(57)【要約】【課題】通常時においては載置した嫌振機器に対して確実な除振効果を発揮することができ、地震発生時など大きな揺れが発生した際には、除振機構の損傷及び嫌振機器の倒壊或いは損傷を確実に防止することができる免震機能付き除振装置を提供する。【解決手段】嫌振機器Ｘを支持し、嫌振機器Ｘに外部から微振動領域の振動が伝播するのを防止する除振機構部１８と、除振機構部１８を載置するための中間架台１４と、装置全体を支持する支持体１２と、支持体１２と中間架台１４との間に配設され、地震発生時に中間架台１４への振動の伝播を抑制する免震機構部１６と、通常状態では免震機構部１６が作動しないようにロックする免震ロック機構２０と、地震発生時に除振機構部１８が作動しないようにロックする除振ロック機構２２と、免震ロック機構２０及び除振ロック機構２２の作動を制御するコントローラ２４とで構成されていることを特徴とする。【選択図】図１
2008101659.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
嫌振機器を支持し、前記嫌振機器に外部から微振動領域の振動が伝播するのを防止する除振機構部と、前記除振機構部を載置するための中間架台と、装置全体を支持する支持体と、前記支持体と前記中間架台との間に配設され、地震発生時に前記中間架台への振動の伝播を抑制する免震機構部と、通常状態では前記免震機構部が作動しないようにロックし、地震発生時にロックを解除する免震ロック機構と、通常状態では前記除振機構部が作動するようにロックが解除され、地震発生時に前記除振機構部が作動しないようにロックする除振ロック機構と、前記免震ロック機構及び前記除振ロック機構の作動を制御するコントローラとで構成されていることを特徴とする免震機能付き除振装置。
【請求項２】
前記コントローラには、前記支持体を設置した基礎の振動を計測するセンサのデータが入力されると共に、当該データに基づいて前記コントローラが前記免震ロック機構及び前記除振ロック機構の作動を制御することを特徴とする請求項１に記載の免震機能付き除振装置。
【請求項３】
前記コントローラには、電気通信回線を介して地震予知情報が入力されると共に、当該情報に基づいて前記コントローラが前記免震ロック機構及び前記除振ロック機構の作動を制御することを特徴とする請求項１に記載の免震機能付き除振装置。
【請求項４】
前記コントローラには、前記支持体を設置した基礎の振動を計測するセンサのデータと電気通信回線を介した地震予知情報とが入力されると共に、これらの情報に基づいて前記コントローラが前記免震ロック機構及び前記除振ロック機構の作動を制御することを特徴とする請求項１に記載の免震機能付き除振装置。
【請求項５】
前記コントローラが、様々な嫌振機器に固有の振動許容度データ又は重心位置データの少なくとも一つを格納したロジック機構を有すると共に、基礎の振動データ或いは電気通信回線を介して入力された地震予知情報に基づいて前記コントローラが前記免震ロック機構及び前記除振ロック機構の作動を制御する際に、前記ロジック機構に格納されたデータのうち除振機構部で支持した嫌振機器に対応するデータと振動データ或いは地震予知情報とを関連付けて制御することを特徴とする請求項２乃至４のいずれかに記載の免震機能付き除振装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、嫌振機器が載置される除振装置に関し、特に地震発生時など大きな揺れが発生した際に、嫌振機器の倒壊や損傷を防止することができる免震機能付きの除振装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程では電子描画装置などの嫌振機器が使用されている。この種の嫌振機器はわずかな振動であってもその動作等に悪影響を受けるため、通常、外部からの振動を絶縁すべく除振装置に載置されている。
【０００３】
