(57)【要約】【課題】電極板間距離を狭めかつアーク放電や短絡を防止して高電圧を印加できる電極板支持手段並びに気密性を備えた電気集塵装置を提供する。【解決手段】イオナイザ部(P)とコレクタ部(Q)とを備えた電気集塵装置(100)が両端の第１及び第２の端部ラック(10,20)と、その間の１又は複数の中間ラック(30,40)とを備え、各端部ラックの端部スリット形成部(16,26)が複数の正極用端部スリット(13,23)及び複数の負極用端部スリット(14,24)を具備し、正極用端部スリットは正極板の端部片(1f,1i)を挿通させて支持し、複数の負極用端部スリットは複数の負極板の端部片(2f,2i)を挿通させて支持し、中間ラックの中間スリット形成部(30,40)が複数の中間スリット(31,41)を具備し、複数の中間スリットが正極板及び負極板の帯状部分を挿通させて支持する。【選択図】図１
2008296127.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
塵埃を高電圧放電により帯電させるイオナイザ部(P)と、前記塵埃の流れに対して垂直な方向を長手方向とし水平に設置された帯状の複数の正極板(1)と複数の負極板(2)とを所定の間隔をもって鉛直方向に交互に配置し高電圧を印加することにより前記帯電した塵埃を付着させるコレクタ部(Q)とを備えた電気集塵装置(100)において、
前記コレクタ部の両端にそれぞれ立設され互いに対向する平板状の端部スリット形成部(16,26)をそれぞれ具備する電気絶縁材料からなる第１の端部ラック(10)及び第２の端部ラック(20)と、
前記第１及び第２の端部ラックの間に立設され前記端部スリット形成部と平行な平板状の中間スリット形成部(36,46)を具備する電気絶縁材料からなる１又は複数の中間ラック(30,40)と、を備え、
前記端部スリット形成部(16,26)が、各々水平方向に穿設された複数の正極用端部スリット(13,23)及び複数の負極用端部スリット(14,24)を具備し、該正極用端部スリットは前記複数の正極板の各々の端部片(1f,1i)を挿通させ該正極板の端部片をそれぞれ支持するべく鉛直方向に配列される一方、該複数の負極用端部スリットは前記複数の負極板の各々の端部片(2f,2i)を挿通させ該負極板の端部片をそれぞれ支持するべく鉛直方向に配列されており、かつ、
前記中間スリット形成部(30,40)が、各々水平方向に穿設された複数の中間スリット(31,41)を具備し、該複数の中間スリットが前記複数の正極板及び前記複数の負極板の各々の帯状部分を挿通させ該帯状部分をそれぞれ支持するべく鉛直方向に配列されていることを特徴とする電気集塵装置。
【請求項２】
前記正極板の端部片(1f,1i)及び前記負極板の端部片(2f,2i)は、それぞれ前記正極板及び前記負極板の長手方向両端の側縁(1c,1d,2c,2d)の一部から突出して設けられ、かつ、該正極板の端部片と該負極板の端部片とが平面視にて互いに重ならないように突出していることを特徴とする請求項１に記載の電気集塵装置。
【請求項３】
前記電気集塵装置の筐体が略直方体であることを特徴とする請求項１又は２に記載の電気集塵装置。
【請求項４】
前記第１の端部ラック(10)が前記電気集塵装置の筐体における吸気面及び排気面に対して垂直な一方の側面を形成する第１のラック側板(15a)を具備し、かつ、前記第２の端部ラック(20)が他方の側面を形成する第２のラック側板(25a)を具備することを特徴とする請求項３に記載の電気集塵装置。
【請求項５】
前記電気集塵装置の筐体を形成する部材同士の接合部にシール材を設けたことを特徴とする請求項３又は４に記載の電気集塵装置。
【請求項６】
前記第１及び第２の端部ラック(10,20)の少なくとも一方において、前記複数の正極板の各々の端部片(1f)を挟持する複数の給電クリップ(6a)と、前記複数の負極板の各々の端部片(2f)を挟持する複数の接地クリップ(6b)とが設けられ、それぞれ鉛直方向に配列され固着されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の電気集塵装置。
【請求項７】
前記複数の給電クリップ(6a)の各々が導電性接着剤により固着され、かつ鉛直方向における位置によって該給電クリップに用いる導電性接着剤の抵抗値を異ならせたことを特徴とする請求項６に記載の電気集塵装置。
【請求項８】
前記複数の正極板の各々の端部片(1fA)及び前記複数の負極板の各々の端部片(2fA)が、二股形状に形成され、
前記第１及び第２の端部ラック(10A,20A)の少なくとも一方において、前記正極板の端部片の二股形状に嵌合可能な断面形状を具備し鉛直方向に延在する給電ロッド(81a)と、前記負極板の端部片の二股形状に嵌合可能な断面形状を具備し鉛直方向に延在する接地ロッド(81b)と、該給電ロッド及び該接地ロッドをそれぞれ前記正極板の端部片及び前記負極板の端部片の二股形状部分に対して押し込み可能な断面形状を具備し鉛直方向に延在する電気絶縁材料からなる一対の押込固定ロッド(82a,82b)とを備えたことを特徴とする請求項１〜７のいずれかに電気集塵装置。
【請求項９】
前記イオナイザ部と前記コレクタ部との境界に電気絶縁材料からなる拡散ネット(5a)を設けたことを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の電気集塵装置。
【請求項１０】
前記正極板が、金属平板(1g)と、該金属平板の周囲を被覆した導電性樹脂フィルム(1j)とから形成されていることを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載の電気集塵装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、空気中に浮遊する塵埃を電気的に捕捉する電気集塵装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電気集塵装置は、単独の装置として用いられる場合や、オゾン発生装置と組み合わせてユニット化した空気清浄機の一部として用いられる場合がある。電気集塵装置において一般的な構成として、ファンなどで吸気した空気中の塵埃を高電圧放電により帯電させ、帯電した塵埃を、高電圧を印加した電極に引き寄せ付着させた後、塵埃を除去した空気を排気するものが知られている（特許文献１〜３）。塵埃を帯電させる区画をイオナイザ部と称し、塵埃を電極に付着させる区画をコレクタ部又は集塵部と称する場合もある。
