生じる応力を解消して、過負荷エラーによる移動体の停止を防止して、被検体を好ましく検査する。【解決手段】移動体４０の他側部をフリーにさせた状態で、移動体の一側部のみを第一搬送手段２５を介して第一ガイド軸２０に沿って移動させ、移動体４０の一側部の所定位置毎に、移動体と第一、第二搬送手段２５，３５との係合部分に生じる応力を求める。この応力が所定値以下になる調整ポイントを予め求め、第一、第二ガイド軸２０，３０に対する移動体の姿勢を制御するにあたり、第一、第二搬送手段を駆動させて移動体を調整ポイントまで移動させ、移動体と第一搬送手段及び移動体と第二搬送手段のうち何れか一方若しくは両方の係合を一旦解除する。その後、調整ポイントで再び移動体と第一搬送手段及び移動体と第二搬送手段をそれぞれ係合させて、移動体の姿勢を正規の姿勢に戻す。【選択図】図１
2008021715.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに平行に並べられ且つ直線状に伸びる第一ガイド軸及び第ニガイド軸と、
前記第一ガイド軸及び第ニガイド軸のそれぞれに設けられ、それら両ガイド軸にまたがって配置される移動体の一側部と係合して誠一側部を第一ガイド軸に沿って移動させる第一搬送手段、及び前記移動体の他側部と係合して誠他側部を第ニガイド軸に沿って移動させる第二搬送手段と、
前記第一搬送手段及び第二搬送手段の駆動を制御する駆動制御部とを備える基板検査装置の運転方法であって、
前記移動体の他側部をフリーにさせた状態で、移動体の一側部のみを第一搬送手段を介して前記第一ガイド軸に沿って移動させ、誠移動体の一側部の所定位置毎に、前記移動体と前記第一、第二搬送手段との係合部分に生じる応力を求め、この応力が所定値以下になる調整ポイントを予め求めておき、
前記第一、第ニガイド軸に対する前記移動体の姿勢を制御するにあたり、前記第一搬送手段及び第二搬送手段を駆動させて前記移動体を調整ポイントまで移動させ、前記移動体と前記第一搬送手段及び前記移動体と前記第二搬送手段のうち何れか一方若しくは両方の係合を一旦解除し、その後、誠調整ポイントで再び前記移動体と前記第一搬送手段及び前記移動体と前記第二搬送手段をそれぞれ係合させて、移動体の姿勢を正規の姿勢に戻すことを特徴とする基板検査装置の運転方法。
【請求項２】
前記移動体を正規の姿勢に戻した後に、前記第一搬送手段及び第二搬送手段を駆動させて、前記移動体を予め設定された原点ポイントに移動させ、前記移動体の搬送を再度開始することを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置の運転方法。
【請求項３】
前記第一搬送手段及び前記第二搬送手段は、それぞれリニアモータによって構成されることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の基板検査装置の運転方法。
【請求項４】
前記移動体は、被検体が載置されるステージの上方に配され且つ被検体を検査する検査部が備えられたことを特徴とする請求項１から請求項３のうち何れか一項に記載の基板検査装置の運転方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板検査装置の運転方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、互いに平行に並べられ且つ直線状に伸びた２本のガイド軸にまたがるように移動体を設け、該移動体を搬送手段によってガイド軸に沿わせて移動させながら、該移動体に取り付けられた検査器によって技検体である基板を検査していく基板検査装置が提供されている。この基板検査装置に用いられる搬送手段としては、例えば、上述した２本のガイド軸各々に、リニアモータ等を設けてリニア駆動可能に構成されるものがある。このように構成される基板検査装置は、移動体を前記搬送手段によって移動させて基板を検査する、いわゆる２軸同時駆動式からなるものである（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
ところで、上記の２軸同時駆動式の搬送手段にあっては、次のような課題が指摘されている。すなわち、図５に示す概念図のように、２本の並んだ軸１００及び軸２００は、その軸の真直度や取り付け精度等が理由で、検査器を備えた移動体８１が本来あるべき正規の位置の移動体８２（図中では２点鎖線で示す）より微妙にずれて傾いている場合がある。
