(57)【要約】      （修正有）【課題】実装の位置精度を悪化させず、高精度にノズルの異常を検出することが可能なノズル検査方法を提供する。【解決手段】部品実装装置における実装ヘッドのノズルを検査する方法であって、ノズルにおけるエアの吸引又は排出を行うノズル口とノズル先端チェック部に設けられたエアの孔の開口とが連通するように、孔の開口にノズルを覆設し（ステップＳ５５）、ノズルによりエアの吸引又は排出を行い、エアの吸引又は排出を行っているときの孔におけるエアの流量を計測する（ステップＳ５６）。【選択図】図９
2008244159.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品実装装置における実装ヘッドのノズルをノズル検査手段により検査する方法であって、
前記ノズルにおけるエアの吸引又は排出を行うノズル口と前記ノズル検査手段に設けられた孔の開口とが連通するように、前記開口に前記ノズル口を覆設する覆設ステップと、
前記ノズルによりエアの吸引又は排出を行い、前記エアの吸引又は排出を行っているときの前記孔におけるエアの流量を計測する計測ステップとを含む
ことを特徴とするノズル検査方法。
【請求項２】
前記ノズル検査方法は、さらに、計測された前記流量の値が所定の閾値より大きくなるか否かを判定する判定ステップを含む
ことを特徴とする請求項１に記載のノズル検査方法。
【請求項３】
前記判定ステップでは、前記所定の閾値を前記ノズルの種類と対応付けて格納する閾値テーブルを参照し、当該判定が行われるノズルの種類に対応付けられた前記所定の閾値を用いて前記判定を行う
ことを特徴とする請求項２に記載のノズル検査方法。
【請求項４】
前記実装ヘッドは、複数のノズルを有し、
前記覆設ステップ及び計測ステップは、前記複数のノズルに対して順次行われる
ことを特徴とする請求項１に記載のノズル検査方法。
【請求項５】
前記ノズル検査方法は、さらに、前記判定ステップにより得られた判定結果を当該判定が行われたノズルに対応付けて格納する結果格納ステップを含む
ことを特徴とする請求項１に記載のノズル検査方法。
【請求項６】
ノズルを有する実装ヘッドと、
前記ノズルを検査するノズル検査手段とを備え、
前記ノズル検査手段は、孔が設けられた本体と、前記孔に配設された流量センサとを有し、
前記ノズルにおけるエアの吸引又は排出を行うノズル口と前記孔の開口とが連通するように、前記開口には前記ノズル口が覆設される
ことを特徴とする部品実装装置。
【請求項７】
前記実装ヘッドは、複数のノズルを有する
ことを特徴とする請求項６に記載の部品実装装置。
【請求項８】
ノズルを有する実装ヘッドとノズル検査手段とを備える部品実装装置における部品実装方法であって、
前記ノズルにおけるエアの吸引又は排出を行うノズル口と前記ノズル検査手段に設けられた孔の開口とが連通するように、前記開口に前記ノズル口を覆設する覆設ステップと、
前記ノズルによりエアの吸引又は排出を行い、前記エアの吸引又は排出を行っているときの前記孔におけるエアの流量を計測する計測ステップと、
計測された前記流量の値が所定の閾値より大きくなるか否かを判定する判定ステップと、
前記流量の値が所定の閾値より大きくないと判定されたノズルを用いて部品を実装する実装ステップとを含む
ことを特徴とする部品実装方法。
【請求項９】
部品実装装置における実装ヘッドのノズルを検査する方法のプログラムであって、
前記ノズルにおけるエアの吸引又は排出を行うノズル口と前記ノズル検査手段に設けられた孔の開口とが連通するように、前記開口に前記ノズル口を覆設する覆設ステップと、
前記ノズルによりエアの吸引又は排出を行い、前記エアの吸引又は排出を行っているときの前記孔におけるエアの流量を計測する計測ステップとをコンピュータに実行させる
