(57)【要約】【課題】  チャンネルの高密度化を実現しつつ、各チャンネル間での剛性差を抑制して吐出特性の均一化を図ることができる液滴吐出装置の提供。【解決手段】  インクジェットプリンタヘッド（液滴吐出装置）１は、複数の圧力室３０と、該複数の圧力室３０にそれぞれ接続して並列して設けられた複数の絞り通路３２とを備え、並列方向最端の圧力室３０（３０ａ）を除く各々の圧力室３０（３０ｂ）は、その隣の圧力室３０に接続する絞り通路３２と、平面視において少なくとも一部が重なって位置し、絞り通路３２の並列方向の延長上に、最端の圧力室３０（３０ａ）と平面視において少なくとも一部が重なる疑似通路３２ａが設けられている。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力変動により内部のインクをノズル側へ送出するための並列して設けられた複数の圧力室と、該複数の圧力室の各々へ共通インク室からインクを導くために該複数の圧力室にそれぞれ接続して並列して設けられた複数の通路とを備え、
前記並列方向最端の圧力室を除く各々の圧力室は、その隣の圧力室に接続する前記通路と平面視において少なくとも一部が重なって位置し、
前記通路の並列方向の延長上に、前記最端の圧力室と平面視において少なくとも一部が重なる内部空間を形成する疑似通路が設けられていることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記疑似通路は、前記並列方向最端の通路から、各通路の並列間隔と略同一間隔だけ隔てて設けられていることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記疑似通路が、前記通路の並列方向の延長上に複数並設されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記最端の圧力室を除く各々の圧力室は、その隣の圧力室に接続する通路と平面視において交差し、前記最端の圧力室は、前記疑似通路と平面視において交差することを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記疑似通路の形状が、前記通路の形状と略同一である請求項１乃至４の何れかに記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
前記圧力室の並列方向の延長上に、前記疑似通路に対応して内部空間を形成する疑似圧力室が設けられていることを特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載の液滴吐出装置。
【請求項７】
前記通路は、前記圧力室と前記共通インク室とを含む流路中最も大きな流路抵抗を有していることを特徴とする請求項１乃至６の何れかに記載の液滴吐出装置。
【請求項８】
前記圧力室を形成する圧力室プレートと、前記共通インク室を形成する共通インク室プレートと、前記両プレート間に介装されて該両プレートと共に積層されて前記通路を形成する通路プレートとを備え、前記通路は、前記共通インク室プレートの面方向に沿って伸びていることを特徴とする請求項１乃至７の何れかに記載の液滴吐出装置。
【請求項９】
前記通路の少なくとも一端は、前記通路プレートと前記圧力室プレート又は前記共通インク室プレートとの間に介装された他のプレートが有する孔を通じ、前記圧力室又は前記共通インク室と接続されていることを特徴とする請求項８に記載の液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のチャンネルを通じて紙などの媒体に液滴を吐出する、例えばインクジェットプリンタヘッド等の液滴吐出装置に関する。特に、複数のチャンネル間での剛性の差を低減して液滴の吐出特性の不均一性を抑制し得る液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、インクジェットプリンタヘッドは、インクタンクから共通インク室へ供給されたインクを、複数のチャンネルを通じて配送し、該チャンネル毎に備えられたノズル孔から吐出する構成となっている。より詳述すると、インクジェットプリンタヘッドは複数のプレートが積層されて成る流路ユニットを有し、該流路ユニット内には、共通インク室と、圧力室と、前記共通インク室及び圧力室間を繋ぐ通路と、圧力室から延びる流出路と、該流出路の下流端に設けられるノズル孔とから成るチャンネルが形成されている（例えば、特許文献１，特許文献２参照）。
