(57)【要約】【課題】従来の洗浄装置においては、処理対象物の表面に付着した熱溶融性の接着剤を適切に除去できない、という課題があった。【解決手段】薄板状の処理対象物１００の表面に付着した熱溶融性の接着剤１０１を除去する洗浄装置であって、処理対象物１００の表面に、接着剤１０１を除去するための第一の流体を吹き付ける第一表面吹付け部１２１と、処理対象物１００の裏面の、少なくとも外縁部を含む領域に、接着剤１０１の付着を防ぐための第二の流体を吹き付ける第一裏面吹付け部１３１と、第一表面吹付け部１２１が吹き付ける第一の流体を加熱する第一加熱部１２５とを具備するようにした。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄板状の処理対象物の表面に付着した熱溶融性の接着剤を除去する洗浄装置であって、
前記処理対象物の表面に、前記接着剤を除去するための第一の流体を吹き付ける第一表面吹付け部と、
前記処理対象物の裏面の、少なくとも外縁部を含む領域に、前記接着剤の付着を防ぐための第二の流体を吹き付ける第一裏面吹付け部と、
前記第一表面吹付け部が吹き付ける前記第一の流体を加熱する第一加熱部とを具備する洗浄装置。
【請求項２】
前記第一加熱部は、前記第一の流体を、当該第一の流体により前記接着剤が除去される温度に、加熱する請求項１記載の洗浄装置。
【請求項３】
前記第一加熱部は、前記第一の流体を、３０度以上、５０度以下の温度となるように、加熱する請求項１または請求項２記載の洗浄装置。
【請求項４】
前記洗浄装置は、前記第一裏面吹付け部が吹き付ける前記第二の流体を加熱する第二加熱部をさらに具備する請求項１から請求項３いずれか記載の洗浄装置。
【請求項５】
前記第二加熱部は、前記第二の流体を、当該第二の流体により前記接着剤の付着を防ぐことができる温度に、加熱する請求項４記載の洗浄装置。
【請求項６】
前記洗浄装置は、前記処理対象物を保持する保持構造をさらに有しており、当該保持構造は、前記処理対象物を保持した状態で回転する回転機構を備えている請求項１から請求項５いずれか記載の洗浄装置。
【請求項７】
前記保持構造は、前記処理対象物を、当該処理対象物の外縁部で保持する請求項６記載の洗浄装置。
【請求項８】
前記第一表面吹付け部は、前記第一の流体の吹付け時に、前記処理対象物上で移動する請求項１から請求項７いずれか記載の洗浄装置。
【請求項９】
前記第一裏面吹付け部は、前記処理対象物の中央側から外側に向かって、前記第二の流体を吹き付ける請求項１から請求項８いずれか記載の洗浄装置。
【請求項１０】
前記薄板状の処理対象物は、熱溶融性を有する接着剤を用いて、貼り合わせ装置により他の部材に貼り合わされていた処理対象物であって、前記他の部材から剥がされた処理対象物である請求項１から請求項９いずれか記載の洗浄装置。
【請求項１１】
前記処理対象物の表面に、前記第一の流体を除去するための第四の流体を吹き付ける第二表面吹付け部と、
前記処理対象物の表面に、前記第四の流体を除去するための第五の流体を吹き付ける第三表面吹付け部と、
前記処理対象物の裏面の、少なくとも外縁部を含む領域に、前記第二の流体を除去するための第三の流体を吹き付ける第二裏面吹付け部とを更に具備する請求項１から請求項１０いずれか記載の洗浄装置。
【請求項１２】
前記第一の流体は、前記接着剤の溶剤である請求項１から請求項１１いずれか記載の洗浄装置。
【請求項１３】
前記第二の流体は、純水である請求項１から請求項１２いずれか記載の洗浄装置。
【請求項１４】
薄板状の処理対象物の表面に付着した熱溶融性の接着剤を除去する洗浄方法であって、
前記接着剤を除去するための第一の流体を加熱する加熱ステップと、
前記処理対象物の表面に、前記加熱した第一の流体を吹き付けるとともに、前記処理対象物の裏面の、少なくとも外縁部を含む領域に、前記接着剤の付着を防ぐための第二の流体を吹き付ける洗浄処理ステップと、を具備する洗浄方法。
【請求項１５】
前記洗浄ステップ後に、
前記処理対象物の表面に、前記第一の流体を除去するための第四の流体を吹き付けるとともに、前記処理対象物の裏面の、少なくとも外縁部を含む領域に、前記第二の流体を吹き付けるリンス処理ステップと、
前記処理対象物の表面に、前記第四の流体を除去するための第五の流体を吹き付けるとともに、前記処理対象物の裏面の、少なくとも外縁部を含む領域に、前記第二の流体を除去するための第三の流体を吹き付けるブロウ処理ステップとを更に具備する請求項１４記載の洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄板状の処理対象物の表面に付着した熱溶融性の接着剤を除去する洗浄装置等に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体デバイスの製造においては、半導体ウエハ（以下、ウエハと呼ぶ）の薄型化が進んでおり、このような薄いウエハを補強すること等を目的として、ウエハを例えば支持基板に貼り合わせることが行われている（例えば、特許文献１参照）。このような貼り合わせにおいて、熱溶融性の接着剤を用いることが近年提案されている
【０００３】