つまり、ガイド軸から支持される移動体の両端の位置が、本来ガイド軸１００，２００に対して垂直軸Ｘ上にあるべきところ、微妙なずれが生じている場合である。また、移動体が移動している間にあっても、移動体の両端の位置は微妙なずれが生じる場合がある。
【０００４】
このように、移動体の両端の位置に微妙なずれが生じていると、図６に示すように、その微妙なずれを直す方向に応力が生じる。すなわち、移動体８３には、上述した微妙なずれを解消しようと生じた応力が作用する。しかしながら、移動体８３は検査精度の向上を目的に剛性が高く設定されている。そのため、生じた応力は、移動体８３自体では吸収することができずに、移動体と係合された搬送手段８４，８５とガイド軸１００，２００との間に形成された可動部８６，８７に付与する形でバランスがとられる。
【０００５】
加えて、生じた応力は、２軸同時に駆動させて移動体を移動させていくと、移動距離に従い、応力が加算され増大してゆく場合がある。応力が増大してゆくと、搬送手段とガイド軸との間に摩擦力が生じ始め、最終的には、搬送手段とガイド軸との間に形成される可動部が可動できないほどの摩擦力となる。これによって、移動体の移動は停止する。すなわち、基板検査装置は、その摩擦力による負荷によって過負荷エラーを起こし、基板の検査が好ましく行われなくなる問題が生じていた。なお、その過負荷エラーは、移動体を高速で移動させた場合に顕著に現れる。
【特許文献１】特開２００２−３４３７０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みなされたものであって、互いに平行に並べられ且つ直線状に伸びた２本のガイド軸にまたがるように移動体を設け、該移動体を搬送手段によってガイド軸に沿わせて移動させながら、該移動体に取り付けられた検査器によって被検体である基板を検査していく基板検査装置の、２本のガイド軸に設けられた搬送手段とガイド軸と間に生じる応力を解消して、いわゆる過負荷エラーによる移動体の停止を防止して、被検体を好ましく検査することが可能な基板検査装置の運転方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明は、以下の手段の基板検査装置の運転方法を提供する。
請求項１に係る発明は、互いに平行に並べられ且つ直線状に伸びる第一ガイド軸及び第ニガイド軸と、前記第一ガイド軸及び第ニガイド軸のそれぞれに設けられ、それら両ガイド軸にまたがって配置される移動体の一側部と係合して誠一側部を第一ガイド軸に沿って移動させる第一搬送手段、及び前記移動体の他側部と係合して誠他側部を第ニガイド軸に沿って移動させる第二搬送手段と、前記第一搬送手段及び第二搬送手段の駆動を制御する駆動制御部とを備える基板検査装置の運転方法であって、前記移動体の他側部をフリーにさせた状態で、移動体の一側部のみを第一搬送手段を介して前記第一ガイド軸に沿って移動させ、誠移動体の一側部の所定位置毎に、前記移動体と前記第一、第二搬送手段との係合部分に生じる応力を求め、この応力が所定値以下になる調整ポイントを予め求めておき、前記第一、第ニガイド軸に対する前記移動体の姿勢を制御するにあたり、前記第一搬送手段及び第二搬送手段を駆動させて前記移動体を調整ポイントまで移動させ、前記移動体と前記第一搬送手段及び前記移動体と前記第二搬送手段のうち何れか一方若しくは両方の係合を一旦解除し、その後、該調整ポイントで再び前記移動体と前記第一搬送手段及び前記移動体と前記第二搬送手段をそれぞれ係合させて、移動体の姿勢を正規の姿勢に戻すことを特徴とする。
【０００８】
この発明に係る基板検査装置の運転方法にあっては、調整ポイントにおいて、移動体の両側部と係合する第一、第二搬送手段は、所定値以下の応力しか受けない。加えて、調整ポイントにおいて、前記移動体の両側部と第一、第二搬送手段との係合のうち、一方若しくは両方の係合は解除されるので、受けていた応力を解消するように、その両側部は移動することとなる。従って、移動体の両側部の受ける応力は軽減される。
【０００９】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載の基板検査装置の運転方法において、前記移動体を正規の姿勢に戻した後に、前記第一搬送手段及び第二搬送手段を駆動させて、前記移動体を予め設定された原点ポイントに移動させ、前記移動体の搬送を再度開始することを特徴とする。
【００１０】
