(57)【要約】【課題】搬送ベルトにシート状材（箔状体）を真空吸着させて搬送させる技術を利用して、連続的に繰り出されるシート状体を、略垂直方向と略水平方向とを組み合わせて略Ｌ字状に搬送する搬送路を形成するための技術を提案する。【解決手段】駆動ローラ３２と、従動ローラ３１と、これらのローラ間に巻回される無端状で複数の吸引孔３３ａが形成された搬送ベルト３３と、前記搬送ベルト３３の内周側から前記吸引孔３３ａを通じて該搬送ベルト３３とともにシート状の被搬送物（電極基材９）を吸引する減圧ケース３６とを具備する搬送装置に、前記搬送ベルト３３が吸着される前記減圧ケース３６の吸着面のうち少なくとも送り側経路を、略垂直面と略水平面とを滑らかに繋ぎ合わせた略Ｌ字状に形成するとともに、前記搬送ベルト４７の縁部を押圧して前記減圧ケース３６の吸着面に圧接させる押さえローラ３５を設けた。【選択図】図２
2008222347.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動ローラと、従動ローラと、これらのローラ間に巻回される無端状で複数の吸引孔が形成された搬送ベルトと、前記搬送ベルトの内周側から前記吸引孔を通じて該搬送ベルトとともにシート状の被搬送物を吸引する減圧ケースとを備え、前記被搬送物を前記搬送ベルトに吸着させた状態で搬送する搬送装置において、
前記搬送ベルトが吸着される前記減圧ケースの吸着面のうち少なくとも送り側経路を、略垂直面と略水平面とを滑らかに繋ぎ合わせた略Ｌ字状に形成するとともに、前記搬送ベルトの縁部を押圧して前記減圧ケースの吸着面に圧接させる押さえローラを設けることを、
特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記減圧ケースの送り側経路の吸着面は、前記搬送ベルトの搬送方向に沿って、角部が円弧形状となる略Ｌ字状に並設された複数のバックアップローラで成ることを特徴とする、
請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
駆動ローラと、従動ローラと、これらのローラ間に巻回される無端状で複数の吸引孔が形成された搬送ベルトと、前記搬送ベルトの内周側から前記吸引孔を通じて該搬送ベルトとともにシート状の被搬送物を吸引する減圧ケースとを具備する搬送ユニットを少なくとも二組備え、
前記搬送ユニットのうち、一の搬送ユニットを、被搬送物を略垂直下方向に搬送する縦搬送ユニットとし、他の一の搬送ユニットを、被搬送物を略水平方向に搬送する横搬送ユニットとし、
前記縦搬送ユニットと前記横搬送ユニットとが、各々の駆動ローラが略平行に対峙するように、隣接して配置されて成ることを、
特徴とする搬送装置。
【請求項４】
前記縦搬送ユニットと前記横搬送ユニットとの間を搬送される被搬送物の面方向の変位を検出する変位検出手段と、
前記縦搬送ユニットに具備される駆動ローラの回転駆動手段と、
前記横搬送ユニットに具備される駆動ローラの回転駆動手段と、
前記変位検出手段の検出信号を受けて前記二つの回転駆動手段の動作を制御する弛み制御手段とを備え、
前記弛み制御手段は、前記変位検出手段にて検出された変位が所定の閾値を超えていれば、前記縦搬送ユニットと前記横搬送ユニットとの間を搬送される被搬送物の面方向の変位が所定の範囲内となるように、前記二つの回転駆動手段のうち何れか一方又は双方の回転速度を変化させる制御を行うことを特徴とする、
請求項３に記載の搬送装置。
【請求項５】
床に設置される基台と、
前記基台に対して略水平方向に相対変位可能に設けられ、前記横搬送ユニットが固定された基板と、
前記基台に対して前記基板を変位させる基板駆動手段と、
前記横搬送ユニットの搬送路上流側において被搬送物の振れを検出する変位検出手段と、
前記変位検出手段の検出信号を受けて前記基板駆動手段の動作を制御する蛇行制御手段とを備え、
