(57)【要約】【課題】可とう性・柔軟性があり、かつ曲げに強いフレキシブルドライバＩＣの実装方法を提供する。【解決手段】シリコンウェハ上に形成したフレキシブルドライバＩＣを電極基板に実装するフレキシブルドライバＩＣの実装方法であり、フレキシブルドライバＩＣと電極基板との間に異方性導電材を配し、フレキシブルドライバＩＣを、異方性導電材を圧着硬化させて電極基板に接続する際、はみ出してフレキシブルドライバＩＣの周辺あるいは上部に回り込んだ異方導電膜材料を、フレキシブルドライバＩＣの保護部材として用いる。さらにはフレキシブルドライバの上部に配置したフィルム材料を、はみ出した異方性導電材（ＡＣＦ）材料を利用して接着し、フレキシブルドライバＩＣを保護する。【選択図】図６
2008281635.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリコンウェハ上に形成したフレキシブルドライバＩＣを電極基板に実装するフレキシブルドライバＩＣの実装方法において、
前記フレキシブルドライバＩＣと前記電極基板との間に異方性導電材を配し、フレキシブルドライバＩＣを、異方性導電材を圧着硬化させて電極基板に接続する際、前記フレキシブルドライバＩＣの周囲あるいは上部に回り込んで発生するはみ出し部を、前記フレキシブルドライバＩＣの保護部材として用いることを特徴とするフレキシブルドライバＩＣの実装方法。
【請求項２】
前記はみ出し部の上にフィルム材料を貼り付けることを特徴とする請求項１に記載のフレキシブルドライバＩＣの実装方法。
【請求項３】
前記フィルム材料の厚さが、前記電極基板の厚さと同等以下、あるいは、１０μｍ以上２００μｍ以下であることを特徴とする請求項２に記載のフレキシブルドライバＩＣの実装方法。
【請求項４】
前記異方性導電材の圧着硬化前の厚さが、前記フレキシブルドライバＩＣのバンプの高さと電極基板上の電極の厚さとの合計以上であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のフレキシブルドライバＩＣの実装方法。
【請求項５】
前記電極基板が、柔軟性を有するフレキシブルプリント回路基板（ＦＰＣ）であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のフレキシブルドライバＩＣの実装方法。
【請求項６】
前記電極基板が、フレキシブルディスプレイパネルの画素電極の周辺部に設けた引き回し電極部（電極集約部）であることを特徴とする請求１〜４のいずれかに記載のフレキシブルドライバＩＣの実装方法。
【請求項７】
少なくとも一方が透明な対向する２枚のフレキシブルな電極付基板間の気体中空間に、少なくとも１種以上の粒子からなり、光学的反射率および帯電性を有する表示媒体を少なくとも１種以上封入し、表示媒体に電界を付与することによって、表示媒体を移動させて画像等の情報を表示するフレキシブルディスプレイパネルの電極付基板に、請求項１〜６のいずれか１項に記載のフレキシブルドライバＩＣの実装方法に従って実装して用いられることを特徴とするフレキシブルドライバＩＣ。
【請求項８】
少なくとも一方が透明な２枚のフレキシブルな電極付基板間に光学的反射特性および帯電特性を有する粒子を絶縁性液体とともに封入したマイクロカプセル型表示媒体を配置し、表示媒体に電界を付与することによって表示媒体を構成する粒子を移動させて、画像等の情報を表示する電気泳動方式のフレキシブルディスプレイパネルの電極付基板に、請求項１〜６のいずれか１項に記載のフレキシブルドライバＩＣの実装方法に従って実装して用いられることを特徴とするフレキシブルドライバＩＣ。
【請求項９】
少なくとも一方が透明な２枚のフレキシブルな電極付基板間にコレステリック液晶を封入し、基板間のかかる電圧を制御することにより、画像等の情報を表示するコレステリック液晶方式のフレキシブルディスプレイパネルの電極付基板に、請求項１〜６のいずれか１項に記載のフレキシブルドライバＩＣの実装方法に従って実装して用いられることを特徴とするフレキシブルドライバＩＣ。
【請求項１０】
