(57)【要約】  【課題】検査用治具部材２０が１部材で形成されている電子部品の検査用治具を提供する。    【解決手段】導電性板バネ１０の先端部を互いに先端が離れるように板厚方向で斜めに折って側方から見てＹ字状として弾接部１４を形成し、弾接部１４が相対的に接近する半田ボールの頂部を除く側面に弾接するようにし、検査治具部材２０の一面に導電性板バネ１０の後端部が当接する端子４２を設けた基板４０を配設した電子部品の検査用治具であって、導電性バネ１０の中間部に先端部の弾接部１４よりも幅の広い幅広部１２を形成する。検査治具部材２０に、導電性板バネ１０の先端部が挿通できて半田ボールに弾接して弾性変形し得る挿通孔２２を貫通穿設するとともに、この挿通孔２２の内壁に基板が配設される側から検査治具部材２０の厚さの途中まで幅広部１２の幅方向の縁部を圧入し得る係止用溝２４を設ける。【選択図】  図１
2008039418.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査治具部材とこれに対向する面に半田ボールが配設された被検査電子部品を相対的に接近分離するようになし、前記検査治具部材の前記半田ボールに臨む位置に導電性板バネをその長さ方向が略前記接近分離方向となるように配設し、前記導電性板バネを、１枚を折り曲げて２枚重ねにしたものを前記半田ボール側の先端部で折り曲げ部分を切り離して互いに先端が離れるように板厚方向で斜めに折って側方から見てＹ字状として弾接部を形成し、前記相対的な接近により前記弾接部が前記半田ボールの頂部を除く側面に弾接するようにし、前記検査治具部材の前記被検査電子部品と反対側の面に前記導電性板バネの後端部が当接する端子を設けた基板を配設した電子部品の検査用治具であって、前記導電性板バネの中間部または後端部に前記先端部よりも幅の広い幅広部を形成し、前記検査治具部材に、前記導電性板バネの前記先端部が挿通できて前記半田ボールに弾接して弾性変形し得る挿通孔を貫通穿設するとともに、この挿通孔の内壁に前記基板が配設される側から前記検査治具部材の厚さの途中まで前記幅広部の幅方向の縁部を圧入し得る係止用溝を設けて構成したことを特徴とする電子部品の検査用治具。
【請求項２】
検査治具部材とこれに対向する面に半田ボールが配設された被検査電子部品を相対的に接近分離するようになし、前記検査治具部材の前記半田ボールに臨む位置に導電性板バネをその長さ方向が略前記接近分離方向となるように配設し、前記導電性板バネの前記半田ボール側の先端部を板厚方向で斜めに折って弾接部を形成し、前記相対的な接近により前記弾接部が前記半田ボールの頂部を除く側面に弾接するようにし、前記検査治具部材の前記被検査電子部品と反対側の面に前記導電性板バネの後端部が当接する端子を設けた基板を配設した電子部品の検査用治具であって、前記導電性板バネの中間部または後端部に前記先端部よりも幅の広い幅広部を形成し、前記検査治具部材に、前記導電性板バネの前記先端部が挿通できて前記半田ボールに弾接して弾性変形し得る挿通孔を貫通穿設するとともに、この挿通孔の内壁に前記基板が配設される側から前記検査治具部材の厚さの途中まで前記幅広部の幅方向の縁部を圧入し得る係止用溝を設けて構成したことを特徴とする電子部品の検査用治具。
【請求項３】
請求項１または２記載の電子部品の検査用治具において、前記導電性板バネの後端部を板厚方向に折り曲げて前記接近分離方向に弾性変形できるように構成したことを特徴とする電子部品の検査用治具。
【請求項４】
請求項１記載の電子部品の検査用治具において、前記幅広部を１枚を折り曲げて２枚重ねとしたもので形成し、前記幅広部の遊端側が２枚重ねの厚さ方向に弾性変形し得るように構成したことを特徴とする電子部品の検査用治具。
