(57)【要約】      （修正有）【課題】基板の搬送を効率的に行うことができる基板搬送装置及びこれに使用されるガイドユニットを提供する。【解決手段】複数のシャフト１４０を平行に配置し、各シャフト１４０に回転一体に搬送ローラを設ける。基板Ｓの搬送時に基板Ｓが側方向に揺れることを防止するためにガイドユニット２００を設ける。ガイドユニット２００にシャフト１４０を挿入する貫通孔を有する内輪２４０、内輪２４０を挿入する貫通孔を有する外輪２２０及び内輪２４０と外輪２２０とが互いの回転を妨害しないように両者間にベアリング２６０を設ける。外輪２２０の外周面から側方向にリング形状にガイド２３０を突出させ、外輪２２０の外周面を基板Ｓの底面エッジと接触させて基板Ｓを支持し、側面を基板Ｓの側面と接触させて基板Ｓが側方向に移動することを防止する。内輪２４０をシャフト１４０とともに回転させ、外輪２２０を基板Ｓとの摩擦力によって回転させる。【選択図】図６
2008280181.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平行に配置された複数の回転可能なシャフトと、
前記シャフトとともに回転可能であるように前記シャフトに固定結合される搬送ローラと、
前記搬送ローラによって搬送される基板の直線移動を案内するガイドユニットとを含み、
前記ガイドユニットは、
基板の底面エッジと接触する外周面と、
前記外周面から外側に突出して基板の側面に接触するガイドを備えた外輪とを有する
ことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
前記ガイドユニットは、
中央に前記シャフトが挿入される貫通孔を有し、前記シャフトとともに回転されるように前記シャフトに結合され、前記外輪の中央に設けられた貫通孔に挿入される内輪と、
前記内輪と前記外輪との間に位置し、前記内輪及び前記外輪が互いの回転に拘束されないベアリングと、をさらに含む
ことを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項３】
前記ガイドユニットは、
前記内輪と前記外輪との間に位置され、周りに前記ベアリングが挿入される孔が形成されたリング形状のリテイナをさらに含む
ことを特徴とする請求項２に記載の基板搬送装置。
【請求項４】
前記ベアリングは前記リテイナの外側及び内側で一定領域が突出するように設けられ、
前記内輪と前記外輪各々には前記リテイナから突出したベアリングの領域一部が挿入される溝が形成されている
ことを特徴とする請求項３に記載の基板搬送装置。
【請求項５】
前記ベアリングはリング模様で複数の列をなすように配列されている
ことを特徴とする請求項３に記載の基板搬送装置。
【請求項６】
前記ガイドユニットは前記内輪を前記シャフトに固定させる固定部材をさらに含む
ことを特徴とする請求項２に記載の基板搬送装置。
【請求項７】
前記内輪は、
長さ方向に前記シャフトの直径に相応する貫通孔が形成されたメインボディと、
前記メインボディから延び、前記メインボディから遠くなるほど直径が漸進的に増加する貫通孔が形成されたサブボディとを有し、
前記固定部材は、
前記サブボディの貫通孔に相応する形状を有し、側部にその長さ方向に沿って切開されて対向する第１段と第２段を有するくさびを含み、
前記くさびは前記サブボディ内で前記メインボディの方向へ移動されることによって前記第１段と第２段との距離が漸進的に狭まるように設けられている
ことを特徴とする請求項６に記載の基板搬送装置。
【請求項８】
前記くさびは弾性材質よりなる
ことを特徴とする請求項７に記載の基板搬送装置。
【請求項９】
前記くさびは円錘形である
ことを特徴とする請求項７に記載の基板搬送装置。
【請求項１０】
前記固定部材は前記くさびを前記サブボディ内で前記メインボディの方向に押すキャップをさらに含む
ことを特徴とする請求項７に記載の基板搬送装置。
【請求項１１】
前記サブボディの外周面にはねじ山が形成され、
前記キャップは中央に前記シャフトが挿入される貫通孔を有し、
前記キャップの内周面には前記サブボディのねじ山と嵌合するねじ山が形成されている
ことを特徴とする請求項１０に記載の基板搬送装置。
【請求項１２】
前記サブボディは前記メインボディの両側に各々設けられている
ことを特徴とする請求項１１に記載の基板搬送装置。
【請求項１３】
