(57)【要約】【課題】搬送装置が占める床面積を減少させるとともに、搬送時間の短縮を実現可能な搬送装置、洗浄システム、及び乾燥システムを提供する。【解決手段】複数の板状の搬送対象物がそれぞれ水平状態で収納された搬送容器と、搬送対象物の第１面を保持した状態で搬送容器から搬送対象物を取り出す第１搬送部と、第１搬送部が保持した搬送対象物の第１面とは別の第２面を非接触保持することにより、第１搬送部から直接、搬送対象物を受け取る第２搬送部と、を備える。【選択図】図２
2008084983.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状の搬送対象物が水平状態で収納された搬送容器と、
前記搬送対象物の第１面を保持した状態で前記搬送容器から前記搬送対象物を取り出す第１搬送部と、
前記第１搬送部が保持した前記搬送対象物の前記第１面とは別の第２面を非接触保持することにより、前記第１搬送部から直接、前記搬送対象物を受け取る第２搬送部と、
を備えることを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記第１搬送部は、前記搬送対象物の第１面を非接触保持することを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記搬送対象物の第２面は、処理が施される処理面であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記第２搬送部は、旋回流により発生する負圧の作用で、前記搬送対象物の第２面を非接触保持することを特徴とする請求項１乃至請求項３のうち、いずれか１に記載の搬送装置。
【請求項５】
複数の板状の搬送対象物が水平状態で収納された搬送容器と、
前記搬送容器に収納された前記搬送対象物を、第１面を保持した状態で取り出す第１搬送部と、
前記第１搬送部が保持した前記搬送対象物の前記第１面とは別の第２面を非接触保持することにより、前記第１搬送部から直接、前記搬送対象物を受け取る第２搬送部と、
前記第２搬送部が搬送した前記搬送対象物を洗浄槽内に収容して洗浄を行う洗浄装置と、を備え、
前記洗浄装置は、
前記洗浄槽内に搬入された前記搬送対象物の第１面を保持する保持手段を具備すること
を特徴とする洗浄システム。
【請求項６】
前記保持手段は、洗浄装置の傾きにより、前記搬送対象物を洗浄槽に立て掛け、前記搬送対象物の第１面を保持することを特徴とする請求項５に記載の洗浄システム。
【請求項７】
前記洗浄装置は、装置躯体に当接して前記洗浄槽を構成すると共に、前記搬送対象物の外形に対応する開口が形成された一側壁を備え、
前記保持手段は、少なくとも前記搬送対象物を立て掛け可能に傾いて構成された前記一側壁と、前記一側壁の内側の開口下部に配された受け部材によって、前記一側壁の内側に搬入された前記搬送対象物の第１面を保持可能として、前記搬送対象物を縦方向に起立状態とすることを特徴とする請求項５又は請求項６に記載の洗浄システム。
【請求項８】
前記保持手段は、旋回流により発生する負圧の作用で、前記搬送対象物の第１面を非接触状態で保持することを特徴とする請求項５に記載の洗浄システム。
【請求項９】
前記洗浄装置は、装置躯体に当接して前記洗浄槽を構成すると共に、前記搬送対象物の外形に対応する開口が形成された一側壁を備え、
前記保持手段は、前記一側壁の外側から前記開口を通して、前記一側壁の内側に搬入された前記搬送対象物の第１面を保持可能として、前記搬送対象物を縦方向に起立状態とすることを特徴とする請求項５又は請求項８に記載の洗浄システム。
【請求項１０】
前記一側壁は、前記装置躯体から離間する方向に移動可能に構成され、前記一側壁が前記装置躯体から離間したときに前記搬送対象物が搬入されて保持手段により保持され、前記一側壁と前記装置躯体とを当接させることにより構成される洗浄槽内に収容されることを特徴とする請求項７又は請求項９に記載の洗浄システム。
【請求項１１】
前記第１搬送部は、前記搬送対象物の第１面を非接触保持することを特徴とする請求項５乃至請求項１０のうち、いずれか１に記載の洗浄システム。
