(57)【要約】【課題】  光スイッチの各出力ポートにおける出力光強度が最適値になるようにミラーの角度制御を行い、高速に安定な出力光強度を得る。【解決手段】  光スイッチに入力する制御光を発生する光源と、光スイッチの複数の入力ポートのうち１つの入力ポートを選択して制御光を入力する第１の選択光スイッチと、光スイッチの複数の出力ポートから出力される各制御光の出力光強度をそれぞれ測定する複数の光強度検出器と、第１の選択光スイッチにより選択された入力ポートに対応する出力ポートＡの出力光強度が隣接する出力ポートの出力光強度よりも大きくなるように、出力ポートＡに対する光ビームの経路にある２枚のミラーのうち入力ポート側のミラーの角度調整を行う制御手段とを備える。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の入出力ポート間に２つのミラーアレイを配置し、任意の入力ポートから入力した光ビームを各ミラーアレイの２枚のミラーによって連続的に反射させ、任意の出力ポートに出力する光スイッチに適用され、各出力ポートにおける出力光強度を検出し、各出力ポートの出力光強度に応じてそれぞれの光ビームの経路にある２枚のミラーの角度調整を行い、各出力ポートの出力光強度を安定化する光スイッチの光出力安定化装置において、
前記光スイッチに入力する制御光を発生する光源と、
前記光スイッチの複数の入力ポートのうち１つの入力ポートを選択して前記制御光を入力する第１の選択光スイッチと、
前記光スイッチの複数の出力ポートから出力される各制御光の出力光強度をそれぞれ測定する複数の光強度検出器と、
前記第１の選択光スイッチにより選択された入力ポートに対応する出力ポートＡの出力光強度が隣接する出力ポートの出力光強度よりも大きくなるように、出力ポートＡに対する光ビームの経路にある２枚のミラーのうち入力ポート側のミラーの角度調整を行う制御手段と
を備えたことを特徴とする光スイッチの光出力安定化装置。
【請求項２】
請求項１に記載の光スイッチの光出力安定化装置において、
前記光源および前記第１の選択光スイッチを複数組備え、前記制御光が入力される複数の入力ポートに対応する複数の出力ポートおよびそれぞれに隣接する出力ポートが互いに重ならないように、前記複数の第１の選択光スイッチで前記制御光を入力する複数の入力ポートを選択する構成である
ことを特徴とする光スイッチの光出力安定化装置。
【請求項３】
複数の入出力ポート間に２つのミラーアレイを配置し、任意の入力ポートから入力した光ビームを各ミラーアレイの２枚のミラーによって連続的に反射させ、任意の出力ポートに出力する光スイッチに適用され、各出力ポートにおける出力光強度を検出し、各出力ポートの出力光強度に応じてそれぞれの光ビームの経路にある２枚のミラーの角度調整を行い、各出力ポートの出力光強度を安定化する光スイッチの光出力安定化装置において、
制御光を発生し、前記光スイッチの複数の入力ポートにそれぞれ入力する複数の光源と、
前記光スイッチの複数の出力ポートから出力される各制御光の出力光強度をそれぞれ測定する複数の光強度検出器と、
前記複数の光源から前記光スイッチの複数の入力ポートにそれぞれ入力する制御光のうち、制御対象の出力ポートＡに隣接する出力ポートに出力される制御光の入力を停止し、出力ポートＡの出力光強度が隣接する出力ポートの出力光強度よりも大きくなるように、出力ポートＡに出力される制御光の経路にある２枚のミラーのうち入力ポート側のミラーの角度調整を行う制御手段と
を備えたことを特徴とする光スイッチの光出力安定化装置。
【請求項４】
請求項３に記載の光スイッチの光出力安定化装置において、
前記制御対象の出力ポートＡに隣接する出力ポートが互いに重ならない範囲で出力ポートＡが複数あり、それぞれの出力ポートＡについて対応するミラーの角度調整を行う構成である
ことを特徴とする光スイッチの光出力安定化装置。
【請求項５】
請求項１〜請求項４のいずれかに記載の光スイッチの光出力安定化装置において、
前記複数の光強度検出器に代えて、
前記光スイッチの各出力ポートから出力される複数の制御光を１つずつ切り替えて出力する第２の選択光スイッチと、
前記第２の選択光スイッチから順次出力される制御光の出力光強度を測定する１つの光強度検出器と
を備えたことを特徴とする光スイッチの光出力安定化装置。
【請求項６】
