(57)【要約】【課題】圧力周波数変換装置の、双音叉振動子の振動方向に沿った長さが、長い。【解決手段】双音叉振動子２は、第１の方向Ｐと、第１の方向Ｐと交差する第２の方向とにより規定される平面上で第１の方向Ｐに延在する相互に平行な二つの振動片部２ａ，２ｂであって、第２の方向に沿って振動する二つの振動片部２ａ，２ｂと、当該二つの振動片部２ａ，２ｂを、第１の方向Ｐについて挟持する二つの端部２ｃ，２ｄとを有し、伸縮部材３は、第１の方向Ｐに沿って延在し、双音叉振動子２を収納する柱状であって、両底面３ｃ，３ｄがそれぞれ双音叉振動子２の二つの端部２ｃ，２ｄのうちの一つに固定されており、圧力周波数変換装置１の第２の方向の長さを規定する伸縮部材３の第２の方向の長さ、を規定する、側面３１の一部３１ａ及び他の一部３１ｂが、それぞれ双音叉振動子２の二つの振動片部２ａ，２ｂのうちの一つに近接する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
二つの振動片部と、当該二つの振動片部を挟持する第１および第２の端部とを有する双音叉振動子と、
前記双音叉振動子を収納する柱状の伸縮部材であって、前記第１の端部に接続される第１の底面と、前記第２の端部に接続される第２の底面と、を有する伸縮部材と、
を備えることを特徴とする圧力周波数変換装置。
【請求項２】
双音叉振動子と、伸縮部材とを備えた圧力周波数変換装置であって、
前記双音叉振動子は、外部から圧力が加わる第１の方向と、当該第１の方向と交差する第２の方向とにより規定される平面上で前記第１の方向に延在する相互に平行な前記二つの振動片部であって、前記第２の方向に沿って振動する前記二つの振動片部と、当該二つの振動片部を、前記第１の方向について協働して挟持する二つの端部とを有し、
前記伸縮部材は、前記第１の方向に沿って延在し、前記双音叉振動子を収納する柱状であって、両底面がそれぞれ前記双音叉振動子の前記二つの端部のうちの一つに固定されており、前記圧力周波数変換装置の前記第２の方向についての長さを規定する前記伸縮部材の前記第２の方向についての長さ、を規定する、側面の一部及び他の一部が、それぞれ前記双音叉振動子の前記二つの振動片部のうちの一つに近接し、
前記伸縮部材は、前記両底面が前記圧力の変化を受けることに応じて前記側面が伸縮することにより、前記圧力の変化を前記双音叉振動子に伝達し、
前記双音叉振動子は、前記伝達された圧力の変化に応じて前記二つの振動片部の前記振動の周波数を変化させることを特徴とする圧力周波数変換装置。
【請求項３】
前記伸縮部材は、前記第１の方向と交差する平面に沿って切断したときの断面形状が、円形であることを特徴とする請求項２に記載の圧力周波数変換装置。
【請求項４】
外部から圧力が加わる第１の方向と、当該第１の方向と交差する第２の方向とにより規定される平面上で前記第１の方向に延在する相互に平行な二つの振動片部であって、前記第２の方向に沿って振動する前記二つの振動片部と、当該二つの振動片部を、前記第１の方向について協働して挟持する二つの端部とを有する双音叉振動子を、
前記第１の方向に延在する、一方の底面が開口した状態の、中空で柱状の伸縮部材に収納し、前記双音叉振動子の前記二つの端部のうちの一方を、前記伸縮部材の他方の底面に固定する工程と、
前記伸縮部材の前記開口した状態の一方の底面側に、当該一方の底面を覆うキャップ部材を配設し、前記双音叉振動子の前記二つの端部のうちの他方を、前記キャップ部材に固定するとともに、前記キャップ部材を、前記伸縮部材に当該伸縮部材の伸縮がない状態で固定する工程とを、
