(57)【要約】【課題】  本発明は、板状基体に対する気体の噴出によって、板状基体を浮上した状態にし、この状態で板状基体を移動、停止、静止および方向転換させる場合、重い板状基体でも、移動および方向転換を高速で行うことができ、かつ、確実に板状基体を停止させることができる浮上搬送装置および浮上搬送システムを提供する。【解決手段】  搬送面に設けられた複数の噴出孔１１Ｂを具備し、噴出孔１１Ｂから噴出する気体によって、板状基体を浮上させた状態で移動させる移送部１と、搬送面に設けられた複数の噴出孔を具備し、この噴出孔から噴出する気体によって、板状基体を浮上させた状態で移動、停止、静止および方向転換の少なくとも１つを行う制御ユニットとを組み合わせた浮上搬送システムにおいて、浮上している板状基体を押して移動させる移動手段（移動装置１３）を移送部１に設けた。【選択図】  図１
2008195541.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送面に設けられた複数の噴出孔を具備し、この噴出孔から噴出する気体によって、板状基体を浮上させた状態で移動させる浮上搬送装置において、
浮上している板状基体を押して移動させる移動手段を設けたことを特徴とする浮上搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状基体に対する気体の噴出によって、板状基体を浮上した状態にし、この状態で板状基体を移動、停止、静止および方向転換させる場合、重い板状基体でも確実に、かつ高速で移動、停止、静止および方向転換をさせることができる浮上搬送装置および浮上搬送システムに関する。本発明は、液晶ディスプレイ等に用いられるガラス板や半導体装置が形成されるウエハ等の気流搬送をする浮上搬送システムに好適に用いられる。
【背景技術】
【０００２】
板状基体を浮上させて搬送するシステムとして、例えば、ＴＦＴ型液晶ディスプレイ用のガラス板を搬送するものがある。この搬送システムを図２２に示す。この搬送システムは、移送ユニット１００と制御ユニット２００とを組み合わせて、構成されたものである。移送ユニット１００は、四角形状のガラス板３００を浮上させて移動方向３１０の方向に移動させる。制御ユニット２００は、ガラス板３００を浮上させた状態で停止、静止させると共に、転換方向３１１に方向転換させる。さらに、搬送システムは、図示を省略しているが、ガラス板３００に対して各種の処理を行う処理ユニットを備えている。
【０００３】
移送ユニット１００は、ガラス板３００を直線的に移動させるために、通常、連結されて用いられる。この移送ユニット１００の一例を図２３に示す。移送ユニット１００は、基台１１０と囲い材１２０とを備える。基台１１０には、ウエハを浮上させるための気体、例えば、ガラス板３００に影響を与えない窒素ガス、アルゴンガスやその他のガスを供給する供給系１１１が配管されている。囲い材１２０が覆う、基台１１０の面１１２が搬送路の搬送面であり、搬送面１１２には、複数の噴出孔１１３が空けられている。
【０００４】
噴出孔１１３は、図２４に示すように、搬送面１１２に対して傾斜して設けられ、噴出孔１１３の傾斜方向は、ガラス板３００の移動方向３１０の中心１１２Ａに向かって傾斜している。また、噴出孔１１３とは別に、図２５に示すように、推進用の噴出孔１１５が、ガラス板３００の移動方向３１０と平行に並んで、かつ、搬送面１１２に対して傾斜して空けられている。噴出孔１１３，１１５は、搬送面１１２から気体室１１４，１１６に至る間に空けられている。気体室１１４，１１６は、供給系１１１にそれぞれ通じている。
【０００５】
各噴出孔１１３，１１５によって、供給系１１１から供給される気体は、気体室１１４，１１６を経て、噴出孔１１３，１１５から噴出する。噴出孔１１３，１１５からの気体の噴出方向は、搬送面１１２に対して斜め上方に傾斜し、かつ、移動方向３１０に対して、噴出孔１１３は直角に、噴出孔１１５は平行になっている。このような気体の噴出が、図２６の噴出方向１１３Ａ，１１５Ａによって、平面的に表されている。
【０００６】
こうして、各噴出孔１１３，１１５から噴出方向１１３Ａ，１１５Ａに噴出した気体によって、ガラス板３００が浮上して移動方向３１０に動くと同時に、ガラス板３００の中心が搬送面１１２の中心１１２Ａに沿って移動するので、ガラス板３００の側面が囲い材１２０の側壁に接触することがない。つまり、ガラス板３００は、搬送面１１２や囲い材１２０に対して非接触の状態で移動される。      
【０００７】
制御ユニット２００は、移送ユニット１００から送られてくるガラス板３００を受け取り、このガラス板３００の停止、静止および移動方向の変更や、ガラス板３００自身の回転等を行う。制御ユニット２００は、図２７に示すように、基台２１０と囲い材２２０とを備える。囲い材２２０には、基台１１０と同じように、ガラス板３００を浮上させるための気体を供給する供給系２１１が配管されている。囲い材２２０が覆う、基台２１０の面２１２が搬送路の搬送面であり、搬送面２１２には、吸引口と複数の噴出孔とが空けられている。
【０００８】
搬送面２１２の中心には、図２８に示すように、吸引口２１３が空けられている。吸引口２１３は、中心付近の気体を吸い込んで、ガラス板３００を浮上させたまま、静止させる。吸引口２１３の周りには、内側から順に設定ライン２２１〜２２４が設定されている。
【０００９】
設定ライン２２２には、噴出孔２１５が空けられている。噴出孔２１５は、噴出孔１１３と同じように、搬送面２１２に対して斜め上方に空けられているが、気体の噴出方向は、反時計方向の噴出方向２１５Ａである。噴出孔２１５からの気体によって、ガラス板３００が反時計方向に回転する。
【００１０】
また、設定ライン２２２には、噴出孔２１６が空けられている。噴出孔２１６は、噴出孔１１３と同じように、搬送面２１２に対して斜め上方に空けられていが、気体の噴出方向は、時計方向の噴出方向２１６Ａである。噴出孔２１６からの気体によって、ガラス板３００が時計方向に回転する。
【００１１】
設定ライン２２１，２２３，２２４には、噴出孔２１４，２１７，２１８が空けられている。噴出孔２１４，２１７，２１８は、噴出孔１１３と同じように、搬送面２１２に対して斜め上方に空けられている。噴出孔２１４，２１７，２１８による気体は、吸引口２１３に向かう噴出方向２１４Ａ，２１７Ａ，２１８Ａに噴出される。噴出方向２１４Ａ，２１７Ａ，２１８Ａからの気体によって、ガラス板３００の中心が吸引口２１３に位置するようになる。
