(57)【要約】【課題】電子回路部品装着装置において電子回路部品の回路基板への装着位置精度を簡単に検査すること、あるいはその検査結果を利用して装着位置精度を向上させることを可能にし、そのために便利な精度検査用ユニットを得る。【解決手段】検査用の形象表示チップ２０４，角チップ２０６を使用して検査用基準マーク２４２を基準とするノズル回転軸線，ヘッド側基準マーク，基準マークカメラの相対位置誤差を取得して電子回路部品の装着時に使用する。また、検査用基準マーク２４２を基板基準マーク、形象表示チップ２０４，角チップ２０６を電子回路部品、載置部２３８，２４０を回路基板の部品装着箇所と見なし、チップ２０４，２０６の載置部２３８，２４０への載置を電子回路部品の回路基板への装着に模して行い、載置したチップ２０４，２０６を撮像して載置位置誤差，ノズル回転軸線の位置ずれを取得し、部品装着時に載置位置誤差等も合わせて修正する。【選択図】図５
2008205134.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回路基板を保持する基板保持装置と、
電子回路部品を保持し、回転軸線のまわりに回転可能な部品保持ヘッドと、
その部品保持ヘッドを前記回転軸線のまわりに回転させるヘッド回転装置と、
それら部品保持ヘッドおよびヘッド回転装置を移動させるヘッド移動装置と、
そのヘッド移動装置により前記部品保持ヘッドと共に移動させられ、前記基板保持装置に保持された回路基板の基準マークである基板基準マークを撮像する基準マークカメラと、
前記部品保持ヘッドに保持された電子回路部品を撮像する部品カメラと、
それら部品保持ヘッド，ヘッド回転装置，ヘッド移動装置，基準マークカメラおよび部品カメラを制御して電子回路部品を回路基板に装着させる制御装置と、
前記電子回路部品に対応する大きさを有する検査用チップと、
その検査用チップが載置可能な載置部および前記基板基準マークとは別の検査用基準マークを備えた検査台と、
前記制御装置に設けられた装着位置精度検査制御部であって、(a)前記部品保持ヘッドに前記検査用チップを保持させ、その検査用チップを前記部品カメラに撮像させ、その撮像結果に基づいて部品保持ヘッドによる検査用チップの保持位置誤差を取得することと、(b)前記基準マークカメラに前記検査用基準マークを撮像させ、その撮像結果に基づいて基準マークカメラと検査用基準マークとの相対位置誤差を取得することと、(c)それら(a)および(b)において取得した部品保持ヘッドによる検査用チップの保持位置誤差および基準マークカメラと検査用基準マークとの相対位置誤差を修正して検査用チップを前記載置部に載置させ、載置された検査用チップを前記基準マークカメラに撮像させて、検査用チップの載置位置誤差を取得することとを行う装着位置精度検査制御部と
を含むことを特徴とする電子回路部品装着装置。
【請求項２】
前記制御装置が、前記部品保持ヘッドの回転軸線，前記部品カメラまたは前記部品保持ヘッド側に設けられたヘッド側基準部，および前記基準マークカメラの予め取得された相対位置誤差を記憶する位置誤差記憶部を含み、前記装着位置精度検査制御部が、その位置誤差記憶部に記憶されている相対位置誤差を修正しつつ装着位置精度検査を実行することを特徴とする請求項１に記載の電子回路部品装着装置。
【請求項３】
さらに、(d)前記(c)において載置部に載置された検査用チップを部品保持ヘッドに保持させ、その部品保持ヘッドを予め定められた角度回転させた後再び載置部に載置させ、載置された検査用チップを再び前記基準マークカメラに撮像させて、載置位置誤差を取得することを１回以上行うこととを含むことを特徴とする請求項１または２に記載の電子回路部品装着装置。
【請求項４】
前記制御装置が、予め定められた条件が満たされた場合に前記装着位置精度検査制御部を自動で作動させる自動精度検査開始部を含むことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の電子回路部品装着装置。
【請求項５】
前記制御装置が、前記部品保持ヘッドによる前記電子回路部品の保持位置誤差、および前記基準マークカメラによる前記基板基準マークの撮像結果から取得される前記基板保持装置による前記回路基板の保持位置誤差と共に、前記装着位置精度検査制御部により取得された載置位置誤差を、前記電子回路部品の前記回路基板への装着作業実行時における装着位置の修正データとして使用することを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の電子部品装着装置。
【請求項６】
さらに、前記制御装置に設けられた誤差検出制御部であって、（Ａ）前記基準マークカメラに前記検査用基準マークを撮像させ、その撮像結果に基づいて基準マークカメラと検査用基準マークとの相対位置誤差を取得する第１誤差取得と、（Ｂ）(i)前記部品保持ヘッドに前記検査用チップを保持させ、その検査用チップを前記部品カメラに撮像させ、(ii)その撮像後の検査用チップを前記チップ載置部に載置させてその検査用チップと前記検査用基準マークとを前記基準マークカメラに撮像させ、(iii)少なくともその撮像結果に基づいて、前記部品カメラまたは前記部品保持ヘッド側に設けられたヘッド側基準部と前記検査用基準マークとの相対位置誤差を取得する第２誤差取得と、（Ｃ）(iv)前記部品保持ヘッドに前記検査用チップを保持させ、その検査用チップを前記載置部に載置させてその検査用チップと前記検査用基準マークとを前記基準マークカメラに撮像させ、(v)その撮像後、前記部品保持ヘッドに前記載置部の検査用チップを保持させて予め定められた角度回転させた上で、再び前記載置部に載置させてその検査用チップと前記検査用基準マークとを前記基準マークカメラに再び撮像させることを１回以上行わせ、(vi)それら(iv)および(v)の撮像結果から前記部品保持ヘッドの回転軸線と前記検査用基準マークとの相対位置誤差を取得する第３誤差取得とを行って、前記検査用基準マークを基準とする前記部品保持ヘッドの回転軸線，前記基準マークカメラ，および前記部品カメラまたは前記部品保持ヘッド側に設けられたヘッド側基準部の相対位置誤差を取得する誤差検出制御部を含むことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の電子回路部品装着装置。
【請求項７】
回路基板を保持する基板保持装置と、
電子回路部品を保持し、それぞれの回転軸線のまわりに回転可能な複数の部品保持ヘッドと、
それら部品保持ヘッドをそれら部品保持ヘッドの各回転軸線のまわりに回転させるヘッド回転装置と、
それら部品保持ヘッドおよびヘッド回転装置を移動させるヘッド移動装置と、
そのヘッド移動装置により前記部品保持ヘッドと共に移動させられ、前記基板保持装置に保持された回路基板の基準マークである基板基準マークを撮像する基準マークカメラと、
前記複数の部品保持ヘッドにそれぞれ保持された電子回路部品を撮像する部品カメラと、
それら部品保持ヘッド，ヘッド回転装置，ヘッド移動装置，基準マークカメラおよび部品カメラを制御して電子回路部品を回路基板に装着させる制御装置と、
大きさを異にする複数種類の電子回路部品にそれぞれ対応する大きさを有する最大チップおよび最小チップを含む複数種類の検査用チップと、
それら複数種類の検査用チップが載置可能な１つ以上の載置部および前記基板基準マークとは別の検査用基準マークを備えた検査台と、
前記制御装置に設けられた装着位置精度検査制御部であって、(a)前記複数の部品保持ヘッドの１つに前記検査用チップを保持させ、その検査用チップを前記部品カメラに撮像させ、その撮像結果に基づいて部品保持ヘッドによる検査用チップの保持位置誤差を取得することと、(b)前記基準マークカメラに前記検査用基準マークを撮像させ、その撮像結果に基づいて基準マークカメラと検査用基準マークとの相対位置誤差を取得することと、(c)それら(a)および(b)において取得した前記１つの部品保持ヘッドによる検査用チップの保持位置誤差および基準マークカメラと検査用基準マークとの相対位置誤差を修正して検査用チップを前記載置部に載置させ、載置された検査用チップを前記基準マークカメラに撮像させて、検査用チップの載置位置誤差を取得することと、(d)前記(a)ないし(c)を前記複数の部品保持ヘッドおよび複数の前記検査用チップのそれぞれ別のものに対して行うこととを含む装着位置精度検査を実行する装着位置精度検査制御部と
を含むことを特徴とする電子回路部品装着装置。
【請求項８】
大きさを異にする複数種類の電子回路部品にそれぞれ対応する大きさを有する最大チップおよび最小チップを含む複数種類の検査用チップと、
それら複数種類の検査用チップが載置可能な１つ以上の載置部、および検査用基準マークを備えた検査台と
を含むことを特徴とする電子回路部品装着装置の精度検査用ユニット。
【請求項９】
前記複数種類の検査用チップが、大きさが比較的大きい電子回路部品の形象が形成された形象表示チップと、大きさが比較的小さい電子回路部品に対応する外形を有する角チップとを含むことを特徴とする請求項８に記載の精度検査用ユニット。
【請求項１０】
前記載置部が、前記複数種類の検査用チップが択一的に載置可能な１つ以上の載置部を含むことを特徴とする請求項８または９に記載の精度検査用ユニット。
【請求項１１】
前記検査用基準マークが、前記載置部に前記最小チップが載置された状態でその最小チップに近接する位置に設けられ、その検査用基準マークが前記載置部に載置された前記最大チップを通して視認可能であることを特徴とする請求項８ないし１０のいずれかに記載の精度検査用ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子回路部品の回路基板への装着の位置精度向上に関するものであり、特に、装着位置精度の検査に用いられる精度検査用ユニットおよびそれを備えた電子回路部品装着装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子回路部品を回路基板上に設定された部品装着箇所に精度良く装着するために、従来、種々の手段が講じられている。例えば、下記の特許文献１に記載されているように、吸着ノズルにより吸着された電子回路部品を部品カメラによって撮像し、吸着ノズルによる電子回路部品の保持位置誤差を検出するとともに、回路基板に形成された基準マークを基準マークカメラにより撮像して、基板保持装置による回路基板の保持位置誤差を取得し、その保持位置誤差に基づいて部品装着箇所に設けられた電極の位置誤差を推定し、その位置誤差を吸着ノズルによる電子回路部品の保持位置誤差と共に修正しつつ、電子回路部品を装着することが行われている。このようにして、電子回路部品の装着位置精度を向上させるためには、部品カメラと基準マークカメラとの正確な相対位置が既知であることが必要であり、さらに、電子回路部品を部品カメラによる撮像の後に吸着ノズルと共に回転させて装着する場合や、吸着ノズルの昇降方向の傾きが無視できない場合等には、吸着ノズルの回転軸線（電子回路部品の装着時に吸着ノズルは通常この回転軸線に沿って下降させられる）と部品カメラや基準マークカメラとの正確な相対位置が既知であることが必要である。
【０００３】
そのため、特許文献１に記載の電子回路部品装着装置においては、較正台および較正ゲージを用いて、吸着ノズルの回転軸線と、部品カメラの中心（撮像面の中心）と、基準マークカメラの中心（撮像面の中心）との３者の相対位置誤差が取得される。較正台および較正ゲージにはそれぞれ複数の基準マークが設けられ、較正ゲージは較正台に設けられた収容凹部に収容される。上記３者の相対位置誤差の取得時には、吸着ノズルに較正ゲージを吸着させて部品カメラに撮像させ、撮像後、較正台の収容凹部に収容させ、基準マークカメラに撮像させることが行われる。基準マークカメラによる較正ゲージの撮像は、較正ゲージの回転位置を９０度ずつ、変更して４回行われ、部品カメラの撮像による画像データおよび基準マークカメラの撮像による画像データに基づいて、較正台の中心に対する吸着ノズルの回転軸線（吸着ノズルが較正ゲージを較正台に載置する高さにおける回転軸線），部品カメラの撮像中心および基準マークカメラの撮像中心の各位置ずれが取得される。それにより、吸着ノズルの回転軸線と部品カメラの撮像中心と基準マークカメラの撮像中心との３者の相対位置誤差が取得されたこととなり、それら相対位置誤差に基づいて、ノズル回転軸線と部品カメラとの相対位置誤差を除去しつつ、吸着ノズルによる電子回路部品の保持位置誤差の取得が行われ、基準マークカメラの位置ずれを除去しつつ基板保持装置による回路基板の保持位置誤差の取得が行われて、電子回路部品の装着位置精度が向上させられる。
【特許文献１】特開２００２−２１７５９７公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、このようにノズル回転軸線，基準マークカメラおよび部品カメラの相対位置誤差を取得し、それら相対位置誤差を除去して電子回路部品や回路基板の保持位置誤差を取得しても、なお電子回路部品の回路基板に対する装着位置に誤差が生じることがある。電子回路部品装着装置の機械的構成部材の熱変形や経年変化、あるいは電気的な制御部の温度変化や経年変化による制御特性変化等が一因と推測されるが、この装着位置誤差発生の原因を明瞭に特定することは困難である。しかし、この装着位置誤差を無視すれば、近年のプリント回路板の小型化の要求や、電子回路部品の回路基板への実装密度の向上についての要求を満たすことが困難になって来ている。
本発明は、以上の事情を背景として為されたものであり、電子回路部品装着装置において電子回路部品の回路基板への装着位置精度を簡単に検査すること、あるいはその検査結果を利用して装着位置精度を向上させることを可能にし、また、そのために便利な精度検査用ユニットを得ることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題は、電子回路部品装着装置を、（α）回路基板を保持する基板保持装置と、（β）電子回路部品を保持し、回転軸線のまわりに回転可能な部品保持ヘッドと、（γ）その部品保持ヘッドを前記回転軸線のまわりに回転させるヘッド回転装置と、（δ）それら部品保持ヘッドおよびヘッド回転装置を移動させるヘッド移動装置と、（ε）そのヘッド移動装置により前記部品保持ヘッドと共に移動させられ、基板保持装置に保持された回路基板の基準マークである基板基準マークを撮像する基準マークカメラと、（ζ）部品保持ヘッドに保持された電子回路部品を撮像する部品カメラと、（η）それら部品保持ヘッド，ヘッド回転装置，ヘッド移動装置，基準マークカメラおよび部品カメラを制御して電子回路部品を回路基板に装着させる制御装置と、（θ）電子回路部品に対応する大きさを有する検査用チップと、（ι）その検査用チップが載置可能な載置部および基板基準マークとは別の検査用基準マークを備えた検査台と、（κ）制御装置に設けられた装着位置精度検査制御部であって、(a)部品保持ヘッドに検査用チップを保持させ、その検査用チップを部品カメラに撮像させ、その撮像結果に基づいて部品保持ヘッドによる検査用チップの保持位置誤差を取得することと、(b)基準マークカメラに検査用基準マークを撮像させ、その撮像結果に基づいて基準マークカメラと検査用基準マークとの相対位置誤差を取得することと、(c)それら(a)および(b)において取得した部品保持ヘッドによる検査用チップの保持位置誤差および基準マークカメラと検査用基準マークとの相対位置誤差を修正して検査用チップを載置部に載置させ、載置された検査用チップを基準マークカメラに撮像させて、検査用チップの載置位置誤差を取得することとを行う装着位置精度検査制御部とを含むものとすることにより解決される。
【０００６】
上記部品保持ヘッドによる検査用チップの保持位置誤差の取得は、部品カメラの基準部、例えば撮像面中心を基準として行うことも、部品保持ヘッド側に設けられたヘッド側基準部を基準として行うことも可能である。後者の場合には、部品保持ヘッドを保持してヘッド移動装置により移動させられる可動部材の、部品カメラにより撮像可能な位置にヘッド側基準部を設け、部品保持ヘッドに保持された電子回路部品の部品カメラによる撮像時に、ヘッド側基準部も撮像させ、その撮像結果から、ヘッド側基準部に対する電子回路部品の相対位置誤差を取得するのである。このようにすれば、撮像時における部品カメラと部品保持ヘッドとの相対位置誤差の影響を排除することができる。
上記検査台は、載置部とは別に、検査用チップをほぼ位置決めして保持するチップ収容部を備えたものであっても、載置部がチップ収容部を兼ねるものであってもよい。
載置された検査用チップの載置位置誤差は、検査用基準マークを基準として取得されることが望ましいが、基準マークカメラを基準として取得されるようにすることも可能である。前者の場合、載置された検査用チップと検査用基準マークとは基準マークカメラにより同時に撮像されることが望ましいが、基準マークカメラの視野の広さ等の関係で別々に撮像されるようにしてもよい。また、載置位置誤差は、部品保持ヘッドの回転軸線，部品カメラまたはヘッド側基準部のいずれかを基準として取得されるようにすることも可能である。
検査用チップは、精度良く製作された検査専用のチップであることが望ましいが、電子回路部品を検査用チップとして利用することも可能である。
【０００７】
また、上記の課題は、電子回路部品装着装置の精度検査用ユニットを、（Ｉ）大きさを異にする複数種類の電子回路部品にそれぞれ対応する大きさを有する最大チップおよび最小チップを含む複数種類の検査用チップと、（ＩＩ）それら複数種類の検査用チップが載置可能な１つ以上の載置部、および検査用基準マークを備えた検査台とを含むものとすることによっても解決される。
載置部は、複数種類の検査用チップの各種類に対応して設けられた複数の専用載置部でもよく、複数種類の検査用チップのうちの少なくとも２つに共通の載置部を１つ以上含む複数の載置部でもよく、すべての検査用チップに共通の１つの共通載置部でもよい。
また、検査用チップは最大チップと最小チップのみの２つの検査用チップでもよく、３種類以上の検査用チップでもよい。
【発明の効果】
【０００８】
本発明に係る電子回路部品装着装置においては、装着位置精度検査制御部が、検査用チップおよび検査台を含む精度検査用ユニットを利用して、実際の回路基板への電子回路部品の装着作動を模した疑似装着作動を部品保持ヘッド，ヘッド回転装置，ヘッド移動装置，基準マークカメラおよび部品カメラに行わせ、載置部への検査用チップの載置位置誤差を取得する。この載置位置誤差は、電子回路部品装着装置の装着位置精度（ヘッド移動装置による部品保持ヘッドの移動位置ごとにおける位置決め誤差の変化は除外）を表すため、簡単に装着位置精度の良し悪しを検査することができ、その検査結果に基づいて、装着位置精度を向上させるために種々の措置を講じることができる。しかも、回路基板保持装置を使用することなく、装着位置精度の検査を行い得るため、回路基板の搬入，搬出時等、部品保持ヘッド，ヘッド回転装置，ヘッド移動装置，基準マークカメラおよび部品カメラの空き時間を利用して、装着位置精度検査を行うことができる。
【０００９】
また、本発明に係る精度検査用ユニットは、小型から大型まで広い範囲の電子回路部品を装着する電子回路部品装着装置において、装着位置精度を簡単にかつ高い信頼性を以て検査したり、複数の部品保持ヘッドの各回転軸線，基準マークカメラ，部品カメラ，ヘッド側基準部等、構成要素の相対位置誤差を簡単にかつ精度良く検出したりすることができる。
【発明の態様】
【００１０】
