(57)【要約】      （修正有）【課題】圧力室（キャビティ）間の桁部において隣の圧力室へのリークを検査する。【解決手段】キャビティユニットは、圧力室１４Ａａが開口するキャビティプレート１４Ａと、このキャビティプレート１４Ａの圧力室１４Ａａの開口を密閉する振動板１５およびベースプレート１４Ｂとを備える。キャビティプレート１４Ａと振動板１５との間およびキャビティプレート１４Ａとベースプレート１４Ｂとの間に、隣接する圧力室１４Ａａを区画する桁部１４Ａｂに対応して検査溝３１ａが形成され、各検査溝３１ａに、空気の供給が可能である共通の連通溝３２ａがそれぞれ連通している。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に列状に配置された複数のノズルと、各ノズルに対応して列状に配置された複数の圧力室と、液体を液体供給口から前記各圧力室に分配し前記各ノズルに供給する液体流路とを有するキャビティユニットを備える液体吐出装置用ヘッドにおいて、
前記キャビティユニットは、圧力室が開口する第１のプレート材と、この第１のプレート材の圧力室の開口を密閉する第２のプレート材とを備え、
前記第１のプレート材と第２のプレート材との間であって前記第１および第２のプレート材の少なくとも一方に、隣接する前記圧力室を区画する桁部に対応して検査溝が形成され、前記各検査溝に、空気の供給が可能である連通溝が連通していることを特徴とする液体吐出装置用ヘッド。
【請求項２】
前記キャビティユニットは、前記第１および第２のプレート材が金属拡散接合により接合されたものであることを特徴とする請求項１記載の液体吐出装置用ヘッド。
【請求項３】
前記圧力室は、前記第１のプレート材に貫通穴として形成され、
前記貫通穴としての圧力室は、前記第１のプレート材を挟む２つの前記第２のプレート材にて密閉され、
前記検査溝は、前記第１のプレート材と前記第２のプレート材の一方との接合面と、前記第１のプレート材と前記第２のプレート材の他方との接合面とにそれぞれ形成され、これらの検査溝は、共通の前記連通溝に連通されていることを特徴とする請求項１または２記載の液体吐出装置用ヘッド。
【請求項４】
前記検査溝は、ハーフエッチング溝として前記桁部に形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の液体吐出装置用ヘッド。
【請求項５】
前記連通溝は、前記各圧力室の列方向の両側に配置され、前記圧力室の列方向に延びていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の液体吐出装置用ヘッド。
【請求項６】
前記複数のノズルは、前記キャビティユニットに接合されるノズルプレートに形成されており、
前記キャビティユニットは、前記連通溝に連通する検査用開口を有し、
前記検査用開口は、前記ノズルプレートによって閉鎖されることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の液体吐出装置用ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットプリンタ用ヘッドなどの液体吐出装置用ヘッドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、金属拡散接合方法により複数枚の金属エッチング部材を結合させてインク流路を構成するインクジェットヘッドが知られている（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
このようなヘッドは、固着強度が強固で、剛性が高く、樹脂接着剤を使用していないので、加熱工程を採用することができる。
【０００４】
しかしながら、接合後は、分解することが困難であるので、不良ヘッドが生じた場合に、リーク箇所を特定するのが困難である。また、特に圧力室となるキャビティ間の桁部において隣のキャビティへのリークは検査されず、そのまま気づかれずにプリンタ本体に組み付けられる場合もある。
【０００５】
ところで、圧力室の列間においてこの圧力室の列に沿って延び且つ外部に連通する検査用流通溝を設け、圧力室の列間の密閉リークを、短時間で確実に検査できるインクジェットヘッドの検査方法が知られている（例えば特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２００６−９６０３４号公報（段落００４０）
