(57)【要約】【課題】本発明はコリオリ力に基づき変位する第１及び第２の振動子の変位を第１及び第２の検出電極で検出することにより加速度及び角速度を検出する加速度角速度センサに関し、検出電極の変位方向以外の変位を抑制することにより加速度（Ｇ）及び角速度（Yaw）の検出精度の向上を図ることを課題とする。【解決手段】駆動方向（Y1,Y2方向）及び検出方向（X1,X2方向）に変位可能な構成とされると共に互いに対称となるよう対向配置された第１及び第２の振動子11,12と、この各振動子11,12を駆動方向に振動させる第１及び第２の駆動電極13,14と、第１及び第２の振動子11,12の検出方向に対する変位を静電容量変化として検出する第１及び第２の検出電極15,16とを有する加速度角速度センサにおいて、前記第１及び第２の検出電極15,16を第１及び第２の振動子11,12の外部に分離して配設すると共に、この第１及び第２の検出電極15,16を検出方向に変位可能に支持する第１及び第２の検出ばね18,19を設けた。【選択図】図１
2008039614.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動方向及び検出方向に変位可能な構成とされると共に、互いに対称となるよう対向配置された第１及び第２の振動子と、
該第１及び第２の振動子を駆動方向に振動させる第１及び第２の駆動部と、
前記第１及び第２の振動子の前記検出方向に対する変位を静電容量変化として検出する第１及び第２の検出電極とを有する加速度角速度センサにおいて、
前記第１及び第２の検出電極を前記第１及び第２の振動子の外部に分離して配設すると共に、該第１及び第２の検出電極を前記検出方向に変位可能に支持する支持部材を設けたことを特徴とする加速度角速度センサ。
【請求項２】
前記第１及び第２の振動子と前記第１及び第２の検出電極は、前記第１及び第２の振動子の駆動方向の変位を緩衝すると共に前記第１及び第２の振動子の検出方向の変位を前記第１及び第２の検出電極に伝達する接続ばねにより接続されていることを特徴とする請求項１記載の加速度角速度センサ。
【請求項３】
前記第１の検出電極と前記第２の検出電極を前記駆動方向に連結する連結ばね部材を設けたことを特徴とする請求項１又は２記載の加速度角速度センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は加速度角速度センサに係り、特にコリオリ力に基づき変位する第１及び第２の振動子の変位を第１及び第２の検出電極で検出することにより加速度及び角速度を検出する加速度角速度センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から
−車載用のセンサとして、車両の加速度（G）を検出する加速度センサ及び車両の角速度（Yaw）を検出する角速度センサが知られている。また近年では、一つのセンサで車両の加速度及び角速度を共に検出できる加速度角速度センサも提供されている（特許文献１参照）。
【０００３】
図７は、従来の一例である加速度角速度センサ５０を示している。この加速度角速度センサ５０は、第１及び第２の振動子５１，５２、第１及び第２の駆動電極５３，５４、及び第１及び第２の検出電極５５，５６等により構成されている。
【０００４】
第１の振動子５１は第１の検出ばね５８を介して第１のメインフレーム６３に接続されていれる。また、第２の振動子５２は第２の検出ばね５９を介して第２のメインフレーム６４に接続されていれる。この第１の振動子５１と第２の振動子５２は分離され、それぞれ独立した構成とされている。第１及び第２の検出ばね５８，５９は、この第１及び第２の振動子５１，５２を図中矢印Ｘ１，Ｘ２方向（検出方向という）に変位可能に支持している。
【０００５】
第１の検出ばね５８は第１のメインフレーム６３に設けられており、この第１のメインフレーム６３は第１の振動子５１を挟んで図中上下に配設されている。また、第１のメインフレーム６３は、第１の駆動ばね６０により矢印Ｙ１，Ｙ２方向（駆動方向という）に変位可能とされている。更に、第１のメインフレーム６３は、第１の駆動電極５３により矢印Ｙ１，Ｙ２方向に振動付勢される構成となっている。
【０００６】
