(57)【要約】【課題】タクトタイムの短縮を図ることができる小型のテーブルコータシステム及び塗布方法を提供する。【解決手段】テーブルコータ４及び前工程装置２ｃ、後工程装置５との間で基板の搬送を行う搬送装置３が、ガイドレール１１上をスライド可能な台車１２上にガイドレール１１の延在方向に沿って並べられて配置され、それぞれ、前工程装置２ｃとテーブルコータ４の間の基板の搬送を行う第１の搬送ロボット３ａと、テーブルコータ４及び後工程装置５の間の基板の搬送を行う第２の搬送ロボット３ｂを備える。第１の搬送ロボット３ａ及び第２の搬送ロボット３ｂは、台車１２のスライドによって、第１の搬送ロボット３ａについての前工程装置２ｃ及びテーブルコータ４に対応する位置への切換と、第２の搬送ロボット３ｂについてのテーブルコータ４及び後工程装置５に対応する位置への切換が同時になされる。【選択図】図９Ａ
2008168210.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
定盤上に保持された基板に塗布液を塗布するテーブルコータと、前記テーブルコータにおいて処理される基板の前工程を行う前工程装置と、前記テーブルコータで塗布液が塗布された基板の後工程を行う後工程装置と、前記各装置間で基板の搬送を行う搬送装置とを備えたテーブルコータシステムであって、
前記搬送装置は、
直線的に配置された前記前工程装置、テーブルコータ、後工程装置に沿って延在するガイドレールと、
前記ガイドレール上をスライド可能に構成される台車と、
台車上に前記ガイドレールの延在方向に沿って並べられて配置され前記台車のスライドに伴って前記ガイドレールに沿って一体的に移動可能に構成された、前記前工程装置とテーブルコータの間の基板の搬送を行う第１の搬送ロボット及び前記テーブルコータと前記後工程装置の間の基板の搬送を行う第２の搬送ロボットを備え、
前記第１の搬送ロボット及び第２の搬送ロボットは、前記台車のスライドによって、前記第１の搬送ロボットについての前記前工程装置及びテーブルコータに対応する位置への移動と、前記第２の搬送ロボットについての前記テーブルコータ及び前記後工程装置に対応する位置への移動が同時になされるように構成されていることを特徴とする、テーブルコータシステム。
【請求項２】
前記第１及び第２の搬送ロボットは、前記定盤の幅方向寸法よりも広い間隔で配置されたフィンガーと、前記フィンガーから内側方向に延在する前記基板を支持する基板支持用ツメとを備えるフォークを備え、
前記テーブルコータは、前記定盤の厚み方向に貫通する切り欠きが前記定盤の端縁に設けられるとともに、前記定盤の上側及び下側に前記フィンガーが進退可能なフォーク進退空間が形成され、
前記フィンガーがフォーク進退空間に配置された後、前記基板支持用ツメが前記切り欠きを通って前記定盤の厚み方向に移動することで、前記テーブルコータへの前記基板の受け渡しが可能に構成されていることを特徴とする、請求項１に記載のテーブルコータシステム。
【請求項３】
前記テーブルコータは、前記定盤の基板載置面から上下動可能であり、前記第１の搬送ロボットにより前記定盤に前記基板を載置する際に収納され、前記第２搬送ロボットにより前記定盤から前記基板を取り出すときに突出するように構成された押し出しピンを備えることを特徴とする、請求項１又は２に記載のテーブルコータシステム。
【請求項４】
前記基板支持用ツメは、前記基板を支持する面に基板の滑り止め用の滑り止め部材を有していることを特徴とする、請求項１から３のいずれか１つに記載のテーブルコータシステム。
【請求項５】
厚み方向に貫通する切り欠きが端縁に設けられかつ上下位置に進退領域をおいて配置された定盤上に保持された基板に塗布液を塗布するテーブルコータと、前記テーブルコータにおいて処理される基板の前工程を行う前工程装置と、前記テーブルコータで塗布液が塗布された基板の後工程を行う後工程装置と、前記前工程装置とテーブルコータの間の基板の搬送を行い前記切り欠きに嵌入可能な基板支持用ツメを有する第１の搬送ロボットと、前記テーブルコータ及び前記後工程装置の間の基板の搬送を行い前記切り欠きに嵌入可能な基板支持用ツメを有する第２の搬送ロボットとを備えたテーブルコータシステムを用いた基板の搬送方法であって、
前記第１搬送ロボットと前記第２搬送ロボットをそれぞれ、前工程装置及びテーブルコータに対応させる位置へ同時に移動させ、
前記第１搬送ロボットによる前工程装置からの基板の取り出しと、前記基板支持用ツメを前記定盤の下側の間隙に挿入した後、前記切り欠きを通過するように前記第２搬送ロボットを上昇させることによって行われるテーブルコータからの基板の取り出しを同時に行い、
前記第１の搬送ロボットについての前記前工程装置とテーブルコータ間でそれぞれに対応する位置への移動と、前記第２の搬送ロボットについての前記テーブルコータと前記後工程装置間でそれぞれに対応する位置への移動を同時に行い、
前記フィンガーを前記定盤の上側に配置した後、前記第１搬送ロボット前記基板支持用ツメが前記切り欠きを通過するように下降させることによって行われるテーブルコータへの基板の供給と、前記第２搬送ロボットによる後工程装置への基板の供給を同時に行うことを特徴とする、基板の搬送方法。