このような熱溶融性の接着剤を用いて支持基板に貼り合わされたウエハは、最終的には、支持基板から剥がされることとなるが、単に剥がしただけでは、支持基板から剥がされたウエハの接着面（ここではウエハの接着面を表面とする）に、熱溶融性の接着剤が一部付着した状態となるため、この接着剤を除去する必要がある。
【０００４】
このような接着剤の除去にあたっては、専用の洗浄装置等が存在しないために、ウエハを丸ごと接着剤の溶剤に浸したり、溶剤を用いて接着剤を手で拭き取る等の、手作業による処理が行われていた。
【０００５】
一方で、エッチング後の堆積物の除去や、レジスト残渣の剥離等の、半導体製造工程の一環としての洗浄処理を行う洗浄装置は、従来から多数提案されている。例えば、ウエハの上面に洗浄液を滴下するとともに、ウエハの下面に対して、内側から外側に向かってガスを吹き付けることにより、ウエハの非洗浄面への洗浄液の回り込みを防ぐウエハ洗浄装置があった（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２００５−５１０５５号公報（第１頁、第１図等）
【特許文献２】特開平８−６４５６８号公報（第１頁、第１図等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、熱溶融性の接着剤を除去する際に、上述したようなこれまでの手作業による処理を行った場合、手間がかかるうえ、ウエハの表面に接着剤が残ったり、ウエハ毎に接着剤の除去状態のばらつきが生じる等の、さまざまな課題が発生していた。
【０００７】
また、上述したような従来の洗浄装置は、熱溶融性の接着剤を除去することに特化した洗浄装置ではないため、このような洗浄装置では、熱溶融性の接着剤を適切に除去することができない、という課題があった。例えば、上述したような洗浄装置においては、常温の洗浄液で洗浄を行うため、常温では固化している熱溶融性の接着剤を適切に除去できなかった。また、洗浄液が、接着剤の溶剤であったとしても、完全に固化した状態の接着剤を除去することとなるため、除去に非常に長い時間を要し、効率的に除去することができなかった。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の洗浄装置は、薄板状の処理対象物の表面に付着した熱溶融性の接着剤を除去する洗浄装置であって、前記処理対象物の表面に、前記接着剤を除去するための第一の流体を吹き付ける第一表面吹付け部と、前記処理対象物の裏面の、少なくとも外縁部を含む領域に、前記接着剤の付着を防ぐための第二の流体を吹き付ける第一裏面吹付け部と、前記第一表面吹付け部が吹き付ける前記第一の流体を加熱する第一加熱部とを具備する洗浄装置である。
【０００９】
かかる構成により、処理対象物の表面に付着した熱溶融性の接着剤を、自動的に、適切に除去できる。また、表面から除去した接着剤が、処理対象物の裏面に付着することを防ぐことができる。
【００１０】
また、本発明の洗浄装置は、前記洗浄装置において、前記第一加熱部は、前記第一の流体を、当該第一の流体により前記接着剤が除去される温度に、加熱する洗浄装置である。
【００１１】
かかる構成により、処理対象物の表面に付着した熱溶融性の接着剤を効率よく除去できる。
【００１２】
また、本発明の洗浄装置は、前記洗浄装置において、前記第一加熱部は、前記第一の流体を、３０度以上、５０度以下の温度となるように、加熱する洗浄装置である。
かかる構成により、接着剤を効率的に除去できる。
【００１３】
また、本発明の洗浄装置は、前記洗浄装置において、前記第一裏面吹付け部が吹き付ける前記第二の流体を加熱する第二加熱部をさらに具備する洗浄装置である。
【００１４】
かかる構成により、表面から除去した接着剤が、処理対象物の裏面に付着することを確実に防ぐことができる。
【００１５】
また、本発明の洗浄装置は、前記洗浄装置において、前記第二加熱部は、前記第二の流体を、当該第二の流体により前記接着剤の付着を防ぐことができる温度に、加熱する洗浄装置である。
【００１６】
かかる構成により、表面から除去した接着剤が、処理対象物の裏面に付着することを確実に防ぐことができる。
【００１７】
また、本発明の洗浄装置は、前記洗浄装置において、前記処理対象物を保持する保持構造をさらに有しており、当該保持構造は、前記処理対象物を保持した状態で回転する回転機構を備えている洗浄装置である。
【００１８】
かかる構成により、遠心力により、接着剤を効率よく除去できる。
【００１９】
また、本発明の洗浄装置は、前記洗浄装置において、前記保持構造は、前記処理対象物を、当該処理対象物の外縁部で保持する洗浄装置である。
【００２０】
かかる構成により、処理対象物の裏面全体に第二の流体を吹き付けることにより、処理対象物の外縁から回り込んだ接着剤が、処理対象物の裏面の中央部等に付着することを防ぐことができる。また、洗浄後に、処理対象物の裏面と、保持構造との間に接着剤や流体が残らないようにして、処理対象物の汚れを防ぐことができる。
【００２１】
また、本発明の洗浄装置は、前記洗浄装置において、前記第一表面吹付け部は、前記第一の流体の吹付け時に、前記処理対象物上で移動する洗浄装置である。
【００２２】
