(57)【要約】【課題】圧力センサ１０において、歪みゲージ２６を設けたダイヤフラム２０を凍結から保護することに起因するコストの大幅な上昇を防止して、かつ、圧力検出の精度を良好にすることである。【解決手段】取付用筒部１２に固定したダイヤフラム２０の外側に隙間を介して弾性材製のカバー３０を設けて、ダイヤフラム２０を気密かつ液密に密封する。カバー３０を、有底短円筒状の本体部とつば部とを備える構成とする。カバー３０の弾性変形により、カバー３０の底板部をダイヤフラム２０の底板部に接触可能とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
受圧部と受圧部の変形を検出する圧力検出素子とを備える圧力センサであって、
受圧部の外側に隙間を介して弾性材製のカバーを設けるとともに、
カバーの弾性変形によりカバーを受圧部に接触可能としたことを特徴とする圧力センサ。
【請求項２】
請求項１に記載の圧力センサにおいて、
弾性材が、シリコーンゴムまたはエチレンプロピレンゴムであることを特徴とする圧力センサ。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の圧力センサにおいて、
カバーは、筒部と筒部の一端を塞ぐ底板部とを有する本体部を備え、底板部を隙間を介して受圧部に対向させて、カバーの弾性変形により底板部を受圧部に接触可能としていることを特徴とする圧力センサ。
【請求項４】
請求項３に記載の圧力センサにおいて、
筒部と底板部とを構成する材料を互いに異ならせ、筒部を構成する材料のヤング率を底板部を構成する材料のヤング率よりも小さくしていることを特徴とする圧力センサ。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか１に記載の圧力センサにおいて、
酸化ガスと燃料ガスとの電気化学反応により発電する燃料電池に利用する酸化ガスまたは燃料ガスの圧力を検出するために使用することを特徴とする圧力センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、受圧部と受圧部の変形を検出する圧力検出素子とを備える圧力センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、環境問題等に対応するために、燃料電池が考えられている。燃料電池は、それぞれが反応ガスである燃料ガスと酸化ガスとを燃料電池スタックに供給することにより発電する。燃料ガスは、例えば、水素を含むガスであり、酸化ガスは、例えば空気である。燃料電池スタックは、例えばアノード側電極、電解質膜およびカソード側電極から成る膜−電極アセンブリ（ＭＥＡ）とセパレータとを１組の燃料電池セルとして、これを複数組積層することにより構成している。すなわち、各燃料電池セルは、高分子イオン交換膜から成る電解質膜の一方の面にアノード側電極を、他方の面にカソード側電極を、それぞれ配置して、さらに両側にセパレータを設けることにより構成している。そして、このような燃料電池セルを複数組積層し、さらに集電板、絶縁板およびエンドプレートで狭持することにより、高電圧を発生する燃料電池スタックを構成する。
【０００３】
このような燃料電池では、アノード側電極に燃料ガスを供給し、カソード側電極に酸化ガスを供給する。これにより、燃料ガスおよび酸化ガスが電気化学反応に供されて、起電力を発生し、カソード側電極では、水が生成される。
【０００４】
このような燃料電池においては、燃料ガスや酸化ガスの圧力を測定し、燃料電池の発電制御に利用することが重要であり、圧力は圧力センサにより測定する必要がある。圧力センサとしては、例えば、受圧部であるダイヤフラムを設けて、ダイヤフラムの裏側（内側）に、歪みゲージを貼着するものが知られている。このような圧力センサでは、圧力を受けることによるダイヤフラムの歪み量を歪みゲージで測定し、対応する圧力値に変換することによりガス圧力を検出する。
【０００５】