少なくとも一方が透明な２枚のフレキシブルな電極付基板間に酸化状態と還元状態で透明性が変化するエレクトロクロミック材料を充填し、電極間に電流を流し、電気化学反応により酸化状態、還元状態を変化させることで画像等の情報を表示するエレクトロクロミック方式のフレキシブルディスプレイパネルの電極付基板に、請求項１〜６のいずれか１項に記載のフレキシブルドライバＩＣの実装方法に従って実装して用いられることを特徴とするフレキシブルドライバＩＣ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フレキシブルドライバＩＣの実装方法およびフレキシブルドライバＩＣに関するものであり、特に、フレキシブルディスプレイの駆動に使用するフレキシブルドライバＩＣの実装方法およびフレキシブルドライバＩＣに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶表示装置（ＬＣＤ）やその次世代型の電子ペーパーディスプレイと言われる表示装置（例えば、液体中を粒子が移動する電気泳動方式、コレステリック液晶方式、エレクトロクロミック方式、気体中を粒子が移動する電子粉流体方式など）は、フレキシブル化の開発が進められてきている。これは主に、パネルにフレキシブルな樹脂を用いることで達成されているが、リジッドなドライバＩＣを実装に用いているため、フレキシブルに曲がる部分が限定され、真のフレキシブルディスプレイとは言えなかった。
【０００３】
特に最近のＬＣＤテレビや電気泳動式表示装置のようにＴＦＴ型スイッチ素子を用いたアクティブ駆動が必須の場合は、ＴＦＴ背面基板の作製に３００度以上の高温の熱処理工程が必要なため、フレキシブル化が遅れていたが、有機半導体材料を用いたフレキシブル有機ＴＦＴ基板やガラス基板上に形成したＴＦＴ素子を樹脂基板上に転写する方法より低温での熱処理が可能な化合物半導体材料を用いたフレキシブルＴＦＴ基板の研究などが進められている。
【０００４】
中でも転写技術を用いたフレキシブルディスプレイ用の背面基板および背面基板の製造方法では、低温ポリシリコンを用いることで、ＴＦＴ素子とドライバＩＣとを同時にガラス基板上に作製し、転写技術を用いて樹脂基板上に転写し、ＴＦＴ素子とドライバＩＣとを含むアクティブマトリクス方式の表示基板を構成することができる。この基板の場合は曲げても、基板上のＴＦＴ素子やドライバＩＣが基板から剥がれたり、ＴＦＴ素子やドライバＩＣが割れたりしない基板および基板の製造方法が挙げられ、フレキシブル化の研究が進んできている（例えば特許文献１）。
しかし、この基板は、超精密な回路を形成した後、樹脂基板上に転写するため、理論的には可能なものの実用化には至っておらず、実質的にドライバＩＣを含めて基板全体をフレキシブル化した例はない。本発明は、このような状況を打破し、真のフレキシブルディスプレイを提案するものである。
【０００５】
ディスプレイのフレキシブル化を達成するために、ドライバＩＣを薄膜化してフレキシブル基板に実装した例はないが、ドライバＩＣの厚さをガラス基板の厚さの１／５以下に薄化し、その上に低弾性係数の樹脂を介して、ドライバＩＣよりも剛性の高い補強部材を配置して補強し、異方性導電膜を用いて基板に実装して構成するディスプレイの製造方法が挙げられる（例えば特許文献２）。
しかし、この製造方法を用いることによって、フレキシブル基板の変形や歪は防止できるが、薄化したドライバＩＣが割れたり、基板から剥がれたりといった問題の解決法は提案されていない。
【特許文献１】特開２００４−２３５２３８号公報
【特許文献２】特開２００３−４５９１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本出願人は、ドライバＩＣを薄膜化する技術として、シリコンウェハ上に形成した駆動用のドライバにおいて、シリコンウェハの部分を研磨し、ドライバＩＣを１００μｍ以下の厚さにすることを特徴とするフレキシブルドライバＩＣを提案している。
【０００７】
本発明の目的は、真のフレキシブルディスプレイを達成するために、可とう性・柔軟性がある薄膜化したドライバＩＣを用いて、薄膜化したドライバＩＣが割れたり、基板から剥がれたりしないような、曲げに強いフレキシブルドライバＩＣの実装方法および各種表示装置用のフレキシブルドライバＩＣを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のフレキシブルドライバＩＣの実装方法は、シリコンウェハ上に形成した駆動用のドライバＩＣにおいて、シリコンウェハを研磨してなるフレキシブルドライバＩＣを電極基板に実装するフレキシブルドライバＩＣの実装方法であり、フレキシブルドライバＩＣと電極基板との間に異方性導電材を配し、フレキシブルドライバＩＣを、異方性導電材を圧着硬化させて電極基板に接続する際、フレキシブルドライバＩＣの周辺および上部に回り込んではみ出した異方性導電材料を、フレキシブルドライバＩＣの保護部材として用いることを特徴とするものである。