【請求項６】
前記第１及び第２の搬送ロボットは、前記定盤の幅方向寸法よりも広い間隔で配置されたフィンガーと、前記フィンガーから内側方向に延在する前記基板を支持する基板支持用ツメとを備え、
前記第１搬送ロボットによる前記定盤への基板の供給は、前記基板を基板支持用ツメに支持した状態で前記フィンガーを定盤の上側へ配置させたあと、前記基板支持用ツメを前記定盤の切り欠きに嵌入させつつ前記定盤の下側位置へ移動させ、前記定盤の下側の進退領域を通して退進させることを特徴とする、請求項５に記載の基板の搬送方法。
【請求項７】
前記第２搬送ロボットによる前記定盤からの基板の取り出しは、前記フィンガーを定盤の下側の進退領域へ配置させたあと前記フィンガーを上昇させ、前記基板支持用ツメを前記定盤の切り欠きを嵌入させつつ前記定盤の上側位置へ移動させて基板支持用ツメに基板を支持することを特徴とする、請求項６に記載の基板の搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイなどのフラットパネルディスプレイの製造分野において、ガラスなどの枚葉ごとの基板に短いタクトタイムで塗布液を塗布するテーブルコータシステム及び塗布方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
高精度に塗布液を塗布する手段として、スリット状の吐出口を持つダイから塗布液を一定間隔離れた基材に吐出して塗布を行うテーブルコータ塗布がある。そして、テーブルコータは、近年、フィルム等の連続した基材の他に、ガラス等の枚葉状基板へ塗布液を塗布する工程にも適用されている。枚葉状基板への塗布は、シート状基材への連続塗布とは異なり、特開２０００−１９７８４４号公報（特許文献１）に示されるように各基板ごとの塗布以外に、基板のテーブルへの載置および排出、テーブルまたはダイの移動、さらに、塗布開始部で所定の膜厚を安定して得るために行うダイ吐出口の清掃、といった種々の処理作業が必要となる。枚葉状基板への塗布工程で生産性を向上させるには、１枚の基板の処理に要する時間（タクトタイム）を短くすれば良いが、そのためには、塗布はもちろんのこと上記の塗布以外の処理作業時間を短縮することが必要となる。
【０００３】
各処理作業時間を短縮するのは容易ではないため、作業時間をかえないでも大幅にタクトタイムを短くできる手段の一つが、特開２００２−１０２７７１号公報（特許文献２）に開示されている。この装置では、テーブルコータのステージ上に２枚の基板を載置し、当該テーブルコータの両側方にそれぞれのステージに基板を供給・搬出するための搬送ロボットを設ける構成である。そして、一方のステージの塗布時に他方の基板の搬送を行うことによって、テーブルコータの塗布と搬送を２つの搬送ロボットを交互に用いることによって、塗布工程が断続することなく連続して行うことで、各処理の作業時間に関係なく、基板１枚あたりのタクトタイムの短縮を図っている。
【特許文献１】特開２０００−１９７８４４号公報
【特許文献２】特開２００２−１０２７７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、前記装置では、テーブルコータに基板を載置するためのステージを複数必要とし、テーブルコータが大型化する。また、テーブルコータに基板を搬送するための搬送ロボットが互いに干渉しないようにするために、搬送ロボットをテーブルコータに対して両側方に２箇所配置しなければならず、装置の設置スペースも大きくなる。
【０００５】
このため、装置のコスト、設置スペース、メンテナンス、据え付け時の調整などが困難であり、工期の増大の原因となっていた。
【０００６】
したがって、本発明が解決しようとする技術的課題は、前工程から及び後工程への基板の搬送方法を工夫することにより１つのテーブルコータを用いてタクトタイムの短縮を図ることができる小型のテーブルコータシステム及び塗布方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記技術的課題を解決するために、以下の構成のテーブルコータシステム及び塗布方法を提供する。
【０００８】
本発明の第１態様によれば、定盤上に保持された基板に塗布液を塗布するテーブルコータと、前記テーブルコータにおいて処理される基板の前工程を行う前工程装置と、前記テーブルコータで塗布液が塗布された基板の後工程を行う後工程装置と、前記各装置間で基板の搬送を行う搬送装置とを備えたテーブルコータシステムであって、
前記搬送装置は、
直線的に配置された前記前工程装置、テーブルコータ、後工程装置に沿って延在するガイドレールと、
前記ガイドレール上をスライド可能に構成される台車と、
台車上に前記ガイドレールの延在方向に沿って並べられて配置され前記台車のスライドに伴って前記ガイドレールに沿って一体的に移動可能に構成された、前記前工程装置とテーブルコータの間の基板の搬送を行う第１の搬送ロボット及び前記テーブルコータと前記後工程装置の間の基板の搬送を行う第２の搬送ロボットを備え、
