(57)【要約】【課題】高圧のガスに対しても円滑に開閉作動ができ、耐久性に優れるうえ、ダイヤフラムを構成する金属板とこれを貫通する軸部とを保密状に溶接できるようにする。【解決手段】閉止弁装着孔内に、推進ネジ部材と中間伝動具とダイヤフラム(18)と閉止部材(19)とを外側から順に装着し、閉止部材(19)を閉止弁室に収容する。ダイヤフラム(18)に挿通孔(29)を透設する。閉止部材(19)から延設した軸部(25)を挿通孔(29)に挿通し、中間伝動具に固定する。このダイヤフラム(18)で閉止弁室を中間伝動具収容空間から保密状に区画する。互いに重ね合わせた複数の金属板(26)でダイヤフラム(18)を構成する。互いに隣接する金属板(26)の対向面に潤滑層(Ｒ)を形成する。２枚の金属板(26ａ)は、挿通孔(29)の内周縁を軸部(25)に保密状に溶接する。溶接した金属板(26ａ)は、潤滑層(Ｒ)が銀メッキ層(31)である。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハウジング(２)に形成した閉止弁装着孔(14)に、外側から内方に向けて中間伝動具収容空間(15)と閉止弁室(10)とを順に設けるとともに、この閉止弁室(10)に閉止弁座(20)を設け、
上記の閉止弁装着孔(14)内に推進ネジ部材(16)と中間伝動具(17)とダイヤフラム(18)と閉止部材(19)とを外側から順に装着し、
上記の閉止部材(19)を上記の閉止弁室(10)へ、上記の閉止弁座(20)に対し進退移動可能に収容し、
上記のダイヤフラム(18)に挿通孔(29)を透設し、この挿通孔(29)に挿通される軸部(25)を介して上記の閉止部材(19)と中間伝動具(17)とを互いに固定し、
上記のダイヤフラム(18)により上記の閉止弁室(10)を上記の中間伝動具収容空間(15)から保密状に区画したダイヤフラムバルブであって、
互いに重ね合わせた複数の金属板(26)で上記のダイヤフラム(18)を構成するとともに、互いに隣接する金属板(26)の少なくとも一方の対向面に潤滑層(Ｒ)を形成し、
少なくともいずれかの上記の金属板(26ａ)は、上記の挿通孔(29)の内周縁を上記の軸部(25)に保密状に溶接して固定し、
この溶接固定した金属板(26ａ)の表面に形成された上記の潤滑層(Ｒ)が、銀と金のいずれかの延性金属からなるメッキ層(31)であることを特徴とする、ダイヤフラムバルブ。
【請求項２】
上記のメッキ層(31)が銀からなる、請求項１に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項３】
上記のメッキ層(31)の下地層としてストライクニッケルメッキを施した、請求項１または請求項２に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項４】
ダイヤフラムバルブ(１)のハウジング(２)に形成した閉止弁室(10)内に装着される閉止部材(19)と、上記の閉止弁室(10)を保密状に区画するダイヤフラム(18)とを備えたバルブ用シートアセンブリであって、
上記のダイヤフラム(18)に挿通孔(29)を透設し、この挿通孔(29)に挿通される軸部(25)を上記の閉止部材(19)に設け、
互いに重ね合わせた複数の金属板(26)で上記のダイヤフラム(18)を構成するとともに、互いに隣接する金属板(26)の少なくとも一方の対向面に潤滑層(Ｒ)を形成し、
少なくともいずれかの上記の金属板(26ａ)は、上記の挿通孔(29)の内周縁を上記の軸部(25)に保密状に溶接して固定し、
この溶接固定した金属板(26ａ)の表面に形成された上記の潤滑層(Ｒ)が、銀と金のいずれかの延性金属からなるメッキ層(31)であることを特徴とする、バルブ用シートアセンブリ。
【請求項５】
上記のメッキ層(31)が銀からなる、請求項４に記載のバルブ用シートアセンブリ。
【請求項６】
上記のメッキ層(31)の下地層として、ストライクニッケルメッキを施した、請求項４または請求項５に記載のバルブ用シートアセンブリ。
【請求項７】
