(57)【要約】【課題】テープを基板上に引き出す際に、当該テープを精度良くかつ迅速に所定位置に位置決めすることができ、電子部品圧着装置の稼働率を向上させることができる。【解決手段】本発明の電子部品圧着装置は、基板６０を支持する基板ステージ５１と、剥離紙２と粘着膜３とからなるテープ１を供給するテープ供給部２０と、テープ１を押しつけて、基板６０にテープ１の粘着膜３を圧着する加圧部５５と、粘着膜３を圧着した後に残った剥離紙２を巻き取るテープ巻取部３０とを備えている。テープ供給部２０の下流側には、テープ１の剥離紙２を把持して上流側から下流側へと移動することによって、所定長さのテープ１を基板６０上に供給する引出ユニット５が配置されている、テープ供給部２０とテープ巻取部３０との間には、引出ユニット５がテープ１を把持して上流側から下流側へ移動する際、テープ１を保持して少なくとも側方の動きを規制する保持機構が配置されている。【選択図】図１
2008060257.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を支持する基板ステージと、
基板ステージの上流側に配置され、剥離紙と粘着膜とからなるテープを供給するテープ供給部と、
テープ供給部の下流側に配置され、テープ供給部から供給されたテープの剥離紙を把持して上流側から下流側へと移動することによって、所定長さのテープを基板上に供給する引出ユニットと、
基板ステージに対向して配置され、引出ユニットによって基板上に供給されたテープの剥離紙を押しつけて、基板にテープの粘着膜を圧着する加圧部と、
基板ステージの下流側に配置され、加圧部によって基板にテープの粘着膜を圧着した後に残った剥離紙を巻き取るテープ巻取部と、
テープ供給部とテープ巻取部との間に配置され、引出ユニットがテープを把持して上流側から下流側へ移動する際、テープを保持して少なくとも側方の動きを規制する保持機構と、
を備えたことを特徴とする電子部品圧着装置。
【請求項２】
保持機構は、テープの下方に配置され、テープを側方から支持する側方支持体からなることを特徴とする請求項１記載の電子部品圧着装置。
【請求項３】
基板ステージ近傍に配置され、基板の基板ステージに対する位置を撮像する光学ユニットをさらに備えたことを特徴とする請求項１記載の電子部品圧着装置。
【請求項４】
基板ステージの側方に設けられ、テープを側方から支持して、テープを基板の所定位置に位置決めするテープガイドをさらに備えたことを特徴とする請求項１記載の電子部品圧着装置。
【請求項５】
基板ステージの上流側に配置され、テープの粘着膜を部分的に切断し剥離する粘着膜部分剥離部をさらに備えたことを特徴とする請求項１記載の電子部品圧着装置。
【請求項６】
粘着膜部分剥離部は、テープの粘着膜を切断するハーフカッタと、ハーフカッタによって切断された粘着膜を剥離する剥離ヘッドとを有することを特徴とする請求項５記載の電子部品圧着装置。
【請求項７】
側方支持体は、テープを側方から支持する一対の側壁を有し、
当該側壁は、横断面が逆三角形状の切欠きを形成することを特徴とする請求項２記載の電子部品圧着装置。
【請求項８】
保持機構は、テープの上方に配置され、テープの剥離紙を上方から吸着保持する吸着部からなり、
吸着部は、引出ユニットと同期して水平方向に移動することを特徴とする請求項１記載の電子部品圧着装置。
【請求項９】
保持機構は、テープの下方に配置され、粘着膜部分剥離部によって粘着膜が剥離された後に残った剥離紙を下方から支持する下方支持体からなり、
下方支持体は、引出ユニットと同期して水平方向に移動することを特徴とする請求項５記載の電子部品圧着装置。
【請求項１０】
保持機構は、上下方向に移動自在であることを特徴とする請求項２または９のいずれかに記載の電子部品圧着装置。
【請求項１１】
基板ステージによって、基板を支持する基板支持工程と、
基板ステージの上流側に配置されたテープ供給部によって、剥離紙と粘着膜とからなるテープを供給するテープ供給工程と、
テープ供給部の下流側に配置された引出ユニットによって、テープ供給部から供給されたテープの剥離紙を把持して上流側から下流側へと移動することによって、所定長さのテープを基板上に供給するテープ引出工程と、