【０００３】
そして、共通インク室から通路を通じて圧力室へ供給されたインクは、圧力室が加圧されると、流出路を通じてノズル孔から外部へ吐出される。また、共通インク室及び圧力室間を繋ぐ通路は、その少なくとも一部分（絞り部）の流路断面積が圧力室より小さく形成されており、これによりインクの流路抵抗を増大させ、圧力室の加圧時にインクが共通インク室側へ逆流するのを抑制している。
【特許文献１】特許第３６７４４９６号公報
【特許文献２】特開２００６−１７５７４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上記特許文献１に示されたインクジェットプリンタヘッドでは、１つのプレート（圧力室プレート）に該プレート面に沿って長い圧力室用の孔が形成され、この孔の端部から通路状の絞り部が更に延設されている。即ち、圧力室プレートには、圧力室用の孔と絞り部とが縦列に設けられて成る長寸の流路が形成されており、このような流路が１つの圧力室プレートに多数並設されて流路列が形成されている。更に、圧力室プレートには、この流路列が複数並列して設けられている。
【０００５】
このような構成の場合、圧力室及び絞り部が縦列に設けられているため、圧力室プレートを平面視したときに前記流路が長寸化してしまう。特に絞り部は、所定の流路抵抗を発揮する必要から所定長以下に短寸化することができないため、圧力室と絞り部とを合わせた流路長の短寸化は困難である。すると、流路列が幅広になってしまうため、１つの圧力室プレートに対して並列に設けることのできる流路列数が少なくなってしまい、近年のインクジェットプリンタヘッドに要望されているチャンネル数の増加（即ち、チャンネルの高密度化）が実現困難となる。
【０００６】
一方、特許文献２に示されているように、圧力室と絞り部とを別のプレートで形成し、これらのプレートを積層することにより、圧力室の下方に絞り部を配設したチャンネル形状も提案されている。この場合、プレートの積層方向から見ると、圧力室及び絞り部から成る流路の寸法が短寸化されて流路列の幅も狭小化するため、流路列を多数並設できてチャンネル数の増加が可能となる。
【０００７】
圧力室の長さを短くすると、その中のインクの固有振動周期が短くなるため、高周期の吐出が可能になるので、発明者は、さらなる高密度化、高速印字化のために、圧力室の長さを短くすることを考えた。それにともない、共通インク室の幅も小さくなるが、上記のように絞り部は所定の流路抵抗を確保するために所定長さが必要になる。そうすると、従来のように圧力室と絞り部を平行に配置する構成を採ることが困難になる。発明者はさらに、圧力室の長手方向に対して絞り部を斜め向けて配置し、これにより、絞り部の必要寸法に制限されずに圧力室をより短小化して、チャンネルの高密度化、高速印字化することを考えた。
【０００８】
しかしながら、圧力室の長手方向に対し絞り部を斜めに向けて配設した場合、最端部に位置するチャンネルと、その他のチャンネルとの間で、剛性に差が生じてしまう。即ち、プレートの積層方向に沿って見た場合、複数並設された圧力室のうち一方の最端に位置するもの以外の圧力室は、一方側に隣接する圧力室から斜めに向けて延びる絞り部と一部重複することとなる。
【０００９】
これに対し、前記最端の圧力室の一方側には隣接する圧力室も該圧力室から延びる絞り部も存在しない。従って、一方の最端に位置する圧力室を通ってプレートの積層方向に沿って流路ユニットを切断したときの断面と、その他の圧力室を通って同様に切断したときの断面とでは、互いの形状が異なることとなる。そして、このような断面形状の相違は、流路ユニットの各断面箇所間で剛性に差を生じさせることとなる。流路ユニットにおいて各圧力室近傍の部材の剛性が夫々異なっていると、インクの吐出のために圧力室へ加えられた圧力は、剛性のより小さい部分における部材の変形に吸収され、実質的にインクへ加わる圧力に差が生じてしまう。また、圧力室を囲む部材の固有振動に差が生じ、インクの振動にも影響を与えてしまう。そしてその結果として、各圧力室を夫々有するチャンネル間においてインクの吐出特性の不均一が生じてしまい好ましくない。また、このような事態はインクジェットプリンタヘッドに限られず、同様のチャンネルを有する流路ユニットから成る液滴吐出装置の全般においても生じることである。
【００１０】
