(57)【要約】【課題】  光スイッチの複数の出力ポートにおける出力光強度が最適値になるようにミラーの角度制御を行い、高速に安定な出力光強度を得る。【解決手段】  複数の入出力ポート間で、任意の入力ポートから入力した光ビームを複数のミラーによって連続的に反射させ、任意の出力ポートに出力する光スイッチに適用され、複数の出力ポートにおける出力光強度を検出し、その各出力光強度に応じて各光ビームの経路にある複数のミラーの角度調整を行い、各出力ポートの出力光強度を安定化する光スイッチの光出力安定化装置において、互いに異なる波長の制御光を発生し、光スイッチの各入力ポートに互いに異なる波長の制御光を入力する複数の光源と、光スイッチの各出力ポートから出力される互いに異なる波長の制御光の出力光強度を測定する複数の光強度検出器とを備える。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の入出力ポート間で、任意の入力ポートから入力した光ビームを複数のミラーによって連続的に反射させ、任意の出力ポートに出力する光スイッチに適用され、複数の出力ポートにおける出力光強度を検出し、その各出力光強度に応じて各光ビームの経路にある複数のミラーの角度調整を行い、各出力ポートの出力光強度を安定化する光スイッチの光出力安定化装置において、
互いに異なる波長の制御光を発生し、前記光スイッチの各入力ポートに互いに異なる波長の制御光を入力する複数の光源と、
前記光スイッチの各出力ポートから出力される互いに異なる波長の制御光の出力光強度を測定する複数の光強度検出器と
を備えたことを特徴とする光スイッチの光出力安定化装置。
【請求項２】
請求項１に記載の光スイッチの光出力安定化装置において、
前記複数の光源に代えて、
広帯域な波長を有する制御光を出力する１つの広帯域光源と、
前記広帯域の制御光を分波して互いに波長が異なる複数の制御光に変換し、前記光スイッチの各入力ポートに入力する波長分波器と
を備えたことを特徴とする光スイッチの光出力安定化装置。
【請求項３】
請求項１に記載の光スイッチの光出力安定化装置において、
前記複数の光源に代えて、
前記光スイッチの入出力ポート数よりも少ない波長数で、少なくとも２波長の制御光を発生する光源と、
前記各波長の制御光を前記光スイッチの入力ポート数に応じて分配する光分配器と、
前記光分配器で分配された各波長の制御光を入力し、前記光スイッチの出力ポート側で同一波長の制御光が隣接しないように、前記光スイッチの接続パターンに応じて前記少なくとも２波長の制御光を対応する入力ポートに接続する光スイッチと
を備えたことを特徴とする光スイッチの光出力安定化装置。
【請求項４】
請求項１に記載の光スイッチの光出力安定化装置において、
前記複数の光源に代えて、
１つの光源と、
前記１つの光源から出力される制御光を前記光スイッチの入力ポート数に分配する光分配器と、
前記光分配器で分配された各制御光に、前記光スイッチの出力ポート側で互いにコヒーレント長以上の遅延差が生じるようにそれぞれ所定の遅延を与える遅延線と
を備えたことを特徴とする光スイッチの光出力安定化装置。
【請求項５】
請求項１〜請求項４のいずれかに記載の光スイッチの光出力安定化装置において、
前記複数の光強度検出器に代えて、
前記光スイッチの各出力ポートから出力される複数の制御光を１つずつ切り替えて出力する選択光スイッチと、
前記選択光スイッチから順次出力される制御光の出力光強度を測定する１つの光強度検出器と
を備えたことを特徴とする光スイッチの光出力安定化装置。
【請求項６】
複数の入出力ポート間で、任意の入力ポートから入力した光ビームを複数のミラーによって連続的に反射させ、任意の出力ポートに出力する光スイッチに適用され、複数の出力ポートにおける出力光強度を検出し、その各出力光強度に応じて各光ビームの経路にある複数のミラーの角度調整を行い、各出力ポートの出力光強度を安定化する光スイッチの光出力安定化方法において、
互いに異なる波長の制御光を前記光スイッチの各入力ポートに入力するステップと、
前記光スイッチの各出力ポートから出力される互いに異なる波長の制御光の出力光強度を測定するステップと
を有することを特徴とする光スイッチの光出力安定化方法。
【請求項７】
複数の入出力ポート間で、任意の入力ポートから入力した光ビームを複数のミラーによって連続的に反射させ、任意の出力ポートに出力する光スイッチに適用され、複数の出力ポートにおける出力光強度を検出し、その各出力光強度に応じて各光ビームの経路にある複数のミラーの角度調整を行い、各出力ポートの出力光強度を安定化する光スイッチの光出力安定化方法において、
前記光スイッチの出力ポート側で同一波長の制御光が隣接しないように、前記光スイッチの接続パターンに応じて少なくとも２波長の制御光を対応する入力ポートに入力するステップと、
