(57)【要約】【課題】      洗浄液のリサイクルに好適な予備吐出装置を提供する。【解決手段】  スリットノズルＮからプライミングローラ１１上に吐出された塗布液をスキージ１３により掻き取り、排出路１７を介して廃液タンク１８に排出する。プライミングローラ上に吐出された塗布液の大部分がスキージ１３により除去されるので、プライミングローラから洗浄液槽内に混入する塗布液量が低減し、洗浄液の汚れの程度も低減する。この結果、洗浄液の間消費量が低減し、ランニングコストも低減する。【選択図】  図２
2008049226.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄液を収容する洗浄液槽と、洗浄液槽内に回転可能に配置され、スリットノズルからの塗布液を付着させるプライミングローラと、このプライミングローラに向けて洗浄液を噴射する第１の洗浄液噴射ノズルと、プライミングローラの回転方向に沿って前記第１の洗浄液噴射ノズルよりも後段側に配置され、前記プライミングローラ上に付着した塗布液を掻き取るスキージと、前記洗浄液槽内の洗浄液中を通過したプライミングローラに向けて洗浄液を噴射する第２の洗浄液噴射ノズルと、第２の洗浄液噴射ノズルを通過したプライミングローラに向けて乾燥空気を噴射するエアノズルとを備える予備吐出装置において、
前記スキージによりプライミングローラから掻き取った塗布液を排出する排出路をスキージに隣接して設け、前記スキージにより除去された塗布液を前記排出路を介して廃液タンクに排出することを特徴とする予備吐出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の予備吐出装置において、前記スキージを弾性変形可能な合成樹脂材料のプレートで構成したことを特徴とする予備吐出装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の予備吐出装置において、前記スキージの近傍に、スキージにより掻き取られた塗布液を吸引する吸引機構を設け、当該吸引機構により吸引された塗布液を前記排出路を介して廃液タンクに排出することを特徴とする予備吐出装置。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の予備吐出装置において、前記洗浄液槽に接続されたバッファタンクを有し、当該バッファタンクを前記第１及び第２の洗浄液噴射ノズルに接続し、当該バッファタンクを介して前記洗浄液槽に収容された洗浄液を前記第１及び第２の洗浄液噴射ノズルに供給してリサイクルすることを特徴とする予備吐出装置。
【請求項５】
請求項４に記載の予備吐出装置において、前記洗浄液槽とバッファタンクとの間に汚染物を除去するフィルタを含むリサイクルボックスを接続し、前記洗浄液槽から排出された洗浄液をフィルタにより清浄な洗浄液にしてから第１及び第２の洗浄液噴射ノズルに供給することを特徴とする予備吐出装置。
【請求項６】
請求項４または請求項５に記載の予備吐出装置において、前記バッファタンクには、未使用の洗浄液が供給され、前記洗浄液槽から回収され前記フィルタを通過した洗浄液と未使用の洗浄液とが混合されて前記第１及び第２の洗浄液噴射ノズルに供給されることを特徴とする予備吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スリットコータの予備吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
スリットコータを用いて、ガラス基板や半導体ウェハのような各種基板表面にレジストや現像液を連続的に塗布する場合、塗布作業と塗布作業との間の待機中に吐出ノズルの先端が空気と接触し、塗布液の濃度が部分的に上昇してしまう。このような状態で塗布作業を行うと、高濃度化した塗布液により縦筋が発生したり、膜切れを起こす危険性がある。斯かる不具合を解消するため、塗布作業に先立って、プライミングローラ上に微量の塗布液を吐出させて高濃度の塗布液を除去する予備吐出装置が既知である（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
