(57)【要約】【課題】ウエハへの保護シートの貼付を良好に行うことができ、装置組み立ての容易化を図ることができるようにすること。【解決手段】ウエハＷが載置されるウエハ載置面１４Ａを備えた内側テーブル部１４と、ウエハ載置面１４Ａに載置されたウエハＷの外側にはみ出た保護シートＨが載置されるシート載置面１５Ａを備えた外側テーブル部１５と、内側テーブル部１４を支持可能に設けられた昇降装置１９とを含んでテーブル１１が構成されている。昇降装置１９は、内側テーブル部１４の下部に設けられた上テーパ部２２と、この上テーパ部２２の下側に対向配置された下テーパ部２３とを備えている。昇降装置１９は、テーパ部２２，２３を相対移動させることにより内側テーブル部１４を昇降し、ウエハ載置面１４Ａに載置されたウエハＷの回路面Ｗ１とシート載置面１５Ａとを同一面上に位置するようになっている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウエハの面に押圧ローラを介してシートを貼付するためのシート貼付装置用テーブルにおいて、
前記半導体ウエハが載置されるウエハ載置面を備えた内側テーブル部と、前記ウエハ載置面に載置されたウエハの外側にはみ出た前記保護シートが載置されるシート載置面を備えた外側テーブル部と、前記内側テーブル部を支持可能に設けられた昇降装置とを含み、
前記昇降装置は、内側テーブル部の下部に設けられた上テーパ部と、この上テーパ部の下側に対向配置された下テーパ部とを備え、これらテーパ部を相対移動させることにより前記内側テーブル部を昇降可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置用テーブル。
【請求項２】
前記上テーパ部及び下テーパ部のうち、少なくとも一方のテーパ部は、他方のテーパ部に対向する略全領域がテーパ面からなる板状部材により形成されていることを特徴とする請求項１記載のシート貼付装置用テーブル。
【請求項３】
前記上テーパ部及び下テーパ部のうち、何れか一方のテーパ部は、その傾斜方向に延びる複数のレール部材を含み、何れか他方のテーパ部は、前記レール部材に沿って移動可能なスライダを備えていることを特徴とする請求項１又は２記載のシート貼付装置用テーブル。
【請求項４】
前記下テーパ部は、前記ウエハ載置面と略平行に位置する上面部を備えた支持プレート上に摺動可能に配置されていることを特徴とする請求項１，２又は３記載のシート貼付装置用テーブル。
【請求項５】
半導体ウエハの面に押圧ローラを介してシートを貼付する前に、シート貼付装置用テーブルに半導体ウエハを位置決めする方法であって、
前記シート貼付装置用テーブルは、半導体ウエハが載置されるウエハ載置面を備えた内側テーブル部と、前記ウエハ載置面に載置されたウエハの外側にはみ出た前記保護シートが載置されるシート載置面を備えた外側テーブル部と、前記内側テーブル部を支持可能に設けられた昇降装置とを含み、
前記昇降装置は、内側テーブルの下部に設けられた上テーパ部と、この上テーパ部の下側に対向配置された下テーパ部とを備え、
前記下テーパ部を水平方向に移動させて上テーパ部を昇降移動させることにより、ウエハ載置面に載置された半導体ウエハの上面とシート載置面とを同一面上に位置させることを特徴とするウエハ位置決め方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート貼付装置用テーブル及びウエハ位置決め方法に係り、更に詳しくは、半導体ウエハに保護シートをしっかりと貼付することができるシート貼付装置用テーブル及びウエハ位置決め方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体ウエハの製造工程において、半導体ウエハの回路面に保護シートを貼付することが行われており、かかる保護シートを貼付する装置として、例えば、特許文献１に示されるタイプのものが知られている。同装置は、半導体ウエハが載置される内側テーブル部と、この内側テーブル部を囲う位置に設けられた外側テーブル部と、送りねじ軸やモータにより内側テーブル部を昇降する駆動装置と、内側テーブル部上の半導体ウエハに保護シートを押圧して貼付する押圧ローラとを備えて構成されている。このような構成にあっては、半導体ウエハに保護シートを貼付する前に、駆動装置を介して内側テーブル部を昇降し、当該内側テーブル部に載置された半導体ウエハの回路面と、外側テーブル部の上面とが同一面上に位置するように調整を行う。
