(57)【要約】【課題】検査対象の様相が品質に与える影響の大きさの度合いを示す値を導入することにより検査対象の品質のランク付けを可能とするとともに品質検査処理の高速化を実現する。【解決手段】検査対象領域を撮影して得られた撮影データＤ１０に基づいて所定の品質検査処理を施すことにより検査対象領域の品質を検査する品質検査方法であって、前記品質検査処理に対応した外観検査処理用データＤ２０を用いて撮影データＤ１０の各位置における外観検査処理結果を算出するステップＳ３２と、前記各位置における外観検査処理結果に基づいて品質に与える影響の大きさの度合いを示す致命度を取得し、検査対象領域を写像するデータマッピング領域の前記撮影データの各位置に対応する位置を特定し、前記データマッピング領域の前記撮影データの各位置に対応する位置へ前記致命度をマッピングして致命度マッピングデータＤ５０を生成するステップＳ３３，Ｓ３４とを有する。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象領域を撮影して得られた撮影データに基づいて所定の品質検査処理を施すことにより前記検査対象領域の品質を検査する品質検査方法であって、
前記品質検査処理に対応した品質検査処理用演算データを用いて前記撮影データの各位置における品質検査処理結果を算出する品質検査処理結果算出ステップと、
前記各位置における品質検査処理結果に基づいて前記品質に与える影響の大きさの度合いを示す致命度を取得する致命度取得ステップと、
前記検査対象領域を写像するデータマッピング領域上で前記撮影データの各位置に対応する位置を特定し、前記データマッピング領域上での撮影データの各位置に対応する位置へ前記致命度をマッピングして致命度マッピングデータを生成する致命度マッピングデータ生成ステップと、
を有することを特徴とする品質検査方法。
【請求項２】
請求項１に記載の品質検査方法において、
前記致命度は、前記品質を評価する際の指標となる品質評価値と当該品質評価値の広がりの大きさを示す広がり値で表わされることを特徴とする品質検査方法。
【請求項３】
請求項２に記載の品質検査方法において、
前記致命度マッピングデータ生成ステップは、前記品質評価値を前記広がり値に基づいてマッピングし、当該マッピングを行なう際は、現時点においてマッピングすべき品質評価値が、すでにマッピングされている品質評価値と同じ位置で重なる場合は、重なる品質評価値の和を求め、求められた和を当該位置における品質評価値とすることを特徴とする品質検査方法。
【請求項４】
請求項２に記載の品質検査方法において、
前記品質検査処理が複数種類存在し、前記複数種類の品質検査処理を所定の順序で実行する場合、前記複数種類の品質検査処理のうちの現在実行中の品質検査処理の前記致命度マッピングデータ生成ステップは、前記現在実行中の品質検査処理により取得された前記品質評価値を前記広がり値に基づいてマッピングし、当該マッピングを行う際は、前記現在実行中の品質検査処理により取得された品質評価値と現在実行中の品質検査処理よりも前の品質検査処理で生成された致命度マッピングデータの対応する位置の品質評価値との和を求め、求められた和を当該位置における品質評価値とすることを特徴とする品質検査方法。
【請求項５】
請求項３または４に記載の品質検査方法において、
前記致命度マッピングデータ生成ステップは、前記品質評価値を前記広がり値に基づいてマッピングする過程において、現時点においてマッピングすべき品質評価値と当該品質検査処理の合否を判定するための閾値とを比較し、比較した結果に基づき前記品質検査処理を不合格と判定した場合は、それよりも後の品質検査処理を取りやめることを特徴とする品質検査方法。
【請求項６】
請求項２〜５のいずれかに記載の品質検査方法において、
前記品質評価値及び前記広がり値は、前記品質検査処理結果と前記品質評価値及び前記広がり値とが対応付けられた致命度参照テーブルから前記品質検査処理結果に基づいて取得することを特徴とする品質検査方法。
【請求項７】
検査対象領域を撮影して得られた撮影データに基づいて所定の品質検査処理を施すことにより前記検査対象領域の品質を検査する品質検査装置であって、
前記品質検査処理に対応した品質検査処理用演算データを用いて前記撮影データの各位
置における品質検査処理結果を算出する品質検査処理結果算出部と、
前記各位置における品質検査処理結果に基づいて前記品質に与える影響の大きさの度合いを示す致命度を取得し、前記検査対象領域を写像するデータマッピング領域上で前記撮影データの各位置に対応する位置を特定し、前記データマッピング領域上での撮影データの各位置に対応する位置へ前記致命度をマッピングして致命度マッピングデータを生成する致命度マッピングデータ生成部と、
を有することを特徴とする品質検査装置。
【請求項８】
検査対象領域を撮影して得られた撮影データに基づいて所定の品質検査処理を施すことにより前記検査対象領域の品質を検査する品質検査装置に前記品質検査処理を実行させるための品質検査プログラムであって、
前記品質検査処理に対応した品質検査処理用演算データを用いて前記撮影データの各位置における品質検査処理結果を算出する品質検査処理結果算出ステップと、
前記各位置における品質検査処理結果に基づいて前記品質に与える影響の大きさの度合いを示す致命度を取得する致命度取得ステップと、
前記検査対象領域を写像するデータマッピング領域上で前記撮影データの各位置に対応する位置を特定し、前記データマッピング領域上での撮影データの各位置に対応する位置へ前記致命度をマッピングして致命度マッピングデータを生成する致命度マッピングデータ生成ステップと、
を有することを特徴とする品質検査プログラム。
【請求項９】
請求項２〜６のいずれかに記載の品質検査方法によって生成された致命度マッピングデータに基づいて検査対象領域の品質評価を行う品質評価方法であって、
前記致命度マッピングデータにマッピングされた品質評価値の代表値を求めるステップと、
求められた代表値の大きさに基づいて前記致命度マッピングデータ評価結果を取得し、取得した致命度マッピングデータ評価結果に基づいて前記検査対象領域の品質評価結果を出力するステップと、
を有することを特徴とする品質評価方法。
【請求項１０】
請求項９に記載の品質評価方法において、
前記代表値は、前記致命度マッピングデータにマッピングされた品質評価値の最大値、前記致命度マッピングデータにマッピングされた品質評価値の総和、前記致命度マッピングデータにマッピングされた品質評価値の標準偏差、前記致命度マッピングデータにマッピングされた品質評価値の中央値のいずれかであることを特徴とする品質評価方法。
【請求項１１】
請求項９または１０に記載の品質評価方法において、
前記致命度マッピングデータ評価結果は、前記代表値と致命度マッピングデータ評価結果とが対応付けられた致命度評価テーブルから前記代表値に基づいて取得することを特徴とする品質評価方法。
【請求項１２】
請求項２〜６のいずれかに記載の品質検査方法によって生成された致命度マッピングデータに基づいて検査対象領域の品質評価を行う品質評価装置であって、
前記致命度マッピングデータにマッピングされた品質評価値の代表値を求め、求められた代表値の大きさに基づいて前記致命度マッピングデータ評価結果を取得し、取得した致命度マッピングデータ評価結果に基づいて前記検査対象領域の品質評価結果を出力する品質評価処理部を有することを特徴とする品質評価装置。
【請求項１３】
光変調素子として赤・緑・青の各色に対応した液晶パネルを用いたプロジェクタであって、
前記赤・緑・青の各色に対応した液晶パネルとして、請求項９〜１１のいずれかに記載の品質評価方法により出力された品質評価結果に基づいて選定された液晶パネルが用いられたことを特徴とするプロジェクタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、製品の外観などを検査する際に用いる品質検査方法、品質検査装置、品質検査プログラム、品質評価方法、品質評価装置及び品質評価方法による品質評価結果に基づいて選定された液晶パネルを用いたプロジェクタに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハや液晶パネルなどにゴミ、キズ、シミなどの欠陥が存在するかどうかを発見する外観検査は、生産プロセスにおいて極めて重要である。この外観検査は、検査員の習熟度に大きく依存するため、外観検査の検査水準を一定に保つことや、検査時間を短縮することは容易なことではない。
【０００３】
このような課題を解決するために、検査対象領域をＣＣＤカメラで撮影することで得られる撮影データから各種欠陥を自動検出する外観検査装置が開発されている。外観検査装置は、検査員の行う外観検査の一部あるいはすべてを代行し、生産プロセスの品質向上や工程時間の短縮に多大な効果をあげている。
【０００４】
このような外観検査装置においては、検査対象領域に現れる様々な様相を、判断水準を維持しながら評価し、検査対象領域の様相が品質に与える度合いを高速に判定できることが求められる。この要求を実現するために、検査対象領域を撮影して得られた撮影データに対して複数種類の外観検査処理を実行し、それぞれの外観検査処理によって得られる外観検査処理結果を評価する方法が数多く提案されている。
