(57)【要約】【課題】機能液滴吐出ヘッドから吐出された機能液を下部に貯留し易く、外部への流出を防止することができるフラッシングユニット、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供する。【解決手段】インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１３からの捨て吐出を受けるパン状のユニット本体８１と、ユニット本体８１に敷設され、捨て吐出された機能液を受容する吸収材８２と、を備え、吸収材８２は、捨て吐出された機能液をトラップする上吸収材９１と、ユニット本体８１の底面に敷設されると共に上吸収材９１の下面に接し、上吸収材９１の機能液を吸収し貯留する下吸収材９２と、を有する。【選択図】図５
2008188807.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドからの捨て吐出を受けるパン状のユニット本体と、
前記ユニット本体に敷設され、捨て吐出された機能液を受容する吸収材と、を備え、
前記吸収材は、捨て吐出された機能液をトラップする上吸収材と、
前記ユニット本体の底面に敷設されると共に前記上吸収材の下面に接し、前記上吸収材の機能液を吸収し貯留する下吸収材と、を有していることを特徴とするフラッシングユニット。
【請求項２】
前記ユニット本体の底面に開口すると共に、真空吸引手段に連なる吸引口を、更に備えていることを特徴とする請求項１に記載のフラッシングユニット。
【請求項３】
前記上吸収材の気孔率に対し、前記下吸収材の気孔率が高いことを特徴とする請求項１または２に記載のフラッシングユニット。
【請求項４】
前記上吸収材に対し、前記下吸収材が厚手に形成されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のフラッシングユニット。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載のフラッシングユニットと、
ワークに対し、前記機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、前記機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出して描画を行なう描画手段と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項６】
前記フラッシングユニットが、描画休止時の捨て吐出を受ける定期フラッシングユニット、描画動作の直前に捨て吐出を受ける描画前フラッシングユニットおよび機能液滴の重量測定時に捨て吐出を受ける併設フラッシングユニットの、少なくとも１のユニットとして搭載されていることを特徴とする請求項５に記載の液滴吐出装置。
【請求項７】
請求項５または６に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項８】
請求項５または６に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項９】
請求項７に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項８に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドからの機能液の捨て吐出を受けるフラッシングユニット、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを用いた描画処理により、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成する液滴吐出装置が考えられている。そして、この液滴吐出装置には、機能液滴吐出ヘッドからの機能液の捨て吐出を受けるフラッシングユニットを備えたものが知られている。フラッシングユニットは、機能液滴吐出ヘッドから吐出される機能液を受けるフラッシングボックスを有しており、その底部には機能液を吸収する吸収材が敷設されている。そして、フラッシングボックスに機能液滴吐出ヘッドを臨ませると共に、機能液の捨て吐出を行うことで、機能液滴吐出ヘッドの機能液吐出状態を安定させる。また、フラッシングボックスには、吸収材の反りや撓みを防ぐための反り防止機構が設けられており、吸収材の反りを防ぐことで、吸収材が機能液を吸収して膨潤状態になっても、吸収材が機能液滴吐出ヘッドのノズル面に接触しないようにしている。（例えば、特許文献１参照。）
【特許文献１】特開２００６−７６０６６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、従来の吸収材は、機能液を含浸したときの膨潤や、機能液の跳返りを考慮し、比較的気孔率の低い硬質の吸収材が用いられ、且つフラッシングボックスの底面から浮かせた状態で敷設されている。このため、機能液が吸収材から底面に滴下し難く、吸引手段により吸引してもエアーが優先的に吸引され機能液が吸引され難い問題がある。また、吸収材に溜まった機能液がフラッシングボックスの底面に滴下せずにパンの縁部に盛り上がるように溜まり、溜まった機能液がパンの縁部から溢れ出てしまうという問題がある。
【０００４】
