(57)【要約】      （修正有）【課題】単純化、小型化及び小電力化に適し、検出感度を高めた加速度センサ素子を提供する。【解決手段】音叉基部から延出した一対の音叉腕に長さ方向を中心として回転する捩れ振動を生じさせ、前記一対の音叉腕の主面に対して垂直方向となる加速度を加えたとき、コリオリの力によって前記一対の音叉腕は主面に対して水平方向の変位を生じ、前記水平方向の変位によって生ずる電荷を検出してなる加速度センサ素子において、前記音叉本体を水晶から形成し、前記一対の音叉腕に設けた駆動電極によって前記一対の音叉腕を前記音叉腕の主面に対して垂直方向に励振させるとともに前記一対の音叉腕に捩れ現象を生じさせ、前記加速度に起因したコリオリの力による前記一対の音叉腕の主面に対して水平方向の変位による電荷を前記音叉腕に設けた検出電極によって検出した構成とする。【選択図】図１
2008281455.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
音叉本体の音叉基部から延出した一対の音叉腕に長さ方向を中心として回転する捩れ振動を生じさせ、前記一対の音叉腕の主面に対して垂直方向となる加速度を加えたとき、コリオリの力によって前記一対の音叉腕はその主面に対して水平方向の変位を生じ、前記水平方向の変位によって生ずる電荷を検出してなる加速度センサ素子において、前記音叉本体を水晶から形成し、前記一対の音叉腕に設けた駆動電極によって前記一対の音叉腕を前記音叉腕の主面に対して垂直方向に励振させるとともに前記一対の音叉腕に捩れ現象を生じさせ、前記加速度に起因したコリオリの力による前記一対の音叉腕の主面に対して水平方向の変位による電荷を前記音叉腕に設けた検出電極によって検出したことを特徴とする加速度センサ素子。
【請求項２】
請求項１において、前記一対の音叉腕の主面に対して垂直方向となる振動は前記一対の音叉腕間では互いに同方向として前記一対の音叉腕の捩れ振動の回転方向を逆向きとし、前記加速度による水平方向の変位は互いに反対方向とする加速度センサ素子。
【請求項３】
請求項１において、前記一対の音叉腕の主面に対して垂直方向となる振動は前記一対の音叉腕間では互いに反対方向として前記一対の音叉腕の捩れ振動の回転方向を同方向とし、前記加速度による水平方向の変位は互いに同方向とする加速度センサ素子。
【請求項４】
請求項１において、前記音叉本体は二枚の水晶片の±Ｘ軸の逆向きとして直接接合によって貼り合わせてなる加速度センサ素子。
【請求項５】
請求項１において、前記音叉本体は前記音叉基部から一方向に一対の音叉腕が延出した２脚音叉である加速度センサ素子。
【請求項６】
請求項１において、前記音叉本体は前記音叉基部から互いに反対方向にそれぞれ前記一対の音叉腕が延出してＨ状とした４脚２音叉である加速度センサ素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はコリオリの力を用いた加速度センサ素子を技術分野とし、特にセンサ本体を圧電体とした加速度センサ素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
（発明の背景）
加速度センサ素子には機械式や電子式等多くの種類があり、これらの一つに本発明者等によるコリオリの力を利用したものがある（非特許文献１）。コリオリの力を利用したセンサ素子としては角速度センサ素子が一般に普及しており、本発明ではこれとは逆の発想で加速度センサを構成する。
【０００３】
（従来技術の一例）
第１６図は一従来例（非特許文献１）を説明する加速度センサ素子の図で、同図（ａ）は正面図、同図（ｂ）はＡ−Ａ断面図、同図（ｃ）はＢ−Ｂ断面図である。
【０００４】
加速度センサ素子は音叉本体１と駆動用圧電体２と検出用圧電体３とからなる。音叉本体１は例えばステンレスからなり、音叉基部４から一対の音叉腕５（ａｂ）が延出する。ここでは、便宜的に、長さ方向をｙ、幅方向をｘ、厚み方向をｚとする。なお、これらの座標軸（ｘｙｚ）は幾何学的な軸であって、例えば水晶結晶の結晶軸（ＸＹＺ）でない。
【０００５】
駆動用圧電体２及び検出用圧電体３はいずれも例えば圧電セラミックスからなる。駆動用圧電体２は、各音叉腕５（ａｂ）の下方となる音叉基部４の両主面に設けられた第１〜第４圧電体２（ａｂｃｄ）からなる。第１〜第４圧電体２（ａｂｃｄ）のうちの両主面間で対向する第１と第２圧電体２（ａｂ）及び第３と第４圧電体２（ｃｄ）、さらに同一主面間で並列する第１と第３圧電体２（ａｃ）及び第２と第４圧電体２（ｂｄ）とは逆特性とする。
【０００６】
具体的には、第１〜第４圧電体２（ａｂｃｄ）は、第１７図及び第１８図の頭部から見た平面図に示したように、図示しない交番電圧によって、いずれも矢印で示す幅方向ｘに伸縮する。そして、第１と第３圧電体２（ａｃ）が伸張したとき、第２と第４圧電体２（ｂｄ）は縮小する「第１７図（ａ）」。したがって、各音叉腕５（ａｂ）はそれぞれ一主面から他主面側に円弧状に撓む「第１７図（ｂ）」。
【０００７】
そして、これとは逆に、第１及び第３圧電体２（ａｃ）が縮小したとき、第２及び第４圧電体２（ｂｄ）は伸張する「第１８図（ａ）」。したがって、各音叉腕５（ａｂ）は他主面から一主面側に円弧状に撓む「第１８図（ｂ）。要するに、一対の音叉腕５（ａｂ）は、音叉基部４の各圧電体２（ａｃ）と２（ｂｄ）との間では逆相となる交番電圧によって、一主面側から他主面側に、他主面側から一主面側に、互いに同方向に円弧状に撓む。
【０００８】
