(57)【要約】【課題】物品支持体の軽量化を図りながら、物品支持体上での物品の移動を防止できる物品搬送設備を提供する。【解決手段】天井側に配置されている物品支持体が、固定枠体２９に対して物品移載箇所に停止した移動体に対する遠近方向に移動自在に支持され且つ遠近方向に伸びる形状に形成された左右一対の支持アーム部分３５を備えた移動枠体３０に、物品５の底部を載置支持する複数の接続枠体３６を、左右一対の支持アーム部分３５に対して遠近方向に間隔を隔てて位置させて、且つ、その左右一対の支持アーム部分３５を接続する状態で設けて構成され、物品５の底部の被係合部に係合する突起状の複数の物品位置決め部材３９が、遠近方向及びそれに直交する方向に分散する適正相対位置関係に位置規制部材４０にて保持された状態で、複数の接続枠体３６に支持された状態で設けられている。【選択図】図７
2008195471.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
天井側に配置されている移動経路に沿って移動自在な物品搬送用の移動体に、物品を吊り下げ状態で把持自在で且つ昇降自在な把持部が備えられ、
天井側に配置されている物品保管用の物品支持体が、それに対する物品移載箇所に停止した前記移動体の前記把持部との間で物品を授受する物品授受用位置と物品保管用位置とに位置変更自在に設けられた物品搬送設備であって、
前記物品支持体が、
天井側に設置された固定枠体に対して前記物品移載箇所に停止した前記移動体に対する遠近方向に移動自在に支持され且つ前記遠近方向に伸びる形状に形成された左右一対の支持アーム部分を備えた移動枠体に、物品の底部を載置支持する複数の接続枠体を、前記左右一対の支持アーム部分に対して前記遠近方向に間隔を隔てて位置させて、且つ、その左右一対の支持アーム部分を接続する状態で設けて構成され、
前記物品の底部の被係合部に係合する突起状の複数の物品位置決め部材が、前記遠近方向及びそれに直交する方向に分散する適正相対位置関係に位置規制部材にて保持された状態で、前記複数の接続枠体に支持された状態で設けられている物品搬送設備。
【請求項２】
前記物品位置決め部材が、その底部に前記位置規制部材における位置決め用嵌合孔に嵌合する小径で且つ前記位置規制部材の厚さと同幅又はそれよりも小さい突出部を備える状態で形成され、
前記物品位置決め部材を嵌合した前記位置規制部材を前記接続枠体の上部に載置した状態において、前記接続枠体に形成のボルト挿通孔を下方より上方に貫通し且つ前記物品位置決め部材の底部に螺合する締結用ボルトにより前記物品位置決め部材を前記接続枠体に締結するように構成されている請求項１に記載の物品搬送設備。
【請求項３】
前記接続枠体に形成のボルト挿通孔が、前記物品位置決め部材の位置調整のために前記締結用ボルトの径よりも大きく形成されている請求項２に記載の物品搬送設備。
【請求項４】
前記移動体に、前記物品移載箇所に停止した状態において、前記物品支持体を前記物品保管用位置と前記物品授受用位置とに変更操作するための操作手段が設けられている請求項１〜３のいずれか１項に記載の物品搬送設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、天井側に配置されている移動経路に沿って移動自在な物品搬送用の移動体に、物品を吊り下げ状態で把持自在で且つ昇降自在な把持部が備えられ、天井側に配置されている物品保管用の物品支持体が、それに対する物品移載箇所に停止した前記移動体の前記把持部との間で物品を授受する物品授受用位置と物品保管用位置とに位置変更自在に設けられた物品搬送設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
上記のような物品搬送設備は、物品の移載対象となる物品移載用のステーションが床部側に移動経路に沿って複数設けられ、移動体が移動経路に沿って移動して把持部を昇降させることにより、ステーション間での物品搬送を行うものである。
そして、ステーションに搬送する物品を一時的に保管するために物品支持体が設けられている。この物品支持体は、通常、移動経路の側脇等の物品保管用位置に位置しており、移動体の移動等を邪魔しないようにしている。そして、物品支持体に物品を保管する場合や物品支持体にて保管している物品を搬送する場合に、物品支持体を物品保管用位置から物品授受用位置に位置変更させて、移動体の把持部から物品支持体への物品の受け渡し及び物品支持体から把持部への物品の受け取りを行う。
【０００３】
従来の物品搬送設備では、物品支持体が、物品の底部を載置支持する１つの板状枠体と、天井部に対して水平軸心周りで揺動自在に設置されて板状枠体を物品移載箇所に停止した移動体の遠近方向に移動自在に吊り下げ状態で支持するリンク機構と、リンク機構にて板状枠体を前記遠近方向に移動させて物品支持体を物品保管用位置と物品授受用位置とに位置変更操作するための油圧シリンダとを設けている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
そして、物品支持体に物品を保管する場合や物品支持体にて保管している物品を搬送する場合には、移動体を物品移載箇所に停止させた状態で油圧シリンダによりリンク機構を水平軸心周りで揺動させて板状枠体を前記遠近方向に移動させ、物品支持体を物品保管用位置から物品授受用位置へ位置変更操作する。その後、移動体の把持部を昇降させることにより、把持部から板状枠体へ物品を受け渡す又は把持部にて板状枠体から物品を受け取るようにしている。
【０００５】
【特許文献１】特開平１０−４５２１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記従来の物品搬送設備では、物品の底部を載置支持する部材が１つの板状枠体であるので、物品の底部を載置支持する部材の重量が重いものとなっている。したがって、板状枠体を吊り下げ支持するリンク機構を大きな荷重に耐えられるものにする等、構成が大掛かりなものとなり、構成の複雑化を招く虞がある。
