(57)【要約】【課題】高い透明性と導電性を両立させた透明導電性積層体を得る。【解決手段】透明基材の上に、数パーセントのドーパントを付与した酸化亜鉛の第１の透明導電性薄膜を成膜し、前記第１の透明導電性薄膜上に、前記第１の透明導電性薄膜よりも屈折率が低い低屈折率薄膜層を成膜し、前記低屈折率薄膜層上に、数パーセントのドーパントを付与した酸化亜鉛の薄膜であり前記低屈折率薄膜層より屈折率が高い第２の透明導電性薄膜を成膜し、前記第２の透明導電性薄膜の光学膜厚は、前記第１の透明導電性薄膜の光学膜厚よりも大きくし、前記低屈折率薄膜層の物理膜厚を３０ｎｍ以下で１０ｎｍ以上の厚さに形成することで、最表面の表面抵抗値を、前記第２の透明導電性薄膜の単独の表面抵抗値よりも低くする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基材の上に、酸化亜鉛を主成分とする第１の透明導電性薄膜を成膜し、前記第１の透明導電性薄膜上に、前記第１の透明導電性薄膜よりも屈折率が低い低屈折率薄膜層を成膜し、前記低屈折率薄膜層上に、酸化亜鉛を主成分とする薄膜であり前記低屈折率薄膜層より屈折率が高い第２の透明導電性薄膜を成膜し、前記第２の透明導電性薄膜の光学膜厚は、前記第１の透明導電性薄膜の光学膜厚よりも厚くし、前記低屈折率薄膜層の物理膜厚を３０ｎｍ以下で１０ｎｍ以上の厚さに形成することで、最表面の表面抵抗値を、前記第２の透明導電性薄膜の単独の表面抵抗値よりも低くしたことを特徴とする透明導電性積層体。
【請求項２】
色温度６７７４Ｋの標準光源Ｃで照明した場合の透過色がＬ＊ａ＊ｂ＊表色系の色度の座標値ｂ＊の絶対値が２以下であることを特徴とする請求項１記載の透明導電性積層体。
【請求項３】
前記第１の透明導電性薄膜および前記第２の透明導電性薄膜がガリウム含有酸化亜鉛から成ることを特徴とする請求項１又は２に記載の透明導電性積層体。
【請求項４】
前記低屈折率薄膜層が二酸化ケイ素であることを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項に記載の透明導電性積層体。
【請求項５】
前記透明基材が、透明プラスチック基材であることを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載の透明導電性積層体。
【請求項６】
前記透明基材が、ホウケイ酸ガラスであることを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載の透明導電性積層体。
【請求項７】
前記第１の透明導電性薄膜の光学膜厚が約８５ｎｍで、前記第２の透明導電性薄膜の光学膜厚が１５０ｎｍ以下で８５ｎｍ以上であることを特徴とする請求項１乃至６の何れか一項に記載の透明導電性積層体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、透明導電性積層体に関する。特に、透明導電性薄膜を積層してなる高透過率の透明導電性積層体に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、タッチパネルやフラットパネルディスプレイの開発が進み、透明で導電性のある膜の需要が高まっている。また、表示画像の高画質化や高輝度化によって透明導電膜の品質要求も高くなっている。具体的には、鮮明な画像のため高透過率が求められ、電流を多く流すため低抵抗化が要求されている。特許文献１の技術では、ＩＴＯや、ＳｎＯ2、ＩｎとＺｎの混合材料などの導電性を有する最外層の透明導電性薄膜を有し、その薄膜と透明基材の間に透明誘電体を２層追加することによって、導電性を有する多層反射防止膜を形成することで透過率を高めた透明導電性積層体が示されている。
【０００３】
以下に公知文献を示す。
