(57)【要約】【課題】本発明は、微小な貫通孔を安定に形成することが可能なスクリーン印刷版、該スクリーン印刷版を用いて形成されている貫通孔を有する厚膜並びに該貫通孔を有する厚膜を有する多層配線構造及び画像表示装置を提供することを目的とする。【解決手段】スクリーン印刷版は、印刷液を吐出する吐出領域と、印刷液を吐出しない非吐出領域（貫通孔パターン２）を有し、スキージ３を摺動させることにより吐出領域から印刷液を吐出して印刷し、非吐出領域は、スキージ３を摺動させる際にスキージ３と最初に接触する点を頂点とする多角形であり、非吐出領域のスキージ３の長さ方向の幅は、スキージ３と最初に接触する点から幅の最大値になるまで増大する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
印刷液を吐出する吐出領域と、印刷液を吐出しない非吐出領域を有し、スキージを摺動させることにより該吐出領域から該印刷液を吐出して印刷するスクリーン印刷版において、
該非吐出領域は、該スキージを摺動させる際に該スキージと最初に接触する点を頂点とする多角形であり、
該非吐出領域の該スキージの長さ方向の幅は、該スキージと最初に接触する点から該幅の最大値になるまで増大することを特徴とするスクリーン印刷版。
【請求項２】
前記非吐出領域は、該スキージを摺動させる方向の軸に対して線対称であることを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷版。
【請求項３】
前記非吐出領域は、前記スキージと最初に接触する点を含む角を除く一つ以上の角が曲線に置換されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のスクリーン印刷版。
【請求項４】
前記非吐出領域の径は、５０μｍ以上３００μｍ未満であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のスクリーン印刷版。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一項に記載のスクリーン印刷版を用いて印刷することにより形成されていることを特徴とする貫通孔を有する厚膜。
【請求項６】
絶縁性材料からなることを特徴とする請求項５に記載の貫通孔を有する厚膜。
【請求項７】
請求項５又は６に記載の貫通孔を有する厚膜を少なくとも有することを特徴とする多層配線構造。
【請求項８】
請求項５又は６に記載の貫通孔を有する厚膜を少なくとも有することを特徴とする画像表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクリーン印刷版、貫通孔を有する厚膜、多層配線構造及び画像表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板あるいは半導体ウエハに、トラジスタやダイオードが形成されている半導体装置では、その集積度を高めるために多層配線構造が用いられている。このような多層配線構造では、配線を電気的に接続するためのビアホールを有する層間絶縁膜が用いられている。
【０００３】
近年、層間絶縁膜の材料としては、シリコン酸化膜よりも比誘電率の小さい有機絶縁膜が広く用いられている。しかしながら、有機絶縁膜に貫通孔を形成する際にフォトリソグラフィー技術が用いられているため、製造方法の工程数が多く、コスト的に不利であるという問題がある。
【０００４】
