(57)【要約】【課題】地地震動等の振動に起因して発生する障害を回避する。【解決手段】支持対象の振動を除去する除振装置は、複数種類の除振モードで動作可能な除振手段と、床の振動に関する予測情報を取得する取得手段と、前記取得手段により取得された予測情報に応じて該複数種類の除振モードから除振モードを選択し、該選択された除振モードで前記除振手段を動作させる制御手段とを備える。【選択図】  図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持対象の振動を除去する除振装置であって、
複数種類の除振モードで動作可能な除振手段と、
床の振動に関する予測情報を取得する取得手段と、
前記取得手段により取得された予測情報に応じて前記複数種類の除振モードから除振モードを選択し、前記選択された除振モードで前記除振手段を動作させる制御手段とを備えることを特徴とする除振装置。
【請求項２】
前記複数種類の除振モードは、前記支持対象の絶対振動を減衰させる第１の除振モードと、前記床と前記支持対象との間の相対振動を減衰させる第２の除振モードとを含むことを特徴とする請求項１に記載の除振装置。
【請求項３】
前記除振手段は、第１のアクチュエータと、前記第１のアクチュエータより応答性が低く且つ高出力である第２のアクチュエータとを有し、
前記第１の除振モードにおいて、前記除振手段は、前記第１のアクチュエータにより前記支持対象の絶対振動を減衰させ、
前記第２の除振モードにおいて、前記除振手段は、前記第２のアクチュエータにより前記絶対振動を減衰させることを特徴とする請求項１に記載の除振装置。
【請求項４】
前記第１のアクチュエータは、電磁アクチュエータであり、前記第２のアクチュエータは、気圧アクチュエータである、ことを特徴とする請求項３に記載の除振装置。
【請求項５】
前記取得手段は、外部装置から地震動の影響度と前記地震動の影響時間帯に関するデータを受信し、
前記制御手段は、前記影響度と前記影響時間帯とに応じて前記除振手段の除振モードを切り替えることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の除振装置。
【請求項６】
前記床の絶対振動を検出する検出器と、前記検出器からの信号を前記外部装置に送信する送信手段を更に備えることを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項に記載の除振装置。
【請求項７】
前記第１のアクチュエータの温度を計測する温度計を更に備え、
前記制御手段は、前記温度計の計測値に応じて前記第１の除振モードと前記第２の除振モードとを切り替えることを特徴とする請求項３に記載の除振装置。
【請求項８】
前記制御手段は、前記第１のアクチュエータへの操作量に応じて前記第１の除振モードと前記第２の除振モードとを切り替えることを特徴とする請求項３に記載の除振装置。
【請求項９】
除振装置が接続された通信網に接続された演算装置であって、
地震観測装置から通信網を介して地震情報を受信する受信手段と、
前記受信手段により受信された地震情報に基づいて前記除振装置へ到達する地震動を予測する予測手段と、
前記予測手段により予測された地震動の情報を前記除振装置へ前記通信網を介して送信する送信手段とを備えることを特徴とする演算装置。
【請求項１０】
基板を露光する露光装置であって、
請求項１乃至８のいずれか１項に記載の除振装置と、
前記除振装置により支持された構造体とを備えることを特徴とする露光装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の露光装置を用いて基板を露光するステップと、
前記露光された基板を現像するステップとを備えることを特徴とするデバイス製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、除振装置、演算装置、露光装置及びデバイス製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
アクティブ除振台（以下、除振台）は、絶対振動減衰タイプと、相対振動減衰タイプに分かれる。前者は、スカイフックダンパ方式或いはスカイフックバネ方式等を用いて、絶対静止点に対して振動を減衰させるものである。後者は、除振台を支持する構造体などのそれ自体振動しているものに対して振動を減衰させるものであり、２つの構造体間で振動が伝達される。
【０００３】
除振台の除振性能を向上させる場合は、除振台自体の支持剛性を下げるのが一般的である。
【０００４】
アクティブ除振台の制御系（特許文献１、２参照）としては、減衰制御系と位置姿勢制御系が構成される場合が多い。又、最近では、絶対振動減衰タイプの除振台として、床振動フィードフォワード制御系（特許文献３）により、除振台の支持構造体から除振台の支持対象への振動伝達を絶縁する構成を用いるケースが増えている。床振動フィードフォワード制御は、除振台を支持する構造体に、速度計や加速度計のような絶対振動検出部を配置し、その検出信号を制御装置を介して、除振台を構成するアクチュエータにフィードフォワードする手法である。
【０００５】
上記のような絶対振動減衰タイプのアクティブ除振台では、除振台の支持対象が仮想の絶対静止点に対して極力絶対静止するように制御される。そのため、地震動が発生した場合、地震動によりゆれている除振台を支持する構造体と、除振台により支持された絶対静止している構造体とが接触する可能性がある。従って、地震が発生した場合には、その地震動が伝わる前に、装置を停止させる必要がある。
【０００６】
地震が発生した場合、大きく分けて、３種類の地震波が生じる。即ち、伝播速度は速いが減衰し易いＰ波、Ｐ波より伝播速度は遅いがＰ波より減衰し難く、建物などへの影響が最も大きいＳ波、そして、これまではあまり問題とされてこなかった表面波（レーリー波、ラブ波）である。表面波は、震源からある程度離れた場所において、人間が体感することのできないほどの超低周波のみになることが多い。表面波の共振周波数は、世の中の構造物の共振周波数よりも遥かに低いことが多いため、建物などに影響を及ぼすことはまずないとするのが一般的であった。したがって、Ｐ波、Ｓ波の到来のみを予測し、警報を発するのが一般的である（特許文献４参照）。
【０００７】
尚、地震動到来予測方法としては、様々な方法が開示されているが、特に多いのが経験的且つ概算的に、地震動の到来までの時間と震源からの距離の関係を求める方法である。Ｐ波、Ｓ波については、すでに、関係が公表されている。その関係は、菊地正幸氏による文献（非特許文献１参照）によれば、地殻上部で起こる地震の場合、Ｐ波の速度を６［km/s］、Ｓ波の速度を３．５［km/s］としている。
