(57)【要約】      （修正有）【課題】高温にさらされる基材用の保護皮膜系に関し、特に層間の密着性を増進する被覆方法をする方法を提供する。【解決手段】高速フレーム溶射（ＨＶＯＦ）法を用いて部品１０の外側表面にボンドコート１６を設層し、ボンドコートを粗面化し、粗面化ボンドコートに少なくとも１つの緻密な垂直亀裂（ＤＶＣ）セラミック層を設層する工程を含む。【選択図】図１
2008163459.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
高速フレーム溶射（ＨＶＯＦ）法を用いて部品の外側表面にボンドコートを設層し、
ボンドコートを粗面化し、
粗面化ボンドコートに少なくとも１つの緻密な垂直亀裂（ＤＶＣ）セラミック層を設層する
工程を含む、部品の被覆方法。
【請求項２】
部品の外側表面にボンドコートを設層する工程で、白金アルミナイド及びＭＣｒＡｌＹ（式中のＭはＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉ又はこれらの組合せを示す）からなる群から選択されるボンドコートを設層する、請求項１記載の方法。
【請求項３】
部品の外側表面にボンドコートを設層する工程で、ＮｉＣｒＡｌＹ、ＣｏＣｒＡｌＹおよびＮｉＣｏＣｒＡｌＹからなる群から選択されるボンドコートを設層する、請求項１記載の方法。
【請求項４】
ボンドコートを粗面化する工程で、外側表面を高圧水ジェット（ＨＰＷＪ）で粗面化する、請求項１記載の方法。
【請求項５】
ボンドコートをＨＰＷＪで粗面化する工程で、ＨＰＷＪをＨＶＯＦ層から約０．５〜約３インチの距離に配置する、請求項４記載の方法。
【請求項６】
ボンドコート層をＨＰＷＪで粗面化する工程で、ＨＰＷＪをボンドコートに対して約３０°〜約９０°の角度に配置する、請求項４記載の方法。
【請求項７】
ボンドコートをＨＰＷＪで粗面化する工程で、ＨＰＷＪを約２５０００ｐｓｉ〜約７５０００ｐｓｉの圧力で操作することによりボンドコートを粗面化する、請求項４記載の方法。
【請求項８】
粗面化ボンドコートに少なくとも１つのＤＶＣセラミック層を設層する工程で、イットリア安定化ジルコニアを含有する少なくとも１つのＤＶＣセラミック層を設層する、請求項１記載の方法。
【請求項９】
粗面化ボンドコートに少なくとも１つのＤＶＣセラミック層を設層する工程で、粗面化ボンドコートに複数のＤＶＣセラミック層を複数のＤＶＣセラミック層がコーヒーレントな連続柱状結晶構造を形成するように設層する、請求項１記載の方法。
【請求項１０】
部品の外側表面に設層された粗面化高速フレーム溶射（ＨＶＯＦ）層と、
粗面化ＨＶＯＦ層に設層されたセラミック皮膜とを備え、セラミック皮膜が複数の緻密な垂直亀裂（ＤＶＣ）セラミック層を含む、
部品に用いる遮熱コーティング系。
【請求項１１】
粗面化ＨＶＯＦ層がＭＣｒＡｌＹ（式中のＭはＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉ又はこれらの組合せを示す）を含有する、請求項１０記載の遮熱コーティング系。
【請求項１２】
粗面化ＨＶＯＦ層が平均粗さ（Ｒａ）約２５０〜３５０マイクロインチである、請求項１０記載の遮熱コーティング系。
【請求項１３】
複数のＤＶＣセラミック層がコーヒーレントな連続柱状結晶構造を形成する、請求項１０記載の遮熱コーティング系。
【請求項１４】
複数のＤＶＣセラミック層が各々イットリア安定化ジルコニアを含有する、請求項１０記載の遮熱コーティング系。
【請求項１５】
前記部品がＮｉ基、Ｔｉ基又はＣｏ基合金を含有する、請求項１０記載の遮熱コーティング系。
【請求項１６】
外側表面に遮熱コーティング系が設けられたガスタービンエンジン部品であって、
前記遮熱コーティング系が部品の外側表面に設層された粗面化高速フレーム溶射（ＨＶＯＦ）層と、粗面化ＨＶＯＦ層に設層されたセラミック皮膜とを備え、セラミック皮膜が複数の緻密な垂直亀裂（ＤＶＣ）セラミック層を含む、
ガスタービンエンジン部品。
