(57)【要約】【課題】実機プロジェクタと高い相関性を有する測定結果を提供できる測定装置および測定システムを実現すること。【解決手段】本発明は、光源１０から出射される光を検査対象となる液晶表示装置１７に集光する光学系と、光学系を介して液晶表示装置１７へ照射する光の発散角分布を変更する変更機構と、光学系を介して液晶表示装置１７に照射された光の透過量を検出する光センサ２０と、光センサ２０で得た信号に基づき液晶表示装置１７の光学特性値を演算する演算部２２とを備える測定装置であり、この変更機構として光学系に設けられるズームレンズ１４を適用したり、光源１０と光学系との距離を変更する移動機構を適用したりするものである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源から出射される光を検査対象となる投射型表示装置に集光する光学系と、
前記光学系を介して前記投射型表示装置へ照射する光の発散角分布を変更する変更機構と、
前記光学系を介して投射型表示装置に照射された光の透過量を検出する光センサと、
前記光センサで得た信号に基づき前記投射型表示装置の光学特性値を演算する演算手段と
を備えることを特徴とする投射型表示装置の測定装置。
【請求項２】
前記変更機構は、前記光学系に設けられるズームレンズから成る
ことを特徴とする請求項１記載の投射型表示装置の測定装置。
【請求項３】
前記変更機構は、前記光源と前記光学系との距離を変更する移動機構から成る
ことを特徴とする請求項１記載の投射型表示装置の測定装置。
【請求項４】
光源から出射される光を検査対象となる投射型表示装置に集光する光学系と、
前記光学系を介して前記投射型表示装置へ照射する光の発散角分布を変更する変更機構と、
前記変更機構による前記光の発散角分布の変更を制御する制御手段と、
前記制御手段によって前記変更機構を制御しながら前記光学系を介して投射型表示装置に照射された光の透過量を検出する光センサと、
前記光センサで得た信号に基づき前記投射型表示装置の光学特性値を演算する演算手段と、
を備えることを特徴とする投射型表示装置の測定システム。
【請求項５】
前記変更機構は、前記光学系に設けられるズームレンズから成る
ことを特徴とする請求項４記載の投射型表示装置の測定システム。
【請求項６】
前記変更機構は、前記光源と前記光学系との距離を変更する移動機構から成る
ことを特徴とする請求項４記載の投射型表示装置の測定システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光源から出射される光を光学系を介して投射型表示装置に照射し、その透過光によって光学的特性を測定する投射型表示装置の測定装置および投射型表示装置の測定システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
小型液晶表示装置などの画像を拡大投射する投射型表示装置、いわゆる液晶プロジェクタにおいては、その画質・光学性能が液晶表示装置へ入射する照明光の特性に依存する。例えば、液晶表示装置のＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子への光入射によるリークによって、フリッカ（ちらつき）が発生するが、フリッカはパネルへの入射光量が大きいほど顕著であるので、液晶表示装置が耐えられる光量すなわち耐光量が目安となる。また、フリッカは入射光の強度だけでなく角度分布にも依存する。その他にも、液晶表示装置が視野角特性を有するので、コントラストも入射光の角度分布に依存する。
【０００３】
液晶表示装置の耐光量・コントラストを測定する従来の測定装置は、図１４のように実機プロジェクタを模した測定装置が用いられる。すなわち、この測定装置は、インテグレータ照明系５１、ＮＤフィルタ（光量調整フィルタ）５２、入射偏光板５３、液晶表示装置５４、出射偏光板５５、投射レンズ５６、光センサ５７などから構成されている。
【０００４】
図１５は図１４のインテグレータ照明系の構成を説明する図である。図１４において、照明系は光源６１、第１フライアイレンズ６２、第２フライアイレンズ６３、ＰＳ変換素子（偏光分離素子）６４、コンデンサレンズ６５、フィールドレンズ６６から構成されている。
【０００５】
実機プロジェクタと測定装置とで同じフリッカやコントラストの測定結果を得るためには、図１５の照明系で入射角度θに対する強度分布、すなわち発散角分布が実機と同じになることが必要である。
