(57)【要約】【課題】作業性の極めて優れたＸ線分析装置を提供することである。【解決手段】Ｘ線照射室３１を形成する本体ブロック３と、前記本体ブロック３の試料側端部に設けられ、一次Ｘ線及び二次Ｘ線を通過させるＸ線通過孔４１２を有する通過孔部材４と、隔膜Ｆを保持するとともに、前記通過孔部材４に取り付けられて、前記Ｘ線通過孔４１２の試料側に前記隔膜Ｆを固定する膜固定部材５と、を備え、前記通過孔部材４が本体ブロック３に取り付けられている状態において、前記通過孔部材４と前記膜固定部材５とを弾性固定部材６により着脱可能に構成していることを特徴とする。【選択図】図１
2008058055.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料を収容する試料室と、前記試料に照射される一次Ｘ線が通過するとともに、その一次Ｘ線が前記試料に照射されることにより生じる二次Ｘ線を検出するＸ線検出器が配置されるＸ線照射室と、を備え、前記試料室と前記Ｘ線照射室とをＸ線透過性を有する隔膜で仕切り、前記試料室を大気圧状態、前記Ｘ線照射室を真空状態にするＸ線分析装置であって、
前記Ｘ線照射室を形成する本体ブロックと、
前記本体ブロックの試料側端部に設けられ、前記一次Ｘ線及び二次Ｘ線を通過させるＸ線通過孔を有する通過孔部材と、
前記隔膜を保持するとともに、前記通過孔部材に取り付けられて、前記Ｘ線通過孔の試料側に前記隔膜を固定する膜固定部材と、を備え、
前記通過孔部材が本体ブロックに取り付けられている状態において、前記通過孔部材と前記膜固定部材とを弾性固定部材により着脱可能に構成していることを特徴とするＸ線分析装置。
【請求項２】
前記通過孔部材に前記膜固定部材を取り付ける回転角度を制限する取付制限機構をさらに備えていることを特徴とする請求項１記載のＸ線分析装置。
【請求項３】
前記通過孔部材から前記膜固定部材が外れないようにする外れ防止機構をさらに備えていることを特徴とする請求項１又は２記載のＸ線分析装置。
【請求項４】
前記通過孔部材には、前記膜固定部材が取り付けられたときにその膜固定部材と接触する面に空気孔を備えていることを特徴とする請求項１、２又は３記載のＸ線分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば試料中に含まれる元素およびその量やその分布状態を調べるのに用いられるＸ線分析装置に関し、特に作業性に極めて優れたＸ線分析装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種のＸ線分析装置として、例えば特許文献１に示すように、試料が配置される試料室と、前記試料に対して照射される一次Ｘ線が通過するとともに、この一次Ｘ線が試料に照射されたときに生ずる二次Ｘ線を検出するＸ線検出器が配置されたＸ線照射室とをＸ線透過性素材よりなる隔膜で区画するとともに、前記Ｘ線照射室を真空状態にしたものがある。
【０００３】
このＸ線分析装置は、Ｘ線照射室を形成する本体ブロックと、その本体ブロックに取り付けられて、試料室とＸ線照射室とを隔膜により区画するための隔膜取り付け部材とを備えている。そして、隔膜取り付け部材は、Ｘ線を通過させるＸ線通過孔を有するとともに、隔膜をそのＸ線通過孔に固定する一体のものであり、本体ブロックに固定される。また、Ｘ線検出器は、試料からの二次Ｘ線を検出するためＸ線通過孔にできるだけ接近させて固定されている。
【０００４】
しかしながら、装置の構造上、隔膜の交換は試料室を介して行う必要があり作業スペースが小さい上に、隔膜取り付け部材は試料室の上方に取り付けられており見えにいため、隔膜を交換するために必要なネジ締め作業やネジ外し作業がしにくく大きな負担となっておいる。その上、作業時間の遅延も招いてしまう。
【０００５】
また、膜取り付け部材を取り付けるときに、膜取り付け部材がＸ線検出器に当たり、Ｘ線検出器が破損してしまう恐れもある。
【特許文献１】特開２０００−３２９７１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
