(57)【要約】【課題】本発明は、ステージを含む制御対象物の移動追随性が良好なる制御対象物手動操作制御システムを提供することを目的とする。【解決手段】本発明は、試料が載置されるステージを含む制御対象物と、前記制御対象物を移動させるパルスモータを含む対象物移動駆動手段と、前記対象物移動駆動手段の移動を制御するパルスモータ制御装置を含む対象物移動制御手段と、前記制御対象物の移動を指示するマニアル操作指示手段と、前記マニアル操作指示手段が示す制御対象物の移動指示を移動速度指令に変えて前記対象物移動駆動手段に伝える移動速度指令手段と、前記移動指示と制御対象物の実移動速度との速度差を検知する移動速度差検知手段を有し、前記移動速度指令手段は前記速度差に応じて前記移動速度指令を補正する移動速度指令補正機能手段を有することを特徴とする。【選択図】図１
2008257122.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料が載置されるステージを含む制御対象物と、
前記制御対象物を移動させるパルスモータを含む対象物移動駆動手段と、
前記対象物移動駆動手段の移動を制御するパルスモータ制御装置を含む対象物移動制御手段と、
前記制御対象物の移動を指示するマニアル操作指示手段と、
前記マニアル操作指示手段が示す制御対象物の移動指示を移動速度指令に変えて前記対象物移動駆動手段に伝える移動速度指令手段と、
前記移動指示と制御対象物の実移動速度との速度差を検知する移動速度差検知手段と、を有し、
前記移動速度指令手段は、前記速度差に応じて前記移動速度指令を補正する移動速度指令補正機能手段を有することを特徴とする制御対象物手動操作制御システム。
【請求項２】
請求項１記載の制御対象物手動操作制御システムにおいて、
前記対象物移動駆動手段は、回転運動を直線移動に変える送りねじ機構を含み、
前記送りねじ機構のバックラッシュを含む前記対象物移動駆動手段のロストモーション量を検出するロストモーション検出手段を備え、
前記移動速度指令補正機能手段は、前記ロストモーション検出手段が検知するロストモーション量の影響をも含めて前記移動速度指令を補正し、
この移動速度指令の補正が前記制御対象物の移動開始指示直後も含めて可能であることを特徴とする制御対象物手動操作制御システム。
【請求項３】
請求項２に記載の制御対象物手動操作制御システムにおいて、
前記ロストモーション検出手段は、前記制御対象物に備わる変位センサが検知する制御対象物の現在位置情報と前記マニアル操作指示手段が指示した予定移動位置情報とを比較する移動位置比較機能手段を含むことを特徴とする制御対象物手動操作制御システム。
【請求項４】
請求項２または３に記載された制御対象物手動操作制御システムにおいて、
前記マニアル操作指示手段は、前記ロストモーション量を把握して前記制御対象物の制御不能状態を視覚的、定量的に示す表示機能手段を有することを特徴とする制御対象物手動操作制御システム。
【請求項５】
請求項４に記載された制御対象物手動操作制御システムにおいて、
前記対象物移動制御手段は、前記移動速度指令に基づいてパルス数を発生するパルス発生器と、前記パルス数を数えて制御対象物の予定移動位置を計測する予定位置計測器を有し、
前記ロストモーション検出手段で、前記予定位置計測器が計測した予定移動位置情報と前記制御対象物の現在位置情報を比べてロストモーション量を把握し、
その把握されたロストモーション量が前記マニアル操作指示手段に伝達手段を介して伝達されることを特徴とする制御対象物手動操作制御システム。
【請求項６】
請求項１に記載の制御対象物手動操作制御システムにおいて，
前記マニアル操作指示手段は、前記移動速度指令を補正する補正量をオペレータが任意に調整設定できる調整設定機能手段を有することを特徴とする制御対象物手動操作制御システム。
【請求項７】
請求項２または３に記載された制御対象物手動操作制御システムにおいて，
前記マニアル操作指示手段は、前記ロストモーション量の影響をも含めて前記移動速度指令を補正する補正量をオペレータが任意に調整設定できる調整設定機能手段を有し、
前記調整設定機能手段の調整設定が前記制御対象物の移動開始指示直後も含めて可能であることを特徴とする制御対象物手動操作制御システム。
【請求項８】
請求項４〜６の何れかに記載された制御対象物手動操作制御システムにおいて，
