(57)【要約】【課題】ベースフィルムとしてポリエステルフィルムを用い、寸法安定性を備えながら、高い光線透過率と、優れた反射防止性を備える透明な反射防止導電性フィルムを提供すること、特に、太陽電池用ベースフィルムとして有用な反射防止導電性フィルムを提供することを課題とする。【解決手段】二軸延伸ポリエステルフィルムおよびその上に設けられた反射防止層、ならびに該反射防止層の上に設けられた透明導電層からなり、反射防止層は金属化合物を含み反射防止層の屈折率と厚みが下記式（１）および式（２）の条件を満たすことを特徴とする反射防止導電性フィルム。    １０５−４０．０×Ｎ≦ｄ≦１８０−４０．０×Ｎ    （１）    １．７５≦Ｎ≦２．０                              （２）    （式中、Ｎは反射防止層の屈折率、ｄは反射防止層の厚み（ｎｍ）である。）【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
二軸延伸ポリエステルフィルムおよびその上に設けられた反射防止層、ならびに該反射防止層の上に設けられた透明導電層からなり、反射防止層は金属化合物を含み反射防止層の屈折率と厚みが下記式（１）および式（２）の条件を満たすことを特徴とする反射防止導電性フィルム。
１０５−４０．０×Ｎ≦ｄ≦１８０−４０．０×Ｎ    （１）
１．７５≦Ｎ≦２．０                              （２）
（式中、Ｎは反射防止層の屈折率、ｄは反射防止層の厚み（ｎｍ）である。）
【請求項２】
太陽電池の部材として用いられる、請求項１記載の反射防止導電性フィルム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、反射防止導電性フィルムに関する。
【背景技術】
【０００２】
ポリエステルフィルムは、従来様々な用途に用いられ、近年は太陽電池用の部材としても用いられるようになってきている。
太陽電池には、ガラスを基板材料とするリジットタイプと、フィルムを基板材料とするフレキシブルタイプがある。最近では、時計や携帯電話、携帯端末のような移動体通信機器の補助電源として、フレキシブルタイプの太陽電池が多く用いられるようになってきている。
【０００３】
【特許文献１】特開平１−１９８０８１号公報
【特許文献２】特開平２−２６０５７７号公報
【特許文献３】特公平６−５７８２号公報
【特許文献４】特開２００５−２１６５０４号公報
【特許文献５】特開２００５−１５８７２７号公報
【特許文献６】特開２００３−３１２７２号公報
【特許文献７】特開平６−３１８７２８号公報
【特許文献８】特開２００３−２５７５０９号公報
【特許文献９】特開２００１−０７７３９６号公報
【特許文献１０】特開２００５−２４４０７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
太陽電池の発電効率向上のためには、光電変換素子への入射光量を十分とる必要があるため、反射率を低減することが重要である。
本発明は、ベースフィルムとしてポリエステルフィルムを用い、寸法安定性を備えながら、高い光線透過率と、優れた反射防止性を備える透明な反射防止導電性フィルムを提供すること、特に、太陽電池用ベースフィルムとして有用な反射防止導電性フィルムを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
すなわち本発明は、二軸延伸ポリエステルフィルムおよびその上に設けられた反射防止層、ならびに該反射防止層の上に設けられた透明導電層からなり、反射防止層は金属化合物を含み反射防止層の屈折率と厚みが下記式（１）および式（２）の条件を満たすことを特徴とする反射防止導電性フィルムである。
１０５−４０．０×Ｎ≦ｄ≦１８０−４０．０×Ｎ    （１）
