(57)【要約】【課題】レーザ放射の当てられた後に確かに作動し交換されなければならない少なくとも１つのレーザ保護壁を有するレーザ保護装置を提供し、完全な安全を維持する。【解決手段】本課題は、レーザ物質処理設備のレーザ（２）の入射放射線の放射エネルギーを蓄える、受動レーザ保護壁（１）を有する安全遮断を備えたレーザ保護装置において、レーザ放射が当たると検知可能な変化を生じさせるレーザ保護ホイル（３）が、レーザ放射の方向に前方に設置され、少なくとも１つのセンサ（４）が、閾値スイッチ（５）によりレーザ（２）に接続され、受信された検出信号が閾値を超え又は閾値以下に下がるとレーザ（２）のスイッチをオフにするレーザ保護装置により達成される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ物質処理設備のレーザ（２）の入射放射線の放射エネルギーを蓄える、受動レーザ保護壁（１）を有する安全遮断を備えたレーザ保護装置において、
レーザ放射が当たると検知可能な変化を受けるレーザ保護ホイル（３）が、レーザ放射の方向に前方に設置され、
少なくとも１つのセンサ（４）が、閾値スイッチ（５）によりレーザ（２）に接続され、受信された検出信号が閾値を超え又は閾値以下に下がるとレーザ（２）のスイッチをオフにすることを特徴とするレーザ保護装置。
【請求項２】
レーザ保護ホイル（３）が伸張可能なプラスチックからなり、伸張状態で固定され、センサ（４）が伸張センサであることを特徴とする請求項１に記載のレーザ保護装置。
【請求項３】
レーザ保護ホイル（３）が１方向にのみ伸ばされ、伸張センサは伸張方向に接着される伸張測定ストリップであり、それでレーザ放射が当てられるとレーザ保護ホイル（３）は入射ポイントにおいて破壊され、裂け目が伸張方向と垂直に延び、閾値として決定された引張ひずみの減少を生じさせることを特徴とする請求項２に記載のレーザ保護装置。
【請求項４】
レーザ保護ホイル（３）が、電圧が印加される又は電流を運ぶ少なくとも１つの電気導体経路を有するホイルであり、センサが電圧測定装置又は電流測定装置であり、電気導体経路はレーザ放射が当てられると溶解し、電圧が落ち又は電流が遮断されることを特徴とする請求項１に記載のレーザ保護装置。
【請求項５】
電気導体経路がホイルに埋設されることを特徴とする請求項４に記載のレーザ保護装置。
【請求項６】
電気導体経路がホイルの一方の面上に配置されることを特徴とする請求項４に記載のレーザ保護装置。
【請求項７】
ホイルの自由面が導電層でコーティングされ、レーザ放射の衝突のためにホイルが溶解すると短絡が生じることを特徴とする請求項６に記載のレーザ保護装置。
【請求項８】
レーザ保護ホイル（３）が、ファイバーコア及びファイバークラッドを有する一体化光伝導ファイバーであり、センサが光センサであることを特徴とする請求項１に記載のレーザ保護装置。
【請求項９】
レーザ保護ホイル（３）が、レーザ放射を透過させる材料からなり、両面にレーザ放射を反射する層を備え、それでレーザ放射が当たると当該層は入射ポイントで破壊され、レーザ放射が結合され、光センサであるセンサ（４）に案内されることを特徴とする請求項１に記載のレーザ保護装置。
【請求項１０】
レーザ保護ホイル（３）が、少なくとも１つのガスで充満した中空チャンバで形成される二重ホイルであることを特徴とする請求項１に記載のレーザ保護装置。
【請求項１１】
中空チャンバが特別なガスで満たされ、センサ（４）がガスセンサであることを特徴とする請求項１０に記載のレーザ保護装置。
【請求項１２】
中空チャンバ内に過圧が存在し、センサ（４）が圧力センサであることを特徴とする請求項１０に記載のレーザ保護装置。
【請求項１３】
