(57)【要約】【課題】フィルムを剥離する過程で基板上の電子回路等を損傷させることがなく、またフィルムの剥離痕が生じることもなく、作業効率よく基板からフィルムを剥離することができるフィルム剥離装置の提供を課題とする。【解決手段】基板１０表面に貼られたフィルムを剥離するフィルム剥離装置１であって、基板１０の姿勢を垂直方向変換する姿勢変換手段３０と、基板１０を１枚ずつ所定の剥離位置まで移動させる基板移動手段４０と、基板１０を垂直姿勢のままクランプするクランプ手段５０と、上方から降下してきてその先端爪部をフィルム縁と基板１０との間に差し込み、フィルム縁を基板１０から一部遊離させるフィルム縁遊離手段６０と、遊離されたフィルム縁を把持すると共に把持したフィルム縁を基板１０から斜め下方に移動させるフィルム縁把持移動手段７０とを有する。【選択図】      図１
2008222426.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板表面に貼られたフィルムを剥離するフィルム剥離装置であって、搬送されてきた基板の姿勢を垂直方向変換する姿勢変換手段と、該姿勢変換手段によって垂直姿勢とされた基板を１枚ずつ所定の剥離位置まで移動させる基板移動手段と、該基板移動手段によって所定の剥離位置まで移動された基板を垂直姿勢のままクランプするクランプ手段と、該クランプ手段によってクランプ状態にある垂直姿勢の基板に対して、上方から降下してきてその先端爪部をフィルム縁と基板との間に差し込み、フィルム縁を基板から一部遊離させるフィルム縁遊離手段と、該フィルム縁遊離手段により遊離されたフィルム縁を把持すると共に把持したフィルム縁を基板から斜め下方に移動させるフィルム縁把持移動手段とを有することを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項２】
フィルム縁遊離手段は、その先端爪部を一対の爪で構成し、この一対の爪を基板の表裏に貼られたフィルムのフィルム縁と基板との間に差し込み、これによって基板表裏の両フィルム縁を同時に基板から一部遊離させる構成とし、前記フィルム縁把持移動手段は、基板の表裏に一対配置し、基板の表裏において把持したフィルム縁を同時に斜め下方に移動させる構成としたことを特徴とする請求項１に記載のフィルム剥離装置。
【請求項３】
フィルム縁遊離手段は、その先端爪部の一対の爪で、基板の上縁を一旦軽く掴み、その後掴んだ状態で更に一対の爪を降下させて、各爪をフィルム縁と基板との間に差し込ませる構成としたことを特徴とする請求項２に記載のフィルム剥離装置。
【請求項４】
フィルム縁把持移動手段は、その一部を構成するフィルム把持装置に一対の把持子を設け、この一対の把持子は、クランプ手段によってクランプ状態とされている基板に対してフィルム上縁の遊離予定位置の近傍に進出すると共にフィルム上縁を挟む位置に相互に開口して待機され、且つフィルム縁が遊離された時点で、相互に閉止して遊離されたフィルム縁を把持する構成とされていることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載のフィルム剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体基板等の基板表面に貼られたフィルムを基板から剥離するフィルム剥離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体基板等に貼られたフィルムを基板等から連続剥離する装置として、下記特許文献１〜３に示すような粘着テープやローラを基板等に押圧してフィルムを剥離するフィルム剥離装置が提供されている。
【特許文献１】特開平６−２７８９３６号公報
【特許文献２】特開平７−２９１５２１号公報
【特許文献３】特開２００６−２６４８３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記特許文献１〜３に示すフィルム剥離装置は、何れもローラを基板等に押圧して粘着テープにフィルムを粘着させることでフィルムを基板等から確実に剥離させることができる点に利点があるものである。
しかし上記特許文献１〜３に示すフィルム剥離装置は、その何れにおいてもローラを基板等に押圧する構成を採用していることから、ローラの押圧力で基板上の電子回路等を損傷させる可能性があった。
【０００４】
そこで本発明は上記従来技術における問題点を解決し、フィルムを剥離する過程で基板上の電子回路等を損傷させることがなく、またフィルムの剥離痕が生じることもなく、作業効率よく基板からフィルムを剥離することができるフィルム剥離装置の提供を課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を達成するための本発明のフィルム剥離装置は、基板表面に貼られたフィルムを剥離するフィルム剥離装置であって、搬送されてきた基板の姿勢を垂直方向変換する姿勢変換手段と、該姿勢変換手段によって垂直姿勢とされた基板を１枚ずつ所定の剥離位置まで移動させる基板移動手段と、該基板移動手段によって所定の剥離位置まで移動された基板を垂直姿勢のままクランプするクランプ手段と、該クランプ手段によってクランプ状態にある垂直姿勢の基板に対して、上方から降下してきてその先端爪部をフィルム縁と基板との間に差し込み、フィルム縁を基板から一部遊離させるフィルム縁遊離手段と、該フィルム縁遊離手段により遊離されたフィルム縁を把持すると共に把持したフィルム縁を基板から斜め下方に移動させるフィルム縁把持移動手段とを有することを第１の特徴としている。
