(57)【要約】【課題】簡単かつ安価な構造でありながら、被搬送物の位置ずれ修正と円滑な搬送とを兼用して行えるコンベヤ装置を提供する。【解決手段】被搬送物１１を支持搬送するコンベヤ装置６１である。被搬送物を下降によって搬送経路Ａ上に供給し、その供給部で搬送経路の両側部分に、搬送方向の複数箇所に球体６５を設けた。球体６５を、搬送経路側が露出する状態でそれぞれ支持部材６６に回動自在に支持している。供給する被搬送物がコンベヤ幅方向において位置ずれしていたとき、位置ずれ側の下部が、対応する球体群の露出した球面に上方から当接し、支持部材に対して球体を下方側へ回動させながら被搬送物を案内することになって、位置ずれ修正を自動的に行える。被搬送物を搬送する際に、被搬送物の外側面を球体の露出した球面に内側方から当接させていることで、支持部材に対して球体を水平方向側（下手側）へ回動させながら被搬送物を案内する状態で行えて、被搬送物を振れる（位置ずれする）ことなく円滑に搬送できる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被搬送物を支持搬送するコンベヤ装置であって、被搬送物は下降によって搬送経路上に供給され、その供給部で搬送経路の両側部分には、搬送方向の複数箇所に球体が設けられ、これら球体は、搬送経路側が露出される状態でそれぞれ支持部材に回動自在に支持されていることを特徴とするコンベヤ装置。
【請求項２】
支持部材に対して球体は、搬送方向視において上部側で９０度以上に露出されるとともに、平面視において中心線に対して前後に振り分ける状態で９０度以上に露出されていることを特徴とする請求項１記載のコンベヤ装置。
【請求項３】
球体は、その中心の位置が搬送支持面よりも上方として配設されていることを特徴とする請求項１または２記載のコンベヤ装置。
【請求項４】
搬送経路はローラ群によって形成され、球体はローラ間に位置されて配設されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のコンベヤ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、たとえばガラス基板（プラズマディスプレイパネル）などの板状体が上下複数段に収納されているボックス体を搬送するのに採用されるコンベヤ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、コンベヤ装置としては、次のような構成が提供されている。すなわち、一対のフレーム間に複数の搬送ローラを所定間隔で並設することでローラコンベヤが構成され、そして両フレームに、それぞれ所定間隔でガイド取付装置を取り付けるとともに、ガイド取付装置で支持した一対のガイドパイプにより搬送路の搬送物を案内している（たとえば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開平７−２０６１２５号公報（第２頁、図１−３，８）
【特許文献２】特開平１１−９１９１６号公報
【特許文献３】特開平７−１０２０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、上記した従来構成（特許文献１）によると、ガイドパイプにより搬送物を案内するときに摺接摩擦が生じ、ガイドパイプと搬送物との両方を損傷させる恐れがある。これに対しては、特許文献２に示される竪ローラ形式などがあり、搬送案内は好適に行える。しかし、たとえば上方から供給される搬送物の位置ずれ修正は行えず、位置ずれ修正のためには別個の案内構成が必要となって、全体が複雑かつ高価となる。
【０００４】
そこで本発明の請求項１記載の発明は、簡単かつ安価な構造でありながら、被搬送物の位置ずれ修正と円滑な搬送とを兼用して行えるコンベヤ装置を提供することを目的としたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前述した目的を達成するために、本発明の請求項１記載のコンベヤ装置は、被搬送物を支持搬送するコンベヤ装置であって、被搬送物は下降によって搬送経路上に供給され、その供給部で搬送経路の両側部分には、搬送方向の複数箇所に球体が設けられ、これら球体は、搬送経路側が露出される状態でそれぞれ支持部材に回動自在に支持されていることを特徴としたものである。
【０００６】
したがって請求項１の発明によると、被搬送物を下降して搬送経路上に供給する際に、被搬送物がコンベヤ幅方向において位置ずれしていたとき、この被搬送物の位置ずれ側の下部が、対応する球体群の露出した球面に上方から当接し、そして下降力によって、支持部材に対して球体を下方側へ回動させながら被搬送物を案内することで、位置ずれ修正を自動的に行える。このように、搬送経路上において被搬送物を位置決め支持した状態で、このコンベヤ装置を駆動させることにより、搬送経路上において被搬送物を搬送し得る。その際に、被搬送物における位置ずれ修正側の外側面を、球体の露出した球面に内側方から当接させていることで、被搬送物の搬送経路上での搬送は、支持部材に対して球体を水平方向側（下手側）へ回動させながら被搬送物を案内する状態で行え、以て被搬送物を振れる（位置ずれする）ことなく円滑に搬送し得る。