複数の入出力ポート間に２つのミラーアレイを配置し、任意の入力ポートから入力した光ビームを各ミラーアレイの２枚のミラーによって連続的に反射させ、任意の出力ポートに出力する光スイッチに適用され、各出力ポートにおける出力光強度を検出し、各出力ポートの出力光強度に応じてそれぞれの光ビームの経路にある２枚のミラーの角度調整を行い、各出力ポートの出力光強度を安定化する光スイッチの光出力安定化方法において、
前記入力ポートの１つに制御光を入力するステップと、
前記入力ポートに対応する出力ポートＡおよび隣接する出力ポートの出力光強度を測定するステップと、
前記出力ポートＡの出力光強度が隣接する出力ポートの出力光強度よりも大きくなるように、前記出力ポートＡに対する光ビームの経路にある２枚のミラーのうち入力ポート側のミラーの角度調整を行うステップと
を有することを特徴とする光スイッチの光出力安定化方法。
【請求項７】
複数の入出力ポート間に２つのミラーアレイを配置し、任意の入力ポートから入力した光ビームを各ミラーアレイの２枚のミラーによって連続的に反射させ、任意の出力ポートに出力する光スイッチに適用され、各出力ポートにおける出力光強度を検出し、各出力ポートの出力光強度に応じてそれぞれの光ビームの経路にある２枚のミラーの角度調整を行い、各出力ポートの出力光強度を安定化する光スイッチの光出力安定化方法において、
複数の制御光がそれぞれ入力される複数の入力ポートに対応する複数の出力ポートおよびそれぞれに隣接する出力ポートが互いに重ならないように、複数の制御光をそれぞれ対応する入力ポートに入力するステップと、
前記複数の入力ポートに対応する複数の出力ポートＡおよび隣接する出力ポートの出力光強度を測定するステップと、
前記複数の出力ポートＡの出力光強度がそれぞれ隣接する出力ポートの出力光強度よりも大きくなるように、前記複数の出力ポートＡに対する各光ビームの経路にある２枚のミラーのうち入力ポート側のミラーの角度調整をそれぞれ行うステップと
を有することを特徴とする光スイッチの光出力安定化方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の入出力ポート間で、任意の入力ポートから入力した光ビームを複数のＭＥＭＳ（Micro Electric Mechanical System) ミラーによって連続的に反射させ、任意の出力ポートに出力する光スイッチにおいて、光ビームの出力経路を決める複数のＭＥＭＳミラーの角度調整を行い、出力ポートにおける出力光強度を安定化する光スイッチの光出力安定化方法および装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図７は、光スイッチの構成例を示す。図７において、光スイッチは、複数のコリメータを２次元に配置した２つのコリメータアレイ１，２と、複数のミラーを２次元に配置した２つのＭＥＭＳミラーアレイ３，４を組み合わせた構成である。なお、入力側のコリメータアレイ１には、各コリメータ（入力ポート）に対応させて複数の光ファイバを２次元に配置した入力光ファイバアレイが接続され、出力側のコリメータアレイ２には、各コリメータ（出力ポート）に対応させて複数の光ファイバを２次元に配置した出力光ファイバアレイが接続される。また、各ミラーはＭＥＭＳ技術によりその角度が制御され、２つのＭＥＭＳミラーアレイ３，４で反射させるミラーの組み合わせによって任意の入出力光ファイバ間の接続（出力経路の切り替え）が可能になっている。
【０００３】
ここで、入出力光ファイバ間の接続を行うための光スイッチの調整として、出力ポートごとに最適な出力光強度が得られるように、各ミラーの角度を調整する必要がある。従来の調整方法としては、光スイッチの各出力ポートの出力光強度を検出し、出力光強度が最適になるように各ミラーの角度調整を行う方法がある（特許文献１）。例えば、微分駆動法では、位置調整対象であるミラーを微小駆動（回転）させたときのミラー駆動（回転）量と駆動位置における光ビーム強度とから光強度微分値を求め、この光強度微分値と所定のステップ量とから次の移動目標位置を算出し、その目標位置に順次ミラーを移動させることによりミラーを最適位置に調整する。また、円駆動法では、ミラーから反射した光ビームが円環状の軌跡を描くようにミラーを円駆動させ、円駆動中の任意の角度における光ビーム強度を検出し、その中で最大の光ビーム強度を検出した角度を算出し、その角度にミラーを調整する手順を順次繰り返して光ビームが最大になる位置にミラーを調整する。
