(57)【要約】【課題】  マスター担体に記録に形成された凹凸形状、または凹凸形状により表される転写情報をスレーブ媒体上に忠実に再現するための転写方法、および転写装置を提供すること。【解決手段】  マスターディスク１０Ａ、１０Ｂを、スレーブディスク１４の両面へ密着させ、シート４Ａ、４Ｂを介して流体の圧力によりマスターディスク１０Ａ、１０Ｂを同時に押圧することにより、マスターディスク１０Ａ、１０Ｂに形成された凹凸形状により表される転写情報をスレーブディスク１４の両面へ同時に転写する。【選択図】図４
2008108403.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
微小な凹凸形状が形成されたマスター担体を、転写を受けるスレーブ媒体の両面へ流体の圧力により密着させ、前記マスター担体より前記凹凸形状、または前記凹凸形状により表される転写情報のいずれかを該スレーブ媒体の両面へ転写することを特徴とする転写方法。
【請求項２】
前記マスター担体を前記スレーブ媒体の両面へ密着させる際には、端部を把持された可撓性膜を前記スレーブ媒体の両面に密着する前記マスター担体へそれぞれ密着させ、前記可撓性膜を介して流体の圧力を前記マスター担体へ加えることを特徴とする請求項１に記載の転写方法。
【請求項３】
前記マスター担体を前記スレーブ媒体の両面へ密着させる際には、端部を把持された前記マスター担体を前記流体の圧力で加圧することにより、前記スレーブ媒体の両面へ同時に密着させることを特徴とする請求項１に記載の転写方法。
【請求項４】
前記転写方法は、前記スレーブ媒体の厚みをｄｂ、該スレーブ媒体ヤング率をＥｂ、２枚の前記可撓性膜の合計厚みをｄｓ、該可撓性膜のヤング率をＥｓ、２枚の前記マスター担体の合計厚みをｄｍ、及び該マスター担体のヤング率をＥｍとした際に、Ｅｂ×ｄｂ3÷（Ｅｓ×ｄｓ3＋Ｅｍ×ｄｍ３）＞０．１８であることを特徴とする、請求項１または請求項２に記載の転写方法。
【請求項５】
前記転写方法は、前記スレーブ媒体の厚みをｄｂ、該スレーブ媒体ヤング率をＥｂ、２枚の前記マスター担体の合計厚みをｄｍ、及び該マスター担体のヤング率をＥｍとした際に、（Ｅｄ×ｄｂ3）÷（Ｅｍ×ｄｍ３）＞０．１８であることを特徴とする、請求項１または請求項３に記載の転写方法。
【請求項６】
微小な凹凸形状が形成されたマスター担体と、
転写を受けるスレーブ媒体と、      
前記スレーブ媒体の両面へ前記マスター担体を流体の圧力により密着させる加圧手段と、を備えたことを特徴とする転写装置。
【請求項７】
前記転写装置は、端部を把持され、前記スレーブ媒体の両面に密着する前記マスター担体にそれぞれ密着して前記流体の圧力を前記マスター担体へ加える可撓性膜を備えていることを特徴とする請求項６に記載の転写装置。
【請求項８】
前記マスター担体は、端部が把持され、前記流体の圧力で押圧されることにより、該スレーブ媒体の両面に同時に密着することを特徴とする請求項６に記載の転写装置。
【請求項９】
前記スレーブ媒体の厚みをｄｂ、該スレーブ媒体ヤング率をＥｂ、２枚の前記可撓性膜の合計厚みをｄｓ、該可撓性膜のヤング率をＥｓ、２枚の前記マスター担体の合計厚みをｄｍ、及び該マスター担体のヤング率をＥｍとした際に、Ｅｂ×ｄｂ3÷（Ｅｓ×ｄｓ3＋Ｅｍ×ｄｍ３）＞０．１８であることを特徴とする、請求項６または請求項７に記載の転写装置。
【請求項１０】
前記スレーブ媒体の厚みをｄｂ、該スレーブ媒体ヤング率をＥｂ、２枚の前記マスター担体の合計厚みをｄｍ、及び該マスター担体のヤング率をＥｍとした際に、（Ｅｄ×ｄｂ3）÷（Ｅｍ×ｄｍ３）＞０．１８であることを特徴とする、請求項６または請求項８に記載の転写装置。
【請求項１１】
微小な凹凸形状が形成されたマスター担体を、転写を受けるスレーブ媒体の両面へ流体の圧力により密着させ、前記マスター担体より前記凹凸形状、または前記凹凸形状により表される転写情報のいずれかを該スレーブ媒体の両面へ転写されたことを特徴とする記録媒体。
【請求項１２】
前記マスター担体を前記スレーブ媒体の両面へ密着させる際には、端部を把持された可撓性膜を前記スレーブ媒体の両面に密着する前記マスター担体へそれぞれ密着させ、前記可撓性膜を介して流体の圧力を前記マスター担体へ加えること特徴とする請求項１１に記載の記録媒体。
【請求項１３】
前記マスター担体を前記スレーブ媒体の両面へ密着させる際には、端部を把持された前記マスター担体を前記流体の圧力で加圧することにより、前記スレーブ媒体の両面へ同時に密着させることを特徴とする請求項１１に記載の記録媒体。
【請求項１４】
前記スレーブ媒体の厚みをｄｂ、該スレーブ媒体ヤング率をＥｂ、２枚の前記可撓性膜の合計厚みをｄｓ、該可撓性膜のヤング率をＥｓ、２枚の前記マスター担体の合計厚みをｄｍ、及び該マスター担体のヤング率をＥｍとした際に、Ｅｂ×ｄｂ3÷（Ｅｓ×ｄｓ3＋Ｅｍ×ｄｍ３）＞０．１８であることを特徴とする、請求項１１または請求項１２に記載の記録媒体。