以下に、本願において特許請求が可能と認識されている発明（以下、「請求可能発明」という場合がある。請求可能発明は、少なくとも、請求の範囲に記載された発明である「本発明」ないし「本願発明」を含むが、本願発明の下位概念発明や、本願発明の上位概念あるいは別概念の発明を含むこともある。）の態様をいくつか例示し、それらについて説明する。各態様は請求項と同様に、項に区分し、各項に番号を付し、必要に応じて他の項の番号を引用する形式で記載する。これは、あくまでも請求可能発明の理解を容易にするためであり、請求可能発明を構成する構成要素の組み合わせを、以下の各項に記載されたものに限定する趣旨ではない。つまり、請求可能発明は、各項に付随する記載，実施例の記載等を参酌して解釈されるべきであり、その解釈に従う限りにおいて、各項の態様にさらに他の構成要素を付加した態様も、また、各項の態様から構成要素を削除した態様も、請求可能発明の一態様となり得るのである。
【００１１】
なお、以下の各項において、（１）項が請求項１に相当し、（２）項が請求項２に、（３）項が請求項３に、（４）項が請求項４に、（５）項が請求項５に、（６）項が請求項６に、（７）項が請求項７に、（２１）項が請求項８に、（２３）項が請求項９に、（２４）項が請求項１０に、（３０）項が請求項１１に、それぞれ相当する。
【００１２】
（１）回路基板を保持する基板保持装置と、
電子回路部品を保持し、回転軸線のまわりに回転可能な部品保持ヘッドと、
その部品保持ヘッドを前記回転軸線のまわりに回転させるヘッド回転装置と、
それら部品保持ヘッドおよびヘッド回転装置を移動させるヘッド移動装置と、
そのヘッド移動装置により前記部品保持ヘッドと共に移動させられ、前記基板保持装置に保持された回路基板の基準マークである基板基準マークを撮像する基準マークカメラと、
前記部品保持ヘッドに保持された電子回路部品を撮像する部品カメラと、
それら部品保持ヘッド，ヘッド回転装置，ヘッド移動装置，基準マークカメラおよび部品カメラを制御して電子回路部品を回路基板に装着させる制御装置と、
前記電子回路部品に対応する大きさを有する検査用チップと、
その検査用チップが載置可能な載置部および前記基板基準マークとは別の検査用基準マークを備えた検査台と、
前記制御装置に設けられた装着位置精度検査制御部であって、(a)前記部品保持ヘッドに前記検査用チップを保持させ、その検査用チップを前記部品カメラに撮像させ、その撮像結果に基づいて部品保持ヘッドによる検査用チップの保持位置誤差を取得することと、(b)前記基準マークカメラに前記検査用基準マークを撮像させ、その撮像結果に基づいて基準マークカメラと検査用基準マークとの相対位置誤差を取得することと、(c)それら(a)および(b)において取得した部品保持ヘッドによる検査用チップの保持位置誤差および基準マークカメラと検査用基準マークとの相対位置誤差を修正して検査用チップを前記載置部に載置させ、載置された検査用チップを前記基準マークカメラに撮像させて、検査用チップの載置位置誤差を取得することとを行う装着位置精度検査制御部と
を含む電子回路部品装着装置。
（２）前記制御装置が、前記部品保持ヘッドの回転軸線，前記部品カメラまたは前記部品保持ヘッド側に設けられたヘッド側基準部，および前記基準マークカメラの予め取得された相対位置誤差を記憶する位置誤差記憶部を含み、前記装着位置精度検査制御部が、その位置誤差記憶部に記憶されている相対位置誤差を修正しつつ装着位置精度検査を実行する(1)項に記載の電子回路部品装着装置。
本項の電子回路部品装着装置においては、装着位置精度検査制御部が、位置誤差記憶部に記憶されている相対位置誤差を修正しつつ検査用チップを載置部に載置させて装着位置精度検査を行うものであるため、相対位置誤差が修正された後における電子回路部品の回路基板への装着作業の精度を検査することができる利点がある。
装着位置精度検査制御部により取得された載置位置誤差は、設定範囲内であれば電子回路部品装着装置は装着位置精度に関して合格と判定され、設定範囲を超えれば不合格とされるというように、合否の判定に使用されてもよく、また、それ以後の電子回路部品の装着時の装着位置修正用データの一つとして使用されてもよい。さらに、装着位置精度が不合格であった場合には後述の誤差検出制御部が作動させられて、部品保持ヘッドの回転軸線等の相対位置誤差の取得が行われるようにすることも可能である。
なお、位置誤差記憶部に、何らかの手段、例えば、電子回路部品装着装置とは別に設けられた専用の相対位置誤差検出装置により検出された相対位置誤差が記憶させられるようにすることも可能である。しかし、後述の誤差検出制御部の制御により検出された相対位置誤差が記憶させられるようにすれば、専用の相対位置誤差検出装置が不要となり、設備コストの低減が可能となる。
（３）さらに、(d)前記(c)において載置部に載置された検査用チップを部品保持ヘッドに保持させ、その部品保持ヘッドを予め定められた角度回転させた後再び載置部に載置させ、載置された検査用チップを再び前記基準マークカメラに撮像させて、載置位置誤差を取得することを１回以上行うこととを含む(1)項または(2)項に記載の電子回路部品装着装置。
本項の電子回路部品装着装置においては、部品保持ヘッドの回転軸線の相対位置誤差に起因する装着位置精度検査も行うことができる。
（４）前記制御装置が、予め定められた条件が満たされた場合に前記装着位置精度検査制御部を自動で作動させる自動精度検査開始部を含む(1)項ないし(3)項のいずれかに記載の電子回路部品装着装置。
上記「予め定められた条件」としては、例えば、電子回路部品装着装置の始動，設定時間以上の作動休止，設定時間以上の連続運転時間経過，設定量以上の連続電子回路部品装着作業実行，回路基板搬送装置の設定時間以上の休止，１ロットの回路基板組立終了，電子回路部品装着装置の組立完了あるいは前回のメンテナンス実行からの経過時間等、満たされたことが回路基板搬送装置内において自動で検出可能な条件や、生産されたプリント回路板を検査する検査装置のコンピュータや、電子回路部品装着装置のコンピュータを制御するホストコンピュータ等、前記制御装置を構成するコンピュータとは別の外部コンピュータからの外部指示等を採用することができる。
作業者が意識しなくても、電子回路部品装着装置の装着位置精度の検査が行われるため、使い勝手がよく、かつ、不良品の発生を良好に回避し得る電子回路部品装着装置が得られる。
ただし、手動入力装置からの実行指令入力等作業者からの指示に応じて装着位置精度検査が実行されるようにすることも可能である。
（５）前記制御装置が、前記部品保持ヘッドによる前記電子回路部品の保持位置誤差、および前記基準マークカメラによる前記基板基準マークの撮像結果から取得される前記基板保持装置による前記回路基板の保持位置誤差と共に、前記装着位置精度検査制御部により取得された載置位置誤差を、前記電子回路部品の前記回路基板への装着作業実行時における装着位置の修正データとして使用する(1)項ないし(4)項のいずれかに記載の電子回路部品装着装置。
本項の電子部品装着装置においては、通常、発生することが予定されている電子回路部品および回路基板の保持位置誤差に加えて、電子回路部品装着装置側の原因により生じる装着位置誤差を修正して、電子回路部品を回路基板に装着することができるため、装着位置精度を高めることができる。
中でも、本項が(2)項に従属する態様においては、部品保持ヘッドの回転軸線，部品カメラまたはヘッド側基準部，および前記基準マークカメラの予め取得された相対位置誤差が修正された上で生じる載置位置誤差が取得され、その載置位置誤差が装着位置の修正データとして使用されるため、特に高い装着位置精度が得られる。部品保持ヘッドによる電子回路部品の保持位置誤差および基板保持装置による回路基板の保持位置誤差のみならず、部品保持ヘッドの回転軸線，部品カメラまたはヘッド側基準部，および前記基準マークカメラの予め取得された相対位置誤差が修正された上で電子回路部品の回路基板への装着が行われれば、本来、装着位置誤差は生じないはずであるが、実際には生じることがある。その装着位置誤差の原因を究明して削除してもよいが、原因を問わず現実に生じる誤差を修正してしまうことも可能なのであって、実際上はそれで差し支えないのである。
（６）さらに、前記制御装置に設けられた誤差検出制御部であって、（Ａ）前記基準マークカメラに前記検査用基準マークを撮像させ、その撮像結果に基づいて基準マークカメラと検査用基準マークとの相対位置誤差を取得する第１誤差取得と、（Ｂ）(i)前記部品保持ヘッドに前記検査用チップを保持させ、その検査用チップを前記部品カメラに撮像させ、(ii)その撮像後の検査用チップを前記チップ載置部に載置させてその検査用チップと前記検査用基準マークとを前記基準マークカメラに撮像させ、(iii)少なくともその撮像結果に基づいて、前記部品カメラまたは前記部品保持ヘッド側に設けられたヘッド側基準部と前記検査用基準マークとの相対位置誤差を取得する第２誤差取得と、（Ｃ）(iv)前記部品保持ヘッドに前記検査用チップを保持させ、その検査用チップを前記載置部に載置させてその検査用チップと前記検査用基準マークとを前記基準マークカメラに撮像させ、(v)その撮像後、前記部品保持ヘッドに前記載置部の検査用チップを保持させて予め定められた角度回転させた上で、再び前記載置部に載置させてその検査用チップと前記検査用基準マークとを前記基準マークカメラに再び撮像させることを１回以上行わせ、(vi)それら(iv)および(v)の撮像結果から前記部品保持ヘッドの回転軸線と前記検査用基準マークとの相対位置誤差を取得する第３誤差取得とを行って、前記検査用基準マークを基準とする前記部品保持ヘッドの回転軸線，前記基準マークカメラ，および前記部品カメラまたは前記部品保持ヘッド側に設けられたヘッド側基準部の相対位置誤差を取得する誤差検出制御部を含む(1)項ないし(5)項のいずれかに記載の電子回路部品装着装置。
上記(ii)，(iv)および(v)における検査用チップと検査用基準マークとの撮像は、同時に行われることが望ましいが、基準マークカメラの視野の広さ等の関係で別々に撮像されるようにしてもよい。
ヘッド側基準部は、例えば、部品保持ヘッドが移動している状態で電子回路部品が部品カメラにより撮像される場合のように、部品保持ヘッドと部品カメラとの間に相対位置誤差が生じる可能性が大きい場合に、部品保持ヘッドを保持してヘッド移動装置により移動させられる可動部材に設けられて部品カメラにより撮像され、部品保持ヘッドと部品カメラとの相対位置誤差の影響を受けることなく、相対位置誤差を取得することができる。
第２誤差取得において、部品カメラによる撮像と基準マークカメラによる撮像との間に、部品カメラまたはヘッド側基準部と検査用チップとのずれが修正されるようにしてもよく、修正されないようにしてもよい。前者の場合は、載置部に載置された検査用チップが部品カメラまたはヘッド側基準部の位置を示していることとなるため、(ii)の撮像結果のみから検査用基準マークに対する部品カメラまたはヘッド側基準部の相対位置誤差が検出できる。また、後者の場合は、(i)と(ii)との撮像結果に基づいて、検査用チップの仲介により基準マークカメラと部品カメラまたはヘッド側基準部との相対位置誤差を取得するとともに、基準マークカメラと検査用基準マークとの相対位置誤差を直接取得することができ、それら２つの相対位置誤差から部品カメラまたはヘッド側基準部の検査用基準マークに対する相対位置誤差が取得できる。第２誤差取得における「(iii)少なくともその撮像結果に基づいて」には、(ii)の撮像結果のみに基づいても、(i)と(ii)との撮像結果に基づいてもよいことが含まれる。
また、第１誤差取得が第２誤差取得と第３誤差取得との少なくとも一方と並行に実行されるようにしても、第２誤差取得および第３誤差取得とは独立に実行されるようにしてもよい。前者の場合、例えば、第２誤差取得と第３誤差取得との少なくとも一方における検査用チップと検査用基準マークとの基準マークカメラによる撮像結果に基づいて、少なくとも１回（毎回でもよい）、基準マークカメラの検査用基準マークに対する相対位置誤差が取得されるようにするのである。
さらに、第２誤差取得と第３誤差取得とが並行に実行されるようにしてもよい。例えば、第３誤差取得の実行中に、部品保持ヘッドに保持された検査用チップの少なくとも１つが部品カメラにより撮像されるようにするのである。この場合、第２誤差取得を第３誤差取得の一部として利用することになる。
以上の説明から明らかなように、誤差検出制御部は、最終的に、部品保持ヘッドの回転軸線，基準マークカメラ，および部品カメラまたはヘッド側基準部の、検査用基準マークを基準とする相対位置誤差を検出するものであればよく、見かけ上は異なる誤差検出手段に見えても、実質的には上記第１誤差取得，第２誤差取得および第３誤差取得を行う検査制御部と同じもの（均等のもの）であり、いずれも本項の技術的範囲に属すると見なされるべきである。
なお、第１誤差取得，第２誤差取得および第３誤差取得における撮像と相対位置誤差の取得とが複数回行われ、取得された相対位置誤差が統計処理されて、複数の部品保持ヘッドの軸線と、基準マークカメラと、部品カメラまたはヘッド側基準部との検査用基準マークに対する最終的な相対位置誤差が取得されるようにしてもよいことは勿論である。
本電子回路部品装着装置におけるように、部品保持ヘッドの回転軸線，部品カメラまたはヘッド側基準部，および基準マークカメラの相対位置誤差をすべて検査用基準マークを基準として検出すれば、基準マークカメラの位置決め誤差の影響を極力排除することができ、その分、相対位置誤差の検出精度が向上する効果が得られる。検査用基準マークの代わりに、複数の部品保持ヘッドの回転軸線，部品カメラまたはヘッド側基準部，および基準マークカメラのいずれか、例えば、部品カメラの位置を基準として相対位置誤差の検出が行われるようにすることも可能であるが、その場合に比較して、高い検出精度が得られるのである。
（７）回路基板を保持する基板保持装置と、
電子回路部品を保持し、それぞれの回転軸線のまわりに回転可能な複数の部品保持ヘッドと、
それら部品保持ヘッドをそれら部品保持ヘッドの各回転軸線のまわりに回転させるヘッド回転装置と、
それら部品保持ヘッドおよびヘッド回転装置を移動させるヘッド移動装置と、
そのヘッド移動装置により前記部品保持ヘッドと共に移動させられ、前記基板保持装置に保持された回路基板の基準マークである基板基準マークを撮像する基準マークカメラと、
前記複数の部品保持ヘッドにそれぞれ保持された電子回路部品を撮像する部品カメラと、
それら部品保持ヘッド，ヘッド回転装置，ヘッド移動装置，基準マークカメラおよび部品カメラを制御して電子回路部品を回路基板に装着させる制御装置と、
大きさを異にする複数種類の電子回路部品にそれぞれ対応する大きさを有する最大チップおよび最小チップを含む複数種類の検査用チップと、
それら複数種類の検査用チップが載置可能な１つ以上の載置部および前記基板基準マークとは別の検査用基準マークを備えた検査台と、
前記制御装置に設けられた装着位置精度検査制御部であって、(a)前記複数の部品保持ヘッドの１つに前記検査用チップを保持させ、その検査用チップを前記部品カメラに撮像させ、その撮像結果に基づいて部品保持ヘッドによる検査用チップの保持位置誤差を取得することと、(b)前記基準マークカメラに前記検査用基準マークを撮像させ、その撮像結果に基づいて基準マークカメラと検査用基準マークとの相対位置誤差を取得することと、(c)それら(a)および(b)において取得した前記１つの部品保持ヘッドによる検査用チップの保持位置誤差および基準マークカメラと検査用基準マークとの相対位置誤差を修正して検査用チップを前記載置部に載置させ、載置された検査用チップを前記基準マークカメラに撮像させて、検査用チップの載置位置誤差を取得することと、(d)前記(a)ないし(c)を前記複数の部品保持ヘッドおよび複数の前記検査用チップのそれぞれ別のものに対して行うこととを含む装着位置精度検査を実行する装着位置精度検査制御部と
を含む電子回路部品装着装置。
本項は、前記(1)項の発明を、それぞれの回転軸線のまわりに回転させられる複数の部品保持ヘッドを含む電子回路部品装着装置に適用したものであり、課題を解決するための手段および発明の効果の項において本発明に係る電子回路部品装着装置に関して行った説明の多くが本項にも当てはまる。
複数の部品保持ヘッドは種類が同じであり、検査に使用される検査用チップの種類が同じであるものでもよく、互いに種類が異なり、検査に使用される検査用チップの種類が異なるものでもよい。
複数の部品保持ヘッドが種類の異なるものであっても、種類の異なる検査用チップが検査に使用されるとは限らないが、例えば、部品保持ヘッドの種類により、保持可能なチップの種類が異なったり、隣接する部品保持ヘッドの間隔により保持可能なチップの種類が限定される等の理由により、同じ種類の検査用チップを使用することができないこともあり、複数種類の検査用チップを含むことは、検査を行なう上で有効である。
（８）さらに、(e)前記(c)において載置部に載置された検査用チップを部品保持ヘッドに保持させ、その部品保持ヘッドを予め定められた角度回転させた後再び載置部に載置させ、載置された検査用チップを再び前記基準マークカメラに撮像させて、載置位置誤差を取得することを１回以上行うことを含み、かつ、前記(d)において前記(a)ないし(c)および(e)を前記複数の部品保持ヘッドおよび複数の前記検査用チップのそれぞれに対して行う(7)項に記載の電子回路部品装着装置。
本項は前記(3)項の発明を、それぞれの回転軸線のまわりに回転させられる複数の部品保持ヘッドを含む電子回路部品装着装置に適用したものである。
（９）前記制御装置が、前記複数の部品保持ヘッドの各回転軸線，前記部品カメラまたは前記部品保持ヘッド側に設けられたヘッド側基準部，および前記基準マークカメラの予め取得された相対位置誤差を記憶する位置誤差記憶部を含み、前記装着位置精度検査制御部が、その位置誤差記憶部に記憶されている相対位置誤差を修正しつつ装着位置精度検査を実行する(7)項または(8)項に記載の電子回路部品装着装置。
本項は前記(2)項の発明を、それぞれの回転軸線のまわりに回転させられる複数の部品保持ヘッドを含む電子回路部品装着装置に適用したものである。
（１０）前記複数の部品保持ヘッドがいずれも電子回路部品を吸着ノズルにより吸着して保持するものであり、前記回転軸線上に単一の吸着ノズルを備えたシングルノズルヘッドと、中心線のまわりに回転する回転部材の前記中心線のまわりに複数の吸着ノズルを備えたマルチノズルヘッドとを含む(7)項ないし(9)項のいずれかに記載の回路部品装着装置。
マルチノズルヘッドは、複数の吸着ノズルが回転部材に対してそれぞれ回転させられることにより、各ノズルがそれらの中心線のまわりに回転させられるものでも、回転部材がそれの中心線のまわりに回転させられるとともに、中心線と直交する平面に沿って移動させられることにより、複数の吸着ノズルの各々が実質的にそれらの中心線のまわりに回転させられるものでもよい。後者の場合には、物理的な回転軸線は１本であるが、実質的な回転軸線が各吸着ノズル毎に存在すると見なすこととする。複数の吸着ノズルの各々を主体とする部分を、それぞれの回転軸線のまわりに回転可能な部品保持ヘッドと見なすのである。
マルチノズルヘッドの回転部材の中心線は、鉛直線でもよく、鉛直線に対して傾斜させられた線でもよい。
