(57)【要約】【課題】液体シーリングユニット及びそれを有するイマージョンフォトリソグラフィ装置を提供する。【解決手段】液体シーリングユニットは、液体が収容されて光が透過する光ノズル口を有する保存容器と、前記光ノズル口に収容された前記液体と接触する流体とが収容されるシーリング部とを備える。また、本発明は前記液体シーリングユニットを有するイマージョンフォトリソグラフィ装置も提供する。よって、本発明はイマージョン投映光学系の汚染を防止することができる。【選択図】図２
2008193094.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体が収容されて、その内部に光が透過されるように形成された光ノズル口を有する保存容器と、
前記光ノズル口に収容された前記液体と接触する流体が収容されるシーリング部と、
を含むことを特徴とする液体シーリングユニット。
【請求項２】
前記シーリング部は、前記流体が一定量に保存される槽を有することを特徴とする請求項１に記載の液体シーリングユニット。
【請求項３】
前記シーリング部は前記液体を洗浄する洗浄部をさらに備え、
前記洗浄部は、前記光ノズル口に収容された液体を予め設定された量に維持する水位維持手段と、前記槽に保存された流体を循環させる循環手段と、を備えることを特徴とする請求項２に記載の液体シーリングユニット。
【請求項４】
前記水位維持手段は、前記光ノズル口に保存された液体の水位を測定するセンサと、前記光ノズル口と連通されるように前記保存容器に用意されて液体を流通させる流体流路と、前記流体流路と連結される第１ポンプと、前記第１ポンプと連結されて液体が保存される液体保存器と、前記測定した水位と前記基準水位が実質的に等しくなるように前記センサと電気的に接続されて前記第１ポンプを制御する第１制御器と、を備え、
前記循環手段は、前記槽の一方と他方との間に形成される循環流路と、前記循環油路上に設けられたフィルタと、前記循環油路上に設けられた第２ポンプと、前記第２ポンプと電気的に接続されて前記第２ポンプの動作を制御する第２制御器と、を備えることを特徴とする請求項３に記載の液体シーリングユニット。
【請求項５】
前記シーリング部は、前記液体によって作用する第１圧力値に対応されるように第２圧力値に加圧して、前記光ノズル口の境界面で前記液体をシーリングする流体を有し、
前記第２圧力値は、前記境界面で露出する前記液体の露出面に流体が接触されて形成されることを特徴とする請求項１に記載の液体シーリングユニット。
【請求項６】
前記流体は、前記液体の比重と実質的に同一であることを特徴とする請求項５に記載の液体シーリングユニット。
【請求項７】
前記流体は、前記液体の比重よりも大きい比重を有することを特徴とする請求項５に記載の液体シーリングユニット。
【請求項８】
前記シーリング部は、前記保存容器の一部が浸漬される前記流体が一定量に保存される槽を有することを特徴とする請求項６または請求項７に記載の液体シーリングユニット。
【請求項９】
前記シーリング部は、前記光ノズル口に保存された液体の水位を維持させる水位維持手段をさらに備え、
前記水位維持手段は、前記光ノズル口に保存された液体の水位を測定するセンサと、前記光ノズル口と連通されるように前記保存容器に用意されて液体を流通させる流体流路と、前記流体流路と連結される第１ポンプと、前記第１ポンプと連結されて液体が保存される液体保存器と、前記測定した水位と前記基準水位が実質的に等しくなるように前記センサと電気的に接続されて前記第１ポンプを制御する第１制御器と、を備えることを特徴とする請求項５に記載の液体シーリングユニット。
【請求項１０】
前記シーリング部は、超音波洗浄機をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の液体シーリングユニット。
【請求項１１】
液体が収容されて、その内部に光が透過されるように形成された光ノズル口を有する保存容器と、
ウエハが安着されて、前記保存容器の底部に移動されるウエハステージと、
前記保存容器の底部で前記光ノズル口に収容された前記液体と接触する流体が収容されるシーリング部と、
前記シーリング部を前記保存容器の底部に移動させる移動部と、
を含むことを特徴とする液体シーリングユニットを有するイマージョンフォトリソグラフィ装置。
【請求項１２】
前記シーリング部は、前記流体が一定量に保存される槽を有することを特徴とする請求項１１に記載の液体シーリングユニットを有するイマージョンフォトリソグラフィ装置。
【請求項１３】
前記シーリング部は、前記液体を洗浄する洗浄部をさらに備え、
前記洗浄部は、前記光ノズル口に収容された液体を予め設定された量に維持する水位維持手段と、前記槽に保存された流体を循環させる循環手段と、を備えることを特徴とする請求項１２に記載の液体シーリングユニットを有するイマージョンフォトリソグラフィ装置。
【請求項１４】
前記水位維持手段は、前記光ノズル口に保存された液体の水位を測定するセンサと、前記光ノズル口と連通されるように前記保存容器に用意されて液体を流通させる液体流路と、前記液体流路と連結される第１ポンプと、前記第１ポンプと連結されて液体が保存される液体保存器と、前記センサと電気的に接続されて基準水位が予め設定され、前記測定した水位と前記基準水位が実質的に等しくなるように前記センサと電気的に接続されて前記第１ポンプを制御する第１制御器と、を備え、
前記循環手段は、前記槽の一方と他方間に形成される循環流路と、前記循環油路上に設けられたフィルタと、前記循環油路上に設けられた第２ポンプと、前記第２ポンプと電気的に接続されて前記第２ポンプの動作を制御する第２制御器と、を備えることを特徴とする請求項１３に記載の液体シーリングユニットを有するイマージョンフォトリソグラフィ装置。
【請求項１５】
前記シーリング部は、前記液体によって作用する第１圧力値に対応されるように第２圧力値に加圧して前記光ノズル口の境界面において前記液体をシーリングする流体を有し、
前記第２圧力値は、前記境界面で露出される前記液体の露出面に流体が接触されて形成されることを特徴とする請求項１１に記載の液体シーリングユニットを有するイマージョンフォトリソグラフィ装置。
【請求項１６】
前記流体は、前記液体の比重と実質的に同一であることを特徴とする請求項１５に記載の液体シーリングユニットを有するイマージョンフォトリソグラフィ装置。
【請求項１７】
前記流体は、前記液体の比重よりも大きい比重を有することを特徴とする請求項１５に記載の液体シーリングユニットを有するイマージョンフォトリソグラフィ装置。
【請求項１８】
前記シーリング部は、前記保存容器の一部が浸漬される前記流体が一定量に保存される槽を有することを特徴とする請求項１５に記載の液体シーリングユニットを有するイマージョンフォトリソグラフィ装置。
