(57)【要約】【課題】  スラスト荷重の負荷に対する転がり軸受の長期耐久性を向上させることができ、また、永久磁石の寸法を拡大して高速回転や高性能化を図ることができるモータ一体型の磁気軸受装置を提供する。【解決手段】  軸方向に並べて主軸１３に設けられた２つのスラスト板１３ａ，１３ｂの軸方向外側に２つの電磁石１７を配置して磁気軸受ユニットとすると共に、前記両スラスト板１３ａ，１３ｂで挟まれる位置にアキシアルギャップ型のモータ２８を配置してモータユニットとし、各スラスト板１３ａ，１３ｂの外周面における鍔部の外周部から非鍔部の外周部にわたって、強化繊維材料からなる補強部材ＨＢを設ける。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
転がり軸受と磁気軸受を併用し、転がり軸受がラジアル負荷を支持し、磁気軸受がアキシアル負荷と軸受予圧のどちらか一方または両方を支持し、前記磁気軸受を構成する電磁石は主軸に設けられた強磁性体からなるフランジ状のスラスト板に非接触で対向するように、スピンドルハウジングに取付けられており、
前記スラスト板は、片面に電磁石ターゲットが形成され、もう片方の面にはモータロータ用の永久磁石が配置され、この永久磁石に対向して、モータステータが配置されてスピンドルハウジングに取付けられており、前記モータロータおよび前記モータステータ間のローレンツ力により主軸を回転させるアキシアルギャップ型のコアレスモータを有するものであって、
前記スラスト板の側面の外周部に、永久磁石の外周縁部を支持する鍔部を設け、前記スラスト板の外周面における鍔部の外周部から非鍔部の外周部にわたって、強化繊維材料からなる補強部材を設けたことを特徴とするモータ一体型の磁気軸受装置。
【請求項２】
請求項１において、前記強化繊維材料は、フィラメント状またはシート状のカーボンファイバであるモータ一体型の磁気軸受装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２において、前記スラスト板の外周面に円周溝を形成し、この円周溝に強化繊維材料を巻回したモータ一体型の磁気軸受装置。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれか１項において、前記主軸に前記スラスト板を２枚並べて設け、これら２枚のスラスト板の軸方向外側に２つの電磁石を設け、両スラスト板で挟まれる位置に前記モータステータを配置したモータ一体型の磁気軸受装置。
【請求項５】
転がり軸受と磁気軸受を併用し、転がり軸受がラジアル負荷を支持し、磁気軸受がアキシアル負荷と軸受予圧のどちらか一方または両方を支持し、前記磁気軸受を構成する電磁石は主軸に設けられた強磁性体からなるフランジ状のスラスト板に非接触で対向するように、スピンドルハウジングに取付けられており、
前記スラスト板は、片面に電磁石ターゲットが形成され、もう片方の面の外周部にはモータロータ用の永久磁石が配置され、この永久磁石に対向して、モータステータが配置されてスピンドルハウジングに取付けられており、前記モータロータおよび前記モータステータ間のローレンツ力により主軸を回転させるアキシアルギャップ型のコアレスモータを有するものであって、
前記スラスト板の外周面から永久磁石の外周縁部にわたって、強化繊維材料からなる補強部材を設けたことを特徴とするモータ一体型の磁気軸受装置。
【請求項６】
請求項５において、前記スラスト板の外周面から永久磁石の外周縁部にわたって、一または複数の円周溝を形成し、この円周溝に強化繊維材料を巻回したモータ一体型の磁気軸受装置。
【請求項７】
請求項５または請求項６において、前記主軸に前記スラスト板を２枚並べて設け、これら２枚のスラスト板の軸方向外側に２つの電磁石を設け、両スラスト板で挟まれる位置に前記モータステータを配置したモータ一体型の磁気軸受装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、空気サイクル冷凍冷却用タービンユニット等に用いられる磁気軸受装置に関し、スラスト板の外周面等を補強して高速回転化、高性能化したモータ一体型の磁気軸受装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
空気サイクル冷凍冷却システムは、冷媒として空気を用いるため、フロンやアンモニアガス等を用いる場合に比べてエネルギー効率が不足するが、環境保護の面では好ましい。また、冷凍倉庫等のように、冷媒空気を直接に吹き込むことができる施設では、庫内ファンやデフロストの省略等によってトータルコストを引下げられる可能性があり、このような用途で空気サイクル冷凍冷却システムが提案されている（例えば特許文献１）。
【０００３】
また、−３０℃〜−６０℃のディープ・コール領域では、空気冷却の理論効率は、フロンやアンモニアガスと同等以上になることが知られている。ただし、上記空気冷却の理論効率を得ることは、最適に設計された周辺装置があって、始めて成り立つとも述べられている。周辺装置は、圧縮機や膨張タービン等である。
圧縮機，膨張タービンとしては、コンプレッサ翼車および膨張タービン翼車を共通の主軸に取付けたタービンユニットが用いられている（特許文献１）。
【０００４】
なお、プロセスガスを処理するタービン・コンプレッサとしては、主軸の一端にタービン翼車、他端にコンプレッサ翼車を取付け、前記主軸を電磁石の電流で制御するジャーナルおよびスラスト軸受で支承した磁気軸受式タービン・コンプレッサが提案されている（特許文献２）。
また、ガスタービンエンジンにおける提案ではあるが、主軸支持用の転がり軸受に作用するスラスト荷重が軸受寿命の短縮を招くことを回避するため、転がり軸受に作用するスラスト荷重をスラスト磁気軸受により低減することが提案されている（特許文献３）。
【特許文献１】特許第２６２３２０２号公報
【特許文献２】特開平７−９１７６０号公報