第２の検出ばね５９は第２のメインフレーム６４に設けられており、この第２のメインフレーム６４は第２の振動子５２を挟んで図中上下に配設されている。また、第２のメインフレーム６４は、第２の駆動ばね６１により矢印Ｙ１，Ｙ２方向に変位可能とされている。更に、第２のメインフレーム６４は、第２の駆動電極５４により矢印Ｙ１，Ｙ２方向に振動付勢される構成となっている。
【０００７】
第１の検出電極５５は第１の振動子５１の内部に配設されており、また第２の検出電極５６は第２の振動子５２の内部に配設されている。この第１及び第２の検出電極５５，５６は、第１及び第２の振動子５１，５２の変位を静電容量変化として検出できる構成とされている。
【０００８】
上記構成とされた加速度角速度センサ５０の加速度（G）及び角速度（Yaw）の検出原理について説明する。加速度角速度センサ５０を用いて加速度（G）及び角速度（Yaw）の検出を行うには、第１及び第２の駆動電極５３，５４により第１及び第２のメインフレーム６３，６４及び第１及び第２の検出ばね５８，５９を介して第１及び第２の振動子５１，５２をＹ１，Ｙ２方向（駆動方向）に振動させておく。
【０００９】
この状態で加速度角速度センサ５０に加速度（G）が印加されると、第１及び第２の振動子５１，５２には慣性力が発生し、図８に示すように第１及び第２の振動子５１，５２はＸ１，Ｘ２方向（検出方向）に同相で変位する。よって、第１の検出電極５５で検出される検出信号と、第２の検出電極５６で検出される検出信号の和をとることにより、加速度（G）を求めることができる。
【００１０】
一方、上記の加振状態で加速度角速度センサ５０に角速度（Yaw）が印加されると、この場合は第１及び第２の振動子５１，５２にはコリオリ力が発生し、この場合には図９に示すように第１及び第２の振動子５１，５２はＸ１，Ｘ２方向（検出方向）に逆相で変位する。よって、第１の検出電極５５で検出される検出信号と、第２の検出電極５６で検出される検出信号の差をとることにより、角速度（Yaw）を求めることができる。
【特許文献１】特開２００４−２８８６９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、従来の加速度角速度センサ５０では、第１の検出電極５５と第１の駆動電極５３とが第１の検出ばね５８を介して機械的に繋がっており、また第２の検出電極５６と第２の駆動電極５４も第２の検出ばね５９を介して機械的に繋がっているため、検出電極５５，５６にも振動子５１，５２のＹ１，Ｙ２方向（駆動方向）の変位が洩れてしまい、これに起因して加速度（Ｇ）及び角速度（Yaw）の検出信号ノイズが増加してしまう可能性があった。
【００１２】
また、製造ばらつきにより上下の駆動ばね６０，６１に寸法ばらつきがあった場合、図１０に示す（右側のみ示す）ように、振動子５２のＹ１，Ｙ２方向（駆動方向）の振動に伴い上部の駆動ばね６０に発生する力と下部の駆動ばね６０の発生する力に差が生じ（力を示す矢印の長さの差として示している）てしまう。
【００１３】
この力の差は、第２の検出電極５６を回転させる力として作用し、よって第２の検出電極５６は変位方向（Ｘ１，Ｘ２方向）以外の方向に変位してしまい、これによっても加速度（Ｇ）及び角速度（Yaw）の検出信号ノイズが増加してしまうという可能性があった。
【００１４】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、検出電極の変位方向以外の変位を抑制することにより加速度（Ｇ）及び角速度（Yaw）の検出信号ノイズの低減を図った加速度角速度センサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記の課題を解決するために本発明では、次に述べる各手段を講じたことを特徴とするものである。
【００１６】
請求項１記載の発明は、
駆動方向及び検出方向に変位可能な構成とされると共に、互いに対称となるよう対向配置された第１及び第２の振動子と、
該第１及び第２の振動子を駆動方向に振動させる第１及び第２の駆動部と、
前記第１及び第２の振動子の前記検出方向に対する変位を静電容量変化として検出する第１及び第２の検出電極とを有する加速度角速度センサにおいて、
前記第１及び第２の検出電極を前記第１及び第２の振動子の外部に分離して配設すると共に、該第１及び第２の検出電極を前記検出方向に変位可能に支持する支持部材を設けたことを特徴とするものである。
【００１７】
また、請求項２記載の発明は、
請求項１記載の加速度角速度センサにおいて、
