(57)【要約】【課題】簡単な操作で多種多様の軸受に対する超仕上げ加工を効率良く且つ低コストで施すことが可能な超仕上盤を提供する。【解決手段】超仕上げ対象面に対する砥石Ｔの姿勢を制御する姿勢制御機構と、超仕上げ対象面に対する砥石の位置を制御する位置制御機構とを備えている。姿勢制御機構は、砥石を保持するホルダ２８と、ホルダを所定方向に回転可能に支持する回転ユニット３０とを備え、位置制御機構は、回転ユニットを第１の方向に往復移動させる第１の可動ユニット３２と、第１の可動ユニットを第２の方向に往復動させる第２の可動ユニット３４とを備えている。【選択図】図１
2008272839.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
超仕上げ対象面に対する砥石の姿勢を制御する姿勢制御機構と、
超仕上げ対象面に対する砥石の位置を制御する位置制御機構とを備えていることを特徴とする超仕上盤。
【請求項２】
姿勢制御機構は、砥石を保持するホルダと、ホルダを所定方向に回転可能に支持する回転ユニットとを備えていることを特徴とする請求項１に記載の超仕上盤。
【請求項３】
位置制御機構は、回転ユニットを第１の方向に往復移動させる第１の可動ユニットと、第１の可動ユニットを第２の方向に往復動させる第２の可動ユニットとを備えていることを特徴とする請求項１又は２に記載の超仕上盤。
【請求項４】
第１の可動ユニットは、第１の方向に延出した第１のガイドと、第１のガイドに沿って往復動する第１のスライダとを備えており、第１のスライダには、回転ユニットが取り付けられていることを特徴とする請求項３に記載の超仕上盤。
【請求項５】
第２の可動ユニットは、第２の方向に延出した第２のガイドと、第２のガイドに沿って往復動する第２のスライダとを備えており、第２のスライダには、第１のガイドが取り付けられていることを特徴とする請求項４に記載の超仕上盤。
【請求項６】
第１の方向と第２の方向とは、互いに直交していることを特徴とする請求項３〜５のいずれかに記載の超仕上盤。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば軸受の軌道面や転動体表面を超仕上げ加工する超仕上盤に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えば特許文献１をはじめとして各種の超仕上盤が知られている。超仕上盤による超仕上げ加工は、研削加工された内外輪の軌道面や転動体(玉、ころ)の表面に対して個別に行われている。例えば図３(ａ),(ｂ)に示すように、玉軸受の外内輪2,4を所定方向Ｒに回転させた状態で、その各軌道面2s,4sに対して砥石Ｔを所定角度θで揺動させることで、当該軌道面2s,4sの超仕上げ加工が行われている。
【０００３】
ここで、砥石Ｔを揺動させる機構としては、例えば図３(ｃ)に示すようなクランク機構が適用されており、当該クランク機構は、図示しない駆動源により回転制御された回転軸６と、砥石Ｔを揺動自在に支持する支持体８と、回転軸６と支持体８とを連接するロッド１０とを備えている。この場合、回転軸６を所定方向Ｒに回転させると、その回転運動がロッド１０を介して支持体８に伝達され、当該支持体８を所定角度θで回動させる。これにより、砥石Ｔを所定角度θで揺動させることができる。
【０００４】
また、例えば図４(ａ),(ｂ)に示すように、円筒ころ軸受の外内輪12,14を所定方向Ｒに回転させた状態で、その各軌道面12s,14sに対して砥石Ｔを水平方向Ｓに微小往復動(押しレーション)させることで、当該軌道面12s,14sの超仕上げ加工が行われている。
【０００５】