【０００７】
また本発明の請求項２記載のコンベヤ装置は、上記した請求項１記載の構成において、支持部材に対して球体は、搬送方向視において上部側で９０度以上に露出されるとともに、平面視において中心線に対して前後に振り分ける状態で９０度以上に露出されていることを特徴としたものである。
【０００８】
したがって請求項２の発明によると、支持部材に対して球体を好適に露出させて、被搬送物の下降案内と搬送案内とを的確に行えるとともに、支持部材による球体の回動支持を安定して行える。
【０００９】
そして本発明の請求項３記載のコンベヤ装置は、上記した請求項１または２記載の構成において、球体は、その中心の位置が搬送支持面よりも上方として配設されていることを特徴としたものである。
【００１０】
したがって請求項３の発明によると、球体の搬送案内位置（接触位置）を搬送支持面よりも上方として、被搬送物の案内を行える。
さらに本発明の請求項４記載のコンベヤ装置は、上記した請求項１〜３のいずれか１項に記載の構成において、搬送経路はローラ群によって形成され、球体はローラ間に位置されて配設されていることを特徴としたものである。
【００１１】
したがって請求項４の発明によると、支持部材を介しての球体の配設をコンパクトにして行える。
【発明の効果】
【００１２】
上記した本発明の請求項１によると、被搬送物を下降して搬送経路上に供給する際に、被搬送物がコンベヤ幅方向において位置ずれしていたとき、この被搬送物の位置ずれ側の下部が、対応する球体群の露出した球面に上方から当接し、そして下降力によって、支持部材に対して球体を下方側へ回動させながら被搬送物を案内することで、位置ずれ修正を自動的に行うことができる。このように、搬送経路上において被搬送物を位置決め支持した状態で、このコンベヤ装置を駆動させることにより、搬送経路上において被搬送物を搬送できる。その際に、被搬送物における位置ずれ修正側の外側面を、球体の露出した球面に内側方から当接させていることで、被搬送物の搬送経路上での搬送は、支持部材に対して球体を水平方向側（下手側）へ回動させながら被搬送物を案内する状態で行うことができ、以て被搬送物を振れる（位置ずれする）ことなく円滑に搬送できる。すなわち、球体を兼用した簡単かつ安価な構造でありながら、被搬送物の位置ずれ修正と円滑な搬送とを、常に好適に行うことができる。
【００１３】
また上記した本発明の請求項２によると、支持部材に対して球体を好適に露出させて、被搬送物の下降案内と搬送案内とを的確に行うことができるとともに、支持部材による球体の回動支持を安定して行うことができる。
【００１４】
そして上記した本発明の請求項３によると、球体の搬送案内位置（接触位置）を搬送支持面よりも上方として、被搬送物の案内を常に安定して行うことができる。
さらに上記した本発明の請求項４によると、支持部材を介しての球体の配設をコンパクトにして行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
［実施の形態１］
以下に、本発明の実施の形態１を、実のボックス体内から板状体を搬出処理する板状体処理設備において、ボックス体を処理手段に搬送するコンベヤ装置に採用した状態として、図に基づいて説明する。
【００１６】
図４〜図８において、ボックス体（カセットケースなどで被搬送物の一例）１１は、下部矩形枠体１２と、この下部矩形枠体１２の４隅から立設された縦枠１３と、これら縦枠１３の上端間に連結された上部矩形枠体１４などにより矩形枠組体状に構成されている。したがってボックス体１１は、下部矩形枠体１２によって下位開放部（底壁の開放部）１１ａが形成されるとともに、上下の両矩形枠体１２，１４間でかつ縦枠１３間にそれぞれ（４箇所）に側位開放部（側壁の開放部）１１ｂが形成されている。また、ボックス体１１の内部には、左右方向（後述するボックス体搬送方向）に一対でかつ前後方向（後述する直交状の方向）のほぼ全長に亘る支持部材１５が、所定間隔置きで上下複数段に配設されている。その際に支持部材１５は、ワイヤー、丸ロッド、平プレートなどにより構成され、縦枠１３からのブラケット１６を介してボックス体１１側に固定されている。
【００１７】
したがってボックス体１１は、正方形状（矩形状）のガラス基板（板状体の一例）１を左右一対の支持部材１５間に上方から係止させることで、内部に配設された支持部材１５を介して、ガラス基板１を上下方向に所定の間隔を置いて複数段に収納自在として構成される。以上の１２〜１６などにより、ボックス体１１の一例が構成される。
【００１８】