前記マニアル操作指示手段は、前記ロストモーション量による前記制御対象物の制御不能状態を視覚的、定量的に認識できるように示す表示項目と、前記移動速度指令を補正する補正量を示す表示項目が表示されることを特徴とする制御対象物手動操作制御システム。
【請求項９】
請求項２または３もしくは７に記載された制御対象物手動操作制御システムにおいて，
前記マニアル操作指示手段は、前記ロストモーション量による制御対象物の制御不能状態を視覚的、定量的に認識できるように示す表示機能手段と、
前記表示機能手段は、前記制御対象物の移動開始指示直後も含めて機能可能であることを特徴とする制御対象物手動操作制御システム。
【請求項１０】
請求項１〜９の何れかに記載された制御対象物手動操作制御システムにおいて、
前記マニアル操作指示手段は、表示部とマニアル操作体を有し、
前記マニアル操作体は、ジョイスティック機構やトラックボール機構を含み、
前記パルスモータの回転制御は、前記移動速度指令にしたがったパルス列によって行なわれることを特徴とする制御対象物手動操作制御システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、製造装置・検査装置・評価装置や使用される制御対象物手動操作制御システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体メーカなどで使用される製造装置・検査装置・評価装置や、医療分野で用いられている自動分析装置などでは、コストや制御の容易さの点からアクチュエータとしてパルスモータを使用する制御対象物手動操作制御システムが多い。
【０００３】
パルスモータのパルス制御方式としては、一般的にはマイコンにより実現されるデジタル制御方式があり、このデジタル制御には割込み周期制御やベース周期制御がある。
【０００４】
割り込み周期制御は、マイコンの時間割り込み機能、又は角度割り込み機能を使用した制御であり、同制御では、一定の時間周期又は一定の角度周期で割り込み処理が起動される。
【０００５】
また、ベース周期制御は、マイコンのベースルーチンで周期処理される制御であり、同制御では、ベースルーチン内の所定ステップに到達すると、当該ステップにて上記同様、駆動パルスが操作され、パルスモータが駆動される。
【０００６】
特許文献１、２、３には上記制御方式における，レスポンス性の向上，データ量削減を実現する手段が提案されている。
【０００７】
【特許文献１】特開２００２−１８６２８９号公報
【特許文献２】特開２００２−１０９５７６号公報
【特許文献３】特開２００５−９２１５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
以下，半導体検査装置のウェハステージ制御を例に課題について説明する。
【０００９】
上記特許文献３によれば、ステージを所定の位置に精度良く停止する制御に関して記載されている。
【００１０】
しかし、マニアル操作装置でステージを移動させる際にステージの追随が良くなく、目標個所の観察が手際よくできないと言う課題があった。
【００１１】
本発明は、上記の課題に対処し、ステージを含む制御対象物の移動追随性が良好なる制御対象物手動操作制御システムを提供することを目的とする。
【００１２】
また追随性のカスタマイズ行うことにより、個々のオペレータに合う操作感を提供することを目的とする。更に、可視化できる表示部を設けることによりカスタマイズ性及び操作性の向上を図ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、試料が載置されるステージを含む制御対象物と、前記制御対象物を移動させるパルスモータを含む対象物移動駆動手段と、前記対象物移動駆動手段の移動を制御するパルスモータ制御装置を含む対象物移動制御手段と、前記制御対象物の移動を指示するマニアル操作指示手段と、前記マニアル操作指示手段が示す制御対象物の移動指示を移動速度指令に変えて前記対象物移動駆動手段に伝える移動速度指令手段と、前記移動指示と制御対象物の実移動速度との速度差を検知する移動速度差検知手段を有し、前記移動速度指令手段は前記速度差に応じて前記移動速度指令を補正する移動速度指令補正機能手段を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、ステージを含む制御対象物の移動追随性が良好なる制御対象物手動操作制御システムを提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について説明する。
