(57)【要約】【課題】表面にマクロレベルのうねりを有する被研磨材に対しても、砥石をそのうねり形状に的確に追従させて精度良く研磨できる研磨治具を提供する。【解決手段】研磨装置１００のアーム１１０に固定され、被研磨剤１２０の表面を研磨する砥石３を装着した研磨治具１であって、研磨装置１００のアーム１１０に連結されるシャンク２と、シャンク２と砥石３とを繋ぐ研磨ヘッド４と、研磨ヘッド４に装着される砥石３とを有する。砥石３は、これの左右端が水平状態から上下動するよう研磨ヘッド４に対して傾動自在に装着されており、且つ研磨ヘッド４は、シャンク２に対して上下動自在に連結されていることを特徴とする。【選択図】図４
2008168394.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨装置のアーム部に固定され、被研磨材の表面を研磨する砥石を装着した研磨治具であって、
研磨装置のアーム部に連結されるシャンクと、
前記シャンクと砥石とを繋ぐ研磨ヘッドと、
前記研磨ヘッドに装着される砥石とを有し、
前記砥石は、これの左右端が水平状態から上下動するよう前記研磨ヘッドに対して傾動自在に装着されている研磨治具。
【請求項２】
研磨装置のアーム部に固定され、被研磨材の表面を研磨する砥石を装着した研磨治具であって、
研磨装置のアーム部に連結されるシャンクと、
前記シャンクと砥石とを繋ぐ研磨ヘッドと、
前記研磨ヘッドに装着される砥石とを有し、
前記研磨ヘッドは、前記シャンクに対して上下動自在に連結されている研磨治具。
【請求項３】
研磨装置のアーム部に固定され、被研磨材の表面を研磨する砥石を装着した研磨治具であって、
研磨装置のアーム部に連結されるシャンクと、
前記シャンクと砥石とを繋ぐ研磨ヘッドと、
前記研磨ヘッドに装着される砥石とを有し、
前記砥石は、これの左右端が水平状態から上下動するよう前記研磨ヘッドに対して傾動自在に装着されており、
前記研磨ヘッドは、前記シャンクに対して上下動自在に連結されている研磨治具。
【請求項４】
前記砥石は、前記研磨ヘッドの先端部に装着されるホルダに固着されて、該ホルダが前記研磨ヘッドに対して傾動自在であり、
且つ前記ホルダは、前記研磨ヘッドに対して着脱自在である請求項１または請求項３に記載の研磨治具。
【請求項５】
前記シャンクと研磨ヘッドとが別部材で構成されており、
該研磨ヘッドは、これと前記シャンクとの間に配され、前記アームの押圧力よりも高い弾性圧を有する弾性部材によって、前記シャンクから突出する方向へ付勢されている請求項２または請求項３または請求項４に記載の研磨治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属材料、セラミックス、半導体回路用のウエハなどの表面を研磨する際に、研磨装置のアーム部に固定され、被研磨材の表面を研磨する砥石を装着した研磨治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
金属材料、セラミックス、石材、生体材料などの成形品の鏡面加工や表面平滑性の担保、組織観察、半導体ウエハの表面処理などのために、表面研磨は種々の技術分野において重要な加工の１つである。当該研磨の精度が悪いと、例えば成形品の外観不良、他部材との密着性の低下、組織観察不良、回路配線の微細化が困難になるなどの不都合が生じる。そこで、各技術分野において、表面研磨の精度向上は必須の課題となる。
【０００３】
研磨精度を高める技術としては、例えば特許文献１ないし特許文献３がある。特許文献１では、半導体回路における高集積化に伴う回路配線の微細化、多層配線化の必要性に対応するため、半導体ウエハをＣＭＰ加工（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ：化学的機械的研磨法）する際に、ターンテーブルの駆動トルク値に基づいて研磨液の供給量を正確に制御することによって、研磨精度の均一性及び研磨後の被研磨材表面の平滑度を高めている。
【０００４】
