(57)【要約】【課題】ワーク上の所望の領域に液状体を液滴として効率的かつ適切に配置することが可能な液状体の描画方法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ素子の製造方法を提供すること。【解決手段】本発明の液状体の描画方法は、１枚目のワークを描画する工程と、１枚目のワークに着弾した液滴の着弾状態を観察する着弾観察工程と、着弾観察工程で得られた液滴の着弾情報に基づいて、混色が有るか否かを判断する工程と、混色が有る場合には、ワークの流動を止めて第１吐出補正作業を行う工程と、液滴がバンクに掛かって着弾しているか否かを判断する工程と、液滴がバンクに掛かって着弾している場合には、ワークの流動を止めずに第２吐出補正作業を行う工程と、描画条件を選択する工程と、選択された描画条件で液状体の描画を行う工程と、対象Ｌｏｔの描画が終了したか否か判断する工程とを備えた。【選択図】図１０
2008119625.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワーク上の所望の領域に液状体の液滴をドットとして配置する第１配置情報に基づいて複数のノズルから前記液滴を前記所望の領域に向けて吐出する第１吐出工程と、
前記第１吐出工程で前記ワークに着弾した前記液滴の着弾状態を観察する着弾観察工程と、
前記着弾観察工程で得られた前記液滴の着弾情報に基づいて、前記第１配置情報を補正する必要が有るか否か判定する第１判定工程と、
前記第１判定工程で必要があると判定した場合には、前記液滴の着弾情報に基づいて前記ワークの流動を止めるか否か判定する第２判定工程と、
前記第１配置情報を補正した第２配置情報を生成する配置情報生成工程と、
前記第２配置情報に基づいて前記複数のノズルから前記液滴を他のワークの前記所望の領域に向けて吐出する第２吐出工程とを備え、
前記第２判定工程で前記ワークの流動を止める必要があると判定した場合には、前記ワークの流動を止めて、前記配置情報生成工程おける前記第２配置情報の生成が完了してから前記第２吐出工程へ移行し、
前記第２判定工程で前記ワークの流動を止める必要がないと判定した場合には、少なくとも前記配置情報生成工程おける前記第２配置情報の生成が完了するまで前記第１吐出工程を繰り返してから前記第２吐出工程へ移行することを特徴とする液状体の描画方法。
【請求項２】
前記所望の領域は、複数の吐出領域と、前記複数の吐出領域を区画する区画領域とを含み、
前記第２判定工程では、前記液滴が本来着弾すべき前記吐出領域以外の前記吐出領域に着弾した場合に、前記ワークの流動を止めると判定し、
前記配置情報生成工程では、前記液滴が本来着弾すべき前記吐出領域に着弾するように前記第１配置情報を補正した前記第２配置情報を生成することを特徴とする請求項１に記載の液状体の描画方法。
【請求項３】
前記所望の領域は、複数の吐出領域と、前記複数の吐出領域を区画する区画領域とを含み、
前記第２判定工程では、前記液滴が本来着弾すべき前記吐出領域を区画する前記区画領域に掛かって着弾した場合に、前記ワークの流動を止めないと判定し、
前記配置情報生成工程では、前記液滴が本来着弾すべき前記吐出領域に着弾するように前記第１配置情報を補正した前記第２配置情報を生成することを特徴とする請求項１に記載の液状体の描画方法。
【請求項４】
前記第１配置情報は、前記複数の吐出領域に対する前記複数のノズルの配置情報を含み、
前記配置情報生成工程では、前記液滴が本来着弾すべき前記吐出領域に着弾するように前記複数の吐出領域に対する前記複数のノズルの吐出位置を補正することを特徴とする請求項２または３に記載の液状体の描画方法。
【請求項５】
前記第１配置情報は、前記複数の吐出領域に対する前記複数のノズルの配置情報を含み、
前記配置情報生成工程では、前記液滴が本来着弾すべき前記吐出領域に着弾するように前記第１吐出工程において、前記複数のノズルのうち吐出された前記液滴が本来着弾すべき前記吐出領域以外の前記吐出領域に着弾したノズルを選択しないように前記第１配置情報を補正することを特徴とする請求項２に記載の液状体の描画方法。
【請求項６】
前記第１配置情報は、前記複数の吐出領域に対する前記複数のノズルの配置情報を含み、
前記配置情報生成工程では、前記液滴が本来着弾すべき前記吐出領域に着弾するように前記第１吐出工程において、前記複数のノズルのうち吐出された前記液滴が前記区画領域に掛かって着弾したノズルを選択しないように前記第１配置情報を補正することを特徴とする請求項３に記載の液状体の描画方法。
【請求項７】
前記第１配置情報は、前記ノズルごとに前記液滴を吐出させるエネルギー発生手段の駆動条件を含み、
前記配置情報生成工程では、前記第１吐出工程において、前記複数のノズルのうち吐出された前記液滴が前記区画領域に掛かって着弾したノズルに対して、吐出された前記液滴が前記区画領域に掛からないように前記エネルギー発生手段の駆動条件を修正することを特徴とする請求項３に記載の液状体の描画方法。
【請求項８】
修正する前記駆動条件が前記エネルギー発生手段を駆動して前記液滴を吐出させる吐出タイミングであることを特徴とする請求項７に記載の液状体の描画方法。
【請求項９】
前記エネルギー発生手段が圧電素子であることを特徴とする請求項７または８に記載の液状体の描画方法。
【請求項１０】
基板上に区画形成された複数の着色領域に少なくとも３色の着色層を有するカラーフィルタの製造方法であって、
請求項１ないし９のいずれか一項に記載の液状体の描画方法を用い、着色層形成材料を含む少なくとも３色の液状体を前記所望の領域としての前記複数の着色領域に吐出描画する描画工程と、
吐出描画された前記液状体を固化して、前記少なくとも３色の着色層を形成する固化工程とを備えたことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項１１】
基板上に区画形成された複数の発光層形成領域に少なくとも発光層を有する有機ＥＬ素子の製造方法であって、
請求項１ないし９のいずれか一項に記載の液状体の描画方法を用い、発光層形成材料を含む液状体を前記所望の領域としての前記複数の発光層形成領域に吐出描画する描画工程と、
吐出描画された前記液状体を固化して、前記発光層を形成する固化工程とを備えたことを特徴とする有機ＥＬ素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークに機能性材料を含む液状体を吐出する液状体の描画方法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ素子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ワークに機能性材料を含む液状体を吐出する方法としては、液滴吐出ヘッドと表示装置用基板との相対移動に連動して、液滴吐出ヘッドの各ノズルから液滴を吐出させて表示装置用基板に画素構成要素をマトリクス状に配置する表示装置の製造方法が知られている（特許文献１）。
【０００３】
上記表示装置の製造方法では、当該表示装置用基板を用いて先行して製造した表示装置の画像の表示むらを観測し、その結果に基づいて、本格的に量産する場合に上記液滴の量および種類のうち少なくとも一方を画素間で相違させる。これにより、より表示むらが少ない表示装置を製造しようとするものである。
【０００４】
この場合、液滴の量および種類のうち少なくとも一方を画素間で相違させる方法として、液滴吐出ヘッドの複数のノズルのうちいずれを作動させて液状体を吐出するかを制御するビットマップデータを活用している。
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−３１９３５６号公報  頁２、頁７、頁８
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記表示装置の製造方法では、本格的な量産を始める前に、まず表示装置用基板を製造し、これを用いて表示装置を先行製造しなくてはならない。さらに先行製造された表示装置を用いて表示むらの評価を行う。したがって、表示装置用基板の本格的な量産を速やかに開始できないという課題がある。
【０００７】
また、本格的な表示装置用基板の製造にあたっては、表示むらが少なくなるように液滴の量および種類のうち少なくとも一方を画素間で相違させるとしているが、吐出された液滴の位置に関する制御については触れていない。適正な位置に液滴が着弾しないと、塗布むらが発生し、例えば、乾燥後に得られる画素構成要素の膜厚が画素ごとに変動し、結果的に所望の特性が得られないという課題があった。
【０００８】
本発明は、上記課題を考慮してなされたものであり、ワーク上の所望の領域に液状体を液滴として効率的かつ適切に配置することが可能な液状体の描画方法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ素子の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の液状体の描画方法は、ワーク上の所望の領域に液状体の液滴をドットとして配置する第１配置情報に基づいて複数のノズルから液滴を所望の領域に向けて吐出する第１吐出工程と、第１吐出工程でワークに着弾した液滴の着弾状態を観察する着弾観察工程と、着弾観察工程で得られた液滴の着弾情報に基づいて、第１配置情報を補正する必要が有るか否か判定する第１判定工程と、第１判定工程で必要があると判定した場合には、液滴の着弾情報に基づいてワークの流動を止めるか否か判定する第２判定工程と、第１配置情報を補正した第２配置情報を生成する配置情報生成工程と、第２配置情報に基づいて複数のノズルから液滴を他のワークの所望の領域に向けて吐出する第２吐出工程とを備え、第２判定工程でワークの流動を止める必要があると判定した場合には、ワークの流動を止めて、配置情報生成工程おける第２配置情報の生成が完了してから第２吐出工程へ移行し、第２判定工程でワークの流動を止める必要がないと判定した場合には、少なくとも配置情報生成工程おける第２配置情報の生成が完了するまで第１吐出工程を繰り返してから第２吐出工程へ移行することを特徴とする。
