(57)【要約】【課題】被測定体の測定部位を境にして対向する位置に所定の対向距離を置いて一対の変位センサを配置し、一対の変位センサのそれぞれが検出した被測定体と一対の変位センサとの距離及び一対変位センサの間の対向距離に基づいて被測定体の複数の測定部位の厚みを多点測定することになり、この際、上記被測定体は浮上回転機構の空圧流により浮上、回転及び停止をさせることができ、測定保証精度を向上することができる。【解決手段】被測定体Ｗの測定部位Ｐを境にして対向する位置に所定の対向距離ＧSを置いて変位センサＳ1・Ｓ2を配置し、一対の変位センサのそれぞれが検出した被測定体と一対変位センサとの距離Ｇ1及び一対の変位センサ間の対向距離に基づいて被測定体の複数の測定部位の厚みｔを多点測定する厚み多点測定方法において、被測定体を空圧流Ｅにより浮上、回転及び停止させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定体の測定部位を境にして対向する位置に所定の対向距離を置いて変位センサを配置し、該一対の変位センサのそれぞれが検出した該被測定体と該一対変位センサとの距離及び該一対の変位センサ間の対向距離に基づいて被測定体の複数の測定部位の厚みを多点測定する厚み多点測定方法において、上記被測定体を空圧流により浮上、回転及び停止させることを特徴とする厚み多点測定方法。
【請求項２】
被測定体の測定部位を境にして対向する位置に所定の対向距離を置いて一対の変位センサを配置し、該一対の変位センサのそれぞれが検出した該被測定体と該一対の変位センサとの距離及び該一対の変位センサ間の対向距離に基づいて被測定体の複数の測定部位の厚みを多点測定する厚み多点測定装置において、上記被測定体を空圧流により浮上、回転及び停止させる浮上回転機構を設けてなることを特徴とする厚み多点測定装置。
【請求項３】
上記浮上回転機構は、上記空圧流を被測定体の底面に吹出可能な上方吹出部材と、上記空圧流を被測定体の側面に吹出可能な側方吹出部材と、該空圧流を制御する空圧流制御部とからなり、上記上方吹出部材に被測定体の底面に対する所定の吹出口角度をもつ浮上用空圧流吹出口部及び回転用空圧流吹出口部が形成され、側方吹出部材に被測定体の側面に対する所定の吹出口角度をもつ位置規制用空圧流吹出口部が形成されていることを特徴とする請求項２記載の厚み多点測定装置。
【請求項４】
上記浮上回転機構は、上記浮上回転機構は、上記空圧流を被測定体の底面に吹出可能な上方吹出部材と、上記空圧流を被測定体の側面に吹出可能な側方吹出部材と、該空圧流を制御する空圧流制御部とからなり、上記上方吹出部材に被測定体の底面に対する所定の吹出口角度をもつ浮上用空圧流吹出口部が形成され、側方吹出部材に被測定体の側面に対する所定の吹出口角度をもつ位置規制用空圧流吹出口部及び回転用空圧流吹出口部が形成されていることを特徴とする請求項２記載の厚み多点測定装置。
【請求項５】
上記浮上回転機構は、上記空圧流を被測定体の底面に吹出可能な上方吹出部材と、該空圧流を制御する空圧流制御部とからなり、上記上方吹出部材に被測定体の底面に対する所定の吹出口角度をもつ浮上用空圧流吹出口部及び回転用空圧流吹出口部が形成され、かつ、該上方吹出部材に被測定体の側面に対する所定の吹出口角度をもつ位置規制用空圧流吹出口部が形成されていることを特徴とする請求項２記載の厚み多点測定装置。
【請求項６】
上記回転用空圧流吹出口部は右回転用及び左回転用からなることを特徴とする請求項３〜５のいずれか１項に記載の厚み多点測定装置。
【請求項７】
上記一対の変位センサはレーザー変位センサであることを特徴とする２〜６のいずれか１項に記載の厚み多点測定装置。
【請求項８】