一方、スクリーン印刷法は、インクを吐出しない非吐出領域に乳剤を形成したメッシュ（スクリーン印刷版）にインクを載せて、スキージを摺動させることによってインクを吐出して印刷する方法であり、工程数を低減することができ、材料の使用効率が高いという利点がある。このように、スクリーン印刷法は、平易な手法でファインパターンを形成することが可能であるため、最近では、トランジスタ等の配線工程にも用いられている。しかしながら、微小な貫通孔を形成する場合には適さないという問題がある。これは、第一に、スクリーン印刷法が動的なプロセスであるために、印刷時にスクリーン印刷版の非吐出領域の下に回り込んだインクが、基板に印刷されるためである。第二に、印刷された直後の流動性を有するインクの表面が重力によって平坦になると同時に微量のにじみが発生（レベリング）するためである。従って、微小な貫通孔を形成する場合には、印刷時に非吐出領域の下に回り込んだインクと、印刷後に四方からレベリングしたインクが貫通孔を埋める可能性が大きい。このため、従来の手法では、１００μｍ四方の貫通孔を形成する印刷が限界とされている。さらに、スクリーン印刷法は、クリアランス（スクリーン版と基板の距離）、スキージの角度、圧力、速度等の複数のパラメーターの影響を受けるため、微小な貫通孔を安定に形成することが困難であり、大面積の印刷において、実績がある貫通孔は、３００μｍ四方程度である。
【０００５】
このようなスクリーン印刷法は、ビアホールの埋め込みに用いられることが多いが、特許文献１では、その外形を規定する輪郭内に島状抜き部を形成しているパターンをもって導電性ペーストからなるペースト膜を印刷するために用いられている。具体的には、ペースト膜のネガティブパターンとして、ペースト膜の輪郭の外側領域に相当する外側相当部分、島状抜き部に相当する島状相当部分、島状相当部分の径より細い幅をもって複数の島状相当部分を互いに連結するように設けられる補強連結部を有し、導電性ペーストの通過を禁止するエマルジョン領域が形成されているスクリーン印刷版が用いられている。これにより、印刷にじみの発生を抑制することができるが、補強連結部が非吐出領域となるため、島状抜き部を除いた全面にスクリーン印刷することができない。
【特許文献１】特許第３５８２４８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上記の従来技術が有する問題に鑑み、微小な貫通孔を安定に形成することが可能なスクリーン印刷版、該スクリーン印刷版を用いて形成されている貫通孔を有する厚膜並びに該貫通孔を有する厚膜を有する多層配線構造及び画像表示装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載の発明は、印刷液を吐出する吐出領域と、印刷液を吐出しない非吐出領域を有し、スキージを摺動させることにより該吐出領域から該印刷液を吐出して印刷するスクリーン印刷版において、該非吐出領域は、該スキージを摺動させる際に該スキージと最初に接触する点を頂点とする多角形であり、該非吐出領域の該スキージの長さ方向の幅は、該スキージと最初に接触する点から該幅の最大値になるまで増大することを特徴とする。これにより、微小な貫通孔を安定に形成することが可能なスクリーン印刷版を提供することができる。
【０００８】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のスクリーン印刷版において、前記非吐出領域は、該スキージを摺動させる方向の軸に対して線対称であることを特徴とする。これにより、ばらつきの少ない微小な貫通孔を有する厚膜を形成することができる。
【０００９】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載のスクリーン印刷版において、前記非吐出領域は、前記スキージと最初に接触する点を含む角を除く一つ以上の角が曲線に置換されていることを特徴とする。これにより、微小な貫通孔をさらに安定に形成することができる。
【００１０】
請求項４に記載の発明は、請求項１乃至３のいずれか一項に記載のスクリーン印刷版において、前記非吐出領域の径は、５０μｍ以上３００μｍ未満であることを特徴とする。なお、本願明細書及び特許請求の範囲において、領域の径とは、領域を含む最小の正方形の一辺の長さを意味する。これにより、微小な貫通孔を安定に形成することができる。
【００１１】
請求項５に記載の発明は、貫通孔を有する厚膜において、請求項１乃至４のいずれか一項に記載のスクリーン印刷版を用いて印刷することにより形成されていることを特徴とする。これにより、微小な貫通孔を有する厚膜を提供することができる。