そこで本発明は、チャンネルの高密度化を実現しつつ、各チャンネル間での剛性差を抑制して吐出特性の均一化を図ることができる液滴吐出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は上述したような事情に鑑みてなされたものであり、本発明に係る液滴吐出装置は、圧力変動により内部のインクをノズル側へ送出するための並列して設けられた複数の圧力室と、該複数の圧力室の各々へ共通インク室からインクを導くために該複数の圧力室にそれぞれ接続して並列して設けられた複数の通路とを備え、前記並列方向最端の圧力室を除く各々の圧力室は、その隣の圧力室に接続する前記通路と平面視において少なくとも一部が重なって位置し、前記通路の並列方向の延長上に、前記最端の圧力室と平面視において少なくとも一部が重なる内部空間を形成する疑似通路が設けられている。
【００１２】
このような構成とすることにより、複数並設された圧力室のうち、最端に設けられた圧力室近傍の部材と、その他の圧力室近傍の部材とが同様の構成を有することとなるため、両者間での剛性の差が低減され、液滴の吐出特性の均一化を図ることができる。そして、このような液滴の吐出特性の均一化を、圧力室及び通路等から成るチャンネルの高密度化を実現しつつ達成することができる。
【００１３】
また、前記疑似通路は、前記並列方向最端の通路から各通路の並列間隔と略同一間隔だけ隔てて設けられていてもよい。このような構成とすることにより、最端に位置するチャンネル近傍の構成とその他のチャンネル近傍の構成とが、より類似することとなるため、夫々のチャンネルの近傍部材間での剛性差を更に低減することができる。
【００１４】
また、前記疑似通路は、前記通路の並列方向の延長上に複数並設されていてもよい。このような構成とすることにより、最端に位置するチャンネルの近傍部材とその他のチャンネルの近傍部材との剛性差を、より一層低減することができる。
【００１５】
また、前記最端の圧力室を除く各々の圧力室は、その隣の圧力室に接続する通路と平面視において交差し、前記最端の圧力室は、前記疑似通路と平面視において交差するよう構成されていてもよい。このような構成とすることにより、圧力室の長手方向の寸法を更に短くできるため、チャンネルの高密度化を図ることができると共に、既に述べたように、各圧力室の近傍部材間での剛性差が低減されて液滴の吐出特性の均一化も図ることができる。
【００１６】
また、前記疑似通路の形状は、前記通路の形状と略同一であってもよい。このような構成とすることにより、各チャンネルの近傍部材の構成が互いに類似するため、各チャンネル間での周辺部材の剛性の差がより低減される。
【００１７】
また、前記圧力室の並列方向の延長上に、前記疑似通路に対応して内部空間を形成する疑似圧力室が設けられていてもよい。このような構成とすることにより、端部に位置するチャンネル近傍の部材構成とその他のチャンネル近傍の部材構成とが、より一層類似することとなるため、両チャンネルの近傍部材間での剛性差を更に低減することができる。
【００１８】
また、前記通路は、前記圧力室と前記共通インク室とを含む流路中最も大きな流路抵抗を有していてもよい。このような構成とすることにより、この比較的大きな流路抵抗を有する部分により、圧力室へ加圧したときの流体（インク等）の逆流を効果的に防止することができる。
【００１９】
また、前記圧力室を形成する圧力室プレートと、前記共通インク室を形成する共通インク室プレートと、前記両プレート間に介装されて該両プレートと共に積層されて前記通路を形成する通路プレートとを備え、前記通路は、前記共通インク室プレートの面方向に沿って伸びていてもよい。このように各プレートが積層されて圧力室、共通インク室、及び通路を形成する流路ユニットにおいて、上述したようなチャンネルの高密度化と各チャンネル間での液滴の吐出特性の均一化とを図ることができる。
【００２０】
また、前記通路の少なくとも一端は、前記通路プレートと前記圧力室プレート又は前記共通インク室プレートとの間に介装された他のプレートが有する孔を通じ、前記圧力室又は前記共通インク室と接続されていてもよい。
【発明の効果】
【００２１】
本発明に係る液滴吐出装置によれば、チャンネルの高密度化を実現しつつ、各チャンネル間での剛性差を抑制して吐出特性の均一化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の実施の形態に係る液滴吐出装置について、インクジェットプリンタヘッドを例に、図面を参照しながら具体的に説明する。
