(57)【要約】【課題】従来別途必要であったシール気体供給源およびシール機構を省略することにより、構成を簡素化するとともに、被回転物を保持する保持部におけるラジアル剛性の低下を回避可能な静圧気体軸受スピンドルを提供する。【解決手段】静圧気体軸受スピンドル１は、円筒状の形状を有する軸部１２と、軸部１２の一方の端部に接続され、被回転物を保持するためのテーブル１１とを含む回転軸１０と、軸部１２の外周面を、回転軸１０を支持するための軸受用気体が供給される隙間である軸受隙間５１を隔てて取り囲む固定部４０とを備えている。そして、軸受用気体は、テーブル１１と固定部４０との間に形成された隙間であるシール隙間９３から排出される。【選択図】図１
2008128443.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円筒状の形状を有する軸部と、前記軸部の一方の端部に接続され、被回転物を保持するための保持部とを含む回転軸と、
前記軸部の外周面を、前記回転軸を支持するための軸受用気体が供給される隙間である軸受隙間を隔てて取り囲む固定部とを備え、
前記軸受用気体は、前記保持部と前記固定部との間に形成された隙間であるシール隙間から排出される、静圧気体軸受スピンドル。
【請求項２】
前記固定部は、
円筒状の貫通孔を有し、前記貫通孔に前記軸部が挿入される軸受スリーブと、
前記軸受スリーブを取り囲み、前記軸受スリーブを支持するハウジングとを含み、
前記シール隙間は、前記軸受スリーブと前記保持部との間に形成されている、請求項１に記載の静圧気体軸受スピンドル。
【請求項３】
前記固定部は、
円筒状の貫通孔を有し、前記貫通孔に前記軸部が挿入される軸受スリーブと、
前記軸受スリーブを取り囲み、前記軸受スリーブを支持するハウジングとを含み、
前記シール隙間は、前記ハウジングと前記保持部との間に形成されている、請求項１に記載の静圧気体軸受スピンドル。
【請求項４】
前記シール隙間は、前記軸受用気体の排出方向に対して、隣接する部位よりも幅の大きい拡幅部を有している、請求項１〜３のいずれか１項に記載の静圧気体軸受スピンドル。
【請求項５】
前記シール隙間は、前記軸受用気体の排出方向が変化する屈曲部を有している、請求項１〜４のいずれか１項に記載の静圧気体軸受スピンドル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静圧気体軸受スピンドルに関し、より特定的には、気体軸受内部への異物の侵入を抑制するための気体シール機構を備えた静圧気体軸受スピンドルに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
回転軸を気体軸受により保持する静圧気体軸受スピンドルは、粉塵、ミスト、切屑など異物の存在する環境下で使用される場合がある。このような場合、前述の異物が気体軸受内に侵入することによる不具合の発生を抑制するため、異物の侵入を抑制する保護機構（シール機構）が必要となる。ここで、気体軸受により非接触に保持されている回転軸の回転を阻害することを回避するため、シール機構は回転軸に対して非接触であることが望ましい。このような非接触のシール機構として、エアシール機構を備えた静圧気体軸受スピンドルが知られている（たとえば特許文献１参照）。
【０００３】
以下、エアシール機構を備えた従来の静圧気体軸受スピンドルについて説明する。図６は、従来の静圧気体軸受スピンドルの構成を示す概略断面図である。図６を参照して、従来の静圧気体軸受スピンドル１００は、回転軸１１０と、回転軸１１０の一部を取り囲む固定部１４０とを備えている。回転軸１１０は、円筒状の形状を有する軸部１１２と、軸部１１２の一方の端部に接続され、図示しない被回転物を保持するための保持部としてのテーブル１１１とを含んでいる。固定部１４０は、軸部１１２の外周面を、回転軸１１０を支持するための軸受用気体が供給される隙間である軸受隙間１５１を隔てて取り囲む軸受スリーブ１２０と、軸受スリーブ１２０を取り囲み、軸受スリーブ１２０を保持するハウジング１３０とを含んでいる。
【０００４】
また、回転軸１１０は、回転軸１１０の軸と中心軸が一致し、円盤状の形状を有するスラスト板１１３を含んでいる。軸受スリーブ１２０は、スラスト板１１３の両側の底面に対して軸受隙間１５１を隔てて対向するように形成されている。