上述した予備吐出装置では、洗浄液槽内に回転可能に配置されたプライミングローラ上に塗布液を吐出させ、プライミングローラの回転により、吐出した塗布液をスキージにより除去している。さらに洗浄液槽内の洗浄液中を通過させることによりプライミングローラ上に残存する塗布液を除去している。洗浄されたプライミングローラは、エアノズルから乾燥した空気が噴射され、次の予備吐出が行われている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−３２９３４０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述した既知の予備吐出装置では、洗浄液槽から排出された洗浄液を一旦回収し、回収された洗浄液をリサイクル流路を介してシャワーノズルに供給して再利用に供している。しかしながら、スキージによる塗布液の除去性能が十分でないため、プライミングローラ表面に塗布液が残存した状態で洗浄液槽中を通過するため、洗浄液槽内の洗浄液が汚染される不具合が生じていた。このため、洗浄液槽内の洗浄液を新液と頻繁に交換しなければならず、ランニングコストが高価になる欠点があった。
【０００６】
本発明の目的は、プライミングローラ表面に吐出された塗布液を除去する性能が一段と向上し、洗浄液のリサイクルに好適な予備吐出装置を実現することにある。
さらに、本発明の別の目的は、新液の使用量が大幅に低減された予備吐出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る予備吐出装置は、洗浄液を収容する洗浄液槽と、洗浄液槽内に回転可能に配置され、スリットノズルからの塗布液を付着させるプライミングローラと、このプライミングローラに向けて洗浄液を噴射する第１の洗浄液噴射ノズルと、プライミングローラの回転方向に沿って前記第１の洗浄液噴射ノズルよりも後段側に配置され、前記プライミングローラ上に付着した塗布液を掻き取るスキージと、前記洗浄液槽内の洗浄液中を通過したプライミングローラに向けて洗浄液を噴射する第２の洗浄液噴射ノズルと、第２の洗浄液噴射ノズルを通過したプライミングローラに向けて乾燥空気を噴射するエアノズルとを備える予備吐出装置において、  前記スキージによりプライミングローラから掻き取った塗布液を排出する排出路をスキージに隣接して設け、前記スキージにより除去された塗布液を前記排出路を介して廃液タンクに排出する構成とした。
【０００８】
本発明では、プライミングローラ上に吐出された塗布液をスキージにより掻き取り、掻き取られた塗布液を排出路に排出し、排出路を介して洗浄液槽とは別に設けた廃液タンクに排出しているので、プライミングローラを収納する洗浄液槽内の洗浄液が塗布液により汚染される不具合が解消される。この結果、洗浄液槽内の洗浄液が比較的清浄な状態に維持されるので、リサイクル路にフィルタを設けるだけで、洗浄液槽内の洗浄液を再利用することができ、洗浄液の消費量が低減する。
【０００９】
本発明による予備吐出装置の好適実施例は、スキージを弾性変形可能な樹脂プレートなどで構成し、スキージ先端がプライミングローラの表面と密着するように配置し、プライミングローラ表面に存在する塗布液を前記スキージにより掻き取り、掻き取った塗布液を前記排出路を介して廃液タンクに排出する。スキージとして、ポリウレタンゴム、ポリエチレンゴム、シリコンゴム等の弾性変形可能ゴムの弾性プレートを用いれば、弾性プレートの先端をプライミングローラ表面に密着させることが可能である。この密着した状態でプライミングローラを回転させることにより、プライミングローラ上に吐出された塗布液はスキージによりほぼ完全に掻き落とされる。そして、掻き取られた塗布液を排出路を介して廃液タンクに排出することにより、洗浄液槽内の洗浄液が塗布液により汚染される程度が大幅に低減される。尚、スキージの構成部材として、弾性ゴム材料以外の材料としてＳＵＳや各種合成樹脂等の各種プレート部材を使用することも可能である。
