(57)【要約】【課題】  多ノズル化などにより記録素子基板が大きくなった際に、支持基板と記録素子基板の線膨張係数差の影響も大きくなり、接着剤にせん断力が生じ、その結果接着剤が劣化して信頼性の高い接着面を有するインクジェット記録ヘッドを得ることができない。【解決手段】  記録素子基板を支持部材に位置決めし接着剤により固定する際に、凹部などにより接着剤の広がる範囲を規定して一部分に未接着部を有する。これにより、記録素子基板の裏全面を接着した場合よりも記録素子基板が固定されている長さが短くなる。そのため、記録素子基板と支持基板との線膨張係数差の影響が小さくなり、記録素子基板と支持部材と接着面の信頼性の高めることが可能となる。【選択図】  図３
2008119959.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子が設けられた基板と該基板上に前記エネルギー発生素子に対向して配された吐出口が設けられた吐出口プレートとを有する記録素子基板と、前記基板に接して前記記録素子基板を支持する支持部材とを有するインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記記録素子基板と支持部材とが、両部材の互いに対向している面の一部に未接着部分を有して接着剤により接着されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
前記インクジェット記録ヘッドは、前記未接着部分を封止剤により満たす構成になっていることを特徴とする請求項１記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
前記インクジェット記録ヘッドは、前記記録素子基板の形状において長手方向に対し接着面積を小さくするように未接着部分を有することを特徴とする請求項１記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
インクを吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子が設けられた基板と該基板上に前記エネルギー発生素子に対向して配された吐出口が設けられた吐出口プレートとを有する記録素子基板と、前記基板に接して前記記録素子基板を支持する支持部材とを有するインクジェット記録ヘッドにおいて、
接着剤によって互いに接着されている前記記録素子基板と前記支持部材との少なくとも一方の両部材が、互いに対向している面の一部に凹部を有することにより両部材の接着領域が規定されて、前記記録素子基板と前記支持部材との間に未接着部分を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】
前記インクジェット記録ヘッドは、前記記録素子基板側に凹部を設けて接着領域を規定して未接着部分を有することを特徴とする請求項４記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項６】
前記インクジェット記録ヘッドは、前記支持部材側に凹部を設けて接着領域を規定して未接着部分を有することを特徴とする請求項４記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項７】
前記インクジェット記録ヘッドは、前記未接着部分および凹部を封止剤により満たす構成になっていることを特徴とする請求項４〜６のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、記録紙に対して記録液を吐出することにより記録を行うインクジェット記録装置に搭載されるインクジェット記録ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録装置は、いわゆるノンインパクト記録方式の記録装置である。高速な記録と様々な記録メディアに対して記録することが可能であり、記録時における騒音がほとんど生じないといった特徴を持つ。このようなことから、プリンタ、ワードプロセッサ、ファクシミリ、複写機などの記録機構を担う装置として広く採用されている。
【０００３】