【特許文献３】特開平８−２６１２３７公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のように、空気サイクル冷凍冷却システムとして、ディープ・コール領域で高効率となる空気冷却の理論効率を得るためには、最適に設計された圧縮機や膨張タービンが必要となる。
圧縮機，膨張タービンとしては、上記のようにコンプレッサ翼車および膨張タービン翼車を共通の主軸に取付けたタービンユニットが用いられている。このタービンユニットは、膨張タービンの生じる動力によりコンプレッサ翼車を駆動できることで空気サイクル冷凍機の効率を向上させている。
【０００６】
しかし、実用的な効率を得るためには、各翼車とハウジングとの隙間を微小に保つ必要がある。この隙間の変動は、安定した高速回転の妨げとなり効率の低下を招く。
また、コンプレッサ翼車やタービン翼車に作用する空気により、主軸にスラスト力が作用し、主軸を支持する軸受にスラスト荷重が荷される。空気サイクル冷凍冷却システムにおけるタービンユニットの主軸の回転速度は、１分間に８万〜１０万回転であり、一般的な用途の軸受に比べて非常に高速となる。そのため、上記のようなスラスト荷重は、主軸を支持する軸受の長期耐久性の低下、寿命低下を招き、空気サイクル冷凍冷却用タービンユニットの信頼性を低下させる。このような軸受の長期耐久性の課題を解消しなくては、空気サイクル冷凍冷却用タービンユニットの実用化が難しい。しかし、上記特許文献１に開示の技術は、この高速回転下におけるスラスト荷重の負荷に対する軸受の長期耐久性の低下については解決されるに至っていない。
【０００７】
特許文献２の磁気軸受式タービン・コンプレッサのように、主軸を磁気軸受からなるジャーナル軸受およびスラスト軸受で支承したものでは、ジャーナル軸受にアキシアル方向の規制機能がない。そのため、スラスト軸受の制御の不安定要因等があると、上記翼車とディフューザ間の微小隙間を保って安定した高速回転を行うことが難しい。磁気軸受の場合は、電源停止時における接触の問題もある。
【０００８】
そこで、本発明者等は、上記課題を解決するものとして、図１１に示すようなモータ一体型の磁気軸受装置を開発した。このモータ一体型の磁気軸受装置は、主軸５３の両端にコンプレッサ４６のコンプレッサ翼車４６ａおよび膨張タービン４７のタービン翼車４７ａを取付けた空気サイクル冷凍冷却用タービンユニットにおいて、主軸５３のラジアル負荷を転がり軸受５５，５６で、アキシアル負荷を電磁石５７でそれぞれ支持すると共に、主軸５３に同軸に設けたモータ６８による駆動力とタービン翼車４７ａの駆動力とでコンプレッサ翼車４６ａを回転駆動するようにしたものである。アキシアル負荷を支持する電磁石５７は、主軸５３に垂直かつ同軸に設けられたスラスト板５３ａに非接触で対向するように配置され、アキシアル方向の力を検出するセンサ５８の出力に応じて磁気軸受用コントローラ５９で制御される。モータ６８はアキシアルギャップ型のものであって、主軸５３に垂直かつ同軸に設けた別のスラスト板５３ｂにモータロータ６８ａを形成すると共に、このモータロータ６８ａと軸方向に対向するようにモータステータ６８ｂを配置して構成される。このモータ６８は、電磁石５７とは独立にモータ用コントローラ６９で制御される。
【０００９】
上記構成のモータ一体型の磁気軸受装置によると、主軸５３にかかるスラスト力を電磁石５７で支持するため、非接触でトルクの増大を抑えながら、転がり軸受５５，５６に作用するスラスト力を軽減することができる。その結果、各翼車４６ａ，４７ａとハウジング４６ｂ，４７ｂとの微小隙間を一定に保つことができ、スラスト荷重の負荷に対する転がり軸受の長期耐久性を向上させることができる。
【００１０】
しかし、上記構成のモータ一体型の磁気軸受装置では、高速回転時にスラスト板５３ａに接着した永久磁石の遠心力が大きく、スラスト板外周部に形成された永久磁石固定用の鍔部に大きな応力が発生する。このモータ一体型の磁気軸受装置において、更なる高速回転や高性能化のため、永久磁石の寸法を拡大する必要がある。この永久磁石の寸法拡大による遠心応力の増加に伴い、鍔部の引張り強度を高める等の対策を講じる必要がある。
また、本件出願人は、応力集中部に浸炭焼入れを施す技術を提案しているが、高速化、永久磁石の寸法拡大には引張り強度が不足である。
【００１１】
この発明の目的は、スラスト荷重の負荷に対する転がり軸受の長期耐久性を向上させることができ、また、永久磁石の寸法を拡大して高速回転や高性能化を図ることができるモータ一体型の磁気軸受装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
この発明のモータ一体型の磁気軸受装置は、転がり軸受と磁気軸受を併用し、転がり軸受がラジアル負荷を支持し、磁気軸受がアキシアル負荷と軸受予圧のどちらか一方または両方を支持し、前記磁気軸受を構成する電磁石は主軸に設けられた強磁性体からなるフランジ状のスラスト板に非接触で対向するように、スピンドルハウジングに取付けられており、前記スラスト板は、片面に電磁石ターゲットが形成され、もう片方の面にはモータロータ用の永久磁石が配置され、この永久磁石に対向して、モータステータが配置されてスピンドルハウジングに取付けられており、前記モータロータおよび前記モータステータ間のローレンツ力により主軸を回転させるアキシアルギャップ型のコアレスモータを有するものであって、前記スラスト板の側面の外周部に、永久磁石の外周縁部を支持する鍔部を設け、前記スラスト板の外周面における鍔部の外周部から非鍔部の外周部にわたって、強化繊維材料からなる補強部材を設けたことを特徴とする。
【００１３】
この構成によると、転がり軸受と磁気軸受を併用し、転がり軸受がラジアル負荷を支持し、磁気軸受がアキシアル負荷と軸受予圧のどちらか一方または両方を支持するものであるため、アキシアル方向の精度の良い支持が行え、また転がり軸受の長期耐久性が確保でき、磁気軸受のみの支持の場合における電源停止時の損傷も回避される。
【００１４】