【０００９】
また、さらに好適な例としては、本発明のフレキシブルドライバＩＣの実装方法において、はみ出してドライバＩＣの上部まで達した異方性導電材（ＡＣＦ）材料を利用して、このフィルム材料をドライバＩＣの上部に接着すること、このフィルム材料の厚さが、電極基板の厚さと同等以下、あるいは、１０μｍ以上２００μｍ以下であることがある。
このように、フレキシブルドライバＩＣの周りを異方性導電材およびはみ出した異方性導電材料で覆ったり、はみ出してドライバＩＣの上部まで達した異方性導電材料を利用して保護用のフィルムを接着することにより、屈曲などにより曲げ応力が集中してドライバＩＣが割れたり剥がれたりすることを防止できる。
【００１０】
さらに、本発明のフレキシブルドライバＩＣの実装方法において、異方性導電材の圧着硬化前の厚さが、フレキシブルドライバＩＣのバンプの高さと電極基板上の電極の厚さとの合計以上であること、電極基板が、柔軟性を有するフレキシブルプリント回路基板（ＦＰＣ）あるいは、フレキシブルディスプレイパネルの画素電極の周辺部に設けた引き回し電極部（電極集約部）であること、が好適例として挙げられる。なお、ここで言うフレキシブルプリント回路基板は一般的にＦＰＣと略されるが、ＣＯＦ（Chip on Film）テープやＴＡＢ（Tape Automated Bonding）テープを含んだＦＰＣであることは言うまでもない。
【００１１】
さらにまた、本発明のフレキシブルドライバＩＣを実装する具体的なフレキシブルディスプレイとしては、２枚のフレキシブル基板を用いたディスプレイであって気体中粒子移動方式、液体中粒子移動方式（電気泳動方式）、回転ボール方式、コレステリック液晶方式、エレクトロクロミック方式などが一般的である。またフレキシブル化したＴＦＴ液晶パネルやＳＴＮ液晶パネルにおいても同様に用いることができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、シリコンウェハ上に形成したフレキシブルドライバＩＣを電極基板に実装するフレキシブルドライバＩＣの実装方法およびそれに用いるフレキシブルドライバＩＣであり、フレキシブルドライバＩＣと電極基板との間に異方性導電材を配し、フレキシブルドライバＩＣを、異方性導電材を圧着硬化させて電極基板に接続する際、フレキシブルドライバＩＣの周辺および上部に回り込んではみ出した異方性導電材料を、フレキシブルドライバＩＣの保護部材として用いることで、可とう性・柔軟性があり、かつ曲げに強いフレキシブルドライバＩＣの実装方法およびそれに用いるフレキシブルドライバＩＣを提供することができる。
【００１３】
フレキシブルドライバＩＣは基本的に単結晶シリコンを材料として用いているために変形に対しては脆く、きわめて割れやすい。シリコンウェハ部分を薄く研磨することでフレキシブル性を付与しているが、脆いことには変わりはない。そこで、フレキシブルドライバＩＣを、そのバンプの高さと電極基板上の電極の厚さとの合計以上の厚さのＡＣＦ（異方導電膜）を用いて実装することではみ出たＡＣＦ材料（樹脂材料）でドライバＩＣの両面および側面を包み込み、なるべく樹脂封止構造にすることで、応力を受けた場合の応力集中を避け、均一に曲げることでより曲率半径の小さな変形に対する耐性を高める。さらに、上部にはみ出したＡＣＦ材を利用してフィルム材料を貼り付けることで、基板とフィルムとの合わせサンドウィッチ構造にすることによりさらに耐性を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
まず、本発明の対象となるディスプレイの基本的な構成について説明する。本発明は、いわゆる電子ペーパーと呼ばれている薄型のフレキシブルディスプレイに特に好適に使用するものであるが、液晶型ディスプレイ、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）などディスプレイパネル全般に好適に用いることができる。