（１１）さらに、前記制御装置に設けられた誤差検出制御部であって、（Ａ）前記基準マークカメラに前記検査用基準マークを撮像させ、その撮像結果に基づいて基準マークカメラと検査用基準マークとの相対位置誤差を取得する第１誤差取得と、（Ｂ）(i)前記複数の部品保持ヘッドの１つに前記複数の検査用チップの１つを保持させ、その検査用チップを前記部品カメラに撮像させ、(ii)その撮像後の検査用チップを前記チップ載置部に載置させてその検査用チップと前記検査用基準マークとを前記基準マークカメラに撮像させ、(iii)少なくともその撮像結果に基づいて、前記部品カメラまたは前記部品保持ヘッド側に設けられたヘッド側基準部と前記検査用基準マークとの相対位置誤差を取得する第２誤差取得と、（Ｃ）(iv)前記複数の部品保持ヘッドの１つに前記複数の検査用チップの１つを保持させ、その検査用チップを前記載置部に載置させてその検査用チップと前記検査用基準マークとを前記基準マークカメラに撮像させ、(v)その撮像後、前記１つの部品保持ヘッドに前記載置部の検査用チップを保持させて予め定められた角度回転させた上で、再び前記載置部に載置させてその検査用チップと前記検査用基準マークとを前記基準マークカメラに再び撮像させることを１回以上行わせ、(vi)それら(iv)および(v)の撮像結果から前記１つの部品保持ヘッドの回転軸線と前記検査用基準マークとの相対位置誤差を取得する第３誤差取得とを行い、かつ、その第３誤差取得を前記複数の部品保持ヘッドの各々について行って、前記検査用基準マークを基準とする前記複数の部品保持ヘッドの各回転軸線，前記基準マークカメラ，および前記部品カメラまたは前記ヘッド側基準部の相対位置誤差を取得する誤差検出制御部を含む(7)ないし(10)項のいずれかに記載の電子回路部品装着装置。
本項は前記(6)項の発明を、それぞれの回転軸線のまわりに回転させられる複数の部品保持ヘッドを含む電子回路部品装着装置に適用したものである。
（２１）大きさを異にする複数種類の電子回路部品にそれぞれ対応する大きさを有する最大チップおよび最小チップを含む複数種類の検査用チップと、
それら複数種類の検査用チップが載置可能な１つ以上の載置部、および検査用基準マークを備えた検査台と
を含む電子回路部品装着装置の精度検査用ユニット。
(7)項ないし(11)項に記載の電子回路部品装着装置は、本精度検査用ユニットの具体的な利用例である。
（２２）前記検査台が、複数種類の検査用チップをそれぞれほぼ位置決めして収容する複数のチップ収容部を備えた(21)項に記載の精度検査用ユニット。
前記「１つ以上の載置部」にチップ収容部を兼ねさせることも可能である。しかし、各検査用チップごとに専用のチップ収容部を設ける方が便利である場合が多い。載置部が２種類以上の検査用チップに共通の場合には、それら２種類以上の検査用チップに専用のチップ収容部を設けることが必要になる。
なお、上記「チップ収容部が検査用チップをほぼ位置決めして収容する」とは、部品保持ヘッドが検査用チップの被吸着部に正対するはずの位置へ移動させられれば、検査用チップが支障なく保持されることが保証される誤差範囲内で位置決めして収容するということである。
（２３）前記複数種類の検査用チップが、大きさが比較的大きい電子回路部品の形象が形成された形象表示チップと、大きさが比較的小さい電子回路部品に対応する外形を有する角チップとを含む(21)項または(22)項に記載の精度検査用ユニット。
本項の精度検査用ユニットによれば、電子回路部品の形象および角チップの外形を撮像し、実際の電子回路部品の装着時と同じ画像処理を行うことにより、電子回路部品装着装置の装着位置精度検査を行ったり、電子回路部品装着装置の構成要素の相対位置誤差を検出したりすることができる。また、後述の実施例におけるように、電子回路部品の形象自体が撮像されず、別に設けられた被検出部が撮像されて、検査用チップの位置が検出される場合であっても、その検査用チップが、形象により表されている類の電子回路部品の装着位置の検出に使用可能なものであることを使用者に認識させることができる。
（２４）前記載置部が、前記複数種類の検査用チップが択一的に載置可能な１つ以上の載置部を含む(21)項ないし(23)項のいずれかに記載の精度検査用ユニット。
載置部が１つで済み、あるいは複数の載置部が各々の少なくとも一部が重複した状態で設けられ、精度検査用ユニットをコンパクトに構成することができる。
（２５）前記載置部が、その載置部に開口させられて空気を吸引する吸引孔と、その吸引孔を囲む状態で設けられて前記吸引孔からの空気の吸引に基づいて前記検査用チップを吸着する吸着面とを備えた(21)項ないし(24)項のいずれかに記載の精度検査用ユニット。
検査用チップが吸着面に吸着されれば、載置部上において検査用チップがずれることがなく、検査用チップのずれによって検査精度が低下することが回避される。また、部品保持ヘッドと載置部との間において、検査用チップのずれを回避しつつ受渡しを行うことができる。
（２６）前記吸引孔が、前記載置部に互いに隣接して開口させられた小孔とその小孔より大きい大孔とを含むとともに、前記最大チップが前記載置部に載置された状態では前記小孔および大孔が共に塞がれ、前記最小チップが載置された状態では前記小孔は塞がれるが前記大孔は塞がれない相対位置関係を有し、かつ、当該精度検査用ユニットが前記大孔を開閉させる開閉装置を含む(21)項ないし(25)項のいずれかに記載の精度検査用ユニット。
（２７）前記開閉装置が、前記大孔の開口部に着脱される閉塞部材を含む(26)に記載の精度検査用ユニット。
（２８）前記載置部が、前記大孔および前記小孔を囲む状態で形成されて頂面が前記最大チップを吸着する前記吸着面をなす環状突起を備え、その環状突起の内側の前記小孔の開口周辺が前記最小チップの前記吸着面をなす(26)項または(27)項に記載の精度検査用ユニット。
最大チップが吸着面上に載置されるとき、検査台の上面に当たり、部品保持ヘッドによる保持状態からずれて載置されることが回避される。例えば、最大チップが吸着ノズルによって吸着される場合、ノズル先端部の平面度（直角精度）が出ていない等の理由により、最大チップが斜めになった状態で吸着ノズルにより保持される場合、環状突起が設けられていなければ、最大チップが検査台に向かって下降させられるとき、その最下部が先に検査台の上面に当り、吸着ノズルに対して動いてずれる。それに対し、最大チップが環状突起上に載置されるのであれば、傾きにより他の部分より下方に位置する縁部が検査台の上面に当たり、最大チップがずれて載置されることが良好に回避されるのであり、検査精度の低下が回避される。
（２９）前記検査用基準マークが前記複数種類の検査用チップに共通である(21)項ないし(28)項のいずれかに記載の精度検査用ユニット。
検査用基準マークを複数種類の検査用チップの各々に専用のマークとすることも、複数種類の検査用チップのうちの少なくとも２つに共通のマークとすることも可能である。しかし、本項におけるように、複数種類の検査用チップのすべてに共通のマークとすれば、相対位置誤差の検出や装着位置精度検査の基準が１つとなり、複数の検査用基準マークの相対位置誤差の問題がなくなるとともに、制御プログラムが簡単で済む効果が得られる。
（３０）前記検査用基準マークが、前記載置部に前記最小チップが載置された状態でその最小チップに近接する位置に設けられ、その検査用基準マークが前記載置部に載置された前記最大チップを通して視認可能である(21)項ないし(29)項のいずれかに記載の精度検査用ユニット。
例えば、検査用基準マークを最小チップに近接する位置に設けつつ、検査用基準マークを最大チップと最小チップとに共通とすることができ、検査用ユニットをコンパクトに構成することができる。
（３１）前記最大チップが、その最大チップが前記載置部に載置された状態で前記検査用基準マークに対応する位置に透視窓を有する(30)項に記載の精度検査用ユニット。
透視窓は、不透明部に囲まれた透明部でもよく、最大チップに形成された貫通孔でもよい。これら透明部や貫通孔の縁を、最大チップの位置検出のための被検出部として利用することが可能であり、その場合には、最大チップの載置位置誤差を検査用基準マークを基準として取得することが容易になる。
（３２）裏面に光学特性基準面が形成された光学特性基準ゲージを含み、前記検査台がその光学特性基準ゲージを収容するゲージ収容凹部を備えた(21)項ないし(31)項のいずれかに記載の精度検査用ユニット。
光学特性基準ゲージは、色彩を有しないモノクロ基準ゲージでも、色彩を有するカラー基準ゲージでもよい。後者の場合には、３原色に対応する３種類の光学特性基準ゲージを含むことが望ましい。後者は電子回路部品を撮像する撮像装置がカラーカメラである場合に適している。
光学特性基準ゲージは、例えば、部品カメラの光学特性の調整に使用される。モノクロの部品カメラについてモノクロ基準ゲージを使用して光学特性の調整を行なう場合、部品保持ヘッドに保持されたモノクロ基準ゲージを部品カメラに撮像させ、その反射光量が設定範囲内にあるか否かに基づいて、例えば、シャッタ速度，照明光の強さやカメラのゲインを調整し、撮像対象の撮像に所定の光量が得られ、被検出部のエッジを正確に取得できるようにすることができる。カメラのゲインは、入光量を電圧に変換する際の比率を変更することにより調整される。
また、カラーの部品カメラについては、３種類の光学特性基準ゲージを順次、部品保持ヘッドに保持させ、部品カメラに撮像させる。各基準ゲージ毎に得られる光の量を複数段階の階調（例えば２５６階調）で表し、基準ゲージ毎に設定階調の光が得られているか否かに基づいて、例えば、シャッタ速度、あるいは照明光の強さ，分光分布やカメラのゲインを調整し、カラーカメラにより撮像対象の撮像が正確に行なわれるようにすることができる。
【実施例】
【００１３】
以下、請求可能発明のいくつかの実施例を、図を参照しつつ詳しく説明する。なお、請求可能発明は、下記実施例の他、上記〔発明の態様〕の項に記載された態様を始めとして、当業者の知識に基づいて種々の変更を施した態様で実施することができる。
【００１４】
図１に、請求可能発明の一実施例としての精度検査用ユニットを備えた電子回路部品装着装置を含む電子回路部品装着システムが概略的に図示されている。本電子回路部品装着システムは、図１に示すように、基板搬送装置１０，それぞれ部品供給装置の一種であるフィーダ型部品供給装置１２およびトレイ型部品供給装置１４，電子回路部品装着装置１８，ノズルヘッド収納装置２０および制御装置２２（図８参照）を含む。
【００１５】
基板搬送装置１０は、システム本体としてのベッド３０上に設けられ、回路基板３２を水平な一方向に搬送して電子回路部品装着装置１８の基板保持装置１６に搬入し、基板保持装置１６から搬出する。基板搬送方向をＸ軸方向とし、基板保持装置１６に保持されている回路基板３２の表面である部品装着面に平行な一平面である水平面内においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向とする。基板搬送装置１０は、例えば、ベルトコンベヤにより回路基板３２を搬送する装置とされ、１対のサイドフレームにそれぞれ設けられたガイド部材３４，３６（図１参照），１対のサイドフレームの各々に設けられたコンベヤベルトおよびベルト周回装置等を含む。１対のサイドフレームの一方は位置を固定して設けられた固定サイドフレーム、他方は固定サイドフレームに接近，離間可能に設けられた可動サイドフレームとされ、可動サイドフレームが図示を省略するフレーム移動装置によって移動させられることにより、ガイド部材３４，３６の間隔が回路基板３２の幅に応じた距離に調節される。固定サイドフレームに設けられたガイド部材３４を固定ガイド部材３４、可動サイドフレームに設けられたガイド部材３６を可動ガイド部材３６と称する。
【００１６】
基板保持装置１６は位置を固定して設けられ、図示は省略するが、例えば、回路基板３２を下方から支持する基板支持装置および回路基板３２の縁部をクランプするクランプ装置を備え、回路基板３２を水平な姿勢で保持する。クランプ装置は、図示は省略するが、例えば、基板搬送装置１０の１対のガイド部材３４，３６にそれぞれ設けられた押さえ部と、１対のサイドフレームにそれぞれ設けられ、回路基板３２をコンベヤベルトから押し上げて押さえ部に押し付け、クランプする押付部材とを含み、クランプ装置によりクランプされた状態では、回路基板３２の上面の高さは、押さえ部の回路基板３２と対向する下向きの押さえ面の高さによって決まり、回路基板２０の種類を問わず、一定となる。
【００１７】
フィーダ型部品供給装置１２およびトレイ型部品供給装置１４は、本電子回路部品装着システムでは、図１に示すように、ベッド３０上の、基板搬送装置１０に対してＹ軸方向に隔たった両側にそれぞれ設けられている。フィーダ型部品供給装置１２は、例えば、固定ガイド部材３４側に設けられ、部品供給具の一種であるフィーダを複数備えている。複数のフィーダはそれぞれ、各部品供給部がＸ軸方向に並ぶ状態で設けられ、それぞれ多数の電子回路部品が送り装置により送られ、１個ずつ順次、部品供給部に位置決めされて供給される。前記トレイ型部品供給装置１４は多数の収容凹部を有するトレイに電子回路部品を収容して供給する装置であり、例えば、可動ガイド部材３６側に設けられている。
【００１８】
電子回路部品装着装置１８は、図１ないし図４に示すように、前記基板保持装置１６，マルチノズルヘッド４０，シングルノズルヘッド４２，ヘッド保持装置４４，ヘッド移動装置４６，接近離間装置たるヘッド昇降装置４８，ヘッド回転装置５０，基準マーク撮像システム５２および２組の部品撮像システム５３を含む。ヘッド移動装置４６は、図１に示すように、Ｘ軸方向移動装置５４およびＹ軸方向移動装置５６を含む。Ｘ軸方向移動装置５４は、可動部材としてのＸ軸スライド６０とＸ軸スライド移動装置６２（図８参照）とを含む。Ｘ軸スライド移動装置６２は、駆動源たるＸ軸移動用モータ６４（図８参照）と、ボールねじおよびナットを含む送りねじ機構６６（図８参照）とを含む。Ｙ軸方向移動装置５６はＸ軸スライド６０上に設けられ、可動部材としてのＹ軸スライド７０とＹ軸スライド移動装置７２（図８参照）とを含む。Ｙ軸スライド移動装置７２は、Ｘ軸スライド移動装置６２と同様に、駆動源たるＹ軸移動用モータ７４（図８参照）と送りねじ機構７６（図８参照）とを含む。Ｘ軸移動用モータ６４およびＹ軸移動用モータ７４は、例えば、電動モータの一種であるエンコーダ付サーボモータにより構成される。サーボモータは、回転角度の正確な制御が可能な電動回転モータであり、サーボモータに代えてステップモータを用いてもよい。リニアモータを用いてもよい。
【００１９】
図２に示すように、Ｙ軸スライド７０に前記ヘッド保持装置４４，ヘッド昇降装置４８，ヘッド回転装置５０および基準マーク撮像システム５２が設けられ、Ｙ軸スライド７０の移動により、ヘッド保持装置４４等が水平面上の任意の位置へ移動させられる。これらヘッド保持装置４４，マルチノズルヘッド４０およびシングルノズルヘッド４２等は、特開２００６−２６１３２５公報に記載の回路部品装着装置と同様に構成されており、簡単に説明する。
【００２０】
ヘッド保持装置４４は、図２に示すように、装置本体たる軸状部材８０および軸状部材８０の下端部に一体的に設けられたヘッド保持部８２を含む。軸状部材８０は、横断面形状が円形を成し、外周面にスプライン８４が設けられたスプライン軸部材である。ヘッド保持部８２は、横断面形状が円形を成し、軸状部材８０より大きい直径を有する。
【００２１】
ヘッド回転装置５０は、Ｙ軸スライド７０に鉛直軸線まわりに回転可能に保持された回転部材としての回転体８６と、回転部材駆動装置としての回転体駆動装置８８とを含む。回転体駆動装置８８は回転用モータ９０（図８参照）を駆動源とし、その回転が回転体８６に固定のギヤ９２等を含む回転伝達装置により回転体８６に伝達され、回転体８６が鉛直軸線まわりに回転させられる。回転用モータ９０は、例えば、エンコーダ付サーボモータにより構成される。回転体８６は円筒状を成し、その内周面に設けられたスプライン９４に軸状部材８０のスプライン８４が軸方向に相対移動可能かつ相対回転不能に嵌合され、回転体８６の回転により軸状部材８０が自身の鉛直な軸線まわりに正逆両方向に任意の角度回転させられ、ヘッド保持部８２が回転させられる。軸状部材８０の軸線がヘッド保持装置４４の回転軸線である。スプライン８４，９４はボールスプラインとされ、ボールを介して精度良く嵌合されている。
【００２２】
前記ヘッド昇降装置４８は、図２に示すように、Ｙ軸スライド７０に昇降可能に設けられた昇降部材１００と、駆動源としての昇降用モータ１０２（図８参照）と、Ｙ軸スライド７０に軸方向に相対移動不能かつ鉛直軸線まわりに回転可能に設けられたねじ軸としてのボールねじ１０４および昇降部材１００に固定のナット１０６を含む送りねじ機構１０
８とを含む。昇降用モータ１０２は、例えば、エンコーダ付サーボモータにより構成される。軸状部材８０の上部は、昇降部材１００により相対回転可能かつ軸方向に相対移動不能に保持されており、ボールねじ１０４が昇降用モータ１０２により回転させられ、昇降部材１００が昇降させられることによりヘッド保持装置４４が昇降させられる。
【００２３】
軸状部材８０内には、図２に示すように、その軸線上に通路１１０が設けられるとともに、その外側に円環状通路１１２が設けられ、円環状通路１１２は負圧ポンプ等の負圧源１２０に接続されている。負圧源１２０から円環状通路１１２への負圧の供給は、開閉装置１２２により許容，遮断される。以後、円環状通路１１２を負圧供給通路１１２と称する。
【００２４】
通路１１０は、図２に示すように、コンプレッサ等の正圧源１２４および前記負圧源１２０に接続されている。通路１１０への正圧の供給と負圧の供給とは切換装置１２６により切り換えられ、正圧と負圧とが択一的に供給される。切換装置１２６により、通路１１０が大気に開放された状態も得られる。以後、通路１１０を正圧・負圧供給通路１１０と称する。
【００２５】
前記ヘッド保持部８２は、図２に示すように、その軸線に直角な一平面状を成し、水平で下向きの吸着面１３０を備えている。ヘッド保持部８２には、吸着面１３０に開口し、その軸線を中心線とする円環状の負圧室用凹部１３２が形成され、通路１３４により負圧供給通路１１２に連通させられている。正圧・負圧供給通路１１０の下端部は、吸着面１３０に開口させられている。
【００２６】
前記マルチノズルヘッド４０およびシングルノズルヘッド４２はいずれも、ヘッド保持装置４４によって負圧により吸着されて保持され、昇降，回転させられる。ヘッド昇降装置４８は、部品保持ヘッドを、電子回路部品の吸着，装着時に、部品保持ヘッドの中心線に平行な方向に移動させる移動装置である。シングルノズルヘッド４２は、図２に示すように、ヘッド本体１３８および被保持部１４０を含む。ヘッド本体１３８はノズル保持部（図示省略）を備え、負圧により電子回路部品１４２を吸着する部品保持具たる吸着ノズル１４４を１つ、保持する。これらノズル保持部および吸着ノズル１４４が部品保持ヘッドたる部品吸着ヘッド１４５を構成している。シングルノズルヘッド４２は、部品吸着ヘッド１４５を１つ、含むのであり、ノズル保持部により吸着管の直径が異なる複数種類の吸着ノズル１４４を選択的に保持することができ、大きさが異なる複数種類の電子回路部品の装着に使用することができるが、主として大形の電子回路部品や異形部品の装着に使用される。
【００２７】
シングルノズルヘッド４２の被保持部１４０は、横断面形状が円形の円板状を成し、図２に示すように、その軸線に直角で一平面状の被吸着面１４６を備えている。シングルノズルヘッド４２は、被吸着面１４６が吸着面１３０に密着させられ、負圧室用凹部１３２が塞がれてヘッド吸着用負圧室１４８が形成され、負圧供給通路１１２からヘッド吸着用負圧室１４８に供給される負圧によりシングルノズルヘッド４２がヘッド保持装置４４により吸着され、保持される。
【００２８】
シングルノズルヘッド４２は、ヘッド保持装置４４がヘッド昇降装置４８，ヘッド回転装置５０によって昇降，回転させられることにより昇降，回転させられ、部品供給装置１２，１４，基板保持装置１６に接近，離間させられて電子回路部品を受け取り、回路基板３２に装着する。シングルノズルヘッド４２を保持するヘッド保持装置４４の軸状部材８０の軸線が吸着ノズル１４４の回転軸線になる。シングルノズルヘッド４２がヘッド保持装置４４により保持された状態では、正圧・負圧供給通路１１０がヘッド本体１３８に連通させられ、電子回路部品の吸着時には吸着ノズル１４４に負圧が供給され、電子回路部品の回路基板３２への装着時には負圧の供給が断たれるとともに正圧が供給され、電子回路部品を迅速に開放するようにされる。