【特許文献１】特開２００４−２７１９７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、光スイッチの出力ポートの出力光強度を検出してミラーの角度調整を行う方法では、各ミラーが初期設定状態のときに、ミラーの角度を調整するための十分な光強度が得られるとは限らない。このように出力ポートの出力光強度が十分でない場合には、ミラーの角度がどの方向にずれているのか判断できず、光が所定の出力ポートに結合するために時間がかかる。
【０００５】
例えば、図８(1) に示すように、入力ポート２１の光ビームを出力ポート２３に結合する場合に、入力ポート２１に対応するミラー３１を制御し、ミラー３１で反射させた光ビームが出力ポート２３に対応するミラー３３に反射して出力ポート２３に結合するように制御する。このときミラー制御が適切であれば、出力ポート２３および隣接する出力ポート２２，２４において、図に示すように出力ポート２３で検出される出力光強度のみが強度検出閾値を超えることになり、これが最大値を示すようにミラーの角度調整を行う。なお、光ビームは所定の広がりをもっており、光ビームの中心の光路を実線矢印で示すと、破線は光ビームの周辺部（裾野部）の光路を示す。
【０００６】
一方、出力ポート２２〜２４に対応するミラー３２〜３４がそれぞれ所定の角度に制御されていても、入力ポート２１に対応するミラー３１の初期設定角度にずれがあれば、例えば図８(2) に示すように、出力ポート２３に対応するミラー３３で反射される光ビームの中心が出力ポート２３から出力ポート２４の方にずれる。さらに、光ビームの一部が隣接するミラー３４を介して出力ポート２４に結合し、本来の出力ポート２３に対して隣接する出力ポート２４の出力光強度の方が大きくなる場合がある。このとき、本来の出力ポート２３の出力光強度のみをモニタしていたのであれば、出力光強度が検出されずミラーの角度制御が困難になる。また、出力ポート２４に別なミラーを介して本来の光ビームが出力されていると、出力ポート２４における出力光強度も本来の値とは異なって角度制御が不正確になる。なお、光スイッチのミラーアレイやコリメータアレイが二次元配置であれば、上記の問題は二次元方向に隣接する出力ポート間で同様に発生する。
【０００７】
本発明は、光スイッチの各出力ポートにおける出力光強度が最適値になるようにミラーの角度制御を行い、高速に安定な出力光強度を得ることができる光スイッチの光出力安定化方法および装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
第１の発明は、複数の入出力ポート間に２つのミラーアレイを配置し、任意の入力ポートから入力した光ビームを各ミラーアレイの２枚のミラーによって連続的に反射させ、任意の出力ポートに出力する光スイッチに適用され、各出力ポートにおける出力光強度を検出し、各出力ポートの出力光強度に応じてそれぞれの光ビームの経路にある２枚のミラーの角度調整を行い、各出力ポートの出力光強度を安定化する光スイッチの光出力安定化装置において、光スイッチに入力する制御光を発生する光源と、光スイッチの複数の入力ポートのうち１つの入力ポートを選択して制御光を入力する第１の選択光スイッチと、光スイッチの複数の出力ポートから出力される各制御光の出力光強度をそれぞれ測定する複数の光強度検出器と、第１の選択光スイッチにより選択された入力ポートに対応する出力ポートＡの出力光強度が隣接する出力ポートの出力光強度よりも大きくなるように、出力ポートＡに対する光ビームの経路にある２枚のミラーのうち入力ポート側のミラーの角度調整を行う制御手段とを備える。
【０００９】
第２の発明は、第１の発明における光源および第１の選択光スイッチを複数組備え、制御光が入力される複数の入力ポートに対応する複数の出力ポートおよびそれぞれに隣接する出力ポートが互いに重ならないように、複数の第１の選択光スイッチで制御光を入力する複数の入力ポートを選択する構成である。
【００１０】
第３の発明は、複数の入出力ポート間に２つのミラーアレイを配置し、任意の入力ポートから入力した光ビームを各ミラーアレイの２枚のミラーによって連続的に反射させ、任意の出力ポートに出力する光スイッチに適用され、各出力ポートにおける出力光強度を検出し、各出力ポートの出力光強度に応じてそれぞれの光ビームの経路にある２枚のミラーの角度調整を行い、各出力ポートの出力光強度を安定化する光スイッチの光出力安定化装置において、制御光を発生し、光スイッチの複数の入力ポートにそれぞれ入力する複数の光源と、光スイッチの複数の出力ポートから出力される各制御光の出力光強度をそれぞれ測定する複数の光強度検出器と、複数の光源から光スイッチの複数の入力ポートにそれぞれ入力する制御光のうち、制御対象の出力ポートＡに隣接する出力ポートに出力される制御光の入力を停止し、出力ポートＡの出力光強度が隣接する出力ポートの出力光強度よりも大きくなるように、出力ポートＡに出力される制御光の経路にある２枚のミラーのうち入力ポート側のミラーの角度調整を行う制御手段とを備える。