上記一対の変位センサを上記被測定体の半径方向に走査可能な走査機構を設けてなることを特徴とする請求項２〜７いずれか１項に記載の厚み多点測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は例えばレーザー変位センサにより半導体ウエハーなどの被測定体の厚みを非接触にて測定する厚み多点測定方法及びその装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の厚み多点測定方法として、図１３、図１４の如く、例えば、半導体ウエハーである被測定体Ｗの測定部位Ｐを境にして対向する位置に所定の対向距離Ｇｓを置いて一対の静電容量式距離検出式の変位センサＳ1・Ｓ2を配置し、被測定体Ｗに非接触状態でアース電極Ｑを配置し、被測定体Ｗを回転停止の間欠回転制御しつつ、一対の静電容量式距離検出式の変位センサＳ1・Ｓ2のそれぞれが検出した静電容量Ｃ（＝センサーの電極面積Ａ×電極と被測定体間の誘電率ε／電極と被測定体との距離Ｇ）によるところの被測定体Ｗと一対の変位センサＳ1・Ｓ2との距離Ｇ1・Ｇ2及び一対の変位センサＳ1・Ｓ2間の対向距離Ｇｓに基づいて被測定体の複数の測定部位Ｐの厚みｔ（＝Ｇｓ−［Ｇ1＋Ｇ2］）を多点測定する構造のものが知られている。
【特許文献１】特開２００５−１７２７００
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、これら従来構造の場合、被測定体は回転及び停止可能な担持部材上に担持され、この担持により被測定体の汚れ、傷、不要なイオン付着現象が生じ、又、静電容量式距離検出式の変位センサにあっては、検出可能な対向距離が比較的小さく、変位センサーを被測定体に近接配置する必要があり、半導体ウエハーなどの比較的薄板状の被測定体の多点測定にあっては、外周部分数カ所を保持された被測定体の自重により中心部が外周部よりも下に凸に窪んだ撓み変形が生ずることがあり、被測定体の径大化により更なる撓み変形が見込まれ、測定部位Ｐの厚みｔの測定精度が低下するのみならず、センサーが被測定体に接触することがあるという不都合を有している。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明はこれらの不都合を解決することを目的とするもので、本発明のうちで、請求項１記載の方法の発明にあっては、被測定体の測定部位を境にして対向する位置に所定の対向距離を置いて一対の変位センサを配置し、該一対の変位センサのそれぞれが検出した該被測定体と該一対変位センサとの距離及び該一対の変位センサ間の対向距離に基づいて被測定体の複数の測定部位の厚みを多点測定する厚み多点測定方法において、上記被測定体を空圧流により浮上、回転及び停止させることを特徴とする厚み多点測定方法にある。
【０００５】
又、請求項２記載の装置の発明は、被測定体の測定部位を境にして対向する位置に所定の対向距離を置いて一対の変位センサを配置し、該一対の変位センサのそれぞれが検出した該被測定体と該一対の変位センサとの距離及び該一対の変位センサ間の対向距離に基づいて被測定体の複数の測定部位の厚みを多点測定する厚み多点測定装置において、上記被測定体を空圧流により浮上、回転及び停止させる浮上回転機構を設けてなることを特徴とする厚み多点測定装置にある。
【０００６】
又、請求項３記載の発明は、上記浮上回転機構は、上記空圧流を被測定体の底面に吹出可能な上方吹出部材と、上記空圧流を被測定体の側面に吹出可能な側方吹出部材と、該空圧流を制御する空圧流制御部とからなり、上記上方吹出部材に被測定体の底面に対する所定の吹出口角度をもつ浮上用空圧流吹出口部及び回転用空圧流吹出口部が形成され、側方吹出部材に被測定体の側面に対する所定の吹出口角度をもつ位置規制用空圧流吹出口部が形成されていることを特徴とするものであり、又、請求項４記載の発明は、上記浮上回転機構は、上記空圧流を被測定体の底面に吹出可能な上方吹出部材と、上記空圧流を被測定体の側面に吹出可能な側方吹出部材と、該空圧流を制御する空圧流制御部とからなり、上記上方吹出部材に被測定体の底面に対する所定の吹出口角度をもつ浮上用空圧流吹出口部が形成され、側方吹出部材に被測定体の側面に対する所定の吹出口角度をもつ位置規制用空圧流吹出口部及び回転用空圧流吹出口部が形成されていることを特徴とするものである。