【０００６】
ここで、発散角分布を図１６に基づいて定義する。図１６に示されるように、液晶表示装置面上の一点に角度θで入射する光線群に着目する。これらの光線群は半頂角θの円錐を張るが、斜線で示される輪帯に沿って光強度を合計したものが、ある入射角度θに対する入射光強度となる。また、各θに対して入射光の相対強度（全光量に対してθ成分の占める割合）をプロットしたものが発散角分布となる。
【０００７】
図１７は実機プロジェクタの発散角分布の例であり、横軸は発散角θ、縦軸は入射光強度（相対強度）がプロットされている。図１７（ａ）は通常の実機での発散角分布であり、図１７（ｂ）は分布の幅が狭い例である。また、図１７（ｃ）は分布のピークが外側へシフトしており、斜め入射成分が多い場合に相当する。
【０００８】
液晶表示装置への入射光量が同じでも、このような発散角分布の違いにより、ＴＦＴ素子への最終的な入射光量が異なるのでフリッカに差が生じる。また、コントラストの測定値にも差が生じる。
【０００９】
このような、液晶表示装置の耐光量を正確に測定するためには、液晶パネルへの入射光量だけでなく、照明系の発散角分布を実際に使用される投射型表示装置と測定装置で同一条件にすることが望ましい。これにより、液晶表示装置への入射光量とフリッカ値の関係が正確に測定でき、実際の投射型表示装置に液晶表示装置を装着した場合、液晶パネルごとの耐光量（どこまで入射光量が増やせるか）を正確に見極められる。また、コントラストの測定結果についても実機プロジェクタと高い相関が得られる。
【００１０】
ここで、投射型表示装置において、照明系の発散角分布はユーザ側の光学設計によって異なり、液晶表示装置の測定装置では、発散角分布をユーザ条件に応じて可変にしてフリッカやコントラストを測定する必要がある。例えば、特許文献１に開示されている検査装置においては、液晶表示装置の入射・出射光路上のそれぞれに可変光学絞りを設け、これらの光の取込み角度を可変とすることによって、実際の投射型表示装置に近い状態で、測定部に光を入射させ、コントラストを測定している。
【００１１】
【特許文献１】特開２００５−１１４５２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、特許文献１に示す測定装置で行う測定方法では、発散角分布の中で投射レンズに取り込まれる範囲（＝受光角）を絞るだけなので、照明光の発散角分布を正確に再現するものではない。したがって、受光角だけを実機プロジェクタの条件に合わせてフリッカやコントラストの測定を行なっても、実機プロジェクタでの測定結果に差異が生じてしまう。
【００１３】
また、照明光の角度分布はランプ条件や照明系の設計によって異なるので、異なる実機プロジェクタについて液晶表示装置の耐光量を正確に見積もるためには、測定装置が照明系の角度分布を可変できるような機構を備え、実機プロジェクタと同じ角度分布を実現できるようにしなければならない。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明はこのような課題を解決するために成されたものである。すなわち、本発明は、光源から出射される光を検査対象となる投射型表示装置に集光する光学系と、光学系を介して投射型表示装置へ照射する光の発散角分布を変更する変更機構と、光学系を介して投射型表示装置に照射された光の透過量を検出する光センサと、光センサで得た信号に基づき投射型表示装置の光学特性値を演算する演算手段とを備える投射型表示装置の測定装置である。
【００１５】
また、上記変更機構として、光学系に設けられるズームレンズを適用したり、光源と光学系との距離を変更する移動機構を適用したりするものである。
【００１６】
このような本発明では、光学系を介して投射型表示装置へ照射する光の発散角分布を変更機構によって変更できることから、種々の光学系の特性に対応した発散角分布を設定することができるようになる。
【００１７】
例えば、インテグレータ照明系にズームレンズを用いることにより、照明系の発散角分布を拡大・縮小することができる。また、光源と光学系との距離を変えることにより発散角分布のピーク位置や形状を変えることができる。さらに、これら二つの手段を組み合わせることにより、任意の発散角分布形状を得ることができる。
【００１８】