この場合、一対の音叉腕５（ａｂ）は、根元部が音叉基部４によって拘束されるので、特に各音叉腕５（ａｂ）の外側面が自由端となって、各外側面の円弧状の撓み（変位）が大きくなる。したがって、一対の音叉腕５（ａｂ）は外側面から同一板面側の内側面に向かって互いに反対方向の回転モーメント（±Ｍ）を生じる。
【０００９】
これにより、一対の音叉腕５（ａｂ）はそれぞれが交番電圧によって回転方向を逆向きとして、一対の音叉腕５（ａｂ）間では反対方向の回転方向となる捩れ振動を生ずる。なお、駆動用電極２としての各圧電体２（ａｂｃｄ）は、一主面側の圧電体２（ａｃ）及び他主面側の圧電体２（ｂｄ）が連続的に形成されて両主面に一枚づつの圧電体を形成した場合でも、両端側が同方向に撓む捩れ振動を生ずる。
【００１０】
そして、第１９図に示したように、一対の音叉腕５（ａｂ）が互いに反対方向の回転モーメント±Ｍによる捩れ振動中に、音叉本体１の一主面側から加速度ａ（ｍ／sec２）が加わると、各音叉腕５（ａｂ）の作用（動作）は次になる。
【００１１】
すなわち、一対の音叉腕５（ａｂ）が、先ず、一主面から他主面方向のへの回転となる捩り振動を生じている場合は、各音叉腕５（ａｂ）には互いに反対方向例えば内側から外側にコリオリの力Ｆcが発生する「第１９図（ａ）」。次に、捩り振動が反転して他主面から一主面方向となって逆方向に回転モーメント±Ｍを生じている場合は、各音叉腕５（ａｂ）には外側から内側にコリオリの力Ｆcが発生する「第１９図（ｂ）」。
【００１２】
この場合、一対の音叉腕５（ａｂ）の内側から外側に作用するコリオリの力Ｆcによって、各音叉腕５（ａｂ）の音叉基部４を概ね固定端として内側面は伸張して外側面は縮小し、これにより内側から外側に撓んで開脚する「第２０図（ａｂ）」。これとは逆に、コリオリの力Ｆcが外側から内側に作用すると、各音叉腕５（ａｂ）の内側面は縮小して外側面は伸張し、外側面から内側面に撓んで閉脚する「第２１図（ａｂ）。
【００１３】
要するに、一対の音叉腕５（ａｂ）は互いに反対方向に撓む（変位する）屈曲振動を生ずる。換言すると、一対の音叉腕５（ａｂ）は開脚及び閉脚を繰り返す所謂音叉振動を生ずる。この場合、音叉振動の振動周波数は、一対の音叉腕５（ａｂ）の円弧状の撓みに基づく互いに反対方向に回転する捩れ振動の振動周波数に一致する。
【００１４】
検出用圧電体３は、各音叉腕５（ａｂ）の両主面に、それぞれ長さ方向に沿った内側の第５圧電体３ａと外側の第６圧電体３ｂが形成される「前第１６図（ｃ）」。第５及び第６圧電体３（ａｂ）は一対の音叉腕５（ａｂ）の長さ方向（ｙ方向）の伸縮に追従して同様に伸縮し、正負の電荷を発生する。ここでは、音叉本体１のステンレスをアース電位として、第５及び第６圧電体３（ａｂ）の表面に正負の電圧（電荷）を発生する。
【００１５】
このことから、加速度ａに基づくコリオリの力Ｆcによって、一対の音叉腕５（ａｂ）が開脚又は閉脚（音叉振動）すると、検出用圧電体３が伸縮して内側と外側の各圧電体３（ａｂ）に逆符号の正負電荷を生ずる。したがって、これらの正負電荷を検出することによって加速度を測定できる。
【非特許文献１】超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集、コリオリ力現象利用した加速度センサ、１９９８年１１月、第２０１〜２０２頁。
【特許文献１】特開平１１−８９２５７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
（従来技術の問題点）
しかしながら、上記構成の加速度センサ素子では、ステンレスからなる音叉本体１に複数の圧電体（圧電セラミックス）２（ａｂｃｄ）、３（ａｂ）を貼り付ける構造とする。このため、例えば各圧電体２（ａｂｃｄ）、３（ａｂ）は同電位となる圧電体２、３を接続するのに導線を用いた外部結線となるので複雑にするとともに大型化になる。
【００１７】
また、駆動用圧電体２としての第１〜第４圧電体２（ａｂｃｄ）の伸縮によって、音叉本体１の各音叉腕５（ａｂ）を言わば強制的に円弧状に湾曲させて捩れ振動を得る。したがって、各音叉腕５（ａｂ）に捩れ振動を生じさせるには大きな駆動電力を要する。逆に言えば、駆動電力を小さくすると、検出感度が低下する。
【００１８】
これらのことから、上記構成の加速度センサ素子では、単純化、小型化、小電力化及び検出感度等の点において、自動車等を含めた民生用の加速度センサ素子としては不向きな問題があった。
【００１９】
（発明の目的）
本発明は単純化、小型化及び小電力化に適し、検出感度を高めた加速度センサ素子を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
（第１〜第４実施形態に相当）
本発明は、特許請求の範囲（請求項１）に示したように、音叉本体の音叉基部から延出した一対の音叉腕に長さ方向を中心として回転する捩れ振動を生じさせ、前記一対の音叉腕の主面に対して垂直方向となる加速度を加えたとき、コリオリの力によって前記一対の音叉腕の主面に対して水平方向の変位を生じ、前記水平方向の変位によって生ずる電荷を検出してなる加速度センサ素子において、前記音叉本体を圧電体としての水晶から形成し、前記一対の音叉腕に設けた駆動電極によって前記一対の音叉腕を前記音叉腕の主面に対して垂直方向に励振させるとともに前記一対の音叉腕に遠心力による捩れ現象を生じさせ、前記加速度に起因したコリオリの力による前記一対の音叉腕の主面に対して水平方向の変位よる電荷を前記音叉腕に設けた検出電極によって検出した構成とする。
【発明の効果】
【００２１】
