(57)【要約】【課題】低コストで製造可能な信頼性の高い半導体装置と、当該半導体装置の製造方法を提供する。【解決手段】電極パッドが形成された半導体チップと、前記電極パッド上に形成された、突起部を有するバンプと、前記半導体チップ上に形成された絶縁層と、前記バンプに接続される導電パターンと、を有する半導体装置であって、前記突起部の先端が前記導電パターンに挿入されているとともに、挿入された前記先端が扁平した構造となっていることを特徴とする半導体装置。【選択図】図１
2008108849.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の半導体チップに相当する領域に形成された電極パッド上に、突起部を有するバンプを形成する第１の工程と、
前記基板上に絶縁層と導電層を形成する第２の工程と、
前記導電層を押圧し、該導電層から露出した前記突起部の先端を圧延する第３の工程と、
前記導電層を給電層とした電解メッキにより、前記バンプに接続される導電パターンを形成する第４の工程と、
前記基板を個片化する第５の工程と、を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項２】
前記第２の工程は、
前記基板上に前記絶縁層を形成する工程と、
前記絶縁層上に、支持層と積層された前記導電層を貼り付ける工程と、
前記支持層を除去する工程と、を有することを特徴とする請求項１記載の半導体装置の製造方法。
【請求項３】
前記第２の工程は、支持層上に積層された前記絶縁層と前記導電層を前記基板に貼り付ける工程と、
前記支持層を除去する工程と、を有することを特徴とする請求項１記載の半導体装置の製造方法。
【請求項４】
前記第３の工程では、前記導電層とともに前記絶縁層が押圧されて加熱されることで当該絶縁層が硬化されることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載の半導体装置の製造方法。
【請求項５】
前記第１の工程では、ボンディングワイヤによって前記バンプが形成されることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項記載の半導体装置の製造方法。
【請求項６】
電極パッドが形成された半導体チップと、
前記電極パッド上に形成された、突起部を有するバンプと、
前記半導体チップ上に形成された絶縁層と、
前記バンプに接続される導電パターンと、を有する半導体装置であって、
前記突起部の先端が前記導電パターンに挿入されているとともに、挿入された前記先端が扁平した構造となっていることを特徴とする半導体装置。
【請求項７】
前記先端は、前記導電パターンを構成する、積層された第１の導電パターンと第２の導電パターンの間で扁平した構造であることを特徴とする請求項６記載の半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、バンプを用いたチップサイズパッケージングを適用した半導体装置と、当該半導体装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体チップのパッケージング構造は様々なタイプのものが提案されているが、例えばパッケージングの小型化に伴い、半導体チップのデバイス形成面のパッシベーション層（保護層）上に再配線（パッケージングのための配線）を形成する、いわゆるチップサイズパッケージングと呼ばれる構造が提案されていた。
【０００３】
上記のチップサイズパッケージングでは、例えば半導体チップの電極パッド上にボンディングワイヤよってバンプを形成し、当該バンプに接続される再配線を形成してパッケージング（半導体装置）を形成する方法が提案されていた。（例えば特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平９−６４０４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上記の特許文献１（特開平９−６４０４９号公報）にかかる方法では、ボンディングによって形成されたバンプに接続される再配線を形成する場合に、当該バンプの高さ調整（レベリング）を行う必要が生じてしまう問題があった。
【０００５】