【０００３】
コレクタ部においては、塵埃を効率よく付着するために電極形状を面積の広い平板状又は帯状としかつ多数の電極板を配置した構成が知られている。このような複数の電極板においては、高電圧を給電される正極板と、接地される負極板とが所定の間隔を以て交互に配置されている。塵埃の堆積した電極板は、定期的に洗浄して塵埃を除去し、乾燥させる必要がある。この構成の問題点の１つは、洗浄乾燥の繰り返しによって電極板に撓みを生じて電極間隔が不均一となったり狭くなったりして、集塵効果が低下する点である。特許文献１では、積層された正極板と負極板の間において所定の複数の位置に所定の向きで強固なスペーサを配置することにより、電極板の変形を防止している。
【特許文献１】実開平７−１３４４８号広報
【特許文献２】特開平６−１４２５４９号公報
【特許文献３】特開２００１−２０５１３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１のように複数のスペーサを電極板間に設けることは、製造コストが高くなるため、さらに安価でかつ簡易な構成により複数の電極板を平坦な状態で支持する手段が求められている。
【０００５】
コレクタ部においては、正極板と負極板の間隔が狭いほど電界強度が強くなり、かつ多数の電極板を配置できるため集塵効果は大きくなるが、電極板間距離が狭くなるとアーク放電を生じやすくなる。アーク放電が生じると、電極板の損傷を招き、同時に不快な放電音を発生し、さらに捕捉した塵埃に引火するおそれもある。
【０００６】
また、電極板間距離が狭くなると高電圧印加時に生じる電極板の揺動によって短絡が生じるおそれがある。短絡すると、印加電圧が降下しクーロン力が低下して集塵性能が著しく低下する。
このような事情により、従来の電極板支持手段においては、電極板間距離は、４mm程度が最小であった。
【０００７】
また、上記のようなイオナイザ部とコレクタ部を有する２段荷電方式を採用した電気集塵装置は、理論的には０．３μｍの微粒子を９０％以上捕捉できる。しかしながら、特に広く普及している分煙用や一般業務用の空気清浄機に組み込まれている電気集塵装置では、これを収容する筐体の気密性（吸気面及び排気面を除く）が十分考慮されていないものが多い。その結果、吸気中の塵埃が筐体の隙間からそのまま再放出されてしまう場合があった。
【０００８】
以上の現状に鑑み、本発明は、複数の電極板を積層したコレクタ部を有する電気集塵装置において、従来よりも狭い電極板間距離を実現しかつアーク放電や短絡のおそれなく高電圧を確実に印加できる電極板支持手段を実現することを目的とする。また、本発明は、気密性を確保した電気集塵装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達成するために本発明は以下の構成を提供する。
本発明の電気集塵装置は、基本構成として、塵埃を高電圧放電により帯電させるイオナイザ部と、塵埃の流れに対して垂直な方向を長手方向とし水平に設置された帯状の複数の正極板と複数の負極板とを所定の間隔をもって鉛直方向に交互に配置し高電圧を印加することにより前記帯電した塵埃を付着させるコレクタ部とを備えている。
コレクタ部の両端に第１の端部ラック及び第２の端部ラックがそれぞれ立設されている。第１及び第２の端部ラックは、それぞれ平板状の端部スリット形成部を具備し、それらの端部スリット形成部が互いに対向するように立設されている。第１及び第２の端部ラックは、電気絶縁材料からなる。
さらに、第１及び第２の端部ラックの間には、１又は複数の中間ラックが立設されている。各中間ラックは、各端部ラックにおける端部スリット形成部と平行な平板状の中間スリット形成部を具備する。中間ラックは電気絶縁材料からなる。
またさらに、端部ラックにおける端部スリット形成部は、各々水平方向に穿設された複数の正極用端部スリット及び複数の負極用端部スリットを具備する。複数の正極用端部スリットは、複数の正極板の各々の端部片を挿通させその正極板の端部片をそれぞれ支持するべく鉛直方向に配列されている。一方、複数の負極用端部スリットは、複数の負極板の各々の端部片を挿通させその負極板の端部片をそれぞれ支持するべく鉛直方向に配列されている。
またさらに、中間ラックにおける中間スリット形成部は、各々水平方向に穿設された複数の中間スリットを具備する。複数の中間スリットは、複数の正極板の各々及び複数の負極板の各々の帯状部分を挿通させその帯状部分をそれぞれ支持するべく鉛直方向に配列されている。
【００１０】
本発明の一態様においては、正極板の端部片及び負極板の端部片は、それぞれ正極板及び負極板の長手方向両端の側縁の一部から突出して設けられている。そして、正極板の端部片と負極板の端部片とが平面視にて互いに重ならないように突出している。
【００１１】
本発明の一態様においては、電気集塵装置の筐体が略直方体である。
【００１２】
本発明の一態様においては、第１の端部ラックが電気集塵装置の筐体における吸気面及び排気面に対して垂直な一方の側面を形成する第１のラック側板を具備する。同様に、第２の端部ラックが他方の側面を形成する第２のラック側板を具備する。
【００１３】
本発明の一態様においては、電気集塵装置の筐体を形成する部材同士の接合部にシール材を設ける。
【００１４】
本発明の一態様においては、第１及び第２の端部ラックの少なくとも一方において、複数の正極板の各々の端部片を挟持する複数の給電クリップと、複数の負極板の各々の端部片を挟持する複数の接地クリップとを設ける。複数の給電クリップと、複数の接地クリップとは、それぞれ鉛直方向に配列され端部ラックに固着されている。
【００１５】
本発明の一態様においては、複数の給電クリップの各々が導電性接着剤により固着され、かつ鉛直方向における位置によって給電クリップに用いる導電性接着剤の抵抗値を異ならせる。