【請求項１５】
前記スレーブ媒体の厚みをｄｂ、該スレーブ媒体ヤング率をＥｂ、２枚の前記マスター担体の合計厚みをｄｍ、及び該マスター担体のヤング率をＥｍとした際に、（Ｅｄ×ｄｂ3）÷（Ｅｍ×ｄｍ３）＞０．１８であることを特徴とする、請求項１１または請求項１３に記載の記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微小な凹凸形状か形成されたマスター担体より、凹凸形状、または凹凸形状により表される転写情報のいずれかをスレーブ媒体へ転写する転写方法、転写装置、及び記録媒体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、磁気ディスク、光ディスク、光磁気ディスク等の各種情報記録媒体では、より小型かつ大容量化が求められている。また、電子デバイス、光デバイスなどにおいても、携帯端末の普及などにより小型化されるとともに、量産需要が高まっている。このような背景から、例えば記録媒体おいては、記録されている記録信号ビットのトラック幅、線記録方向の磁化反転長等は数百、数十ｎｍにまで小さくなっている。
【０００３】
このような狭トラック化された記録媒体より正確に情報を取り出す為には、情報読み書きを行うヘッドを狭いトラック幅の中で正確に走査する必要があり、磁気ディスクには、所定の間隔でトラッキング用のサーボ信号やアドレス情報信号、及び再生クロック信号等が、磁気ヘッドのトラッキングサーボを行うためにプリフォーマットされて記録されている。
【０００４】
この記録は、磁気ヘッドにより行うこともできるが、フォーマット情報やアドレス情報が書き込まれたマスター担体としてのマスターディスクより一括転写する方法が効率的であり、好ましい。例えば、高密度磁気記録媒体となるスレーブ媒体としてのスレーブディスクに、転写すべき情報に対応した凹凸パターンの磁性層を有するマスターディスクを用意するとともに、スレーブディスクの磁性層を予めトラックの一方向に初期磁化し、その後、この初期磁化されたスレーブディスクとマスターディスクとを密着させた状態で初期磁化方向と略逆向きの転写用磁界を印加する磁気転写方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
また、トラック密度の向上による、隣接トラック間のイレーズノイズ、クロストークノイズの発生、または線記録密度の向上により記録磁化の熱揺らぎによる減磁などについても問題となっており、これに対応するため、ディスクリートトラックメディア、パターンドメディアと呼ばれる形態の磁気記録媒体も提案されている。
【０００６】
ディスクリートトラックメディア、パターンドメディアと呼ばれる形態の磁気記録媒体では、磁気記録媒体の表面を所定の形状にパターンニングする必要がある。パターンニングにおいては、記録媒体全体を微細加工していくことは困難であるため、小型の電子デバイスや光デバイスを大量生産するのと同様に、所定の形状パターンが形成されたマスターディスク（スタンパ）をスレーブディスクに押圧することにより、マスターディスクの形状をスレーブディスクに転写するインプリント方法が用いられる。
【０００７】
上記記録媒体の転写方法では、いずれの場合もマスターディスクとスレーブディスクを全面に渡って均一な力で押圧し、密着させることが重要である。密着不良がある場合、転写された情報に信号抜けが生じ、信号品位が低下する。例えば、記録された信号がサーボ信号の場合、トラッキング機能が十分に得られず、信頼性が低下する問題が発生する。このような問題に対応するため、例えば、マスターディスクを保持するホルダに緩衝材を設けて密着性を向上させる磁気転写装置のホルダが提案されている（例えば、特許文献２）。
【特許文献１】特開２００１−１４６６７号公報
【特許文献２】特開２００４−８６９９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、先に述べた通り、近年では各種情報記録媒体の小型化、大容量化による狭トラック化や電子デバイス、光デバイス等の小型化がより進んでいるが、ホルダや緩衝材の加工精度には限界があり、これらの部材の加工精度によっては、押圧時にスレーブ媒体が変形する。スレーブ媒体に曲げが生じると、中立面より外側の表面は伸び、内側の表面は縮むため、マスター担体における転写情報のパターンと転写されたパターンとの間に差異が発生する問題が生じる。
【０００９】
