(57)【要約】【課題】磁気記録再生装置のヘッドスライダに搭載される磁気ヘッドの記録再生素子部に負荷を掛けない方法で、ヘッドスライダの付着物を磁気ディスク上に飛散させないクリーニング機構をヘッドスライダに具備させることで、ヘッドスライダ及び磁気記録再生装置の高信頼性を達成する。【解決手段】ヘッドスライダの内部に、発熱素子と、スライダの流出端面に配置されるスライダの背面に向かって垂直に伸びる少なくとも一本以上の溝を形成する。発熱素子の発熱により付着物の粘度を低下させる。粘度が低下した付着物は、ヘッドスライダの流出端に向かって流動する。この時、スライダの流出端側に設けた溝の毛細管現象により、付着物が溝を上昇することで記録再生素子部に負荷を掛けず、かつ付着物を磁気ディスク上に飛散させずにクリーニングされる。【選択図】 図5
2008257774.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
浮上面を有するヘッドスライダにおいて、
前記浮上面に配置される発熱素子と、
流出端側の端面に配置される背面方向に向かって形成される少なくとも1本以上の溝と、
を有することを特徴としたヘッドスライダ。
【請求項２】
前記発熱素子は、浮上面に対して平行であり、前記浮上面の負圧が高い領域に配置されることを特徴とした請求項1記載のヘッドスライダ。
【請求項３】
前記溝の形状は、魚骨状であることを特徴とした請求項1記載のヘッドスライダ。
【請求項４】
前記発熱素子は、非伝導性材料で覆われていることを特徴とした請求項1ないし請求項2記載のヘッドスライダ。
【請求項５】
前記発熱素子に通電させる端子部は、流出端側の端面に配置されることを特徴とした請求項1記載のヘッドスライダ。
【請求項６】
浮上面に配置される発熱素子と、
流出端側の端面の端面上に配置される垂直方向に形成される少なくとも1本以上の溝と、
を有するヘッドスライダに搭載される磁気ヘッドと、
記録再生媒体である磁気ディスクと、
を備えることを特徴とする磁気記録再生装置。
【請求項７】
前記ヘッドスライダの浮上時に、前記発熱素子の発熱によりヘッドスライダの付着物の粘度を低下させ、前記磁気ディスクの回転により生成される空気流にて付着物をヘッドスライダ流出端側に移動させ、前記溝の毛細管現象により付着物を吸引してヘッドスライダをクリーニングすることを特徴とした請求項5記載の磁気記録再生装置。
【請求項８】
磁気ヘッドの記録再生動作を検出する発熱素子制御回路と、
記録再生動作時以外に、発熱素子を加熱させる発熱素子ドライバーと、
を備えることを特徴とした制御回路。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ヘッドスライダとそれを用いた磁気記録再生装置に関する。より詳しくは、クリーニング機構を有するヘッドスライダや、クリーニング機構を制御する制御回路や、それを用いた磁気記録再生装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
HDD（ハード・ディスク・ドライブ）を始めとする磁気記録再生装置は、業務用サーバー、ワークステーションや、複数のHDDを組み合わせることにより信頼性を高めたRAID(Redundant Arrays of Inexpensive Disks)等のビジネスユースに加え、ゲーム、オーディオ機器、携帯電話、ビデオレコーダー等の情報家電ユースなど多岐にわたって使用されており、今後もその市場は急速に拡大する見通しであり、磁気記録再生装置においては高記録密度化が要求されている。取り分けHDDは、他の磁気記録再生装置に比較して、記録ビットの単価が廉価であることと、データ転送速度が速いことから磁気記録再生装置の主流となっており、その記録密度は年率30 〜 100 %の割合で増加しており、量産化されているHDDにおいては、既に100 Gb/in2の面記録密度が実現されている状況である。