【請求項１７】
粗面化ＨＶＯＦ層がＭＣｒＡｌＹ（式中のＭはＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉ又はこれらの組合せを示す）を含有する、請求項１５記載のガスタービンエンジン部品。
【請求項１８】
粗面化ＨＶＯＦ層が平均粗さ（Ｒａ）約２５０〜３５０マイクロインチである、請求項１５記載のガスタービンエンジン部品。
【請求項１９】
複数のＤＶＣセラミック層がコーヒーレントな連続柱状結晶構造を形成する、請求項１５記載のガスタービンエンジン部品。
【請求項２０】
複数のＤＶＣセラミック層が各々イットリア安定化ジルコニアを含有する、請求項１５記載のガスタービンエンジン部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、一般に高温にさらされる基材用の保護皮膜系に関し、特に層間の密着性を増進する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在のガスタービンエンジンは高温環境で作動する。ガスタービンエンジンの部品（例えばタービンバケット、ノズル、翼形部及びシュラウド）には、多くの場合、部品を保護する遮熱コーティング（ＴＢＣ）システムを設け、これによりエンジンのより高温、高効率の作動を可能にしている。このようなＴＢＣシステムは、低い熱伝導率を有し、部品に強固に接着し、多数回の加熱冷却サイクル中ずっと密着性を維持することが必要である。これらの要求を満たす皮膜系は、金属性ボンドコートを用いて遮熱セラミック層を部品に接着することがある。遮熱セラミック層用の材料として、金属酸化物、例えばイットリア（Ｙ２Ｏ３）、マグネシア（ＭｇＯ）もしくは他の酸化物で部分的もしくは完全に安定化されたジルコニア（ＺｒＯ２）が広範に用いられている。セラミック層は、代表的には、大気圧プラズマ溶射（ＡＰＳ＝air plasma spraying）もしくは低圧プラズマ溶射（ＬＰＰＳ＝low-pressure plasma spraying）により堆積されるか、物理気相堆積（ＰＶＤ）法、例えば、歪みに強い柱状結晶構造を生成する電子ビーム物理気相堆積（ＥＢＰＶＤ）により堆積される。ボンドコートは代表的には、拡散アルミナイド又は白金アルミナイドのような耐酸化性拡散皮膜、又はＭＣｒＡｌＹ（Ｍは鉄、コバルト及び／又はニッケルを示す）のような耐酸化性合金から形成する。ＭＣｒＡｌＹ型ボンドコートは、物理もしくは化学気相堆積法により堆積するか、金属粉末からのボンドコートの堆積を行う溶射、例えばＡＰＳ、ＬＰＰＳ又は高速フレーム溶射（ＨＶＯＦ＝high velocity oxy-fuel）により堆積する。
【特許文献１】米国特許第５０７３４３３号明細書
【特許文献２】米国特許第６３０６５１７号明細書
【特許文献３】米国特許第６４８５８４５号明細書
【特許文献４】米国特許第６９５５３０８号明細書
【特許文献５】米国特許出願公開第２００５００３６８９２号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
現在、当業界では、ＴＢＣシステムを形成する別法、特に工程数、時間及びコストを節減できる方法が必要とされている。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
第１の観点によれば、部品を被覆する方法が提供される。本方法は、高速フレーム溶射（ＨＶＯＦ）法を用いて部品の外側表面にボンドコートを設層し、ボンドコートを粗面化し、粗面化ボンドコートに少なくとも１つの緻密な垂直亀裂（ＤＶＣ）セラミック層を設層する工程を含む。
【０００５】
別の観点によれば、部品に用いる遮熱コーティング系が提供される。遮熱コーティング系は、部品の外側表面に設層された粗面化高速フレーム溶射（ＨＶＯＦ）層と、粗面化ＨＶＯＦ層に設層されたセラミック皮膜とを含む。セラミック皮膜は複数の緻密な垂直亀裂（ＤＶＣ）セラミック層を含む。
【０００６】
