(57)【要約】【課題】駆動源で発生する塵埃の製造物への付着を防止し得るクリーンルーム用ロールスクリーン提供する。【解決手段】モータ１４の駆動力により枠体７内でスクリーン２２を昇降して、製造ライン上の搬送路を開閉するクリーンルーム用ロールスクリーンにおいて、モータ１４と、該モータの駆動力をスクリーン２２の昇降装置１１，１９に伝達する駆動力伝達機構１２，１３ａ，１３ｂを搬送路より下方に位置させた。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
モータの駆動力により枠体内でスクリーンを昇降して、製造ライン上の搬送路を開閉するクリーンルーム用ロールスクリーンにおいて、
前記モータと、該モータの駆動力を前記スクリーンの昇降装置に伝達する駆動力伝達機構を前記搬送路より下方に位置させたことを特徴とするクリーンルーム用ロールスクリーン。
【請求項２】
前記搬送路の下方で前記枠体に回転可能に支持された巻取軸に前記スクリーンを巻取り、前記スクリーンの上端にウェイトバーを取着し、前記モータの駆動力により前記ウェイトバーを昇降するとともに前記巻取軸を回転させて、前記スクリーンを昇降可能としたことを特徴とする請求項１記載のクリーンルーム用ロールスクリーン。
【請求項３】
前記枠体に、前記巻取軸の回転にともなって周回するタイミングベルトを支持し、前記ウェイトバーを前記タイミングベルトに取着し、前記搬送路の上方で前記タイミングベルトが掛装されるプーリーの周面は、前記タイミングベルトが噛み合わない平滑面としたことを特徴とする請求項２記載のクリーンルーム用ロールスクリーン。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、クリーンルームの間仕切りとして使用されるロールスクリーンに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
クリーン度の異なるクリーンルーム間で、製造物を搬送装置により搬送する製造ラインでは、クリーンルーム間をロールスクリーンで緩やかに気密を保持する状態で仕切り、そのロールスクリーンを開放することにより、製造物をクリーンルーム間で搬送可能としたものがある。
【０００３】
このような製造ラインでは、クリーン度の高い第一のクリーンルームの気圧がクリーン度の低い第二のクリーンルームの気圧より僅かに高く保持される。そして、製造物の搬送時にロールスクリーンを開放すると、第一のクリーンルームから第二のクリーンルームに向かって空気が流れるようにして、第一のクリーンルームのクリーン度を確保するようになっている。
【０００４】
特許文献１には、上方に巻取り可能とした巻取り式シートシャッターで構成されるクリーンルームの開閉扉が開示されている。
特許文献２には、クリーンルーム用のロールスクリーンが開示されている。
【０００５】
特許文献３には、クリーンルームの気圧差によるガイドレールからの離脱を防止するようにしたクリーンルーム用のロールスクリーンが開示されている。
【特許文献１】特開２０００−１５３９２０号公報
【特許文献２】特開２００５−２００８９４号公報
【特許文献３】特開２００５−１６３３６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記のようなクリーンルーム用ロールスクリーンでは、スクリーンを開放するためにそのスクリーンを巻き取る巻取軸と、その巻取軸を回転駆動するモータ等の駆動源がクリーンルームの上部に配設されている。
【０００７】
従って、塵埃の発生源となるモータあるいはモータの駆動力を巻取軸に伝達する駆動力伝達機構がクリーンルームの上部に位置するため、製造物に塵埃が付着しやすいという問題点がある。
【０００８】
特許文献１に記載された開閉扉でもシートの駆動源がクリーンルームの上部に配設されるため、同様な問題点がある。
特許文献２，３には、駆動源で発生する塵埃の製造物への付着を防止する構成は開示されていない。
【０００９】
