(57)【要約】【課題】ラーメモード振動片を支持するときの影響を軽減するとともに、小型化したラーメモード振動デバイスおよび電子部品用のパッケージを提供する。【解決手段】ラーメモード振動デバイス１０は、第１支持台２０と第２支持台３０をそれぞれ２つ有している。第１支持台２０は、上方に向けて傾斜した第１傾斜面２２を端部に備えている。この１傾斜面にマウント電極２４が設けてある。また第２支持台３０は、下方に向けて傾斜した第２傾斜面３２を端部に備えている。そしてマウント電極２４の上に導電性接着剤２８が塗布してあり、この導電性接着剤２８の上にラーメモード振動片１２を配設している。このときラーメモード振動片１２は、その下面において対角の位置にある角部が導電性接着剤２８と接合している。また第２支持台３０の第２傾斜面３２は、第１支持台２０とラーメモード振動片１２とが接合している角部とは異なる他の角部に接触している。【選択図】図１
2008205999.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マウント電極を端部に設けた第１支持台を２つ有し、
前記第１支持台の端部を互いに対向させて前記各第１支持台を配設し、
前記マウント電極に設けた導電性接着剤の上にラーメモード振動片の下面側の角部を配設して、前記ラーメモード振動片を第１支持台上に支持した、
ことを特徴とするラーメモード振動デバイス。
【請求項２】
前記第１支持台の端部には、上方に向けて傾斜した第１傾斜面を設け、前記第１傾斜面上に前記マウント電極を設けたことを特徴とする請求項１に記載のラーメモード振動デバイス。
【請求項３】
前記ラーメモード振動片の対角に位置する角部を前記導電性接着剤の上に配設し、
下方に向けて傾斜した第２傾斜面を端部に備えた第２支持台を設け、
前記導電性接着剤を用いて前記第１支持台と前記ラーメモード振動片とが接合している角部とは異なる他の角部に前記第２傾斜面を接触させた、
ことを特徴とする請求項２に記載のラーメモード振動デバイス。
【請求項４】
前記第２支持台を２つ有し、前記第２支持台の端部を互いに対向させて前記各第２支持台を配設し、この向かい合っている方向に対して前記各第２傾斜面をそれぞれ同じ横方向に向けて傾斜させてなることを特徴とする請求項３に記載のラーメモード振動デバイス。
【請求項５】
前記導電性接着剤は、前記ラーメモード振動片を形成する材料に比べて柔らかいことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のラーメモード振動デバイス。
【請求項６】
前記ラーメモード振動片に発振回路を接続したことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載のラーメモード振動デバイス。
【請求項７】
上方に向けて傾斜した第１傾斜面を端部に備え、前記第１傾斜面にマウント電極を設けた第１支持台を２つ有し、前記第１傾斜面を互いに対向させて前記各第１支持台をベース上に配設したことを特徴とする電子部品用のパッケージ。
【請求項８】
下方に向けて傾斜した第２傾斜面を端部に備えた第２支持台を前記ベース上に２つ設け、前記各第１支持台が向かい合っている方向に対して交差する方向に沿って前記各第２支持台を配置したことを特徴とする請求項７に記載の電子部品用のパッケージ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ラーメモード振動デバイスおよび電子部品用のパッケージに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ラーメモード振動片は、ラーメモードの輪郭振動をすると振動部が変位するが、振動部の四隅（角部）と中央は変位が零の箇所（節）となっている。このためラーメモード振動片の振動部を支える場合、図９に示すように、振動部１の角部に接続部３を設けるとともに、接続部３の端部に支持部２を設けることにより、振動部１を支えている。なお図９において点で示す位置が節になっている。
【０００３】