【請求項１２】
前記搬送対象物の第２面は、処理が施される処理面であることを特徴とする請求項５乃至請求項１１のうち、いずれか１に記載の洗浄システム。
【請求項１３】
前記第２搬送部は、旋回流により発生する負圧の作用で、前記搬送対象物の第２面を非接触保持することを特徴とする請求項５乃至請求項１２のうち、いずれか１に記載の洗浄システム。
【請求項１４】
板状の搬送対象物が水平状態で収納された搬送容器と、
前記搬送容器に収納された前記搬送対象物を、第１面を保持した状態で取り出す第１搬送部と、
前記第１搬送部が保持した前記搬送対象物の前記第１面とは別の第２面を非接触保持することにより、前記第１搬送部から直接、前記搬送対象物を受け取る第２搬送部と、
前記第２搬送部が搬送した前記搬送対象物を乾燥槽内に収容して洗浄を行う洗浄装置と、を備え、
前記洗浄装置は、
前記洗浄槽内に搬入された前記搬送対象物の第１面を保持する保持手段を具備すること
を特徴とする乾燥システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ、液晶基板その他の搬送対象物を搬送するための搬送装置、並びに、この搬送装置を用いた洗浄システム及び乾燥システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の搬送装置としては図１１に示す搬送装置１５５があり、この搬送装置は、半導体ウエハその他の搬送対象物を洗浄装置や乾燥装置に搬送する。この搬送装置１５５は、載置台１８上の搬送容器１７に収納されたウエハＷを取り出す第１搬送用ロボット１６５と、この第１搬送用ロボット１６５が取り出したウエハＷを載置する中間ステージ１７５と、この中間ステージ１７５に載置されたウエハＷを保持して洗浄装置や乾燥装置（不図示）へ搬送する第２搬送用ロボット１８５と、を備える。ここで、図１１は、従来の搬送装置の構成を簡略化して示す側面図である。
【０００３】
第１搬送用ロボット１６５は、ロボット本体１６９に第１アーム１７０Ａ、第２アーム１７０Ｂ、及びハンド部１７０Ｃが順次連設されたものである。ここで、ハンド部１７０Ｃは、ウエハＷの下面を接触保持するすくい上げハンドである。ロボット本体１６９と第１アーム１７０Ａとの間に第１軸１７１Ａ、第１アーム１７０Ａと第２アーム１７０Ｂとの間に第２軸１７１Ｂ、第２アーム１７０Ｂとハンド部１７０Ｃとの間に第３軸１７１Ｃがそれぞれ配設される。第１アーム１７０Ａ、第２アーム１７０Ｂ及びハンド部１７０Ｃは、第１軸１７１Ａ、第２軸１７１Ｂ及び第３軸１７１Ｃを介して、それぞれ水平面（図１１の紙面に垂直な面であって、図１１の左右方向に延びる線を含む面）内で回転可能とされている。また、第１軸１７１Ａを伸縮させることにより、ハンド部１７０Ｃの高さを調整可能である。
【０００４】
一方、第２搬送用ロボット１８５は、ロボット本体１８９に第１アーム１９０Ａ、第２アーム１９０Ｂ、第３アーム１９０Ｃ及びハンド部１９０Ｄが順次連設されたものである。ここで、ハンド部１９０Ｄは、ウエハＷの下面を接触保持するすくい上げハンドである。ロボット本体１８９と第１アーム１９０Ａとの間に第１軸１９１Ａ、第１アーム１９０Ａと第２アーム１９０Ｂとの間に第２軸１９１Ｂ、第２アーム１９０Ｂと第３アーム１９０Ｃとの間に第３軸１９１Ｃ、第３アーム１９０Ｃとハンド部１９０Ｄとの間に第４軸１９１Ｄがそれぞれ配設される。第１アーム１９０Ａ、第２アーム１９０Ｂ及び第３アーム１９０Ｃは、第１軸１９１Ａ、第２軸１９１Ｂ及び第３軸１９１Ｃを介して、水平面内で回転可能に設けられている。また、第１軸１９１Ａを伸縮させることにより、ハンド部１９０Ｄの高さを調整可能である。さらに、第４軸１９１Ｄを介してハンド部１９０Ｄが水平面内及び水平軸の周りを回転可能に設けられる。
【０００５】
この搬送装置１５５では、次のようにウエハＷを保持、搬送する。
【０００６】
