(57)【要約】【課題】マイクロミラーの揺動変動を、揺動位置の変動を直接検知することにより、変動補正を走査周期毎に適応可能とする光走査装置を提供する。【解決手段】光ビーム１２を発生する光ビーム発生手段９と、前記光ビーム１２を入射させ、前記光ビーム１２を偏向ミラーによって偏向及び出射させる光ビーム偏向手段８と、前記光ビーム１２が前記光ビーム偏向手段８によって偏向走査されかつ所定の位置を走査通過した時、前記光ビーム１２を検知して位置検知信号を出力する位置検知手段１０と、前記位置検知信号を記憶する位置情報記憶手段とを有する光走査装置において、前記位置検知手段１０は任意の位置に移動可能である。【選択図】図７
2008058911.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ビームを発生する光ビーム発生手段と、前記光ビームを入射させ、前記光ビームを偏向ミラーによって偏向及び出射させる光ビーム偏向手段と、前記光ビームが前記光ビーム偏向手段によって偏向走査されかつ所定の位置を走査通過した時、前記光ビームを検知して位置検知信号を出力する位置検知手段と、前記位置検知信号を記憶する位置情報記憶手段とを有する光走査装置において、前記位置検知手段は任意の位置に移動可能であることを特徴とする光走査装置。
【請求項２】
前記位置検知手段は往復運動を行うことを特徴とする請求項１記載の光走査装置。
【請求項３】
前記位置検知手段の移動速度Ｖｄと光走査速度Ｖｓを、Ｖｄ＞Ｖｓの関係にすることを特徴とする請求項１記載の光走査装置。
【請求項４】
前記位置検知手段の検知部材は複数個の受光素子をアレイ状に配置して構成されることを特徴とする請求項１記載の光走査装置。
【請求項５】
前記位置検知手段は光走査の両方向変換点位置に配置することを特徴とする請求項１記載の光走査装置。
【請求項６】
前記位置検知手段の位置移動動作を、前記光ビームが前記位置検知手段を走査通過するタイミングに対応して行うことを特徴とする請求項１記載の光走査装置。
【請求項７】
前記位置検出手段は単一で、かつこれによって光走査の両方向変換点位置を計測可能とする構成であることを特徴とする請求項１記載の光走査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザプリンタ、バーコードリーダ、ディスプレイ等の光学機器に使用する、マイクロミラーをトーションバー軸の周りに揺動させ、ミラーに反射した光ビームを走査する光走査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の光走査装置において、光ビームを走査する光偏向器としてはポリゴンミラーが多く用いられている。ポリゴンミラーは高速で回転して光ビームを走査するが、ポリゴンミラーを用いた画像形成では、より高い解像度の画像及び高速の画像形成を達成するには、ポリゴンミラーをさらに高速で回転させる必要がある。
【０００３】
しかし、ミラーの高速回転を達成するには、軸受けの耐久性を向上し、発熱及び騒音の対策を行う必要がある課題を解決しなければならない。従って、ミラーが形成された回転体を使用した高速走査には限界がある。
【０００４】
一方、近年、光ビームを走査する光走査装置は、シリコンマイクロマシニング技術を利用した微小ミラーを揺動させる構成が提案されている。このようなマイクロミラーディバイスはその駆動方式から大別して、電磁駆動方式、静電駆動方式が提案されている（例えば、特許文献１乃至６参照）。
【０００５】
特許文献１では、磁界発生手段を用いた方法を提案しており、特許文献２では静電誘導発生手段を用いた方法を提案している。前記従来の提案ではマイクロミラー可動部の駆動方式として、磁界発生手段を用いた駆動方式或は静電誘導発生手段を用いた駆動方式では駆動電圧を正弦波交流信号として定常的に印加して駆動する方式となっている。
【０００６】
静電誘導発生手段を用いた代表的な例として特許文献３で開示された静電引力によってミラーを揺動させる光走査装置を示すことができる。光走査装置については後段で詳しく説明する。
