(57)【要約】【課題】保持した電子部品の位置調整ができる測定ロボットを備えるＩＣハンドラにおいて、多品種の電子部品に対応する汎用的なＩＣハンドラ用のチェンジキットを提供する。【解決手段】供給側チェンジキット３１の各供給用ポケット３２の底面には、ＩＣチップを吸着する吸着穴３３を設けた。回収側チェンジキット３４の各回収用ポケット３５の底面には、ＩＣチップの底面のバンプと嵌合するディンプルが形成されたディンプルプレートを設けた。従って、各ポケット３２，３５においてＩＣチップの位置は、第１及び第２シャトル１６，１７の移動の際にずれることなく載置された位置に保持される。ＩＣチップの保持を、各ポケット３２，３５の内側面を用いないので、各ポケット３２，３５の外形はＩＣチップの大きさに制約されずに、大きくできる。その結果、供給側チェンジキット３１、及び、回収側チェンジキット３４の汎用性を高めることができる。【選択図】図２
2008128676.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
収納凹部に電子部品を収容し、シャトルにて、２位置間を搬送される収納体において、
前記収納凹部を、前記電子部品よりも大きな凹部で形成するとともに、前記収納凹部の内部に前記電子部品を保持する保持手段を設けたことを特徴とするＩＣハンドラ用のチェンジキット。
【請求項２】
請求項１に記載のＩＣハンドラ用のチェンジキットにおいて、
前記保持手段は、前記収納凹部の底面に設けた少なくとも１つの吸着穴であることを特徴とするＩＣハンドラ用のチェンジキット。
【請求項３】
請求項２に記載のＩＣハンドラ用のチェンジキットにおいて、
前記収納凹部には、複数の吸着穴が形成され、該複数の吸着穴のうち、前記収納された電子部品よりも外側に位置する前記吸着穴を覆う調整手段を設けたことを特徴とするＩＣハンドラ用のチェンジキット。
【請求項４】
請求項１に記載のＩＣハンドラ用のチェンジキットにおいて、
前記保持手段は、前記収納凹部の底面に配設した載置板に前記電子部品の突起状電極が嵌合する複数の窪みであることを特徴とするＩＣハンドラ用のチェンジキット。
【請求項５】
請求項１に記載のＩＣハンドラ用のチェンジキットにおいて、
前記保持手段は、前記収納凹部の底面に形成された前記電子部品の突起状電極が嵌合する複数の窪みであることを特徴とするＩＣハンドラ用のチェンジキット。
【請求項６】
請求項４又は５に記載のＩＣハンドラ用のチェンジキットにおいて、
前記収納凹部の底面に形成された複数の窪みは、前記電子部品よりも広い範囲に形成されたことを特徴とするＩＣハンドラ用のチェンジキット。
【請求項７】
請求項１に記載のＩＣハンドラ用のチェンジキットにおいて、
前記保持手段は、前記収納凹部の底面に設けた少なくとも１つの吸着穴と、前記収納凹部の底面に配設され前記吸着穴と連通する貫通穴と前記電子部品の突起状電極が嵌合する複数の窪みを形成した載置板とであることを特徴とするＩＣハンドラ用のチェンジキット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＩＣハンドラ用のチェンジキットに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体チップ等の電子部品の試験装置（ＩＣハンドラ）には、電子部品を搬送するための複数の搬送用ロボットが備えられている。そして、搬送ロボットによって、検査前の電子部品は、測定を行う検査用ソケットへ搬送され、検査が済んだ後、検査用ソケットから回収される。
【０００３】
具体的には、例えば、検査前の電子部品は、供給ロボットによって吸着把持されて供給シャトルのポケットに離脱配置された後、測定ロボットが吸着把持する位置まで供給シャトルによって移動される。検査前の電子部品は、測定ロボットによって供給シャトルから検査用ソケットに離脱配置され、検査が済んだ後、再び測定ロボットによって吸着把持されて検査用ソケットから回収シャトルのポケットに離脱配置される。そして、検査後の電子部品は、回収ロボットの位置まで回収シャトルによって移動されて、回収ロボットによってテスト結果に応じた回収トレイに離脱配置される。
【０００４】
ところで、ＩＣハンドラは、多品種の電子部品の検査ができることが望まれている。従って、供給及び回収シャトルも多品種の電子部品の搬送が望まれている。各シャトルは、上面に交換可能に備えたチェンジキットによって電子部品を保持しており、該チェンジキットを交換することによって、多品種の電子部品に対応していた。チェンジキットによって電子部品を好適に保持するには、各電子部品に最適化された各電子部品専用のチェンジキットが必要であり、検査対象の電子部品毎に専用のチェンジキットを用意する必要があった。しかし、電子部品毎に専用のチェンジキットを用意するには多くの費用がかかるとともに、チェンジキットの交換は作業時間を増加させており、１つチェンジキットが多種の電子部品に対応する、チェンジキットの汎用化が望まれていた。