【００１６】
本発明の制御対象物手動操作制御システムは、半導体の製造分野で使われている製造装置や検査装置、あるいは評価装置、医療装置、電子顕微鏡等に適用される。
【００１７】
ここでは、ウェハの検査装置に適用した制御対象物手動操作制御システムを例に挙げて説明する。
【００１８】
まず、図３を引用してウェハ検査装置の概要について説明する。
【００１９】
図３は半導体の製造分野で使われている、製造装置や検査装置のウェハステージ制御に用いられる代表的な位置決め装置の概要を示したものである。
【００２０】
図３において、ステージアクチュエータとしてパルスモータ１と、回転運動を直線運動に変える送りねじ機構３とを使用している。
【００２１】
この送りねじ機構３は、パルスモータ１に軸用カップリング２を介して取り付けられている。送りねじ機構３の稼動部４には制御対象であるステージ５が取り付けられており、パルスモータ１を回転させると、軸用カップリング２を介して送りねじ機構３が回転する。
【００２２】
送りねじ機構３が回転することにより、ネジ作用で回転量に比例してステージ５がガイド６に添って移動する。
【００２３】
ステージ５には変位センサ７が取り付けられており、ステージ５の位置を把握することが可能な構成となっていることが一般的である。パルスモータ１の制御はパルスモータ制御装置８により行われる。
【００２４】
パルスモータ制御装置８は上位制御装置９から与えられる駆動パターンパラメータ１００に従い、変位センサ７からのステージの現在位置情報１０２と上位制御装置９から要求される目標ステージ位置とが一致するよう、パルスモータ１に与える駆動パルスのパルス数及びパルス速度、あるいは相励磁信号及び電流信号１０１を制御し位置決め制御を行う。
【００２５】
また、ガイド６とステージ５との間にはブレーキ機構が備えられており、ガイド６とステージ５との間に摩擦力を与え、ステージ５の速度、及び慣性力を抑止し、ステージ５の可制御性、位置決め精度を高める働きを担っている。
【００２６】
こうした位置決め装置に対して高精度・高速な位置決め制御を行う為に、アクチュエータであるパルスモータ１を高速且つ高精度に制御する必要があり、パルスモータ１の制御方式には様々な方法が取られている。
【００２７】
ステージ５のマニュアル操作は、マニュアル操作装置１０のマニュアル操作体をオペレータが操作することにより、行なわれる。マニュアル操作体は、トラックボールやマウスのトラックボール機構、ジョイスティック機構等を含む。
【００２８】
ここで、本発明の理解を深めるために本発明の課題について詳しく述べる。
【００２９】
マニュアル操作はマニュアル操作装置１０のマニュアル操作体をオペレータが操作することにより、ステージの移動操作が行なわれる。マニュアル操作体は、トラックボールやマウスのトラックボール機構、ジョイスティック機構等を含む。
【００３０】
オペレータは、マニュアル操作装置１０を操作してステージ５を所定の位置に移動し、ウェハの目標個所の像を観察する。
【００３１】
半導体検査装置のステージ５は通常、オペレータは目視できないため、リアルタイムに表示部（図示せず）に表示されるモニタ上の観察像の移動具合を見ながらオペレータはマニュアル操作装置１０の操作により位置調節を行う。
【００３２】
パルスモータ制御装置８を含めたウェハステージ制御装置は、マニュアル操作の場合、自動位置決め制御時のような高速、高精度の位置決め制御は必要としないものの、オペレータによるマニュアル操作装置１０の操作感とそれに伴って移動する観察像がスムーズに連動する、追随性の高い制御が求められる。
【００３３】
一般的にはマニュアル操作装置１０の操作量に相当する速度とステージ５の速度とが連動するように速度制御する必要がある。
【００３４】
このような状況のもとで、回転運動を直線運動に変える送りねじ機構３と稼動部４との間には、ステージ５の停止中に駆動機構からの振動の伝達や、熱による駆動機構やブレーキ機構の膨張、収縮によるステージ５の位置ドリフトの発生を避けるため、意図的に設けられた隙間が存在する。
【００３５】
ステージ５の停止時には、その隙間を利用して稼動部４と送りねじ機構３との接触を回避する為の切り離し動作を行う。
