(57)【要約】【課題】トレンチ側壁のダメージを低減し、生産性が高く、加工精度が高い微細構造体の製造方法を提供する。【解決手段】チャンバー内に第１のプロセスガスを導入して第１のプラズマを形成し、基板に形成された凹部の内面上に保護膜を形成する工程と、チャンバー内に第２のプロセスガスを導入して第２のプラズマを形成し、凹部の底面上の保護膜を除去して基板をエッチングする工程と、を備え、上記エッチング工程は、第１のプラズマの密度が基準値以下になるまで第１のプロセスガスを排出し、その後、第２のプラズマによって保護膜及び基板をエッチングする工程と、を有することを特徴とする微細構造体の製造方法が提供される。また、上記のエッチング工程は、高バイアス電力の第１のエッチング工程と、低バイアス電力の第２のエッチング工程を含むことを特徴とする微細構造体の製造方法が提供される。【選択図】図１
2008205436.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収納したチャンバー内に第１のプロセスガスを導入し、前記第１のプロセスガスから第１のプラズマを形成し、前記基板の表面に形成された凹部の内面上に前記第１のプラズマにより保護膜を形成する工程と、
前記チャンバー内に第２のプロセスガスを導入し、前記第２のプロセスガスから第２のプラズマを形成し、前記第２のプラズマにより前記保護膜のうち前記凹部の底面上の部分を除去して前記基板をエッチングする工程と、
を備え、
前記エッチングする工程は、
前記チャンバー内における前記第１のプラズマの密度を測定しながら前記第１のプラズマの密度が基準値以下になるまで前記第１のプロセスガスを排出する工程と、
前記第１のプラズマの密度が前記基準値以下となった後、前記第２のプラズマによって前記保護膜及び前記基板をエッチングする工程と、
を有することを特徴とする微細構造体の製造方法。
【請求項２】
前記保護膜を形成する工程は、
前記チャンバー内における前記第２のプラズマの密度を測定しながら前記第２のプラズマの密度が他の基準値以下になるまで前記第２のプロセスガスを排出する工程と、
前記第２のプラズマの密度が前記他の基準値以下となった後、前記第１のプラズマによって前記保護膜を形成する工程と、
を有することを特徴とする請求項１記載の微細構造体の製造方法。
【請求項３】
前記プラズマの密度の測定は、前記チャンバー内のプラズマによる発光状態の検出、前記チャンバー内の圧力の測定、前記チャンバー内のプラズマの質量分析、のうち少なくとも１つによって行うことを特徴とする請求項１または２に記載の微細構造体の製造方法。
【請求項４】
基板を収納したチャンバー内に第１のプロセスガスを導入し、前記第１のプロセスガスから第１のプラズマを形成し、前記基板の表面に形成された凹部の内面上に前記第１のプラズマにより保護膜を形成する工程と、
前記チャンバー内に第２のプロセスガスを導入し、前記第２のプロセスガスから第２のプラズマを形成し、前記第２のプラズマにより前記保護膜のうち前記凹部の底面上の部分を除去して前記基板をエッチングする工程と、
を備え、
前記エッチングする工程は、
第１のバイアス電力を用いる第１のエッチング工程と、前記第１のバイアス電力より低い第２のバイアス電力を用いる第２のエッチング工程と、を含むことを特徴とする微細構造体の製造方法。
【請求項５】
前記第１のエッチング工程で前記保護膜のうち前記凹部の底面上の部分を除去し、前記第２のエッチング工程で前記基板をエッチングすることを特徴とする請求項４記載の微細構造体の製造方法。
【請求項６】
前記エッチングする工程は、
前記チャンバー内における前記第１のプラズマの密度を測定しながら前記第１のプラズマの密度が基準値以下になるまで前記第１のプロセスガスを排出する工程を更に有し、
前記第１のプラズマの密度が前記基準値以下となった後、前記第１のエッチング工程及び第２のエッチング工程を実施することを特徴とする請求項４または５記載の微細構造体の製造方法。
【請求項７】
前記エッチングする工程は、前記保護膜のうち前記凹部の底面上の部分の除去を検出する工程を更に有することを特徴とする請求項４〜６のいずれか１つに記載の微細構造体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微細構造体の製造方法に関し、特に、保護膜の形成とエッチングとを繰り返して基板を加工する微細構造体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体装置及びＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System：微小電子機械システム）などの微細構造体を形成する際に、シリコン基板に深いトレンチを形成する方法として、Ｂｏｓｃｈプロセスが知られている。Ｂｏｓｃｈプロセスとは、例えば、Ｃ４Ｆ８プラズマによる保護膜の形成とＳＦ６プラズマによるエッチングとを繰り返すことにより、シリコン基板に深いトレンチを形成する方法である（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
具体的には、シリコン基板の表面上にパターニングされたエッチングマスク材を形成し、これをチャンバー内に装着する。そして、このチャンバー内にＳＦ６ガスを導入し、これをプラズマ化することにより、シリコン基板をエッチングして凹部を形成する。その後、チャンバー内をＣ４Ｆ８ガスに入れ替え、これをプラズマ化することにより、この凹部の内面上に保護膜を形成する。その後、再びチャンバー内をＳＦ６ガスに入れ替え、ＳＦ６プラズマによるエッチングを施すことにより、凹部の側面上には保護膜を残したまま、凹部の底面上の保護膜のみを除去し、凹部の下方を更にエッチングする。以後、同様にして、チャンバー内にＣ４Ｆ８ガスとＳＦ６ガスとを交互に導入し、それぞれをプラズマ化することにより、保護膜の形成とエッチングとを繰り返す。これにより、シリコン基板の深掘加工を行う。
【０００４】
しかしながら、上述の従来の技術には以下に示すような問題点がある。すなわち、Ｃ４Ｆ８ガスとＳＦ６ガスとの切替えに際して、ガスが混合してしまうことがある。そして、ＳＦ６プラズマによりシリコン基板をエッチングする際に、雰囲気中にＣ４Ｆ８プラズマが存在していると、保護膜の強度が低下してしまう。この結果、シリコン基板にダメージが与えられ、トレンチの側壁にささくれ等のダメージが発生してしまい、深堀加工の精度が低下し、デバイス特性に悪影響を与える。このようなガスの混合を避けるためには、ガスの切替時間を十分に長くとればよいが、そうすると、加工効率が低下し、微細構造体の生産性が低下してしまう。
