(57)【要約】【課題】スリットノズルを初期位置から一方方向に移動させる塗布動作と、スリットノズルを初期方向に戻す移動動作と、基板を更新する搬出入動作で、レジストを塗布するカラーフィルタ製造塗布装置において、レジスト塗布サイクルタイムを改善することであり、スリットノズルの無駄な動作を省略し、スリットノズルの無駄なレジスト滴下を防止すること。【解決手段】前記塗布動作に、基板を更新する搬出入動作を追加と、スリットノズルを初期方向に戻す移動動作に塗布動作を追加した塗布装置であって、ステージ上のガラス基板上でスリットノズルを一方方向の移動によりレジスト吐出する塗布手段と、塗布基板を更新する搬出入手段と、更新したガラス基板上でスリットノズルを初期方向に戻す方向への移動によりレジスト吐出する塗布手段と、塗布基板を更新する搬出入手段と、によるカラーフィルタ製造用の塗布基板を製造するカラーフィルタ製造塗布方法。【選択図】図１
2008296075.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布方向が一方方向のスリットノズルを用いたガラス基板上へのレジスト塗布が、スリットノズルを初期位置から一方方向に移動させる塗布動作と、スリットノズルを初期方向に戻す移動動作と、基板を更新する搬出入動作を、その順に繰り返してガラス基板上にレジストを塗布するカラーフィルタ製造塗布装置において、
前記塗布動作に、スリットノズルを初期方向に戻す移動動作の直前に、基板を更新する搬出入動作を追加して割り込ませた後、スリットノズルを初期方向に戻す移動動作に塗布動作を追加し、追加した動作を含む動作構成により、その順に繰り返してガラス基板上にレジストを塗布することを特徴とするカラーフィルタ製造塗布装置。
【請求項２】
前記請求項１に記載のカラーフィルタ製造塗布装置を用いたカラーフィルタ製造塗布方法であって、
ステージ上に載置したガラス基板の上方でスリットノズルを一方方向へのスライド移動によりレジストを吐出する塗布手段と、
塗布基板を更新する搬出入手段と、
更新したガラス基板の上方でスリットノズルを初期方向に戻す方向へのスライド移動によりレジストを吐出する塗布手段と、
塗布基板を更新する搬出入手段と、
を含む手段の構成によりカラーフィルタ製造用の塗布基板を製造することを特徴とするカラーフィルタ製造塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタ製造塗布装置および塗布方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のカラーフィルタ製造工程においては、レジストの塗布装置は、スリットノズルによる塗布方法を用いている。塗布装置では、スリットノズルと、被塗布基板であるガラス基板とを相対的に移動させながら、レジスト溶液をガラス基板上に塗布する。
【０００３】
図２は、従来のカラーフィルタ製造塗布装置の実例の動作工程を説明する概念図の部分平面図である。
【０００４】
従来の塗布装置では、スリットノズルの塗布方向は一方方向のみの塗布方式である。図２に示すように、スリットノズル１０は、開始位置１０ａから最終位置１１ａまで往復移動するが、開始位置１０ａから最終位置１１ａまでの移動時、レジスト溶液を吐出し、レジストを塗布するが、最終位置１１ａから開始位置１０ａまでの移動時、レジスト溶液を吐出せずに、スリットノズルは移動するのみであり、レジストを塗布しない。この場合、塗布方向は一方方向であり、開始位置１０ａから最終位置１１ａへの移動方向である。
【０００５】
図２（ａ）〜（ｅ）は、従来のカラーフィルタ製造塗布装置の実例の動作工程を説明する概念図の部分平面図である。
【０００６】
図２（ａ）のステップ１では、基板搬送方向から、塗布ステージ上に被塗布基板であるガラス基板１が搬入され、載置した後、レジスト塗布を開始する。
【０００７】