【０００５】
複数種類の外観検査処理が実行されたときの課題は、複数種類の外観検査処理によって得られた外観検査処理結果の評価を、高速な処理を実現しつつも評価水準を一定に維持することである。これを実現する方法として、複数種類の外観検査処理を順々に実行する過程で、外観検査処理ごとにその処理結果を評価し、その評価結果が基準以下であると判断された場合においては、それよりも後の外観検査処理を取りやめ、その検査対象領域は不良であると判定することで外観検査処理の高速化を実現することが提案されている（例えば特許文献１参照）。
【０００６】
特許文献１に開示された技術は、設定された検査単位に対する不良の許容量を設定し、検査の際に１検査単位での不良量が許容量を上回った場合には検査を打ち切って、次の検査単位の検査へと移行することによって、検査時間の無駄を省くようにしている。
【０００７】
【特許文献１】特開２００４−２０４８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、このような方法では、検査単位ごとの検査結果の良否が得られるのみであって、検査対象領域の様相の良し悪しがどの程度であるのかが分からず、外観検査対象領域の様相が品質に与える度合いを評価することはできない。このため、検査対象をその検査対象領域の様相によってランク付けして、ランクに応じて検査対象を振り分けるといったことができない。
【０００９】
そこで本発明は、検査対象領域の様相の良し悪しの程度を取得可能とすることで、検査対象領域の様相に基づいて検査対象の品質のランク付けを可能とし、かつ、品質検査処理の高速化を実現する品質検査方法、品質検査装置、品質検査プログラムを提供することを
目的とするとともに、品質検査方法によって得られた検査結果に基づいて検査対象の品質評価を可能とする品質評価方法及び品質評価装置を提供することを目的とする。また、品質評価方法による評価結果に基づいて選定された液晶パネルを用いることによって高性能なプロジェクタを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
（１）本発明の品質検査方法は、検査対象領域を撮影して得られた撮影データに基づいて所定の品質検査処理を施すことにより前記検査対象領域の品質を検査する品質検査方法であって、前記品質検査処理に対応した品質検査処理用演算データを用いて前記撮影データの各位置における品質検査処理結果を算出する品質検査処理結果算出ステップと、前記各位置における品質検査処理結果に基づいて前記品質に与える影響の大きさの度合いを示す致命度を取得する致命度取得ステップと、前記検査対象領域を写像するデータマッピング領域の前記撮影データの各位置に対応する位置を特定し、前記データマッピング領域上での撮影データの各位置に対応する位置へ前記致命度をマッピングして致命度マッピングデータを生成する致命度マッピングデータ生成ステップとを有することを特徴とする。
【００１１】
本発明の品質検査方法によれば、品質に与える影響の大きさの度合いを示す致命度を取得し、その取得した致命度を前記検査対象領域を写像するデータマッピング領域上での前記撮影データの各位置に対応する位置へマッピングして致命度マッピングデータを生成するようにしている。
【００１２】
この致命度マッピングデータは、検査対象領域の各位置における致命度（品質に与える影響の度合いを示す値）がマッピングされたデータであるため、単に検査対象領域の良否を判定するためのデータではなく、検査対象領域の様相の良し悪しの程度を表すものとなる。したがって、生成された致命度マッピングデータにより検査対象領域の様相に基づく検査対象の品質に与える度合いの評価が可能となる。これにより、検査対象領域の様相によって検査対象をランク付けすることが可能となるので、例えば、精度が要求される箇所には検査対象領域において品質のランクの高かった検査対象を使用するというように、ランクに応じて検査対象を振り分けるといったことも可能となる。
【００１３】
（２）前記（１）に記載の品質検査方法においては、前記致命度は、前記品質を評価する際の指標となる品質評価値と当該品質評価値の広がりの大きさを示す広がり値で表わされることが好ましい。
このように、致命度を品質の評価を行う際の指標となる品質評価値と当該品質評価値の広がりの大きさを示す広がり値で表すことにより、検査対象領域の様相の良し悪しの程度を適切に表現することができる。
【００１４】
（３）前記（２）に記載の品質検査方法においては、前記致命度マッピングデータ生成ステップは、前記品質評価値を前記広がり値に基づいてマッピングし、当該マッピングを行なう際は、現時点においてマッピングすべき品質評価値が、すでにマッピングされている品質評価値と同じ位置で重なる場合は、重なる品質評価値の和を求め、求められた和を当該位置における品質評価値とすることが好ましい。
【００１５】
これは、撮影データの各位置において取得した品質指標値をその広がりに基づいてマッピングする際、その時点においてマッピングされる品質評価値がすでにマッピングされている品質評価値と同じ位置で重なる場合は、同じ位置で重なる品質評価値の和を求め、求められた和を当該位置における品質評価値とするものであり、このような処理を撮影データのすべての位置において行うことによって致命度マッピングデータが生成される。したがって、このような処理によって生成された致命度マッピングデータは、検査対象領域全体の様相の良し悪しの程度を適切に表すものとなり、致命度マッピングデータから検査対
象の品質の程度を適切に評価することができる。
【００１６】
（４）前記（２）に記載の品質検査方法においては、前記品質検査処理が複数種類存在し、前記複数種類の品質検査処理を所定の順序で実行する場合、前記複数種類の品質検査処理のうちの現在実行中の品質検査処理の前記致命度マッピングデータ生成ステップは、前記現在実行中の品質検査処理により取得された前記品質評価値を前記広がり値に基づいてマッピングし、当該マッピングを行う際は、前記現在実行中の品質検査処理により取得された品質評価値と現在実行中の品質検査処理よりも前の品質検査処理で生成された致命度マッピングデータの対応する位置の品質評価値との和を求め、求められた和を当該位置における品質評価値とすることが好ましい。
【００１７】
これは、複数種類の品質検査処理を所定の順序で実行する場合であって、この場合は、現在実行中の品質検査処理において、撮影データの各位置で取得した品質指標値をその広がりに基づいてマッピングする際、現在実行中の品質検査処理により取得された品質評価値とそれより前の品質検査処理で生成された致命度マッピングデータの対応する位置の品質評価値との和を求め、求められた和を当該位置における品質評価値とするものであり、このような処理を撮影データのすべての位置で行い、かつ、複数種類の品質検査処理ごとに順次行うことによって複数種類の品質検査処理全体の致命度マッピングデータが生成される。
【００１８】
したがって、このような処理によって生成された複数種類の品質検査処理全体の致命度マッピングデータは、検査対象領域全体の様相について、複数種類の品質検査に基づく良し悪しの程度を表すものとなるため、致命度マッピングデータから検査対象の品質の程度をより適切に評価することができる。
なお、複数種類の品質検査処理全体の致命度マッピングデータだけではなく、複数種類の品質検査処理の個々の品質検査処理ごとの致命度マッピングデータを生成してそれを保持することも可能である。
【００１９】
（５）前記（３）または（４）に記載の品質検査方法においては、前記致命度マッピングデータ生成ステップは、前記品質評価値を前記広がり値に基づいてマッピングする過程において、現時点においてマッピングすべき品質評価値と当該品質検査処理の合否を判定するための閾値とを比較し、比較した結果に基づき前記品質検査処理を不合格と判定した場合は、それよりも後の品質検査処理を取りやめることが好ましい。
【００２０】
前記閾値は品質検査処理の合否を判定するための閾値であって、例えば、ある位置において求められた品質評価値が閾値以上である場合には当該品質検査処理を不合格であるとする。すなわち、品質評価値が閾値以上となった場合には、当該検査対象は製品としての合格基準を満たすものではないと判定することができる。したがって、ある位置において求められた品質評価値が閾値以上である場合には当該品質検査処理を不合格であるとし、不合格と判定した場合には、それより後の品質検査処理を取りやめるようにする（致命度の取得や致命度マッピング処理なども行わない）。このような処理を行うことにより、品質検査処理を高速化することができる。
【００２１】
なお、品質検査処理において不合格の判定がなされることなく当該品質検査処理がすべて実行されれば、当該品質検査処理における致命度マッピングデータが生成され、生成された致命度マッピングデータは、検査対象領域の各位置における致命度（品質に与える影響の度合いを示す値）が対応付けられたものとなり、単に検査対象領域の良否を判定するためのデータではなく、検査対象領域の様相の良し悪しの程度を表すものとなる。
【００２２】
（６）前記（２）〜（５）のいずれかに記載の品質検査方法においては、前記品質評価
