(57)【要約】【課題】  無着磁領域の位置ズレや幅寸法等を的確に把握することができ、管理値外のボイスコイルモータ用永久磁石を効率的に選別することが可能な着磁状態判定方法及び着磁状態判定装置を提供する。【解決手段】  ２極着磁されヨーク８に固定されたボイスコイルモータ用永久磁石１を順次搬送し、所定の位置においてマグネティックビュア３をボイスコイルモータ用永久磁石１の上面に接触させ、マグネティックビュア３に写し出された無着磁領域像を撮影し、撮影された画像を画像処理してボイスコイルモータ用永久磁石１の着磁状態の良否を判定する。ボイスコイルモータ用永久磁石１をマグネティックビュア３と接触させる際には、ボイスコイルモータ用永久磁石１を押し上げる押し上げ棒９の上面に形成された位置決めピン１０をヨーク８の位置決め孔８ａに挿入することで位置決めを行う。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
２極着磁されヨークに固定されたボイスコイルモータ用永久磁石を順次搬送し、所定の位置においてマグネティックビュアをボイスコイルモータ用永久磁石の上面に接触させ、マグネティックビュアに写し出された無着磁領域像を撮影し、撮影された画像を画像処理してボイスコイルモータ用永久磁石の着磁状態の良否を判定することを特徴とする永久磁石の着磁状態判定方法。
【請求項２】
観察される無着磁領域画像に基づいて、無着磁領域の中心位置の位置ズレを検出し、前記着磁状態の良否を判定することを特徴とする請求項１記載の永久磁石の着磁状態判定方法。
【請求項３】
前記ボイスコイルモータ用永久磁石が固定されるヨークに位置決め孔を形成しておき、前記無着磁領域の中心位置と、前記位置決め孔の相対位置関係により前記位置ズレを検出することを特徴とする請求項２記載の着磁状態判定方法。
【請求項４】
観察される無着磁領域画像に基づいて、無着磁領域の幅寸法を算出し、基準となる幅寸法と比較することで前記着磁状態の良否を判定することを特徴とする請求項１記載の永久磁石の着磁状態判定方法。
【請求項５】
２極着磁されヨークに固定されたボイスコイルモータ用永久磁石を搬送する搬送機構と、上下動により搬送されたボイスコイルモータ用永久磁石の上面に接離可能に設置されるマグネティックビュアと、前記マグネティックビュア上に設置され前記ボイスコイルモータ用永久磁石と接した状態のマグネティックビュアに写し出される無着磁領域像を撮影する撮影装置と、撮影された画像を処理する画像処理装置とを備え、
前記ボイスコイルモータ用永久磁石が固定されるヨークに位置決め孔が形成されるとともに、前記撮影位置において前記ヨークの位置決め孔に挿脱可能とされ、ヨークに固定されたボイスコイルモータ用永久磁石を位置決めする位置決めピンが設けられていることを特徴とする永久磁石の着磁状態判定装置。
【請求項６】
前記搬送機構には、ヨークに固定されたボイスコイルモータ用永久磁石を収容し搬送する搬送容器が設けられ、
前記搬送容器がボイスコイルモータ用永久磁石の撮影位置まで移動し停止した際に、搬送容器内に収容されるボイスコイルモータ用永久磁石をヨークとともに押し上げる押し上げ機構が設けられていることを特徴とする請求項５記載の永久磁石の着磁状態判定装置。
【請求項７】
前記押し上げ機構として押し上げ棒を備え、前記位置決めピンは前記押し上げ棒の上面に設けられていることを特徴とする請求項６記載の永久磁石の着磁状態判定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、２極着磁されたボイスコイルモータ用永久磁石の着磁状態を高速且つ精度良く判定するための永久磁石の着磁状態判定方法及び着磁状態判定装置に関し、特に、目視による観察が不可能な無着磁領域の位置や幅寸法を的確に把握可能とし、永久磁石の選別に供することが可能な永久磁石の着磁状態判定方法及び着磁状態判定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えばハードディスクドライブ用ボイスコイルモータでは、ボイスコイルモータの小型化や高性能化が要求されており、組み込まれる永久磁石の性能向上が進められている。例えばネオジム鉄ボロン系焼結磁石等の希土類焼結磁石は、高い磁気特性を有することから、前記ボイスコイルモータの小型化、高性能化に寄与している。