【請求項５】
請求項４記載の電子部品の検査用治具において、前記幅広部の前記遊端側を、側方から見てテーパー状に先端側より後端側が２枚重ねの前記厚さ方向で広くなるように形成して構成したことを特徴とする電子部品の検査用治具。
【請求項６】
請求項４記載の電子部品の検査用治具において、前記幅広部の前記遊端側の一方をＬ字状またはＵ字状に折り曲げて幅方向に弾性変形し得るように構成したことを特徴とする電子部品の検査用治具。
【請求項７】
請求項２記載の電子部品の検査用治具において、前記幅広部をその幅方向の少なくとも片側をＬ字状またはＵ字状に板圧方向に折り曲げて前記幅方向に弾性変形し得るように構成したことを特徴とする電子部品の検査用治具。
【請求項８】
請求項２記載の電子部品の検査用治具において、前記幅広部をその幅方向の少なくとも片側をＵ字状に板圧方向に折り曲げて、その折り曲げた厚さ方向に弾性変形し得るように構成したことを特徴とする電子部品の検査用治具。
【請求項９】
請求項３ないし８記載のいずれかの電子部品の検査用治具において、前記幅広部の弾性変形により前記係止用溝に弾接する面に突起を設けて構成したことを特徴とする電子部品の検査用治具。
【請求項１０】
請求項３記載の電子部品の検査用治具において、前記導電性板バネの後端部の弾性変形により前記基板の前記端子に弾接する面に突起を設けて構成したことを特徴とする電子部品の検査用治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査電子部品に配設された半田ボールに弾接して電気的導通を得るための電子部品の検査用治具に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
本特許出願人は、先に、被検査電子部品に設けられた半田ボールに弾接させて電気的導通を得る電子部品の検査用治具として、特開２００３−３５７４５号公報に示された技術を提案している。この先に提案した技術にあっては、導電性板バネの中間部に、先端部に形成された弾接部および後端部よりも幅の広い幅広部を設け、検査治具部材を導電性板バネの長さ方向に２層の治具板に分割し、これらの２層の治具板により幅広部を挟むようにして、検査治具部材に導電性板バネが抜け出ないように配設されている。導電性板バネが組み付けられた検査治具部材を、端子が設けられた基板に上から被せるようにして組み立て作業を行うため、導電性板バネが検査治具部材から自重等により抜け出ない構造とする必要がある。
【特許文献１】特開２００３−３５７４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
先に提案した技術にあっては、被検査電子部品の半田ボールと基板に設けられた端子間を電気的導通させる導電性板バネの形状が比較的に簡単であり、小型化が容易であるとともに、インダクタンス成分も小さくできて、高周波信号を扱う電子部品の検査に好適である。しかるに、検査治具部材が２層の治具板とされているので、検査治具部材自体の機械的強度が小さく、また部品点数が多く、改善すべき点が見受けられる。
【０００４】
本発明は、かかる先に提案した技術の事情に鑑みて、より改善すべくなされたもので、検査用治具部材が１部材で形成されている電子部品の検査用治具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
