(57)【要約】【課題】隔壁の扉開放時における移載領域側の圧力による収納容器の傾きを防止して、収納容器の傾きに起因する不具合を防止する。【解決手段】複数の被処理体ｗが収納され前面の取出口３ａが蓋３ｂにより密閉された収納容器３を搬入する搬入領域Ｓａと、該搬入領域Ｓａとは異なる雰囲気に維持された移載領域Ｓｂと、これら両領域Ｓａ，Ｓｂを仕切る隔壁６と、該隔壁６に形成された開口部１３と、この開口部１３を開閉する扉１４と、前記収納容器３を搬入領域Ｓａの前記開口部１３近傍に載置する載置部１０と、を備え、前記収納容器３を載置部１０に載置させた後開口部１３に当接させ、前記扉１４及び蓋３ｂを開いて収納容器３内の被処理体ｗを移載領域Ｓｂ側に搬送して処理する処理装置１において、前記収納容器３の前面両側背面部に被押圧部２０を設け、前記隔壁６に、前記被押圧部２０に側方から乗り上げて収納容器３を開口部１３に押圧させた状態に保持する押圧ローラ２２を有する押圧保持機構２３を設ける。【選択図】図２
2008060513.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の被処理体が収納され前面の取出口が蓋により密閉された収納容器を搬入する搬入領域と、該搬入領域とは異なる雰囲気に維持された移載領域と、これら両領域を仕切る隔壁と、該隔壁に形成された開口部と、この開口部を開閉する扉と、前記収納容器を搬入領域の前記開口部近傍に載置する載置部と、を備え、前記収納容器を載置部に載置させた後開口部に当接させ、前記扉及び蓋を開いて収納容器内の被処理体を移載領域側に搬送して処理する処理装置において、
前記収納容器の前面両側背面部に被押圧部を設け、前記隔壁に、前記被押圧部に側方から乗り上げて収納容器を開口部に押圧させた状態に保持する押圧ローラを有する押圧保持機構を設けたことを特徴とする処理装置。
【請求項２】
前記押圧保持機構は、前記隔壁にブラケットを介して回動自在に支持された垂直の回動軸と、該回動軸からその半径方向に延出され先端に保持した押圧ローラを前方へ押圧付勢する板バネ部材と、前記回動軸を回動する駆動部と、を有していることを特徴とする請求項１記載の処理装置。
【請求項３】
前記回動軸には、それぞれ板バネ部材を介して前記押圧ローラが少なくとも上下一対設けられていることを特徴とする請求項２記載の処理装置。
【請求項４】
前記移載領域の雰囲気は、不活性ガスであり、且つ搬入領域の圧力よりも高い圧力に設定されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の処理装置。
【請求項５】
複数の被処理体が収納され前面の取出口が蓋により密閉された収納容器を搬入する搬入領域と、該搬入領域とは異なる雰囲気に維持された移載領域と、これら両領域を仕切る隔壁と、該隔壁に形成された開口部と、この開口部を開閉する扉と、前記収納容器を搬入領域の前記開口部近傍に載置する載置部と、を備え、前記収納容器を載置部に載置させた後開口部に当接させ、前記扉及び蓋を開いて収納容器内の被処理体を移載領域側に搬送して処理する処理方法において、
前記収納容器の前面両側背面部に被押圧部を設け、該被押圧部に側方から押圧ローラを乗り上げさせて収納容器を開口部に押圧させた状態に保持することを特徴とする処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蓋により塞がれた収納容器内から被処理体を取出して所定の処理例えば熱処理を行う処理装置及び処理方法に係り、特に収納容器を隔壁の開口部に対して押圧保持する技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置の一つとして、多数の半導体ウエハ（以下ウエハという）に対してバッチで熱処理を行う熱処理装置がある。この熱処理装置は、複数枚のウエハを収納した収納容器であるキャリアが自動搬送ロボットまたはオペレータにより搬入される搬入領域と、キャリア内のウエハを保持具であるボートに移載して熱処理炉への搬入搬出を行う移載領域であるローディングエリアとを備えている。
【０００３】