前記ガイドは前記外輪の外周面に対して鈍角となる傾斜面を有する
ことを特徴とする請求項１乃至１２のうち何れかの一つに記載の基板搬送装置。
【請求項１４】
前記ガイドは前記外輪の外周面の中央領域から突出している
ことを特徴とする請求項１乃至１２のうち何れかの一つに記載の基板搬送装置。
【請求項１５】
前記傾斜面は前記ガイドの両側に設けられている
ことを特徴とする請求項１４に記載の基板搬送装置。
【請求項１６】
平行に配置された複数の回転可能なシャフトと、
前記シャフトとともに回転可能であるように前記シャフトに固定結合される複数の搬送ローラと、
前記搬送ローラによって搬送される基板の直線移動を案内するガイドユニットとを含み、
前記ガイドユニットは前記シャフトに結合される
ことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項１７】
前記ガイドユニットは、
前記シャフトが挿入される貫通孔を有し、前記シャフトの回転によって前記シャフトとともに回転されるように設けられる内輪と、
基板の底面エッジが接触する外周面及び前記外周面から外側方向に突出し、基板の側面を支持するガイドを有し、前記内輪が挿入される貫通孔が形成された外輪と、
前記内輪と前記外輪との間に設けられて、前記内輪と前記外輪が互いに拘束されず、回転されるベアリングと、を含む
ことを特徴とする請求項１６に記載の基板搬送装置。
【請求項１８】
前記内輪は、
長さ方向に前記シャフトの直径に相応する貫通孔が形成されたメインボディと、
前記メインボディから延び、前記メインボディから遠くなるほど直径が漸進的に増加する貫通孔が形成されたサブボディとを有し、
前記ガイドユニットは、
中央に前記シャフトが挿入される貫通孔が形成され、前記サブボディの貫通孔に挿入されて前記シャフトを前記内輪に固定させ、長さ方向に沿って切開されて対向する第１段と第２段を有するくさびを含み、
前記くさびは前記サブボディ内で前記メインボディの方向へ移動されることによって前記第１段と第２段との距離が漸進的に狭まるように設けられている
ことを特徴とする請求項１７に記載の基板搬送装置。
【請求項１９】
前記ガイドユニットは前記くさびを前記サブボディ内で前記ボディの方向に押し、中央に前記シャフトが挿入される貫通孔が形成されたキャップをさらに含み、
前記サブボディの外周面にはねじ山が形成され、
前記キャップの内周面には前記サブボディのねじ山と嵌合するねじ山が形成されている
ことを特徴とする請求項１８に記載の基板搬送装置。
【請求項２０】
基板搬送装置に設けられ、基板の直線移動を案内できるガイドユニットにおいて、
中央に貫通孔が形成され、外周面から外側方向に突出したガイドを有する外輪と、
前記外輪の貫通孔に挿入され、中央に貫通孔が形成された内輪と、
前記外輪と前記内輪との間に設けられる複数のベアリングと、を備える
ことを特徴とするガイドユニット。
【請求項２１】
前記ガイドユニットは前記内輪と前記外輪との間に配置されるリテイナをさらに含み、
前記リテイナ外周面には前記ベアリングが挿入される孔が形成された
ことを特徴とする請求項２０に記載のガイドユニット。
【請求項２２】
前記ベアリングは前記リテイナにリング模様で複数の列をなすように配列される
ことを特徴とする請求項２１に記載のガイドユニット。
【請求項２３】
前記内輪と前記外輪には前記ベアリングの一部領域が挿入される溝が形成されている
ことを特徴とする請求項２１に記載のガイドユニット。
【請求項２４】
前記ガイドは前記外輪の中央領域から突出している
ことを特徴とする請求項２１に記載のガイドユニット。
【請求項２５】
前記ガイドはリング形状である
ことを特徴とする請求項２１に記載のガイドユニット。
【請求項２６】
前記内輪は、
長さ方向に前記基板を搬送するシャフトの直径に相応する貫通孔が形成されたメインボディと、
前記メインボディから延び、前記メインボディから遠くなるほど直径が漸進的に増加する貫通孔が形成されたサブボディとを有し、
前記ガイドユニットは、
前記サブボディの貫通孔に挿入され、長さ方向に沿って側部切開されて対向する第１段と第２段を有するくさびを含み、
前記くさびは前記サブボディ内で前記メインボディの方向へ移動されることによって前記第１段と第２段との距離が漸進的に狭まるように設けられている
ことを特徴とする請求項２１に記載のガイドユニット。
【請求項２７】