値及び前記広がり値は、前記品質検査処理結果と前記品質評価値及び前記広がり値とが対応付けられた致命度参照テーブルから前記品質検査処理結果に基づいて取得することが好ましい。
このような致命度参照テーブルを用意することによって、品質検査処理用演算データにより求められた品質検査処理結果から致命度としての品質評価値と広がり値を容易に取得することができる。
【００２３】
（７）本発明の品質検査装置は、検査対象領域を撮影して得られた撮影データに基づいて所定の品質検査処理を施すことにより前記検査対象領域の品質を検査する品質検査装置であって、前記品質検査処理に対応した品質検査処理用演算データを用いて前記撮影データの各位置における品質検査処理結果を算出する品質検査処理結果算出部と、前記各位置における品質検査処理結果に基づいて前記品質に与える影響の大きさの合いを示す致命度を取得し、前記検査対象領域を写像するデータマッピング領域の前記撮影データの各位置に対応する位置を特定し、前記データマッピング領域上での撮影データの各位置に対応する位置へ前記致命度をマッピングして致命度マッピングデータを生成する致命度マッピングデータ生成部とを有することを特徴とする。
【００２４】
このような構成を有することによって、前記（１）の品質検査方法を実現することができ、前記（１）に記載の品質検査方法と同様の効果を得ることができる。なお、（６）に記載の品質検査装置においても、（２）〜（６）の品質検査方法と同様の特徴を有することが好ましい。
【００２５】
（８）本発明の品質検査プログラムは、検査対象領域を撮影して得られた撮影データに基づいて所定の品質検査処理を施すことにより前記検査対象領域の品質を検査する品質検査装置に前記品質検査処理を実行させるための品質検査プログラムであって、前記品質検査処理に対応した品質検査処理用演算データを用いて前記撮影データの各位置における品質検査処理結果を算出する品質検査処理結果算出ステップと、前記各位置における品質検査処理結果に基づいて前記品質に与える影響の大きさの度合いを示す致命度を取得する致命度取得ステップと、前記検査対象領域を写像するデータマッピング領域の前記撮影データの各位置に対応する位置を特定し、前記データマッピング領域上での撮影データの各位置に対応する位置へ前記致命度をマッピングして致命度マッピングデータを生成する致命度マッピングデータ生成ステップとを有することを特徴とする。
【００２６】
このような品質検査プログラムを品質検査装置に実行させることによって、前記品質検査装置では、前記品質検査処理結果算出ステップ、致命度取得ステップ、致命度マッピングデータ生成ステップを実行することができる。それによって、致命度マッピングデータを生成することができ、前記（１）に記載の品質検査方法と同様の効果を得ることができる。なお、（８）に記載の品質検査プログラムにおいても、（２）〜（６）の品質検査方法と同様の特徴を有することが好ましい。
【００２７】
（９）本発明の品質評価方法は、前記（２）〜（６）のいずれかに記載の品質検査方法によって生成された致命度マッピングデータに基づいて検査対象領域の品質評価を行う品質評価方法であって、前記致命度マッピングデータにマッピングされた品質評価値の代表値を求めるステップと、求められた代表値の大きさに基づいて前記致命度マッピングデータ評価結果を取得し、取得した致命度マッピングデータ評価結果に基づいて前記検査対象領域の品質評価結果を出力するステップとを有することを特徴とする。
【００２８】
このような品質評価処理を行うことにより、単に検査対象領域の良否を判定するだけではなく、検査対象領域の様相の良し悪しの程度を表す評価結果を取得することができる。これにより、検査対象領域をランク付けすることも可能となり、例えば、精度が要求され
る箇所には、その検査対象領域において品質のランクが高かった検査対象を使用するというように、品質のランクに応じて検査対象を振り分けるといったことも可能となる。
【００２９】
（１０）前記（９）に記載の品質評価方法においては、前記代表値は、前記致命度マッピングデータにマッピングされた品質評価値の最大値、前記致命度マッピングデータにマッピングされた品質評価値の総和、前記致命度マッピングデータにマッピングされた品質評価値の標準偏差、前記致命度マッピングデータにマッピングされた品質評価値の中央値のいずれかであることが好ましい。
【００３０】
生成された致命度マッピングデータの代表値をこのように設定することによって、設定された代表値は、当該致命度マッピングデータに対応する検査対象領域全体の評価を適切に表すものとなる。
【００３１】
（１１）前記（９）または（１０）に記載の品質評価方法においては、前記致命度マッピングデータ評価結果は、前記代表値と致命度マッピングデータ評価結果とが対応付けられた致命度評価テーブルから前記代表値に基づいて取得することが好ましい。
【００３２】
このような品質ランク参照テーブルを用意することによって、生成された致命度マッピングデータの代表値から容易に致命度マッピングデータ評価結果を取得することができ、取得した致命度マッピングデータ評価結果に基づいて検査対象領域の品質評価結果を出力する。
【００３３】
（１２）本発明の品質評価装置は、（２）〜（６）のいずれかに記載の品質検査方法によって生成された致命度マッピングデータに基づいて検査対象領域の品質評価を行う品質評価装置であって、前記致命度マッピングデータにマッピングされた品質評価値の代表値を求め、求められた代表値の大きさに基づいて前記致命度マッピングデータ評価結果を取得し、取得した致命度マッピングデータ評価結果に基づいて前記検査対象領域の品質評価結果を出力する品質評価処理部を有することを特徴とする。
【００３４】
このような構成を有することにより、前記（９）の品質評価方法と同様の効果が得られる。なお、本発明の品質評価装置においても、前記（１０）及び（１１）の品質評価方法と同様の特徴を有することが好ましい。
【００３５】
（１３）本発明のプロジェクタは、光変調素子として赤・緑・青の各色に対応した液晶パネルを用いたプロジェクタであって、前記赤・緑・青の各色に対応した液晶パネルとして、前記（９）〜（１１）のいずれかに記載の品質評価方法により出力された品質評価結果に基づいて選定された液晶パネルが用いられたことを特徴とする。
【００３６】
３板式のプロジェクタにおいては、赤・緑・青の各色に対応する液晶パネルに要求される品質の高さは、緑用の液晶パネル、赤用の液晶パネル、青用の液晶パネルの順であるのが一般的である。このため、この種のプロジェクタに用いる液晶パネルを検査対象として品質検査した結果、品質に多少のバラツキがある場合には、評価結果の高い順に緑用、赤用、青用にそれぞれの液晶パネルを振り分けることが好ましい。
【００３７】
本発明のプロジェクタは、前記（９）〜（１１）のいずれかに記載の品質評価方法により出力された品質評価結果に基づいて、赤・緑・青の各色の品質の要求度に応じた品質を有する液晶パネルが用いられているため、性能的にも優れたプロジェクタとなる。また、本発明のプロジェクタは、品質にバラツキのある液晶パネルを適材適所として利用することができるので、品質検査後における様々な品質評価結果の液晶パネルを有効利用することができるといった効果も得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３８】
以下、本発明の実施形態について説明する。
[実施形態１]
まず、検査対象となる製品などの品質検査(本発明の実施形態では外観検査とする)を行うために所定の検査対象領域を撮影して得られた撮影データから、ある１つの種類の外観検査処理（外観検査処理Ａとする）を行う場合について説明する。
【００３９】
図１は実施形態１に係る外観検査処理Ａについて説明する図である。図１（ａ）は検査対象となる製品などの外観検査を行うために、所定の検査対象領域を撮影して得られた撮影データを示す図であり、この撮影データに基づいて、外観検査処理Ａを行う。
【００４０】
外観検査処理Ａは、外観検査処理Ａに対応して設定された品質検査処理用演算データ(本発明の実施形態では外観検査処理用演算データＤＡとしている)によって品質検査処理結果（本発明の実施形態では外観検査処理結果としている）を算出する。外観検査処理Ａに対応して設定された外観検査処理用演算データＤＡとしては下記（１）式を用いるものとする。
【００４１】
なお、図１において、マトリクス状に配置された各マス目は、撮影データのある１つの位置を表し、各位置を左端からｘ軸方向にｉ＝０，１，２，３，・・・で表し、上端からｙ軸方向にｊ＝０，１，２，３，・・・で表すものとする。これは、後に説明する他の図面においても同様である。
【００４２】
【数１】
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なお、（１）式におけるΦは、各位置（ｉ＝０，１，２，・・・，ｊ＝０，１，２，・・・）の値（０〜２５５の範囲のとする）を表す。また、（１）式において、Φｉ，ｊは、注目する位置（注目位置という）の値であるとする。
【００４３】