ここで、嫌振機器が載置される除振装置は、振動加速度が例えば１０-3ガル程度といったように知覚限界よりも小さく、且つ周波数が０．５Ｈｚ〜数百Ｈｚ程度のいわゆる「微振動領域」の振動を制御するものである。このため、地震などにより除振装置の振動抑制能力を大きく超えるような過大な振動が伝わると、除振装置が損傷を受けるだけでなく、除振装置に載置した嫌振機器が倒壊或いは損傷するおそれがある。
【０００４】
そこで、かかる問題を解決する技術として、機器を載置するための防振台と、該防振台の振動を計測するセンサと、防振台を支持し且つ機器に伝わる振動を抑制するためにセンサの計測結果に応じて作動するアクチュエータとを備えた所謂アクティブ型の除振装置であって、防振台が設置された基礎(岩盤)の振動を計測し、０．１Ｈｚ〜１０Ｈｚの低周波数で０．１ｍgal以上の加速度の微振動成分が検出された際にアクチュエータによる能動的振動抑制機能を停止させ、防振台を基礎に対して固定状態に設置する除振装置が開示されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００５】
かかる技術によれば、地震が発生し、除振装置に対して過大な振動が与えられる前にアクチュエータによる能動的振動抑制機能を停止させ、防振台を基礎に対して固定状態とするので、除振装置の損傷や嫌振機器の倒壊或いは損傷をある程度防止することができる。
【特許文献１】特開２００６−１３８７６９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、地震を予知すると共に当該予知に基づいて防振台を基礎に対して単に固定状態とするにすぎない上記除振装置では、大地震などによる過大な振動を制御することはできない。特に、除振装置に載置する嫌振機器の重心が高い位置にある場合などには、過大な振動によって当該機器が倒壊する危険性が極めて高い。
【０００７】
それゆえに、本発明の主たる課題は、通常時においては載置した嫌振機器に対して確実な除振効果を発揮することができ、地震発生時など大きな揺れが発生した際には、除振機構の損傷及び嫌振機器の倒壊或いは損傷を確実に防止することができる免震機能付き除振装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載した発明は、「嫌振機器Ｘを支持し、嫌振機器Ｘに外部から微振動領域の振動が伝播するのを防止する除振機構部１８と、除振機構部１８を載置するための中間架台１４と、装置全体を支持する支持体１２と、支持体１２と中間架台１４との間に配設され、地震発生時に中間架台１４への振動の伝播を抑制する免震機構部１６と、通常状態では免震機構部１６が作動しないようにロックし、地震発生時にロックを解除する免震ロック機構２０と、通常状態では除振機構部１８が作動するようにロックが解除され、地震発生時に除振機構部１８が作動しないようにロックする除振ロック機構２２と、免震ロック機構２０及び除振ロック機構２２の作動を制御するコントローラ２４とで構成されている」ことを特徴とする免震機能付き除振装置１０である。
【０００９】
この発明では、中間架台１４を介して基礎２６側に免震機構部１６を設け、嫌振機器Ｘ側に除振機構部１８を設けると共に、上述のような免震ロック機構２０及び除振ロック機構２２を設けているので、通常状態においては、免震機構部１６がロックされ、除振機構部１８のみが作動するようになっている。このため、除振機構部１８は、免震機構部１６の作動による影響を受けることなくその機能を十分に発揮することができる。
【００１０】
そして、地震などによる過大な振動が発生した際には、コントローラ２４を作動させ、免震ロック機構２０のロックを解除して免震機構部１６を作動させると共に、除振ロック機構２２で除振機構部１８が作動しないようにロックする。こうすることによって免震機構部１６のみが作動して中間架台１４より上方に搭載した除振機構部１８及び嫌振機器Ｘが基礎２６から絶縁されるようになり、除振機構部１８や嫌振機器Ｘに過大な振動が伝播するのを防止することができる。また、除振機構部１８が作動しないようロックされているので、過大な振動で除振機構部１８が損傷するのを防止することができる。
【００１１】