【００３６】
ステージ５の移動時には、その隙間が存在する為、モータ回転直後にステージ５は動き出さず、送りねじ機構３が一方向に回転し続け、その隙間が埋まり稼動部４と送りねじ機構３とが接触した段階で初めてステージ５が動き出すことになる。
【００３７】
つまり，稼動部４と送りねじ機構３とが接触するまでの稼動部４の動作は、図４に示すバックラッシュのロストモーションとなる。
【００３８】
更に、前記ロストモーションの量は半導体検査装置の周囲環境、ステージ装置の機差、直前のステージ５の移動速度、ステージ５の位置など様々な要因により変化する。
【００３９】
例えば、直前のステージ５の移動が高速であった場合と低速であった場合とでは、ステージ５の移動直後に行う切り離し動作の際、慣性力、稼動部４のしなりによるばね反発力等が異なり、切り離し動作が一定量のモータ回転と言う同一の動作であっても、切り離し動作完了後の稼動部４と送りねじ機構３との位置関係は異なる。
【００４０】
また、ロストモーション量は常に一定ではないためステージ５の移動量もパルスモータ１の回転量と一致することは稀である。
【００４１】
前記ロストモーションは、パルスモータ制御装置８からの位置指令と実際のステージ５の移動量との間に誤差を生み出し、位置決め精度の低下を引き起こす。位置決め精度は、パルスモータ制御装置８によってパルスモータの回転角度や回転数を調整することで解決される。
【００４２】
トラックボール機構、ジョイスティック機構等のマニアル操作に対するステージ５の移動は、追随性が劣る余り、観察個所の位置決めに手間取りが観察像の検査に時間がかかる。
【００４３】
また、上記ロストモーションのため、マニュアル操作装置１０を操作し、パルスモータ１は回転しているのにも関わらず、ステージ５は操作直後には動作しない状態が発生する。
【００４４】
そのため観察像も動作しないため、操作量が少ないと誤認識したオペレータはマニュアル操作装置１０の操作量を大きくすることになる。
【００４５】
操作量を大きくするとパルスモータ１及び送りねじ機構３は急速な動作を始め、ロストモーションを消費し終わった瞬間に、稼動部４とステージ５は急速に移動し始める。
【００４６】
それに伴い観察像もオペレータが想定したよりも早い速度で移動してしまい、オペレータの操作が間に合わず、目標とする位置を通り過ぎてしまい、オペレータは位置を戻す動作を余儀なくされてしまう。このような操作性の悪さは微小量を移動させようとする再に特に顕著に現れる。
【００４７】
こうした観察像の検査で、オペレータのマニュアル操作に従ってステージが円滑に追従できない課題を解決して検査作業を容易にできるようにしたところが、本発明の狙いである。
【００４８】
図１は本発明の一実施形態である制御対象物手動操作制御システムの構成図である。
【００４９】
マニアル操作指示手段であるマニュアル操作装置１０は、トラックボール、マウス、ジョイスティックといったヒューマンインターフェース１１を備えている。
【００５０】
マニュアル操作装置１０は、トラックボール機構やジョイスティック機構の操作体と、マニュアル操作に関する項目や各種内容を示す表示部を有する。
【００５１】
オペレータがヒューマンインターフェース１１の操作体を操作する事により、その操作量に相当するマニュアル操作速度１０３がパルスモータ制御装置８に伝達される。
【００５２】
なお、マニュアル操作速度１０３は、マニアル操作指示手段の移動指示に含まれる。パルスモータ制御装置８は、対象物移動制御手段に含まれる。
【００５３】
パルスモータ制御装置８は、マニュアル操作装置１０から伝達されるマニュアル操作速度１０３に制御対象物であるステージ５が追随するようパルスモータ１を制御する。
【００５４】
なお、パルスモータ１は対象物移動駆動手段に含まれる。
【００５５】
パルスモータ制御装置８は、速度指令１０５を出す速度指令部１４、パルス生成器１６、モータドライバ１７、速度変換器１８、速度偏差検出器１９、予定位置計測器２０、ロストモーション量認識部２１、初動補正部を備えている。
【００５６】
なお、速度指令部１４は移動速度指令手段に含まれる。速度偏差検出器１９は移動速度差検知手段に含まれる。ロストモーション量認識部２１は、ロストモーション検出手段に含まれる。
【００５７】
速度指令部１４は、マニュアル操作装置１０からのマニュアル操作速度１０３を受け、マニュアル操作速度１０３に相当するパルスモータ１に対する速度指令１０５を発行する。