【０００７】
静電駆動方式としては現在２つの方式が用いられている。一方は駆動電極が平行平板電極構成であり、他方は櫛歯型電極構成とした方式である。櫛歯型電極方式は、一般的に変動量、駆動力とも、平行平板電極方式より大きく優れていると言われている。櫛歯型電極を用いた方式は特許文献４、特許文献５、特許文献６等である。
【０００８】
図１６は従来の揺動型ミラーを示す上面図である。図１７は図１６の断面図である。従来の揺動型ミラーの動作について、特許文献３の明細書の記載を参照し、図１６及び図１７について説明する。
【０００９】
支持基板１０１に設けられた凹部にミラー１０２が配置され、このミラー１０２は一体的に設けられたトーションバー１０３を介して支持基板１０１に支持される。ミラー１０２は、トーションバー１０３の捩じり作用により、その両側がミラー１０２の平面に対して垂直方向に揺動可能としている。
【００１０】
トーションバー１０３は導電性部材で構成され、その両端は支持基板１０１に設けられたパッド１０４に電気的に接続されている。さらに、支持基板１０１の凹部の両側には絶縁体１０６を介して固定電極１０７が支持されている。
【００１１】
固定電極１０７は、この固定電極１０７とミラー１０２の両側部ミラー電極との位置関係を、ミラー電極部の初期位置よりも揺動方向に沿って高い位置に配置する構成、ミラー電極部の初期位置においてミラー電極部と固定電極部とは高低差を持って配置した提案になっている。
【００１２】
この光走査装置は、固定電極１０７のパッド１０８とトーションバー１０３が接続されたパッド１０４との間に高電圧を印加し、固定電極１０７とミラー１０２との間に静電力を発生させ、その静電引力によってミラー１０２の一方の側面を固定電極１０７側に吸引し、この吸引動作によってトーションバー１０３を捩じり変形させながら、ミラー１０２をミラーの平面に対して垂直方向に揺動させる。
【００１３】
この揺動動作の直後に固定電極１０７への電圧印加を解除すると、トーションバー１０３の捩じり復元力によってミラー１０２は逆方向に揺動される。この電圧印加と停止を繰り返すことにより、ミラー１０２を揺動させることができ、図示していない光源からの光をミラー１０２で反射させることで、光を偏向しかつ走査が可能となる。
【００１４】
さて、マイクロミラーを安定的に所定の周波数で揺動するために、可動部の揺動に応じた信号を検出し、駆動正弦波信号と揺動検出信号の位相を制御する制御手段を用いている。
【００１５】
検出方法としては可動部に検出用コイルを配設する方法、あるいはマイクロミラーに光ビームを照射し、その光ビームの反射ビーム軌跡を検出する方法がある。
【００１６】
前記従来の方法において、検出方法に検出用コイルを用いた方法では駆動用電極と検出用電極を設ける必要があり、また、駆動用コイルと検出用コイルの相互誘導の影響を除去するための特別な手段を必要とした。さらに、前記光ビームの反射ビーム軌跡を検出した信号を用いる場合、これを検出するための検出手段を付加して実現していた。
【００１７】
光ビームを走査する光偏向器を用いて光走査し、画像形成する場合、走査速度の変動、一般的には、任意の距離間を走査する走査時間の変動（ジター）を０．０２％以下にする必要がある。前記マイクロミラーは使用環境の変動により揺動振幅が変動することが知られている。
【００１８】
前記マイクロミラー揺動振幅の変動は、光ビーム走査のジターの変動として生じ、画質を低下する要因になっている。この問題を解決するために多く提案がなされている。
【００１９】
提案の代表的な方式は、前記ジターを計測し、ジターの変動量から、マイクロミラー揺動振幅の変動を推定し、その変動分を補正するように、マイクロミラーの印加エネルギを調整している。
【特許文献１】特開２００２−７８３６８号公報
【特許文献２】特開平８−２１１３２０号公報
【特許文献３】特許第３０１１１４４号明細書
【特許文献４】特許第３００６１７８号明細書