前記第１及び第２の振動子と前記第１及び第２の検出電極は、前記第１及び第２の振動子の駆動方向の変位を緩衝すると共に前記第１及び第２の振動子の検出方向の変位を前記第１及び第２の検出電極に伝達する接続ばねにより接続されていることを特徴とするものである。
【００１８】
また、請求項３記載の発明は、
請求項１又は２記載の加速度角速度センサにおいて、
前記第１の検出電極と前記第２の検出電極を前記駆動方向に連結するばね部材を設けたことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、第１及び第２の検出電極を第１及び第２の振動子の外部に分離して配設し、かつ、この第１及び第２の検出電極を支持部材により検出方向に変位可能に支持した構成としたことにより、第１及び第２の振動子の駆動方向の振動が第１及び第２の検出電極に印加されるのを防止でき、加速度及び角速度の検出信号ノイズを低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
次に、本発明を実施するための最良の形態について図面と共に説明する。
【００２１】
図１は、本発明の一実施例である加速度角速度センサ１０を示している。この加速度角速度センサ１０は、第１及び第２の振動子１１，１２、第１及び第２の駆動電極１３，１４、及び第１及び第２の検出電極１５，１６、連結リンクばね３８等により構成されている。
【００２２】
第１の振動子１１は、左右両側部（Ｙ１，Ｙ２方向の両側部）に配設された１対の第１の駆動ばね２０に矢印Ｙ１，Ｙ２方向に移動可能に保持された構成とされている。また、１対の第１の駆動ばね２０の内、図中左側に位置する第１の駆動ばね２０には第１の駆動電極１３が接続されている。この第１の駆動電極１３は、第１の振動子１１を図中矢印Ｙ１，Ｙ２方向（以下、このＹ１，Ｙ２方向を駆動方向という）に駆動させる機能を奏する。
【００２３】
第２の振動子１２は、その左右両側部（Ｙ１，Ｙ２方向の両側部）に配設された１対の第２の駆動ばね２１に駆動方向（矢印Ｙ１，Ｙ２方向）に移動可能に保持された構成とされている。
【００２４】
また、１対の第２の駆動ばね２１の内、図中右側に位置する第２の駆動ばね２１には第２の駆動電極１４が接続されている。この第２の駆動電極１４は、第２の振動子１２を駆動方向（図中矢印Ｙ１，Ｙ２方向）に駆動させる機能を奏する。尚、上記の第１の振動子１１と第２の振動子１２は分離され、それぞれ独立した構成とされている。
【００２５】
第１の検出電極１５は、第１の振動子１１から分離された構成とされている。この第１の検出電極１５は、第１の振動子１１を図中Ｘ１，Ｘ２方向（以下、このＸ１，Ｘ２方向を検出方向という）から挟むように一対配設されている。
【００２６】
一対配の第１の検出ばね１８は、この第１の検出電極１５を検出方向（Ｘ１，Ｘ２方向）から挟むように配設され、第１の検出電極１５を支持している。また、各第１の検出ばね１８の両端部は、基板３０に配設されたアンカー４５に固定された構成とされている。
【００２７】
第１の検出電極１５は、第１の検出ばね１８が弾性変形するため、検出方向（Ｘ１，Ｘ２方向）に変位可能な構成とされている。図２は、第１の検出電極１５が矢印Ｘ１方向に変位した状態を示している。
【００２８】
前記のように、第１の検出ばね１８の両端部はアンカー４５により基板３０に固定されており、また第１の検出電極１５は第１の検出ばね１８の中央位置に配設されている。このため、第１の検出電極１５に矢印Ｘ１方向の外力（後述するコリオリ力）が作用すると、同図に示すように第１の検出ばね１８が弾性変形することにより第１の検出電極１５は矢印Ｘ１方向に変位する。第１の検出電極１５には図示しない櫛歯電極が配設されており、第１の検出電極１５の変位は櫛歯電極間の静電容量変化として検出される構成とされている。
【００２９】
上記構成とされた第１の検出電極１５は、第１の接続ばね４０により第１の振動子１１と接続されている。図３に拡大して示すように、第１の接続ばね４０は第１の振動子１１に形成された凹部内に挿入された構成とされている。また、第１の接続ばね４０は駆動方向（Ｙ１，Ｙ２方向）に対しては弾性変形し易い構成であるが、検出方向（Ｘ１，Ｘ２方向）に対しては変形しない構成とされている。
【００３０】
このため、第１の振動子１１が駆動方向（Ｙ１，Ｙ２方向）に変位しているときには第１の検出電極１５は変位しないが、第１の振動子１１が検出方向（Ｘ１，Ｘ２方向）に変位した場合には、その変位は第１の接続ばね４０を介して第１の検出電極１５に作用し、第１の検出電極１５も検出方向（Ｘ１，Ｘ２方向）に変位する。
