(57)【要約】【課題】光電変換素子は白黒用配列と青色用配列群と緑色用配列群と赤色用配列群で構成され、カラーフィルタは緑色、青色、赤色の順に形成されるリニアセンサーにて、青色カラーフィルタの膜厚のバラツキを低減させたリニアセンサーを提供する。【解決手段】白黒用光電変換素子２ＢＷの上方に、透明パターン５が青色カラーフィルタ３Ｂの形成前に設けられている。青色用光電変換素子２Ｂ−ａから、青色カラーフィルタと透明パターンが接する位置までの距離ｌ１が、青色用光電変換素子２Ｂ−ｄから、緑色カラーフィルタと青色カラーフィルタが接する位置までの距離ｌ２より短いこと。【選択図】図５
2008205167.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光電変換素子上に、少なくともカラーフィルタが順次に積層して設けられ、
１）前記光電変換素子は、一次元に配設された白黒用光電変換素子（２ＢＷ）の白黒用配列（ｌＢＷ）と、一次元に配設された青色用光電変換素子（２Ｂ）の複数の配列からなる青色用配列群（ＬＢ）と、一次元に配設された緑色用光電変換素子（２Ｇ）の複数の配列からなる緑色用配列群（ＬＧ）と、一次元に配設された赤色用光電変換素子（２Ｒ）の複数の配列からなる赤色用配列群（ＬＲ）が、この順に平行に隣接した構成であり、
２）前記カラーフィルタは、前記緑色用配列群（ＬＧ）上方の緑色カラーフィルタ（３Ｇ）、青色用配列群（ＬＢ）上方の青色カラーフィルタ（３Ｂ）、赤色用配列群（ＬＲ）上方の赤色カラーフィルタ（３Ｒ）であるリニアセンサーにおいて、
前記一次元に配設された白黒用光電変換素子（２ＢＷ）の上方に、緑色カラーフィルタ（３Ｇ）と並列した透明パターン（５）が設けられていることを特徴とするリニアセンサー。
【請求項２】
前記透明パターン（５）の膜厚が緑色カラーフィルタ（３Ｇ）の膜厚より薄い際に、青色用配列群（ＬＢ）の透明パターン（５）側の青色用光電変換素子（２Ｂ）から、青色カラーフィルタ（３Ｂ）と透明パターン（５）が接する位置までの距離（２Ｂ／５間距離）（ｌ１）が、青色用配列群（ＬＢ）の緑色カラーフィルタ（３Ｇ）側の青色用光電変換素子（２Ｂ）から、緑色カラーフィルタ（３Ｇ）と青色カラーフィルタ（３Ｂ）が接する位置までの距離（２Ｂ／３Ｇ間距離）（ｌ２）より短い（ｌ１＜ｌ２）ことを特徴とする請求項１記載のリニアセンサー。
【請求項３】
前記緑色カラーフィルタ（３Ｇ）の膜厚が１．７５μｍ、透明パターン（５）の膜厚が１．２５μｍの際に、前記２Ｂ／５間距離（ｌ１）が２．０μｍ、２Ｂ／３Ｇ間距離（ｌ２）が４．４μｍであることを特徴とする請求項２記載のリニアセンサー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＣＣＤセンサーに関する。なかでも特に、ＣＣＤからなる光電変換素子が、白黒用配列と青色用配列群と緑色用配列群と赤色用配列群で構成され、光電変換素子上に形成されるカラーフィルタは、緑色カラーフィルタ、青色カラーフィルタ、赤色カラーフィルタの順に形成されるリニアセンサーにおいて、青色用配列群上方の青色カラーフィルタの膜厚のバラツキを低減させたリニアセンサーに関する。
【背景技術】
【０００２】
図１は、ＣＣＤリニアセンサーの一例の部分平面図である。また、図２は、図１のＸ−Ｘ線における断面図である。
図１に示すように、Ｓｉ基板（１）上にはＣＣＤを用いた光電変換素子（２）列が設けられている。この一例のリニアセンサーは、図１中、Ｙ軸方向に光電変換素子（２）が一次元に列状に多数個配設されており、また、光電変換素子列がＸ軸方向に複数本並列に設けられている。図１においては、その表記個数は省略してある。
Ｓｉ基板（１）上に形成された光電変換素子（２）上には、少なくとも平坦化層、カラーフィルタ、トップ層、マイクロレンズが順次に積層して設けられているが、図１及び図２においては、説明上、平坦化層、トップ層、マイクロレンズは省略してある。
【０００３】
なお、平坦化層は、光電変換素子が形成された面を平坦化するために設け、カラーフィルタは入射光の色成分を検出するために設けるもので、マイクロレンズは、入射光を光電変換素子に集光させてセンサーの感度を高めるために設ける。
トップ層は、カラーフィルタ面を平坦にして所望する形状のマイクロレンズを形成するために設けられる透明層である。また、符号（４）はスクライブラインを表している。