ここで、砥石Ｔを揺動させる機構としては、例えば図４(ｃ)に示すような砥石振動装置が適用されている。当該砥石振動装置は、平行に配置されたガイド１６に沿ってエア軸受１８を介して取り付けられた振動体20a,20bと、振動体２０相互間に介在された偏心カム２２とを備えており、各振動体２０は、バネ２４により常時偏心カム２２に向けて押圧された状態に維持されている。また、一方の振動体２０ａには重量バランサ２６が組み込まれており、他方の振動体２０ｂには、砥石Ｔが連結されている。この場合、偏心カム２２を回転させると、その偏心回転運動が他方の振動体２０ｂに伝達され、当該振動体２０ｂをガイド１６に沿って微小往復動させる。これにより、振動体２０ｂの往復動と共に砥石Ｔを水平方向Ｓに微小往復動させることができる。
【０００６】
ところで、上述したような超仕上げ加工では、軸受の種類(玉軸受、円筒ころ軸受)によって加工方法が異なるため、各軸受専用の超仕上盤を用意する必要がある。これは、砥石Ｔに与える運動の種類(玉軸受では揺動運動、円筒ころ軸受では水平往復運動)が異なり、それぞれの機械機構が全く違うものになるからである。
【０００７】
この場合、超仕上げ加工に要するコストが上昇してしまうだけで無く、それぞれの超仕上盤の操作には熟練を要し面倒であり、小ロット多型番に対応し難いだけで無く、段取り替えも困難になってしまう。そこで、軸受の種類を問わずに誰でも扱えるシンプル性、小ロット多型番に対応できるフレキシブル性、段取り替えの容易性が求められているが、現在そのような超仕上盤は知られていない。
【特許文献１】特開２００４−２０９６３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、このような要望に応えるためになされており、その目的は、簡単な操作で多種多様の軸受に対する超仕上げ加工を効率良く且つ低コストで施すことが可能な超仕上盤を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
このような目的を達成するために、本発明は、超仕上げ対象面に対する砥石の姿勢を制御する姿勢制御機構と、超仕上げ対象面に対する砥石の位置を制御する位置制御機構とを備えている。この場合、姿勢制御機構は、砥石を保持するホルダと、ホルダを所定方向に回転可能に支持する回転ユニットとを備えている。また、位置制御機構は、回転ユニットを第１の方向に往復移動させる第１の可動ユニットと、第１の可動ユニットを第２の方向に往復動させる第２の可動ユニットとを備えている。
【００１０】
本発明において、第１の可動ユニットは、第１の方向に延出した第１のガイドと、第１のガイドに沿って往復動する第１のスライダとを備えており、第１のスライダには、回転ユニットが取り付けられている。また、第２の可動ユニットは、第２の方向に延出した第２のガイドと、第２のガイドに沿って往復動する第２のスライダとを備えており、第２のスライダには、第１のガイドが取り付けられている。この場合、第１の方向と第２の方向とは、互いに直交している。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、簡単な操作で多種多様の軸受に対する超仕上げ加工を効率良く且つ低コストで施すことが可能な超仕上盤を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施の形態に係る超仕上盤について添付図面を参照して説明する。
図１(ａ)に示すように、本実施の形態の超仕上盤は、超仕上げ対象面(図示しない)に対する砥石Ｔの姿勢を制御する姿勢制御機構と、超仕上げ対象面に対する砥石Ｔの位置を制御する位置制御機構とを備えている。ここでは、超仕上対象面として、後述するような例えば軸受(内輪、外輪)の軌道面(内輪軌道面、外輪軌道面)や転動体の表面を想定する。
【００１３】
姿勢制御機構は、砥石Ｔを保持するホルダ２８と、ホルダ２８を所定方向に回転可能に支持する回転ユニット３０とを備えている。ここで、ホルダ２８は、クランク状のホルダ本体２８ａと、ホルダ本体２８ａに取り付けられた支持体２８ｂとを備えて構成されており、砥石Ｔは、支持体２８ｂに支持されている。また、支持体２８ｂには、加圧シリンダ(図示しない)が内蔵されており、これにより、砥石Ｔを加圧して加工を行うと同時に、砥石Ｔは、その先端中心(軸芯)Ｔａが常にＺ軸(回転ユニット３０の回転中心)と一致するように位置決めされている。