また、圧力センサに関しては、特許文献１に記載された圧力変換器と、特許文献２に記載された流体圧・電気量変換器及び保護装置が知られている。このうち、特許文献１に記載された圧力変換器は、先端寄りに金属板製のダイヤフラムを設けるとともに、ダイヤフラムの裏側に歪みゲージを配置している。また、ダイヤフラムを被包する樹脂製キャップを取り付けている。この樹脂製キャップは、有底筒体状で、ダイヤフラムを支持する圧力変換器の先端部に設けた保持部と、ダイヤフラムとに、間に隙間が形成されないように密着して嵌着させている。このような特許文献１に記載された圧力変換器により、圧力変換器を硫酸系薬液等の腐食性流体の圧力測定に使用する場合でも腐食から保護し、また、樹脂製キャップをゴム状弾性材製とすることで、受圧部の耐摩耗性を向上できるとされている。
【０００６】
また、特許文献２に記載された流体圧・電気量変換器及び保護装置の場合には、感圧ダイヤフラムよりも開口端側に、先端が保護ダイヤフラムで密閉された保護装置の剛性ハウジングを液密に取り付けている。また、感圧ダイヤフラムに加わる流体圧を電気量に変換可能としている。保護ダイヤフラムと剛性耐圧ブロックとを、間隙を介して対向させている。そして、外部からの流体圧を、保護ダイヤフラムと剛性ハウジング内部空間とを介して、感圧ダイヤフラムへ伝達する一方、流体圧が一定以上に増大した場合に、保護ダイヤフラムを耐圧ブロックに当接させるとしている。このような流体圧・電気量変換器及び保護装置により、外部からの流体圧が過大である場合でも、感圧ダイヤフラムを保護できるとされている。
【０００７】
【特許文献１】特開平８−１５９９０４号公報
【特許文献２】特開平８−２２６８６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記のように、燃料電池の発電に利用するガスの圧力を検出するために、ダイヤフラムを用いた圧力センサを使用することが考えられている。ただし、カソード側電極側においては、電気化学反応に伴って水が生成される。また、電解質膜を通じてカソード側電極側からアノード側電極側に水が移動する可能性もないとはいえない。また、電解質膜が加湿状態でないと十分な水素イオンの通過性を発揮できない場合があり、燃料電池スタックに供給される空気等の酸化ガスは、加湿器により加湿する場合がある。このため、燃料電池スタックや反応ガス流路内は湿潤状態となりやすい。このような燃料電池を、運転を停止して氷点下で長時間放置すると、圧力センサのダイヤフラムに付着した結露水が凍結する可能性がある。
【０００９】
結露水が凍結すると、出力電圧に測定量に関係のないずれが生じる、いわゆるドリフトが発生し、精度のよい圧力測定を行うことが難しくなる。すなわち、通常、ダイヤフラムを使用して圧力を検出する圧力センサは、ダイヤフラムが外部に露出しており、ダイヤフラムの表面に結露水が付着する可能性がある。このため、氷点下の環境において、結露水が付着したままで放置されると、結露水が凍結してダイヤフラムに氷が付着したままの状態となる可能性がある。このように氷が付着したままで、ダイヤフラムに加わる圧力を検出しようとしても、圧力変化に対応するダイヤフラムの変形量が小さくなり（感度が鈍くなり）、しかも変形量が安定しなくなる。また、著しい場合には、表面に付着した氷によりダイヤフラムが全く変形しなくなる可能性もある。このため、ダイヤフラムの裏側に貼着した歪みゲージによる検出信号に影響が生じて、圧力検出の測定誤差が大きくなる原因となる。
【００１０】
これに対して、特許文献１に記載された圧力変換器は、氷点下で使用することにより生じる上記の不都合を解消することを考慮したものではない。例えば、特許文献１に記載された圧力変換器の場合、保持部とダイヤフラムとに、ゴム状弾性体製のキャップ材を、間に隙間が形成されないように密着して嵌着させている。このため、キャップ材に結露水が付着した場合で結露水が凍結して氷となった場合でも、キャップ材を大きく弾性変形させることが難しく、氷を除去することが難しくなる可能性がある。このため、圧力検出の精度を良好にするためには改良の余地がある。
【００１１】
また、特許文献２に記載された流体圧・電気量変換器の場合、感圧ダイヤフラムと保護ダイヤフラムとの間に、それぞれの中央部に小孔を形成した剛性ハウジングと耐圧ブロックとを設けるという複雑な形状を有する構造を設ける必要があり、コストが大幅に上昇する原因となる。また、保護ダイヤフラムは、感圧ダイヤフラムに接触可能とするものでないため、圧力検出の測定誤差が大きくなる可能性がある。
【００１２】