また、従来の物品搬送設備では、板状枠体が物品の底部を載置支持しているだけであるので、板状枠体を前記遠近方向に移動させるとき等に、物品が移動してしまうことがある。このように物品が移動すると、物品支持体を物品授受用位置に位置変更させたときに、物品が把持部との間で物品を授受する適正な位置からずれてしまい、把持部にて物品支持体から物品を適正に受け取ることができない虞がある。
【０００７】
本発明は、かかる点に着目してなされたものであり、その目的は、物品支持体の軽量化を図りながら、物品支持体上での物品の移動を防止できる物品搬送設備を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この目的を達成するために、本発明に係る物品搬送設備の第１特徴構成は、天井側に配置されている移動経路に沿って移動自在な物品搬送用の移動体に、物品を吊り下げ状態で把持自在で且つ昇降自在な把持部が備えられ、天井側に配置されている物品保管用の物品支持体が、それに対する物品移載箇所に停止した前記移動体の前記把持部との間で物品を授受する物品授受用位置と物品保管用位置とに位置変更自在に設けられた物品搬送設備であって、
前記物品支持体が、天井側に設置された固定枠体に対して前記物品移載箇所に停止した前記移動体に対する遠近方向に移動自在に支持され且つ前記遠近方向に伸びる形状に形成された左右一対の支持アーム部分を備えた移動枠体に、物品の底部を載置支持する複数の接続枠体を、前記左右一対の支持アーム部分に対して前記遠近方向に間隔を隔てて位置させて、且つ、その左右一対の支持アーム部分を接続する状態で設けて構成され、前記物品の底部の被係合部に係合する突起状の複数の物品位置決め部材が、前記遠近方向及びそれに直交する方向に分散する適正相対位置関係に位置規制部材にて保持された状態で、前記複数の接続枠体に支持された状態で設けられている点にある。
【０００９】
すなわち、移動枠体が、固定枠体に対して前記遠近方向に移動自在に支持され、その移動枠体に備えられた左右一対の支持アーム部分が、前記遠近方向に間隔を隔てて位置された複数の接続枠体にて接続されている。そして、複数の接続枠体にて物品の底部を分担して載置支持する状態で物品の底部を載置支持することができ、移動枠体を固定枠体に対して前記遠近方向に移動させることにより複数の接続枠体にて載置支持された物品を前記遠近方向に移動させることができる。したがって、物品の底部を載置支持する部材が、前記遠近方向に間隔を隔てた複数の接続枠体となり、物品の底部を載置支持する部材の軽量化を図ることができる。
【００１０】
物品の底部を載置支持する複数の接続枠体の夫々には、突起状の複数の物品位置決め部材が設けられており、この物品位置決め部材が物品の底部の被係合部に係合することにより物品を複数の物品位置決め部材にて位置決めした状態で載置支持することができ、物品の移動を防止できる。
そして、物品を複数の物品位置決め部材にて位置決めした状態で載置支持するに当り、物品の位置を適正な位置に位置決めするためには、複数の物品位置決め部材を前記遠近方向及びそれに直交する方向に分散する適正相対位置関係となるように設置する必要がある。
しかしながら、複数の物品位置決め部材を複数の接続枠体に支持させているので、複数の接続枠体の相対位置関係を考慮しながら、複数の物品位置決め部材の相対位置関係を調整しなければならず、複数の物品位置決め部材の設置作業が難しいものとなる。そして、物品位置決め部材の設置作業は、天井側の高い箇所にて行わなければならず、物品位置決め部材の設置作業の簡素化が望まれる。
そこで、複数の物品位置決め部材を、前記遠近方向及びそれに直交する方向に分散する適正相対位置関係に位置規制部材にて保持された状態で、複数の接続枠体に支持された状態で設けることにより、単に、複数の物品位置決め部材を適正相対位置関係に保持する位置規制部材を設置するだけで、複数の物品位置決め部材を適正相対位置関係に設置できる。
【００１１】
以上の如く、物品支持体の軽量化を図りながら、物品支持体上での物品の移動を防止でき、しかも、複数の物品位置決め部材の設置作業の簡素化を図ることができる物品搬送設備を提供できるに至った。
【００１２】
本発明に係る物品搬送設備の第２特徴構成は、前記物品位置決め部材が、その底部に前記位置規制部材における位置決め用嵌合孔に嵌合する小径で且つ前記位置規制部材の厚さと同幅又はそれよりも小さい突出部を備える状態で形成され、前記物品位置決め部材を嵌合した前記位置規制部材を前記接続枠体の上部に載置した状態において、前記接続枠体に形成のボルト挿通孔を下方より上方に貫通し且つ前記物品位置決め部材の底部に螺合する締結用ボルトにより前記物品位置決め部材を前記接続枠体に締結するように構成されている点にある。
【００１３】
すなわち、物品位置決め部材は、その底部に形成された突出部が位置規制部材における位置決め用嵌合孔に嵌合することにより位置決め規制部材に嵌合する。物品位置決め部材が嵌合した位置規制部材を接続枠体の上部に載置することにより、締結用ボルトが接続枠体に形成のボルト挿通孔を下方より上方に貫通できる。そして、締結用ボルトを下方より上方に貫通して物品位置決め部材の底部に螺合することにより、物品位置決め部材と接続枠体との間に位置規制部材を挟み込む状態で物品位置決め部材を接続枠体に締結できる。
【００１４】
例えば、接続枠体に位置規制部材をボルト固定し、その接続枠体にボルト固定された位置規制部材に物品位置決め部材をボルト固定することにより、位置規制部材及び複数の物品位置決め部材を設置することが考えられる。しかしながら、この場合には、接続枠体に位置規制部材をボルト固定する作業と位置規制部材に物品位置決め部材をボルト固定する作業とを行わなければならず、設置作業の複雑化を招くことになる。
