(57)【要約】【課題】酸化インジウム粉末の飛散を抑えることができ、作業環境濃度を良好に維持し、分散性にも優れた新たな酸化インジウム粉末を提供する。【解決手段】このような新たな酸化インジウム粉末として、個数平均粒子径０．０１μｍ〜１μｍの酸化インジウム一次粒子が凝集してなる酸化インジウム凝集粒子を主成分粒子として含有する酸化インジウム粉末であって、酸化インジウム凝集粒子の個数平均粒子径が３０μｍ〜３０００μｍであり、好ましく１０５℃雰囲気下に３時間置いた時の加熱減量が０．０３質量％〜２質量％である酸化インジウム粉末を提案する。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
個数平均粒子径０．０１μｍ〜１μｍの酸化インジウム一次粒子が凝集してなる酸化インジウム凝集粒子を主成分粒子として含有する酸化インジウム粉末であって、酸化インジウム凝集粒子の個数平均粒子径が３０μｍ〜３０００μｍであることを特徴とする酸化インジウム粉末。
【請求項２】
１０５℃雰囲気下に３時間置いた時の加熱減量が０．０３質量％〜２質量％であることを特徴とする請求項１記載の酸化インジウム粉末。
【請求項３】
圧縮度が２０％〜４０％であることを特徴とする請求項１又は２に記載の酸化インジウム粉末。
【請求項４】
安息角が２０°〜４０°であることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の酸化インジウム粉末。
【請求項５】
見掛け密度が０．７ｇ／ｃｍ3 〜２．０ｇ／ｃｍ3であることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の酸化インジウム粉末。
【請求項６】
衝撃を加えた後のスパチュラ角が２０°〜４５°であることを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の酸化インジウム粉末。
【請求項７】
粒径３０μｍ〜３０００μｍの凝集粒子の質量比率が８０質量％以上であることを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載の酸化インジウム粉末。
【請求項８】
インジウム含有粒子粉末を、湿度３０％ＲＨ〜９０％ＲＨの空気を用いて空気輸送することを特徴とするインジウム含有粉末の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、酸化インジウム粉末、詳しくは、ＩＴＯ（;Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）ターゲットやＩＺＯ（;Ｉｎｄｉｕｍ  Ｚｉｎｃ  Ｏｘｉｄｅ）ターゲットの製造用原料等として好適に用いることができる酸化インジウム粉末、並びにその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
酸化インジウム粉末は、ＩＴＯやＩＺＯターゲット製造用の原料等として用いられている。
ちなみに、ＩＴＯは、酸化インジウム(Ｉｎ2Ｏ3)に数％の酸化スズ(ＳｎＯ2)を添加し焼成して高密度に焼結させた化合物であり、可視光の透過率が約９０％に上るため、液晶パネルや有機ＥＬなどのＦＰＤ（フラット・パネル・ディスプレイ）向けの電極として、或いは、太陽電池や抵抗膜方式のタッチパネル、青色発光ダイオードの電極等として利用されている。
【０００３】