前記光スイッチの各出力ポートから出力される制御光の出力光強度を測定するステップと
を有することを特徴とする光スイッチの光出力安定化方法。
【請求項８】
複数の入出力ポート間で、任意の入力ポートから入力した光ビームを複数のミラーによって連続的に反射させ、任意の出力ポートに出力する光スイッチに適用され、複数の出力ポートにおける出力光強度を検出し、その各出力光強度に応じて各光ビームの経路にある複数のミラーの角度調整を行い、各出力ポートの出力光強度を安定化する光スイッチの光出力安定化方法において、
所定の波長の制御光に、前記光スイッチの出力ポート側で互いにコヒーレント長以上の遅延差が生じるようにそれぞれ所定の遅延を与えて各入力ポートに入力するステップと、
前記光スイッチの各出力ポートから出力される制御光の出力光強度を測定するステップと
を有することを特徴とする光スイッチの光出力安定化方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の入出力ポート間で、任意の入力ポートから入力した光ビームを複数のＭＥＭＳ（Micro Electric Mechanical System) ミラーによって連続的に反射させ、任意の出力ポートに出力する光スイッチにおいて、光ビームの出力経路を決める複数のＭＥＭＳミラーの角度調整を行い、出力ポートにおける出力光強度を安定化する光スイッチの光出力安定化方法および装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１４は、光スイッチの構成例を示す。図１４において、光スイッチは、複数のコリメータを２次元に配置した２つのコリメータアレイ１，２と、複数のミラーを２次元に配置した２つのＭＥＭＳミラーアレイ３，４を組み合わせた構成である。なお、入力側のコリメータアレイ１には、各コリメータ（入力ポート）に対応させて複数の光ファイバを２次元に配置した入力光ファイバアレイが接続され、出力側のコリメータアレイ２には、各コリメータ（出力ポート）に対応させて複数の光ファイバを２次元に配置した出力光ファイバアレイが接続される。また、各ミラーはＭＥＭＳ技術によりその角度が制御され、２つのＭＥＭＳミラーアレイ３，４で反射させるミラーの組み合わせによって任意の入出力光ファイバ間の接続（出力経路の切り替え）が可能になっている。
【０００３】
ここで、入出力光ファイバ間の接続を行うための光スイッチの調整として、出力ポートごとに最適な出力光強度が得られるように、各ミラーの角度を調整する必要がある。従来の調整方法としては、光スイッチの各出力ポートの出力光強度を検出し、出力光強度が最適になるように各ミラーの角度調整を行う方法がある（特許文献１）。例えば、微分駆動法では、位置調整対象であるミラーを微小駆動（回転）させたときのミラー駆動（回転）量と駆動位置における光ビーム強度とから光強度微分値を求め、この光強度微分値と所定のステップ量とから次の移動目標位置を算出し、その目標位置に順次ミラーを移動させることによりミラーを最適位置に調整する。また、円駆動法では、ミラーから反射した光ビームが円環状の軌跡を描くようにミラーを円駆動させ、円駆動中の任意の角度における光ビーム強度を検出し、その中で最大の光ビーム強度を検出した角度を算出し、その角度にミラーを調整する手順を順次繰り返して光ビームが最大になる位置にミラーを調整する。
【特許文献１】特開２００４−２７１９７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、光スイッチの出力ポートの出力光強度を検出してミラーの角度調整を行う方法では、各ミラーが初期設定状態のときに、ミラーの角度を調整するための十分な光強度が得られるとは限らない。
【０００５】
また、光スイッチでは、調整に必要な光パス数が多数になるが、１つの光パスずつ順番に調整していたのでは時間がかかるので、なるべく速やかに十分な光強度が得られるように各ミラーの角度を調整する方法が必要である。そのために、複数の光パスの出力光強度を同時に検出できるように、複数の入力ポートに同時に制御光を入力する方法が考えられている。しかし、この場合には次に示す問題がある。
【０００６】
まず、光スイッチの各出力ポートの出力光強度は、各出力ポートのコリメータにおける入射ビーム位置ずれと入射角度ずれに依存する。さらに、光ビームはガウシアン分布の幅をもっているため、図１５(1) に示すように、当該ミラーや出力ポートに入射する光ビームの一部は隣接するミラーや出力ポートにも入射する。ここで、同一光源から出力される制御光を用いて、隣接する２つの出力ポートの出力光強度をモニタする場合、その２つの光ビームによってコヒーレント干渉が発生する。そのため、図１５(2) に示すように、隣接する出力ポートの一方に入射ビーム位置ずれがあるとき、コヒーレント干渉によってそれぞれ検出される光強度の揺らぎが大きくなるが、その強度変動要因としてミラーの角度変化とコヒーレント干渉が重なり、最適な光強度になるようなミラー角度調整ができなくなる。