前記ボックス体１１に対してガラス基板１の出し入れ処理を行う処理手段２０が設けられるとともに、この処理手段２０の両側に振り分けて、ボックス体１１を支持搬送自在な供給側コンベヤ装置６１と排出側コンベヤ装置８１とが設けられ、以て両コンベヤ装置６１，８１と処理手段２０とに亘ってボックス体搬送経路（搬送経路）Ａが形成される。そして処理手段２０の前方には送り装置１０１が設けられ、また送り装置１０１とは反対側（後方側）には、供給側コンベヤ装置６１の箇所に設けられた供給側昇降受台７１や排出側コンベヤ装置８１の箇所に設けられた排出側昇降受台９１との間でボックス体１１を受け渡し自在な移載手段１１１が設けられている。
【００１９】
前記処理手段２０は、枠本体２１と、前の側位開放部１１ｂを通して両コンベヤ装置６１，８１などによるボックス体搬送経路（左右方向）Ａとは直交状の方向（前後方向）Ｂにガラス基板１を搬送自在な搬送装置３１と、この搬送装置３１に干渉されることなくボックス体１１を昇降させる昇降装置４１などから構成されている。
【００２０】
すなわち前記枠本体２１は、平枠状のベース枠体２２と、このベース枠体２２の４隅部分から立設された縦枠体２３と、これら縦枠体２３の上端部間に設けられた連結体２４などにより矩形枠組体状に構成されている。そしてベース枠体２２の下部には、遊転自在な車輪体２５と、上下方向に高さ調整自在な着地体２６とが、それぞれ複数箇所に設けられ、以て枠本体２１は、車輪体２５を介して床Ｆ側に支持されることで走行自在（移動自在）に構成されるとともに、着地体２６を介して床Ｆ側に支持されることで所定位置に定着されるように構成されている。このような矩形枠組体状の枠本体２１によると、送り装置８１に対向される前側開放部２１ａと、供給側コンベヤ装置６１に対向される入れ側開放部２１ｂと、排出側コンベヤ装置８１に対向される出し側開放部２１ｃとが形成される。以上の２２〜２６などにより、枠本体２１の一例が構成される。
【００２１】
前記搬送装置３１はローラコンベヤ形式であって、ボックス体搬送経路Ａの方向（コンベヤ幅方向）において２つ（複数）のゾーン、すなわち、右側ゾーン３１Ｚ１と左側ゾーン３１Ｚ２  とにより形成されている。両ゾーン３１Ｚ１  ，３１Ｚ２は同様な構成であって、それぞれ直交状の方向Ｂの複数箇所に、ボックス体搬送経路Ａに沿ったコンベヤフレーム３２が配設されている。そして各コンベヤフレーム３２の上方に、その回転軸心を振り分け方向とした回転軸３４が単数本または複数本並列で配設され、これら回転軸３４は、コンベヤフレーム３２からのブラケット３３に回転自在に支持されている。各回転軸３４には、その長さ方向の複数箇所に外嵌してローラ体３５が設けられ、また各回転軸３４に直結して連動する駆動部（モータなど）３６が、内側のブラケット３３に設けられている。
【００２２】
各コンベヤフレーム３２は、それぞれ縦部材３７の上端に連結固定され、そして縦部材３７の下端は共通のベース体３８に連結固定されるとともに、ベース体３８は上下方向に高さ調整自在な着地体３９を介して床Ｆ上に設置されている。以上の３２〜３９などにより、搬送装置３１の一例が構成され、そしてローラ体３５群によって搬送装置３１の搬送面３１ａが形成される。
【００２３】
かかる構成の搬送装置３１は、実のボックス体１１内に収納されているガラス基板１を搬送（搬出）させるものである。その際に、搬送装置３１の搬送幅（コンベヤ幅）３１Ｗはボックス体１１の下位開放部幅１１ａＷより狭く、すなわち［３１Ｗ＜１１ａＷ］に設定されている。したがって、ガラス基板１が上下方向に間隔を置いて複数段に収納されている実のボックス体１１を昇降装置４１にセットした状態で、昇降装置４１により１段分ずつ下降させることで、下段のガラス基板１から順に搬送装置３１のローラ体３５群上に載置して搬送（搬出）し得るように構成されている。
【００２４】
前記昇降装置４１は、前側開放部２１ａを形成する一対の縦枠体２３の部分に配設される前側装置部４２Ａと、後側で一対の縦枠体２３の部分に配設される後側装置部４２Ｂとからなり、これら装置部４２Ａ，４２Ｂは、前後で対称状として同様に構成されるとともに、同期駆動されるように構成されている。
【００２５】
すなわち、各縦枠体２３は横断面がＵ型状の型レール体であって、直交状の方向Ｂで相対向する側が開放された状態で配設されている。そして各縦枠体２３の溝内には上下方向のガイドレール４３が配設され、このガイドレール４３に被ガイド体４４を介して昇降自在に案内される可動体４５が設けられている。さらに各縦枠体２３の溝内には、ガイドレール４３に沿った螺子軸体４６が回動自在に設けられ、この螺子軸体４６に螺合されるナット体４７が前記被ガイド体４４側に設けられている。各装置部４２Ａ，４２Ｂは、一対の縦枠体２３間に位置される状態でベース枠体２２上に設けられた正逆駆動自在なモータ４８を有し、このモータ４８の出力軸は歯車機構４９を介してボックス体搬送経路Ａに沿った方向の駆動軸５０に連動連結されている。そして駆動軸５０の遊端が、縦枠体２３内の下部に設けられた歯車機構５１を介して螺子軸体４６の下端に連動連結されている。