１．７５≦Ｎ≦２．０                              （２）
（式中、Ｎは反射防止層の屈折率、ｄは反射防止層の厚み（ｎｍ）である。）
また本発明は太陽電池の部材として用いられる上記の反射防止導電性フィルムである。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、ベースフィルムとしてポリエステルフィルムを用い、寸法安定性を備えながら、高い光線透過率と、優れた反射防止性を備える透明な反射防止導電性フィルムを提供すること、特に、太陽電池用ベースフィルムとして有用な反射防止導電性フィルムを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
［ポリエステル］
本発明において、導電層を支えるベースフィルムとして二軸延伸ポリエステルフィルムを用いる。この二軸延伸ポリエステルフィルムを構成するポリエステルは、芳香族二塩基酸またはそのエステル形成性誘導体とジオールまたはそのエステル形成性誘導体とから合成される線状飽和ポリエステルである。
【０００８】
かかるポリエステルの具体例として、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリ（１，４−シクロヘキシレンジメチレンテレフタレート）、ポリエチレン−２，６−ナフタレートを例示することができる。ポリエステルは、ホモポリマーでも、第三成分を共重合したコポリマーでもよいが、ホモポリマーが好ましい。これらのポリエステルのうち、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン−２，６−ナフタレートが力学的物性や光学物性等のバランスが良いので好ましい。ポリエチレン−２，６−ナフタレートは、機械的強度が大きく、熱収縮率が小く、加熱時のオリゴマー発生量が少ないことから特に好ましい。
【０００９】
ポリエチレンテレフタレートとしては、エチレンテレフタレート単位を好ましくは９０モル％以上、さらに好ましくは９５モル％以上、特に好ましくは９７モル％以上有するものを用いることが好ましい。ポリエチレン−２，６−ナフタレートとしては、ポリエチレン−２，６−ナフタレート単位を好ましくは９０モル％以上、さらに好ましくは９５モル％以上、特に好ましくは９７モル％以上有するものを用いることが好ましい。
【００１０】
ポリエステルの固有粘度は、好ましくは０．４０ｄｌ／ｇ以上、さらに好ましくは０．４０〜０．９０ｄｌ／ｇである。固有粘度が０．４０ｄｌ／ｇ未満であると工程切断が多発することがあり好ましくなく、０．９０ｄｌ／ｇを超えると溶融粘度が高いため溶融押出しが困難になり、重合時間が長く不経済であり好ましくない。
【００１１】
ポリエステルは、従来公知の方法で得ることができる。例えば、ジカルボン酸とグリコールの反応で直接低重合度ポリエステルを得る方法で得ることができる。また、ジカルボン酸の低級アルキルエステルとグリコールとをエステル交換反応触媒を用いて反応させた後、重合反応触媒の存在下で重合反応を行う方法で得ることができる。エステル交換反応触媒としては、従来公知のもの、例えばナトリウム、カリウム、マグネシウム、カルシウム、亜鉛、ストロンチウム、チタン、ジルコニウム、マンガン、コバルトを含む化合物を用いることができる。重合反応触媒としては、従来公知のもの、例えば三酸化アンチモン、五酸化アンチモンのようなアンチモン化合物、二酸化ゲルマニウムで代表されるようなゲルマニウム化合物、テトラエチルチタネート、テトラプロピルチタネート、テトラフェニルチタネートまたはこれらの部分加水分解物、蓚酸チタニルアンモニウム、蓚酸チタニルカリウム、チタントリスアセチルアセトネートのようなチタン化合物を用いることができる。エステル交換反応を経由して重合を行う場合は、重合反応前にエステル交換触媒を失活させる目的でトリメチルホスフェート、トリエチルホスフェート、トリ−ｎ−ブチルホスフェート、正リン酸等のリン化合物が通常は添加されるが、リン元素としてのポリエステル中の含有量が２０〜１００ｐｐｍであることが熱安定性の点から好ましい。なお、ポリエステルは、溶融重合後これをチップ化し、加熱減圧下または窒素などの不活性気流中においてさらに固相重合を施してもよい。