本発明の目的は、圧力センサにおいて、圧力検出素子を設けた受圧部を凍結から保護することに起因するコストの大幅な上昇を防止して、かつ、圧力検出の精度を良好にすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明に係る圧力センサは、受圧部と受圧部の変形を検出する圧力検出素子とを備える圧力センサであって、受圧部の外側に隙間を介して弾性材製のカバーを設けるとともに、カバーの弾性変形によりカバーを受圧部に接触可能としたことを特徴とする圧力センサである。
【００１４】
また、好ましくは、弾性材を、シリコーンゴムまたはエチレンプロピレンゴムとする。
【００１５】
また、より好ましくは、カバーは、筒部と筒部の一端を塞ぐ底板部とを有する本体部を備え、底板部を隙間を介して受圧部に対向させて、カバーの弾性変形により底板部を受圧部に接触可能とする。
【００１６】
また、カバーは、筒部と筒部の一端を塞ぐ底板部とを有する本体部を備え、底板部を隙間を介して受圧部に対向させて、カバーの弾性変形により底板部を受圧部に接触可能とする構成において、好ましくは、筒部と底板部とを構成する材料を互いに異ならせ、筒部を構成する材料のヤング率を底板部を構成する材料のヤング率よりも小さくする。
【００１７】
本発明に係る圧力センサにおいて、好ましくは、酸化ガスと燃料ガスとの電気化学反応により発電する燃料電池に利用する酸化ガスまたは燃料ガスの圧力を検出するために使用する。ここで、酸化ガスまたは燃料ガスは、燃料電池スタックに供給する前のガス、または燃料電池スタックから排出後のガスのいずれでもよいものとする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明に係る圧力センサによれば、受圧部の外側に隙間を介して弾性材製のカバーを設けているので、氷点下の環境で放置した場合でも、受圧部に直接水分が付着して凍結することで受圧部に氷が付着することを防止できる。しかも、カバーに氷が付着した場合でも、カバーと受圧部との間の隙間の存在によりカバーを十分に弾性変形させることができ、弾性変形によりカバーから氷を落下させやすくできる。さらに、カバーは弾性変形により受圧部に接触可能としているので、接触した状態でカバーに加わる圧力を受圧部に安定して伝えやすくなる。この結果、圧力検出の精度を良好にできる。しかも、上記の特許文献２に記載された流体圧・電気量変換器及び保護装置の場合と異なり、受圧部とこれが外部に露出するのを防止するカバーとの間には隙間のみが存在しているので、間に複雑な形状を有する構造を設ける必要がない。このため、圧力検出素子を設けた受圧部を凍結から保護することに起因して圧力センサのコストが大幅に上昇することを防止できる。
【００１９】
また、カバーは、筒部と筒部の一端を塞ぐ底板部とを有する本体部を備え、底板部を隙間を介して受圧部に対向させて、カバーの弾性変形により底板部を受圧部に接触可能とする構成によれば、筒部と底板部との連続部が変形することにより、底板部を受圧部に、より接触しやすくできる。このため、小さな圧力がカバーに加わった場合でも、その圧力を圧力検出素子により検出しやすくできる。また、筒部と底板部とを構成する材料を互いに異ならせ、筒部を構成する材料のヤング率を、底板部を構成する材料のヤング率よりも小さくする構成をさらに備えることにより、小さな圧力がカバーに加わった場合でも、底板部を受圧部に、より接触しやすくでき、圧力を圧力検出素子により、より検出しやすくできる。
【００２０】
また、燃料電池の発電に利用する酸化ガスまたは燃料ガスの圧力を検出するために使用する構成を備える場合には、圧力を検出する対象が湿潤状態のガスとなり、氷点下で使用した場合に圧力センサに付着した結露水が凍結する状態となりやすい。このため、受圧部の外側に隙間を介して弾性材製のカバーを設けるとともに、カバーの弾性変形によりカバーを受圧部に接触可能とする構成を採用することにより、氷点下での放置に関わらず圧力検出の精度を良好にできるという効果が、より顕著になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
［第１の発明の実施の形態］