【００１２】
さらに、制御ユニット２００には、ガラス板３００の推進および捕捉用の噴出孔２５１〜２５３が、各２列の設定ライン２２５，２２６に空けられている。噴出孔２５１は、ガラス板３００の移動方向３１０と１８０度逆の方向である噴出方向２５１Ａに気体を噴出し、噴出孔２５２は、移動方向３１０と同じ方向である噴出方向２５２Ａに気体を噴出する。
【００１３】
噴出孔２５３は、ガラス板３００の転換方向３１１と同方向である噴出方向２５３Ａに気体を噴出する。
【００１４】
ガラス板３００が移動方向３１０から制御ユニット２００に入ってくると、噴出孔２１５が気体を、移動方向３１０とは逆の方向に噴出する。これによって、ガラス板３００は、噴出された気体の減速作用によって捕捉され、搬送面２１２の中心に円滑に停止される。これによって、ガラス板３００の静止、回転動作がスムーズに行える。例えば、ガラス板３００が転換方向３１１に方向転換される場合、噴出孔２５３が気体を噴出する。これによって、ガラス板３００は、転換方向３１１に推進される。
【００１５】
このような動作によって、ガラス板３００の方向転換が行われる。なお、ガラス板３００を移動方向３１０と同じ方向に送り出す場合、噴出孔２５２が気体を噴出する。
【００１６】
このような移送ユニット１００および制御ユニット２００とで構成される搬送システムと、各種の処理ユニットとを組み合わせることによって、ガラス板３００の処理システムが構築される。このような気流搬送システムの一例が国際出願番号ＰＣＴ／ＪＰ９１／０１４６９に示されている。
【００１７】
しかし、気流搬送システムには、次のような問題があった。つまり、ガラス板３００の厚み等が増えて、ガラス板３００が重くなると、移送ユニット１００の噴出孔１１５による気体の噴出では、ガラス板３００を高速で移動させることができない。
【００１８】
また、ガラス板３００が重くなると、制御ユニット２００の噴出孔２５１，２５２では、ガラス板３００を完全に止めることができない。さらに、静止しているガラス板３００を、噴出孔２１５，２１６による気体の噴出では、高速に方向転換をすることができず、また、噴出孔２５１〜２５３による気体の噴出では、ガラス板３００を高速で送り出すことができない。
【００１９】
以上、説明したとおり、従来の気流搬送システムによれば、以下の問題点があった。つまり、浮上させた重い板状基体を、噴出孔からの気体によって、移動、停止、静止および方向転換させる場合、気体によって加えられる力では、板状基体を高速で移動させることができない。また、板状基体が重いので、移動してくる板状基体を、噴出孔から噴出される気体によって確実に止めることができない。さらに、静止している板状基体の移動および方向転換を、噴出孔からの気体によって高速で行うことができないという問題点があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２０】
本発明は、板状基体に対する気体の噴出によって、板状基体を浮上した状態にし、この状態で板状基体を移動、停止、静止および方向転換させる場合、重い板状基体でも、移動および方向転換を高速で行うことができ、かつ、確実に板状基体を停止させることができる浮上搬送装置および浮上搬送システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
請求項１に記載の浮上搬送装置は、搬送面に設けられた複数の噴出孔を具備し、この噴出孔から噴出する気体によって、板状基体を浮上させた状態で移動させる浮上搬送装置において、浮上している板状基体を押して移動させる移動手段を設けたことを特徴とする。
【００２２】
請求項２に記載の浮上搬送装置は、搬送面に設けられた複数の噴出孔を具備し、この噴出孔から噴出する気体によって、板状基体を浮上させた状態で移動させる浮上搬送装置において、浮上している板状基体を移動させる移動手段を設け、前記移動手段には、前記板状基体の両側面に当たるように設置された複数のローラと、前記板状基体を移動させるために、前記各ローラを回転駆動する駆動装置とを設けたことを特徴とする。
【００２３】
請求項３に記載の浮上搬送装置は、搬送面に設けられた複数の噴出孔を具備し、この噴出孔から噴出する気体によって、板状基体を浮上させた状態で移動させる浮上搬送装置において、浮上している板状基体を移動させる移動手段を設け、前記移動手段には、前記板状基体の両側面に当たるように設置された少なくとも１組のベルトと、前記板状基体を移動するために、前記各ベルトを送る駆動装置とを設けたことを特徴とする。
【００２４】
請求項１乃至３に記載の浮上搬送装置によれば、板状基体が機械的な手段によって移動される。つまり、板状基体は、押されて移動されたり、ローラの回転によって移動されたり、また、ベルトによって移される。この結果、板状基体が重いものであっても、この板状基体を高速で移動させることができる。
【００２５】
請求項５に記載の浮上搬送システムは、搬送面に設けられた複数の噴出孔を具備し、この噴出孔から噴出する気体によって、板状基体を浮上させた状態で移動させる移送部と、搬送面に設けられた複数の噴出孔を具備し、この噴出孔から噴出する気体によって、板状基体を浮上させた状態で移動、停止、静止および方向転換の少なくとも１つを行う制御ユニットとを組み合わせた浮上搬送システムにおいて、浮上している板状基体を押して移動させる移動手段を前記移送部に設けたことを特徴とする。
【００２６】
請求項６に記載の浮上搬送システムは、搬送面に設けられた複数の噴出孔を具備し、この噴出孔から噴出する気体によって、板状基体を浮上させた状態で移動させる移送部と、搬送面に設けられた複数の噴出孔を具備し、この噴出孔から噴出する気体によって、板状基体を浮上させた状態で移動、停止、静止および方向転換の少なくとも１つを行う制御ユニットとを組み合わせた浮上搬送システムにおいて、浮上している板状基体を移動させる移動手段を前記移送部に設け、前記移動手段には、前記板状基体の両側面に当たるように設置された複数のローラと、前記板状基体を移動させるために、前記各ローラを回転駆動する駆動装置とを設けたことを特徴とする。
【００２７】