また、各スラスト板の側面の外周部に、永久磁石の外周縁部を支持する鍔部を設けている。前記各スラスト板の外周面における鍔部の外周部から非鍔部の外周部にわたって、強化繊維材料からなる補強部材を設けたので、従来技術のものより鍔部の引張り強度を高め、永久磁石の寸法を拡大して高速回転や高性能化を図ることが可能となる。高速回転時には鍔部に大きな応力が発生するが、補強部材によって、この応力を許容することができる。また、永久磁石の飛散を確実に防止することができる。
【００１５】
この発明において、前記強化繊維材料は、フィラメント状（すなわち細糸状）またはシート状のカーボンファイバであることが望ましい。フィラメント状のカーボンファイバである場合、このカーボンファイバを、各スラスト板の外周面に形成した円周溝等に好適に巻回することができる。シート状のカーボンファイバである場合、このカーボンファイバを、スラスト板の外周面の幅内に収めて巻くことができる。
【００１６】
この発明において、前記各スラスト板の外周面に円周溝を形成し、この円周溝に強化繊維材料を巻回しても良い。この場合、強化繊維材料を迅速にかつ確実に円周溝に巻回することができ、よって作業工数の低減を図ることができる。
この発明において、前記主軸に前記スラスト板を２枚並べて設け、これら２枚のスラスト板の軸方向外側に２つの電磁石を設け、両スラスト板で挟まれる位置に前記モータステータを配置しても良い。この場合、磁気軸受ユニットとモータユニットとがコンパクトな一体構造とできる。そのため、主軸の軸長を短くでき、それだけ主軸の固有振動数が高くなって、主軸を高速回転させることができる。
【００１７】
また、この発明のモータ一体型の磁気軸受装置は、転がり軸受と磁気軸受を併用し、転がり軸受がラジアル負荷を支持し、磁気軸受がアキシアル負荷と軸受予圧のどちらか一方または両方を支持し、前記磁気軸受を構成する電磁石は主軸に設けられた強磁性体からなるフランジ状のスラスト板に非接触で対向するように、スピンドルハウジングに取付けられており、前記スラスト板は、片面に電磁石ターゲットが形成され、もう片方の面の外周部にはモータロータ用の永久磁石が配置され、この永久磁石に対向して、モータステータが配置されてスピンドルハウジングに取付けられており、前記モータロータおよび前記モータステータ間のローレンツ力により主軸を回転させるアキシアルギャップ型のコアレスモータを有するものであって、前記スラスト板の外周面から永久磁石の外周縁部にわたって、強化繊維材料からなる補強部材を設けたことを特徴とする。
【００１８】
この構成によると、スラスト板の鍔部を省略したうえで、スラスト板の外周面から永久磁石の外周縁部にわたって、直接、強化繊維材料からなる補強部材を設けたので、鍔部を設けたスラスト板よりもスラスト板の構造を簡単化して、このスラスト板自体の引張り強度を高めることができる。特に、永久磁石の遠心力を補強部材で直接受けることができるので、スラスト板の構造を簡単化して製造コストの低減を図ることができる。その他、請求項１に係る発明と同様の作用、効果を奏する。
【００１９】
この発明において、前記スラスト板の外周面から永久磁石の外周縁部にわたって、一または複数の円周溝を形成し、この円周溝に強化繊維材料を巻回しても良い。この場合、強化繊維材料を迅速にかつ確実に円周溝に巻回することができ、よって作業工数の低減を図ることができる。複数の円周溝を形成した場合、強化繊維材料を各円周溝に交互に巻くことで、引張り強度をさらに高めることが可能となる。
この発明において、前記主軸に前記スラスト板を２枚並べて設け、これら２枚のスラスト板の軸方向外側に２つの電磁石を設け、両スラスト板で挟まれる位置に前記モータステータを配置しても良い。この場合、磁気軸受ユニットとモータユニットとがコンパクトな一体構造とできる。そのため、主軸の軸長を短くでき、それだけ主軸の固有振動数が高くなって、主軸を高速回転させることができる。
【発明の効果】
【００２０】
この発明のモータ一体型の磁気軸受装置は、スラスト板の外周面における鍔部の外周部から非鍔部の外周部にわたって、強化繊維材料からなる補強部材を設けたので、従来技術のものより鍔部の引張り強度を高め、永久磁石の寸法を拡大して高速回転や高性能化を図ることが可能となる。また、永久磁石の飛散を確実に防止することができる。また、転がり軸受と磁気軸受を併用し、転がり軸受がラジアル負荷を支持し、磁気軸受がアキシアル負荷と軸受予圧のどちらか一方または両方を支持するものであるため、アキシアル方向の精度の良い支持が行え、また転がり軸受の長期耐久性が確保できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
この発明の一実施形態を図１ないし図５と共に説明する。図１は、この実施形態のモータ一体型の磁気軸受装置を組み込んだタービンユニット５の断面図を示す。このタービンユニット５は圧縮膨張タービンシステムを構成するものであり、コンプレッサ６および膨張タービン７を有し、コンプレッサ６のコンプレッサ翼車６ａおよび膨張タービン７のタービン翼車７ａが主軸１３の両端にそれぞれ嵌合している。主軸１３の材料には、磁気特性の良好な低炭素鋼が使用される。
【００２２】
図１において、コンプレッサ６は、コンプレッサ翼車６ａと微小の隙間ｄ１を介して対向するコンプレッサハウジング６ｂを有し、中心部の吸込口６ｃから軸方向に吸入した空気を、コンプレッサ翼車６ａで圧縮し、外周部の出口（図示せず）から矢印６ｄで示すように排出する。
膨張タービン７は、タービン翼車７ａと微小の隙間ｄ２を介して対向するタービンハウジング７ｂを有し、外周部から矢印７ｃで示すように吸い込んだ空気を、タービン翼車７ａで断熱膨張させ、中心部の排出口７ｄから軸方向に排出する。
【００２３】