上記の軸部(25)を閉止部材(19)に一体的に延設した、請求項４から６のいずれか１項に記載のバルブ用シートアセンブリ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体の製造工程に用いる超高純度ガスなどの、ガス貯蔵容器や配管等に接続するダイヤフラムバルブとこれに用いるシートアセンブリに関し、さらに詳しくは、高圧のガスに対しても円滑に開閉作動ができ、耐久性に優れるうえ、ダイヤフラムを構成する金属板とこれを貫通する軸部とを保密状に溶接できる、ダイヤフラムバルブとバルブ用シートアセンブリに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体の製造過程で用いられる超高純度ガスは、僅かな不純物の混入も許容されない高い純度が要求されるうえ、腐食作用や引火性があるなど、その性質が極めて特殊であり、取り扱いには細心の注意が必要とされる。
【０００３】
従来、上記の半導体用ガス等に用いるバルブ装置としては、閉止弁室の保密性を薄板状のダイヤフラムで確保したダイヤフラムバルブがある(例えば、特許文献１参照、以下、従来技術１という。)。
即ちこのダイヤフラムバルブは、ハウジングに形成した閉止弁装着孔に、外側から内方に向けて中間伝動具収容空間と閉止弁室と閉止弁座とを順に設けてあり、上記の装着孔内に推進ネジ部材と中間伝動具とダイヤフラムと閉止部材とを外側から順に装着してある。上記の閉止部材は上記の閉止弁室に収容してあり、上記の推進ネジ部材の螺進により中間伝動具を介して進退移動することで、この閉止部材を上記の閉止弁座に接離するように構成してある。
【０００４】
上記の閉止部材には雄ネジを形成した軸部が突設してあり、上記のダイヤフラムにはこの軸部が挿通される挿通孔が透設してある。そしてこの挿通孔に挿通された軸部を、中間伝動具に形成した雌ネジ部に螺着することで、このダイヤフラムを介して閉止部材と中間伝動具とが互いに固定してある。
【０００５】
上記のダイヤフラムは、互いに重ね合わせた複数の薄い金属板で構成してあり、その一部の金属板、例えば閉止部材側の１〜２枚は、上記の挿通孔の内周縁が上記の軸部に保密状に溶接して固定してある。他の金属板は、この溶接固定した金属板の上にバックアップ材として重ね合わせてある。そしてこのダイヤフラムの外周縁部が押圧スリーブでハウジングに固定してあり、これにより、上記の閉止弁室が上記の中間伝動具収容空間から保密状に区画してある。
【０００６】
上記の金属板は、閉止部材を開閉作動させるごとに屈曲変形して互いに擦れ合うが、特にバルブの取扱いガスが高圧化すると各金属板に加わる応力も高くなり、上記の接触摩擦により金属板同士が早期に焼付いたり、早期に破損する虞があった。そこでこれを防止するため、金属板同士間に潤滑油やメッキ層などの潤滑層を形成して早期の焼付け等を防止することが提案されている(例えば特許文献２参照、以下、従来技術２という。)。
【０００７】
【特許文献１】特開２００１−２６３５０８号公報
【特許文献２】特開平５−２６３５７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記の従来技術２では、金属板同士の接触摩擦が軽減され、早期の焼付きなどが防止される。しかしながら、上記の従来技術１のように、金属板に形成した挿通孔に軸部を挿通して、この軸部と挿通孔の内周縁とを溶接する形式のダイヤフラムバルブにあっては、潤滑油などの潤滑層が、溶接時の加熱で変質や分解などして潤滑作用が消失するうえ、有害ガスを発生する虞もある。一方、潤滑層をクロムなどのメッキ層で形成した場合は、金属板の繰り返し変形に伴って、このメッキ層にクラックや剥離を生じ、耐久性が劣る問題があった。また、延性の優れた銅を用いたメッキ層の場合は、上記の溶接の際に銅が溶接ビード内に溶け込むと溶接ビード界面へ析出し、クラックが発生して保密性を確保できなくなる問題があった。
【０００９】
本発明の技術的課題はこれらの問題点を解消し、高圧のガスに対しても円滑に開閉作動ができ、耐久性に優れるうえ、ダイヤフラムを構成する金属板とこれを貫通する軸部とを保密状に溶接できる、ダイヤフラムバルブとバルブ用シートアセンブリを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は上記の課題を解決するため、例えば本発明の実施の形態を示す図１から図４に基づいて説明すると、次のように構成したものである。
