(57)【要約】【課題】被検体からの光を略水平方向に偏向する偏向部と偏向された光を受光する撮像部とが水平支持された画像取込装置において、被検体の大型化に対応し、振動の影響を低減した検査を行うことができるようにする。【解決手段】基板５０を水平方向に搬送しつつ、撮像領域を撮像して画像を取り込むようにした画像取込装置１００であって、撮像部４と、撮像領域の基板５０上からの光を撮像部４に入射せしめる偏向部５と、撮像部４および偏向部５を支持する水平支持体３と、基板５０の搬送路を跨ぐ状態で架設された梁部を、搬送方向に対する両側側の支柱部で支持してなる門型支柱２とを備え、水平支持体３は、梁部上において、搬送方向の上下流側にそれぞれ張り出した状態で固定され、撮像部４および偏向部５は、それぞれ水平支持体３の一方および他方の張り出し部に分けて配置された構成とする。【選択図】図１
2008202954.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検体を水平方向に搬送しつつ、搬送方向に略直交するライン状の撮像領域を撮像し、前記被検体の画像を取り込むようにした画像取込装置であって、
前記被検体を撮像する撮像部と、
前記撮像領域の被検体上からの光を略水平方向に偏向して、前記撮像部に入射せしめる偏向部と、
前記撮像部および前記偏向部を略水平面上に支持する水平支持体と、
前記被検体の搬送路を、搬送方向に略直交する方向に跨ぐ状態で架設された梁部を、前記搬送方向に対する両側の支柱部で支持してなる門型支柱とを備え、
前記水平支持体は、前記梁部上において、前記搬送方向の上下流側にそれぞれ張り出した状態で固定され、
前記撮像部および前記偏向部は、それぞれ前記水平支持体の一方および他方の張り出し部上に分けて配置されたことを特徴とする画像取込装置。
【請求項２】
前記水平支持体は、前記梁部に、異なる基端部で固定されそれぞれ搬送方向の上下流側に独立して張り出されたことを特徴とする請求項１に記載の画像取込装置。
【請求項３】
前記異なる基端部は、
前記梁部の架設方向では互いに離間され、前記梁部の架設方向に直交する幅方向では互いに重なり合う位置に固定されたことを特徴とする請求項２に記載の画像取込装置。
【請求項４】
前記水平支持体は、フレーム構造によって構成されたことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の画像取込装置。
【請求項５】
前記撮像部および前記偏向部の少なくともいずれかの近傍位置で前記水平支持体に、錘部材を弾性体で支持してなる除振器を取り付けてなることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の画像取込装置。
【請求項６】
前記除振器は、前記錘部材の重心位置が前記弾性体の下方に位置する構成とされたことを特徴とする請求項５に記載の画像取込装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、画像取込装置に関する。例えば、フラットパネルディスプレイのガラス基板などのマクロ的な画像を取得して欠陥の検査を行う場合などに好適となる画像取込装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、大型の液晶ディスプレイに用いる液晶基板などの製造工程では、被検体である基板を一定方向に定速搬送して、搬送方向に直交するライン状の撮像領域を撮像し、被検体の表面の画像を取得し、正常な被検体の画像と比較することで、欠陥の検査を行っている。
近年、大型テレビの普及やコストダウンなどために、被検体の幅寸法が増加する傾向にあり、例えば、幅２０００ｍｍといった大型の被検体を検査するための画像取込装置が求められている。
このような大型の被検体の画像を撮像するためには、撮像光学系の光路長もそれに合わせて長く設定する必要がある。そこで、撮像光学系の光路を折り曲げることで、装置の小型化を図った画像取込装置が知られている。
例えば、特許文献１には、被検査基板（被検体）を搬送するステージを跨ぐ門型の支柱が設けられ、この支柱の上部に片持ち梁状の支持アームが搬送方向側に延ばして設けられ、この支持アーム上の基端側にラインセンサカメラが、同じく先端側にミラーがそれぞれ配置された画像取込装置が記載されている。
