(57)【要約】【課題】清浄空間の下方への浄化空気の排出を的確に行い、清浄空間の清浄度を高く維持することができる浄化空気通風式の物品保管設備の提供。【解決手段】走行空間３における物品搬出入部５の存在側とは反対側の非物品搬出入箇所７、走行空間３の上部箇所、及び、物品収納部２の背部箇所を外部と遮蔽するように囲む状態で形成される空気循環路４０が、走行空間３内の浄化空気を取り入れる走行空間内空気取入用開口部４１を、非物品搬出入箇所７に対応する部分に備える状態で、且つ、清浄空間１内の浄化空気を取り入れる清浄空間内空気取入用開口部４２を、その長手方向における少なくとも一部に備える状態で設けられ、物品収納部２の後部に空気循環路４０における物品収納部２の背部箇所に対応する部分内の浄化空気を通風する浄化空気通風手段２６が設けられている。【選択図】図１
2008168983.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
浄化空気が天井部から床部側に通風される清浄空間内に、棚横幅方向に並ぶ複数の物品収納部、それら物品収納部の前方側の走行空間内を移動する物品搬送装置及び前記複数の物品収納部のうちの少なくとも一部のものの下方に相当する箇所に配置される物品搬出入部を備える物品保管棚が設けられ、
前記複数の物品収納部の後部に空気浄化用フィルタを通して浄化空気を通風する浄化空気通風手段が、前記物品収納部を通過して前記走行空間内に浄化空気を通風するように設けられ、
前記床部における前記走行空間に対応する箇所に、前記走行空間内の浄化空気を下方に排出する排出用開口部が設けられた浄化空気通風式の物品保管設備であって、
前記走行空間における前記物品搬出入部の存在側とは反対側の非物品搬出入箇所、前記走行空間の上部箇所、及び、前記物品収納部の背部箇所を外部と遮蔽するように囲む状態で形成される空気循環路が、前記走行空間内の浄化空気を取り入れる走行空間内空気取入用開口部を、前記非物品搬出入箇所に対応する部分に備える状態で、且つ、前記清浄空間内の浄化空気を取り入れる清浄空間内空気取入用開口部を、その長手方向における少なくとも一部に備える状態で設けられ、
前記浄化空気通風手段が、前記空気循環路における前記物品収納部の背部箇所に対応する部分内の浄化空気を通風するように構成されている浄化空気通風式の物品保管設備。
【請求項２】
前記非物品搬出入箇所に、棚横幅方向に並ぶ複数の物品収納部が配設され、
前記空気循環路のうちの前記非物品搬出入箇所に対応する部分が、前記非物品搬出入箇所に配置された前記物品収納部の背部箇所を囲む状態で形成され、
前記走行空間内空気取入用開口部が、前記非物品搬出入箇所に配置された前記物品収納部の下方に形成されて空気取入用空間に対応して形成され、
前記非物品搬出入箇所に配置された前記物品収納部の後部、浄化空気用フィルタを通して浄化空気を通風する非物品搬出入側の浄化空気通風手段が、前記空気循環路における前記非物品搬出入箇所の背部箇所に対応する部分の浄化空気を前記物品収納部を通過して前記走行空間内に通風するように設けられている請求項１に記載の浄化空気通風式の物品保管設備。
【請求項３】
前記物品保管棚の一対が、それらの前記非物品搬出入箇所を隣接させた状態で並んで設けられ、
一対の前記物品保管棚における一対の前記空気循環路が、前記非物品搬出入箇所に対応する部分を共用する状態で形成されている請求項１又は２に記載の浄化空気通風式の物品保管設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、浄化空気が天井部から床部側に通風される清浄空間内に、棚横幅方向に並ぶ複数の物品収納部、それら物品収納部の前方側の走行空間内を移動する物品搬送装置及び前記複数の物品収納部のうちの少なくとも一部のものの下方に相当する箇所に配置される物品搬出入部を備える物品保管棚が設けられ、前記複数の物品収納部の後部に空気浄化用フィルタを通して浄化空気を通風する浄化空気通風手段が、前記物品収納部を通過して前記走行空間内に浄化空気を通風するように設けられ、前記床部における前記走行空間に対応する箇所に、前記走行空間内の浄化空気を下方に排出する排出用開口部が設けられた浄化空気通風式の物品保管設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