また、特許文献２では、ターンテーブルの背後または内部に配された磁石又は電磁石によって、ターンテーブルの表面全体にほぼ垂直な磁力線を形成する磁場を設け、研磨材として非磁性体研磨材の周囲を強磁性体のフェライト微粒子でコーティングした磁性砥粒を使用している。以って、磁力線の作用でターンテーブル上に磁性砥粒を均一に分散させることで、研磨精度の向上を図っている。
【０００５】
特許文献３では、砥石の組成自体を改良することで、研磨速度の安定性、良好な段差特性、被研磨材の研磨面に発生する欠陥（スクラッチ）の低減等を図っている。具体的には、ブタジエンスチレン、ポリブタジエン、又はアクリルゴム系ＭＢＳ樹などの熱可塑性樹脂を主成分とし、これに弾性を有する弾性要素を配合している。これにより、研磨中の摩擦熱により熱可塑性樹脂が軟らかくなること、及び樹脂中の弾性要素により、マクロ的には硬く、ミクロ的には軟らかな研磨面による研磨を可能としている。これにより、研磨前の被研磨材に微細な凹凸パターンが存在する場合の、研磨後にもその凹凸に起因した緩やかな凹凸が形成され、完全な平坦度が得られにくいような問題に対応させている。
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−１８０６２号公報
【特許文献２】特開２００５−１８６２３９号公報
【特許文献３】特開２００３−１１０６６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、特許文献１や特許文献２では、砥石が研磨ヘッドに対して不動状態で装着されているため、研磨面に凹凸（うねり）を有するような被研磨材を研磨する場合には上手く対応できない。すなわち、ターンテーブル上に配されて回転する被研磨材に砥石を単に水平状に摺接しただけでは、砥石が被研磨材のうねり形状に的確に追従できず、うねりの凸部が砥石の端部に引っ掛かって砥石又は被研磨材、もしくはその双方が欠損してしまったり、研磨ムラが生じてしまうおそれがある。
【０００８】
また、砥石が研磨ヘッドに対して不動状態で装着されていると、うねりの凸部と凹部との高低差にも的確に追従できない。これでは、うねりの凸部高さにまで砥石が上昇できず、または極端に摺接圧が上昇してやはり砥石又は被研磨材、もしくはその双方が欠損してしまったり、研磨ムラが生じてしまうおそれがある。
【０００９】
これに対して、特許文献３では砥石を研磨治具に対して不動状態で装着しているものの、砥石自体がある程度の弾性を有することによって、ミクロレベルでの凹凸追従性を発現している。しかし、特許文献３では、基本的には硬質の砥石に若干の弾性を発現させてミクロレベルの凹凸に対応させているだけなので、半導体ウエハなどのような研磨加工する時点である程度平滑化された被研磨材には有効であるが、例えば切削加工、鋳造、プレス加工等の成形直後の金属材料や焼結しただけのセラミックスなど、被研磨材表面にマクロレベルでの凹凸（うねり）を有する被研磨材に対しては効果を得られない。
【００１０】
比較的大きなうねりにも対応させようとして砥石の弾性を大きくしたところで、研磨装置のアームの押圧力によって砥石自体が潰れてしまうので、その効果を発揮できない。仮に砥石が潰れないとしても、砥石の厚みを極端に大きくしない限り、うねりの高低差や傾斜角度には対応しきれない。
【００１１】
また、一般的に金属材料やセラミックスなど研磨当初から表面が粗い被研磨材は、番手の小さな（粗い）砥石から番手の大きな（細かな）砥石へ順次交換して、複数の研磨段階を経て行なわれる。その場合、砥石と研磨ヘッドとが着脱不能若しくは取り外し困難であれば、番手毎の研磨装置を用意するか、研磨治具自体の交換が必要なため、効率的でない。また、研磨液に研磨材を混合して研磨するタイプでは、前段階の研磨液を洗浄してから次の研磨に移る必要があるので、その洗浄作業も煩雑である。
【００１２】
そこで、本発明者が鋭意検討の結果、砥石の組成を改良するのみではうねり形状への追従性に限界があるが、砥石自体を傾動及び／又は上下動させることで、上記課題を解決できることを知見すると共に、砥石を研磨治具に対して着脱自在に装着していれば、番手の変更も容易にできることを知見し、本発明を完成するに至った。
