(57)【要約】【課題】検査ボード及び装置をコンパクトに保ちつつ、多数のＬＤ素子を安定した状態でＢＩできるようにする。【解決手段】ＬＤ素子を平面に複数個搭載し、ヒートシンクを内蔵した検査ボード９と、検査ボード９のＬＤ素子を搭載した平面と対向して設けられ、ＬＤ素子それぞれに対応するＬＤ素子の出力を検知する受光素子を平面内部に備えた受光検知ボード２と、受光検知ボード２を取り付ける固定ラックフレーム１と、検査ボードを載置する移動ラックフレーム７と、移動ラックフレーム７を垂直な方向へ昇降させ、ＬＤ素子の面と受光検知ボード２の平面との間に荷重を付加するための加圧機構部５と、ＬＤ素子に電流を供給するための受光検知ボードに接続されたコネクタ及び検査ボードに接続されたコネクタが取り付けられたコネクタボード３とを備えたものとする。【選択図】図２
2008128935.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＬＤ素子を平面に複数個搭載し、ヒートシンクを内蔵した検査ボードと、
上記検査ボードの上記ＬＤ素子を搭載した平面と対向して設けられ、上記ＬＤ素子それぞれに対応する上記ＬＤ素子の出力を検知する受光素子を平面内部に備えた受光検知ボードと、
上記検査ボードまたは受光検知ボードのいずれか一方を取り付ける固定ラックフレーム及び上記検査ボードまたは受光検知ボードのいずれか他方を取り付ける移動ラックフレームと、
上記移動ラックフレームを上記平面と垂直な方向へ昇降させ、上記ＬＤ素子の面と上記受光検知ボードの平面との間に荷重を付加するための加圧機構部と、
上記ＬＤ素子に電流を供給するための上記受光検知ボードに接続されたコネクタ及び上記検査ボードに接続されたコネクタが取り付けられたコネクタボードと、
を備えたことを特徴とするバーイン装置槽内ラック。
【請求項２】
上記移動ラックフレーム及び固定ラックフレームに、対向する上記検査ボードと上記受光検知ボードの対を複数個備え、上記加圧機構部は、上記移動ラックフレームを上記平面と垂直な方向へ昇降させることにより上記複数個の対に対して一挙に上記ＬＤ素子の面と上記受光検知ボードの平面との間に荷重を付加することを特徴とする請求項１記載のバーイン装置槽内ラック。
【請求項３】
上記移動ラックフレームまたは固定ラックフレームに対する上記検査ボードまたは受光検知ボードの一方の取付がコイルバネを介してなされ、上記ＬＤ素子の面と上記受光検知ボードの平面との間の荷重を所定の値にすることを特徴とする請求項１記載のバーイン装置槽内ラック。
【請求項４】
上記受光検知ボードが複数個に分割されていることを特徴とする請求項１記載のバーイン装置槽内ラック。
【請求項５】
上記コネクタボードは、上記移動ラックフレームの昇降と同期して移動することを特徴とする請求項１記載のバーイン装置槽内ラック。
【請求項６】
上記コネクタボードは、上記移動ラックフレームの昇降と同期して移動し、上記コイルバネを介して取り付けられた上記検査ボードまたは受光検知ボードに接続されたコネクタが上記コイルバネの撓み量と同期して移動することを特徴とする請求項１記載のバーイン装置槽内ラック。
【請求項７】
上記受光素子の表面が、上記受光検知ボードの平面より所定量凹んだ位置にあるように設けられていることを特徴とする請求項１記載のバーイン装置槽内ラック。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ＬＤ素子をエージングボードに装着して所定条件下で駆動させ評価試験（バーイン：ＢＩ）するＢＩ装置内に設置される槽内ラックの改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子デバイスの製造分野では、デバイスを製品に組み付ける前にそれらを製品の初期故障を低減させる目的で高温のオーブン内でデバイスに通電を行い、初期故障モードを示す不具合品を除去するバーイン（以下、ＢＩと記述）と呼ばれるスクリーニングテストを実施している。
【０００３】
ＬＤ素子においても初期故障品を事前に排除するために恒温槽内で一定時間ＬＤ素子に一定のパワーで発光するように通電を行い、その発光量を受光（ＰＤ）素子で確認している。すなわち、オートパワーコントロール（ＡＰＣ制御）によりＬＤ素子の発光量が小さくなってくると装置から通電される電流を増やして一定の発光量になるように制御している。そして、この電流値がある範囲内に入っていない素子については初期故障モードを示す不具合品として除去される。このスクリーニングテストで重要なことは、ＬＤ素子を通電させながらＬＤ素子の温度を一定に保つことである。ＬＤ素子は発光すると自己発熱するため、ＬＤ素子の温度が上昇し、それにともない特性が変化してしまい、正しい試験ができなくなる。
