(57)【要約】【課題】処理装置からの処理済み物品の引取、ならびに処理装置への未処理物品の支給を行う時間を極力短縮化することによって、半導体処理装置などの遊休時間を短縮し処理効率の向上を図った物品搬送システムを提供することである。【解決手段】複数の搬送台車１３、ストッカ１４、走行路、及び処理済み物品引取制御手段と未処理物品支給制御手段とから構成される搬送台車制御手段２６を備え、上記処理済み物品引取制御手段は、処理装置１５から物品の処理が終了するまでの予測時間を受信する予測時間受信手段と、当該予測時間が所定時間に達したら、物品の搬送が可能な搬送台車１３のうち、処理装置１５に最も早く到着する一の搬送台車１３を、キャリア２０の引取を行う引取台車に指定する引取台車指定を行う引取台車選定手段とを有し、上記引取台車に、キャリア２０の引取処理を指令することを特徴とする物品搬送システム。【選択図】図３
2008108031.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理装置で処理された処理済み物品の引取、及び前記処理装置で処理される未処理物品の支給を行う物品搬送システムであって、
前記処理済み物品又は前記未処理物品を搭載して搬送する複数の搬送台車と、
前記未処理物品を収納する収納装置と、
前記搬送台車が一方向に走行移動し、少なくとも１つの閉ループの軌道を形成する走行路と、
処理済み物品引取制御手段と未処理物品支給制御手段とから構成され、前記搬送台車及び前記収納装置と通信を行う搬送台車制御手段とを備え、
前記処理済み物品引取制御手段は、
物品の処理を行っている前記処理装置である目標処理装置から物品の処理が終了するまでの予測時間を受信する予測時間受信手段と、
前記予測時間が所定時間に達したら、物品の搬送が可能な前記搬送台車のうち、前記目標処理装置に最も早く到着する一の前記搬送台車を、引取台車に指定する引取台車指定を行う引取台車選定手段とを有し、
前記処理済み物品の引取を行うための前記引取台車に、前記処理済み物品の引取処理を指令することを特徴とする、物品搬送システム。
【請求項２】
前記引取台車選定手段は、
前記目標処理装置が物品の処理を終了するまで前記引取台車を前記目標処理装置近傍に待機させる待機指令を出し、
待機している前記引取台車の走行移動方向と反対方向の上流側から、物品の搬送が可能な他の前記搬送台車が接近してきた場合、前記引取台車指定を解除して前記他の前記搬送台車を前記引取台車に指定する再度の前記引取台車指定を行うことを特徴とする、請求項１に記載の物品搬送システム。
【請求項３】
前記引取台車選定手段は、前記目標処理装置が物品の処理を終了したとき、前記引取台車の走行移動方向側であって、前記引取台車と前記目標処理装置との間に物品の搬送が可能な別の前記搬送台車が位置している場合、前記引取台車指定を解除して前記別の前記搬送台車を前記引取台車に指定する再度の前記引取台車指定を行うことを特徴とする、請求項２に記載の物品搬送システム。
【請求項４】
前記未処理物品支給制御手段は、
前記予測時間受信手段と、
前記予測時間が所定時間に達したら、物品の搬送が可能な前記搬送台車のうち、前記収納装置に最も早く到着する一の前記搬送台車を、支給台車に指定する支給台車指定を行う支給台車選定手段とを有し、
前記未処理物品の支給を行うための前記支給台車に、前記収納装置からの前記未処理物品の荷受処理、及び前記目標処理装置への前記未処理物品の支給処理を指令することを特徴とする、請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の物品搬送システム。
【請求項５】
前記支給台車選定手段は、前記目標処理装置が物品の処理を終了したとき、前記支給台車が前記荷受処理をまだ行っておらず、且つ前記収納装置に最も早く到着する新たな前記搬送台車が存在する場合、前記支給台車指定及び前記荷受処理の指令を解除して前記新たな前記搬送台車を前記支給台車に指定する再度の前記支給台車指定を行うことを特徴とする、請求項４に記載の物品搬送システム。
【請求項６】
前記未処理物品支給制御手段は、前記処理済み物品が引取されるまで、前記支給処理を行わないように指令を出し、
前記処理済み物品の引取が行われたのち、前記未処理物品の支給を行うことを特徴とする、請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の物品搬送システム。
【請求項７】
前記所定時間が、１分以上１０分以下であることを特徴とする、請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の物品搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体基板などの処理装置で処理される未処理物品、又はこれらの装置で処理された処理済み物品を搭載して搬送する複数の搬送台車の動作を制御する搬送台車制御手段を備えた物品搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体製造工場においては、生産性向上のための一つの方法として、生産のロットサイズ（１回当たりの生産量）を小さくし、且つ、半導体処理装置の単位時間当たりの処理能力を短くする試みがなされている。この生産方式では、中間製品である複数枚の半導体基板が収納された一般にＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）と呼ばれるキャリア（被搬送物）が搬送される回数は当然に増大する。
