(57)【要約】【課題】スイッチ分岐信号源のキャリブレーションを簡易に行う。【解決手段】信号の測定結果に基づき、スイッチ分岐信号源の測定用出力端子についての誤差要因である第一ポート誤差要因Eijaを取得する第一ポート誤差要因取得部２２と、スイッチにおける誤差要因であるスイッチ部分誤差要因Qija、Qijb、Qijc、Qijdを記録するスイッチ部分誤差要因記録部２４と、スイッチ部分誤差要因のうちの測定用出力端子に関するものQijaと、第一ポート誤差要因Eijaとに基づき、信号源における誤差要因である信号源誤差要因Pijを取得する信号源誤差要因取得部２８ａと、信号源誤差要因Pijと、スイッチ部分誤差要因のうちの測定用出力端子以外の出力端子に関するものQijbとに基づき、第二ポート誤差要因Eijbを導出する第二ポート誤差要因導出部２８ｂとを備えた誤差要因測定装置２０。【選択図】図５
2008058160.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源における誤差要因を測定する誤差要因測定装置であって、
前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記スイッチ分岐信号源の前記測定用出力端子についての前記誤差要因である第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得手段と、
前記スイッチ分岐信号源の一部分であって、前記複数の出力端子のいずれか一つのみに接続されるものである単一端子系における前記誤差要因である単一端子系誤差要因を記録する単一端子系誤差要因記録手段と、
前記第一誤差要因および前記単一端子系誤差要因に基づき、前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものについての前記誤差要因である第二誤差要因を取得する第二誤差要因取得手段と、
を備えた誤差要因測定装置。
【請求項２】
請求項１に記載の誤差要因測定装置であって、
前記単一端子系は、前記スイッチにおける、前記信号源といずれか一つの前記出力端子とを接続する部分を有する、
誤差要因測定装置。
【請求項３】
請求項２に記載の誤差要因測定装置であって、
前記第二誤差要因取得手段は、
前記単一端子系誤差要因のうちの前記測定用出力端子に関するものと、前記第一誤差要因とに基づき、前記信号源における前記誤差要因である信号源誤差要因を取得する信号源誤差要因取得部と、
前記信号源誤差要因と、前記単一端子系誤差要因のうちの前記測定用出力端子以外の前記出力端子に関するものとに基づき、前記第二誤差要因を導出する第二誤差要因導出部と、
を有する、
誤差要因測定装置。
【請求項４】
請求項１に記載の誤差要因測定装置であって、
前記信号源は、信号を生成する信号生成部と、該信号生成部により生成された前記信号を増幅する増幅器と、該増幅器と前記スイッチとを接続する接続系とを有し、
前記単一端子系は、前記接続系を有し、
さらに、前記単一端子系は、前記スイッチにおける、前記信号源といずれか一つの前記出力端子とを接続する部分を有する、
誤差要因測定装置。
【請求項５】
請求項４に記載の誤差要因測定装置であって、
前記第二誤差要因取得手段は、
前記単一端子系誤差要因のうちの前記測定用出力端子に関するものと、前記第一誤差要因とに基づき、前記増幅器における前記誤差要因である増幅器誤差要因を取得する増幅器誤差要因取得部と、
前記増幅器誤差要因と、前記単一端子系誤差要因のうちの前記測定用出力端子以外の前記出力端子に関するものとに基づき、前記第二誤差要因を導出する第二誤差要因導出部と、
を有する、
誤差要因測定装置。
【請求項６】
請求項１に記載の誤差要因測定装置であって、
前記単一端子系は、前記信号源を有し、
さらに、前記単一端子系は、前記スイッチにおける、前記信号源といずれか一つの前記出力端子とを接続する部分を有する、
誤差要因測定装置。
【請求項７】
請求項６に記載の誤差要因測定装置であって、
前記第二誤差要因取得手段は、
前記単一端子系誤差要因のうちの前記測定用出力端子に関するものと、前記単一端子系誤差要因のうちの前記測定用出力端子以外の前記出力端子に関するものとに基づき、両者の関係を取得する関係取得部と、
前記第一誤差要因と、前記関係とに基づき、前記第二誤差要因を導出する第二誤差要因導出部と、
を有する、
誤差要因測定装置。
【請求項８】
信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源における誤差要因を測定する誤差要因測定装置であって、
前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記スイッチ分岐信号源の前記測定用出力端子についての前記誤差要因である第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得手段と、
前記スイッチ分岐信号源の一部分であって、前記複数の出力端子のいずれか一つのみに接続されるものである単一端子系における前記誤差要因である単一端子系誤差要因のうち、前記測定用出力端子に関するものと、前記測定用出力端子以外の前記出力端子に関するものとの関係を記録する関係記録手段と、
前記第一誤差要因および前記関係に基づき、前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものについての前記誤差要因である第二誤差要因を取得する第二誤差要因取得手段と、
を備えた誤差要因測定装置。
【請求項９】
請求項８に記載の誤差要因測定装置であって、
前記単一端子系は、前記スイッチにおける、前記信号源といずれか一つの前記出力端子とを接続する部分である、
誤差要因測定装置。
【請求項１０】
請求項８に記載の誤差要因測定装置であって、
前記単一端子系は、前記信号源を有し、
さらに、前記単一端子系は、前記スイッチにおける、前記信号源といずれか一つの前記出力端子とを接続する部分を有する、
誤差要因測定装置。
【請求項１１】
請求項１ないし１０のいずれか一項に記載の誤差要因測定装置であって、
前記信号の測定結果は、
前記信号が反射される前に前記信号を測定した結果と、
前記信号が反射されたものを測定した結果と、
を有する、
誤差要因測定装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の誤差要因測定装置であって、
前記測定用出力端子に校正用具が接続された状態で、前記信号が測定され、
前記校正用具は、開放、短絡および標準負荷の三種類の状態を実現するものである、
誤差要因測定装置。
【請求項１３】
請求項１１または１２に記載の誤差要因測定装置であって、
前記信号の測定結果は、さらに、
前記測定用出力端子から出力されたものを測定した結果を有する、
誤差要因測定装置。
【請求項１４】
請求項１ないし１３のいずれか一項に記載の誤差要因測定装置と、
前記誤差要因測定装置により測定された前記誤差要因に基づき、前記信号のパワーを調整する信号パワー調整手段と、
を備えた出力補正装置。
【請求項１５】
請求項１ないし１３のいずれか一項に記載の誤差要因測定装置と、
前記出力端子のうちのいずれか一個に被測定物が接続された状態において、前記信号が反射される前に前記信号を測定した結果と、前記信号が反射されたものを測定した結果と、前記誤差要因測定装置により測定された前記誤差要因とに基づき、前記被測定物の反射係数を測定する反射係数測定手段と、
を備えた反射係数測定装置。
【請求項１６】
信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源における誤差要因を測定する誤差要因測定方法であって、
前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記スイッチ分岐信号源の前記測定用出力端子についての前記誤差要因である第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得工程と、
前記スイッチ分岐信号源の一部分であって、前記複数の出力端子のいずれか一つのみに接続されるものである単一端子系における前記誤差要因である単一端子系誤差要因を記録する単一端子系誤差要因記録工程と、
前記第一誤差要因および前記単一端子系誤差要因に基づき、前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものについての前記誤差要因である第二誤差要因を取得する第二誤差要因取得工程と、
を備えた誤差要因測定方法。
【請求項１７】
信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源における誤差要因を測定する誤差要因測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記スイッチ分岐信号源の前記測定用出力端子についての前記誤差要因である第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得処理と、
前記スイッチ分岐信号源の一部分であって、前記複数の出力端子のいずれか一つのみに接続されるものである単一端子系における前記誤差要因である単一端子系誤差要因を記録する単一端子系誤差要因記録処理と、
前記第一誤差要因および前記単一端子系誤差要因に基づき、前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものについての前記誤差要因である第二誤差要因を取得する第二誤差要因取得処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【請求項１８】
信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源における誤差要因を測定する誤差要因測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、
前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記スイッチ分岐信号源の前記測定用出力端子についての前記誤差要因である第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得処理と、
前記スイッチ分岐信号源の一部分であって、前記複数の出力端子のいずれか一つのみに接続されるものである単一端子系における前記誤差要因である単一端子系誤差要因を記録する単一端子系誤差要因記録処理と、
前記第一誤差要因および前記単一端子系誤差要因に基づき、前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものについての前記誤差要因である第二誤差要因を取得する第二誤差要因取得処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体。
【請求項１９】
信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源における誤差要因を測定する誤差要因測定方法であって、
前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記スイッチ分岐信号源の前記測定用出力端子についての前記誤差要因である第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得工程と、
前記スイッチ分岐信号源の一部分であって、前記複数の出力端子のいずれか一つのみに接続されるものである単一端子系における前記誤差要因である単一端子系誤差要因のうち、前記測定用出力端子に関するものと、前記測定用出力端子以外の前記出力端子に関するものとの関係を記録する関係記録工程と、
前記第一誤差要因および前記関係に基づき、前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものについての前記誤差要因である第二誤差要因を取得する第二誤差要因取得工程と、
を備えた誤差要因測定方法。
【請求項２０】
信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源における誤差要因を測定する誤差要因測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記スイッチ分岐信号源の前記測定用出力端子についての前記誤差要因である第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得処理と、
前記スイッチ分岐信号源の一部分であって、前記複数の出力端子のいずれか一つのみに接続されるものである単一端子系における前記誤差要因である単一端子系誤差要因のうち、前記測定用出力端子に関するものと、前記測定用出力端子以外の前記出力端子に関するものとの関係を記録する関係記録処理と、
前記第一誤差要因および前記関係に基づき、前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものについての前記誤差要因である第二誤差要因を取得する第二誤差要因取得処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【請求項２１】
信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源における誤差要因を測定する誤差要因測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、
前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記スイッチ分岐信号源の前記測定用出力端子についての前記誤差要因である第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得処理と、
前記スイッチ分岐信号源の一部分であって、前記複数の出力端子のいずれか一つのみに接続されるものである単一端子系における前記誤差要因である単一端子系誤差要因のうち、前記測定用出力端子に関するものと、前記測定用出力端子以外の前記出力端子に関するものとの関係を記録する関係記録処理と、
前記第一誤差要因および前記関係に基づき、前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものについての前記誤差要因である第二誤差要因を取得する第二誤差要因取得処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、信号を生成する信号源と、生成された信号を複数のポートのいずれかに出力するスイッチとを組み合わせたスイッチ分岐信号源のキャリブレーションに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、被測定物（ＤＵＴ：Device
Under Test）の回路パラメータ（例えば、Ｓパラメータ）を測定することが行われている（例えば、特許文献１を参照）。
【０００３】
具体的には、信号源から信号をＤＵＴを介して受信部に送信する。この信号は受信部により受信される。受信部により受信された信号を測定することによりＤＵＴのＳパラメータや周波数特性を取得することができる。
【０００４】
このとき、信号源等の測定系とＤＵＴとの不整合などにより測定に測定系誤差が生ずる。この測定系誤差は、例えばＥｄ：ブリッジの方向性に起因する誤差、Ｅｒ：周波数トラッキングに起因する誤差、Ｅｓ：ソースマッチングに起因する誤差、である。
【０００５】
この場合は、例えば特許文献１に記載のようにして誤差を補正することができる。このような補正をキャリブレーションという。キャリブレーションについて概説する。信号源に校正キットを接続し、オープン（開放）、ショート（短絡）、ロード（標準負荷Z0）の三種類の状態を実現する。このときの校正キットから反射された信号をブリッジにより取得して三種類の状態に対応した三種類のＳパラメータを求める。三種類のＳパラメータから三種類の変数Ｅｄ、Ｅｒ、Ｅｓを求め、補正を行う。
【０００６】
なお、Ｅｒは、信号の入力に関する誤差Ｅｒ１と、信号の反射に関する誤差Ｅｒ２との積として表される。ここで、信号源にパワーメータを接続し、パワーを測定することにより、Ｅｒ１およびＥｒ２を測定することができる（例えば、特許文献２を参照）。
【０００７】
このようなキャリブレーションを、スイッチ分岐信号源に適用することができる。なお、スイッチ分岐信号源とは、信号を生成する信号源と、生成された信号を複数のポートのいずれかに出力するスイッチとを組み合わせたものである。このようなキャリブレーションを、スイッチ分岐信号源に適用した場合、複数のポートの各々について、オープン（開放）、ショート（短絡）、ロード（標準負荷Z0）の三種類の状態を実現し、さらに必要があればパワーメータも接続することになる。
【０００８】
【特許文献１】特開平１１−３８０５４号公報
【特許文献２】国際公開第２００４／０４９５６４号パンフレット
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、スイッチ分岐信号源の複数のポートの各々について、上記の三種類の状態（さらに必要があればパワーメータも接続する）を実現しなければならないため、多大な労力をキャリブレーションに費やすことになる。
【００１０】