前記第１の搬送ロボット及び第２の搬送ロボットは、前記台車のスライドによって、前記第１の搬送ロボットについての前記前工程装置及びテーブルコータに対応する位置への移動と、前記第２の搬送ロボットについての前記テーブルコータ及び前記後工程装置に対応する位置への移動が同時になされるように構成されていることを特徴とする、テーブルコータシステムを提供する。
【０００９】
本発明の第２態様によれば、前記第１及び第２の搬送ロボットは、前記定盤の幅方向寸法よりも広い間隔で配置されたフィンガーと、前記フィンガーから内側方向に延在する前記基板を支持する基板支持用ツメとを備えるフォークを備え、
前記テーブルコータは、前記定盤の厚み方向に貫通する切り欠きが前記定盤の端縁に設けられるとともに、前記定盤の上側及び下側に前記フィンガーが進退可能なフォーク進退空間が形成され、
前記フィンガーがフォーク進退空間に配置された後、前記基板支持用ツメが前記切り欠きを通って前記定盤の厚み方向に移動することで、前記テーブルコータへの前記基板の受け渡しが可能に構成されていることを特徴とする、第１態様のテーブルコータシステムを提供する。
【００１０】
本発明の第３態様によれば、前記テーブルコータは、前記定盤の基板載置面から上下動可能であり、前記第１の搬送ロボットにより前記定盤に前記基板を載置する際に収納され、前記第２搬送ロボットにより前記定盤から前記基板を取り出すときに突出するように構成された押し出しピンを備えることを特徴とする、第１又は第２態様のテーブルコータシステムを提供する。
【００１１】
本発明の第４態様によれば、前記基板支持用ツメは、前記基板を支持する面に基板の滑り止め用の滑り止め部材を有していることを特徴とする、第１から第３態様のいずれかのテーブルコータシステムを提供する。
【００１２】
本発明の第５態様によれば、厚み方向に貫通する切り欠きが端縁に設けられかつ上下位置に進退領域をおいて配置された定盤上に保持された基板に塗布液を塗布するテーブルコータと、前記テーブルコータにおいて処理される基板の前工程を行う前工程装置と、前記テーブルコータで塗布液が塗布された基板の後工程を行う後工程装置と、前記前工程装置とテーブルコータの間の基板の搬送を行い前記切り欠きに嵌入可能な基板支持用ツメを有する第１の搬送ロボットと、前記テーブルコータ及び前記後工程装置の間の基板の搬送を行い前記切り欠きに嵌入可能な基板支持用ツメを有する第２の搬送ロボットとを備えたテーブルコータシステムを用いた基板の搬送方法であって、
前記第１搬送ロボットと前記第２搬送ロボットをそれぞれ、前工程装置及びテーブルコータに対応させる位置へ同時に移動させ、
前記第１搬送ロボットによる前工程装置からの基板の取り出しと、前記基板支持用ツメを前記定盤の下側の間隙に挿入した後、前記切り欠きを通過するように前記第２搬送ロボットを上昇させることによって行われるテーブルコータからの基板の取り出しを同時に行い、
前記第１の搬送ロボットについての前記前工程装置とテーブルコータ間でそれぞれに対応する位置への移動と、前記第２の搬送ロボットについての前記テーブルコータと前記後工程装置間でそれぞれに対応する位置への移動を同時に行い、
前記フィンガーを前記定盤の上側に配置した後前記第１搬送ロボット前記基板支持用ツメが前記切り欠きを通過するように下降させることによって行われるテーブルコータへの基板の供給と、前記第２搬送ロボットによる後工程装置への基板の供給を同時に行うことを特徴とする、基板の搬送方法を提供する。
【００１３】
本発明の第６態様によれば、前記第１及び第２の搬送ロボットは、前記定盤の幅方向寸法よりも広い間隔で配置されたフィンガーと、前記フィンガーから内側方向に延在する前記基板を支持する基板支持用ツメとを備え、
前記第１搬送ロボットによる前記定盤への基板の供給は、前記基板を基板支持用ツメに支持した状態で前記フィンガーを定盤の上側へ配置させたあと、前記基板支持用ツメを前記定盤の切り欠きに嵌入させつつ前記定盤の下側位置へ移動させ、前記定盤の下側の進退領域を通して退進させることを特徴とする、第５態様の基板の搬送方法を提供する。
【００１４】
本発明の第７態様によれば、前記第２搬送ロボットによる前記定盤からの基板の取り出しは、前記フィンガーを定盤の下側の進退領域へ配置させたあと前記フィンガーを上昇させ、前記基板支持用ツメを前記定盤の切り欠きを嵌入させつつ前記定盤の上側位置へ移動させて基板支持用ツメに基板を支持することを特徴とする、第６態様の基板の搬送方法を提供する。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、前工程装置、テーブルコータ及び後工程装置の各装置間で基板の搬送を行う搬送装置を台車上に第１及び第２の搬送ロボットを並べて配置するとともに、台車のスライドによって、対応する装置を同時に切り換えることができるため、２つの搬送ロボットが互いに干渉することなく、第１及び第２の搬送ロボットによって同時に基板の収納及び取り出しを行うことができる。よって、基板１枚に対するタクトタイムを短くすることができる。さらに、搬送装置は、第１及び第２の搬送ロボットを１つの台車上に配置しているため、ガイドレールを共有にすることができ、ガイドレールを設置するスペースを少なくして装置を小型化することができる。
【００１６】