この種の酸化インジウム粉末の製造方法としては、従来、水酸化インジウムを特定の温度で焼成して得るのが一般的であった。例えば、特許文献１には、硝酸インジウム水溶液を７０〜９５℃に加熱し、該水溶液にアルカリ水溶液を添加し、水酸化インジウムスラリーを生成した後、濾過、乾燥処理して得られた針状水酸化インジウム粉末を仮焼することにより、結晶子径が２００〜５００オングストロームであり、且つ粒度分布から求めた平均粒径が０．５μｍ以下である酸化インジウム粉末を得る方法が開示されている。
【０００４】
特許文献２には、水酸化インジウムを針状結晶とすることにより、水酸化インジウムの状態で凝集を抑制し、さらには、該針状結晶の粒子径を制御することにより、仮焼して得られる酸化インジウム粉末の凝集及び粒子径を制御して、焼結密度５．３ｇ／ｃｍ3以上の高密度焼結体を製造可能な酸化インジウム粉末を得る方法が開示されている。
【０００５】
【特許文献１】特開平４−３２５４１５号公報
【特許文献２】特開２００２−３１６８１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
一般的に金属やその化合物等の粉末を工業的に扱う場合、該粉末の飛散を抑えてばく露防止を十分に図る必要がある。中でも、酸化インジウムに関しては、米国安全衛生専門家会議（ＡＣＧＩＨ）がその作業環境許容濃度を０．１ｍｇ／ｍ3と規定していることからも分るように、特に飛散を抑えて作業環境濃度を良好に維持することが求められる。
また、酸化インジウム粉末は、酸化スズ粉末等その他原料と共に、充分に混合、分散させた後、焼成してＩＴＯターゲットを製造するのに使われるため、分散性も確保されている必要がある。
【０００７】
そこで本発明の目的は、ハンドリングの際の飛散を抑えることができ、作業環境濃度を良好に維持することができ、さらには分散性にも優れた新たな酸化インジウム粒子粉末を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、個数平均粒子径０．０１μｍ〜１μｍの酸化インジウム一次粒子が凝集してなる酸化インジウム凝集粒子を主成分粒子として含有する酸化インジウム粉末であって、酸化インジウム凝集粒子の個数平均粒子径（「個数平均凝集粒子径」という）が３０μｍ〜３０００μｍであり、好ましくは１０５℃雰囲気下に３時間置いた時の加熱減量が０．０３質量％〜２質量％であることを特徴とする酸化インジウム粉末を提案する。
【０００９】
本発明はまた、このような酸化インジウム粉末を製造し得る好ましい製造方法として、酸化インジウム粒子粉末などのインジウム含有粒子粉末を、湿度３０％ＲＨ〜９０％ＲＨの空気を用いて空気輸送することを特徴とする製造方法を提案する。
なお、上記の「インジウム含有粒子粉末」とは、酸化インジウム粒子粉末のほか、ＩＴＯ粒子粉末やＩＺＯ粒子粉末など、インジウムを含有する金属化合物からなる粒子の粉末を包含する意味である。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の酸化インジウム粉末は、酸化インジウム一次粒子が凝集してなる酸化インジウム凝集粒子を主成分粒子とし、好ましくは１０５℃雰囲気下に３時間置いた時の加熱減量が０．０３質量％〜２質量％、つまり、バインダーとしての水分を所定量含む酸化インジウム粉末である。よって、本発明の酸化インジウム粉末の主成分粒子は、酸化インジウム一次粒子が凝集してなる凝集粒子であるから、酸化インジウム粉末を取り扱う際に、酸化インジウム凝集粒子が酸化インジウム一次粒子に解砕して飛散することを抑制でき、作業環境濃度を良好に維持することができる。さらに、加熱減量を適度に制御することにより、凝集粒子の過剰な固化を抑制でき、分散性も確保することができる。
【００１１】