【０００３】
一方、半導体処理装置とストッカ（収納装置）との間、半導体処理装置間、或いはストッカ（収納装置）間において、キャリアを搬送するＯＨＴ(Overhead Hoist Transport)搬送台車などの搬送台車には半導体処理装置に遊休時間が生じないよう、効率の良い搬送台車制御技術が求められる。尚、キャリアの引取は、処理装置に連結されキャリアを載置する搬出入ポートを介して行われ、キャリアの支給も同様に、処理装置に連結されキャリアを載置する搬出入ポートを介して行われる。
【０００４】
通常、ある半導体処理装置における搬送台車によるキャリア交換（搬送）時間は、半導体処理装置から処理済みの半導体基板が収納されたキャリアを引取、新たに未処理の半導体基板が収納されたキャリアを半導体処理装置に支給するまでに要する時間として定義される。このキャリア交換時間をＣＥＴ（Carrier  Exchange  Time）と呼ぶことにすると、ＣＥＴが短い程優れた物品搬送システムと評価される。
【０００５】
従来、多数の搬送台車を制御部の指示下で走行させて、ステーション間で物品を搬送するシステムであって、同一の製造装置に対して複数の引取処理又は支給処理を順序付けて実行する搬送システムが提案されている（例えば、特許文献１参照）。この特許文献１に記載の搬送システムは、先順位の引取処理を実行する搬送台車が、後順位の支給処理を要求する収納装置と処理物品搬送先である処理装置との間の領域に進入した後に、後順位の支給処理要求を開始するようにした搬送システムである。
【０００６】
また、処理装置で処理された処理済み荷物の引取が行われたのち、処理装置で処理される未処理荷物の支給が行われる搬送システムであって、同一の製造装置に対して引取処理と支給処理とを同時に開始する搬送システムも提案されている（例えば、特許文献２参照）。この特許文献２に記載の搬送システムは、処理装置での処理が終了したのちキャリアの引取処理及び支給処理の要求を受けたとき、引取処理及び支給処理の指令を同時に出し、処理荷物搬送先から処理済荷物を収納したキャリアが引取されていなければ、未処理荷物を収納したキャリアの支給処理を一時的に行わないようにして、その後、処理済荷物を収納したキャリアの引取を確認すれば、未処理荷物を収納したキャリアの支給処理を行う搬送システムである。
【０００７】
【特許文献１】特開２０００−１４８２４３号公報
【特許文献２】特開２００５−２４３７２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１に記載された搬送システムにおいては、先順位の処理を実行する搬送台車が、後順位の処理を要求する収納装置と処理物品搬送先の処理装置との間の領域に進入するまで、後順位の処理が実行されない。すなわち、先順位の処理を実行する搬送台車が上記領域に進入してから、後順位の処理を実行する搬送台車が後順位の処理を要求する装置に向かうことを意味する。したがって、順位を守って物品を搬送することはできるものの、処理効率の向上までは望めない。
【０００９】
また、特許文献２に記載された搬送システムにおいては、処理装置での処理終了後、キャリアの引取処理及び支給処理の要求を受けたとき、引取処理及び支給処理の指令を同時に出すため、特許文献１に記載された搬送システムと比較して、キャリア交換時間（ＣＥＴ）は短縮化されている。しかし、半導体処理装置のように、複数の処理済み基板が収納されたキャリアが引取された後、すぐに未処理基板が収納されたキャリアの支給が要求される装置などにおいては、可能な限り、製造装置の遊休時間を少なくする必要がある。
【００１０】
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、処理装置からの処理済み物品の引取、ならびに処理装置への未処理物品の支給を行う時間を極力短縮化することによって、半導体処理装置などの遊休時間を短縮し処理効率の向上を図った物品搬送システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段及び効果】
【００１１】
本発明に係る物品搬送システムは、処理装置で処理された処理済み物品の引取、及び前記処理装置で処理される未処理物品の支給を行う物品搬送システムに関する。そして、本発明に係る物品搬送システムは、上記目的を達成するために以下のようないくつかの特徴を有している。すなわち、本発明の物品搬送システムは、以下の特徴を単独で、若しくは、適宜組み合わせて備えている。
【００１２】
