(57)【要約】【課題】高感度撮影時の縦スジノイズを目立たなくする。【解決手段】画素から読み出した信号電荷を垂直電荷転送路１１に沿って転送し、垂直電荷転送路１１を水平電荷転送路の転送中に停止させ、該停止中に所定の垂直転送電極の下に形成した電位井戸内に前記信号電荷を保持するＣＣＤ型固体撮像素子の駆動方法において、前記停止毎に、前記所定の垂直転送電極Ｖ１をＶ２，Ｖ１と交互に変更する。【選択図】図７
2008252791.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画素から読み出した信号電荷を垂直電荷転送路に沿って転送し、該垂直電荷転送路を停止させるとき該停止中に所定の垂直転送電極の下に形成した電位井戸内に前記信号電荷を保持するＣＣＤ型固体撮像素子の駆動方法において、前記停止させる毎に、前記所定の垂直転送電極を変更することを特徴とするＣＣＤ型固体撮像素子の駆動方法。
【請求項２】
前記画素の信号電荷を複数フィールドに分けて読み出すとき異なるフィールド間で前記変更を行うことを特徴とする請求項１に記載のＣＣＤ型固体撮像素子の駆動方法。
【請求項３】
前記変更を同一フィールド内でも行うことを特徴とする請求項２に記載のＣＣＤ型固体撮像素子の駆動方法。
【請求項４】
前記変更は、前記所定の垂直転送電極が複数電極で構成される場合に一部の変更で行うことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のＣＣＤ型固体撮像素子の駆動方法。
【請求項５】
前記変更を巡回的に行うことを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載のＣＣＤ型固体撮像素子の駆動方法。
【請求項６】
カラー画像撮像用に各画素にカラーフィルタが搭載されている場合には、前記所定の垂直転送電極を、垂直電荷転送路に沿う同一色の信号電荷を保持する電位井戸形成用の垂直転送電極とし、該所定の垂直転送電極を停止毎に変更することを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載のＣＣＤ型固体撮像素子の駆動方法。
【請求項７】
前記所定の垂直転送電極を読出電極兼用の垂直転送電極以外の垂直転送電極とすることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれかに記載のＣＣＤ型固体撮像素子の駆動方法。
【請求項８】
ＣＣＤ型固体撮像素子と、請求項１乃至請求項７のいずれかに記載の駆動方法を実行するＣＣＤ駆動手段とを備えることを特徴とする撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はＣＣＤ型固体撮像素子の駆動方法及び撮像装置に係り、特に、暗電流による縦スジノイズを良好に抑制することができるＣＣＤ型固体撮像素子の駆動方法及び撮像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
フォトダイオード（画素）が検出した信号電荷を垂直電荷転送路（ＶＣＣＤ）と水平電荷転送路（ＨＣＣＤ）によって出力段に転送するＣＣＤ型固体撮像素子では、水平電荷転送路の転送中に停止される垂直電荷転送路の信号電荷保持用電位井戸内に暗電流が混入してしまう。
【０００３】
暗電流は、信号電荷保持用電位井戸を形成する垂直転送電極毎にその発生率にバラツキが生じ、多量の暗電流を発生させる垂直転送電極があると、ここを通過する電荷量が多くなり、これが撮像画像中に縦スジノイズとして現れ撮像画像の画質を劣化させる一因となる。
【０００４】
特に、暗いシーンを高感度モードで撮影した場合には、入射光量に応じた信号電荷量が少なくなるため相対的に暗電流成分が増大し、縦スジが目立ってしまう。そこで、本出願人は先に、特許文献１記載の様に、高感度モード撮影時の垂直転送に使用する電位井戸の容量を低感度モード撮影時の垂直転送に使用する電位井戸の容量より減らし（１つの電位井戸を形成する垂直転送電極数を減らすことで容量を減らしている。）、暗電流による影響を抑制する技術を提案している。
