(57)【要約】      （修正有）【課題】１つの差圧シリンダにてマシンタクトを高めるにあたって、差圧動作時の配管抵抗を小さくして確実に動作させる。【解決手段】圧力開放側２２ｂ，加圧側２２ａとに切換可能な第１電磁切換弁２２および第１流量調整弁２３を持つ高圧側の第１圧力制御回路２０と、圧力開放側３２ａ，加圧側３２ｂとに切換可能な第２電磁切換弁３２および第２流量調整弁３３を持つ第２圧力制御回路３０とを備え、原点位置から中間位置までの間の第１ステップでは第１電磁切換弁２２を加圧側２２ａ，第２電磁切換弁３２を圧力開放側３２ａとしてピストン１１をスムーズに移動させ、中間位置以降は第１，第２電磁切換弁２２，３２をともに加圧側２２ａ，３２ｂとして差圧動作状態とする圧着装置において、第２電磁切換弁３２の排気ポート３３ｃに第１ステップでのピストン下降速度を調整する第３流量調整弁を接続する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
加圧流体源から供給される加圧流体により往復的に駆動されるピストンを有する加圧シリンダと、上記ピストンのピストンロッドに取り付けられた圧着ヘッドとを含み、所定の被圧着体に対して上記圧着ヘッドにより圧力を加えて、上記被圧着体を圧着する圧着装置において、
圧力開放側，加圧側の切換ステージを有する第１電磁切換弁を含み上記加圧流体源と上記加圧シリンダの反ピストンロッド側の第１シリンダ室との間を接続する第１圧力制御回路と、
圧力開放側，加圧側の切換ステージを有する第２電磁切換弁を含み上記加圧流体源と上記加圧シリンダのピストンロッド側の第２シリンダ室との間を接続する第２圧力制御回路と、
上記第１シリンダ室が最小容積となる上記ピストンの原点位置を検出する第１センサおよび上記圧着ヘッドが上記被圧着体に当接する手前の所定の中間位置で上記ピストンを検出する第２センサと、上記第１，第２センサからの検出信号に基づいて上記第１，第２電磁切換弁を制御する制御手段とを備えているとともに、
上記第１圧力制御回路の上記第１電磁切換弁と上記加圧シリンダとの間には、上記第１シリンダ室から流出する加圧流体の流量を絞る第１流量調整弁が設けられ、
上記第２圧力制御回路は、上記第２電磁切換弁と上記加圧シリンダとの間に介装され上記第２シリンダ室から流出する加圧流体の流量を絞る第２流量調整弁と、上記第２電磁切換弁が圧力開放側ステージに切り替えられる際に、その排気ポートから大気に流出する加圧流体の流量を絞る第３流量調整弁とを有し、
上記制御手段は、上記第１電磁切換弁を加圧側ステージ，上記第２電磁切換弁を圧力開放側ステージとして、上記ピストンを上記原点位置から上記所定の中間位置にまで移動させる第１ステップと、上記第１，第２電磁切換弁をともに加圧側ステージとして、上記ピストンを上記所定の中間位置から上記被圧着体を圧着する下限位置にまで移動させる第２ステップと、上記第１電磁切換弁を圧力開放側ステージ，上記第２電磁切換弁を加圧側ステージとして、上記ピストンを上記下限位置から上記原点位置にまで戻す第３ステップとを実行することを特徴とする圧着装置。
【請求項２】
上記第３流量調整弁の弁開度は上記第２流量調整弁の弁開度よりも小さくされ、上記第３流量調整弁により、上記第１ステップでの上記ピストンの移動速度が制御されることを特徴とする請求項１に記載の圧着装置。
【請求項３】
上記第２流量調整弁の弁開度はほぼ全開とされ、上記第２流量調整弁により、上記第２ステップでの上記ピストンの移動速度が制御されることを特徴とする請求項１または２に記載の圧着装置。
【請求項４】
上記ピストンの下限位置を検出する第３センサをさらに備え、上記制御手段は、上記第３センサから検出信号が入力された時点から所定時間、上記ピストンを上記下限位置に維持することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の圧着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばヒートシールコネクタを所定の回路基板に重ね合わせて圧着したり、回路基板の電極部間を異方性導電フィルムを介して接続する際に用いられる圧着装置に関し、さらに詳しく言えば、作業速度を低下させることなく、加圧力を広範囲にわたって調整できるようにした圧着装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
