(57)【要約】【課題】スムーズにワークを受け渡すことができる装置を提供する。【解決手段】第１の保持手段２１は、ワーク１０の第１の面１０ａの周辺に接し、ワーク１０を吸着保持可能な第１の吸着パッド２１ａを含む。第２の保持手段２２は、ワーク１０の第２の面１０ｂの周辺に接し、ワーク１０を吸着保持可能な第２の吸着パッド２２ａを含む。移動手段は、ワーク１０を第１の吸着パッド２１ａと第２の吸着パッド２２ａとにより挟んだ状態を介して、第１の保持手段２１から第２の保持手段２２にワーク１０を受け渡すために、第１の保持手段２１および第２の保持手段２２を移動させる。ピン２４は、第１の吸着パッド２１ａに対して突没可能である。ピン２４は、ワーク１０を第１の吸着パッド２１ａと第２の吸着パッド２２ａとにより挟んだときに突出させて、第１の吸着パッド２１ａとワーク１０の第１の面１０ａとの間に強制的に隙間を形成する。【選択図】図１
2008058699.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを保持するための装置であって、
平板状またはフィルム状のワークの第１の面の周辺の少なくとも一部に接し、前記ワークを吸着保持可能な第１の吸着パッドを含む第１の保持手段と、
前記ワークの前記第１の面とは反対側の第２の面の周辺の少なくとも一部に接し、前記ワークを吸着保持可能な第２の吸着パッドを含む第２の保持手段と、
前記ワークを前記第１の吸着パッドと前記第２の吸着パッドとにより挟む状態を介して、前記第１の保持手段から前記第２の保持手段に前記ワークを受け渡すために、前記第１の保持手段および／または前記第２の保持手段を移動させる移動手段と、
前記第１の吸着パッドに対して突没可能なピンであって、前記ワークを前記第１の吸着パッドと前記第２の吸着パッドとにより挟んだときに、突出させて、前記第１の吸着パッドと前記ワークの前記第１の面との間に強制的に隙間を形成するためのピンとを有する、装置。
【請求項２】
請求項１において、前記移動手段は、前記ワークが立った状態で、前記第１の吸着パッドおよび前記第２の吸着パッドを互いに向き合わせて、前記ワークの受け渡しを行う、装置。
【請求項３】
請求項１において、前記第１の吸着パッドおよび前記第２の吸着パッドは、それぞれの吸着パッド内を負圧にすることにより前記ワークを吸着する、装置。
【請求項４】
請求項１において、前記第１の保持手段および前記第２の保持手段は、それぞれ、前記ワークを受け渡すために前記第１の吸着パッドおよび前記第２の吸着パッドが互いに向き合う第１のポジションと、前記第１の吸着パッドおよび前記第２の吸着パッドが向き合わない第２のポジションとの間を回動するための手段をさらに有する、装置。
【請求項５】
請求項４において、前記第２のポジションでは、前記第１の吸着パッドおよび前記第２の吸着パッドが同一方向を向く、装置。
【請求項６】
請求項５に記載の装置と、
前記第２のポジションで、前記第１の保持手段により保持された状態の前記ワークの前記第２の面から前記第２の面の少なくとも一部を覆っていたフィルムを剥ぎ、前記第２の保持手段により保持された状態の前記ワークの前記第１の面から前記第１の面の少なくとも一部を覆っていたフィルムを剥ぐためのヘッドとを有する、システム。
【請求項７】
平板状またはフィルム状のワークの第１の面を保持可能な第１の保持手段から、前記ワークの前記第１の面とは反対側の第２の面を保持可能な第２の保持手段に、前記ワークを受け渡す方法であって、
当該方法は、
前記第１の保持手段が含む第１の吸着パッドであって、前記ワークの前記第１の面の周辺の少なくとも一部に接し、前記ワークを吸着保持可能な第１の吸着パッドに、前記ワークの前記第１の面を吸着させることと、
前記第２の保持手段が含む第２の吸着パッドであって、前記ワークの前記第２の面の周辺の少なくとも一部に接し、前記ワークを吸着保持可能な第２の吸着パッドと、前記第１の吸着パッドとを対面させた状態で、前記第２の吸着パッドと前記第１の吸着パッドとを近づけ、前記第２の吸着パッドに前記ワークの前記第２の面を吸着させることと、
前記第１の吸着パッドと前記ワークの前記第１の面との間の吸着を解除することと、
