(57)【要約】【課題】高い信頼性、及び高い生産性を確保することが可能な光源装置、及びその光源装置を用いるプロジェクタを提供すること。【解決手段】レーザ光を供給する光源部と、光源部からのレーザ光の波長を変換する波長変換素子であるＳＨＧ素子１２と、弾性力を用いて基板に対して波長変換素子を固定する固定部と、を有し、固定部は、バネ力を用いて基板に対して波長変換素子を固定する板バネ部１３を備え、波長変換素子は、基板側に設けられた第１面２１と、第１面２１とは反対側に設けられた第２面２２と、を備え、板バネ部１３は、第２面２２においてバネ力を付加する。【選択図】図５
2008159850.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光を供給する光源部と、
前記光源部からの前記レーザ光の波長を変換する波長変換素子と、
弾性力を用いて基板に対して前記波長変換素子を固定する固定部と、を有することを特徴とする光源装置。
【請求項２】
前記固定部は、バネ力を用いて前記基板に対して前記波長変換素子を固定する板バネ部を備えることを特徴とする請求項１に記載の光源装置。
【請求項３】
前記波長変換素子は、前記基板側に設けられた第１面と、前記第１面とは反対側に設けられた第２面と、を備え、
前記板バネ部は、前記第２面においてバネ力を付加することを特徴とする請求項２に記載の光源装置。
【請求項４】
前記板バネ部は、前記第２面の中心部においてバネ力を付加することを特徴とする請求項３に記載の光源装置。
【請求項５】
前記板バネ部は、前記第２面のうち前記中心部以外の部分においてバネ力を付加することを特徴とする請求項４に記載の光源装置。
【請求項６】
前記板バネ部は、前記第２面の前記中心部に対応する部分の幅が、前記中心部以外の部分に対応する部分より狭い形状を備えることを特徴とする請求項５に記載の光源装置。
【請求項７】
前記板バネ部は、前記第２面の略全面においてバネ力を付加することを特徴とする請求項５に記載の光源装置。
【請求項８】
前記波長変換素子は、前記基板側に設けられた第１面と、前記第１面とは反対側に設けられた第２面と、前記光源部からのレーザ光を入射させる入射面と、前記波長変換素子を透過させたレーザ光を出射させる出射面と、前記第１面、前記第２面、前記入射面及び前記出射面以外の面であって互いに対向する側面と、を備え、
前記板バネ部は、前記側面においてバネ力を付加することを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の光源装置。
【請求項９】
前記波長変換素子は、前記光源部からのレーザ光を入射させる入射面と、前記波長変換素子を透過させたレーザ光を出射させる出射面と、を備え、
前記板バネ部は、前記入射面のうちレーザ光を入射させる領域以外の領域、及び前記出射面のうちレーザ光を出射させる領域以外の領域の少なくとも一方において、前記波長変換素子を嵌合させる嵌合部を備えることを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載の光源装置。
【請求項１０】
前記嵌合部は、前記基板側の端部へ向かうに従い漸次広がりを持たせた形状を備えることを特徴とする請求項９に記載の光源装置。
【請求項１１】
前記基板及び前記波長変換素子の間に設けられ、熱を拡散させる熱拡散部を有し、
前記固定部は、前記熱拡散部に前記波長変換素子を固定することを特徴とする請求項１〜１０のいずれか一項に記載の光源装置。
【請求項１２】
請求項１〜１１のいずれか一項に記載の光源装置と、