かかる構成により、処理対象物表面全体に対して結果的に同じ強さで第一の流体を吹付けることができ、効率よく接着剤を除去することができる。
【００２３】
また、本発明の洗浄装置は、前記洗浄装置において、前記第一裏面吹付け部は、前記処理対象物の中央側から外側に向かって、前記第二の流体を吹き付ける洗浄装置である。
【００２４】
かかる構成により、処理対象物の外縁から裏面に回り込んだ接着剤を、処理対象物の外側に排出することできる。
【００２５】
また、本発明の洗浄装置は、前記洗浄装置において、前記薄板状の処理対象物は、熱溶融性を有する接着剤を用いて、貼り合わせ装置により他の部材に貼り合わされていた処理対象物であって、前記他の部材から剥がされた処理対象物である洗浄装置である。
【００２６】
かかる構成により、他の部材との貼り合わせに利用されていた熱溶融性を有する接着剤を、処理対象物から適切に除去でき、熱溶融性の接着剤を用いた貼り合わせ装置に最適な、接着剤の洗浄装置を提供することができる。
【００２７】
また、本発明の洗浄装置は、前記洗浄装置において、前記処理対象物の表面に、前記第一の流体を除去するための第四の流体を吹き付ける第二表面吹付け部と、前記処理対象物の表面に、前記第四の流体を除去するための第五の流体を吹き付ける第三表面吹付け部と、前記処理対象物の裏面の、少なくとも外縁部を含む領域に、前記第二の流体を除去するための第三の流体を吹き付ける第二裏面吹付け部とを更に具備する洗浄装置である。
【００２８】
かかる構成により、接着剤の除去後に残る第一流体等を処理対象物から全て除去できる。
【００２９】
また、本発明の洗浄装置は、前記洗浄装置において、前記第一の流体は、前記接着剤の溶剤である洗浄装置である。
かかる構成により、接着剤を適切に除去できる。
【００３０】
また、本発明の洗浄装置は、前記洗浄装置において、前記第二の流体は、純水である洗浄装置である。
【００３１】
かかる構成により、接着剤が処理対象物の裏面に付着することを防ぐことができるとともに、安価な純水を用いることで、ランニングコストを抑えることができる。
【発明の効果】
【００３２】
本発明による洗浄装置等によれば、処理対象物の表面に付着した熱溶融性の接着剤を、自動的に、適切に除去できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下、洗浄装置等の実施形態について図面を参照して説明する。なお、実施の形態において同じ符号を付した構成要素は同様の動作を行うので、再度の説明を省略する場合がある。
【００３４】
（実施の形態）
図１は、本実施の形態における洗浄装置の構成を説明するための側面から見た図である。また、図２は、洗浄装置の構成を説明するための、洗浄装置を上方から見た図である。
【００３５】
洗浄装置は、薄板状の処理対象物１００を保持する保持構造１１０と、処理対象物１００の表面に付着した熱溶融性の接着剤１０１を除去するための第一の流体を、処理対象物１００の表面に、吹き付ける第一表面吹付け部１２１と、処理対象物１００の裏面の、少なくとも外縁部を含む領域に、接着剤を除去するための第二の流体を吹き付ける第一裏面吹付け部１３１と、第一表面吹付け部１２１が吹き付ける第一の流体を加熱する第一加熱部１２５と、第一裏面吹付け部１３１が吹き付ける第二の流体を加熱する第二加熱部１３５とを備えている。また、処理対象物１００の上方を除いた周囲を覆うように、カバー１７０が設けられている。なお、ここでは、処理対象物１００は、その表面が上面となるように、洗浄装置内に配置されるものとする。
【００３６】
本実施の具体例において用いられる薄板状の処理対象物１００は、表面に熱溶融性の接着剤１０１が付着している処理対象物である。具体的には、特許文献１に示されているような、薄板体と他の部材とを貼り合わせる貼り合わせ装置により、熱溶融性の接着剤１０１を用いて、支持基板等の他の部材（図示せず）と貼り合わされていた薄板状の処理対象物であって、この支持基板等から剥がされた処理対象物である。薄板状の処理対象物１００の接着面である表面には、他の部材との接着に使用されていた熱溶融性の接着剤１０１が付着している。処理対象物１００は、薄板状の処理対象物であればよく、例えば、半導体ウエハ等の、半導体材料により構成される薄板状の処理対象物や、エポキシ樹脂等により構成されるプリント基板等である。なお、半導体ウエハの場合、材料の組成等は問わない。また、半導体ウエハとしては、例えば、直径が、約１００ｍｍから約３００ｍｍまでのサイズのものが利用可能である。熱溶融性の接着剤１０１は、熱を加えることにより溶融する接着剤であり、例えば常温で固化するワックスやグリース等の、通常のウエハと支持基板等の接着に利用可能な接着剤や仮止め剤等が利用可能である。この接着剤１０１は、貼り付けたり剥がしたりすることが可能なものであることが好ましい。
【００３７】