前記ガイドユニットは前記くさびを前記サブボディ内で前記メインボディの方向に 押すキャップをさらに含む
ことを特徴とする請求項２６に記載のガイドユニット。
【請求項２８】
前記サブボディの外周面にはねじ山が形成され、
前記キャップは中央に前記シャフトが挿入される貫通孔が形成され、
前記キャップの内周面には前記サブボディのねじ山と嵌合するねじ山が形成されている
ことを特徴とする請求項２７に記載のガイドユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板製造に使用される装置に関し、より詳しくは基板を搬送する装置及びこれに使用されるガイドユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
最近、情報処理機器は、多様な形態の機能とより早い情報処理速度を有するように急速に発展している。このような情報処理装置は、操作した情報を表示するためにディスプレイ装置を有する。今まではディスプレイ装置でブラウン管(ｃａｔｈｏｄｅ  ｒａｙ  ｔｕｂｅ)モニタが主に使用されたが、最近、半導体技術の急速な発展によって軽くて空間を小さく占める平板ディスプレイ装置の使用が急激に増大している。平板ディスプレイでは多様な種類があり、この中で電力消耗と体積が小さく、低電圧駆動型である液晶ディスプレイ(ｌｉｑｕｉｄ  ｃｒｙｓｔａｌ  ｄｉｓｐｌａｙ)が広く使用されている。
【０００３】
このような平板表明パネルを製造するために多様な工程が行われ、平板ディスプレイに使用される基板は、搬送装置を通し各々の工程が行われるチャンバに移送され、チャンバ内で工程進行の時移送される。図１は、一般的な搬送装置を概略的に示す図面である。図１に示すように、搬送装置９００は、互いに平行に配置された回転するシャフト９２０と、シャフト９２０とともに回転されるようにシャフト９２０に設けられた搬送ローラ９４０とを有する。基板Ｓが一直線へ移送されるように案内するために基板Ｓの側面を支持するシャフト９２０の間にはサイドローラ９６０が設けられている。シャフト９２０及び搬送ローラ９４０の回転力によって基板Ｓは直線移動され、基板Ｓの移動によってサイドローラ９６０が回転される。
【０００４】
しかしながら、詳述した一般的な構造の搬送装置９００の使用時、サイドローラ９６０の位置が精密に設けられないと、基板Ｓの側面がサイドローラ９６０に衝突して基板Ｓが破損しやすい。また、図２のように、基板Ｓが移動中に上下方向に揺れる場合、サイドローラ９６０の回転軸の延びる方向に沿って基板Ｓとサイドローラ９６０との間に摩擦が発生するため、基板Ｓとサイドローラ９６０が損傷しやすい。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、基板の搬送を効率的に行うことができる基板搬送装置及びこれに使用されるガイドユニットを提供することにある。
【０００６】
また、本発明の目的は、基板が搬送される途中、基板の側面エッジが破損されることを防止できる基板搬送装置及びこれに使用されるガイドユニットを提供することにある。
【０００７】
また、本発明の基板搬送装置において、サイドローラ９６０の頻繁な交替による費用増加を抑制できる基板搬送装置を提供することを目的とする。
【０００８】
本発明の他の目的は、次の詳細な説明と添付の図面からより明確になる。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、基板を搬送する装置を提供する。前記装置は、平行に配置された複数の回転可能なシャフトと、前記シャフトとともに回転可能であるように前記シャフトに固定結合される搬送ローラと、前記搬送ローラによって搬送される基板の直線移動を案内するガイドユニットとを含む。前記ガイドユニットは、基板の底面エッジと接触する外周面と、前記外周面から外側に突出して基板の側面に接触するガイドを有する外輪とを含む。
【００１０】
前記ガイドユニットには、中央に前記シャフトが挿入される貫通孔を有し、前記シャフトとともに回転されるように前記シャフトに結合され、前記外輪の中央に設けられた貫通孔に挿入される内輪と、前記内輪と前記外輪との間に位置し、前記内輪及び前記外輪が互いの回転に拘束されないベアリングとをさらに設けることができる。
【００１１】
