(57)【要約】【課題】搬送治具に容器体のメッキ用導体パターンが接触することがなく、容器体を搬送治具に確実に配置できると共に、安定して測定することができ、生産性を維持することができる圧電デバイス及び圧電デバイスの搬送治具を提供することを課題とする。【解決手段】一方の主面に凹部空間を有する容器体と、凹部空間内に搭載される圧電振動素子と、凹部空間を気密封止する蓋体とを備える圧電デバイスであって、各工程を搬送するための搬送治具に容器体を固定する固定手段を当接するための当接部が容器体の隣り合う外側側面が交わることによって形成される４つの角部に設けられており、当接部の表面には、絶縁膜を備えていることを特徴とするものである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の主面に凹部空間を有する容器体と、
前記凹部空間内に搭載される圧電振動素子と、
前記凹部空間を気密封止する蓋体とを備える圧電デバイスであって、
各工程を搬送するための搬送治具に前記容器体を固定する固定手段を当接するための当接部が前記容器体の隣り合う外側側面が交わることによって形成される４つの角部に設けられており、前記当接部の表面には、絶縁膜を備えていることを特徴とする圧電デバイス。
【請求項２】
前記当接部と前記容器体の他方の主面に形成されている外部接続用電極端子との間に間隙が設けられていることを特徴とする請求項１記載の圧電デバイス。
【請求項３】
一方の主面に凹部空間を有する容器体と、前記凹部空間内に搭載される圧電振動素子と、凹部空間を気密封止する蓋体と、前記容器体の隣り合う外側側面が交わることによって形成される４つの角部に当接部が設けられ、前記当接部表面に絶縁膜を備えている圧電デバイスを収容して搬送する搬送治具であって、
棒状の固定手段と、
これら４つの固定手段の一方の端部と接続される変形部と、
前記変形部と接続する枠部とを備えて形成される複数の固定部を有し、
４つの固定手段の他方の端部が、所定の一点の方向を向き、且つ隣り合う固定手段とでなす角度が９０度となるように固定部が構成されていることを特徴とする圧電デバイスの搬送治具。
【請求項４】
前記固定手段には、固定手段を移動させ、固定解除を行なうための操作孔が設けられていることを特徴とする請求項３記載の圧電デバイスの搬送治具。
【請求項５】
前記枠部に取り付けられる前記容器体を載置するための載置部を備えたベース部と、
前記枠部の前記ベース部が取り付けられている側とは反対側に取り付けられる前記変形手段を保護するためのカバー部を備えていることを特徴とする請求項３または請求項４記載の圧電デバイスの搬送治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子機器等に用いられる圧電デバイス及び圧電デバイスを製造する際に用いる搬送治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の圧電デバイスとして水晶振動子について説明する。図１３は、従来の圧電デバイスの分解斜視図である。図１４は、従来で用いられる搬送治具全体を示す平面図であり、図１５は、図１４記載の円Ｅ部分を拡大して示した平面図である。
図１３に示すように、水晶振動子２００は、凹部空間２０３を有する容器体２０１と水晶振動素子２０２と蓋体２０５とから主に構成されている。
前記容器体２０１は、セラミック材料等から成る概略直方体からなり、一方の主面に開口する凹部空間２０３が形成されている。
水晶振動素子２０２は、前記凹部空間内底面に形成された圧電振動素子搭載パッド上に搭載されている。
蓋体２０５は、前記容器体２０１の凹部空間２０３上に載置し、前記容器体２０１の側壁頂部と固着することにより、凹部空間２０３内を気密封止される。
このような水晶振動子２００において、前記容器体２０１の他方の主面の４隅には、外部接続用電極端子である入出力端子、グランド端子が形成されている構造が知られている（例えば、特許文献１を参照）。
【０００３】