この発明の目的は、駆動源で発生する塵埃の製造物への付着を防止し得るクリーンルーム用ロールスクリーンを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１では、モータの駆動力により枠体内でスクリーンを昇降して、製造ライン上の搬送路を開閉するクリーンルーム用ロールスクリーンにおいて、前記モータと、該モータの駆動力を前記スクリーンの昇降装置に伝達する駆動力伝達機構を前記搬送路より下方に位置させた。
【００１１】
請求項２では、前記搬送路の下方で前記枠体に回転可能に支持された巻取軸に前記スクリーンを巻取り、前記スクリーンの上端にウェイトバーを取着し、前記モータの駆動力により前記ウェイトバーを昇降するとともに前記巻取軸を回転させて、前記スクリーンを昇降可能とした。
【００１２】
請求項３では、前記枠体に、前記巻取軸の回転にともなって周回するタイミングベルトを支持し、前記ウェイトバーを前記タイミングベルトに取着し、前記搬送路の上方で前記タイミングベルトが掛装されるプーリーの周面は、前記タイミングベルトが噛み合わない平滑面とした。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、駆動源で発生する塵埃の製造物への付着を防止し得るクリーンルーム用ロールスクリーンを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、この発明を具体化した一実施の形態を図面に従って説明する。図６に示す製造ライン１では、製造物２が第一のクリーンルーム３ａから第二のクリーンルーム３ｂを経て第三のクリーンルーム３ｃに搬送される。
【００１５】
前記第一〜第三のクリーンルーム３ａ〜３ｃは、第一及び第三のクリーンルーム３ａ，３ｃのクリーン度が１００、第二のクリーンルーム３ｂのクリーン度が１０００に設定される。クリーン度１００とは１立方メートル中の塵埃の数が１００個以内に、クリーン度１０００は１立方メートル中の塵埃の数が１０００個以内に維持されることを示す。
【００１６】
従って、第一及び第三のクリーンルーム３ａ，３ｃは、第二のクリーンルーム３ｂよりクリーン度が高い。また、第二のクリーンルーム３ｂは第一のクリーンルーム３ａと第三のクリーンルーム３ｃとの間の搬送用空間である。
【００１７】
前記第一〜第三のクリーンルーム３ａ〜３ｃでは、いずれも天井面近傍の送気口から浄化された空気が供給され、供給された空気は床面近傍に設けられる排気口から排出される。また、第一及び第三のクリーンルーム３ａ，３ｃの気圧は、第二のクリーンルーム３ｂより僅かに高い気圧に維持される。
【００１８】
前記第一のクリーンルーム３ａから第二のクリーンルーム３ｂに製造物２を搬送する搬送路は、第一のロールスクリーン４ａで開閉可能であり、前記第二のクリーンルーム３ｂから第三のクリーンルーム３ｃに製造物を搬送する搬送路は、第二のロールスクリーン４ｂで開閉可能となっている。
【００１９】
そして、製造物２が第一のクリーンルーム３ａから第二のクリーンルーム３ｂに搬送されるとき第一のロールスクリーン４ａが開放され、製造物２が第二のクリーンルーム３ｂから第三のクリーンルーム３ｃに搬送されるとき第二のロールスクリーン４ｂが開放される。
【００２０】
次に、第一及び第二のロールスクリーン４ａ，４ｂの具体的構成を説明する。図６に示すように、第一及び第二のロールスクリーン４ａ，４ｂは、床面５と天井面６との間に枠体７が固定され、第二のクリーンルーム３ｂに対し線対称状に配設されている。
【００２１】
第一及び第二のロールスクリーン４ａ，４ｂは基本的に同一構成であるので、第一のロールスクリーン４ａについて説明する。
図１〜図４に示すように、枠体７は前記床面５から垂立する一対の縦枠８ａ，８ｂの上端部間が上枠９で連結されている。前記縦枠８ａ，８ｂの下部は下枠１０で連結され、その下枠１０の上方において縦枠８ａ，８ｂ間にはスクリーンの巻取軸（昇降装置）１１が回転可能に支持されている。
【００２２】