【００１０】
この方法によれば、第２判定工程では、ワーク上の所望の領域に液状体の液滴をドットとして配置する第１配置情報を補正する必要がある場合に、着弾観察工程で得られた液滴の着弾情報に基づいてワークの流動を止めるか否か判定する。また、第２吐出工程では、第１配置情報を補正した第２配置情報に基づいて液滴が吐出される。したがって、むやみにワークの流動を止めることなく、ワークの所望の領域に液状体を液滴として効率的かつ適切に配置することが可能な液状体の描画方法を提供することができる。
【００１１】
上記所望の領域は、複数の吐出領域と、複数の吐出領域を区画する区画領域とを含み、第２判定工程では、液滴が本来着弾すべき吐出領域以外の吐出領域に着弾した場合に、ワークの流動を止めると判定し、配置情報生成工程では、液滴が本来着弾すべき吐出領域に着弾するように第１配置情報を補正した第２配置情報を生成することを特徴とする。
【００１２】
この方法によれば、少なくとも次に流動されるワークの吐出領域内に不要な液滴が配置されることを低減することができる。
【００１３】
また、上記所望の領域は、複数の吐出領域と、複数の吐出領域を区画する区画領域とを含み、第２判定工程では、液滴が本来着弾すべき吐出領域を区画する区画領域に掛かって着弾した場合に、ワークの流動を止めないと判定し、配置情報生成工程では、液滴が本来着弾すべき吐出領域に着弾するように第１配置情報を補正した第２配置情報を生成することを特徴とする。
【００１４】
この方法によれば、第２判定工程では、区画領域に液滴が掛かって着弾してもワークの流動を止めない。そして、配置情報生成工程で生成された第２配置情報を適用して液滴の吐出を行う第２吐出工程が、適宜実施される。したがって、むやみにワークの流動を止めず、第１吐出工程が行われた時点で、液滴の着弾位置が区画領域に掛かるようなノズルを予め察知し、第１配置情報を修正していつでも切り替えられるように準備しておくことができる。
【００１５】
上記第１配置情報は、複数の吐出領域に対する複数のノズルの配置情報を含み、配置情報生成工程では、液滴が本来着弾すべき吐出領域に着弾するように複数の吐出領域に対する複数のノズルの吐出位置を補正することを特徴とする。この方法によれば、複数のノズルの吐出位置を補正することにより、吐出領域に対して吐出された液滴を適正に配置することができる。
【００１６】
また、上記第１配置情報は、複数の吐出領域に対する複数のノズルの配置情報を含み、配置情報生成工程では、液滴が本来着弾すべき吐出領域に着弾するように第１吐出工程において、複数のノズルのうち吐出された液滴が本来着弾すべき吐出領域以外の吐出領域に着弾したノズルを選択しないように第１配置情報を補正してもよい。この方法によれば、吐出領域から外れることなく液滴を配置することができる。
【００１７】
また、上記第１配置情報は、複数の吐出領域に対する複数のノズルの配置情報を含み、配置情報生成工程では、液滴が本来着弾すべき吐出領域に着弾するように第１吐出工程において、複数のノズルのうち吐出された液滴が区画領域に掛かって着弾したノズルを選択しないように第１配置情報を補正してもよい。この方法によれば、区画領域に掛からないように液滴を配置することができる。
【００１８】
さらには、第１配置情報は、ノズルごとに液滴を吐出させるエネルギー発生手段の駆動条件を含み、配置情報生成工程では、第１吐出工程において、複数のノズルのうち吐出された液滴が区画領域に掛かって着弾したノズルに対して、吐出された液滴が区画領域に掛からないようにエネルギー発生手段の駆動条件を修正することを特徴とする。この方法によれば、複数のノズルを無駄なく使用して区画領域に掛からないように液滴を配置することができる。
【００１９】
また、修正する駆動条件がエネルギー発生手段を駆動して液滴を吐出させる吐出タイミングであることを特徴とする。この方法によれば、吐出タイミングを修正することにより、該当ノズルから吐出された液滴を区画領域に掛からないように配置することができる。
【００２０】
上記エネルギー発生手段が圧電素子であることを特徴とする。これによれば、電気機械変換素子である圧電素子を用いているので、電気エネルギーを機械エネルギーに効率的に変換して液滴を吐出することができる。
【００２１】
本発明のカラーフィルタの製造方法は、基板上に区画形成された複数の着色領域に少なくとも３色の着色層を有するカラーフィルタの製造方法であって、上記発明の液状体の描画方法を用い、着色層形成材料を含む少なくとも３色の液状体を所望の領域としての複数の着色領域に吐出描画する描画工程と、吐出描画された液状体を固化して、少なくとも３色の着色層を形成する固化工程とを備えたことを特徴とする。
【００２２】
この方法によれば、むやみにワークとしての基板の流動を止めることなく、基板の複数の着色領域に液状体を液滴として効率的かつ適切に配置して、液滴の配置不具合による混色や色ムラが少ないカラーフィルタを歩留りよく製造することができる。
【００２３】
本発明の有機ＥＬ素子の製造方法は、基板上に区画形成された複数の発光層形成領域に少なくとも発光層を有する有機ＥＬ素子の製造方法であって、上記発明の液状体の描画方法を用い、発光層形成材料を含む液状体を所望の領域としての複数の発光層形成領域に吐出描画する描画工程と、吐出描画された液状体を固化して、発光層を形成する固化工程とを備えたことを特徴とする。
【００２４】
この方法によれば、むやみにワークとしての基板の流動を止めることなく、基板の複数の発光層形成領域に液状体を液滴として効率的かつ適切に配置して、液滴の配置不具合による発光ムラが少ない有機ＥＬ素子を歩留りよく製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
（実施形態１）
まず、本実施形態の液状体の描画方法に用いられる液滴吐出装置の一例について説明する。図１は液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図である。
【００２６】
図１に示すように、液滴吐出装置１０は、ワークＷを主走査方向（Ｘ軸方向）に移動させるワーク移動機構２０と、液滴吐出ヘッド５０（図２参照）を副走査方向（Ｙ軸方向）に移動させるヘッド移動機構３０とを備えている。
【００２７】
ワーク移動機構２０は、一対のガイドレール２１と、一対のガイドレール２１に沿って移動する移動台２２と、移動台２２上に回転機構としてのθテーブル６を介して配設されたワークＷを載置するセットテーブル５とを備えている。移動台２２は、ガイドレール２１の内部に設けられたエアスライダとリニアモータ（図示せず）により主走査方向に移動する。セットテーブル５はワークＷを吸着固定可能であると共に、θテーブル６によってワークＷ内の基準軸を正確に主走査方向、副走査方向に合わせることが可能となっている。
【００２８】
ヘッド移動機構３０は、一対のガイドレール３１と、一対のガイドレール３１に沿って移動する２つの移動台３２，３３とを備えている。移動台３２には、回転機構７を介して吊設されたキャリッジ８が設けられている。キャリッジ８には、複数の液滴吐出ヘッド５０が搭載されたヘッドユニット９が取り付けられている。また、液滴吐出ヘッド５０に液状体を供給するための液状体供給機構（図示せず）と、複数の液滴吐出ヘッド５０の電気的な駆動制御を行うためのヘッドドライバ４８（図４参照）とが設けられている。移動台３２がキャリッジ８をＹ軸方向に移動させてヘッドユニット９をワークＷに対して対向配置する。
【００２９】
移動台３３には、カメラ１２が搭載されている。カメラ１２は、例えばＣＣＤ等の撮像素子を有するものであり、移動台３３によってＹ軸方向に移動して液滴吐出ヘッド５０から吐出されワークＷの表面に着弾した液滴の着弾状態を観察して撮像することができる。カメラ１２は後述する液滴吐出装置１０の制御系における画像処理部４９（図４参照）に接続されている。必要により被写体を照明する照明装置を移動台３３に備えてもよい。
【００３０】
液滴吐出装置１０は、上記構成の他にも、ヘッドユニット９に搭載された複数の液滴吐出ヘッド５０のノズルの目詰まりの解消、ノズル面の異物や汚れの除去などのメンテナンスを行うメンテナンス機構が、複数の液滴吐出ヘッド５０を臨む位置に配設されているが図示省略した。
【００３１】
図２は液滴吐出ヘッドの構造を示す概略図である。同図（ａ）は概略分解斜視図、同図（ｂ）はノズル部の構造を示す断面図である。図２（ａ）および（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド５０は、液滴Ｄが吐出される複数のノズル５２を有するノズルプレート５１と、複数のノズル５２がそれぞれ連通するキャビティ５５を区画する隔壁５４を有するキャビティプレート５３と、複数のキャビティ５５に対応する振動子５９を有する振動板５８とが、順に積層され接合された構造となっている。
【００３２】
キャビティプレート５３は、ノズル５２に連通するキャビティ５５を区画する隔壁５４を有すると共に、このキャビティ５５に液状体を充填するための流路５６，５７を有している。流路５７は、ノズルプレート５１と振動板５８とによって挟まれ、出来上がった空間が、液状体が貯留されるリザーバの役目を果たす。
【００３３】
液状体は、液状体供給機構から配管を通じて供給され、振動板５８に設けられた供給孔５８ａを通じてリザーバに貯留された後に、流路５６を通じて各キャビティ５５に充填される。
【００３４】
図２（ｂ）に示すように、振動子５９は、ピエゾ素子５９ｃと、ピエゾ素子５９ｃを挟む一対の電極５９ａ，５９ｂとからなる圧電素子である。外部から一対の電極５９ａ，５９ｂに駆動電圧パルスが印加されることにより接合された振動板５８を変形させる。これにより隔壁５４で仕切られたキャビティ５５の体積が増加して、液状体がリザーバからキャビティ５５に吸引される。そして、駆動電圧パルスの印加が終了すると、振動板５８は元に戻り充填された液状体を加圧する。これにより、ノズル５２から液状体を液滴Ｄとして吐出できる構造となっている。ピエゾ素子５９ｃへ印加される駆動電圧パルスを制御することにより、それぞれのノズル５２に対して液状体の吐出制御を行うことができる。
