(57)【要約】【課題】ウエハ等の板状部材から保護シート等のシートを剥離する場合に、ウエハの破損を防止するのに好適な吸着テーブルを提供する。【解決手段】保護シートＴが貼付されたウエハＷから該保護シートＴを剥離するための吸着テーブル１において、この吸着テーブル１は、ウエハＷを吸着保持する複数の吸引口６を有し、前記保護シートＴの剥離段階に対応してその領域の吸着力が増減するように前記吸引口６の密度を増減させた構造とする。【選択図】図１
2008060136.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シートが貼付された板状部材から該シートを剥離するために前記板状部材を保持する吸着テーブルであって、
前記吸着テーブルは、前記シートの剥離段階に対応してその領域の吸着力が増減するように構成したこと
を特徴とする吸着テーブル。
【請求項２】
前記吸着テーブルは、前記板状部材を吸着保持する複数の吸引口を有し、前記シートの剥離段階に対応してその領域の吸着力が増減するように前記吸引口の密度を増減させたこと
を特徴とする請求項１に記載の吸着テーブル。
【請求項３】
前記シートの剥離初期段階及び／又は剥離後期段階に対応する領域の前記吸引口の密度が他の領域に比べて過密に設定されていること
を特徴とする請求項１又は２のいずれかに記載の吸着テーブル。
【請求項４】
前記吸着テーブルは、複数の吸着領域に仕切られ、前記板状部材の外形形状によってその吸着領域を変更可能に設けられていること
を特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の吸着テーブル。
【請求項５】
板状部材を吸着保持するための複数の吸引口を有する吸着テーブルを用い、該吸引口により前記板状部材を吸着保持し、吸着保持した板状部材からシートを剥離する方法であって、
前記シートの剥離段階に対応して前記吸着テーブルの吸着力に強弱を設けて、前記シートを剥離すること
を特徴とする吸着テーブルを用いたシート剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シートが貼付された板状部材、例えば、保護シートが貼り付けられた半導体ウエハ（以下「ウエハ」という）から当該保護シートを剥離するために前記ウエハを保持する吸着テーブル、および吸着テーブルを用いたシート剥離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、この種のウエハを吸着保持するテーブルとしては、例えば特許文献１に記載された吸着テーブルが知られている。同文献１の吸着テーブルは、テーブル表面に多孔質セラミックス等からなる通気性部材を有し、この通気性部材の隙間を吸引口としてウエハを吸引し吸着保持する構造になっている。
【０００３】
図３は、従来の吸着テーブルを使用してウエハの表面から保護シートを剥離する際の剥離初期段階を示したものであり、図４はその剥離後期段階を示したものである。これらの図を用いて保護シートＴの剥離動作を説明すると、図３（ａ）のように吸着テーブル１でウエハＷを吸着保持した後、保護シートＴの剥離終了点Ｐ２から剥離開始点Ｐ１に向かって図３（ｂ）のように剥離ローラ１０が保護シートＴ上を前進することにより、剥離ローラ１０に巻回されている剥離用シートＵが、その前進移動に同期して繰り出されながら貼り付けられていく。次に、剥離開始点Ｐ１まで剥離用シートＵが貼り付けられた時点で、図３（ｃ）のように剥離ローラ１０が後退し、これに同期して剥離シートＵが巻き取られ、この巻取り力によって保護シートＴが剥離シートＵによって引き上げられるようにしてウエハＷから剥離し始める。そして、図４（ａ）のように剥離ローラ１０が剥離終了点Ｐ２まで後退した時点で、保護シートＴの剥離が終了する。
【０００４】