【００１２】
［二軸延伸ポリエステルフィルム］
本発明においてベースフィルムとして用いる二軸延伸ポリエステルフィルムは、その面内屈折率の平均が１．６３〜１．７８であることが好ましい。面内屈折率の平均が１．６３未満であると十分にポリマーが配向しておらず十分な熱寸法安定性が得られないため好ましくない。他方、１．７８を越えるとフィルムの十分な靭性が得られず、取り扱いが困難となるため好ましくない。
【００１３】
本発明における二軸延伸ポリエステルフィルムは、２００℃で１０分処理したときのフィルムの長手方向と幅方向における熱収縮率の差の絶対値が、好ましくは０．８％以下、さらに好ましくは０．５％以下、特に好ましくは０．３％以下である。熱収縮率の差の絶対値が０．８％を越えると、電池作成の加熱工程において寸法変化し、光電変換層等との密着性が悪化し安定な光発電性能が得られないため好ましくない。
【００１４】
また、本発明における二軸延伸ポリエステルフィルムを２００℃で１０分処理したときのフィルムの長手方向の熱収縮率は、フィルム上に設置した層との密着性を良好にするために小さいほうが好ましく、好ましくは０〜０．５％、さらに好ましくは０〜０．３％である。
【００１５】
本発明における二軸延伸ポリエステルフィルムは、波長３７０ｎｍにおける光線透過率が好ましくは３％以下、４００ｎｍでの光線透過率が好ましくは７０％以上である。なお、光線透過率は、（株）島津製作所製分光光度計ＭＰＣ３１００を用いて測定した数値である。この光線透過率は、２，６−ナフタレンジカルボン酸のような紫外線を吸収するモノマーを構成成分とするポリエステルを用いることにより、また、紫外線吸収剤をポリエステルに含有させることにより得ることができる。
【００１６】
紫外線吸収剤を用いる場合、紫外線吸収剤としては、例えば２，２’−ｐ−フェニレンビス（３，１−ベンゾオキサジン−４−オン）、２，２’−ｐ−フェニレンビス（６−メチル−３，１−ベンゾオキサジン−４−オン）、２，２’−ｐ−フェニレンビス（６−クロロ−３，１−ベンゾオキサジン−４−オン）、２，２’−（４，４’−ジフェニレン）ビス（３，１−ベンゾオキサジン−４−オン）および２，２’−（２，６−ナフチレン）ビス（３，１−ベンゾオキサジン−４−オン）などの環状イミノエステル化合物を用いることができる。
【００１７】
本発明におけるポリエステルフィルムの厚みは、機械的強度と生産性を両立する観点から、好ましくは１０〜５００μｍ、さらに好ましくは２０〜４００μｍ、特に好ましくは５０〜３００μｍである。
【００１８】
次に、本発明のおける二軸延伸ポリエステルフィルムの好ましい製造方法について説明する。なお、ガラス転位温度をＴｇと略記する。まず、ポリエステルをフィルム状に溶融押出し、キャスティングドラムで冷却固化させて未延伸フィルムとし、この未延伸フィルムをＴｇ〜（Ｔｇ＋６０）℃で長手方向に１回もしくは２回以上合計の倍率が３倍〜６倍になるよう延伸し、その後Ｔｇ〜（Ｔｇ＋６０）℃で幅方向に倍率が３〜５倍になるように延伸し、必要に応じてさらに、１６０〜２５５℃で１〜６０秒間熱処理を行うことにより得ることができる。二軸延伸ポリエステルフィルムの長手方向と幅方向における熱収縮率の差を小さくし、さらに長手方向の熱収縮を小さくするためには、例えば、特開平５７−５７６２８号公報に示される熱処理工程で縦方向に収縮せしめる方法や、特開平１−２７５０３１号公報に示されるフィルムを懸垂状態で弛緩熱処理する方法を用いることができる。