それに対して、物品位置決め部材が嵌合した位置規制部材を接続枠体の上部に載置させて、締結用ボルトにて物品位置決め部材を接続枠体に締結するだけで、位置規制部材及び複数の物品位置決め部材を設置することができるので、設置作業の簡素化を図ることができる。
【００１５】
本発明に係る物品搬送設備の第３特徴構成は、前記接続枠体に形成のボルト挿通孔が、前記物品位置決め部材の位置調整のために前記締結用ボルトの径よりも大きく形成されている点にある。
【００１６】
すなわち、締結用ボルトの径よりも大きいボルト挿通孔の開口範囲で物品位置決め部材を位置調整することができるので、締結用ボルトにて物品位置決め部材を接続枠体に締結する際に、複数の物品位置決め部材の位置調整を行うことができる。
したがって、複数の接続枠体の設置位置が適正な位置から多少ずれているときでも、締結用ボルトにて物品位置決め部材を接続枠体に締結する際に、複数の物品位置決め部材の位置調整を行うことにより、複数の物品位置決め部材を適正相対位置関係とすることができ、複数の物品位置決め部材を適正相対位置関係に的確に設置できる。
【００１７】
本発明に係る物品搬送設備の第４特徴構成は、前記移動体に、前記物品移載箇所に停止した状態において、前記物品支持体を前記物品保管用位置と前記物品授受用位置とに変更操作するための操作手段が設けられている点にある。
【００１８】
すなわち、物品支持体を物品保管用位置と物品授受用位置とに変更操作するための操作手段を移動体に設けているので、物品支持体に物品保管用位置と物品授受用位置とに変更操作するための油圧シリンダ等を設ける必要がなく、物品支持体の軽量化を図ることができる。
そして、物品支持体に物品を保管する場合や物品支持体にて保管している物品を移動体にて搬送する場合には、移動体を物品移載箇所に停止させた状態で、操作手段が物品支持体を物品保管用位置から物品授受用位置へ変更操作することができる。その後、移動体の把持部から物品支持体への物品の受け渡し又は物品支持体から移動体の把持部への物品の受け取りを行うと、操作手段が物品支持体を物品授受用位置から物品保管用位置へ変更操作することができる。
このように、移動体に設けた操作手段によって物品支持体を物品授受用位置と物品保管用位置とに適切に位置変更させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
本発明に係る物品搬送設備の実施形態を図面に基づいて説明する。
この物品搬送設備は、図１及び図２に示すように、複数の物品処理部１を経由する状態で移動経路としての案内レール２が設置され、この案内レール２に沿って移動自在な物品搬送用の移動体としての移動車３が設けられている。そして、半導体基板を収納した容器５を物品として、移動車３が複数の物品処理部１の間で容器５を搬送するように構成されている。前記物品処理部１では、半導体基板の製造途中での半製品等に対して所定の処理を行うように構成されている。
【００２０】
前記移動車３は、容器５を吊り下げ状態で把持する把持部４を昇降自在に備えている。
前記把持部４は、移動車３が停止した状態において、ワイヤ６を巻き取り又は巻き出すことにより、移動車３に近接位置させる上昇位置と移動車３よりも下方側に設置された物品移載用のステーション７との間で物品移載を行う下降位置とに昇降自在に設けられている。
ちなみに、図２では、把持部４が上昇位置から下降位置に下降する場合を上方側に示し、把持部４を下降位置から上昇位置に上昇させる場合を下方側に示している。
【００２１】
前記ステーション７は、容器５を載置支持する載置台にて構成されている。そして、ステーション７は、物品処理部１にて所定の処理を行う容器５を移動車３から受け取る又は物品処理部１にて所定の処理を行った容器５を移動車３に受け渡すためのものであり、複数の物品処理部１の夫々に対応して配置されている。
そして、移動車３は、把持部４を上昇位置に位置させた状態で案内レール２に沿って移動し、複数のステーション７のうち、移載対象のステーション７に対応する停止位置に停止した状態で把持部４を上昇位置と下降位置との間で昇降させることにより、ステーション７との間で容器５の授受を行うように構成されている。
【００２２】
前記案内レール２は、図２〜図４に示すように、案内レール用ブラケット８により天井部に固定状態で設置されている。前記移動車３は、案内レール２の内方空間部に位置する上方車体９と案内レール２の下方に位置する下方車体１２とを前後の連結扞１０，１１にて連結して構成されている。
【００２３】
前記上方車体９は、案内レール２の内方空間部に設けられるマグネット１３に近接対向させる状態で一次コイル１４を備えている。そして、上方車体９は、マグネット１３と一次コイル１４とからなるリニアモータにより推進力を得るリニアモータ式であり、移動車３は、この推進力によって案内レール２に沿って移動するように構成されている。
前記案内レール２の内方空間部には、上方車体９に備えた走行輪１５に対する走行案内面１６と、上方車体９に備えた振止輪１７に対する振止案内面１８とが形成されている。
また、案内レール２には給電線１９が設けられ、上方車体９には受電コイル２０が設けられ、交流電流の通電により給電線１９に磁界を発生させ、この磁界により移動車３側での必要電力を受電コイル２０に発生させて、無接触状態で給電を行うように構成されている。
【００２４】
この実施形態では、上方車体９を駆動させる方式として、リニアモータにより推進力を得て駆動させるリニアモータ式を例示しているが、例えば、走行輪１５を回転駆動する電動モータを設け、この電動モータにて走行輪１５を回転駆動させることにより上方車体９を駆動させる方式を用いることもできる。
【００２５】
前記下方車体１２は、移動車３の前後方向に延びる前後枠体２１、前後枠体２１の前端箇所及び後端箇所から下方側に延びる前後一対の縦枠体２２から構成されている。そして、下方車体１２は、側面視において、下方側が開放されたコ字状に形成され、前後方向の中央部に把持部４を配置している。