【０００５】
【特許文献１】特開２００５―２８６４７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述した従来技術によれば、暗電流による縦スジノイズを抑制することができる。しかし、近年のＣＣＤ型固体撮像素子は、画素の微細化が進んだため、１画素１画素が検出できる信号電荷量は更に少なくなり、しかも、高感度モードの撮影に対するユーザの要望も高くなってきている。
【０００７】
このため、特に高感度モードでの撮影時の暗電流による縦スジノイズを除去する別の技術開発が必要となってきている。
【０００８】
本発明の目的は、暗電流による縦スジノイズを抑制することができるＣＣＤ型固体撮像素子の駆動方法及び撮像装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のＣＣＤ型固体撮像素子の駆動方法は、画素から読み出した信号電荷を垂直電荷転送路に沿って転送し、該垂直電荷転送路を停止させるとき該停止中に所定の垂直転送電極の下に形成した電位井戸内に前記信号電荷を保持するＣＣＤ型固体撮像素子の駆動方法において、前記停止させる毎に、前記所定の垂直転送電極を変更することを特徴とする。
【００１０】
本発明のＣＣＤ型固体撮像素子の駆動方法は、前記画素の信号電荷を複数フィールドに分けて読み出すとき異なるフィールド間で前記変更を行うことを特徴とする。
【００１１】
本発明のＣＣＤ型固体撮像素子の駆動方法は、前記変更を同一フィールド内でも行うことを特徴とする。
【００１２】
本発明のＣＣＤ型固体撮像素子の駆動方法の前記変更は、前記所定の垂直転送電極が複数電極で構成される場合に一部の変更で行うことを特徴とする。
【００１３】
本発明のＣＣＤ型固体撮像素子の駆動方法は、前記変更を巡回的に行うことを特徴とする。
【００１４】
本発明のＣＣＤ型固体撮像素子の駆動方法は、カラー画像撮像用に各画素にカラーフィルタが搭載されている場合に、前記所定の垂直転送電極を、垂直電荷転送路に沿う同一色の信号電荷を保持する電位井戸形成用の垂直転送電極とし、該所定の垂直転送電極を停止毎に変更することを特徴とする。
【００１５】
本発明のＣＣＤ型固体撮像素子の駆動方法は、前記所定の垂直転送電極を読出電極兼用の垂直転送電極以外の垂直転送電極とすることを特徴とする。
【００１６】
本発明の撮像装置は、ＣＣＤ型固体撮像素子と、上記のいずれかに記載の駆動方法を実行するＣＣＤ駆動手段とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、垂直電荷転送路を停止する毎に、垂直電荷転送路上で信号電荷を保持する電位井戸形成用の転送電極位置を変更するため、この転送電極が固定されることで生じる暗電流による固定パターン（縦スジ）ノイズを目立たなくすることができ、撮像画像の品質を高めることができる。特に、信号電荷量の少ない高感度撮影時の縦スジノイズを効果的に抑制可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の一実施形態について、図面を参照して説明する。
【００１９】
図１は、本発明の一実施形態を適用するＣＣＤ型固体撮像素子の表面模式図である。図１（ａ）は、奇数行の画素（フォドタイオード：ＰＤ）行が偶数行の画素行に対して１／２ピッチづつずらして配置された所謂ハニカム画素配列の固体撮像素子である。各画素列に沿って垂直方向に延びる垂直電荷転送路１１は各画素１２を避けるように蛇行して設けられ、各垂直電荷転送路１１の端部に沿って水平電荷転送路１３が設けられ、その出力段に信号電荷量を電圧値信号に変換するアンプ１４が設けられる。Ｖ１，Ｖ２，…，Ｖ８は、転送電極を示し、同一番号の転送電極には同一転送パルスが印加される。
【００２０】
