(57)【要約】【課題】  記録媒体や保護膜にダメージを与えることなく、高品質のイメージを記録媒体に印画できるサーマルヘッドを提供する。【解決手段】  開示されるサーマルヘッドは、ベース基板上に配列された複数のグレーズと、これらのグレーズ上に形成された複数の発熱体１３と、複数の発熱体１３に対応して設けられ、各グレーズの各一端に個別に接続される複数の個別電極１４と、各グレーズの各他端に共通に接続される共通電極とを備えたものである。このサーマルヘッドでは、個別電極１４は、ニップ領域では、隣接しあう発熱素子を構成する部分の抵抗値が均一となるように、次第に幅が縮小するとともに、くびれる方向が異なっている第１中間部１４ｂ及び第２中間部１４ｃが形成されている。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベース基板上に配列された複数若しくは単一の蓄熱層と、前記蓄熱層上に形成された複数の発熱体と、前記複数の発熱体に対応して設けられ、各前記蓄熱層の各一端に個別に接続される複数の個別電極と、各前記蓄熱層の各他端に共通に接続される共通電極とを備えたサーマルヘッドにおいて、
前記発熱体、前記個別電極、前記共通電極又はボンディングパッドは、所定の領域では、隣接しあう発熱素子を構成する部分の抵抗値が均一となるように、次第に幅が縮小するとともに、くびれる方向が異なっているくびれ部が形成されていることを特徴とするサーマルヘッド。
【請求項２】
ベース基板上に配列された複数若しくは単一の蓄熱層と、前記蓄熱層上に形成された複数の発熱体と、前記複数の発熱体に対応して設けられ、各前記蓄熱層の各一端に個別に接続される複数の個別電極とを備えたサーマルヘッドにおいて、
前記発熱体又は前記個別電極のいずれか一方又は両方は、ニップ領域では、隣接しあう発熱素子を構成する部分の抵抗値が均一となるように、次第に幅が縮小するとともに、くびれる方向が異なっている縮小するくびれ部が形成されていることを特徴とするサーマルヘッド。
【請求項３】
前記くびれ部は、複数形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のサーマルヘッド。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載のサーマルヘッドを備えることを特徴とする印画装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ビデオプリンタ、バーコードプリンタ、ラベルプリンタ、カードプリンタ、ファクシミリ、券売機など各種の印画装置の感熱記録に用いられるサーマルヘッド及びそのサーマルヘッドを組み込んだ印画装置に関する。 
【背景技術】
【０００２】
従来のサーマルヘッドには、絶縁性セラミックス基板上に、複数個の部分グレーズ、上記各部分グレーズの頂部に複数個の発熱体、上記各部分グレーズ上から絶縁性セラミックス基板の表面にかけて平行に対応する上記発熱体にそれぞれ電気的に接続される複数個の個別電極をそれぞれ形成するとともに、これらの発熱体及び個別電極を保護膜により被覆したものがある。このサーマルヘッドの個別電極は、その一部に線幅を細くなすくびれ部を有しており、このくびれ部がグレーズのエッジに沿って千鳥状に配列されている（例えば、特許文献１参照。）。 
【特許文献１】特開平１１−１７９９４８号公報（請求項１，［００１５］〜［００２１］、図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記した従来のサーマルヘッドでは、個別電極の線幅を細くなすことにより隣接する個別電極間の間隔を広げるとともに、個別電極のくびれ部をグレーズのエッジに沿って千鳥状に配列している。従って、隣接する個別電極同士の短絡の発生を防止できるとともに、個別電極等を被覆する保護膜中の内部応力は面方向に良好に分散され、保護膜の所定箇所への大きな応力の集中を有効に防止できる。このため、保護膜に感熱紙などの記録媒体の摺接や異物の噛み込み等により大きな外力が印加されても、保護膜に亀裂が生じることはなく、保護膜を個別電極等に対し良好な状態で被着させておくことができる。この結果、サーマルヘッドの信頼性が向上する。 
【０００４】
しかし、上記した従来のサーマルヘッドでは、直下にグレーズが形成された部分の面積が異なる２種類の個別電極が形成されているため、グレーズ、発熱体及び個別電極により構成される発熱素子ごとに発熱体との接触面積が異なるとともに、発熱素子ごとに個別電極の配線抵抗が異なる。従って、これらの相乗効果により、発熱素子ごとの抵抗値にバラツキが大きい。この結果、印画ムラが生じてしまい、高品質で印画することができないという課題があった。 
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、上述のような課題を解決することができるサーマルヘッド及び印画装置を提供することを目的とする。 
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、請求項１記載の発明に係るサーマルヘッドは、ベース基板上に配列された複数若しくは単一の蓄熱層と、前記蓄熱層上に形成された複数の発熱体と、前記複数の発熱体に対応して設けられ、各前記蓄熱層の各一端に個別に接続される複数の個別電極と、各前記蓄熱層の各他端に共通に接続される共通電極とを備えたサーマルヘッドに係り、前記発熱体、前記個別電極、前記共通電極又はボンディングパッドは、所定の領域では、隣接しあう発熱素子を構成する部分の抵抗値が均一となるように、次第に幅が縮小するとともに、くびれる方向が異なっているくびれ部が形成されていることを特徴としている。 
【０００６】
また、請求項２記載の発明に係るサーマルヘッドは、ベース基板上に配列された複数若しくは単一の蓄熱層と、前記蓄熱層上に形成された複数の発熱体と、前記複数の発熱体に対応して設けられ、各前記蓄熱層の各一端に個別に接続される複数の個別電極とを備えたサーマルヘッドに係り、前記発熱体又は前記個別電極のいずれか一方又は両方は、ニップ領域では、隣接しあう発熱素子を構成する部分の抵抗値が均一となるように、次第に幅が縮小するとともに、くびれる方向が異なっている縮小するくびれ部が形成されていることを特徴としている。 
【０００７】
また、請求項３記載の発明は、請求項１又は２に記載のサーマルヘッドに係り、前記くびれ部は、複数形成されていることを特徴としている。 
【０００８】
また、請求項４記載の発明に係る印画装置は、請求項１乃至３のいずれかに記載のサーマルヘッドを備えることを特徴としている。 
