(57)【要約】【課題】高信頼性の発電装置を提供する。【解決手段】発電装置は、複数のエレクトレット電極２を表面に有する固定基板１と、エレクトレット電極２に所定の間隔ｄを有して対向するように設けた対向電極６を表面に有する可動基板５と、固定基板１上を可動するように設けられ、対向電極６が所定の間隔ｄを保持しながらＸ方向（矢印１０ａで示される方向）に移動する際、可動基板５と同期して移動するように設けた可動部４と、固定基板１内に埋設して固定され、可動部４との間に誘引力が作用するように設けた磁石部３と、を備える。ここで、可動部４は、外力を受けて固定基板１上の所定の位置８から移動しても、磁石部３との間に作用する誘引力により可動部４が元の位置（所定の位置８）に戻るようになっている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電荷を保持する膜と、
前記電荷を保持する膜に所定の間隔を有して対向するように設けられた電極と、
固定構造体上を可動するように設けられるとともに、前記電極もしくは前記電荷を保持する膜が所定の方向に移動する際、前記電極もしくは前記電荷を保持する膜と連動して移動するように設けられた可動部と、
前記固定構造体の所定の位置に固定され、前記可動部との間に誘引力が作用するように設けられた磁石部と、
を備える、発電装置。
【請求項２】
前記可動部は前記所定の方向に回転して移動するように配置された球状もしくは円柱状のベアリングからなり、
前記磁石部は前記可動部に向かってその先端部が錐体状もしくは楔形状となっている請求項１に記載の発電装置。
【請求項３】
前記可動部は球状のベアリングからなり、前記固定構造体上の任意の方向に回転して移動できるようにした請求項１に記載の発電装置。
【請求項４】
前記磁石部と連結して設けられ、前記固定構造体内においてその表裏を貫通する方向に移動することができる位置制御部をさらに備えることを特徴とした請求項１〜３のいずれか一項に記載の発電装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、発電装置に関し、特に電荷保持材料からなるエレクトレット材料を用いた静電誘導型発電装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、可変容量の電極に電荷を与え、その電荷により対向電極間にクーロン引力を働かせ、このクーロン引力に抗して振動子が振動することにより発生した振動エネルギーを電気エネルギーに変換することによって、発電を行う小型の静電誘導型発電装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
図１１は特許文献１に開示された従来の静電誘導型発電装置の概略断面図である。従来の静電誘導型発電装置（エレクトレット発電装置）は、複数のエレクトレット材料領域４０９を備えた第２の基板４０５と、複数の導電性表面領域４１１を備えた第１の基板４０７とが互いに所定の間隔を隔てて配置されている。エレクトレット材料領域４０９を含む第２の基板４０５は固定され、導電性表面領域４１１を含む第１の基板４０７は固定構造４１７にバネ４１９を介して連結されている。バネ４１９は第１の基板４０７の両側面に接続されており、このバネ４１９により第１の基板４０７はＸ方向（矢印４２１で示される方向）の運動を行い、定位置に戻ることができる。この第１の基板４０７がＸ方向に振動することにより、電荷を保持しているエレクトレット材料領域４０９とこれに対向する導電性表面領域４１１との間で両者が重なる面積の増減が生じ、導電性表面領域４１１に電荷の変化が生じる。この電荷の変化を取り出すことにより発電が行える。
【特許文献１】特表２００５−５２９５７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の静電誘導型発電装置では、第１の基板４０７が振動する場合には、バネ４１９の伸縮による弾性変形が繰り返されるので、バネ４１９が疲労劣化し破損するという不都合が生じる。その結果、静電誘導型発電装置の信頼性が低下するという問題がある。
【０００５】