中空チャンバを形成する二重ホイルが多数のウェブにより連結され、それで中空チャンバの伸張がウェブの高さにより制限されることを特徴とする請求項１０に記載のレーザ保護装置。
【請求項１４】
レーザ保護ホイル（３）がバブルホイルであり、センサ（４）が音響センサであることを特徴とする請求項１０に記載のレーザ保護装置。
【請求項１５】
レーザ保護ホイル（３）が伸張可能なプラスチックからなり、伸張状態で固定され、検出器が音響センサであることを特徴とする請求項１に記載のレーザ保護装置。
【請求項１６】
多数のレーザ保護装置が組み合わされ、レーザ保護ブースを形成することを特徴とする請求項１に記載のレーザ保護装置。
【請求項１７】
それぞれの場合におけるレーザ保護装置が、レーザ保護ブースの周囲面を形成するために、互いに隣接して配置された同一の高さの壁を有し、レーザ保護ホイル（３）が高さ全体に沿って伸びるようにフレームに保持される一方、受動レーザ保護壁（１）が低めの高さを有することを特徴とする請求項１６に記載のレーザ保護装置。
【請求項１８】
レーザ保護装置が、レーザ保護ホイル（３）で形成されるレーザ保護ブースの天井表面を画定することを特徴とする請求項１７に記載のレーザ保護装置。
【請求項１９】
レーザ保護ホイルが請求項１０〜１３のいずれか１項に従って構成され、レーザ保護ホイルは互いに結合し、自立型ブースを形成し、その周りに受動レーザ保護壁（１）が配置され、レーザ保護ブースが形成されることを特徴とする請求項１６に記載のレーザ保護装置。
【請求項２０】
レーザ物質処理設備のレーザ（２）の入射放射線の放射エネルギーを蓄える、受動レーザ保護壁（１）を有する安全遮断を備えたレーザ保護装置において、
レーザ放射が当たると検知可能な変化を生じさせるレーザ保護ホイル（３）が、レーザ放射の方向に前方に設置され、
少なくとも１つのセンサ（４）が、閾値スイッチ（５）によりレーザ（２）に接続され、受信された検出信号が閾値を超え又は閾値以下に下がるとレーザ（２）のスイッチをオフにすることを特徴とするレーザ保護装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ加工のアプリケーションのためのレーザ保護装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザ加工においては、一方で例えば誤制御による人又は感知対象物へのレーザ放射直接作用や、他方でレーザ処理の途中で除去されるガス、液体又は粒子形状などの危険が生じる。
【０００３】
人間に無害なレーザ放射量は、国内・国際ガイドラインにおいて放射線特性（波長、出力又はパルスエネルギー、時変調、アクティブ期間）に関連して記載される。
【０００４】
除去される物質の有する危険は通常レーザ特有ではなく、エアロゾルや塵粒子などの危険なガス物質を取り扱うための一般規則により取り扱われる。
【０００５】
例えば、有機物質（例えば繊維生地、レザー、複合物質などの自然・合成物質）の加工において、小濃度の燃焼ゴミでも健康を害するリスクが生じる。これは特に無機物質の微細粒子に当てはまる。
【０００６】
工業設備では、危険は一般的に、レーザ及び処理対象物（加工物）の適切なエンクロージャ、及び機械設備（例えば、関節アームロボット、ガントリー）により回避される。これらは、放射線も除去物質もレーザ操作の間外に出さないブースにおいてプログラムによってビーム及び加工物の相対位置を調節・修正する。この場合、場合によってはフィルターを具備した適切なイグゾーストが一般的に使用される。
【０００７】
従来技術から知られるこのタイプのエンクロージャは受動エンクロージャ、アクティブエンクロージャ又はレーザ保護壁に分類される。
【０００８】
ウィンドウ、ドアを有する受動レーザ保護壁は、これらが保護作用を損なわずにある時間周期にわたるビームの誤った方向付けから生じうるフルレーザ放射に耐えるようにデザインされる。
