(57)【要約】【課題】カラーフィルタの製造中に、膜キズを発生させている製造処理装置を自動的に一時停止させて、生産ラインの停止時間の削減と、作業負荷の削減すること、および膜キズ不良のカラーフィルタの発生数を軽減することである。【解決手段】カラーフィルタから検査機を用いて膜キズを検出する検査工程を含むカラーフィルタ生産における膜キズ発生を防止する膜キズ自動発生防止方法であって、検出欠陥の特徴点を抽出、前記特徴点とデータベースの膜キズの特徴点を照合、膜キズと判定と、発生位置毎に収束させグループ化と、該当カラーフィルタ毎に通過履歴を抽出と、共通の、通過の製造処理装置を特定、一致したカラーフィルタ枚数を計算と、計算枚数が設定数到達した時、装置停止の命令を出力と、特定した製造処理装置へ膜キズ発生・発生位置情報を発報するカラーフィルタ生産における膜キズ自動発生防止方法。【選択図】図１
2008292174.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数パターン膜を形成するカラーフィルタから検査機を用いて膜キズを検出する検査工程を含むカラーフィルタ生産における膜キズ自動発生防止方法であって、
検査機による検出欠陥の特徴点を抽出する手段と、
前記特徴点とデータベースの膜キズの特徴点を照合し、該当欠陥を膜キズと判定する手段と、
基板サイズ毎にグループ化し、前記膜キズの発生位置を抽出し、膜キズを発生位置毎に収束させグループ化する手順と、
発生位置毎にグループ化し、該当するカラーフィルタ毎に通過履歴を抽出する手段と、
前記通過履歴と前記該当するカラーフィルタとを照合し、共通の、通過した製造処理装置を特定し、該製造処理装置と一致したカラーフィルタの枚数を計算する手段と、
予め、発生位置毎に膜キズのカラーフィルタの上限枚数を設定し、前記計算枚数が設定枚数に到達した時刻に、前記特定した製造処理装置へ装置停止の命令を出力する手段と、
を備え、装置停止の命令に従って、自動的に、特定した製造処理装置へ膜キズの発生および発生位置の情報を発報することを特徴とするカラーフィルタ生産における膜キズ自動発生防止方法。
【請求項２】
前記膜キズの特徴点は、予め登録し、データベース化することを特徴とする請求項１記載のカラーフィルタ生産における膜キズ自動発生防止方法。
【請求項３】
前記通過履歴は、予め、カラーフィルタ毎に登録し、通過した製造処理装置の名称及び通過順序の履歴のデータテーブルによりデータベース化することを特徴とする請求項１、又は２記載のカラーフィルタ生産における膜キズ自動発生防止方法。
【請求項４】
複数パターン膜を形成するカラーフィルタから検査機を用いて膜キズを検出する検査を含むカラーフィルタ生産における膜キズ自動発生防止システムであって、
前記請求項１乃至３のいずれか１項記載のカラーフィルタ生産における膜キズ自動発生防止方法を用いたカラーフィルタ生産における膜キズ自動発生防止システムであって、
装置停止の命令に従って、特定した製造処理装置を自動的に停止させることを特徴とするカラーフィルタ生産における膜キズ自動発生防止システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタ生産における膜キズ自動発生防止方法及びその方法を用いた膜キズ自動発生防止システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、カラーフィルタ生産では、複数の製造処理装置間を連結した生産ラインにより、枚葉のガラス基板が製造処理装置内及び製造処理装置間を自動搬送ラインにより搬送されながら生産されている。
【０００３】
従来のカラーフィルタを生産する生産ラインでは、ガラス基板上に種々のパターンを形成するために、ＢＭ形成の製造処理装置、Ｒ画素形成の製造処理装置、Ｇ画素形成の製造処理装置、Ｂ画素形成の製造処理装置、透明電極の形成の製造処理装置、等のパターン形成する製造工程の製造処理装置がある。
【０００４】
