(57)【要約】【課題】記録素子の密度によらず流路部材の樹脂厚を均一に保つことができて、良好な吐出特性を得ることができるインクジェット記録ヘッドを提供する。【解決手段】本発明の記録ヘッド１は、一の流路１０の列と、一の流路１０の列における記録素子６の配列間隔よりも狭い配列間隔であり、かつ記録素子６ａ、６ｂが千鳥に配置されている他の流路１０ａ、１０ｂの列とを有する。そして、一の流路１０の列におけるインク供給口９を挟んだ流路１０の端部から端部までの距離Ｌａと、他の流路１０ａ、１０ｂの列におけるインク供給口９を挟んだ、流路１０ａの端部から端部までの距離Ｌｂとが実質的に等しい。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも２つのインク供給口と、前記インク供給口の両側に一定の間隔で列状に配置された複数の記録素子とを有する基板と、前記インク供給口から前記両側の前記各記録素子へとインクを導くインク流路の列が形成されている樹脂からなる流路部材とを備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、
一の前記インク流路の列と、前記一の前記インク流路の列における前記記録素子の配列間隔よりも狭い配列間隔であり、かつ前記記録素子が千鳥に配置されている他の前記インク流路の列とを有し、
前記一のインク流路の列における前記インク供給口を挟んだ前記インク流路の端部から端部までの距離Ｌａと、前記他のインク流路の列における前記インク供給口を挟んだ、前記インク流路の端部から端部までの距離のうち最も長い距離である距離Ｌｂとが実質的に等しいことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
前記一のインク流路の列における前記インク流路の側壁の端部から前記インク供給口までの距離Ｌｃが、前記他のインク流路の列における距離Ｌｃよりも長い、請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
前記基板上に形成された前記記録素子に電力を供給する配線は少なくとも２層以上の多層配線であり、層間相互の配線を導通させる導通部が、前記記録素子と前記インク供給口との間に位置する、請求項１または２に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
前記一のインク流路の列に対応する吐出口から吐出されるインク滴の大きさは、前記他のインク流路の列に対応する吐出口から吐出されるインク滴の大きさよりも大きい、請求項１ないし３のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】
インクを吐出する吐出口と、前記インク流路とを連通させる連通部に、断面積が前記吐出口の断面積よりも大きい拡大部を有する、請求項１ないし４のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項６】
シアン、マゼンタ、イエロー、およびブラックのインクを吐出する、前記記録素子と、前記流路と、インクを吐出する吐出口とを有する複数のノズルが、吐出するインク滴の大きさに応じて設けられており、イエローとブラックを吐出するノズルについては最も大きいインク滴を吐出する前記ノズルのみから前記ノズルの列が構成されている、請求項１ないし５のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項７】
前記流路部材は感光性樹脂である、請求項１ないし６のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項８】
前記記録素子は、熱エネルギを発生する電気熱変換体である、請求項１ないし７のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項９】
被記録媒体を搬送する搬送手段と、前記被記録媒体の被記録面に対向してインクを吐出する吐出口が設けられているインクジェット記録ヘッドとを有するインクジェット記録装置において、