更に、エッチング速度を上げて加工効率を向上させるためには、エッチング時の圧力を上げ、エッチャントであるフッ素ラジカルを増加させる必要があるが、その場合、上記凹部の側面上に形成される保護膜を厚くし、側壁方向へのエッチングを抑制する必要が生ずる。ところがこの場合には凹部の底面上の保護膜も厚く形成されてしまうため、エッチング時において高バイアス電力により、高エネルギーイオンを入射させることによって底面上の保護膜を除去する必要が生じる。しかし、この方法によると、高エネルギーイオンによって、トレンチの側壁にささくれ等のダメージが発生してしまい、深堀加工の精度が低下し、デバイス特性に悪影響を与える。このような高エネルギーイオンによるダメージ発生を抑制するには、低バイアス電力により、低エネルギーイオンを用いればよいが、それでは保護膜除去に時間がかかり、加工効率が低下し、微細構造対の生産性が低下してしまう。
【特許文献１】特開２００３−０９２２８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、生産性が高く、加工精度が高い微細構造体の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様によれば、基板を収納したチャンバー内に第１のプロセスガスを導入し、前記第１のプロセスガスから第１のプラズマを形成し、前記基板の表面に形成された凹部の内面上に前記第１のプラズマにより保護膜を形成する工程と、前記チャンバー内に第２のプロセスガスを導入し、前記第２のプロセスガスから第２のプラズマを形成し、前記第２のプラズマにより前記保護膜のうち前記凹部の底面上の部分を除去して前記基板をエッチングする工程と、を備え、前記エッチングする工程は、前記チャンバー内における前記第１のプラズマの密度を測定しながら前記第１のプラズマの密度が基準値以下になるまで前記第１のプロセスガスを排出する工程と、前記第１のプラズマの密度が前記基準値以下となった後、前記第２のプラズマによって前記保護膜及び前記基板をエッチングする工程と、を有することを特徴とする微細構造体の製造方法が提供される。
【０００７】
本発明の別の一態様によれば、基板を収納したチャンバー内に第１のプロセスガスを導入し、前記第１のプロセスガスから第１のプラズマを形成し、前記基板の表面に形成された凹部の内面上に前記第１のプラズマにより保護膜を形成する工程と、前記チャンバー内に第２のプロセスガスを導入し、前記第２のプロセスガスから第２のプラズマを形成し、前記第２のプラズマにより前記保護膜のうち前記凹部の底面上の部分を除去して前記基板をエッチングする工程と、を備え、前記エッチングする工程は、第１のバイアス電力を用いる第１のエッチング工程と、前記第１のバイアス電力より低い第２のバイアス電力を用いる第２のエッチング工程と、を含むことを特徴とする微細構造体の製造方法が提供される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、生産性が高く、加工精度が高い微細構造体の製造方法を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施形態について説明する。  
なお、以下の各図については、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。  
（第１の実施の形態）
先ず、本発明の第１の実施形態について説明する。  
図１は、本実施形態において使用するプラズマエッチング装置を例示する模式的断面図であり、  
図２（ａ）乃至（ｄ）は、本実施形態において加工されるシリコン基板の状態を例示する工程断面図であり、（ａ）は加工開始前の状態を示し、（ｂ）は凹部の内面上に保護膜を形成した状態を示し、（ｃ）は凹部の底面上の保護膜を除去した状態を示し、（ｄ）は更にエッチングを行って新たな凹部を形成した状態を示す。  
図３は、横軸に時間をとり、縦軸に図１に示すプラズマエッチング装置の状態を表す各パラメータをとって、本実施形態に係るシリコン基板の加工方法を例示するタイミングチャートである。  
図３の縦軸には、バイアス電力、チャンバー内に流入するＳＦ６ガスの流量（ＳＦ６流量）、チャンバー内に流入するＣ４Ｆ８ガスの流量（Ｃ４Ｆ８流量）、チャンバー内のＣ４Ｆ８プラズマの密度（Ｃ４Ｆ８密度）、排気バルブの開閉状態及びチャンバー内の圧力をとっている。実線は各パラメータの設定値を表し、破線は実際の値の推定値を表す。
【００１０】
図１に示すように、本実施形態において使用するプラズマエッチング装置１は、プラズマの発生と引き込みとを独立に制御する誘導結合型プラズマ装置である。プラズマエッチング装置１においては、チャンバー２が設けられている。チャンバー２は、チャンバー２の例えば上部を構成し、プラズマを発生させるプラズマ発生室３と、チャンバー２の例えば下部を構成し、プラズマ発生室３において発生したプラズマによってエッチング及び保護膜の形成を行う反応室４とに分かれており、プラズマ発生室３と反応室４とは相互に連通されている。そして、プラズマ発生室３においては、ガス導入口６が設けられている。ガス導入口６からは、チャンバー２の内部に、ＳＦ６ガス、Ｏ２ガス及びＣ４Ｆ８ガスが相互に独立に導入されるようになっている。一方、反応室４には排気口７が設けられており、排気ポンプ８に連通されている。排気口７と排気ポンプ８とを連通する排気管９の途中には、排気バルブ１０が設けられている。
【００１１】
また、プラズマ発生室３の外部には、プラズマ発生室３の外面に沿ってコイル１１が巻回されており、このコイル１１はＲＦ（Radio Frequency）電源１２に接続されている。一方、反応室４の内部には、バイアス電極１３が設けられており、このバイアス電極１３はチャンバー２の外部に設けられたＲＦ電源１４に接続されている。バイアス電極１３は、加工対象となる試料２０を保持する。以下、ＲＦ電源１２がコイル１１に印加する高周波電力を「ソース電力」ともいい、ＲＦ電源１４がバイアス電極１３に印加する高周波電力を「バイアス電力」ともいう。
【００１２】
更に、反応室４の内部におけるバイアス電極１３の近傍及びプラズマ発生室３の内部には、プラズマ発光強度測定器１５が設けられている。プラズマ発光強度測定器１５は、チャンバー２内のプラズマによる発光をモニターし、発光の強度及び波長を測定する。プラズマ発光強度測定器１５はバイアス電極１３とマッチングされている。更にまた、プラズマエッチング装置１には、圧力計などの通常の付属機器も設けられている。
