(57)【要約】【課題】電子部品のリード曲折や打痕が発生しない整列電解めっきでありながら、めっき未着や電極交換の工程を削減可能なめっき方法を提供する。【解決手段】整列板１９に整列されたヘッダー１０の絶縁リード１６およびアースリード１８と実質的に直交する方向に平行に、かつ相反する方向に平行移動するワイヤー状電極１と接触補助線２を配設し、ワイヤー状電極１と絶縁リード１６およびアースリード１８が非接触状態を経て接触状態となることにより、接触が一点に集中することがなくなりめっき未着が発生せず、非接触状態の際に剥離電流を給電してワイヤー状電極１におけるめっき組成分の析出を防止する。【選択図】  図２
2008024986.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電解めっき液中に浸漬する電子部品にワイヤー状電極から給電して電解めっきを施す電解めっき方法であって、平行に配設したワイヤー状電極の軸心に沿って電子部品を整列配置するとともに、平行なワイヤー状電極間に前記電子部品のめっき対象部を配置し、時間経過にともなって前記電子部品が両側の前記ワイヤー状電極に対して相対的に接近離間する方向に移動することにより、前記電子部品のめっき対象部が一側のワイヤー状電極と接触状態をなす一側接点通電状態と、前記電子部品のめっき対象部が他側のワイヤー状電極と接触状態をなす他側接点通電状態と、前記電子部品のめっき対象部が両側のワイヤー状電極から離間する非接触状態とにわたって状態遷移することを特徴とするめっき方法。
【請求項２】
前記電子部品のめっき対象部をなす絶縁リードおよびアースリードをそれぞれ平行なワイヤー状電極間に配置し、時間経過にともなって前記絶縁リードおよび前記アースリードがそれぞれの両側のワイヤー状電極に対して相対的に接近離間する方向に移動することを特徴とする請求項１に記載のめっき方法。
【請求項３】
前記絶縁リードおよび前記アースリードが各ワイヤー状電極と接触する接触状態において各ワイヤー状電極のそれぞれに対応して配置する接触補助線が前記絶縁リードおよび前記アースリードを各ワイヤー状電極に押圧することを特徴とする請求項２に記載のめっき方法。
【請求項４】
前記接触状態で各ワイヤー状電極を陰極とするめっき電流を給電し、前記非接触状態で各ワイヤー状電極を陽極とする剥離電流を給電することを特徴とする請求項１または２に記載のめっき方法。
【請求項５】
電子部品が有する絶縁リードおよびアースリードを挿入して位置規制する開口を有する整列板と、前記整列板の開口に挿入した前記絶縁リードおよび前記アースリードの軸心と実質的に直交する想定面内で前記絶縁リードおよび前記アースリードの両側に平行に配設する複数のワイヤー状電極と、前記絶縁リードおよび前記アースリードの軸心方向で前記ワイヤー状電極から所定距離隔てた位置で前記絶縁リードおよび前記アースリードの両側に前記ワイヤー状電極と平行に配設する複数の接触補助線と、前記絶縁リードおよび前記アースリードに対して相対的に、全ワイヤー状電極を前記想定面内で平行移動させる電極駆動機構と、前記絶縁リードおよび前記アースリードに対して相対的に、全接触補助線を前記想定面内で平行移動させる接触補助線駆動機構とを備え、前記絶縁リードおよび前記アースリードが一側のワイヤー状電極と接触状態をなす一側接点通電状態と、前記絶縁リードおよび前記アースリードが他側のワイヤー状電極と接触状態をなす他側接点通電状態と、前記絶縁リードおよび前記アースリードが両側のワイヤー状電極から離間する非接触状態とにわたって状態遷移し、前記絶縁リードおよび前記アースリードが各ワイヤー状電極と接触する接触状態において接触補助線が前記絶縁リードおよび前記アースリードを各ワイヤー状電極に押圧することを特徴とするめっき装置。
【請求項６】