【０００４】
この例示するリニアセンサーの光電変換素子（２）は、Ｙ軸方向に一次元に配設された白黒用光電変換素子（２ＢＷ）の白黒用配列（ｌＢＷ）と、Ｙ軸方向に一次元に配設された青色用光電変換素子（２Ｂ）列のＸ軸方向への４配列からなる青色用配列群（ＬＢ）と、Ｙ軸方向に一次元に配設された緑色用光電変換素子（２Ｇ）列のＸ軸方向への４配列からなる緑色用配列群（ＬＧ）と、Ｙ軸方向に一次元に配設された赤色用光電変換素子（２Ｒ）列のＸ軸方向への４配列からなる赤色用配列群（ＬＲ）で構成されている。
【０００５】
また、カラーフィルタ（３）は、色分解を行う赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）３原色のカラーフィルタ（３Ｒ、３Ｇ、３Ｒ）で構成するのが一般的である。カラーフィルタ（３）は、緑色用配列群（ＬＧ）に対応して緑色用配列群（ＬＧ）上方には緑色カラーフィルタ（３Ｇ）が、青色用配列群（ＬＢ）上方には青色カラーフィルタ（３Ｂ）が、赤色用配列群（ＬＲ）上方には赤色カラーフィルタ（３Ｒ）が各々設けられており、これらは、この順に形成されたものである。
尚、白黒用光電変換素子（２ＢＷ）の白黒用配列（ｌＢＷ）上方には、カラーフィルタは形成されていない。
【０００６】
カラーフィルタの形成に当たっては、フォトリソグラフィ法を用いるのが一般的である。すなわち、基板上にスピンコート法などで、所定色の着色フォトレジスト（着色感光性樹脂）を塗布する。その後、所定のパターンを有する露光用フォトマスクを用いて、着色フォトレジストにパターン露光を行った後に現像を行い、所定の部位に着色フォトレジストを残す。
この工程を、形成するカラーフィルタの色の数分だけ繰り返す。
【０００７】
ここで、人間の視覚にとって、緑（Ｇ）は特に重要な色といえる。そのため、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のカラーフィルタを受光素子上に形成するにあたり、緑（Ｇ）のカラーフィルタの形状は、形状良く形成する必要がある。基板上に最初に形成されるカラーフィルタは他のカラーフィルタの影響を受けないため、形状良く形成することが可能である。そのため、緑（Ｇ）のカラーフィルタを初めに形成した後、残りの赤（Ｒ）、青（Ｂ）のカラーフィルタを順次形成するのが一般的となっている。
【０００８】
図３は、図２における青色カラーフィルタ（３Ｂ）近傍を拡大した断面図である。図３に示すように、青色用配列群（ＬＢ）を構成する青色用光電変換素子（２Ｂ）の４配列は、図３中、Ｘ軸左方から右方へ、符号（ａ）〜（ｄ）で示す位置の、青色用光電変換素子の第１配列（ｌＢ−ａ）、青色用光電変換素子の第２配列（ｌＢ−ｂ）、第３配列（ｌＢ−ｃ）、第４配列（ｌＢ−ｄ）である。
【０００９】
図４は、この例における青色用光電変換素子の幅、及び青色用光電変換素子間の距離の具体的な説明図である。図４に示すように、第１配列（ｌＢ−ａ）の青色用光電変換素子（２Ｂ−ａ）の幅（Ｗ１）〜第４配列（ｌＢ−ｄ）の青色用光電変換素子（２Ｂ−ｄ）の幅（Ｗ１）は、各々４．０μｍ程度、白黒用光電変換素子（２ＢＷ）の幅（Ｗ２）は８．０μｍ程度のものである。
【００１０】
また、第２配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ｂ）と第３配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ｃ）間の距離（ｌ１１）は８．０μｍ程度、第１配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ａ）と第２配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ｂ）間の距離（ｌ１２）及び第３配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ｃ）と第４配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ｄ）間の距離（ｌ１３）は各々２８μｍ程度のものである。