前記蛇行制御手段は、前記変位検出手段にて検出された変位が所定の閾値を超えていれば、前記横搬送ユニットにて搬送される被搬送物の振れが所定の範囲内となるように、前記基板駆動手段を動作させる制御を行うことを特徴とする、
請求項３又は請求項４に記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、連続的に繰り出されるシート状体（箔状体）を搬送するための技術に関する。特に、電池の電極に用いる電極箔を製造するために用いる塗工装置において、シート状（箔状）の電極基材を搬送するために好適な搬送技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電池の電極として、金属箔の表面に活物質層が形成されて成る電極箔が使用される。例えば、リチウムイオン電池は、アルミニウム箔にコバルト酸リチウム（LiCoO2）を含む活物質層が形成されて成る電極箔を正極電極として、銅箔にグラファイト（炭素）を含む活物質層が形成されて成る電極箔を負極電極として用い、これらの電極箔を複数層に積み重ねた構造を有する。
【０００３】
前記電極箔は、シート状（箔状）の電極基材に活物質層が形成されて成る。電極基材に活物質層を形成するために、ロール状に巻き取られた電極基材（主に金属箔）を順次引き出して搬送するうちに、活物質とバインダーと溶剤とを含む塗材を塗布し、この塗材を乾燥させる。こののち、電極基材に形成された活物質層をプレスして密度を高め、電極箔とする。
【０００４】
図６は従来の塗工装置の全体的な構成を示した図である。本図に示されるように、塗工装置１０には、ロール状に巻かれた電極基材９から、該電極基材９を連続的に繰り出して搬送する搬送路Ｒが形成される。前記搬送路Ｒを形成するために、搬送下流側から順に、電極基材９のロールを支持する供給ローラ１８、ダイコーター１３からの塗布圧を受ける塗工バックアップローラ１１、電極基材９を挟み込んで送り出すテンションコントロールローラ１６・１６、電極基材９を巻き取る巻取ローラ２０が配置され、これらのローラの間の適宜位置にガイドローラ１９・１９・・・が配置される。
前記塗工バックアップローラ１１上を搬送される電極基材９に対して、電極活物質とバインダーと溶剤とを含む塗材１２がダイコーター１３にて塗布される。また、前記塗工バックアップローラ１１とテンションコントロールローラ１６・１６との間の搬送路Ｒは、乾燥炉１５内に形成され、該乾燥炉１５内を搬送されるうちに電極基材９に塗布された塗材１２が乾燥される。
【０００５】
上記構成の塗工装置１０では、ダイコーター１３にて塗材１２が塗布された直後の電極基材９は塗材１２が生乾きであるので、その塗布面にローラを接触させることができない。このため、搬送路Ｒの電極基材９の搬送速度やテンションを決定するテンションコントロールローラ１６・１６は、乾燥炉１５よりも搬送上流側に配置される。前記乾燥炉１５は数十メートルにも及ぶ長さを有するので、該乾燥炉１５より搬送下流側に配置される塗工バックアップローラ１１上の電極基材９は、搬送に十分なテンションは与えられるものの、搬送速度やテンションを高精度に調整することは困難となっている。
【０００６】
また、上記構成の塗工装置１０では、ダイコーター１３にて塗材１２が塗布された直後の電極基材９は、塗材１２の塗布面が上となる姿勢で搬送せねばならず、しかも、塗布面にローラを接触させることができない。従って、電極基材９の搬送路Ｒの形状の自由度は低く、例えば、塗材１２が塗布された直後の電極基材９の搬送路Ｒの軌道を略Ｌ字状として、略垂直方向に降下させたのち略平行方向として乾燥炉１５へ導入させることはできない。このような理由から、乾燥炉１５を通じる搬送路Ｒの高さの最高点は必然的に塗工バックアップローラ１１と同位置又はそれより幾分低い位置となり、塗工装置１０並びに該塗工装置１０を収容するための建屋は、背の高いものとなっていた。
【０００７】