しかしながら、従来の吸着テーブル１によると、図３（ｃ）のように剥離初期段階でウエハＷが保護シートＴから剥がれることなく持ち上がってしまい、ウエハＷの損傷や剥離不良が多発する。また、剥離後期段階では剥離用シートＵと保護シートＴの引き上げ力により図４（ａ）のようにウエハＷにずれが生じたり、同図（ｂ）のような持ち上がりを生じてしまい、ウエハＷの破損や剥離不良を多発する。ウエハＷのずれは、剥離ローラ１０の後退速度よりも剥離用シートＵの巻取り速度の方が速くなってしまった場合に生じやすい。
【０００５】
前記不具合を防止するために吸着テーブル１の吸着力を強くすると、ウエハＷの持ち上がりや、ずれ現象は解消されるが、ウエハＷを取り除く前に吸着テーブル１の真空破壊を行ったとしても、ウエハＷが吸着テーブルにぴたりと貼り付いてしまっている領域が残存してしまう。このような状態で、例えば厚さ５０μｍにまで研削されたウエハＷのような極薄の板状部材を吸着テーブルから取り除こうとすると、ウエハＷを破損させてしまうという別の不都合を生じる。
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−３２４８３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は前記問題点を解決するためになされたもので、その目的とするところは、ウエハ等の板状部材から保護シート等のシートを剥離する場合に、ウエハの破損を防止するのに好適な吸着テーブルを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記目的を達成するために、本発明に係る吸着テーブルは、シートが貼付された板状部材から該シートを剥離するために前記板状部材を保持する吸着テーブルであって、前記吸着テーブルは、前記シートの剥離段階に対応してその領域の吸着力が増減するように構成したことを特徴とする。
【０００９】
また、前記吸着テーブルは、前記板状部材を吸着保持する複数の吸引口を有し、前記シートの剥離段階に対応してその領域の吸着力が増減するように前記吸引口の密度を増減させてもよい。
【００１０】
前記本発明の吸着テーブルにおいては、前記シートの剥離初期段階及び／又は剥離後期段階に対応する領域の前記吸引口の密度が他の領域に比べて過密に設定されているものとしてよい。
【００１１】
前記吸着テーブルは、複数の吸着領域に仕切られ、前記板状部材の外形形状によってその吸着領域を変更可能に設けられている構成としてよい。
【００１２】
また、前記目的を達成するために、本発明に係る吸着テーブルを用いたシート剥離方法は、板状部材を吸着保持するための複数の吸引口を有する吸着テーブルを用い、該吸引口により前記板状部材を吸着保持し、吸着保持した板状部材からシートを剥離する方法であって、前記シートの剥離段階に対応して前記吸着テーブルの吸着力に強弱を設けて、前記シートを剥離することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明にあっては、前記の如く、シートの剥離段階に対応して吸着力が増減するように吸引口の密度を増減させる構成、または、前記シートの剥離段階に対応して前記吸引口の密度を増減させることにより前記吸着テーブルの吸着力に強弱を設けて、前記シートを剥離する構成を採用した。このため、例えば、剥離初期、後期段階に対応する領域の吸引口の密度を他の領域に比べて過密に設定することにより、剥離初期、後期段階の吸着力のみが強められ、ウエハＷの持ち上がりや、ずれ現象を解消することができ、ウエハＷの破損を防止することができる。また、剥離初期、後期段階以外の段階（剥離中期段階）では吸着力を必要最低限の強さに設定できることから、真空破壊後に板状部材が吸着テーブルに貼り付く現象は効果的に抑制され、吸着テーブルから板状部材を無理なく容易に取り除くことができるようになり、板状部材の破損防止に好適である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明を実施するための最良の形態について、添付した図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１５】