【０００４】
例えば、特許文献1では、検査ボードにＬＤ素子をセットするコネクタ部に発光による発熱を効率よく放熱させる工夫をして素子を一定温度に保つようにしたものがあり、また、例えば、特許文献２では、ヒートシンクを設けてヒートシンクにヒートパイプを接続して発熱を効率よく放熱させている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−１５３５８４号公報（第６−第１０頁、図１−図６）
【特許文献２】特開２００６−１４５３９６号公報（第５−第６頁、図１−図４）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記のように、従来の発明では検査ボードやヒートシンクの構造を工夫することでＬＤ素子の自己発熱を効率よく放熱する対策をほどこしている。しかしながら、ＬＤ素子をバーインする装置において効率よく試験するためには１つの検査ボードに多数個のＬＤ素子を搭載し、その検査ボードを複数段一挙にテストすることが望まれる。このような場合、上記のような従来の発明では、ヒートシンクやＬＤ素子をセットするコネクタ部に対して個々のＬＤ素子にたいしてその対策をする必要であることから、多数個を一挙に実施する場合、その個数分の機構が必要となり、検査ボードの寸法が大きくなったり、ＢＩ装置自体が巨大なものになるといった問題がある。
【０００７】
また、検査ボードやヒートシンク部の構造が複雑になるといった問題がある。
【０００８】
この発明は、上記のような問題点を解決するためになされたものであり、検査ボードやヒートシンク個々に対策を施すのでなく、ＢＩ装置の槽内ラック構造を見直すことで、検査ボード及び装置をコンパクトに保ちつつ、多数のＬＤ素子を安定した状態でＢＩできるようにすることを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明に係るバーイン装置槽内ラックは、
ＬＤ素子を平面に複数個搭載し、ヒートシンクを内蔵した検査ボードと、
上記検査ボードの上記ＬＤ素子を搭載した平面と対向して設けられ、上記ＬＤ素子それぞれに対応する上記ＬＤ素子の出力を検知する受光素子を平面内部に備えた受光検知ボードと、
上記検査ボードまたは受光検知ボードのいずれか一方を取り付ける固定ラックフレーム及び上記検査ボードまたは受光検知ボードのいずれか他方を取り付ける移動ラックフレームと、
上記移動ラックフレームを上記平面と垂直な方向へ昇降させ、上記ＬＤ素子の面と上記受光検知ボードの平面との間に荷重を付加するための加圧機構部と、
上記ＬＤ素子に電流を供給するための上記受光検知ボードに接続されたコネクタ及び上記検査ボードに接続されたコネクタが取り付けられたコネクタボードと、
を備えたものである。
【発明の効果】
【００１０】
この発明に係るバーイン装置槽内ラックによれば、ＬＤ素子の面と受光検知ボードの平面と均一な接触状態になり、ＬＤ素子が安定した動作になるとともに、各ボードの構造が簡易化されバーイン装置槽内ラックがコンパクトになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
実施の形態１．
図１は、この発明に係るＢＩ装置槽内ラックの実施の形態１を示す側面の断面図、図２は、図１の矢視Ａからの検査ボード及び受光検知ボード２段分を拡大した正面図、図３は、上下機構部の詳細構成図、図４は、ＬＤ素子と受光素子の位置関係を示す図、図５は、コネクタボードの正面図、図６は、コネクタボードの側面図である。
【００１２】