上記のような浄化空気通風式の物品保管設備は、クリーンルーム等の清浄空間内において、浄化空気通風手段が物品収納部に収納される物品に対して空気浄化用フィルタを通して浄化空気を通風することにより、物品に対する塵埃の付着を防止しながら物品を保管するものである。
そして、床部には、走行空間に対応する箇所に限らず、それ以外の箇所にも清浄空間内の浄化空気を下方に排出する開口部が設けられており、清浄空間の天井部から床部側に通風される浄化空気は、排出用開口部、及び、床部の排出用開口部以外の箇所に設けられた開口部から下方に排出される。その排出された浄化空気は、通風ファン及び循環路にて清浄空間の上部に導かれエアフィルタにより清浄化されて、清浄空間の天井部から床部側に通風されている。このように、浄化空気を循環させながら清浄空間の天井部から床部側に浄化空気を通風している。
【０００３】
従来の浄化空気通風式の物品保管設備は、走行空間における物品搬出入部の存在側とは反対側の非物品搬出入箇所に、棚横幅方向及び棚上下幅方向に並ぶ複数の物品収納部が配設されている。そして、物品収納部の背部箇所、及び、非物品搬出入箇所に配置された物品収納部の背部箇所を外部と遮蔽するように囲む状態で空気通風路が形成されており、その空気通風路における走行空間の上部箇所に対応する部分において清浄空間内の浄化空気を取り入れるようにしている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
この従来の浄化空気通風式の物品保管設備では、浄化空気通風手段が、空気通風路における物品収納部の背部箇所に対応する部分内の浄化空気を通風するように構成され、非物品搬出入箇所に配置された物品収納部の後部に、空気通風路における非物品搬出入箇所の背部箇所に対応する部分の浄化空気を空気浄化用フィルタを通して浄化空気を通風する非物品搬出入側の浄化空気通風手段が設けられている。
そして、浄化空気通風手段及び非物品搬出入側の浄化空気通風手段にて通風される浄化空気は、物品収納部を通過して走行空間に至り走行空間を上方側から下方側に向けて流動して排出用開口から下方に排出される。その排出された浄化空気は、他の箇所から下方に排出された浄化空気とともに、通風ファン及び循環路にて清浄空間の上部に導かれエアフィルタにて清浄化されたのち、浄化空気として清浄空間の天井部から床部側に通風される。
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−８１４０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記従来の浄化空気通風式の物品保管設備では、走行空間を上方側から下方側に向けて流動する浄化空気の全量が排出用開口から下方に排出されるので、排出用開口部から下方に排出される浄化空気の量が多く、清浄空間の下方に排出される浄化空気のうち、排出用開口部から排出される浄化空気が占める割合が大きくなる。したがって、他の箇所における浄化空気の下方への排出をスムーズに行うことができず、清浄空間内で塵埃が浮遊してしまい、清浄空間の清浄度が低下する虞がある。
【０００７】
本発明は、かかる点に着目してなされたものであり、その目的は、清浄空間の下方への浄化空気の排出を的確に行い、清浄空間の清浄度を高く維持することができる浄化空気通風式の物品保管設備を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この目的を達成するために、本発明に係る浄化空気通風式の物品保管設備の第１特徴構成は、浄化空気が天井部から床部側に通風される清浄空間内に、棚横幅方向に並ぶ複数の物品収納部、それら物品収納部の前方側の走行空間内を移動する物品搬送装置及び前記複数の物品収納部のうちの少なくとも一部のものの下方に相当する箇所に配置される物品搬出入部を備える物品保管棚が設けられ、前記複数の物品収納部の後部に空気浄化用フィルタを通して浄化空気を通風する浄化空気通風手段が、前記物品収納部を通過して前記走行空間内に浄化空気を通風するように設けられ、前記床部における前記走行空間に対応する箇所に、前記走行空間内の浄化空気を下方に排出する排出用開口部が設けられた浄化空気通風式の物品保管設備において、