【特許文献５】特開平５−２２４７５１号公報
【特許文献６】特開２００３−２４１１２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２０】
しかしながら、従来技術の方法は、走査光の２点間の時間を計測をするため、変動状況は２点間の時間が経過後のみしか知り得ず、変動直後での補正制御は適切に対応することができない。この方式は或る程度長時間に生ずる変動の調整には有効であるが、走査周期毎の補正は困難である。
【００２１】
また、前記ジターを計測するサンプリング周期は、例えば、光ビームの走査周期が４．７ＫＨｚ、走査距離５０ｍｍ、画素密度１２００ｄｐｉとした場合、０．０２％のジターは約７４ＭＨｚになり、１０倍の精度で計測する場合には、７４０ＭＨｚになる。このようなサンプリング周期を実現するには回路構成も複雑になる欠点がある。
【００２２】
そこで、本発明の目的は、上述した実情を考慮して、マイクロミラーの揺動変動を、揺動位置の変動を直接検知することにより、変動補正を走査周期毎に適応可能とする光走査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
上記の課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、光ビームを発生する光ビーム発生手段と、前記光ビームを入射させ、前記光ビームを偏向ミラーによって偏向及び出射させる光ビーム偏向手段と、前記光ビームが前記光ビーム偏向手段によって偏向走査されかつ所定の位置を走査通過した時、前記光ビームを検知して位置検知信号を出力する位置検知手段と、前記位置検知信号を記憶する位置情報記憶手段とを有する光走査装置において、前記位置検知手段は任意の位置に移動可能である光走査装置を特徴とする。
【００２４】
また、請求項２に記載の発明は、前記位置検知手段が往復運動を行う請求項１記載の光走査装置を特徴とする。
【００２５】
また、請求項３に記載の発明は、前記位置検知手段の移動速度Ｖｄと光走査速度Ｖｓを、Ｖｄ＞Ｖｓの関係にする請求項１記載の光走査装置を特徴とする。
【００２６】
また、請求項４に記載の発明は、前記位置検知手段の検知部材が複数個の受光素子をアレイ状に配置して構成される請求項１記載の光走査装置を特徴とする。
【００２７】
また、請求項５に記載の発明は、前記位置検知手段は光走査の両方向変換点位置に配置する請求項１記載の光走査装置を特徴とする。
【００２８】
また、請求項６に記載の発明は、前記位置検知手段の位置移動動作を、前記光ビームが前記位置検知手段を走査通過するタイミングに対応して行う請求項１記載の光走査装置を特徴とする。
【００２９】
また、請求項７に記載の発明は、前記位置検出手段は単一で、かつこれによって光走査の両方向変換点位置を計測可能とする構成である請求項１記載の光走査装置を特徴とする。
【発明の効果】
【００３０】
本発明によれば、光ビーム偏向手段により偏向走査された光ビームが所定の位置を走査通過した時、光ビームを検知し、位置検知信号を出力する位置検知手段が、光ビームの移動を追尾可能とするように任意の位置に移動可能としたことにより、ミラー揺動波形の方向変化点の任意の位置を検知可能とする光走査装置を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態を詳細に説明する。図１は本発明による光偏向器の実施の形態を示す概略斜視図である。図２は電極が櫛歯構造をした光偏向器を示す概略斜視図である。図３は図２の可動板が手前側に上昇している状態を示す概略斜視図である。
【００３２】
図１ないし図３を参照して、シリコンからなる支持基板１に偏向ミラーを構成する可動板７の両端が弾性支持部２で支持されている。可動板端面には可動電極４が設けられ、可動電極４に対向する位置に固定電極３が設けられている。
【００３３】
可動電極４とこの可動電極４に対向する固定電極３の間には、例えば、５μｍのギャップを設けていて、これらの電極３，４間に電圧を印加することによって電極３，４間に静電引力が働き、可動板７の端面が固定電極３に引き寄せられる。