このようなラーメモード振動片について開示したものには非特許文献１がある。非特許文献１に開示された最低次ラーメモード水晶振動子は、正方形をした振動部と、この振動部において対角の位置にある角部にそれぞれ設けた支持部とを有しており、振動部と支持部を一体に形成している。また非特許文献１に開示された高次ラーメモード水晶振動子は、長方形をした振動部と、この振動部における各角部（四隅）にそれぞれ設けた支持部とを有している。
【非特許文献１】川島  宏文、他１名、“エッチング法によって形成されたラーメモード水晶振動子”、１９９５年５月１８日、ＥＭシンポジウム（図２，図３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前述したように、ラーメモード振動片では、節が振動部の各角部等にある。すなわち節は、振動部を平面視すると点で存在しており、振動部の角部では、この角部における厚さ方向の辺に沿って存在している。しかしながら従来のラーメモード振動片では、図９に示すように、接続部３が幅Ｅを持っているので、振動部１を点（辺）で支えることができなかった。この場合、振動部１が輪郭振動をすると、この輪郭振動にあわせて接続部３が屈曲振動をする。このため輪郭振動が接続部３を介して外部に伝わるので振動漏れが生じ、ラーメモード振動片の損失が悪くなったり、Ｑ値の劣化を招いてしまったりする。
【０００５】
また接続部３が幅Ｅを持って振動部１に接続したときの前述した影響を軽減するために、高次のラーメモード振動片を用いればよい。しかしながら高次のラーメモード振動片は平面サイズが大きくなるので、小型化することができない。
【０００６】
本発明は、ラーメモード振動片を支持するときの影響を軽減するとともに、小型化したラーメモード振動デバイスおよび電子部品用のパッケージを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るラーメモード振動デバイスは、マウント電極を端部に設けた第１支持台を２つ有し、第１支持台の端部を互いに対向させて各第１支持台を配設し、マウント電極に設けた導電性接着剤の上にラーメモード振動片の下面側の角部を配設して、ラーメモード振動片を第１支持台上に支持したことを特徴としている。
【０００８】
ラーメモード振動片では、ラーメモードの輪郭振動の節が角部等に位置している。本発明では、ラーメモード振動片の角部を支持しているので、導電性接着剤を介して第１支持台に輪郭振動が伝わるのを少なくすることができる。すなわちラーメモード振動片を支持するときの影響を軽減できるので、損失を小さくすることができ、Ｑ値を向上させること
ができる。これによりラーメモード振動片を小型にすることができる。なおラーメモード振動片は、その下面において対角の位置にある角部が導電性接着剤と点状に接合することができる。
【０００９】
また前述した第１支持台の端部には、上方に向けて傾斜した第１傾斜面を設け、第１傾斜面上にマウント電極を設けたことを特徴としている。すなわちラーメモード振動デバイスは、上方に向けて傾斜した第１傾斜面を端部に備え、前記第１傾斜面にマウント電極を設けた第１支持台を２つ有し、第１傾斜面を対向させて第１支持台を配置し、マウント電極に設けた導電性接着剤の上にラーメモード振動片の下面側の角部を配設したことを特徴としている。これによりラーメモード振動片の角部を支持することができるので、振動漏れを小さくすることができる。よって損失を小さくすることができ、Ｑ値を向上させることができる。
【００１０】
また本発明に係るラーメモード振動デバイスは、前記ラーメモード振動片の対角に位置する角部を前記導電性接着剤の上に配設し、下方に向けて傾斜した第２傾斜面を端部に備えた第２支持台を設け、前記導電性接着剤を用いて前記第１支持台と前記ラーメモード振動片とが接合している角部とは異なる他の角部に前記第２傾斜面を接触させたことを特徴としている。すなわちラーメモード振動片は、その上面において対角の位置にある他の角部が第２傾斜面と接触している。これにより第２支持台は、ラーメモード振動片をその上側から点状に支持することができるので、ラーメモード振動片を安定して支持することができる。また第２傾斜面と他の角部が点状に接触するので、ラーメモード振動片を支持するときの影響を軽減でき、ラーメモード振動片を小型にすることができる。
【００１１】