上記目的を達成するための本発明に係る物品搬送システムにおける第１の特徴は、前記処理済み物品又は前記未処理物品を搭載して搬送する複数の搬送台車と、前記未処理物品を収納する収納装置と、前記搬送台車が一方向に走行移動し、少なくとも１つの閉ループの軌道を形成する走行路と、処理済み物品引取制御手段と未処理物品支給制御手段とから構成され、前記搬送台車及び前記収納装置と通信を行う搬送台車制御手段とを備え、前記処理済み物品引取制御手段は、物品の処理を行っている前記処理装置である目標処理装置から物品の処理が終了するまでの予測時間を受信する予測時間受信手段と、前記予測時間が所定時間に達したら、物品の搬送が可能な前記搬送台車のうち、前記目標処理装置に最も早く到着する一の前記搬送台車を、引取台車に指定する引取台車指定を行う引取台車選定手段とを有し、前記処理済み物品の引取を行うための前記引取台車に、前記処理済み物品の引取処理を指令することである。
【００１３】
この構成によると、物品の処理を行っている目標処理装置が物品の処理を終了するまでに、処理済み物品の引取処理が開始される。すなわち、目標処理装置が物品の処理を終了するまでに、物品の搬送が可能で且つ目標処理装置に最も早く到着する、処理済み物品の引取を行う引取台車が、処理済み物品引取のための走行を開始する。よって、目標処理装置が物品の処理を終了した時点で、処理済み物品の引取を行う引取台車が走行し始める場合に比べて、引取台車が目標処理装置に到達する時間は短縮される。したがって、目標処理装置からの処理済み物品の引取を行う時間を短縮化でき、結果として半導体処理装置などの遊休時間が短縮され処理効率の向上が図れる。
【００１４】
また、本発明に係る物品搬送システムにおける第２の特徴は、前記引取台車選定手段は、前記目標処理装置が物品の処理を終了するまで前記引取台車を前記目標処理装置近傍に待機させる待機指令を出し、待機している前記引取台車の走行移動方向と反対方向の上流側から、物品の搬送が可能な他の前記搬送台車が接近してきた場合、前記引取台車指定を解除して前記他の前記搬送台車を前記引取台車に指定する再度の前記引取台車指定を行うことである。
【００１５】
この構成によると、目標処理装置が物品の処理を終了するまで、処理済み物品の引取を行う引取台車は目標処理装置の近傍に待機する。このとき、上記引取台車の後方から物品の搬送が可能な他の搬送台車が接近してくる場合があり、一方、搬送台車は走行路を一方向に走行移動するため、この引取台車が、接近してきた搬送台車の走行を妨害して渋滞が生じることがある。しかし、接近してきた搬送台車は、処理済み物品の引取を行う新たな引取台車に再指定されるため、走行路上における搬送台車の渋滞は回避される。
【００１６】
また、本発明に係る物品搬送システムにおける第３の特徴は、前記引取台車選定手段は、前記目標処理装置が物品の処理を終了したとき、前記引取台車の走行移動方向側であって、前記引取台車と前記目標処理装置との間に物品の搬送が可能な別の前記搬送台車が位置している場合、前記引取台車指定を解除して前記別の前記搬送台車を前記引取台車に指定する再度の前記引取台車指定を行うことである。
【００１７】
この構成によると、目標処理装置が物品の処理を終了したとき、処理済み物品の引取を行う引取台車の再選定が行われる。ここで、前記の予測時間が所定時間に達した時点で、引取台車が選定されているが、目標処理装置が物品の処理を終了するまでの間に物品を搭載して搬送している搬送台車が、処理装置などに物品を引き渡して物品の搬送が可能な台車（空台車）になっている場合がある。そして、この物品の搬送が可能な台車（空台車）が、上記引取台車と目標処理装置との間に位置している場合には、この物品の搬送が可能な台車（空台車）を処理済み物品の引取を行う新たな引取台車に再指定する引取台車の再選定を行うことにより、引取台車が目標処理装置に到達する時間をより短縮できる。
【００１８】
また、本発明に係る物品搬送システムにおける第４の特徴は、前記未処理物品支給制御手段は、前記予測時間受信手段と、前記予測時間が所定時間に達したら、物品の搬送が可能な前記搬送台車のうち、前記収納装置に最も早く到着する一の前記搬送台車を、支給台車に指定する支給台車指定を行う支給台車選定手段とを有し、前記未処理物品の支給を行うための前記支給台車に、前記収納装置からの前記未処理物品の荷受処理、及び前記目標処理装置への前記未処理物品の支給処理を指令することである。
【００１９】
この構成によると、物品の処理を行っている目標処理装置が物品の処理を終了するまでに、未処理物品の荷受、支給処理が開始される。すなわち、目標処理装置が物品の処理を終了するまでに、物品の搬送が可能で且つ未処理物品を収納する収納装置に最も早く到着する、未処理物品の荷受、支給を行う支給台車が、未処理物品荷受のための走行を開始する。よって、処理済み物品の引取を行う引取台車が物品の引取を終了した時点や、目標処理装置が物品の処理を終了した時点で、未処理物品の荷受、支給を行う支給台車が走行し始める場合に比べて、支給台車が収納装置に到達する時間は短縮される。したがって、収納装置からの未処理物品の荷受を行う時間を短縮化でき、目標処理装置への未処理物品の支給を迅速に行えることができるので、結果として半導体処理装置などの遊休時間が短縮され処理効率の向上が図れる。
【００２０】
また、本発明に係る物品搬送システムにおける第５の特徴は、前記支給台車選定手段は、前記目標処理装置が物品の処理を終了したとき、前記支給台車が前記荷受処理をまだ行っておらず、且つ前記収納装置に最も早く到着する新たな前記搬送台車が存在する場合、前記支給台車指定及び前記荷受処理の指令を解除して前記新たな前記搬送台車を前記支給台車に指定する再度の前記支給台車指定を行うことである。