また、第１配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ａ）と白黒用光電変換素子（２ＢＷ）間の距離（ｌ１４）は８．５μｍ程度、第４配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ｄ）と第１配列の緑色用光電変換素子（２Ｇ−ａ）間の距離（ｌ１５）は１２μｍ程度のものである。
【００１１】
さて、図３に示す青色用配列群（ＬＢ）上方の青色カラーフィルタ（３Ｂ）は、緑色カラーフィルタ（３Ｇ）が形成された後に形成されたものである。図３に示すように、青色カラーフィルタ（３Ｂ）において、符号（ｄ）で示す位置に配設された第４配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ｄ）上方の部分の青色カラーフィルタ（３Ｂ）の膜厚（Ｔｄ）は、符号（ａ）で示す位置に配設された第１配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ａ）上方の部分の青色カラーフィルタ（３Ｂ）の膜厚（Ｔａ）より厚いものとなっている（Ｔｄ＞Ｔａ）。
【００１２】
以下、この膜厚の差につき説明する。青色カラーフィルタ（３Ｂ）は、緑色カラーフィルタ（３Ｇ）が形成された後に形成されており、青色カラーフィルタ（３Ｂ）を形成する際に、緑色カラーフィルタ（３Ｇ）が形成されたＳｉ基板（１）上に青色カラーフィルタ（３Ｂ）形成用の着色フォトレジストをスピンコート法で塗布すると、塗膜は緑色カラーフィルタ（３Ｇ）上に重なるために、その塗膜の上面は、図３中、青色カラーフィルタ（３Ｂ）の上面（実線）から左方に延長される上面（点線）と、青色カラーフィルタ（３Ｂ）の上面（実線）と、右方に延長される上面（点線）とが連続した上面となる。
【００１３】
塗膜は緑色カラーフィルタ（３Ｇ）上に重なるために、青色カラーフィルタ（３Ｂ）の緑色カラーフィルタ（３Ｇ）寄りの部分（符号（ｄ）上部分）では、他の部分より重なる途上の膜厚の増加がある。フォトマスクを介した露光、及び現像処理により、点線で表される塗膜の部分は除去され青色カラーフィルタ（３Ｂ）が形成される。
従って、青色カラーフィルタ（３Ｂ）の緑色カラーフィルタ（３Ｇ）寄りの部分（符号（ｄ）上部分）には、前記重なる途上の膜厚の増加が残され、この部分の膜厚（Ｔｄ）は、他の配列（第１配列〜第３配列）の青色用光電変換素子（（２Ｂ−ａ）〜（２Ｂ−ｃ））上方の部分の青色カラーフィルタ（３Ｂ）の膜厚（（Ｔａ）〜（Ｔｃ））よりも厚いものとなる（Ｔｄ＞Ｔａ≒Ｔｂ≒Ｔｃ）。
【００１４】
このような青色カラーフィルタ（３Ｂ）の膜厚のバラツキは、カラーフィルタとしての分光透過率のバラツキとなって現れる。すなわち、光電変換素子の配列間での分光透過率のバラツキは、リニアセンサーにおける色分解性能に悪影響を及ぼすことになる。
【００１５】
具体的には、例えば、緑色カラーフィルタ（３Ｇ）及び青色カラーフィルタ（３Ｂ）の膜厚が共に１．７５μｍ程度の際に、第４配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ｄ）上方の部分の青色カラーフィルタ（３Ｂ）の膜厚（Ｔｄ）と、第１配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ａ）上方の部分の青色カラーフィルタ（３Ｂ）の膜厚（Ｔａ）との差は０．２μｍ程度である。
この青色カラーフィルタ（３Ｂ）の膜厚の差を分光透過率の差異で表すと、青色カラーフィルタ（３Ｂ）の分光透過率曲線において、透過率が４０％となる長波長側の波長は、膜厚（Ｔｄ）では５０６．３０ｎｍ、膜厚（Ｔａ）では５０７．７５ｎｍ、その差異は１．４５ｎｍ程度のものとなる。
【００１６】
なお、カラーフィルタの分光透過率を測定し、カラーフィルタ同士の分光透過率の比較を行う際、透過率がピークとなる波長で比較を行うと、測定誤差により比較が困難になる場合がある。しかし、透過率が４０％となる波長で測定を行えば測定誤差は殆ど生じない。そのため、カラーフィルタの分光透過率が４０％となる波長を測定し、各カラーフィルタの分光透過率の比較を行っている。
【特許文献１】特開平５−４５５１０号公報
【特許文献２】特開２００２−３５９３６４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
