(57)【要約】【課題】金属製部品の腐食の発生を抑制するとともに、腐食が発生した場合にはそれを容易に把握可能な流体用機器を提供する。【解決手段】エアオペレイトバルブ１０は、ボディ１１、シリンダ１２、カバー１３、取付板１４を有しており、これらが各ボルト１５によって締結されることで一体化されバルブ本体１６が構成されている。バルブ本体１６を構成する各ブロック１１〜１４は、透明性を有する材料により形成されている。また、ボルト１５の周面にはガスバリア性を有するとともに透明性を有する材料によりコーティング膜２１が形成されている。コーティング膜２１は、化学蒸着法により雄ネジ部１５ａを含めたボルト１５の周面全体に形成されている。【選択図】      図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のブロックが一体化されてなる機器本体と、
機器本体の内部空間に設けられ、流体が流入する流入部及びその流体が流出する流出部を有する流体通路領域と、
前記内部空間において仕切部材により前記流体通路領域から仕切られてなり、当該仕切部材を作動させて前記流体通路領域における前記流体の流入又は流出の少なくとも一方を行わせるための作動領域とを備え、
ガスバリア性を有するとともに透明性を有するコーティング膜を、前記機器本体を構成する又は前記機器本体に取り付けられる構成部品の少なくとも一つに形成したことを特徴とする流体用機器。
【請求項２】
前記機器本体を構成する又は前記機器本体に取り付けられる構成部品のうち、所定の金属製部品に対して前記コーティング膜を形成するとともに、そのコーティング膜を形成した金属製部品の周囲に設けられる周囲部品を透明性を有する材料により形成したことを特徴とする請求項１に記載の流体用機器。
【請求項３】
前記複数のブロックとして、前記流体通路領域を形成する第１ブロックと、前記作動領域を形成する第２ブロックとを備え、
前記第１ブロックと前記第２ブロックとに対して挿通されることでそれら両ブロックを一体化させる金属製の締結具に対して前記コーティング膜を形成するとともに、少なくとも前記第１ブロックを透明性を有する材料により形成したことを特徴とする請求項１に記載の流体用機器。
【請求項４】
前記締結具はネジ部材であり、
前記コーティング膜を、ネジ部を含めた前記ネジ部材の周面全体に形成したことを特徴とする請求項３に記載の流体用機器。
【請求項５】
前記第１ブロックと前記第２ブロックとで前記仕切部材の周縁部を挟むとともに、前記締結具によりそれら第１，第２ブロックを締結することで、第１，第２ブロックにより前記仕切部材を挟持する構成とし、第１ブロックの内側の壁面と前記仕切部材との間に前記流体通路領域を形成したことを特徴とする請求項３又は４に記載の流体用機器。
【請求項６】
前記コーティング膜をポリパラキシリレン又はその誘導体により形成したことを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の流体用機器。
【請求項７】
化学蒸着法により、前記コーティング膜を形成したことを特徴とする請求項６に記載の流体用機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体、液晶などの製造装置や、医療、分析機器等において使用されるバルブやポンプなどといった流体用機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体、液晶などの製造装置や、医療、分析機器等における薬液やガスの使用工程においては、それら薬液やガスを供給するための流体供給システムが提案されている。かかる流体供給システムにおいては、流体用機器としてバルブやポンプなどが使用されている。これらバルブやポンプは、薬液等が流入する流入ポート及びその流入した薬液等が流出する流出ポートが形成された流体通路領域がそれぞれ形成されており、バルブにおいては流体通路領域を通過する薬液等の開閉が行われ、ポンプにおいては流体通路領域を介して薬液等の吸引及び吐出が行われる。
【０００３】
バルブについて詳細には、例えば、特許文献１のようなエアオペレイトバルブが提案されている。エアオペレイトバルブは、ボディ、シリンダ、カバーなどを有し、これらによりバルブ本体が構成されている。また、バルブ本体内には、流体通路領域が形成されており、さらにピストンロッドが挿設されている。そして、バルブ本体に圧縮空気を供給したりその供給された圧縮空気を排出したりすることでピストンロッドが作動し、流体通路領域が開閉される。
【０００４】
