(57)【要約】【課題】たわみ振動モードを用いたインクジェット記録ヘッドにおける問題、即ち、圧力室の駆動時に起こるヘッド全体の変形やクロストークの問題をコストアップすることなく解決する。【解決手段】少なくとも圧力室及び該圧力室を隔てる隔壁が配置された第１領域を開放し、該第１領域を囲む第２領域であって、ボディプレートの、ノズルプレートに対向する面と反対側の面に補強部を設ける。【選択図】図３
2008000941.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
並列配置された複数の圧力室及び前記圧力室にインクを供給する共通インク室が、ボディプレートと、前記圧力室に対応した複数のノズルを有するノズルプレートを含むカバープレートとにより形成されたインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記ボディプレートは、少なくとも複数の前記圧力室が配置された領域及び前記圧力室の各々を隔てる隔壁が配置された領域を含む第１領域において、第１の厚さ有し、前記第１領域を囲む第２領域において、前記第１の厚さよりも厚い第２の厚さを有し、該第２の厚さは、前記カバープレートに対向する側と反対側の前記ボディプレートの面に高低差をつけることにより形成され、前記高低差により突出した補強部を設けたことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
前記圧力室及び前記共通インク室は前記ボディプレートと前記ノズルプレートとにより形成されていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
前記カバープレートは、前記ノズルプレートと前記ボディプレートとの間に介在する中間ガラスプレートを有し、前記圧力室及び前記共通インク室は前記中間ガラスプレートと前記ボディプレートとにより形成されていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
前記第１領域は、前記圧力室が配置された領域及び前記圧力室の各々を隔てる隔壁が配置された領域を含み、前記第２領域は、前記共通インク室が配置された領域を含むことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】
前記第１領域は、前記圧力室が配置された領域、前記圧力室の各々を隔てる隔壁が配置された領域及び前記共通インク室が配置された領域を含むことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項６】
前記ボディプレートと前記ノズルプレートとは陽極接合により結合されたことを特徴とする請求項２に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項７】
前記中間ガラスプレートは陽極接合により前記ボディプレート及び前記ノズルプレートに結合されたことを特徴とする請求項３に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項８】
前記補強部の厚さは２００〜５００μｍであることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項９】
総厚が６００〜１０００μｍであることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット記録ヘッドに関し、特に、ピエゾ方式のインクジェット記録ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
ピエゾ方式のインクジェット記録ヘッドには、縦振動モードを利用したものとたわみ振動モードを利用したものとがあるが、後者はヘッド全体を薄くすることが可能であり、ヘッドの製造工程に薄膜プロセスを多く取り入れることができ、集積化に向いているという特長がある。
【０００３】
しかるに、後者のインクジェット記録ヘッドにおいては、記録動作時に、駆動している圧力室以外でも変形が起こるという問題があり、特に、多数のノズルを同時駆動するときに、クロストークなどが顕著になる。
【０００４】
このために、
・圧力室の変位ロスが発生し、駆動効率が低下する
・駆動していない隣接圧力室の体積も変化するクロストークが起こる
・駆動するノズル数によってインク吐出特性が変化する
等の望ましくない現象が起こる。
【０００５】
このような問題に対する対策として、特許文献１では、ノズル形成部材と圧力室形成部材との間又はノズル形成部材の上に補強部材を設けることが提案されている。
【０００６】