請求項２に記載した発明は、請求項１に記載の免震機能付き除振装置１０において、「コントローラ２４には、支持体１２を設置した基礎２６の振動を計測するセンサ３８のデータが入力されると共に、当該データに基づいてコントローラ２４が免震ロック機構２０及び除振ロック機構２２の作動を制御する」ことを特徴とするものである。
【００１２】
この発明では、基礎２６の振動データに基づいてコントローラ２４が免震ロック機構２０及び除振ロック機構２２の作動を制御するようにしているので、例えば、地震の初期微動に相当する振動データがコントローラ２４に入力されたときに、免震ロック機構２０のロックを解除し、除振ロック機構２２のロックを作動させるように当該コントローラ２４を設定しておけば、センサ３８が地震発生時の初期微動を感知した際、直ちにコントローラ２４が作動して免震ロック機構２０及び除振ロック機構２２を作動させることができる。それ故、主要動が到達する前に除振機構部１８の作動を停止させると共に、免震機構部１６を作動させることができる。
【００１３】
請求項３に記載した発明は、請求項１に記載の免震機能付き除振装置１０において、「コントローラ２４には、電気通信回線４０を介して地震予知情報が入力されると共に、当該情報に基づいてコントローラ２４が免震ロック機構２０及び除振ロック機構２２の作動を制御する」ことを特徴とするものである。
【００１４】
この発明では、上述した請求項２の場合とは異なり、インターネットなどの電気通信回線４０を介して提供される地震予知情報に基づいてコントローラ２４が免震ロック機構２０及び除振ロック機構２２の作動を制御するようにしているので、例えば、地震予知情報として主要動の到達推定時刻や震度がコントローラに入力される場合において、所定の震度以上の地震が発生した際に主要動の到達推定時刻の直前に免震ロック機構２０のロックを解除し、除振ロック機構２２のロックを作動させるように当該コントローラ２４を設定しておけば、コントローラ２４に地震予知情報が入力されると、発生した地震が所定の震度以上である場合には当該情報に基づいてコントローラ２４が作動して免震ロック機構２０及び除振ロック機構２２を作動させることができる。それ故、主要動が到達する前に除振機構部１８の作動を停止させると共に、免震機構部１６を作動させることができる。
【００１５】
請求項４に記載した発明は、請求項１に記載の免震機構付き除振装置１０において、「コントローラ２４には、支持体１２を設置した基礎２６の振動を計測するセンサ３８のデータと電気通信回線４０を介した地震予知情報とが入力されると共に、これらの情報に基づいてコントローラ２４が免震ロック機構２０及び除振ロック機構２２の作動を制御する」ことを特徴とするものである。
【００１６】
上述したように電気通信回線４０を介して提供される地震予知情報のみに基づいてコントローラ２４の制御を行った場合(請求項３)、誤報や震源に近いところでは地震予知情報の提供が主要動の到達に間に合わないといった問題が生じるおそれがある。そこで、地震予知情報とセンサ３８で計測した支持体１２付近の振動データとを併用してコントローラ２４の制御を行なうことによって、地震予知情報に不具合があったとしても、センサ３８で計測した振動データに基づいてコントローラ２４を作動させることができ、地震発生時には主要動が到達する前に確実に除振機構部１８の作動を停止させると共に、免震機構部１６を作動させることができる。
【００１７】
請求項５に記載した発明は、請求項２乃至４のいずれかに記載の免震機能付き除振装置１０において、「コントローラ２４が、様々な嫌振機器Ｘに固有の振動許容度データ又は重心位置データの少なくとも一つを格納したロジック機構を有すると共に、基礎２６の振動データ或いは電気通信回線４０を介して入力された地震予知情報に基づいてコントローラ２４が免震ロック機構２０及び除振ロック機構２２の作動を制御する際に、ロジック機構に格納されたデータのうち除振機構部１８で支持した嫌振機器Ｘに対応するデータと振動データ或いは地震予知情報とを関連付けて制御する」ことを特徴とするもので、これにより、コントローラ２４による免震ロック機構２０及び除振ロック機構２２の制御を除振機構部１８で支持した各嫌振機器Ｘに個別対応した最適なものとすることができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の免震機能付き除振装置によれば、通常時においては、免震機構部がロックされ、除振機構部のみが作動するようになっているので、載置した嫌振機器に対して確実な除振効果を発揮することができる。