また、本発明の第２、第６，第７態様によれば、フィンガーの内側に延在する基板支持用ツメによって基板を支持しているので、基板支持用ツメを定盤の切り欠きに嵌入させながら第１及び第２搬送ロボットを上下移動させることで、基板を定盤に配置した状態のままフォークを進退させることができる。
【００１７】
本発明の第３態様によれば、基板を定盤から取り出す際に押し出しピンにより予め持ち上げられ、基板が定盤表面との密着力が解放されるため、フォークの上昇動作がスムーズになり、基板を持ち上げやすくなる。
【００１８】
本発明の第４態様によれば、基板支持用ツメの滑り止めによって、基板が搬送ロボットから脱落することを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の一実施形態に係るテーブルコータシステムについて、図面を参照しながら説明する。
【００２０】
図１に、本発明の実施形態にかかるテーブルコータシステムの構成例を示す。このテーブルコータシステム１は、クリーンルーム内に設置され、たとえば液晶ディスプレイ用の基板を被処理基板とし、液晶ディスプレイ製造プロセスにおいてフォトリソグラフィー工程の中のレジスト塗布、減圧乾燥、ベーキング等の各処理を行うものである。
【００２１】
このテーブルコータシステム１は、図２に示すように、ホストコンピュータ８１からの制御指示を受けて、下記の各ユニットを動作させるシーケンスコントローラ８２が設けられている。ホストコンピュータ８１は設定入力部８０からの設定情報に基づいて、シーケンスコントローラ８２を動作させる。
【００２２】
テーブルコータシステム１には、第１及び第２の搬入側クールプレート（Ｃ／Ｐ）２ａ，２ｂ、ターンテーブル（Ｔ／Ｔ）２ｃ、テーブルコータ（Ｔ／Ｃ）４、減圧乾燥機（ＶＣＤ）５，第１及び第２のホットプレート（Ｈ／Ｐ）７ａ，７ｂ、第１及び第２の搬出側クールプレート（Ｃ／Ｐ）９ａ，９ｂの各装置と、当該各装置間で基板を搬送する搬送装置３，６，８を備える。
【００２３】
搬入側クールプレート２ａ，２ｂは、本実施形態にかかるテーブルコータシステム１において処理される基板を冷却するための部材である。この処理は例えば、液晶ディスプレイ用の基板に塗布液を塗布する場合などの前処理として用いられる。搬入側クールプレート２ａ，２ｂはそれぞれ１枚の基板をローラコンベアで順次搬送し、本システムの前工程の装置で行われた洗浄及び洗浄液の加熱乾燥によって熱くなっている基板を所定温度まで冷却する。なお、クールプレートは温度ムラをなくすため、ローラコンベアのローラの位置をずらして２台設けられている。
【００２４】
ターンテーブル２ｃは、テーブルコータ４に配置する向きを調整するために、搬入側クールプレート２ｂから搬送された基板を９０度回転させるためのテーブルである。搬入側クールプレート２ａ，２ｂでは、基板の長手方向が搬送方向となるように搬送されているが、当該ターンテーブル２ｃにおいて、基板を回転させ、基板の短手方向が搬入側クールプレート２ａ，２ｂにおける搬送方向（矢印７１）に向くようにする。
【００２５】
搬送装置３は、ターンテーブル２ｃ上の基板をテーブルコータ４への供給・搬出、及び減圧乾燥機５への収納を行う。搬送装置３は、図３に示すように２つの搬送ロボット３ａ，３ｂを備える。第１及び第２の搬送ロボット３ａ，３ｂは、ガイドレール１１上を矢印６１，６２に示す方向に往復移動可能に構成されており、スライドする台車１２上に設けられており、基板を供給及び取り出しする装置を台車のスライドで変更することができる。搬送装置３の具体的な構成については後述する。
【００２６】
テーブルコータ４は、搬送装置３から供給された基板に、塗布液を塗布する処理が行われる。テーブルコータ４は、塗布液の種類にもよるが基板の表面から８０から１５０μｍ程度のごくわずかな隙間をおいて配置された長手形状のダイ（図示なし）を基板表面に沿って移動させ、ダイの吐出口から吐出された塗布液を基板上に塗布する。ダイは、上下方向に移動可能に構成されており、用いる基板の厚み寸法などに応じて、その位置を調整できるようになっている。テーブルコータ４の具体的な構成については後述する。
【００２７】
テーブルコータ４の下流側には、減圧乾燥機５が設けられる。減圧乾燥機５は、テーブルコータ４によって塗布液が塗布された基板を１０〜４００Ｐａ程度に減圧された状態で６０から１２０℃程度に加熱して乾燥させる装置である。減圧乾燥時において基板を加熱するヒータを備えていてもよい。
【００２８】
ターンテーブル２ｃ、テーブルコータ４，減圧乾燥機５は、それぞれ隣り合う装置の間隔が等しくなるように直線的に配置されている。また、後述する搬送装置３のガイドレール１１（図３参照）は、前記３つの装置の配列方向に略平行になるように配置されると共に、２つの搬送ロボット３ａ，３ｂ間の間隔Ａ（図３参照）は、前記３つの装置の隣り合う２つの間隔とほぼ等しくなるように構成されている。
【００２９】
したがって、第１の搬送ロボット３ａがターンテーブル２ｃに対応する位置に存在するとき、第２の搬送ロボット３ｂはテーブルコータ４に対応する位置に存在することとなる。また、第１の搬送ロボット３ａがテーブルコータ４に対応する位置に存在するとき、第２の搬送ロボット３ｂは減圧乾燥機５に対応する位置に存在することとなる。