前記走行空間における前記物品搬出入部の存在側とは反対側の非物品搬出入箇所、前記走行空間の上部箇所、及び、前記物品収納部の背部箇所を外部と遮蔽するように囲む状態で形成される空気循環路が、前記走行空間内の浄化空気を取り入れる走行空間内空気取入用開口部を、前記非物品搬出入箇所に対応する部分に備える状態で、且つ、前記清浄空間内の浄化空気を取り入れる清浄空間内空気取入用開口部を、その長手方向における少なくとも一部に備える状態で設けられ、前記浄化空気通風手段が、前記空気循環路における前記物品収納部の背部箇所に対応する部分内の浄化空気を通風するように構成されている点にある。
【０００９】
すなわち、空気循環路が、非物品搬出入箇所、走行空間の上部箇所、及び、物品収納部の背部箇所を外部と遮蔽するように囲んでいるので、空気循環路にて物品保管棚を含む空間を外部と遮蔽することができる。その物品保管棚を含む空間内では、浄化空気通風手段にて通風される浄化空気が、物品収納部を通過して走行空間に至り走行空間を上方側から下方側に向けて流動する。空気循環路における走行空間内空気取入用開口部が非物品搬出入箇所に対応する部分が設けられているので、走行空間内の浄化空気は、その一部が走行空間内空気取入用開口部から空気循環路に取り入れられ、残りの一部が排出用開口部から下方に排出される。空気循環路に取り入れられた浄化空気は、清浄空間内空気取入用開口部から空気循環路に取り入れられた清浄空間内の浄化空気とともに、空気循環路を通して物品収納部の背部箇所に流動される。空気循環路にて物品収納部の背部箇所に対応する部分に流動された浄化空気は、浄化空気通風手段にて空気浄化用フィルタを通して物品収納部を通過して走行空間内に通風される。
このようにして、走行空間内の浄化空気の少なくとも一部を空気循環路にて循環させながら、複数の物品収納部の夫々に浄化空気を通風させることができるので、排出用開口部から下方に排出される浄化空気の量を少なくできる。したがって、他の箇所における浄化空気の下方への排出をスムーズに行うことができ、清浄空間の下方への浄化空気の排出を的確に行うことができる。
【００１０】
そして、空気循環路は、非物品搬出入箇所、走行空間の上部箇所、及び、物品収納部の背部箇所を外部と遮蔽するように囲んでおり、走行空間内空気取入用開口部が非物品搬出入箇所に対応する部分が設けられているので、物品収納部の下方に相当する箇所を空気循環路を設置するためのスペースとして使用することがない。したがって、物品搬出入部との設置スペースの取り合いを気にすることなく、しかも、障害物の少ない走行空間の上部箇所を有効に活用しながら、空気循環路を設置することができるので、空気循環路の設置を容易なものとすることができる。
【００１１】
以上のことから、清浄空間の下方への浄化空気の排出を的確に行い、清浄空間の清浄度を高く維持できながら、空気循環路の設置を容易なものとすることができる浄化空気通風式の物品収納設備を提供できるに至った。
【００１２】
本発明に係る浄化空気通風式の物品保管設備の第２特徴構成は、前記非物品搬出入箇所に、棚横幅方向に並ぶ複数の物品収納部が配設され、前記空気循環路のうちの前記非物品搬出入箇所に対応する部分が、前記非物品搬出入箇所に配置された前記物品収納部の背部箇所を囲む状態で形成され、前記走行空間内空気取入用開口部が、前記非物品搬出入箇所に配置された前記物品収納部の下方に形成されて空気取入用空間に対応して形成され、前記非物品搬出入箇所に配置された前記物品収納部の後部、浄化空気用フィルタを通して浄化空気を通風する非物品搬出入側の浄化空気通風手段が、前記空気循環路における前記非物品搬出入箇所の背部箇所に対応する部分の浄化空気を前記物品収納部を通過して前記走行空間内に通風するように設けられている点にある。