加圧流体による圧着装置では、加圧シリンダ内のピストンにピストンロッドを介して圧着ヘッドを取り付け、加圧流体源からの加圧流体を電磁切換弁を介して加圧シリンダのいずれか一方のシリンダ室に供給することにより、圧着ヘッドを被圧着体である積層体（例えば、ヒートシールコネクタと回路基板の積層体）に押し付けるようにしている。
【０００３】
その場合、被圧着体に過大な圧力を加えないようにする方法の一つとして、シリンダの推力を圧縮バネで低減させて低荷重とする方法があるが、圧縮バネの反発力はストロークによって変化するため、被圧着体にかけられる荷重を正確にコントロールすることが困難である。
【０００４】
そこで、本出願人は、特許文献１として、ピストンの両側のシリンダ室内に異なる圧力に制御された加圧流体を供給し、その差圧によりシリンダの推力を調整して、被圧着体に所定の低荷重が加えられるようにした圧着装置を提案している。
【０００５】
上記特許文献１の差圧方式による圧着装置によれば、シリンダの推力をピストンの全ストロークにわたってほぼ同じとすることができるため、被圧着体にかけられる荷重を正確にコントロールすることができる。
【０００６】
しかしながら、上記特許文献１の差圧方式の場合、極端な低荷重を得ようとすると、シリンダやスライドガイドのシールパッキンの摩擦，加圧流体の配管抵抗などにより、ピストンの移動速度がきわめて低速となりマシンタクトが低下してしまうことがある。
【０００７】
差圧方式を維持しながらマシンタクトを上げるには、低荷重用の差圧シリンダを動作が高速なアクチュエータに支持させ、そのアクチュエータにより差圧シリンダを高速に移動させたのち、差圧シリンダを動作させるようにすればよいのであるが、これによると、装置が大掛かりとなりコストも嵩むため、好ましい解決策ではない。
【０００８】
そこで、本出願人は、上記特許文献１の差圧方式による圧着装置をさらに改良し、別途に高速のアクチュエータなどを用いることなく、１つの差圧シリンダにてマシンタクト（作業速度）を高めることができるようにした圧着装置の発明を特願２００５−１５３４４７として先に出願している。本明細書において、この先の出願に係る発明を「先願発明」という。
【０００９】
上記先願発明による圧着装置の構成を図３により説明する。図３は、加圧シリンダ１０のピストンロッド１１ａに取り付けられた圧着ヘッド１２により、液晶表示パネル１の端子部２にヒートシールコネクタ４を介して液晶表示を制御するための回路基板３を接続する状態を示している。
【００１０】
この圧着装置は、第１圧力調整弁２１と圧力開放側２２ｂ，加圧側２２ａの切換ステージを有する第１電磁切換弁２２とを含み、加圧流体源ＰＳと反ピストンロッド１１ａ側の第１シリンダ室１０ａとの間を接続する高圧側の第１圧力制御回路２０と、第２圧力調整弁３１と圧力開放側３２ａ，加圧側３２ｂの切換ステージを有する第２電磁切換弁３２とを含み、加圧流体源ＰＳとピストンロッド１１ａ側の第２シリンダ室１０ｂとの間を接続する低圧側の第２圧力制御回路３０とを備えている。
【００１１】
加圧シリンダ１０には、原点位置（初期位置）でピストン１１を検出する第１センサＳ１と、原点位置から離れた所定の中間位置でピストン１１を検出する第２センサＳ２とが設けられ、これら各センサＳ１，Ｓ２からの検出信号に基づいて、制御手段４０により第１電磁切換弁２２と第２電磁切換弁３２とが制御される。
【００１２】
制御手段４０は、原点位置から中間位置までの間は、第１ステップとして、第１電磁切換弁２２を加圧側ステージ２２ａ，第２電磁切換弁３２を圧力開放側ステージ３２ａ側としてピストン１１をスムーズに移動させ、中間位置以降で下限位置（圧着位置）までの間は、第２ステップとして、第１，第２電磁切換弁２２，３２をともに加圧側ステージ２２ａ，３２ｂとして差圧動作状態とし所定の低荷重を得る。
