(57)【要約】【課題】ＰＴＰ現象を抑え、減圧環境における信頼性の高い垂直磁気記録ヘッド装置を提供すること。【解決手段】本発明の垂直磁気ヘッド装置は、記録媒体Ｍとの対向面で露出する主磁極を有する磁性層２４と、前記磁性層２４上に非磁性層を介して設けられたリターンヨーク層２７と、前記磁性層２４及び前記リターンヨーク層２７に記録磁界を与えるためのコイル層１８，２３と、記録媒体Ｍとの対向面で露出する読み取り素子１４を有する絶縁層１５を挟持する一対のシールド層１３，１６と、を具備し、リターンヨーク層２７は、平面視において主磁極のトラック幅方向の幅が狭められた位置からハイト方向奥側に延在する開口部２７ｄを有する。【選択図】図３
2008108352.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録媒体との対向面で露出する主磁極を有する第１磁性層と、前記磁性層に対して非磁性層を介して設けられ、前記主磁極に対して幅広である第２磁性層と、前記第１磁性層に記録磁界を与えるためのコイル層と、を具備し、前記第２磁性層は、平面視において、主磁極と重なり、かつ媒体対向面に露出する面がトラック幅方向に延在しており、ハイト方向奥側に延在する開口部を有することを特徴とする垂直磁気記録ヘッド装置。
【請求項２】
前記開口部は、前記主磁極のトラック幅方向の幅が狭められた位置からハイト方向奥側に延在することを特徴とする請求項１記載の垂直磁気記録ヘッド装置。
【請求項３】
前記第２磁性層がリターンヨーク層である場合において、前記開口部は、前記対向面よりもハイト方向奥側に存在する接続部に達しない位置まで形成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の垂直磁気記録ヘッド装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、記録媒体の媒体面に対して垂直方向に磁界を与えて記録を行う垂直磁気記録ヘッド装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
垂直磁気記録ヘッド装置は、記録媒体に対向する面（媒体対向面）に、主磁極層上に対して非磁性絶縁層を介してリターンヨーク層を設けてなる積層構造を有する。主磁極層とリターンヨーク層とは、媒体対向面よりもハイト方向における奥部で磁気的に接続されている。また、非磁性絶縁層内には、主磁極層及びリターンヨーク層に記録磁界を与えるためのコイル層が埋設されている。このような構成を有する磁気ヘッド装置において、コイル層に通電することにより、主磁極層とリターンヨーク層との間に記録磁界が誘導され、この記録磁界が主磁極層の媒体対向面から記録媒体のハード膜に垂直に入射し、記録媒体のソフト膜を通ってリターンヨーク層に帰還する。これにより、記録媒体における主磁極層と対向する領域に情報記録される（特許文献１）。
【特許文献１】特開２００５−１２２８３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
垂直磁気記録ヘッド装置においては、情報記録時に内部の温度が高くなると、シールド層のような磁性層を構成する材料と、その磁性層の周囲の絶縁材料などとの間での熱膨張係数の違いにより、前記磁性層が媒体対向面から突出し易くなるという、いわゆるＰＴＰ（Pole Tip Protrusion）現象が起こる。この場合、ＰＴＰ現象が起こって、前記磁性層の突き出しが大きくなると、減圧環境でヘッド浮上量が低下したときに媒体とヘッドとの間の間隔が狭くなって信頼性が低下するという問題がある。