前記接触状態で各ワイヤー状電極を陰極とするめっき電流を給電し、前記非接触状態で各ワイヤー状電極を陽極とする剥離電流を給電する給電手段を備えることを特徴とする請求項５に記載のめっき装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はめっき方法及び装置に関し、電子部品の電解めっきの技術に係るものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体装置等に用いるヘッダー（電子部品）には例えば図５に示すものがあり、１０はヘッダー（電子部品）、１２はベース、１４は貫通孔、１６は絶縁リード、１８はアースリード、２６はヒートシンク、２８は半導体素子を各々示している。
【０００３】
図５において、ベース１２は金属製部材から成り、平坦部に二個の貫通孔１４、１４が形成されている。貫通孔１４、１４の各々に挿通した絶縁リード１６はガラス封着しており、ベース１２に対して絶縁状態かつ気密状態に保たれている。ベース１２の第一主面には金属部材から成るヒートシンク２６を形成している。ベース１２の第一主面と表裏の背中合わせの面をなす第二主面にはアースリード１８の一端部が所定の電気導通性と機械的強度を保って接合している。
【０００４】
このヘッダー（電子部品）１０では、例えば以下のようなことが行なわれる。つまり、ヒートシンク２６の側面に半導体素子２８を搭載し、この半導体素子２８と絶縁リード１６、１６の一端部とをワイヤーボンディングした後に、ベース１２の第一主面側にキャップを被着してヒートシンク２６に搭載した半導体素子２８を気密に保持する。
【０００５】
ところで、図５に示すヘッダー（電子部品）１０では、半導体素子２８の載置やワイヤーボンディング（図示せず）を行なう事前に、一般的に防錆等のために、ヘッダー（電子部品）１０を構成する金属から成る各部材の露出面に電解めっきによってめっき皮膜を形成する。
【０００６】
しかし、絶縁リード１６、１６、アースリード１８及びベース１２の露出面の全面に、電解めっきによってめっき皮膜を形成する場合に、絶縁リード１６、１６はベース１２にガラス封着することで絶縁封着を行なっているので、ベース１２を通して給電することはできず、絶縁リード１６、１６及びアースリード１８へ各々個別に給電することが必要である。
【０００７】
このため、ヘッダー（電子部品）１０に電解めっきを施す際には、元来バレルめっきを施していた。バレルめっきでは、複数個のヘッダー（電子部品）１０及び通電補助材であるダミーをカゴ体に収容し、このカゴ体をめっき液中に浸漬させて回転させながらヘッダー（電子部品）１０の各々に電解めっきを施す。
【０００８】
しかしながら、バレルめっきでは、電解めっき工程の途中でヘッダー（電子部品）１０の絶縁リード１６等が互いに絡み合ったり、ダミーがヘッダー（電子部品）１０の絶縁リード１６およびアースリード１８間に挟まったりするので、電解めっき工程が終了した後に、絡み合ったヘッダー（電子部品）１０を個々に解す作業が必要であった。
【０００９】
更に、電解めっき工程中にヘッダー（電子部品）１０等が互いに衝突することで打痕が生じやすく、あるいは絶縁リード１６、１６やアースリード１８が曲折され易い。このため、カゴ体から取り出したヘッダー（電子部品）１０について、その曲折された絶縁リード１６等の修正作業も必要であった。
【００１０】
このような課題を解決する従来の電子部品用電解めっき装置としては、例えば特許文献１に記載するものがある。これは図６、図７に示すようなものであり、ヘッダー（電子部品）１０を整列させ、絶縁リード１６、１６やアースリード１８へ個別に給電を行い、めっき処理を施す整列電気めっきの装置である。
【００１１】
図６は展開断面図を示し、図７は断面図を示すものである。図６、図７において、１０はヘッダー（電子部品）、１２はベース、１６は絶縁リード、１８はアースリード、３０はめっき治具、３２はメッシュ状陰極、３４は支承板、３６は貫通孔、３８ａと３８ｂはガイドローラー、４０は供給ローラー、４２ａと４２ｂはガイドローラー、４４は引取ローラー、４６は捕集部、４８は排出口、５０ａは上部筒状部材、５０ｂは下部筒状部材、５１ａは上部筒状部、５１ｂは下部筒状部、５２は枠体、５４は陽極、５６は供給部、５８は供給口、６０はガイド板、６２はガイド孔、６３はめっき液貯留槽、６４は電解めっき液、６６は供給ポンプ、Ｓは供給手段を各々示している。
【００１２】