そこで、本発明は、上記問題点を一挙に解決すべくなされたものであり、隔膜の交換作業が極めて簡単であり、隔膜の交換時にＸ線検出器の破損の恐れが少ない、作業性及び安全性の極めて優れたＸ線分析装置を提供することをその主たる所期課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
すなわち本発明に係るＸ線分析装置、試料を収容する試料室と、前記試料に照射される一次Ｘ線が通過するとともに、その一次Ｘ線が前記試料に照射されることにより生じる二次Ｘ線を検出するＸ線検出器が配置されるＸ線照射室とを備え、前記試料室と前記Ｘ線照射室とをＸ線透過性を有する隔膜で仕切り、前記試料室を大気圧状態、前記Ｘ線照射室を真空状態にするＸ線分析装置であって、前記Ｘ線照射室を形成する本体ブロックと、前記本体ブロックの試料側端部に設けられ、前記一次Ｘ線及び二次Ｘ線を通過させるＸ線通過孔を有する通過孔部材と、前記隔膜を保持するとともに、前記通過孔部材に取り付けられて、前記Ｘ線通過孔の試料側に前記隔膜を固定する膜固定部材と、を備え、前記通過孔部材が本体ブロックに取り付けられている状態において、前記通過孔部材と前記膜固定部材とを弾性固定部材により着脱可能に構成していることを特徴とする。
【０００８】
このようなものであれば、通過孔部材と膜固定部材とを分離して通過孔部材を本体ブロックに固定したままで隔膜を交換することができる。したがって、隔膜の交換時に通過孔部材がＸ線検出器に当たる心配が少ないので、Ｘ線検出器が破損することがない。また、通過孔部材と膜固定部材とを弾性固定部材により着脱可能に構成しているので、ねじを使わずに極めて簡単に隔膜を固定することができる。
【０００９】
また、膜固定部材を通過孔部材に取り付ける際の容易性及び確実性から、前記通過孔部材に前記膜固定部材を取り付ける回転角度を制限する取付制限機構をさらに備えていることが望ましい。
【００１０】
取付制限機構の具体的な実施の態様としては、前記取付制限機構が、前記通過孔部材に設けた案内面と、前記膜固定部材に設けた被案内面とからなり、前記案内面及び前記被案内面が向かい合うように回転角度を調整して取り付けたときのみ、前記通過孔部材に前記膜固定部材が取り付けられるようにすることが考えられる。
【００１１】
さらに、前記弾性固定部材の固定力の低下等により膜固定部材が通過孔部材から勝手に外れることを防止するため、及び通過孔部材に膜固定部材をより一層固定させるためには、前記通過孔部材から前記膜固定部材が外れないようにする外れ防止機構をさらに備えていることが望ましい。
【００１２】
外れ防止機構の具体的な実施の態様としては、前記通過孔部材又は前記膜固定部材の一方に設けられた引掛け部と、その他方に設けられた受部とからなり、前記通過孔部材に前記膜固定部材が弾性固定部材により取り付けられた状態において、前記膜固定部材を軸方向に回転させることにより、前記引掛け部が受部に引っ掛かることにより、外れを防止するものであることが考えられる。
【００１３】
前記通過孔部材には、前記膜固定部材が取り付けられたときにその膜固定部材と接触する面に空気孔を備えていることが望ましい。
【発明の効果】
【００１４】
このように構成した本発明によれば、隔膜の交換作業が極めて簡単であり、隔膜の交換時にＸ線検出器の破損の恐れが少ない、作業性及び安全性の極めて優れたＸ線分析装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下に本発明の一実施形態について図面を参照して説明する。
【００１６】
本実施形態に係るＸ線分析装置１は、図１及び図２に示すように、Ｘ線発生機のＸ線管９によって発せられる一次Ｘ線を例えばガラスよりなるＸ線導管（X-Ray Guide Tube、以下、単にＸＧＴという。）１０によって真空状態のＸ線照射室３１まで導き、このＸ線照射室３１の下側に設けられる大気圧状態の試料室２１内の試料Ｗに一次Ｘ線を照射し、そのときに生じる二次Ｘ線（蛍光Ｘ線）をＸ線検出器１１によって検出するようにしたものであり、前記試料室２１及び前記Ｘ線照射室３１は、例えばポリエチレン樹脂等のＸ線透過性を有する隔膜Ｆによって仕切られている。