前記光源装置からの光を画像信号に応じて変調する空間光変調装置と、を有することを特徴とするプロジェクタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光源装置及びプロジェクタ、特に、レーザ光を供給する光源装置の技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、レーザ光を供給する光源装置において、波長変換素子、例えば第二高調波発生（Second−Harmonic  Generation；ＳＨＧ）素子が用いられている。ＳＨＧ素子を用いることで、例えば、容易に入手可能な汎用のレーザを用いて、所望の波長のレーザ光を供給することが可能となる。波長変換素子は、正確な位置合わせを行うために、基板等に固定して用いられる。基板等に固定された波長変換素子を用いる光源装置の技術は、例えば、特許文献１及び２に提案されている。特許文献１に提案される技術では、接着剤を用いて波長変換素子の固定を行う。特許文献２に提案される技術では、液体金属の合金化反応を用いることで波長変換素子の固定を行う。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−３０３９０５号公報
【特許文献２】特開平６−３２６４１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
接着剤を用いて波長変換素子を固定する場合、高温にさらされること等により接着剤が経時変化することがある。経時変化によって接着剤の劣化が引き起こされる場合、高い信頼性を得ることが困難となる。また、接着剤が高温にさらされることで、接着剤に含まれる揮発性成分が揮発し、光路中に付着することもあり得る。光路中に接着剤成分が付着することで不要な反射や散乱が生じると、光利用効率の低下を招くこととなる。これらを鑑みると、できるだけ接着剤を用いる手段以外の手段によって波長変換素子を固定することが望ましい。液体金属の合金化反応を用いる場合、合金化反応や毛細管現象の利用のために５分から数時間の放置が必要となる。また、固定すべき各部材について、１０μｍ以下の間隔で正確に配置する高い精度が求められる。これらのことから、液体金属の合金化反応を用いる手段では、高い生産性を確保することが困難である。このように、従来の技術によると、高い信頼性、高い生産性を確保することが困難であるという問題を生じる。本発明は、上述の問題に鑑みてなされたものであり、高い信頼性、及び高い生産性を確保することが可能な光源装置、及びその光源装置を用いるプロジェクタを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明によれば、レーザ光を供給する光源部と、光源部からのレーザ光の波長を変換する波長変換素子と、弾性力を用いて基板に対して波長変換素子を固定する固定部と、を有することを特徴とする光源装置を提供することができる。
【０００６】
固定部は、基板の位置に対して波長変換素子を特定の位置に固定する。固定部の弾性力を用いることで、安定して波長変換素子を固定することができる。高い安定性をもって波長変換素子を固定することで、高い信頼性を得ることができる。また、弾性力を用いることが可能な固定部を設ければ良いことから、製造を簡易かつ安価に行うことも可能である。簡易かつ安価な製造を可能とすることで、高い生産性を得ることができる。熱拡散部を用いる構成の場合、熱拡散部に十分波長変換素子を当接させることで、熱拡散部と波長変換素子との間の熱抵抗を均一にすることもできる。これにより、高い信頼性、及び高い生産性を確保することが可能な光源装置を得られる。
【０００７】
また、本発明の好ましい態様としては、固定部は、バネ力を用いて基板に対して波長変換素子を固定する板バネ部を備えることが望ましい。これにより、簡易かつ安価な製造を可能とし、かつ波長変換素子を十分に固定することができる。
【０００８】
また、本発明の好ましい態様としては、波長変換素子は、基板側に設けられた第１面と、第１面とは反対側に設けられた第２面と、を備え、板バネ部は、第２面においてバネ力を付加することが望ましい。これにより、第１面、第２面に垂直な方向についての波長変換素子のガタつきを防止できる。