また、特許文献２では、圧力室を形成するなどのヘッド基板の処理時に、補強部材を形成し、圧力室を隔てる隔壁に補強部材を設けることが提案されている。
【特許文献１】特開平６−９９７８５号公報
【特許文献２】特開２００２−１１８７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１のように、ノズル形成部材と圧力室形成部材との間に補強部材を設けたものでは、補強部材の厚み分だけインク流路が長くなるために、インクを吐出させる圧力波の損失が大きくなり、駆動効率が低下してインク吐出特性を悪くしたり、ヘッドの共振周波数を低下させて印字速度の高速化を困難にする等の問題がある。
【０００８】
また、特許文献１における他の例のように、ノズルプレートの上に補強部材を設けたものでは、ノズル面に凹凸ができてノズル面のクリーニングが困難になるという問題がある。
【０００９】
特許文献２のように、圧力室や共通インク室の形成、ＰＺＴ層の形成、ノズルの形成など、ヘッド作成の全工程を薄膜形成とエッチング等のパターンニングにより行ってヘッドを作成する方法があるが、この他にヘッド基板、ノズルプレート、ピエゾ素子等を別々に作成し、これらを貼り合わせてヘッドを作成する方法がある。
【００１０】
特許文献２の方法は、薄膜形成やエッチングを部分的に取り入れることにより、製造工程や時間を短縮することが可能となり、全体として製造コストが低減されるなどの利点を有する。
【００１１】
しかしながら、補強部材の加工にきわめて高い精度が必要になることにより生産性が低下してコストが高くなるという問題や、補強部材加工精度のばらつきにより、ＰＺＴアクチュエータの駆動ばらつきが起こるという問題がある。
【００１２】
本発明は従来技術におけるこれらの問題を解決することを目的とし、低コストで製造可能であり、クロストーク等の問題を生ずることがないインクジェット記録ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
前記目的は下記の発明により達成される。
１．並列配置された複数の圧力室及び前記圧力室にインクを供給する共通インク室が、ボディプレートと、前記圧力室に対応した複数のノズルを有するノズルプレートを含むカバープレートとにより形成されたインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記ボディプレートは、少なくとも複数の前記圧力室が配置された領域及び前記圧力室の各々を隔てる隔壁が配置された領域を含む第１領域において、第１の厚さ有し、前記第１領域を囲む第２領域において、前記第１の厚さよりも厚い第２の厚さを有し、該第２の厚さは、前記カバープレートに対向する側と反対側の前記ボディプレートの面に高低差をつけることにより形成され、前記高低差により突出した補強部を設けたことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
２．前記圧力室及び前記共通インク室は前記ボディプレートと前記ノズルプレートとにより形成されていることを特徴とする前記１に記載のインクジェット記録ヘッド。
３．前記カバープレートは、前記ノズルプレートと前記ボディプレートとの間に介在する中間ガラスプレートを有し、前記圧力室及び前記共通インク室は前記中間ガラスプレートと前記ボディプレートとにより形成されていることを特徴とする前記１に記載のインクジェット記録ヘッド。
４．前記第１領域は、前記圧力室が配置された領域及び前記圧力室の各々を隔てる隔壁が配置された領域を含み、前記第２領域は、前記共通インク室が配置された領域含むことを特徴とする前記１〜３のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
５．前記第１領域は、前記圧力室が配置された領域、前記圧力室の各々を隔てる隔壁が配置された領域及び前記共通インク室が配置された領域を含むことを特徴とする前記１〜３のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
６．前記ボディプレートと前記ノズルプレートとは陽極接合により結合されたことを特徴とする前記２に記載のインクジェット記録ヘッド。
７．前記中間ガラスプレートは陽極接合により前記ボディプレート及び前記ノズルプレートに結合されたことを特徴とする前記３に記載のインクジェット記録ヘッド。
８．前記補強部の厚さは２００〜５００μｍであることを特徴とする前記１〜７のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
９．総厚が６００〜１０００μｍであることを特徴とする前記１〜８のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【発明の効果】