【非特許文献１】菊地正幸、「リアルタイム地震学」、東京大学出版会、2003年1月17日発行、P.6
【特許文献１】特開２００２−８９６１９
【特許文献２】特開平７−９３０３６
【特許文献３】特開平９−１８４５３６
【特許文献４】特開２００３−６６１５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、近年、アクティブ除振台の更なる高除振性能化が求められ、除振台自体の低固有振動数化が進み、除振台の支持対象がより絶対静止するようになった。それにより、地震動が発生した場合に、これまで影響がないとされてきた超低周波の表面波が原因で、揺れている除振台を支持する構造体と、除振台が支持する絶対静止している構造体が接触してしまう危険性が高まっている。即ち、Ｐ波やＳ波に加えて、これまで影響がないとされてきた超低周波の表面波も無視できなくなっている。
【０００９】
表面波は、減衰し難く、大規模地震では地球を数周するため、イギリスのグレート・ブリテン島のように、震源の記録がまったくない地域も含め、全世界各地で地震動が３０分以上続く場合もある。
【００１０】
以上のように、Ｐ波、Ｓ波のほとんど観測されない、震源から十分離れた地域においても表面波が到来する可能性がある。そして、このような、人間が体感できない表面波が原因で除振台が異常になると、その原因を究明するのに時間が掛かり、除振台の復旧にも時間が掛かってしまう。
【００１１】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、地震動等の振動に起因して発生する障害を回避することを例示的目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の一態様による除振装置は以下の構成を備える。すなわち、
支持対象の振動を除去する除振装置であって、
複数種類の除振モードで動作可能な除振手段と、
床の振動に関する予測情報を取得する取得手段と、
前記取得手段により取得された予測情報に応じて前記複数種類の除振モードから除振モードを選択し、前記選択された除振モードで前記除振手段を動作させる制御手段とを備える。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、例えば、地震動等の振動に起因して発生する障害を回避することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、添付の図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。
【００１５】
［第１実施形態］
まず、第１実施形態の露光装置について説明する。本実施形態の露光装置の概略構成を図４に、露光装置に組み込まれた除振装置（以下、除振台）の構成及び配置を図５に示す。
【００１６】
図４、図５に示すように、露光装置の本体構造体４０３には、原版ステージであるレチクルステージ４０４と、ウエハステージ定盤４０６及び投影レンズ群４０１が搭載される。又、ウエハステージ定盤４０６を介して基板ステージであるウエハステージ４０７が搭載されている。レーザを発する光源とミラーからなるレーザ照射装置４１３から、ＫｒＦ、ＡｒＦなどのレーザがレチクルと投影レンズ群４０１を通して、ウエハに照射されることで、ウエハにパターンが焼き付けられる。本体構造体４０３は、除振台により支持されている。
【００１７】
露光装置に搭載されるような支持対象が大重量で且つ、高レベルの除振が求められる除振台では、高出力低応答性のアクチュエータと低出力高応答性のアクチュエータを併用することが多い。一般的に、高出力低応答性のアクチュエータで支持対象と床間の相対位置、姿勢が制御され、低出力高応答性のアクチュエータにより、スカイフックダンパ制御が実現される。なお、本実施形態では、低出力高応答性のアクチュエータを第１のアクチュエータ、高出力低応答性のアクチュエータを第２のアクチュエータと称する。本実施形態では、高出力低応答性のアクチュエータとして空気圧制御式アクチュエータ（気圧アクチュエータ）が、又、低出力高応答性のアクチュエータとして電磁駆動式アクチュエータ（電磁アクチュエータ）が用いられる。
【００１８】
除振台は、電磁駆動式アクチュエータ４０８ａ〜ｃ、空気圧制御式アクチュエータ４０９ａ〜ｃを有する。尚、以下では電磁駆動式アクチュエータ４０８ａ〜ｃを総称して電磁駆動式アクチュエータ４０８、空気圧制御式アクチュエータ４０９ａ〜ｃを総称して空気圧制御式アクチュエータ４０９という。又、除振台は、本体構造体４０３の絶対振動を検出する絶対振動検出器４１２ａ〜ｃ、ベースフレーム４０５の絶対振動を検出する絶対振動検出器４１０ａ〜ｃを有する。更に、除振台は、本体構造体４０３とベースフレーム４０５の相対振動を検出する相対振動検出器４１１ａ〜ｃを有する。尚、絶対振動検出器４１２ａ〜ｃ、４１０ａ〜ｃは例えば加速度計で構成され、相対振動検出器４１１ａ〜ｃは位置検出器で構成される。以下、絶対振動検出器４１２ａ〜ｃ、相対振動検出器４１１ａ〜ｃ、絶対振動検出器４１０ａ〜ｃをそれぞれ総称して絶対振動検出器４１２、相対振動検出器４１１、絶対振動検出器４１０という。
【００１９】
電磁駆動式アクチュエータ４０８と空気圧制御式アクチュエータ４０９は、本体構造体４０３とベースフレーム４０５間に配置される。制御装置４０２は、各振動検出器４１０〜４１２からの信号を制御量として入力し、電磁駆動式アクチュエータ４０８と空気圧制御式アクチュエータ４０９への信号を操作量として出力することにより除振台を制御する。なお、制御装置４０２は、除振台の制御だけでなく、露光シーケンスの制御など装置全体の制御も行う。
【００２０】
次に、地震動の露光装置における到着予測時刻と消滅予測時刻（影響時間帯）及び露光装置に対する影響度を予測する地震警報ネットワークの概略、及び露光装置（除振台）による障害回避動作について説明する。図１は、第１実施形態の地震警報ネットワークの概略を示す図である。又、露光装置（除振台）を含む地震警報ネットワークは、除振システムを構成する。図８は、このような本実施形態による除振システムにおける、地震動に起因する障害を回避するための制御手順を示す流れ図である。
【００２１】