【０００９】
また、本発明の好ましい態様としては、板バネ部は、第２面の中心部においてバネ力を付加することが望ましい。これにより、波長変換素子がいずれかの向きに傾くことを防ぐことができる。また、波長変換素子のうち熱が集中し易い中心部において積極的に放熱を行い、波長変換素子の温度の均一化を図れる。
【００１０】
また、本発明の好ましい態様としては、板バネ部は、第２面のうち中心部以外の部分においてバネ力を付加することが望ましい。波長変換素子は、応力の集中によって屈折率分布が変化する場合、位相整合条件が崩れ、波長変換効率の低下が引き起こされることがある。中心部、及び中心部以外の部分においてバネ力を分散させることで応力の集中を防ぎ、波長変換効率の低下を低減させることができる。
【００１１】
また、本発明の好ましい態様としては、板バネ部は、第２面の中心部に対応する部分の幅が、中心部以外の部分に対応する部分より狭い形状を備えることが望ましい。これにより、波長変換素子のうち熱が集中し易い中心部において積極的に放熱を行い、波長変換素子の温度の均一化を図れる。
【００１２】
また、本発明の好ましい態様としては、板バネ部は、第２面の略全面においてバネ力を付加することが望ましい。第２面の略全面においてバネ力を分散させることで、波長変換効率の低下をさらに低減させることができる。
【００１３】
また、本発明の好ましい態様としては、波長変換素子は、基板側に設けられた第１面と、第１面とは反対側に設けられた第２面と、光源部からのレーザ光を入射させる入射面と、波長変換素子を透過させたレーザ光を出射させる出射面と、第１面、第２面、入射面及び出射面以外の面であって互いに対向する側面と、を備え、板バネ部は、側面においてバネ力を付加することが望ましい。これにより、側面に垂直な方向についての波長変換素子のガタつきを防止できる。
【００１４】
また、本発明の好ましい態様としては、波長変換素子は、光源部からのレーザ光を入射させる入射面と、波長変換素子を透過させたレーザ光を出射させる出射面と、を備え、板バネ部は、入射面のうちレーザ光を入射させる領域以外の領域、及び出射面のうちレーザ光を出射させる領域以外の領域の少なくとも一方において、波長変換素子を嵌合させる嵌合部を備えることが望ましい。これにより、レーザ光を遮ること無く、レーザ光の進行方向についての波長変換素子のガタつきを防止できる。
【００１５】
また、本発明の好ましい態様としては、嵌合部は、基板側の端部へ向かうに従い漸次広がりを持たせた形状を備えることが望ましい。嵌合部のうち基板側の端部同士の間隔を波長変換素子の幅より大きくすることで、板バネ部へ波長変換素子を容易に挿入できる。また、嵌合部のうち端部とは反対側については波長変換素子の幅と略同じか僅かに小さくすることで、板バネ部に波長変換素子を固定させることができる。これにより、板バネ部へ波長変換素子を容易に嵌合させることができる。
【００１６】
また、本発明の好ましい態様としては、基板及び波長変換素子の間に設けられ、熱を拡散させる熱拡散部を有し、固定部は、熱拡散部に波長変換素子を固定することが望ましい。熱拡散部を用いることで、熱源からの熱を略均一に波長変換素子へ伝播させることができる。
【００１７】
さらに、本発明によれば、上記の光源装置と、光源装置からの光を画像信号に応じて変調する空間光変調装置と、を有することを特徴とするプロジェクタを提供することができる。上記の光源装置を用いることで、高い信頼性、及び高い生産性を確保することができる。これにより、高い信頼性及び高い生産性を持つプロジェクタを得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下に図面を参照して、本発明の実施例を詳細に説明する。
【実施例１】
【００１９】