また本発明のフィルム剥離装置は、上記第１の特徴に加えて、フィルム縁遊離手段は、その先端爪部を一対の爪で構成し、この一対の爪を基板の表裏に貼られたフィルムのフィルム縁と基板との間に差し込み、これによって基板表裏の両フィルム縁を同時に基板から一部遊離させる構成とし、前記フィルム縁把持移動手段は、基板の表裏に一対配置し、基板の表裏において把持したフィルム縁を同時に斜め下方に移動させる構成としたことを第２の特徴としている。
また本発明のフィルム剥離装置は、上記第１、第２の何れかの特徴に加えて、フィルム縁遊離手段は、その先端爪部の一対の爪で、基板の上縁を一旦軽く掴み、その後掴んだ状態で更に一対の爪を降下させて、各爪をフィルム縁と基板との間に差し込ませる構成としたことを第３の特徴としている。
また本発明のフィルム剥離装置は、上記第１〜第３の何れかの特徴に加えて、フィルム縁把持移動手段は、その一部を構成するフィルム把持装置に一対の把持子を設け、この一対の把持子は、クランプ手段によってクランプ状態とされている基板に対してフィルム上縁の遊離予定位置の近傍に進出すると共にフィルム上縁を挟む位置に相互に開口して待機され、且つフィルム縁が遊離された時点で、相互に閉止して遊離されたフィルム縁を把持する構成とされていることを第４の特徴としている。
【発明の効果】
【０００６】
請求項１に記載のフィルム剥離装置によれば、搬送されてきた基板の姿勢を垂直方向に変換する姿勢変換手段を有する構成としていることから、表裏にフィルムが貼られている基板に対しても作業を容易に行うことができる。また垂直姿勢とされた基板を１枚ずつ所定の剥離位置まで移動させる基板移動手段を有する構成としていることから、搬送過程で前後に並んだ基板を剥離位置まで移動させる際に基板同士が接触することがなく、基板同士の接触に伴う回路損傷を確実に防止できると共に、スムーズな基板搬送を実現できる。また基板移動手段によって所定の剥離位置まで移動させられた基板を垂直姿勢のままクランプするクランプ手段を有する構成としていることから、クランプ手段により基板を確実に固定することができる。またクランプ状態にある垂直姿勢の基板に対して、上方から降下してきてその先端爪部をフィルム縁と基板との間に差し込み、フィルム縁を基板から一部遊離させるフィルム縁遊離手段を有する構成としていることから、基板がクランプ状態にあることで固定状態が強固に維持されて基板にズレが生じないので、上方から降下させる先端爪部を確実にフィルム縁と基板との間に差し込むことができる。またフィルム縁を基板から一部遊離させる過程に基板を押圧する工程がなく、押圧に伴う回路損傷のないフィルム剥離装置とすることができる。またフィルム縁遊離手段により遊離されたフィルム縁を把持すると共に把持したフィルム縁を基板から斜め下方に移動させるフィルム縁把持移動手段を有する構成としていることから、遊離されたフィルム縁を確実に把持した状態で、フィルム縁を基板から斜め下方に移動させることで基板からフィルム全体を剥離させることができる。またフィルム縁を斜め下方に移動させることで、真っ直ぐ下方に移動させる場合に比べて剥離されたフィルムが基板側へ撓むことを防止できる。これによって剥離されたフィルムが基板に接触することを防止できると共に、スムーズな剥離と剥離されたフィルムの回収、整理作業の効率を向上させることができる。
【０００７】
請求項２に記載のフィルム剥離装置によれば、上記請求項１に記載の構成による効果に加えて、フィルム縁遊離手段は、その先端爪部を一対の爪で構成し、この一対の爪を基板の表裏に貼られたフィルムのフィルム縁と基板との間に差し込み、これによって基板表裏の両フィルム縁を同時に基板から一部遊離させる構成としていることから、
表裏にフィルムが貼られた基板に対しても一動作で表裏のフィルム縁を同時に遊離させることが可能となり、作業効率を大幅に向上させることができる。またフィルム縁把持移動手段は、基板の表裏に一対配置し、基板の表裏において把持したフィルム縁を同時に斜め下方に移動させる構成としていることから、表裏にフィルムが貼られた基板に対しても表裏のフィルムを同時に剥離させることが可能となり、作業効率を大幅に向上させることができる。また基板に対する剥離圧が表裏から同時に加えられることで、基板がゆがむのを防止することができる。
【０００８】
請求項３に記載のフィルム剥離装置によれば、上記請求項１又は２の何れかに記載の構成による効果に加えて、フィルム縁遊離手段は、その先端爪部の一対の爪で、基板の上縁を一旦軽く掴み、その後掴んだ状態で更に一対の爪を降下させて、各爪をフィルム縁と基板との間に差し込ませる構成としていることから、
先端爪部の一対の爪で基板の上縁を一旦軽く掴むことで、基板の上縁に爪先を確実に接触させることができる。その後、予め掴んだ状態で更に一対の爪を降下させることで、一対の爪を基板に接触させた状態のままで降下させることができる。よってフィルム縁と基板との間に先端爪部を確実に差し込ませることができ、フィルム縁を確実に爪の上に乗せて浮かせることができる。
【０００９】