まず、第１搬送用ロボット１６５は、第１軸１７１Ａ、第１アーム１７０Ａ、第２アーム１７０Ｂ及び第３アーム１７０Ｃの作用により、ハンド部１７０Ｃを搬送容器１７内へ挿入して、ウエハＷをすくい上げて、ウエハＷの下面を接触保持する。この状態から、ハンド部１７０Ｃを水平面内で回転させ、かつ、第１軸１７１Ａにより高さを調整し、ハンド部１７０Ｃが保持したウエハＷを中間ステージ１７５上に載置する。
【０００７】
つづいて、第２搬送用ロボット１８５は、第１軸１９１Ａ、第１アーム１９０Ａ、第２アーム１９０Ｂ、及び第３アーム１９０Ｃの作用により、ハンド部１９０Ｄを中間ステージ１７５上に配置し、ウエハＷをすくい上げて、ウエハＷの下面を接触保持する。この状態から、第３アーム１９０Ｃ及びハンド部１９０Ｄを水平面内で回転させ、かつ、第１軸１９１Ａにより高さを調整し、ハンド部１９０Ｄが保持したウエハＷを洗浄装置又は乾燥装置に受け渡す。
【０００８】
このように、搬送装置１５５においては、ハンド部１７０ＣによりウエハＷを搬送容器１７から中間ステージ１７５へ搬送し、ハンド部１９０Ｄにより中間ステージ１７５から洗浄装置又は乾燥装置にウエハＷを搬送する。この間、ハンド部１７０Ｃ及びハンド部１９０ＤはウエハＷの下面を接触保持して、搬送容器１７から洗浄装置又は乾燥装置まで確実にウエハＷを搬送する。また、洗浄装置又は乾燥装置から搬送容器１７への搬送も同様である。
【０００９】
【特許文献１】特開平６−１１２２９９号公報
【特許文献２】特開２００６−１９５４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、上述の搬送装置１５５では、第１搬送用ロボット１６５のハンド部１７０Ｃ及び第２搬送用ロボット１８５のハンド部１９０Ｄが、搬送対象物を接触保持するすくい上げハンドであるため、上面が処理面であるウエハＷの搬送にあたっては、処理面の汚染、破損防止のために、下面を接触保持している。これにより、第１搬送用ロボット１６５と第２搬送用ロボット１８５との間のウエハＷの受け渡しには、中間ステージ１７５が必須となるため、搬送装置１５５全体が占める床面積が大きくなり、コストが増大するという問題がある。この問題は、大量のウエハの処理を行うために、搬送装置を複数並べることの多い生産現場では顕著である。また、ウエハＷを中間ステージ１７５に載置した第１搬送用ロボット１６５（又は、第２搬送用ロボット１８５）を中間ステージ１７５上から待避させた後でなければ、第２搬送用ロボット１８５（又は、第１搬送用ロボット１６５）がウエハＷをすくい上げることができないため、搬送時間が長くなっていた。
【００１１】
そこで本発明は、中間ステージを使わない構成として、搬送装置が占める床面積を減少させるとともに、搬送時間の短縮を実現可能な搬送装置、洗浄システム、及び乾燥システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するために、本発明の搬送装置は、板状の搬送対象物が水平状態で収納された搬送容器と、搬送対象物の第１面を保持した状態で搬送容器から搬送対象物を取り出す第１搬送部と、第１搬送部が保持した搬送対象物の第１面とは別の第２面を非接触保持することにより、第１搬送部から直接、搬送対象物を受け取る第２搬送部と、を備えることを特徴としている。
【００１３】
本発明の搬送装置において、第１搬送部は、搬送対象物の第１面を非接触保持することを特徴とする。
【００１４】
本発明の搬送装置において、搬送対象物の第２面は、処理が施される処理面であることを特徴とする。
【００１５】
本発明の搬送装置において、第２搬送部は、旋回流により発生する負圧の作用で、搬送対象物の第２面を非接触保持することを特徴とする。
【００１６】
本発明の洗浄システムは、複数の板状の搬送対象物が水平状態で収納された搬送容器と、搬送容器に収納された搬送対象物を、第１面を保持した状態で取り出す第１搬送部と、第１搬送部が保持した搬送対象物の第１面とは別の第２面を非接触保持することにより、第１搬送部から直接、搬送対象物を受け取る第２搬送部と、第２搬送部が搬送した搬送対象物を洗浄槽内に収容して洗浄を行う洗浄装置と、を備え、この洗浄装置は、洗浄槽内に搬入された搬送対象物の第１面を保持する保持手段を具備することを特徴とする。
【００１７】
