(57)【要約】【課題】本発明は、弾性表面波共振子におけるエネルギーの閉じ込み効率を向上させることを目的とする。【解決手段】弾性表面波共振子の構成を、回転ＹカットＸ伝播ＬｉＴａＯ3からなる圧電基板８上と、この圧電基板８上に形成された櫛型電極９を有し、櫛型電極９は一対のバスバー１０ａ，１０ｂと、それぞれのバスバー１０ａ（１０ｂ）から対向するバスバー１０ｂ（１０ａ）側に交互に延出された複数の電極指１１とから構成し、バスバー１０ａ，１０ｂは伝播方向にその厚みが厚い領域１２と薄い領域１３が周期性を持って形成したグレーティング領域１４を設けた構成とした。【選択図】図１
2008113273.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転ＹカットＸ伝播ＬｉＴａＯ3からなる圧電基板と、この圧電基板上に形成された櫛型電極を有し、前記櫛型電極は一対のバスバーと、前記それぞれのバスバーから対向するバスバー側に交互に延出された複数の電極指とから構成され、前記バスバーは前記伝播方向にその厚みが厚い領域と薄い領域が周期性を持って形成されたグレーティング領域を設けたことを特徴とする弾性表面波共振子。
【請求項２】
バスバーの厚みにおける周期を電極指の周期より大きくしたことを特徴とする請求項１記載の弾性表面波共振子。
【請求項３】
バスバーは少なくとも２層の電極膜で構成され、下層電極膜に抜きパターンを配置し周期性のあるパターンを形成し、上層電極膜で前記下層電極膜および抜きパターンを覆ったことを特徴とする請求項１記載の弾性表面波共振子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、主として移動体通信機器にて使用される弾性表面波共振子に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般にこの種の弾性表面波共振子としては、図４に示すように、回転ＹカットＸ伝播ＬｉＴａＯ3からなる圧電基板１の上面に形成されたバスバー２と電極指３とからなる櫛型電極４により形成されており、櫛型電極４内にエネルギーを閉じ込める為、バスバー２に切欠き５を所定の間隔で配置したグレーティング領域６を形成し、電極指３が交差する領域７とグレーティング領域６での表面波の伝播速度を異ならせ、導波路状態を形成していた。
【０００３】
なお、この出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
【特許文献１】特開平１１−２９８２８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、グレーティング領域６を形成するにあたり切欠き５を複数配置したことで、その部分に圧電基板１の表面が露出した自由表面が形成されてしまい、回転ＹカットＸ伝播ＬｉＴａＯ3からなる圧電基板１を用いた弾性表面波共振子においてはこの自由表面からＳＳＢＷ（Ｓｕｒｆａｃｅ  Ｓｋｉｍｍｉｎｇ  Ｂｕｌｋ  Ｗａｖｅ）が放射されてエネルギー損失が生じてしまうという問題を有していた。
【０００５】
本発明は、上記従来の課題を解決するもので、弾性表面波共振子におけるエネルギーの閉じ込み効率を向上させることを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために本発明は、回転ＹカットＸ伝播ＬｉＴａＯ3からなる圧電基板上と、この圧電基板上に形成された櫛型電極を有し、櫛型電極は一対のバスバーと、それぞれのバスバーから対向するバスバー側に交互に延出された複数の電極指とから構成され、バスバーは伝播方向にその厚みが厚い領域と薄い領域が周期性を持って形成されたグレーティング領域を設けた構成とした。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の弾性表面波共振子によれば、弾性表面波共振子におけるエネルギーの閉じ込み効率を向上させることが出来るのである。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明の一実施の形態について図を用いて説明する。
【０００９】
図１は弾性表面波共振子の上面図であり、回転ＹカットＸ伝播ＬｉＴａＯ3からなる圧電基板８上に形成された櫛型電極９が配置された構成で、この櫛型電極９は、一対のバスバー１０ａ，１０ｂと、一方のバスバー１０ａ（１０ｂ）から対向する他方のバスバー１０ｂ（１０ａ）に向けて交互に延出された複数の電極指１１とから構成されている。
【００１０】