【００２９】
マルチノズルヘッド４０は、図３に示すように、ヘッド本体１５０，被保持部１５２，複数のノズル保持部１５３，部品保持具たる複数の吸着ノズル１５４，ノズル保持部１５３の各々について設けられたバルブ装置１５６およびノズル選択装置１５７を備えている。複数の吸着ノズル１５４はそれぞれノズル保持部１５３により保持され、ヘッド本体１５０に、その中心線を中心とする一円周上に適宜の間隔を隔てて、本マルチノズルヘッド４０においては等角度間隔で設けられている。複数の吸着ノズル１５４を備えたマルチノズルヘッド４０は、隣接する吸着ノズル１５４間の距離が短く、吸着ノズル１５４は吸着管の直径が小さく、比較的小形の電子回路部品を吸着し、装着するものとされる。被保持部１５２は、その軸線に直角で一平面状の被吸着面１５８を備えており、シングルノズルヘッド４２と同様に、被吸着面１５８が吸着面１３０に密着させられてヘッド吸着用負圧室１４８が形成され、負圧供給通路１１２からヘッド吸着用負圧室１４８に供給される負圧によってマルチノズルヘッド４０がヘッド保持装置４４により吸着され、保持される。
【００３０】
マルチノズルヘッド４０は、ヘッド保持装置４４に保持された状態でヘッド昇降装置４８により昇降させられ、その昇降に伴ってノズル選択装置１５７がノズル昇降装置１５９により作動させられる。ノズル昇降装置１５９は、図２および図３に示すように、駆動部材１６０と、駆動部材１６０をヘッド保持装置４４の回転軸線のまわりの任意の位置へ旋回させる旋回装置１６１とを含む。旋回装置１６１は、前記ヘッド回転装置５０の回転体８６に、ヘッド保持装置４４の回転軸線まわりに相対回転可能に取り付けられた回転体１５１と、回転体回転装置１５５とを含む。回転体回転装置１５５は、旋回用モータ１６３，ギヤ１６５，１６７を含み、駆動部材１６０は回転体１５１の下面の外周部であって、マルチノズルヘッド４０から外れた部分から鉛直方向下向きに延び出させられ、回転体１５１の回転により旋回させられる。駆動部材１６０の延出端部はマルチノズルヘッド４０側へ突出させられ、駆動部１６９が設けられている。
【００３１】
マルチノズルヘッド４０の下降時には、駆動部１６９は、複数の吸着ノズル１５４のうち、電子回路部品の吸着，装着を行う吸着ノズル１５４について設けられたノズル選択装置１５７のレバー１７１に対応する位置へ旋回させられ、駆動部１６９がレバー１７１に係合し、レバー１７１が、付勢手段の一種である弾性部材としての圧縮コイルスプリング１６８の付勢力に抗して回動させられて吸着ノズル１５４を下降させる。また、マルチノズルヘッド４０の上昇時には、駆動部材１６０は、スプリング１６８の付勢によるレバー１７１の吸着ノズル１５４を上昇させる方向の回動を許容する。ヘッド昇降装置４８によってマルチノズルヘッド４０が昇降させられるとき、複数の吸着ノズル１５４のうち、電子回路部品の吸着，装着を行う吸着ノズル１５４が、その他の吸着ノズル１５４に対して選択的に昇降させられ、部品供給装置１２，１４から電子回路部品を取り出し、回路基板３２に装着するのである。
【００３２】
また、マルチノズルヘッド４０がヘッド保持装置４４により保持された状態では、正圧・負圧供給通路１１０および負圧供給通路１１２がそれぞれ、マルチノズルヘッド４０内の通路に連通させられ、バルブ装置１５６の切換えにより、電子回路部品の吸着時には吸着ノズル１５４に負圧が供給され、装着時には負圧の供給が断たれるとともに正圧が供給される。バルブ装置１５６の切換えは、マルチノズルヘッド４０の昇降に伴って、前記ノズル昇降装置１５９の駆動部材１６０により行われる。さらに、リセット装置１６２が設けられ、複数のバルブ装置１５６が一斉にリセットされ、吸着ノズル１５４に負圧も正圧も供給しない状態に復帰させられる。これらバルブ装置１５６，ノズル選択装置１５７，ノズル昇降装置１５９およびリセット装置１６２も前記特開２００６−２６１３２５公報に記載されており、詳細な説明は省略する。
【００３３】
ヘッド保持装置４４により保持されたマルチノズルヘッド４０は、ヘッド回転装置５０によって回転させられる。本マルチノズルヘッド４０において吸着ノズル１５４は、回転部材たるヘッド本体１５０により、自身の中心線まわりには回転不能に保持されており、物理的にはヘッド本体１５０の中心線のまわりに旋回させられるのみであるが、ヘッド本体１５０が、その中心線のまわりに回転させられるとともに、ヘッド移動装置４６により、その中心線と直交する平面である水平面に平行な方向であって、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動させられることにより、複数の吸着ノズル１５４の各々が実質的にそれらの中心線のまわりに回転させられることとなる。物理的な回転軸線はヘッド本体１５０の中心線、１本であるが、実質的な回転軸線が各吸着ノズル１５４毎に存在すると見なすことができるのであり、複数の吸着ノズル１５４の各々がノズル保持部１５３およびヘッド本体１５０のノズル保持部１５３が設けられた部分と共に部品保持ヘッドたる部品吸着ヘッド１６４を構成すると見なし、マルチノズルヘッド４０は複数の部品吸着ヘッド１６４を含む。また、ヘッド移動装置４６がヘッド回転装置４４と共同して、部品吸着ヘッド１６４をその回転軸線のまわりに回転させるヘッド回転装置を構成することとなる。
【００３４】
前記駆動部材１６０の駆動部１６９の下面には、図３および図４に示すように、ヘッド側基準マーク１６６が設けられ、ヘッド側基準部を構成している。ヘッド側基準マーク１６６は、例えば、円形を成す。ヘッド側基準マーク１６６は、例えば、印刷，シールの貼付等により設けられるが、いずれにしても、ヘッド側基準マーク１６６と、駆動部材１６０のヘッド側基準マーク１６６以外の部分とでは光の反射率が大きく異ならされ、ヘッド側基準マーク１６６の像が明瞭に形成されるようにされている。例えば、色，輝度，材料等の選択により反射率が異ならされる。
【００３５】
前記ノズルヘッド収納装置２０は、図１に概略的に示すように、複数のヘッド収納部１７０を備え、図示は省略するが、複数種類のマルチノズルヘッド４０および複数種類のシングルノズルヘッド４２が収納されている。マルチノズルヘッド４０は、例えば、保持する吸着ノズル１５４の種類，数を互いに異にすることにより種類を異にする。吸着ノズル１５４の種類は、例えば、吸着ノズル１５４の吸着管１７２の直径を異にすることにより異ならされる。シングルノズルヘッド４２も同様に、保持する吸着ノズル１４４の吸着管１７４の直径を異にすることにより種類が異ならされる。ノズルヘッド収納装置２０は、前記特開２００６−２６１３２５公報に記載されており、詳細な図示および説明は省略するが、複数のヘッド収納部１７０はそれぞれ、収納穴および位置決め部としての位置決めピンを備え、マルチノズルヘッド４０およびシングルノズルヘッド４２の各々に設けられた被位置決め部としての凹部が位置決めピンに嵌合されることにより、ヘッド４０，４２の位相が決められ、被保持部１４０およびヘッド本体１５０の下部が収納穴に嵌合されることにより中心位置が決められた状態でノズルヘッド４０，４２が収納される。
【００３６】
さらに、前記基準マーク撮像システム５２は、図１に概略的に示すように、ヘッド移動装置４６のＹ軸スライド７０に設けられ、ヘッド保持装置４４と共にヘッド移動装置４６により水平面内の任意の位置へ移動させられる。基準マーク撮像システム５２は、撮像デバイスとしての基準マークカメラ１８０および照明装置（図示省略）を備え、回路基板３２に設けられた複数、例えば、２個の基準マーク１８２（図１参照）を撮像する。
【００３７】
また、前記２組の部品撮像システム５３はそれぞれ、図１に示すように、フィーダ型部品供給装置１２と基板搬送装置１０との間の部分およびトレイ型部品供給装置１４と基板搬送装置１０との間の部分に、基板搬送方向に平行な方向に移動可能に設けられ、それぞれ、部品カメラ移動装置１８６により移動させられる。これら部品カメラ移動装置１８６４はそれぞれ、可動部材たるスライド１８８と、スライド移動装置１９０（図８参照）とを含む。スライド移動装置１９０は、ベッド３０上に設けられた駆動源たる部品カメラ移動用モータ１９２（図８参照）と、基板搬送方向に平行な軸線まわりに回転可能かつ軸方向に移動不能に設けられボールねじおよびそのボールねじに螺合され、スライド１８８に固定されたナットを含む送りねじ機構１９４（図８参照）とを備え、スライド１８８が案内部材としてのガイドレール１９６（図１参照）により案内されつつ移動させられることにより、スライド１８８上に設けられた部品撮像システム５３が基板搬送方向に平行な方向において任意の位置へ移動させられる。部品撮像システム５３は、撮像デバイスとしての部品カメラ１９８および照明装置（図示省略）を備えている。
【００３８】
前記基準マークカメラ１８０および部品カメラ１９８はそれぞれ、本実施例では、被写体の二次元像を一挙に取得するＣＣＤカメラとされ、白黒カメラとされているが、基準マークカメラ１８０は撮像面が小さく、基準マーク１８２や、角チップのように小形の電子回路部品を１個、撮像するのに足る大きさとされ、部品カメラ１９８は撮像面が大きく、マルチノズルヘッド４０のヘッド本体１５０に保持された複数の吸着ノズル１５４の全部およびヘッド側基準マーク１６６を一括して同時に撮像することができる大きさとされている。ヘッド側基準マーク１６６は、マルチノズルヘッド４０の外側に、マルチノズルヘッド４０に近接して設けられた駆動部材１６０に設けられており、部品カメラ１９８によりシングルノズルヘッド４２あるいはマルチノズルヘッド４０と共に撮像可能である。基準マークカメラ１８０と部品カメラ１９８との少なくとも一方をラインスキャンカメラとすることも可能である。また、本実施例において部品カメラ１９８は、撮像対象物の正面像を撮像するものとされている。
【００３９】
前記基板搬送装置１０の固定ガイド部材３４には、図１に示すように、精度検査用ユニット２００が設けられている。精度検査用ユニット２００は、吸着ノズル１４４，１５４による電子回路部品の回路基板３２への装着位置精度の検査等に用いられる。本精度検査用ユニット２００は、複数種類、例えば、２種類の検査用チップを用いて検査を行うことができるものとされている。本電子回路部品装着システムは、マルチノズルヘッド４０とシングルノズルヘッド４２との少なくとも一方により、１枚の回路基板３２への電子回路部品の装着が行われるとともに、それらノズルヘッド４０，４２は、主として、装着される電子回路部品の大きさに応じて使い分けられるため、大きさが異なる２種類の検査用チップを使用し、吸着ノズル１４４，１５４のそれぞれについて検査が行われるようにするのである。
【００４０】
精度検査用ユニット２００は、図５に示すように、検査台２０２，形象表示チップ２０４，角チップ２０６および光学特性基準ゲージとしてのモノクロ基準ゲージ２０８を含む。形象表示チップ２０４は検査用チップの一種であり、概して正方形状を成す。形象表示チップ２０４は、材質は金属（例えば、ステンレス鋼），セラミックス，合成樹脂等何でもよいが、熱膨張係数の小さい材料から成るものとされることが望ましく、本実施例では、無色透明のガラス製とされている。形象表示チップ２０４は、リードを有する電子回路部品等、大きい電子回路部品に対応する大きさを有し、最大チップであり、その一方の面には、大きさが比較的大きい電子回路部品、例えば、正方形状の本体の４辺からそれぞれ、複数ずつのリードが延び出させられた電子回路部品の形象２１０が適宜の手段、例えば、アルミ蒸着により形成され、銀色とされている。また、形象２１０は形象表示チップ２０４と同心に形成されている。
【００４１】
また、形象表示チップ２０４の形象２１０が形成された部分には、図５に示すように、複数、例えば、４個の透視窓２１２が形成されている。これら透視窓２１２はそれぞれ、正円を成し、不透明な形象２１０を、その一部を残して形成することにより設けられ、不透明部に囲まれた透明部であり、その円形の縁が被検出部を構成し、形象表示チップ２０４の中心を中心とする一円周上に等角度間隔に形成されている。また、４個の透視窓２１２は、隣接する２個を１組とする４組の透視窓２１２がそれぞれ、形象表示チップ２０４の互いに直角である４つの外形辺と平行に並ぶように設けられている。
【００４２】
角チップ２０６も検査用チップの一種であり、マルチノズルヘッド４０により装着される比較的小さい電子回路部品である角チップに対応する外形，寸法を有し、最小のチップである。角チップ２０６は、例えば、白色のセラミックス製とされている。
【００４３】
モノクロ基準ゲージ２０８は、部品カメラ１９８のシャッタ速度の調整に使用され、図６に示すように、ゲージ本体２１８の端面に開口して形成された凹部２２０にゲージ体２２２が収容され、ゲージ体２２２の表面であって、モノクロ基準ゲージ２０８の裏面が光学特性基準面たる明度基準面２２４を構成している。前記部品カメラ１９８および基準マークカメラ１８０は白黒カメラとされており、ゲージ体２２２はモノクロ基準ゲージ体とされ、明度基準面２２４は、２５６階調のうちの中間の階調のグレーに着色されている。
【００４４】
前記検査台２０２は、金属，セラミックス，合成樹脂等何でもよいが、熱膨張係数の小さい材料が望ましく、本実施例では、「ニレジスト」の商品名で市販されている低熱膨張鋼製であって、黒色とされ、ボルト２３０等、適宜の固定装置により固定ガイド部材３４に着脱可能に固定されている。検査台２０２には、形象表示チップ収容部としての形象表示チップ収容凹部２３２，角チップ収容部としての角チップ収容凹部２３４，ゲージ収容部としてのゲージ収容凹部２３６，形象表示チップ載置部２３８，角チップ載置部２４０および複数個、例えば、２個の検査用基準マーク２４２が設けられている。
【００４５】
形象表示チップ収容凹部２３２は、図５および図６に示すように、形象表示チップ２０４の厚さより十分深く、形象表示チップ２０４が周囲に僅かに隙間を残して収容される大きさを有する。この隙間は、正規の形象表示チップ収容位置であって、吸着ノズル１４４が形象表示チップ２０４の被吸着部、ここでは形象表示チップ２０４の中心に正対するはずの位置へ移動させられれば、形象表示チップ２０４を支障なく吸着することが保証される誤差範囲内の大きさであり、形象表示チップ２０４は形象表示チップ収容凹部２３２にＸ軸方向およびＹ軸方向にほぼ位置決めされて収容される。また、形象表示チップ収容凹部２３２は十分深く、例えば、形象表示チップ２０４の厚さより深くされ、形象表示チップ２０４が一旦、収容されれば、簡単に外に飛び出すことがない。形象表示チップ２０４は、その形象２１０が形成された面が下側となるように形象表示チップ収容凹部２３２に収容される。
【００４６】
角チップ収容凹部２３４は、図５および図６に示すように、角チップ２０６が周囲に僅かに隙間を残して収容される大きさを有する。この隙間は、形象表示チップ収容凹部２３２と同様に、吸着ノズル１５４が正規の角チップ収容位置へ移動させられれば、角チップ２０６を支障なく吸着することが保証される誤差範囲内の大きさであり、角チップ２０６は角チップ収容凹部２３４にＸ軸方向およびＹ軸方向にほぼ位置決めされて収容される。角チップ収容凹部２３４はまた、図６に示すように、角チップ２０６が収容された状態において、その上面の高さが形象表示チップ収容凹部２３２に収容された形象表示チップ２０４の上面と同じになる深さであって、角チップ２０６の厚さより大きい十分な深さを有する。
【００４７】
ゲージ収容凹部２３６は、図５および図６に示すように、モノクロ基準ゲージ２０８がＸ軸方向およびＹ軸方向にほぼ位置決めされて収容されるとともに、モノクロ基準ゲージ２０８が収容された状態において、その上面の高さが、形象表示チップ収容凹部２３２に収容された形象表示チップ２０４の上面と同じになる深さであって、モノクロ基準ゲージ２０８の厚さより大きい十分な深さを有する。モノクロ基準ゲージ２０８は、ゲージ体２２２の明度基準面２２４が下向きとなる状態でゲージ収容凹部２３６に収容される。これらゲージ収容凹部２３６，形象表示チップ収容凹部２３２および角チップ収容凹部２３４は、図５に示すように、検査台２０２のＹ軸方向の一方の側において、Ｘ軸方向に平行な方向に一列に並んで設けられている。
【００４８】
前記形象表示チップ載置部２３８および角チップ載置部２４０は、図５および図７に示すように、検査台２０２の上記形象表示チップ収容凹部２３２等に対してＹ軸方向に隣接する位置に設けられている。検査台２０２の形象表示チップ載置部２３８が設けられた部分は、図７に示すように、その上面の高さは、収容凹部２３２に収容された形象表示チップ２０４の上面と同じ高さとされており、検査台２０２の上面に開口する極く浅い環状の凹部２５２が形成されている。図５に示すように、凹部２５２の外周面は、その横断面形状が前記形象表示チップ２０４より小さい概して正方形状を成し、内周面は、その横断面形状が前記角チップ２０６の長さより大きい直径の円形を成し、凹部２５２の中央に横断面形状が円形を成す低い突部が形成され、その突部の頂面により載置面たる角チップ吸着面２５４が形成され、凹部２５２の外側に載置面たる形象表示チップ吸着面２５６が凹部２５２を囲んで形成されている。角チップ吸着面２５４は、前記角チップ２０６より大きい面積を有し、検査台２０２の上面より僅かに低くされるとともに、その中央に、検査台２０２内に形成された吸引孔２５８の一端部が開口させられている。角チップ吸着面２５４は吸引孔２５８を囲む状態で設けられているのであり、吸引孔２５８の他端部は、継手部材２６０等により、前記負圧源１２０に接続されている。検査台２０２の角チップ吸着面２５４が設けられた部分が角チップ載置部２４０を構成し、形象表示チップ吸着面２５６が設けられた部分が形象表示チップ載置部２３８を構成している。角チップ載置部２４０は形象表示チップ載置部２３８内にあり、角チップ２０６と形象表示チップ２０４とを同時に載置部２４０，２３８に載置することはできず、択一的に載置される。
【００４９】
さらに、凹部２５２の底面には、図５に示すように、前記２個の検査用基準マーク２４２が設けられている。これら検査用基準マーク２４２は、例えば、円形を成し、いずれも直径が前記形象表示チップ２０４に形成された透視窓２１２の直径より小さく、基準マーク基板２４４に、例えば、印刷により設けられている。基準マーク基板２４４は、その厚さは角チップ吸着面２５４が形成された上記突部の高さと同じ大きさとされ、薄く、その突部に対応する部分に貫通穴が設けられ、凹部２５２に嵌合され、固着されている。それにより、凹部２５２内に、２個の検査用基準マーク２４２が、４個の透視窓２１２のうち、隣接する２個の透視窓２１２の間隔と同じ距離を隔てて、Ｘ軸方向に平行な方向に並んで設けられている。基準マーク基板２４４は形象表示チップ吸着面２５６より下方に位置し、半透明の薄板とされている。基準マーク基板２４４は、例えば、難燃性のガラス繊維強化エポキシ樹脂製とされており、伸び難く、薄くても検査用基準マーク２４２の印刷が可能である。２個の検査用基準マーク２４２はそれぞれ、本実施例では金色とされている。検査台２０２は、検査用基準マーク２４２に対しても、前記形象表示チップ２０４の形象２１０に対しても光学特性の異なる色で形成されており、形象表示チップ２０４が形象表示チップ載置部２３８上に載置された状態において、撮像により、形象２１０内に形成された透視窓２１２の輪郭の明瞭な像が得られる。また、検査用基準マーク２４２についても、その輪郭の明瞭な像が得られる。
【００５０】