【０００７】
本発明は、光スイッチの複数の出力ポートにおける出力光強度が最適値になるようにミラーの角度制御を行い、高速に安定な出力光強度を得ることができる光スイッチの光出力安定化方法および装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
第１の発明は、複数の入出力ポート間で、任意の入力ポートから入力した光ビームを複数のミラーによって連続的に反射させ、任意の出力ポートに出力する光スイッチに適用され、複数の出力ポートにおける出力光強度を検出し、その各出力光強度に応じて各光ビームの経路にある複数のミラーの角度調整を行い、各出力ポートの出力光強度を安定化する光スイッチの光出力安定化装置において、互いに異なる波長の制御光を発生し、光スイッチの各入力ポートに互いに異なる波長の制御光を入力する複数の光源と、光スイッチの各出力ポートから出力される互いに異なる波長の制御光の出力光強度を測定する複数の光強度検出器とを備える。
【０００９】
第２の発明は、第１の発明における複数の光源に代えて、広帯域な波長を有する制御光を出力する１つの広帯域光源と、広帯域の制御光を分波して互いに波長が異なる複数の制御光に変換し、光スイッチの各入力ポートに入力する波長分波器とを備える。
【００１０】
第３の発明は、第１の発明における複数の光源に代えて、光スイッチの入出力ポート数よりも少ない波長数で、少なくとも２波長の制御光を発生する光源と、各波長の制御光を光スイッチの入力ポート数に応じて分配する光分配器と、光分配器で分配された各波長の制御光を入力し、光スイッチの出力ポート側で同一波長の制御光が隣接しないように、光スイッチの接続パターンに応じて少なくとも２波長の制御光を対応する入力ポートに接続する光スイッチとを備える。
【００１１】
第４の発明は、第１の発明における複数の光源に代えて、１つの光源と、１つの光源から出力される制御光を光スイッチの入力ポート数に分配する光分配器と、光分配器で分配された各制御光に、光スイッチの出力ポート側で互いにコヒーレント長以上の遅延差が生じるようにそれぞれ所定の遅延を与える遅延線とを備える。
【００１２】
第５の発明は、第１〜第４の発明における複数の光強度検出器に代えて、光スイッチの各出力ポートから出力される複数の制御光を１つずつ切り替えて出力する選択光スイッチと、選択光スイッチから順次出力される制御光の出力光強度を測定する１つの光強度検出器とを備える。
【００１３】
第６の発明は、複数の入出力ポート間で、任意の入力ポートから入力した光ビームを複数のミラーによって連続的に反射させ、任意の出力ポートに出力する光スイッチに適用され、複数の出力ポートにおける出力光強度を検出し、その各出力光強度に応じて各光ビームの経路にある複数のミラーの角度調整を行い、各出力ポートの出力光強度を安定化する光スイッチの光出力安定化方法において、互いに異なる波長の制御光を光スイッチの各入力ポートに入力するステップと、光スイッチの各出力ポートから出力される互いに異なる波長の制御光の出力光強度を測定するステップを有する。
【００１４】
第７の発明は、複数の入出力ポート間で、任意の入力ポートから入力した光ビームを複数のミラーによって連続的に反射させ、任意の出力ポートに出力する光スイッチに適用され、複数の出力ポートにおける出力光強度を検出し、その各出力光強度に応じて各光ビームの経路にある複数のミラーの角度調整を行い、各出力ポートの出力光強度を安定化する光スイッチの光出力安定化方法において、光スイッチの出力ポート側で同一波長の制御光が隣接しないように、光スイッチの接続パターンに応じて少なくとも２波長の制御光を対応する入力ポートに入力するステップと、光スイッチの各出力ポートから出力される制御光の出力光強度を測定するステップを有する。
【００１５】
第８の発明は、複数の入出力ポート間で、任意の入力ポートから入力した光ビームを複数のミラーによって連続的に反射させ、任意の出力ポートに出力する光スイッチに適用され、複数の出力ポートにおける出力光強度を検出し、その各出力光強度に応じて各光ビームの経路にある複数のミラーの角度調整を行い、各出力ポートの出力光強度を安定化する光スイッチの光出力安定化方法において、所定の波長の制御光に、光スイッチの出力ポート側で互いにコヒーレント長以上の遅延差が生じるようにそれぞれ所定の遅延を与えて各入力ポートに入力するステップと、光スイッチの各出力ポートから出力される制御光の出力光強度を測定するステップを有する。
【発明の効果】
【００１６】