また、本発明は、光源から出射される光を検査対象となる投射型表示装置に集光する光学系と、光学系を介して投射型表示装置へ照射する光の発散角分布を変更する変更機構と、変更機構による光の発散角分布の変更を制御する制御手段と、制御手段によって変更機構を制御しながら光学系を介して投射型表示装置に照射された光の透過量を検出する光センサと、光センサで得た信号に基づき投射型表示装置の光学特性値を演算する演算手段とを備える投射型表示装置の測定システムである。
【００１９】
このような本発明により、投射型表示装置である液晶表示装置の耐光量など照明系の光学特性、すなわち発散角分布に依存する特性を測定する場合に、測定装置の照明条件を液晶表示装置が実際に使用される実機プロジェクタの照明条件に合わせ込むことができる。
【発明の効果】
【００２０】
したがって、本発明によれば次のような効果がある。すなわち、投射型表示装置に用いられる液晶表示装置の測定装置において、光の発散角分布を変更できることから、実機プロジェクタに近い発散角が得られ、その発散角に応じたフリッカ量、すなわち耐光量を求めることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の実施の形態を図に基づき説明する。図１は、本実施形態に係る液晶表示装置の測定装置を説明する構成図である。すなわち、本実施形態に係る液晶表示装置の測定装置は、光源１０から出射される光を検査対象の液晶表示装置１７へ集光する照明系（光源１０および光学部品）と、照明系による光の発散角分布を変更する変更機構（後述）と、照明系を介して液晶表示装置１７に照射された光の透過量を検出する光センサ２０とを備えている。
【００２２】
ここで、照明系は、光源１０、第１フライアイレンズ１１、第２フライアイレンズ１２、ＰＳ変換素子（偏光分離素子）１３を備える点で従来の測定装置と同じであるが、インテグレータ照明系において、図１５に示すコンデンサレンズ６５およびフィールドレンズ６６が、図１に示すズームレンズ１４に置き換わっており、これにより発散角分布を拡大・縮小することができるようになっている。したがって、変更機構の一つはズームレンズ１４として実現される。
【００２３】
また、光源１０が第１フライアイレンズ１１との距離を可変でき、これにより発散角分布のピーク位置や形状を可変できる構成となっている。したがって、変更機構の他の一つは光源１０の移動機構によって実現される。
【００２４】
照明系の後段には、ＮＤフィルタ（光量調整フィルタ）１５、入射偏光板１６、出射偏光板１８、投射レンズ１９および光センサ２０が設けられ、入射偏光板１６と出射偏光板１８との間に検査対象の液晶表示装置１７が配置される。
【００２５】
このような照明系を介して液晶表示装置１７に照射される光の透過光を光センサ２０で取り込んで得た電気信号によってフリッカやコントラスト等の光学特性を測定する。すなわち、検査対象となる液晶表示装置１７を入射偏光板１６と出射偏光板１８との間に配置した状態で光源１０から光を出射する。出射された光は第１フライアイレンズ１１および第２フライアイレンズ１２で一様な照度分布となり、ＰＳ変換素子１３によって所定の偏光光となる。
【００２６】
そして、偏光光はズームレンズ１４を介して所望の焦点距離に設定され、ＮＤフィルタ１５で所定の光量に設定された状態で、入射偏光板１６を介して液晶表示装置１７に入射される。そして、液晶表示装置１７からの透過光は出射偏光板１８を介して投射レンズ１９から光センサ２０に導かれる。光センサ２０の後段には図示しない演算装置が取り付けられており、この光センサ２０によって取り込んだ信号を解析することで、フリッカやコントラスト等の光学特性を測定し、例えば数値やグラフによってモニタ表示することができる。
【００２７】
このような測定装置において、本実施形態では、ズームレンズ１４および距離可変の光源１０によって発散角分布を種々の形状に変更でき、液晶表示装置１７を実際に使用する実機プロジェクタの照明条件に合わせ込むことができる点に特徴がある。
【００２８】
先ず、ズームレンズ１４による発散角分布の拡大・縮小について、図２〜図６に基づいて説明する。
【００２９】