一般に、カラーフィルタの製造方法は、生産ラインを用いた製造方法であり、生産ラインの先頭で、ガラス基板をローダー（基板供給口）よりライン内へ投入し、生産ラインの後尾の、アンローダー（基板受取口）から基板をライン外へ搬出する。
【０００５】
生産ラインは、複数台の製造処理装置をライン連結した構成である。生産ラインは、製造処理手段の順番に連結したインライン配列の製造処理装置が配置されている。生産ラインは、フォトリソグラフィ法を用いた処理手段、例えばレジスト塗布処理手段、フォトマスクを介した露光処理手段、レジスト現像処理手段のフォトプロセスからなるラインである。生産ラインは、種々のパターンを形成するために、複数の処理ラインを配置しており、パターン形成が繰り返し実施するように製造処理装置が配置されている。
【０００６】
生産ラインでは、各々の製造処理装置の一部分工程に工程内検査用の検査機が配置されており、ガラス基板の抜き取り検査、若しくは全数検査を行いながら、その検査結果データを監視して品質レベルを管理しながら、生産ラインを稼動させている。
【０００７】
生産ラインでは、ガラス基板は、カセットに収納されており、そのカセットから順番にライン内へ投入される。ラインでは、ガラス基板毎に一枚、一枚区分管理されており、逆にライン外では、集団、例えば１カセット若しくは１ロット単位に区分管理されている。そのため、カセット一個毎、若しくはガラス基板一枚毎にＩＤ番号が添付され、ガラス基板の材料からカラーフィルタの製品まで全てＩＤ番号で管理される。当該ガラス基板のＩＤ番号毎に生産履歴、品質履歴、または検査結果データがデータベース化されており、そのデータ情報で、現状の生産進捗、在庫位置、等を含むトレイサビリィティ等の追跡が可能となり、その検査結果データで、品質の維持管理、不良の発生予知若しくは装置停止、等を含む品質履歴や不良起因解析を個別に追跡することが可能となる。
【０００８】
図５は、従来のカラーフィルタの生産ラインの一例の部分を説明する構成図である。
【０００９】
図５に示す生産ラインでは、ガラス基板１１は、装置Ａと、装置Ｂ１、装置Ｂ２、装置Ｂ３のうちの一つと、装置Ｏ１、装置Ｏ２、装置Ｏ３のうちの一つと、検査装置とを通過する生産履歴を登録し、検査機が装置Ａから装置Ｂグループ、装置Ｏグループまでの製造処理装置間の品質レベルを監視している。なお、ガラス基板とは、生産ライン内で搬送される基板をすべて含み、ガラス基板や仕掛製品を含むものである。
【００１０】
図６（ａ）〜（ｂ）は、従来の検査機を説明する概念図である。図６（ａ）は、カラーフィルタ検査機１であり、搬送ステージ上をガラス基板が搬送方向に搬送されながら、カラーフィルタ１０の直下に配置した光源２と直上の撮像カメラ３により、カラーフィルタを撮像する装置であり、撮像カメラは、画像処理部に連結され、欠陥を検出する。光学式のカラーフィルタ検査機１は、多数知られており、検出機能毎に、欠陥の種類に対応する検査機を選択して配置している。例えば、図６（ａ）の検査機は、透過光の検査機能を備えた撮像カメラを用いており、特に透過白欠陥を検出する場合に用いられている。
【００１１】
図６（ｂ）は、検査機の検査手順フローのうち、膜キズの欠陥の検出フローであり、透過光の検査機能を備えた撮像カメラを用いており、透過白欠陥を検出する場合に用いられており、主として、幕キズの欠陥を検出する。最初に、ｂ１では、欠陥を検出する。次いで、ｂ２では、前記欠陥のうち、透過光による透過白画像を検出する。次いで、ｂ３では、膜キズの欠陥の特徴点を抽出する。次いで、ｂ４では、膜キズのデータベースと照合し、一致した場合、該当欠陥を膜キズと判定する。以上ｂ１〜ｂ４の手順により膜キズが検出される。
【００１２】
従来のカラーフィルタの製造において、カラーフィルタの画素の形成面（膜面）に生じた傷状の欠落（膜キズ）について、検査機からの画面の視認（以下、レビューと記す）で発見、または目視検査によって発見している。
【００１３】
膜キズによる不良品を発見した場合、生産ラインを一時停止し、発生起因を調査し、その装置を調べて、装置およびその部位を特定し、それらの特定部位を正常に復帰させた後、再稼動する等の対応を行っている。
