(57)【要約】【課題】ヨークをまったく使わない可動マグネット構成体の採用により軽量化を可能にしたリニアアクチュエータを提供する。【解決手段】移動可能な可動ベース体１１に取付けられたマグネット構成体１３と、マグネット構成体に対して相対移動可能なコイル２３とを備え、マグネット構成体は、可動ベース体に形成したマグネット取付け面１１ａに可動ベース体の移動方向に間隔を有して取付けられた第１および第２の主マグネット１５、１６と、これら第１および第２の主マグネットの両側に配設された第１および第２の補助マグネット１７、１８と、第１および第２の主マグネットの間に配設された第３の補助マグネット１９とからなり、第１および第２の補助マグネットは、磁力線の方向を偏向させるために、第１および第２の主マグネットとそれぞれ対向する側の磁極が、第１および第２の主マグネットのコイルに対向する側の磁極と同じになるよう配置されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動可能に案内され移動方向と平行なマグネット取付け面を形成した非磁性材料からなる可動ベース体と、該可動ベース体のマグネット取付け面に取付けられたマグネット構成体と、前記可動ベース体に対して相対移動可能な支持ベース体と、該支持ベース体に取付けられ前記マグネット構成体に前記可動ベース体の移動方向と直交する方向に対向するコイルとを備え、
前記マグネット構成体は、前記可動ベース体の移動方向に間隔を有して前記マグネット取付け面に取付けられた第１および第２の主マグネットと、これら第１および第２の主マグネットの前記可動ベース体の移動方向の両側に配設され前記マグネット取付け面に取付けられた第１および第２の補助マグネットと、前記第１および第２の主マグネットの間に配設され前記マグネット取付け面に取付けられた第３の補助マグネットとからなり、
前記第１の主マグネットは、前記可動ベース体の移動方向と直角な方向に着磁されて前記コイルに対向され、前記第２の主マグネットは、前記第１の主マグネットの着磁方向と平行な方向に着磁されかつ前記コイルに前記第１の主マグネットとは反対の磁極で対向され、
前記第１および第２の補助マグネットは、磁力線の方向を偏向させるために、前記第１および第２の主マグネットとそれぞれ対向する側の磁極が、前記第１および第２の主マグネットの前記コイルに対向する側の磁極と同じになるよう配置されていることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項２】
請求項１において、前記可動ベース体は、アルミニウム合金あるいは合成樹脂からなっていることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項３】
請求項１または請求項２において、前記コイルの束は、前記第１および第２の主マグネットの幅よりも大きな幅を有し、前記第１および第２の主マグネットに跨るループ状に形成されたロングコイルによって構成されていることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項４】
請求項１において、前記コイルは、非磁性材料からなる支持ベース体に取付けられていることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４の何れか１項において、前記可動ベース体は、周面に複数のマグネット取付け面を形成した多角形状をなし、これら複数のマグネット取付け面に、前記マグネット構成が取付けられていることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５の何れか１項において、前記支持ベース体に前記コイルを冷却する冷却部材を取付け、該冷却部材は、その基端側に冷媒が流通される流通路を有するとともに、先端側に互いに隙間を有して前記コイルに沿う方向に重ねて形成された複数の薄板状突起を有し、該薄板状突起の先端が前記コイルに熱的に密に接合していることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、可動マグネット型のリニアアクチュエータに関し、特にヨークをまったく使わない可動マグネット構成体の採用によって軽量化を図ったリニアアクチュエータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、リニアモータは、例えば、特許文献１に記載されているように、軌道台（１）上に軌道台の全長に亘って延在するように設けられた矩形板状のコイルヨーク（１５）と、このコイルヨーク上に一列に並べて配設された多数の電機子コイル（１６）とを有する一次側と、軌道台上をスライドするスライドユニット（３）の下面側に固定されたマグネットヨーク（２２）と、このマグネットヨークの下面側に固定され電機子コイルに各々対向する矩形板状の界磁マグネット（２３）とを有する二次側とによって構成されている。