【請求項１９】
前記シーリング部は、前記光ノズル口に保存された液体の水位を維持させる水位維持手段をさらに備え、
前記水位維持手段は、前記光ノズル口に保存された液体の水位を測定するセンサと、前記光ノズル口と連通されるように前記保存容器に用意されて液体を流通させる流体流路と、前記流体流路と連結される第１ポンプと、前記第１ポンプと連結されて液体が保存される液体保存器と、前記センサと電気的に接続されて基準水位が予め設定され、前記測定した水位と前記基準水位が実質的に等しくなるように前記センサと電気的に接続されて前記第１ポンプを制御する第１制御器と、を備えることを特徴とする請求項１５に記載の液体シーリングユニットを有するイマージョンフォトリソグラフィ装置。
【請求項２０】
前記シーリング部は、超音波洗浄機をさらに備えることを特徴とする請求項１１に記載の液体シーリングユニットを有するイマージョンフォトリソグラフィ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、イマージョンフォトリソグラフィ装置に関し、より詳しくは、イマージョン投映光学系の汚染を防止することができる液体シーリングユニット及びそれを有するイマージョンフォトリソグラフィ装置（ＬＩＱＵＩＤ  ＳＥＡＬＩＮＧ  ＵＮＩＴ  ＡＮＤ  ＩＭＭＥＲＳＩＯＮ  ＰＨＯＴＯ  ＬＩＴＨＯＧＲＡＰＨＹ  ＡＰＰＡＲＡＴＵＳ）に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子は多くの単位工程（ｕｎｉｔ  ｐｒｏｃｅｓｓｅｓ）により製造される。前記単位工程は、半導体ウエハ上に絶縁膜、導電膜または半導体膜のような物質膜を形成するための蒸着工程（ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ  ｐｒｏｃｅｓｓ）、前記物質膜をパターニングするためのフォトリソグラフィ／エッチング工程、前記物質膜または前記半導体ウエハの所定領域を不純物によりドーピングさせるためのイオン注入工程、前記不純物を活性化させるための熱処理工程、前記物質膜の表面を平坦化させるための化学機械的研磨工程、及び前記各工程が適用したウエハの表面に残存する汚染源（ｃｏｎｔａｍｉｎａｎｔｓ）を除去するための洗浄工程などを含む。前記単位工程のうちフォトリソグラフィ工程は半導体素子の集積度に直接的な影響を及ぼす。
【０００３】
前記フォトリソグラフィ工程は、光学システム（ｏｐｔｉｃａｌ  ｓｙｓｔｅｍ）を備えるフォトリソグラフィ装置を用いて行っている。前記光学システムはレンズモジュール及び前記レンズモジュールに対して照射されるメイン入射光を生成するメイン光源を含むことができる。前記メイン入射光は前記レンズモジュールを介してウエハステージ上に照射される。前記光学システムの解像度（ｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎ）Ｒは次の数式１のように表現することができる。
【数１】
2008193094.tif 000003
【０００４】
ここで、「λ」は、前記メイン光源から生成する前記メイン入射光の波長を示し、「ＮＡ」は、前記レンズモジュールの開口数（ｎｕｍｅｒｉｃａｌ  ａｐｅｒｔｕｒｅ）を示している。
【０００５】
前記開口数ＮＡは、前記レンズモジュールの直径に近似的に（ａｐｐｒｏｘｉｍａｔｅｌｙ）比例し、前記レンズモジュールの焦点距離（ｆｏｃａｌ  ｄｉｓｔａｎｃｅ）に近似的に反比例する。前記開口数ＮＡは、次の数式２のように表現することができる。
【数２】
2008193094.tif 000004
【０００６】
ここで、「ｎ」は、前記レンズモジュールと前記ウエハステージとの間の媒質（ｍｅｄｉｕｍ）の屈折率（ｒｅｆｒａｃｔｉｖｅ  ｉｎｄｅｘ）を示し、「θ」は、前記レンズモジュールの中心垂直軸（ｃｅｎｔｒａｌ  ｖｅｒｔｉｃａｌ  ａｘｉｓ）と前記レンズモジュールの端から前記レンズモジュールの焦点（ｆｏｃａｌ  ｐｏｉｎｔ）に向う光との間の角度（すなわち、屈折角）を示す。
【０００７】
前記数式１及び数式２から分かるように、前記光学システムの解像度Ｒは前記レンズモジュールの屈折角θを増加させたり、前記レンズモジュールと前記ウエハステージとの間の媒質の屈折率ｎを増加させたりすることによって改善することができる。
【０００８】
前述のような光学システムを有する従来のフォトリソグラフィ装置を、図１を参照して説明する。
【０００９】
図１を参照すると、従来のフォトリソグラフィ装置は、投映レンズ部（図示せず）の下端に液体を保存することができるイマージョンレンズ部を備える。
【００１０】
前記イマージョンレンズ部は液体１１が保存される保存器１２を有する。前記保存器１２はその中央に前記液体が保存される保存空間が形成されていて、前記保存空間はその上面と下面とが外部に露出されている。そして、前記保存空間はその上方から下方に沿って徐々に細くなるように形成される。
【００１１】
前記イマージョンレンズ部の上部には前記投映レンズ部が位置する。
【００１２】
前記イマージョンレンズ部の下部にはウエハテーブルＷＴが位置する。前記ウエハテーブルＷＴは、ウエハＷが安着される第１安着部が形成し、前記第１安着部の隣にはクロージングディスク１５が安着される第２安着部が形成される。ここで、前記クロージングディスク１５と前記ウエハテーブルＷＴの上面は実質的に互いに同一平面を形成する。そして、前記ウエハテーブルＷＴは、図に示してないが、矢印方向に沿って直線移動することができる。
【００１３】
前述のような構成を有する従来のフォトリソグラフィ装置の作動を以下に説明する。
【００１４】
ウエハテーブルＷＴの第１安着部には、ウエハＷが移送手段（図示せず）によりローディングされる。前記ウエハＷは、前記ウエハテーブルＷＴの移動により前記イマージョンレンズ部の底部に位置される。このとき、前記イマージョンレンズ部の保存器１２には浸漬液体（ｉｍｍｅｒｓｉｏｎ  ｌｉｑｕｉｄ、以下「液体」とする）が保存されている状態である。続いて、光源から照射された光はレチクル（図示せず）を通過して前記投映レンズ部を通過し、前記イマージョンレンズ部の液体１１により解像度が向上されたのち前記ウエハＷ上に投影される。このような方法により、前記ウエハＷ上においてフォトリソグラフィ工程を終了した後、前記ウエハＷは前記ウエハテーブルＷＴの移動によりアンローディングされることができる。
【００１５】
このとき、前記クロージングディスク１５の上面は、前記ウエハテーブルＷＴの移動により前記イマージョンレンズ部の底部に位置することができる。続いて、図に示してないが、前記クロージングディスク１５は前記イマージョンレンズ部の真空吸着ホールに形成される真空吸着力により保存器の底面に吸着されることができる。したがって、前記クロージングディスク１５の上面は前記保存器１２の保存空間の下面を外部から密閉することができるので、前記保存空間の液体１１はその底部から流出されない。