また本発明に係るラーメモード振動デバイスは、第２支持台を２つ有し、前記第２支持台の端部を互いに対向させて前記各第２支持台を配設し、この向かい合っている方向に対して各第２傾斜面をそれぞれ同じ横方向に向けて傾斜させてなることを特徴としている。これによりラーメモード振動片に水平方向に回転する力が加わったとしても、いずれか一方の第２傾斜面によってラーメモード振動片の回転を抑えることができる。
【００１２】
また前述した導電性接着剤は、ラーメモード振動片を形成する材料に比べて柔らかいことを特徴としている。これによりラーメモード振動片がラーメモードの輪郭振動をしても、この輪郭振動に応じて導電性接着剤が容易に変形できる。よってラーメモード振動片を支持するときの影響を軽減できる。
【００１３】
また本発明に係るラーメモード振動デバイスは、ラーメモード振動片に発振回路を接続したことを特徴としている。これによりラーメモード発振器を構成することができる。ラーメモード振動片を前述したように支持しているので、損失が小さくなっており、またＱ値も向上している。このためラーメモード発振器は、消費電流を小さくすることができる。
【００１４】
また本発明に係る電子部品用のパッケージは、上方に向けて傾斜した第１傾斜面を端部に備え、前記第１傾斜面にマウント電極を設けた第１支持台を２つ有し、第１傾斜面を互いに対向させて各第１支持台をベース上に配設したことを特徴としている。これにより電子部品の下側を第１支持台の第１傾斜面で支持することができる。
【００１５】
また本発明に係る電子部品用のパッケージは、下方に向けて傾斜した第２傾斜面を端部に備えた第２支持台をベース上に２つ設け、各第１支持台が向かい合っている方向に対して交差する方向に沿って各第２支持台を配置したことを特徴としている。この場合、第１傾斜面と第２傾斜面は、これらの傾斜面で外縁を形成する領域の内側へ向くようになっている。なお前記領域は、電子部品、例えばラーメモード振動片を搭載する領域とすること
ができる。これにより電子部品の上側を第２支持台の第２傾斜面で支持することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下に、本発明に係るラーメモード振動デバイスおよび電子部品用のパッケージの実施形態について説明する。まず第１の実施形態について説明する。図１は第１の実施形態に係るラーメモード振動デバイスの一部を示した斜視図である。ラーメモード振動デバイス１０は、ラーメモードの輪郭振動をするラーメモード振動片（以下「振動片」という。）１２を有している。このため振動片１２は矩形をしており、ラーメモードの輪郭振動の変位が零となる節を各角部と中央に有している。
【００１７】
振動片１２の上面および下面には、励振電極１４がそれぞれ設けてある（図３（Ａ）参照）。励振電極１４は、振動片１２の周縁部を除いた中央付近全体に設けてあるので、上面に設けた一方の励振電極１４ａと下面に設けた他方の励振電極１４ｂとが対向している。各励振電極１４からは、１つの角部に向かって接続電極１６が引き出されている。すなわち振動片１２の上面に設けた一方の励振電極１４ａからは、ある１つの角部に向かって一方の接続電極１６ａを引き出している。また下面に設けた他方の励振電極１４ｂからは、一方の接続電極１６ａが設けられた角部に対して対角の位置にある角部に向けて、他方の接続電極１６ｂを引き出している。これにより接続電極１６を設けた箇所に電界がかからないようになる。
【００１８】
そしてラーメモード振動デバイス１０は、図１に示すように、振動片１２を支持するために、第１支持台２０および第２支持台３０をそれぞれ２つベース（図示せず）上に有している。このベース、第１支持台２０および第２支持台３０は、電子部品用のパッケージを構成するものである。第１支持台２０の端部には、上方に向けて傾斜した第１傾斜面２２が設けてある。この第１傾斜面２２にマウント電極２４が設けてあり、第１支持台２０の上面に設けた配線パターン２６と導通している。そして各第１支持台２０は、第１傾斜面２２を向かい合わせて配設してある。このとき各第１支持台２０は、振動片１２の角部と第１傾斜面２２とが平面視して重なるような間隔を取って配置してある。
【００１９】
また第２支持台３０の端部には、下方に向けて傾斜した第２傾斜面３２が設けてある。各第２支持台３０は、第２傾斜面３２を向かい合わせて配設してある。そして各第２支持台３０は、各第１支持台２０が向かい合っている方向に対して交差する方向に沿って、例えば図１に示す場合には直交する方向に沿って配置してある。