【００２１】
この構成によると、目標処理装置が物品の処理を終了したとき、未処理物品の荷受、支給を行う支給台車の再選定が行われる。ここで、前記の予測時間が所定時間に達した時点で、支給台車が選定されているが、目標処理装置が物品の処理を終了するまでの間に物品を搭載して搬送している搬送台車が、処理装置などに物品を引き渡して物品の搬送が可能な台車（空台車）になっている場合がある。そして、この物品の搬送が可能な台車（空台車）が、上記支給台車と収納装置との間に位置している場合には、この物品の搬送が可能な台車（空台車）を未処理物品の荷受、支給を行う新たな支給台車に再指定する支給台車の再選定を行うことにより、支給台車が収納装置に到達する時間をより短縮できる。
【００２２】
また、本発明に係る物品搬送システムにおける第６の特徴は、前記未処理物品支給制御手段は、前記処理済み物品が引取されるまで、前記支給処理を行わないように指令を出し、前記処理済み物品の引取が行われたのち、前記未処理物品の支給を行うことである。
【００２３】
この構成によると、処理済み物品の引取が行われたのち、未処理物品の支給を行うという作業工程の順位を守ることができる。よって、目標処理装置が物品の処理を行っている途中に新たな未処理物品が供給されることはない。
【００２４】
また、本発明に係る物品搬送システムにおける第７の特徴は、前記所定時間が、１分以上１０分以下であることである。
【００２５】
この構成によると、上記所定時間の上限を１０分とすることで、処理済み物品の引取を行う引取台車、及び未処理物品の支給を行う支給台車の最初の選定を早くしすぎることがなく、引取台車の再指定回数及び支給台車の再指定回数がむやみに多くなることを防止できる。また、上記所定時間の下限を１分とすることで、引取台車による処理済み物品の引取走行、及び支給台車による未処理物品の荷受走行を迅速に開始することができるため、目標処理装置からの処理済み物品の引取を行う時間、及び収納装置からの未処理物品の荷受を行う時間を短縮できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明を実施するための形態について図面を参照しつつ説明する。以下に説明する本発明に係る物品搬送システムの実施形態では、処理済み物品或いは未処理物品である複数枚の半導体基板のような複数の物品が収納された一般にＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）と呼ばれるキャリア（被搬送物）を搬送対象の物品として記載するが、本発明に係る物品搬送システムは、複数枚の半導体基板が収納されたＦＯＵＰ以外の収納容器、あるいは単品の物品を搬送対象の物品とすることも可能である。また、搬送台車としては、ＯＨＴ(Overhead Hoist Transport)搬送台車や、ＯＨＳ（Overhead Hoist Shuttle）搬送台車などがある。さらに処理装置としては、半導体基板用の処理装置を対象としているが、本発明に係る物品搬送システムで用いられる処理装置は、半導体基板用の処理装置に限られるものではない。
【００２７】
図１は、本発明の物品搬送システムに係る一実施形態のレイアウト図である。また、図２は、図１に示す物品搬送システム１の構成図である。図１及び図２に示すように、本一実施形態の物品搬送システム１は、複数の処理済み物品又は複数の未処理物品を収納したキャリア２０を搭載して搬送する複数の搬送台車１３と、キャリア２０を収納する収納装置１４（以下、ストッカ１４と記載する）と、搬送台車１３が一方向に走行移動し、少なくとも１つの閉ループの軌道を形成する走行路（工程間軌道１０、工程内軌道１１、及び分岐軌道１２から構成される）と、物品の処理を行う処理装置１５と、処理済み物品引取制御手段と未処理物品支給制御手段とから構成され搬送台車１３及びストッカ１４と通信を行う搬送台車制御手段２６とを備えている。
【００２８】
ここで、搬送台車制御手段２６は、搬送台車１３を統括するコントローラであるＴＳＣ（Transport System Controller）１６と、ストッカ１４を統括するコントローラであるＳＣ（Stocker Controller）２５と、ＴＳＣ１６及びＳＣ２５と通信を行い、物品搬送システム１全体を統括するコントローラであるＭＣＳ（Material Control System）２３と、ＭＣＳ２３及び処理装置１５と通信を行い、生産システム全体を統括するコントローラであるＭＥＳ（Manufacturing Execution System）２４とから構成される。
【００２９】
また、図１の搬送台車１３ａ、１３ｂ、１３ｃで示すように、搬送台車１３は、工程間軌道１０から分岐する分岐軌道１２を介して工程間軌道１０から工程内軌道１１を走行する。また、搬送台車１３は、ＴＳＣ１６の指令を受けてこれら走行路上を一方向に自在に走行する。ここで、搬送台車１３が走行する、工程間軌道１０、工程内軌道１１、及び分岐軌道１２から構成される走行路は、工場の天井から吊り下げるなどして取り付けられる。
【００３０】
