(57)【要約】【課題】  ユーザが、テスト端子番号やテスト端子名と同時に、そのテスト端子の属性情報を視覚的かつ感覚的に把握し、作業効率を向上させることが可能となる。【解決手段】  被試験デバイス１４０の電気的試験を行うデバイス試験装置１００に接続され、該デバイス試験装置の設定状態を表示する本発明の設定状態表示装置２００は、モニタ２０２と、デバイス試験装置で生成され、デバイス試験装置のテスト端子３００それぞれに被試験デバイスの試験パラメータを対応付けたデバイスプログラムからテスト端子の属性情報を取得する属性取得部３５０と、テスト端子の属性情報を該テスト端子に関連づけてモニタに表示する属性表示部３５２と、を備える。【選択図】    図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験デバイスの電気的試験を行うデバイス試験装置と、該デバイス試験装置の設定状態を表示する設定状態表示装置とからなるデバイス試験システムであって、
前記デバイス試験装置は、
前記被試験デバイスのデバイス端子に電気的に接続される複数のテスト端子と、
前記テスト端子それぞれに前記被試験デバイスの試験パラメータを対応付けたデバイスプログラムを生成する対応生成部と、
前記デバイスプログラムに基づいて前記被試験デバイスの試験を遂行する試験遂行部と、
を備え、
前記設定状態表示装置は、
モニタと、
前記デバイスプログラムからテスト端子の属性情報を取得する属性取得部と、
前記テスト端子の属性情報を該テスト端子に関連づけて前記モニタに表示する属性表示部と、
を備えることを特徴とする、デバイス試験システム。
【請求項２】
被試験デバイスの電気的試験を行うデバイス試験装置に接続され、該デバイス試験装置の設定状態を表示する設定状態表示装置であって、
モニタと、
前記デバイス試験装置で生成され、デバイス試験装置のテスト端子それぞれに前記被試験デバイスの試験パラメータを対応付けたデバイスプログラムからテスト端子の属性情報を取得する属性取得部と、
前記テスト端子の属性情報を該テスト端子に関連づけて前記モニタに表示する属性表示部と、
を備えることを特徴とする、設定状態表示装置。
【請求項３】
前記属性表示部は、テスト端子番号とそのテスト端子名のほか、属性情報として、コモン設定情報、試験パラメータ相異情報、使用可否情報、端子数情報の群から選択される１また２以上の情報を表示することを特徴とする、請求項２に記載の設定状態表示装置。
【請求項４】
前記属性表示部は、前記属性情報を文字色または背景色として表現することを特徴とする、請求項２に記載の設定状態表示装置。
【請求項５】
被試験デバイスの電気的試験を行うデバイス試験装置の設定状態をモニタに表示する設定状態表示方法であって、
前記デバイス試験装置で生成され、該デバイス試験装置のテスト端子それぞれに前記被試験デバイスの試験パラメータを対応付けたデバイスプログラムからテスト端子の属性情報を取得し、
前記テスト端子の属性情報を該テスト端子に関連づけて前記モニタに表示することを特徴とする、設定状態表示方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被試験デバイスの設定状態を表示するデバイス試験システム、設定状態表示装置および設定状態表示方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、集積回路（ＩＣ：Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）の大容量化、高速化、小型化（高密度化）が進んでいる。かかる集積回路を有するデバイスでは、集積回路の高密度化に伴って、電気的機能試験も高速かつ複雑な工程が要求されている。
【０００３】