【特許文献１】特開２０００−２６６６８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記のような従来の画像取込装置には以下のような問題があった。
特許文献１に記載の技術で、基板の大型化にともない、そのまま定数倍で大きくした場合は高さ方向にも大きくなるので設置場所が制限されたり、カメラ位置も高くなるのでメンテナンス性が劣ることとなる。そこで、ミラーによって撮像光学系の光路を折り畳む位置を変更し、装置高を低く抑える必要がある。撮像光学系の光路長は、被検体の幅寸法によって決まるため、装置高を抑えれば抑えるほど、支持アームの長さが長くなってしまう。この結果、支持アームの固有振動数が低下し、支持アームや支持アーム上のミラーが外部振動の影響を受けやすくなるという問題がある。
支持アームやミラーが振動すると、撮像光学系の光軸が、所望の撮像領域から周期的にずれてしまうため、被検体が定速で搬送されていても、取り込まれた画像は搬送方向に対して振動数に対応したピッチで画像ムラが発生することがある。これは、擬似欠陥などの原因となるとともに、欠陥の位置や形状の検出誤差を悪化させる原因ともなる。
【０００４】
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、被検体からの光を略水平方向に偏向する偏向部と偏向された光を受光する撮像部とが水平支持された構成において、被検体の大型化に対応し、振動の影響を低減した検査を行うことができる画像取込装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題を解決するために、本発明の画像取込装置は、被検体を水平方向に搬送しつつ、搬送方向に略直交するライン状の撮像領域を撮像し、前記被検体の画像を取り込むようにした画像取込装置であって、前記被検体を撮像する撮像部と、前記撮像領域の被検体上からの光を略水平方向に偏向して、前記撮像部に入射せしめる偏向部と、前記撮像部および前記偏向部を略水平面上に支持する水平支持体と、前記被検体の搬送路を、搬送方向に略直交する方向に跨ぐ状態で架設された梁部を、前記搬送方向に対する両側の支柱部で支持してなる門型支柱とを備え、前記水平支持体は、前記梁部上において、前記搬送方向の上下流側にそれぞれ張り出した状態で固定され、前記撮像部および前記偏向部は、それぞれ前記水平支持体の一方および他方の張り出し部上に分けて配置された構成とする。
この発明によれば、撮像部と偏向部とを、門型支柱の梁部上において、搬送方向の上下流側にそれぞれ張り出した状態に固定された水平支持体の一方および他方の張り出し部上に分けて配置するので、同じ光路長を有する撮像部を用いて水平支持体が門型支柱から片側のみに張り出し部を設ける場合に比べて、各張り出し部の長さが短縮される。その結果、水平支持体の固有振動数を高めることができるので、画像劣化につながる振動の影響を受けにくくすることができる。
【発明の効果】
【０００６】
本発明の画像取込装置によれば、撮像部および偏向部を支持する水平支持体の張り出し部の張り出し長さを、光路長同一の条件下で撮像部および偏向部を片持ち梁支持する場合に比べて、それぞれ低減することができるので、被検体の大型化に対応し、振動の影響を低減した検査を行うことができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下では、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。すべての図面において、実施形態が異なる場合であっても、同一または相当する部材には同一の符号を付し、共通する説明は省略する。
【０００８】
本発明の実施形態に係る画像取込装置について説明する。