【特許文献１】国際公開ＷＯ００／６３９２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１の技術では、最外層の透明導電性薄膜の膜厚により表面抵抗値が決定されるため、表面抵抗値を指定するとその膜厚が決まってしまうので、膜厚による光学特性の制御による高透過率な光学特性と、表面抵抗値の低抵抗化とを両立させることができない問題があった。すなわち、表面抵抗値を低くするために透明導電性薄膜の膜厚を厚くすると、透明性が犠牲になる問題があった。そのため、本発明の課題は、高い透明性と導電性を両立させた透明導電性積層体を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、この課題を解決するために、透明基材の上に、酸化亜鉛を主成分とする第１の透明導電性薄膜を成膜し、前記第１の透明導電性薄膜上に、前記第１の透明導電性薄膜よりも屈折率が低い低屈折率薄膜層を成膜し、前記低屈折率薄膜層上に、酸化亜鉛を主成分とする薄膜であり前記低屈折率薄膜層より屈折率が高い第２の透明導電性薄膜を成膜し、前記第２の透明導電性薄膜の光学膜厚は、前記第１の透明導電性薄膜の光学膜厚よりも厚くし、前記低屈折率薄膜層の物理膜厚を３０ｎｍ以下で１０ｎｍ以上の厚さに形成することで、最表面の表面抵抗値を、前記第２の透明導電性薄膜の単独の表面抵抗値よりも低くしたことを特徴とする透明導電性積層体である。
【０００６】
また、本発明は、色温度６７７４Ｋの標準光源Ｃで照明した場合の透過色がＬ＊ａ＊ｂ＊表色系の色度の座標値ｂ＊の絶対値が２以下であることを特徴とする上記の透明導電性積層体である。
【０００７】
また、本発明は、上記第１の透明導電性薄膜および上記第２の透明導電性薄膜がガリウム含有酸化亜鉛から成ることを特徴とする上記の透明導電性積層体である。
【０００８】
また、本発明は、上記低屈折率薄膜層が二酸化ケイ素であることを特徴とする上記の透明導電性積層体である。
【０００９】
また、本発明は、上記透明基材が、透明プラスチック基材であることを特徴とする上記の透明導電性積層体である。
【００１０】
また、本発明は、上記透明基材が、ホウケイ酸ガラスであることを特徴とする上記の透明導電性積層体である。
【００１１】
また、本発明は、上記第１の透明導電性薄膜の光学膜厚が約８５ｎｍで、上記第２の透明導電性薄膜の光学膜厚が１５０ｎｍ以下で８５ｎｍ以上であることを特徴とする上記の透明導電性積層体である。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、透明導電性積層体に、第１の透明導電性薄膜と低屈折率薄膜層と第２の透明導電性薄膜を形成し、それらの薄膜の光学的膜厚を調整し高い透明性を備え、かつ、第１の透明導電性薄膜と第２の透明導電性薄膜によって、最外層の第２の透明導電性薄膜のみの表面抵抗値よりも低い表面抵抗値を得ることが出来る効果がある。そのため、標準光源Ｃで照明した場合の透過色がＬ＊ａ＊ｂ＊表色系の色度の座標値ｂ＊の値の絶対値が２以下の無色透明であり、かつ、表面抵抗値が低い透明導電性積層体を得ることができる効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の最良の形態を説明する。本発明の透明導電性の積層体では透明基材１の上に透明導電膜を積層する。その透明導電膜は、透過率の高い可視光領域があり、電気伝導度が高いという２つの性質をもつ薄膜である。透明導電性薄膜としては、インジウム、亜鉛、錫、チタン等の金属を含む酸化物、窒化物、酸窒化物、複合化合物の薄膜がある。具体的には、酸化亜鉛(ZnO)、錫含有インジウム酸化物（ITO）、窒化チタンなどが挙げられるが、インジウムは希少金属であり将来的に枯渇する恐れがある。
【００１４】
そのため、本発明では、ITOの代替として酸化亜鉛を用いる。しかし、現状では、ITOが可視光透過率が高く、また、抵抗値が低く導電性に優れているため、ZnOをITOの代替として適用するために、以下の工夫をした。先ず、ZnOをITO代替として用いるために抵抗値を低くする工夫として、ZnO中に、数％のドーパントとして、ガリウム（Ga）、アルミニウム（Al）を付与することでZn2+サイトにGa3+やAl3+が置換型固溶し、1原子あたりキャリアを1個放出することで導電性を向上させた。中でもGaドープZnO(ZnO:Ga)の場合、より導電性が高くなるため好ましい。
【００１５】