前記インクジェット記録ヘッドが、請求項１ないし８のいずれか１項に記載の記録ヘッドであることを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項１０】
請求項５ないし８のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッドを製造するインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、
前記インク流路を形成する第１の樹脂上に前記拡大部を形成する第２の樹脂を形成する工程を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項１１】
前記インク流路を形成するための部材、および前記断面積が前記吐出口の断面積よりも大きい部分を形成する部材の少なくとも一方が感光性樹脂である、請求項１０に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクを吐出して記録媒体に記録を行うインクジェットヘッド、インクジェット記録装置およびインクジェット記録ヘッドの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットプリンタの基本性能は画質と高速性によって決まるところが大きい。画質を向上させるためにはインク滴をなるべく小さく、好ましくは紙面上での可視限界を超える約１ｐｌ以下にすることが必要である。一方で高速性を得るためには一定時間内に媒体に付与するインク量を増加させる必要があり、小さな液滴でこれを行うためには記録素子の密度を上げ、応答周波数を上げる必要があるが、これには構造的、流体的限界がある。これを解決する手段として、一つの記録ヘッドに複数のサイズの液滴を吐出する複数の吐出口を設けることが提案されている（特許文献１）。
【０００３】
また、このような微細な吐出口や高密度なインク流路を形成する手段としては、感光性樹脂を用いてインク流路を形成した後、別の感光性樹脂をその上に塗布し乾燥させ吐出口を形成した後に、最初の感光性樹脂を除去して流路を形成する手段が提案されている（特許文献２）。この方法によれば、流路、吐出口とも露光により形成されるため微細で高密度な加工が可能である。
【特許文献１】特開平０５−２０１００３号公報
【特許文献２】特開平０６−２８６１４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述のように複数の液滴サイズを有するインクジェット記録ヘッドについては大きい液滴を吐出するノズル列とは別に小さい液滴を吐出するノズル列を配置するほうが高密度化に有利である。それぞれのノズルについて高密度化を追求すると、小さい液滴のノズルを大きい液滴のノズルの２倍の密度で千鳥状に配置する形状が最も有利である。
【０００５】
しかしながら、インク流路の形状が形成された樹脂上に別の樹脂を塗布する際に、樹脂の厚みは完全に均一にはならず、樹脂の粘度、表面張力、固形分濃度などの影響により厚みに分布が生じる。インク流路の密度がより高い部分では、流路の占める面積が広くなるために、この上に形成される流路部材の樹脂厚が大液滴の部分に比べて厚くなり、吐出抵抗が高くなり吐出効率がさがり不良吐出が起きやすくなってしまう。
【０００６】
図８に従来の記録ヘッドの平面図およびＡ−Ａ線における断面図を示す。
【０００７】
この従来例においては、小液滴を吐出する流路５１０の端から端までの距離Ｌｂが３６０μｍであり、記録素子５０６は１２００ｄｐｉ（２１μｍ間隔）で千鳥状に配列されている。これに対し、大液滴を吐出する流路５１０の端から端までの距離Ｌａが２８０μｍであり、記録素子５０６は６００ｄｐｉ（４２μｍ間隔）で配列されている。このように、大液滴用の流路では距離Ｌａが２８０μｍであるのに対し、記録素子５０６の配置密度が高い小液滴用の流路では距離Ｌｂ３６０μｍと、約１．３倍の差が有る。
【０００８】