前記第１の吸着パッドに対して突没可能なピンを突出させて、前記第１の吸着パッドと前記ワークの前記第１の面との間に強制的に隙間を形成することとを含む、方法。
【請求項８】
平板状またはフィルム状のワークの第１の面を保持可能な第１の保持手段と、前記ワークの前記第１の面とは反対側の第２の面を保持可能な第２の保持手段とを有する装置の制御方法であって、
前記第１の保持手段は、前記ワークの前記第１の面の周辺の少なくとも一部に接し、前記ワークを吸着保持可能な第１の吸着パッドを含み、
前記第２の保持手段は、前記ワークの前記第１の面とは反対側の前記第２の面の周辺の少なくとも一部に接し、前記ワークを吸着保持可能な第２の吸着パッドを含み、
前記装置は、さらに、前記第１の吸着パッドに対して突没可能なピンを有し、
当該制御方法は、
前記第１の吸着パッドにより前記ワークの前記第１の面を吸着保持することと、
前記第２の吸着パッドにより前記ワークの前記第２の面を吸着保持することと、
前記第１の吸着パッドによる吸着を解除することと、
前記ピンを突出させて、当該第１の吸着パッドと前記ワークの前記第１の面との間に強制的に隙間を形成することとを含む、制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークを保持するための装置、およびその制御方法に関するものである。また、本発明は、ワークを保持するための装置であって、平板状またはフィルム状のワーク（例えば位相差フィルムや偏光フィルム）の両面に貼着されたフィルム（例えば保護フィルム）を、そのワークから剥がすためのシステムに好適に用いることができる装置、およびその制御方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ用のガラス板には、一般に、位相差フィルム（位相差板）と偏光フィルム（偏光板）とが貼り付けられている。位相差フィルムや偏光フィルムなどのワークの表面には、接着剤層を介して、薄い保護フィルムが貼着されている。位相差フィルムや偏光フィルムなどのワークの表面から保護フィルムを剥ぎ取る作業を手作業で行おうとすると、多大な手数と時間を要する。特許文献１および２には、保護フィルムをワークから剥ぎ取る作業を、人手を用いずに、自動的に行うための装置が開示されている。
【特許文献１】特開２０００−９４５２７号公報
【特許文献２】特開２００５−３０５７８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、平板状あるいはフィルム状のワークには、その両面に、薄い保護フィルムなどのフィルムが貼り付けられているものがあり、ワークの両面から、それぞれフィルムを剥ぎ取りたい場合がある。
【０００４】
しかしながら、ワークの片面からフィルムを剥がすための装置を用いて、ワークの両面からフィルムを剥がす場合には、例えば、ワークをストッカーから受け取り、ワークの一方の面（第１の面）を保持した状態で他方の面（第２の面）に貼り付けられたフィルムを剥がし、ワークをストッカーに戻し、作業員がストッカーを反転させるなどの方法によりワークを反転させ、その後、上記と同様に、ワークをストッカーから受け取り、ワークの他方の面（第２の面）を保持した状態で一方の面（第１の面）に貼り付けられたフィルムを剥がし、ワークをストッカーに戻すといった作業が必要である。この作業は、工程数が多く、面倒であり、さらに自動化が難しい。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一態様は、ワークを保持するための装置である。この装置は、第１の保持手段と、第２の保持手段と、移動手段と、ピンとを有する。第１の保持手段は、平板状またはフィルム状のワークの第１の面の周辺の少なくとも一部に接し、ワークを吸着保持可能な第１の吸着パッドを含む。第２の保持手段は、ワークの第１の面とは反対側の第２の面の周辺の少なくとも一部に接し、ワークを吸着保持可能な第２の吸着パッドを含む。移動手段は、ワークを第１の吸着パッドと第２の吸着パッドとにより挟む状態を介して、第１の保持手段から第２の保持手段にワークを受け渡すために、第１の保持手段および／または第２の保持手段を移動させる。ピンは、第１の吸着パッドに対して突没可能である。このピンは、ワークを第１の吸着パッドと第２の吸着パッドとにより挟んだときに、突出させて、第１の吸着パッドとワークの第１の面との間に強制的に隙間を形成するためのものである。