このような圧電デバイス２００の容器体２０１を製作するには、シート基板で複数個の容器体２０１を一括で形成する。このとき、外部接続用電極端子や圧電振動素子搭載パッド等の電極の表面にメッキを施すために、外部接続用電極端子や圧電振動素子搭載パッドをメッキ用配線パターンにより接続し、メッキ用配線パターン２０４をシート基板の外周に形成された電解メッキ用電極に接続する。シート基板をメッキ液下に沈降させ、この電解メッキ用電極から電圧を印加することにより、電解メッキを外部接続用電極端子や圧電振動素子搭載パッドの表面に施す。電解メッキを施した後、シート基板を分割することにより容器体２０１を形成する（例えば、特許文献２を参照）。
前記シート基板を切断する際に、容器体２０１の側面にメッキ用配線パターン２０４が露出する。
【０００４】
このような圧電デバイス２００を製造する際には、図１４、図１５に示すように、搬送治具３００に容器体２０１を収容して圧電デバイスの製造工程に搬送されるが、搬送治具３００に容器体２０１を固定させる際に、搬送治具３００の金属製の固定手段３０１で、容器体２０１の２つの側面を押し当てつつ、固定する構造が知られていた（例えば、特許文献３を参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−１１１４３５号公報（第５−６頁、図２）
【特許文献２】特開２００７−３６００２号公報
【特許文献３】特開２００３−１６０１８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来の圧電デバイスは、容器体２０１の外部接続用電極端子に電解メッキを施すためのメッキ用配線パターンが容器体の側面に露出していたが、容器体が小型化するにつれて、容器体２０１を搬送治具３００に収容した際に、メッキ用導体パターンが搬送治具３００の保持手段３０１に接触してしまうおそれが高くなる。メッキ用導体パターンと固定手段とが接触すると、メッキ用導体パターンと接続されている外部接続用電極端子が短絡してしまっていた。また、外部接続用電極端子が短絡することによって、生産中に発振周波数等の特性は、外部接続用電極端子を介しての測定ができないため、生産性が低下してしまうおそれがあった。
【０００７】
本発明は、前記課題を鑑みてなされたものであり、搬送治具の固定手段に容器体のメッキ用導体パターンが接触することがなく、容器体を搬送治具内に確実に配置固定できると共に、安定して圧電デバイスの測定を行うことができ、生産性を向上することができる圧電デバイス及び圧電デバイスの搬送治具を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明における圧電デバイスは、前記課題を解決するために成されたものであり、一方の主面に凹部空間を有する容器体と、凹部空間内に搭載される圧電振動素子と、凹部空間を気密封止する蓋体とを備える圧電デバイスであって、各工程を搬送するための搬送治具に容器体を固定する固定手段を当接するための当接部が容器体の隣り合う外側側面が交わることによって形成される４つの角部に設けられており、当接部の表面には、絶縁膜を備えていることを特徴とするものである。
【０００９】
また、当接部と容器体の他方の主面に形成されている外部接続用電極端子との間に間隙が設けられていることを特徴とするものである。
【００１０】
本発明における圧電デバイスの搬送治具は、一方の主面に凹部空間を有する容器体と、前記凹部空間内に搭載される圧電振動素子と、凹部空間を気密封止する蓋体と、前記容器体の隣り合う外側側面が交わることによって形成される４つの角部に当接部が設けられ、前記当接部表面に絶縁膜を備えている圧電デバイスを収容して搬送する搬送治具であって、
棒状の固定手段と、これら４つの固定手段の一方の端部と接続される変形部と、変形部と接続する枠部とを備えて形成される複数の固定部を有し、４つの固定手段の他方の端部が、所定の一点の方向を向き、且つ隣り合う固定手段とでなす角度が９０度となるように固定部が構成されていることを特徴とするものである。
【００１１】
また、固定手段には、固定手段を移動させ、固定解除を行なうための操作孔が設けられていることを特徴とするものである。
【００１２】
