(57)【要約】【課題】ショートリングの切断前において電極に静電気が掛かった場合でも、画素にダメージを与えない液晶表示装置のアレイ基板を提供する。【解決手段】信号線１４及び走査線１６の引き出し線２６がショートリング２０に接続され、その引き出し線２６の横に電極２２を形成し、ショートリング２０の切断除去前はこの電極２２は引き出し線２６と電気的に独立し、ショートリング２０の切断除去後は電極２２は引き出し線２６と電気的に接続されている。【選択図】      図２
2008026736.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁透明基板上に平行に形成された複数本の信号線と、
前記複数本の信号線と直交するように形成された複数本の走査線と、
前記信号線と前記走査線の交叉部近傍に形成されたスイッチング素子と、
前記絶縁透明基板の外周部に形成された共通導体配線と、
を備えた液晶表示装置のアレイ基板において、
前記各信号線の引き出し線と前記各走査線の引き出し線のそれぞれが前記共通導体配線に接続され、
前記引き出し線と隣接し、かつ、前記共通導体配線及び前記引き出し線とは電気的に独立した電極が形成され、
絶縁層を介して前記引き出し線と前記電極とを覆うように導電層が形成され、かつ、前記導電層が前記引き出し線毎に電気的に独立している
ことを特徴とする液晶表示装置のアレイ基板。
【請求項２】
前記導電層が、前記信号線と同じ材料であり、前記引き出し線と前記共通導体配線とが前記走査線と同じ材料である
ことを特徴とする請求項１記載の液晶表示装置のアレイ基板。
【請求項３】
前記信号線と前記引き出し線とがコンタクトホールで接続されている
ことを特徴とする請求項２記載の液晶表示装置のアレイ基板。
【請求項４】
絶縁透明基板上に平行に形成された複数本の信号線と、
前記複数本の信号線と直交するように形成された複数本の走査線と、
前記信号線と前記走査線の交叉部近傍に形成されたスイッチング素子と、
前記絶縁透明基板の外周部に形成された共通導体配線と、
を備えた液晶表示装置のアレイ基板の製造方法において、
前記絶縁透明基板上に前記走査線を形成する工程と、
前記絶縁透明基板上に前記信号線の引き出し線を形成する工程と、
前記絶縁透明基板上であって、前記各引き出し線と前記各走査線のそれぞれと接続されるように前記共通導体配線を形成する工程と、
前記引き出し線に隣接し、かつ、前記共通導体配線及び前記引き出し線とは電気的に独立した電極及び前記走査線に隣接し、かつ、前記共通導体配線、及び、前記走査線とは電気的に独立した電極を形成する工程と、
前記引き出し線、前記走査線、前記共通導体配線、前記電極上に絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜上に前記信号線を形成する工程と、
前記絶縁膜上であって、かつ、前記引き出し線毎に独立し、かつ、前記引き出し線と前記電極のみを覆う導電層、及び、前記走査線毎に独立し、かつ、前記走査線と前記電極のみを覆う導電層とをそれぞれ形成する工程と、
前記導電層、前記絶縁膜、前記引き出し線及び前記走査線とを切断除去して、前記引き出し線と前記共通導体配線及び前記走査線と前記共通導体配線を切断し、かつ、前記引き出し線と前記電極とを前記導電層で電気的に接続し、かつ、前記走査線と前記電極とを前記導電層で電気的に接続する工程と、
を有する
ことを特徴とする液晶表示装置のアレイ基板の製造方法。
【請求項５】
前記走査線と前記共通導体配線とを同じ材料を用いて同じ工程で形成する
ことを特徴とする請求項４記載の液晶表示装置のアレイ基板の製造方法。
【請求項６】
前記信号線と前記導電層とを同じ材料を用いて同じ工程で形成する
ことを特徴とする請求項４記載の液晶表示装置のアレイ基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置において外周部に共通導体配線を有するアレイ基板に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置のアレイ基板には、通常ガラスや石英等の透明絶縁基板が用いられている。そのため、製造途中で生じる静電気の影響を受け、信号線と走査線との交差部に静電気の影響により高電圧が印加され、これにより絶縁不良が生じ、信号線と走査線とが短絡する場合や、或いは、薄膜トランジスタの素子不良を招くといった不具合が生じることがある。
【０００３】
そのため、従来より、信号線や走査線にチャージされる電荷を、互いに共通な共通導体配線（いわゆるショートリング）で接続することで分配し、これにより局所的に高電圧が印加されることを防止する技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平７−２４４２９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のようなショートリングは、製造工程の最終段階でレーザーによって除去される。そのため、電極は、このショートリングに至るまでの引き出し線の途中に形成されている。詳しくは、図５に示すように、信号線または走査線から延びた引き出し線１００のそれぞれがショートリング１０２に接続されている。電極１０４は、この引き出し線１００の途中に形成されている。レーザーでカットする場合には、電極１０４とショートリング１０２との間を切断する。図５における太い点線がその切断線１０６である。