【００１６】
本発明の一態様においては、複数の正極板の各々の端部片及び複数の負極板の各々の端部片が、二股形状に形成されている。そして、第１及び第２の端部ラックの少なくとも一方において、正極板の端部片の二股形状に嵌合可能な断面形状を具備し鉛直方向に延在する給電ロッドと、負極板の端部片の二股形状に嵌合可能な断面形状を具備し鉛直方向に延在する接地ロッドとを備える。さらに、給電ロッド及び接地ロッドをそれぞれ正極板の端部片及び負極板の端部片の二股形状部分に対して押し込み可能な断面形状を具備し鉛直方向に延在する電気絶縁材料からなる一対の押込固定ロッドとを備える。
【００１７】
本発明の一態様においては、イオナイザ部とコレクタ部との境界に電気絶縁材料からなる拡散ネットを設ける。
【００１８】
本発明の一態様においては、正極板が、金属平板と、その金属平板の周囲を被覆した導電性樹脂フィルムとから形成されている。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の電気集塵装置においては、コレクタ部の両端に第１及び第２の端部ラックを立設し、これらの間の中間位置に１又は複数の中間ラックを立設する。端部ラックには、電極板（正極板及び負極板）の端部片を挿通させ支持する端部スリットが設けられ、中間ラックには、電極板の帯上部分を挿通させ支持する中間スリットが設けられている。これらの複数の端部スリット及び複数の中間スリットはいずれも鉛直方向に配列されている。この構成により、複数の電極板は、１枚ずつその両端を第１及び第２の端部ラックにより支持され、中間部分を中間ラックにより支持される。この結果、電極板全体が安定に支持されるため、電極板の撓みを防止し、かつ高電圧印加時にも揺動を阻止することができる。特に、中間ラックに設けた中間スリットは、電極板の帯状部分の幅全体を支持するため、必要に応じて中間ラックを１又は複数設置することにより、確実にこれらの効果を得ることができる（請求項１）。
【００２０】
このように本発明では、一対の端部ラック及び１又は複数の中間ラックにより、電極板の平坦性を維持することができるため、電極板間距離を常に適正に保持することができる。よって、従来の電極板支持手段に比べて電極板間距離を狭くすることが可能となった。実施例においては、電極板間距離を約３mmとすることができた。この結果、従来に比べて同じ高電圧を印加した場合の電界強度が強くなることと、同じ大きさの空間に配置される電極板の数が増すことにより、集塵効果を向上させることができた（請求項１）。
【００２１】
一対の端部ラック及び１又は複数の中間ラックには、各電極板の端部片及び帯状部分とほぼ同じ大きさのスリットが設けられており、これらのスリットに挿通するだけでコレクタ部を容易に組み立てることができる。加えて、洗浄や部品交換の際の分解作業も容易である（請求項１）。
【００２２】
さらに、正極板の端部片及び負極板の端部片は、平面視にて互いに重ならないように突出している。これにより、複数の正極板の端部片が鉛直方向に一列に配列され、一方、複数の負極板の端部片が鉛直方向に別の一列として配列されることになる。この結果、給電及び接地のための接続部分の構成が錯綜することなく単純化され、組立作業及び分解作業が容易となる（請求項２）。
【００２３】
さらに、本発明の電気集塵装置の筐体は、略直方体である。従って、吸気面と排気面を除いて外面に起伏がない。よって、本装置を別の装置と組み合わせてユニット化する場合等において、本装置を収容する枠体であるチャンバーとの気密性を確保することができ、確実に吸気面へと吸気を導くことができる（請求項３）。
【００２４】
さらに、本発明においては、第１の端部ラックに設けた第１のラック側板が、電気集塵装置の筐体における一方の側面を形成し、第２の端部ラックに設けた第２のラック側板が、電気集塵装置の筐体における他方の側面を形成する。さらに、第１及び第２の端部ラック並びに中間ラックは、筐体上面板及び筐体下面板を支持することができる。これにより、筐体の部品点数を削減することができる（請求項４）。
【００２５】
さらに、本発明においては、電気集塵装置の筐体を形成する部材同士の接合部にシール材を設ける。これにより、堆積した塵埃が隙間から漏出したり、塵埃を含む吸気が隙間から放出されたりすることを防止できる（請求項５）。
【００２６】
さらに、本発明においては、第１及び第２の端部ラックの少なくとも一方において、複数の正極板の各々の端部片を挟持する複数の給電クリップと、複数の負極板の各々の端部片を挟持する複数の接地クリップとを設ける。これにより電極板の端部片を、給電クリップ又は接地クリップに挟むだけで給電又は接地をすることができ、またこれらのクリップから電極板を引き抜くだけで取り外すことができるため、組立作業及び分解作業が容易である（請求項６）。
【００２７】
さらに、本発明においては、複数の給電クリップの各々が導電性接着剤により固着され、かつ鉛直方向における位置によって給電クリップに用いる導電性接着剤の抵抗値を異ならせる。電極板の数が多くなると、積層の中心部と、積層の上端及び下端とでは電極板間の電界強度にバラツキを生じることがある。例えば、外部給電部に近い中心部では、電界強度が強く、両末端部では電界強度が弱くなる傾向がある。その場合に、給電クリップを付着する導電性接着剤の抵抗値を中心部で大きくし、両末端部で小さくすることにより、電界強度が均一となるように調整することができる（請求項７）。
【００２８】
さらに、電極板への給電及び電極板の接地を行う別の構成では、複数の正極板の各々の端部片及び複数の負極板の各々の端部片が、二股形状に形成されている。そして、第１及び第２の端部ラックの少なくとも一方において、正極板の端部片の二股形状に嵌合可能な断面形状を具備し鉛直方向に延在する給電ロッドと、負極板の端部片の二股形状に嵌合可能な断面形状を具備し鉛直方向に延在する接地ロッドとを備える。さらに、給電ロッド及び接地ロッドをそれぞれ正極板の端部片及び負極板の端部片の二股形状部分に対して押し込み可能な断面形状を具備し鉛直方向に延在する電気絶縁材料からなる一対の押込固定ロッドとを備える。このような鉛直方向に長い給電ロッド、接地ロッド及び押込みロッドを用いることにより、多数の電極板に対する給電及び接地のための接続並びに取り外しを、各電極板毎ではなく全ての電極板に対して一度の操作で簡易に行うことができる（請求項８）。
