(57)【要約】【課題】たわみ振動モードを用いたインクジェット記録ヘッドにおける問題、即ち、圧力室の駆動時に起こるヘッド全体の変形やクロストークの問題をコストアップすることなく解決する。【解決手段】少なくとも圧力室及び該圧力室を隔てる隔壁が配置された第１領域を開放し、該第１領域を囲む第２領域を覆う補強部材をボディプレートの、ノズルプレートに対向する面と反対側の面に設ける。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
並列配置された複数の圧力室及び前記圧力室にインクを供給する共通インク室が、ボディプレートと、前記圧力室に対応した複数のノズルを有するノズルプレートを含むカバープレートとにより形成されたインクジェット記録ヘッドにおいて、
少なくとも複数の前記圧力室が配置された領域及び前記圧力室の各々を隔てる隔壁が配置された領域を含む第１領域を開放する開口を有し、該第１領域を囲む第２領域を覆うように、前記カバープレートに対向する側と反対側の前記ボディプレートの面に固定された補強部材を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
前記圧力室及び前記共通インク室は前記ボディプレートと前記ノズルプレートとにより形成されていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
前記カバープレートは、前記ノズルプレートと前記ボディプレートとの間に介在する中間ガラスプレートを有し、前記圧力室及び前記共通インク室は前記中間ガラスプレートと前記ボディプレートとにより形成されていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
前記補強部材は、前記圧力室が配置された領域及び前記圧力室の各々を隔てる隔壁が配置された領域を含む前記第１領域を開放し、前記共通インク室が配置された領域を含む前記第２領域を覆うことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】
前記補強部材は、前記圧力室が配置された領域、前記圧力室の各々を隔てる隔壁が配置された領域及び前記共通インク室が配置された領域を含む前記第１領域を開放し、これら領域を囲む前記第２領域領域を覆うことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項６】
前記補強部材は厚み２００〜５００μｍを有することを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項７】
前記補強部材は、前記ボディプレートに接着剤で接着されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項８】
前記補強部材は、陽極接合により前記ボディプレートに結合されたことを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項９】
前記ボディプレートと前記ノズルプレートとは陽極接合により結合されたことを特徴とする請求項２に記載のインクジェット記録ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット記録ヘッドに関し、特に、ピエゾ方式のインクジェット記録ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
ピエゾ方式のインクジェット記録ヘッドには、縦振動モードを利用したものとたわみ振動モードを利用したものとがあるが、後者はヘッド全体を薄くすることが可能であり、ヘッドの製造工程に薄膜プロセスを多く取り入れることができ、集積化に向いているという特長がある。
【０００３】
しかるに、後者のインクジェット記録ヘッドにおいては、記録動作時に、駆動している圧力室以外でも変形が起こるという問題があり、特に、多数のノズルを同時駆動するときに、クロストークなどが顕著になる。
【０００４】
このために、
・圧力室の変位ロスが発生し、駆動効率が低下する
・駆動していない隣接圧力室の体積も変化するクロストークが起こる
・駆動するノズル数によってインク吐出特性が変化する
等の望ましくない現象が起こる。