【００３５】
液滴吐出ヘッド５０は、圧電素子（ピエゾ素子）を備えたものに限らない。振動板５８を静電吸着により変位させる電気機械変換素子を備えたものや、液状体を加熱してノズル５２から液滴Ｄとして吐出させる電気熱変換素子を備えたものでもよい。
【００３６】
図３は、ヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す平面図である。詳しくは、ワークＷに対向する側から見た図である。
【００３７】
図３に示すように、ヘッドユニット９は、複数の液滴吐出ヘッド５０が配設されるヘッドプレート９ａを備えている。ヘッドプレート９ａには、３つの液滴吐出ヘッド５０からなるヘッド群５０Ａと、同じく３つの液滴吐出ヘッド５０からなるヘッド群５０Ｂの合計６個の液滴吐出ヘッド５０が搭載されている。この場合、ヘッド群５０ＡのヘッドＲ１（液滴吐出ヘッド５０）とヘッド群５０ＢのヘッドＲ２（液滴吐出ヘッド５０）とは同種の液状体を吐出する。他のヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２においても同様である。すなわち、３種の異なる液状体を吐出可能な構成となっている。
【００３８】
各液滴吐出ヘッド５０は、ほぼ等しい間隔（およそ１４０μｍのノズルピッチ）で配設された複数（１８０個）のノズル５２からなるノズル列５２ａを有している。ノズル５２の径はおよそ２０μｍである。１つの液滴吐出ヘッド５０によって描画可能な描画幅をＬ0とし、これをノズル列５２ａの有効長とする。以降、ノズル列５２ａとは、１８０個のノズル５２から構成されるものを指す。
【００３９】
この場合、ヘッドＲ１とヘッドＲ２は、主走査方向（Ｘ軸方向）から見て隣り合うノズル列５２ａが主走査方向と直交する副走査方向（Ｙ軸方向）に１ノズルピッチを置いて連続するように主走査方向に並列して配設されている。したがって、同種の液状体を吐出するヘッドＲ１とヘッドＲ２の有効な描画幅Ｌ1は、描画幅Ｌ0の２倍となっている。ヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２においても同様に主走査方向に並列して配置されている。
【００４０】
次に液滴吐出装置１０の制御系について説明する。図４は、液滴吐出装置の制御系を示すブロック図である。液滴吐出装置１０の制御系は、上位コンピュータ１１と、液滴吐出ヘッド５０、ワーク移動機構２０、ヘッド移動機構３０等を駆動する各種ドライバを有する駆動部４６と、駆動部４６を含め液滴吐出装置１０全体を統括制御する制御部４とを備えている。また、カメラ１２が接続された画像処理部４９を備えている。
【００４１】
駆動部４６は、ワーク移動機構２０およびヘッド移動機構３０の各リニアモータをそれぞれ駆動制御する移動用ドライバ４７と、液滴吐出ヘッド５０を吐出制御するヘッドドライバ４８と、メンテナンス機構の各メンテ用ユニットを駆動制御するメンテナンス用ドライバ（図示省略）とを備えている。
【００４２】
制御部４は、ＣＰＵ４１と、ＲＯＭ４２と、ＲＡＭ４３と、Ｐ−ＣＯＮ４４とを備え、これらは互いにバス４５を介して接続されている。ＲＯＭ４２は、ＣＰＵ４１で処理する制御プログラム等を記憶する制御プログラム領域と、描画動作や機能回復処理等を行うための制御データ等を記憶する制御データ領域とを有している。
【００４３】
ＲＡＭ４３は、ワークＷに描画を行うための描画データを記憶する描画データ記憶部、ワークＷおよび液滴吐出ヘッド５０（実際には、ノズル列５２ａ）の位置データを記憶する位置データ記憶部等の各種記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。Ｐ−ＣＯＮ４４には、駆動部４６の各種ドライバ等や画像処理部４９が接続されており、ＣＰＵ４１の機能を補うと共に、周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論理回路が構成されて組み込まれている。このため、Ｐ−ＣＯＮ４４は、上位コンピュータ１１からの各種指令等をそのままあるいは加工してバス４５に取り込むと共に、ＣＰＵ４１と連動して、ＣＰＵ４１等からバス４５に出力されたデータや制御信号を、そのままあるいは加工して駆動部４６に出力する。
【００４４】
そして、ＣＰＵ４１は、ＲＯＭ４２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して各種検出信号、各種指令、各種データ等を入力し、ＲＡＭ４３内の各種データ等を処理した後、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して駆動部４６等に各種の制御信号を出力することにより、液滴吐出装置１０全体を制御している。例えば、ＣＰＵ４１は、液滴吐出ヘッド５０、ワーク移動機構２０およびヘッド移動機構３０を制御して、液滴吐出ヘッド５０とワークＷとを対向配置させ、液滴吐出ヘッド５０とワークＷとの相対移動に同期して、各液滴吐出ヘッド５０の複数のノズル５２からワークＷに液状体を液滴として吐出して描画を行う。この場合、Ｘ軸方向へのワークＷの移動に同期して液状体を吐出することを主走査と呼び、Ｙ軸方向に複数の液滴吐出ヘッド５０が搭載されたヘッドユニット９を移動させることを副走査と呼ぶ。本実施形態の液滴吐出装置１０は、主走査と副走査とを組み合わせて複数回繰り返すことにより液状体を吐出描画することができる。主走査は、液滴吐出ヘッド５０に対して一方向へのワークＷの移動に限らず、ワークＷを往復させて行うこともできる。
【００４５】
また、ＣＰＵ４１は、ヘッド移動機構３０を駆動して移動台３３をＹ軸方向に移動させ、搭載されたカメラ１２をワークＷと対向させる。そして、ワークＷの表面に着弾した液滴の状態を観察すると共に撮像する。ワークＷに対してカメラ１２を移動して観察する位置情報は、観察座標として予めＲＡＭ４３に入力されている。上位コンピュータ１１には、表示装置として例えばＣＲＴやフラットディスプレーを備え、カメラ１２が撮像した画像情報を表示して液滴の着弾状態を確認することができる。
【００４６】
さらにＣＰＵ４１は、画像処理部４９によって処理された液滴の着弾情報を基に、液滴が本来着弾すべき位置に対してずれて着弾した場合には、そのずれ量を演算する。演算結果は、ノズル情報としてＲＡＭ４３に格納される。
【００４７】
次に、図５、図６を参照して、液滴吐出へッドの吐出制御方法について説明する。図５は吐出制御の詳細を示すブロック図である。図５に示すように、制御部４は、ＣＰＵ４１、ＲＯＭ４２、ＲＡＭ４３、Ｐ−ＣＯＮ４４、バス４５の他に、駆動信号（ＣＯＭ）を生成する駆動信号生成回路７１と、クロック信号（ＣＫ）を生成する発信回路７２とを備えている。ヘッドドライバ４８は、シフトレジスタ７３と、ラッチ回路７４と、レベルシフタ７５と、スイッチ７６とを備え、液滴吐出ヘッド５０の各ノズル５２に対応する振動子（圧電素子）５９に選択的に駆動信号（ＣＯＭ）を印加できるように構成されている。
【００４８】
上位コンピュータ１１は、描画対象面における液滴の配置をドットとして表したいわゆるビットマップ形式の第１配置情報を制御部４に伝送する。また、ＲＡＭ４３に格納されたノズル情報に基づいて、着弾位置ずれを起こしたノズル５２に対応して第１配置情報を補正した第２配置情報を生成して制御部４に伝送する。第１配置情報および第２配置情報は、ワークＷに対する複数のノズル５２の相対的な吐出位置、液滴の吐出回数、液滴を吐出する際の駆動条件の情報を含むものである。そして制御部４は、これらのビットマップデータに基づいて、ノズルデータ信号（ＳＩ）や駆動信号（ＣＯＭ）を、ノズル列単位ごとに次のように生成する。
【００４９】
すなわち、ＣＰＵ４１は、ビットマップデータをデコードしてノズル毎のＯＮ／ＯＦＦ情報を含むノズルデータを生成する。また、駆動信号生成回路７１は、ＣＰＵ４１が算出したノズルデータに基づいて駆動信号（ＣＯＭ）の設定および生成を行う。
【００５０】
ノズルデータをシリアル信号化したノズルデータ信号（ＳＩ）は、クロック信号（ＣＫ）に同期してシフトレジスタ７３に伝送され、ノズル５２ごとのＯＮ／ＯＦＦ情報がそれぞれ記憶される。そして、ＣＰＵ４１で生成されたラッチ信号（ＬＡＴ）が各ラッチ回路７４に入力されることで、ノズルデータがラッチされる。ラッチされたノズルデータはレベルシフタ７５によって増幅され、ノズルデータが「ＯＮ」の場合には所定の電圧がスイッチ７６に供給される。また、ノズルデータが「ＯＦＦ」の場合には、スイッチ７６への電圧供給は行われない。
【００５１】
かくして、レベルシフタ７５で昇圧された電圧がスイッチ７６に供給されている間は、振動子５９に駆動信号（ＣＯＭ）が印加され、液滴Ｄがノズル５２から吐出される（図３参照）。
【００５２】
このような吐出制御は、ヘッドユニット９とワークＷとの相対移動（主走査）に同期して、図６に示すように周期的に行われる。
【００５３】
図６は吐出制御の制御信号を示す図であり、吐出タイミングの制御の一例を示す図である。
【００５４】
図６に示すように、駆動信号（ＣＯＭ）は、放電パルス２０１、充電パルス２０２、放電パルス２０３を有する一連のパルス群２００−１，２００−２…が中間電位２０４で接続された構成となっている。そして、一つのパルス群によって、次のように一つの液滴を吐出するようになっている。
【００５５】
すなわち、放電パルス２０１によって、電位レベルを上昇させると共に液状体をキャビティ５５（図３（ｂ）参照）内に引き込む。次に、急峻な充電パルス２０２によって、キャビティ５５内の液状体を急激に加圧し、液状体をノズル５２から押し出して液滴化する（吐出）。最後に放電パルス２０３によって、降下した電位レベルを中間電位２０４に戻すと共に、充電パルス２０２によって生じたキャビティ５５内の圧力振動（固有振動）を打ち消す。
【００５６】