【００１９】
一方、地震発生時など大きな揺れが発生した際には、コントローラを作動させ、免震ロック機構のロックを解除して免震機構部を作動させると共に、除振ロック機構で除振機構部が作動しないようにロックするようにしているので、除振機構の損傷及び嫌振機器の倒壊或いは損傷を確実に防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明を図示実施例に従って説明する。図１は本発明の一実施例(第１実施例)の免震機能付き除振装置１０Ａ(１０)を概略的に示した図である。この図が示すように、本実施例の免震機能付き除害装置１０Ａは、大略、支持体１２，中間架台１４，免震機構部１６，除振機構部１８，免震ロック機構２０，除振ロック機構２２及びコントローラ２４などで構成されている。
【００２１】
支持体１２は、基礎２６に対して固定されると共に、免震機構部１６の下端が載置されるものであり、耐荷重性や剛性に優れる鉄，ステンレス又はアルミニウム等の金属で形成された矩形の板状部材である。このような支持体１２を設けることにより、免震機能付き除振装置１０Ａを運搬可能な１つのユニットとして構成することができるが、免震構造部１６を基礎２６に直接設けるようにしてもよい。なお、この場合には基礎２６自身が支持体として機能することになる。
【００２２】
支持体１２表面の所定位置には、少なくとも奥部(先端)が逆円錐形状に形成された凹部１２ａが設けられており、この凹部１２ａが後述する免震ロック機構２０の嵌合係止部２０ｂと嵌合するようになっている。
【００２３】
中間架台１４は、支持体１２の直上に配設され、その下面が免震機構部１６で支持されると共に、上面に除振機構部１８が載置されるものであり、上述の支持体１２と同様に、耐荷重性や剛性に優れる鉄，ステンレス又はアルミニウム等の金属で形成された矩形の板状部材である。
【００２４】
中間架台１４を支持する免震機構部１６は、地震発生時などに生じる大きな揺れが中間架台１４に伝播しないように制御(絶縁)するものであり、積層ゴムやスプリングを用いたもの，空気ばねを用いたもの，ピニオンラックとギヤを用いたもの，ベアリングを用いたもの，或いはガイドレール・リンク機構を用いたものなど公知の免震機構の何れを採用してもよい。
【００２５】
また、中間架台１４に載置された除振機構部１８は、上部架台２８に据え付けられた嫌振機器Ｘを支持し、当該嫌振機器Ｘに外部から微振動領域の振動が伝播するのを防止するものであり、空気ばねなどの材料特性による損失抵抗(粘性抵抗や空気抵抗など)を利用したパッシブ型除振機構、または前記パッシブ型除振機構による制御の一部を利用しつつも専用の振動検出センサで得られたセンサ情報をアクチュエータに指令する制御系により、電子的に位相調整(逆位相)するアクティブ型除振機構の何れであってもよい。
【００２６】
除振機構部１８によって支持された上部架台２８の下表面の所定位置には、少なくとも奥部(先端)が円錐形状に形成された凹部２８ａが設けられており、この凹部２８ａが後述する除振ロック機構２２の嵌合係止部２２ｃと嵌合するようになっている。
【００２７】
免震ロック機構２０は、通常時において免震機構部１６が作動しないようにロックするためのものであり、具体的には、図３に示すように、支持体１２に設けられた凹部１２ａの直上にて中間架台１４を貫通すると共に垂直方向へ往復移動可能なシャフト２０ａと、該シャフト２０ａの下端部に取り付けられ、前記凹部１２ａに嵌合するようにその先端部が逆円錐形状に形成された嵌合係止部２０ｂと、シャフト２０ａの上端部に取り付けられた板状部材２０ｃと、該板状部材２０ｃ及び中間架台１４の間に介設された空気ばね２０ｄとで構成されている。