このような熱処理装置においては、ローディングエリアを搬入領域よりもクリーン度の高い雰囲気にすると共にウエハの自然酸化膜の発生などを防止するために、大気側の搬入領域とローディングエリアとを隔壁で仕切り、ローディングエリア内を不活性ガス例えば窒素（Ｎ2）ガスで満たした不活性ガス雰囲気とすることが好ましい。また、この場合、ウエハのパーティクル汚染を抑えるために、キャリア本体の前面のウエハ取出口が蓋で密閉されている密閉型のキャリア（フープ：Front Opening Unified Podともいう。）を適用することが更に好ましい。
【０００４】
図７（ａ）は、密閉型のキャリアを上述の隔壁に当接させた状態を示している。６は搬入領域ＳａとローディングエリアＳｂとを仕切る隔壁、１３はこの隔壁６に形成された開口部、１４はこの開口部１３を開閉する扉である。キャリア３は、搬入領域Ｓａに設けられた移載台（載置部）１０に載置された後、移載台１０が前進して前面側の周縁部が開口部１３の開口縁部に当接し、その後、蓋３ｂが開かれる。この場合、扉１４を閉じたまま蓋開閉機構により蓋３ｂを開き、キャリア３内を図示しない窒素ガス置換手段により窒素ガスで置換した後、扉１４及び蓋３ｂを開口部１３から退避させ、キャリア３内のウエハｗをローディングエリアＳｂ側に搬入することが、ローディングエリアＳｂ内の酸素濃度の上昇を抑えることができる点で一層好ましく、このような技術は特許文献１に記載されている。
【０００５】
なお、関連する技術としては、特許文献２に記載されたものもある。
【特許文献１】特開平１１−２６４２６７号公報
【特許文献２】特開２００４−６８０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、外部からローディングエリアＳｂ内へのパーティクルの吸い込みを防止すると共に、ローディングエリアＳｂ内の酸素濃度の上昇を押えるために、ローディングエリアＳｂ内を大気圧よりも充分に高い圧力に維持しておくことが望ましい。しかしながら、前記熱処理装置においては、前記移載台１０においてキャリア３を固定する構造が、キャリア３の底部を逆Ｌ字状の係止部４０を有する固定機構により係止してキャリア３を固定するようになっているに過ぎなかったため、隔壁６の扉１４を開けた時（すなわちキャリア３の蓋３ｂを開けた時）に、図７(ｂ)に示すようにローディングエリアＳｂ側の圧力を受けてキャリア３の上側が搬入領域Ｓａ側に傾き、これによりローディングエリアＳｂ内から窒素ガスが搬入領域Ｓａ側へ漏出してローディングエリアＳｂ内の酸素濃度の上昇を招いたり、キャリア３の傾きを抑制するためのローディングエリアＳｂ内の圧力制御が必要になったり、ＴＡＴの悪化を招いたり、キャリアに対する蓋の開閉ミスやキャリア内のウエハのマッピングミスを招いたりする不具合が発生することが考えられる。
【０００７】
なお、キャリアを隔壁に密接させて蓋体を開いた後キャリア内を不活性ガスで置換する場合に、不活性ガスの供給流量が多くてもキャリアの姿勢を安定化させ、隔壁とキャリアとの気密状態を破らないようにする技術としては、特許文献２に記載されているように、隔壁における搬入領域側に、起立した姿勢とキャリアの上面を押えるように倒れた姿勢との間で水平な軸の回りに回動する押え部材を設け、キャリアが移載台に載置されて隔壁に密接した後、押え部材を回動させてキャリアの上面を押え、この状態でキャリアの蓋体を開き、不活性ガス供給管からキャリア内に不活性ガスを供給するようにしたものもあるが、この技術の場合、移載台上のキャリアの上方に押え部材を設置するための充分なスペースを確保する必要があり、この設置スペースを確保できない場合にはこの技術を採用することはできない。
【０００８】
本発明は、上記事情を考慮してなされたものであり、隔壁の扉開放時における移載領域側の圧力による収納容器の傾きを防止することができ、収納容器の傾きに起因する各種の不具合を防止することができる処理装置及び処理方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記目的を達成するために、本発明のうち、請求項１に係る発明は、複数の被処理体が収納され前面の取出口が蓋により密閉された収納容器を搬入する搬入領域と、該搬入領域とは異なる雰囲気に維持された移載領域と、これら両領域を仕切る隔壁と、該隔壁に形成された開口部と、この開口部を開閉する扉と、前記収納容器を搬入領域の前記開口部近傍に載置する載置部と、を備え、前記収納容器を載置部に載置させた後開口部に当接させ、前記扉及び蓋を開いて収納容器内の被処理体を移載領域側に搬送して処理する処理装置において、