請求項４に記載のフィルム剥離装置によれば、上記請求項１〜３の何れかに記載の構成による効果に加えて、フィルム縁把持移動手段は、その一部を構成するフィルム把持装置に一対の把持子を設け、この一対の把持子は、クランプ手段によってクランプ状態とされている基板に対してフィルム上縁の遊離予定位置の近傍に進出すると共にフィルム上縁を挟む位置に相互に開口して待機され、且つフィルム縁が遊離された時点で、相互に閉止して遊離されたフィルム縁を把持する構成としていることから、
一対の把持子によって、一部が遊離されたフィルム縁を速やかに且つ確実に把持することができ、作業効率を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下の図面を参照して、本発明の実施形態に係るフィルム剥離装置について説明する。
図１は本発明の実施形態に係るフィルム剥離装置の概略構造を示す正面図である。図２は本発明の実施形態に係るフィルム剥離装置の概略構造を示す左側面図である。図３は本発明の実施形態に係るフィルム剥離装置で用いられる基板を示し、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は右側面図である。図４はフィルム剥離装置の部分拡大正面図である。図５はフィルム剥離装置の部分拡大左側面図である。図６はフィルム浮かし爪センタリング装置の拡大左側面図である。
【００１１】
まず図１、図２を参照して、本発明の実施形態に係るフィルム剥離装置１の構成について説明する。フィルム剥離装置１は、基板１０の表面に貼られたフィルムを基板１０から自動的且つ連続的に剥離する装置であり、搬送コンベア２０と、姿勢変換手段３０と、基板移動手段４０と、クランプ手段５０と、フィルム縁遊離手段６０と、フィルム縁把持移動手段７０とから構成される。
【００１２】
前記搬送コンベア２０は、基板１０を搬送するための装置である。この搬送コンベア２０は、駆動ローラが駆動することによりローラの上面に載置された基板１０を図１の矢印で示す右方から左方へ搬送する。
【００１３】
前記基板１０は、半導体基板等のいわゆるプリント基板である。また図３の（ａ）に示すように平面視長手方向を上下辺とした長方形の板状体であり、図３の（ｂ）に示すように基板１０の表裏に電子回路等のプリント層を覆う樹脂層１１が積層され、更にその上層にフィルム１２が積層された構成となっている。樹脂層１１は基板１０の四辺より一定間隔内側に積層されている。フィルム１２の上縁１２ａは基板１０の上縁より短く、樹脂層１１の上縁１１ａより長くなるようにしている。例えばフィルム１２の上縁１２ａは基板１０の上縁より寸法Ｄ＝３〜５ｍｍ短くし、樹脂層１１の上縁１１ａは基板１０の上縁より寸法Ｅ＝８〜１０ｍｍ短くしている。この寸法Ｅは、後述するフィルム浮かし爪６６が降下した際に該爪６６と当たらない寸法である。
【００１４】
前記姿勢変換手段３０は、基盤１０の姿勢を変換させるための装置である。この姿勢変換手段３０は、図１に示すように、基板上昇下降装置３１と、基板回転装置３２とから構成される。
前記基板上昇下降装置３１は、フィルム剥離時には基板１０を入口部において搬送コンベア２０よりも上昇させ、フィルム剥離後には基板１０を出口部において搬送コンベア２０の搬送面まで下降させるための装置である。この上昇下降装置３１は、上下に移動自在なリフトシリンダ３１ａと、その上部にリフトシリンダ３１ａの棒状部材を介して取り付けられているリフトアーム３１ｂとから構成される。このようにリフトアーム３１ｂをリフトシリンダ３１ａの上部に取り付けることで、リフトシリンダ３１ａの上下移動にリフトアーム３１ｂを同調させることができる。
前記基板回転装置３２は、フィルム剥離時には基板上昇下降装置３１により搬送コンベア２０よりも上昇された基板１０を掴み、入口部において搬送コンベア２０の搬送面に対して垂直になるように回転させ、フィルム剥離後には搬送コンベア２０の搬送面に対して垂直にされた基板１０を水平になるように回転させるための装置である。
【００１５】
姿勢変換手段３０における動作は、フィルム１２の剥離に先立って、搬送コンベア２０によって入口部に基板１０が搬送されてくると、図示しないセンサ等が感知することでリフトシリンダ３１ａが上昇してリフトアーム３１ｂが基板１０を上昇させる。そして基板回転装置３２により水平状態にある基板１０が掴まれ、９０度回転される。これにより基板１０の姿勢が垂直となる。フィルム剥離後には、基板移動手段４０により出口部の基板回転位置に移動された基板１０が基板回転装置３２により９０度回転され、水平となって、基板上昇下降装置３１により搬送コンベア２０の搬送面まで下降される。
【００１６】
このように姿勢変換手段３０を設けることで、基板１０の向きを水平状態から垂直状態に、又は垂直状態から水平状態にスムーズに変換させることが可能となる。
【００１７】
前記基板移動手段４０は、基板１０を入口部、剥離部、出口部間で移動させるための手段である。この基板移動手段４０は、図１に示すように、基板横移動装置４１と、基板上下移動装置４２と、基板摘まみ装置４３とから構成される。
前記基板横移動装置４１は、基板１０を水平方向に往復移動させる装置である。この基板横移動装置４１には基板上下移動装置４２が取り付けられている。
前記基板上下装置４２は、基板１０を垂直方向に往復移動させる装置である。この基板上下装置４２には基板摘まみ装置４３が取り付けられている。
前記基板摘まみ装置４３は、基板１０の上端付近を摘まむ装置である。本装置により基板１０の上縁付近の２ヶ所を樹脂層１１に当たらないように摘まみ、基板１０を吊り下げた状態に保持する。
【００１８】