ところで、従来、搬送ベルトにシート状材を真空吸着させて搬送させる技術が公知となっている。例えば、特許文献１に記載の技術は、薄板基板を搬送ベルトに真空吸着させながら搬送するうちに、該薄板基板に液体レジストを塗布することにて、塗布時の薄板基板の浮き上がりや変形を防止し、薄板基板に液体レジストを安定して塗布しようとするものである。
【特許文献１】特開２０００−１５１０７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記に鑑み、本発明では、搬送ベルトにシート状材（箔状体）を真空吸着させて搬送させる技術を利用して、連続的に繰り出されるシート状体を、略垂直方向と略水平方向とを組み合わせて略Ｌ字状に搬送するための技術を提案する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【００１０】
即ち、請求項１においては、駆動ローラと、従動ローラと、これらのローラ間に巻回される無端状で複数の吸引孔が形成された搬送ベルトと、前記搬送ベルトの内周側から前記吸引孔を通じて該搬送ベルトとともにシート状の被搬送物を吸引する減圧ケースとを備え、前記被搬送物を前記搬送ベルトに吸着させた状態で搬送する搬送装置において、前記搬送ベルトが吸着される前記減圧ケースの吸着面のうち少なくとも送り側経路を、略垂直面と略水平面とを滑らかに繋ぎ合わせた略Ｌ字状に形成するとともに、前記搬送ベルトの縁部を押圧して前記減圧ケースの吸着面に圧接させる押さえローラを設けるものである。
【００１１】
請求項２においては、前記減圧ケースの送り側経路の吸着面は、前記搬送ベルトの搬送方向に沿って、角部が円弧形状となる略Ｌ字状に並設された複数のバックアップローラで成るものである。
【００１２】
請求項３においては、駆動ローラと、従動ローラと、これらのローラ間に巻回される無端状で複数の吸引孔が形成された搬送ベルトと、前記搬送ベルトの内周側から前記吸引孔を通じて該搬送ベルトとともにシート状の被搬送物を吸引する減圧ケースとを具備する搬送ユニットを少なくとも二組備え、前記搬送ユニットのうち、一の搬送ユニットを、被搬送物を略垂直下方向に搬送する縦搬送ユニットとし、他の一の搬送ユニットを、被搬送物を略水平方向に搬送する横搬送ユニットとし、前記縦搬送ユニットと前記横搬送ユニットとが、各々の駆動ローラが略平行に対峙するように、隣接して配置されて成るものである。
【００１３】
請求項４においては、前記縦搬送ユニットと前記横搬送ユニットとの間を搬送される被搬送物の面方向の変位を検出する変位検出手段と、前記縦搬送ユニットに具備される駆動ローラの回転駆動手段と、前記横搬送ユニットに具備される駆動ローラの回転駆動手段と、前記変位検出手段の検出信号を受けて前記二つの回転駆動手段の動作を制御する弛み制御手段とを備え、前記弛み制御手段は、前記変位検出手段にて検出された変位が所定の閾値を超えていれば、前記縦搬送ユニットと前記横搬送ユニットとの間を搬送される被搬送物の面方向の変位が所定の範囲内となるように、前記二つの回転駆動手段のうち何れか一方又は双方の回転速度を変化させる制御を行うものである。
【００１４】
請求項５においては、床に設置される基台と、前記基台に対して略水平方向に相対変位可能に設けられ、前記横搬送ユニットが固定された基板と、前記基台に対して前記基板を変位させる基板駆動手段と、前記横搬送ユニットの搬送路上流側において被搬送物の振れを検出する変位検出手段と、前記変位検出手段の検出信号を受けて前記基板駆動手段の動作を制御する蛇行制御手段とを備え、前記蛇行制御手段は、前記変位検出手段にて検出された変位が所定の閾値を超えていれば、前記横搬送ユニットにて搬送される被搬送物の振れが所定の範囲内となるように、前記基板駆動手段を動作させる制御を行うものである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。
【００１６】
本発明によれば、連続的に繰り出されるシート状体を、略垂直方向と略水平方向とを組み合わせて略Ｌ字状に搬送することができる。