基板ステージに対向して配置された加圧部によって、引出ユニットによって基板上に供給されたテープの剥離紙を押しつけて、基板にテープの粘着膜を圧着する圧着工程と、
基板ステージの下流側に配置されたテープ巻取部によって、加圧部によって基板にテープの粘着膜を圧着した後に残った剥離紙を巻き取るテープ巻取工程と、
テープ供給部とテープ巻取部との間に配置された保持機構によって、引出ユニットがテープを把持して上流側から下流側へ移動する際、テープを保持して少なくとも側方の動きを規制する保持工程と、
を備えたことを特徴とする電子部品圧着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、テープを基板上に引き出す際に、当該テープを精度良くかつ迅速に所定位置に位置決めする電子部品圧着装置および電子部品圧着方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、スクリーンの大型化に伴い、基板（とりわけ、ガラス基板）の大型化も進んでいる。このため、基板に電子部品を取り付けるためのテープ（とりわけ、ＡＣＦテープ）を基板に一括貼で貼り付ける場合に、当該テープの長さが長くなる傾向がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、従来の装置では、テープを基板上に引き出す際に、テープがたるんだり、その経路から外れたり、大きく振動してしまったりする。このため、テープの貼付精度に問題が生じることがある。
【０００４】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、テープを基板上に引き出す際に、当該テープを精度良くかつ迅速に所定位置に位置決めすることができ、電子部品圧着装置の稼働率を向上させることができる電子部品圧着装置および電子部品圧着方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、基板を支持する基板ステージと、基板ステージの上流側に配置され、剥離紙と粘着膜とからなるテープを供給するテープ供給部と、テープ供給部の下流側に配置され、テープ供給部から供給されたテープの剥離紙を把持して上流側から下流側へと移動することによって、所定長さのテープを基板上に供給する引出ユニットと、基板ステージに対向して配置され、引出ユニットによって基板上に供給されたテープの剥離紙を押しつけて、基板にテープの粘着膜を圧着する加圧部と、基板ステージの下流側に配置され、加圧部によって基板にテープの粘着膜を圧着した後に残った剥離紙を巻き取るテープ巻取部と、テープ供給部とテープ巻取部との間に配置され、引出ユニットがテープを把持して上流側から下流側へ移動する際、テープを保持して少なくとも側方の動きを規制する保持機構と、を備えたことを特徴とする電子部品圧着装置である。
【０００６】
このような構成により、テープを基板上に引き出す際に、当該テープを精度良くかつ迅速に所定位置に位置決めすることができ、電子部品圧着装置の稼働率を向上させることができる。
【０００７】
本発明は、保持機構が、テープの下方に配置され、テープを側方から支持する側方支持体からなることを特徴とする電子部品圧着装置である。
【０００８】
本発明は、基板ステージ近傍に配置され、基板の基板ステージに対する位置を撮像する光学ユニットをさらに備えたことを特徴とする電子部品圧着装置である。
【０００９】
このような構成により、基板ステージ上で支持された基板のテープに対する位置を観察することができる。このため、基板をテープに対して正確な位置に位置決めすることが可能となる。
【００１０】
本発明は、基板ステージの側方に設けられ、テープを側方から支持して、テープを基板の所定位置に位置決めするテープガイドをさらに備えたことを特徴とする電子部品圧着装置である。
【００１１】
このような構成により、テープを基板の所定位置上方に位置決めすることができる。
【００１２】