【０００９】
受動レーザ保護壁を有するブースは比較的大きなスペースを占有するだけでなく、重く、高い投資・稼動コストを生むという不都合がある。また、必要とされるイグゾーストキャパシティ（従って、イグゾーストの費用）はブースのサイズに従い増大する。サイズと大きなかさのために、レーザ物質処理設備は比較的大きい費用によらなければ様々な場所で使用できない。これらの不都合は、特に、フレキシブルな処理チェーンに一体化するのが望ましい中サイズのレーザ処理設備（約１００Ｗ〜約１ｋＷの電力範囲）に当てはまる。
【００１０】
前記の受動レーザ保護壁とは異なり、アクティブレーザ保護壁はそれらの寸法・物質特性によりレーザ放射の貫通を受動的に防ぐだけでなく、レーザ放射がレーザ保護壁に当たるとすぐにレーザ放射をオフにする。従って、ブース壁（ウィンドウ、ドアを含む）のための要件は、安全遮断の前に放射線の最大可能貯蔵量を減らすことにより緩和される。他の壁物質の壁厚及び／又は使用を減らすことで、ブースの幾何学形状をそのままにして壁質量及びコストを減少させることができる。さらに、壁がそれぞれの処理位置のすぐ周囲を多かれ少なかれフレキシブルに取り囲む改良ブース構造が使用できる。
【００１１】
アクティブレーザ保護壁のための多数のソリューションが従来技術から知られている。
【００１２】
レーザ処理方法が作業者により注意深く観察されなければならず、緊急スイッチが例外のケースで作動される従来技術に基づく特許文献１は、作業領域を取り囲み少なくとも部分的に可動な側壁を有するレーザ処理機械のための保護装置と、緊急遮断（緊急カットオフ）を開示する。安全ヒューズとしての緊急カットオフにより作動する、例えばループの形状の電流担持コンダクタが側壁に組み込まれる。コンダクタは好ましくは、複合ディスク、すなわち内側の透明合成樹脂ディスクと外側のガラスディスクの間にジグザグに配置される。多数の側壁のコンダクタは、緊急カットオフに連続で又は個々に接続される。
【００１３】
特許文献２に従うシールドは、互いに離れ閉じたチャンバを画定する２つの層により形成される。層の１つはレーザにより破壊されうる。特許文献３は、シールドが可般式で自立型であり、チャンバがガス媒体で満たされ、層の破壊に伴うガスフローに反応するセンサが設けられている点で、前記の装置とは異なるレーザ保護装置を開示する。チャンバの圧力は大気圧（真空圧も）から発散し、センサはチャンバの圧力の変化に反応する。それに代えて、チャンバは検知可能なガスを含み、センサがこのガスを検出してもよい。センサは、アラーム装置又はカットオフに接続する。
【００１４】
特許文献４は、少なくとも１つのセンサ、例えばレーザ放射を検出する熱センサ又は光センサを有するレーザ保護壁を示す。
【００１５】
特許文献５は、層と層の間に延在する導体を備えた保護装置内の２層視界窓に関する。レーザが内側層の孔に点火すると、レーザソースを制御するための安全カットオフの一部であるコンダクタが溶け、レーザはそれが外側層を貫通する前にオフにされる。それに代えて、温度の増加から生じるコンダクタのレジスタンスの変化が測定され、音響又は光警告信号が発せられる。コンダクタは、例えば、入射ポイントのビーム径より小さい距離を置いて波形又はジグザグ形状で配置される。
【００１６】
同様の装置が特許文献６に開示されている。
【００１７】
特許文献７は、入射レーザ放射を照明密度に依存して電気信号を発する一体照明装置（例えば、光ダイオード）に導く透明材料のレーザ保護壁を開示する。この種類のレーザ保護壁は、細かいメッシュの導線が必要でなく、破壊がなく、よって交換の必要がないという利点を有する。
【００１８】
