(57)【要約】      （修正有）【課題】塗布液の滞留起因による塗布欠点がなく、さらに塗布領域全面に渡って塗布方向に横ダンとして視覚的に検知される、周期的な微小膜厚ムラを解消することが可能な脈動吸収装置と、この脈動吸収装置を用いた塗布方法および塗布装置、並びにこれらを用いた液晶ディスプレイ用部材の製造方法を提供する。【解決手段】液体が流入・流出する１次室を有する１次室側本体と気体が充填された２次室を有する２次室側本体が平面状の膜状体を介して締結され、該膜状体の変形によって１次室を通過する液体の脈動を吸収する脈動吸収器と、圧力差発生装置とを備えた脈動吸収装置であって、該１次室側本体の１次室から液体を流出する流出口が１次室へ液体を流入する流入口よりも上方に配され、さらに圧力差発生装置が一次室の流出口と接続されていることを特徴とする脈動吸収装置。【選択図】図３
2008075537.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体が流入・流出する１次室を有する１次室側本体と気体が充填された２次室を有する２次室側本体が平面状の膜状体を介して締結され、該膜状体の変形によって１次室を通過する液体の脈動を吸収する脈動吸収器と、圧力差発生装置とを備えた脈動吸収装置であって、該１次室側本体の１次室から液体を流出する流出口が１次室へ液体を流入する流入口よりも上方に配されるとともに、前記流入口中心から前記流出口中心へ向かい、かつ、前記膜状体の平面に平行な向きに定義される液体流れ方向に対して、前記１次室の壁面がなす角度が０〜３０度の範囲にあり、さらに圧力差発生装置が一次室の流出口と接続されていることを特徴とする脈動吸収装置。
【請求項２】
請求項１に記載の脈動吸収装置を使用し、圧力差発生装置による圧力差を０．０１〜０．３ＭＰａにして塗布を行うことを特徴とする塗布方法。
【請求項３】
塗布液を吐出する塗布器と、塗布器に塗布液を供給する定容量ポンプと、被塗布部材を保持する載置台と、前記塗布器および載置台のうちの少なくとも一方を相対的に移動させる移動手段を備えて、被塗布部材に塗布膜を形成する塗布装置において、請求項１に記載の脈動吸収装置を定容量ポンプと塗布器の間に備えたことを特徴とする塗布装置。
【請求項４】
請求項２に記載の塗布方法を用いて液晶ディスプレイ用部材を製造することを特徴とする液晶ディスプレイ用部材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えばカラー液晶ディスプレイ用カラーフィルタやＴＦＴ用アレイ基板等の液晶ディスプレイ用部材を製造する分野に主として使用されるものであり、詳しくはガラス基板などの被塗布部材表面に均一で欠点のない塗布膜を形成するために用いられる脈動吸収器、およびこれを用いた塗布方法と塗布装置、並びに液晶ディスプレイ用部材の製造方法の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
カラー液晶用ディスプレイは、カラーフィルタ、ＴＦＴ用アレイ基板などにより構成されているが、カラーフィルタ、ＴＦＴ用アレイ基板ともに、低粘度の液体材料を塗布して乾燥させ、塗布膜を形成する製造工程が多く含まれている。たとえば、カラーフィルタの製造工程では、ガラス基板上に黒色のフォトレジスト材の塗布膜を形成し、フォトリソ法により塗布膜を格子状に加工した後に、格子間に赤色、青色、緑色のフォトレジスト材の塗布膜を同様の手法により順次形成していく。その他にも、フォトレジスト材を塗布して塗布膜を形成後、カラーフィルタとＴＦＴ用アレイ基板との間に注入される液晶のスペースを確保する柱を形成したり、カラーフィルタ上の表面の凹凸を平滑化するためのオーバーコート塗布膜を形成する製造工程や、ＴＦＴ用アレイ基板に所定のパターンを形成するためにフォトレジスト材の塗布膜を形成する製造工程などもある。
【０００３】
この塗布膜形成のための塗布装置としては、従来スピナー、バーコータなどが使用されていたが、塗布液の消費量削減や消費電力削減、さらに塗布基板大型化に伴う装置の大型化が困難であることなどにより、近年に至ってスリットコータ（例えば特許文献１）の使用が増加してきている。
【０００４】
このスリットコータは、スリットノズルを基板に近接させ、スリットノズルの吐出口面と基板の表面との間にビードを形成し、スリットノズルまたは基板を移動させて、スリットノズルから塗布液を吐出することにより基板一枚一枚に塗布を行う。スリットノズルまたは基板の移動と、塗布液の吐出を適切に制御することで、定められた範囲で所定の膜厚精度を達成できるが、スリットノズルの吐出口面と基板の表面の間に形成されるビードが振動すると、塗布領域において塗布方向に周期的な微小膜厚ムラが発生することがある。この微小膜厚ムラは、膜厚ムラの大きさとしては許容値内であるが、透過光や反射光で視覚的にムラとして検知できる時があり、このような膜厚ムラは横ダンと呼ばれている。塗布された基板がディスプレイ用部材として使用される場合、横ダンのように膜厚変動が許容値内であっても視覚的に検知できると、ディスプレイ上にもその欠点が表示されることが度々ある。したがって、横ダンが見えると品位不良とされることが多く、横ダンを解消する手段が強く求められている。この横ダンの原因となるビードの振動発生要因としては、１）基板を保持するステージ、あるいは口金を水平方向に移動させるガントリの走行速度ムラ、２）塗布液供給装置のスリットノズルへの塗布液の供給ムラが挙げられる。ステージやガントリの走行速度ムラに対しては、リニアモータを使用して、速度ムラを小さくすることが横ダンの解消に有効である。（例えば特許文献２）。一方、塗布液供給装置の供給ムラの要因としては、スリットノズルに塗布液を供給する定容量ポンプ供給速度の脈動が挙げられる。定容量ポンプの脈動に対しては、高精度のピストン型ポンプを使用することで脈動を小さくしたり（例えば特許文献３）、アキュームレータ機能により脈動を吸収するダイヤフラムからなる脈動吸収器を用いて脈動を小さくするなどの改善が行われている。（例えば特許文献４）
【特許文献１】特開平６−３３９６５６号公報（第５欄１８行目〜第９欄１３行目、図１）