本発明を特に好適に用いることができるフレキシブルディスプレイの形態を以下に例示する。本発明を用いる好適例としては、（１）少なくとも一方が透明な２枚の電極基板間の気体中空間に１種類以上の粒子からなり光学的反射特性および帯電性を有する表示媒体を少なくとも１種類以上封入し、表示媒体に電界を付与することで表示媒体を移動させて画像等の情報を表示する粒子移動方式のフレキシブルディスプレイ、（２）少なくとも一方が透明な２枚の電極基板間にコレステリック液晶を封入し、基板間のかかる電圧を制御することにより、画像等の情報を表示するコレステリック液晶方式のフレキシブルディスプレイ、（３）少なくとも一方が透明な２枚の電極基板間に光学的反射特性および帯電特性の異なる２種類以上の粒子を絶縁性液体とともに封入し、粒子に電界を付与することによって粒子を移動させて画像等の情報を表示する電気泳動方式のフレキシブルディスプレイ、（４）少なくとも一方が透明な２枚の電極基板間に酸化状態と還元状態で透明性が変化するエレクトロミック材料を充填し、電極間に電流を流し、電気化学反応により酸化状態、還元状態を変化させることで画像等の情報を表示するエレクトロクロミック方式のフレキシブルディスプレイなどが代表的である。
その他、バイステイブル（ｂｉｓｔａｂｌｅ）性（表示メモリ性）を有する電子ペーパー技術を用いたフレキシブルディスプレイとしてはＭＥＭＳ方式、銀の電解による析出、溶解反応を利用した方式などのフレキシブルディスプレイもある。
以上述べた各種ディスプレイはいずれもフレキシブル化に最も適した構成であり、フレキシブルドライバＩＣと一体でトータルとしてフレキシブル化を達成することができる。
【００１５】
本発明の対象となるフレキシブルディスプレイの例を、図１（ａ）、（ｂ）〜図５に基づき説明する。
【００１６】
図１（ａ）、（ｂ）に示す例では、少なくとも１種以上の粒子から構成される光学的反射率および帯電特性の異なる少なくとも２種以上の表示媒体３（ここでは表示用白色粒子３Ｗａの粒子群からなる白色表示媒体３Ｗと表示用黒色粒子３Ｂａの粒子群からなる黒色表示媒体３Ｂを示す）を、隔壁４で形成された各セルにおいて、基板１に設けた電極５（個別電極）と基板２に設けた電極６（個別電極）との間に電圧を印加することにより発生する電界に応じて、基板１、２と垂直に移動させる。そして、図１（ａ）に示すように白色表示媒体３Ｗを観察者に視認させて白色のドット表示を行うか、あるいは、図１（ｂ）に示すように黒色表示媒体３Ｂを観察者に視認させて黒色のドット表示を行っている。なお、図１（ａ）、（ｂ）において、手前にある隔壁は省略している。電極は基板の外側に設けてもよいし、基板内部に埋め込むように設けてもよい。この隔壁はなくてもよいが、隣接する電極による粒子の横移動を防ぐために設けることが好ましい。フレキシブル基板で構成し、フレキシブルＴＦＴスイッチ素子を用いることでフレキシブルディスプレイとしてアクティブ駆動することができる。
【００１７】
図２（ａ）、（ｂ）に示す例では、少なくとも１種以上の粒子から構成される光学的反射率および帯電特性の異なる少なくとも２種以上の表示媒体３（ここでは表示用白色粒子３Ｗａの粒子群からなる白色表示媒体３Ｗと表示用黒色粒子３Ｂａの粒子群からなる黒色表示媒体３Ｂを示す）を、隔壁４で形成された各セルにおいて、基板１に設けた電極５（ライン電極）と基板２に設けた電極６（ライン電極）との間に電圧を印加することにより発生する電界に応じて、基板１、２と垂直に移動させる。そして、図２（ａ）に示すように白色表示媒体３Ｗを観察者に視認させて白色のドット表示を行うか、あるいは、図２（ｂ）に示すように黒色表示媒体３Ｂを観察者に視認させて黒色のドット表示を行っている。なお、図２（ａ）、（ｂ）において、手前にある隔壁は省略している。電極は基板の外側に設けてもよいし、基板内部に埋め込むように設けてもよい。この隔壁はなくてもよいが、隣接する電極による粒子の横移動を防ぐために設けることが好ましい。フレキシブル基板で構成したフレキシブルディスプレイとしてパッシブ駆動することができる。
【００１８】