【００３１】
第２の検出電極１６も、第２の振動子１２から分離された構成とされている。この第２の検出電極１６及び第２の振動子１２の配設構造は、基本的には前記した第１の検出電極１５及び第１の振動子１１の配設構造と同一である。
【００３２】
即ち、第２の検出電極１６は、第２の振動子１２を検出方向から挟むように一対配設されており、また一対配の第２の検出ばね１９は第２の検出電極１６を検出方向から挟むように配設され、第２の検出電極１６を支持している。また、各第２の検出ばね１９の両端部は、アンカー４５に固定された構成とされている。
【００３３】
第２の検出電極１６は、第２の検出ばね１９が弾性変形するため検出方向に変位可能な構成とされている。よって、第２の検出電極１６に検出方向の外力が作用すると、第２の検出ばね１９が弾性変形することにより第２の検出電極１６は検出方向に変位する。この第２の検出電極１６にも櫛歯電極が配設されており、上記の変位は櫛歯電極間の静電容量変化として検出される。
【００３４】
また、第２の検出電極１６は、第２の接続ばね４１により第１の振動子１１と接続されている。第２の接続ばね４１は、前記した第１の接続ばね４０と同一作用を奏するものである。即ち、第２の接続ばね４１は第２の振動子１２に形成された凹部内に挿入された構成とされており、駆動方向（Ｙ１，Ｙ２方向）に対しては弾性変形し易い構成であるが、検出方向（Ｘ１，Ｘ２方向）に対しては変形しない構成とされている。
【００３５】
このため、第２の振動子１２が駆動方向（Ｙ１，Ｙ２方向）に変位しているときには第２の検出電極１６は変位しないが、第２の振動子１２が検出方向（Ｘ１，Ｘ２方向）に変位した場合には、その変位は第２の接続ばね４１を介して第２の検出電極１６に作用し、第２の検出電極１６も検出方向（Ｘ１，Ｘ２方向）に変位する。
【００３６】
上記構成とされた加速度角速度センサ１０を用いて加速度（G）及び角速度（Yaw）の検出を行うには、第１及び第２の駆動電極１３，１４により第１及び第２の振動子１１，１２を駆動方向（Ｙ１，Ｙ２方向）に振動させておく。この状態で加速度角速度センサ１０に加速度（G）が印加されると、第１及び第２の振動子１１，１２には慣性力が発生し、第１及び第２の振動子１１，１２は検出方向（Ｘ１，Ｘ２方向）に同相で変位する。
【００３７】
前記したように、第１及び第２の検出電極１５，１６は、第１及び第２の振動子１１，１２が駆動方向に変位しているときは変位しないが、検出方向に変位した場合には第１の接続ばね４０，４１を介して変位する。よって、第１の検出電極１５で検出される検出信号と、第２の検出電極１６で検出される検出信号の和をとることにより、加速度（G）を求めることができる。
【００３８】
一方、上記の加振状態で加速度角速度センサ１０に角速度（Yaw）が印加されると、この場合は第１及び第２の振動子１１，１２にはコリオリ力が発生し、第１及び第２の振動子１１，１２は検出方向（Ｘ１，Ｘ２方向）に逆相で変位する。よって、第１の検出電極１５で検出される検出信号と、第２の検出電極１６で検出される検出信号の差をとることにより、角速度（Yaw）を求めることができる。
【００３９】
図７を用いて説明した従来の加速度角速度センサ５０のように各振動子５１，５２の内部に検出電極５５，５６が配設された構成では、検出電極５５，５６は検出方向（Ｘ１，Ｘ２方向）ばかりでなく駆動方向（Ｙ１，Ｙ２方向）にも変位するため、検出信号に外乱が侵入するおそれがある。しかしながら、本実施例に係る加速度角速度センサ１０では、検出電極１５，１６が振動子１１，１２の外部位置に配置されているため、検出電極１５，１６が駆動方向（Ｙ１，Ｙ２方向）に変位しない構成とすることができる。
【００４０】
具体的には、本実施例では第１の振動子１１と第１の検出電極１５とを上記の第１の接続ばね４０により連結し、第２の振動子１２と第２の検出電極１６を上記の第２の接続ばね４１により連結した構成としたため、各振動子１１，１２の検出方向（Ｘ１，Ｘ２方向）の変位のみを検出電極３５，３６に伝え、駆動方向（Ｙ１，Ｙ２方向）の変位は遮断することができる。これにより、検出電極１５，１６は検出方向のみの変位が可能となり、よって外乱の影響の少ない高精度の加速度（G）及び角速度（Yaw）の検出を行うことが可能となる。