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、請求項１記載の発明に係るサーマルヘッドは、ベース基板上に配列された複数若しくは単一の蓄熱層と、前記蓄熱層上に形成された複数の発熱体と、前記複数の発熱体に対応して設けられ、各前記蓄熱層の各一端に個別に接続される複数の個別電極と、各前記蓄熱層の各他端に共通に接続される共通電極とを備えたサーマルヘッドに係り、前記発熱体、前記個別電極、前記共通電極又はボンディングパッドは、所定の領域では、隣接しあう発熱素子を構成する部分の抵抗値が均一となるように、次第に幅が縮小するとともに、くびれる方向が異なっているくびれ部が形成されている。 
【００１０】
従って、フォトリゾグラフィ技術によりフォトレジストパターンを形成する際やエッチング技術によりエッチング液で不要な部分を除去する際に、フォトレジストやエッチング液が隣接する発熱体、個別電極、共通電極、ボンディングパッド又は引き回し配線の間に溜まるのを防止することができる。 
【００１１】
また、フォトリゾグラフィ技術によりフォトレジストパターンを形成する際に、フォトレジストパターンへの露光不足等が生じることにより、本来除去されるべきフォトレジストパターンが除去されずに残存することを防止することができる。この結果、隣接する発熱体、個別電極、共通電極、ボンディングパッド又は引き回し配線同士が短絡を起こすことを防止することができる。 
【００１２】
また、発熱体又は個別電極のいずれか一方又は両方を上記形状に形成した場合には、発熱素子ごとに発熱体と個別電極との接触面積が同一であるとともに、発熱体ごとに個別電極の配線抵抗が同一となる。このため、発熱体ごとの抵抗値にバラツキが少ない。また、発熱体の熱が電極を伝わって逃げるスピードも電極の面積がほぼ同一であるため、隣接ドット間で均一になりやすい。これらのことから、印画ムラが生じにくく、高品質のイメージを印画することができる。さらに、記録媒体や保護膜にダメージを与えることもない。 
【００１３】
また、本発明によれば、請求項２記載の発明に係るサーマルヘッドは、ベース基板上に配列された複数若しくは単一の蓄熱層と、前記蓄熱層上に形成された複数の発熱体と、前記複数の発熱体に対応して設けられ、各前記蓄熱層の各一端に個別に接続される複数の個別電極とを備えたサーマルヘッドに係り、前記発熱体又は前記個別電極のいずれか一方又は両方は、ニップ領域では、隣接しあう発熱素子を構成する部分の抵抗値が均一となるように、次第に幅が縮小するとともに、くびれる方向が異なっている縮小するくびれ部が形成されている。 
【００１４】
従って、フォトリゾグラフィ技術によりフォトレジストパターンを形成する際やエッチング技術によりエッチング液で不要な部分を除去する際に、フォトレジストやエッチング液が隣接する発熱体又は個別電極の間に溜まるのを防止することができる。 
【００１５】
また、フォトリゾグラフィ技術によりフォトレジストパターンを形成する際に、フォトレジストパターンへの露光不足等が生じることにより、本来除去されるべきフォトレジストパターンが除去されずに残存することを防止することができる。この結果、隣接する発熱体又は個別電極同士が短絡を起こすことを防止することができる。 
【００１６】
さらに、発熱素子ごとに発熱体と個別電極との接触面積が同一であるとともに、発熱体ごとに個別電極の配線抵抗が同一となる。このため、発熱体ごとの抵抗値にバラツキが少ないので、印画ムラが生じにくく、高品質のイメージを印画することができる。さらに、記録媒体や保護膜にダメージを与えることもない。 
【００１７】
また、本発明によれば、請求項４記載の発明に係る印画装置は、請求項１乃至３のいずれかに記載のサーマルヘッドを備えている。従って、記録媒体や保護膜にダメージを与えることなく、高品質のイメージを記録媒体に印画できる。 
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
実施の形態１． 
図１は、本発明の実施の形態１に係るサーマルヘッド１を構成するサーマルヘッド薄膜チップ２の構成を示す平面図、図２は、図１のＡの部分の拡大図、図３は、図１のＢ−Ｂ断面図である。また、図４は、本発明の実施の形態１に係るサーマルヘッド１の構成を示す断面図である。本実施の形態１に係るサーマルヘッド１は、例えば、感熱方式の印画装置（即ち、プリンタ）などに発熱源として搭載されるデバイスである。このサーマルヘッド１は、例えば、図４に示すように、サーマルヘッド薄膜チップ２と、このサーマルヘッド薄膜チップ２を駆動する駆動部３とを備え、サーマルヘッド薄膜チップ２が駆動部３に搭載された構成を有している。 
【００１９】
駆動部３は、例えば、アルミニウム（Ａｌ）などからなる放熱板４に対してプリント基板（ＰＣＢ；Print Circuit Board）５が部分的に重なるように連結されている。このプリント基板５は、一方の面（上面）に複数個のドライバＩＣ（Integrated
Circuit）６が搭載され、他方の面（下面）に外部接続用のコネクタ７が取り付けられている。図４では、１個のドライバＩＣ６のみ図示している。ドライバＩＣ６は、サーマルヘッド薄膜チップ２を駆動するためのデバイスである。ドライバＩＣ６の各端子は、サーマルヘッド薄膜チップ２の上面に形成された個別電極１４とそれぞれワイヤ８を介して接続されているとともに、プリント基板５の一方の面に形成されたプリントパターン（図示略）とワイヤ９を介して接続されている。 
【００２０】
サーマルヘッド薄膜チップ２の上面に形成された共通電極１５の柱部１５ｂは、プリント基板５の一方の面に形成されたプリントパターン（図示略）とワイヤ８を介して接続されている。サーマルヘッド薄膜チップ２は、例えば、シリコーン（Silicone）系の接着剤（図示略）により駆動部３を構成する放熱板４に固定されている。ここで、シリコーンとは、シリコン（Ｓｉ）と酸素（Ｏ）からなるシロキサン結合（≡Ｓｉ−Ｏ−Ｓｉ≡）を骨格とし、そのシリコン（Ｓｉ）にメチル（−ＣＨ３）を主体とする有機基が結合したポリマーをいう。 
【００２１】
サーマルヘッド薄膜チップ２は、ベース基板１１と、グレーズ１２と、発熱体１３と、個別電極１４と、共通電極１５と、保護膜１６とから概略構成されている。なお、図１及び図２では、保護膜１６を図示していない。本実施の形態１に係るサーマルヘッド薄膜チップ２の基本仕様は、例えば、以下の通りである。即ち、サーマルヘッド薄膜チップ２全体における印字長さを示す有効印字長（図４に示す紙面に直交する方向（主走査方向）の長さ）は、約８０ｍｍ、サーマルヘッド薄膜チップ２を構成する発熱体１３の総数は、６４０ｄｏｔｓである。従って、サーマルヘッド薄膜チップ２の１ｍｍ当たりにある発熱体１３の個数を示す発熱体密度は、８ｄｏｔｓ／ｍｍ（＝６４０ｄｏｔｓ／８０ｍｍ）、隣接する発熱体１３の間隔（主走査方向の間隔）を示す発熱体ピッチは、０．１２５ｍｍ（＝８０ｍｍ／６４０ｄｏｔｓ）である。サーマルヘッド薄膜チップ２を構成する複数の発熱体１３が有する抵抗の平均値を示す平均抵抗値は、約８００Ωである。発熱部（発熱ドット）の平面サイズは、約１００μｍ×約１００μｍである。 