なお、本明細書において「Ｘ〜Ｙ」（Ｘ、Ｙは任意の数字）と記載した場合、特にことわらない限り「Ｘ以上Ｙ以下」の意と共に、同時に「好ましくはＸより大きく、Ｙより小さい」の意も包含する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、実施形態に基づいて本発明を説明するが、本発明が下記実施形態に限定されるものではない。
【００１３】
本実施形態の酸化インジウム粉末（以下「本酸化インジウム粉末」と称する）は、個数平均粒子径０．０１μｍ〜１μｍの酸化インジウム一次粒子が凝集してなる酸化インジウム凝集粒子を主成分粒子として含有する酸化インジウム粉末である。
ここで、「主成分粒子として含有する」とは、特に記載しない限り、当該主成分粒子の機能を妨げない限りにおいて他の「粒子」を含有することを許容する意を包含するものである。当該主成分粒子の含有割合を特定するものではないが、少なくとも５０質量％以上、特に７０質量％以上、中でも９０質量％以上（１００％含む）を占める場合を包含する。
すなわち、本酸化インジウム粉末は、個数平均粒子径０．０１μｍ〜１μｍの酸化インジウム一次粒子が凝集してなる酸化インジウム凝集粒子以外の酸化インジウム粒子を含んでいてもよいし、また、酸化インジウム以外の元素や化合物を１種又は２種以上含んでいてもよい。
【００１４】
本酸化インジウム粉末を構成する「酸化インジウム一次粒子」は、個数平均粒子径が０．０１μｍ〜１μｍであることが重要である。個数平均粒子径が０．０１μｍ以上であれば、一部の粒子が凝集粒子から剥離して作業環境中に浮遊して作業環境濃度を損なうことを抑制できる。また、逆に、１μｍ以下であれば、例えばＩＴＯターゲットを製造する材料として好適な粒度であることから、均一な組成のＩＴＯターゲットを生成することができる。
飛散の抑制と均一な組成のインジウム化合物の製造の両方を考慮すると、酸化インジウム一次粒子の個数平均粒子径は０．０２μｍ〜０．５μｍであるのが好ましく、中でも特に０．０３μｍ〜０．３μｍであるのがより一層好ましい。
なお、酸化インジウム一次粒子の個数平均粒子径は、例えば透過型電子顕微鏡（倍率３０，０００倍）により写真撮影し、写真上の複数個の粒径（フェレ径）を計測してその個数平均粒子径として求めることができる。  
【００１５】
酸化インジウム一次粒子は、その粒子形状を限定するものではなく、粒状、針状、多面体状、不定形状など、いずれの粒子形状でもかまわない。
【００１６】
酸化インジウム一次粒子を製造する方法としては、例えば、金属インジウムを硝酸等の酸で溶解し、得られた３価のインジウムイオンをアンモニア等のアルカリで中和し、生成した水酸化インジウムを固液分離し、固形分を加熱等の手段により乾燥させた後、５００℃以上で焼成して得る方法を挙げることができるが、このような製造方法に限定されるものではなく、種々の製造方法が知られており、そのいずれの方法を採用してもよい。
【００１７】
本酸化インジウム粉末は、上記のような酸化インジウム一次粒子が凝集してなる酸化インジウム凝集粒子を主成分粒子とするものであり、当該酸化インジウム凝集粒子の個数平均粒子径（「個数平均凝集粒子径」という）が３０μｍ〜３０００μｍであることが重要である。
個数平均凝集粒子径が３０μｍ以上であれば、本酸化インジウム粉末をハンドリングした際に発塵して作業環境濃度が悪化することを抑制できる。また、逆に、３０００μｍ以下であれば、例えば酸化スズ粉末などと簡単な操作で十分に混合でき、また、分散状態を得るために強い分散操作が必要でないなどの点で好ましい。