即ち、本発明１はダイヤフラムバルブに関し、ハウジング(２)に形成した閉止弁装着孔(14)に、外側から内方に向けて中間伝動具収容空間(15)と閉止弁室(10)とを順に設けるとともに、この閉止弁室(10)に閉止弁座(20)を設け、上記の閉止弁装着孔(14)内に推進ネジ部材(16)と中間伝動具(17)とダイヤフラム(18)と閉止部材(19)とを外側から順に装着し、上記の閉止部材(19)を上記の閉止弁室(10)へ、上記の閉止弁座(20)に対し進退移動可能に収容し、上記のダイヤフラム(18)に挿通孔(29)を透設し、この挿通孔(29)に挿通される軸部(25)を介して上記の閉止部材(19)と中間伝動具(17)とを互いに固定し、上記のダイヤフラム(18)により上記の閉止弁室(10)を上記の中間伝動具収容空間(15)から保密状に区画したダイヤフラムバルブであって、互いに重ね合わせた複数の金属板(26)で上記のダイヤフラム(18)を構成するとともに、互いに隣接する金属板(26)の少なくとも一方の対向面に潤滑層(Ｒ)を形成し、少なくともいずれかの上記の金属板(26ａ)は、上記の挿通孔(29)の内周縁を上記の軸部(25)に保密状に溶接して固定し、この溶接固定した金属板(26ａ)の表面に形成された上記の潤滑層(Ｒ)が、銀と金のいずれかの延性金属からなるメッキ層(31)であることを特徴とする。
【００１１】
また本発明２はバルブ用シートアセンブリに関し、ダイヤフラムバルブ(１)のハウジング(２)に形成した閉止弁室(10)内に装着される閉止部材(19)と、上記の閉止弁室(10)を保密状に区画するダイヤフラム(18)とを備えたバルブ用シートアセンブリであって、上記のダイヤフラム(18)に挿通孔(29)を透設し、この挿通孔(29)に挿通される軸部(25)を上記の閉止部材(19)に設け、互いに重ね合わせた複数の金属板(26)で上記のダイヤフラム(18)を構成するとともに、互いに隣接する金属板(26)の少なくとも一方の対向面に潤滑層(Ｒ)を形成し、少なくともいずれかの上記の金属板(26ａ)は、上記の挿通孔(29)の内周縁を上記の軸部(25)に保密状に溶接して固定し、この溶接固定した金属板(26ａ)の表面に形成された上記の潤滑層(Ｒ)が、銀と金のいずれかの延性金属からなるメッキ層(31)であることを特徴とする。
【００１２】
上記の金属板は潤滑層を構成するメッキ層により摩擦抵抗が小さくなり、焼付きなどの発生が防止される。またこのメッキ層は耐熱性に優れるので、溶接時の加熱で変質・分解や有害ガスの発生がないうえ、延性金属からなるので、バルブ装置の開閉操作に伴って金属板が繰り返し変形しても、クラックなどを発生する虞がない。しかも、このメッキ層を構成する銀や金は、溶接の際にビード内へ良好に溶け込み、溶接ビード界面へ析出することがなかった。
【００１３】
上記のメッキ層は、銀と金のいずれでもよいが、銀のメッキ層で構成すると安価であるうえ、耐摩耗性に優れるので、一層耐久性を高めることができて好ましい。
また上記の金属板は、例えばニッケル合金で形成されるが、この場合に上記のメッキ層の下地層としてストライクニッケルメッキを施しておくと、上記の銀メッキ層を良好に形成できるうえ、金属板と軸部とを保密状に溶接する際、クラックを発生することなく良好に溶接できるので好ましい。
【００１４】
なお、上記の軸部は、閉止部材と中間伝動具とを連結するものであればよく、閉止部材や中間伝動具と別の部材で構成することも可能である。しかしこの軸部を閉止部材に中間伝動具側へ一体的に延設すると、この軸部を金属板の挿通孔へ挿通したのち中間伝動具と連結するだけでよく、しかもこの軸部と挿通孔の内周縁とを溶接することで、閉止部材と軸部とダイヤフラムとがひとつのユニットになったシートアセンブリとして取り扱うことができ、バルブ装置のハウジングへの組付操作が容易であるので好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明は上記のように構成され作用することから、次の効果を奏する。
【００１６】
