(57)【要約】【課題】短時間で残留液体の回収が可能な液体回収機構および液滴吐出装置を提供する。【解決手段】液滴吐出装置１は、材料液（液体）４０を貯留する材料液タンク４１と、材料液４０を液滴として吐出するヘッド部２０と、材料液タンク４１とヘッド部２０との間に設けられヘッド部２０との水頭差を維持するためのサブタンク４２と、材料液タンク４１からヘッド部２０へ材料液４０を供給するための供給管４６とを備え、さらに、供給管４６と連通するタンク回収管４７と、材料液４０をタンク回収管４７を通して回収するためにサブタンク４２へ圧力を付与する圧力付与部６０と、圧力付与部６０とサブタンクとを接続するサブタンク圧力管６５と、回収した材料液４０を貯留する回収タンク４３とを有する材料液回収機構（液体回収機構）と、を備えたことを特徴とする。【選択図】図１
2008049310.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を貯留する液体タンクと、前記液体を吐出する吐出部と、前記液体タンクと前記吐出部との間に設けられたサブタンクと、をそれぞれ連通させて前記液体を前記液体タンクから前記吐出部へ供給するための供給部に設けられ、
前記供給部と連通する回収部と、
前記サブタンクおよび前記供給部から前記回収部を介して前記液体を回収するための回収駆動部と、
回収した前記液体を貯留する回収タンクと、を有することを特徴とする液体回収機構。
【請求項２】
請求項１に記載の液体回収機構において、
前記回収駆動部は、前記サブタンクへ圧力を付与して、前記サブタンクおよび前記供給部の前記液体を前記回収タンクへ回収することを特徴とする液体回収機構。
【請求項３】
材料液を貯留する材料液タンクと、
前記材料液を液滴状態で吐出する吐出ヘッドと、
前記材料液タンクと前記吐出ヘッドとの間に設けられたサブタンクと、
前記材料液タンクと前記サブタンクとを連通させて前記材料液を前記材料液タンクから前記サブタンクへ供給するためのタンク供給管と、
前記タンク供給管と連通するタンク回収管と、
前記サブタンクおよび前記タンク供給管から前記タンク回収管を介して前記材料液を回収するための回収駆動部と、
回収した前記材料液を貯留する回収タンクと、を有することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項４】
請求項３に記載の液滴吐出装置において、
前記回収駆動部は、前記サブタンクへ圧力を付与して、前記サブタンクおよび前記タンク供給管の前記材料液を前記回収タンクへ回収することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項５】
材料液を貯留する材料液タンクと、
前記材料液を液滴状態で吐出する吐出ヘッドと、
前記材料液タンクと前記吐出ヘッドとの間に設けられたサブタンクと、
前記サブタンクと前記吐出ヘッドとを連通させて前記材料液を前記サブタンクから前記吐出ヘッドへ供給するためのヘッド供給管と、
前記ヘッド供給管と連通するヘッド回収管と、
前記サブタンクおよび前記ヘッド供給管から前記ヘッド回収管を介して前記材料液を回収するための回収駆動部と、
回収した前記材料液を貯留する回収タンクと、を有することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項６】
請求項５に記載の液滴吐出装置において、
前記回収駆動部は、前記サブタンクへ圧力を付与して、前記サブタンクおよび前記ヘッド供給管の前記材料液を前記回収タンクへ回収することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項７】
材料液を貯留する材料液タンクと、
前記材料液を液滴状態で吐出する吐出ヘッドと、
前記材料液タンクと前記吐出ヘッドとの間に設けられたサブタンクと、
前記材料液タンクと前記サブタンクとを連通させて前記材料液を前記材料液タンクから前記サブタンクへ供給するためのタンク供給管と、
前記サブタンクと前記吐出ヘッドとを連通させて前記材料液を前記サブタンクから前記吐出ヘッドへ供給するためのヘッド供給管と、
前記タンク供給管と連通するタンク回収管と、
前記ヘッド供給管と連通するヘッド回収管と、
前記サブタンクおよび前記タンク供給管および前記ヘッド供給管から前記タンク回収管および前記ヘッド回収管を介して前記材料液を回収するための回収駆動部と、
回収した前記材料液を貯留する回収タンクと、を有することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項８】
請求項３に記載の液滴吐出装置において、
前記回収駆動部は、前記サブタンクへ圧力を付与して、前記サブタンクおよび前記タンク供給管および前記ヘッド供給管の前記材料液を前記回収タンクへ回収することを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、装置内の液体を回収するための液体回収機構および液体回収機構を備えた液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液滴吐出装置などにおいて、吐出する液体の種類を変更する場合には、液体タンクの交換の他に、液体を液体タンクから吐出ヘッド（吐出部）へ導く供給パイプおよび液体タンクと吐出ヘッドとの間にあって、吐出ヘッドとの水頭差管理のためのサブタンクなどに残留する液体を回収する必要がある。これら液体を回収するには、吐出ヘッドをキャッピングするクリーニング機構を利用していた。クリーニング機構は、吐出ヘッドから液体を少量吸引することにより、吐出ヘッドの詰まり、異物付着、乾燥などを防いで、吐出機能の維持を図るものである（たとえば特許文献１および２）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−２４８７９４号公報
【特許文献２】特開２００４−１６７２９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、従来の技術では、クリーニング機構を利用しているため、液体貯留量の多いサブタンクなどから液体を吸引するには、時間がかかると共に、クリーニング用の吸引力では、吐出ヘッドから離れた位置の供給パイプの液体が残留し易い、という課題があった。微小な液滴を吐出する吐出ヘッドを有する液滴吐出装置ほど、回収時間増および液体残留の課題がより顕著に現れる。
【０００５】
