(57)【要約】【課題】洗浄装置の効率を極大化することができる、共振を利用し、より微細な汚染源を除去し得る超音波洗浄装置を提供する。【解決手段】ガラス表面に付着された異物を除去するために、ブロワーからエアを受け、スロット状のエア噴射口を通じて前記ガラス表面にエアを噴射するエア供給部；前記エア供給部から噴射されるエアに超音波を発生させることで、前記噴射されるエアに振動を印加する超音波発生装置；前記振動を受けたエアが噴射されて前記ガラスに付着された異物を除去する際に、前記ガラスと異物間の静電気発生を防止するイオナイザ；及び前記エア供給部から噴射されたエアと前記エアにより除去された異物とを排出装置により吸いこみ、エア吸入口を通じて排出するエア吸入部；を含んでなる。【選択図】図１
2008184380.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
超音波を利用して、フラットパネルディスプレイのガラス表面に付着された異物を除去するための共振を利用した超音波洗浄装置において、
前記ガラス表面に付着された異物を除去するために、ブロワーからエアを受け、スロット状のエア噴射口を通じて前記ガラス表面にエアを噴射するエア供給部；
前記エア供給部から噴射されるエアに超音波を発生させることで、前記噴射されるエアに振動を印加する超音波発生装置；
前記振動を受けたエアが噴射されて前記ガラスに付着された異物を除去する際に、前記ガラスと異物間の静電気発生を防止するイオナイザ；及び
前記エア供給部から噴射されたエアと前記エアにより除去された異物とを排出装置により吸いこみ、エア吸入口を通じて排出するエア吸入部；を含んでなることを特徴とする、共振を利用した超音波洗浄装置。
【請求項２】
前記超音波発生装置は、一定角度の傾きに両側に一対ないし多数対で設置され、前記超音波発生装置から超音波が発生するとき、前記両側で発生した超音波が下端の一点に集中して前記超音波洗浄装置全体に超音波による振動を印加することを特徴とする、請求項１に記載の共振を利用した超音波洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は超音波を利用してフラットパネルディスプレイのガラス表面に付着した異物を除去するための超音波洗浄装置に係り、より詳しくは、超音波を発生する超音波発生装置を両側に一定角度で傾かせて設置し、前記両側に設置された超音波発生装置から超音波を発生して一点に集中させることで、前記超音波の波長を極大化することができ、前記超音波を前記洗浄装置の下端の底面一点に集中させるとともに前記洗浄装置の底面全体に広げて、前記洗浄装置の底面全体が超音波を発生して前記フラットパネルディスプレイ用ガラスに超音波を発生することにより、洗浄効果を極大化することができる共振を利用した超音波洗浄装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、フラットパネルディスプレイ（Ｆｌａｔ Ｐａｎｅｌ Ｄｉｓｐｌａｙ；ＦＰＤ）の製造工程は、ＦＡＢ内に浮遊するパーティクルのみならず、有機物、金属イオン、酸化物などの汚染物質と、装備からの汚染、工程進行中の反応物、または生成物による汚染など、多様な汚染物質がフラットパネルディスプレイ用ガラス表面に付着するが、このような汚染物質が除去されない場合には、製品の不良を引き起こし得るので、多くの工程段階を経る段階でガラス表面をきれいに維持するようにするものである。しかし、回路が微細化して素子が超高集積化するに従い、従来はあまり重要に思わなかった０．１μｍ程度の非常に小さな汚染源なども製品の性能に大きな影響を及ぼすことになるため、汚染源の除去のための洗浄技術の重要性も日増しに増大している。
【０００３】
前記のような洗浄技術としては、噴射されるエアに超音波を付与することでガラス表面に付着された汚染物質を除去する超音波洗浄装置が利用されてきた。このような超音波洗浄装置は、その使用する音波の周波数によって、超音波（ｕｌｔｒａｓｏｎｉｃ）洗浄装置とメガソニック（ｍｅｇａｓｏｎｉｃ）洗浄装置とに分類することができる。
【０００４】
しかし、従来の超音波を利用した超音波洗浄装置は、超音波発生装置を前記洗浄装置内に垂直に設置して形成し、前記超音波発生装置の直進性により前記超音波発生装置が形成された部分にだけ超音波発生による振動が印加されるため、前記ガラス表面に付着された汚染物質が除去されない死角領域が発生することがある。そして、これにより、前記ガラス表面に付着した汚染物質が十分に除去されず、その結果、製品の不良を引き起こす問題点が発生した。