(57)【要約】【課題】カラーフィルタ製造装置の廃水の処理方法において、回収生物処理装置での生物難分解性有機成分の除去が十分に行われ、逆浸透膜の目詰まりに対する洗浄及び逆浸透膜の交換頻度を減少させ、また、薬品酸化処理装置での薬品使用を大幅に低減させるカラーフィルタ製造装置の廃水の処理方法。【解決手段】１）顔料成分分離装置２１に、カラーフィルタ製造装置の廃水（Ａ）を供給し、顔料成分が分離された後の廃水（Ｂ）にオゾンを注入して廃水（Ｂ）中の有機成分の除去を行い、２）除去が行われた廃水（Ｃ）を逆浸透膜装置２３に供給し、分離した分離廃水（Ｅ）を放流生物処理装置３２に供給する。【選択図】図４
2008000642.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
純水回収設備及び放流設備で構成される廃水処理設備を用いた、カラーフィルタ製造装置の廃水の処理方法において、
１）前記純水回収設備の顔料成分分離装置に、カラーフィルタ製造装置の廃水（Ａ）を供給し、該顔料成分分離装置にて顔料成分が分離された後の廃水（Ｂ）にオゾンを注入して該廃水（Ｂ）中の有機成分の除去を行い、
２）該有機成分の除去が行われた廃水（Ｃ）を純水回収設備の逆浸透膜装置に供給し、該逆浸透膜装置にて分離した分離廃水（Ｅ）を放流設備の放流生物処理装置に供給することを特徴とするカラーフィルタ製造装置の廃水の処理方法。
【請求項２】
前記カラーフィルタ製造装置からの廃水（Ａ）に含有する生物難分解性有機成分の濃度が３０ｐｐｍ以上であることを特徴とする請求項１記載のカラーフィルタ製造装置の廃水の処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタ製造装置からの廃水の処理方法に関するものであり、特に、廃水中の有機成分を効果的に除去するカラーフィルタ製造装置の廃水の処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
表示装置において、カラー表示、反射率の低減、コントラストの改善、分光特性制御などの目的にカラーフィルタを用いることは、有用な手段となっている。
この表示装置に用いるカラーフィルタは、多くの場合、カラーフィルタは画素として形成されて使用される。この表示装置に用いるカラーフィルタの画素を形成する方法としては、フォトリソグラフィ法が広く用いられている。
【０００３】
図１は、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を模式的に示した平面図である。また、図２は、図１に示すカラーフィルタのＸ−Ｘ’線における断面図である。
図１、及び図２に示すように、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタは、ガラス基板（５０）上にブラックマトリックス（５１）、着色画素（５２）、透明導電膜（５４）が順次に形成されたものである。
図１、及び図２はカラーフィルタを模式的に示したもので、着色画素（５２）は１２個表されているが、実際のカラーフィルタにおいては、例えば、対角１７インチの画面に数百μｍ程度の着色画素が多数個配列されている。
【０００４】
ブラックマトリックス（５１）は、遮光性を有するマトリックス状のものであり、着色画素（５２）は、例えば、赤色、緑色、青色のフィルタ機能を有するものである。
ブラックマトリックスは、カラーフィルタの着色画素の位置を定め、大きさを均一なものとし、また、表示装置に用いられた際に、好ましくない光を遮蔽し、表示装置の画像をムラのない均一な、且つコントラストを向上させた画像にする機能を有している。
このブラックマトリックス（５１）は、ガラス基板（５０）上に、ブラックマトリックス形成用の黒色ホトレジストを用いてフォトリソグラフィ法によって形成された例であり、樹脂を用いて形成されたブラックマトリックスを樹脂ブラックマトリックス（５１）と称している。
【０００５】