【０００６】
この装置によれば、第１の保持手段の第１の吸着パッドにより、ワークの第１の面の周辺の少なくとも一部を保持させているときは、ワークの第２の面を外方に露出させることができる。その後、第１の保持手段から第２の保持手段にワークを受け渡し、第２の保持手段の第２の吸着パッドにより、ワークの第２の面の周辺の少なくとも一部を保持させているときは、ワークの第１の面を外方に露出させることができる。
【０００７】
また、第１の吸着パッドにより、ワークを吸着させると、静電気や表面エネルギーなどにより、ワークが第１の吸着パッドからはがれ難くなることがある。この装置によれば、第１の保持手段から第２の保持手段にワークを受け渡すために、ワークを第１の吸着パッドと第２の吸着パッドとにより挟んだときに、第１の吸着パッドに対して突没可能なピンを突出させて、第１の吸着パッドとワークの第１の面との間に強制的に隙間を形成するようになっている。したがって、第１の保持手段から第２の保持手段に、ワークをスムーズに受け渡すことができる。また、第１の吸着パッドとワークの第１の面との間に強制的に隙間を形成するためのピンの配置や数などは適宜選択できる。
【０００８】
この装置では、ワークが寝ている状態または伏せている状態（ワークの表面が実質的に水平方向と平行な状態）で、第１のパッドおよび第２のパッドを互いに向き合わせて、ワークの受け渡しを行っても良い。また、ワークが立った状態（ワークの表面が実質的に鉛直方向と平行な状態）で、第１の吸着パッドおよび第２の吸着パッドを互いに向き合わせて、ワークの受け渡しを行ってもよい。ワークが立った状態で、ワークの受け渡しを行う場合、ワークの表面が鉛直方向と平行な方向あるいはこれに近い状態で保持されるため、ワークの表面への処理が行いやすい場合がある。
【０００９】
この装置において、第１の吸着パッドおよび第２の吸着パッドによるワークの吸着は、粘着であってもよいが、この場合、必要に応じて粘着を解除するといったことが難しい。また、第１の吸着パッドおよび第２の吸着パッドによるワークの吸着は、静電チャックのように静電気を用いたものであっても良いが、ワークが電気的な影響を嫌うものであるような場合にはあまり適当ではない。したがって、第１の吸着パッドおよび第２の吸着パッドによるワークの吸着は、吸引吸着を用いたものであることが好ましい。すなわち、第１の吸着パッドおよび第２の吸着パッドとしては、それぞれの吸着パッド内を負圧にすることによりワークを吸着するものを用いることが好ましい。
【００１０】
この装置において、第１の保持手段および第２の保持手段は、それぞれ、ワークを受け渡すために第１の吸着パッドおよび第２の吸着パッドが互いに向き合う第１のポジションと、第１の吸着パッドおよび第２の吸着パッドが向き合わない第２のポジションとの間を回動するための手段をさらに有することが好ましい。このようにすることにより、第１のポジションでワークを受け渡し、第２のポジションでワークの表面を処理することができる。
【００１１】
また、この装置において、第２のポジションでは、第１の吸着パッドおよび第２の吸着パッドが同一方向を向くことが好ましい。このようにすることにより、１つの部材または機材でワークの両面を処理することができる。例えば、この装置と、ワークからフィルムを剥がすことが可能な１つのヘッドとを有するシステムの場合、第２のポジションにおいて、第１の吸着パッドおよび第２の吸着パッドがヘッドの方向を向いていれば、第２のポジションで、第１の保持手段により保持された状態のワークの第２の面から、この第２の面の少なくとも一部を覆うフィルムを剥ぐとともに、第２の保持手段により保持された状態のワークの第１の面から、この第１の面の少なくとも一部を覆うフィルムを剥ぐことができる。
【００１２】
したがって、本発明の他の形態は、ワークの表面への処理が、ワークの表面からフィルムを剥がす処理であるシステムである。このシステムは、上述した装置と、第２のポジションで、第１の保持手段により保持された状態のワークの第２の面からフィルムを剥ぎ、第２の保持手段により保持された状態のワークの第１の面からフィルムを剥ぐためのヘッドとを有している。