【００１４】
一方、回転ユニット３０は、Ｚ軸方向に延出した旋回スピンドルから成る軸本体３０ａと、軸本体３０ａの基端側に設けられたＡＣサーボモータ３０ｂとを備えて構成されており、ホルダ２８(ホルダ本体２８ａ)は、軸本体３０ａの先端側に取り付けられている。なお、ＡＣサーボモータ３０ｂは、その回転速度や回転方向、並びに回転角度や停止位置などを高精度に制御可能な駆動源であり、既に市販されている各種のモータを適用することが可能である。
【００１５】
このような姿勢制御機構によれば、ＡＣサーボモータ３０ｂを駆動させて軸本体３０ａを所定方向に所定角度だけ旋回させると、このときの旋回運動が軸本体３０ａからホルダ２８(ホルダ本体２８ａ)に伝達され、当該ホルダ２８(ホルダ本体２８ａ)を同方向に同角度だけ旋回させる。このとき、ホルダ２８(支持体２８ｂ)に保持(支持)された砥石Ｔは、その先端中心(軸芯)ＴａがＺ軸と一致した状態で当該Ｚ軸を中心として旋回する。これにより、後述する超仕上対象面に対する砥石Ｔの姿勢が制御される。
【００１６】
また、位置制御機構は、姿勢制御機構(ホルダ２８、回転ユニット３０)を第１の方向(Ｘ軸方向：水平方向)に往復移動させる第１の可動ユニット３２と、第１の可動ユニット３２を第２の方向(第１の方向に直交するＹ軸方向)に往復動させる第２の可動ユニット３４とを備えている。ここで、第１の可動ユニット３２は、第１の方向に延出した第１のガイド３２ｇと、第１のガイド３２ｇに沿って往復動する第１のスライダ３２ｓとを備えて構成されており、第１のスライダ３２ｓには、回転ユニット３０(ＡＣサーボモータ３０ｂ)が取り付けられている。
【００１７】
具体的に説明すると、第１のガイド３２ｇには、Ｘ軸方向に沿って互いに平行に延出した一対のリニアガイド３２Ｌが敷設されており、第１のスライダ３２ｓは、一対のリニアガイド３２Ｌに跨るように配設されている。この場合、一対のリニアガイド３２Ｌに沿って第１のスライダ３２ｓを往復動させる機構としては、既存のリニアモータを適用することが可能である。
【００１８】
例えば、第１のガイド３２ｇには、リニアガイド３２Ｌ相互間にＸ軸方向に沿って複数の永久磁石３２ｅを所定間隔で配列すると共に、第１のスライダ３２ｓには、各永久磁石３２ｅに対向して例えば３相のコイル(図示しない)を所定間隔で配列する。なお、複数の永久磁石３２ｅは、その隣り合う永久磁石３２ｅの表面(コイルに対向する面)の磁極(Ｎ極とＳ極)が交互に並ぶように配列させる。そして、図示しないコントローラから３相のコイルに順次電流を流して、各コイルの磁極をＳ極またはＮ極に変えると、その際の磁極と永久磁石３２ｅの磁束とが磁気作用することで、フレミングの左手の法則に従って第１のスライダ３２ｓを一対のリニアガイド３２Ｌに沿って往復動させることができる。
【００１９】
一方、第２の可動ユニット３４は、Ｙ軸方向(第１のガイド３２ｇに直交する方向)に延出した第２のガイド３４ｇと、第２のガイド３４ｇに沿って往復動する第２のスライダ３４ｓとを備えて構成されており、第２のスライダ３４ｓには、第１のガイド３２ｇが取り付けられている。
【００２０】
具体的に説明すると、第２のガイド３４ｇには、Ｙ軸方向に沿って互いに平行に延出した一対のリニアガイド３４Ｌが敷設されており、第２のスライダ３４ｓは、一対のリニアガイド３４Ｌに跨るように配設されている。この場合、一対のリニアガイド３４Ｌに沿って第２のスライダ３４ｓを往復動させる機構としては、既存のリニアモータを適用することが可能である。
【００２１】