備えたことを特徴とする圧力周波数変換装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力センサのような圧力検出器に用いられる、加わる圧力の変化を周波数の変化に変換する圧力周波数変換装置、及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の圧力センサは、例えば、振動方向と直交する方向から圧力が加わると共振周波数が変化する双音叉振動子と、圧力を変位に変換するためのべローズとを備え、前記変位をてこの原理で、ベローズから、支点を挟んでべローズの反対側の位置にある双音叉振動子に伝達する（例えば、非特許文献１参照）。
【０００３】
【非特許文献１】双音叉振動子を用いた水晶圧力センサ、「東洋通信機技報」、１９９０年、Ｎｏ．４６、ｐ．１−８
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記の圧力センサ（以下、「圧力周波数変換装置」という。）は、前記変位をベローズ（以下、「伸縮部材」という。）から双音叉振動子に伝達するために、双音叉振動子の振動方向に沿った長さが、長い揺動アームが必要なことから、当該圧力周波数変換装置の、双音叉振動子の振動方向に沿った長さが、長くなってしまうという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記した課題を解決すべく、本発明に係る圧力周波数変換装置は、二つの振動片部と、当該二つの振動片部を挟持する第１および第２の端部とを有する双音叉振動子と、前記双音叉振動子を収納する柱状の伸縮部材であって、前記第１の端部に接続される第１の底面と、前記第２の端部に接続される第２の底面と、を有する伸縮部材と、を備えることを特徴とする。
【０００６】
上記した本発明に係る圧力周波数変換装置によれば、双音叉振動子が伸縮部材の内部に収納されることにより、双音叉振動子と伸縮部材とを伸縮部材の外側で繋ぐ揺動レバーが不要となることから、当該圧力周波数変換装置は、従来の、双音叉振動子と伸縮部材とを伸縮部材の外側で繋ぐ揺動レバーを有する圧力周波数変換装置と比較して、小型化することができる。
【０００７】
本発明に係る圧力周波数変換装置は、双音叉振動子と、伸縮部材とを備えた圧力周波数変換装置であって、前記双音叉振動子は、外部から圧力が加わる第１の方向と、当該第１の方向と交差する第２の方向とにより規定される平面上で前記第１の方向に延在する相互に平行な二つの振動片部であって、前記第２の方向に沿って振動する前記二つの振動片部と、当該二つの振動片部を、前記第１の方向について協働して挟持する二つの端部とを有し、前記伸縮部材は、前記第１の方向に沿って延在し、前記双音叉振動子を収納する柱状であって、両底面がそれぞれ前記双音叉振動子の前記二つの端部のうちの一つに固定されており、前記圧力周波数変換装置の前記第２の方向についての長さを規定する前記伸縮部材の前記第２の方向についての長さ、を規定する、側面の一部及び他の一部が、それぞれ前記双音叉振動子の前記二つの振動片部のうちの一つに近接し、前記伸縮部材は、前記両底面が前記圧力の変化を受けることに応じて前記側面が伸縮することにより、前記圧力の変化を前記双音叉振動子に伝達し、前記双音叉振動子は、前記伝達された圧力の変化に応じて前記二つの振動片部の前記振動の周波数を変化させることを特徴とする。
【０００８】