【００１６】
続いて、前記フォトリソグラフィ工程を終了したウエハＷがアンローディングされた後、新しいウエハＷが第１安着部にローディングされると、前記クロージングディスク１５を元の位置に復帰させなければならない。このとき、前記真空吸着ホールに形成された真空吸着力を消失させることによって、前記クロージングディスク１５を第２安着部に安着させることができる。よって、前記保存器１２の保存空間の下面は外部に露出される。続いて、前記新しいウエハＷは、前記ウエハテーブルＷＴの移動により前記イマージョンレンズ部の底部に位置し、前記クロージングディスク１５も元の位置に復帰することができる。
【特許文献１】大韓民国特許公開第２００５−０９７８０１号明細書
【特許文献２】大韓民国特許公開第２００５−１２１７２３号明細書
【特許文献３】特開２００６−１２１０７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
しかしながら、従来は前記クロージングディスク１５を利用して前記保存器１２の保存空間の下面を密閉または開放したために、前記クロージングディスク１５の動作時間による工程時間が増加されるという問題点があった。
【００１８】
それに加えて、前記クロージングディスク１５は、外部から提供される真空吸着力により前記保存器１２の底面と吸着または分離を行うので、前記保存器１２の底面と物理的な接触を繰り返しすることになる。これにより、従来には前記保存器１２の底面及びクロージングディスク１５の上面にスクラッチが発生するという問題点があった。
【００１９】
また、前記スクラッチにほこりのような汚染物質が加わって、前記汚染物質が保存器に保存された液体１１に浸透されることができる。また、パターンが形成されたウエハＷの上面にパーティクルに作用されることができる。
【００２０】
このように、従来には汚染物質が前記液体１１に浸透したりウエハＷ上に存在したりすると、その汚染物質は前記液体１１により屈折されてウエハＷ上に投影される画像にパーティクルとして作用したり、ウエハＷ上に描画（ｉｍａｇｉｎｇ）になったパターンに汚染源として作用し、結局、ウエハＷ上に不良のパターンを形成し、深刻な製品不良を生じることになる。
【００２１】
したがって、本発明は前述のような問題点を解決するために案出したものであって、本発明の第１目的は、保存容器の液体に汚染物質が存在することを防止し、ウエハ上に投影されるパターンに欠陥の発生を防止し、製品の品質を向上させることができる液体シーリングユニット及びそれを有するイマージョンフォトリソグラフィ装置を提供することにある。
【００２２】
本発明の第２目的は、保存容器の液体を外部から密閉させる時間を短縮し、ウエハに対するフォトリソグラフィ工程時間を低減することができる液体シーリングユニット及びそれを有するイマージョンフォトリソグラフィ装置を提供することにある。
【００２３】
本発明の第３目的は、保存容器の液体と界面を形成させて前記液体を外部から容易に密閉させることができる液体シーリングユニット及びそれを有するイマージョンフォトリソグラフィ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２４】
本発明は、前述の目的を達成するために液体シーリングユニットを提供する。
【００２５】
前記液体シーリングユニットは、液体が収容されて光が透過する光ノズル口を有する保存容器と、前記光ノズル口に収容された前記液体と接触する流体（ｆｌｕｉｄ）が収容されるシーリング部を含む。
【００２６】
ここで、前記シーリング部は前記流体が一定量に保存される槽（ｂａｔｈ）を有することが好ましい。
【００２７】
そして、前記シーリング部は前記液体を洗浄する洗浄部をさらに備え、
前記洗浄部は前記光ノズル口に収容される液体を予め設定された量に維持する水位維持手段と、前記槽に保存された流体を循環させる循環手段と、を備えることが好ましい。
【００２８】
また、前記水位維持手段は、前記光ノズル口に保存された液体の水位を測定するセンサと、前記光ノズル口と連通するように前記保存容器に用意されて液体を流通させる流体流路と、前記流体流路に連結される第１ポンプと、前記第１ポンプに連結され、液体が保存される液体保存器と、前記センサと電気的に接続されて基準水位が予め設定されて、前記測定した水位が前記基準水位と等しくなるように前記第１ポンプを制御する第１制御器と、を備えることが好ましい。
【００２９】
また、前記循環手段は、前記槽の一方と他方とを連通させる循環流路と、前記循環油路上に設けられたフィルタと、前記循環油路上に設けられた第２ポンプと、前記第２ポンプと電気的に接続されて前記第２ポンプの動作を制御する第２制御器と、を備えることが好ましい。
【００３０】
前記第１制御器及び前記第２制御器はメイン制御器に含まれることができる。
【００３１】
一方、前記シーリング部は、前記液体によって作用する第１圧力値に対応されるように、第２圧力値に加圧して前記光ノズル口の境界面において前記液体をシーリングする流体を有し、
前記第２圧力値は、前記境界面から露出される前記液体の露出面に流体が接触されて形成されることが好ましい。
【００３２】
ここで、前記流体は前記液体と同一比重の液体であることが好ましい。
【００３３】
また、前記流体は前記液体の比重よりも大きい液体とすることができる。
【００３４】
ここで、前記シーリング部は、前記保存容器の一部が浸漬され、前記流体が一定量に保存される槽を有することが好ましい。
【００３５】
また、前記シーリング部は、前記光ノズル口に保存された液体の水位を維持する水位維持手段をさらに備えていて、
【００３６】
前記水位維持手段は、前記光ノズル口に保存された液体の水位を測定するセンサと、前記光ノズル口に連通されるように前記保存容器に用意されて液体を流通させる流体流路と、前記流体流路に連結される第１ポンプと、前記第１ポンプに連結されて液体が保存される液体保存器と、前記センサと電気的に接続されて基準水位が予め設定されていて、前記測定した水位が前記基準水位と等しくなるように前記第１ポンプを制御する第１制御器を備えることが好ましい。
【００３７】
また、前記シーリング部は超音波洗浄機をさらに備えることが好ましい。
【００３８】
本発明は、前述の目的を達成するために液体シーリングユニットを備えるイマージョンフォトリソグラフィ装置を提供する。
【００３９】
