(57)【要約】【課題】アルミホイールのような環状ワークからの漏れの有無を短時間に検出することができ、かつその漏れ量を計測することができる環状ワークの漏れ検査装置を提供する。【解決手段】中空円筒形の環状ワーク１の気密性を検査する漏れ検査装置１０。環状ワーク１を収容し環状ワークで気密に仕切られた加圧チャンバー１１ａと検出チャンバー１１ｂを形成するワーク格納装置１２と、加圧チャンバーに所定の圧力差で所定濃度のオゾンガスを供給するオゾンガス供給装置１４と、検出チャンバー内に収容されチャンバー内ガスを均一に攪拌する攪拌ファン１６と、検出チャンバー内の離隔した複数箇所に設置されチャンバー内ガスのオゾン濃度を検出する複数のオゾンセンサ１８と、環状ワーク１を通過したオゾンガスの漏れ量を演算する漏れ量演算装置２０とを備える。【選択図】図１
2008026052.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中空円筒形の環状ワークの気密性を検査する漏れ検査装置であって、
前記環状ワークを収容し該環状ワークで気密に仕切られた加圧チャンバーと検出チャンバーを形成するワーク格納装置と、
前記加圧チャンバーに、所定の圧力差で所定濃度のオゾンガスを供給するオゾンガス供給装置と、
前記検出チャンバー内に収容され該チャンバー内ガスを均一に攪拌する攪拌ファンと、
前記検出チャンバー内の離隔した複数箇所に設置され該チャンバー内ガスのオゾン濃度を検出する複数のオゾンセンサと、
前記環状ワークを通過したオゾンガスの漏れ量を演算する漏れ量演算装置と、を備えたことを特徴とする環状ワークの漏れ検査装置。
【請求項２】
前記漏れ量演算装置において、前記検出チャンバー内のオゾン濃度の上昇速度からオゾンガスの漏れ量を演算する、ことを特徴とする請求項１に記載の環状ワークの漏れ検査装置。
【請求項３】
前記検出チャンバー内のオゾン濃度が所定の検出レベルＧ２に達するまでのオゾンガスの供給時間ｔから、下記の式（１）によりオゾンガスの漏れ量Ｑを演算する、
Ｑ＝（Ｇ２／Ｇ）×（Ｖｎ／ｔ）・・・（１）
ここで、Ｇは供給するオゾンガス濃度、Ｖｎは検出するチャンバーの容積である、
ことを特徴とする請求項１に記載の環状ワークの漏れ検査装置。
【請求項４】
前記複数のオゾンセンサ出力の合計値又は平均値を演算に用いる、ことを特徴とする請求項２又は３に記載の環状ワークの漏れ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アルミホイールのような環状ワークの気密性をオゾンガスを用いて短時間に検査する漏れ検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、チューブレスタイヤに用いられる自動車用のホイールは、タイヤとの間に圧縮空気を密閉状態で保持するために、気密性が要求される。しかし、例えばアルミホイールのように鋳造や鍛造で製造するホイールでは、製造時に発生する欠陥（「す」等）により漏れが発生することがある。そのため、従来からホイールの漏れ検査が行われていた。
【０００３】
ホイールの漏れ検査は、一般的には、水没法によっている。水没法は、ホイールの両端開口部をフランジ等でシールして中空円筒形の容器とし、これを水中に水没させ、内部に加圧空気を供給して、漏れ部からの泡の有無を目視で検査するものである。
しかし、水没法は、準備に時間と手間がかかる、検査時間が長い、後工程として乾燥時間が必要になる、等の欠点があった。
【０００４】
そこで、ヘリウムガスと専用の検査装置用チャンバーを用いた漏れ検査が提案されている（例えば、特許文献１）。
特許文献１の検査装置用チャンバーは、両側に開口を有する筒状ワークを、内部側と外部側をそれぞれ別の密閉空間部として隔離した状態で収容可能なチャンバーと、前記ワークの内部側および外部側の密閉空間部の一方に接続手段を介して接続されて同一方の密閉空間部にトレースガスを供給するトレースガス供給装置と、前記ワークの内部側および外部側の密閉空間部の他方に接続手段を介して接続されて前記一方の密閉空間部から前記他方の密閉空間部に漏れてくるトレースガスを検出する検出装置とを備えたものである。
