(57)【要約】【課題】信頼性が高く低コストの熱式流量計を提供すること。【解決手段】少なくとも発熱抵抗体と引出電極が平板状基板の表面に形成された流量検出素子と、上記流量検出素子を収納する凹部が表面に形成された支持体を備え、流量検出素子が平板状基板の裏面と上記凹部の底面の一部を接着剤により固着収納された熱式流量計であって、上記平板状基板の空洞と引出電極が形成された平板状基板の裏面領域の間に、上記支持体凹部の上流側から下流側に、該凹部底面より深く且つ該凹部上下流の両端面を貫通する略一直線の排出溝を形成する。【効果】信頼性が高く低コストの熱式流量計を実現する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
通電により発熱する抵抗体が形成され、流量を検出する半導体素子と、
前記半導体素子が設置される凹部が形成された基板とを備え、
前記半導体素子と前記凹部とが接着材により固定された熱式ガス流量計において、
前記基板には、前記凹部をガスの上流側から下流側へ横切る溝が形成され、
前記接着剤の一部が前記溝の断面を絞るように形成された熱式ガス流量計。
【請求項２】
請求項１において、
前記半導体素子からの信号を処理する処理回路を備え、
前記接着剤による前記半導体素子と前記凹部との接着は、前記溝よりも前記処理回路側のみで行われたことを特徴とする熱式ガス流量計。
【請求項３】
請求項１において、
曲がり部を有する副通路を備え、
前記半導体素子が前記曲がり部よりも下流側の前記副通路内に設置されたことを特徴とする熱式ガス流量計。
【請求項４】
少なくとも発熱抵抗体と引出電極が平板状基板の表面に形成され、空洞が該発熱抵抗体形成領域の下部にある該平板状基板を部分的に除去して流量検出用ダイヤフラムを構成し、該引出電極が該平板状基板の端部側に形成された流量検出素子と、
上記流量検出素子を収納する凹部が表面に形成され、該表面が被計測流体の流れ方向に略平行に配置される支持体を備え、
上記流量検出素子がその表面を上記支持体の表面と所定の面位置になるように、少なくとも該引出電極が形成された領域の平板状基板の裏面と上記凹部の底面の一部を接着剤により固着収納された熱式ガス流量計であって、
上記平板状基板の空洞と引出電極が形成された平板状基板の裏面領域の間に、上記支持体凹部の上流側から下流側に、該凹部底面より深く且つ該凹部上下流の両端面を貫通する略一直線の排出溝を形成したことを特徴とする熱式ガス流量計。
【請求項５】
請求項４記載の熱式ガス流量計において、上記排出溝は上記平板状基板の下面領域に少なくとも流体増速手段を有することを特徴とする熱式ガス流量計。
【請求項６】
請求項５に記載の熱式ガス流量計において、上記流体増速手段は平板状基板の裏面と上記凹部の底面の一部を接着するための接着剤により形成したことを特徴とする熱式ガス流量計。  
【請求項７】
請求項５に記載の熱式ガス流量計において、上記流体増速手段は平板状基板の引出電極を保護するために引出電極上部に形成された封止材により形成したことを特徴とする熱式ガス流量計。
【請求項８】
請求項５に記載の熱式ガス流量計において、上記流体増速手段は上記排出溝の溝幅の一部を狭くすることにより形成したことを特徴とする熱式ガス流量計。
【請求項９】
請求項５に記載の熱式ガス流量計において、上記流体増速手段は上記排出溝の一部の溝深さ浅くすることにより形成したことを特徴とする熱式ガス流量計。
【請求項１０】
請求項４から９に記載の熱式ガス流量計において、上記排出溝の上記支持体凹部より上流側の長さが上記支持体凹部より下流側の長さより短いことを特徴とする熱式ガス流量計。
【請求項１１】
請求項４から１０に記載の熱式ガス流量計において、上記排出溝は上記平板状基板の下面領域において、上記平板状基板の空洞と連通する溝を有したことを特徴とする熱式ガス流量計。
【請求項１２】