前記イマージョンフォトリソグラフィ装置は、液体が収容され、光が透過される光ノズル口を有する保存容器と、ウエハが安着され前記保存容器の底部に移動されるウエハステージと、前記保存容器の底部において前記光ノズル口に収容された前記液体と接触する流体が収容されるシーリング部と、前記シーリング部を前記保存容器の底部に移動させる移動部と、を含む。
【００４０】
ここで、前記シーリング部は前記流体が一定量に保存される槽を有することが好ましい。
【００４１】
そして、前記シーリング部は前記液体を洗浄する洗浄部をさらに備えていて、
前記洗浄部は、前記光ノズル口に収容された液体を予め設定された量に維持する水位維持手段と、前記槽に保存された流体を循環させる循環手段と、を備えることが好ましい。
【００４２】
また、前記水位維持手段は、前記光ノズル口に保存された液体の水位を測定するセンサと、前記光ノズル口に連通されるように前記保存容器に用意されて液体を流通させる液体流路と、前記液体流路に連結される第１ポンプと、前記第１ポンプに連結されて液体が保存される液体保存器と、前記センサと電気的に接続されて基準水位が予め設定されていて、前記測定した水位が前記基準水位と等しくなるように前記第１ポンプを制御する第１制御器と、を備えることが好ましい。
【００４３】
また、前記循環手段は、前記槽の一方と他方とを連通させる循環流路と、前記循環油路上に設けられたフィルタと、前記循環油路上に設けられた第２ポンプと、前記第２ポンプに電気的に接続されて前記第２ポンプの動作を制御する第２制御器と、を備えることが好ましい。
【００４４】
一方、前記シーリング部は、前記液体によって作用する第１圧力値に対応されるように、第２圧力値に加圧して前記光ノズル口の境界面で前記液体をシーリングする流体を有することが好ましい。
【００４５】
ここで、前記第２圧力値は、前記境界面から露出される前記液体の露出面に流体が接触されて形成されることが好ましい。
【００４６】
そして、前記流体は前記液体と同一比重の液体であることが好ましい。
【００４７】
また、前記流体は前記液体の比重よりも大きい液体とすることができる。
【００４８】
また、前記シーリング部は、前記保存容器の一部が浸漬され、前記流体が一定量に保存される槽を有することが好ましい。
【００４９】
また、前記シーリング部は、前記光ノズル口に保存された液体の水位を維持する水位維持手段をさらに備え、
【００５０】
前記水位維持手段は、前記光ノズル口に保存された液体の水位を測定するセンサと、前記光ノズル口に連通されるように前記保存容器に用意されて液体を流通させる流体流路と、前記流体流路に連結される第１ポンプと、前記第１ポンプに連結されて液体が保存される液体保存器と、前記センサに電気的に接続されて基準水位が予め設定されていて、前記測定した水位が前記基準水位と等しくなるように前記第１ポンプを制御する第１制御器と、を備えることが好ましい。
【００５１】
また、前記シーリング部は超音波洗浄機をさらに備えることが好ましい。
【発明の効果】
【００５２】
以上説明したように、本発明は投射される光に対して所定の屈折率を形成する液体及び前記液体を収容する保存容器から発生しうるパーティクルを洗浄し、前記液体をシーリングする液体シーリングユニット及びそれを有するフォトリソグラフィ装置を提供する。
【００５３】
本発明は、保存容器に収容される液体を他の強制循環される流体と接触させるとともに、前記流体に含ませて強制循環させることによって、前記液体に含まれているパーティクルを外部に容易に排出することができる。
【００５４】
さらに、本発明は、前記流体を保存容器の底面部と接触させることによって、前記保存容器の底面から発生しうるパーティクルまでも、強制循環する流体の流れにより外部に排出することができる。
【００５５】
また、本発明は、槽内部において超音波洗浄ができるので、前記パーティクルを容易に除去することができる。
【００５６】
したがって、本発明は、保存容器に保存される液体に汚染物質が含まれることを防止し、ウエハ上に投影されるパターンに欠陥（ｄｅｆｅｃｔ）の発生を防止し、よって、製品の品質を向上させることができる。
【００５７】
さらに、本発明は、流体が前記保存容器に保存される液体と境界面を形成して前記液体をカバーすることによって、ウエハがウエハステージにローディング及びアンローディングされる場合に、前記保存容器の液体を外部から密閉する時間を短縮させ、ウエハに対するフォトリソグラフィ工程時間を低減させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５８】
以下、添付した図面を参照して本発明の液体シーリングユニット及びそれを有するイマージョンフォトリソグラフィ装置を説明する。
【００５９】
まず、本発明の一実施形態に係る液体シーリングユニットを説明する。
【００６０】
図２は本発明の一実施形態に係る液体シーリングユニットの動作前の状態を示す断面図である。図３は本発明の一実施形態に係る液体シーリングユニットの動作前の状態を示す断面図である。図４は本発明の一実施形態に係る液体シーリングユニットの構成を示すブロック図である。
【００６１】
図２ないし図４を参照すると、本発明の液体シーリングユニットは、液体が保存される保存容器１００と、前記保存容器１００の底部に位置するシーリング部２００を有する。
【００６２】
前記保存容器１００は、その中央部に光が透過される光ノズル口１１０を有する。前記光ノズル口１１０には一定量の液体１１１が収容される。
【００６３】
前記シーリング部２００は槽２１０を有する。前記槽２１０には一定量の流体（ｆｌｕｉｄ）２１１が収容される。前記流体２１１は前記光ノズル口１１０に収容された液体１１１と接触することができる。ここで、本発明の前記流体は流動体を意味し、前記流動体は液相の形態に移動することができる物体を意味するものである。
【００６４】
前記シーリング部２００は洗浄部３００をさらに備えることができる。前記洗浄部３００は、前記光ノズル口１１０に収容された液体１１１を洗浄することができる。
【００６５】
前記洗浄部３００は、前記光ノズル口１１０に収容された液体１１１を予め設定された水位に維持する水位維持手段３１０と、前記槽２１０に保存された流体２１１を循環させる循環手段３２０と、を備えることができる。
【００６６】
より詳しく説明すると、前記水位維持手段３１０は、前記光ノズル口１１０に収容された液体１１１の水位を測定するセンサ３１１と、前記光ノズル口１１０に連通されるように前記保存容器１００に用意されて液体１１１を流通させる流体油路３１２と、前記流体油路３１２とチューブ３１２’を介して連結される第１ポンプ３１３と、前記第１ポンプ３１３とチューブ３１２’を介して連結されて液体１１１が保存される液体保存器３１４と、前記センサ３１１と電気的に接続されて基準水位が予め設定され、前記測定した水位が前記基準水位と等しくなるように前記第１ポンプ３１３の動作を制御する第１制御器３１５と、を備えることができる。