【特許文献１】特開２００５−９６１７１号公報（段落００３８〜００４０および図２〜図５）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献２に記載のものにおいては、圧力室の列間において検査用流通溝を設けているだけであるので、圧力室となるキャビティ間の桁部において隣のキャビティへのリークはやはり検査することができない。
【０００７】
本発明は、圧力室となるキャビティ間の桁部において隣のキャビティへのリークを検査することができる液体吐出装置用ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１の発明は、表面に列状に配置された複数のノズルと、各ノズルに対応して列状に配置された複数の圧力室と、液体を液体供給口から前記各圧力室に分配し前記各ノズルに供給する液体流路とを有するキャビティユニットを備える液体吐出装置用ヘッドにおいて、前記キャビティユニットは、圧力室が開口する第１のプレート材と、この第１のプレート材の圧力室の開口を密閉する第２のプレート材とを備え、前記第１のプレート材と第２のプレート材との間であって前記第１および第２のプレート材の少なくとも一方に、隣接する前記圧力室を区画する桁部に対応して検査溝が形成され、前記各検査溝に、空気の供給が可能である連通溝が連通していることを特徴とする。ここで、ノズル列が一列の場合のヘッドも含まれる。
【０００９】
このようにすれば、連通溝を通じて各検査溝に空気を供給し、その空気の供給圧の変化をみることで、隣接する圧力室を区画する桁部の部分において第１のプレート材と第２のプレート材とがうまく接合されているかどうかについて簡単に検査することができる。連通溝を通じて空気を検査溝に供給するだけで、接合がうまくなされているかどうかがわか
るので、大量の製品について接合の適否を効率よく、短時間で検査するのに特に有効である。
【００１０】
請求項２に記載のように、請求項１の液体吐出装置用ヘッドにおいて、前記キャビティユニットは、第１および第２のプレート材が金属拡散接合により接合されたものである構成とすることができる。
【００１１】
このようにすれば、前記桁部の部分において第１のプレート材と第２のプレート材との間の金属拡散接合がうまくなされているかどうかを簡単に検査することができる。
【００１２】
請求項３に記載のように、請求項１または２の液体吐出装置用ヘッドにおいて、前記圧力室は、前記第１のプレート材に貫通穴として形成され、前記貫通穴としての圧力室は、前記第１のプレート材を挟む２つの前記第２のプレート材にて密閉され、前記検査溝は、前記第１のプレート材と前記第２のプレート材の一方との接合面と、前記第１のプレート材と前記第２のプレート材の他方との接合面とにそれぞれ形成され、これらの検査溝は、共通の前記連通溝に連通されている構成とすることができる。
【００１３】
このようにすれば、共通の連通溝を用いて、前記桁部の上下面の部分において、第１のプレート材と第２のプレート材とがうまく接合されているかどうかを上下同時に検査することができる。
【００１４】
請求項４に記載のように、請求項１〜３のいずれかの液体吐出装置用ヘッドにおいて、前記検査溝は、ハーフエッチング溝として前記桁部に形成されている構成とすることができる。
【００１５】
このようにすれば、検査溝としてのハーフエッチング溝を桁部に設けることで、第１のプレート材の桁部と第２のプレート材との接合部分を、桁部の中央部位ではなく、圧力室寄りの部位にすることができるので、リークを検査するための検査溝としての機能のほか、圧力室近傍を確実に接合してリークをなくす機能を発揮させることもできる。例えば金属拡散接合時による場合には、その接合による加圧荷重が、前記桁部の中央部ではなく、前記凹溝部の左右両側部分つまり前記キャビティ近傍に集中することになるので、キャビティプレートの各キャビティの周囲と振動板との間において安定した接合が可能となり、キャビティから吐出圧力がリークするおそれがなくなる。
【００１６】
請求項５に記載のように、請求項１〜４のいずれかの液体吐出装置用ヘッドにおいて、前記連通溝は、前記各圧力室の列方向の両側に配置され、前記圧力室の列方向に延びている構成とすることができる。
【００１７】
このようにすれば、検査溝に対し、その検査溝に空気の供給が可能である連通溝を無理なく配置することができる。
【００１８】