【００２３】
図１は、インクジェットプリンタヘッド１の構成を示す分解斜視図である。図１に示すように、インクジェットプリンタヘッド１は、複数枚のプレートが積層された流路ユニット２と、該流路ユニット２に対して上方から重ねられて接着される圧電式のアクチュエータ３とを備えており、該アクチュエータ３には外部機器との電気的接続を行うためのフレキシブルフラットケーブル４が上方から重ねられて接着される。アクチュエータ３の上面には複数の表面電極５が形成されており、これに、フレキシブルフラットケーブル４の下面に露出して形成された図示しない端子が接続されることにより、両者は電気的に導通される。なお、以下の説明で用いる方向の概念は、流路ユニット２に対してアクチュエータ３が設けられる側を上方、その反対側を下方としており、その他の場合は適宜説明するものとする。
【００２４】
図２は、図１に示す流路ユニット２の構成を示す分解斜視図である。また、図３は、図１に示す流路ユニット２にアクチュエータ３及びフレキシブルフラットケーブル４が積層接着されたものを図１のIII-III線に沿って切断したときの一部の形状を示す断面図である。図２及び図３に示すように、流路ユニット２は、圧力室プレート8、第１スペーサプレート9、絞りプレート１０、第２スペーサプレート１１、第１マニホールドプレート１２、第２マニホールドプレート１３、ダンパープレート１４、カバープレート１５、及びノズルプレート１６が、この順に上方から配設されてそれぞれ積層接着された構成となっている。ノズルプレート１６はポリイミド等の樹脂シートで、それ以外の各プレート８〜１５は４２％ニッケル合金鋼板（４２合金）等の金属板であり、平面視で何れも長方形状を成し、各々５０〜１５０μｍ程度の肉厚を有している。各プレート８〜１５には、電解エッチング、レーザ加工、又はプラズマジェット加工等により、チャンネル７を構成する流路を成す開孔又は凹部が形成されている。
【００２５】
図２に示すように、圧力室プレート８には多数の圧力室孔８ａとインク供給孔８ｂとが設けられている。圧力室孔８ａは、圧力室プレート８の短辺に沿う長孔形状を成し、圧力室プレート８の長辺に沿うように並列にして多数設けられている。このように並設された圧力室孔８ａは圧力室孔列８ｃを成し、圧力室プレート８にはこの圧力室孔列８ｃが、ブラックインク用に２列、そしてシアンインク用、マゼンダインク用、及びイエローインク用に各１列の、合計５列が形成されている。そして圧力室孔８ａは、圧力室プレート８に上方からアクチュエータ３が接着され、下方から第１スペーサプレート９が接着されることにより、内部空間を有する圧力室３０を形成する（図３参照）。また、インク供給孔８ｂは、各色のインク用に夫々１つずつの合計４つ設けられている。
【００２６】
第１スペーサプレート９には、圧力室プレート８の圧力室孔８ａの一端部に連通する連通孔９ａと、圧力室孔８ａの他端部に連通する貫通孔９ｂと、インク供給孔８ｂと同形状でこれと連通するインク供給孔９ｃとが設けられている。
【００２７】
絞りプレート１０には、長孔形状の絞り孔１０ａが形成されており、この絞り孔１０ａの一端部に第１スペーサプレート９の連通孔９ａが連通されるようになっている。また、絞りプレート１０には第１スペーサプレート９の貫通孔９ｂ及びインク供給孔９ｃに夫々連通し、且つ夫々と同形状を成す貫通孔１０ｂ及びインク供給孔１０ｃが形成されている。前記絞り孔１０ａは、絞りプレート１０が第１スペーサプレート９及び第２スペーサプレート１１間に介在されて積層接着されることにより、絞り部３１を形成する（図３参照）。
【００２８】
第２スペーサプレート１１には、絞りプレート１０が有する絞り孔１０ａの他端部に連通する連通孔１１ａと、絞りプレート１０の貫通孔１０ｂに連通してこれと同形状を成す貫通孔１１ｂが形成されている。そして、第１スペーサプレート９の連通孔９ａ、絞りプレート１０の絞り孔１０ａ、及び第２スペーサプレート１１の連通孔１１ａによって、圧力室３０と後述する共通インク室３３とを連通させる絞り通路３２が形成される（図３参照）。また、第２スペーサプレート１１には、絞りプレート１０のインク供給孔１０ｃに連通してこれと同形状を成すインク供給孔１１ｃが形成されている。
【００２９】