【００２２】
本実施の形態１に係るサーマルヘッド薄膜チップ２では、ベース基板１１は、例えば、厚さ１ｍｍ程度の酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）（アルミナ；alumina）等の絶縁性セラミックス基板や表面に酸化膜が形成された単結晶シリコンから構成されている。ベース基板１１の上面には、厚さ２５μｍ程度のグレーズ１２が半円弧状を呈して形成されている。グレーズ１２は、例えば、ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３−ＲＯ系の無鉛、無アルカリのガラスなどの低熱伝導材料からなる。グレーズ１２に用いられるガラスのガラス転移点Ｔｇは、例えば、６５０〜７００℃程度である。このグレーズ１２は、発熱体１３が発生する熱を内部で蓄熱してサーマルヘッド１の熱応答性を良好に維持する蓄熱層としての機能を有するとともに、印刷時に感熱紙（記録媒体）との接触性を高めて印字品質を向上させる機能をも有している。 
【００２３】
上記グレーズ１２の上面には、例えば、ホウ素（Ｂ）又はリン（Ｐ）がドーピングされた厚さ約０．２μｍの多結晶シリコン（Ｐｏｌｙ−Ｓｉ）薄膜からなる複数の発熱体１３が主走査方向に上記発熱体ピッチで配列されて形成されている。発熱体１３は、それぞれ略矩形状を呈している。発熱体１３は、その両端に接続される個別電極１４及び共通電極１５を介して電源電力が印加されるとジュール発熱を起こし、感熱紙などの記録媒体に印画を形成するのに必要な所定の温度になる。 
【００２４】
さらに、複数の発熱体１３の各上面には、グレーズ１２の頂部上面及びその近傍に対応した領域を残して、副走査方向（図２及び図３に示す紙面の左右方向）における右側に、例えば、アルミニウム（Ａｌ）や銅（Ｃｕ）等の高導電性材料からなる個別電極１４が形成されている。各個別電極１４は、発熱体１３の一端側から副走査方向に略平行に延出されており、ドライバＩＣ６に接続される接続配線として機能する。また、各個別電極１４は、所定の間隔を有する間隔領域を介して互いに分離されている。 
【００２５】
さらに、グレーズ１２、発熱体１３及び個別電極１４により構成される発熱素子が主走査方向に所定間隔を隔てて並設されている発熱素子形成領域を囲むように、平面形状が略櫛形状を呈する共通電極１５が形成されている。共通電極１５は、例えば、アルミニウム（Ａｌ）や銅（Ｃｕ）等の高導電性材料からなる。共通電極１５には、梁部１５ａから各発熱体１３の他端側に向かって副走査方向に略平行に延出されているとともに、所定の間隔を有する間隔領域を介して互いに分離されている複数の櫛歯部１５ｃが一体に形成されている。共通電極１５は、電源電力を発熱体１３に供給する給電配線として機能する。 
【００２６】
以上説明した発熱体１３、個別電極１４及び共通電極１５の上面には、個別電極１４及び共通電極１５のワイヤ８がボンディングされる各一端を残して保護膜１６が形成されている。この保護膜１６は、発熱体１３、個別電極１４及び共通電極１５が大気中の水分等によって腐食されるのを防止するとともに、感熱紙などの記録媒体にイメージを印画する際に、その記録媒体と接触することに起因して発熱体１３や個別電極１４が磨耗や破損することを防止するためのものである。保護膜１６は、厚さが３〜１０μｍ程度である。保護膜１６は、例えば、シリコン（Ｓｉ）、ホウ素（Ｂ）及びリン（Ｐ）を有する材料を含んで構成されており、具体的には、シリコン−ホウ素−リン化合物（ＳｉＢＰ）により構成されている。 
【００２７】
次に、個別電極１４の形状の詳細について、図２を参照して説明する。個別電極１４は、図２に示すように、発熱体１３の一端側から副走査方向に略平行に延出しつつ、幅広部１４ａと、第１中間部１４ｂと、第２中間部１４ｃと、幅狭部１４ｄとが一体に形成されて構成されている。 
【００２８】
幅広部１４ａは、発熱体１３と同一幅のまま発熱体１３の一端部側から連続する。第１中間部１４ｂは、幅広部１４ａに連続し、幅広部１４ａから次第に幅が縮小する形状を呈している。第２中間部１４ｃは、第１中間部１４ｂに連続し、第１中間部１４ｂから次第に幅が縮小する形状を呈している。幅狭部１４ｄは、第２中間部１４ｃと同一幅のまま第２中間部１４ｃの他端部側から連続する。 
【００２９】
第１中間部１４ｂの一方の側面は、幅広部１４ａの一方の側面と同一直線上に位置する。第１中間部１４ｂの他方の側面は、幅広部１４ａの他方の側面に対して傾斜する。第２中間部１４ｃの一方の側面は、第１中間部１４ｂの一方の側面に対して傾斜する。第２中間部１４ｃの他方の側面は、幅広部１４ａの他方の側面と平行であって、幅狭部１４ｄの他方の側面と同一直線上に位置する。すべての個別電極１４は、平面形状、特に、直下にグレーズ１２が形成された発熱体１３上に形成された部分の平面形状が同一であるため、その面積も同一である。この場合、それぞれの膜厚が同一となるようにすべての個別電極１４を形成すれば、隣接する個別電極１４の抵抗値が均一となる。 
【００３０】
上記「抵抗値が均一」とは、隣接する２つの発熱素子を構成する部分の抵抗値差が５％以内であって、尚且つ全体としては抵抗値の差が１０％以内であること、特に、隣接しあう２つの発熱素子を構成する部分の抵抗値の差が小さいことをいう。ここで、「隣接する２つの発熱素子を構成する部分の抵抗値差が５％以内であって、尚且つ全体としては抵抗値の差が１０％以内である」とするのは、抵抗値の違いにより発熱素子の発熱温度が変化するため、隣接する発熱素子の抵抗値差が５％以内の差であれば、印画品質に問題がないが、抵抗値差が５％を超えると印画ムラが目立って印画品質が問題となるからである。ただ、目視で印画ムラが目立つのは隣接する発熱素子間の抵抗値の差であり、サーマルヘッド１全体、つまり、ある程度はなれた２つの発熱素子同士を考えた場合、発熱素子の抵抗値のバラツキは５％を超えても１０％以内に収まっていれば、印画品質が問題とならないからである。後述する「抵抗値が均一」の定義についても同様である。 
【００３１】
次に、上記構成を有するサーマルヘッド薄膜チップ２の製造方法について説明する。 
（１）ベース基板１１