【００２９】
さらに、本発明においては、イオナイザ部とコレクタ部との境界に電気絶縁材料からなる拡散ネットを設ける。これにより、イオナイザ部からコレクタ部へ流れる空気が拡散ネットに衝突して乱流を生じ、この近傍で流速が低下する。この結果、イオナイザ部で発生したオゾンと空気との接触時間が長くなり、また、イオナイザ部での帯電量も多くなる。また、拡散ネットとの衝突により生じた乱流は、コレクタ部の電極板の前縁に衝突することでさらに大きく攪乱されることになり、それによってもオゾンとの接触時間が長くなる。空気とオゾンとの接触時間が長くなることにより、空気中に含まれるウィルス等を死滅させる効果が向上する（請求項９）。
【００３０】
さらに、本発明においては、正極板が、金属平板と、その金属平板の周囲を被覆した導電性樹脂フィルムとから形成されている。電極板間距離が小さくなると、アーク放電が発生し易くなるが、正極板の表面に導電性樹脂フィルムを被覆することで、負極板との間で生じる放電を防止できる。導電性樹脂フィルムは、金属平板に比べて表面抵抗率が高いためである。また、このことは、電極板の数の増加により生じる帯電減衰時間の伸長対策にも有効である。また、感電防止にも効果がある（請求項１０）。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
以下、実施例を示した図面を参照しつつ本発明の実施の形態を説明する。
図１は、本発明を適用する電気集塵装置の基本構成を模式的に示す側面から視た断面図である。図中、白抜き矢印は、空気の流れすなわち塵埃の流れの方向を示す（以下の図においても同じ）。図１では、紙面の左側から吸気され装置を通過して右側へ排気される。このような空気の流れは、図示しない適宜のファン等により形成される。
【００３２】
電気集塵装置１００は、外周全体を囲む適宜の筐体(図１では、筐体全体は示していない)内に収容されているが、その筐体正面板５０に吸気口が形成されている。吸気口から空気が装置内に流入する。装置内には、上流側にイオナイザ部Ｐの区画が設けられ、下流側にコレクタ部Ｑの区画が設けられている。イオナイザ部Ｐには、水平方向に複数の導電体線材からなるイオナイザ線４ａが架設され、各イオナイザ線４ａの間には、導電体平板からなるイオナイザ接地板４ｅが設けられている。各イオナイザ接地板４ｅは、紙面奥行き方向に延在している。図示の実施例では、各イオナイザ接地板４ｅが、筐体正面板５０の裏面から突出するように設けられている。正面筐体板５０も導電体であり、接地電位である。各イオナイザ線４ａには、外部から高電圧Ｖ１（例えば、８ｋＶ）が印加される。高電圧Ｖ１の印加によりイオナイザ部Ｐではコロナ放電が生じ、それにより吸気中の塵埃が帯電する。また、オゾンも発生する（例えば、雰囲気濃度が約１．２〜１．０ppm）。浮遊する微生物やウィルス等の一部は、オゾンに接触することで溶解又は不活性化する。
【００３３】
イオナイザ部Ｐとコレクタ部Ｑの境界面全体に渡って、電気絶縁材料からなる拡散ネットが５ａが設けられている。拡散ネット５ａに空気が衝突することにより乱流が生じる結果、塵埃がイオナイザ部Ｐに滞在する時間が長くなり、十分に帯電される。また、イオナイザ部Ｐに発生するオゾンによる殺菌作用が十分に行われることになる。拡散ネット５ａを設けない場合の一般的な流速(１．０m／s程度)では、処理対象の微生物やウィルス等とオゾンの接触が不十分なままコレクタ部Ｑへ流入する可能性がある。拡散ネット５ａのメッシュ寸法は、大幅な圧損を生じない程度に設定されている。
【００３４】
コレクタ部Ｑには、複数の帯状の電極板が配置されている。複数の電極板は、複数の正極板１及び複数の負極板２から構成される。帯状の各電極板１、２は、塵埃の流れに対し垂直な方向（紙面奥行き方向）を長手方向とし、平坦な面を水平にして配置されている。正極板１と負極板２は、所定の間隔を空けて交互に鉛直方向に配列されている。各正極板１には、外部から高電圧Ｖ２（例えば、４ｋＶ）が印加される。各負極板２は、接地電位とされる。イオナイザ部Ｐで帯電した塵埃がコレクタ部Ｑに流入すると、クーロン力により電極板に引き寄せられその表面に吸着される。正電位に帯電した粒子は接地電位である負極板に吸着する。正電位に帯電した粒子以外は正極板に吸着する。これにより、空気から塵埃が除去される。また、コレクタ部Ｑにおける電界は非常に強いため、イオナイザ部Ｐをそのまま通過した微生物やウィルス等を分解、死滅または不活性化させる効果もある。
【００３５】
コレクタ部Ｑを通過した空気は、筐体背面板６０から排気される。筐体背面板６０には、排気口が形成されている。筐体背面板６０も導電体あり接地電位である。なお、イオナイザ部で発生したオゾンのうち余剰分は、コレクタ部Ｑを通過して排気されるが、排気口のさらに下流にオゾン分解フィルタを設けることにより、還元される。また、装置１００の内部に汚れが付着したり、異物の堆積により異常放電等が発生するようになった場合は、装置１００を分解して各部品をアルカリ性洗浄液で洗浄する。洗浄することによって装置性能に影響を及ぼすような部品の劣化は、ほとんど生じない。
【００３６】
図２は、本発明による電気集塵装置１００の外観を示す六面図である。(ａ)は正面図であり吸気面を示す。筐体正面板５０には、吸気口５１が形成されている。(ｂ)は背面図であり排気面を示す。筐体背面板６０には、排気口６１が形成されている。(ｃ)は左側面図であり、後述する端部ラック１０の一部である平坦面がそのまま装置１００の左側面となっている。この左側面には、装置内のイオナイザ部へ給電するための端子であるイオナイザ外部給電部１１と、コレクタ部へ給電するための端子であるコレクタ外部給電部１２が設けられている。これらの外部給電部は、右側面に設けてもよい。(ｄ)は右側面図であり、後述する端部ラック２０の一部である平坦面がそのまま装置１００の右側面となっている。(ｅ)は平面図であり、筐体上面板７０が装置１００の上面を形成している。図示の例では、筐体上面板７０の中央部分に凹部７１が形成され、その凹部７１内に収まるように取っ手７２が設けられている。（ｃ）及び（ｄ）の側面図に示すように、底面側には、筐体上面板７０と同じ外郭形状をもつ筐体下面板７３がある。