図１は本発明の一実施形態である吸着テーブルの説明図である。吸着テーブル１は、ウエハＷの形状に対応した円形の凹部２を有するベース３と、凹部２を覆う円形の吸引板４により構成されている。前記凹部２と吸引板４とでチャンバ５が形成され、吸引板４の表面には、チャンバ５に連通する複数の吸引口６が設けられウエハＷを吸着保持する吸着領域Ｓが形成されている。前記ベース３にはチャンバ５に連通する吸引通路９Ａ、９Ｂが設けられ、真空ポンプなどの吸引手段７にホース等を介して接続されている。
【００１６】
前記吸着領域Ｓは独立した２つの吸着領域Ｓ１、Ｓ２に仕切られている。そのための構成として、本実施形態の吸着テーブル１では、チャンバ５を環状の仕切り壁８で２つの独立したチャンバ５Ａ、５Ｂとし、各チャンバ５Ａ、５Ｂに個別に前記吸引通路９Ａ、９Ｂが連通している。従って、仕切り壁８内側のチャンバ５Ａが真空引きされると、同チャンバ５Ａに対応する円形の第１の吸着領域Ｓ１に吸着力が発生し、仕切り壁８外側のチャンバ５Ｂにも真空引きが行われると、同チャンバ５Ｂに対応するリング形状の第２の吸着領域Ｓ２に吸着力が発生するようになる。
【００１７】
前記吸引板４は、図１（ｂ）に示すように、保護シートＴが貼付されたウエハＷが載置されたときに、該保護シートＴの剥離段階に対応して、剥離開始点Ｐ１近傍領域を剥離初期領域Ａ１、剥離終了点Ｐ２近傍領域を剥離後期領域Ｃ１、その他の領域を剥離中期領域Ｂ１に分けられている。
【００１８】
第１の吸着領域Ｓ１においては、剥離初期領域Ａ１および剥離後期領域Ｃ１に対応する吸引口６の密度が、剥離中期領域Ｂ１に比べて過密に設定されており、これにより、剥離初期領域Ａ１および剥離後期領域Ｃ１では、剥離中期領域Ｂ１よりも強い吸着力が生じるようになっている。これにより、剥離用シートＵと保護シートＴの引き上げ力によるウエハＷのずれや、割れが生じることを防止でき、また、剥離中期領域Ｂ１は、チャンバ５Ａの真空破壊を行った後のウエハＷの貼り付き現象を防止することが可能となっている。
【００１９】
第２の吸着領域Ｓ２も同様に、剥離初期領域Ａ２および剥離後期領域Ｃ２に対応する吸引口６の密度が、剥離中期領域Ｂ２に比べて過密に設定されており、これにより、剥離初期領域Ａ２および剥離後期領域Ｃ２は、剥離中期領域Ｂ２より強い吸着力が生じるようになっている。
【００２０】
前記第１、第２の吸着領域Ｓ１、Ｓ２の外径は、吸着保持されるウエハＷの外径に応じて異なり、例えば、ウエハＷの外形が８インチと１２インチであるならば、第１の吸着領域Ｓ１は８インチ径の円形、第２の吸着領域Ｓ２は１２インチ径の円形となる。また、ウエハＷ以外の板状部材を吸着保持するものならば、その板状部材の外形形状に合わせて第１、第２の吸着領域Ｓ１、Ｓ２の輪郭形状は適宜変更可能で、更に多くの吸着領域を設けることも可能である。
【００２１】
次に、前記の如く構成された本実施形態の吸着テーブルの使用例、動作などについて図１、図３を基に説明する。
【００２２】
本実施形態の吸着テーブル１によると、例えば外径が８インチのウエハＷに貼付されている保護シートＴを剥離する場合は、図示しないロボットアーム等が図１（ｂ）のように当該ウエハＷを第１の吸着領域Ｓ１上に搬送し（図３（ａ）参照）、吸引手段７Ａがチャンバ５Ａの真空引きを開始する。これにより、第１の吸着領域Ｓ１の複数の吸引口６によってウエハＷを吸着保持する。
【００２３】
その後、保護シートＴの剥離終了点Ｐ２から剥離開始点Ｐ１に向かって図３（ａ）に示す剥離ローラ１０が保護シートＴ上を前進することにより、剥離ローラ１０に巻回されている剥離用シートＵが、その前進移動に同期して繰り出されながら保護シートＴの表面に貼り付けられて行く（図３（ｂ）参照）。そして、剥離開始点Ｐ１まで剥離用シートＵが貼り付けられた時点で、剥離ローラ１０が後退し（図３（ｃ）参照）、これに同期して剥離シートＵが巻き取られ、この巻取り力によって保護シートＴが剥離シートＵに引き上げられるようにウエハＷから剥離し始める。
【００２４】
