(57)【要約】【課題】製造が容易で、輝度シェーディング及び色シェーディングの抑制効果の高い光学フィルタを提供する。【解決手段】本発明に係る光学フィルタ２１は、透光性のある基材（基板）１１Ｗ，１２Ｗの上に、第１の屈折率を有する第１光学膜Ｈと、第２の屈折率を有する第２光学膜Ｍ１とが交互に積層されてなり、上記第１の屈折率は、上記基材の屈折率よりも高く、上記第２の屈折率は、上記基材の屈折率よりも高くかつ上記第１の屈折率よりも低いことを特徴とする。第２光学膜Ｍ１として屈折率が上記基材よりも高くかつ第１光学膜Ｈよりも低い中間屈折率膜を用いることで、第１，第２光学膜間の屈折率差を小さくし、光の入射角度変化に対する光学膜厚の分光特性のシフトを抑制する【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
透光性のある基材の上に、第１の屈折率を有する第１光学膜と、第２の屈折率を有する第２光学膜とが交互に積層されてなる光学フィルタであって、
前記第１の屈折率は、前記基材の屈折率よりも高く、
前記第２の屈折率は、前記基材の屈折率よりも高くかつ前記第１の屈折率よりも低い
ことを特徴とする光学フィルタ。
【請求項２】
前記第２の屈折率は、１．６以上１．９以下である
ことを特徴とする請求項１に記載の光学フィルタ。
【請求項３】
前記第１，第２光学膜は、層毎に異なる膜厚で形成されている
ことを特徴とする請求項１に記載の光学フィルタ。
【請求項４】
前記基材の屈折率よりも高く前記第２の屈折率よりも低い第３の屈折率を有する第３光学膜と前記第２光学膜とが交互に積層された光学層を備え、
前記光学層は、前記基材と、前記第１，第２光学膜の多層膜との間に配置されている
ことを特徴とする請求項１に記載の光学フィルタ。
【請求項５】
前記基材は一対設けられ、これら一対の基材間に前記第１，第２光学膜の多層膜が配置されている
ことを特徴とする請求項１に記載の光学フィルタ。
【請求項６】
光の入射側から順に配置された第１，第２，第３の３つのプリズム部材と、
前記第１，第２プリズム部材間に配置され緑色光を反射しかつ赤色光及び青色光を透過させる第１光学フィルタと、
前記第２，第３プリズム部材間に配置され赤色光及び青色光のうち一方を反射し他方を透過させる第２光学フィルタと、を備えた色分解プリズムであって、
前記第１光学フィルタは、第１の屈折率を有する第１光学膜と、第２の屈折率を有する第２光学膜とが交互に積層された多層膜からなり、
前記第１の屈折率は、前記プリズム部材の屈折率よりも高く、
前記第２の屈折率は、前記プリズム部材の屈折率よりも高くかつ前記第１の屈折率よりも低い
ことを特徴とする色分解プリズム。
【請求項７】
前記第１プリズム部材と前記第１フィルタの間、及び、前記第１フィルタと前記第２プリズム部材との間には、これらプリズム部材の屈折率よりも高く前記第２の屈折率よりも低い第３の屈折率を有する第３光学膜と前記第２光学膜とが交互に積層された光学層が、それぞれ配置されている
ことを特徴とする請求項６に記載の色分解プリズム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学多層膜からなる光学フィルタ、特に、入射光を青色、緑色及び赤色の色成分別に分解する色分解プリズムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、青色用、緑色用及び赤色用の３個の固体撮像素子を用いる３板式ビデオカメラが開発されている。この種のビデオカメラには、撮像光束を青色、緑色及び赤色の３原色に色分解する色分解プリズムが用いられている。