ここで、上記流体供給システムにおいて塩酸などといった腐食性の薬液が使用されることがあり、当該腐食性の薬液が使用される場合にはバルブなどの周囲は腐食性雰囲気となる。この場合、バルブなどに使用されている金属製の部品が腐食してしまうおそれがある。特に、バルブに関して金属製のピストンロッドや、バルブ本体を構成する各ブロックを一体化させるボルトなどといった外部から視認できない部位において腐食が発生すると、その腐食の発生が外部から把握できないため腐食が大きく進行してしまうおそれがある。
【特許文献１】特開２００６−５２８２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、薬液やガスなどの流体を供給するポンプやバルブなどといった流体用機器において、金属製部品の腐食の発生を抑制するとともに、腐食が発生した場合にはそれを容易に把握可能な流体用機器を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
以下、上記課題を解決するのに有効な手段等につき、必要に応じて作用、効果、より踏み込んだ具体的手段等を示しつつ説明する。なお以下では、理解を容易にするため、発明の実施の形態において対応する構成を括弧書き等で適宜示すが、この括弧書き等で示した具体的構成に限定されるものではない。
【０００７】
手段１．複数のブロック（ボディ１１、シリンダ１２、カバー１３、取付板１４）が一体化されてなる機器本体（バルブ本体１６）と、
機器本体の内部空間に設けられ、流体が流入する流入部（流入ポート２５）及びその流体が流出する流出部（流出ポート２６）を有する流体通路領域（通路領域２３）と、
前記内部空間において仕切部材（ダイアフラム２２）により前記流体通路領域から仕切られてなり、当該仕切部材を作動させて前記流体通路領域における前記流体の流入又は流出の少なくとも一方を行わせるための作動領域（作動領域２４）とを備え、
ガスバリア性を有するとともに透明性を有するコーティング膜（コーティング膜２１）を、前記機器本体を構成する又は前記機器本体に取り付けられる構成部品の少なくとも一つに形成したことを特徴とする流体用機器。
【０００８】
手段１によれば、仕切部材を作動させることで流体通路領域における流体の流入又は流出の少なくとも一方を行う流体用機器において、機器本体を構成する又は機器本体に取り付けられる構成部品の少なくとも一つにコーティング膜が形成されている。そして、このコーティング膜はガスバリア性を有するとともに透明性を有する。これにより、例えば、流体通路領域を通過する腐食性の薬液が揮発して腐食性ガスが発生する場合において、その腐食性ガスが所定の構成部品に接触することを抑制することができる。また、そのコーティング膜を形成した構成部品が金属製である場合においてその構成部品に腐食が発生することも想定されるが、上記のとおりコーティング膜は透明性を有するため、当該コーティング膜を除去することなく腐食の発生を目視により確認することができる。
【０００９】
手段２．前記機器本体を構成する又は前記機器本体に取り付けられる構成部品のうち、所定の金属製部品（ボルト１５）に対して前記コーティング膜を形成するとともに、そのコーティング膜を形成した金属製部品の周囲に設けられる周囲部品（ボディ１１、シリンダ１２、カバー１３、取付板１４）を透明性を有する材料により形成したことを特徴とする手段１に記載の流体用機器。
【００１０】
手段２によれば、金属製部品に対してコーティング膜が形成されていることにより、金属製部品の周囲が腐食性雰囲気となったとしても、その金属製部品に対する腐食の発生を抑制することができる。また、コーティング膜は透明性を有するとともに、コーティング膜が形成された金属製部品の周囲に設けられる周囲部品が透明性を有する材料により形成されているため、金属製部品に腐食が発生したとしてもその腐食の発生を機器本体の外部から目視により確認することができる。
【００１１】
手段３．前記複数のブロックとして、前記流体通路領域を形成する第１ブロック（ボディ１１）と、前記作動領域を形成する第２ブロック（シリンダ１２）とを備え、
前記第１ブロックと前記第２ブロックとに対して挿通されることでそれら両ブロックを一体化させる金属製の締結具（ボルト１５）に対して前記コーティング膜を形成するとともに、少なくとも前記第１ブロックを透明性を有する材料により形成したことを特徴とする手段１に記載の流体用機器。
【００１２】
手段３によれば、金属製の締結具に対してコーティング膜が形成されていることにより、締結具に腐食が発生することを抑制することができる。また、締結具に腐食が発生したとしても、コーティング膜が透明性を有するとともに、締結具の周囲に設けられる第１，第２ブロックのうち少なくとも第１ブロックが透明性を有する材料により形成されているため、その腐食の発生を機器本体の外部から目視により確認することが可能となる。締結具は複数のブロックを一体化させる機能を有するため、締結具に腐食が発生しその腐食が放置されると、その腐食が発生した位置にて破断し第１，第２ブロックが相互に分離してしまうおそれがあり、分離してしまうと流体通路領域内にある薬液等が漏れ出してしまう。これに対して、本構成によれば、かかる不都合の発生を抑制することができる。