このため、従来例においては、流路部材５０８の厚みに最大２μｍの差ｄｈを生じていた。これは吐出口部の厚みを１０μｍとすると、２０％の抵抗差が生じることを意味しており、吐出速度の差から小液滴と大液滴の紙面への着弾位置がずれるなど特に高精細画像の記録時に弊害が発生していた。
【０００９】
一方、樹脂厚を小液滴用の吐出に最適化した場合、大液滴用の流路部分における樹脂厚が薄くなり、強度低下による変形などが発生しやすくなる。
【００１０】
そこで、本発明は、記録素子の密度によらず流路部材の樹脂厚を均一に保つことができて、良好な吐出特性を得ることができるインクジェット記録ヘッド、インクジェット記録装置およびインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するため本発明のインクジェット記録ヘッドは、少なくとも２つのインク供給口と、インク供給口の両側に一定の間隔で列状に配置された複数の記録素子とを有する基板とを有する。さらに本発明のインクジェット記録ヘッドは、インク供給口から両側の各記録素子へとインクを導くインク流路の列が形成されている樹脂からなる流路部材とを備え、以下の特徴を有する。すわなち、本発明のインクジェット記録ヘッドは、一のインク流路の列と、一のインク流路の列における記録素子の配列間隔よりも狭い配列間隔であり、かつ記録素子が千鳥に配置されている他のインク流路の列とを有する。そして、一のインク流路の列におけるインク供給口を挟んだインク流路の端部から端部までの距離Ｌａと、他のインク流路の列におけるインク供給口を挟んだ、インク流路の端部から端部までの距離のうち最も長い距離である距離Ｌｂとが実質的に等しい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、記録素子の密度によらず流路部材の樹脂厚を均一に保つことができて、良好な吐出特性を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下添付図面を参照して本発明の好適な実施例について詳細に説明する。
（実施例１）
図１（ａ）〜（ｃ）は、本実施例のインクジェット記録ヘッドの平面図およびＡ−Ａ線における断面図を示したものであるとともに、インクジェット記録ヘッドを形成するプロセスを示したものである。また、図１（ｄ）は、大液滴を吐出する吐出口近傍の平面図およびＡ−Ａ線における断面図を示したものである。
【００１４】
本実施例の記録ヘッド１は、大液滴を吐出する流路の大液滴組２と、小液滴を吐出する流路が千鳥に配置された小液滴組３とを有し、それぞれの流路の最外端が実質的に等しくなるように（距離Ｌａ＝距離Ｌｂ）形成されている。これによって、流路部材の塗布厚が大液滴においても小液滴においても等しくなり、高画質、高速、高信頼性のインクジェットヘッドが提供される。
【００１５】
以下、記録ヘッド１の構成について詳細に説明する。
【００１６】
図１（ａ）を参照すると、記録ヘッド１を形成するためには、まず、記録素子６が形成された基板４上にポジ型の感光レジストを塗布し、露光、現像により後に流路１０となる部分を形成する。感光レジストの厚みは、流路抵抗などの観点から１０μｍから１５μｍの範囲内で設定するのが良い。厚みの制御は、塗布時の粘度や、塗布速度を調整することによって可能である。基板４は、記録素子６が高密度で形成できることや記録素子６を駆動するための駆動回路７（ＭＯＳトランジスタ）が形成できることから、シリコン基板が一般的である。
【００１７】
記録素子６は窒化タンタルなどの発熱抵抗体で形成され、窒化シリコンなどのインクに対する無機保護膜やタンタルなどの金属保護膜で覆われている。記録素子６は高画質に対応する小液滴を吐出する小液滴組３と、高速印字に対応する大液滴に対応する大液滴組２とがそれぞれ設けられている。記録素子６に駆動回路７から電気信号を与えることにより、記録素子６近傍のインクを瞬時にして沸騰させ、そのときのインクの相変化により生じる急激な気泡の成長によってインク滴を高速に吐出口１２から吐出させる。
【００１８】