図２は、液晶プロジェクタのインテグレータ照明系の等価光学系である。前述の図１５におけるインテグレータ照明系では、ＰＳ変換素子６４と液晶表示装置５３との間にコンデンサレンズ６５とフィールドレンズ６６とが挿入されていたが、光学的にはコンデンサ／フィールドレンズの２枚のレンズは、これらの合成焦点距離ｆと同じ焦点距離を持つ１枚のレンズ６０に置き換えられる。また、第２フライアイレンズ１２と液晶表示装置１７はそれぞれレンズの前側焦点と後側焦点の位置に配置される。すなわち、液晶プロジェクタの照明系はｆ−ｆ配置となっている。
【００３０】
この配置により、液晶プロジェクタの照明系は主光線が液晶表示装置に垂直入射するテレセントリック照明系となっている。また、照明系のＦナンバーあるいは発散角分布の大きさは焦点距離ｆによって規定される。例えば、レンズ６０への入平行光の最大高さがｈならば、発散角の最大値θmaxは
θmax＝tan-1(ｈ／ｆ)
で与えられる。
【００３１】
次に、発散角の最大値を変える方法について説明する。図３は、図２の光学系におけるレンズ６０を、これよりも短い焦点距離ｆ’のレンズ７０に置き換えた光学系の説明図である。この場合も前述と同様に、レンズ７０への入平行光の最大高さがｈならば、発散角の最大値θmax’は、
θmax’＝tan-1(ｈ/ｆ’)
で与えられるが、図６と図７のレンズ焦点距離は、ｆ＞ｆ’であるので、
θmax’＞θmax
となり、発散角分布を拡大することができる。したがって、レンズの焦点距離を変化させることによって、発散角分布を可変とすることができる。
【００３２】
ただし、前述のように、光学的な条件としてはｆ−ｆ配置、つまりどの焦点距離に対しても第２フライアイレンズと液晶表示装置は、常にレンズの前側・後側焦点に位置しなければならない。また測定装置の使用条件としては、どの焦点距離のレンズに対しても液晶表示装置は常に固定されていることが望ましい。
【００３３】
前述の二つの条件については、前後の焦点位置が常に一定である可変焦点レンズ、つまりズームレンズを用いることで満足される。
【００３４】
図４は、本実施形態に係る測定装置の主要部であるズームレンズを用いた発散角分布の可変光学系を示す図である。ここでは、ズームレンズ１４の焦点距離が図１と同じｆであり、発散角の最大値はθmaxに設定されている。
【００３５】
ズームレンズ１４は、例えば凸レンズと凹レンズから成る２群６枚の構成になっている。また、レンズの構成・配置は前後で対称なレンズ配置となっている。これは、図２で説明したように第２フライアイレンズ１２と液晶表示装置１７が前後焦点に位置するためであり、この条件によりズームレンズ１４の構成は前後で対称とすることができる。
【００３６】
図５は、本実施形態に係る測定装置で適用されるズームレンズの焦点距離変更による発散角の変更方法を示す図である。本実施形態では、ズームレンズを構成する凹レンズ・凸レンズを中央に移動させることで、レンズの焦点距離を図７と同じｆ’（＜ｆ）に短縮した場合を示している。図５に示す例では、ズームレンズ１４を構成する２群６枚のレンズのうち、左右の群単位で中央に移動させている。この場合、発散角の最大値は図２と同じくθmax’に設定されている。
【００３７】
図５が図３と異なるのは、第２フライアイレンズ１２と液晶表示装置１７の位置である。図５では、ズームレンズ１４の焦点距離は可変であるが、その前・後焦点位置は常に第２フライアイレンズ１２と液晶表示装置１７の位置に重なるよう設計されている。そのため、どの焦点距離に対しても液晶表示装置１７は定位置に固定されたままで使用できる。また、第２フライアイレンズ１２も定位置に固定されたままなので、照明系のテレセントリック性も維持できる。
【００３８】
なお、ズームレンズ１４の構成は上記のような２群６枚に限定されず、他の構成であってもよい。
【００３９】
図６は、ズームレンズ焦点距離がｆ（図４）とｆ’（＜ｆ；図５）の発散角分布を比較した図である。ズームレンズの焦点距離が長いｆの場合には最大発散角はθmaxであり、逆に短いｆ’の場合にはθmax’となっている。つまり、ズームレンズの焦点距離が長いｆの場合には発散角分布と最大発散角θmaxが左側にシフトしており、全体的に横軸に沿って縮小された形状となる。
【００４０】
これに対して、ズームレンズ１４の焦点距離が短いｆ’の場合、発散角分布の形状は焦点距離ｆの発散角分布の形状を、焦点距離の比（ｆ/ｆ’）だけ引き伸ばされた形状となっている。またこれに伴い、最大発散角θmaxも同じ比率だけ右側に引き伸ばされる。
【００４１】