【００１７】
このＸ線分析装置１は、ＸＧＴ１０を用いることにより、一次Ｘ線のビーム径を数１０〜数１００μｍといった極めて細いものとすることができ、試料Ｗの微小な領域Ｘ線照射部位において十分大きなパワーをもって確実に照射することができるものである。
【００１８】
具体的には、Ｘ線分析装置１は、試料室２１を形成するケーシング２と、Ｘ線照射室３１を形成する本体ブロック３とを備えている。
【００１９】
ケーシング２は、図１及び図２に示すように、大気圧状態に保たれるものであり、測定対象となる試料Ｗが載置される試料ステージ２２が設けられている。この試料室２１は、図２に示すように、試料Ｗの挿入・取り出し用の開閉扉２３が設けられている。また、隔膜Ｆの交換作業も開閉扉２３を開けて行われる。試料ステージ２２は、図示しない駆動機構によって、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向のそれぞれに直線的に移動できるように設けられている。なお、図２において試料ステージ２２は図示しない。
【００２０】
本体ブロック３は、図１及び図３に示すように、前記ケーシング２に連続して設けられる概略立方体形状をなすものであり、ＸＧＴ１０を挿通させる挿通孔３２を上壁に有し、内部に挿通孔３２に連なるＸ線照射室３１を備えている。また、その側壁には、Ｘ線検出器１１及び光学顕微鏡１２が挿入されて設置されるための取付孔３３を有し、底壁には、後述する通過孔部材４が取り付けられる開口部３４を有している。
【００２１】
Ｘ線照射室３１は、その内部が挿通孔３２とともに適宜の真空状態に保持されており、特に図１に示すように、ＸＧＴ１０の下部先端部、一次Ｘ線を試料Ｗに対して照射したときに生ずる二次Ｘ線（蛍光Ｘ線）を検出するための半導体検出器よりなるＸ線検出器１１および試料Ｗの照射位置を確認するための光学顕微鏡の対物レンズが設けられている。なお、図１の符号中、１３はＸ線検出器１１を冷却するための媒体を収容したタンク、１４は信号アンプである。
【００２２】
そして、本実施形態のＸ線分析装置１は、図１及び図４に示すように、本体ブロック３の試料Ｗ側端部（開口部３４）に設けられ、一次Ｘ線及び二次Ｘ線を通過させるＸ線通過孔４１２を有する通過孔部材４と、隔膜Ｆを保持するとともに、前記通過孔部材４に取り付けられて、前記Ｘ線通過孔４１２の試料Ｗ側に前記隔膜Ｆを固定する膜固定部材５と、当該膜固定部材５が前記通過孔部材４に取り付けられたときに、前記膜固定部材５と前記通過孔部材４との間に介在して、それらに弾性復帰力を働かせて固定するＯリング等の弾性固定部材６と、を備えている。以下各部材４、５、６について説明する。
【００２３】
通過孔部材４は、本体ブロック３の開口部３４を所定の大きさの孔に絞るものであり、図５、図６及び図７に示すように、開口部３４に嵌ってその外周がシール部材であるＯリング１５を介して開口部３４の内周に隙間無く密着する円柱部４１と、その円柱部４１の下方端部に設けられた鍔部４２とを備えている。
【００２４】
円柱部４１は、本体ブロック３の開口部３４と概略同一径を有するものであり、中央部分にＸ線検出器１１が斜め方向から配置されるための収容凹部４１１と、その収容凹部４１１の底部に、一次Ｘ線及び二次Ｘ線を通過させるためのＸ線通過孔４１２とを備えている。Ｘ線通過孔４１２は、Ｘ線検出器１１側に向かって舌形状となるように形成されている。また、円柱部４１の外側周面４１ａには、前記Ｏリング１５がはめ込まれる凹溝４１４が設けられている。
【００２５】
また、円柱部４１は、Ｘ線通過孔４１２が設けられている端面に係合凹部４１３が形成されている。係合凹部４１３は、Ｘ線通過孔４１２を取り囲むように環状に設けられている。その内側周面４１３ｃは、先端に行くに従って断面径が小さくなるテーパ面である。また、係合凹部４１３の底部の一部には、空気孔Ａが設けられている。このように、係合凹部４１３の底部に空気孔Ａを設けて空気通路を形成しているので、通過孔部材４及び膜固定部材５との着脱を容易にすることができるとともに、着脱の際の隔膜Ｆの引圧が原因で発生する破損を防ぐことができる。