リニアセンサーは、高解像度を要求されている。そのため、図２に示すように、各色の配列群では、各々複数配列の光電変換素子を配置するようになっている。光電変換素子は、カラーフィルタを通過した光の光量に応じた電気信号を出力する。そのため、同一の光を照射してもカラーフィルタの透過率が異なると、カラーフィルタを通過する光量に差が生じ、出力される電気信号も異なった信号となる。
【００１８】
ここで、製造されたリニアセンサーを検査するにあたり、各色の配列群で予め設定された基準値（例えば、電圧）を基に検査が行われるものである。
すなわち、所定の検査光を光電変換素子に入射し、光電変換素子から得られた電気信号（例えば、電圧）が所定の値になっていない場合、所定の値になるように図示しない補正機能によって補正を行った後に、リニアセンサーは出荷もしくは、機器に組み込まれる。
各色で複数配列となった光電変換素子を検査する場合、複数個を組にして一括して補正を行うことが一般的に行われる。
【００１９】
すなわち、図３の例に示す青色用光電変換素子（２Ｂ）列の場合、第２配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ｂ）と第３配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ｃ）とを組にし、第１配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ａ）と第４配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ｄ）とを組にして検査が行われる。
本来、第１配列〜第４配列の光電変換素子で同一の電気信号が得られるのが望ましい。しかし、カラーフィルタの膜厚が部位により異なることが多いため、得られる電気信号が異
なることが多いので組にして補正が行われる。
補正に当たっては、組となった配列の光電変換素子で得られる複数の電気信号同士が同一の値で基準値と異なっていれば、基準値に直すための補正は容易である。
【００２０】
例えば、第２配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ｂ）で得られた電圧が５Ｖ、第３配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ｃ）で得られた電圧が５Ｖであり、基準値が１０Ｖであれば、第２配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ｂ）と第３配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ｃ）とを一括して同様の補正すれば足りる。
しかし、基準値が１０Ｖの場合に、第１配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ａ）で得られた電圧が５Ｖ、第４配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ｄ）で得られた電圧が１５Ｖと異なった測定値となった場合、第１配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ａ）と第４配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ｄ）とに異なった補正を行うのは難しい。
【００２１】
そのため、検査の際に、図３に示すように、第１配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ａ）上の青色カラーフィルタの膜厚と第４配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ｄ）上の青色カラーフィルタの膜厚が異なっていた場合、第１配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ａ）で得られる電気信号と、第４配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ｄ）で得られる電気信号とが異なることになり、補正が難しいため、性能の良いリニアセンサーを製造することは難しい。