図３（ａ）、（ｂ）に示す例では、三個のセルで表示単位を構成するカラー表示の例を示している。図３（ａ）、（ｂ）に示す例では、表示媒体としてはすべてのセル２１−１〜２１−３に白色表示媒体３Ｗと黒色表示媒体３Ｂとを充填し、第１のセル２１−１の観察者側に赤色カラーフィルター２２Ｒを設け、第２のセル２１−２の観察者側に緑色カラーフィルター２２Ｇを設け、第３のセル２１−３の観察者側に青色カラーフィルター２２ＢＬを設け、第１のセル２１−１、第２のセル２１−２および第３のセル２１−３の三個のセルで表示単位を構成している。本例では、図３（ａ）に示すように、観察者側に、すべての第１セル２１−１〜第３のセル２１−３において白色表示媒体３Ｗを移動することで、観察者に対し白色ドット表示を行い、図３（ｂ）に示すように、観察者側に、すべての第１セル２１−１〜第３のセル２１−３において黒色表示媒体３Ｂを移動することで、観察者に対し黒色ドット表示を行っている。各セルの表示媒体の移動のさせ方で多色カラー表示を行うことができる。なお、図３（ａ）、（ｂ）において、手前にある隔壁は省略している。電極は基板の外側に設けてもよいし、基板内部に埋め込むように設けてもよい。この隔壁はなくてもよいが、隣接する電極による粒子の横移動を防ぐために設けることが好ましい。フレキシブル基板、フレキシブルカラーフィルターで構成したフレキシブルディスプレイとして、パッシブ駆動することができる。
【００１９】
図４に示す例では、図１（ａ）、（ｂ）で示す白色表示媒体３Ｗと黒色表示媒体３Ｂとを充填した隔壁４で形成されたセルの代わりに、白色表示媒体３Ｗと黒色表示媒体３Ｂとを絶縁液体８とともに内部に充填したマイクロカプセル型表示媒体９を用いている。また、図５に示す例では、図２（ａ）、（ｂ）で示す白色表示媒体３Ｗと黒色表示媒体３Ｂとを充填した隔壁４で形成されたセルの代わりに、白色表示媒体３Ｗと黒色表示媒体３Ｂとを絶縁液体８とともに内部に充填したマイクロカプセル型表示媒体９を用いている。図５では、フレキシブル基板、フレキシブルＴＦＴスイッチ素子を用いて、フレキシブルディスプレイとしてアクティブ駆動することができ、図６では、フレキシブル基板で構成したフレキシブルディスプレイとしてパッシブ駆動することができる。いずれの例も白黒ドット表示を行うことができる。電極は基板の外側に設けてもよいし、基板内部に埋め込むように設けてもよい。図４および図５に示す例では、マイクロカプセルが隔壁の役割を兼ね備えているため、基板間の空間を仕切る隔壁は設けないことが多いが、もちろん設けてもよい。
【００２０】
上記は、ディスプレイの表示原理の一部を説明したものであるが、コレステリック液晶方式、エレクトロクロミック方式、ＭＥＭＳ方式、銀塩写真方式など他の方式やＴＦＴ液晶方式やＳＴＮ液晶方式を用いたディスプレイであっても何ら差し支えない。
【００２１】
シリコンウェハ上に形成した駆動用のドライバＩＣのシリコン部分を研磨し、ドライバＩＣを１００μｍ以下にすることで、通常厚いまま使用しているドライバＩＣが可とう性、柔軟性を有するようにできる。ここでドライバＩＣを形成したシリコンウェハを研磨により薄膜化する手順の一例を説明する。
（１）シリコンウェハ上の回路側に保護シートを貼る
（２）ドライバＩＣウェハのシリコン側を機械研磨により薄膜化する
（３）ストレスフリー処理（プラズマエッチングやＣＭＰ（Chemical Mechanical Polish）研磨など）を行う
（４）保護シートを剥離する
（５）回路側にバンプ（メッキバンプ法、スタッドバンプ法、ボール搭載法など）を形成する
（６）バンプ側にダイシングテープを貼る
（７）ダイシングによりドライバＩＣに切り分ける
以上が簡単な手順であるが、研磨の前にバンプを形成する方法や研磨の前にダイシングをする方法など詳細な手順に関しては様々な方法が考えられる。この様にＩＣチップを薄く研磨する技術は従来からあるが、これは半導体メモリ用に多層化することで高密度化するために行われている方法であり、幅が狭く、細長い形状を有するディスプレイ駆動用のドライバに対して適用されることはなかった。
本発明方法では更に薄型ドライバＩＣの折れ易さを解消し信頼性を増すために基板やＦＰＣ上に実装する際に異方性導電材（ＡＣＦ）をドライバＩＣバンプの高さ及び実装に使用するＦＰＣの電極の厚さの合計以上の膜厚にし、圧着時にはみ出させる事で補強する事を見出したものである。更に信頼性を増す為に、ドライバＩＣの上部にＡＣＦ材をはみ出させ、はみ出したＡＣＦ材の上にフィルムを配置する事で曲げた際の応力の集中を防ぐ事を可能にしたものである。
【００２２】