前記収納容器の前面両側背面部に被押圧部を設け、前記隔壁に、前記被押圧部に側方から乗り上げて収納容器を開口部に押圧させた状態に保持する押圧ローラを有する押圧保持機構を設けたことを特徴とする。
【００１０】
請求項２に係る発明は、請求項１記載の処理装置において、前記押圧保持機構は、前記隔壁にブラケットを介して回動自在に支持された垂直の回動軸と、該回動軸からその半径方向に延出され先端に保持した押圧ローラを前方へ押圧付勢する板バネ部材と、前記回動軸を回動する駆動部と、を有していることを特徴とする。
【００１１】
請求項３に係る発明は、請求項２記載の処理装置において、前記回動軸には、それぞれ板バネ部材を介して前記押圧ローラが少なくとも上下一対設けられていることを特徴とする。
【００１２】
請求項４に係る発明は、請求項１ないし３のいずれかに記載の処理装置において、前記移載領域の雰囲気は、不活性ガスであり、且つ搬入領域の圧力よりも高い圧力に設定されていることを特徴とする。
【００１３】
請求項５に係る発明は、複数の被処理体が収納され前面の取出口が蓋により密閉された収納容器を搬入する搬入領域と、該搬入領域とは異なる雰囲気に維持された移載領域と、これら両領域を仕切る隔壁と、該隔壁に形成された開口部と、この開口部を開閉する扉と、前記収納容器を搬入領域の前記開口部近傍に載置する載置部と、を備え、前記収納容器を載置部に載置させた後開口部に当接させ、前記扉及び蓋を開いて収納容器内の被処理体を移載領域側に搬送して処理する処理方法において、
前記収納容器の前面両側背面部に被押圧部を設け、該被押圧部に側方から押圧ローラを乗り上げさせて収納容器を開口部に押圧させた状態に保持することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、隔壁の扉開放時における移載領域側の圧力による収納容器の傾きを防止することができ、収納容器の傾きに起因する各種の不具合を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下に、本発明を実施するための最良の形態について、添付図面を基に詳述する。図１は本発明を縦型熱処理装置に適用した実施の形態を示す縦断面図、図２は要部を概略的に示す斜視図、図３は同要部を概略的に示す側面図、図４は同要部の概略的に示す平面図、図５は同要部の拡大図である。
【００１６】
図１において、１はクリーンルーム内に設置された縦型熱処理装置（処理装置）であり、その外郭を形成する筐体２を備えている。この筐体２内は、キャリア３を搬入する搬入領域Ｓａと、キャリア３内からウエハｗを取出してボート４への移載、熱処理炉５へのボート４の搬入搬出を行う移載領域であるローディングエリアＳｂとに隔壁６により仕切られている。
【００１７】
前記キャリア３は、所定口径例えば直径３００ｍｍの被処理体例えばウエハｗを水平状態で上下方向に所定間隔で複数例えば２５枚程度収納可能なプラスチック製の蓋付き収納容器、いわゆるクローズ型キャリア（フープともいう。）であり、その前面部の取出口３ａにこれを密封状態に塞ぐための蓋３ｂを脱着可能に備えている。この蓋３ｂには、これをキャリア３の取出口３ａに保持するための図示しないラッチ機構が設けられ、このラッチ機構の解除によりキャリア３の取出口３ａから蓋３ｂが取外せるようになっている。
【００１８】
前記筐体２の前面部には、キャリア３を搬入搬出するための搬出入口７が設けられ、この搬出入口７の外側である筐体２の前面部には搬入搬出時にキャリア３を載置するための載置台８が設けられている。前記搬入領域Ｓａには、上方の前部と後部に複数個のキャリア３を一時的に保管しておくための保管棚９が対向して設けられていると共に、下方の隔壁６側にウエハ移載を行うためにキャリア３を載置するための載置部である移載台１０が設けられている。
【００１９】