【０００５】
このような問題に対する対策として、特許文献１では、ノズル形成部材と圧力室形成部材との間又はノズル形成部材の上に補強部材を設けることが提案されている。
【０００６】
また、特許文献２では、圧力室を形成するなどのヘッド基板の処理時に、補強部材を形成し、圧力室を隔てる隔壁に補強部材を設けることが提案されている。
【特許文献１】特開平６−９９７８５号公報
【特許文献２】特開２００２−１１８７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１のように、ノズル形成部材と圧力室形成部材との間に補強部材を設けたものでは、補強部材の厚み分だけインク流路が長くなるために、インクを吐出させる圧力波の損失が大きくなり、駆動効率が低下してインク吐出特性を悪くしたり、ヘッドの共振周波数を低下させて印字速度の高速化を困難にする等の問題がある。
【０００８】
また、特許文献１における他の例のように、ノズルプレートの上に補強部材を設けたものでは、ノズル面に凹凸ができてノズル面のクリーニングが困難になるという問題がある。
【０００９】
特許文献２のように、圧力室や共通インク室の形成、ＰＺＴ層の形成、ノズルの形成など、ヘッド作成の全工程を薄膜形成とエッチング等のパターンニングにより行ってヘッドを作成する方法がある。
【００１０】
しかしながら、特許文献２の方法には、補強部材の加工にきわめて高い精度が必要になり、生産性が低下してコストが高くなるという問題や補強部材加工精度のばらつきにより、ＰＺＴアクチュエータの駆動ばらつきが起こるという問題がある。
【００１１】
本発明は従来技術におけるこれらの問題を解決することを目的とし、低コストで製造可能であり、クロストーク等の問題を生ずることがないインクジェット記録ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
前記目的は、下記の発明により達成される。
１．
並列配置された複数の圧力室及び前記圧力室にインクを供給する共通インク室が、ボディプレートと、前記圧力室に対応した複数のノズルを有するノズルプレートを含むカバープレートとにより形成されたインクジェット記録ヘッドにおいて、
少なくとも複数の前記圧力室が配置された領域及び前記圧力室の各々を隔てる隔壁が配置された領域を含む第１領域を開放する開口を有し、該第１領域を囲む第２領域を覆うように、前記カバープレートに対向する側と反対側の前記ボディプレートの面に固定された補強部材を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
２．
前記圧力室及び前記共通インク室は前記ボディプレートと前記ノズルプレートとにより形成されていることを特徴とする前記１に記載のインクジェット記録ヘッド。
３．
前記カバープレートは、前記ノズルプレートと前記ボディプレートとの間に介在する中間ガラスプレートを有し、前記圧力室及び前記共通インク室は前記中間ガラスプレートと前記ボディプレートとにより形成されていることを特徴とする前記１に記載のインクジェット記録ヘッド。
４．
前記補強部材は、前記圧力室が配置された領域及び前記圧力室の各々を隔てる隔壁が配置された領域を含む前記第１領域を開放し、前記共通インク室が配置された領域を含む前記第２領域を覆うことを特徴とする前記１〜３のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
５．
前記補強部材は、前記圧力室が配置された領域、前記圧力室の各々を隔てる隔壁が配置された領域及び前記共通インク室が配置された領域を含む前記第１領域を開放し、これら領域を囲む前記第２領域領域を覆うことを特徴とする前記１〜３のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
６．
前記補強部材は厚み２００〜５００μｍを有することを特徴とする前記１〜５のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
７．
前記補強部材は、前記ボディプレートに接着剤で接着されていることを特徴とする前記１〜６のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