前記ガイドユニットには、前記内輪と前記外輪との間に位置され、周りに前記ベアリングが挿入される孔が形成されたリング形状のリテイナをさらに設けることができる。
【００１２】
前記ベアリングは、前記リテイナ外側及び内側で一定領域が突出するように設けられ、前記内輪と前記外輪各々には前記リテイナから突出したベアリングの領域一部が挿入される溝を形成できる。
【００１３】
前記ベアリングはリング模様で複数の列をなすように配列できる。
【００１４】
前記ガイドユニットには、前記内輪を前記シャフトに固定させる固定部材をさらに設けることができる。
【００１５】
前記内輪は、長さ方向に前記シャフトの直径に相応する貫通孔が形成されたメインボディと、前記メインボディから延び、前記メインボディから遠くなるほど直径が漸進的に増加する貫通孔が形成されたサブボディとを有し、前記固定部材は、前記サブボディの貫通孔に相応する形状を有し、側部にその長さ方向に沿って切開されて対向する第１段と第２段を有するくさび(ｗｅｄｇｅ)を含み、前記くさびは前記サブボディ内で前記メインボディの方向へ移動されることによって前記第１段と第２段との距離が漸進的に狭まるように設けることができる。
【００１６】
前記くさびは弾性材質で設けることができる。
【００１７】
前記くさびは円錘形で設けることができる。
【００１８】
前記固定部材には前記くさびを前記サブボディ内で前記メインボディの方向に押すキャップをさらに設けることができる。
【００１９】
前記サブボディの外周面にはねじ山が形成され、前記キャップは中央に前記シャフトが挿入される貫通孔が形成され、前記キャップの内周面には前記サブボディのねじ山と嵌合するねじ山が形成できる。
【００２０】
前記サブボディは前記メインボディの両側に各々設けることができる。
【００２１】
前記ガイドは前記外輪の外周面に対して鈍角に設けられる傾斜面を有するようにすることができる。前記ガイドは前記外輪の外周面の中央領域から突出し、前記傾斜面は前記ガイドの両側に設けることができる。
【００２２】
また、本発明の基板搬送装置は、平行に配置された複数の回転可能なシャフトと、前記シャフトとともに回転可能であるように前記シャフトに固定結合される複数の搬送ローラと、前記搬送ローラによって搬送される基板の直線移動を案内するガイドユニットとを含み、前記ガイドユニットは前記シャフトに結合する。
【００２３】
また、本発明は、基板搬送装置に設けられ、基板の直線移動を案内できるガイドユニットを提供する。前記ガイドユニットは中央に貫通孔が形成され、外周面から外側方向に突出したガイドを有する外輪、前記外輪の貫通孔に挿入され、中央に貫通孔が形成された内輪、及び前記外輪と前記内輪との間に設けられる複数のベアリングを有する。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、基板搬送時、基板の側面が破損されることを防止できる。
【００２５】
また、本発明の実施形態によれば、ガイドユニットの設置方向を交替して使用できるため、ガイドユニットの寿命を延長できる。
【００２６】
また、本発明の実施形態によれば、ガイドユニットを搬送ローラが設置されたシャフトに固定結合して使用するため、設置が容易である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、本発明の好ましい実施形態を添付の図３乃至図１６を参考して、より詳細に説明する。本発明の実施形態は、様々な形態に変形でき、本発明の範囲が後述の実施形態に限定されるものではない。本実施形態は、当該発明が属する技術分野において、通常の知識を有する者に本発明をより詳細に説明するために提供される。したがって、図面に示した各要素の形状は、より明らかな説明を強調するために誇張しうる。
【００２８】
本実施形態において、基板は、液晶ディスプレイパネルの製造に使用される長方形状のガラス基板を挙げて説明する。しかしながら、発明の技術的範囲は、これに限定されず、ガラス基版以外に大体長方形状を有する対象物を搬送する装置に全て適用されることができる。
【００２９】
図３は、本発明の基板搬送装置が使用される基板処理設備(ｓｕｂｓｔｒａｔｅ  ｔｅａｔｉｎｇ  ｆａｃｉｌｉｔｙ)１を概略的に示す断面図である。図３と図４に示すように、基板処理設備１は、複数のチャンバ１０、基板搬送装置２０、及び薬液噴射部材３０を有する。各々のチャンバ１０は、工程が行われる空間を提供する。基板搬送装置２０は、チャンバ１０間に、そしてチャンバ１０内で基板Ｓを直線移動させる。チャンバ１０内には、薬液噴射部材３０が設けられている。薬液噴射部材３０は、基板Ｓに行われる工程の種類によって基板Ｓに洗浄液又はエッチング液などのような薬液を供給する。次に、上述の構成要素に対して詳細に説明する。