この発明では、一方の密閉空間部内を排気して減圧し、その状態で、ヘリウムボンベから他方の密閉空間部内にヘリウムガスを供給するとともに、ヘリウムリークディテクターによって密閉空間部内のヘリウムガスを検出する。この結果、密閉空間部内でヘリウムガスが検出されればアルミホイールに欠陥があり、ヘリウムガスが検出されなければアルミホイールには漏れによる欠陥はないと判断する。
【０００５】
一方、ドラム缶のような容器の気密性を検査する手段として、本発明の発明者等は、オゾンガスを用いた漏れ検査手段を創案し出願している（特許文献２）。
【０００６】
特許文献２の「容器の漏れ検査方法と装置」は、被検容器内にオゾンガスを封入し、該容器の外側を気密に覆いかつ外側を減圧してオゾンガスの漏れの有無を検査する容器の漏れ検査方法において、容器外側のガスを下方から吸引し上方に戻して容器外側に循環下降流を形成し、該循環下降流のオゾン濃度から漏れの有無を検査する、ことを特徴とするものである。
【０００７】
【特許文献１】特開２００３−４２８８９号公報、「筒状ワークの漏れ検査装置用チャンバ」
【特許文献２】特開２００５−３７２２０号公報、「容器の漏れ検査方法と装置」
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１，２の検査手段では、短時間に漏れを検出するために、計測チャンバー内を減圧している。そのため、これらの手段では、漏れの有無は検出できるが、漏れ量の計測はできない問題点があった。
【０００９】
また、トレースガスとしてヘリウムガスを使用する場合、ヘリウムガスは、大気中のバックグラウンド濃度が高く（約５．２４ｐｐｍ）、その影響を回避する必要があった。
【００１０】
一方、トレースガスとしてオゾンガスを使用する場合、オゾンのバックグラウンド濃度は低い（約０．０１ｐｐｍ）が、計測チャンバー内を減圧するとセンサ出力が顕著に低下する問題があった。
【００１１】
また、オゾンガスの分子量は４８であり、空気の分子量約２９より大きいため、オゾンガスは空気より重く、漏れたオゾンガスがその比重差で下降するが、下降速度は非常に遅い（例えば約３ｃｍ／ｓｅｃ程度）ため、オゾンセンサに到達するのに数十秒必要となり、その分、検査時間が余分に必要となる問題点があった。
【００１２】
本発明は、かかる問題点を解決するために創案されたものである。すなわち、本発明の目的は、アルミホイールのような環状ワークからの漏れの有無を短時間に検出することができ、かつその漏れ量を計測することができる環状ワークの漏れ検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明によれば、中空円筒形の環状ワークの気密性を検査する漏れ検査装置であって、
前記環状ワークを収容し該環状ワークで気密に仕切られた加圧チャンバーと検出チャンバーを形成するワーク格納装置と、
前記加圧チャンバーに、所定の圧力差で所定濃度のオゾンガスを供給するオゾンガス供給装置と、
前記検出チャンバー内に収容され該チャンバー内ガスを均一に攪拌する攪拌ファンと、
前記検出チャンバー内の離隔した複数箇所に設置され該チャンバー内ガスのオゾン濃度を検出する複数のオゾンセンサと、
前記環状ワークを通過したオゾンガスの漏れ量を演算する漏れ量演算装置と、を備えたことを特徴とする環状ワークの漏れ検査装置が提供される。
【００１４】
本発明の好ましい実施形態によれば、前記漏れ量演算装置において、前記検出チャンバー内のオゾン濃度の上昇速度からオゾンガスの漏れ量を演算する。
【００１５】
また、前記検出チャンバー内のオゾン濃度が所定の検出レベルＧ２に達するまでの時間ｔから、下記の式（１）によりオゾンガスの漏れ量Ｑを演算する、