【００１１】
第４の発明は、第１〜第４の発明における複数の光強度検出器に代えて、光スイッチの各出力ポートから出力される複数の制御光を１つずつ切り替えて出力する第２の選択光スイッチと、第２の選択光スイッチから順次出力される制御光の出力光強度を測定する１つの光強度検出器とを備える。
【００１２】
第５の発明は、複数の入出力ポート間に２つのミラーアレイを配置し、任意の入力ポートから入力した光ビームを各ミラーアレイの２枚のミラーによって連続的に反射させ、任意の出力ポートに出力する光スイッチに適用され、各出力ポートにおける出力光強度を検出し、各出力ポートの出力光強度に応じてそれぞれの光ビームの経路にある２枚のミラーの角度調整を行い、各出力ポートの出力光強度を安定化する光スイッチの光出力安定化方法において、入力ポートの１つに制御光を入力するステップと、入力ポートに対応する出力ポートＡおよび隣接する出力ポートの出力光強度を測定するステップと、出力ポートＡの出力光強度が隣接する出力ポートの出力光強度よりも大きくなるように、出力ポートＡに対する光ビームの経路にある２枚のミラーのうち入力ポート側のミラーの角度調整を行うステップとを有する。
【００１３】
第６の発明は、複数の入出力ポート間に２つのミラーアレイを配置し、任意の入力ポートから入力した光ビームを各ミラーアレイの２枚のミラーによって連続的に反射させ、任意の出力ポートに出力する光スイッチに適用され、各出力ポートにおける出力光強度を検出し、各出力ポートの出力光強度に応じてそれぞれの光ビームの経路にある２枚のミラーの角度調整を行い、各出力ポートの出力光強度を安定化する光スイッチの光出力安定化方法において、複数の制御光がそれぞれ入力される複数の入力ポートに対応する複数の出力ポートおよびそれぞれに隣接する出力ポートが互いに重ならないように、複数の制御光をそれぞれ対応する入力ポートに入力するステップと、複数の入力ポートに対応する複数の出力ポートＡおよび隣接する出力ポートの出力光強度を測定するステップと、複数の出力ポートＡの出力光強度がそれぞれ隣接する出力ポートの出力光強度よりも大きくなるように、複数の出力ポートＡに対する各光ビームの経路にある２枚のミラーのうち入力ポート側のミラーの角度調整をそれぞれ行うステップとを有する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明は、複数のミラーによる反射を利用して光経路切り替えを行う光スイッチにおいて、出力ポートの出力光強度を最適にするミラー角度を調整する際に、対応する出力ポートおよび隣接する出力ポートの出力光強度を検出し、対応する出力ポートの出力光強度が隣接する出力ポートの出力光強度よりも大きくなるように制御する。これにより、光スイッチの各出力ポートの出力光強度を最適にするミラー角度の調整を効率よくかつ高速に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
（本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第１の実施形態）
図１は、本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第１の実施形態を示す。図において、光源１１から出力される制御光は、１×ｎ光スイッチ１２を介してＭＥＭＳ光スイッチ１０のｎ個の入力ポートの１つに入力される。ＭＥＭＳ光スイッチ１０のｎ個の出力ポートには、それぞれ光強度検出器１２−１〜１２−ｎが接続され、各出力ポートにおける出力光強度が測定される。
【００１６】
ここでは、１×ｎ光スイッチ１２で選択されたＭＥＭＳ光スイッチ１０の入力ポートに入力した制御光の出力光強度は、所定の出力ポートに接続される光強度検出器１３−２と、隣接する出力ポートに接続される光強度検出器１３−１，１３−３でそれぞれ検出する。なお、図では１次元的に表示しているが、出力ポートが二次元的配置になる場合には所定の出力ポートと、隣接する８個の出力ポートの合計９個の出力ポートにおける出力光強度を検出する。