【００１３】
手段４．前記締結具はネジ部材であり、
前記コーティング膜を、ネジ部（雄ネジ部１５ａ）を含めた前記ネジ部材の周面全体に形成したことを特徴とする手段３に記載の流体用機器。
【００１４】
手段４によれば、ネジ部を含めたいずれの位置においてもネジ部材の腐食の発生を抑制することができる。
【００１５】
なお、ネジ部材には、ネジだけでなくボルトも含まれる。
【００１６】
手段５．前記第１ブロックと前記第２ブロックとで前記仕切部材の周縁部を挟むとともに、前記締結具によりそれら第１，第２ブロックを締結することで、第１，第２ブロックにより前記仕切部材を挟持する構成とし、第１ブロックの内側の壁面と前記仕切部材との間に前記流体通路領域を形成したことを特徴とする手段３又は４に記載の流体用機器。
【００１７】
手段５によれば、締結具により締結される第１ブロックと第２ブロックとに仕切部材が挟持されるため、仕切部材用の固定具を別途設ける構成に比べ部品点数の削減が図られる。但し、当該構成においては、流体通路領域にある薬液等が第１ブロックと第２ブロックとの間からしみ出すおそれがあり、このしみ出した薬液等により締結具が腐食するおそれがある。これに対して、上記手段３等の構成を備えていることにより、締結具に腐食が発生することを抑制することができる。また、締結具に腐食が発生したとしても、コーティング膜が透明性を有するとともに少なくとも第１ブロックが透明性を有する材料により形成されているため、その腐食の発生を機器本体の外部から目視により確認することが可能となる。
【００１８】
手段６．前記コーティング膜をポリパラキシリレン又はその誘導体により形成したことを特徴とする手段１乃至５のいずれかに記載の流体用機器。
【００１９】
ポリパラキシリレン又はその誘導体は、ガスバリア性に優れているとともに、透明度が高い。この場合に、手段６によれば、コーティング膜がポリパラキシリレン又はその誘導体により形成されているので、上記手段１等の各効果が好適に発揮される。
【００２０】
特に、上記手段４を備えた構成においてはネジ部を含めたネジ部材の周面全体にコーティング膜が形成されることとなるが、ポリパラキシリレン又はその誘導体はフッ素樹脂などに比べ表面が滑りづらくなっているため、ネジ部材における締結を行う機能は担保される。
【００２１】
手段７．化学蒸着法により、前記コーティング膜を形成したことを特徴とする手段６に記載の流体用機器。
【００２２】
手段７によれば、ポリパラキシリレン又はその誘導体によるコーティング膜の薄膜化及び膜厚の均一化を図ることができる。
【００２３】
特に、上記手段４を備えた構成においてはネジ部を含めたネジ部材の周面全体にコーティング膜が形成されることとなるが、コーティング膜の薄膜化及び膜厚の均一化を図ることで、ネジ部の溝がコーティング膜により埋められてしまうことが抑制され、さらにネジ部材により各ブロックを締結する場合のトルクを安定させることが可能となる。
【００２４】
例えば、スプレーや浸漬によりコーティング膜を形成する場合を想定すると、コーティング膜の薄膜化及び膜厚の均一化が図れないためネジ部の溝が埋められてしまったり、締結する場合のトルクが不安定となるといった不都合が生じ得る。そうすると、コーティング膜の形成に際して、ネジ部をマスキングし当該ネジ部にコーティング膜が形成されないようにする必要が生じる。この場合、ネジ部への腐食性ガスの接触が抑制されないためネジ部において腐食が発生してしまうおそれがある。また、コーティング膜の形成に際してマスキングの作成や除去を行う必要が生じ、コーティング膜の形成作業の作業性が悪化してしまうおそれがある。これに対して、化学蒸着法によってポリパラキシリレン又はその誘導体によりコーティング膜を形成することにより、上記不都合を発生させることなく、ネジ部を含めたネジ部材の周面全体にコーティング膜を形成することができる。さらに、ポリパラキシリレン又はその誘導体によりコーティング膜を形成することにより、上記のようにコーティング膜の薄膜化を図ったとしてもピンホールが生じ難く、優れたガスバリア性は担保される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明を薬液用のエアオペレイトバルブについて具体化した実施の形態を図面に基づいて説明する。図１はエアオペレイトバルブ１０の平面図、図２は図１のＡ―Ａ線断面図、図３は図１のＢ−Ｂ線断面図である。
【００２６】