基板移動手段４０における動作は、まずフィルム剥離時においては、基板横移動装置４１により基板摘まみ装置４３が取り付けられた基板上下移動装置４２が入口部上空に移動される。そして基板上下移動装置４２により基板摘まみ装置４３が下降され、基板１０の上縁を摘まむ。その後、基板摘まみ装置４３が基板１０を摘まんだまま入口部上空まで上昇される。そして基板横移動装置４１により基板１０を摘まんだ基板摘まみ装置４３が剥離部上空まで移動される。剥離部では、基板上下移動装置４２により、基板摘まみ装置４３が下降され、基板１０をフィルム剥離位置まで移動させる。その後クランプ手段５０が基板１０をクランプした時点で基板摘まみ装置４３は基板１０を離し、上方に移動される。一方、フィルムが剥離された後においては、基板上下移動装置４２により基板摘まみ装置４３が下降され、基板１０の上縁を摘まみ、そのままの状態で再び剥離部上空まで上昇される。そして基板横移動装置４１により、基板１０を摘まんだ基板摘まみ装置４３を取り付けた基板上下移動装置４２が出口部上空まで移動される。そして基板上下移動装置４２により基板摘まみ装置４３が下降されて基板１０を基板回転位置まで移動される。
【００１９】
このように基板移動手段４０を設けることで、フィルム剥離時における姿勢変換手段３０からクランプ手段５０までの基板１０の移動と、フィルム剥離後におけるクランプ手段５０から姿勢変換手段３０までの基板１０の移動を迅速に行うことができ、作業効率のよいフィルム剥離装置１とすることができる。また本実施例においては、基板摘まみ装置４３を取り付けた基板上下移動装置４２を２機１対で取り付ける構成としたことで、剥離部に対する基板１０の搬出入処理を同時に行うことが可能となり、非常に作業効率のよいフィルム剥離装置１とすることができる。
【００２０】
前記クランプ手段５０は、基板１０の縁部を剥離部のフィルム剥離位置において固定するための手段である。このクランプ手段５０は、基板上部固定装置５１と、基板下部固定装置５２とから構成される。
前記基板上部固定装置５１は、基板１０の上縁付近を固定するための装置であり、図１に示すように、基板１０の表裏から基板１０の上縁付近を挟むことで基板１０の上縁が固定される。詳しくは図４に示すように、基板１０の上辺からフィルム１２の上辺までの間を基板１０の表裏から挟み固定する装置である。なお、この基板上部固定装置５１の形状、数は本実施形態のものに限る必要はないし、その先端にゴムを設けるようなものでもよい。また基板１０の上縁を挟む位置も表裏で必ずしも同一位置とする必要はなく、如何なる位置としてもよいが、少なくともフィルム縁遊離手段６０のフィルム浮かし爪６６がフィルム縁と基板との間に挿入される位置と異なることが必要である。
前記基板下部固定装置５２は、図１、図２に示すように、剥離位置まで降下された基板１０の下縁が嵌まり込む凹部を備えた部材からなる装置である。この装置５２により基板１０の下縁が固定される。なお、この基板下部固定装置５２の形状、数、基板１０の下縁の嵌合位置は本実施形態のものに限られるものではないことは言うまでもない。またクランプ手段５０と同一機能を有するものであれば、必ずしも基板１０の上下縁を固定する構成である必要はなく、左右縁を固定するような構成のものを用いてもよい。
【００２１】
前記フィルム縁遊離手段６０は、クランプ手段５０によりフィルム剥離位置で固定された基板１０のフィルム上縁の一部を遊離させるための手段である。このフィルム縁遊離手段６０は、図２、図４〜図６に示すように、フィルム浮かし爪前後移動装置６１と、フィルム浮かし爪上下移動装置６２と、フィルム浮かし爪開閉装置６３と、フィルム浮かし爪センタリング装置６４と、フィルム浮かし爪挿入駆動装置６５と、フィルム浮かし爪６６とから構成される。
また図５に示すように、フィルム浮かし爪前後移動装置６１には、フィルム浮かし爪上下移動装置６２が取り付けられている。フィルム浮かし爪上下移動装置６２にはフィルム浮かし爪挿入駆動装置６５が取り付けられている。フィルム浮かし爪挿入駆動装置６５にはフィルム浮かし爪センタリング装置６４が取り付けられている。フィルム浮かし爪センタリング装置６４にはフィルム浮かし爪開閉装置６３が取り付けられている。フィルム浮かし爪開閉装置６３にはフィルム浮かし爪６６が取り付けられている。
【００２２】
前記フィルム浮かし爪前後移動装置６１は、図５に示すように、フィルム浮かし爪上下移動装置６２を基板１０に対して直角方向（前後方向）に移動させる。これによってフィルム浮かし爪上下移動装置６２と一体にフィルム浮かし爪開閉装置６３、フィルム浮かし爪センタリング装置６４、フィルム浮かし爪挿入駆動装置６５、フィルム浮かし爪６６の全てを一括させて移動させることができる。このフィルム浮かし爪前後移動装置６１は、主としてフィルム浮かし爪６６を基板１０への挿入位置上空まで移動させるために用いられる。なおフィルム浮かし爪前後移動装置６１は必ずしも本実施形態に限る必要はなく、その取り付け位置等も適宜変更可能である。
【００２３】
前記フィルム浮かし爪上下移動装置６２は、図５に示すように、フィルム浮かし爪挿入駆動装置６５を垂直（上下）方向に移動させる。これによってフィルム浮かし爪駆動装置６５と一体に、フィルム浮かし爪センタリング装置６４、フィルム浮かし爪開閉装置６３、フィルム浮かし爪６６が上下方向に移動される。