第１マニホールドプレート１２は、圧力室孔８ａの下方に対応して圧力室孔列８ｃに沿って延設された分割マニホールド孔１２ａを有している。この分割マニホールド孔１２ａはブラックインク用に２列、そしてシアンインク用、マゼンダインク用、及びイエローインク用に各１列の計５列が設けられている。そして、各分割マニホールド孔１２ａは絞り通路３２を介して圧力室３０に連通すると共に、分割マニホールド孔１２ａはその一端部において第２スペーサプレート１１のインク供給孔１１ｃとも連通している。また、本実施の形態では、ブラックインク用の２列の分割マニホールド孔１２ａの他端部が尖端形状を成しており、その近傍に空隙室１２ｂが形成されている。また第１マニホールドプレート１２には、各分割マニホールド孔１２ａの長手方向に沿うように、第２スペーサプレート１１の貫通孔１１ｂに連通してこれと同形状を成す多数の貫通孔１２ｃが形成されている。
【００３０】
第２マニホールドプレート１３は、上記第１マニホールドプレート１２と同様の形状を成しており、５つの分割マニホールド孔１３ａと空隙室１３ｂと貫通孔１３ｃとを有している。そして、第２スペーサプレート１１、第１マニホールドプレート１２、第２マニホールドプレート１３、及びダンパープレート１４が積層接着されると、分割マニホールド孔１２ａ，１３ａにより５つの共通インク室３３が形成される（図３参照）。このうち隣り合う２つの共通インク室３３はブラックインク用であり、他の３つの共通インク室３３は残り３色用となっている。
【００３１】
ダンパープレート１４は、各共通インク室３３に対応する箇所を下方から窪ませて薄肉に形成した５つのダンパー壁１４ａを有している。またダンパープレート１４には、各ダンパー壁１４ａの長手方向に沿うように、第２マニホールドプレート１３の貫通孔１３ｃと連通してこれと同形状を成す貫通孔１４ｂが形成されている。
【００３２】
カバープレート１５には、ダンパープレート１４の貫通孔１３ｃに連通してこれと同形状を成す貫通孔１５ａが形成され、ノズルプレート１６には、カバープレート１５の前記貫通孔１５ａに連通するノズル孔１６ａが形成されている。
【００３３】
このような各プレート８〜１６を積層接着することにより、図３に示すような流路ユニット２が形成される。そして流路ユニット２内では、各プレート８〜１１に形成されたインク供給孔８ｂ，９ｃ，１０ｃ，１１ｃが互いに連通してインク供給路（図示せず）が構成されている。このインク供給路は共通インク室３３の一端に連通し、外部のインクタンク（図示せず）から共通インク室３３へ供給されるインクが通流する。また、既に述べたように、各プレート９〜１１に形成された連通孔９ａ，絞り孔１０ａ，連通孔１１ａが互いに連通し、共通インク室３３と圧力室３０とを連通させる絞り通路３２が構成されている。更に、各プレート９〜１６に形成された貫通孔９ｂ，１０ｂ，１１ｂ，１２ｃ，１３ｃ，１４ｂ，１５ａが互いに連通して流出路３４が構成され、ノズル孔１６ａへ連通している。また、流路ユニット２において、圧力室プレート８が有するインク供給孔８ｂには、外部のインクタンクから供給されたインクに混入している塵を除去するフィルタ１７が被せられている。
【００３４】
一方、図３に示すようにアクチュエータ３は、多数枚の圧電シート２０〜２５と絶縁性を有するトップシート２６とが積層されて構成されている。圧電シート２０〜２５は、夫々の厚みが略３０μｍ程度のチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）のセラミックス材料から構成されている。各圧電シート２０〜２５のうち、最下層の圧電シート２０から上方へ数えて奇数番目の圧電シート２０，２２，２４の上面には、流路ユニット２の圧力室プレート８により形成された各圧力室３０（図２参照）の全てに対応するよう配置された共通電極２７が印刷形成されている。最下層の圧電シート２０から上方へ数えて偶数番目の圧電シート２１，２３の上面には、各圧力室３０に対し個別に対応するよう配置された多数の個別電極２８が５列に印刷形成されている（図３では２列分のみ示している）。また、共通電極２７及び個別電極２８は各圧電シート２０〜２５及びトップシート２６の側端面またはスルーホール（図示せず）に設けた中継配線（図示せず）を介し、最上層であるトップシート２６の上面に設けられた表面電極５（図１参照）に導通されている。
【００３５】