【００１９】
［反射防止層］
本発明の反射防止導電性フィルムにおいて、反射防止層は、ポリエステルフィルムの上に設けられる。すなわち、反射防止層は、ポリエステルフィルムと透明導電層との間に設けられる。そして、本発明の反射防止導電性フィルムにおいては、反射防止層の屈折率および厚みが下記の式（１）および式（２）の条件を満たすことが必要である。
１０５−４０．０×Ｎ≦ｄ≦１８０−４０．０×Ｎ    （１）
１．７５≦Ｎ≦２．０                              （２）
（式中、Ｎは反射防止層の屈折率、ｄは反射防止層の厚み（ｎｍ）である。）
【００２０】
屈折率Ｎが１．７５未満であると反射防止層−フィルム間の反射が十分に抑制されず、他方、屈折率Ｎが２．０を超えると反射防止層−透明導電層間の反射が十分に抑制されず目的とする低反射率が達成されない。屈折率Ｎは好ましくは１．７８〜１．９５である。
【００２１】
反射防止層の厚みｄは、上記式（１）で表わされる範囲にあることが必要である。この範囲にあることによって、目的とする太陽電池の吸収波長での反射率を低下させるために、反射防止層−大気間での反射と反射防止層―フィルム間の反射が干渉しあって打ち消しあい、反射防止の機能を得ることができる。なお、厚みｄが式（１）で規定される範囲を外れると光の干渉により反射率の低下が十分行われない。
反射防止層の層の数は、経済性・生産性の点から、好ましくは３層以下。さらに好ましくは１層からなる。
【００２２】
本発明において反射防止層は、金属化合物を含む。金属化合物としては、酸化亜鉛、硫化亜鉛、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化タングステン、酸化鉄、酸化銅酸化カルシウム、酸化アルミニウム、酸化シリコン、チタン酸バリウム、酸化バリウム、酸化マグネシウム、フッ化マグネシウム、チタン酸ストロンチウム、酸化インジウムおよびこれらの合金を例示することができる。金属化合物は１種類で用いてもよく、また屈折率調整のため複数の組み合わせで用いてもよい。
【００２３】
本発明においては、反射防止層の好ましくは１０重量％以上、さらに好ましくは２０重量％以上が金属化合物からなる。反射防止層における金属化合物の含有量が１０重量％未満であると必要な屈折率が得られないため好ましくない。
【００２４】
反射防止層は上述のように金属化合物を含有するが、これ以外にポリマー成分や添加剤等を含んでもよい。特にコーティングにより反射防止層を設ける場合には、ポリマー成分を用いると、こればバインダーとして働きより、良好な塗膜、すなわち反射防止層を得ることができる。
【００２５】
ポリマー成分としては、ポリエステル樹脂、アクリル樹脂、ウレタンアクリル樹脂、ウレタン樹脂、シリコンアクリル樹脂、メラミン樹脂、ポリシロキサン樹脂、ポリメタクリル樹脂及びポリスチレン樹脂、ポリイミド樹脂、ＵＶ硬化系樹脂、エポキシ系樹脂およびこれらの架橋物を挙げることができる。これらの樹脂は、単独、または２種以上の混合物として用いることができる。
ポリマー成分は、溶液の状態・微粒子の状態で用いてもよくまた前躯体の状態でフィルム上に塗布し、反応させてもよい。
【００２６】
添加剤としては、例えばオキサゾリン基含有化合物、界面活性剤を挙げることができる。これらは併用してもよい。併用することによって反射防止層とベースフィルムとの密着性が高くなり好ましい。
【００２７】
反射防止層を、ポリエステルフィルムのうえに設ける方法、場合により複数積層する方法としては、例えば真空蒸着法、スパッタリング法、ＣＶＤ法、イオンプレーテイング法などのドライコーティング法を用いることができ、また例えばグラビア方式、リバース方式、ダイ方式などのウェットコーティング法を用いることができる。