本発明は、上記課題を解決するために、短時間で残留液体の回収が可能な液体回収機構および液滴吐出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の液体回収機構は、液体を貯留する液体タンクと、液体を吐出する吐出部と、液体タンクと吐出部との間に設けられたサブタンクと、をそれぞれ連通させて液体を液体タンクから吐出部へ供給するための供給部に設けられ、供給部と連通する回収部と、サブタンクおよび供給部から回収部を介して液体を回収するための回収駆動部と、回収した液体を貯留する回収タンクと、を有することを特徴とする。
【０００７】
この液体回収機構によれば、吐出部が吐出するための液体を液体タンクから吐出部へ供給するための供給部に設けられている。液体交換等の際に、液体回収機構は、新しい液体といままで使用していた液体とが混合しないように、サブタンクおよび供給部に残留している液体を回収する。残留している液体の回収は、サブタンクおよび供給部にある液体を、供給部を介して供給部と連通する回収部へ導き、回収タンクへ収容する手順で行う。この時、液体を回収部へ導くように、回収駆動部が液体に作用する。これにより、液体回収機構によって、サブタンクおよび供給部に残留している液体を、全て回収タンクに回収することが可能である。また、液体タンクと吐出部との間にある供給部に設けられた液体回収専用の回収部から液体を回収することにより、吐出部から液体を吐出して回収する場合に比べ、液体の回収が確実に、且つ、迅速に行える。
【０００８】
この場合、回収駆動部は、サブタンクへ圧力を付与して、サブタンクおよび供給部の液体を回収タンクへ回収することが好ましい。
【０００９】
この構成によれば、液体を回収部へ導く回収駆動部の液体への作用は、サブタンクへ圧力を付与して、液体をサブタンクから供給部へ押し出し、さらに、供給部から回収部を通って回収タンクまで押し出すことである。サブタンク、供給部および回収部は連通しており、サブタンクに圧力を加える簡単な構成で、サブタンクおよび供給部に残留している液体を回収することが可能である。
【００１０】
本発明の液滴吐出装置は、材料液を貯留する材料液タンクと、材料液を液滴状態で吐出する吐出ヘッドと、材料液タンクと吐出ヘッドとの間に設けられたサブタンクと、材料液タンクとサブタンクとを連通させて材料液を材料液タンクからサブタンクへ供給するためのタンク供給管と、タンク供給管と連通するタンク回収管と、サブタンクおよびタンク供給管からタンク回収管を介して材料液を回収するための回収駆動部と、回収した材料液を貯留する回収タンクと、を有することを特徴とする。
【００１１】
この液滴吐出装置によれば、材料液交換等の際に、新しい材料液といままで使用していた材料液とが混合しないように、サブタンクおよびタンク供給管に残留している材料液を回収することが可能である。そのために、吐出ヘッドが吐出する材料液を材料液タンクからサブタンクへ供給するためのタンク供給管と連通して、タンク回収管および回収タンクが設けられている。残留している材料液の回収は、サブタンクおよびタンク供給管にある材料液を、タンク供給管を介してタンク供給管と連通するタンク回収管へ導き、回収タンクへ収容する手順で行う。この時、材料液をタンク回収管へ導くように、回収駆動部が材料液に作用する。これにより、液体吐出装置は、サブタンクおよびタンク供給管に残留している材料液を、全て回収タンクに回収することが可能である。また、材料液タンクとサブタンクとの間にあるタンク供給管に設けられた材料液回収専用のタンク回収管から材料液を回収することにより、吐出ヘッドから材料液を吐出して回収する場合などに比して、材料液の回収が確実に、且つ、迅速に行える。
【００１２】
この場合、回収駆動部は、サブタンクへ圧力を付与して、サブタンクおよびタンク供給管の材料液を回収タンクへ回収することが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、材料液をタンク回収管へ導く回収駆動部の材料液への作用は、サブタンクへ圧力を付与して、材料液をサブタンクからタンク供給管へ押し出し、さらに、タンク供給管からタンク回収管を通って回収タンクまで押し出すことである。サブタンク、タンク供給管およびタンク回収管は連通しており、サブタンクに圧力を加える簡単な構成で、サブタンクおよびタンク供給管に残留している材料液を回収することが可能である。
【００１４】
本発明の液滴吐出装置は、材料液を貯留する材料液タンクと、材料液を液滴状態で吐出する吐出ヘッドと、材料液タンクと吐出ヘッドとの間に設けられたサブタンクと、サブタンクと吐出ヘッドとを連通させて材料液をサブタンクから吐出ヘッドへ供給するためのヘッド供給管と、ヘッド供給管と連通するヘッド回収管と、サブタンクおよびヘッド供給管からヘッド回収管を介して材料液を回収するための回収駆動部と、回収した材料液を貯留する回収タンクと、を有することを特徴とする。
【００１５】
この液滴吐出装置によれば、材料液交換等の際に、新しい材料液と今まで使用していた材料液とが混合しないように、サブタンクおよびヘッド供給管に残留している材料液を回収することが可能である。そのために、吐出ヘッドが吐出する材料液をサブタンクから吐出ヘッドへ供給するためのヘッド供給管と連通して、ヘッド回収管および回収タンクが設けられている。残留している材料液の回収は、サブタンクおよびヘッド供給管にある材料液を、ヘッド供給管と連通するヘッド回収管へヘッド供給管を介して導き、回収タンクへ収容する手順で行う。この時、材料液をヘッド回収管へ導くように、回収駆動部が材料液に作用する。これにより、液体吐出装置は、サブタンクおよびヘッド供給管に残留している材料液を、全て回収タンクに回収することが可能である。また、サブタンクと吐出ヘッドとの間にあるヘッド供給管に設けられたヘッド回収管から材料液を回収することにより、吐出ヘッドから材料液を吐出して回収する場合などに比して、材料液の回収が確実に、且つ、迅速に行える。
【００１６】
この場合、回収駆動部は、サブタンクへ圧力を付与して、サブタンクおよびヘッド供給管の材料液を回収タンクへ回収することが好ましい。
【００１７】
この構成によれば、材料液をヘッド回収管へ導く回収駆動部の材料液への作用は、サブタンクへ圧力を付与して、材料液をサブタンクからヘッド供給管へ押し出し、さらに、ヘッド供給管からヘッド回収管を通って回収タンクまで押し出すことである。サブタンク、ヘッド供給管およびヘッド回収管は連通しており、サブタンクに圧力を加える簡単な構成で、サブタンクおよびヘッド供給管に残留している材料液を回収することが可能である。
【００１８】