【０００５】
そこで、チェンジキットの種類を減らす方法が提案されている（特許文献１）。特許文献１では、チェンジキットに、大きな外形寸法の外ポケットを設け、該外ポケットの内側の深い位置に小さな外形寸法の内ポケットを設け、１つのポケットで複数種類の電子部品に対応できるようにした。又、複数種類の寸法の外ポケット、及び、該外ポケットに対する内ポケットの組み合わせを、１つのチェンジキットに備えることにより、１つのチェンジキットで多数の種類の電子部品に対応できるようにした。
【０００６】
しかし、特許文献１では、チェンジキットに電子部品専用のポケットを備えなければならないことは従来と変らず、又、チェンジキットの構造を複雑化させる問題があった。
そこで、多品種の電子部品に短時間で対応可能なチェンジキットが提案されている（特許文献２）。特許文献２では、チェンジキットの電子部品を載置する面に、長穴のネジ穴でネジ止めされた、電子部品の位置を規定する「位置決め部品」を備える。電子部品の種類を変更する際には、該電子部品のサイズに合わせて、該ネジを緩めて前記「位置決め部品」を移動させ、所定の位置で該ネジにより固定した。
【特許文献１】特開平８−１７９００７号公報
【特許文献２】特開２００１−８３２０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、特許文献２では、電子部品が変更される際に「位置決め部品」の位置調整をし
なければならず、調整のための作業時間が必要で、さらに、調整する煩わしさがあった。
本発明の目的は、保持した電子部品の位置調整ができる測定ロボットを備えるＩＣハンドラにおいて、多品種の電子部品に対応する汎用的なＩＣハンドラ用のチェンジキットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のＩＣハンドラ用のチェンジキットは、収納凹部に電子部品を収容し、シャトルにて、２位置間を搬送される収納体において、前記収納凹部を、前記電子部品よりも大きな凹部で形成するとともに、前記収納凹部の内部に前記電子部品を保持する保持手段を設けた。
【０００９】
本発明のＩＣハンドラ用のチェンジキットによれば、保持手段で電子部品を保持することで、電子部品よりも大きな収納凹部に収納された電子部品であっても、該電子部品が保持されて好適にシャトルにて搬送することができる。従って、チェンジキットを種々の電子部品に汎用的に用いることができ、チェンジキットの準備工数や費用を減少させることができるとともに、チェンジキットの交換作業の時間を減少させることができる。
【００１０】
本発明のＩＣハンドラ用のチェンジキットは、前記保持手段は、前記収納凹部の底面に設けた少なくとも１つの吸着穴であると好適である。
本発明のＩＣハンドラ用のチェンジキットによれば、収納凹部の底面には、吸着穴を設けた。従って、収納凹部に電子部品を収容した際に吸着穴を負圧にすれば、大きな収納凹部の電子部品でも吸着穴の負圧により保持されて好適にシャトルにて搬送することができる。
【００１１】
本発明のＩＣハンドラ用のチェンジキットは、前記収納凹部には、複数の吸着穴が形成され、該複数の吸着穴のうち、前記収納された電子部品よりも外側に位置する前記吸着穴を覆う調整手段を設けてもよい。
【００１２】
本発明のＩＣハンドラ用のチェンジキットによれば、複数の吸着穴のうち電子部品の外側に位置する吸着穴は調整手段によって覆われる。従って、吸着穴を負圧にした際に、電子部品下部の吸着穴の負圧を好適に維持することができる。その結果、ＩＣハンドラ用のチェンジキットを小さな電子部品にも対応可能にできて、より汎用性を高めることができる。
【００１３】
本発明のＩＣハンドラ用のチェンジキットは、前記保持手段は、前記収納凹部の底面に配設した載置板に前記電子部品の突起状電極が嵌合する複数の窪みであると好適である。
本発明のＩＣハンドラ用のチェンジキットによれば、電子部品の突起状電極に嵌合される窪みを備えた載置板を収納凹部に配設した。従って、電子部品を変更する場合に、載置板のみ交換することで多品種の電子部品に対応できるので、一層、ＩＣハンドラ用のチェンジキットの汎用性を高めることができる。
【００１４】
本発明のＩＣハンドラ用のチェンジキットは、前記保持手段は、前記収納凹部の底面に形成された前記電子部品の突起状電極が嵌合する複数の窪みであってもよい。
本発明のＩＣハンドラ用のチェンジキットによれば、電子部品は、その突起状電極が収納凹部に形成された窪みに嵌合されることで、収納凹部に保持される。従って、ＩＣハンドラ用のチェンジキットは高い精度で電子部品を保持することができる。
【００１５】
