(57)【要約】【課題】  超電導量子干渉素子（ＳＱＵＩＤ）から成る磁気センサの有する特性を利用して、その高感度性能を充分に発揮させることにより検出精度を高め、微小、微細な磁性体等の異物であっても、確実にかつ適切に検出する。【解決手段】  被検査物１の搬送路１２上に設置された磁界印加手段１１により被検査物１に磁界を印加して被検査物１に含有される磁性体２を磁化した後、被検査物１の搬送路１２上に設置された超電導量子干渉素子から成る磁気センサ１４を少なくとも１つ有する磁気検出手段１３により被検査物１中の磁性体２を検出する。被検査物１を、磁気センサ１４が磁性体２を検出することができる検出距離の範囲内を通過できる大きさに加工する。磁気センサ１４が磁性体２を検出することができる検出距離を、目的とする磁性体２の大きさや材質に応じて設定する。被検査物１の大きさを磁気センサ１４のセンサ面１４ａの幅以内に設定する。【選択図】        図１
2008128941.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査物の搬送路上に設置された磁界印加手段により前記被検査物に磁界を印加して前記被検査物に含有される磁性体を磁化した後、前記被検査物の搬送路上に設置された超電導量子干渉素子から成る磁気センサを少なくとも一つ有する磁気検出手段により前記被検査物中の磁性体を検出する異物の検出方法において、前記被検査物を、前記磁気センサが前記磁性体を検出することができる検出距離の範囲内を通過できる大きさに加工して、前記磁気検出手段により前記磁性体を検出することを特徴とする異物の検出方法。
【請求項２】
請求項１に記載された異物の検出方法であって、前記磁気センサが前記磁性体を検出することができる検出距離を、目的とする前記磁性体の大きさに応じて設定することを特徴とする異物の検出方法。
【請求項３】
請求項１又は請求項２のいずれかに記載された異物の検出方法であって、前記磁気センサが前記磁性体を検出することができる検出距離を、目的とする前記磁性体の材質に応じて設定することを特徴とする異物の検出方法。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれかに記載された異物の検出方法であって、前記被検査物の大きさを前記磁気センサのセンサ面の幅以内に設定することを特徴とする異物の検出方法。
【請求項５】
被検査物の搬送路上に設置された磁界印加手段により前記被検査物に磁界を印加して前記被検査物に含有される磁性体を磁化した後、前記被検査物の搬送路上に設置された超電導量子干渉素子から成る磁気センサを少なくとも一つ有する磁気検出手段により前記被検査物中の磁性体を検出する異物の検出方法において、前記磁界印加手段により前記被検査物に前記被検査物の周方向から磁界を印加し、前記磁界の印加方向に対して前記磁気センサのセンサ面が垂直になるように配置された前記磁気検出手段により前記磁性体の検出を行う磁界印加工程及び磁気検出工程を、前記被検査物の周方向の異なる複数の磁界の印加方向毎に行うことを特徴とする異物の検出方法。
【請求項６】
請求項５に記載された異物の検出方法において、前記磁界印加手段により前記被検査物に前記被検査物の周方向から磁界を印加し、一組の磁気センサが前記磁界の印加方向に対して前記磁気センサのセンサ面が垂直となり、かつ、前記被検査物の搬送方向に対して直角に交錯する同一平面上において、通過する前記被検査物を挟んで向かい合うようにして配置された磁気検出手段により前記磁性体の検出を行う磁界印加工程及び磁気検出工程を、少なくとも前記被検査物の周方向の半周部分に対して異なる複数の磁界の印加方向毎に行うことを特徴とする異物の検出方法。
【請求項７】
請求項５又は請求項６のいずれかに記載された異物の検出方法において、前記磁界印加手段及び前記磁気検出手段を組として、複数組の前記磁界印加手段及び前記磁気検出手段を、前記被検査物の周方向の異なる方向に向けて、かつ、前記被検査物の搬送方向において所定の間隔を空けて配置して、前記被検査物に磁界を印加した後に前記磁性体の検出を行う磁界印加工程及び磁気検出工程を前記被検査物の周方向の異なる複数の磁界の印加方向毎に行うことを特徴とする異物の検出方法。
【請求項８】
請求項５又は請求項６のいずれかに記載された異物の検出方法において、複数の前記磁気センサ又は複数組の前記磁気センサを、前記被検査物の周方向の異なる方向に向けて、かつ、前記被検査物の搬送方向に対して直角に交錯する同一平面上において配置し、前記磁界印加手段を前記被検査物の周方向に回転させて磁界印加方向を少なくとも一つの前記磁気センサのセンサ面に対して垂直になる方向に変化させた上で、前記被検査物を前記磁界印加手段と前記磁気検出手段に複数回繰り返し通過させることにより、前記被検査物に磁界を印加した後に前記磁性体の検出を行う磁界印加工程及び磁気検出工程を前記被検査物の周方向の異なる複数の磁界の印加方向毎に行うことを特徴とする異物の検出方法。
【請求項９】
請求項５又は請求項６のいずれかに記載された異物の検出方法において、一つの前記磁気センサ又は前記被検査物の搬送方向に対して直角に交錯する同一平面上において一組の前記磁気センサが配置された前記磁気検出手段及び前記磁界印加手段とを、前記被検査物の周方向に回転させた上で、前記被検査物を前記磁界印加手段と前記磁気検出手段に複数回繰り返し通過させることにより、前記被検査物に磁界を印加した後に前記磁性体の検出を行う磁界印加工程及び磁気検出工程を前記被検査物の周方向の異なる複数の磁界の印加方向毎に行うことを特徴とする異物の検出方法。
【請求項１０】
請求項５又は請求項６のいずれかに記載された異物の検出方法において、一つの前記磁気センサ又は前記被検査物の搬送方向に対して直角に交錯する同一平面上において一組の前記磁気センサを配置し、前記被検査物を周方向の任意の角度に回転させて、前記被検査物を前記磁界印加手段と前記磁気検出手段に複数回繰り返して通過させることにより、前記被検査物に磁界を印加した後に前記磁性体の検出を行う磁界印加工程及び磁気検出工程を前記被検査物の周方向の異なる複数の磁界の印加方向毎に行うことを特徴とする異物の検出方法。
【請求項１１】
被検査物の搬送路上に設置された磁界印加手段により前記被検査物に磁界を印加して前記被検査物に含有される磁性体を磁化した後、前記被検査物の搬送路上に設置された超電導量子干渉素子から成る磁気センサを少なくとも一つ有する磁気検出手段により前記被検査物中の磁性体を検出する異物の検出方法において、前記搬送路の幅を、単体の前記磁気センサのセンサ面の幅に合わせて、前記磁気センサを少なくとも一つ有する磁気検出手段により前記磁性体を検出することを特徴とする異物の検出方法。
【請求項１２】
被検査物の搬送路上に設置された磁界印加手段により前記被検査物に磁界を印加して前記被検査物に含有される磁性体を磁化した後、前記被検査物の搬送路上に設置された超電導量子干渉素子から成る磁気センサを少なくとも一つ有する磁気検出手段により前記被検査物中の磁性体を検出する異物の検出方法において、前記被検査物を一定形状の筒内に落下させ、前記筒の外周に設置された前記磁気検出手段により前記磁性体を検出することを特徴とする異物の検出方法。
【請求項１３】
請求項１乃至請求項１２のいずれかに記載された異物の検出方法であって、前記被検査物が半導体封止用樹脂組成物であり、前記半導体封止用樹脂組成物の製品検査として前記磁気検出手段により前記半導体封止用樹脂に含有される前記磁性体を検出することを特徴とする異物の検出方法。
【請求項１４】
請求項１乃至請求項１２のいずれかに記載された異物の検出方法であって、前記被検査物が半導体封止用樹脂組成物の原材料であり、前記半導体封止用樹脂組成物の製造前に前記原材料の製品検査として前記磁気検出手段により前記半導体封止用樹脂組成物の原材料に含有される前記磁性体を検出することを特徴とする異物の検出方法。
【請求項１５】
被検査物を搬送する搬送路と、前記搬送路上に設置され前記被検査物に磁界を印加して前記被検査物に含有される磁性体を磁化する磁界印加手段と、前記被検査物の搬送路上に設置され前記磁界印加手段により前記被検査物に印加された磁界を検出する超電導量子干渉素子から成る磁気センサを少なくとも一つ有する磁気検出手段とを備え、前記磁界印加手段により前記被検査物に磁界を印加して前記被検査物に含有される磁性体を磁化した後に、前記磁気検出手段により前記被検査物中の磁性体を検出する異物の検出装置において、前記磁界印加手段は前記被検査物に前記被検査物の周方向の異なる方向から磁界を印加し、前記磁気検出手段の前記磁気センサは前記磁界の印加方向に対してセンサ面が垂直になるように配置され、前記磁界印加手段及び前記磁気検出手段は前記被検査物の周方向の異なる複数の磁界の印加方向毎に前記磁界印加及び前記磁性体の検出を行うことを特徴とする異物の検出装置。