【０００３】
かかる界磁マグネットは、スライドユニットのスライド方向に沿って、ＮおよびＳの磁極が複数、交互に並ぶように着磁されており、電機子コイルに所定の電流を供給することにより、一次側および二次側の両者間にフレミングの左手の法則による推力が生じ、スライドユニットが軌道台上をスライドされるようになっている。
【特許文献１】特開平５−２２７７２９号公報（段落００１７、００２１、図３、４）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されているような従来のリニアモータにおいては、マグネットがマグネットヨークを介して可動体（スライドユニット）に取付けられているため、マグネットヨークの重量によって可動側の重量が大きくなり、リニアモータの高応答性および高速化を達成するうえで、障害となる問題があった。
【０００５】
本発明は、上記した従来の問題点を解消するためになされたもので、ヨークをまったく使わない可動マグネット構成体の採用により軽量化を可能にしたリニアアクチュエータを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するため、請求項１に係る発明の特徴は、移動可能に案内され移動方向と平行なマグネット取付け面を形成した非磁性材料からなる可動ベース体と、該可動ベース体のマグネット取付け面に取付けられたマグネット構成体と、前記可動ベース体に対して相対移動可能な支持ベース体と、該支持ベース体に取付けられ前記マグネット構成体に前記可動ベース体の移動方向と直交する方向に対向するコイルとを備え、前記マグネット構成体は、前記可動ベース体の移動方向に間隔を有して前記マグネット取付け面に取付けられた第１および第２の主マグネットと、これら第１および第２の主マグネットの前記可動ベース体の移動方向の両側に配設され前記マグネット取付け面に取付けられた第１および第２の補助マグネットと、前記第１および第２の主マグネットの間に配設され前記マグネット取付け面に取付けられた第３の補助マグネットとからなり、  前記第１の主マグネットは、前記可動ベース体の移動方向と直角な方向に着磁されて前記コイルに対向され、前記第２の主マグネットは、前記第１の主マグネットの着磁方向と平行な方向に着磁されかつ前記コイルに前記第１の主マグネットとは反対の磁極で対向され、前記第１および第２の補助マグネットは、磁力線の方向を偏向させるために、前記第１および第２の主マグネットとそれぞれ対向する側の磁極が、前記第１および第２の主マグネットの前記コイルに対向する側の磁極と同じになるよう配置されていることである。
【０００７】
請求項２に係る発明の特徴は、請求項１において、前記可動ベース体は、アルミニウム合金あるいは合成樹脂からなっていることである。
【０００８】
請求項３に係る発明の特徴は、請求項１または請求項２において、前記コイルの束は、前記第１および第２の主マグネットの幅よりも大きな幅を有し、前記第１および第２の主マグネットに跨るループ状に形成されたロングコイルによって構成されていることである。
【０００９】
請求項４に係る発明の特徴は、請求項１において、前記コイルは、非磁性材料からなる支持ベース体に取付けられていることである。
【００１０】
請求項５に係る発明の特徴は、請求項１ないし請求項４の何れか１項において、前記可動ベース体は、周面に複数のマグネット取付け面を形成した多角形状をなし、これら複数のマグネット取付け面に、前記マグネット構成体がそれぞれ取付けられていることである。
【００１１】
請求項６に係る発明の特徴は、請求項１ないし請求項５の何れか１項において、前記支持ベース体に前記コイルを冷却する冷却部材を取付け、該冷却部材は、その基端側に冷媒が流通される流通路を有するとともに、先端側に互いに隙間を有して前記コイルに沿う方向に重ねて形成された複数の薄板状突起を有し、該薄板状突起の先端が前記コイルに熱的に密に接合していることである。
【発明の効果】
【００１２】