【００５８】
通常、マニュアル操作速度１０３とパルスモータ１の速度指令１０５の相関関係は予め決められており、図１では変換テーブル１５に変換基準１０４が格納されており、速度指令部１４はその変換基準１０４を基に速度指令１０５の値を発生する。
【００５９】
パルス生成器１６は速度指令１０５部１４からの速度指令１０５に基づき、速度指令１０５に相当するモータ駆動パルス１０６を発生する。
【００６０】
モータドライバ１７はパルス生成器１６からのモータ駆動パルス１０６を受け、パルスモータ１の相励磁信号及び電流信号１０１に変換する。パルスモータ１はこのパルスモータ１の相励磁信号及び電流信号１０１を受け回転し、結果制御対象物であるステージ５が移動する。
【００６１】
速度変換器１８は変位センサ７からのステージ５の現在位置を示す制御対象物の現在位置情報１０７からステージ５の現在速度を示す制御対象物の実移動速度である現在速度１０８を算出する変換器である。
【００６２】
制御対象物位置情報の単位時間あたりの変化量から速度を算出する直接計数方式を用いると、簡単な構成で実現することが可能である。
【００６３】
速度偏差検出器１９はマニュアル操作装置１０が発行するマニュアル操作速度１０３と速度変換器１８が出力する制御対象物の現在速度１０８とを比較する手段で、マニュアル操作装置１０が指示している速度と実際のステージ５の速度との偏差量を示す速度補正量１０９を出力する。
【００６４】
速度偏差検出器１９が出力する速度補正量１０９は速度指令部１４に伝達される。速度指令１０５部１４は速度補正量１０９に応じて現在出力中の速度指令１０５を補正する。
【００６５】
例えば、速度補正量１０９が大きければ、マニュアル操作装置１０が指示しているマニュアル操作速度１０３に対し、実際のステージ５の動作速度が少ないこと示しており、この場合、速度指令１０５部１４は速度指令１０５値を速度補正量１０９に比例した値に変換する。
【００６６】
すなわち、速度指令部１４である移動速度指令手段は、偏差量である速度差に応じて速度指令（移動速度指令）を補正する移動速度指令補正機能手段を有する。
【００６７】
逆に速度偏差量が小さければ、マニュアル操作装置１０からの指示に対しステージ５の移動がほぼ追随していることを示しており、速度指令１０５の変更量は小さくなる。
【００６８】
ここで、マニュアル操作開始直後、ロストモーションによりパルスモータ１を回転しているのにも関わらず、ステージ５が移動しない場合、マニュアル操作速度１０３に対して、制御対象物の速度はほぼ０であるため、速度補正量１０９は大きくなる。
【００６９】
それに伴い、速度指令１０５が上昇しパルスモータ１の回転速度が上がるため、結果として、ロストモーション量１１２の消費が高速に行われることになる。ロストモーション量１１２の消費が完了し、ステージ５が動き出すと、速度補正量１０９は小さくなり、マニュアル操作速度１０３に相当するステージ５の移動が実現される。
【００７０】
こうして、オペレータのマニュアル操作に対するステージの追従性を高めることができる。
【００７１】
ただし、オペレータがステージ５を微小に移動させたい場合、マニュアル操作の操作量は通常小さくなる。
【００７２】
この場合、マニュアル操作速度１０３も相応して小さくなるため、ロストモーションによりステージ５が移動しない制御対象物が０の状態であっても、速度補正量１０９は大きくならない。
【００７３】
この結果、ロストモーション量１１２の消費は高速に行われることができず、追随性が低下してしまう。
【００７４】
予定位置計測器２０はパルスモータ制御装置８が制御対象物に対し、どれだけの移動を促したかを計測する手段であり、脱調を考慮しなければ、パルス生成器１６が出力するモータ駆動パルス１０６のパルス数をカウントすることで最も簡単に実現できる。
【００７５】
予定位置計測器２０は、現時点で制御対象物がどの位置に存在するはずであるかを示す予定位置情報１１１を出力する。
【００７６】
なお、予定移動位置情報である予定位置情報１１１は、速度指令部１４、およびパルス生成器１６を介さずマニュアル操作装置１０から直接入手することも可能である。
【００７７】
一方、変位センサ７は制御対象物であるステージ５の位置情報を示す制御対象物の現在位置情報１０７を計測し、出力している。
【００７８】