【発明の効果】
【００１０】
本発明では、プライミングローラ上に吐出された塗布液をスキージにより掻き取り、排出路を介して廃液タンクに排出しているので、塗布液が洗浄液槽内に混入する不都合が解消される。この結果、洗浄液槽内の洗浄液をリサイクルすることにより再利用でき、新液の消費量が低減し、ランニングコストが低減する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
図１は本発明に係る予備吐出装置を適用した塗布装置の平面図、図２は同予備吐出装置の断面図である。
図１に示すように、塗布装置はベースＢに一対の平行なレールＲ，Ｒが設けられ、これらレールＲ，Ｒの中間位置となるベース上面の中央に基板Ｗの載置ステージＳが固定され、この基板載置ステージＳを跨ぐように移動機構Ｍ、ＭがレールＲ，Ｒ間に走行可能に架け渡され、これら移動機構Ｍ、Ｍ間の前後にビームが架設されて平面視で枠状をなすフレームＦが構成され、このフレームＦに昇降装置を介してスリットノズルＮが取付けられている。
【００１２】
そして、ベースＢの一端側に予備吐出装置１が設けられている。予備吐出装置は、予備吐出部１とリサイクル部２とから構成される。予備吐出部１は、洗浄液槽１０を有し、洗浄液槽１０内に洗浄液を収容する。洗浄液槽１０内にプライミングローラ１１を回転可能に配置する。プライミングローラ１１は、その一部が洗浄液に浸るように配置され、矢印方向に回転することにより洗浄液槽内の洗浄液により洗浄される。プライミングローラ１１は、ステンレス、アルミニウム、チタン、カーボン、クロムメッキ等で構成され、その寸法は、直径が３０〜２００ｍｍ、長さがスリットノズルの長手方向の長さよりも若干長くなるように設定する。尚、洗浄液噴射ノズルとして、２流体ノズル方式を含む各種の洗浄液噴射ノズルを用いることができる。
【００１３】
予備吐出の際、プライミングローラ１１の上方にスリットノズルＮが位置し、その下端から微量の塗布液がプライミングローラ１１上に吐出される。プライミングローラ１１の周囲には、スリットノズルの吐出位置から矢印方向に沿って、第１の洗浄液噴射ノズル１２、第１のスキージ１３を順次配置する。さらに、洗浄液に浸される部位を経て、第２の洗浄液噴射ノズル１４、第２のスキージ１５及びエアノズル１６を順次配置する。
【００１４】
プライミングローラ１１上に吐出された塗布液に対して、第１の洗浄液噴射ノズル１２から洗浄液が噴射される。次に、プライミングローラの回転により、第１のスキージ１３と対向する位置に移動し、プライミングローラ上の塗布液は、第１のスキージ１３により掻き取られる。本発明では、第１のスキージ１３は、例えば、ポリウレタン、ポリエチレン、シリコンゴム等の弾性プレートで構成する。この弾性プレートは、その先端がプライミングローラ１１の表面と圧接するように装着する。よって、弾性プレートには弾性変形可能な復元力が作用し、この復元力により弾性プレートの先端がプライミングローラの表面に対して圧接される。このように、スキージ１３を弾性プレートで構成することにより、スキージの先端がプライミングローラの表面と隙間なく密着した状態となり、プライミングローラ表面に残存する塗布液を確実に掻き取ることができる。
【００１５】
第１のスキージにより掻き取られた塗布液は、スキージの上側表面に開口する排出路１７に排出され、排出路１７を経て廃液タンク１８に排出される。この実施例では、廃液タンク１８への排出を強制的に行わせるため、排出路１７の途中に吸引機構１９を設けている。この結果、プライミングローラ上の存在する塗布液は、第１のスキージによりほとんど除去され、洗浄液槽とは別に設けた廃液タンクに排出されるため、洗浄液槽内の洗浄液が塗布液が汚染される欠点が解消される。