【００３７】
図２(ｃ)及び(ｄ)の左右側面図及び(ｅ)の平面図を参照すると、筐体正面板５０の枠部分である正面枠５２と、筐体背面板の枠部分である背面枠６２の一部が見えている。(ｃ)及び(ｄ)に示すように、導電体である筐体上面板７０及び筐体下面板７３は、導電体である正面枠５２と背面枠６２の間に嵌め込まれている。
【００３８】
図２に示すように、電気集塵装置１００の外郭形状は、ほぼ直方体であり、直方体の外周面から外側に突出する部分がない。これにより、装置１００をチャンバーに組み込んだり設置したりする際に、周囲に不用意な隙間を生じない。このことは、空気を吸気口から吸い込み、漏出させずに装置内を通過させ、排気口から排気させる効果がある。さらに装置１００の筐体を構成する各部品の接合部分に適宜のシール材（図示せず）を設けて気密性を確実とすることが好適である。シール材としては、例えば、各部品の縁部を被覆するタイプのものや充填固化タイプのものなどがある。
【００３９】
本発明では、装置１００の外郭形状において不要な凹凸を排除してほぼ直方体としたことによって、装置の設置及び取り外し時の取り扱いに不便を生じないように、筐体上面板７０の凹部に取っ手を設けている。別の実施例として、外部給電部のない右側面に凹部を形成して取っ手を設けてもよい。なお、外部給電部を右側面に設けた場合は、取っ手を左側面に設ける。
【００４０】
図３は、本発明による電気集塵装置１００の展開斜視図である。なお、一部の構成要素については図示を省略している。装置１００の両端部には第１の端部ラック１０と、第２の端部ラック２０がそれぞれ立設されている。第１の端部ラック１０と第２の端部ラック２０は、ほぼ左右対称な形状である。第２の端部ラック２０の内側には、平板状の端部スリット形成部２６が設けられ、複数の正極用端部スリット２３と複数の負極用端部スリット２４が、鉛直方向に２列に配列されている。各スリット２３、２４は、端部スリット形成部２６を水平方向に貫通するように穿設されている。図３では見えないが、第１の端部ラック１０も第２の端部ラック２０と同じ端部スリット形成部を具備している。端部スリット形成部２６は、図１に示したコレクタ部Ｑの区画に設けられている。
【００４１】
第１の端部ラック１０と第２の端部ラック２０の間には、２つの中間ラック３０、４０が立設されている。これらは図１のコレクタ部Ｑの区画に設置されている。中間ラック３０、４０は、枠体の中央部分に平板状の中間スリット形成部３６、４６を具備する。中間スリット形成部３６、４６は、第１及び第２の端部スリット１０、２０の端部スリット形成部２６等と平行に設置されている。中間スリット形成部３６、４６には、複数の中間スリット３１、４１がそれぞれ鉛直方向に配列されている。図３では具体的に描いていないが、各中間スリット３１、４１は、中間スリット形成部３６、４６をそれぞれ水平方向に貫通するように穿設されている。
【００４２】
図３に示すように、筐体上面においては、正面筐体板５０の正面枠５２の下面から張り出している上面板支持部５３ａと、背面筐体板６０の背面枠６２の下面から張り出している上面板支持部６３ａにより、上面板７０の長手方向に沿った両縁がそれぞれ支持される（上面板７０の凹部７１内の取っ手は図示を省略している）。また、上面板７０の長手方向の両端は、第１の端部ラック１０及び第２の端部ラック２０の上面によって支持される。
【００４３】
また、筐体底面においては、正面筐体板５０の正面枠５２の上面から張り出している下面板支持部５３ｂと、背面筐体板６０の背面枠６２の上面から張り出している下面板支持部６３ｂにより、下面板７３の長手方向に沿った両縁がそれぞれ支持される。また、下面板７３の長手方向の両端は、第１の端部ラック１０及び第２の端部ラック２０の下面によって支持される。
【００４４】
さらに、中間ラック３０、４０の上面及び下面もまた、上面板７０及び下面板７３にそれぞれ当接して支持する。後述するように、第１及び第２の端部ラック１０、２０及び中間ラック３０、４０の主要な役割は、コレクタ部の複数の電極板を支持することであるが、これらのラック部品は、筐体を支持する役割も兼ねている。これにより、部品数を低減できる。
【００４５】
装置を組み立てる場合は、図３に示した各部品を互いに組み、適所に設けた螺子孔に対しボルトやナット等の固定具を適用して固定する。
【００４６】
図４は、図３に示した第１の端部ラック１０及び第２の端部ラック２０、並びに、２つの中間ラック３０、４０を詳細に示した斜視図である。これらのラック部品は、全て電気絶縁材料から形成される。但し、図３は吸気面側から見た斜視図であったが、図４は排気面側から見た斜視図である（空気の流れを示す白抜き矢印をを参照）。
【００４７】
第１の端部ラック１０と第２の端部ラック２０は、互いに対向して立設されほぼ左右対称形状である。異なる点は、第１の端部ラック１０には、図３に示したイオナイザ外部給電部及びコレクタ外部給電部（図４では見えない位置にある）が設けられる一方、第２の端部ラック２０には設けられない点である。
【００４８】
第１の端部ラック１０は、筐体の一方の側面を形成するラック側板１５ａと、ラック側板１５ａの上端から内側に延びるラック上板１５ｂと、下端から内側に延びるラック下板１５ｃとを主たる骨組みとするラックである。さらに、平板状の端部スリット形成部１６が、ラック上板１５ｂとラック下板１５ｃの間に設けられている。端部スリット形成部１６は、ラック側板１５ａと平行に間隔を空けて立設されており、電極分離板１７によりラック側板１５ａと連結されている。電極分離板１７によりラック内部が空間ｓ１と空間ｓ２に分けられている。
【００４９】