本発明はこのような問題に鑑みてなされたものであり、マスター担体の平面度やホルダの加工精度によらず、マスター担体に形成された凹凸形状、または凹凸形状により表される転写情報をスレーブ媒体上に忠実に再現するための転写方法、転写装置、及び記録媒体を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は前記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、微小な凹凸形状が形成されたマスター担体を、転写を受けるスレーブ媒体の両面へ流体の圧力により密着させ、前記マスター担体より前記凹凸形状、または前記凹凸形状により表される転写情報のいずれかを該スレーブ媒体の両面へ転写することを特徴としている。
【００１１】
請求項１の発明によれば、凹凸形状が形成されたマスター担体の両面にスレーブ担体が密着される。マスター担体が両面に密着したスレーブ媒体は、密閉された容器内に載置され、容器内には圧縮された空気等の流体が封入される。封入された流体によりマスター担体は全面に渡り均一に押圧され、スレーブ媒体に密着される。
【００１２】
これにより、例えば初期磁化された高密度記録ディスクとなるスレーブ媒体、または熱や光により硬化する樹脂等が塗布されたスレーブ媒体表面に、マスター担体上に形成された微小な凹凸形状、または微小凹凸形状により表されるサーボ信号等の転写情報が転写される。
【００１３】
転写の際には、流体による押圧により、剛体で押圧する場合と異なり、剛体表面の加工精度による影響がなく、加圧状態におけるスレーブ媒体の曲げが抑制されるので、マスター担体上の凹凸形状、または凹凸形状により表される転写情報をスレーブ媒体上にナノメートルオーダーで忠実に転写することが可能となる。
【００１４】
請求項２に記載の発明は、請求項１の発明において、前記マスター担体を前記スレーブ媒体の両面へ密着させる際には、端部を把持された可撓性膜を前記スレーブ媒体の両面に密着する前記マスター担体へそれぞれ密着させ、前記可撓性膜を介して流体の圧力を前記マスター担体へ加えることを特徴としている。
【００１５】
請求項２の発明によれば、スレーブ媒体の両面に密着されたマスター担体には、ステンレス、ペット樹脂等により形成される可撓性膜がそれぞれ密着する。可撓性膜の端部はニトリルゴム等により形成されたシール部材により把持される。容器とシール部材と可撓性膜とにより出来る空隙には、共通の配管より分岐して接続された配管より流体が封入され、これにより両面のマスター担体に密着したそれぞれの可撓性膜は、マスター担体の両面を共通の圧力で全面に渡り均一に押圧する。
【００１６】
これにより、加圧状態におけるスレーブ媒体の曲げが抑制されるので、マスター担体上の転写情報をスレーブ媒体上にナノメートルオーダーで忠実に転写することが可能となる。
【００１７】
請求項３に記載の発明は、請求項１の発明において、前記マスター担体を前記スレーブ媒体の両面へ密着させる際には、端部を把持された前記マスター担体を前記流体の圧力で加圧することにより、前記スレーブ媒体の両面へ同時に密着させることを特徴としている。
【００１８】
請求項３の発明によれば、スレーブ媒体の両面に密着されたスレーブ媒体よりも径の大きいマスター担体の端部は、シール部材により把持される。容器とシール部材とマスター担体とにより出来る空隙には、共通の配管より分岐して接続された配管より流体が封入され、これにより両面のマスター担体は共通の圧力で全面に渡り均一にスレーブ媒体へ押圧される。
【００１９】
これにより、加圧状態におけるスレーブ媒体の曲げが抑制されるので、マスター担体上の転写情報をスレーブ媒体上にナノメートルオーダーで忠実に転写することが可能となる。
【００２０】
なお、請求項１または請求項２の発明において、前記スレーブ媒体の厚みをｄｂ、該スレーブ媒体ヤング率をＥｂ、２枚の前記可撓性膜の合計厚みをｄｓ、該可撓性膜のヤング率をＥｓ、２枚の前記マスター担体の合計厚みをｄｍ、及び該マスター担体のヤング率をＥｍとした際に、Ｅｂ×ｄｂ3÷（Ｅｓ×ｄｓ3＋Ｅｍ×ｄｍ３）＞０．１８であることも特徴としている。
【００２１】
更に、請求項１または請求項３の発明において、前記スレーブ媒体の厚みをｄｂ、該スレーブ媒体ヤング率をＥｂ、２枚の前記マスター担体の合計厚みをｄｍ、及び該マスター担体のヤング率をＥｍとした際に、（Ｅｄ×ｄｂ3）÷（Ｅｍ×ｄｍ３）＞０．１８であることをも特徴としている。
【００２２】
これらにより、マスター担体はスレーブ媒体に対して最適に押圧されて密着し、加圧状態におけるスレーブ媒体の曲げが抑制されるので、マスター担体上の転写情報をスレーブ媒体上にナノメートルオーダーで忠実に転写することが可能となる。
【発明の効果】
【００２３】