図１は、本発明の実施形態に係る画像取込装置の概略構成を示す模式的な正面図である。図２は、本発明の実施形態に係る画像取込装置の搬送路の様子を示す模式的な平面図である。図３は、本発明の実施形態に係る画像取込装置の撮像部および偏向部の位置関係を模式的に示す正面図である。図４は、本発明の実施形態に係る画像取込装置の主要部の構成を示す模式的な正面図である。図５は、本発明の実施形態に係る画像取込装置の主要部の構成を示す模式的な平面図である。図６（ａ）、（ｂ）は、本発明の実施形態に係る画像取込装置に用いる除振器の一例、および変形例を示す図４のＡ視の側面図である。図７は、本発明の実施形態に係る画像取込装置に用いる除振器の他例を示す図４のＢ視の側面図である。
なお、図中に記載されたＸＹＺ座標系は、相対的な方向を参照する便宜のために各図共通の位置関係に設けたもので、ＸＹ平面が水平面、Ｚ軸が鉛直軸に一致されている。
【０００９】
本実施形態の画像取込装置１００は、図１に示すように、例えば、大型の液晶ディスプレイに用いる液晶基板などの基板５０の表面を撮像して２次元画像を取り込むための装置であり、適宜の画像処理装置などとともに基板５０の欠陥検査装置として好適に用いることができるものである。
画像取込装置１００の概略構成は、搬送ステージ１、撮像部４、偏向部５、照明光源９、門型支柱２、水平支持体３、および除振器６、７からなる。
【００１０】
搬送ステージ１は、水平に配置されたステージ上面１ａ上で、基板５０をエア浮上させて、一定の搬送方向、本実施形態では、図１の左側から右側に向かう方向（Ｘ軸正方向）に搬送するためのものである。
ステージ上面１ａは、図２に示すように、搬送方向と直交するＹ方向の幅が基板５０の幅よりもわずかに狭い幅を有し、基板５０をエア浮上させるエアを基板５０の裏面側に噴射するエア噴射口１ｂが適宜ピッチで多数設けられている。
搬送ステージ１の搬送方向に対する両側方には、それぞれ搬送方向に沿うスライドガイド１０ａが延ばされており（図１、３参照）、スライドガイド１０ａ上には、それぞれ、基板５０の幅方向両端部を裏面側から吸着保持する吸着スライダ１０が、スライドガイド１０ａに沿うスライド移動可能に設けられている。
【００１１】
撮像部４は、図３に示すように、撮像レンズ４ａ、撮像手段４ｂからなり、撮像レンズ４ａの光軸Ｌが搬送方向に沿う水平方向に位置する状態で、ホルダ４ｃ（図１参照）を介して水平支持体３によって搬送ステージ１上に支持されている。
撮像レンズ４ａは、搬送ステージ１上に設定された基板５０のＹ方向の幅にわたる長さを有するライン状の撮像領域Ｐの画像の縮小像を結像するための撮像光学系を構成するもので、光路長Ｌｐは、Ｌｐ＝Ｌ１＋Ｌ２とされている。また、撮像レンズ４ａの光軸Ｌの高さは、基板５０上から高さＨに設定されている。
光路長Ｌｐは、例えば、基板５０の幅が２０００ｍｍの場合には、一例として、Ｌｐ＝４０００ｍｍ程度の長さに設定される。
撮像手段４ｂは、撮像レンズ４ａにより形成された撮像領域Ｐの縮小像を、光電変換して、基板５０の画像データを取得するもので、例えば、１次元ＣＣＤなどのラインセンサからなる。
本実施形態では、撮像レンズ４ａの物体側近傍の光路上に、干渉像を撮像する場合のため進退自在に保持された干渉フィルタ１２が配置されている。
【００１２】
偏向部５は、ミラー５ａと、ミラー５ａを一定の角度、位置に配置して両端を保持するミラーホルダ５ｂとからなり、図３に示すように、ミラー５ａによって、撮像手段４ｂの撮像面Ｉから距離Ｌ１の位置において、撮像レンズ４ａの光軸Ｌを斜め下方向に偏向して、撮像領域Ｐにおける法線と角度θ２で交差するように光路を折り曲げるものである。
【００１３】
なお、角度θ２が小さすぎると、撮像領域Ｐが偏向部５側に寄りすぎ、高さＨを低くする場合に撮像部４が搬送方向上流側（Ｘ軸負方向側）に位置してしまうため、搬送ステージ１からはみ出るか、基板５０の受入位置から撮像領域Ｐまでの距離が長くなり、装置の長さが大きくなってしまう。また、角度θ２が大きすぎると、正反射光を用いた測定では照明光の入射角度も同角度に設定するため、後述する照明光源９が基板５０に近づきすぎて配置困難になってしまう。そのため、角度θ２は、３０°〜６０°程度が好ましく、４０°〜５０°がより好ましい。本実施形態では、θ２＝４５°としている。
【００１４】
照明光源９は、撮像領域Ｐを、搬送方向上流側から照明するライン状光源であり、例えばＬＥＤやガラスロッドレンズを用いた照明装置などから構成される。照明光源９は、照明ホルダ８によって、撮像領域Ｐを回動中心としてＺＸ平面内で回動可能に保持されており、照明光の基板５０に対する入射角θ１を可変できるようになっている。