本発明の洗浄システムにおいて、保持手段は、洗浄装置の傾きにより、前記搬送対象物を洗浄槽に立て掛け、前記搬送対象物の第１面を保持することを特徴とする。
【００１８】
本発明の洗浄システムにおいて、洗浄装置は、装置躯体に当接して前記洗浄槽を構成すると共に、前記搬送対象物の外形に対応する開口が形成された一側壁を備え、前記保持手段は、少なくとも前記搬送対象物を立て掛け可能に傾いて構成された前記一側壁と、前記一側壁の内側の開口下部に配された受け部材によって、前記一側壁の内側に搬入された前記搬送対象物の第１面を保持可能として、前記搬送対象物を縦方向に起立状態とすることを特徴とする。
【００１９】
本発明の洗浄システムにおいて、保持手段は、旋回流により発生する負圧の作用で、搬送対象物の第１面を非接触状態で保持することを特徴とする。
【００２０】
本発明の洗浄システムにおいて、洗浄装置は、装置躯体に当接して洗浄槽を構成すると共に、搬送対象物の外形に対応する開口が形成された一側壁を備え、保持手段は、一側壁の外側から開口を通して、一側壁の内側に搬入された搬送対象物の第１面を保持可能として、搬送対象物を縦方向に起立状態とすることを特徴とする。
【００２１】
本発明の洗浄システムにおいて、一側壁は、装置躯体から離間する方向に移動可能に構成され、一側壁が装置躯体から離間したときに搬送対象物が搬入されて保持手段により保持され、一側壁と装置躯体とを当接させることにより構成される洗浄槽内に収容されることを特徴とする。
【００２２】
本発明の洗浄システムにおいて、第１搬送部は、搬送対象物の第１面を非接触保持することを特徴とする。
【００２３】
本発明の洗浄システムにおいて、搬送対象物の第２面は、処理が施される処理面であることを特徴とする。
【００２４】
本発明の洗浄システムにおいて、第２搬送部は、旋回流により発生する負圧の作用で、搬送対象物の第２面を非接触保持することを特徴とする。
【００２５】
本発明の乾燥システムは、複数の板状の搬送対象物が水平状態で収納された搬送容器と、搬送容器に収納された搬送対象物を、第１面を保持した状態で取り出す第１搬送部と、第１搬送部が保持した搬送対象物の第１面とは別の第２面を非接触保持することにより、第１搬送部から直接、搬送対象物を受け取る第２搬送部と、第２搬送部が搬送した搬送対象物を乾燥槽内に収容して洗浄を行う洗浄装置と、を備え、洗浄装置は、洗浄槽内に搬入された搬送対象物の第１面を保持する保持手段を具備することを特徴としている。
【発明の効果】
【００２６】
本発明の搬送装置においては、第１搬送部が搬送容器から取り出した搬送対象物を受け取る第２搬送部が、この搬送対象物を非接触保持することができるため、中間ステージが不要であって、第１搬送部から直接搬送対象物を受け取ることができる。このため、搬送装置が占める床面積を減少させることができ、これによりコスト削減を実現することができる。
【００２７】
また、従来のように、第１搬送部又は第２搬送部が搬送対象物をいったん中間ステージに載置し、待避した後に、第２搬送物又は第１搬送部がウエハＷをすくい上げるのに比べて、搬送容器から洗浄装置及び洗浄装置から搬送容器への搬送時間を短縮することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明を実施するための最良の形態を、図面に基づき説明する。
【００２９】
図１は、本発明の実施形態に係る洗浄システム１０の構成を、一部を切り欠いて示す斜視図である。図２は、本発明の実施形態に係る搬送装置の構成を簡略化して示す側面図である。図３は、搬送装置５５の第２搬送用ロボット８５のハンド部９０Ｄの構成を示す斜視図である。
【００３０】
本実施形態に係る洗浄システム１０は、洗浄後に、洗浄槽２３（図１０）を乾燥槽とする乾燥システムとして機能するものである。また、洗浄システム１０は、洗浄工程を省略し、洗浄槽２３を乾燥槽と捉えた乾燥システムとして利用することも可能である。ここで、図１０（ａ）は洗浄装置１１へのウエハＷの受け渡し状態を示す、図９（ａ）のＸ−Ｘ線における縦断面図、図１０（ｂ）は洗浄装置１１へウエハＷがセットされた状態を示す縦断面図である。