駆動信号（ＣＯＭ）における電圧成分Ｖｃ，Ｖｈや時間成分（パルスの傾きやパルス間の接続間隔など）などは、吐出量や吐出安定性などに大きく関わっているパラメータであり、予め適切な設計を要するものである。この場合、ラッチ信号（ＬＡＴ）の周期は、液滴吐出ヘッド５０の固有周波数特性を考慮して２０ｋＨｚに設定されている。また、主走査における液滴吐出ヘッド５０とワークＷとの相対移動速度（この場合、セットテーブル５をＸ軸方向に移動させる移動速度）が２００ｍｍ／秒に設定されている。したがって、吐出分解能が相対移動速度をラッチ周期で除したものとすれば、吐出分解能の単位が１０μｍとなる。すなわち、吐出分解能の単位でノズル５２ごとに吐出タイミングを設定することが可能である。なお、ラッチパルスの発生タイミングを移動台２２に備えられたエンコーダ（図示省略）が出力するパルスを基準とすれば、移動分解能の単位で吐出タイミングを制御することも可能である。
【００５７】
このような液滴吐出装置１０によれば、ヘッド移動機構３０によりヘッドユニット９をワークＷと対向させ、ワーク移動機構２０による主走査に同期して、ヘッドユニット９に備えられた合計６個の液滴吐出ヘッド５０から機能性材料を含む液状体を高い位置精度で吐出することが可能である。液滴吐出ヘッド５０のノズル５２ごとに、吐出量、吐出タイミングを変えて液状体を液滴として吐出することが可能である。したがって、メンテナンス機構により液滴吐出ヘッド５０をメンテナンスしても回復しない例えば飛行曲がりが生ずるノズル５２がある場合、当該ノズル５２に対する吐出制御の方法を変えることにより、飛行曲がりによる着弾位置のずれを補正することが可能である。
【００５８】
次に、本実施形態の液状体の描画方法を適用したカラーフィルタの製造方法について説明する。まず、カラーフィルタを有する電気光学装置としての液晶表示装置について簡単に説明する。図７は、液晶表示装置の構造を示す概略分解斜視図である。
【００５９】
図７に示すように、液晶表示装置５００は、ＴＦＴ（Thin  Film  Transistor）透過型の液晶表示パネル５２０と、液晶表示パネル５２０を照明する照明装置５１６とを備えている。液晶表示パネル５２０は、着色層を有するカラーフィルタ５０５を具備する対向基板５０１と、画素電極５１０に３端子のうちの１つが接続されたＴＦＴ素子５１１を有する素子基板５０８と、対向基板５０１と素子基板５０８とによって挟持された液晶（図示省略）とを備えている。また、液晶表示パネル５２０の外面側となる対向基板５０１と素子基板５０８の表面には、透過する光を偏向させる上偏光板５１４と下偏光板５１５とが配設される。
【００６０】
対向基板５０１は、透明なガラス等の材料からなり、液晶を挟む表面側に複数の着色領域をマトリクス状に区画する隔壁部としてのバンク５０４と、区画された複数の着色領域にＲＧＢ３色の着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂとを備えている。バンク５０４は、Ｃｒなどの遮光性を有する金属あるいはその酸化膜からなるブラックマトリクスと呼ばれる下層バンク５０２と、下層バンク５０２の上（図面では下向き）に形成された有機化合物からなる上層バンク５０３とにより構成されている。また対向基板５０１は、バンク５０４とバンク５０４によって区画された着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂとを覆う平坦化層としてのオーバーコート層（ＯＣ層）５０６と、ＯＣ層５０６を覆うように形成されたＩＴＯ（Indium  Tin  Oxide）などの透明導電膜からなる対向電極５０７とを備えている。カラーフィルタ５０５は後述するカラーフィルタの製造方法を用いて製造されている。
【００６１】
素子基板５０８は、同じく透明なガラス等の材料からなり、液晶を挟む表面側に絶縁膜５０９を介してマトリクス状に形成された画素電極５１０と、画素電極５１０に対応して形成された複数のＴＦＴ素子５１１とを備えている。ＴＦＴ素子５１１の３端子のうち、画素電極５１０に接続されない他の２端子は、互いに絶縁された状態で画素電極５１０を囲むように格子状に配設された走査線５１２とデータ線５１３とに接続されている。
【００６２】
照明装置５１６は、光源として白色のＬＥＤ、ＥＬ、冷陰極管等を用い、これらの光源からの光を液晶表示パネル５２０に向かって出射することができる導光板や拡散板、反射板等の構成を備えたものであれば、どのようなものでもよい。
【００６３】
なお、液晶を挟む対向基板５０１と素子基板５０８の表面には、液晶の分子を一の方向に配列させるための配向膜がそれぞれ形成されているが、図示省略した。また、上偏光板５１４と下偏光板５１５は、視角依存性を改善する目的等で用いられる位相差フィルムなどの光学機能性フィルムと組み合わされたものでもよい。液晶表示パネル５２０は、アクティブ素子としてＴＦＴ素子に限らずＴＦＤ（Thin  Film  Diode）素子を有したものでもよく、さらには、少なくとも一方の基板にカラーフィルタを備えるものであれば、画素を構成する電極が互いに交差するように配置されるパッシブ型の液晶表示装置でもよい。
【００６４】
＜カラーフィルタの製造方法＞
上記液晶表示装置５００は、カラーフィルタ５０５を備えた対向基板５０１がマトリクス状に複数区画形成されたマザー基板と、同じく素子基板５０８がマトリクス状に複数区画形成されたマザー基板とを接合し、得られた構造体を所定の位置で切断して取り出すことにより製造される。
【００６５】
図８は、対向基板側のマザー基板を示す概略平面図である。図８に示すように、ワークとしてのマザー基板Ｗは、対向基板５０１ごとにカラーフィルタが形成される所望の領域としての描画領域Ｄｗを有している。描画領域Ｄｗは、複数の吐出領域としての着色領域Ａと、複数の着色領域Ａをバンク５０４によって区画する区画領域Ｋｗとによって構成されている。複数の着色領域Ａには、ＲＧＢ３色の着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂがストライプ状に形成される。
【００６６】
図９（ａ）〜（ｅ）は、カラーフィルタの製造工程を示す概略断面図である。上記のような３色の着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂを有するカラーフィルタ５０５の製造方法は、対向基板５０１の表面にバンク５０４を形成する工程と、バンク５０４によって区画された着色領域Ａを表面処理する工程とを備えている。また、液滴吐出装置１０を用いて表面処理された着色領域Ａに着色層形成材料を含む３種（３色）の液状体を液滴として吐出して描画する描画工程と、描画された液状体を乾燥して着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂを形成する固化工程としての成膜工程とを備えている。さらにバンク５０４と着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂとを覆うようにＯＣ層５０６を形成する工程と、ＯＣ層５０６を覆うようにＩＴＯからなる透明な対向電極５０７を形成する工程とを備えている。
【００６７】
バンク５０４を形成する工程では、図９（ａ）に示すように、まずブラックマトリクスとしての下層バンク５０２を対向基板５０１上に形成する。下層バンク５０２の材料は、例えば、Ｃｒ、Ｎｉ、Ａｌ等の不透明な金属、あるいはこれらの金属の酸化物等の化合物を用いることができる。下層バンク５０２の形成方法としては、蒸着法あるいはスパッタ法で上記材料からなる膜を対向基板５０１上に成膜する。膜厚は、遮光性が保たれる膜厚を選定された材料に応じて設定すればよい。例えば、Ｃｒならば、１００〜２００ｎｍが好ましい。そして、フォトリソグラフィ法により開口部５０２ａ（図７参照）に対応する部分以外の膜表面をレジストで覆い、上記材料に対応する酸等のエッチング液を用いて膜をエッチングする。これにより開口部５０２ａを有する下層バンク５０２が形成される。
【００６８】
次に上層バンク５０３を下層バンク５０２の上に形成する。上層バンク５０３の材料としては、アクリル系の感光性樹脂材料を用いることができる。また、感光性樹脂材料は、遮光性を有することが好ましい。上層バンク５０３の形成方法としては、例えば、下層バンク５０２が形成された対向基板５０１の表面に感光性樹脂材料をロールコート法やスピンコート法で塗布し、乾燥させて厚みがおよそ２μｍの感光性樹脂層を形成する。そして、着色領域Ａに対応した大きさで開口部が設けられたマスクを対向基板５０１と所定の位置で対向させて露光・現像することにより、上層バンク５０３を形成する方法が挙げられる。これにより対向基板５０１上に複数の着色領域Ａをマトリクス状に区画するバンク５０４が形成される。そして表面処理工程へ進む。
【００６９】
表面処理工程では、Ｏ2を処理ガスとするプラズマ処理とフッソ系ガスを処理ガスとするプラズマ処理とを行う。すなわち、着色領域Ａが親液処理され、その後感光性樹脂からなる上層バンク５０３の表面（壁面を含む）が撥液処理される。そして、描画工程へ進む。
【００７０】
描画工程では、図９（ｂ）に示すように、表面処理された各着色領域Ａのそれぞれに、対応する液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを液滴として吐出描画する。液状体８０ＲはＲ（赤色）の着色層形成材料を含むものであり、液状体８０ＧはＧ（緑色）の着色層形成材料を含むものであり、液状体８０ＢはＢ（青色）の着色層形成材料を含むものである。液滴吐出装置１０を用い、液滴吐出ヘッド５０に各液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを充填する。そして、基本的には上記第１配置情報に基づいてヘッドユニット９とマザー基板Ｗとを相対移動させる主走査に同期して各液滴吐出ヘッド５０から各液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを着色領域Ａに向けて吐出する。各液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂは、着色領域Ａの面積に応じて必要量が付与される。
【００７１】
