(57)【要約】【課題】高密度化かつ多ノズル化が進んだインクジェット記録ヘッドにおいて、素子基板上に設けられたノズル形成部材が物流時および使用時に剥がれるといった問題を抑制する。【解決手段】素子基板７上にノズル形成部材８が設けられたインクジェット記録ヘッドである。インク流路１２を形成する流路壁１３の壁幅がインク流路１２の高さより小さく、かつ、インク流路１２の幅がインク流路１２の高さより小さい。【選択図】図４Ｄ
2008049531.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
素子基板と、
前記素子基板上に設けられ、複数の吐出口および、該吐出口の各々に連通する複数のインク流路を有するノズル形成部材と、を備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記インク流路を形成する流路壁の壁厚が前記インク流路の高さより小さく、かつ、前記インク流路の幅がインク流路の高さより小さいことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
前記素子基板を貫通して形成された、前記インク流路にインクを供給するためのインク供給口と、
前記インク供給口の開口部と前記インク流路の前記インク供給口側の端部との間に配置されたフィルタ部材と、をさらに備え、
前記フィルタ部材の幅は、前記インク流路を形成する流路壁の壁厚より大きい、請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
前記流路壁の前記インク供給口側への延長線上に前記フィルタ部材が配されている、請求項２に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
前記インク流路の配置ピッチが1000dpi以下（25.4μm以下）であることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク等の液体を吐出口から吐出させて記録媒体に付着させて記録を行うインクジェット記録ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
今日広く用いられているインクジェット記録装置におけるインク吐出方法の１つに、吐出エネルギー発生素子である電気熱変換素子（ヒータ）を利用する方法がある。その原理は、インクが供給されているインク流路の一部である圧力室内に配置された電気熱変換素子に電気信号を与えて発熱させ、電気熱変換素子付近のインクを瞬時に加熱して沸騰させる。そして、そのインク加熱時の相変化により急激に生じる大きな発泡圧によって、圧力室に連通する吐出口からインク滴を外部へ吐出させるものである。この方式のインクジェット記録ヘッドは、構造が単純でインク流路の集積化が容易であるなどの利点を有している。
【０００３】
その具体的な構成としては、電気熱変換体を有したシリコン基板（素子基板とも呼ばれる。）上に、エポキシ系樹脂などによりノズル形成部材（オリフィスプレートとも呼ばれる。）を形成したものがある（例えば特許文献１）。ノズル形成部材は、素子基板と直交する方向に液体を吐出させる複数の吐出口と、各吐出口に連通する圧力室（発泡室）を含む複数のインク流路と、複数のインク流路の上流側で液体を貯留する共通液室とを有する。このうち、吐出口とこれに連通するインク流路とがノズルと呼ばれている。そして、シリコン基板に、共通液室に液体を供給する供給口が開口している。
【０００４】
また、近年では、記録物の高画質化および印刷速度の向上が求められ、インクジェット記録ヘッドのノズルは、高密度化かつ多ノズル化が進められている。
【特許文献１】特開平０６−２８６１４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、ノズルの高密度化および多ノズル化により、インク流路を形成する流路壁が薄くなる一方、チップの大型化が進んでいる。その結果、使用環境下での温度変化、湿度変化、また、インク浸漬により、シリコン基板上のノズル形成材料が剥がれるという問題が確認された。
【０００６】