【００２６】
前記把持部４は、上方車体９に対して昇降自在な昇降体２３に設けられ、この昇降体２３は、前後枠体２１に設けられた昇降操作機構２４によって昇降操作自在に支持されている。
前記昇降操作機構２４は、ドラム駆動用モータ２５により回動自在な回転ドラム２６に４本のワイヤ６を巻き掛けて構成されている。そして、昇降操作機構２４は、回転ドラム２６を正逆回転させて４本のワイヤ６を同時に巻き取り及び巻き出しすることによって、昇降体２３を略水平姿勢に維持しながら昇降操作するように構成されている。
【００２７】
この実施形態では、回転ドラム２６にワイヤ６を巻き掛けた例を示しているが、例えば、回転ドラム２６にベルトを巻き掛けて昇降体２３を昇降操作することもでき、ワイヤ６に限らず、ベルトを用いることもできる。
【００２８】
前記把持部４には、容器５のフランジ５ａを把持する一対の把持具４ａが設けられている。そして、一対の把持具４ａが把持動作用モータ２７の正逆回転により互いに近づく方向に揺動してフランジ５ａを把持する把持姿勢（図３中実線）と、一対の把持具４ａが互いに離れる方向に揺動して把持を解除する解除姿勢（図３中点線）とに切り換え自在に構成されている。
また、把持部４は、縦軸芯周りで旋回自在に昇降体２３に設けられ、図示は省略するが、把持部４を旋回操作する旋回用モータが設けられている。
【００２９】
前記ステーション７に搬送する容器５を一時的に保管するために、案内レール２の側脇には、図１に示すように、案内レール２に対して左右両側に物品保管用の物品支持体２８が設けられている。そして、物品支持体２８は、案内レール２に沿って並ぶ状態で複数設けられている。
【００３０】
以下、図５〜図１０に基づいて、物品支持体２８について説明する。
複数の物品支持体２８の夫々は、それに対する物品移載箇所に停止した移動車３の把持部４からの容器５の受け取り及び把持部４への容器５の受け渡しを行う物品授受用位置（図８及び図１０参照）と物品保管用位置（図７及び図９参照）とに位置変更自在に設けられている。
以下、物品移載箇所に停止した移動車３の前後方向を「前後方向」と略称し、且つ、物品移載箇所に停止した移動車３に対する遠近方向を「遠近方向」と略称して説明する。
【００３１】
前記物品移載箇所は、複数の物品支持体２８の夫々に対応して定められている。そして、前後方向において物品支持体２８の幅は移動車３における前後一対の縦枠体２２の間隔よりも小さくなるように形成されている。したがって、物品移載箇所に移動車３が停止した状態において、移動車３における前後一対の縦枠体２２の間に物品支持体２８を挿脱できるように構成されている。
【００３２】
前記物品保管用位置は、物品支持体２８が物品保管用位置に位置するときに、自己及び自己が載置支持する容器５が移動車３の移動や把持部４の昇降の邪魔にならないように、案内レール２の存在箇所から遠近方向に外れた案内レール２の側脇に定められている。
前記物品授受用位置は、物品支持体２８が物品授受用位置に位置するときに、物品移載箇所に停止した移動車３において上昇位置に近接する位置に位置する把持部４との間で容器５を授受できるように、物品移載箇所に停止した移動車３における把持部４と上下方向に重複する位置に定められている。
【００３３】
前記物品支持体２８は、図５及び図６に示すように、物品保管用位置に対応して天井側に設置された固定枠体２９と、その固定枠体２９に対して遠近方向に移動自在に支持された移動枠体３０とから構成されている。
前記固定枠体２９は、遠近方向に長尺状に形成された一対の側面枠部２９ａから構成されている。一対の側面枠部２９ａは、遠近方向に間隔を隔てて配設された枠体用第１連結体３１ａと枠体用第２連結体３１ｂとにより連結されている。枠体用第１連結体３１ａは、遠近方向において物品移載箇所に停止した移動車３に接近する側を連結しており、枠体用第２連結体３１ｂは、遠近方向において物品移載箇所に停止した移動車３から離れる側を連結している。
【００３４】
そして、固定枠体２９は、一対の側面枠部２９ａの夫々から上方に向って延設された複数の吊り下げ用延設体３２の上端部を取り付け金具により２本の吊り下げ用支持体３３に固定して吊り下げ支持されている。前記吊り下げ用支持体３３は、天井部からの吊りボルト３４にて吊り下げ支持されており、案内レール２と平行になるように案内レール２の長手方向に沿って配設されている。
前記固定枠体２９を天井側に吊り下げ支持する構成は、上述の構成に限らず、適宜変更が可能である。例えば、固定枠体２９の上端部にボルト取り付け用溝部を設け、このボルト取り付け用溝部に吊り下げ支持体の下端部をボルト固定し、吊り下げ支持体の上端部を天井部にボルト固定することにより、固定枠体２９を天井側に吊り下げ支持することができる。
【００３５】
このように、複数の物品支持体２８における固定枠体２９の夫々を各別に天井側に吊り下げ支持することにより、物品支持体２８を１つずつ取り付け又は取り外しすることができ、物品支持体２８の増設又は取り外しを容易に行うことができるようにしている。
【００３６】
前記移動枠体３０は、遠近方向に伸びる形状に形成された左右一対の支持アーム部分としての支持アーム体３５と、その左右一対の支持アーム体３５に対して遠近方向に間隔を隔てて位置させて且つその左右一対の支持アーム体３５を接続する状態で設けられた複数の接続枠体３６とを備えて構成されている。
そして、移動枠体３０は、複数の接続枠体３６にて容器５の底部を載置支持するように構成されており、複数の接続枠体３６が、容器５の底部を分担して載置支持するように構成されている。
【００３７】
前記支持アーム体３５は、遠近方向に沿って延びる下端部３５ａ、遠近方向において下端部３５ａの移動車３から離れる側の端部から上方に延びる中間部３５ｂ、その中間部３５ｂの上端から移動車３から離れる側に遠近方向に沿って延びる上端部３５ｃから形成されている。