【００１３】
すなわち、本発明の目的は、表面にミクロレベルはもちろんマクロレベルのうねりを有する被研磨材に対しても、砥石をそのうねり形状に的確に追従させて精度良く研磨できる研磨治具を提供することにある。また、本発明の目的は、番手の変更を簡便に行なえる研磨治具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の研磨治具は、研磨装置のアームに固定され、被研磨材の表面を研磨する砥石を装着した研磨治具であって、研磨装置のアーム部に連結されるシャンクと、前記シャンクと砥石とを繋ぐ研磨ヘッドと、前記研磨ヘッドに装着される砥石とを有し、前記砥石は、これの左右端が水平状態から上下動するよう前記研磨ヘッドに対して傾動自在に装着されていることを特徴とする。
【００１５】
このとき、シャンクと研磨ヘッドとは一体形成品であってもよいし、別部材であってもよい。また、研磨ヘッドへの砥石の装着手段も傾動自在でれば特に限定されることなく、研磨ヘッドに直接装着していてもよいし、別部材を介して装着することもできる。
【００１６】
請求項２に記載の研磨治具は、研磨装置のアームに固定され、被研磨剤の表面を研磨する砥石を装着した研磨治具であって、研磨装置のアーム部に連結されるシャンクと、前記シャンクと砥石とを繋ぐ研磨ヘッドと、前記研磨ヘッドに装着される砥石とを有し、前記研磨ヘッドは、前記シャンクに対して上下動自在に連結されていることを特徴とする。
【００１７】
このときも、請求項１に記載の研磨治具と同様に、研磨ヘッドへの砥石の装着手段は特に限定されることなく、研磨ヘッドに直接装着していてもよいし、別部材を介して装着することもできる。
【００１８】
請求項３に記載の研磨治具は、研磨装置のアームに固定され、被研磨剤の表面を研磨する砥石を装着した研磨治具であって、研磨装置のアーム部に連結されるシャンクと、前記シャンクと砥石とを繋ぐ研磨ヘッドと、前記研磨ヘッドに装着される砥石とを有し、前記砥石は、これの左右端が水平状態から上下動するよう前記研磨ヘッドに対して傾動自在に装着されており、且つ前記研磨ヘッドは、前記シャンクに対して上下動自在に連結されていることを特徴とする。
【００１９】
このときも、請求項１や請求項２に記載の研磨治具と同様に、研磨ヘッドへの砥石の装着手段は特に限定されることなく、研磨ヘッドに直接装着していてもよいし、別部材を介して装着することもできる。
【００２０】
請求項４に記載の本発明は、請求項１または請求項３に記載の研磨治具において、前記砥石は、前記研磨ヘッドの先端部に装着されるホルダに固着されて、該ホルダが前記研磨ヘッドに対して傾動自在であり、且つ前記ホルダは、前記研磨ヘッドに対して、着脱自在であることを特徴とする。
【００２１】
請求項５に記載の本発明は、請求項２または請求項３または請求項４に記載の研磨治具において、前記シャンクと研磨ヘッドとが別部材で構成されており、該研磨ヘッドは、これと前記シャンクとの間に配され、前記アームの押圧力よりも高い弾性圧を有する弾性部材によって、前記シャンクから突出する方向へ付勢されていることを特徴とする。
【００２２】
ここでの弾性部材の弾性圧は、アームの押圧力よりも高ければ特に限定されることはなく、アームも押圧力により相対的に決すればよい。また、シャンクから突出する方向とは、アームは必ずしも上方から被研磨材を研磨するとは限らず、左右または下方から研磨することがあり、このような研磨する方向が限定されることはなく、要は被研磨材との対向方向を意味する。
【発明の効果】
【００２３】
請求項１に記載の本発明によれば、研磨ヘッドに装着されている砥石の左右端が水平状態から上下動するように構成されているので、被研磨材や砥石が欠損することなく、砥石を被研磨材表面のうねり形状の傾斜に沿って的確に追従させることができる。
【００２４】
請求項２に記載の本発明によれば、研磨ヘッドがシャンクに対して上下動自在に連結されているので、被研磨材表面のうねり形状の高低差を効果的に吸収して、一定の押圧力を保持しながら砥石を被研磨材表面のうねり形状に的確に追従させることができる。