(１)  潤滑層を形成するメッキ層は銀と金のいずれかの延性金属からなるので、摩擦抵抗が小さく焼付きなどの発生を防止できるうえ、バルブ装置の開閉操作に伴って金属板が繰り返し変形しても、クラックなどを発生する虞がなく、高圧のガスに対しても円滑に開閉作動ができ、しかも耐久性に優れる。
【００１７】
(２)  ダイヤフラムに形成された挿通孔の内周縁と、この挿通孔に挿通された軸部とを溶接する際、潤滑層を構成するメッキ層は耐熱性に優れるので、溶接時の加熱で変質や分解することがなく潤滑作用を維持できるうえ、有害ガスを発生する虞もない。しかも、このメッキ層を構成する延性金属は銀または金であるので、溶接の際にビード界面へ析出することがなく、溶接箇所にクラックを発生することがないので、上記の挿通孔内周縁と軸部とを確実に保密状に溶接することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づき説明する。
図１から図３は本発明の実施形態を示し、図１はダイヤフラムバルブの縦断面図、図２はバルブ用シートアセンブリの一部破断斜視図、図３は金属板を重ね合わせる前の状態のダイヤフラムの要部の拡大断面図である。
【００１９】
図１に示すように、このダイヤフラムバルブ(１)はハウジング(２)が縦長に造られており、その下部に形成した脚ネジ部(３)がガスボンベ(４)の首部(５)に固定され、途中高さ部から横向きに突設した出口ノズル(６)にガス取出し金具(図示せず)が接続可能となっている。なお、この出口ノズル(６)はガスボンベ(４)にフレッシュガスを充填する際には、充填金具(図示せず)が接続できるようにもしてある。
【００２０】
上記の脚ネジ部(３)の下面に入口穴(７)が開口してあり、出口ノズル(６)の端面に出口穴(８)が開口してある。上記のハウジング(２)内には、この入口穴(７)と出口穴(８)との間に、入口路(９)と閉止弁室(10)と出口路(11)とが順に形成してある。入口路(９)の途中部にはガス放出路(12)が分岐してあり、このガス放出路(12)に安全弁(13)が設けてある。
なお、この実施形態ではボンベバルブに適用した場合について説明するが、本発明のダイヤフラムバルブは、配管途中に設けたバルブにも適用することができ、ハウジングの形状や向き、入口穴、入口路、出口路、出口穴等の形成位置、安全弁の形式等も、この実施形態のものに限定されない。
【００２１】
上記のハウジング(２)の上面には、下方に向けて閉止弁装着孔(14)が形成してあり、この閉止弁装着孔(14)内に、外側から内方に向けて順に中間伝動具収容空間(15)と上記の閉止弁室(10)とが形成してある。この閉止弁装着孔(14)内には、推進ネジ部材であるスピンドル(16)と中間伝動具(17)と金属製のダイヤフラム(18)と閉止部材(19)とが外方から順に装着してあり、この閉止部材(19)が上記の閉止弁室(10)内に収容してある。この閉止弁室(10)内には、前記の入口路(９)の開口端の周囲に閉止弁座(20)が形成してあり、上記の閉止部材(19)がこの閉止弁座(20)に対向させてある。
【００２２】
上記の中間伝動具収容空間(15)には、中間伝動具(17)の周囲に開弁バネ(21)と環状の押圧スリーブ(22)と環状の回転拘束部材(23)とが配置してある。上記のダイヤフラム(18)の外周縁部は、この押圧スリーブ(22)とその上方に配置した回転拘束部材(23)とを介して、ハウジング(２)に螺着されるグランドナット(24)の締付固定により、閉止弁室(10)の周壁へ確りと押し付けてある。これにより、上記の閉止弁室(10)が中間伝動具収容空間(15)から保密状に区画してある。
【００２３】
上記のグランドナット(24)の内面には雌ネジが形成してあり、前記のスピンドル(16)の雄ネジ部(16ａ)がこれに螺合して回転自在に支持されている。このスピンドル(16)の上端には開閉操作用のハンドル(27)が固定してある。スピンドル(16)の下端は下方へ突出した湾曲面に形成してあり、薄板状の滑り部材(28)を介して上記の中間伝動具(17)の上面に当接してある。これにより、スピンドル(16)の螺進の際に、推力は中間伝動具(17)に伝わるが、回転力は中間伝動具(17)へ伝わり難いようにしてある。
【００２４】