前記支持アーム体３５において下端部３５ａ及び中間部３５ｂには、その長手方向に間隔を隔てて複数の孔部が形成されており、支持アーム体３５の軽量化が図られている。
【００３８】
前記接続枠体３６は、その断面形状が中央部を上方側に突出させた凸状に形成されており、凸状の平らな部分にて容器５の底部を載置支持する。そして、接続枠体３６は、支持アーム体３５において内側に折り曲げた部分に載置させた状態において、両端部がボルトナットにて支持アーム体３５に固定されている。
前記接続枠体３６は、物品移載箇所に停止した移動車３に接近する側に位置する細長状の第１接続枠体３６ａと、物品移載箇所に停止した移動車３から離間する側に位置する細長状の第２接続枠体３６ｂとから構成されている。そして、第１接続枠体３６ａには、物品移載箇所に停止した移動車３に接近する側に伸びて上方側に起立する起立壁部３７が設けられている。この起立壁部３７は、物品移載箇所に停止した移動車３に接近する側への容器５の移動を規制するように構成されている。
【００３９】
前記左右一対の支持アーム体３５は、接続枠体３６だけでなく、複数の連結用枠体４５によっても接続されている。前記連結用枠体４５は、左右一対の支持アーム体３５の下端部３５ａにおいて物品移載箇所に停止した移動車３から離間する側の端部を接続する第１連結用枠体４５ａと、左右一対の支持アーム体３５の中間部３５ｂを接続する第２連結用枠体４５ｂと、左右一対の支持アーム体３５の上端部３５ｃを接続する第３連結用枠体４５ｃとから構成されている。
【００４０】
前記物品支持体２８を物品保管用位置（図７及び図９参照）と物品授受用位置（図８及び図１０参照）とに位置変更自在に支持するスライド案内機構４６が設けられている。このスライド案内機構４６は、固定枠体２９に対して遠近方向に移動枠体３０をスライド移動自在に支持するように構成されている。
【００４１】
前記スライド案内機構４６は、固定枠体２９に形成されたレール部４７と支持アーム体３５に設けられた複数のガイドローラ４８とから構成されている。そして、スライド案内機構４６は、レール部４７にてガイドローラ４８を案内支持することにより、固定枠体２９に対して物品保管用位置と物品授受用位置とに移動枠体３０をスライド案内移動自在に支持するように構成されている。
前記レール部４７は、一対の側面枠部２９ａの夫々に設けられている。前記ガイドローラ４８は、支持アーム体３５における上端部３５ｃに設けられている。前記ガイドローラ４８は、レール部４７の上面部にて案内される第１ガイドローラ４８ａと、レール部４７の下面部にて案内される第２ガイドローラ４８ｂと、レール部４７の側面部にて案内される第３ガイドローラ４８ｃとの３種類から構成されている。そして、第１ガイドローラ４８ａと第２ガイドローラ４８ｂとが、レール部４７を上下に挟み込む状態で遠近方向に間隔を隔てて２つずつ設けられ、第３ガイドローラ４８ｃも、遠近方向に間隔を隔てて２つ設けられている。
【００４２】
また、固定枠体２９には、遠近方向において物品移載箇所に停止した移動車３に接近する接近位置（図７及び図９参照）と物品移載箇所に停止した移動車３から離間する離間位置（図８及び図１０参照）とに移動自在に支持された被操作体４９が設けられている。そして、被操作体４９は、接近位置では物品支持体２８を物品保管用位置に操作し、且つ、離間位置では物品支持体２８を物品授受用位置に操作するように、物品支持体２８に連係されている。
【００４３】
前記被操作体４９は、その長手方向の中央部が一方の側面枠部２９ａの上部に設けられた板状の基台５０に枢支連結されて、その連結箇所である第１揺動軸心Ｐ１周りに揺動自在に設けられている。そして、被操作体４９は、接近位置に位置する状態において、第１揺動軸心Ｐ１から移動車３に接近する側に延びる第１被操作部分４９ａと第１揺動軸心Ｐ１から移動車３から離れる側に延びる第２被操作部分４９ｂとを上下に段差をつけて一体的に形成されている。
【００４４】
前記被操作体４９は、第１揺動軸心Ｐ１周りでの揺動により接近位置と離間位置とに切換自在で且つ接近位置（図７及び図９参照）においては第１被操作部分４９ａが第１揺動軸心Ｐ１よりも物品移載箇所に停止した移動車３に接近する姿勢となるように設けられている。そして、被操作体４９の第１被操作部分４９ａに、被操作体４９が接近位置に位置する状態において、遠近方向に対して交差する方向に沿って第１揺動軸心Ｐ１側に延びる溝部５１が設けられている。この溝部５１には、物品移載箇所に停止した移動車３に接近する側の先端を遠近方向に沿って開口させた形状に形成されている。
【００４５】
そして、被操作体４９が接近位置に位置すると、図７及び図９に示すように、物品支持体２８を物品保管用位置に位置させ、且つ、被操作体４９が離間位置に位置すると、図８及び図１０に示すように、物品支持体２８を物品授受用位置に位置させるように、被操作体４９の動きと物品支持体２８の動きとを連係させる連係機構５２が設けられている。
【００４６】
前記連係機構５２は、上下軸心周りに揺動自在な第１リンクアーム５３、第２リンクアーム５４及び第３リンクアーム５５の３つのリンクアームから構成されている。第１リンクアーム５３は、一端部が被操作体４９の第２操作部分４９ｂの一端部に枢支連結され且つ他端部が第２リンクアーム５４の長手方向の途中部分に枢支連結されている。第２リンクアーム５４は、一端部が基台５０に枢支連結され且つ他端部が第３リンクアーム５５の一端部に枢支連結されている。第３リンクアーム５５は、他端部が第３連結用枠体４５ｃに立設された連係用被操作体５６に枢支連結されている。
【００４７】
前記移動車３には、物品支持体２８を物品保管用位置と物品授受用位置とに変更操作するための操作手段Ｓが設けられている。