【００１２】
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の貫通孔を有する厚膜において、絶縁性材料からなることを特徴とする。これにより、微小な貫通孔を有する絶縁膜が得られる。
【００１３】
請求項７に記載の発明は、多層配線構造において、請求項５又は６に記載の貫通孔を有する厚膜を少なくとも有することを特徴とする。これにより、微細化された多層配線構造を提供することができる。
【００１４】
請求項８に記載の発明は、画像表示装置において、請求項５又は６に記載の貫通孔を有する厚膜を少なくとも有することを特徴とする。これにより、薄型・軽量の画像表示装置を提供することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、微小な貫通孔を安定に形成することが可能なスクリーン印刷版、該スクリーン印刷版を用いて形成されている貫通孔を有する厚膜並びに該貫通孔を有する厚膜を有する多層配線構造及び画像表示装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
次に、本発明を実施するための最良の形態を図面と共に説明する。
【００１７】
本発明のスクリーン印刷版は、スキージを摺動させてインクを吐出することにより印刷する際に、スキージと最初に接触する点を頂点とする多角形であると共に、スキージの長さ方向の幅がスキージと最初に接触する点から幅の最大値になるまで漸増する貫通孔パターンを有する。これにより、印刷時に、貫通孔パターンの下へのインクの回り込みを抑制し、大面積の印刷においても微小な貫通孔を安定に形成することができる。
【００１８】
図１に、本発明のスクリーン印刷版の一例を示す。図１に示すスクリーン印刷版は、メッシュ１上に、正六角形の貫通孔パターン２が形成されており、貫通孔パターン２が印刷時にインクの非吐出領域となる。また、図中の印刷方向（スキージ３を摺動させる方向）に印刷する際に、各貫通孔パターン２は、スキージ３と最初に接触する点を頂点とする正六角形であり、スキージ３と最初に接触する点から、スキージの長さ方向の幅が貫通孔パターン２の最大幅になるまで漸増する。これにより、貫通孔を有する厚膜を形成することができる。なお、スキージの長さ方向は、通常、印刷方向と直交する。
【００１９】
本発明において、印刷する際にスキージ３と最初に接触する点が頂点となるような形状及び配置で貫通孔パターン２を形成することにより、貫通孔パターン２の下へのインクの回り込みを抑制する機構は、以下のように説明することができる。
【００２０】
図２（ａ）に、印刷方向のスキージ３と最初に接触する側の端部が辺である貫通孔パターン２の一例を示す。図中の印刷方向に印刷して、貫通孔パターン２以外の場所にインクを吐出する場合、インクは、図中に示すように流れる。スキージ３が貫通孔パターン２を通過する時に、貫通孔パターン２の手前のインクは、貫通孔パターン２にせき止められるが、スキージ３の圧力によって、インクの一部は、貫通孔パターン２の下に回り込む。このとき、回り込んだインクは、被印刷部材の貫通孔となるべき領域に印刷されて貫通孔を埋める可能性がある。さらに、貫通孔パターン２に残ったインクは、以降の印刷に悪影響を及ぼすため、印刷の繰り返し安定性が損なわれる。
【００２１】
一方、図２（ｂ）に示すように、印刷方向のスキージ３と最初に接触する側の端部が頂点である貫通孔パターン２であれば、貫通孔パターン２の手前のインクは、貫通孔パターン２の辺に沿って両側に流れることができるため、貫通孔パターン２の下へのインクの回り込みを抑制することができる。その結果、回り込んだインクによって、貫通孔となるべき領域にインクが印刷されることを抑制し、微小な貫通孔を安定に形成することができる。
【００２２】
