(57)【要約】【課題】複数の被検査基板を同時に定置させてインラインでの自動搬送に好適に対応させ、かつ、テストヘッドを接触させても割れないようにした基板治具ボードおよびこれを組み込んだ基板検査用治具ユニットの提供。【解決手段】基板治具ボード１１は、被検査基板１０１を各別に位置決めして載置すべく、列方向に整列させて配設した複数個の検査用開口部１３を有するボード本体１２と、検査用開口部１３上に載置された被検査基板１０１を角部１０２側を同時に押圧して位置固定すべく、ボード本体１２に配設された基板定置機構２２とで構成した。また、基板検査用治具ユニットは、上記基板治具ボード１１と、被検査基板１０１における今回検査分の部分領域側と当接してこれを表出させる開口部を有する基板ホルダとで構成した。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
略方形を呈する被検査基板を各別に位置決めしてその一側面側に載置すべく、少なくとも１列方向に整列させて配設した略方形を呈する複数個の検査用開口部を有する絶縁性のボード本体と、前記検査用開口部上に各別に載置された前記被検査基板を同一方向に位置するそれぞれの角部側を同時に押圧して前記検査用開口部側との位置決め協働のもとで位置固定すべく、前記ボード本体の前記一側面側に配設された基板定置機構とで構成したことを特徴とする基板治具ボード。
【請求項２】
前記ボード本体は、前記検査用開口部の縁辺側を凹陥させて確保される位置決め用の受け口部を介して前記被検査基板の載置を自在に形成され、
前記基板定置機構は、前記検査用開口部を４辺方向で仕切る開口縁のうち、１つの隣接２辺の交差部側にて前記被検査基板の前記角部側を常時押圧するようにそれぞれの前記交差部方向へと短寸ガイド溝を介して進退自在に各別に押出し付勢されてなる押し当て杆と、前記ボード本体にその基端側を開口端として設けた長寸ガイド溝に対し、前記開口端側からその一端部側を突出させ、他端部側を前記ガイド溝の先端側の閉止端方向に常時引張付勢させて進退自在に案内させ、かつ、前記押し当て杆のそれぞれの従動操作を自在に配設された連結操作杆とで形成した請求項１に記載の基板治具ボード。
【請求項３】
前記ボード本体における前記検査用開口部の近傍位置には、前記被検査基板の浮き上がりを阻止する浮き抑え片を、前記押し当て杆の近傍位置には、該押し当て杆の浮き上がりを阻止する浮き抑え片をそれぞれ配設した請求項２に記載の基板治具ボード。
【請求項４】
前記ボード本体には、前記検査用開口部を複数列方向に整列させて配設し、
前記基板定置機構は、前記検査用開口部の各列に対応させて各別に配設した請求項１ないし３のいずれかに記載の基板治具ボード。
【請求項５】
前記ボード本体は、反りの少ない高剛性素材により形成し、その他側面側に位置するそれぞれの前記検査用開口部の周辺領域に検査時にプローブ接触を回避させるための凹陥部を設けた請求項１ないし４のいずれかに記載の基板治具ボード。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかに記載の基板治具ボードと、該基板治具ボードとの組合せのもとで１個の前記被検査基板における今回検査分の部分領域の周辺側と当接して該部分領域を表出させる開口部を有して前記被検査基板を当接支持すべく基板検査装置側に配設される基板ホルダとで構成したことを特徴とする基板検査用治具ユニット。
【請求項７】
前記基板ホルダにあって前記被検査基板との対面側に位置する前記開口部の周縁部には、緩衝材を配設した請求項６に記載の基板検査用治具ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平面形状が略方形を呈する複数個の被検査基板を効率よく位置固定させて円滑に所要の検査ができるようにした基板治具ボードおよびこれを組み込んだ基板検査用治具ユニットに関する技術である。
【背景技術】
【０００２】
半導体製品検査治具としては、例えば下記特許文献１に開示されているようなものがある。
【特許文献１】特開平５−１６０２４７号公報
【０００３】
上記特許文献１に開示されている半導体製品検査治具は、半導体ＩＣを治具本体に保持させた状態のもとで、その電気的特性等を検査するために使用することができるようになっている。
【０００４】