本発明は、機能液滴吐出ヘッドから吐出された機能液を下部に貯留し易く、外部への流出を防止することができるフラッシングユニット、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のフラッシングユニットは、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドからの捨て吐出を受けるパン状のユニット本体と、ユニット本体に敷設され、捨て吐出された機能液を受容する吸収材と、を備え、吸収材は、捨て吐出された機能液をトラップする上吸収材と、ユニット本体の底面に敷設されると共に上吸収材の下面に接し、上吸収材の機能液を吸収し貯留する下吸収材と、を有していることを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドから吐出された機能液を上吸収材でトラップすることにより、吐出された機能液の跳返りを防ぐことができ、ユニット本体およびユニット外に機能液が飛散することを防止できる。また、機能液は徐々に上吸収材に浸透してゆくため、上吸収材を保湿することができる。さらに、上吸収材でトラップした機能液を下吸収材で吸収し貯留するため、上吸収材に機能液が溜まり難くなり、機能液による上吸収材の膨潤を抑えることができる。これにより、上吸収材に機能液が溜まり、溜まった機能液がユニットの縁部から溢れ出ることを防止できる。
【０００７】
この場合、ユニット本体の底面に開口すると共に、真空吸引手段に連なる吸引口を、更に備えていることが好ましい。
【０００８】
この構成によれば、ユニット本体の底部に穿設された吸引口から機能液を真空吸引することで、ユニット本体に溜まった機能液をユニット外部に排出することができる。これにより、機能液がユニット本体から溢れ出ることを防止することができる。
【０００９】
これらの場合、上吸収材の気孔率に対し、下吸収材の気孔率が高いことが好ましい。
【００１０】
この構成によれば、上吸収材の気孔率に対し、下吸収材の気孔率が高いため、上吸収材に吐出された機能液は、下吸収材に吸い取られるように吸引される。これにより、上吸収材の膨潤を抑えることができる。また、下吸収材の気孔率を高くすることで、機能液の保持力が小さくなり、機能液を下吸収材の底部に貯留することができる。
【００１１】
これらの場合、上吸収材に対し、下吸収材が厚手に形成されていることが好ましい。
【００１２】
この構成によれば、下吸収材の機能液の貯留容量が大きくすることで、吐出される機能液の量が多い場合でも、機能液を下吸収材で完全に貯留することができ、上吸収材に機能液が留まらない。これにより、上吸収材の膨潤を抑え、機能液が溢れ出ることを防止できる。
【００１３】
本発明の液滴吐出装置は、請求項１ないし４のいずれかに記載のフラッシングユニットと、ワークに対し、機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出して描画を行なう描画手段と、を備えたことが好ましい。
【００１４】
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドから吐出された機能液をヘッドキャップ下部に貯留し易く、外部への流出を防止することができるフラッシングユニットを搭載しているため、機能液滴吐出ヘッドの機能液吐出状態を安定させると共に、吐出された機能液によりワークおよび液滴吐出装置が汚染されることを防止でき、ワークに対し精度良い描画処理を行う液滴吐出装置を実現することができる。
【００１５】
この場合、フラッシングユニットが、描画休止時の捨て吐出を受ける定期フラッシングユニット、描画動作の直前に捨て吐出を受ける描画前フラッシングユニットおよび機能液滴の重量測定時に捨て吐出を受ける併設フラッシングユニットの、少なくとも１のユニットとして搭載されていることが好ましい。
【００１６】
この構成によれば、本発明のフラッシングユニットを定期フラッシングユニットとして搭載することで、描画休止時の機能液滴吐出ヘッドのノズル詰まりや機能液の増粘を防止できる。また、描画前フラッシングユニットとして搭載することで、描画直前の機能液滴吐出ヘッドの各吐出ノズルにおけるメニスカスを良好に維持（機能維持）することができ、ワークに対し精度良い描画処理を行うことができる。さらに、併設フラッシングユニットとして搭載することで、重量測定において測定対象となる機能液滴吐出ヘッド以外の機能液滴吐出ヘッドの機能を維持することができる。
【００１７】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液による成膜部を形成することを特徴とする。
【００１８】
また、本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００１９】
これらの構成によれば、上記液滴吐出装置を用いることで、機能液滴吐出ヘッドのフラッシングの際、吐出された機能液の外部への流出を防ぐことができるため、常にクリーンな環境でワークへの描画処理を行うことができると共に、吐出された機能液が起因となる作業中断や部材の腐食が無くなり、ワークの生産性を向上させることができる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ：ＦＰＤ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field  Emission  Display）やＳＥＤ（Surface-conduction  Electron-Emitter  Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【００２０】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００２１】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータのほか、各種の電気製品がこれに該当する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、添付の図面を参照して、本発明の一実施形態について説明する。本実施形態に係る液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。
【００２３】
