(57)【要約】【課題】被洗浄物の熱容量に応じて、被洗浄物加熱部と蒸気冷却部との通過順序を換え、乾燥不良によるシミの原因を無くすことができる蒸気乾燥洗浄装置を提供する。【解決手段】被洗浄物を洗浄液中に浸漬して洗浄を行う洗浄槽１０と、被洗浄物の表面乾燥を行うため洗浄液を基に乾燥用蒸気を発生する蒸気発生槽２０とを、一体化して底部に具備する蒸気乾燥洗浄槽３０と、蒸気乾燥洗浄槽３０の内部に設置され、被洗浄物が通過する際、被洗浄物の表面乾燥を補助する被洗浄物加熱部４０と、蒸気乾燥洗浄槽３０の内部に設置され、乾燥用蒸気を露結させて回収する蒸気冷却部５０とを有し、被洗浄物が、被洗浄物加熱部４０を通過した後、蒸気冷却部５０を通過する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被洗浄物を洗浄した後、前記被洗浄物を蒸気乾燥する蒸気乾燥洗浄装置であって、
前記被洗浄物を洗浄液中に浸漬して洗浄を行う洗浄槽と、前記被洗浄物の表面乾燥を行うため前記洗浄液を基に乾燥用蒸気を発生する蒸気発生槽とを、一体化して底部に具備する蒸気乾燥洗浄槽と、
前記蒸気乾燥洗浄槽の内部に設置され、前記被洗浄物が通過する際、前記被洗浄物の前記表面乾燥を補助する被洗浄物加熱部と、
前記蒸気乾燥洗浄槽の内部に設置され、前記乾燥用蒸気を露結させて回収する蒸気冷却部とを有し、
前記被洗浄物が、前記被洗浄物加熱部を通過した後、前記蒸気冷却部を通過することを特徴とする蒸気乾燥洗浄装置。
【請求項２】
前記被洗浄物加熱部は、前記被洗浄物が通過する際、該被洗浄物を前記洗浄液の沸点温度以上に加熱することを特徴とする請求項１に記載の蒸気乾燥洗浄装置。
【請求項３】
前記被洗浄物加熱部の雰囲気の温度、前記被洗浄物加熱部の加熱材の表面温度、前記被洗浄物の表面温度の内の１つ以上の温度を測定する温度センサを有し、前記温度センサの信号を基に前記被洗浄物加熱部を制御することを特徴とする請求項１又は２に記載の蒸気乾燥洗浄装置。
【請求項４】
前記被洗浄物加熱部が、前記蒸気乾燥洗浄槽の外部に設置されることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の蒸気乾燥洗浄装置。
【請求項５】
前記被洗浄物が、前記蒸気冷却部を通過した後、前記被洗浄物加熱部を通過することを特徴とする請求項１に記載の蒸気乾燥洗浄装置。
【請求項６】
前記被洗浄物加熱部は、前記熱容量の大きい被洗浄物が通過する際、該被洗浄物を前記洗浄液の沸点温度に加熱することを特徴とする請求項５に記載の蒸気乾燥洗浄装置。
【請求項７】
前記被洗浄物加熱部の雰囲気の温度、前記被洗浄物加熱部の加熱材の表面温度、前記被洗浄物の表面温度の内の１つ以上の温度を測定する温度センサを有し、前記温度センサの信号を基に前記被洗浄物加熱部を制御することを特徴とする請求項５又は６に記載の蒸気乾燥洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被洗浄物の洗浄が終了すると蒸気乾燥して被洗浄物を取り出す蒸気乾燥洗浄装置に係り、詳しくは、被洗浄物の熱容量に応じて、被洗浄物加熱部と蒸気冷却部との通過順序を換えた蒸気乾燥洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図４は、従来の蒸気乾燥洗浄装置の構成を示す装置構成図である。図４において、蒸気乾燥洗浄槽３０は、被洗浄物を洗浄液１５中に浸漬して洗浄を行う洗浄槽１０と、被洗浄物の表面乾燥を行うため洗浄液１５を基に乾燥用蒸気を発生する蒸気発生槽２０とを底部に一体化して具備している。また洗浄槽１０は、仕切り壁１２で槽が２つに仕切られており、洗浄部と洗浄液回収部とに分かれている。
【０００３】
これにより洗浄槽１０は、洗浄部からオーバフローした洗浄液が、洗浄液回収部で回収され、ポンプ１４とフィルタ１６とを介して、再び洗浄部へ供給される循環式の洗浄槽となっている。蒸気発生槽２０は加熱部２５を有し、被洗浄物の精密洗浄と表面乾燥とを行うため、洗浄液１５を加熱し乾燥用蒸気を発生する。蒸気乾燥洗浄槽３０の上部の内側には、乾燥用蒸気を露結させて回収する蒸気冷却部５０が設置されている。
【０００４】