請求項７に記載の浮上搬送システムは、搬送面に設けられた複数の噴出孔を具備し、この噴出孔から噴出する気体によって、板状基体を浮上させた状態で移動させる移送部と、搬送面に設けられた複数の噴出孔を具備し、この噴出孔から噴出する気体によって、板状基体を浮上させた状態で移動、停止、静止および方向転換の少なくとも１つを行う制御ユニットとを組み合わせた浮上搬送システムにおいて、浮上している板状基体を移動させる移動手段を前記移送部に設け、前記移動手段には、前記板状基体の両側面に当たるように設置された少なくとも１組のベルトと、前記板状基体を移動するために、前記各ベルトを送る駆動装置とを設けたことを特徴とする。
【００２８】
請求項５乃至７に記載の浮上搬送システムによれば、移送部が機械的な手段を用いて、板状基体を移動させる。つまり、移送部は、板状基体を押して移動させたり、ローラの回転によって移動させたり、また、ベルトによって移動させる。この結果、板状基体が重いものであっても、移送部がこの板状基体を高速で移動させることができる。
【００２９】
請求項９に記載の浮上搬送システムは、搬送面に設けられた複数の噴出孔を具備し、この噴出孔から噴出する気体によって、板状基体を浮上させた状態で移動させる移送部と、搬送面に設けられた複数の噴出孔を具備し、この噴出孔から噴出する気体によって、板状基体を浮上させた状態で移動、停止、静止および方向転換の少なくとも１つを行う制御ユニットとを組み合わせた浮上搬送システムにおいて、前記制御ユニットの前記搬送面下に設けられると共に、移動または回転をしている板状基体の停止または位置決めのために、少なくとも１つの棒状体を前記搬送面上に突き出す第１制御手段と、この第１制御手段によって静止された前記板状基体を突いて、前記板状基体の回転または移動を行う第２制御手段とを前記制御ユニットに設けたことを特徴とする。
【００３０】
請求項１０に記載の浮上搬送システムは、搬送面に設けられた複数の噴出孔を具備し、この噴出孔から噴出する気体によって、板状基体を浮上させた状態で移動させる移送部と、搬送面に設けられた複数の噴出孔を具備し、この噴出孔から噴出する気体によって、板状基体を浮上させた状態で移動、停止、静止および方向転換の少なくとも１つを行う制御ユニットとを組み合わせた浮上搬送システムにおいて、前記制御ユニットの前記搬送面下に設けられると共に、移動または回転をしている板状基体の停止または位置決めのために、少なくとも１つの棒状体を前記搬送面上に突き出す第１制御手段と、この第１制御手段によって静止された前記板状基体を挟んで、この板状基体の回転または移動を行う第２制御手段とを前記制御ユニットに設けたことを特徴とする。
【００３１】
請求項９，１０に記載の浮上搬送システムによれば、制御ユニットが機械的な手段を用いて、板状基体を移動、停止、静止および方向転換させる。この結果、板状基体が重いものであっても、制御ユニットがこの板状基体を確実に停止させることができる。また、静止している板状基体を高速で移動や方向転換させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に述べる。
【００３３】
［実施の形態１］
次に、本発明の実施の形態１について説明する。図１は、実施の形態１に係わる移送部を示す斜視図である。図２は、図１のＩ−Ｉ断面を示す断面図である。図３は、図２のＩＩ−ＩＩ断面を示す断面図である。
【００３４】
実施の形態１では、図２２に示す浮上搬送システムの中の、複数の移送ユニット１００の代わりに、図１に示す移送部１を用いている。移送部１は、浮上搬送装置であり、図２２に示す複数の移送ユニット１００を連結した形状をしている。移送部１は、基台１１、囲い材１２および移動装置１３を備えている。基台１１は、図２に示すように、搬送面１１Ａに、図２４に示す噴出孔１１３と同じ噴出孔１１Ｂと、同じく、搬送面１１Ａの下側に、図２４の気体室１１４と同じ気体室１１Ｃと備えている。また、実施の形態１では、図２５の噴出孔１１５と気体室１１６に対応するものが設けられていない。
【００３５】
移動装置１３は、ガラス板３００を移動させるための移動手段である。移動装置１３は、基台１１の側面１１Ｄから囲い材１２の側面１２Ａにまたがるように、かつ、移送部１の長手方向に設置されている。移動装置１３は、図３に示すように、ケース１３Ａ、駆動装置１３Ｂ、台板１３Ｃ、モータ１３Ｄ、支持部１３Ｅ、オスネジ部１３Ｆおよびメスネジ部１３Ｇを備えている。
【００３６】
ケース１３Ａは、駆動装置１３Ｂ、台板１３Ｃ、モータ１３Ｄ、支持部１３Ｅ、オスネジ部１３Ｆおよびメスネジ部１３Ｇを内部に備える。また、浮上搬送システムが密閉状態を保たれている場合、ケース１３Ａは、搬送空間の密閉状態を保つ。
【００３７】
駆動装置１３Ｂは、ケース１３Ａの底部に固定されている。駆動装置１３Ｂのシャフト１３Ｂ１は、台板１３Ｃに固定されている。そして、メスネジ部１３Ｇがオスネジ部１３Ｆの端部に移動したとき、駆動装置１３Ｂは、シャフト１３Ｂ１を矢印３２１の方向に持ち上げる。
【００３８】
モータ１３Ｄと支持部１３Ｅとの間には、棒状のオスネジであるオスネジ部１３Ｆが取り付けられている。モータ１３Ｄの回転によって、オスネジ部１３Ｆが回転し、この回転によって、メスネジ部１３Ｇがオスネジ部１３Ｆの長手方向つまり矢印３１０（ガラス板３００の移動方向）の方向またはその逆方向に移動する。
【００３９】
メスネジ部１３Ｇは、オスネジ部１３Ｆとかみ合うメスネジである。メスネジ部１３Ｇには、ガラス板３００を移動するための移動部１３Ｈが固定されている。移動部１３Ｈの棒状の支柱１３Ｈ１の一端が、図４に示すように、メスネジ部１３Ｇに固定され、他端が、移動窓１２Ａ１から搬送空間に突き出ている。移動窓１２Ａ１は、移動装置１３が設置されている側の側面１２Ａに沿って空けられている、細長形状の窓である。支柱１３Ｈ１の他端には、ガラス板３００を挟むための挟込み部１３Ｈ２が固定されている。表面が弾性物質で被われた棒状体の両端部が、Ｌ字状に折り曲げられて、挟込み部１３Ｈ２が作られている。これによって、挟込み部１３Ｈ２がガラス板３００を挟んだときに、ガラス板３００が挟込み部１３Ｈ２に当たっても、ガラス板３００の破損を防ぐことができる。
【００４０】
以上が、実施の形態１に係る移送部１の構成である。次に、実施の形態１の動作について説明する。
【００４１】