かかる目的を達成するために、本発明の電子部品の検査用治具は、検査治具部材とこれに対向する面に半田ボールが配設された被検査電子部品を相対的に接近分離するようになし、前記検査治具部材の前記半田ボールに臨む位置に導電性板バネをその長さ方向が略前記接近分離方向となるように配設し、前記導電性板バネを、１枚を折り曲げて２枚重ねにしたものを前記半田ボール側の先端部で折り曲げ部分を切り離して互いに先端が離れるように板厚方向で斜めに折って側方から見てＹ字状として弾接部を形成し、前記相対的な接近により前記弾接部が前記半田ボールの頂部を除く側面に弾接するようにし、前記検査治具部材の前記被検査電子部品と反対側の面に前記導電性板バネの後端部が当接する端子を設けた基板を配設した電子部品の検査用治具であって、前記導電性板バネの中間部または後端部に前記先端部よりも幅の広い幅広部を形成し、前記検査治具部材に、前記導電性板バネの前記先端部が挿通できて前記半田ボールに弾接して弾性変形し得る挿通孔を貫通穿設するとともに、この挿通孔の内壁に前記基板が配設される側から前記検査治具部材の厚さの途中まで前記幅広部の幅方向の縁部を圧入し得る係止用溝を設けて構成されている。
【０００６】
また、検査治具部材とこれに対向する面に半田ボールが配設された被検査電子部品を相対的に接近分離するようになし、前記検査治具部材の前記半田ボールに臨む位置に導電性板バネをその長さ方向が略前記接近分離方向となるように配設し、前記導電性板バネの前記半田ボール側の先端部を板厚方向で斜めに折って弾接部を形成し、前記相対的な接近により前記弾接部が前記半田ボールの頂部を除く側面に弾接するようにし、前記検査治具部材の前記被検査電子部品と反対側の面に前記導電性板バネの後端部が当接する端子を設けた基板を配設した電子部品の検査用治具であって、前記導電性板バネの中間部または後端部に前記先端部よりも幅の広い幅広部を形成し、前記検査治具部材に、前記導電性板バネの前記先端部が挿通できて前記半田ボールに弾接して弾性変形し得る挿通孔を貫通穿設するとともに、この挿通孔の内壁に前記基板が配設される側から前記検査治具部材の厚さの途中まで前記幅広部の幅方向の縁部を圧入し得る係止用溝を設けて構成しても良い。
【発明の効果】
【０００７】
請求項１および２記載のいずれの電子部品の検査用治具にあっても、導電性板バネの長さ方向の中間部または後端部に、半田ボールに弾接する弾接部を形成する先端部より幅の広い幅広部を設け、この幅広部の幅方向の縁部を検査治具部材に貫通穿設した挿通孔の内壁に設けた係止用溝に基板が設けられる側から圧入するので、導電性板バネが組み付けられた検査治具部材を基板に上から被せて組み立てる際に、導電性板バネが自重等により抜け落ちることがない。しかも、検査治具部材は１部材であり、機械的強度が大きいとともに、部品点数が少ない。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明の第１実施例を図１ないし図６を参照して説明する。図１は、本発明の電子部品の検査用治具の第１実施例の検査治具部材と導電性板バネの分解斜視図である。図２は、第１実施例で検査治具部材に導電性板バネを組み付けた状態の斜視図である。図３は、図２の挿通孔の一面を省いたＡ矢視図である。図４は、図３のＢ−Ｂ断面矢視図である。図５は、第１実施例で導電性板バネを組み付けた検査治具部材に基板を配設した図である。図６は、第１実施例で被検査電子部品の半田ボールに導電性板バネの弾接部を弾接させた状態の図である。
【０００９】