そこで、本発明は、スイッチ分岐信号源のキャリブレーションを簡易に行うことを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明にかかる誤差要因測定装置は、信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源における誤差要因を測定する誤差要因測定装置であって、前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記スイッチ分岐信号源の前記測定用出力端子についての前記誤差要因である第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得手段と、前記スイッチ分岐信号源の一部分であって、前記複数の出力端子のいずれか一つのみに接続されるものである単一端子系における前記誤差要因である単一端子系誤差要因を記録する単一端子系誤差要因記録手段と、前記第一誤差要因および前記単一端子系誤差要因に基づき、前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものについての前記誤差要因である第二誤差要因を取得する第二誤差要因取得手段と、を備えるように構成される。
【００１２】
本発明によれば、信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源における誤差要因を測定する誤差要因測定装置が提供される。
【００１３】
本発明にかかる誤差要因測定装置によれば、第一誤差要因取得手段が、前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記スイッチ分岐信号源の前記測定用出力端子についての前記誤差要因である第一誤差要因を取得する。単一端子系誤差要因記録手段が、前記スイッチ分岐信号源の一部分であって、前記複数の出力端子のいずれか一つのみに接続されるものである単一端子系における前記誤差要因である単一端子系誤差要因を記録する。第二誤差要因取得手段が、前記第一誤差要因および前記単一端子系誤差要因に基づき、前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものについての前記誤差要因である第二誤差要因を取得する。
【００１４】
なお、本発明にかかる誤差要因測定装置は、前記単一端子系が、前記スイッチにおける、前記信号源といずれか一つの前記出力端子とを接続する部分を有するようにしてもよい。
【００１５】
なお、本発明にかかる誤差要因測定装置は、前記第二誤差要因取得手段が、前記単一端子系誤差要因のうちの前記測定用出力端子に関するものと、前記第一誤差要因とに基づき、前記信号源における前記誤差要因である信号源誤差要因を取得する信号源誤差要因取得部と、前記信号源誤差要因と、前記単一端子系誤差要因のうちの前記測定用出力端子以外の前記出力端子に関するものとに基づき、前記第二誤差要因を導出する第二誤差要因導出部と、を有するようにしてもよい。
【００１６】
なお、本発明にかかる誤差要因測定装置は、前記信号源が、信号を生成する信号生成部と、該信号生成部により生成された前記信号を増幅する増幅器と、該増幅器と前記スイッチとを接続する接続系とを有し、前記単一端子系は、前記接続系を有し、さらに、前記単一端子系は、前記スイッチにおける、前記信号源といずれか一つの前記出力端子とを接続する部分を有するようにしてもよい。
【００１７】
なお、本発明にかかる誤差要因測定装置は、前記第二誤差要因取得手段が、前記単一端子系誤差要因のうちの前記測定用出力端子に関するものと、前記第一誤差要因とに基づき、前記増幅器における前記誤差要因である増幅器誤差要因を取得する増幅器誤差要因取得部と、前記増幅器誤差要因と、前記単一端子系誤差要因のうちの前記測定用出力端子以外の前記出力端子に関するものとに基づき、前記第二誤差要因を導出する第二誤差要因導出部と、を有するようにしてもよい。
【００１８】
なお、本発明にかかる誤差要因測定装置は、前記単一端子系が、前記信号源を有し、さらに、前記単一端子系は、前記スイッチにおける、前記信号源といずれか一つの前記出力端子とを接続する部分を有するようにしてもよい。
【００１９】
なお、本発明にかかる誤差要因測定装置は、前記第二誤差要因取得手段が、前記単一端子系誤差要因のうちの前記測定用出力端子に関するものと、前記単一端子系誤差要因のうちの前記測定用出力端子以外の前記出力端子に関するものとに基づき、両者の関係を取得する関係取得部と、前記第一誤差要因と、前記関係とに基づき、前記第二誤差要因を導出する第二誤差要因導出部と、を有するようにしてもよい。
【００２０】
本発明にかかる誤差要因測定装置は、信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源における誤差要因を測定する誤差要因測定装置であって、前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記スイッチ分岐信号源の前記測定用出力端子についての前記誤差要因である第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得手段と、前記スイッチ分岐信号源の一部分であって、前記複数の出力端子のいずれか一つのみに接続されるものである単一端子系における前記誤差要因である単一端子系誤差要因のうち、前記測定用出力端子に関するものと、前記測定用出力端子以外の前記出力端子に関するものとの関係を記録する関係記録手段と、前記第一誤差要因および前記関係に基づき、前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものについての前記誤差要因である第二誤差要因を取得する第二誤差要因取得手段と、を備えるように構成される。
【００２１】
本発明によれば、信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源における誤差要因を測定する誤差要因測定装置が提供される。
【００２２】
本発明にかかる誤差要因測定装置によれば、第一誤差要因取得手段が、前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記スイッチ分岐信号源の前記測定用出力端子についての前記誤差要因である第一誤差要因を取得する。関係記録手段が、前記スイッチ分岐信号源の一部分であって、前記複数の出力端子のいずれか一つのみに接続されるものである単一端子系における前記誤差要因である単一端子系誤差要因のうち、前記測定用出力端子に関するものと、前記測定用出力端子以外の前記出力端子に関するものとの関係を記録する。第二誤差要因取得手段が、前記第一誤差要因および前記関係に基づき、前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものについての前記誤差要因である第二誤差要因を取得する。
【００２３】
なお、本発明にかかる誤差要因測定装置は、前記単一端子系が、前記スイッチにおける、前記信号源といずれか一つの前記出力端子とを接続する部分であるようにしてもよい。
【００２４】
なお、本発明にかかる誤差要因測定装置は、前記単一端子系が、前記信号源を有し、さらに、前記単一端子系は、前記スイッチにおける、前記信号源といずれか一つの前記出力端子とを接続する部分を有するようにしてもよい。
【００２５】
なお、本発明にかかる誤差要因測定装置は、前記信号の測定結果が、前記信号が反射される前に前記信号を測定した結果と、前記信号が反射されたものを測定した結果と、を有するようにしてもよい。
【００２６】
なお、本発明にかかる誤差要因測定装置は、前記測定用出力端子に校正用具が接続された状態で、前記信号が測定され、前記校正用具は、開放、短絡および標準負荷の三種類の状態を実現するものであるようにしてもよい。
【００２７】
なお、本発明にかかる誤差要因測定装置は、前記信号の測定結果が、さらに、前記測定用出力端子から出力されたものを測定した結果を有するようにしてもよい。
【００２８】
なお、本発明にかかる出力補正装置は、上記のような誤差要因測定装置と、前記誤差要因測定装置により測定された前記誤差要因に基づき、前記信号のパワーを調整する信号パワー調整手段とを備えるように構成される。
【００２９】
なお、本発明にかかる反射係数測定装置は、上記のような誤差要因測定装置と、前記出力端子のうちのいずれか一個に被測定物が接続された状態において、前記信号が反射される前に前記信号を測定した結果と、前記信号が反射されたものを測定した結果と、前記誤差要因測定装置により測定された前記誤差要因とに基づき、前記被測定物の反射係数を測定する反射係数測定手段とを備えるように構成される。
【００３０】
本発明は、信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源における誤差要因を測定する誤差要因測定方法であって、前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記スイッチ分岐信号源の前記測定用出力端子についての前記誤差要因である第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得工程と、前記スイッチ分岐信号源の一部分であって、前記複数の出力端子のいずれか一つのみに接続されるものである単一端子系における前記誤差要因である単一端子系誤差要因を記録する単一端子系誤差要因記録工程と、前記第一誤差要因および前記単一端子系誤差要因に基づき、前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものについての前記誤差要因である第二誤差要因を取得する第二誤差要因取得工程と、を備えた誤差要因測定方法である。
【００３１】
本発明は、信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源における誤差要因を測定する誤差要因測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記スイッチ分岐信号源の前記測定用出力端子についての前記誤差要因である第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得処理と、前記スイッチ分岐信号源の一部分であって、前記複数の出力端子のいずれか一つのみに接続されるものである単一端子系における前記誤差要因である単一端子系誤差要因を記録する単一端子系誤差要因記録処理と、前記第一誤差要因および前記単一端子系誤差要因に基づき、前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものについての前記誤差要因である第二誤差要因を取得する第二誤差要因取得処理と、をコンピュータに実行させるためのプログラムである。
【００３２】
本発明は、信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源における誤差要因を測定する誤差要因測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記スイッチ分岐信号源の前記測定用出力端子についての前記誤差要因である第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得処理と、前記スイッチ分岐信号源の一部分であって、前記複数の出力端子のいずれか一つのみに接続されるものである単一端子系における前記誤差要因である単一端子系誤差要因を記録する単一端子系誤差要因記録処理と、前記第一誤差要因および前記単一端子系誤差要因に基づき、前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものについての前記誤差要因である第二誤差要因を取得する第二誤差要因取得処理と、をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体である。
【００３３】
本発明は、信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源における誤差要因を測定する誤差要因測定方法であって、前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記スイッチ分岐信号源の前記測定用出力端子についての前記誤差要因である第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得工程と、前記スイッチ分岐信号源の一部分であって、前記複数の出力端子のいずれか一つのみに接続されるものである単一端子系における前記誤差要因である単一端子系誤差要因のうち、前記測定用出力端子に関するものと、前記測定用出力端子以外の前記出力端子に関するものとの関係を記録する関係記録工程と、前記第一誤差要因および前記関係に基づき、前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものについての前記誤差要因である第二誤差要因を取得する第二誤差要因取得工程と、を備えた誤差要因測定方法である。
【００３４】
本発明は、信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源における誤差要因を測定する誤差要因測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記スイッチ分岐信号源の前記測定用出力端子についての前記誤差要因である第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得処理と、前記スイッチ分岐信号源の一部分であって、前記複数の出力端子のいずれか一つのみに接続されるものである単一端子系における前記誤差要因である単一端子系誤差要因のうち、前記測定用出力端子に関するものと、前記測定用出力端子以外の前記出力端子に関するものとの関係を記録する関係記録処理と、前記第一誤差要因および前記関係に基づき、前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものについての前記誤差要因である第二誤差要因を取得する第二誤差要因取得処理と、をコンピュータに実行させるためのプログラムである。
【００３５】
本発明は、信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源における誤差要因を測定する誤差要因測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記スイッチ分岐信号源の前記測定用出力端子についての前記誤差要因である第一誤差要因を取得する第一誤差要因取得処理と、前記スイッチ分岐信号源の一部分であって、前記複数の出力端子のいずれか一つのみに接続されるものである単一端子系における前記誤差要因である単一端子系誤差要因のうち、前記測定用出力端子に関するものと、前記測定用出力端子以外の前記出力端子に関するものとの関係を記録する関係記録処理と、前記第一誤差要因および前記関係に基づき、前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものについての前記誤差要因である第二誤差要因を取得する第二誤差要因取得処理と、をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
以下、本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。
【００３７】
図１は、第一の実施形態のスイッチ分岐信号源１０の構成を示す図である。スイッチ分岐信号源１０は、信号源１００、スイッチ１８、出力端子１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄを有する。
【００３８】
信号源１００は、信号を生成するためのものである。信号源１００は、信号生成部１２、アンプ１３、ブリッジ１４ａ、１４ｂ、ミキサ１６ａ、１６ｂを有する。
【００３９】
信号生成部１２は、信号（例えば、高周波数の信号）を生成する。アンプ１３は、信号生成部１２により生成された信号を増幅する。
【００４０】
ブリッジ１４ａは、アンプ１３の出力を受け、二方向に分岐させる。ミキサ１６ａは、ブリッジ１４ａの出力のうちの一方を受け、所定のローカル周波数を有するローカル信号と乗算する。ただし、ローカル信号は図示省略する。ミキサ１６ａの出力が、信号源１００における誤差要因の生ずる前に信号を測定した結果といえる。
【００４１】
ブリッジ１４ｂは、ブリッジ１４ａの出力のうちの他方を受け、そのまま出力する。ただし、信号が出力側から反射されてきたもの（「反射信号」という）を受け、ミキサ１６ｂに与える。ミキサ１６ｂは、反射信号とローカル信号とを乗算する。ただし、ローカル信号は図示省略する。ミキサ１６ｂの出力が、反射信号を測定した結果といえる。
【００４２】
スイッチ１８は、信号源１００に接続され、出力端子１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄのいずれかから信号を出力させるものである。
【００４３】
出力端子１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄは、そのいずれかが、スイッチ１８により、信号源１００に接続される。そして、信号源１００に接続された出力端子から信号が出力される。
【００４４】
ここで、出力端子１９ａから信号が出力される場合の、出力端子１９ａの出力のＳパラメータをａ１、出力が出力端子１９ａに反射されてきたもののＳパラメータをｂ１とする。