【００２０】
さらに各第１支持台２０の第１傾斜面２２および各第２支持台３０および第２傾斜面３２は、ある一点にそれぞれが向いている。すなわち第１支持台２０および第２支持台３０は、第１傾斜面２２および第２傾斜面３２によって振動片１２の角部を支えることができるように、振動片１２を支えたときに振動片１２の中央に第１傾斜面２２および第２傾斜面３２が向かうように配置してある。
【００２１】
なお第１支持台２０および第２支持台３０は、様々な材料で作製することができるが、水晶等の異方性を持った結晶を用いるとともに、この結晶をウエットエッチングして結晶面を出すことにより、第１傾斜面２２および第２傾斜面３２を得ることができる。このように異方性を持った結晶をウエットエッチングして作製した第１，２支持台２０，３０は、傾斜の角度にバラツキが無いので、容易、且つ、高精度に傾斜面を得ることができる。
【００２２】
このような第１支持台２０には、マウント電極２４の上に導電性接着剤２８が設けてある。そして導電性接着剤２８と接続電極１６を設けた角部とが接合するように、導電性接着剤２８の上に振動片１２を配設する。これにより振動片１２の下面において対角の位置
にある角部が第１支持台２０によって支持され、導電性接着剤２８を介して励振電極１４とマウント電極２４が導通する。なお導電性接着剤２８は、硬化した後でも、振動片１２を形成している材料よりも柔らかいものを用いればよい。例えば、導電性接着剤２８として、シリコーン系導電性接着剤等を用いることができる。また振動片１２を形成している材料は、例えば水晶等を始めとする圧電材料である。
【００２３】
また振動片１２と第１支持台２０が接合していない振動片１２の他の角部には、第２支持台３０が接触している。すなわち第２支持台３０の第２傾斜面３２と、振動片１２の上面に位置する他の角部とが接触している。このとき第２支持台３０は、第２傾斜面３２で振動片１２を上から押さえ込むように配設してある。なお実施形態によっては、第２傾斜面３２と他の角部とを接着剤で接合してもよい。この接着剤は、前述した導電性接着剤２８と同様に、振動片１２を形成している材料よりも柔らかいものを用いればよく、例えばシリコーン系接着剤等を用いることができる。
【００２４】
次に、ラーメモード振動デバイス１０の製造法について説明する。まず振動片１２を収容する電子部品用のパッケージについて説明する。図２はパッケージベースの斜視図である。電子部品用のパッケージ４０は、パッケージベース４２（ベース）と、このパッケージベース４２の上側に接合される蓋体（図示せず）とを備えている。このパッケージベース４２は、上方に向けて開口した凹陥部４４を備えている。この凹陥部４４の底面に第１支持台２０が固着してある。そして第１支持台２０に形成してある配線パターン２６は、パッケージベース４２の裏面に設けた外部端子４６と導通している。また電子部品用のパッケージ４０には、前述した第２支持台３０を凹陥部４４に搭載可能にしてある。
【００２５】
そして振動片１２をパッケージベース４２に搭載する工程は、次のようになっている。図３はラーメモード振動片をパッケージベースに搭載する工程の説明図である。ここで図３（Ａ），（Ｂ）は図１のＡ−Ａ線に対応した断面図であり、図３（Ｃ），（Ｄ）は図１のＢ−Ｂ線に対応した断面図である。まず図３（Ａ）に示すように、第１支持台２０の端部に形成したマウント電極２４の上に導電性接着剤２８を塗布する。
【００２６】
そして図３（Ｂ）に示すように、導電性接着剤２８の上に振動片１２を配設する。このとき接続電極１６が設けてある振動片１２の角部と導電性接着剤２８とが接触する。また振動片１２は、導電性接着剤２８に接触した後もさらに下降するとマウント電極２４に接触する。この場合でも、振動片１２の角部とマウント電極２４が点接触するだけなので、振動片１２の輪郭振動に悪影響を及ぼすことがない。そして振動片１２の角部と導電性接着剤２８が接触すると、振動片１２の下面に設けた他方の接続電極１６ｂは導電性接着剤２８と接触する。すなわち、図３（Ｂ）において右側に示している他方の第１支持台２０ｂのマウント電極２４と、振動片１２の下面に設けた他方の励振電極１４ｂとが導通する。