【請求項１６】
請求項１５に記載された異物の検出装置において、前記磁気検出手段は、前記磁界の印加方向に対してセンサ面が垂直となり、かつ前記被検査物の搬送方向に対して直角に交錯する同一平面上において通過する前記被検査物を挟んで向かい合うようにして配置された一組の前記磁気センサを有し、前記磁界印加手段及び前記磁気検出手段は少なくとも前記被検査物の周方向の半周部分に対して前記被検査物の周方向の異なる複数の磁界の印加方向毎に前記磁界印加及び前記磁性体の検出を行うことを特徴とする異物の検出装置。
【請求項１７】
請求項１５又は請求項１６のいずれかに記載された異物の検出装置において、前記磁界印加手段と前記磁気検出手段とが組となり、複数組の前記磁界印加手段と前記磁気検出手段が、前記被検査物の周方向に対して相互に異なる方向に向けて、かつ、前記被検査物の搬送方向において所定の間隔を空けて配置され、前記磁界印加手段及び前記磁気検出手段は前記被検査物の周方向の異なる複数の磁界の印加方向毎に前記磁界印加及び前記磁性体の検出を行うことを特徴とする異物の検出装置。
【請求項１８】
請求項１５又は請求項１６のいずれかに記載された異物の検出装置において、前記磁気検出手段は、前記被検査物の周方向に対して異なる方向に向けて、かつ、前記被検査物の搬送方向に対して直角に交錯する同一平面上において配置された複数の前記磁気センサ又は複数組の前記磁気センサを有し、前記検出装置は、更に、前記磁界印加手段を前記被検査物の周方向に回転させて磁界印加方向を少なくとも一つの前記磁気センサのセンサ面に対して垂直になる方向に変化させる磁界印加方向変更手段をも備え、前記磁界印加手段及び前記磁気検出手段は、前記磁界印加方向変更手段により前記被検査物に前記被検査物の周方向の異なる方向から磁界を印可した上で、前記被検査物が前記磁界印加手段及び前記磁気検出手段を繰り返し通過することにより、前記被検査物の周方向の異なる複数の磁界の印加方向毎に前記磁界印加及び前記磁性体の検出を行うことを特徴とする異物の検出装置。
【請求項１９】
請求項１５又は請求項１６のいずれかに記載された異物の検出装置において、前記磁気検知手段は、一つの前記磁気センサ又は前記被検査物の搬送方向に対して直角に交錯する同一平面上に配置された一組の前記磁気センサを有し、前記検出装置は、前記磁界印加手段及び前記磁気検出手段を前記被検査物の周方向に回転させる印加及び検出方向変更手段をも更に備え、前記磁界印加手段及び前記磁気検出手段は、前記印加及び検出方向変更手段により前記被検査物に前記被検査物の周方向の異なる方向から磁界を印可した上で、前記被検査物が前記磁界印加手段及び前記磁気検出手段を繰り返し通過することにより、前記被検査物の周方向の異なる複数の磁界の印加方向毎に前記磁界印加及び前記磁性体の検出を行うことを特徴とする異物の検出装置。
【請求項２０】
請求項１５又は請求項１６のいずれかに記載された異物の検出装置において、前記磁気検出手段は、一つの前記磁気センサ又は前記被検査物の搬送方向に対して直角に交錯する同一平面上に配置された一組の前記磁気センサを有し、前記検出装置は、前記被検査物を周方向の任意の角度に回転させる被検査物回転手段を更に備え、前記磁界印加手段は前記被検査物回転手段により回転させられた前記被検査物に前記被検査物の周方向から磁界を印加し、前記磁気センサを有する前記磁気検出手段は、前記被検査物が複数回繰り返し通過することにより、前記磁性体の検出を前記被検査物の周方向の異なる複数の磁界の印加方向毎に行うことを特徴とする異物の検出装置。
【請求項２１】
請求項１８乃至請求項２０のいずれかに記載された異物の検出装置において、前記検出装置は、前記被検査物を前記搬送路の出口から入り口に搬送する被検査物搬送手段を更に備え、前記被検査物搬送手段は、前記被検査物を、前記磁界印加手段及び前記磁気検出手段に繰り返し通過させることを特徴とする異物の検出装置。
【請求項２２】
被検査物を搬送する搬送路と、前記搬送路上に設置され被検査物に磁界を印加して前記被検査物に含有される磁性体を磁化する磁界印加手段と、前記搬送路上に設置された超電導量子干渉素子から成る磁気センサを少なくとも一つ有する磁気検出手段とを備え、前記磁界印加手段により前記被検査物に磁界を印加して前記被検査物に含有される磁性体を磁化した後に、前記磁気検出手段により前記被検査物中の磁性体を検出する異物の検出装置において、前記搬送路は単体の前記磁気センサのセンサ面の幅に合致する幅を有し、前記磁気検出手段は前記搬送路により搬送される前記被検査物に含有される前記磁性体を検出することを特徴とする異物の検出装置。
【請求項２３】
被検査物を搬送する搬送路と、前記搬送路上に設置され被検査物に磁界を印加して前記被検査物に含有される磁性体を磁化する磁界印加手段と、前記搬送路上に設置された超電導量子干渉素子から成る磁気センサを少なくとも一つ有する磁気検出手段とを備え、前記磁界印加手段により前記被検査物に磁界を印加して前記被検査物に含有される磁性体を磁化した後に、前記磁気検出手段により前記被検査物中の磁性体を検出する異物の検出装置において、前記搬送路は一定形状を有する筒から成り、前記磁気検出手段は前記筒の外周に設置されて前記筒内を落下する前記被検査物に含有される前記磁性体を検出することを特徴とする異物の検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体封止用の樹脂組成物等に混入した磁性体等の異物を検出する方法及び装置の改良に関し、特に、超電導量子干渉素子（以下、必要に応じて、「ＳＱＵＩＤ（Superconducting Quantum Interference Device)」と称する。）を用いた検出において、その精度を適切に高めることに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
（異物の除去の必要性）
例えば、ＩＣやＬＳＩ等の半導体素子の封止には信頼性や生産性の観点からトランスファー成形ができる熱硬化性樹脂組成物が広く用いられる。半導体封止用熱硬化性樹脂組成物として最も一般的なエポキシ樹脂組成物は、通常各原料を所定量秤量したものを混合装置で予備混合し、次いで単軸混練機、二軸混練機、加熱ロール、連続ニーダ−等の加熱混練機を用いて溶融混練した後、粉砕機により粉砕し、タブレットマシンにより打錠するという製造工程を経て製造される。これら製造工程においては、混合装置、加熱混練機、粉砕機等の製造装置が摩耗等をして、樹脂材料中に僅かながら鉄粉等の磁性体が異物として混入することがある。
【０００３】
しかし、このような鉄粉等の導電性の異物が樹脂組成物中に存在していると、半導体パッケージ内のピンや配線間をショートさせて電気的不良の原因となるおそれがある。特に、近年、半導体を樹脂組成物により封止した半導体パッケージは、極端に小型化、薄型化される傾向にあり、その結果、半導体パッケージ内のピンや配線の間隔は狭くなってきているため、相当程度微細な鉄粉等の導電性の異物が含まれているだけでも、これらの電気的不良の原因となるおそれがある。このため、除去すべき鉄粉等の導電性の異物のサイズも、従前以上により微細なレベルであることが望まれる等、その検出に対する要求もより厳しくなっている。
【０００４】
（１．吸着による除去の限界）
この点については、従来から、製造工程等の一部に磁石を設置して、この磁石により金属等の異物を吸着して除去するのが一般的であった（例えば、特許文献１乃至３参照）。しかし、鉄粉等の異物は、非常に微小、微量である一方、材料である樹脂からは確実に除去する必要があるため、相当程度高性能の吸着能力を有しなければ確実に除去することができず、必ずしも充分に異物を除去することができたとは言い得ない面もあった。
【０００５】
（２．磁気センサによる検出の従来の技術）