【００４５】
出力端子１９ｂから信号が出力される場合の、出力端子１９ｂの出力のＳパラメータをａ２、出力が出力端子１９ｂに反射されてきたもののＳパラメータをｂ２とする。
【００４６】
出力端子１９ｃから信号が出力される場合の、出力端子１９ｃの出力のＳパラメータをａ３、出力が出力端子１９ｃに反射されてきたもののＳパラメータをｂ３とする。
【００４７】
出力端子１９ｄから信号が出力される場合の、出力端子１９ｄの出力のＳパラメータをａ４、出力が出力端子１９ｄに反射されてきたもののＳパラメータをｂ４とする。
【００４８】
図２は、第一の実施形態のスイッチ分岐信号源１０のシグナルフローグラフである。図２（ａ）は、信号源１００を出力端子１９ａに接続した場合のシグナルフローグラフである。図２（ｂ）は、信号源１００を出力端子１９ｂに接続した場合のシグナルフローグラフである。図２（ｃ）は、信号源１００を出力端子１９ｃに接続した場合のシグナルフローグラフである。図２（ｄ）は、信号源１００を出力端子１９ｄに接続した場合のシグナルフローグラフである。
【００４９】
図２において、信号生成部１２の出力をＳＧ、ミキサ１６ａの出力をＲ１、ミキサ１６ｂの出力をＲ２と表記する。また、図２に示すように、Ｒ１＝ＳＧ×Ｌとなる、ただし、Ｌ（Ｓパラメータ）は、アンプ１３により生じる誤差要因である。
【００５０】
図２（ａ）を参照して、信号源１００を出力端子１９ａに接続した場合は、誤差要因Ｅ１１ａ、Ｅ１２ａ、Ｅ２１ａ、Ｅ２２ａ（Ｓパラメータ）が発生していることがわかる。誤差要因Ｅ１１ａ、Ｅ１２ａ、Ｅ２１ａ、Ｅ２２ａを、第一ポート誤差要因という。
【００５１】
図２（ｂ）を参照して、信号源１００を出力端子１９ｂに接続した場合は、誤差要因Ｅ１１ｂ、Ｅ１２ｂ、Ｅ２１ｂ、Ｅ２２ｂ（Ｓパラメータ）が発生していることがわかる。誤差要因Ｅ１１ｂ、Ｅ１２ｂ、Ｅ２１ｂ、Ｅ２２ｂを、第二ポート誤差要因という。
【００５２】
図２（ｃ）を参照して、信号源１００を出力端子１９ｃに接続した場合は、誤差要因Ｅ１１ｃ、Ｅ１２ｃ、Ｅ２１ｃ、Ｅ２２ｃ（Ｓパラメータ）が発生していることがわかる。誤差要因Ｅ１１ｃ、Ｅ１２ｃ、Ｅ２１ｃ、Ｅ２２ｃを、第三ポート誤差要因という。
【００５３】
図２（ｄ）を参照して、信号源１００を出力端子１９ｄに接続した場合は、誤差要因Ｅ１１ｄ、Ｅ１２ｄ、Ｅ２１ｄ、Ｅ２２ｄ（Ｓパラメータ）が発生していることがわかる。誤差要因Ｅ１１ｄ、Ｅ１２ｄ、Ｅ２１ｄ、Ｅ２２ｄを、第四ポート誤差要因という。
【００５４】
図３は、第一の実施形態の信号源１００が端子１５を有すると仮想した場合の、スイッチ分岐信号源１０の構成を示す図である。端子１５は、信号源１００をスイッチ１８に接続するための端子である。なお、端子１５の出力をａ５、端子１５の出力が端子１５に反射されてきたものをｂ５とする。
【００５５】
図４は、第一の実施形態において、端子１５を仮想した場合のスイッチ分岐信号源１０のシグナルフローグラフである。図４（ａ）は、信号源１００を出力端子１９ａに接続した場合のシグナルフローグラフである。図４（ｂ）は、信号源１００を出力端子１９ｂに接続した場合のシグナルフローグラフである。図４（ｃ）は、信号源１００を出力端子１９ｃに接続した場合のシグナルフローグラフである。図４（ｄ）は、信号源１００を出力端子１９ｄに接続した場合のシグナルフローグラフである。
【００５６】
なお、図１０は、信号源１００を出力端子に接続した場合のスイッチ１８の内部を示す図である。図１０（ａ）は、信号源１００を出力端子１９ａに接続した場合のスイッチ１８の内部を示す図である。図１０（ｂ）は、信号源１００を出力端子１９ｂに接続した場合のスイッチ１８の内部を示す図である。図１０（ｃ）は、信号源１００を出力端子１９ｃに接続した場合のスイッチ１８の内部を示す図である。図１０（ｄ）は、信号源１００を出力端子１９ｄに接続した場合のスイッチ１８の内部を示す図である。
【００５７】
図４を参照すると、信号源１００を出力端子１９ａ、１９ａ、１９ａ、１９ｄのいずれに接続しても、共通した誤差要因Ｐ１１、Ｐ１２、Ｐ２１、Ｐ２２が発生していることがわかる。誤差要因Ｐ１１、Ｐ１２、Ｐ２１、Ｐ２２は、信号源１００における誤差要因であり、信号源誤差要因という。信号源誤差要因Ｐ１１、Ｐ１２、Ｐ２１、Ｐ２２は、温度および時間が変化すると、値が変化しやすいＳパラメータである。
【００５８】
図４（ａ）を参照して、信号源１００を出力端子１９ａに接続した場合は、誤差要因Ｑ１１ａ、Ｑ１２ａ、Ｑ２１ａ、Ｑ２２ａ（Ｓパラメータ）が発生していることがわかる。誤差要因Ｑ１１ａ、Ｑ１２ａ、Ｑ２１ａ、Ｑ２２ａは、信号源１００を出力端子１９ａに接続した場合のスイッチ１８の誤差要因であり、第一スイッチ部分誤差要因という。なお、信号源１００を出力端子１９ａに接続した場合のスイッチ１８とは、より詳細には、図１０（ａ）を参照して、スイッチ１８における、信号源１００（の端子１５）と、ある一つの出力端子１９ａとを接続するスイッチ部分１８ａである。
【００５９】
図４（ｂ）を参照して、信号源１００を出力端子１９ｂに接続した場合は、誤差要因Ｑ１１ｂ、Ｑ１２ｂ、Ｑ２１ｂ、Ｑ２２ｂ（Ｓパラメータ）が発生していることがわかる。誤差要因Ｑ１１ｂ、Ｑ１２ｂ、Ｑ２１ｂ、Ｑ２２ｂは、信号源１００を出力端子１９ｂに接続した場合のスイッチ１８の誤差要因であり、第二スイッチ部分誤差要因という。なお、信号源１００を出力端子１９ｂに接続した場合のスイッチ１８とは、より詳細には、図１０（ｂ）を参照して、スイッチ１８における、信号源１００（の端子１５）と、ある一つの出力端子１９ｂとを接続するスイッチ部分１８ｂである。
【００６０】
図４（ｃ）を参照して、信号源１００を出力端子１９ｃに接続した場合は、誤差要因Ｑ１１ｃ、Ｑ１２ｃ、Ｑ２１ｃ、Ｑ２２ｃ（Ｓパラメータ）が発生していることがわかる。誤差要因Ｑ１１ｃ、Ｑ１２ｃ、Ｑ２１ｃ、Ｑ２２ｃは、信号源１００を出力端子１９ｃに接続した場合のスイッチ１８の誤差要因であり、第三スイッチ部分誤差要因という。なお、信号源１００を出力端子１９ｃに接続した場合のスイッチ１８とは、より詳細には、図１０（ｃ）を参照して、スイッチ１８における、信号源１００（の端子１５）と、ある一つの出力端子１９ｃとを接続するスイッチ部分１８ｃである。
【００６１】
図４（ｄ）を参照して、信号源１００を出力端子１９ｄに接続した場合は、誤差要因Ｑ１１ｄ、Ｑ１２ｄ、Ｑ２１ｄ、Ｑ２２ｄ（Ｓパラメータ）が発生していることがわかる。誤差要因Ｑ１１ｄ、Ｑ１２ｄ、Ｑ２１ｄ、Ｑ２２ｄは、信号源１００を出力端子１９ｄに接続した場合のスイッチ１８の誤差要因であり、第四スイッチ部分誤差要因という。なお、信号源１００を出力端子１９ｄに接続した場合のスイッチ１８とは、より詳細には、図１０（ｄ）を参照して、スイッチ１８における、信号源１００（の端子１５）と、ある一つの出力端子１９ｄとを接続するスイッチ部分１８ｄである。
【００６２】
ここで、スイッチ分岐信号源１０の一部分であって、しかも、出力端子１９ａ、１９ａ、１９ａ、１９ｄのいずれか一つのみに接続されるものを単一端子系という。すると、スイッチ部分１８ａ、１８ｂ、１８ｃ、１８ｄは、単一端子系である。第一スイッチ部分誤差要因、第二スイッチ部分誤差要因、第三スイッチ部分誤差要因および第四スイッチ部分誤差要因は、それぞれ、単一端子系であるスイッチ部分１８ａ、１８ｂ、１８ｃ、１８ｄの誤差要因なので、単一端子系誤差要因である。
【００６３】
図２（ａ）および図４（ａ）を参照すると、信号源誤差要因Ｐ１１、Ｐ１２、Ｐ２１、Ｐ２２と、第一スイッチ部分誤差要因Ｑ１１ａ、Ｑ１２ａ、Ｑ２１ａ、Ｑ２２ａとを合成したものが、第一ポート誤差要因Ｅ１１ａ、Ｅ１２ａ、Ｅ２１ａ、Ｅ２２ａとなることがわかる。
【００６４】
これらの誤差要因は全てＳパラメータで表されている。ここで、信号源誤差要因Pij、第一スイッチ部分誤差要因Qija、第一ポート誤差要因Eija（ただし、i=1または2、j=1または2）をＴパラメータで表現したものを、それぞれT(Pij)、T(Qija)、T(Eija)とする。
【００６５】
図２（ｂ）および図４（ｂ）を参照すると、信号源誤差要因Ｐ１１、Ｐ１２、Ｐ２１、Ｐ２２と、第二スイッチ部分誤差要因Ｑ１１ｂ、Ｑ１２ｂ、Ｑ２１ｂ、Ｑ２２ｂとを合成したものが、第二ポート誤差要因Ｅ１１ｂ、Ｅ１２ｂ、Ｅ２１ｂ、Ｅ２２ｂとなることがわかる。
【００６６】
これらの誤差要因は全てＳパラメータで表されている。ここで、信号源誤差要因Pij、第二スイッチ部分誤差要因Qijb、第二ポート誤差要因Eijb（ただし、i=1または2、j=1または2）をＴパラメータで表現したものを、それぞれT(Pij)、T(Qijb)、T(Eijb)とする。
【００６７】
図２（ｃ）および図４（ｃ）を参照すると、信号源誤差要因Ｐ１１、Ｐ１２、Ｐ２１、Ｐ２２と、第三スイッチ部分誤差要因Ｑ１１ｃ、Ｑ１２ｃ、Ｑ２１ｃ、Ｑ２２ｃとを合成したものが、第三ポート誤差要因Ｅ１１ｃ、Ｅ１２ｃ、Ｅ２１ｃ、Ｅ２２ｃとなることがわかる。
【００６８】
これらの誤差要因は全てＳパラメータで表されている。ここで、信号源誤差要因Pij、第三スイッチ部分誤差要因Qijc、第三ポート誤差要因Eijc（ただし、i=1または2、j=1または2）をＴパラメータで表現したものを、それぞれT(Pij)、T(Qijc)、T(Eijc)とする。
【００６９】
図２（ｄ）および図４（ｄ）を参照すると、信号源誤差要因Ｐ１１、Ｐ１２、Ｐ２１、Ｐ２２と、第四スイッチ部分誤差要因Ｑ１１ｄ、Ｑ１２ｄ、Ｑ２１ｄ、Ｑ２２ｄとを合成したものが、第四ポート誤差要因Ｅ１１ｄ、Ｅ１２ｄ、Ｅ２１ｄ、Ｅ２２ｄとなることがわかる。
【００７０】
これらの誤差要因は全てＳパラメータで表されている。ここで、信号源誤差要因Pij、第四スイッチ部分誤差要因Qijd、第四ポート誤差要因Eijd（ただし、i=1または2、j=1または2）をＴパラメータで表現したものを、それぞれT(Pij)、T(Qijd)、T(Eijd)とする。
【００７１】
すると、下記の式（１）、（２）、（３）、（４）が成立する。
【００７２】
T(Eija) = T(Pij)・T(Qija)    （１）
T(Eijb) = T(Pij)・T(Qijb)    （２）
T(Eijc) = T(Pij)・T(Qijc)    （３）
T(Eijd) = T(Pij)・T(Qijd)    （４）
なお、第一スイッチ部分誤差要因Qija、第二スイッチ部分誤差要因Qijb、第三スイッチ部分誤差要因Qijcおよび第四スイッチ部分誤差要因Qijdは、温度および時間が変化しても、信号源誤差要因Pijに比べると、値が一定に保たれるとみなしうるＳパラメータである。
【００７３】
図５は、本発明の第一の実施形態にかかる誤差要因測定装置２０の構成を示す機能ブロック図である。誤差要因測定装置２０は、端子２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、第一ポート誤差要因取得部（第一誤差要因取得手段）２２、スイッチ部分誤差要因記録部（単一端子系誤差要因記録手段）２４、信号源誤差要因取得部２８ａ、第二ポート誤差要因導出部２８ｂ、第三ポート誤差要因導出部２８ｃ、第四ポート誤差要因導出部２８ｄを備える。
【００７４】
端子２１ａは、スイッチ分岐信号源１０のミキサ１６ａに接続される端子である。端子２１ｂは、スイッチ分岐信号源１０のミキサ１６ｂに接続される端子である。端子２１ｃは、スイッチ分岐信号源１０の出力端子１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄのいずれかに接続されたパワーメータ（詳細は後述する）の測定結果を受ける端子である。
【００７５】
第一ポート誤差要因取得部（第一誤差要因取得手段）２２は、端子２１ａ、２１ｂ、２１ｃを介して、スイッチ分岐信号源１０の出力端子（測定用出力端子）１９ａから信号が出力されている状態における信号の測定結果を受ける。
【００７６】
図６および図８を参照して、端子２１ａ、２１ｂ、２１ｃが、どのような測定結果を受けているかの概略を説明する。図６を参照して、出力端子（測定用出力端子）１９ａに校正用具６２（開放、短絡および標準負荷）が接続されている状態で、端子２１ａ、２１ｂは、それぞれ、信号（第一ポート誤差要因Eijaが生じる前のものであり、信号が校正用具６２により反射される前のもの）、反射信号（信号が校正用具６２により反射されたもの）の測定結果を受ける。図８を参照して、出力端子（測定用出力端子）１９ａにパワーメータ６４が接続されている状態で、端子２１ａ、２１ｃは、それぞれ、信号（第一ポート誤差要因Eijaが生じる前のもの）、信号（出力端子１９ａから出力されたもの）の測定結果を受ける。
【００７７】
さらに、第一ポート誤差要因取得部２２は、上記のような信号の測定結果に基づき、スイッチ分岐信号源１０の出力端子１９ａについての誤差要因である第一ポート誤差要因Ｅ１１ａ、Ｅ１２ａ、Ｅ２１ａ、Ｅ２２ａを取得する。取得された第一ポート誤差要因Eija（ただし、i=1または2、j=1または2）は、誤差要因測定装置２０の外部に出力され、しかも、信号源誤差要因取得部２８ａにも与えられる。
【００７８】
スイッチ部分誤差要因記録部（単一端子系誤差要因記録手段）２４は、第一スイッチ部分誤差要因Qija、第二スイッチ部分誤差要因Qijb、第三スイッチ部分誤差要因Qijcおよび第四スイッチ部分誤差要因Qijdを記録する。例えば、スイッチ部分誤差要因記録部２４は、Qija、Qijb、QijcおよびQijdをＴパラメータとして記録する。すなわち、スイッチ部分誤差要因記録部２４は、例えば、T(Qija)、T(Qijb)、T(Qijc)、T(Qijd)を記録する。なお、スイッチ部分誤差要因は、スイッチ１８を工場から出荷する時に測定しておき、スイッチ部分誤差要因記録部２４に記録させておくことができる。また、スイッチ部分誤差要因記録部２４は、Qija、Qijb、QijcおよびQijdをＳパラメータとして記録してもよい。
【００７９】
信号源誤差要因取得部２８ａは、スイッチ部分誤差要因のうちの出力端子（測定用出力端子）１９ａに関するもの（第一スイッチ部分誤差要因Qija）と、第一ポート誤差要因Eijaとに基づき、信号源誤差要因Pijを取得する。
【００８０】
例えば、信号源誤差要因取得部２８ａは、以下のようにして、信号源誤差要因Pijを取得する。まず、第一ポート誤差要因Eijaを第一ポート誤差要因取得部２２から受け、Ｔパラメータに変換する。これにより、T(Eija)が取得できる。また、T(Qija)をスイッチ部分誤差要因記録部２４から受ける。ここで、式（１）をT(Pij)について解くと、下記の式（５）が得られる。
【００８１】
T(Pij) = T(Eija)・T(Qija)-1    （５）
ただし、T()-1の演算は逆行列を意味する。例えば、T(Qija)-1は、T(Qija)の逆行列を意味する。
【００８２】
よって、信号源誤差要因取得部２８ａは、T(Eija)およびT(Qija)を式（５）に代入して、T(Pij)（信号源誤差要因をＴパラメータで表現したもの）を取得できる。
【００８３】
なお、信号源誤差要因取得部２８ａが信号源誤差要因Pijを取得する際には、必ずしもＴパラメータを利用しなくてよい。Ｔパラメータを用いて説明を行ったのは、説明の便宜を図るためである。むしろ、信号源誤差要因Pij（Ｓパラメータ）を、第一ポート誤差要因Eija（Ｓパラメータ）と第一スイッチ部分誤差要因Qija（Ｓパラメータ）とにより表した式により、Ｔパラメータを利用せずに信号源誤差要因Pijを取得することの方が好ましい。
【００８４】
第二ポート誤差要因導出部２８ｂは、信号源誤差要因Pijと、スイッチ部分誤差要因のうちの出力端子（測定用出力端子）１９ａ以外の出力端子である出力端子１９ｂに関するもの（第二スイッチ部分誤差要因Qijb）とに基づき、第二ポート誤差要因Eijbを導出する。導出された第二ポート誤差要因Eijbは、誤差要因測定装置２０の外部に出力される。
【００８５】
例えば、第二ポート誤差要因導出部２８ｂは、以下のようにして、第二ポート誤差要因Eijbを取得する。まず、信号源誤差要因取得部２８ａからT(Pij)を受け、T(Qijb)をスイッチ部分誤差要因記録部２４から受ける。さらに、第二ポート誤差要因導出部２８ｂは、T(Pij)およびT(Qijb)を、式（２）に代入し、T(Eijb)を得る。最後に、T(Eijb)をＳパラメータに変換して、第二ポート誤差要因Eijbを得る。
【００８６】
なお、第二ポート誤差要因導出部２８ｂが第二ポート誤差要因Eijbを取得する際には、必ずしもＴパラメータを利用しなくてよい。第二ポート誤差要因Eijb（Ｓパラメータ）を、信号源誤差要因Pij（Ｓパラメータ）と第二スイッチ部分誤差要因Qijb（Ｓパラメータ）とにより表した式により、Ｔパラメータを利用せずに第二ポート誤差要因Eijbを取得してもよい。
【００８７】
第三ポート誤差要因導出部２８ｃは、信号源誤差要因Pijと、スイッチ部分誤差要因のうちの出力端子（測定用出力端子）１９ａ以外の出力端子である出力端子１９ｃに関するもの（第三スイッチ部分誤差要因Qijc）とに基づき、第三ポート誤差要因Eijcを導出する。導出された第三ポート誤差要因Eijcは、誤差要因測定装置２０の外部に出力される。
【００８８】
例えば、第三ポート誤差要因導出部２８ｃは、以下のようにして、第三ポート誤差要因Eijcを取得する。まず、信号源誤差要因取得部２８ａからT(Pij)を受け、T(Qijc)をスイッチ部分誤差要因記録部２４から受ける。さらに、第三ポート誤差要因導出部２８ｃは、T(Pij)およびT(Qijc)を、式（３）に代入し、T(Eijc)を得る。最後に、T(Eijc)をＳパラメータに変換して、第三ポート誤差要因Eijcを得る。