また、巻取軸１１の縦枠８ａ側の端部には第一のプーリー１２が設けられ、巻取軸１１の両端には第二のプーリー１３ａ，１３ｂが設けられている。第一及び第二のプーリー（駆動力伝達機構）１２，１３ａ，１３ｂは、巻取軸１１と一体に回転する。
【００２３】
前記巻取軸１１の下方において、前記縦枠８ａにはモータ１４が固定され、そのモータ１４の出力軸と前記巻取軸１１の第一のプーリー１２には第一のタイミングベルト１５が掛装されている。第一のタイミングベルト１５は、金属線にてなる芯材を備えたウレタンゴムで形成される。従って、モータ１４の正逆回転にともなって巻取軸１１が正逆回転されるようになっている。
【００２４】
前記縦枠８ａ，８ｂの上端部において、前記第二のプーリー１３ａ，１３ｂの上方には従動プーリー１６ａ，１６ｂが回転可能に支持され、その従動プーリー１６ａ，１６ｂと前記第二のプーリー１３ａ，１３ｂとの間には第二のタイミングベルト１７ａ，１７ｂがそれぞれ掛装されている。従動プーリー１６ａ，１６ｂの周面は、タイミングベルト１７ａ，１７ｂに噛み合わない平滑面で形成されている。
【００２５】
第二のタイミングベルト１７ａ，１７ｂは、前記第一のタイミングベルト１５と同様な材質で構成され、一本のベルトの両端部を連結部材で連結して無端状に形成されている。そして、前記第二のプーリー１３ａ，１３ｂが回転されると、第二のタイミングベルト１７ａ，１７ｂは第二のプーリー１３ａ，１３ｂと従動プーリー１６ａ，１６ｂとの間を周回するようになっている。
【００２６】
前記第二のタイミングベルト１７ａ，１７ｂには、同一高さ位置にテンションユニット１８ａ，１８ｂの下端部が取着され、そのテンションユニット１８ａ，１８ｂの上端部にウェイトバー（昇降装置）１９の両端部が連結部材２０を介して取着されている。前記テンションユニット１８ａ，１８ｂの下端部と上端部はコイルスプリング２１を介して伸縮可能に連結されている。
【００２７】
前記ウェイトバー１９にはスクリーン２２の上端部が取着され、そのスクリーン２２の下部は前記巻取軸１１に巻着されている。そして、モータ１４の作動により巻取軸１１がスクリーン２２の巻取り方向に回転されると、スクリーン２２が巻取軸１１に巻き取られ、同時に第二のタイミングベルト１７ａ，１７ｂの周回によりウェイトバー１９が下降して、スクリーン２２が下降する。スクリーン２２は、静電気の発生を防止した塩化ビニールのシートで形成される。
【００２８】
一方、巻取軸１１がスクリーン２２の巻戻し方向に回転されると、スクリーン２２が巻取軸１１から巻き戻され、同時に第二のタイミングベルト１７ａ，１７ｂの周回によりウェイトバー１９が上昇して、スクリーン２２が上昇する。
【００２９】
このようなスクリーン２２の昇降動作時に、スクリーン２２の巻取軸１１への巻取り量あるいは巻戻し量と、ウェイトバー１９との昇降ストロークとがほぼ一致するように、第一のプーリー１２と第二のプーリー１３ａ，１３ｂの歯数が設定されている。
【００３０】
また、巻取軸１１の巻径の変化によりスクリーン２２の巻取軸１１への巻取り量あるいは巻戻し量と、ウェイトバー１９との昇降ストロークとの間に僅かなずれが生じるが、そのずれはテンションユニット１８ａ，１８ｂの伸縮動作により吸収される。
【００３１】
前記縦枠８ａには、上下方向に４つの位置検出センサ２３ａ〜２３ｄが設けられ、その出力信号は前記下枠１０上あるいはクリーンルーム内外の任意位置に設置される制御盤２４に出力される。制御盤２４はモータの作動を制御するものであり、位置検出センサ２３ａ〜２３ｄの出力信号に基づいて、ウェイトバー１９が上枠９近傍まで上昇したとき、あるいは巻取軸１１近傍まで下降したとき、モータ１４の作動を停止させる。
【００３２】
なお、制御盤２４は位置検出センサ２３ｂ，２３ｃの出力信号に基づいて、スクリーン２２の上昇あるいは下降動作の開始後の所定範囲と、ウェイトバー１９が上限あるいは下限に達する前の所定範囲で、ウェイトバー１９の上昇あるいは下降速度を抑制するようにモータ１４を制御する機能を備えている。
【００３３】
