(57)【要約】【課題】光源からの光（特に、集光型球状太陽電池の凹部内面に当たる光）をより効率よく光電変換に利用可能な太陽電池を提供する。【解決手段】本発明により提供される太陽電池１は、多数の凹部３２を有する支持体３０と、それらの凹部３２の各々に一つづつ配置された球状の光電変換素子１０とを備える。凹部３２の内面には赤外線反射顔料を有する赤外線反射膜３４が配置され、これにより赤外線反射性を有する反射面３４ａが形成されている。太陽電池１は、反射面３４ａで反射された赤外線が光電変換素子に入射するように構成されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
多数の凹部を有する支持体と、該凹部の各々に一つづつ配置された球状の光電変換素子とを備える太陽電池であって、
前記凹部の内面には赤外線反射顔料を有する反射面が形成されており、該反射面で反射された赤外線が前記素子に入射するように構成されている、太陽電池。
【請求項２】
前記反射面は、前記赤外線反射顔料を含む赤外線反射膜からなる、請求項１に記載の太陽電池。
【請求項３】
前記赤外線反射膜の色は白色である、請求項２に記載の太陽電池。
【請求項４】
前記凹部に充填された透明な樹脂充填体をさらに備える、請求項１から３のいずれか一項に記載の太陽電池。
【請求項５】
前記充填体を構成する樹脂はシリコーン樹脂である、請求項４に記載の太陽電池。
【請求項６】
前記充填体の外表面側は各凹部毎に凹レンズ状に形成されている、請求項４または５に記載の太陽電池。
【請求項７】
前記充填体の外表面に酸化触媒が配置されている、請求項４から６のいずれか一項に記載の太陽電池。
【請求項８】
前記触媒はリン酸チタニア系触媒である、請求項７に記載の太陽電池。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、支持体の凹部に球状の光電変換素子（例えば球状シリコン）を収容した構成の太陽電池に関する。
【背景技術】
【０００２】
支持体に設けられた多数の凹部の各々に球状の光電変換素子を一つづつ配置し、該凹部の内面を反射鏡として機能させることによって光源からの光を有効利用する（集光率を高める）ように構成された太陽電池が知られている。この種の太陽電池（集光型球状太陽電池と称されることもある。）に関する従来技術文献として特許文献１〜４が挙げられる。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−１６４５５４号公報
【特許文献２】特開２００４−０６３５６４号公報
【特許文献３】特開２００６−２２９０２５号公報
【特許文献４】特開２００６−２４５１３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
一般に集光型球状太陽電池では、凹部内面の反射能を高めて光電変換効率を向上させるために、該内面を鏡面加工された金属面とすることが推奨されている（例えば、特許文献２の第００３７項、第００３８項等の記載を参照）。ここで、上記凹部内面に当たる光（凹部内面への入射光）をより効率よく反射して上記光電変換素子に導入することができれば、より多くの光を光電変換に利用することができるので有益である。
【０００５】
本発明は、従来の太陽電池（典型的には集光型球状太陽電池）の改良を目的としてなされたものであって、光源からの光（特に凹部内面に当たる光）をより効率よく光電変換に利用可能な太陽電池の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明によると、多数の凹部を有する支持体と、該凹部の各々に一つづつ配置された球状の光電変換素子とを備える太陽電池（典型的には集光型球状太陽電池）であって、前記凹部の内面に赤外線反射顔料を有する反射面が形成された太陽電池が提供される。その太陽電池は、該反射面で反射された赤外線が前記素子に入射するように構成されている。
【０００７】