請求項１に係る発明によれば、移動可能な可動ベース体のマグネット取付け面に取付けられたマグネット構成体の第１の主マグネットは、可動ベース体の移動方向と直角な方向に着磁されてコイルに対向され、第２の主マグネットは、第１の主マグネットの着磁方向と平行な方向に着磁されかつコイルに第１の主マグネットとは反対の磁極で対向され、第１および第２の補助マグネットは、磁力線の方向を偏向させるために、第１および第２の主マグネットとそれぞれ対向する側の磁極が、第１および第２の主マグネットのコイルに対向する側の磁極と同じになるよう配置されているので、コイルへの電流の供給によって第１の主マグネットに作用された推力方向と直交する方向の磁力線は、第１の補助マグネットにより反発されて第２の主マグネットに向かう推力方向に偏向され、さらに、第２の主マグネットからの磁力線は、第２の補助マグネットによってコイルに向かう推力方向と直交する方向に偏向される。これにより、マグネットヨークをまったく用いなくても、磁束の漏洩を少なくできる効率のよい磁気回路を構成することができ、マグネットヨークに代えて低密度の非磁性材料を用いることにより、マグネット構成体の軽量化を達成でき、高速化を可能にできる。
【００１３】
請求項２に係る発明によれば、可動ベース体は、アルミニウム合金あるいは合成樹脂からなっているので、マグネット構成体の軽量化を容易に達成することができる。
【００１４】
請求項３に係る発明によれば、コイルの束は、第１および第２の主マグネットの幅よりも大きな幅を有し、第１および第２の主マグネットに跨る矩形のループ形状に形成されたロングコイルによって構成されているので、マグネット構成体が移動しても、主マグネットを切る磁束を一定不変に維持することができ、コイルに印加した電流量に対して可動ベース体に発生する推力を一定に確保することができる。
【００１５】
請求項４に係る発明によれば、コイルは、非磁性材料からなる支持ベース体に取付けられているので、コイルヨークを不要にでき、コイル側の軽量化を達成することができる。しかも、磁気吸引力が発生しなくなるため、マグネット構成体を可動ベース体の周りに複数配設した場合においても、磁気吸引力による悪影響を及ぼさないようにすることができる。
【００１６】
請求項５に係る発明によれば、可動ベース体は、周面に複数のマグネット取付け面を形成した多角形状をなし、これら複数のマグネット取付け面に、マグネット構成体がそれぞれ取付けられているので、可動ベース体の移動方向の長さを大きくすることなく、可動ベース体に作用する推力を増大することができる。
【００１７】
請求項６に係る発明によれば、支持ベース体に取付けられた冷却部材は、その基端側に冷媒が流通される流通路を有するとともに、先端側に互いに隙間を有してコイルに沿う方向に重ねて形成された複数の薄板状突起を有し、薄板状突起の先端が前記コイルに熱的に密に接合しているので、コイルに生じる発熱は、冷却部材の流通路内を流通される冷媒によって、効率よく除去することができる。また、冷却部材は、コイルに接合する部分と冷媒を流通させる部分とが一体の部品であるので、冷却部材を迅速かつ容易に組付けることができ、生産効率を向上させて生産コストの低減を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下本発明の第１の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１および図２は、可動マグネット型のリニアアクチュエータ１０を示すものである。リニアアクチュエータ１０は、固定側の一次側要素と、一次側要素に対して相対移動可能な可動側の二次側要素とから構成されたリニアモータからなっている。
【００１９】
リニアアクチュエータ１０は、低密度の非磁性体からなる可動ベース体１１を有し、可動ベース体１１はリニアガイド等の案内装置１２によって図１および図２の左右方向に移動可能に案内されている。なお、非磁性体としては、剛性が必要とされる場合には、アルミニウム（アルミニウム合金）等の金属が、また、剛性がそれほど必要とされない場合には、合成樹脂が好適である。
【００２０】
可動ベース体１１には、移動方向に平行なマグネット取付け面１１ａが形成され、マグネット取付け面１１ａにマグネット構成体１３が取付けられている。マグネット構成体１３は、可動ベース体１１の移動方向に間隔を有してマグネット取付け面１１ａに貼付けられた第１および第２の主マグネット１５、１６と、これら第１および第２の主マグネット１５、１６の可動ベース体１１の移動方向の両側に配設されてマグネット取付け面１１ａに貼付けられた第１および第２の補助マグネット１７、１８と、第１および第２の主マグネット１５、１６の間に配設されてマグネット取付け面１１ａに貼付けられた第３の補助マグネット１９とによって構成されている。