【特許文献２】特開平１１−０５７５８６号公報（第３欄１５行目〜第７欄１３行目、図１、図１０）
【特許文献３】特開平１２−３３４３５５号公報（第８欄１７行目〜第１３欄３２行目、図２）
【特許文献４】特開平８−２１９３６３号公報（第２欄４７行目〜第４欄４行目、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、確かに定容量ポンプを極限まで高精度化すれば、脈動を小さくして横ダンを見えなくすることができるが、非常に高価な装置となるとともに、長時間使用すると精度が低下して横ダンが発生するなど、高精度が故の不安定さを排除することができない。
【０００６】
一方、既存のダイヤフラム型脈動吸収器は安価なものであり、最近のものは脈動吸収機能が非常に高く、横ダンを検知不能なレベルにすることができるが、ダイヤフラム側からみた塗布液蓄積部の形状が円形であることが多く、その代償として内部に滞留箇所が多くなり、塗布液の滞留による劣化で発生する塗布欠点を生じさせるという問題点がある。さらに気泡排除性に対してあまり考慮されていないので、塗布液供給開始時の気液置換が不十分で気泡が脈動吸収器内部に残存して、塗布時にこの気泡が排出されて気泡起因の欠点を発生させる危険性も高い。
【０００７】
本発明は、上記の問題点を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、内部に塗布液の滞留箇所がなく、さらに容易に内部の気泡を排除できる脈動吸収手段を安価に実現することにより、塗布液の滞留起因による塗布欠点や気泡欠点がなく、さらに塗布領域全面に渡って塗布方向に横ダンとして視覚的に検知される、周期的な微小膜厚ムラを解消することが可能な脈動吸収装置と、この脈動吸収装置を用いた塗布方法および塗布装置、並びにこれらを用いた液晶ディスプレイ用部材の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記本発明の目的は、以下に述べる手段によって達成される。
１．本発明になる脈動吸収装置は、液体が流入・流出する１次室を有する１次室側本体と気体が充填された２次室を有する２次室側本体が平面状の膜状体を介して締結され、該膜状体の変形によって１次室を通過する液体の脈動を吸収する脈動吸収器と、圧力差発生装置とを備えた脈動吸収装置であって、該１次室側本体の１次室から液体を流出する流出口が１次室へ液体を流入する流入口よりも上方に配されるとともに、前記流入口中心から流出口中心へ向かって前記膜状体の平面に平行な向きに定義される液体流れ方向に対して、前記１次室の壁面がなす角度が０〜３０度の範囲にあり、さらに圧力差発生装置が一次室の流出口と接続されていることを特徴とする。
２．本発明になる塗布方法は、１項に記載の脈動吸収装置を使用し、圧力差発生装置による圧力差を０．０１〜０．３ＭＰａにして塗布を行うことを特徴とする。
３．本発明になる塗布装置は、塗布液を吐出する塗布器と、塗布器に塗布液を供給する定容量ポンプと、被塗布部材を保持する載置台と、前記塗布器および載置台のうちの少なくとも一方を相対的に移動させる移動手段を備えて、被塗布部材に塗布膜を形成する塗布装置において、１項に記載の脈動吸収装置を定容量ポンプと塗布器の間に備えたことを特徴とする。
４．本発明になる液晶ディスプレイ用部材の製造方法は、２項に記載の塗布方法を用いて液晶ディスプレイ用部材を製造することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る脈動吸収装置を用いれば、前記１次室の液体の流路を構成する壁面の液体流れ方向に対する角度を０〜３０度の範囲にして、滞留箇所が生じないように配慮されているので、塗布液の滞留による塗布欠点は発生しない。また１次室から液体を流出する流出口を１次室へ液体が流入する流入口よりも上方に配しているので、気泡を容易に排除でき、気泡が残留しての気泡起因の塗布欠点の発生もない。さらに構成がシンプルであるので安価であるとともに、平面状の膜状体であるダイヤフラムとそれに接する空気の緩衝効果により、塗布液の定容量ポンプによる供給速度の脈動を完全になくすことができる。
【００１０】
本発明による塗布方法、塗布装置によれば、上記の優れた脈動吸収装置を用いて塗布を行うのであるから、塗布領域全面に渡って塗布方向に横ダンとして視覚的に検知される、周期的な微小膜厚ムラを、塗布液の滞留起因による塗布欠点がない状態で、解消することが可能となる。
【００１１】
本発明に係るディスプレイ用部材の製造方法によれば、上記の優れた塗布方法用いてディスプレイ用部材を製造するのであるから、横ダンや塗布欠点が全くない優れた塗布品位の液晶ディスプレイ用部材を低コストで高い生産性で製造することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の好ましい実施形態を、図面に基づいて説明する。
図１は、本発明に係る脈動吸収装置２００を含む塗布装置であるスリットコータ１の概略正面図、図２は、本発明になる脈動吸収器の概略正面断面図、図３は図２の一方向からのＸ−Ｘ断面図、図４は図２の別の方向からのＹ−Ｙ断面図、図５は脈動吸収装置有無時の圧力変動を示す圧力−時間線図である。
【００１３】
まず図１を参照すると、本発明の脈動吸収装置２００を装備したスリットコータ１が示されている。このスリットコータ１は基台２を備えており、基台２上には、一対のガイドレール４が設けられている。このガイドレール４上には、被塗布部材である基板Ａの載置台、すなわちステージ６が配置されている。ステージ６は図示しないリニアモータで駆動されて図１に矢印で示されているＸ方向に自在に往復動する。またステージ６の上面は吸着孔からなる真空吸着面となっており、基板Ａを吸着保持することができる。
【００１４】
基台２の中央を見ると、門型の支柱１０がある。支柱１０には、上下昇降ユニット７０が備えられており、この上下昇降装置ユニット７０に塗布を行うスリットノズル２０が取り付けられている。
【００１５】