【００２６】
各装置部４２Ａ，４２Ｂにおいて、一対の可動体４５はガイドレール４３の溝から突出され、そして突出部分の上部間に、両コンベヤ装置６１，８１とともに前記ボックス体搬送経路Ａを形成する処理側コンベヤ装置５２が設けられている。すなわち両処理側コンベヤ装置５２は、可動体４５の上部間に設けられたコンベヤフレーム５３と、このコンベヤフレーム５３に回転自在に配設されたローラ５４群と、これらローラ５４群を駆動させる駆動装置（図示せず。）などから構成されるとともに、両駆動装置は同期駆動されるように構成されている。
【００２７】
その際に各処理側コンベヤ装置５２は、搬送装置３１の搬送幅３１Ｗ外に位置され、また両処理側コンベヤ装置５２の直交状の方向Ｂでの最大幅５２ＬＷは、ボックス体１１の幅１１Ｗよりも大きく、すなわち［５２ＬＷ＞１１Ｗ］に設定されている。したがって昇降装置４１は、両処理側コンベヤ装置５２におけるローラ５４群間でボックス体１１を支持し得、そして両処理側コンベヤ装置５２を同期昇降させることで、搬送装置３１に干渉されることなくボックス体１１を昇降し得る。なお、両処理側コンベヤ装置５２の同期昇降は、モータ４８の正逆駆動により、歯車機構４９を介して駆動軸５０を正逆回転させ、そして歯車機構５１を介して螺子軸体４６を正逆回転させるとともに、ナット体４７を介して被ガイド体４４を昇降させることで行える。以上の４２Ａ，４２Ｂ〜５４などにより、昇降装置４１の一例が構成され、そして２１〜５４などにより、処理手段２０の一例が構成される。
【００２８】
前記供給側コンベヤ装置６１と排出側コンベヤ装置８１とは、それぞれ２本（単数本または複数本）の脚体６２，８２を介して床Ｆ側に配設された直交状の方向Ｂにおいて一対のコンベヤフレーム６３，８３と、このコンベヤフレーム６３，８３に回転自在に配設されたローラ６４，８４群と、これらローラ６４，８４群を駆動させる駆動装置（図示せず。）などから構成されるとともに、両駆動装置は同期駆動されるように構成されている。その際に図７に示すように、両コンベヤ装置６１，８１のローラ６４，８４群によって形成される搬送支持面６１ａ，８１ａは、搬送装置３１の搬送面３１ａに対して少し上方に位置させた処理側コンベヤ装置５２の搬送支持面５２ａと同様のレベルになるように設定されている。また両コンベヤ装置６１，８１の最大幅６１ＬＷ，８１ＬＷは、処理側コンベヤ装置５２の最大幅５２ＬＷと同様に、すなわち［６１ＬＷ（８１ＬＷ）≒５２ＬＷ］に設定されている。
【００２９】
そしてボックス体１１は、供給側コンベヤ装置６１に対して下降させることでボックス体搬送経路Ａ上に供給される。その際に図１〜図５に示すように、供給部でボックス体搬送経路Ａの両側部分には、搬送方向の３箇所（複数箇所）に球体６５が設けられ、これら球体６５は、ボックス体搬送経路Ａ側が露出される状態でそれぞれ支持部材６６に回動自在に支持されている。すなわち、コンベヤフレーム６３は、上面開放のＵ型レール材により形成され、両側板６３Ａ間にローラ６４群がローラ軸６４Ａを介して回転自在に配設されている。そしてコンベヤフレーム６３の外側の側板６３Ａで所定箇所には、切り倒し状の受け板部６３Ｂが外向き水平状に形成され、この受け板部６３Ｂ上に支持部材６６が載置され、連結具（ボルト・ナットなど）６７により連結されている。
【００３０】
その際に支持部材６６の内向き上部側などを欠如状とすることで、支持部材６６に対して球体６５は、搬送方向視において上部側で９０度以上θ１に露出されるとともに、平面視において中心線６５ａに対して前後に振り分ける状態で９０度以上θ２に露出されている。さらに球体６５は、支持板部６３Ｂの形成状態や支持部材６６の形状、連結などによって、ボックス体搬送経路Ａを形成するローラ６４間に位置されるように配設されるとともに、球体６５の中心６５ｂの位置が、コンベヤ装置６１のローラ６４群によって形成される搬送支持面６１ａよりも、或る高さｈだけ上方として配設されている。以上の６２〜６７などにより供給側コンベヤ装置６１の一例が構成され、また８２〜８７などにより排出側コンベヤ装置８１の一例が構成される。
【００３１】
前記供給側コンベヤ装置６１の箇所に設けられた供給側昇降受台７１と排出側コンベヤ装置８１の箇所に設けられた排出側昇降受台９１とは同様な構成であって、ボックス体搬送経路Ａの方向で所定の間隔をおいて配設された一対の受け体７２，９２が、それぞれ床Ｆ側に配設された昇降作動部７３，９３からの昇降体７４，９４の上端に連結されることで構成されている。なお、前記受け体７２，９２の上面でボックス体搬送経路Ａの方向の外端部には、受け体７２，９２とボックス体１１との相対的な接近時にボックス体１１の下部に作用する位置決め部材７５，９５が、それぞれ複数箇所に設けられている。ここで位置決め部材７５，９５は、ローラが遊転自在に設けられた形式や、丸ロッド体が横向きに配置されて溶接などで固定された形式などであり、以て内向きの円周面によってボックス体１１の下部を案内したのち位置決めするように構成されている。