８．
前記補強部材は、陽極接合により前記ボディプレートに結合されたことを特徴とする前記１〜６のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
９．
前記ボディプレートと前記ノズルプレートとは陽極接合により結合されたことを特徴とする前記２に記載のインクジェット記録ヘッド。
【発明の効果】
【００１３】
本発明では、駆動時に壁が変位する圧力室及び該圧力室を隔てる隔壁を含む領域全体を開放する開口が形成された補強部材を用いて、インクジェット記録ヘッドを補強しているので、補強部材を機械加工等の簡便な加工により作成することが可能になり、製造工程及び製造時間が短縮されて製造コストを低減することが可能となるとともに、ノズルプレートと反対側のボディプレートの面に補強部材を設けているので、補強部材を設けることによるインク吐出特性の変化や高速性能の低下がなく、しかも、インク吐出面をクリーニングにより常に清浄に保つことができるインクジェット記録ヘッドが実現される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下図示の実施の形態により本発明を説明するが、本発明は該実施の形態に限られない。
【００１５】
図１は本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの一例を構成要素毎に分解して模式的に示し、インクジェット記録ヘッドＨＤはノズルプレート１、ボディプレート２、圧電素子３及び補強部材５を有する。
【００１６】
ノズルプレート１には、インク吐出のためのノズル１０１を複数配列してある。
【００１７】
ボディプレート２には、これにノズルプレート１を被せて接合することで、圧力室となる圧力室溝２０４、インク供給路となるインク供給路溝２０３、共通インク室となる共通インク室溝２０２、及びインク供給口２０１が形成されている。
【００１８】
そして、ノズルプレート１のノズル１０１とボディプレート２の圧力室溝２０４とが一対一で対応するようにノズルプレート１とボディプレート２とが接合される。
【００１９】
更に、ボディプレート２のノズルプレート１と接合する面と反対側の面の各圧力室２０４に対応した位置に圧電素子３が接着される。圧電素子３はＰＺＴからなり、インクをノズル１０１から吐出させるアクチュエータである。
【００２０】
更に、ボディプレート２のノズルプレート１が接合された面と反対側の面に補強部材５が接着される。
【００２１】
なお、以下の説明において、圧力室溝２０４とノズルプレート１とにより形成された部屋を圧力室２０４と言い、インク供給路溝２０３とノズルプレート１とによりより形成された部屋をインク供給路２０３と言い、共通インク室溝２０２とノズルプレート１とによりより形成された部屋を共通インク室２０２と言う。
【００２２】
図２は図１に示すインクジェット記録ヘッドの平面図である。図３は図２における線Ｘに沿った拡大断面図である。
【００２３】
図２に示すように、補強部材５は圧力室２０４及び圧電素子３が配置された領域、並びに個々の圧力室２０４を隔てる隔壁が配置された領域を包含する第１領域Ｒ１を開放する開口５０１を有し、第１領域Ｒ１を囲む第２領域Ｒ２を覆う枠状の部材として形成される。
【００２４】
図３に示すように、上から補強部材５、ボディプレート２、ノズルプレート１の順に配置され、インク滴が吐出されるノズルプレート１のノズル面１ａ（下面）は平面に形成される。
【００２５】
次に、インクジェット記録ヘッドＨＤの作成について説明する。
【００２６】
ノズルプレート１の作製方法は、基材として厚みが１５０μｍ〜５００μｍ程度のシリコン基板を用いて、例えば、公知のフォトリソグラフィー技術（レジスト塗布、露光、現像）とエッチング技術等を用いることでノズル１０１を形成するという手順により行われる。このノズル１０１の穴径は、概ねφ１μｍ〜φ３０μｍ程度である。
【００２７】
ボディプレート２は、ノズルプレート１の作製方法と同様に、基材として厚みが１５０μｍ〜５００μｍ程度のシリコン基板を用いて、例えば、公知のフォトリソグラフィー技術（レジスト塗布、露光、現像）とエッチング技術等を用いることで、ノズルプレート１のノズル１０１にそれぞれ連通する複数の圧力室となる圧力室溝２０４、圧力室にそれぞれ連通する複数のインク供給路となるインク供給路溝２０３、及びインク供給路に連通する共通インク室となる共通インク室溝２０２、並びにインク供給口２０１とを形成する。