図１０、図１１Ａ、図１１Ｂは従来のインクジェット記録ヘッドに搭載されているチップの概略構成を示す。このチップは染料系カラーインク用のチップであり、インク供給口９が6個設けられ、インク供給口９を挟んで片側に、吐出口１０が600dpiピッチ（約42μm）で128個、両側で256個配されている。チップのサイズは、縦8.5mm×横8.7mmである。吐出量は5.7plであり、インク流路１２の幅は32μm、吐出口１０は径17.2μｍである。インク流路１２の高さは14μm、吐出口部（インク流路１２における圧力室の天井面から、ノズル形成部材８の吐出口１０が開口する面までの部分）の厚みは11μm、ノズル形成部材８の総厚は25μmである。流路壁１３の幅（壁厚）は10μmである。流路壁１３の側面は片側6度のテーパを有している。流路壁１３の幅の前記寸法は、素子基板７との密着部を指しており、インク流路１２の幅の前記寸法は、素子基板面すなわち最大幅部を指している。ノズル形成部材８と素子基板１との間には、エポキシ樹脂からなる密着向上層１７を配している。
【０００７】
このチップにおいて、製造時の熱履歴や使用環境化での温度変化、湿度変化などによりシリコン基板（素子基板７）とエポキシ樹脂（ノズル形成部材８）との熱膨張の差によりノズル形成部材８の剥がれが懸念された。しかし、チップサイズがそれほど大きくないこともあり、そのような問題はなかった。
【０００８】
次に、図１０、図１１Ａの吐出口１０の配列ピッチを変えずに、ノズル数を片側256個、両側512個に増やしてチップサイズを縦9.5mm×横14.5mmとした。このチップにおいて、ノズル剥がれの確認を行った。その結果、製造時の熱履歴の影響により、ノズル形成部材８が剥がれるという問題が確認された。これは、シリコン基板（素子基板７）とエポキシ樹脂（ノズル形成部材８）の熱膨張差により接合界面に応力がかかり、それに耐え切れずに剥がれたことが判明した。
【０００９】
図１２はノズル形成部材８の剥がれた様子を説明する概略図である。図１２では、ノズルフィルタ１４と流路壁１３の先端に剥がれ（図中の斜線部）が発生している。この状態で、印刷を行うと、電気熱変換体から発生した発泡圧力が隣接するノズルにも影響を与えインク吐出を不安定にし、印刷品位を大きく低下させる原因となる。
【００１０】
また、製造からエンドユーザーに届くまでの間の、吐出口からのインク蒸発を抑制するために、吐出口面に保護テープを貼っているインクジェット記録ヘッドにおいても、保護テープを剥がす際に、ノズル形成部材８が剥がれる懸念があることが確認された。
【００１１】
そこで本発明は、上記問題点を鑑みて、高密度化かつ多ノズル化が進んだインクジェット記録ヘッドにおいて、素子基板上に設けられたノズル形成部材が物流時および使用時に剥がれるといった問題を減らすことにある。すなわち、本発明は信頼性の高いインクジェット記録ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明のインクジェット記録ヘッドは、素子基板と、素子基板上に設けられたノズル形成部材とを備えてなる。ノズル形成部材は、複数の吐出口および、該吐出口の各々に連通する複数のインク流路を有する。
【００１３】
このような記録ヘッドにおいて、前記インク流路を形成する流路壁の壁厚を前記インク流路の高さと同等もしくは小さく、かつ、前記インク流路の幅をインク流路の高さと同等もしくは小さくすることで、上記課題が解決される。
【発明の効果】
【００１４】
本発明は、高密度化かつ多ノズル化が進んだインクジェット記録ヘッドにおいて、インク流路を形成する流路壁の壁幅がインク流路の高さと同等もしくは小さく、かつ、インク流路の幅がインク流路の高さと同等もしくは小さくした。それにより、素子基板上に設けられたノズル形成部材の密着性を向上させ、物流時および使用時にインク形成材料が剥がれるといった問題を改善し、信頼性の高いインクジェット記録ヘッドを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１６】
（実施形態１）
図１は本発明の実施形態１に係るインクジェット記録ヘッドの斜視図を示す。インクジェット記録ヘッド1には、顔料系ブラックインクを吐出させるための顔料インク用チップ2と、染料系カラーインクを吐出させるための染料インク用チップ3とが備えられている。
【００１７】