以上説明したように、本発明の転写方法、転写装置、及び記録媒体によれば、スレーブ媒体の両面に密着されたマスター担体が、加工精度に左右されることなく、同時に全面に均一な圧力で押圧されてスレーブ媒体に対して密着する。これにより、加圧状態におけるスレーブ媒体の曲げが抑制されるので、マスター担体上の転写情報をスレーブ媒体上にナノメートルオーダーで忠実に転写することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下添付図面に従って本発明に係る転写方法、および転写装置の好ましい実施の形態について詳説する。
【００２５】
始めに、本発明の転写方法、および転写装置が適用される、ハードディスク等の生産技術である磁気転写の方法について説明する。図１はマスター担体としてのマスターディスク１０を使用して磁気転写を行うための磁気転写装置２０の要部斜視図である。
【００２６】
磁気転写時には図３（ａ）に示される後記する初期直流磁化を行った後のスレーブ媒体としてのスレーブディスク１４のスレーブ面（磁気記録面）を、マスター担体としてのマスターディスク１０の情報担持面１３に接触させ、所定の押圧力で密着させる。そして、このスレーブディスク１４とマスターディスク１０との密着状態で、磁界生成手段３０により転写用磁界を印加して、マスターディスク１０に形成されている転写情報としての凹凸パターンＰをスレーブディスク１４に磁気的に転写する。
【００２７】
スレーブディスク１４は、表面に磁気記録層が形成されたハードディスク、フレキシブルディスク等の円盤状記録媒体であり、マスターディスク１０に密着させる以前に、グライドヘッド、研磨体などにより表面の微小突起及び付着塵埃を除去するクリーニング処理（バーニッシィング等）が必要に応じて施される。
【００２８】
スレーブディスク１４の磁気記録層には、塗布型磁気記録層、メッキ型磁気記録層、又は金属薄膜型磁気記録層を採用できる。金属薄膜型磁気記録層の磁性材料としては、Ｃｏ、Ｃｏ合金（ＣｏＰｔＣｒ、ＣｏＣｒ、ＣｏＰｔＣｒＴａ、ＣｏＰｔＣｒＮｂＴａ、ＣｏＣｒＢ、ＣｏＮｉ等）、Ｆｅ、Ｆｅ合金（ＦｅＣｏ、ＦｅＰｔ、ＦｅＣｏＮｉ等）、Ｎｉ、Ｎｉ合金（ＮｉＦｅ等）、を用いることができる。これらは磁束密度が大きいこと、磁界印加方向と同じ方向（面内記録なら面内方向）の磁界異方性を有していることにより、明瞭な転写を行えるため好ましい。そして、磁性材料の下（支持体側）に必要な磁気異方性を付与するために、非磁性の下地層を設けることが好ましい。この下地層には、結晶構造と格子定数を磁性層１２に合わすことが必要である。その為には、Ｃｒ、ＣｒＴｉ、ＣｏＣｒ、ＣｒＴａ、ＣｒＭｏ、ＮｉＡｌ、Ｒｕ等を用いることが好ましい。
【００２９】
転写用磁界を印加する磁界生成手段３０は、密着保持されたスレーブディスク１４とマスターディスク１０の半径方向に延びるギャップ３１を有するコア３２にコイル３３が巻き付けられた電磁石装置３４、３４が上下両側に配設されており、上下で同じ方向にトラック方向と平行な磁力線Ｇ（図２参照）を有する転写用磁界を印加する。図２は、円周トラック４０Ａ、４０Ａ…と磁力線Ｇとの関係を示したものである。
【００３０】
磁界印加時には、スレーブディスク１４とマスターディスク１０とを一体的に回転させつつ磁界生成手段３０によって転写用磁界を印加させ、マスターディスク１０の凹凸パターンにより表される転写情報をスレーブディスク１４のスレーブ面に磁気的に転写する。尚、この構成以外に磁界生成手段の方を回転移動させるようにしてもよい。
【００３１】
転写用磁界は、最適転写磁界強度範囲（スレーブディスク１４の保磁力Ｈｃの０．６〜１．３倍）の最大値を超える磁界強度がトラック方向のいずれにも存在せず、最適転写磁界強度範囲内の磁界強度となる部分が１つのトラック方向で少なくとも１カ所以上存在し、これと逆向きのトラック方向の磁界強度が何れのトラック方向位置においても最適転写磁界強度範囲内の最小値未満である磁界強度分布の磁界をトラック方向の一部分で発生させている。
【００３２】
図３は、面内記録による磁気転写方法の基本工程を説明する説明図である。
【００３３】
先ず、図３（ａ）に示すように、予めスレーブディスク１４に初期磁界Ｈi をトラック方向の一方向に印加して初期磁化（直流消磁)を施しておく。次に、図３（ｂ)に示すように、このスレーブディスク１４の記録面（磁気記録部）とマスターディスク１０の凹凸パターンＰが形成された情報担持面１３とを密着させ、スレーブディスク１４のトラック方向に初期磁界Ｈｉとは逆方向に転写用磁界Ｈｄ を印加して磁気転写を行う。転写用磁界Ｈd が凹凸パターンＰの凸部の磁性層１２に吸い込まれてこの部分の磁化は反転せず、その他の部分の磁界が反転する結果、図３（ｃ）に示すように、スレーブディスク１４の磁気記録面にはマスターディスク１０の凹凸パターンＰにより表される転写情報が磁気的に転写記録される。
【００３４】
次に、本発明に係わる転写方法、転写装置、及び記録媒体について説明する。図４は本発明に係わる転写方法、および転写装置の第１の実施の形態を示した断面図である。