ことを特徴とするプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズル検査方法に関し、特に部品実装装置の実装ヘッドのノズルの検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、基板に電子部品（以下、単に「部品」という）を実装する装置として部品実装装置がある。部品実装装置においては、実装ヘッドの吸着ノズルを用いて部品トレイ及びテープフィーダから部品を取り出して基板に移送搭載する。
【０００３】
ところで、部品の微小化に対応して吸着ノズルの先端も微小化されており、吸着ノズルを用いて生産を繰り返す度に吸着ノズルの先端が劣化し、最終的にはノズルの割れ・欠けが生じる。このような場合、部品の吸着力が低下し、結果として部品実装に際しての吸着ノズルの回転動作や吸着ノズルの上下動作によって、部品吸着姿勢を強固に維持できなくなる。その結果、部品の実装精度に悪影響が出てしまい、歩留まりが低下する。
【０００４】
このような問題を解決する技術として、例えば特許文献１に記載のものがある。この技術では、吸着ノズル管内のエア流路に流量センサを設け、吸着ノズルからエアを排出させるエアブロー時のエアの流量を計測し、その計測値に基づいて吸着ノズルの異常を検出している。
【特許文献１】特開２００３−２２４３９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の技術では、以下のような問題がある。
すなわち、最近は複数の吸着ノズルを有するマルチノズルヘッドが主流となってきている。特許文献１に記載の技術をこのマルチノズルヘッドに利用する場合、複数のノズル全てのエア流路に流量センサを設ける、又は流量センサの計測を各吸着ノズルに対して切り替える切り替え機構を設ける必要がある。いずれの場合も、実装ヘッドの重量が大きくなるため、実装ヘッドを停止させる際に実装ヘッドに大きな慣性力が働き、実装の位置精度が悪くなる。
【０００６】
また、特許文献１に記載の技術では、部品を吸着した状態での吸着ノズル管内の流量を計測するため、流量が異常値になった場合に、その異常がノズルの割れ・欠けによるものなのか、部品の吸着状態によるものなのか判別し難い。
【０００７】
そこで、本発明は、かかる問題点に鑑み、実装の位置精度を悪化させず、高精度にノズルの異常を検出することが可能なノズル検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明のノズル検査方法は、部品実装装置における実装ヘッドのノズルをノズル検査手段により検査する方法であって、前記ノズルにおけるエアの吸引又は排出を行うノズル口と前記ノズル検査手段に設けられた孔の開口とが連通するように、前記開口に前記ノズル口を覆設する覆設ステップと、前記ノズルによりエアの吸引又は排出を行い、前記エアの吸引又は排出を行っているときの前記孔におけるエアの流量を計測する計測ステップとを含むことを特徴とする。ここで、前記ノズル検査方法は、さらに、前記判定ステップにより得られた判定結果を当該判定が行われたノズルに対応付けて格納する結果格納ステップを含んでもよい。
【０００９】
これによって、実装ヘッドのノズルは、実装ヘッドとは別に設けられたノズル検査手段により検査される。従って、特許文献１の技術と異なり実装ヘッドに流量センサを設ける必要がないので、実装ヘッドの重量が大きくならない。その結果、実装の位置精度を悪化させずに、ノズルの異常を検出することが可能なノズル検査方法を実現できる。
【００１０】
また、ノズルの検査は、部品を吸着していない状態で行われる。従って、特許文献１の技術と異なりノズルの割れ・欠けによる異常を高精度に検出することが可能なノズル検査方法を実現できる。
【００１１】