このような構成であれば、音叉本体として直接に圧電体としての水晶を用いるので、同電位とする駆動電極や検出電極は音叉本体上で内部結線できて、加速度センサ素子の単純化や小型化を図れる。また、水晶自身の圧電性によって垂直方向に励振して、遠心力によって捩れ振動を生ずるので、圧電セラミックスによって強制的に捩れ振動を生起させる場合に比較して駆動電力も小電力となり、逆に言えば検出感度も高められる。
【００２２】
（実施態様項）
本発明の請求項２（第１、第３実施形態に相当）では、前記一対の音叉腕の主面に対して垂直方向となる振動は前記一対の音叉腕間では互いに同方向として前記一対の音叉腕の捩れ振動の回転方向を逆向きとし、前記加速度（コリオリの力）による水平方向の変位は互いに反対方向（開脚又は閉脚）とする。この場合、加速度による一対の音叉腕の変位は開脚又は閉脚の音叉振動となるので、物理的な共鳴現象によって振幅を大きくできて検出感度を高められる。
【００２３】
同請求項３（第２、第４実施形態に相当）では、前記一対の音叉腕の主面に対して垂直方向となる振動は前記一対の音叉腕間では互いに反対方向とし、前記一対の音叉腕の捩れ振動の回転方向を同方向とし、前記加速度（コリオリの力）による水平方向の変位は互いに同方向とする。この場合、一対の音叉腕は互いに反対方向の垂直方向に励振される。したがって、一対の音叉腕を同方向の垂直方向に励振する場合（請求項２）に比較し、振動変位が音叉基部で相殺されて振動漏れを少なくする。
【００２４】
同請求項４（第１〜第４実施形態に相当）では、請求項１において、前記音叉本体は二枚の水晶片の±Ｘ軸の逆向きとして直接接合によって貼り合わせてなる。これにより、音叉腕のＸ軸方向（幅方向）に生じる電界を同一方向としても、音叉腕の接合面を境とした両主面側でのＹ軸方向（長さ方向）の伸縮方向を逆向きにできる。したがって、音叉腕の特に内側面への電極形成を容易にする。
【００２５】
同請求項５（第１、第２実施形態に相当）では、請求項１において、前記音叉本体は前記音叉基部から一方向にのみ前記一対の音叉腕が延出してＵ状とした２脚音叉とする。これにより、音叉本体を単純化した２脚音叉（単純２脚音叉）とするので、構成を簡易にして小型化を促進できる。
【００２６】
同請求項６（第３、第４実施形態に相当）では、請求項１において、前記音叉本体は前記音叉基部から互いに反対方向にそれぞれ前記一対の音叉腕が延出してＨ状とした４脚２音叉とする。これにより、２個の音叉を形成するので、基本的に、コリオリの力による電荷を多く検出できて感度を高められる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
（第１実施形態Ａ、請求項１、２、５）
第１図は本発明の第１実施形態を説明する加速度センサ素子の図で、同図（ａ）は正面図、同図（ｂ）は電極配置を示す頭部から見た平面図、同図（ｃ）は頭部から見た結線図である。なお、前従来例と同一部分には同番号を付与してその説明は簡略又は省略し、第１図（ｃ）では便宜的に細部の符合は省略してある。
【００２８】
加速度センサ素子は従来例での音叉本体１を圧電体としての水晶とする。以下では、これを音叉状水晶片６とする。音叉状水晶片６は主面がＺ軸に直交したＺカット板からなり、一対の音叉腕５（ａｂ）が音叉基部４から延出した長さ方向をＹ軸、幅方向をＸ軸、厚み方向をＺ軸とする。そして、音叉状水晶片６の一対の音叉腕５（ａｂ）に駆動電極７及び検出電極８を設けてなる。
【００２９】
駆動電極７は、一対の音叉腕５（ａｂ）の両主面に形成された第１〜第４電極７（ａｂｃｄ）からなる。第１及び第２電極７（ａｂ）は各音叉腕５（ａｂ）の両主面内側に、第３及び第４電極７（ｃｄ）は両主面外側に形成される。一対の音叉腕５（ａｂ）における各二組の対角方向となる一主面内側の第１電極７ａと他主面外側の第４電極７ｄ、及び一主面外側の第３電極７ｃと他主面内側の第２電極７ｂとは、それぞれ同電位として接続する。
【００３０】
そして、一対の音叉腕５（ａｂ）間では、一組の対角方向（斜め左上がり方向、右下がり方向）となる一方の音叉腕５ａの第１及び第４電極７（ａｄ）と、他方の音叉腕５ｂの第２及び第３電極７（ｂｃ）とを同電位として接続する。また、他組の対角方向（左斜め下がり方向、右上がり方向）となる一方の音叉腕５ａの第２及び第３電極７（ｂｃ）と、他方の音叉腕５ｂの第１及び第４電極７（ａｄ）とを同電位として接続する。
【００３１】
そして、各音叉腕５（ａｂ）における一組の対角方向となる一方の音叉腕５ａの第１及び第４電極７（ａｄ）及び他方の音叉腕５ｂの第２及び第３電極７（ｂｃ）と、他組の対角方向となる一方の音叉腕５ａの第２及び第３電極７（ｂｃ）及び他方の音叉腕５ｂの第１及び第４電極７（ａｄ）とは逆電位として結線され、ドライブ（駆動）端子Ｄ±としての交番電圧が印加される。
【００３２】
要するに、一対の各音叉腕５（ａｂ）は駆動電極７の第１〜第４電極７（ａｂｃｄ）によって、各音叉腕５（ａｂ）ともにＸ軸の極性±に沿った電位勾配となる駆動電圧（交番電圧）Ｄ±が印加される。但し、一対の音叉腕５（ａｂ）の一主面側と他主面側では電位勾配が逆向きとなる結線とする。
【００３３】
検出電極８は一対の音叉腕５（ａｂ）の両側面に第３と第４電極８（ａｂ）がそれぞれ形成される。第５電極８ａは各音叉腕５（ａｂ）の内側面に、第６電極８ｂは各音叉腕５（ａｂ）の外側面に形成される。そして、検出電極８の各音叉腕５（ａｂ）における内側面の第５電極８ａと外側面の第６電極８ｂはそれぞれ同電位として検出端子Ｓ±に接続される。
【００３４】