このような電気的機能試験を遂行するデバイス試験装置では、被試験デバイス（Ｄｅｖｉｃｅ  Ｕｎｄｅｒ  Ｔｅｓｔ：以下「ＤＵＴ」という。）、例えば、各種メモリデバイスに対して、動作マージン試験（電源電圧マージン、アクセスタイム等）が行われている。このデバイス試験において、各デバイスのフェイル数、例えば不良ビット数が計数され、その計数結果でメモリデバイスの良否が判定される。その後、かかるメモリデバイスのフェイル数が所定数より多ければ、そのメモリデバイスは不良品と判断されて試験は終了し、所定値より少なければ救済のリペア処理が行われる。
【０００４】
このような電気的機能試験は、メモリデバイスのリフレッシュ、フェイルビット抽出、フェイル数の計数といった手順が踏まれるが、このリフレッシュとフェイル数の計数を並列処理して試験時間を短縮可能な技術が開示されている（例えば、特許文献１）。
【０００５】
かかるデバイス試験装置は、複数のテスト端子（ＡＴＥ（Ａｕｔｏｍａｔｉｃ  Ｔｅｓｔ  Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ）端子ともいう。）を備え、そのテスト端子をＤＵＴのデバイス端子に接続してＤＵＴを試験する。かかるテスト端子とデバイス端子との対応関係は、デバイス試験装置におけるデバイス定義ファイルに定義され、そのデバイス端子に割り当てる試験パラメータ（例えば、５Ｖ印加等）は、テストプログラムに記述される。このテストプログラムがコンパイルされると、テスト端子にＤＵＴの試験パラメータを対応付けたデバイスプログラムが生成される。
【０００６】
また、デバイス試験装置の設定状態を表示する設定状態表示装置においては、デバイス試験装置のテスト端子番号とそのテスト端子名とを並置して表示し、ユーザが目視でテスト端子番号を確認することができる。ユーザは、かかるテスト端子の一覧から自動または手動で１または２以上のテスト端子を選択し、他のツールで利用する。
【特許文献１】特開２００４−３４８８９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、かかるテスト端子番号とそのテスト端子名のみの表示では、そのテスト端子の詳細な属性を把握することはできず、本来選択すべきではないテスト端子を選択してしまい、後の工程で不具合が生じる可能性がある。また、ユーザは、正確なテスト端子の属性を特定するため、デバイス試験装置に接続された別体の装置でＴｅｓｔｅｒ  Ｅｄｉｔｏｒ等を利用して、デバイス定義ファイルおよびテストプログラム、またはデバイスプログラムを参照しなければならないといった煩雑な処理を要していた。
【０００８】
本発明は、従来の設定状態表示装置が有する上記問題点に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、ユーザが、テスト端子番号やテスト端子名と同時に、そのテスト端子の属性情報を視覚的かつ感覚的に把握し、作業効率を向上させることが可能な、新規かつ改良されたデバイス試験システム、設定状態表示装置および設定状態表示方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明のある観点によれば、被試験デバイスの電気的試験を行うデバイス試験装置と、該デバイス試験装置の設定状態を表示する設定状態表示装置とからなるデバイス試験システムであって、デバイス試験装置は、被試験デバイスのデバイス端子に電気的に接続される複数のテスト端子と、テスト端子それぞれに被試験デバイスの試験パラメータを対応付けたデバイスプログラムを生成する対応生成部と、デバイスプログラムに基づいて被試験デバイスの試験を遂行する試験遂行部と、を備え、設定状態表示装置は、モニタと、デバイスプログラムからテスト端子の属性情報を取得する属性取得部と、テスト端子の属性情報を該テスト端子に関連づけてモニタに表示する属性表示部と、を備えることを特徴とする、デバイス試験システムが提供される。
【００１０】
テスト端子そのものの情報（テスト端子番号とそのテスト端子名）に加えてテスト端子の属性情報をモニタに一度に表示する上記の構成により、ユーザは、デバイスプログラム等を別体の装置で参照することなく、その充実したテスト端子の情報を視覚的、感覚的に把握することができ、また、テスト端子を容易かつ確実に選択することが可能となり、総合的な作業効率の向上を図ることができる。