このフィルム浮かし爪上下移動装置６２は主としてフィルム浮かし爪６６を基板１０への挿入位置の真上まで移動させるために用いられる。つまり、このフィルム浮かし爪上下移動装置６２によりフィルム浮かし爪６６は、図４、図６に示すように、基板１０の上縁とフィルム１２の上縁との間の高さ位置に一対の爪を開いた状態で待機される。なおフィルム浮かし爪上下移動装置６２は必ずしも本実施形態に限る必要はなく、その取り付け位置等も適宜変更可能である。
【００２４】
前記フィルム浮かし爪開閉装置６３は、フィルム浮かし爪６６を開閉させるための装置である。具体的には、このフィルム浮かし爪開閉装置６３は、基板１０の上縁とフィルム１２の上縁１２ａとの間に一対の爪を開いた状態で待機されているフィルム浮かし爪６６の一対の爪を閉止動作させ、また開放動作させる。前記閉止動作させる場合には、一対の爪が基板１０の両側から軽く接するような状態となるように挟持力を調節する。これによって基板１０の上縁付近が一対の爪で軽く摘まれた状態となる。フィルム浮かし爪６６は２個で一対として設けられている。一対の爪６６は、閉止動作された際に、その爪の先端部でのみ基板１０に接することができるように構成されている。また爪の先端部は、爪の先端が基板１０とフィルム１２の上縁との間に侵入した際に、フィルム１２の上縁部が外方へ浮き易い形状にしている。
【００２５】
前記フィルム浮かし爪センタリング装置６４は、図５、図６に示すように、フィルム浮かし爪開閉装置６３を基板１０に対して直角方向に移動させる。このフィルム浮かし爪センタリング装置６４は、主としてフィルム浮かし爪６６を閉じる際に、フィルム浮かし爪６６が基板１０の側面視幅方向中心線より左右何れかにズレていた場合、そのズレを細かく修正するための装置である。フィルム浮かし爪センタリング装置６４は、前記フィルム浮かし爪挿入駆動装置６５に取り付けられている。
【００２６】
このフィルム浮かし爪センタリング装置６４は、図６に示すように、センタリング装置本体６４ａ、バネ６４ｂ、ガイド６４ｃ、枠体６４ｄとから構成される。例えば図６において、フィルム浮かし爪６６が基板１０の側面視幅方向中心線よりもわずかに右側にズレた状態で爪を開いて待機されていた場合、フィルム浮かし爪開閉装置６３による爪の開閉は左右同一速度、同一力で行われるので、側面視左側の爪先のみが基板１０に接触することとなる。このような場合にセンタリング装置本体６４ａがそのズレを感知して作動し、そのズレを修正しながら最終的に左右の爪先を均等に基板１０に接触させた状態で爪を閉じさせる。このようにセンタリング装置本体６４ａを設けることで、フィルム浮かし爪６６の基板１０の側面視幅方向中心線からのズレを即座に修正することができる。これによってフィルム浮かし爪前後移動装置６１、フィルム浮かし爪上下移動装置６２によるフィルム浮かし爪６６の移動段階では、フィルム浮かし爪６６が例え基板１０の側面視幅方向中心線からズレた状態にあっても、最低限一対の爪を基板１０の左右に分かれさせた状態で待機させればよいこととなる。よってフィルム浮かし爪前後移動装置６１、フィルム浮かし爪上下移動装置６２によるフィルム浮かし爪６６の移動段階では、細部調節にこだわることによる処理速度の減速を生じさせることなく処理を行えることが可能となり、作業効率のよいフィルム剥離装置１とすることができる。
【００２７】
更に図５、図６に示すように、このセンタリング装置本体６４ａに対して、その左右側面にバネ６４ｂが取り付けられ、また低摩擦のガイド６４ｃが取り付けられている。このような構成とすることでセンタリング装置本体６４ａがガイド６４ｃに沿って精密に移動されるようになされている。
【００２８】
前記フィルム浮かし爪挿入駆動装置６５は、図５に示すように、フィルム浮かし爪６６を降下させて、該爪６６を基板１０とフィルム１２との間に侵入させる装置であり、フィルム浮かし爪上下移動装置６２によって上下動される。フィルム浮かし爪挿入駆動装置６５によってフィルム浮かし爪センタリング装置６４、フィルム浮かし爪開閉装置６３、フィルム浮かし爪６６を一括して上下動させることができる。
【００２９】
前記フィルム浮かし爪６６は、基板１０のフィルム１２上縁の一部を遊離させるためのものであり、図５、図６に示すように、上部がフィルム浮かし爪開閉装置６３に取り付けられている。このフィルム浮かし爪６６はフィルム浮かし爪開閉装置６３により開閉される。またフィルム浮かし爪６６は、その先端部が基板１０側へ傾斜した一対の爪で構成されている。このように先端部が基板１０側へ傾斜した爪となっていることで、フィルム浮かし爪６６で基板１０の上縁を一旦軽く掴み、その後掴んだ状態で更にフィルム浮かし爪６６を降下させると、先端爪部の傾斜部分にフィルム縁の一部が乗り、その部分周辺のフィルム１２を確実に遊離させることができる。
【００３０】
また図４に示すように、フィルム浮かし爪６６は爪の形状が先端から次第に幅広となる略台形の形状としていることで、フィルム遊離開始段階では、細くなった爪先をフィルム縁に差し込ませ易く、且つ鋭角でないことで基板１０を傷つけることもない。またその後遊離されるフィルム面積を次第に広くさせることができ、フィルムの遊離を効率的に行うことができる。更にフィルム浮かし爪６６は一対の爪であることから、基板１０の表裏のフィルム上縁の一部を同時に遊離させることができる。また先端部の長さは図３に示すフィルム１２の上縁から樹脂層１１の上縁までの長さ以内であれば如何なるものでもよい。またその素材は金属、プラスチック、その他を用いることが可能である。また本実施例では、フィルム浮かし爪６６の形状を先端から次第に幅広となる略台形としたが、必ずしもこれに限るものではなく、例えば円形、多角形等如何なる形状を用いてもよいが、先端部が鋭角とならないものが望ましい。