また、ストッカ１４は、工程間軌道１０から分岐する分岐軌道１２に隣接して配置され搬出入ポート１８を介して搬送台車１３とキャリア２０の受け渡しを行う。処理装置１５は、工程内軌道１１に沿って複数配置され搬出入ポート１９を介して搬送台車１３とキャリア２０の受け渡しを行う。
【００３１】
（第１実施形態）
図３は、本発明の物品搬送システムにおける第１実施形態に係る制御フロー概略説明図である。また、図５は、本第１実施形態との比較用に示した従来の物品搬送システムに係る制御フロー概略説明図である。
【００３２】
本第１実施形態では、まず、予測時間受信手段により、ＭＥＳ２４は物品の処理を行っている処理装置１５から物品の処理が終了するまでの予測時間及びキャリア２０の引取予報を受信する。次に、図３に示すように、ＭＥＳ２４はＭＣＳ２３に引取予報を送信する。そして、引取台車選定手段により、この予測時間が所定時間に達したら、物品の搬送が可能な搬送台車１３のうち、物品の処理を行っている目標の処理装置１５に最も早く到着する一の搬送台車１３が、処理済み物品の引取を行う引取台車に指定される。そして、搬送台車１３は処理済み物品の引取のための走行を開始する（引取予備動作時間３２ａ）。
【００３３】
次に、処理装置１５における物品の処理が終了しキャリアの引取準備が整えば、ＭＣＳ２３はＴＳＣ１６に処理済み物品を収納したキャリア２０の引取要求を送信する。そして、ＴＳＣ１６の指令により引取台車に指定された搬送台車１３が、上記キャリア２０の引取を実行する（引取動作時間３２ｂ）。そして、上記キャリア２０の引取が完了すれば、ＭＣＳ２３はＴＳＣ１６に未処理物品を収納したキャリア２０の支給要求を送信する。そして、ＴＳＣ１６の指令により支給台車に指定された搬送台車１３が、上記キャリア２０の支給を実行する（支給動作時間３３）。
【００３４】
一方、図５に示すように、従来の物品搬送システムにおいては、処理装置１５における物品の処理が終了した時点で、ＭＥＳ２４が物品の処理を行っている処理装置１５から物品の処理が終了した信号を受信し、キャリアの引取準備が整えば、ＭＥＳ２４は、ＭＣＳ２３を介してＴＳＣ１６に処理済み物品を収納したキャリア２０の引取要求を送信する。そして、ＴＳＣ１６の指令により引取台車に指定された搬送台車１３が、処理済み物品の引取のための走行を開始し、処理済み物品を収納したキャリア２０の引取を実行する（引取動作時間３８）。そののち、前記の本第１実施形態と同様に支給台車に指定された搬送台車１３が、上記キャリア２０の支給を実行する（支給動作時間３９）。
【００３５】
ここで、前記したように、図３及び図５に示すＣＥＴ３１，３７とは、処理装置１５から処理済み物品が収納されたキャリア２０を引取、新たに未処理物品が収納されたキャリア２０を処理装置１５に支給するまでに要する時間として定義されるもので、ＣＥＴ３１は、引取動作時間３２ｂと支給動作時間３３との和であり、ＣＥＴ３７は、引取動作時間３８と支給動作時間３９との和である。これをキャリア交換時間（ＣＥＴ（Carrier  Exchange  Time））と呼ぶこととすると、図３に示す本第１実施形態に係るＣＥＴ３１の方が、図５に示す従来の物品搬送システムに係るＣＥＴ３７よりも短くなる。これは、本第１実施形態においては、処理装置１５が物品の処理を終了するまでに、処理済み物品の引取を行う引取台車である搬送台車１３が、処理済み物品引取のための走行を開始するが、従来の物品搬送システムにおいては、処理装置１５が物品の処理を終了した時点ではじめて、処理済み物品の引取を行う引取台車である搬送台車１３が走行し始める。よって、この搬送台車１３が処理装置１５に到達する時間は、本第１実施形態における制御手段の方が確実に短縮される。したがって、処理装置１５からの処理済み物品を収納したキャリア２０の引取を行う時間を、従来よりも短縮化でき、結果として半導体処理装置などの処理装置１５の遊休時間が短縮され処理効率の向上が図れる。
【００３６】
図６は、図３に示す本第１実施形態に係る制御フローの詳細フローを示した図である。以下、本第１実施形態に係る制御フローの詳細について図６を参照しつつ説明する。
【００３７】
まず、前記したように、本発明の物品搬送システムにおける搬送台車制御手段２６は、処理済み物品引取制御手段と未処理物品支給制御手段とを有する。そして、本第１実施形態に係る処理済み物品引取制御手段は、予測時間受信手段と引取台車選定手段とを有し、未処理物品支給制御手段は、支給台車選定手段を有する。
【００３８】
そして、本第１実施形態に係る予測時間受信手段により、図６に示すＳ２（ステップ２、以下Ｓ２と記載する、他のステップも同様）が実行され、引取台車選定手段により、図６に示すＳ５及びＳ７が実行される。以下、図６に示す各工程について説明する。
【００３９】
まず、処理装置１５が物品の処理を終了するまでの予測時間を計算する（Ｓ１）。上記予測時間が、例えば、３分に達する又は３分以内の場合、ＭＥＳ２４は、処理装置１５からキャリア２０の引取予報及び上記予測時間を受信する（Ｓ２）。そして、ＭＥＳ２４は、ＭＣＳ２３にキャリア２０の引取予報、上記予測時間、及び標準偏差を送信する（Ｓ３）。ここで、標準偏差とは、処理装置１５が物品の処理を終了するまでの予測時間と、実際に処理を終了するに要した実績時間との差異に関する過去の実績データについて、予め計算で求めておいた標準偏差値であって、予測時間は、この標準偏差を含め計算される。