インクジェット記録は、微小な吐出口から微小な液滴を吐出させ、記録紙に対し記録を行うこともので、代表的な方法としては電気熱変換素子を用いた方法がある。このようなインクジェット記録は、一般に液滴を形成するためのノズルを持つインクジェット記録ヘッドと、このヘッドに対してインクを供給する供給系とから構成される。電気熱変換素子を用いたインクジェット記録ヘッドでは、電気熱変換素子を加圧室内に設け、これに記録信号となる電気パルスを与えることにより記録液に熱エネルギーを与える。そして、そのときの記録液の相変化により生じる記録液の発泡（沸騰）時の気泡圧力を記録液滴の吐出に利用する。
【０００４】
数多くの記録装置が使用される近年では、より高速に高精細の画像の記録を実現するため、印字幅の広いインクジェット記録ヘッドが要求されている。そこで、一度の走査で画像形成できる領域を広げるために、記録素子基板のノズルを２倍や３倍にし多ノズル化したインクジェット記録ヘッドが必要になってくる。
【０００５】
しかしながら上記のヘッドでは、多ノズル化によって印字幅が広くなり高速印字が可能になるが、同時に多ノズル化は記録素子基板のサイズの大型化を意味する。さらに記録素子基板を高性能化するためのデジタル温度検出の設置なども記録素子基板を大型化する要因になる。大型化した記録素子基板では、例えば支持基板に記録素子基板を接着する工程において、従来記録素子基板の裏全面を支持基板に接着しているため、支持基板と記録素子基板の材料が違うために発生する線膨張係数差の影響も大きくなる。この影響が大きくなると、接着面を挟んで発生する材料の変化量が大きくなるため、接着剤にかかる負荷が過大になって接着剤の劣化が起こる。この場合、劣化部分より空気が入りインクを供給できなくなる印字不良（バサ不吐）が発生する場合や、接着剤が劣化し空いた空間にインクが侵入して他のインクと混ざる混色の発生、また記録素子基板そのもののハガレが発生する可能性が高くなる。これらの問題は重大問題のため、未然に防ぐ必要がある。
【０００６】
その為、記録素子基板が大きくなった場合でも信頼性のある安定した接着面を有するインクジェット記録ヘッドが要求されている。
【０００７】
従来例としては、例えば特許文献１と特許文献２をあげることが出来る。
【特許文献１】特開2002-254610号公報
【特許文献２】特開平10-044420号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
このように、上記構成では多ノズル化などにより記録素子基板が大きくなった際に、支持基板と記録素子基板の線膨張係数差の影響も大きくなり、接着剤にせん断力が生じる。その結果、接着剤が劣化して信頼性の高い接着面を有するインクジェット記録ヘッドを得ることができない。
【０００９】
そこで、本発明は上記従来技術の問題点に着目してなされたものである。すなわち、インクジェット記録ヘッドにおいて、記録素子基板のサイズによらず、例えば大型化した場合にも支持基板と記録素子基板が安定した接着面を有することが可能なインクジェット記録ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を実現するため、本発明のインクジェット記録ヘッドは、インクを吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子が設けられた基板と該基板上に前記エネルギー発生素子に対向して配された吐出口が設けられた吐出口プレートとを有する記録素子基板と、前記基板に接して前記記録素子基板を支持する支持部材とを有するインクジェット記録ヘッドにおいて、前記記録素子基板と指示部材とが、両部材の互いに対向している面の一部に未接着部分を有して接着剤により接着されていることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明の別のインクジェット記録ヘッドは、インクを吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子が設けられた基板と該基板上に前記エネルギー発生素子に対向して配された吐出口が設けられた吐出口プレートとを有する記録素子基板と、前記基板に接して前記記録素子基板を支持する支持部材とを有するインクジェット記録ヘッドにおいて、接着剤によって互いに接着されている前記記録素子基板と前記支持部材との少なくとも一方の両部材が互いに対向している面の一部に凹部を有することにより両部材の接着領域が規定されて、前記記録素子基板と前記支持部材との間に未接着部分を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