【００３０】
各々のチャンバ１０は、内部が開いた大体に直方体形状を有する。チャンバ１０は、一列に平行に配置される。各々のチャンバ１０の一側には、チャンバ１０で基板Ｓが入る流入口１２が設けられ、これに対向する他側にはチャンバ１０から基板Ｓが出る流出口１４が設けられている。基板Ｓは、最前方に位置したチャンバ１０から順次に最後方に位置されたチャンバ１０まで移動する。各チャンバ１０内で基板Ｓに対して所定工程が行われる。例えば、チャンバのうち何れか一つのチャンバ１０ａにおいては、洗浄工程が行われ、洗浄工程を行うチャンバ１０ａの前方に位置されるチャンバ１０ｂにおいては、エッチング工程が行われ、洗浄工程を行うチャンバ１０ａの後方に位置されるチャンバ１０ｃにおいては、乾燥工程が行われる。洗浄工程が行われるチャンバ１０ａの場合、薬液噴射部材３０は、基板Ｓの上面に洗浄液を噴射する上部噴射部材３２と、基板Ｓの下面に洗浄液を供給する下部噴射部材３４とを有することができる。
【００３１】
各々のチャンバ１０内には、基板搬送装置２０が配置される。図４は、図３の基板搬送装置２０を示した斜視図である。図４に示すように、基板搬送装置２０は、搬送ローラ１２０、シャフト１４０、及びガイドユニット２００を有する。シャフト１４０は、各々のチャンバ１０内に一直線に互いに平行に配置される。シャフト１４０は、流入口１２と隣接した位置から流出口１４と隣接した位置まで設けられている。各々のシャフト１４０には、その長さ方向に沿って複数の搬送ローラ１２０が固定結合されている。シャフト１４０は、その中心軸を基準に駆動部(図示せず)によって回転され、搬送ローラ１２０は、シャフト１４０とともに回転される。
【００３２】
駆動部はプーリ、ベルト、及びモータを備えるアセンブリに設けることができる。プーリ、ベルト、及びモータを備えて基板を一方向に搬送させる駆動アセンブリの構造は広く知られているため、詳細な説明は省略する。駆動部によってシャフト１４０と搬送ローラ１２０が回転され、基板Ｓは、その下面が搬送ローラ１２０に接触した状態でシャフト１４０の軸方向と垂直に直線移動される。各々のシャフト１４０は水平に配置されて基板Ｓを水平状態に移送できる。
【００３３】
ガイドユニット２００は、シャフト１４０の両端に配置され、基板Ｓの直線移動を案内する。ガイドユニット２００は、基板Ｓの側面Ｓ１（図７に示す）を側方向に支持して、基板Ｓが移動方向の左右側に揺れることを防止する。詳述した基板Ｓの側面Ｓ１は、基板Ｓの四辺のうち基板Ｓの移動方向と平行した辺である。
【００３４】
図５は、ガイドユニット２００の分解断面図であり、図６は、ガイドユニットの組立断面図であり、図７は、組み立てられたガイドユニットがシャフトと結合された状態を図示する斜視図である。
【００３５】
図５乃至図７に示すように、ガイドユニット２００は、外輪(ｏｕｔｅｒ  ｒｉｎｇ)２２０、内輪(ｉｎｎｅｒ  ｒｉｎｇ)２４０、リテイナ(ｒｅｔａｉｎｅｒ)２５０、ベアリング(ｂｅａｒｉｎｇｓ)２６０、及び固定部材(ｆｉｘｉｎｇ  ｍｅｍｂｅｒ)２７０を備える。
【００３６】
外輪２２０は、中央に第１貫通孔２２２が形成された円筒形状を有する。外輪２２０は、その中心軸７０１がシャフト１４０の中心軸と一直線上に置かれるように配置される。外輪２２０は、搬送ローラ１２０と同一の直径を有する。したがって、基板Ｓが搬送される時、基板Ｓは搬送ローラ１２０の外周面及び外輪２２０の外周面２２４に接触する。
【００３７】
ガイド２３０は、外輪２２０の外周面２２４中央領域から外輪２２０の半径方向に外輪２２０の外側に向けて延びる。ガイド２３０は、円形のリング形状を有し、ガイド２３０の厚さｔは、外輪２２０の中心から遠くなるほど薄くなる。ガイド２３０は、基板Ｓの側面と接触して基板Ｓが側方に移動することを防止する。
【００３８】
ガイド２３０は、傾斜面２３２を有する。傾斜面２３２は、外輪２２０の外周面２２４に対し鈍角に傾斜する。ガイド２３０は、外輪２２０の中心軸７０１に垂直となる軸７０２を基準に対称される形状を有する。傾斜面２３２は、基板が上下方向、又は左右方向に揺れる場合に基板が外輪２２０の外周面２２４に固着するように案内する。これに反し、ガイド２３０は、外輪２２０の外周面２２４に垂直面を有することができる。