めっき治具３０のメッシュ状陰極３２は金属ワイヤかステンレス製ワイヤから成り、各々のヘッダー（電子部品）１０の絶縁リード１６、１６及びアースリード１８の各先端面と当接する。このメッシュ状陰極３２は支承板３４の一面側に載置されている。支承板３４は電気絶縁性の材料、例えば樹脂から成り、電解めっき液が通過する複数の貫通孔３６が形成されている。
【００１３】
長尺状のメッシュ状陰極３２は、供給ローラー４０に巻回して配置し、供給ローラー４０からめっき治具３０の一端側の外方に設けられたガイドローラー３８ａ、３８ｂを経由してめっき治具３０の支承板３４上に引き出され、めっき治具３０の他端側の外方に設けられたガイドローラー４２ａ、４２ｂを経由して引取ローラー４４に巻回される。
【００１４】
支承板３４の他面側には貫通孔３６を通過した電解めっき液を捕集する捕集部４６が設けられており、捕集部４６には排出口４８が設けられている。支承板３４の一面側には上部筒状部材５０ａと下部筒状部材５０ｂとが分割可能に設けられている。
【００１５】
上部筒状部材５０ａには各々のヘッダー（電子部品）１０の上部構造であるベース１２を含む部位を挿入するための複数個の上部筒状部５１ａが一体に設けられている。下部筒状部材５０ｂには各々のヘッダー（電子部品）１０の下部構造である絶縁リード１６及びアースリード１８を挿入するための複数個の下部筒状部５１ｂが一体に設けられており、下部筒状部材５０ｂの下端面がメッシュ状陰極３２に当接する。
【００１６】
上部筒状部材５０ａは上端面が枠体５２の一面側に設けられた陽極５４に当接している。この陽極５４はヘッダー（電子部品）１０の電解めっきに用いる金属から成り、電解めっき液が通過する多数個の貫通孔が形成されたプレートまたはメッシュ状体からなる。
【００１７】
枠体５２の他面側には電解めっき液を上部筒状部材５０ａと下部筒状部材５０ｂの各筒状部に供給する供給部５６を設けており、供給部５６に供給口５８を形成している。
上部筒状部材５０ａと下部筒状部材５０ｂとの分割面にはガイド板６０が挟み込まれており、ガイド板６０には各ヘッダー（電子部品）１０の絶縁リード１６及びアースリード１８の配列形状に倣ってガイド孔６２を形成している。ガイド孔６２は上部筒状部５１ａと下部筒状部５１ｂの各筒状部に対応して形成されている。
【００１８】
めっき治具３０は電解めっき液を供給する供給手段Ｓを具備している。供給手段Ｓは供給ポンプ６６によりめっき液貯留槽６３に貯留されている電解めっき液６４をめっき治具３０の供給部５６の供給口５８に供給する。
【００１９】
供給口５８に供給された電解めっき液は、陽極５４を通過して上部筒状部材５０ａと下部筒状部材５０ｂの筒状部を流下し、各々の筒状部のヘッダー（電子部品）１０を押圧する。この電解めっき液の液流による押圧によって、絶縁リード１６及びアースリード１８の各先端面がメッシュ状陰極３２に押し付けられて確実に当接する。
【００２０】
各々の筒状部を流下した電解めっき液は、メッシュ状陰極３２及び支承板３４の貫通孔３６から流出し、捕集部４６に捕集されて排出口４８から排出される。排出された電解めっき液は、めっき液貯留槽６３に貯留されて再度めっき治具３０の供給口５８に供給される。
【００２１】
電解めっき液をめっき治具３０に循環しつつ、陽極５４とメッシュ状陰極３２との間に直流電流を流し、ヘッダー（電子部品）１０の全面に電解めっきを施す。この電解めっきの際にメッシュ状陰極３２にもめっき皮膜が形成されるので、メッシュ状陰極３２の目開きが次第に狭くなる。このため、引取ローラー４４を駆動して供給ローラー４０からメッシュ状陰極３２を引き出し、新しいメッシュ状陰極３２を支承板３４上に載置する。尚、引取ローラー４４に引き取った使用済のメッシュ状陰極３２は、剥離液中に浸漬してめっき皮膜を剥離することで再生する。
【特許文献１】特開２００５−１５４８３９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２２】
しかしながら、上記の構成では、メッシュ状陰極３２と接触している絶縁リード１６及びアースリード１８の先端が給電中に常に同一接点で接触しているために、この接点において絶縁リード１６及びアースリード１８に、わずかではあるがめっき未着部が発生する恐れがあった。