ベース基板１１がアルミナセラミックスからなる場合、例えば、アルミナ（酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３））、シリカ（二酸化シリコン（ＳｉＯ２））、マグネシア（酸化マグネシウム（ＭｇＯ））等のセラミックス原料粉末に適当な有機溶剤、溶媒を添加・混合して泥漿状とした後、これを周知のドクターブレード法やカレンダーロール法等を用いてセラミックグリーンシートを作製する。次に、このセラミックグリーンシートを所定形状に打ち抜き加工した後、これを高温（例えば、約１６００℃）で焼成する。ベース基板１１を構成するアルミナの純度は、例えば、９５％程度である。 
【００３２】
（２）グレーズ１２ 
まず、ガラス粉末に適当な有機溶剤・有機バインダー等を添加・混合して得られたガラスペーストを、従来周知のスクリーン印刷技術などを使用してベース基板１１の上面所定領域に塗布する。次に、上記フォトリソグラフィ技術を使用して所定形状に加工する。次に、これを９００℃〜１２００℃の高温で所定時間焼成する。 
【００３３】
（３）発熱体１３、個別電極１４及び共通電極１５ 
発熱体１３、個別電極１４及び共通電極１５も、従来周知の薄膜形成技術、例えば、スパッタリング、真空蒸着、ＬＰ−ＣＶＤ（減圧ＣＶＤ）法、イオンプレーティング、フォトリソグラフィ技術、エッチング技術を順次使用して形成する。具体的には、まず、各グレーズ１２及びベース基板１１の上面に、ホウ素（Ｂ）又はリン（Ｐ）がドーピングされたポリシリコン（Ｐｏｌｙ−Ｓｉ）薄膜からなる発熱体１３を形成する。次に、複数の発熱体１３の各上面に、グレーズ１２の頂部上面及びその近傍に対応した領域を残して、副走査方向（図３及び図４に示す紙面の左右方向）における右側に、アルミニウム（Ａｌ）や銅（Ｃｕ）等の高導電性材料からなる個別電極１４を形成する。 
【００３４】
次に、グレーズ１２、発熱体１３及び個別電極１４により構成される発熱素子が主走査方向に所定間隔を隔てて並設されている発熱素子形成領域を囲むように、梁部１５ａと、２本の柱部１５ｂと、複数の櫛歯部１５ｃとからなり、平面形状が略櫛形状を呈し、アルミニウム（Ａｌ）や銅（Ｃｕ）等の高導電性材料からなる共通電極１５を形成する（図１参照）。 
【００３５】
この場合、上記したように、個別電極１４が図２に示す形状を呈している、即ち、個別電極１４は、図示せぬ記録媒体と保護膜１６の摺接域（ニップ領域）では、面積がほぼ同一であって、次第に幅が縮小するくびれ部が形成されている。従って、フォトリゾグラフィ技術によりフォトレジストパターンを形成する際やエッチング技術によりエッチング液で不要な部分を除去する際に、フォトレジストやエッチング液が隣接する個別電極１４の間に溜まるのを防止することができる。また、フォトリゾグラフィ技術によりフォトレジストパターンを形成する際に、フォトレジストパターンへの露光不足等が生じることにより、本来除去されるべきフォトレジストパターンが除去されずに残存することを防止することができる。この結果、隣接する個別電極１４同士が短絡を起こすことを防止することができる。 
【００３６】
（４）保護膜１６ 
保護膜１６は、シラン（ＳｉＨ４）、ジボラン（Ｂ２Ｈ６）及びホスフィン（ＰＨ３）等を原料としてプラズマＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）を使用して形成する。 
【００３７】
次に、上記構成を有するサーマルヘッド１の動作について、図１〜図４を参照して説明する。本実施の形態１に係るサーマルヘッド１では、例えば、感熱方式の印画装置等の装置本体に駆動部３のコネクタ７を介して接続された状態において、画像パターン情報に基づいてドライバＩＣ６により個別電極１４及び共通電極１５にパルス（図示略）が印加されると、これらの個別電極１４及び共通電極１５から供給された電流に基づいて発熱体１３が発熱することにより、印画用の熱が発生する。 
【００３８】
このとき発生した熱は、内部でグレーズ１２に蓄熱されるとともに、保護膜１６内を経た後、最終的に感熱紙などの記録媒体（図示略）の印画領域まで伝導する。これにより、グレーズ１２、発熱体１３及び個別電極１４により構成される発熱素子の温度が上昇し、印画温度に到達するので、記録媒体（図示略）の印画領域に印画される。 
【００３９】
この場合、本実施の形態１に係るサーマルヘッド薄膜チップ２では、図２に示すように、すべての個別電極１４は、平面形状、特に、直下にグレーズ１２が形成された発熱体１３上に形成された部分の平面形状が同一であるため、その面積も同一である。従って、発熱素子ごとに発熱体１３と個別電極１４との接触面積が同一であるとともに、発熱体ごとに個別電極１４の配線抵抗が同一である。このため、発熱体１３ごとの抵抗値にバラツキが少ないので、印画ムラが生じにくく、高品質のイメージを印画することができる。 
【００４０】
次に、画像パターン情報に基づいてドライバＩＣ６により個別電極１４及び共通電極１５にパルス（図示略）が印加されなくなると、グレーズ１２に蓄熱されていた熱は、ベース基板１１及び駆動部３を構成する放熱板４により放熱される。 
以上説明した動作が順次繰り返されることにより、感熱紙などの記録媒体（図示略）の所定のイメージが印画される。 
【００４１】
上記サーマルヘッド１を用いて印画を行う場合、外部のプラテンローラによって感熱紙などの記録媒体（図示略）を主走査方向に搬送しつつ、上記記録媒体をサーマルヘッド薄膜チップ２を構成する発熱体１３の列上に形成された保護膜１６表面に摺接させている。この場合、本実施の形態１に係るサーマルヘッド薄膜チップ２では、図２に示すように、各個別電極１４において、発熱体１３と連続する幅広部１４ａは、発熱体１３と同一幅のまま発熱体１３の一端側から連続しているとともに、幅広部１４ａに連続する第１中間部１４ｂは、幅広部１４ａから次第に幅が縮小する形状を呈している。即ち、個別電極１４は、記録媒体と保護膜１６の摺接域（ニップ領域）では、面積がほぼ同一であって、次第に幅が縮小するくびれ部が形成されている。従って、印画時にニップ領域に応力が集中することがないため、保護膜１６がダメージを受けにくい。このため、保護膜１６の剥がれや破れが生じたり、記録媒体が傷ついたりすることを防止することができる。 
【００４２】
ここで、図２に示す隣接する発熱体１３の間隔Ｗと、これらの発熱体１３に対応する隣接する個別電極１４の間隔のうち、上記間隔Ｗ以外で最も短い間隔Ｄとの関係について考察する。一般的には、間隔Ｗが広ければ広いほど、間隔Ｄは小さくて良いということが言える。しかし、上記間隔Ｗと上記間隔Ｄとの関係には、他の要因、例えば、フォトレジストパターンの厚み、露光ギャップ、マスクアライナーの光源の平行度（ＣＨＡ：コリメーションハーフアングル）、現像条件なども大きく影響していると思われる。上記間隔Ｄとしては、発明者らが鋭意検討した結果からは、（Ｗ＋５）μｍ以上であることが好ましいが、上記他の要因を考慮すれば、（Ｗ＋１）μｍ程度でも上記した同様の効果が得られると思われる。 