【０００３】
３板式ビデオカメラ用の色分解プリズムは、光の入射側より第１，第２，第３の３つのプリズム部材が順に配置されてなり、これら３つのプリズム部材間の２つのプリズム界面に、色分離用の第１，第２の光学フィルタが順に形成されている。第１，第２の光学フィルタは、通常、屈折率の異なる二種以上の光学膜を交互に積層した光学多層膜で構成される。色分解プリズムの種類としては、第１の光学フィルタを青色反射膜、第２の光学フィルタを赤色反射膜で構成した色分解プリズムと、第１の光学フィルタを緑色反射膜、第２の光学フィルタを青色反射膜で構成した色分解プリズムが知られている（下記特許文献１参照）。
【０００４】
ここで、第１の光学フィルタが青色反射膜で構成される色分解プリズムにおいては、青色反射膜と赤色反射膜の入射角依存性により、画面上下で色調が異なる「色シェーディング」と呼ばれる現象が発生することが知られている。これは、画面上部では緑色が増加し赤色及び青色が減少するとともに、画面下部では緑色が減少し赤色及び青色が増加することによって発生する。
【０００５】
すなわち、撮像光束はレンズを通して色分解プリズムに入射するため、色分解プリズムの入射面に対して撮像光束はある一定の角度をもって入射することになる。一般に、光学多層膜は入射角依存性をもち、入射角が大きくなるほど分光特性が短波長側にシフトし、入射角が小さくなるほど分光特性が長波長側にシフトする傾向にある。従って、光学多層膜に対して高入射角で入射した光と低入射角で入射した光とでは反射あるいは透過する光量が相互に異なることになる。その結果、２つの光学フィルタを透過して分離される緑色光量の角度依存特性が青色光量及び赤色光量と比較して強くなり、上記色シェーディングを生じさせることになる。特に、緑色光は輝度に与える影響が強く、緑色の透過光量が多いところでは輝度が高く、逆に少ないところでは輝度が低くなる。これは、画面上下で輝度が異なる「輝度シェーディング」と呼ばれる現象の発生原因にもなる。
【０００６】
これに対して、第１の光学フィルタが緑色反射膜で構成される色分解プリズムにおいては、輝度信号である緑色光量が安定するため、輝度シェーディングを大幅に改善することができる。図６は、第１の光学フィルタとして構成される緑色光反射膜の分光特性を示している。入射角依存性により透過率のボトム波長位置が変化している。図６において、一点鎖線Ａ１は中心（設計）入射角での分光特性、実線Ｂ１は高入射角での分光特性、二点鎖線Ｃ１は低入射角での分光特性をそれぞれ示している。このように、入射する角度により波長位置は変化するが、反射帯域全体が移動するため、緑色反射光量の変化は小さい。
【０００７】
一方、下記特許文献２には、分光特性の入射角依存性を低減するために、基板上に、屈折率が２．５以上の高屈折率の第１光学膜と、この第１光学膜よりも屈折率が０．３以上小さい第２光学膜を交互に積層した光学多層膜及びその成膜方法が開示されている。この構成により、分光特性のシフトが大幅に低減され、ビデオカメラ等の色分解プリズムとして用いると、シェーディング特性を大幅に改善できるとしている。
【０００８】
【特許文献１】特開昭５１−８１５２０号公報
【特許文献２】特開平７−２７９０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、緑色光反射膜が第１の光学フィルタとして形成された色分解プリズムにおいては、輝度シェーディングは抑制されても、分光特性のシフトにより青色光、赤色光の角度依存が逆に強くなるため、色シェーディングの改善には至っていないという問題がある。
【００１０】