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−４７９７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前記特許文献１にあっては、半導体ウエハの回路面と外側テーブル部の上面とを同一面上に位置させるため、内側テーブル部を組み込むときに、内側テーブル部におけるウエハ載置面が外側テーブル部の上面と平行に設定することが必要となる。
ところが、特許文献１では、内側テーブル部が送りねじ軸とガイド部とにより散点的に支持されるので、装置組み立て段階において前記各面を平行にするため、送りねじ軸とガイド部とを少しずつ何度も調整する作業が不可欠となり、当該作業が煩雑で長時間化するという不都合がある。また、前記平行の精度も不安定になり、この結果、回路面において押圧ローラから付与される押圧力が部分的に強すぎてウエハに損傷が生じる原因となったり、前記押圧力が弱すぎて保護シートの貼付が不完全になる、という不都合がある。
しかも、特許文献１は、押圧ローラからの押圧力が送りねじ軸の延出方向すなわち上下方向に付与されるので、当該送りねじ軸とこれに螺合するナットとの間や、ガイド部に経時的にがたつきが生じ、前記平行の精度がより低下し易くなる。
ここで、仮に、ガイド部の本数を増やした場合、前記剛性が高められるものの、前述の調整作業がより一層複雑化するという別異の不都合がある。
【０００５】
［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、半導体ウエハに保護シートを精度良く貼付することができ、貼付装置の調整作業の簡略化を図ることができるシート貼付装置用テーブル及びウエハ位置決め方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するため、本発明は、半導体ウエハの面に押圧ローラを介してシートを貼付するためのシート貼付装置用テーブルにおいて、
前記半導体ウエハが載置されるウエハ載置面を備えた内側テーブル部と、前記ウエハ載置面に載置されたウエハの外側にはみ出た前記保護シートが載置されるシート載置面を備えた外側テーブル部と、前記内側テーブル部を支持可能に設けられた昇降装置とを含み、
前記昇降装置は、内側テーブル部の下部に設けられた上テーパ部と、この上テーパ部の下側に対向配置された下テーパ部とを備え、これらテーパ部を相対移動させることにより前記内側テーブル部を昇降可能に設けられる、という構成を採っている。
【０００７】
本発明において、前記上テーパ部及び下テーパ部のうち、少なくとも一方のテーパ部は、他方のテーパ部に対向する略全領域がテーパ面からなる板状部材により形成されることが好ましい。
【０００８】
また、前記上テーパ部及び下テーパ部のうち、何れか一方のテーパ部は、その傾斜方向に延びる複数のレール部材を含み、何れか他方のテーパ部は、前記レール部材に沿って移動可能なスライダを備える、という構成が好ましくは採用される。
【０００９】
更に、前記下テーパ部は、前記ウエハ載置面と略平行に位置する上面部を備えた支持プレート上に摺動可能に配置されるとよい。
【００１０】
また、本発明のウエハ位置決め方法は、半導体ウエハの面に押圧ローラを介してシートを貼付する前に、シート貼付装置用テーブルに半導体ウエハを位置決めする方法であって、
前記シート貼付装置用テーブルは、半導体ウエハが載置されるウエハ載置面を備えた内側テーブル部と、前記ウエハ載置面に載置されたウエハの外側にはみ出た前記保護シートが載置されるシート載置面を備えた外側テーブル部と、前記内側テーブル部を支持可能に設けられた昇降装置とを含み、
前記昇降装置は、内側テーブルの下部に設けられた上テーパ部と、この上テーパ部の下側に対向配置された下テーパ部とを備え、