記録素子基板と支持部材の接着部分を規定するために、接着剤がはみ出さないよう支持部材に型などにより凹部を設けることにより、接着の際余った接着剤は凹部の中に入り、凹部から外には広がらない。これにより、接着剤により接着される記録素子基板と支持部材との間の、記録素子基板裏面の一部に未接着部分を有することにより、記録素子基板の裏全面を接着した場合よりも固定されている面積が小さくなる。そのため、接着剤を挟んで発生する記録素子基板と支持基板の線膨張係数差の影響が小さくなり、信頼性の高い接着面を有するインクジット記録ヘッドを提供することができる。
【００１３】
また、上記インクジェット記録ヘッドにおいて、未接着の部分を後工程の中で弾性のある封止剤で満たすことにより、線膨張係数差の影響を受けずにさらに接着信頼性の高い接着面を有するインクジット記録ヘッドを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下に本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１５】
なお、本明細書において、「プリント」（「記録」という場合もある）とは、文字、図形等有意の情報を形成する場合のみならず、有意無意を問わない。また人間が視覚で知覚し得るように顕在化したものであるか否かを問わず、広くプリント媒体上に画像、模様、パターン等を形成する、または媒体の加工を行う場合も言うものとする。
【００１６】
ここで、「プリント媒体もしくは被記録媒体」とは、一般的なプリント装置で用いられる紙のみならず、広く、布、プラスチック・フィルム、金属板等、ガラス、セラミックス、木材、皮革等、インクを受容可能な物も言うものとする。
【００１７】
さらに、「インク」（「液体」という場合もある）とは、上記「プリント」の定義と同様広く解釈されるべきものでる。したがって、「インク」とは、プリント媒体上に付与されることによって、画像、模様、パターン等の形成またはプリント媒体の加工、或いはインクの処理（例えばプリント媒体に付与されるインク中の色材の凝固または不溶化）に供され得る液体を言うものとする。
【実施例１】
【００１８】
まず、記録部に用いられる記録ヘッドカートリッジについて図４〜６に基づき説明する。被記録媒体に記録を行う記録部はキャリッジ軸によって移動可能に支持されたキャリッジと、このキャリッジに着脱可能に搭載される記録ヘッドカートリッジＨ１０００とからなる。この実施形態における記録ヘッドカートリッジＨ１０００は、図４に示すようにインクを貯留するインクタンクＨ１９００と、このインクタンクＨ１９００から供給されるインクを記録情報に応じてノズルから吐出させる記録ヘッドＨ１００１とを有する。記録ヘッドＨ１００１は、後述するキャリッジＭ４００１に対して着脱可能に搭載される、いわゆるカートリッジ方式を採るものとなっている。
【００１９】
ここに示す記録ヘッドカートリッジＨ１０００では、写真調の高画質なカラー記録を可能とするため、インクタンクとして、例えば、ブラック、ライトシアン、ライトマゼンタ、シアン、マゼンタ及びイエローの各色独立のインクタンクＨ１９００が用意されている。そして、図５に示すように、それぞれが記録ヘッドＨ１００１に対して着脱自在となっている。
【００２０】
そして、記録ヘッドＨ１００１は、図６の分解斜視図に示すように、記録素子基板Ｈ１１００、第１のプレートＨ１２００、電気配線基板Ｈ１３００、第２のプレートＨ１４００、タンクホルダーＨ１５００、流路形成部材Ｈ１６００、フィルターＨ１７００、シールゴムＨ１８００から構成されている。
【００２１】
