(57)【要約】      （修正有）【課題】より電力を使わず、装置も小型で簡単で、コストもかからずに精度の高い接合体を得ることのできる、パルス通電による固体金属材料接合用又は粉末金属焼結用の弾性電極構造体、並びにそのような弾性電極構造体を用いた、パルス通電による固体金属材料接合用又は粉末金属焼結用装置を提供する。【解決手段】電極構造体は、電極本体１と、電極本体１と接合すべき固体金属材料又は粉末金属材料６との間に介在し、電極本体１と固体金属材料又は粉末金属材料６との間の平行度を保つためのカーボン製治工具２と、カーボン製治工具２と固体金属材料又は粉末金属材料６との間に介在する発熱体３と、を備えており、発熱体３がカーボンチップ又はカーボンシートを内蔵するようにセットされた上下二つのカーボン製分割型からなるものである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
パルス通電による固体金属材料接合用又は粉末金属材料焼結用の電極構造体であって、電極本体と、前記電極本体と接合すべき固体金属材料又は粉末金属材料との間に介在し、前記電極本体と前記固体金属材料又は粉末金属材料との間の平行度を保つためのカーボン製治工具と、前記カーボン製治工具と前記固体金属材料又は粉末金属材料との間に介在する発熱体と、を備えており、前記発熱体がカーボンチップ又はカーボンシートを内蔵するようにセットされた上下二つのカーボン製分割型からなるものであることを特徴とする弾性電極構造体。
【請求項２】
請求項１記載の弾性電極構造体を用いる、パルス通電による固体金属材料接合用又は粉末金属材料焼結用装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パルス通電による固体金属材料接合用又は粉末金属材料焼結用の弾性電極構造体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
パルス通電による処理方法が、固体金属材料の接合や粉末金属材料の焼結に用いられている。このパルス通電による処理方法においては、接合する材料を加圧しつつパルス通電している。
パルス通電による処理方法によれば、接合する材料を強固に接合することができるが、より一層精度良く接合することが求められている。
【０００３】
精度良く接合するには、接合時に接合部材に加えられる押圧力をコントロールすることが重要と考えられる。
このため、例えば接合時に接合部材に加えられる押圧力を常時圧力センサーで検出しフィードバックさせて制御する方法が提案されている（特許文献１参照）。
この方法によれば、精度良く接合を行うことができるものと考えられる。
【０００４】
しかしながら、近年、地球温暖化防止の観点から、省エネルギー化が叫ばれており、より電力を使わず、装置も小型で簡単で、コストもかからない接合方法・装置が要求されている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−１１２２６４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、従来の問題点を解消し、より電力を使わず、装置も小型で簡単で、コストもかからずに精度の高い接合体を得ることのできる、パルス通電による固体金属材料接合用又は粉末金属焼結用の弾性電極構造体を提供することを目的とするものである。
さらに、本発明は、そのようなパルス通電による固体金属材料接合用又は粉末金属焼結用の弾性電極構造体を用いた、より電力を使わず、装置も小型で簡単で、コストもかからずに精度の高い接合体を得ることのできる、パルス通電による固体金属材料接合用又は粉末金属焼結用装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に係る本発明は、パルス通電による固体金属材料接合用又は粉末金属材料焼結用の電極構造体であって、電極本体と、前記電極本体と接合すべき固体金属材料又は粉末金属材料との間に介在し、前記電極本体と前記固体金属材料又は粉末金属材料との間の平行度を保つためのカーボン製治工具と、前記カーボン製治工具と前記固体金属材料又は粉末金属材料との間に介在する発熱体と、を備えており、前記発熱体がカーボンチップ又はカーボンファイバーを内蔵するようにセットされた上下二つのカーボン製分割型からなるものであることを特徴とする弾性電極構造体を提供するものである。