まず、被検査電子部品３０の半田ボール３２と基板４０の端子４２を電気的導通させるプローブとして作用する導電性板バネ１０は、隣青銅やベリリウム銅などの導電性と弾性に優れた１枚の板材をプレス加工するとともに折り曲げて２枚重ねとして、図１のごとき形状とされる。すなわち、導電性板バネ１０の長さ方向の中間部で幅方向の一端縁側が折り曲げられて幅の広い幅広部１２が形成され、その遊端縁が折り曲げられて２枚重ねとされた厚さ方向に弾性変形し得るように形成される。また、長さ方向の先端部は折り曲げ部分が切り離されるとともに遊端縁側とともに幅方向に少し削除されて幅が幅広部１２よりも狭く形成され、さらに先端が互いに離れる方向に板圧方向で折り曲げられて、側方から見てＹ字状とされて弾接部１４、１４が形成される。そして、長さ方向の後端部は、２枚重ねとされた一方を切り離して省き、他方を板厚方向でＬ字状に折り曲げ更にＵ字状に折り曲げて、長さ方向、すなわち接続分離方向に弾性変形し得る端子接続部１６が形成される。しかも、端子接続部１６には、端子４２に弾接する突起１８が設けられている。なお、一例として導電性板バネ１０は、板厚が０．０５〜０．１ｍｍであり、長さ寸法は１．５〜２．０ｍｍである。そして、Ｙ字状の弾接部１４、１４の開き寸法は０．５ｍｍ、幅広部１２の幅は０．５ｍｍ、端子接続部１６の幅は０．３ｍｍであり、極めて小型に形成できる。
【００１０】
また、検査治具部材２０は、絶縁樹脂等の１部材からなり、弾接部１４、１４のＹ字状がより広がり得る方向に長い形状の角孔の挿通孔２２が貫通穿設される。この挿通孔２２の幅は、弾接部１４、１４の幅よりも大きく、しかも幅広部１２の幅よりも狭く形成される。さらに、挿通孔２２の幅方向の内壁で検査治具部材２０の基板４０側の面から厚さの途中まで、係止用溝２４、２４が設けられる。この係止用溝２４、２４は、その内側に幅広部１２の両側の縁部が挿入できる寸法で、しかも、幅広部１２の幅方向の遊端側が弾性変形して圧入されるように設定される。
【００１１】
そして、図２に示すごとく、検査治具部材２０の挿通孔２２に、基板４０の側から導電性板バネ１０が幅広部１２の遊端側を２枚重ねされた厚さ方向に弾性変形させながら圧入される。この圧入状態では、図３に示すごとく、導電性板バネ１０の先端部の弾接部１４、１４の一部分が突出し、後端部の端子接続部１６の突起１８が検査治具部材２０の面より基板４０側に突出している。そして、係止用溝２４、２４に圧入された幅広部１２は、図４に示すごとく、その遊端側が係止用溝２４、２４の内壁に弾接しており、この弾接により得られる摩擦抵抗力は、導電性板バネ１０が自重で落下しない程度あれば良い。
【００１２】
さらに、検査治具部材２０の一面に端子４２が設けられた基板４０が適宜に配設されて、検査用治具５０が形成される。ここで、図５に示すごとく、導電性板バネ１０の端子接続部１６の突起１８が、適宜に弾性変形して、基板４０の端子４２に弾接している。なお、基板４０に、上から被せるようにして検査治具部材２０を配設して組み付けるが、この際に導電性板バネ１０は圧入による摩擦抵抗力により落下するようなことがない。しかも、係止用溝２４、２４が検査治具部材２０の厚さの途中までしか設けられていないので、基板４０の配設と反対側に抜け出るようなこともない。
【００１３】
かかる構成の検査用治具１００において、被検査電子部品３０が相対的に接近されると、図６に示すごとく、被検査電子部品３０の半田ボール３２が導電性板バネ１０の弾接部１４、１４のＹ字状の間に挿入され、半田ボール３２の側面が導電性板バネ１０に当接する。さらに、被検査電子部品１２が相対的により接近されると、半田ボール３２が弾接部１４、１４のＹ字状をくさび効果により弾性変形させて押し拡げてより深く挿入されて弾接される。この状態では、弾接部１４、１４の弾力により、導電性板バネ１０と半田ボール３２の電気的導通が確保される。また、導電性板バネ１０の後端部の端子接続部１６が基板４０の端子４２に弾接しているので、基板４０の端子４２に導電性板バネ１０の後端部も確実に電気的接続される。もって、被検査電子部品３０の半田ボール３２が、導電性板バネ１０を介して基板４０の端子４２に確実に電気的接続されることとなる。しかも、半田ボール３２が弾接部１４、１４のＹ字状を弾接して押し拡げながら接近方向に相対移動するので、半田ボール３２とこれに弾接する弾接部１４、１４の部分はセルフクリーニング作用を奏し、確実な電気的導通を可能とする。