Ｑ＝（Ｇ２／Ｇ）×（Ｖｎ／ｔ）・・・（１）
ここで、Ｇは供給するオゾンガス濃度、Ｖｎは検出するチャンバーの容積である。
【００１６】
また、前記複数のオゾンセンサ出力の合計値又は平均値を演算に用いる、ことが好ましい。
【発明の効果】
【００１７】
上記本発明の装置によれば、ワーク格納装置内に、環状ワークを収容し、該環状ワークで気密に仕切られた加圧チャンバーと検出チャンバーを形成するので、オゾンガス供給装置により加圧チャンバーに、所定の圧力差で所定濃度のオゾンガスを供給し、検出チャンバー内に設置されたオゾンセンサにより、該チャンバー内ガスのオゾン濃度を検出することにより、アルミホイールのような環状ワークからの漏れの有無を検出することができる。
【００１８】
また、検出チャンバー内に収容された攪拌ファンにより、該チャンバー内ガスを均一に攪拌するので、特に他方のチャンバーの容積を小さく設定することで、漏れの有無を短時間に検出することができる。
【００１９】
さらに、複数のオゾンセンサと漏れ量演算装置を備えるので、オゾンセンサの検出出力と経過時間から環状ワークを通過したオゾンガスの漏れ量を演算することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の好ましい実施形態を図面を参照して説明する。なお各図において、共通する部分には同一の符号を付し、重複した説明は省略する。
【００２１】
図１は、本発明の漏れ検査装置の第１実施形態図である。本発明の漏れ検査装置は、アルミホイールのような中空円筒形の環状ワーク１の気密性を検査する装置である。
この図において、本発明の漏れ検査装置１０は、ワーク格納装置１２、オゾンガス供給装置１４、攪拌ファン１６、オゾンセンサ１８および漏れ量演算装置２０を有する。
【００２２】
ワーク格納装置１２は、この例では上方が開口した容器１２ａと蓋１２ｂとからなる。容器１２ａの底面には、環状ワーク１の一方（この図で下方）の開口端面１ａと接触してその間を気密にシールするシール部材１３ａが取り付けられている。
また、蓋１２ｂの下面には、環状ワーク１の他方（この図で上方）の開口端面１ｂと接触してその間を気密にシールするシール部材１３ｂが取り付けられている。
さらに、容器１２ａの上面と蓋１２ｂとの間には、その間を気密にシールするシール部材１３ｃが取り付けられている。また、図示しない締結部材（例えばボルトとナット）により、容器１２ａと蓋１２ｂは、各シール部材１３ａ，１３ｂ，１３ｃの気密性を保持した状態で連結できるようになっている。
シール部材１３ａ，１３ｂ，１３ｃは、オゾンガスにより侵食されない弾性材料、例えばシリコンゴムからなるのがよい。また、シール部材１３ａ，１３ｂ，１３ｃの形状は任意であり、平板でもＯリングでもよい。
【００２３】
この構成により、ワーク格納装置１２の内部に環状ワーク１を収容し、かつ環状ワーク１で気密に仕切られた内側の検出チャンバー１１ｂ及び外側の加圧チャンバー１１ａを形成することができる。
なお、ワーク格納装置１２は、この構成に限定されず、上下が逆でも、容器１２ａの底面及び蓋１２ｂが鉛直に位置してもよい。
【００２４】
オゾンガス供給装置１４は、オゾン源１４ａ、オゾン供給ライン１４ｂ、およびオゾン供給弁１４ｃからなり、この例において、加圧チャンバー１１ａに所定の圧力差で所定濃度のオゾンガスを供給する。所定の圧力差とは、検出チャンバー１１ｂとの圧力差であり、例えば、０．１〜０．３ＭＰａ程度に設定する。また、所定濃度は、例えば、１０００〜１００００ｐｐｍ程度に設定する。
【００２５】
攪拌ファン１６は、オゾンガスが供給されない検出チャンバー１１ｂ内に収容された１又は複数のファンであり、電源１７ａから電源ライン１７ｂを介して電力が供給され、検出チャンバー１１ｂ内のガスを均一に攪拌する。
攪拌ファン１６は、検出チャンバー１１ｂ内のガスを均一に攪拌できる限りで、水平向きでも鉛直向きでもよい。