また、上記特許文献２の構成によれば、入射角変化による分光特性のシフトを抑えることは可能となるが、屈折率２．５以上の高屈折率膜の成膜に際して温度条件や真空条件の工程が複雑であり、製造が容易ではないという問題がある。
【００１１】
本発明は上述の問題に鑑みてなされ、製造が容易で、輝度シェーディング及び色シェーディングの抑制効果の高い光学フィルタ及び色分解プリズムを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
以上の課題を解決するに当たり、本発明の光学フィルタは、透光性のある基材の上に、第１の屈折率を有する第１光学膜と、第２の屈折率を有する第２光学膜とが交互に積層されてなる光学フィルタであって、上記第１の屈折率は、上記基材の屈折率よりも高く、上記第２の屈折率は、上記基材の屈折率よりも高くかつ上記第１の屈折率よりも低いことを特徴とする。
【００１３】
本発明に係る光学フィルタは、上記第１光学膜と第２光学膜とを交互に複数積層した光学多層膜からなる。そして、第２光学膜として屈折率が上記基材よりも高くかつ第１光学膜よりも低い中間屈折率膜を用いることで、第１，第２光学膜間の屈折率差を小さくし、光の入射角度変化に対する光学膜厚の分光特性のシフトを抑制するようにしている。
【００１４】
中間屈折率膜は、基材よりも高くかつ高屈折率膜よりも低い屈折率を有する光学薄膜で、その屈折率は、例えば１．６以上１．９以下である。中間屈折率膜は、Ａｌ2Ｏ3やＬａ系Ａｌ2Ｏ3等の中間屈折率材料膜や、高屈折率材料（ＴｉＯ2、Ｎｂ2Ｏ5、ＨｆＯ2等）と低屈折率材料（ＳｉＯ2、ＭｇＦ2等）の混合材料膜で構成することができる。これらの材料を蒸着材料あるいはターゲット材料とした真空蒸着法あるいはラジカルアシストスパッタ（ＲＡＳ）法等により、容易に中間屈折率膜を作製することが可能である。
【００１５】
また、本発明の色分解プリズムは、光の入射側から順に配置された第１，第２，第３の３つのプリズム部材と、上記第１，第２プリズム部材間に配置され緑色光を反射しかつ赤色光及び青色光を透過させる第１光学フィルタと、上記第２，第３プリズム部材間に配置され赤色光及び青色光のうち一方を反射し他方を透過させる第２光学フィルタとを備え、上記第１光学フィルタは、第１の屈折率を有する第１光学膜と、第２の屈折率を有する第２光学膜とが交互に積層された多層膜からなり、上記第１の屈折率は、上記プリズム部材の屈折率よりも高く、上記第２の屈折率は、上記プリズム部材の屈折率よりも高くかつ上記第１の屈折率よりも低いことを特徴とする。
【００１６】
本発明の色分解プリズムにおいては、上述した構成の本発明に係る光学フィルタを第１光学フィルタとして用いることにより、緑色光反射膜の入射角度依存特性を抑制する。これにより、輝度シェーディング及び色シェーディングを改善することが可能となる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、高屈折率膜と中間屈折率膜の光学多層膜で光学フィルタを構成することにより、製造が容易となるとともに、輝度シェーディング及び色シェーディングを効果的に抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１９】
図１は本発明の実施形態による色分解プリズム１０の概略構成図である。色分解プリズム１０は、例えば３板式ビデオカメラに用いられ、光の入射側より順に第１プリズム部材１１、第２プリズム部材１２及び第３プリズム部材１３を備えている。各プリズム部材１１〜１３は、ＢＫ７（屈折率１．５１８）等のガラス材料を加工することによって形成される。
【００２０】