特に、本発明によれば、シート状体の一面が他の物体と非接触となる状態で搬送できるので、電池の電極となる電極箔の製造に用いる塗工装置において、電極基材の搬送路を形成するために用いると好適である。この場合、電極基材の搬送路に、略垂直方向と略水平方向とを組み合わせて略Ｌ字状に連続的に搬送する搬送路を含めることにより、電極基材の搬送路の形状の自由度が高まり、塗工装置（乾燥炉）の高さを低く抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
次に、発明の実施の形態を説明する。
図１は本発明に係るＬ字搬送装置を備えた塗工装置の全体的な構成を示した図である。
図２は本発明の実施例１に係るＬ字搬送装置の側面断面図、図３は本発明の実施例１に係るＬ字搬送装置の背面図である。
図４は本発明の実施例２に係るＬ字搬送装置の側面断面図、図５は本発明の実施例２に係るＬ字搬送装置の背面図である。
図６は従来の塗工装置の全体的な構成を示した図である。
【００１８】
本発明の一実施例として、電池の電極となる電極箔の製造に用いる塗工装置において、シート状体（箔状体）である電極基材を、略垂直方向と略水平方向とを組み合わせて略Ｌ字状に搬送する技術について説明する。
但し、本発明は、前記電極基材に限らず、連続的に繰り出されるシート状体を搬送する技術において、該シート状体を略垂直方向と略水平方向とを組み合わせて略Ｌ字状に搬送させるために、適用することができる。
【００１９】
図１は、電極基材９に活物質層を形成するための塗工装置１０の概要図である。本図に示されるように、塗工装置１０には、ロール状に巻かれた電極基材９から、該電極基材９を連続的に繰り出して搬送する搬送路Ｒが形成される。前記搬送路Ｒには、電極基材９を略垂直方向と略水平方向とを組み合わせて略Ｌ字状に搬送する搬送経路が含まれる。
【００２０】
前記搬送路Ｒを形成するために、搬送下流側から順に、電極基材９のロールを支持する供給ローラ１８、ダイコーター１３からの塗布圧を受ける塗工バックアップローラ１１、Ｌ字搬送装置３０、電極基材９を挟み込んで送り出すテンションコントロールローラ１６・１６、及び電極基材９を巻き取る巻取ローラ２０が配置され、前記各ローラの間の適宜位置にガイドローラ１９・１９・・・が配置される。
【００２１】
前記塗工バックアップローラ１１上を搬送される電極基材９に対して、電極活物質とバインダーと溶剤とを含む塗材１２がダイコーター１３にて塗布される。また、前記塗工バックアップローラ１１とテンションコントロールローラ１６・１６との間の搬送路Ｒは、乾燥炉１５内に形成され、該乾燥炉１５内を搬送されるうちに電極基材９に塗布された塗材１２が乾燥される。
【００２２】
前記Ｌ字搬送装置３０は、電極基材９を略垂直方向と略水平方向とを組み合わせた略Ｌ字状に搬送する搬送経路を形成するためのものである。前記Ｌ字搬送装置３０は、ダイコーター１３よりも搬送路Ｒの搬送上流側で、且つ、乾燥炉１５よりも搬送路Ｒの搬送下流側に配置される。
前記Ｌ字搬送装置３０では、前記ダイコーター１３にて塗材１２が塗布された直後の電極基材９の搬送方向を略垂直下方向に変更したのち、続いて、略水平方向に変更する。そして、Ｌ字搬送装置３０にて搬送方向が略水平方向とされた電極基材９は、乾燥炉１５へ搬入される。
【００２３】
上記のように、電池の電極となる電極箔の製造に用いる塗工装置１０において、電極基材９の搬送路Ｒを形成するためにＬ字搬送装置３０を備えることで、前記搬送路Ｒに略垂直方向と略水平方向とを組み合わせて略Ｌ字状に電極基材９を搬送する搬送経路を含むことができる。
これにより、電極基材９の搬送路Ｒの形状の自由度が高まり、例えば、塗材１２を塗布した直後の電極基材９の搬送経路を略垂直方向と略水平方向とを組み合わせた側面視略Ｌ字状として、乾燥炉１５への前記電極基材９の搬入口を塗工バックアップローラ１１よりも十分に低い位置とすることができる。