【００１３】
この低荷重による圧着作業終了後は、第３ステップとして、第２電磁切換弁３２を加圧側３２ｂとしたまま、第１電磁切換弁２２を圧力開放側ステージ２２ａに切り換えて、第２圧力制御回路３０側の圧力にてピストン１１を原点位置にまで上昇させる。
【００１４】
なお、この圧着装置においては、第３ステップでのピストン１１の上昇速度を調整するため、第１電磁切換弁２２と第１シリンダ室１０ａとの間に、逆止弁２４を並列に有する第１流量調整弁２３を介装し、また、第２ステップでの差圧動作時におけるピストン１１の下降速度を調整するため、第２電磁切換弁３２と第２シリンダ室１０ｂとの間に、逆止弁３４を並列に有する第２流量調整弁３３を介装するようにしている。
【００１５】
【特許文献１】特開２００１−３３６５０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
上記先願発明による圧着装置によれば、ピストン１１は、原点位置から中間位置までは第１ステップにより高速で移動し、中間位置から下限位置までは第２ステップでの差圧により低荷重かつ低速で移動し、下限位置から原点位置に戻される際には第３ステップにより高速で移動するため、１つの差圧シリンダで、高いマシンタクトを維持しながら、低荷重を実現することができる。
【００１７】
しかしながら、第２ステップでの差圧によるピストン１１の下降速度を第２流量調整弁３３で調整するようにしているため、次のような問題が生ずることがある。
【００１８】
すなわち、圧着ヘッド１２の接触時における被圧着体の保護の観点からピストン１１の下降速度調整は必須の調整項目であるが、ともすると作業の安全性を優先して第２流量調整弁３３を絞り過ぎてしまうことがある。
【００１９】
そうすると、第２ステップでの差圧動作時の配管抵抗が大きくなり、極端な低荷重の場合、シリンダーの推力が配管抵抗に負けてしまい、所定の低荷重が得られない事態が生ずることがある。これは、差圧動作時に発生させる荷重の理論値は、静的に加圧した状態を想定して計算されるため、動作中での配管抵抗が予測しがたいことによる。
【００２０】
したがって、本発明の課題は、上記先願発明による圧着装置において、上記第２ステップでの差圧によるピストンの下降速度にかかわらず、被圧着体に対する所定の低荷重が得られるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
上記課題を解決するため、本発明は、加圧流体源から供給される加圧流体により往復的に駆動されるピストンを有する加圧シリンダと、上記ピストンのピストンロッドに取り付けられた圧着ヘッドとを含み、所定の被圧着体に対して上記圧着ヘッドにより圧力を加えて、上記被圧着体を圧着する圧着装置において、圧力開放側，加圧側の切換ステージを有する第１電磁切換弁を含み上記加圧流体源と上記加圧シリンダの反ピストンロッド側の第１シリンダ室との間を接続する第１圧力制御回路と、圧力開放側，加圧側の切換ステージを有する第２電磁切換弁を含み上記加圧流体源と上記加圧シリンダのピストンロッド側の第２シリンダ室との間を接続する第２圧力制御回路と、上記第１シリンダ室が最小容積となる上記ピストンの原点位置を検出する第１センサおよび上記圧着ヘッドが上記被圧着体に当接する手前の所定の中間位置で上記ピストンを検出する第２センサと、上記第１，第２センサからの検出信号に基づいて上記第１，第２電磁切換弁を制御する制御手段とを備えているとともに、上記第１圧力制御回路の上記第１電磁切換弁と上記加圧シリンダとの間には、上記第１シリンダ室から流出する加圧流体の流量を絞る第１流量調整弁が設けられ、上記第２圧力制御回路は、上記第２電磁切換弁と上記加圧シリンダとの間に介装され上記第２シリンダ室から流出する加圧流体の流量を絞る第２流量調整弁と、上記第２電磁切換弁が圧力開放側ステージに切り替えられる際に、その排気ポートから大気に流出する加圧流体の流量を絞る第３流量調整弁とを有し、上記制御手段は、上記第１電磁切換弁を加圧側ステージ，上記第２電磁切換弁を圧力開放側ステージとして、上記ピストンを上記原点位置から上記所定の中間位置にまで移動させる第１ステップと、上記第１，第２電磁切換弁をともに加圧側ステージとして、上記ピストンを上記所定の中間位置から上記被圧着体を圧着する下限位置にまで移動させる第２ステップと、上記第１電磁切換弁を圧力開放側ステージ，上記第２電磁切換弁を加圧側ステージとして、上記ピストンを上記下限位置から上記原点位置にまで戻す第３ステップとを実行することを特徴としている。