【００２６】
鍔部４２は、平面視において円板の左右側端部を切り取ったいわゆる概略小判形状である（図６参照）。
【００２７】
そして、図６に示すように、鍔部４２の上面４２ａに、一方の切り欠き部４２１の一方端部４２１ａから外縁に沿って他方の切り欠き部４２２の一方端部４２２ａに至らない程度まで突条部４２３が設けられている。同様に、他方の切り欠き部４２２の他方端部４２２ｂから外縁に沿って一方の切り欠き部４２１の他方端部４２１ｂに至らない程度まで突条部４２３が設けられている。突条部４２３の上面は、通過孔部材４が本体ブロック３に取り付けられた際に、本体ブロック３の下側面と当接する。なお、鍔部４２は、通過孔部材４を本体ブロック３にねじ固定するためのねじ孔を複数個（例えば４個）有しており、本体ブロック３にねじ固定される。
【００２８】
膜固定部材５は、図８の分解斜視図に示すように、固定部材本体５１と、その固定部材本体５１にＯリング１５を介して隔膜Ｆを取り付けるための膜押さえ板５２とを備えている。
【００２９】
固定部材本体５１は、特に図８、図９、図１０に示すように、本体部５１２と、当該本体部５１２の一方面５１２ｂの外周縁に取り付けられる環状部材５１３と、当該環状部材５１３の上面に取り付けられる２つのロック片５１４を備えている。
【００３０】
本体部５１２は、中心に開口部５１２ａを有する円板形状をなし、一方面５１２ｂの内側には、前記通過孔部材４の係合凹部４１３と係合する係合凸部５１１が設けられている。
【００３１】
係合凸部５１１は環状をなし、その外側周面５１１ａには弾性固定部材であるＯリング６がはめ込まれる凹溝５１１ｂが設けられている。そして、係合凸部５１１の内側周面５１１ｃは、開口部５１２ａの内壁を形成するものであり、前記係合凹部４１３の内側周面４１３ｃと対応するテーパ面である。係合凹部４１３の内側周面４１３ｃ及び係合凸部５１１の内側周面５１１ｃとは、膜固定部材５を通過孔部材４に取り付けるときのスライド案内機構を構成する。
【００３２】
また、本体部５１２の他方面（下面）５１２ｃには、膜押さえ板５２が取り付けられたときに本体部５１２の下面５１２ｃと、膜押さえ板５２の下端面５２ａとがほぼ同一平面上となるように、膜押さえ板５２の厚み程度凹ませた段部５１２１が設けられている（図１１参照）。そして、その段部５１２１には、Ｏリング１５が嵌り込む隔膜Ｆより小径の環状凹溝５１２２が設けられている。
【００３３】
環状部材５１３は、その外側輪郭が本体部５１２の外側輪郭とほぼ一致するものであり、内側の輪郭は円形状である。また、その厚みは、前記鍔部４２とほぼ同じであるか又は若干大きくしている。
【００３４】
ロック片５１４は、後述する取付制限機構７及び外れ防止機構８を構成するものであり、矩形板状をなし、その厚みは、前記突条部４２３の高さと同じにしている。また、ロック片５１４は、環状部材５１３の切り欠き部５１３１に取り付けられる。これにより、環状部材５１３にロック片５１４が取り付けられた状態において、それらの内側輪郭は、前記通過部材の鍔部４２の外径輪郭と相似形かつ、大きさが若干大きいものとなる。
【００３５】
膜押さえ板５２は、本体部５１２に隔膜Ｆを取り付けるためのものであり、その外側輪郭が前記本体部５１２の輪郭とほぼ同一の環状平板である。そして、図示しないねじにより、本体部５１２の段部５１２１に取り付けられる。これにより、本体部５１２に隔膜Ｆを取り付けたときに、膜押さえ板５２の下端面５２ａと、試料室２１に臨む隔膜Ｆとがほぼ同一平面上になる（図１１参照）。
【００３６】
さらに、膜固定部材５が通過孔部材４に取り付け固定されたときに、隔膜ＦがＸ線通過孔４１２の試料側開口（円柱部４１の試料側端面）に接触する（図１２参照）。このように、膜押さえ板５２の下端面５２ａと、試料室２１に臨む隔膜Ｆの面とがほぼ同一平面となるようにしているので、試料Ｗの位置調節を安全且つ容易にすることができる。