前記下テーパ部を水平方向に移動させて上テーパ部を昇降移動させることにより、ウエハ載置面に載置された半導体ウエハの上面とシート載置面とを同一面上に位置させる、という方法を採っている。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、上テーパ部と下テーパ部とを対向するように配置するとともに、上テーパ部に内側テーブル部を支持させることにより、ウエハ載置面とシート載置面とを平行に設定することができる。つまり、下テーパ部の上方に上テーパ部及び内側テーブル部を順に配置するだけで、前記各載置面を簡単且つ迅速に平行にすることができ、装置組み立て段階において作業の簡素化を図ることが可能となる。
しかも、上下のテーパ部によって内側テーブルを支持するので、面で押圧ローラからの押圧力を受け止めることができ、特許文献１に比べて剛性を高めることができ、経時的な精度低下を抑制することが可能となる。換言すれば、ウエハ載置面上のウエハの回路面とシート載置面とを同一面上に容易に位置決めすることができ、押圧ローラからウエハの回路面に付与される押圧力の均一化を通じて保護シートの貼付状態の安定化を達成することが可能となる。
更には、各テーパ部の相対移動により内側テーブル部を昇降させるので、相対移動量に対して昇降移動量を小さく設定することができる。従って、前記相対移動させるためのモータ等の駆動手段の小型化を図ったり、昇降移動量の最小値を小さく設定することが可能となり、より細かな位置決めを行う事ができる。
【００１２】
また、板状部材のテーパ面によりテーパ部を形成した場合、押圧ローラからの押圧力に対する剛性をより良く高めることができ、ウエハ載置面の位置精度をより向上させることが可能となる。
【００１３】
更に、レール部材とスライダとにより各テーパ部を相対移動させる場合、当該相対移動に要する駆動力を抑制でき、内側テーブル部をスムースに昇降させることが可能となる。
【００１４】
また、支持プレートの上面部に下テーパ部を配置した場合、前記各載置面の平行をより簡単且つ精度良く設定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の好ましい実施の形態について図面を参照しながら説明する。
図１には、本実施形態に係るテーブルが適用された貼付装置の概略縦断面図が示されている。この図において、貼付装置１０は、回路面Ｗ１を有する半導体ウエハＷ（以下「ウエハＷ」と称す）が載置されるテーブル１１と、このテーブル１１の上方に設けられた押圧ローラ１２と、テーブル１１との押圧ローラ１２との間に保護シートＨを繰り出す繰出装置（図示省略）とを備えて構成されている。
前記繰出装置は、保護シートＨが巻回された原反から複数のローラ及び巻取手段を介してテーブル１１上に保護シートＨを通過させるとともに、テーブル１１に対して保護シートＨを離遠接近する方向（図１中上下方向）に移動可能に設けられている。
【００１６】
前記テーブル１１は、図２にも示されるように、ウエハＷが載置されるウエハ載置面１４Ａを上部に備えた内側テーブル部１４と、平面視で内側テーブル部１４を囲う位置に設けられた外側テーブル部１５と、この外側テーブル部１５をスペーサ１６を介して下から支持する支持プレート１８と、この支持プレート１８に設けられて内側テーブル部１４を下方から支持する昇降装置１９と、支持プレート１８に取り付けられたリフタ２０とを備えて構成されている。
【００１７】
前記内側テーブル部１４は、上面及び下面が平行となる一定の厚みを備えた板状に設けられるとともに、前記リフタ２０の吸着管４３を受容し、図示しない配管を介してエアを噴出するエア噴出手段としての穴１４Ｂが形成されている。
【００１８】
前記外側テーブル部１５は、内側テーブル部１４を受容する開口が形成された板状に設けられている。外側テーブル部１５の上面は、保護シートＨを貼付するとき（図５参照）、前記ウエハ載置面１４Ａに載置されたウエハＷの外側にはみ出た保護シートＨが載置されるシート載置面１５Ａとされる。外側テーブル部１５は、シート載置面１５Ａが前記支持プレート１８の上面部１８Ａと精度良く平行となるように設置されている。
【００１９】