エアオペレイトバルブ１０は、図２及び図３に示すように、ボディ１１、シリンダ１２、カバー１３、及び取付板１４を有している。ボディ１１、シリンダ１２、カバー１３、及び取付板１４は、透明性を有し耐食性に優れたＰＦＡ（テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）などといったフッ素樹脂により形成されている。これら各構成部品が下から取付板１４、ボディ１１、シリンダ１２、カバー１３の順に重ねられ、上下方向に延びる金属製のボルト１５によって四隅が固定されていることにより、全体として角柱状をなすバルブ本体１６が構成されている。
【００２７】
かかる固定について詳細には、各ボルト１５にはその先端に転造加工によって雄ネジ部１５ａが形成されており、カバー１３、シリンダ１２、ボディ１１、及び取付板１４の全てを上下に貫通するようにしてカバー１３側から取付板１４に向けて挿し込まれている。カバー１３には上面側を段差状に拡径させて頭収容部１７が形成されており、ボルト１５の頭部１５ｂは当該頭収容部１７に収容されるとともに、頭部１５ｂと頭収容部１７の段差部１７ａとの間には金属製のワッシャ１８が介在している。また、ボルト１５の先端は取付板１４内にあり、取付板１４に埋設された金属製の雌ネジ部材１９に対してボルト１５の雄ネジ部１５ａが嵌合されている。つまり、各ボルト１５によってカバー１３が取付板１４に向けて抑えこまれ、この押さえ込む力によって取付板１４、ボディ１１、シリンダ１２、及びカバー１３が相互に固定されている。なお、カバー１３及び取付板１４のボルト用開口部は、内部が腐食性雰囲気となるのを抑制するため、フッ素ゴムなどにより形成されたキャップ２０によって塞がれている。
【００２８】
ここで、各ボルト１５には、図３の部分拡大図に示すように、コーティング膜２１が形成されている。詳細には、化学蒸着法（ＣＶＤ：Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）によって、各ボルト１５における雄ネジ部１５ａを含めた周面全体にポリパラキシリレン又はその誘導体（以下、ポリパラキシリレン系樹脂という）によるコーティング膜２１が形成されている。
【００２９】
ポリパラキシリレン系樹脂には、塩素置換したものやフッ素置換したものなどがあり、いずれにおいても耐食性及びガスバリア性に優れている。また、ポリパラキシリレン系樹脂は、透明度が高い。これにより、各ボルト１５の周面全体にコーティング膜２１を形成した構成において、コーティング膜２１を除去することなく各ボルト１５の周面を視認することができる。また、上記のとおりエアオペレイトバルブ１０のバルブ本体１６を構成するボディ１１、シリンダ１２、カバー１３、及び取付板１４は透明性を有するＰＦＡによって形成されている。したがって、バルブ本体１６の外部からボルト１５の周面を視認することができる。
【００３０】
化学蒸着法によってポリパラキシリレン系樹脂によるコーティング膜２１を形成したことにより、スプレーや浸漬でのコーティング方法に比べ、コーティング膜２１の膜厚の薄膜化（例えば、０．１〜２５μｍ）が図られているとともに、膜厚の均一化が図られている。このようにコーティング膜２１の薄膜化及び膜厚の均一化が図られていることにより、雄ネジ部１５ａのネジ溝が埋められることはなく、雌ネジ部材１９との嵌合が担保されている。また、ポリパラキシリレン系樹脂は、フッ素樹脂などに比べ表面が滑りづらくなっている。したがって、ボルト１５の雄ネジ部１５ａが雌ネジ部材１９に対して滑ってしまいボルト１５における締結を行う機能が損なわれるといった不都合が生じることはない。さらに、上記のようにコーティング膜２１を薄膜化した構成であっても、ポリパラキシリレン系樹脂はピンホールが生じ難いため、上述したガスバリア性の効果は発揮される。
【００３１】
図２に示すように、バルブ本体１６の内部には所定の空間が形成されており、その空間内にはボディ１１とシリンダ１２とにより周縁部２２ａを挟持させて弁体としてのダイアフラム２２が設けられている。このようにボディ１１とシリンダ１２とによりダイアフラム２２を挟持させることにより、ダイアフラム２２用の固定具を別途設ける構成に比べ部品点数の削減が図られる。ダイアフラム２２は、耐食性の優れたＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）により形成されている。ダイアフラム２２は、バルブ本体１６内の空間を上下に仕切っており、当該ダイアフラム２２により仕切られることによってボディ１１側の空間に通路領域２３が形成され、シリンダ１２及びカバー１３側の空間に作動領域２４が形成されている。
【００３２】
通路領域２３には、薬液が流入する流入ポート２５及びその流入した薬液が流出する流出ポート２６が形成されているとともに、それら各ポート２５，２６を繋ぐようにして薬液通路２７が形成されている。薬液通路２７は、ボディ１１において上方に開放させて形成されており、ダイアフラム２２の作動状態に応じて閉鎖又は開放される。