【００１４】
本発明では、駆動時に壁が変位する圧力室及び該圧力室を隔てる隔壁を含む領域全体を開放するように補強部を形成して、インクジェット記録ヘッドを補強しているので、製造工程及び製造時間が短縮されて製造コストを低減することが可能となるとともに、ノズルプレートと反対側のボディプレートの面に補強部材を設けているので、補強部材を設けることによるインク吐出特性の変化や高速性能の低下がなく、しかも、インク吐出面をクリーニングにより常に清浄に保つことができるインクジェット記録ヘッドが実現される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下図示の実施の形態により本発明を説明するが、本発明は該実施の形態に限られない。
【００１６】
図１は本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの一例を構成要素毎に分解して模式的に示し、インクジェット記録ヘッドＨＤはノズルプレート１、ボディプレート２及び圧電素子３を有する。
【００１７】
ノズルプレート１には、インク吐出のためのノズル１０１を複数配列してある。
【００１８】
ボディプレート２には、これにノズルプレート１を被せて接合することで、圧力室となる圧力室溝２０４、インク供給路となるインク供給路溝２０３、共通インク室となる共通インク室溝２０２、及びインク供給口２０１が形成されている。
【００１９】
そして、ノズルプレート１のノズル１０１とボディプレート２の圧力室溝２０４とが一対一で対応するようにノズルプレート１とボディプレート２とが接合される。
【００２０】
更に、ボディプレート２のノズルプレート１と接合する面と反対側の面の各圧力室２０４に対応した位置に圧電素子３が接着される。圧電素子３はＰＺＴからなり、インクをノズル１０１から吐出させるアクチュエータである。
【００２１】
ボディプレート２のノズルプレート１が接合された面と反対側の面には、補強部２０５（図２、３参照）が設けられる。
【００２２】
なお、以下の説明において、圧力室溝２０４とノズルプレート１とにより形成された部屋を圧力室２０４と言い、インク供給路溝２０３とノズルプレート１とによりより形成された部屋をインク供給路２０３と言い、共通インク室溝２０２とノズルプレート１とによりより形成された部屋を共通インク室２０４と言う。
【００２３】
図２は図１に示すインクジェット記録ヘッドの平面図、図３は図２における線Ｘに沿った断面図である。
【００２４】
図２に示すように、補強部２０５は圧力室２０４及び圧電素子３が配置された領域、並びに個々の圧力室２０４を隔てる隔壁が配置された領域を包含する第１領域Ｒ１を囲む第２領域Ｒ２を占めるように枠状に形成される。
【００２５】
図３に示すように、上からボディプレート２、ノズルプレート１の順に配置され、インク滴が吐出されるノズルプレート１のノズル面１ａ（下面）は平面に形成され、補強部２０５は、ボディプレート２がノズルプレート１に対向する面と反対側の面に高低差をつけ、第１領域Ｒ１の厚さＴ１と第２領域Ｒ２の厚さＴ２との高低差Ｔ２−Ｔ１だけ突出させることにより形成される。
【００２６】
補強部２０５の厚さ、即ち、第２領域Ｒ２の厚さＴ２と第１領域Ｒ１の厚さＴ１との差Ｔ２−Ｔ１は２００〜５００μｍ程度が好ましい。
【００２７】
２００μｍよりも薄いと補強の機能が低下し、クロストーク、駆動効率の低下、高速駆動が困難になる等の問題が出る可能性がある。
【００２８】
５００μｍよりも厚いと、加工に時間がかかり、生産性が低下する。
【００２９】
ノズル面から補強部２０５の端面までのヘッド総厚Ｔ３は６００〜１０００μｍ程度が好ましい。
【００３０】
図４は補強部の厚さを種々変えたときにヘッドの変形量の変化を示す。図４において、縦軸は、ヘッドの変形量、即ち、ノズル面の変位量を示し、１チャネルを駆動した時の変形量である。横軸は図２における補強部２０５の厚さＴ２−Ｔ１である。
【００３１】
曲線Ａで示すように、補強部２０５の厚さ増すことにより、変形量は小さくなるが、実際の印字試験から変形量が２１ｎｍ以下で、良好な画像を形成することが出来ることが確認された。
【００３２】
従って、補強部２０５の厚さを２００μｍ以上とすることにより、良好な画像を形成することができる。
【００３３】
次に、インクジェット記録ヘッドＨＤの作成について説明する。
【００３４】
ノズルプレート１の作製方法は、基材として厚みが１５０μｍ〜５００μｍ程度のシリコン基板を用いて、例えば、公知のフォトリソグラフィー技術（レジスト塗布、露光、現像）とエッチング技術等を用いることでノズル１０１を形成するという手順により行われる。このノズル１０１の穴径は、概ねφ１μｍ〜φ３０μｍ程度である。