小液滴組３は紙面上で可視限界である約２０μｍのドットを形成するため約１ｐｌを吐出するための記録素子６が１２００ｄｐｉ（２１μｍ間隔）で配列されていることが好ましい。このための記録素子６の形状は一辺１５μｍから１７μｍの正方形、またはこれに相当する面積の長方形が必要であり、１２００ｄｐｉに配置するためには千鳥状（Ｓｔａｇｇｅｒｅｄ）に配置する必要がある。
【００１９】
本実施例ではこれらの記録素子６の組がインク供給口９を挟んで略線対称の位置にもう一組形成されている。インク供給口９は本工程のほぼ最終段階で形成されるが、基板４の記録素子６が形成されている面とは反対側の面からエッチングにより形成する。二組の記録素子列の間隔は、供給口の流抵抗、加工精度、流路の長さによって決定されるが、信号処理を簡便にするため１２００ｄｐｉの整数倍、好ましくは６００ｄｐｉの整数倍が良い。本実施例では記録素子列の供給口に近い側に位置する記録素子間の間隔を６００ｄｐｉの６画素相当である２５４μｍとした。インク供給口９に近い列と遠い列との間隔は６００ｄｐｉの１画素相当の４２μｍとした。
【００２０】
このとき、流路１０の端から端までの距離Ｌｂは３６０μｍとなった。
【００２１】
一方、大液滴組２は高速性と紙面上の粒状感のバランスから４ｐｌから６ｐｌの範囲内で設定するのがよく、本実施例では５．５ｐｌとした。このための記録素子６は一辺が約２４μｍから２６μｍの面積が必要となる。よって、小液滴組３のような千鳥配列は、流路が極端に細くなってしまうため十分な性能が発揮できず効果的では無い。したがって、隣接する記録素子６の間隔は６００ｄｐｉ（４２μｍ）とし、インク供給口９を挟んだ記録素子列の間隔は３３８μｍとした。流路の端から端までの距離Ｌａは３６８μｍとなった。すわなち、距離Ｌｂは３６０μｍであり、距離Ｌａと距離Ｌｂは実質的に等しい。このとき、距離Ｌｃ（図１（ｄ）参照）を、小液滴組３では４０μｍであるのに対し、８２μｍとした。
【００２２】
なお、本発明では、大液滴の流路面積を拡大するために、流路壁端８ａとインク供給口９との間の距離Ｌｃを延ばすことにより実現している。これは、流路長Ｌｎを延ばすと流路の流抵抗が増大し、応答周波数が下がってしまうのを避けるためである。
【００２３】
ここで、上述した距離Ｌａ、距離Ｌｂ、距離Ｌｃ、流路長Ｌｎについて説明する。
【００２４】
距離Ｌａは、大液滴組２における流路１０の距離を指す。図１（ａ）において距離Ｌａは、インク供給口９の左側に位置する流路１０の端部の壁面からインク供給口９の右側に位置する流路１０の端部の壁面までの距離を指すこととなる。
【００２５】
距離Ｌｂは、小液滴組３における流路１０の距離を指す。インク供給口９から千鳥状に配置された各記録素子６へとインクを供給する流路１０は、流路の列を形成しており、流路１０ａと、流路１０ａよりも長さの短い流路１０ｂとを有する。記録素子６は、千鳥状に配置されていることからインク供給口９から遠い距離に配置されている記録素子６ａと、近い距離に配置されている記録素子６ｂとからなる。流路１０ａは、インク供給口９から遠い距離に配置されている記録素子６ａへとインクを供給する流路であり、流路１０ｂは近い距離に配置されている記録素子６ｂへとインクを供給する流路である。距離Ｌｂは、インク供給口９を挟んだ流路１０ａの端部から端部までの距離を指す。図１（ａ）において距離Ｌｂは、インク供給口９の左側に位置する流路１０ａの端部の壁面からインク供給口９の右側に位置する流路１０ａの端部の壁面までの距離を指すこととなる。すわなち、距離Ｌｂは、小液滴組３において、インク供給口９を挟んだ流路１０ａの端部から端部までのうち最も長い距離を指す。
【００２６】
距離Ｌｃは、流路１０の側壁の端部である流路壁端８ａからインク供給口９までの距離である。
【００２７】
流路長Ｌｎは、流路１０の端部から流路壁端８ａまでの長さを指す。
【００２８】
次に、図２を参照して、本発明の構成を採用すると基板を小型化することができる点について説明する。図２（ａ）は本発明の記録ヘッドにおける層間導電部の配置を示す模式図であり、図２（ｂ）は従来の記録ヘッドの一例における層間導電部の配置を示す模式図である。