【００１３】
次に、プラズマエッチング装置１を使用してシリコン基板に対して深堀加工を施す方法、すなわち、本実施形態に係る微細構造体の製造方法について説明する。  
先ず、図２（ａ）に示すように、深堀加工の対象となる試料２０を準備する。試料２０においては、シリコン基板２１の表面上にエッチングマスク２２が形成されている。エッチングマスク２２は所定の形状にパターニングされており、シリコン基板２１における深掘加工を施す予定の領域に開口部２２ａが形成されている。この試料２０を、プラズマエッチング装置１の反応室４内に装入し、バイアス電極１３に取り付ける。
【００１４】
次に、プラズマエッチング装置１のチャンバー２内を排気した後、ガス導入口６を介してチャンバー２内にＳＦ６ガス及びＯ２ガスを導入すると共に、ＲＦ電源１２を作動させて、コイル１１に高周波電力（ソース電力）を供給する。このとき、ソース電力の大きさは例えば２５００Ｗ（ワット）とする。これにより、プラズマ発生室３においてＳＦ６ガスの一部がプラズマ化する。以下、このようにＳＦ６ガスから形成されたプラズマを、「ＳＦ６プラズマ」という。この状態でＲＦ電源１４を作動させて、バイアス電極１３に高周波電力（バイアス電力）を印加する。この結果、試料２０にバイアス電圧が印加され、ＳＦ６プラズマにより試料２０がエッチングされる。これにより、図２（ｂ）に示すように、シリコン基板２１の表面におけるエッチングマスク２２の開口部２２ａにおいて露出した領域に、凹部２３ａが形成される。
【００１５】
次に、図３のパッシベーション工程（保護膜形成工程）Ｐに示すように、試料２０の表面に保護膜２４を形成する工程を実行する。なお、以後の工程において、ソース電力の大きさは一定とし、例えば２５００Ｗとする。
【００１６】
先ず、ステップＰ１に示すように、チャンバー２内にガス導入口６を介して、第１のプロセスガスとしてＣ４Ｆ８ガスを導入する。このときの流量は例えば５００ｓｃｃｍとする。一方、ＳＦ６ガス及びＯ２ガスの導入は停止する。また、排気バルブ１０の開度を調整して、チャンバー２内の圧力を例えば９Ｐａ（パスカル）とする。更に、バイアス電極１３には電力を印加しない。これにより、上述の如くコイル１１には２５００Ｗの高周波電力が印加されているため、Ｃ４Ｆ８ガスの一部がプラズマ化する。以下、このようにＣ４Ｆ８ガスから形成されたプラズマを、「Ｃ４Ｆ８プラズマ」という。このＣ４Ｆ８プラズマにより、試料２０の全面に有機材料からなる保護膜２４が形成される。保護膜２４は略等方的に形成されるため、凹部２３ａの内面にも形成される。このステップＰ１を例えば１．２秒間継続する。
【００１７】
次に、ステップＰ２に示すように、Ｃ４Ｆ８ガスの供給を停止すると共に排気バルブ１０を例えば全開とする。これにより、チャンバー２内からＣ４Ｆ８ガスが排出され始め、これに伴って、Ｃ４Ｆ８プラズマが消失し始める。一方、次のエッチング工程Ｅのために、第２のプロセスガスとして、ＳＦ６ガスの流量を７５０ｓｃｃｍに設定し、Ｏ２ガスの流量を７５ｓｃｃｍに設定するが、ガスの流量をある値に設定してから実際に流量がその値に達するまでには時間がかかるため、ステップＰ２においては、ＳＦ６ガス及びＯ２ガスはチャンバー２内に導入されていないか、導入されていてもその流量は設定値未満である。このステップＰ２を、例えば０．１乃至０．５秒間継続する。このとき、チャンバー２内の圧力は例えば５Ｐａ以下、例えば５Ｐａとなる。
【００１８】
次に、図３に示すエッチング工程Ｅを実行する。  
先ず、ステップＥ１に示すように、排気バルブ１０を所定の開度まで絞る。但し、このとき、排気バルブ１０は全閉にはしない。また、ＳＦ６ガス及びＯ２ガスの流量の設定値は変更しない。これにより、第１のプロセスガスであるＣ４Ｆ８ガスはステップＰ２に引き続いて排出され続け、第１のプラズマであるＣ４Ｆ８プラズマは消失し続ける。一方、第２のプロセスガスであるＳＦ６ガス及びＯ２ガスはチャンバー２内に導入され始め、その流量は設定値に向けて増加し続ける。これにより、第２のプラズマであるＳＦ６プラズマが生成し始める。この結果、チャンバー２の内部において、Ｃ４Ｆ８プラズマがＳＦ６プラズマに置換されていく。なお、このとき、チャンバー２内の圧力は例えば５Ｐａに保持する。
【００１９】
そして、このとき、プラズマ発光強度測定器１５により、プラズマの発光の状態を検出する。例えば、プラズマの発光の強度及び波長を測定する。これにより、Ｃ４Ｆ８プラズマからＳＦ６プラズマへの置換の進行を、プラズマ発光強度測定器１５によってモニターする。具体的には、チャンバー２内のプラズマの発光について、紫外、可視及び近赤外の領域、例えば、波長が２００乃至１５００ｎｍ（ナノメートル）の領域で発光スペクトルを検出する。これにより、Ｃ４Ｆ８プラズマの密度及びＳＦ６プラズマの密度を測定し、この測定結果に基づいて、置換の状態を把握する。例えば、Ｃ４Ｆ８プラズマの密度が基準値以下となったときに、置換が完了したと判断し、ステップＥ１を終了する。なお、この基準値は、後述するステップＥ２及びＥ３において、ＳＦ６プラズマによってシリコン基板２１をエッチングする際に、Ｃ４Ｆ８プラズマが実用上問題となる程度の影響を与えないような値とする。例えば、プラズマ発光強度測定器１５の検出下限値としてもよい。
【００２０】
そして、Ｃ４Ｆ８プラズマの密度が基準値以下となった時点で、ステップＥ１からステップＥ２に移行し、バイアス電力を印加する。すなわち、ＲＦ電源１４によってバイアス電極１３に高周波電力を印加する。このときのバイアス電力の大きさは、例えば８０Ｗとする。また、チャンバー２内の圧力は、例えば１３Ｐａとする。これにより、チャンバー２内に、Ｃ４Ｆ８プラズマが実質的に混入していない略純粋なＳＦ６プラズマが形成され、このＳＦ６プラズマに高いバイアス電力をかけることにより、試料２０が異方的にエッチングされる。このステップＥ２を、例えば０．１乃至１秒間継続する。これにより、図２（ｃ）に示すように、試料２０に形成された保護膜２４のうち、凹部２３ａの底面上の部分のみが選択的に除去される。
【００２１】