【００２２】
本発明において、上記第３流量調整弁の弁開度は上記第２流量調整弁の弁開度よりも小さくされ、上記第３流量調整弁により、上記第１ステップでの上記ピストンの移動速度が制御される。
【００２３】
配管抵抗を少なくするうえで、上記第２流量調整弁の弁開度はほぼ全開であることが好ましく、上記第２流量調整弁により、上記第２ステップでの上記ピストンの移動速度が制御される。
【００２４】
また、上記ピストンの下限位置を検出する第３センサをさらに備え、上記制御手段は、上記第３センサから検出信号が入力された時点から所定時間、上記ピストンを上記下限位置に維持するようにしてもよく、このような態様も本発明に含まれる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、低圧側の第２圧力制御回路において、第２電磁切換弁と第２シリンダ室との間に設けられる第２流量調整弁とは別に、第２電磁切換弁の圧力開放側ステージの排気ポートに第３流量調整弁を設け、この第３流量調整弁により第１ステップでの原点位置から中間位置までのピストン移動速度を調整するようにしたことにより、第２流量調整弁の弁開度を大きくすることができる。これにより、第２ステップでの差圧移動時における配管抵抗が小さくなるため、被圧着体に対する所定の低荷重が得られ、１つの差圧シリンダで、高いマシンタクトを維持しながら、低荷重圧着を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
次に、図１および図２により、本発明の実施形態について説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００２７】
図１は、先に説明した図３と同じく、本発明の圧着装置により、液晶表示パネル１の端子部２にヒートシールコネクタ４を介して液晶表示を制御するための回路基板３を接続する状態を示している。ヒートシールコネクタ４は、電気的，機械的接続機能を併せ持つフレキシブル基板で、加熱圧着することによりその機能を発揮する。
【００２８】
この圧着装置は、加圧流体源ＰＳから供給される加圧流体により駆動されるピストン１１を有する加圧シリンダ１０を備える。加圧流体源ＰＳは、空圧源，油圧源のいずれであってもよいが、この例では空圧源としている。
【００２９】
ピストン１１には、ピストンロッド（作動軸）１１ａを介して圧着ヘッド１２が取り付けられる。圧着ヘッド１２は、被圧着体に応じて適宜ヒータを備えるが、この例において、被圧着体はヒートシールコネクタ４であるため図示しないヒータを備えている。
【００３０】
加圧シリンダ１０内は、ピストン１１により２つのシリンダ室に区画されるが、反ピストンロッド１１ａ側のシリンダ室を第１シリンダ室１０ａ，ピストンロッド１１ａ側のシリンダ室を第２シリンダ室１０ｂとして、第１シリンダ室１０ａは第１圧力制御回路２０を介して加圧流体源ＰＳと接続され、第２シリンダ室１０ｂは第２圧力制御回路３０を介して加圧流体源ＰＳと接続される。
【００３１】
第１圧力制御回路２０には、第１圧力調整弁２１，第１電磁切換弁２２および第１流量調整弁２３が含まれている。また、第２圧力制御回路３０にも同じく、第２圧力調整弁３１，第２電磁切換弁３２および第２流量調整弁３３が含まれている。
【００３２】
第１圧力調整弁２１は、加圧流体源ＰＳから供給される加圧流体の圧力を所定の圧力に調整する。第２圧力調整弁３１は、加圧流体源ＰＳから供給される加圧流体の圧力を被圧着体に所定の荷重を与えるように調整する。
【００３３】
第１電磁切換弁２２は、第１シリンダ室１０ａを加圧流体源ＰＳに連通する第１切換ステージ２２ａと、第１シリンダ室１０ａを排気ポート２２ｃに連通して大気に開放する第２切換ステージ２２ｂとを備えている。排気ポート２２ｃには、消音器２５が取り付けられている。