移送部１がガラス板３００を受け入れるために、移動装置１３の駆動装置１３Ｂが台板１３Ｃを矢印３２１の方向に押し上げている。また、モータ１３Ｄがオスネジ部１３Ｆを回転し、メスネジ部１３Ｇが矢印３１０の方向と逆方向つまりモータ１３Ｄ側に移動している。
【００４２】
メスネジ部１３Ｇがモータ１３Ｄ側に到達している状態のときに、ガラス板３００が移送部１に運ばれてくると、駆動装置１３Ｂが台板１３Ｃを下げる。これによって、挟込み部１３Ｈ２が下に移動し、ガラス板３００を挟み込む。この後、モータ１３Ｄが回転し、メスネジ部１３Ｇが矢印３１０の方向に移動する。これによって、挟込み部１３Ｈ２が同じく矢印３１０の方向に移動し、ガラス板３００が浮上した状態で移動する。
【００４３】
ガラス板３００が支持部１３Ｅ側に到達すると、駆動装置１３Ｂが台板１３Ｃを押し上げる。このとき、ガラス板３００が浮上した状態にあり、ガラス板３００と搬送面１１Ｃとの間には、摩擦がないので、ガラス板３００は、慣性によって次の移送部１や制御ユニットに移動していく。
【００４４】
こうして、実施の形態１によれば、ガラス板３００が重いものであっても、移動装置１３がガラス板３００を機械的に移動させるので、ガラス板３００の高速な移動が可能になる。
【００４５】
また、ガラス板３００の移動速度は、モータ１３Ｄの回転数で決まるので、移動速度の制御が容易である。
【００４６】
［実施の形態２］
次に、本発明の実施の形態２について説明する。図５は、実施の形態２に係わる移送部を示す斜視図である。図６は、図５のＩＩＩ−ＩＩＩ断面を示す断面図である。図７は、図５のＩＶ−ＩＶ断面を示す断面図である。
【００４７】
実施の形態２では、図２２に示す浮上搬送システムの中の、複数の移送ユニット１００の代わりに、図５に示す移送部２を用いている。移送部２は、浮上搬送装置であり、図２２に示す複数の移送ユニット１００を連結した形状をしている。移送部２は、基台２１、囲い材２２および移動装置２３を備えている。基台２１は、図６に示すように、搬送面２１Ａに、図２４に示す噴出孔１１３と同じ噴出孔２１Ｂと、同じく、搬送面２１Ａの下側に、図２４の気体室１１４と同じ気体室２１Ｃと備えている。また、実施の形態２では、図２５の噴出孔１１５と気体室１１６に対応するものが設けられていない。
【００４８】
移動装置２３は、ガラス板３００を移動させるための移動手段である。移動装置２３は、駆動装置２３Ａと、ガイドローラ２３Ｂ，２３Ｃとを備えている。ガイドローラ２３Ｂ，２３Ｃは、ガラス板３００を移動させるための回転体である。ガイドローラ２３Ｂ，２３Ｃの表面は、弾性物質で被われている。これによって、ガラス板３００がガイドローラ２３Ｂ，２３Ｃに当たっても、ガラス板３００の破損を防ぐことができる。ガイドローラ２３Ｂとガイドローラ２３Ｃとの間隔ｂ１は、ガラス板３００の幅と同じかまたは多少狭く設定されている。これによって、ガイドローラ２３Ｂとガイドローラ２３Ｃとは、ガラス板３００の側面にそれぞれ確実に接触する。
【００４９】
ガイドローラ２３Ｂの一端が駆動装置２３Ａに接続され、他端が、貫通孔２１Ｄを通って、搬送空間に突き出ている。貫通孔２１Ｄは、駆動装置２３Ａから搬送面２１Ａに至るまで、かつ、図７に示すように、搬送面２１Ａの両側に空けられた孔である。そして、貫通孔２１Ｄは、ガイドローラ２３Ｂ，２３Ｃと同じ数だけ空けられている。ガイドローラ２３Ｂの突出部分の長さｂ２は、ガラス板３００の厚さとガラス板３００の浮上距離を加えたものより、長く設定されている。
【００５０】
同じく、ガイドローラ２３Ｃの一端が駆動装置２３Ａに接続され、他端が、貫通孔２１Ａを通って、搬送空間に突き出ている。ガイドローラ２３Ｂの他端の突出部分の長さは、ガイドローラ２３Ｂと同じ長さｂ２である。
【００５１】
このようなガイドローラ２３Ｂとガイドローラ２３Ｃとは、ガラス板３００の両側面に当たって、ガラス板３００を挟むことになる。
【００５２】
駆動装置２３Ａは、ガイドローラ２３Ｂ，２３Ｃを回転駆動する。つまり、駆動装置２３Ａは、ガイドローラ２３Ｂを反時計方向に回転し、同時に、ガイドローラ２３Ｃを時計方向に回転する。また、浮上搬送システムが密閉状態を保たれている場合、駆動装置２３Ａは、各貫通孔２１Ｄを塞いで、搬送空間の密閉状態を保つ。
【００５３】
以上が、実施の形態２に係る移送部２の構成である。次に、実施の形態２の動作について説明する。
【００５４】
移送部２の駆動装置２３Ａは、図８に示すように、ガイドローラ２３Ｂを反時計方向に回転させ、ガイドローラ２３Ｃを時計方向に回転させる。なお、図８では、噴出孔２１Ｂの図示が省略されている。ガイドローラ２３Ｃが回転しているときに、ガラス板３００が移送部２に入ると、ガイドローラ２３Ｂ，２３Ｃがガラス板３００の両側面に当たる。このとき、ガイドローラ２３Ｂ，２３Ｃがそれぞれ回転しているので、ガラス板３００は、矢印３１０で示す移動方向に動いていく。
【００５５】
こうして、実施の形態２によれば、ガラス板３００が重いものであっても、移動装置２３がガラス板３００を機械的に移動させるので、ガラス板３００の高速な移動が可能になる。
【００５６】
また、ガラス板３００の移動速度は、ガイドローラ２３Ｂ，２３Ｃの回転数で決まるので、駆動装置２３Ａによる移動速度の制御が容易である。
【００５７】
［実施の形態３］
次に、本発明の実施の形態３について説明する。図９は、実施の形態３に係わる移送部を示す斜視図である。図１０は、図９のＶ−Ｖ断面を示す断面図である。図１１は、図９のＶＩ−ＶＩ断面を示す断面図である。
【００５８】
実施の形態３では、図２２に示す浮上搬送システムの中の、複数の移送ユニット１００の代わりに、図９に示す移送部３を用いている。移送部３は、浮上搬送装置であり、図２３に示す複数の移送ユニット１００を連結した形状をしている。移送部３は、基台３１、囲い材３２および移動装置３３を備えている。基台３１は、図１０に示すように、搬送面３１Ａに、図２４に示す噴出孔１１３と同じ噴出孔３１Ｂと、同じく、搬送面３１Ａの下側に、図２４の気体室１１４と同じ気体室３１Ｃと備えている。また、実施の形態３では、図２５の噴出孔１１５と気体室１１６に対応するものが設けられていない。
【００５９】