精度検査用ユニット２００においては、角チップ吸着面２５４の中心であって、吸引孔２５８の中心が角チップ載置部２４０の位置であり、２個の検査用基準マーク２４２に対して、形象表示チップ２０４の隣接する２個の透視窓２１２の各中心に対する形象表示チップ２０４の中心と同様の相対位置関係が得られる位置が形象表示チップ載置部２３８の位置であり、角チップ載置位置からやや外れた位置にある。したがって、検査用基準マーク２４２は、形象表示チップ２０４および角チップ２０６について共通であるが、角チップ載置部２４０に載置された状態での角チップ２０６に対しては近接する位置に設けられ、形象表示チップ２０４は、形象表示チップ載置部２３８に載置された状態で検査用基準マーク２４２に対応する位置に透視窓２１２を有することとなり、２個の透視窓２１２を通して検査用基準マーク２４２を視認可能である。
【００５１】
検査台２０２は高さ調節可能に設けられ、図示を省略する高さ調節装置により高さを調節されて固定ガイド部材３４に固定される。この際、精度検査用ユニット２００の高さは、形象表示チップ吸着面２５６の高さが、基板保持装置１６により保持されて電子回路部品が装着される状態にある回路基板３２の部品装着面の高さと同じになるように調節される。そのため、形象表示チップ吸着面２５６より僅かに低い凹部２５２内に設けられた検査用基準マーク２４２の上面の高さ，形象２１０が形成された面を下側にして形象表示チップ吸着面２５６に載置された状態での形象表示チップ２１０の形象２１０の高さ，角チップ吸着面２５４に載置された角チップ２０６の高さが回路基板３２の部品装着面とほぼ同じになり、基準マークカメラ１８０による検査用基準マーク２４２，形象２１０，角チップ２０６の撮像が、基板基準マーク１８２の撮像と同様に焦点があった状態で精度良く行なわれる。
【００５２】
前記制御装置２２は、図８に示すように、ＣＰＵ３００，ＲＯＭ３０２，ＲＡＭ３０４およびそれらを接続するバス３０６を含む制御コンピュータ３１０を主体とするものであり、入・出力部３１２には、基準マークカメラ１８０および部品カメラ１９８の撮像によりそれぞれ得られた画像データを処理する画像処理コンピュータ３１４，エンコーダ付サーボモータのエンコーダ３１６（複数であるが１つが代表的に示されている），基板搬入センサ３１８等が接続されている。基板搬入センサ３１８は基板搬送装置１０に設けられ、回路基板３２を検出する状態と検出しない状態とで異なる信号を出力し、その出力信号が基板非検出信号から基板検出信号に変化したことにより回路基板３２の搬入が検出される。入・出力部３１２にはまた、駆動回路３２０を介してＸ軸移動用モータ６４等、種々のアクチュエータおよび警報装置３３０等が接続されている。警報装置３３０は、報知装置の一種であり、例えば、音や光によって警報を発する装置とされる。入・出力部３１２にはさらに、制御回路３３２を介して表示画面３３４が接続され、制御回路３３２と共に表示装置３３６を構成している。ＲＯＭ３０２には、装着プログラム，図示を省略するメインルーチン，図９にフローチャートで示す形象表示チップ使用相対位置誤差取得ルーチン等、種々のプログラムおよびデータ等が記憶させられている。
【００５３】
次に作動を説明する。
本電子回路部品装着システムにおいて１枚の回路基板３２への電子回路部品の装着は、マルチノズルヘッド４０とシングルノズルヘッド４２との少なくとも一方を用いて行われる。いずれのノズルヘッド４０，４２を用いて電子回路部品を装着するかは装着プログラムにより設定され、その設定に従ってヘッド保持装置４４はマルチノズルヘッド４０あるいはシングルノズルヘッド４２を保持する。ヘッド保持装置４４がノズルヘッド収納装置２０へ移動させられてマルチノズルヘッド４０あるいはシングルノズルヘッド４２を保持するとき、ヘッド保持装置４４の軸線がヘッド４０，４２の中心と一致する位置へ移動させられ、同心状に保持するようにされるのであるが、ヘッド保持装置４４とヘッド４０，４２との間には位置決め装置が設けられないため、ヘッド４０，４２の中心線と直交する方向において位置ずれが生じることがある。また、ヘッド４０，４２，ヘッド保持装置４４等、各部材，装置の組付け時に誤差が生じる。
【００５４】
そのため、ヘッド保持装置４４がヘッド４０，４２を保持した後、電子回路部品の装着を行う前に検査用のチップ２０４，２０６を用いて部品吸着ヘッド１４５，１６４の回転軸線であるノズル回転軸線，基準マークカメラ１８０およびヘッド側基準マーク１６６の相対位置誤差が取得される。本電子回路部品装着システムにおいては部品カメラ１９８が移動可能に設けられ、ヘッド４０，４２の部品供給装置１２，１４から回路基板３２への移動経路に対応する位置へ移動させられて停止，待機させられ、移動中のヘッド４０，４２を撮像するため、ヘッド４０，４２と部品カメラ１９８との位置決め精度は低い。そのため、ヘッド保持装置４４側にヘッド側基準マーク１６６が設けられ、電子回路部品と共に撮像されて、ヘッド側基準マーク１６６を基準としてノズル回転軸線の位置が求められ、電子回路部品の保持位置誤差が算出される。したがって、部品カメラ１９８ではなく、ヘッド側基準マーク１６６について相対位置誤差が取得される。
【００５５】
なお、ヘッド保持装置４４へのヘッド４０，４２の着脱により誤差が生じるのはノズル回転軸線であるので、これらの交替毎に行われるのは、検査用基準マーク２４２を基準とするノズル回転軸線の位置誤差の取得のみとしてもよい。
また、１枚の回路基板３２についてマルチノズルヘッド４０およびシングルノズルヘッド４２の両方によって電子回路部品の装着が行われる場合、１枚の回路基板３２についてノズルヘッド４０，４２の交替が行われ、その度に相対位置誤差の取得が行われることとなるが、マルチノズルヘッド４０については、一部の吸着ノズル１５４についてのみ相対位置誤差の取得が行われ、他の吸着ノズル１５４については演算により相対位置誤差が推定されるようにしてもよい。
あるマルチノズルヘッド４０について１回目、すなわちマルチノズルヘッド４０がヘッド保持装置４４により保持された最初に相対位置誤差の取得が行なわれるときにも、装置が精度良く製造されていれば、全部の吸着ノズル１５４について相対位置誤差の取得を行なうことは不可欠ではなく、一部の吸着ノズル１５４のみについて行い、その結果に基づいて他の吸着ノズル１５４について相対位置誤差が推定されるようにしてもよい。要求される装着位置精度と、ヘッド保持装置４４によるマルチノズルヘッド４０の保持の繰返し位置精度との関係において、全部の吸着ノズル１５４について相対位置誤差の取得を行なうか否かが決められる。
【００５６】
また、同じノズルヘッドによって１枚の回路基板３２への電子回路部品の装着が行われるとともに、同種の回路基板３２について設定枚数、連続して電子回路部品の装着が行われる場合には、ヘッド保持装置４４によるノズルヘッドの保持時の他、予め設定された条件の成立時、例えば、所定枚数の回路基板３２への電子回路部品の装着が行われたとき、あるいは装着開始から設定時間が経過したときに相対位置誤差の取得が行われ、電子回路部品の装着に使用されるようにしてもよい。これら相対位置誤差の取得実行条件の成立の有無は、制御装置２２において判定され、条件成立時に相対位置誤差取得ルーチンが実行される。
ヘッド４０，４２の交替が行われないで装着作業が続けられる場合、常に、ノズル回転軸線，基準マークカメラ１８０およびヘッド側基準マーク１６６のすべてについて相対位置誤差の取得が行われるようにすることも不可欠ではない。相対位置誤差に変化が生じ易いものについては、生じにくいものに比較して相対位置誤差の取得が頻繁に行われるようにすることも可能なのである。
【００５７】
さらに、本電子回路部品装着システムにおいては、予め定められた条件の成立時に自動的に装着位置精度の検査が行われる。例えば、設定枚数の回路基板３２への電子回路部品の装着が行われたときに装着位置精度の検査が行われる。この際、１枚の回路基板３２について電子回路部品の装着がマルチノズルヘッド４０とシングルノズルヘッド４２との一方のみにより行われるのであれば、ヘッド保持装置４４が現に保持されているノズルヘッドについて装着位置精度の検査が行われる。１枚の回路基板３２についてマルチノズルヘッド４０およびシングルノズルヘッド４２の両方によって電子回路部品の装着が行われるのであれば、それらノズルヘッド４０，４２がそれぞれヘッド保持装置４４によって保持されたときに検査が行われる。装着位置精度の検査も検査用チップ２０４，２０６を用いて行われる。
【００５８】
取得された相対位置誤差および装着位置精度の検査結果はいずれも、電子回路部品の回路基板３２への装着に使用され、誤差が除去されて電子回路部品が精度良く装着されるようにされる。したがって、装置の組付け精度を上げれば、誤差を小さくし、装着位置精度を向上させることができるが、装置コストが増大するのに対し、相対位置誤差の取得，装着位置精度の検査，それらに基づく修正により、装置コストの増大を招来することなく、装着位置精度を向上させることができる。また、これらが自動で行われるため、メンテナンスの頻度や所要時間を低減させながら、高い装着位置精度を維持することができる。
【００５９】
以下、シングルノズルヘッド４２，マルチノズルヘッド４０の各部品吸着ヘッド１４５，１６４，ヘッド側基準マーク１６６および基準マークカメラ１８０の相対位置誤差の取得および装着位置精度の検査を説明する。なお、本電子回路部品装着システムの各種移動部材，回転部材の移動，回転は精度良く行われるため、送り誤差，構成部材の熱膨張，温度上昇に起因する電気的な制御特性変化等は無視できるものとして説明する。ただし、送り誤差等による可動部材の位置決め誤差が無視できないほど大きい場合には、それを考慮し、修正して位置決めすることが望ましい。
【００６０】
以下、まず、図９に示すフローチャートに基づいて、シングルノズルヘッド４２について、検査用基準マーク２４２を基準とする吸着ノズル１４４の回転軸線，基準マークカメラ１８０およびヘッド側基準マーク１６６の相対位置誤差の取得を説明する。シングルノズルヘッド４２は比較的大形の電子回路部品の装着に使用され、相対位置誤差の取得には、検査用チップとして形象表示チップ２０４が使用される。
【００６１】
なお、精度検査用ユニット２００は精度良く作られるとともに、強固に固定されており、その位置は電子回路部品装着システムの固有値の一部としてＲＯＭ３０２に記憶させられている。位置は、電子回路部品装着システムについて前記Ｘ軸およびＹ軸により規定されるＸＹ座標面上の座標値で表され、精度検査用ユニット２００については、形象表示チップ収容凹部２３２，角チップ収容凹部２３４およびゲージ収容凹部２３６の各位置，形象表示チップ載置位置，角チップ載置位置がそれぞれ、ＸＹ座標面上の座標値で表され、記憶させられている。収容凹部２３２，２３４，２３６の各位置は、それぞれの中心であって、収容された形象表示チップ２０４等の中心が吸着ノズル１４４，１５４により保持されることが予定された位置である。これらＲＯＭ３０２に記憶させられた位置を正規の位置と称する。
【００６２】
図９に示す形象表示チップの使用による相対位置誤差取得ルーチンのステップ１（以後、Ｓ１と略記する。他のステップについても同じ。）においては、ヘッド移動装置４６によりシングルノズルヘッド４２が形象表示チップ収容凹部２３２の正規の位置へ移動させられるとともに昇降させられ、吸着ノズル１４４が形象表示チップ２０４を吸着し、形象表示チップ収容凹部２３２から取り出す。シングルノズルヘッド４２の移動位置は、吸着ノズル１４４の回転軸線について制御され、ヘッド保持装置４４の回転軸線について制御される。形象表示チップ２０４は、形象２１０が形成された面が下側となるように形象表示チップ収容凹部２３２に収容されており、吸着ノズル１４４は、形象表示チップ２０４の上面であって、形象２１０が形成されていない面を吸着する。
【００６３】
次いでＳ２が実行され、シングルノズルヘッド４２が部品カメラ１９８へ移動させられて形象表示チップ２０４が部品カメラ１９８により撮像される。部品カメラ１９８は、相対位置誤差の取得時には、予め設定された検査用撮像位置に位置させられている。この検査用撮像位置は、精度検査用ユニット２００に近接する位置であり、例えば、Ｙ軸方向において精度検査用ユニット２００に隣接する位置に設定されている。シングルノズルヘッド４２は、ヘッド保持装置４４の回転軸線が部品カメラ１９８の撮像面の中心と一致することが予定された位置へ移動させられ、保持した形象表示チップ２０４が撮像されるとともに、ヘッド側基準マーク１６６が同時に撮像される。なお、撮像時には、シングルノズルヘッド４２の昇降により、形象表示チップ２０４の下面とヘッド側基準マーク１６６の下面との高さが同じにされ、形象表示チップ２０４の下面に形成された形象２１０もヘッド側基準マーク１６６も部品カメラ１９８により焦点が合った状態で撮像されるようにされる。
【００６４】
撮像後、Ｓ３が実行され、画像処理により得られた形象表示チップ２０４およびヘッド側基準マーク１６６の各像データに基づいて、形象表示チップ２０４のヘッド側基準マーク１６６に対する位置ずれが取得される。像データに基づいて、形象表示チップ２０４の４個の透視窓２１２の各中心位置が求められるとともに、それらの平均位置が形象表示チップ２０４の撮像面上における実際の中心位置とされる。透明な透視窓２１２は銀色の形象２１０内に設けられており、形象２１０の撮像により透視窓２１２の縁の明瞭な像が得られ、その中心位置が求められる。また、ヘッド側基準マーク１６６の中心位置に基づいて形象表示チップ２０４の中心の、ヘッド側基準マーク１６６に対してあるべき位置である目標位置が求められる。ヘッド側基準マーク１６６は、相対位置誤差の取得時には、ヘッド保持装置４４の回転軸線のまわりにおいて予め設定された誤差取得時回転位置、例えば、マルチノズルヘッド４０の吸着ノズル１５４により部品供給装置１２，１４からの電子回路部品の取出しが行われる際に位置させられる部品取出時位置に位置させられる。マルチノズルヘッド４０において複数の吸着ノズル１５４は、ヘッド本体１５０の回転により、予め設定された部品吸着位置へ移動させられ、その部品吸着位置に対応する位置である部品取出時位置に駆動部材１６０が位置させられてノズル選択装置１５７を駆動し、バルブ装置１５６の切換えを行なうため、部品取出時位置が誤差取得時回転位置とされるのである。駆動部材１６０の誤差取得時回転位置への旋回は、精度良く行われる。また、ヘッド側基準マーク１６６は、ヘッド保持装置４４の回転軸線からの距離が高い精度で保証されているため、それら回転位置および距離に誤差はないものとみなされる。そのため、それら回転位置および距離に基づいて、形象表示チップ２０４の中心の撮像面上においてあるべき位置が算出され、その目標中心位置からの実際の中心位置の位置ずれが算出される。この実際の中心位置の位置ずれは、ヘッド側基準マーク１６６を基準とする位置ずれである。
【００６５】
次いでＳ４が実行され、シングルノズルヘッド４２が精度検査用ユニット２００の形象表示チップ載置部２３８へ移動させられ、形象表示チップ２０４を形象表示チップ吸着面２５６に載置する。吸着ノズル１４４は、形象表示チップ２０４の形象２１０が形成された側とは反対側の面を吸着しており、形象表示チップ２０４は、その形象２１０が形成された面において吸着面２５６に載置され、形象２１０の高さが吸着面２５６と同じになる。この載置の際、形象表示チップ２０４は、Ｓ３において取得された位置ずれが修正されて載置される。シングルノズルヘッド４２の移動位置がそのように制御されるのである。形象表示チップ２０４が吸着面２５６に接触する直前から直後までの適当な時期に吸引孔２５８に負圧が供給され、形象表示チップ２０４が吸着面２５６に吸着されてずれが防止された後に、吸着ノズル１４４への負圧の供給が遮断され、形象表示チップ２０４が解放される。そのため、形象表示チップ２０４は吸着ノズル１４４により保持されている状態からずれることなく、吸着面２５６により吸着される。形象表示チップ２０４の解放が迅速に行われるように、負圧から大気圧への切換え時に瞬間的に正圧が供給されるようにすることが望ましい。角チップ吸着面２５４は形象表示チップ吸着面２５６より僅かに低くされているため、形象表示チップ２０４と角チップ吸着面２５４との間には隙間があり、その隙間を通って、吸引孔２５８から供給される負圧が凹部２５２に供給され、形象表示チップ２０４が形象表示チップ吸着面２６２に吸着され、固定される。
【００６６】
次いでＳ５が実行され、基準マークカメラ１８０が正規の形象表示チップ撮像位置へ移動させられ、載置された形象表示チップ２０４を撮像する。基準マークカメラ１８０の移動位置は、その撮像面の中心について制御される。形象表示チップ２０４が形象表示チップ吸着面２５６上に載置された状態では、図１０に示すように、４個の透視窓２１２のうちの２個の中に検査用基準マーク２４２が位置する状態となるが、基準マークカメラ１８０は撮像面が小さいため、２個の透視窓２１２が１個ずつ、検査用基準マーク２４２と共に撮像される。したがって、形象表示チップ撮像位置は、検査用基準マーク２４２の中心位置であり、２箇所設定され、基準マークカメラ１８０はそれら２つの形象表示チップ撮像位置へ順次、移動させられ、各位置においてそれぞれ、透視窓２１２および検査用基準マーク２４２を撮像する。
【００６７】
そして、Ｓ６において、画像処理された像データに基づいて、基準マークカメラ１８０の撮像面の中心の、検査用基準マーク２４２の中心に対する位置ずれが取得される。この位置ずれは２つ取得され、ＲＡＭ３０４に記憶させられる。また、２個の透視窓２１２についてそれぞれ、その中心の検査用基準マーク２４２の中心に対するＸ軸，Ｙ軸方向の各位置ずれが算出され、ＲＡＭ３０４に記憶させられるとともに、それら２組の位置ずれに基づいてヘッド側基準マーク１６６の検査用基準マーク２４２に対する位置ずれが取得される。透視窓２１２の検査用基準マーク２４２に対する位置ずれは、２個の検査用基準マーク２４２のいずれについて取得された位置ずれであるかを区別して記憶させられる。前述のように、形象表示チップ２０４が形象表示チップ載置位置に載置されるとき、形象表示チップ２０４のヘッド側基準マーク１６６に対する位置ずれが修正されるため、形象表示チップ２０４の検査用基準マーク２４２に対する位置ずれは、ヘッド側基準マーク１６６の検査用基準マーク２４２に対する位置ずれを表す。なお、形象表示チップ２０４の検査用基準マーク２４２に対する位置ずれは、形象表示チップ２０４の実際の中心位置の、検査用基準マーク２４２が示す形象表示チップ２０４のあるべき位置に対するずれとして算出される。
【００６８】
形象表示チップ２０４の中心のあるべき位置と、２個の検査用基準マーク２４２の各中心位置との間には、図１１に示すように、設計上、予め設定された関係がある。実際の形象表示チップ２０４の中心位置と、２個の透視窓２１２の各中心位置との間にも同様の位置関係があり、その位置関係と、２個の透視窓２１２の各々の検査用基準マーク２４２に対する位置ずれΔｘ１，Δｙ１およびΔｘ２，Δｙ２とに基づいて、形象表示チップ２０４の中心の実際の位置の、あるべき位置に対する位置ずれが算出される。その位置ずれは、｛（Δｘ１＋Δｘ２）／２−ｂ（Δｙ２−Δｙ１）／ａ，（Δｙ１＋Δｙ２）／２｝となり、ヘッド側基準マーク１６６の検査用基準マーク２４２に対する位置ずれとして、ＲＡＭ３０４に設けられた相対位置誤差メモリに記憶させられる。ただし、ａは２個の検査用基準マーク２４２間の距離、ｂは２個の検査用基準マーク２４２の中点と、形象表示チップ２０４のあるべき位置との距離である。図１１には、理解を容易にするために、形象表示チップ２０４の回転位置のずれが誇張して図示されているが、回転位置ずれ角度Δθは実際には極く小さいため、Ｙ軸方向においては形象表示チップ２０４の回転位置ずれ角度Δθに起因する中心の位置ずれはないものとみなし、Ｘ軸方向のずれは、距離ｂと回転位置ずれ角度Δθとの積として求められる。回転位置ずれ角度Δθは（Δｙ２−Δｙ１）／ａにより得られ、回転位置ずれ角度Δθに起因するＸ軸方向の位置ずれｂ（Δｙ２−Δｙ１）／ａが得られる。