【００３１】
フィルム縁遊離手段６０における動作は、クランプ手段５０により基板１０がフィルム剥離位置に固定された後、まずフィルム浮かし爪前後移動装置６１によりフィルム浮かし爪６６がフィルム縁遊離位置上空まで移動される。そしてフィルム浮かし爪上下移動装置６２によりフィルム浮かし爪６６がフィルム縁遊離位置真上まで降下される。そしてフィルム浮かし爪開閉装置６３により基板１０の上縁が一旦軽く掴まれる。この時点でフィルム浮かし爪６６にズレが生じている場合には、フィルム浮かし爪センタリング装置６４によりズレが修正される。そして摘まんだ状態で更にフィルム浮かし爪挿入駆動装置６５によりフィルム浮かし爪６６が降下され、フィルム浮かし爪６６の先端部がフィルム縁と基板１０との間に差し込まれる。そして更にフィルム浮かし爪挿入駆動装置６５によりフィルム浮かし爪６６を降下させることで、フィルム１２の上縁の一部が遊離される。その後はフィルム縁把持移動手段７０により一部遊離されたフィルムが把持された後、基板移動手段４０の進入路を確保すべく元の待避位置へと戻ることとなる。
【００３２】
このようにフィルム縁遊離手段６０を設けることで、フィルム上縁の一部を効率的に遊離させることができる。また本実施形態においては、フィルム浮かし爪６６は一対の爪である構成としていることから、基板１０の表裏のフィルム上縁の一部を同時に遊離させることができる。また図４に示すように、フィルム浮かし爪６６は合計４対設けられ、２対を一組とし、その２対のフィルム浮かし爪６６で把持子７１ｂを挟むような位置に降下される構成としている。このような構成とすることで、２対のフィルム浮かし爪６６でフィルム上縁の遊離を行った場合、それぞれのフィルム浮かし爪６６で遊離されるフィルム縁があわさって把持子７１ｂの横幅よりも少し広い部分のフィルム縁が遊離されることとなる。よってフィルム１２の遊離部分をしっかりと把持することができ、フィルム縁把持移動手段７０での効果的なフィルムの剥離へと繋げることができる。
【００３３】
前記フィルム縁把持移動手段７０は、フィルム縁遊離手段６０によって基板１０から一部遊離されたフィルム縁を把持してフィルムを剥離させるための装置である。このフィルム縁把持移動手段７０は、図２、図５に示すように、フィルム把持装置７１と、フィルム把持装置移動装置７２とから構成される。
前記フィルム把持装置７１は、フィルム縁遊離手段６０によって基板１０から一部遊離されたフィルム縁を把持するための装置であり、図２、図５に示すように、基板１０の表裏に一対配置され、把持子前後移動装置７１ａと、把持子７１ｂと、把持子アーム７１ｃと、把持子開閉装置７１ｄとから構成されている。
【００３４】
図４、図５を参照して、前記把持子前後移動装置７１ａは、把持子７１ｂをそのアーム７１ｃや把持子開閉装置７１ｄと共に基板１０に対して直角方向に移動させる装置である。フィルム縁遊離手段６０によりフィルム上縁の一部が遊離される際に、把持子７１ｂはフィルム把持装置移動装置７２により遊離予定位置の近傍に進出されると共に、フィルム上縁を挟む位置に相互に上下一対の把持子７１ｂが開口された状態で待機される。この際、基板１０に反り等があることで把持子７１ｂ先端と基板１０との間に隙間が生じた場合には、把持子前後移動装置７１ａがこれを感知し、修正する。これによって一対の把持子７１ｂの先端を基板１０に確実に接触させた状態、或いは近接させた状態でフィルム縁遊離手段６０による遊離を待つことができる。
【００３５】
前記把持子７１ｂは、図５に示すように、上下一対からなり、把持子アーム７１ｃの先端に取り付けられ、遊離されたフィルム１２を把持する部材である。またフィルム１２の上縁が一部遊離される前においては、フィルム１２の上縁を挟む位置で基板１０に接触された状態で待機される。このような構成とすることで、遊離されたフィルム１２を下の把持子７１ｂでしっかりと受け止めさせることができる。また下の把持子７１ｂが遊離されたフィルム１２の支点となり、遊離されたフィルム１２を基板１０に対して直角方向に折り曲げることが可能となる。これによって遊離されたフィルム１２を下の把持子７１ｂに確実に乗せることができる。また上の把持子７１ｂを基板１０に接触させたまま降下させることができ、遊離されたフィルム１２を下の把持子７１ｂとで迅速に把持させることができる。
【００３６】
なお下の把持子７１ｂは、例えばゴムとすることができる。下の把持子７１ｂの基板１０との接触面はフィルム１２であるので、こうすることでゴムが有するグリップ力、弾性力により、フィルム遊離前においては下の把持子７１ｂをフィルム１２にしっかりと接触固定できると共に、フィルム１２、基板１０を損傷させることも防止できる。
またフィルム遊離後においては、遊離されたフィルム１２を下の把持子７１ｂでより一層受け止めさせ易くでき、上の把持子７１ｂとで遊離されたフィルム１２の把持をより確実に行うことが可能となる。なおゴムとしては、例えばウレタンゴム等の合成ゴムや天然ゴムの何れを用いることもできる。またゴムの厚み、幅、形状、数、下の把持子７１ｂへの取り付け位置、取り付け方法等は適宜変更可能である。