図１は、本発明の実施例１に係る光源装置１０の概略構成を示す。光源装置１０は、半導体レーザ１１を有する。半導体レーザ１１は、端面発光型レーザであって、レーザ光を供給する光源部である。ＳＨＧ素子１２は、半導体レーザ１１からのレーザ光の波長を変換する波長変換素子である。ＳＨＧ素子１２は、半導体レーザ１１からのレーザ光を、２分の１の波長のレーザ光に変換して出射させる。例えば、半導体レーザ１１からＳＨＧ素子１２へ１０６４ｎｍのレーザ光を入射させる場合、ＳＨＧ素子１２は、５３２ｎｍのレーザ光を出射させる。ＳＨＧ素子１２としては、例えば、非線形光学結晶を用いることができる。
【００２０】
支柱１５の上には、熱拡散板１４が積層されている。熱拡散板１４は、熱を略均一に拡散させる熱拡散部である。ＳＨＧ素子１２と熱的に接触させる要素がほぼ熱拡散板１４のみである構成とすることで、ＳＨＧ素子１２は、殆ど熱拡散板１４のみから熱の移動を受けることとなる。熱拡散板１４により略均一に熱を拡散させることで、ＳＨＧ素子１２の温度を均一化させることができる。熱拡散板１４は、高い熱伝導率を持つ部材、例えば銅を用いて形成できる。ＳＨＧ素子１２は、熱拡散板１４の上に設けられている。半導体レーザ１１及び支柱１５は、共通の基板１６上に設けられている。
【００２１】
図２は、ＳＨＧ素子１２及びその周辺の各部を示す。ＳＨＧ素子１２は、板バネ部１３によって覆われている。板バネ部１３は、弾性力であるバネ力を用いて熱拡散板１４にＳＨＧ素子１２を固定する固定部である。支柱１５に熱拡散板１４を固定することで、ＳＨＧ素子１２は、基板１６（図１参照）に対して固定される。板バネ部１３は、バネ性を備え、かつ熱に対する高い耐性を持つ部材、例えばリン青銅をプレスすることにより形成できる。板バネ部１３は、リン青銅を用いる他、例えばステンレスを用いて形成しても良い。
【００２２】
図３は、ＳＨＧ素子１２の斜視構成を示す。ＳＨＧ素子１２は、略矩形形状の第１面２１及び第２面２２を有する直方体形状をなしている。第１面２１は、支柱１５（図１参照）側に設けられ、熱拡散板１４に当接している。第２面２２は、第１面２１とは反対側に設けられている。入射面２３は、半導体レーザ１１（図１参照）からの光を入射させる。出射面２４は、ＳＨＧ素子１２を透過させたレーザ光を出射させる。２つの側面２５、２６は、第１面２１、第２面２２、入射面２３、出射面２４以外の面であって、いずれも第１面２１、第２面２２、入射面２３、出射面２４に略直交する。側面２５、２６は、互いに対向する。
【００２３】
図示するｚ方向は、レーザ光を進行させる方向である。ｘ方向は、ｚ方向に垂直な方向であって、水平方向である。ｙ方向は、ｚ方向に垂直な方向であって、鉛直方向である。ＳＨＧ素子１２へ正確にレーザ光を透過させるには、少なくともｘ方向及びｙ方向の位置、及びｙ軸回りの回転に関する正確なアライメントを要する。ＳＨＧ素子１２のアライメントは、通常の機械加工精度によって十分行うことができる。特に、ＳＨＧ素子１２のｙ方向についての位置は、熱拡散板１４、支柱１５の厚みに対応させて正確に調整可能である。この他、ｚ方向の位置、ｘ軸回り、ｚ軸回りの回転に関してもアライメントを行うこととしても良い。
【００２４】
図４は、支柱１５の平面構成を示す。支柱１５のうち、熱拡散板１４側の面の中心部には、ヒータ３１が埋め込まれている。ヒータ３１は、熱を供給することで、ＳＨＧ素子１２の温度を調節する。なお、ヒータ３１は、熱拡散板１４を経てＳＨＧ素子１２へ熱を供給可能であれば良く、本実施例で説明する位置以外の位置に配置することとしても良い。
【００２５】