【００１４】
この場合、膜キズは、製造処理装置内を搬送されながら、製造処理されるカラーフィルタ基板に障害物等が接触して、引っかき傷となるで、処理装置起因の欠陥である。
【００１５】
膜キズは、通常の欠陥（パターン部の欠落、異物付着等）と比べて、その欠陥に特徴がある。膜キズは、大面積の欠陥であり、連続して各基板に同様の位置に発生する。膜キズは、膜キズに方向性や長さが長いものが主であり、重欠陥となる。本発明では、前記透過白欠陥は膜キズである。膜キズは、ラインを通過時の、複数の製造処理装置が起因となる欠陥である。膜キズでは欠陥起因の装置若しくは部位を特定することが複雑となる傾向であり、その調査も長時間となる問題がある。
【００１６】
従来の生産ラインでは、目視検査、検査機のレビュー時に膜キズの発生を確認し、製造処理装置内で発生起因を調査し、その処置、例えば生産ラインを一時停止等の処置までに長時間となる問題がある。その時間に製造処理したカラーフィルタ基板に同様の位置に重欠陥となる膜キズが発生し、カラーフィルタの不良品による損害が発生する場合がある。
【００１７】
従来の生産ラインでは、発生起因の調査は、基板上の膜キズの位置と、その関連した装置の通過経路（通過履歴）を調べて、その装置の部位を特定し、その生産ラインを一時停止させる対応を行っている。その間の作業員の作業負荷や生産ラインの停止時間を費やしていた。
【００１８】
本発明の課題では、上述したように、膜キズは、その欠陥の特徴点に着目し、特に装置起因の場合の同一発生位置に収束することに着目して、検査装置での解明方法を工夫した。
【００１９】
以下に公知文献を記す。
【特許文献１】特開平９−２３６５１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２０】
カラーフィルタの製造中に、膜キズを発生させている製造処理装置を自動的に一時停止させて、生産ラインの停止時間の削減と、作業負荷の削減すること、および膜キズ不良のカラーフィルタの発生数を軽減することである。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
本発明の請求項１に係る発明は、複数パターン膜を形成するカラーフィルタから検査機を用いて膜キズを検出する検査工程を含むカラーフィルタ生産における膜キズ自動発生防止方法であって、
検査機による検出欠陥の特徴点を抽出する手段と、
前記特徴点とデータベースの膜キズの特徴点を照合し、該当欠陥を膜キズと判定する手段と、
基板サイズ毎にグループ化し、前記膜キズの発生位置を抽出し、膜キズを発生位置毎に収束させグループ化する手順と、
発生位置毎にグループ化し、該当するカラーフィルタ毎に通過履歴を抽出する手段と、
前記通過履歴と前記該当するカラーフィルタとを照合し、共通の、通過した製造処理装置を特定し、該製造処理装置と一致したカラーフィルタの枚数を計算する手段と、
予め、発生位置毎に膜キズのカラーフィルタの上限枚数を設定し、前記計算枚数が設定枚数に到達した時刻、前記特定した製造処理装置へ装置停止の命令を出力する手段と、
を備え、装置停止の命令に従って、自動的に、特定した製造処理装置へ膜キズの発生および発生位置の情報を発報することを特徴とするカラーフィルタ生産における膜キズ自動発生防止方法である。
【００２２】
本発明の請求項２に係る発明は、前記膜キズの特徴点は、予め登録し、データベース化することを特徴とする請求項１記載のカラーフィルタ生産における膜キズ自動発生防止方法である。
【００２３】
本発明の請求項３に係る発明は、前記通過履歴は、予め、カラーフィルタ毎に登録し、通過した製造処理装置の名称及び通過順序の履歴のデータテーブルによりデータベース化することを特徴とする請求項１、又は２記載のカラーフィルタ生産における膜キズ自動発生防止方法である。
【００２４】
本発明の請求項４に係る発明は、複数パターン膜を形成するカラーフィルタから検査機を用いて膜キズを検出する検査を含むカラーフィルタ生産における膜キズ自動発生防止システムであって、