そして、剥離ローラ１０が剥離終了点Ｐ２まで後退した時点で、保護シートＴの剥離が終了する。剥離完了後は、チャンバ５Ａとこれに連通する吸引口６の真空破壊を行い、吸着テーブル１の吸着力を解除してから、ロボットアーム等が保護シートＴ剥離済みウエハＷを吸着テーブル１から次工程へ搬送する。
【００２５】
ところで、剥離初期領域Ａ１ではウエハＷは強い吸着力により確実に吸着保持されているから、図３（ｃ）に示すように剥離用シートＵや保護シートＴと一緒にウエハＷが引き上げられて剥離不良を発生することはない。また、剥離後期領域Ｃ１でも当該ウエハＷは強い吸着力により確実に吸着保持されているから、図４（ａ）、（ｂ）に示すような剥離用シートＵと保護シートＴの引き上げ力によるウエハＷのずれや、割れが生じることもない。さらに、剥離中期領域Ｂ１では、剥離初期、後期領域Ａ１、Ｃ１よりも吸着力が弱められているから、真空破壊後にウエハＷが吸着テーブルに貼り付くような現象は効果的に抑制され、吸着テーブル１からウエハＷを無理なく容易に剥がすことができる。
【００２６】
前記のように、８インチのウエハＷの場合は第１の吸着領域Ｓ１を使用したが、外径が１２インチのウエハＷの場合は第１及び第２の吸着領域Ｓ１、Ｓ２を使用し、同様に保護シートＴを剥離する。
【００２７】
以上のように、本発明の実施形態を開示したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、前記実施形態では、シートの一例として保護シートＴを例示したが、これ以外のシートを板状部材から剥離する場合にも本発明は適用される。
【００２８】
また、本実施形態では、吸引口６の密度を増減させることによって、ウエハＷを保持する吸着力を増減させたが、剥離初期領域Ａ１（Ａ２）および剥離後期領域Ｃ１（Ｃ２）と、剥離中期領域Ｂ１（Ｂ２）とを別の吸引手段を用いて、それら領域の吸着力を増減させるように構成してもよい。
【００２９】
更に、図１の例では、剥離初期領域Ａ１、Ａ２や、剥離後期領域Ｃ１、Ｃ２の形状を扇のような形状に設けたが、この形に限定されることはなく、例えば、図２のように保護シートＴの剥離ラインに合わせた形状でもよい。また、それら領域に境界を設けることなく、無段階に吸引口の密度を増減させるように構成してもよい。
【００３０】
また、板状部材としてウエハＷを例示したが、これに代えて、ガラス、鋼板、樹脂板その他の板状部材に貼り付けられているシートを剥離する場合にも本発明は適用される。半導体ウエハは、シリコンウエハや化合物ウエハであってもよい。また板状部材は、円形のものに限らず、多角形状であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】図１は本発明の一実施形態である吸着テーブルの説明図であり、（ａ）は吸着テーブルの平面図、（ｂ）はそのｂ−ｂ線断面図である。
【図２】本発明の他の実施形態である吸着テーブルの平面図。
【図３】図３は従来の吸着テーブルに吸着保持されたウエハからシートを剥離する際の剥離動作説明図であり、（ａ）は剥離開始前の状態説明図、（ｂ）は剥離対象シートに剥離用シートを貼り付けた状態の説明図、（ｃ）は従来の吸着テーブルを用いた場合に剥離初期段階で生じる不具合の説明図である。
【図４】図４は従来の吸着テーブルを用いた場合に剥離後期段階で生じる不具合の説明図であり、（ａ）はウエハに生じるずれの説明図、（ｂ）はウエハに生じる持ち上がりの説明図である。
【符号の説明】
【００３２】
１  吸着テーブル
６  吸引口
Ａ１、Ａ２  剥離初期領域
Ｂ１、Ｂ２  剥離中期領域
Ｃ１、Ｃ２  剥離後期領域
Ｓ  吸着領域
Ｓ１  第１の吸着領域
Ｓ２  第２の吸着領域
Ｔ  保護シート（シート）
Ｗ  ウエハ（板状部材）
【図１】
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【図２】
2008060136.tif 000004
【図３】
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【図４】
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