次に、ステップＥ３に示すように、バイアス電力を８０Ｗから６５Ｗに変更すると共に、ＳＦ６ガスの流量の設定値を７５０ｓｃｃｍから７００ｓｃｃｍに変更し、Ｏ２ガスの流量の設定値を７５ｓｃｃｍから６５ｓｃｃｍに変更する。なお、圧力は１３Ｐａを維持する。このステップＥ３を、例えば０．５乃至３秒間持続する。これにより、試料２０に対してＳＦ６プラズマによるエッチングを施す。このとき、シリコン基板２１の表面における凹部２３ａ以外の領域はエッチングマスク２２によって保護されており、凹部２３ａの側面は保護膜２４によって保護されているため、凹部２３ａの底面のみが選択的にエッチングされる。この結果、図２（ｄ）に示すように、凹部２３ａの下方に凹部２３ｂが形成される。
【００２２】
次に、ステップＥ４に示すように、バイアス電力を０Ｗとし、ＳＦ６ガス及びＯ２ガスの供給を停止すると共に、排気バルブ１０を全開とする。これにより、エッチングの進行が停止され、チャンバー２内からＳＦ６ガス及びＯ２ガスが排出され始める。これにより、ＳＦ６プラズマが消失し始める。一方、次のパッシベーション工程Ｐのために、Ｃ４Ｆ８ガスの流量を５００ｓｃｃｍに設定するが、上述の如く、ガスの流量を設定してから実際に設定値に達するまでには時間がかかるため、ステップＥ４においてはＣ４Ｆ８ガスはチャンバー２内に導入されていないか、導入されていてもその流量は設定値未満である。このステップＥ４を、例えば０．１乃至０．５秒間継続する。このとき、チャンバー２内の圧力は例えば５Ｐａ以下、例えば５Ｐａとなる。
【００２３】
以後、上述のパッシベーション工程Ｐとエッチング工程Ｅとを交互に繰り返す。これにより、保護膜の形成とエッチングとを交互に繰り返し、シリコン基板２１に対するエッチングを凹部２３ｂの直下に向けて段階的に進行させ、シリコン基板２１に深堀加工を施すことができる。この結果、シリコン基板２１に深いトレンチが形成された微細構造体を形成することができる。微細構造体は例えば半導体装置であってもよく、ＭＥＭＳであってもよい。
【００２４】
次に、本実施形態の効果について説明する。  
本実施形態においては、図３に示すように、エッチング工程ＥにおいてステップＥ１を設けている。ステップＥ１においては、チャンバー２内のプラズマの状態を監視しながら排気を行い、Ｃ４Ｆ８プラズマからＳＦ６プラズマへの置換の終点を判断している。すなわち、チャンバー２内におけるＣ４Ｆ８プラズマの密度を測定しながら、Ｃ４Ｆ８プラズマの密度が基準値以下になるまでＣ４Ｆ８ガスを排出し、この密度が基準値以下になってから、ステップＥ２に移行し、バイアス電力の印加を開始している。
【００２５】
これにより、ステップＥ２に示すＳＦ６プラズマを用いたエッチングにおいて、環境中にＣ４Ｆ８プラズマが混入することを防止でき、略純粋なＳＦ６プラズマを使用することができる。このため、保護膜２４が軟弱化することがなく、シリコン基板２１に与えるダメージを抑制することができ、形成したトレンチの側面にささくれ等が発生することを防止できる。また、Ｃ４Ｆ８プラズマの排気ステップであるステップＰ２を過剰に長く設定する必要がなくなるため、加工効率を向上させることができる。このように、本実施形態によれば、加工効率が高く、加工精度が高いエッチング方法を実現することができ、生産性が高く、加工精度が高い微細構造体の製造方法を実現することができる。
【００２６】
また、本実施形態においては、ステップＰ２において、チャンバー２に対するＳＦ６ガス及びＯ２ガスの導入を開始し、ステップＥ１においても引き続きＳＦ６ガス及びＯ２ガスを導入している。上述の如く、チャンバー内へのガスの導入は、流量を設定してから実際にその流量に達するまでにある程度の時間がかかるため、ステップＰ１において保護膜を形成した後、ステップＰ２においてＣ４Ｆ８ガスを排出しつつＳＦ６ガス及びＯ２ガスの導入を開始することにより、ステップＥ２においては、ＳＦ６ガス及びＯ２ガスの流量を安定させた状態で、エッチングを開始することができる。これにより、ステップＥ２におけるエッチングが開始当初から安定する。
【００２７】
なお、ステップＰ２においてはＳＦ６ガス及びＯ２ガスの導入を開始せずに、ステップＥ１において開始してもよい。これにより、ステップＥ２の開始時点ではＳＦ６ガス及びＯ２ガスの流量が安定しなくなる可能性はあるものの、ステップＰ２においてＣ４Ｆ８ガスを効率よく排出することができる。
【００２８】
（第２の実施の形態）
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。  
図４は、横軸に時間をとり、縦軸に図１に示すプラズマエッチング装置の状態を表す各パラメータをとって、本実施形態に係るシリコン基板の加工方法を例示するタイミングチャートである。図４の表記方法は、図３と同様である。  
図４に示すように、本実施形態は、前述の第１の実施形態と比較して、パッシベーション工程Ｐにおいて、保護膜の形成工程であるステップＰ１の前にステップＰ０が設けられている点、及び、ステップＰ１においてバイアス電力を印加している点が異なっている。
【００２９】
ステップＰ０においては、エッチング工程ＥのステップＥ１と同様に、プラズマの状態を監視しながら、それより前の工程で使用したプロセスガスを排出する。具体的には、チャンバー２内におけるプラズマ発光の強度及び波長を検出することにより、エッチング工程Ｅにおいて使用したＳＦ６プラズマの密度を測定し、この密度が基準値以下となるまで、ＳＦ６ガス及びＯ２ガスを排出する。そして、ＳＦ６プラズマの密度が基準値以下となった時点で、ステップＰ０からステップＰ１に移行し、バイアス電力の印加を開始する。なお、この基準値は、ステップＥ１において使用したＣ４Ｆ８プラズマの下限値とは独立に設定し、Ｃ４Ｆ８プラズマによって保護膜２４を形成する際に、ＳＦ６プラズマが実用上問題となる程度の影響を与えないような値とする。例えば、プラズマ発光強度測定器１５の検出下限値としてもよい。本実施形態における上記以外の構成は、前述の第１の実施形態と同様である。すなわち、本実施形態においても、図１に示すプラズマエッチング装置１を使用して、図２に示す試料２０に対して深堀加工を施す。
【００３０】
本実施形態においては、パッシベーション工程Ｐにおいてバイアス電力を印加する場合に、雰囲気中からＳＦ６プラズマが実際上問題が生じない程度まで除去されたことを確認した後で、バイアス電力の印加を開始することができる。これにより、略純粋なＣ４Ｆ８プラズマにより保護膜２４（図２（ｂ）参照）を形成することができるため、保護膜２４の膜質を安定させることができる。また、ＳＦ６プラズマの排気ステップであるステップＥ４を必要以上に長く設定する必要がなく、加工効率を向上させることができる。本実施形態における上記以外の効果は、前述の第１の実施形態と同様である。
【００３１】