【００３２】
その際に、一対の受け体７２（９２）はボックス体搬送経路Ａの方向において、所定の幅１１Ｗのボックス体１１を支持し得る外端間幅７２Ｗ（９２Ｗ）、すなわち［１１Ｗ＜７２Ｗ（９２Ｗ）］に設定されるとともに、移載手段１１１が作用自在な内端間幅７２Ｓ（９２Ｓ）に設定されている。さらに受け体７２（９２）は、直交状の方向Ｂにおける長さ７２Ｌ（９２Ｌ）が、コンベヤ装置６１（８１）の内端面幅６１ＳＷ（８１ＳＷ）よりも短く、すなわち［７２Ｌ（９２Ｌ）＜６１ＳＷ（８１ＳＷ）］に設定されている。以上の７２〜７５などにより供給側昇降受台７１の一例が構成され、また９２〜９５などにより排出側昇降受台９１の一例が構成される。
【００３３】
前記処理手段２０の前方に設けられる送り装置１０１は、たとえば製造工程（製造ライン）にガラス基板１を１枚ずつ搬送（供給）するもので、ベルト形式やローラ形式などからなり、その際に送り面１０１ａは前記搬送装置３１の搬送面３１ａと同レベル状とされている。また送り装置１０１とは反対側に設けられる移載手段１１１は、たとえば、処理手段２０とコンベヤ装置６１，８１との外方間に形成された一定経路１１５上で移動自在な移動体１１２と、この移動体１１２に設けられた昇降部１１３と、この昇降部１１３に横方向出退動自在に設けられたフォーク部１１４などにより、その一例が構成される。その際にフォーク部１１４のフォーク幅１１４Ｗは一対の受け体７２（９２）の内端間幅７２Ｓ（９２Ｓ）よりも短く、すなわち［１１４Ｗ＜７２Ｓ（９２Ｓ）］に設定されている。
【００３４】
したがって移載手段１１１は、昇降部１１３を介してのフォーク部１１４の昇降動と、フォーク部１１４の横方向出退動との組み合わせ動作によって、供給側昇降受台７１や排出側昇降受台９１に対してボックス体１１を受け渡し自在に構成される。
【００３５】
以下に、上記した実施の形態１における作用を説明する。
図４に示すように、移載手段１１１はフォーク部１１４上にボックス体１１を支持しており、ここでボックス体１１には、支持部材１５を介してガラス基板１が上下方向に所定の間隔を置いて複数段に収納されている。この移載手段１１１により、供給側昇降受台７１に対して実のボックス体１１を渡すのであるが、このとき図５に示すように、供給側昇降受台７１では、昇降作動部７３の作動により昇降体７４を上昇させて、受け体７２を供給側コンベヤ装置６１の搬送支持面６１ａよりも上方に位置させており、また処理手段２０では、昇降装置４１によって処理側コンベヤ装置５２の搬送支持面５２ａを搬送装置３１の搬送面３１ａに対して少し上方に位置させて、供給側コンベヤ装置６１の搬送支持面６１ａと同様のレベルにしている。
【００３６】
したがって、一定経路１１５上で移動させてきた移載手段１１１を供給側昇降受台７１に対向して停止させたのち、図５に示すように、昇降部１１３を上昇させた状態でフォーク部１１４を受け体７２間へ突出動させ、そして昇降部１１３を下降させることで、フォーク部１１４で支持していた実のボックス体１１を両受け体７２上に渡し得る。その際にフォーク部１１４は、そのフォーク幅１１４Ｗが受け体７２の内端間幅７２Ｓよりも短いことから、その突出動や下降は何ら支障なく行える。その後に図９に示すように、フォーク部１１４は、収縮動されて昇降部１１３上に収められる。
【００３７】
このようにして実のボックス体１１を両受け体７２上に渡す際に、移載手段１１１の停止位置の誤差やフォーク部１１４による実のボックス体１１の支持位置の誤差などによって、両受け体７２に対して実のボックス体１１がボックス体搬送経路Ａの方向において位置ずれ状態で渡されようとしたとき、渡される直前に、実のボックス体１１の位置ずれ側の下部を、対応する位置決め部材７５の内向きの円弧周面により案内し得、以てボックス体搬送経路Ａの方向での位置ずれを自動的に修正し得るとともに、修正姿勢で位置決めし得る。
【００３８】
このように両受け体７２により実のボックス体１１を支持した状態で、昇降作動部７３の逆作動により受け体７２を下降させて、供給側コンベヤ装置６１の搬送支持面６１ａよりも下方に位置させることによって、供給側昇降受台７１の両受け体７２で支持していた実のボックス体１１を供給側コンベヤ装置６１の搬送支持面６１ａ上に渡し得る。その際に、受け体７２の直交状の方向Ｂにおける長さ７２Ｌが、両供給側コンベヤ装置６１の内端面幅６１ＳＷよりも短く設定されていることから、その下降動は何ら支障なく行える。また両供給側コンベヤ装置６１の直交状の方向Ｂでの最大幅６１ＬＷがボックス体１１の幅１１Ｗよりも大きく設定されていることから、供給側コンベヤ装置６１間でのボックス体１１の支持は安定して行える。
【００３９】