【００８９】
なお、第三ポート誤差要因導出部２８ｃが第三ポート誤差要因Eijcを取得する際には、必ずしもＴパラメータを利用しなくてよい。第三ポート誤差要因Eijc（Ｓパラメータ）を、信号源誤差要因Pij（Ｓパラメータ）と第三スイッチ部分誤差要因Qijc（Ｓパラメータ）とにより表した式により、Ｔパラメータを利用せずに第三ポート誤差要因Eijcを取得してもよい。
【００９０】
第四ポート誤差要因導出部２８ｄは、信号源誤差要因Pijと、スイッチ部分誤差要因のうちの出力端子（測定用出力端子）１９ａ以外の出力端子である出力端子１９ｄに関するもの（第四スイッチ部分誤差要因Qijd）とに基づき、第四ポート誤差要因Eijdを導出する。導出された第四ポート誤差要因Eijdは、誤差要因測定装置２０の外部に出力される。
【００９１】
例えば、第四ポート誤差要因導出部２８ｄは、以下のようにして、第四ポート誤差要因Eijdを取得する。まず、信号源誤差要因取得部２８ａからT(Pij)を受け、T(Qijd)をスイッチ部分誤差要因記録部２４から受ける。さらに、第四ポート誤差要因導出部２８ｂは、T(Pij)およびT(Qijd)を、式（４）に代入し、T(Eijd)を得る。最後に、T(Eijd)をＳパラメータに変換して、第四ポート誤差要因Eijdを得る。
【００９２】
なお、第四ポート誤差要因導出部２８ｄが第四ポート誤差要因Eijdを取得する際には、必ずしもＴパラメータを利用しなくてよい。第四ポート誤差要因Eijd（Ｓパラメータ）を、信号源誤差要因Pij（Ｓパラメータ）と第四スイッチ部分誤差要因Qijd（Ｓパラメータ）とにより表した式により、Ｔパラメータを利用せずに第四ポート誤差要因Eijdを取得してもよい。
【００９３】
ここで、スイッチ分岐信号源１０の出力端子のうちのいずれか一つ（測定用出力端子）から信号が出力されている状態における信号の測定結果に基づき取得された、スイッチ分岐信号源１０の測定用出力端子についての誤差要因を第一誤差要因ということとする。さらに、測定用出力端子以外の出力端子についてのスイッチ分岐信号源１０の誤差要因を第二誤差要因ということとする。
【００９４】
すると、測定用出力端子は出力端子１９ａということになる。第一誤差要因は、第一ポート誤差要因Eijaということになる。第二誤差要因は、第二ポート誤差要因Eijb、第三ポート誤差要因Eijcおよび第四ポート誤差要因Eijdとなる。
【００９５】
また、信号源誤差要因取得部２８ａおよび第二ポート誤差要因導出部２８ｂが、第一誤差要因Eijaおよびスイッチ部分誤差要因Qija、Qijbに基づいて第二誤差要因（第二ポート誤差要因Eijb）を取得しているといえる（第二誤差要因取得手段）。
【００９６】
また、信号源誤差要因取得部２８ａおよび第三ポート誤差要因導出部２８ｃが、第一誤差要因Eijaおよびスイッチ部分誤差要因Qija、Qijcに基づいて第三誤差要因（第三ポート誤差要因Eijc）を取得しているといえる（第二誤差要因取得手段）。
【００９７】
また、信号源誤差要因取得部２８ａおよび第四ポート誤差要因導出部２８ｄが、第一誤差要因Eijaおよびスイッチ部分誤差要因Qija、Qijdに基づいて第四誤差要因（第二ポート誤差要因Eijd）を取得しているといえる（第二誤差要因取得手段）。
【００９８】
次に、本発明の第一の実施形態の動作を説明する。
【００９９】
まず、校正用具６２をスイッチ分岐信号源１０の出力端子（測定用出力端子）１９ａに、スイッチ分岐信号源１０のミキサ１６ａを誤差要因測定装置２０の端子２１ａに、スイッチ分岐信号源１０のミキサ１６ｂを誤差要因測定装置２０の端子２１ｂに接続する。
【０１００】
図６は、第一の実施形態において、校正用具６２を出力端子１９ａに、ミキサ１６ａ、１６ｂを、端子２１ａ、２１ｂに接続した状態を示す図である。なお、図６においては、誤差要因測定装置２０の端子２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、第一ポート誤差要因取得部２２以外は図示省略する。
【０１０１】
図７は、図６に示す状態の誤差要因測定装置２０をシグナルフローグラフで表した図である。Ｒ１は、第一ポート誤差要因Eijaが生じる前の信号の測定結果である。Ｒ２は、反射信号の測定結果である。ただし、反射信号は、出力端子１９ａから出力された信号（ａ１）が校正用具６２により反射されたもの（ｂ１）である。また、校正用具６２により反射された信号（ｂ１）が、スイッチ１８を介して、ブリッジ１４ｂに与えられる。ブリッジ１４ｂに与えられた反射信号は、ミキサ１６ｂに与えられ、ローカル信号と乗算される。ミキサ１６ｂの出力がＲ２である。図７において、Ｌ=１とすると、下記の式（６）が成立する。
【０１０２】
Ｒ２／Ｒ１=Ｅ１１ａ＋（Ｅ２１ａ・Ｅ１２ａ・Ｘ）／（１−Ｅ２２ａ・Ｘ）  （６）
ただし、Ｘは、校正用具６２の負荷係数である。校正用具６２は、開放、短絡および標準負荷Z0の三種類の状態を実現する周知のものである（例えば、特許文献１を参照）。
【０１０３】
ここで、校正用具６２が三種類接続されるため、Ｒ２とＲ１との組み合わせは三種類求められる。よって、求められる変数もＥ１１ａ、Ｅ２２ａ、Ｅ１２ａ×Ｅ２１ａという三種類の変数である。このようにして、第一ポート誤差要因取得部２２は、Ｅ１１ａ、Ｅ２２ａ、Ｅ１２ａ×Ｅ２１ａを取得する。
【０１０４】
すなわち、第一ポート誤差要因取得部２２は、出力端子１９ａに校正用具６２が接続された状態で、出力端子（測定用出力端子）１９ａから信号が出力されている状態における信号の測定結果（Ｒ１：第一ポート誤差要因Eijaが生じる前の信号の測定結果、Ｒ２：反射信号の測定結果）を端子２１ａ、端子２１ｂを介して受け、スイッチ分岐信号源１０の出力端子（測定用出力端子）１９ａについての誤差要因Ｅ１１ａ、Ｅ２２ａ、Ｅ１２ａ×Ｅ２１ａを取得する。
【０１０５】
なお、Ｅ２１ａ＝１とすれば、Ｅ１２ａが取得できるので、パワーメータ６４による測定は不要である。
【０１０６】
次に、パワーメータ６４をスイッチ分岐信号源１０の出力端子１９ａに、スイッチ分岐信号源１０のミキサ１６ａを誤差要因測定装置２０の端子２１ａに接続する。
【０１０７】
図８は、第一の実施形態において、パワーメータ６４を出力端子１９ａに、ミキサ１６ａを端子２１ａに接続した状態を示す図である。なお、図８においては、誤差要因測定装置２０の端子２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、第一ポート誤差要因取得部２２以外は図示省略する。
【０１０８】
図９は、図８に示す状態の誤差要因測定装置２０をシグナルフローグラフで表した図である。図９において、Ｌ=１とすると、下記の式（７）が成立する。
【０１０９】
Ｐ／Ｒ１=Ｅ２１ａ／（１−Ｅ２２ａ・Ｅｐ）  （７）
ただし、Ｐは、出力端子（測定用出力端子）１９ａから出力された信号をパワーメータ６４により測定した結果である。ここで、Ｅ２２ａは既に取得しており、Ｅｐは測定可能なので、Ｅ２１ａを求めることができる。Ｅ１２ａ×Ｅ２１ａは既に取得しているので、Ｅ１２ａもまた求めることができる。このようにして、第一ポート誤差要因取得部２２は、Ｅ１１ａ、Ｅ２２ａ、Ｅ１２ａ、Ｅ２１ａを取得する。
【０１１０】
すなわち、第一ポート誤差要因取得部２２は、出力端子（測定用出力端子）１９ａから信号が出力されている状態における信号の測定結果（Ｒ１：第一ポート誤差要因Eijaが生じる前の信号の測定結果、Ｐ：出力端子（測定用出力端子）１９ａから出力された信号をパワーメータ６４により測定した結果）を端子２１ａ、端子２１ｃを介して受け、スイッチ分岐信号源１０の出力端子（測定用出力端子）１９ａについての誤差要因Ｅ１１ａ、Ｅ２２ａ、Ｅ１２ａ、Ｅ２１ａを取得する。
【０１１１】
図５に戻り、信号源誤差要因取得部２８ａが、第一ポート誤差要因取得部２２から第一ポート誤差要因Eijaを受け、スイッチ部分誤差要因記録部２４から第一スイッチ部分誤差要因（をＴパラメータで表現したもの）T(Qija)を受ける。さらに、信号源誤差要因取得部２８ａは、EijaとT(Qija)とに基づき、信号源誤差要因（をＴパラメータで表現したもの）T(Pij)を取得する（式（５）参照）。
【０１１２】
第二ポート誤差要因導出部２８ｂは、信号源誤差要因取得部２８ａからT(Pij)を、スイッチ部分誤差要因記録部２４から第二スイッチ部分誤差要因（をＴパラメータで表現したもの）T(Qijb)を受ける。さらに、第二ポート誤差要因導出部２８ｂは、T(Pij)とT(Qijb)とに基づき、第二ポート誤差要因Eijbを取得する（式（２）参照）。
【０１１３】
第三ポート誤差要因導出部２８ｃは、信号源誤差要因取得部２８ａからT(Pij)を、スイッチ部分誤差要因記録部２４から第三スイッチ部分誤差要因（をＴパラメータで表現したもの）T(Qijc)を受ける。さらに、第三ポート誤差要因導出部２８ｃは、T(Pij)とT(Qijc)とに基づき、第三ポート誤差要因Eijcを取得する（式（３）参照）。
【０１１４】
第四ポート誤差要因導出部２８ｄは、信号源誤差要因取得部２８ａからT(Pij)を、スイッチ部分誤差要因記録部２４から第四スイッチ部分誤差要因（をＴパラメータで表現したもの）T(Qijd)を受ける。さらに、第四ポート誤差要因導出部２８ｄは、T(Pij)とT(Qijd)とに基づき、第四ポート誤差要因Eijdを取得する（式（４）参照）。
【０１１５】
本発明の第一の実施形態によれば、第二ポート誤差要因Eijb、第三ポート誤差要因Eijcおよび第四ポート誤差要因Eijdを取得するためには、信号の測定を出力端子（測定用出力端子）１９ａについてのみ行えばよい。他の出力端子１９ｂ、１９ｃ、１９ｄについては信号の測定を行わなくてすむ。よって、スイッチ分岐信号源１０のキャリブレーションを簡易に行うことができる。
【０１１６】
第二の実施形態
第二の実施形態は、第一の実施形態における端子１５を、アンプ１３とブリッジ１４ａとの間に移動させたものである。以下、第一の実施形態と同様な部分は同一の番号を付して説明を省略する。
【０１１７】
スイッチ分岐信号源１０の構成（図１参照）およびシグナルフローグラフ（図２参照）は第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。
【０１１８】
図１１は、第二の実施形態の信号源１００が端子１５を有すると仮想した場合の、スイッチ分岐信号源１０の構成を示す図である。信号源１００は、信号生成部１２、アンプ１３からなる部分信号源１００ａを有する。さらに、信号源１００は、ブリッジ１４ａ、１４ｂからなる接続系１００ｂを有する。接続系１００ｂは、部分信号源１００ａのアンプ１３と、スイッチ１８とを接続する。端子１５は、部分信号源１００ａのアンプ１３を、接続系１００ｂのブリッジ１４ａに接続するための端子である。なお、端子１５の出力をａ５、端子１５の出力が端子１５に反射されてきたものをｂ５とする。
【０１１９】
第二の実施形態において、端子１５を仮想した場合のスイッチ分岐信号源１０のシグナルフローグラフは、図２と同様である。ここで、アンプ１３により生じる誤差要因Ｌを、増幅器誤差要因という。
【０１２０】
また、スイッチ分岐信号源１０の一部分であって、しかも、出力端子１９ａ、１９ａ、１９ａ、１９ｄのいずれか一つのみに接続されるものを単一端子系という。すると、部分信号源１００ａよりも出力端子寄りの部分、すなわち、接続系１００ｂおよびスイッチ部分１８ａが単一端子系を構成する。同様に、接続系１００ｂおよびスイッチ部分１８ｂと、接続系１００ｂおよびスイッチ部分１８ｃと、接続系１００ｂおよびスイッチ部分１８ｄとが単一端子系を構成する。
【０１２１】
なお、単一端子系（接続系１００ｂおよびスイッチ部分１８ａ）の誤差要因は、図２（ａ）を参照して、第一ポート誤差要因Eijaである。単一端子系はアンプ１３を含まないので、単一端子系の誤差要因は増幅器誤差要因Lを含まない。同様に、単一端子系（接続系１００ｂおよびスイッチ部分１８ｂ）の誤差要因は、図２（ｂ）を参照して、第二ポート誤差要因Eijbである。単一端子系（接続系１００ｂおよびスイッチ部分１８ｃ）の誤差要因は、図２（ｃ）を参照して、第三ポート誤差要因Eijcである。単一端子系（接続系１００ｂおよびスイッチ部分１８ｄ）の誤差要因は、図２（ｄ）を参照して、第四ポート誤差要因Eijdである。
【０１２２】
図１２は、本発明の第二の実施形態にかかる誤差要因測定装置２０の構成を示す機能ブロック図である。誤差要因測定装置２０は、端子２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、第一ポート全誤差要因取得部（第一誤差要因取得手段）２３、単一端子系誤差要因記録部２５、増幅器誤差要因取得部２７ａ、第二ポート全誤差要因導出部２７ｂ、第三ポート全誤差要因導出部２７ｃ、第四ポート全誤差要因導出部２７ｄを備える。
【０１２３】
端子２１ａ、２１ｂ、２１ｃは第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。
【０１２４】
第一ポート全誤差要因取得部（第一誤差要因取得手段）２３が受ける信号は、第一の実施形態にかかる第一ポート誤差要因取得部２２が受ける信号と同じである。ただし、第一ポート全誤差要因取得部２３が取得する誤差要因は、第一ポート誤差要因取得部２２が取得する第一ポート誤差要因Eijaではない。第一ポート全誤差要因取得部２３が取得する誤差要因は、第一ポート誤差要因Eijaの他に増幅器誤差要因Lにも関するものであり、信号源１００およびスイッチ部分１８ａにかかわる全体的なものである。第一ポート全誤差要因取得部２３が取得する誤差要因を、第一ポート全誤差要因という。図２（ａ）を参照して、第一ポート全誤差要因をＴパラメータで表現すると、L・T(Eija)となる。第一ポート全誤差要因取得部２３が取得した第一ポート全誤差要因L・T(Eija)は、誤差要因測定装置２０の外部に出力される。
【０１２５】
単一端子系誤差要因記録部２５は、第一ポート誤差要因Eija、第二ポート誤差要因Eijb、第三ポート誤差要因Eijcおよび第四ポート誤差要因Eijdを記録する。例えば、単一端子系誤差要因記録部２５は、Eija、Eijb、EijcおよびEijdをＴパラメータとして記録する。すなわち、単一端子系誤差要因記録部２５は、例えば、T(Eija)、T(Eijb)、T(Eijc)、T(Eijd)を記録する。なお、単一端子系誤差要因記録は、スイッチ分岐信号源１０を工場から出荷する時に測定しておき、単一端子系誤差要因記録部２５に記録させておくことができる。また、単一端子系誤差要因記録部２５は、Eija、Eijb、EijcおよびEijdをＳパラメータとして記録してもよい。
【０１２６】
増幅器誤差要因取得部２７ａは、単一端子系誤差要因のうちの出力端子（測定用出力端子）１９ａに関するもの（第一ポート誤差要因Eija）と、第一ポート全誤差要因L・T(Eija)とに基づき、増幅器誤差要因Lを取得する。第一ポート誤差要因EijaをＴパラメータで表すと、T(Eija)となる。よって、第一ポート全誤差要因L・T(Eija)と、第一ポート誤差要因T(Eija)とに基づき、(L・T(Eija))・T(Eija)-1として（T(Eija)-1は、第一ポート誤差要因T(Eija)から導出できる）、増幅器誤差要因Lを取得する。
【０１２７】
なお、増幅器誤差要因取得部２７ａが増幅器誤差要因Lを取得する際には、必ずしもＴパラメータを利用しなくてよい。Ｔパラメータを用いて説明を行ったのは、説明の便宜を図るためである。むしろ、増幅器誤差要因L（Ｓパラメータ）を、第一ポート誤差要因Eija（Ｓパラメータ）と第一ポート全誤差要因L・T(Eija)をＳパラメータで表したものとにより表した式により、Ｔパラメータを利用せずに増幅器誤差要因Lを取得することの方が好ましい。
【０１２８】
第二ポート全誤差要因導出部２７ｂは、増幅器誤差要因Lと、単一端子系誤差要因のうちの出力端子（測定用出力端子）１９ａ以外の出力端子である出力端子１９ｂに関するもの（第二ポート誤差要因Eijb）とに基づき、第二ポート全誤差要因L・T(Eijb)を導出する。導出された第二ポート全誤差要因L・T(Eijb)は、誤差要因測定装置２０の外部に出力される。
【０１２９】
第三ポート全誤差要因導出部２７ｃは、増幅器誤差要因Lと、単一端子系誤差要因のうちの出力端子（測定用出力端子）１９ａ以外の出力端子である出力端子１９ｃに関するもの（第三ポート誤差要因Eijc）とに基づき、第三ポート全誤差要因L・T(Eijc)を導出する。導出された第三ポート全誤差要因L・T(Eijc)は、誤差要因測定装置２０の外部に出力される。
【０１３０】
第四ポート全誤差要因導出部２７ｄは、増幅器誤差要因Lと、単一端子系誤差要因のうちの出力端子（測定用出力端子）１９ａ以外の出力端子である出力端子１９ｄに関するもの（第四ポート誤差要因Eijd）とに基づき、第四ポート全誤差要因L・T(Eijd)を導出する。導出された第四ポート全誤差要因L・T(Eijd)は、誤差要因測定装置２０の外部に出力される。
【０１３１】
なお、第二ポート全誤差要因導出部２７ｂなどが第二ポート全誤差要因L・T(Eijb)などを取得する際には、必ずしもＴパラメータを利用しなくてよい。第二ポート全誤差要因L・T(Eijb)（Ｓパラメータ）などを、増幅器誤差要因L（Ｓパラメータ）と第二ポート誤差要因Eijb（Ｓパラメータ）などとにより表した式により、Ｔパラメータを利用せずに第二ポート全誤差要因L・T(Eijb)などを取得するほうが好ましい。
【０１３２】