透過率を向上させる工夫としては、反射率を減少させることで透過率を向上させた。そのために、波長λの光の干渉を利用し、反射光の位相をλ／２相当ずらすように光学膜厚（屈折率×膜厚）を調整し、低反射の条件を成り立たせる。また、透明基材１とそれより屈折率の低い膜との複合体により、透明基材１単独よりも反射率を低下させる。このための基本構成として、透明基材１よりも低屈折率の膜を付けることにより透過率を高める。さらに、透明基材１側から高屈折率層と低屈折率層と順に重ねる事でさらに低反射な条件を得る。透明導電性薄膜は高屈折率な膜であるため、前記の低反射を得る条件のなかでは高屈折率層として利用する。また、透明基材１は低屈折率層となり、透明基材１（低屈折率層）、第１の透明導電性薄膜２（高屈折率層）、低屈折率薄膜層３、第２の透明導電性薄膜４（高屈折率層）という構成により、低反射による高透過率の条件に適応させる。
【００１６】
以下、図面により、本発明の実施形態を具体的に説明する。図１に、本発明の透明導電性積層体の断面図を示す。図１の透明基材１として高分子樹脂による透明プラスチック基材５を用いることができる。透明基材１として用いる透明プラスチック基材５は、特に限定されるものではなく公知のものを使用することができる。例えばポリオレフィン系（ポリエチレン、ポリプロピレン等）、ポリエステル系（ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等）、ポリアミド系（ナイロン−６、ナイロン−６６等）、ポリス
チレン、エチレンビニルアルコール共重合体、ポリ塩化ビニル、ポリイミド、ポリビニルアルコール、ポリカーボネイト、ポリエーテルスルホン、アクリル、セルロース系（トリアセチルセルロース、ジアセチルセルロース等）などが挙げられるが特に限定されない。また、透明プラスチック基材を用いた場合、ロール・トゥ・ロールによって大量生産に適するため、好ましい。
【００１７】
また、透明基材１としてホウケイ酸ガラスを用いることができる。ホウケイ酸ガラスは、線膨張係数が低く、硬度が高く、化学的耐久性に優れている面から工業的に多く使用されている。
【００１８】
透明基材１の上に、酸化亜鉛を主成分とする第１の透明導電性薄膜２を成膜する（第１層）。その組成は、導電性が高いZnO:Gaが好ましい。形成方法としては、真空蒸着法、スパッタリング法、化学気相蒸着法（ＣＶＤ法）、イオンプレーティング法等が挙げられるが、これに限るものではない。
【００１９】
次に、第１の透明導電性薄膜２上に、低屈折率薄膜層３を成膜する（第２層）。低屈折率薄膜層３は、第１の透明導電性薄膜２および第２の透明導電性薄膜４よりも屈折率が低い薄膜であれば良く、屈折率の低い薄膜の例をあげるとMgF2、LaF2などのフッ化化合物、SiO2、SiO、Al2O3などの金属酸化物が挙げられる。特に、SiO2は安定しかつ屈折率が1.48程度と低いため好ましい。低屈折率薄膜層３の成膜方法は、真空蒸着法、スパッタリング法、化学気相蒸着法（ＣＶＤ法）、イオンプレーティング法、ゾルゲル法が挙げられるがこれに限るものではない。
【００２０】
低屈折率薄膜層３上の形成し最表面となる第２の透明導電性薄膜４（第３層）は、酸化亜鉛を主成分とし、第１の透明導電性薄膜２と同様に導電性が高いZnO:Gaが好ましい。形成方法としては、真空蒸着法、スパッタリング法、化学気相蒸着法（ＣＶＤ法）、イオンプレーティング法等が挙げられるが、これに限るものではない。第２の透明導電性薄膜４の光学膜厚は、表面抵抗値を低くするために、第１の透明導電性薄膜２の光学膜厚よりも厚くすることが望ましい。
【００２１】
本発明の透明導電性積層体は、標準光源Ｃ（色温度6774K）における透過色をJIS-Z8729-1994に記載された色差のＬ＊ａ＊ｂ＊表色系（色立体）で表したとき、波長550nm付近の透過率が高いと色立体の色度の座標値ｂ＊は大きくなり、波長450nm付近の透過率が高いと色立体の色度の座標値ｂ＊が小さくなる。SiO2などに比べ、ZnOが僅かに可視光の透過率は減衰するが、色立体の色度の座標値ｂ＊の値が大きいと透過光は黄色くなる。色立体の色度の座標値ｂ＊の値の絶対値を２．０以下にすることによって透明導電性積層体の透過光が無色に近づく。
【００２２】