【００１３】
また、このシステムによれば、ワークを保持する装置は、ワークが立った状態で、第１の吸着パッドおよび第２の吸着パッドを互いに向き合わせて、ワークの受け渡しを行うものであることが好ましい。ワークを立った状態として、このワークからフィルムを剥がす場合、剥がしたフィルムは自重により鉛直方向に垂れ下がり、ワークの表面から自然に分離されやすい。このため、ワークを寝かせた状態で、このワークからフィルムを剥がす場合と比べ、ワークと剥がされたフィルムとを再干渉し難くすることができる。
【００１４】
本発明の他の態様は、平板状またはフィルム状（膜状）のワークの第１の面を保持可能な第１の保持手段から、ワークの第１の面とは反対側の第２の面を保持可能な第２の保持手段に、ワークを受け渡す方法である。この方法は、以下の工程を含む。
（ａ１）第１の保持手段が含む、ワークの第１の面の周辺の少なくとも一部に接し、ワークを吸着保持可能な第１の吸着パッドに、ワークの第１の面を吸着させる工程。
（ａ２）第２の保持手段が含む、ワークの第２の面の周辺の少なくとも一部に接し、ワークを吸着保持可能な第２の吸着パッドと、第１の吸着パッドとを対面させた状態で、第２の吸着パッドと第１の吸着パッドとを近づけ、第２の吸着パッドにワークの第２の面を吸着させる工程。
（ａ３）第１の吸着パッドとワークの第１の面との間の吸着を解除する工程。
（ａ４）第１の吸着パッドに対して突没可能なピンを突出させて、第１の吸着パッドとワークの第１の面との間に強制的に隙間を形成する工程。
【００１５】
本発明のさらに他の態様は、平板状またはフィルム状のワークの第１の面を保持可能な第１の保持手段と、ワークの第１の面とは反対側の第２の面を保持可能な第２の保持手段とを有する装置の制御方法である。第１の保持手段は、ワークの第１の面の周辺の少なくとも一部に接し、ワークを吸着保持可能な第１の吸着パッドを含む。第２の保持手段は、ワークの第１の面とは反対側の第２の面の周辺の少なくとも一部に接し、ワークを吸着保持可能な第２の吸着パッドを含む。装置は、さらに、第１の吸着パッドに対して突没可能なピンを有する。
【００１６】
当該制御方法は、以下の工程を有する。
（ｂ１）第１の吸着パッドによりワークの第１の面を吸着保持する工程。
（ｂ２）第２の吸着パッドによりワークの第２の面を吸着保持する工程。
（ｂ３）第１の吸着パッドによる吸着を解除する工程。
（ｂ４）ピンを突出させて、第１の吸着パッドとワークの第１の面との間に強制的に隙間を形成する工程。
【００１７】
これらの方法によれば、第１の保持手段から第２の保持手段にスムーズにワークを受け渡すことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下に、図面を参照して本発明の一実施形態について詳しく説明する。図１は、本発明の一実施形態に係るワーク保持装置を備えるフィルム剥離システムの一例の概略構成を示している。図１では、フィルム剥離システムを上方から見ている。このフィルム剥離システム（フィルム剥離装置）はワーク保持装置を備え、このワーク保持装置により、外形矩形状の平板状またはフィルム状（膜状）のワークであって、両面に保護フィルムが貼り付けられたワークを保持する。
【００１９】
このフィルム剥離システム１は、ワーク１０を保持するワーク保持装置２と、ワーク１０の両面１０ａおよび１０ｂからフィルム１１ａおよび１１ｂを剥がすためのヘッド３と、ヘッド３を移動させるためのヘッド移動装置４と、これらの動作を制御する制御部５とを備えている。フィルム剥離システム１は、搬入および／または搬出されるワーク１０をストックするためのストッカー（不図示）から、ワーク保持装置２によりワーク１０を取り出して、ヘッド３によりワーク１０の両面１０ａおよび１０ｂの保護フィルム１１ａおよび１１ｂを自動的に剥がすことができる。
【００２０】
ワーク保持装置２は、第１の吸着パッド２１ａを含む第１の保持手段２１と、第２の吸着パッド２２ａを含む第２の保持手段２２と、第１の保持手段２１および第２の保持手段２２を移動させる移動手段２３とを有する。第１の保持手段２１および第２の保持手段２２は、第１の吸着パッド２１ａおよび第２の吸着パッド２２ａに対してそれぞれ突没可能なピン２４を有している。