第１プリズム部材１１と第２プリズム部材１２との間には、第１光学フィルタ２１が配置されており、第２プリズム部材１２と第３プリズム部材１３との間には、第２光学フィルタ２２が配置されている。第１光学フィルタ２１は、撮像光束Ｌが所定の入射角（例えば２６．５°）で入射するように傾斜して設けられ、緑色光ＬＧを反射しかつ赤色光ＬＲ及び青色光ＬＢを透過させる光学多層膜で構成されている。第２光学フィルタ２２は、第１光学フィルタ２１に対して一定角度傾斜して設けられ、青色光ＬＢを反射しかつ赤色光ＬＲを透過させる光学多層膜で構成されている。
【００２１】
第１プリズム部材１１の光出射面には緑色光ＬＧのみを透過させる緑色光透過フィルタ１１Ｇが設けられており、この緑色光透過フィルタ１１Ｇを介して緑色光用固体撮像素子（図示略）が配置されている。また、第２プリズム部材１２の光出射面には青色光ＬＢのみを透過させる青色光透過フィルタ１２Ｂが設けられており、この青色光透過フィルタ１２Ｂを介して青色光用固体撮像素子（図示略）が配置されている。さらに、第３プリズム部材１３の光出射面には赤色光ＬＲのみを透過させる赤色光透過フィルタ１３Ｒが設けられており、この赤色光透過フィルタ１３Ｒを介して赤色光用固体撮像素子（図示略）が配置されている。
【００２２】
緑色光透過フィルタ１１Ｇ、青色光透過フィルタ１２Ｂ及び赤色光透過フィルタ１３Ｒは、必要に応じて省略することも可能である。また、上記固体撮像素子は、ＣＣＤイメージャ、ＣＭＯＳイメージャ等で構成されている。
【００２３】
上記構成において、色分解プリズム１０に入射する撮像光束Ｌは、第１プリズム部材１１に入射した後、第１光学フィルタ２１において緑色光ＬＧは反射され、青色光ＬＢと赤色光ＬＲは透過する。第１光学フィルタ２１で反射した緑色光ＬＧは、第１プリズム部材１１の入射面で全反射された後、緑色光透過フィルタ１１Ｇを介して緑色光用固体撮像素子へ向けて出射される。
【００２４】
一方、第１光学フィルタ２１を透過した青色光ＬＢは、第２光学フィルタ２２において反射され、青色光透過フィルタ１２Ｂを介して青色光用固体撮像素子へ向けて出射される。また、第１光学フィルタ２１を透過した赤色光ＬＲは、第２光学フィルタ２２を透過し、赤色光透過フィルタ１３Ｒを介して赤色光用固体撮像素子へ向けて出射される。
【００２５】
ここで、撮像光束Ｌは、被写体から撮像レンズ光学系を介して色分解プリズム１０の入射面に集光入射されるため、色分解プリズム１０の第１光学フィルタ２１に対して撮像光束Ｌはある一定の角度範囲（例えば、２６．５°±９．５°）をもって入射することになる。このとき、第１光学フィルタ２１の角度依存特性が強いと、第１光学フィルタ２１に対して高入射角で入射した場合と低入射角で入射した場合とで光の分光特性が大きくシフトし、色シェーディングの発生が顕著となる。このため、光学フィルタ２１の角度依存特性は小さいほど好ましい。
【００２６】
そこで、本実施形態では、第１光学フィルタ２１を次のようにして構成している。以下、緑色光反射膜として構成される本発明に係る第１光学フィルタ２１の詳細について説明する。
【００２７】
図２は、第１光学フィルタ２１の構成を示す概略断面図である。第１光学フィルタ２１は、第１の屈折率を有する第１光学膜Ｈと、第２の屈折率を有する第２光学膜Ｍ１とが交互に積層された多層膜１６を備えている。
【００２８】
なお、多層膜１６は２つの基板１１Ｗ，１２Ｗの間に配置されており、いずれか一方の基板の上に形成された後、他方の基板が接着剤等を介して接着される。基板１１Ｗ，１２Ｗはいずれも透光性のある基材として構成される。本実施形態において、一方の基板１１Ｗは第１プリズム部材１１に対応し、他方の基板１２Ｗは第２プリズム部材１２に対応する。これら板状の基板１１Ｗ，１２Ｗは機械加工によって所定のプリズム形状に整形される。
