(57)【要約】【課題】本発明は、異物が外部に飛散するのを抑制する蝶番、扉、クリーンルーム用設備、及び液晶表示装置の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】本発明にかかる蝶番１２は、取り付け部２と、取り付け部２を回動させる回動部１とを有するものである。さらに、蝶番１２は、取り付け部２及び回動部２を外部から遮蔽するように覆い、柔軟な素材よりなるカバー３を備える。このような構成により、カバー３内が外部から遮蔽される。【選択図】図１
2008280770.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
取り付け部と、
前記取り付け部を回動させる回動部と、
前記取り付け部及び前記回動部を外部から遮蔽するように覆い、柔軟な素材よりなるカバーとを備える蝶番。
【請求項２】
前記取り付け部には、貫通穴が設けられており、
前記貫通穴を囲うように前記カバーが接着された第１接着領域をさらに備える請求項１に記載の蝶番。
【請求項３】
前記回動部を囲うように前記カバーが接着され、前記第１接着領域から離間して設けられた第２接着領域をさらに備える請求項２に記載の蝶番。
【請求項４】
前記カバーから外部に向けて設けられ、前記カバー内を排気する排気系をさらに備える請求項１乃至３のいずれかに記載の蝶番。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかに記載の蝶番を備えた扉。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかに記載の蝶番又は扉を備えたクリーンルーム用設備。
【請求項７】
ＴＦＴアレイ基板とＣＦ基板との表面に配向膜を塗布する工程と、
配向膜を塗布した後に、請求項６に記載のクリーンルーム用設備を用いる工程と、
前記配向膜が塗布された前記ＴＦＴアレイ基板と前記ＣＦ基板とをシール材を介して貼り合せる工程とを有する液晶表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蝶番、扉、クリーンルーム用設備、及び液晶表示装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置は、液晶表示パネル、バックライトユニット等を有する。液晶表示パネルは、ＴＦＴアレイ基板と、ＴＦＴアレイ基板に対向して配置されるカラーフィルタ（ＣＦ）基板とを外周縁にて、シール材を用いて貼り合わせ、その間に液晶層を形成して封止したものである。ＴＦＴアレイ基板には、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）、コンデンサー、電極、配線などが形成されている。ＣＦ基板には、色材、ＢＭ（Ｂｌａｃｋ  Ｍａｔｒｉｘ）、電極等が形成されている。また、ＴＦＴアレイ基板とＣＦ基板を貼りあわせたときの隙間（パネルギャップ）は、２μｍ〜５μｍと小さい。このため、金属異物が、基板間に存在すると、ＴＦＴアレイ基板に形成された電極と、ＣＦ基板に形成された電極とが電気的に短絡する可能性が高くなる。ノーマリーホワイトモードの場合、このような短絡が生じると、点灯表示時に輝点が発生する。
【０００３】
２種類の基板を貼り合わせる前には、基板洗浄、配向膜塗布、ラビング処理、ラビング後洗浄、シール材塗布、トランスファー、スペーサー散布などの工程を実施する。これらの工程で、金属異物が基板に付着する可能性が高い。しかも、配向膜を塗布した後は、配向膜表面を傷つけてしまうため、ブラシ洗浄を使用することができない。このため、配向膜を塗布した後は、基板表面に付着した金属異物を除去する工程がない。例えば、パネルギャップ以上の大きさの金属異物が付着していると、両基板に形成されたそれぞれの電極に金属異物が接触し、短絡してしまう。また、金属異物の大きさが、パネルギャップより小さい場合でも、ＣＦ基板表面を指で押すことで、パネルギャップが小さくなり、両基板に形成された電極が電気的に短絡してしまう。このため、客先へ液晶表示パネルが流出した後に、液晶表示パネルに短絡が発生する可能性もある。