検出チャンバー１１ｂ内のガスは、好ましくは空気であるが、オゾンガスと反応しない限りで、他のガス、例えば、窒素、ヘリウム、アルゴン、等でもよい。
電源１７ａ及び電源ライン１７ｂは、外側に限定されず、検出チャンバー１１ｂ内に収容してもよい。
【００２６】
なお、検出チャンバー１１ｂ内の圧力は、常圧であるのが好ましいが、必要に応じて減圧しても加圧してもよい。
【００２７】
図１において、複数のオゾンセンサ１８が、検出チャンバー１１ｂ内の離隔した複数箇所に設置され、検出チャンバー１１ｂ内のガスのオゾン濃度をそれぞれ検出するようになっている。
オゾンセンサ１８は、１０〜２５０ｐｐｂ（０．０１〜０．２５ｐｐｍ）の希薄なオゾンを短時間（１秒前後）で検出することができる半導体ガスセンサや紫外線吸収式センサを使用するのがよい。
各オゾンセンサ１８の出力信号は、漏れ量演算装置２０に入力される。
【００２８】
漏れ量演算装置２０は、例えばコンピュータ（ＰＣ）であり、環状ワーク１を通過したオゾンガスの漏れ量を演算する機能を有する。
【００２９】
図２は、本発明の漏れ検査装置の第２実施形態図である。
この例において、オゾンガス供給装置１４は、図１と相違し、内側の加圧チャンバー１１ａに所定の圧力差で所定濃度のオゾンガスを供給する。
また攪拌ファン１６は、オゾンガスが供給されないこの例では外側の検出チャンバー１１ｂ内に収容される。
さらに、オゾンセンサ１８は、この例では外側の検出チャンバー１１ｂ内に収容される。
その他の構成は、図１と同様である。
【００３０】
すなわち、オゾンガス供給装置１４は、内側又は外側の加圧チャンバー１１ａに、所定の圧力差で所定濃度のオゾンガスを供給する。
また、攪拌ファン１６は、内側又は外側のオゾンガスが供給されない検出チャンバー１１ｂ内に収容される。
さらに、複数のオゾンセンサ１８も、オゾンガスが供給されない側の検出チャンバー内１１ｂに収容される。
その他の構成は、図１と図２で共通である。
【００３１】
図３は、本発明の原理を示す図である。
この図は、加圧チャンバー１１ａ（この例ではワーク１）から検出チャンバー１１ｂ内に単位時間当たりＱの漏れ量がある場合を示している。漏れ量Ｑは、オゾンガスの漏れ時間ｔの平均値とする。
この場合、ワーク１内のオゾン濃度を一定値Ｇとする。また、検出チャンバー１１ｂ内の圧力、オゾン濃度、容積（ワークを除く）、オゾン検知出力をそれぞれＰ２，Ｇ２，Ｖｖ，ＸＴとする。検出チャンバー１１ｂ内の圧力は、漏れ量Ｑにより徐々に上昇するが、漏れ量が微量であり計測時間（すなわち漏れ時間）が短いことから、Ｐ２は一定とみなすことができる。
また、オゾンセンサの校正時の圧力、校正ガス濃度、オゾン検知出力をＰ１，Ｇｃ，Ｘ２、オゾン濃度をＸ１とする。Ｐ１は常圧であるのが好ましい。
【００３２】
ワーク１から検出チャンバー１１ｂ内に単位時間当たりＱの漏れ量がｔ時間継続したとすると、漏れたオゾン量と検出チャンバー１１ｂ内のオゾン量が等しいことから、式（１．１）が成り立つ。
Ｑ×ｔ×Ｇ＝Ｇ２×Ｖｖ・・・（１．１）
従って、検出チャンバー１１ｂ内のオゾン濃度が所定の検出レベルＧ２に達するまでの漏れ時間ｔから、式（１）によりオゾンガスの漏れ量Ｑを演算することができる。
Ｑ＝（Ｇ２／Ｇ）×（Ｖｎ／ｔ）・・・（１）
【００３３】
一方、リーク量Ｑは、Ｑ＝ＰＶ／ｔであらわされ、これを充満体積（一定値）で割ると、圧力×オゾン濃度＝一定、の関係式が導かれる。これから、オゾンセンサの校正時と試験時のセンサ出力の関係は、式（２．１）であらわされる。
（Ｐ２×Ｇ２）／（Ｐ１×Ｇｃ）＝（Ｘｔ−Ｘ１）／（Ｘ２−Ｘ１）・・・（２．１）
【００３４】
また、オゾンセンサとして校正したものを使用するので、式（２．２）が成り立つ。
Ｇｃ＝Ｘ２−Ｘ１・・・（２．２）
【００３５】
（１．１）と（２．１）（２．２）から、オゾンガスの漏れ量Ｑを式（２）で演算することもできる。
Ｑ＝（Ｇ２／Ｇ）×（Ｖｎ／ｔ）
＝（Ｐ１×Ｇｃ）×（Ｘｔ−Ｘ１）×（Ｖｎ／ｔ）／（Ｘ２−Ｘ１）／Ｐ２／Ｇ
