(57)【要約】【課題】ファンフィルターユニットにおいて、クリーン空間での構成部品の着脱の頻度を低減させる事を目的とする。【解決手段】箱型状のチャンバー５上部に吸込口を有し、ファン２とモータ３からなるファンユニット４を前記チャンバー５内部に有し、前記チャンバー５内部に光触媒ケミカルフィルター６を再生させる事ができる殺菌灯８を配置し、殺菌灯より照射される光が効果的に光触媒ケミカルフィルタ−６にあたるような場所に設置され、都度殺菌灯８を光触媒ケミカルフィルター６に照射することで酸化チタン触媒を担持した光触媒ケミカルフィルター６により捕集された有害成分などを分解させる事ができるので、フィルターの延命化につながり、かつフィルターの交換頻度を低減させることが可能となる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
箱型状のチャンバー上部に吸込部を有し、ファンとモーターからなるファンユニットを前記チャンバー内部に有し、このファンユニットの吹出側にフィルターを設けたファンフィルターユニットにおいて、前記フィルターは、光触媒ケミカルフィルターであり、前記光触媒ケミカルフィルターを再生する為の殺菌灯をチャンバー内に備えたファンフィルターユニット。
【請求項２】
前記ファンユニットはモータサポートによってチャンバに固定され、前記殺菌灯を前記モータサポートのフィルター側に設置したことを特徴とする請求項１記載のファンフィルターユニット。
【請求項３】
前記殺菌灯は、前記チャンバー内の側面に備えたことを特徴とする請求項１記載のファンフィルターユニット。
【請求項４】
チャンバー側面を開閉可能とし、殺菌灯の交換をチャンバー側面から行う事が出来るようにした請求項３記載のファンフィルターユニット。
【請求項５】
殺菌灯の照射時間をタイマー制御できるようにした請求項１〜４いずれかに記載のファンフィルターユニット。
【請求項６】
前記チャンバーの側面を取り外し可能なパネル型にし、その側面パネルの内側に殺菌灯を設置した請求項３記載のファンフィルターユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体工場、食品工場などの清浄空間を必要とするクリーンルームで使用されるファンフィルターユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のファンフィルターユニットとしては、ファンとモータから成るファンユニットの吹出し側に、ＨＥＰＡ，ＵＬＰＡフィルタ−というような除塵フィルタ−では捕集する事が出来ないガス状有害成分を捕集するために、酸性ガスやアルカリ性ガスなどを捕集する事ができる複数枚のケミカルフィルターを積層し、チャンバーにねじで固定することによりファンフィルターユニットを構成している（例えば、特許文献１）。
【特許文献１】特開２０００−８４３２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような従来のファンフィルターユニットでは、ケミカルフィルターのメンテナンス時、チャンバー部分とケミカルフィルター部分を分離することが不可欠であり、着脱に時間がかかることとなり、クリーンな環境を保つべきクリーン空間内に人が入ってケミカルフィルターの交換作業をおこなうことにより内部のクリーンな環境に障害を及ぼすという課題がある。
【０００４】
また狭いメンテナンススペースに交換用の道具を多数持ち込まなければならないという課題もある。
【０００５】
さらに、最近の局所クリーン化の動きに伴い、クリーンな環境を維持すべき空間が小型化しており、内部に設けられた各種製造装置によってクリーン空間内のメンテナンススペースの確保が困難なため、フィルターの長寿命化、省メンテナンス性が望まれている。
【０００６】
本発明は、このような従来のメンテナンス時の課題を解決するものであり、クリーン空間でのケミカルフィルターの長寿命化を図る事により、着脱の頻度を低減させることを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のファンフィルターユニットは、上記目的を達成するためにクリーンルームまたはクリーンルーム内の局所空間の気体を清浄にする方法において、箱型状のチャンバー上部に吸込部を有し、ファンとモーターからなるファンユニットを前記チャンバー内部に有し、前記チャンバー内部に光触媒ケミカルフィルターを再生させる事ができる殺菌灯を配置したものである。
【０００８】
この構成により、殺菌灯より照射される光が光触媒ケミカルフィルタ−に照射されてフィルターの再生が行われ、その結果、フィルターの延命化につながり、かつフィルターの交換頻度を低減させることが可能となる。
【０００９】
また他の手段は、ファンユニットはモータサポートによってチャンバーに固定され、前記殺菌灯はモータサポートのフィルター側に設置したものであり、光触媒ケミカルフィルター全体に効率的に光を照射するものである。
【００１０】
また他の手段は、殺菌灯を、チャンバー内の側面に備えたものであり、光触媒ケミカルフィルターの端部までに光を照射することができる。
【００１１】
また、チャンバー側面を開閉可能とし、チャンバー内部の側面に設置した殺菌灯の交換をチャンバー側面から行う事が出来るようにしたものである。
【００１２】
また、他の手段は光触媒ケミカルフィルターを再生させる事ができる殺菌灯にタイマー機能を持たせたものである。
【００１３】
また、他の手段はチャンバーの側面をパネル型にし、その側面パネルの内側に殺菌灯を設置したものである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、光触媒フィルターを再生させる事ができる殺菌灯をチャンバー内に配置し、都度殺菌灯を光触媒フィルターに照射することでフィルターが再生されるので、フィルターの延命化につながり、かつフィルターの交換頻度を低減させることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明の請求項１記載の発明は、箱型状のチャンバー上部に吸込部を有し、ファンとモーターからなるファンユニットを前記チャンバー内部に有し、このファンユニットの吹出側にフィルターを設けたファンフィルターユニットにおいて、ファンフィルターユニットのチャンバー内部に、光触媒ケミカルフィルターを再生させる為の殺菌灯を備えたものであり、殺菌灯の光を効果的に光触媒ケミカルフィルタ−上流面に照射して、フィルターに捕集された有害成分を分解することが出来る。