そして、この弾性表面波共振子においては、バスバー１０ａ，１０ｂにその厚みが厚い領域１２と薄い領域１３が伝播方向に対して周期性を持つよう交互に並べたグレーティング領域１４を形成することにより、弾性表面波共振子のエネルギー閉じ込み効率を向上させている。
【００１１】
すなわち、グレーティング領域１４がバスバー１０ａ（１０ｂ）の厚みが厚い領域１２と薄い領域１３が伝播方向に対して周期性を持つよう交互に並べた構造としたことで、この電極厚みの差を形成することにより図４に示す従来の切欠き５を設ける構造と同様の効果、つまりバスバー１０ａ（１０ｂ）内における伝播速度を遅くできエネルギーの閉じ込み作用が得られるのである。
【００１２】
さらに、このバスバー１０ａ，１０ｂ内にＳＳＢＷの発生原因となる自由表面を形成する切欠きが形成されていないのでＳＳＢＷの放射が抑制されて、ＳＳＢＷの放射に伴うエネルギー損失を抑制、すなわちエネルギーの閉じ込み効果が向上できるのである。
【００１３】
また、回転ＹカットＸ伝播ＬｉＴａＯ3からなる圧電基板８で構成した弾性表面波共振子においては、電極指１１が交差する領域１５の伝播速度よりグレーティング領域の伝播速度を遅くすることで、導波路状態を形成しエネルギーの閉じ込み作用を得るものであり、この一実施形態においてはバスバー１０ａ，１０ｂにおける周期を電極指１１の周期より大きくすることで閉じ込み効果をさらに良くしている。
【００１４】
すなわち、グレーティング領域１４の周期を電極指１１が交差する領域１５の周期より大きくすることで、弾性表面波共振子の周波数特性における共振周波数と反共振周波数との間にグレーティング領域１４の反射特性における中心周波数を設定することができ、弾性表面波共振子にとって必要となる周波数の弾性表面波をグレーティング領域１４において効率よく閉じ込めることが出来るからである。
【００１５】
また、このような弾性表面波共振子において電極指１１やバスバー１０ａ，１０ｂなどの電極はフォトリソで形成することが多く、上述したグレーティング領域を形成する場合、バスバー１０ａ，１０ｂを図２に示されるよう下層電極膜１６と上層電極膜１７の２層構成とし、下層電極膜１６に抜きパターン１８を形成して段差構造とし、この下層電極膜１６および抜きパターン１８を上層電極膜１７で覆う構造とすることで周期性の精度が向上できるのである。
【００１６】
すなわち、抜きパターン１８のパターンニングが必要となる下層電極膜１６の形成が平坦度の良い圧電基板８上に形成されるため寸法精度がよくなり、パターンニングがなく寸法精度の影響を受けにくい上層電極膜１７を下層電極膜１６上に形成する為、トータルの寸法精度が高くなるからである。
【００１７】
また、この一実施の形態における弾性表面波共振子は、グレーティング領域１４をバスバー１０ａ，１０ｂ内に設けた構造を挙げて説明したが、図３に示すようにバスバー１０ａ，１０ｂの電極指１１側端辺部分にグレーティング領域１９を設けても同様の作用効果が得られるものである。
【００１８】
なお、この図３に示した弾性表面波共振子では電極指１１の先端からグレーティング領域１９までの距離が、先に述べた図１に示すグレーティング領域１４をバスバー１０ａ，１０ｂ内に設けたものより小さく設定することができ、この部分からのＳＳＢＷの放射を抑制でき、さらにエネルギーの閉じ込み効果を高めることが出来るのである。
【００１９】
また、上述した実施形態においては圧電基板上に単一の弾性表面波共振子を配置した構造を例に挙げて説明したが、本発明はこの実施の形態に限定されるものでなく、複数の弾性表面波共振子を適宜組み合わせた形態にでも適応できるものである。
【産業上の利用可能性】
【００２０】
本発明に係る弾性表面波共振子は、エネルギーの閉じ込み効率を向上できるという作用を有し、主として移動体通信機器に用いられる弾性表面波フィルタに使用される弾性表面波共振子において有用となるものである。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の一実施の形態における弾性表面波共振子の模式図
【図２】図１におけるＸ−Ｘ線断面図
【図３】他の実施の形態における弾性表面波共振子の模式図
【図４】従来の弾性表面波共振子の模式図
【符号の説明】
【００２２】
８  圧電基板
９  櫛型電極
１０ａ，１０ｂ  バスバー
１１  電極指
１２  厚い領域
１３  薄い領域
１４  グレーティング領域
１６  下層電極膜
１７  上層電極膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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