＝（Ｐ１／Ｐ２）×（Ｘｔ−Ｘ１）×（Ｖｎ／ｔ）／Ｇ・・・（２）
【００３６】
なお、より一般的に、オゾンガスが供給されない側（検出チャンバー）のオゾン濃度の上昇速度からオゾンガスの漏れ量を演算することもできる。
【実施例１】
【００３７】
水没法において、０．３ＭＰａで加圧したときに、３０分間で１９０ｃｃの漏れがある試験体を用い、ドラム缶用の特許文献２の装置（以下、従来装置という）と本発明の装置とで漏れ量を計測した。
この試験体の漏れ量Ｑは、０．３ＭＰａで加圧したとき、
１９０ｃｃ／３０分間＝０．１０５×１０−６ｍ３／ｓｅｃに相当する。
【００３８】
図４は、本発明の第１実施例を示す図である。
図４（Ａ）は、従来装置によるオゾン濃度の変化を示す図である。この試験では、差圧２．５ＭＰａ、圧力室のオゾン濃度７５０ｐｐｍで実施した。
図４（Ａ）において、横軸は経過時間（ｓｅｃ）であり、センサの検出レベルを２５ｐｐｂとすると、約２４００秒（約４０分間）の検出時間が必要となることがわかる。
【００３９】
図４（Ｂ）は、本発明の装置によるオゾン濃度の変化を示す図である。この例において、加圧室（この場合、ワーク内）のオゾン濃度Ｇは２５００ｐｐｍ、計測チャンバー内の圧力Ｐ２、容積Ｖｖ（ワークを除く）、オゾン検知出力ＸＴは、それぞれ０．１×１０６Ｐａ、０．０４３ｍ３、２００ｐｐｂ、バックグラウンドの圧力Ｐ１、オゾン濃度Ｘ１は、０．１×１０６Ｐａ、０．０ｐｐｂであった。
【００４０】
この試験におけるオゾンガスの供給時間ｔは、図から約３０ｓｅｃであり、式（１）から、
Ｑ＝（Ｇ２／Ｇ）×（Ｖｎ／ｔ）
＝（０．２００／２５００）×（０．０４３／３０）
＝０．１１５×１０−６ｍ３／ｓｅｃ・・・（１．２）
となり、水没法における漏れ計測値と高い精度で一致することがわかる。
また、式（１）から、微量の漏れ量を高い精度で検出するには、検出レベルＧ２を低くし（高感度にし）、検出チャンバー１１ｂの容積（ワークを除く）Ｖｎを小さく（小容量に）するのがよいことがわかる。
【００４１】
同様に、式（２）から、
Ｑ＝（Ｐ１／Ｐ２）×（Ｘｔ−Ｘ１）×（Ｖｎ／ｔ）／Ｇ
＝（０．１×１０６／０．１×１０６）×（０．２−０．０）×（０．０４３／３０）／２５００
＝０．２×（０．０４３／３０）／２５００＝０．１１５×１０−６ｍ３／ｓｅｃ・・・（２．３）
となり、式（２）によっても同一の高い精度で一致することがわかる。
【００４２】
また、図４（Ａ）（Ｂ）の比較から、従来装置（Ａ）と比較して本発明の装置（Ｂ）におけるオゾン濃度の変化は早く、本発明により漏れの有無を短時間に検出できることがわかる。
【実施例２】
【００４３】
本発明の装置を用い、分散配置した４つオゾンセンサ１８を用い、それぞれ独立に出力した。また、検出チャンバー１１ａ（この例では内側のチャンバー）内に２台の攪拌ファン１６を設置して、検出チャンバー１１ａ内を均一に攪拌した。
また、加圧圧力０．２ＭＰａ、オゾン濃度１００００ｐｐｍの同一条件において、ファン無し（ファン不作動）とファン有り（ファン作動）とを比較試験した。
【００４４】
図５は、本発明の第２実施例を示す図であり、図５（Ａ）はファン無しの場合、図５（Ｂ）はファン有りの場合である。
図５（Ａ）において、検出オゾン濃度を２００ｐｐｂとすると、検知時間が１分間以内のセンサがあるが、最長は約８００ｓｅｃ（約１３分間）に達しており、４つオゾンセンサの検出レベルの差が大きいことがわかる。
この理由は、比重差によるオゾンガスの移動速度（下降速度）が非常に遅い（例えば約３ｃｍ／ｓｅｃ程度）ため、漏れ位置と検出位置による影響が大きいためと考えられる。
【００４５】
これに対して、図５（Ｂ）では、検出オゾン濃度を２００ｐｐｂとすると、検知時間が最短約８０ｓｅｃ，最長約４８０ｓｅｃであり、ばらつきが約半分まで小さくなっている。