従って、従来、塗材１２を塗布した直後の電極基材９の搬送高さを下げることが困難であるために背の高い建物となっていた塗工装置（乾燥炉）及び該塗工装置を収容する建屋の高さを抑えて、塗工装置の設置スペース及び設置コストのダウンに寄与することができる。
【００２４】
続いて、以下に示す実施例１及び実施例２において、前記Ｌ字搬送装置３０の詳細な構成について説明する。
【実施例１】
【００２５】
まず、本発明の実施例１について説明する。
図２及び図３に示すように、実施例１に係るＬ字搬送装置３０には、駆動ローラ３２と、従動ローラ３１と、これらのローラ間に巻回される無端状で複数の吸引孔３３ａ・３３ａ・・・が形成された搬送ベルト３３と、前記搬送ベルト３３の内周側から前記吸引孔３３ａ・３３ａ・・・を通じて該搬送ベルト３３とともにシート状の被搬送物（本実施例では、電極基材９）を吸引する減圧ケース３６とが、少なくとも備えられる。前記Ｌ字搬送装置３０では、被搬送物である電極基材９は、前記搬送ベルト３３に吸着された状態で搬送される。
【００２６】
前記無端状の搬送ベルト３３は、電極基材９の幅よりも大きい幅を有し、前記吸引孔３３ａ・３３ａ・・・は、搬送ベルト３３のうち電極基材９の搬送部分に沿って設けられる。よって、前記吸引孔３３ａ・３３ａ・・・は搬送ベルト３３で搬送される電極基材９にて塞がれることとなる。なお、吸引孔３３ａ・３３ａ・・・の孔径は、搬送ベルト３３にて搬送される電極基材９の表面が変形しない程度の大きさに調整される。
【００２７】
前記減圧ケース３６は、駆動ローラ３２と従動ローラ３１との間に配置され、該減圧ケース３６には、搬送ベルト３３の送り側（上側）経路及び戻り側（下側）経路の内周側の適宜位置において搬送ベルト３３に接して支持するバックアップローラ３４・３４・・・が回動可能に設けられる。各バックアップローラ３４・３４・・・は搬送ベルト３３の搬送方向（搬送ベルト３３の移動方向）と略直交する姿勢で配置され、前記搬送方向に沿って複数並設される。
【００２８】
前記減圧ケース３６は、前記送り側と戻り側のバックアップローラ３４・３４・・・間に形成され、減圧ケース３６内に減圧室が形成される。前記減圧ケース２６には、吸引パイプ３７が接続されていて、この吸引パイプ３７を通じて減圧室が吸引ブロワにて吸引されることで、各隣接するバックアップローラ３４・３４の間隙が負圧とされ、減圧ケース３６に搬送ベルト３３が吸着される。
なお、この減圧ケース３６において、搬送ベルト３３の戻り側よりエアが吸引されて電極基材９の吸着力が低下するのを防止するため、減圧室内の搬送ベルト３３の戻り側に仕切り板３６ａが設けられる。
【００２９】
前記搬送ベルト３３が吸着される前記減圧ケース３６の吸着面のうち、少なくとも送り側経路は、略垂直面と略水平面とを滑らかに繋ぎ合わせて角部が円弧形状となる略Ｌ字状に形成される。
本実施例では、搬送ベルト３３の送り側経路において、前記搬送ベルト３３の搬送方向に沿って、略Ｌ字を成す円弧状に並設された複数のバックアップローラ３４・３４・・・にて、前記略垂直面と略水平面とを滑らかに繋ぎ合わせた略Ｌ字状の吸着面が形成されている。
【００３０】
また、減圧ケース３６の送り側経路の吸着面の上方、つまり、円弧状に配置されたバックアップローラ３４・３４・・・の上方には、前記搬送ベルト３３の縁部を押圧することにて前記減圧ケース３６の吸着面に圧接させる押さえローラ３５・３５・・・が設けられる。この押さえローラ３５・３５・・・により、搬送ベルト３３はバックアップローラ３４・３４・・・が形成する角部が円弧形状となる略Ｌ字状に沿って、離れたり、弛んだり、撓んだりすることなく周回移動することとなる。
【００３１】
よって、搬送ベルト３３の送り側経路には、略垂直方向に移動する部分と、略水平方向に移動する部分と、これらの部分の間で略円弧状に移動して移動方向を略垂直方向から略水平方向に滑らかに移行する部分とが含まれ、この搬送ベルト３３にて略垂直方向と略水平方向とを組み合わせた略Ｌ字状の搬送路が形成されることとなる。
【００３２】