地震観測網、各除振台への影響を予測するための演算装置１０３、露光装置１０１（除振台）を通信網１０４で接続することで、地震警報ネットワークを構成する。地震観測網は、公共の地震観測網を用いても良いし、露光装置あるいは除振台同士を通信網で接続することで構成されてもよい。後者の場合、露光装置や除振台は地震観測装置としての機能を有することになる。第１実施形態では、図１に示すように後者の構成で地震動の到来予測を行う。尚、公共の地震観測網を利用した地震警報ネットワークの構成は第２実施形態により後述する。
【００２２】
図１において、世界各地の露光装置１０１ａ〜ｅ（以下、全体を総称する場合は露光装置１０１という）は、インターネットや衛星通信などの通信網１０４に接続される。震源１０２において地震動が発生した場合、震源１０２に対し、地震動伝達が最も早い地点にある露光装置１０１ａで、まずその地震動が観測される。露光装置１０１ａは、その地震動データ（地震情報）を地震動到来に関する予測演算を行う演算装置１０３に送る。演算装置１０３は、受信した地震動データ（地震情報）に基づいて世界各地の露光装置１０１への影響度、影響時間帯を予測し、その予測結果を影響があると判断した露光装置１０１に配信する。演算装置１０３から予測結果を受信した露光装置１０１は、露光装置１０１のオペレータに予測結果及び／又は障害の回避方法を通知し、自動または手動により障害の回避制御を実行する。
【００２３】
演算装置１０３における地震動到来の予測演算は、一度だけではなく、世界各地の露光装置１０１から地震動データ（地震情報）が送られてくる都度に行われる。このため、常に、世界各地の露光装置１０１への影響度、影響時間帯（地震動の到達時間、地震動継続時間）の予測が修正され配信される。例えば、露光装置１０１ａがＰ波を観測した時点、露光装置１０１ｂがＰ波を観測した時点、露光装置１０１ａがＳ波を観測した時点、露光装置１０１ａが表面波を観測した時点というような様々なタイミングがあげられる。これらのタイミングで、各地震波を観測した露光装置１０１は演算装置１０３に地震動データ（地震情報）を送信し、演算装置１０３による地震動の予測演算が行われる。
【００２４】
第１実施形態では、地震動の観測は、露光装置１０１のベースフレーム４０５に搭載されている絶対振動検出器４１０を用いて地震動データ（地震情報）が取得され、通信網１０４を介して演算装置１０３に通知される。尚、地震動の観測は、除振台で支持された本体構造体４０３に配置された絶対振動検出器４１２で行うこともできるが、測定できる帯域が低周波に限られてしまう。また、露光装置に、地震動専用の振動検出部、例えば地震観測装置を搭載し、これを用いて地震動を観測するようにしても良い。以上説明したように、地震が発生し、その地震動が露光装置１０１（除振台）において検出されると（図８のＳ１０１）、その地震動データ（地震情報）が演算装置１０３に送信される（Ｓ１０２）。
【００２５】
以上のように地震観測網で観測された地震動データ（地震情報）は、通信網１０４を介して、各露光装置（除振台）への影響を予測する演算装置１０３へ送られる。演算装置１０３では、その送られてきた地震動データ（地震情報）から各露光装置（除振台）への影響度、影響時間帯を予測する。
【００２６】
次に、演算装置１０３による地震動の到来予測方法及び影響度の予測方法について説明する。地震動の到来予測方法や影響度の予測方法として、地震動伝達モデルを利用する方法、表面波の到達確率の算出による方法について説明する。
【００２７】
まず、地震動伝達モデルを利用する方法について説明する。図１に示した地震観測網を用いて、地震動伝達モデルを作成し、そのモデルを用いてシミュレーションを行うことで高精度に各露光装置への地震動の到来予測を行う。地震動伝達モデルとは、観測点間での振動伝達時間と振動減衰率を振動周波数別に算出するものである。
【００２８】
図１において、演算装置１０３は、例えば露光装置１０１ａの地震動データ（地震情報）を受信する（Ｓ２０１）。そして、受信した地震動データ（地震情報）から他の露光装置（例えば露光装置１０１ｄ）へ到達する地震動波形、通過時間帯（地震波形の到達から通過までの時間）を予測する予測演算を行う（Ｓ２０２）。演算装置１０３によるこの予測演算は、例えば以下の手順で行われる。
（１）露光装置１０１ａで得た地震動データ（地震情報）を、ラプラス変換により、周波数領域の地震動データに変換する。
（２）周波数領域の地震動データを、予め作成しておいた露光装置１０１ａ付近の地震観測点から露光装置１０１ｄ付近の地震観測点までの地震動伝達モデルを元に、周波数ごとに振幅の減衰と位相の遅延を求める。
（３）（２）で得られたデータを逆ラプラス変換により時間領域のデータに戻し、露光装置１０１ｄ付近の時系列での地震動波形（即ち、地震動波形とその通過時間帯を示すデータ）を作成する。尚、通過時間帯は影響時間帯として用いられる。
【００２９】
また、このような地震動伝達モデルの作成時に用いる地震動観測データの入手方法としては例えば次の３つの方法をあげることができる。即ち、（１）露光装置あるいは除振台に搭載されている振動検出装置を利用する方法、（２）地震動伝達モデル作成用に地震動観測装置を配置する方法、（３）公共の地震観測網を用いる方法がある。
【００３０】
又、地震動伝達モデルは、組み合わせて使用することができる。例えば、地震動を観測した露光装置１０１ａと影響を求める露光装置１０１ｄとの間の地震動の通り道付近に、露光装置１０１ｃがあるとする。その場合、露光装置１０１ａと露光装置１０１ｃ間の地震動伝達モデルと、露光装置１０１ｃと露光装置１０１ｄの間の地震動伝達モデルとを組み合わせることにより、露光装置１０１ａと露光装置１０１ｄの間の地震動伝達モデルを作成してもよい。
【００３１】
尚、地震動伝達モデルの作成に用いる地震動観測データは、地震発生時のように、各周波数の振動振幅が大きいときのものを使うのが良い。地震発生時以外には、爆弾、ダイナマイト、大規模な加振装置を用いて強制的に地震動を発生させて、地震動観測データを得る方法もある。又、地震動伝達モデル作成時に用いる地震動観測データの入手方法には、露光装置に搭載されている振動検出器を用いる方法、地震動伝達モデル作成用に地震動観測装置を配置する方法、公共の地震観測網を用いる方法などがある。尚、地震（Ｐ波、Ｓ波）の少ない地域では、公共の地震観測網だけでは不十分である場合もある。その場合は、地震動伝達モデルを作成のために、地震動観測装置を新たに配置する。
【００３２】
次に、演算装置１０３は、上記地震波形を示す情報に基づいて露光装置への影響度を予測する（Ｓ２０３）。
【００３３】