図１および図２に示すように、液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース２上に配設され、主走査方向となるＸ軸方向に延在して、ワークＷをＸ軸方向（主走査方向）に移動させるＸ軸テーブル１１と、複数本の支柱４を介してＸ軸テーブル１１を跨ぐように架け渡された１対（２つ）のＹ軸支持ベース３上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在するＹ軸テーブル１２と、複数の機能液滴吐出ヘッド１３（図３参照）が搭載された１０個のキャリッジユニット２０から成り、１０個のキャリッジユニット２０は、Ｙ軸テーブル１２に吊設されている。
【００２４】
また、液滴吐出装置１は、吸引ユニット１４、ワイピングユニット１５、吐出性能検査ユニット１６、フラッシングユニット１７および重量測定ユニット１８から成るメンテナンス装置５を備えており、これらユニットを機能液滴吐出ヘッド１３の保守に供して、機能液滴吐出ヘッド１３の機能維持・機能回復を図るようになっている。なお、メンテナンス装置５を構成する各ユニットのうち、吐出性能検査ユニット１６、フラッシングユニット１７および重量測定ユニット１８は、Ｘ軸テーブル１１に搭載され、吸引ユニット１４およびワイピングユニット１５は、Ｘ軸テーブル１１から外れ、かつＹ軸テーブル１２によりキャリッジユニット２０が移動可能である位置に配設された架台６上に配設されている。
【００２５】
以下、液滴吐出装置１の構成要素について説明する。図１または図２に示すように、Ｘ軸テーブル１１は、ワークＷをセットするセットテーブル２１と、セットテーブル２１をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸スライダ２２と、上記の吐出性能検査ユニット１６およびフラッシングユニット１７（後述する定期フラッシングユニット１０１）をＸ軸方向にスライド自在に支持するメンテナンス用スライダ２３と、Ｘ軸方向に延在し、Ｘ軸スライダ２２を介してワークＷをＸ軸方向に移動させると共に、メンテナンス用スライダ２３を介して吐出性能検査ユニット１６およびフラッシングユニット１７をＸ軸方向に移動させる左右一対のＸ軸リニアモータ（図示省略）と、Ｘ軸リニアモータに並設され、Ｘ軸スライダ２２およびメンテナンス用スライダ２３の移動を案内する一対（２本）のＸ軸共通支持ベース２４と、を備えている。
【００２６】
セットテーブル２１は、ワークＷを吸着セットする吸着テーブル３１と、吸着テーブル３１を支持し、吸着テーブル３１にセットしたワークＷの位置をθ軸方向に補正するためのθテーブル３２等を有している。また、セットテーブル２１のＹ軸方向と平行な一対の辺には、後述する描画前フラッシングユニット１０５の一対の描画前フラッシングボックス１０６が添設されている。
【００２７】
なお、図１における図示手前側の位置が、ワークＷのアライメント位置となっており、未処理のワークＷを吸着テーブル３１に導入する（給材）時や、処理済のワークＷを回収する（除材）時には、吸着テーブル３１をこの位置まで移動させるようになっている。そして、ロボットアーム（図示省略）により、吸着テーブル３１に対するワークＷの搬入・搬出（載換え）が行われる。また、ワークＷの位置認識を行うためのワークアライメントカメラ３３の撮像結果に基づいて、Ｘ軸方向およびＹ軸方向のデータ補正が行われると共に、θテーブル３２によるワークＷのθ補正が行われる。なお、図示では省略したが、液滴吐出装置１は、恒温チャンバに収容され、上記のロボットアームはこの恒温チャンバの外部からワークＷの除給材を行う。
【００２８】
Ｙ軸テーブル１２は、ヘッドユニット３５を構成する１０個の各キャリッジユニット２０をそれぞれ固定した１０個のブリッジプレート３６と、１０個のブリッジプレート３６を両持ちで支持する１０組のＹ軸スライダ（図示省略）と、上記した一対のＹ軸支持ベース３上に設置され、１０組のＹ軸スライダを介してブリッジプレート３６をＹ軸方向に移動させる一対のＹ軸リニアモータ（図示省略）と、を備えている。
【００２９】
一対のＹ軸リニアモータを（同期して）駆動すると、各Ｙ軸スライダが一対のＹ軸支持ベース３を案内にして同時にＹ軸方向を平行移動する。これにより、ブリッジプレート３６がＹ軸方向を移動し、これと共にキャリッジユニット２０がＹ軸方向に移動する（副走査）。なお、この場合、Ｙ軸リニアモータの駆動を制御することにより、キャリッジユニット２０を独立させて個別に移動させることも可能であるし、１０個のキャリッジユニット２０を一体として移動させることも可能である。また、Ｙ軸テーブル１２には、キャリッジユニット２０を副走査としてＹ軸方向に移動させる機能と、キャリッジユニット２０をメンテナンス装置５に臨ませるべく、Ｙ軸方向に移動させる機能と、を有している。
【００３０】
各キャリッジユニット２０は、１２個の機能液滴吐出ヘッド１３と、１２個の機能液滴吐出ヘッド１３を６個ずつ２群に分けて支持するキャリッジプレート３７と、を備えている。
【００３１】
図３に示すように、機能液滴吐出ヘッド１３は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針４２を有する機能液導入部４１と、機能液導入部４１に連なる２連のヘッド基板４３と、機能液導入部４１の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体４４と、を備えている。接続針４２は、図外の機能液タンクに接続され、機能液導入部４１に機能液を供給する。ヘッド本体４４は、キャビティ４５（ピエゾ圧電素子）と、多数の吐出ノズル４８が開口したノズル面４７を有するノズルプレート４６と、で構成されている。機能液滴吐出ヘッド１３を吐出駆動すると、（ピエゾ圧電素子に電圧が印加され）キャビティ４５のポンプ作用により、吐出ノズル４８から機能液滴が吐出される。
【００３２】
なお、ノズル面４７に形成された多数の吐出ノズル４８は、等ピッチに整列して、１８０個の吐出ノズル４８から成る分割ノズル列４８ａを２列形成している。そして、２列の分割ノズル列４８ａ同士は、相互に半ピッチ分位置ずれしている。すなわち、機能液滴吐出ヘッド１３には、２列の分割ノズル列４８ａにより高解像度の描画が可能となっている。