この様な状況の中、磁気記録再生装置の高記録密度化には、磁気ヘッドと、記録再生媒体である磁気ディスクの性能改善が必須要件となる。この為、磁気ヘッドにおいては、優れた磁気抵抗効果を示すCPP-GMR (Current Perpendicular to Plane Giant Magneto resistance)型ならびに、TuMR(Tunneling Magneto Resistance)型再生素子が既に量産型の磁気ヘッドに対して採用されている。また、磁気ディスクにおいては、従来の面内磁気記録方式に代わり、高記録密度に適した垂直磁気記録方式の採用が始まっている。これに加え、磁気ヘッドを搭載したヘッドスライダが磁気ディスク上を浮上する量、即ちヘッドスライダの浮上量の低減も高記録密度を達成する上で非常に重要な要素となる。これは、浮上量を低減させることにより、磁気ディスクの実効的な再生信号の出力や、ヘッドスライダに搭載される磁気ヘッドの記録素子部の実効的な記録磁界強度が強まることで、高記録密度が可能になることに依る。
この為、近年、ヘッドスライダに搭載される磁気ヘッドの記録再生素子部付近に、例えばCu(銅)を材料とする薄膜状のヒーター機構部を形成して通電させ、ヒーターの発熱によりヘッドスライダを膨張させることにより浮上量を低下させるDFH（Dynamic Fly Height）技術(別名TFC(Thermal Fly-height Control))が提唱されている。なお、ヘッドスライダの浮上量は、DFHヒーターに通電しない場合でも、10 nm程度と非常に低い浮上量となっている。
上述のヘッドスライダの低浮上量化が進む状況下にて、磁気記録再生装置においては、高記録密度化のみならず、高いHDI信頼性(ヘッドスライダに搭載される磁気ヘッド(Head)と磁気ディスク（Disk）の界面(Interface）で起こる諸問題に関する信頼性)が求められている。具体的には、ヘッドスライダと磁気ディスクの接触によるヘッドスライダとヘッドスライダに搭載される磁気ヘッドの汚染と、磁気記録再生装置内で発生するコンタミのヘッドスライダへの付着の抑制が重要となる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
磁気記録再生装置に高いHDI信頼性を具備させる為には、ヘッドスライダと磁気ディスクの接触を最小限に留めることが必要となる。ここで、磁気ディスクには、DLC(Diamond Like Carbon)からなる保護膜上に、フッ素系の液体潤滑剤が塗布されている。これは、ヘッドスライダと磁気ディスクとの摺動に伴う摩擦や磨耗を抑制させる為に形成されるものであるが、ヘッドスライダが磁気ディスクに接触する度にヘッドスライダに潤滑剤が転写され、ヘッドスライダが汚染される。磁気記録再生装置内で発生するコンタミがヘッドスライダに転写した潤滑剤に付着した場合、浮上量が不安定になり、ヘッドクラッシュやTA(Thermal Asperity)の問題を引き起こす。また、ヘッドスライダに搭載される磁気ヘッドの記録再生素子部に潤滑剤やコンタミが付着した場合は、正常な記録再生動作を実施することが困難となる障害が生じる。
ここで、磁気記録再生装置の起動停止方式は主として、CSS(Contact Start Stop)方式とランプロード方式の2種に大別される。ここで、CSS方式は磁気記録再生装置のスピンドルモーターが停止している時には、ヘッドスライダのABS(Air Bearing Surface)面と磁気ディスク面と接触させておき、スピンドルモーターが動作して磁気ディスクが回転する時に生成される空気流でヘッドスライダを浮上させる方式を指す。よって、CSS方式の場合、必然的にヘッドスライダは磁気ディスクの潤滑剤と接触し、経時的にヘッドスライダに潤滑剤が転写し、ヘッドスライダが汚染される。
一方、ランプロード方式は、ヘッドスライダのサスペンションの先端部にタブと称される棒状部分と、磁気記録装置内にランプと称されるスロープ状の樹脂を設け、サスペンションを磁気ディスクの半径方向に移動させ、タブがランプのスロープを移動することで、ヘッドスライダを磁気ディスクにロードさせて浮上させる方式を指す。磁気記録再生装置の非動作時においては、ヘッドスライダが磁気ディスクと接触しない為、ヘッドスライダに潤滑剤が付着することは無いものの、ロード時にヘッドスライダが磁気ディスクと接触することが確認されており、CSS方式と同様にヘッドスライダに潤滑剤が転写され、ヘッドスライダが汚染される問題を有する。
また、磁気ディスクには、ヘッドスライダの吸着防止や、結晶配向性を確保して低ノイズ性を具現化させる為、磁気ディスクの基板表面に凹凸状のテクスチャ加工を施しており、ヘッドスライダの浮上量自体バラツキを有することから偶発的にヘッドスライダと磁気ディスク媒体は接触することに加え、使用環境の振動や衝撃によっても簡単に接触し、ヘッドスライダが汚染される。