【０００４】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、ＰＴＰ現象を抑え、減圧環境における信頼性の高い垂直磁気記録ヘッド装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の垂直磁気記録ヘッド装置は、記録媒体との対向面で露出する主磁極を有する第１磁性層と、前記磁性層に対して非磁性層を介して設けられ、前記主磁極に対して幅広である第２磁性層と、前記第１磁性層に記録磁界を与えるためのコイル層と、を具備し、前記第２磁性層は、平面視において、主磁極と重なり、かつ媒体対向面に露出する面がトラック幅方向に延在しており、ハイト方向奥側に延在する開口部を有することを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、リターンヨーク層の体積が相対的に少ないので、リターンヨーク層の構成材料とその周辺の層の構成材料との間での熱膨張係数の違いの影響を小さくすることができ、その結果ＰＴＰ現象を抑えることができる。
【０００７】
本発明の垂直磁気記録ヘッド装置においては、前記開口部は、前記主磁極のトラック幅方向の幅が狭められた位置からハイト方向奥側に延在することが好ましい。
【０００８】
本発明の垂直磁気記録ヘッド装置においては、前記第２磁性層がリターンヨーク層である場合において、前記開口部は、前記対向面よりもハイト方向奥側に存在する接続部に達しない位置まで形成されていることが好ましい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の垂直磁気記録ヘッド装置は、記録媒体との対向面で露出する主磁極を有する第１磁性層と、前記磁性層に対して非磁性層を介して設けられ、前記主磁極に対して幅広である第２磁性層と、前記第１磁性層に記録磁界を与えるためのコイル層と、を具備し、前記第２磁性層は、平面視において、主磁極と重なり、かつ媒体対向面に露出する面がトラック幅方向に延在しており、ハイト方向奥側に延在する開口部を有するので、ＰＴＰ現象を抑え、減圧環境における信頼性の高い垂直磁気記録ヘッド装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明の実施の形態に係る垂直磁気記録ヘッドを備えた磁気ヘッドを示す縦断面図である。図２は、図１に示す垂直磁気記録ヘッドの部分平面図及びリターンヨーク層の部分正面図である。図１において、Ｘはトラック幅方向を示し、Ｙはハイト方向を示し、Ｚは膜厚方向を示す。各方向は残り２つの方向に対して直交する関係となっている。なお、本実施の形態においては、開口部を有する磁性層がリターンヨーク層である場合について説明する。
【００１１】
図１に示す垂直磁気記録ヘッドＨＷは、記録媒体Ｍに垂直磁界を与え、記録媒体Ｍのハード膜Ｍａを垂直方向に磁化させる。記録媒体Ｍは、例えばディスク状であり、その表面に残留磁化の高いハード膜Ｍａを有し、その内側に磁気透過率の高いソフト膜Ｍｂを有しており、ディスクの中心が回転中心となって回転するように構成されている。
【００１２】
スライダ１０は、Ａｌ２Ｏ３・ＴｉＣなどの非磁性材料で構成されている。スライダ１０の対向面１０ａは記録媒体Ｍに対向しており、記録媒体Ｍが回転すると、表面の空気流によりスライダ１０が記録媒体Ｍの表面から浮上し、又はスライダ１０が記録媒体Ｍに摺動する。スライダ１０のトレーリング側端面（上面）１０ｂには、Ａｌ２Ｏ３又はＳｉＯ２などの無機材料で構成された非磁性絶縁層１２が形成されており、この非磁性絶縁層１２上に読取り部ＨＲが形成されている。
【００１３】
読取り部ＨＲは、非磁性絶縁層１２上に形成された下部シールド層１３と、下部シールド層１３上に無機絶縁層（ギャップ絶縁層）１５を介して形成された上部シールド層１６とを有する。これらのシールド層１３，１６は、主磁極に対して幅広に形成されている。無機絶縁層１５内には、読み取り素子１４が設けられている。読み取り素子１４としては、ＡＭＲ（Anisotropic  MagnetoResistance）素子 、ＧＭＲ（Giant  MagnetoResistance）素子、ＴＭＲ（Tunnel  MagnetoResistance）素子などの磁気抵抗効果素子が用いられる。
【００１４】
上部シールド層１６上には、コイル絶縁下地層１７を介して、導電性材料で構成された複数本の下層コイル片１８が形成されている。下層コイル片１８は、例えばＡｕ，Ａｇ，Ｐｔ，Ｃｕ，Ｃｒ，Ａｌ，Ｔｉ，ＮｉＰ，Ｍｏ，Ｐｄ，Ｒｈ，Ｎｉから選ばれた少なくとも１種の金属材料で構成される。また、下層コイル片１８は、これらの非磁性金属材料で構成された層を積層して構成しても良い。