例えば、干渉フィルタ１２を光路上に進出させた状態で、θ１＝θ２とすることで、基板５０の正反射光による撮像領域Ｐの画像が撮像され、基板５０上の膜厚ムラなどを観察できる干渉像を取得することができる。
また、例えば、干渉フィルタ１２を光路上から退避させた状態で、角度θ１（≠θ２）を調整することで、入射角θ１で入射する照明光による適宜次数の回折光による回折像を取得することができる。
【００１５】
門型支柱２は、図４、５に示すように、搬送ステージ１の搬送方向の中間部において、搬送ステージ１上を搬送される基板５０を搬送方向に略直交する方向に跨ぐように搬送方向から見て門型に形成された構造物であり、支柱部２ｂ、２ｂ上に、梁部２ａが架設されてなる。
支柱部２ｂ、梁部２ａは、必要に応じて適宜の部材構成を採用することができるが、本実施形態では、適宜の断面を有するアルミなどの軽量な金属を用いた引抜材、棒材、チャンネル材、パイプ材などを組み合わせて剛接したフレーム構造を採用している。これにより装置を軽量化して、装置の運搬時の負荷を軽減している。
梁部上面２Ａは、このようなフレーム構造により、主梁の間につなぎ梁を設けて水平フレーム面を構成し、例えば、ボルト締結、溶接などによって、水平支持体３をＸ方向の幅Ｗにわたって固定できるようになっている。
【００１６】
水平支持体３は、図４、５に示すように、門型支柱２の梁部２ａの架設方向の略中央部における梁部上面２Ａから、搬送方向上流側（Ｘ軸負方向側）に略水平に突出された張り出し部３ｅを形成する撮像部支持体３Ａと、同じく搬送方向下流側（Ｘ軸正方向側）に略水平に突出された張り出し部３ｅを形成する偏向部支持体３Ｂとからなる。
撮像部支持体３Ａ、偏向部支持体３Ｂは、それぞれ、Ｘ方向に延びる複数の水平梁３ａ、水平梁３ａ同士をＺ方向につなぐつなぎ梁３ｂ、水平梁３ａ同士をＹ方向につなぐつなぎ梁３ｄ、水平梁３ａ同士を斜め方向につなぐ斜め梁３ｃ、支持プレート３ｆなどが、剛接されたフレーム構造により構成されている。
水平梁３ａ、つなぎ梁３ｂ、斜め梁３ｃ、つなぎ梁３ｄなどの梁部材は、適宜の断面を有するアルミなどの軽量な金属を用いた引抜材、棒材、チャンネル材、パイプ材などを採用することができる。
また、水平支持体３の各部材を剛接する手段は、例えば、ボルト締結や溶接など、適宜の手段を採用することができる。
【００１７】
斜め梁３ｃは、本実施形態では、図４に示すように、撮像部支持体３Ａ、偏向部支持体３Ｂの先端部下側を下方から支持する部材として用いている。これにより、偏向部支持体３Ｂ側では、下方側に近接して光路を配置することができるようになり、偏向部支持体３Ｂの張り出し部３ｅの張り出し長さを短縮することができるようになっている。
なお、斜め梁３ｃは、不図示の部分でも三角トラスを形成するための部材として必要に応じて設置することができる。
【００１８】
水平支持体３のフレーム構造のＸ方向長さは、撮像レンズ４ａの光路長Ｌｐ、角度θ２、高さＨに応じて決定されるが、各張り出し部３ｅのＸ方向の長さの配分は、撮像部支持体３Ａ、偏向部支持体３Ｂのフレーム構造による剛性を考慮して、固有振動数が適切となるように設定する。例えば、それぞれの最低次の固有振動数が、想定される外部振動の振動数より大きくなるように設定する。
このようなフレーム構造では、例えば、中実断面を備えるブロックや、外周部が板部材で覆われた函状ブロックにより、張り出し部を形成する場合に比べて、同じ曲げ剛性（ＥＩ）であっても、軽量化を図ることができるので、固有振動数がより大きな設定とすることができる。
一般に、片持ち梁では、曲げ剛性が一定であれば、たわみは梁長の３乗に比例し、固有振動数は梁長の２乗に反比例するので、張り出し部の長さの変化によって、片持ち梁のたわみ量と固有振動数とが大きく変化することになる。
そのため、水平支持体３の各張り出し部３ｅの長さは、それぞれの長さに大きな差を設けず、均等もしくは均等に近い設定とする方が、フレーム構造の設計を容易とするためには好ましい。
【００１９】