この制御対象物の現在位置情報１０７と予定位置計測器２０が計測する予定位置情報１１１の偏差がロストモーション量１１２となる。ロストモーション量認識部２１はこのロストモーション量１１２を検出し出力する手段である。
【００７９】
つまり、ロストモーション検出手段に含まれるロストモーション量認識部２１は、ロストモーション量１１２である偏差（位置差）を検出して出力する移動位置比較機能手段を有する。
【００８０】
初動補正器２２は前述したステージ５の微小移動時のロストモーション量１１２を敏速に消費を解決する手段である。
【００８１】
初動補正器２２はマニュアル操作装置１０から来るマニュアル操作速度１０３の検出と併せて、ロストモーション量認識部２１から来る現在のロストモーション量１１２を監視し、ロストモーション量１１２が０となるまで速度指令１０５を補正するよう速度指令部１４に指示する。
【００８２】
補正指示は初動速度補正量１１０によって行われる。本手段により、ステージ５の微小移動時でもロストモーション量１１２の消費時間を短縮することができ、速度追随性を高め、操作性が向上する。
【００８３】
このロストモーションに基づく速度指令（移動速度指令）の補正は、前記速度差の補正と併せて前述した移動速度指令補正機能手段に掌握され、制御対象物であるステージの移動開始直後も含めて補正が行なわれるので、マニュアル操作の始めから終り亘り追従性の良好なステージの動きをオペレータに提供する。
【００８４】
更に、初動速度補正量１１０は一定値ではなく、例えばロストモーション量１１２に比例関係にし、ロストモーション量１１２が大きい場合は高速に、小さい場合は低速にロストモーション消費を行えば、ロストモーション量１１２の大小に関わらずロストモーション量１１２の消費時間をほぼ一定にすることができる。
【００８５】
このことは、オペレータの操作感に均一性を与えることになり、操作性の向上を期待できる。
【００８６】
ここで、上記手段によりロストモーションによる追随性の低下は極力抑えることができるがまったく無くすことは不可能である。
【００８７】
また、操作性はオペレータ個人の感覚に依存する部分が多く、急峻な応答を好むオペレータもいれば、緩やかな応答を好むオペレータも存在する。そのため、一過性の手段ですべてのオペレータに対して満足する操作性を提供することは困難である。
【００８８】
この問題を解決する手段として、本実施例ではマニュアル操作装置１０に、ヒューマンインターフェース１１と併せて表示部であるマニュアル操作表示器１２を設け、表示部にマニュアル操作補助ウィンドウ１３を備える。
【００８９】
図２は、マニュアル操作補助ウィンドウ１３の一実施例を示す。
【００９０】
マニュアル操作補助ウィンドウ１３は、スケール２６を含むロストモーション量模式表示部２３と、ロストモーション量１１２及び制御情報詳細表示部２４と、補正パラメータ設定部２５から構成されている。
【００９１】
ロストモーション量模式表示部２３はロストモーション量１１２の現在の状態を模式的に表示する手段であり、ステージ稼動方向にどれくらいのロストモーション量１１２が現在存在するかをリアルタイムに且つ視覚的に表示する。
【００９２】
これにより、制御対象物のロストモーション量をマニュアル操作補助ウィンドウの画面上で直に確認することができ、ロストモーション量のマニュアルよる補正が容易にできる。
【００９３】
マニュアル制御部のロストモーション量１１２の認識は、パルスモータ制御装置８のロストモーション量認識部２１からの出力情報により可能である。
【００９４】
オペレータはマニュアル操作を行う際に、本ロストモーション量模式表示部２３を見ながらマニュアル操作を行うことで、自分の操作量によってどれくらいのロストモーションの消費が行われているかを直感的に把握することができる。
【００９５】
通常目視不可能なステージ５の状態をロストモーション量１１２に注目し表示することにより、盲目的に操作するよりも格段の操作性向上を期待できる。
【００９６】
ロストモーション量１１２及び制御情報詳細表示部２４はロストモーション量１１２やマニュアル操作速度１０３等の制御情報を定量的に表示する手段であり、ロストモーション量模式表示部２３による直感的な情報表示を補佐する。
【００９７】
補正パラメータ設定部２５は、パルスモータ制御装置８の速度偏差検出器１９、初動補正器２２に対して、オペレータがその補正量をカスタマイズするためのインターフェースである。