例えば、上記のボンディングワイヤによって形成されるバンプは、例えばボンディング装置を用いて形成され、ボンディングワイヤの電極パッドへの接合と、当該接合後のボンディングワイヤの切断を連続的に行うことにより形成される。
【０００６】
このため、上記のボンディングワイヤにより形成されるバンプは、形成される面（電極パッド）からの高さにばらつきが生じてしまい、そのままではバンプに接続される再配線を形成することが困難となってしまう。このため、バンプに所定の加重を加えてバンプを平坦化する工程が必要となる。
【０００７】
このようなバンプの平坦化は、通常はウェハレベルで（ダイシングによるチップの個片化前に）行われる。しかし、例えば近年主流となってきている直径が３００ｍｍのウェハでは、ウェハ面内に多数形成される上記のバンプの平坦化を行った場合に、平坦化後の高さのばらつきが大きくなってしまう問題が発生してしまう。
【０００８】
例えば、バンプの高さのばらつきが大きくなると、バンプに接続される再配線とバンプとの接続状態にばらつきが生じ、半導体装置（パッケージング）の信頼性が低下してしまう問題が生じてしまう。
【０００９】
また、上記の特許文献１（特開平９−６４０４９号公報）にかかる方法では、バンプを覆うように絶縁層を形成しているため、バンプを露出するために絶縁層を研磨する研磨工程が必要となってしまう。また、当該研磨工程の後に再配線を形成するためには、例えば無電解メッキ法を用いる場合には絶縁層の表面を荒らす処理（いわゆるデスミア処理）が必要になり、メッキ層を形成するための処理が複雑になってしまう。このため、半導体装置（パッケージ）製造のコストアップの原因となってしまう。
【００１０】
また、スパッタリング法やＣＶＤ法などにより導電層を形成することも可能であるが、これらの方法は真空処理容器を有する高価な成膜装置が必要となるため、製造コストのアップにつながり、現実的ではない。
【００１１】
そこで、本発明では、上記の問題を解決した新規で有用な半導体装置と、当該半導体装置の製造方法を提供することを統括的課題としている。
【００１２】
本発明の具体的な課題は、低コストで製造可能な信頼性の高い半導体装置と、当該半導体装置の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の第１の観点では、上記の課題を、基板の半導体チップに相当する領域に形成された電極パッド上に、突起部を有するバンプを形成する第１の工程と、前記基板上に絶縁層と導電層を形成する第２の工程と、前記導電層を押圧し、該導電層から露出した前記突起部の先端を圧延する第３の工程と、前記導電層を給電層とした電解メッキにより、前記バンプに接続される導電パターンを形成する第４の工程と、前記基板を個片化する第５の工程と、を有することを特徴とする半導体装置の製造方法により、解決する。
【００１４】
また、本発明の第２の観点では、上記の課題を、電極パッドが形成された半導体チップと、前記電極パッド上に形成された、突起部を有するバンプと、前記半導体チップ上に形成された絶縁層と、前記バンプに接続される導電パターンと、を有する半導体装置であって、前記突起部の先端が前記導電パターンに挿入されているとともに、挿入された前記先端が扁平した構造となっていることを特徴とする半導体装置により、解決する。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、低コストで製造可能な信頼性の高い半導体装置と、当該半導体装置の製造方法を提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明による半導体装置の製造方法は、基板の半導体チップに相当する領域に形成された電極パッド上に、突起部を有するバンプを形成する第１の工程と、前記基板上に絶縁層と導電層を形成する第２の工程と、前記導電層を押圧し、該導電層から露出した前記突起部の先端を圧延する第３の工程と、前記導電層を給電層とした電解メッキにより、前記バンプに接続される導電パターンを形成する第４の工程と、前記基板を個片化する第５の工程と、を有することを特徴としている。
【００１７】
上記の半導体装置の製造方法では、前記導電層を押圧し、該導電層から露出した該バンプの先端を圧延しているため、該先端は前記導電層上で圧延され、前記バンプと該導電層の接触面積が増大するとともに前記バンプと該誘電層の接続の信頼性が確保される。
【００１８】