【００３０】
減圧乾燥機５の下流側には、減圧乾燥処理を行った基板を減圧乾燥機５から取り出し、第１及び第２のホットプレート７ａ，７ｂへ収納するための搬送装置６が設けられている。搬送装置６は、減圧乾燥機５からの基板取り出し方向７７に対して９０゜方向に延在するガイドレール上を矢印６３，６４に示すように往復移動可能に、また、減圧乾燥機５から取り出した基板をホットプレートに収納するためにフォークの向きを異ならせるように回転運動可能に構成されている。搬送装置６は、当該ガイドレール上の位置を異ならせることによって基板を収納するホットプレートの切り換えを行うことができるようになっている。
【００３１】
ホットプレート７ａ，７ｂは、減圧乾燥がなされた基板をベーキングし、塗布液を固化させるための装置である。第１及び第２のホットプレート７ａ，７ｂは、それぞれ搬送装置６のガイドレールの両端近傍に配置されている。ホットプレートを２つ設けることによってテーブルコータ４，減圧乾燥機５における処理のタクトタイムよりも長い処理時間が必要なベーキング処理を並行して行い、装置全体の処理速度を速めることができる。
【００３２】
第１及び第２のホットプレート７ａ，７ｂでベーキング処理が行われた基板は、搬送装置８によってクールプレート９ａ、９ｂに搬送される。搬送装置８は、搬送装置６のガイドレールとほぼ平行に設けられたガイドレールに沿って矢印６５，６６に示すように往復移動可能に、また、第１及び第２のホットプレート７ａ，７ｂから取り出した基板を第１の搬出側クールプレート９ａに収納するためにフォークの向きを異ならせるように回転運動可能に構成されている。搬送装置８は、当該ガイドレール上の位置を異ならせることによって基板を取り出すホットプレートの切り換え及びクールプレート９ａへの基板の搬送位置に移動することができるようになっている。
【００３３】
クールプレート９ａ，９ｂは、ベーキング処理によって加熱された基板を冷却するための装置である。クールプレート９ａ，９ｂによって冷却された基板は、図示しないローラコンベアによって装置外部に搬出される。
【００３４】
次に、搬送装置３及びテーブルコータ４の構成について詳細に説明する。図３は、搬送装置３の構成を示す斜視図である。搬送装置３は、上述のように、ターンテーブル２ｃ上の基板をテーブルコータ４への供給・搬出及び減圧乾燥機５への収納を行う。搬送装置３のガイドレール１１は、基台１０上に設けられ、ターンテーブル２ｃ、テーブルコータ４，減圧乾燥機５の３つの装置の配列方向とほぼ平行して延在する。したがって、ガイドレール１１に搭載された台車１２は、ガイドレール１１に沿ってターンテーブル２ｃ、テーブルコータ４，減圧乾燥機５の配置方向に往復移動可能に構成される。
【００３５】
台車１２に搭載された２つの搬送ロボット３ａ，３ｂは、ガイドレール１１の延在方向に配列されており、台車１２のスライドによって同時かつ同量だけ移動する。ここで、ターンテーブル２ｃに近い側に配置される搬送ロボットを第１の搬送ロボット３ａ、減圧乾燥機５に近い側に配置される搬送ロボットを第２の搬送ロボット３ｂとする。
【００３６】
各搬送ロボット３ａ，３ｂはそれぞれ基板を保持するフォーク１５ａ，１５ｂを備えており、独立してフォーク１５ａ，１５ｂを駆動させることによって、互いに独立して基板の受け渡しを行うことができる。第１及び第２の搬送ロボット３ａ，３ｂは同様の構成を有しており、以下、両者を代表して第１の搬送ロボット３ａの構成を説明する。
【００３７】
第１の搬送ロボット３ａは、台部１３ａと、台部１３ａに連結されたフォーク１５ａを備える。台部１３ａは、フォーク１５ａを台車１２に対して上下移動可能に構成されている。また、フォーク１５ａは、後述する伸縮機構（図５参照）により台部１３ａに対して進退可能に構成されている。
【００３８】
フォーク１５ａは、図４Ａ、図４Ｂに示すように、フィンガー１６とフィンガー１６から内側に設けられた基板支持用ツメ１７とを備える。フィンガー１６は、定盤４１（図７Ａ参照）の短手方向幅よりも若干広い間隔をおいて平行に配置されている。本実施形態においては、２つのフィンガー１６の間の間隔は固定されているが、調整可能に構成してもよい。
【００３９】
基板支持用ツメ１７は、各フィンガー１６のそれぞれ２箇所に、フィンガー１６から互いに内側を向くように設けられる。基板支持用ツメ１７は、基板の落下を防ぐために、フィンガー１６に対して下側位置に設けられている。基板支持ツメ１７は、サイズの異なる基板を保持できるように段差が設けられており、段差で区画される載置面１９，２０に基板を載置可能に構成されている。基板支持持用ツメ１７の各載置面１９，２０には、基板の滑りを防止するためのシリコンゴム製の滑り止め部材１８が設けられている。
【００４０】