【００２８】
反射防止層の形成に先立って、ポリエステルフィルムにコロナ放電処理、プラズマ処理、スパッタエッチング処理、電子線照射処理、紫外線照射処理、プライマ処理、易接着処理などの前処理を施してもよい。
【００２９】
［透明導電層］
透明導電層としては、例えば導電性の金属酸化物、炭素材料を用いることができる。
導電性の金属酸化物としては、例えばガリウムドープ酸化亜鉛、アルミドープ酸化亜鉛、ゲルマニウムドープ酸化亜鉛、ホウ素ドープ酸化亜鉛、チタンドープ酸化亜鉛、フッ素ドープ酸化スズ、インジウム−スズ複合酸化物（ＩＴＯ）、インジウム−亜鉛複合酸化物（ＩＺＯ）、金属の薄膜（例えば、白金、金、銀、銅、アルミニウム）を用いることができる。
【００３０】
透明導電層は、単層であってもよく、２層以上の積層や、複合化構造のものであってもよい。透明導電層は好ましくはＩＴＯまたはＩＺＯからなる。この場合には高い光線透過率と低い抵抗を得ることができる。
【００３１】
透明導電層の表面抵抗は、好ましくは１００Ω／□以下、さらに好ましくは４０Ω／□以下である。１００Ω／□を超えると電池内抵抗が大きくなりすぎて光発電効率が低下するため好ましくない。
【００３２】
透明導電層の厚みは、好ましくは１００〜５００ｎｍである。１００ｎｍ未満であると十分に表面抵抗値を低くすることができず好ましくなく、５００ｎｍを超えると光線透過率が低下するとともに、透明導電層がわれやすくなり好ましくない。
【００３３】
透明導電層の形成は、例えば真空蒸着法、スパッタリング法、ＣＶＤ法、イオンプレーテイング法などのドライコーティング法を用いて行うことができる、また、塗布法を用いてもよく、例えばグラビア方式、リバース方式、ダイ方式などのウェットコーティング法を用いることができる。
【００３４】
［易接着層］
本発明の反射防止導電性フィルムは、好ましくは太陽電池用の部材に用いられる。製造工程でのハンドリング性、例えばフィルムをロールを用いた連続生産の際のハンドリング性の向上を目的として、また、他の部材との接着性向上を目的として、易接着層を積層してもよい。
【００３５】
この場合の易接着層を設ける場合、その厚みは、好ましくは１〜２００ｎｍ、さらに好ましくは１０〜１５０ｎｍである。易接着層の厚みが１ｎｍ未満であると密着性を向上させる効果が乏しく、２００ｎｍを超えると易接着層の凝集破壊が発生しやすくなり密着性が低下することがあり好ましくない。
【００３６】
易接着層の構成材としては、ポリエステルフィルムと、さらに上に積層する導電層や光電変換素子等との双方に優れた接着性を示すものを用いればよい。例えば、ポリエステル樹脂、アクリル樹脂、ウレタンアクリル樹脂、シリコンアクリル樹脂、メラミン樹脂、ポリシロキサン樹脂を例示することができる。これらの樹脂は、単独、または２種以上の混合物として用いてもよい。
【実施例】
【００３７】
次に、実施例により本発明をさらに詳細に説明する。
なお、例中の各特性値は、下記の方法により測定した。「部」は重量部を表わす。
（１）固有粘度
固有粘度（［η］ｄｌ／ｇ）は、３５℃のｏ−クロロフェノール溶液で測定した。
【００３８】
（２）フィルム厚み
マイクロメーター（アンリツ（株）製Ｋ−４０２Ｂ型）を用い、フィルムの連続製膜方向および幅方向に各々１０ｃｍ間隔で測定を行い、全部で３００ヶ所のフィルム厚みを測定した。得られた３００ヶ所のフィルム厚みの平均値を算出してフィルム厚みとした。
【００３９】
（３）熱収縮率
２００℃に温度設定されたオーブンの中に無緊張状態で１０分間フィルムを保持し、フィルム長手方向（ＭＤ）および幅方向（ＴＤ）について各々の加熱処理前後での寸法変化を熱収縮率として下式により算出し、長手方向（ＭＤ）と幅方向（ＴＤ）の熱収縮率を求めた。ただし、Ｌ０は熱処理前の標点間距離、Ｌは熱処理後の漂点間距離である。