【０００７】
又、請求項５記載の発明は、上記浮上回転機構は、上記空圧流を被測定体の底面に吹出可能な上方吹出部材と、該空圧流を制御する空圧流制御部とからなり、上記上方吹出部材に被測定体の底面に対する所定の吹出口角度をもつ浮上用空圧流吹出口部及び回転用空圧流吹出口部が形成され、かつ、該上方吹出部材に被測定体の側面に対する所定の吹出口角度をもつ位置規制用空圧流吹出口部が形成されていることを特徴とするものであり、又、請求項６記載の発明は、上記回転用空圧流吹出口部は右回転用及び左回転用からなることを特徴とするものであり、又、請求項７記載の発明は、上記一対の変位センサはレーザー変位センサであることを特徴とするものであり、又、請求項８記載の発明は、上記一対の変位センサを上記被測定体の半径方向に走査可能な走査機構を設けてなることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明は上述の如く、請求項１又は２記載の発明にあっては、被測定体の測定部位を境にして対向する位置に所定の対向距離を置いて一対の変位センサを配置し、一対の変位センサのそれぞれが検出した被測定体と一対の変位センサとの距離及び一対変位センサの間の対向距離に基づいて被測定体の複数の測定部位の厚みを多点測定することになり、この際、上記被測定体は浮上回転機構の空圧流により浮上、回転及び停止をさせることができ、被測定体を非接触状態で測定することができ、被測定体の汚れ、傷、不要なイオン付着現象を回避することができ、かつ、変位センサにより対向距離を測定するので、測定に必要な被測定体に対する配置距離を長くでき、被測定体の径大化に伴う撓み変形による変位センサと被測定体との接触を回避することができると共に測定保証精度を向上することができる。
【０００９】
又、請求項３記載の発明にあっては、上記浮上回転機構は、上記空圧流を被測定体の底面に吹出可能な上方吹出部材と、上記空圧流を被測定体の側面に吹出可能な側方吹出部材と、これら空圧流の圧力や流量を制御する空圧流制御部とからなり、この上方吹出部材に被測定体の底面に対する所定の吹出口角度をもつ浮上用空圧流吹出口部及び回転用空圧流吹出口部が形成され、側方吹出部材に被測定体の側面に対する所定の吹出口角度をもつ位置規制用空圧流吹出口部が形成されてなるから、空圧流制御部における浮上用空圧流吹出口部、回転用空圧流吹出口部及び位置規制用空圧流吹出口部からの空圧流の圧力や流量を制御することにより非接触状態で被測定体を半径方向の偏心を防いで回転及び停止させることができ、又、請求項４記載の発明にあっては、上記浮上回転機構は、上記空圧流を被測定体の底面に吹出可能な上方吹出部材と、上記空圧流を被測定体の側面に吹出可能な側方吹出部材と、空圧流を制御する空圧流制御部とからなり、この上方吹出部材に被測定体の底面に対する所定の吹出口角度をもつ浮上用空圧流吹出口部が形成され、側方吹出部材に被測定体の側面に対する所定の吹出口角度をもつ位置規制用空圧流吹出口部及び回転用空圧流吹出口部が形成されているから、空圧流制御部における浮上用空圧流吹出口部、回転用空圧流吹出口部及び位置規制用空圧流吹出口部からの空圧流の圧力や流量を制御することにより非接触状態で半径方向の位置を規制して偏心を防いで被測定体を回転及び停止させることができる。
【００１０】