一般に、太陽電池を作動させる光源として用いられる光（典型的には、太陽光またはこれを模した光）には、可視光線のみならず赤外線も含まれている。ところが、従来の集光型球状太陽電池の凹部内面のような金属面（例えば銀鏡面）は、波長が概ね７８０ｎｍ以下の可視光線に対しては高い反射性を発揮し得る一方、それよりも長い波長の光（例えば、波長７８０ｎｍ〜２５００ｎｍ程度の近赤外線）の反射性には乏しい。このため、凹部内面が金属面として構成された従来の集光型太陽電池では赤外線を十分に利用することができなかった。
これに対して、本発明に係る太陽電池は、凹部内面に赤外線反射顔料を配置した構成を有するので、該凹部内面（反射面）に当たった赤外線を効率よく反射して光電変換素子に導入することができる。したがって、本発明に係る太陽電池によると、赤外線の利用効率（集光率）を高めることにより、光源からの光をより効率よく光電変換に利用することができる。
なお、ここに開示される太陽電池は、典型的には太陽光を利用した光電変換に好ましく用いられるが、かかる用途に限定されず、当該電池を作動させる各種の光を利用した光電変換において本発明に係る太陽電池（すなわち光電池）を利用することができる。
【０００８】
好ましい一つの態様では、前記凹部の内面に形成された反射面が、前記赤外線反射顔料を含む赤外線反射膜からなる反射面である。このような赤外線反射膜を凹部内面に有する構成の太陽電池は、例えば、凹部を形成する支持体自体に赤外線反射顔料を含有させた構成に比べて製造が容易であるので好ましい。
【０００９】
上記赤外線反射膜の色は、可視光線の利用効率を高めるという観点から明るい色調であることが好ましく、特に好ましくは白色である。このような白色の赤外線反射膜によると、可視光線および赤外線（特に近赤外線）のいずれの波長域についても高い反射率を実現することができる。
【００１０】
ここに開示される太陽電池は、前記凹部に充填された透明（着色透明を含む意味である。）な樹脂充填体をさらに備えることができる。かかる構成の太陽電池によると、上記反射面を上記充填体で覆うことによって該反射面への汚れの付着を防ぎ、該反射面の赤外線反射性（好ましくは、赤外線反射性および可視光線反射性）を良好な状態に維持することができる。したがって、光源からの光をより長期に亘って効率よく光電変換に利用することができる。上記充填体を有する構成によると、また、上記光電変換素子や上記反射面（例えば赤外線反射膜）を外力による損傷から保護することができる。
【００１１】
上記充填体を構成する樹脂の好適例としてシリコーン樹脂が挙げられる。シリコーン樹脂は耐光性に優れるので、該シリコーン樹脂を用いて構成された充填体は光による劣化（着色、脆化、透明性の低下等）を起こしにくい。したがって、かかる構成の太陽電池によると、より長期に亘って効率よく光電変換を行うことができる。
【００１２】
ここに開示される太陽電池の好ましい一態様では、上記充填体の外表面側が各凹部毎に凹レンズ状に形成されている。かかる構成の太陽電池によると、上記充填体の表面が平面状である場合に比べて該充填体の表面積が増すので、より多くの光を凹部に取り込む（光吸収性を高める）ことができる。したがって、より多くの光を直接または上記凹部内面に反射させて光電変換素子に導入することができる。
【００１３】
ここに開示される太陽電池は、前記充填体の外表面に酸化触媒が配置された構成とすることができる。かかる構成とすることにより、上記充填体の外表面に防汚性を付与することができる。したがって、該充填体に付着した汚れによって光源からの光が遮られる事象を防止することができる。かかる構成の太陽電池によると、より長期に亘って効率よく光電変換を行うことができる。
【００１４】
使用する触媒としては透明性の高いものが好ましく、特にリン酸チタニア系触媒の使用が好ましい。なお、このように充填体の外表面に酸化触媒が配置された態様において該充填体を構成する樹脂としては、該触媒による劣化に対する耐性に優れることから、シリコーン樹脂を採用することが特に好ましい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の好適な実施形態を説明する。なお、本明細書において特に言及している事項以外の事柄であって本発明の実施に必要な事柄（例えば、支持体の作製方法、凹部の形状およびその形成方法、種々の光電変換素子を作製する具体的な方法、光電変換素子の配置や電気的接続を行う際の具体的な操作方法等に関する一般的事項等）は、当該分野における従来技術に基づく当業者の設計事項として把握され得る。本発明は、本明細書に開示されている内容と当該分野における技術常識とに基づいて実施することができる。