【００２３】
このことは、防錆への影響度が高い下地めっき（例えば、Ｎｉ等）では特に重要な問題であり、上述のめっき未着部を起点とする変色や酸化が時間の経過と共に周辺へ進行して行き、ついには回路基板へのはんだ付け不良や、リードの腐食による折損等に至る恐れがあった。
【００２４】
さらに、Ｎｉ等の下地めっきは主に防錆目的で施されるために膜厚が比較的厚く形成されるので、それに伴ってメッシュ陰極に析出するめっき組成分の分量も多く成り、頻繁にメッシュ状陰極３２を取替える必要に迫られるので生産効率が低くなる課題があり、あるいは別途の工程において剥離再生する必要があった。
【００２５】
本発明は上記の課題を解決するものであり、整列電解めっきでありながらヘッダーにめっき未着部が発生せず、陰極に析出するめっき組成分を別工程で剥離する必要がないめっき方法および装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２６】
上記の課題を解決するために、本発明のめっき方法は、電解めっき液中に浸漬する電子部品にワイヤー状電極から給電して電解めっきを施す電解めっき方法であって、平行に配設したワイヤー状電極の軸心に沿って電子部品を整列配置するとともに、平行なワイヤー状電極間に前記電子部品のめっき対象部を配置し、時間経過にともなって前記電子部品が両側の前記ワイヤー状電極に対して相対的に接近離間する方向に移動することにより、前記電子部品のめっき対象部が一側のワイヤー状電極と接触状態をなす一側接点通電状態と、前記電子部品のめっき対象部が他側のワイヤー状電極と接触状態をなす他側接点通電状態と、前記電子部品のめっき対象部が両側のワイヤー状電極から離間する非接触状態とにわたって状態遷移することを特徴とする。
【００２７】
また、前記電子部品のめっき対象部をなす絶縁リードおよびアースリードをそれぞれ平行なワイヤー状電極間に配置し、時間経過にともなって前記絶縁リードおよび前記アースリードがそれぞれの両側のワイヤー状電極に対して相対的に接近離間する方向に移動することを特徴とする。
【００２８】
また、前記絶縁リードおよび前記アースリードが各ワイヤー状電極と接触する接触状態において各ワイヤー状電極のそれぞれに対応して配置する接触補助線が前記絶縁リードおよび前記アースリードを各ワイヤー状電極に押圧することを特徴とする。
【００２９】
また、前記接触状態で各ワイヤー状電極を陰極とするめっき電流を給電し、前記非接触状態で各ワイヤー状電極を陽極とする剥離電流を給電することを特徴とする。
本発明のめっき装置は、電子部品が有する絶縁リードおよびアースリードを挿入して位置規制する開口を有する整列板と、前記整列板の開口に挿入した前記絶縁リードおよび前記アースリードの軸心と実質的に直交する想定面内で前記絶縁リードおよび前記アースリードの両側に平行に配設する複数のワイヤー状電極と、前記絶縁リードおよび前記アースリードの軸心方向で前記ワイヤー状電極から所定距離隔てた位置で前記絶縁リードおよび前記アースリードの両側に前記ワイヤー状電極と平行に配設する複数の接触補助線と、前記絶縁リードおよび前記アースリードに対して相対的に、全ワイヤー状電極を前記想定面内で平行移動させる電極駆動機構と、前記絶縁リードおよび前記アースリードに対して相対的に、全接触補助線を前記想定面内で平行移動させる接触補助線駆動機構とを備え、前記絶縁リードおよび前記アースリードが一側のワイヤー状電極と接触状態をなす一側接点通電状態と、前記絶縁リードおよび前記アースリードが他側のワイヤー状電極と接触状態をなす他側接点通電状態と、前記絶縁リードおよび前記アースリードが両側のワイヤー状電極から離間する非接触状態とにわたって状態遷移し、前記絶縁リードおよび前記アースリードが各ワイヤー状電極と接触する接触状態において接触補助線が前記絶縁リードおよび前記アースリードを各ワイヤー状電極に押圧することを特徴とする。
【００３０】
また、前記接触状態で各ワイヤー状電極を陰極とするめっき電流を給電し、前記非接触状態で各ワイヤー状電極を陽極とする剥離電流を給電する給電手段を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００３１】