本発明の液滴吐出装置は、材料液を貯留する材料液タンクと、材料液を液滴状態で吐出する吐出ヘッドと、材料液タンクと吐出ヘッドとの間に設けられたサブタンクと、材料液タンクとサブタンクとを連通させて材料液を材料液タンクからサブタンクへ供給するためのタンク供給管と、サブタンクと吐出ヘッドとを連通させて材料液をサブタンクから吐出ヘッドへ供給するためのヘッド供給管と、タンク供給管と連通するタンク回収管と、ヘッド供給管と連通するヘッド回収管と、サブタンクおよびタンク供給管およびヘッド供給管からタンク回収管およびヘッド回収管を介して材料液を回収するための回収駆動部と、回収した材料液を貯留する回収タンクと、を有することを特徴とする。
【００１９】
この液滴吐出装置によれば、材料液交換等の際に、新しい材料液と今まで使用していた材料液とが混合しないように、サブタンクおよびタンク供給管およびヘッド供給管に残留している材料液を回収することが可能である。そのために、吐出ヘッドが吐出する材料液を材料液タンクからサブタンクへ供給するためのタンク供給管と連通して、タンク回収管および回収タンクが設けられている。さらに、サブタンクから吐出ヘッドへ材料液を供給するためのヘッド供給管と連通して、ヘッド回収管および回収タンクが設けられている。残留している材料液の回収は、サブタンクおよびタンク供給管にある材料液を、タンク供給管と連通するタンク回収管へタンク供給管を介して導いて回収タンクへ収容し、サブタンクおよびヘッド供給管にある材料液を、ヘッド供給管と連通するヘッド回収管へヘッド供給管を介して導いて回収タンクへ収容する手順で行う。この時、材料液をタンク回収管およびヘッド供給管へ導くように、回収駆動部が材料液に作用する。これにより、液体吐出装置は、サブタンクおよびタンク供給管およびヘッド供給管に残留している材料液を、全て回収タンクに回収することが可能である。また、材料液タンクとサブタンクとの間にあるタンク供給管に設けられたタンク回収管と、サブタンクと吐出ヘッドとの間にあるヘッド供給管に設けられたヘッド回収管とから材料液をそれぞれ回収することにより、吐出ヘッドから材料液を吐出して回収する場合などに比して、材料液の回収が確実に、且つ、迅速に行える。
【００２０】
この場合、回収駆動部は、サブタンクへ圧力を付与して、サブタンクおよびタンク供給管およびヘッド供給管の材料液を回収タンクへ回収することが好ましい。
【００２１】
この構成によれば、材料液をタンク回収管およびヘッド回収管へ導く回収駆動部の材料液への作用は、サブタンクへ圧力を付与して、材料液をサブタンクからタンク供給管へ押し出し、さらに、タンク供給管からタンク回収管を通って回収タンクまで押し出すことである。同様に、サブタンクへ圧力を付与して、材料液をサブタンクからヘッド供給管へ押し出し、さらに、ヘッド供給管からヘッド回収管を通って回収タンクまで押し出す。サブタンク、タンク供給管およびタンク回収管、ヘッド供給管およびヘッド回収管は、それぞれ連通しており、サブタンクに圧力を加える簡単な構成で、サブタンクおよびタンク供給管およびヘッド供給管に残留している材料液を回収することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。実施形態で例示する液滴吐出装置は、吐出する液体を交換する際などに、液滴吐出装置内に残留する液体を回収するための液体回収機構を備えたものである。
（実施形態１）
【００２３】
最初に、液滴吐出装置の構成について説明する。図１は、液滴吐出装置の外観を示す斜視図である。液滴吐出装置１は、図１に示すように、材料液（液体）４０を液滴として吐出するヘッド部２０を有するヘッド機構部２と、ヘッド部２０から吐出された液滴の吐出対象であるワーク３０を載置するワーク機構部３と、ヘッド部２０への材料液４０の供給および回収をする材料液供給／回収部４と、ヘッド部２０の保守を行うメンテナンス機構部５と、これら各機構部等を総括的に制御する制御部６とを備えている。
【００２４】
さらに、詳細には、液滴吐出装置１は、床上に設置された複数の支持脚８と、支持脚８の上側に設置された定盤９とを備えている。定盤９の上側には、ワーク機構部３が定盤９の長手方向（Ｘ軸方向）に延在するように配置されている。ワーク機構部３の上方には、定盤９に固定された２本の支持柱２１で支持されているヘッド機構部２が、ワーク機構部３と直交する方向（Ｙ軸方向）に延在して配置されている。また、定盤９の側部には、ヘッド機構部２のヘッド部２０から連通して材料液を供給および回収する材料液供給／回収部４が配置されている。そして、ヘッド機構部２の一方の支持柱２１近傍には、メンテナンス機構部５がワーク機構部３と並んでＸ軸方向に配置されている。さらに、定盤９の下側には、制御部６が収容されている。
【００２５】
ヘッド機構部２は、材料液４０を吐出するヘッド部２０と、ヘッド部２０を懸架したヘッドキャリッジ２２と、ヘッドキャリッジ２２のＹ軸方向への移動をガイドするＹ軸ガイド２３と、Ｙ軸ガイド２３の側方にＹ軸ガイド２３と平行に設置されたＹ軸リニアモータ２４と、を備えている。
【００２６】
ワーク機構部３は、ヘッド機構部２の下方に位置し、ヘッド機構部２とほぼ同様の構成でＸ軸方向に配置されており、ワーク３０と、ワーク３０を載置しているワーク載置台３１と、ワーク載置台３１の移動をガイドするＸ軸ガイド３３と、Ｘ軸ガイド３３の側方にＸ軸ガイド３３と平行に設置されたＸ軸リニアモータ３４とを備えている。
【００２７】
これらの構成により、ヘッド部２０とワーク３０とは、それぞれＹ軸方向およびＸ軸方向に往復自在に移動することが可能である。まず、ヘッド部２０の移動について説明する。ヘッド部２０を懸架したヘッドキャリッジ２２は、Ｙ軸ガイド２３に移動可能に取り付けられている。図示されていないが、ヘッドキャリッジ２１からＹ軸リニアモータ２４側へ張り出している突起部が、Ｙ軸リニアモータ２４と係合して駆動力を得ることにより、ヘッドキャリッジ２１がＹ軸ガイド２３に沿って任意の位置に移動する。同様に、ワーク載置台３１に載置されたワーク３０もＸ軸方向に自在に移動する。
【００２８】
このように、ヘッド部２０は、Ｙ軸方向の吐出位置まで移動して停止し、下方にあるワーク３０のＸ軸方向の移動に同調して、材料液４０を液滴として吐出する構成となっている。Ｘ軸方向に移動するワーク３０と、Ｙ軸方向に移動するヘッド部２０とを相対的に制御することにより、ワーク３０上に液滴を吐出して所望する描画などを行うことが可能である。
【００２９】