本発明は、基板ステージの上流側に配置され、テープの粘着膜を部分的に切断し剥離する粘着膜部分剥離部をさらに備えたことを特徴とする電子部品圧着装置である。
【００１３】
本発明は、粘着膜部分剥離部が、テープの粘着膜を切断するハーフカッタと、ハーフカッタによって切断された粘着膜を剥離する剥離ヘッドとを有することを特徴とする電子部品圧着装置である。
【００１４】
本発明は、側方支持体が、テープを側方から支持する一対の側壁を有し、当該側壁が、横断面が逆三角形状の切欠きを形成することを特徴とする電子部品圧着装置である。
【００１５】
このような構成により、テープの粘着膜が、誤って側方支持体の側壁に付着することを防止することができる。
【００１６】
本発明は、保持機構が、テープの上方に配置され、テープの剥離紙を上方から吸着保持する吸着部からなり、吸着部が、引出ユニットと同期して水平方向に移動することを特徴とする電子部品圧着装置である。
【００１７】
このような構成により、テープの粘着膜が保持機構に付着することを防止することができる。
【００１８】
本発明は、保持機構が、テープの下方に配置され、粘着膜部分剥離部によって粘着膜が剥離された後に残った剥離紙を下方から支持する下方支持体からなり、下方支持体が、引出ユニットと同期して水平方向に移動することを特徴とする電子部品圧着装置である。
【００１９】
このような構成により、テープの粘着膜が保持機構に付着することを防止することができる。
【００２０】
本発明は、保持機構が、上下方向に移動自在であることを特徴とする電子部品圧着装置である。
【００２１】
このような構成により、テープの粘着膜が、保持機構に圧着されることを防止することができる。
【００２２】
本発明は、基板ステージによって、基板を支持する基板支持工程と、基板ステージの上流側に配置されたテープ供給部によって、剥離紙と粘着膜とからなるテープを供給するテープ供給工程と、テープ供給部の下流側に配置された引出ユニットによって、テープ供給部から供給されたテープの剥離紙を把持して上流側から下流側へと移動することによって、所定長さのテープを基板上に供給するテープ引出工程と、基板ステージに対向して配置された加圧部によって、引出ユニットによって基板上に供給されたテープの剥離紙を押しつけて、基板にテープの粘着膜を圧着する圧着工程と、基板ステージの下流側に配置されたテープ巻取部によって、加圧部によって基板にテープの粘着膜を圧着した後に残った剥離紙を巻き取るテープ巻取工程と、テープ供給部とテープ巻取部との間に配置された保持機構によって、引出ユニットがテープを把持して上流側から下流側へ移動する際、テープを保持して少なくとも側方の動きを規制する保持工程と、を備えたことを特徴とする電子部品圧着方法である。
【００２３】
このような構成により、テープを基板上に引き出す際に、当該テープを精度良くかつ迅速に所定位置に位置決めすることができ、電子部品圧着装置の稼働率を向上させることができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、テープを基板上に引き出す際に、保持機構によって、テープを保持して少なくともテープの側方の動きを規制することができる。このため、当該テープを引き出す際に、テープが大きく側方にぶれることはなく、精度良くかつ迅速に所定位置に位置決めすることができ、電子部品圧着装置の稼働率を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
第１の実施の形態
以下、本発明に係る電子部品圧着装置の第１の実施の形態について、図面を参照して説明する。ここで、図１（ａ）（ｂ）乃至図３は本発明の第１の実施の形態を示す図である。
【００２６】