【００３９】
外輪２２０の外周面２２４は、ガイド２３０を基準に二つの領域に分ける。一つの領域を第１外周面２２４ａとし、反対の領域を第２外周面２２４ｂと称する。また、ガイド２３０は、二つの傾斜面２３２を有する。ガイド２３０の傾斜面のうち、第１外周面２２４ａと対向する面を第１傾斜面２３２ａとし、第２外周面２２４ｂと対向する面を第２傾斜面２３２ｂと称する。最初に第１外周面２２４ａが基板Ｓに向かうようにガイドユニット２００が設けられ、第１外周面２２４ａが基板Ｓの底面と接触し、第１傾斜面２３２ａが基板Ｓの側面Ｓ１と接触する。第１外周面２２４ａ及び第１傾斜面２３２ａが磨耗などによって損傷すると、第２外周面２２４ｂが基板Ｓの底面と接触して基板Ｓを支持し、第２傾斜面２３２ｂが基板Ｓの側面Ｓ１と接触する。ガイドユニットが図６と反対に設けられた状態は図１２に示されている。
【００４０】
図面では、ガイド２３０が外輪２２０の外周面２２４の中央から外側方向へ突出したものに示した。しかしながら、実施形態において、中央領域は、外輪２２０の外周面２２４の中央のみならず、第１外周面２２４ａと第２外周面２２４ｂを設けることができるように外輪２２０の外周面２２４の両終端領域を除いた領域を意味する。
【００４１】
外輪２２０の貫通孔２２２内には、内輪２４０が挿入される。内輪２４０は、中央に第２貫通孔２４２が形成された円筒形状を有する。内輪２４０の貫通孔２４２には、シャフト１４０が挿入される。シャフト１４０の回転力によって内輪２４０がシャフト１４０とともに回転されるように、内輪２４０は、シャフト１４０に固定結合される。例えば、シャフト１４０は、内輪２４０に強制に挿入されることができる。
【００４２】
内輪２４０は、メインボディ２４０ａとサブボディ２４０ｂとを有する。メインボディ２４０ａの中央に形成された第２貫通孔２４２ａは、大体シャフト１４０と類似の直径に設けられ、シャフト１４０の長さ方向に沿って一定の直径に設けられている。サブボディ２４０ｂに形成された第２貫通孔２４２ｂは、メインボディ２４０ａの中央に形成された貫通孔２４２ａから延び、内輪２４０から遠くなるほど貫通孔２４２ｂの直径が漸進的に大きくなるように設けられている。すなわち、メインボディ２４０ａに設けられた第２貫通孔２４２ａは円筒形状であり、サブボディ２４０ｂに設けられた貫通孔２４２ｂは円錐形状を有する。サブボディ２４０ｂの外周面には、ねじ山(ｓｃｒｅｗｔｈｒｅａｄｓ)２４６が形成されている。
【００４３】
外輪２２０と内輪２４０との間には、複数のベアリング２６０及びリテイナ２５０が挿入される。リテイナ２５０は、円形のリング形状を有し、リテイナ２５０には、その側面に沿って円形の貫通孔２５２が形成されている。ベアリング２６０は、貫通孔２５２に挿入されて貫通孔２５２内で回転可能であるように配置される。ベアリング２６０は、リテイナ２５０の外側及び内側方向にリテイナ２５０から各々一定部分ずつ突出する。内輪２４０の外周面２４４及び外輪２２０の内周面２２６には互いに対応する位置に溝２２８、２４８が形成されている。リテイナ２５０から突出したベアリング２６０の一部領域は、溝２２８、２４８内に挿入される。ベアリング２６０は、リテイナ２５０の周りに沿って一定間隔ずつ離隔されて位置され、リング模様の配列をなす。詳述したリング模様の配列は、複数個が設けられている。本実施形態においては、ベアリング２６０が二列に設けられた場合を示した。これは内輪２４０及び外輪２２０からベアリング２６０に加えられる荷重(ｌｏａｄ）を分散させ、ベアリング２６０の寿命を延長する。
【００４４】
ベアリング２６０によって外輪２２０と内輪２４０は、互いの回転に対して妨害されず、互いに独立的に回転される。すなわち、内輪２４０は、シャフト１４０の回転力によって回転され、外輪２２０は、基板Ｓとの摩擦力によって回転される。
【００４５】
シャフト１４０は、内輪２４０の第２貫通孔２４２を貫通するように挿入される。固定部材２７０は、内輪２４０をシャフト１４０に固定させる。固定部材は、くさび(ｗｅｄｇｅ)２８０と押し部材とを有する。
【００４６】