このような構成を成すインクジェットプリンタヘッド１は、以下のようにして動作し、ノズル孔１６ａからインク（液滴）を吐出する。まず、外部のインクタンク（図示せず）からフィルタ１７を介して供給されたインクが、インク供給路、共通インク室３３、絞り通路３２、圧力室３０、及び流出路３４から成るチャンネル７内に充填されている。そして、この状態でアクチュエータ３が有する複数の個別電極２８に、選択的に電圧を印加すると、印加された個別電極２８と共通電極２７との間に電位差が生じ、圧電シート２１〜２４の活性部に電界が作用して積層方向の歪み変形が発生する。ここで活性部とは、各圧電シート２１〜２４において個別電極２８と共通電極２７とに挟まれた部分をいい、実質的には上述したような積層方向の歪み変形が生じる部分をいう。
【００３６】
このように活性部が変形すると、最下層の圧電シート２０が圧力室３０内へ突出するため、圧力室３０の内圧が上昇し、内部のインクが流出路３４を通じてノズル孔１６ａから外部へ吐出されることとなる。また、圧力室３０の内圧の上昇により生じた圧力波は、上流側、即ち絞り通路３２側へも及ぶが、図３に示すように絞り通路３２が圧力室３０等よりも断面積を小さく形成されているためチャンネル７の他の部分よりもインクの流路抵抗が大きい。従って、圧力室３０から上流側へ向かう大部分の圧力波の伝搬がここで遮断される。また、絞り通路３２を通じて共通インク室３３へ到達した残りの圧力波も、薄肉のダンパー壁１４ａが弾性変形することによって吸収される。
【００３７】
（実施例１）
次に、上述したようなインクジェットプリンタヘッド１の流路ユニット２が有するチャンネル７の一部の構成について、図４及び図５を参照しつつ更に詳述する。図４は、共通インク室３３、圧力室３０、及びこれらを連通する絞り通路３２について、プレートの積層方向から見たときの構成を示す模式図である。また図５は、圧力室３０を形成する圧力室孔８ａ、絞り通路３２の一部を形成する連通孔９ａ、及び絞り通路３２における絞り部３１を形成する絞り孔１０ａの位置関係を示すための圧力室プレート８、第１スペーサプレート９、及び絞りプレート１０の部分的な斜視図である。なお図５では、圧力室孔８ａ、連通孔９ａ、絞り孔１０ａの関係を分りやすくするため、インクの通流経路を二点鎖線で示している。
【００３８】
図４及び図５に示すように、本実施例１に係る流路ユニット２では、並列して設けられた複数の圧力室３０と、該複数の圧力室３０に夫々接続して並列して設けられた複数の絞り通路３２とを有している。この絞り通路３２は、既に述べたように圧力室３０の一端部に接続され、ここから圧力室３０の長手方向に対し傾斜して延設されている。
【００３９】
また、絞り通路３２の並列方向の延長上には疑似絞り通路３２ａが設けられている。即ち、絞りプレート１０には、絞り孔１０ａの並列方向の延長上に疑似絞り孔１０ｄが設けられている。また、圧力室プレート８及び絞りプレート１０に挟まれて位置する第１スペーサプレート９には、疑似絞り孔１０ｄに連通する疑似連通孔９ｄが形成され、第２スペーサプレート１１には、疑似絞り孔１０ｄと連通する疑似連通孔１１ｄが形成されている。これらの疑似絞り孔１０ｄと疑似連通孔９ｄ，１１ｄとにより、疑似絞り通路３２ａが形成されている。なお、図４において、疑似絞り通路３２ａは通常の絞り通路３２より太線で示しており、図５において、疑似絞り孔１０ｄは通常の絞り孔１０ａより太線で、疑似連通孔９ｄ，１１ｄは通常の連通孔９ａ，１１ｄよりも太線で示している。
【００４０】
この疑似絞り通路３２ａ（疑似絞り孔１０ｄ及び疑似連通孔９ｄ，１１ｄ）は、他の絞り通路３２（絞り孔１０ａ及び連通孔９ａ，１１ａ）と略同一形状を成しており、並列方向最端の絞り通路３２から、各絞り通路３２の並列間隔と略同一間隔だけ隔てて設けられている。即ち、絞り通路３２と疑似絞り通路３２とは、略等間隔で並列に設けられている。
【００４１】
上述した疑似絞り孔１０ｄ及び疑似連通孔９ｄ，１１ｄは、互いに連通して疑似絞り通路３２ａを構成しているものの、対応する圧力室３０はなく、従ってチャンネル７を構成するものではない。そして図４に示すように、複数の圧力室３０のうち、並列方向最端の圧力室３０ａを除く各々の圧力室３０ｂは、その隣の圧力室３０に接続された絞り通路３２と、平面視（即ち、プレートの積層方向視）において交差している。一方、並列方向最端の圧力室３０ａは、疑似絞り通路３２ａと平面視において交差している。
【００４２】
絞り孔１０ｄと共通インク室３３を連通する連通孔１１ａ及び疑似連通孔１１ｄは、この実施例では平面視において、各々の圧力室３０の間に位置しているが、隣の圧力室３０に重なるように位置しても差し支えない。なお、疑似連通孔１１ｄは、第２スペーサプレート１１を完全には貫通しないように形成することもできる。