図１（ａ）（ｂ）および図２に示すように、電子部品圧着装置は、基板６０を支持する基板ステージ５１と、基板ステージ５１の上流側に配置され、剥離紙２と粘着膜３とからなるＡＣＦテープ１を供給するテープ供給部２０と、テープ供給部２０の下流側に配置され、テープ供給部２０から供給されたＡＣＦテープ１の剥離紙（使用済みＡＣＦテープ）２を把持して上流側から下流側へと移動することによって、所定長さのＡＣＦテープ１を基板６０上に供給する引出ユニット５と、基板ステージ５１に対向して配置され、引出ユニット５によって基板６０上に供給されたＡＣＦテープ１の剥離紙２を押しつけて、基板６０にＡＣＦテープ１の粘着膜３を圧着する加圧部５５と、基板ステージ５１の下流側に配置され、加圧部５５によって基板６０にＡＣＦテープ１の粘着膜３を圧着した後に残った剥離紙（使用済みＡＣＦテープ）２を巻き取るテープ巻取部３０とを備えている。なお、図２（ａ）は、図１（ａ）のII−IIで切断した断面図である。
【００２７】
また、図１（ａ）（ｂ）に示すように、基板ステージ５１と加圧部５５とによって、加圧機構５０が構成されている。また、引出ユニット５は、ＡＣＦテープ１を自在に把持する一対のクランパ５ａを有している。
【００２８】
なお、本願において、上流側とは、テープ供給部２０からテープ巻取部３０まで流れるＡＣＦテープ１の流れに対して上流であることを意味し、下流側とは、テープ供給部２０からテープ巻取部３０まで流れるＡＣＦテープ１の流れに対して下流であることを意味する。
【００２９】
また、図１（ａ）（ｂ）において、基板ステージ５１は水平方向（ＸＹ方向）に移動自在になっており、かつ垂直方向（Ｚ方向）に対する角度を自在に調整することができる。
【００３０】
また、図１（ａ）（ｂ）に示すように、テープ供給部２０は、ＡＣＦテープ１を巻きつけて保持する供給リール２２と、当該供給リール２２を回転駆動する供給モータ２１とを有している。また、テープ巻取部３０は、ＡＣＦテープ１を巻き取って保持する巻取リール３２と、当該巻取リール３２を回転駆動する巻取モータ３１とを有している。
【００３１】
また、図１（ａ）（ｂ）および図２（ａ）に示すように、テープ供給部２０とテープ巻取部３０との間であって、ＡＣＦテープ１の下方には、引出ユニット５がＡＣＦテープ１を把持して上流側から下流側へ移動する際、ＡＣＦテープ１を側方から支持して、少なくともＡＣＦテープ１の側方（図１（ａ）（ｂ）のＹ方向）の動きを規制する側方支持体（保持機構）１０が配置されている。なお、当該側方支持体１０は、上下方向（Ｚ方向）に移動自在になっている。
【００３２】
また、図２（ａ）に示すように、側方支持体１０は、ＡＣＦテープ１を側方から支持する一対の側壁１１を有し、当該側壁１１によって、横断面が逆三角形の切欠き１２が形成されている。
【００３３】
また、図１（ａ）（ｂ）に示すように、基板ステージ５１近傍には、基板６０の基板ステージ５１に対する位置を撮像する光学ユニット７１が配置されている。
【００３４】
また、図１（ａ）（ｂ）に示すように、基板ステージ５１の側方（Ｘ方向の正方向）には、ＡＣＦテープ１を側方から支持して、ＡＣＦテープ１を基板６０の所定位置上方に位置決めするテープガイド７２が設けられている。
【００３５】
また、図１（ａ）（ｂ）に示すように、基板ステージ５１の上流側（図１（ａ）（ｂ）の左側）には、ＡＣＦテープ１の粘着膜３を切断するハーフカッタ４１と、当該ハーフカッタ４１によって切断された粘着膜３を剥離する剥離ヘッド４２とを有する粘着膜部分剥離部４０が配置されている。そして、この粘着膜部分剥離部４０によって、ＡＣＦテープ１の粘着膜３が部分的に切断し剥離される。
【００３６】
また、図１（ａ）（ｂ）に示すように、ハーフカッタ４１および剥離ヘッド４２の上方には、ハーフカッタ４１によってＡＣＦテープ１の粘着膜３を切断する際、および剥離ヘッド４２によってハーフカッタ４１によって切断された粘着膜３を剥離する際に、ＡＣＦテープ１を上方から吸着して保持する吸着ブロック４５が設けられている。
【００３７】
また、図１（ａ）（ｂ）に示すように、テープ供給部２０とハーフカッタ４１との間には、ガイド２３に沿って上下方向（Ｚ方向）に移動自在な供給側可動ローラ２５と、当該供給側可動ローラ２５からのＡＣＦテープ１を受ける供給側固定ローラ２６とが配置されている。また、同様に、引出ユニット５とテープ巻取部３０との間には、巻取側固定ローラ３６と、当該巻取側固定ローラ３６からの剥離紙（使用済みＡＣＦテープ）２を受けるとともに、ガイド３３に沿って上下方向（Ｚ方向）に移動自在な巻取側可動ローラ３５とが配置されている。