さらに、両受け体７２に対して実のボックス体１１が直交状の方向Ｂにおいて位置ずれ状態で支持されていたとき、受け体７２の下降により実のボックス体１１を供給側コンベヤ装置６１の搬送支持面６１ａ上に渡す直前に、実のボックス体１１の位置ずれ側の下部を、対応する球体６５群により案内し得、以て位置ずれを自動的に修正し得るとともに、修正姿勢で位置決めし得る。すなわち、図１の実線に示すように、実のボックス体１１の下部矩形枠体１２における位置ずれ側の下部が球体６５の露出した球面に上方から当接し、そして下降力によって、支持部材６６に対して球体６５を下方側へ回動させながら下部矩形枠体１２を案内することで、図１の仮想線に示すように、直交状の方向Ｂの位置ずれを自動的に修正した状態で、供給側コンベヤ装置６１のローラ６４群により支持し得る。
【００４０】
このように、供給側コンベヤ装置６１において実のボックス体１１を位置決め支持した状態で、この供給側コンベヤ装置６１と処理側コンベヤ装置５２とを同期駆動させる。これにより、ボックス体搬送経路Ａ上において実のボックス体１１を、供給側コンベヤ装置６１によって供給搬送し得るとともに、処理側コンベヤ装置５２によって受け入れ搬送し得、以て実のボックス体１１を、図６〜図８に示すように、入れ側開放部２１ｂを通して枠本体２１内に位置させ得る。
【００４１】
その際に、下部矩形枠体１２における位置ずれ修正側の外側面を、球体６５の露出した球面に内側方から当接させていることで、供給側コンベヤ装置６１による供給搬送は、支持部材６６に対して球体６５を水平方向側（下手側）へ回動させながら下部矩形枠体１２を案内する状態で行われ、以て図３の仮想線に示すように、実のボックス体１１を、直交状の方向Ｂの方向に振れる（位置ずれする）ことなく供給搬送し得る。
【００４２】
これにより、実のボックス体１１を下降によってボックス体搬送経路Ａ上に供給する際に、球体６５を支持部材６６に対して下方側へ回動させながら案内することで、位置ずれ修正を自動的に行うことができるとともに、実のボックス体１１を供給側コンベヤ装置６１によって供給搬送する際に、球体６５を支持部材６６に対して水平方向側へ回動させながら案内することで、実のボックス体１１を振れる（位置ずれする）ことなく円滑に供給搬送できる。すなわち、球体６５を兼用した簡単かつ安価な構造でありながら、実のボックス体１１の位置ずれ修正と円滑な供給搬送とを、常に好適に行うことができる。
【００４３】
しかも、支持部材６６に対して球体６５を、搬送方向視において９０度以上θ１に露出させるとともに、平面視において中心線６５ａに対して前後に振り分ける状態で９０度以上θ２に露出させたことで、支持部材６６に対して球体６５を好適に露出させて、実のボックス体１１の下降案内と搬送案内とを的確に行うことができるとともに、支持部材６６による球体６５の回動支持を安定して行うことができる。
【００４４】
そして球体６５を、その中心６５ｂの位置を搬送支持面６１ａよりも上方として配設したことで、球体６５の搬送案内位置（接触位置）を搬送支持面６１ａよりも上方として、その案内を常に安定して行うことができる。さらに、ボックス体搬送経路Ａをローラ６４群によって形成し、球体６５をローラ６４間に位置した配設したことで、支持部材６６を介しての球体６５の配設をコンパクトにして行うことができる。
【００４５】
上述したように、実のボックス体１１を、処理側コンベヤ装置５２によって受け入れ搬送し、枠本体２１内の所定箇所に位置したことを適宜の検出手段により検出することで、供給側コンベヤ装置６１や処理側コンベヤ装置５２の駆動を停止させる。そして昇降装置４１の作動により処理側コンベヤ装置５２を下降させることで、搬送支持面５２ａで支持している実のボックス体１１を下降し得る。その際に実のボックス体１１の下降は、搬送装置３１の搬送幅３１Ｗが実のボックス体１１の下位開放部幅１１ａＷより狭いことから、搬送装置３１に衝突することなく、大部分を外嵌する状態で円滑に行える。そして下降は、図８の仮想線に示すように、最下段のガラス基板１が搬送装置３１のローラ体３５群に受け止められ、このガラス基板１に対して支持部材１５が所定高さ下方へ離間したときに停止される。
【００４６】
このような状態において、まず搬送装置３１における両ゾーン３１Ｚ１  ，３１Ｚ２の駆動部３６を同期駆動して、各回転軸３４を介してローラ体３５群を回転させることで、支持しているガラス基板１を切り出し、前側開放部２１ａを通して送り装置１０１側に供給するとともに、このガラス基板１を、駆動させている送り装置１０１によって支持搬送し得る。そして、ガラス基板１が送り装置１０１上に完全に乗り移ったことを検出するなどして、駆動部３６を停止させることで、ガラス基板１をボックス体１１内から送り装置１０１へと搬出し得る。その後に、上述と同様にして、昇降装置４１によりボックス体１１を１段分ずつ下降させることと、搬送装置３１から送り装置１０１へ搬出させることを繰り返して行うことで、ボックス体１１内のガラス基板１を、下段のガラス基板１から順に搬送装置３１のローラ体３５群上に載置して送り装置１０１へと搬送（搬出）し得る。