地震動による露光装置への影響度は、上記方法で得られた時系列での地震動波形と以下に説明する露光装置モデルを用いて、シミュレーションすることにより予測される。
【００３４】
露光装置モデルは、実際の装置の設置床を加振することにより、各部所への振動伝達関数を求めることにより作成しても良いし、局所ごとの伝達率を算出および計測近似（同定）した関数を組み合わせて作成しても良い。この際、露光装置を設置している建物自体も考慮したモデルであるとなお好ましい。
【００３５】
演算装置１０３は上述したシミュレーションにより、地震動波形を元に各露光装置への地震動の影響度を予測し、取得する。そして、演算装置１０３は、取得した影響度と、その影響時間帯を対応する露光装置へ送信する（Ｓ２０４）。尚、予測される影響度とは、例えば、（１）電磁駆動式アクチュエータ４０８における過負荷が発生するレベル、（２）本体構造体４０３とベースフレーム４０５との接触が発生するレベル、（３）露光装置の動作停止が必要となるレベルである。
【００３６】
露光装置の除振台は、数トンの重さの本体構造体を支持し、且つ高いレベルの除振が要求される。このような除振台では、空気圧制御式アクチュエータなどの低応答性であるが高出力なタイプと、電磁駆動式アクチュエータなどの高応答性であるが低出力なタイプのアクチュエータを組み合わせて使用するのが一般的である。第１実施形態では、空気圧制御式アクチュエータ４０９と電磁駆動式アクチュエータ４０８を組み合わせた除振台を用いている。第１実施形態では、空気圧制御式アクチュエータ４０９を空気バネと電磁サーボ弁で構成されたエアアクチュエータ、電磁駆動式アクチュエータ４０８を非接触式のリニアモータとする。
【００３７】
図３は、地面３０４から露光装置の本体構造体３０２（本体構造体４０３に対応する）までの振動伝達系をバネ・マス・ダンパモデルで示す図である。図３において、絶対静止点３０１と露光装置の本体構造体３０２間のダンパＤａは、スカイフックダンパと呼ばれる系である。スカイフックダンパは、絶対振動検出器４１２からの信号を制御装置４０２を介して電磁駆動式アクチュエータ４０８にフィードバックすることで構成され、本体構造体３０２の絶対静止点３０１に対する振動を減衰させる。
【００３８】
本体構造体３０２と露光装置の設置床３０３（ベースフレーム４０５に対応する）の間にはバネＫｒが作用する。バネＫｒは、空気圧制御式アクチュエータ４０９のメカ的なバネ特性と、相対振動検出器４１１からの信号を制御装置４０２を介して空気圧制御式アクチュエータ４０９にフィードバックすることで構成される。通常運転では、露光装置の本体構造体３０２と露光装置の設置床３０３間のダンパＤｒはほぼ０に設定され、上述したスカイフックダンパＤａとバネＫｒとで除振機構が構成される。
【００３９】
設置床３０３と地面３０４間のバネＫｆは、実際には多数のバネとマスを直列に繋いだ特性となる。その主共振は、通常１０Ｈｚ〜２０Ｈｚ程度であるが、免震構造の建物では、水平方向の固有振動数が０．０５Ｈｚ程度である場合がある。その場合、表面波を増幅してしまうので上述のＳ２０３におけるシミュレーション時にモデルとして組み込んでおく必要がある。
【００４０】
地震動により露光装置の設置床３０３が大きく揺らされた場合、絶対静止点３０１と露光装置の本体構造体３０２間のダンパＤａは、露光装置の本体構造体３０２を絶対静止させようとする。そのため、ダンパＤａを構成する電磁駆動式アクチュエータ４０８の負荷が大きくなる。電磁駆動式アクチュエータ４０８は、高応答性であるが低出力であるため、地震動のような大きな設置床３０３の揺れに耐えることができない。地震動の表面波のように超低周波の場合、電磁駆動式アクチュエータ４０８への指令電流の実効値が大きくなり、電磁駆動式アクチュエータ４０８は過熱異常となる。これが、上述の「電磁駆動式アクチュエータ４０８における過負荷が発生するレベル」である。
【００４１】
又、電磁駆動式アクチュエータ４０８が負荷に耐えられた場合には、絶対的に静止している露光装置の本体構造体３０２の一部（例えばストッパ）と地震動によって揺らされている設置床３０３とが接触してしまう可能性がある。これが、上述の「本体構造体４０３とベースフレーム４０５との接触が発生するレベル」である。
【００４２】
また、地震動が、露光装置の稼動を継続できない程度に大きい場合（例えば、Ｓ波が到来する場合）は、「露光装置の動作停止が必要となるレベル」として、影響度を決定する。
【００４３】
以上のように、地震観測網を用いて、地震動伝達モデルを作成し、そのモデルを用いてシミュレーションを行うことで、高精度な地震動の到来予測が可能となる。
【００４４】
次に、表面波の到達確率を算出することによる地震動の到来予測及び影響度の予測を説明する。表面波が到達する確率Ｅを算出する方法として以下が知られている。この方法では、地震研究機関や気象庁などから配信されるマグニチュード、震源の深さ、震源位置、地震発生時刻情報から露光装置あるいは除振台に影響のある地震動が到来確率を経験値より算出する。露光装置あるいは除振台を異常状態とする表面波が到来する可能性Ｅは、モーメントマグニチュードＭｗ、震源の深さＨ、震央距離Ｌの３つの情報から、以下の式により算出する。
【００４５】
【数１】
2008256155.tif 000003
【００４６】
ただし、係数Ｍｗ100、Ｈ100、Ｌ100は、設置環境を含めた露光装置あるいは除振台の表面波に対する耐震性によって決まる値である。なお、式（１ｃ）の変数ｃは０．５以下にならないように設定される。尚、地震動の到来時刻（影響時間帯）の予測は、表面波の伝播速度により取得することができる。上述したように非特許文献１にはＰ波、Ｓ波の伝播速度が示されているが、表面波の速度についても同様に求められる。
【００４７】
上記（１）式において、表面波に対する耐震性に応じて決まる係数Ｍｗ100、Ｈ100、Ｌ100を適切に選択することにより、上述した各レベルの影響度をもたらす表面波の到来確率Ｅを得ることができる。そして、例えばＥが２０％以上となった場合には、対応する影響度を露光装置に通知するようにする。
【００４８】
以上のように、モーメントマグニチュードＭｗ、震源の深さＨ、震央距離Ｌの３つの情報から、露光装置あるいは除振台を異常状態とする表面波が到来する可能性Ｅを算出し、エ強度を得ることにより、低コストで簡単に異常状態になるか否かを判断できる。
【００４９】