発塵の抑制と混合の容易性や分散性などとのバランスを考慮すると、個数平均凝集粒子径は４０μｍ〜２０００μｍが好ましく、中でも特に５０μｍ〜１０００μｍであるのがより一層好ましい。
【００１８】
また、本酸化インジウム粉末は、１０５℃雰囲気下に３時間置いた時の加熱減量が０．０３質量％〜２質量％である、言い換えれば、１０５℃で放出される性質の水分を０．０３質量％〜２質量％含有することが好ましい。
当該加熱減量が０．０３質量％以上であれば、十分な凝集強度を得ることができ、本酸化インジウム粉末のハンドリング時に凝集粒子が解砕されて飛散することを抑制することができ、微細な粒子が発塵の原因となって作業環境が悪化するのを防止することができる。逆に、２質量％以下であれば、凝集粒子の過剰な成長を抑制できると同時に、水分が多過ぎて凝集粒子が硬くなって分散不良を起すようなことがなく、好ましい。
発塵の抑制、凝集粒子の成長及び分散性を考慮すると、より好ましくは０．０４質量％〜１．５質量％であり、特に０．０５質量％〜１．０質量％であるのが一層好ましい。
【００１９】
さらに、本酸化インジウム粉末は、圧縮度（;compressibility rate、疎充填と密充填の嵩密度の差から得られるかさべり度）が２０〜４０％であるのが好ましい。圧縮度が２０％未満となることは粉末の性質上難しい。他方、圧縮度が４０％を超えると、粉末が締まり易くなり、例えばホッパーなどに本酸化インジウム粉末を充填した際に衝撃を与えると粉が容易に締まって排出性が悪くなるなど、ハンドリング性の点で課題が生じるため、好ましくない。
そこでハンドリング性などを考慮すると、酸化インジウム凝集粒子の圧縮度は３８％以下であるのが一層好ましく、３５％以下であるのがより一層好ましい。
【００２０】
本酸化インジウム粉末は、安息角が２０°〜４０°であるのが好ましい。安息角が２０°未満となることは粉末の性質上難しい。他方、安息角が４０°を超えると、本酸化インジウム粉末の動的な流動性、すなわち粉末を流した際の流れ易さが悪くなり、例えばホッパーなどから本酸化インジウム粉末を定量的に排出させることが難しくなるなどの課題を生じるため、好ましくない。
そこで動的な流動性などを考慮すると、本酸化インジウム粉末の安息角は３８°以下であるのが一層好ましく、３５°以下であればなお一層好ましい。
【００２１】
本酸化インジウム粉末は、見掛け密度が０．７ｇ／ｃｍ3 〜２．０ｇ／ｃｍ3であるのが好ましい。見掛け密度が０．７ｇ／ｃｍ3以上であれば、微粉が多過ぎることがなく、その結果、作業環境の悪化を抑制できるため好ましい。他方、２．０ｇ／ｃｍ3よりも大きくなると、凝集粒子が強く凝集し、分散不良を起こす可能性がある。
そこで、作業環境濃度と分散性との両方を考慮すると、０．７ｇ／ｃｍ3〜２ｇ／ｃｍ3であるのが一層好ましく、特に０．７ｇ／ｃｍ3〜１．２ｇ／ｃｍ3、中でも特に０．７ｇ／ｃｍ3〜０．９ｇ／ｃｍ3であるのがより一層好ましい。
【００２２】
また、本酸化インジウム粉末は、衝撃を加えた後のスパチュラ角が２０°〜４５°であるのが好ましい。衝撃を加えた後のスパチュラ角が２０°未満となることは粉末の性質上難しい。他方、衝撃を加えた後のスパチュラ角が４５°を超えると、本酸化インジウム粉末の静的な流動性、すなわち静置している粉末を取り扱う際の流動性が悪くなり、例えば本酸化インジウム粉末がホッパー内に溜まって排出し難くくなるなどの課題を生じるため、好ましくない。
静的な流動性などを考慮すると、衝撃を加えた後のスパチュラ角は４３°以下であるのが一層好ましく、４０°以下であればなお一層好ましい。
【００２３】