【００２８】
ここで形成する溝の大きさは、用途やノズルの大きさ、数等により適宜に決めれば良い。本実施の形態の一例である記録ヘッドでは、例えば、圧力室溝２０４は幅１５０μｍ〜３５０μｍ程度、深さ５０μｍ〜２００μｍ程度、インク供給路溝２０３は幅５０μｍ〜１５０μｍ程度、深さ３０μｍ〜１５０μｍ程度、共通インク室溝は幅４００μｍ〜１０００μｍ程度、深さ５０μｍ〜２００μｍ程度、インク供給口２０１は直径φ４００μｍ〜１５００μｍ程度の貫通した穴である。
【００２９】
シリコン基板に対するエッチング加工方法は、ボディプレートの面に対して垂直にエッチング加工ができるシリコン（Ｓｉ）異方性ドライエッチング法が好ましい。シリコン（Ｓｉ）異方性ドライエッチング法に関しては、産業図書株式会社「半導体ドライエッチング技術」等を参照することが出来る。
【００３０】
次に、これまで説明した方法で加工されているノズルプレート１とボディプレート２とを陽極接合技術を用いて接合する。以下に、これに関して説明する。
【００３１】
図４は、ノズルプレート１とボディプレート２との接合工程を示す図であり、図４（ａ）は、シリコン基板を基材として、ノズル（図示してない。）が加工されたノズルプレート１及び圧力室溝２０４等の溝が前記に説明した加工により形成されたボディプレート２を示している。
【００３２】
ノズルプレート１とボディプレート２とは陽極接合により結合される。陽極接合技術を用いて２つの基材を接合する場合、基材の一方を構成する材料としてシリコンを用い、他方を可動イオン、例えば代表的にはナトリウムイオン（Ｎａ+）を含むガラス材でシリコン（Ｓｉ）と比較的類似した線膨張係数（シリコンの線膨張係数は、４．２×１０-6／℃程度である。）を有するものを用いることが好ましく、例えば、硼珪酸ガラスが用いられる。
【００３３】
ここで、可動イオンを含む硼珪酸ガラス（以下、硼珪酸ガラスと称する。）としては、パイレックス（登録商標）、コーニング社（米国）またはテンパックス  フロート（登録商標）、日本以外はＢＯＲＯＦＬＯＡＴ（登録商標）、ショット日本（株）がこれらの線膨張係数｛パイレックス（登録商標）及びテンパックス  フロート（登録商標）の線膨張係数は共に３．２×１０-6／℃程度である。｝の観点からより好ましい。
【００３４】
また、硼珪酸ガラスよりシリコンの方が微細な加工が容易であることから、基材として硼珪酸ガラスではなく、シリコン基板を用いるようにする。そして、基材であるシリコン基板の接合面に硼珪酸ガラスを成膜して硼珪酸ガラス面とする。この場合の膜厚は、陽極接合にて強固に接合される膜厚であれば良く、膜の密度や均一性及び後述する陽極接合時に必要な接合面の加熱や印加電圧の観点から０．５μｍ〜３μｍの範囲が好ましく、更には１μｍ〜２μｍの範囲がより好ましい。
【００３５】
更に、この場合硼珪酸ガラスの成膜方法は、真空蒸着法や高周波（ＲＦ）マグネトロンスパッタ法、イオンプレーティング法のいずれでも良く、また成膜時に基板の温度を緻密な膜が形成しやすいように２５０℃以上となるように加熱することが好ましい。この温度の上限は特に定めないが、基板の取り付け治具や成膜時の基板の温度制御装置等の観点から４００℃程度が好ましい。
【００３６】
本実施の形態の一例である記録ヘッドでは、微細な加工の容易さからノズルプレート１とボディプレート２の基材はいずれもシリコン基板としている。よって、ノズルプレート１とボディプレート２との接合面のいずれか一方を上記で示した硼珪酸ガラスの面にする必要がある。
【００３７】
仮に、ボディプレート２側に硼珪酸ガラス膜を設けた場合、その硼珪酸ガラスの面を成す膜厚により、既に形成されている微細形状に膜の堆積による変形が発生することが予測される。また、この膜により圧力室２０４の底が厚くなることで圧力室２０４自体の構造が強固になり圧電素子３による歪みが十分発生できなくなり、その結果、インクの吐出が十分できない又は圧電素子３の駆動電力を大きくしなければならいといった問題が発生する恐れがある。
【００３８】