このタービンユニット５におけるモータ一体型の磁気軸受装置は、主軸１３をラジアル方向に対し複数の軸受１５，１６で支持し、主軸１３にかかるアキシアル負荷と軸受予圧のどちらか一方または両方を磁気軸受である電磁石１７により支持すると共に、主軸１３を回転駆動するアキシアルギャップ型のモータ２８を設けたものである。このタービンユニット５は、主軸１３に作用するスラスト力を検出するセンサ１８と、このセンサ１８の出力に応じて前記電磁石１７による支持力を制御する磁気軸受用コントローラ１９と、電磁石１７とは独立に前記モータ２８を制御するモータ用コントローラ２９とを有している。
【００２４】
電磁石１７は、主軸１３の軸方向中間部において軸方向に並ぶように主軸１３に垂直かつ同軸に設けられた強磁性体からなるフランジ状の２つのスラスト板１３ａ，１３ｂの各片面に非接触で対向するように、一対のものがスピンドルハウジング１４に設置されている。具体的には、磁気軸受ユニットを構成する一方の電磁石１７は、膨張タービン７寄りに位置するスラスト板１３ａの膨張タービン７側に向く片面を電磁石ターゲットとして、この片面に非接触で対向するようにスピンドルハウジング１４に設置される。また、磁気軸受ユニットを構成する他方の電磁石１７は、コンプレッサ６寄りに位置するスラスト板１３ｂのコンプレッサ６側に向く片面を電磁石ターゲットとして、この片面に非接触で対向するようにスピンドルハウジング１４に設置される。
【００２５】
モータ２８は、前記電磁石１７と並んで主軸１３に設けられたモータロータ２８ａと、このモータロータ２８ａに対し軸方向に対向するモータステータ２８ｂとでなるモータユニットである。具体的には、モータユニットの一部品を構成するモータロータ２８ａは、主軸１３における前記各スラスト板１３ａ，１３ｂの電磁石１７が対向する側とは反対側の各片面に、円周方向に等ピッチで並ぶ永久磁石２８ａａを配置することで左右一対のものが構成される。このように軸方向に対向配置される永久磁石２８ａａの間では、その磁極が互いに異極となるように設定される。主軸１３には磁気特性の良好な低炭素鋼を使用しているので、主軸１３と一体構造となるように設けられる前記各スラスト板１３ａ，１３ｂを、永久磁石２８ａａのバックヨークおよび電磁石ターゲットに兼用できる。
【００２６】
このモータ２８は、前記モータロータ２８ａとモータステータ２８ｂ間に作用するローレンツ力により、主軸１３を回転させる。このように、このアキシアルギャップ型のモータ２８はコアレスモータとされていることから、モータロータ２８ａとモータステータ２８ｂ間の磁気カップリングによる負の剛性はゼロとなっている。
【００２７】
図２、図３に示すように、主軸１３は、例えば、２枚のスラスト板１３ａ，１３ｂの間で２つの主軸分割体１３Ａ，１３Ｂに２分割され、両主軸分割体１３Ａ，１３Ｂが互いに結合されて一体のものとされている。一方の主軸分割体１３Ａは、分割面となる端面Ｓ１の軸心部に丸軸状の嵌合凸部を有し、他方の主軸分割体１３Ｂは分割面となる端面Ｓ１に、前記嵌合凸部の外周に嵌合する円形の嵌合凹部を有している。両主軸分割体１３Ａ，１３Ｂは、前記嵌合凸部と嵌合凹部との周面での嵌合と、前記分割面となる端面Ｓ１の突き合わせとにより、径方向および軸方向に拘束され、かつ軸心部で図示外のボルト等により互いに結合されている。前記ボルトは両切ボルトであり、一方の主軸分割体１３Ａの嵌合凸部の先端面中央に形成されたねじ孔と、他方の主軸分割体１３Ｂの嵌合凹部の底面中央に形成されたねじ孔とにわたってねじ込まれている。各主軸分割体１３Ａ，１３Ｂは、例えば鋼材の焼入等の硬化のための熱処理が施されたものとされ、前記ボルトは、硬化のための熱処理を施さない生材の鋼製のものとされている。
【００２８】
各主軸分割体１３Ａ，１３Ｂの有するスラスト板１３ａ，１３ｂの対向面は、中心部付近と外周縁との間に環状の凹部４３を有する形状とされ、この凹部４３内に、前記モータロータ２８ａを構成する永久磁石２８ａａが接着等により取付けられている。また、各スラスト板１３ａ，１３ｂの側面の外周部に、各永久磁石２８ａａの外周縁部２８ａｂを支持する鍔部ＴＢを設けている。
【００２９】
また、スラスト板１３ａ，１３ｂの外周面における鍔部ＴＢの外周部ＴＢａから非鍔部ＮＴＢの外周部ＮＴＢａにわたって、強化繊維材料からなる補強部材ＨＢが設けられている。この補強部材は、特に、鍔部ＴＢの引張り強度を高めるものである。前記強化繊維材料としては、例えば、カーボンファイバを適用することができる。ただし、強化繊維材料は、カーボンファイバに必ずしも限定されるものではなく、例えば、引張強度の高いボロンファイバやケブラーファイバ等を適用しても良い。
前記補強部材ＨＢは、例えば、シートワインディング法またはフィラメントワインディング法によって製造される。この実施形態では、シートワインディング法が適用される。
【００３０】
ここで、シートワインディング法等について説明する。
カーボンファイバ等からなるシートに、例えば、熱硬化樹脂を含浸させ、半硬化状態になった材料つまりプリプレグシートを準備する。次に、このプリプレグシートを、円筒形の図示外の金型に巻きつけた後、加熱硬化炉に入れてパイプ状に成形する。このとき、複数のプリプレグシートを繊維の角度を考慮して積層することにより繊維配向方向による強度の異方性を避けることができ所望の力学的性質を得ることもできる。このように、パイプ状に成形したシート体を、鍔部ＴＢの外周部ＴＢａから非鍔部ＮＴＢの外周部ＮＴＢａにわたって圧入して補強部材ＨＢを得る。この場合、プリプレグシートよりも取り扱い容易なシート体を、各スラスト板１３ａ，１３ｂと並行して製造することができ、量産化を図ることが可能となる。特に、シートワインディング法を適用することで、シート体をスラスト板１３ａ，１３ｂの外周面の幅Ｈ１内に収めて巻くことができる。換言すれば、スラスト板１３ａ，１３ｂの外周面の幅Ｈ１内に収まるシート体を、シートワインディング法を用いて準備しておき、このシート体を、後加工することなくスラスト板１３ａ，１３ｂの外周面の幅Ｈ１内に確実に収めて設けることができる。なお、シート体の内周面と、鍔部ＴＢ，非鍔部ＮＴＢの外周部との間に接着剤等を塗布して補強部材を固着させても良い。
【００３１】