一方、各種センサを使用して、樹脂組成物中に含まれている異物を検知することも行われていたが（例えば、特許文献４及び５参照）、数十μｍ単位の異物を検知することは必ずしも充分にできない問題があった。このため、更に、従来の高感度磁気センサであるフラックスゲートの１０3倍、ホール素子の１０6倍の高感度を有する超電導量子干渉素子（ＳＱＵＩＤ）の使用した磁気センサを使用して、数十μｍ程度の微細な磁性体を検知することも提案されるに至っている（例えば、特許文献６乃至８参照）。
【０００６】
（３．ＳＱＵＩＤの特性）
しかし、このＳＱＵＩＤから成る磁気センサが検出できる磁界の強度は、ＳＱＵＩＤから成る磁気センサからの磁性体までの距離に左右される。即ち、検出距離が小さい程、微弱な強度の磁界でも検出することができる一方、検出距離が次第に大きくなるに連れ、微弱な磁界では検出することができなくなる傾向がある。このため、図１（Ａ）に示すように、同じＳＱＵＩＤから成る磁気センサ１４により、大きさの異なる被検査物１に含まれる鉄粉等の異物（磁性体２）を検出しようとすると、磁気センサ１４までの距離が遠い小さな被検査物１Ａに含まれている異物を適切に検出することができなくなるおそれがある。また、大きな被検査物１Ｂにあっても、磁性体２の位置が、磁気センサ１４から遠い場合には、適切に検出することができない場合がある。
【０００７】
また、このＳＱＵＩＤから成る磁気センサの検出範囲を左右する磁界の強度は、図１０に示すように、検出すべき磁性体の大きさによっても異なる。即ち、比較的大きな磁性体は強い磁界を発生するため検知しやすい一方、比較的小さな磁性体が発生させる磁界は微弱である。更には、ＳＱＵＩＤから成る磁気センサの検出範囲を左右する磁界の強度検出すべき磁性体の種類によっても異なる。従って、ＳＱＵＩＤから成る磁気センサが磁性体を確実に検出することがでできる距離は、ＳＱＵＩＤから成る磁気センサから磁性体までの単なる絶対的な距離のみで決定されるものではなく、これらの点を考慮せずに検出距離を設定しても、必ずしも適切に磁性体を検出することはできない。即ち、ＳＱＵＩＤから成る磁気センサと磁性体までの距離、ひいては、被検査物の大きさは、磁性体の大きさや材質との関係も考慮して相対的に決定することが必要となる。
【０００８】
更に、ＳＱＵＩＤから成る磁気センサは、センサ面に入り込む磁界の垂直方向のベクトル成分のみを検知するため、その検出範囲は、印可された磁性体が作る磁界の方向にも左右される。即ち、図１１に示すように、そのセンサ面に対して直角な方向の磁界の強度は、大きな値として検出することができる一方（例えば、特許文献７参照）、印加する磁界の方向がセンサ面と平行な方向になるに従い検出強度も小さくなる。従って、ＳＱＵＩＤから成る磁気センサのセンサ面と、印加する磁界の方向とが直交するように設定する必要があるのは勿論であるが、ＳＱＵＩＤから成る磁気センサのセンサ面と、印加する磁界の方向とが直交するように設定しても、上記のように、被検査物中における磁性体の位置によっては、ＳＱＵＩＤから成る磁気センサまでの距離が異なり、必ずしも充分な検出強度を確保できないおそれがある。
【０００９】
加えて、上記の検出範囲と磁界の方向との関係から、ＳＱＵＩＤから成る磁気センサの直下に位置しない磁性体のつくる磁界は、磁気センサの直下に位置する磁性体のつくる磁界と比較してセンサ面に入り込む垂直方向のベクトル成分が大幅に低下することとなるため、被検査物がＳＱＵＩＤから成る磁気センサの幅よりも大きい場合には、被検査物のうち磁気センサの直下以外の部分に存在する磁性体を検出することができないおそれがある。同様に、例えば、図６（Ａ）に示すように、ＳＱＵＩＤから成る磁気センサ１４のセンサ面１４ａに比べて広範囲の面積を対象として磁性体である異物を検出しようとすると、磁気センサの被検査物に対する距離や向きを維持したまま、ＳＱＵＩＤから成る磁気センサを移動させてスキャニングするか、もしくは被検査物がくまなくＳＱＵＩＤから成る磁気センサ１４の直下を通過するように被検査物を移動させる必要が生じる。しかし、これでは、検出のための設備にコストを要すると共に、異物を適切に検知することが困難となるおそれがある。
【００１０】
【特許文献１】特開２００３−８０１０７号公報
【特許文献２】特開２００２−２７３２６４号公報
【特許文献３】特開２００３−１０７２８号公報
【特許文献４】特開平１１−２３７２５号公報
【特許文献５】特開２００４−２６４２６６号公報
【特許文献６】特開平７−７７５１６号公報
【特許文献７】特開平１０−１００９１号公報
【特許文献８】特開平１０−２６８０１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明が解決しようとする課題は、上記の問題点に鑑み、ＳＱＵＩＤから成る磁気センサの有する特性を利用して、その高感度性能を充分に発揮させることにより検出精度を高め、微小、微細な磁性体等の異物であっても、確実にかつ適切に検出することができる異物の検出方法及び異物の検出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、上記の課題を解決するための第１の手段として、被検査物の搬送路上に設置された磁界印加手段により被検査物に磁界を印加して被検査物に含有される磁性体を磁化した後、被検査物の搬送路上に設置された超電導量子干渉素子から成る磁気センサを少なくとも一つ有する磁気検出手段により被検査物中の磁性体を検出する異物の検出方法において、被検査物を、磁気センサが磁性体を検出することができる検出距離の範囲内を通過できる大きさに加工して、磁気検出手段により磁性体を検出することを特徴とする異物の検出方法を提供するものである。
【００１３】
本発明は、上記の課題を解決するための第２の手段として、上記第１の解決手段において、磁気センサが磁性体を検出することができる検出距離を、目的とする磁性体の大きさに応じて設定することを特徴とする異物の検出方法を提供するものである。
【００１４】
本発明は、上記の課題を解決するための第３の手段として、上記第１又は第２のいずれかの解決手段において、磁気センサが磁性体を検出することができる検出距離を、目的とする磁性体の材質に応じて設定することを特徴とする異物の検出方法を提供するものである。
【００１５】
本発明は、上記の課題を解決するための第４の手段として、上記第１乃至第３のいずれかの解決手段において、被検査物の大きさを磁気センサのセンサ面の幅以内に設定することを特徴とする異物の検出方法を提供するものである。
【００１６】
本発明は、上記の課題を解決するための第５の手段として、被検査物の搬送路上に設置された磁界印加手段により被検査物に磁界を印加して被検査物に含有される磁性体を磁化した後、被検査物の搬送路上に設置された超電導量子干渉素子から成る磁気センサを少なくとも一つ有する磁気検出手段により被検査物中の磁性体を検出する異物の検出方法において、磁界印加手段により被検査物に被検査物の周方向から磁界を印加し、磁界の印加方向に対して磁気センサのセンサ面が垂直になるように配置された磁気検出手段により磁性体の検出を行う磁界印加工程及び磁気検出工程を、被検査物の周方向の異なる複数の磁界の印加方向毎に行うことを特徴とする異物の検出方法を提供するものである。
【００１７】
本発明は、上記の課題を解決するための第６の手段として、上記第５の解決手段において、磁界印加手段により被検査物に被検査物の周方向から磁界を印加し、一組の磁気センサが磁界の印加方向に対して磁気センサのセンサ面が垂直となり、かつ、被検査物の搬送方向に対して直角に交錯する同一平面上において、通過する被検査物を挟んで向かい合うようにして配置された磁気検出手段により磁性体の検出を行う磁界印加工程及び磁気検出工程を、少なくとも被検査物の周方向の半周部分に対して異なる複数の磁界の印加方向毎に行うことを特徴とする異物の検出方法を提供するものである。
【００１８】
本発明は、上記の課題を解決するための第７の手段として、上記第５又は第６のいずれかの解決手段において、磁界印加手段及び磁気検出手段を組として、複数組の磁界印加手段及び磁気検出手段を、被検査物の周方向の異なる方向に向けて、かつ、被検査物の搬送方向において所定の間隔を空けて配置して、被検査物に磁界を印加した後に磁性体の検出を行う磁界印加工程及び磁気検出工程を被検査物の周方向の異なる複数の磁界の印加方向毎に行うことを特徴とする異物の検出方法を提供するものである。
【００１９】