一方、半導体製品としての基板のなかには、多数個のチップを格子状に配置させてなるセラミック基板を含む平面形状が略方形を呈する面サイズの小さな基板がある。このような面サイズの小さな基板に対する検査は、個々の基板を定置させる手段を個別に設けてなる基板治具ボードおよびこれを組み込んだ基板検査用治具ユニットを利用して行われているものもある。
【０００５】
図６は、基板検査用治具ユニットを構成して複数個の被検査基板を各別に定置させる基板治具ボードの従来例を示す全体斜視図であり、図７は、その要部拡大説明図である。これらの図によれば、基板治具ボード１は、略方形を呈する被検査基板１０１を各別に載置すべく、２列方向に整列させて配設した略方形を呈する３個の検査用開口部３を有するボード本体２と、検査用開口部３を介してボード本体２上に配置される各被検査基板１０１を３カ所にて位置固定すべく検査用開口部３の別にボード本体２側に配設される基板定置機構４とで構成されている。
【０００６】
この場合、各検査用開口部３は、被検査基板１０１の面サイズよりもやや小さな面サイズであって、該被検査基板１０１と略相似形を呈する形状のもとで形成されている。
【０００７】
また、各基板定置機構４は、検査用開口部３を仕切っている４辺からなる開口縁３ａのうち、隣接２辺側に各別に配設されている位置決めガイド５と、他の隣接２辺の交差部側に配設されている押し当て杆６とで構成されている。
【０００８】
これらのうち、各位置決めガイド５は、各対応辺としての開口縁３ａの近傍に位置してその長さ方向に沿わせたボード本体２上に配設することで、位置決めガイド５と開口縁３ａとの間に被検査基板１０１の載置スペースを確保することができるようになっている。
【０００９】
また、押し当て杆６は、検査用開口部３を４辺方向で仕切る開口縁３ａのうち、１つの隣接２辺の交差部側にて被検査基板１０１の角部１０２側を常時押圧するようにそれぞれの交差部方向へと進退自在に各別に押出し付勢されて配設されている。
【００１０】
この場合、押し当て杆６における直角当接縁６ａは、その退行時に検査用開口部３の角部側に位置する開口縁３ａのやや内側に位置するように配設することで、直角当接縁６ａと開口縁３ａとの間に被検査基板１０１の載置スペースを確保することができるようになっている。
【００１１】
一方、図８は、図６および図７に示す基板治具ボード１との組合せのもとで基板検査用治具ユニットとして使用される基板ホルダの一例についての全体斜視図を、図９は、基板検査装置側に取り付けた状態での被検査基板１０１の外枠を押さえる機構を分かり易くするための透視図をそれぞれ示す。
【００１２】
これらの図によれば、図示しない基板検査装置の所定部位に位置固定して設置される基板ホルダ７は、基板治具ボード１の検査用開口部３に定置された被検査基板１０１とほぼ同じ面サイズの開口部８を有して形成されている。
【００１３】
そして、基板治具ボード１を搬送する適宜の搬送機構は、今回検査分の被検査基板１０１を基板ホルダ７の開口部８に下側から当接させた上で、基板検査装置が備える多数の接触ピンが植設されたテストヘッドを被検査基板１０１にに接触させて必要な検査をすることができるようになっている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
しかし、図６および図７に示す基板治具ボード１による場合には、押し当て杆６をその付勢力に抗して手で押し戻した上で、被検査基板１０１を１枚ずつそれぞれの検査用開口部３に定置する必要があり、それだけ工数が増えてインラインでの自動搬送による場合には使用することができない不都合があった。
【００１５】
また、図８および図９に示す基板ホルダ７による場合には、被検査基板１０１の面サイズよりも広い面サイズの開口部８を介して被検査基板１０１側が当接される結果、例えばセラミック基板のように薄くて脆い素材により形成されている被検査基板１０１にテストヘッドを接触させた際にそれだけ負荷が大きくなり、場合によっては割れてしまうといった不具合もあった。
【００１６】
