(57)【要約】【課題】半導体試験装置の知識の浅いユーザでも容易にテストプログラムを生成することができ、テストプログラムの変更、修正を容易に行うことができるようにする。【解決手段】通常使い慣れたアプリケーションソフトの一つである表計算ソフトのマイクロプログラムを利用してテストプログラムを作成するようにしたものであり、これによって、半導体試験装置の知識の浅いユーザでも容易にテストプログラムを生成することができる。また、テストプログラムの変更、修正を行なう場合には各シートの設定条件を変更、修正するだけでいいので、テストプログラムの変更、修正を容易に行うことができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体試験装置を動作させるテストプログラムを生成するテストプログラム生成システムにおいて、
テスト条件を入力するためのフォーマットを備えた表計算ソフトのシートを各テスト項目毎に複数備え、
前記テストプログラムを生成する際に前記複数のシートの中から所定のものを選択し、選択されたシートのフォーマットに所定の設定条件を入力し、前記表計算ソフトのマクロプログラムを実行させることによって、前記所定のテストプログラムを生成するように構成されたことを特徴とするテストプログラム生成システム。
【請求項２】
請求項１に記載のテストプログラム生成システムにおいて、前記複数のシートは、予め準備された基本シートに基づいて作成されていることを特徴とするテストプログラム生成システム。
【請求項３】
請求項１に記載のテストプログラム生成システムにおいて、前記表計算ソフトとしてＭＩＣＲＯＳＯＦＴ  ＥＸＣＥＬ（登録商標）を用いたことを特徴とするテストプログラム生成システム。
【請求項４】
請求項１に記載のテストプログラム生成システムにおいて、前記マクロプログラムの実行によって生成されたテストプログラムは、前記表計算ソフト上の別のシートに表示されることを特徴とするテストプログラム生成システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体試験装置を動作させるテストプログラムを生成するテストプログラム生成システムに係り、特に半導体試験装置の知識の浅いユーザでも容易にテストプログラムを生成することができる半導体試験装置のテストプログラム生成システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
性能や品質の保証された半導体デバイスを最終製品として出荷するためには、製造部門、検査部門の各工程で半導体デバイスの全部又は一部を抜き取り、その電気的特性を検査する必要がある。半導体試験装置はこのような電気的特性を検査するものであり、被測定半導体デバイスに所定の試験用パターンデータを与え、それによる被測定半導体デバイスの出力データを読み取り、被測定半導体デバイスの基本的動作及び機能に問題が無いかどうかを被測定半導体デバイスの出力データに基づいて不良情報を解析し、電気的特性を検査している。
【０００３】
この検査を行うためには、半導体試験装置上で実行されるテストプログラムを、半導体デバイスの種類ごとに生成する必要があり、また、半導体試験装置が異なる場合、その機種ごとにテストプログラムを生成する必要がある。通常、テストプログラムは、テスト対象となる半導体デバイスのピンのグルーピング情報やテスト項目の処理順序などから構成される。
【０００４】
このような、テストプログラムを生成するための装置として、特許文献１に示すようなテストプログラム作成方式が知られている。このテストプログラム作成方式は、半導体デバイスの個別データを入力することで、テスト対象ピンのグルーピングや、その他の半導体デバイス個別情報をテストプログラムの雛形に埋め込み、半導体デバイス個別のテストプログラムを作成するものである。
【０００５】