メンテナンス機構部５は、キャッピングユニット５６、ワイピングユニット５７、およびフラッシングユニット５８のメンテナンスユニットを備えている。さらに、メンテナンスユニットを載置するメンテキャリッジ５１と、メンテキャリッジ５１の移動をガイドするメンテキャリッジガイド５２と、メンテキャリッジ５１と一体の螺合部５５と、螺合部５５が螺合するボールねじ５４と、ボールねじ５４を回転させるメンテモータ５３とを備えている。これにより、メンテモータ５３が正逆回転すると、ボールねじ５４が回転し、螺合部５５を介してメンテキャリッジ５１が、Ｘ軸方向に移動する。メンテキャリッジ５１がヘッド部２０のメンテナンスのために移動するときには、Ｙ軸ガイド２３に沿ってヘッド部２０が移動して、メンテナンスユニットの直上部に臨んでいる。
【００３０】
メンテナンスユニットのキャッピングユニット５６は、液滴吐出装置１が稼動していない時に、図２を参照して後述するヘッド部２０の１２個の吐出ヘッド（吐出部）のそれぞれと密着してキャッピングし、材料液４０が乾燥してヘッド部２０が詰まるなどの不具合が生じないようにする。また、材料液４０の交換時などに、図示していない吸引ポンプにより、新しい材料液４０をヘッド部２０へ強制吸引する役目を果たす。ワイピングユニット５７は、材料液４０の連続吐出後やキャッピングの前にヘッド部２０に付着した材料液４０などを、洗浄液を含むワイピング布で拭い、ヘッド部２０を清浄な状態にする。フラッシングユニット５８は、液滴吐出装置１の稼動開始時やワーク３０への加工前、加工途中および加工後に、フラッシングとして吐出ヘッドから吐出される材料液４０を受け、ヘッド部２０の吐出状態を良好に維持する。
【００３１】
これらのメンテナンスユニットにより、液滴吐出装置１の非稼動時やワーク３０を交換載置している加工待ち時などに、ヘッド部２０の状態を保全して良好な吐出状態を保つことが可能である。
【００３２】
次に、ヘッド部２０への材料液４０の供給および材料液４０の回収をする材料液供給／回収部４は、材料液タンク（液体タンク）４１と、ヘッド部２０との水頭差を維持するために一定の液面位置を維持する機能を果たすサブタンク４２と、材料液タンク４１とサブタンク４２とヘッド部２０とを連通して材料液４０を材料液タンク４１からヘッド部２０へ供給する供給管（供給部）４６と、材料液タンク４１およびサブタンク４２の内部圧力を材料液タンク圧力管６４またはサブタンク圧力管６５を介して調整し、材料液４０をヘッド部２０へ供給するための圧力付与部６０とを備えている。材料液４０の供給については、図３を参照して詳細に後述する。そして、材料液供給／回収部４は、キャッピングユニット５６が吸引した材料液４０を廃液として回収する廃液回収管４８および廃液タンク４４と、フラッシングユニット５８が受けた材料液４０の液滴を廃液として回収する廃液回収管４９および廃液タンク４５とを有する。
【００３３】
また、材料液供給／回収部４は、材料液タンク４１を交換して材料液４０を変更する場合に、サブタンク４２および供給管４６から材料液４０を迅速に回収する材料液回収機構（液体回収機構）としての機能を有する。材料液回収機構は、回収タンク４３と、材料液タンク４１とサブタンク４２との間の供給管４６に連通して回収タンク４３へ材料液４０を導くためのタンク回収管４７と、サブタンク４２内の材料液４０をタンク回収管４７へ押し出すためにエアーによる圧力をサブタンク４２へ付与する圧力付与部６０と、圧力付与部６０からエアーをサブタンク４２へ導くためのサブタンク圧力管６５とを有する。この場合、圧力付与部６０およびサブタンク圧力管６５は、材料液回収機構としての機能を果たす。材料液４０の回収についての詳細は、図４を参照して後で説明する。
【００３４】
次に、ヘッド部２０について簡単に説明する。図２（ａ）は、ヘッド部の詳細を示す平面図であり、図２（ｂ）は、吐出ヘッドを示す平面図である。ヘッド部２０は、図２（ａ）に示すように互いに同じ構造を有する１２個の吐出ヘッド２６を保持している。この図２（ａ）は、ヘッド部２０をワーク載置台３１の側から観察した図である。また、材料液４０を吐出するための吐出ヘッド２６は、図２（ｂ）に示すように、それぞれが吐出ヘッド２６の長手方向に延びる２つのノズル列２８を有している。１つのノズル列２８は、それぞれ１８０個のノズル２７が一列に並んだ列である。ノズル２７からの材料液４０の吐出方法は、圧電素子の振動を利用して材料液４０の液滴を吐出する方式や材料液４０を加熱膨張させて吐出する方式などが知られている。液滴吐出装置１では、加熱による材料液４０の変質などが少ない圧電素子方式を採用している。
【００３５】
次に、材料液４０を材料液タンク４１からヘッド部２０へ供給する機構について説明する。図３は、材料液タンク、サブタンクおよび圧力付与部の構成を示す模式図である。図３に示すように、材料液４０は、材料液タンク４１から供給管（タンク供給管）４６を介してサブタンク４２へ至り、さらに、サブタンク４２から供給管（ヘッド供給管）４６を経てヘッド部２０へ供給される。
【００３６】
材料液タンク４１とサブタンク４２との間の供給管４６には、材料液タンク４１の近傍に材料液タンクバルブ６１と、サブタンク４２の近傍に流入バルブ６２とが設けられている。また、サブタンク４２とヘッド部２０との間には、サブタンクの近傍に流出バルブ６３が設けられている。流入バルブ６２および流出バルブ６３は、電磁弁等で構成されており、制御部６により開閉制御される。サブタンク４２は、圧力付与部６０により、ヘッド部２０の吐出ヘッド２６のノズル２７における圧力が適切な水頭圧となるように負圧制御管理されており、吐出ヘッド２６の駆動に応じて材料液４０を一定の圧力で供給する。この場合、流出バルブ６３は開放状態であり、流入バルブ６２は閉止状態である。これにより、吐出ヘッド２６のノズル２７からの液だれが防止されると共に、材料液４０の吐出が設計上意図したものとなる。
【００３７】
圧力付与部６０は、レギュレータや各種エアーバルブを内蔵し、材料液タンク４１へ材料液タンク圧力管６４を介して正圧を付与し、材料液タンク４１からサブタンク４２へ材料液４０を供給する。材料液４０の供給時には、材料液タンクバルブ６１は開放されている。一方、圧力付与部６０は、サブタンク４２へサブタンク圧力管６５を介して負圧を付与し、サブタンク４２の液位と吐出ヘッド２６のノズル２７との水頭差が、所定圧である例えば−２５ｍｍＨｇとなるように、サブタンク４２内の圧力を減圧制御する。サブタンク４２内の圧力は、制御部６に接続された圧力センサ６６により測定され、圧力センサ６６の測定値に基づいて、制御部６が圧力付与部６０を制御することにより所定値に保たれる。
【００３８】