図１に示したように、この発明に係るＢＩ装置槽内ラックは、固定ラックフレーム１に複数枚の受光検知ボード２が搭載されている。受光検知ボード２は、コネクタボード３に設置されている受光検知ボード用コネクタ４を介してＢＩ装置本体と電気的に接続されている。また、ヒートシンクを内蔵する検査ボード９は、移動ラックフレーム７に受光検知ボード２と同数枚だけ搭載され、受光検知ボード２同様、コネクタボード３に設置されている検査ボード用コネクタ１０を介してＢＩ装置本体と電気的に接続されている。受光検知ボード２と検査ボード９とは、平面が対向して対をなし、複数個の対が構成される。コネクタボード３は移動ラックフレーム７に取り付けられおり、上下機構８を用いて、コネクタ部に応力が加わらないように移動ラックフレーム７と同期して上下する。また、図３に示したように、移動ラックフレーム７は、上下機構部８にある角度（例えば２度）に傾斜して取り付けたＬＭ（昇降機構）ガイド１２を介して上下機構部８の可動ステージ１１と接続されている。図３において、上下機構部８は可動ステージ１１を左に移動量ＬだけスライドさせることでＬＭガイド１２が可動ステージ１１とともに移動量Ｌだけスライドして、移動ラックフレーム７全体を昇降量Ｘだけ上下させる。また、図２に示したように、受光検知ボード２上部と固定ラックフレーム１との間には複数のコイルバネ６が設置され、上下機構部８とコイルバネ６との作用による加圧機構５により、受光検知ボード２と検査ボード９のＬＤ素子との間に荷重を与える。
【００１３】
上記構成において、まずＬＤ素子１１を複数個（例えば１００個）搭載した検査ボード９を複数枚（例えば１０枚）を移動ラックフレーム７の各段に搭載する。検査ボードをＢＩ装置槽内ラックにセットする作業は、検査ボード９の作業性を考え、荷重が検査ボード９にかからない位置で行う。すなわち、図１において、移動ラックフレーム７が下に降りた位置で検査ボード９をセットする。所定の位置に検査ボード９を搭載した後、移動ラックフレーム７の下部にある上下機構部８を用いて検査ボード９を受光検知ボード２の下面に一挙に押し付ける。
【００１４】
複数の検査ボード９と受光検知ボード２の対のそれぞれにおいて、一挙に、図４に示したように、検査ボード９が受光検知ボード２の下面に押し付けられ、各ＬＤ素子１５に対応して設置され、受光検知ボード２の下面からＬＤ素子１５の発光方向軸の方向に一定量凹んだ位置に表面を有する各受光素子１６が各ＬＤ素子１５の光量を受光することにより、ＢＩを実施することができる。上下機構８の動作は、手動で実施してもモータやエアシリンダを用いて自動で行ってもよい。
【００１５】
このように、この実施の形態1によれば、複数のＬＤ素子１５（今回の例では１０００個）と受光検知ボード２との加圧・接触状態を安定にし、複数のＬＤ素子１５の発熱を一つの検査ボード９で安定に放熱することができるので、複数のＬＤ素子１５を一挙に安定に作動させてＢＩを実施することができ、かつ、従来に比べて機構部が簡単にできるとともにＢＩ装置槽内ラックやＢＩ装置自体をコンパクトにすることができる。
【００１６】
また、ＬＤ素子１５への加圧力は移動ラックフレーム７の上昇量Ｘと受光検知ボード２の背面にある加圧機構５のコイルバネ６のバネ定数Ｋで定義され、必要な加圧力（Ｋ×Ｘ）を設定している。この加圧力は移動ラックフレーム７の昇降量を変えることで微調整できるとともに、加圧力は、コイルバネ６自体を変更（バネ定数を変更）することにより変えることができるので、種々の素子に対応した加圧力を簡単に変更することが可能である。また、図３に示したように、移動ラックフレーム７の昇降量Ｘと上下機構の移動量Ｌの比率を大きくすることで（例えば２０：１）上下機構８の移動量Ｌにバラツキが発生しても移動ラックフレーム７の昇降量Ｘのバラツキは抑制することができ、加圧力のバラツキは無視してよい量にすることができる。
【００１７】
また、図５に示したように、受光検知ボード用コネクタ４は長孔でコネクタボード３に支持されるようにしているので、図６に示したように、検査ボード用コネクタ１０及び受光検知ボード用コネクタ４のうち、検査ボード用コネクタ１０は移動ラックフレーム７の上下動と同期して上下し、受光検知ボード用コネクタ４は受光検知ボード２の加圧機構５のコイルバネ６の撓み分と同期して動くことができ、各ボードの基板に不要な曲げ応力がかかるのを防ぐことができる。また、検査ボード用コネクタ１０と受光検知ボード４とを接続するケーブルを柔軟に変形するフレキシブルケーブルを用いて構成してもよい。
【００１８】
また、各受光素子１６が、受光検知ボード２の下面からＬＤ素子１５の発光方向軸の方向に一定量凹んだ位置に表面を有するので、各ＬＤ素子１５と受光検知ボード２とが確実に加圧・接触し、各受光素子１６は各ＬＤ素子１５の発光を検知することができる。
【００１９】
実施の形態２．
図７及び図８は、この発明に係るＢＩ装置槽内ラックの実施の形態２を示す正面図、図９は、この実施の形態２の動作を説明する図である。