また上の把持子７１ｂは、例えば金属とすることができる。上の把持子７１ｂの基板１０との接触面は基板１０であるので、こうすることで上の把持子７１ｂが基板１０上を下降する際に摩擦を生じさせることがほとんどなく、スムーズな下降が可能となり、下の把持子７１ｂとで遊離されたフィルム１２の把持を迅速に行うことができる。なお金属としては、例えばステンレス鋼等を用いることができるが、勿論、何れの金属を用いてもよい。また金属の厚み、幅、形状、数、上の把持子７１ｂへの取り付け位置、取り付け方法等は適宜変更可能である。また下のアームとの接触面のみに粗目加工を施すようなものであってもよい。このような構成とすることで遊離されたフィルム縁を一層しっかりと把持させることができる。
【００３７】
図４、図５を参照して、前記把持子アーム７１ｃは把持子７１ｂを取り付けるための装置であり、上下一対の開閉自在なアームから構成される。また上のアームは２部材によるリンク機構で、下のアームは１部材で構成されている。把持子アーム７１ｃはフィルム浮かし爪６６とは異なる位置に進出される構成としている。このような構成とすることで、フィルム１２の上縁の一部が遊離される際、その上下の把持子アーム７１ｃを相互に開口させた状態でフィルム１２の上縁を挟む位置に移動させ、把持子７１ｂを基板１０と接触させたまま待機させることができる。更に把持子アーム７１ｃを２対のフィルム浮かし爪６６に挟まれる位置に進出させ、遊離されたフィルム上縁を把持子７１ｂで把持させる構成としている。これによって２対のフィルム浮かし爪６６により一体的に遊離されたフィルム１２の上縁を、下の把持子７１ｂを支点とした状態で受け止めさせることができる。よって上の把持子７１ｂとで遊離されたフィルム１２の把持を、より一層容易に行うことが可能となる。
【００３８】
前記把持子開閉装置７１ｄは、把持子アーム７１ｃの上のアームを上下に移動させる装置である。把持子開閉装置７１ｄによって把持子７１ｂの開閉を行うことができる。
【００３９】
図２を参照して、前記フィルム把持装置移動装置７２は、フィルム把持装置７１を一定速度で斜めに上下移動させるための装置である。このフィルム把持装置移動装置７２を用いることで、遊離されたフィルム１２を把持させたフィルム把持装置７１を斜め下方に移動させ、フィルム１２の剥離を行うことができる。これによって剥離されたフィルム１２が基板１０側へ撓むことを防止して、スムーズなフィルム１２の剥離、回収作業が可能となる。このフィルム把持装置移動装置７２は、例えば基板１０に対して４５度の角度とすることができる。このような構成とすることで、剥離前後のフィルム１２を２辺とし、フィルム把持装置移動装置７２を底辺とする二等辺三角形が形成される。これによって剥離段階では剥離されたフィルム１２が基板１０側へ撓むことを確実に防止でき、スムーズな剥離作業が可能となる。また剥離終了と同時に、剥離されたフィルム１２を撓みなく床面と水平させることができ、剥離されたフィルム１２の回収、整理を容易にすることが可能となる。また剥離段階において、一定速度でフィルム把持装置７１を斜めに下方に移動させることでフィルム把持装置７１による張力が常に一定となり、剥離痕が生じることを確実に防止できる。
【００４０】
更にフィルム把持装置７１とフィルム把持装置移動装置７２とを表裏に一対設ける構成としていることから、基板１０の表裏において剥離されるフィルム１２が同一速度、同一張力で剥離されることとなる。これによって表裏のフィルム１２を同時に剥離できることに加えて、剥離力が表裏でバランスされた状態となり、剥離段階において基板１０の上縁を固定している基板上部固定装置５１に剥離力が作用することを防止できる。従って剥離段階において基板１０にズレが生じることがなく、基板１０の表裏で常に同調したフィルム１２の剥離が可能となり、非常に効率のよいフィルム剥離装置１とすることができる。なお、このフィルム把持装置移動装置７２は、図示していないが、歯車付きベルトを有する動力源を備えている。またフィルム把持装置移動装置７２と基板１０との角度は本実施形態ものに限られるものではないが、処理効率を考慮して４５度であることが望ましい。４５度未満とすれば剥離されたフィルム１２が基板１０側へ撓んで剥離、回収作業の効率が悪く、４５度より大きくすればフィルム把持装置移動装置７２の全長が長くなり、より広いスペースが必要であると共に、剥離時間も長くなり、作業効率が悪くなるからである。また動力源は本実施形態のものに限る必要はなく、如何なるものを用いてもよい。
【００４１】
フィルム縁把持移動手段７０における動作を説明する。フィルム把持装置移動装置７２によりフィルム把持装置７１がフィルム上縁の遊離予定位置の近傍に移動され、フィルム上縁を挟む位置で把持子アーム７１ｃの上下アームが開口して待機される。そしてフィルム縁遊離手段６０によりフィルム上縁が遊離された時点で、上下のアームが相互に閉止されて遊離されたフィルム縁を把持子７１ｂに把持させる。そしてその状態でフィルム把持装置移動装置７２によりフィルム把持装置７１が斜め下方に移動され、フィルム１２が剥離される。そしてフィルム１２全体の剥離が終了すると、把持子アーム７１ｃの上下アームが把持していたフィルム１２の上縁を離し、剥離されたフィルム１２は回収ボックスに回収され、フィルム把持装置７１は次の剥離を行うべくフィルム把持装置移動装置７２により斜め上部へと移動される。
【００４２】
ここで本発明の実施形態に係るフィルム剥離装置１による処理の流れについて、図１を参照して概説する。