【００３８】
なお、供給側可動ローラ２５には、支持ローラ（図示せず）を介して錘（図示せず）が連結されている。このため、供給側可動ローラ２５には、当該錘によって上方への引っ張り力が加えられる。また、同様に、巻取側可動ローラ３５には、支持ローラ（図示せず）を介して錘（図示せず）が連結されている。このため、巻取側可動ローラ３５にも、当該錘によって上方への引っ張り力が加えられる。
【００３９】
また、図１（ａ）（ｂ）に示すように、巻取側固定ローラ３６と巻取側可動ローラ３５との間には、剥離紙（使用済みＡＣＦテープ）２を把持するクランプ機構３９が設けられている。
【００４０】
次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について述べる。
【００４１】
まず、基板ステージ５１によって、基板６０が支持される（基板支持工程８１）（図１（ａ）（ｂ）および図３参照）。このとき、光学ユニット７１によって、基板ステージ５１上に支持された基板６０のＡＣＦテープ１に対する位置が観察される。そして、基板ステージ５１の水平方向（ＸＹ方向）位置および垂直方向（Ｚ方向）に対する角度を調整することによって、基板６０が位置決めされる（図１（ａ）（ｂ）参照）。
【００４２】
次に、クランプ機構３９により、ＡＣＦテープ１がクランプされる（クランプ工程８２）（図１（ａ）および図３参照）。
【００４３】
次に、基板ステージ５１の上流側に配置されたテープ供給部２０によって、剥離紙２と粘着膜３とからなるＡＣＦテープ１が供給される（テープ供給工程８３）（図１（ａ）および図３参照）。具体的には、テープ供給部２０の供給モータ２１が、供給リール２２を図１（ａ）の矢印の方向に回転駆動し、ＡＣＦテープ１が供給リール２２から巻き出される。
【００４４】
このため、ＡＣＦテープ１に弛みが生じ、供給側可動ローラ２５に連結された錘の作用により供給側可動ローラ２５が上昇する（図１（ａ）参照）。なお、供給側可動ローラ２５が上昇して上限位置に到達すると、供給モータ２１の回転駆動は停止する。
【００４５】
なお、このとき、基板ステージ５１の下流側に配置されたテープ巻取部３０によって、加圧部５５によって基板６０にＡＣＦテープ１の粘着膜３が既に圧着された、使用済みの前回ＡＣＦテープ（剥離紙２）が巻き取られる（前回テープ巻取工程９３ａ）（図１（ａ）および図３参照）。
【００４６】
すなわち、テープ巻取部３０の巻取モータ３１が、巻取リール３２を図１（ａ）の矢印の方向に回転駆動し、巻取リール３２に使用済みの前回ＡＣＦテープ（剥離紙２）が巻き取られる。このため、使用済みの前回ＡＣＦテープ（剥離紙２）とクランプ機構３９との距離が短くなり、巻取側可動ローラ３５が、巻取側可動ローラ３５に連結された錘（図示せず）の作用により上方向に付与されている引っ張り力に抗して下降する（図１（ａ）参照）。なお、巻取側可動ローラ３５が下降して下限位置に到達すると、巻取モータ３１の回転駆動は停止する。
【００４７】
次に、クランプ機構３９がＡＣＦテープ１のクランプを解除する（クランプ解除工程８４）（図１（ｂ）および図３参照）。
【００４８】
次に、加圧部５５によって既に基板６０に粘着膜３が圧着された、使用済みの前回ＡＣＦテープ（剥離紙２）が、テープ供給部２０とテープ巻取部３０との間に配置された引出ユニット５によって把持されて、上流側から下流側（図１（ｂ）のＸ方向の正方向）へと移動する（テープ引出工程８５）（図１（ａ）（ｂ）および図３参照）。このことによって、ＡＣＦテープ１が上流側から下流側へと移動し、所定長さのＡＣＦテープ１が基板６０上に供給される。
【００４９】
具体的には、まず、引出ユニット５が、クランパ５ａを開いた状態で引き出し待機位置（図１（ａ）参照）から、引き出すＡＣＦテープ１の長さに相当する距離だけＸ方向の負方向に移動して引き出し開始位置（図１（ｂ）参照）まで移動する。次に、引出ユニット５が、そのクランパ５ａを閉じて使用済みの前回ＡＣＦテープ（剥離紙２）を把持する。次に、引き出しクランパ５ａは、当該前回ＡＣＦテープ（剥離紙２）を把持したまま、所定の引き出し長さ分に相当する距離だけＸ方向の正方向に移動して、待機位置へ戻る（図１（ａ）参照）。