【００３５】
ボディプレート２は、ノズルプレート１の作製方法と同様に、基材として厚みが２００〜５００μｍ程度のシリコン基板を用いて、例えば、公知のフォトリソグラフィー技術（レジスト塗布、露光、現像）とエッチング技術等を用いることで、先に述べたノズルプレート１とで形成する、ノズルプレート１に有するノズル１０１にそれぞれ連通する複数の圧力室となる圧力室溝２０４、圧力室にそれぞれ連通する複数のインク供給路となるインク供給路溝２０３、及びインク供給路に連通する共通インク室となる共通インク室溝２０２、インク供給口２０１、並びに補強部２０５を形成する。
【００３６】
ここで形成する溝の大きさは、用途やノズルの大きさ、数等により適宜に決めれば良い。本実施の形態の一例である記録ヘッドでは、例えば、圧力室溝２０４は幅１５０μｍ〜３５０μｍ程度、深さ５０μｍ〜２００μｍ程度、インク供給路溝２０３は幅５０μｍ〜１５０μｍ程度、深さ３０μｍ〜１５０μｍ程度、共通インク室溝は幅４００μｍ〜１０００μｍ程度、深さ５０μｍ〜２００μｍ程度、インク供給口２０１は直径φ４００μｍ〜１５００μｍ程度の貫通した穴である。
【００３７】
シリコン基板に対するエッチング加工方法は、ボディプレートの面に対して垂直にエッチング加工ができるシリコン（Ｓｉ）異方性ドライエッチング法が好ましい。シリコン（Ｓｉ）異方性ドライエッチング法に関しては、産業図書株式会社「半導体ドライエッチング技術」等を参照することが出来る。
【００３８】
次に、これまで説明した方法で加工されているノズルプレート１とボディプレート２とを陽極接合技術を用いて接合する。以下に、これに関して説明する。
【００３９】
図５は、ノズルプレート１とボディプレート２との接合工程を示す図であり、図５（ａ）は、シリコン基板を基材として、ノズル（図示してない。）が加工されたノズルプレート１及び圧力室溝２０４等の溝が前記に説明した加工により形成されたボディプレート２を示している。
【００４０】
ノズルプレート１とボディプレート２とは陽極接合により結合される。陽極接合技術を用いて２つの基材を接合する場合、基材の一方を構成する材料としてシリコンを用い、他方を可動イオン、例えば代表的にはナトリウムイオン（Ｎａ+）を含むガラス材でシリコン（Ｓｉ）と比較的類似した線膨張係数（シリコンの線膨張係数は、４．２×１０-6／℃程度である。）を有するものを用いることが好ましく、例えば、硼珪酸ガラスが用いられる。
【００４１】
ここで、可動イオンを含む硼珪酸ガラス（以下、硼珪酸ガラスと称する。）としては、パイレックス（登録商標）、コーニング社（米国）またはテンパックス  フロート（登録商標）、日本以外はＢＯＲＯＦＬＯＡＴ（登録商標）、ショット日本（株）がこれらの線膨張係数（パイレックス（登録商標）及びテンパックス  フロート（登録商標）の線膨張係数は共に３．２×１０-6／℃程度である。）の観点からより好ましい。
【００４２】
また、硼珪酸ガラスよりシリコンの方が微細な加工が容易であることから、基材として硼珪酸ガラスではなく、シリコン基板を用いるようにする。そして、基材であるシリコン基板の接合面に硼珪酸ガラスを成膜して硼珪酸ガラス面とする。この場合の膜厚は、陽極接合にて強固に接合される膜厚であれば良く、膜の密度や均一性及び後述する陽極接合時に必要な接合面の加熱や印加電圧の観点から０．５μｍ〜３μｍの範囲が好ましく、更には１μｍ〜２μｍの範囲がより好ましい。
【００４３】
更に、この場合硼珪酸ガラスの成膜方法は、真空蒸着法や高周波（ＲＦ）マグネトロンスパッタ法、イオンプレーティング法のいずれでも良く、また成膜時に基板の温度を緻密な膜が形成しやすいように２５０℃以上となるように加熱することが好ましい。この温度の上限は特に定めないが、基板の取り付け治具や成膜時の基板の温度制御装置等の観点から４００℃程度が好ましい。
【００４４】
本実施の形態の一例である記録ヘッドでは、微細な加工の容易さからノズルプレート１とボディプレート２の基材はいずれもシリコン基板としている。よって、ノズルプレート１とボディプレート２との接合面のいずれか一方を上記で示した硼珪酸ガラスの面にする必要がある。
【００４５】
仮に、ボディプレート２側に硼珪酸ガラス膜を設けた場合、その硼珪酸ガラスの面を成す膜厚により、既に形成されている微細形状に膜の堆積による変形が発生することが予測される。また、この膜により圧力室２０４の底が厚くなることで圧力室２０４自体の構造が強固になり圧電素子３による歪みが十分発生できなくなり、その結果、インクの吐出が十分できない又は圧電素子３の駆動電力を大きくしなければならいといった問題が発生する恐れがある。
【００４６】