【００４３】
図５は、上記間隔Ｗに対するリーク発生率の特性の一例を示している。リーク発生率とは、隣接する個別電極１４間における電気的短絡が発生する百分率をいう。図５において、曲線ａは、個別電極の平面形状が上記特許文献１の図２に記載された形状を呈している場合の特性を示している。一方、曲線ｂは、個別電極の平面形状が本実施の形態１に係る形状（図２参照）に記載された形状を呈している場合の特性を示している。図５から分かるように、本発明の実施の形態１によれば、上記間隔Ｗが約５μｍ以上であれば、リーク発生率は、ほぼ０％である。 
【００４４】
実施の形態２． 
図６は、本発明の実施の形態２に係るサーマルヘッドを構成するサーマルヘッド薄膜チップ３１の構成を示す平面図、図７は、図６のＡの部分の拡大図である。図６及び図７において、図１〜図４の各部に対応する部分には同一の符号を付け、その説明を省略する。図６及び図７においては、図１及び図２に示す個別電極１４に換えて、下端から奇数番目に個別電極３２が、下端から偶数番目に個別電極３３が新たにそれぞれ設けられている。なお、図６及び図７では、図３及び図４に示す保護膜１６を図示していない。 
【００４５】
個別電極３２は、図７に示すように、発熱体１３の一端側から副走査方向に略平行に延出しつつ、幅広部３２ａと、第１中間部３２ｂと、第２中間部３２ｃと、第３中間部３２ｄと、幅狭部３２ｅとが一体に形成されて構成されている。 
【００４６】
幅広部３２ａは、発熱体１３と同一幅のまま発熱体１３の一端部側から連続する。第１中間部３２ｂは、幅広部３２ａに連続し、幅広部３２ａから次第に幅が縮小する形状を呈している。第２中間部３２ｃは、第１中間部３２ｂの他端部側と同一幅のまま第１中間部３２ｂの他端部側から連続する。第３中間部３２ｄは、第２中間部３２ｃに連続し、第２中間部３２ｃから次第に幅が縮小する形状を呈している。幅狭部３２ｅは、第３中間部３２ｄの他端部側と同一幅のまま第３中間部３２ｄの他端部側から連続する。
【００４７】
第１中間部３２ｂの一方の側面は、幅広部３２ａの一方の側面と同一直線上に位置する。第１中間部３２ｂの他方の側面は、幅広部３２ａの他方の側面に対して傾斜する。第３中間部３２ｄの一方の側面は、第２中間部３２ｃの一方の側面に対して傾斜する。第３中間部３２ｄの他方の側面は、幅広部３２ａの他方の側面と平行であって、幅狭部３２ｅの他方の側面と同一直線上に位置する。 
【００４８】
個別電極３３は、図７に示すように、発熱体１３の一端側から副走査方向に略平行に延出しつつ、幅広部３３ａと、中間部３３ｂと、幅狭部３３ｃとが一体に形成されて構成されている。幅広部３３ａ及び中間部３３ｂは、直下にグレーズ１２が形成された発熱体１３上に形成されている。一方、幅狭部３３ｃの上記第３中間部３２ｄに対応する領域以外の領域は、直下にグレーズ１２が形成されていない発熱体１３上に形成されている。 
【００４９】
幅広部３３ａは、発熱体１３と同一幅のまま発熱体１３の一端部側から連続する。中間部３３ｂは、幅広部３３ａに連続し、幅広部３３ａから次第に幅が縮小する形状を呈している。幅狭部３３ｃは、中間部３３ｂの他端部側と同一幅のまま中間部３３ｂの他端部側から連続する。 
【００５０】
中間部３３ｂの一方の側面は、幅広部３３ａの一方の側面に対して傾斜する。中間部３３ｂの他方の側面は、幅広部３３ａの他方の側面に対して傾斜する。個別電極３２及び３３は、その面積、特に、直下にグレーズ１２が形成された発熱体１３上に形成された部分の面積が同一である。この場合、それぞれの膜厚が同一となるようにすべての個別電極３２及び３３を形成すれば、隣接する個別電極３２及び３３の抵抗値が均一となる。 
上記したように、個別電極３２及び３３が図７に示す形状を呈している、即ち、個別電極３２及び３３は、図示せぬ記録媒体と保護膜１６の摺接域（ニップ領域）では、面積がほぼ同一であって、次第に幅が縮小するくびれ部が形成されている。従って、上述した実施の形態１と同様の効果が得られる。 
【００５１】
実施の形態３． 
図８は、本発明の実施の形態３に係るサーマルヘッドを構成するサーマルヘッド薄膜チップ４１の構成を示す平面図、図９は、図８のＡの部分の拡大図である。図８及び図９において、図１〜図４の各部に対応する部分には同一の符号を付け、その説明を省略する。図８及び図９においては、図１及び図２に示す個別電極１４に換えて、下端から奇数番目に個別電極４２が、下端から偶数番目に個別電極４３が新たにそれぞれ設けられている。なお、図８及び図９では、図３及び図４に示す保護膜１６を図示していない。 
【００５２】
個別電極４２は、図９に示すように、発熱体１３の一端側から副走査方向に略平行に延出しつつ、幅広部４２ａと、第１中間部４２ｂと、第２中間部４２ｃと、第３中間部４２ｄと、幅狭部４２ｅとが一体に形成されて構成されている。幅広部４２ａ、第１中間部４２ｂ、第２中間部４２ｃ及び第３中間部４２ｄは、直下にグレーズ１２が形成された発熱体１３上に形成されている。一方、幅狭部４２ｅは、直下にグレーズ１２が形成されていない発熱体１３上に形成されている。 
【００５３】
幅広部４２ａは、発熱体１３と同一幅のまま発熱体１３の一端部側から連続する。第１中間部４２ｂは、幅広部４２ａに連続し、幅広部４２ａから次第に幅が縮小する形状を呈している。第２中間部４２ｃは、第１中間部４２ｂの他端部側と同一幅のまま第１中間部４２ｂの他端部側から連続する。第３中間部４２ｄは、第２中間部４２ｃに連続し、第２中間部４２ｃから次第に幅が縮小する形状を呈している。幅狭部４２ｅは、第３中間部４２ｄの他端部側と同一幅のまま第３中間部４２ｄの他端部側から連続する。 
【００５４】
第１中間部４２ｂの一方の側面は、幅広部４２ａの一方の側面と同一直線上に位置する。第１中間部４２ｂの他方の側面は、幅広部４２ａの他方の側面に対して傾斜する。第３中間部４２ｄの一方の側面は、第２中間部４２ｃの一方の側面に対して傾斜する。第３中間部４２ｄの他方の側面は、幅広部４２ａの他方の側面と平行であって、第２中間部４２ｃの他方の側面及び幅狭部４２ｅの他方の側面とそれぞれ同一直線上に位置する。 
【００５５】
個別電極４３は、図９に示すように、発熱体１３の一端側から副走査方向に略平行に延出しつつ、幅広部４３ａと、第１中間部４３ｂと、第２中間部４３ｃと、幅狭部４３ｄとが一体に形成されて構成されている。幅広部４３ａ、第１中間部４３ｂ、第２中間部４３ｃ及び幅狭部４３ｄの上記第３中間部４２ｄに対応する領域は、直下にグレーズ１２が形成された発熱体１３上に形成されている。一方、幅狭部４３ｄの上記第３中間部４２ｄに対応する領域以外の領域は、直下にグレーズ１２が形成されていない発熱体１３上に形成されている。 