また、上記の方法によれば、前記突起部の先端を前記導電層上で圧延しているため、前記バンプと前記導電層の電気的な接続の信頼性が、前記バンプ（前記突起部）の高さのばらつきの影響を受けにくくなる。このため、例えばボンディング（ボンディングワイヤ）を用いて形成される、比較的高さのばらつきの大きいバンプを用いて、容易な方法で接続の信頼性が良好な再配線を形成することが可能となる。また、上記の方法では、前記絶縁層から前記バンプの突起部を露出させるための研削工程が不要となっている。
【００１９】
また、上記の第４の工程においては、上記の導電層を給電層とすることで、該導電層上に電解メッキによって導電パターンを形成することが容易となっていることも特徴である。例えば、電解メッキ法では、メッキする表面に給電を行うための給電層（シード層）が必要となるが、このような給電層を形成する方法としては、例えば従来は無電解メッキ法や、スパッタリング法などが用いられてきた。
【００２０】
しかし、無電解メッキにあたっては、絶縁層の表面を荒らす処理（いわゆるデスミア処理）が必要になり、メッキ層を形成するための処理が複雑になってしまう。また、スパッタリング法では真空処理容器を有する高価な成膜装置が必要となるため、製造コストのアップにつながってしまう。
【００２１】
一方、本発明による製造方法では、デスミア処理や真空室でのスパッタリング処理が不要となり、単純な方法で容易にシード層を形成することが可能となっていることが特徴である。このため、上記の方法によれば半導体装置を製造する方法が単純となり、製造コストが抑制される。
【００２２】
例えば、上記の製造方法により形成される半導体装置においては、前記突起部の先端が前記導電パターンに挿入されているとともに、挿入された前記先端が圧延されて扁平した構造となり、前記バンプと前記導電パターンの接続の信頼性が良好となる。
【００２３】
次に、上記の半導体装置の構造と、その製造方法の一例について、図面に基づき以下に説明する。
【実施例１】
【００２４】
図１は、本発明の実施例１による半導体装置を模式的に示した断面図である。図１を参照するに、本実施例による半導体装置１００の概略は、電極パッド１０３が形成された半導体チップ１０１の保護層（パッシベーション層）１０２上に、絶縁層１０５と導電パターン１０６が積層されて形成された構造となっている。この場合、上記の導電パターン１０６はいわゆる再配線と呼ばれる場合があり、半導体チップ１０１のパッケージングに用いられるものである。絶縁層１０５は、例えばエポキシ系の樹脂より構成される。導電パターン１０６は、例えば、ともにＣｕよりなる第１の導電パターン１０７と第２の導電パターン１０８が積層されて構成されている。
【００２５】
絶縁層１０５上に形成された導電パターン１０６は、電極パッド１０３上に形成された、例えばＡｕよりなるバンプ１０４の突起部（後述）に接続されている。すなわち、導電パターン１０６は、バンプ１０４を介して半導体チップ１０１のデバイスに接続される。バンプ１０４は、例えばワイヤボンディング装置を用いて、ボンディングワイヤにより形成される。
【００２６】
また、導電パターン１０６上には、はんだバンプ１１０が形成されている。また、はんだバンプ１１０の周囲には、絶縁層１０５と導電パターン１０６の一部を覆うようにソルダーレジスト層（絶縁層）１０９が形成されている。
【００２７】
図２は、上記の半導体装置１００のＡ部（バンプ１０４付近）を拡大して示した模式断面図である。ただし、先に説明した部分には同一の符号を付している。図２を参照するに、バンプ１０４は、電極パッド１０３と接続（接合）される、略円板状のバンプ本体１０４Ａと、バンプ本体１０４Ａから突出する突起部１０４Ｂとより構成されている。
【００２８】
例えば、上記のバンプ１０４は、ワイヤボンディング装置を用いて、Ａｕよりなるボンディングワイヤにより形成される。前記ワイヤボンディング装置は、ボンディングワイヤの電極パッド１０３への接合と、当該接合後のボンディングワイヤの切断を連続的に行うことで、バンプ１０３に接合されるバンプ本体１０４Ａと、バンプ本体１０４Ａから突出する突起部１０４Ｂを形成する。
【００２９】