図１（ｂ）は図１（ａ）の各位置について（１）式を計算して得られた外観検査処理Ａにおける外観検査処理結果ΦＡを示すものである。図１に示す撮影データの各位置ｉ，ｊにおいて、（１）式を計算すると、各位置ｉ，ｊの外観検査処理結果ΦＡは図１（ｂ）のように求められる。
【００４４】
なお、（１）式によって求められる外観検査処理結果ΦＡを示す値は、注目位置の値と当該注目位置周辺の値との隔たりの大きさを示すものであり、求められる値が大きいほど、撮影データにおける注目位置の値は、当該注目位置周辺の値と隔たりが大きく、品質に何らかの影響を与える可能性があることを示す。
【００４５】
図１の例では、「ｉ＝１，ｊ＝１」における外観検査処理結果ΦＡは「１２７」、「ｉ＝３，ｊ＝１」における外観検査処理結果ΦＡは「９５」、「ｉ＝１，ｊ＝３」における外観検査処理結果ΦＡは「１５９」、「ｉ＝３，ｊ＝３」における外観検査処理結果ΦＡは「１９１」と求められ、これらは、周囲の位置の値よりも大きな隔たりを有していることが図１（ａ）に示す撮影データからもわかる。
【００４６】
図２は外観検査処理Ａにおいて致命度マッピングデータを生成する処理について説明する図である。図２（ａ）は外観検査処理結果ΦＡであり、これは図１（ｂ）と同じもので
ある。図２（ｂ）は外観検査処理Ａ用の致命度参照テーブルＴＡであり、外観検査処理結果ΦＡに対応した致命度が示されている。なお、致命度は品質に与える影響の大きさの度合いを示すもので、品質を評価する際の指標となる値（品質評価値という）と当該品質評価値の広がりの大きさを示す値（広がり値という）で表わされる。
【００４７】
図２（ｂ）に示す例においては、（１）式によって求められた外観検査処理結果ΦＡの大きさが「ΦＡ＜０」、「０≦ΦＡ＜９６」、「９６≦ΦＡ＜１４４」、「１４４≦ΦＡ＜１９２」、「ΦＡ≧１９２」のどの範囲に属するかによって、致命度を表す「品質評価値」と「広がり値」とが設定されている。
【００４８】
図２（ｂ）の例では、「ΦＡ＜０」では品質評価値が「０」、広がり値が「０」、「０≦ΦＡ＜９６」では品質評価値が「０．１」、広がり値が「１」、「９６≦ΦＡ＜１４４」では品質評価値が「０．２」、広がり値が「２」、「１４４≦ΦＡ＜１９２」では品質評価値が「１．０」、広がり値が「５」、「ΦＡ≧１９２」では品質評価値が「１．５」、広がり値が「１０」と設定されている。
【００４９】
図２（ｃ）は致命度参照テーブルＴＡを参照することによって取得された致命度（品質評価値と広がり値）に基づいて生成された致命度マッピングデータ（致命度マッピングデータＭＡという）であり、この致命度マッピングデータＭＡの生成手順について図３及び図４によって説明する。
【００５０】
図３は致命度参照テーブルＴＡを参照することによって取得された品質評価値を、検査対象領域を写像するデータマッピング領域にマッピングした例を示す図である。なお、検査対象領域を写像するデータマッピング領域（致命度マッピング領域という）は、図１（ａ）に示す撮影データに対応するもので、致命度マッピング領域の各位置は、撮影データの各位置に対応している。
【００５１】
致命度マッピングデータを生成する際は、外観検査処理結果ΦＡ（図２（ａ）参照）におけるｉ＝０，ｊ＝０の位置から図示の右方向へｉ＝４，ｊ＝０まで進み、次に、ｉ＝０，ｊ＝１の位置から同じく図示の右方向へｉ＝４，ｊ＝１まで進むというようなラインスキャンを行いながら、各位置のその時点における外観検査処理結果で致命度参照テーブルＴＡを参照して、致命度（品質評価値と広がり値）を取得し、取得した品質評価値をその広がり値に基づいて致命度マッピング領域にマッピングする処理を行う。
【００５２】
なお、外観検査処理結果ΦＡが、「ΦＡ＜０」である場合は致命度参照テーブルＴＡによれば、品質評価値が「０」、広がり値が「０」であるので、致命度マッピング領域には当該位置のみに「０」がマッピングされるだけであるので、ここでは、外観検査処理結果ΦＡが致命度参照テーブルＴＡにおける「０≦ΦＡ＜９６」、「９６≦ΦＡ＜１４４」、「１４４≦ΦＡ＜１９２」、「ΦＡ≧１９２」に属する場合について説明を行う。
【００５３】
ここで、外観検査処理結果ΦＡ（図２（ａ）参照）における位置ｉ＝１，ｊ＝１に注目すると、位置ｉ＝１，ｊ＝１における外観検査処理結果ΦＡは、ΦＡ＝１２７であり、このΦＡ＝１２７で致命度参照テーブルＴＡを参照すると、致命度を表す品質評価値「０．２」、広がり値「２」が取得される。したがって、図３（ａ）に示すように、注目する位置（注目位置という）ｉ＝１，ｊ＝１（太い実線の枠で示す）を中心にして、太い破線で示す枠内で、かつ、致命度マッピング領域内に品質評価値「０．２」をマッピングする。
【００５４】
なお、ここでは、広がり値で表される領域は正方形であるとしている。そして、広がり値「２」というのは、注目位置に隣り合う位置からｘ，ｙ軸方向にそれぞれ２つの位置だけ広げた正方形の範囲としている。すなわち、広がり値をｎ（ｎ＝０，１，２，・・・）
で表わすとすれば、ｎ＝０の場合は、注目位置そのものであり、ｎ＝１，２，・・・の場合は注目位置を（ｘ，ｙ）とすれば、横方向（ｘ軸方向）に「-ｎ≦ｘ≦ｎ」、縦方向（ｙ軸方向）に「-ｎ≦ｙ≦ｎ」の範囲となる。なお、広がり値を示す領域は正方形以外にも、長方形、円形、三角形など種々考えられるが、処理の容易さから本発明の実施形態では正方形とする。
【００５５】
同様に、外観検査処理結果ΦＡ（図２（ａ）参照）における位置ｉ＝３，ｊ＝１に注目すると、位置ｉ＝３，ｊ＝１の外観検査処理結果ΦＡは、ΦＡ＝９５であり、このΦＡ＝９５で致命度参照テーブルＴＡを参照すると、致命度を示す品質評価値「０．１」、広がり値「１」を得ることができる。したがって、図３（ｂ）に示すように、注目する位置（注目位置という）ｉ，ｊ（太い実線の枠で示す）を中心にして、太い破線で示す枠内で、かつ、致命度マッピング領域内に値「０．１」をマッピングする。
【００５６】
また、外観検査処理結果ΦＡ（図２（ａ）参照）における位置ｉ＝１，ｊ＝３に注目すると、位置ｉ＝１，ｊ＝３の外観検査処理結果ΦＡは、ΦＡ＝１５９であり、このΦＡ＝１５９で致命度参照テーブルＴＡを参照すると、致命度を示す品質評価値「１．０」、広がり値「５」を得ることができる。したがって、図３（ｃ）に示すように、注目する位置（注目位置という）ｉ，ｊ（太い実線の枠で示す）を中心にして、太い破線で示す枠内で、かつ、致命度マッピング領域内に値「１．０」をマッピングする。
【００５７】
同様に、外観検査処理結果ΦＡ（図２（ａ）参照）における位置ｉ＝３，ｊ＝３に注目すると、位置ｉ＝３，ｊ＝３の外観検査処理結果ΦＡは、ΦＡ＝１９１であり、このΦＡ＝１９１で致命度参照テーブルＴＡを参照すると、致命度を示す品質評価値「１．０」、広がり値「５」を得ることができる。したがって、図３（ｄ）に示すように、注目する位置（注目位置という）ｉ，ｊ（太い実線の枠で示す）を中心にして、太い破線で示す枠内で、かつ、致命度マッピング領域内に値「１．０」をマッピングする。
【００５８】
なお、図３（ａ），（ｃ），（ｄ）の場合は、広がり値で表される領域が致命度マッピング領域を一部で外れるか、または、致命度マッピング領域全体よりも広い範囲となるが、マッピング対象となるのは、致命度マッピング領域内だけである。
【００５９】
ここで、図３（ａ）〜（ｄ）において生成された各致命度マッピングデータにおいて、それぞれの位置でマッピングされる品質評価値が同じ位置で重なる場合は、重なる品質評価値の和を求め、求められた和を各位置における品質評価値とする。このような処理を行うことによって外観検査処理Ａにおける致命度マッピングデータＭＡ（図２（ｃ）参照）が生成される。
【００６０】
ところで、図２（ｃ）に示す致命度マッピングデータＭＡを生成する過程で、致命度マッピング領域にマッピングされる品質評価値と当該外観検査処理の合否判定用の閾値とを比較し、致命度マッピング領域にマッピングされる品質評価値が閾値以上である場合には、当該外観検査処理を不合格とし、その時点で当該外観検査処理を打ち切り、それより後の外観検査処理は取りやめるという処理を行うことが好ましい。これによって、無駄な外観検査処理を行わずに済み、外観検査処理の高速化が図れる。なお、このような処理を行う際に用いる閾値を「１．０」とし、「品質評価値≧１．０」である場合には、当該外観検査処理Ａを不合格とする。
【００６１】
図４は致命度マッピングデータ生成手順を説明するフローチャートである。また、図５は致命度マッピングデータ生成手順の具体例について説明する図である。
致命度マッピングデータ生成手順は、図４のフローチャートに示すように、致命度マッピング処理と致命度マッピングデータ判定処理とがあり、これら致命度マッピング処理と
致命度マッピングデータ判定処理は相互に同期を取りながら行われる。まず、図４により致命度マッピングデータの生成手順についての全体的な処理の流れについて説明し、その後で図５により致命度マッピングデータの生成手順についての具体例について説明する。
【００６２】
図４に示すフローチャートにおいて、致命度マッピング処理側の処理として、まず、致命度参照テーブル（図２（ｂ）参照）と、この時点において生成されている致命度マッピングデータがあればその致命度マッピングデータと、外観検査処理結果（図２（ａ）参照）とをそれぞれ取得する（ステップＳ１〜Ｓ３）。
【００６３】