また、特許文献２に示すようなテストグループ作成装置及びその作成システムも知られている。このテストグループ作成装置及びその作成システムは、半導体デバイスのテスト対象ピンのグルーピング方法に関し、ピンのグルーピング条件をあらかじめ定義しておき、半導体デバイスが複雑化し、ピン数が増加するといった、より複雑な条件に対応させて、テストグループを間違いなく、短時間で作成するようにしたものである。
【特許文献１】特開平１０−４８３００号公報
【特許文献２】特開２０００−１８７０６４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述の従来技術の場合、テスト項目も半導体デバイスと同様に複雑化していく中、それらが半導体デバイス毎に異なる場合、テストプログラムも個々の半導体デバイス毎に作成する必要があるため、作成に手間と時間がかかるという問題があった。。また、生成されたテストプログラムは、人手で調整、変更を行う必要が生じるため、ユーザには、各半導体装置についての高度な専門知識が必要とされる。人手で調整、変更を行うことが可能であるため、プログラム変更、改修の際に、ミスが混入するおそれがある。人手による変更、改修を行うと、テストスペックとテストプログラムとの関係が１対１で対応しなくなる。その状態で対応させるためには、テストプログラムからテストスペックへの逆変換が必要であり、逆変換の仕組みが無い場合は、生成したプログラムへの変更は、テストスペックへ戻すことができなくなる。さらに、テストプログラムの作成には、個人差があるので、他人の作成したテストプログララムについてはその解析等や実施する場合に多大の時間を要するという問題があった。
【０００７】
本発明は、上述の点に鑑みなされたものであり、半導体試験装置の知識の浅いユーザでも容易にテストプログラムを生成することができ、テストプログラムの変更、修正を容易に行うことが可能なテストプログラム生成システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係るテストプログラム生成システムの第１の特徴は、半導体試験装置を動作させるテストプログラムを生成するテストプログラム生成システムにおいて、テスト条件を入力するためのフォーマットを備えた表計算ソフトのシートを各テスト項目毎に複数備え、前記テストプログラムを生成する際に前記複数のシートの中から所定のものを選択し、選択されたシートのフォーマットに所定の設定条件を入力し、前記表計算ソフトのマクロプログラムを実行させることによって、前記所定のテストプログラムを生成するように構成されたことにある。
これは、通常使い慣れたアプリケーションソフトの一つである表計算ソフトのマイクロプログラムを利用してテストプログラムを作成するようにしたものであり、これによって、半導体試験装置の知識の浅いユーザでも容易にテストプログラムを生成することができる。また、テストプログラムの変更、修正を行なう場合には各シートの設定条件を変更、修正するだけでいいので、テストプログラムの変更、修正を容易に行うことができる。
【０００９】
本発明に係るテストプログラム生成システムの第２の特徴は、前記第１の特徴に記載のテストプログラム生成システムにおいて、前記複数のシートが、予め準備された基本シートに基づいて作成されていることにある。これは、各テスト項目に対応した各シートの構成が基本シートに基づいて作成されていることから、その基本シートについて理解するだけで他のテスト項目の構成についても容易に理解を深めることが可能となる。
【００１０】
本発明に係るテストプログラム生成システムの第３の特徴は、前記第１の特徴に記載のテストプログラム生成システムにおいて、前記表計算ソフトとしてＭＩＣＲＯＳＯＦＴ  ＥＸＣＥＬ（登録商標）を用いたことにある。これは、表計算ソフトして最も利用されているＭＩＣＲＯＳＯＦＴ  ＥＸＣＥＬ（登録商標）を用いるようにしたものである。