従って、図４（ｂ）に示すノズルプレート１のボディプレートに被さる面側を硼珪酸ガラスの面としており、ノズルプレート１を基板とし、この基板のボディプレートに被さる面側に０．５μｍ〜３μｍの範囲の比較的厚い膜厚の硼珪酸ガラス厚膜１１０を設ける。
【００３９】
次に、上記で説明した硼珪酸ガラス及び耐熱ガラスがそれぞれの膜厚で成膜されたノズルプレート１とボディプレート２とを、図４（ｃ）で示す通りに、適切な位置関係にして重ね合わせて固定し、接合部の温度を高温状態にして、直流高圧電源４を用いて電圧を印加して陽極接合する。以下に、ノズルプレート１とボディプレート２を陽極接合することに関して具体的に説明する。
【００４０】
陽極接合を行う場合に印加する電圧の極性は、シリコンの基材側をプラス（＋）、硼珪酸ガラスの基材側をマイナス（−）とする。このようにすると、静電引力によって接合界面が密着すると同時に電流が流れ、両基板が強固に陽極接合される。
【００４１】
本実施の形態の一例である記録ヘッドにおいては、ボディプレート２はプラス（＋）、硼珪酸ガラス厚膜１１０を有するノズルプレート１はマイナス（−）とする電圧を印加すれば良い。
【００４２】
接合時の高温状態とは、３００℃〜５５０℃の範囲であって、このような雰囲気温度を維持できる恒温漕や簡便な方法ではセラミックヒーター等を内蔵する絶縁性の良いホットプレート等を用いてノズルプレート１とボディプレート２との接合部を加熱すれば良い。
【００４３】
上記の温度範囲を超えて接合を行う場合、接合ができない又は接合が十分でないといった不都合が生じやすくなる。例えば、５５０℃以上では、印加電圧にもよるが、可動イオンが一気に流れ出して、硼珪酸ガラス膜が白濁したり膜密度が粗くなったりといった劣化が生じ、結果的に強固な接合ができない場合がある。また、３００℃以下では、可動イオンが移動しにくい状態であり、これを移動しやすくするためには、印加電圧を大きくすることが必要である。印加電圧を大きくする結果、ノズルプレート１とボディプレート２との間での短絡が発生し、結果として陽極接合が十分できない場合がある。
【００４４】
また、直流高圧電源４にてノズルプレート１とボディプレート２との間に印加する直流電圧の電界強度は、３０ｋＶ／ｍｍ〜２００ｋＶ／ｍｍの範囲が好ましい。例えば、硼珪酸ガラスの膜厚が０．５μｍであれば、印加電圧の範囲は、１５Ｖ〜１００Ｖ、また、３μｍであれば９０Ｖ〜６００Ｖとなる。
【００４５】
通常、１ｋＶを超える電圧を使用する場合、電圧を発生する直流高圧電源４の容量や電圧印加に関連する附帯装置の絶縁耐圧を確保することが必要となるなどから、直流高圧電源４を含めた装置が高価かつ煩雑になる。従って、適当な膜厚を設定することで陽極接合時に印加する電圧を扱いやすい１ｋＶ未満とするのが好ましい。
【００４６】
このように陽極接合により接合されたノズルプレート１及びボディプレート２の結合体Ａに圧電素子３が接着される。
【００４７】
図５はＰＺＴからなる圧電素子３をボディプレート２に接着する工程を示す。
【００４８】
圧電素子３はボディプレート２に次に説明するように転写接着により接着される。
【００４９】
ガラスプレート３０に発泡剥離シート３１及びＰＺＴバルクプレート３２がこの順に接着されたもの（図５ａに示す）に、図５ｂに示すように、ドライフィルム３３をラミネートし、公知のフォトリソグラフィー技術により、発泡剥離シート３１、ＰＺＴバルクプレート３２及びドライフィルム３３をパターンニングして、圧電素子群３００を形成する（図５ｃ）。圧電素子群３００の表面をサンドブラスト処理した後に、ドライフィルム３３を剥離する（図５ｄ）。
【００５０】
次に、接着剤層３５を有する樹脂シート３４を圧電素子群３００に接着し（図５ｅ、５ｆ）、樹脂シート３４を隔離し（図５ｇ）、接着剤層３５の側から圧電素子群３００を治具４０に保持されたボディプレート２に接着し、ガラスプレート３０及び圧電素子群３００をホットプレートで加熱する（図５ｈ）。
【００５１】
加熱により発泡剥離シート３１が溶融して除去され、ガラスプレート３０がボディプレート２及び圧電素子群３００から離れ、インクジェット記録ヘッドができあがる。
【００５２】