そして、検査対象領域全体に対して致命度（品質評価値と広がり値）を更新したか否かを判定する(ステップＳ４)。判定の結果、検査対象領域全体に対して致命度が更新されていなければ、現在位置の外観検査処理結果から致命度参照テーブルを参照して（ステップＳ５）、当該位置における致命度（品質評価値と広がり値）を取得し、取得した現在位置の品質評価値と直前の致命度マッピングデータの対応する位置における品質評価値との和を広がり値に基づいて求め、求められた和を現在位置の最新の品質評価値とし、当該最新の品質評価値を広がり値とともに現在位置の最新の致命度として致命度マッピングデータ判定処理側に送信する（ステップＳ６）。
【００６４】
致命度マッピングデータ判定処理側では、まずは、合否判定用の閾値を取得する(ステップＳ２１)。そして、致命度の受信待機状態（ステップＳ２２，Ｓ２３）において、致命度を受信すると、受信した致命度（品質評価値）と閾値との比較を行い（ステップＳ２４）、それによって現時点における致命度（品質評価値）が閾値以上であるか否かの判定結果を致命度マッピング処理側に送信する（ステップＳ２５）。
【００６５】
なお、致命度が閾値以上であるか否かの判定は、具体的には、品質評価値とこの場合の閾値「１．０」とを比較し、品質評価値≧１．０であるか否かを判定するものである。そして、致命度マッピングデータ判定処理側は、「品質評価値≧閾値」を示すデータ、または、「品質評価値＜閾値」を示すデータを判定結果として致命度マッピングデータに送信する。
【００６６】
致命度マッピング処理側では、判定結果受信待機状態（ステップＳ７，Ｓ８）において、致命度マッピングデータ判定処理側からの判定結果を受信すると、受信した判定結果の内容を確認して（ステップＳ９）、判定結果が品質評価値＜１．０であれば、新たに得られた致命度で現在位置の致命度マッピングデータを更新し（ステップＳ１０）、現在位置を次の位置にシフトして（ステップＳ１１）、ステップＳ４に戻る。一方、ステップＳ９において、判定結果が品質評価値≧１．０であれば、現在実行中の外観検査処理を不合格とし、それよりも後の外観検査処理を取りやめる。
【００６７】
また、ステップＳ４において、検査対象領域全体の致命度を更新したか否かを判定した結果、検査対象領域全体の致命度が更新されていれば、当該外観検査処理終了までの間、致命度マッピングデータ判定処理側において、「品質評価値≧閾値」の判定がなく、検査対象領域全体において致命度の更新がなされたということになるので、当該検査対象領域全体における外観検査処理は「合格」であるとして処理を終了し、その時点で生成されている致命度マッピングデータが当該検査対象領域に対応する致命度マッピングデータとなる。
【００６８】
次に、図５を用いて図４に示したフローチャートに沿った致命度マッピングデータの生成手順の具体例について説明する。ここでは、これまでに生成された致命度マッピングデータがなく、最初の致命度マッピングデータ生成処理であるとする。位置ｉ＝０，ｊ＝０において図４のステップＳ５，Ｓ６を行うと、当該位置における外観検査処理結果ΦＡは
「−１６」（図２（ａ）参照）であるので、致命度参照テーブルＴＡから致命度として品質評価値「０」、広がり値「０」が取得され、取得された致命度が致命度マッピングデータ判定処理側に送信される。
【００６９】
致命度マッピングデータ判定処理側では、送信されてきた致命度の品質評価値と閾値「１．０」とを比較し、この場合、品質評価値「０」は閾値「１．０」より小さいので、「品質評価値＜閾値」を判定結果として致命度マッピング処理側に送信する（ステップＳ２１〜Ｓ２５）。
【００７０】
致命度マッピング処理側では、送信されてきた判定結果により、「品質評価値＜閾値」であることを確認し、その時点の致命度（品質評価値「０」、広がり値「０」）を現在位置の致命度とする。この場合は、位置ｉ＝０，ｊ＝０においては、品質評価値「０」が広がり値「０」でマッピングされる。
【００７１】
そして、次の位置にシフトして、同様の処理を行う。なお、本発明の実施形態では、ｉ＝０，ｊ＝０の位置から図示の右方向へラインスキャンしながら処理を行うとしているので、次の位置は、ｉ＝１，ｊ＝０の位置であり、当該位置ｉ＝１，ｊ＝０において、ステップＳ５以降の処理を上記同様に行う。位置ｉ＝１，ｊ＝０においても、品質評価値「０」が広がり値「０」でマッピングされる。同様に、位置ｉ＝２，ｊ＝０から位置ｉ＝０，ｊ＝１までは各位置において、品質評価値「０」が広がり値「０」でマッピングされる。
【００７２】
続いて、位置ｉ＝１，ｊ＝１において同様の処理を行うと、当該位置における外観検査処理結果ΦＡは「１２７」（図２（ａ）参照）であるので、致命度参照テーブルＴＡから致命度として品質評価値「０．２」、広がり値「２」が取得される。そして、取得された現在位置の品質評価値「０．２」と直前の致命度マッピングデータの対応する位置の品質評価値「０」との和を、広がり値「２」の範囲でかつ致命度マッピング領域内におけるラインスキャンのスタート位置から求め、求められた和「０．２」を広がり値「２」とともに致命度として致命度マッピングデータ判定処理側に送信する。
【００７３】
致命度マッピングデータ判定処理側では、送信されてきた致命度からその品質評価値「０．２」と閾値「１．０」とを比較し、判定結果を致命度マッピング処理側に送信する（ステップＳ２１〜Ｓ２５）。この場合も、最新の品質評価値「０．２」は閾値「１．０」より小さいので、「品質評価値＜閾値」を判定結果として致命度マッピング処理側に送信する。
【００７４】
致命度マッピング処理側では、送信されてきた判定結果が「品質評価値＜閾値」であることを確認し、その時点の品質評価値「０．２」で当該位置における致命度（品質評価値）を更新する。このような処理を広がり値「２」の範囲でラインスキャンしながら順次行うと、この時点における致命度マッピングデータは図５（ａ）に示すような値がマッピングされたものとなる。
【００７５】
続いて、位置ｉ＝２，ｊ＝１において同様の処理を行うと、当該位置における外観検査処理結果ΦＡは「−２８」（図２（ａ）参照）であり、致命度参照テーブルＴＡから品質評価値「０」と広がり値「０」が取得されるので、この場合は、致命度マッピングデータは図５（ａ）の状態が保持される。
【００７６】
続いて、位置ｉ＝３，ｊ＝１において同様の処理を行うと、当該位置における外観検査処理結果ΦＡは「９５」（図２（ａ）参照）であるので、致命度参照テーブルＴＡから致命度として品質評価値「０．１」、広がり値「１」が取得される。そして、取得された現在位置の品質評価値「０．１」と直前の致命度マッピングデータの対応する位置の品質評
価値「０．２」（図５（ａ）参照）との和を、広がり値「１」の範囲でかつ致命度マッピング領域内におけるラインスキャンのスタート位置から求め、求められた和「０．３」を広がり値「２」とともに致命度として致命度マッピングデータ判定処理側に送信する。
【００７７】
致命度マッピングデータ判定処理側では、送信されてきた致命度「０．３」と閾値「１．０」とを比較し、その判定結果を致命度マッピング処理側に送信する（ステップＳ２１〜Ｓ２５）。この場合も、最新の品質評価値「０．３」は閾値「１．０」より小さいので、「品質評価値＜閾値」を判定結果として致命度マッピング処理側に送信する。
【００７８】
致命度マッピング処理側では、送信されてきた判定結果が「品質評価値＜閾値」であることを確認し、その時点の品質評価値「０．３」によって当該位置の致命度（品質評価値）を更新する。このような処理を広がり値「１」の範囲でラインスキャンしながら順次行うと、この時点における致命度マッピングデータは図５（ｂ）に示すような値がマッピングされたものとなる。
【００７９】
続いて、位置ｉ＝４，ｊ＝１において同様の処理を行うと、当該位置における外観検査処理結果ΦＡは「−１２」であり、致命度参照テーブルＴＡから品質評価値「０」、広がり値「０」が取得されるので、この場合は、致命度マッピングデータは図５（ｂ）の状態が保持される。同様に、位置ｉ＝０，ｊ＝２から位置ｉ＝０，ｊ＝３までは、各位置において致命度参照テーブルから致命度として値「０」、広がり「０」が取得されるので、この場合も、致命度マッピングデータは図５（ｂ）の状態が保持される。
【００８０】
続いて、位置ｉ＝１，ｊ＝３において同様の処理を行うと、当該位置における外観検査処理結果ΦＡは「１５９」（図２（ａ）参照）であり、致命度参照テーブルＴＡから致命度として品質評価値「１．０」、広がり値「５」が取得される。そして、取得された現在位置の品質評価値「１．０」と直前の致命度マッピングデータの対応する位置（図５（ｂ）参照）の品質評価値との和を、広がり値「５」の範囲でかつ致命度マッピング領域内におけるラインスキャンのスタート位置から求める。
【００８１】
この場合、図５（ｃ）に示すように、ラインスキャンのスタート位置であるｉ＝０，ｊ＝０の位置において求められた和は「１．２」となり（図５（ｃ）においてアンダラインが付されている品質評価値）、求められた和「１．２」を広がり値「５」とともに致命度として致命度マッピングデータ判定処理側に送信する。
【００８２】
致命度マッピングデータ判定処理側では、送信されてきた致命度と閾値「１．０」とを比較すると、この場合は、致命度の品質評価値「１．２」は閾値「１．０」以上となり、「品質評価値≧閾値」を判定結果として致命度マッピング処理側に送信する。