【０００５】
軸受スリーブ１２０には、軸受用気体を軸受隙間１５１に供給するノズル１５２Ａが、回転軸１１０の軸部１１２を取り囲むように複列に、かつ周方向に複数個形成されるとともに、スラスト板１１３の両側の底面に対向するように周方向に複数個形成されている。ノズル１５２Ａは、スリーブ給気路１５２と、ハウジング給気路１５４とを介して、図示しない軸受用気体供給部に接続されている。また、軸受スリーブ１２０およびハウジング１３０には、軸受隙間１５１とハウジング１３０の外部とを接続する軸受用気体排出路１５６が形成されている。
【０００６】
さらに、回転軸１１０の、スラスト板１１３からみてテーブル１１１とは反対側には、軸部１１２の外周面を取り囲むように接続されたロータ１７２が配置されている。また、ハウジング１３０には、ロータ１７２の外周面に対向するようにステータ１７１が配置されている。ステータ１７１およびロータ１７２は、回転軸１１０を軸周りに回転駆動するビルトインモータ１７０を構成している。
【０００７】
そして、軸受スリーブ１２０において、軸部１１２に対向するノズル１５２Ａが形成されている領域よりもテーブル１１１側の軸部１１２に対向する位置には、環状の溝であるスリーブ環状溝１２１が形成されている。一方、軸部１１２のスリーブ環状溝１２１に対向する位置には、環状の溝である回転軸環状溝１１４が形成されている。スリーブ環状溝１２１および回転軸環状溝１１４は、軸部１１２を取り囲むポケット１８２を構成している。さらに、軸受スリーブ１２０およびハウジング１３０には、ポケット１８２と、ポケット１８２にシール気体を供給するシール気体供給源（図示しない）とを接続するシール気体供給路１８１が形成されている。また、ポケット１８２は軸受スリーブ１２０と回転軸の軸部１１２との隙間であるシール隙間１８３を介して外部と連通している。ここで、シール気体供給路１８１、ポケット１８２およびシール隙間１８３は、シール機構１８０を構成している。
【０００８】
次に、静圧気体軸受スピンドル１００の動作を説明する。図示しない軸受用気体供給部から供給された高圧の軸受用気体が、ハウジング給気路１５４、スリーブ給気路１５２およびノズル１５２Ａを通って軸受隙間１５１に供給されることにより、回転軸１１０は、軸受スリーブ１２０に対して回転自在に非接触支持される。そして、ビルトインモータ１７０のステータ１７１に図示しない電源から電力が供給されることにより、ロータ１７２を軸回りに回転させる駆動力が発生する。これにより、軸受スリーブ１２０に対して回転自在に非接触支持されている回転軸１１０は、ロータ１７２とともに軸受スリーブ１２０に対して相対的に軸周りに回転する。
【０００９】
このとき、図示しないシール気体供給源から、シール気体がシール気体供給路１８１を介してポケット１８２に供給され、当該シール気体はシール隙間１８３から外部に排出される。これにより、シール隙間１８３からの軸受隙間１５１への異物の侵入が抑制される。
【特許文献１】特開２０００−４６０５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、上記従来の静圧気体軸受スピンドル１００の構成では、シール気体を供給するシール気体供給源が必要になるとともに、シール気体供給路１８１およびポケット１８２を含むシール機構１８０が別途必要となる。また、回転軸１１０の軸部１１２を取り囲む軸受スリーブ１２０の、ノズル１５２Ａが形成された領域であるジャーナル軸受部とテーブル１１１との間にシール機構１８０のポケット１８２が必要となるため、テーブル１１１とジャーナル軸受部との距離が大きくなる。その結果、被加工物などの被回転物が載置される保持部としてのテーブル１１１のテーブル面１１１Ａにおけるラジアル剛性が低下する。
【００１１】
そこで、本発明の目的は、従来別途必要であったシール気体供給源およびシール機構を省略することにより、構成を簡素化するとともに、被回転物を保持する保持部におけるラジアル剛性の低下を回避可能な静圧気体軸受スピンドルを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明に従った静圧気体軸受スピンドルは、円筒状の形状を有する軸部と、軸部の一方の端部に接続され、被回転物を保持するための保持部とを含む回転軸と、軸部の外周面を、回転軸を支持するための軸受用気体が供給される隙間である軸受隙間を隔てて取り囲む固定部とを備えている。そして、軸受用気体は、保持部と固定部との間に形成された隙間であるシール隙間から排出される。