第１の透明導電性薄膜２および第２の透明導電性薄膜４は、可視光範囲の透過率は高いがバンド間遷移による吸収のため紫外領域の透過率は下がる。反射率が最低となる波長が紫外領域では意味がないため、可視光領域で反射光が低くなるように設定する必要がある。具体的には、透明基材１の屈折率を1.49としたなら、各層の光学膜厚（屈折率×膜厚）については、先ず、第１の透明導電性薄膜２の光学膜厚を85nm程度にする。第１の透明導電性薄膜２の光学膜厚をこれより薄くすると、反射率のピークが波長の短い方にシフトし、これより厚くすると、反射率のピークが波長の長い方にシフトし、色度の座標値ｂ＊の絶対値が大きくなるので、この程度の光学膜厚が望ましい。そして、低屈折率薄膜層３の光学膜厚を50nm以下にし、第２の透明導電性薄膜４の光学膜厚を150nm以下で85nm以上にする。第２の透明導電性薄膜４の光学膜厚を第１の透明導電性薄膜２の光学膜厚よりも厚くする理由は、第２の透明導電性薄膜４の表面抵抗値をなるべく小さくするためである。しかし、第２の透明導電性薄膜４の光学膜厚が150nmを超えると、色度の座標値ｂ＊の絶対値が大きくなるので、その厚さは150nmを超えて厚くすることができない。これにより、表面抵抗値をなるべく低くするとともに、波長450nm付近で反射率を最低にし、色立体の色度の座標値ｂ＊の値の絶対値を２．０以下の無色透明にする。
【００２３】
本発明の透明導電性積層体は、その最表面の表面抵抗値が、第２の透明導電性薄膜４単独の表面抵抗値よりも低抵抗にできる効果がある。例えば、低屈折率薄膜層３は10nm程度の膜厚（物理膜厚）で完全な絶縁体ではないため、最表面の表面抵抗値は第２の透明導電性薄膜４が単独のときよりも低下する。これはリーク電流が流れるためであると考えられる。低屈折率薄膜層３の物理膜厚が30nm以上あると抵抗値が大きくなりリーク電流が流れづらくなる。よってリーク電流を多く流すために、低屈折率薄膜層３の物理膜厚は30nm（光学膜厚が44nm）以下であることが望ましい。一方、低屈折率薄膜層３は、光の干渉を利用し反射光の位相をλ／２相当ずらすように光学膜厚（屈折率×膜厚）を調整することで反射率を調整するために物理膜厚が10nm以上必要である。
【実施例】
【００２４】
以下に本発明の具体的実施例について説明する。
【００２５】
＜実施例１＞
透明基材１としてホウケイ酸ガラス（schott製 D263 サイズ100mm×100mm厚さ1.1mm）を用いて、インライン式スパッタリング装置（キヤノンアネルバ製ILC-803）によって第１層目のITOを成膜した。アルゴンガス100sccm、酸素ガス3sccmを導入し圧力を0.27Paとし、ZnOターゲット（Ga含有量3%）には電力密度0.97W/cm2の直流電力を印加し、スパッタリングを行った。光学膜厚がおおよそ85nmとなるように搬送速度を設定し、第１の透明導電性薄膜２をZnO:Gaで得た。その上に、真空蒸着装置（シンクロン製BMC-750）を用いて、ペレット状のSiO2材料（キヤノンオプトロン製SiO2）を電子ビーム加熱式真空蒸着法によってSiO2膜を、低屈折率薄膜層３として成膜した。光学膜厚が20nmとなるように電子ビーム電流値と成膜時間を設定した。その上に、先ほどの第１の透明導電性薄膜２のZnO:Gaと同様に成膜し、光学膜厚が125nmとなるように搬送速度を設定し、第２の透明導電性薄膜４をZnO:Gaで得た。
【００２６】
このように本発明は、図1に示すように、透明基材１上に３層の積層体を成膜して成る。すなわち、透明基材１上に第１の透明導電性薄膜２を成膜し、その上に第１の透明導電性薄膜２および第２の透明導電性薄膜４よりも屈折率が低い低屈折率薄膜層３を成膜し、さらにその上に第２の透明導電性薄膜４を積層してなる透明導電性積層体である。この透明導電性積層体を四端子法によって表面抵抗値を測定した結果、表面抵抗値は 316[Ω/□]であった。また、JIS-Z8729-1994に基づき、分光光度計によって標準光源Ｃで照明した場合の透過色を測定し、Ｌ＊ａ＊ｂ＊表色系の色度の座標値ｂ＊値の絶対値が２以下の結果を得た。その結果を表１に示す。
【００２７】
＜比較例１＞