請求項２に係る本発明は、請求項１記載の弾性電極構造体を用いる、パルス通電による固体金属材料接合用又は粉末金属材料焼結用装置を提供するものである。
【発明の効果】
【０００８】
請求項１に係る本発明によれば、より電力を使わず、装置も小型で簡単で、コストもかからずに精度の高い接合体を得ることのできる、パルス通電による固体金属材料接合用又は粉末金属焼結用の弾性電極構造体が提供される。
また、請求項２に係る本発明によれば、より電力を使わず、装置も小型で簡単で、コストもかからずに精度の高い接合体を得ることのできる、パルス通電による固体金属材料接合用又は粉末金属焼結用装置が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
請求項１に係る本発明は、パルス通電による固体金属材料接合用又は粉末金属材料焼結用の電極構造体であって、電極本体と、前記電極本体と接合すべき固体金属材料又は粉末金属材料との間に介在し、前記電極本体と前記固体金属材料又は粉末金属材料との間の平行度を保つためのカーボン製治工具と、前記カーボン製治工具と前記固体金属材料又は粉末金属材料との間に介在する発熱体と、を備えており、前記発熱体がカーボンチップ又はカーボンシートを内蔵するようにセットされた上下二つのカーボン製分割型からなるものであることを特徴とする弾性電極構造体である。
図１は、本発明の弾性電極構造体の一態様を示す説明図である。
図１において、符号１は電極本体、符号２はカーボン製治工具、符号３は発熱体をそれぞれ示している。
また、符号４はカーボンチップ又はカーボンシートであり、符号５は発熱容量調整用のカーボン材であり、符号６は接合用の固体金属材料又は焼結用の粉末金属材料である。
【００１０】
電極本体１は、パルス通電による固体金属材料接合用又は粉末金属材料焼結用として通常用いられているものである。電極本体１により、接合すべき固体金属材料又は粉末金属材料６にパルス電流が供給される。
【００１１】
カーボン製治工具２は、電極本体１と接合すべき固体金属材料又は粉末金属材料６との間に介在し、電極本体１と固体金属材料又は粉末金属材料６との間の平行度を保つためのものである。
具体的には、カーボン製治工具２は、図１に示されるように、上下二つの部材（２Ａ、２Ｂ）からなり、これら上下二つの部材（２Ａ、２Ｂ）の合わせ面を球面状としたものである。この合わせ面には、完全密着するように鏡面仕上げが施されている。
このように上下二つの部材（２Ａ、２Ｂ）の合わせ面を球面状としてあることから、固体金属材料又は粉末金属材料６を押圧したときに、カーボン製治工具２の球面状をなした上下部分が自然に微動し、平行度を保ち、接合されている面の上下を確実に密着させ、確実な固体金属材料の接合又は確実な粉末金属材料の焼結を行うことができる。なお、図中、押圧手段は省略されている。
このようなことから、カーボン製治工具２は、「予熱型発熱平行度自動調整治工具」又は「通電予熱型発熱平行度自動調整治工具」ということができる。
なお、必要に応じて、このカーボン製治工具２のみで電極構造体とすることも可能である。
【００１２】
カーボン製治工具２の上下二つの部材（２Ａ、２Ｂ）の合わせ面には、溶着防止ペーパー７が挿入されている。
溶着防止ペーパー７の厚さは、１ｍｍ以下であり、通常、０．２〜１ｍｍである。
この溶着防止ペーパー７は、上下二つの部材（２Ａ、２Ｂ）の合わせ面が熱で溶着しないように挟むもので、特に高温接合時に用いる。
この溶着防止ペーパー７は、接合する材料と、後述する発熱体３との間にも挿入しておくとよい。
また、この溶着防止ペーパー７は、例えば電極本体１と、カーボン製治工具２との合わせ面にも挿入してもよいし、カーボン製治工具２と、発熱体３との合わせ面にも挿入してもよい。
さらには、カーボン製治工具２と、発熱体３とが一体とされている場合には、接合用の固体金属材料又は焼結用の粉末金属材料６と、発熱体３との合わせ面に挿入してもよい。
【００１３】
発熱体３は、上記した如きカーボン製治工具２と、固体金属材料又は粉末金属材料６との間に介在している。