【００１６】
ここに開示される技術は、支持体に設けられた多数の凹部の各々に球状の光電変換素子（以下、「球状素子」ともいう。）を一つづつ配置し、該凹部の内面を反射鏡として機能させる構成を備える種々の太陽電池に広く適用することができる。この種の太陽電池（集光型球状太陽電池）の一つの代表的な構成では、上記球状素子として、球状のｐ型半導体の表面にｎ型半導体層が形成された球状素子を用いる。該球状素子は、上記ｎ型半導体層の一部に、その内側にあるｐ型半導体の一部を露出させる開口部を有する。直径が例えば０．５〜２ｍｍ程度（例えば直径１ｍｍ程度）の球状粒子を好ましく使用することができる。上記支持体は、このような球状素子を一つづつ収容する複数の凹部を有する。各凹部の底部には、該凹部に配置される球状素子のｐ型半導体が露出した箇所を支持体の裏面側に臨ませる貫通孔が設けられている。上記支持体は、上記凹部を形成するとともに上記ｎ型半導体層と電気的に接続される上部導体層を備える。この上部導体層の背面側には下部導体層が配置され、該下部導体層は上記貫通孔を通じて上記ｐ型半導体の露出部と電気的に接続されている。そして、上部導体層と下部導体層とは、それらの間に介在された絶縁層によって電気的に絶縁されている。あるいは、球状のｎ型半導体の表面にｐ型半導体層を形成した球状素子を用いて同様に構成された太陽電池であってもよい。
【００１７】
上記球状素子としては、シリコンを主体に構成された球状の光電変換素子を好ましく用いることができる。一般に「マイクロ集光型球状シリコン太陽電池」と称される太陽電池は、シリコン主体の球状素子を用いて形成された集光型太陽電池の一典型例である。かかる球状素子としては、例えば、公知の溶融滴下法等により製造された球状シリコンまたは該球状シリコンを適宜加工してなるものを好ましく使用することができる。この溶融滴下法は、シリコンを溶融してノズルから滴下させ、その滴下された液滴が自然落下する間に表面張力を利用して球状化するとともに該球状形のまま冷却固化させるものである。例えば、かかる溶融滴下法において上記溶融するシリコンとしてｐ型シリコンを使用することでｐ型シリコン球（球状のｐ型シリコン）を得、そのｐ型シリコン球に気相からリンを拡散させることにより、ｐ型シリコン球（球状のｐ型半導体）の表面にｎ型半導体層を形成することができる。その球状シリコンの一端を研磨等により除去して、ｎ型半導体層の内側にあるｐ型半導体を露出させる。このようにして、球状シリコン太陽電池（典型的には、マイクロ集光型球状シリコン太陽電池）用の光電変換素子を得ることができる。
【００１８】
本発明に係る太陽電池は、上記凹部の内面に、赤外線反射顔料を有する反射面が形成されている。上記赤外線反射顔料（遮熱性顔料または遮熱顔料と称されることもある。）としては、赤外線（特に、波長７８０ｎｍ〜２５００ｎｍ程度の近赤外線）を反射する性質を有することが知られている各種材料から構成された顔料（例えば、当該性質を有するものとして市販されている各種の赤外線反射顔料）を適宜選択して使用することができる。このような赤外線反射性を示す材料の具体例としては、インジウムドープ酸化スズ（ＩＴＯ）、アンチモンドープ酸化スズ、酸化チタン等の金属酸化物が挙げられる。特に限定するものではないが、例えば、波長７８０ｎｍ〜１５００ｎｍの範囲において少なくとも概ね４０％以上（より好ましくは概ね６０％以上、さらに好ましくは概ね７０％以上）の反射率を示す顔料を好ましく採用することができる。
【００１９】