【００３３】
作動領域２４はダイアフラム２２を作動させるための空間であり、シリンダ１２内を挿通するようにして樹脂材料により形成されたピストンロッド２８が設けられている。ピストンロッド２８はその下端部がダイアフラム２２の中央部に螺設されている。ピストンロッド２８が設けられていることにより、作動領域２４は、カバー１３とピストンロッド２８との間の第１作動領域３１、ピストンロッド２８とシリンダ１２との間の第２作動領域３２、及びシリンダ１２とダイアフラム２２との間の第３作動領域３３に区画されている。
【００３４】
第１作動領域３１においてピストンロッド２８とカバー１３との間には、付勢部材としての金属製のスプリング３４が圧縮状態で設けられている。このスプリング３４によってピストンロッド２８には常に下向きの付勢力が加えられており、かかる付勢力が加えられた初期状態ではダイアフラム２２によって薬液通路２７が閉鎖されている。
【００３５】
また、シリンダ１２には、第２作動領域３２に作動エアを供給するため、及びその供給した作動エアを排出するための操作ポート３５が形成されている。操作ポート３５から第２作動領域３２に作動エアが供給されることにより、ピストンロッド２８に対して上向きの力が加わり、当該ピストンロッド２８は付勢力に抗して上方へ移動する。これにより、ダイアフラム２２が上方に向けて変形し、薬液通路２７が開放される。なお、カバー１３にはエアの給排ポート３６が形成されており、ピストンロッド２８の動きに応じて第１作動領域３１の容積が拡張又は縮小されることとなるが、かかる容積の変化に合わせて給排ポート３６を介してエアが出入りするようになっている。
【００３６】
以上説明したエアオペレイトバルブ１０は、第２作動領域３２内に作動エアが供給されていない状態ではピストンロッド２８が初期状態にあり、薬液通路２７はダイアフラム２２によって閉鎖されている。一方、第２作動領域３２内に作動エアが供給されることによりピストンロッド２８が上方へ移動しダイアフラム２２が上方へ変形することにより、薬液通路２７が開放される。その後、供給された作動エアを排出することにより、スプリング３４の付勢力によってピストンロッド２８が初期状態に復帰し、薬液通路２７がダイアフラム２２によって閉鎖される。
【００３７】
以上詳述したように、本実施の形態によれば、以下の優れた効果を有する。
【００３８】
エアオペレイトバルブ１０の各ボルト１５に、ガスバリア性に優れたポリパラキシリレン系樹脂によりコーティング膜２１を形成した。エアオペレイトバルブ１０は、塩酸などの酸性の薬液を扱う薬液供給システムにおいて使用されることがあり、エアオペレイトバルブ１０の薬液通路２７を酸性の薬液が通過することがある。この場合に、通過する薬液と接触するボディ１１及びダイアフラム２２は、耐食性に優れたフッ素樹脂により形成されているため、それらが酸性の薬液によって腐食するといった不都合が生じることはない。但し、酸性の薬液が揮発することによって生じる腐食性ガスはボディ１１やダイアフラム２２などを透過してしまうおそれがあり、その場合、各ボルト１５の周囲が腐食性雰囲気となり、これら各ボルト１５が腐食してしまう。各ボルト１５はボディ１１やシリンダ１２などを一体化させる機能を有するため、各ボルト１５に腐食が発生しその腐食が放置されると、その腐食が発生した位置にて破断しボディ１１やシリンダ１２が分離してしまうおそれがあり、分離してしまうと薬液が漏れ出してしまう。これに対して、上記のとおり各ボルト１５に、ガスバリア性に優れたポリパラキシリレン系樹脂によりコーティング膜２１を形成したことにより、腐食性ガスが各ボルト１５に接触することが抑制され、各ボルト１５の腐食の発生を抑制することができる。
【００３９】
特に、本エアオペレイトバルブ１０では、ボディ１１とシリンダ１２とによりダイアフラム２２が挟持され、ボディ１１の内側の壁面とダイアフラム２２との間に通路領域２３が形成されているため、ボディ１１とシリンダ１２との境界から薬液や当該薬液からのガスがしみ出すおそれがある。そして、これらボディ１１とシリンダ１２との境界を跨ぐようにして各ボルト１５が設けられているため、その跨いだ部分において腐食が発生してしまうおそれがある。これに対して、上記のとおり各ボルト１５にポリパラキシリレン系樹脂のコーティング膜２１を形成したことにより、各ボルト１５の腐食の発生を抑制することができる。
【００４０】
透明度の高いポリパラキシリレン系樹脂によりコーティング膜２１を形成するとともに、エアオペレイトバルブ１０のバルブ本体１６を構成するボディ１１、シリンダ１２、カバー１３、及び取付板１４は透明性を有するＰＦＡによって形成した。したがって、バルブ本体１６の外部からボルト１５の周面の全体を容易に視認することができる。これにより、エアオペレイトバルブ１０が長期に亘って使用され、ボルト１５の腐食が発生したとしても、それを容易に把握することができる。