図５は、ＳＨＧ素子１２及びその周辺の各部の断面構成を示す。板バネ部１３は、ＳＨＧ素子１２の第２面２２の中心部に対応して設けられた凹部１９を有する。板バネ部１３は、凹部１９において、第２面２２の中央部へバネ力を付加する。ＳＨＧ素子１２は、凹部１９によるバネ力の付加によって、熱拡散板１４に押し付けられる。これにより、第１面２１、第２面２２に垂直な方向（図３に示すｙ方向）についてのＳＨＧ素子１２のガタつきを防止できる。また、第２面２２の中央部へバネ力を付加することで、ＳＨＧ素子１２がいずれかの向き（図３に示すｘ軸回りの回転、ｚ軸回りの回転）に傾くことも防ぐことができる。
【００２６】
板バネ部１３は、ＳＨＧ素子１２の側面２５、２６に対応して設けられた凹部２０、３０を有する。板バネ部１３は、凹部２０、３０において、側面２５、２６へバネ力を付加する。両側面２５、２６に付加されるバネ力は互いに対向するため、側面２５、２６に垂直な方向（図３に示すｘ方向）についてのガタつきを防止できる。ＳＨＧ素子１２は、第２面２２側の凹部１９と側面２５、２６側の凹部２０、３０によって上下左右が固定される。板バネ部１３のうちＳＨＧ素子１２を固定する部分を取り囲む周囲部３２は、熱拡散板１４に固定されている。周囲部３２と熱拡散板１４との固定には、例えば溶接を用いることができる。溶接は、ＳＨＧ素子１２に関して上述のアライメントを施した後に行われる。
【００２７】
図６は、図５に示す構成のＡＡ断面を示す。板バネ部１３は、ＳＨＧ素子１２の入射面２３側に設けられた入射側嵌合部３３、及びＳＨＧ素子１２の出射面２４側に設けられた出射側嵌合部３４を有する。入射側嵌合部３３は、入射面２３のうちレーザ光を入射させる領域Ｌ以外の領域においてＳＨＧ素子１２を嵌合させる嵌合部である。出射側嵌合部３４は、出射面２４のうちレーザ光を出射させる領域Ｌ以外の領域においてＳＨＧ素子１２を嵌合させる嵌合部である。これにより、レーザ光を遮ること無く、レーザ光の進行方向（図３に示すｚ方向）についてのＳＨＧ素子１２のガタつきを防止できる。
【００２８】
図７は、図６に示す構成のＢＢ断面を示す。入射側嵌合部３３、出射側嵌合部３４のいずれも、支柱１５側の端部３５へ向かうに従い漸次広がりを持たせた形状を備える。入射側嵌合部３３の端部３５及び出射側嵌合部３４の端部３５の間隔をＳＨＧ素子１２の幅より大きくすることで、板バネ部１３へＳＨＧ素子１２を容易に挿入させることが可能となる。入射側嵌合部３３、出射側嵌合部３４のうち端部３５とは反対側についてはＳＨＧ素子１２の幅と略同じか僅かに小さく形成されている。これにより、板バネ部１３にＳＨＧ素子１２を固定させることができる。これにより、板バネ部１３へＳＨＧ素子１２を容易に嵌合させることができる。
【００２９】
板バネ部１３のバネ力を用いることで、安定してＳＨＧ素子１２を固定することができる。高い安定性をもってＳＨＧ素子１２を固定することで、高い信頼性を得ることができる。また、弾性力を用いることが可能な固定部を設ければ良いことから、製造を簡易かつ安価に行うことも可能である。簡易かつ安価な製造を可能とすることで、高い生産性を得ることができる。
【００３０】
板バネ部１３によってＳＨＧ素子１２の第２面２２の中心部にバネ力を付加することで、熱拡散板１４に十分ＳＨＧ素子１２を当接させることが可能となる。熱拡散板１４とＳＨＧ素子１２とを十分当接させることで、熱拡散板１４とＳＨＧ素子１２との間の熱抵抗を均一にすることもできる。支柱１５の中心部にヒータ３１を設けることでＳＨＧ素子１２の中心部へ多くの熱が伝わったとしても、ＳＨＧ素子１２の中心部から凹部１９を介して板バネ部１３全体へ熱を逃がすことも可能である。ＳＨＧ素子１２のうち熱が集中し易い中心部から積極的に放熱を行うことで、ＳＨＧ素子１２の温度の均一化を図れる。これにより、高い信頼性、及び高い生産性を確保することができるという効果を奏する。
【００３１】
板バネ部１３は、ＳＨＧ素子１２の第２面２２の中心部、及び側面２５、２６へバネ力を付加する構成に限られない。ＳＨＧ素子１２を十分固定可能であれば、バネ力を付加させる位置はいずれの位置であっても良い。また、ＳＨＧ素子１２を十分固定可能であれば、入射側嵌合部３３、出射側嵌合部３４のいずれか一方若しくは双方を省略しても良い。また、ＳＨＧ素子１２は、板バネ部１３のみを用いて固定する他、板バネ部１３以外の他の機械的構造を併用することにより固定することとしても良い。