【００２７】
この後、一方の第１支持台２０ａ（図３（Ｂ）において左側に示しているもの）と、振動片１２の上面に設けた一方の励振電極１４ａとを導通するために、一方の第１支持台２０ａ側に塗布した導電性接着剤２８の上にさらに導電性接着剤２８を上塗布する。すなわち振動片１２の角部における厚さ方向の辺に沿って導電性接着剤２８をさらに塗布し、振動片１２の上面に設けた一方の接続電極１６ａと接触させる。これにより一方の第１支持台２０ａに設けたマウント電極２４と、振動片１２の上面に設けた一方の励振電極１４ａとが導通する。なお上塗布に用いる導電性接着剤２８は、マウント電極２４の上に塗布されている導電性接着剤２８と同じものを用いればよい。
【００２８】
この後、図３（Ｃ）に示すように、第２支持台３０をパッケージベース４２に入れて凹陥部４４の底面上に載せ、第２傾斜面３２を設けた端部を振動片１２に寄せる。そして図
３（Ｄ）に示すように、第２傾斜面３２と振動片１２の上面にある他の角部を接触させる。この後、第２支持台３０の下側の周囲に接着剤３６を塗布して、第２支持台３０とパッケージベース４２とを固着する。この接着剤３６は、導電性を有していても、または非導電性であってもよい。また接着剤３６は、振動片１２を形成している材料よりも柔らかいものを用いればよく、例えばシリコーン系接着剤を用いることができる。なお、この接着剤３６は、第２支持台３０を凹陥部４４の底面上に配置する前に予め第２支持台３０の下面に塗布しておいてもよい。この場合、接着剤３６が硬化する前に第２支持台３０を振動片１２に寄せて、第２傾斜面３２と他方の角部を接触させればよい。このように第１支持台２０および第２支持台３０を配置することにより、第１支持台２０で振動片１２の下側を支持するとともに、第２支持台３０で振動片１２の上側を支持している。これにより振動片１２がパッケージベース４２に搭載される。
【００２９】
そしてこの後、パッケージベース４２の上に前記蓋体を接合して、凹陥部４４を気密封止すればラーメモード振動デバイス１０を得る。
【００３０】
このようなラーメモード振動デバイス１０によれば、柔らかい導電性接着剤２８が振動片１２の角部に接合している。この振動片１２では、その角部における厚さ方向の辺が輪郭振動の節となり、角部の近傍が僅かな変位の輪郭振動をする。この角部の近傍における輪郭振動の変位は、輪郭振動の腹となる部分に比べて小さい。このため振動片１２の角部に接合する導電性接着剤２８は、振動片１２の輪郭振動に合わせて変形できる。また振動片１２の角部を、より点状に支持できるように、第１支持台２０の端部を上方に向けて傾斜させている。このため第１傾斜面２２に導電性接着剤２８を塗布して振動片１２の角部を接合すると、振動片１２の下側の角部を中心にしてこの近傍に導電性接着剤２８が接合するので、振動片１２の輪郭振動を阻害し難くすることができる。よって振動片１２の振動漏れを少なくすることができるので、損失が小さくなり、Ｑ値を向上することができる。そして、これによって振動片１２を高次モードにする必要性が薄れるので、振動片１２の平面サイズを小さくでき、ひいてはラーメモード振動デバイス１０の平面サイズを小型化することができる。
【００３１】
また振動片１２の他の角部には、第２支持台３０の第２傾斜面３２が接触している。前述したように、角部は輪郭振動の節になっているので、振動の変位が零になっている。よって第２支持台３０が振動片１２の輪郭振動を阻害することなく、また振動が第２支持台３０に伝わらないので、損失がなく、Ｑ値を向上させることができる。
【００３２】
なお振動片１２と第１支持台２０は柔らかい導電性接着剤２８で接合されているとともに、第２支持台３０とベースは柔らかい接着剤３６で接合されている。そして振動片１２は点状に支持してあるので、振動片１２に対しての支持の影響を少なくできる。
【００３３】
また第２支持台３０の第２傾斜面３２は下を向いているので、振動片１２に上方向の力が加わったとしても、第２傾斜面３２によって振動片１２が上に移動するのを抑えることができる。よって第２支持台３０を用いることにより、第１支持台２０から振動片１２が脱落するのを防止できる。
【００３４】