本実施例による半導体装置１００においては、上記の突起部１０４Ｂは、突起部１０４Ｂの先端に形成される扁平した先端部１０４Ｄと、先端部１０４Ｄとバンプ本体１０４Ａとの間の接続部１０４Ｃよりなるように形成されている。本実施例による半導体装置１００では、上記の突起部１０４Ｂが導電パターン１０６に挿入されているとともに、挿入された先端部１０４Ｄが圧延されて扁平した構造となっていることが特徴である。
【００３０】
例えば、上記の先端部１０４Ｄは、導電パターン１０６を構成する、積層された第１の導電パターン１０７と第２の導電パターン１０８の間で、圧延されて扁平された形状となっている。このためにバンプ１０４と導電パターン１０６の接触面積が増大するとともに、バンプ１０４と導電パターン１０６の電気的な接続性が良好となり、半導体装置１００の信頼性が良好となっている。また、上記のバンプ１０４と導電層１０６の接続構造は、従来のろう付けなどによる接続方法に比べて容易に形成され、かつ、接続の信頼性が高い特徴を有している。
【００３１】
上記の第１の導電パターン１０７と第２の導電パターン１０８は、例えばともにＣｕよりなるが、Ｃｕ以外の材料により構成してもよい。また、第１の導電パターン１０７と第２の導電パターン１０８とを異なる金属材料（合金材料）よりなるようにし、導電パターン１０６を異なる材料の積層構造としてもよい。
【００３２】
例えば、上記の導電パターン１０６を形成する場合には、第１の導電パターン１０７と第２の導電パターン１０８のうち、まず、薄いＣｕ箔を絶縁層１０５に貼り付けることで第１の導電パターン１０７に相当する薄い導電層を形成する。その後、上記の薄いＣｕ箔を押圧し、該Ｃｕ箔から露出した突起部１０４の先端を圧延する。ここで、扁平された先端部１０４Ｄが形成され、先端部１０４Ｄと該Ｃｕ箔との電気的な接続性が良好となるようにされる。次に、当該Ｃｕ箔を給電層とした電解メッキにより、第２の導電パターン１０８に相当する導電層を形成すればよい。
【００３３】
次に、上記の半導体装置の製造方法について、図３Ａ〜図３Ｍ、および図４Ａ〜図４Ｄに基づき、説明する。ただし、以下の図中では先に説明した部分には同一の符号を付し、説明を省略する場合がある。
【００３４】
まず、図３Ａに示す工程において、公知の方法により、デバイスが形成された領域１０１ａを複数（例えば格子状に）有する基板１０１Ａを製造する。上記の領域１０１ａは、半導体チップ１０１に相当する領域である。領域１０１ａ上には、以下に説明する工程において再配線（導電パターン）が形成された後、基板１０１Ａがダイシングによって切断されて半導体装置（半導体チップ１０１）が個片化される。
【００３５】
上記の領域１０１ａの、デバイスが形成されたデバイス形成面１０１ｂには電極パッド１０３が形成されている。また、デバイス形成面１０１Ａの、電極パッド１０３以外の部分は、例えばＳｉＮ（Ｓｉ３Ｎ４）よりなる保護層（パッシベーション層）１０２により保護されている。
【００３６】
図３Ｂは、図３Ａに示す基板１０１Ａの１つの領域１０１ａを拡大して示した図である。図４Ｂ以下の図については領域１０１ａが複数形成された基板１０１のうち、１つの領域１０１ａを例にとって、半導体装置の製造方法について説明する。
【００３７】
次に、図３Ｃに示す工程において、電極パッド１０３上に、例えばワイヤボンディング装置を用いて、Ａｕよりなるボンディングワイヤにより形成されるバンプ１０４を形成する。また、図４Ａには、図３ＣのＣ部（バンプ１０４）を拡大して示した模式図を示す。上記のワイヤボンディング装置は、ボンディングワイヤの電極パッド１０３への接合と、当該接合後のボンディングワイヤの切断を連続的に行うことで、電極パッド１０３に接合されるバンプ本体１０４Ａと、バンプ本体１０４Ａから突出する突起部１０４Ｂを形成する。
【００３８】
次に、図３Ｄに示す工程において、基板１０１Ａ上（保護層１０２上）に、例えばエポキシ系の樹脂材料よりなる絶縁層１０５を形成する。絶縁層１０５は、例えばラミネート（貼り付け）により、または、塗布により形成される。また、絶縁層１０２からは、バンプ１０４の突起部１０４Ｂが露出するようにされることが好ましい。このため、上記の絶縁層１０５は、例えばＮＣＦと呼ばれる、フィラーなどの硬度調整材料が殆ど添加されていない柔らかい樹脂材料が用いられることが好ましい。上記の柔らかい樹脂材料を用いることで、絶縁層１０５から突起部１０４Ｂを露出させることが容易となる。
【００３９】
