(57)【要約】【課題】本発明にかかる電子部品の抵抗値測定ならびに検査装置は、抵抗値の小さい電子部品の抵抗値の測定を高精度に、また、測定作業を短時間に行なう抵抗値測定方法およびその装置を提供する事を目的とするものである。【解決手段】複数個の被測定物１０１を並べて保持するワーク保持部１０２と、ワーク保持部１０２の被測定物電極に接触して５ｍΩ以下の低い接触抵抗で電気的に導通がとれる接点部１０３と、複数の接点部１０３との間を５ｍΩ以下の低い接触抵抗で電気的に接続したり切り離したりする切り替え部１０４と、これらの接点部１０３に接続され抵抗値を測定する測定器１０５と、演算を自動的に切り替えて実施する演算制御部１０６とからなる構成とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数個の被測定物となる電子部品を整列配置し、
前記複数個の被測定物を任意に組み合わせて電気的に直列接続し、
前記複数個の被測定物の組み合わせを自在に切り替えて任意の前記被測定物の抵抗値を測定する電子部品の抵抗値測定方法であって、前記複数個の被測定物を組み合わせた全体の抵抗値を測定し、
さらに、前記組み合わせと異なる前記複数個の被測定物の組み合わせで同様に全体の抵抗値を測定し、前記異なる組み合わせの測定結果に基づき個々の前記被測定物の抵抗値を得ることを特徴とする電子部品の抵抗値測定方法。
【請求項２】
複数個の被測定物を直列に整列配置、
少なくとも２つ以上の異なる組み合わせで直列の抵抗値を測定し、
それらの測定結果に基づき個々の前記被測定物の抵抗値を得ることを特徴とする請求項１記載の電子部品の抵抗値測定方法。
【請求項３】
（Ｎ＋１）個の被測定物を電気的に直列接続させて組み合わせ、前記（Ｎ＋１）個の被測定物の抵抗値を測定し、次に前記（Ｎ＋１）個の被測定物の内のＮ個の被測定物を電気的に直列接続させて組み合わせ、前記Ｎ個の被測定物の抵抗値を測定し、この二つの測定結果の差より前記Ｎ個の被測定物に含めなかった１個の被測定物の抵抗値を求め、さらに、前記（Ｎ＋１）個の被測定物から前記Ｎ個の被測定物とは異なるＮ個の被測定物を同様に直列接続させて組み合わせ、同様に残りの１個の被測定物の抵抗値を求めることを繰り返し、合計（Ｎ＋２）回の測定で（Ｎ＋１）個の被測定物の抵抗値をそれぞれ個別に求めることを特徴とする請求項２記載の電子部品の抵抗値測定方法。
【請求項４】
複数個の被測定物を並べて保持するワーク保持部と、前記ワーク保持部の被測定物の電極に接触して電気的に導通をとる接点部と、複数の前記接点部との間を電気的に接続したり切り離したりして、前記複数個の被測定物を任意に組み合わせて直列接続する切り替え部と、前記接点部に接続され前記被測定物の抵抗値を測定する測定器とからなる構成を有した電子部品の抵抗値測定装置。
【請求項５】
被測定物電極に対して接続の切り替えを行なう接点部と接続部が、５ｍΩ以下の接触抵抗であることを特徴とする請求項４記載の電子部品の抵抗値測定装置。
【請求項６】
（Ｎ＋１）個の被測定物を電気的に直列接続させて組み合わせ、前記（Ｎ＋１）個の被測定物の抵抗値を測定し、次に、前記（Ｎ＋１）個の被測定物の内のＮ個の被測定物を電気的に直列接続させて組み合わせ、前記Ｎ個の被測定物の抵抗値を測定し、この二つの測定結果の差より前記Ｎ個の被測定物に含めなかった１個の被測定物の抵抗値を求め、さらに、前記（Ｎ＋１）個の被測定物から前記Ｎ個の被測定物とは異なるＮ個の被測定物を同様に直列接続させて組み合わせ、同様に残りの１個の被測定物の抵抗値を求めることを繰り返し、合計（Ｎ＋２）回の測定で（Ｎ＋１）個の被測定物の抵抗値をそれぞれ個別に求める抵抗値測定と演算を自動的に切り替えて行なう演算制御部を有し、（Ｎ＋１）個の被測定物の抵抗値測定を自動的に行なう請求項４記載の電子部品の抵抗値測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品の抵抗値測定方法およびその装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来この種の抵抗値測定方法ならびに測定装置としては、個々の被測定物が電気回路的に独立した状態で、個々の被測定物に接点をあてて被測定物となる電子部品を一つずつ測定する方法が一般的であった。