図２（ｂ）のステップ２では、塗布ステージ上のガラス基板へレジストを塗布する。スリットノズル１０は初期位置１０ａから最終位置１１ａまでスライド移動しながらレジスト吐出する。この場合スリットノズルの移動方向は、基板搬送方向と直交する方向である。塗布基板１ａが形成される。
【０００８】
図２（ｃ）のステップ３では、レジスト塗布されたガラス基板１ａ上方をスリットノズル１１が最終位置１１ａから初期位置１０ａまでスライド移動する。
【０００９】
図２（ｄ）のステップ４では、スリットノズル１１が初期位置１０ａまでスライド移動し、初期位置に停止する。
【００１０】
図２（ｅ）のステップ５では、基板搬送方向から、塗布ステージ上に被塗布基板であるガラス基板２が搬入され、同時に塗布されたガラス基板１ａは塗布ステージ外へ搬出する。次いで、ステップ１に戻り、以上の動作を繰り返して、レジスト塗布基板が製造処理される。
【００１１】
従来のレジスト塗布装置では、ステップ１〜ステップ５で、１枚の塗布基板が生産されるが、無駄の動作があり問題がある。無駄な動作は、ステップ３とステップ４である。
【００１２】
従来のレジスト塗布装置では、ステップ３とステップ４の時間が含まれており、サイクルタイムが長くなる問題がある。
【００１３】
従来のレジスト塗布装置では、例えばステップ３とステップ４の動作が問題となる。塗
布基板１ａの上方をスリットノズルが通過し、初期位置まで移動する時に不要なレジストが滴下し、基板を汚染する場合があり、品質不良が発生する問題がある。
【００１４】
従来のレジスト塗布装置では、ステップ３とステップ４の動作を改善することが重要であり、サイクルタイムの短縮と、不要なレジストが滴下し塗布基板の汚染防止が重要な問題である。
【００１５】
以下に公知文献を記す。
【特許文献１】特開２００４−３５４６０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
本発明の課題は、カラーフィルタ製造塗布装置のレジスト塗布サイクルタイムを改善することであり、スリットノズルの無駄な動作を省略し、スリットノズルの無駄なレジスト滴下を防止することである。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明の請求項１に係る発明は、塗布方向が一方方向のスリットノズルを用いたガラス基板上へのレジスト塗布が、スリットノズルを初期位置から一方方向に移動させる塗布動作と、スリットノズルを初期方向に戻す移動動作と、基板を更新する搬出入動作を、その順に繰り返してガラス基板上にレジストを塗布するカラーフィルタ製造塗布装置において、
前記塗布動作に、スリットノズルを初期方向に戻す移動動作の直前に、基板を更新する搬出入動作を追加して割り込ませた後、スリットノズルを初期方向に戻す移動動作に塗布動作を追加し、追加した動作を含む動作構成により、その順に繰り返してガラス基板上にレジストを塗布することを特徴とするカラーフィルタ製造塗布装置である。
【００１８】
本発明の請求項２に係る発明は、前記請求項１に記載のカラーフィルタ製造塗布装置を用いたカラーフィルタ製造塗布方法であって、
ステージ上に載置したガラス基板の上方でスリットノズルを一方方向へのスライド移動によりレジストを吐出する塗布手段と、
塗布基板を更新する搬出入手段と、
更新したガラス基板の上方でスリットノズルを初期方向に戻す方向へのスライド移動によりレジストを吐出する塗布手段と、
塗布基板を更新する搬出入手段と、
を含む手段の構成によりカラーフィルタ製造用の塗布基板を製造することを特徴とするカラーフィルタ製造塗布方法である。
【発明の効果】
【００１９】
本発明カラーフィルタ製造塗布装置および塗布方法によれば、スリットノズルがレジスト塗布時のみ基板の上方を移動するため、スリットノズルの無駄な動作が削減され、レジスト塗布のサイクルタイムが時間短縮されることで、レジスト塗布のガラス基板の処理枚数が増加する。
【００２０】
本発明カラーフィルタ製造塗布装置および塗布方法によれば、スリットノズルがレジスト塗布時のみ基板の上方を移動するため、スリットノズルの無駄な動作が削減され、スリットノズルからのレジストの滴下を防止でき、レジスト塗布のガラス基板の生産性が向上する効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
