(57)【要約】【課題】構造がより簡単なピッチ変換装置を提供する。【解決手段】モータ430が回転すると、当該回転運動が直線運動に変換されて、ウェハ保持部310gが右方向に移動する。当該移動に伴い、リンク部材321C及び321Jに連結されたウェハ保持部310h〜310jと、リンク部材321D及び322Xに連結されたウェハ保持部310j〜310lとが、間隔を広げつつ、上方に移動する。このとき、隣接するウェハ保持部310と両者を連結する２本のリンク部材が平行リンク機構を構成しており、各平行リンク機構の対応するリンクの長さも等しいので、各ウェハ保持部310g〜310mは常に平行に保たれ、ウェハ保持部310g〜310mの間隔も、常に等間隔に維持される。更に、リンク部材321I、321J、322W及び322Xがパンタグラフ機構を構成していることから、リンク部材321I及び321Jとウェハ保持部310gとの連結部分の動きが、２倍に拡大されて、リンク部材322Wとウェハ保持部310aとの連結部分に現れる。【選択図】図４
2008205052.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状体の並びのピッチを変換するピッチ変換装置であって、
それぞれ前記板状体を保持可能であり、等間隔に配置される固定保持部、原動保持部及び従動保持部を備え、
前記原動保持部は、ピッチ変換方向に直線駆動され、
前記従動保持部は、前記固定保持部と前記原動保持部との間に配置され、前記固定保持部及び前記原動保持部の少なくとも一方に、一対の平行なリンク部材によって連結されて、平行リンク機構を構成する
ことを特徴とするピッチ変換装置。
【請求項２】
前記固定保持部と前記従動保持部とを連結する第一のリンク部材と、前記原動保持部と前記従動保持部とを連結する第二のリンク部材とを備え、
前記第一のリンク部材と前記第二のリンク部材とは、同一の長さを有する
ことを特徴とする請求項１に記載のピッチ変換装置。
【請求項３】
前記第一のリンク部材の端部及び前記第二のリンク部材の端部が、同一の従動保持部に連結されている
ことを特徴とする請求項２に記載のピッチ変換装置。
【請求項４】
前記固定保持部と前記第一のリンク部材との連結位置と、前記原動保持部と前記第二のリンク部材との連結位置とは、前記ピッチ変換方向の同一直線上に存在する
ことを特徴とする請求項２又は３に記載のピッチ変換装置。
【請求項５】
板状体の並びのピッチを変換するピッチ変換装置であって、
それぞれ前記板状体を保持可能であり、等間隔に配置される固定保持部、原動保持部及び従動保持部を備え、
前記原動保持部は、ピッチ変換方向に直線駆動され、
前記従動保持部は、前記固定保持部と前記原動保持部との間、及び、前記原動保持部の外側に配置され、
前記固定保持部と前記原動保持部との間に配置された従動保持部は、前記固定保持部及び前記原動保持部の少なくとも一方に、一対の平行なリンク部材によって連結されて、平行リンク機構を構成し、
前記原動保持部の外側に配置された従動保持部は、前記原動保持部及び一番外側の従動保持部の少なくとも一方に、一対の平行なリンク部材によって連結されて、平行リンク機構を構成し、
前記固定保持部と、前記原動保持部と、前記一番外側の従動保持部とが、パンタグラフ機構によって連結されている
ことを特徴とするピッチ変換装置。
【請求項６】
前記固定保持部と、前記固定保持部側に配置された従動保持部とを連結する第一のリンク部材と、前記原動保持部と、前記固定保持部側に配置された従動保持部とを連結する第二のリンク部材と、前記原動保持部と、前記原動保持部の外側に配置された従動保持部とを連結する第三のリンク部材と、前記一番外側の従動保持部と、前記原動保持部の外側に配置された従動保持部とを連結する第四のリンク部材とを備え、
前記第一のリンク部材と前記第二のリンク部材と前記第三のリンク部材と前記第四のリンク部材とは、同一の長さを有する
ことを特徴とする請求項５に記載のピッチ変換装置。
【請求項７】
前記第一のリンク部材の端部及び前記第二のリンク部材の端部が、前記固定保持部と前記原動保持部との間に配置された同一の従動保持部に連結され、前記第三のリンク部材の端部及び前記第四のリンク部材の端部が、前記原動保持部の外側に配置された同一の従動保持部に連結されている
ことを特徴とする請求項６に記載のピッチ変換装置。
【請求項８】
前記固定保持部と前記第一のリンク部材との連結位置と、前記原動保持部と前記第二のリンク部材との連結位置と、前記原動保持部と前記第三のリンク部材との連結位置と、前記一番外側の従動保持部と前記第四のリンク部材との連結位置とは、前記ピッチ変換方向の同一直線上に存在する
ことを特徴とする請求項６又は７に記載のピッチ変換装置。
【請求項９】
前記パンタグラフ機構は、前記一対の平行なリンク部材の一部を構成する
ことを特徴とする請求項５〜８のいずれか一項に記載のピッチ変換装置。
【請求項１０】
前記パンタグラフ機構は、
一端が連結された第一の長リンク部材及び第二の長リンク部材と、
一端が連結された第一の短リンク部材及び第二の短リンク部材と
によって構成され、
前記第一の長リンク部材は、前記固定保持部に他端が連結され、
前記第二の長リンク部材は、前記一番外側の従動保持部に他端が連結され、
前記第一の短リンク部材は、前記一端が前記原動保持部に連結され、他端が前記第一の長リンク部材に連結され、
前記第二の短リンク部材は、前記一端が前記原動保持部に連結され、他端が前記第二の長リンク部材に連結されている
ことを特徴とする請求項５〜９のいずれか一項に記載のピッチ変換装置。
【請求項１１】
前記従動保持部は、前記原動保持部の前記ピッチ変換方向への移動に伴い、当該ピッチ変換方向に移動するとともに、当該ピッチ変換方向とは垂直な方向にも移動する
ことを特徴とする請求項１〜１０のいずれか一項に記載のピッチ変換装置。
【請求項１２】
前記原動保持部及び前記従動保持部は、前記固定保持部の両側に、左右対称に配置されている
ことを特徴とする請求項１〜１１のいずれか一項に記載のピッチ変換装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェハ等の板状体の並びのピッチを変換するピッチ変換装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェハ（例えば、シリコンウェハ。以下、単にウェハという）の製造過程等においては、様々な目的でウェハに対して熱処理が行われているが、当該熱処理を行う熱処理装置にウェハを搬入する際、ウェハカセットに収納されたウェハを、石英ボートに移し替えることが必要になる。
【０００３】
ウェハカセット（以下、単にカセットという）は、各製造工程間でウェハを搬送する際等に利用される容器であって、複数（例えば、２５枚）のウェハを収納することができるものであり、複数のウェハは、カセットの両側板の内側面に、所定ピッチ（例えば、３／１６インチ間隔）で形成された複数の収納溝に挿入されて保持される。
【０００４】
一方、熱処理装置へウェハを搬入する際等に利用される石英ボートは、複数カセット分（例えば、１００枚〜２００枚）のウェハを保持することが可能な治具であって、ウェハを挿入するための収納溝が多数形成されたものである。