前記操作手段Ｓは、移動車３に固定されて遠近方向に長尺状のベース５７と、そのベース５７に対して遠近方向に移動自在に設けられた長尺状の操作体５８と、その操作体５８の先端部の下面側に設けられた係合ローラ５９とを備えて構成されている。そして、操作手段Ｓは、図示を省略したアクチュエータの作動によりベース５７に対して操作体５８を出退させて、係合ローラ５９を遠近方向に移動させる突出作動及び引退作動を行うように構成されている。
ちなみに、移動車３には、移動車３の走行方向において右側に位置する物品支持体２８を変更操作するための操作手段Ｓと、移動車３の走行方向において左側に位置する物品支持体２８を変更操作するための操作手段Ｓとが設けられている。
【００４８】
前記係合ローラ５９は、前後方向において被操作体４９の溝部５１の幅と同じ又はその幅よりも小さい直径に形成されており、係合ローラ５９が、遠近方向での移動により被操作体４９の溝部５１に係脱自在に構成されている。
そして、操作手段Ｓが、突出作動により係合ローラ５９を溝部５１に係合させて被操作体４９を接近位置から離間位置に押し操作し、且つ、引退作動により係合ローラ５９を溝部５１に係合させて被操作体４９を離間位置から接近位置に引き操作し、その後係合ローラ５９を溝部５１から離脱させる押し引き式に構成されている。
【００４９】
前記操作手段Ｓが突出作動により係合ローラ５９にて被操作体４９を接近位置から離間位置に操作すると、被操作体４９が離間位置に位置することにより物品支持体２８を物品授受用位置に操作して、物品支持体２８を物品保管用位置から物品授受用位置に位置変更させることになる。
また、操作手段Ｓが引退作動により係合ローラ５９にて被操作体４９を離間位置から接近位置に操作すると、被操作体４９が接近位置に位置することにより物品支持体２８を物品保管用位置に操作して、物品支持体２８を物品授受用位置から物品保管用位置に位置変更させることになる。
【００５０】
前記物品支持体２８を物品保管用位置と物品授受用位置とに位置変更させるときの動きについて説明する。
図７及び図９に示すように、被操作体４９が接近位置に位置すると、溝部５１の開口部分が遠近方向に開口しているので、操作手段Ｓが突出作動を行うことにより、係合ローラ５９が遠近方向において移動車３から突出する側に移動して溝部５１の開口から溝部５１に嵌り込んで溝部５１に係合する。そして、係合ローラ５９が溝部５１に係合した状態で遠近方向において移動車３から突出する側に移動することにより、係合ローラ５９が溝部５１の側壁部を押圧しながら溝部５１を移動して被操作体４９を接近位置から離間位置に押し操作する。そして、被操作体４９が接近位置から離間位置に揺動すると、連係機構５２における第１リンクアーム５３、第２リンクアーム５４、及び、第３リンクアーム５５が順次揺動して連係用被操作体５６を移動車３に接近する側に移動させることになる。したがって、連係用被操作体５６による移動車３に接近する側への移動によってスライド案内機構４６が移動枠体３０をスライド案内移動自在に支持しながら、図８及び図１０に示すように、物品支持体２８が物品保管用位置から物品授受用位置に位置変更される。
【００５１】
図８及び図１０に示すように、被操作体４９が離間位置に位置するときに、操作手段Ｓが引退作動を行うと、係合ローラ５９が溝部５１に係合した状態で移動車３に接近する側に移動することになり、係合ローラ５９が溝部５１の側壁部を押圧しながら溝部５１を移動して被操作体４９を離間位置から接近位置に引き操作する。そして、被操作体４９が離間位置から接近位置に揺動すると、連係機構５２における第１リンクアーム５３、第２リンクアーム５４、及び、第３リンクアーム５５が順次揺動して連係用被操作体５６を移動車３から離れる側に移動させることになる。したがって、連係用被操作体５６による移動車３から離れる側への移動によってスライド案内機構４６が移動枠体３０をスライド案内移動自在に支持しながら、物品支持体２８が物品授受用位置から物品保管用位置に位置変更される。そして、図７及び図９に示すように、被操作体４９が接近位置に位置すると、溝部５１の開口部分が遠近方向に開口しているので、係合ローラ５９が移動車３に接近する側に移動することにより、係合ローラ５９が溝部５１を離脱して移動車３に引退する。
【００５２】
以下、物品支持体２８において、容器５の底部を載置支持する構成について説明を加える。
前記物品支持体２８は、遠近方向に間隔を隔てて位置させた２つの接続枠体３６にて容器５の底部を分担して載置支持するように構成されており、物品支持体２８の軽量化を図っている。そして、２つの接続枠体３６は、遠近方向において容器５の底部の端部側部分を載置支持するように配設されており、容器５をバランスよく載置支持している。
前記複数の接続枠体３６には、図１１に示すように、容器５の底部の被係合部３８に係合する突起状の複数の物品位置決め部材３９が支持されている。複数の物品位置決め部材３９は、遠近方向及びそれに直交する前後方向に分散する適正相対位置関係に位置規制部材４０にて保持された状態で設けられている。
【００５３】
そして、第１接続枠体３６ａには前後方向に間隔を隔てて２つの物品位置決め部材３９が支持され、且つ、第２接続枠体３６ｂには１つの物品位置決め部材３９が支持されている。第２接続枠体３６ｂにおける物品位置決め部材３９は、第２接続枠体３６ｂの長手方向において略中央部に位置するように設置され、且つ、第１接続枠体３６ａにおける２つの物品位置決め部材３９は、第２接続枠体３６ｂにおける物品位置決め部材３９の設置位置を中心として前後方向に設定距離だけ間隔を隔てるように設置されている。前記位置規制部材４０は、平面視で三角形状に形成されており、その各角部に物品位置決め部材３９が保持されている。
前記適正相対位置関係は、容器５の底部に形成されている複数の被係合部３８の相対位置関係に対応しているものであり、複数の物品位置決め部材３９が被係合部３８の夫々に係合することにより容器５を適正な位置に位置決めできるように定められている。
【００５４】