【００１４】
したがって、本発明でプローブとして用いられてる導電性板バネ１０は、先に提案した技術と同様に、従来のスプリングコネクタに比較して、その構造が簡単であるので、より小型化が容易であるとともにインダクタンス成分も低減される。そこで、従来よりも密にプローブを配設した検査治具部材の製造が可能であり、またより高周波信号でも検査できる電子部品の検査用治具が可能である。そして、先に提案した技術と比較して、検査治具部材２０が絶縁樹脂板等の１部材からなり、機械的強度が大きいとともに、部品点数が少ない分安価に構成できる。
【００１５】
次に、本発明の第２実施例を図７ないし図１０を参照して説明する。図７は、本発明の電子部品の検査用治具の第２実施例の導電性板バネの斜視図である。図８は、図７の導電性板バネの構造を示し、（ａ）は側面図、（ｂ）は平面図である。図９は、第２実施例で検査治具部材に導電性板バネを組み付けて挿通孔の一面を省いた側面図である。図１０は、図９のＣ−Ｃ断面矢視図である。図７ないし図１０において、図１ないし図６と同じまたは均等な部材には、同じ符号を付けて重複する説明を省略する。
【００１６】
本発明の第２実施例の導電性板バネ５０が、図１に示す第１実施例の導電性板バネ１０と相違するところは、幅広部５２の遊端部５２ａが、側方から見て先端側が後端側よりも幅の狭いテーパー状に形成されたことにある。この第２実施例のごとく、幅広部５２の遊端部５２ａを先端側が狭いテーパー状に形成することで、導電性板バネ５０を検査治具部材２０に挿入する際に、テーパー状による楔効果で、幅広部５２の遊端部５２ａが係止用溝２４に容易に挿入することができる。しかも、抜け難くなる。
【００１７】
さらに、本発明の第３実施例を図１１ないし図１３を参照して説明する。図１１は、本発明の電子部品の検査用治具の第３実施例の導電性板バネの斜視図である。図１２は、第３実施例で検査治具部材に導電性板バネを組み付けて挿通孔の一面を省いた側面図である。図１３は、図１２のＤ−Ｄ断面矢視図である。図１１ないし図１３において、図１ないし図１０と同じまたは均等な部材には、同じ符号を付けて重複する説明を省略する。
【００１８】
本発明の第３実施例の導電性板バネ６０が、図１に示す第１実施例の導電性板バネ１０と相違するところは、幅広部６２の遊端部６２ａ、６２ａに、弾性変形し得る２枚重ね折り曲げ方向で外側に向けて突出する突起６４、６４が設けられたことにある。この第３実施例のごとく、幅広部６２の遊端部６２ａ、６２ａに突起６４、６４を設けることで、導電性板バネ６０が検査治具部材２０に挿入された状態で、幅広部６２の突起６４、６４が係止用溝２４の内壁に弾接する状態となる。
【００１９】
そしてまた、本発明の第４実施例を図１４ないし図１６を参照して説明する。図１４は、本発明の電子部品の検査用治具の第４実施例の導電性板バネの斜視図である。図１５は、第４実施例で検査治具部材に導電性板バネを組み付けて挿通孔の一面を省いた側面図である。図１６は、図１５のＥ−Ｅ断面矢視図である。図１４ないし図１６において、図１ないし図１３と同じまたは均等な部材には、同じ符号を付けて重複する説明を省略する。
【００２０】
本発明の第４実施例の導電性板バネ７０が、図１に示す第１実施例の導電性板バネ１０と相違するところは、幅広部７２の一方の遊端部７２ａを少し短くし、他方の遊端部７２ｂを少し長くするとともに更に図１４に示すごとくＬ字状に折り曲げて、幅広部７２の幅方向に弾性変形できるようにしたことにある。なお、Ｌ字状に折り曲げた外側には、突起７４が設けられている。この第４実施例にあっては、導電性板バネ７０が検査治具部材２０に挿入された状態で、幅広部７２は幅方向に弾性変形して突起７４が係止用溝２４の内壁に弾接する状態となる。