【０００３】
一方で、前記ボイスコイルモータに用いる永久磁石においては、その能力を最大限に引き出すことも要求されており、例えば無着磁部分をできるだけ少なくする方法が検討されている。無着磁部分では例えばボイスコイルモータの駆動に寄与する磁力を発生せず、この部分を少なくすることができれば、その分だけ永久磁石を小型化、あるいは高性能化できることになる。
【０００４】
また、ボイスコイルモータに用いられる永久磁石においては、その能力を引き出すためには精度の良い着磁が求められる。ボイスコイルモータ用の永久磁石は、ヨークに固定されてハードディスクドライブ内に組み込まれるが、装着時に磁極位置が正確に位置決めされないと、所定の駆動力を得ることができなくなるおそれがある。
【０００５】
このような状況から、ボイスコイルモータ用永久磁石の製品化に際しては、永久磁石の無着磁領域の幅寸法や位置等を正確に把握し、管理値から外れるものを選別して回収する必要が生じている。
【０００６】
ただし、永久磁石の着磁状態は、目視により直接観察することはできず、例えば微小な磁性粉を封入したマグネティックビュアを用いて観察する必要がある。この場合、一般的には、マグネティックビュアを用いて着磁状態を可視化し、光学顕微鏡等を用いて無着磁領域の幅寸法や位置等を測定し、検査するという方法が採られている。しかしながら、この方法は手動での測定となり、生産効率の面から全数測定し選別する手法としては不十分である。そこで、前記マグネティックビュアを用いて永久磁石の検査や磁区観察を行う装置が種々提案されている（例えば、特許文献１〜特許文献３等を参照）。
【０００７】
これら特許文献の中で、特許文献１記載の発明と特許文献２記載の発明は、マグネティックビュアを用いた永久磁石の検査方法及び検査装置に関するものである。例えば、特許文献１に記載される検査装置は、直進フィーダと、回転型インデックスプレートと、マグネティックビュアと、カメラと、画像解析装置との組み合わせからなり、目には見ることのできない残磁場を精度良く層別可能としている。特許文献２には、マグネットビュアと２値化方式画像解析装置を基本構成とし、搬送機構をはじめとする各機構を備え、制御器によってシーケンス動作させる永久磁石の検査装置が開示されており、粉末図形法を利用し、目視に依存することなく、多数の永久磁石について、表面のきずや偏析等の欠陥を定量的、かつ正確に層別する方法、装置が提案されている。
【０００８】
一方、特許文献３には、磁性体の磁区パターンの観察を、磁化曲線と共に観察できるようにした磁区観察装置が開示されている。特許文献３記載の磁区観察装置は、前述のマグネティックビュアを用いたものではないが、磁性体の磁区パターンに対応する光学パターンを取り出す光学系と、光学パターンを撮影するカメラとを備え、画像解析結果に基づいて磁化曲線の表示が可能となっている。
【特許文献１】特開２００２−１０７４３５号公報
【特許文献２】特開２０００−４６８０１号公報
【特許文献３】特開平６−２７２１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、これら従来技術では、無着磁領域の位置や幅寸法等を把握するという考えは無く、前述の、ボイスコイルモータ用永久磁石の製品化に際して、永久磁石の無着磁領域の幅寸法や位置等を正確に把握し、管理値から外れるものを選別して回収するという用途には、そのまま適用することはできない。
【００１０】
本発明は、このような従来の実情に鑑みて提案されたものであり、ボイスコイルモータ用永久磁石の無着磁領域の位置ズレや幅寸法等を的確に把握することができ、管理値外のボイスコイルモータ用永久磁石を効率的に選別することが可能なボイスコイルモータ用永久磁石の着磁状態判定方法及び着磁状態判定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前述の目的を達成するために、本発明の着磁状態判定方法は、２極着磁されヨークに固定されたボイスコイルモータ用永久磁石を順次搬送し、所定の位置においてマグネティックビュアをボイスコイルモータ用永久磁石の上面に接触させ、マグネティックビュアに写し出された無着磁領域像を撮影し、撮影された画像を画像処理してボイスコイルモータ用永久磁石の着磁状態の良否を判定することを特徴とする。