【００３５】
転写装置１Ａは、容器上部２と容器下部３に別れ、ボルトやエアシリンダ等の締結手段９により一体となっている。容器上部２には、マスター担体をスレーブ媒体へ密着させるために供給される流体の流入口となる継ぎ手８Ａが設けられ、容器下部３には容器上部同様に継ぎ手８Ｂが設けられている。
【００３６】
継ぎ手８Ａと継ぎ手８Ｂとに接続される配管は、圧縮空気等の流体を発生させる加圧手段としての不図示の流体供給源に接続された共通の１本の配管から分岐されている。これにより、継ぎ手８Ａと継ぎ手８Ｂからは、等しい圧力の流体が容器上部２と容器下部３とへ供給される。
【００３７】
容器上部２と容器下部３との内部は、マスター担体であるマスターディスク１０Ａ、１０Ｂと、スレーブ媒体であるスレーブディスク１４が、スレーブディスク１４の両面に対して、それぞれマスターディスクの１０Ａ、１０Ｂの情報把持面が密着した状体で収納される。
【００３８】
スレーブディスク１４とマスターディスク１０Ａ、１０Ｂとの中心部と外周部には、位置合わせの為、円柱状の中心スペーサ５とリング型の外周スペーサ６が設置されている。
【００３９】
外周スペーサ６の上下には、ニトリルゴム等により形成されるシール部材７Ａ、７Ｂがそれぞれ設けられている。外周スペーサ６と、シール部材７Ａ、７Ｂとの間には、ステンレス材、ペット樹脂等により形成されるマスターディスク１０Ａ、１０Ｂを押圧する為の可撓性膜であるシート４Ａ、４Ｂがそれぞれ把持されている。シート４Ａ、４Ｂの間には、スレーブディスク１４の両面にマスターディスク１０Ａ、１０Ｂが密着した状態で収納され、マスターディスク１０Ａ、１０Ｂにはシート４Ａ、４Ｂがそれぞれ密着している。
【００４０】
このとき、スレーブディスク１４の厚みをｄｂ、スレーブディスク１４のヤング率をＥｂ、シート４Ａ、４Ｂの合計厚みをｄｓ、シート４Ａ、４Ｂのヤング率をＥｓ、マスターディスク１０Ａ、１０Ｂの合計厚みをｄｍ、及びスターディスク１０Ａ、１０Ｂのヤング率をＥｍとした際、各数値においては、Ｅｂ×ｄｂ3÷（Ｅｓ×ｄｓ3＋Ｅｍ×ｄｍ３）＞０．１８の関係が成り立つように調整されている。
【００４１】
以上のような構成の転写装置において、トラック信号等の転写情報が記録されたマスターディスク１０Ａ、１０Ｂの情報担持面をスレーブディスク１４へ所定の押圧力で密着させる際には、まず締結手段９により容器上部２と容器下部３とをさせる。これにより、容器上部２、シール部材７Ａ、及びシート４Ａによる空隙と、容器下部３、シール部材７Ｂ、及びシート４Ｂによる空隙が形成される。
【００４２】
この状態で不図示の流体供給源より、継ぎ手８Ａ、８Ｂを通してそれぞれの空隙へ圧力をかけた流体（本実施の形態では０．２ＭＰａの圧縮空気とする）を供給することにより、シート４Ａ、４Ｂは全面に渡り均一な力で押圧される。これにより、シート４Ａ、４Ｂを介して流体の押圧力がマスターディスク１０Ａ、１０Ｂに伝わり、押圧されたマスターディスク１０Ａ、１０Ｂがスレーブディスク１４に対して所定の押圧力で密着する。押圧力は、流体による加圧のため、全面に渡り均一であり、同一の配管系統より送られてくる流体のため、スレーブディスク１４の両面に密着するマスターディスク１０Ａ、１０Ｂの押圧力は等しくなる。
【００４３】
この状態で、記録媒体を製造する場合には、先に述べた磁気転写の手順により磁気転写を行い、スレーブディスク１４へマスターディスク１０Ａ、１０Ｂに形成された凹凸形状により表される転写情報を磁気的に転写する。
【００４４】
次に、本発明に係わる転写方法、転写装置、及び記録媒体の第２の実施の形態について説明する。図５は第２の実施の形態を示した断面図である。
【００４５】
転写装置１Ｂは、容器上部２と容器下部３に別れ、締結手段９により一体となっている。容器上部２には、流体の流入口となる継ぎ手８Ａが設けられ、容器下部３には容器上部同様に継ぎ手８Ｂが設けられている。
【００４６】
継ぎ手８Ａと継ぎ手８Ｂとに接続される配管は、不図示の流体供給源に接続された共通の１本の配管から分岐されている。これにより、継ぎ手８Ａと継ぎ手８Ｂからは、等しい圧力の流体が容器上部２と容器下部３とへ供給される。
【００４７】
容器上部２と容器下部３との内部には、マスター担体であるマスターディスク４０Ａ、４０Ｂと、スレーブ媒体であるスレーブディスク１４が、スレーブディスク１４の両面に対して、それぞれマスターディスクの４０Ａ、４０Ｂが密着した状体で収納される。
【００４８】
スレーブディスク１４とマスターディスク４０Ａ、４０Ｂとの中心部には、円柱状の中心スペーサ５が設置されている。スレーブディスク１４の外周部にはリング型の外周スペーサ６が設けられ、外周スペーサ６の上下には、シール部材７Ａ、７Ｂがそれぞれ設けられるとともに、外周スペーサ６と、シール部材７Ａ、７Ｂとによりマスターディスク４０Ａ、４０Ｂの端部が把持されている。
