(57)【要約】【課題】製造の歩留まりが良好な窓部材を備えた露光装置を提供する。【解決手段】フィルタ６は、複数のタイル状フィルタ１０を組み合わせてガラス板５の表面上に配置して構成されている。フィルタ６は、ガラス板５の表面に隙間無く相互に接して配置され、その全周端部は筐体４に備わる押さえリブ７によって保持されている。タイル状フィルタ１０は端面同士が相互に隙間なく接しており、その接触面９は上下から相互に重なり合うように形成されている。断面が略台形となるようにタイル状フィルタ１０の４つの端面を斜めに切除して、端面にそれぞれ斜面を形成する。この斜面同士を隣り合う端面同士で上下逆に重ね、図２中のフィルタ６のようにタイル状フィルタ１０同士を組み合わせて配置する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
希ガスと水銀とハロゲン金属がガラス管内に封入され、前記ガラス管内の放電空間に配置された電極と、該電極に接続されて点灯に必要な電力を供給するための電源と、前記点灯における光について特定の波長域のみを透過させるためのフィルタと、を備えた露光装置において、
前記フィルタは複数枚のタイル状フィルタが互いに隙間無く接して組み合わされて構成されていること
を特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記タイル状フィルタは、
垂直下方へ傾斜して延伸する端面を全周に有し、隣接する前記端面の斜面同士が接するように前記タイル状フィルタの一方に対し隣接の他方が裏面を向けて前記配置されていること
を特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記タイル状フィルタは、
多角形に形成された略板形状であること
を特徴とする請求項１または２に記載の露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光洗浄、ＵＶ硬化、光化学反応、接着などに用いられる露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来において、液晶パネル面積の大型化に伴い、その製造工程に用いる露光装置が備える窓部材の面積も大型化している。このため、窓部材と共に一体的に構成されたフィルタ材の面積も大型化している。このフィルタ材は１枚物で製作され、重量増加防止などの理由から薄く作られている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平９−１２７３００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところが、窓部材の面積が大型化しても窓部材に求められる厚みの均一性の要求は変わらない。大型で均一な厚みの窓部材を実現するには、この窓部材の面のうちのどの場所においても光学特性が揃っている必要があり、製造技術の難易度が高まっている。この難易度の高まりに起因して、液晶パネルの製造プロセスに用いる製造設備を製造する際の歩留まりに影響を与える可能性があった。
【０００４】
本発明の目的は、上記に鑑みてなされたものであり、製造の歩留まりが良好な窓部材を備えた露光装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明に係る露光装置は、希ガスと水銀とハロゲン金属がガラス管内に封入され、前記ガラス管内の放電空間に配置された電極と、該電極に接続されて点灯に必要な電力を供給するための電源と、前記点灯における光について特定の波長域のみを透過させるためのフィルタと、を備えた露光装置において、前記フィルタは複数枚のタイル状フィルタが互いに隙間無く接して組み合わされて構成されていることを特徴とする。
【０００６】
また、請求項２に記載の本発明は、請求項１において、前記タイル状フィルタは、垂直下方へ傾斜して延伸する端面を全周に有し、隣接する前記端面の斜面同士が接するように前記タイル状フィルタの一方に対し隣接の他方が裏面を向けて前記配置されていることを特徴とする。
【０００７】
また、請求項３に記載の本発明は、請求項１または２において、前記タイル状フィルタは、多角形に形成された略板形状であることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、製造の歩留まりが良好な窓部材を備えた露光装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
図１には、本発明の露光装置の実施の形態を説明するための構成図を示している。この図１には、露光装置１と、この露光装置１の本体を構成する筐体４と、この筐体４の内部空間に配置されたランプ２と、反射板３と、ランプ２から筐体４の外部へ放射される光を透過するガラス板５と、このガラス板５の面に配置されたフィルタ６と、が示されている。
【００１０】
この図１に示した露光装置１は紫外線を対象物へ照射するための構成を備え、たとえば液晶パネルの製造工程において、製造過程の液晶パネルに紫外線照射をして不純物を除去するための光洗浄工程に用いられる。
【００１１】
露光装置１は、その内部に紫外線を発生させるためのランプ２を複数本備えている。このランプ２には、ガラス管などで形成された中空パイプ内に発光用希ガスと水銀及びハロゲンメタルが封入され、さらに電圧印加のための図示しない電極が配置されて構成されたメタルハライドランプを適用している。そしてランプ２の電極に電源より電圧を印加することにより紫外線が放射される。
【００１２】
それぞれのランプ２から放射された紫外線は、ランプ２の背面に配置された反射板３に到達して反射し、露光装置１の外部方向へ集光される。反射板３は表面を鏡面仕上げにされており、ランプ２と等間隔になるように配置されている。たとえば、ランプ２の円筒面と等間隔の円周位置に配置されている。