請求項６に記載のように、請求項１〜５のいずれかの液体吐出装置用ヘッドにおいて、前記複数のノズルは、前記キャビティユニットに接合されるノズルプレートに形成されており、前記キャビティユニットは、前記連通溝に連通する検査用開口を有し、前記検査用開口は、前記ノズルプレートによって閉鎖される構成とすることができる。
【００１９】
このようにすれば、検査が終了した後の検査溝を密閉した空間にすることができ、液体などの侵入を防止することができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明は、上記のように構成したから、連通溝を通じて各検査溝に空気を供給し、その空気の供給圧の変化をみることで、圧力室となるキャビティ間の桁部の部分において第１のプレート材と第２のプレート材とがうまく接合されているかどうかについて簡単に検査することができる。
【００２１】
空気を連通溝を通じて検査溝に供給するだけで、接合がうまくなされているかどうかがわかるので、大量の製品について接合の適否を効率よく検査するのに有効である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の実施の形態を、インクジェットプリンタ用ヘッドを例として図面に沿って説明する。
【００２３】
図１（ａ）は本発明に係るインクジェットプリンタの概略構成を示す概略構成図、図１（ｂ）は本発明に係るキャビティユニット、アクチュエータユニットおよびフレキシブルケーブル（ＣＯＰ）の関係を示す説明図である。
【００２４】
本発明に係るインクジェットプリンタ１は、図１（ａ）に示すように、インクカートリッジ（図示せず）が搭載されるキャリッジ２の下面に、記録用紙Ｐ（記録媒体）に記録するためのインクジェットプリンタ用ヘッド３（以下、単にプリンタ用ヘッドという）が設けられている。キャリッジ２は、プリンタフレーム４内に設けられるキャリッジ軸５とガイド板（図示せず）とによって支持され、記録用紙Ｐの搬送方向Ａと直交する方向Ｂにおいて往復移動する構成とされている。
【００２５】
図示しない給紙部からＡ方向に搬送される記録用紙Ｐは、プラテンローラ（図示せず）とプリンタ用ヘッド３との間に導入されて、プリンタ用ヘッド３から記録用紙Ｐに向けて噴射されるインクにより所定の記録がなされ、その後排紙ローラ６にて排紙される。
【００２６】
また、図１（ｂ）および図２に示すように、プリンタ用ヘッド３は、キャビティユニット１１と、アクチュエータユニット１２とを下側から順に備え、アクチュエータユニット１２の上面に駆動信号を供給するフレキシブルケーブル１３（信号線）が設けられている。
【００２７】
キャビティユニット１１は、複数枚のプレート部材からなる積層体１４を含む。その積層体１４の上側には、後述する振動板１５が設けられる一方、下側には、表面に列状に形成された複数のノズル１６ａを有するノズルプレート１６およびノズル１６ａに対応して貫通穴１７ａを有するスペーサプレート１７を貼り合わせてなるプレートアッセンブリ１８が一体に貼り付けられている。そして、振動板１５の上側に、アクチュエータユニット１２が設けられている（図１（ｂ）参照）。また、図２（ａ）に示すように、キャビティユニット１１の開口１１ａには、インク内に含有される塵埃などを捕獲するためのフィルタ１９が設けられている。ノズルプレート１６は、（積層体１４を構成する）後述のキャビティプレート１４Ａの１つの圧力室１４Ａａについて、１つのノズル１６ａがそれぞれ設けられた高分子合成樹脂プレート（例えばポリイミド）である。このようなノズル１６ａは、高分子合成樹脂プレートにエキシマレーザー加工を施すことにより形成される。このように、キャビティユニット１１は、インクを、インク供給口１１ａから各圧力室１４Ａａに分配し、各ノズル１６ａに供給するインク流路を有する。
【００２８】
この積層体１４は、図３に示すように、上側から順にキャビティプレート１４Ａ（第１のプレート材）、ベースプレート１４Ｂ、アパチャープレート１４Ｃ、２枚のマニホール
ドプレート１４Ｄ，１４Ｅ、およびダンパープレート１４Ｆがそれぞれ重ねられたものである。これら６枚のプレート１４Ａ〜１４Ｆは、各ノズル１６ａ毎に個別にインク流路が形成されるように、互いに位置合わせして積層されている。この積層体１４を構成するプレート１４Ａ〜１４Ｆは矩形状の金属プレートで、その積層体１４の上に、さらに金属プレートである振動板１５が重ねられて金属拡散接合されている。
【００２９】