【００１２】
永久磁石上にマグネティックビュアを重ねると、永久磁石の着磁状態に応じて磁性粉が移動し、着磁されている部分に磁性粉が集中することで「黒」色化され、着磁されていない部分が「白」色化され、「黒」「白」の明暗として表示される。したがって、２極着磁されたボイスコイルモータ用永久磁石においては、２極間に無着磁領域像が白く写し出される。本発明では、この無着磁領域を「白」と「黒」の２値で画像処理し、位置ズレの有無を判別し、幅寸法を算出する。そして、前記位置ズレの判別結果や算出された幅寸法に基づいて、管理値外の永久磁石を選別し、これを回収する。本発明の着磁状態判定方法によれば、目視によって確認することができない着磁状態（無着磁領域の位置や寸法）が画像処理によって的確に把握され、効率的な選別が実現される。
【００１３】
一方、本発明の着磁状態判定装置は、２極着磁されヨークに固定されたボイスコイルモータ用永久磁石を搬送する搬送機構と、上下動により搬送されたボイスコイルモータ用永久磁石の上面に接離可能に設置されるマグネティックビュアと、前記マグネティックビュア上に設置され前記ボイスコイルモータ用永久磁石と接した状態のマグネティックビュアに写し出される無着磁領域像を撮影する撮影装置と、撮影された画像を処理する画像処理装置とを備え、前記ボイスコイルモータ用永久磁石が固定されるヨークに位置決め孔が形成されるとともに、前記撮影位置において前記ヨークの位置決め孔に挿脱可能とされ、ヨークに固定されたボイスコイルモータ用永久磁石を位置決めする位置決めピンが設けられていることを特徴とする。
【００１４】
ボイスコイルモータ用永久磁石の着磁状態の判別、特に無着磁領域の良否の判定に際しては、永久磁石とヨークの相対的な位置精度も要求される。ボイスコイルモータ用永久磁石は、ヨークに固定された状態でハードディスクドライブ等の装置内に組み込まれるが、永久磁石の着磁位置がボイスコイルモータ駆動部であるアクチュエータに対して正確に配置される必要がある。したがって、永久磁石においては、ヨークに固定された状態で無着磁領域が所定の位置に形成されている必要がある。本発明の着磁状態判定装置では、ヨークに設けられた位置決め孔に対応して位置決めピンが設置されており、マグネティックビュアにより無着磁領域像を撮影する際に、前記位置決めピンの挿入によりヨークが確実に位置決めされる。したがって、例えば位置決めピンを基準にすることで、撮影された無着磁領域像の位置が適正であるか否かを的確に判定することが可能である。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、ボイスコイルモータ用永久磁石の無着磁領域の位置ズレや幅寸法等を的確に把握することができ、着磁状態が管理値外のボイスコイルモータ用永久磁石を効率的に選別することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明を適用した着磁状態判定方法及び着磁状態判定装置について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１７】
図１及び図２は、本発明を適用した着磁状態判定装置の構成例を示すものである。この着磁状態判定装置は、着磁状態の判定の対象となるボイスコイルモータ用永久磁石１を搬送する搬送機構２と、ボイスコイルモータ用永久磁石の表面に接触し着磁状態を目視可能な状態に画像化するマグネティックビュア３と、前記マグネティックビュア３に写し出された画像を撮影し画像処理する撮像装置（カメラ４及び画像処理用のコンピュータ５）とから構成されている。
【００１８】