【００１３】
本発明の静圧気体軸受スピンドルにおいては、回転軸を支持するために軸受隙間に供給された軸受用気体が、保持部と固定部との間に形成されたシール隙間から排出される。そのため、排出される軸受用気体がシール気体として機能し、保持部と固定部との間から軸受隙間への異物の侵入が抑制される。その結果、従来別途必要であったシール気体供給源およびシール機構を省略することが可能となり、構成を簡素化することができる。また、回転軸の軸部において、軸受隙間に供給された軸受用気体により保持される領域（ジャーナル軸受部）と回転軸の保持部との間にシール機構を構成する構造を別途配置する必要がないため、軸受用気体により保持される回転軸の領域と保持部とを近づけることが可能となる。その結果、保持部におけるラジアル剛性が向上する。
【００１４】
以上のように、本発明の静圧気体軸受スピンドルによれば、従来別途必要であったシール気体供給源およびシール機構を省略することにより、構成を簡素化するとともに、被回転物を保持する保持部におけるラジアル剛性の低下を回避可能な静圧気体軸受スピンドルを提供することができる。
【００１５】
上記本発明の静圧気体軸受スピンドルにおいては、固定部は、円筒状の貫通孔を有し、当該貫通孔に上記軸部が挿入される軸受スリーブと、軸受スリーブを取り囲み、軸受スリーブを支持するハウジングとを含んでいてもよい。そして、シール隙間は、軸受スリーブと保持部との間に形成されていてもよいし、ハウジングと保持部との間に形成されていてもよい。また、シール隙間は、軸受スリーブおよびハウジングと保持部との間にわたって形成されていてもよい。
【００１６】
上記本発明の静圧気体軸受スピンドルにおいて好ましくは、シール隙間は、軸受用気体の排出方向に対して、隣接する部位よりも幅の大きい拡幅部を有している。これにより、排出される軸受用気体の圧力が拡幅部において変化するため、シール隙間から軸受隙間への異物の侵入が一層抑制される。
【００１７】
上記本発明の静圧気体軸受スピンドルにおいて好ましくは、シール隙間は、軸受用気体の排出方向が変化する屈曲部を有している。これにより、屈曲部において異物の侵入経路が屈曲するため、シール隙間から軸受隙間への異物の侵入が一層抑制される。ここで、シール隙間から軸受隙間への異物の侵入を、さらに抑制するためには、屈曲部において、軸受用気体の排出方向が不連続に変化していることが好ましい。
【発明の効果】
【００１８】
以上の説明から明らかなように、本発明の静圧気体軸受スピンドルによれば、
従来別途必要であったシール気体供給源およびシール機構を省略することにより、構成を簡素化するとともに、被回転物を保持する保持部におけるラジアル剛性の低下を回避可能な静圧気体軸受スピンドルを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰り返さない。
【００２０】
（実施の形態１）
まず、本発明の一実施の形態である実施の形態１における静圧気体軸受スピンドルの構成について説明する。図１は、実施の形態１における静圧気体軸受スピンドルの構成を示す概略断面図である。
【００２１】
図１を参照して、実施の形態１における静圧気体軸受スピンドル１は、円筒状の形状を有する軸部１２と、軸部１２の一方の端部に接続され、被回転物を保持するための保持部としてのテーブル１１とを含む回転軸１０と、軸部１２の外周面を、回転軸１０を支持するための軸受用気体が供給される隙間である軸受隙間５１を隔てて取り囲む固定部４０とを備えている。テーブル１１は、軸部１２の軸を含む断面において、軸部１２に比べて、軸部１２の軸方向に垂直な方向の幅（直径）が大きい円盤状の形状を有している。そして、軸受用気体は、テーブル１１と固定部４０との間に形成された隙間であるシール隙間９３から排出される。
【００２２】