【００１１】
本発明に係るテストプログラム生成システムの第４の特徴は、前記第１の特徴に記載のテストプログラム生成システムにおいて、前記マクロプログラムの実行によって生成されたテストプログラムは、前記表計算ソフト上の別のシートに表示されることにある。これは、表計算ソフトのマクロプログラムの実行によって生成されたテストプログラムを同じ表計算ソフトのシート上に表示することによって、その取扱いを簡単にしたものである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のテストプログラム生成システムによれば、半導体試験装置の知識の浅いユーザでも容易にテストプログラムを生成することができ、テストプログラムの変更、修正を容易に行うことができるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
図１は、本発明の一実施の形態に係るテストプログラム生成システムの概略構成を示す図であり、アプリケーションソフトであるＭＩＣＲＯＳＯＦＴ  ＥＸＣＥＬ（登録商標）上にテストプログラム作成システムを構築した場合を示している。図１は予め準備されたエクセルの基本（雛形）シートの一例を示す。
【００１４】
図１の基本シートは、第１電源設定部１０、第２電源設定部１１、テストレート設定部１２、カテゴリ設定部１３、リレー設定部１４、入力ピン電圧設定部（第１ケア部）１５、入力ピンタイミング設計部（第１ケア部）１６、ＬＣＤ設定部１７、ｌｏｄｓｔｒｂ設定部１８、出力ピン設定部１９、ＩＯＶＣＣ設定部２０、ＶＣＣ倍率設定部２１、ＶＤＤ設定部２２、パターン設定部（第１ケア部）２３、入力ピン電圧設計部（第２ケア部）２４、入力ピンタイミング設計部（第２ケア部）２５、パターン設定部（第２ケア部）２６、電源シーケンス設定部２７、テストパターン条件表２８及び来歴表２９から構成される。
【００１５】
図２は、図１の第１電源設定部１０及び第２電源設定部１１の詳細を示す図である。第１電源設定部１０は、電源設定、印加条件及びモードの３列の設定項目と、４行の入力項目とから構成され、第２電源設定部１１は、同じく電源設定、印加条件及びモードの３列の設定項目と、２４行の入力項目とから構成されている。設定項目「電源設定」には、ＶＣＣ，ＩＯＶＣＣなどのピン名称が入力され、設定項目「印加条件」には、電圧の設定条件が単位［Ｖ］で入力され、設定項目「モード」には、ｖｆｉｍ又はｉｆｖｍのモードが選択的に設定される。
【００１６】
図３は、図１のテストレート設定部１２及びカテゴリ設定部１３の詳細を示す図である。テストレート設定部１２は、ｒａｔｅ、入力条件及び単位の３列の設定項目と、ｔ１〜ｔ６の６行の入力項目とから構成されている。設定項目「入力条件」には各レートｔ１〜ｔ６に対応した値を入力する。設定項目「単位」にはテストレートの単位として［ｎｓ］、［μｓ］、［ｍｓ］が選択的に設定される。カテゴリ設定部１３は、カテゴリ設定部を示す「ｃａｔ」の文字と、プログラム値、カテゴリの３列の設定項目から構成されている。このカテゴリ設定は各試験で固定なので設定の必要はない。
【００１７】
図４は、図１のリレー設定部１４の詳細を示す図である。リレー設定部１４は、ロードリレーの設定を行うものであり、ロードリレーナンバーとそのオン／オフが設定される。ロードリレーナンバとして４０行の入力項目が用意されている。また、オン／オフの右側には使用するロードリレーのコメントを記述することが可能となっている。
【００１８】