本発明は、従来技術にみられた上記課題に鑑みてなされたものであり、個々の被検査基板を１回の操作で同時に定置させてインラインでの自動搬送に好適に対応させ、かつ、被検査基板にテストヘッドを接触させても割れないようにした基板治具ボードおよびこれを組み込んだ基板検査用治具ユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明は、上記目的を達成すべくなされたものであり、そのうちの第１の発明（基板治具ボード）は、略方形を呈する被検査基板を各別に位置決めしてその一側面側に載置すべく、少なくとも１列方向に整列させて配設した略方形を呈する複数個の検査用開口部を有する絶縁性のボード本体と、前記検査用開口部上に各別に載置された前記被検査基板を同一方向に位置するそれぞれの角部側を同時に押圧して前記検査用開口部側との位置決め協働のもとで位置固定すべく、前記ボード本体の前記一側面側に配設された基板定置機構とで構成したことを最も主要な特徴とする。
【００１８】
この場合、前記ボード本体は、前記検査用開口部の縁辺側を凹陥させて確保される位置決め用の受け口部を介して前記被検査基板の載置を自在に形成され、前記基板定置機構は、前記検査用開口部を４辺方向で仕切る開口縁のうち、１つの隣接２辺の交差部側にて前記被検査基板の前記角部側を常時押圧するようにそれぞれの前記交差部方向へと短寸ガイド溝を介して進退自在に各別に押出し付勢されてなる押し当て杆と、前記ボード本体にその基端側を開口端として設けた長寸ガイド溝に対し、前記開口端側からその一端部側を突出させ、他端部側を前記ガイド溝の先端側の閉止端方向に常時引張付勢させて進退自在に案内させ、かつ、前記押し当て杆のそれぞれの従動操作を自在に配設された連結操作杆とで形成するのが好ましい。
【００１９】
また、前記ボード本体における前記検査用開口部の近傍位置には、前記被検査基板の浮き上がりを阻止する浮き抑え片を、前記押し当て杆の近傍位置には、該押し当て杆の浮き上がりを阻止する浮き抑え片をそれぞれ配設することもできる。
【００２０】
さらに、前記ボード本体には、前記検査用開口部を複数列方向に整列させて配設し、前記基板定置機構は、各列に対応させて各別に配設するのが望ましい。また、前記ボード本体は、比較的厚さの厚い高剛性素材により形成し、その他側面側に位置するそれぞれの前記検査用開口部の周辺領域に検査時にプローブ接触を回避させるための凹陥部を設けておくのが望ましい。
【００２１】
一方、第２の発明（基板検査用治具ユニット）は、請求項１ないし５のいずれかに記載の基板治具ボードと、該基板治具ボードとの組合せのもとで１個の前記被検査基板における今回検査分の部分領域の周辺側と当接して該部分領域を表出させる開口部を有して前記被検査基板を当接支持すべく基板検査装置側に配設される基板ホルダとで構成したことをを最も主要な特徴とする。
【００２２】
この場合、前記基板ホルダにあって前記被検査基板との対面側に位置する前記開口部の周縁部には、緩衝材を配設するのが好ましい。
【発明の効果】
【００２３】
請求項１の発明（基板治具ボード）によれば、基板治具ボードが備える各検査用開口部には、基板定置機構を介して複数の被検査基板を同時に定置させることができるので、インラインでの自動搬送に好適に対応させることができる。
【００２４】
請求項２の発明によれば、各検査用開口部に被検査基板を定置させる際には、連結操作杆を強制的に引き戻すことにより、各押し当て杆も従動して検査用開口部側から引き離すことができるので、このときにそれぞれの検査用開口部に被検査基板を位置決めしながら載置することができる。
【００２５】
また、被検査基板を載置した後は、連結操作杆に対する引き戻し力を解除することにより、各押し当て杆も検査用開口部の交差部方向へと自動的に戻り、直角当接縁が被検査基板の角部を押し付ける結果、各検査用開口部に位置決めして配置されている各被検査基板を位置固定して自動的に定置させることができる。
【００２６】
請求項３の発明によれば、ボード本体における検査用開口部の近傍位置には被検査基板の浮き上がりを阻止する浮き抑え片が、押し当て杆の近傍位置位置には該押し当て杆の浮き上がりを阻止する浮き抑え片がそれぞれ配設されているので、被検査基板の浮き上がりや、各押し当て杆の浮き上がりを確実に阻止することができる。
【００２７】
請求項４の発明によれば、ボード本体には検査用開口部が複数列方向に整列させて配設され、基板定置機構も検査用開口部の各列に対応させて各別に配設されているので、より多くの被検査基板を基板治具ボードに定置させることができる。
【００２８】