記録素子基板Ｈ１１００には、Ｓｉ基板の片面にインクを吐出するための複数の記録素子と、各記録素子に電力を供給するＡｌ等の電気配線とが成膜技術により形成され、この記録素子に対応した複数のインク流路と複数の吐出口Ｈ１１００Ｔとがフォトリソグラフィ技術により形成されている。さらには、複数のインク流路にインクを供給するためのインク供給口が記録素子基板Ｈ１１００の裏面に開口するように形成されている。また、記録素子基板Ｈ１１００は第１のプレートＨ１２００に接着固定されており、ここには、前記記録素子基板Ｈ１１００にインクを供給するためのインク供給口Ｈ１２０１が形成されている。この接着固定に関しては、後に詳細に説明する。さらに、第１のプレートＨ１２００には、開口部を有する第２のプレートＨ１４００が接着固定されており、この第２のプレートＨ１４００は、電気配線基板Ｈ１３００と記録素子基板Ｈ１１００とが電気的に接続されるよう電気配線基板Ｈ１３００を保持している。この電気配線基板Ｈ１３００は、記録素子基板Ｈ１１００にインクを吐出するための電気信号を印加するものである。この電気配線基板Ｈ１３００は、記録素子基板Ｈ１１００に対応する電気配線と、この電気配線端部に位置し本体からの電気信号を受け取るための外部信号入力端子Ｈ１３０１とを有している。そして、この外部信号入力端子Ｈ１３０１は、後述のタンクホルダーＨ１５００の背面側に位置決め固定されている。また、電気配線部にインクが触れないように電気配線を囲むように封止剤を充填する。ここで充填性のよい封止剤を使用することにより、後で詳細に説明する本実施例の記録素子基板の未接着部にも封止剤が充填される。ただし充填性のよい封止剤を使用する場合は、封止剤が容易に広がり電気配線を保護できなくなる可能性があるため、粘度が高く充填性の悪い封止剤を併用する方が望ましい。一方、インクタンクＨ１９００を着脱可能に保持するタンクホルダーＨ１５００には、流路形成部材Ｈ１６００が例えば超音波溶着により固定され、インクタンクＨ１９００から第１のプレートＨ１２００に亘るインク流路Ｈ１５０１を形成している。また、インクタンクＨ１９００と係合するインク流路Ｈ１５０１のインクタンク側端部には、フィルターＨ１７００が設けられており、外部からの塵埃の侵入を防止し得るようになっている。また、インクタンクＨ１９００との係合部にはシールゴムＨ１８００が装着され、前記係合部からのインクの蒸発を防止し得るようになっている。
【００２２】
さらに、前述のようにタンクホルダーＨ１５００、流路形成部材Ｈ１６００、フィルターＨ１７００及びシールゴムＨ１８００から構成されるタンクホルダー部と、前記記録素子基板Ｈ１１００、第１のプレートＨ１２００、電気配線基板Ｈ１３００及び第２のプレートＨ１４００から構成される記録素子部とを、接着等で結合することにより、記録ヘッドＨ１００１を構成している。
【００２３】
以上説明したインクジェット記録装置におけるインクジェット記録ヘッドの第１実施形態について以下に説明する。
【００２４】
図１(ａ)、(ｂ)は本発明の一実施形態に係る第１のプレートを示す平面図である。図２(ａ)、(ｂ)は記録素子基板および第１のプレートの接合状態を吐出方向に対して側方から見た断面図である。図３は図２(ａ)の未接着部が封止剤で充填され、記録素子基板と第１のプレートの接着が完了した状態を吐出方向に対して側方から見た断面図である。
【００２５】
本実施例では、記録素子基板１の裏全面に接着剤が広がらないように図１(ａ)(ｂ)で示す凹部３を第１のプレート２に設ける。図１(ａ)は記録素子基板１の裏面内に収まるように第１のプレート２に凹部３を設けている。図１(ｂ)は記録素子基板１の端部より外側まで凹部３が広がっている為、記録素子基板１の端部は第１のプレート２から浮いた状態になっている。図１(ａ)(ｂ)のどちらの実施形態においても、記録素子基板１と第１のプレート２を接着する際に、余った接着剤は第１のプレート２の凹部３に流れ込み、記録素子基板１の裏全面へ広がることを防ぐことができる。さらに後工程である電気配線部を保護する為の封止剤充填工程により、図３に示すように記録素子基板１と第１のプレート２の未接着部に封止剤が充填される。（図３は、図２(ａ) の未接着部が封止剤で充填された状態を示す）本実施例では、充填性の良い封止剤４と、粘度が高く充填性の悪い封止剤５の二種類を用意し、充填性の良い封止剤４の後に粘度の高い封止剤５を用いて充填を行った。これらの工程により記録素子基板１と第１のプレート２の接着は完了する。記録素子基板１と第１のプレート２の接着部がこのような構成になっていることにより、記録素子基板１の端部は弾性のある封止剤４により接着されている為、記録素子基板１が第１のプレート２に接着剤で固定されている面積は小さくなる。よって、温度変化の際、記録素子基板１と第１のプレート２の線膨張係数差の影響を小さくすることが可能となる。本実施例では、記録素子基板１の材料はＳｉで線膨張係数：３.５×１０-6／℃、第１のプレート２はアルミナで線膨張係数：７.０×１０-6／℃であり、線膨張係数で２倍の違う。