【０００３】
なお、この出願に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
【特許文献１】特開２００２−１１０４８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら前記従来の方法では、被測定物１つの抵抗値が小さく、測定に使用する電流が限られている場合は測定精度が悪くならざるを得ないという課題があった。なぜなら抵抗値の測定方法は、被測定物に一定の電流を流し、その両端の電圧を測定することで抵抗値を求める方法が一般的であり、例えば被測定物の抵抗値が１ｍΩで、１Ａの電流を流して測定する場合では、オームの法則より、１ｍＶの微小な電圧出力を測ることが必要であるためにノイズ等の影響をうけやすく精度が不足するという状況であった。
【０００５】
本発明は、前記課題を解決しようとするものであり、５ｍΩ以下の抵抗値の低い電子部品の正確な抵抗測定を効率よく測定する方法ならびにその装置を提供する事を目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有するものである。
【０００７】
本発明の請求項１に記載の発明は、複数個の被測定物となる電子部品を整列配置し、前記複数個の被測定物を任意に組み合わせて電気的に直列接続し、前記複数個の被測定物の組み合わせを自在に切り替えて任意の前記被測定物の抵抗値を測定する電子部品の抵抗値測定方法であって、前記複数個の被測定物を組み合わせた全体の抵抗値を測定し、さらに、前記組み合わせと異なる前記複数個の被測定物の組み合わせで同様に全体の抵抗値を測定し、前記異なる組み合わせの測定結果に基づき個々の前記被測定物の抵抗値を得るという手順を有しており、これにより、複数個の被測定物全体の抵抗値から個々の被測定物の抵抗値が高精度に得られるという作用効果を有する。
【０００８】
本発明の請求項２に記載の発明は、特に、複数個の被測定物を直列に整列配置、少なくとも２つ以上の異なる組み合わせで直列の抵抗値を測定し、それらの測定結果に基づき個々の前記被測定物の抵抗値を得ることを特徴とする構成により、複数個の被測定物を直列に組み合わせて直列の抵抗値を測定することで、測定する電気抵抗値のレンジを高くし、計測器の誤差、ノイズ、バラツキの影響度合いを小さくし、抵抗値の測定精度をさらに向上させるという作用効果を有する。
【０００９】
本発明の請求項３に記載の発明は、特に、（Ｎ＋１）個の被測定物を電気的に直列接続させて組み合わせ、前記（Ｎ＋１）個の被測定物の抵抗値を測定し、次に前記（Ｎ＋１）個の被測定物の内のＮ個の被測定物を電気的に直列接続させて組み合わせ、前記Ｎ個の被測定物の抵抗値を測定し、この二つの測定結果の差より前記Ｎ個の被測定物に含めなかった１個の被測定物の抵抗値を求め、さらに、前記（Ｎ＋１）個の被測定物から前記Ｎ個の被測定物とは異なるＮ個の被測定物を同様に直列接続させて組み合わせ、同様に残りの１個の被測定物の抵抗値を求めることを繰り返し、合計（Ｎ＋２）回の測定で（Ｎ＋１）個の被測定物の抵抗値をそれぞれ個別に求めることを特徴とする構成により、（Ｎ＋１）個の被測定物個々の抵抗値を（Ｎ＋２）回の測定で高精度で確実に測定できるという作用効果を有する。
【００１０】