循環式洗浄槽１０の洗浄液１５が所定の清浄度になると、被洗浄物が洗浄部の洗浄液１５に浸漬され、洗浄が開始される。所定の時間洗浄が行われ、洗浄が終了すると、被洗浄物は、引き上げられ、蒸気発生槽２０により発生した乾燥用蒸気中を通過する。洗浄液がＩＰＡ（イソプロピルアルコール）である場合、沸点温度が８２℃であるため、被洗浄物は乾燥用蒸気内を通過中に８２℃に加熱され、洗浄中に表面に付着したＩＰＡ液は、乾燥用蒸気中に蒸発する。これにより被洗浄物の表面は、乾燥した状態で蒸気乾燥洗浄槽３０から取り出される。乾燥用のＩＰＡの蒸気は、蒸気冷却部５０において冷却されて露結し、蒸気乾燥洗浄槽３０の底部に落下して回収される。蒸気冷却部５０は、コイル状に設置されたパイプに冷却水を循環させ、乾燥用蒸気を冷却して露結させても良い。
【０００５】
ところで、被洗浄物の表面積が大きくて熱容量が小さい薄板ガラスの場合や、熱容量は大きくても表面が複雑な形状をしている金属部品の場合には、乾燥用蒸気中を通過する過程で乾燥に必要な熱量を十分に保有できないため、蒸気乾燥洗浄槽３０から取り出され後に表面または複雑な形状の内部に洗浄液１５が残存する場合が生じる。これは、乾燥不良によるシミの原因となり、洗浄歩留まりを低下させることになる。特許文献１には、基板の純水洗浄が終了した後、Ｎ２をキャリアガスとしてＩＰＡベーパーを供給し、その雰囲気内で乾燥を行い、ＩＰＡベーパーの消費量を抑え、パーティクルの発生をも抑える基板乾燥装置についての記載がある。
【特許文献１】特開平１１−８７３０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、その目的は、被洗浄物の熱容量に応じて、被洗浄物加熱部と蒸気冷却部との通過順序を換え、乾燥不良によるシミの原因を無くすことができる蒸気乾燥洗浄装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の蒸気乾燥洗浄装置は、被洗浄物を洗浄した後、被洗浄物を蒸気乾燥する蒸気乾燥洗浄装置であって、被洗浄物を洗浄液中に浸漬して洗浄を行う洗浄槽と、被洗浄物の表面乾燥を行うため洗浄液を基に乾燥用蒸気を発生する蒸気発生槽とを、一体化して底部に具備する蒸気乾燥洗浄槽と、蒸気乾燥洗浄槽の内部に設置され、被洗浄物が通過する際、被洗浄物の表面乾燥を補助する被洗浄物加熱部と、蒸気乾燥洗浄槽の内部に設置され、乾燥用蒸気を露結させて回収する蒸気冷却部とを有し、被洗浄物が、被洗浄物加熱部を通過した後、蒸気冷却部を通過することを特徴とする。
【０００８】
本発明の蒸気乾燥洗浄装置の被洗浄物加熱部は、被洗浄物が通過する際、被洗浄物を洗浄液の沸点温度以上に加熱することを特徴とする。
【０００９】
本発明の蒸気乾燥洗浄装置は、被洗浄物加熱部の雰囲気の温度、被洗浄物加熱部の加熱材の表面温度、被洗浄物の表面温度の内の１つ以上の温度を測定する温度センサを有し、温度センサの信号を基に被洗浄物加熱部を制御することを特徴とする。
【００１０】
本発明の蒸気乾燥洗浄装置の被洗浄物加熱部が、蒸気乾燥洗浄槽の外部に設置されることを特徴とする。
【００１１】
本発明の他の蒸気乾燥洗浄装置は、被洗浄物が、蒸気冷却部を通過した後、被洗浄物加熱部を通過することを特徴とする。
【００１２】
本発明の他の蒸気乾燥洗浄装置の被洗浄物加熱部は、熱容量の大きい被洗浄物が通過する際、被洗浄物を洗浄液の沸点温度に加熱することを特徴とする。
【００１３】
本発明の他の蒸気乾燥洗浄装置は、被洗浄物加熱部の雰囲気の温度、被洗浄物加熱部の加熱材の表面温度、被洗浄物の表面温度の内の１つ以上の温度を測定する温度センサを有し、温度センサの信号を基に被洗浄物加熱部を制御することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の蒸気乾燥洗浄装置によれば、被洗浄物の熱容量に応じて、被洗浄物加熱部と蒸気冷却部との通過順序を換えて乾燥させることができるため、乾燥不良によるシミの原因を無くすことが可能となる。これにより、洗浄歩留まりの向上が図れる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明による実施の形態について、図を用いて説明する。図１は、本発明の蒸気乾燥洗浄装置の構成を示す装置構成図である。図１において、蒸気乾燥洗浄装置１００の蒸気乾燥洗浄槽３０の内側には、被洗浄物が取り出される際被洗浄物の表面乾燥を補助する被洗浄物加熱部４０が下側に、乾燥用蒸気を露結させて回収する蒸気冷却部５０が上側に設置され、且つ、温度センサ６０が、被洗浄物加熱部４０と蒸気冷却部５０との設置場所の間に設置されているところが、図４の場合と異なっている。
【００１６】
図４と同様、循環式洗浄槽１０の洗浄液１５が所定の清浄度になると、被洗浄物が洗浄部の洗浄液１５に浸漬され、洗浄が開始される。所定の時間洗浄が行われ、洗浄が終了すると、被洗浄物は、引き上げられ、蒸気発生槽２０により発生した乾燥用蒸気中を通過する。このとき被洗浄物は、被洗浄物加熱部４０により洗浄液１５の沸点温度以上（ＩＰＡの場合は８２℃以上）に加熱される。