なお、前述の第１及び第２の実施形態においては、プラズマ監視ステップであるステップＥ１及びＰ０においても、コイル１１に対して他のステップと同じソース電力、例えば、２５００Ｗのソース電力を印加しているが、ステップＥ１及びＰ０においてはソース電力を弱くしてもよい。すなわち、ステップＥ１及びＰ０では、プラズマの発光がモニター可能な範囲で可及的に弱いソース電力を印加しておき、プラズマの置換が完了したことを確認した後、ステップＥ２及びＰ１において、所定のエッチング又はパッシベーションが可能となるように、ソース電力を増加させてもよい。
【００３２】
また、ステップＥ１及びＰ０においては、前工程で使用したプラズマの残存量を測定するだけでなく、次工程で使用するプラズマの導入量も併せて測定してもよい。例えば、ステップＥ１において、Ｃ４Ｆ８プラズマの密度と共にＳＦ６プラズマの密度を測定し、Ｃ４Ｆ８プラズマの密度が基準値以下となると共にＳＦ６プラズマの密度が他の基準値以上となったときに、プラズマの置換が終了したと判定してもよい。これにより、プラズマの状態をより正確に把握することができる。
【００３３】
更に、前述の第１及び第２の実施形態においては、チャンバー２の内部にプラズマ発光強度測定器１５を配置する例を示したが、本発明はこれに限定されず、プラズマ発光強度測定器のうち、チャンバー２の内部には測定端子のみが配置され、本体はチャンバー２の外部に配置されていてもよく、又は、全体がチャンバー２の外部に設けられており、チャンバー２に設けられた窓を介してプラズマの発光をモニターしてもよい。
【００３４】
（第３の実施の形態）  
次に、本発明の第３の実施形態について説明する。  
図５は、横軸に時間をとり、縦軸に図１に示すプラズマエッチング装置の状態を表す各パラメータをとって、本実施形態に係るシリコン基板の加工方法を例示するタイミングチャートである。図５の表記方法は、図３と同様である。  
本実施形態は、前述の第２の実施形態と比較して、プラズマエッチング装置にプラズマ発光強度測定器１５（図１参照）が設けられておらず、チャンバー２内の圧力によってプラズマの状態を監視する点が異なっている。このため、図５に示すように、本実施形態においては、ステップＥ４及びＰ０においてＣ４Ｆ８ガスを導入せず、ステップＰ２及びＥ１においてＳＦ６ガス及びＯ２ガスを導入しない。
【００３５】
本実施形態においては、ステップＥ１においてＣ４Ｆ８プラズマが所定のレベルまで消失したことを確認した後、ステップＥ２に移行し、ＳＦ６ガス及びＯ２ガスを導入する。また、ステップＰ０においてＳＦ６プラズマが所定のレベルまで消失したことを確認した後、ステップＰ１に移行し、Ｃ４Ｆ８ガスを導入する。
【００３６】
本実施形態によれば、プラズマエッチング装置にプラズマ発光強度測定器を設ける必要がないため、既存のプラズマエッチング装置をそのまま使用することができる。本実施形態における上記以外の構成、動作及び効果は、前述の第２の実施形態と同様である。なお、本実施形態においては、前述の第１の実施形態と同様に、Ｃ４Ｆ８プラズマの排出状態のみを監視してもよい。
【００３７】
（第４の実施の形態）  
次に、本発明の第４の実施形態について説明する。  
図６は、本実施形態において使用するプラズマエッチング装置を例示する模式的断面図である。  
図６に示すように、本実施形態においては、プラズマエッチング装置１６として、質量分析器１７を設けた装置を使用する。質量分析器１７はチャンバー２内に連通されている。本実施形態においては、図３に示すステップＥ１において、チャンバー２内に存在するプラズマを電気的・磁気的な作用などにより質量電荷比に応じて分離し、その後検出することにより、プラズマに含まれる炭素を定量分析して、Ｃ４Ｆ８プラズマの密度を測定する。本実施形態における上記以外の構成、動作及び効果は、前述の第１の実施形態と同様である。なお、本実施形態においても、前述の第２の実施形態と同様に、パッシベーション工程ＰにステップＰ０を設け、ＳＦ６プラズマの密度を測定してもよい。この場合、質量分析器１７により、例えば硫黄を定量分析する。
【００３８】
なお、本実施形態において、質量分析器１７の配設態様は図６に示す例には限定されない。一般に、プラズマの密度は、同一のチャンバー内においても中央部と側壁部とでは異なっているため、最適な位置からプラズマを採取して分析することが好ましい。  
例えば、質量分析器１７からチューブをチャンバー２の中央部まで引き出し、このチューブを介して、チャンバー２の中央部又は試料の近傍から分析用のプラズマを採取してもよい。このとき、チューブはチャンバー２と同じ材料、例えば、アルミニウムにより形成する。これにより、チャンバー２の中央部のプラズマ密度を測定することができる。  
また、質量分析器１７からチャンバー２の内部に向けて複数本のプローブを引き出してもよい。これらのプローブの内部を中空とし、表面に多数の微細孔を形成しておけば、チャンバー２の多数の位置からプラズマを採取して、分析することができる。  
更に、このように、チャンバー２内の複数の位置に検出ポイントを設置しておき、複数の位置のプラズマ密度が全て基準値以下となったときに、初めてステップＥ１からステップＥ２に進むようにしてもよい。これにより、エッチング工程及び保護膜形成工程において、プラズマの均一性を向上させることができる。そして、プラズマの均一性を向上させることにより、加工の均一性を向上させることができる。例えば、半導体装置を作製する場合には、ウェーハの面内均一性を向上させることができる。
【００３９】
（第５の実施の形態）  
次に、第５の実施の形態について説明する。  
図７は、本発明の第５の実施形態に係る微細構造体の製造方法を例示するフローチャート図である。  
図７に表したように、本発明の第５の実施形態に係る微細構造体の製造方法では、例えば、図１に例示したプラズマエッチング装置１のバイアス電極１３の上部に所定のエッチングマスク２２を有する基板２１を設置した後、最初のエッチングを行う（ステップＳ１１０）。すなわち、図３〜図５の左側の「Ｅ」で示された工程を行う。これにより、図２（ｂ）に例示した凹部２３ａが形成される。  
次に、保護膜を形成する（ステップＳ１２０）。すなわち、図３〜図５の左側の「Ｐ」で示された工程を行う。これにより、図２（ｂ）に例示した保護膜２４が、凹部２３ａの内部及び基板全面に形成される。
【００４０】
次に、第１のエッチングを行う（ステップＳ１３０）。すなわち、図３〜図４の右側の「Ｅ」で示された工程中のＥ２の工程を行う。すなわち、高バイアス電力を用いてエッチングを行う。例えば、バイアス電力として８０Ｗが用いられる。これにより、図２（ｃ）に例示したように、試料２０に形成された保護膜２４のうち、凹部２３ａの底面上の部分のみが選択的に除去される。