次に、演算装置１０３から影響度及び影響時間帯を受信した露光装置（除振台）における障害の回避動作を説明する。露光装置の制御装置４０２は、演算装置１０３から影響度及び影響時間帯を受信すると（Ｓ３０１）、影響時間帯の時刻に到達するのを待つ（Ｓ３０２）。尚、演算装置１０３が、影響時間帯に合わせて影響度を露光装置へ送信するようにしてもよい。この場合、Ｓ３０２による待ちは不要となる。
【００５０】
まず、受信した影響度が「電磁駆動式アクチュエータ４０８における過負荷が発生するレベル」の場合を説明する。
【００５１】
電磁駆動式アクチュエータ４０８が過負荷（過熱異常）になると判断された場合は、その過熱異常になる時間中、絶対静止点３０１と露光装置の本体構造体３０２間のダンパＤａを実現するアクチュエータを切り替える（Ｓ３０３、Ｓ３０４、Ｓ３０９）。ここで、過熱異常になる時間とは、影響時間帯により示される終了時間までの時間である。より具体的には、ダンパＤａを構成するアクチュエータを、電磁駆動式アクチュエータ４０８から空気圧制御式アクチュエータ４０９に切り替えることにより、除振モードの切り替えを行う。この場合、リニアモータから比較的非線形性の高いエアアクチュエータに切り替えることになるため、ダンパＤａの除振特性が悪化する。しかし、マスクのパターン線幅がそれほど細くない場合や重ね合わせ精度をそれほど必要としない場合などは、それでも問題とならない。したがって、このような除振モードの切り替えが問題とならない場合には、露光シーケンスを継続する。一方、問題となる場合は、露光シーケンスを停止しアイドリング状態とする。
【００５２】
次に、受信した影響度が「本体構造体４０３とベースフレーム４０５との接触が発生するレベル」の場合を説明する。これは、図３のモデルにおいて、露光装置の本体構造体３０２と設置床３０３が接触する危険性があると判断された場合である。このような影響度を受信した場合は、その影響時間帯によって示される時間中は、スカイフックダンパのような絶対振動減衰制御をＯＦＦとし、相対振動減衰制御をＯＮにする（Ｓ３０５、Ｓ３０６、Ｓ３０９）。より具体的には、図３において、ダンパＤａをほぼ０とし、ダンパＤｒをアクティブにすることにより、除振モードを切り替える。ダンパＤｒは、絶対振動検出器４１２からの信号と絶対振動検出器４１０からの信号との差又は相対振動検出器４１１からの信号を制御装置４０２を介して電磁駆動式アクチュエータ４０８や空気圧制御式アクチュエータ４０９にフィードバックすることで構成される。この場合、設置床３０３の振動が露光装置の本体構造体３０２に伝わり易くなるが、露光に特に影響があるのは約３０Ｈｚ以上であり、設置床３０３が表面波によってのみ揺されている状態であれば、露光シーケンスに影響は無い。従って、そのような場合には、除振モードの切り替え後も露光シーケンスを続ける。この判断は、絶対振動検出器４１０からの信号の周波数特性と予め設定しておいたその閾値の比較により、制御装置４０２が行う。
【００５３】
尚、大地震発生時のＳ波のように回避不能とされる地震動の到来が予測される場合は、「露光装置の動作停止が必要となるレベル」の影響度が受信される。従って、制御装置４０２は、回避不能な時間帯において露光装置のシーケンスすべてを停止するように制御する（Ｓ３０７，Ｓ３０８，Ｓ３０９）される。
【００５４】
上記のようにして、露光装置あるいは除振台に影響を与える地震動の到来が予測または検知された場合、そのレベルに応じて、除振台はその除振モードを切り替える。尚、上記では、ダンパＤａとして、除振台の制御にスカイフックダンパ制御を適用した場合を説明したが、スカイフックバネ制御、或いは、床振動フィードフォワード制御系を適用することも可能である。
【００５５】
以上のようにして、障害を回避するべく除振モードを変更した後、受信した影響時間帯に示される時間が過ぎると、制御装置４０２は、除振モードを元の状態へ復帰させる（Ｓ３１０）。但し、大規模地震の表面波の場合、
・地震を回避する装置状態から通常状態へ戻しても問題ない状態になる。
・数分後に、再度、地震を回避する装置状態にする必要性が生じる。
という繰り返しが、数回続くことが予想される。そこで、制御装置４０２は、前述した、露光装置が異常となる時間帯の予測だけでなく、次に、露光装置が異常となるまでの時間を予測する（或いは演算装置１０３から次の影響時間帯を受信する）。そして、この予測に基づいて、通常状態への復帰を行った場合と地震回避状態を継続した場合のどちらが露光装置のスループットを良くすることができるかを判断し、この判断に基づいて、装置（除振台）を通常状態へ復帰するか否かを決定する。
【００５６】
以上のように、第１実施形態によれば、除振装置は、振動を除去するための複数種類の除振モードで動作可能となっており、制御装置４０２は地震動等による振動に起因した障害発生を示す予測情報（影響度）を、例えば演算装置１０３から取得する。そして、制御装置４０２は、通常の運転においては絶対振動減衰制御を用いた第１の除振モードで動作させ、予測情報に基づいて除振装置の除振モードを第２の除振モードへ切り替える。第２の除振モードとしては、ダンパＤａのアクチュエータを電磁制御式アクチュエータから空気圧制御式アクチュエータに切り替えた除振モード、ダンパＤａを０にするとともにダンパＤｒをアクティブとした相対振動減衰制御を用いた除振モードがあげられる。このように、本実施形態の、ベースフレーム４０５又は設置床３０３から支持対象である本体構造体３０２，４０３へ伝わる振動を除去する除振装置によれば、地震動による振動に起因した障害発生を効果的に回避することができる。
【００５７】
尚、上記のＳ２０３における影響度の予測は、露光装置（除振台）の制御装置４０２で行うようにしても良い。この場合、制御装置４０２は、演算装置１０３から地震動波形を示すデータを受信し、このデータに基づいて、自身が制御する図３の如きモデルを用いて影響度を決定する。
【００５８】
［第２実施形態］
第１実施形態では、地震観測網を露光装置によって構成して地震警報ネットワークを形成した。第２実施形態では、公共の地震観測網を用いて地震警報ネットワークを形成する場合を説明する。尚、第２実施形態による露光装置の構成は第１実施形態（図４、図５）と同様である。
【００５９】
第２実施形態による地震警報ネットワークの概略について説明する。第２実施形態の地震警報ネットワークの概略を図２に示す。
【００６０】