本実施形態では、加熱硬化炉で硬化させた後のシート体を、スラスト板１３ａ，１３ｂの外周面に設けているが、この方法に限定されるものではない。例えば、半硬化状態のプリプレグシートをスラスト板の外周面に巻きつけた後、硬化させて補強部材ＨＢを得る方法を適用しても良い。この場合、シート体を圧入したり接着剤等を塗布する手間を省略でき、作業工数の低減を図ることが可能となる。さらに、プリプレグシートを、円筒形の金型でなくスラスト板１３ａ，１３ｂの外周面に巻き付けるので、円筒形の金型自体を省略することが可能となり、その分設備費用を低減することができる。これによって、磁気軸受装置全体の製造コストを低減することができる。
【００３２】
図１において、主軸１３を支持する軸受１５，１６は転がり軸受であって、アキシアル方向位置の規制機能を有するものであり、例えば深溝玉軸受やアンギュラ玉軸受が用いられる。深溝玉軸受の場合、両方向のスラスト支持機能を有し、内外輪のアキシアル方向位置を中立位置に戻す作用を持つ。これら２個の軸受１５，１６は、それぞれスピンドルハウジング１４におけるコンプレッサ翼車６ａおよびタービン翼車７ａの近傍に配置されている。
【００３３】
図３に示すように、主軸１３は、例えば、大径部１３ｃと、中径部１３ｅと、両端部の小径部１３ｄとを有する段付き軸とされている。両側の軸受１５，１６は、その内輪１５ａ，１６ａが小径部１３ｄに圧入状態に嵌合し、片方の幅面が大径部１３ｃと小径部１３ｄ間の段差面に係合する。
スピンドルハウジング１４における両側の軸受１５，１６よりも各翼車６ａ，７ａ側の部分は、内径面が主軸１３に近接する径に形成され、この内径面に非接触シール２１，２２が形成されている。この実施形態では、非接触シール２１，２２は、スピンドルハウジング１４の内径面に複数の円周溝を軸方向に並べて形成したラビリンスシールとしているが、その他の非接触シール手段でも良い。
【００３４】
前記センサ１８は、タービン翼車７ａ側の軸受１６の近傍における静止側、つまりスピンドルハウジング１４側に設けられている。このセンサ１８を近傍に設けた軸受１６は、その外輪１６ｂが軸受ハウジング２３内に固定状態に嵌合している。軸受ハウジング２３は、リング状に形成されて一端に軸受１６の外輪１６ｂの幅面に係合する内鍔２３ａを有しており、スピンドルハウジング１４に設けられた内径面２４にアキシアル方向に移動自在に嵌合している。内鍔２３ａは、アキシアル方向の中央側端に設けられている。
【００３５】
前記センサ１８は、タービン翼者７ａ側の軸受１６の近傍における静止側、つまりスピンドルハウジング１４側に設けられている。このセンサ１８を近傍に設けた軸受１６は、その外輪１６ｂが軸受ハウジング２３内に固定状態に嵌合している。軸受ハウジング２３は、リング状に形成されて一端に軸受１６の外輪１６ｂの幅面に係合する内鍔２３ａを有しており、スピンドルハウジング１４に設けられた内径面２４にアキシアル方向に移動自在に嵌合している。内鍔２３ａは、アキシアル方向の中央側端に設けられている。
【００３６】
センサ１８は主軸１３の回りの円周方向複数個所（例えば２箇所）に分配配置され、軸受ハウジング２３の内鍔２３ａ側の幅面と、スピンドルハウジング１４に固定された部材である片方の電磁石１７との間に介在させてある。また、センサ１８は、センサ予圧ばね２５により予圧が印加されている。センサ予圧ばね２５は、スピンドルハウジング１４に設けられた収容凹部内に収容されて軸受１６の外輪１６ｂをアキシアル方向に付勢するものとされ、外輪１６ｂおよび軸受ハウジング２３を介してセンサ１８を予圧する。センサ予圧ばね２５は、例えば主軸１３の回りの円周方向複数箇所に設けられたコイルばね等からなる。
【００３７】
センサ予圧ばね２５による予圧は、押し付け力によってスラスト力を検出するセンサ１８が、主軸１３のアキシアル方向のいずれの向きの移動に対しても検出できるようにするためであり、タービンユニット５の通常の運転状態で主軸１３に作用する平均的なスラスト力以上の大きさとされる。
【００３８】
センサ１８の非配置側の軸受１５は、スピンドルハウジング１４に対してアキシアル方向に移動自在に設置され、かつ軸受予圧ばね２６によって弾性支持されている。この例では軸受１５の外輪１５ｂが、スピンドルハウジング１４の内径面にアキシアル方向移動自在に嵌合していて、軸受予圧ばね２６は、外輪１５ｂとスピンドルハウジング１４との間に介在している。軸受予圧ばね２６は、内輪１５ａの幅面が係合した主軸１３の段面に対向して外輪１５ｂを付勢するものとされ、軸受１５に予圧を与えている。軸受予圧ばね２６は、主軸１３回りの円周方向複数箇所に設けられたコイルばね等からなり、それぞれスピンドルハウジング１４に設けられた収容凹部内に収容されている。軸受予圧ばね２６は、センサ予圧ばね２５よりもばね定数が小さいものとされる。
【００３９】
上記タービンユニット５におけるモータ一体型の磁気軸受装置の力学モデルは簡単なバネ系で構成することができる。すなわち、このバネ系は、軸受１５，１６とこれら軸受の支持系（センサ予圧ばね２５、軸受予圧ばね２６、軸受ハウジング２３など）とで形成される合成バネと、モータ部（電磁石１７とモータ２８）で形成される合成バネとが並列となった構成である。このバネ系において、軸受１５，１６とこれら軸受の支持系とで形成される合成バネは、変位した方向と逆の方向に変位量に比例して作用する剛性となるのに対し、電磁石１７とモータ２８とで形成される合成バネは、変位した方向に変位量に比例して作用する負の剛性となる。
このため、上記した両合成バネの剛性の大小関係を、
軸受等による合成バネの剛性値＜電磁石・モータによる合成バネの負の剛性値…（１）とした場合、機械システムの位相は１８０°遅れとなり不安定な系となることから、電磁石１７を制御する磁気軸受用コントローラ１９において、予め位相補償回路を付加する必要が生じ、コントローラ１９の構成が複雑なものになる。
【００４０】
そこで、この実施形態のモータ一体型の磁気軸受装置では、上記した両合成バネの剛性の大小関係を、
