(57)【要約】【課題】リーク電流や耐圧低下の防止された、トレンチ構造またはメサ構造を有するIII 族窒化物半導体装置。【解決手段】Ｃ面サファイア基板１上にＧａＮ層２を成長させ、ＧａＮ層２上にＴ字型のＵＳＧ膜３を、ＵＳＧ膜３の側面がＧａＮ層２のＡ面とＭ面に平行となるように作製した。その後、ＵＳＧ膜３をマスクとしてＧａＮ層２をドライエッチングした。図２ａ、ｂのように、Ａ面よりもＭ面の方が荒れが少ないことが分かる。次に、ＴＭＡＨ水溶液でウェットエッチングした。図２ｃ、ｄのように、Ａ面、Ｍ面ともに荒れが解消されていて、特にＭ面は鏡面状になっている。したがって、トレンチ溝側面またはメサエッチング側面をＭ面とすれば、III 族窒化物半導体装置のリーク電流や耐圧低下を防止できる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｇａを必須とするIII 族窒化物半導体で構成され、トレンチ構造またはメサ構造を有する半導体装置において、
トレンチ溝側面またはメサエッチング側面のうち、少なくとも前記半導体装置を機能させる面はＭ面であることを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
前記トレンチ溝側面または前記メサエッチング側面すべてがＭ面であることを特徴とする請求項１に記載の半導体装置。
【請求項３】
前記トレンチ溝側面または前記メサエッチング側面は、ウェットエッチングにより荒れが除去されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の半導体装置。
【請求項４】
前記ウェットエッチングに用いられる溶液は、ＴＭＡＨ水溶液であることを特徴とする請求項３に記載の半導体装置。
【請求項５】
前記トレンチ構造または前記メサ構造により形成されたハニカム構造を有することを特徴とする請求項２ないし請求項４のいずれか１項に記載の半導体装置。
【請求項６】
前記トレンチ構造または前記メサ構造により形成されたスーパージャンクション構造を有することを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の半導体装置。
【請求項７】
前記半導体装置は、ＨＥＭＴ、Ｕ−ＭＯＳ、ＬＥＤ、レーザーダイオードであることを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載の半導体装置。
【請求項８】
前記半導体装置は、ｐｎダイオード、ショットキーダイオードであることを特徴とする請求項６に記載の半導体装置。
【請求項９】
前記トレンチ構造または前記メサ構造により形成されたブラッグ反射鏡、レーザーダイオードの共振器に用いる鏡面、導波路を有することを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の半導体装置。
【請求項１０】
Ｇａを必須とするIII 族窒化物半導体で構成され、トレンチ構造またはメサ構造を有する半導体装置において、
トレンチ溝側面またはメサエッチング側面のうち、少なくとも前記半導体装置を機能させる面はＡ面であり、
前記トレンチ溝側面または前記メサエッチング側面は、ＴＭＡＨ水溶液により荒れが除去されていること、
を特徴とする半導体装置。
【請求項１１】
Ｇａを必須とするIII 族窒化物半導体で構成され、トレンチ構造またはメサ構造を有する半導体装置の製造方法において、
トレンチ溝側面またはメサエッチング側面のうち、少なくとも半導体装置を機能させる面はＭ面となるようにトレンチ構造またはメサ構造を形成する工程、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項１２】