図２において、世界各地の地震動観測装置２０２ａ〜ｆと露光装置２０１ａ〜ｃは、インターネットや衛星通信などの通信ネットワーク２０６，２０７にそれぞれ接続されている。震源１０２において地震動が発生した場合、震源１０２に対し、地震動伝達が最も早い地点にある地震動観測装置２０２ａで、まずその地震動が観測される。地震動観測装置２０２ａは、その地震動データ（地震情報）を通信ネットワーク２０６を介して地震観測網管理システム２０４（以下、管理システム２０４）に送る。管理システム２０４は、通信ネットワーク２０５を介して上記地震動データ（地震情報）をそのまま演算装置１０３へ送る。演算装置２０３は、地震動データ（地震情報）から世界各地の露光装置２０１への影響度、影響時間帯を予測し、その予測結果を影響があると判断した露光装置２０１に配信する。予測結果を受信した露光装置２０１は、露光装置２０１のオペレータに予測結果及び／又はその回避方法を通知し、自動または手動により障害の回避制御が実行される。
【００６１】
演算装置２０３での上記予測演算は、一度だけではなく、世界各地の管理システム２０４から地震動データ（地震情報）が送られてくる都度に行われる。こうして、常に、世界各地の露光装置２０１への影響度、影響時間帯（地震動の到達時間、地震動継続時間）の予測が修正され配信される。
【００６２】
次に、地震動観測装置２０２について説明する。尚、日本国内の公共の地震観測網としては、防災科学研究所で公開されている強振動観測網Ｋ−ＮＥＴ、高感度地震観測網Ｈｉ−ｎｅｔ、基盤強振観測網ＫｉＫ−ｎｅｔなどがある。また、日本国外の地震観測網としては、国際地震観測網、ＷＷＳＳＮ、ＩＲＩＳなどがある。ここで、ＷＷＳＳＮはWorld-Wide Standardized Seismograph Networkであり、ＩＲＩＳはIncorporatedResearch Institutions for Seismologyである。第２実施形態では、それらの観測網を用いる。ただし、観測網により、地震動波形の観測装置とデータフォーマットが異なるため、演算装置２０３は、地震観測網ごとに異なったデータ補正を行う必要がある。地震動観測装置の特性補正は、地震動データ（地震情報）を地震動観測装置の特性の逆関数フィルタを通すことで補正できる。観測網で使用されている地震観測装置は、機械式バネ振り子構造や可動コイル構造の速度計および加速度計が多く、その情報は、一般に公開されている。データフォーマットとしては、ＳＡＣ（Seismology-AidedCode）、ＡＨ（ad-hoc）、ＳＥＥＤ（Standard for the Exchange of Earthquake Data）、ＷＩＮなどがある。
【００６３】
地震到来予測方法、露光装置への影響予測、除振装置における障害発生の回避方法、露光装置及び除振装置の障害回避状態から通常状態への復旧については、第１実施形態と同じとする。
【００６４】
以上のように、第２実施形態によれば、地震観測網として、公共の地震観測網、前記露光装置あるいは除振台を用いた地震観測網を用いることで、低コストで地震警報ネットワークを構成することが可能になる。
【００６５】
［第３実施形態］
研究機関により発表されるマグニチュード、震源の深さ、震源位置、地震発生時刻から、除振台のオペレータに警報を発するシステムの実施形態について説明する。本実施形態の露光装置は、地震動が露光装置あるいは除振台に影響を与えると判断した場合に、装置のオペレータにその判断に関する情報を通知する。また、その情報は装置内あるいは装置の管理システムに記録しておく。
【００６６】
第１及び第２実施形態で示した地震観測網や気象庁では、地震発生と共にマグニチュード、震源の深さ、震源位置、地震発生時刻の情報を発表している。
【００６７】
図２において、管理システム２０４から配信されるマグニチュード、震源の深さ、震源位置、地震発生時刻の情報を演算装置２０３が受信する。演算装置２０３は、そのマグニチュード情報をモーメントマグニチュードに変換する。そして、モーメントマグニチュードと震源の深さが所定の条件を満たす場合、露光装置２０１の通信網２０７を介して、全露光装置のオペレータにマグニチュード、震源の深さ、震源位置、地震発生時刻情報を通知する。ここで、所定の条件とは、例えば、モーメントマグニチュードが５以上で震源の深さが１００ｍ以下の場合、または、モーメントマグニチュードが６以上で震源の深さが１５０ｍ以下の場合である。
【００６８】
この際、演算装置２０３は、全世界各地の露光装置２０１の震央からの距離により、露光装置２０１を異常状態とする表面波が到来する可能性を算出し、上記情報と共に露光装置２０１のオペレータに通知する。露光装置２０１を異常状態とする表面波が到来する可能性Ｅは、モーメントマグニチュードＭｗ、震源の深さＨ、震央距離Ｌの３つの情報から、上述した（１）式により算出する。尚、第３実施形態では、Ｍｗ100＝７、Ｈ100＝２００、L100＝８×１０7とする。
【００６９】
以上のように、第３実施形態によれば、露光装置あるいは除振台のオペレータに地震動に関する情報を通知するので、地震動回避あるいは装置の復帰作業をより早く行うことができる。また、その情報を装置内あるいは装置の管理システムに記録しておくことで、露光不良などの装置トラブルの原因を早期に特定することが可能となる。
【００７０】
［第４実施形態］
次に、第４実施形態による露光装置について説明する。第４実施形態では、高出力アクチュエータと低出力アクチュエータのハイブリット構成の除振台において、低出力アクチュエータの過熱異常を検知することで制御モードを切り替えるシステムを説明する。
【００７１】
上述したように、電磁駆動式アクチュエータは、低出力高応答性であるため、地震による想定外の外乱発生時に、過負荷となり易い。そこで、温度計を電磁駆動式アクチュエータに配置し、電磁駆動式アクチュエータの温度の計測値が異常と判断された場合には、スカイフックダンパ制御（ダンパＤａ）を高出力低応答性の空気圧制御式アクチュエータを用いた制御に切り替える。そして、温度が通常状態に戻った後、スカイフックダンパ制御を、電磁駆動式アクチュエータを用いた制御に戻す。
【００７２】
第４実施形態のアクティブ除振台の概略を図６に示す。図６において、アクティブ除振台は、観測部、制御部、アクチュエータ部からなる。観測部は、支持対象５２０の絶対振動検出器５０４、除振台を支持するベースフレーム５２１の絶対振動検出器５０３、支持対象５２０とベースフレーム５２１の相対振動検出器５０５を有する。制御部は、電気回路で構成された制御装置５０７を有する。アクチュエータ部は、高出力低応答の空気圧制御式アクチュエータ５０１と、低出力高応答の電磁駆動式アクチュエータ５０２と、夫々の指令信号を生成するドライバ５１６とドライバ５１５を有する。
【００７３】