スリットノズル２０は、Ｘ方向に直交する方向（紙面に垂直な方向）にのびているフロントリップ２２、及びリアリップ２４を、シム３２を介してＸ方向に重ね合わせ、図示しない複数の連結ボルトにより一体的に結合されている。スリットノズル２０内の中央部にはマニホールド２６が形成されており、このマニホールド２６もスリットノズル２０の長手方向（Ｘ方向に直交する方向）にのびている。マニホールド２６の下方には、スリット２８が連通して形成されている。このスリット２８もスリットノズル２０の長手方向にのびており、その下端がスリットノズル２０の最下端面である吐出口面３６で開口して、吐出口３４を形成する。なおスリット２８はシム３２によって形成されるので、スリットの間隙（Ｘ方向に測定）は、シム３２の厚さと等しくなる。
【００１６】
このスリットノズル２０を昇降させる上下昇降装置ユニット７０は、スリットノズル２０を吊り下げる形で保持する吊り下げ保持台８０、吊り下げ保持台８０を昇降させる昇降台７８、昇降台７８を上下方向に案内するガイド７４、モータ７２の回転運動を昇降台７８の直線運動に変換するボールねじ７６より構成されている。上下昇降ユニット７０はスリットノズル２０の長手方向の両端部を支持するよう左右１対あって、各々が独立に昇降できるので、スリットノズル２０長手方向の水平に対する傾き角度を任意に設定することができる。これによってスリットノズル２０の吐出口面３６と基板Ａを、スリットノズル２０の長手方向にわたって略並行にすることができる。さらに、この上下昇降ユニット７０によって、ステージ６上の基板Ａとスリットノズル２０の吐出口面３６の間にすきま、すわなち、クリアランスを、任意の大きさに設けることができる。
【００１７】
さらに図１で基台２の右側端部を見ると、拭き取りユニット９０がガイドレール４上にＸ方向に移動自在に取付られている。拭き取りユニット９０には、スリットノズル２０の吐出口３４周辺に係合する形状を有する拭き取りヘッド９２が、ブラケット９４を介してスライダー９６に取り付けられている。スライダー９６は駆動ユニット９８により、スリットノズル２０の長手方向、すなわちＸ方向に直行する方向に自在に移動する。駆動ユニット９８とトレイ１００は台車１０２上に固定されている。台車１０２はガイドレール４上にあり、ガイドレール４に案内されて、図示しないリニアモータによりＸ方向に自在に往復動できるので、拭き取りユニット９０全体がＸ方向に往復動できる。また拭き取りを行う時は、拭き取りヘッド９２がスリットノズル２０に係合する位置まで拭き取りユニット９０全体をＸ方向に移動させ、スリットノズル２０を下降して拭き取りヘッド９２に係合させる。そして、駆動ユニット９８を駆動して拭き取りヘッド９２をスリットノズル２０の長手方向に摺動させると、スリットノズル２０の吐出口３４付近に残存している塗布液その他の汚染物を除去、清掃することができる。除去した塗布液その他はトレイ１００で回収される。トレイ１００は図示しない排出ラインに接続されており、内部にたまった塗布液等の液体を外部に排出、回収することができる。またトレイ１００は、スリットノズル２０からエアー抜き等で吐出される塗布液を回収するために使用することもできる。なお拭き取りヘッド９２はスリットノズル２０に均等に係合できるようゴム等の弾性体、合成樹脂が好ましい。
【００１８】
さらにまた基台２の左側を見ると、基板Ａの厚さを測定する厚さセンサー１２０が支持台１２２に取り付けられている。厚さセンサー１２０はレーザを使用したものであることが好ましい。厚さセンサー１２０により基板Ａの厚さを測定することで、どのような厚さの基板Ａに対しても、スリットノズル２０の吐出口面３６と基板Ａの隙間であるクリアランスを、常に一定にすることができる。
【００１９】
再びスリットノズル２０を見ると、スリットノズル２０のマニホールド２６の上流側は、塗布液供給装置４０に連なる供給ホース６０に、内部通路（図示しない）を介して常時接続されており、これにより、マニホールド２６へは塗布液供給装置４０から塗布液を供給することができる。マニホールド２６に入った塗布液はスリットノズル２０の長手方向に均等に拡幅されて、スリット２８を経て、吐出口３４から吐出される。
【００２０】
なお、塗布液供給装置４０は、供給ホース６０の上流側に、フィルター４６、脈動吸収装置２００、供給バルブ４２、シリンジポンプ５０、吸引バルブ４４、吸引ホース６２、タンク６４を備えている。脈動吸収装置２００は、脈動吸収器２０１と、その下流側に接続される圧力差発生器２４８より構成される。タンク６４には塗布液６６が蓄えられており、圧空源６８に連結されて任意の大きさの背圧を塗布液６６に付加することができる。タンク６４内の塗布液６６は、吸引ホース６２を通じてシリンジポンプ５０に供給される。シリンジポンプ５０では、シリンジ５２、ピストン５４が本体５６に取り付けられている。ここでピストン５４は図示しない駆動源によって上下方向に自在に往復動できる。シリンジポンプ５０は、一定の内径を有するシリンジ５２内に塗布液を充填し、それをピストン５４により押し出して、スリットノズル２０に基板Ａを一枚塗布する分だけ供給する定容量型のポンプである。シリンジ５２内に塗布液６６を充填するときは、吸引バルブ４４を開、供給バルブ４２を閉として、ピストン５４を下方に移動させる。またシリンジ５２内に充填された塗布液をスリットノズル２０に向かって供給するときは、吸引バルブ４４を閉、供給バルブ４２を開とし、ピストン５４を上方に移動させることで、ピストン５４でシリンジ５２内部の塗布液を押し上げて排出する。
【００２１】
脈動吸収装置２００を構成する圧力差発生器２４８は、圧力差発生器２４８の前後で圧力差が生じるものなら如何なるものを適用してもよく、供給ホース６０よりも小径の配管、塗布液の経路を局所的に任意の断面形状に変形させたもの、オリフィスを有するものなどが好ましい。さらに、塗布液６６の物性、塗布膜厚、シリンジポンプ５０の塗布液供給速度などの塗布条件が変わる場合には、圧力差発生器２４８により発生する圧力差が簡単に変更できるように、圧力差発生器２４８は、ニードルバルブ、ボールバルブ、ダイヤフラムバルブなどの圧力差調整が可能な手段を適用することが好ましい。この圧力差発生器２４８は、圧力差を塗布液６６やシリンジポンプ５０の塗布液供給速度に応じて適切に設定することで、脈動吸収器２０１による脈動の整流化を助長する作用がある。また、脈動吸収器２０１、圧力差発生器２４８からなる脈動吸収装置２００は、シリンジポンプ５０とスリットノズル２０の間に備えることはもちろんであるが、これらの下流側にフィルター４６を配することが好ましい。これは、万に一つでも脈動吸収装置２００内の脈動吸収器２０１や圧力差発生器２４８で異物やパーティクルが発生しても、これらの下流側にあるフィルターで除去できるからである。