ここで、スイッチ分岐信号源１０の出力端子のうちのいずれか一つ（測定用出力端子）から信号が出力されている状態における信号の測定結果に基づき取得された、スイッチ分岐信号源１０の測定用出力端子についての誤差要因を第一誤差要因ということとする。さらに、測定用出力端子以外の出力端子についてのスイッチ分岐信号源１０の誤差要因を第二誤差要因ということとする。
【０１３３】
すると、測定用出力端子は出力端子１９ａということになる。第一誤差要因は、第一ポート全誤差要因L・T(Eija)ということができる。第二誤差要因は、第二ポート全誤差要因L・T(Eijb)、第三ポート全誤差要因L・T(Eijc)および第四ポート全誤差要因L・T(Eijd)となる。
【０１３４】
また、増幅器誤差要因取得部２７ａおよび第二ポート全誤差要因導出部２７ｂが、第一誤差要因L・T(Eija)および単一端子系誤差要因T(Eija)、T(Eijb)に基づいて第二誤差要因（第二ポート全誤差要因L・T(Eijb)）を取得しているといえる（第二誤差要因取得手段）。
【０１３５】
また、増幅器誤差要因取得部２７ａおよび第三ポート全誤差要因導出部２７ｃが、第一誤差要因L・T(Eija)および単一端子系誤差要因T(Eija)、T(Eijc)に基づいて第三誤差要因（第三ポート全誤差要因L・T(Eijc)）を取得しているといえる（第二誤差要因取得手段）。
【０１３６】
また、増幅器誤差要因取得部２７ａおよび第四ポート全誤差要因導出部２７ｄが、第一誤差要因L・T(Eija)および単一端子系誤差要因T(Eija)、T(Eijd)に基づいて第四誤差要因（第四ポート全誤差要因L・T(Eijd)）を取得しているといえる（第二誤差要因取得手段）。
【０１３７】
次に、第二の実施形態の動作を説明する。
【０１３８】
端子２１ａ、２１ｂ、２１ｃを介してのＲ１、Ｒ２、Ｐの取得は、第一の実施形態と同様であり、説明を省略する（図６〜図９を参照）。
【０１３９】
図１２を参照して、増幅器誤差要因取得部２７ａが、第一ポート全誤差要因取得部２３から第一ポート全誤差要因L・T(Eija)を受け、単一端子系誤差要因記録部２５から第一ポート誤差要因（をＴパラメータで表現したもの）T(Eija)を受ける。さらに、増幅器誤差要因取得部２７ａは、L・T(Eija)とT(Eija)とに基づき、増幅器誤差要因Lを取得する。
【０１４０】
第二ポート全誤差要因導出部２７ｂは、増幅器誤差要因取得部２７ａからLを、単一端子系誤差要因記録部２５から第二ポート誤差要因（をＴパラメータで表現したもの）T(Eijb)を受ける。さらに、第二ポート全誤差要因導出部２７ｂは、LとT(Eijb)とに基づき、第二ポート全誤差要因L・T(Eijb)を取得する。
【０１４１】
第三ポート全誤差要因導出部２７ｃは、増幅器誤差要因取得部２７ａからLを、単一端子系誤差要因記録部２５から第三ポート誤差要因（をＴパラメータで表現したもの）T(Eijc)を受ける。さらに、第三ポート全誤差要因導出部２７ｃは、LとT(Eijc)とに基づき、第三ポート全誤差要因L・T(Eijc)を取得する。
【０１４２】
第四ポート全誤差要因導出部２７ｄは、増幅器誤差要因取得部２７ａからLを、単一端子系誤差要因記録部２５から第四ポート誤差要因（をＴパラメータで表現したもの）T(Eijd)を受ける。さらに、第四ポート全誤差要因導出部２７ｄは、LとT(Eijd)とに基づき、第四ポート全誤差要因L・T(Eijd)を取得する。
【０１４３】
本発明の第二の実施形態によれば、第二ポート全誤差要因L・T(Eijb)、第三ポート全誤差要因L・T(Eijc)および第四ポート全誤差要因L・T(Eijd)を取得するためには、信号の測定を出力端子（測定用出力端子）１９ａについてのみ行えばよい。他の出力端子１９ｂ、１９ｃ、１９ｄについては信号の測定を行わなくてすむ。よって、スイッチ分岐信号源１０のキャリブレーションを簡易に行うことができる。
【０１４４】
第三の実施形態
第三の実施形態は、出力端子（測定用出力端子）１９ａに関する誤差要因（第一ポート誤差要因Eija）と、出力端子（測定用出力端子）１９ａ以外の出力端子に関する誤差要因（第二ポート誤差要因Eijb、第三ポート誤差要因Eijcまたは第四ポート誤差要因Eijd）との関係（T(Eija)-1・T(Eijb)など）を用いて、誤差要因を測定するものである。以下、第一の実施形態と同様な部分は同一の番号を付して説明を省略する。
【０１４５】
スイッチ分岐信号源１０の構成（図１参照）およびシグナルフローグラフ（図２参照）は第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。
【０１４６】
スイッチ分岐信号源１０の一部分であって、しかも、出力端子１９ａ、１９ａ、１９ａ、１９ｄのいずれか一つのみに接続されるものを単一端子系という。すると、信号源１００およびスイッチ部分１８ａが単一端子系を構成する。同様に、信号源１００およびスイッチ部分１８ｂと、信号源１００およびスイッチ部分１８ｃと、信号源１００およびスイッチ部分１８ｄとが単一端子系を構成する。
【０１４７】
なお、単一端子系（接続系１００ｂおよびスイッチ部分１８ａ）の誤差要因は、図２（ａ）を参照して、第一ポート誤差要因Eijaである。同様に、単一端子系（接続系１００ｂおよびスイッチ部分１８ｂ）の誤差要因は、図２（ｂ）を参照して、第二ポート誤差要因Eijbである。単一端子系（接続系１００ｂおよびスイッチ部分１８ｃ）の誤差要因は、図２（ｃ）を参照して、第三ポート誤差要因Eijcである。単一端子系（接続系１００ｂおよびスイッチ部分１８ｄ）の誤差要因は、図２（ｄ）を参照して、第四ポート誤差要因Eijdである。なお、L=1と仮定している。
【０１４８】
図１３は、本発明の第三の実施形態にかかる誤差要因測定装置２０の構成を示す機能ブロック図である。誤差要因測定装置２０は、端子２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、第一ポート誤差要因取得部（第一誤差要因取得手段）２２、単一端子系誤差要因記録部２５、第二ポート関係取得部２６ｂ、第三ポート関係取得部２６ｃ、第四ポート関係取得部２６ｄ、第二ポート誤差要因導出部２９ｂ、第三ポート誤差要因導出部２９ｃ、第四ポート誤差要因導出部２９ｄを備える。
【０１４９】
端子２１ａ、２１ｂ、２１ｃは第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。
【０１５０】
第一ポート誤差要因取得部（第一誤差要因取得手段）２２は、第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。ただし、第一ポート誤差要因取得部２２が取得する第一ポート誤差要因Eijaを、Eija(t=t1)と表記する。Eija(t=t1)とは、第一ポート誤差要因Eijaを測定した時間tがt1であるということを意味している。ただし、t1>0であるとする。
【０１５１】
単一端子系誤差要因記録部２５は、第二の実施形態と同様であり、説明を省略する。ただし、単一端子系誤差要因記録部２５が記録する第一ポート誤差要因Eija、第二ポート誤差要因Eijb、第三ポート誤差要因Eijcおよび第四ポート誤差要因Eijdを、それぞれ、Eija(t=0),
Eijb(t=0), Eijc(t=0), Eijd(t=0)と表記する。Eija(t=0)とは、第一ポート誤差要因Eijaを測定した時間tが0であるということを意味している。
【０１５２】
例えば、時間t=t1が、誤差要因測定装置２０を使用して誤差要因を測定する時点である。例えば、時間t=0が、誤差要因測定装置２０を、誤差要因測定装置２０を生産した工場から出荷した時点である。
【０１５３】
第二ポート関係取得部２６ｂは、単一端子系誤差要因のうちの出力端子（測定用出力端子）１９ａに関するもの（第一ポート誤差要因Eija(t=0)）と、単一端子系誤差要因のうちの出力端子（測定用出力端子）１９ａ以外の出力端子である出力端子１９ｂに関するもの（第二ポート誤差要因Eijb(t=0)）とに基づき、両者の関係を取得する。両者の関係とは、例えば、T(Eija)-1・T(Eijb)である（ただし、t=0）。
【０１５４】
第三ポート関係取得部２６ｃは、単一端子系誤差要因のうちの出力端子（測定用出力端子）１９ａに関するもの（第一ポート誤差要因Eija(t=0)）と、単一端子系誤差要因のうちの出力端子（測定用出力端子）１９ａ以外の出力端子である出力端子１９ｃに関するもの（第三ポート誤差要因Eijc(t=0)）とに基づき、両者の関係を取得する。両者の関係とは、例えば、T(Eija)-1・T(Eijc)である（ただし、t=0）。
【０１５５】
第四ポート関係取得部２６ｄは、単一端子系誤差要因のうちの出力端子（測定用出力端子）１９ａに関するもの（第一ポート誤差要因Eija(t=0)）と、単一端子系誤差要因のうちの出力端子（測定用出力端子）１９ａ以外の出力端子である出力端子１９ｄに関するもの（第四ポート誤差要因Eijd(t=0)）とに基づき、両者の関係を取得する。両者の関係とは、例えば、T(Eija)-1・T(Eijd)である（ただし、t=0）。
【０１５６】
第二ポート誤差要因導出部２９ｂは、第一ポート誤差要因取得部２２が取得した第一ポート誤差要因Eija(t=t1)と、第二ポート関係取得部２６ｂが取得した関係T(Eija)-1・T(Eijb)（ただし、t=0）とに基づき、第二ポート誤差要因Eijb(t=t1)を導出する。例えば、T(Eija)・(T(Eija)-1・T(Eijb)) = T(Eijb)としてT(Eijb)を求め、T(Eijb)をＳパラメータに変換して、第二ポート誤差要因Eijb(t=t1)を取得する。なお、T(Eija)は、Eija(t=t1)をＴパラメータで表したものである。また、導出された第二ポート誤差要因Eijb(t=t1)は、誤差要因測定装置２０の外部に出力される。
【０１５７】
なお、T(Eija)はt=t1に関するものである一方で、T(Eija)-1・T(Eijb)はt=0に関するものである。しかし、T(Eija)-1・T(Eijb)は時間にかかわらず一定であるとみなすことができる。よって、T(Eija)(t=t1)・(T(Eija)-1(t=0)・T(Eijb)(t=0)) = T(Eija)(t=t1)・(T(Eija)-1(t=t1)・T(Eijb)(t=t1)) = T(Eijb)(t=t1)である。
【０１５８】
T(Eija)-1・T(Eijb)は時間にかかわらず一定であるとみなすことができる、すなわち、T(Eija)-1(t=0)・T(Eijb)(t=0) = T(Eija)-1(t=t1)・T(Eijb)(t=t1)ということは下記のように証明される。
【０１５９】
式（１）より、T(Pij) = T(Eija)・T(Qija) -1であり、
式（２）より、T(Pij) = T(Eijb)・T(Qijb) -1である。
【０１６０】
よって、T(Eija)・T(Qija) -1 = T(Eijb)・T(Qijb)-1である。
【０１６１】
よって、T(Eija)-1・T(Eijb) = T(Qija) -1・T(Qijb)となる。ここで、第一スイッチ部分誤差要因Qija、第二スイッチ部分誤差要因Qijbは、値が一定に保たれるとみなしうるＳパラメータであるため、T(Qija) -1・T(Qijb)も値が一定に保たれるとみなしうる。よって、T(Eija)-1・T(Eijb)は時間にかかわらず一定であるとみなすことができる。なお、T(Eija)-1・T(Eijc)およびT(Eija)-1・T(Eijd)も、同様に、時間にかかわらず一定であるとみなすことができる。
【０１６２】
第三ポート誤差要因導出部２９ｃは、第一ポート誤差要因取得部２２が取得した第一ポート誤差要因Eija(t=t1)と、第三ポート関係取得部２６ｃが取得した関係T(Eija)-1・T(Eijc)（ただし、t=0）とに基づき、第三ポート誤差要因Eijc(t=t1)を導出する。例えば、T(Eija)・(T(Eija)-1・T(Eijc)) = T(Eijc)としてT(Eijc)を求め、T(Eijc)をＳパラメータに変換して、第三ポート誤差要因Eijc(t=t1)を取得する。なお、T(Eija)は、Eija(t=t1)をＴパラメータで表したものである。また、導出された第三ポート誤差要因Eijc(t=t1)は、誤差要因測定装置２０の外部に出力される。
【０１６３】
第四ポート誤差要因導出部２９ｄは、第一ポート誤差要因取得部２２が取得した第一ポート誤差要因Eija(t=t1)と、第四ポート関係取得部２６ｄが取得した関係T(Eija)-1・T(Eijd)（ただし、t=0）とに基づき、第四ポート誤差要因Eijd(t=t1)を導出する。例えば、T(Eija)・(T(Eija)-1・T(Eijd)) = T(Eijd)としてT(Eijd)を求め、T(Eijd)をＳパラメータに変換して、第四ポート誤差要因Eijd(t=t1)を取得する。なお、T(Eija)は、Eija(t=t1)をＴパラメータで表したものである。また、導出された第四ポート誤差要因Eijd(t=t1)は、誤差要因測定装置２０の外部に出力される。
【０１６４】
なお、第二ポート誤差要因導出部２９ｂなどが第二ポート誤差要因Eijb(t=t1)などを取得する際には、必ずしもＴパラメータを利用しなくてよい。第二ポート誤差要因Eijb(t=t1)（Ｓパラメータ）などを、第一ポート誤差要因Eija(t=t1)と関係T(Eija)-1・T(Eijd)をＳパラメータにより表した式により、Ｔパラメータを利用せずに第二ポート誤差要因Eijb(t=t1)などを取得するほうが好ましい。
【０１６５】
ここで、スイッチ分岐信号源１０の出力端子のうちのいずれか一つ（測定用出力端子）から信号が出力されている状態における信号の測定結果に基づき取得された、スイッチ分岐信号源１０の測定用出力端子についての誤差要因を第一誤差要因ということとする。さらに、測定用出力端子以外の出力端子についてのスイッチ分岐信号源１０の誤差要因を第二誤差要因ということとする。
【０１６６】
すると、測定用出力端子は出力端子１９ａということになる。第一誤差要因は、第一ポート誤差要因Eija(t=t1)ということができる。第二誤差要因は、第二ポート誤差要因Eijb(t=t1)、第三ポート誤差要因Eijc(t=t1)および第四ポート誤差要因Eijd(t=t1)となる。
【０１６７】
また、第二ポート関係取得部２６ｂおよび第二ポート誤差要因導出部２９ｂが、第一誤差要因Eija(t=t1)および単一端子系誤差要因Eija(t=0)、Eijb(t=0)に基づいて第二誤差要因（第二ポート誤差要因Eijb(t=t1)）を取得しているといえる（第二誤差要因取得手段）。
【０１６８】
また、第三ポート関係取得部２６ｃおよび第三ポート誤差要因導出部２９ｃが、第一誤差要因Eija(t=t1)および単一端子系誤差要因Eija(t=0)、Eijc(t=0)に基づいて第二誤差要因（第三ポート誤差要因Eijc(t=t1))）を取得しているといえる（第二誤差要因取得手段）。
【０１６９】
また、第四ポート関係取得部２６ｄおよび第四ポート誤差要因導出部２９ｄが、第一誤差要因Eija(t=t1)および単一端子系誤差要因Eija(t=0)、Eijd(t=0)に基づいて第二誤差要因（第四ポート誤差要因Eijd(t=t1))）を取得しているといえる（第二誤差要因取得手段）。
【０１７０】
次に、第三の実施形態の動作を説明する。
【０１７１】
端子２１ａ、２１ｂ、２１ｃを介してのＲ１、Ｒ２、Ｐの取得は、第一の実施形態と同様であり、説明を省略する（図６〜図９を参照）。
【０１７２】
図１３を参照して、第二ポート関係取得部２６ｂが、単一端子系誤差要因Eija(t=0)、Eijb(t=0)を単一端子系誤差要因記録部２５から読み出し、両者の関係T(Eija)-1・T(Eijb)を取得する。
【０１７３】
第三ポート関係取得部２６ｃが、単一端子系誤差要因Eija(t=0)、Eijc(t=0)を単一端子系誤差要因記録部２５から読み出し、両者の関係T(Eija)-1・T(Eijc)を取得する。
【０１７４】
第四ポート関係取得部２６ｄが、単一端子系誤差要因Eija(t=0)、Eijd(t=0)を単一端子系誤差要因記録部２５から読み出し、両者の関係T(Eija)-1・T(Eijd)を取得する。
【０１７５】
第二ポート誤差要因導出部２９ｂは、第一ポート誤差要因Eija(t=t1)を第一ポート誤差要因取得部２２から受け、第二ポート関係取得部２６ｂから関係T(Eija)-1・T(Eijb)を受ける。第二ポート誤差要因導出部２９ｂは、さらに、Eija(t=t1)およびT(Eija)-1・T(Eijb)に基づき、第二ポート誤差要因Eijb(t=1)を導出する。例えば、T(Eija)・(T(Eija)-1・T(Eijb)) = T(Eijb)としてT(Eijb)を求め、T(Eijb)をＳパラメータに変換して、第二ポート誤差要因Eijb(t=t1)を取得する。
【０１７６】
第三ポート誤差要因導出部２９ｃは、第一ポート誤差要因Eija(t=t1)を第一ポート誤差要因取得部２２から受け、第三ポート関係取得部２６ｃから関係T(Eija)-1・T(Eijc)を受ける。第三ポート誤差要因導出部２９ｃは、さらに、Eija(t=t1)およびT(Eija)-1・T(Eijc)に基づき、第三ポート誤差要因Eijc(t=1)を導出する。例えば、T(Eija)・(T(Eija)-1・T(Eijc)) = T(Eijc)としてT(Eijc)を求め、T(Eijc)をＳパラメータに変換して、第三ポート誤差要因Eijc(t=t1)を取得する。