【００３４】
第２電磁切換弁３２は、第２シリンダ室１０ｂを排気ポート３３ｃに連通して大気に開放する第１切換ステージ３２ａと、第２シリンダ室１０ｂを加圧流体源ＰＳに連通する第２切換ステージ３２ｂとを備えている。本発明において、排気ポート３３ｃには、第３流量調整弁３５が接続され、第３流量調整弁３５に消音器３７が取り付けられている。
【００３５】
第１流量調整弁２３は、第１シリンダ室１０ａと第１電磁切換弁２２との間に接続される。また、第１流量調整弁２３に対して逆止弁２４が並列的に接続される。逆止弁２４は、第１シリンダ室１０ａ側から第１電磁切換弁２２側に向かう加圧流体の流れを阻止する。
【００３６】
第２流量調整弁３３は、第２シリンダ室１０ｂと第２電磁切換弁３２との間に接続される。第２流量調整弁３３に対しても逆止弁３４が並列的に接続される。逆止弁３４は、第２シリンダ室１０ｂ側から第２電磁切換弁３２側に向かう加圧流体の流れを阻止する。
【００３７】
この例では、第３流量調整弁３５にも、排気ポート３３ｃから消音器３７側に向かう加圧流体の流れを阻止する逆止弁３６が並列的に接続されているが、逆止弁３６は省略されてもよい。
【００３８】
この圧着装置は、加圧シリンダ１０にピストン１１の位置を検出する第１および第２の２つのセンサＳ１，Ｓ２を備えている。第１センサＳ１は、第１シリンダ室１０ａが最小容積となるピストン１１の原点位置（初期位置）に配置される。第２センサＳ２は、圧着ヘッド１２が被圧着体であるヒートシールコネクタ４に当接する手前の中間位置に配置される。
【００３９】
第２センサＳ２の中間位置は任意に決められてよいが、ピストン１１の全ストローク（上記原点位置から圧着ヘッド１２が被圧着体に当接する下限位置までの距離）を１０として、全ストロークを７：３程度に分ける位置であることが好ましい。
【００４０】
例えば、ピストン１１の全ストロークが２０ｍｍである場合、第１センサＳ１の原点位置から第２センサＳ２の中間位置までを１４ｍｍとし、その中間位置から下限位置までを６ｍｍとすることが好ましい。センサＳ１，Ｓ２には、例えばリードスイッチなどを用いることができる。
【００４１】
この圧着装置は、センサＳ１，Ｓ２から出力されるピストン検出信号に基づいて、第１および第２の電磁切換弁２２，３２を制御する制御手段４０を備える。制御手段４０は、ＣＰＵやマイクロコンピュータなどであってよい。
【００４２】
次に、この圧着装置の動作について説明する。第１流量調整弁２３はピストン１１の上昇速度を調整するスピードコントローラ，第２流量調整弁３３と第３流量調整弁３５はピストン１１の下降速度を調整するスピードコントローラであるが、本発明では、ピストン１１の下降時における配管抵抗を小さくする目的で、第２流量調整弁３３の弁開度を第３流量調整弁３５の弁開度よりも大きくする。好ましくは、第２流量調整弁３３をほぼ全開状態として使用する。
【００４３】
ピストン１１が原点位置にあるとして、制御手段４０は、第１，第２電磁切換弁２２，３２をともにオンとして、図１とは逆に第１電磁切換弁２２を第１切換ステージ２２ａ側とし、第２電磁切換弁３２を第１切換ステージ３２ａ側とする。
【００４４】
これにより、加圧流体源ＰＳから第１シリンダ室１０ａ内に加圧流体が供給され、第２シリンダ室１０ｂは第２，第３流量調整弁３３，３５を介して大気に開放されるため、ピストン１１はスムーズに下降する（第１ステップ）。この第１ステップでのピストン１１の下降速度は主として第３流量調整弁３５により調整される。
【００４５】
ピストン１１が中間位置に至り第２センサＳ２により検出されると、制御手段４０は、第１電磁切換弁２２をオンに保持したまま、第２電磁切換弁３２をオフとして第２電磁切換弁３２を第２切換ステージ３２ｂ側とし、第２シリンダ室１０ｂを排気ポート３３ｃから切り離すとともに加圧流体源ＰＳに接続する。
【００４６】