第１の端部ラック１０の端部スリット形成部１６には、複数の正極用端部スリット１３と、複数の負極用端部スリット１４が形成され、鉛直方向に２列に配列されている。各端部スリット１３、１４は、端部スリット形成部１６を水平方向に貫通している。各端部スリット１３、１４の開口形状及び縦断面形状は、後述する各電極板の端部片の断面形状と近似している。正極用端部スリット１３の各々と、負極用端部スリット１４の各々とは、同じ高さに位置しておらず、互い違いになるようにずれている。
【００５０】
第２の端部ラック２０は、筐体の他方の側面を形成するラック側板２５ａと、ラック側板２５ａの上端から内側に延びるラック上板２５ｂと、下端から内側に延びるラック下板２５ｃとを主たる骨組みとするラックである。さらに、平板状の端部スリット形成部２６が、ラック上板２５ｂとラック下板２５ｃの間に設けられている。端部スリット形成部２６は、ラック側板２５ａと平行に間隔を空けて立設されており、電極分離板２７によりラック側板２５ａと連結されている。電極分離板２７によりラック内部が空間ｓ３と空間ｓ４に分けられている。
【００５１】
第２の端部ラック２０の端部スリット形成部２６には、複数の正極用端部スリット２３と、複数の負極用端部スリット２４が形成され、鉛直方向に２列に配列されている。各端部スリット２３、２４は、端部スリット形成部２６を水平方向に貫通している。各端部スリット２３、２４の開口形状及び縦断面形状は、後述する各電極板の端部片の断面形状と近似している。正極用端部スリット２３の各々と、負極用端部スリット２４の各々とは、同じ高さに位置しておらず、互い違いになるようにずれている。
【００５２】
中間ラック３０、４０は同じ構造である。中間ラックは、後述する電極板の長手方向の長さに応じて、電極板を支持するために必要な数だけ立設される。従って、中間ラックの数は、１つの場合も３つ以上の場合もある。
【００５３】
中間ラック３０は、上下左右のラック周囲枠３５と、その内部の平板状の中間スリット形成部３６とから形成されている。中間スリット形成部３６には、複数の中間スリット３１が形成され、鉛直方向に１列に配列されている。各中間スリット３１は、中間スリット形成部３６を水平方向に貫通している。各中間スリット３１の開口形状及び縦断面形状は、後述する各電極板の帯状部分の断面形状と近似している。
中間ラック４０は、中間ラック３０と同様である。
【００５４】
図５は、電極板を詳細に示す図である。（ａ）は、正極板１の平面図である。（ｂ）は、負極板２の平面図である。（ｃ）は、複数の電極板の一部の、長手方向に沿った鉛直断面図である。
【００５５】
図５(ａ)に示すように、正極板１は帯状であり、帯状部分における前縁１ａと後縁１ｂの間の幅は一定である。長手方向の一方の側縁１ｃの一部からは、端子基部１ｅが突出し、さらにその一部から端部片１ｆが突出している。長手方向の他方の側縁１ｄの一部からは、端子基部１ｈが突出し、さらにその一部から端部片１ｉが突出している。端部片１ｆは、図４に示した正極用端部スリット１３に挿通され、端部片１ｉは、図４に示した正極用端部スリット２３に挿通される。端部片１ｆに対して給電する必要があるので、その先端が正極用端部スリット１３を突き抜けてさらに突出するような長さとする。一方、端部片１ｉには給電しない（正極板の一端だけに給電すれば十分である）ため、その先端が正極用端部スリット２３を突き抜ける必要がない。従って、図５(ａ)のように、端部片１ｆは、端部片１ｉより長くなっている。しかしながら、端部片１ｉを端部片１ｆと同じ長さとして正極板１を左右対称形状としてもよい。
【００５６】
図５(ｂ)に示すように、負極板２は帯状であり、帯状部分における前縁２ａと後縁２ｂの間の幅は一定である。長手方向の一方の側縁２ｃの一部からは、端子基部２ｅが突出し、さらにその一部から端部片２ｆが突出している。長手方向の他方の側縁２ｄの一部からは、端子基部２ｈが突出し、さらにその一部から端部片２ｉが突出している。端部片２ｆは、図４に示した負極用端部スリット１４に挿通され、端部片２ｉは、図４に示した負極用端部スリット２４に挿通される。端部片２ｆは接地する必要があるので、その先端が負極用端部スリット１４を突き抜けてさらに突出するような長さとする。一方、端部片２ｉは、接地しない（負極板の一端だけを接地すれば十分である）ため、その先端が正極用端部スリット２４を突き抜ける必要がない。従って、図５(ｂ)のように、端部片２ｆは、端部片２ｉより長くなっている。しかしながら、端部片２ｉを端部片２ｆと同じ長さとして負極板２を左右対称形状としてもよい。
【００５７】
図５(ａ)及び(ｂ)を参照すると、正極板１と負極板２を重ねた場合に、正極板１の端部片１ｆ、１ｉと、負極板２の端部片２ｆ、２ｉとは、平面視にて互いに重ならない位置に設けられていることがわかる。
【００５８】
図５(ｃ)に示すように、好適例においては、正極板１が、金属平板１ｇと、金属平板１ｇの周囲を被覆した導電性樹脂フィルム１ｊとから形成されている。これにより、正極板１と負極板２の間隔ｔが小さくなったときのアーク放電を防止するなどの効果がある。負極板２は、金属平板単体から形成されている。従って、正極板１は、負極板２よりも若干厚くなる（図５では導電性樹脂フィルム１ｊの厚さを誇張して描いている）。一実施例として、正極板１の金属平板１ｇ及び負極板２を、厚さ０．５mmのアルミニウム板とし、導電性樹脂フィルムを、厚さが０．０３mm導電性フィラー入りポリエチレンとする。よって、実際には、正極板１と負極板２の厚さはほとんど同じである。
【００５９】
図６〜図８を参照して、コレクタ部において複数の正極板１及び複数の負極板２を支持する構成、正極板１の給電部分及び負極板２の接地部分の構成を説明する。
【００６０】
図６は、図３に示した上面板７０及び図４に示したラック上板１５ｂ、２５ｂを取り除いて電気集塵装置１００の内部を上から見た展開平面図である。筐体正面板５０及び筐体背面板６０を、本体から離して示している。図７は、図６におけるＡ断面を、そして図８は、図６におけるＢ断面を、概略的かつ模式的に示した図である（電極板の厚さは、実際よりも誇張して示している）。
【００６１】
最も吸気口に近いところにイオナイザ線４ａが架設され、その両端に固定部４ｂ、４ｃがある。一方のイオナイザ線固定部４ｂが、イオナイザ外部給電部（図示せず）に接続される。
【００６２】