【００３１】
図１に示す洗浄システム１０は、搬送対象物としての半導体基板（例えばウエハＷ）を洗浄する複数台の洗浄装置１１が配置された洗浄装置配置部１２と、この洗浄装置配置部１２に隣接して配置された薬液供給部１３と、この薬液供給部１３と反対の位置に配置されたウエハ給排部１４と、洗浄装置配置部１２とウエハ給排部１４との間に洗浄装置配置部１２から順に配置された第１搬送用ロボット６５及び第２搬送用ロボット８５と、薬液供給部１３の上方に配置された電装部１６とを有して構成される。
【００３２】
薬液供給部１３は、アルカリ洗浄液、酸洗浄液、リンス液としての純水、並びに乾燥用流体としての有機溶剤及び不活性ガスなどを、洗浄装置配置部１２の洗浄装置１１へ供給するものである。尚、上記洗浄液及びリンス液を洗浄用流体と称する。また、上記ウエハ給排部１４は、複数枚のウエハＷが水平状態で収納された搬送容器１７を載置する載置台１８と、上記搬送容器１７の蓋を開閉する図示しない容器オープナーとを備える。搬送容器１７内のウエハＷを洗浄装置１１へ送り出す際、または洗浄装置１１にて処理されたウエハＷを搬送容器１７内へ収納する際に、容器オープナーが搬送容器１７の蓋を開ける。
【００３３】
図１及び図２に示すように、第１搬送用ロボット（第１搬送部）６５は、ロボット本体６９に第１アーム７０Ａ、第２アーム７０Ｂ、第１ハンド部７０Ｃ、及び第２ハンド部７０Ｄが順次連設されたものである。ロボット本体６９と第１アーム７０Ａとの間に第１軸７１Ａ、第１アーム７０Ａと第２アーム７０Ｂとの間に第２軸７１Ｂがそれぞれ配設される。また、第１ハンド部７０Ｃ及び第２ハンド部７０Ｄは、第２アーム７０Ｂに対して、共通の第３軸７１Ｃによって支持される。第１軸７１Ａ及び第２軸７１Ｂを介して、第１アーム７０Ａ及び第２アーム７０Ｂが矢印Ｒに示すように水平面（図２の紙面に垂直な面であって、図２の左右方向に延びる線を含む面）内で回転可能に設けられ、また、第３軸７１Ｃを介して第１ハンド部７０Ｃ及び第２ハンド部７０Ｄも同様に水平面内で回転可能（矢印Ｒ）に設けられる。また、第１ハンド部７０Ｃ及び第２ハンド部７０Ｄは、第１軸７１Ａの伸縮により、矢印Ｓで示すように高さを調整可能である。さらに、ロボット本体６９は、レール７２（図１）に沿って複数配された搬送容器１７中、ウエハＷの搬出入が必要とされる搬送容器１７へと移動可能に構成される。
【００３４】
第２搬送用ロボット（第２搬送部）８５は、ロボット本体８９に第１アーム９０Ａ、第２アーム９０Ｂ、第３アーム９０Ｃ及びハンド部９０Ｄが順次連設されたものである。ロボット本体８９と第１アーム９０Ａとの間に第１軸９１Ａ、第１アーム９０Ａと第２アーム９０Ｂとの間に第２軸９１Ｂ、第２アーム９０Ｂと第３アーム９０Ｃとの間に第３軸９１Ｃ、第３アーム９０Ｃとハンド部９０Ｄとの間に第４軸９１Ｄがそれぞれ配設される。第１軸９１Ａ、第２軸９１Ｂ及び第３軸９１Ｃを介して、第１アーム９０Ａ、第２アーム９０Ｂ及び第３アーム９０Ｃが矢印Ｐに示すように水平面内で回転可能に設けられ、また、第４軸９１Ｄを介してハンド部９０Ｄが水平軸の周りを回転可能に、つまり第３アーム９０Ｃに対し矢印Ｑ方向に回転可能に設けられる。また、ハンド部９０Ｄは、第１軸９１Ａの伸縮により、矢印Ｔで示すように高さを調整可能である。さらに、ロボット本体８９は、レール９２（図１）に沿ってに沿って複数配された複数台の洗浄装置１１中、ウエハＷの搬出入が必要とされる洗浄装置１１へと移動可能に構成される。
【００３５】
ここで、第１搬送用ロボット６５の第１ハンド部７０Ｃは、搬送容器１７に収容されたウエハＷの下面（第１面）３（図１０）を接触保持して取り出す（搬出）ためのすくい上げハンドである。また、第２ハンド部７０Ｄは、洗浄・乾燥されたウエハＷの下面３を接触保持して搬送容器１７へ収容する（搬入）ためのすくい上げハンドである。第２アーム７０Ｂに対して第３軸７１Ｃを介して二つのハンド部、即ち、第１ハンド部７０Ｃ及び第２ハンド部７０Ｄを配したのは、搬出用のハンド（第１ハンド部７０Ｃ）と搬入用のハンド（第２ハンド部７０Ｄ）を別個に設けることにより、洗浄前のウエハＷと、洗浄・乾燥後の清浄なウエハＷを別個のハンド部に保持させ、洗浄前のウエハＷに付着していたパーティクルが、ハンド部を介して洗浄・乾燥後の清浄なウエハＷに付着することを防止するものである。