本発明のカラーフィルタ製造塗布装置のおよび塗布方法を一実施形態に基づいて以下説明する。
【００２２】
本発明のカラーフィルタ製造塗布装置は、塗布方向が一方方向のスリットノズルを用いたガラス基板上へのレジスト塗布が、スリットノズルを初期位置から一方方向に移動させる塗布動作と、基板を更新する搬出入動作と、スリットノズルを初期方向に戻す方向に移動させる塗布動作と、基板を更新する搬出入動作を、その順に繰り返してガラス基板上にレジストを塗布する塗布装置である。
【００２３】
前記塗布動作は、装置制御部により制御されており、スリットノズルを初期位置と最終位置間の往復動作と、スリットノズルへのレジスト溶液の供給動作、及びスリットノズルの吐出動作と、ガラス基板の移載装置とのタイミング調整、等も併せて装置管理する装置制御部を装備する塗布装置である。カラーフィルタ製造塗布装置では、スリットノズルの移動方向に直交する方向が装置ステージ上にガラス基板を搬出入する方向である。ガラス基板の移載装置は、搬入動作とガラス基板の搬出動作の、基板を更新する搬出入動作を支援する。本発明のカラーフィルタ製造塗布装置の動作は、移載装置の支援による基板を更新する搬出入動作と、スリットノズルの一方移動及びレジスト塗布と、移載装置の支援による基板を更新する搬出入動作と、スリットノズルの戻り移動及びレジスト塗布と、その順に繰り返してガラス基板上にレジストを塗布することを特徴とする。
【００２４】
図１は、（ａ）〜（ｆ）は、本発明のカラーフィルタ製造塗布装置の一実施例の動作工程を説明する概念図の部分平面図である。
【００２５】
図１（ａ）のステップ１では、基板搬送方向から、塗布ステージ上に被塗布基板であるガラス基板１が搬入され、載置した後、レジスト塗布を開始する。
【００２６】
図１（ｂ）のステップ２では、塗布ステージ上のガラス基板１へレジストを塗布する。スリットノズル１０は初期位置１０ａから最終位置１１ａまでスライド移動しながらレジスト吐出する。この場合スリットノズルの移動方向は、基板搬送方向と直交する方向である。塗布基板１ａが形成される。
【００２７】
図１（ｃ）のステップ５では、基板搬送方向から、塗布ステージ上に被塗布基板であるガラス基板２が搬入され、同時に塗布されたガラス基板１ａは塗布ステージ外へ搬出する。
【００２８】
図１（ｄ）のステップ３では、更新したガラス基板２上をスリットノズル１１が最終位置１１ａから初期位置１０ａまでスライド移動しながらレジスト吐出する。この場合スリットノズルの移動方向は、最終位置１１ａから初期位置１０ａの方向である。
【００２９】
図１（ｅ）のステップ４では、スリットノズル１１が初期位置１０ａまでスライド移動しながらレジスト吐出し初期位置に停止する。塗布基板２ａが形成される。
【００３０】
図１（ｆ）のステップ５では、基板搬送方向から、塗布ステージ上に被塗布基板であるガラス基板３が搬入され、同時に塗布されたガラス基板２ａは塗布ステージ外へ搬出する。次いで、ステップ１に戻り、以上の動作を繰り返して、レジスト塗布基板が製造処理される。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明のカラーフィルタ製造塗布装置の一実施例の動作工程を説明する概念図の部分平面図である。
【図２】従来のカラーフィルタ製造塗布装置の実例の動作工程を説明する概念図の部分平面図である。
【符号の説明】
【００３２】
１…ガラス基板
１ａ…塗布基板
２…ガラス基板
２ａ…塗布基板
３…ガラス基板
１０…スリットノズル
１０ａ…（スリットノズルの）初期位置
１１…スリットノズル
１１ａ…（スリットノズルの）最終位置
１２…スリットノズル
２０ａ…行き塗布工程
２０ｂ…戻り塗布工程
３０…基板搬出入工程
【図１】
2008296075.tif 000003
【図２】
2008296075.tif 000004