【００２１】
このワーク保持装置２は、ワーク１０が立った状態で、第１の吸着パッド２１ａと第２の吸着パッド２２ａとを互いに向き合わせて、ワーク１０の受け渡しを行うワーク受け渡し機能と、ワーク１０から保護フィルム１１ａおよび１１ｂを剥がす際に、ワーク１０を保持するワーク保持機能とを兼ね備えている。
【００２２】
第１の保持手段２１は、ワーク１０を受け渡すために第１の吸着パッド２１ａおよび第２の吸着パッド２２ａが互いに向き合う第１の起立ポジションと、第１の吸着パッド２１ａおよび第２の吸着パッド２２ａが向き合わない第２の起立ポジションとの間で、第１の保持手段２１を略９０°回動させるための第１の回動装置２６を備えている。また、第１の保持手段２１は、第１の起立ポジションまたは第２の起立ポジションと、水平なテーブルを備えるストッカーからワーク１０をピックアップするための倒伏ポジションとの間で、第１の保持手段２１を略９０°回動するための第２の回動装置２７を備えている。
【００２３】
同様に、第２の保持手段２２は、ワーク１０を受け渡すために第１の吸着パッド２１ａおよび第２の吸着パッド２２ａが互いに向き合う第１の起立ポジションと、第１の吸着パッド２１ａおよび第２の吸着パッド２２ａが向き合わない第２の起立ポジションとの間で、第２の保持手段２２を略９０°回動させるための第３の回動装置２８を備えている。また、第２の保持手段２２は、第１の起立ポジションまたは第２の起立ポジションと、水平なテーブルを備えるストッカーにワーク１０をリリースするための倒伏ポジションとの間で、第２の保持手段２２を略９０°回動させるための第４の回動装置２９を備えている。
【００２４】
このワーク保持装置２では、第１の保持手段２１および第２の保持手段２２は、第２の起立ポジションにおいて、第１の吸着パッド２１ａおよび第２の吸着パッド２２ａがそれぞれ同一方向、具体的には、ヘッド３の方向を向くようになっている。
【００２５】
図２（ａ）および（ｂ）は、第１の吸着パッド２１ａを示している。第１の吸着パッド２１ａは、平板状またはフィルム状のワーク１０の第１の面１０ａの周辺に接し、ワーク１０を吸着保持する。具体的には、第１の吸着パッド２１ａは、その周縁に沿って、複数の吸引口３０を備えている。バキュームポンプなどの負圧を発生させる機構を駆動させ、接続部材（接続金具）３１を介して、この吸引口３０から空気を吸込むことにより、吸着パッド２１ａ内を負圧にして、ワーク１０を吸着するようになっている。
【００２６】
第２の吸着パッド２２ａも、第１の吸着パッド２１ａと同様に構成されている。すなわち、第２の吸着パッド２２ａは、平板状またはフィルム状のワーク１０の第２の面１０ｂの周辺に接し、ワーク１０を吸着保持する。具体的には、第２の吸着パッド２２ａもまた、その周縁に沿って、複数の吸引口３０を備えており、この吸引口３０から空気を吸込むことにより、吸着パッド内を負圧にして、ワーク１０を吸着するようになっている。
【００２７】
第１の保持手段２１には、複数のピン２４が、第１の吸着パッド２１ａの周辺に、あるいは吸着パッド２１ａに沿って、所定の間隔で設けられている。各ピン２４は、シリンダ２４ａの動作にともなって、第１の吸着パッド２１ａに対して突没可能である。これらのピン２４は、第１の保持手段２１からワーク１０をリリースする必要が生じたときに用いられるものである。これらのピン２４は、例えば、ワーク１０を第１の吸着パッド２１ａと第２の吸着パッド２２ａとにより挟んだ状態を介して、第１の吸着パッド２１ａから第２の吸着パッド２２ａにワーク１０を受け渡すときに用いることができる。これらのピン２４は、第１の保持手段２１に保持されたワーク１０をウエハストッカのテーブルに戻すときなどに用いてもよい。すなわち、ピン２４を突出させて、第１の吸着パッド２１ａとワーク１０の第１の面１０ａとの間に強制的に隙間を形成することにより、第１の吸着パッド２１ａにワーク１０が静電気や表面エネルギーなどにより貼り付いた状態となっていても、ワーク１０を第１の吸着パッド２１ａからスムーズにリリースすることができる。