本発明のＩＣハンドラ用のチェンジキットは、前記収納凹部の底面に形成された複数の窪みは、前記電子部品よりも広い範囲に形成されてもよい。
本発明のＩＣハンドラ用のチェンジキットによれば、窪みは、電子部品よりも広い範囲
に形成されているので、保持手段は多種類の電子部品に対応できる。従って、ＩＣハンドラ用のチェンジキットの汎用性を高めることができる。
【００１６】
本発明のＩＣハンドラ用のチェンジキットは、前記保持手段は、前記収納凹部の底面に設けた少なくとも１つの吸着穴と、前記収納凹部の底面に配設され前記吸着穴と連通する貫通穴と前記電子部品の突起状電極が嵌合する複数の窪みを形成した載置板とであってもよい。
【００１７】
本発明のＩＣハンドラ用のチェンジキットによれば、載置板の窪みと併せて、載置板の貫通穴を介して吸着穴を負圧にすれば、さらに電子部品の保持力をさらに高めることができる。その結果、収納凹部をより大きくすることができて、さらに、ＩＣハンドラ用のチェンジキットの汎用性を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
（第１実施形態）
以下、本発明を具体化した実施形態を図１〜図５に従って説明する。図１は、ＩＣハンドラ１０を示す平面図である。
【００１９】
ＩＣハンドラ１０は、ベース１１、安全カバー１２、高温チャンバ１３、供給ロボット１４、回収ロボット１５、第１シャトル１６、第２シャトル１７、複数のコンベアＣ１〜Ｃ６を備えている。
【００２０】
ベース１１は、その上面に前記要素を搭載している。安全カバー１２は、ベース１１の大きな領域を囲っていて、この内部には、供給ロボット１４、回収ロボット１５、第１シャトル１６及び第２シャトル１７が収容されている。
【００２１】
複数のコンベアＣ１〜Ｃ６は、その一端部側が、安全カバー１２の外に位置し、他端部が安全カバー１２内に位置するように、ベース１１に設けられている。各コンベアＣ１〜Ｃ６は、半導体チップとしてのＩＣチップＴを複数収容したトレイ１８を、安全カバー１２の外から安全カバー１２の中へ搬送したり、反対に、トレイ１８を、安全カバー１２の中から安全カバー１２の外へ搬送したりする。
【００２２】
供給ロボット１４は、Ｘ軸フレームＦＸと第１のＹ軸フレームＦＹ１により構成されている。回収ロボット１５は、該Ｘ軸フレームＦＸと第２のＹ軸フレームＦＹ２により構成されている。Ｘ軸フレームＦＸは、Ｘ方向に配置されている。第１のＹ軸フレームＦＹ１及び第２のＹ軸フレームＦＹ２は、Ｙ方向に沿って互いに平行となるように配置され、前記Ｘ軸フレームＦＸに対して、Ｘ方向に移動可能に支持されている。そして、第１のＹ軸フレームＦＹ１及び第２のＹ軸フレームＦＹ２は、Ｘ軸フレームＦＸに設けた図示しないそれぞれのモータによって、該Ｘ軸フレームＦＸに沿ってＸ方向に往復移動する。
【００２３】
第１のＹ軸フレームＦＹ１の下側には、供給側ロボットハンドユニット２０がＹ方向に移動可能に支持されている。供給側ロボットハンドユニット２０は、第１のＹ軸フレームＦＹ１に設けた図示しないそれぞれのモータによって、該第１のＹ軸フレームＦＹ１に沿ってＹ方向に往復移動する。そして、供給側ロボットハンドユニット２０は、例えば、コンベアＣ１のトレイ１８に収容された検査前のＩＣチップＴを、例えば、第１シャトル１６に供給する。
【００２４】
第２のＹ軸フレームＦＹ２の下側には、回収側ロボットハンドユニット２１がＹ方向に移動可能に支持されている。回収側ロボットハンドユニット２１は、第２のＹ軸フレームＦＹ２に設けた図示しないそれぞれのモータによって、該第２のＹ軸フレームＦＹ２に沿
ってＹ方向に往復移動する。そして、回収側ロボットハンドユニット２１は、例えば、第１シャトル１６に供給された検査後のＩＣチップＴを、例えば、コンベアＣ６のトレイ１８に供給する。
【００２５】
ベース１１の上面であって、供給ロボット１４と回収ロボット１５の間には、２本のレール３０がＸ軸方向に平行して固設されている。一方のレール３０には、第１シャトル１６がＸ軸方向に往復動可能に備えられており、他方のレール３０には、第２シャトル１７がＸ軸方向に往復動可能に備えられている。
【００２６】
図２は、第１及び第２シャトル１６，１７を示す平面図である。第１及び第２シャトル１６，１７は同様の構造をしているので、説明の都合上、第１シャトル１６の構造についてのみ説明し、第２シャトル１７の説明は省略する。
【００２７】
第１シャトル１６の下部は、Ｘ軸方向に長い略板状のベース部材１６ａで形成されている。ベース部材１６ａの底面には、図示しないレール受けが固設されていて、該レール受けが、レール３０に摺接されている。そして、第１シャトル１６に設けた図示しない駆動装置によって、レール３０に沿って往復動される。
【００２８】