また、図２（ｃ）に示すように、貫通孔パターン２が円形、楕円形等の頂点を有さない形状である場合、貫通孔パターン２の下へのインクの回り込みは、図２（ａ）の場合よりは少ないが、図２（ｂ）の場合よりは多くなる。これは、スキージ３が貫通孔パターン２を通過するときに、図２（ｂ）の方が、貫通孔パターン２の両側にインクが流れやすいためであると考えられる。
【００２３】
本発明のスクリーン印刷版は、貫通孔パターン２の径が３００μｍ未満、即ち、貫通孔パターン２を含む最小の正方形の辺の長さが３００μｍ未満であるときに、特に、上記の効果が有用である。また、貫通孔パターン２の径の下限は、スクリーン印刷版に用いられるメッシュ１の線径に依存し、メッシュ１の線径が小さくなるに従って、貫通孔パターン２の径を小さくすることが理論上可能になる。現状入手可能で最も精細なメッシュ１としては、線径が１０μｍ程度の線材を１インチ当たり８４０本の密度で織ったものであり、図９に示すように、メッシュ１の開口部（吐出領域）の径は、約２０μｍとなる。一般的に、貫通孔パターン２をメッシュ１に支持させる場合には、各貫通孔パターン２がメッシュの交点を２点以上含有する必要がある。これは、貫通孔パターン２がメッシュの交点を１点含有する場合、メッシュ１と貫通孔パターン２の接触面積が小さいために、印刷時に貫通孔パターン２が脱落する可能性があるためである。例えば、メッシュ１上に、径が４０μｍの貫通孔パターン２を形成する場合は、図９に示すように、貫通孔パターン２がメッシュの交点を２点含有することが難しいが、径が５０μｍであれば、概ね２点以上のメッシュの交点を含有することが可能である。従って、貫通孔パターン２の径が５０μｍ以上であることにより、大面積の印刷においても微小な貫通孔を安定に形成することができる。また、メッシュ１の線径を１５μｍ程度とすると、大面積の印刷においても微小な貫通孔を安定に形成することができる貫通孔パターンの径は、８０μｍ以上である。
【００２４】
本発明において、各貫通孔パターン２は、図１に示すように、印刷方向の軸に対して線対称であることが好ましい。これにより、印刷時に、貫通孔パターン２の手前のインクが貫通孔パターン２の辺に沿って、その両側に均等に流れることができるため、貫通孔パターン２の下へのインクの回り込みをさらに抑制することができる。
【００２５】
本発明において、貫通孔パターン２は、スキージ３と最初に接触する頂点を含む角を除く一つ以上の角を曲線に置換した形状であることが好ましく、スキージ３と最初に接触する頂点を含む角を除く全ての角を曲線に置換した形状であることが特に好ましい。貫通孔パターン２がスキージ３と最初に接触する頂点を含む角を有すると共に、その他の角が曲線で置換されていることにより、貫通孔パターン２の外側のインクが曲線に沿って滑らかに流れやすくなるため、貫通孔パターン２の下へのインクの回り込みをさらに抑制することができる。また、印刷された貫通孔の角が曲線に置換されていることにより、貫通孔の縁の表面張力が均等化され、インクの流動によるにじみの発生を抑制することができる。なお、角を置換する曲線としては、円、楕円、放物線等を構成する曲線が挙げられるが、外側に凸であれば、特に限定されない。図３に、このような貫通孔パターン２の具体例を示す。（ａ）は、３つの角を曲線で置換した正方形、（ｂ）及び（ｃ）は、２つの角を曲線で置換した菱形、（ｄ）は、３つの角を曲線で置換した菱形である。
【００２６】
なお、スクリーン印刷法の原理上、スクリーン印刷版から吐出されたインクは、重力によって表面が平坦にならされると同時に微量のにじみが発生するため、本発明のスクリーン印刷版における貫通孔パターンと、形成される貫通孔の形状は、厳密には一致しない。
【００２７】
本発明において、貫通孔パターン２は、公知の方法で形成することができ、例えば、メッシュ１上に感光性乳剤を塗布した後に、フォトリソグラフィー技術を用いて、形成することができる。
【００２８】