より具体的には、保持部としてのテーブル１１において、被回転物を載置するテーブル面１１Ａとは反対側の底面である裏面１１Ｂと固定部４０との間には、外部と連通するシール隙間９３と、シール隙間９３に接続され、シール隙間９３よりも大きい空間であるバッファ室としてのポケット部９２とが形成されている。ポケット部９２は、軸部１２のテーブル１１が接続されている側の端部の外周を取り囲むように形成された環状の空間である。また、シール隙間９３は軸部１２の軸方向に交差する方向、より具体的には直交する方向に延在している。さらに、ポケット部９２には、軸受隙間５１に連通し、軸受隙間５１に供給された軸受用気体を軸受隙間５１から排出する排出路９１が接続されている。排出路９１、ポケット部９２およびシール隙間９３は、軸受用気体の排気を利用したシール機構である排気シール機構９０を構成している。
【００２３】
固定部４０は、軸部１２の外周面を、軸受隙間５１を隔てて取り囲むことにより回転軸１０を径方向（ラジアル方向）に支持するジャーナル軸受として機能する軸受スリーブ２０と、軸受スリーブ２０を取り囲み、軸受スリーブ２０を保持するハウジング３０とを含んでいる。
【００２４】
また、回転軸１０は、回転軸１０の軸と中心軸が一致し、円盤状の形状を有するスラスト板１３を含んでいる。軸受スリーブ２０は、スラスト板１３の両側の底面に対して軸受隙間５１を隔てて対向するように形成されており、回転軸１０を軸方向（アキシアル方向）に支持するスラスト軸受として機能する。
【００２５】
軸受スリーブ２０には、軸受用気体を軸受隙間５１に供給するノズル５２Ａが、回転軸１０の軸部１２を取り囲むように複列に、かつ周方向に複数個形成されるとともに、スラスト板１３の両側の底面に対向するように周方向に複数個形成されている。ノズル５２Ａは、スリーブ給気路５２と、ハウジング給気路５４とを介して、図示しない軸受用気体供給部に接続されている。また、軸受スリーブ２０には、軸受隙間５１とポケット部９２とを接続する排出路９１が形成されている。
【００２６】
さらに、回転軸１０の、スラスト板１３からみてテーブル１１とは反対側には、軸部１２の外周面を取り囲むように接続されたロータ７２が配置されている。また、ハウジング３０には、ロータ７２の外周面に対向するようにステータ７１が配置されている。ステータ７１およびロータ７２は、回転軸１０を軸周りに回転駆動するビルトインモータ７０を構成している。
【００２７】
そして、本実施の形態１における静圧気体軸受スピンドル１においては、図６に基づいて説明した従来の静圧気体軸受スピンドル１００とは異なり、シール機構１８０やシール気体供給源が別途設けられていない。
【００２８】
次に、静圧気体軸受スピンドル１の動作を説明する。図１を参照して、図示しない軸受用気体供給部から供給された高圧の圧縮空気などの軸受用気体が、ハウジング給気路５４、スリーブ給気路５２およびノズル５２Ａを通って軸受隙間５１に供給されることにより、回転軸１０は、軸受スリーブ２０に対して回転自在に非接触支持される。そして、ビルトインモータ７０のステータ７１に図示しない電源から電力が供給されることにより、ロータ７２を軸回りに回転させる駆動力が発生する。これにより、軸受スリーブ２０に対して回転自在に非接触支持されている回転軸１０は、ロータ７２とともに軸受スリーブ２０に対して相対的に軸周りに回転する。なお、軸受用気体としては、空気の他、窒素、アルゴン、ヘリウム、水素、酸素などの気体を採用することができる。
【００２９】
このとき、図示しない軸受用気体供給部から供給された軸受用気体は、排出路９１およびポケット部９２を介してシール隙間９３から外部に排出される。その結果、シール隙間９３から外部に排出される軸受用気体が気体シールとして機能し、シール気体供給源およびシール機構を別途設置することなく、シール隙間９３から軸受隙間５１への異物の侵入が抑制される。また、回転軸１０の軸部１２において、軸受隙間５１に供給された軸受用気体により保持される領域（ジャーナル軸受部）と回転軸１０のテーブル１１との間にシール機構を構成する構造を別途配置する必要がないため、ジャーナル軸受部とテーブル１１とを近づけることが可能となる。その結果、テーブル１１におけるラジアル剛性が向上し、テーブル１１のテーブル面１１Ａに載置される被回転物を安定して回転させることが可能となる。
【００３０】
以上のように、本実施の形態１における静圧気体軸受スピンドル１によれば、従来別途必要であったシール気体供給源およびシール機構を省略することにより、構成を簡素化するとともに、被回転物を保持するテーブル１１におけるラジアル剛性の低下を回避可能な静圧気体軸受スピンドルを提供することができる。