本発明はこうした状況に鑑みてなされたものであり、その目的は、高信頼性の発電装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明に係る発電装置は、電荷を保持する膜と、電荷を保持する膜に所定の間隔を有して対向するように設けられた電極と、固定構造体上を可動するように設けられるとともに、電極もしくは電荷を保持する膜が所定の方向に移動する際、電極もしくは電荷を保持する膜と連動して移動するように設けられた可動部と、固定構造体の所定の位置に固定され、可動部との間に誘引力が作用するように設けられた磁石部と、を備えることを特徴とする。
【０００７】
この発明によれば、電極もしくは電荷を保持する膜の移動（特に電極もしくは電荷を保持する膜を所定の位置に戻すための移動）を、従来のように電極もしくは電荷を保持する膜に連動するバネの弾性変形（伸縮）により行うのではなく、電極もしくは電荷を保持する膜と連動して移動する可動部に作用する誘引力により行うため、従来のバネの伸縮動作の繰り返しに伴う変形疲労劣化を抑制することができる。したがって、発電装置の信頼性を向上させることができる。
【０００８】
上記構成において、可動部は所定の方向に回転して移動するように配置された球状もしくは円柱状のベアリングからなり、磁石部は可動部に向かってその先端部が錐体状もしくは楔形状となっていることが好ましい。このようにすることで、磁石部の先端部に磁力が集束され、可動部との間で誘引力が強く作用するようになる。このため、磁石部の先端部を基準とする所定の位置から外力により移動した可動部を誘引する際に、可動部をずれなく正確に所定の位置に戻すことができる。
【０００９】
上記構成において、可動部は球状のベアリングからなり、固定構造体上の任意の方向に回転して移動できるようにしてもよい。この場合には、可動部に連動して電極もしくは電荷を保持する膜が全方位に振動することができるようになる。このため、従来のようにバネによって一方向に振動を規制して発電する場合に比べて発電効率を向上させることができる。
【００１０】
上記構成において、磁石部と連結して設けられ、固定構造体内においてその表裏を貫通する方向に移動することができる位置制御部をさらに備えることを特徴とする。このようにすることで、可動部と磁石部との間隔を容易に制御でき、可動部と磁石部との間に作用する誘引力を調整することができる。このため、可動部（可動部と連動して移動する電極もしくは電荷を保持する膜）の移動（振動）しやすさを容易に制御することができる。したがって、外力（振動）の大きさや周期に応じてバネのバネ定数を合わせ込んで製造する必要がなくなるので、従来に比べて外力（振動）に対する適用範囲（発電可能範囲）の広い高性能な発電装置とすることができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、高信頼性の発電装置が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明を具現化した実施形態について図面に基づいて説明する。なお、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
（第１実施形態）
図１は本発明の第１実施形態に係る発電装置の構成を示す概略上面図である。図２は図１の発電装置のＸ−Ｘ線に沿った概略断面図であり、図３は図１の発電装置における可動部と磁石部の位置関係を示す概略俯瞰図である。
【００１３】
本発明の第１実施形態の発電装置は、複数のエレクトレット電極２を表面に有する固定基板１と、エレクトレット電極２と所定の間隔ｄを有して対向するように設けられた対向電極６を表面に有する可動基板５と、固定基板１上を可動するように設けられ、対向電極６が所定の間隔ｄを保持しながらＸ方向（矢印１０ａで示される方向）に移動する際に可動基板５と連動して移動するように設けられた可動部４と、固定基板１内の所定の位置に埋設して固定され、可動部４との間に誘引力が作用するように設けられた磁石部３と、を備えている。
【００１４】
具体的には、固定基板１は、表面上に設けられた複数のエレクトレット電極２と、表面に先端部が露出する状態で埋設された磁石部３とを有する。また、固定基板１上には、図１および図２に示すように、その周縁に沿って構造体１ａが設けられている。この構造体１ａにより囲まれた領域内において、可動基板５が可動部４を介して固定基板１上に配置されている。
【００１５】
エレクトレット電極２は、固定電極とその表面に形成されたフロロカーボンなどの樹脂材料からなる電荷保持材料であるエレクトレット膜とによって構成されている。エレクト