【０００５】
ところで、石英ボートの収納溝のピッチには様々なものがあり、必ずしもカセットの収納溝のピッチとは一致していない。そのため、カセットから石英ボートにウェハを移し替える際等に、複数のウェハを一括して移し替えようとすると、ウェハの並びのピッチを変換する必要性が生じることになる。
【０００６】
例えば、特開平２−２８９４９号公報には、ピッチ変換を実行可能なウェハ押し上げ機を備えたウェハピッチ変換装置が開示されている。当該装置においては、ウェハを下方より押し上げるウェハ押し上げ機のテーブルに、ウェハの下端部を支持するウェハスタンドが複数設けられており、各ウェハスタンドは、ガイドシャフトに沿って移動可能な複数の移動片のそれぞれに固着されている。
【０００７】
上記公報記載のウェハピッチ変換装置では、各移動片をガイドシャフトに沿ってなめらかに移動させるため、各移動片にスライドボールベアリングを取り付けているが、当該スライドボールベアリングの長さが、移動片の厚さより長く、単一のガイドシャフトでは、ウェハの一般的な最小ピッチを実現することができないことから、上下それぞれ４本のガイドシャフトを使用して、隣接する４枚の移動片においては１枚ごとに異なるガイドシャフトを使用するようにしている。すなわち、上記公報記載のウェハピッチ変換装置では、多数のガイドシャフトが必要となり、その構造が複雑となってしまう。
【特許文献１】特開平２−２８９４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の目的は、構造がより簡単なピッチ変換装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る第一のピッチ変換装置は、板状体の並びのピッチを変換するピッチ変換装置であって、それぞれ前記板状体を保持可能であり、等間隔に配置される固定保持部、原動保持部及び従動保持部を備え、前記原動保持部は、ピッチ変換方向（各保持部の並び方向）に直線駆動され、前記従動保持部は、前記固定保持部と前記原動保持部との間に（例えば、複数個）配置され、前記固定保持部及び前記原動保持部の少なくとも一方に、一対の平行なリンク部材によって連結されて、平行リンク機構を構成することを特徴とする。
【００１０】
この場合において、前記固定保持部と前記従動保持部とを連結する第一のリンク部材と、前記原動保持部と前記従動保持部とを連結する第二のリンク部材とを備え、前記第一のリンク部材と前記第二のリンク部材とは、同一の長さを有するようにしてもよい。更に、前記第一のリンク部材の端部及び前記第二のリンク部材の端部が、同一の従動保持部に連結されているようにしてもよい。また、前記固定保持部と前記第一のリンク部材との連結位置と、前記原動保持部と前記第二のリンク部材との連結位置とは、前記ピッチ変換方向の同一直線上に存在するようにしてもよい。
【００１１】
本発明に係る第二のピッチ変換装置は、板状体の並びのピッチを変換するピッチ変換装置であって、それぞれ前記板状体を保持可能であり、等間隔に配置される固定保持部、原動保持部及び従動保持部を備え、前記原動保持部は、ピッチ変換方向（各保持部の並び方向）に直線駆動され、前記従動保持部は、前記固定保持部と前記原動保持部との間、及び、前記原動保持部の外側に（例えば、それぞれ複数個）配置され、前記固定保持部と前記原動保持部との間に配置された従動保持部は、前記固定保持部及び前記原動保持部の少なくとも一方に、一対の平行なリンク部材によって連結されて、平行リンク機構を構成し、前記原動保持部の外側に配置された従動保持部は、前記原動保持部及び一番外側の従動保持部の少なくとも一方に、一対の平行なリンク部材によって連結されて、平行リンク機構を構成し、前記固定保持部と、前記原動保持部と、前記一番外側の従動保持部とが、パンタグラフ機構によって連結されていることを特徴とする。
【００１２】
この場合において、前記固定保持部と、前記固定保持部側に配置された従動保持部とを連結する第一のリンク部材と、前記原動保持部と、前記固定保持部側に配置された従動保持部とを連結する第二のリンク部材と、前記原動保持部と、前記原動保持部の外側に配置された従動保持部とを連結する第三のリンク部材と、前記一番外側の従動保持部と、前記原動保持部の外側に配置された従動保持部とを連結する第四のリンク部材とを備え、前記第一のリンク部材と前記第二のリンク部材と前記第三のリンク部材と前記第四のリンク部材とは、同一の長さを有するようにしてもよい。更に、前記第一のリンク部材の端部及び前記第二のリンク部材の端部が、前記固定保持部と前記原動保持部との間に配置された同一の従動保持部に連結され、前記第三のリンク部材の端部及び前記第四のリンク部材の端部が、前記原動保持部の外側に配置された同一の従動保持部に連結されているようにしてもよい。また、前記固定保持部と前記第一のリンク部材との連結位置と、前記原動保持部と前記第二のリンク部材との連結位置と、前記原動保持部と前記第三のリンク部材との連結位置と、前記一番外側の従動保持部と前記第四のリンク部材との連結位置とは、前記ピッチ変換方向の同一直線上に存在するようにしてもよい。
【００１３】
また、前記パンタグラフ機構は、前記一対の平行なリンク部材の一部を構成するようにしてもよい。また、前記パンタグラフ機構は、一端が連結された第一の長リンク部材及び第二の長リンク部材と、一端が連結された第一の短リンク部材及び第二の短リンク部材とによって構成され、前記第一の長リンク部材は、前記固定保持部に他端が連結され、前記第二の長リンク部材は、前記一番外側の従動保持部に他端が連結され、前記第一の短リンク部材は、前記一端が前記原動保持部に連結され、他端が前記第一の長リンク部材に連結され、前記第二の短リンク部材は、前記一端が前記原動保持部に連結され、他端が前記第二の長リンク部材に連結されているようにしてもよい。
【００１４】
以上の場合において、前記従動保持部は、前記原動保持部の前記ピッチ変換方向への移動に伴い、当該ピッチ変換方向に移動するとともに、当該ピッチ変換方向とは垂直な方向にも移動するようにしてもよい。また、前記原動保持部及び前記従動保持部を、前記固定保持部の両側に、左右対称に配置するようにしてもよい。
【００１５】
また、前記原動保持部を、前記ピッチ変換方向に直線駆動する駆動機構を更に備えるようにしてもよい。また、前記原動保持部の動きを、前記ピッチ変換方向に制限する案内機構を更に備えるようにしてもよい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、構造がより簡単なピッチ変換装置を提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。
【００１８】
図１及び図２は、本発明が適用されるウェハ移載装置の構成を示す図である。図１は正面図を示し、図２は、図１のＡ−Ａ断面図を示す。
【００１９】
本ウェハ移載装置は、カセットに収納されたウェハを一括して、ボートに移し替える装置であって、移し替えの途中にウェハの並びのピッチを変換するピッチ変換装置として機能するものである。なお、本ウェハ移載装置は、ボートからカセットへのウェハの一括移し替えにも利用できるものであるが、以下では、簡単のため、カセットからボートへウェハを移し替える場合についてのみ説明する。