また、枠部に取り付けられる前記容器体を載置するための載置部を備えたベース部と、枠部の前記ベース部が取り付けられている側とは反対側に取り付けられる変形手段を保護するためのカバー部を備えていることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の圧電デバイスによれば、容器体の外周側面に外部接続用電極端子等に電解メッキを施すためのメッキ用導体パターンが露出した圧電デバイスにおいて、その小型化が進んでも、メッキ用導体パターンが搬送治具の固定手段に接触することがない。
本発明の圧電デバイスを構成する容器体の隣り合う外側側面が交わることによって形成される４つの角部には、当接部が設けられており、且つその当接部に固定手段が当接する構造の搬送治具によって、メッキ用導体パターンに固定手段が接触することなく、容器体を搬送治具内に固定することができるので、容器体が搬送治具から外れることがなくなり、容器体を搬送治具に確実に配置させることが可能となる。
また、当接部の表面には、絶縁膜が形成しているので、搬送治具の固定手段が容器体に押し当てることによる容器体のカケ等の破損を防止することができる。
【００１４】
又、本発明によれば、当接部と容器体の他方の主面に形成されている外部接続用電極端子との間に間隙が設けられていることによって、搬送治具の固定手段が外部接続用電極端子に接触することがなく、生産中に発振周波数等の特性を測定でき、安定した生産をすることが可能となる。
【００１５】
本発明の圧電デバイスの搬送治具によれば、これら４つの固定手段の一方の端部とそれぞれ接続される枠部と、枠部と固定手段とを接続する変形部とを備えて形成される複数の固定部を有し、４つの固定手段の他方の端部が、所定の一点の方向を向き、且つ隣り合う固定手段とでなす角度が９０度となるように固定部が構成されていることにより、圧電デバイスを構成する容器体のメッキ用導体パターンに固定手段が接触しないので、メッキ用導体パターンに接触しないので、メッキ用導体パターンが接続した外部接続用電極端子が短絡することがなく、外部接続用電極端子を介して、内部も搭載した圧電振動素子の特性を確実に測定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施添付図面に基づいて詳細に説明する。
図１は本発明の実施形態に係る圧電デバイスの一例を示す分解斜視図である。図２（ａ）は本発明の実施形態に係る圧電デバイスの一例を示す概略断面図であり、図３は、本発明の実施形態に係る圧電デバイスの容器体の一例を示す平面図である。
図４は、本発明の実施形態に係る搬送治具を示す平面図である。
図５は、本発明の実施形態に係る搬送治具の固定部を示した拡大図平面図である。
図６は、本発明の実施形態に係る搬送治具の固定部の固定手段が移動した状態を示した拡大平面図である。
図７は、本発明の実施形態に係る搬送治具に容器体を搭載した状態を示す平面図である。図８（ａ）は、本発明の実施形態に係る搬送治具を図７記載の円Ｂ部分を拡大して示した平面図であり、図８（ｂ）は、本発明の実施形態に係る搬送治具を図８（ａ）記載の切断線Ｃ−Ｃで切断した状態を示す断面図である。
図９は、本発明の実施形態に係る搬送治具を示す平面図である。
図１０は、本発明の実施形態に係る搬送治具を図９記載の円Ｄ部分を拡大して示した平面図である。
図１１は、本発明の実施形態に係る圧電デバイスの他の実施形態を示す平面図である。図１２（ａ）は、本発明の実施形態に係る圧電デバイスの他の実施形態を示す概略側面図であり、図１２（ｂ）は、本発明の実施形態に係る圧電デバイスの他の実施形態を示す平面図である。
また、説明を明りょうにするため構造体の一部を図示していない。更に図示した寸法も一部誇張して示している。
【００１７】
図１〜図３に示すように、圧電デバイス１００は、容器体１０と圧電振動素子２０と蓋体３０とから構成されている。この圧電デバイス１００は、前記容器体１０の一方の主面に凹部空間１４が形成され、前記容器体１０の前記凹部空間１４内に前記圧電振動素子２０が搭載され、前記蓋体３０によって圧電振動素子２０が搭載された凹部空間１１を気密封止した構造となっている。
【００１８】
圧電振動素子２０は、例えば、水晶素板に励振用電極２１を被着形成したものであり、外部からの交番電圧が励振用電極２１を介して水晶素板に印加されると、所定の振動モード及び周波数で励振を起こすようになっている。