前述した通り、各隣接するバックアップローラ３４・３４の間隙が負圧となることで、減圧ケース３６に搬送ベルト３３が真空（減圧）吸引されるため、前記搬送ベルト３３に設けられた吸引孔３３ａ・３３ａ・・・を通じて、該搬送ベルト３３で搬送される電極基材９も減圧ケース３６に吸引される。これにより、電極基材９は搬送ベルト３３に真空吸着（減圧吸着）された状態で搬送される。
このように、電極基材９は前記搬送ベルト３３に吸着されて搬送されることで、該搬送ベルト３３にて形成される略垂直方向と略水平方向とを組み合わせた略Ｌ字状の搬送路に沿って搬送される。
【００３３】
上記構成のＬ字搬送装置３０にて搬送される電極基材９は、搬送ベルト３３に吸着される搬送面以外の面は、他の物体と非接触となる状態で搬送することができる。つまり、ダイコーター１３にて塗材１２が塗布された直後の電極基材９を、前記塗材１２が塗布された面を上方に向けた状態で、他の物体と接触させずに搬送することができる。
【００３４】
また、電極基材９は真空吸着されている搬送ベルト３３に付随して移動するので、駆動ローラ３２の回転駆動による搬送ベルト３３の周回移動にて、前記電極基材９に搬送路Ｒを移動するためのテンションが付与される。従って、搬送ベルト３３の周回速度（駆動ローラ３２の回転速度）を調整することにて、電極基材９の搬送速度を調整することが可能となる。このように、テンションコントロールローラ１６・１６よりもダイコーター１３に近い位置で電極基材９のテンションを調整することができるので、該電極基材９に塗材１２を塗布するときの搬送速度を、より高精度に調整することが可能となる。
【実施例２】
【００３５】
次に、本発明の実施例２について説明する。
図４及び図５に示すように、実施例２に係るＬ字搬送装置３０には、駆動ローラ４２と、従動ローラ４３と、これらのローラ間に巻回される無端状で複数の吸引孔４７ａ・４７ａ・・・が形成された搬送ベルト４７と、前記搬送ベルト４７の内周側から前記吸引孔４７ａ・４７ａ・・・を通じて該搬送ベルト４７とともにシート状の被搬送物（本実施例では、電極基材９）を吸引する減圧ケース４６とを具備する搬送ユニットが、少なくとも二組備えられる。
前記少なくとも二組の搬送ユニットのうち、一の搬送ユニットは、被搬送物である電極基材９を略垂直下方向に搬送する縦搬送ユニット４０とされ、他の一の搬送ユニットは、電極基材９を略水平方向に搬送する横搬送ユニット４１とされる。前記縦搬送ユニット４０と前記横搬送ユニット４１とは、各々の駆動ローラ４２・４２が略平行に対峙するように、隣接して配置される。このようにして、Ｌ字搬送装置３０では、連続的に繰り出される電極基材９を、略垂直方向と略水平方向とを組み合わせて略Ｌ字状に搬送する搬送路が形成される。
【００３６】
前記減圧ケース４６では、搬送ベルト４７の送り側と戻り側の両方の搬送経路に沿ってバックアップローラ４４・４４・・・が回転可能に支持される。
前記減圧ケース４６は、前記送り側と戻り側のバックアップローラ４４・４４・・・間に形成され、減圧ケース４６内に減圧室が形成される。前記減圧ケース４６には、吸引パイプ４５が接続されていて、この吸引パイプ４５を通じて減圧室が吸引ブロワにて吸引されることで、各隣接するバックアップローラ４４・４４の間隙が負圧とされ、減圧ケース４６に搬送ベルト４７が吸着される。
なお、この減圧ケース４６において、搬送ベルト４７の戻り側よりエアが吸引されて電極基材９の吸着力が低下するのを防止するため、減圧室内の搬送ベルト４７の戻り側に仕切り板４６ａが設けられる。
【００３７】
上記のようにバックアップローラ４４・４４・・・の間が負圧となることで、該バックアップローラ４４・４４・・・に搬送ベルト４７が真空吸着される。さらに、前記搬送ベルト４７に設けられた吸引孔４７ａ・４７ａ・・・を通じて、該搬送ベルト４７で搬送される電極基材９は減圧室へ吸引され、これにより、電極基材９は搬送ベルト４７に真空吸着（減圧吸着）された状態で搬送されることとなる。
【００３８】