【００１３】
すなわち、浄化空気通風手段及び非物品搬出入側の浄化空気通風手段にて通風される浄化空気は、物品収納部を通過して走行空間に至り走行空間を上方側から下方側に向けて流動する。走行空間内の浄化空気は、その一部が空気取入用空間に形成された走行空間内空気取入用開口部から空気循環路に取り入れられ、残りの一部が排出用開口部から下方に排出される。空気循環路に取り入れられた浄化空気は、空気循環路にて非物品搬出入箇所に配置された物品収納部の背部箇所を通過して走行空間の上部箇所を経て物品収納部の背部箇所に流動される。そして、空気循環路にて非物品搬出入箇所に配置された物品収納部の背部箇所を通過する浄化空気は、その一部が非物品搬出入側の浄化空気通風手段にて非物品搬出入箇所に配設された物品収納部を通過して走行空間内に通風される。
したがって、物品搬出入箇所の上部に配設された物品収納部だけでなく非物品搬出入箇所にも配設された物品収納部に対しても、複数の物品収納部の全てに浄化空気を通風させながら、走行空間内の浄化空気の少なくとも一部を空気循環路にて循環させることができる。
【００１４】
本発明に係る浄化空気通風式の物品保管設備の第３特徴構成は、前記物品保管棚の一対が、それらの前記非物品搬出入箇所を隣接させた状態で並んで設けられ、一対の前記物品保管棚における一対の前記空気循環路が、前記非物品搬出入箇所に対応する部分を共用する状態で形成されている点にある。
【００１５】
すなわち、物品保管棚の一対が、それらの非物品搬出入箇所を隣接させた状態で並んで設けられているので、一対の物品保管棚の設置スペースを極力小さくしながら一対の物品保管棚を設置することができる。そして、一対の物品保管棚における一対の空気循環路が、非物品搬出入箇所に対応する部分を別々に形成するのではなく、非物品搬出入箇所に対応する部分を共用する状態で形成されているので、一対の空気循環路を設置するためのスペースの低減及び構成の簡素化を図ることができる。
したがって、限られたスペースを有効に活用しながら、走行空間内の浄化空気の少なくとも一部を空気循環路にて循環させることができる一対の物品保管棚を設置することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明に係る浄化空気通風式の物品保管設備の実施形態について図面に基づいて説明する。
〔第１実施形態〕
この浄化空気通風式の物品保管設備は、図１〜図３に示すように、浄化空気が天井部から床部側に通風される清浄空間としてのクリーンルーム１内に、棚横幅方向及び棚上下幅方向に並ぶ複数の物品収納部２、それら物品収納部２の前方側の走行空間３内を移動する物品搬送装置４及び複数の物品収納部２の下方に相当する箇所に配設される物品搬出入部５を備える物品保管棚６が一対設けられている。
一対の物品保管棚６は、走行空間３における物品搬出入部５の存在側とは反対側の非物品搬出入箇所７を隣接させた状態で並べて設けられている。つまり、一対の物品保管棚６は、非物品搬出入箇所７を共用する状態で配設されている。そして、その非物品搬出入箇所７には、一対の物品保管棚６の一方（図１中下方側）の物品搬出入部５の上方に相当する箇所に配設された物品収納部２と向かい合う状態で、棚横幅方向及び棚上下幅方向に並ぶ複数の物品収納部２が配設されている。
【００１７】
前記クリーンルーム１は、その床部を通気孔が多数形成された多孔状のグレーティング床８にて構成してあり、その天井に形成された天井吹出部９から浄化空気を床部側に向けて通風させるように構成されている。そして、クリーンルーム１には、ブース１０により上部及び側周囲が囲まれた空間が形成され、そのブース１０にて囲まれた空間内に一対の物品保管棚６が配設されている。
【００１８】