次に成膜工程では、図９（ｃ）に示すように、吐出描画された各液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを一括乾燥し、溶剤成分を除去して各着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂを成膜する。乾燥方法としては、溶剤成分を均質に乾燥可能な減圧乾燥などの方法が望ましい。そして、ＯＣ層形成工程へ進む。
【００７２】
ＯＣ層形成工程では、図９（ｄ）に示すように、着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂと上層バンク５０３とを覆うようにＯＣ層５０６を形成する。ＯＣ層５０６の材料としては、透明なアクリル系樹脂材料を用いることができる。形成方法としては、スピンコート法、オフセット印刷などの方法が挙げられる。ＯＣ層５０６は、着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂが形成された対向基板５０１の表面の凹凸を緩和して、後にこの表面に膜付けされる対向電極５０７を平担化するために設けられている。また、対向電極５０７との密着性を確保するために、ＯＣ層５０６の上にさらにＳｉＯ2などの薄膜を形成してもよい。そして、透明電極形成工程へ進む。
【００７３】
透明電極形成工程では、図９（ｅ）に示すように、スパッタ法や蒸着法を用いてＩＴＯなどの透明電極材料を真空中で成膜して、ＯＣ層５０６を覆うように全面に対向電極５０７を形成する。
【００７４】
上記描画工程では、液滴吐出装置１０を用いて、３種の異なる液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂをほぼ同時に吐出して描画する。このような描画方法においては、同種の液状体を吐出するノズル５２から吐出された液滴Ｄが飛行曲がりによって本来着弾すべき着色領域Ａに着弾せず、他の異なる液状体が付与されるべき着色領域Ａに着弾すると、異種の液状体同士が混じり合って所謂混色が発生する。混色はカラーフィルタ５０５の製造における歩留りに影響する。また、液晶表示装置５００においては、混色となった着色層を有する画素は色ムラなどの不良画素となる。よって、極力混色の発生を防止しなくてはならない。ヘッドユニット９には、同種の液状体が充填された液滴吐出ヘッド５０が２個ずつ配置され、液状体ごとに合計３６０個のノズル５２から液滴が吐出される。
【００７５】
混色の原因となる液滴Ｄの飛行曲がりが発生するごとに、メンテナンス機構によって各液滴吐出ヘッド５０のメンテナンスを実施していたのでは、ワークとしてのマザー基板Ｗの流動が停止してカラーフィルタ５０５の製造における生産性を向上させることが難しい。本発明の液状体の描画方法は、このような課題を考慮してなされた。
【００７６】
＜液状体の描画方法＞
図１０は、液状体の描画方法を示すフローチャートである。本実施形態の液状体の描画方法は、基の描画条件を読み込む工程（ステップＳ１）と、１枚目のマザー基板Ｗを描画する工程（ステップＳ２）と、１枚目のマザー基板Ｗに着弾した液滴Ｄの着弾状態を観察する着弾観察工程（ステップＳ３）とを備えている。
【００７７】
ステップＳ３で得られた液滴Ｄの着弾情報に基づいて、混色が有るか否かを判断する工程（ステップＳ４）と、混色が有る場合には、マザー基板Ｗの流動を止めて第１吐出補正作業を行う工程（ステップＳ５）とを備えている。上記液滴Ｄの着弾情報に基づいて、液滴Ｄがバンク５０４に掛かって着弾しているか否かを判断する工程（ステップＳ６）と、液滴Ｄがバンク５０４に掛かって着弾している場合には、マザー基板Ｗの流動を止めずに第２吐出補正作業を行う工程（ステップＳ７）とを備えている。
【００７８】
さらに描画条件を選択する工程（ステップＳ８）と、選択された描画条件で液状体の描画を行う工程（ステップＳ９）と、対象の製造Ｌｏｔの描画が終了したか否か判断する工程（ステップＳ１０）とを備えている。
【００７９】
上記カラーフィルタ５０５の製造方法における描画工程は、上記ステップＳ１からステップＳ１０の液状体の描画方法を適用した。
【００８０】
図１１（ａ）〜（ｃ）は、液状体の描画方法を示す概略図である。図１１を参照して上記ステップＳ１からステップＳ１０をより具体的に説明する。
【００８１】
図１０のステップＳ１では、上位コンピュータ１１から描画条件（制御プログラムや第１配置情報を含む各種データ）を制御部４に伝送してＲＯＭ４２、ＲＡＭ４３に読み込む。この場合、第１配置情報は、マザー基板Ｗの各着色領域Ａに必要量の各液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを付与するため、複数のノズル５２から吐出される液滴Ｄの吐出量を基に、液滴Ｄをドットとして各着色領域Ａに配置したビットマップデータである。そして、ステップＳ２へ進む。
【００８２】
図１０のステップＳ２では、制御部４は、第１配置情報に基づいてワーク移動機構２０、ヘッド移動機構３０を駆動してマザー基板Ｗとヘッドユニット９とを吐出開始位置に位置決めし、主走査方向（Ｘ軸方向）に相対移動させる。また、ヘッドドライバ４８から吐出制御信号を送出して各液滴吐出ヘッド５０を駆動する。これにより、例えば、図１１（ａ）に示すように、１枚目のマザー基板Ｗに対してノズル列５２ａから赤色（Ｒ）の液状体８０Ｒを液滴Ｄとして吐出して、赤色（Ｒ）の着色層を形成する着色領域Ａに着弾させる。この場合、１つの着色領域Ａには、３つのノズル５２が掛かり、当該ノズル５２から２回吐出を行わせて合計６つの液滴Ｄを着弾させた。他の緑色（Ｇ）の液状体８０Ｇ、青色（Ｂ）の液状体８０Ｂについても同様である。そして、ステップＳ３へ進む。
【００８３】
図１０のステップＳ３では、１枚目のマザー基板Ｗに吐出された液滴Ｄの着弾状態をカメラ１２を用いて観察して撮像する。例えば、図１１（ａ）に示すように、液状体８０Ｒを吐出するノズルＮ５において飛行曲がりが生じ、吐出された液滴Ｄ１と液滴Ｄ２とが本来着弾すべき位置に着弾せず、液滴Ｄ２が隣接する緑色（Ｇ）の着色領域Ａに着弾したとする。カメラ１２が撮像した画像は、画像処理部４９でビットデータに変換されＲＡＭ４３に格納される。制御部４のＣＰＵ４１は、このビットデータから液滴Ｄ２のずれ量ΔＬを演算してノズル情報として同じくＲＡＭ４３に格納する。例えば、ノズルＮ８において飛行曲がりが生じ、吐出された液滴Ｄ３と液滴Ｄ４とが本来着弾すべき位置に着弾せず、液滴Ｄ４がバンク５０４に掛かって着弾した場合も同様にずれ量を求めてノズル情報としてＲＡＭ４３に格納する。また、着弾したすべての液滴Ｄについて着弾位置をビットデータに変換する必要はなく、少なくとも本来の着色領域Ａ以外の着色領域Ａに着弾したケースとバンク５０４に掛かって着弾したケースとに区分してノズル情報をＲＡＭ４３に格納すればよい。
【００８４】
当然ながら、緑色（Ｇ）の着色領域Ａにも液状体８０Ｇが液滴Ｄとして吐出されるので、液滴Ｄ２が着弾した着色領域Ａでは、混色が起こる。この場合、カメラ１２はカラー識別可能なＣＣＤを備え、混色が発生した状態でも混色領域を識別して液滴Ｄ２の着弾位置をほぼ特定することができる。バンク５０４に液滴Ｄ４が着弾した場合でもその着弾位置をほぼ特定することができる。
【００８５】
各液滴吐出ヘッド５０のノズル列５２ａと複数の着色領域Ａとの相対的な吐出位置情報を含む第１配置情報に基づいて、予めデフォルトの観察座標を決めておき、ＲＡＭ４３に観察座標データとして格納する。上記のような液滴Ｄの着弾状態の観察および撮像は、この観察座標データに基づいて、制御部４がマザー基板Ｗとカメラ１２とを移動させて、所望の観察座標において行われる。よって、すべての描画領域Ｄｗ（図８参照）に渡って観察する必要はない。すなわち、各ノズル列５２ａに対応するノズル情報が得られればよい。そして、ステップＳ４へ進む。
【００８６】
図１０のステップＳ４では、まず混色が有るか否か判断する。例えば、図１１（ａ）に示すように、ノズルＮ５のノズル情報は、混色有りとしてＲＡＭ４３に格納される。当該ノズル情報から混色有りの場合は、ステップＳ５に進む。ステップＳ５では、上位コンピュータ１１は、マザー基板Ｗの流動を一端ストップして、第１吐出補正作業を行う。
【００８７】
第１吐出補正作業としては、ノズルＮ５のノズル情報に基づいて、第１配置情報を補正した第２配置情報を生成する。その補正方法の一例は、着色領域Ａに対する液滴Ｄの着弾位置を補正する方法である。
【００８８】
図１１（ｂ）は、液滴の吐出制御の方法を示す図である。先のステップＳ３において、ノズルＮ５から吐出された液滴Ｄ２のずれ量ΔＬがビットデータとして求められている。上位コンピュータ１１は、このノズル情報を基に、図１１（ｂ）に示すように液滴Ｄの着弾位置を補正した第２配置情報を生成する。すなわち、ノズルＮ５が飛行曲がりを生じていても、吐出された液滴Ｄ１，Ｄ２が本来の着色領域Ａ内に着弾するように、ノズル列５２ａが着色領域Ａに掛かって吐出を開始する主走査方向の吐出位置を変える。あるいは、ノズル列５２ａのラッチ信号（ＬＡＴ）を制御して吐出タイミングを変える方法が挙げられる。この場合は、Ｘ軸方向に対してΔＬが正方向であるとして吐出タイミングを早める。当然ながらΔＬが負方向ならば吐出タイミングを遅くする。これによれば、必要量の液滴Ｄを本来の着色領域Ａに配置することができる。なお、ノズルＮ５のみ吐出タイミングを変えてもよい。
【００８９】
図１１（ｃ）は、液滴の吐出制御の他の方法を示す図である。他の補正方法としては、図１１（ｃ）に示すように、２回目の吐出において、ノズルＮ５を選択しないように第１配置情報を修正する方法が挙げられる。これによれば、液滴Ｄ２は吐出されない。一方隣接する赤色（Ｒ）の着色領域Ａと比べて、ノズルＮ５が掛かる着色領域Ａでは、付与される液状体８０Ｒの量が減少してしまう。よって、ノズルＮ５から１回目に吐出される液滴Ｄ１の吐出量を増やすように吐出制御することが望ましい。そして、ステップＳ６へ進む。
【００９０】