また、着色画素（５２）は、この樹脂ブラックマトリックス（５１）が形成されたガラス基板（５０）上に、例えば、顔料などの色素を分散させたネガ型の着色フォトレジストを用いたフォトリソグラフィ法によって、すなわち、着色フォトレジストの塗布膜へのフォトマスクを介した露光、現像処理によって着色画素として形成されたものである。赤色、緑色、青色の着色画素は順次に形成されている。
【０００６】
また、透明導電膜（５４）の形成は、樹脂ブラックマトリックス、着色画素が形成されたガラス基板上に、例えば、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）を用いスパッタリング法によって透明導電膜を形成するといった方法がとられている。
透明導電膜の成膜は、室温で成膜した後にアニールをして結晶化させ目的とする特性を得る方法や、結晶化温度以上の温度で成膜する方法、或いは、１００℃程度の結晶化する手前の低温加熱をした後にアニールをして目的とする特性を得る方法などがある。最近では、カラーフィルタへの影響を低減するために室温又は低温加熱にて形成する方法が一般的である。
【０００７】
図１、及び図２に示すカラーフィルタは、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタと
して基本的な機能を備えたものである。液晶表示装置は、このようなカラーフィルタを内蔵することにより、フルカラー表示が実現し、その応用範囲が飛躍的に広がり、液晶カラーＴＶ、ノート型ＰＣなど液晶表示装置を用いた多くの商品が創出された。
多様な液晶表示装置の開発、実用に伴い、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタには、上記基本的な機能に付随して種々な機能が付加されるようになった。
【０００８】
図１に示すカラーフィルタに追加される機能としては、例えば、スペーサー機能、配向分割機能、高信頼性機能、透過・反射併用機能、分光特性調整機能、光路調整機能、光散乱機能などがあげられる。これら諸機能の内、そのカラーフィルタの用途、仕様にもとづき１機能或いは複数の機能が図１に示すカラーフィルタに追加される。
【０００９】
上記、基本的な機能を備えたカラーフィルタ上に付随する層を形成する際には、パターンとして形成されない保護層（オーバーコート層）、及びスパッタリング法によって形成される透明導電膜を除き、いずれの層も前記ブラックマトリックス（５１）、着色画素（５２）と同様に、フォトレジストを用いてのフォトリソグラフィ法によってパターンに形成される。
【００１０】
上記ブラックマトリックス、着色画素、及び付随する各層をフォトリソグラフィ法によりパターンとして形成する際には、例えば、先ずガラス基板に対して必要に応じた洗浄処理を施し、続いて塗布装置によるフォトレジストの塗布、減圧乾燥装置による予備乾燥処理、プリベーク装置によるプリベーク処理、露光装置によるパターン露光、現像装置による現像処理、ポストベーク装置によるポストベーク処理が順次に施され、ガラス基板に所定のパターンを形成する。
【００１１】
図３は、上記一連の装置で構成されるカラーフィルタ製造装置からの廃水を処理する廃水処理設備の一例の説明図である。
図３に示すように、廃水処理設備（６０）は、純水回収設備（２０）と放流設備（３０）で構成されている。純水回収設備（２０）は、顔料成分分離装置（２１）、回収生物処理装置（２２）、逆浸透膜装置（２３）で構成され、また、放流設備（３０）は、薬品酸化処理装置（３１）、放流生物処理装置（３２）、微粒子除去装置（３３）で構成されている。
【００１２】
カラーフィルタ製造装置（１０）からの廃水（Ａ）には、着色画素の形成に用いた着色フォトレジストの着色成分である顔料以外に有機成分が多く含有している。
廃水（Ａ）は、純水回収設備（２０）の顔料成分分離装置（２１）に供給され、顔料成分分離装置（２１）において顔料成分が分離される。顔料成分が分離された廃水（Ｂ）は、活性汚泥法による回収生物処理装置（２２）に供給され、回収生物処理装置（２２）において有機成分が粗除去される。