【００４７】
そして図７の仮想線に示すように、ボックス体１１内のガラス基板１を全て搬出したのち、昇降装置４１の作動により処理側コンベヤ装置５２を上昇させ、その搬送支持面５２ａを、搬送装置３１の搬送面３１ａに対して少し上方で、排出側コンベヤ装置８１の搬送支持面８１ａと同様のレベルに位置させる。次いで、処理側コンベヤ装置５２と排出側コンベヤ装置８１とを同期駆動させる。これにより、ボックス体搬送経路Ａ上において空のボックス体１１を、処理側コンベヤ装置５２によって排出搬送させるとともに、排出側コンベヤ装置８１によって受け入れ搬送させ、以て空のボックス体１１を、図１０に示すように、出し側開放部２１ｃを通して排出側昇降受台９１の上方に位置させる。
【００４８】
このように排出側コンベヤ装置８１により空のボックス体１１を支持した状態で、昇降作動部９３の作動により受け体９２を上昇させて、排出側コンベヤ装置８１の搬送支持面８１ａよりも上方に位置させることによって、排出側コンベヤ装置８１の搬送支持面８１ａで支持していた空のボックス体１１を排出側昇降受台９１の両受け体９２で支持し得る。このとき、排出側コンベヤ装置８１による搬送停止位置の誤差などによって、両受け体９２に対して空のボックス体１１がボックス体搬送経路Ａの方向において位置ずれ状態で渡されようとしたとき、渡される直前に、空のボックス体１１の位置ずれ側の下部を、対応する位置決め部材９５の内向きの円弧周面により案内し得、以てボックス体搬送経路Ａの方向での位置ずれを自動的に修正し得るとともに、修正姿勢で位置決めし得る。
【００４９】
そして、一定経路１１５上で移動させてきた空の移載手段１１１を排出側昇降受台９１に対向して停止させたのち、昇降部１１３を下降させた状態でフォーク部１１４を排出側昇降受台９１へと突出動させて、フォーク部１１４を空のボックス体１１の下方に位置させる。次いで昇降部１１３を上昇させることで、両受け体９２で支持していた空のボックス体１１をフォーク部１１４で支持し得る。その後に図１０の仮想線に示すように、フォーク部１１４を収縮動して昇降部１１３上に収めることで、空のボックス体１１を移載手段１１１により搬送し得る。
【００５０】
上記した実施の形態１では、コンベヤ装置６１として、実のボックス体１１内からガラス基板１を搬出処理する板状体処理設備において、ボックス体１１を処理手段２０に搬送するのに採用した形式が示されているが、これはガラス基板１を所定の搬送経路で搬送させるのに採用した形式などであってもよい。
【００５１】
上記した実施の形態１では、被搬送物としてガラス基板１を収納したボックス体１１が示されているが、被搬送物としては箱状物や、パレット体などであってもよい。
上記した実施の形態１では、実のボックス体（被搬送物）１１を下降によってボックス体搬送経路Ａ上に供給するに、フォーク付きの自走台車からなる移載手段が示されているが、被搬送物を下降によってボックス体搬送経路Ａ上に供給するものとしては、自動倉庫における出し入れ装置（フォーク形式）の形式、吊りクレーンによる上方からの受け渡し形式などであってもよい。
【００５２】
上記した実施の形態１では、支持部材６６に対して球体６５を、搬送方向視において９０度以上θ１に露出させるとともに、平面視において中心線６５ａに対して前後に振り分ける状態で９０度以上θ２に露出させた形式が示されているが、これは両方、またはいずれか一方を９０度以下とした形式などであってもよい。
【００５３】
上記した実施の形態１では、球体６５を、その中心６５ｂの位置を搬送支持面６１ａよりも上方として配設した形式が示されているが、これは中心６５ｂの位置を、搬送支持面６１ａと同じレベルとして配設した形式、または搬送支持面６１ａよりも下方として配設した形式などであってもよい。
【００５４】
上記した実施の形態１では、球体６５をローラ６４間に位置して配設した形式が示されているが、これはローラ６４の外端よりも外方に位置して配設した形式などであってもよい。
【００５５】
上記した実施の形態１では、供給側コンベヤ装置６１の部分に球体６５などが配設された形式が示されているが、これは処理側コンベヤ装置５２や排出側コンベヤ装置８１に搬送案内用として、球体６５などを配設した形式などであってもよい。
【００５６】
上記した実施の形態１では、供給側昇降受台７１や排出側昇降受台９１における受け体７２，９２の上面に位置決め部材７５，９５が設けられた形式が示されているが、これは位置決め部材７５，９５が省略された形式などであってもよい。
【００５７】