上述の様に、ヘッドスライダへの潤滑剤の付着によるヘッドスライダの汚染は免れない状況である。この問題に対して、ヘッドスライダのスライダに潤滑剤が転写し難くする表面処理層を形成しているものの、その効果は充分なものではない。また、ヘッドスライダをクリーニングする方法も提唱されている(例えば特開平02-206010)。これは、CSS方式において、スピンドルモーターが動作して磁気ディスクが回転する時に、ヘッドスライダに搭載される磁気ヘッドの記録再生素子部に過電流を供給して磁気ヘッドの記録再生素子部の付着物を熱溶融させ、磁気ディスクの回転による風圧を利用して、磁気ディスクのCSSゾーンに落下させて付着物を除去させるものである。
この技術は、CSSゾーンがデータを記録するデータ領域でないことをから、付着物をCSSゾーンに飛散させているが、磁気ディスクに付与される潤滑剤は、摩擦や磨耗により潤滑剤の膜厚が薄くなった時の為に、元の膜厚に戻る自己修復性があり流動性を持つ。この為、CSSゾーンに付着物を飛散させても潤滑剤が持つ流動性や、磁気ディスクの回転による遠心力によって、付着物はデータ領域まで拡散される為、磁気記録再生装置のHDI信頼性に欠けるものである。
また、熱溶融の為に記録再生素子部に印加する電流値は、40 mA 〜 70 mAとされており、これに対し、記録素子部は印加電流に対する耐性は有するものと推察されるものの、再生素子部においては、通常使用される電流値に対して10  〜  20倍もの電流を印加することになる。この場合は、再生素子部自体が焼損してしまう問題を引き起こす。
また、高いHDI信頼性を満たす為には、磁気ヘッドの記録再生素子部のみだけではなく、磁気ヘッドを搭載するヘッドスライダの付着物も除去する必要がある。これは、磁気ヘッドの浮上量を支配しているのがヘッドスライダであり、ヘッドスライダに付着物が堆積した場合、浮上量が不安定になり、先述のヘッドクラッシュやTA(Thermal Asperity)の問題を引き起こす為である。なお、記録再生素子部のみを加熱した場合は、ヘッドスライダの付着物までをも除去させることは出来ない。
よって、従来の技術では、高いHDI信頼性を満たすヘッドスライダのクリーニング機構を見出せていない状況にある。この状況を踏まえ、本発明は、高いHDI信頼性を満たすヘッドスライダのクリーニング機構を提供することを目的とする。また、記録再生素子部に負荷を掛けない方法のヘッドスライダをクリーニングする機構を提供することを目的とする。更には、ヘッドスライダの付着物を磁気ディスク上に飛散させないヘッドスライダのクリーニング機構と、それを制御する制御回路を提供することを目的とする。
【特許文献１】特開平02-206010
【課題を解決するための手段】
【０００４】
磁気記録再生装置のヘッドスライダの内部に、例えばCu薄膜からなる発熱素子と、スライダの流出端側の端面に配置されるスライダの背面方向(浮上面と反対の方向)に向かって伸びる少なくとも一本以上の溝を形成する。なお、発熱素子は、スライダの浮上面に対して実質的に平行となる様にスライダ全面に渡り形成しても良いが、省電力性の観点から潤滑剤が付着し易いスライダレール(特に負圧が高くなる領域)と、記録再生動作の中核となる磁気ヘッドの記録再生素子部付近に沿う様に形成するのが良い。また、磁気ヘッドの記録再生素子部付近にDFHヒーターが配置される場合は、DFHヒーターを、発熱素子と併用して磁気ヘッドの加熱機構部として用いても良い。この場合は、発熱素子は、スライダレールのみに沿う様に形成すれば良く、記録再生素子部付近に沿わせる様に形成する必要がなくなる利点を有する。
この様なヘッドスライダにおいて、ヘッドスライダに搭載される磁気ヘッドの記録再生動作時以外にて、発熱素子または、発熱素子とDFHヒーターを併せた発熱にてヘッドスライダを加熱することにより、ヘッドスライダの付着物の粘度を低下させる。ここで、ヘッドスライダと磁気ディスクの間に生成される空気流は、ヘッドスライダの流出端側に向かって流れていく為、粘度が低下した付着物は、ヘッドスライダの流出端側に向かって流れていく。この時、スライダの流出端側の端面に設けた溝の毛細管現象により、付着物が溝を上昇することでヘッドスライダとヘッドスライダに搭載される磁気ヘッドがクリーニングされる。なお、管の形状を魚骨状にして、付着物を吸入する面積を増やすことも効果的である。
【発明の効果】