【００３７】
弾性固定部材６は、図１１及び図１２に示すように、前記係合凸部５１１の外側周面５１１ａに設けた凹溝５１１ｂに嵌め込まれるＯリングである。そして、通過孔部材４が本体ブロック３にねじにより取り付けられている状態において（図４参照）、その通過孔部材４に膜固定部材５を固定するものである。具体的には、通過孔部材４の下面に設けられた係合凹部４１３と、膜固定部材５の本体部５１２に設けられた係合凸部５１１とが嵌め合わされたときにＯリング６が弾性変形をして、係合凹部４１３の外側周面４１３ｂ及び凹溝５１１ｂの底面に弾性復帰力を働かせる。これにより、通過孔部材４に膜固定部材５が固定される。
【００３８】
このようなものであれば、弾性固定部材であるＯリング６により着脱可能にしているので、ねじ締結のないワンタッチ取り付けが可能となり、膜固定部材５の着脱が極めて容易になる。また、Ｏリング６によりパチンと取り付けられるので、きちんと取り付けられたかの判断を容易に行うことができる。さらに、取り付け後のＯリング６の弾性復帰力により、係合凹部４１３の内側周面４１３ｃと係合凸部５１１の内側周面５１１ｃとが押圧密着するので、膜固定部材５を通過孔部材４に対してガタ付くことなく取り付けることができる。
【００３９】
その上、通過孔部材４に膜固定部材５を一方向、つまり軸方向に近づけるだけで弾性固定部材６が作用して通過孔部材４に膜固定部材５を固定することができる。
【００４０】
しかして本実施形態に係るＸ線分析装置１は、取付制限機構７及び外れ防止機構８を備えている。以下それぞれの機構７、８について、図１２等を参照しながら説明する。
【００４１】
まず、取付制限機構７について説明する。取付制限機構７は、通過孔部材４に膜固定部材５を取り付ける方向を制限するものであり、具体的に通過孔部材４に対する膜固定部材５の相対的な嵌合角度を定めるものである。そして、その構成は、特に図１２に示すように、案内面である通過孔部材４の切り欠き部４２１、４２２の側面４２１ｃ、４２２ｃと、被案内面である膜固定部材５のロック片５１４の内側側面５１４ａとから構成される。そして、切り欠き部４２１、４２２の側面４２１ｃ、４２２ｃと、被案内面である膜固定部材５のロック片５１４の内側側面５１４ａとが向かい合うように嵌め合わせたときのみ、通過孔部材４に膜固定部材５が着脱可能となる。
【００４２】
この取付制限機構７により、膜固定部材５の取り付け回転角度が、１方向又は２方向のみに限られ、膜固定部材５を容易且つ確実に取り付けることができる。
【００４３】
次に、外れ防止機構８について説明する。外れ防止機構８は、膜固定部材５が通過孔部材４から一回の動作によっては、外れないようにするものであり、通過孔部材４又は前記膜固定部材５の一方に設けられた引掛け部８１と、その他方に設けられた受部８２とからなり、前記通過孔部材４に前記膜固定部材５が弾性固定部材６により取り付けられた状態で、軸方向に回転させることにより、前記引掛け部８１が受部８２に引っ掛かることにより、外れを防止するものである。
【００４４】
本実施形態においては、引掛け部８１は、特に図１２に示すように、ロック片５１４の下側面５１４ｂであり、受部８２は、通過孔部材４の鍔部４２の外縁における突条部４２３が設けられていない平面部４２４である。より具体的には、引掛け部８１は、ロック片５１４の下側面５１４ｂと本体部５１２の上面５１２ｂとからなる。
【００４５】
そして、図１４に示すように、膜固定部材５を通過孔部材４に取り付けた状態において、膜固定部材５を軸方向に回転させることにより、引掛け部８１であるロック片５１４の下側面５１４ｂと本体部５１２の上面５１２ｂとの間に、受部８２である平面部４２４が入るようにしている。また、所定角度以上回転させると、突条部４２３の端部４２３１がロック片５１４の内側面５１４ｃに当たりそれ以上回転しないようにしている。
【００４６】
この外れ防止機構８により、膜固定部材５が勝手に外れることを防止することができる。また、平面部４２４をロック片５１４の下側面５１４ｂと本体部５１２の上面５１２ｂとの間に入れているので、膜固定部材５をよりしっかりと固定することができる。