【００４１】
次に、第２のエッチングを行う（ステップＳ１４０）。すなわち、図３〜図４の右側の「Ｅ」で示された工程中のＥ３の工程を行う。すなわち、低バイアス電力を用いてエッチングを行う。例えば、バイアス電力として６５Ｗが用いられる。この時、凹部２３ａの側面は保護膜２４によって保護されており、凹部２３ａの底面のみが選択的にエッチングされ、図２（ｄ）に表したように、凹部２３ａの下方に凹部２３ｂが形成される。
【００４２】
そして、上記のステップＳ１２０〜ステップＳ１４０を繰り返す。すなわち、保護膜の形成とエッチングとを交互に繰り返し、シリコン基板２１に対するエッチングを凹部２３ｂの直下に向けて段階的に進行させ、シリコン基板２１に深堀加工を施すことができる。
これにより、凹部の側壁にダメージを実質的に与えること無く、基板２１に深いトレンチを形成することができる  
なお、上記のステップＳ１１０〜Ｓ１４０における装置条件やプロセス条件は、図３〜図５について説明した条件を用いることができる。また、本実施形態において、図３〜図５に例示した、Ｐ０、Ｐ１、Ｐ２、Ｅ１、Ｅ４の工程を実施しても良い。
【００４３】
図８は、本発明の第５の実施形態に係る微細構造体の製造方法と比較例の製造方法による加工特性を例示する模式図及び写真図である。  
図８（ａ）、（ｃ）は、それぞれ、本実施形態と比較例を用いて形成されたトレンチの加工状態を例示する模式図である。また、図８（ｂ）、（ｄ）は、それぞれ、図８（ａ）、（ｃ）のＡ−Ａ線、Ｂ−Ｂ線方向を紙面に垂直とした方向から観察した走査型電子顕微鏡写真図である。  
本実施形態のエッチング工程では、最初に高バイアス電力として８０Ｗを用い（ステップＳ１３０）、その後、低バイアス電力として６５Ｗを用いた（ステップＳ１４０）。そして、比較例のエッチング工程では、低バイアス電力の状態が無く、常時、高バイアス電力の８０Ｗが用いられ、それ以外の条件は、本実施形態と同様である。
【００４４】
図８（ａ）、（ｃ）に表したように、エッチングマスク２２が設けられた基板２１にエッチング加工を施し、トレンチ５０が形成されている。  
図８（ｃ）、（ｄ）に表したように、比較例の場合、トレンチ５０の側壁部５１に深さ方向に略平行な線状の傷が多数生じている。  
これに対し、図８（ａ）、（ｂ）に表したように、本実施形態の方法により加工されたトレンチ５０には、傷は無く、エッチングによる側壁部５１のダメージは無い。
【００４５】
すなわち、本実施形態においては、高バイアス電力を用い凹部２３ａの底面上の部分の保護膜２４を選択的に除去している（ステップＳ１３０）。この時、高バイアス電力による高イオンエネルギーのイオン粒子は、基板２１の上部から比較的直進性良く凹部２３ａに入射する。また、この高バイアス電力のエッチングは、凹部２３ａの底面の保護膜２４を除去するだけの短い時間で行うことができる。従って、エッチング作用を持つイオン粒子は凹部２３ａの底面のみに作用し、凹部２３ａの側壁部５１には実質的に影響を与えない。そして、その後、低バイアス電力を用いて、保護膜２４から露出した凹部２３ａの底面の基板２１をエッチングする。その時、バイアス電力が低いので、イオン粒子は側壁部５１の保護膜２４によって遮断され、側壁部５１には実質的に影響を与えない。これに対し、比較例の場合は、凹部２３ａの底面が露出した後も高バイアス電力のままなので、側壁部５１の保護膜２４による遮蔽が不完全となり、このため、側壁部５１に深さ方向に略平行な線状の傷が発生したと考えられる。
【００４６】
このように、本実施形態においては、高バイアス電力による第１のエッチング工程とその後の低バイアス電力による第２のエッチング工程を組み合わせることで、側壁部５１に実質的にダメージを与えないで、基板２１に深いトレンチが形成された微細構造体を形成することができる。
【００４７】
（実施例）
以下、本実施形態の実施例について説明する。  
本実施例の微細構造の製造方法では、図１に例示したプラズマエッチング装置１が用いられる。
【００４８】
所定のエッチングマスク２２を有する基板２１をバイアス電極１３の上部に設置し、以下の保護膜形成とエッチング条件により、保護膜形成（ステップＳ１２０）とエッチング（ステップＳ１３０〜ステップＳ１４０）を繰り返してトレンチを形成した。  
この時、保護膜形成工程では、ソース電力（コイル１１への供給高周波電力）を２５００Ｗ、Ｃ４Ｆ８ガスの圧力を５０ｍｔｏｒｒ、バイアス電極１３への印加電力を０Ｗに設定し、時間は２秒とした。  
そして、エッチング工程では、ソース電力を２５００Ｗ、ＳＦ６ガス流量を７５０ｓｃｃｍ、ＳＦ６ガス圧力を９０ｍＴｏｒｒに設定した。そして、高バイアス電力の第１のエッチング工程（ステップＳ１３０）と低バイアス電力の第２の工程（ステップＳ１４０）の合計の時間を一定（３秒）とし、それぞれの時間を変えてエッチングを行った。すなわち、バイアス電極１３に印加する電力を、ｔ秒間、１００Ｗに設定し（ステップＳ１３０）、その後、（３−ｔ）秒間、５０Ｗに設定して（ステップＳ１４０）、エッチングを行った。  
上記の条件により、基板２１のエッチングを行い、トレンチ５０を形成し、トレンチの側壁部５１に発生した側壁荒れの量を評価した。この際、形成されたトレンチの側壁部５１の表面の凹凸を原子力間顕微鏡（ＡＦＭ： Atomic Force Microscope）により測定し、この結果から算術平均粗さＲａを求め、これを側壁荒れ量の指標とした。
【００４９】
図９は、本発明の第５の実施形態に係る微細構造体の製造方法の加工特性を例示するグラフ図である。  
図９において、横軸は、高バイアス電力（１００Ｗ）時の時間ｔ、縦軸は、側壁荒れ量Ｒａを示している。図９に表したように、高バイアス電力（１００Ｗ）の時間ｔが０．５秒以下の場合は、側壁荒れ量Ｒａは、１０ｎｍ以下の値を示しているが、ｔが１秒以上の場合は、側壁荒れ量Ｒａが５０ｎｍ以上の大きな値を示している。
【００５０】
図１０は、本発明の第５の実施形態に係る微細構造体の製造方法の加工特性を例示するグラフ図である。  
図１０において、横軸は、高バイアス電力（１００Ｗ）時の時間ｔ、縦軸は、エッチング速度を表している。図１０に表したように、高バイアス電力（１００Ｗ）の時間ｔが、０．３秒以下の場合はエッチング速度は小さい値を示すが、０．４秒以上では５μｍ／ｍｉｎ以上の大きい値を示す。
【００５１】