他の観点によれば、ガスタービンエンジン部品が提供される。ガスタービンエンジン部品は、外側表面と外側表面に設けられた遮熱コーティング系とを含む。遮熱コーティング系は、部品の外側表面に設層された粗面化高速フレーム溶射（ＨＶＯＦ）層と、粗面化ＨＶＯＦ層に設層されたセラミック皮膜とを含む。セラミック皮膜は複数の緻密な垂直亀裂（ＤＶＣ）セラミック層を含む。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
本発明の実施形態は、一般に、比較的高い温度、熱応力及び熱サイクルにより特徴付けられる環境内で作動する部品に適用可能である。そのような部品には、例えば、ガスタービンエンジンの高圧及び低圧タービンノズル及びブレード、シュラウド、燃焼器ライナーその他のハードウェアがある。本発明の利点をガスタービンエンジン部品に関連して説明するが、本発明の実施形態は一般に、部品をその部品が作動する環境から保護する遮熱コーティング系を必要とする部品であれば、どのような部品にも適用できる。例示の実施形態では、部品はＮｉ基、Ｔｉ基又はＣｏ基の金属合金である。
【０００８】
図１は遮熱コーティング（ＴＢＣ）システム１２を有する部品１０を示す。部品１０は、ＴＢＣシステム１２用の基材層１４として作用する外側表面を含む。図示の通りの深さまで粗面化された粗面化ボンドコート１６が基材層１４に隣接している。セラミック皮膜１８が、ボンドコート１６に密着し、少なくとも１つの緻密な垂直亀裂（ＤＶＣ＝dense vertically cracked）セラミック層を設層することにより形成されている。
【０００９】
ＴＢＣシステム１２を製造するには、まず最初に緻密なボンドコート１６を基材層１４の表面に堆積する。当業界の通常の知識を有し、本明細書の教示を読む技術者には、基材層１４の表面上に緻密なボンドコート１６を堆積する方法が多数あることが自明であるが、１実施形態では、ボンドコート１６を高速フレーム溶射（ＨＶＯＦ）法を用いて設層することができる。ボンドコート１６は、ＨＶＯＦ法に適当であり、セラミック皮膜１８が密着するように粗面化することが可能な緻密な金属皮膜であれば、いずれでもよい。１実施形態では、ボンドコート１６は、ＭＣｒＡｌＹ組成物；ハフニウム、ジルコニウム、又はハフニウムとジルコニウム及びチタンの少なくとも１つとの組合せからなる群から選択されるＩＶＢ族金属；パラジウム、白金、ロジウム、ルテニウム又はこれらの組合せからなる群から選択される貴金属を含む。Ｍは鉄、コバルト、ニッケル及びこれらの組合せから選択される金属を示す。別の実施形態では、上記組成物はさらにＩＶＡ族元素、具体的にはケイ素及び／又はゲルマニウムを含有する。
【００１０】
別の実施形態では、被覆組成物は、組成物の全重量に基づく重量％表示で、約１６〜約６０重量％のコバルト、約２０〜約４５重量％のニッケル、約１０〜約３０重量％のクロム、約４〜約１６重量％のアルミニウム、約０．０５〜約３重量％のイットリウム、約０．０５〜約３重量％のハフニウム、約０．１〜約１５重量％のパラジウム及び約０．１〜約５重量％のケイ素を含有する。
【００１１】
別の実施形態では、ボンドコート１６は、約３０〜約７０重量％のコバルト、約２５〜約７０重量％のニッケル、約１５〜約４５重量％のクロム、約４〜約１５重量％のアルミニウム、約０．０５〜約３重量％のイットリウム、約０．０５〜約３重量％のハフニウム、約０．１〜約１５重量％のパラジウム及び約０．１〜約５重量％のケイ素を含有する。
【００１２】
他の実施形態では、ボンドコート１６は他の合金元素を含有することができる。
【００１３】
ＨＶＯＦ法では、燃料ガス及び酸素を用いて、約２５００℃〜３１００℃の燃焼フレームを生成する。燃焼は極めて高圧のチャンバー内で、超音速ガス流でボンドコート１６の粉末材料を小径のバレルを通して極めて高い粒子速度で押し流すことによって行われる。ＨＶＯＦ法は極めて緻密な強固に結合した皮膜を生成する。代表的には、ＨＶＯＦ皮膜はほぼ１００％の密度に形成することができ、気孔率約０．５％とすることができる。ＨＶＯＦ法はボンドコート１６の材料と基材層１４との間にボンド（接合）を形成し、このボンドは主として結合界面での機械的接着により生起する。或いはまた、ＨＶＯＦ皮膜を設層後、ボンドコート１６を１９５０°Ｆ超えの温度で拡散熱処理する。さらに特定すると、１実施形態では、拡散熱処理を約１９７５〜２０５０°Ｆの温度で行う。
