(57)【要約】      （修正有）【課題】スプリアスの発生を抑制した表面実装デバイスの提供。【解決手段】励振電極５を上下面に有する水晶片２を少なくとも容器本体１内に収容して、前記上面の励振電極５ａを切削して振動周波数を調整した後、カバー３を被せて密閉封入してなる表面実装用の水晶デバイスにおいて、前記容器本体１は内壁に段部を有する凹状とし、前記段部に前記水晶片の外周部を固着してなり、前記水晶片２の下方にレーザを反射して前記励振電極５に照射する光反射体８を設けた構成とする。【選択図】図１
2008205683.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
励振電極を上下面に有する水晶片を少なくとも容器本体内に収容して、前記上面の励振電極を切削して振動周波数を調整した後、カバーを被せて密閉封入してなる表面実装用の水晶デバイスにおいて、前記水晶片の下方にレーザを反射して前記励振電極に照射する反射体を設けたことを特徴とする表面実装用の水晶デバイス。
【請求項２】
請求項１において、前記容器本体は内壁に段部を有する凹状とし、前記段部に前記水晶片の外周部を固着してなり、前記反射板は前記容器本体の内底面に設けられた表面実装用の水晶デバイス。
【請求項３】
請求項１において、前記容器本体は内壁に段部を有する凹状とし、前記容器本体の内底面にＩＣチップをフリップチップボンディングによって固着し、前記段部に前記水晶片の外周部を固着してなり、前記反射板は前記ＩＣチップ上に設けられた表面実装用の水晶デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は表面実装用の水晶デバイスを技術分野とし、特にスプリアスの発生を抑制した表面実装用の水晶振動子（以下、表面実装振動子とする）に関する。
【背景技術】
【０００２】
（発明の背景）
水晶振動子は周波数制御素子として知られ、この中でも表面実装振動子は小型・軽量であることから、例えば携帯型とした各種電子機器の発振回路に組み込まれる。このようなものでは、一般、水晶片を容器本体内に収容した後、振動周波数の周波数調整が行なわれる。
【０００３】
（従来技術の一例）
第３図は一従来例を説明する図で、同図（ａ）は表面実装振動子の断面図、同図（ｂ）は水晶片の平面図である。
【０００４】
水晶振動子は凹状とした容器本体１に水晶片２を封入し、カバー３を被せて密閉封入する。容器本体１は例えば内壁段部を有して、外底面に外部端子４を有する。水晶片２は両主面（上下面）に励振電極５を有し、外周部となる一端部両側あるいは両端部に引出電極６を延出する。
【０００５】
この例では一端部両側に引出電極６延出した例を図示している。そして、図示しない水晶端子の形成された内壁段部に引出電極６の延出した一端部両側が導電性接着剤７によって固着される。水晶端子は図示しない導電路によって外部端子４に電気的に接続する。
【０００６】
このようなものでは、蒸着やスパッタ等によって水晶片２の両主面に同一厚みとした励振電極５を形成する。励振電極５は例えば水晶と馴染みのよいＣr（クロム）を下地としたＡu（金）とする。水晶片２をＡＴカットとすると、振動周波数は厚みに反比例して厚みが小さいほど高くなる。ここでは、先ず、振動周波数が公称値よりも予め低い振動周波数となる厚みに設定されて励振電極５が形成される。
【０００７】
次に、引出電極６の延出した水晶片２の外周部が内壁段部に固着される。そして、容器本体１の開口面側に露出した水晶片２の一主面側の励振電極５上にガスイオンを照射する。これにより、励振電極５を一主面の励振電極５を切削して厚みを減じ、振動周波数を調整する。要するに、一主面の励振電極５の厚みを減じて、振動周波数を低い方から高い方に変化させて周波数調整し、公称周波数に一致させる。なお、この例では、励振電極５は上面側が下面側より大きく形成される。
【特許文献１】特開平６−２５２６９１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
（従来技術の問題点）
しかしながら、上記構成の表面実装振動子では、容器本体１の開口面に露出した一主面の励振電極５のみの厚みをガスイオンＰの照射によって振動周波数を調整する。このため、他主面の励振電極５の厚みが一主面のそれより大きくなって、上下面での厚みが非対称となる（第４図）。したがって、両主面間で励振電極５の厚みに極端の差を生じた場合は、振動特性を悪化させて例えば振動周波数（主振動）に対するスプリアスが生じる（スプリアスのレベルが大きくなる）問題があった。
【０００９】
（発明の目的）
本発明はスプリアスの発生を抑制した表面実装デバイスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、特許請求の範囲（請求項１）に示したように、励振電極を上下面に有する水晶片を少なくとも容器本体内に収容して、前記上面の励振電極を切削して振動周波数を調整した後、カバーを被せて密閉封入してなる表面実装用の水晶デバイスにおいて、前記水晶片の下方にレーザを反射して前記励振電極に照射する光反射体を設けた構成とする。