【００１６】
次に、プライミングローラは洗浄液槽内の洗浄液中を通過し、洗浄液中を通過する間にプライミングローラの表面に残存する塗布液が除去される。さらに回転すると、第２のシャワーノズル１４と対向する位置に移動する。第２の洗浄液噴射ノズル１４は、プライミングローラ１１の表面に向けて洗浄液を強く噴射する。この洗浄液の噴射により、残存する塗布液はほとんど除去される。
【００１７】
プライミングローラはさらに回転し、第２のスキージ１５により表面に残存する洗浄液が掻き落とされる。第２のスキージ１５も第１のスキージと同様に、弾性プレートで構成する。
【００１８】
次に、エアノズル１６と対向する位置に移動し、エアノズルから乾燥した空気が噴射され、プライミングローラの表面は乾燥処理される。
【００１９】
次に、リサイクルについて説明する。洗浄液槽１０の底部に排出孔２１を設け、洗浄液槽内の洗浄液を循環路に排出する。また、洗浄液槽１０には、洗浄液槽の液面を調整するための液面調整用廃液部材２２を設け、溢れた洗浄液を循環路に排出する。これら２本の循環路は１本の循環路に結合され、三方弁２３のインレットに接続する。三方弁２３の第１のアウトレットは、第１のポンプ２４を経てリサイクルボックス２５に接続する。リサイクルボックス２５は、フィルタを含み、当該フィルタにより洗浄液中に残存する塗布液が除去され、清浄な洗浄液として第２のポンプ２６に供給される。三方弁２３の第２のアウトレットは管路を経て第２のポンプ２６に接続する。第２のポンプ２６のアウトレットはバッファタンク２７に接続する。尚、本例では、洗浄液槽の底部に設けた排出孔及び液面調整用廃液部材の両方を用いて洗浄液を循環させているが、液面調整用の廃液部材から溢れ出た洗浄液だけを循環させることも可能である。
【００２０】
バッファタンク２７は、リサイクルボックスのフィルタにより清浄にされた洗浄液を貯蔵すると共に未使用の洗浄液（新液）が供給される。よって、バッファタンクには、一層清浄な洗浄液が貯蔵される。バッファタンク２７は３個のアウトレット２７ａ〜２７ｃを有する。第１のアウトレット２７ａは第１の洗浄液噴射ノズル１２に洗浄液を供給し、第２のアウトレット２７ｂは第２の洗浄液噴射ノズル１４に洗浄液を供給する。さらに、第３のアウトレット２７ｃは、スリットノズルの洗浄用に新鮮な洗浄液を供給する。このリサイクルシステムを設けることにより、清浄度が新液に近い状態の洗浄液が各シャワーノズルに供給されるので、プライミングローラの表面を一層清浄な状態に維持することができる。
【００２１】
本発明は上述した実施例だけに限定されず種々の変形や変更が可能である。例えば、プライミングローラ上に吐出された塗布液を掻き取るスキージに吸引機構を設け、スキージにより掻き取られた塗布液を吸引機構を介して排出路に排出することも可能である。塗布液を吸引することにより、第１スキージまでにプライミングローラに付着する可能性のある塗布液を除去でき、ごみの発生原因を防ぐことができる。このように、吸引機構を設けることにより、スキージにより掻き取られた塗布液がスキージ上に残留する不具合が解消される。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明に係る予備吐出装置を適用した塗布装置の平面図
【図２】同予備吐出装置の断面図
【符号の説明】
【００２３】
１…予備吐出装置、２…リサイクル部、１０…洗浄液槽、１１…プライミングローラ、Ｎ…スリットノズル、１２…第１の洗浄液噴射ノズル、１３…第１のスキージ、１４…第２の洗浄液噴射ノズル、１５…第２のスキージ、１６…エアノズル、１７…排出路、１８…廃液タンク、１９…吸引機構、２１…排出孔、２２…液面調整用廃液部材、２３…三方弁、２４…第１のポンプ、２５…  リサイクルボックス、２６…第２のポンプ、２７…バッファタンク、Ｎ…スリットノズル。
【図１】
2008049226.tif 000003
【図２】
2008049226.tif 000004