【００２９】
図２（ａ）を参照すると、本実施例の場合、第１層の配線パターン１３ａと第２層の配線パターン１３ｂとを導通させる層間導通部１１が距離Ｌｃが拡張されたことを利用して、距離Ｌｃの領域内に設けられている。これにより記録素子６と駆動回路７を従来より近接して配置することが可能になり、従来例に比べ基板４を寸法Ｌだけ小型化することができる。また、距離Ｌｃの領域に柱状部材を設けて供給口からの異物が流路内に進入することを防ぐ方法が知られているが、本実施例においても同様に配置でき、距離Ｌｃの領域が広くなっていることにより、より自由な配置が可能である。
【００３０】
本実施例の記録ヘッドには、記録素子６に接して記録素子６を駆動するための駆動回路７および駆動回路７を選択する論理回路および基板端面の入力部との信号配線部が設けられている。このため、大液滴を吐出するための記録素子６に対応するインク供給口９と、小液滴を吐出するための記録素子６に対応するインク供給口９との間隔は約１．５ｍｍとなっている。
【００３１】
基板４上に流路１０となるパターンを形成した後、図１（ｂ）に示すように、さらに流路１０の外壁および吐出口１２が形成される流路部材８を塗布する。流路部材８はネガ型の感光性樹脂を用いることが一般的である。流路部材８の膜厚は、流路１０上の樹脂厚が約１０μｍになるよう設定することが好ましい。流路部材８の膜厚は、粘度や塗布速度によって調整できるが、図１（ｂ）の断面図に示すように、流路１０にあたる流路樹脂５が形成されている部分とそうでない部分とでは流路部材８の高さが異なる。流路１０の領域が狭いほど流路部材８の高さが低く、流路１０上の樹脂厚が薄くなる。本実施例では距離Ｌａと距離Ｌｂをほぼ等しくしているため、その差ｄｈはごくわずかとすることができる。
【００３２】
次に、流路部材８の塗布後、露光、現像により吐出口１２を形成し、エッチングにより供給口を形成することで記録ヘッド１が形成される（図１（ｃ）参照）。
【００３３】
図８に示している従来例においては距離Ｌｂが３６０μｍ、距離Ｌａが２８０μｍと約１．３倍の差が有り、流路部材８の厚みに最大２μｍの差ｄｈを生じていた。これは吐出口部の抵抗が最大２０％異なることを意味しており、吐出速度の差から小液滴と大液滴の紙面への着弾位置がずれるなど特に高精細画像の記録時に弊害が発生する。
【００３４】
しかしながら、本実施例によれば、流路の最外端である距離Ｌａと距離Ｌｂとを実質的に等しくしているため、大液滴組２と小液滴組３とにおける流路部材８の厚みの差ｄｈをごくわずかにすることができる。このため、大液滴用と小液滴用との吐出部における流抵抗の差を極力小さくすることができ、吐出速度の差から小液滴と大液滴の紙面への着弾位置がずれるなどの弊害を防止することができる。その結果、本実施例の記録ヘッド１によれば、高品質な画像を形成することが可能となる。
【００３５】
また、本実施例の記録ヘッド１は、距離Ｌａと距離Ｌｂとを実質的に等しくするために、流路壁端８ａとインク供給口９との間の距離Ｌｃを延ばすことで、応答周波数の低下を防ぎ、高速記録を可能にしている。
【００３６】
さらに、本実施例の記録ヘッド１は、延長された距離Ｌｃを利用して層間導通部１１を設けたことで小型化されている。
【００３７】
なお、本実施例では小液滴を千鳥に配列しているが、高速性、高画質のバランスをとるため、小液滴の一部、例えばその半分を約２ｐｌから３ｐｌの範囲内の中サイズの液滴に置き換えても良い。
（実施例２）
図３（ａ）〜図３（ｃ）に本実施例の記録ヘッドの製造方法を示す工程図を示す。
【００３８】
図３（ｃ）に示すように、本実施例の記録ヘッド１０１は、流路１１０と吐出口１１２との間に吐出口１１２よりも断面積が大きい拡大部１１２ａが形成されている点に特徴を有する。このような拡大部を有することにより吐出口部の抵抗を下げることができ、従来よりも発熱素子のサイズを小さくしても同等の吐出エネルギーが得られる高効率のノズルとなっている。特に、小さい液滴を吐出させるためには吐出口の径を小さくする必要があり、吐出口部の抵抗が高くなるため、この構造は有効である。このような拡大部１１２ａを有する構造では、吐出口付近の樹脂厚が薄くなるため、樹脂の塗布厚のバラツキによる性能のバラツキが大きく発生し、より高精度の塗布が要求されるので、本発明の構成の必要性が高い。なお、上記相違点以外の基本的構成は実施例１と同様であるため、同様の点についての詳細の説明は省略する。