本発明は、上記の課題を解決するための第８の手段として、上記第５又は第６のいずれかの解決手段において、複数の磁気センサ又は複数組の磁気センサを、被検査物の周方向の異なる方向に向けて、かつ、被検査物の搬送方向に対して直角に交錯する同一平面上において配置し、磁界印加手段を被検査物の周方向に回転させて磁界印加方向を少なくとも一つの磁気センサのセンサ面に対して垂直になる方向に変化させた上で、被検査物を磁界印加手段と磁気検出手段に複数回繰り返し通過させることにより、被検査物に磁界を印加した後に磁性体の検出を行う磁界印加工程及び磁気検出工程を被検査物の周方向の異なる複数の磁界の印加方向毎に行うことを特徴とする異物の検出方法を提供するものである。
【００２０】
本発明は、上記の課題を解決するための第９の手段として、上記第５又は第６のいずれかの解決手段において、一つの磁気センサ又は被検査物の搬送方向に対して直角に交錯する同一平面上において一組の磁気センサが配置された磁気検出手段及び磁界印加手段とを、被検査物の周方向に回転させた上で、被検査物を磁界印加手段と磁気検出手段に複数回繰り返し通過させることにより、被検査物に磁界を印加した後に磁性体の検出を行う磁界印加工程及び磁気検出工程を被検査物の周方向の異なる複数の磁界の印加方向毎に行うことを特徴とする異物の検出方法を提供するものである。
【００２１】
本発明は、上記の課題を解決するための第１０の手段として、上記第５又は第６のいずれかの解決手段において、一つの磁気センサ又は被検査物の搬送方向に対して直角に交錯する同一平面上において一組の磁気センサを配置し、被検査物を周方向の任意の角度に回転させて、被検査物を磁界印加手段と磁気検出手段に複数回繰り返して通過させることにより、被検査物に磁界を印加した後に磁性体の検出を行う磁界印加工程及び磁気検出工程を被検査物の周方向の異なる複数の磁界の印加方向毎に行うことを特徴とする異物の検出方法を提供するものである。
【００２２】
本発明は、上記の課題を解決するための第１１の手段として、上記第５又は第６のいずれかの解決手段において、被検査物の搬送路上に設置された磁界印加手段により被検査物に磁界を印加して被検査物に含有される磁性体を磁化した後、被検査物の搬送路上に設置された超電導量子干渉素子から成る磁気センサを少なくとも一つ有する磁気検出手段により被検査物中の磁性体を検出する異物の検出方法において、搬送路の幅を、単体の磁気センサのセンサ面の幅に合わせて、磁気センサを少なくとも一つ有する磁気検出手段により磁性体を検出することを特徴とする異物の検出方法を提供するものである。
【００２３】
本発明は、上記の課題を解決するための第１２の手段として、上記第５又は第６のいずれかの解決手段において、被検査物の搬送路上に設置された磁界印加手段により被検査物に磁界を印加して被検査物に含有される磁性体を磁化した後、被検査物の搬送路上に設置された超電導量子干渉素子から成る磁気センサを少なくとも一つ有する磁気検出手段により被検査物中の磁性体を検出する異物の検出方法において、被検査物を一定形状の筒内に落下させ、筒の外周に設置された磁気検出手段により磁性体を検出することを特徴とする異物の検出方法を提供するものである。
【００２４】
本発明は、上記の課題を解決するための第１３の手段として、上記第１乃至第１２のいずれかの解決手段において、被検査物が半導体封止用樹脂組成物であり、半導体封止用樹脂組成物の製品検査として磁気検出手段により半導体封止用樹脂に含有される磁性体を検出することを特徴とする異物の検出方法を提供するものである。
【００２５】
本発明は、上記の課題を解決するための第１４の手段として、上記第１乃至第１２のいずれかの解決手段において、被検査物が半導体封止用樹脂組成物の原材料であり、半導体封止用樹脂組成物の製造前に原材料の製品検査として磁気検出手段により半導体封止用樹脂組成物の原材料に含有される磁性体を検出することを特徴とする異物の検出方法。
【００２６】
本発明は、上記の課題を解決するための第１５の手段として、被検査物を搬送する搬送路と、搬送路上に設置され被検査物に磁界を印加して被検査物に含有される磁性体を磁化する磁界印加手段と、被検査物の搬送路上に設置され磁界印加手段により被検査物に印加された磁界を検出する超電導量子干渉素子から成る磁気センサを少なくとも一つ有する磁気検出手段とを備え、磁界印加手段により被検査物に磁界を印加して被検査物に含有される磁性体を磁化した後に、磁気検出手段により被検査物中の磁性体を検出する異物の検出装置において、磁界印加手段は被検査物に被検査物の周方向の異なる方向から磁界を印加し、磁気検出手段の磁気センサは磁界の印加方向に対してセンサ面が垂直になるように配置され、磁界印加手段及び磁気検出手段は被検査物の周方向の異なる複数の磁界の印加方向毎に磁界印加及び磁性体の検出を行うことを特徴とする異物の検出装置を提供するものである。
【００２７】
本発明は、上記の課題を解決するための第１６の手段として、上記第１５の解決手段において、磁気検出手段は、磁界の印加方向に対してセンサ面が垂直となり、かつ被検査物の搬送方向に対して直角に交錯する同一平面上において通過する被検査物を挟んで向かい合うようにして配置された一組の磁気センサを有し、磁界印加手段及び磁気検出手段は少なくとも被検査物の周方向の半周部分に対して被検査物の周方向の異なる複数の磁界の印加方向毎に磁界印加及び磁性体の検出を行うことを特徴とする異物の検出装置。
【００２８】
本発明は、上記の課題を解決するための第１７の手段として、上記第１５又は第１６のいずれかの解決手段において、磁界印加手段と磁気検出手段とが組となり、複数組の磁界印加手段と磁気検出手段が、被検査物の周方向に対して相互に異なる方向に向けて、かつ、被検査物の搬送方向において所定の間隔を空けて配置され、磁界印加手段及び磁気検出手段は被検査物の周方向の異なる複数の磁界の印加方向毎に磁界印加及び磁性体の検出を行うことを特徴とする異物の検出装置を提供するものである。
【００２９】
本発明は、上記の課題を解決するための第１８の手段として、上記第１５又は第１６のいずれかの解決手段において、磁気検出手段は、被検査物の周方向に対して異なる方向に向けて、かつ、被検査物の搬送方向に対して直角に交錯する同一平面上において配置された複数の磁気センサ又は複数組の磁気センサを有し、検出装置は、更に、磁界印加手段を被検査物の周方向に回転させて磁界印加方向を少なくとも一つの磁気センサのセンサ面に対して垂直になる方向に変化させる磁界印加方向変更手段をも備え、磁界印加手段及び磁気検出手段は、磁界印加方向変更手段により被検査物に被検査物の周方向の異なる方向から磁界を印可した上で、被検査物が磁界印加手段及び磁気検出手段を繰り返し通過することにより、被検査物の周方向の異なる複数の磁界の印加方向毎に磁界印加及び磁性体の検出を行うことを特徴とする異物の検出装置を提供するものである。
【００３０】
本発明は、上記の課題を解決するための第１９の手段として、上記第１５又は第１６のいずれかの解決手段において、磁気検知手段は、一つの磁気センサ又は被検査物の搬送方向に対して直角に交錯する同一平面上に配置された一組の磁気センサを有し、検出装置は、磁界印加手段及び磁気検出手段を被検査物の周方向に回転させる印加及び検出方向変更手段をも更に備え、磁界印加手段及び磁気検出手段は、印加及び検出方向変更手段により被検査物に被検査物の周方向の異なる方向から磁界を印可した上で、被検査物が磁界印加手段及び磁気検出手段を繰り返し通過することにより、被検査物の周方向の異なる複数の磁界の印加方向毎に磁界印加及び磁性体の検出を行うことを特徴とする異物の検出装置を提供するものである。
【００３１】
本発明は、上記の課題を解決するための第２０の手段として、上記第１５又は第１６のいずれかの解決手段において、磁気検出手段は、一つの磁気センサ又は被検査物の搬送方向に対して直角に交錯する同一平面上に配置された一組の磁気センサを有し、検出装置は、被検査物を周方向の任意の角度に回転させる被検査物回転手段を更に備え、磁界印加手段は被検査物回転手段により回転させられた被検査物に被検査物の周方向から磁界を印加し、磁気センサを有する磁気検出手段は、被検査物が複数回繰り返し通過することにより、磁性体の検出を被検査物の周方向の異なる複数の磁界の印加方向毎に行うことを特徴とする異物の検出装置を提供するものである。
【００３２】
本発明は、上記の課題を解決するための第２１の手段として、上記第１８乃至第２０のいずれかの解決手段において、検出装置は、被検査物を搬送路の出口から入り口に搬送する被検査物搬送手段を更に備え、被検査物搬送手段は、被検査物を、磁界印加手段及び磁気検出手段に繰り返し通過させることを特徴とする異物の検出装置を提供するものである。