【００２２】
なお制御信号にて動作するリニアモータ、モータ７２、塗布液供給装置４０、等はすべて制御装置１３０に電気的に接続されている。そして、制御装置に組み込まれた自動運転プログラムにしたがって制御指令信号が各機器に送信されて、あらかじめ定められた動作を行う。条件変更時は操作盤１３２に適宜変更パラメータを入力すれば、それが制御装置１３０に伝達されて、運転動作の変更が実現できる。特に塗布液供給装置４０の中では、シリンジポンプ５０、供給バルブ４２、吸引バルブ４４、が電気的に接続されており、制御装置１３０にその電気的信号をとりこんだり、制御装置１３０からの指令により、任意の動作をさせることができる。制御装置１３０を用いれば、塗液供給装置４０、上下昇降ユニット７０、ステージ６の動作を自在に制御できるので、塗布開始部、塗布終了部での塗布膜のプロファイル等が任意のものとなるよう各部分の動作を制御できる。
【００２３】
次に図２、３、４を見ると、脈動吸収装置２００を構成する脈動吸収器２０１の詳細構成が示されている。図２で脈動吸収器２０１は、本体Ａ２０２と本体Ｂ２０４の間に、その接触面形状が同じで、平面状の膜状体であるダイヤフラム２０６を挟み込んで、図示されていない締結手段で締結固定されている。本体Ａ２０２には塗布液６６が流れる流路である上流側流路２３６、中間流路２０８、下流側流路２３８が設けられている。上流側流路２３６、下流側流路２３８ともに、中間流路２０８の底壁面２３４で接続されており、その接続位置でそれぞれ流入口２１０、流出口２１２を形成している。中間流路２０８では塗布液６６はダイヤフラム２０６の膜面と接触し、中間流路２０８は１次室を構成している。すなわち、中間流路２０８はダイヤフラム２０６の平面である膜面に接する部分と定義される。流入口２１０は１次室である中間流路２０８に塗布液を上流側流路２３６から流入する入口、流出口２１２は１次室である中間流路２０８から塗布液を下流側流路２３８へ流出する出口である。また上流側流路２３６にはコネクターＡ２１８、下流側流路２３８にはコネクターＢ２２０を介してそれぞれホースやチューブが接続され、塗布液６６が上流側流路２３６に供給されて、流入口２１０、１次室である中間流路２０８、流出口２１２、下流側流路２３８の順に通過して、脈動吸収器２０１の下流側に配置された圧力差発生器２４８の方に流れていく。これから圧力差発生器２４８は流出口２１２の下流側に接続されているといえる。なお空気排除性より、流出口２１２及び下流側流路２３８は、流入口２１０及び上流側流路２３６より上側に配されることが好ましい。これによって、脈動吸収器２０１にコネクターＡ２１８を介して塗布液６６を供給開始する時に、上流側流路２１０、中間流路２０８、下流側流路２１２にある空気が、浮力により鉛直方向上方に移動するために容易に気液置換され、気泡が残留することなく塗布液が充填される。流出口２１２を流入口２１０より上側に配することによって、上流側流路２３６、１次室である中間流路２０８、下流側流路２３８に気泡が残留することがないので、気泡起因の塗布欠点の発生を防止することができる。
【００２４】
本体Ａ２０２とダイヤフラム２０６を介して逆側にある本体Ｂ２０４には、空気室２１４が設けられている。この空気室２１４は、ダイヤフラム２０６を介して中間流路２０８と相対面しており、空気等の気体が充填された２次室となる。ダイヤフラム２０６側から見た空気室２１４の形状は、ダイヤフラム２０６側から見た中間流路２０８の形状、すなわち図２のＸ−Ｘ断面図である図３で示される中間流路２０８の外形形状と略同一であることが、塗布液６６や空気のシール性から好ましい。図４でも、中間流路２０８と空気室２１４は、相対する面で略同一の形状であることが示されている。図２に示す空気室２１４の深さを表す長さＬ７は、必要とされる空気室２１４の容積から定めればよいが、好ましくは１ｍｍ以上、より好ましくは１０ｍｍ以上とする。空気室２１４は、導入路２１６を介して空気チューブ２２６、圧力調整器２２４、圧空源２２２に接続されている。この空気室２１４はダイヤフラム２０６で閉塞されているので、空気室２１４内には圧空源２２２から空気が送り込まれ、その圧力は圧力調整器２２４で任意の大きさに設定される。空気室２１４内の空気は、ダイヤフラム２０６を介して中間流路２０８内に充満している塗布液６６と相対することになる。ダイヤフラム２０６は塗布液６６側から作用する圧力により弾性変形する合成樹脂、合成ゴム等が好ましく、使用する塗布液に対する耐薬品性より、テフロン（登録商標）、ＰＥＴフィルム等が好ましく用いられる。ダイヤフラム２０６の厚さＴｄについては、作用する圧力に対する強度と弾性変形による脈動吸収効果から適切に選定することが求められ、好ましくは０．０１〜３ｍｍ、より好ましくは０．１〜２ｍｍである。
【００２５】
図３を見ると、ダイヤフラム２０６側から見た中間流路２０８の形状が示されている。また図４は図２のＹ−Ｙ断面図で、塗布液の流れ方向での中間流路２０８と空気室２１４の断面形状が示されている。図３、図４より中間流路２０８は、壁面Ｌ２３０Ａ〜Ｅ、壁面Ｒ２３２Ａ〜Ｅ、底壁面２３４から立体的に構成されていることがわかる。図３で示す、上流側流路２３６や下流側流路２３８のダイヤフラム２０６側から見た断面形状については、滞留が生じない形状であればいかなるものでもよいが、図３に示すように、加工性から直径Ｄの円形形状が好ましい。
【００２６】
図２、３で、１次室である中間流路２０８への塗布液の入口である流入口２１０の中心から、中間流路２０８からの出口である流出口２１２の中心へ向かう直線で、ダイヤフラム２０６の平面である膜面と平行になる直線が、塗布液流れ方向Ｊとなる。壁面Ｌ２３０Ａ〜Ｅ、壁面Ｒ２３２Ａ〜Ｅ、底壁面２３４と塗布液流れ方向Ｊのなす角度θは０〜３０度の範囲にあることが好ましい。この場合角度θがこの範囲にあると塗布液の流れの変化がゆるやかになって、塗布液が滞留する部分が生じないためである。