【０００４】
すなわち、短絡等の問題が発生しないように、液晶表示装置の製造工程において、金属異物等の異物が基板表面に付着しないようにする必要がある。また、異物は、液晶表示装置の製造ラインにおいて、ラインの外側から飛来してくる可能性がある。このため、製造ラインに衝立もしくはカバーを設置し、異物が基板に付着しないようにするケースがほとんどである。衝立を設置した場合、通常、衝立内に入ることができるよう、蝶番を有する扉を設置することが不可避である。ところが、扉の開閉により、蝶番がどうしても擦れてしまい、発塵してしまう問題があった。すなわち、扉の開閉により、異物が発生していた。蝶番からの発塵を防止するために、擦れる箇所をベアリングを使用して、擦れ量を極力小さくする方法や、擦れ箇所の材質を例えば金属からテフロン（登録商標）又は塩化ビニールに変更する方法（特許文献１参照）が提案されている。
【０００５】
また、蝶番からの発塵対策として、蝶番からの発塵を減らすのではなく、発塵した異物が基板へ付着しない方法についてもいくつか提案されている。例えば、特許文献２においては、蝶番の金属部分に溝を設けたピン受け部材を用いている。これにより、発生した異物が、ピン受け部材に形成された溝部分に捕捉され、外部への飛散が防止される。また、特許文献３においては、同じく蝶番の金属部分に、蝶番を密封する磁性流体シール部材を設ける方法が開示されている。
【特許文献１】特開２０００−３８８６９号公報
【特許文献２】特開平１０−２８０７８０号公報
【特許文献３】特開平７−１６６７５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、ベアリングを使用した方法についても、ある程度の擦れがあるため、金属異物は依然として発生し続けてしまう。また、特許文献１のように、擦れ箇所の材質の変更を行った場合においても、発生する異物の種類が変化するだけで、異物発塵問題は解決しない。特許文献２や特許文献３の方法は、複雑な設計の蝶番を用いなくてはならず、クリーンルーム内の装置や設備のすべての蝶番を作り直す必要があり、膨大なコストがかかる。また、これらの方法は、蝶番の軸と軸受け部の擦れによる異物を軸受け内に閉じ込める方法である。しかし、実際に蝶番から発生する異物は、軸受け部同士の擦れや、取り付け金具等の部分の擦れによって発生することもある。このため、これらの方法を用いるだけでは、完全に異物の飛散を防止することはできなかった。
【０００７】
本発明は、上記の問題を鑑みるためになされたものであり、異物が外部に飛散するのを抑制する蝶番、扉、クリーンルーム用設備、及び液晶表示装置の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明にかかる蝶番は、取り付け部と、前記取り付け部を回動させる回動部と、前記取り付け部及び前記回動部を外部から遮蔽するように覆い、柔軟な素材よりなるカバーとを備えるものである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、異物が外部に飛散するのを抑制する蝶番、扉、クリーンルーム用設備、及び液晶表示装置の製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
実施の形態．
まず、本実施の形態にかかる蝶番について、図１を用いて説明する。図１は、本実施の形態にかかる蝶番１２の構成を示す図である。
【００１１】
蝶番１２は、回動部１、２つの取り付け部２、及びカバー３を有する。回動部１は、２つの取り付け部２の間に形成され、例えば軸部材と軸受け部とを有する。回動部１の軸受け部は、複数の部分からなる。また、複数の部分からなる軸受け部のうち、少なくとも１つは、取り付け部２の一方から延在して形成されている。同様に、複数の部分からなる軸受け部のうち、少なくとも１つは、取り付け部２の他方から延在して形成されている。すなわち、軸受け部の一部は、一方の取り付け部２に接続されている。また、軸受け部の他の一部は、他方の取り付け部２に接続されている。それぞれの軸受け部は、円筒状であり、中心に貫通穴が形成されている。そして、貫通穴に軸部材を通すことにより、軸部材を回転中心として、軸受け部が回転（回動）する。これにより、それぞれの軸受け部に接続された取り付け部２も回転する。また、上記のように、２つの取り付け部２に接続された軸受け部は分かれているため、それぞれの取り付け部２を異なる方向に回転させることができる。すなわち、軸部材を回転中心として、図１の矢印方向に、取り付け部２を開閉させることができる。