【００３１】
ここで、図１においては、軸受スリーブ２０のテーブル１１に対向する側の端面のうち、内周面側の領域がポケット部９２を構成しており、ポケット部９２を構成する領域の外周面側の領域とテーブル１１の裏面１１Ｂとの間にシール隙間９３が形成されている。そして、ハウジング３０とテーブル１１との距離は、シール隙間９３における軸受スリーブ２０とテーブル１１との距離よりも大きい。すなわち、シール隙間９３は、軸受スリーブ２０とテーブル１１との間に形成されており、ハウジング３０はシール隙間９３を構成していない。
【００３２】
しかし、実施の形態１における排気シール機構９０の構成は上述の構成に限られず、他の構成を採用することもできる。図２は、実施の形態１における静圧気体軸受スピンドルの第１の変形例の要部を示す概略部分断面図である。また、図３は、実施の形態１における静圧気体軸受スピンドルの第２の変形例の要部を示す概略部分断面図である。
【００３３】
以下、実施の形態１における第１の変形例について説明する。図２を参照して、第１の変形例における静圧気体軸受スピンドル１は、基本的には図１に基づいて説明した実施の形態１の静圧気体軸受スピンドル１と同様の構成を有している。しかし、図２に示す第１の変形例における静圧気体軸受スピンドル１は、排気シール機構９０の構成において、上記図１の静圧気体軸受スピンドル１とは異なっている。すなわち、図２に示す第１の変形例においては、軸受スリーブ２０のテーブル１１に対向する側の端面全体がポケット部９２を構成しており、シール隙間９３は、ハウジング３０のテーブル１１に対向する側の端面と、テーブル１１の裏面１１Ｂとの間に形成されている。すなわち、テーブル１１と軸受スリーブ２０との間の距離は、シール隙間９３を構成するテーブル１１とハウジング３０との間の距離よりも大きく、軸受スリーブ２０はシール隙間９３を構成していない。
【００３４】
次に、実施の形態１における第２の変形例について説明する。図３を参照して、第２の変形例における静圧気体軸受スピンドル１は、基本的には図１に基づいて説明した実施の形態１の静圧気体軸受スピンドル１と同様の構成を有している。しかし、図３に示す第２の変形例における静圧気体軸受スピンドル１は、排気シール機構９０の構成において、上記図１の静圧気体軸受スピンドル１とは異なっている。すなわち、図３に示す第２の変形例においては、軸受スリーブ２０のテーブル１１に対向する側の端面のうち、内周面側の領域がポケット部９２を構成しており、ポケット部９２を構成する領域の外周面側の領域とテーブル１１の裏面１１Ｂとの間にシール隙間９３が形成されている。さらに、ハウジング３０のテーブル１１に対向する側の端面は、軸受スリーブ２０のシール隙間９３を構成する領域と同一の平面を構成しており、テーブル１１の裏面１１Ｂとの間にシール隙間９３を形成している。すなわち、シール隙間９３は、テーブル１１と、軸受スリーブ２０およびハウジング３０との間にわたって形成されている。
【００３５】
（実施の形態２）
次に、本発明の他の実施の形態である実施の形態２における静圧気体軸受スピンドルの構成について説明する。図４は、実施の形態２における静圧気体軸受スピンドルの要部の構成を示す概略部分断面図である。
【００３６】
図４を参照して、実施の形態２における静圧気体軸受スピンドル１は、基本的には図１および図３に基づいて説明した実施の形態１の静圧気体軸受スピンドル１の第２の変形例と同様の構成を有しており、実施の形態１の静圧気体軸受スピンドル１と同様の作用効果を奏する。しかし、実施の形態２における静圧気体軸受スピンドル１は、シール隙間９３の構成において、実施の形態１の静圧気体軸受スピンドル１の第２の変形例とは異なっている。
【００３７】
すなわち、実施の形態２における静圧気体軸受スピンドル１においては、シール隙間９３は、軸受用気体の排出方向に対して、隣接する部位よりも幅の大きい拡幅部９３Ａを有している。すなわち、軸受スリーブ２０のテーブル１１に対向する側の端面のうち、シール隙間９３を構成する領域には、円環状の凹部が形成されており、当該凹部とテーブル１１の裏面１１Ｂとの間に拡幅部９３Ａが形成されている。
【００３８】