【０００５】
ヘッドスライダに搭載される磁気ヘッドの記録再生素子部に負荷をかけることなく、かつヘッドスライダの付着物を磁気ヘッドに飛散させることなく、磁気ヘッド部も含めたヘッドスライダ全体をクリーニングすることが可能となる。このクリーニング機構を有するヘッドスライダを用いることによって、高いHDI信頼性を具備する磁気記録再生装置を具現化することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
以下、本発明の実施形態を、図1ならびに図8に基づいて説明する。図1は、本発明のヘッドスライダが使用される一般的な磁気記録再生装置の内部概略図である。磁気記録再生装置1の内部には、記録再生媒体となる磁気ディスク2、磁気ヘッドが装着されるヘッドスライダ3、記録再生信号の制御ならびに磁気ヘッドへの電源供給を行う役目を担うヘッドアンプIC部4が配置される。図2は、従来のヘッドスライダをABS面、即ち浮上面から示した図である。Al2O3-Ti-Cからなるアルチック基板上にフロントレール11が2.0 μm程度の厚さでスライダ幅方向に形成され、サイドレール12、センターレール13、リアレール15が形成される。また、センターリアレール14が流出端側の中央付近に、磁気ヘッドの記録再生素子部16と共に形成される。なお、一般的に各レール部は、FIB(Focused Ion Beam)法により切削する様に形成される。また、図示しないが、記録再生素子部16近傍には、例えばCu薄膜からなるDFHヒーターを形成しても良い。
なお、スライダの各レールには、磁気ディスクとの吸着防止の為、DLC(Diamond Like Carbon)からなる保護パット10を形成しても良い。また、ヘッドスライダの流出端の端面上部には、記録再生素子部に電圧を印加する為のリード端子部17、ライト端子部18に加え、DFHヒーター端子部19が配置される。
図3は、ヘッドスライダに付着物が堆積された様子を示した図である。図3に示す様に付着物(潤滑剤及びコンタミを指す)21は、ヘッドスライダが浮上する際に負圧が高くなる箇所であるレールの端部に堆積する傾向にある。図4は、本発明の実施形態に関わるヘッドスライダを浮上面から示した図である。記録再生素子部16と、付着物21が溜まり易い各レール部、即ち、ヘッドスライダが浮上する際に負圧が高くなる箇所、具体的には、フロントレール部11、サイドレール部12、リアレール部15の端部を這わせる様に、より詳細には、空気流入端側に配置され、空気軸受け面となるフロントレールの内側（流出端側方向を指す）、空気流入端側から流出端側方向に向かって配置されるサイドレールの内側(スライダの中心方向を指す)、空気流出端側に配置されるリアレールの内側と、流出端側の端部に這わせる様に、例えばCuからなる薄膜状の発熱素子31をヘッドスライダの内部に配置した(図3では、各レール部とヒーター部31の位置関係が明確となる様に発熱素子31を表面に図示している)。この様な形状にすることで、電力消費量を最小限に留め、付着物21の粘性を低下させることが可能となる。ここで、発熱素子31に通電する為に、DFHヒーター端子部19に隣接する様に発熱素子端子部32を設置する。この様な配置にすることにより、ヘッドアンプへの配線が従来までの配線の技術が転用することが可能となり、配線が要因となる。なお、DFHヒーターにより、記録再生素子部を加熱させて付着物の粘性を低下させる場合は、記録再生素子部付近には、発熱素子を設置させる必要は無い。
図5は、本発明の実施形態のヘッドスライダの側面から示した図である。発熱素子31は、2.0 μm程度の厚みでスライダ浮上面から3.5 μm程度の高さで形成され、流出端側41に配置される発熱素子端子部32に接続される。 ここで、発熱素子31をヘッドスライダ内部に形成する実施例について説明する。Al2O3-Ti-Cからなるアルチックウェハーからバー状に切断した後に，ヘッドスライダ部となるAl2O3-Ti-Cからなるアルチック基板上に所望の形状の発熱素子となる様に、すなわち後に形成するレール部に沿う様に、FIB法で切削する様にして溝を形成する。次に例えばCu(銅)をめっき法により切削した溝に堆積させて発熱素子31を形成する。次に例えばRFスパッタリング法により、Al2O3-Ti-Cを成膜し、FIB法で切削した溝をキャッピングする。次いで、CMP(Chemical Mechanical Polish)により、表面研磨する。その後、一般的な磁気ヘッドとスライダのレール部形成を行えば良い。なお、発熱素子31を発熱素子端子部32に接合させる第1接合部31(a)は、記録再生部16を一般的な手法を用いて形成する時に、平行して例えばアルミナで隔離してフォトリソグラフィとめっき法を併用して形成すれば良い。第2接合部31(b)は、再生素子部をリード端子17部へ、記録素子部をライト端子部18へ接合させる手法と同様の手法を用いることで形成することが出来る。