例えば、第２のガイド３４ｇには、リニアガイド３４Ｌ相互間にＹ軸方向に沿って複数の永久磁石３４ｅを所定間隔で配列すると共に、第２のスライダ３４ｓには、各永久磁石３４ｅに対向して例えば３相のコイル(図示しない)を所定間隔で配列する。なお、複数の永久磁石３４ｅは、その隣り合う永久磁石３４ｅの表面(コイルに対向する面)の磁極(Ｎ極とＳ極)が交互に並ぶように配列させる。そして、図示しないコントローラから３相のコイルに順次電流を流して、各コイルの磁極をＳ極またはＮ極に変えると、その際の磁極と永久磁石３４ｅの磁束とが磁気作用することで、フレミングの左手の法則に従って第２のスライダ３４ｓを一対のリニアガイド３４Ｌに沿って往復動させることができる。
【００２２】
次に、上述した超仕上盤の動作について説明する。
図１(ｂ)には一例として、玉軸受(内輪４)の内輪軌道面４ｓに対して超仕上げ加工を施している状態が示されている。この場合、内輪４は、ドライブプレート３６に回転可能にセットされており、その回転中心軸Ａｘ上に、第１の可動ユニット３２及び第２の可動ユニット３４(図１(ａ))におけるＸＹ軸の座標原点Ｐxyが規定されている。
【００２３】
ここで、第１及び第２のスライダ32s,34sをリニアガイド32L,34Lに沿って移動して、姿勢制御機構(ホルダ２８、回転ユニット３０)を移動させることで、Ｚ軸(回転ユニット３０の回転中心)を内輪軌道面４ｓの溝底(型番原点)４ｇに位置決めする。このとき、ホルダ２８(支持体２８ｂ)に保持(支持)された砥石Ｔの先端中心(軸芯)Ｔａも同時に内輪軌道面４ｓの溝底(型番原点)４ｇに位置決めされる。なお、内輪４(内輪軌道面４ｓ)の溝底(型番原点)４ｇは、当該内輪４をドライブプレート３６にセットした状態において、座標原点Ｐxyに対する定位置として内輪４の型番毎に規定することができる。
【００２４】
この状態において、例えば図１(ｃ)に示すように、砥石Ｔの先端中心(軸芯)Ｔａを内輪軌道面４ｓに沿って予め設定した振り角Ｍで揺動させることで、当該内輪軌道面４ｓに対する超仕上げ加工が施される。例えば溝底(型番原点)４ｇに位置決めされた砥石Ｔの先端中心(軸芯)Ｔａを内輪軌道面４ｓに沿って、予め設定した右移動点Ｔａ-1まで揺動させる場合を想定する。この場合、例えば第１のスライダ３２ｓをリニアガイド３２Ｌに沿ってＸｍだけ移動させると共に、第２のスライダ３４ｓをリニアガイド３４Ｌに沿ってＹｍだけ移動させる。
【００２５】
そして、かかる移動と同時に、回転ユニット３０によってホルダ２８(ホルダ本体２８ａ)を旋回させて、砥石Ｔの先端中心(軸芯)ＴａをＺ軸中心に旋回させる。このときの旋回角Ｚｍは、内輪軌道面４ｓの曲率半径の中心線から溝底(型番原点)４ｇに引いた基準線Ｌ１と、内輪軌道面４ｓの曲率半径の中心線から移動点Ｔａ-1に引いた移動線Ｌ２との成す角度Ｚｍとして規定される。なお、内輪軌道面４ｓの曲率半径の中心線から内輪軌道面４ｓに引いた各線L1,L2は、内輪軌道面４ｓに直交する垂線となる。
【００２６】
また、上述した右移動点Ｔａ-1までの揺動制御とは逆に、溝底(型番原点)４ｇに位置決めされた砥石Ｔの先端中心(軸芯)Ｔａを内輪軌道面４ｓに沿って、予め設定した左移動点Ｔａ-1まで揺動させる場合も同様の揺動制御が行われる。そして、かかる揺動制御を複数回(ＡＣサーボモータ３０ｂ、第１の可動ユニット３２、第２の可動ユニット３４の持つ分解能力を使用して１パルスずつ送り、その都度位置と姿勢の前記制御を連続して行う)繰り返すことで、砥石Ｔの先端中心(軸芯)Ｔａを内輪軌道面４ｓに沿って予め設定した振り角Ｍで複数回揺動させることができる。これにより、内輪軌道面４ｓに対する超仕上げ加工が施される。
【００２７】
また、図２(ａ)には一例として、円筒ころ軸受(外輪１２)の外輪軌道面１２ｓに対して超仕上げ加工を施している状態が示されている。この場合、外輪１２は、図示しないドライブプレートに回転可能にセットされており、その回転中心軸Ａｘ上に、第１の可動ユニット３２及び第２の可動ユニット３４(図１(ａ))におけるＸＹ軸の座標原点Ｐxyが規定されている。
【００２８】