この発明に係る基板検査装置の運転方法にあっては、原点ポイントに移動されることによって、新たに被検体の検査を開始することができる。従って、前記搬送手段に無駄な応力がかかること無く検査が開始されることとなって、検査が適切に行われる。
【００１１】
請求項３に係る発明は、請求項１または請求項２に記載の基板検査装置の運転方法において、前記第一搬送手段及び前記第二搬送手段は、それぞれリニアモータによって構成されることを特徴とする。
【００１２】
この発明に係る基板検査装置の運転方法にあっては、搬送手段はリニア駆動されるため、中空に浮いた部分を形成する。従って、供給する電力をオフとすることによって、搬送手段とガイド軸との係合が解除され、フリーにさせやすいものとなる。加えて、応力がかって摩擦力が増大している場合も、リニアモータに供給される電力量で容易に確認できることとなって、装置操作者は、それに対して適宜に対応をすることができる。
【００１３】
請求項４に係る発明は、請求項１から請求項３の何れか一項に記載の基板検査装置の運転方法において、前記移動体は、被検体が載置されるステージの上方に配され且つ被検体を検査する検査部が備えられたことを特徴とする。
【００１４】
この発明に係る基板検査装置の運転方法にあっては、移動体の移動に沿って被検体を検査することができる。
【発明の効果】
【００１５】
この発明に係る基板検査装置の運転方法によれば、２本のガイド軸に設けられた搬送手段とガイド軸と間に生じる応力を解消して、いわゆる過負荷エラーによる移動体の停止を防止して、被検体を好ましく検査することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下に、本発明に係る基板検査装置の運転方法の一実施形態を、図面を参照しながら説明する。なお、図１は本発明に係る基板検査装置の概略ブロック図、図２は図１に示す基板検査装置が行う運転処理を示すフローチャート、図３は調整ポイントの抽出処理を示すフローチャート、図４は調整ポイントを抽出するための第一スライダと第ニスライダの測定位置の差を示すグラフである。
【００１７】
図１に示す基板検査装置1は、本体部１０と、制御部５０とから構成される。すなわち、本体部１０は、互いに平行に並べられ且つ直線状に伸びる第一ガイド軸２０と第ニガイド軸３０とを備え、該第一、第ニガイド軸２０，３０には、それぞれ第一搬送機構（第一搬送手段）２１と第二搬送機構（第二搬送手段）３１とが設けられる。前記第一搬送機構２１は、リニアモータによって構成されており、そのリニアモータの構成として、固定されたステータを兼ねる第一ガイド軸２０と該第一ガイド軸２０上を移動可能に設けられる第一スライダ２５とを備える。また、前記第二搬送機構３１も、前記第一搬送機構２１と同様に、リニアモータによって構成されており、そのリニアモータの構成として、固定されたステータを兼ねる第ニガイド軸３０と該第ニガイド軸３０上を移動可能に設けられる第ニスライダ３５とを備える。なお、前記第一、第ニガイド軸２０，３０は、前記第一、第ニスライダ２５，３５をガイドして移動させる。また、前記第一ガイド軸２０及び第二ガイド軸３０のそれぞれには、互いの端部が基端部２８，３８で一致させてあるスケールが刻設されている。前記スケールは、前記第一、第ニスライダ２５，３５の位置を測定するのに用いられる。
【００１８】
前記第一ガイド軸２０と第ニガイド軸３０との間には、被検体を載置可能なステージ４５が設けられる。そして、前記移動体４０の一側部に第一搬送機構２１の第一スライダ２５を、そして他側部に第二搬送機構３１の第二スライダ３５を備え、前記第一ガイド軸２０及び第ニガイド軸３０に直交するように、また、前記ステージ４５を跨ぐように掛け渡されて構成される。前記移動体４０は、前記第一スライダ２５及び第ニスライダ３５が前記第一、第ニガイド軸２０，３０に沿って移動するのに依存して、前記ステージ４５上を移動する。なお、前記移動体４０には、被検体を検査するための図示されない検査器が支持されるように設けられており、前記移動体４０の移動に従って、検査器は前記ステージ４５に載置された被検体を検査する。
【００１９】
また、前記第一ガイド軸２０の脇には、前記第一スライダ２５を感知する原点センサ４６が設けられる。前記原点センサ４６は、後にも詳述するが、前記第一スライダ２５が、被検体を検査開始するための位置（原点ポイント）に移動されているか否かを感知するためのセンサである。従って、被検体を改めて検査するような場合にあっては、前記原点センサ４６が第一スライダ２５を感知するまで、前記第一、第二スライダ２５，３５は、前記基端部２８，３８に向かって移動する。なお、前記原点センサ４６が前記第一スライダ２５を感知した場合にあっては、その感知信号はパソコン７０に送信するようにされる。