【００４１】
化学蒸着法によってポリパラキシリレン系樹脂のコーティング膜２１を形成したことにより、スプレーや浸漬でのコーティング方法に比べ、コーティング膜２１の薄膜化が図られるとともに、膜厚の均一化が図られている。ボルト１５の雄ネジ部１５ａを含めてコーティング膜２１を形成する構成において、上記のとおりコーティング膜２１の薄膜化が図られていることにより、雄ネジ部１５ａの溝が埋められることはなく雌ネジ部材１９との嵌合は担保されている。
【００４２】
また、スプレーや浸漬でのコーティング方法では、雄ネジ部１５ａにおいて膜厚の薄膜化及び均一化が図れないため、ボルト１５を締める際のトルクが安定しない。したがって、スプレーや浸漬でのコーティング方法では、雄ネジ部１５ａにマスキングを施し当該雄ネジ部１５ａにコーティング膜２１を形成しないようにする必要が生じる。しかしながら、この場合、雄ネジ部１５ａにおいて腐食が生じるおそれがあり、さらにマスキングを施すことはコーティング作業時において手間となる。これに対して、化学蒸着法によってポリパラキシリレン系樹脂のコーティング膜２１を形成することにより、上記のとおり膜厚の薄膜化及び均一化が図られ、コーティング膜２１を雄ネジ部１５ａに形成したとしてもボルト１５を締める際のトルクが安定する。
【００４３】
なお、実施の形態は上記した内容に限定されず、例えば次のように実施してもよい。
【００４４】
（１）上記実施の形態では、ボルト１５に対してコーティング膜２１を形成したが、かかるボルト１５に加えて又は代えて、他の金属製部品にコーティング膜２１を形成してもよい。例えば、スプリング３４に対してコーティング膜２１を形成してもよく、ワッシャ１８や雌ネジ部材１９にコーティング膜２１を形成してもよい。また、シリンダ１２，カバー１３，取付板１４，ピストンロッド２８などが金属製のエアオペレイトバルブ１０においては、それら金属製の部品に対してコーティング膜２１を形成してもよい。また、エアオペレイトバルブ１０などといった流体用機器を設置場所に固定するための固定具に対してコーティング膜２１を形成してもよい。また、全ての金属製の部品に対してコーティング膜２１を形成することにより、エアオペレイトバルブ１０における腐食の発生を効果的に抑制することができる。
【００４５】
さらに、バルブ本体１６の外側の壁面、及び通路領域２３の壁面にコーティング膜２１を形成してもよい。かかる場合、バルブ本体１６外部からバルブ本体１６の内部に腐食性ガスが透過していくことが抑制されるとともに、通路領域２３内にある薬液が揮発して腐食性ガスが発生した場合にその腐食性ガスがボルト１５側や作動領域２４側に透過していくことが抑制される。
【００４６】
（２）上記実施の形態では、ボディ１１，シリンダ１２，カバー１３，及び取付板１４の全てを、透明性を有する材料により形成したが、これを変更してもよい。例えば、ボディ１１のみを透明性を有する材料により形成し、その他のシリンダ１２，カバー１３，及び取付板１４を透明性を有しない材料により形成してもよい。当該構成であっても、ボディ１１を介してボルト１５の少なくとも一部をバルブ本体１６の外部から視認することができる。特に、ボディ１１とシリンダ１２とによりダイアフラム２２が挟持され、ボディ１１の内側の壁面とダイアフラム２２との間に通路領域２３が形成された構成においては、ボディ１１とシリンダ１２との境界から薬液や当該薬液からのガスがしみ出すおそれがあり、この場合、ボルト１５におけるボディ１１を挿通している部位にて腐食が発生し易いと考えられる。これに対して、少なくともボディ１１を透明性を有する材料により形成することで、かかる部位における腐食の発生をバルブ本体１６の外部から視認することができる。
【００４７】
（３）上記実施の形態では、取付板１４に金属製の雌ネジ部材１９を埋設したが、雌ネジ部材１９を設けるのではなく取付板１４などといったバルブ本体（機器本体）に雌ネジ部を形成してもよい。金属製の雌ネジ部材１９が設けられた構成においては、当該雌ネジ部材１９によりボルト１５の雄ネジ部１５ａが覆われるため、当該雄ネジ部１５ａを外部から視認することができない。これに対して、透明性を有する材料により形成されたバルブ本体に雌ネジ部を形成することにより、雄ネジ部１５ａを外部から視認することができる。
【００４８】
（４）上記実施の形態では、雄ネジ部１５ａを含めたボルト１５の周面全体にコーティング膜２１を形成したが、雄ネジ部１５ａにはコーティング膜２１を形成しないようにしてもよい。つまり、コーティング膜２１の形成に際して雄ネジ部１５ａにマスキングを施し当該雄ネジ部１５ａにコーティング膜２１が形成されないようにする。これにより、雄ネジ部１５ａと雌ネジ部材１９との嵌合に関してコーティング膜２１の影響がなくなり、ボルト１５を締める際のトルクをより安定させることができる。