【００２８】
なお、本実施例では、支持体１２に設ける凹部１２ａの形状を逆円錐形状にすると共に、当該凹部１２ａに係止する嵌合係止部２０ｂの先端形状を凹部１２ａの形状に合せて逆円錐形状とし、嵌合係止部２０ｂを下げて凹部１２ａに嵌合することによって免震機構部１６がロックされ、嵌合係止部２０ｂを引き上げることによってロックが解除されるようになっているが、凹部１２ａに嵌合係止部２０ｂが嵌合した際に免震機構部１６が作動しないようロックできるのであれば、これらの形状は如何なるものであってもよく、上記形状に限定されるものではない。但し、凹部１２ａと嵌合係止部２０ｂの形状を上述のようなテーパー状とすることによって、支持体１２と中間架台１４の水平位置が相対的に多少ズレた場合であっても、凹部１２ａへの嵌合係止部２０ｂの挿入が容易となり、また、挿入の際に嵌合係止部２０ｂが逆円錐形状に形成された凹部１２ａの内面に案内され、嵌合係止部２０ｂを凹部１２ａの中心に位置決めすることができ、これにより、支持体１２と中間架台１４との間の水平方向のズレを元に戻すことができる。
【００２９】
免震ロック機構２０を構成する空気ばね２０ｄには、図１に示すように、給排気用の配管３０の一端が接続されており、この配管３０の他端は、コントロールバルブ３２を介してコンプレッサなどの給排気装置３４に接続されている。
【００３０】
除振ロック機構２２は、地震発生時などの大きな揺れが生じた際に除振機構部１８が作動しないようにロックするためのものであり、具体的には図４に示すように、上部架台２８に形成された凹部２８ａ直下の中間架台１４上に設けられた台部２２ａと、台部２２ａを貫通すると共に垂直方向へ往復移動可能な頭付きシャフト２２ｂと、該シャフト２２ｂの上端部に取り付けられ、前記凹部２８ａに嵌合するようにその先端部が円錐形状に形成された嵌合係止部２２ｃと、該嵌合係止部２２ｃ及び台部２２ａの間に介設された空気ばね２２ｄとで構成されている。
【００３１】
ここで、本実施例では、上部架台２８に設ける凹部２８ａの形状を円錐形状にすると共に、当該凹部２８ａに係止する嵌合係止部２２ｃの先端形状を凹部２８ａの形状に合せて円錐形状としているが、凹部２８ａに嵌合係止部２２ｃが嵌合した際に除振機構部１８が作動しないようロックできるのであれば、これらの形状は如何なるものであってもよく、上記形状に限定されるものではない。但し、凹部２８ａと嵌合係止部２２ｃの形状を上述のようなテーパー状とすることによって、中間架台１４と上部架台２８の水平位置が相対的に多少ズレた場合であっても、凹部２８ａへの嵌合係止部２２ｃの挿入が容易となり、また、挿入の際に嵌合係止部２２ｃが円錐形状に形成された凹部２８ａの内面に案内され、嵌合係止部２２ｃを凹部２８ａの中心に位置決めすることができ、これにより中間架台１４と上部架台２８との間の水平方向のズレを元に戻すことができる。
【００３２】
除振ロック機構２２を構成する空気ばね２２ｄには、図１に示すように、給排気用の配管３６の一端が接続されており、この配管３６の他端は、コントロールバルブ３２を介してコンプレッサなどの給排気装置３４に接続されている。
【００３３】
コントローラ２４は、所定の信号や情報に基づいてコントロールバルブ３２や給排気装置３４の動作を制御するものである。本実施例では、支持体１２近傍の基礎２６に取り付けた振動計測用のセンサ３８の信号が配線Ｌ１を介してコントローラ２４に入力されるようになっており、この信号に基づいてコントローラ２４から出力される操作信号が配線Ｌ２及びＬ３を介してコントロールバルブ３２及び給排気装置３４に与えられるようになっている。
【００３４】
次に、本実施例の免震機能付き除振装置１０Ａの作用について説明する。本実施例の免震機能付き除振装置１０Ａでは、通常状態において、免震機構部１６がロックされ、除振機構部１８のみが作動するようになっている(図１，図３(a)及び図４(a)参照)。このため、除振機構部１８は、免震機構部１６の作動による影響を受けることなくその機能を十分に発揮することができる。
【００３５】