【００２７】
なお、ここで角度θは、塗布液流れ方向Ｊが直線、各壁面が面であるので、直線が面となす角度と定義される。すなわち角度θは、塗布液流れ方向Ｊを示す直線Ｉを含み、なおかつ各壁面と直交する平面Ｈ上で、平面Ｈと壁面との交線が直線Ｉとなす角度であって鋭角となる方の角度と定義される。
【００２８】
壁面が曲面で、平面Ｈと壁面との交線が曲線となる場合は、この曲線の各位置での接線と直線Ｉとがなす角度がθとなる。壁面Ｌ２３０Ａ〜Ｅ、壁面Ｒ２３２Ａ〜Ｅ、底壁面２３４と塗布液流れ方向Ｊが平行であるときは、当然ながら壁面Ｌ２３０Ａ〜Ｅ、壁面Ｒ２３２Ａ〜Ｅ、底壁面２３４と塗布液流れ方向Ｊのなす角度θはゼロとなる。
【００２９】
図３、図４では、中間流路２０８は、壁面Ｌ２３０Ａと壁面Ｒ２３２Ａ、並びに壁面Ｌ２３０Ｅと壁面Ｒ２３２Ｅ間の間隔Ｗ１を、流入口２１０や流出口２１２の直径Ｄや、上流側流路２３６、下流側流路２３８の断面直径Ｄと同じにし、壁面Ｌ２３０Ａ〜Ｅ、壁面Ｒ２３２Ａ〜Ｅの塗布液流れ方向Ｊの長さをそれぞれＬ１〜Ｌ５で定めているが、中間流路２０８の形状はもちろんこの形状だけに限定されるのではなく、中間流路２０８を構成する壁面や底壁面の塗布液流れ方向Ｊとなす角度が０〜３０度の範囲にあるなら、いかなる形状でもよい。したがって、底壁面２３４も、塗布液流れ方向Ｊとなす角度が複数ある複数個のものを連結して構成してもよい。また、壁面Ｌ２３０Ａ〜Ｅ、壁面Ｒ２３２Ａ〜Ｅについては、塗布液流れ方向Ｊに対して対称形となる複数の平面で構成されているが、非対称な複数の平面でもよいし、各々一つの連続な曲面で構成してもよい。一つの連続な曲面の場合は、上記したように曲面の各位置での接線と塗布液流れ方向Ｊとのなす角度が０〜３０度の範囲に入る曲面形状にする必要がある。
【００３０】
図４に示す中間流路２０８の深さＬ６の塗布液流れ方向Ｊに直交する断面形状は、塗布液が滞留することなく滑らかに流れるのであればいかなるものでもよいが、壁面Ｌ２３０Ｃと底壁面２３４、壁面Ｒ２３２Ｃと底壁面２３４等の交点となる角部にはＲを設けることがよく、好ましくは半径０．５〜５ｍｍのＲにする。深さＬ６は好ましくは１〜２０ｍｍ、より好ましくは２〜１０ｍｍとする。また滞留をなくし塗布液の流れを滑らかにするために、壁面と底壁面を一体化して半円筒面等の曲面にしてもよい。なお空気室２１４の塗布液流れ方向の断面形状は、長方形断面や中間流路と同じ断面形状など、いかなるものでもよい。なお、図３で示すダイヤフラム２０６側から見た１次室である中間流路の面積ＡDは、大きいほど塗布液がダイヤフラムに接触して脈動吸収効果が大きくなるが、大きすぎるとシリンジポンプ５０からの塗布液を送液したときに遅れが生じるため、好ましくは１００〜５０００ｍｍ2、より好ましくは５００〜２０００ｍｍ2とする。なお、本体Ａ２０２、本体Ｂ２０４は、金属、樹脂、セラミックス等いかなる材料で構成されてもよいが、耐薬品性、加工容易性、コストからステンレス鋼を用いることが好ましい。
【００３１】
次にこの脈動吸収装置２００の脈動吸収作用について説明する。
脈動吸収器２０１の上流側流路２３６、中間流路２０８、下流側流路２３８に塗布液６６を充満して流すと、これらの脈動吸収器２０１の下流側にある圧力差発生器２４８で発生する塗布液６６の圧力がダイヤフラム２０６に伝えられる。ダイヤフラム２０６の空気室２１４側には空気による圧力が作用しているので、塗布液６６による圧力と空気圧力の差圧分だけダイヤフラム２０６が変形する。空気圧力を塗布液６６の圧力よりも小さくすると、空気室２１４側にダイヤフラムが変形し、圧縮性である空気室２１４の空気の容積を小さくする。ところで塗布液６６の流れに脈動があると、それは圧力変動になる。したがって塗布液の流れに脈動があると、それに伴う圧力変動によってダイヤフラムが変形し、変動分だけ空気室２１４内の空気の容積が変化し、その緩衝効果により塗布液の圧力変動が緩和される。
【００３２】
図５は脈動吸収装置２００の有無と脈動による圧力変動の関係示している。図５より、破線で示す脈動吸収装置２００がない場合の鋭く鋸歯状に変化する圧力変動が、脈動吸収装置２００を使用すると実線に示すような圧力変動となる。すなわち、脈動吸収器の緩衝効果によって、圧力変動に時間遅れが生じるとともに、変動の絶対値が若干減少して、鋭く鋸歯状に変化する部分が丸みを帯びてなだらかに変化する圧力変動となる。塗布して横ダンとなるのは鋸歯状に鋭く変化する圧力変動であり、脈動吸収器２０１を通過して鋸歯部分がなめらかになった圧力変動では、流量がなめらかに変動するために横ダンとならない。なお、塗布液６６の圧力よりも空気室２１４の空気の圧力の大きさを小さくし、その差が大きいほど、ダイヤフラムが大きく変形し、空気容積の変化も大きくなることから、緩衝効果は高くなる。
【００３３】
したがって、緩衝効果によって横ダンを発生しにくくするには、空気室２１４を大気圧にするとともに、脈動吸収器２０１の下流側に設ける圧力差発生器２４８によって脈動吸収器２０１内の塗布液６６に作用する圧力を高くする。圧力差発生器２４８で脈動吸収器２００内の塗布液に作用する圧力は、好ましくは０．０１〜０．３ＭＰａ、より好ましくは０．０５〜０．１５ＭＰａとする。０．０１ＭＰａよりも小さいとダイヤフラム２０６の変形が小さいために、空気室２１４の容積変化も小さくなって緩衝効果がなく、脈動吸収に役立たない。逆に０．３ＭＰａよりも大きいと、ダイヤフラム２０６の変形が大きくて空気室２１４の容積変化も大きくなり緩衝効果は抜群であるが、時間遅れが大きくなり、特に塗布開始部では、ポンプからの塗布液供給速度がなかなか設定値に到達せず、開始部が薄膜塗布になり、所望の塗布方向の膜厚均一性がえられない不都合が生じる。また脈動吸収器２０１内で塗布液６６が流れる上流側流路２３６、中間流路２０８、下流側流路２３８には、塗布液６６が滞留する箇所がないので、塗布液の滞留によって凝集物等の異物が発生することがなく、そのため滞留による塗布欠点なしに脈動に対して緩衝効果を発揮して、横ダンの発生をなくすことができる。
なお空気室２１４には、空気ではなく、Ｎ２、アルゴン等の不活性ガスで任意の圧力を付加してもよい。
【００３４】