本実施形態では、撮像部支持体３Ａは、その張り出し方向の先端部の上面に、撮像部４を水平面上に支持するため、撮像部４のＹ方向幅よりもわずかに広いＹ方向幅を有する支持プレート３ｆが取り付けられている。撮像部４を固定するホルダ４ｃは、撮像レンズ４ａの光軸Ｌが、搬送される基板５０のＹ方向幅の中心線に略一致するような位置に設けられている。そして、ホルダ４ｃは、光軸位置や焦点位置等の位置の調整機構を有している。
そして、撮像部支持体３Ａの張り出し部３ｅのＹ方向幅は、この支持プレート３ｆのＹ方向幅と略同一とされている。
また、撮像部支持体３Ａの基端部は、梁部上面２Ａ上に固定されている。
【００２０】
また、本実施形態では、偏向部支持体３ＢのＹ方向幅は、偏向部５のＹ方向幅と略同等とされており、このため撮像部支持体３Ａよりも幅広の張り出し部３ｅを形成している。偏向部支持体３Ｂの張り出し方向の先端部の上面には、偏向部５のミラーホルダ５ｂをボルト締結などによって固定する取付部（不図示）が設けられている。
偏向部５の取付位置のＹ方向負方向側には、水平梁３ａ、３ａ間につなぎ梁３ｄが架設され、このつなぎ梁３ｄと偏向部５との間に平面視略矩形状の開口部１１が形成されている（図５参照）。
また、偏向部支持体３Ｂは、基端側において、複数の水平梁３ａ間に架設されたつなぎ梁３ｄと、撮像部支持体３Ａの基端部からＸ軸正方向に延設された複数の水平梁３ａとが剛接され、水平方向に撮像部支持体３Ａが、偏向部支持体３Ｂの中央において接続され、一体化されている。
【００２１】
このような構成により、門型支柱２および水平支持体３は、搬送方向に直交するＹ方向から見て、略Ｔ字状の構造を形成している。
このため、例えば、Ｌ１、Ｌ２の長さを適宜設定することで、撮像部支持体３Ａ、偏向部支持体３Ｂの張り出し部３ｅの長さを略等しくして、光路長Ｌｐ、角度θ２、高さＨが一定の条件下で、門型支柱２からの搬送方向への張り出し量を最小化することが可能となる。
また、平面視では、各張り出し部３ｅが、撮像部４、偏向部５のそれぞれのＹ方向幅の必要に応じた幅を有するコンパクトな構成が実現される。
【００２２】
除振器６は、撮像部支持体３Ａの先端部で、動吸振器の原理を用いて振動を低減するための除振機構であり、図４、５に示すように、支持プレート３ｆ上の撮像部４の近傍位置に設けられている。
除振器６の構成は、図６（ａ）に示すように、支持プレート３ｆに固定された弾性係数の小さなゴムやゲル状の弾性体などからなる弾性部材６ａ、６ａと、これらの弾性部材６ａの上面に取り付けられた適宜質量の錘６ｂ（錘部材）とからなる。錘６ｂは、質量を変更できるように、複数のものを着脱自在に設けて構成することが好ましい。
除振器６は、錘６ｂと弾性部材６ａとで構成される振動系の固有振動数を、撮像部支持体３Ａの固有振動数に応じて適宜値に設定することにより、外部振動の強制振動を受けて撮像部支持体３Ａが共振する場合に撮像部支持体３Ａの固有振動の振幅を低減することができる。
外部振動の例としては、本実施形態の場合、画像取込装置１００が設置される床から伝動される床振動、例えば、空調機やポンプなどの振動や、画像取込装置１００が配置されるクリーンルーム内のダウンフローなどの外部振動を挙げることができる。これらの外部振動は、数Ｈｚ〜十数Ｈｚの範囲の振動数を含むことが多いので、水平支持体３のような構造物で問題となる固有振動数と一致することが多い。
また、外部振動の原因は、設置状況によって種々考えられ、水平支持体３の剛性を高めることですべての外部振動に対応できない場合がある。このような場合、除振器６を備えることにより、設置状況によって共振が発生する固有振動数に対応して、例えば錘６ａの質量を変えたりして除振器６の固有振動数を調整することで、除振を行うことができる。
【００２３】
なお、除振器６の弾性部材６ａは、支持プレート３ｆ上の一部（本実施形態では、水平梁３ａに重なる範囲）において複数設けてその上に錘６ｂを架設して取り付けたが、図６（ｂ）に示す弾性シート６０ａによって、錘６ｂを裏面側全面で受けるようにしてもよい。この場合、剪断変形による粘性抵抗が大きくなるので、振動減衰を向上することができる。
【００２４】
除振器７は、除振器６と同様に動吸振器の原理を用いて振動を低減するための除振機構であり、偏向部支持体３Ｂの先端部で、図４、５に示すように、偏向部５の近傍位置に設けられている。