図９及び図１０を基に、高バイアス電力（１００Ｗ）の時間ｔを０．５秒とし、それ以降を低バイアス電力（５０Ｗ）に設定した。これにより、エッチング速度を５μｍ／ｍｉｎ以上の高速に保ちつつ、側壁荒れ量Ｒａの少ないシリコンエッチングを実現することができた。  
すなわち、エッチング工程（ステップＳ１３０〜ステップＳ１４０）の初期に１００Ｗの高バイアス電力に設定することで、凹部２３ａの底部の保護膜２４を除去でき、その後、５０Ｗの低バイアス電力にすることで、イオンエネルギーを低くすることができ、側壁部５１の荒れを減少させることが可能となり、かつシリコンエッチングはラジカルが主体となって反応が進むため、エッチング速度はあまり低下させることなく、高速でシリコンエッチングが実現できた、と考えられる。  
なお、高バイアス電力（１００Ｗ）の時間ｔが０．３秒以下の場合は、この間に凹部２３ａの底部の保護膜２４が十分除去されていないため、その後の低バイアス電力（５０Ｗ）の電力によって底部の堆積膜を除去することとなり、図１０に表したように、エッチング速度が低下してしまう。
【００５２】
（第６の実施の形態）  
次に、第６の実施の形態について説明する。  
第６の実施形態に係る微細構造体の製造方法は、図７に例示した製造方法に加え、凹部２３ａの底面の保護膜の除去をモニターする工程を更に備えている。  
図１１は、本発明の第６の実施形態に係る微細構造体の製造方法を例示するフローチャート図である。  
図１１に表したように、本発明の第６の実施形態に係る微細構造体の製造方法においては、最初のエッチング（ステップＳ１１０）、保護膜の形成（ステップＳ１２０）の後、高バイアス電力の第１のエッチングを行う（ステップＳ１３０）。  
そして、第１のエッチング（ステップＳ１３０）の最中に、保護膜２４のうち凹部２３ａの底面上の部分の除去を検出する（ステップＳ１３５）。なお、図１１では、ステップＳ１３０の後にステップＳ１３５が描かれているが、ステップＳ１３５は、ステップＳ１３０の最中に行うことができる。  
そして、その検出結果に基づいて、低バイアス電力の第２のエッチングを行う（ステップＳ１４０）。  
このように、本実施形態の微細構造体の製造方法では、凹部２３ａの底面上の保護膜の除去状態を検出するので、各種の条件の変動により、保護膜２４の膜厚が変化したり、保護膜２４の除去速度が変化した場合でも、高バイアス電力から低バイアス電力への切替時間を正しく設定することが可能となる。
【００５３】
ステップＳ１３５における凹部２３ａの底面上の保護膜の除去の検出は、例えば、エッチング中に発生するシリコンの発光強度を測定することで行うことができる。
【００５４】
図１２は、本発明の第６の実施形態に係る微細構造体の製造方法において使用するプラズマエッチング装置を例示する模式的断面図である。  
図１２に表したように、本実施形態に係る微細構造体の製造方法において使用するプラズマエッチング装置６１では、図１に例示したプラズマエッチング装置１に対して、発光分析器６２が更に設けられている。発光分析器６２は、チャンバー２に設置され、エッチング工程（ステップＳ１３０〜ステップＳ１４０）におけるシリコンの発光強度を測定する。すなわち、基板２１のシリコンが保護膜２４によって被覆されている時と、凹部２３ａの底面上の部分において、保護膜２４が除去され、シリコンが露出した時に発生するシリコンに起因する発光強度の差をモニターする。
【００５５】
図１３は、本発明の第６の実施形態に係る微細構造体の製造方法における特性を例示するグラフ図である。  
本図は、第５の実施形態の実施例で説明した条件、すなわち、第１のエッチング工程のバイアス電力を１００Ｗに設定し、第２のエッチング工程のバイアス電力を５０Ｗに設定し、第１のエッチング工程の時間をｔ秒、第２のエッチング工程の時間を（３−ｔ）秒とし、図１１に例示した方法で試料２０にエッチング加工を行い、その時のシリコン発光強度を求めた結果を表している。図１３において、横軸は、高バイアス電力（１００Ｗ）時の時間ｔ、縦軸は、シリコン発光強度を示している。  
図１３に表したように、高バイアス電力（１００Ｗ）の時間ｔが０．５秒を超えると、
シリコンの発光強度が高くなっている。これは、０．５秒付近の時間において凹部２３ａの底面上の保護膜２４が除去され、その下のシリコンが露出し、シリコンがエッチングされ始めたことよると考えられる。
【００５６】
このように、本実施形態の微細構造体の製造方法では、凹部２３ａの底面上の保護膜２４の除去状態をシリコンの発光強度により検出し、これを、高バイアス電力の第１のエッチング工程（ステップＳ１３０）から低バイアス電力の第２のエッチング工程（ステップＳ１４０）への切替えのタイミングへフィードバックをかけることができ、その結果、各種の条件の変動により、保護膜２４の膜厚が変化したり、保護膜２４の除去速度が変化した場合でも、切替時間を正しく設定することが可能となる。これにより、より正確に、トレンチ側壁のダメージを低減し、生産性が高く、加工精度が高い微細構造体の製造方法を実現することができる。
【００５７】
なお、先に説明した、第１〜第４の実施の形態に係る微細構造体の製造方法と、第５〜第６の実施の形態に係る微細構造体の製造方法とは、同時に実施することができる。  
例えば、第２〜第４の実施の形態で説明した、チャンバー内のプラズマの発光状態、チャンバー内の圧力、チャンバー内のプラズマ質量分析等によって、プラズマの密度の測定を行い、それに基づきガスの排気及び各種の処理の制御を行い、それと同時に、図７に例示した高バイアス電力の第１のエッチングと、低バイアス電力の第２のエッチングとを実施することができる。また、更に、これらと、図１１に例示した凹部２３ａの底面上の保護膜２４の除去のモニターと、を同時に行っても良い。
【００５８】
（第７の実施の形態）
本発明の第７の実施形態では、第４の実施の形態で説明した、チャンバー内のプラズマの質量分析によってプラズマの密度の測定を行い、それと同時に、シリコン発光強度によって凹部の底面上の保護膜の除去のモニターを同時に行う例である。  
図１４は、本発明の第７の実施形態に係る微細構造体の製造方法において使用するプラズマエッチング装置を例示する模式的断面図である。  
図１４に表したように、本実施形態に係る微細構造体の製造方法において使用するプラズマエッチング装置７１では、図６に例示したプラズマエッチング装置１６に対して、発光分析器６２が更に設けられている。これにより、プラズマの密度の測定を、チャンバー内のプラズマの質量分析によって行うことができ、それと同時に、凹部の底面上の保護膜の除去をシリコン発光強度によってモニターすることができる。  