本酸化インジウム粉末は、粒径３０μｍ〜３０００μｍの凝集粒子の比率が８０質量％以上であるのが好ましい。この際、「粒径３０μｍ〜３０００μｍの凝集粒子」は風力分級により回収することができる。
粒径３０μｍ〜３０００μｍの凝集粒子の比率が８０質量％以上であれば、個数平均凝集粒子径が３０μｍ〜３０００μｍの範囲にある場合において、作業環境濃度をより好ましく維持できるから好ましい。作業環境濃度を更に良くするためには、粒径３０μｍ〜３０００μｍの凝集粒子の比率を８３質量％とするのが一層好ましく、８５質量％以上であればなお一層好ましい。
【００２４】
次に、本酸化インジウム粉末の好ましい製造方法を説明する。
ただし、以下に説明する製造方法は、本酸化インジウム粉末の製造方法としてばかりでなく、ＩＴＯ粒子粉末やＩＺＯ粒子粉末など、インジウムを含有する粒子粉末の製造方法として適用可能である。
【００２５】
本酸化インジウム粉末は、例えば、湿度３０％ＲＨ〜９０％ＲＨの空気を用いて酸化インジウム粒子粉末を空気輸送することにより、前記空気中の水分をバインダーとして酸化インジウム粒子を凝集させ、粉末中の、目的とする酸化インジウム凝集粒子の割合を高めることにより得ることができる。
【００２６】
原料となる酸化インジウム粒子粉末は、上記の酸化インジウム一次粒子を主成分粒子として含有する酸化インジウム粒子粉末、すなわち一次粒子の個数平均粒子径が０．０１μｍ〜１μｍの酸化インジウム粒子粉末を用いるのが好ましい。
この際、一次粒子の個数平均粒子径が０．０１μｍ未満の酸化インジウム粒子粉末を用いると、如何に凝集操作を加えても、一次粒子径が小さ過ぎることに起因して、作業環境濃度の改善を図ることが難しくなる。逆に、一次粒子径の個数平均粒子径が１μｍを超える場合、作業環境濃度は十分に改善されるものの、例えばＩＴＯターゲットなどの各種用途の材料としては粒径が大き過ぎることになる。
作業環境濃度と各種用途の材料適正とを考慮すると、一次粒子径の個数平均粒子径は０．０２μｍ〜０．５μｍであるのが好ましく、０．０３μｍ〜０．３μｍであるのがより一層好ましい。
【００２７】
空気輸送は、空気の流れを利用して、輸送管の中を通して粉粒体を輸送する方法である。
【００２８】
この際、使用する空気は、湿度３０％ＲＨ〜９０％ＲＨの空気を用いる。このような空気を用いて酸化インジウム粒子粉末を空気輸送することにより、空気中の水分をバインダーとして酸化インジウム粒子を凝集させて凝集粒子を生成させることができる。使用する空気の湿度が３０％ＲＨ未満の場合、十分に凝集粒子が成長せず、作業環境の向上が不十分であり好ましくない。また、逆に、使用する空気の湿度が９０％ＲＨを超える場合、凝集粒子が必要以上に成長するばかりでなく、空気輸送の配管内に付着し、場合によっては閉塞を起すなどの不具合を生じるため好ましくない。
凝集粒子径のコントロールと配管の閉塞等の防止とを考慮すると、３５％ＲＨ〜８５％ＲＨであることが一層好ましく、４０％ＲＨ〜８０％ＲＨであることがなお一層好ましい。
【００２９】
空気輸送は、速度１ｍ／ｓ〜２０ｍｓで行なうのが好ましい。相対湿度３０％ＲＨ〜９０％ＲＨの空気を用いて、このような条件で空気輸送することにより、前記空気中の水分をバインダーとして酸化インジウム粒子を凝集させて凝集粒子を生成させることができる。
この際、空気輸送の速度が１ｍ/ｓ未満の場合、粒子同士が適度に接触するのに必要な運動エネルギーが得られないため、粒子同士の接触が不十分となり、十分に凝集粒子が成長せず、その結果、飛散し易くなるため好ましくない。また逆に、空気輸送の速度が２０ｍ/ｓを超える場合には、必要以上の運動エネルギーを得ることになり、凝集した粒子の一部が破壊され、かえって微粉が多く発生するために飛散し易くなるため好ましくない。凝集粒子の成長と破壊のバランスを考慮すると、２ｍ/ｓ〜１８ｍ/ｓが一層好ましく、３ｍ/ｓ〜１５ｍ/ｓがなお一層好ましい。