前記物品位置決め部材３９は、図１２及び図１３に示すように、突起状のピンにて構成されている。そして、物品位置決め部材３９は、その底部に位置規制部材４０における位置決め用嵌合孔４１に嵌合する小径で且つ位置規制部材４０の厚さと同幅又はそれよりも小さい突出部３９ａを備える状態で形成されている。
前記物品位置決め部材３９を嵌合した位置規制部材４０を接続枠体３６の上部に載置した状態において、接続枠体３６に形成のボルト挿通孔４２を下方より上方に貫通し且つ物品位置決め部材３９の底部に螺合する締結用ボルト４３により物品位置決め部材３９を接続枠体３６に締結するように構成されている。
前記位置決め用嵌合孔４１は、その上部側が大径で且つその下部側が小径となっている段付きの嵌合孔に形成されており、物品位置決め部材３９の突出部３９ａが位置決め用嵌合孔４１の大径部分に嵌合するように構成されている。
前記接続枠体３６に形成のボルト挿通孔４２が、物品位置決め部材３９の位置調整のために締結用ボルト４３の径よりも大きく形成されている。そして、ボルト挿通孔４２は、前後方向に細長状に形成されており、物品位置決め部材３９を前後方向に位置調整可能に構成されている。
【００５５】
３つの物品位置決め部材３９を設置するときには、まず、３つの物品位置決め部材３９の夫々を位置規制部材４０における位置決め用嵌合孔４１の夫々に嵌合させて、３つの物品位置決め部材３９の夫々を接続枠体３６におけるボルト挿通孔４２の夫々に位置合わせした状態で接続枠体３６上に位置規制部材４０を載置させる。そして、接続枠体３６におけるボルト挿通孔４２の夫々において、締結用ボルト４３を下方より上方にボルト挿通孔４２を貫通させて物品位置決め部材３９の底部に座金４４を介して螺合させる。
このようにして、物品位置決め部材３９と接続枠体３６との間に位置規制部材４０を挟み込む状態で物品位置決め部材３９を接続枠体３６に締結するようにしている。このとき、３つの物品位置決め部材３９が前後方向において適正相対位置関係からずれていると、ボルト挿通孔４２での締結位置を調整することにより物品位置決め部材３９の位置調整を行うようにしている。
ちなみに、３つの物品位置決め部材３９が遠近方向において適正相対位置関係となるように、遠近方向における第１接続枠体３６ａの設置位置及び第２接続枠体３６ｂの設置位置が調整されている。
【００５６】
前記移動車３には、移動車３の動作を制御する台車用制御部が設けられている。そして、台車用制御部は、物品搬送設備全体の動作を管理する管理用コンピュータからの指令、及び、移動車３に設けられた各種センサの検出情報に基づいて、移動車３の移動及び把持部４の昇降作動を制御するとともに、把持動作用モータ２７及び操作手段Ｓの作動を制御するように構成されている。
【００５７】
例えば、管理用コンピュータから、複数のステーション７のうちから搬送元及び搬送先のステーション７を特定した状態で搬送元のステーション７から搬送先のステーション７に容器５を搬送する搬送指令が指令された場合には、台車用制御部が、搬送元のステーション７から容器５を受け取り、搬送先のステーション７に容器５を卸すべく、移動車３の動作を制御するように構成されている。
【００５８】
前記搬送元のステーション７から容器５を受け取る場合には、まず、台車用制御部は、搬送元のステーション７に対応する停止位置に移動車３を移動させるべく、移動車３の移動を制御する。次に、台車用制御部は、搬送元のステーション７に対応する停止位置に移動車３を停止させた状態で、上昇位置から下降位置に把持部４を下降させるべく、把持部４の昇降作動を制御する。そして、台車用制御部は、把持部４が下降位置に位置すると、把持動作用モータ２７を作動させて一対の把持具４ａを把持姿勢に切り換え、容器５のフランジ５ａを一対の把持具４ａにて把持して容器５を受け取る。その後、台車用制御部は、下降位置から上昇位置に把持部４を上昇させるべく、把持部４の昇降作動を制御したのち、搬送先のステーション７に対応する停止位置に移動車３を移動させるべく、移動車３の移動を制御する。
そして、台車用制御部は、搬送先のステーション７に対応する停止位置に移動車３が停止すると、搬送元のステーション７から容器５を受け取る場合と同様に、把持部４の昇降作動や把持動作用モータ２７の作動を制御することにより、搬送先のステーション７に容器５を卸すように構成されている。
【００５９】
また、管理用コンピュータから、複数の物品支持体２８のうち移載対象の物品支持体２８が特定された状態で物品支持体２８に容器５を保管する保管指令が指令された場合について説明する。
前記台車用制御部が、まず、移載対象の物品支持体２８に対応する物品移載箇所に移動車３を移動させるべく、移動車３の移動を制御する。次に、台車用制御部は、移載対象の物品支持体２８に対応する物品移載箇所に移動車３を停止させた状態で、操作手段Ｓを突出作動させる。そして、操作手段Ｓが突出作動を行うことにより、物品支持体２８を物品保管用位置から物品授受用位置に位置変更させる。そして、台車用制御部は、上昇位置からそれに近接する位置に把持部４を下降させるべく、把持部４の昇降作動を制御したのち、把持動作用モータ２７を作動させて一対の把持具４ａを解除姿勢に切り換え、把持部４から物品授受用位置に位置する物品支持体２８に容器５を卸す。その後、台車用制御部は、把持部４を上昇位置まで上昇させるべく、把持部４の昇降作動を制御したのち、操作手段Ｓを引退作動させる。そして、操作手段Ｓが引退作動を行うことにより、物品支持体２８を物品授受用位置から物品保管用位置に位置変更させる。
【００６０】
前記管理用コンピュータから、複数の物品支持体２８のうち移載対象の物品支持体２８が特定された状態で物品支持体２８にて保管している容器５を取り出す取出指令が指令された場合について説明する。