これらの駆動電極７「第１〜第４電極７（ａ〜ｄ）」及び検出電極８「第３及び第４電極８（ａｂ）」は音叉状水晶片６の表面上で図示しない配線路によって共通接続される。そして、音叉基部４の表面上の外部端子としてのドライブ端子Ｄ±、検出端子Ｓ＋に接続する。これらの配線路を含めた駆動電極７及び検出電極８は音叉状水晶片の外形加工とともに写真印刷技術を用いたエッチングによって一体的に形成される。
【００３５】
このようなものでは、例えば第２図（ａ）に示したように、駆動電極７の第１〜第４電極７（ａ〜ｄ）によって、各音叉腕５ａの一主面側（図の下側）では例えば＋Ｘ軸側に正電圧（＋）を、−Ｘ軸側に負電圧（−）を、他主面側（図の上側）ではこれとは逆向きの電圧が印加される。したがって、一方の音叉腕５ａの一主面側では、第１電極７ａから第３電極７ｃに矢印で示す内側から外側方向の電界Ｅを生じる。
【００３６】
これにより、＋Ｘ軸から−Ｘ軸方向へ向かう電界ベクトル成分Ｅxによって、一方の音叉腕５ａの一主面側は音叉基部４を固定端としてＹ軸方向に伸張する「第２図（ｂ）」。これは、Ｘ軸方向に電圧を印加するとＹ軸方向に伸縮する圧電逆効果による。なお、第２図（ｂ）は、第２図（ａ）の矢印方向Ａから見た側面図である。
【００３７】
これとは逆に、一方の音叉腕５ａの他主面側では、第４電極７ｄから第２電極７ｂに生ずる電界のうちの−Ｘ軸から＋Ｘ軸方向（外側から内側方向）への電界ベクトル成分によって「第２図（ａ）」、Ｙ軸方向に縮小する「同図（ｂ）」。したがって、一方の音叉腕５ａは一主面から他主面側に撓む「第２図（ｃ）」。
【００３８】
そして、他方の音叉腕５ｂでは、一方の音叉腕５ａと同様に、一主面側が＋Ｘ軸から−Ｘ軸方向（外側から内側方向）に、他主面側が−Ｘ軸から＋Ｘ軸方向（内側から外側方向）に電界ベクトル成分が生ずる「第２図（ａ）」。したがって、この場合でも、一方の音叉腕５ａと同様に、一主面側が伸張して他主面側が縮小するので、一主面側から他主面側に撓む「第２図（ｃ）。
【００３９】
このことから、一対の音叉腕５（ａｂ）の前述した結線による駆動電極７の第１と第３電極７（ａｃ）及び第２と第４電極７（ｂｄ）に両主面間で極性が反転した駆動電圧（交番電圧）Ｄ±を印加すると、各音叉腕５（ａｂ）は一主面側から他主面側へ、他主面側から一主面側への撓みを繰り返す（所謂屈曲振動）。要するに、一対の音叉腕５（ａｂ）が板面（主面）に対し、垂直方向としてしかも同方向に振動する（以下、垂直同相振動とする）。
【００４０】
この場合、一対の音叉腕５（ａｂ）は、根元部が音叉基部４によって拘束されるので、特に各音叉腕５（ａｂ）の各内側面が言わば固定端となって外側面が自由端となる。したがって、第３図（頭部から見た模式的な平面図）の軌跡図に示したように、一対の音叉腕５（ａｂ）は垂直同相振動によって、内側面より外側面に遠心力が作用して回転モーメント±Ｍを生じる。
【００４１】
その結果、一対の音叉腕５（ａｂ）は、垂直同相振動とともに互いに反対方向に回転する捩れ振動を伴う。なお、図中のＰ0線は一対の音叉腕５（ａｂ）の初期状態（静止状態）を、Ｐ1、Ｐ2線はＱ点を中心とした垂直同相振動による一対の各音叉腕５（ａｂ）の模式的な移動状態を示す。
【００４２】
そして、一対の音叉腕５（ａｂ）が互いに反対方向の捩れ振動を伴う垂直同相振動中に、一主面側から加速度ａが加わると、前述同様に、コリオリの力Ｆcが各音叉腕５（ａｂ）のＸ軸方向（幅方向）に生じる。そして、互いに反対方向に回転する捩れ振動（回転モーメント±Ｍ）に対して、従来同様に垂直同相振動と同じ振動周波数での音叉振動（開脚及び閉脚）を生ずる（前第２０図及び第２１図参照）。
【００４３】
この場合、例えば一対の音叉腕５（ａｂ）の各外側面（右半分領域）が縮小して各内側面（左半分領域）が伸張して、一対の音叉腕５（ａｂ）が開脚したとすると次になる。すなわち、第４図に示したように、一方の音叉腕５ａには中心から内側面及び外側面に向かう電界Ｐ1、Ｐ2が生ずる。そして、他方の音叉腕５ｂにはこれとは逆に内側面及び外側面から中心に向かう電界Ｐ1、Ｐ2が生じる。
【００４４】
なお、各音叉腕５（ａｂ）の外側面と内側面とでは伸縮方向が逆なので、電界Ｐ1、Ｐ２も逆向きになる。そして、一対の音叉腕５（ａｂ）間では互いに反対方向に撓む即ち互いに反対方向の水平方向に変位するので、電界Ｐ1、Ｐ２の方向も逆になる。これらは、結晶軸のＹ軸方向に伸縮するとＸ軸方向に電界（正負電荷）が発生する圧電現象に由来する。
【００４５】
そして、例えば一方の音叉腕５ａでの中心から内側面に向かう電界Ｐ1は、両主面の駆動電極７の内側となる第１及び第２電極７（ａｂ）と内側面の検出電極８（第５電極８ａ）との間に矢印で示す分解ベクトル成分を生じさせる。また、中心から外側面に向かう電界Ｐ2は両主面の駆動電極７の外側の第３及び第電極７（ｃｄ）と外側面の検出電極８(第６電極８ｂ）との間に分解ベクトル成分を生じさせる。そして、他方の音叉腕５ｂでは一方の音叉腕５ａとは逆向きの電界Ｐ１、Ｐ2によって、駆動電極７と検出電極８との間で同様にして一方の音叉腕５ａとは逆向きとなる分解ベクトル成分を生じる。
【００４６】
これらのことから、音叉状水晶片６の板面に直交する加速度ａに伴うコリオリの力Ｆcによって生じた音叉振動は、一方の音叉腕５ａでは駆動電極７の第１〜第４電極７（ａ〜ｄ）に例えば正電荷（＋）を、検出電極８の第３及び第４電極８（ａｂ）には負電荷（−）を生じる。そして、他方の音叉腕５ｂでは、これとは逆に、駆動電極７の第１〜第４電極７（ａ〜ｄ）に負電荷（−）を、検出電極８の第３及び第４電極８（ａｂ）には正電荷（＋）を生じる。
【００４７】
したがって、これら正負電荷（±）を前述した第１図（ｃ）の結線によって検出端子Ｓ±に接続した図示しない検出回路によって検出すれば、加速度ａを測定できる。なお、音叉振動によっての電界（正負電荷）の発生は、一対の音叉腕５（ａｂ）を音叉振動させる場合と逆の関係になる。また、駆動電極７（ａ〜ｄ）に発生する電荷を検出することもできる。