上記の閉止部材(19)には上面に軸部(25)が上方へ延設してあり、この軸部(25)がダイヤフラム(18)の中央部に形成された挿通孔(29)に挿通され、中間伝動具(17)の雌ネジ孔に螺着固定してある。そしてこの螺着固定により、上記の挿通孔(29)の内周縁が、上記の中間伝動具(17)と閉止部材(19)との間に確りと挟持されている。
【００２５】
上記の押圧スリーブ(22)下部内面と上記の中間伝動具(17)の上部外面との間に、前記の開弁バネ(21)が装着してあり、この開弁バネ(21)の弾圧力により上記中間伝動具(17)が上方へ弾圧付勢される。なお、前記の回転拘束部材(23)は上記の押圧スリーブ(22)の上方に配置してあり、従って、この回転拘束部材(23)は上記の開弁バネ(21)の弾圧力を受けない位置に配置されている。
【００２６】
上記の回転拘束部材(23)の内周面は、上記の中間伝動具(17)の外周面に対し回動不能に外嵌されており、この回転拘束部材(23)が前記のグランドナット(24)の締付固定によりハウジング(２)に固定されている。このため、この回転拘束部材(23)が外嵌された中間伝動具(17)は、上下方向、即ち中間伝動具(17)の軸心(30)方向への進退移動は許容されるが、軸心(30)回りへは回転することができない。
【００２７】
図２に示すように、上記のダイヤフラム(18)と閉止部材(19)と軸部(25)とは、バルブ用シートアセンブリ(Ａ)としてユニット化されている。
即ち、上記のダイヤフラム(18)は複数枚の薄い金属板(26)からなり、閉止部材(19)側の２枚の金属板(26ａ)は、挿通孔(29)の内周縁が上記の軸部(25)の基端外周面に、例えばエレクトロビーム溶接により保密状に固定してある。この溶接固定された金属板(26ａ)の上側には、バックアップ材として所定枚数の金属板(26ｂ)が重ねてある。なお、本発明に用いるダイヤフラム(18)は、任意の複数枚あるいは全ての金属板(26)について、挿通孔(29)の内周縁を軸部(25)の外周面に溶接して固定してもよい。
【００２８】
図２と図３に示すように、上記の軸部(25)に溶接固定される２枚の金属板(26ａ)のうちの、上側の金属板(26ａ)の上下両面には、潤滑層(Ｒ)として銀メッキ層(31)が、例えば５〜１０μｍの厚さで形成してある。この金属板(26ａ)は例えばニッケル合金製であり、上記の銀メッキ層(31)は、下地層としてストライクニッケルメッキとストライク銀メッキとが順に施してある。一方、上記のバックアップ材としての金属板(26ｂ)は、それぞれ上面に潤滑層(Ｒ)としてフッ素樹脂コーティング層(32)が形成してある。従って各金属板(26)には、隣接する金属板(26)との一方の対向面にそれぞれ潤滑層(Ｒ)が形成されている。なお、この実施形態では金属板をニッケル合金で形成したが、本発明の上記の金属板は、ステンレス鋼など他の金属材料で形成してもよいことはいうまでもない。
【００２９】
次に、上記のダイヤフラムバルブ(１)の開閉操作について説明する。
上記のハンドル(27)を締付方向へ回転させるとスピンドル(16)が螺進し、その推力を受けた中間伝動具(17)が開弁バネ(21)の弾圧力に抗して下降する。この結果、ダイヤフラム(18)の径方向中間部分が下方へ変形するとともに、閉止部材(19)が下降して閉止弁座(20)へ接当し、これにより閉弁される。
【００３０】
一方、上記ハンドル(27)を緩み方向へ回転させると、スピンドル(16)が螺旋状に回転しながら上昇し、中間伝動具(17)に加えられていた上記の推力が除かれる。この結果、中間伝動具(17)は開弁バネ(21)の弾圧力により上昇し、ダイヤフラム(18)の径方向中間部分が上方へ変形するとともに、閉止部材(19)が上昇して閉止弁座(20)から離隔し、これにより開弁される。
【００３１】
上記のスピンドル(16)の下端は突出した湾曲面に形成してあり、中間伝動具(17)の上面との間に滑り部材(28)が配置してあるので、両者間の摩擦抵抗は小さく、上記の開閉操作の際に、スピンドル(16)の回転力は中間伝動具(17)に伝わり難い。しかも中間伝動具(17)は外嵌した回転拘束部材(23)に連係しているので、軸心(30)回りに回転することができない。このため、上記の開閉操作において、中間伝動具(17)は常に上下方向、即ち軸心(30)方向に沿って進退移動するだけであり、ダイヤフラム(18)は回転による歪みを生じることなく、上下方向にのみ変形する。