顔料インク用チップ2には、インク供給口を挟んで、複数の吐出口を有する。各々の吐出口は圧力室（発泡室）およびインク流路と連通しており、圧力室にはインク吐出エネルギー発生素子であるヒータが配されている。吐出口は、インク供給口の片側に300dpiピッチ（約84μm）で256個配され、両側で512個設けられている。顔料ブラックインクの主な使用用途は、テキスト印字などであるため、画像印字ほどの高精細な印字は要求されていない。吐出量も約30plと染料インクの1pl〜５plと比べると多い。そのため、ノズルサイズも顔料インク用チップ2の方が、染料インク用チップ3よりも大きい傾向にある。
【００１８】
ここで、チップの製造方法について簡単に説明する。チップは、シリコンウエハ上に半導体プロセスによりヒータおよびそれを駆動するドライバー部を形成する。次に、ノズル（ヒータを内包する圧力室を有するインク流路）および共通液室（複数のインク流路に共通して繋がった液体貯留室）の型材をフォトリソ技術によりパターニングする。次に、その型材上にノズル形成材料を塗布し、吐出口をパターニングする。次に、シリコンウエハの裏面より、共通液室にインクを供給するための貫通穴であるインク供給口をエッチングにより形成し、型材を除去する。次に、シリコンウエハをチップのサイズに切断することで、チップが完成する。ノズル形成材料は、エポキシ樹脂を使用している。
【００１９】
完成したチップは、ベースとなるアルミナ部材4に接着固定され、TABテープ5と電気接続される。電気接続部およびチップの周囲はインクなどの侵入を防ぐために封止剤により封止する。ここでの、接着工程や封止工程では、100℃〜150℃の高温にさらされる。
【００２０】
ここで完成したユニットをチップタンク部材6と接続することでインクジェット記録ヘッド１が完成する。
【００２１】
図２Ａ〜２Ｃ及び図３は、染料インク用チップ3の概略構成を示す。染料インクチップ3は素子基板7とノズル形成部材8から構成されており、素子基板7にはノズルへインクを供給するためのインク供給口9が設けられている。本実施形態では、フォトブラックインク用、イエローインク用、マゼンタインク用×2、シアンインク用×2の計6ヶのインク供給口9を有している。
【００２２】
染料インク用チップ3にも顔料インク用チップと同様に、インク供給口９を挟んで吐出口１０および圧力室、インク流路が配されている。各インク供給口の片側に1200dpiピッチ（約21μm）で512ノズル、両側で1024ノズルとなる。チップのサイズは、縦9.5mm×横14.5mmである。
【００２３】
図４Ａは染料インク用チップの吐出口周辺をノズル形成部材の上方から見た概略平面図である。図４Ｂは図４ＡのＤ−Ｄ断面図、図４Ｃは図４ＡのＣ−Ｃ断面図、図４Ｄは図４ＡのＢ−Ｂ断面図、図４Ｅは図４ＡのＡ−Ａ断面図を示す。
【００２４】
図４Ａを参照すると、インク供給口９に近い側には、吐出量1.4pl用の吐出口10Ａが、インク供給口９から遠い側には、吐出量2.8pl用の吐出口10Ｂが配されている。各吐出口10は圧力室11およびインク流路12と連通し、圧力室１１にはヒータ（不図示）が配されている。インク流路１２は流路壁13により形成される。共通液室においてインク供給口９の開口部からインク流路１２のインク供給口９側の端部の間には、ノズル内へのゴミなどの侵入を防止するためのノズルフィルタ14（フィルタ部材）を有する。ノズルフィルタ１４は柱状の構造体で、流路壁１３の延長線上に配している。
【００２５】
ここで、A−A断面からD−D断面（図４Ｂ〜図４Ｅ）を参照して、各部位の寸法を説明する。
【００２６】
インク供給口９に近い側の吐出口１０Ａは7.6μm×9.2μｍの長円形をしており、これに連通するインク流路１２の幅は12μm、圧力室１１の幅は15.2μmである。インク供給口９から遠い側の吐出口１０Ｂは径10.6μｍであり、これに連通するインク流路１２の幅は12μm、圧力室１１の幅は22.6μmである。吐出量1.4pl用の吐出口１０Ａと2.8pl用の吐出口１０Ｂは、千鳥に配されており、その間隔（ピッチ）は1200dpi（約21μm）である。インク流路１２を形成する流路壁１３の幅（壁厚）は9μmとなる。インク流路１２の高さは14μm、吐出口部（インク流路１２における圧力室１１の天井面から、ノズル形成部材８の吐出口１０が開口する面までの部分）の厚みは11μm、ノズル形成部材８の総厚は25μmである。ノズルフィルタ１４は径13μmで1200dpiピッチ（約21μm）で配されている。ノズル形成部材８と素子基板７との間には、エポキシ樹脂からなる密着向上層17を配している。