ここで、第１のスライダ３２ｓをリニアガイド３２Ｌに沿ってＰｘだけ移動し、第２のスライダ３４ｓをリニアガイド３４Ｌに沿ってＰｙだけ移動して、姿勢制御機構(ホルダ２８、回転ユニット３０)を移動させることで、Ｚ軸(回転ユニット３０の回転中心)を外輪軌道面１２ｓの溝底(型番原点)１２ｇに位置決めする。このとき、ホルダ２８(支持体２８ｂ)に保持(支持)された砥石Ｔの先端中心(軸芯)Ｔａも同時に外輪軌道面１２ｓの溝底(型番原点)１２ｇに位置決めされる。なお、外輪１２(外輪軌道面１２ｓ)の溝底(型番原点)１２ｇは、当該外輪１２をドライブプレート(図示しない)にセットした状態において、座標原点Ｐxyに対する定位置として外輪１２の型番毎に規定することができる。
【００２９】
この状態において、例えば図２(ａ)に示すように、砥石Ｔの先端中心(軸芯)Ｔａを外輪軌道面１２ｓに沿って予め設定した振り幅Ｍで水平揺動させることで、当該外輪軌道面１２ｓに対する超仕上げ加工が施される。例えば溝底(型番原点)１２ｇに位置決めされた砥石Ｔの先端中心(軸芯)Ｔａを外輪軌道面１２ｓに沿って、予め設定した右移動点Ｔａ-1まで水平揺動させる場合を想定する。この場合、例えば第１のスライダ３２ｓをリニアガイド３２Ｌに沿ってＸｍだけ水平移動させる。なお、この間、砥石Ｔの先端中心(軸芯)ＴａをＺ軸中心に旋回させる制御は行われない(Ｚ軸は直立状態を保持する)。
【００３０】
また、上述した右移動点Ｔａ-1までの水平揺動制御とは逆に、溝底(型番原点)１２ｇに位置決めされた砥石Ｔの先端中心(軸芯)Ｔａを外輪軌道面１２ｓに沿って、予め設定した左移動点Ｔａ-1まで水平揺動させる場合も同様の揺動制御が行われる。そして、かかる水平揺動制御を複数回繰り返すことで、砥石Ｔの先端中心(軸芯)Ｔａを外輪軌道面１２ｓに沿って予め設定した振り幅Ｍで複数回水平揺動させることができる。これにより、外輪軌道面１２ｓに対する超仕上げ加工が施される。
【００３１】
図２(ｂ)には一例として、球面ころ３８の転動面３８ｓに対して超仕上げ加工を施している状態が示されている。この場合、球面ころ３８は、ドライブプレート(図示しない)に回転可能にセットされており、その回転中心軸Ａｘ上に、第１の可動ユニット３２及び第２の可動ユニット３４(図１(ａ))におけるＸＹ軸の座標原点Ｐxyが規定されている。
【００３２】
ここで、第１のスライダ３２ｓをリニアガイド３２Ｌに沿ってＰｘだけ移動し、第２のスライダ３４ｓをリニアガイド３４Ｌに沿ってＰｙだけ移動して、姿勢制御機構(ホルダ２８、回転ユニット３０)を移動させることで、Ｚ軸(回転ユニット３０の回転中心)を転動面３８ｓの最外径(型番原点)３８ｇに位置決めする。このとき、ホルダ２８(支持体２８ｂ)に保持(支持)された砥石Ｔの先端中心(軸芯)Ｔａも同時に転動面３８ｓの最外径(型番原点)３８ｇに位置決めされる。なお、球面ころ３８(転動面３８ｓ)の最外径(型番原点)３８ｇは、当該球面ころ３８をドライブプレート(図示しない)にセットした状態において、座標原点Ｐxyに対する定位置として球面ころ３８の型番毎に規定することができる。
【００３３】
この状態において、例えば図２(ｂ)に示すように、砥石Ｔの先端中心(軸芯)Ｔａを転動面３８ｓに沿って予め設定した振り角Ｍで揺動させることで、当該転動面３８ｓに対する超仕上げ加工が施される。例えば最外径(型番原点)３８ｇに位置決めされた砥石Ｔの先端中心(軸芯)Ｔａを転動面３８ｓに沿って、予め設定した右移動点Ｔａ-1まで揺動させる場合を想定する。この場合、例えば第１のスライダ３２ｓをリニアガイド３２Ｌに沿ってＸｍだけ移動させると共に、第２のスライダ３４ｓをリニアガイド３４Ｌに沿ってＹｍだけ移動させる。
【００３４】
そして、かかる移動と同時に、回転ユニット３０によってホルダ２８(ホルダ本体２８ａ)を旋回させて、砥石Ｔの先端中心(軸芯)ＴａをＺ軸中心に旋回させる。このときの旋回角Ｚｍは、転動面３８ｓの曲率半径の中心線３８ｐから最外径(型番原点)３８ｇに引いた基準線Ｌ１と、転動面３８ｓの曲率半径の中心線３８ｐから移動点Ｔａ-1に引いた移動線Ｌ２との成す角度Ｚｍとして規定される。なお、転動面３８ｓの曲率半径の中心線３８ｐから転動面３８ｓに引いた各線L1,L2は、転動面３８ｓに直交する垂線となる。