ここで、前記判定ステップでは、前記所定の閾値を前記ノズルの種類と対応付けて格納する閾値テーブルを参照し、当該判定が行われるノズルの種類に対応付けられた前記所定の閾値を用いて前記判定を行ってもよい。
【００１２】
これによって、ノズルの種類に応じた適切な検査をノズルに対して行うことができるため、ノズルの異常をさらに高精度に検出することが可能なノズル検査方法を実現できる。
【００１３】
また、前記実装ヘッドは、複数のノズルを有し、前記覆設ステップ及び計測ステップは前記複数のノズルに対して順次行われてもよい。
【００１４】
これによって、マルチノズルヘッドにおけるノズルの異常を高精度に検出することが可能なノズル検査方法を実現できる。
【００１５】
また、本発明は、ノズルを有する実装ヘッドと、前記ノズルを検査するノズル検査手段とを備え、前記ノズル検査手段は、孔が設けられた本体と、前記孔に配設された流量センサとを有し、前記ノズルにおけるエアの吸引又は排出を行うノズル口と前記孔の開口とが連通するように、前記開口には前記ノズル口が覆設されることを特徴とする部品実装装置とすることもできる。
【００１６】
これによって、実装の位置精度を悪化させず、高精度にノズルの異常を検出することが可能な部品実装装置を実現できる。
【００１７】
ここで、前記実装ヘッドは、複数のノズルを有してもよい。
これによって、マルチノズルヘッドにおけるノズルの異常を高精度に検出することが可能な部品実装装置を実現できる。
【００１８】
また、本発明は、ノズルを有する実装ヘッドとノズル検査手段とを備える部品実装装置における部品実装方法であって、前記ノズルにおけるエアの吸引又は排出を行うノズル口と前記ノズル検査手段に設けられた孔の開口とが連通するように、前記開口に前記ノズル口を覆設する覆設ステップと、前記ノズルによりエアの吸引又は排出を行い、前記エアの吸引又は排出を行っているときの前記孔におけるエアの流量を計測する計測ステップと、前記流量の計測が行われたノズルを用いて部品を実装する実装ステップとを含むことを特徴とする部品実装方法とすることもできる。
【００１９】
これによって、実装の位置精度を悪化させず、高精度にノズルの異常を検出することが可能な部品実装方法を実現できる。
【００２０】
なお、本発明は、このようなノズル検査方法及び部品実装装置として実現することができるだけでなく、その方法により実装ヘッドのノズルを検査するプログラム、及びそのプログラムを格納する記憶媒体としても実現することができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、実装の位置精度を悪化させず、高精度にノズルの異常を検出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の実施の形態におけるノズル検査方法について、図面を参照しながら説明する。
【００２３】
図１は、本実施の形態の部品実装装置の構成を示す上面図である。
この部品実装装置は、基台１００、搬送路１０１、部品供給部１０３、実装ヘッド１０５、認識カメラ１０６、ノズル先端チェック部１０７、廃棄トレイ１０８、ノズルステーション１０９及び回収コンベア１１０を備える。
【００２４】
搬送路１０１は、基台１００の中央部に配設され、基板を各装着ステージ１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃ及び１０１ｄに搬送して位置決めする。部品供給部１０３は、テープフィーダ１０２が複数並設され、複数種類の部品を供給する。認識カメラ１０６は、実装ヘッド１０５に吸着保持された部品を下方から認識する。廃棄トレイ１０８は、部品が廃棄されるトレイである。ノズルステーション１０９は、実装ヘッド１０５の交換用の吸着ノズル（以下、単に「ノズル」ともいう）を保持する。
【００２５】
図２（ａ）は実装ヘッド１０５の斜視図であり、図２（ｂ）は実装ヘッド１０５の下面図であり、図２（ｃ）は実装ヘッド１０５の前面図及び側面図である。