熱収縮率％＝（（Ｌ０−Ｌ）／Ｌ０）×１００
【００４０】
（４）反射防止層の厚み
フィルムの小片をエポキシ樹脂（リファインテック（株）製エポマウント）中に包埋し、Ｒｅｉｃｈｅｒｔ−Ｊｕｎｇ社製Ｍｉｃｒｏｔｏｍｅ２０５０を用いて包埋樹脂ごと５０ｎｍ厚さにスライスし、透過型電子顕微鏡（ＬＥＭ−２０００）にて加速電圧１００ＫＶ、倍率１０万倍にて観察し、塗膜層の厚みを測定した。
【００４１】
（５）光線透過率
（株）島津製作所製分光光度計ＭＰＣ３１００を用い、波長３００ｎｍ〜８００ｎｍの光線透過率を２ｎｍ刻みで測定した。光線透過量の評価としては５５０ｎｍの光線透過率及び４００〜８００ｎｍの平均光線透過率を用いた。
【００４２】
（６）反射防止層の屈折率
Ｍｅｔｒｉｃｏｎ社製のレーザー屈折率計プリズムカプラ、モデル２０１０を用い、６３３ｎｍの波長を用いて測定を行った。反射防止層の屈折率は反射防止層用塗液の乾固物の測定値を用いた。
【００４３】
（７）フィルムの面内屈折率の平均
Ｍｅｔｒｉｃｏｎ社製のレーザー屈折率計プリズムカプラ、モデル２０１０を用い、６３３ｎｍの波長を用いて測定を行った。フィルムの面内屈折率の平均は、フィルムのＭＤ方向での面内屈折率とＴＤ方向での面内屈折率との平均値である。
【００４４】
［実施例１］
＜フィルム用ポリマーの作成＞
ナフタレン−２，６−ジカルボン酸ジメチル１００部、およびエチレングリコール６０部を、エステル交換触媒として酢酸マンガン四水塩０．０３部を使用し、１５０℃から２３８℃に徐々に昇温させながら１２０分間エステル交換反応を行なった。途中反応温度が１７０℃に達した時点で三酸化アンチモン０．０２４部を添加し、エステル交換反応終了後、リン酸トリメチル（エチレングリコール中で１３５℃、５時間０．１１〜０．１６ＭＰａの加圧下で加熱処理した溶液：リン酸トリメチル換算量で０．０２３部）を添加した。その後反応生成物を重合反応器に移し、２９０℃まで昇温して、２７Ｐａ以下の高真空下にて重縮合反応を行って、固有粘度が０．６２ｄｌ／ｇの、実質的に粒子を含有しない、ポリエチレン−２，６−ナフタレンジカルボキシレートを得た。
【００４５】
＜易接着層用塗液＞
２，６−ナフタレンジカルボン酸ジメチル６６部、イソフタル酸ジメチル４７部、５−ナトリウムスルホイソフタル酸ジメチル８部、エチレングリコール５４部、ジエチレングリコール６２部を反応器に仕込み、これにテトラブトキシチタン０．０５部を添加して窒素雰囲気下で温度を２３０℃にコントロールして加熱し、生成するメタノールを留去させてエステル交換反応を行った。次いで反応系の温度を徐々に２５５℃まで上昇させ系内を１ｍｍＨｇの減圧にして重縮合反応を行い、ポリエステルを得た。このポリエステル２５部をテトラヒドロフラン７５部に溶解させ、得られた溶液に１００００回転／分の高速攪拌下で水７５部を滴下して乳白色の分散体を得、次いでこの分散体を２０ｍｍＨｇの減圧下で蒸留し、テトラヒドロフランを留去して、固形分が２５重量％のポリエステルの水分散体を得た。
【００４６】
次に、四つ口フラスコに、界面活性剤としてラウリルスルホン酸ナトリウム３部、およびイオン交換水１８１部を仕込んで窒素気流中で６０℃まで昇温させ、次いで重合開始剤として過硫酸アンモニウム０．５部、亜硝酸水素ナトリウム０．２部を添加し、さらにモノマーである、メタクリル酸メチル３０．１部、２−イソプロペニル−２−オキサゾリン２１．９部、ポリエチレンオキシド（ｎ＝１０）メタクリル酸３９．４部、アクリルアミド８．６部の混合物を３時間にわたり、液温が６０〜７０℃になるよう調整しながら滴下した。滴下終了後も同温度範囲に２時間保持しつつ、攪拌下に反応を継続させ、次いで冷却して固形分が３５％重量のアクリルの水分散体を得た。