上記した本発明に係る圧力周波数変換装置によれば、伸縮部材の、両底面が圧力の変化を受けることに応じて側面が伸縮することにより、当該伸縮部材は、前記圧力の変化を、双音叉振動子に伝達し、当該双音叉振動子が、伝達された前記圧力の変化に応じて振動の周波数を変化させることから、従来と同様に前記第１の方向の圧力の変化を周波数の変化に変換させることができる。
【０００９】
また、伸縮部材は、当該伸縮部材の第２の方向についての長さを規定する、側面の一部及び他の一部が、それぞれ前記双音叉振動子の前記二つの振動片部のうちの一つに近接した状態で当該双音叉振動子を収納していることにより、当該伸縮部材の第２の方向についての長さが、概ね、前記双音叉振動子の第２の方向の長さになることから、前記伸縮部材の前記第２の方向についての長さにより規定される当該圧力周波数変換装置の前記第２の方向についての長さを、従来の圧力周波数変換装置の前記第２の方向についての長さ、即ち、概ね、双音叉振動子の第２の方向の長さと揺動アームの長さとの合計の長さより、短くすることができる。
【００１０】
上記した本発明に係る圧力周波数変換装置は、前記伸縮部材の、前記第１の方向と交差する平面に沿って切断したときの断面形状が、円形であることを特徴とする。
【００１１】
上記した本発明に係る圧力周波数変換装置によれば、伸縮部材の第１の方向と交差する平面に沿って切断したときの断面形状が円形であることにより、当該伸縮部材に加わる第１の方向以外の方向の圧力が、互いに相殺することから、当該圧力周波数変換装置は、前記第１の方向の圧力の変化を周波数の変化に変換することを、前記第１の方向以外の方向の圧力が当該第１の方向の圧力に加わることなく行うことができる。
【００１２】
本発明に係る圧力周波数変換装置の製造方法は、外部から圧力が加わる第１の方向と、当該第１の方向と交差する第２の方向とにより規定される平面上で前記第１の方向に延在する相互に平行な二つの振動片部であって、前記第２の方向に沿って振動する前記二つの振動片部と、当該二つの振動片部を、前記第１の方向について協働して挟持する二つの端部とを有する双音叉振動子を、前記第１の方向に延在する、一方の底面が開口した状態の、中空で柱状の伸縮部材に収納し、前記双音叉振動子の前記二つの端部のうちの一方を、前記伸縮部材の他方の底面に固定する工程と、前記伸縮部材の前記開口した状態の一方の底面側に、当該一方の底面を覆うキャップ部材を配設し、前記双音叉振動子の前記二つの端部のうちの他方を、前記キャップ部材に固定するとともに、前記キャップ部材を、前記伸縮部材に当該伸縮部材の伸縮がない状態で固定する工程とを、備えたことを特徴とする。
【００１３】
上記した本発明に係る圧力周波数変換装置の製造方法によれば、双音叉振動子の二つの端部のうちの一方を伸縮部材の他方の底面に固定し、双音叉振動子の二つの端部のうちの他方が固定されているキャップ部材を、前記伸縮部材に当該伸縮部材の伸縮がない状態で固定することにより、双音叉振動子は、伸縮部材の伸縮に起因する固定時の応力が発生しないことから、当該製造方法により製造された圧力周波数変換装置は、第１の方向の圧力の変化を周波数の変化に変換することを、前記固定時の応力が当該第１の方向の圧力に加わることなく行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明に係る圧力周波数変換装置の実施形態について図面を参照して説明する。
本実施形態の圧力周波数変換装置は、外部から加わる圧力が、伸縮部材の延在する方向に沿って、伸縮部材に収納された双音叉振動子に伝達され、前記圧力の変化に応じて双音叉振動子の振動の周波数が変化することにより、前記圧力の変化を周波数の変化に変換する。
【００１５】
《構成》