前述した全てのアクティブなレーザ保護壁に共通しているのは、これらがレーザ放射感知要素、すなわちレーザ放射が作用すると状態変化を受ける要素を有し、レーザはオフにされることである。レーザ放射感知要素は、レーザ保護壁の側面内又は側面上に閉じた表面又は格子型若しくはネット型表面を形成する。グリッド間隔又はネットメッシュサイズは、どの入射レーザビームのビーム径より大きくない。
【００１９】
前述したほとんど全てのソリューションでは、レーザ放射感知要素、例えば安全ヒューズ又はチャンバ閉鎖層はレーザ放射が作用すると少なくとも部分的に壊れるので、安全を回復させるためにレーザ保護壁が交換されなければならない。
【００２０】
レーザ放射感知要素、例えばレーザ放射を放射線センサに運ぶための透明表面が破壊されないソリューションの信用は疑わしい。
【００２１】
【特許文献１】ＤＥ Ｇ８９０８０６Ｕ１
【特許文献２】ＧＢ−Ａ１５９５２０１
【特許文献３】ＥＰ０１５７２２１Ｂ１
【特許文献４】ＤＥ１９９４０４７６Ａ１
【特許文献５】ＤＥ３６３８８７４Ａ１
【特許文献６】ＵＳ−Ａ４７１０６０６
【特許文献７】ＥＰ０３２１９６５Ｂ１
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２２】
本発明の目的は、レーザ放射の当てられた後に確実に作動し交換されなければならない少なくとも１つのレーザ保護壁を有するレーザ保護装置を提供し、完全な安全を維持することである。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
本発明は、アクティブなレーザ保護壁の２つの機能、すなわち、先ずレーザをレーザ放射の入射後すぐにオフにし、第２に受動レーザ保護を保証するという機能を実行し、実質的に別個の手段、つまりアクティブな保護のための装置と受動保護のための装置によりカットオフの前に入射放射線の量を記憶するというアイデアに基づく。
【００２４】
受動保護のための装置は、安全カットオフの前の入射放射線の量を記憶するようにデザインされた考えられる受動レーザ保護壁である。これはそうする際不可逆変化を受けないようにデザインされると好ましい。
【００２５】
アクティブ保護のためのデバイスは、それ自体レーザ感知要素であるホイルか、レーザ感知要素に組み込まれ又はこれに配置されたホイルである。
【００２６】
本発明によれば、ホイル、以下ではレーザ保護ホイルが、放射方向の受動レーザ保護壁の前に配置される。一般に、それはレーザ放射に当てられると損傷を受けるので、安全を回復するために交換されなければならない。他方で、その後に配置されたレーザ保護壁は交換の必要はなく、コストと資源を節約できる。従来技術から知られたアクティブレーザ保護壁のための全てのソリューションに比べて、本発明に従うその前に配置されたレーザ保護ホイルを備えた受動レーザ保護壁を有するレーザ保護装置は、長期的にかなり安く、安全をより早期により簡単に回復できる。
【００２７】
レーザ保護装置の前記の２つの機能を２つの実質的に別個の装置に分けることで、レーザの全作業スペースは必ずしも囲まれる必要はないというさらなる利点が実現される。すなわち、作業スペースから出るレーザ放射が全ての場合に含まれるように、作業スペースはレーザホイルで完全に取り囲まれるが、受動レーザ保護壁は全ての空間方向に、例えば作業場の天井に向かってレーザ保護ホイルの後に必ずしも配置される必要はない。しかし、レーザ放射が危険な密度で人や感知対象物に影響しうる領域では配置される必要がある。
【００２８】
レーザ保護ホイルの幾つかの構造のために、それに随伴する受動レーザ保護壁の表面領域は製造の間すでに考慮される必要はなく、それでそれは未完成状態でも蓄えられ、必要に応じて所望の寸法に切断される。これにより、より安価かつ簡単に交換できる。
【００２９】