【００１１】
上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、被試験デバイスの電気的試験を行うデバイス試験装置に接続され、該デバイス試験装置の設定状態を表示する設定状態表示装置であって、モニタと、デバイス試験装置で生成され、デバイス試験装置のテスト端子それぞれに被試験デバイスの試験パラメータを対応付けたデバイスプログラムからテスト端子の属性情報を取得する属性取得部と、テスト端子の属性情報を該テスト端子に関連づけてモニタに表示する属性表示部と、を備えることを特徴とする、設定状態表示装置が提供される。
【００１２】
属性表示部は、テスト端子番号とそのテスト端子名のほか、属性情報として、コモン設定情報、試験パラメータ相異情報、使用可否情報、端子数情報の群から選択される１また２以上の情報を表示するとしてもよい。
【００１３】
かかる構成により、ユーザは、より具体的なテスト端子の情報を得ることができ、煩わしい他の装置による参照作業を伴うことなく、設定状態表示装置のみでテスト端子の選択作業を行うことが可能となる。
【００１４】
属性表示部は、属性情報を文字色または背景色として表現するとしてもよい。
【００１５】
かかる構成により、ユーザは、テスト端子の属性を感覚的に把握することができ、また、テスト端子全体に占める特定の属性のテスト端子数や割合、もしくはその偏り等も感覚的に把握することが可能となる。
【００１６】
上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、被試験デバイスの電気的試験を行うデバイス試験装置の設定状態をモニタに表示する設定状態表示方法であって、デバイス試験装置で生成され、デバイス試験装置のテスト端子それぞれに被試験デバイスの試験パラメータを対応付けたデバイスプログラムからテスト端子の属性情報を取得し、テスト端子の属性情報を該テスト端子に関連づけてモニタに表示することを特徴とする、設定状態表示方法が提供される。
【００１７】
上述した設定状態表示装置同様、テスト端子そのものに加えてテスト端子の属性情報をモニタに一度に表示する上記の構成により、ユーザは、デバイスプログラム等を別体の装置で参照することなく、その充実したテスト端子の情報を視覚的、感覚的に把握することができ、また、テスト端子を容易かつ確実に選択することが可能となり、総合的な作業効率の向上を図ることができる。
【００１８】
上述した設定状態表示装置における従属項に対応する構成要素やその説明は、当該設定状態表示方法にも適用可能である。
【発明の効果】
【００１９】
以上説明したように本発明の設定状態表示装置は、テスト端子の属性情報を視覚的かつ感覚的にユーザに伝えることができ、総合的な作業効率の向上を図ることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
【００２１】
（デバイス試験システム）
図１は、本実施形態におけるデバイス試験システム全体の概略的な構成を示した機能ブロック図である。本実施形態におけるデバイス試験システムは、自己のテスト端子を通じてテスト信号を送信しＤＵＴを試験するデバイス試験装置１００と、このデバイス試験装置の設定状態、特にテスト端子に関する情報を表示する設定状態表示装置２００とを含んで構成される。
【００２２】
デバイス試験装置１００は、本体１１０と、テストヘッド１２０とを含んで構成される。当該テストヘッド１２０には、パフォーマンスボード１３０が載設され、パフォーマンスボード１３０上に被試験デバイスとしてのＤＵＴ１４０が配される。
【００２３】
上記本体１１０には、ユーザインターフェース１１２を介して設定された試験工程を遂行する試験遂行部が設けられている。
【００２４】
上記テストヘッド１２０には、試験機能を遂行するピンモジュールを１６個や３２個といった単位で備える中継カード（ＰＥ（Ｐｉｎ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ）カードともいう。）１２２が設けられ、その端部にはピンモジュール毎にテスト端子が設けられる。