この発熱体３近傍の拡大図を図２に示す。
発熱体３は、図１、２に示すように、カーボンチップ又はカーボンシート４を内蔵するようにセットされた上下二つのカーボン製分割型（３Ａ、３Ｂ）からなるものである。
【００１４】
この発熱体３は、上下二つのカーボン製分割型（３Ａ、３Ｂ）の型内の対応する位置であって、合わせ面に、それぞれ空洞を設け、そこにカーボンチップ又はカーボンシート４を一定量（塊状に）充填する。図１、２ではドーナツ状の空洞を設けたものを示しているが、これに限定されるものではない。
カーボンチップの大きさとしては、特に限定されないが、通常、１辺が２〜１０ｍｍの範囲内のものが用いられる。
また、フェルト状のカーボンシートの大きさについても特に限定されないが、通常、厚さが３〜１０ｍｍの範囲内、外径が５０〜２００ｍｍの範囲内のものが用いられる。
例えば、厚さが３ｍｍで、外径が８０ｍｍのカーボンシートを用いたり、厚さが５ｍｍで、外径が８０ｍｍのカーボンシートを用いたり、厚さが１０ｍｍで、外径が８０ｍｍのカーボンシートを用いたり、さらにはこれらのものを組み合わせて用いることもできる。なお、カーボンシートの代わりにカーボンファイバーを用いることもできる。
発熱体３として、上記したようなカーボンチップ又はカーボンシート４を空洞内に充填したものを用いることにより、高温での酸化を有効に防止することができ、電極の寿命を大幅に延ばすことができる。例えば、酸化による劣化防止ができる簡易電極に用いるものは、１０回程度の使用が限度であるが、このものは、３０回以上の使用が可能である。
【００１５】
空洞の内部には、さらに、発熱容量調整用に、板状のカーボン材５を積み重ねて入れるとよい。板状のカーボン材（以下、カーボン板と称することがある。）５は、１枚の厚さが３〜１０ｍｍ程度のものを、必要とされる発熱容量に応じて適宜枚数積層すればよい。
例えば、厚さが３ｍｍで、外径が１００ｍｍのカーボン板を用いたり、厚さが５ｍｍで、外径が１００ｍｍのカーボン板を用いたり、厚さが１０ｍｍで、外径が１００ｍｍのカーボン板を用いたり、さらにはこれらのものを組み合わせて用いることもできる。
【００１６】
発熱体３は、このような構造のものであるため、弾性を有する発熱体（弾性発熱体）となっており、また、それ自体カーボン製であるため、パルス電流で発熱する。
即ち、カーボンチップ又はカーボンシートは、塊となると弾性を有し、接合時のパルス電流の通り道となるので、このような構造の発熱体３を用いることにより、接合用の固体金属材料又は焼結用の粉末金属材料６へパルス電流をより効率的に供給することができる。
また、発熱体３を構成するカーボン製分割型（３Ａ、３Ｂ）や、その空洞の内部に充填されるカーボンチップ又はカーボンシート４は、パルス電流で発熱することから、接合用の固体金属材料又は焼結用の粉末金属材料６への熱供給が可能となる。
【００１７】
発熱体３を構成するカーボン製分割型（３Ａ、３Ｂ）の合わせ面には、それぞれ接合用金属材８を嵌め込むための溝９がドーナツ状に設けられている。
この溝９に、接合用金属材８を嵌め込み、接合時の昇温にて溶融させ、上下の型を一体化させる。
【００１８】
接合用金属材８としては、通常、アルミニウムからなるものが用いられ、溝９の形状に合わせた形状のものを、複数個の分割片に分割して用いる。なお、接合用金属材８としては、アルミニウムからなるものの他に、接合温度に応じて、各種金属材料からなるものを適宜選択することができる。
図３に接合用金属材８の分割片（８Ａ、８Ｂ、・・・）の一態様を示す。この接合用金属材８の分割片（８Ａ、８Ｂ、・・・）の必要枚数を溝９に隙間なく嵌め込む。なお、接合用金属材８の分割片（８Ａ、８Ｂ、・・・）は、パルス電流で発熱し溶融したときに、その体積が縮小することから、それを補うために若干サイズを大きくしておくこと、例えば縦方向の長さを若干大きくしておく（図３のハッチング部分参照）こと、が好ましい。
【００１９】
接合用金属材８の分割片（８Ａ、８Ｂ、・・・）を、接合時のパルス電流による発熱により、或いは必要に応じて行う加熱操作により、金属材の溶融する温度まで昇温させることによって、溝９の内部で溶融一体化させ、次いで常温に戻された時点では上下の型が一体化し、発熱体３は、完全にカーボンチップ又はカーボンシート４や板状のカーボン材５を内蔵したものとなる。