【００４８】
このような構成であれば、発明の効果の欄でも記載するように、音叉本体として直接に圧電体としての水晶（音叉状水晶片６）を用いる。したがって、駆動電極７や検出電極８の同電位とする第１、第２電極７（ａｂ）、第３、第４電極７（ｃｄ）、及び第５電極８ａ、第６電極８ｂは、音叉本体上で内部結線できて加速度センサ素子の単純化や小型化を図れる。
【００４９】
また、水晶自身の圧電性によって垂直方向に励振して、遠心力によって捩れ振動を生じさせる。したがって、圧電セラミックスによって強制的に捩れ振動を生起させる場合に比較して駆動電力も小電力となり、逆に言えば検出感度も高められる。また、この例では、加速度による一対の音叉腕５（ａｂ）の変位は開脚又は閉脚の音叉振動とするので、物理的な共鳴現象によって振幅を大きくできて検出感度を高められる。
【００５０】
（第１実施形態Ｂ、請求項１、２、５）
第５図は本発明の第１実施形態Ｂを説明する加速度センサ素子の図で、同図（ａ）は電極配置を示す頭部から見た平面図、同図（ｂｃ）は電界分布を示す同平面図である。なお、これ以降の実施形態では前実施形態と同一部分の説明は省略又は簡略する。
【００５１】
第１実施形態Ｂでは、駆動電極７の第１〜第４電極７（ａ〜ｄ）を各音叉腕５（ａｂ）の両側面の各両側に配置し、検出電極８（ａｂ）を両主面に配置する。駆動電極７の第１及び第２電極７（ａｂ）は一主面側及び他主面側の内側面に、第３及び第４電極７（ｃｄ）は一主面側及び他主面側の外側面に形成される「第５図（ａ）」。
【００５２】
そして、各音叉腕５（ａｂ）では二組の対角方向の第１と第３電極７（ａｄ）及び第２と第４電極（ｂｃ）とを同電位として、二組の対角方向間では逆電位とする。そして、一対の音叉腕５（ａｂ）間では同方向となる対角方向を同電位とし、逆方向となる対角方向を逆電位とし「第５図（ｂ）」、図示しない配線路によって結線される。これは第１実施形態での結線と基本的に同一である。そして、ドライブ端子Ｄ±から駆動電圧（交番電圧）が印加される。
【００５３】
この場合でも、各音叉腕５（ａｂ）の両主面側（上下半分の領域）では互いに逆向きの電界を生ずるので、例えば一主面側が伸張すると他主面側は縮小し、一主面側が縮小すると他主面側は伸張する。そして、各音叉腕５（ａｂ）間では両主面側ともに同一方向に伸縮するので、第１実施形態Ａと同様に垂直同相振動となる。
【００５４】
そして、音叉状水晶片６「一対の音叉腕５（ａｂ）」の主面に垂直方向からの加速度ａが加わると、第１実施形態Ａと同様にコリオリの力Ｆcによって一対の音叉腕５（ａｂ）は開脚及び閉脚の音叉振動を生ずる。したがって、音叉振動に伴い、各音叉腕５（ａｂ）は外側面及び内側面が伸縮するので、圧電現象によって、各音叉腕５（ａｂ）間では中心から内外側面に、内外側面から中心に向かう互いに逆向きとなる電界Ｐ1、Ｐ2を生ずる。
【００５５】
これにより、第１実施形態と同様に、各音叉腕５（ａｂ）では互いに逆向きとなる電界Ｐ1、Ｐ2の分解ベクトル成分によって、各検出電極８の第３及び第４電極８（ａｂ）並びに駆動電極７の第１〜第４電極７（ａ〜ｄ）に一対の音叉腕５（ａｂ）間では逆符号となる正負電荷を生じる。これらのことから、加速度に応答した音叉振動に基づく正負電荷を検出することによって、加速度を測定できる。
【００５６】
なお、第１実施形態Ｂでは各音叉腕５（ａｂ）の内側面には分割された駆動電極７「第１及び第２電極７（ａｂ）」を設けたが、例えば小型化に際しての写真印刷技術を用いたエッチングで製作する場合はその製造を困難とする。したがって、例えば第６図に示したようにしてもよい。
【００５７】
すなわち、駆動電極７の第１及び第２電極７（ａｂ）を共通にした第７電極７ｅを内側面に設けて、外側面に第３及び第４電極７（ｃｄ）を設ける。そして、第７電極７ｅを基準電位Ｅ0とし、第２及び第３電極７（ｃｄ）に逆極性の交番電圧（駆動電圧）を印加してもよい。この場合でも、同様に両主面側で逆向きの電界が生ずるので、垂直同相振動を得られる。
【００５８】
（第１実施形態Ｃ、請求項１、２、４、５）
第７図（ａｂ）は本発明の第１実施形態Ｃを説明する加速度センサ素子の頭部から見た平面図である。第２実施形態では音叉状水晶片を単板ではなく、二枚の水晶片を直接接合によって貼り合わせた場合の例である。
【００５９】
音叉状水晶片６は表面（主面）が鏡面研磨されて親水化した二枚の水晶片６（ａｂ）を例えばシロキサン結合（Ｓi−Ｏ−Ｓi）によって直接接合する。二枚の水晶片６（ａｂ）は結晶軸の±Ｘ軸（電気軸）を互いに逆向きとして接合する。そして、一対の音叉腕５（ａｂ）に駆動電極７及び検出電極８を形成する。なお、結晶軸ＹＺ（機械軸、光軸）は基本的に±の極性はない。
【００６０】
駆動電極７は一対の音叉腕５（ａｂ）の各内側面に第８電極７ｆが、各外側面に第９電極７ｇが設けられる。そして、一方の音叉腕５ａの内側面の第８電極７ｆと他方の音叉腕５ｂの外側面の第９電極７ｇ、及び一方の音叉腕５ａの外側面の第９電極７ｇと他方の音叉腕５ｂの内側面の第８電極７ｆを同電位として接続され、両者間は逆電位として駆動電圧（交番電圧）が印加される。検出電極８は各音叉腕５（ａｂ）の両主面に設けられ、一主面に第５電極８ａを、他主面に第４電極を８ｂを設ける「第７図（ａ）」。
【００６１】