【００４１】
ところで、加速度角速度センサ１０は加速度（G）が印加された場合には慣性力により第１及び第２の検出電極１５，１６はＸ１，Ｘ２方向（検出方向）に同相で変位し、また角速度（Yaw）が印加されたときにはコリオリ力により逆相で変位する。よって検出電極１５，１６を振動子１１，１２から分離した構成の加速度角速度センサ１０であっても、その製造工程等において各検出電極１５，１６に製造ばらつきが発生した場合には、この製造ばらつきがそのまま各検出電極１５，１６の変位のばらつきへと反映されてしまうおそれがある。
【００４２】
そこで、本実施例に係る加速度角速度センサ１０では、第１の検出電極１５と第２の検出電極１６とを連結リンクばね３８で連結した構成としている。この連結リンクばね３８は第１の検出電極１５と第２の検出電極１６とを、駆動方向（Ｙ１，Ｙ２方向）に連結するものであり、本実施例では図中上下に対向するよう１対配設されている。この連結リンクばね２５は、板バネ材により形成されている。
【００４３】
続いて、加速度角速度センサ１０による加速度（G）及び角速度（Yaw）の検出時における連結リンクばね３８の動作について説明する。
【００４４】
加速度角速度センサ１０に加速度（G）が印加されたとき、前記のように第１及び第２の振動子１１，１２には慣性力が発生し、第１及び第２の振動子１１，１２はＸ１，Ｘ２方向（検出方向）に同相で変位する。この時、各検出電極１５，１６もＸ１，Ｘ２方向（検出方向）に同相で変位するため、連結リンクばね３８は変形することはない。
【００４５】
一方、加速度角速度センサ１０に角速度（Yaw）が印加されると、第１及び第２の振動子１１，１２にはコリオリ力が発生し、第１及び第２の振動子１１，１２はＸ１，Ｘ２方向（検出方向）に逆相で変位する。このように、第１及び第２の振動子１１，１２が逆相で変位することにより、第１及び第２の検出電極１５，１６も逆相で変位する。
【００４６】
また、第１及び第２の検出電極１５，１６も逆相で変位することにより、第１の検出ばね１８，１９（ばね定数をK2とする）と共に、連結リンクばね３８（ばね定数をK1とする）も変形する。よって、角速度（Yaw）の検出時における共振周波数は、各検出ばね１８，１９のばね定数ｋと、連結リンクばね２５のばね定数Ｋの双方により決まることとなる。
【００４７】
よって本実施例に係る加速度角速度センサ１０では、加速度（G）については各検出ばね１８，１９のばね定数K2で決まり、角速度（Yaw）のについては各検出ばね１８，１９のばね定数K2と連結リンクばね３８のばね定数K1の双方により決まることとなる。よって、連結リンクばね３８のばね定数K1を調整することにより、加速度（G）と角速度（Yaw）で共振周波数を分離させ、それぞれを遠ざけることが可能となり、加速度（G）と角速度（Yaw）の検出精度を高めることができる。
【００４８】
また、本実施例に係る加速度角速度センサ１０は、検出ばね１８，１９のばね定数K2を連結リンクばね３８のばね定数K1よりも大きく設定している（K2＞K1）。以下、このようにばね定数K1,K2を設定した理由について説明する。
【００４９】
図４は参考例である加速度角速度センサであり、連結ばね３７（連結リンクばね３８に相当する）の近傍を拡大して示している。同図に示す加速度角速度センサは、連結ばね３７のばね定数（K1）が検出ばね１８．１９のばね定数（K2）よりも大きく設定された構成とされている（K1＞K2）。
【００５０】
上記構成とされた加速度角速度センサに角速度（Yaw）の印加されると、コリオリ力に起因して第１及び第２の検出電極１５，１６にはそれぞれ反対方向に力Ｆ0が作用する。これに伴い、連結ばね３７は弾性変形し、その弾性復元力（図４に矢印Ｆ１で示す）が連結ばね３７と各検出電極１５，１６の接合位置に発生する。このように各検出電極１５，１６の連結ばね３７との接合位置、換言すると各検出電極１５，１６の一部の位置に部分的に力Ｆ１が作用すると、各検出電極１５，１６にはモーメント力Ｍが発生する。
【００５１】
参考例の場合、矢印Ａ１で示す検出ばね１８，１９のばね定数K2が、矢印Ｂ１で示す連結ばね３７のばね定数K1よりも小さい（K1＞K2）ため、モーメント力Ｍを各検出ばね１８，１９のばね力で押さえ込むことができず、検出電極１５，１６が回転変位してしまう。この検出電極１５，１６が回転変位も静電容量変化として検出されてしまうため、図４に示す参考例の構成では検出精度が低下してしまう。