【００３２】
このとき、ダイヤフラム(18)の各金属板(26)は、隣接する金属板(26)との一方の対向面に潤滑層(Ｒ)が形成してあるので、接触摩擦が小さく抑えられており、閉止弁室(10)内から高いガス圧力を受けていても、焼付等を生じることなく長期間に亘って円滑に変形を繰り返すことができる。しかも、上記の軸部(25)に溶接固定した金属板(26ａ)の潤滑層(Ｒ)は銀メッキ層(31)からなるので、溶接時の加熱でこの潤滑層(Ｒ)に変質等を生じることがないうえ、溶接ビードにクラックを生じることなく良好に溶接される。このため、このダイヤフラム(18)により、上記の閉止弁室(10)が中間伝動具収容空間(15)から確実に保密状に区画される。
【００３３】
なお、この実施形態では、軸部(25)に固定した上側の金属板(26ａ)の両面に潤滑層(Ｒ)を形成し、バックアップ材としての金属板(26ｂ)には上面にのみ潤滑層(Ｒ)を形成した。しかし本発明ではこの潤滑層(Ｒ)が、互いに隣接する金属板(26)の少なくとも一方の対向面に形成してあればよい。例えば、図４(ａ)に示す変形例１では、一枚おきの金属板(26)にのみ潤滑層(Ｒ)が両面に形成してある。また図４(ｂ)に示す変形例２では、最も閉止部材(19)側の金属板(26)を除く、残りの全ての金属板(26)の両面に潤滑層(Ｒ)が形成してある。
【００３４】
また、上記の実施形態では、バックアップ材としての金属板(26ｂ)に形成される潤滑層(Ｒ)をフッ素樹脂コーティング層(32)で形成したので、取扱いが容易であるうえ安価に実施できる。しかし本発明では、軸部(25)へ溶接固定される金属板(26ａ)に形成される潤滑層(Ｒ)が、銀と金のいずれかの延性金属からなるメッキ層(31)であればよく、バックアップ材としての金属板(26ｂ)に形成する潤滑層(Ｒ)は、開閉作動等に悪影響を及ぼさない任意の材料で構成することができ、例えば銅、銀、金等の延性金属のメッキ層や、潤滑油などで形成することも可能である。
【００３５】
さらに上記の実施形態や変形例で説明したダイヤフラムバルブやバルブ用シートアセンブリは、本発明の技術的思想を具体化するために例示したものであり、各部の形状や、構造、配置等を、これらの実施形態のものに限定するものではなく、本発明の特許請求の範囲内において種々の変更を加え得るものであることは、いうまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００３６】
本発明のダイヤフラムバルブは、高圧のガスに対しても円滑に開閉作動ができ、しかも耐久性に優れるうえ、ダイヤフラムを構成する金属板とこれを貫通する軸部とを保密状に溶接できるので、半導体の製造工程に用いる超高純度ガスなどの、ガス貯蔵容器や配管等に接続するバルブ装置に特に好適であるが、他の用途のガス種を扱うバルブ装置にも好適に用いられる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の実施形態を示す、ダイヤフラムバルブの縦断面図である。
【図２】本発明の実施形態の、バルブ用シートアセンブリの一部破断斜視図である。
【図３】本発明の実施形態の、金属板を重ね合わせる前の状態のダイヤフラムの要部の拡大断面図である。
【図４】本発明の実施形態の変形例を示し、図４(ａ)は変形例１の、金属板を重ね合わせる前の状態のダイヤフラムの要部の拡大断面図、図４(ｂ)は変形例２の、金属板を重ね合わせる前の状態のダイヤフラムの要部の拡大断面図である。
【符号の説明】
【００３８】
１…ダイヤフラムバルブ
２…ハウジング
10…閉止弁室
14…閉止弁装着孔
15…中間伝動具収容空間
16…推進ネジ部材(スピンドル)
17…中間伝動具
18…ダイヤフラム
19…閉止部材
20…閉止弁座
25…軸部
26…金属板
26ａ…軸部に溶接される金属板
29…挿通孔
31…メッキ層(銀メッキ層)
Ａ…シートアセンブリ
Ｒ…潤滑層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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