レーザ保護ホイルの損なわれていない機能がいつでもチェックされるという利点がある。これは、明らかな破壊により又はセンサ信号により示されることでレーザ保護ホイルの個々の構造に対して実現される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
本発明を図面に示された多数の実施例に関連して以下により完全に説明する。
【００３１】
レーザ物質処理設備のレーザビームが作業領域から出るのを防ぐ本発明に従うレーザ保護装置（図１）は、受動レーザ保護壁１、レーザ保護ホイル３、少なくとも１つのセンサ４、レーザ物質処理設備のレーザ２をエネルギー源６に結合する閾値スイッチ５を有する。
【００３２】
前述したタイプの複数のレーザ保護装置はレーザ保護ブースを形成するように組み立てられ、それで複数の閾値スイッチ５がレーザ２とエネルギー源６の間に連続して接続される。
【００３３】
第１実施例では、レーザ保護ホイル３は０．２ｍｍ〜２ｍｍの厚さを有する伸張可能材料の薄ホイルであり、その後に配置された受動レーザ保護壁１の前又は上で伸張状態に伸ばされる。引張ひずみを感知する少なくとも１つの伸張センサが、レーザ保護ホイル３に設けられる。
【００３４】
レーザ保護ホイル３は１方向にのみ広がると好ましく、伸張センサは伸張方向にホイルに接着する伸張測定ストリップである。レーザ放射が当たると、ホイルは入射ポイントで壊れ、入射ポイントから生じ伸張方向と実質的に垂直に延在する裂け目が形成し、これがホイルの引張ひずみの減少をもたらす。引張ひずみが所定の閾値以下に下がると、レーザ２は伸張測定ストリップとレーザ２に連絡する閾値スイッチ５によりオフにされる。
【００３５】
レーザ保護ホイル３は、保持要素によってのみ確動係合又は摩擦係合によりレーザ保護壁１の前で伸ばされるので、破壊されたレーザ保護ホイル３は、保持要素を緩めて簡単に取り外すことができ、それを新しいレーザ保護ホイル３と交換することができる。レーザ保護ホイル３はどのサイズにも仕上がるので、受動レーザ保護壁１は、個々の大きいレーザ保護ホイル３又は複数の対応する小さいレーザ保護ホイル３で覆われる。後者を選択すれば交換は容易になる。
【００３６】
第１実施例に従うレーザ保護ホイル３を備えたレーザ保護装置は、レーザ物質処理設備の作業スペースを完全に取り囲む多数の異なる構成のレーザ保護ブースを形成するのに特に有利である。
【００３７】
前述のタイプのレーザ保護ブースは基本的に同じ高さの複数の側壁を有する。これらの側壁は垂直に立ち、それらの縦側面で互いに連結し、閉じたベースと上部で閉じた天井を形成する。ドアと、しばしばウィンドウも側壁に一体化される。
【００３８】
ブースのベースをレーザ物質処理設備の作業スペースに最適に適合させるために、様々な幅のブースを構築するとしばしば有効である。従来技術のレーザ保護壁では、これは、必要なときに安全がすぐに回復されるように全ての幅に対する交換品がストックされなければならないという問題を生じさせた。
【００３９】
第１実施例に従うレーザ保護ホイル３はメーターにより未完成状態でロール上にストックされ、必要に応じて使用直前に切断され、伸張測定ストリップを備えられる。
【００４０】
レーザ保護ホイル３はそれ自体、その後に配置される受動レーザ保護壁１のない天井としても使用できる。この場合、それは、ベース領域の形状と基本的に一致する天井領域の形状とは無関係に１方向にのみ伸ばされると好ましい。従って、レーザ保護ブースは質量が減少する一方で、それにもかかわらず、処理の間に生じるガスが外側に漏れず、またレーザ放射が誤制御のために作業スペースから出るとレーザ２のスイッチが切られることが保証される。レーザ保護ブースの天井の上にしばしば位置する作業場の天井はレーザ２から十分離れており、作業場の天井に当たっても放射線強度は何の損傷も与えない。