レット電極２は固定基板１の表面に設けられ、このエレクトレット電極２を含む固定基板１は発電装置内において固定されている。エレクトレット電極２の形状は、図１に示すように、Ｘ方向（矢印１０ａで示される方向）と直交する方向に櫛状に細分化されて設けられ、固定基板１上においてそれらの一端が共通配線で接続されている。
【００１６】
磁石部３は、たとえば、永久磁石からなり、その形状は、図２および図３に示すように、可動基板５を搭載する可動部４に向かってその先端部３ａが徐々に細くなる楔形状となっている。磁石部３はその先端部３ａのさらに先端部分（最先端部分）が固定基板１の所定の位置においてその表面に露出するように埋設され、こうした先端部３ａ（特に最先端部分）により磁力が集束される。このため、可動部４との間で誘引力が作用しやすくなっている。
【００１７】
可動部４は、磁石部３の磁力により引き付けられる材料（たとえば、鉄、コバルト、ニッケルなどの金属、酸化鉄、クロム酸化鉄、バリウムフェライトなどの磁性体、磁石）を含む円柱状のベアリングからなり、図１および図２に示すように、Ｘ方向（矢印１０ａで示される方向）に回転しながら移動するように配置されている。可動部４は可動基板５の両端部分に２箇所設けられ、それぞれは外力を受けていない状態で固定基板１上の所定の位置（具体的には、固定基板１の表面に露出する磁石部３の先端部３ａの直上）８に配置されている。このように配置した可動部４により可動基板５全体を支持している。また、図２および図３に示すように、可動部４は磁石部３の先端部３ａ（特に最先端部分）直上に配置され、両者の間では微小な面積領域（実質的には直線）で相互作用する。これにより両者との間で磁石部３の誘引力が最も強く作用することになるので、可動部４は外力を受けて固定基板１上の所定の位置８から移動しても、磁石部３との間に作用する誘引力により可動部４は元の位置（所定の位置８）に戻るようになる。
【００１８】
可動基板５は、その表面上（下面側）に設けられた対向電極６と、可動部４に対応する位置においてその表面に設けられた半円柱状の溝（可動部４の形状に対応する凹部）７とを有する。この溝７に円柱状のベアリングからなる可動部４をはめ込むことで、可動基板５は固定基板１（磁石部３の先端部３ａ）上に搭載される。これにより可動基板５（対向電極６を含む可動基板５）は可動部４と連動して可動する。
【００１９】
対向電極６は、可動基板５の表面上（下面側）に設けられ、エレクトレット電極２と所定の間隔ｄを有して対向するように配置されている。対向電極６の形状は、エレクトレット電極２と同様であり、Ｘ方向（矢印１０ａで示される方向）と直交する方向に櫛状に細分化されて設けられ、可動基板５上においてそれらの一端が共通配線で接続されている。
【００２０】
このように構成された発電装置では、外力が加わり可動基板５が振動することにより、電荷を保持しているエレクトレット電極２とこれに対向する対向電極６との間で両者が重なる面積の増減が生じ、対向電極６に電荷の変化が生じる。この電荷の変化を取り出すことにより発電が行える。なお、エレクトレット電極２は本発明の「電荷を保持する膜」、対向電極６は本発明の「電極」、固定基板１は本発明の「固定構造体」、磁石部３は本発明の「磁石部」、及び可動部４は本発明の「可動部」の一例である。
【００２１】
次に、本発明の発電装置における可動基板５（対向電極６）の固定基板１（エレクトレット電極２）に対する振動動作について説明する。
【００２２】
図４は本発明の第１実施形態に係る発電装置の振動動作を説明するための概略断面図である。図４（Ａ）は外力を受けていない状態での磁石部３と可動部４との位置関係を示し、図４（Ｂ）は外力を受けて可動部４が移動した状態での磁石部３と可動部４との位置関係を示す。
【００２３】
図４（Ａ）に示すように、外力を受けていない状態（初期状態）では、可動部４は磁石部３の先端部３ａ（特に最先端部分）直上の所定の位置８にあり、可動部４と磁石部３との間は微小な面積領域（実質的には直線）で接して相互作用している。このような位置関係では、磁石部３の上向きに作用する力と可動部４の下向きに作用する力とでバランスがとれ、可動部４の配置として安定した状態となっている。なお、可動基板５はこの可動部４に対応した状態で固定基板１上に搭載され、可動部４と同期してＸ方向（矢印１０ａで示される方向）に可動する。