【００４９】
このとき、スレーブディスク１４の厚みをｄｂ、スレーブディスク１４のヤング率をＥｂ、マスターディスク４０Ａ、４０Ｂの合計厚みをｄｍ、及びスターディスク４０Ａ、４０Ｂのヤング率をＥｍとした際、各数値においては、（Ｅｂ×ｄｂ3）÷（Ｅｍ×ｄｍ３）＞０．１８の関係が成り立つように調整されている。
【００５０】
以上のような構成の転写装置において、マスターディスク４０Ａ、４０Ｂの情報担持面をスレーブディスク１４へ所定の押圧力で密着させる際には、まず締結手段９により容器上部２と容器下部３とをさせる。これにより、容器上部２、シール部材７Ａ、及びスターディスク４０Ａによる空隙と、容器下部３、シール部材７Ｂ、及びスターディスク４０Ｂによる空隙が形成される。
【００５１】
この状態で不図示の流体供給源より、継ぎ手８Ａ、８Ｂを通してそれぞれの空隙へ圧力をかけた流体（本実施の形態では０．２ＭＰａの圧縮空気とする）を供給することにより、マスターディスク４０Ａ、４０Ｂの流体に接する面の全面に渡り均一な力で押圧される。
【００５２】
これにより、押圧されたスターディスク４０Ａ、４０Ｂがスレーブディスク１４に対して所定の押圧力で密着する。押圧力は、流体による加圧のため、全面に渡り均一であり、同一の配管系統より送られてくる流体のため、スレーブディスク１４の両面に密着するマスターディスク４０Ａ、４０Ｂの押圧力は等しくなる。
【００５３】
この状態で、記録媒体を製造する場合には、先に述べた磁気転写の手順により磁気転写を行い、スレーブディスク１４へマスターディスク４０Ａ、４０Ｂに形成された凹凸形状により表される転写情報を磁気的に転写する。
【００５４】
次に、本発明に係わる転写方法、転写装置、及び記録媒体の第３の実施の形態について説明する。図６は第３の実施の形態を示した断面図である。
【００５５】
転写装置１Ｃは、容器上部２と容器下部３に別れ、締結手段９により一体となっている。容器上部２には、流体の流入口となる継ぎ手８Ａが設けられ、容器下部３には容器上部同様に継ぎ手８Ｂが設けられている。
【００５６】
継ぎ手８Ａと継ぎ手８Ｂとに接続される配管は、不図示の流体供給源に接続された共通の１本の配管から分岐されている。これにより、継ぎ手８Ａと継ぎ手８Ｂからは、等しい圧力の流体が容器上部２と容器下部３とへ供給される。
【００５７】
容器上部２と容器下部３との内部は、マスター担体であるマスターディスク４１Ａ、４１Ｂと、スレーブ媒体であるスレーブディスク４２が、スレーブディスク４２の両面に対して、それぞれマスターディスクの４１Ａ、４１Ｂが密着した状体で収納される。
【００５８】
このとき、スレーブディスク４２の両面には、スレーブディスク１４とは異なり、光、熱等で硬化する樹脂、または低融点のガラスなどにより形成された転写層４３が設けられている。これにより、記録ビット形状等に対応したマスターディスク４１Ａ、４１Ｂ上の凹凸形状は、マスターディスク４１Ａ、４１Ｂを転写層４３に押圧しながら、またはマスターディスク４１Ａ、４１Ｂの剥離後に、光の照射、加熱、または冷却することにより良好に転写される。
【００５９】
スレーブディスク４２とマスターディスク４１Ａ、４１Ｂとの外周部には、リング型の外周スペーサ６が設置されている。外周スペーサ６の上下には、シール部材７Ａ、７Ｂがそれぞれ設けられている。外周スペーサ６と、シール部材７Ａ、７Ｂとの間には、可撓性膜であるシート４Ａ、４Ｂがそれぞれ把持されている。
【００６０】
シート４Ａ、４Ｂの間には、スレーブディスク４２の両面の転写層４３にマスターディスク４１Ａ、４１Ｂが密着した状態で収納され、マスターディスク４１Ａ、４１Ｂにはシート４Ａ、４Ｂがそれぞれ密着している。
【００６１】
このとき、スレーブディスク１４の厚みをｄｂ、スレーブディスク４２のヤング率をＥｂ、シート４Ａ、４Ｂの合計厚みをｄｓ、シート４Ａ、４Ｂのヤング率をＥｓ、マスターディスク４１Ａ、４１Ｂの合計厚みをｄｍ、及びスターディスク４１Ａ、４１Ｂのヤング率をＥｍとした際、各数値においては、Ｅｂ×ｄｂ3÷（Ｅｓ×ｄｓ3＋Ｅｍ×ｄｍ３）＞０．１８の関係が成り立つように調整されている。
【００６２】
以上のような構成の転写装置において、マスターディスク４１Ａ、４１Ｂの情報担持面をスレーブディスク４２の両面の転写層４３へ所定の押圧力で密着させる際には、まず締結手段９により容器上部２と容器下部３とをさせる。これにより、容器上部２、シール部材７Ａ、及びシート４Ａによる空隙と、容器下部３、シール部材７Ｂ、及びシート４Ｂによる空隙が形成される。
【００６３】