図４に示すように、キャビティプレート１４Ａは、そのプレート長手方向に、圧力室１４Ａａとなる複数のキャビティが、各ノズル１６ａに対応して列状に配置されている。これら複数の圧力室１４Ａａ（キャビティ）は、エッチングにより、プレート厚さ方向に貫通する貫通穴として形成されている。そして、このキャビティプレート１４Ａ（第１のプレート材）の上下面には、複数の圧力室１４Ａａ（キャビティ）の開口を密閉する状態で、第２のプレート材としての振動板１５およびベースプレート１４Ｂが接合されている。キャビティプレート１４Ａの上下面には、図４および図５に示すように、列方向に隣接する圧力室１４Ａａを区画する桁部１４Ａｂに対応する位置に、検査溝３１ａ，３１ｂがそれぞれ形成され、各検査溝３１ａに、空気の供給が可能である共通の連通溝３２ａが連通する一方、各検査溝３１ｂに、空気の供給が可能である共通の連通溝３２ｂが連通している。
【００３０】
図５（ａ）（ｂ）は、キャビティーユニット１１の内部に形成される検査溝３１ａ，３１ｂ、連通溝３２ａ，３２ｂ、連通溝３２ａ，３２ｂと連通する貫通路３４、及び検査用開口３３を示すものである。これらの検査溝３１ａ，３１ｂ、連通溝３２ａ，３２ｂ、貫通路３４、および検査用開口３３は、キャビティーユニット１１の表面に露出するものではないので、点線で示されている。
【００３１】
検査溝３１ａ，３１ｂは、図５（ａ）（ｂ）に詳細を示すように、桁部１４Ａｂの上下面にハーフエッチング溝として形成され、それらを連通し検査溝３１ａ，３１ｂより溝幅が広い連通溝３２ａ，３２ｂは、各圧力室１４Ａａの列方向の両側に配置されている。そして、連通溝３２ａはキャビティプレート１４Ａの上面に形成される一方、連通溝３２ｂはベースプレート１４Ｂの下面に形成され、両連通溝３２ａ，３２ｂは圧力室１４Ａａの列方向に平行に延びている。両連通溝３２ａ，３２ｂは、その端部が、ベースプレート１４Ｂ、アパチャープレート１４Ｃ、マニホールドプレート１４Ｄ，１４Ｅ、およびダンパープレート１４Ｆを貫通する貫通路３４につながり、最終的には、検査用開口３３として積層体１４の下面（ダンパプレート１４Ｆの下面）に開口している。この検査用開口３３は、プレートアッセンブリ１８が接合されることで最終的には閉塞される。なお、検査用開口３３はインク色毎に設けているが、上下の連通溝３２ａ，３２ｂを連通して、１つの検査用開口とすることも可能である。また、図５（ｃ）に示すように、上下の検査溝３１ａ，３１ｂは、桁部１４Ａｂの幅方向において若干ずれて配置されている。
【００３２】
また、図６〜図８に示すように、ベースプレート１４Ｂは、マニホールド１４Ｄａ，１４Ｅａ（共通インク室）から各圧力室１４Ａａへの連通穴１４Ｂａおよび各圧力室１４Ａａから各ノズル１６ａへの連通穴１４Ｂｂがそれぞれ設けられた金属プレートである。アパチャープレート１４Ｃは、それの上面に凹部通路として、各圧力室１４Ａａとマニホールド１４Ｄａ，１４Ｅａとを連通する連通路１４Ｃａおよび各圧力室１４Ａａからノズル１６ａへの連通穴１４Ｃｂがそれぞれ設けられた金属プレートである。マニホールドプレート１４Ｄ，１４Ｅは、マニホールド１４Ｄａ，１４Ｅａに加えて、各圧力室１４Ａａから各ノズル１６ａへの連通穴１４Ｄｂ，１４Ｅｂがそれぞれ設けられた金属プレートである。ダンパープレート１４Ｆは、下面に凹部として形成されるダンパー室１４Ｆａのほか、各圧力室１４Ａａを各ノズル１６ａに連通する連通穴１４Ｆｂが設けられた金属プレートである。
【００３３】
アクチュエータユニット１２は、振動板１５上に形成された圧電層１２Ａと、この圧電層１２Ａの上側に各圧力室１４Ａａに対応して形成された複数の個別電極１２Ｂとを備えている。これら複数の個別電極１２Ｂは、圧力室１４Ａａよりも一回り小さい楕円形の平面形状を有し、平面視で、対応する圧力室１４Ａａの中央部に重なる位置に夫々形成されている。なお、図６に示すように、圧電層１２Ａの表面において、各個別電極１２Ｂについては各個別電極１２Ｂに夫々連なる複数の端子部１２Ｂａが形成され、これら複数の端子部が、フレキシブルケーブル１３を介してドライバＩＣ（図示省略）と電気的に接続されており、ドライバＩＣから端子部を介して複数の個別電極１２Ｂに対して選択的に駆動電圧が供給される構成とされている。
【００３４】
振動板１５は、複数の個別電極１２Ｂに対向して配置され、個別電極１２Ｂとキャビティプレート１４Ａとの間の圧電層１２Ａに電界を作用させる共通電極を兼ねている。圧電層１２Ａは、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなり、その厚さ方向に分極している。個別電極１２Ｂは、Ａｇ−Ｐｄ系等の金属材料からなるものであり、駆動信号が供給されるフレキシブルケーブル１３の信号線により、図示しないドライバＩＣに接続されている。他方、内部共通電極として機能する振動板１５は常にグランド電位に保たれている。