前記昇降装置１９は、内側テーブル部１４の下部に連結された上テーパ部２２と、支持テーブル１８の上面部１８Ａ上に設けられ、上テーパ部２２の下側に対向配置された下テーパ部２３と、上テーパ部２２の両側（図２参照）に設けられたガイド手段２４と、下テーパ部２３を水平方向（図１中左右方向）に移動させる昇降装置用駆動手段２５とを備えて構成されている。
【００２０】
前記上テーパ部２２は、その下面の略全領域がテーパ面２２Ａとなる板状部材により形成され、このテーパ面２２Ａは、図１中右上がりに傾斜する方向に向けられている。上テーパ部２２の面内には、後述する吸着管４３が貫通する穴２２Ｂが設けられている。
【００２１】
前記下テーパ部２３は、その上面の略全領域がテーパ面２３Ａとなる板状部材により形成され、このテーパ面２３Ａに上テーパ部２２のテーパ面２２Ａが面接触して載置されている。下テーパ部２３のテーパ面２３Ａは、上テーパ部２２のテーパ面２２Ａと同一の勾配（本実施形態では５％勾配）に設定されており、それらを相互に面接触させたときに、上テーパ部２２の上面と下テーパ部２３の下面とが平行となるようになっている。また、下テーパ部２３は、前記支持プレート１８の上面部１８Ａと摺動することにより水平方向に移動可能に設けられている。このとき、各テーパ面２２Ａ，２３Ａが、その面方向に沿って摺動することにより上テーパ部２２及び下テーパ部２３が相対移動可能となっている。下テーパ部２３の面内には、前記穴２２Ｂの下方位置に左右に延びる長穴２３Ｂが設けられている。
【００２２】
前記ガイド手段２４は、図２に示されるように、上テーパ部２２の対向する２つの面に回転可能に連結された複数のローラ２４Ａと、これらローラ２４Ａの間に設けられるとともに、支持プレート１８から立設するガイド板２４Ｂとを備え、上テーパ部２２の左右方向の移動を規制し、昇降移動を案内するようになっている。
【００２３】
前記昇降装置用駆動手段２５は、下テーパ部２３に連結されて支持プレート１８を貫通する連結部材２７と、この連結部材２７に装着されたナット部材２８と、このナット部材２８に螺合して水平方向に延びる送りねじ軸２９と、支持プレート１８の下面に取り付けられて送りねじ軸２９を支持する左右一対の軸受３１と、送りねじ軸２９の一端側（図１中右端側）に設けられたプーリ３２と、このプーリ３２にベルト３３を介して出力回転軸が接続されたモータ３４と、送りねじ軸２９の他端側（図１中左端側）に設けられ、送りねじ軸２９の回転規制を行うブレーキ３５とを備えて構成されている。昇降装置用駆動手段２５は、モータ３４の回転によって、ベルト３３及びプーリ３２を介して送りねじ軸２９を回転し、ナット部材２８と連結部材２７を送りねじ軸２９の延出方向すなわち水平方向に移動させるようになっている。
【００２４】
前記リフタ２０は、支持プレート１８の下面にブラケット３７を介して支持されたリフタ用駆動手段３８と、前記ブラケット３７の鉛直面部３７Ａに設けられたレール部材３９と、このレール部材３９に沿って上下に移動するスライダ４０と、スライダ４０に連結された吸着管ベース４２と、この吸着管ベース４２から上方に延びる吸着管４３と、支持手段としての吸着パッド４３Ａとを備えて構成され、吸着管４３は図示しないホース等を介して減圧ポンプに接続されている。
【００２５】
前記リフタ用駆動手段３８は、軸部材３８Ｂを上下に進退させるモータ３８Ａにより構成され、このモータ３８Ａは、軸部材３８Ｂの上昇限と下降限との間の任意の位置で軸部材３８Ｂを移動規制可能に設けられている。また、リフタ用駆動手段３８は、軸部材３８Ｂが上下動する速度を調整可能に設けられ、これにより、昇降速度を次第に速くしたり、遅くしたりすることができる。軸部材３８Ｂの上端は、前記吸着管ベース４２に連結されており、前記吸着パッド４３Ａを昇降させるようになっている。
【００２６】
前記押圧ローラ１２は二軸移動装置４５に支持され、上下方向と水平方向に移動可能に設けられている。従って、押圧ローラ１２は、保護シートＨを下方に押圧する力を付与しつつ当該保護シートＨ上を転動して貼付を行えるようになっている。
【００２７】