【００１２】
取り付け部２は、矩形の平板状であり、複数の貫通穴４（図１においては３つ）が形成されている。２つの取り付け部２は、一方は固定部材５、他方が扉６に取り付けられる。また、複数の貫通穴４（より詳細には、後述する取り付け穴）に対応して、固定部材５及び扉６にも穴が設けられている。そして、貫通穴４と、固定部材５及び扉６の穴にビスを通し、ワッシャーやナットによって固定する。これにより、扉６を保持し、開閉させることができる。回動部１及び取り付け部２としては、金属材料を用いることができる。また、回動部１及び取り付け部２は、カバー３によって全体が覆われている。これにより、回動部１及び取り付け部２が外部から遮蔽される。なお、回動部１及び取り付け部２が組み合わされた状態のものを蝶番部１１とする。カバー３としては、異物の発生しにくい素材を用いることが好ましい。また、開閉動作ができるように、カバー３は柔軟性がある素材が用いられる。このように、カバー３によって蝶番部１１全体を覆うことにより、蝶番部１１から金属異物等の異物が発生しても、カバー３外部への飛散を抑制することができる。
【００１３】
次に、比較として、従来の蝶番１２の構成について、図２を用いて説明する。図２は、従来の蝶番１２の構成を示す図である。図２に示すように、従来の蝶番１２は、回動部１及び取り付け部２を有する。また、取り付け部２は、複数の取り付け穴７を有する。しかし、本実施の形態にかかる蝶番１２のように、カバー３によって覆われておらず、回動部１及び取り付け部２が露出している。このため、従来の蝶番１２を固定部材５及び扉６に設け、回動部１を回転させることにより、図２の矢印方向に扉の開閉させると、回動部１が擦れてしまう。回動部１は、金属によって形成されているため、回動部１が擦れることにより、金属が削られ、金属異物が発生してしまう。従来の回動部１は、露出しているため、金属異物が外部に飛散してしまう。図２においては、斜線部から金属異物が発生し、例えば中抜き矢印方向に金属異物が飛散する。発生した金属異物のうち、大きい金属異物は、蝶番１２の真下に落下するが、細かい微粒子の金属異物は、扉６の開閉によって発生する空気の動きによって、扉６の周辺まで飛散する。その結果、扉６の周りの装置内や、搬送中のコンベア上の基板上などに金属異物が付着し、歩留り低下などの要因になる。
【００１４】
ここで、本実施の形態のように、回動部１及び取り付け部２の全体をカバー３によって覆うことにより、回動部１から発生した金属異物が外部に飛散することを抑制することができる。すなわち、低発塵の蝶番１１を得ることができる。これにより、基板などに異物が付着することを抑制することができる。また、蝶番の一部を改造するのみで、本実施の形態にかかる蝶番１２を製造することができる。このため、簡便であり、低コストで製造することができる。
【００１５】
次に、本実施の形態にかかる蝶番１２の詳細な構成・製造方法について図３及び図４を用いて説明する。図３及び図４は、本実施の形態にかかる蝶番１２の製造方法を示す平面図である。なお、図４（ａ）においては、Ａ−Ａ断面も合わせて図示する。また、図４（ｂ）においては、Ｂ−Ｂ断面も合わせて図示する。
【００１６】
図３（ａ）に示されるように、一方に開口部をもつ袋状のカバー３を用意する。ここでは、カバー３として、柔軟で異物の発生しにくい素材、例えば（ポリ塩化）ビニールを用いることができる。次に、図３（ｂ）に示されるように、袋状のカバー３内に開口部から蝶番部１１を入れる。そして、カバー３の開口部、取り付け部２の貫通穴４近傍、回動部１近傍に接着材を塗布する。具体的には、貫通穴４近傍では、１つの取り付け部２における全ての貫通穴４を覆うように、矩形状に接着材を塗布する。すなわち、貫通穴４内のカバー３にも、接着材が塗布される。また、回動部１近傍では、回動部１の略全体を覆うように矩形形状に接着材を塗布する。回動部１近傍は、回動部１の略全体を覆うのが好ましいが、少なくとも回動することにより、擦れる部分に接着材が塗布されていればよい。なお、接着材は、蝶番部１１の両面に塗布される。