【００２１】
第１の主マグネット体１５は、可動ベース体１１の移動方向と直角な方向に着磁され、Ｎ極側をマグネット取付け面１１ａに貼付けられ、Ｓ極側を後述するコイル２３に対向されている。また、第２の主マグネット体１６は、可動ベース体１１の移動方向と直角な方向に着磁され、Ｓ極側をマグネット取付け面１１ａに貼付けられ、Ｎ極側を後述するコイル２３に対向されている。このように、互いに平行な方向に着磁された第１および第２の主マグネット体１５、１６が、磁極を反対にして可動ベース体１１のマグネット取付け面１１ａに取付けられている。
【００２２】
第１および第２の主マグネット体１５、１６の両側に配設された第１および第２の補助マグネット１７、１８は、可動ベース体１１の移動方向にそれぞれ着磁され、その磁極は、第１および第２の主マグネット体１５、１６を通過する磁力と反発する関係に配設されている。すなわち、第１の主マグネット体１５に隣接して配設された第１の補助マグネット１７は、第１の主マグネット体１５に対向する側の磁極が、第１の主マグネット１５のコイル２３に対向する側の磁極（Ｓ極）と同じになるよう配置されている。同様に、第２の主マグネット体１６に隣接して配設された第２の補助マグネット１８は、第２の主マグネット体１６に対向する側の磁極が、第２の主マグネット１６のコイル２３に対向する側の磁極（Ｎ極）と同じになるよう配置されている。
【００２３】
第１および第２の主マグネット体１５、１６の間に配設された第３の補助マグネット１９は、可動ベース体１１の移動方向にそれぞれ着磁され、第１の主マグネット体１５に対向する側がＳ極に、第２の主マグネット体１６に対向する側がＮ極に配置されている。
【００２４】
上記した第１および第２の主マグネット１５、１６、第１、第２および第３の補助マグネット１７、１８、１９からなるマグネット構成体１３、ならびにマグネット構成体１３を取付けた可動ベース体１１によって、リニアモータの二次側要素を構成している。
【００２５】
可動ベース体１１に対して相対移動可能な支持ベース体２１には、可動ベース体１１のマグネット取付け面１１ａに対向して、コイル取付け面２１ａがマグネット取付け面１１ａと平行に形成されている。コイル取付け面２１ａには、コイル２３が、第１および第２の主マグネット１５、１６に対向して固着されている。
【００２６】
コイル２３は、図２の二点鎖線で示すように、第１および第２の主マグネット１５、１６に跨る矩形のループ形状に平角線あるいは丸線を積層状態で巻回したものである。可動ベース体１１の移動方向におけるコイル２３の束の幅ＣＷは、図３に示すように、主マグネット１５（１６）の幅ＭＷより大きく構成され、可動ベース体１１が所定の移動範囲移動しても、コイル２３の束の幅ＣＷ内より主マグネット１５（１６）が可動ベース体１１の移動方向にはみ出さないように構成されている。すなわち、コイル２３は、いわゆるロングコイルで構成され、コイル２３の束の幅ＣＷから主マグネット１５（１６）の幅ＭＷを差し引いた量Ｗ１（Ｗ１／２＋Ｗ１／２）は、可動ベース体１１の移動範囲よりも大きく設定されている。コイル２３およびこれを取付けた支持ベース体２１によって、リニアモータの一次側要素を構成している。
【００２７】
次に、上記した実施の形態におけるリニアアクチュエータ１０の動作について説明する。コイル２３に所定の電流を供給すると、第１の主マグネット１５、第３の補助マグネット１９および第２の主マグネット１６を通る磁気回路ＭＣ（図４参照）が形成され、フレミングの左手の法則に従って、可動ベース体１１に推力が発生され、可動ベース体１１は電流の供給方向に応じて、図１および図２の左右方向に移動される。
【００２８】
この際、第１および第２の主マグネット１５、１６の両側に配設された第１および第２の補助マグネット１７、１８は、主マグネット１５、１６を通る磁力に反発するように配置されているため、コイル２３への電流の供給によって第１の主マグネット１５を通過した推力方向と直交する方向の磁力線は、図４に示すように、第３の補助マグネット１９のＳ極に向かう推力方向に偏向され、第１の補助マグネット１７によって、第１の主マグネット１５から図４の右方へ漏洩する磁束を防止できる。さらに、第３の補助マグネット１９のＮ極より出た磁力線は、第２の主マグネット１６を通過して、コイル２３に向かう推力方向と直交する方向にほとんどが偏向され、第２の補助マグネット１８によって、第２の主マグネット１６から図４の左方へ漏洩する磁束を防止できる。