【００２５】
上記パフォーマンスボード１３０は、テストヘッド１２０に嵌合可能、かつ、ＤＵＴ１４０を載設可能な構成となっており、複数のテスト端子とＤＵＴ１４０のデバイス端子とを電気的に接続する。
【００２６】
また、設定状態表示装置２００は、モニタ２０２を有する演算処理可能な装置であって、デバイス試験装置１００のテスト端子に関する情報がモニタ２０２に一覧表示され、ユーザは、目視でそのテスト端子のテスト端子番号を確認しつつ、そのテスト端子の一覧から自動または手動で１または２以上のテスト端子を選択する。ユーザは、他のツールを開いてこの選択されたテスト端子の出力信号推移や入力信号推移を観測したりすることができる。
【００２７】
図２は、本実施形態によるデバイス試験システムの概略的な機能を示すための機能ブロック図である。ここでは、デバイス試験装置１００で設定されたテスト端子の属性情報が設定状態表示装置２００に一覧表示される。
【００２８】
デバイス試験装置１００のテスト端子３００は、パフォーマンスボード１３０を介してＤＵＴ１４０のデバイス端子に電気的に接続される。
【００２９】
また、対応生成部３０２は、ＤＵＴ１４０のデバイス端子とテスト端子３００との対応を定義したデバイス定義ファイルと、デバイス端子の試験パラメータを定義したテストプログラムとを参照し、デバイス端子の試験パラメータをテスト端子３００に対応付けたデバイスプログラムを生成する。
【００３０】
上記デバイスプログラムによって、テスト端子３００に対する様々な情報が付加される。テスト端子３００の情報としては、例えば、テスト端子３００を特定するテスト端子番号とそのテスト端子名のほか、属性情報としての、コモン設定情報、試験パラメータ相異情報、使用可否情報、端子数情報等が挙げられる。また、属性情報は、上記に限定されず、テスト端子３００に対応付けられる様々な情報を属性情報とすることができる。
【００３１】
テスト端子番号は、テスト端子３００の物理的または論理的な番号を示し、１本のテスト端子３００に１本のテスト端子番号が割り当てられる。テスト端子名は、電圧、電流、タイミング値といった試験パラメータを表し、通常、同じ設定でグループ化されたテスト端子には同じテスト端子名が付与される。コモン設定情報は、コモン設定されているか（コモン）、通常の設定か（ノーマル）が表され、コモン設定されている場合には、さらにそのコモン設定に関するＤＵＴ１４０の数が幾つであるかを知ることができる。試験パラメータ相異情報は、グループ化されたテスト端子のうち特定のテスト端子に違う試験パラメータを設定した場合、試験パラメータが相違するテスト端子を含むことを表す。使用可否情報は、ユーザがそのテスト端子を選択することが可能かどうかを表す。端子数情報は、グループ化されたテスト端子内のテスト端子数を示し、複数のテスト端子を有するものには「複数端子」、一つのテスト端子のみ有するものには「単端子」が付与される。
【００３２】
かかる構成により、ユーザは、より具体的なテスト端子の情報を得ることができ、煩わしい他の装置による参照作業を伴うことなく、設定状態表示装置のみでテスト端子の選択作業を行うことが可能となる。
【００３３】
試験遂行部３０４は、このように対応付けられたテスト端子３００に、設定された試験パラメータ、例えば、定電圧を印加し、ＤＵＴ１４０の試験を遂行する。
【００３４】
設定状態表示装置２００の属性取得部３５０は、例えば、表示ツール制御プログラム（ＴＤＡ：Ｔｅｓｔｅｒ  Ｄａｔａ  Ａｃｃｅｓｓ）で構成され、対応生成部３０２で生成されたデバイスプログラムからテスト端子番号とそのテスト端子名のほかテスト端子３００の属性情報を取得する。かかる属性情報は、コモン設定情報、試験パラメータ相異情報、使用可否情報、端子数情報等が含まれる。
【００３５】