これにより、実施の形態２における静圧気体軸受スピンドル１においては、排出される軸受用気体の圧力が拡幅部９３Ａにおいて変化するため、シール隙間９３から軸受隙間５１への異物の侵入が一層抑制される。なお、拡幅部９３Ａは、図４に示すように１箇所でも効果があるが、２箇所以上に形成されていてもよい。
【００３９】
（実施の形態３）
次に、本発明のさらに他の実施の形態である実施の形態３における静圧気体軸受スピンドルの構成について説明する。図５は、実施の形態３における静圧気体軸受スピンドルの要部の構成を示す概略部分断面図である。
【００４０】
図５を参照して、実施の形態３における静圧気体軸受スピンドル１は、基本的には図１および図３に基づいて説明した実施の形態１の静圧気体軸受スピンドル１の第２の変形例と同様の構成を有しており、実施の形態１の静圧気体軸受スピンドル１と同様の作用効果を奏する。しかし、実施の形態３における静圧気体軸受スピンドル１は、シール隙間９３の構成において、実施の形態１の静圧気体軸受スピンドル１の第２の変形例とは異なっている。
【００４１】
すなわち、実施の形態３における静圧気体軸受スピンドル１においては、シール隙間９３は、軸受用気体の排出方向が変化する屈曲部９３Ｂを有している。より具体的には、ハウジング３０のテーブル１１に対向する側の端面は、軸受スリーブ２０のテーブル１１に対向する側の端面に比べて、テーブル１１側から見て後退した位置に形成されている。そして、テーブル１１にはこれに沿うように突出部１１Ｃが形成されている。その結果、軸受スリーブ２０の外周端およびハウジング３０の内周端とテーブル１１の突出部１１Ｃとの間に、シール隙間９３が不連続に、より具体的には直角に屈曲する屈曲部９３Ｂが形成されている。なお、屈曲部９３Ｂは、ハウジング３０のテーブル１１に対向する側の端面が、軸受スリーブ２０のテーブル１１に対向する側の端面に比べて、テーブル１１側から見て突出した位置に形成され、テーブル１１にはこれに沿うように厚みの薄い薄肉部を有することにより形成されてもよい。
【００４２】
これにより、屈曲部９３Ｂにおいて異物の侵入経路が屈曲するため、シール隙間９３から軸受隙間５１への異物の侵入が一層抑制される。
【００４３】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味、および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明の静圧気体軸受スピンドルは、気体軸受内部への異物の侵入を抑制するための気体シール機構を備えた静圧気体軸受スピンドルに、特に有利に適用され得る。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】実施の形態１における静圧気体軸受スピンドルの構成を示す概略断面図である。
【図２】実施の形態１における静圧気体軸受スピンドルの第１の変形例の要部を示す概略部分断面図である。
【図３】実施の形態１における静圧気体軸受スピンドルの第２の変形例の要部を示す概略部分断面図である。
【図４】実施の形態２における静圧気体軸受スピンドルの要部の構成を示す概略部分断面図である。
【図５】実施の形態３における静圧気体軸受スピンドルの要部の構成を示す概略部分断面図である。
【図６】従来の静圧気体軸受スピンドルの構成を示す概略断面図である。
【符号の説明】
【００４６】
１  静圧気体軸受スピンドル、１０  回転軸、１１  テーブル、１１Ａ  テーブル面、１１Ｂ  裏面、１１Ｃ  突出部、１２  軸部、１３  スラスト板、２０  軸受スリーブ、３０  ハウジング、４０  固定部、５１  軸受隙間、５２  スリーブ給気路、５２Ａ  ノズル、５４  ハウジング給気路、７０  ビルトインモータ、７１  ステータ、７２  ロータ、９０  排気シール機構、９１  排出路、９２  ポケット部、９３  シール隙間、９３Ａ  拡幅部、９３Ｂ  屈曲部。
【図１】
2008128443.tif 000003
【図２】
2008128443.tif 000004
【図３】
2008128443.tif 000005
【図４】
2008128443.tif 000006
【図５】
2008128443.tif 000007
【図６】
2008128443.tif 000008