除振器７の構成は、図７に示すように、偏向部支持体３Ｂの先端部の水平梁３ａ上に、弾性部材６ａと同様な弾性係数の小さな弾性体からなる弾性部材７ａ、７ａが設けられ、それらの上面に錘７ｂが固定されてなる。錘７ｂは、質量を変更できるように、複数のものを着脱自在に設けて構成することが好ましい。
弾性部材７ａ、７ａと錘７ｂとのなす振動系の固有振動数は、除振器６と同様にして、偏向部支持体３Ｂの固有振動数から設定する。
除振器７では、錘７ｂの側面視形状を、水平梁３ａ、３ａ間に上方から貫入する断面コ字状の吊り下げ部７ｄと、吊り下げ部７ｄの上部両端から水平方向の両外側に、弾性部材７ａと固定する取付部７ｃ、７ｃが形成された形状とし、錘７ｂの重心が、弾性部材７ａの下方に位置するようにしている。
これにより、錘７ａが上下に振動しても、錘７ａが光路を遮らない構成となっている。また、錘７ｂの重心が弾性部材７ａよりも下方に位置することで、例えば、水平方向への振動が抑制されて安定した上下振動が実現されるので良好な除振効果が得られる。
【００２５】
本実施形態の画像取込装置１００によれば、照明光源９からの照明光により、搬送ステージ１上の基板５０の撮像領域Ｐを照明し、基板５０から、出射角θ２で出射される反射光、回折光などを、ミラー５ａで水平方向に偏向して、撮像レンズ４ａに導き、撮像レンズ４ａによって、撮像手段４ｂの撮像面上に撮像領域Ｐの縮小像を結像し、撮像手段４ｂによって、ライン画像を取得することができる。
そして、基板５０を吸着スライダ１０によって吸着保持して、搬送方向に定速で移動しつつ、このようなライン画像を所定タイミングで順次取得することにより、基板５０の２次元画像を取り込むことができる。
その際、撮像部４、偏向部５は、それぞれ門型支柱２上に設けられた撮像部支持体３Ａ、偏向部支持体３Ｂによって、門型支柱２を挟む搬送方向の上流側、下流側にそれぞれ張り出した位置に配置されている。そのため、同様な光路長、光路折り曲げ形態であれば、撮像部４および偏向部５を支持する部材を門型支柱２の一方側のみに片持ち支持する場合に比べて、張り出し長さを短縮することができる。そのため、同一の曲げ剛性を有する場合には、撮像部支持体３Ａ、偏向部支持体３Ｂの固有振動数をより高く設定することができるので、撮像部４、偏向部５の振動の振幅を低減することができる。
【００２６】
もし、外部振動などにより撮像部４、偏向部５を支持する撮像部支持体３Ａ、偏向部支持体３Ｂが共振すると、光軸Ｌが設定位置から周期的にずれるため、基板５０が定速で搬送されていても、取り込まれた画像が搬送方向に周期的に伸縮した画像となり、画像に濃淡縞が発生して、擬似欠陥などの原因となるとともに、欠陥の位置や形状の検出誤差が大きくなってしまう。このような振動の振幅は、低振動数ほど大きくなり、それだけ光軸の位置ずれが大きくなって、画像劣化の程度が甚だしくなる。
【００２７】
本実施形態では、張り出し部３ｅの長さを従来に比べて短縮して、想定される外部振動の振動数に比べて固有振動数を高めることで、外部振動の影響を低減することができる。
また、撮像部４、偏向部５の近傍に、動吸振器として除振器６、７を設けて、撮像部支持体３Ａ、偏向部支持体３Ｂの先端部での振動を吸振するので、共振が起こったとしても撮像部４、偏向部５の近傍での振動は低減することができる。
このように、画像取込装置１００では、光路長同一の条件下で撮像部および偏向部を片持ち梁支持する場合に比べて、振動の影響を低減し、高精度の検査を行うことができる。
【００２８】
次に、本実施形態の変形例について説明する。
図８は、本発明の実施形態の変形例の画像取込装置の主要部の構成を示す模式的な平面図である。
【００２９】
本変形例は、図８に示すように、上記実施形態の画像取込装置１００において、水平支持体３の撮像部支持体３Ａ、偏向部支持体３Ｂに代えて、それぞれ撮像部支持体３０Ａ、偏向部支持体３０Ｂを備える。以下、上記実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００３０】
撮像部支持体３０Ａ、偏向部支持体３０Ｂは、それぞれ、撮像部支持体３Ａ、偏向部支持体３Ｂと略同様の形状を有するが、それぞれが、完全に独立したフレーム構造として形成されている点が異なる。