【００２８】
第２の保持手段２２にも、複数のピン２４が、第２の吸着パッド２２ａの周辺に、あるいは吸着パッド２２ａに沿って、所定の間隔で設けられており、これら複数のピン２４は、第２の吸着パッド２２ａに対して突没可能である。これらのピン２４もまた、第２の保持手段２２からワーク１０をリリースする必要が生じたときに用いられるものである。これらのピン２４は、例えば、ワーク１０を第１の吸着パッド２１ａと第２の吸着パッド２２ａとにより挟んだ状態を介して、第２の吸着パッド２２ａから第１の吸着パッド２１ａにワーク１０を受け渡すときや、第２の保持手段２２に保持されたワーク１０をウエハストッカのテーブルに戻すときなどに用いることができる。すなわち、ピン２４を突出させて、第２の吸着パッド２２ａとワーク１０の第２の面１０ｂとの間に強制的に隙間を形成することにより、第２の吸着パッド２２ａにワーク１０が静電気や表面エネルギーなどにより貼り付いた状態となっていても、ワーク１０を第２の吸着パッド２２ａからスムーズにリリースすることができる。
【００２９】
第１の保持手段２１および第２の保持手段２２を移動させる移動手段２３は、ワーク１０を第１の吸着パッド２１ａと第２の吸着パッド２２ａとにより挟んで、第１の保持手段２１から第２の保持手段２２にワーク１０を受け渡すために、第１の保持手段２１および／または第２の保持手段２２を移動させる機能を含んでいる。本例では、移動手段２３は、第１の保持手段２１を移動させる第１の移動装置２３ａと、第２の保持手段２２を移動させる第２の移動装置２３ｂとを備えている。
【００３０】
ヘッド３は、第１の保持手段２１により保持された状態のワーク１０の第２の面１０ｂから第２の保護フィルム１１ｂを剥ぎ、第２の保持手段２２により保持された状態のワーク１０の第１の面１０ａから第１の保護フィルム１１ａを剥ぐためものである。ヘッド３としては、例えば、ワーク１０と保護フィルム１１ａおよび１１ｂとの粘着力よりも保護フィルム１１ａおよび１１ｂとの粘着力の高い粘着剤が表面に塗布された、ロール状に巻かれてなる粘着テープを備えたものなどを用いることができる。
【００３１】
制御部（コントローラ）５は、第１ないし第４の回動装置２６〜２９、第１および第２の移動装置２３ａおよび２３ｂ、ヘッド３およびヘッド移動装置４の動作を制御するようになっている。
【００３２】
図１、図３、図４、図５、図７および図８は、フィルム剥離システム１を用いた保護フィルム１１ａおよび１１ｂの剥離方法を示している。また、これらの図のうち、図３、図４、図５および図７は、第１の保持手段２１から第２の保持手段２２にワーク１０を受け渡す方法を示している。また、図１、図３、図４、図５、図７および図８は、システム１を上方から見た図である。図６は、図５中の一点鎖線で囲まれた領域（ピン２４の近傍）を拡大して示している。なお、図８は、第１の保持手段２１を省略して示している。これらの動きは、具体的には、制御部５のプログラムにより制御される。
【００３３】
まず、第２の回動装置２７により、第１の保持手段２１を倒伏ポジションとして、第１の吸着パッド２１ａを下方に向ける。そして、水平な状態でストッカーにストックされているワーク１０のうちの一番上のワーク１０の第１の面１０ａを、第１の吸着パッド２１ａに吸着させることによりピックアップする。次に、図１に示すように、第２の回動装置２７により、ワーク１０をピックアップするための倒伏ポジションから、第１の吸着パッド２１ａおよび第２の吸着パッド２２ａが向き合わない第２の起立ポジションとなるように、略９０°回動させる。そして、ヘッド３により、第１の保持手段２１により保持された状態のワーク１０の第２の面１０ｂから、その面１０ｂを覆っている第２の保護フィルム１１ｂを剥ぐ。なお、第１の保持手段２１は、倒伏ポジションから、第１の起立ポジションを介して、第２の起立ポジションに移動させるようにしてもよい。また、図１では、第１の保持手段２１に保持されたワーク１０から第２の保護フィルム１１ｂを剥ぐ間、第２の保持手段２２は、第１の起立ポジションにしてあるが、第２の保持手段２２は、倒伏ポジションや、第２の起立ポジションにしておいてもよい。
【００３４】