保持構造１１０は、薄板状の処理対象物１００の周縁部近傍（例えば、処理対象物の周縁から数１０ｍｍ程度の範囲）において、処理対象物を下方から支持する支柱１１１と、処理対象物１００の周縁部近傍上に配置された、処理対象物１００の飛び出しを押さえるためのクランプ１１２と、中空の回転軸１１６とを有する。回転軸１１６は、ベルト１１４とプーリー１１３とを介して、モータ１１５によって駆動される。この回転軸１１６、ベルト１１４、プーリー１１３、およびモータ１１５が、処理対象物１００を保持した状態で回転する回転機構を構成している。保持構造１１０の回転速度は、例えば０から１０００ｒｐｍの範囲で調整可能である。クランプ１１２は、倒したり立てたりできるように、保持構造１１０の上部に取り付けられており、クランプ１１２を倒すことで、処理対象物１００は、支柱１１１とクランプ１１２とにより、その外縁部において挟み込まれるように保持されている。なお、クランプ１１２と処理対象物との間には、処理対象物１００を挟み込んだ状態で、隙間があくようにしても良い。このようにすることで、洗浄時に、処理対象物が、支柱１１１とクランプ１１２との間に、浮き上がった状態で保持するようにして、処理対象物１００の保持されている部分を洗浄したり、この保持されている部分に接着剤や流体が付着したり残存しないようにしたりすることができる。なお、処理対象物を挟み込む構成は、上記以外の他の構成であっても良い。ここでは、支柱１１１およびクランプ１１２の対が３つ設けられている場合について説明するが、それぞれの数は、処理対象物１００が保持可能であれば、問わない。
【００３８】
第一表面吹付け部１２１は、配管およびポンプ１２３を介して、第一の流体を保持する容器１２４と接続されており、ポンプ１２３を駆動させることで、容器１２４内の流体を、処理対象物１００に吹き付ける。第一表面吹付け部１２１は、例えばノズルである。このノズルの形状等は問わない。流体とは液体や気体等の流動性を有するものである。第一の流体は、熱溶融性の接着剤を除去するために用いられる液体や気体の流体であり、例えば、熱溶融性の接着剤の洗浄液として利用可能な液体、具体的には、接着剤の溶剤である。この溶剤は、例えば、エタノールや、イソプロピルアルコール等のアルコール系の溶剤である。ここでは、第一の流体がエタノールである場合を例に挙げて説明する。第一表面吹付け部１２１は、例えば、回転する処理対象物１００の表面の全面に対して、結果的に第一の流体を吹き付けられるか、もしくは接触させられればよい。また、第一表面吹付け部１２１は、アーム１２２によって処理対象物１００の上部を含む領域を回動可能に取り付けられている。アーム１２２の付け根は、モータやギア等により構成される回転機構１２６に取り付けられており、この回転機構１２６を駆動させることにより、アーム１２２の付け根を中心として、往復しながら水平方向に回動する動作、いわゆるスイング動作を行うことが可能となっている。なお、このような回転機構１２６の構成については公知であるので、ここでは説明を省略する。第一表面吹付け部１２１は、ここでは、アーム１２２の位置を調整することで、処理対象物１００のほぼ中心上に位置させられるようになっている。
【００３９】
第一加熱部１２５は、容器１２４の表面に取り付けられ、容器１２４内の第一の流体を所望の温度に加熱する。第一加熱部１２５は、例えばヒータや熱交換器である。ここでの所望の温度とは、例えば、この第一の流体により熱溶融性の接着剤が除去される温度である。所望の温度は、例えば、熱溶融性の接着剤を熱により軟化させたり、溶融させるとともに、第一の流体の分子運度等を活発にさせることによって、接着剤の除去性能を向上させることが可能な温度である。ただし、所望の温度は、第一の流体が気化した場合に、引火性を有する液体である場合、第一の流体の気化温度以下であることが好ましい。所望の温度は具体的には、第一の流体が上述したような液体である場合、２０℃から５０℃までの範囲であることが好ましく、３０℃から５０度までの範囲であることがより好ましく、４０℃前後であることがさらに好ましい。また、引火性を有さない気体であれば、熱溶融性の接着剤の融点近傍の温度とすることが好ましい。なお、第一加熱部１２５は、第一表面吹付け部１２１が吹き付ける第一の流体を加熱することができれば、どこに取り付けられていても良く、例えば、第一表面吹付け部１２１と容器１２４とをつなぐ配管の周囲に設けられていても良い。
【００４０】
第一裏面吹付け部１３１は、配管およびポンプ１３３を介して、第二の流体を保持する容器１３４と接続されており、ポンプ１３３を駆動させることで、容器１３４内の第二の流体を、第一裏面吹付け部１３１から処理対象物１００の、少なくとも外縁部近傍を含む領域に吹き付ける。ただし、ここでは、第二の流体が、直接外縁部近傍に吹き付けられなくても、結果的に、外縁部近傍に、第二の流体が行き渡れば、外縁部近傍を含む領域に第二の流体を吹き付けたと考える。第一裏面吹付け部１３１は、例えばノズルである。裏面全体に第二の流体を吹き付けるようにしても良い。外縁部とは、処理対象物の外縁から数１０ｍｍ以内の領域である。ノズルの形状等は問わない。ここでは、例として、第一裏面吹付け部１３１は、処理対象物１００の裏面側の、中心寄りに設けられている。第一裏面吹付け部１３１が第二の流体を吹き付ける方向は、処理対象物１００の中心側か外側に向かう方向に調整されていることが、第二の流体で除去した接着剤が、処理対象物１００の裏面に再付着しないようにするうえで好ましい。第二の流体は、第一の流体により処理対象物１００の表面から除去されて、処理対象物１００の裏面に回り込んできた熱溶融性の接着剤の付着を防ぐために用いられる液体や気体の流体である。この流体は、すでに、第一の流体により除去され、流れ出している接着剤を、再度除去するものであるため、特に、第一の流体のように、接着剤の溶剤等を用いる必要はない。このため、例えば純水等が利用可能である。ただし、接着剤の溶剤等を用いても良い。また、Ｎ２（窒素）ガス等の不活性ガスやドライエア等の気体を利用しても良い。ここでは、例として、第二の流体が純水である場合を例に挙げて説明する。