次に以上の脈動吸収装置２００を用いて脈動吸収作用のあるスリットコータ１での枚葉塗布に適用する時の塗布方法について詳述する。    
まずスリットコータ１の各動作部の原点復帰が行われると、各可動部はスタンバイ位置に移動する。すなわち、ステージ６は図１の左端部（破線で示す位置）、スリットノズル２０は最上部に移動するとともに、拭き取りユニット９０はトレイ１００がスリットノズル２０の下部位置にくるよう移動する。ここで、タンク６４〜スリットノズル２０まで、脈動吸収装置２００も含めて塗布液６６はすでに充満されており、スリットノズル２０内部の残留エアーを排出する作業も既に終了している。この時の塗布液供給装置４０の状態は、シリンジ５２に塗布液６６が充填、吸引バルブ４４は閉、供給バルブ４２は開、そしてピストン５４は最下端の位置にあり、いつでも塗布液６６をスリットノズル２０に供給できるようになっている。また圧力差発生器２４８は塗布時に適正な圧力が発生するように設定が行われており、脈動吸収器２０１の空気室２１４に供給する空気の圧力も、圧力差発生器２４８で塗布液に設定される圧力よりも小さい最適値に設定されている。
【００３５】
最初に、ステージ６の表面に図示しないリフトピンを上昇させ、図示しないローダから基板Ａがリフトピン上部に載置される。次にリフトピンを下降させて基板Ａをステージ６上面に載置し、同時に吸着保持する。これと並行して塗布液供給装置４０を稼働させて、スリットノズル２０の吐出口３４付近を完全に塗布液でみたす、すなわち初期化するために、あらかじめ決めていた量の塗布液６６を、シリンジポンプ５０からスリットノズル２０に供給し、塗布液６６をスリットノズル２０からトレイ１００に向かって吐出する。塗布液６６の供給停止後、拭き取りヘッド９２をスリットノズル２０の吐出口３４の真下の位置にくるよう拭き取りユニット９０を移動させる。そして、スリットノズル２０を下降させてスリットノズル２０の吐出口面３６を拭き取りヘッド９２に係合後、拭き取りヘッド９２をスリットノズル２０長手方向に摺動させて、スリットノズル２０の吐出口３４付近をスリットノズル長手方向にわたって清掃する。清掃完了後、拭き取りユニット９０はもとの場所（図１の右端）に復帰する。
【００３６】
拭き取りユニット９０が基台２の右端部に移動したのを確認したら、基板Ａを載置したステージ６の移動を開始する。この時スリットノズル２０は上下方向には、塗布が行われる位置よりもはるか上方の拭き取り位置にあり、一方シリンジポンプ５０は停止して、待機している。そして基板Ａが厚さセンサー１２０下を通過する時に基板厚さを測定し、基板Ａの塗布開始部がスリットノズル２０の吐出口３４の真下に達したら、ステージ６を停止させる。この時、測定した基板Ａの厚さデータを用い、上下昇降ユニット７０を駆動して、スリットノズル２０の吐出口面３６と基板Ａ間のすきま、すなわちクリアランスがあらかじめ定めた値になるようスリットノズル２０を下降させる。そしてシリンジポンプ５０を駆動して、塗布液６６をスリットノズル２０から吐出開始する。一定の待機時間後に、ビードＢが所定の大きさに成長してから、ステージ６を所定の速度で移動開始し、塗布液６６の基板Ａへの塗布を始めて、塗布膜Ｃを形成する。
【００３７】
そして、基板Ａの塗布終了位置より少し手前の位置がスリットノズル２０の吐出口３４の真下にきたら、ピストン５４を停止させて塗布液６６の供給を停止し、つぎに基板Ａの塗布終了位置がスリットノズル２０の吐出口３４の真下に来たときに、上下昇降ユニット７０を駆動して、スリットノズル２０を上昇させる。これによって基板Ａとスリットノズル２０の間に形成されたビードＢが断ち切られ、塗布が終了する。
【００３８】
そのあいだもステージ６は動作を継続し、終点位置にきたら停止し、基板Ａの吸着を解除してリフトピンを上昇させて基板Ａを持ち上げる。この時図示されないアンローダによって基板Ａの下面が保持され、次の工程に基板Ａを搬送する。基板Ａをアンローダに受け渡したら、ステージ６はリフトピンを下降させ原点位置に復帰する。ステージ６の原点位置復帰後、拭き取りユニット９０を、トレイ１００がスリットノズル２０の吐出口３４の下部に配置するよう移動させる。
【００３９】
移動完了後、吸引バルブ４４を開、供給バルブ４２を閉として、ピストン５４を下降させて、塗布液６６をシリンジ５２内に充填する。充填完了後、ピストン５４を停止させ、吸引バルブ４４を閉、供給バルブ４２を開として、次の基板Ａが来るのを待ち、同じ動作をくりかえす。
【００４０】
なお本発明が適用できる塗布液としては粘度が１〜１００mPaS、より望ましくは１〜５０mPaSであり、ニュートニアンであることが塗布性から好ましいが、チキソ性を有する塗液にも適用できる。とりわけ溶剤に揮発性の高いもの、たとえばＰＧＭＥＡ、酢酸ブチル、乳酸エチル等を使用している塗布液を塗布するときに有効である。具体的に適用できる塗布液の例としては、上記にあげたカラーフィルター用のブラックマトリックス、ＲＧＢ色画素形成用塗布液の他、レジスト液、オーバーコート材、柱形成材料等がある。基板である被塗布部材としてはガラスの他にアルミ等の金属板、セラミック板、シリコンウェハー等を用いてもよい。さらに使用する塗布状態と塗布速度が１０ｍｍ／ｓ〜３００ｍｍ／ｓ、より好ましくは１００ｍｍ／ｓ〜２５０ｍｍ／ｓ、スリットノズルのリップ間隙は５０〜１０００μｍ、より好ましくは８０〜２００μｍ、塗布厚さがウェット状態で１〜５０μｍ、より好ましくは２〜２０μｍである。
【実施例】
【００４１】
実施例１