【００２０】
図１及び図２に示すように、ウェハ移載装置１００は、カセット載置部１１０と、ボート載置部１２０と、移載部１３０とを備える。
【００２１】
カセット載置部１１０は、複数枚（本実施形態では最大２５枚）のウェハを収納したカセットが載置される部分であり、カセット載置部１１０には、複数（本実施形態では最大８個）のカセットを載置することができる。図２に示すように、カセット載置部１１０の下方には、ピッチ変換部１１１が配置されている。ピッチ変換部１１１は、カセット載置部１１０に載置される各カセット毎に用意されており、ウェハ移載装置１００は、全部で８個のピッチ変換部１１１を備えている。各ピッチ変換部１１１は、上下動可能に構成されており、カセット載置部１１０に載置されたカセットの背面の開口から、カセット内部に入り込み、カセットに収納されているウェハの下側の周縁部を支持して、ウェハを押し上げることによって、カセットから取り出し、移載部１３０との間でウェハの受け渡しを行うものである。更に、ピッチ変換部１１１は、移載部１３０にウェハを引き渡す前に、保持しているウェハのピッチ変換を行う。ピッチ変換部１１１の詳細については後述する。
【００２２】
ボート載置部１２０は、カセット載置部１１０に載置されたカセットからウェハが移し替えられる空のボートが載置される部分である。本実施形態では、最大２００枚（＝２５×８）のウェハを保持することが可能なボートがボート載置部１２０に載置される。図２に示すように、ボート載置部１２０は、ウェハ受渡部１２１を備えている。ウェハ受渡部１２１は、移載部１３０からウェハを受け取って、ボート載置部１２０に載置されたボートに引き渡すものであり、ウェハの下端部を支持するための収納溝が、その先端部分に多数形成されている。ウェハ受渡部１２１の収納溝は、ボート載置部１２０に載置されるボートの収納溝と位置が一致するように、同じ数のものが同じピッチで形成される。ウェハ受渡部１２１は、ボート載置部１２０に対して上下動可能に構成されており、移載部１３０からウェハを受け取る際に、上昇することで、ウェハの下端部を収納溝に収容して支持する。なお、ボート載置部１２０自体も上下動可能に構成されており、移載部１３０からウェハを受け取る際は、まず、ボート載置部１２０が、移載部１３０の下端部近くまで上昇し、そこから更に、ウェハ受渡部１２１が上昇することで、移載部１３０からウェハを受け取る。
【００２３】
移載部１３０は、ピッチ変換部１１１によってカセットから取り出されたウェハを受け取って、ボート載置部１２０に載置されたボート（より具体的には、ウェハ受渡部１２１）にウェハを引き渡すためのものであって、ウェハを把持するための複数（本実施形態では、８個）のハンド部１３１と、ハンド部１３１を移動させるためのハンド移動部１３２とを備える。
【００２４】
ハンド部１３１は、複数枚（本実施形態では２５枚）のウェハを把持することが可能なものであって、各カセット毎に設けられている。ハンド部１３１は、それぞれ、図１の左右方向に移動可能に構成されており、ピッチ変換部１１１から受け取ったウェハを、ボートに引き渡す際に、保持しているウェハの位置がボートの対応する収納溝の位置にあうように、左右方向に移動する。また、図２に示すように、各ハンド部１３１は、前後一対の挟持板１３３ａ，１３３ｂによって構成されており、当該一対の挟持板１３３ａ，１３３ｂの下端部には、爪部１３４が装着されている。当該爪部１３４の内側には、ウェハの周縁部を収容し、周縁部と当接することでウェハを挟持する溝１３５が複数（本実施形態では２５本）形成されている。更に、前側の挟持板１３３ａは、一対のロッド１３６を介して、前後動可能に構成されており、前側の挟持板１３３ａを前後方向（図２における上下方向）に移動させることにより、ウェハの挟持及び解放を行うことが可能となる。
【００２５】
ハンド移動部１３２は、ハンド部１３１を移動させるためのものであって、水平方向に伸びる水平部１３７と、当該水平部１３７をその両端で支持する脚部１３８とによって構成される。ハンド移動部１３２は、各ハンド部１３１を、水平部１３７に沿って左右方向（Ｘ軸方向）に移動させるとともに、水平部１３７、すなわち、全ハンド部１３１を、前後方向（Ｙ軸方向）に移動させることができる。ハンド移動部１３２の動きの詳細については後述する。
【００２６】
また、図１に示すように、ウェハ移載装置１００は、表示装置及び入力装置として、タッチパネル付き液晶ディスプレイ１４０を備える。タッチパネル付き液晶ディスプレイ１４０は、ウェハ移載装置１００の操作に必要な各種メニューや装置の状態を表示すると共に、オペレータの指示を入力するためのものである。更に、同図には示していないが、ウェハ移載装置１００は、各部の動作を制御するための制御部（例えば、コンピュータ）や、各部の動作に必要な電力を供給する電源部等を備えている。
【００２７】
次に、ピッチ変換部１１１の詳細について説明する。
【００２８】
図３〜図６は、ピッチ変換部１１１の構造を示す図である。図３は、ピッチ変換部１１１の斜視図であり、図４は、ピッチ変換部１１１の正面図であり、図５は、ピッチ変換部１１１の側面図であり、図６は、図４のＢ−Ｂ断面図である。
【００２９】
図３に示すように、ピッチ変換部１１１は、複数のウェハ保持部３１０と、各ウェハ保持部３１０を連結する連結部３２０とを備える。本実施形態では、ウェハ保持部３１０の個数は、各カセットが収納可能なウェハの最大枚数と同じ２５個である。なお、以下では、各ウェハ保持部３１０を区別して参照する場合は、図４に示したアルファベットａ〜ｙを末尾に付して（すなわち、３１０ａ〜３１０ｙとして）参照する。また、後述するリンク部材３２１，３２２等についても、必要に応じて、同図に示したアルファベットを末尾に付して参照する。
【００３０】
複数のウェハ保持部３１０は、互いに平行に等間隔に配置されて、複数のウェハＷを保持するものであって、その間隔を変更することによって、保持しているウェハＷのピッチを変換するものである。
【００３１】
複数のウェハ保持部３１０は、機能的に、固定保持部と原動保持部と従動保持部とに分けられる。固定保持部は、ピッチ変換部１１１のベース部（後述）に固定されるものであって、本実施形態では、中央に配置されたウェハ保持部３１０ｍが該当する。原動保持部は、固定保持部に対して、ピッチ変換方向（図４の左右方向）に直線駆動されるものであって、本実施形態では、ウェハ保持部３１０ｍの両側に配置されたウェハ保持部３１０ｇ、３１０ｓが該当する。従動保持部は、固定保持部と原動保持部との間や原動保持部の外側に配置されて、原動保持部のピッチ変換方向の移動に伴って移動するものであって、本実施形態では、ウェハ保持部３１０ａ〜３１０ｆ、３１０ｈ〜３１０ｌ、３１０ｎ〜３１０ｒ、３１０ｔ〜３１０ｙが該当する。
【００３２】
つまり、ピッチ変換部１１１では、その中央に、固定保持部３１０ｍが配置され、その両側に、原動保持部３１０ｇ，３１０ｓが配置され、固定保持部３１０ｍと各原動保持部３１０ｇ，３１０ｓとの間に、５枚の従動保持部３１０ｈ〜３１０ｌ，３１０ｎ〜３１０ｒが配置され、各原動保持部３１０ｇ，３１０ｓの外側に、６枚の従動保持部３１０ａ〜３１０ｆ，３１０ｔ〜３１０ｙが配置されていることになる。