【００２２】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、上述した、光電変換素子が、白黒用配列（ｌＢＷ）と青色用配列群（ＬＢ）と緑色用配列群（ＬＧ）と赤色用配列群（ＬＲ）で構成され、カラーフィルタは、緑色カラーフィルタ（３Ｇ）、青色カラーフィルタ（３Ｂ）、赤色カラーフィルタ（３Ｒ）の順に形成されるリニアセンサーにおいて、青色用配列群（ＬＢ）上方の青色カラーフィルタ（３Ｂ）の膜厚のバラツキ、特にカラーフィルタ両端部での膜厚のバラツキを低減させたリニアセンサーを提供することを課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
本発明は、光電変換素子上に、少なくともカラーフィルタが順次に積層して設けられ、１）前記光電変換素子は、一次元に配設された白黒用光電変換素子（２ＢＷ）の白黒用配列（ｌＢＷ）と、一次元に配設された青色用光電変換素子（２Ｂ）の複数の配列からなる青色用配列群（ＬＢ）と、一次元に配設された緑色用光電変換素子（２Ｇ）の複数の配列からなる緑色用配列群（ＬＧ）と、一次元に配設された赤色用光電変換素子（２Ｒ）の複数の配列からなる赤色用配列群（ＬＲ）が、この順に平行に隣接した構成であり、
２）前記カラーフィルタは、前記緑色用配列群（ＬＧ）上方の緑色カラーフィルタ（３Ｇ）、青色用配列群（ＬＢ）上方の青色カラーフィルタ（３Ｂ）、赤色用配列群（ＬＲ）上方の赤色カラーフィルタ（３Ｒ）であるリニアセンサーにおいて、
前記一次元に配設された白黒用光電変換素子（２ＢＷ）の上方に、緑色カラーフィルタ（３Ｇ）と並列した透明パターン（５）が設けられていることを特徴とするリニアセンサーである。
【００２４】
また、本発明は、上記発明によるリニアセンサーにおいて、前記透明パターン（５）の膜厚が緑色カラーフィルタ（３Ｇ）の膜厚より薄い際に、青色用配列群（ＬＢ）の透明パターン（５）側の青色用光電変換素子（２Ｂ）から、青色カラーフィルタ（３Ｂ）と透明パターン（５）が接する位置までの距離（２Ｂ／５間距離）（ｌ１）が、青色用配列群（ＬＢ）の緑色カラーフィルタ（３Ｇ）側の青色用光電変換素子（２Ｂ）から、緑色カラーフィルタ（３Ｇ）と青色カラーフィルタ（３Ｂ）が接する位置までの距離（２Ｂ／３Ｇ間距離）（ｌ２）より短い（ｌ１＜ｌ２）ことを特徴とするリニアセンサーである。
【００２５】
また、本発明は、上記発明によるリニアセンサーにおいて、前記緑色カラーフィルタ（３Ｇ）の膜厚が１．７５μｍ、透明パターン（５）の膜厚が１．２５μｍの際に、前記２Ｂ／５間距離（ｌ１）が２．０μｍ、２Ｂ／３Ｇ間距離（ｌ２）が４．４μｍであることを特徴とするリニアセンサーである。
【発明の効果】
【００２６】
本発明は、光電変換素子上に、少なくとも平坦化層、カラーフィルタ、トップ層、マイクロレンズが順次に積層して設けられ、１）光電変換素子は白黒用光電変換素子の白黒用配列と、青色用光電変換素子の複数の配列からなる青色用配列群と、緑色用光電変換素子の複数の配列からなる緑色用配列群と、赤色用光電変換素子の複数の配列からなる赤色用配列群が、この順に平行に隣接した構成であり、２）カラーフィルタは、緑色用配列群上方の緑色カラーフィルタ、青色用配列群上方の青色カラーフィルタ、赤色用配列群上方の赤色カラーフィルタの順に形成されるリニアセンサーにおいて、白黒用光電変換素子の上方に、透明パターンが青色カラーフィルタの形成前に設けられているので、青色用配列群上方の青色カラーフィルタの両端部での膜厚のバラツキを低減させたリニアセンサーとなる。
【００２７】
また、本発明は、透明パターンの膜厚を緑色カラーフィルタの膜厚より薄く形成する際に、第１配列の青色用光電変換素子から、青色カラーフィルタと透明パターンが接する位置までの距離を、第４配列の青色用光電変換素子から、緑色カラーフィルタと青色カラーフィルタが接する位置までの距離より短くするので、第１配列上方の青色カラーフィルタの膜厚と、第４配列上方の青色カラーフィルタの膜厚は略同一になり、且つ、第２配列上方の青色カラーフィルタの膜厚と、第３配列上方の青色カラーフィルタの膜厚は従来どうり略同一になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下に本発明の実施の形態を詳細に説明する。
図５は、本発明によるリニアセンサーの一実施例の青色カラーフィルタ（３Ｂ）近傍を拡大した部分断面図である。図５に示すように、青色用配列群（ＬＢ）を構成する青色用光電変換素子（２Ｂ）の４配列は、図５中、Ｘ軸左方から右方へ、符号（ａ）〜（ｄ）で示す位置の、青色用光電変換素子の第１配列（ｌＢ−ａ）、青色用光電変換素子の第２配列（ｌＢ−ｂ）、第３配列（ｌＢ−ｃ）、第４配列（ｌＢ−ｄ）である。