有機成分が粗除去された廃水（Ｃ）は、逆浸透法による逆浸透膜装置（２３）に供給され、逆浸透膜装置（２３）において更に成分が分離される。
【００１３】
逆浸透膜装置（２３）からの透過水（Ｄ）は、純水の原水として再利用するために純水装置（４０）に供給される。また、逆浸透膜装置（２３）からの分離廃水（Ｅ）は、放流設備（３０）の薬品酸化処理装置（３１）に供給される。
薬品酸化処理装置（３１）での薬品酸化による有機物の分解、続く放流生物処理装置（３２）にて有機物の低減が行われ、微粒子除去装置（３３）を経て放流（Ｆ）されるようになっている。
【００１４】
しかし、このような廃水処理設備（６０）においては、有機成分は回収生物処理装置（２２）において粗除去され、逆浸透膜装置（２３）において更に成分が分離されているが
、回収生物処理装置（２２）での生物難分解性有機成分の除去が不十分であるために、逆浸透膜装置（２３）での負担が大きくなり、有機成分による逆浸透膜の目詰まりに対する洗浄、及び逆浸透膜の交換頻度が増加するといった問題がある。
尚、カラーフィルタ製造装置（１０）からの廃水（Ａ）に含有する生物難分解性有機成分の濃度は、３０ｐｐｍ程度のものである。
【００１５】
また、逆浸透膜装置（２３）からの分離廃水（Ｅ）は、薬品酸化処理装置（３１）において、薬品酸化としてフェントン酸化処理法により有機成分を除去しているため、例えば、過酸化水素などの薬品を大量に使用することになり、ランニングコストが高いものとなるといった問題がある。
【特許文献１】特許第３６１１２９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、純水回収設備及び放流設備で構成される廃水処理設備を用いた、カラーフィルタ製造装置の廃水の処理方法において、回収生物処理装置での生物難分解性有機成分の除去が十分に行われ、従って逆浸透膜装置での逆浸透膜の目詰まりに対する洗浄、及び逆浸透膜の交換頻度を減少させることができ、また、薬品酸化処理装置での薬品使用のランニングコストを大幅に低減させることができるカラーフィルタ製造装置の廃水の処理方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明は、純水回収設備及び放流設備で構成される廃水処理設備を用いた、カラーフィルタ製造装置の廃水の処理方法において、
１）前記純水回収設備の顔料成分分離装置に、カラーフィルタ製造装置の廃水（Ａ）を供給し、該顔料成分分離装置にて顔料成分が分離された後の廃水（Ｂ）にオゾンを注入して該廃水（Ｂ）中の有機成分の除去を行い、
２）該有機成分の除去が行われた廃水（Ｃ）を純水回収設備の逆浸透膜装置に供給し、該逆浸透膜装置にて分離した分離廃水（Ｅ）を放流設備の放流生物処理装置に供給することを特徴とするカラーフィルタ製造装置の廃水の処理方法である。
【００１８】
また、本発明は、上記発明によるカラーフィルタ製造装置の廃水の処理方法において、前記カラーフィルタ製造装置からの廃水（Ａ）に含有する生物難分解性有機成分の濃度が３０ｐｐｍ以上であることを特徴とするカラーフィルタ製造装置の廃水の処理方法である。
【発明の効果】
【００１９】
本発明は、１）純水回収設備の顔料成分分離装置に、カラーフィルタ製造装置の廃水（Ａ）を供給し、該顔料成分分離装置にて顔料成分が分離された後の廃水（Ｂ）にオゾンを注入して該廃水（Ｂ）中の有機成分の除去を行い、２）該有機成分の除去が行われた廃水（Ｃ）を純水回収設備の逆浸透膜装置に供給し、該逆浸透膜装置にて分離した分離廃水（Ｅ）を放流設備の放流生物処理装置に供給するカラーフィルタ製造装置の廃水の処理方法であるので、
回収生物処理装置での生物難分解性有機成分の除去が十分に行われ、従って逆浸透膜装置での逆浸透膜の目詰まりに対する洗浄、及び逆浸透膜の交換頻度を減少させることができ、また、薬品酸化処理装置での薬品使用のランニングコストを大幅に低減させることができるカラーフィルタ製造装置の廃水の処理方法となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下に本発明の実施の形態を説明する。