【００６９】
次いでＳ７が実行され、カウンタのカウント値ｎ1がインクリメントされ、Ｓ８においてシングルノズルヘッド４２が形象表示チップ２０４を吸着する。この際、シングルノズルヘッド４２は、Ｓ４において形象表示チップ２０４を形象表示チップ載置部２３８に載置したときの位置、すなわち正規の形象表示チップ載置位置を、Ｓ３において取得された位置ずれにより修正した位置へ移動させられ、吸着ノズル１４４により形象表示チップ２０４を吸着する。この際、吸着ノズル１４４が形象表示チップ２０４を吸着した後、吸引孔２５８への負圧の供給が断たれ、形象表示チップ吸着面２５６による形象表示チップ２０４の保持が解除される。そのため、形象表示チップ２０４は、形象表示チップ載置部２３８に載置されていた状態からずれることなく、吸着ノズル１４４により保持され、形象表示チップ吸着面２５６から持ち上げられる。そして、Ｓ９においてシングルノズルヘッド４２が回転させられ、吸着ノズル１４４が回転させられて、保持された形象表示チップ２０４が所定の角度、ここでは９０度、回転させられた後、Ｓ１０において再びシングルノズルヘッド４２が形象表示チップ２０４を吸着面２５６上に載置し、形象表示チップ２０４が吸着面２５６により吸着される。
【００７０】
次いでＳ１１が実行され、基準マークカメラ１８０が２つの形象表示チップ撮像位置へ順次移動させられ、それぞれ透視窓２１２および検査用基準マーク２４２を撮像する。形象表示チップ２０４の回転により、撮像される透視窓２１２と検査用基準マーク２４２との組合わせは変わっている。しかし、４個の透視窓２１２は精度良く形成されているため、その検査用基準マーク２４２に対する位置ずれには透視窓２１２の製造誤差は含まれないものとみなすことができる。そして、Ｓ１２において像データに基づいて２個の検査用基準マーク２４２についてそれぞれ、基準マークカメラ１８０の位置ずれが取得されるとともに、透視窓２１２の検査用基準マーク２４２に対する位置ずれが取得され、ＲＡＭ３０４に記憶させられる。吸着ノズル１４４は形象表示チップ２０４の上面であって、形象２１０が形成された側とは反対側の面を吸着し、形象２１０は形象表示チップ２０４の下面にあり、図７に二点鎖線で示すように、形象表示チップ２０４が形象表示チップ吸着面２５６上に載置されたとき、形象２１０の高さは検査用基準マーク２４２の高さとほぼ同じになり、基準マークカメラ１８０により焦点が合った状態で撮像される。また、検査台２０２は黒色とされており、形象表示チップ２０４が形象表示チップ吸着面２５６上に載置された状態では、銀色の形象２１０と金色の検査用基準マーク２４２との間に透明な黒色の透視窓２１２が環状に見えることとなり、それぞれ光学特性が異なり、透視窓２１２についても検査用基準マーク２４２についても、それらの輪郭の像が明瞭に得られる。
【００７１】
次いでＳ１３が実行され、カウント値ｎ1が設定値以上になったか否か、ここでは３になったか否かが判定され、Ｓ１３の判定結果がＹＥＳになるまで、Ｓ７〜Ｓ１３が繰り返し実行される。そのため、吸着ノズル１４４の０度，９０度，１８０度，２７０度の回転位置における４回の撮像により、基準マークカメラ１８０の検査用基準マーク２４２に対する位置ずれが合計８つ取得され、２個の検査用基準マーク２４２についてそれぞれ、透視窓２１２の位置ずれが４つずつ取得される。
【００７２】
そして、Ｓ１４が実行され、基準マークカメラ１８０の検査用基準マーク２４２に対する８つの位置ずれの平均値が求められ、基準マークカメラ１８０の検査用基準マーク２４２に対する位置ずれとして相対位置誤差メモリに記憶させられる。また、２個の検査用基準マーク２４２についてそれぞれ、透視窓２１２の４つの位置ずれの平均値が求められ、それら２組の平均値Δｘａ１，Δｙａ１およびΔｘａ２，Δｙａ２と、２個の検査用基準マーク２４２と形象表示チップ２０４の中心のあるべき位置との関係とに基づいて、Ｓ６において説明した形象表示チップ２０４の検査用基準マーク２４２に対する位置ずれの算出と同様にして、Ｘ軸，Ｙ軸方向の位置ずれが算出される。この位置ずれがノズル回転軸線の検査用基準マーク２４２に対する位置ずれであり、相対位置誤差メモリに記憶させられる。形象表示チップ載置部２３８に載置された形象表示チップ２０４の撮像により得られる形象表示チップ２０４の画像データに基づいてヘッド側基準マーク１６６の検査用基準マーク２４２に対する位置ずれが取得され、その撮像を含めた形象表示チップ２０４の撮像によりノズル回転軸線の検査用基準マーク２４２に対する位置ずれが取得され、本実施例では、第２誤差取得を第３誤差取得の一部と考え、両誤差取得が並行して行なわれると考えることができる。
【００７３】
以上のようにして、検査用基準マーク２４２に対するノズル回転軸線，基準マークカメラ１８０およびヘッド側基準マーク１６６の各位置ずれが得られれば、それらに基づいて、ヘッド側基準マーク１６６とノズル回転軸線との相対位置誤差を得ることができ、Ｓ１４では、その相対位置誤差も算出されて相対位置誤差メモリに記憶させられる。Ｓ１４においてはまた、カウント値ｎ１が０にリセットされる。そして、Ｓ１５が実行され、吸着ノズル１４４が形象表示チップ２０４を吸着し、シングルノズルヘッド４２が正規の形象表示チップ収容位置へ移動させられ、形象表示チップ２０４を形象表示チップ収容凹部２３２に戻す。吸着ノズル１４４が形象表示チップ２０４を吸着するとき、吸着ノズル１４４は、Ｓ８において形象表示チップ２０４を吸着したときと同じ位置へ移動させられて吸着する。そして、形象表示チップ２０４の吸着後、吸着ノズル１４４は、Ｓ９における回転時と同じ方向へ９０度回転させられ、形象表示チップ２０４は、その位相が形象表示チップ収容凹部２３２からの取出し時の位相に戻され、形象表示チップ収容凹部２３２に戻される。形象表示チップ２０４は、常に一定の位相で形象表示チップ収容凹部２３２に収容されるのである。
【００７４】
次に、マルチノズルヘッド４０についての、検査用基準マーク２４２を基準とする吸着ノズル１５４の回転軸線，基準マークカメラ１８０およびヘッド側基準マーク１６６の相対位置誤差の取得を説明する。
マルチノズルヘッド４０は複数の吸着ノズル１５４を含む。そのため、複数の吸着ノズル１５４の各々について回転軸線の検査用基準マーク２４２との相対位置誤差が取得されるが、基準マークカメラ１８０およびヘッド側基準マーク１６６の検査用基準マーク２４２に対する位置ずれの取得は、１つの吸着ノズル１５４についてのみ行われる。なお、マルチノズルヘッド４０についての相対位置誤差の取得時に既に基準マークカメラ１８０およびヘッド側基準マーク１６６について位置ずれが取得されていれば、その位置ずれ取得は省略されてもよい。例えば、１枚の回路基板３２について、シングルノズルヘッド４２およびマルチノズルヘッド４０の両方によって電子回路部品の装着が行われ、ヘッド保持装置４４によってノズルヘッド４０，４２が持ち替えられる毎に相対位置誤差の取得が行われるのであれば、１枚目の回路基板３２について、シングルノズルヘッド４２とマルチノズルヘッド４０とのうち、先に相対位置誤差の取得が行われるノズルヘッドについてのみ、基準マークカメラ１８０およびヘッド側基準マーク１６６の位置ずれ取得が行われればよいのである。
【００７５】
マルチノズルヘッド４０についての相対位置誤差の取得は、角チップ２０６を用いて行われる。図１２に示す相対位置誤差取得ルーチンにおいて、まず、Ｓ３１で吸着ノズル１５４が正規の角チップ収容位置へ移動させられて角チップ２０６を吸着する。複数の吸着ノズル１５４は、ノズル回転軸線の相対位置誤差を取得する順番が予め設定され、１番目の吸着ノズル１５４がヘッド本体１５０の回転により部品吸着位置へ移動させられるとともに、その１番目の吸着ノズル１５４の中心線であって実質的なノズル回転軸線が正規の角チップ収容位置に位置するようにヘッド本体１５０がヘッド移動装置４６により移動させられ、１番目の吸着ノズル１５４が下降させられて角チップ２０６を吸着する。また、ヘッド側基準マーク１６６は、誤差取得時回転位置に位置させられる。
【００７６】
吸着後、Ｓ３２が実行され、マルチノズルヘッド４０が検査用撮像位置に位置させられている部品カメラ１９８へ移動させられ、角チップ２０６およびヘッド側基準マーク１６６が撮像される。この場合にも、マルチノズルヘッド４０の上下方向の位置の調節により、角チップ２０６およびヘッド側基準マーク１６６がいずれも部品カメラ１９８により焦点が合った状態で撮像されるようにされる。次いでＳ３３が実行され、像データに基づいて角チップ２０６のヘッド側基準マーク１６６に対する位置ずれが取得される。この位置ずれは、像データにより得られる角チップ２０６の撮像画面上における実際の中心の、ヘッド側基準マーク１６６の像から得られる角チップ２０６の中心の撮像画面上においてあるべき位置に対するずれとして求められる。角チップ２０６の画像データに基づいて、その４つの角の輪郭が得られ、角チップ２０６の中心が求められる。誤差取得時回転位置に位置させられたヘッド側基準マーク１６６と、部品吸着位置に位置させられた吸着ノズル１５４の回転軸線との相対位置関係は予め設定されており、その相対位置関係およびヘッド側基準マーク１６６の像データに基づいて角チップ２０６の中心のあるべき位置が算出される。
【００７７】
そして、Ｓ３４が実行され、マルチノズルヘッド４０が角チップ載置部２４０へ移動させられ、Ｓ３３において算出された位置ずれが修正されて角チップ２０６が角チップ吸着面２５４上に載置される。角チップ２０６は、吸引孔２０６から供給される負圧により角チップ吸着面２５４に吸着される。この負圧の供給タイミングは、形象表示チップ２０４の吸着の場合と同様であり、角チップ２０６は吸着ノズル１５４による吸着時の状態からずれることなく角チップ吸着面２５４上に載置され、吸着される。
【００７８】
次いでＳ３５が実行され、基準マークカメラ１８０が正規の角チップ載置位置へ移動させられて角チップ２０６を撮像する。角チップ２０６は小さく、形象表示チップ２０４のように検査用基準マーク２４２を覆わず、図１３に示すように、角チップ吸着面２５４上に載置された状態では、２個の検査用基準マーク２４２は角チップ２０６の外にある。そのため、基準マークカメラ１８０は、２個の検査用基準マーク２４２へも移動させられ、それらを撮像する。基準マークカメラ１８０の検査用基準マーク２４２の撮像位置は、前記形象表示チップ撮像位置と同様に、２個の検査用基準マーク２４２の各中心位置である。そして、Ｓ３６では、画像処理された像データに基づいて、角チップ２０６の中心の、基準マークカメラ１８０の撮像中心に対する位置ずれが取得され、ＲＡＭ３０４に記憶させられる。また、基準マークカメラ１８０の２個の検査用基準マーク２４２に対する各位置ずれが取得されてＲＡＭ３０４に記憶させられる。さらに、基準マークカメラ１８０の検査用基準マーク２４２に対する２個の位置ずれの平均値と、角チップ２０６の基準マークカメラ１８０に対する位置ずれとに基づいて、角チップ２０６の検査用基準マーク２４２に対する位置ずれが取得される。角チップ２０６は、Ｓ３３において算出された位置ずれが修正されて角チップ吸着面２５４上に載置されるため、角チップ２０６の検査用基準マーク２４２に対する位置ずれはヘッド側基準マーク１６６の検査用基準マーク２４２に対する位置ずれである。したがって、角チップ２０６の検査用基準マーク２４２に対する位置ずれが、ヘッド側基準マーク１６６の検査用基準マーク２４２に対する位置ずれとして、相対位置誤差メモリに記憶させられる。
【００７９】
次にＳ３７〜Ｓ４３が実行され、吸着ノズル１５４が角チップ２０６を吸着し、９０度ずつ、同じ方向へ回転させられては角チップ２０６を吸着面２５４上に載置し、角チップ２０６が９０，１８０，２７０度の３つの回転位置においてそれぞれ基準マークカメラ１８０により撮像されるとともに、基準マークカメラ１８０に対する位置ずれが取得されてＲＡＭ３０４に記憶させられる。また、２個の検査用基準マーク２４２も基準マークカメラ１８０により撮像され、位置ずれが取得されてＲＡＭ３０４に記憶させられる。Ｓ３８において吸着ノズル１５４が角チップ２０６を吸着するとき、吸着ノズル１５４は、Ｓ３４において角チップ２０６を角チップ載置部２４０に載置したときの位置、すなわち正規の角チップ載置位置を、Ｓ３３において取得された位置ずれにより修正した位置へ移動させられ、角チップ２０６を吸着する。吸着ノズル１５４はヘッド本体１５０に対して自身の中心線のまわりには回転させられず、その物理的な回転軸線はヘッド保持装置４４の軸線である。したがって、吸着ノズル１５４を回転させるためにマルチノズルヘッド４０が回転させられるとき、マルチノズルヘッド４０は同時にＸ軸，Ｙ軸方向に移動させられ、吸着ノズル１５４の中心の位置が変わらず、あたかも自身の中心線を回転軸線として回転させられたかのようにされる。なお、Ｓ４２において、Ｓ３６におけると同様に、ヘッド側基準マーク１６６の検査用基準マーク２４２に対する位置ずれを取得してもよい。
【００８０】
そして、Ｓ４４が実行され、取得された４つの回転位置においてそれぞれ取得された角チップ２０４の基準マークカメラ１８０に対する位置ずれに基づいて、吸着ノズル１５４の回転軸線の検査用基準マーク２４２に対する位置ずれが取得される。この位置ずれは、角チップ２０６の基準マークカメラ１８０に対する４つの位置ずれの平均値から、基準マークカメラ１８０の検査用基準マーク２４２に対する位置ずれを除去することにより求められ、吸着ノズル１５４と対応付けて相対位置誤差メモリに記憶させられる。吸着ノズル１５４は、例えば、マルチノズルヘッド４０のヘッド本体１５０における取付位置によって特定される。Ｓ４４では、基準マークカメラ１８０の検査用基準マーク２４２に対する８つの位置ずれの平均値が算出され、基準マークカメラ１８０の検査用基準マーク２４２に対する位置ずれとされ、ＲＡＭ３０４に記憶させられるとともに、ノズル回転軸線の位置ずれの算出に使用される。また、基準マークカメラ１８０，ヘッド側基準マーク２４２，ノズル回転軸線の検査用基準マーク２４２に対する位置ずれに基づいて、ヘッド側基準マーク２４２とノズル回転軸線との相対位置誤差が算出され、吸着ノズル１５４と対応付けて相対位置誤差メモリに記憶させられる。また、カウント値ｎ２がリセットされる。なお、検査用基準マーク２４２の撮像は、基準マークカメラ１８０による１回目の角チップ２０６の撮像時のみに行なわれてもよく、２個の検査用基準マーク２４２のうちの一方のみが撮像されてもよい。
【００８１】
そして、Ｓ４５が実行され、吸着ノズル１５４が角チップ２０６を吸着し、マルチノズルヘッド４０が正規の角チップ収容位置へ移動させられ、角チップ２０６が角チップ収容凹部２３４に戻される。この際、吸着ノズル１５４は、Ｓ３８において角チップ２０６を吸着したときと同じ位置へ移動させられて角チップ２０６を吸着し、吸着後、Ｓ３９におけるノズル回転時と同じ方向へ９０度回転させられ、角チップ２０６は、その位相が角チップ収容凹部２３４からの取出し時の位相に戻されて、角チップ収容凹部２３４に収容される。角チップ２０６は、常に一定の位相で角チップ収容凹部２３４に収容されるのである。次いでＳ４６が実行され、マルチノズルヘッド４０が保持する全部の吸着ノズル１５４についてノズル回転軸線の検査用基準マーク２４２との相対位置誤差が取得されたか否かが判定される。全部の吸着ノズル１５４について相対位置誤差の取得が終了していなければ、Ｓ４６の判定結果はＮＯになってＳ４７が実行され、相対位置誤差の取得が行われる吸着ノズル１５４が更新される。
【００８２】
次いでＳ４８が実行され、次の吸着ノズル１５４について、Ｓ３１，Ｓ３４〜Ｓ４５において行われる制御と同様の制御が行われ、各吸着ノズル１５４のノズル回転軸線の検査用基準マーク２４２に対する位置ずれおよびノズル回転軸線とヘッド側基準マーク１６６との相対位置誤差が取得される。基準マークカメラ１８０およびヘッド側基準マーク１６６の検査用基準マーク２４２に対する各位置ずれの取得は、１番目の吸着ノズル１５４について行われているため、省略され、ヘッド側基準マーク１６６および検査用基準マーク２４２の撮像は行われず、角チップ２０６を角チップ載置部２４０に載置するとき、吸着ノズル１５４は正規の角チップ載置位置へ移動させられる。全部の吸着ノズル１５４についてノズル回転軸線等の位置ずれ等が取得されれば、Ｓ４６の判定結果はＹＥＳになって、ルーチンの実行は終了する。
【００８３】
シングルノズルヘッド４２，マルチノズルヘッド４０のいずれにより電子回路部品が回路基板３２に装着される場合にも、検査用のチップ２０４，２０６を用いて取得された相対位置誤差が修正されつつ装着が行われる。シングルノズルヘッド４２により電子回路部品を回路基板３２に装着する場合を例に取り、図１４に示す装着ルーチンに基づいて説明する。
電子回路部品を回路基板３２に装着する場合には、上記相対位置誤差取得ルーチンの実行により取得された基準マークカメラ１８０，ヘッド側基準マーク１６６およびノズル回転軸線の検査用基準マーク２４２に対する各位置ずれが除去された状態で行われる。すなわち、基準マークカメラ１８０により回路基板３２の基板基準マーク１８２が撮像される際には、基準マークカメラ１８０の実際の撮像中心が、正規の基板基準マーク１８２の位置座標が基準マークカメラ１８０の相対位置誤差分修正された位置へ移動させられ、また、電子回路部品が回路基板３２に装着される場合には、実際のノズル回転軸線が、各部品装着箇所の正規の位置座標がノズル回転軸線の相対位置誤差分修正された位置へ移動させられるのである。そのために、図１４の装着ルーチンの実行に先立って、装着プログラムに含まれる各正規の座標値が、相対位置誤差分修正された目標座標値に変更され、これら目標座標値に従って装着が行われる。さらに、ヘッド側基準マーク１６６とノズル回転軸線との正規の相対位置が、実際のヘッド側基準マーク１６６の実際のノズル回転位置誤差に対する相対位置誤差によって修正されて、ヘッド側基準マーク１６６とヘッド回転軸線との実際の相対位置が取得され、装着作業の実行時に使用される。
【００８４】
装着ルーチンは、回路基板３２が搬入され、基板保持装置１６により保持された後、開始される。まず、Ｓ６１の実行により基準マークカメラ１８０が目標位置へ移動させられ、２個の基板基準マーク１８２をそれぞれ撮像する。そして、Ｓ６２が実行され、２個の基板基準マーク１８２の各像データに基づいて、回路基板３２の部品装着面に設定された複数の部品装着箇所の各々について位置誤差が演算される。この位置誤差には、部品装着面に平行な方向の位置誤差であるＸ軸，Ｙ軸方向の各位置誤差および部品装着面と直交する鉛直な軸線まわりの回転位置誤差が含まれる。
【００８５】
次いでＳ６３が実行され、シングルノズルヘッド４２が、例えば、フィーダ型部品供給装置１２の複数のフィーダのうちの１つの部品供給部へ移動させられ、吸着ノズル１４４が電子回路部品を吸着し、フィーダから取り出す。そして、Ｓ６４が実行され、シングルノズルヘッド４２は、電子回路部品を吸着した位置から、回路基板３２の部品装着箇所へ直線的に移動させられるが、その途中でＳ６５が実行され、吸着ノズル１４４に保持された電子回路部品がヘッド側基準マーク１６６と共に部品カメラ１９８により撮像される。ヘッド側基準マーク１６６は、マルチノズルヘッド４０における吸着ノズル１５４の部品吸着位置に対応する部品取出時位置に位置させられている。部品カメラ１９８は、シングルノズルヘッド４２の上記直線的な移動経路に対応する位置へ移動させられて待機させられている。
【００８６】