そして、後にも説明する制御部５０によって、前記第一スライダ２５及び第二スライダ３５を停止するように制御される。
【００２０】
次に、前記制御部５０について説明する。前記制御部５０は、前記第一搬送機構２１及び第二搬送機構３１の駆動を制御するモータドライバ６０と、パソコン７０とを備える。
前記モータドライバ６０は、前記第一スライダ２５と第二スライダ３５を基端部２８，３８から先端部２９，３９に向かって、若しくは先端部２９，３９から基端部２８，３８に向かって移動させるように、前記リニアモータヘ駆動及び停止を指示できるように構成されている。加えて、前記モータドライバ６０は、前記第一スライダ２５及び第ニスライダ３５が、取り付けられる前記第一ガイド軸２０及び第ニガイド軸３０との係合の解除を指示できるように構成されている。前記第一、第二ガイド軸２０，３０との係合の解除が指示された場合には、リニアモータヘの電力供給がオフとされ、前記第一、第二スライダ２５，３５は、前記第一、第ニガイド軸２０，３０に対して自由に動くことができるフリーにさせた状態とする。
【００２１】
また、前記パソコン７０は、公知のパソコンと同様に構成されるものであって、各種の演算制御処理を行うＣＰＵ７１と、各種のデータを格納するメモリ７２とを備える。また、前記モータドライバ６０と接続されており、該モータドライバ６０を制御する。加えて、前記パソコン７０は、本発明に係る記憶手段に相当するメモリ７２に、後に詳述する調整ポイント等を記憶するように構成されている。
【００２２】
上述のように構成された基板検査装置１は、図２に示すフローチャートのように、運転処理がなされる。
すなわち、運転処理（Ｓ１０）は、まず、調整ポイント抽出処理（Ｓ２０）がなされる。前記調整ポイント抽出処理（Ｓ２０）は、図３に示すように、まず、前記第二搬送機構３１であるリニアモータヘの電力供給をオフとして、前記第ニスライダ２５と前記第二ガイド軸２０との係合を解除してフリーとさせる（Ｓ２１）。次に、前記第一搬送機構２１であるリニアモータに電力供給し、前記第一スライダ２５のみを移動させる（Ｓ２２）。この場合、前記第二スライダ３５は、前記第一スライダ２５に追従するように移動することとなる。
【００２３】
そして、原点ポイント若しくは基端部２８，３８から、前記第一スライダ２５の位置（ＡX）を前記第一ガイド軸２０に刻設されたスケールで適宜に測定すると共に、前記第二スライダ３５の位置（ＢX）も前記第二ガイド軸３０に刻設されたスケールで測定する（Ｓ２  ３）。測定された前記第一スライダ２５の位置と、前記第二スライダ３５の位置とは、前記パソコン７０に送信されて、その位置の差（ＡX−ＢX）が求められる（Ｓ２４）。
その位置の差（ＡX−ＢX）の絶対値を、グラフにして図４に示す。なお、このグラフにあっては、前記第一スライダ２５の位置がＡ1及びＡ2となったときに、前記第一スライダ２５と前記第ニスライダ３５との差が最も小さくなることが示されている。すなわち、前記第一スライダ２５の位置がＡ1及びＡ2となったとき、前記移動体４０は、前記第一ガイド軸２０及び第ニガイド軸３０に対して垂直に近い位置となり、応力が小さいように配置された正規の姿勢となる。
【００２４】
前記第一スライダ２５と前記第二スライダ３５との差（ＡX−ＢX）の絶対値が小さくなる前記第一スライダ２５の位置が求められると（Ｓ２４）、その絶対値が調整ポイントとして許容される値Ｙ以下となる前記第一スライダ２５の位置及び位置範囲が、前記パソコン７０に記憶される（Ｓ２５）。前記許容される値Ｙ以下は、前記移動体４０が、前記第一ガイド軸２０及び第二ガイド軸３０に対して、垂直に近い位置（正規の姿勢）となる。
【００２５】
なお、前記調整ポイントの抽出処理（Ｓ２０）は、この発明を奏する基板検査装置１が組み立てる際にのみ行われ、その後は、前記パソコン７０に記憶されデータを適宜呼びだして用いるものであってもよい。その際は、この運転処理（Ｓ１０）は、前記調整ポイントの抽出処理（Ｓ２０）は割愛され、初期化処理（Ｓ３０）から始まる。
【００２６】