【００２１】
さらに、本発明の導電性板バネの後端部の変形例を図１７を参照して説明する。図１７は、本発明の電子部品の検査用治具の導電性板バネの後端部の変形例を示し、（ａ）は第１変形例であり、（ｂ）は第２変形例である。第１変形例では、導電性板バネ１０の長さ方向の後端部がＬ字状に折り曲げられて、長さ方向に弾性変形し得る端子接続部１６ａが形成される。しかも、この端子接続部１６ａには、端子４２に弾接する突起１８が設けられている。また、第２変形例では、導電性板バネ１０の長さ方向の後端部がＵ字状に折り曲げられて、長さ方向に弾性変形し得る端子接続部１６ｂが形成される。しかも、この端子接続部１６ｂの下端部には、端子４２に弾接する突起１８が設けられている。端子接続部１６、１６ａ、１６ｂは、長さ方向に弾性変形できればいかなる形状であっても良く、上記第１実施例および第１、２変形例の形状に限られない。
【００２２】
そしてさらに、本発明の第５実施例を図１８および図１９を参照して説明する。図１８は、本発明の電子部品の検査用治具の第５実施例の導電性板バネの斜視図である。図１９は、第５実施例で検査治具部材に導電性板バネを組み付けて挿通孔の一面を省いた側面図である。図１８および図１９において、図１ないし図１７と同じまたは均等な部材には、同じ符号を付けて重複する説明を省略する。
【００２３】
本発明の第５実施例の導電性板バネ８０が、図１に示す第１実施例の導電性板バネ１０と相違するところは、導電性板バネ８０が、１枚の板材からなり、先端部が板厚方向に斜めに折り曲げられて、側方から見てＹ字状の片側部分しか形成されずに弾接部８６が１つ形成されているとともに、中間部に設けた幅広部８２の両縁部が板圧方向にＵ字状に同じ方向に折り曲げられて、折り曲げ方向に弾性変形できるようにしたことにある。そして、両縁部のＵ字状に折り曲げた外側には、突起８４、８４が設けられている。また、検査治具部材２０に設けた挿通孔８８は、１つの弾接部８６が片側に弾性変形できる形状であれば良く、その挿通孔８８の内壁に係止用溝２４、２４が第１実施例と同様に設けられている。この第５実施例にあっては、導電性板バネ８０が検査治具部材２０に挿入された状態で、幅広部８２は折り曲げ方向に弾性変形して圧入されて、突起８４が係止用溝２４の内壁に弾接する状態となる。
【００２４】
この第５実施例の導電性板バネ８０にあっては、半田ボール３２の片側の側面に弾接することとなる。そこで、半田ボール３２に側方の力が作用する。これらの側方への力が作用して被検査電子部品３０がずれないように相互に打ち消すには、半田ボール３２、３２…に弾接する導電性板バネ８０、８０…の略半数で、弾接部８６の斜めの折り曲げ方向を同じ側とし、残りの略半数で、弾接部８６の斜めの折り曲げ方向を反対側となるようにすれば良い。そして、第５実施例の導電性板バネ８０は、第１実施例の導電性板バネ１０の片側の形状であり、それだけ構造が簡単であるとともに小型化でき、特に配設スペースを小さくできてより密に検査治具部材２０に配列することが可能である。
【００２５】
そしてまた、本発明の第６実施例を図２０を参照して説明する。図２０は、本発明の電子部品の検査用治具の第６実施例の導電性板バネの斜視図である。図２０において、図１ないし図１９と同じまたは均等な部材には、同じ符号を付けて重複する説明を省略する。
【００２６】