移動装置３３は、ガラス板３００を移動させるための移動手段である。移動装置３３は、駆動装置３３Ａと、サイドベルト３３Ｂ，３３Ｃとを備えている。サイドベルト３３Ｂ，３３Ｃは、ガラス板３００を移動させるための回転体である。サイドベルト３３Ｂとサイドベルト３３Ｃとは、搬送面３１Ａに長手方向に沿って、搬送面３１Ａの両側に互いに向い合うように、搬送面３１Ａに設置されている。
【００６０】
サイドベルト３３Ｂは、軸部分３３Ｂ１とベルト部分３３Ｂ２とを備えている。軸部分３３Ｂ１は、図１１に示すように、２つ一組で用いられる。２つの軸部分３３Ｂ１は、互いに一定の間隔で基台３１を通して、駆動装置３３Ａに設置されている。つまり、軸部分３３Ｂ１の一端が駆動装置３３Ａに接続され、他端が、貫通孔３１Ｄを通って、搬送空間に突き出ている。貫通孔３１Ｄは、駆動装置３３Ａから搬送面３１Ａに至るまで、かつ、搬送面３１Ａの両側に空けられた孔である。そして、貫通孔３１Ｄは、軸部分３３Ｂ１と同じ数だけ空けられている。軸部分３３Ｂ１の突出部分の長さｃ１は、ガラス板３００の厚さとガラス板３００の浮上距離を加えたものより、長く設定されている。
【００６１】
ベルト部分３３Ｂ２は、折り曲げ自在な弾性材料、例えば、シリコンゴムで作られている。これによって、サイドベルト３３Ｂ，３３Ｃがガラス板３００に当たっても、ガラス板３００の破損を防ぐことができる。ベルト部分３３Ｂ２は、一方の軸部分３３Ｂ１と他方の軸部分３３Ｂ１との間に架け渡されている。かつ、複数設置されている。
【００６２】
軸部分３３Ｃ１とベルト部分３３Ｃ２とを備えるサイドベルト３３Ｃは、サイドベルト３３Ｂと同じように、駆動装置３３Ａに設置されている。このとき、ベルト部分３３Ｃ２とベルト部分３３Ｂ２との間隔ｃ２は、ガラス板３００の幅と同じか、または多少狭く設定されている。これによって、ベルト部分３３Ｃ２とベルト部分３３Ｂ２との間で確実にガラス板３００を挟むことが可能になる。
【００６３】
駆動装置３３Ａは、軸部分３３Ｂ１，３３Ｃ１を回転駆動する。つまり、駆動装置３３Ａは、各軸部分３３Ｂ１を反時計方向に回転し、同時に、各軸部分３３Ｃ１を時計方向に回転する。
【００６４】
以上が、実施の形態３に係る移送部２の構成である。次に、実施の形態３の動作について説明する。
【００６５】
移送部３の駆動装置３３Ａは、図１２に示すように、各軸部分３３Ｂ１を反時計方向に回転し、同時に、各軸部分３３Ｃ１を時計方向に回転する。なお、図１２では、噴出孔３１Ｂの図示が省略されている。各軸部分３３Ｃ１を時計方向に回転によって、ベルト部分３３Ｂ２，３３Ｃ２が、矢印３１０で示す移動方向に回転する。この状態のときに、ガラス板３００が移送部２に入ると、ベルト部分３３Ｂ２，３３Ｃ２がガラス板３００の両側面に当たる。このとき、ベルト部分３３Ｂ２，３３Ｃ２がそれぞれ回転しているので、ガラス板３００は、矢印３１０で示す移動方向に動いていく。
【００６６】
こうして、実施の形態３によれば、ガラス板３００が重いものであっても、移動装置３３がガラス板３００を機械的に移動させるので、ガラス板３００の高速な移動が可能になる。
【００６７】
また、ガラス板３００の移動速度は、ベルト部分３３Ｂ２，３３Ｃ２の回転数で決まるので、駆動装置３３Ａによる移動速度の制御が容易である。
【００６８】
［実施の形態４］
次に、本発明の実施の形態４について説明する。図１３は、実施の形態４に係わる制御ユニットを示す斜視図である。図１４は、図１３のＶＩＩ−ＶＩＩ断面を示す断面図である。
【００６９】
実施の形態４では、図２２に示す浮上搬送システムの中で、制御ユニット２００の代わりに、図１３に示す制御ユニット４を用いている。制御ユニット４は、図１４に示すように、基台４１、囲い材４２、第１制御手段として位置決めピン部４３Ａ〜４３Ｄおよび第２制御手段として駆動ピン部４４Ａ〜４４Ｃを備えている。
【００７０】
基台４１の搬送面４１Ａの中心には、図２８に示す吸引口２１３と同じ吸引口４１Ｂが設けられている。吸引口４１Ｂの周りには、図２８に示す噴出孔２１４，２１７，２１８と同じ噴出孔４１Ｃ，４１Ｄ，４１Ｅだけが設けられている。      
【００７１】
位置決めピン部４３Ａ〜４３Ｄは、静止しているガラス板３００の各側面に位置するように、搬送面４１Ａに設けられている。位置決めピン部４３Ａは、図１５に示すように、基台４１に設けられた設置孔４１Ｆに設置されている。位置決めピン部４３Ａは、本体４３Ａ１と、棒状体としてピン４３Ａ２とを備えている。本体４３Ａ１は、空気圧や油圧を利用して、ピン４３Ａ２を搬送面４１Ａから突き出す。このとき、本体４３Ａ１が突き出すピン４３Ａ２の長さｄ１が、ガラス板３００の厚さとガラス板３００の浮上距離とを加えたものより、長く設定されている。ピン４３Ａ２の表面は、弾性材料で被われている。これによって、ガラス板３００がピン４３Ａ２に当たっても、ガラス板３００の破損を防ぐことができる。
【００７２】
位置決めピン部４３Ｂ〜４３Ｄは、位置決めピン部４３Ａと同じであるので、位置決めピン部４３Ｂ〜４３Ｄの説明を省略する。
【００７３】
これらの位置決めピン部４３Ａ〜４３Ｄによって、移動してくるガラス板３００の動きを止め、また、回転しているガラス板３００の動きを止めて、ガラス板３００の位置決めをすることができる。
【００７４】
駆動ピン部４４Ａ〜４４Ｃは、制御ユニット４の開口４１Ｇ〜４１Ｉと向い合うように、かつ、静止しているガラス板３００を囲むように、搬送面４１Ａの３個所に設置されている。駆動ピン部４４Ａは、図１６に示すように、基台４１に設けられた設置孔４１Ｊに設置されている。位置決め駆動ピン部４４Ａは、本体４４Ａ１と、収納部４４Ａ２とを備えている。本体４４Ａ１は、空気圧や油圧を利用して、収納部４４Ａ２を搬送面４１Ａから突き出す。このとき、本体４４Ａ１が突き出す収納部４４Ａ２の長さｅ１が、ガラス板３００の厚さとガラス板３００の浮上距離を加えたものより、長く設定されている。
【００７５】
搬送面４１Ａ上に突き出された収納部４４Ａ２は、搬送面４１Ａに対して平行に伸縮するロッド４４Ａ３を内部に備えている。ロッド４４Ａ３の設置位置は、ガラス板３００の浮上距離より長く、かつ、ガラス板３００の厚さとガラス板３００の浮上距離を加えたものより短く設定されている。収納部４４Ａ２は、空気圧や油圧を利用して、ロッド４４Ａ３を開口４１Ｇに向けて伸ばす。これによって、ロッド４４Ａ３の先端が、ガラス板３００に接触する。ロッド４４Ａ３の先端が弾性材料で作られているので、ロッド４４Ａ３の先端がガラス板３００に当たっても、ガラス板３００の破損を防ぐことができる。ガラス板３００が浮上しているので、ロッド４４Ａ３による小さい力でも、駆動ピン部４４Ａは、ガラス板３００を開口４１Ｇに向けて移動させることができる。