図１０のステップＳ６では、まず液滴Ｄがバンク５０４に掛かって着弾しているか否か判断する。例えば、図１１（ａ）に示すように、ノズルＮ８のノズル情報は、液滴Ｄ４がバンク５０４に掛かって着弾ありとしてＲＡＭ４３に格納される。よって、ステップＳ７に進む。ステップＳ７では、上位コンピュータ１１は、マザー基板Ｗの流動を止めずに、第２吐出補正作業を行う。すなわち少なくとも第２吐出補正作業が完了するまでは第２吐出補正作業に並行して、以降のステップＳ８〜ステップＳ１０が行われる。
【００９１】
第２吐出補正作業としては、ノズルＮ８のノズル情報に基づいて、第１配置情報を補正した第２配置情報を生成する。その補正方法は、先の第１吐出補正作業と同様に着色領域Ａに対する液滴Ｄの吐出位置を補正する方法である。したがって、図１１（ｂ）に示すように、吐出された液滴Ｄ３，Ｄ４が本来の着色領域Ａ内に着弾するように、ノズル列５２ａが着色領域Ａに掛かって吐出を開始する主走査方向の吐出位置を変える。あるいは、ノズル列５２ａのラッチ信号（ＬＡＴ）を制御して吐出タイミングを変える方法が挙げられる。これによれば、図１１（ｃ）に示すように、液滴Ｄ３，Ｄ４を本来の位置に着弾させることができる。なお、ノズルＮ８のみ吐出タイミングを変えてもよい。
【００９２】
第２吐出補正作業をマザー基板Ｗの流動を止めずに実施する理由の１つは、バンク５０４が撥液性を有しており、バンク５０４に着弾した液滴Ｄ４が着弾後に着色領域Ａ内に収容される確率が高い点にある。また、他の理由としては、飛行曲がりが生じているノズルＮ８をこのまま使用していると、さらに曲がりの程度が大きくなって混色を招くおそれがある。よって、予め第１配置情報を補正した第２配置情報を準備しておき、適宜置き換えを図ることにより結果的に混色を防止することにある。
【００９３】
なお、複数のノズル５２から吐出される液滴Ｄの着弾位置ずれは、主走査方向（Ｘ軸方向）だけでなく、副走査方向（Ｙ軸方向）に発生することもある。この場合、同一色の着色領域Ａが複数のノズル５２の配列方向（Ｙ軸方向）と同一に配置されている。したがって、液滴Ｄの着弾位置が副走査方向にずれても混色は起こらない。また、副走査方向においてバンク５０４に着弾した場合は、前述したように同一色の着色領域Ａに収容される。異なる色の着色領域Ａの配置によっては、副走査方向への液滴Ｄの着弾位置ずれを考慮する必要がある。その場合の補正方法としては、着色領域Ａに対する複数のノズル５２の副走査方向における吐出位置を補正する。具体的には、ヘッド移動機構３０によりヘッドユニット９の副走査方向の位置を補正する。あるいは、着弾位置ずれが発生するノズル５２を選択しないように補正する。
【００９４】
以上のステップＳ４とステップＳ６は、第１配置情報を補正する必要があるか否か判定する第１判定工程と、第１判定工程で必要有りとした場合には、ワークの流動を止めるか否か判定する第２判定工程を含むものである。また、ステップＳ５の第１吐出補正作業およびステップＳ７の第２吐出補正作業は、複数のノズル５２とマザー基板Ｗとの相対的な吐出開始位置の補正、吐出タイミングの補正、吐出するノズル５２の選択のいずれかあるいは、これらを組み合わせて行うものである。当然ながら異なる色の着色層が形成されるすべての着色領域Ａを対象として補正が行われる。そして、ステップＳ８へ進む。
【００９５】
図１０のステップＳ８では、２枚目以降のマザー基板Ｗを描画するにあたり、描画条件を選択する。よって、混色やバンク５０４への着弾がない場合には、基の描画条件（第１配置情報を含む）を選択する。ステップＳ４にて混色が有ると判断された場合には、第１吐出補正作業による第２配置情報を適用する。ステップＳ４にて混色がなく、ステップＳ６にてバンクへの着弾がある場合には、第２吐出補正作業が少なくとも完了するまで第１配置情報を適用し、第２吐出補正作業が完了した後には補正された第２配置情報を適用する。さらに、混色とバンクへの着弾がある場合には、第１吐出補正作業と第２吐出補正作業とによって補正された第２配置情報を適用する。そして、ステップＳ９へ進む。
【００９６】
図１０のステップＳ９では、ステップＳ８で選択した描画条件に基づいて２枚目以降のマザー基板Ｗに各液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを液滴として吐出描画する。そして、ステップＳ１０へ進む。
【００９７】
図１０のステップＳ１０では、複数のマザー基板Ｗを１Ｌｏｔとする製造Ｌｏｔの描画が終了したか否か上位コンピュータ１１が判断して、終了していなければステップＳ８に戻って描画を繰り返す。終了していれば、１製造Ｌｏｔの描画を終了する。
【００９８】
この場合、１製造Ｌｏｔごとに１枚目の描画が終了した後に、ステップＳ３の着弾観察工程を実施したが、これに限定されるものではない。ステップＳ１０での対象Ｌｏｔの設定を複数の製造Ｌｏｔに跨るものとしてもよい。また、１製造Ｌｏｔの作業中に混色などの不具合情報が後工程から入手された場合には、自動による描画作業を解除して、作業者が上位コンピュータ１１を操作し、手動により着弾観察工程を実施することも可能である。
【００９９】
上記実施形態１の効果は、以下の通りである。
（１）上記実施形態１の液状体の描画方法によれば、第１配置情報を適用した１枚目のマザー基板Ｗの描画において、着弾した液滴Ｄの位置ずれを観察することにより、複数のノズル５２に対して不良となる混色のケースと、不良となるおそれがあるバンク５０４へ着弾するケースとに分けてノズル情報を入手する。前者のケースでは、マザー基板Ｗの流動を止めて第１吐出補正作業を行い、補正された第２配置情報に基づいて以降の描画を行う。後者のケースでは、継続してマザー基板Ｗへの描画を行う一方で、第２吐出補正作業の完了後に補正された第２配置情報を適用して以降の描画を行う。したがって、液滴Ｄの着弾位置ずれが発生するたびに、液滴吐出ヘッド５０のメンテナンスを実施する必要はなく、むやみにマザー基板Ｗの流動を止めずに、適切に液滴Ｄの着弾状態を判断して効率的かつ必要量の液状体を所望の着色領域Ａに付与することができる。
【０１００】
（２）上記実施形態１のカラーフィルタ５０５の製造方法は、上記液状体の描画方法を用いて、ＲＧＢ３色の液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを液滴Ｄとして対応する着色領域Ａに向けて吐出描画する描画工程を備えた。したがって、むやみにマザー基板Ｗの流動を止めずに、混色などの不良を低減し歩留りよく、かつ高い生産性を実現してカラーフィルタ５０５を製造することができる。
【０１０１】
（３）上記実施形態１のカラーフィルタ５０５の製造方法により製造された対向基板５０１を用いれば、色ムラの少ない高い表示品質を有する液晶表示装置５００を提供することができる。
【０１０２】
（実施形態２）
＜有機ＥＬ素子の製造方法＞
【０１０３】
次に上記実施形態１の液状体の描画方法を適用した他の実施形態として、有機ＥＬ素子の製造方法について説明する。
【０１０４】
まず、有機ＥＬ素子を有する有機ＥＬ表示装置について簡単に説明する。
図１２は、有機ＥＬ表示装置の要部構造を示す概略断面図である。図１２に示すように、有機ＥＬ表示装置６００は、有機ＥＬ素子としての発光素子部６０３を有する素子基板６０１と、素子基板６０１と空間６２２を隔てて封着された封止基板６２０とを備えている。また素子基板６０１は、素子基板６０１上に回路素子部６０２を備えており、発光素子部６０３は、回路素子部６０２上に重畳して形成され、回路素子部６０２により駆動されるものである。発光素子部６０３には、３色の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂがそれぞれの発光層形成領域Ａに形成され、ストライプ状となっている。素子基板６０１は、３色の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂに対応する３つの発光層形成領域Ａを１組の絵素とし、この絵素が素子基板６０１の回路素子部６０２上にマトリクス状に配置されたものである。有機ＥＬ表示装置６００は、発光素子部６０３からの発光が素子基板６０１側に出射するものである。
【０１０５】
封止基板６２０は、ガラス又は金属からなるもので、封止樹脂を介して素子基板６０１に接合されており、封止された内側の表面には、ゲッター剤６２１が貼り付けられている。ゲッター剤６２１は、素子基板６０１と封止基板６２０との間の空間６２２に侵入した水又は酸素を吸収して、発光素子部６０３が侵入した水又は酸素によって劣化することを防ぐものである。なお、このゲッター剤６２１は省略しても良い。
【０１０６】
素子基板６０１は、回路素子部６０２上に複数の吐出領域としての発光層形成領域Ａを有するものであって、複数の発光層形成領域Ａを区画する隔壁部６１８と、複数の発光層形成領域Ａに形成された電極６１３と、電極６１３に積層された正孔注入／輸送層６１７ａとを備えている。また複数の発光層形成領域Ａ内に発光層形成材料を含む３種の液状体を付与して形成された発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂを有する発光素子部６０３を備えている。隔壁部６１８は、下層バンク６１８ａと発光層形成領域Ａを実質的に区画する上層バンク６１８ｂとからなり、下層バンク６１８ａは、発光層形成領域Ａの内側に張り出すように設けられて、電極６１３と各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂとが直接接触して電気的に短絡することを防止するためにＳｉＯ2等の無機絶縁材料により形成されている。
【０１０７】