【００５６】
幅広部４３ａは、発熱体１３と同一幅のまま発熱体１３の一端部側から連続する。第１中間部４３ｂは、幅広部４３ａに連続し、幅広部４３ａから次第に幅が縮小する形状を呈している。第２中間部４３ｃは、第１中間部４３ｂに連続し、第１中間部４３ｂから次第に幅が縮小する形状を呈している。幅狭部４３ｄは、第２中間部４３ｃの他端部側と同一幅のまま第２中間部４３ｃの他端部側から連続する。 
【００５７】
第１中間部４３ｂの一方の側面は、幅広部４３ａの一方の側面に対して傾斜する。第２中間部４３ｂの他方の側面は、幅広部４３ａの他方の側面と同一直線上に位置する。第２中間部４３ｃの一方の側面は、幅広部４３ａの一方の側面と平行であって、幅狭部４３ｄの一方の側面と同一直線上に位置する。第２中間部４３ｃの他方の側面は、第１中間部４３ｂの他方の側面に対して傾斜する。個別電極４２及び４３は、その面積、特に、直下にグレーズ１２が形成された発熱体１３上に形成された部分の面積が同一である。この場合、それぞれの膜厚が同一となるようにすべての個別電極４２及び４３を形成すれば、隣接する個別電極４２及び４３の抵抗値が均一となる。 
上記したように、個別電極４２及び４３が図９に示す形状を呈している、即ち、個別電極４２及び４３は、図示せぬ記録媒体と保護膜１６の摺接域（ニップ領域）では、面積がほぼ同一であって、次第に幅が縮小するくびれ部が形成されている。従って、上述した実施の形態１と同様の効果が得られる。 
【００５８】
実施の形態４． 
図１０は、本発明の実施の形態４に係るサーマルヘッドを構成するサーマルヘッド薄膜チップ５１の構成を示す平面図、図１１は、図１０のＡの部分の拡大図である。図１０及び図１１において、図１〜図４の各部に対応する部分には同一の符号を付け、その説明を省略する。図１０及び図１１においては、図１及び図２に示す個別電極１４に換えて、下端から奇数番目に個別電極５２が、下端から偶数番目に個別電極５３が新たにそれぞれ設けられている。なお、図１０及び図１１では、図３及び図４に示す保護膜１６を図示していない。 
【００５９】
個別電極５２は、図１１に示すように、発熱体１３の一端側から副走査方向に略平行に延出しつつ、幅広部５２ａと、第１中間部５２ｂと、第２中間部５２ｃと、第３中間部５２ｄと、幅狭部５２ｅとが一体に形成されて構成されている。 
【００６０】
幅広部５２ａは、発熱体１３と同一幅のまま発熱体１３の一端部側から連続する。第１中間部５２ｂは、幅広部５２ａに連続し、幅広部５２ａから次第に幅が縮小する形状を呈している。第２中間部５２ｃは、第１中間部５２ｂの他端部側と同一幅のまま第１中間部５２ｂの他端部側から連続する。第３中間部５２ｄは、第２中間部５２ｃに連続し、第２中間部５２ｃから次第に幅が縮小する形状を呈している。幅狭部５２ｅは、第３中間部５２ｄの他端部側と同一幅のまま第３中間部５２ｄの他端部側から連続する。 
【００６１】
第１中間部５２ｂの一方の側面は、幅広部５２ａの一方の側面と同一直線上に位置する。第１中間部５２ｂの他方の側面は、幅広部５２ａの他方の側面に対して傾斜する。第３中間部５２ｄの一方の側面は、第２中間部５２ｃの一方の側面に対して傾斜する。第３中間部５２ｄの他方の側面は、幅広部５２ａの他方の側面と平行であって、第２中間部５２ｃの他方の側面及び幅狭部５２ｅの他方の側面とそれぞれ同一直線上に位置する。 
【００６２】
個別電極５３は、図１１に示すように、発熱体１３の一端側から副走査方向に略平行に延出しつつ、幅広部５３ａと、第１中間部５３ｂと、第２中間部５３ｃと、幅狭部５３ｄとが一体に形成されて構成されている。 
【００６３】
幅広部５３ａは、発熱体１３と同一幅のまま発熱体１３の一端部側から連続する。第１中間部５３ｂは、幅広部５３ａに連続し、幅広部５３ａから次第に幅が縮小する形状を呈している。第２中間部５３ｃは、第１中間部５３ｂに連続し、第１中間部５３ｂから次第に幅が縮小する形状を呈している。幅狭部５３ｄは、第２中間部５３ｃの他端部側と同一幅のまま第２中間部５３ｃの他端部側から連続する。 
【００６４】
第１中間部５３ｂの一方の側面は、幅広部５３ａの一方の側面と同一直線上に位置する。第１中間部５３ｂの他方の側面は、幅広部５３ａの他方の側面に対して傾斜する。第２中間部５３ｃの一方の側面は、第１中間部５３ｂの一方の側面に対して傾斜する。第２中間部５３ｃの他方の側面は、幅広部５３ａの他方の側面と平行であって、幅狭部５３ｄの一方の側面と同一直線上に位置する。個別電極５２及び５３は、その面積、特に、直下にグレーズ１２が形成された発熱体１３上に形成された部分の面積が同一である。この場合、それぞれの膜厚が同一となるようにすべての個別電極５２及び５３を形成すれば、隣接する個別電極５２及び５３の抵抗値が均一となる。 
上記したように、個別電極５２及び５３が図１１に示す形状を呈している、即ち、個別電極５２及び５３は、図示せぬ記録媒体と保護膜１６の摺接域（ニップ領域）では、面積がほぼ同一であって、次第に幅が縮小するくびれ部が形成されている。従って、上述した実施の形態１と同様の効果が得られる。 
【００６５】
実施の形態５． 
図１２は、本発明の実施の形態５に係るサーマルヘッドを構成するサーマルヘッド薄膜チップ６１の構成を示す平面図、図１３は、図１２のＡの部分の拡大図である。図１２及び図１３において、図１〜図４の各部に対応する部分には同一の符号を付け、その説明を省略する。図１２及び図１３においては、図１及び図２に示す発熱体１３及び個別電極１４に換えて、発熱体６２及び個別電極６３が新たにそれぞれ設けられている。なお、図１２及び図１３では、図３及び図４に示す保護膜１６を図示していない。 
【００６６】
発熱体６２は、共通電極１５の梁部１５ａの一端側下部（図示略）から副走査方向に略平行に延出しつつ、図１３に示すように、幅広部６２ａと、中間部６２ｂと、終端部６２ｃとが一体に形成されて構成されている。幅広部６２ａは、共通電極１５の櫛歯部１５ｃの幅より僅かに広い幅のまま共通電極１５の梁部１５ａの一端部側下部（図示略）から連続する。中間部６２ｂは、幅広部６２ａに連続し、幅広部６２ａから次第に幅が縮小する形状を呈している。終端部６２ｃは、中間部６２ｂに連続し、中間部６２ｂから次第に幅が縮小する形状を呈している。 
【００６７】
中間部６２ｂの一方の側面は、幅広部６２ａの一方の側面と同一直線上に位置する。中間部６２ｂの他方の側面は、幅広部６２ａの他方の側面に対して傾斜する。終端部６２ｃの一方の側面は、中間部６２ｂの一方の側面に対して傾斜する。終端部６２ｃの他方の側面は、図示しないが、中間部６２ｂの他方の側面と同一直線上に位置する。この場合、それぞれの膜厚が同一となるようにすべての発熱体６２を形成すれば、隣接する発熱体６２の抵抗値が均一となる。 