【００７６】
駆動ピン部４４Ｂ，４４Ｃは、駆動ピン部４４Ａと同じであるので、駆動ピン部４４Ｂ，４４Ｃの説明を省略する。
【００７７】
以上が、実施の形態４に係る制御ユニット４の構成である。次に、実施の形態４の動作について説明する。
【００７８】
制御ユニット４では、ピン４３Ａ２〜４３Ｄ２や収納部４４Ａ２〜４４Ｃ２が、浮上してくるガラス板３００の不必要な障害とならないように、位置決めピン部４３Ａ〜４３Ｄがピン４３Ａ２〜４３Ｄ２を搬送面４１Ａと同じ位置まで下げ、同じく、駆動ピン部４４Ａ〜４４Ｃが収納部４４Ａ２〜４４Ｃ２を搬送面４１Ａと同じ位置まで下げている。この状態のときに、例えば、ガラス板３００が開口４１Ｉから制御ユニット４に入ると、位置決めピン部４３Ａのピン４３Ａ２を搬送面４１Ａの上に突き出す。
【００７９】
これによって、開口４１Ｉを通ってくるガラス板３００は、ピン４３Ａ２に当たり、停止する。この後、ガラス板３００は、静止の状態を保っている。
【００８０】
静止しているガラス板３００を回転する場合、例えば、時計方向にガラス板３００を回転する場合、位置決め用のピン４３Ａ２〜４３Ｄ２を搬送面４１Ａと同じ位置まで下げた後、駆動ピン部４４Ａは、収納部４４Ａ２を搬送面４１Ａ上に突き出す。この後、駆動ピン部４４Ａは、ロッド４４Ａ３をガラス板３００に突き出す。この結果、ロッド４４Ａ３による力が、ガラス板３００の側面の端部に加えられて、ガラス板３００が時計方向に回転する。
【００８１】
回転しているガラス板３００の静止は、位置決めピン部４３Ａ〜４３Ｄによって行われる。
【００８２】
静止しているガラス板３００を送り出す場合、例えば、開口４１Ｇに向けてガラス板３００を動かす場合、位置決めピン部４３Ａ，４３Ｃがピン４３Ａ２，４３Ｃ２を搬送面４１Ａの下側に移動させる。この後、駆動ピン部４４Ａがロッド４４Ａ３を伸ばすと、ガラス板３００には、時計方向に回転する力が加わる。このとき、ガラス板３００が位置決めピン部４３Ｂ，４３Ｄによって、位置決めされているので、ガラス板３００は、開口４１Ｇに向けて動き出す。
【００８３】
こうして、実施の形態４によれば、ガラス板３００が重いものであっても、位置決めピン部４３Ａ〜４３Ｄによって、ガラス板３００の停止や位置決めを機械的に行うので、ガラス板３００の停止や位置決めを確実にすることができる。また、駆動ピン部４４Ａ，４４Ｂ，４４Ｃによる少しの力によって、重いガラス板３００を開口４１Ｇ，４１Ｈ，４１Ｉの方に、迅速に動かすことができる。この結果、重いガラス板３００の停止、静止、方向転換および送り出しを迅速にかつ確実にすることができる。
【００８４】
［実施の形態５］
次に、本発明の実施の形態５について説明する。図１７は、実施の形態５に係わる制御ユニットを示す斜視図である。図１８は、図１７のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ断面を示す断面図である。
【００８５】
実施の形態５では、図２２に示す浮上搬送システムの中で、制御ユニット２００の代わりに、図１７に示す制御ユニット５を用いている。制御ユニット５は、図１８に示すように、基台５１、囲い材５２、第１制御手段として位置決めピン部５３Ａ〜５３Ｄおよび第２制御手段として回転部５４を備えている。
【００８６】
基台５１の搬送面５１Ａの中心には、図２８に示す吸引口２１３と同じ吸引口５１Ｂが設けられている。吸引口５１Ｂの周りには、図２８に示す噴出孔２１４，２１７，２１８と同じ噴出孔５１Ｃ，５１Ｄ，５１Ｅだけが設けられている。また、搬送面５１Ａには、図１４の位置決めピン部４３Ａ〜４３Ｄと同じ位置決めピン部５３Ａ〜５３Ｄが設けられている。
【００８７】
回転部５４は、図１９に示すように、囲い材５２の天井部分５２Ａに設置されている。回転部５４は、本体５４Ａと回転体５４Ｂとを備えている。
【００８８】
回転体５４Ｂは、図２０に示すように、一端が本体５４Ａに接続されている、棒状の回転軸５４Ｂ１の他端に、端部がＬ字状に折り曲げられたＬ字具５４Ｂ１〜５４Ｂ４を備えている。Ｌ字具５４Ｂ１〜５４Ｂ４の表面は、弾性物質で被われている。これによって、Ｌ字具５４Ｂ１〜５４Ｂ４がガラス板３００に当たっても、ガラス板３００の破損を防ぐことができる。Ｌ字具５４Ｂ２とＬ字具５４Ｂ３との間隔ｆ１が、ガラス板３００の横幅に比べて多少広く離され、Ｌ字具５４Ｂ４とＬ字具５４Ｂ５との間隔ｆ２が、ガラス板３００の縦幅に比べて多少広く離されている。これによって、回転体５４Ｂがガラス板３００を確実に補足可能になる。
【００８９】
このような形状の回転体５４Ｂを、本体５４Ａは、回転軸５４Ｂ１を天井部分５２Ａに対して直角方向、つまり、図２０に示す矢印３３１で示す方向およびその逆方向に移動させる。また、本体５４Ａは、図２１に示すように、矢印３３２で示す回転方向およびその逆方向に回転軸５４Ｂ１を回転させる。さらに、本体５４Ａは、矢印３３３で示す移動方向およびその逆方向と、矢印３３４で示す移動方向およびその逆方向に回転軸５４Ｂ１を動かす。
【００９０】
以上が、実施の形態５に係る制御ユニット５の構成である。次に、実施の形態５の動作について説明する。
【００９１】
制御ユニット５では、位置決めピン部５４Ａ〜５４Ｄがピン５４Ａ２〜５４Ｄ２を搬送面５１Ａと同じ位置まで下げている。この状態のときに、例えば、ガラス板３００が開口５１Ｉから制御ユニット５に入ると、位置決めピン部５３Ａのピン５３Ａ２を搬送面５１Ａの上に突き出す。
【００９２】
これによって、開口５１Ｉを通ってくるガラス板３００は、ピン５３Ａ２に当たり、停止する。この後、ガラス板３００は、静止の状態を保っている。
【００９３】
静止しているガラス板３００を回転する場合、例えば、時計方向にガラス板３００を回転する場合、回転部５４は、回転体５４Ｂを矢印３３１の方向、つまり、ガラス板３００に向けて下げる。この結果、ガラス板３００が回転体５４Ｂによって挟まれる。この後、本体５４Ａが回転体５４Ｂを時計方向に回転した後、回転体５４Ｂを矢印３３１と反対方向に上げる。このとき、ガラス板３００は、浮上しているので、慣性によって時計方向に回転し続ける。