【００２７】
ここで、本実施形態の効果について、図５〜図７を用いて説明する。
【００２８】
図５（a）は、図４ＤのB−B断面と同等の図であるが、密着向上層については割愛している。図５（a）における矢印は、ノズル形成部材８の内部応力を示している。インクジェット記録ヘッドの製造段階での熱ストレスや、使用環境時の温度変化や湿度変化によりノズル形成部材８には、図のような内部応力が発生している。これは、ノズル形成部材８及び素子基板７の熱膨張係数の差から生じるものである。本実施形態のノズル形成部材８の熱膨張係数は約60ppm、素子基板７の熱膨張係数は4ppmである。チップが大きくなれば、発生する内部応力も比例して大きくなる、内部応力はチップの中心から外へ向かうほど、大きくなる傾向にある。
【００２９】
図５（b）の矢印は、流路壁１３と素子基板７との界面に生じる応力を示している。本実施形態では、インク流路１２の高さは14μmで、流路壁１３の幅（壁厚）9μmより大きく、かつ、インク流路１２の幅12μmより大きい。この結果、ノズル形成部材８の内部で発生した内部応力が各流路壁１３に分散されることで、流路壁１３と素子基板７との界面に生じる応力は小さくなる。
【００３０】
これにより、図５（c）のように、チップ外周部のノズルにおいても、ノズル形成部材８が剥がれるようなことはない。
【００３１】
図６（a）は、本実施形態と比較する比較例1のインクジェット記録ヘッドにおける流路壁先端部の断面図（図４Ｄで表すところのB−B断面と同等）である。比較例1のインクジェット記録ヘッドは、インク流路１２の幅は33μmであり、600dpi（約42μ）間隔で配置されており、流路壁１３の幅（壁厚）は9μmである。インク流路１２の高さは14μm、吐出口部の厚みは11μm、ノズル形成部材８の総厚は25μmである。図６（a）における矢印は、図５（a）と同様にノズル形成部材８の内部応力を示している。
【００３２】
図６（b）の矢印は、流路壁１３と素子基板７との界面に生じる応力を示している。比較例1では、インク流路１２の高さは14μmで流路壁の幅（壁厚）9μmより大きいが、インク流路１２の幅は33μmとインク流路１２の高さ（流路壁１３の高さ）よりも大きい。この結果、ノズル形成部材８の内部で発生した内部応力が各流路壁１３に大きく加わり、流路壁１３と素子基板７との界面に生じる応力も大きくなる。
【００３３】
これにより、図６（c）のように、チップ外周部のノズルにおいて、ノズル形成部材８が剥がれる（黒塗りで示す。）という問題が発生する。
【００３４】
図７（a）は、本実施形態と比較する比較例2のインクジェット記録ヘッドにおける流路壁先端部の断面図（図４Ｄで表すところのB−B断面と同等）である。比較例2のインクジェット記録ヘッドは、インク流路１２の幅は24μmであり、600dpi（約42μ）間隔で配置されており、流路壁１３の幅（壁厚）は18μmである。インク流路１２の高さは14μm、吐出口部の厚みは11μm、ノズル形成部材８の総厚は25μmである。図７（a）における矢印は、図５（a）と同様にノズル形成部材８の内部応力を示している。
【００３５】
図７（b）の矢印は、流路壁１３と素子基板７との界面に生じる応力を示している。比較例2では、流路壁１３の幅（壁厚）18μmがインク流路１２の高さ14μmより大きいが、インク流路１２の幅24μmもインク流路１２の高さより大きい。各流路壁１３において、ノズル形成部材８の内部で発生した内部応力をある程度は吸収することができるが、インク流路１２の間隔が600dpi（約42μｍ）と広いため、各流路壁１３に加わる応力も大きい。この結果、チップ外周部のノズルにおいて、ノズル形成部材８が剥がれる（黒塗りで示す。）という問題が発生することがある。図７（c）にその様子を示す。
【００３６】
上述したように、本実施形態のインクジェット記録ヘッドにおいて、流路壁１３の幅（壁厚）は9μmと薄いが、インク流路１２の幅も12μmと細いため、流路壁は21μmのピッチ（1200dpi）で配置することができる。その結果、ノズル形成部材８の内部応力を角流路壁で分散することができ、その結果、ノズル形成部材８の素子基板７との追従性を高めることができる。
【００３７】