【００４７】
このように構成した本実施形態に係るＸ線分析装置１によれば、通過孔部材４と膜固定部材５とを分離して通過孔部材４を本体ブロック３に固定したままで隔膜Ｆを交換することができる。したがって、隔膜Ｆの交換時に通過孔部材４がＸ線検出器１４に当たる心配が少ないので、Ｘ線検出器１４が破損することが少ない。また、通過孔部材４と膜固定部材５とを弾性固定部材６により着脱可能に構成しているので、ねじを使わずに極めて簡単に隔膜Ｆを固定することができる。
【００４８】
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
【００４９】
前記実施形態おいては、試料Ｗに一次Ｘ線を照射したときに試料において生ずる二次Ｘ線として蛍光Ｘ線のみを検出するようにしていたが、これに加えて散乱Ｘ線を検出するためのＸ線検出器を設けてもよい。
【００５０】
また、ＸＧＴに代えてコリメータを用いてもよい。
【００５１】
さらに、前記実施形態では通過孔部材に係合凹部、膜保持部材に係合凸部を設けているが、逆であっても良い。
【００５２】
その上、外れ防止機構に関して言うと、前記実施形態では通過孔部材に受部、膜固定部材に引掛かり部を設けているが、逆であっても良い。
【００５３】
また、取付制限機構又は外れ防止機構を備えないものであっても良い。
【００５４】
その他、前述した実施形態や変形実施形態の一部又は全部を適宜組み合わせてよいし、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の一実施形態におけるＸ線分析装置の模式構成図。
【図２】同実施形態におけるＸ線分析装置の試料室を主として示す断面図。
【図３】同実施形態における本体ブロックを示す斜視図。
【図４】同実施形態における本体ブロックに通過孔部材が取り付けられた状態を示す斜視図。
【図５】同実施形態における通過孔部材の斜視図。
【図６】同実施形態における通過孔部材の平面図。
【図７】同実施形態における通過孔部材のＡ−Ａ線断面図。
【図８】同実施形態における膜固定部材の分解斜視図。
【図９】同実施形態における膜固定部材の斜視図。
【図１０】同実施形態における膜固定部材の平面図。
【図１１】同実施形態における膜固定部材のＢ−Ｂ線断面図。
【図１２】同実施形態における通過孔部材に膜固定部材が取り付けられた状態を示す断面図。
【図１３】同実施形態における外れ防止機構が作用している場合を示す斜視図。
【符号の説明】
【００５６】
１      ・・・Ｘ線分析装置
Ｗ      ・・・試料
ａ      ・・・一次Ｘ線
ｂ      ・・・二次Ｘ線
Ｆ      ・・・隔膜
２１    ・・・試料室
３      ・・・本体ブロック
３１    ・・・Ｘ線照射室
４      ・・・通過孔部材
４１２  ・・・Ｘ線通過孔
４１３  ・・・係合凹部
Ａ      ・・・空気孔
５      ・・・膜固定部材
５１１  ・・・係合凸部
６      ・・・弾性固定部材（Ｏリング）
７      ・・・取付制限機構
８      ・・・外れ防止機構
９      ・・・Ｘ線管
１０    ・・・Ｘ線導管（ＸＧＴ）
１１    ・・・Ｘ線検出器
【図１】
2008058055.tif 000003
【図２】
2008058055.tif 000004
【図３】
2008058055.tif 000005
【図４】
2008058055.tif 000006
【図５】
2008058055.tif 000007
【図６】
2008058055.tif 000008
【図７】
2008058055.tif 000009
【図８】
2008058055.tif 000010
【図９】
2008058055.tif 000011
【図１０】
2008058055.tif 000012
【図１１】
2008058055.tif 000013
【図１２】
2008058055.tif 000014
【図１３】
2008058055.tif 000015