図6は、本発明の実施形態のヘッドスライダの流出端側の端面図である。流出端側の端面には、リード端子部17、ライト端子部18、DFHヒーター端子部19、発熱素子端子部32が平行に並ぶ様に形成されている。スライダの端面の面取りを施した面または、スライダエッジ上部42から、例えば先述のFIB法を用いて幅5  〜 100 μm、深さ5〜 100 μm程度の溝を形成する。なお、この寸法を超えると毛細管現象が原理的に発生しなくなる可能性がある。この溝を形成することで、磁気ディスクの回転による空気流により流出端側に流動する付着物を毛細管現象により吸入することが出来る。なお、本発明の実施形態においては、溝の形状を魚骨状の形状になる様に加工した。この様な溝の形状を有することにより、溝の総面積が大きくなり、潤滑剤の吸入する量を多くすることが可能となる。
図7は、本発明の第2の実施形態に係るヘッドスライダの浮上面から示した図である。DFHヒーター61と発熱素子31を、例えばCuからなるブリッジ板62にて接合させることにより、DFHヒーター端子部32を共用することも出来る。なお、この場合は、上述の通り、記録再生素子部16をDFHヒーター61で加熱することが出来る為、発熱素子31を記録再生素子部16付近には配置する必要がなくなる利点を有する。
図8は、本発明のヘッドスライダを制御する制御図である。まず、通常の記録再生処理を実施する為に、ヘッドアンプIC部70に、再生素子部を制御するリード電源部71、リードデータバッファ75、リードアンプ77を搭載し、記録素子部を制御するライト電源部72、ライトデータバッファ76、ライトドライバ78を搭載する。なお、リードアンプ77には、磁気ヘッド91の再生素子部のリード端子部17が接続され、ライトドライバ78には、記録素子部のライト端子部18が接続されている。また、ヘッドアンプIC部70にはDFHヒーター電源部73とDFHヒータードライバ79が搭載されている。なお、DFHヒータードライバ79には、DFHヒーター端子部19が接続されている。ここで、発熱素子電源部74と発熱素子ドライバー80を搭載する。ここで、DFHヒーター電源部73と、発熱素子電源部74は、リード電源部71やライト電源部72と同様のものを用いることが出来る。なお、発熱素子ドライバー80は、発熱素子端子部32と接続されている。
リードライトチャネルLSI部90のデコーダー部82は、リードデータバッファ部75から受信した、リードデータをデコードする機能を有している。再生動作は、磁気ディスクからの再生信号をリードアンプ部77で増幅し、リードデータバッファ部75を経由し、リードライトチャネルLSI部90にデータを送信することで実行される。なお、リード端子部17への電源は、リード電圧レギュレーター81より、リード電源部71を経由して印加される。エンコーダー部84は、ライトデータをコードして、ヘッドアンプIC部70に配置されるライトデータバッファ部76にライトデータを送信し、ライトドライバ78を通じて、ライト端子部18を経由し、記録素子部より記録磁界が印加されて記録動作が実行される。なお、ライト端子部18への電源は、ライト電圧レギュレーター83より、ライト電源部72を経由して印加される。なお、図示しないが、デコーダー部82とエンコーダー部84は、波形を等価するFIRフィルタや、ビタビ復調器等に接続されている。また、リードライトチャネルLSI部90には、DFHヒーター電圧レギュレーター85と発熱素子電圧レギュレーター87が配置され、上述のリード電圧レギュレーター81や、ライト電圧レギュレーター83と同等の機能を有する。
ここで、リードライトチャネルLSI部90の内部に発熱素子制御回路89を配置する。発熱素子制御回路89は、デコーダー部82やエンコーダー部84が信号の受信や発信を検出して、磁気ヘッド91が記録再生動作を実行していない時に、発熱素子ドライバー80単体または、発熱素子ドライバー80とDFHヒータードライバ79の両方を動作させてクリーニングを実行する。発熱素子制御回路89は、ヘッドアンプIC部70の内部や、リードライトチャネルLSI部90とヘッドアンプIC部70を中継する形で単独で配置することも可能である。