【００５０】
このように、引出ユニット５によってＡＣＦテープ１を基板６０上に引き出す際、ＡＣＦテープ１の所定位置がハーフカッタ４１の上方に到達したとき、ハーフカッタ４１によってＡＣＦテープ１の粘着膜３が切断される（ハーフカット工程８７）（図１（ｂ）および図３参照）。その後、ＡＣＦテープ１のハーフカッタ４１によって粘着膜３が切断された箇所が、粘着膜部分剥離部４０の上方に到達したときに、粘着膜部分剥離部４０によって、当該箇所の粘着膜３が剥離される（粘着膜剥離工程８８）（図１（ｂ）および図３参照）。このように、ＡＣＦテープ１の粘着膜３がハーフカッタ４１によって切断されたり、粘着膜部分剥離部４０によって剥離されたりするときには、吸着ブロック４５がその都度作動し、ＡＣＦテープ１は吸着ブロック４５に吸着保持される。
【００５１】
なお、上述のように、ＡＣＦテープ１が上流側から下流側（Ｘ方向の正方向）へと移動するので、テープ供給部２０の供給側可動ローラ２５が、供給側可動ローラ２５に連結された錘により上方向に付与されている引っ張り力に抗して下降する（図１（ｂ）参照）。
【００５２】
このとき、加圧部５５によって既に基板６０にＡＣＦテープ１の粘着膜３が圧着された、使用済みの前回ＡＣＦテープ（剥離紙２）には、弛みが生じる。このため、巻取側可動ローラ３５に連結された錘によって、巻取側可動ローラ３５が上昇する（図１（ｂ）参照）。
【００５３】
このようなテープ引出工程８５において、テープ供給部２０と加圧機構５０との間であって、ＡＣＦテープ１の下方に配置された側方支持体１０によって、ＡＣＦテープ１が側方から支持され、少なくともＡＣＦテープ１の側方（図１（ａ）（ｂ）のＹ方向）の動きが規制されている（保持工程９０）（図１（ａ）（ｂ）、図２および図３参照）。
【００５４】
このため、引出ユニット５によって、ＡＣＦテープ１を引き出すときであっても、ＡＣＦテープ１がたるんだり、ＡＣＦテープ１がその経路から外れたり、ＡＣＦテープ１が大きく振動してしまったりすることを防止することができる。このため、ＡＣＦテープ１を、精度良くかつ迅速に所定位置に位置決めすることができ、電子部品圧着装置の稼働率を向上させることができる。
【００５５】
なお、側方支持体１０の切欠き１２は、横断面が逆三角形状になっている。このため、ＡＣＦテープ１の粘着膜３は側方支持体１０の側壁１１に付着しにくい。このため、粘着膜３が誤って側方支持体１０の側壁１１に付着することを防止することができる。
【００５６】
次に、基板ステージ５１に対向して配置された加圧部５５が降下し、基板６０上に供給されたＡＣＦテープ１の剥離紙２が押しつけられる。このため、ＡＣＦテープ１の粘着膜３が基板６０に圧着される（圧着工程９１）（図１（ａ）（ｂ）および図３参照）。
【００５７】
このとき、加圧部５５の降下に合わせて、側方支持体１０も降下する。このため、ＡＣＦテープ１の粘着膜３が、側方支持体１０に圧着されることはない。
【００５８】
次に、基板ステージ５１の下流側に配置されたテープ巻取部３０によって、加圧部５５によって基板６０にＡＣＦテープ１の粘着膜３を圧着した後に残った剥離紙２が巻き取られる（テープ巻取工程９３）（図１（ａ）および図３参照）。
【００５９】
具体的には、まず、クランプ機構３９により、ＡＣＦテープ１がクランプされる（クランプ工程８２）（図１（ａ）および図３参照）。
【００６０】
次に、テープ巻取部３０の巻取モータ３１が、巻取リール３２を図１（ａ）の矢印の方向に回転駆動し、巻取リール３２に使用済みのＡＣＦテープ（剥離紙２）が巻き取られる。このため、使用済みのＡＣＦテープ（剥離紙２）とクランプ機構３９との距離が短くなり、巻取側可動ローラ３５が、巻取側可動ローラ３５に連結された錘（図示せず）の作用により上方向に付与されている引っ張り力に抗して下降する（図１（ａ）参照）。
【００６１】