そして、地震などが発生し、基礎２６に取り付けたセンサ３８が所定の振動(例えば、Ｐ波による初期微動など)を検出すると、センサ３８の検知信号が配線Ｌ１を介してコントローラ２４に入力される。すると、コントローラ２４から所定の操作信号が出力され、この操作信号が配線Ｌ２及びＬ３を介してコントロールバルブ３２及び給排気装置３４に入力される。そうすると、給排気装置３４と空気ばね２０ｄ及び２２ｄとが連通するようにコントロールバルブ３２が操作された後、給排気装置３４が作動して空気ばね２０ｄ及び２２ｄに向けて一気に空気が供給される。この結果、図３(ｂ)に示すように、嵌合係止部２０ｂが引き上げられて免震ロック機構２０のロックが解除され、免震機構部１６が作動すると共に、図４(ｂ)に示すように、嵌合係止部２２ｃが押し上げられて除振機構部１８が作動しないよう除振ロック機構２２でロックされる。こうすることによって免震機構部１６のみが作動して中間架台１４より上方に搭載した除振機構部１８及び嫌振機器Ｘが基礎２６から絶縁されるようになり、除振機構部１８や嫌振機器Ｘに過大な振動が伝播するのを防止することができる。また、除振機構部１８が作動しないようロックされているので、過大な振動で除振機構部１８が損傷するのを防止することができる。
【００３６】
このように本実施例の免震機能付き除振装置１０Ａでは、基礎２６の振動データに基づいてコントローラ２４が免震ロック機構２０及び除振ロック機構２２の作動を制御するようにしているので、上述のように、地震の初期微動に相当する振動データがコントローラ２４に入力された場合、免震ロック機構２０のロックを解除し、除振ロック機構２２のロックを作動させるように当該コントローラ２４を設定しておけば、センサ３８が地震発生時の初期微動を感知した際、直ちにコントローラ２４が作動して免震ロック機構２０及び除振ロック機構２２を作動させることができる。それ故、主要動が到達する前に除振機構部１８の作動を停止させると共に、免震機構部１６を作動させることができる。
【００３７】
なお、上述の実施例では、免震ロック機構２０及び除振ロック機構２２として空気ばね２０ｄ及び２２ｄを用いる場合を示したが、コントローラ２４からの信号に基づいて免震機構部１６及び除振機構部１８を迅速にロック或いはロック解除できるものであれば、免震ロック機構２０及び除振ロック機構２２の構成態様は如何なるものであってもよく、例えば、リニアモータを用いたものなどであってもよい。
【００３８】
また、図示しないが、コントローラ２４に様々な嫌振機器Ｘに固有の振動許容度データ又は重心位置データの少なくとも一つを格納したロジック機構を装備すると共に、基礎２６の振動データに基づいてコントローラ２４が免震ロック機構２０及び除振ロック機構２２の作動を制御する際に、ロジック機構に格納されたデータのうち除振機構部１８で支持した嫌振機器Ｘに対応するデータと振動データとを関連付けて制御するようにしてもよい。ここで、このロジック機構の一例として、様々な嫌振機器に固有の振動許容度データや重心位置データなどがテーブルデータとしてメモリに保存されたマイコンが挙げられる。このマイコンに、除振機構部１８に載置した嫌振機器Ｘを特定できる事項(例えば、機器の名称，メーカー名，型番など)を入力すると、テーブルデータから当該嫌振機器Ｘに対応するデータが引き出され、マイコンがこのデータに基づいてコントローラ２４の作動を制御するようになる。このため、コントローラ２４による免震ロック機構２０及び除振ロック機構２２の制御を除振機構部１８で支持した嫌振機器に個別対応した最適なものとすることができる。
【００３９】
次に、図５に示す第２実施例について説明する。上述した第１実施例と異なる点は、「コントローラ２４に入力される情報がインターネットなどの電気通信回線４０を介して配信される地震予知情報であり、当該情報に基づいてコントローラ２４が免震ロック機構２０及び除振ロック機構２２の作動を制御する」点である。なお、これら以外の部分は前記第１実施例と同じであるので、前記第１実施例の説明を援用して本実施例の説明に代える。
【００４０】