【００３０】
空気輸送は、少なくとも０．５秒間以上の間行なうのが好ましい。空気輸送を行う時間が０．５秒未満の場合、凝集粒子が十分に成長せず、その結果、飛散し易くなるため好ましくない。
さらに、空気輸送の時間が３０秒を超えると、凝集が強過ぎて分散不良を起こす可能性があるため、凝集粒子の成長と分散性とを考慮すると、０．５秒〜３０秒間処理することが一層好ましく、特に０．７秒〜２０秒間処理することがより一層好ましく、中でも特に１秒〜１０秒間であればなお一層好ましい。なお、ここで言う、空気輸送の処理時間は、配管の長さを変えることで処理時間を調整できる。即ち、空気輸送の速度と処理したい時間とを決定すると、それに必要な配管経路長が計算される。  
【００３１】
空気輸送の装置としては、空気と酸化インジウム粒子粉末とが流動する輸送路（輸送管）と、空気に水蒸気を一定の比率で混合する調湿機能とを備えている装置が好ましく、輸送方式（例えばプラグ輸送、浮遊など）、輸送形態（例えば分散流、プラグ流など）、空気源（例えばブロワ、コンプレッサ、ファンなど）を特に限定するものではない。
また、空気の流動様式には、主にプラグ流、摺動流動化流、浮遊流の３種類があるが、流動様式を特に限定するものではなく、空気と酸化インジウム粒子粉末とを分散状態で流動させ得る流動方式が好ましい。
【００３２】
なお、酸化インジウム粒子を凝集させる際のバインダーとして、水を粉末に直接添加したり、水分以外に有機物等を用いたりすることも考えられるが、好ましくない。有機バインダーなどはＩＴＯターゲット製造の際に不純物として残留したり、また、残留はしなくてもＩＴＯターゲットの特性を損ねたりする可能性があるため好ましくない。よって、水分をバインダーとして凝集させることが、品質面、作業環境面で優れた酸化インジウム凝集粒子を得る点で好ましい。
【実施例】
【００３３】
以下、実施例により本発明を具体的に説明するが、本発明の範囲が下記実施例に制限されるものではない。
先ず、本実施例で行なった各種測定評価方法について説明する。
【００３４】
（一次粒子の個数平均粒子径）
透過型電子顕微鏡（倍率３０，０００倍）により写真撮影し、写真上の１００個の一次粒子の粒径（フェレ径）をそれぞれ計測し、その個数平均粒子径を求めた。
【００３５】
（凝集粒子の個数平均粒子径）
光学顕微鏡（倍率８０倍）により写真撮影し、写真上の１００個の凝集粒子の粒径（フェレ径）をそれぞれ計測し、その個数平均粒子径を求めた。
【００３６】
(比表面積)
ユアサアイオニクス株式会社製Monosorbを使用して測定した。
【００３７】
（安息角）
ホソカワミクロン社製パウダーテスターを用い、本体付属のマニュアルに従って測定した。すなわち、試料をパウダーテスター付属のロートより投入し、受け皿に十分な山を形成するまで試料の供給を行い、形成した山の角度を測定した。
【００３８】
（見掛け密度）
ＪＩＳ  Ｋ−５１０１に準拠して蔵持科学器械製作所製カサ比重測定器を使用して、試料を篩い等を使用せず、そのまま内容量１００ｃｍ3の容器に投入して、質量を測定し、単位堆積あたりの質量を求めた。
【００３９】
（タップ嵩密度）
ホソカワミクロン社製パウダーテスターを用い、本体付属のマニュアルに従ってタップ嵩密度を測定した。
【００４０】
（圧縮度）
上記の如く測定したタップ嵩密度と見掛け密度とを用いて、次式により計算して求めた。タップ密度測定におけるタップ回数は３００回とした。