又、請求項５記載の発明にあっては、上記浮上回転機構は、上記空圧流を被測定体の底面に吹出可能な上方吹出部材と、空圧流を制御する空圧流制御部とからなり、上記上方吹出部材に被測定体の底面に対する所定の吹出口角度をもつ浮上用空圧流吹出口部及び回転用空圧流吹出口部が形成され、かつ、上方吹出部材に被測定体の側面に対する所定の吹出口角度をもつ位置規制用空圧流吹出口部が形成されているから、空圧流制御部における浮上用空圧流吹出口部、回転用空圧流吹出口部及び位置規制用空圧流吹出口部からの空圧流の圧力や流量を制御することにより非接触状態で半径方向の偏心を防いで被測定体を回転及び停止させることができ、又、請求項６記載の発明にあっては、上記回転用空圧流吹出口部は右回転用及び左回転用が設けられているので、被測定体を右回りや左回りに回転させることができ、測定の自由度を向上させることができ、又、請求項７記載の発明にあっては、上記一対の変位センサはレーザー変位センサであるから、レーザー変位センサにより対向距離を測定するので、測定に必要な被測定体に対する配置距離を長くでき、被測定体の径大化に伴う撓み変形によるレーザー変位センサと被測定体との接触を回避することができると共に測定保証精度を向上することができ、又、請求項８記載の発明にあっては、上記一対の変位センサを上記被測定体の半径方向に走査可能な走査機構を設けてなるから、被測定体の複数の測定部位を円滑に多点測定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
図１乃至図１２は本発明の実施の形態例を示し、図１乃至図６は第一形態例、図７、図８は第二形態例、図９、図１０は第三形態例、図１１、図１２は第四形態例である。
【００１２】
図１乃至図６の第一形態例において、１は機台であって、この機台１に保持部２が設けられ、この保持部２に半導体ウエハーなどの被測定体Ｗを空圧流Ｆにより浮上、回転及び停止させる浮上回転機構３が設けられている。
【００１３】
４は走査機構であって、この場合、上記機台１上に案内台５を設け、案内台５に摺動台６を摺動自在に設け、摺動台６を被測定体Ｗの半径方向に往復移動させる制御用モータ７を設け、制御用モータ７によりボールネジ機構７ａを介して摺動台６を往復動自在に設け、この摺動台６に上下一対の測定アーム８・８を設け、測定アーム８・８の先端部に被測定体Ｗの測定部位Ｐを境にして対向する位置に所定の対向距離Ｇｓを置いて一対の変位センサＳ1・Ｓ2、この場合、レーザー変位センサを配置して構成している。
【００１４】
この場合、上記浮上回転機構３は、上記空圧流Ｆを被測定体Ｗの底面に吹出可能な上方吹出部材９と、上記空圧流Ｆを被測定体の側面に吹出可能な側方吹出部材１０と、これら空圧流Ｆの圧力や流量を制御する空圧流制御部１１とからなり、上方吹出部材９は上部材９ａと下部材９ｂにより空気室９ｃを形成し、この上方吹出部材９に被測定体Ｗの底面に対する所定の吹出口角度をもつ浮上用空圧流吹出口部１２及び回転用空圧流吹出口部１３が形成され、側方吹出部材１０に被測定体Ｗの側面に対する所定の吹出口角度をもつ位置規制用空圧流吹出口部１４が形成され、かつ、上記回転用空圧流吹出口部１３の内には吹出口角度が互いに反対向きとなる右回転用及び左回転用の回転用空圧流吹出口部１３が設けられ、空圧源Ｅを空圧流制御部１１を介して浮上用空圧流吹出口部１２、回転用空圧流吹出口部１３及び位置規制用空圧流吹出口部１４に接続され、この浮上用空圧流吹出口部１２から浮上用の空圧流１２ａが吹き出され、回転用空圧流吹出口部１３から回転用の空圧流１３ａが吹き出され、位置規制用空圧流吹出口部１４から位置規制用の空圧流１４ａが吹き出され、これら空圧流１２ａ・１３ａ・１４ａの制御により被測定体Ｗの浮上、回転及び停止がなされることになる。
【００１５】