【００２６】
さらに、色間方向の接着領域は従来と変更していないため、混色問題に対しても従来同様に信頼性の高い接着面を有することが可能となる。
【００２７】
以上示した構成では、記録素子基板１と第１のプレート２の接着部分を規定するために、第１のプレート２に凹部３を設け、インク供給口７のある面に塗布された接着剤が凹部３から外には広がらないようにした。それにより、記録素子基板１が第１のプレート２に接着剤で固定されている面積を狭くした。その結果、記録素子基板１と第１のプレート２の線膨張係数差による影響を小さくすることができ、記録素子基板１と第１のプレート２の接着信頼性が高い接着面を有することが可能なインクジェット記録ヘッドを提供することができる。
【実施例２】
【００２８】
図９は、記録素子基板Ｈ１１００の構成を説明するために一部分解した斜視図である。
【００２９】
記録素子基板Ｈ１１００には、複数の記録素子と、この記録素子に対応した複数のインク流路と複数の吐出口Ｈ１１００Ｔとがフォトリソグラフィ技術により形成されると共に、インク供給口が裏面に開口するように形成されている。また、記録素子基板Ｈ１１００は、例えば、サイドシュータタイプとされ、１枚の基板で構成されている。基板において、２列で千鳥掛け状に形成される複数の吐出口Ｈ１１００Ｔは、例えば、インク色ごとに約１２００ｄｐｉ程度に形成されており、異なるインク色のインクをそれぞれ吐出するものとされる。
【００３０】
本実施形態の記録ヘッドは、電気熱変換素子１３(Ｈ１１０３)が熱エネルギーを発生してインクに生起された気泡が大気と連通し吐出口からインクが滴として吐出される、いわゆるバブルスルージェット方式のものが好ましく用いられる。
【００３１】
記録素子基板Ｈ１１００は、例えば、図９で示されるように、その表面に薄膜が形成されているＳｉ基板１１０１と、基板１１０１上に形成されているオリフィスプレートＨ１１１２とから構成されている。基板１１０１は、例えば、厚さ０．５〜１（ｍｍ）とされ、６色のインク流路として長溝状の貫通口からなるインク供給口Ｈ１１０２が６列互いに平行に一体に形成されている。隣接するインク供給口Ｈ１１０２の相互間距離は、例えば、約２.５ｍｍに設定されている。このように相互間距離が比較的小とされるので記録ヘッドの小型化が図られることとなる。各々のインク供給口Ｈ１１０２の両側には、記録素子としての電気熱変換素子Ｈ１１０３がそれぞれ１列ずつ千鳥状に複数個、例えば、インク色ごとに約１２００ｄｐｉ程度に配列形成されている。
【００３２】
基板１１０１上に形成される複数の電気熱変換素子Ｈ１１０３および各電気熱変換素子Ｈ１１０３に電力を供給するＡｌ等の電気配線（図９において図示が省略される）は、成膜技術により形成されている。また、その電気配線に電力を供給するための電極部Ｈ１１０４は、電気熱変換素子Ｈ１１０３の配列方向に対して直交する方向の端部に沿って形成されている。電極部Ｈ１１０４は、金等のバンプＨ１１０５が複数個、上述の電気配線基板Ｈ１３００の電極端子Ｈ１３０２にそれぞれ対応して設けられている。
【００３３】
インク供給口Ｈ１１０２は、例えば，Ｓｉ基板１１０１の結晶面方位を利用して、異方性エッチングを行うことにより形成される。ウエハー面に＜１００＞、厚さ方向に＜１１１＞の結晶面方位を持つ場合、アルカリ系（ＫＯＨ，ＴＭＡＨ，ヒトラジン等）の異方性エッチングにより、約５４．７度の角度（被エッチング面の立ち上がりの内角）でエッチングが進行する。この方法が用いられて、所望の深さにエッチングすることにより、インク供給口Ｈ１１０２が形成される。さらに後述する本実施例の記録素子基板上の凹部も、この方法を用いて形成することが可能である。