図１は、圧力周波数変換装置の原理図である。図１（ａ）は、平面図、同図（ｂ）は、同図（ａ）中のＡ−Ａ線での断面図である。
【００１６】
圧力周波数変換装置１は、図１に示されるように、双音叉振動子２と、伸縮部材３とを有する。双音叉振動子２は、伸縮部材３に収納されている。
双音叉振動子２は、二つの振動片部２ａ，２ｂと、二つの端部２ｃ，２ｄとから構成され、一方の端部２ｃが伸縮部材３の一方の底面３ｃに固定され、他方の端部２ｄが伸縮部材３の他方の底面３ｄに固定されている。
【００１７】
伸縮部材３は、側面３１が双音叉振動子２の延在方向（矢印Ｐ方向）に伸縮可能に形成されており、図１（ｂ）に示されるように、側面３１の一部３１ａが振動片部２ａに近接し、側面３１の他の一部３１ｂが振動片部２ｂに近接している。
【００１８】
（実施例１）
《構成》
図２は、図１の原理図を、実際の使用状態に置き換えた概略図である。図２（ａ）は、平面図、同図（ｂ）は、同図（ａ）中のＢ−Ｂ線での断面図、同図（ｃ）は、同図（ａ）中のＣ−Ｃ線での断面図である。
本実施例の圧力周波数変換装置１は、図２に示されるように、双音叉振動子２と、伸縮部材３と、プラグ部４と、導電性接着剤５と、端子部接着剤６と、受圧部接着剤７と、プラグ体接着剤８とを有する。
【００１９】
双音叉振動子２は、例えば、単結晶の水晶ウエハからフォトリソグラフィ技術などを用いて形成され、双音叉振動子２の延在方向（矢印Ｐ方向）と交差する矢印Ｄ方向に屈曲振動し、且つ相互に平行な二つの振動片部２ａ，２ｂと、二つの振動片部２ａ，２ｂを協働して挟持する二つの端部２ｃ，２ｄとを備えている。
双音叉振動子２の一方の端部２ｃは、伸縮部材３の一方の底面３ｃに受圧部接着剤７により略直角に固定され、他方の端部２ｄは、図１における伸縮部材３の他方の底面３ｄに相当するプラグ部４の表面４ｂに端子部接着剤６により略直角に固定されている。
【００２０】
伸縮部材３は、ステンレス鋼、燐青銅、コバールなどの金属からなり、側面３１が転造技術などを用いて蛇腹状に形成され、矢印Ｐ方向に伸縮可能となっている。伸縮部材３は、プラグ部４を挿入すべく、図１における他方の底面３ｄ側が開口されており、プラグ部４の挿入時、側面３１の端部３１ｃがプラグ部４の側面４ｃにプラグ体接着剤８により全周に亘り気密に固定される。
また、図２（ｃ）に示されるように、伸縮部材３は、矢印Ｄ方向に沿った平面で切断した断面形状が円形となっており、側面の一部３１ａが双音叉振動子２の振動片部２ａに近接し、側面の他の一部３１ｂが双音叉振動子２の振動片部２ｂに近接した状態となっている。
【００２１】
プラグ部４は、プラグ体４ａ、二つの端子４ｄ，４ｅ、絶縁体４ｆを備えている。プラグ体４ａは、金属などからなり、二つの端子４ｄ，４ｅに絶縁体４ｆを介して矢印Ｐ方向に貫通されている。
二つの端子４ｄ，４ｅは、金属などからなり、双音叉振動子２の他方の端部２ｄに導電性接着剤５によりそれぞれ固定されている。二つの端子４ｄ，４ｅは、双音叉振動子２を励振する外部からの駆動信号を双音叉振動子２に伝達したり、双音叉振動子２の振動に伴う発振信号を外部に伝達したりする。
【００２２】
絶縁体４ｆは、低融点ガラスなどの絶縁材料からなり、二つの端子４ｄ，４ｅをプラグ体４ａに、ハーメチックシール技術などを用いて、全周に亘り絶縁状態で気密に固定している。
端子部接着剤６、受圧部接着剤７、プラグ体接着剤８は、接着後の弾性変形などを防ぐために、エポキシ系接着剤やポリイミド系接着剤など、接着後の硬度が高いものが好ましい。
【００２３】
《動作》
本実施例の圧力周波数変換装置１の動作について図２を参照して説明する。双音叉振動子２は、振動方向（矢印Ｄ方向）と交差する方向（矢印Ｐ方向）に圧力が加わると振動の周波数が変化する。