撮像部支持体３０Ａでは、複数の水平梁３ａは、基端側がすべて門型支柱２の梁部上面２Ａ上の範囲を超えない長さとされて梁部上面２Ａ上で固定された基端部３ｈを形成している。
また、偏向部支持体３０Ｂでは、Ｙ方向の幅方向を接続するつなぎ梁３ｄから、複数の水平梁３０ａが、水平梁３ａに平行に、梁部上面２Ａ上、および梁部上面２Ａの上方を横断して延ばされ、Ｙ方向では、撮像部支持体３０Ａの基端部３ｈを両側から挟む位置で、梁部上面２Ａに固定する基端部３ｉ、３ｉが形成されている。
このため、撮像部支持体３０Ａ、偏向部支持体３０Ｂは、互いに直接には接続されることなく、それぞれの基端部３ｉ、３ｈ、３ｉが梁部２ａの架設方向では分離された位置に、梁部２ａのＹ方向幅内では、Ｙ方向から見て互いに重なり合う状態で、梁部上面２Ａ上に固定されている。そのため、基端部３ｉ、３ｈ、３ｉは、それぞれ梁部２ａのＹ方向幅を横断した配置とすることができ、それぞれ強固に固定することできる。
【００３１】
このため、撮像部支持体３０Ａ、偏向部支持体３０Ｂは、梁部２ａに固定された独立した梁を構成しているので、互いに別々の固有振動モードを有している。そのため、撮像部支持体３０Ａ、偏向部支持体３０Ｂの先端部が、同じ固有振動数で同位相あるいは逆位相で振動する振動モードが発生しにくくなるので、振動の相乗効果を抑えることができる。
また、除振器６、７の振動系の固有振動数の設定が容易となる。
【００３２】
なお、上記の説明では、水平支持体をフレーム構造で構成した場合の例で説明したが、ブロック、板、函状ブロック、単一梁などによって構成してもよい。
【００３３】
また、上記の説明では、除振器を、撮像部の近傍位置および偏向部の近傍位置に設けた場合の例で説明したが、除振器は、水平支持体の振動モードに応じて、適宜の位置に配置することができる。そのため、撮像部の近傍位置または偏向部の近傍位置に配置してもよい。また、水平支持体の固有振動数の設定だけで、振動を許容範囲に抑制できる場合には、除振器を設けない構成としてもよい。
【００３４】
また、上記の各実施形態、各変形例に記載された構成要素は、技術的に可能であれば、本発明の技術的思想の範囲内で適宜組み合わせて実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の実施形態に係る画像取込装置の概略構成を示す模式的な正面図である。
【図２】本発明の実施形態に係る画像取込装置の搬送路の様子を示す模式的な平面図である。
【図３】本発明の実施形態に係る画像取込装置の撮像部および偏向部の位置関係を模式的に示す正面図である。
【図４】本発明の実施形態に係る画像取込装置の主要部の構成を示す模式的な正面図である。
【図５】本発明の実施形態に係る画像取込装置の主要部の構成を示す模式的な平面図である。
【図６】本発明の実施形態に係る画像取込装置に用いる除振器の一例、および変形例を示す図４のＡ視の側面図である。
【図７】本発明の実施形態に係る画像取込装置に用いる除振器の他例を示す図４のＢ視の側面図である。
【図８】本発明の実施形態の変形例の画像取込装置の主要部の構成を示す模式的な平面図である。
【符号の説明】
【００３６】
１  搬送ステージ
２  門型支柱
２a  梁部
３  水平支持体
３Ａ、３０Ａ  撮像部支持体
３Ｂ、３０Ｂ  偏向部支持体
３ｅ  張り出し部
３ｈ、３ｉ  基端部
４  撮像部
４ａ  撮像レンズ
４ｂ  撮像手段
５  偏向部
５ａ  ミラー
５ｂ  ミラーホルダ
６、７  除振器
６ａ、７ａ、６０ａ  弾性部材（弾性体）
６ｂ、７ｂ  錘（錘部材）
９  照明光源
５０  基板（被検体）
Ｌ  光軸
６０ａ  弾性シート（弾性体）
Ｐ  撮像領域
１００  画像取込装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
2008202954.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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