【００３３】
連結部３２０は、各ウェハ保持部３１０を連結するものであって、複数のリンク部材によって構成される。より具体的には、図４に示すように、片側（同図に示した面）あたり、１２本の短リンク部材３２１（３２１Ａ〜３２１Ｌ）と、４本の長リンク部材３２２（３２２Ｗ〜３２２Ｚ）とによって構成される。なお、同図に示した面と反対側の面にも、同様に構成された連結部３２０が設けられているので、ピッチ変換部１１１全体では、２４本の短リンク部材３２１と、８本の長リンク部材３２２が使われていることになる。各リンク部材３２１，３２２は、各ウェハ保持部３１０に、ヒンジピン９０１によって回転可能に連結される。
【００３４】
図４に示すように、ピッチ変換部１１１では、短リンク部材３２１Ａと、ウェハ保持部３１０ａ〜３１０ｄのそれぞれが連結され、短リンク部材３２１Ｂと、ウェハ保持部３１０ｄ〜３１０ｇのそれぞれが連結されている。短リンク部材３２１Ａと３２１Ｂとは、端部で、同一のウェハ保持部３２０ｄと連結されている。同様に、短リンク部材３２１Ｃと、ウェハ保持部３１０ｇ〜３１０ｊのそれぞれが連結され、短リンク部材３２１Ｄと、ウェハ保持部３１０ｊ〜３１０ｍのそれぞれが連結されている。短リンク部材３２１Ｂと３２１Ｃとは、端部で、同一のウェハ保持部３１０ｇと連結されている。また、短リンク部材３２１Ｃと３２１Ｄとは、端部で、同一のウェハ保持部３１０ｊと連結されている。
【００３５】
そして、短リンク部材３２１Ａとウェハ保持部３１０ａとの連結位置と、短リンク部材３２１Ｂ及び３２１Ｃとウェハ保持部３１０ｇとの連結位置と、短リンク部材３２１Ｄとウェハ保持部３１０ｍとの連結位置とが、ピッチ変換方向の同一直線上に並んでいる。同様に、短リンク部材３２１Ａとウェハ保持部３１０ｂとの連結位置と、短リンク部材３２１Ｂとウェハ保持部３１０ｆとの連結位置と、短リンク部材３２１Ｃとウェハ保持部３１０ｈとの連結位置と、短リンク部材３２１Ｄとウェハ保持部３１０ｌとの連結位置とが、ピッチ変換方向の同一直線上に並び、短リンク部材３２１Ａとウェハ保持部３１０ｃとの連結位置と、短リンク部材３２１Ｂとウェハ保持部３１０ｅとの連結位置と、短リンク部材３２１Ｃとウェハ保持部３１０ｉとの連結位置と、短リンク部材３２１Ｄとウェハ保持部３１０ｋとの連結位置とが、ピッチ変換方向の同一直線上に並び、短リンク部材３２１Ａ及び３２１Ｂとウェハ保持部３１０ｄとの連結位置と、短リンク部材３２１Ｃ及び３２１Ｄとウェハ保持部３１０ｊとの連結位置とが、ピッチ変換方向の同一直線上に並んでいる。
【００３６】
また、長リンク部材３２２Ｗと、ウェハ保持部３１０ａ〜３１０ｄのそれぞれが連結され、短リンク部材３２１Ｉと、ウェハ保持部３１０ｄ〜３１０ｇのそれぞれが連結されている。長リンク部材３２２Ｗと短リンク部材３２１Ｉとは、長リンク部材３２２Ｗの中央部と短リンク部材３２１Ｉの端部とが連結され、更に、両者は、当該連結位置で、ウェハ保持部３１０ｄとも連結されている。また、長リンク部材３２２Ｗは、端部において、長リンク部材３２２Ｘの端部とも連結されている。なお、長リンク部材３２２Ｗと３２２Ｘとの連結部分の内側には、ウェハ保持部３１０が存在しないため、長リンク部材３２２Ｗと３２２Ｘとを連結するためのヒンジピン９０１を固定するための円柱状部材３１５（図５参照）が設けられている。また、短リンク部材３２１Ｊと、ウェハ保持部３１０ｇ〜３１０ｊのそれぞれが連結され、長リンク部材３２２Ｘと、ウェハ保持部３１０ｊ〜３１０ｍのそれぞれが連結されている。短リンク部材３２１Ｊと長リンク部材３２２Ｘとは、長リンク部材３２２Ｘの中央部と短リンク部材３２１Ｊの端部とが連結され、更に、両者は、当該連結位置で、ウェハ保持部３１０ｊとも連結されている。また、短リンク部材３２１Ｉと３２１Ｊとは、端部で、同一のウェハ保持部３１０ｇと連結されている。
【００３７】
そして、長リンク部材３２２Ｗとウェハ保持部３１０ａとの連結位置と、短リンク部材３２１Ｉ及び３２１Ｊとウェハ保持部３１０ｇとの連結位置と、長リンク部材３２２Ｘとウェハ保持部３１０ｍとの連結位置とが、ピッチ変換方向の同一直線上に並んでいる。同様に、長リンク部材３２２Ｗとウェハ保持部３１０ｂとの連結位置と、短リンク部材３２１Ｉとウェハ保持部３１０ｆとの連結位置と、短リンク部材３２１Ｊとウェハ保持部３１０ｈとの連結位置と、長リンク部材３２２Ｘとウェハ保持部３１０ｌとの連結位置とが、ピッチ変換方向の同一直線上に並び、長リンク部材３２２Ｗとウェハ保持部３１０ｃとの連結位置と、短リンク部材３２１Ｉとウェハ保持部３１０ｅとの連結位置と、短リンク部材３２１Ｊとウェハ保持部３１０ｉとの連結位置と、長リンク部材３２２Ｘとウェハ保持部３１０ｋとの連結位置とが、ピッチ変換方向の同一直線上に並び、長リンク部材３２２Ｗ及び短リンク部材３２１Ｉとウェハ保持部３１０ｄとの連結位置と、短リンク部材３２１Ｊ及び長リンク部材３２２Ｘとウェハ保持部３１０ｊとの連結位置とが、ピッチ変換方向の同一直線上に並んでいる。また、短リンク部材３２１Ｂ及び３２１Ｃの連結位置と、短リンク部材３２１Ｉ及び３２１Ｊの連結位置と、長リンク部材３２２Ｗ及び３２２Ｘの連結位置とが、ピッチ変換方向と直交する同一直線上に並んでいる。
【００３８】
つまり、図４に示すように、従動保持部であるウェハ保持部３１０ｂ〜３１０ｄは、一番外側の従動保持部であるウェハ保持部３１０ａと、一対の平行なリンク部材３２１Ａ及び３２２Ｗによって連結されており、従動保持部であるウェハ保持部３１０ｄ〜３１０ｆは、原動保持部であるウェハ保持部３１０ｇと、一対の平行なリンク部材３２１Ｂ及び３２１Ｉによって連結されている。
【００３９】
また、従動保持部であるウェハ保持部３１０ｈ〜３１０ｊは、原動保持部であるウェハ保持部３１０ｇと、一対の平行なリンク部材３２１Ｃ及び３２２Ｊによって連結されており、従動保持部であるウェハ保持部３１０ｊ〜３１０ｌは、固定保持部であるウェハ保持部３１０ｍと、一対の平行なリンク部材３２１Ｄ及び３２２Ｘによって連結されている。
【００４０】
更に、図４に示すように、互いに平行な短リンク部材３２１Ｉ及び長リンク部材３２２Ｘと、互いに平行な短リンク部材３２１Ｊ及び長リンク部材３２２Ｗとによってパンタグラフ機構が構成されており、当該パンタグラフ機構によって、固定保持部であるウェハ保持部３１０ｍと、原動保持部であるウェハ保持部３１０ｇと、一番外側の従動保持部であるウェハ保持部３１０ａとが連結されている。
【００４１】
なお、図４に示すように、短リンク部材３２１Ｅ〜３２１Ｈ，３２１Ｋ，３２１Ｌ及び長リンク部材３２２Ｙ，３２２Ｚ並びにウェハ保持部３１０ｍ〜３１０ｙについても、前述した短リンク部材３２１Ａ〜３２１Ｄ，３２１Ｉ，３２１Ｊ及び長リンク部材３２２Ｗ，３２２Ｘ並びにウェハ保持部３１０ａ〜３１０ｍと同様にして連結されている。
【００４２】
図４に示すように、ピッチ変換部１１１は、更に、ベース部４１０と、シャフトホルダ４２０と、減速機付きステッピングモータ４３０と、フォトセンサ４４０とを備える。
【００４３】