【００２６】
実装ヘッド１０５は、部品供給部１０３から部品を取り出して基板に移送搭載する。実装ヘッド１０５には、図２（ａ）に示されるように、テープフィーダ１０２のテープ送り方向と垂直方向（図２（ａ）におけるＺ軸方向）に直列状に等間隔で並んだ複数のノズル２００が２列だけノズルフランジ２０１を介して着脱自在に取り付けられている。これら複数のノズル２００は、複数のテープフィーダ１０２から部品を一括吸着して保持することが可能である。
【００２７】
図３（ａ）及び（ｂ）は、実装ヘッド１０５の駆動機構を説明するための図である。
実装ヘッド１０５は、図３（ａ）及び（ｂ）に示されるように、Ｈ軸モータ２５０、θモータ２５１、選択バルブ２５２及び基板カメラ２５３を備える。
【００２８】
Ｈ軸モータ２５０は、ノズル２００を上下方向（Ｈ軸方向）に昇降させる。θモータ２５１は、Ｈ軸を中心としてノズル２００を回転させる。選択バルブ２５２は、Ｈ軸モータ２５０により昇降動作させるノズル２００を選択する。基板カメラ２５３は、基板の状態を２次元又は３次元的に検査する。
【００２９】
図４は、ノズル先端チェック部１０７の構成を示す図である。
ノズル先端チェック部１０７は、部品供給部１０３と各装着ステージとの間に配設される。ノズル先端チェック部１０７は、図４に示されるように、流量センサ３００、本体３０３、ラバー３０４、ＳＵＳ（ステンレス鋼）治具３０５及び押え板３０６から構成される。
【００３０】
本体３０３の内部にはエアの流路、つまり孔が設けられている。押え板３０６は、ラバー３０４及びＳＵＳ治具３０５を挟み込んで本体３０３に固定される。
【００３１】
流量センサ３００は、チューブ３０１及びニップル３０２を有し、本体３０３の孔における流量を計測する。ニップル３０２は、本体３０３の孔の内部に配設され、チューブ３０１を介して流量センサ３００と接続される。
【００３２】
ラバー３０４、ＳＵＳ治具３０５及び押え板３０６には開口が設けられており、これらはその開口が本体３０３の孔の開口上方に位置するように本体３０３に配置される。
【００３３】
上記構成を有するノズル先端チェック部１０７において、ノズル２００の検査が行われる場合、図５の断面図に示されるように、ノズル２００におけるエアの吸引を行うノズル口（図５におけるＡ）と本体３０３の孔（図５におけるＢ）の開口（図５におけるＣ）とが連通するように、本体３０３の孔の開口にノズル口が覆設される。そして、この状態でノズル２００によるエア吸引が行われ、そのときの孔内におけるエアの流量が流量センサ３００で計測される。割れ・欠けが無い正常なノズル２００によりエア吸引が行われた場合には、本体３０３とノズル２００とが密着するため、本体３０３の孔は真空密封される。従って、本体３０３の孔における流量の変化を計測することにより、極めて高い精度で不良ノズルを検出することができる。
【００３４】
図６は、本実施の形態の部品実装装置の構成を示す機能ブロック図である。
この部品実装装置は、機構部４４０、実装制御部４４１、表示部４４２、入力部４４３、記憶部４４４、通信Ｉ／Ｆ部４４５、及びノズル良否判定部４４６を備える。
【００３５】
機構部４４０は、搬送路１０１、部品供給部１０３、実装ヘッド１０５、認識カメラ１０６、ノズル先端チェック部１０７、及びこれらを駆動するモータやモータコントローラ等を含む機構部品の集合である。
【００３６】
実装制御部４４１は、オペレータからの指示等に従って、記憶部４４４のＮＣデータ（実装データ）をロードして実行し、その実行結果に従って機構部４４０を制御する。
【００３７】
表示部４４２は、ＣＲＴ（Cathode-Ray Tube）やＬＣＤ（Liquid Crystal Display）等であり、入力部４４３は、キーボードやマウス等である。これらは、本部品実装装置とオペレータとが対話する等のために用いられる。