イオナイザ線４ａと電極板の間には、拡散ネット５ａが張られ、その両端部５ｂ、５ｃは適宜の固定手段で固定されている。拡散ネット５ａは、平面的な拡がりをもってイオナイザ部とコレクタ部の境界面全体に渡っている。
【００６３】
図６では、最も上に位置する電極板は、正極板１である。正極板１の帯状部分は、中間ラック３０、４０に設けられた最も上の中間スリットを貫通している。図７及び図８に示すように、中間ラック３０、４０には、それぞれ正極板１と負極板２を合わせた数の中間スリットが所定の間隔で設けられている。このスリット同士の間隔によって、正極板１と負極板２の間の距離が規定される。スリット断面形状は、正極板１及び負極板２の帯状部分の断面形状とほぼ同じでよいが、挿通する作業を容易にするために実際にはある程度の余裕を持たせることが好ましい。例えば、電極板の厚さが０．５〜０．６mmの場合は、中間スリットの縦寸法を１．０mm程度とし、スリット同士の間隔は、電極板と電極板の間隔が３mm程度となるように設定する。図７及び図８では、正極板１と負極板２を区別するために正極板１の厚さを誇張して描いているが、実際にはほとんど同じ厚さであるので、中間スリットの縦寸法は全て同じにしても差し支えない。
【００６４】
図６及び図７を参照すると、正極板１の給電側の端部片１ｆは、第１の端部ラック１０の正極用端部スリット１３を貫通してその先端が露出している。端部片１ｆの先端は、導電性材料からなる給電クリップ６ａにより挟持されている。一方、正極板１の反対側の端部片１ｉは、第２の端部ラック２０の正極用端部スリット２３に挿通されるが、その先端は露出していない。
【００６５】
また、図６及び図８を参照すると、負極板２の接地側の端部片２ｆは、第１の端部ラック１０の負極用端部スリット１４を貫通してその先端が露出し、接地クリップ６ｂにより挟持されている。一方、負極板２の反対側の端部片２ｉは、第２の端部ラック２０の負極用端部スリット２４に挿通されるが、その先端は露出していない。
【００６６】
図９(ａ)は、図７のＣ断面図であり、上述の図３のイオナイザ外部給電部１１の高さにおける断面図である。イオナイザ線４ａの固定部４ｂは、ラック側板１５ａの内面に固定された適宜の高電圧用絶縁部材７の先端に取り付けられている。固定部４ｂとイオナイザ外部給電部１１との間は、イオナイザ給電導線４ｄにより接続されている。イオナイザ線４ａは、鉛直方向に所定の間隔を空けて複数配置されているが、いずれのイオナイザ線４ａにも高圧電圧（図１のＶ１）が給電されるように、各イオナイザ線４ａの一端は共通に接続されている。
【００６７】
また、図９(ａ)に示すように、鉛直方向に一列に配列された複数の負極板２のほぼ中央近傍に位置する負極板２と、筐体背面板６０とが直接的に接続される。具体的には、図９(ａ)に示す負極板２の端部片２ｆの先端を挟持する接地クリップ６ｂと、筐体背面板６０との間に、コレクタ接地導線２ｋが接続されている。負極板２は、鉛直方向に所定の間隔を空けて複数配置されているが、各端部片２ｆを挟持する各接地クリップ６ｂ同士が全て導通するように固着されているため、いずれの負極板２も接地される。
【００６８】
図９(ｂ)は、図７のＤ断面図であり、上述の図３のコレクタ外部給電部１２の高さにおける断面図である。鉛直方向に一列に配列された複数の正極板１のほぼ中央近傍に位置する正極板１と、コレクタ外部給電部１２とが直接的に接続される。具体的には、図９(ｂ)に示す正極板１の端部片１ｆの先端を挟持する給電クリップ６ａと、コレクタ部外部給電部１２との間に、コレクタ給電導線１ｋが接続されている。正極板１は、鉛直方向に所定の間隔を空けて複数配置されているが、各端部片１ｆを挟持する各給電クリップ６ａ同士が全て導通するように固着されているため、いずれの正極板１にも高圧電圧（図１のＶ２）が給電される。なお、コレクタ給電導線１ｋの途中に、必要に応じて電流抑制用の抵抗を挿入してもよい。これによっても、電極間の放電を防止する効果がある。
【００６９】
図９(ｃ)は、負極板２の端部片２ｆを挟持する接地クリップ６ｂを第１の端部ラック１０のラック側板１５ａへ取り付ける方法を示した斜視図である。接地クリップ６ｂは、平坦な背面部６ｂ１と、その上下端からそれぞれ延びて先端で弾性的に当接する一対のアーム部６ｂ２、６ｂ３とを具備する。背面部６ｂ１とラック側板１５ａとは、導電性接着剤８により接着固定される。図９(ｃ)には、１つの接地クリップ６ｂのみを示すが、隣り合う接地クリップ６ｂ同士は、互いに当接することと導電性接着剤８とにより導通する。負極板２の端部片２ｆの先端は、一対のアーム部６ｂ２、６ｂ３の間に挿入され弾性的に挟持される。
なお、図示しないが、正極板１と給電クリップ６ａについても同様である。
【００７０】
図１０は、本発明の別の実施例を示しており、一対の端部ラックのうち給電部側である第１の端部ラック１０Ａの近傍部分のみを示す展開斜視図である。図１１は、図１０に示した構成要素を組み立てた状態のＥ断面拡大図である。この実施例では、正極板１Ａの給電側端部片１ｆＡの形状、負極板２Ａの接地側端部片２ｆＡの形状、並びにこれらの端部片に対する給電部及び接地部の構成が、前述の実施例とは異なる。なお、他方の端部ラック及び各電極板の他方の端部片の構成については、前述の実施例と同様でよい。
【００７１】
第１の端部ラック１０Ａの端部スリット形成板１６、ラック上板１５ｂ及びラック下板１５は、上述の実施例と同じである。本実施例では、正極板１Ａの端部片１ｆＡ及び負極板２Ａの端部片２ｆＡの先端が二股形状となっている。二股形状とは、一対の突出片の間に谷部分をもつ形状である。
【００７２】
本実施例の第１の端部ラック１０Ａは、上述の実施例のラック側板１５ａに替えて、ラック側板１８を具備する。ラック側板１８は電気絶縁材料であり、上端近傍から下端近傍まで鉛直方向に延びる２つの切抜き孔１８ａ、１８ｂが穿設されている。これらの切抜き孔１８ａ、１８ｂの水平断面形状は、Ｔ字形となっている。さらに、鉛直方向に延びる給電ロッド８１ａ及び接地ロッド８１ｂと、一対の押込固定ロッド８２ａ、８２ｂを具備する。給電ロッド８１ａ及び接地ロッド８１ｂは、互いに同じ形状であり導電体から形成されている。一対の押込固定ロッド８２ａ、８２ｂも、互いに同じ形状であり電気絶縁材料から形成されている。