【００３３】
本発明は、上記の課題を解決するための第２２の手段として、被検査物を搬送する搬送路と、搬送路上に設置され被検査物に磁界を印加して被検査物に含有される磁性体を磁化する磁界印加手段と、搬送路上に設置された超電導量子干渉素子から成る磁気センサを少なくとも一つ有する磁気検出手段とを備え、磁界印加手段により被検査物に磁界を印加して被検査物に含有される磁性体を磁化した後に、磁気検出手段により被検査物中の磁性体を検出する異物の検出装置において、搬送路は単体の磁気センサのセンサ面の幅に合致する幅を有し、磁気検出手段は搬送路により搬送される被検査物に含有される磁性体を検出することを特徴とする異物の検出装置を提供するものである。
【００３４】
本発明は、上記の課題を解決するための第２３の手段として、被検査物を搬送する搬送路と、搬送路上に設置され被検査物に磁界を印加して被検査物に含有される磁性体を磁化する磁界印加手段と、搬送路上に設置された超電導量子干渉素子から成る磁気センサを少なくとも一つ有する磁気検出手段とを備え、磁界印加手段により被検査物に磁界を印加して被検査物に含有される磁性体を磁化した後に、磁気検出手段により被検査物中の磁性体を検出する異物の検出装置において、搬送路は一定形状を有する筒から成り、磁気検出手段は筒の外周に設置されて筒内を落下する被検査物に含有される磁性体を検出することを特徴とする異物の検出装置を提供するものである。
【発明の効果】
【００３５】
本発明によれば、上記のように、被検査物を、磁気センサが磁性体を検出することができる検出距離の範囲内を通過できる大きさに加工しているため、磁気センサが、そのセンサ面から被検査物の搬送路面上までの間に存在する磁性体を検出することができ、この大きさの範囲内であれば被検査物内における如何なる高さ位置に磁性体が含まれていても高い精度で、その磁性体が作る磁界を確実に検出することができる実益がある。
【００３６】
この場合、特に、本発明によれば、上記のように、検出すべき磁性体の大きさに応じて磁気センサの検出距離を設定しているため、磁界が微弱な傾向にある比較的小さな磁性体の検出を目的とする場合であっても、それに応じて検出距離を小さく設定等することにより、磁性体を確実に検出することができる実益がある。
【００３７】
同様に、この場合、本発明によれば、上記のように、検出すべき磁性体の材質に応じて磁気センサの検出距離を設定しているため、例えば、磁化により発生する磁界が微弱な傾向にあるステンレス等の異物の検出を目的とする場合には、その磁界の強度に応じて検出距離を小さく設定等することにより、磁性体を確実に検出することができる実益がある。
【００３８】
更に、この場合、本発明によれば、上記のように、被検査物の大きさを磁気センサのセンサ面の幅以内に設定しているため、センサ面に対し垂直の方向に存在する磁性体を検出するＳＱＵＩＤから成る磁気センサにおいて、被検査物内における左右方向の如何なる位置に磁性体が含まれていても高い精度で、その磁性体が作る磁界を確実に検出することができる実益がある。
【００３９】
また、本発明によれば、上記のように、被検査物の周方向に異なる方向から磁界の印加及び磁性体の検出を複数回にわたって行っているため、磁性体が、被検査物の搬送方向に対して直角に交錯する平面で切った断面のどの位置に存在しても、確実に検出することができる実益がある。
【００４０】
この場合、特に、本発明によれば、上記のように、被検査物の搬送方向に対して直角に交錯する同一平面上において通過する被検査物を挟んで向かい合うようにして配置された一組の磁気センサを有する磁気検出手段により磁性体を検出しているため、磁性体の半周部分（１８０°）に対してのみ磁界の印加及び検出を行えば、被検査物の全周（３６０°）にわたって磁性体の検出を行うことができる実益がある。
【００４１】
同様に、この場合、特に、本発明によれば、上記のように、複数の磁界印加手段及び複数の磁気検知検出手段を、被検査物の周方向に対して相互に異なる方向に向けて、かつ、被検査物の搬送方向に所定の間隔を空けて配置しているため、被検査物を検査工程に一度通過させるだけで、被検査物の全周にわたる磁性体の検知作業を完了させることができ、短時間で精度良く磁性体を検出することができる実益がある。
【００４２】
更に、この場合、特に、本発明によれば、上記のように、被検査物を、その周方向の異なる複数の方向から磁界を印加し、被検査物の搬送方向に直角に交錯する同一平面上に配置された複数の又は複数組の磁気センサを有する磁気検出手段に、磁界の印加方向毎に繰り返し通過させているため、被検査物の搬送方向の一カ所においてのみ磁気センサを設置するだけで、被検査物の全周にわたる磁性体の検知作業を行うことができ、簡易な装置で精度良く磁性体を検出することができる実益がある。
【００４３】
この場合、特に、本発明によれば、上記のように、磁界印加手段を回転させることにより、磁気センサのセンサ面と磁界の印加方向との関係を相対的に直交に調整しつつ、被検査物にその周方向の異なる複数の方向から磁界を印加し、被検査物の搬送方向の一カ所において設置された磁気センサからなる磁気検出手段に、磁界の印加方向毎に繰り返し通過させているため、複数の又は複数組の磁気センサを設置するだけで、被検査物の全周にわたる磁性体の検知作業を行うことができ、簡易な装置で低コストで精度良く磁性体を検出することができる実益がある。
【００４４】
加えて、この場合、特に、本発明によれば、上記のように、磁界印加手段と磁気検出手段、あるいは、被検査物を回転させることにより、磁気センサのセンサ面と磁界の印加方向との関係を相対的に直交に調整しつつ、被検査物にその周方向の異なる複数の方向から磁界を印加し、被検査物の搬送方向の一カ所において設置された磁気センサを有する磁気検出手段に、磁界の印加方向毎に繰り返し通過させているため、一つの又は一組の磁気センサを設置するだけで、被検査物の全周にわたる磁性体の検知作業を行うことができ、簡易な装置で低コストで精度良く磁性体を検出することができる実益がある。
【００４５】
また、本発明によれば、上記のように、被検査物を磁気検出手段に繰り返し通過させる場合において、被検査物搬送手段により被検査物を自動的に、搬送路の入り口に再搬送して行っているため、作業の容易化により、処理効率を向上させることができる実益がある。
【００４６】
更に、本発明によれば、上記のように、搬送路における搬送器の幅を、単体の磁気センサのセンサ面の幅に合わせて形成しているため、検出すべき磁性体が、必ずＳＱＵＩＤから成る磁気センサの直下を通過することになるため、磁気センサを移動させてスキャニングや被検査物を移動することなく、簡易な構造で磁性体を精度良く検出することができると共に、設備費用の上昇を抑制することができる実益がある。
【００４７】
本発明によれば、上記のように、被検査物を一定形状の筒内に落下させ、筒の外周に設置された磁気センサを有する磁気検出手段により磁性体を検出しているため、被検査物の移動速度には一定の範囲内であれば大きな影響を受けないＳＱＵＩＤから成る磁気センサの高感度性能を適切に発揮して異物を確実に検出することができると共に、被検査物の加工ラインにも容易に適用することができる実益がある。
【００４８】
本発明によれば、上記のように、半導体封止用樹脂組成物の製品検査として磁気センサを有する磁気検出手段により半導体封止用樹脂に含有される磁性体を検出しているため、半導体封止用樹脂組成物の適、不適の判別を容易に行うことができ、半導体パッケージ内のピンや配線間のショート等の不具合を未然に防止することができる実益がある。
【００４９】
本発明によれば、上記のように、半導体封止用樹脂組成物の原材料を被検査物として、半導体封止樹脂組成物の製造前に原材料の受け入れ検査として磁気センサにより原材料に含有される磁性体を検出しているため、異物が混入した原材料による半導体封止用樹脂組成物への加工を未然に防止することができ、製品の歩留まりを向上させることができると共に、事後的に不適な製品を排除する手間を回避することができる実益がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５０】