【００３３】
図４に示すように、各キャリッジユニット２０は、キャリッジプレート３７を介して、複数（１２個）の機能液滴吐出ヘッド１３を搭載している。１２個の機能液滴吐出ヘッド１３は、Ｙ軸方向に２群に分かれ、６個ずつＸ軸方向に並んでヘッド群４９を構成している。そして、複数のキャリッジに搭載された全機能液滴吐出ヘッド１３（１２×１０個）により、Ｙ軸方向に連続する描画ラインを形成している。この描画ラインの長さは、セットテーブル２１に搭載可能な最大サイズのワークＷの幅に対応している。同図のものは、Ｒ・Ｇ・Ｂ単色の装置を想定しているが、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色を描画可能な装置では、各群６個の機能液滴吐出ヘッド１３を２つずつＲ色ヘッド、Ｇ色ヘッドおよびＢ色ヘッドとする。なお、描画に際し、前者のものは副走査を必要としないが、後者のものは副走査を行う。
【００３４】
キャリッジユニット２０は、キャリッジプレート３７をθ補正（θ回転）可能に支持するθ回転機構５１と、θ回転機構５１を介して、キャリッジプレート３７をＹ軸テーブル１２（各ブリッジプレート３６）に支持させる吊設部材５２と、を備えている（いずれも図２参照）。なお、図示省略したが、吊設部材５２には、θ回転機構５１を介してキャリッジプレート３７を昇降させるヘッド昇降機構（図示省略）が組み込まれており、キャリッジプレート３７（機能液滴吐出ヘッド１３のノズル面４７）の高さ位置を調整可能に構成されている。
【００３５】
次に、メンテナンス手段を構成する吸引ユニット１４、ワイピングユニット１５、吐出性能検査ユニット１６、フラッシングユニット１７および重量測定ユニット１８について順に説明する。
【００３６】
吸引ユニット１４は、機能液滴吐出ヘッド１３を吸引して、機能液滴吐出ヘッド１３の吐出ノズル４８から機能液を強制的に排出させるものである。図１に示すように、吸引ユニット１４は、ヘッドユニット３５、すなわち１０個のキャリッジユニット２０に対応して構成されており、同様に構成された１０個の分割吸引ユニット６１を上記架台６上に整列配置したものである。各分割吸引ユニット６１は、吸引を行うキャリッジユニット２０に対して下側から臨み、キャリッジユニット２０に搭載された１２個の各機能液滴吐出ヘッド１３のノズル面４７に、対応する１２個の各キャップ６３をそれぞれ密着させるキャップユニット６２と、キャップユニット６２を昇降させ、機能液滴吐出ヘッド１３（ノズル面４７）に対してキャップ６３を離接させるキャップ昇降機構（図示省略）と、密着させたキャップ６３を介して各機能液滴吐出ヘッド１３に吸引力を作用させる吸引手段（エゼクタ：図示省略）と、を備えている。
【００３７】
機能液の吸引は、機能液滴吐出ヘッド１３（吐出ノズル４８）の目詰まりを解消／防止するために行われる他、液滴吐出装置１を新設した場合や、機能液滴吐出ヘッド１３のヘッド交換を行った場合などに、機能液タンクから機能液滴吐出ヘッド１３に至る機能液流路に機能液を充填するために行われる。また、吸引ユニット１４のキャップ６３は、液滴吐出装置１の非稼動時に、機能液滴吐出ヘッド１３を保管するためにも用いられる。
【００３８】
ワイピングユニット１５は、洗浄液を噴霧したワイピングシート６５で機能液滴吐出ヘッド１３のノズル面４７を拭取る（ワイピングを行う）ものであり、ロール状に巻回したワイピングシート６５を繰り出しながら巻き取ってゆく巻取りユニット６６と、繰り出したワイピングシート６５に洗浄液を散布する洗浄液供給ユニット６７と、洗浄液が散布されたワイピングシート６５でノズル面４７を拭取る拭取りユニット６８と、を備えている（図１参照）。ワイピング動作は、吸引ユニット１４による吸引後等に行われ、ノズル面４７に付着した汚れを払拭する。そして、ワイピングユニット１５は、吸引ユニット１４よりもＸ軸テーブル１１側に配設されており、吸引ユニット１４による吸引後にホーム位置に戻るヘッドユニット３５（各キャリッジユニット２０）に臨んで、効率よくワイピング動作を行えるようになっている。
【００３９】
図１または図２に示すように、吐出性能検査ユニット１６は、ヘッドユニット３５に搭載された全機能液滴吐出ヘッド１３（の吐出ノズル４８）から機能液が適切に吐出されているか否かを検査する（吐出の有無および飛行曲り等）ためのものであり、ヘッドユニット３５の全機能液滴吐出ヘッド１３の全吐出ノズル４８から検査吐出された機能液を受け、所定の検査パターンを描画させるための被描画ユニット７１と、被描画ユニット７１に描画された検査パターンを撮像して検査する検査カメラ７２と、を備えている。被描画ユニット７１は、機能液滴吐出ヘッド１３からの検査吐出を受け、ロール状に巻回され、検査パターンを描画させる長尺状の描画シート７３と、描画シート７３が載置される検査ステージ７４と、を有し、描画シート７３に吐出された検査パターンは、検査カメラ７２で撮像され、制御装置（図示省略）がこれを画像認識して、吐出不良の有無を判断する。
【００４０】
次に、フラッシングユニット１７ついて説明する。フラッシングユニット１７は、機能液滴吐出ヘッド１３からの機能液の捨て吐出（フラッシング）を受けるものであり、このフラッシングを行うことで、機能液滴吐出ヘッド１３の機能液吐出状態を安定させる。図５に示すように、フラッシングユニット１７は、機能液滴吐出ヘッド１３から吐出される機能液を受けるパン状のフラッシングボックス８１（ユニット本体）と、フラッシングボックス８１内に敷設され、吐出された機能液を吸収する吸収材８２と、フラッシングボックス８１の上端に設けられ、吸収材８２の上限位置を規制する枠状の吸収材押さえ８３と、フラッシングボックス８１底面に開口すると共に、ボックス内に溜まった機能液をボックス外に排出するための吸引口８４と、フラッシングボックス８１内の機能液を吸引口８４から真空吸引して排出する吸引機構８５（真空吸引手段）と、を備えている。