判定の対象となるボイスコイルモータ用永久磁石１は、例えばＲ−Ｔ−Ｂ系の希土類焼結磁石等からなるものである。Ｒ−Ｔ−Ｂ系の希土類焼結磁石は、希土類元素Ｒ、遷移金属元素Ｔ及びホウ素を主成分とするものであるが、磁石組成は特に限定されず、用途等に応じて任意に選択すればよい。例えば、希土類元素Ｒとは、具体的にはＹ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ又はＬｕのことをいい、これらから１種又は２種以上を用いることができる。中でも、資源的に豊富で比較的安価であることから、希土類元素Ｒとしての主成分をＮｄとすることが好ましい。また、遷移金属元素Ｔは、従来から用いられている遷移金属元素をいずれも用いることができ、例えばＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉ等から１種又は２種以上を用いることができる。その他、ボイスコイルモータ用永久磁石１は、例えばＳｍＣｏ系焼結磁石等であってもよく、ボイスコイルモータ用永久磁石１が前記Ｒ−Ｔ−Ｂ系の希土類焼結磁石等に限定されるものでないことは言うまでもない。ボイスコイルモータ用永久磁石１の形状は、例えば矩形板状等、任意であるが、通常は円弧形状（扇形形状）とされる。
【００１９】
前記搬送機構２は、直進フィーダ６にボイスコイルモータ用永久磁石１を収容するキャビティ（搬送容器）７がほぼ等間隔に設置されて構成されており、ヨーク８に固定されたボイスコイルモータ用永久磁石１がそれぞれ前記キャビティ７内に収容され、直進フィーダ６によって図中矢印方向に搬送される。なお、図示は省略するが、前記キャビティ７の底面には、後述の押し上げ棒に対応して開口部が形成されている。
【００２０】
前記マグネティックビュア３は、封入された微小磁性粉が着磁領域に移動することにより目視不可能な着磁領域、無着磁領域を目視可能に画像化するものであり、前記ボイスコイルモータ用永久磁石１の表面に接触させると、永久磁石の着磁状態に応じて磁性粉が移動し、着磁されている部分に磁性粉が集中するので、例えば着磁領域が「黒」、無着磁（非着磁）領域が「白」となる。したがって、前記画像化に際してはマグネティックビュア３をボイスコイルモータ用永久磁石１の表面に接触させる必要があり、可動機構により上下動可能とされている。
【００２１】
前記撮像装置であるカメラ４は、前記マグネティックビュア３に写し出された画像を撮影するものであり、マグネティックビュア３の上方にマグネティックビュア３のボイスコイルモータ用永久磁石１と接する部分と対向して設置されている。コンピュータ５は、取り込まれた画像を「黒」か「白」かによって数値化（２値化）し、例えば基準となる画像との比較等を行う。
【００２２】
本実施形態の着磁状態判定装置では、前記構成の他、画像処理位置でボイスコイルモータ用永久磁石１をヨーク８と共に押し上げ、前記マグネティックビュア３の接触を補助する押し上げ棒９が押し上げ機構として設置されている。また、前記押し上げ棒９の上面には、ヨーク８に固定されたボイスコイルモータ用永久磁石１を位置決めするための位置決めピン１０が設けられている。ボイスコイルモータ用永久磁石１が固定されるヨーク８には、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、ハードディスクドライブ等の装置内に組み込む際に位置基準用の孔として機能する位置決め孔８ａが形成されており、この位置決め孔８ａに前記位置決めピン１０が挿入されることにより、ヨーク８及びボイスコイルモータ用永久磁石１が確実に位置決めされる。
【００２３】
次に、前述の着磁状態判定装置を用いた着磁状態判定方法について説明する。ボイスコイルモータ用永久磁石１は、例えば２極着磁され、ヨーク８に接着剤等により固定されて装置内に組み込まれる。本発明の着磁状態判定方法では、２極着磁されたボイスコイルモータ用永久磁石１の無着磁領域の幅、位置等の判定に適用される。
【００２４】