以上のように本発明のめっき方法および装置によれば、電子部品とワイヤー状電極との接触が一点のみに集中しないので、電子部品とワイヤー状電極との接触点にめっき未着が発生することを防止できる。そして、電子部品とワイヤー状電極とが接触状態である時にめっき電流を給電し、電子部品とワイヤー状電極とが非接触状態である時に剥離電流を給電することで、ワイヤー状電極にめっき組成分が析出する事を防止できる。よって、めっき未着の防止と、ワイヤー状電極へのめっき組成分の析出を防止できるので、結果としてワイヤー状電極の交換頻度を抑制することができ、別工程においてワイヤー状電極からめっき組成分を剥離再生をする工程が不要となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の実施の形態に係るめっき方法を説明するための模式図であり、図５で示したヘッダー（電子部品）１０を電解めっき液中に垂直に直立させて配設し、絶縁リード１６とアースリード１８とワイヤー状電極１を上方から平面視した位置関係を示している。
【００３３】
図１に示すように、複数のワイヤー状電極１（図１では３本のみ図示）は、実質的に同一面内に相互に等間隔で平行に、かつ絶縁リード１６およびアースリード１８が有する直径よりも広い間隔をもって配設している。この平行に配設したワイヤー状電極１の軸心に沿って複数のヘッダー（電子部品）１０を整列配置しており、絶縁リード１６およびアースリード１８をワイヤー状電極１どうしの間隔に挿入するとともに、絶縁リード１６およびアースリード１８をワイヤー状電極１と実質的に直交する方向に配置している。
【００３４】
図１（ａ）において、ワイヤー状電極１どうしの間に配置する絶縁リード１６およびアースリード１８とワイヤー状電極１との相対位置は非接触状態にあり、ワイヤー状電極１どうしの間隔の中間位置に絶縁リード１６およびアースリード１８が位置し、絶縁リード１６およびアースリード１８がワイヤー状電極１と離間している。
【００３５】
図１（ｂ）において、ワイヤー状電極１どうしの間に配置する絶縁リード１６およびアースリード１８とワイヤー状電極１との相対位置は接触状態にあり、一側のワイヤー状電極１と絶縁リード１６およびアースリード１８が接触する一側接点通電状態にある。
【００３６】
図１（ｃ）において、ワイヤー状電極１どうしの間に配置する絶縁リード１６およびアースリード１８とワイヤー状電極１との相対位置は接触状態にあり、他側のワイヤー状電極１と絶縁リード１６およびアースリード１８が接触する他側接点通電状態にある。
【００３７】
次に、電解めっき液中でワイヤー状電極１を通して絶縁リード１６およびアースリード１８に給電し、時間経過にともなって、絶縁リード１６およびアースリード１８の両側のワイヤー状電極１を絶縁リード１６およびアースリード１８に対して相対的に接近離間する方向に反復的に往復移動させることにより、一側接点通電状態と他側接点通電状態と非接触状態とにわたって状態遷移させる。絶縁リード１６およびアースリード１８を往復移動させる手段としては、後述する電極駆動機構等がある。
【００３８】
そして、上述の相対的な往復移動を行なう間に、図１（ｂ）に示す一側接点通電状態および図１（ｃ）に示す他側接点通電状態において、電解めっき液中に設けられためっき電極（図示せず）とワイヤー状電極１との間にワイヤー状電極１を陰極とするめっき電流を給電して絶縁リード１６およびアースリード１８に電解めっきを施す。
【００３９】
この結果、ワイヤー状電極１と絶縁リード１６およびアースリード１８との接触点が各々一点に集中することがないので、絶縁リード１６およびアースリード１８へのめっき未着を防止できる。
【００４０】
そして、図１（ａ）に示す非接触状態において、電解めっき液中に設けられためっき電極（図示せず）とワイヤー状電極１との間にワイヤー状電極１を陽極とする剥離電流を給電する。
【００４１】
この結果、めっきの進行と共にワイヤー状電極１へ析出するめっき組成分を剥離できるので、めっき工程を中断させてワイヤー状電極１を交換する事態が発生する頻度を抑制でき、別工程においてワイヤー状電極１に析出しためっき組成分を剥離再生することが不要となり、工程の煩雑さを軽減することが可能である。