【００２０】
さらに、本発明においては、必要により、図４に示すように、上述したカーボン製治工具２と発熱体３とを一体化したものとしてもよい。
上下一対の電極構造体のうちの上側の電極構造体を例にとって説明すると、カーボン製治工具２の上下二つの部材（２Ａ、２Ｂ）のうちの下側の部材（２Ａ）を、発熱体３を構成するカーボン製分割型（３Ａ、３Ｂ）のうちの上側のカーボン製分割型（３Ａ）と共用させた形のものを用いたものを示している。
上下一対の電極構造体のうちの下側の電極構造体については、上側の電極構造体と対称のものとなる。
【００２１】
なお、より簡単なものとする必要に応じて、発熱体３を、図５に示すように、カーボンチップ又はカーボンシート４のみからなるものとしてもよい。カーボンチップ又はカーボンシートは、塊となると弾性を有し、接合時のパルス電流の通り道となるので、このようなもののみからなる発熱体３を用いることにより、上記した発熱体がカーボンチップ又はカーボンシートを内蔵するようにセットされた上下二つのカーボン製分割型からなるものに比べて劣りはするものの、簡易型の弾性電極構造体として用いることが可能である。例えば、接合用金属材の肉厚の薄いもの（厚さ３０ｍｍ以下の単純形状のもの等）など、必要発熱量の少ないものに好適である。
この場合、上記と同様に上下一対の電極構造体のうちの上側の電極構造体を例にとって説明すると、カーボン製治工具２の上下二つの部材（２Ａ、２Ｂ）のうちの下側の部材（２Ａ）の底部を一部切り欠いて、そこにカーボンチップ又はカーボンシート４の一部を埋め込むようにする。カーボンチップ又はカーボンシート４には、厚さ０．２ｍｍ程度のカーボンシートを巻いておくとよい。
【００２２】
以上の説明は、主にパルス通電による固体金属材料接合用の電極構造体について行ったが、粉末金属材料焼結用の電極構造体の場合もほぼ同様である。但し、この場合には、粉末金属材料６の周囲には外枠１０が配置される。
請求項１に係る本発明の弾性電極構造体は以上の如きものである。
【００２３】
請求項２に係る本発明は、上記した如き請求項１記載の弾性電極構造体を用いる、パルス通電による固体金属材料接合用又は粉末金属材料焼結用装置である。
図６は、本発明のパルス通電による固体金属材料接合用又は粉末金属材料焼結用装置の一態様を示す説明図である。
請求項２に係る本発明においては、上記した如き請求項１記載の弾性電極構造体を用いること以外は、通常用いられているパルス通電による固体金属材料接合用又は粉末金属材料焼結用装置を用いることができ、必ずしも図６に示されるようなパルス通電接合装置に限定されるものではない。
【００２４】
図６において、符号１１はパルス電流発生機、符号１２はチャンバーをそれぞれ示している。チャンバー１２内は、通常、真空雰囲気下におかれるが、真空雰囲気だけでなく、必要に応じて窒素ガス，アルゴンガス等の不活性ガス雰囲気とすることもできるようにされている。パルス通電接合を行う際には、チャンバー１２内を真空雰囲気としておくことが望ましいが、必要に応じて不活性ガス雰囲気下において行ってもよい。
【００２５】
また、図６のように、弾性電極構造体と接合用金属材とを含む全体をチャンバー１２内に入れ、全体を真空雰囲気下又は不活性ガス雰囲気下においてパルス通電接合を行うばかりでなく、大気圧下において、接合部分のみ（局部）真空雰囲気とすることもできるし、接合部分のみ（局部）不活性ガス雰囲気とすることもできる。
即ち、図６のように、弾性電極構造体と接合用金属材とを含む全体をチャンバー１２内に入れるのではなく、例えば、図７〜９に示すように、接合部分近傍を密閉容器１３で包み込み、密閉状態とすることもできる。
図７では、弾性電極構造体と接合用金属材とが密閉容器１３で包み込まれ、密閉状態とされたもの（側断面図）を示しており、電極本体１は基本的には密閉容器１３の外にあるものを示している。図７中、符号１４は耐熱性断熱パッキンであり、符号１５は不活性ガス注入口である。また、符号１６は、密閉容器１３を圧力で押さえるシリンダーである。
この場合、密閉容器１３内を大気圧又は真空とし、必要に応じて容器内を不活性ガス雰囲気とすることができる。