【００７３】
図１１に示すように、給電ロッド８１ａは、正極板１Ａの端部片１ｆＡの二股形状（特に谷部分）に嵌合可能な断面形状を具備し、接地ロッド８１ｂは、負極板２Ａの端部片２ｆＡの二股形状（特に谷部分）に嵌合可能な断面形状を具備する。さらに、給電ロッド８１ａ及び接地ロッド８１ｂの断面形状は、ラック側板１８の切抜き孔１８ａ、１８ｂのＴ字型断面形状とも嵌合可能な形状である。さらに、押込固定ロッド８２ａ、８２ｂは、それぞれ給電ロッド８１ａ及び接地ロッド８１ｂを、端部片１ｆＡ及び端部片２ｆＡの各々の谷部分へそれぞれ押し込むことができるＴ字形の断面形状を具備する。従って、押込固定ロッド８２ａ、８２ｂを切抜き孔１８ａ、１８ｂに完全に押し込むと、ラック側板１８の外側の面は、平坦面となる。
【００７４】
図示しないが、給電ロッド８１ａを適宜の接続手段によりコレクタ外部給電部(図示せず)に接続することにより、端部片１ｆＡに対して高電圧を給電できる。また、接地ロッド８１ｂを適宜の手段により接地する(筐体と導通させる)ことで、端部片２ｆＡを接地できる。
【００７５】
以上に述べた各実施例において、イオナイザ外部給電部及びコレクタ外部給電部は第１の端部ラック又は第２の端部ラックのいずれに設けてもよい。また、コレクタ外部給電部と、正極板との間の接続構造は、上述の実施例に限定されず様々な態様が可能である。
【００７６】
図１２は、本発明の電気集塵装置１００の設置方法の一例を示す図である。図１２(ａ)は、電気集塵装置１００の吸気面側にチャンバーガイド枠９１を取り付け、排気面側にクランプ金物９２を取り付ける状態を示す斜視図である。図１２(ｂ)は、電気集塵装置１００及びオゾン分解フィルタ２００をチャンバーに組み込んだ状況を示す概略側面図である。チャンバーガイド枠９１は上面及び下面をチャンバー本体９３、９４に固定される。クランプ金物９２は、背面枠９５に固定される。クランプ金物９２により電気集塵装置１００がチャンバーガイド枠９１に押し付けられる。オゾン分解フィルター２００は、電気集塵装置１００の排気側に所定の間隔を空けて設置され、電気集塵装置１００と同様に固定される。
【００７７】
本発明では、電気集塵装置１００がほぼ直方体の外郭形状を有するため、本装置を収容するチャンバーとを密着させることができ、気密性を確保することができる。これにより、処理対象の空気を確実に吸気面へと導入することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】本発明を適用する電気集塵装置の基本構成を模式的に示す側面から視た断面図である。
【図２】本発明による電気集塵装置１００の外観六面図である。(ａ)は正面図、(ｂ)は背面図、(ｃ)は左側面図、(ｄ)は右側面図、(ｅ)は平面図である。
【図３】本発明による電気集塵装置の展開斜視図である。
【図４】図３に示した第１の端部ラック及び第２の端部ラック、並びに、２つの中間ラックを詳細に示した斜視図である。
【図５】電極板を詳細に示す図である。（ａ）は、正極板の平面図である。（ｂ）は、負極板の平面図である。（ｃ）は、複数の電極板の一部の、長手方向に沿った鉛直方向の断面図である。
【図６】図３に示した電気集塵装置の、上面板を除いた内部を上から見た展開平面図である。
【図７】図６におけるＡ断面を概略的かつ模式的に示した図である。
【図８】図６におけるＢ断面を概略的かつ模式的に示した図である。
【図９】(ａ)は、図７のＣ断面図であり、（ｂ）は、図７のＤ断面図である。
【図１０】本発明の別の実施例を示しており、第１の端部ラックの近傍部分のみを示す展開斜視図である。
【図１１】図１０に示した構成要素を組み立てた状態のＥ断面拡大図である。
【図１２】(ａ)及び(ｂ)は、本発明の電気集塵装置の設置方法の一例を示す図である。
【符号の説明】
【００７９】
１、１Ａ：正極板
１ａ：前縁、１ｂ：後縁、１ｃ：第１側縁、１ｄ：第１側縁、１ｅ、１ｈ：端子基部、１ｇ：金属平板、１ｆ、１ｉ：端部片、１ｊ：導電性樹脂フィルム、１ｋ：コレクタ給電導線
２、２Ａ：負極板
２ａ：前縁、２ｂ：後縁、２ｃ：第１側縁、２ｄ：第１側縁、２ｅ、２ｈ：端部片基部、２ｆ、２ｉ：端部片
３：導電性フィルム
４ａ：イオナイザ線、４ｂ、４ｃ：イオナイザ線固定部、４ｄ：イオナイザ給電導線、４ｅ：イオナイザ接地板
５ａ：拡散ネット、５ｂ、５ｃ：拡散ネット固定部
６ａ：給電クリップ、６ｂ：接地クリップ
１０、１０Ａ：第１端部ラック
１１：イオナイザ外部給電部
１２：コレクタ外部給電部
１３：正極用端部スリット
１４：負極用端部スリット
１５ａ：ラック側板、１５ｂ：ラック上板、１５ｃ：ラック下板
１６：端部スリット形成部
１７：電極分離板
１８：ラック側板、１８ａ、１８ｂ：給電導体挿通縦孔
２０：第２端部ラック
２３：正極用端部スリット
２４：負極用端部スリット
２５ａ：ラック側板、２５ｂ：ラック上板、２５ｃ：ラック下板
２６：端部スリット形成部、２７：電極分離板
３０：第１中間ラック
３１：中間スリット
３５：ラック周囲枠
３６：中間スリット形成部
４０：第２中間ラック
４１：電極板スリット
４５：ラック周囲枠
４６：中間スリット形成部
５０：筐体正面板
５１：吸気口
５２：正面枠
５３ａ：上面板支持部
６０：筐体背面板
６１：排気口
６２：背面枠
６３ａ：上面板支持部、６３ｂ：下面板支持部
７０：筐体上面板、７１：筐体上面凹部、７２：取っ手部
７３：筐体下面板
８１ａ：給電ロッド、８１ｂ：接地ロッド
８２ａ、８２ｂ：押込固定ロッド
９１：チャンバーガイド枠
９２：クランプ金物
９３、９４：チャンバー本体
９５：背面枠
１００：電気集塵装置
２００：オゾン分解フィルタ  
Ｐ：イオナイザ部
Ｑ：コレクタ部
ｓ１、ｓ３：ラック第１空間、ｓ２、ｓ４：ラック第２空間
Ｖ１：イオナイザ電圧
Ｖ２：コレクタ電圧
【図１】
2008296127.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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