前記二組の搬送ユニットのうち、前記横搬送ユニット４１には、上記構成に加え、蛇行補正機構部６０が備えられる。この蛇行補正機構部６０は、横搬送ユニット４１の搬送方向を微量に調整して、該横搬送ユニット４１にて搬送される電極基材９の蛇行を補正するためのものである。
【００３９】
前記蛇行補正機構部６０は、床に設置される基台６４と、前記基台６４に対して略水平方向に相対変位可能に設けられて前記横搬送ユニット４１が固定された基板６２と、前記基台６４に対して前記基板６２を変位させる基板駆動手段と、前記横搬送ユニット４１の搬送路上流側において電極基材９の振れを検出する変位検出手段としての蛇行検出手段７０と、前記蛇行検出手段７０の検出信号を受けて前記基板駆動手段の動作を制御する蛇行制御手段６９が備えられる。
【００４０】
本実施例においては、床に載置される基台６４にて、支持柱６１・６１・・・を介して横搬送ユニット４１を支持する基板６２が、枢支軸６３を介して回動可能に支承される。そして、前記基台６４に対して前記基板６２が枢支軸６３を中心として回転することにて、前記基台６４に対して前記基板６２が略水平方向に相対変位する構成とされる。
【００４１】
前記基板駆動手段は、前記基台６４の上面に固設された枢支枠６５・６５に架設されたボールネジ６６と、該ボールネジ６６を螺入して前記基板６２の下面に固設されたスライダ６７と、電動モータ等の前記ボールネジ６６の回転駆動手段６８とで構成される。前記回転駆動手段６８は蛇行制御手段６９に接続される。
【００４２】
前記蛇行検出手段７０は、前記横搬送ユニット４１の搬送路上流側において電極基材９の振れを検出する変位検出手段であって、前記蛇行制御手段６９に接続される。前記蛇行検出手段７０では、搬送される電極基材９が、予定された搬送方向と略直交する方向にズレて蛇行していることが検出される。蛇行検出手段７０は、例えば、レーザー式変位センサ等の非接触式変位センサ、又は電極基材９の側面に接して変位を検出する接触式変位センサとすることができる。
【００４３】
前記蛇行制御手段６９では、前記蛇行検出手段７０にて検出された変位が所定の閾値を超えていれば、前記回転駆動手段６８を動作させて基板６２を基台６４に対して相対変位させることにて、前記横搬送ユニット４１にて搬送される電極基材９の振れが所定の範囲内となるように調整する制御が行われる。
つまり、蛇行制御手段６９では、蛇行検出手段７０にて検出された変位が予め設定された閾値を超えていれば、変位量に対して関係づけられて予め設定された所定量だけ、ボールネジ６６を正回転又は逆回転させるように回転駆動手段６８を動作させる制御が行われる。これにより、横搬送ユニット４１を支持する基板６２が、電極基材９の蛇行を補正する方向に枢支軸６３を中心として微量に回転することとなる。
【００４４】
前記縦搬送ユニット４０と横搬送ユニット４１とは、各々の駆動ローラ４２・４２が、略平行であって且つ対峙するように配置される。つまり、縦搬送ユニット４０においては、搬送方向上流側に駆動ローラ４２が配置され、横搬送ユニット４１においては、搬送方向下流側に駆動ローラ４２が配置される。これらの駆動ローラ４２・４２の間にて、電極基材９の搬送方向が略垂直方向から略水平方向に変換される。縦搬送ユニット４０と横搬送ユニット４１との間の搬送路Ｒでは、縦搬送ユニット４０の搬送ベルト４７の搬送速度と横搬送ユニット４１の搬送ベルト４７の搬送速度との微量な相対誤差により、電極基材９が弛んできたり、逆に引っ張られたりするおそれがある。
【００４５】
そこで、縦搬送ユニット４０と横搬送ユニット４１の間を移動する電極基材９の弛みを調整するための弛み調整機構部５０がＬ字搬送装置３０に備えられる。
この弛み調整機構部５０には、縦搬送ユニット４０と横搬送ユニット４１の間を移動する電極基材９の面方向の変位（弛み）を検出するための変位検出手段である、弛み検出手段５１が具備される。前記弛み検出手段５１は、レーザー式変位センサ等の非接触式変位センサである。