素子基板６０１は、例えばガラス等の透明な基板からなり、素子基板６０１上にシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。半導体膜６０７には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度Ｐイオン打ち込みにより形成されている。なお、Ｐイオンが導入されなかった部分がチャネル領域６０７ｃとなっている。さらに下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、ゲート絶縁膜６０８上にはＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等からなるゲート電極６０９が形成され、ゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。ゲート電極６０９は半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置に設けられている。また、第１層間絶縁膜６１１ａおよび第２層間絶縁膜６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ接続されるコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に、ＩＴＯ（Indium  Tin  Oxide）等からなる透明な電極６１３が所定の形状にパターニングされて配置され（電極形成工程）、一方のコンタクトホール６１２ａがこの電極６１３に接続されている。また、もう一方のコンタクトホール６１２ｂが電源線６１４に接続されている。このようにして、回路素子部６０２には、各電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５が形成されている。なお、回路素子部６０２には、保持容量とスイッチング用の薄膜トランジスタも形成されているが、図１２ではこれらの図示を省略している。
【０１０８】
発光素子部６０３は、陽極としての電極６１３と、電極６１３上に順次積層された正孔注入／輸送層６１７ａ、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ（総称して発光層Ｌｕ）と、上層バンク６１８ｂと発光層Ｌｕとを覆うように積層された陰極６０４とを備えている。正孔注入／輸送層６１７ａと発光層Ｌｕとにより発光が励起される機能層６１７を構成している。なお、陰極６０４と封止基板６２０およびゲッター剤６２１を透明な材料で構成すれば、封止基板６２０側から発光する光を出射させることができる。
【０１０９】
有機ＥＬ表示装置６００は、ゲート電極６０９に接続された走査線（図示省略）とソース領域６０７ａに接続された信号線（図示省略）とを有し、走査線に伝わった走査信号によりスイッチング用の薄膜トランジスタ（図示省略）がオンになると、そのときの信号線の電位が保持容量に保持され、該保持容量の状態に応じて、駆動用の薄膜トランジスタ６１５のオン・オフ状態が決まる。そして、駆動用の薄膜トランジスタ６１５のチャネル領域６０７ｃを介して、電源線６１４から電極６１３に電流が流れ、さらに正孔注入／輸送層６１７ａと発光層Ｌｕとを介して陰極６０４に電流が流れる。発光層Ｌｕは、これを流れる電流量に応じて発光する。有機ＥＬ表示装置６００は、このような発光素子部６０３の発光メカニズムにより、所望の文字や画像などを表示することができる。
【０１１０】
次に本実施形態の有機ＥＬ素子としての発光素子部の製造方法について図１３に基づいて説明する。図１３（ａ）〜（ｆ）は、発光素子部の製造方法を示す概略断面図である。なお、図１３（ａ）〜（ｆ）においては、素子基板６０１上に形成された回路素子部６０２は、図示を省略している。
【０１１１】
本実施形態の発光素子部６０３の製造方法は、素子基板６０１の複数の発光層形成領域Ａに対応する位置に電極６１３を形成する工程と、電極６１３に一部が掛かるように下層バンク６１８ａを形成し、さらに下層バンク６１８ａ上に実質的に発光層形成領域Ａを区画するように上層バンク６１８ｂを形成する隔壁部形成工程とを備えている。また上層バンク６１８ｂで区画された発光層形成領域Ａの表面処理を行う工程と、表面処理された発光層形成領域Ａに正孔注入／輸送層形成材料を含む液状体を付与して正孔注入／輸送層６１７ａを吐出描画する工程と、吐出された液状体を乾燥して正孔注入／輸送層６１７ａを成膜する工程とを備えている。また、正孔注入／輸送層６１７ａが形成された発光層形成領域Ａの表面処理を行う工程と、表面処理された発光層形成領域Ａに発光層形成材料を含む３種の液状体を吐出描画する描画工程と、吐出された３種の液状体を乾燥して発光層Ｌｕを成膜する固化工程とを備えている。さらに、上層バンク６１８ｂと発光層Ｌｕを覆うように陰極６０４を形成する工程を備えている。
【０１１２】
電極（陽極）形成工程では、図１３（ａ）に示すように、回路素子部６０２がすでに形成された素子基板６０１の発光層形成領域Ａに対応する位置に電極６１３を形成する。形成方法としては、例えば、素子基板６０１の表面にＩＴＯ等の透明電極材料を用いて真空中でスパッタ法あるいは蒸着法で透明電極膜を形成する。その後、フォトリソグラフィ法にて必要な部分だけを残してエッチングして電極６１３を形成する方法が挙げられる。また、フォトレジストで素子基板６０１を先に覆って、電極６１３を形成する領域が開口するように露光・現像する。そして開口部にＩＴＯ等の透明電極膜を形成し、残存したフォトレジストを除く方法でもよい。そして隔壁部形成工程へ進む。
【０１１３】
隔壁部形成工程では、図１３（ｂ）に示すように、素子基板６０１の複数の電極６１３の一部を覆うように下層バンク６１８ａを形成する。下層バンク６１８ａの材料としては、無機材料である絶縁性のＳｉＯ2（酸化珪素）を用いている。下層バンク６１８ａの形成方法としては、例えば、後に形成される発光層Ｌｕに対応して、各電極６１３の表面をレジスト等を用いてマスキングする。そしてマスキングされた素子基板６０１を真空装置に投入し、ＳｉＯ2をターゲットあるいは原料としてスパッタリングや真空蒸着することにより下層バンク６１８ａを形成する方法が挙げられる。レジスト等のマスキングは、後に剥離する。なお、下層バンク６１８ａは、ＳｉＯ2により形成されているため、その膜厚が２００ｎｍ以下であれば十分な透明性を有していおり、後に正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層Ｌｕが積層されても発光を阻害することはない。
【０１１４】
続いて、各発光層形成領域Ａを実質的に区画するように下層バンク６１８ａの上に上層バンク６１８ｂを形成する。上層バンク６１８ｂの材料としては、後述する発光層形成材料を含む３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの溶媒に対して耐久性を有するものであることが望ましく、さらに、フッソ系ガスを処理ガスとするプラズマ処理により撥液化できること、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、感光性ポリイミドなどといった有機材料が好ましい。上層バンク６１８ｂの形成方法としては、例えば、下層バンク６１８ａが形成された素子基板６０１の表面に感光性の上記有機材料をロールコート法やスピンコート法で塗布し、乾燥させて厚みがおよそ２μｍの感光性樹脂層を形成する。そして、発光層形成領域Ａに対応した大きさで開口部が設けられたマスクを素子基板６０１と所定の位置で対向させて露光・現像することにより、上層バンク６１８ｂを形成する方法が挙げられる。これにより下層バンク６１８ａと上層バンク６１８ｂとを有する隔壁部６１８が形成される。そして、表面処理工程へ進む。
【０１１５】
発光層形成領域Ａを表面処理する工程では、隔壁部６１８が形成された素子基板６０１の表面を、まずＯ2ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより電極６１３の表面、下層バンク６１８ａの張り出し部および上層バンク６１８ｂの表面（壁面を含む）を活性化させて親液処理する。次にＣＦ4等のフッ素系ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより有機材料である感光性樹脂からなる上層バンク６１８ｂの表面のみにフッ素系ガスが反応して撥液処理される。そして、正孔注入／輸送層形成工程へ進む。
【０１１６】
正孔注入／輸送層形成工程では、図１３（ｃ）に示すように、正孔注入／輸送層形成材料を含む液状体９０を発光層形成領域Ａに付与する。液状体９０を付与する方法としては、図１の液滴吐出装置１０を用いる。液滴吐出ヘッド５０から吐出された液状体９０は、液滴として素子基板６０１の電極６１３に着弾して濡れ拡がる。液状体９０は発光層形成領域Ａの面積に応じて必要量が液滴として吐出される。そして乾燥・成膜工程へ進む。
【０１１７】
乾燥・成膜工程では、素子基板６０１を例えばランプアニール等の方法で加熱することにより、液状体９０の溶媒成分を乾燥させて除去し、電極６１３の下層バンク６１８ａにより区画された領域に正孔注入／輸送層６１７ａが形成される。本実施形態では、正孔注入／輸送層形成材料としてＰＥＤＯＴ（Polyethylene  Dioxy  Thiophene；ポリエチレンジオキシチオフェン）を用いた。なお、この場合、各発光層形成領域Ａに同一材料からなる正孔注入／輸送層６１７ａを形成したが、後に形成される発光層Ｌｕに対応して正孔注入／輸送層６１７ａの材料を発光層形成領域Ａごとに変えてもよい。そして次の表面処理工程へ進む。
【０１１８】
次の表面処理工程では、上記の正孔注入／輸送層形成材料を用いて正孔注入／輸送層６１７ａを形成した場合、その表面が、３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂに対して撥液性を有するので、少なくとも発光層形成領域Ａの領域内を再び親液性を有するように表面処理を行う。表面処理の方法としては、３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂに用いられる溶媒を塗布して乾燥する。溶媒の塗布方法としては、スプレー法、スピンコート法等の方法が挙げられる。そして発光層Ｌｕの描画工程へ進む。
【０１１９】