また、搬入領域Ｓａには、前記載置台８上に設けられ搬出入口７からキャリア３の出し入れをする移動機構１１と、保管棚９と、移載台１０との間でキャリア３の搬送を行うための搬送機構（キャリア搬送機構）１２が設けられている。この搬送機構１２は、搬入領域Ｓａの一側部に設けられた昇降機構１２ａにより昇降移動される昇降アーム１２ｂと、この昇降アーム１２ｂに設けられ、キャリア３の底部または上部を支持して水平方向に搬送する搬送アーム１２ｃとから主に構成されている。
【００２０】
搬入領域Ｓａは、搬出入口７を通ってクリーンルーム内と連通されている。搬入領域Ｓａ内の雰囲気は、空気で、大気圧である。熱処理装置１の稼動時には、ローディングエリアＳｂは、ウエハ表面の自然酸化膜の形成を抑制ないし防止するために、不活性ガス雰囲気とされている。不活性ガスとしては、例えばＮ2（窒素）ガスが用いられている。なお、不活性ガスとしては、Ｎ2ガス以外（例えばＡｒガス、Ｈｅガス等）であってもよい。また、ローディングエリアＳｂは、気密に形成されていると共に、不活性ガスの圧力が大気圧よりも充分に高い所定の圧力例えば大気圧＋１０〜１０００Ｐａ程度に維持されている。熱処理装置１は、ローディングエリアＳｂ内の不活性ガスの圧力を所定の圧力に維持するための圧力制御機構を備えている。現状の装置では型式により異なるが、大気圧＋１０〜１０００Ｐａの範囲内で調整コントロールされている。一時的に熱影響で１０００Ｐａを超えることもある。制御範囲を超えた状態では、ローディングエリアの排気はフルオープンの状態になる。また、ローディングエリアＳｂ内には、空気清浄装置が設けられ、クリーンルーム内よりも充分に清浄度が高く維持されている。
【００２１】
前記隔壁６には、移載台１０に載置されたキャリア３を搬入領域Ｓａ側から当接させてキャリア３内とローディングエリアＳｂ内を連通するための開口部１３が設けられていると共に、開口部１３をローディングエリアＳｂ側から閉鎖する扉１４が開閉可能に設けられている。開口部１３は、キャリア３の取出口３ａとほぼ同口径に形成されており、開口部１３からキャリア３内のウエハｗの出し入れが可能になっている。
【００２２】
前記扉１４には、キャリア３の蓋３ｂを脱着（開閉）する図示しない脱着機構及び扉１４をローディングエリアＳｂ側から開閉する図示しない扉開閉機構が設けられ、この扉開閉機構により扉１４及び蓋３ｂがローディングエリアＳｂ側に開放移動され、更にウエハｗの移載の邪魔にならないように上方または下方へ移動（退避）されるようになっている。前記移載台１０の下方には、結晶方向を揃えるためにウエハｗの周縁部に設けられているノッチ（切欠部）を一方向に整列させるためのノッチ整列機構１５が設けられている。
【００２３】
ローディングエリアＳｂの奥部上方には、多数例えば１００枚程度の半導体ウエハｗを上下方向に所定間隔で多段に保持する保持具である例えば石英製のボート４を載置して熱処理炉５内への搬入搬出及び炉口５ａの開閉を行う蓋体１６が図示しない昇降機構により昇降可能に設けられている。炉口５ａの近傍には、蓋体１６が開放されて熱処理後のボート４が搬出された際に炉口５ａを遮蔽するためのシャッター１７が水平方向に開閉移動可能に設けられている。
【００２４】
ローディングエリアＳｂには、移載台１０上のキャリア３とボート４との間、具体的には移載台１０上のキャリア３とノッチ整列機構１５との間、ノッチ整列機構１５とボート４との間、熱処理後のボート４と移載台１０上の空のキャリア３との間でウエハｗの移載を行う移載機構１８が設けられている。この移載機構１８は、昇降可能及び水平回動可能に設けられた基台１８ａと、この基台１８ａの長手方向（半径方向）に進退移動可能に設けられ複数例えば５枚の薄板状のフォーク１８ｂとを備えている。フォーク１８ｂは、例えば、独立して進退移動可能な一枚の枚葉フォークと、４枚の複数フォークとからなり、複数フォークはその高さ方向中間位置に配置される枚葉フォークを基準として上下方向にピッチ変換可能に構成されている。
【００２５】
前記移載台１０は、単にキャリア３を載置し得るように構成されていてもよいが、次のように構成されていてもよい。移載台１０は、例えば図３に示すように隔壁６に固定された台枠１０ａと、該台枠１０ａの上部に隔壁６に対して直交する方向にリニアガイド１０ｂを介して小範囲でスライド可能に設けられた台座１０ｃとから構成され、台座１０ｃ上にはキャリア３の底部に形成された図示しない孔部に係合してキャリア３を位置決めする複数例えば３本の位置決めピン１９が立設されている。台枠１０ａには、台座１０ｃにキャリア３を固定する固定機構と、キャリア３を隔壁６から離間した離間位置からキャリアの前面部が隔壁６に当接する当接位置にまたはその逆に台座１０ｃごと移動する移動機構とが設けられている（図示省略）。