前記複数の物品収納部２の夫々は、棚横幅方向に間隔を隔てて立設された前後一対の支柱１１と、前後一対の支柱１１の夫々に支持されて棚上下方向に間隔を隔てて設けられた載置支持部１２とから構成されている。そして、物品収納部２は、左右一対の載置支持部１２にて物品を載置支持する状態で物品を収納するように構成されている。また、各物品収納部２は、棚横幅方向に隣接するもの同士及び棚上下方向に隣接するもの同士が空気流動可能に連通されている。
【００１９】
前記物品収納部２は、物品として、図４に示すように、ガラス基板等の板状物品１３を保持可能な物品保持体１４を収納自在に構成されている。前記物品保持体１４は、格子状に形成された上枠体枠体１４ａ及び下枠体１４ｂと、上枠体１４ａと下枠体１４ｂとを連結する複数の連結体１４ｃと、連結体１４ｃに上下方向に間隔を隔てて設置されて水平方向に対向する連結体１４ｃ同士を連結するワイヤ状の支持部１４ｄとから構成されている。そして、各支持部１４ｄにて載置支持する状態で板状物品１３を上下方向に間隔を隔てて並べて保持しており、物品保持体１４の上部、下部、及び、側部の全てにおいて空気流動可能に構成されている。
【００２０】
前記クリーンルーム１には、浄化空気を循環させる形態で浄化空気を天井部から床部側に通風するクリーンルーム通風手段１５が設けられている。このクリーンルーム通風手段１５は、グレーティング床８を通過した空気を清浄化して浄化空気とし、その浄化空気を天井吹出部９から吹き出すように構成されている。
前記クリーンルーム通風手段１５は、グレーティング床８の下方側に設けられた吸気室１６、天井吹出部９の上方側に設けられた空気チャンバ室１７、天井吹出部９に並設されたＨＥＰＡフィルタ等からなるエアフィルタ１８、吸気室１６と空気チャンバ室１７とを連通接続する接続流路１９、その接続流路１９に設けられて吸気室１６に吸引作用する循環用送風機２０、及び、接続流路１９において循環用送風機２０の空気吐出側に設けられたプレフィルタ２１を備えて構成されている。
【００２１】
前記クリーンルーム１内の空気は、循環用送風機２０の通風作用によってグレーティング床８を通して吸気室１６に吸い込まれて接続流路１９を流動し、プレフィルタ２１にて清浄化されて空気チャンバ室１７に至る。そして、空気チャンバ室１７に到達した空気は、エアフィルタ１８にて清浄化されて浄化空気とされ、天井吹出部９からクリーンルーム１内に下向きに吹き出される。
このようにして、クリーンルーム通風手段１５によって、クリーンルーム１内の空気が、プレフィルタ２１及びエアフィルタ１８にて清浄化されながら循環されて、浄化空気を天井吹出部９からグレーティング床８側に向けて常時通風されている。
【００２２】
前記接続流路１９の循環用送風機２０の吸い込み側には、外気取入流路２２が接続されており、その外気取入流路２２に外気取入量調節用ダンパ２３が設けられている。また、接続流路１９の循環用送風機２０の吐出側には、排気流路２４が接続されており、その排気流路２４に排気量調節用ダンパ２５が設けられている。
そして、外気取入量調節用ダンパ２３及び排気量調節用ダンパ２５の夫々の開度を調節することにより、クリーンルーム通風手段１５にて循環されるクリーンルーム１内の空気のうちの所定量が新鮮な空気と交換されるように構成されている。
【００２３】
前記物品搬出入部５の上部に配設された複数の物品収納部２の後部には、空気浄化用フィルタを通して浄化空気を通風する浄化空気通風手段としての第１ファンフィルタユニット（以下、第１ＦＦＵと略称する）２６が設けられている。この第１ＦＦＵ２６は、複数の物品収納部２の夫々に対応して装備されている。そして、第１ＦＦＵ２６は、図示は省略するが、物品収納部２に収納される物品保持体１４に保持された板状物品１３同士の間を通過させる形態で物品収納部２を通過して走行空間３内に浄化空気を通風するように設けられている。
また、非物品搬出入箇所７に配置された物品収納部２の後部には、浄化空気用フィルタを通して浄化空気を通風する非物品搬出入側の浄化空気通風手段としての第２ファンフィルタユニット（以下、第２ＦＦＵと略称する）２７が設けられている。この第２ＦＦＵ２７は、複数の物品収納部２の夫々に対応して装備されている。そして、この第２ＦＦＵ２７も、第１ＦＦＵ２６と同様に、物品収納部２に収納される物品保持体１４に保持された板状物品１３同士の間を通過させる形態で物品収納部２を通過して走行空間３内に浄化空気を通風するように設けられている。