【００３５】
また、上述した右移動点Ｔａ-1までの揺動制御とは逆に、最外径(型番原点)３８ｇに位置決めされた砥石Ｔの先端中心(軸芯)Ｔａを転動面３８ｓに沿って、予め設定した左移動点Ｔａ-1まで揺動させる場合も同様の揺動制御が行われる。そして、かかる揺動制御を複数回繰り返すことで、砥石Ｔの先端中心(軸芯)Ｔａを転動面３８ｓに沿って予め設定した振り角Ｍで複数回揺動させることができる。これにより、転動面３８ｓに対する超仕上げ加工が施される。
なお、軸受個々の部品への超仕上げ加工を説明してきたが、砥石Ｔの位置・姿勢制御に関する移動速度は、従来方式(図３、図４)と同様か、若しくは、それより早くすることが可能であることは言うまでも無い。
【００３６】
以上、本実施の形態によれば、軸受の種類(玉軸受、円筒ころ軸受)によって加工方法が異なる場合であっても各軸受専用の超仕上盤を用意する必要は無く、１つの超仕上盤で多種多様の軸受に対する超仕上げ加工を施すことができる。これにより、超仕上げ加工に要するコストを従来に比べて大幅に低減させることができる。この場合、保守や修理などの各種のメンテナンスが簡略化され、その結果、設備費の削減と生産性の向上にも寄与することができる。
【００３７】
また、本実施の形態の超仕上盤は、従来のような熟練を要すること無く、軸受の種類を問わずに誰でも簡単に操作することができる。これにより、シンプルな操作で多種多様の軸受にフレキシブルに対応した超仕上げ加工を施すことができる。この場合、超仕上盤の操作に不慣れなオペレータであっても安全に扱うことができるため、熟練者を育てるまでに要する諸経費が不要となり、その結果、生産効率を従来に比べて飛躍的に向上させることができる。
【００３８】
また、本実施の形態の超仕上盤は、その構造を単純にできるため、定期的な保守作業が不要となり、長期に亘って連続的に稼動させ続けることができる。これにより、従来に比べて保守作業に要するコストを大幅に低減させることができる。
【００３９】
なお、上述した実施の形態において、リニアモータやＡＣサーボモータの分解能について特に言及しなかったが、現在市販されている程度(例えば、リニアモータは０.１μｍ／Ｐ、ＡＣサーボモータは２０万パルス／１回転)であれば充分である。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】(ａ)は、本発明の一実施の形態に係る超仕上盤の構成を示す斜視図、(ｂ)は、玉軸受の内輪軌道面に対して超仕上げ加工を施している状態を示す断面図、(ｃ)は、内輪軌道面に対する砥石の制御動作を模式的に示す図。
【図２】(ａ)は、円筒ころ軸受の外輪軌道面に対して超仕上げ加工を施している状態を示す断面図、(ｂ)は、球面ころの転動面に対して超仕上げ加工を施している状態を示す断面図。
【図３】(ａ)は、玉軸受の外輪軌道面に対して従来の超仕上げ加工を施している状態を示す断面図、(ｂ)は、玉軸受の内輪軌道面に対して従来の超仕上げ加工を施している状態を示す断面図、(ｃ)は、同図(ａ),(ｂ)の加工用のクランク機構の構成を示す図。
【図４】(ａ)は、円筒ころ軸受の外輪軌道面に対して従来の超仕上げ加工を施している状態を示す断面図、(ｂ)は、円筒ころ軸受の内輪軌道面に対して従来の超仕上げ加工を施している状態を示す断面図、(ｃ)は、同図(ａ),(ｂ)の加工用の砥石振動装置の構成を示す図。
【符号の説明】
【００４１】
２８  ホルダ
３０  回転ユニット
３２  第１の可動ユニット
３４  第２の可動ユニット
Ｔ  砥石
【図１】
2008272839.tif 000003
【図２】
2008272839.tif 000004
【図３】
2008272839.tif 000005
【図４】
2008272839.tif 000006