前記台車用制御部は、保管指令が指令された場合と同様に、移動車３の移動を制御することにより、移載対象の物品支持体２８に対応する物品移載箇所に移動車３を停止させる。そして、台車用制御部は、操作手段Ｓを突出作動させることにより、物品支持体２８を物品保管用位置から物品授受用位置に位置変更させる。その後、台車用制御部は、上昇位置からそれに近接する位置へ把持部４を下降させるべく、把持部４の昇降作動を制御したのち、把持動作用モータ２７を作動させて一対の把持具４ａを把持姿勢に切り換え、物品支持体２８から把持部４に容器５を受け取る。そして、台車用制御部は、上昇位置まで把持部４を上昇させるべく、把持部４の昇降作動を制御したのち、操作手段Ｓを引退作動させる。そして、操作手段Ｓが引退作動を行うことにより、物品支持体２８を物品授受用位置から物品保管用位置に位置変更させる。
【００６１】
〔別実施形態〕
（１）上記実施形態では、位置規制部材４０を三角形状に形成しているが、位置規制部材４０の形状は適宜変更が可能である。
例えば、反射体６０を位置規制部材４０に設けるために、図１４に示すように、位置規制部材４０を三角形から変形した形状とすることもできる。この場合、把持部４に設けた検出センサにて位置規制部材４０に設けた反射体６０を検出することにより、物品支持体２８において容器５の載置位置を検出することができる。
【００６２】
（２）上記実施形態では、物品位置決め部材３９及び位置規制部材４０を設置するために、物品位置決め部材３９が嵌合した位置規制部材４０を接続枠体３６の上部に載置させて、締結用ボルト４３にて物品位置決め部材３９を接続枠体３６に締結するようにしているが、物品位置決め部材３９をどのように設置するかは適宜変更が可能である。
例えば、接続枠体３６に位置規制部材４０をボルト固定し、その接続枠体３６にボルト固定された位置規制部材４０に物品位置決め部材３９をボルト固定することもできる。
【００６３】
（３）上記実施形態では、接続枠体３６を２つ設けているが、接続枠体３６の数については適宜変更が可能である。また、物品位置決め部材３９の数についても適宜変更が可能である。
【００６４】
（４）上記実施形態では、物品支持体２８が、物品授受用位置において、上昇位置に近接する位置に位置する把持部４との間で容器５を授受するように設けられているが、例えば、物品授受用位置において、上昇位置に位置する把持部４との間で容器５を授受するように物品支持体２９を設けることもできる。
また、物品授受用位置において、物品支持体２８が把持部４との間で容器５を授受する位置については、上昇位置に近接する位置または上昇位置に限らず、上昇位置よりも設定高さだけ下降した位置であってもよい。この場合には、物品支持体２８を物品授受用位置に位置させた状態で、把持部４を上昇位置から設定高さだけ下降させることにより、物品支持体２８と把持部４との間での容器５の授受を行うことができることになる。
【００６５】
（５）上記実施形態では、物品支持体２８を案内レール２に沿って並ぶ状態で複数設けているが、物品支持体２８を設置する数については適宜変更が可能である。また、物品支持体２８の設置位置についても、案内レール２に対して左右両側に設けているが、案内レール２の片側のみに設置することも可能である。
【００６６】
（６）上記実施形態では、移動車３に、移動車３の走行方向において右側に位置する物品支持体２８を変更操作するための操作手段Ｓと、移動車３の走行方向において左側に位置する物品支持体２８を変更操作するための操作手段Ｓとの２つの操作手段Ｓを設けているが、例えば、操作手段Ｓが、移動車３の走行方向に対して右側及び左側の両側に係合ローラ５９を出退自在に備えることにより、移動車３に１つの操作手段Ｓを設けて実施することもできる。
【００６７】
（７）上記実施形態では、物品として、半導体基板を収納した容器５を搬送する物品搬送設備を例示したが、搬送する物品は適宜変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】物品搬送設備の平面図
【図２】移動車とステーションとの側面図
【図３】移動車の側面図
【図４】移動車の縦断正面図
【図５】物品支持体の斜視図
【図６】物品支持体の分解斜視図
【図７】物品保管用位置における物品支持体の斜視図
【図８】物品授受用位置における物品支持体の斜視図
【図９】物品保管用位置における物品支持体の平面図
【図１０】物品授受用位置における物品支持体の平面図
【図１１】物品支持体の一部を示す斜視図
【図１２】複数の接続枠体を示す斜視図
【図１３】接続枠体、位置規制部材、物品位置決め部材の締結状態を示す断面図
【図１４】別実施形態における位置規制部材を示す図
【符号の説明】
【００６９】
２          移動経路
３          移動体
４          把持部
５          物品
２８        物品支持体
２９        固定枠体
３０        移動枠体
３５        支持アーム部分
３６        接続枠体
３８        被係合部
３９        物品位置決め部材
３９ａ      突出部
４０        位置規制部材
４１        位置決め用嵌合孔
４２        ボルト挿通孔
４４        締結用ボルト
Ｓ          操作手段
【図１】
2008195471.tif 000003
【図２】
2008195471.tif 000004
【図３】
2008195471.tif 000005
【図４】
2008195471.tif 000006
【図５】
2008195471.tif 000007
【図６】
2008195471.tif 000008
【図７】
2008195471.tif 000009
【図８】
2008195471.tif 000010
【図９】
2008195471.tif 000011
【図１０】
2008195471.tif 000012
【図１１】
2008195471.tif 000013
【図１２】
2008195471.tif 000014
【図１３】
2008195471.tif 000015
【図１４】
2008195471.tif 000016