好ましい一態様では、該反射面が、赤外線反射顔料を含む赤外線反射膜により構成されている。例えば、導電性部材（例えばアルミニウム板。上述した上部導電体として機能する導電性部材であり得る。）により形成された凹部の内表面に上記赤外線反射膜が設けられた構成の太陽電池が好ましい。このような反射膜は、例えば、赤外線反射顔料および適当なビヒクルを含む赤外線反射膜形成用組成物を上記凹部形成前または形成後の導電性部材に付与（典型的には塗布）することによって好適に形成することができる。あるいは、該組成物をフィルム状に成形し、その赤外線反射フィルムを凹部形成前または形成後の導電性部材に例えば熱圧着することにより該部材の表面に赤外線反射フィルム（赤外線反射膜）を積層してもよい。上記赤外線反射膜形成用組成物としては、市販の各種遮熱塗料を好ましく使用することができる。かかる遮熱塗料の例として、長島特殊塗料株式会社製品、商品名「ミラクール」シリーズ；日本ペイント株式会社製品、商品名「ＡＴＴＳＵ−９」シリーズ；ＮＴＴアドバンステクノロジ株式会社製品、商品名「アットシールド」シリーズ、等が挙げられる。あるいは、赤外線反射顔料を含有させた導電性材料により形成された凹部の内面を上記反射面として利用してもよい。上記反射面（好ましくは赤外線反射膜）の色は、肉眼で見て明るい色調であることが好ましく、白色であることが特に好ましい。このような色調の反射面は、例えば、市販の白色遮熱塗料（例えば、上記「ミラクール」シリーズの白色遮熱塗料）を用いて好適に形成することができる。
【００２０】
ここに開示される太陽電池は、例えば、上記凹部に透明な樹脂充填体が充填された態様で好ましく実施することができる。該樹脂充填体は着色透明であってもよく無色透明であってもよい。通常は、無色透明な樹脂充填体がより好ましい。可視光線および赤外線（特に近赤外線）のいずれに対しても透明性の高い樹脂充填体の使用が好ましい。また、支持体（ひいては太陽電池）の曲げ変形等に対する追随性等の観点から、柔軟性のある（弾性変形しやすい）材質からなる樹脂充填体を好ましく採用することができる。
かかる樹脂充填体の構成材料として好ましく使用し得る樹脂として、例えば、シリコーン樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アクリル系樹脂（例えば（メタ）アクリル酸エステル系重合体）等を挙げることができる。なかでもシリコーン樹脂（シロキサン結合を主骨格とするポリマー）の使用が好ましい。例えば、ジアルコキシシランまたはトリアルコキシシランの部分加水分解縮合物（シリコーン樹脂前駆体）を主成分とする硬化性シリコーン樹脂組成物（樹脂充填体形成用組成物）を凹部に充填し、これを硬化させることによってシリコーン樹脂充填体を形成することができる。
【００２１】
なお、上記樹脂充填体は、樹脂成分の他に、該充填体の透明性を著しく損なわない限度で、必要に応じて適当な任意成分（樹脂成形体の分野において一般的な各種添加剤等）を含んでもよい。同様に、該充填体の作製に使用する樹脂充填体形成用組成物には、該組成物から得られる樹脂の透明性を著しく損なわない限度で、必要に応じて適当な任意成分（添加剤、溶媒等）を含有させることができる。上記樹脂充填体形成用組成物としては、例えば、樹脂充填体を構成する樹脂の前駆体（モノマー、オリゴマー、プレポリマー等を包含する概念である。）を主成分とする組成物、該樹脂を適当な溶媒に溶解または分散させた組成物、等を好ましく使用することができる。
【００２２】
このような樹脂充填体は、例えば、凹部内面と球状素子との隙間を埋めるようにして、好ましくは該球状素子の上端が樹脂充填体に埋没するように設けられる。該充填体は、組成および／または特性（硬度等）の異なる二以上の構造部分を有してもよい。例えば、凹部の底部側に配置された相対的に硬い第一樹脂層と、該成形体の上に積層された相対的に柔らかい第二樹脂層とが積層された構造の樹脂充填体とすることができる。かかる樹脂充填体によると、相対的に硬い第一樹脂層によって球状素子を確実に保護することができ、かつ、凹部の入口側（上部）は相対的に柔らかい第二樹脂層によって形成されているので支持体（ひいては太陽電池）の曲げ変形に対する良好な追随性を実現することができる。
【００２３】