以下において、図面を用いて本発明に係る実施の形態につき詳細に説明する。図１から図５は、本発明の第１の実施の形態を示している。本実施の形態の圧力センサ１０は、空気等の酸化ガスと水素を含むガス等の燃料ガスとの電気化学反応により発電する、図示しない燃料電池において、酸化ガスまたは燃料ガスの圧力を検出するために使用する。このような圧力センサ１０は、図１に示すように、先端側（図１の下端側）に取付用筒部１２を設けるとともに、取付用筒部１２の外周にねじ部１４を形成している。取付用筒部１２は、圧力を検出すべき対象であるガスが内側に流れる図示しない流路壁に形成したねじ孔にねじ止め結合することにより、流路壁に結合固定する。この場合、取付用筒部１２の基端部（図１の上端部）周囲に設けた弾性材製のＯリング１６を、取付用筒部１２と連続する本体部１８側面（図１の下面）と、流路壁面との間で圧縮することにより、取付用筒部１２とねじ孔との間部分をシールする。
【００２２】
また、取付用筒部１２の内側奥部に受圧部である、ステンレス鋼等の金属板製のダイヤフラム２０を設けている。ダイヤフラム２０は、図２に詳しく示すように、底板部２２と筒部２４とを有する有底短円筒状である。底板部２２の裏側（図２の上側）には、圧力検出素子である歪みゲージ２６（図１）を貼着し、底板部２２の歪み量から底板部２２に加わる圧力を検出可能としている。すなわち、ダイヤフラム２０は、加わる圧力により歪みが発生するため、歪みゲージ２６により歪み量を電気量から検出すれば、その歪み量に対応する圧力を求めることができる。歪みゲージ２６からの検出信号は、ブリッジ回路を用いて増幅し、ケーブル２８（図１）により取り出す。
【００２３】
なお、歪みゲージ２６は、ダイヤフラム２０の裏側に１個だけ設けるのではなく、ダイヤフラム２０の底板部２２の裏側の中央部と周辺部とのそれぞれ２個所位置合計４個所等の複数個所位置に設けることもできる。そして、複数個の歪みゲージを用いて、ブリッジ回路を構成することもできる。
【００２４】
特に、本実施の形態の場合、ダイヤフラム２０の外側（表側）（図１から図３の下側）に弾性材製のカバー３０を設けて、カバー３０によりダイヤフラム２０を、外部から気密かつ液密に密封している。カバー３０は、図２、図３に詳しく示すように、ハット状に形成しており、より具体的には、筒部３２の一端（図２、図３の上端）を底板部３４により塞いだ有底短円筒状の本体部３６と、筒部３２の他端（図２、図３の下端）周辺部に全周に亘って結合した外向フランジ状のつば部３８とを備える。
【００２５】
カバー３０を構成する弾性材は、ゴム等のエラストマー等であり、好ましくは、シリコーンゴムまたはＥＰＤＭ等のエチレンプロピレンゴム等のように、低温下でも弾性変形量を大きくできる、言い換えればやわらかい材料とする。ただし、圧力センサ１０（図１）を使用する用途に応じて、一般的に使用されるゴムよりも硬いゴムを使用することもできる。本実施の形態の場合、カバー３０を、このようなゴム等のエラストマー等の弾性材により一体成形している。
【００２６】
このようなカバー３０は、ダイヤフラム２０を構成する筒部２４の先端につば部３８を突き当てるようにしてダイヤフラム２０を覆った状態で、図１に示すように、取付用筒部１２の内周面に形成した溝部等に固定している。また、この状態で、カバー３０の底板部３４をダイヤフラム２０の底板部２２に小さな隙間４０（図２）を介して対向させている。このようなカバー３０は、本体部３６の形状を、ダイヤフラム２０の内面の形状に倣う、すなわち断面同士を相似形または相似形に近い形状としている。また、この状態で、ダイヤフラム２０の筒部２４と、カバー３０の筒部３２との間に円筒状の隙間４２を設けている。
【００２７】
さらに、カバー３０の弾性変形によりカバー３０の底板部３４を、ダイヤフラム２０の底板部２２に接触可能としている。より具体的には、測定圧力の要求精度に対応する圧力許容誤差よりも低い、数Ｐａ程度の圧力が加わることにより、カバー３０を弾性変形させて、カバー３０の底板部３４がダイヤフラム２０の底板部２２に接触するようにしている。
【００２８】
このような本実施の形態の圧力センサ１０（図１）は、上記のように、燃料電池スタックに供する空気等の酸化ガスまたは水素を含むガス等の燃料ガスの圧力を検出するために使用する。例えば、燃料電池スタックに送り込む前の酸化ガス、燃料電池スタックから排出された酸化ガス、燃料電池スタックに送り込む前の燃料ガス、燃料電池スタックから排出された燃料ガスのすべての圧力を検出する複数個所部分、またはこれらの複数個所の一部の個所に圧力センサ１０を設ける。
【００２９】