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は前記のような問題点を解決するためになされたもので、超音波を発生する一対ないし多数対の超音波発生装置を両側に傾けて設置し、前記両側に形成された超音波発生装置から超音波を発生させて洗浄装置の下端の一点に集中させ、前記洗浄装置の下端底面全体に超音波を広げて広い空間に超音波を発生することで、下端に位置するガラスに超音波を伝達し、前記洗浄装置から超音波を受けたエアがガラス表面に噴射されるとともに噴射されるガラスの広い面に超音波を印加して前記洗浄装置の効率を極大化することができる共振を利用した超音波洗浄装置を提供することにその目的がある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明は、超音波を利用して、フラットパネルディスプレイのガラス表面に付着する異物を除去するための共振を利用した超音波洗浄装置において、前記ガラス表面に付着された異物を除去するために、ブロワーからエアを受け、スロット状のエア噴射口を通じて前記ガラス表面にエアを噴射するエア供給部；前記エア供給部から噴射されるエアに超音波を発生させることで、前記噴射されるエアに振動を印加する超音波発生装置；前記振動を受けたエアが噴射されて前記ガラスに付着された異物を除去する際に、前記ガラスと異物間の静電気発生を防止するイオナイザ；及び前記エア供給部から噴射されたエアと前記エアにより除去された異物とを排出装置により吸いこみ、エア吸入口を通じて排出するエア吸入部；を含んでなることを特徴とする、共振を利用した超音波洗浄装置を提供する。
【０００７】
前記超音波発生装置は、一定角度でもって傾いて両側に一対ないし多数対で設置され、前記超音波発生装置から超音波が発生するとき、前記両側で発生した超音波が下端の一点に集中し、前記超音波洗浄装置全体に超音波による振動を印加することができる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明は、超音波を発生する一対ないし多数対の超音波発生装置を両側に傾けて設置し、前記両側に形成された超音波発生装置から超音波を発生させて洗浄装置の下端一点に集中させ、前記洗浄装置の下端底面全体に超音波を広げることで、前記洗浄装置全体で超音波を発生させることができ、これにより前記洗浄装置から噴射されるエアはもちろんガラスに超音波を印加して、前記ガラス表面に付着した異物の除去効率を極大化することができる効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明を具体的に説明するために添付図面を参照して詳細に説明する。
図１は本発明による共振を利用した超音波洗浄装置の斜視図、図２は本発明による共振を利用した超音波洗浄装置の断面図、図３は本発明による共振を利用した超音波洗浄装置の底面図である。
【００１０】
図１、図２及び図３に示すように、本発明の共振を利用した超音波洗浄装置は、上端にエア供給部１００を設け、ガラス表面に付着する異物を除去するために、ブロワーによりエアを受け、前記洗浄装置の下端に形成されたスロット状のエア噴射口１１０を通じて前記ガラス表面にエアを噴射することで異物を除去し、前記エア供給部１００から噴射されるエアは、前記洗浄装置の両側に一定角度の傾きで傾いて設置された一対ないし多数対の超音波発生装置２００から発生した超音波によって振動を受けてガラス表面に噴射される。
【００１１】
また、前記超音波発生装置２００の下端にはイオナイザ３００を設けることにより、前記振動を受けたエアが噴射されて前記ガラスに付着された異物を除去する際に、電気的中和により前記ガラスと異物間の静電気発生を防止する。前記エア供給部１００から噴射されるエアと前記エアによりガラス表面から除去される異物は、ガラスの上端に設けられたエア吸入部４００を通じて排出される。前記エア吸入部４００は、下端に形成されたエア吸入口４１０を通じて前記噴射されたエアと除去された異物を前記洗浄装置の内部に吸いこみ、エア排出口４２０、４３０を通じて外部に排出し、前記外部に連結された排出装置により、前記排出されたエアと異物を排出するように構成される。
【００１２】
前記超音波発生装置２００は一対ないし多数対が両側に傾いて設置される、前記両側に設置された超音波発生装置２００から超音波が発生されれば、前記超音波は洗浄装置の下端一点に集中し、前記集中された超音波は洗浄装置の下端底面の全体に広がって、前記洗浄装置全体に超音波を発生することになる。これにより、前記エア供給部１００から噴射されるエアとガラス表面に超音波による振動を印加することで、ガラスの洗浄効果を極大化させることができる。
【００１３】
以上、本発明による好ましい実施例を説明したが、本発明は前記のような実施例に限定されず、特許請求範囲で請求する本発明の範疇を逸脱することなしに、本発明が属する分野で通常の知識を持った者であれば誰でも多様な変更実施が可能であろう。
【産業上の利用可能性】
【００１４】
本発明は、超音波を利用してフラットパネルディスプレイのガラス表面に付着された異物を除去するための超音波洗浄装置に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明による共振を利用した超音波洗浄装置の斜視図である。
【図２】本発明による共振を利用した超音波洗浄装置の断面図である。
【図３】本発明による共振を利用した超音波洗浄装置の底面図である。
【符号の説明】
【００１６】
１００    エア供給部
１１０    エア噴射口
２００    超音波発生装置
３００    イオナイザ
４００    エア吸入部
４１０    エア吸入口
４２０、４３０    エア排出口
【図１】
2008184380.tif 000003
【図２】
2008184380.tif 000004
【図３】
2008184380.tif 000005