【００４９】
（５）コーティング膜２１を形成する材料は、ポリパラキシリレン又はその誘導体に限定されることはなく、所定のガスバリア性を有するとともに透明性を有する材料であればよい。例えば、ＰＦＡやＰＴＦＥなどといったフッ素樹脂、透明シリコーン、ガラスなどによりコーティング膜２１を形成してもよい。ＰＦＡによりコーティング膜２１を形成する構成においては、化学蒸着法ではなくスプレーや浸漬によりコーティング膜２１が形成される。また、スプレーや浸漬によりコーティング膜２１を形成する構成においては、薄膜化及び膜厚の均一化が図れないため、雄ネジ部１５ａにコーティング膜２１が形成されないようにする必要がある。
【００５０】
（６）上記実施の形態では、取付板１４を含めてバルブ本体１６を構成したが、取付板１４を除いてバルブ本体１６を構成してもよい。つまり、ボディ１１、シリンダ１２、及びカバー１３を締結具によって一体化することでバルブ本体１６を構成するとともに、当該バルブ本体に対して上記締結具とは異なる締結具によって取付板１４を一体化させる構成としてもよい。
【００５１】
（７）金属製の部品に対してコーティング膜を形成する構成をベローズ式のポンプに適用した場合の変形例を図４に示す。
【００５２】
図４のポンプ４０は、ボディ４１とカバー４２とを有している。これらボディ４１とカバー４２とは、透明性を有し耐食性に優れたＰＦＡなどといったフッ素樹脂により形成されており、複数のボルト４３によって固定されてポンプ本体４４が形成されている。なお、ボディ４１のみが透明性を有する合成樹脂により形成され、カバー４２は透明性を有しない他の合成樹脂により形成された構成であってもよい。ポンプ本体４４の内部空間にはベローズ式仕切部材４５が収容されており、このベローズ式仕切部材４５によってポンプ領域４６と作動領域４７とが区画形成されている。ベローズ式仕切部材４５は、軸方向に伸縮自在のベローズ４５ａと、当該ベローズ４５ａの一端部に取り付けられた仕切板４５ｂとを有している。
【００５３】
ポンプ領域４６には、吸引ポート４６ａと吐出ポート４６ｂとが形成されているとともに、これら各ポート４６ａ，４６ｂを連通するポンプ通路４６ｃが形成されている。吸引ポート４６ａを介してポンプ通路４６ｃに薬液が充填され、この充填された薬液は吐出ポート４６ｂから吐出される。作動領域４７には、細長円柱状に形成されたロッド４８が設けられている。ロッド４８は、ボディ４１に対して摺動可能に挿通されている。ロッド４８が設けられていることにより、作動領域４７は、ボディ４１とカバー４２との間の第１作動領域４７ａと、ボディ４１とベローズ式仕切部材４５との間の第２作動領域４７ｂに区画されている。ロッド４８は、第１作動領域４７ａと第２作動領域４７ｂとの両方に突出しており、一端がベローズ式仕切部材４５の仕切板４５ｂに連結されているとともに、他端がバネ受け部４９に連結されている。バネ受け部４９とボディ４１の外壁面との間にスプリング５０が圧縮状態で設けられている。これにより、ロッド４８は、スプリング５０の付勢力により常に図の上方へ付勢されている。また、第２作動領域４７ｂには操作ポート５１が形成されており、この操作ポート５１を介して第２作動領域４７ｂに作動エアが供給されるとともに、その供給された作動エアが排出される。
【００５４】
第２作動領域４７ｂに作動エアが供給されていない状態では、スプリング５０の付勢力によりベローズ４５ａが収縮状態とされ、ポンプ通路４６ｃ内の容積が増加する。これにより、ポンプ通路４６ｃ内への薬液の充填が可能となる。また、第２作動領域４７ｂに作動エアが供給された状態では、スプリング５０の付勢力に抗してベローズ４５ａが伸張されてポンプ通路４６ｃ内の容積が減少する。これにより、ポンプ通路４６ｃ内に充填されている薬液が吐出される。
【００５５】
上記構成において、各ボルト４３には、上記実施の形態と同様に、化学蒸着法によりポリパラキシリレン系樹脂のコーティング膜が形成されている。これにより、ベローズ式のポンプ４０において上記実施の形態と同様の効果を奏することができる。なお、コーティング膜を形成する対象は、各ボルト４３に限定されることはなく、例えば、スプリング５０にコーティング膜を形成してもよい。また、例えば、ボディ４１，カバー４２，ロッド４８などが金属製の構成においては、それら金属製の部品にコーティング膜を形成してもよい。
【００５６】
（８）金属製の部品に対してコーティング膜を形成する構成をダイアフラム式のポンプに適用した場合の変形例を図５に示す。
【００５７】