前記トレンチ溝側面または前記メサエッチング側面は、すべてＭ面であることを特徴とする請求項１１に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項１３】
前記トレンチ構造またはメサ構造を形成する工程の後、前記トレンチ溝側面または前記メサエッチング側面をウェットエッチングすることでダメージを除去する工程、を有することを特徴とする請求項１１または請求項１２に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項１４】
前記ウェットエッチングに用いられる溶液は、ＴＭＡＨ水溶液であることを特徴とする請求項１１ないし請求項１３のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、トレンチ構造またはメサ構造を有するIII 族窒化物半導体で構成された半導体装置に関するもので、トレンチ溝側面またはメサエッチング側面が特定の面方位であるものに関する。また、その半導体装置の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
III 族窒化物半導体はＬＥＤなどの発光デバイスに広く用いられているが、高い耐圧性が期待されていることから高周波パワーデバイスなどの材料としても盛んに研究開発がなされている。高耐圧なデバイスとするためには、縦型の構造である方が望ましく、オン抵抗を低くするためにトレンチ型であることがより望ましい。
【０００３】
そのようなトレンチ型のIII 族窒化物半導体で構成された半導体装置の例として、特許文献１には、Ｕ−ＭＯＳの構造が示されている。また、特許文献２には、トレンチ型ＨＥＭＴが示されている。
【特許文献１】特表２００３−５１７７２５
【特許文献２】特開２００４−２６０１４０
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、III 族窒化物半導体にトレンチ構造またはメサ構造を形成するためにドライエッチングを用いると、エッチング断面が非常に荒れてしまう。その荒れは電流のリークや耐圧低下の原因となり、半導体装置の性能を低下させることとなる。
【０００５】
また、トレンチ溝側面またはメサエッチング側面の面方位について特許文献１、２には記述は見当たらず、考察もされていない。
【０００６】
そこで本発明の目的は、トレンチ構造またはメサ構造を形成する際にトレンチ溝側面やメサエッチング側面に発生する荒れを減少することで、電流のリークや耐圧の低下が防止された、III 族窒化物半導体装置を実現すること、および、その製造方法にある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１の発明は、Ｇａを必須とするIII 族窒化物半導体で構成され、トレンチ構造またはメサ構造を有する半導体装置において、トレンチ溝側面またはメサエッチング側面のうち、少なくとも半導体装置を機能させる面はＭ面であることを特徴とする半導体装置である。
【０００８】
Ｇａを必須とするIII 族窒化物半導体とは、一般式Ａｌx Ｇａy Ｉｎz Ｎ（ｘ＋ｙ＋ｚ＝１、０≦ｘ、ｙ、ｚ≦１）で表されるIII 族窒化物半導体のうち、ＡｌＮとＩｎＮを除くすべてのIII 族窒化物半導体をいう。また、不純物のドープによりｎ型、ｐ型となっていてもよい。
【０００９】
半導体装置を機能させる面（以下、機能面という）とは、半導体装置を動作させた際に使用される主要な領域面のことである。たとえば、ＬＥＤであれば、ＳＱＷやＭＱＷ、ＦＥＴであれば、チャネル面である。レーザーダイオードでは、ＳＱＷやＭＱＷの他、共振器端面も含む。
【００１０】