このとき、テープ供給部２０の供給モータ２１が、供給リール２２を図１（ａ）の矢印の方向に回転駆動し、次に基板６０に圧着される次回ＡＣＦテープが、供給リール２２から巻き出される（次回テープ供給工程８３ａ）（図１（ａ）および図３参照）。このため、当該次回ＡＣＦテープに弛みが生じて、供給側可動ローラ２５に連結された錘（図示せず）の作用により供給側可動ローラ２５が上昇する（図１（ａ）参照）。
【００６２】
後は、上述した工程が繰り返し行われる。
【００６３】
ところで、上記では、図２（ａ）に示すように、ＡＣＦテープ１を側方から支持する一対の側壁１１を有し、当該側壁１１によって横断面が逆三角形の切欠き１２が形成された側方支持体１０を用いて説明した。しかしながら、これに限ることなく、図２（ｂ）に示すように、ＡＣＦテープ１を支持する一対の側壁１１と、当該側壁１１間に設けられた底壁１３とによって、横断面が四角形の切欠き１２が形成された側方支持体１０を用いてもよい。なお、このような側方支持体１０においては、図２（ｂ）に示すように、ＡＣＦテープ１の粘着膜３が底壁１３に付着しないよう、ＡＣＦテープ１の粘着膜３と底壁１３との間隙Ｇは十分大きなものとなっている。
【００６４】
第２の実施の形態
次に図４（ａ）（ｂ）により本発明の第２の実施の形態について説明する。図４（ａ）（ｂ）に示す第２の実施の形態は、保持機構として、ＡＣＦテープ１の下方に配置され、ＡＣＦテープ１を側方から支持する側方支持体１０を用いる代わりに、ＡＣＦテープ１の上方に配置され、ＡＣＦテープ１の剥離紙２を上方から吸着保持する吸着部１０ａを用いたものであり、他は図１（ａ）（ｂ）乃至図３（ａ）（ｂ）に示す第１の実施の形態と略同一である。図４（ａ）（ｂ）において、当該吸着部１０ａは、引出ユニット５と同期して水平方向に移動することができる。ところで、図４（ａ）は図１（ａ）に対応し、図４（ｂ）は図１（ｂ）に対応している。
【００６５】
図４（ａ）（ｂ）に示す第２の実施の形態において、図１（ａ）（ｂ）乃至図３（ａ）（ｂ）に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００６６】
テープ引出工程８５の間、テープ供給部２０と加圧機構５０との間であって、ＡＣＦテープ１の上方に配置された吸着部１０ａによって、ＡＣＦテープ１の剥離紙２が上方から吸着され、その後、吸着部１０ａは引出ユニット５と同期して水平方向（Ｘ方向の正方向）に移動する。
【００６７】
このため、引出ユニット５によって、ＡＣＦテープ１を引き出す際、ＡＣＦテープ１は、少なくともその側方（図４（ａ）（ｂ）のＹ方向）の動きが規制される。この結果、ＡＣＦテープ１がたるんだり、ＡＣＦテープ１がその経路から外れたり、ＡＣＦテープ１が大きく振動してしまったりすることを防止することができる。このため、ＡＣＦテープ１を、効率よくかつ迅速に所定位置に位置決めすることができ、電子部品圧着装置の稼働率を向上させることができる。
【００６８】
また、吸着部１０ａは、ＡＣＦテープ１の剥離紙２を吸着するため、ＡＣＦテープ１の粘着膜３が吸着部１０ａに付着することはない。
【００６９】
なお、テープ引出工程８５で、ＡＣＦテープ１が上流側から下流側（Ｘ方向の正方向）に引き出される間、吸着部１０ａは引出ユニット５と同期して水平方向に移動する。このため、ＡＣＦテープ１を、より確実に吸着保持することができる。
【００７０】
ところで、テープ引出工程８５が終了すると吸着部１０ａの吸着は停止する。このため、圧着工程９１において、加圧部５５によってＡＣＦテープ１の剥離紙２が押しつけられて、ＡＣＦテープ１の粘着膜３が基板６０に圧着されるときには、ＡＣＦテープ１は吸着部１０ａによって吸着されていない。
【００７１】
第３の実施の形態
次に図５（ａ）（ｂ）および図６により本発明の第３の実施の形態について説明する。図５（ａ）（ｂ）および図６に示す第３の実施の形態は、保持機構として、テープ１の下方に配置され、テープ１を側方から支持する側方支持体１０を用いる代わりに、ＡＣＦテープ１の下方に配置され、粘着膜部分剥離部４０によって粘着膜３が剥離された後に残った剥離紙２を下方から支持するとともに、側方（図５（ａ）（ｂ）のＹ方向）の動きを規制する下方支持体１０ｂを用いたものであり、他は図１（ａ）（ｂ）乃至図３（ａ）（ｂ）に示す第１の実施の形態と略同一である。図５（ａ）（ｂ）において、当該下方支持体１０ｂは、引出ユニット５と同期して水平方向に移動することができる。ところで、図６は、図５（ａ）のVI−VIで切断した断面図である。また、図５（ａ）は図１（ａ）に対応し、図５（ｂ）は図１（ｂ）に対応している。