本発明は、複数のミラーによる反射を利用して光経路切り替えを行う光スイッチにおいて、出力ポートの出力光強度を最適にするミラー角度を調整する際に、出力ポートごとに異なる波長の制御光、または隣接する出力ポート間で異なる波長の制御光、または隣接する出力ポート間でコヒーレント長以上の遅延差が生じる制御光を、複数の入力ポートに同時に入力することにより、各出力ポートで隣接する出力ポートから受けるコヒーレント干渉による強度変動を抑圧することができる。これにより、光スイッチの各出力ポートの出力光強度を最適にするミラー角度の調整を効率よくかつ高速に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
（本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第１の実施形態）
図１は、本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第１の実施形態を示す。図において、ＭＥＭＳ光スイッチ１０のｎ個の入力ポートには、互いに波長が異なる光源１１−１〜１１−ｎから同時に互いに異なる波長の制御光が入力される。これにより、ＭＥＭＳ光スイッチ１０の各出力ポートでは、仮に図１５(2) に示すように隣接する出力ポートの光ビームが近接する場合でも、コヒーレント干渉を抑圧することができる。ＭＥＭＳ光スイッチ１０の各出力ポートには、それぞれ光強度検出器１２−１〜１２−ｎを接続し、各出力ポートにおける出力光強度を測定し、その測定値に応じて図示しないスイッチ制御回路によりＭＥＭＳ光スイッチ１０の各ミラーの角度調整を一斉に行う。
【００１８】
（本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第２の実施形態）
図２は、本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第２の実施形態を示す。本実施形態は、図１に示す第１の実施形態の構成において、ＭＥＭＳ光スイッチ１０の各出力ポートにｎ×１光スイッチ１３を接続し、ｎ×１光スイッチ１３で各出力ポートにおける出力光強度を順次切り替え、１つの光強度検出器１２で測定する構成になっている。これにより、ＭＥＭＳ光スイッチ１０の各出力ポートにおける出力光強度を順次測定し、ＭＥＭＳ光スイッチ１０の各ミラーの角度調整を順番に行うことができる。
【００１９】
なお、本実施形態は、ＭＥＭＳ光スイッチ１０の各入力ポートに互いに異なる波長の制御光を入力し、各出力ポートに一斉に各波長の制御光を出力させている状態で、１つの光パスごとに出力光強度を検出して対応するミラーの角度調整を行っている。ここでは、ｎ×１光スイッチ１３および光強度検出器１２を高速動作させることが可能であるので、ＭＥＭＳ光スイッチ１の各入力ポートに１波ずつ入力し、対応する光パス上のミラーの角度調整を行う場合に比べて高速かつ効率的な調整が可能となる。以下に示すｎ×１光スイッチ１３を用いる実施形態においても同様である。
【００２０】
（本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第３の実施形態）
図３は、本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第３の実施形態を示す。本実施形態は、図１に示す第１の実施形態の構成において、ＭＥＭＳ光スイッチ１０の各入力ポートに接続される互いに波長が異なる光源１１−１〜１１−ｎに代えて１つの広帯域光源１４を用い、出力される広帯域制御光を波長分波器１５を介して互いに異なる波長の制御光に分波し、ＭＥＭＳ光スイッチ１０の各入力ポートに入力する。その他の構成および各ミラーの角度調整は第１の実施形態と同様である。
【００２１】
（本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第４の実施形態）
図４は、本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第３の実施形態を示す。本実施形態は、第２の実施形態と第３の実施形態の構成を合わせたものである。すなわち、ＭＥＭＳ光スイッチ１０の入力ポート側に広帯域光源１４および波長分波器１５を備え、出力ポート側にｎ×１光スイッチ１３および光強度検出器１２を備える。
【００２２】
（本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第５の実施形態）