【００３４】
また、基板Ｈ１１０１上に形成されるオリフィスプレートＨ１１１２には、図９に示されるように、各電気熱変換素子Ｈ１１０３に対応したインク流路を形成するためのインク流路壁Ｈ１１０６と吐出口１１００Ｔとがフォトリソグラフィ技術により形成される。従って、隣接する吐出口１１００Ｔは、互いにインク流路壁Ｈ１１０６により仕切られることとなる。
【００３５】
各インク供給口Ｈ１１０２から供給される６色インクにそれぞれ対応した６列の吐出口Ｈ１１００Ｔ列が一体に１枚のオリフィスプレートＨ１１０５に形成されている。吐出口Ｈ１１００Ｔ列は、電気熱変換素子Ｈ１１０３の配列と同様に、千鳥状に複数個、例えば、インク色ごとに約１２００ｄｐｉ程度に配列形成されている。即ち、吐出口Ｈ１１００Ｔは、電気熱変換素子Ｈ１１０３に対向して設けられている。
【００３６】
以上説明したインクジェット記録装置におけるインクジェット記録ヘッドの第二実施形態について以下に説明する。
【００３７】
図７（a）（ｂ）は本発明の一実施形態に係る記録素子基板１を示す平面図および側面図であり、図８は未接着部が封止剤で充填され、記録素子基板１と第１のプレート２の接着が完了した状態を吐出方向に対して側方から見た断面図である。
【００３８】
本実施例では、記録素子基板１の裏全面に接着剤が広がらないように図７で示す凹部６が記録素子基板１上にある。この凹部６は前にも述べたが、インク供給口７の形成方法と同じく、異方性エッチングにより形成することが可能である。もしくはダイシング装置などにより形成することも可能である。この凹部６により、記録素子基板１と第１のプレート２を接着する際に、余った接着剤は記録素子基板の凹部６に流れ込み、記録素子基板１の裏全面へ広がることを防ぐことができる。さらに後工程である電気配線部を保護する為の封止剤充填工程により、図８に示すように記録素子基板１と第１のプレート２の未接着部に封止剤４が充填される。これらの工程により記録素子基板１と第１のプレート２の接着は完了する。記録素子基板１と第１のプレート２の接着部がこのような構成になっていることにより、記録素子基板１の端部は弾性のある封止剤４により接着されている為、記録素子基板１が第１のプレート２に接着剤で固定されている面積は小さくなる。よって、温度変化の際、記録素子基板１と第１のプレート２の線膨張係数差の影響を小さくすることが可能となる。本実施例では、第一の実施例と同じく、記録素子基板１の材料はＳｉで線膨張係数：３.５×１０-6／℃、第１のプレート２はアルミナで線膨張係数：７.０×１０-6／℃であり、線膨張係数で２倍の違う。
【００３９】
さらに、色間方向の接着領域は従来と変更していないため、混色問題に対しても従来同様に信頼性の高い接着面を有することが可能となる。
【００４０】
以上示した構成では、記録素子基板１と第１のプレート２の接着部分を規定するために、記録素子基板１に凹部６を設け、インク供給口７のある面に塗布された接着剤が凹部６から外には広がらないようにした。それにより、記録素子基板１が第１のプレート２に接着剤で固定されている面積が狭くなる。その結果、記録素子基板１と第１のプレート２との線膨張係数差の影響を小さくして、記録素子基板１と第１のプレート２の接着信頼性が高い接着面を有することが可能なインクジェット記録ヘッドを提供することができる。
【実施例３】
【００４１】
図１０は本発明の一実施形態に係る記録素子基板１を示す平面図である。
【００４２】
高画質、高速印字を目指していく中では、記録素子基板はより大きくなってくる。さらに記録素子基板自体に、安定した高画質を目指し温度変化による吐出量の変動を抑える為にデジタル温検などをつけて高機能化することも記録素子基板が大きくなる要因になっている。このように様々な要因により、記録素子基板のサイズは変化する。記録素子基板が大きくなった場合に、従来通りに記録素子基板の裏全面を第１のプレートに接着した場合は、線膨張係数差の影響が大きくなり、記録素子基板のハガレや混色が発生する可能性が高くなってしまう。そこで図１０に示す本実施例では、記録素子基板１に接着領域を既定するための凹部６を設ける。凹部６の形成は、インク供給口７を形成する方法である異方性エッチングにより形成することが望ましいが、ダイシング装置により形成することも可能である。