なお、前述した、繰出装置（図示省略）、モータ３４、ブレーキ３５、モータ３８Ａ、減圧ポンプ（図示省略）及び二軸移動装置４５等は、図示しない制御手段を介して全体的に制御される。
【００２８】
次に、本実施形態における貼付装置１０の全体的な動作について説明する。
【００２９】
先ず、図３に示されるように、リフタ用駆動手段３８のモータ３８Ａを作動させて、吸着パッド４３Ａをウエハ載置面１４Ａから突出させた状態に維持する。この状態で、二点鎖線で示すアーム４６によりウエハＷを吸着パッド４３Ａ上に搬送して載置した後、ウエハＷの下面を吸着パッド４３Ａにより吸着する。その後、前記アーム４６をテーブル１１上から退避した後、吸着パッド４３Ａを下降し、内側テーブル部１４上にウエハＷを載置する。載置されたウエハＷは、吸着パッド４３Ａと内側テーブル部１４上面に形成された図示しない吸着穴を介して吸着保持される。
【００３０】
次に、昇降装置１９を介して内側テーブル部１４を昇降させ、ウエハ載置面１４Ａ上のウエハＷの回路面Ｗ１とシート載置面１５Ａとが同一面に位置するように位置決め調整する（図４参照）。具体的には、モータ３４を作動して送りねじ軸２９を回転し、ナット部材２８及び連結部材２７を介して下テーパ部２３を支持プレート１８の上面部１８Ａ上で水平方向に摺動させる。この際、上テーパ部２２も、下テーパ部２３と同一方向に移動しようとするものの、前記ガイド部２４により水平方向の移動が規制されるので、各テーパ面２２Ａ，２３Ａが擦れるように相対移動して上テーパ部２２及び内側テーブル部１４が昇降する。このとき、リフタ用駆動手段３８を介して、内側テーブル部１４の昇降と同様に吸着パッド４３Ａも昇降するように制御される。そして、回路面Ｗ１とシート載置面１５Ａとが同一面に位置したときに、各モータ３４，３８Ａを停止し、ブレーキ３５を作動させることで、図４に示される状態となる。
なお、ウエハ載置面１４Ａ上にウエハＷを載置する前に、内側テーブル部１４の高さ調整を行ってもよく、この場合、ウエハ載置面１４Ａの高さ位置が、シート載置面１５ＡよりウエハＷの厚み分低くなるように内側テーブル部１４が予め位置決めされる。
【００３１】
次いで、図５に示されるように、テーブル１１上に位置する保護シートＨを、ウエハＷの回路面Ｗ１及びシート載置面１５Ａ上に載せた後、二軸移動装置４５を介して保護シートＨ上で押圧ローラ１２を転動し、保護シートＨを回路面Ｗ１に押圧して貼付する。その後、押圧ローラ１２を初期位置に退避し、図示しないカット手段を用いて保護シートＨをウエハＷの外周に沿って切り抜いた後、余分な保護シートＨも退避させる。
【００３２】
そして、保護シートＨの貼付を終えたウエハＷは、図６に示されるように、前述のアーム４６により搬送可能とすべく、リフタ用駆動手段３８によってウエハ載置面１４Ａから浮上される。このとき、内側テーブル部１４による吸着を停止し、ウエハＷの下面とウエハ載置面１４Ａとの間に若干の隙間が生じるように吸着管４３をゆっくりと上昇する。これは、ウエハＷとウエハ載置面１４Ａとの間の吸着が解除されても、完全に真空領域がなくなるとは限らないので、ウエハＷの中央領域からゆっくりと浮上させることによってウエハＷに加わるストレスを緩和するためである。更に、エア噴出手段としての穴１４Ｂからエアを噴出するように構成すれば、前記真空領域の残存によるウエハＷに加わるストレスを効果的に緩和することができる。また、静電気によってウエハＷがウエハ載置面１４Ａに貼り付いている場合も、ウエハＷを浮上させるときにウエハＷはストレスを受けるため、前記穴１４Ｂから噴出するエアに静電気を除去するイオンを含ませることもできる。
その後、リフタ用駆動手段３８によって前記隙間を生じさせるまでの速度より高速で吸着管４３を上昇し、図３に示される位置まで達したときに上昇移動を停止し、その高さ位置を維持する。この状態で、吸着パッド４３Ａによる吸着を解除した後、アーム４６を介してウエハＷを所定位置に搬出し、次のウエハＷが前述と同様に吸着パッド４３Ａ上に載置される。
【００３３】