属性表示部３５２は、テスト端子３００の属性情報をテスト端子３００の識別情報に関連づけてモニタ２０２に表示する。属性表示部３５２は、テスト端子番号とそのテスト端子名のほか、上述した属性情報としての、コモン設定情報、試験パラメータ相異情報、使用可否情報、端子数情報の群から選択される１また２以上の情報を表示するとしてもよい。また、モニタ２０２の代わりにプリンタ等の画像出力装置に上記の情報を表示するとしてもよい。
【００３６】
かかる構成により、ユーザは、より具体的なテスト端子の情報を得ることができ、煩わしい他の装置による参照作業を伴うことなく、設定状態表示装置２００のみでテスト端子３００の選択作業を行うことが可能となる。
【００３７】
図３は、設定状態表示装置２００におけるテスト端子の表示例を示したＧＵＩ（Ｇｒａｐｈｉｃａｌ  Ｕｓｅｒ  Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）である。かかるＧＵＩでは、画面左にデバイス試験装置１００で定義されるテスト端子の一覧が表示され、その中から、他のツールで利用するテスト端子をユーザが使用目的に応じて自動もしくは手動で選択し、選択されたテスト端子は、画面右に移動する。また、ユーザは、かかるテスト端子の一覧表示以外にも新たにテスト端子を設定することも可能である。
【００３８】
ユーザは、画面左に示されたテスト端子一覧におけるテスト端子３００毎のテスト端子番号４００とそのテスト端子名４０２を参照し、さらにそのテスト端子に関する属性情報、ここでは、コモン設定情報４０４を参照してテスト端子３００の抽出を試みる。ここで「ＣＯＭＭＯＮ１」、「ＣＯＭＭＯＮ２」には、デバイス試験装置１００において複数のＤＵＴ１４０が試験される場合のＤＵＴ１４０の数が関連付けられている。例えば、２つのＤＵＴ１４０におけるコモン設定を「ＣＯＭＭＯＮ１」とし、４つのＤＵＴ１４０におけるコモン設定を「ＣＯＭＭＯＮ２」とすることができる。その他、例えば、８つのＤＵＴや１６個のＤＵＴを設定対象とすることもできる。
【００３９】
また、属性表示部３５２は、属性情報を文字色または背景色として表現するとしてもよい。かかる構成により、ユーザは、テスト端子の属性を感覚的に把握することができ、また、テスト端子全体に占める特定の属性のテスト端子数や割合、もしくはその偏り等も感覚的に把握することが可能となる。
【００４０】
図４は、設定状態表示装置２００におけるテスト端子の他の表示例を示したＧＵＩである。かかるＧＵＩでも、図３同様、画面左にテスト端子一覧が、画面右にユーザに選択されたテスト端子一覧が表示される。
【００４１】
ここでは、属性情報が文字色として示される。例えば、通常のテスト端子の文字色が黒色で示されている場合に、グループ化されたテスト端子のうち１または２以上のテスト端子に違う試験パラメータが設定されている場合、そのテスト端子５００は、文字色が赤色で表され、また、ユーザが利用できないテスト端子５０２は、灰色で表され、所謂「単端子」であるテスト端子５０４は黄色といった具合に、ユーザは、文字列を解読するまでもなく、文字色といった感覚的な表現でテスト端子の属性情報を把握することができる。ここでは、テスト端子の属性情報を数色で表しているが当然かかる場合に限られず、利用用途に応じて様々な文字色を属性情報に割り当てることができる。また、文字色ではなく、背景色に割り当ててもよく、文字色と背景色を併用して利用することも可能である。
【００４２】
上述したデバイス試験システムにおける、テスト端子そのものに加えてテスト端子の属性情報をモニタに一度に表示する上記の構成により、ユーザは、デバイスプログラム等を別体の装置で参照することなく、その充実したテスト端子の情報を視覚的、感覚的に把握することができ、また、テスト端子を容易かつ確実に選択することが可能となり、総合的な作業効率の向上を図ることができる。
【００４３】
（設定状態表示方法）
続いて、デバイス試験装置１００の設定状態をモニタに表示する設定状態表示方法を説明する。
【００４４】
図５は、設定状態表示方法の流れを示したフローチャートである。まず、設定状態表示装置２００は、自己の属性取得部３５０に、デバイス試験装置１００のテスト端子３００の属性情報取得を要求する（Ｓ６００）。