発光層Ｌｕの描画工程では、図１３（ｄ）に示すように、液滴吐出装置１０を用いて複数の液滴吐出ヘッド５０から複数の発光層形成領域Ａに発光層形成材料を含む３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂを付与する。液状体１００Ｒは発光層６１７Ｒ（赤色）を形成する材料を含み、液状体１００Ｇは発光層６１７Ｇ（緑色）を形成する材料を含み、液状体１００Ｂは発光層６１７Ｂ（青色）を形成する材料を含んでいる。各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの発光層形成領域Ａへの付与は、上記実施形態１の液状体の描画方法を用いて行う。この場合、各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂは、それ自体で色の識別が困難である。そこで、液滴の着弾状態をカメラ１２で観察する方法として、紫外線を放出する照明装置を用いる。これにより、着弾後の液滴が紫外線によって励起され発光するので、着弾状態を観察して撮像することが可能となる。着弾観察工程で複数のノズル５２に対するノズル情報を入手し、液滴の着弾状態を適切に判断して、第１配置情報を補正した第２配置情報を適用する。よって、飛行曲がりを生ずるノズル５２から吐出された液滴が隣接する異なる発光色の発光層形成領域Ａに着弾しないように、各液滴吐出ヘッド５０が吐出制御される。そして、固化工程へ進む。
【０１２０】
固化工程では、図１３（ｅ）に示すように、吐出描画された各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの溶媒成分を乾燥させて除去し、各発光層形成領域Ａの正孔注入／輸送層６１７ａに各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂが積層されるように成膜化する。各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが吐出描画された素子基板６０１の乾燥方法としては、溶媒の蒸発速度をほぼ一定とすることが可能な、減圧乾燥が好ましい。そして陰極形成工程へ進む。
【０１２１】
陰極形成工程では、図１３（ｆ）に示すように、素子基板６０１の各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂと上層バンク６１８ｂの表面とを覆うように陰極６０４を形成する。陰極６０４の材料としては、Ｃａ、Ｂａ、Ａｌ等の金属やＬｉＦ等のフッ化物を組み合わせて用いるのが好ましい。特に発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂに近い側に仕事関数が小さいＣａ、Ｂａ、ＬｉＦの膜を形成し、遠い側に仕事関数が大きいＡｌ等の膜を形成するのが好ましい。また、陰極６０４の上にＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層を積層してもよい。このようにすれば、陰極６０４の酸化を防止することができる。陰極６０４の形成方法としては、蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等が挙げられる。特に発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂの熱による損傷を防止できるという点では、蒸着法が好ましい。
【０１２２】
このようにして出来上がった素子基板６０１は、必要量の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが対応する発光層形成領域Ａに付与され、成膜化後の膜厚がほぼ一定となった各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂを有する。
【０１２３】
上記実施形態２の効果は、以下の通りである。
（１）上記実施形態２の発光素子部６０３の製造方法において、発光層Ｌｕの描画工程では、上記実施形態１の液状体の描画方法を用いて素子基板６０１の発光層形成領域Ａに、各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが液滴として吐出描画される。したがって、成膜化後の膜厚がほぼ一定となった各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂを有する発光素子部６０３を歩留りよく、かつ高い生産性を実現して製造することができる。
【０１２４】
（２）上記実施形態２の発光素子部６０３の製造方法により製造された素子基板６０１を用いれば、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂの膜厚がほぼ一定であるため、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂごとの抵抗がほぼ一定となる。よって、回路素子部６０２により発光素子部６０３に駆動電圧を印加して発光させると、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂごとの抵抗ムラによる発光ムラや輝度ムラ等が低減される。すなわち、発光ムラや輝度ムラ等が少なく、見映えのよい表示品質を有する有機ＥＬ表示装置６００を提供することができる。
【０１２５】
以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態に対しては、本発明の趣旨から逸脱しない範囲で様々な変形を加えることができる。例えば上記実施形態以外の変形例は、以下の通りである。
【０１２６】
（変形例１）上記実施形態１の液状体の描画方法において、第１配置情報を補正する方法は、これに限定されない。例えば、赤色（Ｒ）の各着色領域Ａにおいて、１回の主走査で５つの液滴Ｄが着弾するように、予め２回目の吐出においていずれかのノズル５２からの吐出を間引くようにする。そして、２回目の主走査において不足する液状体８０Ｒを補うように液滴Ｄを吐出させてもよい。このように第１配置情報を生成しておけば、ノズルＮ５のように飛行曲がりが発生しても、１回目の主走査においてノズルＮ５の２回目の吐出を間引くように第２配置情報を生成すればよい。これによれば、各着色領域Ａに必要量の液状体８０Ｒを付与することができる。
【０１２７】
（変形例２）上記実施形態１のカラーフィルタの製造方法において、液滴Ｄを各着色領域Ａに配置する吐出数は、６つに限定されない。着色領域Ａの平面積および形成しようとする各着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂの厚み、液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂに含まれる着色層形成材料の割合などによって、適宜設定される。また、同様に着色領域Ａに掛かるノズル５２の数も変わる。当然ながら着色領域Ａの副走査方向における配置ピッチによって、複数のノズル５２のうちバンク５０４（区画領域Ｋｗ）に掛かるノズル５２が発生することが考えられる。その場合は、当該ノズル５２から液滴Ｄが吐出されないように第１配置情報を生成する。上記実施形態２の有機ＥＬ素子の製造方法においても同様である。
【０１２８】
（変形例３）上記実施形態１のカラーフィルタの製造方法および上記実施形態２の有機ＥＬ素子の製造方法において、着色領域Ａおよび発光層形成領域Ａの配置は、ストライプ方式に限定されない。デルタ方式や、モザイク方式の配置であっても、上記実施形態１の液状体の描画方法を適用することができる。また、３色の着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂに限定されず、ＲＧＢ３色に他色を加えた多色のカラーフィルタの製造方法においても適用可能である。
【０１２９】
（変形例４）上記実施形態１の液状体の描画方法を適用可能なデバイスの製造方法は、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ素子の製造方法に限定されない。例えば、図７の液晶表示装置５００において、液晶分子を所定の方向に配向させる配向膜や液晶を所定の領域に塗布する方法においても適用できる。また、図１２の有機ＥＬ表示装置６００において、正孔注入／輸送層６１７ａを形成する方法においても適用できる。
【図面の簡単な説明】
【０１３０】
【図１】液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。
【図２】（ａ）は液滴吐出ヘッドの構造を示す概略分解斜視図、（ｂ）はノズル部の構造を示す断面図。
【図３】ヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す平面図。
【図４】液滴吐出装置の制御系を示すブロック図。
【図５】吐出制御の詳細を示すブロック図。
【図６】吐出制御の制御信号を示す図。
【図７】液晶表示装置の構造を示す概略分解斜視図。
【図８】対向基板側のマザー基板を示す概略平面図。
【図９】（ａ）〜（ｅ）はカラーフィルタの製造工程を示す概略断面図。
【図１０】液状体の描画方法を示すフローチャート。
【図１１】（ａ）〜（ｃ）は液状体の描画方法を示す概略図。
【図１２】有機ＥＬ表示装置の要部構造を示す概略断面図。
【図１３】（ａ）〜（ｆ）は発光素子部の製造方法を示す概略断面図。
【符号の説明】
【０１３１】
５２…ノズル、８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂ…３色の液状体、５０１…基板としての対向基板、５０４…隔壁部としてのバンク、５０５…カラーフィルタ、５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂ…着色層、６０１…基板としての素子基板、６０３…有機ＥＬ素子としての発光素子部、６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ…発光層、Ａ…吐出領域としての着色領域および発光層形成領域、Ｄ…液滴、Ｄｗ…所望の領域としての描画領域、Ｋｗ…区画領域、Ｌｕ…発光層、Ｗ…ワークおよびワークとしてのマザー基板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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