【００３９】
まず、図３（ａ）に示すように、記録素子１０６が形成された基板１０４上に流路樹脂１０５のパターンを形成しておき、さらに流路樹脂１０５上に拡大部１１２ａを形成するための拡大部樹脂１０５ａのパターンを形成しておく。
【００４０】
感光性樹脂からなる流路樹脂１０５は１４μｍの厚みで塗布し、感光性樹脂からなる拡大部１１２ａは５μｍの厚みで塗布した。これら流路樹脂１０５および拡大部１１２ａは、それぞれ個別に露光、現像することにより所望の形状を得ている。なお、拡大部１１２ａの露光時に流路樹脂１０５に影響を与えないためには、感光波長の異なる樹脂を選択して、それぞれ異なる波長で露光するか、流路樹脂１０５に比べて感度の高い樹脂を選択して低エネルギーで露光する、などの手段がある。
【００４１】
次に、図３（ｂ）に示すように、流路１１０の外壁、吐出口１１２および拡大部１１２ａが形成される流路部材１０８を塗布する。
【００４２】
本実施例においても大液滴組１０２における流路の端から端までの距離Ｌａと、小液滴組１０３における流路の端から端までの距離Ｌｂとを実質的に等しくしている。このため、大液滴組１０２と小液滴組１０３とにおける流路部材１０８の樹脂厚の差はごくわずかとすることができる。
【００４３】
最後に、図３（ｃ）に示すように、流路部材１０８を露光、現像することにより、最終的な流路１１０、吐出口１１２および拡大部１１２ａの形状を得る。この方法によれば吐出口の厚みは３μｍから５μｍ程度の範囲内にすることができる。このため、拡大部１１２ａの無い構成に比べて大幅に吐出口部分の抵抗を減らすことができる。本実施例のように拡大部１１２ａを有する構成は、従来例のように樹脂厚の分布が大きいと吐出の変動が大きくなってしまうために採用が困難となる。しかしながら、本実施例の場合、距離Ｌａと距離Ｌｂとを実質的に等しくしているため、樹脂厚の分布を小さくすることができ、よって、拡大部１１２ａを有する構成とすることが可能となる。
【００４４】
また、本実施例の構成によれば、実施例１と同様の効果を得られるとともに、吐出口部分の抵抗を減らして高効率化することで記録素子の面積を小さくすることが可能となるので特に千鳥配置のような高密度化においては効果的である。
（実施例３）
図４（ａ）〜図４（ｃ）に本実施例の記録ヘッドの製造方法を示す工程図を示す。
【００４５】
図４（ｃ）に示すように、本実施例の記録ヘッド２０１は、流路部材２０８のインク供給口２０９の開口部２０９ａに対応する部分に補強部２２０が設けられている点に特徴を有する。なお、この点以外の基本的構成は実施例１と同様であるため、同様の点についての詳細の説明は省略する。
【００４６】
まず、図４（ａ）に示すように、記録素子２０６が形成された基板２０４上に流路樹脂２０５ａおよび流路樹脂２０５ｂを形成する。なお、この際、流路樹脂２０５ａと流路樹脂２０５ｂとは、基板２０４に形成されるインク供給口２０９の開口部２０９ａに対応する位置に、両者の間に所定の間隔が空くようにして形成する。
【００４７】
次に、図４（ｂ）に示すように、流路２１０の外壁、吐出口２１２が形成される流路部材２０８を塗布する。この際、流路樹脂２０５ａと流路樹脂２０５ｂとの間に所定の間隔が空けられているため、この所定の間隔内にも流路部材２０８が入り込む。もっとも、補強部２２０を形成するためのこの所定の間隔の面積は、流路全体の面積に比べわずかな面積であるため、樹脂厚には影響を与えない。
【００４８】
本実施例においても大液滴組２０２における流路の端から端までの距離Ｌａと、小液滴組２０３における流路の端から端までの距離Ｌｂとを実質的に等しくしている。このため、大液滴組２０２と小液滴組２０３とにおける流路部材２０８の樹脂厚の差はごくわずかとすることができる。