第１シャトル１６の上面左側（供給ロボット１４側）には、供給側チェンジキット３１がネジなどで交換可能に固着されている。供給側チェンジキット３１の上面には、図３に示すように、収納凹部としての供給用ポケット３２が４つ凹んで形成されている。
【００２９】
各供給用ポケット３２は、その周囲はＩＣチップＴよりも大きく形成されて、その凹みの内部にはＩＣチップＴが載置される。各供給用ポケット３２の底面には、それぞれ保持手段としての吸着穴３３が設けられ、その吸着穴３３は、図示しないシャトル用切替えバルブを介して図示しない吸引装置に接続されている。そして、シャトル用切替えバルブの切替えによって、吸引装置に接続されると、吸着穴３３に負圧が供給されて、負圧の作用によりＩＣチップＴを供給用ポケット３２の底面に吸着する。反対に、シャトル用切替えバルブの切替によって吸引装置から大気に接続されると、吸着穴３３は大気圧になり、ＩＣチップＴの供給用ポケット３２底面への吸着を解除する。従って、供給用ポケット３２に吸着されたＩＣチップＴは、第１シャトル１６の移動の際にも、供給用ポケット３２の所定の位置に保持される。
【００３０】
第１シャトル１６の上面右側（回収ロボット１５側）には、回収側チェンジキット３４がネジなどで交換可能に固着されている。回収側チェンジキット３４の上面には、図４（ａ）に示すように、収納凹部としての回収用ポケット３５が４つ凹んで形成されている。
【００３１】
各回収用ポケット３５は、その周囲がＩＣチップＴよりも大きく形成されていて、その凹みの内部にはＩＣチップＴが載置される。回収用ポケット３５の底面には、載置板としてのディンプルプレート３６が交換可能に嵌合されている。
【００３２】
ディンプルプレート３６は、図４（ｂ）に示すように、回収用ポケット３５に嵌合される大きさの板状部材であって、ディンプルプレート３６の表面には、図４（ｃ）に示すように、ＩＣチップＴの底面のバンプ（突起状電極）Ｂを嵌合する多数の保持手段としてのディンプル３６ｄが、ＩＣチップＴと略同じか、それよりも広い範囲に設けられている。従って、各回収用ポケット３５に載置されて、その底面のバンプＢがディンプルプレート３６のディンプル３６ｄに嵌合した各ＩＣチップＴは、第１シャトル１６の移動の際にも、回収用ポケット３５の所定の位置に保持される。
【００３３】
第１及び第２シャトル１６，１７の上面中央には、それぞれカメラ３７が上方を撮影可
能に備えられている。カメラ３７は、後記する測定ロボット２２によって把持されているＩＣチップＴを撮影し、その撮影データを出力するものであり、測定ロボット２２の直下位置においては、該把持されている全てのＩＣチップＴを一度に撮影できる。そして、カメラ３７が撮影した画像データは画像処理される。尚、本実施形態においては、カメラ３７はＣＣＤカメラであるが、これに限られない。
【００３４】
ベース１１の上面であって、供給側及び回収側チェンジキット３１，３４を備えた第１及び第２シャトル１６，１７の間には、検査用ソケット２３が設けられている。検査用ソケット２３は、供給側チェンジキット３１の供給用ポケット３２の数（４個）に対応した数だけ設けられている。各検査用ソケット２３は、それぞれ対応する供給用ポケット３２に収容されたＩＣチップＴが装着される。詳述すると、各検査用ソケット２３にそれぞれ対応するＩＣチップＴは、後記する測定ロボット２２によって、それぞれ対応する検査用ソケット２３の直上位置に配置される。その後、各ＩＣチップＴは、下方に移動し、ＩＣチップＴの各バンプＢが、上方からそれぞれ対応する検査用ソケット２３の接触部と当接しスプリングピンを下方に押し下げることによって、該検査用ソケット２３に装着される。
【００３５】
そして、各検査用ソケット２３に装着されたＩＣチップＴは電気的検査が行われる。そして、検査終了すると、各検査用ソケット２３に装着されたＩＣチップＴは、後記する測定ロボット２２によって、それぞれ対応する検査用ソケット２３から抜き取られて、回収側チェンジキット３４の直上位置に配置される。その後、各ＩＣチップＴは、下方に移動し、それぞれ対応する回収側チェンジキット３４の回収用ポケット３５に収容されるようになっている。
【００３６】
そして、本実施形態では、供給側ロボットハンドユニット２０によって、第１及び第２シャトル１６，１７の供給側チェンジキット３１の各供給用ポケット３２に対してＩＣチップＴを供給するときには、第１及び第２シャトル１６，１７は、図２において最もレール３０の左側の位置（以下、供給位置という）に移動することになっている。
【００３７】
また、供給側チェンジキット３１の各供給用ポケット３２から対応する検査用ソケット２３にＩＣチップＴを装着させるときは、第１及び第２シャトル１６，１７は、該供給側チェンジキット３１が検査用ソケット２３と相対向する位置（以下、検査前移載位置という）に移動されるようになっている。
【００３８】