【００４３】
このような構成を成す流路ユニット２の場合、圧力室３０の長手方向に対して傾斜させて絞り通路３２が設けられているため、所定の流路抵抗を発揮すべく絞り通路３２の長さ寸法を、共通インク室３３の幅及び圧力室３０の長手方向の寸法と略同等もしくはそれよりも大きくすることができる。従って、圧力室３０を短くし、圧力室プレート８により多くの圧力室孔８ａを形成することができ、チャンネル７の高密度化を図ることができる。
【００４４】
また、全ての圧力室３０（３０ａ，３０ｂ）に交差するように、絞り通路３２又は疑似絞り通路３２ａが設けられているため、各圧力室３０の近傍部材の構成が互いに類似し、各圧力室３０の近傍において剛性の均一化が図られている。その結果、各圧力室３０を含む各チャンネル７のインクの吐出特性が均一化されている。
【００４５】
なお、本実施例では、疑似絞り孔１０ｄ及び疑似連通孔９ｄによって疑似絞り通路３２ａを構成することとしているが、これに限られず、疑似絞り孔１０ｄのみによって疑似絞り通路３２を構成することとしてもよい。
【００４６】
（実施例２）
図６は、共通インク室３３、圧力室３０及びこれらを連通する絞り通路３２についての他の構成を示す模式図である。図６に示す構成は多くの部分において図４に示した構成と同様であるため、以下では両構成において相違する部分を中心に説明する。
【００４７】
図６に示す流路ユニット２では、並列に設けられた複数の圧力室３０のうち並列方向最端の圧力室３０ａの隣、即ち、圧力室３０ａの並列方向の延長上に、疑似絞り通路３２ａに対応して閉じた内部空間を形成する疑似圧力室３０ｃが設けられている。なお、図６において、疑似絞り通路３２ａ及び疑似圧力室３０ｃは、通常の絞り通路３２及び圧力室３０より太線で示している。
【００４８】
このような構成を成す流路ユニット２の場合、最端の圧力室３０ａ近傍の構成がその他の圧力室３０ｂ近傍の構成とより一層類似することとなるため、各圧力室３０（３０ａ，３０ｂ）の近傍での流路ユニット２の剛性がより均一化され、インクの吐出特性の更なる均一化を実現することができる。
【００４９】
（実施例３）
図７は、共通インク室３３、圧力室３０及びこれらを連通する絞り通路３２についての更に他の構成を示す模式図である。図７に示す構成は多くの部分において図４に示した構成と同様であるため、以下では両構成において相違する部分を中心に説明する。
【００５０】
図７に示すように、本実施例３に係る流路ユニット２では、複数の圧力室３０に夫々接続して並列して設けられた複数の絞り通路４０を備えている。この絞り通路４０は、図４に示したものと同様に圧力室３０の一端部に接続されているが、図４に示した絞り通路３２よりも大きな角度をもって圧力室３０に傾斜して延設され、各圧力室３０に対して複数の絞り通路３２が平面視において交差している。
【００５１】
また、絞り通路４０の並列方向の延長上には複数（本実施例３では３つ）の疑似絞り通路４０ａ〜４０ｃが設けられている。図７において、疑似絞り通路４０ａ〜４０ｃは通常の絞り通路４０より太線で示している。これらの絞り通路４０ａ〜４０ｃは、図４に示した絞り通路３２ａと同様に、他の絞り通路４０と略同一形状を成しており、並列方向最端の絞り通路４０から、各絞り通路４０の並列間隔と略同一間隔で設けられている。即ち、絞り通路４０と疑似絞り通路４０ａ〜４０ｃとは、略等間隔で並列に設けられている。
【００５２】
これらの疑似絞り通路４０ａ〜４０ｃも、流路ユニット２内で閉じられた空間を形成しており、対応する圧力室３０及び共通インク室３３等はなく、従ってチャンネル７を構成するものではない。そして図７に示すように、複数の圧力室３０のうち、並列方向最端及びその隣の圧力室３０ａを除く各々の圧力室３０ｂは、その隣の２つの圧力室３０に接続された２つの絞り通路４０と、平面視（即ち、プレートの積層方向視）において交差している。一方、並列方向最端の圧力室３０ａは、２つ疑似絞り通路４０ａ，４０ｂと平面視において交差しており、その隣の圧力室３０ａは、１つの絞り通路４０及び１つの疑似絞り通路４０ａの夫々と平面視において交差している。そして、疑似絞り通路４０ｃだけは、何れの圧力室３０にも交差しない状態で設けられている。
【００５３】