なお、図８は、図７を上からみた説明図（平面断面図）である。
【００２６】
また、図９では、接合部分近傍のみを密閉容器１３で包み込み、密閉状態としたものを示している（側断面図）。
この場合、密閉容器１３内を不活性ガス雰囲気とするために、例えば市販のフラックッス剤（ホウシャ）を充填させ、酸化防止を行うことができる（大気圧下での接合の場合）。
このように、チャンバーを取り除き、より簡単な密閉容器を用いることで、装置のコスト低減と、作業性の向上と、さらには接合部材の形状にあまり左右されなくなることで、大幅な簡略化を図ることができる。
【００２７】
なお、接合すべき固体金属材料又は粉末金属材料６としては、通電可能なものであれば特に制限されない。
常法により、表面処理などの各種処理を施したものを用いることができる。
また、必要に応じて、接合すべき固体金属材料又は粉末金属材料６の突合せ面近傍を外部から強制的に加熱する手段を採用したり、温度ムラを防ぐために反射板を設けたりすることもできる。
さらに、接合すべき固体金属材料又は粉末金属材料６や弾性電極構造体の外周には、放熱防止のために、例えばセラミック断熱材などからなる、断熱カバーを取り付けることができる。
【００２８】
請求項１記載の弾性電極構造体を用いる、パルス通電による固体金属材料接合用又は粉末金属材料焼結用装置によれば、前記したような弾性電極構造体を用いているため、加熱による膨張分をうまく吸収し、パルス通電時における加熱膨張による押圧力の必然的上昇をある程度自動的に抑えることができる。
このため、装置も小型で簡単で、コストもかからずに精度の高い接合体を得ることができる。
【実施例】
【００２９】
次に、本発明を実施例により詳しく説明するが、本発明はこれらによって何ら制限されるものではない。
実施例１及び比較例１
図１〜４に示すような弾性電極構造体を有する、図６に示すようなパルス通電による固体金属材料接合用装置を用いて、固体金属材料６の接合を行った（実施例１）。
即ち、カーボン製の電極本体１と、電極本体１と接合すべき固体金属材料６との間に介在し、電極本体１と固体金属材料６との間の平行度を保つためのカーボン製治工具２と、治工具２と固体金属材料６との間に介在する発熱体３と、を備えており、発熱体３がカーボンチップ又はカーボンシート４を内蔵するようにセットされた上下二つのカーボン製分割型（３Ａ、３Ｂ）からなる、図１〜４に示すような弾性電極構造体を有する、図６に示すようなパルス通電による固体金属材料接合用装置（真空チャンバーを具備）を用いて、固体金属材料６（ＳＫＤ６１鋼、径８０ｍｍ、厚さ５０ｍｍ、円柱状のもの２枚）の接合を行った。接合処理操作の間、雰囲気は０．０５〜１０ＭＰａ以下の真空に保った。
パルス通電による固体金属材料接合用装置としては、出力が５０００Ａのものを使用し、２５０Ａのパルス電流を流し、３０分毎に２５０Ａずつ電流をアップさせて、固体金属材料６の温度が１０００℃に到達した時点での弾性電極構造体の温度、電流量、所要時間を調べた。結果を表１に示す。
なお、比較のために、電極構造体として、通常のカーボン製の電極本体１のみを用い、この電極本体１の間に固体金属材料６を挟み、これ以外は実施例１と同様にして固体金属材料６の接合を行った（比較例１）。結果を合わせて表１に示す。
また、実施例１と比較例１についての、接合時の電流値と弾性電極構造体の温度との関係を図１０に示す。
【００３０】
【表１】
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【００３１】
表１と図１０の結果によれば、比較例１の場合、電極の温度が１０００℃に到達するには、さらに１９８秒を必要とし、合計８４０秒必要なことになる。
従って、比較例１の場合、接合のための加熱時間が１９８秒不足する。
【００３２】
また、比較例１の場合、電流量が５０００Ａに到達するには、さらに１６８８Ａ分を必要とすることになる。
【００３３】
これらの結果によれば、実施例１の弾性電極構造体は、比較例１のものに比べて、いわゆる省エネ電極ということができる。
実施例１の弾性電極構造体を用いた場合、総消費エネルギーは、比較例１のような通常のカーボン製の電極本体１のみを用いた場合の約５５〜７０％で済むことになる。