この状態で不図示の流体供給源より、継ぎ手８Ａ、８Ｂを通してそれぞれの空隙へ圧力をかけた流体（本実施の形態では０．１ＭＰａの圧縮空気とする）を供給することにより、シート４Ａ、４Ｂは全面に渡り均一な力で押圧される。これにより、シート４Ａ、４Ｂを介して流体の押圧力がマスターディスク４１Ａ、４１Ｂに伝わり、押圧されたマスターディスク４１Ａ、４１Ｂが転写層４３に対して所定の押圧力で密着する。押圧力は、流体による加圧のため、全面に渡り均一であり、同一の配管系統より送られてくる流体のため、転写層４３に密着するマスターディスク４１Ａ、４１Ｂの押圧力は等しくなる。
【００６４】
マスターディスク４１Ａ、４１Ｂが押圧された転写層４３には、マスターディスク４１Ａ、４１Ｂ上の凹凸形状が転写され、押圧されている状態、またはマスターディスク４１Ａ、４１Ｂの剥離後に、転写装４３に対して光の照射、加熱、または冷却することにより転写層４３が硬化し、スレーブディスク４２へ転写情報としての形状が転写され、記録媒体となる。
【００６５】
次に、本発明に係わる転写方法、転写装置、及び記録媒体の第４の実施の形態について説明する。図７は第４の実施の形態を示した断面図である。
【００６６】
転写装置１Ｄは、容器上部２と容器下部３に別れ、締結手段９により一体となっている。容器上部２には、流体の流入口となる継ぎ手８Ａが設けられ、容器下部３には容器上部同様に継ぎ手８Ｂが設けられている。
【００６７】
継ぎ手８Ａと継ぎ手８Ｂとに接続される配管は、不図示の流体供給源に接続された共通の１本の配管から分岐されている。これにより、継ぎ手８Ａと継ぎ手８Ｂからは、等しい圧力の流体が容器上部２と容器下部３とへ供給される。
【００６８】
容器上部２と容器下部３との内部には、マスター担体であるマスターディスク４４Ａ、４４Ｂと、スレーブ媒体であるスレーブディスク４２が、スレーブディスク４２の両面に対して、それぞれマスターディスクの４４Ａ、４４Ｂが密着した状体で収納される。
【００６９】
このとき、スレーブディスク４２の両面には、光、熱等で硬化する樹脂、または低融点のガラスなどにより形成された転写層４３が設けられている。これにより、記録ビット形状等に対応したマスターディスク４４Ａ、４４Ｂ上の凹凸形状は、マスターディスク４４Ａ、４４Ｂを転写層４３に押圧しながら、またはマスターディスク４１Ａ、４１Ｂの剥離後に、光の照射、加熱、または冷却することにより良好に転写される。
【００７０】
スレーブディスク４２とマスターディスク４４Ａ、４４Ｂとの外周部には、リング型の外周スペーサ６が設置されている。外周スペーサ６の上下には、シール部材７Ａ、７Ｂがそれぞれ設けられるとともに、外周スペーサ６と、シール部材７Ａ、７Ｂとによりマスターディスク４４Ａ、４４Ｂの端部が把持されている。
【００７１】
このとき、スレーブディスク４２の厚みをｄｂ、スレーブディスク４２のヤング率をＥｂ、マスターディスク４４Ａ、４４Ｂの合計厚みをｄｍ、及びスターディスク４４Ａ、４４Ｂのヤング率をＥｍとした際、各数値においては、（Ｅｂ×ｄｂ3）÷（Ｅｍ×ｄｍ３）＞０．１８の関係が成り立つように調整されている。
【００７２】
以上のような構成の転写装置において、マスターディスク４４Ａ、４４Ｂの情報担持面をスレーブディスク４２へ所定の押圧力で密着させる際には、まず締結手段９により容器上部２と容器下部３とをさせる。これにより、容器上部２、シール部材７Ａ、及びマスターディスク４４Ａによる空隙と、容器下部３、シール部材７Ｂ、及びマスターディスク４４Ｂによる空隙が形成される。
【００７３】
この状態で不図示の流体供給源より、継ぎ手８Ａ、８Ｂを通してそれぞれの空隙へ圧力をかけた流体（本実施の形態では０．１ＭＰａの圧縮空気とする）を供給することにより、マスターディスク４４Ａ、４４Ｂの流体に接する面の全面に渡り均一な力で押圧される。
【００７４】
これにより、押圧されたスターディスク４４Ａ、４４Ｂがスレーブディスク４２に対して所定の押圧力で密着する。押圧力は、流体による加圧のため、全面に渡り均一であり、同一の配管系統より送られてくる流体のため、転写層４３に密着するマスターディスク４４Ａ、４４Ｂの押圧力は等しくなる。
【００７５】
マスターディスク４４Ａ、４４Ｂが押圧された転写層４３には、マスターディスク４４Ａ、４４Ｂ上の凹凸形状が転写され、押圧されている状態、またはマスターディスク４４Ａ、４４Ｂの剥離後に、転写装４３に対して光の照射、加熱、または冷却することにより転写層４３が硬化し、スレーブディスク４２へ転写情報としての形状が転写される。
【実施例】
【００７６】
次に本発明に係わる転写方法、転写装置、及び記録媒体の具体的な実施例を説明する。
【００７７】
図８は、図４に示される転写装置１Ａによりマスターディスク１０Ａ、１０Ｂに形成された凹凸形状により表される転写情報を転写した際のデータを示した図表である。
【００７８】