【００４１】
第二加熱部１３５は、容器１３４の表面に取り付けられ、容器１３４内の第一の流体を所望の温度に加熱する。第二加熱部１３５は、例えばヒータや熱交換器である。ここでの所望の温度とは、例えば、この第二の流体により、第一の流体によって除去された熱溶融性の接着剤が処理対象物の裏面に回り込んだ場合に、この接着剤を除去したり、裏面に付着しないようにしたりすることが可能な温度である。所望の温度は、例えば、熱溶融性の接着剤を熱により軟化させたり、溶融させるとともに、第二の流体の分子運度等を活発にさせることによって、接着剤の除去性能を向上させることが可能な温度である。ただし、所望の温度は、第二の流体が気化した場合に、引火性を有する液体である場合、第二の流体の気化温度以下であることが好ましい。所望の温度は具体的には、第一の流体が上述したような液体である場合、２０℃から５０℃の範囲であることが好ましく、４０℃前後であることが、より好ましい。また、引火性を有さない気体であれば、熱溶融性の接着剤の融点近傍の温度であってもよい。なお、第二加熱部１３５は、第一裏面吹付け部１３１が吹き付ける第二の流体を加熱することができれば、どこに取り付けられていても良く、例えば、第一裏面吹付け部１３１と容器１３４とをつなぐ配管の周囲に設けられていても良い。また、処理対象物の裏面に回り込む接着剤は、すでに、第一の流体によって処理対象物から剥がれた状態となっているため、除去しやすいことから、必要に応じて、第二加熱部１３５を省略して、第二の流体を加熱しないようにしても良い。
【００４２】
また、本実施の形態においては、洗浄装置は、第三の流体を処理対象物１００の裏面に吹き付ける第二裏面吹付け部１４１、第四の流体を処理対象物１００の表面に吹き付ける第二表面吹付け部１５１、第五の流体を処理対象物１００の表面に吹き付ける第三表面吹付け部１６１、を備えている。
【００４３】
第二裏面吹付け部１４１は、配管を通じて供給された第三の流体を、処理対象物１００の裏面に吹き付ける。第二裏面吹付け部１４１は、例えばノズルである。ノズルの形状等は問わない。この第三の流体は、具体的には、第二の流体を吹き飛ばして乾燥させるための、Ｎ２ガス等の不活性ガスや、ドライエア等の気体である。また、第二裏面吹付け部１４１は、処理対象物１００の裏面側の、中心寄りに設けられている。第二裏面吹付け部１４１が第三の流体を吹き付ける方向は、処理対象物１００の中心側か外側に向かう方向に調整されていることが、第三の流体で吹き飛ばした第二の流体が、処理対象物１００の裏面に再付着しないようにするうえで好ましい。
【００４４】
なお、第一裏面吹付け部１３１、およびこれに流体を供給する構造を、第三の流体を吹き付けるために利用するようにしても良い。この場合、第三の流体を、第二の流体と考えても良い。
【００４５】
また、第二裏面吹付け部１４１を省略し、第二の流体と第三の流体との第一裏面吹付け部１３１への供給を切り替えられる弁等を設けて、第二の流体と第三の流体とを適宜切り替えて、第一裏面吹付け部１３１から、吹き付けるようにしても良い。
【００４６】
第二表面吹付け部１５１は、配管およびポンプ１５３を介して、第四の流体を保持する容器１５４と接続されており、ポンプ１５３を駆動させることで、容器１５４内の流体を、処理対象物１００の表面に吹き付ける。第二表面吹付け部１５１は第一表面吹付け部１２１と同様の構造を有している。第二表面吹付け部１５１は、例えばノズルである。このノズルの形状等は問わない。この第四の流体は、具体的には、上述した第一の流体を洗い流すための、純水等の流体である。ここでは、第四の流体が純水である場合を例に挙げて説明する。また、第二表面吹付け部１５１は、アーム１５２によって処理対象物１００の上部を含む領域を回動可能に取り付けられている。アーム１５２の付け根は、アーム１２２と同様に、回転機構（図示せず）に取り付けられており、この回転機構を駆動させてスイング動作を行うことが可能となっている。第二表面吹付け部１５１は、ここでは、アーム１５２の位置を調整することで、処理対象物１００のほぼ中心上に位置させられるようになっている。
【００４７】