本発明の第６実施例の導電性板バネ９０と、図１８示す第５実施例の導電性板バネ８０を比較すると、導電性板バネ９０が１枚の板材からなり、先端部が板厚方向に斜めに折り曲げられて、側方から見てＹ字状の片側部分しか形成されずに弾接部９６が１つ形成されていることは同じであるが、中間部に設けた幅広部９２の幅方向の両縁部が板厚方向にＬ字状に同じ方向に折り曲げられて、幅方向に弾性変形できるようにした点において相違する。そして、両縁部のＬ字状に折り曲げた外側には、突起９４、９４が設けられている。また、検査治具部材２０に設けた挿通孔８８は、１つの弾接部９６が片側に弾性変形できる形状であれば良く、その挿通孔８８の内壁に係止用溝２４、２４が第１実施例と同様に設けられている。この第６実施例にあっては、導電性板バネ９０が検査治具部材２０に挿入された状態で、幅広部９２は幅方向に弾性変形して突起９４、９４が係止用溝２４の内壁に弾接する状態となる。
【００２７】
なお、上記実施例において、幅広部１２、５２、６２、７２、８２、９２は導電性板バネ１０、５０、６０、７０、８０、９０の長さ方向の中間部に設けられているが、これに限られず、導電性板バネ１０、５０、６０、７０、８０、９０の長さ方向の後端部さらには後端部から中間部に連続して設けられても良い。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の電子部品の検査用治具の第１実施例の検査治具部材と導電性板バネの分解斜視図である。
【図２】第１実施例で検査治具部材に導電性板バネを組み付けた状態の斜視図である。
【図３】図２の挿通孔の一面を省いたＡ矢視図である。
【図４】図３のＢ−Ｂ断面矢視図である。
【図５】第１実施例で導電性板バネを組み付けた検査治具部材に基板を配設した図である。
【図６】第１実施例で被検査電子部品の半田ボールに導電性板バネの弾接部を弾接させた状態の図である。
【図７】本発明の電子部品の検査用治具の第２実施例の導電性板バネの斜視図である。
【図８】図７の導電性板バネの構造を示し、（ａ）は側面図、（ｂ）は平面図である。
【図９】第２実施例で検査治具部材に導電性板バネを組み付けて挿通孔の一面を省いた側面図である。
【図１０】図９のＣ−Ｃ断面矢視図である。
【図１１】本発明の電子部品の検査用治具の第３実施例の導電性板バネの斜視図である。
【図１２】第３実施例で検査治具部材に導電性板バネを組み付けて挿通孔の一面を省いた側面図である。
【図１３】図１２のＤ−Ｄ断面矢視図である。
【図１４】本発明の電子部品の検査用治具の第４実施例の導電性板バネの斜視図である。
【図１５】第４実施例で検査治具部材に導電性板バネを組み付けて挿通孔の一面を省いた側面図である。
【図１６】図１５のＥ−Ｅ断面矢視図である。
【図１７】本発明の電子部品の検査用治具の導電性板バネの後端部の変形例を示し、（ａ）は第１変形例であり、（ｂ）は第２変形例である。
【図１８】本発明の電子部品の検査用治具の第５実施例の導電性板バネの斜視図である。
【図１９】第５実施例で検査治具部材に導電性板バネを組み付けて挿通孔の一面を省いた側面図である。
【図２０】本発明の電子部品の検査用治具の第６実施例の導電性板バネの斜視図である。
【符号の説明】
【００２９】
１０、５０、６０、７０、８０、９０  導電性板バネ
１２、５２、６２、７２、８２、９２  幅広部
１４、８６、９６  弾接部
１６、１６ａ、１６ｂ  端子接続部
１８、６４、７４、８４、９４  突起
２０  検査治具部材
２２  挿通孔
２４  係止用溝
３０  被検査電子部品
３２  半田ボール
４０  基板
４２  端子
５２ａ、６２ａ、７２ａ、７２ｂ  遊端部
１００  検査用治具
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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