次いでＳ６６が実行され、撮像により得られる電子回路部品の像データに基づいて吸着ノズル１４４による電子回路部品の保持位置誤差が演算される。この保持位置誤差には、電子回路部品の移動方向と平行な方向な方向の位置誤差であるＸ軸，Ｙ軸方向の各位置誤差および電子回路部品の軸線まわりの位置誤差である回転位置誤差が含まれる。Ｘ軸，Ｙ軸方向の各位置誤差は、電子回路部品の基準位置、例えば、中心の、ノズル回転軸線に対するずれとして求められる。そのため、電子回路部品と共に撮像されたヘッド側基準マーク１６６の像と、ヘッド側基準マーク１６６とヘッド回転軸線との実際の相対位置とに基づいて、撮像画面上における実際のノズル回転軸線の位置が算出される。また、その実際のノズル回転軸線の位置に対する電子回路部品の位置ずれが算出される。さらに、回転位置誤差が、例えば、電子回路部品の１辺の、撮像画面上において傾きのない電子回路部品の像の１辺に対する傾きとして算出される。部品カメラ１９８の回転位置誤差は小さく、無視し得ると見なされるのである。
【００８７】
そして、Ｓ６７において、吸着ノズル１４４による電子回路部品の保持位置誤差と、その電子回路部品が装着される部品装着箇所の位置誤差とに基づいて、吸着ノズル１４４が回転させられて回転位置誤差が修正されるとともに、吸着ノズル１４４の移動位置が修正され、Ｓ６８において電子回路部品が実質的に正規の姿勢で回路基板３２上の実質的に正規の位置に装着される。Ｓ６９では、回路基板３２に予定された全部の電子回路部品が装着されたか否かが判定され、装着が終了していなければ、Ｓ６９の判定結果はＮＯになってルーチンの実行はＳ６３に戻り、次の電子回路部品の回路基板３２への装着が行われる。
【００８８】
マルチノズルヘッド４０による電子回路部品の回路基板３２への装着も、相対位置誤差取得ルーチンの実行により取得された基準マークカメラ１８０，ヘッド側基準マーク１６６およびノズル回転軸線の検査用基準マーク２４２に対する各位置ずれが除去された状態で行われる。ただし、マルチノズルヘッド４０には複数の吸着ノズル１５４が設けられているため、それら吸着ノズル１５４の各々とヘッド側基準マーク１６６との実際の相対位置が求められ、装着作業の実行時に使用される。
マルチノズルヘッド４０による電子回路部品の回路基板３２への装着も、図示は省略するが、図１４に示す装着ルーチンと同様の装着ルーチンに基づいて行われる。ただし、マルチノズルヘッド４０は吸着ノズル１５４を複数備えており、可能な限り多くの吸着ノズル１５４に電子回路部品を吸着させた後、回路基板３２へ移動させられて電子回路部品を回路基板３２に装着させる。そのため、Ｓ６３に相当する吸着ノズル１５４による電子回路部品の吸着時には、マルチノズルヘッド４０の回転およびＸ軸，Ｙ軸方向の移動により、予定された吸着ノズル１５４のすべてが順次、部品吸着位置へ移動させられるとともに、部品供給装置１２，１４の部品供給部に対向させられる。また、ヘッド側基準マーク１６６は、部品取出時位置に位置させられる。
【００８９】
複数の吸着ノズル１５４により保持された電子回路部品は、全部、一括して部品カメラ１９８により撮像されるとともに、ヘッド側基準マーク１６６も同時に撮像され、複数の吸着ノズル１５４の各々について、電子回路部品の中心の実際のノズル回転軸線に対する相対位置誤差である保持位置誤差が取得される。電子回路部品の回転位置誤差は、例えば、電子回路部品の１辺の、撮像画面上において傾きのない電子回路部品の像の１辺に対する傾きとして算出される。このようにして取得された保持位置誤差が、基板基準マーク１８２の撮像に基づいて取得された部品装着箇所の位置誤差と合わせて修正されることは、シングルノズルヘッド４２による電子回路部品の装着の場合と同じである。
【００９０】
以上の説明は、回路基板３２の基板基準マーク１８２が、その回路基板３２のすべての装着箇所に共通のいわゆるグローバルマークであるとして説明したが、回路基板３２の複数の部品装着箇所のうちの１つあるいは一部のものに専用のいわゆるローカルマークである場合にも、本発明を適用することが可能である。この場合には、ローカルマーク毎の位置誤差を検出し、その位置誤差を、吸着ノズル１４４，１５４による電子回路部品の保持位置誤差と共に除去して、装着が行われることとなり、ローカルマークの撮像時に、基準マークカメラ１８０の位置誤差が利用され、あるいは以下に説明する装着位置精度検査により取得される載置位置誤差等が電子回路部品の装着位置の補正に利用される。
【００９１】
次に、装着位置精度の検査を説明する。
装着位置精度の検査も精度検査用ユニット２００を使用して行われる。前述のように、予め設定された条件の成立時に検査が行なわれ、例えば、設定枚数の回路基板３２への電子回路部品の装着時に行なわれる。その場合の検査実行条件成立判定ルーチンの一例を図１５に示す。このルーチンにおいては、まず、Ｓ７１において回路基板３２が搬入されたか否かが判定される。この判定は、基板搬入センサ３１８の出力信号に基づいて行なわれ、回路基板３２の搬入が検出されなければ、Ｓ７１の判定結果はＮＯになってルーチンの実行が終了する。基板搬入センサ３１８の出力信号が基板非検出信号から基板検出信号に変化すれば、Ｓ７１の判定結果がＹＥＳになってＳ７２が実行され、カウント値ｎ３が１増加させられ、搬入された回路基板３２の枚数が数えられる。そして、Ｓ７３が実行され、回路基板３２の搬入枚数が設定枚数ｎＡを超えたか否かが判定され、超えていなければ、Ｓ７３の判定結果がＮＯになってルーチンの実行は終了する。設定枚数ｎＡの回路基板３２が搬入されれば、Ｓ７３の判定結果がＹＥＳになってＳ７４が実行され、装着位置精度検査の実行指令が出される。現に実行されている電子回路部品の装着が、シングルノズルヘッド４２とマルチノズルヘッド４０との両方によって行なわれるのであれば、両方について検査実行指令が出され、いずれか一方であれば、その一方について検査実行指令が出される。また、カウンタｎ３がリセットされる。
【００９２】
検査実行指令に応じて、装着位置精度の検査が行われる。装着位置精度の検査は、チップ収容凹部２３２，２３４を部品供給装置、検査用のチップ２０４，２０６を電子回路部品、検査用基準マーク２４２を基板基準マーク１８２，チップ載置部２３８，２４０を回路基板３２の部品装着箇所にそれぞれ模して、実際の回路基板３２への電子回路部品の装着作動を模した疑似装着作動をシングルノズルヘッド４２，マルチノズルヘッド４０，ヘッド回転装置５０，ヘッド移動装置４６，基準マークカメラ１８０および部品カメラ１９８等に行わせ、載置部２３８，２４０への検査用チップ２０４，２０６の載置位置誤差等を検査用基準マーク２４２に対して取得することにより行なわれる。まず、シングルノズルヘッド４２により行われる電子回路部品の装着位置精度の検査を図１６に示す形象表示チップ使用装着位置精度検査ルーチンに基づいて説明する。
なお、装着位置精度検査ルーチンの実行時にも、前記装着ルーチンの実行時と同様に、相対位置誤差取得ルーチンの実行により取得された基準マークカメラ１８０，ヘッド側基準マーク１６６およびノズル回転軸線の検査用基準マーク２４２に対する各位置ずれが除去された状態で行われる。ただし、検査用基準マーク２４２が基板基準マーク１８２に対応し、形象表示チップ載置部２３８および角チップ載置部２４０が電子回路部品の装着箇所に対応する。
【００９３】
まず、Ｓ８０が実行されて検査実行指令が出されたか否かが判定され、出されていれば、Ｓ８０の判定結果がＹＥＳになってＳ８１が実行され、シングルノズルヘッド４２が形象表示チップ収容位置へ移動させられて形象表示チップ２０４を吸着する。この際、シングルノズルヘッド４２の移動は、図９の形象表示チップ使用相対位置誤差取得ルーチンの実行により取得されたノズル回転軸線の２査用基準マーク２４０に対する相対位置誤差を考慮して行われる。次いでＳ８２が実行され、シングルノズルヘッド４２が部品カメラ１９８へ移動させられ、保持した形象表示チップ２０４が撮像される。装着位置精度検査時にも、相対位置誤差取得時と同様に、部品カメラ１９８は検査用撮像位置に位置させられている。ヘッド側基準マーク１６６は部品取出時位置に位置させられており、形象表示チップ２０４と共に撮像され、Ｓ８３では、画像処理された像データに基づいて吸着ノズル１４４による形象表示チップ２０４の保持位置誤差が算出される。この際、シングルノズルヘッド４２による電子回路部品の回路基板３２への装着時と同様に、ヘッド側基準マーク１６６の像等に基づいて撮像面上における実際のノズル回転軸線の位置が求められ、その実際のノズル回転軸線位置に対する形象表示チップ２０４の相対位置誤差が保持位置誤差として取得される。具体的には、４個の透視窓２１２の像に基づいて形象表示チップ２０４の中心位置が求められ、実際のノズル回転軸線に対して形象表示チップ２０４のＸ軸，Ｙ軸方向の位置誤差が算出される。また、４個の透視窓２１２のうち、予め定められた２個の中心を通る直線について、撮像面上において傾きのない形象表示チップ２０４の像の２個の透視窓２１２の中心を通る直線に対する傾きが求められ、形象表示チップ２０４の回転位置誤差とされる。
【００９４】
そして、Ｓ８４が実行され、基準マークカメラ１８０が、２個の検査用基準マーク２６２のうち、予め定められた一方へ移動させられて撮像する。この際、基準マークカメラ１８０は、前述のように、正規の検査用基準マーク２４２の位置を、基準マークカメラ１８０の検査用基準マーク２４２に対する位置ずれが除去されるように修正した目標位置へ移動させられる。Ｓ８５において検査用基準マーク２６２の基準マークカメラ１８０の撮像中心に対する位置ずれが求められた後、Ｓ８６において位置誤差が修正されて形象表示チップ２０４が形象表示チップ載置部２３８に載置される。前述のように、形象表示チップ載置部２３８の正規の位置が、実際のノズル回転軸線の検査用基準マーク２４２に対する相対位置誤差分予め修正されたものが、形象表示チップ載置部２３８の目標位置とされており、シングルノズルヘッド４２が回転させられて電子回路部品の回転位置誤差が修正されるとともに、形象表示チップ載置部２３８の目標位置が、Ｓ８３において取得された吸着ノズル１５４による電子回路部品の保持位置誤差のうちのＸ軸，Ｙ軸方向の位置誤差、Ｓ８５において取得された検査用基準マーク２６２の基準マークカメラ１８０に対するＸ軸，Ｙ軸方向の位置誤差、および上記回転位置誤差の修正に伴って生じる電子回路部品の位置ずれが除去されるように修正されて、その修正された位置にノズル回転軸線が移動させられて、形象表示チップ２０４の載置が行われる。
【００９５】
次いでＳ８７が実行され、基準マークカメラ１８０が形象表示チップ２０４を撮像する。基準マークカメラ１８０は、２個の検査用基準マーク２４２へ順次、移動させられ、検査用基準マーク２４２を透視窓２１２と共に撮像し、Ｓ８８において、撮像により得られた像データに基づいて形象表示チップ２０４の載置位置誤差が取得される。２個の透視窓２１２の各々について検査用基準マーク２４２に対するＸ軸，Ｙ軸方向の位置ずれが取得され、それら２組の位置ずれに基づいて、先に図１１に基づいて説明した形象表示チップ２０４の検査用基準マーク２４２に対する位置ずれの取得と同様にして、形象表示チップ２０４のＸ軸，Ｙ軸方向の位置ずれが取得される。また、このＸ軸，Ｙ軸方向の位置ずれを算出する際に使用した回転位置ずれ角度Δθが形象表示チップ２０４の回転位置誤差であり、演算により取得される。
【００９６】
そして、Ｓ８９が実行され、吸着ノズル１４４が移動させられて形象表示チップ２０４を吸着する。この移動位置は、Ｓ８６において位置誤差が修正されて形象表示チップ２０４が形象表示チップ載置部２３８に載置されたときの吸着ノズル１４４の移動位置と同じ位置である。吸着ノズル１４４が形象表示チップ２０４を吸着し、上昇させられて形象表示チップ載置部２３８から取り出したならば、Ｓ９０が実行され、吸着ノズル１４４が所定角度、例えば、１８０度回転させられ、形象表示チップ２０４が１８０度、回転させられる。回転後、Ｓ９１が実行され、吸着ノズル１４４は形象表示チップ２０４を形象表示チップ吸着面２５６上に載置する。そして、Ｓ９２が実行され、基準マークカメラ１８０が形象表示チップ２０４を撮像する。この撮像は、Ｓ８７の撮像と同様に行われ、Ｓ９３では、Ｓ８８と同様に形象表示チップ２０４のＸ軸，Ｙ軸方向の載置位置誤差が取得され、相対位置誤差メモリに記憶させられる。
【００９７】
そして、Ｓ９４が実行され、Ｓ８８，Ｓ９３において取得された形象表示チップ２０４のＸ軸，Ｙ軸方向の２組の位置ずれに基づいて、ノズル回転軸線の位置ずれが取得される。載置位置誤差等は、相対位置誤差メモリとは別に設けられた載置位置誤差等メモリに記憶させられてもよい。２組の位置ずれの平均値がノズル回転軸線の位置ずれであるが、本来はこの位置ずれはないはずである。また、Ｓ９５の実行により形象表示チップ２０４が形象表示チップ収容凹部２３２に戻される。この際、吸着ノズル１４４は、Ｓ８９において形象表示チップ２０４を吸着したときと同じ位置へ移動させられて形象表示チップ２０４を吸着し、持ち上げるとともに、Ｓ９０におけるノズル回転時と同じ方向へ１８０度回転させられ、形象表示チップ２０４が形象表示チップ収容凹部２３２から取り出されたときと同じ位相に戻される。そして、吸着ノズル１４４は、Ｓ８１において形象表示チップ２０４を形象表示チップ収容凹部２３２から取り出したときと同じ位置へ移動させられて、形象表示チップ２０４を形象表示チップ収容凹部２３２に収容する。
【００９８】
次いでＳ９６が実行され、Ｓ８８において取得された形象表示チップ２０４のＸ軸，Ｙ軸方向の位置ずれ，回転位置ずれおよびＳ９４において取得されたノズル回転軸線の位置ずれについてそれぞれ、許容範囲内にあるか否かが判定される。本来はこれらはいずれも実質的に０のはずであり、いずれも許容範囲内にあれば、Ｓ９６の判定結果はＹＥＳになってＳ９７が実行され、それら位置ずれが相対位置誤差メモリに記憶させられる。相対位置誤差メモリとは別に設けられた載置位置誤差メモリに記憶させられてもよい。１つでも許容範囲から外れる位置ずれがあれば、Ｓ９６の判定結果がＮＯになってＳ９８が実行され、警報装置３３０により作業者に報知される。また、表示画面３３４に異常の内容等が表示され、その表示に基づいて作業者は異常の原因を推定し、除去する。なお、Ｓ９７，Ｓ９８において、装着位置精度検査の実行指令がリセットされる。
【００９９】
以上の装着位置精度検査に基づいて取得され、相対位置誤差メモリに記憶させられた載置位置誤差等は、電子回路部品の回路基板３２への装着時に使用される。Ｓ８８において取得された形象表示チップ２０４のＸ軸，Ｙ軸方向の位置誤差および回転位置誤差は、図１４の装着ルーチンのＳ６７において、大型の電子回路部品をそれの回転姿勢を吸着時から変更することなく装着する際に、Ｘ軸，Ｙ軸方向の位置および回転位置の補正値の一つとして使用される。また、Ｓ９４において取得されたノズル回転軸線の位置誤差は、大型の電子回路部品をそれの回転姿勢を吸着時から変更して装着する際の補正値を算出する際に、上記形象表示チップ２０４のＸ軸，Ｙ軸方向の位置誤差および回転位置誤差と共に使用される。それにより、装着位置精度検査の結果、取得された載置位置誤差等の発生原因が何であっても、電子回路部品は位置誤差を修正されて精度良く、回路基板３２に装着される。
なお、Ｓ９４において取得されたノズル回転軸線の位置誤差のみ、あるいは形象表示チップ２０４のＸ軸，Ｙ軸方向の位置誤差のみが、Ｘ軸，Ｙ軸方向の位置の補正値の一つとして使用されるようにすることも可能である。その場合には、図１６の形象表示チップ使用装着位置精度検査ルーチンを、ノズル回転軸線の位置のみ、あるいは形象表示チップ２０４のＸ軸，Ｙ軸方向の位置のみについて装着位置精度検査が行われるものに変更することも可能である
【０１００】
次に、マルチノズルヘッド４０についての装着位置精度の検査を説明する。
この検査は角チップ２０６を使用し、図１７に示す角チップ使用装着位置精度検査ルーチンの実行により、複数の吸着ノズル１５４について個々に行われる。Ｓ１１０において検査実行指令が出されているか否かの判定が行なわれ、出されていれば、Ｓ１１０の判定結果がＹＥＳになってＳ１１１が実行され、検査が行なわれる吸着ノズル１５４が角チップ収容位置へ移動させられて角チップ２０６を吸着する。この吸着ノズル１５４の部品吸着位置への移動は、図１２の角チップ使用相対位置誤差取得ルーチンの実行により取得されたノズル回転軸線の検査用基準マーク２４２に対する相対位置誤差を修正して行われる。また、ヘッド側基準マーク１６６は駆動部材１６０と共に部品取出時位置に位置させられる。
【０１０１】
角チップ２０６を吸着した吸着ノズル１５４は、検査時撮像位置に位置させられている部品カメラ１９８へ移動させられ、Ｓ１１２の実行により角チップ２０６およびヘッド側基準マーク１６６が撮像される。そして、Ｓ１１３が実行され、吸着ノズル１５４による角チップ２０６の保持位置誤差が取得される。この際、マルチノズルヘッド４０による電子回路部品の回路基板３２への装着時と同様に、ヘッド側基準マーク１６６の像等に基づいて撮像面上における実際のノズル回転軸線の位置が求められ、その実際のノズル回転軸線位置に対する角チップ２０６の相対位置誤差が保持位置誤差として取得される。また、角チップ２０６の辺の、撮像面上において傾きのない角チップ２０６の像の辺に対する傾きが、角チップ２０６の回転位置誤差として取得される。
【０１０２】
次いでＳ１１４，Ｓ１１５が形象表示チップ使用装着位置精度検査ルーチンのＳ８４，Ｓ８５と同様に実行され、検査用基準マーク２４２の位置ずれが取得される。Ｓ１１６では、形象表示チップ使用装着位置精度検査ルーチンのＳ８６におけると同様に、角チップ載置部２４９の目標位置が、Ｓ１１３，Ｓ１１５において取得された保持位置誤差および位置ずれ分修正されて、角チップ２０６が角チップ吸着面２５４上に載置される。次いでＳ１１７において基準マークカメラ１８０が正規の角チップ載置位置へ移動させられ、載置された角チップ２０６を撮像する。この際、基準マークカメラ１８０は、２個の検査用基準マーク２６２のうちの予め定められた１個を、その１個の正規の位置へ移動させられて撮像し、Ｓ１１８では、角チップ２０６および検査用基準マーク２６２の各撮像データに基づいて、角チップ２０６の中心および検査用基準マーク２６２の中心についてそれぞれ、基準マークカメラ１８０の撮像中心に対する位置ずれが算出され、それら位置ずれに基づいて角チップ２０６の検査用基準マーク２６２に対するＸ軸，Ｙ軸方向の位置ずれが算出される。また、角チップ２０６の像データと、傾きのない角チップ２０６の像データとに基づいて、角チップ２０６の回転位置ずれが取得される。これら位置ずれが角チップ２０６の載置位置誤差であり、相対位置誤差メモリに記憶させられる。
【０１０３】
そして、Ｓ１１９〜Ｓ１２３が実行され、形象表示チップ使用装着位置精度検査ルーチンのＳ８９と同様に、吸着ノズル１５４が、Ｓ１１６において角チップ２０６を角チップ載置部２４０に載置したときの位置と同じ位置へ移動させられて角チップ２０６を吸着し、角チップ吸着面２５４から持ち上げるとともに、１８０度回転させられた後、再度、角チップ２０６を角チップ吸着面２５４に装着し、Ｓ１１７と同様に基準マークカメラ１８０により撮像させる。基準マークカメラ１８０は検査用基準マーク２６２も撮像し、角チップ２０６および検査用基準マーク２６２の像データに基づいて角チップ２０６の検査用基準マーク２６２に対するＸ軸，Ｙ軸方向の位置ずれが取得される。Ｓ１２４では、Ｓ１１８，Ｓ１２３においてそれぞれ取得されたＸ軸，Ｙ軸方向の各位置ずれの平均値が算出される。この平均値がノズル回転軸線の位置ずれであり、相対位置誤差メモリに記憶させられる。
【０１０４】