【００３８】
記憶部４４４は、ハードディスクやメモリ等であり、実装データ４４４ａ、部品ライブラリ４４４ｂ、ノズル良否テーブル４４４ｃ、判定結果テーブル４４４ｄ、及び流量閾値テーブル４４４ｅ等を保持する。
【００３９】
実装データ４４４ａは、部品の実装条件に関する情報であり、実装の対象となる全ての部品の実装点を示す情報の集まりである。
【００４０】
部品ライブラリ４４４ｂは、部品実装装置が扱うことができる全ての部品種それぞれについての固有の情報を集めたライブラリである。
【００４１】
ノズル良否テーブル４４４ｃは、何れのノズル２００が吸着ミスを所定回数以上繰り返した不良ノズルであるか、ユーザが予め指定した不良ノズルであるか、又は物理的に曲がっている不良ノズルであるかを示すテーブルである。
【００４２】
判定結果テーブル４４４ｄは、図７に示されるような、良否判定が行われたノズルと、それに対応付けられたノズル２００の良否判定結果とからなるテーブルである。判定結果テーブル４４４ｄにおいて、「ノズル」の欄における１〜１０の数字は実装ヘッド１０５の各ノズルを示している。「ノズル良否テーブルによる良否判定結果」の欄における「○」は該当するノズルがノズル良否テーブル４４４ｃに基づいて不良ノズルと判定されたことを示し、「×」はそうでないことを示している。「流量計測による良否判定結果」の欄における「○」は該当するノズルがノズル先端チェック部１０７により流量計測された結果、その値が所定の閾値以下であると判定されたことを示し、「×」は所定の閾値より大きいと判定されたことを示している。
【００４３】
流量閾値テーブル４４４ｅは、図８に示されるような、ノズル形状等のノズルの種類と、それに対応付けられた流量の閾値とからなるテーブルである。流量閾値テーブル４４４ｅにおいて、「ノズル」の欄における「ノズルＡ」及び「ノズルＢ」等はノズルの種類を示し、「流量の閾値」の欄における値はノズルの種類に応じて個別に決められたノズル２００の良否判定に用いる流量の閾値を示している。なお、流量の閾値は、正常なノズル、つまり割れ・欠けの無いノズルでエア吸引が行われた場合に、ノズル先端チェック部１０７で計測される流量に基づいて決められ、ノズルの種類により異なる。
【００４４】
通信Ｉ／Ｆ部４４５は、ＬＡＮ（Local Area Network）アダプタ等であり、本部品実装装置と他の部品実装装置との通信等に用いられる。
【００４５】
ノズル良否判定部４４６は、ノズル２００の良否を判定する。つまり、ノズル良否判定部４４６は、ノズル良否テーブル４４４ｃとノズル先端チェック部１０７による流量計測結果とに基づいて、ノズル２００が不良ノズルであるか否かを判定し、判定結果テーブル４４４ｄを更新する。なお、ノズル良否判定部４４６及びノズル先端チェック部１０７は、本発明のノズル検査手段の一例である。
【００４６】
次に、上記構成を有する部品実装装置におけるノズル２００の検査動作について説明する。図９は、同部品実装装置におけるノズル２００の検査動作を示すフローチャートである。
【００４７】
実装制御部４４１は、入力部４４３及び表示部４４２を介してユーザからのノズル検査開始の指示を受け、ノズル（Ｎ）までの実装ヘッド１０５の全てのノズル（ｉ）についての検査（ステップＳ５１〜Ｓ６１）を開始する。具体的には、図１０に示されるような画面において、「Measurement」のボタンを押下することによりユーザは検査開始を指示し、これを受けてノズルの検査が開始される。
【００４８】
まず、ノズル良否判定部４４６は、ノズル（ｉ）が不良ノズルであるか否かを判定する（ステップＳ５２）。具体的には、ノズル（ｉ）が吸着ミスを所定回数以上繰り返した不良ノズルであるか、ユーザが予め指定した不良ノズルであるか、又は物理的に曲がっている不良ノズルであるか否かを判定する。判定は、ノズル（ｉ）が記憶部４４４に格納されたノズル良否テーブル４４４ｃに不良ノズルとして示されているか否かを確かめることにより行われる。