図１（ｂ）は、画素１２が正方格子配列されたＣＣＤ型固体撮像素子を示し、各画素列に沿って直線上に延びる垂直電荷転送路１１が設けられ、各垂直電荷転送路１１の端部に沿って水平電荷転送路１３が設けられ、その出力段に信号電荷量を電圧値信号に変換するアンプ１４が設けられる。Ｖ１，Ｖ２，…，Ｖ８は上記と同様に転送電極を示し、同一番号の転送電極には同一転送パルスが印加される。
【００２１】
図１（ａ）または（ｂ）に示すＣＣＤ型固体撮像素子を搭載した撮像装置では、ＣＣＤ型固体撮像素子の転送電極Ｖ１，Ｖ２，…に読み出しパルスや転送パルスを印加するタイミングジェネレータ等のＣＣＤ駆動手段が設けられており、このＣＣＤ駆動手段を撮像装置を統括制御するＣＰＵが制御することで、以下の様にＣＣＤ型固体撮像素子を駆動する。尚、以下の説明では、図１（ｂ）に示すＣＣＤ型固体撮像素子を例に説明するが、図１（ａ）に示すＣＣＤ型固体撮像素子にも同様に以下の実施形態を適用可能である。
【００２２】
図２（ａ）は、特許文献１の技術と同様に、低感度モードで撮影して得られた信号電荷を垂直転送する様子を示す図である。低感度モードでの撮影では、得られる信号電荷量が多いため、垂直転送に用いられる電位井戸の容量を多くとり、転送電極２枚分→３枚分→２枚分→…と変化させることで、転送している。
【００２３】
図２（ｂ）は、高感度モードで撮影して得られた信号電荷を垂直転送する様子を示す図である。特許文献１記載と同様に、高感度モードでは信号電荷量が少ないため電位井戸の容量を減らし、転送電極１枚分→２枚分→１枚分→…と変化させることで転送している。本実施形態では、特許文献１記載の技術と組み合わせて使用することで、特に高感度撮影モード時における撮像画像の高品質化を図っている。
【００２４】
図３は、ＣＣＤ型固体撮像素子の通常の駆動タイミングを示すタイムチャートであり、電極Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３，Ｖ４に印加する垂直転送パルスを示している。即ち、垂直転送パルスが変化しているときは垂直転送パルスに従って、上記の２枚分→３枚分→２枚分→…あるいは１枚分→２枚分→１枚分→と電位井戸の伸縮が行われ、水平電荷転送路の方向に電位井戸が進行している。
【００２５】
垂直電荷転送路１１の水平電荷転送路側端部まで転送されてきた信号電荷は水平電荷転送路１３に移され、次に水平電荷転送路１３によって出力アンプ１４まで転送される。この水平電荷転送路の転送期間中は、水平電荷転送路１３に信号電荷を移せないため、垂直電荷転送路１１は停止される。この停止中、垂直電荷転送路１１上の信号電荷は、垂直電荷転送路に形成された電位井戸内に保持される。
【００２６】
通常、垂直電荷転送路の停止中に電位井戸を形成する転送電極は、固定されている。図３に示すタイムチャートでは、電極Ｖ１が、停止中の電位井戸形成用転送電極となっている。以下、停止中の電位井戸形成用転送電極を固定した場合の不具合について図４，図５を参照して説明する。
【００２７】
図４は、垂直電荷転送路の停止毎の状態遷移を示す図である。垂直電荷転送路を停止させる度に、転送電極Ｖ１下に形成された電位井戸に信号電荷が保持される。垂直電荷転送路が転送駆動されると、信号電荷は、Ｖ１下からＶ２下→Ｖ３下→Ｖ４下→Ｖ１下と転送され、Ｖ１下に来たとき、再び停止となる。
【００２８】
図５に示す最初の電極Ｖ１の位置で混入する暗電流をＡ１１、次の電極Ｖ２で混入する暗電流をＡ１２、次の電極Ｖ３で混入する暗電流をＡ１３、次の電極Ｖ４で混入する暗電流をＡ１４、次の電極Ｖ１で混入する暗電流をＡ２１、次の電極Ｖ２で混入する暗電流をＡ２２、……とする。
【００２９】
暗電流は、垂直電荷転送路の停止中に多く混入するため、ａの信号電荷に加わる暗電流はＡ１１＋Ａ２１＋Ａ３１＋Ａ４１となり、ｂの信号電荷に加わる暗電流はＡ２１＋Ａ３１＋Ａ４１となり、ｃの信号電荷に加わる暗電流はＡ３１＋Ａ４１となり、ｄの信号電荷に加わる暗電流はＡ４１となる。
【００３０】