水晶素板は、人工水晶体から所定のカットアングルで切断し外形加工を施された概略平板状で平面形状が例えば四角形となっている。
励振用電極２１は、前記水晶素板の表裏両主面に金属膜を積層するようにして被着・形成したものであり、水晶素板の上面には第１の金属膜であるクロム（Ｃｒ）、チタン（Ｔｉ）が形成され、第１の金属膜の上面に第２の金属膜であるニッケル（Ｎｉ）、金（Ａｕ）が積層するように形成されている。
このような水晶振動素子２０は、その両主面に被着されている励振用電極２１と凹部空間１１内の底面に形成されている圧電振動素子搭載パッド１４とを、導電性接着剤４０を介して電気的且つ機械的に接続することによって凹部空間１１底面に搭載される。
【００１９】
導電性接着剤４０は、シリコーン樹脂の中に導電性フィラーが含有されているものであり、導電性粉末としては、アルミニウム（Ａｌ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、銀（Ａｇ）、チタン（Ｔｉ）、ニッケル（Ｎｉ）、ニッケル鉄（ＮｉＦｅ）、またはこれらの組み合わせを含むものが用いられている。
【００２０】
容器体１０の一方の主面には、中央域に開口する矩形状の凹部空間１１が形成されている。また、凹部空間１１を囲繞する前記容器体１０の側壁部の開口側頂面の全周には、環状の封止用導体パターン１２が形成されている。また、前記凹部空間１１の底面に形成される圧電振動素子搭載パッド１４を備えている。更に、容器体１０の他方の主面には外部接続用電極端子１３である入力端子、出力端子、グランド端子が形成されている。
【００２１】
このようにして作成したシートをニッケルメッキや金メッキのための電解メッキ浴中に浸漬し、シートの外周に形成されたメッキ用端子に電源を印加することによって、メッキ用端子と接続されているメッキ用導体パターン１７を介して、シート内の各容器体１０の外部接続用電極端子１３にメッキを施す。
【００２２】
また、このようにして作製したシートの各容器体１０の４つの角部に相当する箇所に、円柱状、若しくは多角柱状の貫通孔を形成し、絶縁性樹脂等を注入する。そしてシートを各容器体に位置する箇所で切断することで当接部１５と絶縁膜１６を形成する。
また、円柱状の貫通孔を形成した場合には、図３に示すような当接部１５が形成され、多角柱状の貫通孔を形成した場合には、図１１に示すような当接部１５が形成される。
【００２３】
圧電振動素子搭載パッド１４は、前記容器体１０の一方の主面に形成されている凹部空間内底面に形成されており、前記容器体１０に設けられた外部接続用電極端子１３の一部と容器体１０に構成されている各層表面の配線パターンや各層を貫通するビア導体を介して電気的に接続されている。また圧電振動素子搭載パッド１４は、その上面側で、前記圧電振動素子２０の励振用電極２１に前記導電性接着剤４０を介して電気的且つ機械的に接続されている。
【００２４】
外部接続用電極端子１３は、前記容器体１０の他方の主面に形成されており、入力端子、出力端子、グランド端子により構成されている。
また、前記外部接続用電極端子１３は、マザーボード等の外部配線基板上に搭載する際、外部配線基板の配線と半田や金属バンプ等の導電性を有する接合材を介して電気的に接続するための電極端子として機能する。
【００２５】
当接部１５は、容器体の隣り合う外側側面により構成されている４つの角部は、前記角部を丸取り又は面取りした形状で形成されている。
尚、当接部１５における丸取りの径寸法又は面取りの幅寸法は、当接部１５に当接される搬送治具５０の固定手段先端の形状の大きさに合わせた寸法となっている。
又、当接部１５の表面には、固定手段５２の押し当ての際に、当接部１５の表面を保護、補強するための絶縁膜１６が形成されている。前記絶縁膜１６は、エポキシ樹脂等の絶縁性樹脂により形成されている。
前記当接部１５には、後述する搬送治具５０に前記容器体１０を配置し、前記搬送治具５０に設けられている固定手段５２が当接することで、前記搬送治具５０に固定することができる。
また、前記当接部１５の表面に設けられている絶縁膜１６が緩衝材となることによって、前記搬送治具５０の固定手段５２による前記容器体１０の割れやカケ等を防止することができる。