圧縮度＝{（タップ嵩密度−見掛け密度）／（タップ嵩密度）}×１００
【００４１】
（加熱減量）
試料３ｇを秤量ビンに正確に秤量し、１０５℃に設定した乾燥機中に３時間置いた後、再度正確に秤量し、元の試料量（３ｇ）に対する重量減の割合（質量％）を加熱減量とした。
【００４２】
（衝撃後のスパチュラ角）
ホソカワミクロン社製パウダーテスターを用い、本体付属のマニュアルに従って測定した。すなわち、パウダーテスター付属のスパチュラ角測定用治具をセットし、スパチュラ角を形成させた後、付属のショックハンマーを１回作動させ、その後のスパチュラ角を測定した。
【００４３】
（作業環境中のインジウム濃度）
容積５０リットルのグローブボックス内で、酸化インジウム粒子粉体１００ｇを５００ｍｌポリカップに入れ、別の５００ｍｌポリカップに移す作業を５回行った。作業終了後、直ちにグローブボックス内の空気をローボリュームサンプラーで一定量吸気し、捕捉させたろ紙中に含有されるインジウム濃度を化学分析し、空気中のインジウム濃度を算出した。
【００４４】
（３０μｍ以上の凝集粒子の質量比率）
風力分級機（日清エンジニアリング社製、ターボクラシファイアＴＣ−１５Ｍ型）を用いて、３０μｍ以上の粒子を分級し、その重量と分級に供した酸化インジウム粉末重量から、３０μｍ以上の凝集粒子重量比率を求めた。
【００４５】
〔酸化インジウム粉末〕
出発原料として用いた酸化インジウム粒子粉末Ａ〜Ｃの諸特性を表１に示す。
なお、酸化インジウム粒子粉末Ａ〜Ｃは、７０℃〜８０℃の硝酸インジウム溶液にアンモニア水を添加し攪拌して水酸化インジウムスラリーを得、得られたスラリーを固液分離して固体分（ケーキ）を回収し、これを水で洗浄した後、１４０℃で十分に乾燥させて水酸化インジウム粉末を得た。そして、この水酸化インジウム粉末を、大気中７００℃〜１１００℃（Ａ：７００℃、Ｂ：９００℃、Ｃ：１１００℃）で焼成し、酸化インジウム粒子粉末Ａ〜Ｃを得た。
【００４６】
【表１】
2008195552.tif 000002
【００４７】
〔実施例１〕
空気輸送装置を使用し、直径５０ｍｍ×長さ１０ｍの輸送管中に、湿度５５％ＲＨに調整した空気を、酸化インジウム粒子粉末Ａ３０ｋｇとともに、経路流速（空気輸送速度）８ｍ/ｓで流通させるように空気輸送を行った。この際、酸化インジウム粒子粉末Ａが輸送管を通過するのに要した時間は１．３秒であった。
そして、排出された酸化インジウム粉末を回収して諸特性を測定評価し、結果を表３に示した。
【００４８】
〔実施例２〜７〕
表２に示すように、出発原料としての酸化インジウム粒子粉末、空気の湿度、経路流速（空気輸送速度）、輸送管長（処理経路長）および通過時間を変更した以外は、実施例１と同様の操作により酸化インジウム粉末を得た。
得られた酸化インジウム粉末は実施例１と同様に諸特性を測定評価し、結果を表３に示した。
【００４９】
【表２】
2008195552.tif 000003
【００５０】
【表３】
2008195552.tif 000004
【００５１】
表３から、実施例１〜７で得られた酸化インジウム粉末はいずれも、作業環境中のインジウム濃度が１ｐｐｍ未満であり、飛散し難く作業環境性に優れていることが分った。
これに対して、凝集作用を加えていない表１の酸化インジウム粒子粉末Ａ〜Ｃは、安息角が高く、衝撃後のスパチュラ角が高く、また、見掛け密度、タップ嵩密度が低く、また、そのバランスを示す指標である圧縮度も高かった。このように各種粉体物性が十分ではないため、取り扱い時の作業環境濃度が著しく高い値を示しており、ハンドリング性に劣るものであった。