【００８３】
致命度マッピング処理側では、送信されてきた判定結果が「品質評価値≧閾値」であることを確認し、当該外観検査処理を「不合格」として、それより後の外観検査処理を取りやめる（外観検査処理結果に基づく致命度参照テーブルの参照及び致命度マッピング領域へのマッピングも行わない）。
【００８４】
このように、「品質評価値≧閾値」である場合には、品質に与える影響が致命的であるとして、それより後の外観検査処理を行わないようにする。これにより、無駄な外観検査処理を行わなくて済み外観検査処理の効率化が図れ、外観検査処理を高速に行うことができる。
【００８５】
一方、現在実行中の外観検査処理の致命度マッピングデータ生成過程において、当該外観検査処理終了まで不合格と判定されることなく、検査対象領域全体に対する致命度マッ
ピング処理がなされた場合には、その致命度マッピング処理によって生成された致命度マッピングデータは、当該検査対象領域全体の品質の程度を表すものとなる。すなわち、検査対象領域全体の致命度マッピングデータに示される各位置における数値は品質の度合いを表す評価値として用いることができるので、単に品質の良否だけでなく、外観の様相をきめ細かく表すものとなる。
【００８６】
図６は本発明の実施形態に係る品質検査装置（本発明の実施形態では外観検査装置としている）の構成を示す図である。
図６に示す外観検査装置において必要なデータとして、撮影データＤ１０、品質検査処理用データ（本発明の実施形態においては外観検査処理用データＤ２０としている）、致命度マッピング処理用データＤ３０、合否判定用の閾値Ｄ４０を有し、また、外観検査装置が行う外観検査処理において生成されるデータは致命度マッピングデータＤ５０である。なお、複数種類の外観検査処理（例えば、外観検査処理Ａ、外観検査処理Ｂ、・・・）を行う場合は、外観検査処理Ａ、外観検査処理Ｂ、・・・ごとの致命度マッピングデータＤ６０として、各外観検査処理の致命度マッピングデータＭＡ、致命度マッピングデータＭＢ、・・・を生成することも可能である。
【００８７】
外観検査処理用データＤ２０は、複数種類の外観検査処理（例えば、外観検査処理Ａ、外観検査処理Ｂ、・・・など）を行う際に用いる品質検査処理用演算データ（本発明の実施形態では外観検査処理用演算データとしている）であり、各外観検査処理に対応して適切な外観検査処理用演算データ（外観検査処理用演算データＤＡ、外観検査処理用演算データＤＢ、・・・）が用意されている。例えば、外観検査処理Ａに対応する外観検査処理用演算データＤＡとしては（１）式が例示される。
【００８８】
致命度マッピング処理用データＤ３０は、致命度マッピング処理部１２１が致命度マッピング処理を行う際に必要なデータであり、複数種類の外観検査処理（例えば、外観検査処理Ａ、外観検査処理Ｂ、・・・など）に対応して用意された致命度参照テーブル（致命度参照テーブルＴＡ、致命度参照テーブルＴＢ、・・・）を有している。例えば、外観検査処理Ａに対応する致命度参照テーブルＴＡとしては図２（ｂ）が例示される。
【００８９】
また、図６に示す外観検査装置の構成要素としては、外観検査処理用データＤ２０を用いて外観検査処理結果を算出する品質検査処理結果算出部（本発明の実施形態では外観検査処理結果算出部１１０としている）と、致命度マッピングデータ生成部１２０と、外観検査処理結果バッファ１３０とを有している。なお、致命度マッピングデータ生成部１２０は、致命度マッピング処理部１２１と致命度マッピングデータ判定処理部１２２とを有している。
【００９０】
致命度マッピング処理部１２１は、致命度マッピングデータ判定処理部１２２の処理と同期を取りながら図４のフローチャートにおけるステップＳ１〜Ｓ１１に示す処理手順に沿った処理を行う。
【００９１】
また、致命度マッピングデータ判定処理部１２２は、致命度マッピング処理部１２１の処理と同期を取りながら図４のフローチャートにおけるステップＳ２１〜Ｓ２５に示す処理手順に沿った処理を行う。このとき、合否判定用の閾値Ｄ４０を用いる。
【００９２】
なお、致命度マッピング処理部１２１が致命度マッピング処理を行う際、致命度マッピングデータ判定処理部１２２からの判定結果として「品質評価値≧閾値」を受け取ることなく、当該外観検査処理の最終段階まで致命度マッピング処理を行った場合には、その致命度マッピング処理によって生成された致命度マッピングデータが当該外観検査処理の致命度マッピングデータＤ５０として出力される。
【００９３】
また、複数種類の外観検査処理によって生成された各外観検査処理の致命度マッピングデータ（例えば、致命度マッピングデータＭＡ、致命度マッピングデータＭＢ、・・・など）を各外観検査処理の致命度マッピングデータＤ６０として保持することもできる。
【００９４】
外観検査処理結果算出部１１０は、外観検査処理用データＤ２０と撮影データＤ１０（例えば図１（ａ）参照）とを用いて外観検査処理結果（例えば、外観検査処理Ａに対しては外観検査処理結果ΦＡ）を算出する。外観検査処理結果算出部１１０によって得られた外観検査処理結果は外観検査処理結果バッファ１３０に一時的に保持される。
【００９５】
図７は図６に示す外観検査装置が行う外観検査処理の全体的な処理手順を示すフローチャートである。図７において、まず、実行すべき外観検査処理をすべて実行したかを判定し（ステップＳ３１）、すべて実行していなければ、現時点で未実行な外観検査処理について外観検査処理結果算出を行い（ステップＳ３２）、得られた外観検査処理結果を外観検査処理結果バッファ１３０に保持する。
【００９６】
次に、外観検査処理結果バッファ１３０に保持された外観検査処理結果を用いて致命度マッピング処理用データＤ３０のうち現在実行中の外観検査処理に対応する致命度参照テーブルを参照しながら致命度マッピング処理と致命度マッピングデータ判定処理とを相互に同期を取りながら行う（ステップＳ３３，Ｓ３４）。なお、ステップＳ３３の致命度マッピング処理は、図４におけるステップＳ１〜Ｓ１１の処理、致命度マッピングデータ判定処理は、図４におけるステップＳ２１〜Ｓ２５の処理である。
【００９７】
そして、致命度マッピングデータ判定処理部１２２において「品質評価値≧閾値」の判定がなされることなく、致命度マッピング処理部１２１において当該外観検査処理全体の致命度マッピングデータが生成されれば、生成された致命度マッピングデータが当該外観検査処理の致命度マッピングデータＤ５０として出力される。
【００９８】
このようにして生成された致命度マッピングデータＤ５０に示される各位置における数値は当該外観検査処理を反映したものとなり、当該外観検査処理を行った結果としての品質の度合いを表す評価値として用いることができる。
【００９９】
[実施形態２]
実施形態２では複数種類の外観検査処理（外観検査処理Ａ、外観検査処理Ｂ、外観検査処理Ｃとする）を、外観検査処理Ａ、外観検査処理Ｂ、外観検査処理Ｃ、・・・の順序で行った場合について説明する。
【０１００】
図８は複数種類の外観検査処理を順次行った場合の致命度マッピングデータ生成処理について説明する図である。図８の撮影データに対して外観検査処理Ａ、外観検査処理Ｂ、外観検査処理Ｃを順次行うものとする。なお、図８における致命度マッピングデータＭＡ，ＭＢ，ＭＣは、それぞれの外観検査処理Ａ，Ｂ，Ｃにおいて、図４のフローチャートに示す処理手順によって生成することができる。
【０１０１】
図９は致命度マッピングデータＭＡ，ＭＢ，ＭＣにより生成された複数種類の外観検査処理全体の致命度マッピングデータを示す図である。図９（ａ）は外観検査処理Ａによって生成された致命度マッピングデータＭＡ、図９（ｂ）は外観検査処理Ｂによって生成された致命度マッピングデータＭＢ、図９（ｃ）は外観検査処理Ｃによって生成された致命度マッピングデータＭＣであり、これらの致命度マッピングデータＭＡ，ＭＢ，ＭＣの対応する位置の和をとることによって複数種類の外観検査処理全体の致命度マッピングデータ（図９（ｄ）参照）を生成することができる。
【０１０２】
このような複数種類の外観検査処理全体の致命度マッピングデータを生成する過程で、実施形態１と同様、致命度マッピングデータ判定処理部１２２により、各位置における致命度の品質評価値と閾値との比較処理を行い、閾値以上の品質評価値が存在すれば、品質に与える影響が致命的であるとしてその時点で当該外観検査処理を不合格とし、それより後の外観検査処理を取りやめるようにする。このような処理を行うことにより、複数種類の外観検査処理全体の処理の高速化が図れる。
【０１０３】
図１０は複数種類の外観検査処理全体の致命度マッピングデータ生成処理の具体例について説明する図である。この場合も、実施形態１と同様に、合否判定用の閾値を「１．０」とする。なお、この場合の閾値は、複数種類の外観検査処理全体の合否を決定する閾値であり、致命度の品質評価値が閾値「１．０」以上である場合には、当該複数種類の外観検査処理において不合格とする。なお、実施形態２に係る外観検査方法における致命度マッピングデータ生成処理手順も図４のフローチャートに沿って実行することが可能である。
【０１０４】