図５は、搬送ロボット３ａの構成を示す図である。搬送ロボット３ａは、台部１３ａに連結されフォーク１５ａ，１５ｂを移動させる伸縮機構２１を備えている。伸縮機構２１は、２つのアーム２６，２８が、連結軸２７によって連結されている。また、第１のアーム２６は台部１３ａに連結軸２２によって連結され、第２のアーム２８が、フォーク１５ａのプレート３１に連結軸３０によって連結されている。２つのアーム２６，２８台部１３ａ，フォーク１５ａを連結する連結軸２２，２７，３０は、それぞれ連結する部材を軸中心に回転可能に構成されており、２つのアーム２６，２８がなす角度を異ならせることによって伸縮できるようになっている。また、伸縮機構２１は、伸縮時において、フォーク１５ａのフィンガー１６の向きが変化しないように構成されている。
【００４１】
次にテーブルコータ４の構成について説明する。図６は、テーブルコータ４の構成を示す斜視図である。テーブルコータ４は、基板が載置される定盤４１と、定盤４１との間に間隙４７を有するように定盤４１を収納する外側ステージ４０とを備える。外側ステージ４０は、略箱状の部材であり、定盤４１の３方を囲うように構成された外部壁４３を備える。定盤４１は、外部壁４３に囲まれるように脚部材４６によって外側ステージ４０に固定される。
【００４２】
外部壁４３には、定盤４１の長手方向辺に対向する位置にガイドレール４４が設けられ、短手方向辺に対向する位置にプライミング部４２が設けられている。
【００４３】
ガイドレール４４は、基板の表面に塗布液を塗布するためのダイ（図示なし）を備えるスライダ（図示なし）を係合案内するための部材である。ダイは、上下方向に移動可能に構成されており、用いる基板の厚み寸法などに応じて、その位置を調整できるようになっている。当該ノズルは、基板とは塗布液の種類にもよるが８０から１５０μｍ程度のごくわずかな隙間を空けて配置され、塗布液を吐出しながら基板の上を走査することにより、基板の表面に塗布液が塗布される。
【００４４】
プライミング部４２は、たとえば、塗布動作後、ダイの吐出口に残った余分な塗布液を拭き取り、吐出口を均一に清浄化するためのものである。プライミング部は、ダイの延在方向に延在する軸を中心として回転駆動するローラなどで構成されており、ダイの吐出口を当該ローラの表面に接触させて、清浄化を行う。
【００４５】
定盤４１は基板を載置するための基板載置ステージとして機能するものであり、基板を真空引き吸着するための吸引穴５０及び真空引きされた基板と定盤４１との間の真空破壊するための押し出しピン４９が設けられている。
【００４６】
塗布動作時には、基板は吸引穴５０から真空引きされて基板載置面４５に密着固定される。塗布動作終了後、基板を取り出すときには、真空引きは停止するものの、基板と基板載置面４５には密着力が残っている。
【００４７】
押し出しピン４９は、図示しない駆動機構により定盤４１の基板載置面４５から上下動可能に駆動する。基板載置面４５に基板が載置された状態で押し出しピン４９が基板載置面から突出することで、基板と基板載置面４５との間の密着力が解放され、基板を取り出しやすくすることができる。押し出しピン４９の突出量は基板の定盤４１への密着力が解放できるだけのわずかな量でよい。
【００４８】
吸引穴５０は、図示しない吸引機構に連結され、基板を基板載置面４５に真空吸着させて固定するためのものである。
【００４９】
また、定盤４１には、長手方向片の４箇所に、定盤４１の厚み方向に貫通する切り欠き４８が設けられている。当該切り欠き４８は図７Ａ，図７Ｂに示すように、フォーク１５ａ，１５ｂの基板支持用ツメ１７が嵌入可能な大きさに構成されている。したがって、フォーク１５ａ，１５ｂは、当該切り欠き４８に基板支持用ツメ１７が嵌入した状態で、定盤４１の厚み方向に移動することができる。なお、切り欠き４８の深さ寸法は、図７Ｃに示すように、基板１００の塗布液が塗布される領域１０１の外側の非塗布領域１０２に収まるようにすることが好ましい。
【００５０】
また、定盤４１と外側ステージ４０との間の間隙４７は、定盤４１の外周及び定盤４１の切り欠き４８の下側まで広がっている。フォーク１５ａ，１５ｂのフィンガー１６は、定盤４１と外側ステージの外部壁４３との間に形成された間隙４７を通って定盤４１の上側及び下側の双方から出し入れ可能となっている。すなわち、間隙４７は、定盤４１の下側に設けられたフォーク１５ａ，１５ｂのフィンガーの進退空間として機能するものである。
【００５１】
前記のように、フォーク１５ａ，１５ｂのフィンガー１６の幅は、定盤４１の短手方向幅よりも広く構成され、基板を支持する基板支持用ツメ１７が定盤４１の切り欠きに嵌入するようになっているので、基板支持用ツメ１７に基板が載置され、さらにフィンガー１６を定盤４１の上に配置させた状態で、フォーク１５ａ，１５ｂが定盤４１の上側から下側に移動することによって、基板載置面４５に基板が載置され、基板をテーブルコータ４の定盤４１に載置することができる。このとき、なお、基板を定盤４１に載置して定盤４１の下側に移動したフォーク１５ａ，１５ｂは、定盤４１の下側の間隙４７を通って、テーブルコータ４から取り出すことができる。
【００５２】
また、基板をテーブルコータ４から取り出すには、フォーク１５ａ，１５ｂを定盤４１の下側の間隙４７に挿入し、上方向に移動させることによって、基板載置面４５に載置されている基板を基板支持用ツメ１７に載置させることができる。なお、このとき、前記の押し出しピン４９を定盤４１の表面から突出させて、基板と基板載置面４５との間の密着力を解放しておくことが好ましい。
【００５３】