そして、Ｓ１２５が実行され、角チップ２０６が角チップ収容凹部２３４に戻される。この際、吸着ノズル１５４は、Ｓ１１９において角チップ２０６を吸着したときと同じ位置へ移動させられて角チップ２０６を吸着し、持ち上げるとともに、１８０度回転させられ、角チップ２０６の位相が角チップ収容凹部２３４からの取出し時と同じ位相に戻される。吸着ノズル１５４は、Ｓ１１１における角チップ２０６の角チップ収容凹部２３４からの取出し時と同じ位置へ移動させられ、角チップ２０６を角チップ収容凹部２３４に収容する。その後、Ｓ１２６において全部の吸着ノズル１５４について装着位置精度の検査が終了したか否かが判定される。まだ、終了していなければ、Ｓ１２６の判定結果はＮＯになってＳ１２７が実行され、検査が行われる吸着ノズル１５４が更新され、その吸着ノズル１５４についてＳ１１１〜Ｓ１２６が実行される。
【０１０５】
全部の吸着ノズル１５４について装着位置精度の検査が行われれば、Ｓ１２６の判定結果がＹＥＳになってＳ１２８が実行され、複数の吸着ノズル１５４についてそれぞれ取得された載置位置誤差等が許容範囲内にあるか否かが判定される。全部の吸着ノズル１５４についてそれぞれ取得された載置位置誤差等、ここでは、Ｘ軸，Ｙ軸方向の位置ずれ，回転位置誤差およびノズル回転軸線の位置ずれがいずれも許容範囲内にあれば、Ｓ１２８の判定結果はＹＥＳになってＳ１２９が実行され、取得された載置位置誤差等が相対位置誤差メモリに記憶させられる。１つでも、位置ずれが許容範囲を超える吸着ノズル１５４があれば、Ｓ１２８の判定結果はＮＯになってＳ１３０が実行され、警報装置３３０，表示装置３３６により作業者に警報が発せられ、異常の発生が表示される。Ｓ１２９，Ｓ１３０においてはまた、装着位置精度検査の実行指令がリセットされる。
【０１０６】
Ｓ１２９において記憶させられた載置位置誤差等は、シングルノズルヘッド４２による電子回路部品の装着時と同様に、マルチノズルヘッド４０による電子回路部品の装着時に使用される。それにより、装着位置精度検査の結果、取得された載置位置誤差等の発生原因が何であっても、電子回路部品は位置誤差を修正されて精度良く、回路基板３２に装着される。
ノズル回転軸線の位置誤差のみ、あるいは角チップ２０６のＸ軸，Ｙ軸方向の位置誤差のみが、電子回路部品装着時におけるＸ軸，Ｙ軸方向の位置の補正値の一つとして使用されるようにすることが可能であり、その場合に、図１７の角チップ使用装着位置精度検査ルーチンを、ノズル回転軸線の位置のみ、あるいは角チップ２０６のＸ軸，Ｙ軸方向の位置のみについて装着位置精度検査が行われるものに変更することが可能であることも前記シングルノズルヘッド４２の場合と同様である。
さらに付言すれば、本実施例においては、マルチノズルヘッド４０に保持されているすべての吸着ノズル１５４について装着位置精度検査が行われるが、保持されている吸着ノズル１５４の一部のもの、例えば、互いに直径方向に隔たった２つや、設定個数おきの３つ以上の吸着ノズル１５４について代表的に装着位置精度検査が行われるようにしてもよく、１つの吸着ノズル１５４についてのみ行われるようにしてもよい。また、その場合、装着位置精度検査毎に、検査が行われる吸着ノズル１５４が変更されるようにしてもよい。
【０１０７】
モノクロ基準ゲージ２０８を部品カメラ１９８に撮像させることにより、撮像時に部品カメラ１９８に入る光の量が検査され、部品カメラ１９８のシャッタ速度の調整が行われる。検査は、例えば、シングルノズルヘッド４２がヘッド保持装置４４によって保持されている状態で行なわれる。シングルノズルヘッド４２は、ゲージ収容凹部２３６へ移動させられてモノクロ基準ゲージ２０８を保持した後、部品カメラ１９８へ移動させられてモノクロ基準ゲージ２０８の明度基準面２２４を撮像させ、撮像後、ゲージ収容凹部２３６へ移動させられてモノクロ基準ゲージ２０８を収容する。部品カメラ１９８において明度基準面２２４の像を形成する像形成光の光量が取得され、グレーに着色された明度基準面２２４について設定された範囲内の光量が得られているか否かが判定される。光量が設定範囲の量より少なければ、シャッタ速度が遅くされ、多ければ、シャッタ速度が速くされる。
【０１０８】
以上の説明から明らかなように、本実施例においては、制御装置２２のＳ８１〜Ｓ９４およびＳ１１１〜Ｓ１２４を実行する部分が装着位置精度検査制御部を構成し、相対位置誤差メモリが位置誤差記憶部を構成し、Ｓ８０，Ｓ１１０を実行する部分が自動精度検査開始部を構成し、Ｓ６６においてノズル回転軸線の取得に、相対位置誤差取得により取得されたノズル回転軸線の位置ずれを使用する部分が相対位置誤差取得結果使用部たるノズル回転軸線取得部を構成し、Ｓ６７において載置位置誤差，ノズル回転軸線の位置誤差を保持位置誤差等と共に使用して装着位置を修正する部分が装着位置精度検査結果使用部たる装着位置修正部を構成し、Ｓ１〜Ｓ１４，Ｓ３１〜Ｓ４４，Ｓ４８を実行する部分が誤差検出制御部を構成している。また、制御装置２２のＳ９６，Ｓ１２８を実行する部分が、装着位置精度検査結果使用部たる装着位置精度合否判定部を構成し、Ｓ９８，Ｓ１３０を実行する部分が装着位置精度検査結果報知部たる不合格報知部を構成している。
【０１０９】
精度検査用ユニットの別の実施例を図１８ないし図２４に基づいて説明する。
本実施例の精度検査用ユニット４００の検査台４０２は、暗色、例えば、黒色とされ、図１８および図１９に示すように、小吸引孔４０６および大吸引孔４０８が互いに隣接し、検査台４０２の上面に開口させられて形成され、空気を吸引する。小吸引孔４０６の直径は、角チップ４１０の幅より小さく、大吸引孔４０８の直径は小吸引孔４０６より大きくされている。また、小吸引孔４０６と大吸引孔４０８とは、形象表示チップ４１２が、その中心が小吸引孔４０６の中心と一致する状態で載置された状態では、小吸引孔４０６および大吸引孔４０８が共に形象表示チップ４１２によって塞がれ、角チップ４１０が、その中心が小吸引孔４０６の中心と一致する状態で載置された状態では、角チップ４１０によって小吸引孔４０６は塞がれるが、大吸引孔４０８が塞がれない相対位置関係を有するように形成されている。
【０１１０】
また、精度検査用ユニット４００は、大吸引孔４０８の大径の開口部４１４を塞ぐ閉塞部材としての埋栓４２０を含む。埋栓４２０は段付状を成し、図２２に示すように、閉塞部材収容部たる埋栓収容凹部４２２に収容される。埋栓収容凹部４２２は、検査台４０２の上面に開口させられた有底孔であり、段付状を成し、小吸引孔４０６に対して、大吸引孔４０８とは反対側であって、大吸引孔４０８と同じ距離、離れた位置に形成されている。埋栓収容凹部４２２は、大吸引孔４０８の開口部４１４と同じ形状，寸法を有し、埋栓４２０は、それら開口部４１４および埋栓収容凹部４２２のいずれにも、隙間嵌合で軽く挿入，離脱させられる寸法を有する。
【０１１１】
さらに、検査台４０２には、図１８および図１９に示すように、大吸引孔４０８，小吸引孔４０６および埋栓収容部４２２を囲む状態で環状突起４３０が設けられている。環状突起４３０は、横断面形状が円形を成し、小吸引孔４０６の中心を中心として設けられ、その頂面が、形象表示チップ４１２を吸着する円環状の形象表示チップ吸着面４３２を成す。検査台４０２の上面の、環状突起４３０の内側の小吸引孔４０６の開口周辺が角チップ４１０を吸着する角チップ吸着面４３４を成す。検査台４０２の形象表示チップ吸着面４３２が形成された部分が形象表示チップ載置部４３６を構成し、小吸引孔４０６が設けられた部分が角チップ載置部４３８を構成し、形象表示チップ載置位置および角チップ載置位置はいずれも、小吸引孔４０６の中心の位置である。
【０１１２】
また、環状突起４３０の外側に隣接して基準マーク基板４４０が設けられている。基準マーク基板４４０は、図２０に示すように、環状突起４３０の高さより薄く、検査台４０２の上面に接着等、適宜の手段によって設けられている。基準マーク基板４４０には、２個の検査用基準マーク４４２が形成されている。基準マーク基板４４０は、検査台４０２と同様に暗色、例えば、黒色とされている。これら検査用基準マーク４４２は、円形を成し、白色とされており、形象表示チップ４１２の４個の透視窓４４４のうち、隣接する２個の間隔と同じ間隔を隔て、Ｘ軸方向に平行な方向に並んで設けられるとともに、形象表示チップ載置位置に対し、形象表示チップ４１２の隣接する２個の透視窓４４４の形象表示チップ４１２の中心に対する位置と同様の位置関係が得られる位置に設けられている。
【０１１３】
角チップ４１０および形象表示チップ４１２は、前記角チップ２０６および形象表示チップ２０４と同様に形成され、それぞれ、検査台４０２に設けられた角チップ収容凹部４４６および形象表示チップ収容凹部４４８に収容されているが、角チップ４１０は白色とされている。この角チップ４１０には基準マークが設けられておらず、撮像により得られる画像データに基づいて角チップ４１０の輪郭が取得され、中心の位置等が取得される。また、形象表示チップ４１２は白色であるが、形象４５０および４個の透視窓４４４は無色透明とされている。
【０１１４】
本精度検査用ユニット４００は、前記精度検査用ユニット２００と同様に使用され、相対位置誤差の取得や装着位置精度の検査は同様に行なわれるため、説明を省略する。
精度検査用ユニット４００においては、相対位置誤差の取得や装着位置精度の検査が行われず、それらの実行に備えて待機する状態では、形象表示チップ４１２等はそれぞれ、収容凹部４４８等に収容され、埋栓４２０は埋栓収容凹部４２２あるいは大吸引孔４０８の開口部４１４に嵌められ、その大径の頭部が開口部４１４の上向きの肩面により下方から支持されて埋栓収容凹部４２２に収容され、あるいは開口部４１４を閉じている。埋栓４２０はマルチノズルヘッド４０の吸着ノズル１５４により吸着されて保持され、埋栓収容凹部４２２に収容されたり、開口部４１４に嵌合されたりする。
【０１１５】
例えば、シングルノズルヘッド４２の吸着ノズル１４４についての装着位置精度の検査は、形象表示チップ４１２を用いて行なわれる。この際、埋栓４２０は、図２２に示すように、埋栓収容凹部４２２に収容され、大吸引孔４０８が開かれており、形象表示チップ４１２は、図２１および図２２に示すように、環状突起４３０上に載置される。そのため、小吸引孔４０６および大吸引孔４０８の両方により空気が吸引され、流量抵抗が小さく、形象表示チップ４１２が面積の大きい形象表示チップ吸着面４３２により効率良く吸着される。また、図２１に示すように、２個の検査用基準マーク４４２は２個の透視窓４４４内に位置し、透視窓４４４と共に基準マークカメラにより撮像される。
【０１１６】
マルチノズルヘッド４０の吸着ノズル１５４についての精度位置精度の検査は、角チップ４１０を用いて行なわれる。この際、埋栓４２０が埋栓収容凹部４２２に収容されていれば、吸着ノズル１５４が埋栓収容凹部４２２へ移動させられて埋栓４２０を吸着し、埋栓収容部４２２から取り出す。そして、吸着ノズル１５４は大吸引孔４０８の開口部４１４へ移動させられて埋栓４２０を挿入し、大吸引孔４０８の開口を閉じ、大吸引孔４０８からの負圧の供給が阻止される。そのため、吸着ノズル１５４により吸着された角チップ４１０は、図２３および図２４に示すように、小吸引孔４０６を囲む角チップ吸着面４３４上に載置されるが、小吸引孔４０６のみにより集中的に空気が吸引され、角チップ４１０が効率良く吸着される。
【０１１７】
埋栓４２０の着脱は吸着ノズル１５４によって行なわれるため、吸着ノズル１５４についての検査の次に吸着ノズル１４４について検査が行なわれるのであれば、吸着ノズル１５４についての検査の終了後、埋栓４２０は吸着ノズル１５４により大吸引孔４０８から取り出されて埋栓収容凹部４２２に収容され、大吸引孔４０８が開かれる。次に検査や相対位置誤差の取得が行われないのであれば、埋栓４２０は大吸引孔４０８の開口部４１４に嵌められたままにしておいてもよい。あるいは、吸着ノズル１５４についての検査終了後、常に埋栓４２０が埋栓収容凹部４２２に収容され、戻されるようにしてもよい。
【０１１８】
精度検査用ユニットにおいて検査用チップを収容する収容部は、図２５に形象表示チップ２０４について例示する形象表示チップ収容凹部５００のように、底面５０２が形象表示チップ２０４より僅かに大きくされるとともに、内側面を、開口５０４側ほど、形象表示チップ収容凹部５００の中心線から遠ざかる向きに外向きに傾斜させられたテーパ面５０６とすることが望ましい。このようにすれば、形象表示チップ収容凹部５００から取り出された形象表示チップ２０４が形象表示チップ収容凹部５００に戻されるとき、部品保持ヘッドにより保持された形象表示チップ２０４の中心と、形象表示チップ収容凹部５００の中心とがずれていても、形象表示チップ２０４はテーパ面５０６の傾斜により案内されて収容凹部５００の中心側へ移動し、形象表示チップ収容凹部５００の底部において、収容凹部５００の中心に位置決めされた状態で収容され、形象表示チップ２０４が収容凹部５００に対して繰り返し出し入れされることによる誤差の集積が回避される。
【０１１９】
なお、基準マークカメラは、視野が大きく、検査用チップと検査用基準マークとを一括して同時に撮像し得るものとしてもよい。その場合、同時に取得される検査用チップ等の像データ等に基づいて相対位置誤差の取得等が行なわれる。
【０１２０】
また、部品カメラは位置を固定して設けてもよい。例えば、電子回路部品供給装置の基板搬送方向に平行な方向において中央の位置に部品カメラを位置を固定して設け、部品保持ヘッドが電子回路部品供給装置から基板保持装置へ繰り返し移動させられるとき、その移動距離の和ができるだけ短くなるようにする。
【０１２１】
さらに、ズルヘッド収納装置におけるノズルヘッドの収納が位置決め部および被位置決め部により中心位置の位置決め精度良く為されるとともに、ヘッド保持装置がノズルヘッドを保持する際の両者の中心位置の位置決めが精度良く為され、その保持位置に再現性が得られるのであれば、ヘッド保持装置がシングルノズルヘッドあるいはマルチノズルヘッドを保持する毎にノズル回転軸線の位置誤差を取得することは不可欠ではなく、省略することができる。
【０１２２】
また、角チップに基準マークを設け、撮像により得られる角チップ基準マークの画像データに基づいて角チップの中心位置等を取得するようにしてもよい。角チップ基準マークは、例えば、その一方の面にアルミ蒸着等、適宜の手段により、角チップの基準マークが形成される部分に対して光学特性が異なるように形成され、例えば、円形とされ、その中心が角チップ２０６の中心と一致する状態で形成される。
【０１２３】
本発明に係る電子回路部品装着装置において装着位置精度の検査に用いられる検査用チップは１種類でもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１２４】
【図１】請求可能発明の実施例である精度検査用ユニットおよび電子回路部品装着装置を備えた電子回路部品装着システムを概略的に示す平面図である。
【図２】上記電子回路部品装着装置においてヘッド保持装置がシングルノズルヘッドを保持した状態を示す側面図（一部断面）である。
【図３】上記電子回路部品装着装置においてヘッド保持装置がマルチノズルヘッドを保持した状態を示す側面図（一部断面）である。
【図４】上記ヘッド保持装置に設けられたヘッド側基準マークを示す底面図である。
【図５】上記精度検査用ユニットを示す平面図である。
【図６】上記精度検査用ユニットを示す正面断面図である。
【図７】上記精度検査用ユニットを示す側面断面図である。
【図８】上記電子回路部品装着システムの制御装置の構成を概念的に示すブロック図である。
【図９】上記制御装置の主体を成すコンピュータのＲＯＭに記憶させられた形象表示チップ使用相対位置誤差取得ルーチンを示すフローチャートである。
【図１０】上記精度検査用ユニットにおいて形象表示チップが形象表示チップ載置部に載置された状態を示す平面図である。
【図１１】上記形象表示チップの使用によるヘッド側基準マークの検査用基準マークに対する位置ずれの取得を説明する図である。
【図１２】上記コンピュータのＲＯＭに記憶させられた角チップ使用相対位置誤差取得ルーチンを示すフローチャートである。
【図１３】上記精度検査用ユニットにおいて角チップが角チップ載置部に載置された状態を示す平面図である。
【図１４】上記コンピュータのＲＯＭに記憶させられた装着ルーチンを示すフローチャートである。
【図１５】上記コンピュータのＲＯＭに記憶させられた検査実行条件成立判定ルーチンを示すフローチャートである。
【図１６】上記コンピュータのＲＯＭに記憶させられた形象表示チップ使用装着位置精度検査ルーチンを示すフローチャートである。
【図１７】上記コンピュータのＲＯＭに記憶させられた角チップ使用装着位置精度検査ルーチンを示すフローチャートである。
【図１８】請求可能発明の別の実施例である精度検査用ユニットを示す平面図である。
【図１９】図１８に示す精度検査用ユニットを小吸引孔および大吸引孔が設けられた部分において断面にして示す正面図である。
【図２０】図１８に示す精度検査用ユニットを、形象表示チップおよび環状突起が設けられた部分において断面にして示す側面図である。
【図２１】図１８に示す精度検査用ユニットにおいて形象表示チップが形象表示チップ載置部に載置された状態を示す平面図である。
【図２２】図１８に示す精度検査用ユニットにおいて形象表示チップが形象表示チップ載置部に載置された状態を示す正面断面図である。
【図２３】図１８に示す精度検査用ユニットにおいて角チップが角チップ載置部に載置された状態を示す平面図である。
【図２４】図１８に示す精度検査用ユニットにおいて角チップが角チップ載置部に載置された状態を示す正面断面図である。
【図２５】精度検査用ユニットの検査用チップ収容部の別の例を概略的に示す正面断面図である。
【符号の説明】
【０１２５】
１６：基板保持装置    １８：装着装置    ２２：制御装置    ３２：回路基板    ４０：マルチノズルヘッド    ４２：シングルノズルヘッド    ４４：ヘッド保持装置    ４６：ヘッド移動装置    １４４：吸着ノズル    １４５：部品吸着ヘッド    １５４：吸着ノズル    １６４：部品吸着ヘッド    １６６：ヘッド側基準マーク    １８０：基準マークカメラ    １８２：基板基準マーク    １９８：部品カメラ    ２００：精度検査用ユニット    ２０２：検査台    ２０４：形象表示チップ    ２０６：角チップ    ２０８：モノクロ基準ゲージ    ２１０：形象    ２１２：透視窓    ２２４：明度基準面    ２３２：形象表示チップ収容凹部    ２３４：角チップ収容凹部    ２３６：ゲージ収容凹部    ２３８：形象表示チップ載置部    ２４０：角チップ載置部    ２４２：検査用基準マーク    ２５４：角チップ吸着面    ２５６：形象表示チップ吸着面    ２５８：吸引孔    ４００：精度検査用ユニット    ４０２：検査台    ４０６：小吸引孔    ４０８：大吸引孔    ４１０：角チップ    ４１２：形象表示チップ    ４２０：埋栓    ４２２：埋栓収容凹部    ４３０：環状突起    ４３２：形象表示チップ吸着面    ４３４：角チップ吸着面    ４３６：形象表示チップ載置部    ４３８：角チップ載置部    ４４２：基準マーク    ４４４：透視窓    ４４６：角チップ収容凹部    ４４８：形象表示チップ収容凹部    ４５０：形象    ５００：形象表示チップ収容凹部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
2008205134.tif 000018
【図１７】
2008205134.tif 000019
【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
2008205134.tif 000024
【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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