【００１５】
下層コイル片１８の周囲には、Ａｌ２Ｏ３などの無機絶縁材料や、レジストなどの有機絶縁材料で形成されたコイル絶縁層１９が形成されている。コイル絶縁層１９の上面は平坦に形成され、この上面に、メッキ下地層（図示せず）が形成され、このメッキ下地層上に、主磁極層２４が設けられている。主磁極層２４の周囲は、Ａｌ２Ｏ３やＳｉＯ２などで構成された絶縁層３２によって埋められ、主磁極層２４の上面と絶縁層３２の上面とが略同一平面になるように平坦化処理されている。主磁極層２４は、例えばＮｉＦｅ、ＣｏＦｅ、ＮｉＦｅＣｏなどの飽和磁束密度の高い強磁性材料で構成されており、例えばメッキにより形成される。
【００１６】
図２に示すように、主磁極層２４は、記録媒体との対向面Ｈ１ａ（対向面Ｈ１ａはスライダ１０の対向面１０ａと略同一平面で形成されている）からハイト方向（図示Ｙ方向）にトラック幅Ｔｗで形成された細長い形状の前方部２４ａと、前方部２４ａのハイト方向後方において前方部２４ａよりもトラック幅方向（図示Ｘ方向）の幅寸法が広い後方部２４ｂ（最大幅寸法Ｔ２）とを有する。
【００１７】
図１に示すように、主磁極層２４上には、Ａｌ２Ｏ３又はＳｉＯ２などの無機材料で構成された非磁性層であるギャップ層２１が形成されている。ギャップ層２１上には、コイル絶縁下地層２２を介して上層コイル片２３が形成されている。ギャップ層２１は、上層コイル片２３の絶縁下地としても機能しているので、コイル絶縁下地層２２は形成されていなくても良い。上層コイル片２３は、下層コイル片１８と同様に、導電性材料によって複数本形成されている。上層コイル片２３は、例えばＡｕ，Ａｇ，Ｐｔ，Ｃｕ，Ｃｒ，Ａｌ，Ｔｉ，ＮｉＰ，Ｍｏ，Ｐｄ，Ｒｈ，Ｎｉから選ばれた少なくとも１種の金属材料で構成される。また、上層コイル片２３は、これらの非磁性金属材料で構成された層を積層して構成しても良い。
【００１８】
下層コイル片１８と上層コイル片２３とは、図２に示すように、ソレノイド状に配置され、各コイル片のトラック幅方向（図示Ｘ方向）における端部同士が電気的に接続されている。下層コイル片１８及び上層コイル片２３には、それぞれ引き出し部１８ａ，２３ａが形成されており、この引き出し部１８ａ、２３ａから電流がソレノイド状コイルに供給されるようになっている。
【００１９】
上層コイル片２３上には、Ａｌ２Ｏ３などの無機絶縁材料や、レジストなどの有機絶縁材料で構成されたコイル絶縁層２６が形成されている。また、本実施の形態においては、ギャップ層２１上に、無機材料又は有機材料で構成された間隔調整絶縁層２８が形成されている。コイル絶縁層２６の前縁は、間隔調整絶縁層２８上に重なっている。図２に示すように、間隔調整絶縁層２８の前縁２８ａは、トラック幅方向（図示Ｘ方向）と略平行な方向に向けて直線状に延在している。間隔調整絶縁層２８の前縁２８ａは、対向面Ｈ１ａからハイト方向に所定距離（ギャップデプス）Ｌ１だけ離れて形成されている。間隔調整絶縁層２８は、図２に示すように、トラック幅方向（図示Ｘ方向）に長く延在している。間隔調整絶縁層２８の前縁２８ａの幅寸法Ｔ３は、少なくとも主磁極層２４の最大幅寸法Ｔ２よりも小さく形成される。
【００２０】
ソレノイド状のコイル層を用いる場合、上層コイル片２３のトラック幅方向の幅寸法は、主磁極層２４の最大幅寸法Ｔ２よりも必ず大きくなるので、上層コイル片２３上を覆うコイル絶縁層２６の最大幅寸法Ｔ４は、主磁極層２４の最大幅寸法Ｔ２より必ず大きくなる。間隔調整絶縁層２８は、例えば有機絶縁材料で構成され、熱硬化により形成される。熱処理により間隔調整絶縁層２８の縦断面形状は、矩形状から略半楕円形状（あるいは少なくとも上面は曲面状）となる。間隔調整絶縁層２８上に一部重なってハイト方向に向けて形成されるコイル絶縁層２６も有機絶縁材料で構成され、熱硬化により形成されたものであり、コイル絶縁層２６の対向面側上面は、間隔調整絶縁層２８の上面から曲面形状に盛り上がって形成される。間隔調整絶縁層２８及びコイル絶縁層２６（以下、この２層を「絶縁層３０」と称する場合がある）は、ギャップ層２１の上面を基準平面としたとき、基準平面よりも上方（図示Ｚ方向）に盛り上がって形成されている。絶縁層３０の周囲には、ギャップ層２１の上面が露出している。以下では、間隔調整絶縁層２８の前縁２８ａと対向面Ｈ１ａとの間の領域を前方領域Ａと称し、絶縁層３０のトラック幅方向（図示Ｘ方向）における両側の領域を両側領域Ｂと称する。