前記請求項１乃至３のいずれか１項記載のカラーフィルタ生産における膜キズ自動発生防止方法を用いたカラーフィルタ生産における膜キズ自動発生防止システムであって、
装置停止の命令に従って、特定した製造処理装置を自動的に停止させることを特徴とするカラーフィルタ生産における膜キズ自動発生防止システムである。
【発明の効果】
【００２５】
本発明のカラーフィルタ生産における膜キズ自動発生防止方法によれば、検査機およびその機能により、検出した欠陥のうちから、膜キズを抽出し、その起因となる製造処理装置を特定することができるために、基板上の膜キズの位置と装置の通過経路の調査が不要となり、膜キズの発生の早期発見が可能となることで、膜キズ不良のカラーフィルタの発生数を軽減することでできる。
【００２６】
本発明のカラーフィルタ生産における膜キズ自動発生防止方法によれば、検査機およびその機能により、検出した欠陥のうちから、膜キズを抽出し、その起因となる製造処理装置を特定することができるために、基板上の膜キズの位置と装置の通過経路の調査が不要となり、作業負荷の削減されることにより、調査負荷の低減に伴う生産ラインの停止時間が減少する効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
本発明のカラーフィルタ生産における膜キズ自動発生防止方法及びその方法を用いた膜キズ自動発生防止システムを一実施形態に基づいて以下説明する。
【００２８】
図１は、本発明のカラーフィルタ生産における膜キズ自動発生防止方法の一実施例の手順のフロー図である。
【００２９】
本発明の膜キズ自動発生防止方法では、複数パターン膜を形成するカラーフィルタから検査機を用いて膜キズを検出する検査工程を含むカラーフィルタ生産における膜キズ発生を防止する方法である。以下にカラーフィルタ生産における膜キズ自動発生防止方法の手順を示す。
【００３０】
（ａ）の手段は、検査機による検出欠陥のうち、主に膜キスの係る特徴点を抽出する。（ｂ１）の手段は、前記特徴点とデータベースの膜キズの特徴点を照合する。次いで、（b２）の手段は、該当欠陥を膜キズと判定する。以上の（ａ）〜（ｂ１）〜（ｂ２）により検出欠陥から膜キズ欠陥を抽出する。
【００３１】
次いで、（ｃ１）の手順は、基板サイズ毎にグループ化し、膜キズの発生位置を抽出する。次いで、（ｃ２）の手順は、膜キズを発生位置に収束させグループ化する。以上（ｃ１）〜（ｃ２）により基板サイズ毎、または発生位置毎にカラーフィルタを収束する。
【００３２】
次いで、（ｄ）の手段は、発生位置毎にグループ化し、該当するカラーフィルタ毎に通過履歴を抽出する。以上（ｄ）により収束したカラーフィルタ毎に通過履歴を抽出する。
【００３３】
次いで、（ｅ１）の手段は、前記通過履歴と前記該当するカラーフィルタとを照合し、共通の、通過した製造処理装置を特定する。次いで、（ｅ２）の手段は、特定した製造処理装置と一致したカラーフィルタの枚数を計算する。以上（ｅ１）〜（ｅ２）により当該膜キズの発生起因の製造処理装置を特定し、発生頻度を計算する。
【００３４】
次いで、（ｆ１）の手段は、予め、発生位置毎の膜キズのカラーフィルタの上限枚数を設定する。次いで、（ｆ２）の手段は、前記計算枚数が設定枚数に到達した時刻を監視する。次いで、（ｆ３）の手段は、特定した製造処理装置へ装置停止の命令を出力する。以上（ｆ１）〜（ｆ２）〜（ｆ３）により当該膜キズのカラーフィルタが設定枚数に到達を監視し、到達時に装置停止の命令を出力する。
【００３５】
最後に、（ｇ）の手順は、前記装置停止の命令に従って、自動的に、特定した製造処理装置へ膜キズおよび発生位置の情報を発報する。
【００３６】
本発明のカラーフィルタ生産における膜キズ自動発生防止方法では、前記膜キズの特徴点は、予め登録し、データベース化することを特徴とする（図２参照）。データベースの蓄積された膜キズの特徴を分類し、解析した。以下に、解析した膜キズの特徴点を説明する。
【００３７】