なお第１の実施形態では、第１支持台２０および第２支持台３０の両方を使って振動片１２を４箇所で点状に支持する形態としたが、第１支持台２０のみを用いて振動片１２を支持する形態であってもよい。第１支持台２０のみで振動片１２を支持する形態であっても、振動片１２を２箇所で点状に支持することができるので、振動片１２の損失を少なくでき、またＱ値を向上させることができる。
【００３５】
次に、第２の実施形態について説明する。第２の実施形態は、第２支持台の変形例につ
いて説明するので、第１の実施形態と同様な構成部分の説明を省略し、図４の記載も一部の構成を省略している。図４は第２の実施形態の説明図である。ここで図４（Ａ）は第２支持台の端部の斜視図であり、図４（Ｂ）はラーメモード振動デバイスの一部を示した概略平面図であり、図４（Ｃ）は第２支持台と振動片とが接触している箇所を説明する平面断面図である。図５は第１実施形態で説明した第２支持台の端部の斜視図である。
【００３６】
図４（Ａ）に示すように、第２支持台３０の端部に設けた第２傾斜面３２は、下方に向かって傾斜するとともに、側方に向かって傾斜している。すなわち第２傾斜面３２は、下方に向いた傾斜面をさらに水平方向に回転した形態となっている。なお第１実施形態で説明した第２支持台３０の第２傾斜面３２は下方にのみ傾斜しているので、図５に示す形状になっている。そして図４（Ａ），図５では、参考として、第２支持台３０の端部を四角にしたときの形状を１点鎖線で示している。
【００３７】
そして本実施形態の第２支持台３０を用いて振動片１２を支持する場合は、第２支持台３０が２つ必要なので、図４（Ｂ）に示すように、対向している第２支持台３０の各第２傾斜面３２は下方に向くとともに、第２支持台３０が向かい合っている方向に対して同じ横方向に向いている。すなわち各第２傾斜面３２は下方に向くとともに、水平方向において互いに反対の方向へ回転している。例えば図４（Ｂ）に示す場合では、各第２傾斜面３２が横を向く方向が右方向となっている。
【００３８】
そして振動片１２は、第１実施形態と同様に、第１支持台２０の第１傾斜面２２に導電性接着剤２８によって支持されるとともに、第２支持台３０の第２傾斜面３２によって支持されている。このとき振動片１２は、図４（Ｃ）に示すように、各第２傾斜面３２を対向させることにより平面視してハ字型になっている箇所で支持される。すなわち各第２傾斜面３２を平面視すると、第２支持台３０の端部が互いに向かい合っている方向に対して直交する方向の線についての線対称な形状になっている。よって矢印Ｃで示すように、振動片１２に回転する力が加わったとしても、どちらか一方の第２傾斜面３２で振動片１２の回転を抑えることができる。すなわち本実施形態に係るラーメモード振動デバイス１０は、振動片１２が第１支持台２０から剥がれ難くなっている。
【００３９】
なお第１の実施形態で説明した第２支持台３０（図５等参照）を用いて振動片１２の水平方向の回転を防止するには、振動片１２の他の角部に第２支持台３０を斜め方向から接触させればよい。
【００４０】
次に、第３の実施形態について説明する。第３の実施形態では、電子部品用のパッケージの変形例について説明する。図６は第３の実施形態に係る電子部品用のパッケージの分解斜視図である。第３の実施形態に係る電子部品用のパッケージ５０は、パッケージベース５２、第１支持台６４、第２支持台７０および蓋体７８を備えている。
【００４１】
パッケージベース５２は、上方に向けて開口した凹陥部５４を有している。この凹陥部５４には、その底面５６と側面５８とで構成する４辺のうちの対向している２辺の部分に、上方に向けて傾斜した第１支持台６４が設けてある。そして、この傾斜した部分が第１傾斜面６６になっている。また第１支持台６４の長さ方向（図６では奥行きの方向）の中央部分には、第１傾斜面６６にマウント電極６８が設けてある。この第１傾斜面６６は、パッケージベース５２の裏面に設けた外部端子６０と１対１に導通している。
【００４２】
また各第１傾斜面６６と凹陥部５４の底面５６とが接触している箇所の間隔Ｄ以下の幅を持った第２支持台７０が、凹陥部５４に搭載可能にしてある。なお第２支持台７０の幅を間隔Ｄと同じ、または僅かに狭い幅にしておくこともできる。この第２支持台７０は、前記の間隔Ｄ以下の幅を持った本体部７２と、この本体部７２の中央から一方の方向に突