制御装置５０７は、支持対象５２０の絶対振動制御系、支持対象５２０とベースフレーム５２１の相対振動制御系、ベースフレーム５２１の絶対振動制御系、電磁駆動式アクチュエータ５０２の加熱異常回避系を具備する。
【００７４】
支持対象５２０の絶対振動制御系は、通常状態では、絶対振動検出器５０４からの信号に基づいて補償回路５０９がドライバ５１５の操作信号を生成し、電磁駆動式アクチュエータ５０２を操作する。異常判定回路５０８が電磁駆動式アクチュエータ５０２の過熱異常を検知した場合は、異常判定回路５０８がスイッチ５１２を切り替え、補償回路５０９からの操作信号がドライバ５１６に送られるようにする。これにより、支持対象５２０の絶対振動制御系のアクチュエータは、電磁駆動式アクチュエータ５０２から空気圧制御式アクチュエータ５０１に切り替わる。
【００７５】
支持対象５２０とベースフレーム５２１の相対振動制御系は、相対振動検出器５０５からの信号より補償回路５１９がドライバ５１６の操作信号を生成し、空気圧制御式アクチュエータ５０１を操作する。この系は、通常状態及び異常状態を通じて変更されない。
【００７６】
ベースフレーム５２１の絶対振動制御系は、２系統ある。一つは、絶対振動検出器５０３からの信号より補償回路５１０がドライバ５１５の操作信号を生成し、電磁駆動式アクチュエータ５０２を操作するものである。異常判定回路５０８が電磁駆動式アクチュエータ５０２の過熱異常を検知した場合、異常判定回路５０８がスイッチ５１３をＯＮからＯＦＦに切り替える。もう一つのベースフレーム５２１の絶対振動制御系では、絶対振動検出器５０３からの信号に基づいて補償回路５１１がドライバ５１６の操作信号を生成し、空気圧制御式アクチュエータ５０１を操作する。異常判定回路５０８が電磁駆動式アクチュエータ５０２の過熱異常を検知した場合、異常判定回路５０８によりスイッチ５１４は、ＯＮからＯＦＦに切り替えられる。スイッチ５１４のＯＦＦにより、空気圧制御式アクチュエータへの床の絶対振動のフィードフォワード制御がＯＦＦされる。
【００７７】
異常判定回路５０８での異常判定は、電磁駆動式アクチュエータ５０２に取り付けられた温度計５０６の観測信号により行われるがこれに限られるものではない。尚、電磁駆動式アクチュエータに温度計を配置することが困難な場合は、電磁駆動式アクチュエータの操作量から温度推定演算により電磁駆動式アクチュエータの温度を求めても良い。即ち、ドライバ５１５への操作信号５１７および電磁駆動式アクチュエータ５０２への電流信号５１８より異常判定回路５０８で温度推定演算を行うことで判定しても良い。但し、電磁駆動式アクチュエータＯＦＦ時の温度（初期温度）がほぼ一定である環境であること、且つ、事前に、温度上昇係数と放熱係数（温度推定演算の係数）を実験により算出しておくことが必要となる。又、温度計を配置することが困難で且つ温度推定演算を行う電気回路もない場合は、電磁駆動式アクチュエータの操作量の大小により、電磁駆動式アクチュエータの異常を判定するようにしても良い。
【００７８】
以上のように、第４実施形態によれば、電磁駆動式アクチュエータの温度が異常と判断された場合に、スカイフックダンパ制御およびスカイフックバネ制御を高出力低応答性の空気圧制御式アクチュエータに切り替える。このため、より地震動に強いシステムとすることができる。
【００７９】
［第５実施形態］
第５実施形態では、床振動フィードフォワード制御系を有するアクティブ除振台において、その床振動検出器の出力信号により制御モードを切り替えるシステムを説明する。
【００８０】
露光装置に搭載されるような高レベルの除振が求められる除振台では、スカイフックダンパ制御系、床振動フィードフォワード系が構成される。又、稀ではあるが、スカイフックバネ制御系が構成される場合もある。
【００８１】
地震動の検知は、スカイフックダンパ制御系、スカイフックバネ制御系あるいは床振動フィードフォワード系の操作量でも良い。それは、制御系において、操作量は制御量と補償器の伝達関数の積であり、補償器の逆伝達関数と操作量の積により制御量が算出されるためである。
【００８２】
スカイフックダンパ制御系とスカイフックバネ制御系の制御量は、除振台の支持対象の絶対振動である。そのため、スカイフックダンパ制御系とスカイフックバネ制御系の制御量と除振台設置床から除振台の支持対象までの振動伝達関数の逆関数の積を取ることで除振台設置床の絶対振動が算出できる。そして、それにより除振台設置床の絶対振動レベルが異常か否かを判断することができる。
【００８３】
床振動フィードフォワード制御系は、制御量が除振台設置床の絶対振動であるため、その制御量で除振台設置床の絶対振動レベルが異常か否かを判断することができる。
【００８４】
第５実施形態のアクティブ除振台の概略を図７に示す。図７において、アクティブ除振台は、観測部、制御部、アクチュエータ部からなる。観測部は、支持対象５２０の絶対振動検出器５０４、除振台を支持するベースフレーム５２１の絶対振動検出器５０３、支持対象５２０とベースフレーム５２１の相対振動検出器５０５を有する。制御部は、電気回路で構成された制御装置６０５を有する。アクチュエータ部は、高出力低応答の空気圧制御式アクチュエータ５０１と、低出力高応答の電磁駆動式アクチュエータ５０２と、それぞれの指令信号を生成するドライバ５１６とドライバ５１５を有する。
【００８５】
制御装置６０５は、支持対象５２０の絶対振動制御系、支持対象５２０とベースフレーム５２１の相対振動制御系、ベースフレーム５２１の絶対振動制御系、ベースフレーム５２１の絶対振動の異常回避系を具備する。
【００８６】
支持対象５２０の絶対振動制御系においては、通常状態では、絶対振動検出器５０４からの信号より補償回路５０９がドライバ５１５の操作信号を生成し、電磁駆動式アクチュエータ５０２を操作する。支持対象５２０とベースフレーム５２１の相対振動制御系においては、通常状態では、相対振動検出器５０５からの信号より補償回路５１９がドライバ５１６の操作信号を生成し、空気圧制御式アクチュエータ５０１を操作する。ベースフレーム５２１の絶対振動制御系は、２系統ある。一つは、絶対振動検出器５０３からの信号より補償回路５１０がドライバ５１５の操作信号を生成し、電磁駆動式アクチュエータ５０２を操作する系である。もう一つは、絶対振動検出器５０３からの信号より補償回路５１１がドライバ５１６の操作信号を生成し、空気圧制御式アクチュエータ５０１を操作する系である。
【００８７】
第５実施形態では、異常判定回路６０４は、上記の如く、ベースフレーム５２１の絶対振動の異常を検知することができる。異常判定回路６０４は、検知した異常の段階ごとに、除振台の動作を４種類の除振モードに切り替える。