ここに開示される太陽電池の好ましい一態様では、該樹脂充填体の外表面側が各凹部毎に凹レンズ状に形成されている。すなわち、該充填体の上端は各凹部の周縁部から中央部に向けてへこむ凹面となっている。このような凹レンズ状の形状は、例えば、上述した樹脂充填体形成用組成物として少量の溶媒を含む組成物を使用し、該組成物を凹部に充填した後にその充填された組成物から溶媒を除去する（典型的には蒸発させる）ことによって容易に形成することができる。上記凹レンズの形状（へこみ具合）は、例えば、樹脂充填体（好ましくはシリコーン樹脂充填体）を形成する際に使用する組成物に含まれる溶媒の割合によって調節することができる。ただし、この溶媒の含有割合が多すぎると、凹部に充填した組成物から溶媒を除去する際に気泡が発生しやすくなることがある。かかる気泡が充填体内に残ると該充填体の透明性（光透過性）が妨げられ得る。したがって、通常は上記組成物における溶媒の含有割合を１５質量％以下（典型的には０．１〜１５質量％）とすることが適当であり、１０質量％以下（典型的には０．１〜１０質量％）とすることが好ましい。例えば、該含有割合を凡そ４〜６質量％とすることができる。
【００２４】
ここに開示される太陽電池は、好ましい一態様として、上記樹脂充填体の外表面に光触媒その他の酸化触媒が配置された構成とすることができる。この触媒としては、例えば、従来公知の種々の光触媒を適宜選択して使用することができる。可視光線および赤外線（特に近赤外線）のいずれに対しても高い透明性を示す触媒の使用が好ましい。かかる透明性の観点から、リン酸チタニア系触媒を特に好ましく用いることができる。該リン酸チタニア系触媒の市販品としては、株式会社ダイコーから入手可能な商品名「チタニアホーム」シリーズ、有限会社愛静環境システムから入手可能な商品名「エコプリフ」シリーズ、等が挙げられる。このようなリン酸チタニア系触媒を、例えば溶液の形態で樹脂充填体の表面に付与することにより、該充填体の表面にリン酸チタニア系触媒を配置することができる。
【００２５】
以下、図面を参照しつつ本発明に関するいくつかの実施例を説明するが、本発明をかかる実施例に示すものに限定することを意図したものではない。また、以下の説明において同様の作用を奏する部材・部位には同じ符号を付し、重複する説明は省略する。
【００２６】
＜第一実施例＞
本実施例に係る太陽電池の構造を図１および２に示す。この太陽電池１は、大まかにいって、多数の凹部３２を有する支持体３０と、各凹部３２にそれぞれ一つづつ収容された球状素子１０とからなる。
球状素子１０はシリコンを主体に構成されており、その直径は約１ｍｍである。図２に示すように、球状素子１０は、球状のｐ型半導体１４と、その表面の大部分を覆うように設けられたｎ型半導体層１２とを備える。球状素子１０の一端にはｎ型半導体層１２が設けられていない開口部１６が形成されており、この開口部１６ではｐ型半導体１４が外部に露出している。この球状素子１０としては、例えば上述のように、公知の溶融滴下法等により製造された球状シリコンを加工したものを使用することができる。
【００２７】
図１，２に示すように、支持体３０は、導電性金属（例えばアルミニウム）からなり全体として薄板状の形状を有する上部導体層３１を備える。上部導体層３１の表面には、赤外線反射顔料を含む白色の赤外線反射膜３４が形成されている。この赤外線反射膜３４の形成には、赤外線反射顔料とビヒクルとを含む塗料組成物（例えば、長島特殊塗料株式会社製品の遮熱塗料、商品名「ミラクール（白色）」）を用いることができる。かかる赤外線反射膜３４を有する上部導体層３１に、上端が正六角形に開口した多数の凹部３２が隣接して形成されている。したがって、凹部３２の内面には赤外線反射膜３４からなる反射面（赤外線反射膜の表面）３４ａが形成されている。ただし、各凹部３２の底部に設けられた略円形の貫通孔３３の周辺には赤外線反射膜３４が形成されておらず、上部導体層３１が露出している。上部導体層３１の背面側には樹脂製の絶縁層３６が形成され、さらに導電性金属（例えばアルミニウム箔）からなる下部導体層３８が設けられている。これら上部導体層３１、赤外線反射膜３４、絶縁層３６および下部導体層３８により支持体３０が構成されている。
【００２８】
球状素子１０は、開口部１６が凹部３２の貫通孔３３から上部導体層３１の裏面側に臨むようにして、各凹部３２に一つづつ配置されている。そして、貫通孔３３周辺で上部導体層３１が露出した部分と開口部１６の周辺にあるｎ型半導体層１２とが導電性部材２２を介して電気的に接続されている。また、貫通孔３３から覗く開口部１６（ｐ型半導体１４）に面する部分では絶縁層３６に孔が設けられており、該孔を通じてｐ型半導体１４と下部導体層３８とが導電性部材２４を介して電気的に接続されている。
【００２９】