第三表面吹付け部１６１は、具体的にはノズルであり、配管を通じて供給された第五の流体を、処理対象物１００の表面に吹き付ける。第三表面吹付け部１６１は、第二表面吹付け部１５１と同様の構造を有している。第三表面吹付け部１６１は、例えばノズルである。このノズルの形状等は問わない。この第五の流体は、具体的には、第四の流体を吹き飛ばして乾燥させるための、Ｎ２ガス等の不活性ガスや、ドライエア等の気体である。また、第三表面吹付け部１６１は、アーム１６２によって処理対象物１００の上部を含む領域を回動可能に取り付けられている。アーム１６２の付け根は、アーム１２２と同様に、回転機構（図示せず）に取り付けられており、この回転機構を駆動させてスイング動作を行うことが可能となっている。第三表面吹付け部１６１は、ここでは、アーム１６２の位置を調整することで、処理対象物１００のほぼ中心上に位置させられるようになっている。
【００４８】
なお、第一表面吹付け部１２１、およびこれに流体を供給する構造を、第四の流体や第五の流体を吹き付けるために利用するようにしても良い。この場合、第四の流体や、第五の流体を、第一の流体と考えても良い。
【００４９】
また、第二表面吹付け部１５１や第三表面吹付け部１６１を省略し、第一の流体と第四の流体と第五の流体との第一表面吹付け部１２１への供給を切り替えられる弁等を設けて、第一の流体と第四の流体と第五の流体とを適宜切り替えて、第一表面吹付け部１２１から、吹き付けるようにしても良い。
【００５０】
次に、洗浄装置の動作について、図３〜図５を用いて説明する。図３〜図５は、洗浄装置の動作を説明するための主要部の斜視図である。
【００５１】
まず、第一表面吹付け部１２１と第一裏面吹付け部１３１とを用いた接着剤の洗浄処理を行う。以下、この洗浄処理について説明する。ここでは例として接着剤１０１がワックス、第一の流体がエタノール、第二の流体が純水である場合について説明する。
【００５２】
まず、図３に示すように、支持基板（図示せず）等から剥がした薄板状の処理対象物１００、ここでは例として直径が約２００ｍｍのウエハ、を接着面である表面を上面として、支柱１１１上に載置し、クランプ１１２を倒して保持構造１１０に保持する。そして、第一表面吹付け部１２１を処理対象物１００の中央部に移動させる。
【００５３】
つぎに、モータ１１５を駆動して、保持構造１１０を回転させ、処理対象物１００を回転させる。この回転のスピードは、ここでは、例として５０ｒｐｍとする。なお、回転速度は５０ｒｐｍ以外であっても良いが、この処理においては、回転数が早すぎると、第一の流体が遠心力で、すぐに処理対象物１００上からはじき飛ばされ、処理対象物１００の表面に滞留する時間が短くなり、接着剤が十分に除去されないため、高速の回転を行わないことが好ましい。
【００５４】
つぎに、ポンプ１２３を駆動して、第一表面吹付け部１２１から、処理対象物１００の表面に、第一加熱部１２５により約４０℃に加熱した第一の流体であるエタノールを吹き付ける。第一の流体を吹き付けることで、その吹き付ける力と、遠心力とにより、加熱された第一の流体とともに、第一の流体により剥がされたり溶融した接着剤１０１が、処理対象物１００上から除去される。第一の流体の流量は、約１リットル／分とする。なお、吹き付ける際に、第一表面吹付け部１２１を、処理対象物１００上方で、スイング動作させても良い。スイング動作させることで、処理対象物の表面全面に同程度の強さで第一の流体を吹き付けていくことができ、効率よく接着剤を除去することができる。
【００５５】
また、同時に、ポンプ１３３を駆動して、第一裏面吹付け部１３１から、処理対象物１００の裏面に対して、第二加熱部１３５により約４０℃に加熱した第二の流体である純水を吹き付ける。第二の流体の流量は、約１．５リットル／分とする。第二の流体を吹き付けることで、処理対象物１００の縁から処理対象物１００の裏面に第一の流体とともに回り込もうとした、処理対象物１００の表面から除去された接着剤１０１が、第二の流体の吹き付ける力と遠心力とにより、処理対象物１００の裏面から除去される。
【００５６】
第一の流体および第二の流体の吹き付け開始から、およそ１５秒から１分経過後、吹付けを終了し、第一表面吹付け部１２１を、処理対象物１００上から移動させ、処理が終了する。この処理により、熱溶融性を有する接着剤が、処理対象物１００の表面から除去される。また、除去された接着剤が、処理対象物１００の裏面に付着しないようにすることができる。
【００５７】
つぎに、洗浄処理後の処理対象物１００に対して、第二表面吹付け部１５１と第一裏面吹付け部１３１とを用いて第一の流体を除去する処理、いわゆるリンス処理を行う。以下、このリンス処理について説明する。なお、ここでは例として、第四の流体が純水である場合について説明する。
【００５８】
まず、図４に示すように、第二表面吹付け部１５１を、処理対象物１００の中央部に移動させ、モータ１１５を駆動して、保持構造１１０を回転させ、処理対象物１００を回転させる。なお、洗浄処理終了時に、回転を終了させずに、回転スピードのみを適宜調整するようにしても良い。この回転のスピードは、ここでは、例として５０ｒｐｍとする。
【００５９】
つぎに、ポンプ１５３を駆動して、第二表面吹付け部１５１から、処理対象物１００の表面に、第四の流体である純水を吹き付ける。この処理は、第一の流体を処理対象物１００の表面や裏面から除去する処理であるので、第四の流体を加熱する必要はない。第四の流体の流量は、約１リットル／分とする。第四の流体を吹き付けることで、その吹き付ける力と、遠心力とにより、処理対象物１００表面に残っている第一の流体が、第四の流体とともに処理対象物１００上から除去される。なお、吹き付ける際に、第二表面吹付け部１５１を、処理対象物１００上方で、スイング動作させても良い。スイング動作させることで、処理対象物１００の表面全面に同程度の強さで第四の流体を吹き付けていくことができ、効率よく第一の流体を除去することができる。