上記した実施の形態１では、移載手段１１１からの実のボックス体１１に対して、処理手段２０のコンベヤ装置３１においてガラス基板１を送り装置１０１へと１枚ずつ搬出処理し、そして空のボックス体１１を移載手段１１１で取り出す形式が示されているが、これはコンベヤ装置３１や送り装置１０１を逆動作させるなどすることで、移載手段１１１からの空のボックス体１１に対して、処理手段２０のコンベヤ装置３１によって送り装置１０１からのガラス基板１を１枚ずつ上下複数段に収納処理したのち、実のボックス体１１を移載手段１１１で取り出すようにした形式などであってもよい。
【００５８】
上記した実施の形態１では、ボックス体１１として、正方形状のガラス基板１を１枚ずつ上下複数段に収納する形式が示されているが、これは長方形状の小型のガラス基板を２枚（複数枚）並べた状態で上下複数段に収納する形式などであってもよい。その際にボックス体１１は各段において、たとえば小型のガラス基板を、その長尺寸法の方向をコンベヤ装置３１の搬送方向（前後方向）として左右２列で支持するように構成されている。この場合にコンベヤ装置３１による搬送は、右側ゾーン３１Ｚ１と左側ゾーン３１Ｚ２  とを別々に駆動して１枚ずつ行ってもよいし、両ゾーン３１Ｚ１  ，３１Ｚ２を同時に駆動して２枚（１段）を同時に行ってもよい。
【００５９】
上記した実施の形態１では、板状体としてガラス基板１が示されているが、これは金属板や樹脂板などであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明の実施の形態１を示し、コンベヤ装置の要部の一部切り欠き正面図である。
【図２】同コンベヤ装置の要部の斜視図である。
【図３】同コンベヤ装置の要部の平面図である。
【図４】同コンベヤ装置を採用した板状体処理設備におけるボックス体を移載する前の平面図である。
【図５】同コンベヤ装置を採用した板状体処理設備におけるボックス体を移載する途中の縦断側面図である。
【図６】同コンベヤ装置を採用した板状体処理設備における処理手段部分の横断平面図である。
【図７】同コンベヤ装置を採用した板状体処理設備における処理手段部分の縦断側面図である。
【図８】同コンベヤ装置を採用した板状体処理設備における処理手段部分の縦断正面図である。
【図９】同コンベヤ装置を採用した板状体処理設備におけるボックス体を移載した後の平面図である。
【図１０】同コンベヤ装置を採用した板状体処理設備におけるボックス体を出し側に移動した後の平面図である。
【符号の説明】
【００６１】
１        ガラス基板（板状体）
１１      ボックス体（被搬送物）
１１ａ    下位開放部
１１ｂ    側位開放部
１２      下部矩形枠体
１３      縦枠
１４      上部矩形枠体
１５      支持部材
２０      処理手段
２１      枠本体
２１ａ    前側開放部
２１ｂ    入れ側開放部
２１ｃ    出し側開放部
３１      搬送装置
３１ａ    搬送面
３２      コンベヤフレーム
３５      ローラ体
３６      駆動部
４１      昇降装置
４２Ａ    前側装置部
４２Ｂ    後側装置部
４８      モータ
５２      処理側コンベヤ装置
５２ａ    搬送支持面
５３      コンベヤフレーム
５４      ローラ
６１      供給側コンベヤ装置（コンベヤ装置）
６１ａ    搬送支持面
６２      脚体
６３      コンベヤフレーム
６３Ａ    側板
６３Ｂ    受け板部
６４      ローラ
６４Ａ    ローラ軸
６５      球体
６５ａ    中心線
６５ｂ    中心
６６      支持部材
６７      連結具
７１      供給側昇降受台
７２      受け体
７３      昇降作動部
７５      位置決め部材
８１      排出側コンベヤ装置
８１ａ    搬送支持面
８３      コンベヤフレーム
８４      ローラ
９１      排出側昇降受台
９２      受け体
９３      昇降作動部
９５      位置決め部材
１０１    送り装置
１０１ａ  送り面
１１１    移載手段
１１２    移動体
１１３    昇降部
１１４    フォーク部
Ａ        ボックス体搬送経路（搬送経路）
Ｂ        直交状の方向（前後方向）
θ１        搬送方向視における露出角度
θ２        平面視における露出角度
ｈ        或る高さ
【図１】
2008168996.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2008168996.tif 000007
【図６】
2008168996.tif 000008
【図７】
2008168996.tif 000009
【図８】
2008168996.tif 000010
【図９】
2008168996.tif 000011
【図１０】
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