従って、図５（ｂ）に示すノズルプレート１のボディプレートに被さる面側を硼珪酸ガラスの面としており、ノズルプレート１を基板とし、この基板のボディプレートに被さる面側に０．５μｍ〜３μｍの範囲の比較的厚い膜厚の硼珪酸ガラス厚膜１１０を設ける。
【００４７】
次に、上記で説明した硼珪酸ガラス成膜されたノズルプレート１とボディプレート２とを、図５（ｃ）で示す通りに、適切な位置関係にして重ね合わせて固定し、接合部の温度を高温状態にして、直流高圧電源４を用いて電圧を印加して陽極接合する。以下に、ノズルプレート１とボディプレート２を陽極接合することに関して具体的に説明する。
【００４８】
陽極接合を行う場合に印加する電圧の極性は、シリコンの基材側をプラス（＋）、硼珪酸ガラスの基材側をマイナス（−）とする。このようにすると、静電引力によって接合界面が密着すると同時に電流が流れ、両基板が強固に陽極接合される。
【００４９】
本実施の形態の一例である記録ヘッドにおいては、ボディプレート２はプラス（＋）、硼珪酸ガラス厚膜１１０を有するノズルプレート１はマイナス（−）とする電圧を印加すれば良い。
【００５０】
接合時の高温状態とは、３００℃〜５５０℃の範囲であって、このような雰囲気温度を維持できる恒温漕や簡便な方法ではセラミックヒーター等を内蔵する絶縁性の良いホットプレート等を用いてノズルプレート１とボディプレート２との接合部を加熱すれば良い。
【００５１】
上記の温度範囲を超えて接合を行う場合、接合ができない又は接合が十分でないといった不都合が生じやすくなる。例えば、５５０℃以上では、印加電圧にもよるが、可動イオンが一気に流れ出して、硼珪酸ガラス膜が白濁したり膜密度が粗くなったりといった劣化が生じ、結果的に強固な接合ができない場合がある。また、３００℃以下では、可動イオンが移動しにくい状態であり、これを移動しやすくするためには、印加電圧を大きくすることが必要である。印加電圧を大きくする結果、ノズルプレート１とボディプレート２との間での短絡が発生し、結果として陽極接合が十分できない場合がある。
【００５２】
また、直流高圧電源４にてノズルプレート１とボディプレート２との間に印加する直流電圧の電界強度は、３０ｋＶ／ｍｍ〜２００ｋＶ／ｍｍの範囲が好ましい。例えば、硼珪酸ガラスの膜厚が０．５μｍであれば、印加電圧の範囲は、１５Ｖ〜１００Ｖ、また、３μｍであれば９０Ｖ〜６００Ｖとなる。
【００５３】
通常、１ｋＶを超える電圧を使用する場合、電圧を発生する直流高圧電源４の容量や電圧印加に関連する附帯装置の絶縁耐圧を確保することが必要となるなどから、直流高圧電源４を含めた装置が高価かつ煩雑になる。従って、適当な膜厚を設定することで陽極接合時に印加する電圧を扱いやすい１ｋＶ未満とするのが好ましい。
【００５４】
このように陽極接合により接合されたノズルプレート１及びボディプレート２の結合体Ａに圧電素子３が接着される。
【００５５】
図６はＰＺＴからなる圧電素子３をボディプレート２に接着する工程を示す。
【００５６】
圧電素子３はボディプレート２に次に説明するように転写接着により接着される。
【００５７】
ガラスプレート３０に発泡剥離シート３１及びＰＺＴバルクプレート３２がこの順に接着されたもの（図６ａに示す）に、図６ｂに示すように、ドライフィルム３３をラミネートし、公知のフォトリソグラフィー技術により、発泡剥離シート３１、ＰＺＴバルクプレート３２及びドライフィルム３３をパターンニングして、圧電素子群３００を形成する（図６ｃ）。圧電素子群３００の表面をサンドブラスト処理した後に、ドライフィルム３３を剥離する（図６ｄ）。
【００５８】
次に、接着剤層３５を有する樹脂シート３４を圧電素子群３００に接着し（図６ｅ、６ｆ）、樹脂シート３４を隔離し（図６ｇ）、接着剤層３５の側から圧電素子群３００を治具４０に保持されたボディプレート２に接着し、ガラスプレート３０及び圧電素子群３００をホットプレートで加熱する（図６ｈ）。
【００５９】
加熱により発泡剥離シート３１が溶融して除去され、ガラスプレート３０がボディプレート２及び圧電素子群３００から離れ、インクジェット記録ヘッドができあがる。
【００６０】
図７は本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドＨＤの他の例の平面図である。
【００６１】
本例においては、補強部２０５は複数圧力室２０４が配置された領域、各圧力室２０４を隔てる隔壁が配置された領域及び共通インク室２０２の領域を含む第１領域Ｒ１には形成されず、第１領域を囲む第２領域Ｒ２に枠状に形成される。
【００６２】