前記スクリーン２２の両端部は、図５に示すように、前記縦枠８ａ，８ｂに設けられるガイドレール２５にインナーレール２６を介して支持されている。インナーレール２６は、弾性を備えた金属線を折り曲げて形成した保持部材２７を介して上下方向に複数箇所でガイドレール２５に支持されている。
【００３４】
前記スクリーン２２の側縁部にはファスナー２８が取着され、そのファスナー２８が前記インナーレール２５に上下動可能に支持されている。
上記のような第一及び第二のロールスクリーン４ａ，４ｂを備えた製造ラインの動作を説明する。
【００３５】
第一のクリーンルーム３ａで加工された製造物２を、第一のクリーンルーム３ａから第二のクリーンルーム３ｂに搬送する場合には、図４に示すように、第一のロールスクリーン４ａのスクリーン２２が下降され、製造物２が第二のクリーンルーム３ｂに搬送される。このとき、第一のクリーンルーム３ａと第二のクリーンルーム３ｂとの気圧差により、第一のクリーンルーム３ａから第二のクリーンルーム３ｂに空気が流れ込むため、第一のクリーンルーム３ａのクリーン度が低下することはない。
【００３６】
製造物２が第二のクリーンルーム３ｂに搬送されると、第一のロールスクリーン４ａのスクリーン２２が引き上げられ、第一のクリーンルーム３ａと第二のクリーンルーム３ｂとが仕切られる。
【００３７】
次いで、第二のロールスクリーン４ｂのスクリーン２２が下降され、製造物２が第三のクリーンルーム３ｃに搬送される。このとき、第三のクリーンルーム３ｃと第二のクリーンルーム３ｂとの気圧差により、第三のクリーンルーム３ｃから第二のクリーンルーム３ｂに空気が流れ込むため、第三のクリーンルーム３ｃのクリーン度が低下することはない。
【００３８】
第三のクリーンルーム３ｃに搬送された製造物２は、新たな加工が施された後、次工程に搬送される。
上記のようなクリーンルーム用ルールスクリーンでは、次に示す作用効果を得ることができる。
（１）天井面６側から床面５に向かって空気が流れるクリーンルーム内において、塵埃の発生源となるモータ１４及びそのモータ１４の駆動力を第二のタイミングベルト１７ａ，１７ｂに伝達するプーリー１２，１３ａ，１３ｂが製造物２の搬送位置より下方に位置している。従って、製造物２への塵埃の付着を防止することができる。
（２）製造物２の搬送位置より上方に位置する従動プーリー１６ａ，１６ｂの周面は、第二のタイミング１７ａ，１７ｂと噛み合わない平滑面で構成されるので、塵埃の発生を防止することができる。
（３）第一及び第二のロールスクリーン４ａ，４ｂは、第二のクリーンルーム３ｂに対し線対称状に配設され、モータ１４が第一及び第三のクリーンルーム３ａ，３ｃ側に突出するように配置される。従って、製造物２を搬送するためにのみ使用される第二のクリーンルーム３ｂを狭小化することができる。
【００３９】
上記実施の形態は、以下の態様で実施してもよい。
・第一及び第二のロールスクリーン４ａ，４ｂは、共通のモータでスクリーンを昇降するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】一実施の形態のロールスクリーンを示す正面図である。
【図２】一実施の形態のロールスクリーンを示す側面図である。
【図３】一実施の形態のロールスクリーンを示す平面図である。
【図４】スクリーンを下降させた状態を示す正面図である。
【図５】ガイドレールを示す断面図である。
【図６】ロールスクリーンで仕切られるクリーンルームを示す正面図である。
【符号の説明】
【００４１】
１…製造ライン、２…製造物、３ａ〜３ｃ…第一〜第三のクリーンルーム、４ａ，４ｂ…第一〜第三のロールスクリーン、７…枠体、１１…昇降装置（巻取軸）、１２…駆動力伝達機構（第一のプーリー）、１３ａ，１３ｂ…駆動力伝達機構（第二のプーリー）、１４…モータ、１９…昇降装置（ウェイトバー）、２２…スクリーン。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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