【００２６】
前記キャリア３の前面両側背面部には被押圧部２０が設けられている。図２の図示例では、キャリア３の前面両側部には側方に突出したフランジ部３ｃが形成され、該フランジ部３ｃの背面部が被押圧部２０とされている。図４ないし図５の図示例では、キャリア３の前面両側部には凹部２１を設けることによりフランジ部３ｃが形成され、該フランジ部３ｃの背面部が被押圧部２０とされている。そして、前記隔壁６には、前記被押圧部２０に側方から乗り上げてキャリア３を隔壁６の開口部１３すなわち開口縁部に押圧させた状態に保持する押圧ローラ２２を有する押圧保持機構２３が設けられている。押圧保持機構２３は、移載台１０上のキャリア３の両側に位置するように一対設けられている。
【００２７】
前記押圧保持機構２３は、前記隔壁６にブラケット２４を介して回動自在に支持された垂直の回動軸２５と、該回動軸２０からその半径方向に延出され先端に保持した押圧ローラ２２を前方へ押圧付勢する板バネ部材２６と、前記回動軸２５を回動する駆動部であるエアシリンダ２７と、を有している。板バネ部材２６は例えばステンレス製であることが好ましく、押圧ローラ２２は例えばフッ素樹脂製であることが好ましい。ブラケット２４は、隔壁６にネジ２４ａで固定される上下に長い取付基板２４ｂと、該取付基板２４ｂに設けられた上下一対の支持腕２４ｃとからなり、上下の支持片２４ｃに回動軸２５が上下方向に掛け渡された状態で軸受２４ｄを介してその軸回りに回動自在に支持されている。
【００２８】
前記エアシリンダ２７の一端が回動軸２５の下端部に設けられたレバー２８に連結され、エアシリンダ２７の他端が移載台１０の台枠１０ａ側に連結されている。エアシリンダ２７によりレバー２８を手前に引っ張ることにより回動軸２５が反時計方向に回動し、板バネ部材２６を介して押圧ローラ２２が隔壁６側の待機位置イからキャリア３の被押圧部２０の位置まで転動して乗り上げるようになっている。逆に、エアシリンダ２７によりレバー２８を押すことにより回動軸２５が時計方向に回動し、板バネ部材２６を介して押圧ローラ２２がキャリア３の被押圧部２０から隔壁６側の待機位置イまで転動して戻される。
【００２９】
前記回動軸２５には、それぞれ板バネ部材２６を介して前記押圧ローラ２２が少なくとも上下に一対設けられている。板バネ部材２６及び押圧ローラ２２は左右対称に配置され、計４つの板バネ部材２６のバネ力（付勢力）でキャリア３のフランジ部３ｃを隔壁６に対して押圧するようになっている。ここで、ローディングエリアＳｂの圧力が１０００Ｐａの場合、キャリア３には１１．２ｋｇｆ（１０９．８Ｎ）の圧力がかかるため、板バネ部材１箇所当り２．８ｋｇｆ（２７．４Ｎ）の押付力（押圧力）が必要となり、このため、このような押付力を有する板バネ部材２６が用いられている。
【００３０】
板バネ部材２６はこのような押圧力を発揮し得るように待機位置イにおいてもバネ力に抗して予め湾曲されている。板バネ部材２６及び押圧ローラ２２は左右対称であるため、右側のものについて更に詳述すると、図５に示すように、板バネ部材２６の一端（基端）が回動軸２５の側面にネジ２９で固定され、この板バネ部材２６の他端（先端ないし自由端）は前方へ延出されており、板バネ部材２６の先端には押圧ローラ２２が軸受部材３０を介して垂直軸回りに回転自在に取付けられている。この場合、回動軸２５はキャリア３と干渉しない右側位置にあるため、板バネ部材２６の先端側は前方斜め左方に湾曲して延出されており、押圧ローラ２２がキャリア３の側方から被押圧部２０に乗り上げてこれを押圧するようになっている。
【００３１】