補強部材５は、アルミ、ステンレス、ガラス等高い剛性を有する材料からなり、厚さ２００〜５００μｍを有する。補強部材５が２００μｍよりも薄いと補強機能が十分でない。また、補強部材５は板材料から機械加工により所望のサイズに成型されるとともに、開口５０１も機械加工により形成される。
【００５３】
補強部材５を設けることにより、複数の圧電素子３を同時駆動した場合に生ずる、駆動効率の低下にようインク吐出特性の変化、駆動していない圧力室の隔壁が変位するクロストーク、駆動する圧力室の数によりインクの吐出特性が変化する、等の望ましくない現象が効果的に防止される。
【００５４】
図６、７に補強部材の補強効果を示す。
【００５５】
図６における縦軸は、１チャネル駆動時におけるヘッドの変形量、即ち、ノズル面の変位量を示し、横軸は補強部材の厚さを示す。また、曲線Ａ１は金属プレートからなる補強部材の場合のヘッド変形量を、Ａ２はシリコンからなる補強部材の場合のヘッド変形量を示す。
【００５６】
ヘッド変形量の許容値は２１ｎｍ程度であることが確認されている。図示のように、金属プレート、シリコンいずれからなる補強部材の場合も、厚さ２００μｍ以上で十分に変形量を少なくすることができた。
【００５７】
補強部材５は接着剤によりボディプレート２に結合される。補強部材５は、また、前記に説明した陽極接合によりボディプレート２に結合される。陽極接合の場合には、ボディプレート２及び補強部材５の少なくともいずれか一方の接合境界に硼珪酸ガラスを存在させる或いは補強部材５を硼珪酸ガラスにすることが好ましい。
【００５８】
図７はヤング率の異なる３種の接着剤を用い種々の厚さの接着層で補強部材を接着した場合の１チャネル駆動時のヘッド変形量を示す。
【００５９】
図７（ａ）における曲線Ｂ１はヤング率１×１０9Ｐａの接着剤を、曲線Ｂ２はヤング率が３×１０9Ｐａの接着剤を、曲線Ｂ３はヤング率が９×１０9Ｐａの接着剤をそれぞれ用いた場合における接着総厚さの変化とヘッド変形量との関係を示す。
【００６０】
また、図７（ｂ）における曲線Ｃ１は厚さ１μｍの接着層を、曲線Ｃ２は厚さ１０μｍの接着層を、曲線Ｃ３は厚さ１００μｍの接着層をそれぞれ形成した場合における接着層のヤング率とヘッド変形量の変化との関係を示す。
【００６１】
図６、７から明らかなように、ヘッド変形量の許容値２１ｎｍに対して、通常使用する接着剤のヤング率の範囲内で、接着層の厚さを１００μｍ以下とすることにより満足できる結果が得られた。そして、補強部材５を設けることにより、実際の印字試験において、複数のチャネルを同時駆動した場合に生ずる、駆動効率の変化によるインクと出特性の変化、クロストーク、駆動する圧力室の数によるインク吐出特性が変化する等の望ましくない現象が効果的に抑制されることが確認された。
【００６２】
しかも、補強部材５が精密加工技術を用いることなく、機械加工により形成することができるので、製造に要する時間が短縮され、結果として、製造コストが低減される。
【００６３】
そして、インクが吐出するノズル面１ａが平面であるので、ワイピングによるクリーニングで、ノズル面に付着した異物やインクを完全に除去することができる。
【００６４】
また、補強部材を設けたことに起因して、インクの流露長が長くなり、駆動効率が低下したり、高速駆動が困難になる等の問題も解消する。
【００６５】
図８は本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドＨＤの他の例の平面図である。
【００６６】
本例においては、補強部材５は共通インク室２０２の領域を含む第１領域Ｒ１を開放する開口５０１を有する。即ち、圧力室２０４及び圧電素子３が配置された領域、インク供給路２０３が配置された領域、共通インク室２０２が配置された領域及び個々の圧力室２０４を隔てる隔壁等の隔壁が配置された領域を包含する第１領域Ｒ１を開放する開口５０１を有し、第１領域Ｒ１を囲む第２領域Ｒ２を覆う枠部材として補強部材５が形成される。
【００６７】
図８に示すように、本例においては共通インク室２０２が配置された領域も開放されている。記録動作時には、共通インク室２０２を介して圧力波が非駆動の圧力室にも伝達される流路クロストークが発生するが、本例のように共通インク室が配置された領域を開放することにより、共通インク室を形成する壁の振動により共通インク室内の圧力波を吸収し、流路クロストークを抑制することができる。