請求項１１に記載の熱式ガス流量計において、上記平板状基板の空洞周辺にて、平板状基板の裏面と上記支持体凹部の底面を接着剤により固着したことを特徴とする熱式ガス流量計。
【請求項１３】
請求項４から１２に記載の熱式ガス流量計において、上記支持体がセラミック材の基板を積層焼成し上記凹部、排出溝等を形成した積層基板からなることを特徴とする熱式ガス流量計。
【請求項１４】
エンジンと、前記エンジンの吸気管に取り付けられた請求項１から１３のいずれか記載の熱式ガス流量計と、
前記エンジンへ燃料を供給する燃料供給手段と、
前記熱式ガス流量計の出力に基づいて前記燃料供給手段を制御する制御手段と、を備えたエンジンシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流量を検出する装置に係り、特には内燃機関の流量センサ、あるいは燃料電池システムに用いられる流量センサ等に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、自動車などの内燃機関の吸入空気通路に設けられ、吸入空気量を測定する空気流量センサとして、熱式のものが質量空気量を直接検知できることから主流となってきている。最近では特に半導体マイクロマシニング技術により製造された空気流量センサが高速応答性を有することや、その応答性の速さを利用して逆流検出も可能であることから注目されてきた。
【０００３】
このような従来の半導体基板を用いた熱式空気流量センサの技術は、例えば特許文献１に開示されている。
【０００４】
この従来実施例では、平板状半導体基板を用いた流量検出素子が凹部を有する支持体に収納され、空気流の流れ方向に略平行に且つ流量検出素子がその表面を上記支持体の表面と所定の面位置になるよう配置されている。
【０００５】
【特許文献１】特許第３５４５６３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来技術には次のような課題がある。特許文献１に記載された熱式流量計の流量検出素子を収納する支持体を図１４に、また、図１４のＣ−Ｃ′断面を流量検出素子とともに図１５および図１６に示す。
【０００７】
流量検出素子１は、平板状半導体基板１ａに２つの空洞１７ａ，１７ｂ上に形成されたダイヤフラム部５６ａ，５６ｂからなる。ダイヤフラム部５６ａには流量検出のための発熱抵抗体（図示せず）が、また、ダイヤフラム部５６ｂには被計測流体の温度を検出するための流体温度検出抵抗体（図示せず）がそれぞれ形成されている。
【０００８】
流量検出素子１は、支持体２に形成された凹部３内に収容される。支持体２の凹部３は、３段の高さの面を有している。一番高い面は５３ａ，５３ｂと２０の面であり、流量検出素子１を規定する面となっており、この面の段差（支持体２表面までの距離）を所定に設定することにより流量検出素子１の表面と支持体２の表面をほぼ同一高さとしている。面５３ａ，５３ｂは流量検出素子１の先端部裏面を支持し、面２０では流量検出素子１の裏面と支持体２を接着剤（図示せず）にて固定している。
【０００９】
２段目の面２１は、流量検出素子１の流量検出のための発熱抵抗体が形成されたダイヤフラム部５６ａと支持体２との隙間を形成するために形成されている。
【００１０】
また、３段目の面５５は最も深い面となっており、空気を流すための切欠き５４ａ，５４ｂと連結しており、流体温度検出抵抗体が形成されたダイヤフラム５６ｂの下面に位置している。この様に構成することにより、流体温度検出抵抗体が形成されたダイヤフラム５６ｂには、切欠き５４ａ，５４ｂから面５５により空気が流れ込むので流体温度検出が高速で高精度に検出できるとしている。
【００１１】
しかしながらこの従来支持構造では、３段構成の支持体となっており複雑な形状であることからコストが高くなる。
【００１２】