軸受等による合成バネの剛性値＞電磁石・モータによる合成バネの負の剛性値…（２）としている。とくに、このモータ一体型の磁気軸受装置では、上記したようにアキシアルギャップ型のモータ２８をコアレスモータとしているので、モータ２８に作用する負の剛性値をゼロとすることができ、モータ２８が高負荷動作し過大なアキシアル荷重が作用した状態においても上記（２）式の大小関係を保つことができる。
その結果、制御帯域において、機械システムの位相が１８０°遅れとなることを防止できるので、モータ２８が高負荷動作し過大なアキシアル荷重が作用した状態でも磁気軸受用コントローラ１９の制御対象を安定なものとでき、コントローラ１９の回路構成を図４のように比例もしくは比例積分を用いた簡単なものに構成できる。
【００４１】
ブロック図で示す図４の磁気軸受用コントローラ１９では、各センサ１８の検出出力Ｐ１，Ｐ２をセンサ出力演算回路３０で加減算し、その演算結果を比較器３１で基準値設定手段３２の基準値と比較して偏差を演算し、さらに演算した偏差をＰＩ補償回路（もしくはＰ補償回路）３３によりタービンユニット５に応じて適宜設定される比例積分（もしくは比例）処理を行うことで、電磁石１７の制御信号を演算するようにしている。ＰＩ補償回路（もしくはＰ補償回路）３３の出力は、ダイオード３４，３５を介して各方向の電磁石１７ 1 ，１７ 2 を駆動するパワー回路３６，３７に入力される。電磁石１７ 1 ，１７ 2は、図１に示したスラスト板１３ａに対向する一対の電磁石１７であり、吸引力しか作用しないため、予めダイオード３４，３５で電流の向きを決め、２個の電磁石１７ 1 ，１７ 2を選択的に駆動するようにしている。
【００４２】
同じくブロック図で示す図５のモータ用コントローラ２９では、回転同期指令信号を基に、モータロータ２８ａの回転角をフィードバック信号として位相調整回路３８でモータ駆動電流の位相調整が行われ、その調整結果に応じたモータ駆動電流をモータ駆動回路３９からモータステータ２８ｂに供給することによって、定回転制御が行われる。前記回転同期指令信号は、モータロータ２８ａに設けられた回転角度検出センサ（図示せず）の出力に応じて演算される。
【００４３】
この構成のタービンユニット５は、例えば空気サイクル冷凍冷却システムに適用されて、冷却媒体となる空気を後段の熱交換器（ここでは図示せず）により効率良く熱交換できるように、コンプレッサ６で圧縮して温度上昇させ、さらに後段の前記熱交換器で冷却された空気を、膨張タービン７により、目標温度、例えば−３０℃〜−６０℃程度の極低温まで断熱膨張により冷却して排出するように使用される。
【００４４】
このような使用例において、このタービンユニット５は、コンプレッサ翼車６ａおよびタービン翼車７ａが、前記スラスト板１３ａとモータロータ２８ａと共通の主軸１３に嵌合し、モータ２８の動力とタービン翼車７ａで発生した動力のどちらか一方または両方によりコンプレッサ翼車６ａを駆動するものとしている。このため、各翼車６ａ，７ａの適切な隙間ｄ１，ｄ２を保って主軸１３の安定した高速回転が得られ、かつ軸受１５，１６の長期耐久性の向上、寿命の向上が得られる。
【００４５】
すなわち、タービンユニット５の圧縮，膨張の効率を確保するためには、各翼車６ａ，７ａとハウジング６ｂ，７ｂとの隙間ｄ１，ｄ２を微小に保つ必要がある。例えば、このタービンユニット５を空気サイクル冷凍冷却システムに適用する場合には、この効率確保が重要となる。これに対して、主軸１３を転がり形式の軸受１５，１６により支持するため、転がり軸受の持つアキシアル方向位置の規制機能により、主軸１３のアキシアル方向位置がある程度規制され、各翼車６ａ，７ａとハウジング６ｂ，７ｂとの微小隙間ｄ１，ｄ２を一定に保つことができる。
【００４６】
しかし、タービンユニット５の主軸１３には、各翼車６ａ，７ａに作用する空気の圧力でスラスト力がかかる。また、空気冷却システムで使用するタービンユニット５では、１分間に例えば８万〜１０万回転程度の非常に高速の回転となる。そのため、主軸１３を回転支持する転がり軸受１５，１６に上記スラスト力が作用すると、軸受１５，１６の長期耐久性が低下する。
この実施形態は、上記スラスト力を電磁石１７で支持するため、非接触でトルクの増大を抑えながら、主軸１３の支持用の転がり軸受１５，１６に作用するスラスト力を軽減することができる。この場合に、主軸１３に作用するスラスト力を検出するセンサ１８と、このセンサ１８の出力に応じて前記電磁石１７による支持力を制御する磁気軸受用コントローラ１９とを設けたため、転がり軸受１５，１６を、その軸受仕様に応じてスラスト力に対し最適な状態で使用することができる。
【００４７】
軸方向に並べて主軸１３に設けられた２つのスラスト板１３ａ，１３ｂの軸方向外側に２つの電磁石１７を配置して磁気軸受ユニットを構成すると共に、前記両スラスト板１３ａ，１３ｂで挟まれる位置にアキシアルギャップ型のモータ２８を配置してモータユニットを構成することにより、磁気軸受ユニットとモータユニットをコンパクトな一体構造としているため、主軸５３の軸長を短くでき、それだけ主軸１３の固有振動数が高くなって、主軸１３を高速回転させることができる。
【００４８】
また、このモータ一体型の磁気軸受装置は、モータステータ２８ｂが主軸１３の２枚のスラスト板１３ａ，１３ｂの間に介在する配置のため、モータステータ２８ｂおよび主軸１３の両方が一体の部材であると装置の組み立てができないが、図２のように、主軸１３が、２枚のスラスト板１３ａ，１３ｂの間で２分割され、両主軸分割体１３Ａ，１３Ｂが互いに結合されたものであるため、両スラスト板１３ａ，１３ｂ間に一体のモータステータ２８ｂを介在させるようにモータを組み立てることが可能になる。また、主軸１３を２枚のスラスト板１３ａ，１３ｂ間で分割したため、これらスラスト板１３ａ，１３ｂ間の隙間が狭くても、両スラスト板１３ａ，１３ｂに取付けられるモータロータ２８ａとなる永久磁石２８ａａを、スラスト板１３ａ，１３ｂに容易に貼り付けることができる。すなわち、両主軸分割体１３Ａ，１３Ｂが離れた状態で永久磁石２８ａａの貼り付け作業が行え、両スラスト板１３ａ，１３ｂ間の隙間の大きさに関係なく、永久磁石２８ａａの貼り付け作業が行える。