【００２９】
第１光学膜Ｈは、基板１１Ｗ，１２Ｗの屈折率（１．５１８）よりも高い屈折率（第１の屈折率）を有する高屈折率膜からなり、例えば、屈折率が２．０以上２．４以下のＴｉＯ2膜、Ｎｂ2Ｏ5膜、Ｔａ2Ｏ5膜、ＨｆＯ2膜、ＺｒＯ2などで構成されている。
【００３０】
第２光学膜Ｍ１は、基板１１Ｗ，１２Ｗの屈折率よりは高くかつ第１光学膜Ｈの屈折率よりも低い屈折率（第２の屈折率）を有する中間屈折率膜からなる。第２光学膜Ｍ１として屈折率が基板１１Ｗ，１２Ｗよりも高くかつ第１光学膜Ｈよりも低い中間屈折率膜を用いることで、第１，第２光学膜間の屈折率差を小さくし、光の入射角度変化に対する光学膜厚の分光特性のシフトを抑制するようにしている。
【００３１】
第２光学膜Ｍ１の構成材料は、例えば、屈折率が１．６以上１．９以下のＬａ系Ａｌ2Ｏ3、Ａｌ2Ｏ3等の中間屈折率材料のほか、高屈折率材料と低屈折率材料（ＳｉＯ2、ＭｇＦ2など）の混合材料などで構成されている。Ｌａ系Ａｌ2Ｏ3材料としては、例えば、メルク社製「Ｍ２」、「Ｍ３」等が挙げられる。
【００３２】
また、第２光学膜Ｍ１の作製は、上述した中間屈折率材料を蒸着材料あるいはターゲット材料とした真空蒸着法あるいはラジカルアシストスパッタ（ＲＡＳ）法等により、容易に作製することが可能である。
【００３３】
第１光学膜Ｈ及び第２光学膜Ｍ１の各々の膜厚、積層数等は特に制限されず、目的とする反射波長帯域、反射率特性等に応じて適宜設定される。本実施形態では、第１光学フィルタ２１が緑色光反射膜で構成され、緑色光に対して所定の反射率が得られるような膜設計で構成されている。
【００３４】
具体的な膜設計例としては、１．０（Ｈ）＝１．０（Ｍ１）＝λ／４＝ｎ×ｄ（λ：中心波長［ｎｍ］、ｎ：膜の屈折率、ｄ：膜の物理膜厚［ｎｍ］）とした場合、基本膜構成として、基板１１Ｗ側より順に、以下の膜厚比で形成される。  ０．４（Ｈ）、１．４（Ｍ１）、０．５（Ｈ）、１．３（Ｍ１）、０．６（Ｈ）、１．２（Ｍ１）、０．７（Ｈ）、１．１（Ｍ１）、０．８（Ｈ）、１．０（Ｍ１）、（０．９（Ｈ）、０．９（Ｍ１））Z、１．０（Ｈ）、０．８（Ｍ１）、１．１（Ｈ）、０．７（Ｍ１）、１．２（Ｈ）、０．６（Ｍ１）、１．３（Ｈ）、０．５（Ｍ１）、１．４（Ｈ）、０．４（Ｍ１）。なお、Ｚは整数で繰り返し回数を意味する。
【００３５】
上記のように、多層膜１６を構成する第１光学膜Ｈの膜厚構成比を０．４から１．４に徐々に厚く構成するとともに、第２光学膜Ｍ１の膜厚構成比を１．４から０．４に徐々に薄く構成することにより、波長分散性の少ない安定した反射率特性を得ることができるようになる。図２の構成例では、Ｚ＝１のときの膜構成を示している。
【００３６】
また、本実施形態では、第１光学膜Ｈと第２光学膜Ｍ１の多層膜１６と、この多層膜１６を挟む２つのリップル調整層１７Ａ，１７Ｂによって、第１光学フィルタ２１を構成している。一方のリップル調整層１７Ａは、基板１１Ｗと多層膜１６との間に配置され、他方のリップル調整層１７Ｂは、基板１２Ｗと多層膜１６との間に配置されている。
【００３７】
リップル調整層１７Ａ，１７Ｂは、それぞれ、上述の第２光学膜Ｍ１を構成する中間屈折率膜と、基板１１Ｗ，１２Ｗの屈折率よりも高くかつ上記第２光学膜Ｍ１よりも屈折率が低い屈折率（第３の屈折率）を有する中間屈折率膜（第３光学膜）Ｍ２とを交互に積層した光学層で構成されている。第１光学フィルタ２１をこれらリップル調整層１７Ａ，１７Ｂを含む構成とすることにより、青色光波長領域及び赤色光波長領域の多重干渉（反射リップル）を低減して、これら各色光の優れた透過率特性を得ることができるようになる。