本発明者は、ドライエッチング後のトレンチ溝側面またはメサエッチング側面の荒れについて考察したところ、荒れの程度は面方位によって違いがあり、Ｍ面は他の面に比べて特に荒れが少ないことを発見した。第１の発明は、この発見に基づき、トレンチ溝側面またはメサエッチング側面のうち、少なくとも機能面をＭ面とする半導体装置とすることで、電流のリークや耐圧の低下を防止している。第２の発明のように、トレンチ溝側面またはメサエッチング側面すべてがＭ面であると、より防止効果が高くなり望ましい。
【００１１】
第３の発明は、第１の発明または第２の発明において、トレンチ溝側面またはメサエッチング側面は、ウェットエッチングにより荒れが除去されていることを特徴とする半導体装置である。
【００１２】
ウェットエッチングに用いる溶液としては、ＫＯＨ、ＮａＯＨなどのアルカリ溶液を用いることができる。特に、第４の発明のように、ＴＭＡＨ水溶液を用いるのが望ましい。温度５０〜１００℃、濃度５〜５０％で用いることができ、取り扱いが容易であるためである。また、洗浄も容易である。ＴＭＡＨ水溶液は、Ｃ面以外の面であればIII 族窒化物半導体をエッチングできる。Ｍ面がウェットエッチングされると、荒れが解消され、鏡面状になる。Ａ面がエッチングされると荒れは解消するが多数の細い筋が見られるようになる。これは微小なＭ面が現れたためである。
【００１３】
第５の発明は、第２の発明から第４の発明において、トレンチ構造またはメサ構造により形成されたハニカム構造を有することを特徴とする半導体装置である。トレンチ溝側面またはメサエッチング側面をすべてＭ面とすると、六角柱の側面をＭ面とする六角柱状の溝または六角柱が形成される。第５の発明は、この六角柱状の溝または六角柱を利用して、ハニカム構造を構成するものである。ハニカム構造は同一形状の六角形を並べた構造であり、平面を効率よく敷き詰めることができる。また、非常に丈夫な構造である。そこで、トレンチ構造またはメサ構造によりハニカム構造を形成すると、基板上に効率よく半導体装置を作製できる。
【００１４】
第６の発明は、第１の発明から第４の発明において、トレンチ構造またはメサ構造により形成されたスーパージャンクション構造を有することを特徴とする半導体装置である。スーパージャンクション構造を用いることで半導体装置のオン抵抗を低減することができる。
【００１５】
第７の発明は、第１の発明から第６の発明において、半導体装置は、ＨＥＭＴ、Ｕ−ＭＯＳ、ＬＥＤ、レーザーダイオードであることを特徴とする。
【００１６】
第８の発明は、第６の発明において、半導体装置は、ｐｎダイオード、ショットキーダイオードであることを特徴とする。
【００１７】
第９の発明は、第１の発明から第４の発明において、トレンチ構造またはメサ構造により形成されたブラッグ反射鏡、レーザーダイオードの共振器に用いる鏡面、導波路を有することを特徴とする半導体装置である。ブラッグ反射鏡は、たとえば、ＡｌＧａＮ／ＧａＮの多層構造により作製できる。
【００１８】
第１０の発明は、Ｇａを必須とするIII 族窒化物半導体で構成され、トレンチ構造またはメサ構造を有する半導体装置において、トレンチ溝側面またはメサエッチング側面のうち、少なくとも機能面はＡ面であり、トレンチ溝側面またはメサエッチング側面は、ＴＭＡＨ水溶液により荒れが除去されていることを特徴とする半導体装置である。
【００１９】
第１１の発明は、Ｇａを必須とするIII 族窒化物半導体で構成され、トレンチ構造またはメサ構造を有する半導体装置の製造方法において、トレンチ溝側面またはメサエッチング側面のうち、少なくとも半導体装置を機能させる面はＭ面となるようにトレンチ構造またはメサ構造を形成する工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法である。
【００２０】
第１２の発明は、第１１の発明において、トレンチ溝側面またはメサエッチング側面は、すべてＭ面であることを特徴とする半導体装置の製造方法である。
【００２１】