【００４１】
吸収材８２は、機能液滴吐出ヘッド１３からの機能液の捨て吐出を受ける上吸収材９１と、フラッシングボックス８１の底面に敷設されると共に、上吸収材９１の下面に接し、上吸収材９１に浸透した機能液を吸収し貯留する下吸収材９２と、を有している。
【００４２】
上吸収材９１は、比較的気孔率の低い部材で形成され、吐出された機能液の跳返りを抑制すると共に、機能液を徐々に吸収する。一方、下吸収材９２は、上吸収材９１の気孔率に対し、気孔率の高い部材で形成される。これにより、上吸収材９１に吸収された機能液は、下吸収材９２からの吸引力により吸い取られ、下吸収材９２に吸収される。また、下吸収材９２に気孔率が高い部材を使用することで、下吸収材９２が機能液を保持する力が弱くなり、下吸収材９２に吸収された機能液は、フラッシングボックス８１の底部に向かって沈んで行くと共に、貯留される。
【００４３】
また、上吸収材９１に対し、下吸収材９２を厚手に形成することで、下吸収材９２の機能液の貯留量が大きくなる。これにより、吐出された機能液の量が多い場合でも、下吸収材９２で完全に吸収し貯留することができ、上吸収材９１に機能液が留まることがない。また、上吸収材９１に機能液が貯留されたまま乾燥固化することがなく、上吸収材９１の目詰まりを抑制することができる。
【００４４】
吸収材押さえ８３は、吸収材８２の上限位置を規制すると共に、膨潤した吸収材８２を押えるよう機能する。これにより、吸収材８２（上吸収材９１）と機能液滴吐出ヘッド１３のノズル面４７とのギャップが僅かである場合、機能液により膨潤した吸収材８２が機能液滴吐出ヘッド１３のノズル面４７に干渉するのを防止している。
【００４５】
吸引機構８５は、吸引口８２に上流端が接続された吸引チューブ９３と、吸引チューブ９３の下流端に設けられた密閉型の廃液タンク９４と、廃液タンク９４の上部エアーを吸引することで機能液を廃液タンク９４に吸引するエゼクタ９５と、廃液タンク９４とエゼクタ９５とを接続する真空チューブ９６と、で構成されている。吸引機構８５は、エゼクタ９５を駆動することにより、フラッシングボックス８１の吸引口８４から真空吸引することで、ボックス内底部に沈殿した機能液をフラッシングボックス８１（フラッシングユニット１７）外部に排出すると共に、廃液タンク９４に回収する。
【００４６】
上述したフラッシングユニット１７は、その用途により、定期フラッシングユニット１０１、描画前フラッシングユニット１０５および併設フラッシングユニット１１１として搭載され、機能液滴吐出ヘッド１３からの吐出を受ける。
【００４７】
図１または図２に示すように、定期フラッシングユニット１０１は、機能液を受ける定期フラッシングボックス１０２と、上記のメンテナンス用スライダ２３に搭載され、定期フラッシングボックス１０２の両端を高さ調整可能に支持する一対のボックス支柱部材１０３と、を有している。定期フラッシングユニット１０１は、ワークＷの載換え時等にように、描画処理を一時的に休止される時に、ヘッドユニット３５の全機能液滴吐出ヘッド１３を吐出駆動して行われる定期フラッシングの機能液を受けるためのものである。これにより、描画休止時の機能液滴吐出ヘッド１３の乾燥およびノズル詰まりを防止することができる。
【００４８】
描画前フラッシングユニット１０５は、機能液を受ける一対の描画前フラッシングボックス１０６と、一対の各描画前フラッシングボックス１０６を吸着テーブル３１に支持させる一対のボックス支持部材（図示省略）と、で構成されている。描画前フラッシングユニット１０５は、ワークＷに機能液を吐出させる直前にヘッドユニット３５の全機能液滴吐出ヘッド１３を吐出駆動して行う、描画前フラッシングの機能液を受けるためのものである。これにより、描画直前の機能液滴吐出ヘッド１３の吐出を安定させることができ、ワークＷに対して精度良い描画処理を行うことができる。この場合、フラッシングは、描画動作の一部として行なわれ、フラッシング動作は描画データ（ビットマップデータ）の一部に組み込まれている。
【００４９】
併設フラッシングユニット１１１は、機能液を受ける併設フラッシングボックス１１２を有し、重量測定ユニット１８の一部として構成されている。重量測定ユニット１８は、Ｙ軸方向に並設された複数（４個）の重量測定装置１１３を有し、１つの重量測定装置１１３が１つのヘッド群４９に対応している。つまり、４個の重量測定装置１１３により、２個のキャリッジユニット２０毎に、重量測定を行うようになっている。各重量測定装置１１３は、ヘッド群４９を構成する６個の機能液滴吐出ヘッド１３のうち、任意の１の機能液滴吐出ヘッド１３から吐出した機能液を受け、その重量を電子天秤（図示省略）で測定する。これにより、機能液滴吐出ヘッド１３に印加する駆動電圧と各吐出ノズル４８の平均吐出量が測定され、機能液滴吐出ヘッド１３から正常に機能液の吐出が行われているか否かを判別する。
【００５０】
一方、併設フラッシングボックス１１２は、１の機能液滴吐出ヘッド１３からの測定吐出の際に、他の５個の機能液滴吐出ヘッド１３からの捨て吐出を受けるものである。電子天秤による測定は、数値が安定するまでに所定の時間を要し、重量測定に要する時間のほとんどは、この安定待ちとなる。このため、測定対象ではない他の５個の機能液滴吐出ヘッド１３からの捨て吐出を行わせて、機能液滴吐出ヘッド１３の機能維持を図るようにしている。
【００５１】
ここで、図６を参照し、フラッシングユニット１７による機能液の吸収・排出過程を説明する。同図（ａ）は、機能液滴吐出ヘッド１３から捨て吐出された機能液をフラッシングユニット１７（フラッシングボックス８１内）の上吸収材９１でトラップする図である。上吸収材９１は、吐出された機能液を完全にトラップ可能な部材で形成されているため、吐出された機能液が上吸収材９１の上面で跳返ることがなく、上吸収材９１を保湿すると共に、徐々に浸透する。
【００５２】