この実施の第一形態例は上記構成であるから、被測定体Ｗの測定部位Ｐを境にして対向する位置に所定の対向距離を置いて一対の変位センサＳ1・Ｓ2を配置し、一対の変位センサＳ1・Ｓ2のそれぞれが検出した被測定体Ｗと一対の変位センサＳ1・Ｓ2との距離Ｇ1・Ｇ2及び一対変位センサＳ1・Ｓ2の間の対向距離Ｇｓに基づいて被測定体の複数の測定部位Ｐ1・Ｐ2・・・・の厚みｔ（＝Ｇｓ−［Ｇ1＋Ｇ2］）を多点測定することになり、この際、上記被測定体Ｗは浮上回転機構２の空圧流Ｆにより浮上、回転及び停止をさせることができ、被測定体Ｗを非接触状態で測定することができ、被測定体の汚れ、傷、不要なイオン付着現象を回避することができる。
【００１６】
又、この場合、上記浮上回転機構３は、上記空圧流Ｆを被測定体Ｗの底面に吹出可能な上方吹出部材９と、上記空圧流Ｆを被測定体の側面に吹出可能な側方吹出部材１０と、これら空圧流Ｆの圧力や流量を制御する空圧流制御部１１とからなり、この上方吹出部材９に被測定体Ｗの底面に対する所定の吹出口角度をもつ浮上用空圧流吹出口部１２及び回転用空圧流吹出口部１３が形成され、側方吹出部材１０に被測定体Ｗの側面に対する所定の吹出口角度をもつ位置規制用空圧流吹出口部１４が形成されてなるから、空圧流制御部１１における浮上用空圧流吹出口部１２、回転用空圧流吹出口部１３及び位置規制用空圧流吹出口部１４からの空圧流Ｆとしての空圧流１２ａ・１３ａ・１４ａの圧力や流量を制御することにより非接触状態で被測定体Ｗを半径方向の位置を規制して偏心を防いで回転及び停止させることができる。
【００１７】
又、この場合、上記回転用空圧流吹出口部１３は右回転用及び左回転用が設けられているので、被測定体Ｗを右回りや左回りに回転させることができ、測定の自由度を向上させることができる。
【００１８】
又、この場合、上記一対の変位センサＳ1・Ｓ2はレーザー変位センサであるから、レーザー変位センサＳ1・Ｓ2により対向距離Ｇｓを測定するので、測定に必要な被測定体Ｗに対する配置距離を長くでき、被測定体Ｗの径大化に伴う撓み変形によるレーザー変位センサＳ1・Ｓ2と被測定体Ｗとの接触を回避することができると共に測定保証精度を向上することができ、又、この場合、上記一対の変位センサＳ1・Ｓ2を上記被測定体Ｗの半径方向に走査可能な走査機構６を設けてなるから、被測定体Ｗの複数の測定部位Ｐを円滑に多点測定することができる。
【００１９】
図７、図８の第二形態例は別例構造を示し、この場合、上記浮上回転機構３は、上記空圧流Ｆを被測定体Ｗの底面に吹出可能な上方吹出部材９と、上記空圧流を被測定体の側面に吹出可能な側方吹出部材１０と、空圧流Ｆを制御する空圧流制御部１１とからなり、この上方吹出部材１０に被測定体Ｗの底面に対する所定の吹出口角度をもつ浮上用空圧流吹出口部１２が形成され、側方吹出部材１０に被測定体Ｗの側面に対する所定の吹出口角度をもつ位置規制用空圧流吹出口部１４及び回転用空圧流吹出口部１３が形成されている。
【００２０】
この実施の第二形態例は上記構成であるから、上記第一形態例と同様な作用効果を得ることができると共に上記浮上回転機構３は、上記空圧流Ｆを被測定体Ｗの底面に吹出可能な上方吹出部材９と、上記空圧流を被測定体の側面に吹出可能な側方吹出部材１０と、空圧流Ｆを制御する空圧流制御部１１とからなり、この上方吹出部材１０に被測定体Ｗの底面に対する所定の吹出口角度をもつ浮上用空圧流吹出口部１２が形成され、側方吹出部材１０に被測定体Ｗの側面に対する所定の吹出口角度をもつ位置規制用空圧流吹出口部１４及び回転用空圧流吹出口部１３が形成されているから、空圧流制御部１１における浮上用空圧流吹出口部１２、回転用空圧流吹出口部１３及び位置規制用空圧流吹出口部１４からの空圧流Ｆとしての空圧流１２ａ・１３ａ・１４ａの圧力や流量を制御することにより非接触状態で半径方向の位置を規制して偏心を防いで被測定体Ｗを回転及び停止させることができる。
【００２１】