ここで、先ず、ボイスコイルモータ用永久磁石１の２極着磁の基本概念について説明する。例えば図４（ａ），（ｂ）に示すように、板状のボイスコイルモータ用永久磁石１を、上面がＮ極となるＮ極領域１ａとＳ極となるＳ極領域１ｂに２極着磁する場合、図５に示すように、ボイスコイルモータ用永久磁石１の上下を着磁ヨーク１１，１２で挟み込み、これら着磁ヨーク１１，１２に巻回した着磁コイル（図示は省略する。）に電流を流すことでＮ極領域１ａとＳ極領域１ｂとにそれぞれ逆向きに磁界を発生させ、板厚方向に着磁を行う。
【００２５】
前記着磁ヨーク１１，１２においては、図６に示すように、巻線コイル１３が巻回されるが、巻線１４は中央を境に巻回方向が反転され、いわゆる８の字形に巻回されている。したがって、着磁ヨーク１１，１２により発生する磁界の方向は、中心線を境に図中左右で反転し、ボイスコイルモータ用永久磁石１に対して前記２極着磁を一括して行うことが可能になる。すなわち、図５に示すように、例えば永久磁石１の右半分（前記Ｓ極領域１ｂ）には、図中下向きの磁界が印加され、上面がＳ極、下面がＮ極となるように着磁される。左半分（前記Ｎ極領域１ａ）には、図中上向きの磁界が印加され、上面がＮ極、下面がＳ極となるように着磁される。
【００２６】
ただし、前記着磁では、前記Ｎ極領域１ａとＳ極領域１ｂの間に無着磁領域（未着磁領域）１ｃが形成される。これは、前記磁界が反転する境界部分に巻線１４が存在し、磁界が有効に発生しない領域があるからである。
【００２７】
ボイスコイルモータの高性能化を考えた場合、無着磁領域１ｃの幅を極力小さくすることが望まれる。また、着磁位置（例えば無着磁領域１ｃの中心線の位置）もボイスコイルモータの性能に影響を及ぼす。例えば、ヨーク８に固定された状態で前記無着磁領域１ｃの中心線の位置が基準位置から外れていると、装置内に組み込んだ時に所定の性能が発揮されなくなるおそれがある。
【００２８】
そこで、ヨーク８に固定されたボイスコイルモータ用永久磁石１の着磁状態（前記無着磁領域１ｃの幅や無着磁領域１ｃの中心線の位置等）を前述の着磁状態判定装置で判別し、管理値から外れるものを製造ライン上から次工程前に回収する。
【００２９】
着磁されたボイスコイルモータ用永久磁石１の着磁状態の判定に際しては、ヨーク８に固定されたボイスコイルモータ用永久磁石１を搬送機構２のキャビティ７に収容し、直進フィーダ６によって画像処理位置まで移動する。なお、前記画像処理位置とは、ボイスコイルモータ用永久磁石１が前記マグネティックビュア３やカメラ４等と対向する位置を言う。
【００３０】
ボイスコイルモータ用永久磁石１を前記画像処理位置まで搬送した後、直進フィーダ６を停止し、ボイスコイルモータ用永久磁石１の上面にマグネティックビュア３を接触させる。マグネティックビュア３の接触に際しては、前記押し上げ棒９によりボイスコイルモータ用永久磁石１をヨーク８と共に押し上げる。同時に、マグネティックビュア３を下降させ、ボイスコイルモータ用永久磁石１の上面にマグネティックビュア３を接触させる。この時、図７に示すように、ヨーク８に形成された位置決め孔８ａに押し上げ棒９の上面に形成された位置決めピン１０が挿入され、ボイスコイルモータ用永久磁石１が位置精度良く保持される。
【００３１】
ボイスコイルモータ用永久磁石１の上面にマグネティックビュア３が接触すると、目視不可能であった着磁状態がマグネティックビュア３に写し出され、画像化される。このマグネティックビュア３に描写された着磁画像（無着磁領域像）をカメラ４によって撮影し、画像情報として読み取る。コンピュータ５では、カメラ４で撮影された画像情報に対して「黒」（着磁部分）と「白」（無着磁部分）の２値化を行い、無着磁領域を数値化して予め入力されている磁石形状（長さ、センター位置等）や無着磁領域の幅寸法に基づいて合否判定を行う。
【００３２】
図８は、マグネティックビュア３に描写される着磁画像の一例を示すものである。図中斜線領域が着磁された部分であり、黒く観察される。これら斜線領域（着磁領域）は、ボイスコイルモータ用永久磁石１のＮ極領域１ａとＳ極領域１ｂに対応するものである。一方、前記着磁領域の間には、無着磁領域像が白く帯状に観察される。この無着磁領域像は、ボイスコイルモータ用永久磁石１の無着磁領域１ｃに対応するものである。
【００３３】