ベース部４１０は、ピッチ変換部１１１のベースとなる部材であって、中央のウェハ保持部３１０ｍ（固定保持部）と、シャフトホルダ４２０と、減速機付きステッピングモータ４３０と、フォトセンサ４４０とが取り付けられるものである。
【００４４】
シャフトホルダ４２０は、ピッチ変換部１１１を上下動させるためのシャフトを取り付けるための部材である。減速機付きステッピングモータ４３０は、ピッチ変換を行うための動力を供給するものである。フォトセンサ４４０は、ピッチ変換部１１１の原点位置を検出するものであって、ラックホルダ（後述）に形成された突出片の位置を検出することで、ピッチ変換部１１１の原点位置を検出する。
【００４５】
図５に示すように、ピッチ変換部１１１は、更に、ラックホルダ５１１，５１２と、ラック５２１，５２２と、リニアガイド５３１，５３２とを備える。
【００４６】
ラックホルダ５１１，５１２は、ベース部４１０の長手方向に沿うように、ベース部４１０の両側に配置される部材であって、その内側にラック５２１，５２２が固定されるものである。また、ラックホルダ５１１，５１２の内側には、リニアガイド５３１，５３２のレールが、ラック５２１，５２２と平行に固定される。ラックホルダ５１１及び５１２はそれぞれ、ウェハ保持部３１０ｇ及びウェハ保持部３１０ｓに接続されて、ウェハ保持部３１０ｇ及びウェハ保持部３１０ｓをピッチ変換方向に直線駆動するものである。
【００４７】
リニアガイド５３１，５３２は、ラックホルダ５１１，５１２の動きを案内するものであって、ラックホルダ５１１，５１２の動きをピッチ変換方向の直線運動に制限するものである。前述したように、リニアガイド５３１，５３２のレールが、ラックホルダ５１１，５１２に固定され、リニアガイド５３１，５３２のスライダ（キャリッジ）が、ベース部４１０に立設されたガイドホルダ４１２に固定される。
【００４８】
図６に示すように、ピッチ変換部１１１は、更に、ギア６０１〜６０３を備える。
【００４９】
ギア６０１は、減速機付きステッピングモータ４３０の回転軸（出力シャフト）に固着される平歯車である。また、ギア６０２，６０３は、ベース部４１０に設けられた回転軸にベアリング介して装着される平歯車である。ギア６０１は、ギア６０２及び６０３とそれぞれかみ合い、ギア６０２及び６０３は、更にそれぞれ、ラックホルダ５１１及び５１２に固定されたラック５２１及び５２２とかみ合っている。すなわち、減速機付きステッピングモータ４３０を回転させることにより、ギア６０１〜６０３を介して、ラックホルダ５１１，５１２がピッチ変換方向に直線駆動される。例えば、減速機付きステッピングモータ４３０を一方方向に回転させると、２つのラックホルダ５１１，５１２は、ともに外向き（互いに離れる方向）に直線駆動され、減速機付きステッピングモータ４３０を逆方向に回転させると、２つのラックホルダは、ともに内向き（互いに近づく方向）に直線駆動される。
【００５０】
なお、ギア６０２及び６０３の歯幅は、ギア６０１の歯幅の半分よりやや狭くなるように形成されており、ギア６０２とギア６０３とは、それぞれ異なる位置（高さ）で、ギア６０１とかみ合っている。すなわち、ギア６０２は、ギア６０１の下半分とかみ合い、ギア６０３は、ギア６０１の上半分とかみ合う。ギア６０２及び６０３とかみ合うラック５２１及び５２２は、それぞれ、かみ合うギアの高さに合わせて、歯の位置が上下方向にずれるように、ラックホルダ５１１及び５１２に固定される。
【００５１】
次に、ピッチ変換部１１１を構成する各構成要素の詳細について説明する。
【００５２】
まず、ウェハ保持部３１０の詳細について説明する。
【００５３】
図５に示すように、ウェハ保持部３１０は、チャック３１１と、本体部３１２とによって構成されている。チャック３１１は、ウェハＷの周縁部を支持することでウェハを保持する部材であり、例えば、ポリエーテル・エーテル・ケトン樹脂で構成される。図５に示すように、チャック３１１は、その両端部分に、ウェハＷの下側周縁部を支持する支持部３１３を有している。各支持部３１３の先端部分は、内側に向かってやや高さが低くなる（傾斜する）ように形成されており、図４に示すように、その上面には、ウェハの周縁部を収容する溝３１４が形成されている。当該溝３１４は、入口付近がやや幅広で、奥にいくに従って先細になるよう形成されている。
【００５４】
本体部３１２は、チャック３１１が固定される板状の部材である。各ウェハ保持部３１０を連結する連結部３２０は、本体部３１２の両側面に連結されており、連結部３２０を介して、当該本体部３１２の間隔が変えられることで、チャック３１１に保持されたウェハのピッチが変換される。チャック３１１は、すべてのウェハ保持部３１０について同一の形状を有するが、本体部３１２は、ウェハ保持部３１０の配置位置によってその形状が異なる。
【００５５】
図７及び８は、本体部３１２の構造を示す図である。図７は、本体部３１２の正面図を示し、図８は、本体部３１２の側面図を示す。
【００５６】
図７（ａ）は、ウェハ保持部３１０ａの本体部３１２ａを示す。同図（ｂ）は、ウェハ保持部３１０ｂの本体部３１２ｂを示す。なお、ウェハ保持部３１０ｈの本体部３１２ｈ、ウェハ保持部３１０ｎの本体部３１２ｎ及びウェハ保持部３１０ｔの本体部３１２ｔについても、ウェハ保持部３１０ｂの本体部３１２ｂと同一の形状を有する。
【００５７】
同図（ｃ）は、ウェハ保持部３１０ｃの本体部３１２ｃを示す。なお、ウェハ保持部３１０ｉの本体部３１２ｉ、ウェハ保持部３１０ｏの本体部３１２ｏ及びウェハ保持部３１０ｕの本体部３１２ｕについても、ウェハ保持部３１０ｃの本体部３１２ｃと同一の形状を有する。
【００５８】
同図（ｄ）は、ウェハ保持部３１０ｄの本体部３１２ｄを示す。なお、ウェハ保持部３１０ｊの本体部３１２ｊ、ウェハ保持部３１０ｐの本体部３１２ｐ及びウェハ保持部３１０ｖの本体部３１２ｖについても、ウェハ保持部３１０ｄの本体部３１２ｄと同一の形状を有する。
【００５９】
同図（ｅ）は、ウェハ保持部３１０ｅの本体部３１２ｅを示す。なお、ウェハ保持部３１０ｋの本体部３１２ｋ、ウェハ保持部３１０ｑの本体部３１２ｑ及びウェハ保持部３１０ｗの本体部３１２ｗについても、ウェハ保持部３１０ｅの本体部３１２ｅと同一の形状を有する。
【００６０】
同図（ｆ）は、ウェハ保持部３１０ｆの本体部３１２ｆを示す。なお、ウェハ保持部３１０ｌの本体部３１２ｌ、ウェハ保持部３１０ｒの本体部３１２ｒ及びウェハ保持部３１０ｘの本体部３１２ｘについても、ウェハ保持部３１０ｆの本体部３１２ｆと同一の形状を有する。
【００６１】
同図（ｇ）は、ウェハ保持部３１０ｇの本体部３１２ｇを示す。なお、ウェハ保持部３１０ｓの本体部３１２ｓについても、同一の形状を有する。同図（ｈ）は、ウェハ保持部３１０ｍの本体部３１２ｍを示し、同図（ｉ）は、ウェハ保持部３１０ｙの本体部３１２ｙを示す。
【００６２】
また、図８では、左右対称となるので、図４の右側半分に配置されるウェハ保持部３１０ａ〜３１０ｍの本体部３１２ａ〜３１２ｍについてのみ示している。
【００６３】
図７に示すように、本体部３１２は、一部のもの（本体部３１２ｇ及び３１２ｓ）を除いて、概ね矩形状の胴部７０１の下辺両端に一対の脚部７０２を設けたような形状を有しており、当該脚部７０２は、基本的に、連結部３２０が連結される位置に応じた長さを有するように形成されている。