【００３５】
したがって、個別電極１２Ｂの電位をグランド電位より高い電位とすることで、圧電層１２Ａに対してその分極方向に電界が印加される。電界が印加された圧電層１２Ａは、活性層として、圧電横効果により分極方向と直角方向に縮む。一方、振動板１５は、電界の影響を受けないため自発的には縮まないので、上層の圧電層１２Ａと下層の振動板１５との間で分極方向と垂直な方向への歪みに差を生じることとなり、振動板１５がキャビティプレート１４Ａに固定されていることと相俟って、圧電層１２Ａおよび振動板１５は圧力室１４Ａａに向かって凸となるように変形しようとする（ユニモルフ変形）。このため、圧力室１４Ａａの容積が低下して、インクの圧力が上昇し、ノズル１６ａからインクが噴射される。その後、個別電極１２Ｂを共通電極（振動板１５）と同じ電位に戻すと、圧電層１２Ａおよび振動板１５は元の形状になって圧力室１４Ａａの容積が元の容積に戻るので、インクをマニホールド１４Ｄａ，１４Ｅａから吸い込む。
【００３６】
上述したように、本実施の形態では、振動板１５をキャビティユニット１１の上側に設けているので、ユニモルフ変形による優れた噴射効率を実現することができる。
【００３７】
次に、インクジェットヘッド１の製造方法について説明する。
【００３８】
まず、積層体１４を構成するプレート１４Ａ〜１４Ｆと振動板１５とを金属拡散接合により一体に接合する。ここで、振動板１５やプレート１４Ａ〜１４Ｆはステンレス鋼等の金属材料からなるため、エッチングやプレス加工等により簡単に、貫通穴（圧力室１４Ａａなど）、検査溝３１ａ，３１ｂ、連通溝３２ａ，３２ｂを形成することができる。また、この振動板１５は、複数の個別電極１２Ｂと対向して圧電層１２Ａに電界を生じさせる共通電極を兼ねているため、振動板１５とは別に共通電極を設ける必要がなく、圧電アクチュエータの構成が簡単になる。
【００３９】
特に、桁部１４Ａｂの上下面に検査溝３１ａ，３１ｂを設けているので、検査溝３１ａ，３１ｂの両側において、厚さ方向に延びる中実部分が存在することになり、金属拡散接合する際に、その接合による加圧荷重が、桁部１４Ａｂの中央部分（検査溝３１ａ，３１ｂが形成された部分）ではなく、圧力室１４Ａａ寄りの前記中実部分で受け止められ、桁部１４Ａｂは座屈することなく、安定して接合される。つまり、図９（ａ）に一点鎖線で囲む部分で強固に接合される。
【００４０】
金属拡散接合完了後、キャビティユニット１１下面の検査用開口３３を通じて圧縮空気を連通溝３２ａ，３２ｂを通じて各検査溝３１ａ，３１ｂに供給し、その空気の供給圧の変化をみることで、隣接する圧力室を区画する桁部１４Ａｂの部分において、振動板１５とキャビティプレート１４Ａと、キャビティプレート１４Ａとベースプレート１４Ｂとがうまく接合されているかどうかについて簡単に検査することができる。つまり、接合不良がなければ、空気の供給圧にほとんど変化がなく、ＯＫと判断できる。一方、接合不良があると、リークが生じ、空気の供給圧が低下するので、それによりＮＧであると判断することができる。このように、連通溝３２ａ，３２ｂを通じて空気を検査溝３１ａ，３１ｂに供給するだけで、接合がうまくなされているかどうかがわかるので、大量の製品について接合の適否を効率よく、短時間で検査するのに特に有効である。
【００４１】
次に、拡散接合がうまくなされているキャビティユニット１１に対し、振動板１５の、積層体１４と反対側の面に圧電層１２Ａを形成する。ここで、この圧電層１２Ａの形成においては、エアロゾルデポジション法（ＡＤ法）を用い、超微粒子材料（ＰＺＴの粒子）を振動板１５の被処理面（表面）に高速で衝突させて堆積させることにより、圧電層を振動板１５上に形成する。
【００４２】
このように、振動板１５の表面に圧電層１２Ａを形成した後に、圧電層１２Ａに十分な圧電特性を確保させるための加熱処理であるアニール処理を行い、その次に、圧電層１２Ａの表面の、平面視で複数の圧力室１４Ａａに夫々重なる領域に、スクリーン印刷法、蒸着法あるいはスパッタ法等を用いて複数の個別電極１２Ｂを形成する。
【００４３】