【００２９】
第１配列（ｌＢ−ａ）の青色用光電変換素子（２Ｂ−ａ）の幅（Ｗ１）〜第４配列（ｌＢ−ｄ）の青色用光電変換素子（２Ｂ−ｄ）の幅（Ｗ１）は、各々４．０μｍ程度である。また、第２配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ｂ）と第３配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ｃ）間の距離（ｌ１１）は８．０μｍ程度、第１配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ａ）と第２配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ｂ）間の距離（ｌ１２）及び第３配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ｃ）と第４配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ｄ）間の距離（ｌ１３）は各々２８μｍ程度のものである。
【００３０】
すなわち、上記素子の幅、及び素子間の距離は、図３に示すリニアセンサーにおけるものと同一である。図５に示す青色用光電変換素子は、Ｚ軸に対し左右対象の位置に配設されている。
また、青色用配列群（ＬＢ）上方の青色カラーフィルタ（３Ｂ）は、緑色カラーフィルタ（３Ｇ）が形成された後に形成されたものである。青色カラーフィルタ（３Ｂ）端と緑色カラーフィルタ（３Ｇ）端は接している。
【００３１】
本発明によるリニアセンサーは、白黒用光電変換素子（２ＢＷ）の上方に、透明パターン（５）が設けられており、この透明パターン（５）は青色カラーフィルタ（３Ｂ）の形
成前に設けられていることを特徴としている。尚、青色カラーフィルタ（３Ｂ）端と透明パターン（５）は接している。
【００３２】
図５において、緑色カラーフィルタ（３Ｇ）の膜厚（ＴG-2 ）と透明パターン（５）の膜厚（Ｔ5-2 ）は、同一の膜厚に形成されている（（ＴG-2 ）＝（Ｔ5-2 ）。また、第１配列（ｌＢ−ａ）の青色用光電変換素子（２Ｂ−ａ）から、青色カラーフィルタ（３Ｂ）と透明パターン（５）が接する位置までの距離（ｌ１６）と、第４配列（ｌＢ−ｄ）の青色用光電変換素子（２Ｂ−ｄ）から、緑色カラーフィルタ（３Ｇ）と青色カラーフィルタ（３Ｂ）が接する位置までの距離（ｌ１７）を同一の距離としている（ｌ１６＝ｌ１７）。
【００３３】
従って、青色カラーフィルタ形成用の着色フォトレジストを塗布する前のＳｉ基板（１）上の状態は、光電変換素子の配置、緑色カラーフィルタ端と透明パターン端の位置、緑色カラーフィルタと透明パターンの膜厚、のいずれもがＺ軸に対し左右対象となっている。
つまり、青色カラーフィルタ形成用の着色フォトレジストを塗布すると、青色カラーフィルタ（３Ｂ）の緑色カラーフィルタ（３Ｇ）寄りの部分（符号（ｄ）上部分）での、重なる途上の膜厚の増加と、青色カラーフィルタ（３Ｂ）の透明パターン（５）寄りの部分（符号（ａ）上部分）での、重なる途上の膜厚の増加は同一のものとなる。
【００３４】
これにより、得られる第１配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ａ）上方の部分の青色カラーフィルタの膜厚（Ｔａ-2）と、第４配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ｄ）上方の部分の青色カラーフィルタの膜厚（Ｔｄ-2）は略同一になる（（Ｔａ-2）＝（Ｔｄ-2））。また、第２配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ｂ）上方の部分の青色カラーフィルタの膜厚（Ｔｂ-2）と、第３配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ｃ）上方の部分の青色カラーフィルタの膜厚（Ｔｃ-2）は略同一になる（（Ｔｂ-2）＝（Ｔｃ-2））。
且つ、上記４膜厚の関係は、（（Ｔａ-2）≒（Ｔｄ-2））＞（（Ｔｂ-2）≒（Ｔｃ-2））といった関係のものが得られる。