また、サブタンク４２は、図示していない液面検出部を有していて、サブタンク４２の液面の位置を検出する。液面検出部の検出結果により、サブタンク４２内の液面が下がり液量が所定量より減少していると、流出バルブ６３を閉じて流入バルブ６２を開け、材料液タンク圧力管６４からエアーを注入して、材料液タンク４１の材料液４０を供給管４６からサブタンク４２へ供給する。サブタンク４２の液面が上がり液量が所定量まで増加すると、流入バルブ６２を閉じ、圧力付与部６０によるサブタンク４２内の圧力調整後、流出バルブ６３を開けて材料液４０をヘッド部２０へ供給する。これら一連の制御は、制御部６が行う。この場合、流出バルブ６３を閉じずに、サブタンク４２の圧力調整をしつつ、流入バルブ６２側から材料液４０を受け入れても良い。
【００３９】
なお、サブタンク４２は、貯留する材料液４０の液面上にステンレスなどの金属板、フッ素系樹脂などのいわゆる落し蓋を設置し、液面とエアーとが直接接触する面積を減らすように構成することが好ましい。また、材料液タンク４１においても、サブタンク４２と同様のタンク構成として、サブタンク４２に材料液４０を供給する前に、材料液タンク４１での材料液４０とエアーとの接触を防止することが好ましい。これにより、さらに材料液４０への気泡の混入、材料液４０の変質をほぼ防止することが可能である。
【００４０】
以上説明した実施形態１における液滴吐出装置１の材料液供給／回収部４について、さらに詳細に説明する。図４は、実施形態１における材料液供給／回収部の構成を示す模式図である。図４の模式図に示すように、液滴吐出装置１は、材料液タンク４１を複数個有することが可能であり、この場合３個有している。これら材料液タンク４１は、ワーク３０がカラーフィルタであれば、カラーフィルタを形成するための赤のフィルタ液を材料液４０ａとして貯留する材料液タンク４１ａと、緑のフィルタ液を材料液４０ｂとして貯留する材料液タンク４１ｂと、青のフィルタ液を材料液４０ｃとして貯留する材料液タンク４１ｃとである。材料液４０としては、フィルタ液のほかに、有機ＥＬ（Electro  Luminescence）表示装置を形成するための赤、緑、青の各ＥＬ発光液や、プラズマ表示装置を形成するための赤、緑、青の各プラズマ蛍光液、印刷用紙へ印刷するための赤、青、黄の各印刷インクなどが挙げられる。
【００４１】
材料液４０ａを貯留する材料液タンク４１ａは、供給管（タンク供給管）４６ａを介してサブタンク４２ａと接続している。供給管４６ａは、材料液タンク４１ａ内の材料液４０ａに先端部が浸漬し、材料液タンク４１ａの直近には材料液タンクバルブ６１ａが設けられ、サブタンク４２ａの直近には流入バルブ６２ａが設けられている。そして、供給管４６ａの材料液タンクバルブ６１ａと流入バルブ６２ａとの間に、回収バルブ９０ａが設けられている。回収バルブ９０ａにはタンク回収管４７ａの一端が接続しており、タンク回収管４７ａの他端は回収タンク４３ａに接続している。さらに、サブタンク４２ａは、供給管（ヘッド供給管）４６ｄを介してヘッド部２０ａと接続しており、供給管４６ｄのサブタンク４２ａ直近には流出バルブ６３ａが設けられている。また、材料液タンク４１ａは、材料液タンク圧力管６４ａによって圧力付与部６０と接続しており、サブタンク４２ａは、サブタンク圧力管６５ａによって圧力付与部６０と接続している。このような構成において、材料液４０ａのヘッド部２０ａへの供給は、図２を参照して既述した材料液４０のヘッド部２０への供給に準じて行われる。
【００４２】
同様に、材料液タンク４１ｂの材料液４０ｂは、材料液タンクバルブ６１ｂ、供給管（タンク供給管）４６ｂ、回収バルブ９０ｂ、流入バルブ６２ｂ、サブタンク４２ｂ、流出バルブ６３ｂ、供給管（ヘッド供給管）４６ｅを経てヘッド部２０ｂへ供給される。そして、供給管４６ｂの材料液タンクバルブ６１ｂと流入バルブ６２ｂとの間に、回収バルブ９０ｂが設けられ、回収バルブ９０ｂはタンク回収管４７ｂを介して回収タンク４３ｂと接続している。同じく、材料液４０ｃは、材料液タンクバルブ６１ｃ、供給管（タンク供給管）４６ｃ、回収バルブ９０ｃ、流入バルブ６２ｃ、サブタンク４２ｃ、流出バルブ６３ｃ、供給管（ヘッド供給管）４６ｆを経てヘッド部２０ｃへ供給され、供給管４６ｃには回収バルブ９０ｃが設けられ、回収バルブ９０ｃにタンク回収管４７ｃと回収タンク４３ｃとが接続している。
【００４３】
また、材料液タンク４１ｂは、材料液タンク圧力管６４ｂによって圧力付与部６０と接続しており、サブタンク４２ｂは、サブタンク圧力管６５ｂによって圧力付与部６０と接続している。同じく、材料液タンク４１ｃは、材料液タンク圧力管６４ｃによって圧力付与部６０と接続しており、サブタンク４２ｃは、サブタンク圧力管６５ｃによって圧力付与部６０と接続している。
【００４４】
なお、材料液４０ａをヘッド部２０ａへ供給する場合、制御部６からの指示により、回収バルブ９０ａは、サブタンク４２ａの側へのみ連通するようにタンク回収管４７ａの側が閉止されている。同様に、材料液４０ｂ，４０ｃをそれぞれヘッド部２０ｂ，２０ｃへ供給する場合、回収バルブ９０ｂ，９０ｃは、それぞれタンク回収管４７ｂ，４７ｃの側が閉止されている。
【００４５】
ヘッド部２０ａは、図４に示すように、材料液４０ａを吐出しない時は、キャッピングユニット５６によってキャッピングされ、キャッピング時には、必要に応じて、キャッピングユニット５６が材料液４０ａを強制吸引して、ヘッド部２０ａの清掃および吐出機能維持を図っている。キャッピングユニット５６が吸引した材料液４０ａは、廃液として廃液回収管４８ａを通って廃液タンク４４ａへ一旦回収される。廃液が廃液タンク４４ａに所定量以上溜まると、廃液は、廃液回収管４８ｄを通って廃液タンク４４ｄへ図示していない吸引ポンプによって回収される。同様に、キャッピングユニット５６により吸引された材料液４０ｂ，４０ｃは、それぞれ廃液回収管４８ｂ，４８ｃおよび廃液タンク４４ｂ，４４ｃおよび廃液回収管４８ｅ，４８ｆを介して廃液タンク４４ｅ，４４ｆに回収される。
【００４６】
フラッシングユニット５８は、ヘッド部２０からフラッシングとして一斉に吐出された材料液４０ａ，４０ｂ，４０ｃを受け、各材料液４０が混合した廃液として、廃液回収管４９ａおよび廃液タンク４５ａおよび廃液回収管４９ｂを介して廃液タンク４５ｂへ回収される。
【００４７】
以上説明したような構成により、ヘッド部２０ａ，２０ｂ，２０ｃは、材料液４０ａ，４０ｂ，４０ｃの供給を受けて吐出を行うことができ、ヘッド部２０のメンテナンスのためにキャッピングユニット５６およびフラッシングユニット５８によって吸引または吐出された材料液４０は、廃液タンク４４，４５へ回収される。こうして材料液４０のヘッド部２０への供給およびメンテナンスによる廃液の処理が機能して、ワーク３０への液滴吐出加工が行われる。