ここでは、外観検査処理Ａによる致命度マッピングデータＭＡと外観検査処理Ｂによる致命度マッピングデータＭＢとが足し合わされて生成された致命度マッピングデータ（図１０（ａ）参照）に、外観検査処理Ｃにより取得される致命度（図１０（ｂ）参照）をラインスキャンしながら順次足し合わせて行く例について説明する。すなわち、外観検査処理Ａ、外観検査処理Ｂ、外観検査処理Ｃを順次実行する場合において、外観検査処理Ｂまでは、それぞれの外観検査処理において不合格は発生せず、外観検査処理Ａによる致命度マッピングデータＭＡと外観検査処理Ｂによる致命度マッピングデータＭＢとが足し合わされた致命度マッピングデータ（図１０（ａ）参照）が生成されているものとする。
【０１０５】
この状態において、外観検査処理Ｃにおける各位置の外観検査処理結果ΦＣ（図示せず）を用いて、各位置に致命度参照テーブルＴＣ（図示せず）から致命度（品質評価値と広がり値）を取得する処理が開始されたとする。このときも、ｉ＝０，ｊ＝０の位置から右方向へｉ＝４，ｊ＝４までのラインスキャンを行いながら、致命度（品質評価値と広がり値）と前回までに生成された致命度マッピングデータの同じ位置の和をとって閾値と比較する処理（図４のフローチャート参照）を行う。
【０１０６】
このような処理を行うと、外観検査処理Ｂまでに生成された致命度マッピングデータ（図１０（ａ）参照）のｉ＝３，ｊ＝１の位置の品質評価値「０．５」（図１０（ａ）においてアンダラインが付されている品質評価値）と、外観検査処理Ｃにおいて致命度参照テーブルＴＣより取得されたｉ＝３，ｊ＝１の位置の値「０．６」（図１０（ｂ）においてアンダラインが付されている品質評価値）との和が「１．１」となり、これは閾値「１．０」以上となるので、複数種類の外観検査処理全体を不合格として以降の外観検査処理を取りやめる。
【０１０７】
このように、ある製品に対する複数種類の外観検査処理を順次行うことによって複数種類の外観検査処理全体の致命度マッピングデータ生成する際、複数種類の外観検査処理全体の致命度マッピングデータの生成過程において、それまでに生成された致命度マッピングデータと新たな外観検査処理により得られた致命度とを、ラインスキャンしながらそれぞれ対応する位置ごとに和を求め、求められた和が閾値以上であった場合、その時点で複数種類の外観検査処理全体を不合格として、以降の外観検査処理を取りやめるようにしている。このような処理を行うことにより、無駄な外観検査処理を行う必要がなくなり、外観検査処理の効率化が図れ、外観検査処理を高速化することができる。
【０１０８】
一方、複数種類の外観検査処理全体の致命度マッピングデータの生成過程において、最
終の外観検査処理まで不合格の判定がなく、複数種類の外観検査処理全体の致命度マッピングデータが生成された場合、その致命度マッピングデータに示される各位置における数値は複数種類の外観検査処理全体を反映したものとなり、複数種類の外観検査処理を行った結果としての品質の度合いを表す評価値として用いることができる。
【０１０９】
［実施形態３］
実施形態１及び実施形態２では外観検査処理結果に基づいて致命度マッピングデータを生成する処理について説明したが、実施形態３では、生成された致命度マッピングデータの評価を行うことによって検査対象領域の品質評価を可能とする品質評価方法について説明する。
【０１１０】
図１１は実施形態３に係る外観検査装置の構成を示す図である。図１１に示す外観検査装置において図６と同一構成要素には同一符号が付されている。図１１に示す外観検査装置が図６に示す外観検査装置と異なるのは、検査対象領域の品質評価処理を可能とする品質評価装置２００を有している点である。
【０１１１】
図１１において、品質評価装置２００は、検査対象領域の品質評価処理を行う品質評価処理部２１０を有し、また、品質評価処理部２１０が品質評価処理を行うために必要なデータとして致命度評価テーブルＤ８０を有している。
【０１１２】
品質評価処理部２１０は、実施形態１または実施形態２において生成された致命度マッピングデータＤ５０の各位置における品質評価値の代表値を求め、求められた代表値の大きさに基づいて致命度マッピングデータ評価結果を取得し、取得した致命度マッピングデータ評価結果に基づいて検査対象領域の品質評価結果を出力する。
【０１１３】
図１２は外観検査処理に品質評価処理を加えた場合の全体の処理手順を説明するフローチャートである。図１２に示すフローチャートにおいて、ステップＳ３１〜Ｓ３４は図７と同じ処理である。図１２に示すフローチャートが図７に示すフローチャートと異なるのは、品質評価処理（ステップＳ３５〜Ｓ３７）が付加されている点である。
【０１１４】
図１２において、品質評価処理の手順として、生成された致命度マッピングデータＤ５０と致命度評価テーブルＤ８０とに基づき、品質評価処理部２１０が致命度マッピングデータ評価処理を行い（ステップＳ３５）、致命度マッピングデータ評価結果を取得し（ステップＳ３６）、取得した致命度マッピングデータ評価結果に基づいて当該致命度マッピングデータに対応する検査対象領域の品質評価結果Ｄ７０を出力する（ステップＳ３７）。
【０１１５】
図１３は実施形態３に係る品質評価を行う際に用いる致命度評価テーブルの一例を示す図である。図１３に示す致命度評価テーブルは、生成された致命度マッピングデータの代表値から致命度マッピングデータ評価結果（単に評価結果という）の取得が可能なテーブルであり、図１３（ａ）に示すように、致命度マッピングデータの代表値を品質評価値の最大値とし、品質評価値の最大値に対する評価結果が取得可能な致命度評価テーブル（第１致命度評価テーブルという）と、図１３（ｂ）に示すように、致命度マッピングデータの代表値を品質評価値の総和とし、品質評価値の総和に対する評価結果が取得可能な致命度評価テーブル（第２致命度評価テーブルという）とが例示されている。
【０１１６】
図１３（ａ），（ｂ）に示す第１致命度評価テーブル及び第２致命度評価テーブルにおいては、評価結果として、品質の評価の高い順から「Ｓ」，「Ａ」，「Ｂ」，・・・で表している。
【０１１７】
第１致命度評価テーブルは、各致命度マッピングデータにおける品質評価値の最大値ζｍａｘが、「ζｍａｘ＜０．１」のときの評価結果を「Ｓ」、「０．１≦ζｍａｘ＜０．２」のときの評価結果を「Ａ」、「０．２≦ζｍａｘ＜０．３」のときの評価結果を「Ｂ」、「０．３≦ζｍａｘ＜０．４」のときの評価結果を「Ｃ」、「ζｍａｘ≧０．４」のときの評価結果を「Ｄ」としている。
【０１１８】
一方、第２致命度評価テーブルは、各致命度マッピングデータにおける品質評価値の総和Σζｎが、「Σζｎ＜２．０」のときの評価結果を「Ｓ」、「２．０≦Σζｎ＜３．０」のときの評価結果を「Ａ」、「３．０≦Σζｎ＜４．０」のときの評価結果を「Ｂ」、「４．０≦Σζｎ＜５．０」のときの評価結果を「Ｃ」、「Σζｎ≧５．０」のときの評価結果を「Ｄ」としている。
【０１１９】
図１４は品質評価処理を説明するために用いる致命度マッピングデータの例を示す図である。図１４に示すような致命度マッピングデータを図１３に示す致命度評価テーブルを用いて評価することによって、検査対象となる製品などの品質評価を行うことができる。
【０１２０】
図１４に示す致命度マッピングデータは、例えばプロジェクタなどに用いる液晶パネルを検査対象領域として、それぞれの検査対象領域に対して所定の外観検査処理を行うことによって生成された致命度マッピングデータであるとする。ここでは、検査対象領域として３つの液晶パネルを例にし、これら３つの液晶パネル（第１〜第３液晶パネルとする）のうちの第１液晶パネルに対して生成された致命度マッピングデータを第１致命度マッピングデータＭ１、第２液晶パネルに対して生成された致命度マッピングデータを第２致命度マッピングデータＭ２、第３液晶パネルに対して生成された致命度マッピングデータを第３致命度マッピングデータＭ３とする。
【０１２１】
ここで、第１〜第３致命度マッピングデータＭ１〜Ｍ３において、品質評価値の最大値ζｍａｘを当該致命度マッピングデータの代表値とした場合について考える。まずは、第１致命度マッピングデータＭ１においては、品質評価値の最大値ζｍａｘは、「０．６」であるので、図１３（ａ）に示す第１致命度評価テーブルから評価結果「Ｄ」が取得される。同様に、第２致命度マッピングデータにおいては、品質評価値の最大値ζｍａｘは、「０．４」であるので、第１致命度評価テーブルから評価結果「Ｄ」が取得され、第３致命度マッピングデータにおいては、品質評価値の最大値ζｍａｘは、「０．２」であるので、第１致命度評価テーブルから評価結果「Ｂ」が取得される。
【０１２２】
次に、各致命度マッピングデータＭ１〜Ｍ３において、品質評価値の総和Σζｎを当該致命度マッピングデータの代表値とした場合について考える。まずは、第１致命度マッピングデータＭ１においては、品質評価値の総和Σζｎは、「７．９」であるので、図１３（ｂ）に示す第２致命度評価テーブルから評価結果「Ｄ」が取得される。同様に、第２致命度マッピングデータＭ２においては、品質評価値の総和Σζｎは、「３．８」であるので、第２致命度評価テーブルから評価結果「Ｂ」が取得され、第３致命度マッピングデータＭ３においては、品質評価値の総和Σζｎは、「１．６」であるので、第２致命度評価テーブルから評価結果「Ｓ」が取得される。