【００３２】
板バネ部１３の周囲部３２と熱拡散板１４との固定には溶接を用いる他、図８に示すようにネジ３６を用いることとしても良い。ネジ３６は、周囲部３２と熱拡散板１４とを固定する他、周囲部３２、熱拡散板１４、及び支柱１５を固定するものとしても良い。板バネ部１３の周囲部３２と熱拡散板１４との固定にはネジ３６を用いる場合に限られず、周囲部３２と熱拡散板１４とを固定可能な他の機械的構造を用いても良い。
【実施例２】
【００３３】
図９は、本発明の実施例２に係る光源装置の特徴的部分であって、ＳＨＧ素子１２及びその周辺の各部の断面構成を示す。上記実施例１の光源装置１０と同一の部分には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。本実施例において、板バネ部４０は、第２面２２の略全面に対応して設けられた凹部４１を有する。板バネ部４０は、凹部４１により、第２面２２の略全面においてバネ力を付加する。ＳＨＧ素子１２は、凹部４１によるバネ力の付加によって、熱拡散板１４に押し付けられる。
【００３４】
図１０は、図９に示す構成のＡＡ断面を示す。板バネ部４０は、ＳＨＧ素子１２の側面２５、２６に対応して設けられた凹部４２、４３を有する。凹部４２、４３は、側面２５、２６のうち隅を除く広い領域に設けられている。板バネ部４０は、凹部４２、４３により、側面２５、２６の広い領域においてバネ力を付加する。
【００３５】
波長変換素子は、応力の集中によって屈折率分布が変化する場合、位相整合条件が崩れ、波長変換効率の低下が引き起こされることがある。第２面２２の略全面、側面２５、２６の広い領域にバネ力を分散させる構成とすることで、応力の集中を防ぎ、波長変換効率の低下を低減させるという効果を奏する。
【００３６】
波長変換効率の低下を低減させるには、第２面２２の略全面、及び側面２５、２６の広い領域にバネ力を付加する構成とする場合に限られない。第２面２２のうち中心部、及び中心部以外の部分においてバネ力を付加するものであって、応力の集中を低減可能であれば良い。
【００３７】
図１１は、本実施例の変形例に係る光源装置の特徴的部分であって、ＳＨＧ素子１２及び板バネ部４５の上面構成を示す。本変形例において、板バネ部４５は、帯形状部分４６を有することを特徴とする。帯形状部分４６は、第２面２２の中心部に対応する部分に形成される。板バネ部４５は、第２面２２の中心部に対応する部分の幅が、中心部以外の部分に対応する部分より狭い形状を備える。
【００３８】
第２面２２の中心部、及び中心部以外の部分においてバネ力を分散させる他、ＳＨＧ素子１２のうち熱が集中し易い中心部から積極的に放熱を行い、ＳＨＧ素子１２の温度の均一化を図れる。なお、板バネ部４５の形状は図示するものに限られない。バネ力を分散可能であって、かつＳＨＧ素子１２の中央部から積極的に放熱を行うことが可能であれば良い。
【００３９】
実施例１、実施例２の光源装置は、適宜構成を変更しても良い。例えば図１２に示す光源装置５０のように、面発光型レーザである半導体レーザ５１を用いる構成としても良い。半導体レーザ５１及び支柱１５は、基板５２上に固定されている。ＳＨＧ素子１２は、板バネ部１３により、基板５２に対して固定されている。実施例１、実施例２において、光源部としては、半導体レーザ１１、５１の他、固体レーザ、液体レーザ、ガスレーザ等を用いても良い。
【００４０】