【００６８】
図９は本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドＨＤの更に他の例を模式的に示す図である。
【００６９】
本例においては、ノズルプレート１とボディプレート２との間に中間ガラスプレート６を有する。中間ガラスプレート６はノズル１０１に対応し位置にノズル６０１を有する。
【００７０】
ノズル６０１は図１０示すように、ノズルプレート１のノズル１０１よりも大きな径を有する。また、中間ガラスプレート６はボディプレート２及びノズルプレート１に陽極接合により結合される。従って、中間ガラスプレート６の材料としては硼珪酸ガラスが好ましい。
図１１、１２は本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの更に他の例を示し、圧力室、圧電素子及びノズルを２列に配置した例である。
【００７１】
図１１では、圧電素子群３Ａと圧電素子群３Ｂと、圧力室群２０４Ａと２０４Ｂとが上下２列に配置されており、図示しないが、これらに対応したノズルが配置される。上段の圧力室群２０４Ａに対応した共通インク室２０２Ａが圧力室群２０４ａの上方に配置され、下段の圧力室群２０４Ｂの下方に対応の共通インク室２０２Ｂが配置される。
【００７２】
補強部材５は圧力室群２０４Ａ、２０４Ｂ、共通インク室群２０２Ａ、２０２Ｂを含む領域Ｒ１を開口し、領域Ｒ１を囲む領域Ｒ２を覆う枠状部材として形成される。
【００７３】
図１２では、圧力室群、圧電素子群及びノズル群の配置は図１１と同一であるが、補強部材５の形状が図１１と異なっており、上段の圧力室群２０４Ａ及び圧電素子群３Ａを含む領域Ｒ１１、下段の圧力室群２０４Ｂ、及び圧電素子群３Ｂを含む領域Ｒ１２、上段の共通インク室２０２Ａを含む領域Ｒ１３並びに、下段の共通インク室２０２Ｂを含む領域Ｒ１４を開口し、これら領域を囲む領域を覆う枠状部材として補強部材５が形成される。
【００７４】
図１２の例では、上段の圧力室群２０４Ａと上段の共通インク室２０２Ａとの間の領域Ｒ２１、上段の圧力室群２０４Ａ及び圧電素子群３Ａと、下段の圧力室群２０４Ｂ及び圧電素子群３Ｂとの間の領域Ｒ２２、及び下段の圧力室群２０４Ｂと下段の共通インク室２０２Ｂとの間の領域Ｒ２３が補強部材５により覆われる領域となっている。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの一例を構成要素毎に分解して模式的に示す図である。
【図２】図１に示すインクジェット記録ヘッドの平面図である。
【図３】図２における線Ｘに沿った拡大断面図である。
【図４】ノズルプレートとボディプレートとの接合工程を示す図である。
【図５】圧電素子の接着工程を示す図である。
【図６】駆動時のヘッドの変形を示すグラフである。
【図７】駆動時のヘッドの変形を示すグラフである。
【図８】本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドＨＤの他の例の平面図である。
【図９】本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドＨＤの更に他の例を模式的に示す図である。
【図１０】図９に示す実施の形態のノズルを拡大して示す図である。
【図１１】本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの更に他の例を示す図である。
【図１２】本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの更に他の例を示す図である。
【符号の説明】
【００７６】
１  ノズルプレート
１０１  ノズル
１１０  硼珪酸ガラス厚膜
２  ボディプレート
２０１  インク供給口
２０２  共通インク室
２０３  インク供給路
２０４  圧力室
３  圧電素子
４  直流高圧電源
５  補強部材
６  中間ガラスプレート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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