同図（ｂ）は、上吸収材９１に浸透した機能液が、下吸収材９２に吸引され吸収される図である。上吸収材９１の気孔率に対し、下吸収材９２の気孔率が高いため、上吸収材９１が機能液を保持する力よりも下吸収材９２からの吸引力が勝り、上吸収材９１に浸透した機能液は、下吸収材９２に吸い取られるように吸引される。これにより、上吸収材９１に機能液が留まることがなく、上吸収材９１の機能液による膨潤を防ぐことができる。
【００５３】
次に、同図（ｃ）は、下吸収材９２に吸収された機能液が、下吸収材９２の下部に向かって浸透する図である。下吸収材９２に気孔率の高い部材を使用することで、吸収された機能液を保持する力が小さくなる。この結果、吸収された機能液は、下吸収材９２の上部に保持されることなく、下吸収材９２の下部（フラッシングボックス８１の底部)に向かって浸透してゆく。
【００５４】
そして、最終的には、同図（ｄ）に示すように、機能液は、下吸収材９２の下部に貯留される。その後、同図（ｅ）に示すように、機能液をフラッシングボックス８１外に排出するために、エゼクタ９５が駆動され、フラッシングボックス８１の底部に穿設された吸引口８４から貯留されている機能液を廃液タンク９４に排出する。これにより、機能液がフラッシングボックス内８１に溜まり、吸収材８２の吸収力が低下することを防ぐと共に、フラッシングボックス８１内に溜まった機能液がフラッシングボックス８１外に溢れ出ることを防止する。また、吸引した機能液を再利用可能に保存することができる。
【００５５】
以上のように、本実施形態によれば、性質の異なる２つの吸収材８２（上吸収材９１および下吸収材９２）を２層に敷設したフラッシングユニット１７を使用してフラッシングを行うことで、機能液滴吐出ヘッド１３から吐出された機能液の跳返りを防ぎ、且つ確実に吸収材８２で受けることができる。このため、機能液滴吐出ヘッド１３の機能液吐出状態を安定させると共に、フラッシングユニット１７自体およびフラッシングユニット１７外に機能液が飛散する等して、吐出された機能液によりワークＷおよび液滴吐出装置１が汚染されることを防止できる。
【００５６】
また、上吸収材９１でトラップした機能液を下吸収材９２で吸収し貯留するため、上吸収材９１に機能液が溜まり難くなり、機能液による上吸収材９１の膨潤を抑えることができる。さらに、上吸収材９１に対し、下吸収材９２の気孔率を高くすると共に厚手の部材で形成することで、上吸収材９１に吐出された機能液は、下吸収材９２に吸収され、機能液を下吸収材９２の底部に完全に貯留することができる。これにより、上吸収材９１に機能液が溜まり、溜まった機能液がフラッシングユニット１７の縁部から溢れ出ることを防止できる。
【００５７】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。
【００５８】
まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図７は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図８は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図８（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【００５９】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図８（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図８（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド１３により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【００６０】
以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。
【００６１】
次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図８（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド１３によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド１３を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００６２】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図８（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【００６３】
図９は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図８に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００６４】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【００６５】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図９において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【００６６】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００６７】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【００６８】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド１３で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド１３で行うことも可能である。
【００６９】