図５は、図１の入力ピン電圧設定部（第１ケア部）１５の詳細を示す図である。入力ピン電圧設定部（第１ケア部）１５は、入力ピン設定、ＶＣＣフラグ、フラグ、ｃｏｎｎ、ｆｍａｓｋ、ｆｍｔ、ｉｏｆｍｔ、ｖｉｈ［Ｖ］、ｖｉｌ［Ｖ］、ｖｏｈ［Ｖ］、ｖｏｌ［Ｖ］、ｖｔ［Ｖ］、ｉｏｈ［μＡ］及びｉｏｌ［μＡ］の各設定項目と、４０行の入力項目とから構成されている。設定項目「入力ピン設定」には、ＤＤＦファイルで定義しているピン名称が設定される。設定項目「ＶＣＣフラグ」には、各端子の電源モード（ＩＯＶＣＣ、ＶＣＣ、ＶＤＤ）が設定される。設定項目「ｃｏｎｎ」には、各端子の接続先（ｆｃ、ｏｐｅｎ、ｓｖｉ、ｐｍｕ）が設定される。設定項目「ｆｍａｓｋ」には、フェイルマスク（ｄｓｂ、ｅｎｂ）が設定される。設定項目「ｆｍｔ」には、波形フォーマット（ｎｒｚ、ｒ１、ｒｚ、ｆｉｘｈ、ｆｉｘｌ、ｓｂｃ）が設定される。設定項目「ｉｏｆｍｔ」には、ＩＯフォーマット（ｉｎｐｕｔ、ｏｕｔｐｕｔ、ｎｒｚ）が設定される。設定項目「ｖｉｈ［Ｖ］、ｖｉｌ［Ｖ］、ｖｏｈ［Ｖ］、ｖｏｌ［Ｖ］、ｖｔ［Ｖ］、ｉｏｈ［μＡ］及びｉｏｌ［μＡ］」には、設定項目「ＶＣＣフラグ」を設定した場合、自動的に倍率が設定される。但し、ＩＯＶＣＣ、ＶＣＣ倍率設定部が設定されていない場合は”−”が設定される。値には、倍率との計算結果が設定される。なお、直値を使用する場合は”値”の方に直接入力可能である。
【００１９】
図６は、図１の入力ピンタイミング設定部（第１ケア部）１６の詳細を示す図である。入力ピンタイミング設定部（第１ケア部）１６は、第１〜第６の各タイミングｔ１〜ｔ６と、これらの単位を設定する項目と、４０行の入力項目とから構成されている。各タイミングｔ１〜ｔ６には、ＩＣＬ、ＤＲＬ、ＤＲＴ、ｓｔｒｂ１、ｓｔｒｂ２の各設定項目が設けられている。設定項目「ＩＣＬ」には、波形フォーマットが”ｓｂｃ”の時、反転エッジとして値が設定される。その他のフォーマット、出力ピン時には”−”が設定される。設定項目「ＤＲＬ」には、立ち上がりエッジの値が設定される。波形フォーマットが”ｆｉｘｈ”、”ｆｉｘｌ”時には（０．０ｎｓ）が設定される。ＤＲＴ項目には、立ち下がりエッジの値が設定される。波形フォーマットが”ｆｉｘｈ”、”ｆｉｘｌ”時には”−”が設定される。設定項目「ｓｔｒｂ１」及び「ｓｔｒｂ２」には、ストローブの値が設定される。通常のストローブの場合は、”ＳＴＲＢ１”のみが設定され、ウィンドウストローブの場合は、”ＳＴＲＢ２”にも設定が必要となる。未記述の場合は”−”が設定される。設定項目「単位」には、ｎｓ、ｕｓのいずれかの単位が設定される。
【００２０】
図７は、図１のＬＣＤ設定部１７及びｌｏｄｓｔｒｂ設定部１８の詳細を示す図である。ＬＣＤ設定部１７は、ｒｎｇ、ｌｃｄｒｌｙ、ｖｔ［Ｖ］、ｉｏｈ［μＡ］，ｉｏｌ［μＡ］の各設定項目から構成されている。設定項目「ｒｎｇに」は、ＬＣＤピンのレンジとしてｏｆｆ、ｌｖ、ｈｖが設定される。設定項目「ｌｃｄｒｌｙ」には、ＬＣＤピンの出力リレーのｏｎ、ｏｆｆが設定される。設定項目「ｖｔ［Ｖ］」には、ＬＣＤピンのＶＴの設定が単位［Ｖ］として設計される。設定項目「ｉｏｈ［ｕＡ］，ｉｏｌ［ｕＡ］」には、ＬＣＤピンの電流値が単位［μＡ］として設定される。ｌｏｄｓｔｒｂ設定部１８は、各タイミングｔ１〜ｔ６に対応したＬＣＤピンのストローブ設定項目から構成されている。各タイミングｔ１〜ｔ６には単位設定部が存在する。
【００２１】
図８は、図１の出力ピン設定部１９の詳細を示す図である。出力ピン設定部１９は、ＬＣＤピン設定、ｃｏｎｎ、ｆｍａｓｋ、ｖｏｈ［Ｖ］、ｖｏｌ［Ｖ］の各設定項目から構成されている。設定項目「ＬＣＤピン設定」には、ＤＤＦファイルで定義しているピン名称が設計される。設定項目「ｃｏｎｎ」には、各端子の接続先として、ｏｐｅｎ、ａｌｄ、ｐｍｕが設定される。設定項目「ｆｍａｓｋ」には、フェイルマスクとして、ｄｓｂ、ｅｎｂが設定される。設定項目」ｖｏｈ［Ｖ］」、「ｖｏｌ［Ｖ］」には、単位［Ｖ］として電圧値が設定される。
【００２２】