第１３の発明は、第１１の発明または第１２の発明において、トレンチ構造またはメサ構造を形成する工程の後、トレンチ溝側面またはメサエッチング側面をウェットエッチングすることでダメージを除去する工程、を有することを特徴とする半導体装置の製造方法である。
【００２２】
第１４の発明は、第１１の発明から第１３の発明において、ウェットエッチングに用いられる溶液は、ＴＭＡＨ水溶液であることを特徴とする半導体装置の製造方法である。
【００２３】
トレンチ構造またはメサ構造の形成は、たとえば、反応性イオンエッチングなどのドライエッチングにより形成する。
【発明の効果】
【００２４】
第１の発明によると、Ｇａを必須とするIII 族窒化物半導体で構成された半導体装置において、トレンチ溝またはメサエッチング側面のうち、少なくとも機能面をＭ面とすることで、半導体装置の電流リークや耐圧低下を防止することができる。また、第３、４の発明のように、トレンチ溝またはメサエッチング側面をウェットエッチングすることで荒れを除去すると、より電流リークや耐圧低下の防止効果がより増す。したがって、トレンチ構造またはメサ構造を用いて、電流リークや耐圧低下の防止された種々の構造を実現でき、さまざまな縦型半導体装置、トレンチ型半導体装置を実現できる。たとえば、ハニカム構造、スーパージャンクション構造などを有した半導体装置、第７の発明のような、ＨＥＭＴ、Ｕ−ＭＯＳ、ＬＥＤ、レーザーダイオード等である。また、第９の発明のように、ブラッグ反射鏡、導波路を有する半導体装置も実現できる。また、ＴＭＡＨ水溶液によりウェットエッチングされたＭ面は鏡面状であり、へき開面よりも荒れが少ないので、レーザーダイオードの共振器の鏡面として利用できる。
【００２５】
また、第１１〜１４の発明によると、電流リークや耐圧低下の防止された半導体装置を製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明の具体的な実施例を図を参照にしながら説明するが、本発明はそれらの実施例に限定されるものではない。
【実施例１】
【００２７】
実施例１では、ドライエッチング後のトレンチ溝側面やメサエッチング側面のIII 族窒化物半導体の荒れの、面方位依存性について考察するために、次のような試料を作製し検討した。
【００２８】
まず、Ｃ面サファイア基板１上にＧａＮ層２を３μｍ成長させ、ＧａＮ層２上にフォトリソグラフィとドライエッチングによりＴ字型のＵＳＧ膜３を形成した（図１）。ＵＳＧ膜３は、側面４〜７をＧａＮ層２のＭ面、側面８〜１０をＧａＮ層２のＡ面、に平行となるよう形成した。その後、ＵＳＧ膜３をマスクとしてＧａＮ層２をＣｌ2 とＢＣｌ3 の混合ガスにより３μｍドライエッチングした。次に、試料を温度８５℃、濃度２５％のＴＭＡＨ水溶液で５分間ウェットエッチングした。
【００２９】
図２ａは、ドライエッチング後の試料を５０度傾斜させて図１の矢印Ｘ方向から撮影したＳＥＭ写真であり、図２ｂは、ドライエッチング後の試料を４５度傾斜させて試料を図１の矢印Ｙ方向から撮影したＳＥＭ写真である。図２ａから、テーパー角約７１度の台形状にエッチングされていることが分かる。また、図２ｂからＧａＮ層２のＭ面はＡ面に比べて荒れが少ないことが分かる。図２ｃは、ＴＭＡＨ水溶液でウェットエッチング後の試料を図２ａと同じ方向から撮影したＳＥＭ写真であり、図２ｄは、ＴＭＡＨ水溶液でウェットエッチング後の試料を図２ｂと同じ方向から撮影したＳＥＭ写真である。台形状であった形状が、垂直になっていることが分かる。また、図２ｄから、Ｍ面は荒れが全く見られず鏡面状になっていて、非常に良好な面となっている。Ａ面も荒れは解消されているが、縦方向に筋が見られる。これは、微小なＭ面が形成されたことによるものである。
【００３０】