また、ノズルフィルタ１４の幅が流路壁１３の幅（壁厚）より大きいことで、ノズル形成部材８と素子基板７との界面に発生する応力をノズルフィルタ１４で吸収し、流路壁１３先端（流路壁１３のインク供給口9側の端部）への応力集中を低減できる。また、ノズルフィルタ１４を流路壁の延長線上に設けることで、その効果は、さらに大きくなる。
【００３８】
このように、本実施形態では、ノズル形成部材８と素子基板７との界面に発生する応力の集中を抑制することで、素子基板７上に設けられたノズル形成部材８の密着性を向上させることができる。
【００３９】
（実施形態2）
図８は本発明の実施形態2に係るインクジェット記録ヘッドの斜視図を示す。インクジェット記録ヘッド1には、染料系カラーインクを吐出させるための染料インク用チップ3が設けられている。
【００４０】
チップの製造方法は実施形態1と同様であるが、完成したチップは、アルミナ部材ではなく、タンク容器15に直接接着固定され、TABテープ5と電気接続される。実施形態1と同様に電気接続部およびチップの周囲はインクなどの侵入を防ぐために封止剤により封止する。但し、実施形態2では、樹脂材料からなるタンク容器を使用しているため、接着工程や封止工程は、100℃以下に抑えている。
【００４１】
本実施形態のインクジェット記録ヘッドは、インク内蔵タイプであるため、吐出口からのインク蒸発を抑制するために吐出口形成面に保護テープ16を貼っている。本実施形態のチップ3は、インク供給口９をイエローインク用、マゼンタインク用、シアンインク用の計3ヶ有している。インク供給口９を挟んで吐出口１０およびインク室、インク流路が配されており、各インク供給口の片側に1200dpiピッチ（約21μm）で384ノズル、両側で768ノズルとなる。チップのサイズは、縦4.3mm×横11.6mmである。
【００４２】
図９Ａはチップの吐出口周辺をノズル形成部材の上方から見た概略平面図である。図９Ｂは図９ＡのＣ−Ｃ断面図、図９Ｃは図９ＡのＢ−Ｂ断面図、図９Ｄは図９ＡのＡ−Ａ断面図を示す。
【００４３】
図９Ａを参照すると、吐出口10は圧力室11およびインク流路12と連通し、圧力室１１にはヒータ（不図示）が配されている。インク流路１２は流路壁13により形成される。共通液室においてインク供給口９の開口部からインク流路１２のインク供給口９側の端部の間には、ノズル内へのゴミなどの侵入を防止するためのノズルフィルタ14（フィルタ部材）を有する。ノズルフィルタ１４は柱状の構造体で、流路壁１３の延長線上に配している。
【００４４】
ここで、A−A断面からC−C断面（図９Ｂ〜図９Ｄ）を参照して、各部位の寸法を説明する。
【００４５】
インク流路１２の幅は11μm、圧力室１１の幅は13μm、吐出口１０は径8.4μｍであり、インク流路１２を形成する流路壁１３の幅（壁厚）は10μmとなる。インク流路１２の高さは14μm、吐出口部（インク流路１２における圧力室１１の天井面から、ノズル形成部材８の吐出口１０が開口する面までの部分）の厚みは11μm、ノズル形成部材８の総厚は25μmである。ノズルフィルタ１４は径13μmで1200dpiピッチ（約21μm）で配されている。本実施形態では、流路壁１３及びノズルフィルタ１４の側面はテーパを有しているが、これは、ノズル等の型材をエッチングにより形成した際に出来た形状である。エッチング条件などによりテーパ角度は異なるが、本実施形態では、片側6度のテーパ角を有している。流路壁１３及びノズルフィルタ１４の幅の前記寸法は、素子基板７との密着部を指しており、インク流路１２及び圧力室１１の幅の前記寸法は、素子基板面すなわち最大幅部を指している。
【００４６】
ノズル形成部材８と素子基板７との間には、エポキシ樹脂からなる密着向上層17を配しているが、ノズルフィルタ１４と素子基板７との間には密着向上層を配していない。素子基板７上の表面層によって、密着向上層の有無を決定している。
【００４７】
本実施形態では、インク流路１２が配された部分の素子基板７の表面層はTa、ノズルフィルタ１４が配された部分の素子基板７の表面層はSiNであり、エポキシ系樹脂のノズル形成部材８との密着性が劣る表面層であるTaの部位のみ密着向上層を設けている。
【００４８】
本実施形態のインクジェット記録ヘッドにおいても、流路壁１３の幅（壁厚）は10μmと薄いが、インク流路１２の幅も12μmと薄い。そのため、流路壁１３は21μmのピッチで配置することができ、実施形態1の図５〜図７で説明した効果を同様に得ることができる。その結果、ノズル形成部材８の素子基板７との追従性を高めることができる。