【００１４】
既知のＴＢＣシステムでは、ボンドコート１６とセラミック皮膜１８との結合を促進するために中間ボンドコートを用いる。本発明の実施形態では、このような層を設ける必要がなく、ボンドコートを設層するのに必要な時間、余分な工程及びコストが軽減される。
【００１５】
ボンドコート１６を基材層１４と十分に結合した後、高圧流体ジェットをボンドコート１６に向けて当て、その表面を粗面化する。ボンドコート１６の表面の粗面化は、セラミック皮膜１８との機械的連結を促進し、ＴＢＣシステム１２の剥離寿命を延長する。種々の流体を使用できるが、１実施形態では、ジェット２２が高圧水ジェット（ＨＰＷＪ＝high-pressure water jet）である。１実施形態では水に何の媒体も添加しない。別の実施形態では、ガーネットやアルミナなどの研磨媒体を水に添加する。
【００１６】
図２に示すように、ボンドコート１６を粗面化するために、ジェットノズル２０を適当な水ジェット装置に連結することができ、ジェット２２をボンドコート１６の表面に差し向ける。ジェット２２は、ボンドコート１６の表面に対して約３０°〜９０°の角度をなすように配向することができる。１実施形態では、ジェット２２を、ボンドコート１６の表面に対して約６０°〜９０°の角度をなすように配向する。ジェット２２がボンドコート１８の外層に、ボンドコート１６とセラミック皮膜１８との密着及び機械的結合を促進するのに適度な粗さを付与するように、水を加圧する。水圧は約２５０００ｐｓｉ〜約７５０００ｐｓｉとすることができる。１実施形態では、水を約５００００ｐｓｉに加圧する。ジェットノズル２０は、ボンドコート１６の表面から約０．５〜約３インチの距離に配置することができるが、これ以外の距離も適当である。ジェット２２は任意適当なノズル、例えば丸ジェットノズル又はサンド型ノズルを含む。
【００１７】
ジェット２２の適当な移動速度は約２．５〜約１０インチ／分（約６〜２５ｃｍ／分）である。部品表面に対するジェット２２の移動は連続にすることができ、ボンドコート１６を粗面化するにはジェット２２の２回以上の通過（パス）が必要である。複雑な幾何形状を有する部品上にボンドコート１６を溶射しながら上記パラメータそれぞれを維持するために、ジェットノズル２０を、処理すべき特定の部品について予め取得され記憶された幾何形状データに基づいて予めプログラムされた移動を行う、ロボットアーム又は他のコンピュータ制御装置に装着することができる。データに基づいて、ジェットノズル２０が部品表面に対して所望の配向と距離を維持するように、ロボットアームを制御することができ、またジェット２２が部品表面を横断する速度についても同様である。
【００１８】
ボンドコート１６の表面は、ボンドコート１６とセラミック皮膜１８との接着及び機械的結合を促進するのに適度な粗さをもたなければならない。ボンドコート１６の平均表面粗さ（Ｒａ）は約２００〜５００マイクロインチとすることができる。１実施形態では、ボンドコート１６の表面のＲａが約３５０マイクロインチである。
【００１９】
ボンドコート１６を粗面化した後、セラミック皮膜１８を設けることができる。種々のセラミック皮膜材料、特に所望の熱サイクル疲労特性を有するセラミック皮膜材料を用いることができ、プラズマ溶射、フレーム溶射及び気相堆積法により簡単に堆積することができる。例えば、セラミック皮膜１８はイットリア安定化ジルコニア；イットリア非安定化ジルコニア；セリア（ＣｅＯ２）、スカンジア（Ｓｃ２Ｏ３）、マグネシア（ＭｇＯ）その他の酸化物で安定化したジルコニア；又はその他の適当な低導電率材料とすることができる。１実施形態では、セラミック皮膜１８用の材料は、約４〜約８重量％のイットリアを含有するイットリア安定化ジルコニア（ＹＳＺ）である。１実施形態では、厚さが下側のボンドコート１６及び／又は基材層１４に熱的保護を与えるのに十分になるように、材料を複数層に設層してセラミック皮膜１８を形成する。例えば、厚さは約０．００５〜約０．１００インチとすることができる。さらに特定すると、１実施形態では、厚さが約０．０１０〜約０．０４０インチである。