このような構成を成す流路ユニット２の場合、圧力室３０の長手方向に対して絞り通路３２が大きく傾斜して設けられているため、圧力室３０の短寸化に際して絞り通路３２の存在が障害となる可能性が更に低減し、圧力室３０をより一層短寸化することができる。従って、より多くの圧力室孔８ａ（図２参照）を圧力室プレート８に形成することができ、チャンネル７の更なる高密度化が可能である。
【００５４】
また、全ての圧力室３０（３０ａ，３０ｂ）に交差するように、絞り通路４０及び疑似絞り通路４０ａ，４０ｂが設けられているため、各圧力室３０の近傍において流路ユニット２の剛性の均一化が図れている。更に、平面視で最端に位置する圧力室３０ａの側方に、実際には該圧力室３０ａと交差しないがもう１つの疑似絞り通路４０ｃを設けている。従って、最端の圧力室３０ａ近傍の構成がその他の圧力室３０近傍の構成とより一層類似することとなるため、各圧力室３０の近傍での流路ユニット２の剛性がより均一化され、インクの吐出特性の更なる均一化を実現することができる。
【００５５】
なお、共通インク室３３は、インク供給路（８ｂ、９ｃ、１０ｃ、１１ｃ）から離れた端部を先細り状にして、インクやその中に含まれる気泡の流れが停滞しないように構成されている。さらに、この先細り部の外に空隙室１２ｂ、１３ｂが形成されている。これにより、この部分の上方に位置する圧力室と、直線状の共通インク室３３の上方に位置する圧力室とで、それに平面視において重なるマニホールドプレート１２，１３の剛性の差を少なくされ、前述の疑似絞り通路と協働して各圧力室での吐出特性をより均一にすることができる。
【００５６】
上記実施例では、第１及び第２のスペーサプレート９，１１とは別の絞りプレート１０に絞り孔１０ａを形成したが、絞りプレート１０を省略し、第１スペーサプレート９の下面または第２のスペーサプレート１１の上面に、絞り孔１０ａを溝状に形成するようにしても良い。
【００５７】
また、アクチュエータとして圧電方式のものを用いたが、振動板を静電気で駆動して、圧力室に圧力を印加するなど、各種の駆動源を用いることができる。
【００５８】
また、液滴吐出装置をインクジェットプリンタに適用した例について説明したが、液体を薄膜状に塗布する装置などにも適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００５９】
本発明は、チャンネルの高密度化を実現しつつ、各チャンネル間での剛性差を抑制して吐出特性の均一化を図ることができる液滴吐出装置に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】インクジェットプリンタヘッドの構成を示す分解斜視図である。
【図２】図１に示す流路ユニットの構成を示す分解斜視図である。
【図３】図１に示す流路ユニットにアクチュエータ及びフレキシブルフラットケーブルが積層接着されたものを図１のIII-III線に沿って切断したときの一部の形状を示す断面図である。
【図４】共通インク室、圧力室、及びこれらを連通する絞り通路について、プレートの積層方向から見たときの構成を示す模式図である。
【図５】圧力室を形成する圧力室孔、絞り通路の一部を形成する連通孔、及び絞り通路における絞り部を形成する絞り孔の位置関係を示すための圧力室プレート、第１スペーサプレート、及び絞りプレートの部分的な斜視図である。
【図６】共通インク室、圧力室、及びこれらを連通する絞り通路についての他の構成を示す模式図である。
【図７】共通インク室、圧力室、及びこれらを連通する絞り通路についての更に他の構成を示す模式図である。
【符号の説明】
【００６１】
１  インクジェットプリンタヘッド
２  流路ユニット
３  アクチュエータ
４  フレキシブルフラットケーブル
７  チャンネル
８  圧力室プレート
９  第１スペーサプレート
１０  絞りプレート
１１  第２スペーサプレート
１２  第１マニホールドプレート
１３  第２マニホールドプレート
１４  ダンパープレート
１５  カバープレート
１６  ノズルプレート
３０，３０ａ，３０ｂ  圧力室
３０ｃ  疑似圧力室
３１  絞り部
３２，４０  絞り通路
３２ａ，４０ａ〜４０ｃ  疑似絞り通路
３３  共通インク室
３４  流出路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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