上述した調整ポイントの抽出処理（Ｓ２０）がなされた後は、再び、前記運転処理（Ｓ１０）に戻り、次いで、初期化処理（Ｓ３０）がなされる。前記初期化処理（Ｓ３０）は、前記第一ガイド軸２０の近傍に備えられる原点センサ４６が、前記第一スライダ２０を感知するまで、前記第一スライダ２５及び第二スライダ３５を移動させる。そして、前記原点センサ４６が前記第一スライダ２５を感知した場合には、前記パソコン７０に感知した旨の感知信号が送られ、前記パソコン７０のメモリ７２に原点ポイントが記憶される。
なお、前記初期化処理（Ｓ３０）は、原点ポイントを記憶させる処理のほか、各種機器において適宜な初期化処理がされる。
【００２７】
前記初期化処理（Ｓ２０）がなされた後は、再び、前記第一搬送機構２１及び前記第二搬送機構３１である、それぞれのリニアモータに電力を供給して前記第一スライダ２５及び第ニスライダ３５を低速で移動させて、第一スライダ２５が記憶された前記調整ポイントの位置にする（Ｓ４０）。そして、前記第一搬送機構２１及び第二搬送機構３１である、それぞれのリニアモータヘの電力供給をオフとする。すなわち、前記第一スライダ２５及び第二スライダ３５は、互いがそれまで係合していた第一ガイド軸２０及び第二ガイド軸３０との係合を解除することとなる（Ｓ５０）。この係合の解除によって、前記第一スライダ２５及び第二スライダ３５は、対応する第一、第二ガイド軸２０，３０に対して、互いにフリーにさせた状態となる。これによって、前記第一スライダ２５及び第Ａ1スライダ３５は、該第一、第二スライダ２５，３５にかかっていた応力に反発して移動することとなり、生じていた応力は解消される。
【００２８】
これによって、生じていた応力が解消されて、前記移動体４０の位置は、前記第一ガイド軸２０及び第ニガイド軸３０に対して垂直に近い正規の姿勢となる。これに従って、生じていた応力による摩擦力も無くなるほどに小さくなって、前記移動体４０を含む第一スライダ２５及び第二スライダ３５は、スムーズに移動可能となる。つまり、摩擦力が大きくなることによって発生していた基板検査装置１の過負荷エラーも防止され、被検体を検査するにあたって好ましいものとなる。
【００２９】
そして、前記移動体４０を備えた前記第一スライダ２５及び第ニスライダ３５は、再び互いが第一ガイド軸２０及び第二ガイド軸３０と係合して、上述した原点ポイントまで移動する（Ｓ６０）。そして、その後に、前記第一スライダ２５及び第二スライダ３５は、前記移動体４０を基端部２８，３８から先端部２９，３９に向かって移動して、前記ステージ４５に載置された被検体を検査する。
【００３０】
なお、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において適宜の選択が可能である。
例えば、上述した応力の求め方としては、前記第一スライダ及び第二スライダの互いの位置の差によって応力が求められるようにしたが、これに限定されず、実際にその応力が計測されるように構成されてもよいし、また、前記第一スライダ及び第二スライダに応力測定器等を設けて測定されるようにしてもよい。
また、前記第一スライダ及び第二スライダの位置を測定するにあたって、第一、第二ガイド軸に設けられたスケールによって位置が測定されるものとしたが、スライダの位置測定は、適宜な位置測定器によって測定されるものであってよい。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明に係る基板検査装置の概略ブロック図である。
【図２】図１に示す基板検査装置が行う運転処理を示すフローチャートである。
【図３】調整ポイントの抽出処理を示すフローチャートである。
【図４】調整ポイントを抽出するための第一スライダと第ニスライダの測定位置の差を示すグラフである。
【図５】移動体が応力の大きいポイント及び応力の小さいポイントに位置する例を示す概念図である。
【図６】移動体に応力が生じている例を示す図である。
【符号の説明】
【００３２】
１    基板検査装置
１０    本体部
２０    第一ガイド軸
２１    第一搬送手段
３０    第二ガイド軸
３１    第二搬送手段
４０    移動体
５０    制御部
７０    記憶手段
【図１】
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【図２】
2008021715.tif 000004
【図３】
2008021715.tif 000005
【図４】
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【図５】
2008021715.tif 000007
【図６】
2008021715.tif 000008