【００２０】
セラミック皮膜１８用の材料は、種々の堆積法を用いて堆積することができる。１実施形態では、材料を大気圧プラズマ溶射（ＡＰＳ）で堆積する。この場合、プラズマ溶射トーチで粉末酸化物材料の加熱ガス推進スプレーを生成し、酸化物粉末粒子が瞬間的に溶融状態になるようにする。つぎに溶融酸化物粒子のスプレーを被堆積表面又は基材、例えば粗面化ボンドコート１６に差し向ける。このプロセスを目標厚さに達するまで繰り返すことができる。１実施形態では、上記プロセスを２０〜６０回繰り返すことができる。トーチ電流は約５００〜約９００Ａとすることができ、プラズマ溶射フレームから粗面化ボンドコート１６の表面までの距離は約３〜５インチである。１実施形態では、トーチ電流は約７００Ａである。
【００２１】
１実施形態では、セラミック皮膜１８を緻密な垂直亀裂（ＤＶＣ）法を用いて設層する。ＤＶＣ法は、皮膜の剥離傾向を低減し、耐熱疲労性を増加する。ＤＶＣ法は、上述したＡＰＳ法の使用を含む。図３は、ＤＶＣ法を用いてボンドコート１６に設層したセラミック皮膜１８を示す。ＤＶＣ法は、セラミック皮膜材料の粉末をボンドコート１６上に熱的に堆積して、ボンドコート１６上に堆積粉末の積重スプラット（薄板）を２つ以上有する第１単層２４を形成する。ここで、後から堆積されたスプラットの温度が先に堆積されたスプラットの温度より高い。単層２４の密度が理論密度の８８％以上となるように、単層２４を冷却、凝固することができ、このとき堆積スプラットの収縮により複数の垂直亀裂が単層２４に発生する。図３に示すように、堆積、冷却及び凝固の工程を繰り返し、スプレー通過毎に別の単層２４を追加することで、全体的被覆層（例えばセラミック皮膜１８）を生成する。複数の通過（パス）がスプラットに垂直亀裂を誘起し、この場合各単層の垂直亀裂の７０％以上が隣接する単層の垂直亀裂と整列して垂直マクロ亀裂を形成する。基材の表面に平行な直線に沿って測定して、直線１インチ当たり２０以上の垂直マクロ亀裂が存在する。多数の単層２４を設層することによりセラミック皮膜１８を形成することができるが、セラミック皮膜１８はコーヒーレントな連続柱状結晶構造を形成し、この構造内で少なくとも一部の柱状（コラム状）結晶粒がボンドコート１６との界面から、界面に又は界面付近に延在する。ボンドコート１６の粗面化表面は、垂直亀裂がボンドコート１６に、表面が粗面化されていない場合より良好に接着するのを可能にする。１実施形態では、セラミック皮膜１８の垂直亀裂がセラミック皮膜１８の深さの約５０％〜約１００％延在する。
【００２２】
一般に、皮膜１８の熱サイクル疲労を改良するために、垂直亀裂を多くするか、水平亀裂を少なくするか、又はその両方が望ましい。皮膜材料としてＹＳＺを用いる場合、セラミック皮膜１８は、理論密度の８８％超えの密度を有し、そして基材層１４（又はボンドコート１６）の表面に垂直な皮膜１８の断面において、皮膜１８全体にほぼ均一に分散された複数の垂直マクロ亀裂を含有する。１実施形態では、セラミック皮膜１８は複数の垂直マクロ亀裂を含み、例えば基材の表面に平行な直線及び基材に垂直な平面において測定して、直線１インチ当たり２０〜２００個の垂直マクロ亀裂を含む。
【００２３】
１実施形態では、セラミック皮膜１８が、少なくとも一部の柱状結晶粒がボンドコート１６との界面から、界面に又は界面付近に延在する、コーヒーレントな連続柱状結晶構造を形成する。柱状度は、個別の単層２４内及び単層２４間両方に延在する柱状結晶粒の量と分布に直接関係している。一般に、柱状度が増加するにつれて、セラミック皮膜１８内の水平亀裂の量及び／又は度合が減少する。柱状度は、堆積プロセス中に堆積表面の温度を制御することにより制御することができる（即ち、一旦限界温度を超えたら、温度の上昇で柱状度が増加する）。