図７に示すように、本例においては共通インク室２０２が配置された領域も開放されている。記録動作時には、共通インク室２０２を介して圧力波が非駆動の圧力室にも伝達される流路クロストークが発生するが、本例のように共通インク室が配置された領域を開放することにより、共通インク室を形成する壁の振動により共通インク室内の圧力波を吸収し、流路クロストークを抑制することができる。
【００６３】
図８は本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドＨＤの更に他の例を模式的に示す図である。
【００６４】
本例においては、ノズルプレート１とボディプレート２との間に中間ガラスプレート５を有する。中間ガラスプレート５はノズル１０１に対応し位置にノズル５０１を有する。
【００６５】
ノズル５０１は図９示すように、ノズルプレート１のノズル１０１よりも大きな径を有する。また、中間ガラスプレート５はボディプレート２及びノズルプレート１に陽極接合により結合される。従って、中間ガラスプレート６の材料としては硼珪酸ガラスが好ましい。
図１０、１１は本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの更に他の例を示し、圧力室、圧電素子及びノズルを２列に配置した例である。
【００６６】
図１０では、圧電素子群３Ａと圧電素子群３Ｂと、圧力室群２０４Ａと２０４Ｂとが上下２列に配置されており、図示しないが、これらに対応したノズルが配置される。上段の圧力室群２０４Ａに対応した共通インク室２０２Ａが圧力室群２０４ａの上方に配置され、下段の圧力室群２０４Ｂの下方に対応の共通インク室２０２Ｂが配置される。
【００６７】
補強部２０５は圧力室群２０４Ａ、２０４Ｂ、共通インク室群２０２Ａ、２０２Ｂを含む領域Ｒ１を開口し、領域Ｒ１を囲む領域Ｒ２を覆う枠状に形成される。
【００６８】
図１１では、圧力室群、圧電素子群及びノズル群の配置は図１０と同一であるが、補強部２０５の形状が図１０と異なっており、上段の圧力室群２０４Ａ及び圧電素子群３Ａを含む領域Ｒ１１、下段の圧力室群２０４Ｂ、及び圧電素子群３Ｂを含む領域Ｒ１２、上段の共通インク室２０２Ａを含む領域Ｒ１３並びに、下段の共通インク室２０２Ｂを含む領域Ｒ１４を開口し、これら領域を囲む領域を覆う枠状部として補強部２０５が形成される。図１１の例では、上段の圧力室群２０４Ａと上段の共通インク室２０２Ａとの間の領域Ｒ２１、上段の圧力室群２０４Ａ及び圧電素子群３Ａと、下段の圧力室群２０４Ｂ及び圧電素子群３Ｂとの間の領域Ｒ２２、並びに、下段の圧力室群２０４Ｂと下段の共通インク室２０２Ｂとの間の領域Ｒ２３が補強部２０５により覆われる領域となっている。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの一例を構成要素毎に分解して模式的に示す図である。
【図２】図１に示すインクジェット記録ヘッドの平面図である。図３は図２における線Ｘに沿った拡大断面図である。
【図３】図２における線Ｘに沿った拡大断面図である。
【図４】ヘッド駆動時のヘッドの変形を示すグラフである。
【図５】ノズルプレートとボディプレートとの接合工程を示す図である。
【図６】圧電素子の接着工程を示す図である。
【図７】本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドＨＤの他の例の平面図である。
【図８】本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドＨＤの更に他の例を模式的に示す図である。
【図９】図８に示す実施の形態のノズルを拡大して示す図である。
【図１０】本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの更に他の例を示す図である。
【図１１】本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの更に他の例を示す図である。
【符号の説明】
【００７０】
１  ノズルプレート
１０１  ノズル
１１０  硼珪酸ガラス厚膜
２  ボディプレート
２０１  インク供給口
２０２  共通インク室
２０３  インク供給路
２０４  圧力室
２０５  補強部
３  圧電素子
４  直流高圧電源
５  中間ガラスプレート
【図１】
2008000941.tif 000003
【図２】
2008000941.tif 000004
【図３】
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【図４】
2008000941.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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