【００２１】
図１及び図２に示すように、前方領域Ａ上、絶縁層３０上、及び両側領域Ｂ上には、パーマロイなどの磁性材料で構成された第２磁性層であるリターンヨーク層２７が形成されている。図１に示すように、リターンヨーク層２７のハイト方向の後端部は、主磁極層２４と磁気的に接続する接続部２７ｃとなっている。リターンヨーク層２７上は、無機絶縁材料などで構成された保護層３１により覆われている。なお、第２磁性層としては、接続部２７ｃを有しない、すなわち主磁極を有する磁性層と磁気的結合のない、単なるシールド作用を有する層であっても良い。このリターンヨーク層２７は、主磁極に対してトラック幅方向に幅広に形成されている。
【００２２】
リターンヨーク層２７は、中央部２７ａと、中央部２７ａのトラック幅方向（図示Ｘ方向）の両側に位置する両側端部２７ｂとで形成される。中央部２７ａは、主磁極層２４と膜厚方向（図示Ｚ方向）で対向する位置に形成されている。図１及び図２に示すように、中央部２７ａには、絶縁層３０上から前方領域Ａ上にかけて上方に向けて突出する突出部２７ａ１が形成されている。絶縁層３０上に形成されるリターンヨーク層２７は、そもそも絶縁層３０が両側領域Ｂよりも盛り上がって形成されているから両側領域Ｂ上に形成されるリターンヨーク層２７に比べて突出して形成される。このとき、絶縁層３０上に形成されるリターンヨーク層２７の膜厚と、両側領域Ｂ上に形成されるリターンヨーク層２７の膜厚はあまり変わらない。なお、リターンヨーク層２７の厚さは、ＰＴＰ現象を抑制することを考慮すると、０．１μｍ〜１．０μｍであることが好ましい。
【００２３】
本発明に係る垂直磁気記録ヘッドにおけるリターンヨーク層２７は、図３に示すように、主磁極層２４と重なり、かつ媒体対向面に露出する面がトラック幅方向に延在しており、ハイト方向奥側に延在する開口部２７ｄを有する。本発明で課題とするＰＴＰ現象は、コイル通電による発熱の影響ではなく、外部環境の影響により起こる現象である。コイル通電により発熱の影響であれば、熱を逃がす経路を設けることにより解決することが可能であるが、外部環境の影響の場合、熱を逃がす経路を設けても熱の影響を低減させる効果が低いと考えられる。本発明はこの点と、ＰＴＰ現象がシールド層の構成材料とその周囲の絶縁材料などとの間での熱膨張係数の違いに起因する点とに着目し、リターンヨーク層２７のようなシールド層の体積を減少させることがＰＴＰ現象を抑えることに効果があることを見出した。この場合において、単にリターンヨーク層２７のようなシールド層の厚さを一様に減らすだけでは、媒体対向面で露出するリターンヨーク層２７の面積が小さくなり、リターンヨーク層がハイト方向に磁化し易くなって結果としてEdge Writeが発生してしまう。このようなことも考慮して、本発明者らは、リターンヨーク層に開口部を設けてシールド層の体積を減少させることにより、ＰＴＰ現象を抑えることができ、減圧環境における信頼性の高い垂直磁気記録ヘッド装置を実現できることを見出し本発明に至った。
【００２４】
この場合において、リターンヨーク層２７のような磁性層は、主磁極層２４に対して幅広であり、厚さや奥行きも十分にあるので、開口部２７ｄを設けるためには自由度がある。したがって、開口部２７ｄの位置や大きさは、リターンヨーク層２７が主磁極層２４に対して十分なシールド効果を発揮しながら、ＰＴＰ現象を抑制することを考慮して決定される。すなわち、開口部２７ｄは主磁極層２４の前方部２４ａにおける主磁極層２４とリターンヨーク層２７との間の磁気的な関係に影響を与えない領域に設ける。したがって、主磁極層２４の前方部２４ａにおいて垂直磁気記録に必要である磁気的特性を維持できるような位置に、すなわち、主磁極層２４が磁束を吸い込まないようにリターンヨーク層２７で十分にシールドできる（前方部２４ａを覆うリターンヨーク層２７において磁束が飽和して外部に漏れないようにする）ような位置に開口部２７ｄを設ける。このため、開口部２７ｄは、前記要求を満足するために十分な距離だけ主磁極層２４の前方部２４ａから離して設ける。