【００４９】
次に、ノズル（ｉ）が不良ノズルであると判定された場合（ステップＳ５２でＹｅｓ）、ノズル良否判定部４４６は、判定結果テーブル４４４ｄを更新し、次のノズルについて検査を行う。具体的には、判定結果テーブル４４４ｄにおけるノズル（ｉ）の「ノズル良否テーブルによる良否判定結果」の欄を「×」とし、次のノズルについて検査を行う。これにより、流量の測定によるノズル検査をするまでもなく、既に不良とわかっているノズルについては、流量の測定が行われない。その結果、ノズル検査の効率化が実現される。
【００５０】
一方、ノズル（ｉ）が不良ノズルでないと判定された場合（ステップＳ５２でＮｏ）、ノズル良否判定部４４６は、ノズル（ｉ）に部品が吸着されているか否かを判定する（ステップＳ５３）。具体的には、ノズル（ｉ）がＮＣデータに従って部品吸着動作を行っているか否かを判定する。ノズル（ｉ）が部品を吸着した状態で部品実装装置の電源が落ちると、電源復帰後のノズル（ｉ）の検査において、ノズル（ｉ）が部品を吸着した状態でノズル先端チェック部１０７に移動し、ノズル（ｉ）とノズル先端チェック部１０７との間に部品が挟みこまれる可能性がある。従って、ノズル（ｉ）に部品が吸着されているか否かを判定することにより、これを回避することができる。
【００５１】
次に、ノズル（ｉ）に部品が吸着されていると判定された場合（ステップＳ５３でＹｅｓ）、ノズル良否判定部４４６は、次のノズルについて検査を行う。
【００５２】
一方、ノズル（ｉ）に部品が吸着されていないと判定された場合（ステップＳ５３でＮｏ）、実装制御部４４１は、機構部４４０により、ノズル（ｉ）が検査可能な状態になるように実装ヘッド１０５をノズル先端チェック部１０７に移動させる（ステップＳ５４）。具体的には、ノズル（ｉ）のノズル口がノズル先端チェック部１０７の本体３０３における孔の開口上方に位置するように、実装ヘッド１０５を移動させる。
【００５３】
次に、実装制御部４４１は、機構部４４０により、ノズル（ｉ）を下降させ、ノズル（ｉ）とノズル先端チェック部１０７の本体３０３とが接し、ノズル（ｉ）のノズル口とノズル先端チェック部１０７の本体３０３の孔の開口とが連通するように、該本体３０３の孔の開口にノズル口を覆設させる（ステップＳ５５）。
【００５４】
次に、実装制御部４４１は、機構部４４０により、ノズル（ｉ）にエア吸引を行わせ、そのときのノズル先端チェック部１０７の本体３０３の孔内におけるエアの流量を流量センサ３００で計測させる（ステップＳ５６）。
【００５５】
次に、ノズル良否判定部４４６は、ステップＳ５６でノズル先端チェック部１０７により計測された流量が所定の閾値より大きいか否かを判定する（ステップＳ５７）。このとき、所定の閾値は、判定対象となるノズル（ｉ）の種類と流量閾値テーブル４４４ｅとから決められる。例えば、判定対象となるノズル（ｉ）がノズルＡという種類である場合には、所定の閾値は流量閾値テーブル４４４ｅにおいてノズルＡに対応付けられた１×１０-3Ｌ／ｍｉｎとされる。
【００５６】
次に、流量が所定の閾値より大きいと判定された場合（ステップＳ５７でＹｅｓ）、ノズル良否判定部４４６は、検査が行われたノズル（ｉ）を不良ノズルであると判定し、判定結果テーブル４４４ｄを更新する（ステップＳ５８）。具体的には、判定結果テーブル４４４ｄにおけるノズル（ｉ）の「ノズル良否テーブルによる良否判定結果」の欄を「○」とし、「流量計測による良否判定結果」の欄を「×」とする。
【００５７】