【００４８】
次に、材料液タンク４１を交換して、既使用の材料液４０と異なる新しい材料液４０を使用するために、供給管４６およびサブタンク４２の既使用の材料液４０を回収する材料液回収機構（液体回収機構）について説明する。ここでは、材料液タンク４１ａの材料液４０ａを交換する場合を例にして説明する。この場合、詳細な材料液回収機構は、材料液タンクバルブ６１ａ、回収バルブ９０ａ、流入バルブ６２ａ、流出バルブ６３ａ、タンク回収管４７ａ、回収タンク４３ａ、圧力付与部６０、サブタンク圧力管６５ａにより構成されている。
【００４９】
まず、材料液タンク４１ａを交換するために材料液タンクバルブ６１ａを閉じる。次に、サブタンク４２ａの近傍の流入バルブ６２ａおよび流出バルブ６３ａを開け、さらに、供給管４６ａとタンク回収管４７ａとが連通するように回収バルブ９０ａを開放する。ヘッド部２０ａは、キャッピングの状態とする。この状態において、サブタンク４２ａに、圧力付与部６０からサブタンク圧力管６５ａを通じて圧縮したエアーを付与する。サブタンク４２ａ内の材料液４０ａは、エアーの圧力によって、流入バルブ６２ａを通り、供給管４６ａから回収バルブ９０ａを経てタンク回収管４７ａへ至り、供給管４６ａ内の材料液４０ａと共に回収タンク４３ａに回収される。この場合、供給管４６ａ内の材料液４０ａを残留させること無く回収するために、回収バルブ９０ａは、図４の示す位置よりも、供給管４６ａの材料液タンクバルブ６１ａの直近へ設けておくことが望ましい。
【００５０】
サブタンク４２ａのほとんどの材料液４０ａと供給管４６ａの材料液４０ａとは、タンク回収管４７ａを介して回収タンク４３ａへ回収されるが、供給管４６ｄの材料液４０ａとサブタンク４２ａの一部の材料液４０ａは、ヘッド部２０ａを経由してキャッピングユニット５６から回収される。圧力付与部６０からの圧縮エアーにより、供給管４６ｄの材料液４０ａをヘッド部２０ａへ押し出すことにより、ヘッド部２０ａの吐出機構によって供給管４６ａの材料液４０ａを吐出して回収する場合に比べ、より迅速に回収することが可能である。この場合、ノズル２７が清浄であれば、廃液タンク４４ａを回収タンク４３ａにすることにより、回収した材料液４０ａを再利用することも可能である。
【００５１】
また、圧力付与部６０から付与するエアーの圧力を、サブタンク４２ａおよび供給管４６ａ，４６ｄが耐えうる範囲の高圧にして、サブタンク４２ａ内へ付与すれば、サブタンク４２ａおよび供給管４６ａ，４６ｄの材料液４０ａの回収がより迅速に行える。このように、材料液回収機構部は、材料液４０の供給時に材料液タンク４１ａ内の加圧およびサブタンク４２内の減圧を制御するための圧力付与部６０を、材料液の回収時にも利用しており、材料液４０ａの回収のために新たな装置の付加が不要である。
【００５２】
同様な操作により、サブタンク４２ｂ、供給管４６ｂ，４６ｅの材料液４０ｂの回収、および、サブタンク４２ｃ、供給管４６ｃ，４６ｆの材料液４０ｃの回収を迅速に行うことが可能である。
【００５３】
次に、液滴吐出装置１を制御する制御部６について説明する。図５は、液滴吐出装置の制御部の構成を示すブロック図である。制御部６は、入出力インターフェイス７１、ＣＰＵ（Central  Processing  Unit）７２、ＲＯＭ（Read  Only  Memory）７３、ＲＡＭ（Random  Access  Memory）７４を有し、ＣＰＵ７２が入出力インターフェイス７１を介して入力される各種信号をＲＡＭ７４に記憶させるなど、ＲＯＭ７３の記憶するプログラムに基づいて処理し、入出力インターフェイス７１を介して制御信号を出力する。
【００５４】
出力された制御信号は、ヘッドドライバ８１、モータドライバ８２、圧力ドライバ８３、バルブドライバ８４、およびメンテドライバ８５のいずれかに入力される。ヘッドドライバ８１は、ヘッド部２０における材料液４０の吐出を制御し、ワーク３０上に所定の描画などが行えるようにする。モータドライバ８２は、ヘッドドライバ８１の制御と同調して、Ｘ軸リニアモータ３４、Ｙ軸リニアモータ２４を制御し、ワーク３０、ヘッド部２０の移動を制御する。さらに、メンテモータ５３を制御してメンテナンス機構部５の必要なユニットをメンテナンス位置へ移動させる。圧力ドライバ８３は、圧力付与部６０を制御し、材料液４０の吐出状態に対応してサブタンク４２の減圧制御および材料液タンク４１への加圧制御を行う。また、材料液４０の回収時には、サブタンク４２へ圧縮エアーを付与して加圧する。バルブドライバ８４は、材料液タンクバルブ６１、流入バルブ６２、流出バルブ６３、回収バルブ９０を制御する。そして、メンテドライバ８５は、メンテナンス機構部５のキャッピングユニット５６、ワイピングユニット５７およびフラッシングユニット５８を制御して、ヘッド部２０のノズル２７を、常に、良好な状態に保つ役割を果たす。
【００５５】
以上、実施形態１として、材料液回収機構を備えた液滴吐出装置１について説明した。以下に、その効果をまとめて記載する。
【００５６】
（１）材料液タンク４１とサブタンク４２とを接続する供給管４６に連通してそれぞれタンク回収管４７を設け、サブタンク４２へ圧力を付与して材料液４０を押し出す簡便な構成により、サブタンク４２および供給管４６に残留するそれぞれの材料液４０を、迅速に回収することが可能である。
【００５７】
（２）材料液タンク４１とヘッド部２０との間にサブタンク４２を設けることにより、ヘッド部２０とサブタンク４２との水頭差を一定に維持できると共に、材料液４０の少なくなった材料液タンク４１を交換している時にも、ヘッド部２０から材料液４０を継続して吐出することが可能である。
【００５８】
（３）タンク回収管４７から回収タンク４３へ回収されたサブタンク４２および供給管４６の材料液４０は、キャッピングまたはフラッシングにより、ヘッド部２０をメンテナンスした材料液４０とは別途に回収されるため、汚れ、劣化のほとんどない再利用可能な材料液４０として回収可能である。
（実施形態２）
【００５９】
次に、本発明の実施形態２について説明する。実施形態２の液滴吐出装置１は、実施形態１とほぼ同様な構成であるが、実施形態１における材料液回収機構のタンク回収管４７ａ，４７ｂ，４７ｃおよび回収バルブ９０ａ，９０ｂ，９０ｃの設置位置を変更して備えている。以下では、実施形態１と異なる材料液回収機構の部分について主に説明する。