【００１７】
図示しないスイッチ制御回路は、所定の出力ポートおよび隣接する出力ポートにおける出力光強度に応じて、所定の出力ポートにおける出力光強度が最大になるように、ＭＥＭＳ光スイッチ１０の入力ポート側のミラーの角度調整を行う。例えば、図８(2) の状態にあれば、ミラー３１の角度調整を行うことにより図８(1) の状態にもっていく。
【００１８】
（本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第２の実施形態）
図２は、本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第２の実施形態を示す。本実施形態は、図１に示す第１の実施形態の構成において、ＭＥＭＳ光スイッチ１０の各出力ポートにｎ×１光スイッチ１４を接続し、ｎ×１光スイッチ１４で各出力ポートを順次切り替え、１つの光強度検出器１３で測定する構成になっている。この構成の場合には、所定の出力ポートおよび隣接する出力ポートの出力光強度を記憶し、所定の出力ポートにおける出力光強度が最大になるように、ＭＥＭＳ光スイッチ１０の入力ポート側のミラーの角度調整を行う。
【００１９】
なお、本実施形態はｎ×１光スイッチ１４および光強度検出器１３が高速動作可能であれば、図１の構成のように必ずしも複数の出力ポートの出力光強度を並列に検出する構成としなくても、効率的なミラーの角度調整が可能である。
【００２０】
（本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第３の実施形態）
図３は、本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第３の実施形態を示す。本実施形態は、第１の実施形態に示す光源１１と１×ｎ光スイッチ１２を複数ｍ組備え、制御光が入力される複数の入力ポートに対応する複数の出力ポートおよびそれぞれに隣接する出力ポートが互いに重ならないように、１×ｎ光スイッチ１２−１〜１２−ｍで制御光を入力する複数の入力ポートを選択する。
【００２１】
ここでは、光源１１−１，１×ｎ光スイッチ１２−１から出力される制御光は、ＭＥＭＳ光スイッチ１０の所定の出力ポートに接続される光強度検出器１３−２および隣接する出力ポートに接続される光強度検出器１３−１，１３−３でその出力光強度が検出される。同様に、光源１１−２，１×ｎ光スイッチ１２−２から出力される制御光は、ＭＥＭＳ光スイッチ１０の所定の出力ポートに接続される光強度検出器１３−（ｎ−１）および隣接する出力ポートに接続される光強度検出器１３−（ｎ−２），１３−ｎでその出力光強度が検出される。同様に、光源１１−ｍ，１×ｎ光スイッチ１２−ｍから出力される制御光は、ＭＥＭＳ光スイッチ１０の所定の出力ポートに接続される光強度検出器１３−５および隣接する出力ポートに接続される光強度検出器１３−４でその出力光強度が検出される。
【００２２】
このように、ＭＥＭＳ光スイッチ１０の入出力ポート数に応じて、所定の出力ポートおよび隣接する出力ポートが互いに重ならない配置が可能な組み合わせ数だけ、複数の経路のミラー角度を同時に調整可能になる。
【００２３】
（本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第４の実施形態）
図４は、本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第４の実施形態を示す。本実施形態は、第１の実施形態における光源１１をＭＥＭＳ光スイッチ１０の入力ポート数だけ用意し、各入力ポートにそれぞれ独立に制御光を入力できるようにする。ただし、制御光が入力される複数の入力ポートに対応する複数の出力ポートおよびそれぞれに隣接する出力ポートが互いに重ならないように、第３の実施形態と同様に制御光を入力する入力ポートをｍ個に制限する。
【００２４】
ここでは、光源１１−３から出力される制御光は、ＭＥＭＳ光スイッチ１０の所定の出力ポートに接続される光強度検出器１３−２および隣接する出力ポートに接続される光強度検出器１３−１，１３−３でその出力光強度が検出される。同様に、光源１１−５から出力される制御光は、ＭＥＭＳ光スイッチ１０の所定の出力ポートに接続される光強度検出器１３−（ｎ−１）および隣接する出力ポートに接続される光強度検出器１３−（ｎ−２），１３−ｎでその出力光強度が検出される。同様に、光源１１−（ｎ−１）から出力される制御光は、ＭＥＭＳ光スイッチ１０の所定の出力ポートに接続される光強度検出器１３−５および隣接する出力ポートに接続される光強度検出器１３−４でその出力光強度が検出される。その他の光源は制御光の出力を停止する。あるいは、各入力ポートの入力段に光減衰器を配置し、制御光を入力する入力ポートに対応する光減衰器の減衰量を低減する制御を行う。