本実施例の免震機能付き除振装置１０Ｂ(１０)では、コントローラ２４に、インターネットなどの電気通信回線４０を介して地震予知情報、具体的には気象庁が地震発生直後に主要動の到達時刻や震度を推定して発信する「緊急地震速報」などのデータが入力されるようになっているが、通常状態においては、免震機構部１６がロックされ、除振機構部１８のみが作動するようになっている(図５，図３(a)及び図４(a)参照)。このため、除振機構部１８は、免震機構部１６の作動による影響を受けることなくその機能を十分に発揮することができる。
【００４１】
そして、地震が発生すると、電気通信回線４０を介してコントローラ２４に「緊急地震速報」すなわち主要動の到達推定時刻と推定震度とが入力される。ここで、推定震度が所定値以上の地震が発生した場合、主要動の到達推定時刻直前に免震ロック機構２０のロックを解除し、除振ロック機構２２のロックを作動させるように当該コントローラ２４を設定しておけば、コントローラ２４に「緊急地震速報」が入力されると、発生した地震の推定震度が設定値以上である場合には当該情報に基づいてコントローラ２４が作動して免震ロック機構２０及び除振ロック機構２２を作動させることができる。この結果、主要動が到達する前に除振機構部１８の作動を停止すると共に、免震機構部１６を作動させることができる。
【００４２】
次に、図６に示す第３実施例について説明する。上述した第１及び第２実施例と異なる点は、「コントローラ２４に、支持体１２を設置した基礎２６の振動を計測するセンサ３８のデータと電気通信回線４０を介した地震予知情報とが入力されると共に、これらの情報に基づいてコントローラ２４が免震ロック機構２０及び除振ロック機構２２の作動を制御する」点である。なお、これら以外の部分は前記第１及び第２実施例と同じであるので、前記第１及び第２実施例の説明を援用して本実施例の説明に代える。
【００４３】
上述した第２実施例のように電気通信回線４０を介して提供される地震予知情報のみに基づいてコントローラ２４の制御を行った場合、誤報や震源に近いとことでは地震予知情報の提供が主要動の到達に間に合わないといった問題が生じるおそれがある。
【００４４】
そこで、本実施例の免震機能付き除振装置１０Ｃ(１０)では、地震予知情報とセンサ３８で計測した支持体１２付近の振動データとを併用してコントローラ２４の制御を行なうようにしているので、地震予知情報に不具合があったとしても、センサ３８で計測した振動データに基づいてコントローラ２４を作動させることができ、地震発生時には確実に主要動が到達する前に除振機構部１８の作動を停止すると共に、免震機構部１６を作動させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の一実施例(第１実施例)の免震機能付き除振装置(通常時)を概略的に示した図である。
【図２】本発明の一実施例(第１実施例)の免震機能付き除振装置(地震発生時)を概略的に示した図である。
【図３】免震ロック機構の概略を示した図であり、（ａ）は通常時を、（ｂ）は地震発生時を示したものである。
【図４】除振ロック機構の概略を示した図であり、（ａ）は通常時を、（ｂ）は地震発生時を示したものである。
【図５】本発明における他の実施例(第２実施例)の免震機能付き除振装置を概略的に示した図である。
【図６】本発明における他の実施例(第３実施例)の免震機能付き除振装置を概略的に示した図である。
【符号の説明】
【００４６】
１０…免震機能付き除振装置
１２…支持体
１２ａ…凹部
１４…中間架台
１６…免震機構部
１８…除振機構部
２０…免震ロック機構
２０ｂ…嵌合係止部
２０ｄ…空気ばね
２２…除振ロック機構
２２ｃ…嵌合係止部
２２ｄ…空気ばね
２４…コントローラ
２６…基礎
２８…上部架台
２８ａ…凹部
３０…配管
３２…コントロールバルブ
３４…給排気装置
３６…配管
３８…センサ
４０…電気通信回線
Ｘ…嫌振機器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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