【００１７】
これにより、表面積が大きくて熱容量が小さい薄板ガラス等の場合においても、乾燥に必要な熱量を十分に保有できるため、洗浄中に表面に付着した洗浄液１５は全て乾燥用蒸気中に蒸発し、蒸気乾燥洗浄槽３０から取り出され後に表面に洗浄液１５が残存することはない。このため乾燥不良によるシミの原因が無くなり、洗浄歩留まりが向上する。
【００１８】
乾燥用の蒸気は、蒸気冷却部５０において冷却されて露結し、蒸気乾燥洗浄槽３０の底部に落下して回収される。温度センサ６０は、被洗浄物加熱部の雰囲気の温度、被洗浄物加熱部の加熱材の表面温度、被洗浄物の表面温度の内の１つ以上の温度を測定し、この信号を基に被洗浄物加熱部４０を制御し、加熱量の最適化が可能となる。被洗浄物加熱部４０が誘導加熱装置である場合は、誘導加熱コイルの電流、電圧及び周波数を制御して、加熱量を最適化することができる。
【００１９】
図２は、本発明の蒸気乾燥洗浄装置のもう１つの構成を示す装置構成図である。図２において、被洗浄物加熱部４０が蒸気乾燥洗浄槽３０の外部に設置されているところが、図１の場合と異なっている。このため被洗浄物加熱部４０の設置部分は、加熱されにくい材料、例えば被洗浄物加熱部４０が誘導加熱装置である場合は、無機質の材料が使われることが好ましい。これにより、被洗浄物加熱部４０からの発塵による被洗浄物の汚染を防止することができる。また、被洗浄物加熱部４０がランプ加熱装置であり、設置部分にレンズ状のガラス材料を用いることにより、被洗浄物をスポット状に加熱することが可能となる。
【００２０】
図３は、本発明の他の蒸気乾燥洗浄装置の構成を示す装置構成図である。図３において、蒸気乾燥洗浄槽３０の内側には、乾燥用蒸気を露結させて回収する蒸気冷却部５０が下側に、被洗浄物が取り出される際被洗浄物の表面乾燥を補助する被洗浄物加熱部４０が上側に設置されているところが、図１の場合と異なっている。
【００２１】
熱容量が大きく、表面が複雑な形状をしている金属部品等の場合には、被洗浄物の取り出し時において、まず蒸気冷却部５０を通過するため、乾燥用の蒸気が蒸気冷却部５０で冷却されて露結し、蒸気乾燥洗浄槽３０の底部に落下して回収される。次に被洗浄物は、被洗浄物加熱部４０により洗浄液の沸点温度まで加熱される。このとき、被洗浄物の表面が複雑な形状をしていても、熱容量が大きいため、加熱されることにより乾燥に必要な熱量を十分に保有でき、表面が複雑な形状の内部に付着した洗浄液１５も、全て大気中に蒸発する。
【００２２】
このため、蒸気乾燥洗浄槽３０から取り出され後に表面に洗浄液１５が残存することはなく、乾燥不良によるシミの原因が無くなり、洗浄歩留まりが向上する。また加熱温度が洗浄液の沸点温度であるため、図１の場合より消費電力が少ない条件で、同じ効果を得ることができる。図１乃至３において、洗浄槽１０と蒸気発生槽２０とは仕切りの無い１つの槽であっても良い。この場合、被洗浄物は、引き上げ時には洗浄液１５の沸点温度まで加熱されているため、蒸気洗浄効果は下がるが、被洗浄物加熱部４０の電力の消費量を軽減することができる。
【００２３】
以上説明したように本発明の蒸気乾燥洗浄装置によれば、被洗浄物の熱容量に応じて、被洗浄物加熱部と蒸気冷却部との通過順序を換えて乾燥させることができるため、乾燥不良によるシミの原因を無くすことが可能となる。また温度センサを用いて被洗浄物加熱部を制御することにより加熱量の最適化が可能となり、消費電力量と洗浄液の過剰蒸発量とを抑えて、洗浄歩留まりの向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の蒸気乾燥洗浄装置の構成を示す装置構成図。
【図２】本願発明の蒸気乾燥洗浄装置のもう１つの構成を示す装置構成図。
【図３】本願発明の他の蒸気乾燥洗浄装置の構成を示す装置構成図。
【図４】従来の蒸気乾燥洗浄装置の構成を示す装置構成図。
【符号の説明】
【００２５】
１０  洗浄槽
１２  仕切り壁
１４  ポンプ
１５  洗浄液
１６  フィルタ
２０  蒸気発生槽
２５  加熱部
３０  蒸気乾燥洗浄槽
４０  被洗浄物加熱部
５０  蒸気冷却部
６０  温度センサ
１００  蒸気乾燥洗浄装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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