【００４６】
前記弛み検出手段５１は、弛み制御手段４９に接続される。この弛み制御手段４９は、前記縦搬送ユニット４０の駆動ローラ４２を回転駆動する回転駆動手段４８、並びに前記横搬送ユニット４１の駆動ローラ４２を回転駆動する回転駆動手段４８に接続される。
前記弛み制御手段４９では、前記弛み検出手段５１にて検出された変位が所定の閾値を超えていれば、前記縦搬送ユニット４０と前記横搬送ユニット４１との間を搬送される電極基材９の面方向の変位が所定の範囲内となるように、前記二つの回転駆動手段４８・４８のうち何れか一方又は双方の回転速度を変化させる制御が行われる。これにより、記縦搬送ユニット４０と前記横搬送ユニット４１との間を搬送される電極基材９は、過度の弛み又は引張が解消されて常に所定の弛みとなるように調整される。
【００４７】
上記構成のＬ字搬送装置３０では、縦搬送ユニット４０と横搬送ユニット４１とにより、略垂直方向と略水平方向とを組み合わせた略Ｌ字状の搬送路が形成され、電極基材９は縦搬送ユニット４０及び横搬送ユニット４１の搬送ベルト４７・４７に真空（減圧）吸着された状態で、前記略Ｌ字状の搬送路に沿って搬送されることとなる。
【００４８】
さらに、Ｌ字搬送装置３０にて搬送される電極基材９は、搬送ベルト４７・４７に吸着される搬送面以外の面は、他の物体と非接触となる状態で搬送することができる。つまり、ダイコーター１３にて塗材１２が塗布された直後の電極基材９を、前記塗材１２が塗布された面を上方に向けた状態で、他の物体と接触させずに搬送することができる。
【００４９】
また、電極基材９は真空吸着されている搬送ベルト４７・４７に付随して移動するので、駆動ローラ４２・４２の回転駆動による搬送ベルト４７・４７の周回移動にて、前記電極基材９に搬送路Ｒを移動するためのテンションが付与される。従って、搬送ベルト４７・４７の周回速度（駆動ローラ４２・４２の回転速度）を調整することにて、電極基材９の搬送速度を調整することが可能となる。このように、テンションコントロールローラ１６・１６よりもダイコーター１３に近い位置で電極基材９のテンションを調整することができるので、該電極基材９に塗材１２を塗布するときの搬送速度を、より高精度に調整することが可能となる。
【００５０】
また、前記Ｌ字搬送装置３０には、縦搬送ユニット４０と横搬送ユニット４１との間の電極基材９が常に所定の弛みとなるように弛み調整機構部５０が備えられているため、二つの搬送ベルト４７・４７の間で過度な弛みや引張が生じない。
そして、前記Ｌ字搬送装置３０には、該Ｌ字搬送装置３０を搬送される電極基材９の蛇行を補正するために蛇行補正機構部６０が備えられているため、後の工程（ここでは乾燥炉１５）への進入位置・姿勢を自動的に良好に調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明に係るＬ字搬送装置を備えた塗工装置の全体的な構成を示した図。
【図２】本発明の実施例１に係るＬ字搬送装置の側面断面図。
【図３】本発明の実施例１に係るＬ字搬送装置の背面図。
【図４】本発明の実施例２に係るＬ字搬送装置の側面断面図。
【図５】本発明の実施例２に係るＬ字搬送装置の背面図。
【図６】従来の塗工装置の全体的な構成を示した図。
【符号の説明】
【００５２】
Ｒ  搬送路
１０  塗工装置
１１  塗工バックアップローラ
１３  ダイコーター
１５  乾燥炉
３０  Ｌ字搬送装置
３１  従動ローラ
３２  駆動ローラ
３３  搬送ベルト
３４  バックアップローラ
３５  押さえローラ
３６  減圧ケース
４０  縦搬送ユニット
４１  横搬送ユニット
４２  駆動ローラ
４３  従動ローラ
５０  弛み調整機構部
６０  蛇行補正機構部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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