図５は、本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第５の実施形態を示す。本実施形態は、図１に示す第１の実施形態の構成において、ＭＥＭＳ光スイッチ１０の各入力ポートに接続される互いに波長が異なる光源１１−１〜１１−ｎに代えて、互いに波長が異なる２つの光源１１−１，１１−２を用い、それぞれ出力される波長λ１，λ２の制御光を光カプラ１６−１，１６−２を介してそれぞれｎ／２分配してｎ×ｎ光スイッチ１７に入力する。ｎ×ｎ光スイッチ１７は、ＭＥＭＳ光スイッチ１０の出力ポート側で波長λ１の制御光と波長λ２の制御光が隣接しないように、ＭＥＭＳ光スイッチ１０の接続パターンに応じて、入力するｎ／２個の波長λ１の制御光およびｎ／２個の波長λ２の制御光の入力ポートを設定する。その他の構成および各ミラーの角度調整は第１の実施形態と同様である。
【００２３】
なお、互いに波長が異なる２つの光源１１−１，１１−２は、図３に示すように、広帯域光源と波長分波器を用いて、波長λ１，λ２の制御光を出力する構成としてもよい。
【００２４】
また、ＭＥＭＳ光スイッチ１０の出力ポートが図１１に示すように二次元配置の場合に、「隣接する出力ポート」は縦および横に隣接する出力ポートとし、斜めに隣接する出力ポートを除外すると２波長で対応することができるが、斜めに隣接する出力ポートを含めると９波長が必要になる。いずれにしても、ＭＥＭＳ光スイッチ１０の入出力ポート数ｎが大きい値の場合に、必要とする波長数を減らすことができる利点がある。
【００２５】
（本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第６の実施形態）
図６は、本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第６の実施形態を示す。本実施形態は、第５の実施形態と第２の実施形態の構成を合わせたものである。すなわち、ＭＥＭＳ光スイッチ１０の入力ポート側に互いに波長が異なる２つの光源１１−１，１１−２、光カプラ１６−１，１６−２およびｎ×ｎ光スイッチ１７を備え、出力ポート側にｎ×１光スイッチ１３および光強度検出器１２を備える。
【００２６】
（本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第７の実施形態）
図７は、本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第７の実施形態を示す。本実施形態は、図１に示す第１の実施形態の構成において、ＭＥＭＳ光スイッチ１０の各入力ポートに接続される互いに波長が異なる光源１１−１〜１１−ｎに代えて、１つの光源１１から出力される制御光を光カプラ１６でｎ分配し、各制御光を出力ポート側で互いにコヒーレント長以上の遅延が生じるように設定する遅延線１８−１〜１８−ｎを介してＭＥＭＳ光スイッチ１０の各入力ポートに接続する。これにより、１波長を用いても、ＭＥＭＳ光スイッチ１０の各出力ポートにおけるコヒーレント干渉を抑圧することができる。その他の構成および各ミラーの角度調整は第１の実施形態と同様である。
【００２７】
（本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第８の実施形態）
図８は、本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第８の実施形態を示す。本実施形態は、第７の実施形態と第２の実施形態の構成を合わせたものである。すなわち、ＭＥＭＳ光スイッチ１０の入力ポート側に１つの光源１１、光カプラ１６および遅延線１８−１〜１８−ｎを備え、出力ポート側にｎ×１光スイッチ１３および光強度検出器１２を備える。
【００２８】
（本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第９の実施形態）
図９は、本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第９の実施形態を示す。本実施形態は、図７に示す第７の実施形態の構成において、遅延線１８−１〜１８−ｎに代えて、遅延量制御回路１９により遅延量が可変設定できる可変遅延線２０−１〜２０−ｎを用い、ＭＥＭＳ光スイッチ１０の出力ポート側で互いにコヒーレント長以上の遅延が生じるように、それぞれの遅延量を設定する構成である。本実施形態は、例えば第５の実施形態における２種類の波長を用いる場合のように、隣接する出力ポートで互いにコヒーレント長以上の遅延が生じるようにＭＥＭＳ光スイッチ１０の接続パターンに応じて、２種類の遅延量を対応する可変遅延線に設定することも可能である。その他の構成および各ミラーの角度調整は第１の実施形態と同様である。
【００２９】
（本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第１０の実施形態）