さらに、測定ロボット２２によって把持されているＩＣチップＴをカメラ３７で撮影するときは、第１及び第２シャトル１６，１７は、該カメラ３７が検査用ソケット２３と相対向する位置（以下、チップ撮影位置という）に移動されるようになっている。
【００３９】
さらにまた、検査用ソケットから対応する回収側チェンジキット３４の回収用ポケット３５にＩＣチップＴを収容させるときは、第１及び第２シャトル１６，１７は、該回収側チェンジキット３４が検査用ソケット２３と相対向する位置（以下、検査後移載位置という）に移動されるようになっている。
【００４０】
また、回収側ロボットハンドユニット２１によって、回収側チェンジキット３４の各回収用ポケット３５からＩＣチップを回収するときは、第１及び第２シャトル１６，１７は、図２において最もレール３０の右端の位置（以下、回収位置という）に移動するようになっている。
【００４１】
高温チャンバ１３内には、測定ロボット２２が設けられている。測定ロボット２２の下部には、図５に示すように、４個の吸着ノズル２４（図５では２個のみ図示）が設けられ
ている。４個の吸着ノズル２４は、それぞれ前記供給側チェンジキット３１の各供給用ポケット３２及び回収側チェンジキット３４の各回収用ポケット３５に対応して設けられている。各吸着ノズル２４は、図示しないノズル用切替えバルブを介して図示しない吸引装置に接続されている。そして、ノズル用切替えバルブの切替えによって、吸引装置に接続されると、吸着ノズル２４の開口端が負圧となり、その負圧によりＩＣチップＴを吸着ノズル２４の開口端に吸着する。反対に、ノズル用切替えバルブの切替えによって吸引装置から大気に接続されると、吸着ノズル２４の開口端は大気圧になり、吸着していたＩＣチップＴを吸着ノズル２４の開口端から開放する。
【００４２】
また、各吸着ノズル２４は、それぞれ図示しない位置微調整装置が備えられている。詳述すると、各吸着ノズル２４は、位置微調整装置によって、測定ロボット２２の本体に対してＸ方向及びＹ方向に移動可能になっているとともに、該ＸＹ平面に対して直行する吸着ノズル２４の中心軸が回転中心となって回転するようになっている。
【００４３】
そして、第１及び第２シャトル１６，１７が移載前位置に位置しているとき、測定ロボット２２は、その供給側チェンジキット３１の各供給用ポケット３２のＩＣチップＴを、それぞれ対応する各吸着ノズル２４によって吸着把持して所定の高さまで上昇させる。ＩＣチップＴを所定の高さまで上昇させると、第１及び第２シャトル１６，１７をチップ撮影位置に移動させる。即ち、カメラ３７を、各吸着ノズル２４によって吸着把持されている各ＩＣチップＴの直下に配置する。そして、カメラ３７は検査前の吸着把持された各ＩＣチップＴを撮影するようになっている。
【００４４】
また、第１及び第２シャトル１６，１７がチップ撮影位置に位置しているとき、測定ロボット２２は、各検査用ソケット２３のＩＣチップＴをそれぞれ対応する吸着ノズル２４で吸着把持して、カメラ３７の直上位置まで移動する。そして、カメラ３７は、検査後の吸着把持された各ＩＣチップＴを撮影するようになっている。
【００４５】
測定ロボット２２は、カメラ３７が撮影した各吸着ノズル２４に吸着把持されているＩＣチップＴの画像データに基づいて画像処理を行う。測定ロボット２２は、各ＩＣチップＴについて、吸着ノズル２４に対するＩＣチップＴの吸着位置とその向きを演算する。そして、各吸着ノズル２４に対するＩＣチップＴの吸着ズレを演算する。
【００４６】
測定ロボット２２は、吸着ノズル２４の中心軸が、ＩＣチップＴの上面の中心位置に対して、Ｘ方向及びＹ方向にどれだけ偏倚しているか、また、ＩＣチップＴの各辺がＸ方向及びＹ方向に対してどれだけ回転しているかを演算する。
【００４７】
詳述すると、測定ロボット２２が、各吸着ノズル２４にて、供給側チェンジキット３１の各供給用ポケット３２のＩＣチップＴをそれぞれ吸着把持して上昇してから、ＩＣチップＴがカメラ３７にて撮影される。このとき、測定ロボット２２を、例えば予め定めたＹ方向に移動させて検査用ソケット２３の上方位置に移動させたとき、それぞれのＩＣチップＴが対応する検査用ソケット２３の端子に対して有している位置ズレを演算する。即ち、検査用ソケット２３の端子に対してＩＣチップＴのバンプＢが整合して対峙するためには、前記位置微調整装置で吸着ノズル２４をどのくらいＸ方向、Ｙ方向に移動させるとともに、どのくらい回転させるか演算するようになっている。そして、測定ロボット２２は、演算結果に基づいて、位置微調整装置を介して、各吸着ノズル２４の位置微調整を行う。
【００４８】
同様に、測定ロボット２２が、吸着ノズル２４にて、各検査用ソケット２３のＩＣチップＴをそれぞれ吸着把持してから、第１及び第２シャトル１６，１７のカメラ３７の上方に移動して、ＩＣチップＴがカメラ３７にて撮影される。このとき、例えば第１及び第２