【００６０】
また、同時に、ポンプ１３３を駆動して、第一裏面吹付け部１３１から、処理対象物１００の裏面に対して、第二の流体である純水を吹き付ける。このとき、第二の流体は加熱されていても加熱されていなくても良い。第二の流体の流量は、約１．５リットル／分とする。第二の流体を吹き付けることで、処理対象物１００の縁から処理対象物１００の裏面に回り込もうとした、処理対象物１００の表面から除去された第一の流体が、第二の流体の吹き付ける力と遠心力とにより、処理対象物１００の裏面から除去される。
【００６１】
第四の流体および第二の流体の吹き付け開始から、およそ１５秒から１分経過後、吹付けを終了し、第二表面吹付け部１５１を、処理対象物１００上から移動させ、処理が終了する。第一の流体としては、通常、溶剤が用いられるが、このような溶剤は、ウエハ等の処理対象物の品質を高品質に保つうえでは、残存していないことが好ましい。本実施の形態においては、このようなリンス処理により、熱溶融性を有する接着剤１０１の除去に用いた第一の流体を、処理対象物１００の表面から除去することができる。また、処理対象物１００の表面から除去された第一の流体が、処理対象物１００の裏面に付着しないようにすることができる。
【００６２】
つぎに、リンス処理後の処理対象物１００に対して、第三表面吹付け部１６１と第二裏面吹付け部１４１とを用いて第二および第四の流体である純水を除去する処理、いわゆるブロウ処理を行う。以下、このブロウ処理について説明する。なお、ここでは例として第三および第五の流体がＮ２ガスである場合について説明する。
【００６３】
まず、図５に示すように、第三表面吹付け部１６１を、処理対象物１００の中央部に移動させ、モータ１１５を駆動して、保持構造１１０を回転させ、処理対象物１００を回転させる。なお、リンス処理終了時に、回転を終了させずに、回転スピードのみを適宜調整するようにしても良い。この回転のスピードは、ここでは、例として８００ｒｐｍとする。なお、回転速度は８００ｒｐｍ以外であっても良いが、ここでは、遠心力で、処理対象物に付着している第二および第四の流体を除去できることから、高速の回転が好ましい。
【００６４】
つぎに、Ｎ２ガスを第三表面吹付け部１６１に供給して、第三表面吹付け部１６１から、処理対象物１００の表面に、第五の流体であるＮ２ガスを吹き付ける。このブロウ処理は、第四の流体である純水を処理対象物１００の表面や裏面から、吹き飛ばしたり乾燥させたりして除去する処理であるので、第五の流体を加熱する必要はない。ただし、この流体を第一加熱部１２５等と同様の加熱部（図示せず）を設けて加熱することで、第四の流体を乾燥させやすくして、第四の流体を除去する時間を短縮できる。第五の流体の流量は、約１リットル／分とする。第五の流体を吹き付けることで、その吹き付ける力と、遠心力とにより、処理対象物１００表面に残っている第四の流体が処理対象物１００上から吹き飛ばされ、除去される。なお、吹き付ける際に、第三表面吹付け部１６１を、処理対象物１００上方で、スイング動作させても良い。スイング動作させることで、処理対象物１００の表面全面に同程度の強さで第五の流体を吹き付けていくことができ、効率よく第四の流体を除去することができる。
【００６５】
また、同時に、Ｎ２ガスを第二裏面吹付け部１４１に供給して、第二裏面吹付け部１４１から、処理対象物１００の裏面に対して、第三の流体であるＮ２ガスを吹き付ける。第三の流体の流量は、約１．５リットル／分とする。第三の流体を吹き付けることで、処理対象物１００の裏面に残っている第二の流体が、第三の流体の吹き付ける力と遠心力とにより吹き飛ばされ、処理対象物１００の裏面から除去される。
【００６６】
第三の流体および第五の流体の吹き付け開始から、およそ５秒から１５秒経過後、吹付けを終了し、第三表面吹付け部１６１を、処理対象物１００上から移動させ、処理が終了する。このようなブロウ処理により、第二の流体や第四の流体を、処理対象物１００の表面から除去することができ、処理対象物を乾燥させる時間等を短縮できる。
【００６７】
なお、上記において示した第一から第五の流体の組み合わせや、各処理における各流体の流量や、加熱する温度、保持構造１１０の回転数、各処理の処理時間等は、あくまでも一例であり、使用する熱溶融性の接着剤１０１の材料や、量、あるいは処理対象物の大きさ等に応じた最適な値となるよう適宜変更可能である。
【００６８】
また、上記の洗浄処理とリンス処理との両方の処理においては、第一裏面吹付け部１３１等の、処理対象物１００の裏面に対して第二の流体を吹き付ける構成を兼用するようにした。しかしながら、本発明においては、それぞれの処理において用いる第二の流体を吹き付ける構造として、上述したような第一裏面吹付け部１３１を備えた第二の流体を吹き付ける構造を個別に設けても良い。また、この場合、洗浄処理に用いる第二の流体とリンス処理に用いる第二の流体とを異なる流体としてもよい。なお、このとき、リンス処理に用いる第二の流体を吹き付ける構造においては、第二の流体を加熱するための加熱部は設ける必要はない。