図６（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は本発明のフレキシブルドライバＩＣの実装方法の一実施例を示す。図６（ａ）に示すように、粗研磨により薄膜化したドライバＩＣをＣＭＰ（Chemical Mechanical Polish）研磨等によってストレスフリー化したフレキシブルドライバＩＣ３２はバンプ３３を設け、フレキシブルプリント回路基板（ＦＰＣ）３６は電極３５を設け、バンプ３３と電極３５を接続するために異方性導電膜３４を間に設け、図６（ｂ）に示すように圧着ヘッドおよび圧着機を用いて加熱圧着する。図６（ｃ）に示すように、加熱圧着によって、異方性導電膜材３４はフレキシブルドライバＩＣ３２とフレキシブルプリント回路基板３６との間からはみ出し、フレキシブルドライバＩＣ３２を包み込むように接着し、はみ出した異方性導電膜材３４を裏打ち材として利用することができる。
この時、圧着機の圧着ヘッドとしては耐熱性の離型層を表面に持つヘッドを使用するが、はみ出した異方性導電膜材３４によって、圧着ヘッド表面が汚れる可能性があるので、型フィルムとしてシリコンフィルムやフッ素系フィルムを用いることもできる。。
シリコンウェハ側を研磨し、フレキシブルドライバＩＣ３２の厚さが１００μｍ以下であることが好適で、より好適には５０μｍ以下、さらに好適には４０μｍ以下である。
【００２３】
図７（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は本発明のフレキシブルドライバＩＣの実装方法のその他の実施例を示す。図７（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の構成に加えて、フレキシブルドライバＩＣ３２の上にフィルム材料３１を載せる形で加熱圧着し、図７（ｃ）に示す構成とする。図７（ｃ）に示すようにフィルム材料３１とフレキシブルドライバＩＣ３２のの間に、はみ出した異方性導電膜材３４が入り込み接着する。この構成のとき、フィルム材料３１を用いることによって、はみ出した異方性導電膜材３４によって、圧着ヘッド表面が汚れず、かつ、フィルム材料３１が更なる補強材となりシリコンドライバＩＣ（フレキシブルドライバＩＣ３２）を保護することができる。
また、図７（ｂ）、（ｃ）では、異方性導電膜３４がフレキシブルドライバＩＣ３２およびフィルム材料３１間の全面に広がっているが、フレキシブルドライバＩＣ３２の周辺部をカバーするだけでも十分に目的は達成される。
【００２４】
フィルム材料３１の厚さが、フレキシブルプリント回路基板３６の厚さと同等以下、あるいは、１０μｍ以上２００μｍ以下であることが好ましい。
フィルム材料３１の厚さが厚すぎると、フレキシブル性が損なわれ、無理に曲げると界面の剥離や座屈によるドライバＩＣの破壊が生じるフィルム材料３１の厚さが薄すぎると作業性に支障が生じる。
フィルム材料３１としては、ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリエーテルサルフォン（ＰＥＳ）、ポリカーボネート（ＰＣ）などが好適に用いられる。
【００２５】
図８（ａ）、（ｂ）は本発明のフレキシブルドライバＩＣの実装方法を説明するための図である。図８（ａ）は、フレキシブルドライバＩＣ３２のバンプ３３とフレキシブルプリント回路基板３６の電極３５とを異方性導電膜３４を介して接続する前の状態を表し、図８（ｂ）は、接続後の状態を表している。バンプ３３の厚さをＡ、電極３５の厚さをＢ、異方性導電膜３４の厚さをＣとすると、Ａ＋Ｂ≦Ｃ、すなわち、異方性導電膜３４の圧着硬化前の厚さＣが、バンプ３３の高さＡと電極３５の厚さＢの合計以上であることが好ましい。圧着により、バンプ３３と電極３５の体積と同量の異方性導電膜材３４の体積がはみ出すこととなる。
なお、異方性導電膜３４の厚さが、１００μｍより厚いとはみ出し量が多くなりすぎて、回路周辺部を汚したり、圧着ヘッドからはみ出し、未硬化の異方性導電膜が残るなどの不具合が生じることがある。
【００２６】
以下、本発明の対象となるディスプレイについて説明する。