実施例１と同様に、透明基材１としてホウケイ酸ガラス（schott製 D263 サイズ100mm×100mm厚さ1.1mm）を用いて、インライン式スパッタリング装置（キヤノンアネルバ製ILC-803）によって光学膜厚が125nmのZnO:Gaの第２の透明導電性薄膜４の１層のみを単独に成膜した。これを実施例１と同様の測定を行った結果、表面抵抗値は 383[Ω/□]であった。その結果を表１に示す。
【００２８】
このように、実施例１は比較例１より表面抵抗値が低下する効果があった。また、実施例１は、比較例とは異なり、色立体の色度の座標値ｂ＊の絶対値が２以下となり無色になる効果があった。
【００２９】
＜実施例２＞
透明基材１として透明プラスチック基材５を用いる。透明プラスチック基材５としてポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ製T60、100μ厚）を用い、図２に示すような巻取式成膜装置によって成膜を行った。透明プラスチック基材５は、真空容器６内で巻取巻出ロール７によって巻出しおよび巻取りが行われる。透明プラスチック基材５はまず、ZnO（ガリウム含有量５．７ｗｔ%）のスパッタリングターゲット８が備えられた成膜室内で、成膜ロール９に沿って移動しながらDCスパッタリング法により、光学膜厚が85nmのZnO:Gaを成膜し、第１の透明導電性薄膜２とした。続いて、SiO2の蒸発源１０が備えられた成膜室内で、電子ビーム加熱式真空蒸着法により、光学膜厚が20nmのSiO2を低屈折率薄膜層３として成膜した。その上に第２の透明導電性薄膜４として、光学膜厚が100nmのZnO:Gaを成膜した。得られた透明導電性積層体に対して実施例1と同様の測定を行った結果、表面抵抗値は 331[Ω/□]であった。また、色立体の色度の座標値ｂ＊値の絶対値が２以下の結果を得た。その結果を表１に示す。
【００３０】
＜比較例２＞
実施例２と同様に、透明基材１としてポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ製T60 100μ厚）の透明プラスチック基材５を用いて図２に示す巻取式成膜装置によって、光学膜厚が100nmのZnO:Gaの第２の透明導電性薄膜４を１層のみ単独に成膜した。これを実施例１と同様の測定を行った結果、その表面抵抗値は 406[Ω/□]であった。その結果を表１に示す。
【００３１】
【表１】
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これらの結果から、実施例のいずれも比較例より表面抵抗値が低下し、また、反射率を減少させることで透過率を向上させたため、色立体の色度の座標値ｂ＊の絶対値が２以下になり無色になった。よって、本発明の透明導電性積層体は、容易な手段によって、標準光源Ｃで照明した場合の透過色がＬ＊ａ＊ｂ＊表色系の色度の座標値ｂ＊の絶対値が２以下の高透過率の無色透明で、かつ、低抵抗化が実現できる効果がある。
【産業上の利用可能性】
【００３２】
本発明によれば、第２の透明導電性薄膜４の厚さを従来通りの厚さで形成することで、従来よりも低い表面抵抗値を得ることが出来る効果があるため、従来から用いられてきた製造設備を大幅に変更することなく、従来よりも低い表面抵抗値を得ることが出来る効果がある。そして、高い透明性と導電性を両立させた透明導電性積層体を得ることができる効果があり、タッチパネルやフラットパネルディスプレイ等に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の透明導電性積層体の断面図である。
【図２】本発明の実施例で示した巻取成膜装置の概略図である。
【符号の説明】
【００３４】
１……透明基材
２……第１の透明導電性薄膜
３……低屈折率薄膜層
４……第２の透明導電性薄膜
５……透明プラスチック基材
６……真空容器
７……巻取巻出ロール
８……スパッタリングターゲット
９……成膜ロール
１０……蒸発源
【図１】
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【図２】
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