【０１７７】
第四ポート誤差要因導出部２９ｄは、第一ポート誤差要因Eija(t=t1)を第一ポート誤差要因取得部２２から受け、第四ポート関係取得部２６ｄから関係T(Eija)-1・T(Eijd)を受ける。第四ポート誤差要因導出部２９ｄは、さらに、Eija(t=t1)およびT(Eija)-1・T(Eijd)に基づき、第四ポート誤差要因Eijd(t=t1)を導出する。例えば、T(Eija)・(T(Eija)-1・T(Eijd)) = T(Eijd)としてT(Eijd)を求め、T(Eijd)をＳパラメータに変換して、第四ポート誤差要因Eijd(t=t1)を取得する。
【０１７８】
本発明の第三の実施形態によれば、第二ポート誤差要因Eijb(t=t1)、第三ポート誤差要因Eijc(t=t1)および第四ポート誤差要因Eijd(t=t1)を取得するためには、信号の測定を出力端子（測定用出力端子）１９ａについてのみ行えばよい。他の出力端子１９ｂ、１９ｃ、１９ｄについては信号の測定を行わなくてすむ。よって、スイッチ分岐信号源１０のキャリブレーションを簡易に行うことができる。
【０１７９】
第四の実施形態
第四の実施形態は、第三の実施形態における第二ポート関係取得部２６ｂ、第三ポート関係取得部２６ｃおよび第四ポート関係取得部２６ｄが取得した関係と同じものを、予め記録した関係記録部２０１を有する点が第三の実施形態と異なる。以下、第一の実施形態または第三の実施形態と同様な部分は同一の番号を付して説明を省略する。
【０１８０】
スイッチ分岐信号源１０の構成（図１参照）およびシグナルフローグラフ（図２参照）は第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。
【０１８１】
スイッチ分岐信号源１０の一部分であって、しかも、出力端子１９ａ、１９ａ、１９ａ、１９ｄのいずれか一つのみに接続されるものを単一端子系という。すると、信号源１００およびスイッチ部分１８ａが単一端子系を構成する。同様に、信号源１００およびスイッチ部分１８ｂと、信号源１００およびスイッチ部分１８ｃと、信号源１００およびスイッチ部分１８ｄとが単一端子系を構成する。
【０１８２】
なお、単一端子系（接続系１００ｂおよびスイッチ部分１８ａ）の誤差要因は、図２（ａ）を参照して、第一ポート誤差要因Eijaである。同様に、単一端子系（接続系１００ｂおよびスイッチ部分１８ｂ）の誤差要因は、図２（ｂ）を参照して、第二ポート誤差要因Eijbである。単一端子系（接続系１００ｂおよびスイッチ部分１８ｃ）の誤差要因は、図２（ｃ）を参照して、第三ポート誤差要因Eijcである。単一端子系（接続系１００ｂおよびスイッチ部分１８ｄ）の誤差要因は、図２（ｄ）を参照して、第四ポート誤差要因Eijdである。なお、L=1と仮定している。
【０１８３】
図１４は、本発明の第四の実施形態にかかる誤差要因測定装置２０の構成を示す機能ブロック図である。誤差要因測定装置２０は、端子２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、第一ポート誤差要因取得部（第一誤差要因取得手段）２２、関係記録部２０１、第二ポート誤差要因導出部２９ｂ、第三ポート誤差要因導出部２９ｃ、第四ポート誤差要因導出部２９ｄを備える。
【０１８４】
端子２１ａ、２１ｂ、２１ｃは第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。
【０１８５】
第一ポート誤差要因取得部（第一誤差要因取得手段）２２は、第三の実施形態と同様であり、説明を省略する。
【０１８６】
関係記録部２０１は、単一端子系誤差要因のうちの出力端子（測定用出力端子）１９ａに関するもの（第一ポート誤差要因Eija(t=0)）と、単一端子系誤差要因のうちの出力端子（測定用出力端子）１９ａ以外の出力端子である出力端子１９ｂに関するもの（第二ポート誤差要因Eijb(t=0)）との関係を記録する。両者の関係とは、例えば、T(Eija)-1・T(Eijb)である（ただし、t=0）。この記録は、例えば、工場出荷時に行っておく。
【０１８７】
関係記録部２０１は、単一端子系誤差要因のうちの出力端子（測定用出力端子）１９ａに関するもの（第一ポート誤差要因Eija(t=0)）と、単一端子系誤差要因のうちの出力端子（測定用出力端子）１９ａ以外の出力端子である出力端子１９ｃに関するもの（第三ポート誤差要因Eijc(t=0)）とに基づき、両者の関係を記録する。両者の関係とは、例えば、T(Eija)-1・T(Eijc)である（ただし、t=0）。この記録は、例えば、工場出荷時に行っておく。
【０１８８】
関係記録部２０１は、単一端子系誤差要因のうちの出力端子（測定用出力端子）１９ａに関するもの（第一ポート誤差要因Eija(t=0)）と、単一端子系誤差要因のうちの出力端子（測定用出力端子）１９ａ以外の出力端子である出力端子１９ｄに関するもの（第四ポート誤差要因Eijd(t=0)）とに基づき、両者の関係を記録する。両者の関係とは、例えば、T(Eija)-1・T(Eijd)である（ただし、t=0）。この記録は、例えば、工場出荷時に行っておく。
【０１８９】
第二ポート誤差要因導出部２９ｂ、第三ポート誤差要因導出部２９ｃおよび第四ポート誤差要因導出部２９ｄは、第三の実施形態と同様である。ただし、第二ポート誤差要因導出部２９ｂは、関係T(Eija)-1・T(Eijb)を、関係記録部２０１から読み出す。第三ポート誤差要因導出部２９ｃは、関係T(Eija)-1・T(Eijc)を、関係記録部２０１から読み出す。第四ポート誤差要因導出部２９ｄは、関係T(Eija)-1・T(Eijd)を、関係記録部２０１から読み出す。
【０１９０】
なお、関係記録部２０１が記録する関係T(Eija)-1・T(Eijb)は、第三の実施形態で説明したように、T(Qija)-1・T(Qijb)に等しい。同様に、関係記録部２０１が記録する関係T(Eija)-1・T(Eijc)、関係T(Eija)-1・T(Eijd)は、それぞれT(Qija) -1・T(Qijc)、T(Qija) -1・T(Qijd)に等しい。よって、関係記録部２０１は、T(Qija)-1・T(Qijb)、T(Qija) -1・T(Qijc)、T(Qija) -1・T(Qijd)を記録しているとも考えられる。
【０１９１】
T(Qija)-1・T(Qijb)は、スイッチ部分１８ａの誤差要因（第一スイッチ部分誤差要因）Qijaと、スイッチ部分１８ｂの誤差要因（第二スイッチ部分誤差要因）Qijbとの関係といえる。第一の実施形態のように、スイッチ部分１８ａ、１８ｂを単一端子系と考えれば、QijaとQijbとの関係は、単一端子系誤差要因のうちの出力端子（測定用出力端子）１９ａに関するもの（第一スイッチ部分誤差要因Qija）と、単一端子系誤差要因のうちの出力端子（測定用出力端子）１９ａ以外の出力端子である出力端子１９ｂに関するもの（第二スイッチ部分誤差要因Qijb）との関係といえる。
【０１９２】
T(Qija)-1・T(Qijc)は、スイッチ部分１８ａの誤差要因（第一スイッチ部分誤差要因）Qijaと、スイッチ部分１８ｃの誤差要因（第三スイッチ部分誤差要因）Qijcとの関係といえる。第一の実施形態のように、スイッチ部分１８ａ、１８ｃを単一端子系と考えれば、QijaとQijcとの関係は、単一端子系誤差要因のうちの出力端子（測定用出力端子）１９ａに関するもの（第一スイッチ部分誤差要因Qija）と、単一端子系誤差要因のうちの出力端子（測定用出力端子）１９ａ以外の出力端子である出力端子１９ｃに関するもの（第三スイッチ部分誤差要因Qijc）との関係といえる。
【０１９３】
T(Qija)-1・T(Qijd)は、スイッチ部分１８ａの誤差要因（第一スイッチ部分誤差要因）Qijaと、スイッチ部分１８ｄの誤差要因（第四スイッチ部分誤差要因）Qijdとの関係といえる。第一の実施形態のように、スイッチ部分１８ａ、１８ｄを単一端子系と考えれば、QijaとQijdとの関係は、単一端子系誤差要因のうちの出力端子（測定用出力端子）１９ａに関するもの（第一スイッチ部分誤差要因Qija）と、単一端子系誤差要因のうちの出力端子（測定用出力端子）１９ａ以外の出力端子である出力端子１９ｄに関するもの（第四スイッチ部分誤差要因Qijd）との関係といえる。
【０１９４】
なお、Ｔパラメータを利用せずに第二ポート誤差要因Eijb(t=t1)などを取得するほうが好ましいことは第三の実施形態と同様である。
【０１９５】
また、第三の実施形態と同様に、測定用出力端子は出力端子１９ａということになる。第一誤差要因は、第一ポート誤差要因Eija(t=t1)ということができる。第二誤差要因は、第二ポート誤差要因Eijb(t=t1)、第三ポート誤差要因Eijc(t=t1)および第四ポート誤差要因Eijd(t=t1)となる。
【０１９６】
また、第二ポート誤差要因導出部２９ｂが、第一誤差要因Eija(t=t1)および関係T(Eija)-1・T(Eijb)に基づいて第二誤差要因（第二ポート誤差要因Eijb(t=t1)）を取得しているといえる（第二誤差要因取得手段）。
【０１９７】
また、第三ポート誤差要因導出部２９ｃが、第一誤差要因Eija(t=t1)および関係T(Eija)-1・T(Eijc)に基づいて第二誤差要因（第三ポート誤差要因Eijc(t=t1)）を取得しているといえる（第二誤差要因取得手段）。
【０１９８】
また、第四ポート誤差要因導出部２９ｄが、第一誤差要因Eija(t=t1)および関係T(Eija)-1・T(Eijd)に基づいて第二誤差要因（第四ポート誤差要因Eijd(t=t1)）を取得しているといえる（第二誤差要因取得手段）。
【０１９９】
次に、第四の実施形態の動作を説明する。
【０２００】
第四の実施形態の動作は、第三の実施形態の動作とほぼ同様である。ただし、第二ポート誤差要因導出部２９ｂ、第三ポート誤差要因導出部２９ｃおよび第四ポート誤差要因導出部２９ｄが、関係T(Eija)-1・T(Eijb)、関係T(Eija)-1・T(Eijc)、関係T(Eija)-1・T(Eijd)を、関係記録部２０１から読み出す点が第三の実施形態の動作と異なる。
【０２０１】
本発明の第四の実施形態によれば、第二ポート誤差要因Eijb(t=t1)、第三ポート誤差要因Eijc(t=t1)および第四ポート誤差要因Eijd(t=t1)を取得するためには、信号の測定を出力端子（測定用出力端子）１９ａについてのみ行えばよい。他の出力端子１９ｂ、１９ｃ、１９ｄについては信号の測定を行わなくてすむ。よって、スイッチ分岐信号源１０のキャリブレーションを簡易に行うことができる。
【０２０２】
なお、誤差要因測定装置２０の使用の態様の例を説明する。
【０２０３】
図１５は、出力補正装置１に誤差要因測定装置２０を使用した場合の、出力補正装置１の構成の例を示す図である。
【０２０４】
スイッチ分岐信号源１０の出力端子１９ｄから信号を出力しようとしたとする。さらに、この信号のパワーを目標値にあわせようとしたとする。ここで、第四ポート誤差要因Eijdの影響を考慮して、アンプ１３のゲインを調整する必要がある。
【０２０５】
出力補正装置１は、誤差要因測定装置２０、信号パワー調整部３０を備える。誤差要因測定装置２０の詳細はすでに説明したとおりであるが、信号パワー調整部３０に第四ポート誤差要因Eijdを与える。信号パワー調整部３０は、誤差要因測定装置２０により測定された第四ポート誤差要因Eijdに基づき、信号のパワーを調整する。例えば、信号パワー調整部３０は、アンプ１３のゲインを調整することにより、信号のパワーを調整する。かかる調整により、出力端子１９ｄから出力される信号のパワーを目標値にあわせることができる。
【０２０６】
なお、出力端子１９ａから出力される信号のパワーを目標値にあわせるためには、誤差要因測定装置２０から第一ポート誤差要因Eijaを信号パワー調整部３０に与えればよい。信号パワー調整部３０は、誤差要因測定装置２０により測定された第一ポート誤差要因Eijaに基づき、信号のパワーを調整する。
【０２０７】
なお、出力端子１９ｂから出力される信号のパワーを目標値にあわせるためには、誤差要因測定装置２０から第二ポート誤差要因Eijbを信号パワー調整部３０に与えればよい。信号パワー調整部３０は、誤差要因測定装置２０により測定された第二ポート誤差要因Eijbに基づき、信号のパワーを調整する。
【０２０８】
なお、出力端子１９ｃから出力される信号のパワーを目標値にあわせるためには、誤差要因測定装置２０から第三ポート誤差要因Eijcを信号パワー調整部３０に与えればよい。信号パワー調整部３０は、誤差要因測定装置２０により測定された第三ポート誤差要因Eijcに基づき、信号のパワーを調整する。
【０２０９】
図１６は、反射係数測定装置２に誤差要因測定装置２０を使用した場合の、反射係数測定装置２の構成の例を示す図である。
【０２１０】
スイッチ分岐信号源１０の出力端子１９ｄに被測定物（DUT : Device Under
Test）６６を接続し、被測定物６６の反射係数を測定しようとしたとする。被測定物６６の反射係数は、Ｒ１およびＲ２から求めることができる。ここで、第四ポート誤差要因Eijdの影響を考慮して、反射係数を求める必要がある。
【０２１１】
反射係数測定装置２は、誤差要因測定装置２０、反射係数測定部４０を備える。誤差要因測定装置２０の詳細はすでに説明したとおりであるが、反射係数測定部４０に第四ポート誤差要因Eijdを与える。反射係数測定部４０は、第四ポート誤差要因Eijdの生ずる前であり、信号が被測定物６６により反射される前の信号を測定した結果Ｒ１と、信号が被測定物６６により反射されたものを測定した結果Ｒ２（信号が被測定物６６により反射されたものは、スイッチ１８、ブリッジ１４ｂを介してミキサ１６ｂに与えられる）と、誤差要因測定装置２０により測定された第四ポート誤差要因Eijdとに基づき、被測定物６６の反射係数を測定する。
【０２１２】
なお、出力端子１９ａに接続された被測定物６６の反射係数を測定するためには、誤差要因測定装置２０から第一ポート誤差要因Eijaを反射係数測定部４０に与えればよい。反射係数測定部４０は、Ｒ１、Ｒ２と、誤差要因測定装置２０により測定された第一ポート誤差要因Eijaとに基づき、被測定物６６の反射係数を測定する。
【０２１３】
なお、出力端子１９ｂに接続された被測定物６６の反射係数を測定するためには、誤差要因測定装置２０から第二ポート誤差要因Eijbを反射係数測定部４０に与えればよい。反射係数測定部４０は、Ｒ１、Ｒ２と、誤差要因測定装置２０により測定された第二ポート誤差要因Eijbとに基づき、被測定物６６の反射係数を測定する。
【０２１４】
なお、出力端子１９ｃに接続された被測定物６６の反射係数を測定するためには、誤差要因測定装置２０から第三ポート誤差要因Eijcを反射係数測定部４０に与えればよい。反射係数測定部４０は、Ｒ１、Ｒ２と、誤差要因測定装置２０により測定された第三ポート誤差要因Eijcとに基づき、被測定物６６の反射係数を測定する。
【０２１５】
また、上記の実施形態は、以下のようにして実現できる。ＣＰＵ、ハードディスク、メディア（フロッピー（登録商標）ディスク、ＣＤ−ＲＯＭなど）読み取り装置を備えたコンピュータのメディア読み取り装置に、上記の各部分（例えば、誤差要因測定装置２０）を実現するプログラムを記録したメディアを読み取らせて、ハードディスクにインストールする。このような方法でも、上記の機能を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【０２１６】
【図１】第一の実施形態のスイッチ分岐信号源１０の構成を示す図である。
【図２】第一の実施形態のスイッチ分岐信号源１０のシグナルフローグラフである。
【図３】第一の実施形態の信号源１００が端子１５を有すると仮想した場合の、スイッチ分岐信号源１０の構成を示す図である。
【図４】第一の実施形態において、端子１５を仮想した場合のスイッチ分岐信号源１０のシグナルフローグラフである。
【図５】本発明の第一の実施形態にかかる誤差要因測定装置２０の構成を示す機能ブロック図である。
【図６】第一の実施形態において、校正用具６２を出力端子１９ａに、ミキサ１６ａ、１６ｂを、端子２１ａ、２１ｂに接続した状態を示す図である。
【図７】図６に示す状態の誤差要因測定装置２０をシグナルフローグラフで表した図である。
【図８】第一の実施形態において、パワーメータ６４を出力端子１９ａに、ミキサ１６ａを端子２１ａに接続した状態を示す図である。
【図９】図８に示す状態の誤差要因測定装置２０をシグナルフローグラフで表した図である。
【図１０】信号源１００を出力端子に接続した場合のスイッチ１８の内部を示す図である。
【図１１】第二の実施形態の信号源１００が端子１５を有すると仮想した場合の、スイッチ分岐信号源１０の構成を示す図である。
【図１２】本発明の第二の実施形態にかかる誤差要因測定装置２０の構成を示す機能ブロック図である。
【図１３】本発明の第三の実施形態にかかる誤差要因測定装置２０の構成を示す機能ブロック図である。
【図１４】本発明の第四の実施形態にかかる誤差要因測定装置２０の構成を示す機能ブロック図である。
【図１５】出力補正装置１に誤差要因測定装置２０を使用した場合の、出力補正装置１の構成の例を示す図である。
【図１６】反射係数測定装置２に誤差要因測定装置２０を使用した場合の、反射係数測定装置２の構成の例を示す図である。
【符号の説明】
【０２１７】
１０  スイッチ分岐信号源
１００  信号源
１８  スイッチ
１９ａ  出力端子（測定用出力端子）
１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄ  出力端子