【００６４】
一方、図７及び図８に示すように、本体部３１２ｇ及び３１２ｓは、概ね矩形状の胴部７０１の下辺中央に、当該胴部７０１とは垂直な方向に伸びる突出部７０３を備えたような形状を有している。当該突出部７０３の側面には、ラックホルダ５１１，５１２が接続される。
【００６５】
また、各本体部３１２の側面には、連結部３２０（より具体的には、隣接するウェハ保持部３１０とリンク部材３２１，３２２との連結部分に使用されている部品）との干渉を避けるため、溝が形成されている。
【００６６】
また、図８に示すように、すべての本体部３１２の側面には、連結部３２０を連結するための穴８０１が２個（両側面で４個）形成されており、当該２個の穴８０１は、穴間距離が、すべての本体部３１２ａ〜３１２ｙで等しくなるように形成される。本体部３１２の側面に形成された穴８０１には、当該本体部３１２に連結部３２０を連結するためのヒンジピンの先端が挿入されて固定される。なお、図７に示すように、本体部３１２には、ヒンジピンを固定するためのねじ穴が４つ形成されている。
【００６７】
次に、連結部３２０の詳細について説明する。
【００６８】
図９は、連結部３２０を構成するリンク部材の構造を示す図である。同図（ａ）は、短リンク部材３２１の正面図を示し、同図（ｂ）は、長リンク部材３２２の正面図を示す。また、同図（ｃ）は、リンク部材の連結部分に使用される部品を示す図である。
【００６９】
同図に示すように、各リンク部材３２１，３２２は、細長い板状の部材によって構成されており、その端部が、半円状に形成されている。但し、一方の端部は、ピッチ変換部１１１の幅をできるだけ狭くするために（図４参照）、斜めに切り取られたような形状に形成されている。
【００７０】
また、各リンク部材３２１，３２２には、ウェハ保持部３１０や他のリンク部材と連結するための円形の孔（円孔）が形成されている。すなわち、短リンク部材３２１には、４つの円孔３２１１〜３２１４が形成されており、長リンク部材３２２には、５つの円孔３２２１〜３２２５が形成されている。短リンク部材３２１では、両端部に２つの孔３２１１，３２１４が形成され、当該２つの孔の間に等間隔に、２つの孔３２１２，３２１３が形成されている。また、長リンク部材３２２では、両端部と中央部に３つの孔３２２１，３２２２，３２２５が形成され、一方の端部に形成された孔３２２５と中央部の孔３２２２との間に等間隔に、２つの孔３２２３，３２２４が形成されている。なお、長リンク部材３２２の片側半分に形成された４つの孔３２２２〜３２２５の間隔は、短リンク部材３２１に形成された４つの孔３２１１〜３２１４の間隔と等しくなる。また、長リンク部材３２２の反対側の端部に形成された孔３２２１と中央部の孔３２２２との間隔は、短リンク部材３２２に形成された孔３２１１〜３２１４の間隔の３倍となる。すなわち、長リンク部材３２２の両端の孔３２２１，３２２５の間隔（長リンク部材３２２の長さ）は、短リンク部材の両端の孔３２１１，３２１４の間隔（短リンク部材３２１の長さ）の２倍となる。
【００７１】
各リンク部材３２１，３２２に形成された孔には、各リンク部材３２１，３２２を各ウェハ保持部３１０（の本体部３１２）の側面等に回転可能に連結するためのヒンジピンが通される。同図（ｃ）は、各リンク部材３２１，３２２の連結部分に使用される部品を示す図である。なお、同図（ｃ）は、２つのリンク部材が連結される部分について示している。同図（ｃ）に示すように、ヒンジピン９０１は、止め輪９０２、ワッシャ９０３、リンク部材３２１（又は３２２）、カラー９０４、リンク部材３２１（又は３２２）及びカラー９０５を、この順番で通って、ウェハ保持部３１０（本体部３１２）の側面に形成された穴８０１等に挿入されて固定される。ヒンジピン９０１の固定は、例えば、ヒンジピン９０１とは垂直な方向からウェハ保持部３１０等にねじ込まれ、ヒンジピン９０１の先端に形成されたＶ字溝と係合するネジによって実現される。また、ワッシャ９０３やカラー９０４，９０５は、ヒンジピン９０１と、各リンク部材３２１，３２２とを直接接触させないために使用される部品であって、摺動性に優れた樹脂等によって構成される。
【００７２】
次に、ベース部４１０の詳細について説明する。
【００７３】
図１０は、ベース部４１０の構造を示す図である。同図（ａ）は正面図であり、同図（ｂ）は側面図であり、同図（ｃ）は平面図である。
【００７４】
同図に示すように、ベース部４１０は、概ね矩形状の平板部材４１１の上面両端部に、ガイドホルダ４１２が取り付けられた構造を有しており、その中央部分から外側に張り出した突出部４１３には、中央のウェハ保持部３１０ｍ（固定保持部）の本体部３１２ｍを固定するための孔４１４が形成されている。更に、平板部材４１１には、モータ固定用孔４１５、シャフトホルダ固定用孔４１６及びフォトセンサ固定用孔４１７が形成されている。
【００７５】
ガイドホルダ４１２は、ラックホルダ５１１，５１２の動きを案内するリニアガイド５３１，５３２が固定される部材であって、四角柱状の部材の側面に段差を形成したような形状を有している。側面の大きな方の段差部分に、リニアガイド５３１，５３２のスライダ（キャリッジ）が固定される。２つのガイドホルダ４１２は、同じ形状を有するが、スライダが固定される段差面が、反対方向を向くように配置される。
【００７６】
また、平板部材４１１の中央部には、減速機付きステッピングモータ４３０の回転軸を通過させるための孔４１８が形成されており、当該孔４１８の両側には、ギア６０２及び６０３を取り付けるための軸部材４１９が立設されている。
【００７７】
次に、ラックホルダ５１１，５１２の詳細について説明する。
【００７８】
図１１は、ラックホルダ５１１，５１２の構造を示す図である。同図（ａ）は、ラックホルダ５１１の正面図を示し、同図（ｂ）は、ラックホルダ５１２の正面図を示す。
【００７９】
同図に示すように、ラックホルダ５１１及び５１２は、ともに、概ね矩形状の平板部材の一方の端部に、長手方向とは垂直な方向に突出する突出部５１１１，５１２１を設けたような形状を有するものであり、当該突出部５１１１及び５１２１には、ウェハ保持部３１０ｇの本体部３１２ｇ及びウェハ保持部３１０ｓの本体部３１２ｓがそれぞれ接続される。また、ラックホルダ５１１，５１２には、ラック固定用の孔５１３と、リニアガイド５３１，５３２のレール固定用の孔５１４とが形成されている。
【００８０】
また、ラックホルダ５１１は、突出部５１１１とは反対側（同図の下側）の端部に、Ｌ字状に折り曲げられた突出片５１１２を備える。当該突出片５１１２は、ピッチ変換部１１１の原点位置を検出するために利用されるものであり、当該突出片５１１２が、フォトセンサ４４０によって検出されることによって、ピッチ変換部１１１の原点位置が検出される。
【００８１】
次に、以上のような構造を有するピッチ変換部１１１の動作について説明する。
【００８２】
ここでは、図４に示した状態から、ウェハ保持部３１０のピッチを広くする場合について説明する。
【００８３】