また、絶縁層１０５は上記の材料に限定されず、様々な絶縁材料（樹脂材料）を用いて形成することが可能である。例えば、絶縁層１０５として、いわゆる通常用いられるビルドアップ樹脂（フィラー入りのエポキシ樹脂）や、ＡＣＦと呼ばれる樹脂材料を用いてもよい。
【００４０】
次に、図３Ｅに示す工程において、絶縁層１０５上に、例えば薄い銅箔よりなる導電層１０７Ａを貼り付ける。例えば、導電層１０７Ａは、Ｃｕよりなる支持層１１１と積層された状態で（導電層１０７Ａが支持層１１１で支持された状態で）絶縁層１０５に貼り付けられる。
【００４１】
図４Ｂには、図３ＥのＥ部（バンプ１０４付近）を拡大して示した模式図を示す。本工程において、導電層１０７Ａはバンプ１０４によって押しのけられるように支持層１１１側に盛り上がっている。
【００４２】
次に、図３Ｆに示す工程において、導電層１０７Ａを支持していた支持層１１１を除去する。図４Ｃには、図３ＦのＦ部（バンプ１０４付近）を拡大して示した模式図を示す。
【００４３】
次に、図３Ｇに示す工程において、積層された導電層１０７Ａと絶縁層１０５を押圧（プレス）し、加熱する。図４Ｄには、図３ＧのＧ部（バンプ１０４付近）を拡大して示した模式図を示す。本工程において、まず導電層１０７Ａが押圧されることで、導電層１０７Ａをバンプ１０４の突起部１０４Ｂが貫通し、突起部１０４Ｂの先端が露出される。さらに、露出した突起部１０４Ｂの先端は、押圧（プレス）されることで圧延され、扁平した状態となる。このため、上記の突起部１０４Ｂは、突起部１０４Ｂの先端に形成される扁平した先端部１０４Ｄと、先端部１０４Ｄとバンプ本体１０４Ａとの間の接続部１０４Ｃよりなるように形成される。
【００４４】
本工程においては、バンプ１０４と導電層１０７Ａの接触面積が大きくされるとともに、バンプ１０４と導電層１０７Ａの電気的な接続の信頼性が担保される。また、本工程では、突起部１０４Ｂの先端を導電層１０７Ａ上で圧延しているため、バンプ１０４と導電層１０７Ａの電気的な接続の信頼性が、バンプ１０４（突起部１０４Ｂ）の高さのばらつきの影響を受けにくくなる。
【００４５】
このため、例えばボンディング（ボンディングワイヤ）を用いて形成される、比較的高さのばらつきの大きいバンプ１０４を用いて、容易な方法で接続の信頼性が良好な再配線を形成することが可能となる。また、上記の方法では、絶縁層１０５からバンプ１０４の突起部１０４Ｂを露出させるための研削工程が不要となっている。
【００４６】
また、上記のバンプ１０４と導電層１０６の接続方法は、従来のろう付けなどによる接続方法に比べて容易であり、かつ、接続の信頼性が高い特徴を有している。また、導電層１０６は、後述する電解メッキの工程において、給電層（シード層）として用いられる。
【００４７】
また、本工程においては、絶縁層１０５が導電層１０７Ａとともに押圧されて加熱されることで硬化（熱硬化）される。このため、絶縁層１０５と導電層１０７Ａの密着性が良好となる。
【００４８】
次に、図３Ｈ〜図３Ｊに示す工程において、導電層１０７Ａを給電層（シード層）とした電解メッキにより、バンプ１０４に接続される導電パターン１０６を形成する。また、導電パターン１０６を形成する方法としては、例えば、いわゆるサブトラ法と、セミアディティブ法とがあるが、本実施例ではサブトラ法について説明する。なお、サブトラ法とは、メッキで形成した導電層をパターンエッチングして導電パターンを形成する方法であり、セミアディティブ法とは、マスクパターンを用いたパターンメッキによって導電パターンを形成する方法である。
【００４９】
まず、図３Ｈに示す工程において、導電層１０７Ａを給電層とした電解メッキにより、導電層１０７Ａ上に、例えばＣｕよりなる導電層１０８Ａを積層する。図４Ｅには、図３ＨのＨ部（バンプ１０４付近）を拡大して示した模式図を示す。
【００５０】
本工程において、導電層１０７Ａと、導電層１０７Ａから露出した扁平状の先端部１０４Ｄは、電解メッキにより形成される導電層１０８Ａに覆われる。すなわち、先端部１０４Ｄは、導電層１０７Ａと導電層１０８Ａの間に挟まれる構造となる。
【００５１】
次に、図３Ｉに示す工程において、導電層１０８Ａ上に開口部Ｒａを有するマスクパターンＲ１を形成する。マスパターンＲ１は、塗布またはフィルムの貼り付けによるレジスト層の形成と、該レジスト層のフォトリソグラフィ法を用いたパターニングにより、形成することができる。
【００５２】