【００２９】
このため、コイルヨークおよびマグネットヨークをまったく用いずに磁気回路を構成することができ、コイルヨークおよびマグネットヨークに代えて、アルミニウム製あるいは合成樹脂製等の低密度の非磁性材料を用いることができるようになる。従って、可動側となる二次側要素の軽量化を達成でき、応答性を向上できるとともに、高速化を可能にでき、また、固定側となる一次側要素の軽量化も達成できるため、リニアアクチュエータ１０全体の軽量化を可能にできる。
【００３０】
しかも、コイル２３をロングコイルにて構成したので、コイル２３に対してマグネット構成体１３が相対移動しても、補助ヨーク１５，１６を切る磁束をほぼ一定値に維持することができ、コイル２３に印加した電流量に対して可動ベース体１１に発生する推力を略一定に確保できるようになる。また、支持ベース体２１をアルミニウム合金にすることにより、冷却性能を向上することもできる。
【００３１】
図５は、本発明の第２の実施の形態を示すもので、第１の実施の形態と異なる点は、支持ベース体２１に、可動ベース体１１のマグネット取付け面１１ａに対向して、例えば鉄製のコイルヨーク３０を取付け、このコイルヨーク３０に形成したコイル取付け面３０ａにコイル２３を取付けたことであり、他の点は、第１の実施の形態と同じであるので、説明は省略する。
【００３２】
図６および図７は、本発明の第３の実施の形態を示すもので、第１および第２の実施の形態と異なる点は、可動ベース体１１１を、周面に複数のマグネット取付け面１１１ａ〜１１１ｄを形成した例えば４角からなる多角形状に構成したことであり、コイルヨークを用いない点は、第１の実施の形態と同じである。
【００３３】
第３の実施の形態においては、可動ベース体１１１の複数のマグネット取付け面１１１ａ〜１１１ｄに、第１の実施の形態において説明したと同様に、第１および第２主マグネット体１５、１６、および第１、第２および第３の補助マグネット１７、１８、１９からなるマグネット構成体１３ａ〜１３ｄがそれぞれ配設されている。なお、可動ベース体１１１は、両端を図略の支持台に軸方向移動のみ可能に支持される。
【００３４】
一方、支持ベース体１２１は、アルミニウム製、合成樹脂製、あるいは双方を組み合わせた低密度の非磁性体からなり、可動ベース体１１１を取り囲むように配置されている。可動ベース体１３の周面に配設した各マグネット構成体１３ａ〜１３ｄに対向して、支持ベース体１２１の内面には、コイル取付け面１２１ａ〜１２１ｄがそれぞれ形成され、これらコイル取付け面１２１ａ〜１２１ｄに、コイル２３ａ〜２３ｄがそれぞれ取付けられている。
【００３５】
コイル取付け面１２１ａ〜１２１ｄに取付けられる各コイル２３ａ〜２３ｄは、相互の干渉を避けるために、熱を加えると軟化して容易に曲げることができる自己融着線にて作成され、図７に示すように、各コイル２３ａ〜２３ｄの周方向の両端部２３ａ１〜２３ｄ１が外方に折り曲げられた状態で、コイル取付け面１２１ａ〜１２１ｄに取付けられる。
【００３６】
かかる第３の実施の形態によれば、可動ベース体１１１の周面に複数のマグネット構成体１３ａ、１３ｄを配設したことにより、可動ベース体１１１の移動方向の長さを大きくすることなく、可動ベース体１１１に作用する推力を増大することができる。
【００３７】
しかも、コイルヨークの廃止により、コイルヨークによる磁気吸引力の発生もなくなるため、マグネット構成体１３ａ〜１３ｄを可動ベース体１１１の周りに複数配設しても、可動ベース体１１１に磁気吸引力による悪影響を及ぼさないようにすることができ、可動ベース体１１１の位置精度を向上することができるとともに、コイル２３ａ〜２３ｄの厚みを大きくできることにより、導体抵抗を小さくでき、発熱を抑えることができるようになる。従って、可動ベース体１１１を、工作機械の工具保持体として適用すれば、高精度な加工を可能にできる。
【００３８】
なお、支持ベース体１２１をアルミニウムもしくはアルミニウム合金にて構成する場合には、渦電流の発生を抑えるために、支持ベース体１２１のコイル取付け面１２１ａ〜１２１ｄにスリット溝等を形成して、コイル２３ａ〜２３ｄとの接触面積を小さくすることが望ましい。
【００３９】