【００２５】
このような要件を考慮すると、開口部２７ｄは、平面視において主磁極のトラック幅方向の幅が狭められた位置よりもハイト方向奥側に延在するように形成される。図４は、主磁極層２４を平面視した際の概略図である。図４に示すように、主磁極層２４においては、第１角部２４ｃで、媒体対向面（図４において上側）に向けて徐々に主磁極が幅狭になり、さらに第２角部（ネック部）２４ｂで、主磁極が幅狭になり、前方部２４ａを形成している。ここで、平面視において主磁極のトラック幅方向の幅が狭められた位置位置とは、第１角部２４ｃや第２角部２４ｂを意味する。したがって、リターンヨーク層２７の開口部２７ｄは、平面視において、この第１角部２４ｃや第２角部２４ｂ（いわゆる開口開始部）よりもハイト方向奥側（図４におけるＣ方向）にわたって延在するように形成される。
【００２６】
リターンヨーク層２７の主磁極層２４に対してより優れたシールド効果を発揮させるためには、開口開始部を平面視における第１角部２４ｃに設定することが好ましい。なお、本実施の形態においては、ネック部よりもハイト方向奥側の主磁極層２４の形状については、図２、図４に示す形状に限定されず、種々変形することができる。すなわち、本実施の形態においては、主磁極層２４の形状が前方部２４ａを含む領域において、２段階で幅狭になっている形状について説明しているが、本発明はこれに限定されず、主磁極層２４の前方部２４ａを含む領域が３段階以上で段階的に幅狭担っていても良く、前方部２４ａにわたって角部を有さない状態で徐々に幅狭になっていても良い。
【００２７】
開口部２７ｄの大きさの例としては、媒体対向面からハイト方向奥側に０．１μｍ〜３μｍの開口開始部であって、幅が１μｍ以上３０μｍ以下であり、奥行きが１μｍ以上１０μｍ以下であることが好ましい。
【００２８】
シールド層がリターンヨーク層２７である場合には、開口部２７ｄは、媒体対向面よりもハイト方向奥側に存在する接続部２７ｃに達しない位置（開口終了点）まで形成されていることが好ましい。なお、シールド層が下部シールド層１３や上部シールド層１６である場合には、開口部の開口終了点の位置について制限はない。
【００２９】
このように、リターンヨーク層２７に、平面視において主磁極のトラック幅方向の幅が狭められた位置よりもハイト方向奥側に延在する開口部２７ｄが形成されている垂直磁気記録ヘッドにおいては、リターンヨーク層２７の体積が相対的に少ないので、リターンヨーク層２７の構成材料とその周辺の層の構成材料との間での熱膨張係数の違いの影響を小さくすることができ、その結果ＰＴＰ現象を抑えることができる。
【００３０】
次に、本発明の効果を明確にするために行った実施例について説明する。
図１に示す基本構造を有し、リターンヨーク層２７に開口部２７ｄ（媒体対向面からハイト方向奥側に１．０μｍの開口開始部であって、幅が２０．０μｍであり、奥行きが９．０μｍである）を有する垂直磁気記録ヘッド（実施例）と、図１に示す基本構造を有し、リターンヨーク層２７に開口部を有しない垂直磁気記録ヘッド（比較例）とについて、熱解析シミュレーションにより、熱により媒体対向面から突出する素子の突き出し量を求めた。なお、素子の突き出し量は、主磁極近傍のトラック幅方向中央部と厚膜部近傍であるエッジ部とで測定した。その結果を図５に示す。
【００３１】
図５から分かるように、リターンヨーク層に開口部を有する垂直磁気記録ヘッド（実施例）は、トレーリング側端面（トレーリングエッジ）１０ｂ近傍における素子突き出し量が約２．１ｎｍであったが、リターンヨーク層に開口部を有しない垂直磁気記録ヘッド（比較例）は、トレーリングエッジ近傍における素子突き出し量が約２．８ｎｍであった。すなわち、トレーリングエッジ近傍における素子突き出し量が約２５％減少することが分かった。
【００３２】