また、２段目の面２１により流量検出素子１と支持体２の隙間を形成しているために、被計測空気流の一部がその隙間から流量検出素子１の裏面に流れる。この為、流量検出のための発熱抵抗体が形成されたダイヤフラム部５６ａの上面に流れる被計測空気流が減少して計測精度が劣化する。この傾向は特に高流量領域にて顕著に表れる。
【００１３】
また、自動車などの内燃機関の吸入空気通路に設けられた場合には、吸入空気に含まれた多種多様の塵埃、油、水分等が影響を与える。図１５に示した１９が空気に含まれた多種多様の塵埃、油、水分等である。従来支持構造では、３段目の面５５が空気の出入り口である切欠き５４ａ，５４ｂの奥まった部屋を構成しており、この部分が塵埃、油、水分等１９の溜まりを誘発し信頼性が損なわれる。また、２段目の面２１では流量検出素子１と支持体２の間に隙間があるために、この隙間に塵埃、油、水分等１９の溜まりが発生し信頼性が損なわれる。
【００１４】
更に、高流量の空気が流体温度検出抵抗体の形成されたダイヤフラム５６ｂの下面に流れた場合、図１６に示すように塵埃１９がダイヤフラム５６ｂを直撃して破壊する危険性が高くなり信頼性に課題がある。
【００１５】
従って、本発明の目的は，従来技術の課題を解決した信頼性が高く低コストの熱式流量計を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記目的は、特許請求の範囲の請求項に記載の発明により解決される。
【００１７】
例えば、少なくとも発熱抵抗体と引出電極が平板状基板の表面に形成され、空洞が該発熱抵抗体形成領域の下部にある該平板状基板を部分的に除去して流量検出用ダイヤフラムを構成し、該引出電極が該平板状基板の端部側に形成された流量検出素子と、
上記流量検出素子を収納する凹部が表面に形成され、該表面が被計測流体の流れ方向に略平行に配置される支持体を備え、
上記流量検出素子がその表面を上記支持体の表面と所定の面位置になるように、少なくとも該引出電極が形成された領域の平板状基板の裏面と上記凹部の底面の一部を接着剤により固着収納された熱式流量計であって、
上記平板状基板の空洞と引出電極が形成された平板状基板の裏面領域の間に、上記支持体凹部の上流側から下流側に、該凹部底面より深く且つ該凹部上下流の両端面を貫通する略一直線の排出溝を形成したことにより信頼性が高く低コストの熱式流量計を提供できる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、少なくとも発熱抵抗体と引出電極が平板状基板の表面に形成され、空洞が該発熱抵抗体形成領域の下部にある該平板状基板を部分的に除去して流量検出用ダイヤフラムを構成し、該引出電極が該平板状基板の端部側に形成された流量検出素子と、
上記流量検出素子を収納する凹部が表面に形成され、該表面が被計測流体の流れ方向に略平行に配置される支持体を備え、
上記流量検出素子がその表面を上記支持体の表面と所定の面位置になるように、少なくとも該引出電極が形成された領域の平板状基板の裏面と上記凹部の底面の一部を接着剤により固着収納された熱式流量計であって、
上記平板状基板の空洞と引出電極が形成された平板状基板の裏面領域の間に、上記支持体凹部の上流側から下流側に、該凹部底面より深く且つ該凹部上下流の両端面を貫通する略一直線の排出溝を形成したことにより信頼性が高く低コストの熱式流量計を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明による熱式ガス流量計について、図示の実施の形態により詳細に説明する。
【００２０】
図２は、熱式流量計４０を、例えば自動車の内燃機関の吸気通路１３に実装した場合の一実施形態を示す断面図で、この場合、流量検出素子１は、支持体２に内包され、更にケーシング１５と外部回路１６と一体化され、吸気通路１３の内部にある副通路１４の中に配置される。外部回路１６は、支持体２を介して流量検出素子１に電気的に接続される。