図９は、図１のＩＯＶＣＣ倍率設定部２０、ＶＣＣ倍率設定部２１及びＶＤＤ設定部２２の詳細を示す図である。ＩＯＶＣＣ倍率設定部２０は、ＶＩＨ１、ＶＩＬ１、ＶＯＨ１、ＶＯＬ１、ＶＴ１の各設定項目から構成されている。ＶＣＣ倍率設定部２１は、ＶＩＨ２、ＶＩＬ２、ＶＯＨ２、ＶＯＬ２、ＶＴ２の各設定項目から構成されている。ＶＤＤ設定部２２は、ＶＩＨ３、ＶＩＬ３、ＶＯＨ３、ＶＯＬ３、ＶＴ３の各設定項目から構成されている。これらの各設定項目には、各ＤＣ特性における倍率が設定される。設定された値とＶＣＣフラグにより入力端子に電圧の設定が行われる。
【００２３】
図１０は、図１のパターン設定部（第１ケア部）２３の詳細を示す図である。パターン設定部（第１ケア部）２３は、テスト番号、使用パターン、スタート、ストップ、走行モード（ｓｅｑ／ｐａｒａ）、テストパターン条件の各設定項目から構成されている。設定項目「テスト番号」には、テスト番号が設定される。設定項目「使用パターン」には、使用パターン名が設定される。設定項目「スタート」、「ストップ」には、使用パターンの中に記述されているスタート、ストップのラベルが設定される。設定項目「走行モード（ｓｅｑ／ｐａｒａ）」には、使用パターンの走行モードとして、（ｓｅｑ／ｐａｒａ）のいずれかが設定される。設定項目「テストパターン条件」には、テストパターン条件表に対応した番号が設定される。なお、自動生成時は使用しないが、設定端子の確認時に記述する必要がある項目である。
【００２４】
図１１は、図１の入力ピン電圧設定部（第２ケア部）２４及び入力ピンタイミング設定部（第２ケア部）２５の詳細を示す図である。入力ピン電圧設定部（第２ケア部）２４及び入力ピンタイミング設定部（第２ケア部）２５は、入力項目数が異なる他は、図５及び図６の入力ピン電圧設定部（第１ケア部）１５及び入力ピンタイミング設定部（第１ケア部）１６と同じである。なお、パターン設定部（第２ケア部）２６は、図１０のパターン設定部（第１ケア部）２２と同じなので、図示を省略する。
【００２５】
図１２は、図１の電源シーケンス設定部２７の詳細を示す図である。電源シーケンス設定部２７は、時間、端子名の設定項目から構成されている。設定項目「時間」には、ｓｒシーケンスの時間が単位［ms］で設定される。設定項目「端子名」は、ｕｖｉ、ｒｖｉ、ｐｉｎ、ＬＣＤの各項目からなり、項目「ｕｖｉ」、「ｒｖｉ」には端子名が設定され、項目「ＬＣＤ」には、ＬＣＤ部に関するｌｃｄが設定され、未記述の場合は”−”が設定される。
なお、テストパターン条件表２８及び来歴表２９の詳細は図示しないが、テストパターン条件表２８には、各テストに応じた条件内容が設定される。例えば、条件番号、テスト番号、パターン命が設定され、パターン設定部との確認に使用される。また、来歴表２９には、本テスト条件シートの来歴が設定される。
【００２６】
図１３は、図１の基本シートを用いて作成された開放（オープン）テストの１例を示す図である。図から明らかなように、開放（オープン）テストの場合は、図１の基本シートの中の電源設定部１０、第２電源設定部１１、テストレート設定部１２、カテゴリ設定部１３、リレー設定部１４、入力ピン電圧設定部（第１ケア部）１５、入力ピンタイミング設計部（第１ケア部）１６、ＬＣＤ設定部１７、ｌｏｄｓｔｒｂ設定部１８、出力ピン設定部１９、ＩＯＶＣＣ設定部２０、ＶＣＣ倍率設定部２１、ＶＤＤ設定部２２、電源シーケンス設定部２７及び来歴表２９がそのまま使用されてテストシートが構成されている。このテストシートの各項目に所定の数値や文字などを入力して、左上の実行ボタン３１を操作することによって、ＭＩＣＲＯＳＯＦＴ  ＥＸＣＥＬ（登録商標）のマクロ言語（ＶＢＡ）が実行され、テストプログラムがプログラムシートに出力される。
【００２７】