図１０は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【００７０】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【００７１】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００７２】
図１１は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【００７３】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【００７４】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【００７５】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【００７６】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【００７７】
次に、図１２は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【００７８】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【００７９】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【００８０】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【００８１】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【００８２】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【００８３】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【００８４】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【００８５】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【００８６】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【００８７】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【００８８】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【００８９】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１３〜図２１を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１３に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、および対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【００９０】
まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図１４に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１５に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【００９１】
表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド１３を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【００９２】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１のセットテーブル２１に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）および発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。
【００９３】
図１６に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド１３から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図１７に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【００９４】
次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【００９５】
そして次に、図１７に示すように、各色のうちのいずれか（図１７の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【００９６】
その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図１９に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【００９７】
同様に、機能液滴吐出ヘッド１３を用い、図２０に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００９８】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。
【００９９】
対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２１に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０１００】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【０１０１】
次に、図２２は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１０２】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【０１０３】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【０１０４】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１０５】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のセットテーブル２１に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド１３により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１０６】
補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１０７】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド１３から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１０８】
次に、図２３は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０１０９】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１１０】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１１１】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１１２】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１１３】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２４（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２４（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１１４】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１１５】
【図１】本実施形態に係る液滴吐出装置の平面図である。
【図２】液滴吐出装置の側面図である。
【図３】機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。
【図４】ヘッド群を構成する機能液滴吐出ヘッドの図である。
【図５】本実施形態に係るフラッシングユニットの概念図である。
【図６】ラッシングユニットによる機能液の吸収・排出過程を説明する図である。
【図７】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図８】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図９】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１０】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１１】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１２】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図１３】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図１４】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１５】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１６】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図１７】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図１８】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図１９】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２０】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２１】陰極の形成を説明する工程図である。
【図２２】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図２３】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図２４】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
【０１１６】
１…液滴吐出装置  １３…機能液滴吐出ヘッド  １７…フラッシングユニット  ８１…フラッシングボックス  ８２…吸収材  ８４…吸引口  ８５…吸引機構  ９１…上吸収材  ９２…下吸収材  １０１…定期フラッシングユニット  １０５…描画前フラッシングユニット  １１１…併設フラッシングユニット  Ｗ…ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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