【００６９】
以上、本実施の形態においては、加熱した第一の流体を吹き付けて、処理対象物表面の熱溶融性の接着剤を除去するようにしたので、短時間で、効率的に、かつ確実に熱溶融性の接着剤を除去することが可能となる。
【００７０】
また、本実施の形態においては、熱溶融性の接着剤を手作業による処理を行わずに、自動的に除去することが可能となり、接着剤の除去に要する手間を削減できるとともに、接着剤の除去状態のばらつきをなくすことができる。また、これにより、熱溶融性の接着剤の除去に特化した自動洗浄装置を提供することが可能となる。
【００７１】
また、処理対象物裏面の外縁部に、少なくとも外縁部を含む領域に、表面から、第一の流体とともに回り込んでくる接着剤を除去するために、第二の流体を吹き付けるようにしたので、処理対象物の裏面が接着剤等により汚染されないようにすることができる。例えば、処理対象物が半導体ウエハであるとすると、通常、本願において説明した処理対象物の支持基板と接着されていない裏面側に、デバイスが形成されていることとなるため、デバイスの品質を確保するためには、この処理対象物の裏面が、汚染されないようにする必要がある。したがって、本実施の形態のように第二の流体を処理対象物の裏面に吹き付けることで、デバイスの品質を保つことができる。
【００７２】
さらに、保持構造１１０により、処理対象物１００を、その外縁部で保持するようにしたので、処理対象物１００の裏面全体に第二の流体等を吹き付けることができ、処理対象物１００の外縁から回り込んだ接着剤が、処理対象物１００の裏面の中央部等に付着することを防ぐことができる。また、洗浄後に、処理対象物１００の裏面と、保持構造１１０との間に接着剤１０１や流体が残らないようにして、処理対象物１００の汚れを防ぐことができる。
【００７３】
なお、上記実施の形態においては、支柱１１１により処理対象物１００を下から支持するようにしたが、本実施の形態においては、例えば処理対象物１００を、テーブル状の載置台（図示せず）上に載置するようにしても良い。ただし、このような載置台は、処理対象物１００の外縁部に流体を吹き付けられるような形状とする必要がある。例えば、載置台の外縁が、処理対象物１００の外縁部よりも内側に位置する形状となるようにすることが好ましい。ただし、このような載置台を用いた場合、載置台と処理対象物との間に、流体や接着剤等が残りやすいため、載置台をメッシュ状にする等、このような流体や接着剤が残りにくい形状となるようにすることが好ましい。
【００７４】
また、上記実施の形態において説明した、流体や、その流量、加熱温度、保持構造の回転速度、処理時間等は、一例であり、洗浄対象となる処理対象物の材質や構造や大きさ、熱溶融性の接着剤の材質等により適宜変更可能であることはいうまでもない。
【００７５】
また、本実施の形態においては、保持構造１１０を回転させて、洗浄処理やリンス処理やブロウ処理を行うようにしたが、保持構造１１０を回転させないようにしても良い。ただし、この場合、遠心力によって接着剤や流体が除去されないため、流体の吹き付けるちからだけで、接着剤等を除去する必要があるので、流体の流量等や、吹き付ける向きやノズルの形状等を調整する必要がある。
【００７６】
本発明は、以上の実施の形態に限定されることなく、種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００７７】
以上のように、本発明にかかる洗浄装置等は、処理対象物の表面に付着した熱溶融性の接着剤を除去する洗浄装置として適しており、特に、貼り合わせ装置等で支持基板等の他の部材と貼り合わせられていた処理対象物の接着面である表面を、洗浄する洗浄装置等として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】実施の形態における洗浄装置の構成を説明するための側面から見た図
【図２】同洗浄装置の構成を説明するための上面からみた図
【図３】同洗浄装置の動作を説明するための主要部の斜視図
【図４】同洗浄装置の動作を説明するための主要部の斜視図
【図５】同洗浄装置の動作を説明するための主要部の斜視図
【符号の説明】
【００７９】
１００  処理対象物
１０１  接着剤
１１０  保持構造
１１１  支柱
１１２  クランプ
１１３  プーリー
１１４  ベルト
１１５  モータ
１１６  回転軸
１２１  第一表面吹付け部
１２２、１５２、１６２  アーム
１２３、１３３、１５３  ポンプ
１２４、１３４、１５４  容器
１２５  第一加熱部
１２６  回転機構
１３１  第一裏面吹付け部
１３５  第二加熱部
１４１  第二裏面吹付け部
１５１  第二表面吹付け部
１６１  第三表面吹付け部
１７０  カバー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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