【００３４】
図４は光偏向器の動作を説明する概略図である。図４を参照して、可動板７に付設された可動電極４はシリコン基板１（図１）に引き出されて図示してないパッドを介して接地される。
【００３５】
図４において、固定電極３と可動電極４の位置関係が図４の（ａ）の状態において、固定電極３に、例えば、３０Ｖの電圧を印加すると、固定電極３と可動電極４の間に働く静電力と梁の捻り剛性により、可動板７は図中時計回りに振れる。
【００３６】
図４の（ｂ）に示すように、可動板７が水平位置に達した時点で固定電極３への電圧印加をオフにすると、可動板７は慣性モーメントにより時計回り方向にさらに振れる。
【００３７】
最終として、図４の（ｃ）に示すように、慣性モーメントと梁の捻り剛性とが釣り合う位置まで振れる。最大振れ角まで到達すると一時停止し、その後振れてきた方向と逆向きに振れを開始する。
【００３８】
図４の（ｃ）では反時計回りに振れ始める。反時計方向に振れ始めた後、適時固定電極３に再度電圧を印加すると、固定電極３と可動電極４の間に働く静電力と梁の捻り剛性により、可動板７は図中反時計回りに振れる。
【００３９】
再び、可動板７が水平位置に達した時点で固定電極３への電圧印加をオフすると、可動板７は慣性モーメントにより反時計回り方向にさらに振れる。最終として、図４の（ａ）に示すように、慣性モーメントと梁の捻り剛性とが釣り合う位置まで振れる。
【００４０】
このような固定電極３への電圧印加周波数を可動板７の共振周波数に合わせることにより変位の大きい振れ角で可動板７を揺動させることができる。このような駆動手段における、電圧印加タイミングと可動板揺動軌跡を図５に示す。
【００４１】
図５は駆動手段における、電圧印加タイミングと可動板揺動軌跡をグラフで示す図である。図５に示すように、振れ角が最大となる時間から電圧印加タイミングの位相αとして、振れ角最大点前から振れ角０に向かい振れる方向の任意の時間ｔの間、電圧を印加すると良い。
【００４２】
図６はミラー基板の梁に支持されていない可動板７の端部と固定電極の関係を示す概略斜視図である。図６において、ミラー基板の梁に支持されていない可動板７の端部は櫛歯形状部分７ａをなしており、この櫛歯形状部分７ａは同一部位の内フレームに設けられた同じく櫛歯形状の駆動用の固定電極３に微小ギャップを隔てて噛み合う形で対向している。この櫛歯形状部分が駆動用電極として作用する。
【００４３】
このように電極を櫛歯形状にすることにより、電極面積が大きくでき、従って駆動トルクをより大きくすることができ、可動板７の振れ角をより大きくすることができる。図６中、符号４は可動電極を示している。
【００４４】
このように揺動する可動板７の反射面５に光ビームを照射すると、可動板７の揺動により入射光が反射面５により偏向することができる。図６において、支持部材２は捩り梁構造になっている。前記支持部材２に支持された可動板７は支持部材２を軸にして回転揺動を可能とする。
【００４５】
可動板７の揺動周波数ｆｙは以下の式で近似される。
ｆｙ＝１／２π√(Ｋｙ／Ｉｙ)
ｆｙ：可動板7の共振周波数、
Ｉｙ：慣性モーメント、
Ｋｙ：ばね定数
【００４６】
ばね定数Ｋｙは梁幅ａ、梁高さｂ、そして梁長さＬｙとすると、次式で与えられる。
Ｋｙ＝（Ｊｐ×Ｇ）／Ｌｙ，
Ｊp＝０．１４１×ａ×ｂ3，
Ｇ＝Ｅｙ／（２（１＋ι）），
Ｅｙ：ヤング率
ι：ポアソン比
【００４７】
慣性モーメントＩｙは可動板７の横幅ｄ、長さｅ、及び厚さｃとすると、次式で与えられる。
Ｉｙ＝Ｍｙ×（ｅ2＋ｃ2）／１２，
Ｍｙ＝ρ（ｄ×ｅ×ｃ）
【００４８】
上記式から共振周波数ｆｙは支持部材２と可動板７の形状によって決定される。
【００４９】
図７は本発明の光走査装置の第１の実施の形態を示す概略図である。図８は本発明の光走査装置の第２の実施の形態を示す概略図である。図７及び図８の第１及び第２の実施の形態において、構成上の相違点は、図７が位置検知手段である光検知部材を片側に配置し、図８が位置検知手段である光検知部材を両側に配置していることである。