【００１７】
そして、接着材が塗布された状態で、カバー３を密閉する。これにより、接着材によって、カバー３の開口部が接着され、貫通穴４近傍、回動部１近傍が両面ともに、カバー３と接着される。そして、貫通穴４を囲うようにカバー３が接着された第１接着領域１３と、回動部１を囲うようにカバー３が接着された第２接着領域１４とが形成される。また、カバー３内を外部から遮蔽するように接着された領域、すなわち接着された開口部を第３接着領域１５とする。それぞれの接着領域は、矩形状であり、離間して形成される。すなわち、接着領域は、区画して形成される。これにより、第１接着領域１３及び第２接着領域１４内の蝶番部１１は、他の領域から隔離される。すなわち、貫通穴４及び回動部１が隔離される。また、第２接着領域１４は、矩形状に形成してもよいが、回動しにくい場合は、回動部１を囲むように枠状に形成してもよい。なお、接着材としては、液状の接着材以外にも、例えば両面テープを用いることも可能である。これにより、図３（ｃ）に示す構成となる。
【００１８】
次に、貫通穴４の内側において、カバー３及び接着材に穴を開ける。これにより、取り付け穴７が形成される。すなわち、取り付け穴７は、貫通穴４より小さく形成される。貫通穴４の端部は、カバー３によって覆われる。また、貫通穴４の端部を覆うカバー３は接着材によって接着され、取り付け部２の端部が外部から遮蔽される。これにより、図４（ｄ）に示される構成となる。以上のような製造方法により、本実施の形態にかかる蝶番１２が製造される。
【００１９】
そして、取り付け穴７に、ワッシャー８、ビス９、ナット１０を配設して、通常の蝶番の取り付けと同様、固定部材５及び扉６に取り付ける。すなわち、取り付け穴７と、固定部材５及び扉６に設けられた穴とを合わせる。そして、取り付け部２の上面において、取り付け穴７に合わせてワッシャー８を配置する。そして、固定部材５又は扉６の下面において、固定部材５又は扉６の穴に合わせてナット１０を配置する。そして、上から順に、ワッシャー８、取り付け穴７、固定部材５又は扉６の穴、ナット１０にビス９を通すことにより、蝶番１２を固定部材５又は扉６に固定する。これにより、図４（ｅ）に示される構成となる。
【００２０】
このように、本実施の形態にかかる蝶番１２の回動部１から発生した金属異物は、カバー３の開口部からも取り付け穴７からも外部に出ることなく、蝶番１２が設けられたクリーンルーム内に飛散されにくくなる。また、本実施の形態では、蝶番１２の周囲を覆うカバー３内に、第１接着領域１３及び第２接着領域１４を形成したが、少なくとも第１接着領域１３が形成されていればよい。これにより、貫通穴４を含め、蝶番部１１全体がカバー３によって覆われる。そして、カバー３に開けられた取り付け穴７からカバー３外部への異物の飛散を抑制することができる。このように、第１接着領域１３のみで、本発明の効果を十分に得ることができるが、本実施の形態のように、さらに第２接着領域１４を設けるほうが好ましい。これにより、異物発生の主要部となる回動部１をさらに隔離することができ、カバー３外部への異物飛散の前に、カバー３内部への異物飛散も抑制することができる。すなわち、第２接着領域１４を設けることにより、２重の抑制効果を得ることができる。
【００２１】
上記の説明においては、蝶番１２の構成の一例として、開口部を持つ袋状のカバー３を用いたが、例えば図５に示されるように、シート状のカバー３を用いてもよい。図５は、蝶番１２の変形例を示す平面図ある。シート状のカバー３は、蝶番部１１より大きい矩形状となっている。そして、図５（ａ）に示すように、２枚のシート状のカバー３によって、蝶番部１１を挟む。そして、カバー３の全周、貫通穴４近傍、回動部１近傍を接着材によって接着する。これにより、カバー３内が密閉され、カバー３と蝶番部１１とが密着する。すなわち、貫通穴４を囲うようにカバー３が接着された第１接着領域１３と、回動部１を囲うようにカバー３が接着された第２接着領域１４とが形成される。また、カバー３内を外部から遮蔽するように接着された第３接着領域１５が形成される。第３接着領域１５は、枠状に形成される。それぞれの接着領域は、上記の蝶番１２と同様、離間して形成される。これにより、図５（ｂ）に示すような構成となる。