【００２４】
これに対し、図４（Ｂ）に示すように、外力を受けて可動部４が位置８ａまで移動（移動量Ｌ１）した状態では、磁石部３の上向きに作用する力は変化しないものの、可動部４の下向きに作用していた力が磁石部３の先端部３ａ（特に最先端部分）に向かって作用する斜め方向の力に変化する。このような斜め方向の力は可動部４を回転させるので、可動部４は、磁石部３の先端部３ａ（特に最先端部分）に向かって移動（移動量Ｌ２）し、元の位置（所定の位置８）に戻ることになる。反対方向に移動する場合にも同様である。なお、可動基板５はこのような可動部４の往復運動に同期して動作するので、再現よく、且つ、正確に振動する。
【００２５】
図５は磁石部の先端部の形状を変化させた発電装置の振動動作を説明するための概略断面図である。図５（Ａ）は外力を受けていない状態での先端部が幅広の磁石部３と可動部４との位置関係を示し、図５（Ｂ）および図５（Ｃ）は外力を受けて可動部４が移動した状態での磁石部３と可動部４との位置関係を示し、図５（Ｄ）は図５（Ｃ）の状態から誘引力により可動部４が移動した状態での磁石部３と可動部４との位置関係を示す。
【００２６】
図５（Ａ）に示すように、外力を受けていない状態（初期状態）においては、可動部４は磁石部３の先端部（幅広で平坦な先端部）３ａ１上の所定の位置８にある。このような位置関係では、磁石部３の上向きに作用する力と可動部４の下向きに作用する力とでバランスがとれ、可動部４の配置として安定した状態となっている。
【００２７】
これに対し、たとえば、図５（Ｂ）に示すように、外力を受けて可動部４が位置８ａまで移動（移動量Ｌ１）する場合には、可動部４は磁石部３の先端部３ａ１上に存在する。その位置８ａにおいては、磁石部３の上向きに作用する力と可動部４の下向きに作用する力とでバランスがとれ、可動部４の配置として安定した状態となっている。このため、外力を受けて可動部４が位置８ａまで移動しても元の位置（所定の位置８）に戻すような誘引力は作用しない。したがって、このような先端部３ａ１の幅の範囲内での移動では、外力を受けた際の一方向の移動（移動量Ｌ１）のみにより発電することになり、発電効率が低下する。
【００２８】
また、図５（Ｃ）に示すように、可動部４が位置８ｂまで移動（移動量Ｌ３）する場合には、可動部４は磁石部３の先端部３ａ１上から離れた位置まで移動する。これにより可動部４の下向きに作用していた力が磁石部３の先端部３ａ１に向かって作用する斜め方向の力に変化する。このような斜め方向の力は可動部４を磁石部３の先端部３ａ１に向かって移動させるように作用するものの、図５（Ｄ）に示すように、磁石部３の先端部３ａ１上の位置８ｃまで移動（移動量Ｌ４）することで磁石部３の上向きに作用する力と可動部４の下向きに作用する力とでバランスがとれ、可動部４の配置として安定した状態となる。このため、このような移動では、外力を受けた際の移動（移動量Ｌ３）と誘引力により戻る際の移動（移動量Ｌ４）により発電することになり、移動量の差（Ｌ３−Ｌ４）だけ発電効率が低下する。
【００２９】
さらに、図５（Ｄ）に示したような位置８ｃにおいて、外力による右方向（磁石部３から離れる方向）への移動では、可動部４が誘引力により元の位置（位置８ｃ）にまで戻る
ので、発電効率の低下は生じない。なお、外力による左方向への移動では、上記したような発電効率の低下が生じることになる。
【００３０】
以上のように、磁石部３の先端部が幅広で平坦な先端部３ａ１の場合には、その幅に起因して発電効率が低下することがあるため、磁石部の先端部の形状は、可動部との誘引力の作用点が微小な面積領域（実質的には点もしくは直線）同士で相互作用するようにしておくことが好ましい。
【００３１】
以上説明した本発明の第１実施形態に係る発電装置によれば、以下のような効果を得ることができるようになる。
（１）対向電極６を含む可動基板５の移動（対向電極６を含む可動基板５と連動して動作する可動部４を所定の位置８に戻すための移動）を、従来のように対向電極６を含む可動基板５に連動するバネの弾性変形（伸縮）により行うのではなく、対向電極６を含む可動基板５と連動して動作する可動部４に作用する誘引力により行うため、従来のバネの伸縮動作の繰り返しに伴う変形疲労劣化を抑制することができる。したがって、発電装置の信頼性を向上させることができる。