最初に、圧力周波数変換装置１は、二つの端子４ｄ，４ｅを介して外部から励振されることにより、双音叉振動子２の二つの振動片部２ａ，２ｂが、それぞれ矢印Ｄ方向に、予め設定された周波数、例えば、３８．８ｋＨｚにて屈曲振動を発振する。
【００２４】
次に、外部から加わる圧力が変化すると、伸縮部材３の一方の底面３ｃは圧力の変化に応じて矢印Ｐ方向に変位する。ここで、伸縮部材３に加わる圧力は、図２（ｃ）に示されるように、伸縮部材３の断面形状が円形であることにより、矢印Ｐ方向以外の方向では、相互に相殺する。これにより、伸縮部材３には矢印Ｐ方向の圧力のみが加わることになり、矢印Ｐ方向の変位のみが発生することになる。
【００２５】
次に、伸縮部材３の一方の底面３ｃが矢印Ｐ方向に変位することにより、受圧部接着剤７を介して双音叉振動子２に、矢印Ｐ方向の圧力の変化が伝達される。
この際、伸縮部材３の側面３１が、伸縮部材３の一方の底面３ｃの変位量に応じて矢印Ｐ方向に伸縮する。
【００２６】
次に、双音叉振動子２は、伸縮部材３の一方の底面３ｃから伝達された矢印Ｐ方向の圧力の変化に応じて、二つの振動片部２ａ，２ｂの周波数が変化する。例えば、圧力が上がれば、周波数が低くなり、反対に、圧力が下がれば、周波数が高くなる。
次に、双音叉振動子２は、この周波数の変化を発振信号の変化として、二つの端子４ｄ，４ｅを介して外部に伝達することにより、矢印Ｐ方向の圧力の変化を、周波数の変化に変換する動作が一巡し、以降、この動作が繰り返される。
【００２７】
ここで、本実施例の圧力周波数変換装置１を用いて、外部から加わる圧力の変化に対する双音叉振動子２の共振周波数（周波数）の変化を測定した測定結果を図３に示す。
図３の縦軸は、共振周波数（ｋＨｚ）を示し、横軸は、外部圧力（ｋＰａ）を示す。図３に示されるように、外部圧力と、共振周波数との良好な直線性が保たれている。
【００２８】
《効果》
上述したように、本実施例の圧力周波数変換装置１では、双音叉振動子２を伸縮部材３の内部に収納することにより、双音叉振動子２と伸縮部材３とを伸縮部材３の外側で繋ぐ揺動レバーが不要となることから、当該圧力周波数変換装置１は、従来の、双音叉振動子と伸縮部材とを伸縮部材の外側で繋ぐ揺動レバーを有する圧力周波数変換装置と比較して、より小型化することができる。
【００２９】
また、本実施例の圧力周波数変換装置１では、伸縮部材３が、矢印Ｄ方向（双音叉振動子２の振動方向）について、伸縮部材３の側面の一部３１ａが双音叉振動子２の振動片部２ａに近接し、他の一部３１ｂが双音叉振動子２の振動片部２ｂに近接した状態でプラグ部４に固定されていることから、圧力周波数変換装置１の矢印Ｄ方向についての長さは、概ね、双音叉振動子２の振動方向の長さとなる。
【００３０】
これにより、伸縮部材３の矢印Ｄ方向についての長さにより規定される本実施例の圧力周波数変換装置１の矢印Ｄ方向についての長さは、従来の圧力周波数変換装置の矢印Ｄ方向についての長さ、即ち、概ね双音叉振動子の振動方向の長さと揺動アームの長さとを合計した長さより、短くすることができる。
【００３１】
また、本実施例の圧力周波数変換装置１では、伸縮部材３の、一方の底面３ｃが圧力の変化を受けることに応じて側面３１が伸縮することにより、伸縮部材３は、圧力の変化を、双音叉振動子２に伝達し、双音叉振動子２が、伝達された圧力の変化に応じて二つの振動片部２ａ，２ｂの周波数を変化させることから、従来と同様に矢印Ｐ方向の圧力の変化を周波数の変化に変換させることができる。
【００３２】