【００２５】
請求項３に記載の本発明によれば、研磨ヘッドに装着されている砥石の左右端が上下に傾動することによって被研磨材のうねり形状の傾斜に追従できると同時に、研磨ヘッドがシャンクに対して上下動自在に連結されていることによって、被研磨材のうねりの高低差にも効果的に追従でき、平面方向と上下方向との双方向に対する追従性の相乗効果によって、さらに研磨精度を向上させることができる。
【００２６】
請求項４に記載の本発明によれば、砥石をホルダを介して研磨ヘッドへ装着し、当該ホルダが研磨ヘッドに対して傾動自在としているので、研磨中の傾動による応力はホルダが受けるので、傾動による砥石の欠損を回避することができる。また、当該ホルダは研磨ヘッドに対して着脱自在に装着されているので砥石番手の変更作業が容易であり、番手交換毎の洗浄や番手毎の研磨装置を用意する必要がなく、１つの研磨装置によって迅速且つ効率的に研磨することができる。
【００２７】
請求項５に記載の本発明によれば、アームの押圧力よりも高い弾性圧を有する弾性部材を使用しているので、被研磨材に砥石を摺接したときにアームの押圧力によって弾性部材が潰れてしまうことがなく、確実にうねりの高低差を吸収することができる。また、当該弾性部材によって研磨ヘッドはシャンクから突出する方向へ付勢されるので、研磨面に対して一定の圧力状態を維持することができる利点がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下に、図面を参照しながら本発明に係る研磨治具の実施の形態を説明するが、これに限定されることはなく、本発明の要旨を変更しない範囲において種々の変更が可能である。なお、本明細書における上下や左右などの方向の説明は、被研磨材の上表面を上方から研磨する場合を示した図面を基準に説明しており、被研磨材を左右または下面から研磨する場合は、適宜その方向は変更する。
【００２９】
本実施形態の研磨治具１は、図１及び図６に示すように、研磨装置１００のアーム１１０の取付穴に連結固定されることになるシャンク２と、上方部が該シャンク２の内部に挿入される研磨ヘッド４と、研磨ヘッド４の先端部分に装着されるホルダ５と、該ホルダ５の下面に接着され、被研磨材１２０と摺接してこれの表面を研磨する砥石３とから構成されている。
【００３０】
具体的には、シャンク２は、外形が四角柱形で内部に上下貫通状に穿設された貫通孔を有している（図４参照）。研磨ヘッド４は、図２に示すように、ホルダ５が装着されることになる略矩形で平板状の装着部１０と、これの上方に連続して一体形成され、装着部１０よりも厚肉な四角柱径の挿通部１１とからなり、装着部１０の左右方向中央には取付孔１２が厚み方向に貫通して穿設されている。ホルダ５は、図２及び図３に示すごとく、平板長方形の底壁５ａの前後端から上方へ一体的に立設した垂直壁５ｂ・５ｂを有する、正面視が矩形で、側面視が略上コ字状を呈しており、前後の垂直壁５ｂ・５ｂの左右方向中央には取付孔１３が、厚み方向に貫通して穿設されている。
【００３１】
そして、ホルダ５を研磨ヘッド４へ装着するには、ホルダ５の前後垂直壁５ｂ・５ｂで研磨ヘッド４の装着部１０を挟持するようにホルダ５を配し、研磨ヘッド４の取付孔１２とホルダ５の取付孔１３とを位置合わせする。このとき、ホルダ５の前側垂直壁５ｂと後側垂直壁５ｂとの間の距離は、研磨ヘッド４の装着部１０の厚み寸法よりも若干広く設定されて、研磨ヘッド４とホルダ５とが密着しないようにされている。この状態において、図３に示すごとく、両取付孔１２・１３に固定ピン８を挿入螺合することで、研磨ヘッド４とホルダ５とが連結されている。このとき、研磨ヘッド４の下面とホルダ５の底壁５ａとの間には、所定量の隙間が形成されるように、両者４・５の取付孔１２・１３の穿設位置が設定されている。
【００３２】