【００２４】
前記ブース１０内の床部における走行空間３及び非物品搬出入箇所７に対応する箇所に、走行空間３内の浄化空気を下方に排出する排出用開口部２８が設けられている。この排出用開口部２８は、グレーティング床８に板体を設けることによりグレーティング床８よりも開口面積が小さくなるように構成されている。
そして、ブース１０内の床部における物品搬出入部５に対応する箇所は、グレーティング床８の開口を板状体にて閉塞しており、ブース１０内の移動空間３の浄化空気が、排出用開口部２８からその下方の吸気室１６に排出されるように構成されている。
また、例えば、排出用開口部２８の開口面積をより小さくする、又は、床部における非物品搬出入箇所７に対応する箇所の開口を板状体にて閉塞する等により、走行空間３の浄化空気を吸気室１６に排出する排出量をより少なくすることもできる。
【００２５】
前記ブース１０内では、第１ＦＦＵ２６及び第２ＦＦＵ２７により浄化空気が通風されるのでその浄化空気の圧力が高くなる。それに対して、床部に設けられた排出用開口部２８により浄化空気が排気されるので、その浄化空気の圧力が低くなる。そして、この浄化空気の圧力差により、ブース１０内の浄化空気は、物品収納部２の後部側から前部側に向けて流動して走行空間３を上方側から下方側に向けて流動するダウンフローとなり、物品収納部２や走行空間３等で浮遊する塵埃を床部の下方に排出してブース１０内の清浄度を高くしている。
【００２６】
一対の物品保管棚６の夫々には、非物品搬出入箇所７、走行空間３の上部箇所、及び、物品収納部２の背部箇所とを外部と遮蔽するように囲む状態で空気循環路４０が形成されている。空気循環路４０は、非物品搬出入箇所７に配置された物品収納部２の背部箇所において下方側から上方側に浄化空気を導く直線状の第１通路部分４０ａと、その第１通路部分４０ａにて導かれた浄化空気を非物品搬出入箇所７に配置された物品収納部２の上部箇所、走行空間３の上部箇所、物品収納部２の上部箇所の順に導く直線状の第２通路部分４０ｂ、その第２通路部分４０ｂにて導かれた浄化空気を物品収納部２の背部箇所において上方側から下方側に導く直線状の第３通路部分４０ｃとから構成されている。
前記第１通路部分４０ａ、第２通路部分４０ｂ、及び、第３通路部分４０ｃの夫々は、棚横幅方向に並ぶ複数の物品収納部２の全長に亘って一連に設けられている。
【００２７】
一対の物品保管棚６における一対の空気循環路４０が、非物品搬出入箇所７に対応する第１通路部分４０ａを共用する状態で形成されている。そして、その第１通路部分４０ａは、非物品搬出入箇所７に配置された物品収納部２の背部箇所を囲む状態で形成されている。
【００２８】
一対の空気循環路４０の夫々には、走行空間３内の浄化空気を取り入れる走行空間内空気取入用開口部４１と、ブース１０外で且つクリーンルーム１内の浄化空気を取り入れる清浄空間内空気取入用開口部４２とが設けられている。
そして、一対の空気循環路４０における走行空間内空気取入用開口部４１の夫々は、非物品搬出入箇所に対応する床部に隣接する部分に備えられている。また、一対の物品保管棚６の一方（図１中下方側）に対応する空気循環路４０における走行空間内空気取入用開口部４１は、非物品搬出入箇所７に配置された物品収納部２の下方に形成された空気取入用空間４３に対応して形成されている。つまり、空気取入用空間４３のうち、走行空間３に面する部分が走行空間内空気取入用開口部４１として構成されている。
一対の空気循環路４０における清浄空間内空気取入用開口部４２は、物品搬出入部５の上方に相当する箇所に配設された物品収納部２の背部箇所のうち、物品収納部２の後部に配置された第１ＦＦＵ２６に隣接する箇所に設けられている。
【００２９】