図８は、図５のくさび２８０の斜視図である。図８に示すように、くさび２８０は、中央にシャフト１４０が貫通される第１貫通孔２８２が形成され、大体円錐形状を有する。くさび２８０は、内輪２４０のサブボディ２４０ｂと類似の長さを有し、内輪２４０のサブボディ２４０ｂに設けた第２貫通孔２４２ｂに挿入される。第１貫通孔２８２は、くさび２８０の長さ方向に沿って同一の大きさに設けられている。くさび２８０は、弾性材質で製造され、くさび２８０は、その長さ方向に沿って切開された部分を有する。したがって、くさび２８０は、互いに対向し、一定距離離隔された第１段２８４ａと第２段２８４ｂとを有する。くさび２８０の両面のうち、面積が狭い面を前面(ｆｒｏｎｔ  ｆａｃｅ)２８５、面積が狭い面を後面２８６という。くさび２８０の後面２８６は、大体平らに設けられている。くさび２８０は、前面が内輪２４０に向かう方向でシャフト１４０に挟まれる。
【００４７】
第１段２８４ａと第２段２８４ｂとの間の距離ｄ２は、くさび２８０の外側面に加えられる圧力によって増減する。第１段２８４ａと第２段２８４ｂとの間の距離ｄ２が増加すると、第１貫通孔２８２の直径ｄ１も増加し、第１段２８４ａと第２段２８４ｂとの間の道ｄ２が減少すると、第１貫通孔２８２の直径ｄ１も減少する。外部圧力が除去された状態でくさび２８０の第１貫通孔２８２の直径ｄ１は、シャフト１４０の直径より大きく設けられ、外部圧力が印加されて第１段２８４ａと第２段２８４ｂとが接触した状態ではくさび２８０の貫通孔２８２の直径ｄ１はシャフト１４０の直径と同一、又はシャフト１４０の直径より少し小さく設けられている。
【００４８】
図９は、図５の押し部材の斜視図である。押し部材は、くさび２８０を内輪２４０のメインボディ２４０ａに向かって押す。押し部材は、中央に第４貫通孔２９４ａが形成されたキャップ２９０を有する。キャップ２９０は、内輪２４０のサブボディ２４０ｂが挿入される空間２９２ａを有するボディ２９２とボディ２９２の後端に設けられた押し壁２９４とを有する。ボディ２９２の内周面には、内輪２４０のサブボディ２４０ｂの外周面に形成されたねじ山２４６に対応されるようにねじ山２９３が形成されている。押し壁２９４の中央には、シャフト１４０が挿入される第４貫通孔２９４ａが形成されている。キャップ２９０が回転して内輪２４０とのねじ結合によって内輪２４０のメインボディ２４０ａの方向に前進すると、押し壁２９４はサブボディ２４０ｂの第２貫通孔２４２ｂに挿入されたくさび２８０をメインボディ２４０ａの方向に押す。
【００４９】
図１０と図１１は、固定部材２７０によってガイドユニット２００がシャフト１４０に固定される過程を示す図である。まず、図１０に示したように、くさび２８０はその前面２８５が内輪２４０のメインボディ２４０ａの方向にサブボディ２４０ｂの第２貫通孔２４２ｂに挿入される。キャップ２９０が内輪２４０とねじ結合されることによってくさび２８０がサブボディ２４０ｂ内でメインボディ２４０ａに向かって移動する。第１段２８４ａと第２段２８４ｂとの間の距離ｄ２が狭まって、一定距離以上移動すると、図１１に示したように、第１段２８４ａと第２段２８４ｂとが接触する。したがって、最初はくさび２８０の内側面２８３がシャフト１４０から離隔状態でくさび２８０がサブボディ２４０ｂに挿入されるが、メインボディ２４０ａに向かって移動することによってくさび２８０の内側面２８３はシャフト１４０と接触し、以後シャフト１４０を加圧してシャフト１４０と内輪２４０とを固定結合する。
【００５０】
次には、ガイドユニット２００を組み立て、これをシャフト１４０と結合する方法を説明する。また、図６に示すように、最初は外輪２２０、内輪２４０、リテイナ２５０、及びベアリング２６０を組立てる。リテイナ２５０の貫通孔２５２各々にベアリング２６０を挿入する。次にリテイナ２５０が内輪２４０を覆いかぶせるように内輪２４０をリテイナ２５０の内部空間２５４に強制的に差し込む。以後、リテイナ２５０と内輪２４０の組立体を外輪２２０の第１貫通孔２２２に強制的に差し込む。次に、シャフト１４０が内輪２４０の第２貫通孔２４２、くさび２８０の第３貫通孔２８２、及びキャップ２９０の第４貫通孔２９４ａに挿入されるように、順次に内輪２４０、リテイナ２５０、ベアリング２６０、及び外輪２２０を含んだ組立体、くさび２８０、及びキャップ２９０をシャフト１４０に固定する。以後、キャップ２９０を内輪２４０のサブボディ２４０ｂにねじ結合することによって内輪２４０をシャフト１４０に固定する。