シャトル１６，１７が移載後位置に移動して回収側チェンジキット３４の各回収用ポケット３５が予め定めた下方位置に移動されたとき、測定ロボット２２のそれぞれのＩＣチップＴが対応する回収用ポケット３５のディンプル３６ｄに対して有している位置ズレを演算する。即ち、ディンプル３６ｄに対してＩＣチップＴのバンプＢが整合して対峙するためには、前記位置微調整装置で、吸着ノズル２４をどのくらいＸ方向、Ｙ方向に移動させるとともに、どのくらい回転させるか演算するようになっている。そして、測定ロボット２２は、演算結果に基づいて、位置微調整装置を介して、各吸着ノズル２４の位置微調整を行う。
【００４９】
次に、ＩＣチップＴが供給側チェンジキット３１から回収側チェンジキット３４に搬送されるまでの手順を図５（ａ）〜（ｃ）に従って説明する。
供給位置にある第１シャトル１６は、その供給側チェンジキット３１の各供給用ポケット３２に供給側ロボットハンドユニット２０からＩＣチップＴを供給される。各供給用ポケット３２にＩＣチップＴが供給されると、測定ロボット２２は、シャトル用切替えバルブを吸引装置側に切替える。ＩＣチップＴが供給用ポケットに３２の底面に吸着固定されると、測定ロボット２２は、第１シャトル１６を移載前位置に移動させる。このとき、各ＩＣチップＴが供給用ポケット３２の底面に吸着固定されているので、第１シャトル１６の移載前位置に移動する際にも、供給用ポケット３２においてＩＣチップＴの位置がずれない。
【００５０】
第１シャトル１６が移載前位置に移動すると、測定ロボット２２は、各吸着ノズル２４を、供給側チェンジキット３１の供給用ポケット３２からそれぞれ対応するＩＣチップＴが吸着可能の上方位置に移動させる。各吸着ノズル２４が上方位置に位置すると、測定ロボット２２は、各吸着ノズル２４を下降させて、各ＩＣチップＴの上面に各吸着ノズル２４の開口端を接触させる。
【００５１】
ＩＣチップＴに吸着ノズル２４の開口端が接触したら、測定ロボット２２は、ノズル用切替えバルブを吸引装置側に切替えて各吸着ノズル２４によってそれぞれのＩＣチップＴを吸着把持する。同時に、測定ロボット２２は、シャトル用切替えバルブを吸引装置側から大気側に切替えて、ＩＣチップＴの供給用ポケット３２への吸着を解除する。
【００５２】
そして、図５（ａ）に示すように、吸着ノズル２４に吸着されたＩＣチップＴは、上昇して供給用ポケット３２から離脱される。そして、上昇したＩＣチップＴは、第１シャトル１６の直上で待機する。
【００５３】
続いて、測定ロボット２２は、第１シャトル１６をチップ撮影位置に移動させて、第１シャトル１６の直上で待機している各ＩＣチップＴの直下にカメラ３７を移動させる。測定ロボット２２は、カメラ３７から吸着ノズル２４によって吸着把持されている４つのＩＣチップＴの画像データを取得し、各ＩＣチップＴの位置ズレを求める。測定ロボット２２は、前記求められた各位置ズレに基づいて、位置微調整装置によって検査用ソケット２３に対して好適な向きになるように各ＩＣチップＴを調整する。尚、カメラ３７によるＩＣチップＴの撮影が終了しても、測定ロボット２２は、ＩＣチップＴの回収の際の撮影のために、第１シャトル１６をチップ撮影位置に待機させておく。
【００５４】
調整が完了すると、測定ロボット２２は、各吸着ノズル２４を検査用ソケット２３の上方に移動させてから、各吸着ノズル２４を下降させ、検査用ソケット２３に装着し、電気的検査を行う。電気的検査をした後、測定ロボット２２は、吸着ノズル２４にて、ＩＣチップＴを吸着把持して検査用ソケット２３から外して、第１シャトル１６のカメラ３７の上方まで移動させる。
【００５５】
カメラ３７の上方まで移動すると、測定ロボット２２は、カメラ３７から各吸着ノズル２４に吸着把持されたＩＣチップＴの画像データを取得し、各ＩＣチップＴの位置ズレを求める。測定ロボット２２は、前記求められた各位置ズレに基づいて、位置微調整装置によって回収用ポケット３５に対して好適な向きになるように各ＩＣチップＴを調整する。
【００５６】
カメラ３７による撮影が完了したら、図５（ｂ）に示すように、測定ロボット２２は、第１シャトル１６を移載後位置に移動させる。即ち、第１シャトル１６の回収側チェンジキット３４の各回収用ポケット３５が、各吸着ノズル２４に把持された対応する各ＩＣチップＴの直下に位置するようにする。
【００５７】
その後、測定ロボット２２は、吸着ノズル２４を下降させ、回収用ポケット３５にＩＣチップＴを載置する。その際に、ＩＣチップＴの底面のバンプＢは、回収用ポケット３５底面のディンプルプレート３６のディンプル３６ｄに嵌合される。
【００５８】
そして、測定ロボット２２は、吸着ノズル２４用のノズル用切替えバルブを吸引装置側から大気側に切替え、吸着ノズル２４開口端がＩＣチップＴを吸引することを解除する。