凹部３２の形状は、従来のマイクロ集光型球状シリコン太陽電池と同様に、その内面に当たった光（光源から直接凹部内面に当たった光および球状素子の外表面で反射して凹部内面に当たった光を包含する。）を反射して球状素子１０に入射させ得るように形成されている。ここで、本実施例の太陽電池１では、凹部３２の内面に、赤外線反射顔料を含む白色の赤外線反射膜３４が設けられている。したがって、支持体３０の上方（図２の上方）から供給されて凹部３２の内面（すなわち、赤外線反射膜３４の表面３４ａ）に当たった光（典型的には太陽光）を、可視光線および赤外線のいずれについても効率よく（高反射率で）反射し、球状素子１０に導入することができる。
【００３０】
一方、図５に示すように、本実施例に係る太陽電池１とほぼ同様の構造を有するが、凹部３２の内面１３１ａに赤外線反射膜を有しない構成の太陽電池１００では、この内面１３１ａが上部導体層３１により形成された金属面となっている。なお、この内面１３１ａが鏡面加工されている場合や該内面１３１ａに金属（銀等）が蒸着されている場合であっても、該内面１３１ａが金属面であることには変わりがない。このような金属面は、赤外線反射顔料を含む赤外線反射膜３４に比べて赤外線の反射性能に劣る。したがって、図５に示す構成では、凹部３２の内面１３１ａに当たった光のうち赤外線成分を光電変換のために十分に利用することができない。
図１，２に示す本実施例の太陽電池１によると、従来は十分な利用が図られていなかった赤外線（特に近赤外線）の利用率を高めることにより、光源からの光をより効率よく光電変換に利用することができる。
【００３１】
＜第二実施例＞
本発明を適用した太陽電池の他の例を図３に示す。
図３に示す太陽電池２は、図１，２に示す太陽電池１の構成に加えて、凹部３２に充填された樹脂充填体４０をさらに有する。この充填体４０は透明なシリコーン樹脂からなり、凹部３２の底部から球状素子１０および凹部３２の上端を覆う範囲に設けられている。充填体４０の外表面には、凹部３２の上端（周縁部）から中央部に向けてへこむ凹面４２が形成されている。すなわち、充填体４０の外表面側の部分は、各凹部３２毎に凹レンズ状に形成されている。かかる構成を有する本実施例の太陽電池２によると、充填体４０の表面が平面状である場合に比べて、より多くの光を凹部３２内に取り込むことができる。したがって、より多くの光を直接または凹部３２の内面に反射させて球状素子１０に導入することができる。
【００３２】
＜第三実施例＞
本発明を適用した太陽電池のさらに他の例を図４に示す。
図４に示す太陽電池３は、図３に示す太陽電池２の構成に加えて、充填体４０の外表面に配置されたリン酸チタニア系触媒４４をさらに有する。かかる構成の太陽電池３によると、充填体４０に付着した汚れを触媒４４の機能を利用して分解することができる。したがって、上記汚れによって光源からの光が遮られる事象を防止し、より多くの光を直接または凹部３２の内面に反射させて球状素子１０に導入することができる。
【００３３】
以上、本発明を詳細に説明したが、上記実施形態および実施例は例示にすぎず、ここで開示される発明には上述の具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】一実施形態に係る太陽電池を模式的に示す平面図である。
【図２】図１のII−II線断面図である。
【図３】他の一実施形態に係る太陽電池を模式的に示す断面図である。
【図４】さらに他の一実施形態に係る太陽電池を模式的に示す断面図である。
【図５】従来の太陽電池を模式的に示す断面図である。
【符号の説明】
【００３５】
１，２，３：太陽電池
１０  ：球状素子（光電変換素子）
１２  ：ｎ型半導体層
１４  ：ｐ型半導体
１６  ：開口部
３０  ：支持体
３１  ：上部導体層
３２  ：凹部
３４  ：赤外線反射膜
３４ａ：反射面
３６  ：絶縁層
３８  ：下部導体層
４０  ：樹脂充填体
４２  ：凹面
４４  ：触媒
【図１】
2008205080.tif 000003
【図２】
2008205080.tif 000004
【図３】
2008205080.tif 000005
【図４】
2008205080.tif 000006
【図５】
2008205080.tif 000007