上述したように、ＰＴＰ現象により素子突き出し量が大きくなると、減圧環境においてヘッド浮上量が低下した際に媒体とヘッドとの間の間隔が現象して磁気記録の信頼性が低下する、すなわち減圧下において常温と高温との間で減圧特性に差が生じる。ここで、垂直磁気記録ヘッド装置におけるＡＥセンサ（PHYSICAL ACOUSTICS CORPORATION社製、Pico AE sensor）を用い、常温（２５℃）における減圧下でヘッドと媒体とが接触した際の圧力と、高温（６０℃）における減圧下でヘッドと媒体とが接触した際の圧力とを測定した。その結果を図６に示す。
【００３３】
図６から分かるように、ＰＴＰ現象により素子突き出し量が増加するほど、減圧特性の劣化、すなわち常温と高温との間の減圧特性の差が増加する。具体的には、１ｎｍの素子突き出し量の増加により０．０５気圧の減圧特性が劣化した。このことから、本発明に係る垂直磁気記録ヘッド装置においては、ＰＴＰ現象における素子突き出し量を約２５％減少させることができるので、減圧特性の劣化を抑制することができ、優れた磁気記録の信頼性を示す。
【００３４】
また、上記実施例及び比較例の垂直磁気記録ヘッドについて、オーバーライト特性を調べた。その結果を図７に示す。なお、オーバーライト特性は、クロストラック性能で評価した。クロストラック性能は、磁界シミュレーションにより、実施例と比較例との間の磁界強度を比較することにより評価した。図７から分かるように、実施例の垂直磁気記録ヘッドのオーバーライト特性は、比較例の垂直磁気記録ヘッドのオーバーライト特性とほぼ同じであり、リターンヨーク層に開口部を設けたことが磁気特性に影響を及ぼしていない。これは、開口部以外のリターンヨーク層で磁気回路が成立しているためと考えられる。
【００３５】
上記実施の形態においては、コイルがソレノイドコイルである場合について説明しているが、本発明は、コイルがスパイラルコイルである場合にも適用することができる。上述したように、ＰＴＰ現象は、コイル通電による発熱の影響ではなく、外部環境の影響により起こる現象である。このため、コイルの形態が異なっていてもＰＴＰ現象は生ずると考えられるので、本発明は、コイルがスパイラルコイルである場合にも有効である。
【００３６】
本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。例えば、上記実施の形態においては、シールド効果を持つ磁性層がリターンヨーク層である場合について説明しているが、本発明は、シールド効果を持つ磁性層が下部シールド層や上部シールド層である場合にも適用することができる。また、上記実施の形態で説明した数値や材質、部材の形状については特に制限はない。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の実施の形態に係る垂直磁気記録ヘッドを備えた磁気ヘッドを示す縦断面図である。
【図２】図１に示す垂直磁気記録ヘッドの部分平面図及びリターンヨーク層の部分正面図である。
【図３】図１に示す垂直磁気記録ヘッドのリターンヨーク層を示す斜視図である。
【図４】主磁極層の平面視状態を示す図である。
【図５】垂直磁気記録ヘッドにおける素子突き出し量を示す図である。
【図６】素子突き出し量と減圧特性劣化との間の関係を示す図である。
【図７】垂直磁気記録ヘッドにおけるオーバーライト特性を示す図である。
【符号の説明】
【００３８】
１０  スライダ
１２  非磁性絶縁層
１３  下部シールド層
１４  読み取り素子
１５  無機絶縁層
１６  上部シールド層
１８  下層コイル片
２１  ギャップ層
２３  上層コイル片
２４  主磁極層
２４ａ  前方部
２４ｂ，２４ｃ  角部
２６  コイル絶縁層
２７  リターンヨーク層
２７ｃ  接続部
２７ｄ  開口部
２８  間隔調整絶縁層
【図１】
2008108352.tif 000003
【図２】
2008108352.tif 000004
【図３】
2008108352.tif 000005
【図４】
2008108352.tif 000006
【図５】
2008108352.tif 000007
【図６】
2008108352.tif 000008
【図７】
2008108352.tif 000009