次に、図３Ｊに示す工程において、マスクパターンＲ１をマスクにした、導電層１０７Ａ，１０８Ａのパターンエッチングを行うことにより、第１の導電層１０７と第２の導電層１０８が積層されてなる、バンプ１０４に接続された導電パターン１０６が形成される。
【００５３】
例えば、上記の第１の導電パターン１０７は厚さが２〜３μｍ、第２の導電パターン１０８は厚さが３０〜４０μｍ程度に形成されるが、上記の数値は一例であり、本発明はこれらの数値に限定されるものではない。
【００５４】
上記の導電パターン１０６を形成するにあたっては、上記の導電層１０７Ａを給電層とすることで、電解メッキを用いることが容易となっている。
【００５５】
例えば、給電層（シード層）を無電解メッキにより形成する場合には、絶縁層の表面を荒らす処理（いわゆるデスミア処理）が必要になり、メッキ層を形成するための処理が複雑になってしまう。また、スパッタリング法で給電層を形成する場合には、真空処理容器を有する高価な成膜装置が必要となるため、製造コストのアップにつながってしまう。
【００５６】
一方、本実施例による方法では、デスミア処理や真空室でのスパッタリング処理が不要となり、単純な方法で容易に給電層（導電層１０７Ａ）を形成することが可能となっていることが特徴である。このため、上記の方法によれば半導体装置を製造する方法が単純となり、製造コストが抑制される。
【００５７】
次に、図３Ｋに示す工程において、必要に応じて、導電パターン１０６（Ｃｕ）の表面の粗化処理を施した後、絶縁層１０５上に、開口部１０９Ａを有するソルダーレジスト層（絶縁層）１０９を形成する。開口部１０９Ａからは、導電パターン１０６の一部が露出するようにする。
【００５８】
次に、図３Ｌに示す工程において、必要に応じて基板１０１Ａの裏面研削を行い、基板１０１Ａを所定の厚さとする。
【００５９】
次に、図３Ｍに示す工程において、必要に応じて開口部１０９Ａから露出する導電パターン１０６上にはんだバンプ１１０を形成する。さらに、基板１０１Ａのダイシングを行って半導体チップを個片化し、図１、図２で先に説明した半導体装置１００を形成することができる。
【００６０】
また、上記の製造方法では、導電パターン１０６をサブトラ法により形成しているが、導電パターン１０６をセミアディティブ法を用いて形成してもよい。この場合、例えば、上記の製造方法において図３Ａ〜図３Ｇに示した工程を実施した後、図３Ｈ〜図３Ｊの工程に換えて、以下に説明する工程を実施すればよい。例えば、図５に示すように、導電層１０７Ａ上に、開口部Ｒｂを有するマスクパターンＲ２を形成する。マスパターンＲ２は、塗布またはフィルムの貼り付けによるレジスト層の形成と、該レジスト層のフォトリソグラフィ法を用いたパターニングにより、形成することができる。
【００６１】
次に、開口部Ｒｂから露出する導電層１０７Ａ上に、導電層１０７Ａを給電層（シード層）とする電解メッキにより、第２の導電パターンを形成する。上記のパターンメッキ後、マスクパターンＲ２を剥離し、さらにマスクパターンＲ２を剥離することで露出する余剰な給電層１０７Ａをエッチングにより除去することで、図３Ｊに示す導電パターン１０６を形成することができる。
【００６２】
また、上記の製造方法では、図３Ｄ〜図３Ｅの工程において、基板１０１Ａ上に絶縁層１０５を形成した後、絶縁層１０５上に導電層１０７Ａを貼り付けているが、予め絶縁層１０５と導電層１０７Ａを積層したものを基板１０１Ａに貼り付けてもよい。
【００６３】
この場合、例えば、上記の製造方法において図３Ａ〜図３Ｃに示した工程を実施した後、図３Ｄ〜図３Ｅの工程に換えて、以下に説明する工程を実施すればよい。例えば、図６に示すように、支持層１１１に積層された絶縁層１０５と導電層１０７Ａを基板１０１Ａに貼り付けてもよい。この後、先に説明した図３Ｆ以下の工程を実施することで、半導体装置１００を形成することができる。
【００６４】
以上、本発明を好ましい実施例について説明したが、本発明は上記の特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した要旨内において様々な変形・変更が可能である。
【産業上の利用可能性】
【００６５】
本発明によれば、低コストで製造可能な信頼性の高い半導体装置と、当該半導体装置の製造方法を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】実施例１による半導体装置を示す図である。