固定ピン８は、雄ネジ８ａと雌ネジ８ｂとで構成されている。そして、雄ネジ８ａを雌ネジ８ｂのネジ孔８ｃに螺合していくことで連結されるが、当該雌ネジ８ｂのボデー長さはホルダ５の厚みよりも若干大きく設定されていることで、雄ネジ８ａを雌ネジ８ｂに螺合したとき、両者８ａ・８ｂのヘッドがホルダ５の外面と密着しないように設定されている。または、雌ネジ８ｂのネジ孔８ｃの深さを、雄ネジ８ａのボデー長さよりも浅くすることで、雄ネジ８ａを雌ネジ８ｂに螺合したとき、両者８ａ・８ｂのヘッドがホルダ５の外面と密着しないように設定することもできる。
【００３３】
このように、固定ピン８によってホルダ５を研磨ヘッド４に装着し、このとき固定ピン８はホルダ５の厚みよりも若干大きく、且つホルダ５と研磨ヘッド４とも密接しないように設定されていることで、固定ピン８を支点としてホルダ５、すなわちホルダ５に接着されている砥石３の左右端が水平状態から所定量上下動する傾動可能になっている（図１等参照）。
【００３４】
図２及び図４に示すごとく、研磨ヘッド４は、固定ボルト６を介してシャンク２へ連結される。具体的には、研磨ヘッド４の挿通部１１の上部中央には、螺旋孔１４が所定深さで穿設されている。そして、研磨ヘッド４の挿通部１１をシャンク２の貫通孔へこれの下方から挿通し、同時に固定ボルト６をシャンク２の貫通孔へこれの上方から挿通し、螺旋孔１４に固定ボルト６を螺合することで、研磨ヘッド４がシャンク２へ連結されている。また、このとき、図４に示すごとく、固定ボルト６のボデー部１８に圧縮コイルバネ７を外挿しておく。
【００３５】
詳しくは、シャンク２の貫通孔には、上下に２つの段部２０・２１が形成されていることで、上方から下方に向かって３段階で幅広となっている。そして、段部２０よりも上方の上段空間Ｓ１は、固定ボルト６のヘッド部１７よりも小径で、ボデー部１８と同様の形状に形成されていることで、当該空間Ｓ１中を固定ボルト６が上下動自在になっている。また、段部２１よりも下方の下段空間Ｓ３は、研磨ヘッド４の挿通部１１の外形と同様に形成されていることで、当該下段空間Ｓ３内を研磨ヘッド４の挿通部１１が上下動自在になっている。圧縮コイルバネ７は、これの上端がシャンク２内の上側の段部２０に当接しており、下端が研磨ヘッド４の上面に当接していることで、シャンク２の中段空間Ｓ２内で伸縮可能となっている。
【００３６】
これにより、研磨ヘッド４は、圧縮コイルバネ７によってシャンク２から突出する方向へ常時付勢されており、このとき、固定ボルト６のヘッド部１７がシャンク２の上面で受け止められることで、研磨ヘッド４がシャンク２から抜け外れることが規制されている。また、研磨ヘッド４をシャンク２へ連結した状態において、研磨ヘッド４の上面とシャンク２内部の下側段部２１との間には、所定量の隙間Ｇを有している。これにより、本発明の研磨治具１で被研磨材１２０を研磨するとき、被研磨材１２０のうねりの高低を吸収して研磨ヘッド４がシャンク２内で上下動自在であり、以って砥石３がシャンク２に対して上下動自在となっている。また、圧縮コイルバネ７がシャンク２の内部に配されていることで、研磨中に供給される研磨液によって圧縮コイルバネ７が腐食されることが避けられている。
【００３７】
次に、本実施形態の研磨治具１によって被研磨材１２０を研磨する際の動きについて説明する。図５（Ａ）に示すごとく、研磨治具１の不使用状態では、シャンク２内において圧縮コイルバネ７が最も伸張した状態にあり、これの付勢力を受けて固定ボルト６のヘッド部１７によって研磨ヘッド４の抜け外れが規制されながら、研磨ヘッド４が最もシャンク２から突出している。このときの砥石３は、水平状態である。
【００３８】
そして、当該研磨治具１を図６に示すように研磨装置１００のアーム１１０に装着した状態において、研磨台１１１上に載置固定されて回転している被研磨材１２０に、図外のエアシリンダ等を作動させてアーム１１０を下降させることで、ノズル１１２から水などの研磨液を放出しながら砥石３と被研磨材１２０とを摺動させる。
【００３９】