【００３６】
これに対して、図３に示すように、第２搬送用ロボット８５のハンド部９０Ｄには、特開２００２−６４１３０号公報に記載の如く、旋回流により発生する負圧の作用でウエハＷの処理面としての上面（第２面）２（図１、図７）を非接触状態で保持する非接触保持具９２が複数備えられている。このように、ハンド部９０Ｄに非接触保持具９２を用いたことにより、処理面としての上面２の汚染、破損なしに搬送を行うことができる。さらに、第１ハンド部７０ＣでウエハＷの下面３を保持し、ハンド部９０ＤでウエハＷの上面２を保持することができるため、従来のような中間ステージが不要であって、第１ハンド部７０Ｃ及びハンド部９０Ｄ間で直接ウエハＷを受け渡しすることができる。これにより、搬送装置５５が占める床面積を減少させることができ、コストを低減することが可能となる。また、従来のように、第１搬送用ロボット１６５（又は、第２搬送用ロボット１８５）がウエハＷをいったん中間ステージに載置し、待避した後に、第２搬送用ロボット１８５（又は、第１搬送用ロボット１６５）がウエハＷをすくい上げるのに比べて、搬送容器１７から洗浄装置１１への搬送時間を短縮することができる。
【００３７】
なお、第１ハンド部７０Ｃ及び第２ハンド部７０Ｄとしては、すくい上げハンドのほか、真空吸着ハンドを用いることもできる。また、ハンド部９０Ｄと同様に非接触補治具を設けて、旋回流により発生する負圧の作用でウエハＷの下面３を非接触で保持させることもできる。これにより、ウエハＷの下面３の汚染、破損を防止することができる。また、ウエハＷの下面３が処理面であっても、非接触であるため、汚染、破損なしに保持、搬送することができる。
【００３８】
また、第１搬送部は、ウエハＷを搬送容器１７から取り出して、その下面３を保持した状態で第２搬送ロボット８５に受け渡し可能であれば、第１搬送用ロボット６５以外の形態とすることもできる。さらに、第２搬送部は、ウエハＷを第１搬送用ロボット６５から受け取り、その上面３を非接触保持した状態で洗浄装置１１に受け渡し可能であれば、第２搬送用ロボット８５以外の形態とすることもできる。
【００３９】
洗浄装置１１は、図９、図１０に示すように、基本構造となるボックス形状の装置躯体２９内に、洗浄液、純水を貯液してウエハＷの洗浄を行う扁平ボックス形状の洗浄槽２３を備え、例えば超音波振動装置（不図示）が励振する超音波を用いて洗浄槽２３内に収納したウエハＷを洗浄する。ここで、図９（ａ）は洗浄装置１１へのウエハＷの搬入状態を示す斜視図、図９（ｂ）は洗浄装置１１へウエハＷがセットされた状態を示す斜視図である。
【００４０】
この洗浄槽２３は、装置躯体２９に対して接離可能な一側壁としての正面壁２８を、装置躯体２９に当接することで構成される。この正面壁２８には、ウエハＷの外形に対応する形状の開口３０が形成されている。詳しくはウエハＷの外形より所定の幅、小径に開口３０が形成されており、図１０に示すようにウエハＷの下面３の周縁部が正面壁２８の開口部３０の周囲に密着されるように形成される。この場合、図１０に示すように洗浄装置１１は、正面壁２８側に対して、所定の角度α傾いた構成となっており、かつ、正面壁２８の内側で開口３０の下部にウエハＷの下端を支持する受け部材３１備えられていることにより、ウエハＷは開口３０の周囲に立て掛けられて保持された状態となる。従って、正面壁２８の傾き及び開口３０下部の受け部材３１によって、ウエハＷの保持手段が構成される。尚、洗浄装置１１の傾きαは、少なくとも、ウエハＷを正面壁２８上に立て掛け可能な角度が必要であり、０°＜α≦１０°が好ましく、３°がより好ましい。ウエハＷの洗浄時には、洗浄装置１１内が薬液、純水等の液体によって満たされるが、ウエハＷは、液体の水圧により、開口３０の周囲により密着した状態となり、液密状態が保持され、ウエハＷの上面２のみが洗浄される。また、正面壁２８内側の開口３０の周囲に複数のピンを植設した場合は、正面壁２８上に配されたウエハＷと正面壁２８の間に間隙を設けることにより、洗浄装置１１の内部に満たされた薬液、純水等の液体をウエハＷの下面３側に流出させることにより、ウエハＷの下面３をも洗浄することが可能である。