（２）可動部４を所定の方向１０ａに回転して移動するように配置された円柱状のベアリングを採用し、磁石部３を可動部４に向かってその先端部３ａが楔形状となるようにしたことで、磁石部３の先端部３ａに磁力が集束され、可動部４との間で誘引力が強く作用するようになる。このため、磁石部３の先端部３ａを基準とする所定の位置８から外力により移動した可動部４を誘引する際に、可動部４をずれなく正確に所定の位置８に戻すことができる。
（第２実施形態）
図６は本発明の第２実施形態に係る発電装置の構成を示す概略上面図である。図７は図６の発電装置のＸ−Ｘ線に沿った概略断面図であり、図８は図６の発電装置のＹ−Ｙ線に沿った概略断面図であり、図９は図６の発電装置における可動部と磁石部の位置関係を示す概略俯瞰図である。第１実施形態と異なる箇所は、対向電極６ａをエレクトレット電極２ａとの間で水平方向に相対移動させる際に、対向電極６を含む可動基板５を任意な方向に移動できるようにしたことである。それ以外については、先の第１実施形態と同様である。
【００３２】
具体的には、図６に示すように、エレクトレット電極２ａおよび対向電極６ａの形状はＸ方向（矢印１０ａで示される方向）とこれに垂直なＹ方向（矢印１０ｂで示される方向）とに交互に折れ曲がっている。対向電極６ａの任意な方向への移動はＸ方向への移動とＹ方向への移動とを組み合わせて行っている。この際、対向電極６ａをＸ方向（矢印１０ａで示される方向）のみに所定の距離を移動させた際におけるエレクトレット電極２ａとの間の対向面積の変化量が、Ｙ方向（矢印１０ｂで示される方向）のみに同じ距離を移動させた際における対向面積の変化量と同じにしている。なお、エレクトレット電極２ａおよび対向電極６ａは、図８に示すように、所定の間隔ｄを有して対向するように配置されている。
【００３３】
磁石部１３の形状は、図７および図９に示すように、可動基板５を搭載する可動部１４に向かってその先端部１３ａが徐々に細くなる錐体状となっている。磁石部１３はその先端部１３ａのさらに先端部分（最先端部分）が固定基板１の表面に露出するように埋設されている。
【００３４】
可動部１４は、図７および図９に示すように、球状のベアリングからなり、任意な方向に回転しながら固定基板１上を移動できるように、磁石部１３の先端部１３ａの直上に配置されている。また、可動部１４は、図６に示すように、可動基板５の角部近傍に４箇所設けられ、それぞれは外力を受けていない状態で固定基板１上の所定の位置（具体的には
、固定基板１の表面に露出する磁石部１３の先端部１３ａの直上）１８に配置されている。このように配置した可動部１４により可動基板５全体を支持している。
【００３５】
このような磁石部１３および可動部１４の構成により、可動部１４が外力を受けて固定基板１上の所定の位置１８から任意の方向に移動しても、磁石部１３との間に作用する誘引力により可動部１４は元の位置（所定の位置１８）に戻るようになる。
【００３６】
本発明の第２実施形態に係る発電装置によれば、上記（１）の効果に加え、以下のような効果を得ることができるようになる。
（３）可動部１４として球状のベアリングを採用し、固定基板１上の任意な方向に回転して移動できるようにしたことで、可動部１４に連動して可動基板５が全方位に振動することができるようになる。このため、従来のようにバネによって一方向に振動を規制して発電する場合に比べて発電効率を向上させることができる。
（４）Ｘ方向（矢印１０ａで示される方向）の振動とこれに垂直なＹ方向（矢印１０ｂで示される方向）の振動に対して同じ距離の移動では等しく発電することができるので、対向面積の変化量が一方向に偏って発電を行う場合に比べて、全方位の振動に対して効率的な発電を行うことができる。
（第３実施形態）
図１０は本発明の第３実施形態に係る発電装置の構成を示す概略上面図である。第２実施形態と異なる箇所は、磁石部２３が固定基板１の裏面側から形成された溝２４内において位置制御部２５と連結され、この位置制御部２５により磁石部２３と可動部１４との間の間隔を調整できるようにしたことである。なお、磁石部２３の先端部２３ａは固定基板１の表面側に露出していない。また、位置制御部２５には、たとえば、位置調整ネジが採用され、この位置調整ネジを溝２４内で上下（固定基板１の表裏を貫通する方向）に移動させることで磁石部２３の位置が調整できるようになっている。それ以外については、先の第２実施形態と同様である。