【００９４】
回転しているガラス板３００の静止は、位置決めピン部５３Ａ〜５３Ｄによって行われる。
【００９５】
静止しているガラス板３００を送り出す場合、例えば、開口５１Ｇに向けてガラス板３００を動かす場合、回転部５４が回転体５４Ｂを下げて、ガラス板３００を挟む。この後、位置決めピン部５３Ａ〜５３Ｄがピン５３Ａ２〜５３Ｄ２を搬送面５１Ａの下側に移動させる。ガラス板３００を挟むと、回転部５４は、回転体５４Ｂを矢印３３４と逆方向、つまり、開口５１Ｇの方向に動かし、回転体５４Ｂを上げる。ガラス板３００は、浮上しているので、慣性によって開口５１Ｇに向けて移動する。
【００９６】
こうして、実施の形態５よれば、ガラス板３００が重いものであっても、位置決めピン部５３Ａ〜５３Ｄによって、ガラス板３００の停止や位置決めを機械的に行うので、ガラス板３００の停止や位置決めを確実にすることができる。また、回転部５４の少しの移動によって発生する小さな力によって、重いガラス板３００を迅速に送り出すことができる。この結果、重いガラス板３００の停止、静止、方向転換および送り出しを高速にかつ確実にすることができる。
【００９７】
［実施の形態６］
次に、本発明の実施の形態６について説明する。
【００９８】
実施の形態６では、実施の形態１〜実施の形態３の移送部１〜３の中の１種類と、実施の形態４，５の制御ユニット４，５の中の１種類を選択し、選択した種類の移送部および制御ユニットを少なくとも１つ用いて、浮上搬送システムを構成する。
【００９９】
これによって、ガラス板３００の浮上が気体を用いて行われ、ガラス板３００の移動、停止、静止および方向転換がピンやアームを用いた機械的な手段で行われるので、重たいガラス板３００の搬送を高速で、かつ、確実に行うことができる。
【０１００】
［実施の形態７］
次に、本発明の実施の形態７について説明する。実施の形態１〜実施の形態６では、移送部の噴出孔と、制御ユニットの噴出孔とが、搬送面に対して斜め上方向に気体を噴出した。しかし、実施の形態１〜実施の形態６では、ガラス板３００の移動、停止、静止および方向転換がピンやアームを用いた機械的な手段で行われているので、実施の形態７では、噴出孔がガスを噴出する方向を、搬送面に対して垂直方向にしている。
【０１０１】
このような噴出孔を基台の搬送面に設ける際に、搬送面に対して垂直方向から孔空け加工を行えばよいので、孔空け加工を簡単にし、かつ、加工時間を短縮することができる。
【０１０２】
［実施の形態８］
次に、本発明の実施の形態８について説明する。実施の形態４〜実施の形態７では、制御ユニットの中心に吸引孔を設けている。しかし、実施の形態４〜実施の形態７では、ガラス板３００の停止、静止および方向転換がピンやアームを用いた機械的な手段で行われているので、実施の形態８では、搬送面に吸引孔を設けない構造としている。
【０１０３】
このような構造によって、制御ユニットの搬送面に対する工程を減らすことができる。
【０１０４】
以上、実施の形態１〜実施の形態８について説明したが、本発明は、これらの実施の形態に限定されることはない。例えば、ＴＦＴ型液晶ディスプレイ用のガラス板等を気流搬送するものを例としたが、本発明は、ガラス板に限られることなく、各種板状基体を搬送するシステムに適用可能である。
【０１０５】
また、移送部と制御ユニットとに設けられた噴出孔の配列方式としては、各種のものがあるが、本発明は、これら各種の配列方式にも適用が可能である。
【０１０６】
さらに、移送部だけを用いて、板状基体を直線的に搬送するシステムを構成してもよい。
【産業上の利用可能性】
【０１０７】
以上、説明したように、本発明によれば、浮上搬送システムにおいて、浮上している板状基体を押して移動させる移動手段を設けた。また、浮上している板状基体を移動させる移動手段を設け、移動手段には、板状基体の両側面に当たるように設置された複数のローラと、板状基体を移動させるために、各ローラを回転駆動する駆動装置とを設けた。さらに、浮上している板状基体を移動させる移動手段を設け、移動手段には、板状基体の両側面に当たるように設置された少なくとも１組のベルトと、板状基体を移動するために、各ベルトを送る駆動装置とを設けた。これによって、板状基体が機械的な手段によって移動されるので、重い板状基体でも高速で移動させることができる。
【０１０８】
本発明によれば、噴出孔が噴出する気体の噴出方向を、搬送面に対して略直角方向にしたので、噴出孔による噴出方向が搬送面に対して略直角方向にされた。これによって、噴出孔を搬送面に空ける加工が、この搬送面に対して直角方向から行われるので、加工を簡単にすることができる。
【０１０９】
本発明によれば、浮上搬送システムにおいて、浮上している板状基体を押して移動させる移動手段を移送部に設けた。また、浮上している板状基体を移動させる移動手段を移送部に設け、移動手段には、板状基体の両側面に当たるように設置された複数のローラと、板状基体を移動させるために、各ローラを回転駆動する駆動装置とを設けた。さらに、浮上している板状基体を移動させる移動手段を移送部に設け、移動手段には、板状基体の両側面に当たるように設置された少なくとも１組のベルトと、板状基体を移動するために、各ベルトを送る駆動装置とを設けた。これによって、移送部が機械的な手段を用いて板状基体を移動させるので、重い板状基体でも高速で移動させることができる。
【０１１０】
本発明によれば、移送部の噴出孔が噴出する気体の噴出方向を、移送部の搬送面に対して略直角方向にしたので、噴出孔を搬送面に空ける加工が移送部の搬送面に対して直角方向から行われるので、加工を簡単にすることができる。
【０１１１】
本発明によれば、制御ユニットの搬送面下に設けられると共に、移動または回転をしている板状基体の停止または位置決めのために、少なくとも１つの棒状体を搬送面上に突き出す第１制御手段と、この第１制御手段によって静止された板状基体を突いて、板状基体の回転または移動を行う第２制御手段とを制御ユニットに設けた。また、制御ユニットの搬送面下に設けられると共に、移動または回転をしている板状基体の停止または位置決めのために、少なくとも１つの棒状体を搬送面上に突き出す第１制御手段と、この第１制御手段によって静止された板状基体を挟んで、この板状基体の回転または移動を行う第２制御手段とを制御ユニットに設けた。これによって、制御ユニットが機械的な手段を用いて板状基体を停止されるので、板状基体を確実に停止させることができる、かつ、機械的な手段を用いて、板状基体の移動や回転を行うので、静止している板状基体を高速で移動や方向転換させることができる。