【００６７】
前記循環手段３２０は、前記槽２１０の一方と他方とを互いに連通させる循環油路３２１と、前記循環油路３２１上に設けられたフィルタ３２２と、前記循環油路３２１上に設けられた第２ポンプ３２３と、前記第２ポンプ３２３と電気的に接続されて前記第２ポンプ３２３の動作を制御する第２制御器３２４と、を備えることができる。
【００６８】
前記循環油路３２１は第１循環油路３２１ａと第２循環油路３２１ｂを含む。
【００６９】
図４に示すように、前記第１制御器３１５と前記第２制御器３２４はメイン制御器Ｍに含まれることができる。
【００７０】
一方、前記槽２１０は移動部４００と連結される。
【００７１】
前記移動部４００は、前記槽２１０に連結される直線レール４１０と、前記直線レール４１０に連結されて前記直線レール４１０を直線移動させるモータ４２０と、前記直線レール４１０上に用意されて前記槽２１０を垂直移動させるシリンダ４３０と、を備えることができる。前記シリンダ４３０は前記上昇軸４３１を備え、前記上昇軸４３１は前記槽２１０に連結されることができ、前記直線レール４１０に連結されることもできる。
【００７２】
また一方、前記シーリング部２００は超音波洗浄機２５０をさらに備えることができる。前記超音波洗浄機２５０は槽２１０に収容された流体２１１に含まれるパーティクルを除去する装置である。前記超音波洗浄機２５０はメイン制御器Ｍに電気的に接続されていて前記メイン制御器Ｍの信号によって駆動される。
【００７３】
前述のように構成された本発明の一実施形態による液体シーリングユニットの作用を説明する。
【００７４】
図２ないし図４を参照すると、保存容器１００の光ノズル口１１０には液体１１１が一定量に収容される。
【００７５】
第１制御器３１５は第１ポンプ３１３を動作させる。前記第１ポンプ３１３は液体保存器３１４に保存された液体１１１をポンピングし、前記液体１１１は第１液体油路３１２ａを介して光ノズル口１１０に供給される。前記光ノズル口１１０には前記液体１１１が埋め込まれることができる。そして、前記液体１１１が前記光ノズル口１１０の第２液体油路３１２ｂが浸るまで埋め込められると、前記液体１１１は前記第２液体油路３１２ｂを介して液体保存器３１４に流動される。続いて、前記光ノズル口１１０には一定量の液体１１１が収容されると、前記第１制御器３１５は前記第１ポンプ３１３の動作を中止させる。
【００７６】
これにより、前記光ノズル口１１０には液体１１１が一定量に維持されることができる。
【００７７】
一方、前記保存容器１００から所定距離に離隔されて位置する槽２１０には一定量の流体２１１が収容されることができる。
【００７８】
続いて、槽２１０は移動部４００によって保存容器１００の底部に移動される。すなわち、モータ４２０は直線レール４１０を駆動させ、駆動される直線レール４１０に設けられた槽２１０は前記保存容器１００の底部に位置される。そして、前記槽２１０はシリンダ４３０の上昇動作により所定高さに上昇される。すなわち、前記シリンダ４３０の上昇軸４３１は前記槽２１０に連結されて前記槽２１０を上昇させたり、前記直線レール４１０に連結されて前記直線レール４１０を上昇させたりすることができる。
【００７９】
このように、前記槽２１０が所定高さに上昇されたら、前記保存容器１００はその底面部の一部が前記槽２１０に収容された流体２１１に浸漬されることができる。
【００８０】
すなわち、前記保存容器１００の光ノズル口１１０に収容された液体１１１は、前記光ノズル口１１０の底部に形成された露出面を介して前記槽２１０に収容された流体２１１と互いに接触されることができる。ここで、前記露出面は、実質的に前記光ノズル口１１０に収容された液体１１１と槽２１０に保存された流体２１１とが互いに接触される面である、境界面ａとすることができる。
【００８１】
このような状態で、本発明による洗浄部３００は前記光ノズル口１１０に収容された液体１１１を洗浄すると共に、光ノズル口１１０の周辺に形成されたパーティクルを除去することもできる。
【００８２】
このような前記洗浄部３００の作用をさらに詳しく説明する。
【００８３】
第２制御器３２４は第２ポンプ３２３を作動させる。前記第２ポンプ３２３は槽２１０に保存されている流体２１１をポンピングし、第１循環油路３２１ａを介して再び槽２１０に流入される。前記槽２１０に流入された流体２１１は再び第２循環油路３２１ｂを介してフィルタ３２２を通過する。前記フィルタ３２２は前記流体２１１に含まれたパーティクル（粒子）をフィルタリングすることができる。前記フィルタ３２２を通過した流体２１１は第１循環油路３２１ａを介して再び槽２１０に流入されることができる。
【００８４】
したがって、前記槽２１０に保存された流体２１１は前記第２ポンプ３２３の動作により循環されることができる。また、前記第２制御器３２４は前記第２ポンプ３２３のポンピング能力を調節することができるので、前記流体２１１の循環速度は前記第２ポンプ３２３のポンピング能力に比例することができる。
【００８５】
このとき、前記流体２１１と接触した前記光ノズル口１１０に収容された液体１１１は、前記槽２１０において循環される流体２１１に吸い込められることもできる。よって、前記液体１１１は前記流体２１１に含まれて循環される。
【００８６】
これによって、前記液体１１１にパーティクルが含まれている場合、前記パーティクルは前記流体２１１に含まれて循環され、前記フィルタ３２２によりフィルタリングされる。また、前記保存容器１００の底面、すなわち、前記光ノズル口１１０の周辺にパーティクルが形成された場合、前記パーティクルも前記流体２１１に含まれて循環され、前記フィルタ３２２によりフィルタリングされる。
【００８７】
一方、前記光ノズル口１１０に収容された液体１１１は、その水位が水位維持手段３１０により一定水位に維持することができる。
【００８８】
すなわち、センサ３１１は、前記光ノズル口１１０に収容された液体１１１の水位の値を測定して第１制御器３１５に伝送する。前記第１制御器３１５は第１ポンプ３１３を動作させて前記液体１１１を第１、２流体油路３１２ａ、３１２ｂを介して循環させることができる。そして、前記第１制御器３１５は前記測定した水位が予め設定された基準水位と等しくなるように前記第１ポンプ３１３の動作を制御することができる。よって、前記光ノズル口１１０に収容された液体１１１は常に一定水位を維持することができる。よって、前記光ノズル口１１０には一定量の液体１１１が収容されることができる。
【００８９】
勿論、前記第１、２流体油路３１２ａ、３１２ｂにはフィルタ３１６がさらに設けられることもできる。よって、前記液体１１１に含まれたパーティクルをフィルタリングすることができる。前記フィルタ３１６は第１循環油路３２１ａに設けられたフィルタ３２２と同一とすることができる。