【００２１】
ここで、内燃機関の吸入空気は、通常は矢印７で示す方向に流れる。この吸入空気流量を計測して、内燃機関の燃料噴射量を制御する。
【００２２】
図１は、本発明の一実施形態における熱式流量計４０の流量検出素子１と支持体２の平面図で、図１のＡ−Ａ′断面が図３である。また、図１の流量検出素子１を除いた支持体２の詳細平面図が図４である。
【００２３】
流量検出素子１は全体が平板状半導体基板１ａをベースとして形成されている。半導体基板１ａは、空洞部１７が形成されている単結晶ケイ素（Ｓｉ）の板で、その上面にダイヤフラム部６が形成されている。ここで、空洞部１７は、平面形状が略矩形の孔として形成されているものである。
【００２４】
ダイヤフラム部６は、空洞部１７を含め半導体基板の全面を絶縁膜で覆う構造であり、ダイヤフラム部６には少なくとも発熱抵抗体５が、また、ダイヤフラム部６周辺の半導体基板の上には、被計測流体７の温度を計測する流体測温抵抗体８、外部回路と電気接続するための端子電極部９が形成される。
【００２５】
発熱抵抗体５および流体測温抵抗体８は、リン（Ｐ）又はボロン（Ｂ）を高濃度ドープ処理された多結晶或は単結晶ケイ素半導体薄膜あるいは白金等の金属薄膜により、所定の導電性（抵抗値）を持つ細条として作られる。
【００２６】
更に、端子電極部９には、絶縁膜にスルーホール（図示せず）が形成された後に、アルミニウム（Ａｌ）、金（Ａｕ）などの薄膜パッドが形成される。
【００２７】
上記の流量検出素子１は支持体２に形成された凹部３内に収納され、凹部３の底面２１にはダイヤフラム部６が配置されるように底面２０にて接着剤１８により支持体２０に固着されている。また、排出溝４は凹部３の上流側から下流側に凹部底面より深く且つ該凹部上下流の両端面を貫通する略一直線に設けられている。
【００２８】
支持基板２には接続電極部１０が形成されており、上記の流量検出素子１の端子電極部９と金線等１１によりワイヤボンドにより電気接続されている。更に、支持基板２には外部回路１６と接続するための配線パターン（図示せず）が内装されており、上記の流量検出素子１と電気接続される。また、電極部９、１０および金線等１１の保護のために封止材１２が形成される。
【００２９】
図４に示すように、排出溝４には流量検出素子１の下面領域において流体増速手段１８ａが接着剤により形成されている。流体増速手段１８ａは接着剤でも封止材１２によって形成されても良い。
【００３０】
この様に構成された本発明の実施例においては、排出溝４には従来例における流体温度検出抵抗体の形成されたダイヤフラム５６ｂが存在しないので、塵埃１９がダイヤフラム５６ｂを直撃して破壊する危険性が無い。
【００３１】
また、従来例のように３段目の面５５の奥まった部屋が存在せずに排出溝４には流体増速手段１８ａを形成したことにより、流量検出素子１の下面に流れる空気流７ａが増速して負圧が発生し、流量検出素子１の下面の塵埃、油、水分等１９の溜まりが排出溝４に効果的に吸引排出される。
【００３２】
また、従来例では２段目の面２１により流量検出素子１と支持体２の隙間を形成していたが、本実施例では面２１に相当する段差が無いことから、被計測空気流の一部がその隙間から流量検出素子１の裏面に流れることを低減でき計測精度が向上する。
【００３３】
更に、本実施例では支持体２が２段構造であり形状も簡略であり、流体増速手段１８ａも接着剤１８や封止材１２で形成することから、低コスト化が図られる。また、排出溝４は、接着剤１８や封止材１２が流量検出素子１の空洞１７側（面２１）に流れ込むのを防止することから生産性がよく信頼性が高い。
【００３４】
本実施例で用いた接着剤１８としては、例えば銀（Ａｇ）などの金属が混入しないエポキシ樹脂やシリコーン接着材等を使用すると、センサ特性を向上させることができる。
【００３５】