【００４７】
一方で、シリカフィラー（平均粒径：１００ｎｍ）（日産化学株式会社製  商品名スノーテックスＺＬ）を０．２重量％、濡れ剤として、ポリオキシエチレン（ｎ＝７）ラウリルエーテル（三洋化成株式会社製  商品名ナロアクティーＮ−７０）を０．３重量％添加した水溶液を作成した。
上記のポリエステルの水分散体８重量部、アクリルの水分散体７重量部、および上記の水溶液８５重量部を混合して、易接着層用塗液を作成した。
【００４８】
＜ポリエステルフィルムの作成＞
先にフィルム用ポリマーとして作成したポリエチレン−２，６−ナフタレンジカルボキシレートのペレットを１７０℃で６時間乾燥後、押出機ホッパーに供給し、溶融温度３０５℃で溶融し、平均目開きが１７μｍのステンレス鋼細線フィルターで濾過し、３ｍｍのスリット状ダイを通して表面温度６０℃の回転冷却ドラム上で押出し、急冷して未延伸フィルムを得た。このようにして得られた未延伸フィルムを１２０℃にて予熱し、さらに低速、高速のロール間で１５ｍｍ上方より８５０℃のＩＲヒーターにて加熱して縦方向に３．２倍に延伸した。この縦延伸後のフィルムの片面に、上記易接着用塗液を塗膜の厚みが１００ｎｍになるようにロールコーターで塗工し易接層を形成した。
【００４９】
続いてテンターに供給し、１４０℃にて横方向に３．３倍に延伸した。得られた二軸延伸フィルムを２４４℃の温度で５秒間熱固定し、ポリマーの固有粘度が０．５８ｄｌ／ｇ、フィルムの厚み１２５μｍの二軸延伸ポリエステルフィルムを得た。２００℃で１０分間処理したときの二軸延伸ポリエステルフィルムの長手方向の熱収縮率は０．５８％、幅方向の熱収縮率は０．１２％、長手方向と幅方向の熱収縮率の差は０．４６％であった。
こうして得られた二軸延伸ポリエステルフィルム上の反射率最小値は７１８ｎｍであり、５５０ｎｍの光線透過率は８９．６％であった。
【００５０】
＜反射防止層の設置＞
酸化チタン成分を１．７ｗｔ％含む酸化チタンゾル（ＰＴＡｓｏｌ  吉川総合開発製）３５．３ｇ、及び界面活性剤（フタージエント２５０  株式会社ネオス製）０．０１４ｇ及びエタノール４．７ｇからなる塗液を作成した。この塗液をポリエステルフィルム上にバーコーターにより塗布し乾燥した。こうして作成した反射防止層の厚みは８４ｎｍであり屈折率は１．８７であった。
【００５１】
＜透明導電層の設置＞
主として酸化インジウムからなり酸化亜鉛が１０重量％添加されたＩＺＯターゲットを用いた直流マグネトロンスパッタリング法により、膜厚２６０ｎｍのＩＺＯからなる透明導電層を形成した。透明導電層のスパッタリング法による形成は、プラズマの放電前にチャンバー内を５×１０−４Ｐａまで排気した後、チャンバー内にアルゴンと酸素を導入して圧力を０．３Ｐａとし、ＩＺＯターゲットに２Ｗ／ｃｍ２の電力密度で電力を印加して行った。酸素分圧は３．７ｍＰａであった。透明導電層の表面抵抗値は１５Ω／□であった。
こうして得られた反射防止導電性フィルムの５５０ｎｍの光線透過率は８０．９％、４００〜８００ｎｍの平均光線透過率は７８．６％であった。
【００５２】
［実施例２］
反射防止層の設置において反射防止層の厚みを９９ｎｍとした以外は実施例１と同様にして、反射防止導電性フィルムを得た。得られた反射防止導電性フィルムの５５０ｎｍの光線透過率は８２．０％、４００〜８００ｎｍの平均光線透過率は７９．０％であった。
【００５３】
［比較例１］
反射防止層を設置しない以外は実施例１と同様にして導電性フィルムを得た。得られた導電性フィルムの５５０ｎｍの光線透過率は８０．５％、４００〜８００ｎｍの平均光線透過率は７７．４％であった。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
本発明の反射防止導電性フィルムは太陽電池の部材として好適に用いることができる。