前記第１ＦＦＵ２６は、空気循環路４０における物品収納部２の背部箇所に対応する第３部分４０ｃ内の浄化空気を通風するように構成されている。そして、第１ＦＦＵ２６は、走行空間内空気取入用開口部４１にて取り入れた走行空間３内の浄化空気と清浄空間内空気取入用開口部４２にて取り入れたブース１０外のクリーンルーム１内の浄化空気とを空気浄化用フィルタを通して通風するように構成されている。
また、第２ＦＦＵ２７は、空気循環路４０における非物品搬出入箇所７に対応する第１通路部分４０ａ内の浄化空気を通風するように構成されている。そして、第２ＦＦＵ２７は、走行空間内空気取入用開口部４１にて取り入れた走行空間３内の浄化空気を空気浄化用フィルタを通して通風するように構成されている。
【００３０】
前記ブース１０内では、第１ＦＦＵ２６及び第２ＦＦＵ２７にて通風される浄化空気が、物品収納部２を通過して走行空間３に至り走行空間３を上方側から下方側に向けて流動する。走行空間３内の浄化空気は、その一部が走行空間内空気取入用開口部４１から空気循環路４０に取り入れられ、残りの一部が排出用開口部２８から下方に排出される。空気循環路４０に取り入れられた浄化空気は、清浄空間内空気取入用開口部４２から空気循環路４０に取り入れられたクリーンルーム１内の浄化空気とともに、空気循環路４０を通して物品収納部２の背部箇所に流動される。そして、第１ＦＦＵ２６は、物品収納部２の背部箇所に流動された浄化空気を空気浄化用フィルタを通して物品収納部２に通風する。また、第２ＦＦＵ２７は、空気循環路４０にて非物品搬出入箇所７に配設された物品収納部２の背部箇所を流動される浄化空気を空気浄化用フィルタを通して物品収納部２に通風する。
このようにして、走行空間３内の浄化空気の少なくとも一部を空気循環路４０にて循環させながら、複数の物品収納部２の夫々に浄化空気を通風させることができる。
【００３１】
一対の物品保管棚６における物品搬送装置４の夫々は、床部に設けられたガイドレール３２及び上部に設けられた天井側ガイドレール３３に案内されて走行する走行台車３４と、その走行台車３４に立設された昇降マスト３５に沿って昇降自在な昇降台３６と、その昇降台３６に装備されて物品収納部２及び物品搬出入部５に対する物品保持体１４の出し入れを行う物品移載装置３７とを備えたスタッカークレーンにて構成されている。
そして、物品搬送装置４が、物品搬出入部５に搬入された物品保持体１４を複数の物品収納部２のいずれかに搬送したり、物品収納部２に収納されている物品保持体１４を物品搬出入部５に搬送するように構成されている。
【００３２】
前記物品搬出入部５は、図２に示すように、棚横幅方向に並ぶ複数の物品収納部２の全てのものの下方に相当する箇所の夫々に配設されている。そして、各物品搬出入部５では、物品保持体１４から板状物品１３を１つずつ取り出して図外の物品処理部に供給したり、その物品処理部から１つずつ供給される板状物品１３を物品保持体１４に保持させるように構成されている。
前記物品搬出入部５の夫々には、物品保持体１４を昇降自在に載置支持する左右一対の昇降支持体３０と、板状物品１３を載置支持自在で且つ載置支持した板状物品１３を搬送自在な複数の駆動ローラを備えた搬送体３１とが設けられている。搬送体３１は、左右一対の昇降支持体３０の間に配置されており、物品保持体１４に対して上下方向に挿脱自在に設けられている。
そして、物品搬出入部５と物品処理部とを繋ぐ連通路３８には、板状物品１３を物品処理部と物品搬出入部５との間で搬送する搬送コンベヤ３９が設けられており、その連通路３８がブース１０内に設けられている。また、連通路３８には、空気浄化用フィルタを通して浄化空気を搬送コンベヤ３９に対して通風する第３ファンフィルタユニット（以下、第３ＦＦＵと略称する）３２が設けられている。
【００３３】
前記物品搬出入部５にて物品保持体１４から板状物品１３を１つずつ取り出して搬送コンベヤ３９に供給するときには、左右一対の昇降支持体３０にて物品保持体１４を下降させることにより、搬送体３１が物品保持体１４内に入り込み物品保持体１４から１つの板状物品１３を搬送体３１に載置支持させる。その後、搬送体３１にて板状物品１３を載置支持して搬送コンベヤ３９に搬送する。このような動作を繰り返すことによって、物品保持体１４から板状物品１３を１つずつ取り出して搬送コンベヤ３９に供給する。