本来は、（Ｔａ-2）〜（Ｔｄ-2）とすべての膜厚が略同一になるのが好ましいが、前述した組としての補正を行うため、（（Ｔａ-2）≒（Ｔｄ-2））＞（（Ｔｂ-2）≒（Ｔｃ-2））といった関係のものでもよい。
【００３５】
しかしながら、透明パターン用のレジストは粘度が低いものが多く、その場合、透明パターン（５）の膜厚（Ｔ5-2 ）を緑色カラーフィルタ（３Ｇ）の膜厚（ＴG-2 ）と同一の膜厚に設けることができず、透明パターンの膜厚（Ｔ5-2 ）を緑色カラーフィルタの膜厚（ＴG-2 ）より薄い膜厚とせざるを得ない場合がある。
【００３６】
図５に、透明パターン（５）中の点線で示すように、透明パターンの膜厚（Ｔ5-2 ）が薄くなると、着色フォトレジストの前記重なる途上の膜厚の増加が少なくなり、第１配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ａ）上方の部分の青色カラーフィルタの膜厚（Ｔａ-2）は、青色カラーフィルタ（３Ｂ）中の点線で示すように、薄いものとなる。
【００３７】
図６は、請求項２に係わる発明によるリニアセンサーの一例の青色カラーフィルタ（３Ｂ）近傍を拡大した部分断面図である。図６に示すように、青色用配列群（ＬＢ）を構成する青色用光電変換素子（（２Ｂ−ａ）〜（２Ｂ−ｄ））は、Ｚ軸に対し左右対象に配設されている。しかし、透明パターン（５）の膜厚（Ｔ5-3 ）は、緑色カラーフィルタの膜厚（ＴG-3 ）より薄い膜厚である。
【００３８】
請求項２に係わる発明は、透明パターン（５）の膜厚が緑色カラーフィルタ（３Ｇ）の膜厚より薄い際に、青色用配列群（ＬＢ）の透明パターン（５）側の第１配列の青色用光
電変換素子（２Ｂ−ａ）から、青色カラーフィルタ（３Ｂ）と透明パターン（５）が接する位置までの距離（ｌ１）を、青色用配列群（ＬＢ）の緑色カラーフィルタ（３Ｇ）側の第４配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ｄ）から、緑色カラーフィルタ（３Ｇ）と青色カラーフィルタ（３Ｂ）が接する位置までの距離（ｌ２）よりも短くした（ｌ１＜ｌ２）ことを特徴としている。
【００３９】
これにより、青色カラーフィルタ（３Ｂ）の透明パターン（５）寄りの部分（符号（ａ）上部分）での、重なる途上の膜厚の増加が大きなものとなり、得られる第１配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ａ）上方の部分の青色カラーフィルタの膜厚（Ｔａ-3）と、第４配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ｄ）上方の部分の青色カラーフィルタの膜厚（Ｔｄ-3）は略同一になる（（Ｔａ-3）＝（Ｔｄ-3））。
【００４０】
具体的には、緑色カラーフィルタ（３Ｇ）形成用の緑色フォトレジストとして、Ｃ．Ｉ．ピグメントエロー１３９、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６を色材とし、シクロヘキサノン、ＰＧＭＥＡ等の有機溶剤、ポリマーワニス、モノマー、重合開始剤を添加し調製した顔料分散型の緑色フォトレジストを用いた。
【００４１】
また、青色カラーフィルタ（３Ｂ）形成用の青色フォトレジストとして、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイレット２３を色材とし、シクロヘキサノン、ＰＧＭＥＡ等の有機溶剤、ポリマーワニス、モノマー、重合開始剤を添加し調製した顔料分散型の青色フォトレジストを用いた。
また、透明パターン形成用の透明フォトレジストとして、感光性樹脂とシクロヘキサノンを混合したネガ型のフォトレジストを用いた。
【００４２】
先ず、Ｓｉ基板上の緑色用光電変換素子の緑色用配列群（ＬＧ）上方に緑色カラーフィルタ（３Ｇ）を１．７５μｍの膜厚で形成した。第４配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ｄ）から、緑色カラーフィルタ（３Ｇ）と青色カラーフィルタ（３Ｂ）が接する位置までの距離（ｌ２）を４．４μｍに設定した。すなわち、緑色カラーフィルタ（３Ｇ）の青色カラーフィルタ（３Ｂ）側の端部を第４配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ｄ）から４．４μｍに形成した。