これにより、より正確に、トレンチ側壁のダメージを軽減し、生産性が高く、加工精度が高い微細構造体の製造方法を実現することができる。
【００５９】
また、上記では、トレンチの形成について説明したが、これに限らず、アスペクト比の高いコンタクトホール等など、断面のサイズに対して深さの深い各種の凹部の形成に応用できる。なお、本実施形態の微細構造体の製造方法は、例えば、シリコンパワーデバイス等の半導体装置、ＭＥＭＳ、磁気記録装置等の製造方法に応用することができる。
【００６０】
以上、実施形態を参照して本発明を説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されるものではない。例えば、前述の各実施形態に対して、当業者が適宜、工程の追加、削除、変更を行ったものも、本発明の要旨を備えている限り、本発明の範囲に含有される。例えば、前述の各実施形態においては、プラズマを監視する方法として、プラズマ発光の強度及び波長を測定する方法、チャンバー内の圧力を測定する方法、及び質量分析を行う方法を例示したが、本発明はこれに限定されず、これらの方法を組み合わせてもよく、他の方法を使用してもよい。
【００６１】
また、凹部２３ａの底面上の保護膜２４の除去状態の検出方法として、シリコンの発光強度により検出する方法を例示したが、凹部２３ａの底面上の保護膜２４の除去状態をモニターできる方法であればこれには限定されず、他の手法を用いてもよい。そして、各種の手法によって得られた保護膜２４の除去状態を、第１のエッチング工程と第２のエッチング工程の切替えのタイミングにフィードバックすれば良い。
【００６２】
また、前述の各実施形態においては、加工対象となる基板をシリコン基板とし、保護膜を形成するためのプラズマとしてＣ４Ｆ８プラズマを使用し、エッチングのためのプラズマとしてＳＦ６プラズマを使用する例を示したが、本発明はこれに限定されない。例えば、シリコン基板の替わりに、シリコンゲルマニウム基板又はシリコンカーバイド基板などを使用してもよい。また、Ｃ４Ｆ８ガスの替わりに、Ｃ５Ｆ８ガス、又はＣ４Ｆ６ガスなどを使用してもよい。更に、ＳＦ６ガスの替わりに、ＮＦ３ガス、ＳｉＦ４ガス、又はＣＦ４ガスなどを使用してもよい。また、Ｏ２ガスを適量添加しても良い。
【００６３】
以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、微細構造体の製造方法を構成する各要素の具体的な構成に関しては、当業者が公知の範囲から適宜選択することにより本発明を同様に実施し、同様の効果を得ることができる限り、本発明の範囲に包含される。  
また、各具体例のいずれか２つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。  
その他、本発明の実施の形態として上述した微細構造体の製造方法を基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全ての微細構造体の製造方法も、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。  
その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明の第１の実施形態において使用するプラズマエッチング装置を例示する模式的断面図である。
【図２】（ａ）乃至（ｄ）は、本実施形態において加工されるシリコン基板の状態を例示する工程断面図であり、（ａ）は加工開始前の状態を示し、（ｂ）は凹部の内面上に保護膜を形成した状態を示し、（ｃ）は凹部の底面上の保護膜を除去した状態を示し、（ｄ）は更にエッチングを行って新たな凹部を形成した状態を示す。
【図３】横軸に時間をとり、縦軸に図１に示すプラズマエッチング装置の状態を表す各パラメータをとって、本発明の第１の実施形態に係るシリコン基板の加工方法を例示するタイミングチャートである。
【図４】横軸に時間をとり、縦軸に図１に示すプラズマエッチング装置の状態を表す各パラメータをとって、本発明の第２の実施形態に係るシリコン基板の加工方法を例示するタイミングチャートである。
【図５】横軸に時間をとり、縦軸に図１に示すプラズマエッチング装置の状態を表す各パラメータをとって、本発明の第３の実施形態に係るシリコン基板の加工方法を例示するタイミングチャートである。
【図６】本発明の第４の実施形態において使用するプラズマエッチング装置を例示する模式的断面図である。
【図７】本発明の第５の実施形態に係る微細構造体の製造方法を例示するフローチャート図である。
【図８】本発明の第５の実施形態に係る微細構造体の製造方法と比較例の製造方法による加工特性を例示する模式図及び写真図である。
【図９】本発明の第５の実施形態に係る微細構造体の製造方法の加工特性を例示するグラフ図である。
【図１０】本発明の第５の実施形態に係る微細構造体の製造方法の加工特性を例示するグラフ図である。
【図１１】本発明の第６の実施形態に係る微細構造体の製造方法を例示するフローチャート図である。
【図１２】本発明の第６の実施形態に係る微細構造体の製造方法において使用するプラズマエッチング装置を例示する模式的断面図である。
【図１３】本発明の第６の実施形態に係る微細構造体の製造方法における特性を例示するグラフ図である。
【図１４】本発明の第７の実施形態に係る微細構造体の製造方法において使用するプラズマエッチング装置を例示する模式的断面図である。
【符号の説明】
【００６５】
１  プラズマエッチング装置、２  チャンバー、３  プラズマ発生室、４  反応室、６  ガス導入口、７  排気口、８  排気ポンプ、９  排気管、１０  排気バルブ、１１  コイル、１２  ＲＦ電源、１３  バイアス電極、１４  ＲＦ電源、１５  プラズマ発光強度測定器、１６  プラズマエッチング装置、１７  質量分析器、２０  試料、２１  シリコン基板、２２  エッチングマスク、２２ａ  開口部、２３ａ、２３ｂ  凹部、２４  保護膜、５０  トレンチ、５１  側壁部、６１  プラズマエッチング装置、６２  発光分析器、７１  プラズマエッチング装置、  Ｅ  エッチング工程、Ｐ  パッシベーション工程
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図８】
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