【００５０】
図７及び図８を参照して、光走査装置は偏向ミラー８、光ビーム発生手段９、信号検知部１０より構成される。この信号検知部１０は、光ビーム偏向手段９により偏向走査された光ビーム１２が所定の位置を走査通過した時、この光ビーム１２を検知し、位置検知信号を出力する。信号検知部１０には位置検知信号を記憶する図示してない位置情報記憶手段を含んでいる。
【００５１】
光ビーム発生手段９からの光ビームは偏向ミラー８によって像担持体１１面上、及び信号検知部１０面上を往復走査する。信号検知部の位置検出手段１０は位置検出手段移動範囲１５内で移動する。本光走査装置の偏向ミラー８による光ビーム走査においては、従来の回転型ポリゴンミラーと異なり、光走査方向の変換点を検知することができる。
【００５２】
光ビームが像担持体１１を走査中に所定の間隔で光ビームを点滅することにより、像担持体１１に像を形成可能となる。形成画像の画質を左右する要因としては、像担持体１１に光ビームを走査させて形成される画素の位置精度が重要であることが知られている。一般的に、隣り合う画素の変動は１／２画素以内と言われている。
【００５３】
本発明の光走査装置において、像担持体１１での画素位置の変動の原因は、主に偏向ミラー８の揺動振幅の変動であることが知られている。すなわち、偏向ミラー８の揺動振幅の変動を少なくすることが必要である。
【００５４】
このような課題に対して、従来提案されている解決方法は、特開２００５−２０８４６０号公報に記載されている、有効走査領域を走査する走査時間を計測し、計測結果から振幅を調節する方法が一般的である。
【００５５】
従来のこの方法では、走査光の２点間の時間計測をするため、変動状況は２点間の時間が経過後のみしか知り得ず、変動直後での補正制御が適切に対応不可能である。この方式は或る程度長時間に生ずる変動の調整には有効であるが、走査周期毎の補正は困難である。
【００５６】
本発明による光走査装置は、光ビームを発生する光ビーム発生手段９と、光ビームを入射させ、偏向ミラー８により前記光ビームを偏向・出射させる光ビーム偏向手段と、この光ビーム偏向手段により偏向走査された光ビームが所定の位置を走査通過した時、前記光ビームを検知し、位置検知信号を出力する位置検知手段（信号検知部）１０と、前記位置検知信号を記憶する位置情報記憶手段（図示せず）とを有し、位置検知手段１０は、任意の位置に移動可能である。
【００５７】
前述した図５は、偏向ミラー８の揺動軌跡を横軸時間に対して縦軸振幅を図示したものである。図５中、ミラー揺動波形１とミラー揺動波形２のように、揺動周波数が同一で、揺動振幅が異なる場合、各々の光ビーム走査方向変更点を計測することにより、その変動幅を知ることができる。
【００５８】
このように、光ビーム走査は往復運動であり、光ビーム走査方向の変換点を有する性質を生かし、前記光ビーム走査方向変換点の位置を直接計測することにより、揺動振幅の変動を計測した時点で演算可能になり、次周期の振幅調整に適応可能となり、画質をより向上することができる。
【００５９】
図９は振幅変動幅の長さで、最小変動幅を検知可能とする固定の位置検知手段の配置をグラフとともに示す概略図である。図９に示すように、振幅変動幅の長さで、最小変動幅を検知可能とする、検知素子を配列した位置検知手段（図７及び８の位置検知部）を固定して配置することが容易に考えられる。
【００６０】
しかし、この方法は、振幅変動幅に対応した位置検知手段の形状長さ、あるいは振幅変動値の検知分解に見合った検知素子配列間隔を考慮しなければならない。とくに、微小な間隔の検知素子配列が要求される場合、その間隔は検出素子のサイズに制限される。
【００６１】
図１０は単一の位置検知手段を移動することにより光ビーム走査方向変化点を検知可能とする構成をグラフとともに示す図である。本発明による位置検知手段を、任意の位置に移動可能とする特徴について説明する。
【００６２】