【００２４】
図３は、コーヒーレントな連続な柱状結晶ミクロ構造を示す。ミクロ構造は、各単層２４が複数の柱状結晶粒２６を含み、その柱状結晶粒２６が一般に垂直に配向され、かつ層の厚さの全部又はほぼ全部に延在すると言う意味で、連続である。ミクロ構造は、この柱状成長が層間に延在するのでコーヒーレント（整合性）であり、また後から堆積される層内に存在する柱状結晶粒の少なくとも一部が、その層を堆積する下側層内に含まれる柱状結晶粒にミクロ溶接され、かつそれから延在すると言う意味で、コーヒーレントである。
【００２５】
イットリア含量約８重量％のＹＳＺを含有するセラミック皮膜１８において、コーヒーレントな連続柱状ミクロ構造は、約０．２Ｔｍ（Ｔｍはジルコニアの絶対溶融温度である）である約３００℃の堆積表面温度で発現し始める。堆積表面温度がもっと高い、例えば０．４Ｔｍであると、よりコーヒーレントな連続柱状構造が生じる。他のセラミック材料では、コーヒーレントな連続柱状構造が生成する最低堆積表面温度は、選択したセラミック材料に応じて変動すると予想される。これは、ミクロ溶接に影響する因子、例えばセラミック材料の結晶構造、溶融温度及び熱容量に基づく。さらに、セラミック皮膜１８用に用いる他の材料についての柱状度も、堆積表面温度の上昇と共に増加すると予想される。
【００２６】
１実施形態では、部品と共に使用する遮熱コーティング系が提供される。本システムは、部品の外側表面に設層した粗面化高速フレーム溶射（ＨＶＯＦ）層と、粗面化ＨＶＯＦ層に設層したセラミック皮膜とを含む。セラミック皮膜は複数の緻密な垂直亀裂（ＤＶＣ）セラミック層を含む。
【００２７】
別の実施態様では、ガスタービンエンジン部品が提供される。ガスタービンエンジン部品は、外側表面と外側表面に設けられた遮熱コーティング系とを含む。遮熱コーティング系は、部品の外側表面に設層された粗面化高速フレーム溶射（ＨＶＯＦ）層と、粗面化ＨＶＯＦ層に設層されたセラミック皮膜とを含む。セラミック皮膜は複数の緻密な垂直亀裂（ＤＶＣ）セラミック層を含む。
【００２８】
本発明によれば、各種のエンジン部品に用いることができる、基材層を遮熱コーティング系で被覆する方法が提供される。本方法は２つの皮膜間の密着性を高め、これにより遮熱コーティング系が部品を、高温、熱応力及び熱サイクルの少なくとも１つを含む環境内で保護することが可能になる。本発明の方法及び遮熱コーティング系により、エンジン性能を改良し、部品の予想寿命を長くすることができる。
【００２９】
以上、遮熱コーティング系、ガスタービンエンジン部品及び部品の被覆方法の実施形態を詳細に説明した。システム、部品及び方法は記載した特定の実施形態に限定されず、それぞれの要素及び工程をここで説明した他の要素及び工程とは独立に別々に使用することも可能である。
【００３０】
本発明を種々の特定の実施形態について説明したが、当業者には、本発明はその要旨の範囲内で様々な改変を加えて実施できることが明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】基材層に設層した遮熱コーティング系の断面図である。
【図２】図１に示した遮熱コーティング系を形成するために、ボンドコートを流体ジェットで粗面化する工程の線図である。
【図３】図１に示した遮熱コーティング系に使用するセラミック皮膜の拡大図である。
【符号の説明】
【００３２】
１０  部品
１２  遮熱コーティング（ＴＢＣ）システム
１４  基材層
１６  ボンドコート
１８  セラミック皮膜
２０  ジェットノズル
２２  ジェット
２４  単層
２６  柱状結晶粒
【図１】
2008163459.tif 000003
【図２】
2008163459.tif 000004
【図３】
2008163459.tif 000005