この凹部６により、記録素子基板１と第１のプレート２を接着する際に、余った接着剤は記録素子基板１の凹部６に流れ込み、記録素子基板１の裏全面へ広がることを防ぐことができる。さらに後工程である電気配線部を保護する為の封止剤充填工程により、記録素子基板１と第１のプレート２の未接着部に封止剤４が充填される。（実施例１、２参照）これらの工程により記録素子基板１と第１のプレート２の接着は完了する。記録素子基板１と第１のプレート２の接着部がこのような構成になっていることにより、記録素子基板１の周囲は弾性のある封止剤４により接着されている為、記録素子基板１が第１のプレート２に接着剤で固定されている面積は大幅に小さくなる。よって、温度変化の際、記録素子基板１と第１のプレート２の線膨張係数差の影響を、記録素子基板裏全面が接着固定されている場合よりも大幅に小さくすることが可能となる。本実施例では、第一、二の実施例と同じく、記録素子基板１の材料はＳｉで線膨張係数：３.５×１０-6／℃、第１のプレート２はアルミナで線膨張係数：７.０×１０-6／℃であり、線膨張係数で２倍の違う。
【００４３】
さらに、色間方向の接着領域は外側の接着領域のみを小さくし、色間部の接着領域は従来と変更していないため、混色問題に対しても従来同様に信頼性の高い接着面を有することが可能となる。
【００４４】
以上示した構成では、記録素子基板１のサイズが大きくなった場合にも、記録素子基板１と第１のプレート２の接着部分が規定するために、記録素子基板１裏面上周囲に凹部６を設けた。そうして、インク供給口７のある面に塗布された接着剤が凹部６から外には広がらないようにした。それにより、記録素子基板１が第１のプレート２に接着剤で固定されている面積を大幅に狭くすることができる。その結果、記録素子基板１と第１のプレート２との線膨張係数差の影響を小さくして、記録素子基板１と第１のプレート２の接着信頼性が高い接着面を有することが可能であるインクジェット記録ヘッドを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】（a）および（ｂ）は、本発明の第１実施形態における第１のプレートを示す平面図である。
【図２】（a）および（ｂ）は、図１に示す第１のプレートおよび記録素子基板の接合状態を吐出方向に対して側方から見た断面図である。
【図３】図２（a）の未接着部が封止剤で充填され、記録素子基板と第１のプレートの接着が完了した状態を示す吐出方向に対して側方から見た断面図である。
【図４】本発明の一実施形態によるプリンタに用いる記録ヘッドカートリッジを組み立てた状態を示す斜視図である。
【図５】図４に示す記録ヘッドカートリッジを示す分解斜視図である。
【図６】図５に示した記録ヘッドを斜め下方から観た分解斜視図である。
【図７】（a）および（ｂ）は、本発明の第２実施形態における記録素子基板の平面図及び側面図である。
【図８】図７に示す第１のプレートと記録素子基板を接着し、未接着部に封止剤を充填した状態を示す吐出方向に対して側方から見た断面図である。
【図９】本発明の一実施形態に係る記録ヘッドの主要部を示す部分破断斜視図である。
【図１０】本発明の第３実施形態における記録素子基板を示す平面図である。
【符号の説明】
【００４６】
Ｈ１０００  記録ヘッドカートリッジ
Ｈ１００１  記録ヘッド
Ｈ１１００  記録素子基板
Ｈ１１００Ｔ  吐出口
Ｈ１２００  第１のプレート
Ｈ１２０１  インク供給口
Ｈ１３００  電気配線基板
Ｈ１３０１  外部信号入力端子
Ｈ１４００  第２のプレート
Ｈ１５００  タンクホルダー
Ｈ１５０１  インク流路
Ｈ１６００  流路形成部材
Ｈ１７００  フィルター
Ｈ１８００  シールゴム
Ｈ１９００  インクタンク
１  記録素子基板
２  支持部材（第１のプレート）
３  支持部材−凹部
４  粘度の低い封止剤（充填性良）
５  粘度の高い封止剤（充填性悪）
６  記録素子部材−凹部
７  インク供給口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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