【００４５】
要求を受けた属性取得部３５０は、デバイス試験装置１００にテスト端子３００の属性情報取得を要求し（Ｓ６０２）、この要求に応じてデバイス試験装置１００は、自己のデバイスプログラムからテスト端子３００の属性情報を抽出し、設定状態表示装置２００に送信する（Ｓ６０４）。ここで、デバイス試験装置１００は、デバイスプログラムをそのまま設定状態表示装置２００に送信し、属性取得部３５０において属性情報が抽出されるとしてもよい。
【００４６】
そして、対象となる全テスト端子３００に対して順次属性情報を関連付け、モニタ２０２に表示する。詳細に述べると、テスト端子３００のテスト端子番号とそのテスト端子名をそのテスト端子３００の識別情報として、先ず、モニタ２０２に表示し（Ｓ６２０）、その横にコモン設定情報を並置する（Ｓ６２２）。そして、テスト端子３００の使用可否情報を参照してテスト端子３００が使用可能なのかどうか判断する（Ｓ６２４）。ここで使用不可と判断された場合、このテスト端子３００に関する表示欄の文字色を灰色で表す（Ｓ６２６）。このとき使用不可と判断されたテスト端子を選択できないようにグレーアウトしてもよい。
【００４７】
使用可能であれば、端子数情報が参照され、そのテスト端子３００が所謂「単端子」なのかどうか判断され（Ｓ６３０）、「単端子」であれば、前述したコモン設定情報が再度参照され（Ｓ６３２）、コモン設定されていれば、コモンに対応した色（例えば、緑色）で（Ｓ６３４）、そうでなければ、ノーマルに対応した色（例えば、水色）で（Ｓ６３６）表示される。
【００４８】
単端子判断（Ｓ６３０）で単端子ではないと判断された場合、試験パラメータ相異情報を参照し、そのテスト端子３００のグループ内のテスト端子が全て同一設定になっているかどうか判断され（Ｓ６４０）、同一設定になっていなければテスト端子３００を赤色で表し、試験パラメータが一部相違することを示す（Ｓ６４２）。同一と判断された場合、単端子と判断された場合と同様、コモン設定情報が参照される（Ｓ６３２）。
【００４９】
かかる方法により、設定状態表示装置２００同様、テスト端子そのものに加えてテスト端子の属性情報をモニタに一度に表示することができ、ユーザは、デバイスプログラム等を別体の装置で参照することなく、その充実したテスト端子の情報を視覚的、感覚的に把握することができ、また、テスト端子を容易かつ確実に選択することが可能となり、総合的な作業効率の向上を図ることができる。
【００５０】
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【００５１】
なお，本明細書の設定状態表示方法における各ブロックは，必ずしもブロック図として記載された順序に沿って時系列に処理する必要はなく，並列的あるいは個別に実行される処理も含むとしても良い。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本実施形態におけるデバイス試験システム全体の概略的な構成を示した機能ブロック図である。
【図２】本実施形態によるデバイス試験システムの概略的な機能を示すための機能ブロック図である。
【図３】設定状態表示装置におけるテスト端子の表示例を示したＧＵＩである。
【図４】設定状態表示装置におけるテスト端子の他の表示例を示したＧＵＩである。
【図５】設定状態表示方法の流れを示したフローチャートである。
【符号の説明】
【００５３】
１００  デバイス試験装置
２００  設定状態表示装置
２０２  モニタ
３００  テスト端子
３０２  対応生成部
３０４  試験遂行部
３５０  属性取得部
３５２  属性表示部
【図１】
2008057991.tif 000003
【図２】
2008057991.tif 000004
【図３】
2008057991.tif 000005
【図４】
2008057991.tif 000006
【図５】
2008057991.tif 000007