次にこのテーブルコータシステム１における処理手順について説明する。図８は、本実施形態にかかるテーブルコータシステムの処理手順を示すフローチャートである。
【００５４】
まず、本テーブルコータシステム１に搬入された基板は、矢印７１に示すように搬入側クールプレート２ａ，２ｂにより冷却され、矢印７２に示すようにターンテーブル２ｃに搬送される。ターンテーブル２ｃでは、９０゜回転した後に基板の位置決めがなされる（＃１）。位置決めは、第１の搬送ロボット３ａとの相対的な位置が毎回同じになるように、ターンテーブル２ｃに設けられたツメ（図示せず）で位置ずれを修正する動作である。
【００５５】
次に矢印７３に示すように、位置決めされた基板を第１の搬送ロボット３ａにより取り出す（＃２）。なお、このタイミングでテーブルコータ４に配置されている基板が矢印７５に示すように第２の搬送ロボット３ｂにより取り出される。この搬送装置３による基板の受け渡しの処理（＃２〜＃５）については後で詳細に説明する。
【００５６】
搬送ロボット３ａ，３ｂに基板が保持された後、搬送装置の台車１２が矢印６１方向へ移動し、第１の搬送ロボット３ａがテーブルコータ４に対応する位置へ配置されると共に、第２の搬送ロボット３ｂが減圧乾燥機５に対応する位置へ配置される（＃３）。
【００５７】
次に、第１の搬送ロボット３ａの伸縮機構２１が伸び、矢印７４に示すように基板がテーブルコータ４に収納される。なお、このタイミングで第２の搬送ロボット３ｂは、矢印７６に示すように基板を減圧乾燥機５へ収納する（＃４）。
【００５８】
第１及び第２の搬送ロボット３ａ，３ｂから基板が搬出された後、台車１２が矢印６２方向に移動する（＃５）。
【００５９】
減圧乾燥機５において、減圧乾燥がされた後、搬送装置６の搬送ロボットにより矢印７７に示すように基板が取り出され、搬送ロボットが収納すべきホットプレートに対応する位置へ移動する（＃６）。
【００６０】
搬送装置６により、矢印７８又は７９に示すように基板がホットプレート７ａ又は７ｂへ収納され、ベーキング処理がなされる（＃７）。
【００６１】
ベーキング処理が終了した後、矢印８０又は８１に示すように搬送装置８により基板がホットプレート７ａ又は７ｂから取り出され（＃８）、矢印８２に示すように搬出側クールプレート９ａに収納される（＃９）。クールプレート９ａに収納された基板は、矢印８３に示すように、クールプレート９ｂへと移動し（＃１０）十分に冷却された後、装置外部に搬出される。
【００６２】
次に、搬送装置３における基板の受け渡しの処理について詳細に説明する。図９Ａは、搬送装置３における各部材の動作工程を示す図であり、図９Ｂはテーブルコータにおける処理工程を示すタイミングチャートである。以下、図９Ａ，図９Ｂでは、一枚の基板に着目して、どのように各動作工程がなされるかを分かりやすく説明するため、図８におけるステップ＃４の状態から説明を進める。すなわち、前記基板の受け渡しの処理は、＃４、＃５、＃２，＃３の順で繰り返し進行する場合について説明する。
【００６３】
なお、図９Ａにおける基準となる基板は基板１００Ａである。図９Ｂでは、基板１００Ａにおいての各処理は、黒枠で示されるタイミングでなされる。また、基板１００Ａに隣り合う２つの基板、すなわち、基板１００Ａの１つ前に処理される基板１００Ｂ及び基板１００Ａの１つ後に処理される基板１００Ｃは図９Ｂにおいて横線枠で示されるタイミングで処理がなされる。また、基板が載置されていない状態での各装置の動作は図９Ｂにおいて斜線枠で示される。
【００６４】
クールプレートにおいて冷却された基板がターンテーブル２ｃに送られたあと、第１の搬送ロボット３ａが基板１００Ａの取り出しを行うまでの間、ターンテーブル２ｃ上で基板が待機する。第１の搬送ロボット３ａがターンテーブル２ｃから基板を取り出した後、台車１２が矢印６１に示す方向に移動し（図９Ａ（ａ））その後、第１の搬送ロボット３ａの伸縮機構２１が前進して定盤４１の上に移動し、第１の基板１００Ａがテーブルコータ４に送られる。なお、この一連の動作において、第２の搬送ロボット３ｂでは、基板１００Ｂがテーブルコータ４から取り出され、減圧乾燥機５に送る工程が行われている。
【００６５】
その後、フォーク１５ａが下降すると共に、定盤４１の吸引を行い基板を定盤４１上に配置する。すなわち、フォーク１５ａの基板支持用ツメ１７が定盤の切り欠き４８内を上から下へ貫通することにより、基板が定盤の表面へ移動する。また、減圧乾燥機５では、同じタイミングでフォーク１５ｂが下降し、減圧乾燥機５内へ基板１００Ｂが配置される（図９Ａ（ｂ）参照）。
【００６６】
その後、搬送ロボット３ａの伸縮機構２１が後退し、フォーク１５ａが元の位置に戻ると共に、このタイミングで第２の搬送ロボット３ｂの伸縮機構２１が後退し、フォーク１５ｂが元の位置に戻る（図９Ａ（ｃ）参照）。なお、このタイミングで次の基板１００Ｃがターンテーブル２ｃに搬送されるまでの工程がなされている。
【００６７】
当該工程と平行して、テーブルコータ４により、基板１００Ａに塗布液が塗布される。その後搬送装置３の台車１２が矢印６２に示すように移動する（図９Ａ（ｄ）参照）。
【００６８】