基本的に１００μｍ以下に研磨したディスプレイパネル駆動用ドライバの実装方法であるので、ドライバとしてどんなディスプレイにも使用可能である。すなわち、アクティブ駆動液晶ディスプレイ、パッシブ駆動液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、無機ＥＬディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ、電子ペーパー技術に分類されるコレステリック液晶ディスプレイ、電気泳動ディスプレイ、ＭＥＭＳディスプレイ、バイステイブルＴＮ液晶ディスプレイ、エレクトロクロミックディスプレイ、また詳細に言えば、電気泳動ディスプレイにはさらにマイクロカプセル型、マイクロカップ型、回転ボール型などの多くのディスプレイがあり全てに応用可能である。本発明の技術中に含まれる効果としてはフレキシブル性だけでなく、トータル厚みの減少にも繋がる。最近では携帯電話、デジタルカメラなど多機能化が進んでおり、機能を追加してもその厚さは変わらずにという要求が多い。こうした点においても薄膜化した駆動用ドライバは有用である。
また、これら例示したディスプレイパネルの中でもフレキシブル化したディスプレイパネルであればさらに好適に用いることができる。ディスプレイパネルのどの部分に用いてもトータルとしてフレキシブル性が発現でき、初期の目的を達成できる。
ただし、どのようなディスプレイパネルであってもフレキシブル化が容易というわけではない。単に技術的に可能というだけの場合もある。その点、電子ペーパー技術を利用したディスプレイパネルはフレキシブル化が１つの目的であり、この電子ペーパーディスプレイに用いて初めて紙の代替として総合的な意味での価値が生まれてくる。
【００２７】
さらに本発明を適用するのに特に好適なフレキシブルディスプレイについて説明する。
【００２８】
基板については、少なくとも視認側の基板はディスプレイ外側から表示媒体の色が確認できる透明なフレキシブル基板であり、可視光の透過率が高くかつ耐熱性の良い材料が好適である。背面側の基板は透明でも不透明でもかまわない。基板材料を例示すると、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリエーテルサルフォン、ポリエチレン、ポリカーボネート、ポリイミド、アクリルなどのポリマーシートや、金属シートのように可とう性のあるものが挙げられる。基板の厚みは、２〜２０００μｍが好ましく、さらに５〜１０００μｍが好適であり、薄すぎると、強度、基板間の間隔均一性を保ちにくくなり、２０００μｍより厚いと、可とう性において不都合がある。
【００２９】
基板に設ける電極形成材料としては、アルミニウム、銀、ニッケル、銅、金等を主成分とする金属類や酸化インジウム錫（ＩＴＯ）、酸化インジウム亜鉛（ＩＺＯ）、酸化インジウム、導電性酸化錫、アンチモン錫酸化物（ＡＴＯ）、導電性酸化亜鉛等を主成分とする導電性金属酸化物類、ポリアニリン、ポリピロール、ポリチオフェンなどの導電性高分子類が例示され適宜選択して用いられる。電極の形成方法としては、上記例示の材料をスパッタリング法、真空蒸着法、ＣＶＤ（化学蒸着）法、塗布法等で薄膜状に形成する方法や、導電剤を溶媒や合成樹脂バインダーに混合して塗布したりする方法が用いられる。視認側であり透明である必要のある表示面側基板２に設ける電極は透明である必要があるが、背面側基板１に設ける電極は透明である必要はない。いずれの場合もパターン形成可能で導電性である上記材料を好適に用いることができる。なお、電極厚みは、導電性が確保でき光透過性に支障がなければ良く、特に制限されることはない。また、背面側基板１に設ける電極の材質や厚みなどは上述した表示面側基板に設ける電極と同様であるが、透明である必要はない。なお、この場合の外部電圧入力は、直流あるいは交流を重畳しても良い。
【産業上の利用可能性】
【００３０】
本発明に係るフレキシブルディスプレイパネルは、ノートパソコン、電子手帳、ＰＤＡ（Personal Digital Assistants）と呼ばれる携帯型情報機器、携帯電話、ハンディーターミナル等のモバイル機器の表示部、読書端末、新聞端末、電子書籍、電子新聞、電子マニュアル（取扱説明書）等の電子ペーパー、看板、ポスター、黒板（ホワイトボード）等の掲示板、電子卓上計算機、家電製品、自動車用品等の表示部、ポイントカード、ＩＣカード等のカード表示部、電子広告、情報ボード、電子ＰＯＰ（Point Of Presence、Point Of Purchase advertising）、電子値札、電子棚札、電子楽譜、ＲＦ−ＩＤ機器の表示部のほか、ＰＯＳ端末、カーナビゲーション装置、時計などのメインの表示部、あるいは補助表示部にフレキシブル表示パネルと一体にして用いられる。無論、ガラス基板の場合と同様にフラットであってもよいが、多くの場合は、任意の形状で曲げてあるか、使用者が自由に曲げることができるものである。またフレキシブルにすることで携帯中に落としても壊れないなどの利点もある。