本発明の貫通孔を有する厚膜は、本発明のスクリーン印刷版を用いて印刷することにより形成されている。具体的には、被印刷部材上にスクリーン印刷版を配置した状態で、スクリーン印刷版上にインクを付与した後、図１に示すように、スキージ３をインクが付与されたスクリーン印刷版上で印刷方向に摺動させる。これにより、メッシュ１上の貫通孔パターン２（非吐出領域）以外の吐出領域から、被印刷部材上にインクが吐出される。さらにインクが吐出された被印刷部材を乾燥（硬化）させることにより、貫通孔を有する厚膜が得られる。
【００２９】
本発明において、貫通孔を有する厚膜を形成する際に用いられるインクとしては、特に制限はなく、樹脂成分、フィラー及び溶媒を含有する公知の材料を用いることができる。特に、径が３００μｍ以下の貫通孔を形成するためには、印刷時や乾燥時に流れにくいインクを用いることが好ましく、具体的には、印刷する温度条件下における粘度が１００Ｐａ・秒以上であると共に、インク中の固形分体積比率が２５％以上であるインクが挙げられる。
【００３０】
本発明において、絶縁性材料を用いて、貫通孔を有する厚膜を形成することにより、貫通孔を有する絶縁膜が得られる。
【００３１】
なお、貫通孔を有する厚膜の膜厚は、式
（メッシュの厚さ×開口率＋貫通孔パターンの厚さ）×インクの固形分体積比率
により決定される。したがって、各パラメーターを適宜調整することにより、所定の膜厚を有する厚膜を形成することができる。
【００３２】
本発明の多層配線構造は、本発明の貫通孔を有する厚膜（層間絶縁膜）と複数の電極を所定の配置で積層し、層間絶縁膜の上下の電極を、貫通孔を介して電気的に接続させることにより形成することができる。これにより、製造工程を大幅に低減させると共に、微細化された多層配線構造が得られる。層間絶縁膜の上下の電極を電気的に導通させるためには、貫通孔内に導電層を埋め込むことが好ましい。このとき、スクリーン印刷法を用いて、層間絶縁膜の上部に上部電極を形成すると共に、貫通孔内に導電層を埋め込むことがさらに好ましい。これにより、同一の装置を利用できると共に、製造プロセスを簡素化することができる。
【００３３】
図１０に、本発明の多層配線構造の一例を示す。基板上に、ゲート電極、ゲート絶縁膜、ソース／ドレイン電極及び半導体層が形成されているトランジスタの上に、貫通孔を有する層間絶縁膜が形成されている。さらに、貫通孔内には、導電層が埋め込まれており、層間絶縁膜上に上部電極が形成されている。上部電極及び導電層は、導電材料を含有する市販の導電性ペーストを用いて形成することができ、導電材料としては、銀、銅、アルミニウム、カーボン等が挙げられる。
【００３４】
本発明の画像表示装置は、本発明の貫通孔を有する厚膜（層間絶縁膜）の貫通孔を介して、トランジスタと画素電極が電気的に接続されているトランジスタ素子が格子状に設けられているアクティブマトリクス基板上に、画像表示素子を積層することにより形成することができる。これにより、平易な製造プロセスで、薄型、軽量の画像表示装置が得られる。なお、画像表示素子としては、液晶表示素子、電気泳動表示素子、有機ＥＬ素子を用いることができ、これにより、目への負担が少なく、フラットパネルタイプ又はフレキシブルな画像表示装置が得られる。
【００３５】
図１１に、本発明の画像表示装置の一例を示す。基板上に、ゲート電極、ゲート絶縁膜、ソース／ドレイン電極及び半導体層が形成されているトランジスタの上に、貫通孔を有する層間絶縁膜が形成されている。さらに、貫通孔内には、導電層が埋め込まれており、層間絶縁膜上に画素電極が形成されている。このような構成のアクティブマトリクス基板上に、透明電極が形成された支持基板上に形成された電気泳動表示素子が接合されている。
【実施例】
【００３６】
（実施例１）
スクリーン印刷版として、線径２３μｍ、開口率約５０％のメッシュ１（２００ｍｍ×２００ｍｍ）上に、一辺２００μｍの正方形の貫通孔パターン２を４００μｍピッチでマトリクス状に配置したもの（図４参照）を用いた。なお、貫通孔パターン２は、図中の印刷方向の軸に対して線対称であり、スキージと最初に接触する頂点を有する。また、貫通孔パターン２は、感光性乳剤を塗布したメッシュに、貫通孔パターンを形成したフォトマスクを介して露光し、現像、乾燥することにより形成した。