本発明の実施の形態を図面を参照しながら詳細に説明すると、図１（Ｂ）乃至図７及び図８（Ｂ）、図９は、本発明の異物の検出装置１０により本発明の異物の検出方法を実施する状態を示し、この異物の検出装置１０は、被検査物１に磁界を印加して被検査物１に含有される磁性体２を磁化する図示しない磁界印加手段１１と、この磁界印加手段１１により磁界が印加された被検査物１を搬送する搬送路１２と、この搬送路１２による搬送路１２上に設置された超電導量子干渉素子（ＳＱＵＩＤ）から成る磁気センサ１４を少なくとも一つ有する磁気検出手段１３とを備えている。
【００５１】
本発明の異物の検出方法においては、磁界印加手段１１により被検査物１に磁界を印加して被検査物１に含有される磁性体２を磁化した後、図１（Ｂ）乃至図７及び図８（Ｂ）、図９に示すように、この被検査物１の搬送路１２上に設置されたＳＱＵＩＤから成る磁気センサ１４を少なくとも一つ有する磁気検出手段１３により、被検査物１中の磁化された磁性体２を検出する。従って、磁界印加手段１１は、搬送路１２において、磁気センサ１４よりも上流に設置される。また、この磁界印加手段１１としては、具体的には、永久磁石を使用することができ、１対の永久磁石により、一方の永久磁石から他方の永久磁石に向けて一様な磁界を作るように設置することができる。
【００５２】
この場合、これらの永久磁石等の磁界印加手段１１により印加される磁界の向きは、相対的には、ＳＱＵＩＤから成る磁気センサ１４（後述する複数の磁気センサ１４を設置する形態においては、少なくとも、そのうちの一つの磁気センサ１４）のセンサ面１４ａに垂直な方向に設定することが必要であり、例えば、図１に示す実施の形態では、図１の上下方向に向けて磁界を印加し、それに合わせて、少なくとも一つの磁気センサ１４を、上下方向に向けて設置している。その結果、図１に示す実施の形態においては、搬送路１２による搬送方向と直角な方向に磁界が印加されることになる。一方、図３乃至図７等に示すその他の実施の形態においては、図２（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、磁気センサ１４のセンサ面１４ａと印可された磁界の方向（矢印Ｇ）とを相対的に垂直になるように設定する。
【００５３】
これは、ＳＱＵＩＤから成る磁気センサ１４の検出強度は、印可された磁性体２が作る磁界が磁気センサ１４のセンサ面１４ａに垂直に入り込む成分によってきまるものであり、図８に示すように、そのセンサ面１４ａに対して直角な方向に磁界を印可された磁性体による強度は、大きな値として検出することができるため、このＳＱＵＩＤの指向性を考慮して、その高感度性能を適切に発揮させることにより、微細な磁性体２をも確実に検出するためである。なお、この場合、磁気センサ１４が、被検査物１に印加された磁界以外の外部磁場を検知しないように、磁界印加手段１１により被検査物１に特定方向の磁界を印加した後、少なくとも磁気センサ１４を有する磁気検出手段１３による検出が終了するまでは、磁気センサ１４を有する磁気検出手段１３や被検査物１を含む検査工程を、図示しないパーマロイ等の磁気シールドにより被覆して、地磁気や環境磁場から遮蔽することが望ましい。
【００５４】
（第１の実施の形態）
上記の検出における本発明の第１の実施の形態として、図１（Ｂ）に示すように、被検査物１を、磁気センサ１４が磁性体２を検出することができる検出距離の範囲内を通過できる大きさに加工して、磁気センサ１４を少なくとも一つ有する磁気検出手段１３により磁性体２を検出する形態を挙げることができる。これにより、図１（Ａ）と比較すると解るように、磁気センサ１４が、そのセンサ面１４ａから被検査物１の搬送路１２面上までの間に存在する磁性体２を検出することができ、この大きさの範囲内であれば被検査物１内における如何なる高さ位置に磁性体２が含まれていても高い精度で、その磁性体２が作る磁界を確実に検出することができる。
【００５５】
この場合、磁気センサ１４が磁性体２を検出することができる検出距離、即ち、磁気センサ１４のセンサ面１４ａから搬送路１２面上までの距離は、目的とする磁性体２の大きさに応じて設定することが望ましい。これにより、磁界が微弱な傾向にある比較的小さな磁性体２の検出を目的とする場合であっても、それに応じて検出距離を小さく設定等することにより、磁性体２を確実に検出することができる。
【００５６】
同様に、この場合、磁気センサ１４が磁性体２を検出することができる検出距離、即ち、磁気センサ１４のセンサ面１４ａから搬送路１２面上までの距離は、目的とする磁性体２の材質に応じて設定することが望ましい。これにより、例えば、印加により発生させる磁界が微弱な傾向にあるステンレス等の異物の検出を目的とする場合には、その磁界の強度に応じて検出距離を小さく設定等することにより、磁性体を確実に検出することができる。一方、目的とする磁性体２が鉄粉である場合には、印加により、ステンレスに比して強い磁界を作るため、ステンレスを検出する場合に比べれば、大きな検出距離に設定しても確実に検出することができる。
【００５７】
更に、この場合、被検査物１の幅を、図１（Ｂ）に示すように、磁気センサ１４のセンサ面１４ａの幅以内に設定することが望ましい。これにより、センサ面１４ａに対し垂直の方向に存在する磁性体２を検出するＳＱＵＩＤから成る磁気センサ１４において、被検査物１内における左右方向の如何なる位置に磁性体２が含まれていても高い精度で、その磁性体２が作る磁界を確実に検出することができる。
【００５８】
以上を勘案すると、被検査物１は、図１（Ｂ）に示すように、検出すべき磁性体２の大きさや材質に応じて設定された一定の大きさの同一形状に加工することが望ましく、この場合、その形状としては、略円筒形状とし、図１（Ｂ）に示すように、上面及び底面の円形面を搬送路１２による搬送方向に向けて搬送することが好ましい。この場合、この略円筒形状の上面及び底面の円形の直径、即ち、被検査物１の大きさを、上記の高さ方向や幅方向への検出範囲の条件を満たすように設定する。
【００５９】
もっとも、その適切な直径は、上記の通り、目的とする磁性体２の材質によっても異なるため、例えば、ステンレス検出用と鉄粉検出用とで、それぞれに適切な検出距離に設置された（異なる高さ位置に設置された）磁気センサ１４を少なくとも一つ有する磁気検出手段１３を備えた異なる検出装置１０により、検出を行うことができる。但し、一つの検出装置１０において、磁気センサ１４を高さ方向に変位可能に設定して、目的とする磁性体２の大きさや材質に応じて、その高さ位置を適切に調整するようにして、対応することもできる。
【００６０】
（第２の実施の形態）
次に、本発明の第２の実施の形態について、図２乃至図７を参照しながら説明すると、この実施の形態においては、被検査物１に被検査物１の周方向から磁界を印加し、磁気センサ１４を少なくとも一つ有する磁気検出手段１３により磁性体２の検出を行う検出工程を、被検査物１の周方向の異なる方向から複数回行う。これにより、図２に示すように、磁性体２が、被検査物１の搬送方向に対して直角に交錯する平面で切った断面のどの位置に存在しても、確実に検出することができる。
【００６１】
この磁界の印加及び磁性体２の検出を、被検査物１の周方向の異なる方向から複数回行うためには、様々な手段が考えられるが、まず、（１）磁気センサ１４の磁界の方向に対する配置に関して、図２（Ａ）に示すように、一つの磁界の方向（矢印Ｇ）に対して各一つの磁気センサ１４を使用することと、図２（Ｂ）に示すように、一つの磁界の方向（矢印Ｇ）に対して一組の磁気センサ１４を使用することが考えられる。
【００６２】
前者の場合、即ち、一つの磁界の方向に対して各一つの磁気センサ１４を使用する場合には、図２（Ａ）に示すように、磁気センサ１４を磁界の印加方向（矢印Ｇ）に対してセンサ面１４ａが垂直になるように配置する。一方、後者の場合、即ち、磁気センサ１４を組にして使用する場合には、一組の磁気センサ１４を、磁界の印加方向（矢印Ｇ）に対してセンサ面１４ａが垂直となり、かつ被検査物１の搬送方向に対して直角に交錯する同一平面上において、通過する被検査物１を挟んで向かい合うようにして配置する。
【００６３】
この場合、いずれの形態とするかは、検出すべき磁性体２が作る磁界の強度、即ち、この磁界の強度を左右する磁性体２の大きさや材質等との関係や、ＳＱＵＩＤから成る磁気センサ１４自体の検出能力との関係で、相対的に決定することができる。具体的には、被検査物１が比較的小さかったり、あるいは、磁気センサ１４自体の検出能力が高く、一つの磁気センサ１の検出範囲が、被検査物１の高さ及び幅方向の全て（図２に示す実施の形態にあっては、被検査物１の直径）にわたる場合には、図２（Ａ）に示すように、一つの磁界の方向（矢印Ｇ）に対して各一つの磁気センサ１４を使用することができる。