【００７２】
図５（ａ）（ｂ）および図６に示す第３の実施の形態において、図１（ａ）（ｂ）乃至図３（ａ）（ｂ）に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００７３】
図５（ａ）（ｂ）および図６に示すように、テープ引出工程８５の間、粘着膜部分剥離部４０と加圧機構５０との間であって、ＡＣＦテープ１の下方に配置され下方支持体１０ｂによって、粘着膜部分剥離部４０によって粘着膜３が剥離された後に残った剥離紙２を下方から支持され、その後、下方支持体１０ｂは引出ユニット５と同期して水平方向（Ｘ方向の正方向）に移動する。
【００７４】
このため、引出ユニット５によって、ＡＣＦテープ１を引き出す際、ＡＣＦテープ１は、少なくともその側方（図５（ａ）（ｂ）のＹ方向）の動きが規制される。この結果、ＡＣＦテープ１がたるんだり、ＡＣＦテープ１がその経路から外れたり、ＡＣＦテープ１が大きく振動してしまったりすることを防止することができる。このため、ＡＣＦテープ１を、効率よくかつ迅速に所定位置に位置決めすることができ、電子部品圧着装置の稼働率を向上させることができる。
【００７５】
また、下方支持体１０ｂは、粘着膜部分剥離部４０によって粘着膜３が剥離された後に残った剥離紙２を下方および側方から支持し、かつテープ引出工程８５において、ＡＣＦテープ１が上流側から下流側（Ｘ方向の正方向）に引き出される間、下方支持体１０ｂは引出ユニット５と同期して水平方向に移動する。このため、ＡＣＦテープ１の粘着膜３が下方支持体１０ｂに付着することはない。
【００７６】
また、圧着工程９１において、基板ステージ５１に対向して配置された加圧部５５が降下し、基板６０上に供給されたＡＣＦテープ１の剥離紙２が押しつけられるとき、当該加圧部５５の降下に合わせて、下方支持体１０ｂも降下する。このため、ＡＣＦテープ１の粘着膜３が、下方支持体１０ｂの底壁１３に圧着されることを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】本発明の第１の実施の形態による電子部品圧着装置を示す側方図。
【図２】図１（ａ）をII−IIで切断した断面図。
【図３】本発明の第１の実施の形態による電子部品圧着方法を示すフロー図。
【図４】本発明の第２の実施の形態による電子部品圧着装置を示す側方図。
【図５】本発明の第３の実施の形態による電子部品圧着装置を示す側方図。
【図６】図５（ａ）をVI−VIで切断した断面図。
【符号の説明】
【００７８】
１    テープ
２    剥離紙
３    粘着膜
５    引出ユニット
５ａ  クランパ
１０  側方支持体（保持機構）
１０ａ  吸着部（保持機構）
１０ｂ  下方支持体（保持機構）
１１  側壁
１２  切欠き
１３  底壁
２０  テープ供給部
３０  テープ巻取部
４０  粘着膜部分剥離部
４１  ハーフカッタ
４２  剥離ヘッド
５１  基板ステージ
５５  加圧部
６０  基板
７１  光学ユニット
７２  テープガイド
８１  基板支持工程
８２  クランプ工程
８３  テープ供給工程
８３ａ  次回テープ供給工程
８４  クランプ解除工程
８５  テープ引出工程
８７  ハーフカット工程
８８  粘着膜剥離工程
９０  保持工程
９１  圧着工程
９３  テープ巻取工程
９３ａ  前回テープ巻取工程
【図１】
2008060257.tif 000003
【図２】
2008060257.tif 000004
【図３】
2008060257.tif 000005
【図４】
2008060257.tif 000006
【図５】
2008060257.tif 000007
【図６】
2008060257.tif 000008