【００４０】
尚、上記所定時間は、１分以上１０分以下であることが好ましい。所定時間の上限を１０分とすることで、キャリア２０の引取を行う引取台車、及びキャリア２０の支給を行う支給台車の最初の選定を早くしすぎることがなく、引取台車の再指定回数及び支給台車の再指定回数がむやみに多くなることを防止できる。また、上記所定時間の下限を１分とすることで、引取台車によるキャリア２０の引取走行、及び支給台車によるキャリア２０の荷受走行を迅速に開始することができるため、処理装置１５からのキャリア２０の引取を行う時間、及びストッカ１４からのキャリア２０の荷受を行う時間を短縮できる。
【００４１】
次に、ＭＣＳ２３は、ＴＳＣ１６にキャリア２０の引取搬送を指令する（Ｓ４）。ＭＣＳ２３からキャリア２０の引取搬送指令を受けたＴＳＣ１６は、物品の搬送が可能な空の搬送台車１３のうち、物品の処理を行っている目標の処理装置１５に最も早く到着する一の搬送台車１３を、キャリア２０の引取を行う引取台車に指定する引取台車指定を行い、この引取台車に目標の処理装置１５と目標の処理装置１５までのルートとを示しキャリア２０の引取搬送を指令する（Ｓ５）。そして、引取台車に指定された空の搬送台車１３がキャリア２０の引取のための走行を開始する（Ｓ６）。
【００４２】
次に、ＴＳＣ１６は、キャリア２０の引取を行う引取台車の再選定を行う（Ｓ７）。ここで、図７は、図６に示すＳ７の詳細フローを示した図である。また、図８は、図７に示すステップ３４及び３７を説明する図である。
【００４３】
図７に示すように、引取台車が目標の処理装置１５近傍に到着（Ｓ３１）すれば、ＴＳＣ１６は、目標の処理装置１５が物品の処理を終了するまで上記引取台車を目標の処理装置１５近傍に待機させる待機指令を出す（Ｓ３２）。そして、ＴＳＣ１６は、待機している引取台車である搬送台車１３ｄの走行移動方向と反対方向の上流側から、物品の搬送が可能な他の搬送台車１３ｅが接近（Ｓ３３）してきた場合、Ｓ５で行われた引取台車指定を解除して上記他の搬送台車１３ｅを新たな引取台車に指定する再度の引取台車指定を行う（Ｓ３４）（図８（ａ）参照）。
【００４４】
ここで、引取台車の後方から物品の搬送が可能な他の搬送台車１３ｅが接近してくる場合があり、一方、搬送台車１３は走行路を一方向に走行移動するため、引取台車が接近してきた下流側の搬送台車１３ｄの走行を妨害して渋滞が生じることがある。しかし、この制御フローにより、後方から接近してきた搬送台車１３ｅがキャリア２０の引取を行う新たな引取台車に再指定されるため、走行路上における搬送台車１３の渋滞は回避される。尚、引取台車が目標の処理装置１５ｄ近傍に待機している間、Ｓ３４の引取台車の再指定は、後続から空の搬送台車１３が接近してくる限り、繰り返し行われるものである。
【００４５】
次に、図７に示すように、目標の処理装置１５が物品の処理を終了し、ＭＣＳ２３がＴＳＣ１６にキャリア２０の引取要求を指令（Ｓ３５）したとき、引取台車である搬送台車１３ｇの走行移動方向側であって、搬送台車１３ｇと処理装置１５ｆとの間に物品の搬送が可能な別の搬送台車１３ｆが位置（Ｓ３６）している場合、搬送台車１３ｇの引取台車指定を解除して、搬送台車１３ｇよりも、より処理装置１５ｆ近傍に位置する搬送台車１３ｆを新たな引取台車に指定する再度の引取台車指定を行う（Ｓ３７）（図８（ｂ１）、（ｂ２）参照）。そして、キャリア２０の引取台車が確定し（Ｓ３８）、確定した引取台車が、キャリア２０の引取のための走行を開始する（Ｓ３９）。このＳ３７による再度の引取台車指定を行うことにより、引取台車がキャリア２０を引取するための目標の処理装置１５に到達する時間をより短縮できる。
【００４６】
尚、上記のＳ３７による再度の引取台車指定が行われるのは、図８（ｂ１）、（ｂ２）に示すように、図６に示すＳ５で行われた引取台車指定時以後、Ｓ７の引取台車の再選定が行われるまでに、キャリア２０の引取要求のあった処理装置１５ｅへキャリア２０の支給を完了させた他の搬送台車１３ｆが、キャリア２０の搬送が可能な空の搬送台車１３ｆとなる場合があるからである。
【００４７】
図６に戻り、引取台車がキャリア２０の引取を完了する（Ｓ８）と、ＭＥＳ２４は、ＴＳＣ１６からＭＣＳ２３を介してキャリア２０の引取完了の信号を受信し、引取完了を確認後、ＭＣＳ２３に未処理物品を収納したキャリア２０の支給を指令し、ＭＣＳ２３は、ＴＳＣ１６にキャリア２０の支給要求を出す（Ｓ９）。
【００４８】
そして、ＭＣＳ２３が、ＴＳＣ１６にキャリア２０の支給搬送を指令し（Ｓ１１）、指令を受けたＴＳＣ１６は、物品の搬送が可能な空の搬送台車１３のうち、ストッカ１４に最も早く到着する一の搬送台車１３を、キャリア２０の支給を行う支給台車に指定する支給台車指定を行い、この支給台車にストッカ１４までのルートを示しキャリア２０の荷受処理を指令する（Ｓ１３）。これにより、キャリア２０の荷受及び支給を行う支給台車が確定し（Ｓ１４）、この確定した支給台車が荷受のための走行を開始する（Ｓ１５）。
【００４９】