【００６４】
一方、これとは、逆に、例えば、被検査物１が比較的大きかったり、あるいは、磁気センサ１４自体の検出範囲が、被検査物１の高さ及び幅方向の半分程度（図２に示す実施の形態にあっては、被検査物１の半径程度）にまでしか及ばない場合には、図２（Ｂ）に示すように、一つの磁界の方向（矢印Ｇ）に対して一組の磁気センサ１４を使用することができる。なお、この一組の磁気センサ１４とした場合には、図２（Ｂ）に示すように、磁界の印加及び磁性体２の検出を、被検査物１の周方向の半周部分に対してのみ行えば、被検査物１の全周にわたって磁性体２を検出することができるという処理速度面のメリットがある。
【００６５】
次に、（２）磁気センサ１４の個数の問題として、単一の若しくは一組の磁気センサ１４のみを使用するか、又は、複数の若しくは複数組の磁気センサ１４のいずれかを選択することができる。この場合、単一の又は一組の磁気センサ１４のみを使用する場合には、磁気センサ１４は、被検査物１の搬送方向のいずれか一カ所にのみ設置されることになるが、図２において、被検査物１を固定して考えた場合に、一つの磁界の方向（矢印Ｇ）に対して一つの又は一組の磁気センサ１４が配置されるため、被検査物１との相対的な位置関係を変化させることにより、被検査物１の周方向の異なる方向に磁界の印加及び磁性体２の検出が複数回行われるべきことは勿論である。
【００６６】
具体的には、まず、図６に示すように、図示しない印加及び検出方向変更手段により磁界印加手段１１と一つの又は一組の磁気センサ１４を有する磁気検出手段１３とを被検査物１の周方向の異なる方向に向けて回転させることで、磁界印加手段１１及び一つの又は一組の磁気センサ１４を有する磁気検出手段１３と被検査物１との相対的な位置関係を都度変化させて、この磁界印加手段１１と一つの又は一組の磁気センサ１４を有する磁気検出手段１３に被検査物１を複数回繰り返し通過させることにより、磁性体２の検出を行う磁界印加−検出工程を被検査物１の周方向の異なる複数の磁界の印加方向毎に複数回行うことができる。
【００６７】
また、その他、図７に示すように、同じく図示しない被検査物回転手段により被検査物１を周方向の任意の角度に回転させることで、磁界印加手段１１及び一つの又は一組の磁気センサ１４を有する磁気検出手段１３と被検査物１との相対的な位置関係を都度変化させて、被検査物１に被検査物１の周方向から磁界を印加して、この磁界印加手段１１と一つの又は一組の磁気センサ１４を有する磁気検出手段１３に被検査物１を複数回繰り返し通過させることにより、磁性体２の検出を行う検出工程を被検査物１の周方向の異なる複数の磁界の印加方向毎に複数回行うことができる。
【００６８】
これらの図６及び図７に示す実施の形態においては、１回の磁界印加工程及び磁気検出工程が終了した段階で、印加した磁界をいったん消磁してから、次の磁界印加工程及び磁気検出工程を行うべき被検査物１の周方向の異なる方向に磁界を印可することができる。なお、これらの場合も、上述したとおり、磁界の印加方向と磁気センサ１４のセンサ面１４ａとの関係は、図２に示す関係を維持するようにすること、即ち、磁気検出手段１３を磁界の印加方向に対してセンサ面１４ａが垂直となる一つの磁気センサ１４又は磁界の印加方向に対してセンサ面１４ａが垂直となり、かつ被検査物１の搬送方向に対して直角に交錯する同一平面上において通過する被検査物１を挟んで向かい合うようにして配置された一組の磁気センサ１４とすべきことは前提である。
【００６９】
このように、磁界印加手段１１と磁気検出手段１３又は被検査物１を被検査物１の周方向に回転させることにより磁界印加手段１１及び磁気検出手段１３と被検査物１との相対的な位置関係を変化させて、磁気センサ１４のセンサ面１４ａと磁界の印加方向との関係を相対的に直交に調整すると、一つの又は一組の磁気センサ１４を設置するだけで、被検査物１の全周にわたる磁性体２の検知作業を行うことができ、簡易な装置１０で低コストで精度良く磁性体２を検出することができる。
【００７０】
一方、後者の複数の又は複数組の磁気センサ１４を使用する場合には、更に（３）被検査物１の搬送方向に対する配置に関して、図３に示すように、磁界印加手段１１と複数の又は複数組の磁気センサ１４を有する磁気検出手段１３とを被検査物１の周方向の相互に異なる方向に向けて、かつ、被検査物１の搬送方向に所定の間隔を空けて配置するか、又は、図４及び図５に示すように、複数の又は複数組の磁気センサ１４を通過する被検査物１の周方向に対して異なる方向に向けて、かつ、被検査物１の搬送方向に対して直角に交錯する同一平面上において配置することができる。
【００７１】
前者、即ち、図３に示すように、磁界印加手段１１と複数の又は複数組の磁気センサ１４を有する磁気検出手段１３とを被検査物１の周方向に対して相互に異なる方向に向けて、かつ被検査物１の搬送方向に所定の間隔を空けて配置した場合には、各磁気センサ１４間に各磁気検出手段１３毎にその上流側に複数の磁界印加手段１１を設置して磁界の印加を繰り返し行うことは必要であるが、被検査物１を検査工程に一度通過させるだけで、被検査物の全周にわたる磁性体の検知作業を完了させることができ、短時間で磁性体を精度良く検出することができる。
【００７２】
一方、後者、即ち、図４及び図５に示すように、複数の又は複数組の磁気センサ１４を通過する被検査物１の周方向に対して異なる方向に向けて、かつ、被検査物１の搬送方向に対して直角に交錯する同一平面上において配置した場合には、被検査物１を磁界印加手段１１及びこれらの磁気センサ１４を有する磁気検知検出手段１３に繰り返し通過させることが必要となるが、被検査物１の搬送方向の一カ所においてのみ複数の又は複数組の磁気センサ１４を有する磁気検出手段１３を設置するだけで、被検査物１の全周にわたる磁性体２の検知作業を行うことができ、簡易な装置１０で磁性体２を精度良く検出することができる。なお、この場合にも、１回の磁界印加工程及び磁気検出工程が終了した段階で、印加した磁界をいったん消磁してから、次の磁界印加工程及び磁気検出工程を行うべき被検査物１の周方向の異なる方向に磁界を印可することができる。また、この場合には、特に，図５に示すように、図示しない磁界印加方向変更手段により、磁気検出手段１３の少なくとも一つの磁気センサ１４のセンサ面１４ａが磁界の印加方向に対して垂直になるように、磁界印加手段１１を被検査物１の周方向に対して回転させて磁界印加方向を調整することができる。
【００７３】
なお、図４乃至図７に示す実施の形態のように、被検査物１の搬送方向の１箇所においてのみ磁気センサ１４を有する磁気検出手段１３を設置する場合には、被検査物１を、この磁気検出手段１３に繰り返し通過させることが必要となるが、この場合、例えば、搬送炉１２に沿って設けられたレール等の図示しない被検査物搬送手段を設置することにより、被検査物１を搬送路１２の出口から入り口に搬送して、被検査物１を、磁界印加手段１１及び磁気検出手段１３に繰り返し通過させることをできる。これにより、被検査物を自動的に、搬送路の入り口に再搬送して行うことができるため、作業の容易化により、処理効率を向上させることができる。
【００７４】
以上の（１）〜（３）の点は、優先すべきメリット等に応じて、任意に適宜選択して組み合わせて実施することができ、いずれか一つの組み合わせにのみ限定されるものではなく、更に、被検査物の周方向の異なる方向から磁界の印加及び磁性体２の検出を複数回行うことができれば、上記の手段以外の他の適宜の手段を執ることもできる。
【００７５】
（第３の実施の形態）
また、本発明の第３の実施の形態について、図８（Ｂ）を参照しながら説明すると、この第３の実施の形態においては、図６（Ｂ）に示すように、搬送路１２は、単体の磁気センサ１４のセンサ面１４ａの幅に合致する幅を有し、磁気センサ１４を少なくとも一つ有する検出手段１３は搬送路１２により搬送される被検査物１に含有される磁性体２を検出する。
【００７６】