上述のように構成する本実施の形態の圧力センサ１０によれば、ダイヤフラム２０の外側に隙間４０（図２）を介して弾性材製のカバー３０を設けているので、氷点下の環境で放置した場合でも、ダイヤフラム２０に直接結露水等の水分が付着し凍結することでダイヤフラム２０に氷が付着することを防止できる。しかも、カバー３０に氷が付着した場合でも、カバー３０とダイヤフラム２０との間の隙間４０の存在によりカバー３０を十分に弾性変形させることができ、この弾性変形によりカバー３０から氷を落下させやすくできる。
【００３０】
すなわち、図４に矢印で示すように、カバー３０にガスにより外部から所定値以上の圧力が加わると、カバー３０が弾性変形して、カバー３０をダイヤフラム２０に接触させることができる。このように本実施の形態の場合、隙間４０（図２）の存在により、カバー３０の弾性変形量を十分に大きくできる。このため、カバー３０に氷が付着している場合でも、カバー３０の弾性変形によりカバー３０と氷との間に隙間を生じさせ、または氷に曲げ応力を生じさせて破断させる等により、カバー３０から氷を落下させやすくできる。
【００３１】
さらに、カバー３０は弾性変形によりダイヤフラム２０に接触可能としているので、接触した状態でカバー３０に加わる圧力をダイヤフラム２０に伝えることができる。この場合、カバー３０に氷が落下せず、付着したままの状態となっている場合でも、カバー３０に加わる圧力が不安定に、しかも大きく不均一にダイヤフラム２０に伝わることを防止できる。すなわち、カバー３０が弾性材製であるため、カバー３０に氷が付着している場合でも、カバー３０からダイヤフラム２０の底板部２２に分散して圧力を加えやすくできる。このため、歪みゲージ２６（図１）を用いて検出される圧力の変化を安定させることができる。この結果、圧力検出の精度を良好にできる。
【００３２】
例えば、図５は、圧力センサ１０のカバー３０（図１等）に外部から実際に加わる圧力と、歪みゲージ２６（図１）による検出量（歪み量）に基づくダイヤフラム２０に加わる圧力（検出値）との関係の１例を示している。図５に示すように、カバー３０に加わる圧力が所定値未満である場合には、図２に示すようにカバー３０とダイヤフラム２０との間に隙間４０が生じた状態となっており、歪みゲージ２６（図１）を用いてカバー３０に加わる圧力に対応する値を検出することはできない。これに対して、カバー３０とダイヤフラム２０との底板部３４，２２同士が接触し始めると、歪みゲージ２６によるダイヤフラム２０の歪み量を検出することができ、図５のＡ点を越えてカバー３０に加わる圧力が大きくなると、カバー３０とダイヤフラム２０との底板部３４，２２同士が図４に示すように、十分に接触して、カバー３０に実際に加わる圧力と、歪みゲージ２６を用いて測定されるダイヤフラム２０の圧力の検出値との関係が線形になる。したがって、本実施の形態は、カバー３０に加わる圧力の通常使用領域がＡ点よりも図５の右側の範囲にある場合に特に有効である。また、カバー３０に数Ｐａ程度の圧力が加わることにより、カバー３０を弾性変形させて、カバー３０の底板部３４（図２から図４）をダイヤフラム２０の底板部２２（図２、図４）に接触するようにしているので、圧力検出の要求精度を十分に満たすことができる。
【００３３】
これに対して、本実施の形態の場合と異なり、カバー３０をダイヤフラム２０と同じ金属板製とした場合には、カバー３０に氷が付着した状態で、カバー３０に加わる圧力が氷付着部分に対応する部分からはダイヤフラム２０に伝わりにくく、逆に、カバー３０の氷が付着していない部分に対応する部分からはダイヤフラム２０に圧力が伝わりやすく、カバー３０からダイヤフラム２０に伝わる圧力が不均一になりやすい。このため、歪みゲージ２６により検出される圧力の検出値が不安定になってしまう。本実施の形態によれば、カバー３０を弾性材製としているため、このような不都合をなくせる。
【００３４】
しかも、本実施の形態の場合、上記の特許文献２に記載された流体圧・電気量変換器及び保護装置の場合と異なり、ダイヤフラム２０とダイヤフラム２０が外部に露出するのを防止するカバー３０との間には隙間４０，４２（図２）のみが存在しているので、間に複雑な形状を有する構造を設ける必要がない。このため、歪みゲージ２６（図１）を設けたダイヤフラム２０を凍結から保護することに起因して圧力センサ１０のコストが大幅に上昇することを防止できる。
【００３５】