本実施形態の構成によれば、記録再生素子部に負荷を掛けず、かつ付着物を磁気ディスク上に飛散させない方法で磁気ヘッドのクリーニングが実現されることにより、高いHDI信頼性を有した磁気ヘッドならびに磁気記録再生装置を実現させることが可能となる。
なお、本発明の実施形態のヘッドスライダは、面内磁気記録用の磁気ヘッド、垂直磁気記録の磁気ヘッドや、光磁気記録用磁気ヘッド等、様々な形態のヘッドに対して使用することが可能である。
本発明は以下の付記を含むものである。
(付記1) 浮上面を有するヘッドスライダにおいて、前記浮上面に配置される発熱素子と、流出端側の端面に配置される背面方向に向かって形成される少なくとも1本以上の溝と、を有することを特徴としたヘッドスライダ。
(付記2) 前記発熱素子は、浮上面に対して平行であり、前記浮上面の負圧が高い領域に配置されることを特徴とした付記1記載のヘッドスライダ。
(付記3) 前記溝の形状は、魚骨状であることを特徴とした付記1記載のヘッドスライダ。
(付記4) 前記発熱素子は、非伝導性材料で覆われていることを特徴とした付記1ないし付記2記載のヘッドスライダ。
(付記5) 前記発熱素子に通電させる端子部は、流出端側の端面に配置されることを特徴とした付記1記載のヘッドスライダ。
(付記6)前記溝は、10 〜 100 μmの幅のスリットを有することを特徴した付記1または付記3記載の磁気ヘッド。
(付記7) 浮上面に配置される発熱素子と、流出端側の端面の端面上に配置される垂直方向に形成される少なくとも1本以上の溝と、を有するヘッドスライダに搭載される磁気ヘッドと、記録再生媒体である磁気ディスクと、を備えることを特徴とする磁気記録再生装置。
(付記8) 前記ヘッドスライダの浮上時に、前記発熱素子の発熱によりヘッドスライダの付着物の粘度を低下させ、前記磁気ディスクの回転により生成される空気流にて付着物をヘッドスライダ流出端側に移動させ、前記溝の毛細管現象により付着物を吸引してヘッドスライダをクリーニングすることを特徴とした付記7記載の磁気記録再生装置。
(付記9)前記発熱素子と、前記記録再生素子部付近に形成されるDFH用ヒーターと併用して付着物の粘度を低下させ、ヘッドスライダをクリーニングすることを特徴とした付記8記載の磁気記録再生装置。
(付記10) 磁気ヘッドの記録再生動作を検出する発熱素子制御回路と、記録再生動作時以外に、発熱素子を加熱させる発熱素子ドライバーと、を備えることを特徴とした制御回路。
(付記11) 磁気ヘッドの記録再生動作を検出する発熱素子制御回路と、記録再生動作時以外に、発熱素子を動作させる発熱素子ドライバーとを有する制御回路を備えることを特徴とした磁気記録再生装置。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明によるヘッドスライダが使用される磁気記録再生装置の内部を示す図である。
【図２】従来のヘッドスライダを浮上面から示した図である
【図３】ヘッドスライダに付着物が堆積された様子を示した図である。
【図４】本発明の実施形態に関わるヘッドスライダを浮上面から示した図である。
【図５】本発明の実施形態のヘッドスライダの側面から示した図である。
【図６】本発明の実施形態のヘッドスライダの流出端から示した端面図である。
【図７】本発明の第2の実施形態に係るヘッドスライダ浮上面から示した図である
【図８】本発明のヘッドスライダを制御する制御図を示す図である。
【符号の説明】
【０００８】
31     発熱素子
32     発熱素子端子部
51     溝
【図１】
2008257774.tif 000003
【図２】
2008257774.tif 000004
【図３】
2008257774.tif 000005
【図４】
2008257774.tif 000006
【図５】
2008257774.tif 000007
【図６】
2008257774.tif 000008
【図７】
2008257774.tif 000009
【図８】
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