【００２２】
そして、上記の蝶番１２と同様、取り付け穴７を形成することにより、蝶番１２が製造される。この変形例の構成においても、回動部１において発生した異物がクリーンルーム内に飛散されにくくなる。もちろん、上説したように、蝶番１２の周囲を覆うカバー３内に、少なくとも第１接着領域１３が形成されていれば、蝶番部１１全体を覆うことができるので、本発明の効果は十分に得ることができる。また、カバー３を構成する材料がゴム材など、袋形状を形成するには、やや柔軟性にかける材料を用いた場合においても、シート状とすることでカバー３材料として適用することが可能となる。
【００２３】
本実施の形態にかかる蝶番１２は、扉及びクリーンルーム用設備に用いることができる。ここで、設備とは、製造装置等の装置、保管庫等を含むものとする。例えば、液晶表示装置の製造ライン付近に設けられる扉に、本実施の形態にかかる蝶番を用いることができる。ここで、図６を参照して、液晶表示装置について説明する。図６は、液晶表示装置３２の構成を示す断面図である。
【００２４】
液晶表示装置３２は、液晶表示パネル２０、バックライトユニット２１、駆動回路（不図示）等を備えるものである。液晶表示パネル２０は、ＴＦＴアレイ基板２２と、ＴＦＴアレイ基板２２に対向して配置されるカラーフィルタ（ＣＦ）基板２３とを外周縁にて、シール材２４を用いて貼り合わせ、その間に液晶層２５を形成して封止したものである。ＴＦＴアレイ基板２２は、スイッチング素子として薄膜トランジスタ（ＴＦＴ：Thin Film Transistor）２６を有する。そして、シール材２４に囲まれる領域にて、１画素ごとに画素電極２７が配置される。バックライトユニット２１は、液晶表示パネル２０の反視認側に配置され、液晶表示パネル２０の背面側から光を照射する。そして、ＴＦＴアレイ基板２２の端部には、駆動回路（不図示）が設けられる。これにより、外部からの各種信号が供給される。それらの信号に応じて、ＴＦＴ２６のＯＮ、ＯＦＦが制御され、ＴＦＴ２６がＯＮ状態のとき、画素電極２７に表示電圧が印加される。
【００２５】
ＣＦ基板２３は、カラーフィルタ層２８及び対向電極２９を有している。カラーフィルタ層２８は、例えばブラックマトリクス（ＢＭ）層と、赤（Ｒ）緑（Ｇ）青（Ｂ）の着色層とを有している。対向電極２９は、ＣＦ基板２３の液晶層２５側に配置され、液晶層２５に信号電位を供給するための共通電位を与える。なお、例えばＩＰＳ方式の液晶表示装置に用いられる場合、対向電極２９はＴＦＴアレイ基板２２側に配置される。そして、ＣＦ基板２３と対向電極２９との間にて、画素電極２７及びＴＦＴ２６に対向する領域に、カラーフィルタ層２８が形成され、このカラーフィルタ層２８を用いてカラー表示が行われる。
【００２６】
また、ＴＦＴアレイ基板２２およびＣＦ基板２３の液晶層２５側の表面には、液晶を配向させるための配向膜３０が形成されている。そして、ＴＦＴアレイ基板２２とＣＦ基板２３の外側に、それぞれ偏光板３１等が貼付され、液晶表示パネル２０が形成される。液晶表示装置３２は、以上のように構成されている。また、上記の構成は、一例であり、これ以外の構成でもよい。
【００２７】
画素電極２７と対向電極２９との間の電界によって、液晶が駆動される。すなわち、基板間の液晶の配向方向が変化する。これにより、液晶層２５を通過する光の偏光状態が変化する。すなわち、偏光板３１を通過して直線偏光となった光は液晶層２５によって、偏光状態が変化する。具体的には、バックライトユニット２１からの光及び外部から入射した外光は、偏光板３１によって直線偏光になる。そして、この直線偏光が液晶層２５を通過することによって、偏光状態が変化する。
【００２８】