【００４１】
尚、洗浄装置１１を傾けることにより、ウエハＷを保持する構成ではなく、洗浄槽２３内に収容されたウエハＷを、正面壁２８の外側に配置されたウエハ保持装置により、開口３０を通して、下面３を非接触保持することによってもウエハＷの固定が可能であり、ハンド部９０Ｄは、正面壁２８に対してウエハＷを立て掛けるのではなく、正面壁２８の外側に配置され、開口３０を通してウエハＷを保持するウエハ保持装置にウエハＷを受け渡すことにより、洗浄装置１１内におけるウエハＷの固定を行うものである。その場合、ウエハ保持装置は、ハンド部９０Ｄと同様に非接触保持具を設けて、旋回流により発生する負圧の作用でウエハＷの下面３を非接触で保持するものが好ましい。
【００４２】
また、電装部１６は、洗浄装置配置部１２の各洗浄装置１１、薬液供給部１３、ウエハ給排部１４、第１搬送用ロボット６５及び第２搬送用ロボット８５へ電力を供給する。この電装部１６は、薬液供給部１３の上方に配置されることで、洗浄液等の液体が掛かることが防止される。その他、洗浄システム１０には、洗浄装置配置部１２の上方及び下方に各種の配管が設置されている。
【００４３】
次に、図４〜図１０を参照しつつ、搬送装置５５におけるウエハＷの保持、搬送について説明する。ここで、図４は、搬送装置５５内でのウエハＷの取り出し状態を示す側面図である。
【００４４】
まず、図４に示すように、第１搬送用ロボット６５は、ウエハ給排部１４における搬送容器１７の開動作時に、第１軸７１Ａ、第１アーム７０Ａ及び第２アーム７０Ｂの作用により、第１ハンド部７０Ｃを搬送容器１７内へ挿入して、ウエハＷをすくい上げて、ウエハＷの下面３を接触保持する。この状態から、ロボット本体１９がレール７２に沿って第２搬送用ロボット８５に対応した位置に移動するとともに、第１ハンド部７０Ｃを水平面内で回転させて、ウエハＷを保持した第１ハンド部７０Ｃを第２搬送用ロボット８５側の受け渡し位置に配置する。
【００４５】
一方、第２搬送用ロボット８５では、第１軸９１Ａ、第１アーム９０Ａ、第２アーム９０Ｂ及び第３アーム９０Ｃの作用でハンド部９０Ｄを上記受け渡し位置に配置する。
【００４６】
この受け渡し位置において、ハンド部９０Ｄは、第１ハンド部７０Ｃから直接ウエハＷを受け取り、ウエハＷの上面２を非接触状態で保持する（図５〜図７）。ここで、図５は、搬送装置５５内でのウエハＷの受け渡し状態を示す側面図である。図６は、搬送装置５５内でのウエハＷの受け渡し状態を示す、図５のＶＩ部分の拡大図である。図７は、第２搬送用ロボット８５のハンド部９０ＤがウエハＷを非接触保持している状態を示す斜視図である。
【００４７】
つづいて、ロボット本体８９がレール９２に沿ってウエハＷが必要とされる洗浄装置１１に対応した位置へ移動し、ハンド部９０Ｄが保持したウエハＷを所望の洗浄装置１１の正面壁２８内側の開口３０周囲へウエハＷを設置する（図８〜図１０）。ここで、図８は、第２搬送ロボット８５から洗浄装置１１へのウエハの受け渡し状態を示す側面図である。
【００４８】
ウエハＷの洗浄装置１１への搬入（図９（ａ））及び受け渡し（図１０（ａ））では、正面壁２８が装置躯体２９から離間し、第２搬送用ロボット８５のハンド部９０ＤがウエハＷの上面２を非接触状態で保持して正面壁２８と装置躯体２９との間に入り、正面壁３０内側の受け部材３１上にウエハＷの下端を置き、ウエハＷの下面３の周縁部を正面壁内側の開口３０に密着するように設置することで、ウエハＷは洗浄装置１１の傾きにより、正面壁２８に立て掛けられて保持された状態となり、ウエハＷの受け渡しが完了し、第２搬送用ロボット８５のハンド部９０Ｄが洗浄装置１１内から退避し、洗浄装置１１の洗浄槽２３内に搬入される。ウエハＷが洗浄槽２３内に搬入された後に、図９（ａ）、及び図１０（ｂ）に示すように、正面壁２８が装置躯体２９に当接して洗浄槽２３が構成され、洗浄液等の貯液が可能となり、洗浄及びその後の乾燥が可能となる。