図５のポンプ６０は、第１ボディ６１、第２ボディ６２、及びカバー６３を有している。これら各ボディ６１，６２及びカバー６３は、透明性を有し耐食性に優れたＰＦＡなどといったフッ素樹脂により形成されており、複数のボルト６４によって固定されてポンプ本体６５が形成されている。なお、第１ボディ６１のみが透明性を有する合成樹脂により形成され、第２ボディ６２やカバー６３は透明性を有しない他の合成樹脂により形成された構成であってもよい。ポンプ本体６５の内部空間には第１ボディ６１と第２ボディ６２とにより周縁を挟持させてＰＴＦＥ製のダイアフラム６６が収容されており、このダイアフラム６６によってポンプ領域６７と作動領域６８とが区画形成されている。
【００５８】
ポンプ領域６７には、吸引ポート６７ａと吐出ポート６７ｂとが形成されているとともに、これら各ポート６７ａ，６７ｂを連通するポンプ通路６７ｃが形成されている。吸引ポート６７ａを介してポンプ通路６７ｃに薬液が充填され、この充填された薬液は吐出ポート６７ｂから吐出される。作動領域６８には、細長円柱状に形成されたロッド６９が設けられている。ロッド６９は、第２ボディ６２に対して摺動可能に挿通されている。ロッド６９が設けられていることにより、作動領域６８は、第２ボディ６２とカバー６３との間の第１作動領域６８ａと、第２ボディ６２とダイアフラム６６との間の第２作動領域６８ｂに区画されている。ロッド６９は、第１作動領域６８ａと第２作動領域６８ｂとの両方に突出しており、一端がダイアフラム６６に連結されているとともに、他端がバネ受け部７０に連結されている。第１作動領域６８ａにおいては、バネ受け部７０と第２ボディ６２の外壁面との間にスプリング７１が圧縮状態で設けられている。これにより、ロッド６９は、スプリング７１の付勢力により常に図の上方へ付勢されている。また、第２作動領域６８ｂには操作ポート７２が形成されており、この操作ポート７２を介して第２作動領域６８ｂに作動エアが供給されるとともに、その供給された作動エアが排出される。
【００５９】
第２作動領域６８ｂに作動エアが供給されていない状態では、スプリング７１の付勢力によりダイアフラム６６が図の上方に撓み変形し、ポンプ通路６７ｃ内の容積が増加する。これにより、ポンプ通路６７ｃ内への薬液の充填が可能となる。また、第２作動領域６８ｂに作動エアが供給された状態では、スプリング７１の付勢力に抗してダイアフラム６６が図の下方に撓み変形し、ポンプ通路６７ｃ内の容積が減少する。これにより、ポンプ通路６７ｃ内に充填されている薬液が吐出される。
【００６０】
上記構成において、各ボルト６４には、上記実施の形態と同様に、化学蒸着法によりポリパラキシリレン系樹脂のコーティング膜が形成されている。これにより、ダイアフラム式のポンプ６０において上記実施の形態と同様の効果を奏することができる。なお、コーティング膜を形成する対象は、各ボルト６４に限定されることはなく、例えば、スプリング７１にコーティング膜を形成してもよい。また、例えば、第１ボディ６１，第２ボディ６２，カバー６３，ロッド６９などが金属製の構成においては、それら金属製の部品にコーティング膜を形成してもよい。
【００６１】
（９）コーティング膜の構成及びそれに関連した構成を、上記実施の形態におけるエアオペレイトバルブ１０や上記（７），（８）のポンプ４０，６０以外の流体用機器に対して適用してもよい。例えば、手動バルブや、レギュレータ等に対して適用してもよい。また、操作ポートに対して空気以外の窒素等の気体を供給するエアオペレイトバルブやポンプなどに対して適用してもよい。また、半導体製造工程におけるフォトレジスト加工のエッチング等に用いられる腐食性ガスなどといったガス用のバルブなどに対して適用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】エアオペレイトバルブの平面図である。
【図２】図１のＡ―Ａ線断面図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ線断面図である。
【図４】ベローズ式のポンプの概略を示す構成図である。
【図５】ダイアフラム式のポンプの概略を示す構成図である。
【符号の説明】
【００６３】
１０…エアオペレイトバルブ、１１…第１ブロックとしてのボディ、１２…第２ブロックとしてのシリンダ、１３…カバー、１４…取付板、１５…ネジ部材としてのボルト、１５ａ…雄ネジ部、１６…機器本体としてのバルブ本体、２１…コーティング膜、２２…仕切部材としてのダイアフラム、２３…通路領域、２４…作動領域、２５…流入部としての流入ポート、２６…流出部としての流出ポート、４０，６０…ポンプ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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