【００２５】
（本発明の光スイッチの光出力安定化装置の他の実施形態）
第３の実施形態と第２の実施形態の構成の組み合わせ、あるいは第４の実施形態と第２の実施形態の組み合わせが可能である。すなわち、ＭＥＭＳ光スイッチ１０の出力ポート側にｎ×１光スイッチ１４および光強度検出器１３を備える。
【００２６】
以上説明した構成は、ＭＥＭＳ光スイッチ１０の入力ポート側のミラー角度を調整するが、出力ポート側のミラー角度を調整する場合には、入出力ポートを入れ換えて同様の処理を行えばよい。
【００２７】
（本発明の光スイッチの光出力安定化方法の第１の実施形態）
図５は、本発明の光スイッチの光出力安定化方法の第１の実施形態を示す。本実施形態は、図１〜図２に示す装置構成に対応するものであり、入力ポートの１つに制御光を入力するステップＳ１と、入力ポートに対応する出力ポートＡおよび隣接する出力ポートの出力光強度を測定するステップＳ２と、出力ポートＡの出力光強度が隣接する出力ポートの出力光強度よりも大きくなるように、出力ポートＡに対する光ビームの経路にある２枚のミラーのうち入力ポート側のミラーの角度調整を行うステップＳ３からなる。
【００２８】
（本発明の光スイッチの光出力安定化方法の第２の実施形態）
図６は、本発明の光スイッチの光出力安定化方法の第２の実施形態を示す。本実施形態は、図３〜図４に示す装置構成に対応するものであり、複数の制御光がそれぞれ入力される複数の入力ポートに対応する複数の出力ポートおよびそれぞれに隣接する出力ポートが互いに重ならないように、複数の制御光をそれぞれ対応する入力ポートに入力するステップＳ11と、複数の入力ポートに対応する複数の出力ポートＡおよび隣接する出力ポートの出力光強度を測定するステップＳ12と、複数の出力ポートＡの出力光強度がそれぞれ隣接する出力ポートの出力光強度よりも大きくなるように、複数の出力ポートＡに対する各光ビームの経路にある２枚のミラーのうち入力ポート側のミラーの角度調整をそれぞれ行うステップＳ13からなる。
【００２９】
なお、所定の出力ポートＡおよび隣接する出力ポートの出力光強度に応じてミラーの角度調整を行う際に、所定の出力ポートＡの出力光強度が所定値を超えた時点で、所定の出力ポートＡの出力光強度のみに応じたミラーの角度調整に移行してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第１の実施形態を示す図。
【図２】本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第２の実施形態を示す図。
【図３】本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第３の実施形態を示す図。
【図４】本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第４の実施形態を示す図。
【図５】本発明の光スイッチの光出力安定化方法の第１の実施形態を示すフローチャート。
【図６】本発明の光スイッチの光出力安定化装置の第２の実施形態を示すフローチャート。
【図７】光スイッチの構成例を示す図。
【図８】光スイッチの出力ポートの出力光強度とミラーの関係を説明する図。
【符号の説明】
【００３１】
１，２  コリメータアレイ
３，４  ＭＥＭＳミラーアレイ
１０  ＭＥＭＳ光スイッチ
１１  光源
１２  １×ｎ光スイッチ
１３  光強度検出器
１４  ｎ×１光スイッチ
【図１】
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【図２】
2008039820.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2008039820.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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