１１００×１３００ｍｍで厚さ０．７ｍｍの無アルカリガラス基板を洗浄後に、スリットコータ１を用いて塗布をした。スリットノズルは吐出口の長手方向長さが１１００ｍｍ、スリットの間隙が１００μｍで、基板に１１００ｍｍ幅の塗布膜が形成できるものであり、１１００ｍｍの短辺側を基板幅方向とし、１３００ｍｍの長辺方向を塗布方向とした。圧力差発生器２４８には、ニードルバルブを用いた。さらに脈動吸収器２０１については、本体Ａ２０２、本体Ｂ２０４、ダイヤフラムとも外形が図３のＷ×Ｌ＝５０ｍｍ×１３０ｍｍの形状を有するものであった。本体Ａ２０２中の上流側流路２３６、下流側流路２３８については、図３に示される塗布液流れ方向に直角な断面を直径Ｄ＝φ４ｍｍの円形とした。これによって、流入口２１０、流出口２１２ともに直径４ｍｍの円形となる。また本体Ａ２０２中に設けられた中間流路２０８については、図３に示されるＷ１＝４ｍｍ、Ｗ２＝２０ｍｍ、Ｌ１=Ｌ５＝１０ｍｍ、Ｌ２=Ｌ４＝３０ｍｍ、Ｌ３＝３０ｍｍ、図４に示される深さＬ６＝６ｍｍで、壁面と底壁面との交点である角部には曲率半径１ｍｍのＲを設けた。これによって、壁面Ｌ２３０Ｂ、Ｄ、壁面Ｒ２３２Ｂ、Ｄと塗布液流れ方向Ｊとのなす角度は１５度、その他の壁面、底壁面２３４と塗布液流れ方向Ｊとのなす角度は０度となった。またダイヤフラム２０６には、厚さ１ｍｍのテフロン（登録商標）膜を使用した。空気室２１４は、ダイヤフラム２０６側から見た形状を中間流路２０８の形状と全く一致させ、図４の深さＬ７＝５ｍｍにした。
【００４２】
次に塗布液は液晶ＴＦＴ製造に用いられるポジレジストで、固形分濃度１５％、粘度が５mPaSであった。この塗布液を真空乾燥後の厚さが２．０μｍ、すなわち塗布時の膜厚で１３．３μｍになるように、スリットノズル〜基板間のクリアランス１００μｍ、塗布速度１００ｍｍ／ｓで塗布をした。この時のシリンジポンプによる供給速度は１４６３μｌ／ｓであり、この供給速度の時に、０．１ＭＰａの圧力差を生じるようにニードルバルブを調整した。また空気室２１４の圧力は大気圧とし、圧空源は接続しなかった。塗布前にあらかじめシリンジポンプの供給速度むらを圧力計で測定したところ、５Ｈｚの周期で１％の圧力変動が生じていることを確認した。以上の設定条件で塗布液を基板全面に塗布をし、塗布した基板は３０秒で６５Ｐａに到達する真空乾燥を６０秒行ってから、１００℃のホットプレートで１０分間さらに乾燥した。このようにして塗布・乾燥した１００枚の基板をＮａ灯の反射で観察したところ、塗布方向に周期性のある横ダンは検知されなかった。
【００４３】
比較例１
脈動吸収装置２００を用いない他は、全く実施例１と同じ条件で塗布、乾燥を行った。塗布・乾燥した１００枚の基板をＮａ灯の反射で観察したところ、全数で塗布方向に３０ｍｍピッチ（５Ｈｚに相当）の横ダンが全面に検知された。
【００４４】
実施例２
圧力差発生器２４８であるニードルバルブによる圧力差設定を０．００８〜０．３５まで変えた他は、実施例１とまったく同じ条件で塗布を行い、各圧力差での横ダンの発生状況と、塗布方向の膜厚均一性を表１にまとめた。ここで膜厚均一性は塗布方向に基板両端部から１０ｍｍを除外した範囲で、塗布膜の最大膜厚から最小膜厚の差をとってそれを平均膜厚の２倍で除したもので表すことにし、パーセント表示をした。ニードルバルブによる圧力差が大きいほど塗布開始部の膜厚が薄くなる傾向にあったが、ニードルバルブによる圧力差が０．０１〜０．３ＭＰａの範囲にあるときに、横ダンがなく、５％という膜厚均一性の許容値を満たした。
【００４５】
【表１】
2008075537.tif 000003
【００４６】
実施例３
Ｌ２＝Ｌ４＝１４ｍｍとして、壁面Ｌ２３０Ｂ、Ｄ、壁面Ｒ２３２Ｂ、Ｄと塗布液流れ方向Ｊとのなす角度を３０度とした他は、実施例１と全く同じ条件で塗布を行った。塗布した１００枚の基板を同じようにＮａ灯の反射で観察したところ、塗布方向に周期性のある横ダンは検知されなかった。塗布終了後に溶剤であるＰＧＭＥＡを、塗液供給装置４０のタンク６４にいれてスリットノズル２０に向けて１０Ｌ流して、塗液供給装置４０とスリットノズル２０の洗浄を行った。終了後に脈動吸収器２０１を分解して、１次室である中間流路２０８を観察したところ、透明色のＰＧＭＥＡと飴色のポジレジストは完全に入れ替わっていて、滞留部分がないことが確認された。
【００４７】
比較例２
Ｌ２＝Ｌ４＝１１ｍｍとして、壁面Ｌ２３０Ｂ、Ｄ、壁面Ｒ２３２Ｂ、Ｄと塗布液流れ方向Ｊとのなす角度を３６度とした他は、実施例３と全く同じ条件で塗布と、塗布終了後の洗浄を行った。塗布した１００枚の基板に塗布方向に周期性のある横ダンは検知されなかったが、洗浄終了後に脈動吸収器２０１を分解したところ、１次室である中間流路２０８の壁面Ｌ２３０Ｂ、Ｄ、壁面Ｒ２３２Ｂ、Ｄに、飴色のポジレジストが一部残っていて、ＰＧＭＥＡは完全に入れ替わっておらず、滞留部分があることが確認された。  
【００４８】
比較例３
壁面Ｌ２３０Ａ〜Ｅ、壁面Ｒ２３２Ａ〜Ｅを、図６に示すように共通の直径３５ｍｍの円筒面にした他は、実施例３と全く同じ条件で塗布と、塗布終了後の洗浄を行った。塗布した１００枚の基板に塗布方向に周期性のある横ダンは検知されなかったが、洗浄終了後に脈動吸収器２０１を分解したところ、壁面である円筒面全周にわたって飴色のポジレジストが一部残っており、特に流入口２１０と流出口より遠くなるにしたがって、残留ポジレジストが多く、
滞留部分がはなはだしくあることが確認された。  
【００４９】
実施例４
本発明のスリットコータ１を用いてカラーフィルターを製造した。
スリットノズルは、吐出口の長手方向長さが１１００ｍｍ、スリットの間隙が１００μｍで、基板に１１００ｍｍ幅の塗布膜が形成できるものであった。圧力差発生器２４８、脈動吸収器２０１には、実施例１と全く同じものを使用した。ただし、脈動吸収器２０１の空気室２１４の圧力設定は０．０２ＭＰａにした。
【００５０】
まず、１１００×１３００ｍｍで厚さ０．７ｍｍの無アルカリガラス基板を洗浄後に、短辺側をスリットノズル長手方向として、ブラックマトリックス塗布液を厚さ１０μｍ、スリットノズルと基板との間のクリアランス１００μｍで、１５０ｍｍ／ｓにて塗布した。シリンジポンプによるポンプ供給速度は１６５０μｌ／ｓであり、このときに圧力差発生器であるニードルバルブでの差圧が０．１ＭＰａになるように調整した。なお塗布したブラックマトリックス塗布液には、チタン酸窒化物を遮光材、アクリル樹脂をバインダー、ＰＧＭＥＡを溶剤にそれぞれ用い、固形分濃度を１０％、粘度を４mPaSに調整した感光性のものを用いた。塗布のタクトタイムは６０秒であった。さて、塗布した基板は３０秒で６５Ｐａに到達する真空乾燥を６０秒行ってから、１００℃のホットプレートで１０分間さらに乾燥した。ついで露光・現像・剥離を行った後、２６０度のホットプレートで３０分加熱して、キュアを行い、基板の幅方向にピッチが２５４μｍ、基板の長手方向にピッチが８５μｍ、線幅が２０μｍとなる格子形状で、厚さが１μｍとなるブラックマトリックス膜を作成した。なお、乾燥後の格子模様形成前の状態で塗布厚さを測定したところ、端部の１０ｍｍを除いて、基板走行方向、幅方向とも±３％以下の膜厚むらであった。横ダンは全く検知されなかった。