待機位置イとキャリア３の被押圧部２０との間には段差があるため、押圧ローラ２２を円滑に移動させるために、待機位置イとキャリア３の被押圧部２０との間にはこれらを結ぶべく傾斜した案内面３１が設けられていることが好ましい。この案内面３１は、隔壁６または取付基板２４ｂに設けられている。なお、押圧ローラ２２が案内面３１を登るときの抵抗により板バネ部材２６の湾曲部２６ｃが反対側に湾曲するのを防止するために回動軸２５には板バネ部材２６の湾曲部２６ｃの外面に沿って延出された規制部材３２が設けられていることが好ましい。なお、図５において、３３はキャリア３の前面部を隔壁６に押し当てたときに、隔壁６とキャリア３の前面周縁部との間を封止する封止部材である。また、隔壁に６は、扉１４を閉めた状態で蓋３ｂを開けたときにキャリア３内に不活性ガス（例えばＮ2ガス）を導入して置換するための不活性ガス導入通路３４が設けられている。
【００３２】
以上の構成からなる縦型熱処理装置（処理装置）の作用ないし処理方法を述べる。キャリア３が作業員または搬送ロボットにより載置台８上に載置されると、移動機構１１によりキャリア３が搬出入口７を通って搬入領域Ｓａの受渡位置ロに移動され、そのキャリア３は受渡位置ロから搬送機構１２により移載台１０または保管棚９に搬送される。搬入領域Ｓａには、熱処理に必要な個数のキャリア３が順次搬入され、保管棚９に保管されることになる。
【００３３】
移載台１０上にキャリア３が搬送されて載置されると、例えば移載台１０上に設けられた図示しないセンサによりキャリア３が載置されたことが検知され、押圧保持機構２３が作動を開始する。なお、前述した固定機構や移動機構を有する場合には、台座１０ｃに対するキャリア３の固定や隔壁６に対するキャリア３の台座１０ｃごとの移動を予め行うことになる。
【００３４】
次に、押圧保持機構２３の作動について説明する。エアシリンダ２７の駆動によりレバー２８を介して回動軸２５が所定角度回動され（右側の回動軸は反時計方向、左側の回動軸は時計方向）、板バネ部材２６を介して押圧ローラ２２が側方の待機位置イからキャリア３のフランジ部３ｃの背面部である被押圧部２０に向って転動移動される。これにより、キャリア３の被押圧部２０には側方から押圧ローラ２２が乗り上げられ、計４個の押圧ローラ２２を押圧する板バネ部材２６のバネ力によりキャリア３が隔壁６の開口部１３（すなわちキャリアの前面周縁部が隔壁の開口部の周縁部）に押圧された状態に保持される。従って、隔壁６の扉開放時にローディングエリア側の不活性ガスの圧力がキャリア３に加わったとしても、その圧力でキャリア３が傾くのを防止することができ、キャリア３の傾きに起因する各種の不具合すなわちローディングエリアＳｂ内から不活性ガスが搬入領域Ｓａ側へ漏出してローディングエリアＳｂ内の酸素濃度の上昇を招いたり、キャリア３の傾きを抑制するためのローディングエリアＳｂ内の圧力制御が必要になったり、ＴＡＴの悪化を招いたり、キャリアに対する蓋３ｂの開閉ミスやキャリア内のウエハのマッピングミスを招いたりする不具合を防止することができる。なお、押圧保持力を解除するときは、エアシリンダ２７の駆動により回動軸２５を前記とは逆の方向に回動させて、押圧ローラ２２を被押圧部２０から離脱させて待機位置イに戻せばよい。
【００３５】
また、前記押圧保持機構２３においては、待機位置イと被押圧部２０との間に傾斜した案内面３１が設けられているため、待機位置イと被押圧部２０との間に段差があったとしても押圧ローラ２２を円滑に容易に移動させることができる。また、回動軸２５には規制部材３２が設けられているため、板バネ部材２６の曲面部２６ｃが反対側に屈曲するのを防止することができる。
【００３６】
キャリア３の蓋３ｂ及び扉１４が開放されると、ウエハｗの移載作業が開始される。この移載作業は、移載機構１８がキャリア３内からウエハｗを取出し、ノッチ整列機構１５を経由してボート４に順次搭載することにより行われる。移載作業が終了すると、ボート４を熱処理炉５内に搬入してウエハｗに所定の熱処理を施した後、ボート４をローディングエリアＳｂに搬出し、移載機構１８によりボート４から移載台１０上の空のキャリア３に処理後のウエハｗが戻され、キャリア３は搬送機構１２及び移動機構１１を介して載置台８上まで搬出される。
【００３７】
以上のように処理装置ないし処理方法によれば、キャリア３の前面両側背面部の被押圧部２０に側方から押圧保持機構２３の押圧ローラ２２を乗り上げさせてキャリア３を開口部１３に押圧させた状態に保持するため、隔壁６の扉開放時におけるローディングエリアＳｂ側の圧力によるキャリア３の傾きを防止することができ、キャリア３の傾きに起因する各種の不具合を解消することができ、更にキャリア３内の不活性ガス置換特性の改善が見込まれる。