図１４は、図１の基本シートを用いて作成された短絡（ショート）テストの１例を示す図である。図から明らかなように、短絡（ショート）テストの場合は、図１の基本シートの中の電源設定部１０、第２電源設定部１１、テストレート設定部１２、カテゴリ設定部１３、リレー設定部１４、入力ピン電圧設定部（第１ケア部）１５、入力ピンタイミング設計部（第１ケア部）１６、ＬＣＤ設定部１７、ｌｏｄｓｔｒｂ設定部１８、出力ピン設定部１９、ＩＯＶＣＣ設定部２０、ＶＣＣ倍率設定部２１、ＶＤＤ設定部２２、電源シーケンス設定部２７及び来歴表２９がそのまま使用され、さらに、ＬＣＤ−ＤＣ設定部３０が追加されている。このＬＣＤ−ＤＣ設定部３０は、ＬＣＤピン設定、ｒｌｙ、印加条件、モードの各設定項目を有するがその詳細は省略する。このテストシートの各項目に所定の数値や文字などを入力して、左上の実行ボタン３１を操作することによって、ＭＩＣＲＯＳＯＦＴ  ＥＸＣＥＬ（登録商標）のＶＢＡが実行して、テストプログラムがプログラムシートに出力される。
【００２８】
図１５は、図１４の開放（オープン）テストのプログラム作成シートにおいて実行ボタンが操作された場合に作成されたテストプログラムの一例を示すプログラムシートの一例を示す図である。上述の実施の形態に示すように、所定のテストシートを開き、所定の数値等を入力して、実行ボタンを操作するだけで所定のテストプログラムが所定のプログラムシート上に作成される。
【００２９】
上述の実施の形態では、短絡（ショート）テスト及び開放（オープン）テストのプログラム作成シートを例として説明したが、これ以外の種々のテストプログラムに対応したプログラム作成シートが準備されている。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の一実施の形態に係るテストプログラム生成システムの概略構成を示す図である。
【図２】図１の第１電源設定部及び第２電源設定部の詳細を示す図である。
【図３】図１のテストレート設定部及びカテゴリ設定部の詳細を示す図である。
【図４】図１のリレー設定部の詳細を示す図である。
【図５】図１の入力ピン電圧設定部（第１ケア部）の詳細を示す図である。
【図６】図１の入力ピンタイミング設定部（第１ケア部）の詳細を示す図である。
【図７】図１のＬＣＤ設定部及びｌｏｄｓｔｒｂ設定部の詳細を示す図である。
【図８】図１の出力ピン設定部の詳細を示す図である。
【図９】図１のＩＯＶＣＣ倍率設定部、ＶＣＣ倍率設定部及びＶＤＤ設定部の詳細を示す図である。
【図１０】図１のパターン設定部（第１ケア部）の詳細を示す図である。
【図１１】図１の入力ピン電圧設定部（第２ケア部）及び入力ピンタイミング設定部（第２ケア部）の詳細を示す図である。
【図１２】図１の電源シーケンス設定部の詳細を示す図である。
【図１３】図１の基本シートを用いて作成された開放（オープン）テストの１例を示す図である。
【図１４】図１の基本シートを用いて作成された短絡（ショート）テストの１例を示す図である。
【図１５】図１４の開放（オープン）テストのプログラム作成シートにおいて実行ボタンが操作された場合に作成されたテストプログラムの一例を示すプログラムシートの一例を示す図である。
【符号の説明】
【００３１】
１０…第１電源設定部
１１…第２電源設定部
１２…テストレート設定部
１３…カテゴリ設定部
１４…リレー設定部
１５…入力ピン電圧設定部（第１ケア部）
１６…入力ピンタイミング設計部（第１ケア部）
１７…ＬＣＤ設定部
１８…ｌｏｄｓｔｒｂ設定部
１９…出力ピン設定部
２０…ＩＯＶＣＣ設定部
２１…ＶＣＣ倍率設定部
２２…ＶＤＤ設定部
２３…パターン設定部（第１ケア部）
２４…入力ピン電圧設計部（第２ケア部）
２５…入力ピンタイミング設計部（第２ケア部）
２６…パターン設定部（第２ケア部）
２７…電源シーケンス設定部
２８…テストパターン条件表
２９…来歴表
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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