図１３に示す光源装置６０は、半導体レーザ励起固体（Diode  Pumped  Solid  State；ＤＰＳＳ）レーザ発振器である。光源装置６０は、共振ミラー６２、６４を用いた共振器構造を有する。励起用レーザ６１は、例えば、８０８ｎｍの波長を持つレーザ光を供給する。励起用レーザ６１からのレーザ光は共振ミラー６２を通過した後、レーザ結晶６３へ入射する。レーザ結晶６３としては、例えばＮｄ：ＹＶＯ4結晶やＮｄ：ＹＡＧ（Ｙ3Ａｌ5Ｏ12）結晶を用いることができる。
【００４１】
レーザ結晶６３は、励起されることによりレーザ発振し、例えば、１０６０ｎｍ前後の波長を持つレーザ光を供給する。レーザ結晶６３からのレーザ光は、ＳＨＧ素子１２により半分の波長のレーザ光に変換される。例えば１０６４ｎｍのレーザ光は、５３２ｎｍのレーザ光に変換される。所望の波長に変換されたレーザ光は、共振ミラー６４を通過する。所望の波長以外の波長のレーザ光は、共振ミラー６４で反射する。２つの共振ミラー６２、６４で所望の波長に変換されたレーザ光は、共振ミラー６４を通過する。このようにして、所望の波長のレーザ光を効率良く出射させることができる。
【実施例３】
【００４２】
図１４は、本発明の実施例３に係るプロジェクタ７０の概略構成を示す。プロジェクタ７０は、スクリーン８８に光を供給し、スクリーン８８で反射する光を観察することで画像を鑑賞するフロント投写型のプロジェクタである。上記実施例１と重複する説明は省略する。プロジェクタ７０は、赤色（Ｒ）光用光源装置８０Ｒ、緑色（Ｇ）光用光源装置８０Ｇ、青色（Ｂ）光用光源装置８０Ｂを有する。各色光用光源装置８０Ｒ、８０Ｇ、８０Ｂは、いずれも上記実施例１の光源装置１０（図１参照）と同様の構成を有する。プロジェクタ７０は、各色光用光源装置８０Ｒ、８０Ｇ、８０Ｂからの光を用いて画像を表示する。
【００４３】
Ｒ光用光源装置８０Ｒは、Ｒ光を供給する光源装置である。回折光学素子８１は、レーザ光を回折させることにより、照明領域の整形及び拡大をする。また、回折光学素子８１は、レーザ光の光量分布の均一化も行う。回折光学素子８１としては、例えば、計算機合成ホログラム（Computer  Generated  Hologram；ＣＧＨ）を用いることができる。フィールドレンズ８２は、回折光学素子８１からのレーザ光を平行化させ、Ｒ光用空間光変調装置８３Ｒへ入射させる。Ｒ光用空間光変調装置８３Ｒは、画像信号に応じてＲ光を変調する空間光変調装置であって、透過型液晶表示装置である。Ｒ光用空間光変調装置８３Ｒで変調されたＲ光は、色合成光学系であるクロスダイクロイックプリズム８４へ入射する。
【００４４】
Ｇ光用光源装置８０Ｇは、Ｇ光を供給する光源装置である。回折光学素子８１及びフィールドレンズ８２を経たレーザ光は、Ｇ光用空間光変調装置８３Ｇへ入射する。Ｇ光用空間光変調装置８３Ｇは、画像信号に応じてＧ光を変調する空間光変調装置であって、透過型液晶表示装置である。Ｇ光用空間光変調装置８３Ｇで変調されたＧ光は、Ｒ光とは異なる側からクロスダイクロイックプリズム８４へ入射する。
【００４５】
Ｂ光用光源装置８０Ｂは、Ｂ光を供給する光源装置である。回折光学素子８１及びフィールドレンズ８２を経たレーザ光は、Ｂ光用空間光変調装置８３Ｂへ入射する。Ｂ光用空間光変調装置８３Ｂは、画像信号に応じてＢ光を変調する空間光変調装置であって、透過型液晶表示装置である。Ｂ光用空間光変調装置８３Ｂで変調されたＢ光は、Ｒ光、Ｇ光とは異なる側からクロスダイクロイックプリズム８４へ入射する。透過型液晶表示装置としては、例えば高温ポリシリコンＴＦＴ液晶パネル（High  Temperature  Polysilicon；ＨＴＰＳ）を用いることができる。
【００４６】
クロスダイクロイックプリズム８４は、互いに略直交させて配置された２つのダイクロイック膜８５、８６を有する。第１ダイクロイック膜８５は、Ｒ光を反射し、Ｇ光及びＢ光を透過させる。第２ダイクロイック膜８６は、Ｂ光を反射し、Ｒ光及びＧ光を透過させる。クロスダイクロイックプリズム８４は、それぞれ異なる方向から入射したＲ光、Ｇ光及びＢ光を合成し、投写レンズ８７の方向へ出射させる。投写レンズ８７は、クロスダイクロイックプリズム８４で合成された光をスクリーン８８の方向へ投写する。