前記当接部１５と前記容器体１０の他方の主面に形成されている外部接続用電極端子１３との間に間隙が設けられていることによって、前記搬送治具５０の固定手段５２が外部接続用電極端子１３に接触することがなく、生産中に発振周波数等の特性を測定でき、安定した生産をすることが可能となる。
また、図１２（ｂ）に示すように、前記容器体１０の他方の主面に段差が形成されており、前記段差に絶縁膜１６が形成されていることによって、搬送治具５０の固定手段５２が外部接続用電極端子に接触することを防止することが可能となる。
【００２６】
また蓋体３０は従来周知の金属加工法を採用し、４２アロイ等の金属を所定形状に成形することによって製作され、前記蓋体３０の上面には、ニッケル（Ｎｉ）層が形成され、更にニッケル（Ｎｉ）層の上面の封止用導体パターン１２に対応する箇所に封止部材３１である金錫（Ａｕ−Ｓｎ）層が形成される。金錫（Ａｕ−Ｓｎ）層の厚みは、１０μｍ〜４０μｍである。例えば、成分比率が、金が８０％、錫が２０％のものが使用されている。また、このような封止部材３１は、封止用導体パターン１２の凹凸を緩和し、気密性の低下を防ぐことが可能となる。また、封止部材３１が薄すぎると当該機能を充分に発揮しない。
【００２７】
この搬送治具５０は、例えば、ＳＵＳ等の金属材料が用いられ、図４〜図１０に示すように、枠部５１と固定手段５２と変形部５３とからなる固定部５４が複数形成されることによって構成されている。この搬送治具５０は、圧電デバイス１００の容器体１０を確実に固定し、工程を流す際に用いられるものである。
【００２８】
枠部５１は、図４、図５、図６に示すように、平面視矩形形状で環状となっている。この枠部５１には、後述する４つの固定手段５２の一方の端部とそれぞれ接続されている。
【００２９】
固定手段５２は、棒状で形成されており、前記固定手段５２の一方の端部は、後述する変形部５３を介して、前記枠部５１と接続されており、他方の端部は、前記容器体１０の当接部１５と当接するようになっている。
また、図５に示すように、４つの固定手段５２の他方の端部が、枠部５１内の所定の一点の方向を向き、且つ隣り合う固定手段５２とでなす角度が９０度となるように配置されている。
つまり、固定手段５２の中心軸線５２ａが枠部５１内の所定の一点で交わるようになっている。また所定の一点とは、枠部５１の対角線の交点である。
【００３０】
変形部５３は、前記枠部５１と前記固定手段５２とを接続するものであり、エッチングにより削ってつづら折り状に複数折曲されてなるばね形状となっている。
これにより、図６に示すように、変形部５３は、固定手段５２が中心軸線方向に沿った方向にスライド移動させられた場合に、戻る方向に固定手段５２を引き戻そうとする力が働くばねの役割を果たす。
【００３１】
図６に示すように、固定手段５２には、前記固定手段をスライド移動させ、圧電デバイスの固定解除を行なうための操作孔５５が設けられている。
操作孔５５は、他の固定解除装置（図示せず）も設けられているピン（図示せず）により引っ掛けられ、固定手段５２をスライド移動させる。
【００３２】
また、図７〜図１０に示すように、固定部５４の両主面において、一方の主面にベース部５６が取り付けられ、他方の主面にカバー部５７が取り付けられている。
【００３３】
図８、図１０に示すように、ベース部５６は、底板の機能をなし、前記容器体１０を載置するための載置部５８が形成されている。また、載置した際に容器体１０の外部接続用電極端子１３の位置に相当する箇所には、開口が形成されている。
前記開口は、圧電デバイス１００を製造する際に外部接続用電極端子１３にプローブを接触させ、周波数等の特性を測定するためのものである。
【００３４】
図７、図８、図９に示すように前記カバー部５７は、固定部５４の変形部５３を隠す形状で開口が形成されている。
これにより、変形部５３が露出しないので、固定手段５２がスライド移動する際に、変形部に異物などによる引っ掛かりがなくなるので、作業性を向上させることができる。
【００３５】
尚、容器体１０は、アルミナセラミックスから成る場合、所定のセラミック材料粉末に適当な有機溶剤等を添加・混合して得たセラミックグリーンシートの表面に封止用導体パターン１２、外部接続用電極端子１３、圧電振動素子搭載パッド１４等となる導体ペーストを、また、セラミックグリーンシートに打ち抜き等を施して予め穿設しておいた貫通孔内にビア導体となる導体ペーストを従来周知のスクリーン印刷によって塗布するとともに、これを複数枚積層してプレス成形した後、高温で焼成することにより製作される。