【発明の効果】
【００１１】
このような構成であれば、水晶片の下面の励振電極をレーザによって切削できる。したがって、上面の励振電極のみならず、下面の励振電極をも切削して振動周波数を調整できる。したがって、上下面の励振電極の厚みを均一にできる。
【００１２】
（実施態様項）
本発明の請求項２では、請求項１において、前記容器本体は内壁に段部を有する凹状とし、前記段部に前記水晶片の外周部を固着してなり、前記反射板は前記容器本体の内底面に設ける。これにより、水晶振動子とした表面実装用の水晶デバイスを得られる。
【００１３】
同請求項３では、請求項１において、前記容器本体は内壁に段部を有する凹状とし、前記容器本体の内底面にＩＣチップをフリップチップボンディングによって固着し、前記段部に前記水晶片の外周部を固着してなり、前記反射板は前記ＩＣチップ上に設ける。これにより、水晶発振器とした表面実装用の水晶デバイスを得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
第１図は本発明の一実施形態を説明する水晶デバイスとしての表面実装振動子の図で、同図（ａ）はカバーを除く断面図、同図（ｂ）は断面図である。なお、前従来例と同一部分には同番号を付与してその説明は簡略又は省略する。
【００１５】
表面実装振動子は、前述同様に、外部端子４を有する凹状とした容器本体１の水晶端子の形成された内壁段部に、引出電極６の延出した水晶片２の一端部両側あるいは両端部の外周部を固着してなる。そして、ここでは容器本体１の内底面に光反射体８が設けられてなる。光反射体８は励振電極（Ａu）よりも融点の高いＳiＯ2（二酸化ケイ素）やＴa2Ｏ５（五酸化タンタル）の蒸着によって形成される。あるいは、これらのフィルム状の薄板（鏡）を接着剤によって固着して形成される。
【００１６】
このようなものでは、容器本体１の開口面側に露出した水晶片２の一主面の励振電極５上にガスイオンＰを照射して振動周波数を低い方から高い方に調整する。そして、規定時間内での照射によって振動周波数が公称値となった場合は、周波数調整をこれで終了とする。ここでの規定時間とは、一主面の励振電極５の厚みが他主面の励振電極５に対して極端に小さくならず、スプリアスが抑制されている照射時間である。
【００１７】
そして、規定時間内での照射によっては振動周波数が公称値にならない場合は、容器本体１の開口面側からレーザＱを光反射体８に照射し、この反射光によって水晶片２の他主面の励振電極５を切削する。レーザ光は照射後に概ね励振電極５の大きさとなる口径に予め設定される。そして、振動周波数を公称値に一致させる。
【００１８】
この場合でも、規定時間内で公称値となった場合は周波数調整を終了し、公称値にならない場合は、再び、一主面の励振電極５をガスイオンによって切削して振動周波数を調整し、以下、公称周波数になるまで繰り返す。
【００１９】
このような構成であれば、容器本体１の内底面に光反射体８を設けたので、レーザを下面の励振電極５ｂに照射できる。したがって、水晶振動子の振動周波数を公称値に一致させるとともに、両主面間での励振電極５の厚みをスプリアスが発生しない（スプリアスのレベルが小さい）程度に均一にできる。
【００２０】
（他の事項）
上記実施形態では表面実装振動子として説明したが、例えば第２図に示したように表面実装発振器としても適用できる。すなわち、この場合は、例えばバンプを用いた超音波熱圧着によるフリップチップボンディングによって、容器本体１の内底面にＩＣチップの一主面を固着する。ＩＣチップの他主面には光反射体８を有する。
【００２１】
このような構成であれば、前述同様に水晶片２の下面の励振電極５ｂにレーザを照射できて、上下面の励振電極５ｂの厚みを均一にし、振動周波数を調整できるとともにスプリアスの発生を抑制できる。
【００２２】
また、水晶片の上面の励振電極５ａはガスイオンによって切削したが、レーザによって切削することもできる。そして、光反射体８は容器本体１の底面の全面あるいはＩＣの他主面の全面に設けたが、必要となる一部のみに形成してもよいことは勿論で、この場合は下面の励振電極５ｂｂからの反射による多重反射を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の一実施形態を説明する表面実装振動子の図で、同図（ａ）はカバーを除く断面図、同図（ｂ）は断面図である。
【図２】本発明の他の実施形態を説明するカバーを除く断面図である。
【図３】従来例を説明する図で、同図（ａ）は表面実装振動子の断面図、同図（ｂ）は水晶片の平面図である。
【図４】従来例の問題点を説明する水晶片の断面図である。
【符号の説明】
【００２４】
１  容器本体、２  水晶片、３  カバー、４  外部端子、５  励振電極、６  引出電極、７  導電性接着剤、８  光反射体。
【図１】
2008205683.tif 000003
【図２】
2008205683.tif 000004
【図３】
2008205683.tif 000005
【図４】
2008205683.tif 000006