【００４７】
上記の光源装置１０と同様の構成を有する各色光用光源装置８０Ｒ、８０Ｇ、８０Ｂを用いることにより、高い信頼性、及び高い生産性を確保することができる。これにより、プロジェクタ７０についても高い信頼性、及び高い生産性を得られるという効果を奏する。プロジェクタ７０は、空間光変調装置として透過型液晶表示装置を用いる場合に限られない。空間光変調装置としては、反射型液晶表示装置（Liquid  Crystal  On  Silicon；ＬＣＯＳ）、ＤＭＤ（Digital  Micromirror  Device）、ＧＬＶ（Grating  Light  Valve）等を用いても良い。
【００４８】
プロジェクタ７０は、色光ごとに空間光変調装置を備える構成に限られない。プロジェクタ７０は、一の空間光変調装置により２つ又は３つ以上の色光を変調する構成としても良い。プロジェクタは、スクリーンの一方の面に光を供給し、スクリーンの他方の面から出射される光を観察することで画像を鑑賞する、いわゆるリアプロジェクタであっても良い。さらに、本発明の光源装置は、プロジェクタに適用する場合に限られない。例えば、レーザ光を用いて露光を行う露光装置や、レーザ光により照明された像をモニタするモニタ装置等に適用することとしても良い。
【産業上の利用可能性】
【００４９】
以上のように、本発明に係る光源装置は、プロジェクタに用いる場合に適している。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の実施例１に係る光源装置の概略構成を示す図。
【図２】ＳＨＧ素子及びその周辺の各部を示す図。
【図３】ＳＨＧ素子の斜視構成を示す図。
【図４】支柱の平面構成を示す図。
【図５】ＳＨＧ素子及びその周辺の各部の断面構成を示す図。
【図６】図５に示す構成のＡＡ断面を示す図。
【図７】図６に示す構成のＢＢ断面を示す図。
【図８】ネジを用いて板バネ部を固定する構成を説明する図。
【図９】本発明の実施例２に係る光源装置について説明する図。
【図１０】図９に示す構成のＡＡ断面を示す図。
【図１１】実施例２の変形例に係る光源装置について説明する図。
【図１２】面発光型レーザを用いる構成を説明する図。
【図１３】ＤＰＳＳレーザ発振器について説明する図。
【図１４】本発明の実施例３に係るプロジェクタの概略構成を示す図。
【符号の説明】
【００５１】
１０  光源装置、１１  半導体レーザ、１２  ＳＨＧ素子、１３  板バネ部、１４  熱拡散板、１５  支柱、１６  基板、１９  凹部、２０  凹部、２１  第１面、２２  第２面、２３  入射面、２４  出射面、２５、２６  側面、３１  ヒータ、３２  周囲部、３３  入射側嵌合部、３４  出射側嵌合部、３５  端部、３６  ネジ、４０  板バネ部、４１  凹部、４２  凹部、４５  板バネ部、４６  帯形状部分、５０  光源装置、５１  半導体レーザ、５２  基板、６０  光源装置、６１  励起用レーザ、６２  共振ミラー、６３  レーザ結晶、６４  共振ミラー、７０  プロジェクタ、８０Ｒ  Ｒ光用光源装置、８０Ｇ  Ｇ光用光源装置、８０Ｂ  Ｂ光用光源装置、８１  回折光学素子、８２  フィールドレンズ、８３Ｒ  Ｒ光用空間光変調装置、８３Ｇ  Ｇ光用空間光変調装置、８３Ｂ  Ｂ光用空間光変調装置、８４  クロスダイクロイックプリズム、８５  第１ダイクロイック膜、８６  第２ダイクロイック膜、８７  投写レンズ、８８  スクリーン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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