膜キズの欠陥には特徴点がある。膜キズは透過白欠陥である。膜キズは大面積膜である。膜キズはキズに方向性や長さが長いものである。膜キズは、連続して同様の位置に発生する。膜キズは、基板表面がラインを通過時の装置面に接触して発生し、複数の製造処理装置が起因となる欠陥である。膜キズの発生位置では、欠陥起因の装置若しくは部位毎に偏りがあり、すなわち膜キズは発生位置毎に収束するため、発生起因の装置を特定することが可能となる。さらに、膜キズは、重欠陥となる。
【００３８】
図２は、（ａ）〜（ｄ）は、本発明のカラーフィルタ生産における膜キズ自動発生防止方法の一実施例の手順を説明する平面図である。
【００３９】
図２（ａ）は、膜キズは透過白欠陥１３であり、膜キズ２０は大面積である。欠陥領域に含まれるピクセル数が設定値を超えた場合は、大面積の膜キズ２１とし、その大面積の大小が特徴点となる。図２（ａ）参考図では、膜キズの断面図であり、膜キズ２０の欠陥部は、パターン形成膜１２が脱落しており、目視では、透過部分、すなわち、透過白欠陥１３となっている。次いで、検出欠陥の領域内に含まれるピクセル数を算出し、設定値Ｅとその大小を比較する。なお、ピクセルは、デジタルデータの１データであり、通常そのサイズ（単位：μｍ）は表示されている。
【００４０】
図２（ｂ）は、膜キズはキズに方向性や長さが長いものである。欠陥領域が、Ｘ方向、Ｙ方向とも設定値を超えた場合は、長辺の膜キズ２２とし、その長辺の長さが特徴点となる。検出欠陥の幅は、設定値Ｗとその大小を比較する。
【００４１】
図２（ｃ）は、膜キズは、多数個発生し、装置幅方向や、基板進行方向に連続して各基板に同様の位置に発生する。欠陥の発生位置が基板の特定領域２４に、または基板進行方向もしくは装置幅方向に設定値以上の多数存在する場合は、その個数の多少が特徴点となる。検出欠陥の総数は、その発生位置毎の設定値Ｍとその大小を比較する。
【００４２】
図２（ｄ）は、膜キズは発生位置毎に収束する。基板サイズ毎の収束した特定領域２５ａ、又は欠陥発生位置毎の収束した特定領域２５に収束する場合は、特定領域の位置が特徴点となる。最後に、発生位置毎等にグループ化し、当該の欠陥を収束する。通常基板面に接触する装置部位は、装置幅方向に配列されており、基板の幅方向の特定領域内に収束され、基板搬送方向では、一定の間隔毎に収束される。そのため、複数のカラーフィルタをグループ化し、その膜キズ欠陥を重ね合わせることで、起因の製造処理装置が特定できる。
【００４３】
図３は、本発明のカラーフィルタの生産ラインの一実施例を説明する構成図であり、カラーフィルタの膜キズを検出する検査工程を含む製造工程の部分平面図である。図３では、生産ラインの一部分であり、ガラス基板１１は、左側より右側へ製造処理装置内、例えば、装置Ａと、装置のＢ１、Ｂ２、Ｂ３、装置のＯ１、Ｏ２、Ｏ３を通過し、検査機へ搬送されながら、所望の装置により製造処理される。生産ラインの一部分では、生産履歴等を制御、管理する管理情報コンピュータ３１が付設されており、ガラス基板の移動および装置への、生産指示または稼動等の情報収集を監視している。
【００４４】
本発明のカラーフィルタ生産における膜キズ自動発生防止方法では、前記通過履歴は、予め、カラーフィルタ毎に登録し、通過した製造処理装置の名称及び通過順序の履歴のデータテーブルによりデータベース化することを特徴とする。図４では、縦方向に基板ＩＤが記載され、横方向に装置名が記載され、その表内に装置の通過履歴のデータが記載されている。通過履歴は、「１」が通過履歴有り、「０」が通過履歴無しである。例えば、ＩＤ／ＡＢＣＤ１１の膜キズのカラーフィルタは、装置Ａ、装置のＢ１、装置のＯ３を通過した履歴であり、これを装置の通過履歴とした。
【００４５】
図４では、膜キズのカラーフィルタは、すべて装置のＯ３に通過履歴があり、その結果、この場合、起因の製造処理装置は、装置のＯ３と特定する。特定方法は、種々の方法があり、品質情報のデータベースを参考にして、適宜最適な手段を選択する。装置への通過履歴では、膜キズを有する不良のカラーフィルタを収束したグループであり、通過履歴のデータ「０」となる製造処理装置は膜キズ起因の心配がなく、正常に稼動している。例えば、装置Ｏ１、Ｏ２は正常であり、装置Ｂ１は監視を強化する装置である。膜キズと起因装置との連関は、そのデータの蓄積が多くなれば装置を特定するの精度が高くなり、発生位置の特徴や、膜キズの形状の特徴等により膜キズ発生の予報等、極めて早期の情報が出力される。