そうすると、図５（Ｂ）に示すごとく、アーム１１０の押圧力を受けて圧縮コイルバネ７が若干収縮する。しかし、圧縮コイルバネ７のバネ圧はアーム１１０の押圧力よりも大きく設定しているので、完全に収縮することはなく、さらに収縮可能であって、研磨ヘッド４の上面とシャンク２内の下側段部２１との間には、未だ所定量の隙間が存在している。このときホルダ５は、固定ピン８部分のみでアーム１１０からの押圧力を受けていることになる。
【００４０】
そして、被研磨材１２０の表面にうねりが存在する場合、図５（Ｃ）に示すごとく、うねりの斜面によって砥石３、正確にはホルダ５が固定ピン８を支点として傾動し、うねりの高さによって砥石３、正確には研磨ヘッド４が圧縮コイルバネ７の付勢力に抗してさらに上昇することで、砥石３がうねりの形状に的確に追従できるようになっている。つまり、砥石３の傾動がうねりの傾斜への追従性を発揮し、砥石３の上下動がうねりの高低差への追従性を発揮している。以って砥石３は、的確に被研磨材１２０の表面に摺接でき、研磨精度を向上させることができる。
【００４１】
砥石３の傾斜角度は特に限定されることはなく、被研磨材１２０のうねりの大きさに合わせて適宜設定することができるが、例えば最大傾斜角度は概ね５〜１５度の範囲が好ましい。最大傾斜角度が小さすぎると、うねりの形状に的確に追従できなくなる。一方、最大傾斜角度が大きすぎると、平坦面を研磨中の安定性が低下する。なお、研磨ヘッド４の下面左右縁は、ホルダ５の傾動角度を大きくとれるように上方に向かって傾斜するテーパー面２４が形成されている。このテーパー面２４の傾斜角度は、ホルダ５を傾斜させたい角度によって適宜設定すればよい。したがって、砥石３の最大傾斜角度は、研磨ヘッド４の上面とシャンク２内部の下側段部２１との間の隙間Ｇの間隔や研磨ヘッド４のテーパー面２４の傾斜角度を適宜設定することで調整できる。
【００４２】
そして、番手が小さく目の粗い砥石によってある程度被研磨材１２０の表面を研磨した後、段階を追って順次番手が大きく目の細かい砥石で研磨していくときは、固定ピン８を取り外すだけでホルダ５を研磨ヘッド４から取り外すことができ、次の番手の砥石３を接着してあるホルダ５を再度同様に固定ピン８で装着することで、容易に砥石を変更することができる。
【００４３】
シャンク２やこれの下段空間Ｓ３、及び研磨ヘッド４の挿通部１１の形状は、四角柱形以外にも、円柱形、他の多角形状に形成してあってもよい。うねりの高さが低い場合は、研磨ヘッド４をシャンク２と一体形成して、ホルダ５が傾動するのみでも構わない。また、うねりの傾斜角度が無視できるほど緩やかな場合は、研磨ヘッド４がシャンク２に対して上下動自在とするだけでもよい。
【００４４】
本発明の研磨治具１を装着する研磨装置１００は、特に限定されることはなく、例えばマシニング機など種々の研磨装置を使用することができる。その際のアーム１１０への連結固定機構も特に限定されることはなく、シャンク２をアーム１１０に合わせて連結構造を形成してもよいし、例えばスリムコレットとスリムチャック等の他の部材を介してアーム１１０に連結することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】研磨治具の正面図である。
【図２】研磨治具の分解正面図である。
【図３】研磨治具の側面図である。
【図４】研磨治具の縦断正面図である。
【図５】研磨時の研磨治具の各状態を示す縦断正面図である。
【図６】研磨治具を研磨装置へ装着した状態の要部拡大図である。
【符号の説明】
【００４６】
１  研磨治具
２  シャンク
３  砥石
４  研磨ヘッド
５  ホルダ
６  固定ボルト
７  圧縮コイルバネ
８  固定ピン
１０  装着部
１１  挿通部
１２・１３  取付孔
１００  研磨装置
１１０  アーム
１２０  被研磨材
Ｇ  隙間
Ｓ１  上段空間
Ｓ２  中段空間
Ｓ３  下段空間
【図１】
2008168394.tif 000003
【図２】
2008168394.tif 000004
【図３】
2008168394.tif 000005
【図４】
2008168394.tif 000006
【図５】
2008168394.tif 000007
【図６】
2008168394.tif 000008