【００３８】
図３は、リップル調整層が有る緑色光反射膜とリップル調整層が無い緑色光反射膜のそれぞれの分光特性の一例を比較して示している。図３において、実線はリップル調整層が有る緑色光反射膜の分光特性を示しており、破線はリップル調整層が無い緑色光反射膜の分光特性を示している。図３から明らかなように、リップル調整層が無いときの場合と比較して、リップル調整層が有るときの方が青色光波長領域及び赤色光波長領域の多重干渉が低減され、フラットな透過率特性が得られている。
【００３９】
リップル調整層１７Ａ，１７Ｂの具体的な設計例としては、１．０（Ｍ１）＝１．０（Ｍ２）＝λ／４＝ｎ×ｄとした場合、リップル調整層１７Ａについては（Ｍ１，Ｍ２）X、リップル調整層１７Ｂについては（Ｍ１，Ｍ２）Yのように設計される。なお、Ｘ，Ｙはそれぞれ整数で繰り返し回数を意味しており、図２の構成例では、Ｘ＝Ｙ＝２のときの膜構成を示している。
【００４０】
図４は、Ｆ値２．０の撮像光束に対する第１光学フィルタ２１の分光特性を示している。Ｆ値２．０の撮像光束は、中心入射角±９．５°の広がりをもって第１光学フィルタ２１へ入射する。中心入射角が２６．５°の場合、＋側入射角度は３６．０度、−側入射角度が１７．０°となる。そこで、図４において一点鎖線Ａは中心（設計）入射角度２６．５°での分光特性、実線Ｂは入射角度３６．０°での分光特性、二点鎖線Ｃは入射角度１７°での分光特性をそれぞれ示している。
【００４１】
この第１光学フィルタ２１は、基板１１Ｗ，１２Ｗがガラス材料（屈折率１．５１８）、第１光学膜（高屈折率膜）ＨがＮｂ2Ｏ3（屈折率２．３０）、第２光学膜（中間屈折率膜）Ｍ１がＮｂ2Ｏ5（屈折率１．８４５）とＳｉＯ2（屈折率１．４５８）の混合膜、第３光学膜（中間屈折率膜）Ｍ２がＮｂ2Ｏ5（屈折率１．７３５）とＳｉＯ2（屈折率１．４５８）の混合膜とした。この例では、上述した多層膜１６の基本膜構成の繰り返し回数Ｚ及びリップル調整層１７Ａ，１７Ｂの繰り返し回数Ｘ，Ｙとして、Ｚ＝２、Ｘ＝１、Ｙ＝２とした。
【００４２】
図４において、中心入射角時における分光特性Ａは、透過率が５０％となる波長が５６５．８ｎｍ、透過率５０％となる波長幅が７５．７ｎｍ、波長５２０〜５４０ｎｍでの最高透過率が４．３％、波長４００〜４７０ｎｍでの最低透過率が９６．５％、波長６００〜７００ｎｍでの最低透過率が９７．４％であった。
【００４３】
また、中心入射角時における分光特性Ａに対して、高入射角時の分光特性Ｂは短波長側にシフトする一方、低入射角時の分光特性Ｃは長波長側にシフトする。図中矢印Ｄ，Ｅは、分光特性Ａに対する分光特性Ｂ，Ｃの透過率５０％の波長位置を基準とするシフト量を表しており、本例では、Ｄ＝２４．７ｎｍ、Ｅ＝１８．８ｎｍであった。
【００４４】
以上のように、本実施形態の第１光学フィルタ２１においては、波長４００〜４７０ｎｍにおいて最低透過率８０％以上、波長５２０〜５４０ｎｍにおいて最高透過率１０％以下、波長６００〜７００ｎｍにおいて最低透過率８０％以上を満足する。また、入射角度が±９．５°変化しても、分光特性のシフト量を２５ｎｍ以下に抑えることができるので、角度依存性の極めて小さい光学多層膜を構成することができる。
【００４５】
また、この光学多層膜を第１光学フィルタ２１として色分解プリズム１０を構成することにより、第１光学フィルタ２１の角度依存性を小さく抑えられるので、輝度シェーディングの改善を図ることができる。また、第２光学フィルタ２２に入射する光束の分光シフトもその分低減されるので、色シェーディングを効果的に抑制することが可能となる。