即ち、暗電流Ａ３１は、信号電荷ａ，ｂ，ｃに混入し、暗電流Ａ４１は、信号電荷ａ，ｂ，ｃ，ｄに混入することになる。固体撮像素子の製造バラツキにより、暗電流Ａ３１またはＡ４１が多くなると、暗電流Ａ３１，Ａ４１を発生させる転送電極下を通る信号電荷にこれらの暗電流が混入し、これが縦スジノイズとなる。
【００３１】
そこで、本発明の第１実施形態では、図６に示すタイムチャートに従って垂直電荷転送路を駆動する。即ち、垂直電荷転送路を停止する毎に、信号電荷を保持する電位井戸形成用の転送電極を、Ｖ１→Ｖ２→Ｖ１→Ｖ２→…と交互に変化させる。この状態遷移を図７に示す。
【００３２】
図７に示す様に制御した場合、図５の信号電荷ａに混入する暗電流はＡ１１＋Ａ２２＋Ａ３１＋Ａ４２となり、信号電荷ｂに混入する暗電流はＡ２１＋Ａ３２＋Ａ４１となり、信号ｃに混入する暗電流はＡ３１＋Ａ４２となり、信号電荷ｄに混入する暗電流はＡ４１となる。即ち、暗電流が多く発生する特定転送電極下に常に信号電荷が保持されることがなくなり、縦スジノイズの発生が抑制される。
【００３３】
図６，図７に示す実施形態では、信号電荷を保持する電位井戸形成用の転送電極をＶ１→Ｖ２→Ｖ１→Ｖ２→…と交互に変化させたが、図８に示す様に、Ｖ１→Ｖ２→Ｖ３→Ｖ４→Ｖ１→…と巡回的に変化させることでも良い。図８の実施形態は、図６の実施形態より縦スジノイズが抑制される。
【００３４】
以上の実施形態では、垂直電荷転送路の停止中に信号電荷保持用電位井戸を１転送電極で形成したが、２転送電極で形成する場合もある。この場合にも、例えば図９に示す様に、停止毎に信号電荷保持用電位井戸を形成する転送電極を一部ずらすことで、縦スジノイズを抑制することができる。勿論、全部ずらすことでも良い。
【００３５】
図１０は、本発明の第２実施形態に係る垂直電荷転送路の駆動タイムチャートである。本実施形態のＣＣＤ型固体撮像素子は２フィールド読み出しされ、図１０（ａ）が第１フィールドのタイムチャートであり、図１０（ｂ）が第２フィールドのタイムチャートである。
【００３６】
図１１，図１２は、夫々、第１，第２フィールドの状態遷移を示す図である。第１フィールドでは、垂直電荷転送路の停止中は、転送電極Ｖ１下に形成した電位井戸に信号電荷を保持する。そして、第２フィールドでは、垂直電荷転送路の停止中は、転送電極Ｖ２下に形成した電位井戸に信号電荷を保持する。
【００３７】
この様に、フィールド毎に電極を変えることで、暗電流による縦スジノイズを目立ちにくくすることができる。この実施形態では、転送パルスの駆動パターンが第１フィールド内では同じ駆動パターンの繰り返しとなり、第２フィールド内でも同じ駆動パターンの繰り返しとなるため、複雑な駆動が不要となり、駆動パターンの生成が容易となる。
【００３８】
図１３，図１４は、第２実施形態の変形例を示す状態遷移図である。第２実施形態では、第１フィールドで常に転送電極Ｖ１下に信号電荷保持用の電位井戸を形成し、第２フィールドで常に転送電極Ｖ２下に信号電荷保持用の電位井戸を形成したが、本実施形態では、第１フィールドでも電位井戸を電極Ｖ１下→Ｖ２下→Ｖ１下→Ｖ２下→…と交互に変化させ、第２フィールドでは電位井戸を電極Ｖ３下→Ｖ４下→Ｖ３下→Ｖ４下→…と交互に変化させている。
【００３９】
つまり、この変形例では、第１フィールドの転送停止中に電位井戸を形成する電極（Ｖ１，Ｖ２）と、第２フィールドの転送停止中に電位井戸を形成する電極（Ｖ３，Ｖ４）とを異ならせ、更に、第１，第２フィールドの転送停止毎に電極を交互に変化させている。
【００４０】
この構成によれば、第２実施形態に比較して、信号電荷保持用の電位井戸が固定されずにランダムに変更されるため、更に縦スジノイズが目立ち難くなる。
【００４１】
尚、この第２実施形態に、第１実施形態の図９に示す変形例を適用することも可能である。
【００４２】
図１５は、本発明の第３実施形態に係る駆動方法を適用するＣＣＤ型固体撮像素子の表面模式図である。このＣＣＤ型固体撮像素子の転送電極として、６相駆動の電極Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３，Ｖ４，Ｖ５，Ｖ６，Ｖ１，Ｖ２，…が配置されている。