従って、このような実施形態によれば、支持プレート１８に下テーパ部２３、上テーパ部２２及び内側テーブル部１４を順に載せることにより、ウエハ載置面１４Ａとシート載置面１５Ａとを簡単且つ短時間で平行に設定することが可能となる。これにより、貼付装置の組み立て段階における調整作業の簡略化を図ることができる他、前記平行の精度を向上することが可能となる。しかも、下テーパ部２３、上テーパ部２２及び内側テーブル部１４において、上下に隣接する部材と面接触するので、上下方向の押圧力に対する剛性を高め、これらの経時的変形等を抑制することができる。これにより、前記平行精度がより良く維持されて回路面Ｗ１とシート載置面１５Ａとが同一面に精度良く位置可能となり、押圧ローラ１２による押圧力の均一化を通じて保護シートＨの貼付の安定化に資することができる。
更に、テーパ面２２Ａ，２３Ｂの勾配を５％に設定したので、例えば、送りねじ軸２９を介してナット部材２８を１ｍｍ水平移動させると、内側テーブル部１４は０．０５ｍｍ昇降移動することとなる。つまり、特許文献１のように、送りねじ軸を上下方向に向けた場合に比べ、送りねじ軸の回転数に対する移動量を小さく設定することができ、モータ３４等の動力を小さくして小型化を図ることができるうえ、同じ分解能を有するモータを使用した場合であっても、より細かな位置決め、つまり２０倍の精度で位置決めを行う事が可能となる。
【００３４】
本発明を実施するための最良の構成、方法などは、以上の記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施の形態に関して特に図示し、且つ、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上に述べた実施の形態に対し、形状、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００３５】
例えば、前記各テーパ部２２，２３移動させるための構成は、種々の設計変更が可能であり、図７及び図８に示される構成が例示できる。図７では、支持テーブル１８の上面部１８Ａに複数本のレール部材５０を設けるとともに、下テーパ部２３の下面にレール部材５０毎に複数のスライダ５１を設け、これらレール部材５０及びスライダ５１を介して下テーブル部２３を水平移動するようになっている。
また、図８では、前記レール部材５０及びスライダ５１に加え、上テーパ部２２がテーパ面２２Ａの傾斜方向に延びる複数のレール部材５３を含み、下テーパ部２３がレール部材５３毎に複数設けられ、当該レール部材５３に沿って移動可能なスライダ５４を備えた構成となっている。
このような構成によれば、内側テーブル部１４を昇降させる際の各テーパ部２２，２３の移動をよりスムースに行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】実施形態に係るテーブルが適用された貼付装置の概略縦断面図。
【図２】図１の平面図。
【図３】ウエハ載置面からウエハを上昇させた状態の図１と同様の断面図。
【図４】ウエハの回路面とシート載置面を同一面に設定した状態の図１と同様の断面図。
【図５】ウエハの回路面に保護シートを貼付した直後の図１と同様の断面図。
【図６】保護シート貼付後に、ウエハ載置面からウエハを若干上昇させた状態の図１と同様の断面図。
【図７】変形例に係る図１と同様の断面図。
【図８】他の変形例に係る図１と同様の断面図。
【符号の説明】
【００３７】
１０  貼付装置
１１  テーブル
１２  押圧ローラ
１４  内側テーブル部
１４Ａ  ウエハ載置面
１５  外側テーブル部
１５Ａ  シート載置面
１８  支持プレート
１９  昇降装置
２２  上テーパ部
２２Ａ  テーパ面
２３  下テーパ部
２３Ａ  テーパ面
Ｈ  保護シート
Ｗ  ウエハ
Ｗ１  回路面
【図１】
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【図２】
2008060318.tif 000004
【図３】
2008060318.tif 000005
【図４】
2008060318.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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