図１０は、本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第１０の実施形態を示す。本実施形態は、第９の実施形態と第２の実施形態の構成を合わせたものである。すなわち、ＭＥＭＳ光スイッチ１０の入力ポート側に１つの光源１１、光カプラ１６、遅延量制御回路１９および可変遅延線２０−１〜２０−ｎを備え、出力ポート側にｎ×１光スイッチ１３および光強度検出器１２を備える。
【００３０】
（本発明の光スイッチの光出力安定化方法の第１の実施形態）
図１１は、本発明の光スイッチの光出力安定化方法の第１の実施形態を示す。本実施形態は、図１〜図４に示す装置構成に対応するものであり、光スイッチの各入力ポートに互いに異なる波長の制御光を入力するステップＳ１と、光スイッチの各出力ポートから出力される互いに異なる波長の制御光の出力光強度を測定するステップＳ２と、測定された出力光強度に応じて光スイッチのミラーの角度調整を行うステップＳ３からなる。
【００３１】
（本発明の光スイッチの光出力安定化方法の第２の実施形態）
図１２は、本発明の光スイッチの光出力安定化方法の第２の実施形態を示す。本実施形態は、図５〜図６に示す装置構成に対応するものであり、光スイッチの出力ポート側で同一波長の制御光が隣接しないように、光スイッチの接続パターンに応じて少なくとも２波長の制御光を対応する入力ポートに入力するステップＳ11と、光スイッチの各出力ポートから出力される制御光の出力光強度を測定するステップＳ12と、測定された出力光強度に応じて光スイッチのミラーの角度調整を行うステップＳ13からなる。
【００３２】
（本発明の光スイッチの光出力安定化方法の第３の実施形態）
図１３は、本発明の光スイッチの光出力安定化方法の第３の実施形態を示す。本実施形態は、図７〜図１０に示す装置構成に対応するものであり、光スイッチの出力ポート側で互いにコヒーレント長以上の遅延差が生じるように、制御光にそれぞれ所定の遅延を与えて各入力ポートに入力するステップＳ21と、光スイッチの各出力ポートから出力される制御光の出力光強度を測定するステップＳ22と、測定された出力光強度に応じて光スイッチのミラーの角度調整を行うステップＳ23からなる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第１の実施形態を示す図。
【図２】本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第２の実施形態を示す図。
【図３】本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第３の実施形態を示す図。
【図４】本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第４の実施形態を示す図。
【図５】本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第５の実施形態を示す図。
【図６】本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第６の実施形態を示す図。
【図７】本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第７の実施形態を示す図。
【図８】本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第８の実施形態を示す図。
【図９】本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第９の実施形態を示す図。
【図１０】本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第１０の実施形態を示す図。
【図１１】本発明の光スイッチの光出力安定化方法の第１の実施形態を示すフローチャート。
【図１２】本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第２の実施形態を示すフローチャート。
【図１３】本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第３の実施形態を示すフローチャート。
【図１４】光スイッチの構成例を示す図。
【図１５】光スイッチの出力ポートにおけるコヒーレント干渉を説明する図。
【符号の説明】
【００３４】
１，２  コリメータアレイ
３，４  ＭＥＭＳミラーアレイ
１０  ＭＥＭＳ光スイッチ
１１  光源
１２  光強度検出器
１３  ｎ×１光スイッチ
１４  広帯域光源
１５  波長分波器
１６  光カプラ
１７  ｎ×ｎ光スイッチ
１８  遅延線
１９  遅延量制御回路
２０  可変遅延線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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