前記搬送コンベヤ３９にて供給される板状物品１３を物品搬出入部５にて１つずつ物品保持体１４に保持させるときには、左右一対の昇降支持体３０にて物品保持体１４を搬送体３１に入り込ませた状態で載置支持しておく。その後、搬送体３１が１つの板状物品１３を物品保持体１４にて保持可能な位置まで搬送して、左右一対の昇降支持体３０にて物品保持体１４を上昇させることにより、１つの板状物品１３を物品保持体１４に保持させる。このような動作を繰り返すことによって、搬送コンベヤ３９から供給される板状物品１３を１つずつ物品保持体１４に上下方向に並べる状態で順次保持させる。
【００３４】
〔第２実施形態〕
上記第１実施形態では、物品保管棚６を一対設けた例を示したが、この第２実施形態では、図５に示すように、物品保管棚６を１つ設けている。
この物品保管棚６においては、非物品搬出入箇所７に物品収納部２を配設していない。そして、空気循環路４０における走行空間内空気取入用開口部４１は、非物品搬出入箇所７において床部に隣接する状態で設けられている。
その他の構成については、上記第１実施形態と同様であるので説明は省略する。
【００３５】
〔別実施形態〕
（１）上記第１実施形態では、非物品搬出入箇所７に物品収納部２を配設した例を示したが、非物品搬出入箇所７に物品収納部２を配設せずに実施することも可能である。この場合でも、上記第１実施形態で示した如く、一対の物品保管棚６における一対の空気循環路４０を、非物品搬出入箇所７に対応する第１通路部分４０ａを共用する状態で形成する。
【００３６】
（２）上記第２実施形態では、非物品搬出入箇所７に物品収納部２を配設していない例を示したが、非物品搬出入箇所７に物品収納部２を配設して実施することも可能である。この場合、空気循環路４０における非物品搬出入箇所７に対応する第１通路部分４０ａを、非物品搬出入箇所７に配設する物品収納部２の背部箇所を囲む状態で形成する。
【００３７】
（３）上記第１実施形態では、第２ＦＦＵ２７を物品収納部２の後部において物品収納部２の夫々に対応して装備しているが、複数の物品収納部２に対して第２ＦＦＵ２７をどのように装備するのかは適宜変更が可能である。
【００３８】
（４）上記第１及び第２実施形態では、物品保管棚６を一対及び１つ設けた例を示したが、物品保管棚６を設ける数については適宜変更が可能である。
【００３９】
（５）上記第１及び第２実施形態では、棚横幅方向に並ぶ複数の物品収納部２の全てのものの下方に相当する箇所の夫々に物品搬出入部５を配設しているが、棚横幅方向に並ぶ複数の物品収納部２の一部のものの下方に相当する箇所に物品搬出入部５を配設して実施することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】第１実施形態におけるクリーンルームの縦断面図
【図２】図１におけるＡ−Ａ断面図
【図３】図１におけるＢ−Ｂ断面図
【図４】物品保持体を示す斜視図
【図５】第２実施形態におけるクリーンルームの縦断面図
【符号の説明】
【００４１】
１          清浄空間
２          物品収納部
３          走行空間
４          物品搬送装置
５          物品搬出入部
６          物品保管棚
７          非物品搬出入箇所
２６        浄化空気通風手段
２７        非物品搬出入側の浄化空気通風手段
２８        排出用開口部
４０        空気循環路
４１        走行空間内空気取入用開口部
４２        清浄空間内空気取入用開口部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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