従って、偏光状態によって、ＣＦ基板２３側の偏光板３１を通過する光量が変化する。すなわち、バックライトユニット２１から液晶表示パネル２０を透過する透過光のうち、視認側の偏光板３１を通過する光の光量が変化する。液晶の配向方向は、印加される表示電圧によって変化する。従って、表示電圧を制御することによって、視認側の偏光板３１を通過する光量を変化させることができる。すなわち、画素毎に表示電圧を変えることによって、所望の画像を表示することができる。
【００２９】
上記のように、液晶表示パネル２０は、ＴＦＴアレイ基板２２とＣＦ基板２３との電極形成面を内側にして対向配置される。また、両基板間の隙間（パネルギャップ）は、２μｍ〜５μｍと非常に小さい。このため、この隙間にパネルギャップ以上の大きさの金属異物が存在すると、両基板に形成された電極が金属異物によって短絡してしまう。例えば、ノーマリーホワイトモードで表示を行った場合、このような短絡が生じると、点灯表示時に輝点が発生する。また、パネルギャップ以下の大きさの金属異物が存在しても、ＣＦ基板２３を指で押すことにより、パネルギャップが一部小さくなる。これにより、上記と同様、短絡してしまい、輝点（指押し輝点とする）が発生する可能性がある。このため、両基板間に金属異物等の異物が存在することがないように、液晶表示装置３２を製造することが必要である。
【００３０】
次に、上記の液晶表示装置３２等の製造装置について図７を用いて説明する。図７は、本実施の形態にかかる製造装置の構成を示す図である。製造装置は、異物が侵入しないように、例えばクリーンルーム内に設置される。
【００３１】
製造装置は、搬送用部材４０、製造装置ステージ４１、衝立（もしくはカバー）４２、扉６、蝶番１２を有する。製造装置ステージ４１上には、基板４３が載置され、複数の保持機構４４によって基板４３が保持される。図７において、保持機構４４は６つ設けられ、基板４３の短辺に対応して１つずつ、基板４３の長辺に対応して２つずつ設けられている。搬送用部材４０は、搬送コンベア、搬送ローラ等であり、搬送用部材４０のローラ等を回転させることにより、基板４３を図７における製造装置ステージ４１上の位置に搬入したり、処理後の基板４３を製造装置ステージ４１上より搬出したりする。また、基板４３を外部から遮蔽するように、衝立４２が設けられる。これにより、製造ラインの外側から飛来してくる異物が、製造ライン内に侵入することが抑制される。また、衝立４２には、衝立４２内に入ることができるよう、扉６が設置される。衝立４２の扉６には、開閉できるよう、蝶番１２が設けられている。ここでは、図１に示されるように、カバー３を有する蝶番１２が設けられる。
【００３２】
上記のように、製造装置によって、例えば液晶表示装置３２を製造することにより、ＴＦＴアレイ基板２２、ＣＦ基板２３等に異物が付着することが抑制される。これは、カバー３を有する蝶番１２を用いたことにより、扉４３の開閉によって、生じる金属異物等の異物が、外部に飛散することが抑制されるためである。これにより、製造された液晶表示装置３２に、短絡等の不具合が発生しにくくなる。
【００３３】
次に、液晶表示装置３２の製造方法について説明する。まず、ガラス等の絶縁性基板上に、ＴＦＴ２６、画素電極２７、配線等を写真製版法によりパターン形成する。これにより、ＴＦＴアレイ基板２２が製造される。そして、他のガラス等の絶縁性基板上に、ＢＭや着色層がパターン形成されたカラーフィルタ層２８を配置する。そして、カラーフィルタ層２８上の略全面に対向電極２９を形成する。これにより、ＣＦ基板２３が製造される。そして、ＴＦＴアレイ基板２２及びＣＦ基板２３を例えばブラシ洗浄により洗浄する。これにより、ＴＦＴアレイ基板２２及びＣＦ基板２３の表面の異物が除去される。
【００３４】