【００４３】
次に、白黒用光電変換素子の白黒用配列（ｌＢＷ）上方に透明パターン（５）を１．２５μｍの膜厚で形成した。第１配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ａ）から、青色カラーフィルタ（３Ｂ）と透明パターン（５）が接する位置までの距離（ｌ１）を２．０μｍに設定した。すなわち、透明パターン（５）の青色カラーフィルタ（３Ｂ）側の端部を第１配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ａ）から２．０μｍに形成した。
【００４４】
続いて、青色用光電変換素子の青色用配列群（ＬＢ）上方に青色カラーフィルタ（３Ｂ）を１．７５μｍの膜厚で形成した。
【００４５】
このようにして得られた第４配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ｄ）上方の部分の青色カラーフィルタ（３Ｂ）の膜厚（Ｔｄ-3）と、第１配列の青色用光電変換素子（２Ｂ−ａ）上方の部分の青色カラーフィルタ（３Ｂ）の膜厚（Ｔａ-3）は略同一であった。
この青色カラーフィルタ（３Ｂ）の両配列部の膜厚を分光透過率で表すと、青色カラーフィルタ（３Ｂ）の分光透過率曲線において、透過率が４０％となる波長は、膜厚（Ｔｄ-3）では５０４．４１ｎｍ、膜厚（Ｔａ-3）では５０４．５０ｎｍ、その差異は０．１０ｎｍ程度であり、極めて良好なものである。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】ＣＣＤリニアセンサーの一例の部分平面図である。
【図２】図１のＸ−Ｘ線における断面図である。
【図３】図２における青色カラーフィルタ近傍を拡大した断面図である。
【図４】青色用光電変換素子の幅、及び青色用光電変換素子間の距離の具体的な説明図である。
【図５】本発明によるリニアセンサーの一実施例の青色カラーフィルタ近傍を拡大した部分断面図である。
【図６】請求項２に係わる発明によるリニアセンサーの一例の青色カラーフィルタ近傍を拡大した部分断面図である。
【符号の説明】
【００４７】
１・・・Ｓｉ基板
２・・・光電変換素子
２Ｂ・・・青色用光電変換素子
２Ｂ−ａ・・・第１配列の青色用光電変換素子
２Ｂ−ｂ・・・第２配列の青色用光電変換素子
２Ｂ−ｃ・・・第３配列の青色用光電変換素子
２Ｂ−ｄ・・・第４配列の青色用光電変換素子
２ＢＷ・・・白黒用光電変換素子
２Ｇ・・・緑色用光電変換素子
２Ｒ・・・赤色用光電変換素子
３・・・カラーフィルタ
３Ｒ・・・赤色カラーフィルタ
３Ｇ・・・緑色カラーフィルタ
３Ｂ・・・青色カラーフィルタ
４・・・スクライブライン
５・・・透明パターン
ＬＢ・・・青色用光電変換素子の複数の配列からなる青色用配列群
ＬＧ・・・緑色用光電変換素子の複数の配列からなる緑色用配列群
ＬＲ・・・赤色用光電変換素子の複数の配列からなる赤色用配列群
Ｔａ・・・第１配列の青色用光電変換素子上方の青色カラーフィルタの膜厚
Ｔａ-2、Ｔａ-3・・・本発明の第１配列の青色用光電変換素子上方の青色カラーフィルタの膜厚
Ｔｂ・・・第２配列の青色用光電変換素子上方の青色カラーフィルタの膜厚
Ｔｂ-2、Ｔｂ-3・・・本発明の第２配列の青色用光電変換素子上方の青色カラーフィルタの膜厚
Ｔｃ・・・第３配列の青色用光電変換素子上方の青色カラーフィルタの膜厚
Ｔｃ-2、Ｔｃ-3・・・本発明の第３配列の青色用光電変換素子上方の青色カラーフィルタの膜厚
Ｔｄ・・・第４配列の青色用光電変換素子上方の青色カラーフィルタの膜厚
Ｔｄ-2、Ｔｄ-3・・・本発明の第４配列の青色用光電変換素子上方の青色カラーフィルタの膜厚
ＴG-2 ・・・緑色カラーフィルタの膜厚
Ｔ5-2 ・・・透明パターンの膜厚
ｌＢ−ａ・・・青色用光電変換素子の第１配列
ｌＢ−ｂ・・・青色用光電変換素子の第２配列
ｌＢ−ｃ・・・青色用光電変換素子の第３配列
ｌＢ−ｄ・・・青色用光電変換素子の第４配列
ｌＢＷ・・・白黒用光電変換素子の白黒用配列
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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