まず、図４に示した状態において、減速機付きステッピングモータ４３０が、制御部からの指示に従って、所定の方向に回転を開始すると、減速機付きステッピングモータ４３０の回転運動が、ギア６０１〜６０３を介して、ラック５２１，５２２に伝達されて、直線運動に変換され、当該ラック５２１，５２２が固定されているラックホルダ５１１，５１２が直線運動を開始する。すなわち、図４において、手前のラックホルダ５１１が右方向に移動を開始し、奥のラックホルダ５１２が左方向に移動を開始する。このとき、各ラックホルダ５１１，５１２の動きは、リニアガイド５３１，５３２によって案内されて、ピッチ変換方向（同図の左右方向）の動きに限定されることになる。
【００８４】
以上のようにして、ラックホルダ５１１，５１２がピッチ変換方向に直線移動を開始すると、ラックホルダ５１１，５１２にそれぞれ固定されたウェハ保持部３１０ｇ，３１０ｓも左右方向に直線移動を開始することになる。すなわち、図４において、ウェハ保持部３１０ｇは右方向に移動を開始し、ウェハ保持部３１０ｓは左方向に移動を開始する。なお、ウェハ保持部３１０及び連結部３２０の動きは左右対称となるので、以下では、右側半分のウェハ保持部３１０及び連結部３２０の動きについてのみ説明する。
【００８５】
ウェハ保持部３１０ｇが右方向に移動を開始すると、当該移動に伴い、短リンク部材３２１Ｃと短リンク部材３２１Ｄとがなす角が広がり始める。短リンク部材３２１Ｊと長リンク部材３２２Ｘとがなす角（鋭角）についても同様に広がり始める。その結果、短リンク部材３２１Ｃ及び３２１Ｊに連結されたウェハ保持部３１０ｈ〜３１０ｊと、短リンク部材３２１Ｄ及び長リンク部材３２２Ｘに連結されたウェハ保持部３１０ｊ〜３１０ｌとが、間隔を広げつつ、上方に移動することになる。このとき、隣接するウェハ保持部３１０と両者を連結する２本のリンク部材が平行リンク機構を構成しており、各平行リンク機構の対応するリンクの長さ（孔間距離）も等しいので、各ウェハ保持部３１０ｇ〜３１０ｍは常に平行に保たれ、ウェハ保持部３１０ｇ〜３１０ｍの間隔も、常に等間隔に維持されたまま移動することになる。
【００８６】
また、短リンク部材３２１Ｉ及び３２１Ｊ並びに長リンク部材３２２Ｗ及び３２２Ｘがパンタグラフ機構を構成し、長リンク部材３２２の長さが、短リンク部材３２１の長さの２倍であることから、短リンク部材３２１Ｉ及び３２１Ｊとウェハ保持部３１０ｇとの連結部分の動きが、２倍に拡大されて、長リンク部材３２２Ｗとウェハ保持部３１０ａとの連結部分に現れることとなる。すなわち、ウェハ保持部３１０ｇが右方向に１だけ移動すると、ウェハ保持部３１０ａは右方向に２だけ移動することになる。つまり、ウェハ保持部３１０ｍとウェハ保持部３１０ｇとの間隔が１だけ広がると、ウェハ保持部３１０ｇとウェハ保持部３１０ａとの間隔も１（＝２−１）だけ広がることとなり、ウェハ保持部３１０ａとウェハ保持部３１０ｇとの間隔は、常に、ウェハ保持部３１０ｇとウェハ保持部３１０ｍとの間隔と等しくなるように維持されることになる。ウェハ保持部３１０ａが外側に駆動されるのに伴い、前述したウェハ保持部３１０ｈ〜３１０ｌの場合と同様に、短リンク部材３２１Ａ及び長リンク部材３２２Ｗに連結されたウェハ保持部３１０ｂ〜３１０ｄと、短リンク部材３２１Ｂ及び短リンク部材３２１Ｉに連結されたウェハ保持部３１０ｄ〜３１０ｆとが、間隔を広げつつ、上方に移動することになる。このときも、隣接するウェハ保持部３１０と両者を連結する２本のリンク部材が平行リンク機構を構成しており、各平行リンク機構の対応するリンクの長さ（孔間距離）も等しいので、各ウェハ保持部３１０ａ〜３１０ｇは常に平行に保たれ、ウェハ保持部３１０ａ〜３１０ｇの間隔も、常に等間隔に維持される。つまり、ウェハ保持部３１０ａ〜３１０ｍの間隔はすべて、等間隔に維持されることになる。
【００８７】
図１２は、ピッチを広げた状態のピッチ変換部１１１の正面図を示す図である。
【００８８】
同図に示すように、ラックホルダ５１１，５１２に固定されたウェハ保持部３１０ｇと３１０ｓが外側に向けて移動された結果、各リンク部材３２１，３２２によって構成されるＶ字がなす角度が広がり、各リンク部材３２１，３２２に連結されているウェハ保持部３１０の間隔が広がっている。更に、各リンク部材３２１，３２２によって構成されるＶ字がなす角度が広がった結果、各リンク部材３２１，３２２に連結されたウェハ保持部３１０ｂ〜３１０ｆ、３１０ｈ〜３１０ｌ、３１０ｎ〜３１０ｒ、３１０ｔ〜３１０ｘについては、元の位置（図４に示した位置）より上方にも移動されている。上方への移動量については、各ウェハ保持部３１０がリンク部材３２１，３２２に連結されている位置によって異なる。その結果、図１２に示すように、ウェハ保持部３１０（チャック３１１）の先端は、隣接するウェハ保持部３１０間で上下方向にずれることとなる。
【００８９】
次に、以上のような構成を有するウェハ移載装置１００の動作について説明する。
【００９０】
図１３〜図１８は、ウェハ移載装置１００の動作を説明するための図である。図１３〜図１８は、ウェハ移載装置１００を側面から見たときの各部の位置関係を示している。
【００９１】
まず、図１３に示すように、カセット載置部１１０に、ウェハＷが収納されたカセット１０１が載置され、更に、ボート載置部１２０に、空のボート１０２が載置される。このとき、カセット載置部１１０には、例えば、２５枚入りのカセット１０１が８個載置される。なお、ここでは、カセット１０１に収納されているウェハＷは、予めオリフラの位置が、一定の向き（例えば、上向き）に揃えられているものとする。また、ボート載置部１２０には、２００枚（＝８×２５）のウェハを収納可能な空のボートが載置される。当該ボートは、４本の石英の棒によって構成されており、各棒には、ウェハを収納するための収納溝が刻まれている。
【００９２】
次に、オペレータがウェハ移載装置１００の動作開始を指示すると、ハンド移動部１３２が前進して、図１４に示すように、ハンド部１３１を、カセット１０１の上方に位置させる。このとき、ハンド部１３１は、ウェハＷが通過可能な程度、挟持板１３３ａ，１３３ｂの間隔が広げられているものとする。
【００９３】
次に、カセット載置部１１０の下方に配置されているピッチ変換部１１１が上昇を開始する。なお、このとき、ピッチ変換部１１１（ウェハ保持部３１０）のピッチは、カセット１０１の収納溝のピッチと一致するようにされている。上昇を開始したピッチ変換部１１１は、カセット１０１の背面の開口からカセット１０１内に入り込んで、カセット１０１に収納されているウェハＷの下端部を保持し、そのままウェハＷを押し上げることで、カセット１０１に収納されているウェハすべてを一括して、カセット１０１から押し出す。そして、そのまま上昇を続けて、図１５に示すように、ウェハＷが、ハンド部１３１の爪部１３４を通過して、挟持板１３３ａ，１３３ｂの間に完全に収まる位置まで達すると停止する。
【００９４】
次に、ピッチ変換部１１１によるピッチ変換が行われる。すなわち、ピッチ変換部１１１の減速機付きステッピングモータ４３０が、所定方向に所定角度回転することにより、ウェハ保持部３１０のピッチが拡大（又は縮小）されて、ボート１０２の収納溝のピッチと同じピッチに変えられる。なお、ハンド部１３１の下端部に取り付けられた爪部１３４の溝１３５のピッチは、予めボート１０２の収納溝のピッチと同じに形成されている。