以上のことから、機能面がＭ面となるようなトレンチ構造やメサ構造を有する半導体装置は、荒れが少ないことからリーク電流や耐圧低下が抑制された半導体装置となる。特に、ＴＭＡＨ水溶液でウェットエッチングを行うと、Ｍ面の荒れが全く見られないことからより効果的である。
【実施例２】
【００３１】
実施例１と同様に、Ｃ面サファイア基板１上に膜厚３μｍのＧａＮ層２を形成した。その後、ドライエッチングすることで、幅０．３μｍ、高さ３μｍの平行板状で、広い面をＭ面とするメサ構造を作製し、ＴＭＡＨ水溶液でウェットエッチングを行った。図３は、そのメサ構造部を撮影したＳＥＭ写真である。このようなメサ構造を用いることで、リーク電流が少なく、耐圧低下が抑制された、ブラッグ反射鏡やスーパージャンクション構造を有する半導体装置を作製することができる。
【実施例３】
【００３２】
図４は、実施例３のＵ−ＭＯＳの構造を示す図である。図４ａは、図４ｂにおいてＢ−Ｂ’での縦方向の断面図であり、図４ｂは、図４ａにおいてＡ−Ａ’での水平方向の断面図である。
【００３３】
図４ａのように、実施例３のＵ−ＭＯＳは、ｎ−ＧａＮ層１０上にｐ−ＧａＮ層１１、その上にｎ+ −ＧａＮ層１２が形成され、ｎ+ −ＧａＮ層１２上にソース電極１５、ｎ−ＧａＮ層１０の下面にはドレイン電極１６が形成されている。また、ｎ+ −ＧａＮ層１２とｐ−ＧａＮ層１１を貫通し、ｎ−ＧａＮ層１０に達するトレンチ溝１４ａ、ｂが形成され、トレンチ溝１４ａ、ｂの側面および底面にはＳｉＯ2 からなる絶縁膜１３が形成されている。さらに、絶縁膜１３で囲まれた溝を埋めるように、ゲート電極１７が形成されている。トレンチ溝１４ａ、ｂは、側面すべてがＭ面となるように形成し、ｐ−ＧａＮ層１１とｎ+ −ＧａＮ層１２とｎ−ＧａＮ層１０の一部からなる領域１８が、図４ｂに示すように、側面をＭ面とする六角柱となるように、形成されている。つまり、セル構造がハニカム構造となっている。また、トレンチ溝１４ａ、ｂを形成する際、ＴＭＡＨ水溶液でウェットエッチングすることでトレンチ溝１４ａ、ｂの側面の荒れを解消している。
【００３４】
この実施例３のＵ−ＭＯＳは、ｐ−ＧａＮ層１１と絶縁膜１３の境界面１９をチャネルとして動作し、トレンチ溝１４ａ、ｂの側面の荒れが解消されているためリーク電流や耐圧低下が防止されている。
【実施例４】
【００３５】
図５は、実施例４のＨＥＭＴの構造を示す図である。図５ａは、図５ｂにおいてＤ−Ｄ’での縦方向の断面図であり、図５ｂは、図５ａにおいてＣ−Ｃ’での水平方向の断面図である。
【００３６】
図５ａのように、実施例４のＨＥＭＴは、ｎ−ＧａＮ層２０上にｉ−ＧａＮ層２１、その上にｎ+ −ＧａＮ層２２が形成され、ｎ+ −ＧａＮ層２２上にソース電極２３、ｎ−ＧａＮ層２０の下面にはドレイン電極２４が形成されている。さらに、ｉ−ＧａＮ層２１とｎ+ −ＧａＮ層２２を貫通し、ｎ−ＧａＮ層２０表面に達するトレンチ溝２５が形成され、トレンチ溝２５の側面および底面にはｎ−ＡｌＧａＮ層２７、そのｎ−ＡｌＧａＮ層２７の側面および底面にＳｉＯ2 からなる絶縁膜２６が形成されている。また、この溝を埋めるように、ゲート電極２８が形成されている。実施例３と同様に、トレンチ溝２５は、側面すべてがＭ面となるように形成し、図５ｂに示すように、トレンチ溝２５以外の領域が、側面をＭ面とする六角柱となるように形成され、セル構造がハニカム構造となっている。また、トレンチ溝２５を形成する際、ＴＭＡＨ水溶液でウェットエッチングすることでトレンチ溝２５の側面の荒れは解消されている。
【００３７】
この実施例４のＨＥＭＴは、ｉ−ＧａＮ層２１とｎ−ＡｌＧａＮ層２７の接合面２９をチャネルとして動作し、実施例３と同じく、リーク電流や耐圧低下が防止されている。また、トレンチ型であるためチャネルを広くとることができるのでオン抵抗を低くできる。
【実施例５】
【００３８】