請求項５の発明によれば、ボード本体が反りの少ない高剛性素材により形成され、しかも、その他側面側に位置する各検査用開口部の周辺領域に凹陥部が設けられているので、反りの発生を抑えて安定的に使用することができるほか、凹陥部を介して検査時のプローブ接触を確実に回避させることもできる。
【００２９】
請求項６の発明（基板検査用治具ユニット）によれば、請求項１ないし５のいずれかに記載の基板治具ボードと、該基板治具ボードとの組合せのもとで１個の前記被検査基板における今回検査分の部分領域の周辺側と当接して該部分領域を表出させる開口部を有して前記被検査基板を当接支持すべく基板検査装置側に配設される基板ホルダとで構成されているので、開口部を介して１個の被検査基板における今回検査分の部分領域のみを表出させることができるので、該部分領域にテストヘッドを接触させても、割れを生じさせることなく検査を行うことができる。
【００３０】
請求項７の発明によれば、基板ホルダの裏面側に位置する開口部の周縁部に緩衝材が貼着されているので、テストヘッドによる下方を含む裏方向からの接触検査が行われても、その際に受ける衝撃を緩和して負荷を小さくすることができるので、被検査基板が例えばセラミック基板のように薄くて脆い素材により形成されていても割れを確実に防ぐことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
図１は、本発明のうち、第１の発明である基板治具ボードの一例を示す斜視図であり、図２は、その要部を拡大して示す平面図である。
【００３２】
これらの図によれば、基板治具ボード１１は、略方形を呈する被検査基板１０１を各別に位置決めしてその一側面１２ａ側に載置すべく、２列方向に整列させて配設した略方形を呈する各列３個の検査用開口部１３を有するボード本体１２と、各検査用開口部１３上に各別に載置された被検査基板１０１を同一方向に位置するそれぞれの角部１０２側を同時に押圧して検査用開口部１３側との位置決め協働のもとで位置固定すべく、ボード本体１２に配設された基板定置機構２２とで構成されている。
【００３３】
このうち、ボード本体１２は、検査用開口部１３の縁辺側を凹陥させて確保される位置決め用の受け口部１５を介して被検査基板１０１の載置を自在に形成されている。
【００３４】
また、基板定置機構２２は、個々の被検査基板１０１の角部１０２側を押し付ける押し当て杆２３と、これらの各押し当て杆２３を同時に従動操作するための連結操作杆３３とで形成されている。
【００３５】
この場合、押し当て杆２３は、連結操作杆３３側と連結される所定長の基端部２４と、該基端部２４の先端側に延設された当接部２５とを備え、該当接部２５の先端側には被検査基板１０１の角部１０２と接触させるための直角当接縁２６が形成されている。
【００３６】
そして、押し当て杆２３における当接部２５が備える直角当接縁２６は、検査用開口部１３を４辺方向で仕切る開口縁１３ａのうち、１つの隣接２辺の交差部１４側にて被検査基板１０１の角部１０２側を当接部２５が備える直角当接縁２６を介して常時押圧するようにそれぞれの交差部１４方向へと短寸ガイド溝１６を介して進退自在に各別に押出し付勢されて配設されている。
【００３７】
また、連結操作杆３３は、ボード本体１２に基端側を開口端１７ａとして設けた長寸ガイド溝１７に対し、開口端１７ａ側からの一端部３４側の突出を自在とし、他端部３５側を長寸ガイド溝１７の先端側に位置する閉止端１７ｂにて常時引張する方向に付勢して進退自在に案内させ、かつ、各押し当て杆２３を同時に従動操作自在に配設されている。
【００３８】
これを図１および図２において右列に配列されている３個の検査用開口部１３との関係に基づきさらに詳しく説明すれば、長寸ガイド溝１７は、３個の検査用開口部１３の配列方向と平行となる位置関係のもとでボード本体１２に設けられている。
【００３９】
また、各短寸ガイド溝１６は、長寸ガイド溝１７との間に鋭角の内角を形成してその左側から斜め右上方向に向かい、各検査用開口部１３の交差部１４側と連通させることで形成されている。
【００４０】
この場合における押し当て杆２３と連結操作杆３３との連結は、図２からも明らかなように、各短寸ガイド溝１６と長寸ガイド溝１７との各合流部位に位置する連結操作杆３３に各別に形成された矩形孔３７を介して行われている。