【００４９】
最後に、図４（ｃ）に示すように、流路部材２０８を露光、現像することにより、最終的な流路１１０、吐出口１１２および補強部２２０の形状を得る。
【００５０】
補強部２２０は、インク供給口２０９の開口部２０９ａに対応する位置に、他の部分よりも厚みが増すように形成されている。流路部材２０８のうち、流路２２０に対応する部分は流路部材２０８が基板２０４と接していないため、他の箇所より変形しやすく、特にノズル列の長さが増えて面積が増加した場合にはさらに変形の可能性が高まる。補強部２２０は、このような変形を防止するために設けられている。
【００５１】
以上、本実施例の構成によれば、流路部材２０８の変形を防止することができるとともに、実施例１と同様の効果を得られる。
（実施例４）
図５（ａ）に本実施例の記録ヘッド３０１の模式的な平面図を示す。また、図５（ｂ）に各インク色毎のノズル列の断面図および平面図を示す。本実施例も基本的な構成は実施例１と同様である。
【００５２】
本実施例の記録ヘッド３０１はブラック、シアン、マゼンタ、イエローの各色のインクを吐出可能である。記録ヘッド３０１には、図中左からそれぞれブラック３３０ｋ、シアン３３０ｃＬ、マゼンタ３３０ｍＬ、イエロー３３０ｙ、マゼンタ３３０ｍＲ、シアン３３０ｍＬと、６つの各ノズル列３３０が形成されている。
【００５３】
シアン３３０ｃＬとシアン３３０ｍＬ、マゼンタ３３０ｍＬとマゼンタ３３０ｍＲとは、図５（ｂ）に示すように左右対称形状となっている。これら各ノズル列３３０は、５ｐｌを吐出する６００ｄｐｉ列と、２．５ｐｌを吐出する吐出口と１．４ｐｌを吐出する吐出口が千鳥に配置された１２００ｄｐｉ列と、がインク供給口３０９を挟んで配置されている。
【００５４】
一方、イエロー３３０ｙとブラック３３０ｋはインク供給口３０９の両側に５ｐｌを吐出する吐出口が６００ｄｐｉで配列されている。イエローにおいて小液滴および中液滴を配置しない理由は、シアン、マゼンタに比べ明度が高く、もともと大液滴においても粒状感が低いため画質改善の効果が少ないからである。また、ブラックについては、イエロー、マゼンタ、シアンから作られるプロセスブラックでは最高濃度が低いため、これを補う目的で高濃度部に多く使用するので、中、および小液滴は必要ない。
【００５５】
本実施例のこのような構成ではブラック、イエローとシアン、マゼンタとの記録素子密度が異なる。このため、ブラックとイエローの吐出口部の樹脂厚が薄くなることを防ぐ目的で、距離Ｌｃを、１２００ｄｐｉ千鳥列では４０μｍとし、６００ｄｐｉ列ではシアン、マゼンタ、ブラック、イエローにおいて８２μｍとした。この構成によりすべての色と吐出液滴サイズにおいて、吐出性能をそろえることができ、高画質が実現できる。
（記録装置）
図６は、本発明の代表的な実施の形態であるインクジェットプリンタＩＪＲＡの構成の概要を示す外観斜視図である。図６において、駆動モータ５０１３の正逆回転に連動して駆動力伝達ギア５００９〜５０１１を介して回転するリードスクリュー５００５の螺旋溝５００４に対して係合するキャリッジＨＣはピン（不図示）を有している。ガイドレール５００３に支持されて矢印ａ，ｂ方向を往復移動するキャリッジＨＣには、記録ヘッドＩＪＨとインクタンクＩＴとを内蔵した一体型インクジェットカートリッジＩＪＣが搭載されている。
【００５６】
記録ヘッドＩＪＨは上述した各実施例の記録ヘッドである。記録ヘッドＩＪＨには記録用紙Ｐ被記録媒体の被記録面に対向してインクを吐出する吐出口が形成されている。記録用紙Ｐは搬送機構によって搬送され、記録ヘッドＩＪＨから吐出されたインクにより記録がなされる。
【００５７】