そして、最後に、合成樹脂製のプレートアッセンブリ１８（ノズルプレート１６、スペーサプレート１７）を積層体１４の下面に接合して、インクジェットプリンタ用ヘッド３の製造を完了する。なお、このプレートアッセンブリ１８の接合により検査用開口３３が閉塞され、外部から見えなくなる。このようにプレートアッセンブリ１８を最後に後付するのは、プレートアッセンブリ１８が合成樹脂製であり、アニール処理に曝されると変形してしまうことと、リーク検査の終了後に検査用開口３３を閉鎖するためである。もし、検査用開口３３を閉鎖しないと、そこからインクが侵入しヘッドの腐食を必要以上に進行させることとなるため、検査用開口３３を閉鎖することが望ましいのである。
【００４４】
前記実施の形態では、キャビティプレート１４Ａの桁部１４Ａｂａの上下面の両方に検査溝３１ａ，３１ｂを設けるようにしているが（図９（ａ）参照）、本発明はそれに限定されるものではなく、例えば図９（ｂ）に示すように上側の検査溝３１ａ’を振動板１５の下面に設けたり、例えば図９（ｃ）に示すように下側の検査溝３１ｂ’をベースプレート１４Ｂの上面に設けたり、あるいは図９（ｄ）に示すように上側の検査溝３１ａ’を振動板１５の下面に、下側の検査溝３１ｂ’をベースプレート１４Ｂの上面に設けることも可能である。また、桁部１４Ａｂａ上下面の部分のいずれかに、接合不良の発生が片寄っている場合には、その接合不良が発生する側にのみ検査溝を設けることも可能である。つまり、キャビティプレート１４Ａと振動板１５との間、あるいはキャビティプレート１４Ａとベースプレート１４Ｂとの間の少なくとも一方に設ければよい。
【００４５】
また、前記実施の形態では、積層体１４を構成するプレート１４Ａ〜１４Ｆや振動板１５だけを金属プレートで形成しているが、本発明はそれに限定されるものではなく、ノズルプレート１６やスペーサプレート１７も金属プレートで形成することができ、その場合には、ノズルプレート１６やスペーサプレート１７も含めて金属拡散接合して、キャビティユニットを形成するようにしてもよい。この場合には、前述した検査用開口は、ノズルプレートの下面（ノズル面）に開口させることになり、振動板１５とプレート１４Ａ〜１４Ｆ、１６，１７を金属拡散接合した後、前述したリークの検査が行われ、リークがないものについて圧電層１２Ａおよび個別電極１２Ｂが形成されることになる。この場合にお
いても、検査用開口は閉鎖することが望ましい。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】図１（ａ）は本発明に係るインクジェットプリンタの概略構成を示す概略構成図、図１（ｂ）は本発明に係るキャビティユニット、アクチュエータユニットおよびフレキシブルケーブル（ＣＯＰ）の関係を示す説明図である。
【図２】図２（ａ）はキャビティユニットの上側に、アクチュエータユニットを貼り付けた状態を示す斜視図、図２（ｂ）はノズルプレートとスペーサプレートを貼り合わせてなるプレートアッセンブリの説明図である。
【図３】（ａ）はキャビティユニットを、構成要素である各プレートに分解し、それらを振動板とともに示す図、（ｂ）は接合された状態の図である。
【図４】検査溝と連通溝との関係を示す平面図である。
【図５】（ａ）はキャビティユニットを上側からみた斜視図、（ｂ）は下側からみた斜視図、（ｃ）は上下の検査溝と連通溝との関係の説明図である。
【図６】積層体を上側からみた要部拡大図である。
【図７】図６のＡ−Ａ線における断面図である。
【図８】（ａ）は図６のＢ−Ｂ線における断面図、（ｂ）は圧力室の桁部付近を拡大して示す説明図である。
【図９】（ａ）〜（ｄ）はそれぞれ検査溝を設ける部分の説明図である。
【符号の説明】
【００４７】
１    インクジェットプリンタ
３    インクジェットプリンタ用ヘッド
１１    キャビティユニット
１２Ａ    圧電層
１２Ｂ    個別電極
１４Ａ    キャビティプレート
１４Ａａ    圧力室（キャビティ）
１４Ａｂ    桁部
１５    振動板
３１ａ，３１ｂ    検査溝
３２ａ，３２ｂ    連通溝
３３    検査用開口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2008074035.tif 000006
【図５】
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【図６】
2008074035.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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