【００４９】
また、ノズルフィルタ１４の幅が流路壁１３の幅（壁厚）より大きいことで、ノズル形成部材８と素子基板７との界面に発生する応力をノズルフィルタ１４で吸収し、流路壁１３先端（流路壁１３のインク供給口9側の端部）への応力集中を低減できる。また、ノズルフィルタ１４を流路壁１３の延長線上に設けることで、その効果は、さらに大きくなる。
【００５０】
このように、本実施形態では、ノズル形成部材８と素子基板７との界面に発生する応力の集中を抑制することで、素子基板７上に設けられたノズル形成部材８の密着性を向上させることができる。
【００５１】
また、ユーザーが使用時に保護テープ１６を剥がす際に発生する応力についても、応力集中を抑制することができる。つまり、吐出口面に保護テープ１６を貼っているインクジェット記録ヘッド（図８）においても、素子基板７とノズル形成部材８との密着性を向上させることで、保護テープを剥がす際に、ノズル形成部材８が剥がれる懸念を解消することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の実施形態1に係るインクジェット記録ヘッドの斜視図である。
【図２Ａ】図１の染料インク用チップの平面図である。
【図２Ｂ】図２ＡのＸ−Ｘ断面図である。
【図２Ｃ】図２ＡのＹ−Ｙ断面図である。
【図３】図１の染料インク用チップの吐出口の配置を説明するための平面図である。
【図４Ａ】実施形態1のインクジェット記録ヘッドの吐出口周辺をノズル形成部材の上方から見た平面図である。
【図４Ｂ】図４ＡのＤ−Ｄ断面図である。
【図４Ｃ】図４ＡのＣ−Ｃ断面図である。
【図４Ｄ】図４ＡのＢ−Ｂ断面図である。
【図４Ｅ】図４ＡのＡ−Ａ断面図である。
【図５】実施形態1のインクジェット記録ヘッドの効果を説明するための図である。
【図６】比較例1のインクジェット記録ヘッドのノズル剥がれを説明するための図である。
【図７】比較例2のインクジェット記録ヘッドのノズル剥がれを説明するための図である。
【図８】本発明の実施形態２に係るインクジェット記録ヘッドの斜視図である。
【図９Ａ】実施形態２のインクジェット記録ヘッドの吐出口周辺をノズル形成部材の上方から見た平面図である。
【図９Ｂ】図９ＡのＣ−Ｃ断面図である。
【図９Ｃ】図９ＡのＢ−Ｂ断面図である。
【図９Ｄ】図９ＡのＡ−Ａ断面図である。
【図１０】従来のインクジェット記録ヘッドのチップを説明するための平面図である。
【図１１Ａ】従来のインクジェット記録ヘッドの吐出口周辺を説明するための平面図である。
【図１１Ｂ】図１１ＡのＡ−Ａ断面図である。
【図１２】従来のインクジェット記録ヘッドにおけるノズル形成部材の剥がれの問題を説明するための図である。
【符号の説明】
【００５３】
1  インクジェット記録ヘッド
7  素子基板
8  ノズル形成部材
9  インク供給口
10  吐出口
11  圧力室（発泡室とも呼ばれる。）
12  インク流路
13  流路壁
14  ノズルフィルタ
【図１】
2008049531.tif 000003
【図２Ａ】
2008049531.tif 000004
【図２Ｂ】
2008049531.tif 000005
【図２Ｃ】
2008049531.tif 000006
【図３】
2008049531.tif 000007
【図４Ａ】
2008049531.tif 000008
【図４Ｂ】
2008049531.tif 000009
【図４Ｃ】
2008049531.tif 000010
【図４Ｄ】
2008049531.tif 000011
【図４Ｅ】
2008049531.tif 000012
【図５】
2008049531.tif 000013
【図６】
2008049531.tif 000014
【図７】
2008049531.tif 000015
【図８】
2008049531.tif 000016
【図９Ａ】
2008049531.tif 000017
【図９Ｂ】
2008049531.tif 000018
【図９Ｃ】
2008049531.tif 000019
【図９Ｄ】
2008049531.tif 000020
【図１０】
2008049531.tif 000021
【図１１Ａ】
2008049531.tif 000022
【図１１Ｂ】
2008049531.tif 000023
【図１２】
2008049531.tif 000024