【００３８】
前記押圧保持機構２３は、前記隔壁６にブラケット２４を介して回動自在に支持された垂直の回動軸２５と、該回動軸２５からその半径方向に延出され先端に保持した押圧ローラ２２を前方へ押圧付勢する板バネ部材２６と、前記回動軸２５を回動する駆動部であるエアシリンダ２７と、を有しているので、簡単な構造で、充分な押圧保持力を発揮することができ、小型化及びコストの低減が図れる。
【００３９】
前記回動軸２５には、それぞれ板バネ部材２６を介して前記押圧ローラ２２が少なくとも上下一対設けられているため、少なくとも計４つの板バネ部材２６のバネ力によりローディングエリアＳｂ側の不活性ガスの圧力に充分に耐えることができる。前記ローディングエリアＳｂの雰囲気は、不活性ガスであり、且つ搬入領域Ｓａの圧力よりも高い圧力に設定されているため、気密性に優れ、外部からのパーティクルの浸入を防止することができると共に大気から不活性ガスへの置換時間を短縮することができ、酸素濃度の上昇を抑え、ウエハ表面の自然酸化膜の形成を防止することができる。前記押圧保持機構は、隔壁におけるキャリアの両側に設置されるため、キャリアの上方に設置される特許文献２の押え部材と異なり、設置スペースを容易に確保することができる。
【００４０】
図６は本発明の他の実施の形態の要部を概略的に示す斜視図である。本実施の形態において、前記実施の形態と同一部分は同一符号を付して説明を省略する。本実施の形態における押圧保持機構２３は、取付基板２４ｂにリニアガイド３５を介して左右方向にスライド自在に設けられた水平移動部材３６と、該水平移動部材３６に板バネ部材２６を介して設けられた押圧ローラ２２と、水平移動部材３６を水平方向に進退移動させる駆動部であるエアシリンダ２７とから主に構成されている。前記水平移動部材３６は上下に一対間隔をおいて設けられ、上下の水平移動部材３６は連結部材３７を介して互いに連結されている。
【００４１】
エアシリンダ２７の駆動により水平移動部材３６をキャリア側にスライド移動させると、水平移動部材３６の前進方向に板バネ部材２６を介して設けられた押圧ローラ２２がキャリア３の側方からフランジ部３ｃの被押圧部２０に接近して該被押圧部２０に乗り上げ、板バネ部材２６のバネ力で被押圧部２０を押圧保持するように構成されている。本実施の形態の板バネ部材２６は、湾曲されておらず、直線状に形成されている。本実施の形態によっても前記実施の形態と同様の効果を奏することができる。
【００４２】
以上、本発明の実施の形態を図面により詳述してきたが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での種々の設計変更等が可能である。例えば、ローディングエリアには不活性ガスまたは清浄乾燥空気がウエハの処理工程に応じて選択的に供給可能に構成されていてもよい。また、前記駆動部としては、モータであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明を縦型熱処理装置に適用した実施の形態を示す縦断面図である。
【図２】要部を概略的に示す斜視図である。
【図３】同要部を概略的に示す側面図である。
【図４】同要部の概略的に示す平面図である。
【図５】同要部の拡大図である。
【図６】本発明の他の実施の形態の要部を概略的に示す斜視図である。
【図７】従来の処理装置の要部を概略的に示す説明図である。
【符号の説明】
【００４４】
１  縦型熱処理装置（処理装置）
３  キャリア（収納容器）
Ｓａ  搬入領域
Ｓｂ  ローディングエリア（移載領域）
ｗ  半導体ウエハ（被処理体）
６  隔壁
１０  移載台（載置部）
１３  開口部
１４  扉
２０  被押圧部
２２  押圧ローラ
２３  押圧保持機構
２５  回動軸
２６  板バネ部材
２７  エアシリンダ（駆動部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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