一方、流量が所定の閾値以下であると判定された場合（ステップＳ５７でＮｏ）、ノズル良否判定部４４６は、検査が行われたノズル（ｉ）を不良ノズルでないと判定し、判定結果テーブル４４４ｄを更新する（ステップＳ５９）。具体的には、判定結果テーブル４４４ｄにおけるノズル（ｉ）の「ノズル良否テーブルによる良否判定結果」の欄を「○」とし、「流量計測による良否判定結果」の欄を「○」とする。
【００５８】
次に、実装制御部４４１は、機構部４４０により、ノズル（ｉ）を上昇させる（ステップＳ６０）。
【００５９】
最後に、図１１（ａ）〜（ｊ）に示されるように、ノズル（Ｎ）までの全てのノズル（ｉ）についてノズルの下降、検査及び上昇を繰り返させて全てのノズルについて同様の検査を行い（ステップＳ５１〜Ｓ６１）、ノズルの検査を終了する。なお、図１１（ａ）〜（ｊ）において、左側の図は実装ヘッド１０５の前面図を示し、右側の図は実装ヘッド１０５の側面図を示している。
【００６０】
実装ヘッド１０５の全てのノズル（ｉ）についての検査が行われた場合、図１０に示されるような画面が検査結果として表示部４４２に表示される。この画面において、１〜１０の数字は実装ヘッド１０５の各ノズルを示し、「○」は該当するノズルが不良ノズルで無いことを示し、「×」は該当するノズルがステップＳ５２で不良ノズルであると判定されたことを示し、「△」は該当するノズルがステップＳ５７で不良ノズルであると判定されたことを示している。例えば、１で示されるノズルは不良ノズルで無いと判定され、２で示されるノズルはステップＳ５２で不良ノズルであると判定され、６で示されるノズルはステップＳ５７で不良ノズルであると判定されたことが示されている。
【００６１】
以上のように、本実施の形態の部品実装装置によれば、実装ヘッド１０５のノズル２００は、実装ヘッド１０５とは別に設けられたノズル先端チェック部１０７により検査される。従って、特許文献１の技術と異なり実装ヘッド１０５に流量センサを設ける必要がないので、実装ヘッド１０５の重量が大きくならない。その結果、実装の位置精度を悪化させずに、ノズルの異常を検出することができる。同時に、実装ヘッド１０５が複数のノズルを備える場合でも、流量を計測するノズルを切り替える機構を実装ヘッドに設ける必要がなく、単に各ノズルを順次ノズル先端チェック部１０７に位置決めして下降させるだけで、容易に各ノズルの異常の検出ができる。
【００６２】
また、本実施の形態の部品実装装置によれば、ノズル２００の検査は、部品を吸着していない状態で行われる。従って、特許文献１の技術と異なりノズルの割れ・欠けによる異常を高精度に検出することができる。
【００６３】
また、本実施の形態の部品実装装置によれば、ノズル先端チェック部１０７は、部品供給部１０３と各装着ステージとの間、具体的には部品実装における実装ヘッド１０５の移動経路に配設される。従って、部品実装を行っている間でも効率的にノズルの検査を行うことができる。
【００６４】
また、本実施の形態の部品実装装置によれば、ノズル２００の検査に用いる流量の閾値は、判定対象となるノズル２００の種類と流量閾値テーブル４４４ｅとから決められ、ノズル２００の種類に応じて変えられる。従って、ノズルの種類に応じた適切な検査をノズルに対して行うことができ、ノズルの異常をさらに高精度に検出することできる。
【００６５】
以上、本発明のノズル検査方法について、実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、この実施の形態に限定されるものではない。本発明の要旨を逸脱しない範囲内で当業者が思いつく各種変形を施したものも本発明の範囲内に含まれる。
【００６６】
例えば、上記実施の形態の部品実装装置において、実装制御部は、入力部及び表示部を介してユーザからの検査開始の指示を受け、ノズルの検査を開始するとした。しかし、一定回数の部品実装が行われる、又は一定枚数の基板に部品を実装が行われる等のユーザが定める所定の条件を満たした場合に、自動的にノズルの検査が行われてもよい。
【００６７】