一般的に、半導体チップをアルミナなどに接着する場合には、半導体チップ上の熱を基板側に逃がすために、熱伝導性の良好な接着剤として例えば銀（Ａｇ）等の金属が混入した接着剤を使用するが、銀（Ａｇ）が混入した接着剤等では流量検出素子１と支持体２間の熱抵抗が小さくなり、逆に回路基板等の発熱が支持体２を介して流量検出素子１に伝わり特性に悪影響を及ぼす。
【００３６】
また、銀は吸気管内の腐食性ガス、例えば亜硫酸ガスによって腐食しやすいため信頼性の観点からも金属が混入しないエポキシ樹脂やシリコーン接着材等が好適である。
【００３７】
本実施例で用いた封止材１２としては、エポキシ樹脂またはフッ素樹脂を用いる。
【００３８】
エポキシ樹脂で封止する場合、エポキシ樹脂中に気泡が残留するとそれが原因で接続ワイヤ１１が腐食したり、クラックの発生原因となるので理想的には真空脱気等を行い気泡の発生を抑える。
【００３９】
また、エポキシ樹脂の熱膨張係数を単結晶ケイ素（Ｓｉ）基板１ａに近づけるため、シリカ等の低熱膨張性無機材を配合する。封止材１２の形成後は接続ワイヤ１１が保護されているため、生産工程での取扱い性も良くなり、万一封止材１２に製造過程で触れても接続ワイヤ１１を断線させるような不良の発生も防止できる。
【００４０】
フッ素樹脂を用いた場合においても上記のエポキシ樹脂と同様の効果がえられる。フッ素樹脂は耐環境性、とくにガソリンやエンジンオイル等の非極性溶剤に対する耐膨潤性に優れており樹脂自身がエポキシ樹脂に比べて柔らかいため接続ワイヤ１１にストレスをかけることがない。但し、柔らかいため封止材１２形成後の取扱い性は前述のエポキシ樹脂より悪くなるので注意して取り扱う必要がある。
【００４１】
また、本実施例で用いた支持体２としては、樹脂成形の場合を示したが、図１０示したようにセラミック多層基板を用いることができる。
【００４２】
図１０の支持体２では、各セラミック基板２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄおよび２ｅの５層積層構造となっている。各セラミック基板は、厚さ０.１〜０.３mm程度のグリーンシート状態で各層を密着させて加圧し積層させる。この時、上層の積層基板２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄは凹部３および排出溝４を構成するように、打ち抜き型等により所定の形状に穴を空けておく。これを焼成して所定のセラミック多層基板２を製作する。
【００４３】
セラミック製のグリーンシートは焼成条件によって１０〜３０％の収縮があるのでグリーンシートの積層高さはこれを勘案してやや厚めに設定しておく。このような積層手段により得られる凹部３および排出溝４は、底の平面度が確保できるという特徴があり、その他の形成法、例えばプレス成形で得られるようなのコーナー部に丸みが付くものとは異なっている。そのため、流量検出素子１を凹部３に配置したときに支持体２の表面と流量検出素子１の表面を安定して所定値に設定でき、出力特性ばらつきの低減を図ることが可能となる。
【００４４】
セラミック基板の材料としてはアルミナ、またはアルミナとガラスの複合材，ジルコニア，窒化珪素，窒化アルミニウム等の材料が用いられる。特に、価格的な有利性を考慮すれば、アルミナ、あるいはアルミナとガラスの複合材が優れている。また、強度的にはアルミナが優れるがアルミナ−ガラスの複合材はガラスが配合されているため熱伝導率が非常に小さい分、熱的性能面で有利である。
【００４５】
更に、セラミック多層基板の利点は、図１０に示すように、積層基板２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄおよび２ｅの表面、及び裏面には印刷等の配線パターンを形成できることにある。接続電極１０と配線パターン２４が実装され、部分的に形成されたスルーホール２３により中間の各積層基板の配線パターン２４に接続される。セラミック多層基板の上面には他の電気部品も実装できることから、外部回路１６と流量検出素子１を一体で構成し小型化を図ることもできる。一回の工程で流量検出素子１と外部回路１６をハウジング１５へ接続することができることから、加工時間の短縮によるコスト低減も可能である。