次に、図３に示すように、第１の回動装置２６により、第２の起立ポジションから、第１の起立ポジションに、第１の保持手段２１を略９０°回動させる。第２の起立ポジションでは、第１の吸着パッド２１ａおよび第２の吸着パッド２２ａが向き合わない。第１の起立ポジションでは、ワーク１０を受け渡すために第１の吸着パッド２１ａおよび第２の吸着パッド２２ａが互いに向き合う。第２の保持手段２２が、第２の起立ポジションまたは倒伏ポジションである場合、これと同時または前後して、第２の保持手段２２もまた、第３の回動装置２８および／または第４の回動装置２９により、倒伏ポジションあるいは第２の起立ポジションから、ワーク１０を受け渡すために第１の吸着パッド２１ａおよび第２の吸着パッド２２ａが互いに向き合う第１の起立ポジションに移動させる。
【００３５】
図４に示すように、第１および／または第２の移動装置２３ａおよび２３ｂにより、第１の吸着パッド２１ａと第２の吸着パッド２２ａとを近づけ、第２の吸着パッド２２ａにワーク１０の第２の面１０ｂを吸着させる。このとき、第１の吸着パッド２１ａと第２の吸着パッド２２ａとは相対的に位置を近づければよい。したがって、移動手段２３により、第１の保持手段２１および第２の保持手段２２の一方または双方を移動させればよい。そして、第２の吸着パッド２２ａにワーク１０の第２の面１０ｂを吸着させる。その後、第１の吸着パッド２１ａとワーク１０の第１の面１０ａとの間の吸着を解除する。
【００３６】
次に、図５および図６に示すように、第１の吸着パッド２１ａに対して突没可能なピン２４を突出させて、第１の吸着パッド２１ａとワーク１０の第１の面１０ａとの間に強制的に隙間を形成する。これにより、第１の保持手段２１から第２の保持手段２２に、ワーク１０がスムーズに受け渡される。ワーク１０をいったん吸着パッド２１ａに吸着させると、吸着パッド２１ａの吸着力を解除しても、静電気や表面エネルギーなどにより、ワーク１０が第１の吸着パッド２１ａからはがれ難くなることがあるが、ピン２４を突出させることにより解消できる。空気を噴出することにより吸着パッド２１ａからワーク１０を強制的に剥がすことも可能である。吸着パッドにより、吸着のために空気を吸い込む動作は、ワーク１０の表面などにゴミ、塵などの異物があってもそれらを吸い込むので、ワーク１０の表面に何らかの影響を与えることは少ない。これに対し、空気を噴出することは、吸着パッドに吸い込まれたゴミなどの異物を吹出したり、ワーク１０の表面の異物を散逸させたりするためにワーク１０の表面に影響を与える可能性がある。ピン２４を機械的に突出させる動作は、異物を拡散するような影響をもたらさない。したがって、このシステム１は、保護フィルムにより表面が保護されているような、表面の状態が重要なワーク１０を取り扱うのに適している。
【００３７】
第１の保持手段２１から第２の保持手段２２に、ワーク１０が受け渡されたら、図７に示すように、第１の保持手段２１と第２の保持手段２２とを離間させる。このときもまた、第１の吸着パッド２１ａと第２の吸着パッド２２ａとの相対位置が離れればよく、したがって、第１および／または第２の移動装置２３ａおよび２３ｂにより、第１の保持手段２１および／または第２の保持手段２２を移動させればよい。
【００３８】
さらに、第３の回動装置２８により、第１の吸着パッド２１ａおよび第２の吸着パッド２２ａが互いに向き合う第１の起立ポジションから、第１の吸着パッド２１ａおよび第２の吸着パッド２２ａが向き合わない第２の起立ポジションに、第２の保持手段２２を略９０°回動させる。そして、図８に示すように、ヘッド３により、第２の保持手段２２により保持された状態のワーク１０の第１の面１０ａから、第１の面１０ａを覆っている第１の保護フィルム１１ａを剥ぐ。その後、第４の回動装置２９により、第１の吸着パッド２１ａおよび第２の吸着パッド２２ａが向き合わない第２の起立ポジションから、第２の保持手段２２を略９０°回動させる。そして、倒伏ポジションのワーク１０をストッカーにリリースする。なお、第２の保持手段２２は、第２の起立ポジションから、第１の起立ポジションを介して、倒伏ポジションに移動されるようにしてもよい。
【００３９】