【００２０】
上記実施の形態1では、複数のコイルバネの加圧力が一枚板の受光検知ボード２に加わるようにしていた（図２参照）が、この実施の形態２では、図７に示したように受光検知ボード２を複数に分割して、図８に示したように、固定ラックフレーム１と分割した各受光検知ボード２との間を接続ピン１４で接続し、接続ピン１４を中心に数度傾くことができるようにしている。
【００２１】
コイルバネによる加圧のために検査ボードに撓みが生じ、その結果、ＬＤ素子と受光検知ボードとの加圧の不均一が生じるおそれがあるが、この実施の形態２によれば、ＬＤ素子と受光検知ボードとの加圧の不均一を解消することができる。
【００２２】
すなわち、図９に示したように、受光検知ボード２の分割を検査ボード９の撓み角度（ω）が大きくなる両端部分は分割面積を細かくして、受光検知ボード２が撓み角度（ω）傾くことにより検査ボード９と全面均一に接触し、撓み角度が小さくなる（０°に近くなる）検査ボード９の中央部は分割面積を大きくすること検査ボード９と全面均一に接触にして、ＬＤ素子の放熱が効率的に行われるようにすることができる。但し、分割数を増やせば増やすほど機構が複雑になってくるので、放熱の効率と装置の大きさを考慮に入れて分割数は決める必要がある。
【００２３】
実施の形態３．
また、上記実施の形態１においては、検査ボードを上下機構で受光検知ボードに押し付ける構成としたが、受光検知ボードを検査ボードに押し付ける構成としても同様の効果が得られる。
【００２４】
この場合、検査ボードをコイルバネを介して固定ラックフレームに取り付け、受光検知ボードを移動ラックフレームに取り付ける。
【００２５】
実施の形態４．
また、上記実施の形態１においてコイルバネによる加圧機構を受光検知ボード側に取り付け、上記実施の形態３においてコイルバネによる加圧機構を検査ボード側に取り付けた構成で述べたが、上記実施の形態１において検査ボード側にコイルバネによる加圧機構を持たせた装置構成、あるいは上記実施の形態３において受光検知ボード側にコイルバネによる加圧機構を持たせた装置構成でも同様の効果が得られる。
【００２６】
この場合、コイルバネを設けた検査ボード側または受光検知ボード側に接続された検査ボード用コネクタまたは受光検知ボード用コネクタを図５に示したような長孔でコネクタボードに取り付けてコイルバネの撓みと同期して上下に移動できるようにする。
【産業上の利用可能性】
【００２７】
本発明に係るＢＩ装置槽内ラックは、ＬＤ素子をエージングボードに装着して所定条件下で駆動させＢＩ評価試験するＢＩ装置に有効に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】この発明に係るＢＩ装置槽内ラックの実施の形態１を示す側面の断面図である。
【図２】図１の矢視Ａからの検査ボード及び受光検知ボード２段分を拡大した正面図である。
【図３】実施の形態１における上下機構部の詳細構成図である。
【図４】実施の形態１におけるＬＤ素子と受光素子の位置関係を示す図である。
【図５】実施の形態１におけるコネクタボードの正面図である。
【図６】コネクタボードの側面図である。
【図７】この発明に係るＢＩ装置槽内ラックの実施の形態２を示す正面図である。
【図８】実施の形態２の受光検知ボード部を拡大して示す正面図である。
【図９】実施の形態２の動作を説明する図である。
【符号の説明】
【００２９】
１  固定ラックフレーム、２  受光検知ボード、３  コネクタボード、
４  受光検知ボード用コネクタ、６  コイルバネ、７  移動ラックフレーム、
８  上下機構部、９  検査ボード、１０  検査ボード用コネクタ、１１  可動ステージ、
１２  ＬＭガイド１、１３  ＬＭガイド２、１４  接続ピン、１５  ＬＤ素子、
１６  受光素子。
【図１】
2008128935.tif 000003
【図２】
2008128935.tif 000004
【図３】
2008128935.tif 000005
【図４】
2008128935.tif 000006
【図５】
2008128935.tif 000007
【図６】
2008128935.tif 000008
【図７】
2008128935.tif 000009
【図８】
2008128935.tif 000010
【図９】
2008128935.tif 000011