【００４１】
すなわち、連結操作杆３３の各矩形孔３７内には、圧縮用コイルバネ３８が各別に配設されており、該圧縮用コイルバネ３８の一端部３８ａが矩形孔３７の先端側に、他端部３８ｂが押し当て杆２３の基端部２４側にそれぞれ掛止されている。
【００４２】
つまり、各押し当て杆２３は、検査用開口部１３の交差部１４側へと短寸ガイド溝１６に沿って常に押し出されるように付勢された状態を保持しつつ、連結操作杆３３側に連結されることになる。
【００４３】
また、連結操作杆３３自体は、引張用コイルバネ３９を介在させることでその先端側が長寸ガイド溝１７の閉止端１７ｂ側に連結されている。このため、連結操作杆３３は、常に長寸ガイド溝１７の閉止端１７ｂ方向へと引張された状態のもとでボード本体１２側に設置されることになる。
【００４４】
しかも、連結操作杆３３は、その先端部側に長孔３６が形成されており、該長孔３６が内周側に備える段部３６ａに頭部４０ａを係止させたねじ４０をボード本体１２側に止着することで、長孔３６の長さ範囲内での進退が自在となっている。なお、ボード本体１２と基板定置機構２２との間の配置関係は、左列に配列されている３個の検査用開口部１３側についても右列側と左右対称となっている点でのみ異なり、他の構成は同じなので、右列との対応部位にある左列の構成部材には右列側と同一の符号を付してその説明を省略する。
【００４５】
また、２列となって配列されている各連結操作杆３３は、それぞれの長寸ガイド溝１７の開口端１７ａ近傍に位置する各押し当て杆２３の基端部２４ともどもその浮き上がりを阻止するために、これらを同時に覆うに足りる面サイズが付与されてボード本体１２側に固定された浮き抑え板４２により覆われている。
【００４６】
図３は、第１の発明の他例を示す要部拡大平面図であり、その基本的な構成は図１に示す例と同じである。この例においては、押し当て杆２３と被検査基板１０１との浮き上がりを効果的に阻止する構造を備えている点に図１に示す例にはない特徴がある。
【００４７】
すなわち、検査用開口部１３の開口縁１３ａにおける奥辺側（図では上側の辺）の近傍位置のボード本体１２には、その一部が検査用開口部１３側に庇状に突出させて被検査基板１０１の浮き上がりを阻止する浮き抑え片４５が配設されている。該浮き抑え片４５は、鋼材を用いて形成された例えば厚さ０．０５ｍｍ程度で、その面サイズが横１５ｍｍ×で縦１３ｍｍ程度の薄片からなり、開口縁１３ａから１．５ｍｍ程度庇状に突出させた配置関係のもとで両面テープを介してボード本体１２側に貼着することで配設されている。なお、浮き抑え片４５は、被検査基板１０１が沿っている場合に反りを抑えるなかで無用な負荷を与えて損傷させないように、開口縁１３ａの中央付近に部分的に貼着しておくのが望ましい。
【００４８】
また、押し当て杆２３の近傍に位置するボード本体部１２には、押し当て杆２３の当接部２５の両側へと各別に庇状に突出させて該当接部２５側の浮き上がりを阻止する一対の浮き抑え片４６，４６が浮き抑え片４５と同様に事前に貼着することで配設されている。
【００４９】
さらに、押し当て杆２３の直角当接縁２６近傍には、その一部が検査用開口部１３側に庇状に突出させて被検査基板１０１をその角部１０２側での浮き上がりを阻止する一対の浮き抑え小片４７，４７が配設されている。該浮き抑え小片４７は、鋼材を用いて形成された例えば厚さ０．０５ｍｍ程度で、その面サイズが横４ｍｍ×で縦７ｍｍ程度の薄片からなり、開口縁１３ａから１ｍｍ程度庇状に突出させた配置関係のもとで両面テープを介して押し当て杆２３側に貼着することで配設されている。
【００５０】
図４は、図１および図３に示す第１の発明（基板治具ボード）の裏面構造例を示す平面図である。同図によれば、適宜面サイズのボード本体１２は、板厚８ｍｍ程度のアルミニウムのほか、エンジニアリングプラスチックやガラス布基材エポキシ樹脂などの反りの少ない高剛性素材により形成されている。なお、ボード本体１２をアルミニウムを用いて形成する場合には、その一側面１２ａと他側面１２ｂとにアルマイト皮膜のような絶縁性皮膜を設けておく必要がある。
【００５１】
また、ボード本体１２は、その他側面１２ｂ側に位置するそれぞれの検査用開口部１３の周辺領域に検査時にプローブ接触を回避させるための凹陥部１８が設けられている。
【００５２】