また、本実施例の圧力周波数変換装置１では、伸縮部材３の断面形状を円形としたことにより、伸縮部材３に加わる圧力は、矢印Ｐ方向以外の方向では、相互に相殺する。これにより、矢印Ｐ方向の圧力の変化を周波数の変化に変換することを、矢印Ｐ方向以外の方向の圧力が矢印Ｐ方向の圧力に加わることなく行うことができる。
【００３３】
（実施例２）
図４に示されるような、実施例２の圧力周波数変換装置１１について説明する。
【００３４】
《構成》
図４は圧力周波数変換装置１１の構成を示す図であり、（ａ）は、平面図、同図（ｂ）は、同図（ａ）中のＥ−Ｅ線での断面図、同図（ｃ）は、同図（ａ）中のＧ−Ｇ線での断面図である。
圧力周波数変換装置１１は、図４に示されるように、双音叉振動子２と、伸縮部材３と、キャップ部材３２と、プラグ部４と、導電性接着剤５と、端子部接着剤６と、受圧部接着剤７と、プラグ体接着剤８とを有する。
【００３５】
なお、実施例１の双音叉振動子２とプラグ部４と導電性接着剤５と端子部接着剤６と受圧部接着剤７とプラグ体接着剤８と、実施例２の双音叉振動子２とプラグ部４と導電性接着剤５と端子部接着剤６と受圧部接着剤７とプラグ体接着剤８とは、それぞれ構造及び機能は同じであるため、実施例２では個々の説明は省略する。
【００３６】
実施例１と実施例２とでは、伸縮部材３に係わる構造及び機能が異なるので、その部分を中心に説明する。
双音叉振動子２の一方の端部２ｃは、図１における伸縮部材３の一方の底面３ｃに相当するキャップ部材３２に受圧部接着剤７により略直角に固定され、他方の端部２ｄは、図１における伸縮部材３の他方の底面３ｄに相当するプラグ部４の表面４ｂに端子部接着剤６により略直角に固定されている。
【００３７】
伸縮部材３は、図１における両底面３ｃ，３ｄが開口されており、側面３１の端部３１ｃが、プラグ部４の側面４ｃにプラグ体接着剤８により全周に亘り気密に固定され、側面３１の他の端部３１ｄが、キャップ部材３２に受圧部接着剤７により全周に亘り気密に固定されている。
また、図４（ｃ）に示されるように、伸縮部材３は、矢印Ｄ方向に沿った平面で切断した断面形状が円形となっており、側面３１の一部３１ａが双音叉振動子２の振動片部２ａに近接し、側面３１の他の一部３１ｂが双音叉振動子２の振動片部２ｂに近接した状態となっている。なお、図示しないが、キャップ部材３２も上記平面で切断した断面形状は円形となっている。
【００３８】
《製造方法》
ここで、本実施例の圧力周波数変換装置１１の製造工程について図５を参照して説明する。
最初に、図５（ａ）に示されるように、双音叉振動子２の他方の端部２ｄを、プラグ部４の二つの端子４ｄ、４ｅに、導電性接着剤５により固定する。なお、双音叉振動子２の他方の端部２ｄの、二つの端子４ｄ、４ｅ側には、図示しない励振電極が形成されている。
【００３９】
次に、図５（ｂ）に示されるように、双音叉振動子２の他方の端部２ｄを、プラグ部４の表面４ｂに、端子部接着剤６により略直角に固定する。
次に、図５（ｃ）に示されるように、伸縮部材３の側面３１の端部３１ｃを、プラグ部４の側面４ｃに、プラグ体接着剤８などにより全周に亘り気密に固定する。なお、この固定方法は、プラグ体接着剤８以外に抵抗溶接やはんだ接合などでもよい。
【００４０】
次に、図５（ｄ）に示されるように、キャップ部材３２を、双音叉振動子２の一方の端部２ｃに、受圧部接着剤７により略直角に固定するとともに、伸縮部材３の側面３１の他の端部３１ｄに、受圧部接着剤７により伸縮部材３の側面３１の伸縮がない状態で全周に亘り気密に固定する。
【００４１】
《動作》