【００４１】
作業スペースが特に保護される人のサイズよりかなり高いレーザ処理設備のために、受動レーザ保護壁１が例えば２．２０ｍの高さで終わり、全高がオープンフレームにより伸び、レーザ保護ホイル３がオープンフレームに締め付けられるように、レーザ保護側壁は構成される。
【００４２】
レーザ保護ホイル３は、受動レーザ保護壁１に位置する保持要素により伸ばされる必要はないが、例えば受動レーザ保護壁１の前に自立型フレームとして設けられてもよい。
【００４３】
第２実施例では、少なくとも１つの導体経路がレーザ保護ホイル３内に埋設され又はこの上に配置される。２つの隣接した導体経路の距離が入射ポイントにおけるレーザビームの直径より常に小さくなり、レーザビームがレーザ保護ホイル３にあたる場所にかかわらず導体経路に当たることが保証されるように、導体経路は完成したレーザ保護ホイル３内に配置される。導体経路は、一方の端部で電流源又は電圧源に接続し、他方の端部で接点を介して測定装置に接続している。原則として、レーザ保護ホイル３当たり１つの導体経路で十分である。それは、正弦関数形又はジグザグ形で配置されると好ましい。
【００４４】
レーザビームが導体経路に当たると、そのレジスタンスは先ず加熱のために変化し、放射線が再び作用すると溶ける。レジスタンスの増加又は電流又は電圧の減少が測定され、測定量が所定の閾値を越え又は以下に下がると、レーザ２は閾値スイッチ５によりスイッチを切られる。
【００４５】
第３実施例では、光ファイバーが、導体経路に代えてレーザ保護ホイル３に埋設される。レーザビームの入射角度にかかわらず光ファイバーに接続した放射線検出器に放射線を導くために、光ファイバーはファイバーコアを取り囲むファイバークラッドを有する。このファイバークラッドはレーザ放射に当てられると局所的に破壊され、それでレーザ放射は光ファイバーに入り、放射線センサに導かれる。放射線が確実に光ファイバーに結合するのを保証するために、光ファイバーは、それらがレーザ保護ホイル３の表面に対して大きな角度を作るようにニッティング技術を用いて配置される。
【００４６】
第４実施例では、レーザ保護ホイル３に埋設される光ファイバーは、センサで検出される変調されたレーザ放射を与えられる。光ファイバー、特にこの場合プラスチックファイバーが破壊されると、検出される信号に変化が認められる。
【００４７】
本発明に従うレーザ保護ホイルは、電気又は光導体経路に代えて電気又は光伝導層からなってもよい。
【００４８】
従って、例えば、レーザ保護ホイル３のための第５実施例は、一方の面に電気伝導層を具備し、他方の面に電気導体経路を具備する。電流がこれらの両方を流れるか、電圧が両方に印加される。レーザ放射に当てられると、それらの間のプラスチックホイルは局所的に溶け、電気伝導層と電気導体経路は互いに接触し、短絡が生じる。
【００４９】
第６実施例では、レーザ保護ホイル３の材料はレーザ放射を透過させる材料であり、両面を高反射層でコーティングされる。入射レーザビームは、そのエネルギー密度のため入射ポイントで高反射層を破壊し、次いで透過材料内に分散し、透過材料に組み込まれた放射線センサに衝突する。
【００５０】
第２実施例から第５実施例は基本的に、ホイル自体が１つの層しか形成しないレーザ保護ホイルを示す。これらは、付加的な要素が設けられ、レーザ保護ホイル３が受動レーザ保護壁１に接着でき又は他の材料係合を用いてその上に配置される点で、第１実施例に従うレーザ保護ホイル３と異なる。これは交換に時間がかかる場合があるが、付加的な保持要素もテンショニング要素も必要でない。レーザ保護ホイル３は、いずれかの湾曲した受動レーザ保護壁１上に位置決めされてもよい。
【００５１】