そして、ＴＦＴアレイ基板２２及びＣＦ基板２３の電極形成面の略全面に、ポリイミド等の配向膜３０を塗布する。そして、配向膜３０をラビング処理する。これにより、液晶を一方向に配列することができる。次に、スペーサーを散布し、対向配置させるＴＦＴアレイ基板２２とＣＦ基板２３との隙間（セルギャップ）を一定にする。そして、一方の基板の外周縁に、シール材２４を塗布する。なお、シール材２４の一部には、液晶注入口が形成されている。すなわち、枠状に形成されたシール材２４の一部が開口している。その後、ＴＦＴアレイ基板２２とＣＦ基板２３とを、シール材２４を介在させて貼り合わせる。この際、それぞれの基板の電極形成面、すなわち配向膜形成面を内側にして、重ね合わせる。そして、液晶注入口から液晶を注入し、封止材によって液晶注入口を封止する。その後、両基板の外側に、それぞれ偏光板３１、位相差板等を貼り付け、駆動回路の実装し、バックライトユニット２１を配設することにより、液晶表示装置３２が製造される。
【００３５】
なお、このような液晶表示装置３２の製造には、例えば上記の製造装置が用いられる。そして、製造ラインのコンベアにおいて、順次製造される。本実施の形態にかかる製造装置を用いることにより、基板４３（例えばＴＦＴアレイ基板２２、ＣＦ基板２３）に異物が付着することを抑制することができる。また、上記のように、配向膜３０の塗布前には、ブラシ洗浄等を行うことができる。一方、配向膜３０の塗布後には、配向膜３０表面が傷つくため、ブラシ洗浄等を行うことができない。このため、本実施の形態にかかる製造装置は、少なくとも、配向膜３０塗布後からＴＦＴアレイ基板２２とＣＦ基板２３との貼り合わせ前までに用いればよい。そこで、配向膜３０塗布工程からＴＦＴアレイ基板２２とＣＦ基板２３との貼り合わせ工程までの一部の製造ラインに上記の製造装置を用いた。すなわち、一部の製造ラインの衝立４２の扉６に本実施の形態にかかるカバー３付きの蝶番１２を用いた。そして、試験的に基板４３の処理を行い、従来の蝶番１２を用いた製造装置と、本実施の形態にかかる蝶番１２を用いた製造装置による金属異物の発生率を比較した。その結果、本実施の形態にかかる蝶番１２を用いた製造装置の金属異物の発生率は、従来のものと比較して、半分以下になることが分かった。具体的には、従来の蝶番１２を用いた場合、金属異物の発生率が１．５％であったものが、本実施の形態の蝶番１２を用いた場合、金属異物の発生率が０．６％となった。もちろん、全ての製造工程において、本実施の形態にかかる製造装置を用いてもよい。
【００３６】
以上の実験結果においては、ラインカバーの扉６に本実施の形態にかかる蝶番１２を採用した場合について説明したが、例えば図８に示されるような部材保管庫４５に採用することも可能である。図８は、本実施の形態にかかる蝶番１２を部材保管庫４５に適用した例を示す図である。このような部材保管庫４５は、例えばクリーンルーム内の製造ラインのコンベア付近に配置されることが多く、製造装置の交換部品等が整理収納される。部材保管庫４５は扉６を有し、蝶番１２によって扉６を開閉することにより、部品等を出し入れできるようになっている。部材保管庫４５の蝶番１２として、本実施の形態にかかる蝶番１２を適用することにより、金属異物が外部に飛散することが抑制される。これにより、製造装置の部品に金属異物が付着することが抑制され、製造装置に部材保管庫４５内の部材が装着されて、製造される基板４３に金属異物が付着することが抑制される。また、コンベア付近で部材保管庫４５の扉６が開閉されて、これにより発生する空気の動きにより金属異物が舞い上がり、直接基板４３表面に金属異物が付着することについても抑制することができる。さらに、このような部材保管庫４５に限らず、クリーンルーム内に配置されるその他の設備等、蝶番１２で開閉される構成を持つものについては全て本実施の形態の蝶番１２が適用可能である。
【００３７】
以上の説明の通り、本実施の形態の蝶番１２は様々なクリーンルーム内の設備に用いることができる。上記説明した実験においては、１つの設備に適用した実験結果であるが、本実施の形態の蝶番１２をそれら適用可能な装置の大部分に用いることが好ましい。これにより、金属異物付着による液晶表示装置３２の輝点発生を更に大きく低減することができることは、容易に推定できる。そして、液晶表示装置３２の表示異常が低減し、表示特性を向上させることができる。また、本実施の形態の蝶番１２を適用すると、金属異物起因の歩留まりを大きく改善することができる。さらに、客先に流出した後に発生する指押し輝点も低減することができる。これにより、製品の信頼性を損なう重大な問題についても、その発生率の大幅な低減が可能となる。