【００６０】
図６は、実施形態２における材料液供給／回収部の構成を示す模式図である。実施形態２における材料液供給／回収部４の材料液回収機構は、材料液タンク４１ａの材料液４０ａを交換するために、材料液タンクバルブ６１ａと、流入バルブ６２ａと、流出バルブ６３ａと、サブタンク４２ａとヘッド部２０ａとを接続する供給管４６ｄの流出バルブ６３ａとヘッド部２０ａとの間に設けられている回収バルブ９１ａと、回収バルブ９１ａに一端が接続しているヘッド回収管６９ａと、ヘッド回収管６９ａの他端が接続している回収タンク６８ａと、圧力付与部６０と、圧力付与部６０とサブタンク４２ａとを接続するサブタンク圧力管６５ａとで構成されている。
【００６１】
また、材料液回収機構は、材料液タンク４１ｂの材料液４０ｂを交換するために、材料液タンクバルブ６１ｂと、流入バルブ６２ｂと、流出バルブ６３ｂと、サブタンク４２ｂとヘッド部２０ｂとを接続する供給管４６ｅの流出バルブ６３ｂとヘッド部２０ｂとの間に設けられている回収バルブ９１ｂと、回収バルブ９１ｂに一端が接続しているヘッド回収管６９ｂと、ヘッド回収管６９ｂの他端が接続している回収タンク６８ｂと、圧力付与部６０とサブタンク４２ｂとを接続するサブタンク圧力管６５ｂとを有している。同様に、材料液タンク４１ｃの材料液４０ｃを交換するために、材料液タンクバルブ６１ｃと、流入バルブ６２ｃと、流出バルブ６３ｃと、回収バルブ９１ｃと、ヘッド回収管６９ｃと、回収タンク６８ｃと、サブタンク圧力管６５ｃとを有している。
【００６２】
このような構成において、材料液タンク４１ａを交換する手順を、例として、説明する。まず、材料液タンクバルブ６１ａを閉じて、材料液４０の入っていない材料液タンク４１ａに交換する。次に、交換した材料液タンク４１ａへ材料液タンク圧力管６４ａから圧縮エアーを導入して、材料液タンク４１ａ内の圧力を高める。そして、材料液タンクバルブ６１ａおよび流入バルブ６２ａを開けて、エアー圧により、供給管４６ａの材料液４０ａをサブタンク４２ａへ押し出し、流入バルブ６２ａを閉じる。
【００６３】
次に、流出バルブ６３ａを開け、さらに、供給管４６ｄとヘッド回収管６９ａとが連通するように回収バルブ９１ａを開放する。ヘッド部２０ａは、キャッピングの状態とする。この状態において、サブタンク４２ａに、圧力付与部６０からサブタンク圧力管６５ａを通じて圧縮したエアーを付与する。サブタンク４２ａ内の材料液４０ａは、エアーの圧力によって、流出バルブ６３ａを通り、供給管４６ｄから回収バルブ９１ａを経てヘッド回収管６９ａへ至り、供給管４６ｄ内の材料液４０ａと共に回収タンク６８ａに回収される。この場合、供給管４６ｄ内の材料液４０ａを残留させること無く回収するために、回収バルブ９１ａは、図６の示す位置よりも、ヘッド部２０ａの直近へ設けておくことが望ましい。
【００６４】
同様な操作により、サブタンク４２ｂ、供給管４６ｂ，４６ｅの材料液４０ｂの回収、および、サブタンク４２ｃ、供給管４６ｃ，４６ｆの材料液４０ｃの回収が可能である。
【００６５】
以上、実施形態２として、材料液回収機構を備えた液滴吐出装置１について説明した。以下に、その効果を記載する。
【００６６】
（１）材料液タンク４１およびサブタンク４２並びにサブタンク４２およびヘッド部２０とをそれぞれ接続する供給管４６から材料液４０を回収し、ヘッド部２０から吸引回収しない構成であるため、メンテナンスによってヘッド部２０から吸引処理された材料液４０と混合され廃液として処理されることが無く、残留する全ての材料液４０を吐出前の再使用可能な状態で回収可能である。
（実施形態３）
【００６７】
次に、本発明の実施形態３について説明する。実施形態３の液滴吐出装置は、実施形態１および２とほぼ同様な構成であるが、実施形態１のタンク回収管４７ａ，４７ｂ，４７ｃおよび回収バルブ９０ａ，９０ｂ，９０ｃと、実施形態２のヘッド回収管６９ａ，６９ｂ，６９ｃおよび回収バルブ９１ａ，９１ｂ，９１ｃとを共に有する材料液回収機構を備えている。以下では、実施形態１および２と異なる材料液回収機構の部分について主に説明する。
【００６８】
図７は、実施形態３における材料液供給／回収部の構成を示す模式図である。実施形態３における材料液供給／回収部４の材料液回収機構は、材料液タンク４１ａの材料液４０ａを交換するために、材料液タンク４１ａとサブタンク４２ａとを接続する供給管４６ａに設けられている回収バルブ９０ａと、回収バルブ９０ａに一端が接続しているタンク回収管４７ａと、タンク回収管４７ａの他端が接続している回収タンク４３ａとを有している。また、材料液回収機構は、サブタンク４２とヘッド部２０との間においても材料液４０を回収する構成であって、サブタンク４２ａとヘッド部２０ａとを接続する供給管４６ｄに設けられている回収バルブ９１ａと、回収バルブ９１ａに一端が接続しているヘッド回収管６９ａと、ヘッド回収管６９ａの他端が接続している回収タンク６８ａとを有し、さらに、圧力付与部６０と、圧力付与部６０とサブタンク４２ａとを接続するサブタンク圧力管６５ａとを有している。
【００６９】
同様に、材料液タンク４１ｂの材料液４０ｂを交換するために、材料液タンク４１ｂとサブタンク４２ｂとを接続する供給管４６ｂに設けられている回収バルブ９０ｂと、回収バルブ９０ｂに接続しているタンク回収管４７ｂおよび回収タンク４３ｂと、サブタンク４２ｂとヘッド部２０ｂとを接続する供給管４６ｅに設けられている回収バルブ９１ｂと、ヘッド回収管６９ｂと、回収タンク６８ｂとを有している。
【００７０】
そして、材料液タンク４１ｃの材料液４０ｃを交換するために、材料液タンク４１ｃとサブタンク４２ｃとを接続する供給管４６ｃに設けられている回収バルブ９０ｃと、回収バルブ９０ｃに接続しているタンク回収管４７ｃおよび回収タンク４３ｃと、サブタンク４２ｃとヘッド部２０ｃとを接続する供給管４６ｆに設けられている回収バルブ９１ｃと、ヘッド回収管６９ｃと、回収タンク６８ｃとを有している。
【００７１】
このような構成において、材料液タンク４１ａを交換する手順を、例として、説明する。まず、材料液タンクバルブ６１ａを閉じ、次に、流入バルブ６２ａおよび流出バルブ６３ａを開ける。そして、供給管４６ａとタンク回収管４７ａとが連通するように回収バルブ９０ａを開放し、供給管４６ｄとヘッド回収管６９ａとが連通するように回収バルブ９１ａを開放する。この状態において、サブタンク４２ａに、圧力付与部６０からサブタンク圧力管６５ａを通じて圧縮したエアーを付与する。サブタンク４２ａ内の材料液４０ａは、エアーの圧力によって、流入バルブ６２ａを通り、供給管４６ａから回収バルブ９０ａを経てタンク回収管４７ａへ至り、供給管４６ａ内の材料液４０ａと共に回収タンク４３ａに回収される。