紙押え板５００２は、キャリッジＨＣの移動方向に亙って記録用紙Ｐをプラテン５０００に対して押圧する。フォトカプラ５００７，５００８は、キャリッジＨＣのレバー５００６のこの域での存在を確認して、モータ５０１３の回転方向切り換え等を行うためのホームポジション検知器である。部材５０１６は記録ヘッドＩＪＨの前面をキャップするキャップ部材５０２２を支持するものであり、吸引器５０１５は、このキャップ内を吸引するものであり、キャップ内開口５０２３を介して記録ヘッドの吸引回復を行う。クリーニングブレード５０１７は、部材５０１９によって前後方向に移動可能にされ、本体支持板５０１８にこれらが支持されている。クリーニングブレード５０１７は、この形態でなく周知のクリーニングブレードが本例に適用できることは言うまでもない。また、レバー５０２１は、吸引回復の吸引を開始するためのもので、キャリッジＨＣと係合するカム５０２０の移動に伴って移動し、駆動モータからの駆動力がクラッチ切り換え等の公知の伝達機構で移動制御される。
【００５８】
これらのキャッピング、クリーニング、吸引回復は、キャリッジＨＣがホームポジション側の領域に来た時にリードスクリュー５００５の作用によってそれらの対応位置で所望の処理が行えるように構成されている。しかしながら、周知のタイミングで所望の動作を行うようにすれば、本例にはいずれも適用できる。
（制御構成の説明）
次に、上述した装置の記録制御を実行するための制御構成について説明する。
【００５９】
図７はインクジェットプリンタＩＪＲＡの制御回路の構成を示すブロック図である。
【００６０】
インタフェース１７００には記録信号が入力される。ＲＯＭ１７０２はＭＰＵ１７０１が実行する制御プログラムを格納するＲＯＭであり、ＤＲＡＭ１７０３には各種データ（上記記録信号や記録ヘッドＩＪＨに供給される記録データ等）が保存される。ゲートアレイ（Ｇ．Ａ．）１７０４は記録ヘッドＩＪＨに対する記録データの供給制御を行い、インタフェース１７００、ＭＰＵ１７０１、ＲＡＭ１７０３間のデータ転送制御も行う。キャリアモータ１７１０は記録ヘッドＩＪＨを搬送するためのモータであり、搬送モータ１７０９は記録紙搬送のためのモータである。ヘッドドライバ１７０５は記録ヘッドＩＪＨを駆動するドライバであり、モータドライバ１７０６，１７０７はそれぞれ搬送モータ１７０９、キャリアモータ１７１０を駆動するためのドライバである。
【００６１】
上記制御構成の動作を説明すると、インタフェース１７００に記録信号が入るとゲートアレイ１７０４とＭＰＵ１７０１との間で記録信号がプリント用の記録データに変換される。そして、モータドライバ１７０６、１７０７が駆動されると共に、ヘッドドライバ１７０５に送られた記録データに従って記録ヘッドＩＪＨが駆動され、記録が行われる。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の実施例１のインクジェット記録ヘッドの平面図およびＡ−Ａ線における断面図を示したものであるとともに、インクジェット記録ヘッドを形成するプロセスを示したものである。
【図２】記録素子付近の配線を示す模式平面図である。
【図３】本発明の実施例２のインクジェット記録ヘッドの断面図を示したものであるとともに、インクジェット記録ヘッドを形成するプロセスを示したものである。
【図４】本発明の実施例３のインクジェット記録ヘッドの平面図およびＡ−Ａ線における断面図を示したものであるとともに、インクジェット記録ヘッドを形成するプロセスを示したものである。
【図５】本発明の実施例４のインクジェット記録ヘッドの平面図およびＡ−Ａ線における断面図を示したものである。
【図６】本発明の代表的な実施の形態であるインクジェットプリンタＩＪＲＡの構成の概要を示す外観斜視図である。
【図７】インクジェットプリンタＩＪＲＡの制御回路の構成を示すブロック図である。
【図８】従来例における複数のノズル列の一例の平面模式図である。
【符号の説明】
【００６３】
１    記録ヘッド
２    大液滴組
３    小液滴組
４    基板
５    流路樹脂
６、６ａ、６ｂ    記録素子
８    流路部材
９    インク供給口
１０、１０ａ、１０ｂ    流路
１２    吐出口
Ｌａ、Ｌｂ、Ｌｃ    距離
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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