【００５２】
これに対し、本実施例のように検出ばね１８，１９のばね定数K2を連結リンクばね３８のばね定数K1よりも大きく（K2＞K1）設定すると、各検出電極１５，１６が逆相に変位し、これにより図５に矢印Ｂ２で示すように連結ばね３７が弾性変形して各検出電極１５，１６にモーメント力Ｍが発生しても、矢印Ａ２で示すようにモーメント力Ｍを各検出ばね１８，１９のばね力で押さえ込むことができる。これにより、角速度（Yaw）の印加時において第１及び第２の検出電極１５，１６が回転することを抑制でき、よって外乱が出力に混入することが防止されるため、検出精度の向上を図ることができる。
【００５３】
図６（Ａ），（Ｂ）は、検出ばね１８，１９のばね定数K2を連結リンクばね３８のばね定数K1よりも大きく（K2＞K1）設定したことによる効果を実証するシミュレーションの結果を示す図である。図６（Ａ）に示すような本実施例に係る加速度角速度センサに対応するモデルを作成し、このモデルに加速度角速度センサに角速度（Yaw）を印加したときの、同モデルの第２の検出電極１６の図中Ａ〜Ｄに示す位置の変位をシミュレートした。その結果を図６（Ｂ）に示す。
【００５４】
図６（Ｂ）は、横軸に第２の検出ばね１９の長さを示し、縦軸に駆動方向（Ｘ１，Ｘ２方向）の変位を示している。横軸に示す第２の検出ばね１９の長さは、長さが長くなるほど変形し易くなり、短くなるほど変形し難くなる。
【００５５】
第２の検出ばね１９は両端部がアンカー４５により固定されているため、両端を支持された板バネと等価である。このため、第２の検出ばね１９の長さが長くなるに従い（横軸の右側に行くに従い）ばね定数は小さくなり、第２の検出ばね１９の長さが短くなるに従い（横軸の左側に行くに従い）ばね定数は大きくなったと考えることができる。尚、シミュレーションに際し、連結リンクばね３８については特性を変更をすることなくシミュレーションを行った。
【００５６】
図６（Ｂ）より、第２の検出ばね１９の長さ（ばね定数）を変化させた場合、第２の検出ばね１９の各位置のいずれにおいても、第２の検出ばね１９の長さが長い（ばね定数が小さい）場合に比べ、第２の検出ばね１９の長さが短い（ばね定数の大きい）方が駆動方向の変位量が小さいことがわかった。よって、図６のシミュレーション結果から、第２の検出ばね１９のばね定数K2を連結リンクばね３８のばね定数K1よりも大きくすることにより、第２の検出電極１６の回転（変位）を防止でき、加速度角速度センサの検出精度の向上を図れることが実証された。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】図１は、本発明の一実施例である加速度角速度センサの構成図である。
【図２】図２は、本発明の一実施例である加速度角速度センサの第１の検出電極の近傍を拡大して示す図である。
【図３】図３は、本発明の一実施例である加速度角速度センサの第１の接続ばねの近傍を拡大して示す図である。
【図４】図４は、検出ばねと連結ばねのばね定数差により発生する現象を説明するための図である（その１）。
【図５】図５は、検出ばねと連結ばねのばね定数差により発生する現象を説明するための図である（その２）。
【図６】図６は、本発明の効果を説明するための図である。
【図７】図７は、従来の一例である加速度角速度センサの構成図である。
【図８】図８は、従来の一例である加速度角速度センサの動作を説明するための図である（その１）。
【図９】図９は、従来の一例である加速度角速度センサの動作を説明するための図である（その２）。
【図１０】図１０は、従来の加速度角速度センサの問題点を説明するための図である。
【符号の説明】
【００５８】
１０  加速度角速度センサ
１１  第１の振動子
１２  第２の振動子
１３  第１の駆動電極
１４  第２の駆動電極
１５  第１の検出電極
１６  第２の検出電極
１８  第１の検出ばね
１９  第２の検出ばね
２０  第１の駆動ばね
２１  第２の駆動ばね
３０  基板
３７  連結ばね
３８  連結リンクばね
４０  第１の接続ばね
４１  第２の接続ばね
４５  アンカー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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