図１０は位置検知手段１０がミラー揺動波形１とミラー揺動波形２の間の振幅変動範囲（位置検知手段移動範囲１５）を自由に移動可能になっている。このようにすることにより、前記振幅変動内にある、任意の時間のミラー揺動波形の方向変化点の任意の位置を検知することができる。図９に示す固定型より、単数の検知素子で位置検知が可能になる。
【００６３】
図１０において、振幅変動範囲内に有る、各々の変動位置を仮にＰ１〜Ｐ１０に分割したとすると、位置検知手段１０はＰ１、Ｐ２・・・Ｐ１０と移動することにより、光ビーム走査方向変更点の位置を計測することができる。振幅変動範囲内の位置分割は任意の数に設定可能である。
【００６４】
このように、単数の位置検出手段１０を用いて、光走査の両方向変換点位置を計測可能とする構成にすることにより、ミラー揺動波形の方向変化点の任意の位置の検知精度の向上可能となる光走査装置を提案できる。
【００６５】
図１１は往復運動を行う位置検知手段が単一で検知する場合をグラフとともに示す概略図である。図１２は往復運動を行う位置検知手段が単一で検知する場合をグラフとともに示す概略図である。
【００６６】
図１１及び図１２で示すように、その移動範囲１５内で移動する位置検知手段１０が振幅変動範囲を自由に移動可能とする場合、任意の周期の往復運動を行いながら、ミラー揺動軌跡に対して、前記振幅変動内にある、任意の時間のミラー揺動波形の方向変化点の任意の位置を検知することができるようにすると、検知回数が増え検出精度が向上する。
【００６７】
図１２では、位置検知手段１０の往復運動により、光ビームをＣ１〜Ｃ９のように検知可能になる。このようにすることにより、光ビームの走査方向変換点を検知できる。
【００６８】
さらに、位置検知手段１０の移動速度Ｖｄと光走査速度ＶｓをＶｄ＞Ｖｓの関係にすると、さらに検知回数が増し、前記振幅変動内にある、任意の時間のミラー揺動波形の方向変化点の任意の位置を細かく検知することができる。
【００６９】
図１３は複数検知素子を配置した位置検知手段の移動軌跡と光ビーム揺動軌跡の片側を拡大してグラフとともに示す概略図である。さらに、図１３に示すように、位置検知手段１０の検知部材（センサ）１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄは複数個の受光素子をアレイ状に配置して構成されることにより、複数の受光素子分の検知が任意の位相を持って可能となる。
【００７０】
これによって、より細かな、振幅変動内にある、任意の時間のミラー揺動波形の方向変化点の任意の位置を検知することができる。また、この複数個の受光素子の配置間隔は任意の間隔で配置可能である。
【００７１】
また、図８に示すように、移動範囲１５内で移動する位置検知手段１０を光走査の両方向変換点位置に配置することにより、２つの方向の変換点各々の、前記振幅変動内にある、任意の時間のミラー揺動波形の方向変化点の任意の位置を検知することができる。
【００７２】
これによって、両変化点での振幅変動を計測でき、振幅変動補正駆動信号の印加タイミングを半周期毎に制御可能となり、より精度の良い、振幅変動補正が可能になる。
【００７３】
図１４は位置検知手段が光ビーム走査方向変化点のタイミングで移動動作をすることをグラフとともに示す図である。図１４に示すように、位置検知手段１０の位置検知手段移動範囲１５内での位置移動動作を、光ビームが位置検知手段１０を走査通過するタイミングに対応して行うようにすると、位置検知手段１０の無駄な駆動が抑制される。
【００７４】
図１５は本発明による光走査装置の他の実施の形態を示す概略図である。図１５に示すように、単一の位置検出手段を用いて、光走査の両方向変換点位置を計測可能とする構成にすることにより、信号検知部の位置検出手段１０の個数を低減することができる。
【００７５】
図１５を参照して、光走査装置は偏向ミラー８、光ビーム発生手段９、信号検知部１０より構成される。この実施の形態では、信号検知部１０は、図７及び図８に示した像担持体１１と同軸上にはなく、この像担持体１１の下部側方に配置されている。信号検知部の位置検出手段１０は位置検出手段移動範囲１５内で移動する。