【００４２】
図２、図３は本発明の他の実施の形態を示すものである。図１および図４で説明したものと同様の構成要素には同符号を付して説明を省略する。図２および図３において、１はワイヤー状電極、２は接触補助線、１０はヘッダー（電子部品）、１６は絶縁リード、１８はアースリード、１９は整列板、２６はヒートシンクを示している。
【００４３】
図２（ａ）に示すように、平行に配設したワイヤー状電極１の軸心に沿って複数のヘッダー（電子部品）１０を整列配置している。絶縁リード１６およびアースリード１８はワイヤー状電極１どうしの間隔に挿入するとともに、整列板１９の開口部１９ａに挿入し、ワイヤー状電極１と実質的に直交する方向に配置している。
【００４４】
本実施の形態において、整列板１９の開口部１９ａの形状（パターン）は一例として三角形をなし、各頂点がそれぞれ二本の絶縁リード１６および一本のアースリード１８に対応し、二本の絶縁リード１６および一本のアースリード１８が各角部に外接している。整列板１９の開口部１９ａの形状（パターン）は、三角形に限定されるものではなく、ベース１２を整列板１９の上面に載置することができ、かつ絶縁リード１６およびアースリード１８を水平方向と回転方向とにおいて位置規制できれば良い。
【００４５】
図２（ｂ）に示すように、ヘッダー（電子部品）１０は、ベース１２の上部にヒートシンク２６を有し、ベース１２の下部に絶縁リード１６およびアースリード１８を有している。各ヘッダー（電子部品）１０はベース１２を整列板１９の上面に載置しており、整列板１９の下方に伸びた絶縁リード１６およびアースリード１８と直交する方向にワイヤー状電極１と接触補助線２が平行に配設されており、ワイヤー状電極１と接触補助線２は段違いで水平に張られている。つまり、各ワイヤー状電極１を含む面と各接触補助線２を含む面が平行であり、各面に対して絶縁リード１６およびアースリード１８が垂直な姿勢をなす。
【００４６】
図３（ａ）において、ワイヤー状電極１どうしの間に配置する絶縁リード１６およびアースリード１８とワイヤー状電極１との相対位置は接触状態にあり、一側のワイヤー状電極１と絶縁リード１６およびアースリード１８が接触し、接触補助線２が絶縁リード１６およびアースリード１８をワイヤー状電極１に押圧する一側接点通電状態にある。
【００４７】
図３（ｂ）において、ワイヤー状電極１どうしの間に配置する絶縁リード１６およびアースリード１８とワイヤー状電極１との相対位置は非接触状態にあり、ワイヤー状電極１どうしの間隔の中間位置に絶縁リード１６およびアースリード１８が位置し、絶縁リード１６およびアースリード１８がワイヤー状電極１と離間し、接触補助線２が絶縁リード１６およびアースリード１８から離間している。
【００４８】
図３（ｃ）において、ワイヤー状電極１どうしの間に配置する絶縁リード１６およびアースリード１８とワイヤー状電極１との相対位置は接触状態にあり、他側のワイヤー状電極１と絶縁リード１６およびアースリード１８が接触し、接触補助線２が絶縁リード１６およびアースリード１８をワイヤー状電極１に押圧する他側接点通電状態にある。
【００４９】
次に、電解めっき液中でワイヤー状電極１を通して絶縁リード１６およびアースリード１８に給電し、時間経過にともなって、絶縁リード１６およびアースリード１８の両側のワイヤー状電極１を絶縁リード１６およびアースリード１８に対して相対的に接近離間する方向に反復的に往復移動させるとともに、接触補助線２をワイヤー状電極１と相互に反対方向へ平行に反復的に往復移動させることにより、一側接点通電状態と他側接点通電状態と非接触状態とにわたって状態遷移させる。
【００５０】
絶縁リード１６およびアースリード１８を往復移動させる手段としては、後述する電極駆動機構等があり、接触補助線２を往復移動させる手段としては、後述する接触補助線駆動機構等がある。
【００５１】