【００３６】
また、容器体１０の側壁部の頂面に形成された封止用導体パターン１２は、例えば、タングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）等から成る基層の表面にニッケル（Ｎｉ）層及び金（Ａｕ）層を順次、容器体１０の環状に囲繞する形態で被着させることによって１０μｍ〜２５μｍの厚みに形成されており、その封止用導体パターン１２は、後述する蓋体３０を、蓋体３０に形成された封止部材３１を介して、容器体１０の側壁部の頂面に接合させるためのものであり、かかる封止用導体パターン１２を前記したように、Ｗ若しくはＭｏから成る基層の表面にＮｉ層及びＡｕ層を順次被着させた構成となしておくことにより、封止用導体パターン１２に対する封止部材３１の濡れ性を良好とし、圧電デバイスの気密信頼性及び生産性を向上させる。
【００３７】
尚、本発明は前記の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。例えば、前記した実施形態においては、圧電振動素子を構成する圧電素材として水晶を用いた圧電振動子を説明したが、圧電素材としては、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウムまたは、圧電セラミックスを用いたものでも構わない。また、本発明は前記実施形態で開示した圧電振動子の他、圧電発振器、圧電フィルタや弾性表面波（ＳＡＷ）素子を用いた他の圧電デバイスにおいて、本発明は適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明における圧電デバイスの一実施形態を示した分解斜視図である。
【図２】本発明における圧電デバイスの一実施形態を示した概略断面図である。
【図３】本発明における圧電デバイスの下面側から見た平面図である。
【図４】本発明の実施形態に係る搬送治具を示す平面図である
【図５】本発明の実施形態に係る搬送治具の固定部を示した拡大図平面図である。
【図６】本発明の実施形態に係る搬送治具の固定部の固定手段が移動した状態を示した拡大平面図である。
【図７】本発明の実施形態に係る搬送治具に容器体を搭載した状態を示す平面図である。
【図８】（ａ）は、本発明の実施形態に係る搬送治具を図７記載の円Ｂ部分を拡大して示した平面図であり、（ｂ）は、本発明の実施形態に係る搬送治具を図８（ａ）記載の切断線Ｃ−Ｃで切断した状態を示す断面図である。
【図９】本発明の実施形態に係る搬送治具を示す平面図である。
【図１０】本発明の実施形態に係る搬送治具を図９記載の円Ｄ部分を拡大して示した平面図である。
【図１１】本発明における圧電デバイスの他の実施形態を示した他方の主面から見た平面図である。
【図１２】（ａ）は、圧電デバイスの他の実施形態を示す概略断面図であり、（ｂ）は、圧電デバイスの他の実施形態を示す他方の主面から見た平面図である。
【図１３】従来の圧電デバイスの分解斜視図である。
【図１４】従来で用いられる搬送治具を示す平面図である、
【図１５】（ａ）は、従来で用いられる搬送治具を図１４記載の円Ｅ部分を拡大して示した平面図である。
【符号の説明】
【００３９】
１０・・・容器体
１１・・・凹部空間
１２・・・封止用導体パターン
１３・・・外部接続用電極端子
１４・・・圧電振動素子搭載パッド
１５・・・当接部
１６・・・絶縁膜
１７・・・メッキ用導体パターン
２０・・・水晶振動素子（圧電振動素子）
２１・・・励振用電極
３０・・・蓋体
３１・・・封止部材
４０・・・導電性接着剤
５０・・・搬送治具
５１・・・枠部
５２・・・固定手段
５２ａ・・・中心線
５３・・・変形部
５４・・・固定部
５５・・・操作孔
５６・・・ベース部
５７・・・カバー部
５８・・・搭載部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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