【００４６】
次に、図５に、本発明の第二の実施例である支持体２の詳細平面図を示す。
【００４７】
上記の図４の第一の実施例と異なるのは、排出溝４に形成された増速手段を１８ｂ，１８ｃと２箇所設けたことである。増速手段１８ｂ，１８ｃは、接着剤１８または封止材１２により流量検出素子１の両端近傍に形成されている。
【００４８】
この様に構成したことにより、排出溝４に流れる空気流７ａが、流量検出素子１の両端の流入口および出口近傍にて増速される。流量検出素子１の両端の流入口および出口近傍ではより負圧が発生して、特に凹部３の端面と流量検出素子１の間に滞留した塵埃、油、水分等１９の溜まりが排出溝４に効果的に吸引排出することができる。本実施例では、２箇所の増速手段としたが、更に増速手段を追加しても効果に変わりが無い。
【００４９】
次に、図６に、本発明の第三の実施例である支持体２の詳細平面図を、図７にＢ−Ｂ′断面図を示す。
【００５０】
第三の実施例では、排出溝４に流量検出素子１の空洞１７と連通する溝２２を新たに設けた構造となっている。また、流量検出素子１は支持体２と面２０の他に、空洞１７の周辺部２１においても接着剤１８にて接着されている。
【００５１】
この様に構成したことにより、流量検出素子１の空洞１７の周辺部が溝２２を除いて接着剤１８にて密封される。流量検出素子１と支持体２の間に隙間がなくなるので、被計測空気流の一部がその隙間から流量検出素子１の裏面に流れることを防止できることから計測精度が向上する。
【００５２】
また、溝２２は排出溝４と空洞１７と連通しているので、外部の空気圧が急激に変化した場合でも空洞１７は外部の空気圧と等圧になるので、ダイヤフラム部６には不要な圧力が加わらないのでダイヤフラム部の破壊を防止することができる。
【００５３】
更に、排出溝４には増速手段１８ａに加え対向面側に増速手段１８ｄが接着剤１８により形成されることから、滞留した塵埃、油、水分等１９の溜まりが排出溝４に効果的に吸引排出することができる。
【００５４】
次に、図８に、本発明の第四の実施例である支持体２の詳細平面図を示す。
【００５５】
第四の実施例では、排出溝４の支持体の凹部３より上流側の長さが下流側の長さより短い構成となっている。この様に構成することにより、排出溝４の下流側の出口が広くなることにより負圧の効果が更に増して、滞留した塵埃、油、水分等１９の溜まりが排出溝４に効果的に吸引排出することができる。
【００５６】
図９に、本発明の第五の実施例である支持体２の詳細平面図を示す。第五の実施例では、図８の第四の実施例での排出溝４の下流側出口を支持体２の下流端面まで延長した構成としている。この様に構成することにより、空気流７、７ａの流速が遅い場合においても
油、水分等１９の液体成分が排出溝４の下流側出口から流れ落ちることから更に排出効果が高くなる。
【００５７】
図１１に、本発明の第六の実施例である支持体２の詳細平面図を示す。第六の実施例では、排出溝４の増速手段４ａとして、排出溝４の溝幅を狭めた構造となっている。この様な構成にしても、負圧の効果が更に増して、滞留した塵埃、油、水分等１９の溜まりが排出溝４に効果的に吸引排出することができる。
【００５８】
図１２に、本発明の第七の実施例である支持体２の詳細平面図を示す。第七の実施例では、排出溝４の増速手段４ｂとして、排出溝４の溝深さを狭めた構造となっている。この様な構成にしても、負圧の効果が更に増して、滞留した塵埃、油、水分等１９の溜まりが排出溝４に効果的に吸引排出することができる。
【００５９】