【図２】図１の一部拡大図である。
【図３Ａ】実施例１による半導体装置の製造方法を示す図（その１）である。
【図３Ｂ】実施例１による半導体装置の製造方法を示す図（その２）である。
【図３Ｃ】実施例１による半導体装置の製造方法を示す図（その３）である。
【図３Ｄ】実施例１による半導体装置の製造方法を示す図（その４）である。
【図３Ｅ】実施例１による半導体装置の製造方法を示す図（その５）である。
【図３Ｆ】実施例１による半導体装置の製造方法を示す図（その６）である。
【図３Ｇ】実施例１による半導体装置の製造方法を示す図（その７）である。
【図３Ｈ】実施例１による半導体装置の製造方法を示す図（その８）である。
【図３Ｉ】実施例１による半導体装置の製造方法を示す図（その９）である。
【図３Ｊ】実施例１による半導体装置の製造方法を示す図（その１０）である。
【図３Ｋ】実施例１による半導体装置の製造方法を示す図（その１１）である。
【図３Ｌ】実施例１による半導体装置の製造方法を示す図（その１２）である。
【図３Ｍ】実施例１による半導体装置の製造方法を示す図（その１３）である。
【図４Ａ】実施例１による半導体装置の製造方法を示す図（その１４）である。
【図４Ｂ】実施例１による半導体装置の製造方法を示す図（その１５）である。
【図４Ｃ】実施例１による半導体装置の製造方法を示す図（その１６）である。
【図４Ｄ】実施例１による半導体装置の製造方法を示す図（その１７）である。
【図４Ｅ】実施例１による半導体装置の製造方法を示す図（その１８）である。
【図５】実施例１による半導体装置の製造方法の変形例を示す図（その１）である。
【図６】実施例１による半導体装置の製造方法の変形例を示す図（その２）である。
【符号の説明】
【００６７】
１００  半導体装置
１０１  半導体チップ
１０１Ａ  基板
１０１ａ  領域
１０１ｂ  デバイス面
１０２  保護層
１０３  電極パッド
１０４  バンプ
１０４Ａ  バンプ本体
１０４Ｂ  突起部
１０４Ｃ  接続部
１０４Ｄ  先端部
１０５  絶縁層
１０６  導電パターン
１０７  第１の導電パターン
１０７Ａ  導電層
１０８  第２の導電パターン
１０８Ａ  導電層
１０９  ソルダーレジスト層
１１０  はんだバンプ
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図３Ｄ】
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【図３Ｅ】
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【図３Ｆ】
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【図３Ｇ】
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【図３Ｈ】
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【図３Ｉ】
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【図３Ｊ】
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【図３Ｋ】
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【図３Ｌ】
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【図３Ｍ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図４Ｄ】
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【図４Ｅ】
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【図５】
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【図６】
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