まず搬送コンベア２０により基板１０が右方から搬送されてくる。そして入口部に達した時点でセンサが感知し、姿勢変換手段３０により基板１０の向きがベルトに対して水平方向から垂直方向へと変換される。そして基板移動手段４０によりフィルム剥離位置まで基板１０が搬送され、クランプ手段５０により固定される。そしてフィルム縁遊離手段６０によりフィルム１２の上縁が一部遊離される。そしてフィルム縁把持移動手段７０により一部遊離されたフィルム１２の上縁が把持されたまま４５度下方に移動されて基板１０からフィルム１２が全て剥離される。
【００４３】
以上のように本発明によれば、基板１０の表裏に貼られたフィルム１２の剥離を自動的、連続的且つ同時に行うことが可能となり、非常に作業効率のよいフィルム剥離装置１とすることができる。またフィルム１２を剥離する過程で基板１０を押圧することがないので、基板１０上の回路配線等を損傷させることがないフィルム剥離装置１とすることができる。またフィルム１２の剥離が開始から終了まで同一速度で行われるので、フィルム１２の剥離痕が生じることのないフィルム剥離装置１とすることができる。
【００４４】
なお本発明は本実施形態に限られるものではなく、任意好適な様々な変更が可能である。本実施の形態においてはフィルム縁遊離手段６０におけるフィルム上縁の遊離は一対の爪先のみで行われる構成としているが、必ずしもこれに限られるものではなく、例えばこれに加えて一対の爪先の外側に微細な穴を開け、そこからエアーを放出して遊離補助を行うような構成とすることもできる。こうすることでフィルム上縁の一体的な遊離を一層容易に行うことができる。
またフィルム把持装置移動装置７２に速度制御用サーボモータを付加するような構成とすることもできる。これにより一対のフィルム把持装置７１を常に一定速度で移動させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の実施形態に係るフィルム剥離装置の概略構造を示す正面図である。
【図２】本発明の実施形態に係るフィルム剥離装置の概略構造を示す左側面図である。
【図３】本発明の実施形態に係るフィルム剥離装置で用いられる基板を示し、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は右側面図である。
【図４】フィルム剥離装置の部分拡大正面図である。
【図５】フィルム剥離装置の部分拡大左側面図である。
【図６】フィルム浮かし爪センタリング装置の拡大左側面図である。
【符号の説明】
【００４６】
１                        フィルム剥離装置
１０                      基板
１１                      樹脂層
１２                      フィルム
２０                      搬送コンベア
３０                      姿勢変換手段
３１                      基板上昇下降装置
３１ａ                    リフトシリンダ
３１ｂ                    リフトアーム
３２                      基板回転装置
４０                      基板移動手段
４１                      基板横移動装置
４２                      基板上下移動装置
４３                      基板摘まみ装置
５０                      クランプ手段
５１                      基板上部固定装置
５２                      基板下部固定装置
６０                      フィルム縁遊離手段
６１                      フィルム浮かし爪前後移動装置
６２                      フィルム浮かし爪上下移動装置
６３                      フィルム浮かし爪開閉装置
６４                      フィルム浮かし爪センタリング装置
６４ａ                    センタリング装置本体
６４ｂ                    バネ
６４ｃ                    ガイド
６４ｄ                    枠体
６５                      フィルム浮かし爪挿入駆動装置
６６                      フィルム浮かし爪
７０                      フィルム縁把持移動手段
７１                      フィルム把持装置
７１ａ                    把持子前後移動装置
７１ｂ                    把持子
７１ｃ                    把持子のアーム
７１ｄ                    把持子開閉装置
７２                      フィルム把持装置移動装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2008222426.tif 000006
【図５】
2008222426.tif 000007
【図６】
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