【００４６】
本発明のカラーフィルタ生産における膜キズ自動発生防止システムでは、複数パターン膜を形成するカラーフィルタから検査機を用いて膜キズを検出する検査を含むであって、本発明のカラーフィルタ生産における膜キズ自動発生防止方法を用いた防止システムである。本システムでは、装置停止の命令に従って、特定した製造処理装置が自動的に停止させるシステムである。
【００４７】
本発明の膜キズ自動発生防止システムでは、カラーフィルタのＩＤコード、例えば２次元コードの番号を管理情報コンピュータ３１により統括させ、各製造処理装置とネット回線３２で通信し、ＩＤコードにより製造処理装置の通過履歴の情報を収集制御する。他方、カラーフィルタ検査機では、通過中のカラーフィルタを検査しながら、膜キズの発生を常時監視するシステムである。膜キズを検出した場合、ＩＤコードから装置の通過履歴を抽出し、共通の製造処理装置を抽出し、一致枚数が設定枚数になったら、当該製造処理装置が起因の装置と特定し、自動的に特定した装置を一時停止する。
【００４８】
図４は、本発明のカラーフィルタ生産における膜キズ自動発生防止方法の実施例１を説明する膜キズのカラーフィルタの通過履歴検である。実施例１では、図３の生産ラインの一部分を用いて実施した。以下に、本発明の実施例を説明する。
【実施例１】
【００４９】
実施例１では、予め、同一基板サイズで、膜キズ付のカラーフィルタを１０枚準備した。次いで、発生位置毎に膜キズのカラーフィルタの上限枚数を５枚に設定した。次いで、ガラス基板を投入し、カラーフィルタの製造処理をしながら、同時に検査機にＩＤ番号ＡＢＣＤ１１、１７、２０、２３、２４、２７、と順番に検査した。ＩＤ番号ＡＢＣＤ２７の検査終了と同時に、装置のＯ３へ、膜キズ発生および発生位置の情報が発報され、装置のＯ３が一時停止した。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明のカラーフィルタ生産における膜キズ自動発生防止方法の一実施例の手順のフロー図である。
【図２】（ａ）〜（ｄ）は、本発明のカラーフィルタ生産における膜キズ自動発生防止方法の一実施例の手順を説明する平面図である。
【図３】本発明のカラーフィルタの製造工程の一実施例を説明する構成図であり、カラーフィルタの膜キズを検出する検査工程を含む部分平面図である。
【図４】本発明のカラーフィルタ生産における膜キズ自動発生防止方法の一実施例を説明する膜キズのカラーフィルタの通過履歴である。
【図５】従来のカラーフィルタの製造工程の一例を説明する構成図であり、カラーフィルタの膜キズを検出する検査工程を含む部分平面図である。
【図６】従来の検査機を説明する概念図であり、（ａ）は、検査機の斜視図であり、（ｂ）は、検査手順のフロー図である。
【符号の説明】
【００５１】
１…カラーフィルタ検査機
２…光源
３…撮像カメラ
４…画像処理部
１０…カラーフィルタ
１１…ガラス基板
１２…パターン形成膜
１３…透過白欠陥
２０…膜キズ
２１…大面積の膜キズ
２２…長辺の膜キズ
２３…多数の膜キズ
２４…特定領域
２５…発生位置毎に収束した特定領域
２５ａ…基板サイズ毎に収束した特定領域
３１…管理情報コンピュータ
３２…ネット回線
【図１】
2008292174.tif 000003
【図２】
2008292174.tif 000004
【図３】
2008292174.tif 000005
【図４】
2008292174.tif 000006
【図５】
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【図６】
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