【００１３】
ランプ２から直接放射された紫外線と反射板３に反射して集光された紫外線は一緒にフィルタ６へ入射する。フィルタ６は波長が３００ｎｍ以下の光のみを透過する特性を備えていることが好ましい。このフィルタ６を備えることでランプ２から照射される３００ｎｍ以上の不要な波長の光を遮断し、光洗浄に有効な１８５ｎｍと２５４ｎｍの光を対象物へ効率よく照射することができる。
【００１４】
なお、このフィルタ６は一般に知られている吸収ガラスを適用してもよく、その組成の一例としては、ＳｉＯ2、Ｂ2Ｏ3、Ｐ2Ｏ5、Ａｌ2Ｏ3、Ｌｉ2Ｏ、Ｎａ2Ｏ、Ｋ2Ｏ、Ｒｂ2Ｏ、Ｃｓ2Ｏ、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＺｎＯ、ＢａＯ、ＳｒＯ、ＰｂＯ、ＺｒＯ2、Ｌａ2Ｏ3、Ｙ2Ｏ3、Ｔａ2Ｏ3及びＧｄ2Ｏ3の中から選択されて、特定の割合で組合せたものでもよい。
【００１５】
次の図２には、本発明の露光装置の実施の形態に係るフィルタ６の配置例を説明するための構成図を示す。この図２は露光装置１のフィルタ６付近の垂直断面における構成を図示している。
【００１６】
この図２においてフィルタ６は、複数のタイル状フィルタ１０を組み合わせてガラス板５の表面上に配置して構成されている。ガラス板５は紫外線を透過しフィルタとしては機能せず、複数枚のタイル状フィルタ１０を支持している。ガラス板５の周端部は、その全周にわたって筐体４に一体に設けられた支持リブ８により所定位置に支持されている。支持リブ８の開口部分は開口部２２であって、ここからフィルタ６を透過した紫外線が外部へ照射される。
【００１７】
また、複数枚のタイル状フィルタ１０が組み合わされて構成されたフィルタ６は、ガラス板５の表面に隙間無く相互に接して配置されている。フィルタ６の全周端部は筐体４に備わる押さえリブ７によって保持されている。
【００１８】
また、タイル状フィルタ１０は端面同士が相互に隙間なく接しており、その接触面９は上下から相互に重なり合うように形成されている。接触面９を形成するために、たとえば断面が略台形となるようにタイル状フィルタ１０の４つの端面を斜めに切除して、端面にそれぞれ斜面を形成する。この斜面同士を隣り合う端面同士で上下逆に重ね、図２中のフィルタ６のようにタイル状フィルタ１０同士を組み合わせて配置する。このように重ね合わせた配置をすることにより、紫外線が接合部分の隙間からタイル状フィルタ１０を透過せず直接外部へ漏れることを阻止している。
【００１９】
次の図３は、フィルタ６を構成するタイル状フィルタ１０の配置の一例を示している。この図３はタイル状フィルタ１０をガラス板５上に隙間なく敷き詰めた状態を示しており、図２に示したフィルタ６を垂直上方から見下ろした図である。
【００２０】
タイル状フィルタ１０は正方形に形成され、その４つの端面は斜めに形成されている。この斜めに形成された端面同士が重なり合い接触して接触面９を形成している。この接触面９は垂直に対して斜めの面同士により形成されているので、隙間が生じず紫外線の光漏れも生じない。またタイル状フィルタ１０を配置する場合に、多少の配置位置のばらつきが生じても、端面が斜めに形成されていることにより、隣り合う２辺同士の斜面の重なり合いがズレるのみで隙間は生じず光漏れも生じない。
【００２１】
次の図４には、フィルタ６の変形例を説明するための説明図を示している。この図４においては、図３に示したタイル状フィルタ１０が正方形であったことに対し、正六角形のタイル状フィルタ２１が敷き詰められている。このタイル状フィルタ２１の集合によりフィルタ２０が構成されている。複数のタイル状フィルタ２１は相互に接して組み合わされ、図２に示したガラス板５の表面上に配置されている。
【００２２】
タイル状フィルタ２１の６つの端面はそれぞれタイル状フィルタ１０と同様に斜めに形成されている。このため、多少の配置ずれが生じても、隣り合う端面同士の重なり合いにより光漏れを未然に防いでいる。
【００２３】
なお、フィルタ２０の端面は六角形のタイル状フィルタ２１の組み合わせに起因して辺部形状が不定形となるが、押さえリブ７の開口部２２の開口面積をフィルタ２０よりも小さくして、この不定形部分の影響を防止している。
【００２４】
また、本実施の形態ではタイル状フィルタ１０、２１について説明したが、その形状は正方形や正六角形に限定することはなく、他の多角形を用いてもよい。そして、これらの多角形を適用する場合には、好ましくは多角形の頂点部分の角を面取り加工することにより、角部分が衝突した場合の欠損が生じるのを防止できる。
【００２５】
また、タイル状フィルタ２１を複数枚で組み合わせてフィルタ６を構成できるので、タイル状フィルタ６を均一なフィルタ特性で歩留まりよく容易に製造することができ、それらを組み合わせたフィルタ６の製造歩留まりも良好となる。
【００２６】
以上説明した実施の形態によれば、製造の歩留まりが良好な窓部材を備えた露光装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】露光装置の実施の形態を説明するための構成図を示す。
【図２】露光装置の実施の形態に係るフィルタの配置例を説明するための構成図を示す。
【図３】露光装置の実施の形態に係るフィルタの配置例を説明するための説明図を示す。
【図４】露光装置の実施の形態に係るフィルタの変形例を説明するための説明図を示す。
【符号の説明】
【００２８】
１…露光装置
２…ランプ
３…反射板
４…筐体
５…ガラス板
６…フィルタ
９…接合部
１０…タイル状フィルタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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