図９、図１０の第三形態例は別例構造を示し、この場合、上記浮上回転機構２は、上記空圧流Ｆを被測定体Ｗの底面に吹出可能な上方吹出部材９と、空圧流Ｆを制御する空圧流制御部１１とからなり、上記上方吹出部材９に被測定体Ｗの底面に対する所定の吹出口角度をもつ浮上用空圧流吹出口部１２及び回転用空圧流吹出口部１３が形成され、かつ、上方吹出部材９に被測定体Ｗの側面に対する所定の吹出口角度をもって円筒状に空圧流Ｆを吹出して被測定体Ｗの側面にエアーカーテン状に作用して被測定体Ｗを位置規制可能な位置規制用空圧流吹出口部１４が形成されている。
【００２２】
この実施の第三形態例は上記構成であるから、上記第一形態例と同様な作用効果を得ることができると共に上記浮上回転機構２は、上記空圧流Ｆを被測定体Ｗの底面に吹出可能な上方吹出部材９と、空圧流Ｆを制御する空圧流制御部１１とからなり、上記上方吹出部材９に被測定体Ｗの底面に対する所定の吹出口角度をもつ浮上用空圧流吹出口部１２及び回転用空圧流吹出口部１３が形成され、かつ、上方吹出部材９に被測定体Ｗの側面に対する所定の吹出口角度をもつ位置規制用空圧流吹出口部１４が形成されているから、空圧流制御部１１における浮上用空圧流吹出口部１２、回転用空圧流吹出口部１３及び位置規制用空圧流吹出口部１４からの空圧流Ｆとしての空圧流１２ａ・１３ａ・１４ａの圧力や流量を制御することにより非接触状態で半径方向の位置を規制して偏心を防いで被測定体Ｗを回転及び停止させることができる。
【００２３】
図１１、図１２の第四形態例は別例構造を示し、この場合、上記浮上回転機構２は、上記空圧流Ｆを被測定体Ｗの底面に吹出可能な上方吹出部材９と、空圧流Ｆを制御する空圧流制御部１１とからなり、上記上方吹出部材９に被測定体Ｗの底面に対する所定の吹出口角度をもつ浮上用空圧流吹出口部１２及び回転用空圧流吹出口部１３が形成され、かつ、上方吹出部材９に被測定体Ｗの側面に対する所定の吹出口角度をもって円錐状に空圧流Ｆを吹出して被測定体Ｗの側面にエアーカーテン状に作用して被測定体Ｗを位置規制可能な位置規制用空圧流吹出口部１４が形成されている。
【００２４】
この実施の第四形態例は上記構成であるから、上記第三形態例と同様な作用効果を得ることができる。
【００２５】
尚、本発明は上記実施の形態例に限られるものではなく、例えば、浮上回転機構２の構造等は適宜変更して設計されるものである。
【００２６】
以上、所期の目的を充分達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の実施の第一形態例の全体平面図である。
【図２】本発明の実施の第一形態例の全体側面図である。
【図３】本発明の実施の第一形態例の断面図である。
【図４】本発明の実施の第一形態例の説明断面図である。
【図５】本発明の実施の第一形態例の説明斜視図である。
【図６】本発明の実施の第一形態例の説明側面図である。
【図７】本発明の実施の第二形態例の説明斜視図である。
【図８】本発明の実施の第二形態例の説明側面図である。
【図９】本発明の実施の第三形態例の説明斜視図である。
【図１０】本発明の実施の第三形態例の説明側面図である。
【図１１】本発明の実施の第四形態例の説明斜視図である。
【図１２】本発明の実施の第四形態例の説明側面図である。
【図１３】測定原理説明図である。
【図１４】多点測定説明平面図である。
【符号の説明】
【００２８】
Ｗ    被測定体
Ｆ    空圧流
Ｓ1    変位センサ
Ｓ2    変位センサ
３    浮上回転機構
４    走査機構
９    上方吹出部材
１０    側方吹出部材
１１    空圧流制御部
１２    浮上用空気流吹出口部
１２ａ    空圧流
１３    回転用空気流吹出口部
１３ａ    空圧流
１４    位置規制用空気流吹出口部
１４ａ    空圧流
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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