【００５１】
図１２は、ガイドユニット２００を図６と反対に設けた状態を示す。詳述のように、最初は内輪２４０、リテイナ２５０、ベアリング２６０、及び外輪２２０を組み立てる。以後、詳述したことと反対に、キャップ２９０とくさび２８０とを順次にシャフト１４０に挿入し、次に内輪２４０、リテイナ２５０、ベアリング２６０、及び外輪２２０を含んだ組立体をシャフト１４０に挿入する。以後、キャップ２９０を内輪２４０のサブボディ２４０ｂにねじ結合することによって内輪２４０をシャフト１４０に固定させる。
【００５２】
次には本実施形態の多様な変形例を説明する。
【００５３】
図１３は、ガイドユニット２００´の変形された一例を示す。図１３に示したように、ガイドユニット２００´は詳述した例と相異した構造の内輪２４０´を有する。内輪２４０´は、一つのメインボディ２４０ａと二つのサブボディ２４０ｂとを有し、サブボディ２４０ｂは、メインボディ２４０ａの両側に各々設けられている。これはガイドユニット２００´が設置方向を変えてシャフト１４０に挿入する時にくさび２８０及びキャップ２９０を内輪２４０により容易に結合させるようにする。
【００５４】
図１４は、ガイドユニット２００″の変形された他の例を示す。図１４に示すように、ガイドユニット２００″は詳述した例と相異した構造を有する外輪２２０″を有する。外輪２２０″は、その外周面終端から外側方向（半径方向）に延長されたガイド２３０を有する。本実施形態のガイドユニット２００″の使用時、外輪２２０″の外周面２２４及び傾斜面２３２が損傷すると、外輪２２０″又はガイドユニット２００″を新しく交替する。
【００５５】
図１５は、基板搬送装置２０´の変形例を示す。詳述した例でガイドユニット２００´は、搬送ローラ１２０が設けられたシャフト１４０上に設けられている。しかしながら、図１５に示すように、ガイドユニット２００は、搬送ローラ１２０が設けられたシャフト１４０間の領域に別途のシャフト１４２に固定して設けられている。
【００５６】
図１６は、基板搬送装置２０″の他の変形例を示す。図２に示した基板搬送装置２０は基板Ｓを水平状態で搬送して、ガイドユニット２００がシャフト１４０の両側に各々設けられることと説明した。しかしながら、図１６に示すように、基板Ｓが傾斜した状態で搬送されるようにシャフト１４０は傾斜するように配置される。図面におけるαは、シャフトの傾斜角である。ガイドユニット２００は、シャフト１４０の両側のうち、低く位置された領域に設けられている。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】一般的に使用されている基板搬送装置を概略的に示す斜視図である。
【図２】図１で基板とサイドローラを拡大して示す斜視図である。
【図３】本発明の基板搬送装置が設けられた基板処理設備の一例を概略的に示す図である。
【図４】本発明の実施形態による基板搬送装置を概略的に示す斜視図である。
【図５】図４のガイドユニットが分解された状態を示す断面図である。
【図６】図４のガイドユニットが組立った状態を示す断面図である。
【図７】シャフトに固定結合された図４のガイドユニットの斜視図である。
【図８】図５のくさびの斜視図である。
【図９】図５のキャップの斜視図である。
【図１０】各々のくさびが内輪のサブボディに完全に挿入される前の状態と完全に挿入された状態を示す図である。
【図１１】各々のくさびが内輪のサブボディに完全に挿入される前の状態と完全に挿入された状態を示す図である。
【図１２】ガイドユニットが図４と相異された方向にシャフトに結合された状態を示す図である。
【図１３】ガイドユニットの変形例を示す図である。
【図１４】ガイドユニットの変形例を示す図である。
【図１５】図４の基板搬送装置の変形例を示す図である。
【図１６】図４の基板搬送装置の変形例を示す図である。
【符号の説明】
【００５８】
２０  基板搬送装置
１２０  搬送ローラ
１４０  シャフト
２００  ガイドユニット
２２０  外輪
２３０  ガイド
２４０  内輪
２５０  リテイナ
２６０  ベアリング
２８０  くさび
２９０  キャップ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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