【０１１２】
本発明によれば、制御ユニットの噴出孔が噴出する気体の噴出方向を、移送部の搬送面に対して略直角方向にしたので、噴出孔を搬送面に空ける加工が、この搬送面に対して直角方向から行われるので、加工を簡単にすることができる。
【０１１３】
本発明によれば、選択された移送部および制御ユニットを組み合わせてシステムを構成した。これによって、板状基体の移動、停止、静止および方向転換がシステム内では機械的な手段で行われるので、重い板状基体でもシステム内で高速で移動や方向転換をさせることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１１４】
【図１】実施の形態１に係わる移送部を示す斜視図である。
【図２】図１のＩ−Ｉ断面を示す断面図である。
【図３】図２のＩＩ−ＩＩ断面を示す断面図である。
【図４】実施の形態１の移動部を示す断面図である。
【図５】実施の形態２に係わる移送部を示す斜視図である。
【図６】図５のＩＩＩ−ＩＩＩ断面を示す断面図である。
【図７】図５のＩＶ−ＩＶ断面を示す断面図である。
【図８】実施の形態２の動作を説明するための断面図である。
【図９】実施の形態３に係わる移送部を示す斜視図である。
【図１０】図９のＶ−Ｖ断面を示す断面図である。
【図１１】図９のＶＩ−ＶＩ断面を示す断面図である。
【図１２】実施の形態３の動作を説明するための断面図である。
【図１３】実施の形態４に係わる制御ユニットを示す斜視図である。
【図１４】図１３のＶＩＩ−ＶＩＩ断面を示す断面図である。
【図１５】位置決めピン部を示す断面図である。
【図１６】駆動ピン部を示す断面図である。
【図１７】実施の形態５に係わる制御ユニットを示す斜視図である。
【図１８】図１７のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ断面を示す断面図である。
【図１９】実施の形態５に係わる回転部の取り付けの様子を示す断面図である。
【図２０】上記回転部の回転体を示す斜視図である。
【図２１】上記回転体の動きを示す説明図である。
【図２２】従来の板状基体搬送システムを示す平面図である。
【図２３】従来の移送ユニットを示す斜視図である。
【図２４】図２３のＸＩ−ＸＩ断面図である。
【図２５】図２３のＸＩＩ−ＸＩＩ断面図である。
【図２６】従来の移送ユニットによる噴出方向を示す説明図である。
【図２７】従来の制御ユニットを示す斜視図である。
【図２８】従来の移送ユニットによる噴出方向を示す説明図である。
【符号の説明】
【０１１５】
１，２，３  移送部
４，５，２００  制御ユニット
１１，２１，３１，４１，５１，１１０，２１０  基台
１１Ａ，２１Ａ，３１Ａ，４１Ａ，５１Ａ，１１２，２１２  搬送面
１２，２２，３２，４２，５２，１２０，２２０  囲い材
１１Ｂ，２１Ｂ，３１Ｂ,４１Ｃ〜４１Ｅ，５１Ｃ〜５１Ｅ，１１３，
２１５〜２１８，２５１〜２５３  噴出孔
１１Ｃ，２１Ｃ，３１Ｃ，１１４  気体室
１１Ｄ，１２Ａ  側面
１２Ａ１  移動窓
１３，２３，３３  移動装置
１３Ａ  ケース
１３Ｂ，２３Ａ，３３Ａ  駆動装置
１３Ｂ１  シャフト
１３Ｃ  台板
１３Ｄ  モータ
１３Ｅ  支持部
１３Ｆ  オスネジ部
１３Ｇ  メスネジ部
１３Ｈ  移動部
１３Ｈ１  支柱
１３Ｈ２  挟込み部
２１Ｄ，３１Ｄ  貫通孔
２３Ｂ，２３Ｃ  ガイドローラ
３３Ｂ，３３Ｃ  サイドベルト
３３Ｂ１，３３Ｃ１  軸部分
３３Ｂ２，３３Ｃ２  ベルト部分
４１Ｂ，５１Ｂ，２１３  吸引孔
４１Ｆ，４１Ｊ  設置孔
４１Ｇ〜４１Ｉ，５１Ｇ，５１Ｉ  開口
４３Ａ〜４３Ｄ，５３Ａ〜５３Ｄ  位置決めピン部
４３Ａ１，４４Ａ１，５４Ａ  本体
４３Ａ２〜４３Ｄ２，５３Ａ１〜５３Ｄ１  ピン
４４Ａ２  収納部
４４Ａ３  ロッド
４４Ａ〜４４Ｃ  駆動ピン部
５２Ａ  天井部分
５４  回転部
５４Ｂ  回転体
５４Ｂ１  回転軸
５４Ｂ２〜５４Ｂ４  Ｌ字具
１００  移送ユニット
１１１，２１１  供給系
１１２Ａ  中心
１１３Ａ  噴出方向
２１４Ａ〜２１４Ｄ  設定ライン
２１５Ａ〜２１８Ａ  噴出方向
３００  ガラス板
３１０，３１１，３２１、３３１，３３２，３３３，３３４  矢印
ｂ１，ｃ２，ｆ１，ｆ２  間隔
ｂ２，ｃ１，ｄ１，ｅ１  長さ
【図１】
2008195541.tif 000003
【図２】
2008195541.tif 000004
【図３】
2008195541.tif 000005
【図４】
2008195541.tif 000006
【図５】
2008195541.tif 000007
【図６】
2008195541.tif 000008
【図７】
2008195541.tif 000009
【図８】
2008195541.tif 000010
【図９】
2008195541.tif 000011
【図１０】
2008195541.tif 000012
【図１１】
2008195541.tif 000013
【図１２】
2008195541.tif 000014
【図１３】
2008195541.tif 000015
【図１４】
2008195541.tif 000016
【図１５】
2008195541.tif 000017
【図１６】
2008195541.tif 000018
【図１７】
2008195541.tif 000019
【図１８】
2008195541.tif 000020
【図１９】
2008195541.tif 000021
【図２０】
2008195541.tif 000022
【図２１】
2008195541.tif 000023
【図２２】
2008195541.tif 000024
【図２３】
2008195541.tif 000025
【図２４】
2008195541.tif 000026
【図２５】
2008195541.tif 000027
【図２６】
2008195541.tif 000028
【図２７】
2008195541.tif 000029
【図２８】
2008195541.tif 000030