このようなものでは、前述の結線及び駆動電圧によって、一方の音叉腕５ａでは内側面から外側面に、他方の音叉腕５ｂでは外側面から内側面に電界生ずると、各音叉腕５（ａｂ）の動作は次になる「第７図（ｂ）」。すなわち、各音叉腕５（ａｂ）の二枚の水晶片６（ａｂ）ではＸ軸の極性±が逆方向なので、一主面側では＋Ｘ軸から−Ｘ軸に向かう電界となり、他主面側では−Ｘ軸から＋Ｘ軸に向かう電界となる。したがって、二枚の水晶片６（ａｂ）による一主面側と他主面側ではＹ軸方向への伸縮方向も逆になる。
【００６２】
例えば各音叉腕５（ａｂ）の一主面側が＋Ｘ軸から−Ｘ軸に向かう電界によって伸張したとすると、他主面側は−Ｘ軸から＋Ｘ軸に向かう電界によって縮小する。そして、これとは逆向きの電界によって、一主面側が縮小したとすると、他主面側は伸張する。したがって、一対の音叉腕５（ａｂ）は前述の第１及び第２実施形態ＡＢと同様に主面に対して同一方向へ撓む垂直同相振動が生起される。
【００６３】
そして、一対の音叉腕５（ａｂ）には垂直同相振動に伴う互いに前実施形態Ａ（第３図参照）と同様に反対方向の回転モーメント±Ｍによるねじれ振動を生じる。これにより、音叉状水晶片６の主面に対して垂直方向の加速度ａが加わると、各音叉腕５（ａｂ）はコリオリの力Ｆcが作用して、開脚及び閉脚を繰り返す音叉振動を生じる。
【００６４】
この場合、一対の音叉腕５（ａｂ）が開脚して、例えば各音叉腕５（ａｂ）の内側面がＹ軸方向に伸張して外側面が収縮したとすると、電界（電荷）の発生は次になる。すなわち、ここでの音叉状水晶片６はＸ軸の極性（±）を逆向きとした二枚の水晶片６（ａｂ）からなる。したがって、一方の音叉腕５ａの一主面側で中心から外内側面(両側面）に向かう電界Ｐ1、Ｐ2が生じれば、他主面側では両側面から中心に向かう電界Ｐ1、Ｐ2となる。
【００６５】
そして、これらの電界Ｐ1、Ｐ2に基づく分解ベクトル成分によって、一方の音叉腕５ａの一主面側の検出電極８ａに正電荷を、外内側面（両側面）の駆動電極７（ｆｇ）には負電荷を発生する。そして、一方の音叉腕５ａの他主面側ではこれとは逆に両側面の駆動電極７（ｆｇ）に正電荷を、他主面側の検出電極８ｂに負電荷を発生する。
【００６６】
この場合、両主面側のそれぞれでは両側面の駆動電極７（ｆｇ）に異符号の電荷となるので相殺され基本的に０電位となる。そして、他方の音叉腕５ｂでは、音叉振動であることから、水平方向の変位方向が一方の音叉腕５ａとは逆向きなので、発生する正負電荷も逆符号になる。
【００６７】
これらのことから、第１実施形態Ｃにおいても、検出電極８（ａｂ）からの正負電荷を検出することによって、加速度ａを測定できる。そして、音叉状水晶片２をＸ軸の極性が逆向きの二枚の水晶片６（ａｂ）から形成する。したがって、各音叉腕５（ａｂ）の両側面に形成する駆動電極７（ａｂ）をそれぞれ分割することなく単一電極とするので、特に小型化に際して製造上の点で有利となる。
【００６８】
（第２実施形態、請求項１、３、４、５）
第８図は本発明の第２実施形態を説明する加速度センサ素子の図で、同図（ａ）は作用を説明する頭部から見た平面図、同図（ｂｃ）は同側面図である。
【００６９】
第１実施形態（Ａ〜Ｃ）では、いずれの場合も、駆動電極７によって一対の音叉腕５（ａｂ）が板面（主面）に対して垂直方向であって互いに同方向に撓んで振動する垂直同相振動としたが、第２実施形態では主面に対して垂直方向であって互いに反対方向に撓んで振動する垂直逆相振動とする。
【００７０】
すなわち、第２実施形態は、一方の音叉腕５ａと他方の音叉腕５ｂでは駆動電極７による電界方向を逆向きとする。例えば第１実施形態Ａに対応した電極配置にすると次の動作になる。すなわち、一方の音叉腕５ａの一主面側では一主面内側の第１電極７ａから一主面外側の第３電極７ｃへの、他主面側では他主面外側の第４電極から他主面内側の第２電極７ｂへの電界方向としたとき、他方の音叉腕５ｂの両主面側ではこれらとは逆向きの電界方向とする「第８図（ａ）」。
【００７１】
要するに、第２実施形態では一対の音叉腕５ａでは一主面側が例えばＸ軸の極性と同一の電界方向として他主面側を逆向きの電界方向とし、他方の音叉腕５ｂの両主面側では一対の音叉腕５ａとは逆にする。これに対し、第１実施形態では各音叉腕５（ａｂ）ともに同一の電界方向とする。
【００７２】
このようなものでは、一方の音叉腕５ａの一主面側が伸張して他主面側が縮小すると「第８図（ｂ）中の実線」、他方の音叉腕５ｂの一主面側が縮小して他主面側が伸張する（同点線）。したがって、一方の音叉腕５ａは一主面側から他主面側に、他方の音叉腕５ｂは他主面側から一主面側に撓む「第８図（ｃ）」。これにより、駆動電圧（交番電圧）Ｄ±の印加中、一対の音叉腕５（ａｂ）は互いに反対方向の主面側に撓み、垂直逆相振動となる。
【００７３】
そして、この場合でも、第９図（軌跡図）に示したように、互いに反対方向に撓む各音叉腕５（ａｂ）には遠心力によって回転方向を同一とした回転モーメントＭが作用し、垂直逆相振動に伴って同方向での捩り振動を生ずる。したがって、音叉状水晶片６「一対の音叉腕５（ａｂ）」に一主面側から加速度ａが加わると、各音叉腕５（ａｂ）が同一方向の回転なので、主面に水平方向で同方向となる例えば図の右向きのコリオリの力Ｆc（図中の実線）が生ずる。そして、一対の音叉腕５（ａｂ）が反対方向に撓むと逆方向となる左向きのコリオリの力Ｆc（図中の点線）を生ずる。
【００７４】
これらにより、一対の音叉腕５（ａｂ）は、コリオリの力Ｆcによって、第１実施形態での音叉振動、即ち各音叉腕が５（ａｂ）が逆方向の水平方向に撓む水平逆相振動ではなく、第１０図及び第１１図に示したように、各音叉腕５（ａｂ）が同方向の水平方向に撓む水平同相振動となる。この場合、一対の音叉腕５（ａｂ）は例えば各内面側が伸張（縮小）して各外面側が収縮（伸張）する。