これにより、加圧流体源ＰＳから第２シリンダ室１０ｂに第１圧力制御回路２０側よりも低圧の加圧流体が供給され、ピストン１１は、その差圧により動作する。すなわち、シリンダ推力が弱められることにより、ピストン１１は低荷重状態となり遅い速度で下降する（第２ステップ）。
【００４７】
この第２ステップでのピストン１１の下降速度は第２流量調整弁３３にて調整されるが、配管抵抗を小さくするため、上記したように第２流量調整弁３３をほぼ全開状態として使用することが好ましい。これにより、差圧動作時のシリンダー推力が配管抵抗に負けることがなく、所望とする低荷重状態が得られる。
【００４８】
この例においては、制御手段４０は、第２センサＳ２からピストン検出信号が出力された時点から、図示しない内蔵タイマをスタートさせる。内蔵タイマには、ピストン１１が中間位置から下限位置に至り、圧着ヘッド１２による被圧着体の圧着が完了するまでの通し時間があらかじめ設定されている。
【００４９】
内蔵タイマがタイムアップすると、制御手段４０は、第２電磁切換弁３２をオフとしたまま、第１電磁切換弁２２もオフとして第１電磁切換弁２２を第２切換ステージ２２ｂ側とする。すなわち、第１，第２電磁切換弁２２，３２を図１の状態とする。
【００５０】
これにより、第１シリンダ室１０ａ側が大気に開放され、第２シリンダ室１０ｂ側には加圧流体が供給されるため、ピストン１１は下限位置から原点位置に向けてスムーズに上昇し、原点位置に復帰する（第３ステップ）。この第３ステップでのピストン１１の上昇速度は第１流量調整弁２３により調整される。
【００５１】
このように、本発明によれば、第１ステップおよび第３ステップでは、ピストン１１が比較的高速でスムーズに移動し、第２ステップのみで差圧動作となるため、１つの差圧シリンダ（加圧シリンダ）で、高いマシンタクトを維持しながら、低荷重を実現することができる。しかも、第２ステップの差圧動作時における配管抵抗が小さく抑えられるため、所望とする低荷重が得られる。
【００５２】
なお、非常停止時や作業停止時を含めて電源オフ時には、第１，第２電磁切換弁２２，３３はともにオフとなり、第３ステップの状態（図１の状態）にされ、ピストン１１は原点位置に戻されることになる。
【００５３】
上記実施形態では、第２ステップの差圧動作時間をピストン１１が中間位置から下限位置に至り、圧着ヘッド１２による被圧着体の圧着が完了するまでの通し時間として管理するようにしているが、ピストン１１が中間位置から下限位置に至るまでの時間は、シリンダやスライドガイドのシールパッキンの摩擦，加圧流体の配管抵抗などにより一定でない場合があり、そうすると相対的に圧着時間にバラツキが生ずる。
【００５４】
この圧着時間のバラツキをなくして、圧着の品質を揃えるには、図２に示すように、加圧シリンダ１０にピストン１１の下限位置を検出する第３センサＳ３を設けて、ピストン１１が下限位置に達した時点から圧着時間をカウントすることが好ましい。
【産業上の利用可能性】
【００５５】
本発明の圧着装置は、上記実施形態で説明したヒートシールコネクタやこれに類する異方性導電フィルムなどの圧着ばかりでなく、例えば包装分野でのヒートシール，繊維分野での布材同士の圧着など、各分野に広く利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の圧着装置の構成例を示す模式図。
【図２】ピストン検出センサについての好ましい実施形態を示す模式図。
【図３】先願発明による圧着装置の構成例を示す模式図。
【符号の説明】
【００５７】
１０  加圧シリンダ
１０ａ  第１シリンダ室
１０ｂ  第２シリンダ室
１１  ピストン
１１ａ  ピストンロッド
１２  圧着ヘッド
２０  第１圧力制御回路
２１  第１圧力調整弁
２２  第１電磁切換弁
２３  第１流量調整弁
３０  第２圧力制御回路
３１  第２圧力調整弁
３２  第２電磁切換弁
３３  第２流量調整弁
３５  第３流量調整弁
２４，３４，３６  逆止弁
４０  制御手段
ＰＳ  加圧流体源
Ｓ１〜Ｓ３  センサ
【図１】
2008057663.tif 000003
【図２】
2008057663.tif 000004
【図３】
2008057663.tif 000005