次に、測定ロボット２２は、第１シャトル１６を回収位置に移動させて、回収用ポケット３５のＩＣチップＴを回収側ロボットハンドユニット２１に搬出させる。このとき、ＩＣチップＴの底面のバンプＢは回収用ポケット３５の底面に勘合したディンプルプレート３６のディンプルに嵌合しているため、第１シャトル１６が回収位置に移動する際にも、回収用ポケット３５においてＩＣチップＴの位置がずれない。
【００５９】
本実施形態によれば以下のような効果を得ることができる。
（１）本実施形態によれば、供給用ポケット３２の底面には、ＩＣチップＴを吸着する吸着穴３３を設けることによって、第１及び第２シャトル１６，１７の移動の際にも、供給用ポケット３２においてＩＣチップＴの位置がずれないように吸着固定した。従って、ＩＣチップＴの位置を保持するために供給用ポケット３２の内側面を用いないので、供給用ポケット３２の外形はＩＣチップＴの外形に制約されず、供給用ポケット３２の外形をＩＣチップＴよりも大きくできる。その結果、供給用ポケット３２が形成された供給側チェンジキット３１は、種々のサイズのＩＣチップＴに汎用的に使用することができて、供給側チェンジキット３１の種類の低減、供給側チェンジキット３１の交換時間の減少を図ることができる。
【００６０】
（２）本実施形態によれば、回収用ポケット３５の底面に嵌合したディンプルプレート３６のディンプル３６ｄに、ＩＣチップＴの底面のバンプＢを嵌合させて、第１及び第２シャトル１６，１７の移動の際にも、回収用ポケット３５においてＩＣチップＴの位置がずれないようにした。従って、ＩＣチップＴの位置を保持するために回収用ポケット３５の内側面を用いないので、回収用ポケット３５の外形はＩＣチップＴの外形に制約されず、回収用ポケット３５の外形をＩＣチップＴよりも大きくできる。その結果、回収用ポケット３５にディンプルプレート３６が嵌合された回収側チェンジキット３４は、種々のサイズのＩＣチップＴに汎用的に使用することができて、回収側チェンジキット３４の種類の低減、回収側チェンジキット３４の交換時間の減少を図ることができる。
【００６１】
（３）本実施形態によれば、供給用ポケット３２をＩＣチップＴより大きく形成した。従って、供給用ポケット３２をＩＣチップＴの外形に好適に適合するように形成することに比較して、供給用ポケット３２の形成が容易になる。その結果、供給側チェンジキット３１のコストを低減することができる。
【００６２】
（４）本実施形態によれば、回収用ポケット３５はＩＣチップＴより大きくした。従って、回収用ポケット３５をＩＣチップＴの外形に好適に適合するように形成することに比
較して、回収用ポケット３５の形成が容易になる。その結果、回収側チェンジキット３４のコストを低減することができる。
【００６３】
（５）本実施形態によれば、回収用ポケット３５には、ディンプルプレート３６を嵌合するようにした。従って、ディンプルプレート３６を交換するだけで、様々なバンプＢを有するＩＣチップＴを好適に保持することができる。
【００６４】
尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、供給側チェンジキット３１の供給用ポケット３２の底面には吸着穴３３を１つ設けた。しかし、これに限らず、図６（ａ）に示すように、供給側チェンジキット４１の様に、供給用ポケット３２の底面には、複数の吸着穴３３を設けてもよい。そうすれば、ＩＣチップＴを供給用ポケット３２の底面に、より安定して、より強力に保持することができる。ＩＣチップＴを供給用ポケット３２の底面により安定かつ強力に保持できれば、供給用ポケット３２をより大きなＩＣチップＴに対応させることができて、供給側チェンジキット４１の汎用性をさらに高めることができる。
【００６５】
この場合において、小さいＩＣチップＴを取り扱う場合には、図６（ｂ）に示すような、調整手段としてのアダプタプレート４２を用いるとよい。アダプタプレート４２は、板状の部材からなり、供給用ポケット３２に嵌合可能な大きさで、中央部に所定の大きさが切り抜かれて形成されている。アダプタプレート４２を、図６（ｃ）に示すように、供給用ポケット３２に嵌合させて、小さいＩＣチップＴの保持には不要となる吸着穴３３を塞ぐことにより、供給側チェンジキット４１でも小さなＩＣチップＴも好適に取り扱うことができる。
【００６６】
・上記実施形態では、ＩＣチップＴを吸着穴３３に供給される負圧によって各ポケット３２の底面に吸着した。しかし、これに限らず、吸着穴３３の真空度に基づいて、図示しない検出装置によって、各ポケット３２にＩＣチップＴが適正に載置されているか否かを検出するとなおよい。そうすれば、各ポケット３２にＩＣチップＴが適正に載置されていない場合は、各シャトル１６，１７を停止させて、修正させることができる。
【００６７】