転写では、既知の製造方法により製造されたアルミ（Ａｌ）、ガラス材質のスレーブ媒体に対し、ニッケル(Ｎｉ)材質により形成され初期直流磁化したマスター担体を使用する。可撓性膜の材質はステンレス（ＳＵＳ３０４）を使用する。スレーブ媒体、マスター担体、及び可撓性膜の厚み、ヤング率の組合せは、図８に示すとおり、６通り用意する。これに、本発明の転写方法により磁気転写を行い、トラック信号をマスター担体からスレーブ媒体へ転写する。
【００７９】
転写後のスレーブ媒体の評価は、電磁変換特性測定装置（協働電子製  ＳＳ−６０）により行う。ヘッドには、ヘッドギャップ０．３２μｍ、トラック幅３．０μｍであるインダクティブヘッド使用する。これにより、スレーブ媒体の半径２５ｍｍ位置における信号を１周分読み込み、その信号をもとに、ヘッドの振動や、スピンドルの偏芯などの成分を除去して得られたヘッドの位置情報から、真円とのズレ量を算出する。
【００８０】
この結果、Ｅｂ×ｄｂ3÷（Ｅｓ×ｄｓ3＋Ｅｍ×ｄｍ３）＞０．１８の関係を満たすＮｏ．１からＮｏ．４までのスレーブ媒体においては、真円からのズレ量が良製品基準の５００ｎｍ前後以下となり、良好な結果が得られている。
【００８１】
また、図５に示される、転写装置１Ｂによりマスターディスク４０Ａ、４０Ｂに形成された凹凸形状により表される転写情報を転写した際には、スレーブ媒体をガラス材質、厚み０．５ｍｍ、マスター担体をニッケル材質、厚み０．１ｍｍ（合計厚み０．２ｍｍ）、（Ｅｂ×ｄｂ3）÷（Ｅｍ×ｄｍ３）＝５．０８とした場合、真円からのズレ量は３２８ｎｍであって、同じく良好な結果を得られている。
【００８２】
更に、図６に示される、転写装置１Ｃにおいては、厚み０．２ｍｍ、直径６５ｍｍのニッケル基板上に、ニッケル基板と同心の円周パターンを線幅１００ｎｍ、高さ１００ｎｍで設けることによりマスター担体とし、厚み０．５ｍｍ、直径６５ｍｍのガラス基板上に光硬化樹脂をスピンコートして塗布したものをスレーブ媒体とした。これに厚さ０．１ｍｍ（合計厚さ０．２ｍｍ）のペット樹脂を可撓性膜として使用し、Ｅｂ×ｄｂ3÷（Ｅｓ×ｄｓ3＋Ｅｍ×ｄｍ３）＝５．０１として、マスター担体をスレーブ媒体に押圧して円周パターンのスレーブ媒体への転写を実施した。その結果、真円度測定器にて計測された転写された円周パターンの真円からのズレ量は２８０ｎｍであって良好な結果が得られた。
【００８３】
同様に、図７に示される、転写装置１Ｄにおいては、厚み０．３ｍｍ、直径６５ｍｍのニッケル基板上に、ニッケル基板と同心の円周パターンを線幅１００ｎｍ、高さ１００ｎｍで設けることによりマスター担体とし、厚み０．５ｍｍ、直径６５ｍｍのガラス基板上に光硬化樹脂をスピンコートして塗布したものをスレーブ媒体とした。これに（Ｅｂ×ｄｂ3）÷（Ｅｍ×ｄｍ３）＝１．５１として、マスター担体をスレーブ媒体に押圧して円周パターンのスレーブ媒体への転写を実施した。その結果、真円度測定器にて計測された転写された円周パターンの真円からのズレ量は４６０ｎｍであって良好な結果が得られた。
【００８４】
以上説明したように、本発明に係る転写方法、転写装置、及び記録媒体によれば、スレーブ媒体の両面に密着されたマスター担体が、押圧部材の加工精度に左右されることなく、同時に全面に均一な圧力で押圧されてスレーブ媒体に対して密着する。これにより、加圧状態におけるスレーブ媒体の曲げが抑制されるので、マスター担体上の転写情報をスレーブ媒体上にナノメートルオーダーで忠実に転写することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】磁気転写を実施する磁気転写装置の要部斜視図。
【図２】転写用磁界の印加方法を示す平面図。
【図３】磁気転写方法の基本工程を示す工程図。
【図４】本発明の第１の実施の形態を示した断面図。
【図５】本発明の第２の実施の形態を示した断面図。
【図６】本発明の第３の実施の形態を示した断面図。
【図７】本発明の第４の実施の形態を示した断面図。
【図８】第１の実施の形態により転写情報を転写した際のデータを示した図表。
【符号の説明】
【００８６】
１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄ…転写装置，２…容器上部，３…容器下部，４Ａ、４Ｂ…シート（可撓性膜），５…中心スペーサ，６…外周スペーサ，７Ａ、７Ｂ…シール部材，８Ａ、８Ｂ…継ぎ手，９…締結手段，１０、１０Ａ、１０Ｂ、４０Ａ、４０Ｂ、４１Ａ、４１Ｂ、４４Ａ、４４Ｂ…マスターディスク（マスター担体），１２…磁性層，１４、４２…スレーブディスク（スレーブ媒体），２０…磁気転写装置，３０…磁界生成手段，３１…ギャップ，３２…コア，３３…コイル，３４…電磁石装置，４３…転写層，Ｐ…凹凸パターン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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