図４は、本発明によるカラーフィルタ製造装置の廃水の処理方法において用いられる廃水処理設備の一例の説明図である。
図４に示すように、廃水処理設備（９０）は、純水回収設備（７０）と放流設備（８０）で構成されている。純水回収設備（７０）は、顔料成分分離装置（２１）、オゾン処理装置（７２）、逆浸透膜装置（２３）で構成され、また、放流設備（８０）は、放流生物処理装置（３２）、微粒子除去装置（３３）で構成されている。
【００２１】
カラーフィルタ製造装置（１０）からの廃水（Ａ）は、純水回収設備（７０）の顔料成分分離装置（２１）に供給され、顔料成分分離装置（２１）において顔料成分が分離される。顔料成分が分離された廃水（Ｂ）は、オゾン処理装置（７２）に供給され、オゾン処理装置（７２）において廃水（Ｂ）中にオゾンが注入され有機成分が除去される。
前記図３に示す、回収生物処理装置（２２）に代わり、オゾン処理装置（７２）を用いることによって、生物難分解性有機成分の除去が十分に行えるものとなる。有機成分が除去された廃水（Ｃ’）は、逆浸透法による逆浸透膜装置（２３）に供給され、逆浸透膜装置（２３）において更に成分が分離される。
【００２２】
逆浸透膜装置（２３）からの透過水（Ｄ）は、純水の原水として再利用するために純水装置（４０）に供給される。また、逆浸透膜装置（２３）からの分離廃水（Ｅ’）は、放流生物処理装置（３２）に供給される。放流生物処理装置（３２）にて有機物の低減が行われ、微粒子除去装置（３３）を経て放流（Ｆ’）されるようになっている。
【００２３】
本発明においては、オゾン処理装置（７２）にて有機成分の除去が十分に行われるので、逆浸透膜装置（２３）での負担が緩和され、有機成分による逆浸透膜の目詰まりに対する洗浄、及び逆浸透膜の交換頻度は減少することになる。
また、薬品酸化による有機成分の分解を行っていた、前記薬品酸化処理装置（３１）は不要なものとなる。                                            
【００２４】
また、前記薬品酸化処理装置（３１）における、例えば、過酸化水素などの薬品を使用することはなく、ランニングコストは大幅に低減されることになる。
尚、本発明は、カラーフィルタ製造装置（１０）からの廃水（Ａ）に含有する生物難分解性有機成分の濃度が３０ｐｐｍ以上の場合により効果的なものとなる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を模式的に示した平面図である。
【図２】図１に示すカラーフィルタのＸ−Ｘ’線における断面図である。
【図３】カラーフィルタ製造装置からの廃水を処理する廃水処理設備の一例の説明図である。
【図４】本発明によるカラーフィルタ製造装置の廃水の処理方法において用いられる廃水処理設備の一例の説明図である。
【符号の説明】
【００２６】
１０・・・カラーフィルタ製造装置
２０・・・純水回収設備
２１・・・顔料成分分離装置
２２・・・回収生物処理装置
２３・・・逆浸透膜装置
３０・・・放流設備
３１・・・薬品酸化処理装置
３２・・・放流生物処理装置
３３・・・微粒子除去装置
４０・・・純水装置
５０・・・ガラス基板
５１・・・ブラックマトリックス
５２・・・着色画素
５４・・・透明導電膜
６０・・・廃水処理設備
７０・・・本発明における純水回収設備
８０・・・本発明における放流設備
９０・・・本発明における廃水処理設備
Ｃ’・・・オゾン処理装置で有機成分が除去された廃水
Ｅ’・・・本発明における逆浸透膜装置からの分離廃水
【図１】
2008000642.tif 000003
【図２】
2008000642.tif 000004
【図３】
2008000642.tif 000005
【図４】
2008000642.tif 000006