【００７５】
そして、水平同相振動に伴う各音叉腕５（ａｂ）の例えば中心から両側面に向かう同一方向の電界Ｐ1、Ｐ2によって、両主面の駆動電極７（ａｂ）及び７（ｃｄ）から両側面の検出電極８（ａｂ）に分解ベクトル成分を生じる（第１２図）。これにより、各音叉腕５（ａｂ）の駆動電極７（ａｂｃｄ）には例えば正電荷として検出電極（ａｂ）には負電荷とし、両者間では逆電位となる同符号の電荷を発生する。そして、両側面から中心に向かう電界のとき、これらとは逆符号の電荷を発生する。
【００７６】
したがって、第２実施形態Ａでも、これらの正負電荷を検出することによって、加速度ａを測定できる。そして、この場合には、駆動電極７（ａｂｃｄ）によって一対の音叉腕５（ａｂ）を垂直逆相振動とするので、第１実施形態での垂直同相振動の場合に比較し、音叉基部４を保持した場合の振動漏れを少なくする。したがって、駆動効率を高められる。
【００７７】
なお、第２実施形態では第１実施形態Ａと同一の電極配置として一対の音叉腕５（ａｂ）に印加する電界方向を異ならせたが、第１実施形態Ｂの電極配置であっても同様に適用できる。また、第２実施形態では単板による音叉状水晶片６としたが、第１実施形態Ｃの直接接合による貼り合わせであっても適用できる。
【００７８】
（第３実施形態、請求項１、２、４、５）
第１３図は本発明の第３実施形態を説明する加速度センサ素子の図で、同図（ａｃ）は特に作用を説明する正面図、同図（ｂ）は同側面図である。なお、第３実施形態は第１及び第２実施形態の音叉状水晶片を上下に設けてＨ状とした場合の例である。
【００７９】
すなわち、第３実施形態では、一対の音叉腕５（ａｂ）及び５（ｃｄ）が音叉基部４から互いに反対方向の上下方向に延出したＨ状とし、上部音叉６ｘと下部音叉６ｙからなる上下４脚２音叉とする。そして、上下音叉６（ｘｙ）の延出始端である音叉基部４の例えば点線○で示す他主面の中央部を支持点（保持位置）とする。
【００８０】
上部及び下部音叉６（ｘｙ）の各音叉腕５（ａｂ）及び５（ｃｄ）は第１実施形態Ａと同様の電極配置として垂直同相振動とする。そして、この例では、上部音叉６ｘの音叉腕５（ａｂ）が図中の○×で示すように一主面側から他主面側に撓むと、下部音叉６ｙの音叉腕５（ｃｄ）は同○黒点で示すように他主面側から一主面側に撓み、主面に対して互いに反対方向（逆相）として撓ませる。なお、第１３図（ｂ）では二重矢印で撓み方向を示している。
【００８１】
このようなものでは、第１実施形態（例えば第３図）で述べたように、上部音叉６ｘの各音叉腕５（ａｂ）は垂直同相振動に伴う遠心力によって一主面側から他主面側への互いに反対方向の回転モーメント±Ｍによる捩れ振動を生じる。また、下部音叉６ｙの各音叉腕５（ｃｄ）は他主面側から一主面側への互いに反対方向の回転モーメントによる捩れ振動を生じる。
【００８２】
この状態で、例えば一主面側から加速度ａが加わると、上部音叉６ｘでは、各音叉腕５（ａｂ）が例えば内側から外側へのコリオリの力Ｆcを受けて外側に撓む。また、下部音叉６ｙでは、各音叉腕５（ｃｄ）が外側から内側へのコリオリの力Ｆcを受けて内側に撓む「第１３図（ｃ）」。
【００８３】
そして、上部及び下部音叉６（ｘｙ）の各音叉腕５（ａｂ）及び５（ｃｄ）の駆動電圧による撓み方向が反対方向になると、各音叉腕５（ａｂ）及び５（ｃｄ）の作用するコリオリの力Ｆcも逆向きになる。したがって、上下音叉６（ｘｙ）の各音叉腕５（ａｂ）及び５（ｃｄ）は互いに反対方向の音叉振動（水平逆相振動）となる。これらのことから、上部及び下部音叉６（ｘｙ）の音叉振動による電荷を検出することによって、加速度ａを測定できる。
【００８４】
このようなものでは、上下音叉６（ｘｙ）を有するＨ状の４脚２音叉として、例えば加速度ａによる電荷を上下音叉６（ｘｙ）の各音叉腕５（ａｂ）及び５（ｃｄ）で検出する。したがって、従来の単純２脚音叉に比較して検出電荷量を多くするので、検出感度を高められる。
【００８５】
また、ここでは、上下音叉６（ｘｙ）の各音叉腕５（ａｂ）及び５（ｃｄ）を垂直同相振動として、上下音叉６（ｘｙ）間では互いに反対方向とする。したがって、上部音叉６ｘの音叉腕５（ａｂ）と下部音叉６の音叉腕５（ｃｄ）とは、音叉基部４の保持位置を支点として、言わばシーソー運動とする「第１３図（ｂ）」。したがって、上下音叉６（ｘｙ）での互いに反対方向の垂直同相振動を増長し、駆動電圧に対する撓み量も多くして駆動効率を高められる。
【００８６】
さらに、上下音叉６（ｘｙ）の各音叉腕５（ａｂ）及び５（ｃｄ）は、加速度ａによるコリオリの力Ｆcによって、互いに反対方向に音叉振動する「第１３図（ｃ）」。したがって、この場合も保持位置を支点として上下音叉６（ｘｙ）各斜め方向の音叉腕がシーソー運動（ここでは例えばハサミ運動）する。したがって、上下音叉腕６（ｘｙ）間での音叉振動を増長し、検出感度を更に高められる。
【００８７】
なお、第３実施形態では第１実施形態Ａの電極配置を例として説明したが、第１実施形態Ｂや直接接合とした貼り合わせの第１実施形態Ｃの場合でも同様に適用できる。
【００８８】
（第４実施形態、請求項１、３、４、５）
第１４図は本発明の第４実施形態を説明する加速度センサ素子の図で、同図（ａｂ）ともに特に作用を説明する正面図である。
【００８９】
第４実施形態では第３実施形態と同様にＨ状とした４脚２音叉とし、上部及び下部音叉６（ｘｙ）の各音叉腕５（ａｂ）及び５（ｃｄ）を第２実施形態と同様の垂直逆相振動とする。そして、上部及び下部音叉６（ｘｙ）の一方の斜め方向の音叉腕５（ａｃ）を同相とし、他方の斜め方向の音叉腕５（ｂｄ）を同相として一方の斜め方向の音叉腕５（ａｃ）とは逆相とする。なお、これらの振動を得る電極配置及び電界方向は第２実施形態ＡＢＣと同様にして得られる。