これは、上述したように、ＳＱＵＩＤから成る磁気センサ１４の検出強度は、印可された磁性体２が作る磁界が磁気センサ１４のセンサ面１４ａに垂直に入り込む成分によってきまるものであり、ＳＱＵＩＤから成る磁気センサ１４の直下に位置しない磁性体の作る磁界は、磁気センサ１４の直下に位置する磁性体の作る磁界と比較してセンサ面１４ａに入り込む垂直方向のベクトル成分が大幅に低下することとなるため、その指向性を考慮した場合、センサ面１４ａの直下にのみ、被検査物１を通過させることが望ましいからである。特に、この場合に、複数ではなく、単体の磁気センサ１４のセンサ面１４ａの幅に合わせて形成しているため、図６（Ａ）に示す幅が広い搬送路１２とした場合と異なり、磁気センサ１４を移動させてスキャニングするか、もしくは被検査物がくまなくＳＱＵＩＤから成る磁気センサ１４の直下を通過するように被検査物を移動させることなくＳＱＵＩＤから成る磁気センサの直下を通過する異物を検出することができる。このため、簡易な構造で磁性体を精度良く検出することができると共に、設備費用の上昇を抑制することができる。
【００７７】
なお、ＳＱＵＩＤから成る磁気センサ１４及び搬送路１２の幅は、前述した第１の実施の形態に準じ、種々の条件から相対的に決定することができ、特に限定はないが、例えば、１０ｍｍ程度とすることができる。また、この搬送路１２の形態は、図８（Ｂ）に示す樋の他、ベルトコンベア等の適宜の形態とすることができる。特に、図８に示す樋状の搬送路とした場合には、その高さも、同様に、第１の実施の形態において示した条件を満たし、ＳＱＵＩＤから成る磁気センサ１４が充分な検出強度を確保できる程度の高さとすることが望ましい。
【００７８】
（第４の実施の形態）
最後に、本発明の第４の実施の形態について説明すると、搬送路１２を、図９に示すように、一定形状を有する筒とし、被検査物１を、この一定形状の筒内に落下させ、筒の外周に設置された磁気センサ１４により磁性体２を検出することができる。
【００７９】
この場合、ＳＱＵＩＤから成る磁気センサ１４の感度は、被検査物１の移動速度にはあまり影響を受けず、検出距離（磁気センサ１４から磁性体２までの距離）によって多少変化はするものの、一定の範囲内の移動速度、具体的には、１４０ｍｍ／ｓｅｃ以下の移動速度であれば、μｍ単位の磁性体２を検出することができる。従って、基本的には、筒内における自然落下（鉛直方向への落下）による被検査物１の移動速度に特に配慮しなくても、充分に高い精度で磁性体２を検出することができるが、あまりに早いと磁気センサ１４の検出にノイズが生じるおそれがあるため、被検査物１の粘性や複数の磁気センサ１４を使用する場合には各磁気センサ１４間における磁界の印加の時間等も考慮して、例えば、図示しない筒の傾斜角度等を調整することにより、その移動速度を適切に設定することにより、検出強度を適宜設定することもできる。また、この場合、磁界印加手段１１による磁化された磁性体２の磁化方向が極力変化しない状態で磁気センサ１４を有する検出手段１３に搬送されるようにするために、傾斜角度、磁界印加手段１１と磁磁気センサ１４を有する検出手段１３との距離を調整することができる。
【００８０】
この第４の実施の形態においては、被検査物１は、図９に示す筒内を自然落下するため、被検査物１を搬送するための搬送動力が不要であり、簡易な設備とすることができるのみ成らず、この筒を、各工程間を連結する配管として使用することにより、被検査物１の加工ラインにも容易に適用することができる。但し、磁気センサ１４から被検査物１までの距離が変化しないように、筒の形状は、一定とすることが望ましい。
【００８１】
（第１乃至第４の実施の形態の組み合わせ）
なお、上記の第１乃至第４の実施の形態は、必要に応じて、適宜任意に組み合わせて実施することできる。具体的には、例えば、磁気センサ１４の検出範囲について第１の実施の形態を満たす状態で、第２乃至第４の実施の形態を行うことができ、また、第２の実施の形態で示した磁界印加手段１１及び磁気センサ１４を含む磁気検出手段１３の配置を第４の実施の形態において実施することもできる。なお、上記の第２乃至び第４の実施の形態においては、被検査物１の形態に特に限定はないが、特に、図６に示す第３の実施の形態及び第４の実施の形態においては、粉体状の被検査物１の検査にも適しているといえる。
【００８２】
（検出装置の使用方法）
また、本発明の検出装置１０による検出方法の実施は、半導体封止用樹脂組成物の製品検査として行うことができる。これにより、半導体封止用樹脂組成物の適、不適の判別を容易に行うことができ、半導体パッケージ内のピンや配線間のショート等の不具合を未然に防止することができる。更に、本発明の検出装置１０による検出方法の実施は、その他、半導体封止用樹脂組成物の原材料の半導体封止用樹脂組成物への加工前に原材料の受け入れ検査として行うこともできる。これにより、異物が混入した原材料による半導体封止用樹脂組成物の製造を未然に防止することができ、製品の歩留まりを向上させることができると共に、事後的に不適な製品を排除する手間を回避することができる。
【産業上の利用可能性】
【００８３】
本発明は、樹脂材料その他の種々の被検査物について、特に、磁性体から成る異物の検出に広く適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８４】
【図１】磁気センサにより被検査物から異物を検出する状態を示す概略図であり、同図（Ａ）は従来の検出方法の概略図、同図（Ｂ）は本発明の検出方法の第１の実施の形態を実施する状態の概略図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態を実施する状態を示し、同図（Ａ）は一つの磁界の方向に対して各一つの磁気センサを使用する状態の概略図であり、同図（Ｂ）は一つの磁界の方向に対して一組の磁気センサを使用する状態の概略図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態において、磁界印加手段と複数の磁気センサを有する磁気検出手段とが被検査物の周方向に対して相互に異なる方向に向けて、かつ、被検査物の搬送方向に所定の間隔を空けて複数組配置された状態を示す概略斜視図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態において、複数の磁気センサが同一平面上に配置された状態を示す概略斜視図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態において、被検査物の周方向に対して回転する磁界印加手段により、周方向の異なる方向に磁界が印可された被検査物が、磁界印加手段と同一平面上に配置された複数の又は複数組の磁気センサを有する磁気検出手段を複数回繰り返し通過する状態を示す概略斜視図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態において、被検査物が、被検査物の周方向に回転する磁界印加手段及び１つの又は一組の磁気センサを有する磁気検出手段に複数回繰り返し通過する状態を示す概略斜視図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態において、被検査物を周方向に回転させた上で、磁界印加手段及び１つの又は一組の磁気センサを有する磁気検出手段に複数回繰り返し通過させる状態を示す概略斜視図である。
【図８】磁気センサにより被検査物から異物を検出する状態を示す概略図であり、同図（Ａ）は従来の検出方法の概略斜視図、同図（Ｂ）は本発明の検出方法の第３の実施の形態を実施する状態の概略斜視図である。
【図９】本発明の第４の実施の形態を実施する状態の概略側面図である。
【図１０】磁性体の大きさと磁気センサの検出強度との関係を示すグラフ図である。
【図１１】磁界の方向と磁気センサの検出強度との関係を示すグラフ図である。
【符号の説明】
【００８５】
１  被検査物
２  磁性体
１０  異物の検出装置
１１  磁界印加手段
１２  搬送路
１３  磁気検出手段
１４  超電導量子干渉素子から成る磁気センサ
１４ａ  センサ面
【図１】
2008128941.tif 000003
【図２】
2008128941.tif 000004
【図３】
2008128941.tif 000005
【図４】
2008128941.tif 000006
【図５】
2008128941.tif 000007
【図６】
2008128941.tif 000008
【図７】
2008128941.tif 000009
【図８】
2008128941.tif 000010
【図９】
2008128941.tif 000011
【図１０】
2008128941.tif 000012
【図１１】
2008128941.tif 000013