また、上記実施の形態の部品実装装置において、ノズルが不良ノズルであると判定された場合、実装制御部は、機構部により、不良ノズルを新たなノズルと交換させたり、その不良ノズルを無効にしてそれ以外のノズルにより部品実装が行われるようにしたりしてもよい。
【００６８】
また、上記実施の形態の部品実装装置において、ノズルによるエア吸引を行って不良ノズルを検出するとした。しかし、ノズルによるエア排出を行って不良ノズルを検出しても同様の効果が得られる。この場合、流量閾値テーブルにおける流量の閾値は、正常なノズル、つまり割れ・欠けの無いノズルでエア排出が行われた場合に、ノズル先端チェック部で計測される流量に基づいて決められる。
【００６９】
また、上記実施の形態の部品実装装置において、ノズル先端チェック部は、部品供給部と各装着ステージとの間に配設されるとしたが、実装ヘッドの可動範囲内に配設されればこれに限られない。
【００７０】
また、上記実施の形態の部品実装装置において、ノズルの異常としてノズルの割れ・欠けを例示したが、ノズル先端の流量を計測することにより検出することが可能なノズルの異常であればこれに限られない。
【産業上の利用可能性】
【００７１】
本発明は、ノズル検査方法に利用でき、特に部品実装装置の実装ヘッドのノズルの検査方法等に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】本実施の形態の部品実装装置の構成を示す上面図である。
【図２】（ａ）実装ヘッドの斜視図である。（ｂ）実装ヘッドの下面図である。（ｃ）実装ヘッドの前面図及び側面図である。
【図３】（ａ）実装ヘッドの駆動機構を説明するための図である。（ｂ）実装ヘッドの駆動機構を説明するための図である。
【図４】ノズル先端チェック部の構成を示す図である。
【図５】ノズル先端チェック部によるノズルの検査を説明するための図である。
【図６】同部品実装装置の構成を示す機能ブロック図である。
【図７】判定結果テーブルを示す図である。
【図８】流量閾値テーブルを示す図である。
【図９】同部品実装装置におけるノズルの検査動作を示すフローチャートである。
【図１０】表示部に表示されるノズルの検査に係る画面の一例を示す図である。
【図１１】実装ヘッドの全てのノズルについて検査が行われる様子を説明するための図である。
【符号の説明】
【００７３】
１００    基台
１０１    搬送路
１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃ、１０１ｄ    装着ステージ
１０２    テープフィーダ
１０３    部品供給部
１０５    実装ヘッド
１０６    認識カメラ
１０７    ノズル先端チェック部
１０８    廃棄トレイ
１０９    ノズルステーション
１１０    回収コンベア
２００    ノズル
２０１    ノズルフランジ
２５０    Ｈ軸モータ
２５１    θモータ
２５２    選択バルブ
２５３    基板カメラ
３００    流量センサ
３０１    チューブ
３０２    ニップル
３０３    本体
３０４    ラバー
３０５    ＳＵＳ（ステンレス鋼）治具
３０６    押え板
４４０    機構部
４４１    実装制御部
４４２    表示部
４４３    入力部
４４４    記憶部
４４４ａ    実装データ
４４４ｂ    部品ライブラリ
４４４ｃ    ノズル良否テーブル
４４４ｄ    判定結果テーブル
４４４ｅ    流量閾値テーブル
４４５    通信Ｉ／Ｆ部
４４６    ノズル良否判定部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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