【００９０】
これに加えて、シーリング部２００は超音波洗浄機２５０をさらに備えることができるので、前述のように循環される流体２１１と液体１１１に含まれたパーティクルをより容易に除去することができる。前記超音波洗浄機２５０はメイン制御器Ｍに電気的に接続されて前記メイン制御器Ｍの信号によって駆動される。
【００９１】
したがって、前記流体２１１及び液体１１１に含まれたパーティクルは、前述のように循環されることによってフィルタ３１６、３２２によりフィルタリングされるとともに、槽２１０で動作する超音波洗浄機２５０により容易に除去することができる。
【００９２】
前述のような動作が終了すると、第２制御器３２４は第２ポンプ３２３の動作を中止する。そして、移動部４００は前記槽２１０を元の位置に復帰させることができる。このとき、前記光ノズル口１１０に収容された液体１１１は前記水位維持手段３１０によりその水位が一定となるように維持することができる。
【００９３】
次は、本発明の他の実施形態に係る液体シーリングユニットを説明する。
【００９４】
図５は本発明の他の実施形態に係る液体シーリングユニットの動作後の状態を示す断面図である。
【００９５】
図５を参照すると、前記液体シーリングユニットは、保存容器１００と、図２及び図３に示す前記一例でのシーリング部２００と、を備える。
【００９６】
例えば、前記保存容器１００は、図２ないし図４に示す前記一実施形態の構成と同一とすることができる。
【００９７】
前記シーリング部２００は、前記液体１１１によって作用する第１圧力値Ｐ１に対応されるように第２圧力値Ｐ２に加圧して、前記光ノズル口１１０の境界面ａで前記液体１１１をシーリングする流体２１１を有することができる。
【００９８】
前記第２圧力値Ｐ２は、前記境界面ａで露出される前記液体２１１の露出面に流体２１１が接触されて形成されることができる。
【００９９】
ここで、前記流体２１１は、前記液体１１１と同一比重を有する液体（ｌｉｑｕｉｄ）とすることができる。
【０１００】
また、前記他の実施形態において、前記流体２１１は前記液体１１１の比重よりも大きい液体とすることができる。
【０１０１】
ここで、前記シーリング部２００は、前記保存容器１００の一部が浸漬されて前記流体２１１が一定量に保存される槽２１０を有する。
【０１０２】
また、前記シーリング部２００は、前記光ノズル口１１０に保存された液体１１１の水位が一定となるように維持する水位維持手段３１０をさらに備えることができる。前記水位維持手段３１０の構成は前記一実施形態の構成と同一であるので、説明は省略する。
【０１０３】
また、前記シーリング部２００は超音波洗浄機２５０をさらに備えることができる。前記超音波洗浄機２５０は槽２１０に収容された流体２１１に含まれたパーティクルを除去する装置である。前記超音波洗浄機２５０はメイン制御器Ｍに電気的に接続され、前記メイン制御器Ｍの信号によって駆動される。
【０１０４】
前述のように構成された本発明の他の実施形態に係る液体シーリングユニットの作用を説明する。
【０１０５】
図５を参照すると、保存容器１００の光ノズル口１１０には一定量の液体１１１が収容される。前記液体１１１は前記一実施形態の供給方法と同一とすることができる。このように前記光ノズル口１１０に収容された液体１１１は所定の荷重を有する。これにより前記光ノズル口１１０の境界面ａにおいて、所定大きさの第１圧力値Ｐ１として作用することができる。
【０１０６】
このような状態において、槽２１０は前記一実施形態での移動部４００により前記保存容器１００の底部に位置されるとともに、その上方に移動することができる。
【０１０７】
したがって、前記保存容器１００の底部は前記槽２１０に収容された流体２１１に浸漬され、前記光ノズル口１１０に収容された液体１１１は前記流体２１１と接触されることができる。このとき、前記流体２１１は、前記光ノズル口１１０の境界面ａで前記第１圧力値Ｐ１と同一大きさの第２圧力値Ｐ２を有する。前記第２圧力値Ｐ２の作用方向は前記第１圧力値Ｐ１の作用方向と反対とすることができる。
【０１０８】
したがって、前記光ノズル口１１０の境界面ａにおいて前記第１圧力値Ｐ１と第２圧力値Ｐ２との作用点が形成されるので、前記流体２１１は前記光ノズル口１１０の境界面ａにおいて前記液体２１１をカバーする役目ができる。
ここで、前記液体１１１と流体２１１とは互いに同一比重を有する物質である方が好ましい。
【０１０９】
一方、前記流体２１１が前記液体１１１よりも大きい比重を有する物質の場合、前記流体２１１は前記光ノズル口１１０の境界面ａにおいて前記液体１１１を外部から密閉する役割をさらによくする。
【０１１０】
この状態において、本発明によるシーリング部２００は超音波洗浄機２５０をさらに備えるので、前記流体２１１と面接触される保存容器１００の底面と、光ノズル部１１０の周辺と、前記液体１１１の露出面（前記境界面ａに位置する液体１１１の表面）とに含まれたパーティクルを容易に除去することができる。前記超音波洗浄機２５０はメイン制御器Ｍに電気的に接続されて前記メイン制御器Ｍの信号によって駆動される。
【０１１１】
続いて、前記槽２１０は移動部４００により前記保存容器１００から離脱されることができる。
【０１１２】
このとき、前記光ノズル口１１０に収容された液体１１１の一部は前記流体２１１にドレーンされることができる。
【０１１３】
これにより、本発明による水位維持手段３１０は、液体１１１を前記光ノズル口１１０で消失した量ほど追加に供給することができるので、前記光ノズル口１１０には一定量または基準水位が維持された液体１１１が収容される。
【０１１４】
次に、本発明の液体シーリングユニットを有するフォトリソグラフィ装置を説明する。
【０１１５】
図６は本発明の本発明のイマージョンフォトリソグラフィ装置の動作前の状態を示す断面図である。図７は本発明のイマージョンフォトリソグラフィ装置の動作後の状態を示す断面図である。図８は本発明の本発明のイマージョンフォトリソグラフィ装置を示すブロック図である。
【０１１６】
図６ないし図８を参照すると、本発明のイマージョンフォトリソグラフィ装置は、外部から照射された光を投映する投映光学系５００と、液体１１１が収容されて前記投影された光が前記液体１１１により所定の屈折率に屈折されて透過される光ノズル口１１０を有する保存容器１００と、ウエハＷが安着されて前記保存容器１００の底部に移動されるウエハステージ６００と、前記保存容器１００の底部で前記光ノズル口１１０に収容された前記液体１１１と接触する流体２１１が収容されるシーリング部２００と、前記シーリング部２００を前記保存容器１００の底部に移動させる移動部４００と、を備える。
【０１１７】