従って、検出チャンバー１１ｂ内に収容された攪拌ファン１６により、チャンバー内ガスを均一に攪拌することにより、単に検出出力のバラツキを小さくできるだけでなく、平均検出時間も短縮でき、漏れの有無を短時間に検出することができることがわかる。
【実施例３】
【００４６】
第２実施例の結果から、４つオゾンセンサ１８の検出レベルは、「ファン有り」の場合でも大きいことがわかる。そのため、短時間に均一に攪拌できるガス流れを形成するように、攪拌ファンはより風量の大きいものを用い、かつその向きを最適化するのがよい。
また、複数のオゾンセンサ１８の検出レベルは、その出力値を合計し、その合計値又は平均値を演算に用いるのがよいことがわかる。
【００４７】
図６は、本発明の第３実施例を示す図である。この図において、図６（Ａ）は、第２実施例における４つオゾンセンサの出力値の合計を示す図である。また、図６（Ｂ）は、別の試験体（アルミホイール）を用いた同様の試験結果である。
図６（Ａ）から、攪拌ファンにより、チャンバー内ガスを攪拌することにより、オゾンセンサ１８の出力値合計を用いることにより、検出時間を短縮でき、漏れの有無を短時間に検出できることがわかる。
この図では、検出オゾン濃度を２００ｐｐｂとすると、検知時間は約６０ｓｅｃ以内であり、従来例の約４０分間と比較すると、１／４０以下に短縮することができる。
【００４８】
また、図６（Ｂ）から、本発明の装置をより一般的に、アルミホイールのような環状ワークの漏れ検査に適用できることがわかる。
この図では、検出オゾン濃度を２００ｐｐｂとすると、検知時間は同様に約６０ｓｅｃ以内であり、従来例の約４０分間と比較すると、１／４０以下に短縮することができる。
【００４９】
上述したように本発明の装置によれば、ワーク格納装置１２内に、環状ワーク１を収容し、環状ワーク１で気密に仕切られた加圧チャンバー１１ａと検出チャンバー１１ｂを形成するので、オゾンガス供給装置１４により加圧チャンバー１１ａに、所定の圧力差で所定濃度のオゾンガスを供給し、検出チャンバー１１ｂ内に設置されたオゾンセンサ１８により、チャンバー内ガスのオゾン濃度を検出することにより、アルミホイールのような環状ワーク１からの漏れの有無を検出することができる。
【００５０】
また、検出チャンバー１１ｂ内に収容された攪拌ファン１６により、該チャンバー内ガスを均一に攪拌するので、特に検出チャンバー１１ｂの容積を小さく設定することで、漏れの有無を短時間に検出することができる。
【００５１】
さらに、複数のオゾンセンサと漏れ量演算装置２０を備えるので、オゾンセンサ１８の検出出力と経過時間から環状ワークを通過したオゾンガスの漏れ量を演算することができる。
【００５２】
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々に変更することができることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の漏れ検査装置の第１実施形態図である。
【図２】本発明の漏れ検査装置の第２実施形態図である。
【図３】本発明の原理を示す図である。
【図４】本発明の第１実施例を示す図である。
【図５】本発明の第２実施例を示す図である。
【図６】本発明の第３実施例を示す図である。
【符号の説明】
【００５４】
１  環状ワーク、１ａ，１ｂ  開口端面、
１０  漏れ検査装置、１１ａ  加圧チャンバー、１１ｂ  検出チャンバー、
１２  ワーク格納装置、１２ａ  容器、１２ｂ  蓋、
１３ａ，１３ｂ，１３ｃ  シール部材、
１４  オゾンガス供給装置、１４ａ  オゾン源、
１４ｂ  オゾン供給ライン、１４ｃ  オゾン供給弁、
１６  攪拌ファン、１７ａ  電源、１７ｂ  電源ライン、
１８  オゾンセンサ、２０  漏れ量演算装置（ＰＣ）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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