２０  誤差要因測定装置
２２  第一ポート誤差要因取得部（第一誤差要因取得手段）
２４  スイッチ部分誤差要因記録部
２８ａ  信号源誤差要因取得部
２８ｂ  第二ポート誤差要因導出部
２８ｃ  第三ポート誤差要因導出部
２８ｄ  第四ポート誤差要因導出部
１  出力補正装置
３０  信号パワー調整部
２  反射係数測定装置
４０  反射係数測定部
６２  校正用具
６４  パワーメータ
６６  被測定物
Ｅ１１ａ、Ｅ１２ａ、Ｅ２１ａ、Ｅ２２ａ  第一ポート誤差要因
Ｅ１１ｂ、Ｅ１２ｂ、Ｅ２１ｂ、Ｅ２２ｂ  第二ポート誤差要因
Ｅ１１ｃ、Ｅ１２ｃ、Ｅ２１ｃ、Ｅ２２ｃ  第三ポート誤差要因
Ｅ１１ｄ、Ｅ１２ｄ、Ｅ２１ｄ、Ｅ２２ｄ  第四ポート誤差要因
Ｐ１１、Ｐ１２、Ｐ２１、Ｐ２２  信号源誤差要因
Ｑ１１ａ、Ｑ１２ａ、Ｑ２１ａ、Ｑ２２ａ  第一スイッチ部分誤差要因
Ｑ１１ｂ、Ｑ１２ｂ、Ｑ２１ｂ、Ｑ２２ｂ  第二スイッチ部分誤差要因
Ｑ１１ｃ、Ｑ１２ｃ、Ｑ２１ｃ、Ｑ２２ｃ  第三スイッチ部分誤差要因
Ｑ１１ｄ、Ｑ１２ｄ、Ｑ２１ｄ、Ｑ２２ｄ  第四スイッチ部分誤差要因
【図１】
2008058160.tif 000003
【図２】
2008058160.tif 000004
【図３】
2008058160.tif 000005
【図４】
2008058160.tif 000006
【図５】
2008058160.tif 000007
【図６】
2008058160.tif 000008
【図７】
2008058160.tif 000009
【図８】
2008058160.tif 000010
【図９】
2008058160.tif 000011
【図１０】
2008058160.tif 000012
【図１１】
2008058160.tif 000013
【図１２】
2008058160.tif 000014
【図１３】
2008058160.tif 000015
【図１４】
2008058160.tif 000016
【図１５】
2008058160.tif 000017
【図１６】
2008058160.tif 000018
【手続補正書】
【提出日】平成19年4月20日(2007.4.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源について、前記出力端子により反射される前および反射された後の前記信号の測定結果に生じる誤差の誤差要因を測定する誤差要因測定装置であって、
前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記信号源と前記測定用出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因である第一誤差要因（Tパラメータで表記したものをT(Eija)とする）を取得する第一誤差要因取得手段と、
前記信号源と前記出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に、前記スイッチにより生じる誤差の前記誤差要因であるスイッチ部分誤差要因を記録するスイッチ部分誤差要因記録手段と、
前記スイッチ部分誤差要因のうち、前記信号源と前記測定用出力端子とを接続したときに生ずるもの（Tパラメータで表記したものをT(Qija)とする）と、前記第一誤差要因とに基づき、前記信号源により生じる誤差の信号源誤差要因（Tパラメータで表記したものをT(Pij)とする）を取得する信号源誤差要因取得手段と、
前記信号源誤差要因と、前記スイッチ部分誤差要因のうち、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを接続したときに生ずるもの（Tパラメータで表記したものをT(Qijx)とする）とに基づき、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因である第二誤差要因（Tパラメータで表記したものをT(Eijx)とする）を導出する第二誤差要因導出手段と、
を備え、
T(Eija) =
T(Pij)・T(Qija)  および
T(Eijx) =
T(Pij)・T(Qijx)  が成立する（ただし、iおよびjは1または2である）
誤差要因測定装置。
【請求項２】
信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源について、前記出力端子により反射される前および反射された後の前記信号の測定結果に生じる誤差の誤差要因を測定する誤差要因測定装置であって、
前記信号源は、信号を生成する信号生成部と、該信号生成部により生成された前記信号を増幅する増幅器と、該増幅器と前記スイッチとを接続する接続系とを有し、
前記誤差要因測定装置は、
前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記信号源と前記測定用出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因である第一誤差要因（Tパラメータで表記したものをL・T(Eija)とする）を取得する第一誤差要因取得手段と、
前記信号源と前記出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に、前記接続系および前記スイッチにより生じる誤差の前記誤差要因であるポート誤差要因を記録するポート誤差要因記録手段と、
前記ポート誤差要因のうち、前記信号源と前記測定用出力端子とを接続したときに生ずるもの（Tパラメータで表記したものをT(Eija)とする）と、前記第一誤差要因とに基づき、前記増幅器により生じる誤差の増幅器誤差要因（Tパラメータで表記したものをLとする）を取得する増幅器誤差要因取得手段と、
前記増幅器誤差要因と、前記ポート誤差要因のうち、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを接続したときに生ずるもの（Tパラメータで表記したものをT(Eijx)とする）とに基づき、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因である第二誤差要因（Tパラメータで表記したものをL・T(Eijx)とする）を導出する第二誤差要因導出手段と、
を備え、iおよびjは1または2である誤差要因測定装置。
【請求項３】
信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源について、前記出力端子により反射される前および反射された後の前記信号の測定結果に生じる誤差の誤差要因を測定する誤差要因測定装置であって、
前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記信号源と前記測定用出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因である第一誤差要因（Tパラメータで表記したものをT(Eija)(t=t1)とする）を所定の時間t1（ただし、t1>0）において取得する第一誤差要因取得手段と、
前記信号源と前記出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に、前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因であるポート誤差要因を所定の時間0において取得したものを記録するポート誤差要因記録手段と、
前記ポート誤差要因のうち、前記信号源と前記測定用出力端子とを接続したときに生ずるもの（Tパラメータで表記したものをT(Eija)(t=0)とする）と、前記ポート誤差要因のうちの前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを接続したときに生ずるもの（Tパラメータで表記したものをT(Eijx)(t=0)とする）とに基づき、両者の関係を取得する関係取得手段と、
前記第一誤差要因と、前記関係とに基づき、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の第二誤差要因（Tパラメータで表記したものをT(Eijx)(t=t1)とする）を所定の時間t1において導出する第二誤差要因導出手段と、
を備え、
T(Eijx)(t=t1) = T(Eija)(t=t1)(T(Eija)-1(t=0)・T(Eijx)(t=0))  （ただし、iおよびjは1または2である）が成立する
誤差要因測定装置。
【請求項４】
信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源について、前記出力端子により反射される前および反射された後の前記信号の測定結果に生じる誤差の誤差要因を測定する誤差要因測定装置であって、
前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記信号源と前記測定用出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因である第一誤差要因（Tパラメータで表記したものをT(Eija)(t=t1)とする）を所定の時間t1（ただし、t1>0）において取得する第一誤差要因取得手段と、
前記信号源と前記出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に、前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因であるポート誤差要因を所定の時間0において取得したもののうち、前記信号源と前記測定用出力端子とを接続したときに生ずるもの（Tパラメータで表記したものをT(Eija)(t=0)とする）と、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを接続したときに生ずるもの（Tパラメータで表記したものをT(Eijx)(t=0)とする）との関係を記録する関係記録手段と、
前記第一誤差要因および前記関係に基づき、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の第二誤差要因（Tパラメータで表記したものをT(Eijx)(t=t1)とする）を所定の時間t1において導出する第二誤差要因導出手段と、
を備え、
T(Eijx)(t=t1) = T(Eija)(t=t1)(T(Eija)-1(t=0)・T(Eijx)(t=0))  （ただし、iおよびjは1または2である）が成立する
誤差要因測定装置。
【請求項５】
信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源について、前記出力端子により反射される前および反射された後の前記信号の測定結果に生じる誤差の誤差要因を測定する誤差要因測定装置であって、
前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記信号源と前記測定用出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因である第一誤差要因（Tパラメータで表記したものをT(Eija)(t=t1)とする）を所定の時間t1（ただし、t1>0）において取得する第一誤差要因取得手段と、
前記信号源と前記出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に、前記スイッチにより生じる誤差の前記誤差要因であるスイッチ部分誤差要因を所定の時間0において取得したもののうち、前記信号源と前記測定用出力端子とを接続したときに生ずるもの（Tパラメータで表記したものをT(Qija)(t=0)とする）と、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを接続したときに生ずるもの（Tパラメータで表記したものをT(Qijx)(t=0)とする）との関係を記録する関係記録手段と、
前記第一誤差要因および前記関係に基づき、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の第二誤差要因（Tパラメータで表記したものをT(Eijx)(t=t1)とする）を所定の時間t1において導出する第二誤差要因導出手段と、
を備え、
T(Eijx)(t=t1) = T(Eija)(t=t1)(T(Qija)-1(t=0)・T(Qijx)(t=0))  （ただし、iおよびjは1または2である）が成立する
誤差要因測定装置。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか一項に記載の誤差要因測定装置であって、
前記測定用出力端子に校正用具が接続された状態で、前記信号が測定され、
前記校正用具は、開放、短絡および標準負荷の三種類の状態を実現するものである、
誤差要因測定装置。
【請求項７】
請求項１ないし５のいずれか一項に記載の誤差要因測定装置であって、
前記信号の測定結果は、さらに、
前記測定用出力端子から出力されたものを測定した結果を有する、
誤差要因測定装置。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれか一項に記載の誤差要因測定装置と、
前記誤差要因測定装置により測定された前記誤差要因に基づき、前記信号のパワーを調整する信号パワー調整手段と、
を備えた出力補正装置。
【請求項９】
請求項１ないし７のいずれか一項に記載の誤差要因測定装置と、
前記出力端子のうちのいずれか一個に被測定物が接続された状態において、前記信号が反射される前に前記信号を測定した結果と、前記信号が反射されたものを測定した結果と、前記誤差要因測定装置により測定された前記誤差要因とに基づき、前記被測定物の反射係数を測定する反射係数測定手段と、
を備えた反射係数測定装置。
【請求項１０】
信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源について、前記出力端子により反射される前および反射された後の前記信号の測定結果に生じる誤差の誤差要因を測定する誤差要因測定方法であって、
前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記信号源と前記測定用出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因である第一誤差要因（Tパラメータで表記したものをT(Eija)とする）を取得する第一誤差要因取得工程と、
前記信号源と前記出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に、前記スイッチにより生じる誤差の前記誤差要因であるスイッチ部分誤差要因を記録するスイッチ部分誤差要因記録工程と、
前記スイッチ部分誤差要因のうち、前記信号源と前記測定用出力端子とを接続したときに生ずるもの（Tパラメータで表記したものをT(Qija)とする）と、前記第一誤差要因とに基づき、前記信号源により生じる誤差の信号源誤差要因（Tパラメータで表記したものをT(Pij)とする）を取得する信号源誤差要因取得工程と、
前記信号源誤差要因と、前記スイッチ部分誤差要因のうち、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを接続したときに生ずるもの（Tパラメータで表記したものをT(Qijx)とする）とに基づき、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因である第二誤差要因（Tパラメータで表記したものをT(Eijx)とする）を導出する第二誤差要因導出工程と、
を備え、
T(Eija) =
T(Pij)・T(Qija)  および
T(Eijx) =
T(Pij)・T(Qijx)  が成立する（ただし、iおよびjは1または2である）  
誤差要因測定方法。
【請求項１１】
信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源について、前記出力端子により反射される前および反射された後の前記信号の測定結果に生じる誤差の誤差要因を測定する誤差要因測定方法であって、
前記信号源は、信号を生成する信号生成部と、該信号生成部により生成された前記信号を増幅する増幅器と、該増幅器と前記スイッチとを接続する接続系とを有し、
前記誤差要因測定方法は、
前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記信号源と前記測定用出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因である第一誤差要因（Tパラメータで表記したものをL・T(Eija)とする）を取得する第一誤差要因取得工程と、
前記信号源と前記出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に、前記接続系および前記スイッチにより生じる誤差の前記誤差要因であるポート誤差要因を記録するポート誤差要因記録工程と、
前記ポート誤差要因のうち、前記信号源と前記測定用出力端子とを接続したときに生ずるもの（Tパラメータで表記したものをT(Eija)とする）と、前記第一誤差要因とに基づき、前記増幅器により生じる誤差の増幅器誤差要因（Tパラメータで表記したものをLとする）を取得する増幅器誤差要因取得工程と、