【００７６】
この信号検知部１０は、光ビーム偏向手段９により偏向走査された光ビーム１２がレンズ１３を通って所定の位置を走査通過した時、この光ビーム１２を、反射ミラー１４を介して検知し、位置検知信号を出力する。信号検知部１０には図７及び図８と同様に、位置検知信号を記憶する図示してない位置情報記憶手段を含んでいる。
【００７７】
このように、単数の位置検出手段１０を用いて、光走査の両方向変換点位置を計測可能とする構成にすることにより、ミラー揺動波形の方向変化点の任意の位置の検知精度の向上を可能する光走査装置が提案できる。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】本発明による光偏向器の実施の形態を示す概略斜視図である。
【図２】電極が櫛歯構造をした光偏向器を示す概略斜視図である。
【図３】図２の可動板が手前側に上昇している状態を示す概略斜視図である。
【図４】光偏向器の動作を説明する概略図である。
【図５】駆動手段における、電圧印加タイミングと可動板揺動軌跡をグラフで示す図である。
【図６】ミラー基板の梁に支持されていない可動板７の端部と固定電極の関係を示す概略斜視図である。
【図７】本発明の光走査装置の第１の実施の形態を示す概略図である。
【図８】本発明の光走査装置の第２の実施の形態を示す概略図である。
【図９】振幅変動幅の長さで、最小変動幅を検知可能とする固定の位置検知手段の配置をグラフとともに示す概略図である。
【図１０】単一の位置検知手段を移動することにより光ビーム走査方向変化点を検知可能とする構成をグラフとともに示す図である。
【図１１】往復運動を行う位置検知手段が単一で検知する場合をグラフとともに示す概略図である。
【図１２】往復運動を行う位置検知手段が単一で検知する場合をグラフとともに示す概略図である。
【図１３】複数検知素子を配置した位置検知手段の移動軌跡と光ビーム揺動軌跡の片側を拡大してグラフとともに示す概略図である。
【図１４】位置検知手段が光ビーム走査方向変化点のタイミングで移動動作をすることをグラフとともに示す図である。
【図１５】本発明による光走査装置の他の実施の形態を示す概略図である。
【図１６】従来の揺動型ミラーを示す上面図である。
【図１７】図１６の断面図である。
【符号の説明】
【００７９】
１    シリコン基板
２    支持部材
３    固定電極
４    可動電極
７    可動板
８    光ビーム偏向手段（偏向ミラー）
９    光ビーム発生手段
１０    位置検知手段（信号検知部）
１０ａ    検知部材（センサ）
１０ｂ    検知部材（センサ）
１０ｃ    検知部材（センサ）
１０ｄ    検知部材（センサ）
１１    像担持体
１２    光ビーム
１４    反射ミラー
１５    位置検知手段移動範囲
【図１】
2008058911.tif 000003
【図２】
2008058911.tif 000004
【図３】
2008058911.tif 000005
【図４】
2008058911.tif 000006
【図５】
2008058911.tif 000007
【図６】
2008058911.tif 000008
【図７】
2008058911.tif 000009
【図８】
2008058911.tif 000010
【図９】
2008058911.tif 000011
【図１０】
2008058911.tif 000012
【図１１】
2008058911.tif 000013
【図１２】
2008058911.tif 000014
【図１３】
2008058911.tif 000015
【図１４】
2008058911.tif 000016
【図１５】
2008058911.tif 000017
【図１６】
2008058911.tif 000018
【図１７】
2008058911.tif 000019