本実施例の圧力周波数変換装置１１の動作について図４を参照して説明する。なお、実施例１と比較して基本的な動作は同様のため、簡略化して説明する。
最初に、圧力周波数変換装置１１は、双音叉振動子２の二つの振動片部２ａ，２ｂが、それぞれ矢印Ｄ方向に、屈曲振動を発振する。
【００４２】
次に、伸縮部材３及びキャップ部材３２は、圧力の変化に応じて矢印Ｐ方向に変位する。ここで、伸縮部材３及びキャップ部材３２に加わる圧力は、図４（ｃ）に示されるように、伸縮部材３及びキャップ部材３２の断面形状が円形であることにより、矢印Ｐ方向以外の方向では、相互に相殺する。これにより、矢印Ｐ方向の変位のみが発生することになる。
【００４３】
次に、伸縮部材３及びキャップ部材３２が変位することにより受圧部接着剤７を介して双音叉振動子２に、矢印Ｐ方向の圧力の変化が伝達される。
次に、双音叉振動子２は、キャップ部材３２から伝達された矢印Ｐ方向の圧力の変化に応じて、二つの振動片部２ａ，２ｂの周波数が変化する。
次に、双音叉振動子２は、この周波数の変化を発振信号の変化として、外部に伝達することにより、矢印Ｐ方向の圧力の変化を、周波数の変化に変換する動作が一巡し、以降、この動作が繰り返される。
【００４４】
ここで、本実施例の圧力周波数変換装置１１を用いて、外部から加わる圧力の変化に対する双音叉振動子２の共振周波数（周波数）の変化を測定した測定結果は、図３に示される実施例１の結果と同様であった。図３に示されるように、外部圧力と、共振周波数との良好な直線性が保たれている。
【００４５】
《効果》
上述したように、本実施例の圧力周波数変換装置１１では、実施例１と同様の効果に加えて、双音叉振動子２の一方の端部２ｃが固定されているキャップ部材３２を、伸縮部材３に、伸縮部材３の側面３１の伸縮がない状態で固定することにより、双音叉振動子２は、伸縮部材３の伸縮に起因する固定時の応力が発生しないことから、当該製造方法により製造された圧力周波数変換装置１１は、矢印Ｐ方向の圧力の変化を周波数の変化に変換することを、固定時の応力が矢印Ｐ方向の圧力に加わることなく行うことができる。
【００４６】
なお、上記実施例では、伸縮部材３の断面形状を円形としたが、円形に限定するものではなく、正方形、正三角形、正五角形、正六角形、正八角形、正楕円形などで矢印Ｐ方向以外の圧力が相殺できる形状としたものでもよい。
【００４７】
また、双音叉振動子２の材質は、水晶に限定するものではなく、セラミック、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウムなどでもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の実施形態における圧力周波数変換装置の原理を示す図。
【図２】本発明の実施形態における圧力周波数変換装置の構成を示す図。
【図３】本発明の実施形態における圧力周波数変換装置の、圧力の変化に対する周波数の変化の測定結果を示す図。
【図４】本発明の実施形態における圧力周波数変換装置の別の構成を示す図。
【図５】本発明の実施形態における圧力周波数変換装置の製造方法を示す図。
【符号の説明】
【００４９】
１…圧力周波数変換装置、２…双音叉振動子、２ａ、２ｂ…振動片部、２ｃ、２ｄ…端部、３…伸縮部材、３ｃ、３ｄ…底面、１１…圧力周波数変換装置、３１…側面、３１ａ…一部、３１ｂ…他の一部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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