本発明の請求項４に記載の発明は、特に、複数個の被測定物を並べて保持するワーク保持部と、前記ワーク保持部の被測定物の電極に接触して電気的に導通をとる接点部と、複数の前記接点部との間を電気的に接続したり切り離したりして、前記複数個の被測定物を任意に組み合わせて直列接続する切り替え部と、前記接点部に接続され前記被測定物の抵抗値を測定する測定器とからなる構成を有したことにより、複数個の被測定物を任意に組み合わせて直列接続しかつ、組み合わせを自在に切り替えて任意の抵抗値を高精度に測定できるという作用効果を有する。
【００１１】
本発明の請求項５に記載の発明は、特に、複数個の被測定物を並べて保持するワーク保持部と、ワーク保持部の被測定物の電極に接触して５ｍΩ以下の低い接触抵抗で電気的に導通をとる接点部と、複数の接点部との間を５ｍΩ以下の低い接触抵抗で電気的に接続したり切り離したりする切り替え部と、これらの接点部に接続され抵抗値を測定する測定器からなる構成を有しており、これにより、複数個の被測定物を任意に組み合わせて直列接続し、かつ組み合わせを自在に切り替えて任意の抵抗値を測定する際に、被測定物の抵抗値が５ｍΩ以下の小さい抵抗値であっても誤差が少なく高精度に測定できるという作用効果を有する。
【００１２】
本発明の請求項６に記載の発明は、（Ｎ＋１）個の被測定物を電気的に直列接続させて組み合わせ、前記（Ｎ＋１）個の被測定物の抵抗値を測定し、次に、前記（Ｎ＋１）個の被測定物の内のＮ個の被測定物を電気的に直列接続させて組み合わせ、前記Ｎ個の被測定物の抵抗値を測定し、この二つの測定結果の差より前記Ｎ個の被測定物に含めなかった１個の被測定物の抵抗値を求め、さらに、前記（Ｎ＋１）個の被測定物から前記Ｎ個の被測定物とは異なるＮ個の被測定物を同様に直列接続させて組み合わせ、同様に残りの１個の被測定物の抵抗値を求めることを繰り返し、合計（Ｎ＋２）回の測定で（Ｎ＋１）個の被測定物の抵抗値をそれぞれ個別に求める抵抗値測定と演算を自動的に切り替えて行なう演算制御部を有し、（Ｎ＋１）個の被測定物の抵抗値測定を自動的に行なう請求項４記載の電子部品の抵抗値測定装置という構成を有し、これにより、（Ｎ＋１）個の被測定物の抵抗値を自動的に測定できるという作用効果を有する。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の電子部品の抵抗値測定方法およびその装置は、複数個の被測定物を並べて保持するワーク保持部と、ワーク保持部の被測定物の電極に接触して５ｍΩ以下の低い接触抵抗で電気的に導通をとる接点部と、複数の接点部との間を５ｍΩ以下の低い接触抵抗で電気的に接続したり切り離したりする切り替え部と、これらの接点部に接続され抵抗値を測定する測定器と、演算を自動的に切り替えて実施する演算制御部とからなる構成であり、抵抗値の小さい電子部品の抵抗値を精度良く、効率的に測定できるという効果を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、実施の形態１を用いて、本発明の特に請求項１〜６に記載の発明について図面を参照しながら説明する。
【００１５】
なお、背景の技術において説明したものと同じ構成部材などについては、同じ符号を付与し詳細な説明は省略する。
【００１６】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１における電子部品の抵抗値測定方法およびその装置を示す図である。
【００１７】
図１において、複数個の被測定物１０１は、ワーク保持部１０２と接点部１０３の弾性により挟持されている。
【００１８】
このとき、接点部１０３は、被測定物１０１の電極部や、接点部１０３自身の酸化皮膜を破るような針状にとがった形状やしゅう動式の接点であり、被測定物１０１と接点部１０３の間の接触抵抗は、１ｍΩ以下程度と低抵抗になるように構成されている。
【００１９】
また、複数の被測定物１０１が電気的に直列接続になるように接続されており、さらにこれらの被測定物１０１同士の間には、任意の個々の被測定物を自在に直列接続から切り離せるような切り替え部１０４が設けられている。
【００２０】