従って、このときの省エネ分は、４５〜３０％となる。
このことは、本発明の弾性電極構造体を用いる、パルス通電による固体金属材料接合用又は粉末金属材料焼結用装置は、設備コスト的にも大きなメリットがあることが理解される。試算によると、出力８０００Ａの装置一式は約１億円かかるが、出力が５０００Ａの装置一式は８千万円程度となることから、設備コスト的に大きなコスト削減に貢献することができるものと期待される。
それ故、パルス通電による、固体金属材料の接合作業や粉末金属材料の焼結作業には、本発明の弾性電極構造体が適していることが立証された。
接合時の寸法誤差については、膨張歪みによるものは、１−３／１００以内であり、接合コストについても、大幅なコスト削減が可能となる。
【００３４】
なお、比較例１の場合、円柱状の固体金属材料を用いたときに、最大で直径が７５〜８０ｍｍまでのものを接合することができた。従って、面積としては、最大５０２７ｃｍ２程度のものまで接合することができる。
これに対して、実施例１の場合、円柱状の固体金属材料を用いたときに、最大で直径が２００〜２１０ｍｍまでのものを接合することができた。従って、面積としては、最大３４６３６ｃｍ２程度のものまで接合することができる。
従って、実施例１によれば、比較例１のものに比べて、約５．８倍の面積まで接合できることになる。
【産業上の利用可能性】
【００３５】
請求項１に係る本発明によれば、より電力を使わず、装置も小型で簡単で、コストもかからずに精度の高い接合体を得ることのできる、パルス通電による固体金属材料接合用又は粉末金属焼結用の弾性電極構造体が提供される。
また、請求項２に係る本発明によれば、より電力を使わず、装置も小型で簡単で、コストもかからずに精度の高い接合体を得ることのできる、パルス通電による固体金属材料接合用又は粉末金属焼結用装置が提供される。
従って、本発明は、金属材料接合又は粉末金属焼結に有効に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の弾性電極構造体の一態様を示す説明図である。
【図２】本発明の弾性電極構造体における発熱体３近傍の拡大説明図である。
【図３】本発明の弾性電極構造体における接合用金属材８の分割片の一態様を示す説明図である。
【図４】本発明の弾性電極構造体において、カーボン製治工具２と発熱体３とを一体化した態様のものを示す発熱体３近傍の拡大説明図である。
【図５】発熱体３をカーボンチップ又はカーボンシートのみからなるものとしたものの一態様を示す発熱体３近傍の拡大説明図である。
【図６】本発明のパルス通電による固体金属材料接合用又は粉末金属材料焼結用装置の一態様を示す説明図である。
【図７】弾性電極構造体と接合用金属材とが密閉容器１３で包み込まれ、密閉状態とされた状態を示す説明図である。
【図８】図７を上からみた説明図である。
【図９】接合部分近傍のみを密閉容器１３で包み込み、密閉状態としたものを示す説明図である。
【図１０】実施例１と比較例１についての、接合時の電流値と弾性電極構造体？の温度との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
【００３７】
１  電極本体
２  カーボン製治工具
３  発熱体
４  カーボンチップ又はカーボンシート
５  発電容量調整用のカーボン材
６  接合用の固体金属材料又は焼結用の粉末金属材料
７  溶着防止ペーパー
８  接合用金属材
９  溝
１０  外枠
１１  パルス電流発生機
１２  チャンバー
１３  密閉容器
１４  耐熱性断熱パッキン
１５  不活性ガス注入口
１６  シリンダー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2008195981.tif 000009
【図７】
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【図８】
2008195981.tif 000011
【図９】
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【図１０】
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