一方、図５は、基板治具ボード１１とともに第２の発明である基板検査用治具ユニットを構成している基板ホルダの一例を示す全体斜視図であり、そのうちの（ａ）は上面側を、（ｂ）は裏面側をそれぞれ示す。
【００５３】
すなわち、基板検査用治具ユニットは、上記構造を備える基板治具ボード１１と、該基板治具ボード１１との組合せのもとで１個の被検査基板１０１における今回検査分の部分領域１０３の周辺側と当接して該部分領域１０３を表出させる開口部５２を有して被検査基板１０１を支持すべく、図示しない基板検査装置側の適位置に位置決めして配設される基板ホルダ５１とで構成されている。なお、治具ボード１１は、適宜の搬送機構を介してその面方向と該面方向と直交する方向への制御された移動ができ、これにより基板ホルダ５１側の所定位置へと搬送することができるようになっている。
【００５４】
しかも、基板ホルダ５１にあって被検査基板１０１との対面側、つまり裏面５１ｂ側に位置する開口部５２の周縁部には、適宜厚さのスポンジ材やゴム材などからなる囲枠状を呈する緩衝材５３が貼着されている。
【００５５】
次に、本発明のうち、まず、第１の発明である基板治具ボード１１の作用・効果について図示例に基づいて説明する。
【００５６】
基板治具ボード１１は、そのボード本体１２に２列に整列配置された各列３個の検査用開口部１３を備えている。一方の列である右列に配列されている各検査用開口部１３に被検査基板１０１を定置させる際には、図１および図２に示すように右側の連結操作杆３３を引張コイルバネ３９引張力に抗してその一端部３４側を開口縁１３ａ側から若干突出させるように引き戻す。
【００５７】
このとき、右側の連結操作杆３３に連結されている各押し当て杆２３は、圧縮コイルバネ３８の圧縮力に抗して該連結操作杆３３の動きに従動する結果、検査用開口部１３の交差部１４から引き離される方向へと同時に移動させることができる。
【００５８】
被検査基板１０１は、このように各押し当て杆２３を引き離した状態のもとで、それぞれの検査用開口部１３に受け口部１５を介して位置決めしながら載置することができる。
【００５９】
右側の各検査用開口部１３への被検査基板１０１の配置を終えた後は、連結操作杆３３に対する引き戻し方向への引張力を解除する。そうすると、図１および図２において左側に図示されている連結操作杆３３のように、右側の連結操作杆３３は、引張コイルバネ３９の引張力により長寸ガイド溝１７の閉止端１７b側へと自動的に引き寄せられる。
【００６０】
このとき、右側の連結操作杆３３に連結されている各押し当て杆２３は、連結操作杆３３の動きに従動することで圧縮コイルバネ３８の圧縮力が働いて検査用開口部１３の交差部１４方向へと自動的に戻る。
【００６１】
各押し当て杆２３が交差部１４方向へと戻ることにより、その直角当接縁２６は、図１および図２において左側に図示されている各押し当て杆２３のように、対応する位置関係にある被検査基板１０１の角部１０２を押し付ける結果、各検査用開口部１３に位置決めして配置されている各被検査基板１０１を位置固定して定置させることができることになる。
【００６２】
つまり、基板治具ボード１１が備える各検査用開口部１３には、基板定置機構２２を介して複数の被検査基板１０１を同時に定置させることができるので、インラインでの自動搬送に好適に対応させることができることになる。
【００６３】
しかも、このような左右の連結操作杆３３と押し当て杆２３との一連の動きは、連結操作杆３３が長孔３６を介してボード本体１２側にねじ４０で止着されているほか、各連結操作杆３３と基端側に位置する各押し当て杆２３とを浮き抑え板４２で覆われていることもあって、浮き上がりを阻止して確保することができる。
【００６４】
また、検査用開口部１３の開口縁１３ａ側に位置するボード本体部１２と押し当て杆２３の近傍に位置するボード本体部１２とに浮き抑え片４５や一対の浮き抑え片４６，４６とが配設され、押し当て杆２３の直角当接縁２６近傍に一対の浮き抑え小片４７，４７が配設されている場合には、被検査基板１０１の浮き上がりや、各押し当て杆２３の浮き上がりを確実に阻止することができる。
【００６５】