前記コンピュータ５では、前記２値化データに基づき、無着磁領域像の幅寸法Ｗ２を算出し、所定の値（例えば基準値Ｗ１）より大きいか否かを判定する。さらには、無着磁領域の中心線Ｃの位置を算出し、基準位置からのずれを判定する。前記無着磁領域の中心線Ｃの位置の判定に際しては、着磁領域の端部から前記中心線Ｃまでの距離Ｌ１，Ｌ２を算出し、中心からのずれを判別する。あるいは、ヨーク８に形成された位置決め孔８ａを基準として利用し、ヨーク８に対する相対的な位置ズレを判定する。無着磁領域像の幅寸法Ｗが管理値を越えて大きすぎる場合、あるいは無着磁領域の中心線Ｃの位置ズレ量が管理値を越えて大きすぎる場合、不合格と判定してこれを製造ライン上から取り除く。
【００３４】
合否判定後は、前記マグネティックビュア３を上昇させるとともに、これと同期して押し上げ棒９の下降を行い、ヨーク８に固定されたボイスコイルモータ用永久磁石１をキャビティ７内に収容する。キャビティ７に収容されたボイスコイルモータ用永久磁石１は、前記合否判定において合格と判定された場合、直進フィーダ６によって次工程へ搬送される。不合格と判定された場合、不良品をストックする回収部に搬送される。ボイスコイルモータ用永久磁石１の測定後、次のボイスコイルモータ用永久磁石１を測定する前に、前記マグネティックビュア３全面に消去用磁石のＮ極（もしくはS極）を接触させ、マグネティックビュア３に描写されていた着磁画像（無着磁領域像）の残像を消去し初期化するようにしてもよい。
【００３５】
以上のように、本発明の着磁状態判定装置及び着磁状態判定方法によれば、ボイスコイルモータ用永久磁石１の無着磁領域の位置ズレや幅寸法等を的確に把握することができ、管理値外のボイスコイルモータ用永久磁石１を効率的に選別することが可能である。また、前記着磁状態の判定の自動化により、煩雑な判別作業を大幅に合理化することが可能である。
【００３６】
なお、通常、ボイスコイルモータにおいては、コイルを挟んで上下のヨークを組み合わせ、これらヨークにボイスコイルモータ用永久磁石を固定する構成が採用されている。そこで、上下ペアとなるボイスコイルモータ用永久磁石について、同時に測定（前述の着磁状態の判定）ができるように、搬送機構２（直進フィーダ６及びキャビティ７）を２系列用意し、それぞれマグネティックビュア３やカメラ５、押し上げ棒９等を設置することも可能である。２系列同時に画像処理することにより、上下個別に無着磁領域の幅寸法や位置を測定するだけでなく、例えば上下ヨークの組立後の無着磁領域の相対位置を計算することも可能となる等、より実効的な判別を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明を適用した着磁状態判定装置の一例を模式的に示す側面図である。
【図２】本発明を適用した着磁状態判定装置の一例を模式的に示す平面図である。
【図３】ボイスコイルモータ用永久磁石のヨークへの固定状態の一例を示すものであり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。
【図４】永久磁石の着磁の様子を示す模式的な図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。
【図５】２極着磁を行う際の着磁ヨークの配置例を示す模式図である。
【図６】２極着磁を行う着磁ヨークに巻回される着磁コイルの巻回状態の一例を示す模式図である。
【図７】画像処理位置でのボイスコイルモータ用永久磁石の保持状態を示す側面図である。
【図８】マグネティックビュアに描写される着磁画像の一例を示す模式的な平面図である。
【符号の説明】
【００３８】
１  ボイスコイルモータ用永久磁石、２  搬送機構、３  マグネティックビュア、４  カメラ、５  コンピュータ、６  直進フィーダ、７  キャビティ（搬送容器）、８  ヨーク、８ａ  位置決め孔、９  押し上げ棒、１０  位置決めピン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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