【００７２】
また、サブタンク４２ａ内の材料液４０ａの一部は、エアーの圧力によって、流出バルブ６３ａを通り、供給管４６ｄから回収バルブ９１ａを経てヘッド回収管６９ａへ至り、供給管４６ｄ内の材料液４０ａと共に回収タンク６８ａに回収される。この場合、供給管４６ａ内の材料液４０ａを残留させること無く回収するために、回収バルブ９０ａは、材料液タンクバルブ６１ａの直近へ設け、且つ、供給管４６ｄ内の材料液４０ａを残留させること無く回収するために、回収バルブ９１ａは、ヘッド部２０ａの直近へ設けておくことが望ましい。
【００７３】
同様な操作により、サブタンク４２ｂ、供給管４６ｂ，４６ｅの材料液４０ｂの回収、および、サブタンク４２ｃ、供給管４６ｃ，４６ｆの材料液４０ｃの回収を行うことが可能である。
【００７４】
以上、実施形態３として、材料液回収機構を備えた液滴吐出装置１について説明した。以下に、その効果を記載する。
【００７５】
（１）材料液回収機構は、材料液タンク４１とサブタンク４２との間、および、サブタンク４２とヘッド部２０との間の両部から材料液４０を回収する構成であるため、液滴吐出装置１内の材料液４０、特にサブタンク４２内の材料液４０を、より迅速に回収することが可能である。従って、材料液４０の交換等による液滴吐出装置１の可動停止時間を極力抑制することが可能である。
【００７６】
また、本発明は上記の各実施形態に限定されるものではなく、次に挙げる変形例のような形態であっても、実施形態と同様な効果が得られる。
【００７７】
（変形例１）材料液タンク４１とサブタンク４２との間から回収した材料液４０を収容する回収タンク４３は、材料液タンク４０を外してその位置へ設置しても良い。これにより、回収バルブ９０とタンク回収管４７を設けずに、サブタンク４２および供給管４６ａ，４６ｂ，４６ｃの材料液４０を回収可能である。
【００７８】
（変形例２）サブタンク４２へ加圧して、材料液４０を回収タンク４３，６８へ回収することに限定せず、吸引ポンプなどにより、回収タンク４３，６８へ材料液４０を吸引して回収しても良い。吸引回収することにより、サブタンク４２を加圧する場合に必要である回収バルブ９０を材料液タンクバルブ６１の近傍へ設置すること、および、回収バルブ９１をヘッド部２０の近傍へ設置することの制限無しで、全ての材料液４０を回収可能である。
【００７９】
（変形例３）材料液４０ａを回収する回収タンク４３ａと回収タンク６８ａとは、別個のタンクでなく、一つのタンクであっても良い。同様に、材料液４０ｂを回収する回収タンク４３ｂと回収タンク６８ｂおよび材料液４０ｃを回収する回収タンク４３ｃと回収タンク６８ｃとが、それぞれ一つのタンクであっても良い。回収タンク４３，６８を少なくでき、材料液回収機構の省スペース化を図れる。
【００８０】
（変形例４）ヘッド部２０の近傍に、材料液４０を貯留する第二サブタンクと、ヘッド部２０側が第二サブタンク側より所定圧力以下になれば開放して材料液４０を通過させる自己封止バルブとを設け、ヘッド部２０へ供給する材料液４０の量および圧力をよりきめ細かく管理しても良い。これにより、ノズル２７からの液滴吐出がより安定する。
【００８１】
（変形例５）圧力付与部６０がサブタンク４２へ付与する圧力は、エアーによる付与に限定されない。窒素ガスなどの不活性ガスを使用すれば、エアーとの接触によって変質しやすい材料液４０であっても、材料液４０の変質等をほぼ防止可能である。
【００８２】
（変形例６）廃液タンク４４ａで一旦回収し、廃液タンク４４ａが所定量になってから廃液タンク４４ｄへ移すような構成ではなく、どちらかの廃液タンクのみであっても良い。廃液タンク４４ｂと４４ｅおよび廃液タンク４４ｃと４４ｆおよび廃液タンク４５ａと４５ｂも同様にどちらかの廃液タンクのみでも良い。さらに、廃液タンク４４，４５をまとめて一つの廃液タンクとしても良い。
【産業上の利用可能性】
【００８３】
液滴吐出装置１は、ワーク３０としてのカラーフィルタ、有機ＥＬ表示装置、プラズマ表示装置、印刷用紙などに対応して、各種の材料液４０を選択することが可能である。大型の表示装置では、ワーク３０としての基板サイズが１．５ｍ×１．８ｍ程度のものがあり、このようなワーク３０を加工する液滴吐出装置１には、１０リットルの材料液タンク４１、８リットルのサブタンク４２、５ｍ〜１０ｍの長さの供給管４６などが備えられており、材料液４０の交換時などにおいて、液滴吐出装置１内に多量の材料液４０が残留している。本発明の材料液回収機構または材料液回収機構を備えた液滴吐出装置を用いれば、多量の材料液４０が残留していても、迅速に材料液４０を回収することができ、加工するワーク３０に対応しての段取り変えを、すばやく行うことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００８４】
【図１】液滴吐出装置の外観を示す斜視図。
【図２】（ａ）ヘッド部の詳細を示す平面図、（ｂ）吐出ヘッドを示す平面図。
【図３】材料液タンク、サブタンクおよび圧力付与部の構成を示す模式図。
【図４】実施形態１における材料液供給／回収部の構成を示す模式図。
【図５】液滴吐出装置の制御部の構成を示すブロック図。
【図６】実施形態２における材料液供給／回収部の構成を示す模式図。
【図７】実施形態３における材料液供給／回収部の構成を示す模式図。
【符号の説明】
【００８５】
１…液滴吐出装置、２…ヘッド機構部、３…ワーク機構部、４…材料液供給／回収機構部、５…メンテナンス機構部、６…制御部、２０…ヘッド部、２６…吐出部としての吐出ヘッド、３０…ワーク、４０…液体としての材料液、４１…液体タンクとしての材料液タンク、４２…サブタンク、４３…回収タンク、４６ａ，４６ｂ，４６ｃ…供給部およびタンク供給管としての供給管、４６ｄ，４６ｅ，４６ｆ…供給部およびヘッド供給管としての供給管、４７…回収部としてのタンク回収管、６０…回収駆動部としての圧力付与部、６１…材料液タンクバルブ、６２…流入バルブ、６３…流出バルブ、６４…材料液タンク圧力バルブ、６５…サブタンク圧力バルブ、６８…回収タンク、６９…ヘッド回収管、８３…圧力ドライバ、８４…バルブドライバ、９０，９１…回収バルブ。
【図１】
2008049310.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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