また、本実施の形態の場合、カバー３０は、筒部３２と、筒部３２の一端を塞ぐ底板部３４とを有する本体部３６を備え、底板部３４を隙間４０を介してダイヤフラム２０に対向させて、弾性変形により底板部３４をダイヤフラム２０に接触可能としている。このため、カバー３０の筒部３２と底板部３４との連続部や、筒部３２とつば部３８との連続部の変形により、底板部３４をダイヤフラム２０に接触しやすくし、カバー３０のダイヤフラム２０側への変形量を大きくできる。このため、小さな圧力がカバー３０に加わった場合でも、その圧力をダイヤフラム２０を介して歪みゲージ２６により検出しやすくできる。
【００３６】
また、本実施の形態の圧力センサ１０は、燃料電池の発電に利用する酸化ガスまたは燃料ガスの圧力を検出するために使用する。このため、圧力を検出する対象が湿潤状態のガスとなり、氷点下で使用した場合に圧力センサ１０に付着した結露水が凍結する状態となりやすい。このため、ダイヤフラム２０の外側に隙間４０を介して弾性材製のカバー３０を設けるとともに、カバー３０の弾性変形によりカバー３０をダイヤフラム２０に接触可能とする本実施の形態の構成を採用することにより、氷点下での放置に関わらず圧力検出の精度を良好にできるという効果が、より顕著になる。
【００３７】
なお、本実施の形態の場合、ダイヤフラム２０及びカバー３０を圧力センサ１０の取付用筒部１２（図１）の奥側に設けているが、本発明はこのような構造に限定するものではなく、例えば、ダイヤフラム２０及びカバー３０を取付用筒部１２の先端寄り（図１の下端寄り）に設けることもできる。
【００３８】
［第２の発明の実施の形態］
図６は、本発明の第２の実施の形態を示している。本実施の形態の場合、カバー４４を単なる円板状に形成している。また、カバー４４の弾性変形によりカバー４４をダイヤフラム２０の底板部２２に接触可能としている。このように本発明の圧力センサが備えるカバーは、本発明の構成を満たす範囲で、種々の形状とすることができる。
その他の構成及び作用は、上記の第１の実施の形態の場合と同様であるため、同等部分には同一符号を付して重複する図示ならびに説明は省略する。
【００３９】
なお、上記の図１から図５に示した第１の実施の形態において、カバー３０の本体部３６を構成する筒部３２と底板部３４とを構成する材料を互いに異ならせるとともに、筒部３２を構成する材料のヤング率を、底板部３４を構成する材料のヤング率よりも小さくする、すなわち筒部３２を底板部３４よりも弾性変形しやすくすることもできる。このように構成すれば、小さな圧力がカバー３０に加わった場合でも、底板部３４をダイヤフラム２０に、より接触しやすくでき、カバー３０に加わる圧力を歪みゲージ２６（図１）により、より検出しやすくできる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の第１の実施の形態の圧力センサの略断面図である。
【図２】図１からダイヤフラムとカバーとの組み合わせのみを取り出して示す断面図である。
【図３】図１からカバーのみを取り出して示す、（ａ）は斜視図で（ｂ）は断面図である。
【図４】カバーに圧力が加わることによりカバーが弾性変形して、カバーの底板部とダイヤフラムの底板部とが接触した状態を示す、図２に対応する図である。
【図５】第１の実施の形態において、カバーに外部から実際に加わる圧力と、歪みゲージによる検出量（歪み量）に基づくダイヤフラムに加わる圧力（検出値）との関係の１例を示す図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態を示す図２に対応する図である。
【符号の説明】
【００４１】
１０  圧力センサ、１２  取付用筒部、１４  ねじ部、１６  Ｏリング、１８  本体部  、２０  ダイヤフラム、２２  底板部、２４  筒部、２６  歪みゲージ、２８  ケーブル、３０  カバー、３２  筒部、３４  底板部、３６  本体部、３８  つば部、４０  隙間、４２  隙間、４４  カバー。
【図１】
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【図２】
2008058075.tif 000004
【図３】
2008058075.tif 000005
【図４】
2008058075.tif 000006
【図５】
2008058075.tif 000007
【図６】
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