【００４３】
各画素（フォトダイオード）は正方格子配列され、その上に、三原色のカラーフィルタ（Ｒ＝赤，Ｇ＝緑，Ｂ＝青）がベイヤー配列されている。各列毎に見ると、Ｒ画素とＧ画素が交互に配置された列と、Ｂ画素とＧ画素が交互に配置された列とが交互に配列されている。
【００４４】
このカラー画像撮像用のＣＣＤ型固体撮像素子を通常駆動した状態遷移を図１６に示す。通常駆動では、転送停止中に信号電荷を保持する電位井戸を常に電極Ｖ１で形成しているため、図５と同様の図１７を参照すれば、赤色信号電荷ｒ１に混入する暗電流はＡ１１＋Ａ２１＋Ａ３１＋Ａ４１となり、同列の次の赤色信号電荷ｒ２に混入する暗電流はＡ３１＋Ａ４１となる。従って、カラー画像撮像用のＣＣＤ型固体撮像素子でも、色毎の縦スジノイズが目立ってしまう。
【００４５】
図１８は、上述した第１実施形態の駆動方法を適用した場合の状態遷移を示す図である。この場合、信号電荷ｒ１には、Ａ１１＋Ａ２２＋Ａ３１＋Ａ４２の暗電流が混入し、信号電荷ｇ１には、Ａ２１＋Ａ３２＋Ａ４１の暗電流が混入し、信号ｒ２には、Ａ３１＋Ａ４２の暗電流が混入し、信号ｇ２（図示せず）には、Ａ４１の暗電流が混入する。
【００４６】
同じ赤色の信号電荷ｒ１，ｒ２を見ると、これに混入する暗電流としてＡ３１＋Ａ４２が共通する。緑色の信号電荷ｇ１，ｇ２を見ると、これに混入する暗電流としてＡ４１が共通する。つまり、赤色信号電荷で言えば、Ａ３１の暗電流量が多いと、赤色の縦スジノイズが目立ってしまうことになる。
【００４７】
そこで、図９の状態遷移図に示す様に、電極Ｖ１→Ｖ２→Ｖ３→Ｖ１→Ｖ２→Ｖ３→…と、奇数個の電極を交番させれば対処可能となり、縦スジノイズを抑制することができる。
【００４８】
図２０は、ハニカム画素配列の４相駆動カラー画像撮像用ＣＣＤ型固体撮像素子の表面模式図である。図２１は、図２０の一部拡大図であり、図２２は、一画素の拡大図である。ハニカム画素配列の場合、図２１に示す垂直電荷転送路１１ａと１１ｂとで構造が異なる。図示するＢ画素，Ｒ画素の読出電極兼用転送電極Ｖ１は、Ｇ画素では読出電極兼用転送電極ではなく、Ｇ画素の読出電極兼用転送電極Ｖ３はＢ画素，Ｒ画素では読出電極兼用転送電極ではない。
【００４９】
一般的に、暗電流は読出電極で多く発生するため、垂直電荷転送路１１ａで読出電極でない電極Ｖ３を停止中の信号電荷保存用電位井戸の形成電極にすると、垂直電荷転送路１１ｂでは、電極Ｖ３が読出電極となってしまい、暗電流が多く発生してしまう。
【００５０】
従って、垂直電荷転送路１１ａ，１１ｂで共に読出電極兼用とならない電極Ｖ２，Ｖ４を、停止中の信号電荷保存用電位井戸の形成電極とし、これを交互に切り替えるようにすれば、縦スジノイズが目立たなくなる。
【００５１】
以上述べた様に、本発明の実施形態によれば、垂直電荷転送路に沿う転送電極のうち、垂直電荷転送路の停止中に信号電荷を保持する電位井戸を形成する転送電極を、停止毎に変更するため、固定パターンノイズの発生を抑制することができ、縦スジノイズを目立たなくすることができる。
【００５２】
カラー画像撮像用のＣＣＤ型固体撮像素子の場合には、垂直電荷転送路に沿う転送電極のうち、同一色の信号電荷を垂直電荷転送路の停止中に保持する電位井戸形成用転送電極を、停止毎に変更することで、色別の縦スジノイズを目立たなくすることができる。
【００５３】
尚、図６，図１０の実施形態では、垂直電荷転送路を水平電荷転送路の転送動作中に完全に停止させる（垂直転送パルスを変化させない）例について述べたが、本発明は垂直電荷転送路の停止条件に制限がある訳ではなく、水平転送中に垂直転送パルスが一部変化しても良く、垂直電荷転送路を繰り返し停止させるものであれぱ本発明を適用できる。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