【００６８】
個別電極６３は、図１３に示すように、発熱体６２の幅広部６２ａの一端側から副走査方向に略平行に延出しつつ、幅広部６３ａと、第１中間部６３ｂと、第２中間部６３ｃと、幅狭部６３ｄとが一体に形成されて構成されている。 
【００６９】
幅広部６３ａは、発熱体６２の幅広部６２ａの幅より僅かに狭い幅のまま発熱体６２の幅広部６２ａの一端側から連続する。第１中間部６３ｂは、幅広部６３ａに連続し、幅広部６３ａから次第に幅が縮小する形状を呈している。第２中間部６３ｃは、第１中間部６３ｂに連続し、第１中間部６３ｂから次第に幅が縮小する形状を呈している。幅狭部６３ｄは、第２中間部６３ｃの他端部側と同一幅のまま第２中間部６３ｃの他端部側から連続する。 
【００７０】
第１中間部６３ｂの一方の側面は、幅広部６３ａの一方の側面と同一直線上に位置する。第１中間部６３ｂの他方の側面は、幅広部６３ａの他方の側面に対して傾斜するとともに、発熱体６２の終端部６２ｃの他方の側面と段差なく連続している。第２中間部６３ｃの一方の側面は、第１中間部６３ｂの一方の側面に対して傾斜する。第２中間部６３ｃの他方の側面は、幅広部６３ａの他方の側面と平行であって、幅狭部６３ｄの他方の側面と同一直線上に位置する。個別電極６３は、その面積、特に、直下にグレーズ１２が形成された発熱体６２上に形成された部分の面積が同一である。この場合、それぞれの膜厚が同一となるようにすべての個別電極６３を形成すれば、隣接する個別電極６３の抵抗値が均一となる。 
上記したように、発熱体６２及び個別電極６３が図１３に示す形状を呈している、即ち、発熱体６２及び個別電極６３は、図示せぬ記録媒体と保護膜１６の摺接域（ニップ領域）では、面積がほぼ同一であって、次第に幅が縮小するくびれ部が形成されている。従って、上述した実施の形態１と同様の効果が得られる。 
【００７１】
実施の形態６． 
図１４は、本発明の実施の形態６に係るサーマルヘッドを構成するサーマルヘッド薄膜チップ７１の構成を示す平面図、図１５は、図１４のＡの部分の拡大図である。図１４及び図１５において、図１〜図４の各部に対応する部分には同一の符号を付け、その説明を省略する。図１４及び図１５においては、図１及び図２に示す発熱体１３及び個別電極１４に換えて、発熱体７２及び個別電極７３が新たにそれぞれ設けられている。なお、図１４及び図１５では、図３及び図４に示す保護膜１６を図示していない。 
【００７２】
発熱体７２は、共通電極１５の梁部１５ａの一端側下部（図示略）から副走査方向に略平行に延出しつつ、図１５に示すように、幅広部７２ａと、第１中間部７２ｂと、第２中間部７２ｃと、終端部７２ｄとが一体に形成されて構成されている。幅広部７２ａは、共通電極１５の櫛歯部１５ｃの幅より僅かに広い幅のまま共通電極１５の梁部１５ａの一端部側下部（図示略）から連続する。第１中間部７２ｂは、幅広部７２ａに連続し、幅広部７２ａから次第に幅が縮小する形状を呈している。第２中間部７２ｃは、第１中間部７２ｂに連続し、第１中間部７２ｂから次第に幅が縮小する形状を呈している。終端部７２ｄは、第２中間部７２ｃに連続し、第２中間部７２ｃから次第に幅が縮小する形状を呈している。 
【００７３】
第１中間部７２ｂの一方の側面は、幅広部７２ａの一方の側面と同一直線上に位置する。第１中間部７２ｂの他方の側面は、幅広部７２ａの他方の側面に対して傾斜する。第２中間部７２ｃの一方の側面は、第１中間部７２ｂの一方の側面に対して傾斜する。第２中間部７２ｃの他方の側面は、第１中間部７２ｂの他方の側面と同一直線上に位置する。終端部７２ｄの一方の側面は、第２中間部７２ｃの一方の側面と同一直線上に位置する。終端部７２ｄの他方の側面は、図示しないが、幅広部７２ａの他方の側面と平行であって、個別電極７３の他方の側面と同一直線上に位置する。この場合、それぞれの膜厚が同一となるようにすべての発熱体７２を形成すれば、隣接する発熱体７２の抵抗値が均一となる。 
【００７４】
個別電極７３は、図１５に示すように、発熱体７２の幅広部７２ａの一端側から副走査方向に略平行に延出されている。個別電極７３は、略矩形状を呈しており、その幅は発熱体７２の幅広部７２ａの幅より僅かに狭い。この場合、それぞれの膜厚が同一となるようにすべての個別電極７３を形成すれば、隣接する個別電極７３の抵抗値が均一となる。 
【００７５】
上記したように、発熱体７２及び個別電極７３が図１５に示す形状を呈している、即ち、発熱体７２及び個別電極７３は、図示せぬ記録媒体と保護膜１６の摺接域（ニップ領域）では、面積がほぼ同一であって、次第に幅が縮小するくびれ部が形成されている。従って、上述した実施の形態１と同様の効果が得られる。 
【００７６】
実施の形態７． 
また、上述した各実施の形態では、本発明をグレーズの頂部上面近傍（例えば、ニップ領域）に形成された個別電極又は発熱体に適用する例を示したが、これに限定されない。本発明は、グレーズの頂部上面近傍（例えば、ニップ領域）以外に形成された個別電極又は発熱体や、共通電極、ボンディングパッド、引き回し配線等、隣接する電極やボンディングパッド等との距離が狭いパターンに適用することができる。 
【００７７】
図１６は、本発明の実施の形態７に係るサーマルヘッドを構成するサーマルヘッド薄膜チップ８１の構成を示す平面図である。図１６において、図１〜図４の各部に対応する部分には同一の符号を付け、その説明を省略する。図１６においては、図１及び図２に示す共通電極１５に換えて、共通電極８２が新たにそれぞれ設けられている。なお、図１６では、図３及び図４に示す保護膜１６を図示していない。 
【００７８】
共通電極８２は、隣接する発熱体１３及び個別電極１４ごとに折り返してそれぞれ端部同士が連続して導通がとられているＵターン電極構造を有している。すべての共通電極８２は、平面形状、特に、直下にグレーズ１２が形成された発熱体１３上に形成された部分の平面形状が同一であるため、その面積も同一である。この場合、それぞれの膜厚が同一となるようにすべての共通電極８２を形成すれば、隣接する共通電極８２の抵抗値が均一となる。 
【００７９】
従って、本発明の実施の形態７によれば、上述した実施の形態１により得られる効果が得られる他、サーマルヘッドを小型化することができる。何故なら、図１に示す共通電極１５を構成する梁部１５ａ及び柱部１５ｂを形成する必要がないため、サーマルヘッド薄膜チップ全体のサイズを小さくすることができるからである。また、本発明の実施の形態７によれば、Ｕターン電極構造の場合、１つの共通電極に接続される２つの発熱体１３で１つのドットを構成するが、すべての共通電極８２の抵抗値が均一となるので、隣接ドット間で抵抗値差が発生することなく、隣接する発熱体１３間における放熱の仕方が異なることはない。 