【００１６】
また請求項２記載の発明は、ファンユニットはモータサポートによってチャンバーに固定され、前記殺菌灯はモータサポートのフィルター側に設置したものであり、殺菌灯を効果的にフィルタ−上流面に照射することにより捕集された有害成分が分解され、光触媒ケミカルフィルタ−の延命化が図れるという効果を有する。
【００１７】
また請求項３記載の発明は、殺菌灯を、チャンバー内の側面に備えたものであり、殺菌灯の光を効果的にフィルタ−端部まで照射することにより、光触媒ケミカルフィルタ−に捕集された有害成分が分解され、フィルタ−の延命化が図れるという効果を有する。
【００１８】
また請求項４記載の発明は、チャンバー側面を開閉可能としたものであり、チャンバー内部の側面に設置した殺菌灯の交換をチャンバー側面から行う事が出来るという効果がある。
【００１９】
また請求項５記載の発明は、光触媒ケミカルフィルターを再生させる事ができる殺菌灯にタイマー機能を持たせたものであり、効率的な光照射で殺菌灯のメンテナンスが軽減されるという作用を有する。
【００２０】
また、請求項６記載の発明は、チャンバーの側面をパネル型にし、その側面パネルの内側に殺菌灯を設置したものである。
【００２１】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００２２】
（実施の形態１）
本発明のファンフィルターユニットは、図１に示すように、箱型状のチャンバー５上部に吸込口１を有し、ファン２とモータ３からなるファンユニット４を前記チャンバー５内部に有している。ファンユニット４は、吹出し側をモータサポート７によってチャンバー５に固定されている。また、チャンバー５のファンユニット４吹出し側には酸化チタン触媒を担持した光触媒ケミカルフィルター６を有している。モータサポート７の光触媒ケミカルフィルター６側には、殺菌灯８を設置し、照射面を光触媒ケミカルフィルター６側に向けている。殺菌灯８には紫外線ランプなどが用いられる。このようなファンフィルターユニットは半導体製造装置の天井や側面に設置され、クリーンルーム内の空気清浄に広く用いられている。
【００２３】
上記構成によるファンフィルターユニットは、ファンユニット４を動作することによって吸込口１より空気を吸込み、光触媒ケミカルフィルター６を通過することによって粉塵などが除去されて半導体製造装置等の対象空間に清浄な空気が供給される。
【００２４】
殺菌灯８は、光触媒ケミカルフィルター６に紫外線を照射することにより、触媒効果が活性されて、フィルター表面に付着した有害成分等を分解することができ、フィルターの性能を長期間維持することが可能となる。
【００２５】
（実施の形態２）
本発明の第２の実施の形態について、図２を用いて説明する。第１の実施の形態と同じ構成については同じ符号を付し詳細な説明を省略する。
【００２６】
図２に示すように箱型状のチャンバー５上部に吸込口１を有し、ファン２とモータ３からなるファンユニット４を前記チャンバー５内部に有している。ファンユニット４は、吹出し側をモータサポート７によってチャンバー５に固定されている。また、ファンユニット４の吹出し側には光触媒ケミカルフィルター６を有している。
【００２７】
殺菌灯８を装置の外部から交換できるようにチャンバー５側面の全てまたは一部をパネル化（側面パネル９）する。その側面パネル９のチャンバー５側に殺菌灯８を設置する。殺菌灯８の交換時には側面パネル９を外すことによって行うことができる。また、殺菌灯８はチャンバー５の側面に取り付けられているため、光触媒ケミカルフィルター６の端部まで光を照射することができ、フィルターの再生を効率よく行うことが可能となる。
【００２８】
側面パネル９はねじ止めなどでチャンバー５に固定することができる。
【００２９】
（実施の形態３）
本発明の第３の実施の形態について、図３、図４を用いて説明する。第１および第２の実施の形態と同じ構成については同じ符号を付し詳細な説明を省略する。
【００３０】
図３に示すように、チャンバー５上に殺菌灯８の照射時間を制御する為のタイマー１０を配置する。
【００３１】
上記構成によるファンフィルターユニットは、ファンユニット４を動作することによって吸込口１より空気を吸込み、光触媒ケミカルフィルター６を通過することによって粉塵などが除去されて半導体製造装置等の対象空間に清浄な空気が供給される。
【００３２】
殺菌灯８は、光触媒ケミカルフィルター６に紫外線を照射することにより、触媒効果が活性されて、フィルター表面に付着した有害成分等を分解することができ、フィルターの性能を長期間維持することが可能となる。例えば設備の稼働時間をあらかじめタイマー１０に作動時間を組み込んでおく事で、稼動後に紫外線を照射しフィルタ−の再生を行う事が出来るようにする。これにより作業者の手を介さずにフィルタ−のメンテナンスが可能となる。（図４参照）
【産業上の利用可能性】
【００３３】
以上のように本発明によれば、時間と手間をかけずに容易にケミカルフィルターを再生することができ、クリーンルーム内で用いられるファンフィルターユニットのケミカルフィルターメンテナンスに適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の第１の実施の形態の構成を示す構成図
【図２】本発明の第２の実施の形態の構成を示す構成図
【図３】本発明の第３の実施の形態の構成を示す構成図
【図４】本発明の第３の実施の形態のタイマーの動作を示す図
【符号の説明】
【００３５】
１    吸込口
２    ファン
３    モータ
４    ファンユニット
５    チャンバー
６    光触媒ケミカルフィルター
７    モータサポート
８    殺菌灯
９    側面パネル
１０  タイマー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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