このように、ズームレンズ１４を用いた発散角分布の可変光学系では、焦点距離に応じた倍率で発散角分布形状と最大発散角を拡大・縮小することができる。したがって、ズームレンズ１４による焦点距離調整によって、光の発散角分布における最大発散角の拡大・縮小により形状を変更し、実機プロジェクタと同じ角度分布を実現した状態での液晶表示装置の特性検査を行うことができるようになる。
【００４２】
次に、発散角分布の形状を可変とする方法について、図７〜図１２に基づいて述べる。これは光源１０と第１フライアイレンズ１１の間隔を可変とすることで行われる。
【００４３】
図７は光源と第１フライアイレンズとの間隔が短い場合を示す図である。光源１０の発光領域から発せられた光線はリフレクタによって反射・平行化される。発光領域は円筒に近い形状であるが、円筒の長さはアーク長と呼ばれ、通常１ｍｍ程度の長さである。したがって、リフレクタから反射された光は完全な平行光ではなく、アーク長に応じた角度で拡がりながら第１フライアイレンズ１１に入射し、アーク像を形成する。
【００４４】
しかし、リフレクタ中央には発光管を挿入・固定するため、直径数ｍｍ程度の円形孔が空けられており、この部分に入った光は反射されない。また、光源１０と第１フライアイレンズ１１との距離が近いので、第１フライアイレンズ１１面でのアーク像の拡がりが小さい。そのため、第１フライアイレンズ１１面では中央付近が暗くなっており、いわゆる中抜けが発生する。
【００４５】
図８は図７における第１フライアイレンズ面Ａ−Ａ’上での入射光量分布を示した図であり、中央付近の光量が落ち込んだ中抜けがあることを示している。
【００４６】
第１フライアイレンズ１１に入射した光線は第２フライアイレンズ１２、ＰＳ変換素子１３へと導かれるが、中央付近は中抜けのため光線が存在しない。したがって、照明系の発散角分布は、図９に示すように垂直入射成分付近が極端に落ち込んだ分布となる。すなわち、照明系の発散角分布は第１フライアイレンズ１１面での入射光量分布に依存する。
【００４７】
図１０は光源と第１フライアイレンズとの距離が遠い場合のアーク像の拡がりを示す図である。この場合、光源１０と第１フライアイレンズ１１との距離が離れたことによりアーク像は大きく拡大されるので、第１フライアイレンズ１１面では中抜けが解消され、図１１に示されるような光量分布となる。
【００４８】
また、中抜けが解消されることにより、図１２に示すように垂直入射成分を持つ発散角分布が得られる。さらに、光源１０と第１フライアイレンズ１１との距離が離れるほど、アーク像の広がりが大きくなるので、発散角分布のピークは垂直入射成分の方にシフトする。したがって、光源１０と第１フライアイレンズ１１との距離によって発散角分布の形状を変えることができる。
【００４９】
本実施形態では、このような特性を利用して、光源１０と第１フライアイレンズ１１との距離を可変することにより、光の発散角分布におけるピーク位置を変更して、実機プロジェクタと同じ角度分布を実現した状態での液晶表示装置の特性検査を行うことができる。
【００５０】
また、光源１０と第１フライアイレンズ１１との距離を変更して光の発散角分布におけるピーク位置を変更するとともに、先に説明したズームレンズ１４による焦点距離の変更による発散角分布の拡大・縮小を図り、より正確な実機プロジェクタとの合わせ込みによる測定を行うようにしてもよい。
【００５１】
図１３は、本実施形態に係る液晶表示装置の測定システムを説明する構成図である。すなわち、本実施形態に係る液晶表示装置の測定システムは、光源１０から出射される光を検査対象の液晶表示装置１７へ集光する照明系（光源１０および光学部品）と、照明系による光の発散角分布を変更する変更機構と、照明系を介して液晶表示装置１７に照射された光の透過量を検出する光センサ２０とを備えている。
【００５２】
照明系は、光源１０、第１フライアイレンズ１１、第２フライアイレンズ１２、ＰＳ変換素子１３、ズームレンズ１４を備えており、このズームレンズ１４により発散角分布を拡大・縮小することができるようになっている。
【００５３】
また、光源１０が第１フライアイレンズ１１との距離を可変でき、これにより発散角分布のピーク位置や形状を可変できる構成となっている。
【００５４】
照明系の後段は、ＮＤフィルタ１５、入射偏光板１６、出射偏光板１８、投射レンズ１９および光センサ２０を備えており、入射偏光板１６と出射偏光板１８との間に検査対象の液晶表示装置１７が配置される。