【００４９】
モータステータ２８ｂを分割構造とする場合と異なり、主軸１３を分割構造とするため、分割しながら、簡単な構成で済む。主軸１３が高速回転するものであっても、主軸１３自体を２枚のスラスト板間で分割された分割構造とするため、スラスト板１３ａ，１３ｂを主軸１３と分割させる場合と異なり、堅固な結合構造が自由に設計でき、高速回転時における主軸分割部分の結合箇所が強度不足となることが解消できる。
【００５０】
この実施形態では、両主軸分割体１３Ａ，１３Ｂに嵌合凸部と嵌合凹部を設けて、いわゆる印籠結合とし、また分割面となる端面Ｓ１の突き合わせ面と、上記嵌合凸部，嵌合凹部の嵌合する周面との２面で拘束し、前記ボルトで締結するため、両主軸分割体１３Ａ，１３Ｂを堅固に結合することができる。
上記ボルトは、いずれか一方の主軸分割体１３Ａ，１３Ｂと一体に設けたものとしても良いが、両主軸分割体１３Ａ，１３Ｂと別の独立した部品とすると、前記ボルトの材質が自由に選定できる。この例では、主軸１３は剛性確保等のために焼入等の硬度向上のための熱処理が施されるが、主軸分割体１３Ａ，１３Ｂと前記ボルトを一体構造として熱処理を行うと、ボルト部分が脆性が不足する恐れがある。しかし、前記ボルトを別部材として非焼入材としたため、脆性不足の問題が解消され、ボルトの不測の破損の問題のない信頼性の高い締結が行える。
【００５１】
この実施形態では、特に、各スラスト板１３ａ，１３ｂの外周面における鍔部ＴＢの外周部ＴＢａから非鍔部ＮＴＢの外周部ＮＴＢａにわたって、カーボンファイバからなる補強部材ＨＢを設けたので、従来技術のものより鍔部ＴＢの引張り強度を高め、永久磁石２８ａａの寸法を拡大して高速回転や高性能化を図ることが可能となる。高速回転時には鍔部ＴＢに大きな応力が発生するが、補強部材ＨＢによって、この応力を許容することができる。また、永久磁石２８ａａのスラスト板１３ａ，１３ｂからの飛散を確実に防止することができる。
【００５２】
前記補強部材ＨＢを設ける際、シートワインディング法を適用することで、シート体をスラスト板１３ａ，１３ｂの外周面の幅Ｈ１内、つまりこの外周面の軸方向一端部から他端部にわたる間に収めて巻くことができる。これによって、補強部材ＨＢと、モータステータ２８ｂや電磁石１７との干渉を防止することができる。また、シート体の一側縁部および他側縁部を切除する等の後加工を不要とし、工数削減を図ることができる。
【００５３】
図６は、上記タービンユニット５を用いた空気サイクル冷凍冷却システムの全体の構成を示す。この空気サイクル冷凍冷却システムは、冷凍倉庫等の被冷却空間１０の空気を直接に冷媒として冷却するシステムであり、被冷却空間１０にそれぞれ開口した空気の取入口１ａから排出口１ｂに至る空気循環経路１を有している。この空気循環経路１に、予圧縮手段２、第１の熱交換器３、空気サイクル冷凍冷却用タービンユニット５のコンプレッサ６、第２の熱交換器３、中間熱交換器９、および前記タービンユニット５の膨張タービン７が順に設けられている。中間熱交換器９は、同じ空気循環経路１内で取入口１ａの付近の流入空気と、後段の圧縮で昇温し、冷却された空気との間で熱交換を行うものであり、取入口１ａの付近の空気は熱交換器９ａ内を通る。
【００５４】
予圧縮手段２はブロア等からなり、モータ２ａにより駆動される。第１の熱交換器３および第２の熱交換器８は、冷却媒体を循環させる熱交換器３ａ，８ａをそれぞれ有し、熱交換器３ａ，８ａ内の水等の冷却媒体と空気循環経路１の空気との間で熱交換を行う。各熱交換器３ａ，８ａは、冷却塔１１に配管接続されており、熱交換で昇温した冷却媒体が冷却塔１１で冷却される。なお、前記予圧縮手段２を含まない構成の空気サイクル冷凍冷却システムでもよい。
【００５５】
この空気サイクル冷凍冷却システムは、被冷却空間１０を０℃〜−６０℃程度に保つシステムであり、被冷却空間１０から空気循環経路１の取入口１ａに０℃〜−６０℃程度で１気圧の空気が流入する。なお、以下に示す温度および気圧の数値は、一応の目安となる一例である。取入口１ａに流入した空気は、中間熱交換器９により、空気循環経路１中の後段の空気の冷却に使用され、３０℃まで昇温する。この昇温した空気は１気圧のままであるが、予圧縮手段２により１．４気圧に圧縮させられ、その圧縮により、７０℃まで昇温する。第１の熱交換器３は、昇温した７０℃の空気を冷却すれば良いため、常温程度の冷水であっても効率良く冷却することができ、４０℃に冷却する。
【００５６】
熱交換により冷却された４０℃，１．４気圧の空気が、タービンユニット５のコンプレッサ６により、１．８気圧まで圧縮され、この圧縮により７０℃程度に昇温した状態で、第２の熱交換器８により４０℃に冷却される。この４０℃の空気は、中間熱交換器９で−３０℃の空気により−２０℃まで冷却される。気圧はコンプレッサ６から排出された１．８気圧が維持される。
中間熱交換器９で−２０℃まで冷却された空気は、タービンユニット５の膨張タービン７により断熱膨張され、−５５℃まで冷却されて排出口１ｂから被冷却空間１０に排出される。この空気サイクル冷凍冷却システムは、このような冷凍サイクルを行う。
【００５７】
この空気サイクル冷凍冷却システムでは、タービンユニット５において、各翼車６ａ，７ａの適切な隙間ｄ１，ｄ２を保って主軸１３の安定した高速回転が得られ、かつ軸受１５，１６の長期耐久性の向上、寿命の向上が得られることで、軸受１５，１６の長期耐久性が向上することから、タービンユニット５の全体として、しいては空気サイクル冷凍冷却システムの全体としての信頼性が向上する。このように、空気サイクル冷凍冷却システムのネックとなっているタービンユニット５の主軸軸受１５，１６の安定した高速回転、長期耐久性、信頼性が向上するため、空気サイクル冷凍冷却システムの実用化が可能となる。
【００５８】