【００９８】
オペレータは補正パラメータ設定部２５に補正パラメータを入力し、その後のマニュアル操作による観察像の動きに加え、ロストモーション量模式表示部２３、或いはロストモーション量１１２及び制御情報詳細表示部２４からの情報に基づき、オペレータが自身の操作感覚に合う補正パラメータを設定する。
【００９９】
設定された補正量は初動補正パラメータ１１３、速度補正パラメータ１１４として、パルスモータ制御装置８の初動補正器２２、及び速度偏差検出器１９に送信され、補正値を受信した初動補正器２２、及び速度偏差検出器１９は与えられた補正値に従い、自身が出力する速度補正量１０９、初動速度補正量１１０を調節する。
【０１００】
例えば、急峻な応答を好むオペレータは初動補正器２２のロストモーション量１１２に対する初動速度補正量１１０が基準より高めになるように設定し、速度偏差補正器のマニュアル操作速度１０３と制御対象物現在速度１０８との偏差に対する速度補正量１０９を基準より高めに設定することで、マニュアル操作開始直後にステージ５が急峻に動作し、しかも少しのマニュアル操作量でステージ５を高速に動かすこと状態にすることが可能となる。
【０１０１】
これら手段により、個人の感覚に依存するマニュアル操作をオペレータ毎に最適化する手段を提供することができる。
【０１０２】
このように、マニアル操作指示手段の表示部に示されるマニュアル操作補助ウィンドウ１３は、ロストモーション量を把握して制御対象物の制御不能状態を視覚的、定量的に示す表示機能手段を備える。
【０１０３】
また、その表示機能手段は、制御対象物の移動開始指示直後も含めて機能するようになっている。さらに、表示機能手段には、ロストモーション量による前記制御対象物の制御不能状態を視覚的、定量的に認識できるように示す表示項目と、移動速度指令を補正する補正量を示す表示項目が表示される。
【０１０４】
また、表示機能手段は、ロストモーション量の影響をも考慮して移動速度指令を補正する補正量をオペレータが任意に調整設定できる調整設定機能手段にもなっている。
【０１０５】
この調整設定機能手段を利用して、オペレータは制御対象物の移動開始指示直後も含む任意時に調整設定を行なうことができる。
【０１０６】
また、ロストモーション量認識部２１のロストモーション量は、バスライン等の伝達手段を介してマニアル操作指示手段に伝達されるが、遠隔操作に向け伝達手段を無線ランにすることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１０７】
【図１】本発明の実施例に係わるもので、制御対象物手動操作制御システムを適用して半導体検査装置の概要を示す構成図。
【図２】本発明の実施例に係わるもので、マニュアル操作補助ウィンドウの構成図。
【図３】本発明の実施例に係わるもので、位置決め装置の概要図。
【図４】本発明の実施例に係わるもので、ロストモーションの模式図。
【符号の説明】
【０１０８】
１…パルスモータ、２…軸用カップリング、３…送りねじ機構、４…稼動部、５…ステージ、６…ガイド、７…変位センサ、８…パルスモータ制御装置、９…上位制御装置、１０…マニュアル操作装置、１１…ヒューマンインターフェース、１２…マニュアル操作表示器、１３…マニュアル操作補助ウィンドウ、１４…速度指令部、１５…変換テーブル、１６…ルス生成器、１７…モータドライバ、１８…速度変換器、１９…速度偏差検出器、２０…予定位置計測器、２１…ロストモーション量認識部、２２…初動補正器、２３…ロストモーション量模式表示部、２４…ロストモーション量及び制御情報詳細表示部、２５…補正パラメータ設定部、２６…スケール、１００…駆動パターンパラメータ、１０１…相励磁信号及び電流信号、１０２…現在位置情報、１０３…マニュアル操作速度、１０４…変換基準、１０５…速度指令、１０６…モータ駆動パルス、１０７…制御対象物現在位置情報、１０８…制御対象物現在速度、１０９…速度補正量、１１０…初動速度補正量、１１１…予定位置情報、１１２…ロストモーション量、１１３…初動補正パラメータ、１１４…速度補正パラメータ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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