また、この切り替え部１０４は水銀リレーやフォトＭＯＳ半導体などで、接触抵抗が０．１ｍΩ以下程度の小さいものを用いる。
【００２１】
そして、このような直列接続の両端は測定器１０５に接続され、さらに、測定器１０５は演算制御部１０６にも接続されており、演算制御部１０６の設定で、切り替え部１０４の接続組み合わせを被測定物１０１毎に個々に自動的に切り替えることが可能である。
【００２２】
図２は、図１の測定方法ならびに検査装置で構成される被測定物１０１の直列接続を、切り替え部１０４により組み合わせを変えて複数回測定することで、被測定物１個１個の抵抗値を求める方法を示すものである。
【００２３】
図２の表の測定１は、ＳＷ１をＴ１〜Ｗ１がつながるように切り替え、ＳＷ２はＷ１〜Ｗ２がつながるように、ＳＷ３はＷ２〜Ｗ３がつながるように、ＳＷ４はＷ３〜Ｔ２がつながるように切り替え、ＳＷ５とＳＷ６はいずれも未接続の状態に切り替えることを表す。
【００２４】
この結果、測定１では、Ｗ１とＷ２とＷ３が直列の状態でＴ１〜Ｔ２間の抵抗値を測定することになる。
【００２５】
同様に測定２ではＷ１〜Ｗ２だけが直接の状態で測定し、測定３ではＷ１〜Ｗ３だけが直列の状態で測定、測定４はＷ２〜Ｗ３だけが直列の状態で測定することを表す。
【００２６】
この４回の測定結果を基に、測定１の抵抗値（＝Ｒ１＋Ｒ２＋Ｒ３）から測定２の抵抗値（＝Ｒ１＋Ｒ２）を減算することで、Ｒ３個別の抵抗値が求まる。
【００２７】
同様に測定１の抵抗値から測定３の抵抗値を減算してＲ２個別の抵抗値を、また、測定１の抵抗値から測定４の抵抗値を減算してＲ１個別の抵抗値を求めることができる。
【００２８】
この結果、４回の測定で３個の個別の被測定物の抵抗値を求めることが可能となる。
【００２９】
また、測定４を行なわず、測定１と測定２からＲ３を求め、測定１と測定３からＲ２を求め、測定１の結果からＲ３とＲ２を減算することでＲ１を求めることも可能であり、この場合は３回の測定で３個の個別の被測定物の抵抗値を求めることが可能である。
【００３０】
さらに図２では３個の被測定物の直列接続を扱ったが、直列接続の数を５個、１０個というようにさらに多数個の組み合わせであっても同様に、Ｎ個の被測定物を最小はＮ回の測定で、個別の抵抗値を求めることが可能である。
【００３１】
この場合、１０個の直列接続で測定すれば、本来の被測定物の抵抗値の約１０倍の値での測定となり、微小抵抗値の電子部品であっても、精度良く測定することが可能である。
【００３２】
また、図１に示すように、直列の構成が３組あったり、複数組から構成されている検査装置であってもかまわないことは言うまでも無い。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
本発明にかかる電子部品の抵抗値測定ならびに検査装置は、複数個の被測定物を並べて保持するワーク保持部と、ワーク保持部の被測定物の電極に接触して５ｍΩ以下の低い接触抵抗で電気的に導通をとる接点部と、複数の接点部との間を５ｍΩ以下の低い接触抵抗で電気的に接続したり切り離したりする切り替え部と、これらの接点部に接続され抵抗値を測定する測定器と、演算を自動的に切り替えて実施する演算制御部とからなる構成を有し、抵抗値の小さい電子部品の抵抗値を精度良く、効率的に測定するなどの用途として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の実施の形態１における電子部品の抵抗値測定方法およびその装置を示す図
【図２】本発明の実施の形態１における被測定物１個１個の抵抗値を求める方法を示す図
【符号の説明】
【００３５】
１０１  被測定物
１０２  ワーク保持部
１０３  接点部
１０４  切り替え部
１０５  測定器
１０６  演算制御部
【図１】
2008058073.tif 000003
【図２】
2008058073.tif 000004