き出た接触部７４を有している。すなわち第２支持台７０は、平面視してＴ字型をしている。そして接触部７４の先端（端部）は下方に向けて傾斜しており、この傾斜した面が第２傾斜面７６になっている。
なお図６では第２支持台７０を１つだけ記載しているが、このパッケージベース５２に振動片１２を搭載したときは２つの第２支持台７０を使用することになる。この場合、第２傾斜面７６が互いに対向するように各第２支持台７０を配置する。
【００４３】
そして、このパッケージベース５２に振動片１２を搭載するときは、第１の実施形態で説明したのと同様に、マウント電極６８の上に導電性接着剤２８を塗布して、この導電性接着剤２８の上に振動片１２を配設する。この後、第２傾斜面７６を振動片１２に向けて、第２支持台７０をパッケージベース５２の凹陥部５４に入れる。このとき第１支持台６４の第１傾斜面６６がガイドの役割を果たすこともできるので、第２支持台７０を凹陥部５４の幅方向（図６では左右方向）の中央側に寄せることができる。なお第２支持台７０の幅を間隔Ｄと同じまたは僅かに狭くした場合には、第２傾斜面７６と振動片１２の他の角部が直線上に並ぶように、第２支持台７０の位置を整えることができる。
【００４４】
この後、第２支持台７０を振動片１２へ向けて移動する。そして第２支持台７０の本体部７２の幅が間隔Ｄと同じか、または間隔Ｄよりも僅かに狭くなっている場合には、第２支持台７０を振動片１２に向けて移動させるときも、第２支持台７０の両側に配設してある第１支持台６４がガイドの役割を果たし、第２傾斜面７６を振動片１２の他の角部に確実に接触させることができる。振動片１２と第２傾斜面７６とが接触した後は、第２支持台７０をパッケージベース５２に固定する。
【００４５】
この後、パッケージベース５２の上面、すなわち凹陥部５４が開口している部分に蓋体７８を接合して、凹陥部５４を気密封止する。
【００４６】
このような電子部品用のパッケージ５０を用いれば、容易、且つ、確実に振動片１２を支持することができる。また第２支持台７０の平面サイズが大きくなるので、第２支持台７０とパッケージベース５２との接合面積を大きくすることができる。よって、より大きな力が第２支持台７０に加わったとしても、第２支持台７０がパッケージベース５２から剥がれることはなく、振動片１２を安定して支持することができる。
【００４７】
なお本実施形態で説明した第２支持台７０は平面視してＴ字型をしているが、第２支持台は他の形状であってもよい。すなわち第２支持台は、例えば、平面視して矩形となっていてもよい。この場合、端部の全体を第２傾斜面とすればよい。
【００４８】
またパッケージベース５２には、第１支持台６４とともに、２つ有る第２支持台７０のうちのいずれか一方を予め凹陥部５４に配設しておいてもよい。そして振動片１２をパッケージベース５２に搭載した後に、他方の第２支持台７０を凹陥部５４内に入れて振動片１２を支持すればよい。
【００４９】
次に、第４の実施形態について説明する。ラーメモード振動デバイス１０は、振動片１２のみを電子部品用のパッケージに収容したラーメモード振動子や、振動片１２とともに発振回路を電子部品用のパッケージに収容したラーメモード発振器等の構成をとることができる。第４の実施形態では、前述した構成等をとるラーメモード振動デバイス１０のうち、ラーメモード発振器について説明する。図７はラーメモード発振器の断面図である。なお図７には、第２支持台が記載されていない。
【００５０】
ラーメモード発振器８０は、パッケージベース８２を有している。このパッケージベース８２は、上方に向けて開口した第１凹陥部８４と、下方に向けて開口した第２凹陥部８
８を有している。第１凹陥部８４には振動片１２が配設してあり、第１凹陥部８４の開口している箇所に蓋体８６ａを設けることで、第１凹陥部８４を気密封止している。振動片１２は、図７に示す場合、第１の実施形態で説明した形態と同様に、第１支持台２０および第２支持台３０によって支持してあるが、実施形態によっては第３の実施形態で説明した形態と同様に、第１支持台６４および第２支持台７０によって支持してあってもよい。なお第１支持台２０に設けたマウント電極２４は、配線パターン２６等を介して、第２凹陥部８８に設けたボンディングパッド９２と導通している。
【００５１】