【００３７】
本発明の第３実施形態に係る発電装置によれば、上記（１）、（３）、及び（４）の効果に加え、以下のような効果を得ることができるようになる。
（５）磁石部２３と連結され、固定基板１内においてその表裏を貫通する方向に移動することができる位置制御部２５を設けたことで、可動部１４と磁石部２３との間隔を容易に制御でき、磁石部２３と可動部１４との間に作用する誘引力を調整することができる。このため、可動部１４（可動部１４と連動して移動する可動基板５）の移動（振動）しやすさを容易に制御することができる。したがって、外力（振動）の大きさや周期に応じてバネのバネ定数を合わせ込んで製造する必要がなくなるので、従来に比べて外力（振動）に対する適用範囲（発電可能範囲）の広い高性能な発電装置とすることができる。
【００３８】
本発明は、上記した各実施形態に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて各種の設計変更等の変形を加えることも可能であり、そのような変形が加えられた実施形態も本発明の範囲に含まれうるものである。たとえば、各実施形態の構成を適宜組み合わせてもよい。
【００３９】
上記第１実施形態では、可動部４として円柱状のベアリングを採用した例を示したが、たとえば、磁石部３の先端部３ａ上に第２実施形態のような球状のベアリングを配置し、それをＸ方向のみに移動を制限するようにしてもよい。また、図９に示したような磁石部１３と可動部１４を配置し、それらをＸ方向のみに移動を制限するようにしてもよい。この場合にも上記第１実施形態と同様の効果を享受することができる。
【００４０】
上記第１および第２実施形態では、磁石部３，１３の先端部３ａ，１３ａは固定基板１の表面に露出するように設けた例を示したが、たとえば、可動部４，１４に対して誘引力
が作用するのであれば、固定基板１内に完全に埋設するようにしてもよい。
【００４１】
上記第２実施形態では、磁石部１３および可動部１４を固定基板１上に４箇所設けた例を示したが、本発明はこれに限らず、たとえば、それらを３箇所あるいは５箇所以上設けて任意の方向に移動できるようにしてもよい。この場合にも同様の効果を享受することができる。
【００４２】
上記実施形態では、固定基板１の表面にエレクトレット電極２（２ａ）を設け、可動基板５の表面に対向電極６（６ａ）を設けた例を示したが、本発明はこれに限らず、たとえば、両電極の配置を入れ替え、可動基板５の表面にエレクトレット電極２（２ａ）を設け、固定基板１の表面に対向電極６（６ａ）を設けてもよい。この場合にも同様の効果を享受することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の第１実施形態に係る発電装置の構成を示す概略上面図。
【図２】図１の発電装置のＸ−Ｘ線沿った概略断面図。
【図３】図１の発電装置における可動部と磁石部との位置関係を示す概略俯瞰図。
【図４】（Ａ），（Ｂ）本発明の第１実施形態に係る発電装置の振動動作を説明するための概略断面図。
【図５】（Ａ）〜（Ｄ）磁石部の先端部の形状を変化させた発電装置の振動動作を説明するための概略断面図。
【図６】本発明の第２実施形態に係る発電装置の構成を示す概略上面図。
【図７】図６の発電装置のＸ−Ｘ線沿った概略断面図。
【図８】図６の発電装置のＹ−Ｙ線沿った概略断面図。
【図９】図６の発電装置における可動部と磁石部との位置関係を示す概略俯瞰図。
【図１０】本発明の第３実施形態に係る発電装置の構成を示す概略上面図。
【図１１】従来の静電誘導型発電装置の構成を示す概略断面図。
【符号の説明】
【００４４】
１・・・固定基板（固定構造体）、２・・・エレクトレット電極、３・・・磁石部、３ａ・・・磁石部の先端部、４・・・可動部、５・・・可動基板、６・・・対向電極、１０ａ・・・Ｘ方向の振動。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2008113517.tif 000008
【図７】
2008113517.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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