なお、基板の配置を行う間、テーブルコータ４はプライミング部４２によりダイの吐出口の洗浄を行っており、基板１００Ａの配置後すぐに塗布工程を開始できるようになっている。塗布工程では、ダイがプライミング部４２から塗工位置への移動、塗工処理が連続して行われる。基板１００Ａへの塗工が終了すると、押し出しピン４９が上昇し基板１００Ａが取り出し可能な状態となる。
【００６９】
なお、テーブルコータ４による塗布処理時に、第１及び第２の搬送ロボット３ａ，３ｂの伸縮機構が前進し、フォーク１５ａ，１５ｂがそれぞれターンテーブル２ｃ、テーブルコータ４において基板取り出し可能な状態となっている（図９Ａ（ｅ）参照）。なお、このときには、減圧乾燥機５では先の基板１００Ｂが搬送装置６によって取り出されていることが好ましい。
【００７０】
塗工が終了しダイがダイ吐出口の洗浄位置へ移動した後、フォーク１５ａ，１５ｂの上昇及び、伸縮機構２１の後退が行われ、第１の搬送ロボット３ａがターンテーブル２ｃから基板１００Ｃを取り出すと共に、第２の搬送ロボット３ｂがテーブルコータ４から基板１００Ａを取り出す（図９Ａ（ｆ）参照）。
【００７１】
その後、搬送装置３の台車が矢印６１の方向へ移動し、順次上記の動作が繰り返される。
【００７２】
なお、このシステムにおけるターンテーブル２ｃ、減圧乾燥機５は、前記構成の搬送ロボット３ａ，３ｂのフォーク１５ａ，１５ｂによって基板が受け渡し可能に構成されていることはいうまでもない。例えば、ピンなどを用いて基板を浮かした状態で保持可能とし、ピンによって浮いた隙間を介して基板の下側にフォークの基板支持用ツメが挿入されて基板を出し入れすることによって基板の受け渡しを行うように構成されていてもよい。なお、テーブルコータの定盤４１に採用した構造を、このシステムにおけるターンテーブル２ｃ、減圧乾燥機５にも採用してもよいことはいうまでもない。
【００７３】
このように、本実施形態にかかるテーブルコータシステム１では、２つの搬送ロボットによる基板の搬送機構及び搬送手順を工夫することにより、連続した隣り合う基板を同時に処理することができる。したがって、１枚あたりの基板の処理のタクトタイムを極めて短くすることができる。また、テーブルコータへの搬入及び搬出を行う２つの搬送ロボットを１つのガイドレール上で移動させることができるため、装置を小型化することができる。
【００７４】
なお、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】本発明の実施形態にかかるテーブルコータシステムの構成例を示す図である。
【図２】図１のテーブルコータシステムを動作制御するための制御部の構成を示すブロック図である。
【図３】図１のテーブルコータシステムの搬送装置の構成を示す斜視図である。
【図４Ａ】図３の搬送装置のフォークの構成を示す部分拡大図である。
【図４Ｂ】図４Ａのフォークの正面図である。
【図５】図３の搬送装置の搬送ロボットの構成を示す図である。
【図６】図１のテーブルコータシステムのテーブルコータの構成を示す斜視図である。
【図７Ａ】図６のテーブルコータの平面図である。
【図７Ｂ】図６のテーブルコータの正面図である。
【図７Ｃ】図６のテーブルコータの定盤と基板との配置関係を示す図である。
【図８】図１のテーブルコータシステムの処理手順を示すフローチャートである。
【図９Ａ】搬送装置３における各部材の動作工程を示す図である。
【図９Ｂ】テーブルコータにおける処理工程を示すタイミングチャートである。
【符号の説明】
【００７６】
１  テーブルコータシステム
２ａ，２ｂ  搬入側クールプレート
２ｃ  ターンテーブル
３、６，８  搬送装置
３ａ  第１の搬送ロボット
３ｂ  第２の搬送ロボット
４  テーブルコータ
５  減圧乾燥機
７ａ，７ｂ  ホットプレート
９ａ，９ｂ  搬出側クールプレート
１０  基台
１１  ガイドレール
１２  台車
１３ａ，１３ｂ  台部
１５ａ，１５ｂ  フォーク
１６  フィンガー
１７  基板支持用ツメ
１８  滑り止め部材
１９、２０  載置面
２１  伸縮機構
２２，２７，３０  連結軸
２６，２８  アーム
４０  外側ステージ
４１  定盤
４２  プライミング部
４３  外部壁
４４  ガイドレール
４５  基板載置面
４６  脚部材
４７  間隙
４８  切り欠き
４９  押し出しピン
【図１】
2008168210.tif 000003
【図２】
2008168210.tif 000004
【図３】
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【図４Ａ】
2008168210.tif 000006
【図４Ｂ】
2008168210.tif 000007
【図５】
2008168210.tif 000008
【図６】
2008168210.tif 000009
【図７Ａ】
2008168210.tif 000010
【図７Ｂ】
2008168210.tif 000011
【図７Ｃ】
2008168210.tif 000012
【図８】
2008168210.tif 000013
【図９Ａ】
2008168210.tif 000014
【図９Ｂ】
2008168210.tif 000015