また、ＭＥＳ２４は、ＭＣＳ２３に未処理物品を収納したキャリア２０の支給を指令するとともに、ＭＣＳ２３に未処理物品を収納したキャリア２０の載置を指令し、ＭＣＳ２３は、ＳＣ２５にキャリア２０をストッカ１４の搬出入ポート１８に載置するよう指令を出す（Ｓ１０）。そして、ストッカ１４は、キャリア２０を搬出入ポート１８に載置する（Ｓ１２）。
【００５０】
次に、Ｓ１４により確定した支給台車は、ストッカ１４の搬出入ポート１８からキャリア２０を受け取る（Ｓ１６）。そして、ＴＳＣ１６は、キャリア２０を受け取った（荷受処理を行った）支給台車にキャリア２０を支給する目標の処理装置１５と、その処理装置１５までのルートを示し、キャリア２０の支給搬送を指令する（Ｓ１７）。そして、キャリア２０を搭載した支給台車は、上記処理装置１５にキャリア２０を支給するための走行を開始し（Ｓ１８）、この支給台車が、目標の処理装置１５にキャリア２０を支給して（Ｓ１９）、処理済み物品の引取、及び未処理物品の支給が完了する。
【００５１】
図１１は、図５に示す従来の物品搬送システムに基づく制御フローにより数値解析を実施したＣＥＴ分布のシミュレーション結果を示した図である。図１１における横軸は、キャリア交換時間（ＣＥＴ）で、縦軸は、そのＣＥＴの頻度である。ここで、直線で連結されたそれぞれの点が計算結果であり、曲線は、この計算結果の分布について指数分布を仮定して求めた近似曲線である。
【００５２】
また、図１２は、図３、図５に示す制御フローに基づき数値解析を実施したＣＥＴ分布のシミュレーション結果を示した図である。尚、図３に示す本第１実施形態における制御フロー（詳細フローは図６に示す）において、処理装置１５が物品の処理を終了するまでの予測時間を１分とし処理が終了する約１分前に引取予報を出す条件で第１実施形態における制御フローに基づき数値解析を行っている。また、計算には図１１の指数分布の仮定を使用している。
【００５３】
図１２における横軸は、キャリア交換時間（ＣＥＴ）で、縦軸は、そのＣＥＴの確率密度である。また、実線は、本第１実施形態における制御フローに基づくシミュレーション結果であり、点線は、従来の物品搬送システムにおける制御フローに基づくシミュレーション結果である。図１２に示すように、本第１実施形態では、従来の物品搬送システム（従来技術）と比較してＣＥＴの平均値（期待値）、標準偏差（バラつき）とも小さく、ＣＥＴが１分を超過する割合（長時間となる割合）も大幅に低減できている。これらの結果のうち、ＣＥＴが長時間となる割合を低減できる効果は運用上の実利が大である。
【００５４】
（第２実施形態）
図４は、本発明の物品搬送システムにおける第２実施形態に係る制御フロー概略説明図である。尚、本第２実施形態を説明する図４に示す３４、３５ａ、及び３５ｂは、前記の第１実施形態を説明する図３の３１、３２ａ、及び３２ｂと同様の構成であるため、その説明は省略する。
【００５５】
本第２実施形態と前記の第１実施形態との違いは、本第２実施形態においては、未処理物品支給制御手段においても、物品の処理が終了するまでに、未処理物品を支給するための支給台車が走行を開始することである。
【００５６】
図４に示すように、ＭＥＳ２４はＭＣＳ２３に物品の処理が終了するまでの支給予報を送信する。そして、支給台車選定手段により、この予測時間が所定時間に達したら、物品の搬送が可能な搬送台車１３のうち、ストッカ１４に最も早く到着する一の搬送台車１３が、未処理物品の支給を行う支給台車に指定される。そして、搬送台車１３は未処理物品の荷受及び支給のための走行を開始する（支給予備動作時間３６ａ）。
【００５７】
次に、処理装置１５における物品の処理が終了しキャリアの引取準備が整えば、ＭＣＳ２３はＴＳＣ１６に未処理物品を収納したキャリア２０の支給要求を送信する。そして、ＴＳＣ１６の指令により支給台車に指定された搬送台車１３が、上記キャリア２０の荷受及び支給を実行する（支給動作時間３６ｂ）。尚、図４に示すように、ここでのＣＥＴ３４は支給動作時間３６ｂと等しくなる。
【００５８】
この構成によると、物品の処理が終了する前から未処理物品を支給するための支給台車が走行を開始するため、処理済み物品の引取を行う引取台車が物品の引取を終了した時点や、処理装置１５が物品の処理を終了した時点で、上記支給台車が走行し始める場合に比べて、支給台車がストッカ１４に到達する時間は短縮される。よって、ストッカ１４からの未処理物品の荷受を行う時間を短縮化でき、未処理物品の支給を行う目標の処理装置１５への未処理物品の支給を迅速に行えることができ、半導体処理装置などの処理装置１５の遊休時間が短縮され処理効率の向上が図れる。
【００５９】
図９は、図４に示す本第２実施形態に係る制御フローの詳細フローを示した図である。以下、本第２実施形態に係る制御フローの詳細について図９を参照しつつ説明する。尚、図６に示す第１実施形態に係る制御フローのステップのうち、同一ステップには同一符号を付してその説明を省略する。
【００６０】
まず、前記したように、本発明の物品搬送システムにおける搬送台車制御手段２６は、処理済み物品引取制御手段と未処理物品支給制御手段とを有する。そして、本第２実施形態に係る処理済み物品引取制御手段は、予測時間受信手段と引取台車選定手段とを有し、未処理物品支給制御手段は、予測時間受信手段と支給台車選定手段とを有する。
【００６１】