第７実施例によれば、レーザ保護ホイル３は、少なくとも１つのガスの充満した中空チャンバで形成された二重ホイルであり、上の大気圧の下でも中空チャンバを平らに維持するため、横に隣接したホイル層は１箇所以上で互いに結合されると好ましい。圧力変換機が全ての中空チャンバ内又は中空チャンバに接続される。中空チャンバ内のガス圧は周囲圧力より高く、それで中空チャンバが破壊されると内圧は下がり、測定圧力が閾値以下に下がると圧力変換機に接続した閾値スイッチ５はレーザ２のスイッチを切る。
【００５２】
レーザ保護ホイル３は、ただ１つの中空チャンバで形成されると好ましい。このようにして、１つの圧力変換機しか必要としない。
【００５３】
圧力下にある中空チャンバの破壊により生成される音響信号を測定し、音響信号をレーザ２をスイッチオフにするための信号として使用することも考えられる。この種類の音響信号は、第１実施例に従う伸ばされたレーザ保護ホイル３が破壊されるときに検出することもでき、切り換え信号としても使用できる。
【００５４】
第８実施例では、中空チャンバは、これが破壊されたときに出て検出される特別なガスで満たされる。この目的のために、中空チャンバが可能な最大の体積を有すると好ましく、出て行くガスは可能な限り迅速にガス検出器で検出される。
【００５５】
特に、第７・第８実施例に従うレーザ保護ホイル３は、組み立て式の自立型ブースの可能性を与える。この目的のために、縦方向に互いに結合した個々の、例えば４つの側壁のそれぞれは、中空チャンバがセットアップ位置でガスで満たされるための入口弁を備えた１つの中空チャンバしか有しない。実質的に人の最大高さを越える高さに一般的に延びない危険領域では、受動レーザ保護壁１がレーザ保護ホイル３に加えられる。
【００５６】
前述のタイプのレーザ保護ブースは、特にある領域でレーザを使用するのに経済的で時間のかからない保護ソリューションである。
【００５７】
第９実施例では、レーザ保護ホイル３はバブルホイルである、すなわちそれは多数の小さい中空チャンバを有する。この場合、第１・第７実施例とは異なり、レーザビームが誤制御のためにレーザ保護ホイル３の上に移動すると連続した音響信号が発される。個々の中空チャンバ又はバブルの欠陥が見過ごされないように、バブルは、ガスの浸透性の低い細いチャネル又は壁で互いに分離されると好ましい。例えば、バブルは半透性の分割壁を備えたハニカム構造で配置される。レーザ放射の急な衝突により非常に急激にチャンバ圧力が上昇して、隣接するチャンバ又はバブルを破壊する衝撃波が生じると、圧力平衡が生じるためレーザ保護ホイル全体の圧力が下がるので、チャンバ又はバブルにおける如何なる他の種類の欠陥も顕著になる。
【００５８】
音響信号の結果としてレーザをオフにするとき、これらの信号がレーザ物質処理で生じる音とは著しく異なることが重要である。信号は、１つ又は複数の適切に配置されたマイクロフォンで増強され、カットオフを起こさせる。マイクロフォンは、レーザパルスの衝突後、少なくとも１つのマイクロフォンに空気伝播音又は固体伝播音が常に十分早く達するように分配されなければならない。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】レーザ保護装置の第１実施例の基本図である。
【図２】複数のレーザ保護装置で形成されたレーザ保護ブースである。
【符号の説明】
【００６０】
１  受動レーザ保護壁
２  レーザ
３  レーザ保護ホイル
４  センサ
５  閾値スイッチ
６  エネルギー源
【図１】
2008119749.tif 000003
【図２】
2008119749.tif 000004
【外国語明細書】
2008119749000001.pdf
2008119749000002.pdf
2008119749000003.pdf
2008119749000004.pdf