【００３８】
また、本実施の形態の効果は、液晶表示装置３２の基板間のショートを改善することに限られず、様々なクリーンルーム内の蝶番１２を持つ設備に適用することによっても、様々な効果が得られる。例えば、半導体装置や液晶表示装置の製造工程における成膜工程やパターニング工程などに対して適用しても効果がある。成膜工程における設備に用いることにより、金属異物等の異物によって発生する成膜時の膜の欠損を抑えることができる。また、パターニング工程における設備に用いることにより、金属異物等の異物によって発生するパターン欠損等を抑制することができる。これにより、やはり製造歩留まりを大きく改善することが可能となる。
【００３９】
以上、説明した本実施の形態では、カバー３の材質を（ポリ塩化）ビニールとしたが、比較的異物を発生しにくく、柔軟な材料であればよく、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリビニルアルコール、アクリル、その他、柔軟なプラスチック素材を用いることができる。また、蝶番１２を使用する装置、環境に応じて、テフロン（登録商標）ゴム、バイトンゴム、ブチレンゴム、シリコンゴム等の比較的耐熱性や腐食性の高い材料をシート状にしたものをカバー３の材料に用いてもよい。
【００４０】
また、以上説明した本実施の形態では、蝶番部１１を完全に密閉できる構成としたが、柔軟な材料よりなるカバーについては、概ね回動部１を覆っていればよい。カバー３は、回動部１の大きさに比べて十分に大きく、回動部１より発生した異物が実質的にカバー３外に出なければ、ある程度の異物飛散防止効果を得ることができる。すなわち、蝶番部１１の一部を遮蔽する構成としても、本発明の効果は得られる。このように、少なくとも回動部１を覆う構成としてもよいが、本実施の形態のように蝶番部１１を完全に密閉できる構成とするのが好ましい。ほとんどの金属異物は、回動部１の軸部材と軸受け部との擦れ、又は軸受け部同士の擦れによって発生するが、ワッシャー８、ビス９、ナット１０等の取り付け金具部分の擦れによっても発生するためである。また、図９のように、排気系１６をカバー３から外部に向けて設けてもよい。図９は、蝶番１２の構成の変形例を示す図である。排気系１６を設けることにより、カバー３内に発生した異物がカバー３外に飛散する前に、カバー３内より排気し、排出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】実施の形態にかかる蝶番の構成を示す図である。
【図２】従来の蝶番の構成を示す図である。
【図３】実施の形態にかかる蝶番の製造方法を示す平面図である。
【図４】実施の形態にかかる蝶番の製造方法を示す平面図及び断面図である。
【図５】実施の形態にかかる蝶番の変形例を示す平面図ある。
【図６】実施の形態にかかる液晶表示装置の構成を示す断面図である。
【図７】実施の形態にかかる製造装置の構成を示す図である。
【図８】実施の形態にかかる蝶番を部材保管庫に適用した例を示す図である。
【図９】実施の形態にかかる蝶番の構成の変形例を示す図である。
【符号の説明】
【００４２】
１  回動部、２  取り付け部、３  カバー、４  貫通穴、５  固定部材、６  扉、
７  取り付け穴、８  ワッシャー、９  ビス、１０  ナット、１１  蝶番部、
１２  蝶番、１３  第１接着領域、１４  第２接着領域、１５  第３接着領域、
１６  排気系、２０  液晶表示パネル、２１  バックライトユニット、
２２  ＴＦＴアレイ基板、２３  ＣＦ基板、２４  シール材、２５  液晶層、
２６  ＴＦＴ、２７  画素電極、２８  カラーフィルタ層、２９  対向電極、
３０  配向膜、３１  偏光板、３２  液晶表示装置、４０  搬送用部材、
４１  製造装置ステージ、４２  衝立、４３  基板、４４  保持機構、
４５  部材保管庫
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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