【００４９】
洗浄装置１１による洗浄、乾燥後、正面壁２８が装置躯体２９から離間し、第２搬送用ロボット８５は、ロボット本体８９、第１軸９１Ａ、第１アーム９０Ａ、第２アーム９０Ｂ及び第３アーム９０Ｃの動作によって、ハンド部９０Ｄが、正面壁２８と装置躯体２９との離間箇所へと進入し、洗浄装置１１にて洗浄及び乾燥処理されたウエハＷの上面２を非接触状態で保持して、正面壁２８の内側から受け取る。その後、ウエハＷは上記受け渡し位置でロボット本体６９の第２ハンド部７０Ｄに受け渡され、ロボット本体６９は、このウエハＷをウエハ給排部１４における搬送容器１７内へ収納する。
【００５０】
以上のように構成されたことから、上記実施形態によれば、次の効果（１）〜（４）を奏する。
（１）ハンド部９０Ｄに非接触保持具９２を用いたことにより、処理面としての上面２の汚染、破損なしに搬送を行うことができる。
（２）第１ハンド部７０Ｃ及び第２ハンド部７０ＤでウエハＷの下面３を保持し、ハンド部９０ＤでウエハＷの上面２を保持することができるため、従来のような中間ステージが不要であって、第１ハンド部７０Ｃからハンド部９０Ｄへ、及び、ハンド部９０Ｄから第２ハンド部７０Ｄへ、直接ウエハＷを受け渡しすることができる。
（３）（２）により、従来のような中間ステージが不要であって、搬送装置５５が占める床面積を減少させることができ、コストを低減することが可能となる。
（４）（２）により、従来のように、第１搬送用ロボット１６５又は第２搬送用ロボット１８５がウエハＷをいったん中間ステージに載置し、待避した後に、第２搬送用ロボット１８５又は第１搬送用ロボット１６５がウエハＷをすくい上げるのに比べて、搬送容器１７から洗浄装置１１、及び洗浄装置１１から搬送容器１７への搬送時間を短縮することができる。
【００５１】
本発明について上記実施形態を参照しつつ説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、改良の目的または本発明の思想の範囲内において改良または変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の実施形態に係る洗浄システム１０の構成を、一部を切り欠いて示す斜視図である。
【図２】本発明の実施形態に係る搬送装置の構成を簡略化して示す側面図である。
【図３】本発明の実施形態に係る第２搬送ロボットのハンド部の構成を示す斜視図である。
【図４】図２の搬送装置内でのウエハ取り出し状態を示す側面図である。
【図５】図２の搬送装置内でのウエハ受け渡し状態を示す側面図である。
【図６】図２の搬送装置内でのウエハ受け渡し状態を示す、図５のＶＩ部分の拡大図である。
【図７】図３のハンド部がウエハを非接触保持している状態を示す斜視図である。
【図８】第２搬送ロボットから洗浄装置へのウエハの受け渡し状態を示す側面図である。
【図９】（ａ）は洗浄装置へのウエハの搬入状態を示す斜視図、（ｂ）は洗浄装置へウエハがセットされた状態を示す斜視図である。
【図１０】（ａ）は洗浄装置へのウエハの受け渡し状態を示す、図９（ａ）のＸ−Ｘ線における縦断面図、（ｂ）は洗浄装置へウエハがセットされた状態を示す縦断面図である。
【図１１】従来の搬送装置の構成を簡略化して示す側面図である。
【符号の説明】
【００５３】
２      上面（第２面）
３      下面（第１面）
１１    洗浄装置
１２    洗浄装置配置部
２３    洗浄槽
２８    正面壁（一側壁）
２９    装置躯体
３０    開口
６５    第１搬送ロボット（第１搬送部）
７０Ｃ  第１ハンド部
７０Ｄ  第２ハンド部
８５    第２搬送ロボット（第２搬送部）
９０Ｄ  ハンド部
９２    非接触保持具
Ｗ      ウエハ（搬送対象物）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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