【００５１】
次にウェット洗浄後、Ｒ色用塗布液を厚さ２０μｍ、スリットノズルと基板との間のクリアランス１００μｍ、塗布速度１５０ｍｍ／ｓで塗布をした。Ｒ色用塗布液はアクリル樹脂をバインダー、ＰＧＭＥＡを溶媒、ピグメントレッド１７７を顔料にして固形分濃度１０％で混合し、さらに粘度を５mPaSに調整した感光性のものであった。このときのシリンジポンプによるポンプ供給速度は３３００μｌ／ｓであり、この供給速度の時にニードルバルブによる圧力差が０．１ＭＰａになるようにニードルバルブを調整した。２０μｍの塗布膜を塗布した基板は、３０秒で６５Ｐａに到達する真空乾燥を６０秒行ってから、１００℃のホットプレートで１０分間さらに乾燥した。ついで露光・現像・剥離を行って、Ｒ画素部にのみ厚さ２μｍのＲ色塗膜を残し、２６０度のホットプレートで３０分加熱して、キュアを行なった。つづいてブラックマトリックス、Ｒ色の塗膜を形成した基板に、Ｇ色用塗布液を厚さ２０μｍ、スリットノズルと基板との間のクリアランス１００μｍ、塗布速度１５０ｍｍ／ｓで塗布をした。シリンジポンプによるポンプ供給速度は３３００μｌ／ｓであり、このときに圧力差発生器であるニードルバルブでの差圧が０．１ＭＰａになるようにニードルバルブを調整した。２０μｍの塗布膜を塗布した基板は、３０秒で６５Ｐａに到達する真空乾燥を６０秒行ってから、１００℃のホットプレートで１０分間さらに乾燥した。ついで露光・現像・剥離を行って、Ｇ色画素部にのみ厚さ２μｍのＧ色塗膜を残し、２６０度のホットプレートで３０分加熱して、キュアを行なった。さらにブラックマトリックス、Ｒ色、Ｇ色の塗膜を形成した基板に、Ｂ色用塗布液を厚さ２０μｍ、スリットノズルと基板との間のクリアランス１００μｍ、塗布速度１５０ｍｍ／ｓで塗布をした。シリンジポンプによるポンプ供給速度は３３００μｌ／ｓであり、このときに圧力差発生器であるニードルバルブでの差圧が０．１ＭＰａになるようにニードルバルブを調整した。２０μｍの塗布膜を塗布した基板は、３０秒で６５Ｐａに到達する真空乾燥を６０秒行ってから、１００℃のホットプレートで１０分間さらに乾燥した。ついで露光・現像・剥離を行って、Ｂ色画素部にのみ厚さ２μｍのＢ色塗膜を残し、２６０度のホットプレートで３０分加熱して、キュアを行なった。なお、Ｇ色用塗布液はＲ色用塗布液で顔料をピグメントグリーン３６にして固形分濃度１０％で粘度を５mPaSに調整したもの、Ｂ色用塗布液にはＲ色用塗布液で顔料をピグメントブルー１５にして固形分濃度１０％で粘度を５mPaSに調整したものであった。Ｒ、Ｇ、Ｂ色塗布時のタクトタイムはいずれも６０秒であった。なお、塗布品位は各色とも申し分のないもので、横ダンは全くなく、膜厚分布についても乾燥後、各色とも測定したところ、端部１０ｍｍを除外して塗布方向、幅方向とも±３％以下の変動しかなく、良好であった。
【００５２】
そして最後にＩＴＯをスパッタリングで付着させた。この製造方法にて、１０００枚のカラーフィルターを作成した。得られたカラーフィルターは、基板端部から１５ｍｍをのぞいた製品領域で塗布むらがなく、色度も均一で横ダンもなく、品質的に申し分ないものであった。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明に係る脈動吸収装置を含むスリットコータ１の概略正面図である。
【図２】本発明になる脈動吸収器の概略正面断面図である。
【図３】図２の一方向からのＸ−Ｘ断面図である。
【図４】図２の別の方向からのＹ−Ｙ断面図である
【図５】脈動吸収装置有無時の圧力変動を示す圧力−時間線図である。
【図６】本発明になる脈動吸収器の一実施例の概略側面断面図である。
【符号の説明】
【００５４】
１  スリットコータ
２  基台
４  ガイドレール
６  ステージ
１０  門型ガントリー
２０  スリットノズル（塗布器）
２２  フロントリップ
２４  リアリップ
２６  マニホールド
２８  スリット
３２  シム
３４  吐出口
３６  吐出口面
３８  斜面
４０  塗布液供給装置
４２  供給バルブ
４４  吸引バルブ
４６  フィルター
５０  シリンジポンプ
５２  シリンジ
５４  ピストン
５６  本体    
６０  供給ホース
６２  吸引ホース
６４  タンク
６６  塗布液
６８  圧空源             
７０  上下昇降ユニット
７２  モータ
７４  ガイド
７６  ボールネジ
７８  昇降台
８０  吊り下げ保持台
９０  拭き取りユニット
９２  拭き取りヘッド
９４  ブラケット
９６  スライダー
９８  駆動ユニット
１００  トレイ
１０２  台車
１２０  厚さセンサー
１２２  支持台  
１３０  制御装置
１３２  操作盤
２００  脈動吸装置
２０１  脈動吸収器
２０２  本体Ａ
２０４  本体Ｂ
２０６  ダイヤフラム
２０８  中間流路
２１０  流入口
２１２  流出口
２１４  空気室
２１６  導入路
２１８  コネクターＡ
２２０  コネクターＢ
２２２  圧空源
２２４  圧力調整器
２２６  空気チューブ
２３０Ａ〜Ｅ  壁面Ｌ
２３２Ａ〜Ｅ  壁面Ｒ
２３４  底壁面
２３６  上流側流路
２３８  下流側流路
２４８  圧力差発生器    
Ａ  基板（被塗布部材）
Ｂ  ビード
Ｃ  塗布膜
Ｄ  上流側流路、下流側流路の直径
Ｊ  塗布液流れ方向
Ｌ  長さ
Ｌ１〜Ｌ７  長さ
Ｔｄ  ダイヤフラム２０６の厚さ
Ｗ  長さ
Ｗ１、Ｗ２  長さ
θ  壁面と塗布液流れ方向とのなす角度
【図１】
2008075537.tif 000004
【図２】
2008075537.tif 000005
【図３】
2008075537.tif 000006
【図４】
2008075537.tif 000007
【図５】
2008075537.tif 000008
【図６】
2008075537.tif 000009