図９に、フィルム剥離システム１およびワーク保持装置２の制御方法を説明するためのフローチャートを示している。ステップ１０１において、第１の保持手段２１により、ワーク１０の第１の面１０ａを吸着保持させ、ストッカーからワーク１０をピックアップする。第１の保持手段２１を倒伏ポジションから第２の起立ポジションに移動させる。ステップ１０２において、ヘッド３により、第２の面１０ｂから第２の保護フィルム１１ｂを剥がす。さらに、第１の保持手段２１の位置を第２の起立ポジションから第１の起立ポジションに変えて、ステップ１０３において、第１の保持手段２１および第２の保持手段２２の少なくとも一方を動かして第１の保持手段２１および第２の保持手段２２によりワーク１０を挟んだ後、第２の保持手段２２により、ワーク１０の第２の面１０ｂを吸着保持させる。
【００４０】
ステップ１０４において、第１の保持手段２１によるワーク１０の吸着保持を解除する。ステップ１０５において、ピン２４を突出させ、第１の吸着パッド２１ａとワーク１０の第１の面１０ａとの間に強制的に隙間を形成する。これにより、ワーク１０は、第１の保持手段２１から第２の保持手段２２に受け渡される。さらに、第２の保持手段２２の位置を第１の起立ポジションから第２の起立ポジションに変えて、ステップ１０６において、ヘッド３により、第１の面１０ａから第１の保護フィルム１１ａを剥がす。第２の保持手段２２を第２の起立ポジションから倒伏ポジションに移動させる。ステップ１０７において、第２の保持手段２２からワーク１０をストッカーにリリースする。
【００４１】
以上のように、本例のワーク保持装置２によれば、起立ポジションにおいて、第１の保持手段２１から第２の保持手段２２にスムーズにワーク１０を受け渡すことができる。したがって、このワーク保持装置２を備えるフィルム剥離装置によれば、人手をかけることなく、しかも、少ない工程数で、ワーク１０の両面１０ａおよび１０ｂからそれぞれ保護フィルム１１ａおよび１１ｂを剥がすことができる。
【００４２】
なお、本例では、移動手段２３は、第１の保持手段２１および第２の保持手段２２を移動させるものを用いているが、移動手段２３は、第１の保持手段２１および第２の保持手段２２のうちの少なくとも一方を移動させるものであればよい。
【００４３】
本発明のワークを保持するための装置は、ワークの両面から保護フィルムを剥ぎ取るためのシステムに限らず、ワークの両面に処理を施すような装置に広く用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】ワーク保持装置を備えるフィルム剥離システムの一例の概略構成を示す上面図。
【図２】ワーク保持装置が備える第１の吸着パッドを示す図であって、（ａ）は正面図、（ｂ）は断面図。
【図３】ワークを受け渡す方法の第１の過程を説明する図。
【図４】ワークを受け渡す方法の第２の過程を説明する図。
【図５】ワークを受け渡す方法の第３の過程を説明する図。
【図６】図５中の一点鎖線で囲まれた領域を拡大して示す図。
【図７】ワークを受け渡す方法の第４の過程を説明する図。
【図８】ワークから保護フィルムを剥がしている状態を示す図。
【図９】ワーク保持装置の制御方法を説明するためのフローチャート。
【符号の説明】
【００４５】
１    フィルム剥離システム、  ２    ワーク保持装置
３    ヘッド、  １０    ワーク
１０ａ    第１の面、  １０ｂ    第２の面
１１ａ、１１ｂ    保護フィルム（フィルム）
２１    第１の保持手段、  ２１ａ    第１の吸着パッド
２２    第２の保持手段、  ２２ａ    第２の吸着パッド
２３    移動手段、  ２４    ピン
２６、２８    回動装置（回動するための手段）
【図１】
2008058699.tif 000003
【図２】
2008058699.tif 000004
【図３】
2008058699.tif 000005
【図４】
2008058699.tif 000006
【図５】
2008058699.tif 000007
【図６】
2008058699.tif 000008
【図７】
2008058699.tif 000009
【図８】
2008058699.tif 000010
【図９】
2008058699.tif 000011