また第２凹陥部８８には、上方に位置する底面に発振回路が固着してある。この発振回路は、振動片１２を発振させる回路であり、集積回路（ＩＣ）チップ９０で構成してあればよい。そしてＩＣチップ９０の外面にはＩＣ側パッド９０ａが設けてある。また第２凹陥部８８の底面には、ＩＣチップ９０の周囲に複数のボンディングパッド９２を配設している。そしてボンディングパッド９２とＩＣ側パッド９０ａとにワイヤ９４が接合して、これらが導通している。またパッケージベース８２の裏面には外部端子９６が設けてあり、振動片１２と導通していない他のボンディングパッド９２と導通している。この第２凹陥部８８が開口している箇所には蓋体８６ｂが設けてあり、第２凹陥部８８を封止している。
【００５２】
このような構成にすることによりラーメモード発振器８０を得ることができる。そして、このラーメモード発振器８０では、振動片１２の輪郭振動に悪影響を及ぼさない前述した支持方法を用いているので低損失にでき、ひいては消費電流を小さくすることができる。
【００５３】
次に、第５の実施形態について説明する。第５の実施形態では、第１支持台の変形例について説明する。図８は第５の実施形態に係るラーメモード振動デバイスの一部を示した斜視図である。第５の実施形態の第１支持台１００は、端部に第１傾斜面を設けてなく、この端部を四角にした形状となっている。そして第１支持台１００の端部にはマウント電極２４を設けており、このマウント電極２４に配線パターン２６が接続している。そして各第１支持台１００は、振動片１２の角部と端部が平面視して僅かに重なるような間隔を取って配置してある。このような第１支持台１００のマウント電極２４の上に導電性接着剤２８を塗布し、この上に振動片１２の角部を配置すれば、振動片１２の角部と導電性接着剤２８を接合できる。なお第２支持台３０および振動片１２は、第１の実施形態と同じ構成である。このような第１支持台１００の構成とした場合でも、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００５４】
なお前述した第１ないし５の実施形態では、第１支持台に振動片１２を配設する場合、振動片１２の上面に設けた接続電極１６とマウント電極とを導通するために導電性接着剤２８を上塗布する形態を説明した。しかし、振動片１２の上面に設けた一方の接続電極１６ａを、さらに振動片１２の側面および下面にも引き回せば、導電性接着剤２８の上塗布が必要なくなる。この場合、振動片１２の下面に設けた他方の励振電極１４ｂと、振動片１２の上面、側面および下面を引き回した一方の接続電極１６ａとが導通しないように形成しておけばよい。
【００５５】
また前述した実施形態では、例えば水晶等を始めとする圧電材料を用いることにより、振動片１２を形成した構成を説明した。しかしながら振動片は、シリコンの微細加工技術を利用して作製したもの（ＭＥＭＳ：微小電気機械システム）であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】第１の実施形態に係るラーメモード振動デバイスの一部を示した斜視図である。
【図２】パッケージベースの斜視図である。
【図３】ラーメモード振動片をパッケージベースに搭載する工程の説明図である。
【図４】第２の実施形態の説明図である。
【図５】第１実施形態で説明した第２支持台の端部の斜視図である。
【図６】第３の実施形態に係る電子部品用のパッケージの分解斜視図である。
【図７】ラーメモード発振器の断面図である。
【図８】第５の実施形態に係るラーメモード振動デバイスの一部を示した斜視図である。
【図９】従来技術に係るラーメモード振動片の平面図である。
【符号の説明】
【００５７】
１０………ラーメモード振動デバイス、１２………ラーメモード振動片、２０，６４，１００………第１支持台、２２，６６………第１傾斜面、２４，６８………マウント電極、２８………導電性接着剤、３０，７０………第２支持台、３２，７６………第２傾斜面、４０，５０………パッケージ、４２，５２，８２………パッケージベース、８０………ラーメモード発振器、９０………ＩＣチップ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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