【００３７】
厚さ１２０μｍのポリカーボネートフィルム基板（２２０ｍｍ×２２０ｍｍ）上に、スクリーン印刷版及び厚膜ペーストを用いて、図中の印刷方向に印刷した後、１００℃で６０分間乾燥させることにより、厚膜を得た。なお、厚膜ペーストとしては、ポリビニルアルコール樹脂を溶媒に溶解させ、フィラー及び粘度調整剤を加えて粘度を約２００Ｐａ・秒に調整したものを用いた。
【００３８】
得られた厚膜を、測長顕微鏡を用いて評価した結果、ほぼ正方形の貫通孔が全面に形成されていた。なお、形成された貫通孔の一辺は、平均１６０μｍであった。
（比較例１）
図４に示すスクリーン印刷版の代わりに、図５（ａ）に示すスクリーン印刷版を用いた以外は、実施例１と同様に厚膜を形成した。なお、貫通孔パターン２は、図中の印刷方向の軸に対して線対称であり、スキージと最初に接触する辺を有する。
【００３９】
得られた厚膜を、測長顕微鏡を用いて評価した結果、図５（ｂ）に示す不定形の貫通孔が全面に形成されていた。形成された貫通孔は、印刷方向にやや縮んだ形となり、そのサイズは、平均縦１６０μｍ×横１４５μｍであった。
（実施例２）
図４に示すスクリーン印刷版の貫通孔パターン２を図６（ａ）に示す径が２００μｍの貫通孔パターンに変更した以外は、実施例１と同様に厚膜を形成した。なお、貫通孔パターンは、図中の印刷方向の軸に対して線対称であり、スキージと最初に接触する頂点を有する。
【００４０】
得られた厚膜には、ほぼ貫通孔パターンと同様の形状を有する貫通孔が全面に形成されていた。形成された貫通孔のサイズは、平均縦１６０×横１６０μｍであった。
（比較例２）
図４に示すスクリーン印刷版の貫通孔パターン２を図６（ｂ）に示す直径２００μｍの円形の貫通孔パターンに変更した以外は、実施例１と同様に厚膜を形成した。
【００４１】
得られた厚膜には、貫通孔が全面に形成されており、形成された貫通孔は、印刷方向にやや縮んだ円形となり、そのサイズは、平均縦１６０×横１５０μｍであった。
【００４２】
実施例２と対比すると、スクリーン印刷版上の貫通孔パターンの面積は、実施例２の方が小さいにも関わらず、形成された貫通孔は、実施例２の方が大きいことがわかる。
（実施例３及び比較例３）
スクリーン印刷版として、線径１８μｍ、開口率約４０％のメッシュ上に、図７（ａ）に示すように、径が３５０、３００、２５０、２００、１５０、１００及び５０μｍの貫通孔パターンを有するパターン部を形成したものを用いた。なお、図７（ｂ）に示すように、各パターン部には、それぞれ円形（比較例３）及び水滴形（実施例３）の二種類の貫通孔パターンを５００μｍピッチで１０００個ずつ配置した。このとき、貫通孔パターンは、感光性乳剤を塗布したメッシュに、貫通孔パターンを形成したフォトマスクを介して露光し、現像、乾燥することにより形成した。また、水滴形（実施例３）の貫通孔パターンは、図中の印刷方向の軸に対して線対称であり、スキージと最初に接触する頂点を有し、印刷方向及びスキージの長さ方向の幅が同一である。
【００４３】
洗浄したガラス基板上に、スクリーン印刷版及び絶縁ペーストを用いて、図中の印刷方向に印刷した後、１１０℃で３０分間乾燥させることにより、絶縁膜を得た。なお、絶縁ペーストとしては、ポリビニルブチラール樹脂を溶媒に溶解させ、平均粒径が０．１μｍの無機フィラーを加えて、粘度を約４００Ｐａ・秒に調整したものを用いた。
【００４４】
得られた絶縁膜の顕微鏡観察を行い、各パターン部で埋まることなく形成された貫通孔の個数を評価した。表１に評価結果を示す。
【００４５】
【表１】
2008023748.tif 000003
表１より明らかなように、貫通孔を安定に形成することができるのは、比較例３では、貫通孔パターンの径が３００μｍ以上の場合であるが、実施例３では、１５０μｍ以上である。
（実施例４）