【０００５】
ところがこのショートリング１０２を切断除去する前において、電極１０４に静電気が掛かった場合に、表示領域にある画素に電気的にダメージを与える場合があって、表示不良の原因となる。即ち、静電気による高い電圧が掛かった場合に、信号線と走査線が短絡したり、薄膜トランジスタが破壊されたりするという問題点がある。
【０００６】
そこで、本発明は上記問題点に鑑み、ショートリングの切断前において電極に静電気が掛かった場合でも、画素にダメージを与えない液晶表示装置のアレイ基板及びその製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、絶縁透明基板上に平行に形成された複数本の信号線と、前記複数本の信号線と直交するように形成された複数本の走査線と、前記信号線と前記走査線の交叉部近傍に形成されたスイッチング素子と、前記絶縁透明基板の外周部に形成された共通導体配線と、を備えた液晶表示装置のアレイ基板において、前記各信号線の引き出し線と前記各走査線の引き出し線のそれぞれが前記共通導体配線に接続され、前記引き出し線と隣接し、かつ、前記共通導体配線及び前記引き出し線とは電気的に独立した電極が形成され、絶縁層を介して前記引き出し線と前記電極とを覆うように導電層が形成され、かつ、前記導電層が前記引き出し線毎に電気的に独立していることを特徴とする液晶表示装置のアレイ基板である。
【０００８】
また、本発明は、絶縁透明基板上に平行に形成された複数本の信号線と、前記複数本の信号線と直交するように形成された複数本の走査線と、前記信号線と前記走査線の交叉部近傍に形成されたスイッチング素子と、前記絶縁透明基板の外周部に形成された共通導体配線と、を備えた液晶表示装置のアレイ基板の製造方法において、前記絶縁透明基板上に前記走査線を形成する工程と、前記絶縁透明基板上に前記信号線の引き出し線を形成する工程と、前記絶縁透明基板上であって、前記各引き出し線と前記各走査線のそれぞれと接続されるように前記共通導体配線を形成する工程と、前記引き出し線に隣接し、かつ、前記共通導体配線及び前記引き出し線とは電気的に独立した電極及び前記走査線に隣接し、かつ、前記共通導体配線、及び、前記走査線とは電気的に独立した電極を形成する工程と、前記引き出し線、前記走査線、前記共通導体配線、前記電極上に絶縁膜を形成する工程と、前記絶縁膜上に前記信号線を形成する工程と、前記絶縁膜上であって、かつ、前記引き出し線毎に独立し、かつ、前記引き出し線と前記電極のみを覆う導電層、及び、前記走査線毎に独立し、かつ、前記走査線と前記電極のみを覆う導電層とをそれぞれ形成する工程と、前記導電層、前記絶縁膜、前記走査線及び前記引き出し線とを切断除去して、前記引き出し線と前記共通導体配線及び前記走査線と前記共通導体配線を切断し、かつ、前記引き出し線と前記電極とを前記導電層で電気的に接続し、かつ、前記走査線と前記電極とを前記導電層で電気的に接続する工程と、を有することを特徴とする液晶表示装置のアレイ基板の製造方法である。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、共通導体配線を切断除去する前には、電極と引き出し線とは電気的に独立しているため、電極に静電気が掛かった場合でも、信号線と走査線が短絡したり、スイッチング素子が破壊されたりすることがない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の一実施形態の液晶表示装置のアレイ基板１０について図１〜図４に基づいて説明する。本実施形態の液晶表示装置は、例えば７インチのカーナビゲーションに用いられるものである。
【００１１】
図１に示すように、アレイ基板１０には、複数本の信号線１４が縦方向に形成され、これら信号線１４と直交するように横方向に複数本の走査線１６が形成されている。信号線１４と走査線１６の交差部近傍にはアモルファスシリコンよりなる薄膜トランジスタ（以下、ＴＦＴという）１８が形成されている。このＴＦＴ１８のゲート電極には走査線１６が接続され、ドレイン電極には信号線１４が形成され、ソース電極には透明画素電極（ＩＴＯ）が接続されている。
【００１２】
アレイ基板１０の外周部には、額縁状に共通導体配線であるショートリング２０が形成されている。このショートリング２０は、信号線１４及び走査線１６と電気的に接続されている。
【００１３】
各信号線１４及び走査線１６の横には、電極２２が形成されている。この電極２２は、ショートリング２０を切断除去する前は、信号線１４及び走査線１６とは電気的に独立したものであり、ショートリング２０を切断除去した後には電気的に接続され、通常の電極２２としての役割を果たす。これについては後から詳しく説明する。