【００５５】
また、このような照明系および光学系を介して液晶表示装置１７に照射される光の透過光を取り込む光センサ２０と、光センサ２０によって得た電気信号に基づきフリッカやコントラスト等の光学的特性を演算する演算部２１を備えるとともに、ズームレンズ１４による変倍制御および光源１０の光軸方向に沿った距離制御を行う制御部２２を備えている。
【００５６】
制御部２２は、ズームレンズ１４を駆動して焦点距離を所定の値に設定したり、所定の範囲で連続的に変更したりする制御を行うことができる。また、制御部２２は、ズームレンズ１４の駆動とは独立して、または連動して、光源１０と第１フライアイレンズ１１との距離（光軸に沿った距離）を所定の値に設定したり、所定の範囲で連続的に変更したりする制御を行うことができる。
【００５７】
つまり、制御部２２によってズームレンズ１４の焦点距離変更による光の発散角θを自動的に変更でき、光源１０と第１フライアイレンズ１１との距離によって発散角分布のピーク位置等を自動的に変更することができる。
【００５８】
したがって、例えば、制御部２２によってズームレンズ１４を駆動して発散角θを所定の範囲で連続的に変更しながら光センサ２０で液晶表示装置１７からの透過光を連続的に取り込む。そして、演算部２１によって光センサ２０から送られる電気信号を用いて演算することで、発散角θを変更した際のフリッカ値を自動的に演算し、例えばグラフや表によって表示（ディスプレイ等による表示）を行うことが可能となる。
【００５９】
また、同様に、制御部２２によって光源１０を移動して発散角分布のピーク位置等を可変しながら光センサ２０で液晶表示装置１７の透過光を取り込み、演算部２１によって光センサ２０から送られる電気信号を用いて演算することで、発散角分布のピーク位置等を変更した際のフリッカ値を自動的に演算し、例えばグラフや表によって表示（ディスプレイ等による表示）を行うことが可能となる。
【００６０】
また、上記制御部２２によるズームレンズ１４の制御および光源１０の移動制御で特性取り込みを各々行って、取り込んで得た各フリッカ値をマトリクス状に表示することもできる。
【００６１】
このような測定システムによって、発散角分布の形状を連続的に変更した状態で光学的特性を自動的に測定でき、短時間で所望の特性を確実に測定することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本実施形態に係る投射型表示装置の測定装置を説明する構成図である。
【図２】インテグレータ照明系の等価光学系を示す図である。
【図３】インテグレータ照明系の発散角が異なる場合を説明する図である。
【図４】ズームレンズによる発散角分布の可変光学系を説明する図である。
【図５】ズームレンズの焦点距離変更による発散角分布の可変例を説明する図である。
【図６】発散角分布のズームレンズ焦点距離依存性を説明する図である。
【図７】光源が第１フライアイレンズに近い場合を説明する図である。
【図８】光源が第１フライアイレンズに近い場合の第１フライアイレンズ面での光量分布を示す図である。
【図９】光源が第１フライアイレンズに近い場合の発散角分布を示す図である。
【図１０】光源が第１フライアイレンズから遠い場合を説明する図である。
【図１１】光源が第１フライアイレンズから遠い場合の第１フライアイレンズ面での光量分布を示す図である。
【図１２】光源が第１フライアイレンズから遠い場合の発散角分布を示す図である。
【図１３】本実施形態に係る投射型表示装置の測定システムを説明する構成図である。
【図１４】従来の投射型表示装置の測定装置を説明する構成図である。
【図１５】インテグレータ照明系の構成図である。
【図１６】発散各分布の定義を説明する模式図である。
【図１７】照明系の発散各分布の例を説明する模式図である。
【符号の説明】
【００６３】
１０…光源、１１…第１フライアイレンズ、１２…第２フライアイレンズ、１３…ＰＳ変換素子、１４…ズームレンズ、１５…ＮＤフィルタ、１６…入射偏光板、１７…液晶表示装置、１８…出射偏光板、１９…投射レンズ、２０…光センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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