次に、この発明の他の実施形態を図７および図８と共に説明する。図７、図８は、この実施形態のモータ一体型の磁気軸受装置に用いられる他のスラスト板等の要部の断面図である。以下の説明においては、各形態で先行する形態で説明している事項に対応している部分には同一の参照符を付し、重複する説明を略する場合がある。構成の一部のみを説明している場合、構成の他の部分は、先行して説明している形態と同様とする。実施の各形態で具体的に説明している部分の組合せばかりではなく、特に組合せに支障が生じなければ、実施の形態同士を部分的に組合せることも可能である。
【００５９】
この実施形態では、各スラスト板１３ａ，１３ｂの側面の外周部に、各永久磁石２８ａａの外周縁部２８ａｂを支持する鍔部ＴＢを設けている。さらに、各スラスト板１３ａ，１３ｂの外周面に、断面凹形状の円周溝ＥＭを形成し、この円周溝ＥＭにカーボンファイバからなる補強部材ＨＢを設けている。この実施形態では、前記補強部材ＨＢはフィラメントワインディング法によって製造される。
【００６０】
ここで、フィラメントワインディング法等について説明する。
熱硬化樹脂を含浸させたフィラメント状のカーボンファイバを、各スラスト板１３ａ，１３ｂの円周溝ＥＭ内に収まるように巻き付けて成形する。次に、この成形体を加熱硬化炉で硬化させて、完成品である補強部材ＨＢを得る。この方法によると、カーボンファイバを種々の巻き付けパターンにより円周溝ＥＭに巻き付けることができる。これにより、補強部材ＨＢの引張り強度等の機械的性質を容易に調整できる。したがって、鍔部ＴＢの引張り強度を容易に高めることができる。また、この実施形態では、断面凹形状の円周溝ＥＭに、カーボンファイバを巻き付けているので、補強部材ＨＢの一部が軸方向一方または他方に不所望に突出することがなく、これによって、補強部材ＨＢと、モータステータ２８ｂや電磁石１７との干渉を防止することができる。その他図２、図３等で示した前述の実施形態と同様の作用、効果を奏する。
【００６１】
次に、この発明のさらに他の実施形態を図９および図１０と共に説明する。
図９に示すように、この実施形態では、各スラスト板１３ａ，１３ｂの鍔部が省略され、スラスト板１３ａ，１３ｂの外周面と永久磁石２８ａａの外周縁部とが同一周面で連なるように設けている。これら各スラスト板１３ａ，１３ｂの外周面から永久磁石２８ａａの外周縁部にわたって、カーボンファイバからなる補強部材ＨＢを設けている。この補強部材ＨＢは、前述のシートワインディング法、フィラメントワインディング法のいずれの方法を用いて設けてもよい。また、図１０に示すように、各スラスト板１３ａ，１３ｂの外周面から永久磁石２８ａａの外周縁部にわたって、複数の円周溝ＥＭａを軸方向一定間隔おきに形成し、これら複数の円周溝ＥＭａに、熱硬化樹脂を含浸させたフィラメント状のカーボンファイバを巻き付けて成形し、その後、この成形体を硬化させても良い。なお、複数の円周溝ＥＭａを軸方向適当間隔おきに形成しても良い。
【００６２】
この構成によると、各スラスト板１３ａ，１３ｂの鍔部を省略したうえで、各スラスト板１３ａ，１３ｂの外周面から永久磁石２８ａａの外周縁部にわたって、直接、補強部材ＨＢを設けたので、鍔部を設けたスラスト板よりも各スラスト板１３ａ，１３ｂの構造を簡単化して、この各スラスト板自体の引張り強度を高めることができる。特に、永久磁石２８ａａの遠心力を補強部材ＨＢで直接受けることができるので、各スラスト板１３ａ，１３ｂの構造を簡単化して製造コストの低減を図ることができる。
【００６３】
また、図１０に示すように、複数の円周溝ＥＭａにカーボンファイバを巻き付ける場合、各円周溝ＥＭａとカーボンファイバとの摩擦抵抗によって、カーボンファイバが巻回途中で溝に保持されて弛むことがなく、このカーボンファイバを迅速にかつ確実に円周溝ＥＭａに巻回することができ、よって作業工数の低減を図ることができる。また、カーボンファイバを各円周溝ＥＭａに交互に巻くことで、補強部材ＨＢの引張り強度をさらに高めることが可能となる。その他図２、図３に示す前述の実施形態と同様の作用、効果を奏する。本発明の他の実施形態として、各スラスト板の外周面から永久磁石の外周縁部にわたって、複数の円周溝ではなく一つの円周溝を形成し、この円周溝に熱硬化樹脂を含浸させたカーボンファイバを巻き付けて成形しても良い。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】この発明の一実施形態にかかるモータ一体型の磁気軸受装置が組み込まれたタービンユニットの断面図である。
【図２】同タービンユニットにおける主軸、スラスト板等の要部の断面図である。
【図３】同スラスト板等の断面図であり、図３（ａ）はスラスト板等の要部の断面図、図３（ｂ）は補強部材等を表す要部の拡大断面図である。
【図４】モータ一体型の磁気軸受装置に用いられる磁気軸受用コントローラの一例を示すブロック図である。
【図５】モータ一体型の磁気軸受装置に用いられるモータ用コントローラの一例を示すブロック図である。
【図６】上記タービンユニットを適用した空気サイクル冷凍冷却システムの系統図である。
【図７】この発明の実施形態にかかる他のスラスト板等の要部の断面図である。
【図８】同スラスト板等の要部の断面図である。
【図９】この発明の実施形態にかかるさらに他のスラスト板等の要部の断面図である。
【図１０】同スラスト板の外周面から永久磁石の外周縁部にわたって複数の円周溝を形成し、この円周溝にカーボンファイバを巻回した要部の断面図である。
【図１１】従来例の磁気軸受装置の断面図である。
【符号の説明】
【００６５】
１３…主軸
１３ａ，１３ｂ…スラスト板
１４…スピンドルハウジング
１５，１６…軸受
１７…電磁石
２８…コアレスモータ
２８ａ…モータロータ
２８ａａ…永久磁石
２８ｂ…モータステータ
ＴＢ…鍔部
ＨＢ…補強部材
ＥＭ…円周溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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