・上記実施形態では、回収側チェンジキット３４の回収用ポケット３５の底面にはディンプルプレート３６を設けた。しかし、図７（ａ）に示すように、回収側チェンジキット４３の回収用ポケット３５の底面に、図示しない回収シャトル用切替えバルブを介して吸引装置と接続された吸着穴４４を設ける。そして、図７（ｂ）に示すように、該吸着穴４４に対応する穴４５ａをディンプルプレート４５に形成して、図７（ｃ）に示すように、回収用ポケット３５の底面に嵌合してもよい。
【００６８】
回収用ポケット３５に載置されたＩＣチップＴを穴４５ａにて吸着固定することで、よりＩＣチップＴを安定して保持できる。さらに、穴４５ａの真空度を調べることで、ＩＣチップＴのバンプＢがディンプルプレート４５のディンプル４５ｄに嵌合しているか否か、又は、ＩＣチップＴの有無を検出することができる。その結果、バンプＢがディンプル４５ｄに嵌合していないＩＣチップＴが、回収側チェンジキット４３の移動にともなってずれるなどの不都合を事前に防止できて、回収側チェンジキット４３でのＩＣチップＴの搬送がより好適に行える。
【００６９】
・上記実施形態では、回収用ポケット３５にディンプルプレート３６を設けた。しかし、これに限らず、回収用ポケット３５に直接ディンプルを形成してもよい。
・上記実施形態では、ＩＣハンドラ１０に第１及び第２シャトル１６，１７を備えた。しかし、これに限らず、シャトルは、１台でも、２台よりも多くてもよい。
【００７０】
・上記実施形態では、シャトル１６，１７には供給側チェンジキット３１と回収側チェンジキット３４を備えた。しかし、これに限らず、ＩＣハンドラ１０に好適であれば第１及び第２シャトル１６，１７上に配置するチェンジキットはどのような組み合わせはでもよい。
【００７１】
又、チェンジキットは１つでも、２つより多くてもよい。この場合は、チェンジキットには、供給側チェンジキット３１、又は、回収側チェンジキット３４等のうち、好適なチェンジキットを用いればよい。
【００７２】
・上記実施形態では、カメラ３７を第１及び第２シャトル１６，１７に備えた。しかし、これに限らず、測定ロボット２２に把持されたＩＣチップＴが撮影できればＩＣを撮影するカメラは、どこにあっても良い。例えば、測定ロボット２２に備えて良いし、ベース１１上に備えても良い。カメラが測定ロボット２２に備えられた場合は、ＩＣチップＴを把持した後にＩＣチップＴが撮影できる。また、カメラをベース１１上に備えた場合には、測定ロボット２２は、ＩＣチップＴの搬送途中にカメラの位置まで移動してＩＣチップＴ撮影できる。
【００７３】
・上記実施形態では、カメラ３７は測定ロボット２２に把持されたすべてのＩＣチップＴを一度に撮影できた。しかしこれに限らず、カメラ３７は一度に一部のＩＣチップＴ、例えばひとつのＩＣチップＴを撮影しても良い。その場合は、ＩＣチップＴがＸ方向に複数ある場合は、第１又は第２シャトル１６，１７を移動して、Ｙ方向に複数ある場合は測定ロボット２２を移動して、順次、カメラ３７をＩＣチップＴの下方に位置させ撮影するとよい。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】本実施形態のＩＣハンドラの平面図。
【図２】（ａ）は本実施形態のシャトルの平面図、（ｂ）は本実施形態のシャトルの側面図。
【図３】本実施形態の供給側チェンジキットの斜視図。
【図４】（ａ）は本実施形態のディンプルプレートが嵌合した回収側チェンジキットの斜視図、（ｂ）は本実施形態のディンプルプレートの斜視図、（ｃ）はバンプとディンプルが嵌合した部分断面図。
【図５】（ａ）は本実施形態のシャトルの検査前移載位置を説明する説明図、（ｂ）は本実施形態のシャトルの検査後移載位置を説明する説明図。
【図６】（ａ）は別例における供給側チェンジキットの斜視図、（ｂ）はアダプタプレートの斜視図、（ｃ）はアダプタプレートが嵌合した供給側チェンジキットの斜視図。
【図７】（ａ）は別例における回収側チェンジキットの斜視図、（ｂ）はディンプルプレートの斜視図、（ｃ）はディンプルプレートが嵌合した回収側チェンジキットの斜視図。
【符号の説明】
【００７５】
Ｔ…ＩＣチップ、１０…ＩＣハンドラ、１１…ベース、１２…安全カバー、１３…高温チャンバ、１４…供給ロボット、１５…回収ロボット、１６…第１シャトル、１７…第２シャトル、１８…トレイ、２０…供給側ロボットハンドユニット、２１…回収側ロボットハンドユニット、２２…測定ロボット、２３…検査用ソケット、２４…吸着ノズル、３０…レール、３１…供給側チェンジキット、３２…供給用ポケット、３３…吸着穴、３４…回収側チェンジキット、３５…回収用ポケット、３６…ディンプルプレート、３６ｄ…ディンプル、３７…カメラ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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