図６は、実施例５のＬＥＤの構造を示す断面図である。サファイア基板３０上にｎ+ −ＧａＮ層３１が形成され、ｎ+ −ＧａＮ層３１を貫通しサファイア基板３０表面に達するトレンチ溝３２が形成されている。トレンチ溝３２の側面にはＩｎＧａＮ／ＧａＮのＭＱＷ層３３、ｐ−ＧａＮ層３４が形成され、トレンチ溝３２を埋めるように電極３５が形成されている。また、ｎ+ −ＧａＮ層３１の上面には電極３６が形成されている。また、ｎ+ −ＧａＮ層３１、ＭＱＷ層３３、ｐ−ＧａＮ層３４の上面には絶縁膜３７が形成されている。このトレンチ溝３２の側面は、ＭＱＷ層３３と接する側面がＭ面となるように形成されていて、トレンチ溝３２を形成する際、ＴＭＡＨ水溶液でウェットエッチングすることでトレンチ溝３２の側面の荒れを解消している。このＬＥＤは、リーク電流や耐圧低下を防止できるだけでなく、トレンチ構造としたことにより発光面が大きいという利点がある。
【実施例６】
【００３９】
図７は、実施例６のスーパージャンクションｐｎダイオードの構造を示す断面図である。ｎ+ −ＧａＮ層４０上にｎ−ＧａＮ層４１とｐ−ＧａＮ層４２が交互に形成されたスーパージャンクション構造４３を有し、ｎ−ＧａＮ層４１上と、ｐ−ＧａＮ層４２上の一部には、ＳｉＯ2 からなる絶縁膜４４が形成されている。また、絶縁膜４４とｐ−ＧａＮ層４２の上部には電極４５、ｎ+ −ＧａＮ層４０の下面には電極４６が形成されている。
【００４０】
スーパージャンクション構造４３は、図３のようなメサ構造を用いて、以下に説明する方法で作製した。ｎ+ −ＧａＮ層４０上にｎ−ＧａＮ層４１を形成した後、ドライエッチングにより図３のような平行板状のｎ−ＧａＮ層４１を、平行面がＭ面となるよう作製し、ＴＭＡＨ水溶液でウェットエッチングすることでＭ面の荒れを解消した。その後ｎ−ＧａＮ層４１の間を埋めるようにｐ−ＧａＮ層４２を形成することで、スーパージャンクション構造を作製した。
【００４１】
この実施例６のｐｎダイオードの構造は、スーパージャンクション構造により高耐圧であり、本発明の効果によりリーク電流や耐圧低下を防止できる。
【００４２】
実施例３〜６に示した半導体装置は、あくまでトレンチ構造やメサ構造を有する半導体装置の１例であって、本発明は他のさまざまなトレンチ構造やメサ構造に適用できるものである。たとえば、ブラッグ反射鏡、導波路等の構造にも適用できる。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
本発明によると、Ｕ−ＭＯＳ、トレンチ型ＨＥＭＴなど、さまざまなトレンチ構造またはメサ構造を有するIII 族窒化物半導体装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】実施例１のＵＳＧ膜３の形状を示す図。
【図２】実施例１の試料を撮影したＳＥＭ写真。
【図３】実施例２のメサ構造部を撮影したＳＥＭ写真。
【図４】実施例３のＵ−ＭＯＳの構造を示す図。
【図５】実施例４のＨＥＭＴの構造を示す図。
【図６】実施例５のＬＥＤの構造を示す図。
【図７】実施例６のスーパージャンクションｐｎダイオードの構造を示す図。
【符号の説明】
【００４５】
１、３０：サファイア基板
２：ＧａＮ層
３：ＵＳＧ膜
１０、２０：ｎ−ＧａＮ層
１１、３４、４２：ｐ−ＧａＮ層
１２、２２、３１、４０、４１：ｎ+ −ＧａＮ層
１３、２６、３７、４４：絶縁膜
１４、２５、３２：トレンチ溝
１７、２８：ゲート電極
２１：ｉ−ＧａＮ層
２７：ｎ−ＡｌＧａＮ層
３３：ＭＱＷ層
４３：スーパージャンクション構造
【図１】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図２】
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【図３】
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