さらに、ボード本体１２が反りの少ない高剛性素材により形成されている場合には、経年変化や使用環境（温度等）のほか、長期使用という過酷な使用条件のもとにあっても反りの発生を抑えて安定的に使用することができる。また、ボード本体１２が８ｍｍ程度の板厚で形成されている場合にあっては、その他側面１２ｂ側に位置する検査用開口部１３の周辺領域に凹陥部１８を設けることにより、検査時のプローブ接触を確実に回避させることができる。
【００６６】
一方、第２の発明である基板検査用治具ユニットの作用・効果について図示例に基づいて説明すれば、基板検査用治具ユニットは、上記構造を備える基板治具ボード１１と、図示しない基板検査装置に配置されている例えば図５に示す基板ホルダ５１とで構成されており、既に被検査基板１０１が定置されている治具ボード１１を図示しない搬送機構を介して基板ホルダ５１側の所定位置へと搬送させることができる。
【００６７】
この場合、基板ホルダ５１は、開口部５２を介して１個の被検査基板１０１における今回検査分の部分領域１０３である例えば格子状に形成されている多数のチップのうちの１チップ部分のみを表出させることができるので、該部分領域１０３に図示しないテストヘッドを接触させても、割れを生じさせることなく検査を行うことができる。
【００６８】
しかも、基板ホルダ５１の裏面５１ｂ側に位置する開口部５２の周縁部に緩衝材５３が貼着されている場合には、図示しないテストヘッドによる下方からの接触検査が行われても、その際に受ける衝撃を緩和して負荷を小さくすることができるので、被検査基板１０１が例えばセラミック基板のように薄くて脆い素材により形成されていても割れを確実に防ぐことができる。
【００６９】
以上は、本発明を図示例に基づいて説明したものであり、その具体的な内容は、本発明の要旨を逸脱しない限り、種々の変形を加えることができる。例えば、ボード本体１２には、検査用開口部１３を１列のみであって２個や４個以上形成したり、３列以上に各列複数個形成したりするとともに、押し当て杆２３や連結操作杆３３もこれに対応させた上で基板定置機構２２として形成することもできる。また、図示例では、押し当て杆２３の直角当接縁２６を介して被検査基板１０１の角部１０２と接触させるようにしてあるが、被検査基板１０１の角部１０２に接触させことができるものであれば、必ずしも当接縁が直角である必要はない。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】本発明のうち、第１の発明である基板治具ボードの一例を示す斜視図。
【図２】図１の要部を拡大して示す平面図。
【図３】第１の発明の他例を示す要部拡大平面図。
【図４】図１および図３に示す第１の発明（基板治具ボード）の裏面構造例を示す平面図。
【図５】第１の発明である基板治具ボードとともに第２の発明である基板検査用治具ユニットを構成している基板ホルダの一例を示す全体斜視図。
【図６】、基板検査用治具ユニットを構成して複数個の被検査基板を各別に定置させる基板治具ボードの従来例を示す全体斜視図。
【図７】図６の要部拡大説明図。
【図８】図６および図７に示す基板治具ボードとの組合せのもとで基板検査用治具ユニットとして使用される基板ホルダの一例についての全体斜視図。
【図９】図８に示す基板ホルダを基板検査装置側に取り付けた状態での透視図。
【符号の説明】
【００７１】
１１  基板治具ボード
１２  ボード本体
１２ａ  一側面
１２ｂ  他側面
１３  検査用開口部
１３ａ  開口縁
１４  交差部
１５  受け口部
１６  短寸ガイド溝
１７  長寸ガイド溝
１７ａ  開口端
１７ｂ  閉止端
１８  凹陥部
２２  基板定置機構
２３  押し当て杆
２４  基端部
２５  当接部
２６  直角当接縁
３３  連結操作杆
３４  一端部
３５  他端部
３６  長孔
３６ａ  段部
３７  矩形孔
３８  圧縮コイルバネ
３８ａ  一端部
３８ｂ  他端部
３９  引張コイルバネ
４０  ねじ
４０ａ  頭部
４２  浮き抑え板
４５，４６  浮き抑え片
４７  浮き抑え小片
５１  基板ホルダ
５１ａ  表面
５１ｂ  裏面
５２  開口部
５３  緩衝材
１０１  被検査基板
１０２  角部
１０３  部分領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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