【００４６】
さらに、中間屈折率膜Ｍ１，Ｍ２の形成を真空蒸着法やスパッタ法等の通常の成膜法を用いて作製することができるので、製造が容易であり低コストで光学フィルタ２１を構成することができる。
【００４７】
次に、図５は、上記構成の第１光学フィルタ２１において、撮像光束の入射角２６．０°±１．３°における分光特性を示している。中心入射角に対する角度幅が±１．３°に制限されていることから、図４に示した例に比べて、高入射角時（破線）と低入射角時（一点鎖線）の中心入射角時（実線）に対する分光特性のシフト量は大幅に低減されていることがわかる。本例では、反射率ピークの半値位置における分光特性のトータルシフト量は約６ｎｍであった。
【００４８】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこれに限定されることはなく、本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。
【００４９】
例えば以上の実施形態では、緑色光反射膜としての第１光学フィルタ２１について、高屈折率膜と中間屈折率膜からなる本発明に係る光学多層膜の構成を適用したが、これに加えて、青色反射膜である第２光学フィルタ２２についても同様な多層膜構造を採用することも可能である。これにより、第２光学フィルタについても角度依存性の小さい青色光反射膜を構成することができる。
【００５０】
また、プリズム部材１１〜１３又は基板１１Ｗ，１２Ｗとして、屈折率が１．５１８のガラス基材を用いたが、勿論これに限定されることはなく、他の屈折率を有する透光性の基材が用いられてもよい。この場合、基材の屈折率に合わせて第１〜第３光学膜Ｈ，Ｍ１，Ｍ２の屈折率が適宜選定される。
【００５１】
また、以上の実施形態では、本発明に係る光学フィルタを色分解プリズムにおける緑色光反射膜に適用した例について説明したが、これ以外にも、特定波長域の光を選択的に反射するダイクロイックミラー等の光学ミラーや、偏光ビームスプリッタ等の光学部品における光学多層膜に対しても、本発明は適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の実施形態による色分解プリズムの概略構成図である。
【図２】図１に示した色分解プリズムの緑色光反射膜として用いられる第１光学フィルタの膜構造を概略的に示す断面図である。
【図３】図２に示した光学フィルタの膜構造においてリップル調整層が有るときの無いときの分光特性を比較して示す図である。
【図４】図２に示した光学フィルタの入射角依存性を説明するための分光特性の一例を示す図である。
【図５】図２に示した光学フィルタの入射角依存性を説明するための分光特性の一例を示す図である。
【図６】従来の緑色光反射膜の入射角依存性を説明するための分光特性の一例を示す図である。
【符号の説明】
【００５３】
１０…色分解プリズム、１１…第１プリズム部材、１１Ｗ…基板、１２…第２プリズム部材、１２Ｗ…基板、１３…第３プリズム部材、１６…多層膜、１７Ａ，１７Ｂ…リップル調整層（光学層）、２１…第１光学フィルタ、２２…第２光学フィルタ、Ｈ…第１光学膜（高屈折率膜）、Ｌ…撮像光束、Ｍ１…第２光学膜（中間屈折率膜）、Ｍ２…第３光学膜（中間屈折率膜）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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