このように、ワイヤー状電極１と接触補助線２とを相互に反対方向へ平行に変位させることにより、絶縁リード１６およびアースリード１８は一側のワイヤー状電極１に接触する状態でワイヤー状電極１と接触補助線２に挟まれることなる。また、相互に反対方向へワイヤー状電極１と接触補助線２を平行に移動させると、絶縁リード１６およびアースリード１８は他側のワイヤー状電極１に接触する状態でワイヤー電極１と接触補助線２に挟まれる。
【００５２】
よって、ワイヤー状電極１と接触補助線２が上述の相対的な往復移動を行なう間に、図３（ａ）に示す一側接点通電状態および図３（ｃ）に示す他側接点通電状態において、電解めっき液中に設けられためっき電極（図示せず）とワイヤー状電極１との間にワイヤー状電極１を陰極とするめっき電流を給電して絶縁リード１６およびアースリード１８に電解めっきを施す。
【００５３】
この結果、ワイヤー状電極１と絶縁リード１６およびアースリード１８との接触点が各々一点に集中することがないので、絶縁リード１６およびアースリード１８へのめっき未着を防止できる。
【００５４】
そして、図３（ｂ）に示す非接触状態において、電解めっき液中に設けられためっき電極（図示せず）とワイヤー状電極１との間にワイヤー状電極１を陽極とする剥離電流を給電する。
【００５５】
この結果、めっきの進行と共にワイヤー状電極１へ析出するめっき組成分を剥離できるので、めっき工程を中断させてワイヤー状電極１を交換する事態が発生する頻度を抑制でき、別工程においてワイヤー状電極１に析出しためっき組成分を剥離再生することが不要となり、工程の煩雑さを軽減することが可能である。
【００５６】
図４（ａ）に示すように、電極駆動機構２０は複数のワイヤー状電極１を両側の支持部材２０ａの間に平行に保持し、支持部材２０ａを駆動部２０ｂで平行移動させる。
図４（ｂ）に示すように、接触補助線駆動機構２１は複数の接触補助線２を両側の支持部材２１ａの間に平行に保持し、支持部材２１ａを駆動部２１ｂで平行移動させる。
【産業上の利用可能性】
【００５７】
本発明は整列電解めっきでありながらヘッダーにめっき未着部が発生せず、陰極に析出するめっき組成分を別工程で剥離する必要がないので、電子部品の電解めっきに適している。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】（ａ）〜（ｃ）は、本発明の実施の形態におけるワイヤー状電極、絶縁リードおよびアースリードの位置関係を示す模式図
【図２】本発明の他の実施の形態における整列板、ワイヤー状電極、絶縁リードおよびアースリードの位置関係を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図
【図３】（ａ）〜（ｃ）は、同実施の形態におけるワイヤー状電極、絶縁リードおよびアースリードの位置関係を示す模式図
【図４】（ａ）は電極駆動機構を示す模式図、（ｂ）は接触補助線駆動機構を示す模式図
【図５】ヘッダー（電子部品）を示す断面図
【図６】従来の電解めっき装置を示す分解図
【図７】同電解めっき装置を示す組立図
【符号の説明】
【００５９】
１  ワイヤー状電極
２  接触補助線
１０  ヘッダー（電子部品）
１２  ベース
１４、３６  貫通孔
１６  絶縁リード
１８  アースリード
１９  整列板
１９ａ  開口部
２０  電極駆動機構
２０ａ  支持部材
２０ｂ  駆動部
２１  接触補助線駆動機構
２１ａ  支持部材
２１ｂ  駆動部
２６  ヒートシンク
２８  半導体素子
３０  めっき治具
３２  メッシュ状電極
３４  支承板
３８ａ、３８ｂ、４２ａ、４２ｂ  ガイドローラー
４０  供給ローラー
４４  引取ローラー
４６  捕集部
４８  排出口
５０ａ  上部筒状部材
５０ｂ  下部筒状部材
５１ａ  上部筒状部
５１ｂ  下部筒状部
５２  枠体
５４  陽極
５６  供給部
５８  供給口
６０  ガイド板
６２  ガイド孔
６３  めっき液貯留槽
６４  電解めっき液
６６  供給ポンプ
Ｓ  供給手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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