従来、表示パネルのみがフレキシブルであったので、駆動用ドライバを１辺に集約し、かつ駆動回路や電池は一箇所にまとめることでデザイン的に回避してきた。然るに、本発明のフレキシブルドライバＩＣを用いれば表示パネルのどの周辺に駆動用のドライバを接続しても表示パネル全体がフレキシブルでありフレキシブルに設計した回路基板（ＦＰＣ）と一体化しても、回路基板のフレキシブル性が損なわれることなく、軽くフレキシブルで壊れにくいディスプレイモジュールを提供可能となり、よりモバイル性が向上した。
【００３１】
なお、本発明に係るフレキシブルディスプレイの駆動方式については、パネル自体にスイッチング素子を用いない単純マトリックス駆動方式やスタティック駆動方式、また、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）で代表される三端子スイッチング素子あるいは薄膜ダイオード（ＴＦＤ）で代表される二端子スイッチング素子を用いたアクティブマトリックス駆動方式や、セグメント駆動方式、ダイナミック駆動方式など、種々のタイプの駆動方式を用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の対象になるフレキシブルディスプレイの一例を示す図である。
【図２】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の対象になるフレキシブルディスプレイの他の例を示す図である。
【図３】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の対象になるフレキシブルディスプレイのさらに他の例を示す図である。
【図４】本発明の対象になるフレキシブルディスプレイのさらに他の例を示す図である。
【図５】本発明の対象になるフレキシブルディスプレイのさらに他の例を示す図である。
【図６】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ本発明のフレキシブルドライバＩＣの実装方法の一例を示す。
【図７】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ本発明のフレキシブルドライバＩＣの実装方法の他の例を示す。
【図８】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明のフレキシブルドライバＩＣの実装方法を説明するための図である。
【符号の説明】
【００３３】
１、２          基板
３              表示媒体
３Ｗ            白色表示媒体
３Ｗａ          表示用白色粒子
３Ｂ            黒色表示媒体
３Ｂａ          表示用黒色粒子
４              隔壁
５、６          電極
８              絶縁液体
９              マイクロカプセル型表示媒体
２１−１        第１のセル
２１−２        第２のセル
２１−３        第３のセル
２２Ｒ          赤色カラーフィルター
２２Ｇ          緑色カラーフィルター
２２ＢＬ        青色カラーフィルター
３１            フィルム材料
３２            フレキシブルドライバＩＣ
３３            バンプ
３４            異方性導電膜
３５            電極
３６            フレキシブルプリント回路基板（ＣＯＦ、ＴＡＢを含むＦＰＣ）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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