【００８０】
実施の形態８． 
図１７は、本発明の実施の形態８に係る印画装置９１の概略構成を示す概念図である。この印画装置９１は、ビデオプリンタであり、図１６に示すように、略六面体状を呈するケーシング９２を有している。ケーシング９２の前面には、液晶ディスプレイ等からなる表示パネル９３、入力キー９４及び排紙口９５がそれぞれ設けられている。 
【００８１】
また、ケーシング９２内には、感熱紙９６がロール状に巻き取られた形で収納されている。感熱紙９６の先端部は、複数本（図１７では、２本）の搬送ローラ９７に支持されて排紙口９５の手前に位置決めされている。さらに、ケーシング９２内には、上述した実施の形態１に係るサーマルヘッド１又は上述した実施の形態２〜７に係るサーマルヘッド薄膜チップ３１、４１、５１、６１、７１若しくは８１のいずれかを備えたサーマルヘッド（以下これらを総称して「サーマルヘッド９８」と称する。）が感熱紙９６の上側に位置決めされて組み込まれている。サーマルヘッド９８により感熱紙９６を加熱して発色させることにより、文字や画像などのイメージを感熱紙９６に印刷した後、この感熱紙９６を排紙口９５から排出することができる。 
【００８２】
このように、本発明の実施の形態８によれば、上述した実施の形態１〜７に係るサーマルヘッド９８を用いているので、本発明の実施の形態８に係る印画装置は、高品質のイメージを印画することができる。 
【００８３】
以上、本発明の実施の形態について図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこれらの実施の形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても本発明に含まれる。 
例えば、上述した各実施の形態では、本発明をベース基板１１の上面の発熱ドットのみに半円弧状を呈したグレーズ１２が形成された部分グレーズタイプのサーマルヘッドに適用する例を示したが、これに限定されない。本発明は、ベース基板の上面全面にグレーズが形成された平面グレーズタイプのサーマルヘッドや、約１ｍｍ程度の段差が形成された凸型ベース基板にグレーズが形成された凸型基板タイプにも適用することができる。また、グレーズの形状は半円弧状でも凹状でも良い。 
【００８４】
また、上述した各実施の形態では、中間部の側面が幅広部等の側面に対して直線的に傾斜する例を示したが、これに限定されず、中間部の側面が幅広部等の側面に対して曲線的に傾斜するように構成しても良い。いずれの場合においても、傾斜角度は緩やかな方が望ましい。 
【００８５】
また、上述した各実施の形態では、個別電極及び共通電極がアルミニウム（Ａｌ）からなる例を示したが、これに限定されず、個別電極及び共通電極の材料として、例えば、アルミニウム合金（Ａｌ−Ｓｉ、Ａｌ−Ｓｉ−Ｃｕ、Ａｌ−Ｔｉなど）や高融点金属を用いても良い。 
【００８６】
また、上述した各実施の形態では、グレーズ１２を蓄熱層として用いる例を示したが、これに限定されず、蓄熱層は、シリコン（Ｓｉ）と遷移金属と酸素（Ｏ）の多元酸化物セラミックス層からなる無機蓄熱層やポリイミド樹脂などからなる有機蓄熱層でも良い。 
また、上述した実施の形態７では、本発明をビデオプリンタ８１に適用する例を示したが、これに限定されず、本発明は、バーコードプリンタ、ラベルプリンタ、カードプリンタ、ファクシミリ、券売機などにも適用することもがきる。 
また、上述した各実施の形態は、その目的及び構成等に特に矛盾や問題がない限り、互いの技術を流用することができる。 
【図面の簡単な説明】
【００８７】
【図１】本発明の実施の形態１に係るサーマルヘッドを構成するサーマルヘッド薄膜チップの構成を示す平面図である。
【図２】図１のＡの部分の拡大図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ断面図である。
【図４】本発明の実施の形態１に係るサーマルヘッドの構成を示す断面図である。
【図５】個別電極間のスリット幅に対するリーク発生率の特性の一例を示す図である。
【図６】本発明の実施の形態２に係るサーマルヘッドを構成するサーマルヘッド薄膜チップの構成を示す平面図である。
【図７】図６のＡの部分の拡大図である。
【図８】本発明の実施の形態３に係るサーマルヘッドを構成するサーマルヘッド薄膜チップの構成を示す平面図である。
【図９】図８のＡの部分の拡大図である。
【図１０】本発明の実施の形態４に係るサーマルヘッドを構成するサーマルヘッド薄膜チップの構成を示す平面図である。
【図１１】図１０のＡの部分の拡大図である。
【図１２】本発明の実施の形態５に係るサーマルヘッドを構成するサーマルヘッド薄膜チップの構成を示す平面図である。
【図１３】図１２のＡの部分の拡大図である。
【図１４】本発明の実施の形態６に係るサーマルヘッドを構成するサーマルヘッド薄膜チップの構成を示す平面図である。
【図１５】図１４のＡの部分の拡大図である。
【図１６】本発明の実施の形態７に係るサーマルヘッドを構成するサーマルヘッド薄膜チップの構成を示す平面図である。
【図１７】本発明の実施の形態８に係る印画装置の概略構成を示す概念図である。
【符号の説明】
【００８８】
１，９８  サーマルヘッド 
２，３１，４１，５，１６，７１，８１  サーマルヘッド薄膜チップ 
３  駆動部 
４  放熱板 
５  プリント基板 
６  ドライバＩＣ 
７  コネクタ 
８，９  ワイヤ 
１１  ベース基板 
１２  グレーズ（蓄熱層） 
１３，６２，７２  発熱体 
１４，３２，３３，４２，４３，５２，５３，６３，７３  個別電極 
１４ａ，３２ａ，３３ａ，４２ａ，４３ａ，５２ａ，５３ａ，６２ａ，６３ａ，７２ａ，７３ａ  幅広部 
１４ｂ，３２ｂ，３３ｂ，４２ｂ，４３ｂ，５２ｂ，５３ｂ，６２ｂ，６３ｂ，７２ｂ，７３ｂ  第１中間部 
１４ｃ，３２ｃ，４２ｃ，４３ｃ，５２ｃ，５３ｃ，６３ｃ，７２ｃ  第２中間部 
１４ｄ，３２ｅ，３３ｃ，４２ｅ，４３ｄ，５２ｅ，５３ｄ，６３ｄ  幅狭部 
１５，８２    共通電極 
１５ａ  梁部 
１５ｂ  柱部 
１５ｃ  櫛歯部 
１６    保護膜 
２１，２２  領域 
３２ｄ，４２ｄ，５２ｄ  第３中間部 
６２ｃ，７２ｄ  終端部 
９１  印画装置 
９２  ケーシング 
９３  表示パネル 
９４  入力キー 
９５  排紙口 
９６  感熱紙 
９７  搬送ローラ 
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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