以上、本発明によれば、従来技術の課題を解決した信頼性が高く低コストの熱式流量計を提供することができる。
【００６０】
図１３は内燃機関、特にガソリンエンジンに用いられる実施例である。
【００６１】
エンジンへの吸入空気７はエアクリーナー４１，ボディ４２，ダクト４３，スロットル４５，スロットルボディ４４等で構成された吸気通路を流れる。途中の通路あるいはバイパス通路中で、本発明を施した熱式流量計４０が吸入空気７の流量を検知し、流量信号が電圧，周波数等の信号形態で、コントロールユニット４７に取り込まれ、インジェクタ４６、点火プラグ４８、エンジンシリンダ５２，排気マニホールド４９，排気ガス５０，酸素濃度計５１から構成される燃焼部構造及びサブシステムの制御に用いられる。
【００６２】
なお、ディーゼルエンジンの場合も基本構成はほぼ同じであり本発明を適用できる。すなわちディーゼルエンジンのエアクリーナーと吸気マニホールドの途中に配置した本発明の熱式流量計４０により流量が検知され、該信号がコントロールユニットに取り込まれる構成である。
【００６３】
また、最近では自動車の排気ガス規制強化や大気汚染防止といった社会的な要請から、プロパンガス車や天然ガス車、あるいは水素と酸素を燃料とした燃料電池を用いて発電し、モーター駆動で自動車を動かす等の研究が盛んになっている。これらの流量を検知して燃料供給量を適正に制御するシステムへ、本発明の熱式流量計を適用することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明による熱式流量計の一実施形態における流量検出素子と支持体の平面図である。
【図２】本発明による熱式流量計の一実施形態における流量検出素子の実装状態の一例を示す説明図である。
【図３】本発明による熱式流量計の一実施形態における流量検出素子と支持体の断面図である。
【図４】本発明による熱式流量計の一実施形態における支持体の平面図である。
【図５】本発明による熱式流量計の一実施形態における支持体の平面図である。
【図６】本発明による熱式流量計の一実施形態における支持体の平面図である。
【図７】本発明による熱式流量計の一実施形態における流量検出素子と支持体の断面図である。
【図８】本発明による熱式流量計の一実施形態における支持体の平面図である。
【図９】本発明による熱式流量計の一実施形態における支持体の平面図である。
【図１０】本発明による熱式流量計の一実施形態における支持体の断面図である。
【図１１】本発明による熱式流量計の一実施形態における支持体の平面図である。
【図１２】本発明による熱式流量計の一実施形態における支持体の断面図である。
【図１３】本発明による内燃機関のシステム図。
【図１４】従来例による流量検出素子と支持体の平面図である。
【図１５】従来例による流量検出素子と支持体の断面図である。
【図１６】従来例による流量検出素子と支持体の断面図である。
【符号の説明】
【００６５】
１…流量検出素子、１ａ…平板状半導体基板、２…支持体、３…凹部、４…排出溝、５…発熱抵抗体、６…ダイヤフラム部、７，７ａ…空気流、８…流体温度測温抵抗体、９，１０…端子電極、１１…金線ワイヤ、１２…封止材、１３…吸気通路、１４…副通路、１５…ハウジング、１６…外部回路、４０…熱式流量計。
【図１】
2008058131.tif 000003
【図２】
2008058131.tif 000004
【図３】
2008058131.tif 000005
【図４】
2008058131.tif 000006
【図５】
2008058131.tif 000007
【図６】
2008058131.tif 000008
【図７】
2008058131.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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