本発明に係るＣＣＤ型固体撮像素子の駆動方法は、暗電流に起因する縦スジノイズを目立たなくすることができるため、高感度撮影モードを備えるデジタルカメラ等の撮影装置に適用すると有用である。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の一実施形態を適用するＣＣＤ型固体撮像素子の表面模式図である。
【図２】低感度モード（ａ）と高感度モード（ｂ）とで電位井戸の容量を変更する様子を示す図である。
【図３】垂直電荷転送路の通常の駆動タイムチャートを示す図である。
【図４】垂直電荷転送路を通常の駆動タイムチャートに従って駆動したときの停止毎の状態遷移図である。
【図５】信号電荷に暗電流が混入する位置を説明する図である。
【図６】本発明の第１実施形態に係る駆動方法を示す垂直電荷転送路の駆動タイムチャートである。
【図７】図６に示すタイムチャートで垂直電荷転送路を駆動したときの停止毎の状態遷移図である。
【図８】第１実施形態の変形例に係る駆動方法を示す図である。
【図９】第１実施形態の別変形例に係る駆動方法による垂直電荷転送路の停止毎の状態遷移図である。
【図１０】ＣＣＤ型固体撮像素子を２フィールド駆動するときの第１フィールド（ａ）と第２フィールド（ｂ）を示す本発明の第２実施形態に係る駆動方法を示すタイムチャートである。
【図１１】図１０（ａ）のタイムチャートで垂直電荷転送路を駆動したときの停止毎の状態遷移図である。
【図１２】図１０（ｂ）のタイムチャートで垂直電荷転送路を駆動したときの停止毎の状態遷移図である。
【図１３】第２実施形態の変形例を示す第１フィールドにおける停止毎の状態遷移図である。
【図１４】第２実施形態の変形例を示す第２フィールドにおける停止毎の状態遷移図である。
【図１５】カラーフィルタをベイヤー配列したＣＣＤ型固体撮像素子の表面模式図である。
【図１６】図１５のＣＣＤ型固体撮像素子を通常駆動したときの停止毎の状態遷移図である。
【図１７】図１５のＣＣＤ型固体撮像素子で信号電荷に暗電流が混入する位置を説明する図である。
【図１８】図１５のＣＣＤ型固体撮像素子を第１実施形態の駆動方法で駆動したときの停止毎の状態遷移図である。
【図１９】本発明の第３実施形態に係る駆動方法で駆動したときの垂直電荷転送路の停止毎の状態遷移図である。
【図２０】ハニカム画素配列のカラー画像撮像用ＣＣＤ型固体撮像素子の表面模式図である。
【図２１】図２０の一部拡大図である。
【図２２】図２１の１画素の拡大図である。
【符号の説明】
【００５６】
１１，１１ａ，１１ｂ  垂直電荷転送路（ＶＣＣＤ）
１２  フォトダイオード（ＰＤ：画素）
１３  水平電荷転送路（ＨＣＣＤ）
１４  出力アンプ
【図１】
2008252791.tif 000003
【図２】
2008252791.tif 000004
【図３】
2008252791.tif 000005
【図４】
2008252791.tif 000006
【図５】
2008252791.tif 000007
【図６】
2008252791.tif 000008
【図７】
2008252791.tif 000009
【図８】
2008252791.tif 000010
【図９】
2008252791.tif 000011
【図１０】
2008252791.tif 000012
【図１１】
2008252791.tif 000013
【図１２】
2008252791.tif 000014
【図１３】
2008252791.tif 000015
【図１４】
2008252791.tif 000016
【図１５】
2008252791.tif 000017
【図１６】
2008252791.tif 000018
【図１７】
2008252791.tif 000019
【図１８】
2008252791.tif 000020
【図１９】
2008252791.tif 000021
【図２０】
2008252791.tif 000022
【図２１】
2008252791.tif 000023
【図２２】
2008252791.tif 000024