【００９０】
このようなものでは、例えば一方の斜め方向となる上下音叉６（ｘｙ）の音叉腕６（ａｃ）が一主面側から他主面側に撓むと、他方の斜め方向となる音叉腕６（ｂｄ）が他主面側から一主面側に撓む。したがって、上部音叉６ｘの各音叉腕６（ａｂ）は回転方向を左回りの同一とした回転モーメントＭによる捩れ振動を、また、下部音叉腕６（ｃｄ）はこれとは逆となる右回りの同一とした回転モーメント−Ｍによる捩れ振動を生じる。
【００９１】
そして、一主面側に不図示の加速度ａが加わると、第２実施形態（第１０図及び第１１図）で説明したように、上部音叉６ｘの各音叉腕５（ａｂ）には左から右方向のコリオリの力Ｆcが、下部音叉６ｙの各音叉腕５（ｃｄ）にはこれとは逆に右から左方向のコリオリの力Ｆcが作用する。
【００９２】
したがって、上部及び下部音叉６（ｘｙ）はいずれも前述した水平同相振動として、上部及び下部音叉６（ｘｙ）間では互いに反対方向（逆相）になる「第１４図（ｂ）」。そして、各音叉腕５（ａｂ）及び５（ｃｄ）の振動によって生ずる正負電荷を検出することによって、加速度ａを測定できる。
【００９３】
これによれば、上部及び下部音叉６（ｘｙ）には互いに逆周りの回転モーメントが作用するので、各音叉腕５（ａｂ）及び５（ｃｄ）の捩れ振動も強勢になる。したがって、駆動効率を高めるとともに、加速度ａによるコリオリの力Ｆcも大きくなって検出感度を高められる。なお、この場合でも、第３実施形態と同様に、Ｈ状として４脚２音叉とするので、検出感度が高まる。
【００９４】
（他の事項）
上記の各実施形態では、単純２脚音叉（第１、第２実施形態）及びＨ状４脚２音叉として説明したが、例えば第１５図（ａｂ）に示したように、各音叉腕５（ａｂ）及び各音叉腕５（ａｂ）、５（ｃｄ）の先端側に幅方向に突出した重錘８を設けてもよい。この場合、重錘８によって回転モーメントが増して捩れ振動を強勢にできる。
【図面の簡単な説明】
【００９５】
【図１】本発明の第１実施形態Ａを説明する加速度センサ素子の図で、同図（ａ）は正面図、同図（ｂ）は電極配置を示す頭部から見た平面図、同図（ｃ）は頭部から見た結線図である。
【図２】本発明の第１実施形態Ａを説明する加速度センサ素子の図で、同図（ａ）は特に作用を説明する頭部から見た平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）の矢印Ａ方向から見た側面図である。
【図３】本発明の第１実施形態Ａの作用を説明する加速度センサ素子の各音叉腕の模式的な軌跡を示す頭部から見た平面図である。
【図４】本発明の第１実施形態の作用を説明する加速度センサ素子の頭部から見た平面図である。
【図５】本発明の第１実施形態Ｂを加速度センサ素子の図で、同図（ａｂｃ）ともに特に作用を説明する頭部から見た平面図である。
【図６】本発明の第１実施形態Ｂの他例の作用を説明する加速度センサ素子の頭部から見た平面図である。
【図７】本発明の第１実施形態Ｃを説明する加速度センサ素子の図で、同図（ａｂ）ともに特に作用を説明する頭部から見た平面図である。
【図８】本発明の第２実施形態を説明する加速度センサ素子の図で、同図（ａ）は特に作用を説明する頭部から見た平面図、同図（ｂｃ）は同側面図である。
【図９】本発明の第２実施形態の作用を説明する加速度センサ素子の各音叉腕の模式的な軌跡を示す頭部から見た平面図である。
【図１０】本発明の第２実施形態の加速度センサ素子の図で、同図（ａｂ）ともに特に作用を説明する正面図である。
【図１１】本発明の第２実施形態の加速度センサ素子の図で、同図（ａｂ）ともに特に作用を説明する正面図である。
【図１２】本発明の第２実施形態の作用を説明する頭部から見た加速度センサ素子の平面図である。
【図１３】本発明の第３実施形態Ａを説明する加速度センサ素子の図で、同図（ａｃ）は特に作用を説明する正面図、同図（ｂ）は同側面図である。
【図１４】本発明の第４実施形態を説明する加速度センサ素子の図で、同図（ａｂ）ともに特に作用を説明する正面図である。
【図１５】本発明の他の適用例を説明する加速度センサ素子の図で、同図（ａｂ）ともに正面図である。
【図１６】従来例を説明する加速度センサ素子の図で、同図（ａ）は正面図、同図（ｂ）はＡ−Ａ断面図、同図（ｃ）はＢ−Ｂ断面図である。
【図１７】従来例を説明する加速度センサ素子の図で、同図（ａ）は特に作用を説明する頭部から見た平面図、同図（ｂ）は同一対の音叉腕の図である。
【図１８】従来例を説明する加速度センサ素子の図で、同図（ａ）は特に作用を説明する頭部から見た平面図、同図（ｂ）は同一対の音叉腕の図である。
【図１９】従来例の作用を説明する加速度センサの図で、同図（ａｂ）ともに特に作用を説明する頭部から見た図である。
【図２０】従来例の作用を説明する加速度センサ素子の図で、同図（ａｂ）ともに特に作用を説明する正面図である。
【図２１】従来例の作用を説明する加速度センサ素子の図で、同図（ａｂ）ともに特に作用を説明する正面図である。
【符号の説明】
【００９６】
１  音叉本体、２  駆動用圧電体、３  検出用圧電体、４  音叉基部、５  音叉腕、６  
音叉状水晶片、７  駆動電極、８  検出電極、９  支持点（保持位置）、１０  重錘。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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