前記ウエハステージ６００はレールのような移動手段６２０と連結されることができる。前記ウエハステージ６００は前記移動手段６２０により直線移動することができる。前記移動手段６２０は前記メイン制御器Ｍの電気的信号によって駆動されることができる。
【０１１８】
前記保存容器１００はその中央部に光が透過される前記光ノズル口１１０を有する。前記光ノズル口１１０には一定量の液体１１１が収容される。
【０１１９】
前記シーリング部２００は槽２１０を有する。前記槽２１０には一定量の流体２１１が収容される。前記流体２１１は前記光ノズル口１１０に収容された液体１１１と接触されることができる。
【０１２０】
前記シーリング部２００は洗浄部３００をさらに備えることができる。前記洗浄部３００は前記光ノズル口１１０に収容された液体１１１を洗浄することができる。
【０１２１】
前記洗浄部３００は前記光ノズル口１１０に収容された液体１１１を予め設定された水位に維持する水位維持手段３１０と、前記槽２１０に保存された流体２１１を循環させる循環手段３２０と、を備えることができる。
【０１２２】
さらに詳しく説明すると、前記水位維持手段３１０は、前記光ノズル口１１０に収容された液体１１１の水位を測定するセンサ３１１と、前記光ノズル口１１０に連通されるように前記保存容器１００に用意されて液体１１１を流通させる流体油路３１２と、前記流体油路３１２とチューブ３１２’を介して連結される第１ポンプ３１３と、前記第１ポンプ３１３とチューブ３１２’を介して連結されて液体１１１が保存される液体保存器３１４と、前記センサ３１１と電気的に接続されて基準水位が予め設定され、前記測定した水位が前記基準水位と等しくなるように前記第１ポンプ３１３の動作を制御する第１制御器３１５を備えることができる。
【０１２３】
前記循環手段３２０は、前記槽２１０の一方と他方とを互いに連通させる循環油路３２１と、前記循環油路３２１上に設けられたフィルタ３２２と、前記循環油路３２１上に設けられた第２ポンプ３２３と、前記第２ポンプ３２３と電気的に接続されて前記第２ポンプ３２３の動作を制御する第２制御器３２４を備えることができる。
【０１２４】
前記第１制御器３１５と前記第２制御器３２４とはメイン制御器Ｍに含まれることができる。
【０１２５】
一方、前記槽２１０は移動部４００と連結される。
【０１２６】
前記移動部４００は、前記槽２１０と連結される直線レール４１０と、前記直線レール４１０に連結されて前記直線レール４１０を直線移動させるモータ４２０と、前記直線レール４１０上に用意されて前記槽２１０を垂直移動させるシリンダ４３０と、を備えることができる。前記シリンダ４３０は上昇軸４３１を備え、前記上昇軸４３１は前記槽２１０と連結されることもでき、前記直線レール４１０と連結されることもできる。
【０１２７】
一方、前記シーリング部２００は超音波洗浄機２５０をさらに備えることができる。前記超音波洗浄機２５０は槽２１０に収容された流体２１１に含まれるパーティクルを除去する装置である。前記超音波洗浄機２５０はメイン制御器Ｍに電気的に接続されて、前記メイン制御器Ｍの信号によって駆動される。
【０１２８】
前述のような構成による本発明の液体シーリングユニットを有するフォトリソグラフィ装置の作用を説明する。
【０１２９】
図６ないし図８を参照すると、まず、保存容器１００の光ノズル口１１０には液体１１１が一定量に収容される。
【０１３０】
第１制御器３１５は第１ポンプ３１３を動作させる。前記第１ポンプ３１３は液体保存器３１４に保存された液体１１１をポンピングし、前記液体１１１は第１液体油路３１２ａを介して光ノズル口１１０に供給される。前記光ノズル口１１０には前記液体１１１が収容される。そして、前記光ノズル口１１０において第２液体油路３１２ｂが浸されるように液体１１１が収容されると、前記液体１１１は前記第２液体油路３１２ｂを介して液体保存器３１４に流動することができる。よって、前記光ノズル口１１０に一定量の液体１１０が収容されたら、前記第１制御器３１５は前記第１ポンプ３１３の動作を中止することができる。
【０１３１】
これにより、前記光ノズル口１１０には液体１１１が一定量に収容されることができる。
【０１３２】
また、前記保存容器１００から所定距離に離隔されて位置する槽２１０には一定量の流体２１１が収容されることができる。
【０１３３】
このように、前記保存容器１００の光ノズル口１１０には液体１１１が用意され、前記槽２１０には流体２１１が用意される。
【０１３４】
一方、ウエハＷは、ウエハステージ６００の安着部６１０に移送装置（図示せず）によりローディングされる。前記ウエハステージ６００は移動手段６２０により直線移動される。よって、前記ウエハＷは前記保存容器１００の底部に位置されることができる。このとき、前記ウエハＷの上面と前記保存容器１００の底面との間には所定のギャップが形成される。前記保存容器１００は、前記ギャップにより前記ウエハＷと前記光ノズル口１１０の周辺とをエア（ａｉｒ）で隔離させることができるエア供給手段（図示せず）をさらに備えることができる。
【０１３５】
この状態において、光源（図示せず）から照射された光は、レチクル（図示せず）を通過し、前記通過した光は投映光学系５００に伝送される。このとき、前記投映光学系５００に伝送された光は回路パターンのイメージを含んでいる。
【０１３６】
そして、前記光が液体１１１を通過しながら所定の屈折率が形成され、特定波長をなす光が光ノズル口１１０を通過してウエハＷ上に伝達される。それにより、前記ウエハＷ上には前記光ノズル口１１０を通過した光により回路パターンの像が描画される。
【０１３７】
このようなフォト工程が前記ウエハＷ上に行われた後に、前記ウエハＷは安着部６００からアンローディングされ、前記安着部６００にフォト工程が行われる他のウエハＷが安着されることになる。
【０１３８】
ウエハステージ６００は前記工程を終了したウエハＷをアンローディングさせるために移動手段６２０により移動されることができる。よって、前記安着部６００は前記保存容器１００の底部領域から離脱される。
【０１３９】
このとき、槽２１０は前記保存容器１００の底部に位置することができる。次に、これについてさらに詳しく説明する。
【０１４０】
前記槽２１０は移動部４００により保存容器１００の底部に移動されることができる。すなわち、モータ４２０は直線レール４１０を駆動させ、駆動される直線レール４１０に設けられた槽２１０は前記保存容器１００の底部に位置する。そして、前記槽２１０はシリンダ４３０の上昇動作により所定高さに上昇することができる。すなわち、前記シリンダ４３０の上昇軸４３１は前記槽２１０に連結されて前記槽２１０を上昇させたり、前記直線レール４１０に連結されて前記直線レール４１０を上昇させたりすることができる。