図８から図１０は、本発明の第４の実施の形態を示すもので、駆動電流の供給によって発熱するコイル２３を冷却する機能を備えたものである。すなわち、図８および図９に示すように、コイル２３には、上記した可動ベース体１１の移動方向（図８の左右方向）の２箇所において、冷却部材としての一対の冷却ブロック３２がコイル２３の外側面に接するように配設されている。冷却ブロック３２は、例えば銅製で、支持ベース体２１に図略のボルト等により取付けられる。一対の冷却ブロック３２には、基端側に冷媒（冷水）が流通する流通路３４がそれぞれ形成され、各流通路３４は支持ベース体２１に設けられた流通孔を介して図略の冷却パイプおよび冷却用ポンプに連通されている。一対の冷却ブロック３２の互いに対向する先端側には、互いに隙間を有して複数の薄板状突起３５が、コイル２３の外側面に沿って櫛歯のように並べられて形成されている。薄板状突起３５はコイル２３の外側面に倣う形状に先端が形成され、各先端は高熱伝導接着剤によりコイル２３に熱的に密に接合されている。
【００４０】
図１０は図９の右側面から見た図である。支持ベース体２１をアルミニウム合金にした場合、支持ベース体２１に発生する渦電流が推力に影響を与えないように、可動ベース体１１に取付けられたマグネットよりも広い幅で樹脂部材３６を支持ベース体２１にモールド成型している。樹脂部材３６は渦電流対策だけでなく、モールド成型することによりコイル２３、支持ベース体２１および冷却ブロック３２をより強固に接着することに対しても有効である。
【００４１】
かかる第４の実施の形態によれば、冷媒が流通される流通路３４を有するとともに、コイル２３に沿う方向に重ねて形成された複数の薄板状突起３５を有する冷却ブロック３２を、薄板状突起３５の先端がコイル２３に熱的に密に接合するように支持ベース体２１に取付けたので、コイル２３に生じる発熱を、冷却ブロック３２の流通路３４内を流通される冷媒によって、効率よく除去することができる。また、冷却ブロック３２は、コイル２３に接合する部分と冷媒を流通させる部分とが一体の部品からなっているので、冷却ブロック３２を支持ベース体２１に迅速かつ容易に組付けることができ、生産効率を向上させて生産コストの低減を図ることができる。
【００４２】
なお、第４の実施の形態においては、コイル２３を支持ベース体２１に直接取付けた例について述べたが、図５に示すように、コイル２３をコイルヨーク３０を介して取付けるものにも、本実施の形態は適用できるものであり、さらには、図６および図７に示すように、多角形状からなる可動ベース体１１１の周面に対向して複数のコイル２３ａ〜２３ｄを取付けるものにも、本実施の形態は適用可能である。
【００４３】
上記した実施の形態においては、コイル２３をロングコイルで構成した例について述べたが、コイル２３の束の幅が主マグネット１５、１６の幅よりも小さな、いわゆるショートコイルを用いることもできる。
【００４４】
以上、本発明を実施の形態に即して説明したが、本発明はこれらに制限されるものではなく、本発明の技術的思想に反しない限り、適宜変更して適用できることはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータ装置を示す概要図である。
【図２】図１の２−２線に沿って矢視した図である。
【図３】コイルの束の幅を示す図である。
【図４】第１の実施の形態における磁気回路を示す図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態に係るリニアアクチュエータ装置を示す概要図である。
【図６】本発明の第３の実施の形態に係るリニアアクチュエータ装置を示す概要図である。
【図７】図６の７−７線に沿って切断した断面図である。
【図８】本発明の第４の実施の形態に係るリニアアクチュエータ装置のコイルの取付け部を示す断面図である。
【図９】図８の９方向から見た図である。
【図１０】図９の右側面から見た図である。
【符号の説明】
【００４６】
１０…リニアアクチュエータ、１１、１１１…可動ベース体、１１ａ、１１１ａ〜１１１ｄ…マグネット取付け面、１３、１３ａ〜１３ｄ…マグネット構成体、１５、１６…主マグネット体、１７、１８、１９…補助マグネット、２１、１２１…支持ベース体、２１ａ、１２１ａ〜１２１ｄ…コイル取付け面、２３、２３ａ〜２３ｄ…コイル、３０…コイルヨーク。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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