【０１２３】
図１５は致命度マッピングデータ評価結果を示す図である。図１５に示すように、「Ｓ」〜「Ｄ」の各評価結果と致命度マッピングデータＭ１，Ｍ２，Ｍ３の各インデクス（「Ｍ１」，「Ｍ２」，「Ｍ３」で表すものとする）とが対応付けられている。
【０１２４】
図１５（ａ）は代表値を品質評価値の最大値とした場合であり、図１５（ａ）からは、「Ｂ」の評価結果を有する致命度マッピングデータは第３致命度マッピングデータＭ３であることがわかり、「Ｄ」の評価結果を有する致命度マッピングデータは第１致命度マッ
ピングデータＭ１と第２致命度マッピングデータＭ２であることがわかる。
【０１２５】
また、図１５（ｂ）は代表値を品質評価値の総和とした場合であり、図１５（ｂ）からは、「Ｓ」の評価結果を有する致命度マッピングデータは第３致命度マッピングデータＭ３であることがわかり、「Ｂ」の評価結果を有する致命度マッピングデータは、第２致命度マッピングデータＭ２であることがわかり、「Ｄ」の評価結果を有する致命度マッピングデータは第１致命度マッピングデータＭ１であることがわかる。
【０１２６】
このように、図１５に示す致命度マッピングデータ評価結果によれば、評価結果「Ｓ」〜「Ｄ」のうちの各評価結果を有する致命度マッピングデータはどれであるかが一目でわかる。したがって、図１５に示す致命度マッピングデータ評価結果に基づいて、当該致命度マッピングデータに対応する検査対象領域の品質評価を行うことができる。これにより、製品の品質管理を容易かつ適切に行うことができる。
【０１２７】
例えば、３板式のプロジェクタに用いられるＲ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）の各色に対応した液晶パネルを検査対象領域とした場合、このようなプロジェクタに用いる複数の液晶パネルについて外観検査処理を行った結果、各液晶パネルに対応して生成された致命度マッピングデータが図１５に示すように「Ｓ」〜「Ｄ」のいずれかの評価結果に振り分けられたとする。この場合、図１５に示す致命度マッピングデータ評価結果から、各液晶パネルの品質評価結果を得ることができるので、どの液晶パネルをどの色に対応させればよいかということを容易に決めることができる。
【０１２８】
すなわち、３板式のプロジェクタにおいては、赤・緑・青の各色に対応する液晶パネルに対して要求される品質の高さは、緑用の液晶パネル、赤用の液晶パネル、青用液晶パネルの順であるのが一般的である。このため、液晶パネルを検査対象として品質検査した結果、品質に多少のバラツキがある場合には、評価結果の高い順に緑用、赤用、青用にそれぞれの液晶パネルを振り分けることが好ましい。
【０１２９】
このような液晶パネルの振り分けを行う際に、各液晶パネルの品質評価結果を用いることによって、どの液晶パネルをどの色に対応させればよいかということを容易に決めることができる。
【０１３０】
図１６は光変調素子として赤・緑・青の各色に対応した液晶パネルを用いたプロジェクタの光学系を概略的に示す図である。図１６に示すように、プロジェクタ３００の光学系は、概略的には、光源部３１０と、レンズアレイ３２０と、色分離光学系３３０と、ＲＧＢ用の各液晶パネル３４０Ｒ，３４０Ｇ，３４０Ｂと、クロスダイクロイックプリズム３５０と、投射光学系３６０とを有している。
【０１３１】
このような構成を有するプロジェクタにおいて、Ｒ用の液晶パネル３４０Ｒ、Ｇ用の液晶パネル３４０Ｇ、Ｂ用の液晶パネル３４０Ｂは、図１５に示すような致命度マッピングデータ評価結果から得られた各液晶パネルの品質評価結果により、最も品質評価の高い液晶パネルをＧ用、その次に品質評価の高い液晶パネルをＲ用というように、要求される品質の高さに応じてそれぞれの色に対応して選定されたものである。
【０１３２】
このように、図１６に示すプロジェクタは、赤・緑・青の各色の品質の要求度に応じた品質を有する液晶パネルが用いられているため、性能的にも優れたプロジェクタとなる。また、図１６に示すプロジェクタは、品質にバラツキのある液晶パネルを適材適所として利用することができるので、品質検査後における様々な品質評価結果の液晶パネルを有効利用することができるといった効果も得られる。
【０１３３】
なお、本発明はこれまで説明した各実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能となるものである。たとえば、本発明は、検査対象として液晶パネルだけではなく半導体ウエハなどの製品にも適用することができることは言うまでもない。また、外観検査処理Ａに対応する外観検査処理用演算データとしては（１）式を例示したが、（１）式に限られるものではなく、各外観検査処理に対応して様々な外観検査処理用演算データを用いることができる。
【０１３４】
また、前述の各実形態においては、致命度マッピングデータを生成する際のラインスキャンは、例えば、ｉ＝０，ｊ＝０の位置から図示の右方向へｉ＝４，ｊ＝０まで進み、次に、ｉ＝０，ｊ＝１の位置から同じく図示の右方向へｉ＝４，ｊ＝１まで進むというようなラインスキャンであったが、これに限られるものではなく、例えば、上記方向とは逆の方向であってもよく、また、縦方向へのラインスキャンであってもよい。
【０１３５】
また、前述の各実施形態では、製品などの外観検査を行う場合であったが、製品の外観に限られるものではなく、撮影データが取得できれば、例えば、箱型や筒型などの製品の内面側を検査対象とすることも可能である。
【０１３６】
また、実施形態３において、致命度評価テーブルから評価結果を得る際の致命度の代表値としては、生成された各致命度マッピングデータにおける品質評価値の最大値と品質評価値の総和を例示したが、代表値の他の例として、各致命度マッピングデータにおける品質評価値の標準偏差、品質評価値の中央値などを用いることができる。
【０１３７】
また、前述の各実施形態において説明した外観検査を行うための処理を図６に示す外観検査装置に実行させるためのプログラムとしての品質検査プログラムの生成が可能であり、また、生成した品質検査プログラムを各種の記録媒体に記録させておくことも可能である。したがって、本発明は、これら品質検査プログラムとその品質検査プログラムを記録した記録媒体をも含むものである。また、品質検査プログラムはネットワークから取得するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１３８】
【図１】実施形態１に係る外観検査処理Ａについて説明する図。
【図２】外観検査処理Ａにおいて致命度マッピングデータを生成する処理について説明する図。
【図３】致命度参照テーブルＴＡを参照することによって取得された品質評価値を、検査対象領域を写像するデータマッピング領域にマッピングした例を示す図。
【図４】致命度マッピングデータ生成手順を説明するフローチャート。
【図５】致命度マッピングデータ生成手順の具体例について説明する図。
【図６】本発明の実施形態に係る外観検査装置の構成を示す図。
【図７】図６に示す外観検査装置が行う外観検査処理の全体的な処理手順を示すフローチャート。
【図８】複数種類の外観検査処理を順次行った場合の致命度マッピングデータ生成処理について説明する図。
【図９】致命度マッピングデータＭＡ，ＭＢ，ＭＣにより生成された複数種類の外観検査処理全体の致命度マッピングデータを示す図。
【図１０】複数種類の外観検査処理全体の致命度マッピングデータ生成処理の具体例について説明する図。
【図１１】実施形態３に係る外観検査装置の構成を示す図。
【図１２】外観検査処理に品質評価処理を加えた場合の全体の処理手順を説明するフローチャート。
【図１３】実施形態３に係る品質評価を行う際に用いる致命度評価テーブルの一例を示す図。
【図１４】品質評価処理を説明するため用いる致命度マッピングデータの例を示す図。
【図１５】致命度マッピングデータ評価結果を示す図。
【図１６】光変調素子として赤・緑・青の各色に対応した液晶パネルを用いたプロジェクタの光学系を概略的に示す図。
【符号の説明】
【０１３９】
１１０・・・外観検査処理結果算出部、１２０・・・致命度マッピングデータ生成部、１２１・・・致命度マッピング処理部、１２２・・・致命度マッピングデータ判定処理部、１３０・・・外観検査処理用バッファ、２００・・・品質評価装置、２１０・・・品質評価処理部、Ｄ１０・・・撮影データ、Ｄ２０・・・外観検査処理用データ、Ｄ３０・・・致命度マッピング処理用データ、Ｄ４０・・・合否判定用の閾値、Ｄ５０・・・致命度マッピングデータ、Ｄ７０・・・検査対象領域の品質評価結果、Ｄ８０・・・致命度評価テーブル
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１】
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【図２】
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【図８】
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【図１６】
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