【０１４１】
このように、前記槽２１０が所定高さに上昇されると、前記保存容器１００の底部の一部は前記槽２１０に収容された流体２１１に浸漬されることができる。
【０１４２】
すなわち、前記保存容器１００の光ノズル口１１０に収容された液体１１１は、前記光ノズル口１１０の底部に形成される境界面ａを介して前記槽２１０に収容された流体２１１と互いに接触されることができる。
【０１４３】
この状態において、本発明による洗浄部３００は前記光ノズル口１１０に収容された液体１１１を洗浄するとともに、光ノズル口１１０の周辺に形成されているパーティクルを除去することができる。
【０１４４】
前記洗浄部３００の作用をさらに詳しく説明する。
【０１４５】
第２制御器３２４は第２ポンプ３２３を作動させる。前記第２ポンプ３２３は槽２１０に保存された流体２１１をポンピングし、これを第１循環油路３２１ａに流入される。前記第１循環油路３２１ａに流入された流体２１１はフィルタ３２２を通過する。前記フィルタ３２２は前記流体２１１に含まれているパーティクルをフィルタリングすることができる。前記フィルタ３２２を通過した流体２１１は第２循環油路３２１ｂを介して再び槽２１０に排出されることができる。よって、前記槽２１０に保存された流体２１１は前記第２ポンプ３２３の動作により循環されることができる。また、前記第２制御器３２４は前記第２ポンプ３２３のポンピング能力を調節することができ、前記流体２１１の循環速度は前記第２ポンプ３２３のポンピング能力に比例することができる。
【０１４６】
このとき、前記流体２１１に接触する前記光ノズル口１１０に収容された液体１１１は前記槽２１０で循環される流体２１１に吸い込まれることができる。これにより、前記液体１１１は前記流体２１１に含まれて循環されることができる。
【０１４７】
それで、前記液体１１１にパーティクルが含まれている場合、前記パーティクルは前記流体２１１に含まれて循環されながら、前記フィルタ３２２によりフィルタリングされることができる。また、前記保存容器１００の底面、すなわち、前記光ノズル口１１０の周辺にパーティクルが形成している場合、該パーティクルも前記流体２１１に含まれて循環されて、前記フィルタ３２２によりフィルタリングされることができる。
【０１４８】
一方、前記光ノズル口１１０に収容されている液体１１１は、その水位を水位維持手段３１０により一定水位に維持させることができる。
【０１４９】
すなわち、センサ３１１は、前記光ノズル口１１０に収容されている液体１１１の水位を測定して第１制御器３１５に伝送する。前記第１制御器３１５は、第１ポンプ３１３を動作させて前記液体１１１を第１及び第２流体油路３１２ａ、３１２ｂを介して循環させることができる。そして、前記第１制御器３１５は前記測定した水位が予め設定された基準水位と等しくなるように、前記第１ポンプ３１３の動作を制御することができる。よって、前記光ノズル口１１０に収容される液体１１１はいつも一定水位を維持することができる。
【０１５０】
勿論、前記第１及び第２流体油路３１２ａ、３１２ｂにはフィルタ３１６がさらに設けられることもできる。よって、前記液体１１１に含まれているパーティクルをフィルタリングすることができる。前記フィルタ３１６は第１循環油路３２１に設けられたフィルタ３２２と同一ものとすることができる。
【０１５１】
さらに、シーリング部２００は超音波洗浄機２５０を備えることができるので、前述のように循環する流体２１１と液体１１１に含まれているパーティクルをより容易に除去することができる。前記超音波洗浄機２５０はメイン制御器Ｍに電気的に接続されて前記メイン制御器Ｍの信号によって駆動される。
【０１５２】
したがって、前記流体２１１及び液体１１１に含まれているパーティクルは前述のように循環されることで、フィルタ３１６、３２２によりフィルタリングされると共に、槽２１０で動作する超音波洗浄機２５０により容易に除去することができる。
【０１５３】
前述のような動作が終了されると、第２制御器３２４は第２ポンプ３２３の動作を中止させる。そして、移動部４００は前記槽２１０を元の位置に復帰することができる。このとき、前記光ノズル口１１０に収容される液体１１１は、前記水位維持手段３１０によりその水位が一定となるように維持することができる。
【０１５４】
続いて、前記槽２１０が元の位置に復帰されると、前記ウエハステージ６００も元の位置に復帰することができる。このとき、前記ウエハステージ６００の安着部６１０には工程進行のための新しいウエハＷが安着された状態となる。
【０１５５】
したがって、ウエハＷに対して前述のフォト工程が行われた後に、前記過程を繰り返すことになる。
【図面の簡単な説明】
【０１５６】
【図１】従来のイマージョンフォトリソグラフィ装置の一部を示す断面図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る液体シーリングユニットの動作前の状態を示す断面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る液体シーリングユニットの動作前の状態を示す断面図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る液体シーリングユニットの構成を示すブロック図である。
【図５】本発明の他の実施形態に係る液体シーリングユニットの動作後の状態を示す断面図である。
【図６】本発明のイマージョンフォトリソグラフィ装置の動作前の状態を示す断面図である。
【図７】本発明のイマージョンフォトリソグラフィ装置の動作後の状態を示す断面図である。
【図８】本発明の本発明のイマージョンフォトリソグラフィ装置を示すブロック図である。
【符号の説明】
【０１５７】
１００  保存容器
１１０  光ノズル口
１１１  液体
２００  シーリング部
２１０  槽（ｂａｔｈ）
２１１  流体
２５０  超音波洗浄機
３００  洗浄部
３１０  水位維持手段
３１１  センサ
３１２  流体油路
３１３  第１ポンプ
３１４  液体保存器
３１５  第１制御器
３２０  循環手段
３２１  循環油路
３２２  フィルタ
３２３  第２ポンプ
３２４  第２制御器
４００  移動部
５００  投映光学系
６００  ウエハステージ
６１０  安着部
【図１】
2008193094.tif 000005
【図２】
2008193094.tif 000006
【図３】
2008193094.tif 000007
【図４】
2008193094.tif 000008
【図５】
2008193094.tif 000009
【図６】
2008193094.tif 000010
【図７】
2008193094.tif 000011
【図８】
2008193094.tif 000012