ポリカーボネート基板上に、インクジェット法を用いて、ナノ銀インクを形成し、乾燥させることによって、ゲート電極を形成した。次に、スピンコート法を用いて、熱重合型ポリイミドを塗布し、１９０℃で熱処理することによって、ゲート絶縁膜を形成した。形成されたゲート絶縁膜は、比誘電率が３．６、膜厚が０．４μｍであった。ソース／ドレイン電極を形成する領域に、フォトマスクを介して、紫外線を照射することにより、表面改質を実施した。さらに、インクジェット法を用いて、ナノ銀インクを形成し、乾燥させることによって、ソース／ドレイン電極を形成した。次に、インクジェット法を用いて、構造式
【００４６】
【化１】
2008023748.tif 000004
で表される有機半導体材料をキシレンに溶解させることによりインク化したものを膜形成することによって、有機半導体層を形成し、有機トランジスタを得た。得られた有機トランジスタは、チャネル長が５μｍ、チャネル幅が２ｍｍであった。
【００４７】
スクリーン印刷版として、線径２３μｍ、開口率約５０％のメッシュ１（２００ｍｍ×２００ｍｍ）上に、図６（ａ）と同様の貫通孔パターン２を３００μｍピッチでマトリクス状に配置したもの（図８参照）を用いた。なお、貫通孔パターン２は、図中の印刷方向の軸に対して線対称であり、スキージと最初に接触する頂点を有する。
【００４８】
有機トランジスタ上に、図８に示すスクリーン印刷版及び絶縁ペーストを用いて、図中の印刷方向に印刷し、乾燥させることによって、貫通孔を有する層間絶縁膜を形成した。なお、絶縁ペーストとしては、ポリビニルアセタール樹脂を溶媒に溶解させ、平均粒径が０．１μｍの無機フィラーを加えて、粘度を約４００Ｐａ・秒に調整したものを用いた。
【００４９】
さらに、スクリーン印刷法を用いて、Ａｇ粒子、アクリル樹脂及び溶媒からなる銀ペーストを層間絶縁膜上に形成し、乾燥させることによって、層間絶縁膜の貫通孔内に導電層を埋め込むと共に、下層の有機トランジスタと導通する画素電極を形成し、トランジスタ素子が格子状に設けられているアクティブマトリクス基板を得た。
【００５０】
次に、酸化チタン２０重量部、酸ポリマー１重量部、シリコーンポリマーグラフトカーボンブラックＭＸ３−ＧＲＸ−００１（日本触媒社製）２重量部及びシリコーンオイルＫＦ９６Ｌ−１ｃｓ（信越化学工業社製）７７重量部を混合した後、超音波で１時間分散させることにより、白黒粒子分散液を調製した。さらに、ゼラチン−アラビアゴム  コンプレックスコアセルベーション法を用いて、白黒粒子分散液をマイクロカプセル化した。このとき、マイクロカプセルの平均粒径は、約６０μｍであった。得られたマイクロカプセルをウレタン樹脂溶液に分散させた分散液を、ワイヤーブレード法を用いて、透明電極膜付きフィルム基板上に展開し、均一なマイクロカプセルシートを形成することにより、電気泳動表示素子を得た。
【００５１】
得られた電気泳動表示素子をアクティブマトリクス基板と接合することにより、図１１に示す画像表示装置を得た。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明のスクリーン印刷版の一例を示す図である。
【図２】貫通孔パターンの下へのインクの回り込みを抑制する機構を説明する図である。
【図３】貫通孔パターンの具体例を示す図である。
【図４】実施例１のスクリーン印刷版を示す図である。
【図５】比較例１のスクリーン印刷版及び形成された貫通孔を示す図である。
【図６】実施例２及び比較例２の貫通孔パターンを示す図である。
【図７】実施例３のスクリーン印刷版を示す図である。
【図８】実施例４のスクリーン印刷版を示す図である。
【図９】貫通孔パターンの径の下限を説明する図である。
【図１０】本発明の多層配線構造の一例を示す図である。
【図１１】本発明の画像表示装置の一例を示す図である。
【符号の説明】
【００５３】
１    メッシュ
２    貫通孔パターン
３    スキージ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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