そして、本第２実施形態に係る予測時間受信手段により、図９に示すＳ４２が実行され、引取台車選定手段により図９に示すＳ５及びＳ７が実行され、支給台車選定手段により図９に示すＳ１３及びＳ４４が実行される。以下、図９に示す各工程について説明する。
【００６２】
まず、Ｓ１が実行されたのち、処理装置１５における物品の処理を終了するまでの予測時間が、例えば、３分に達する又は３分以内の場合、ＭＥＳ２４は、処理装置１５からキャリア２０の引取予報、支給予報及び上記予測時間を受信する（Ｓ４２）。そして、ＭＥＳ２４は、ＭＣＳ２３にキャリア２０の引取予報、支給予報、上記予測時間、及び標準偏差を送信する（Ｓ４３）。
【００６３】
次に、図９に示すＳ４４について説明する。図１０は、図９に示すステップ４４の詳細フローを示した図である。
【００６４】
図１０に示すように、キャリア２０の支給台車に指定された搬送台車１３がストッカ１４に到着する（Ｓ５１）と、この搬送台車１３は、ストッカ１４からキャリア２０を受け取る荷受処理を行い（Ｓ１６）、この荷受処理を行ってキャリア２０を搭載した搬送台車１３が支給台車に確定する（Ｓ５５）。
【００６５】
一方、キャリア２０の支給台車に指定された搬送台車１３がストッカ１４に到着（Ｓ５１）するまでに、処理装置１５が物品の処理を終了し、ＭＣＳ２３がＴＳＣ１６にキャリア２０の引取要求及び支給要求を指令（Ｓ５２）したとき、ストッカ１４に最も早く到着する新たな搬送台車１３が存在する（Ｓ５３）場合、前記の支給台車指定及び前記の荷受処理の指令を解除して、上記の新たな搬送台車１３を支給台車に指定する再度の支給台車指定を行う（Ｓ５４）。そして、上記搬送台車１３が、ストッカ１４からキャリア２０を受け取る荷受処理を行い（Ｓ１６）、この荷受処理を行ってキャリア２０を搭載した搬送台車１３が支給台車に確定し（Ｓ５５）、Ｓ１７、Ｓ１８が実行される。このように、支給台車の再選定（Ｓ４４）を行うことにより、支給台車がストッカ１４に到達する時間をより短縮できる。尚、上記Ｓ５３は、図８（ｂ１）、（ｂ２）に示す処理装置１５ｆをストッカ１４に置き換えると容易に理解できるものである。
【００６６】
そして、ＴＳＣ１６は、支給台車に対して引取台車により処理済み物品が収納されたキャリア２０の引取されるまで、未処理物品を収納したキャリア２０の支給処理を行わないように指令を出す。そして、処理済み物品が収納されたキャリア２０の引取が行われ、ＭＥＳ２４が処理済み物品の収納されたキャリア２０の引取完了を確認後、ＭＥＳ２４は、ＭＣＳ２３に未処理物品を収納したキャリア２０の支給を指令し、ＭＣＳ２３は、ＴＳＣ１６に未処理物品を収納したキャリア２０の支給処理を許可する（Ｓ４５）。これにより、処理済み物品の引取が行われたのち、未処理物品の支給を行うという作業工程の順位を守ることができる。よって、処理装置１５が物品の処理を行っている途中に新たな未処理物品を収納したキャリア２０が供給されることはない。
【００６７】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々に変更して実施することができるものである。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明の物品搬送システムに係る一実施形態のレイアウト図である。
【図２】図１に示す物品搬送システムの構成図である。
【図３】本発明の物品搬送システムにおける第１実施形態に係る制御フロー概略説明図である。
【図４】本発明の物品搬送システムにおける第２実施形態に係る制御フロー概略説明図である。
【図５】従来の物品搬送システムに係る制御フロー概略説明図である。
【図６】図３に示す制御フローの詳細フローを示した図である。
【図７】図６に示すステップ７の詳細フローを示した図である。
【図８】図７に示すステップ３４及び３７を説明する図である。
【図９】図４に示す制御フローの詳細フローを示した図である。
【図１０】図９に示すステップ４４の詳細フローを示した図である。
【図１１】図５に示す制御フローに基づき数値解析を実施したＣＥＴ分布のシミュレーション結果を示した図である。
【図１２】図３、図５に示す制御フローに基づき数値解析を実施したＣＥＴ分布のシミュレーション結果を示した図である。
【符号の説明】
【００６９】
１      物品搬送システム
１０    工程間軌道
１１    工程内軌道
１２    分岐軌道
１３    搬送台車
１４    収納装置（ストッカ）
１５    処理装置
２０    キャリア
２６    搬送台車制御手段
【図１】
2008108031.tif 000003
【図２】
2008108031.tif 000004
【図３】
2008108031.tif 000005
【図４】
2008108031.tif 000006
【図５】
2008108031.tif 000007
【図６】
2008108031.tif 000008
【図７】
2008108031.tif 000009
【図８】
2008108031.tif 000010
【図９】
2008108031.tif 000011
【図１０】
2008108031.tif 000012
【図１１】
2008108031.tif 000013
【図１２】
2008108031.tif 000014