【００８８】
第１段階では、異常判定回路６０４により、スイッチ６０２を補償回路５０９からの信号がドライバ５１６に行くように切り替えることと、スイッチ５１３とスイッチ５１４をＯＮからＯＦＦに切り替えることが行われる。スイッチ５１４のＯＦＦにより、空気圧制御式アクチュエータへの床の絶対振動のフィードフォワード制御がＯＦＦされる。よって、この操作により、支持対象５２０の絶対振動制御系を構成するアクチュエータが電磁駆動式アクチュエータ５０２から空気圧制御式アクチュエータ５０１に切り替わり、且つ、ベースフレーム５２１の絶対振動制御系がＯＦＦとなる。
【００８９】
第２段階は、第１段階の状態からさらに、異常判定回路６０４により、スイッチ６０２をＯＦＦとすることで支持対象５２０の絶対振動制御系をＯＦＦし、スイッチ６０３をＯＮとする。この操作により、支持対象５２０とベースフレーム５２１の新たな相対振動制御系が構成される。この相対振動制御系は、相対振動検出器５０５からの信号に基づいて補償回路６０１がドライバ５１５の操作信号を生成し、電磁駆動式アクチュエータ５０２を操作する。空気圧制御式アクチュエータ５０１を用いた支持対象５２０とベースフレーム５２１の相対振動制御系で、支持対象５２０とベースフレーム５２１の距離を制御する。そして、電磁駆動式アクチュエータ５０２を用いた支持対象５２０とベースフレーム５２１の相対振動制御系で、支持対象５２０とベースフレーム５２１の相対振動を減衰させる。
【００９０】
第３段階は、第２段階の状態で、スイッチ６０３をＯＦＦにする。これにより、相対振動制御を空気圧制御式アクチュエータだけで行っている状態となる（減衰制御なしで相対位置制御のみ）。例えば、第２段階で電磁アクチュエータの負荷が大きい場合に第３段階に移行することが考えられる。
【００９１】
第４段階は、制御装置６０５、ドライバ５１５、ドライバ５１６への電力供給をＯＦＦにする。
【００９２】
ベースフレーム５２１の絶対振動異常判定は、異常判定回路６０４が、ベースフレーム５２１の絶対振動制御系を構成する絶対振動検出器５０３からの信号により行う。第５実施形態では、絶対振動検出器５０３を用いるが、ベースフレーム５２１から支持対象５２０への振動伝達率が分かっているのであれば、絶対振動検出器５０４の信号からベースフレーム５２１の振動を推定して判定することも可能である。
【００９３】
以上のように、第５実施形態によれば、スカイフックダンパ制御、スカイフックバネ制御あるいは床振動フィードフォワード制御の制御量あるいは操作量により地震動を検知することで、低コストな地震動回避システムが可能となる。
【００９４】
尚、本発明は、露光装置の業界だけでなく、外部との通信ができ、且つ、スカイフックダンパ方式等の絶対振動減衰制御を採用しているあらゆる除振装置において利用可能である。
【００９５】
［第６実施形態］
次に上記説明した露光装置を利用した半導体デバイスの製造プロセスを説明する。図９は半導体デバイスの全体的な製造プロセスのフローを示す。ステップ１（回路設計）では半導体デバイスの回路設計を行う。ステップ２（マスク製作）では設計した回路パターンを形成したマスクを製作する。一方、ステップ３（ウエハ製造）ではシリコン等の材料を用いてウエハを製造する。
【００９６】
ステップ４（ウエハプロセス）は前工程と呼ばれ、上記用意したマスクとウエハを用いて、リソグラフィ技術によってウエハ上に実際の回路を形成する。次のステップ５（組み立て）は後工程と呼ばれ、ステップ４によって作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程（ダイシング、ボンディング）、パッケージング工程（チップ封入）等の組立て工程を含む。ステップ６（検査）ではステップ５で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行う。こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、これを出荷（ステップ７）する。
【００９７】
前工程と後工程はそれぞれ専用の別の工場で行い、これらの工場毎に上記説明した遠隔保守システムによって保守がなされる。また前工程工場と後工程工場との間でも、インターネットまたは専用線ネットワークを介して生産管理や装置保守のための情報がデータ通信される。
【００９８】
図１０は上記ウエハプロセスの詳細なフローを示す。ステップ１１（酸化）ではウエハの表面を酸化させる。ステップ１２（ＣＶＤ）ではウエハ表面に絶縁膜を成膜する。ステップ１３（電極形成）ではウエハ上に電極を蒸着によって形成する。ステップ１４（イオン打込み）ではウエハにイオンを打ち込む。ステップ１５（レジスト処理）ではウエハに感光剤を塗布する。ステップ１６（露光）では上記説明したＸ線露光装置によってマスクの回路パターンをウエハに焼付露光する。ステップ１７（現像）では露光したウエハを現像する。ステップ１８（エッチング）では現像したレジスト像以外の部分を削り取る。ステップ１９（レジスト剥離）ではエッチングが済んで不要となったレジストを取り除く。
【００９９】
これらのステップを繰り返し行うことによって、ウエハ上に多重に回路パターンを形成する。
【図面の簡単な説明】
【０１００】
【図１】第１実施形態による、露光装置を地震観測網として利用する地震警報ネットワークの概略を示す図である。
【図２】第２実施形態による、公共の地震観測網を利用した地震警報ネットワークの概略を示す図である。
【図３】地面から露光装置までの地震動伝達系のイメージをバネ、マス、ダンパで示す図である。
【図４】実施形態に係る露光装置を側面から見た様子を模式的に示す図である。
【図５】実施形態に係る露光装置を上面から見たときのアクチュエータ配置を模式的に示す図である。
【図６】第４実施形態に係るアクチュエータの温度異常判定回路を有するアクティブ除振台の制御系を示すブロック図である。
【図７】第５実施形態に係る床振動異常判定回路を有するアクティブ除振台の制御系を示すブロック図である。
【図８】第１実施形態による除振システムの動作を説明する流れ図である。
【図９】半導体デバイスの全体的な製造プロセスのフローを示す図である。
【図１０】図９に示したウエハプロセスの詳細なフローを示す図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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