前記増幅器誤差要因と、前記ポート誤差要因のうち、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを接続したときに生ずるもの（Tパラメータで表記したものをT(Eijx)とする）とに基づき、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因である第二誤差要因（Tパラメータで表記したものをL・T(Eijx)とする）を導出する第二誤差要因導出工程と、
を備え、iおよびjは1または2である誤差要因測定方法。
【請求項１２】
信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源について、前記出力端子により反射される前および反射された後の前記信号の測定結果に生じる誤差の誤差要因を測定する誤差要因測定方法であって、
前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記信号源と前記測定用出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因である第一誤差要因（Tパラメータで表記したものをT(Eija)(t=t1)とする）を所定の時間t1（ただし、t1>0）において取得する第一誤差要因取得工程と、
前記信号源と前記出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に、前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因であるポート誤差要因を所定の時間0において取得したものを記録するポート誤差要因記録工程と、
前記ポート誤差要因のうち、前記信号源と前記測定用出力端子とを接続したときに生ずるもの（Tパラメータで表記したものをT(Eija)(t=0)とする）と、前記ポート誤差要因のうちの前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを接続したときに生ずるもの（Tパラメータで表記したものをT(Eijx)(t=0)とする）とに基づき、両者の関係を取得する関係取得工程と、
前記第一誤差要因と、前記関係とに基づき、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の第二誤差要因（Tパラメータで表記したものをT(Eijx)(t=t1)とする）を所定の時間t1において導出する第二誤差要因導出工程と、
を備え、
T(Eijx)(t=t1) = T(Eija)(t=t1)(T(Eija)-1(t=0)・T(Eijx)(t=0))  （ただし、iおよびjは1または2である）が成立する
誤差要因測定方法。
【請求項１３】
信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源について、前記出力端子により反射される前および反射された後の前記信号の測定結果に生じる誤差の誤差要因を測定する誤差要因測定方法であって、
前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記信号源と前記測定用出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因である第一誤差要因（Tパラメータで表記したものをT(Eija)(t=t1)とする）を所定の時間t1（ただし、t1>0）において取得する第一誤差要因取得工程と、
前記信号源と前記出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に、前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因であるポート誤差要因を所定の時間0において取得したもののうち、前記信号源と前記測定用出力端子とを接続したときに生ずるもの（Tパラメータで表記したものをT(Eija)(t=0)とする）と、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを接続したときに生ずるもの（Tパラメータで表記したものをT(Eijx)(t=0)とする）との関係を記録する関係記録工程と、
前記第一誤差要因および前記関係に基づき、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の第二誤差要因（Tパラメータで表記したものをT(Eijx)(t=t1)とする）を所定の時間t1において導出する第二誤差要因導出工程と、
を備え、
T(Eijx)(t=t1) = T(Eija)(t=t1)(T(Eija)-1(t=0)・T(Eijx)(t=0))  （ただし、iおよびjは1または2である）が成立する
誤差要因測定方法。
【請求項１４】
信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源について、前記出力端子により反射される前および反射された後の前記信号の測定結果に生じる誤差の誤差要因を測定する誤差要因測定方法であって、
前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記信号源と前記測定用出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因である第一誤差要因（Tパラメータで表記したものをT(Eija)(t=t1)とする）を所定の時間t1（ただし、t1>0）において取得する第一誤差要因取得工程と、
前記信号源と前記出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に、前記スイッチにより生じる誤差の前記誤差要因であるスイッチ部分誤差要因を所定の時間0において取得したもののうち、前記信号源と前記測定用出力端子とを接続したときに生ずるもの（Tパラメータで表記したものをT(Qija)(t=0)とする）と、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを接続したときに生ずるもの（Tパラメータで表記したものをT(Qijx)(t=0)とする）との関係を記録する関係記録工程と、
前記第一誤差要因および前記関係に基づき、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の第二誤差要因（Tパラメータで表記したものをT(Eijx)(t=t1)とする）を所定の時間t1において導出する第二誤差要因導出工程と、
を備え、
T(Eijx)(t=t1) = T(Eija)(t=t1)(T(Qija)-1(t=0)・T(Qijx)(t=0))  （ただし、iおよびjは1または2である）が成立する
誤差要因測定方法。
【請求項１５】
信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源について、前記出力端子により反射される前および反射された後の前記信号の測定結果に生じる誤差の誤差要因を測定する誤差要因測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記信号源と前記測定用出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因である第一誤差要因（Tパラメータで表記したものをT(Eija)とする）を取得する第一誤差要因取得処理と、
前記信号源と前記出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に、前記スイッチにより生じる誤差の前記誤差要因であるスイッチ部分誤差要因を記録するスイッチ部分誤差要因記録処理と、
前記スイッチ部分誤差要因のうち、前記信号源と前記測定用出力端子とを接続したときに生ずるもの（Tパラメータで表記したものをT(Qija)とする）と、前記第一誤差要因とに基づき、前記信号源により生じる誤差の信号源誤差要因（Tパラメータで表記したものをT(Pij)とする）を取得する信号源誤差要因取得処理と、
前記信号源誤差要因と、前記スイッチ部分誤差要因のうち、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを接続したときに生ずるもの（Tパラメータで表記したものをT(Qijx)とする）とに基づき、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因である第二誤差要因（Tパラメータで表記したものをT(Eijx)とする）を導出する第二誤差要因導出処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラムであり、
T(Eija) =
T(Pij)・T(Qija)  および
T(Eijx) =
T(Pij)・T(Qijx)  が成立する（ただし、iおよびjは1または2である）  
プログラム。
【請求項１６】
信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源について、前記出力端子により反射される前および反射された後の前記信号の測定結果に生じる誤差の誤差要因を測定する誤差要因測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記信号源は、信号を生成する信号生成部と、該信号生成部により生成された前記信号を増幅する増幅器と、該増幅器と前記スイッチとを接続する接続系とを有し、
前記誤差要因測定方法は、
前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記信号源と前記測定用出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因である第一誤差要因（Tパラメータで表記したものをL・T(Eija)とする）を取得する第一誤差要因取得処理と、
前記信号源と前記出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に、前記接続系および前記スイッチにより生じる誤差の前記誤差要因であるポート誤差要因を記録するポート誤差要因記録処理と、
前記ポート誤差要因のうち、前記信号源と前記測定用出力端子とを接続したときに生ずるもの（Tパラメータで表記したものをT(Eija)とする）と、前記第一誤差要因とに基づき、前記増幅器により生じる誤差の増幅器誤差要因（Tパラメータで表記したものをLとする）を取得する増幅器誤差要因取得処理と、
前記増幅器誤差要因と、前記ポート誤差要因のうち、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを接続したときに生ずるもの（Tパラメータで表記したものをT(Eijx)とする）とに基づき、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因である第二誤差要因（Tパラメータで表記したものをL・T(Eijx)とする）を導出する第二誤差要因導出処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラムであり、iおよびjは1または2であるプログラム。
【請求項１７】
信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源について、前記出力端子により反射される前および反射された後の前記信号の測定結果に生じる誤差の誤差要因を測定する誤差要因測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記信号源と前記測定用出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因である第一誤差要因（Tパラメータで表記したものをT(Eija)(t=t1)とする）を所定の時間t1（ただし、t1>0）において取得する第一誤差要因取得処理と、
前記信号源と前記出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に、前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因であるポート誤差要因を所定の時間0において取得したものを記録するポート誤差要因記録処理と、
前記ポート誤差要因のうち、前記信号源と前記測定用出力端子とを接続したときに生ずるもの（Tパラメータで表記したものをT(Eija)(t=0)とする）と、前記ポート誤差要因のうちの前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを接続したときに生ずるもの（Tパラメータで表記したものをT(Eijx)(t=0)とする）とに基づき、両者の関係を取得する関係取得処理と、
前記第一誤差要因と、前記関係とに基づき、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の第二誤差要因（Tパラメータで表記したものをT(Eijx)(t=t1)とする）を所定の時間t1において導出する第二誤差要因導出処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラムであり、
T(Eijx)(t=t1) = T(Eija)(t=t1)(T(Eija)-1(t=0)・T(Eijx)(t=0))  （ただし、iおよびjは1または2である）が成立する
プログラム。
【請求項１８】
信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源について、前記出力端子により反射される前および反射された後の前記信号の測定結果に生じる誤差の誤差要因を測定する誤差要因測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記信号源と前記測定用出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因である第一誤差要因（Tパラメータで表記したものをT(Eija)(t=t1)とする）を所定の時間t1（ただし、t1>0）において取得する第一誤差要因取得処理と、
前記信号源と前記出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に、前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因であるポート誤差要因を所定の時間0において取得したもののうち、前記信号源と前記測定用出力端子とを接続したときに生ずるもの（Tパラメータで表記したものをT(Eija)(t=0)とする）と、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを接続したときに生ずるもの（Tパラメータで表記したものをT(Eijx)(t=0)とする）との関係を記録する関係記録処理と、
前記第一誤差要因および前記関係に基づき、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の第二誤差要因（Tパラメータで表記したものをT(Eijx)(t=t1)とする）を所定の時間t1において導出する第二誤差要因導出処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラムであり、
T(Eijx)(t=t1) = T(Eija)(t=t1)(T(Eija)-1(t=0)・T(Eijx)(t=0))  （ただし、iおよびjは1または2である）が成立する
プログラム。
【請求項１９】
信号を生成する信号源と、複数の出力端子のいずれかから前記信号を出力させるスイッチとを有するスイッチ分岐信号源について、前記出力端子により反射される前および反射された後の前記信号の測定結果に生じる誤差の誤差要因を測定する誤差要因測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記出力端子のうちの一個である測定用出力端子から、前記信号が出力されている状態における前記信号の測定結果に基づき、前記信号源と前記測定用出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の前記誤差要因である第一誤差要因（Tパラメータで表記したものをT(Eija)(t=t1)とする）を所定の時間t1（ただし、t1>0）において取得する第一誤差要因取得処理と、
前記信号源と前記出力端子とを前記スイッチにより接続した場合に、前記スイッチにより生じる誤差の前記誤差要因であるスイッチ部分誤差要因を所定の時間0において取得したもののうち、前記信号源と前記測定用出力端子とを接続したときに生ずるもの（Tパラメータで表記したものをT(Qija)(t=0)とする）と、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを接続したときに生ずるもの（Tパラメータで表記したものをT(Qijx)(t=0)とする）との関係を記録する関係記録処理と、
前記第一誤差要因および前記関係に基づき、前記信号源と前記出力端子のうちの前記測定用出力端子以外のものとを前記スイッチにより接続した場合に前記スイッチ分岐信号源により生じる誤差の第二誤差要因（Tパラメータで表記したものをT(Eijx)(t=t1)とする）を所定の時間t1において導出する第二誤差要因導出処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラムであり、
T(Eijx)(t=t1) = T(Eija)(t=t1)(T(Qija)-1(t=0)・T(Qijx)(t=0))  （ただし、iおよびjは1または2である）が成立する
プログラム。