【００９５】
次に、ハンド移動部１３２を少し前進させるとともに、前側の挟持板１３３ａを後退させることによって、爪部１３４に形成された溝１３５で、ウェハＷの下側の周縁部が支持できる程度まで、ハンド部１３１の挟持板１３３ａ，１３３ｂの間隔を狭める。
【００９６】
次に、ピッチ変換部１１１を下降させる。ピッチ変換部１１１の下降に伴い、（相対的に）低い位置で保持されているウェハから順番に、ハンド部１３１への移し替えが発生し、ハンド部１３１の挟持板１３３ａ，１３３ｂの間から、ピッチ変換部１１１が完全に抜け出すと、図１６に示すように、ピッチ変換部１１１に保持されていたすべてのウェハＷが、ハンド部１３１へ移し替えられて、ハンド部１３１の爪部１３４によって保持（挟持）される。
【００９７】
次に、図１７に示すように、ハンド移動部１３２が更に前進して、ハンド部１３１を、ボート載置部１２０に載置されたボート１０２の上方に位置させる。このとき同時に、各ハンド部１３１は、図１の左右方向に適宜移動して、すべてのハンド部１３１が、ボート載置部１２０に載置されたボート１０２の上方に位置するようになる。その結果、ハンド部１３１に保持されたすべてのウェハＷが、平面視において、ボート１０２に形成された収納溝に収まるように、位置合わせがされる。
【００９８】
次に、ボート載置部１２０が上昇することで、ハンド部１３１の下端部近くまで、ボート１０２を上昇させる。ボート１０２（及びボート載置部１２０）がハンド部１３１の下端部近くまで上昇すると、次に、ボート載置部１２０から、ボート１０２を構成する石英の棒の間を通過して、ウェハ受渡部１２１が上昇していき、ウェハ受渡部１２１の先端に形成された収納溝によってウェハＷの下端部を支持する。そして、そのまま上昇を続け、ウェハＷが、ハンド部１３１の爪部１３４による保持から解放されて、ウェハ受渡部１２１だけで支持されるようになると停止する。
【００９９】
ハンド部１３１から、ボート載置部１２０のウェハ受渡部１２１へのウェハの移し替えが終了すると、次に、ハンド部１３１の前側の挟持板１３３ａを前進させるとともに、ハンド移動部１３２を少し後退させることによって、ハンド部１３１の挟持板１３３ａ，１３３ｂの間隔を、ウェハＷが通過可能な程度まで広げる。
【０１００】
次に、ウェハ受渡部１２１を下降させることによって、ウェハ受渡部１２１からボート載置部１２０に載置されたボート１０２へウェハＷを移し替える。図１８に示すように、ウェハ受渡部１２１及びウェハ載置部１２０が元の位置まで下降すると、すべてのウェハＷが完全に、ボート１０２に移し替えられることとなる。
【０１０１】
以上のようにして、カセット１０１に収納されたウェハＷが、一括してボート１０２に移し替えられる。
【０１０２】
以上、本発明の実施形態について説明したが、当然のことながら、本発明の実施形態は上記のものに限られない。例えば、上述した実施形態においては、中央に配置された固定保持部の両側に原動保持部を配置し、固定保持部と各原動保持部との間、及び、各原動保持部の外側に、従動保持部を配置するようにしているが、原動保持部を一番外側に配置し、すべての従動保持部を、固定保持部と原動保持部との間に配置するようにしてもよい。この場合は、各従動保持部は、固定保持部又は原動保持部と、平行リンク機構を構成するようにリンク部材で連結されればよく、パンタグラフ機構は必要なくなる。
【０１０３】
また、上述した実施形態においては、中央に配置された固定保持部を中心に、左右対称に原動保持部及び従動保持部を配置するようにしていたが、一方の端に固定保持部を配置し、その片側にのみ、原動保持部及び従動保持部を配置するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１０４】
【図１】ウェハ移載装置の正面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】ピッチ変換部１１１の斜視図である。
【図４】ピッチ変換部１１１の正面図である。
【図５】ピッチ変換部１１１の側面図である。
【図６】図４のＢ−Ｂ断面図である。
【図７】本体部３１２の正面図である。
【図８】本体部３１２の側面図である。
【図９】ウェハ保持部３１０を連結するリンク部材３２１，３２２の構造を示す図である。
【図１０】ベース部４１０の構造を示す図である。
【図１１】ラックホルダ５１１，５１２の構造を示す図である。
【図１２】ピッチを広げた状態のピッチ変換部１１１の正面図である。
【図１３】ウェハ移載装置１００の動作を説明するための図（その１）である。
【図１４】ウェハ移載装置１００の動作を説明するための図（その２）である。
【図１５】ウェハ移載装置１００の動作を説明するための図（その３）である。
【図１６】ウェハ移載装置１００の動作を説明するための図（その４）である。
【図１７】ウェハ移載装置１００の動作を説明するための図（その５）である。
【図１８】ウェハ移載装置１００の動作を説明するための図（その６）である。
【符号の説明】
【０１０５】
１００    ウェハ移載装置
１０１    カセット
１０２    ボート
１１０    カセット載置部
１１１    ピッチ変換部
１２０    ボート載置部
１２１    ウェハ受渡部
１３０    移載部
１３１    ハンド部
１３２    ハンド移動部
１３３ａ，１３３ｂ    挟持板
１３４    爪部
１３５    溝
１３６    ロッド
１３７    水平部
１３８    脚部
１４０    タッチパネル付き液晶ディスプレイ
３１０，３１０ａ〜３１０ｙ    ウェハ保持部
３１１    チャック
３１２，３１２ａ〜３１２ｙ    本体部
３１３    支持部
３１４    溝
３１５    円柱状部材
３２０    連結部
３２１，３２１Ａ〜３２１Ｌ    短リンク部材
３２１１〜３２１４    孔
３２２，３２２Ｗ〜３２２Ｚ    長リンク部材
３２２１〜３２２５    孔
４１０    ベース部
４１１    平板部材
４１２    ガイドホルダ
４１３    突出部
４１４    ウェハ保持部固定用孔
４１５    モータ固定用孔
４１６    シャフトホルダ固定用孔
４１７    フォトセンサ固定用孔
４１８    孔
４１９    軸部材
４２０    シャフトホルダ
４３０    減速機付きステッピングモータ
４４０    フォトセンサ
５１１，５１２    ラックホルダ
５１１１，５１２１    突出部
５１１２    突出片
５２１，５２２    ラック
５３１，５３２    リニアガイド
６０１，６０２，６０３    ギア
７０１    胴部
７０２    脚部
７０３    突出部
８０１    穴
９０１    ヒンジピン
９０２    止め輪
９０３    ワッシャ
９０４，９０５    カラー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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