【００１４】
なお、上記アレイ基板１０には、液晶を挟んで対向基板が配置され、液晶表示装置が組み立てられる。
【００１５】
次に、図２〜図４に基づいて、液晶表示装置の製造工程について説明する。
【００１６】
第１の工程において、ガラス基板１２上に横方向に複数本の走査線１６をモリブデンタングステンにより形成すると共に、ガラス基板１２の外周部に額縁状にショートリング２０も形成する。この場合に、走査線１６とショートリング２０とは電気的に接続されている。また、信号線１４の引き出し線２６も縦方向に信号線１４と同じ本数だけ、その信号線１４の延長線上に形成しておく。この引き出し線２６もショートリング２０と電気的に接続されている。さらに、走査線１６同士との間及び信号線１４の引き出し線２６同士との間に電極２２をそれそれ形成すると共に、この電極２２から外方に向かって接続線３０を形成しておく。但し、この電極２２から延びている接続線３０は、走査線１６、引き出し線２６及びショートリング２０から電気的に独立している。
【００１７】
第２工程において、走査線１６、ショートリング２０、引き出し線２６，電極２２、接続線３０上に例えば窒化シリコン膜よりなるゲート絶縁膜を全面に積層する。
【００１８】
第３工程において、ゲート絶縁膜２４上に、縦方向にアルミニウムにより信号線１４を形成する。さらに、信号線１４と同時に導電層３４を形成する。この導電層３４は、引き出し線２６とそれに隣接する電極２２の接続線３０とを覆う部分に信号線１４と同じ材料であるアルミニウムで形成するものであり、アルミニウムのスパッタリング、レジスト塗布、露光、レジスト現像、エッチング、レジスト除去により形成する。この場合に導電層３４は、隣接する導電層３４とは電気的に独立するように任意の間隔（例えば、２０μｍ）だけ離して形成する。
【００１９】
第４工程において、信号線１４と走査線１６の交差部近傍にＴＦＴ１８を形成する。この工程と同時に、信号線１４の外側端部にコンタクトホール３２を設け、その下方に存在する引き出し線２６の内側端部と電気的に接続する。これによって、信号線１４と引き出し線２６とが電気的に接続され、ショートリング２０とも接続された状態となる。また、電極２２の位置にもコンタクトホールを設け、電極端子として外側に露出させる。
【００２０】
第５工程において、対向基板を配置して、その間に液晶を注入して液晶セルを形成する。この工程において、電極２２に静電気が掛かっても、ショートリング２０や走査線１６及び引き出し線２６とは電気的に独立しているため、高電圧によるＴＦＴ１８の破壊や、交差部近傍における信号線１４と走査線１６とが短絡したりすることがない。
【００２１】
第６工程において、図２に示すように、ショートリング２０の内側を、ショートリング２０に沿ってレーザーにより走査線１６及び引き出し線２６を切断除去する。この場合に図４に示すようにレーザーによって導電層３４も溶けて、下層にある引き出し線２６及び走査線１６と電気的に接続される。即ち、レーザーの切断によってショートリング２０とは電気的に切断され、その一方、引き出し線２６と電極２２の接続線３０とが電気的に接続されることになる。したがって、ショートリング２０を切断除去した後には、電極２２は通常の電極として使用することができる。
【００２２】
上記のように本実施形態の液晶表示装置のアレイ基板であると、ショートリング２０を切断除去する前は、電極２２がショートリング２０や走査線１６及び信号線１４と電気的に独立しているため、電極２２に静電気が掛かっても、ＴＦＴ１８等が破壊されたりすることがない。
【００２３】
また、ショートリング２０を切断除去するだけで、電極２２と引き出し線２６及び走査線１６と電気的に接続できるため、通常の電極として使用することができる。
【００２４】
本発明は上記各実施形態に限らず、その主旨を逸脱しない限り種々に変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の一実施形態を示すアレイ基板の説明図である。
【図２】本実施形態におけるアレイ基板のショートリング部分の拡大平面図である。
【図３】図２におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図４】図２におけるＢ−Ｂ線断面図である。
【図５】従来のアレイ基板におけるショートリング部分の拡大平面図である。
【符号の説明】
【００２６】
１０  アレイ基板
１２  ガラス基板
１４  信号線
１６  走査線
１８  ＴＦＴ
２０  ショートリング
２２  電極
２４  ゲート絶縁膜
２６  引き出し線
３０  接続線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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