(57)【要約】【課題】波長変換光におけるノイズの低減化を図ることを目的とする。【解決手段】基本波光源１１の周波数ジッタをΔｆjitter、外部共振器２０の共振器長をＬcav、周波数線幅をΔνcav、内部損失の合計値をδとし、ｃを光速とすると、外部共振器２０に基本波光源１１からの光を入力する入力結合素子２１の反射率Ｒinを、下記数１及び数２で表されるように選定する。周波数ジッタの大きい基本波光源の適用が可能となる。  【数１】2008003317.tif 000007  【数２】2008003317.tif 000008【選択図】図２
2008003317.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基本波光源と、外部共振器とを少なくとも備え、
前記基本波光源の周波数ジッタをΔｆjitter、前記外部共振器の共振器長をＬcav、周波数線幅をΔνcav、内部損失の合計値をδとし、ｃを光速とすると、前記外部共振器に前記基本波光源からの光を入力する入力結合素子の反射率Ｒinが、下記数１及び数２で表されるように選定される
ことを特徴とする波長変換装置。
【数１】
2008003317.tif 000005
【数２】
2008003317.tif 000006
【請求項２】
前記基本波光源の周波数ジッタΔｆjitterが、
Δｆjitter＞１００ｋＨｚ
であることを特徴とする請求項１記載の波長変換装置。
【請求項３】
前記基本波光源が、分布帰還型半導体レーザ又は外部共振器型半導体レーザ又は分布帰還型ファイバレーザを含む構成であることを特徴とする請求項１記載の波長変換装置。
【請求項４】
前記基本波光源が、波長変換部を含む構成であることを特徴とする請求項３記載の波長変換装置。
【請求項５】
２以上の外部共振器を備え、少なくとも１つ以上の前記外部共振器の前記入力結合素子の反射率Ｒinが、上記数１及び数２で表されるように選定されることを特徴とする請求項１記載の波長変換装置。
【請求項６】
基本波光源から出射される光を外部共振器に入力して波長変換する波長変換方法であって、
前記基本波光源の周波数ジッタをΔｆjitter、前記外部共振器の共振器長をＬcav、周波数線幅をΔνcav、内部損失の合計値をδとし、ｃを光速とすると、前記外部共振器に前記基本波光源からの光を入力する入力結合素子の反射率Ｒinを、上記数１及び数２で表されるように選定する
ことを特徴とする波長変換方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基本波光源と外部共振器とを備える波長変換装置及び波長変換方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
紫外線レーザ等の短波長レーザ光を発振するレーザ光源として、基本波光源と、非線形光学結晶を備える外部共振器とより構成される波長変換装置が用いられている。
図１６は、波長変換装置の一例の概略構成図である。基本波光源１０１と、外部共振器１２０とより構成される。外部共振器１２０には、所定の透過率を有するミラーより成る入力結合素子１２１、ミラー１２２〜１２４と、入力結合素子１２１及びミラー１２２との間に配置される非線形光学結晶１２５より構成される。基本波光源１０１から出射された励起用の基本波光Ｌｅは、入力結合素子１２１から外部共振器１２０に導入され、例えば所定の透過率を有するミラー１２２から外部に例えば第２高調波光Ｌｏとして出射される。
【０００３】
従来は、入力結合素子１２１の反射率（透過率）を決定する手法としてインピーダンスマッチングを取ることを主眼に置かれていた。外部共振器の内部損失を求め、これと整合するように入力結合素子のロスを決めるというものである。この場合、インピーダンスが整合されるように入力結合素子の反射率を選定することによって、波長変換効率を最大化している。
これに対し、インピーダンスの整合だけでは不十分で、さらに非線形ロスも考慮して入力結合素子の反射率を決定する方法も提案されている（例えば特許文献１参照。）。
【０００４】
【特許文献１】米国特許第５０２７３６１号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上述した波長変換装置によって得られる比較的短波長の光を用いる場合に、レーザの強度ノイズを抑えることが求められている。レーザをスキャンさせて例えば画像を得る場合、レーザの強度ノイズは画質劣化の原因になる。一例として、例えば紫外光領域のレーザ光を用いてウエハの欠陥を検査する検査装置に利用する場合に、短時間でも強度ノイズが発生すると検査精度に影響を及ぼすという問題がある。このようなウエハ検査装置においては、時速１００ｋｍ程度以上のスピードでレーザ光をウエハ上にスキャンさせて反射光強度でウエハ上の欠陥を検出している。このとき、１スポット当りの照射時間は０．３μｓ程度である。したがって、強度ノイズのため一瞬でも出力が低下してしまうと、０．３μｓ幅で反射光が暗くなることとなり、そのスキャン箇所に黒点ができてしまう。黒点は欠陥とみなされてしまうので、検査装置としての特性を著しく損なう恐れがある。
【０００６】
以上の問題に鑑みて、本発明は、波長変換光におけるノイズの低減化を図ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、本発明は、基本波光源と、外部共振器とを少なくとも備え、基本波光源の周波数ジッタをΔｆjitter、外部共振器の共振器長をＬcav、周波数線幅をΔνcav、内部損失の合計値をδとし、ｃを光速とすると、外部共振器に基本波光源からの光を入力する入力結合素子の反射率Ｒinを、下記数１及び数２で表されるように選定することを特徴とする。
【０００８】
【数１】
2008003317.tif 000003
【０００９】
【数２】
2008003317.tif 000004
【００１０】
また、本発明は、基本波光源から出射される光を外部共振器に入力して波長変換する波長変換方法であって、基本波光源の周波数ジッタをΔｆjitter、外部共振器の共振器長をＬcav、周波数線幅をΔνcav、内部損失の合計値をδとし、ｃを光速とすると、外部共振器に基本波光源からの光を入力する入力結合素子の反射率Ｒinを、上記数１及び数２で表されるように選定することを特徴とする。
【００１１】
上述したように、本発明の波長変換装置及び波長変換方法においては、外部共振器の入力結合素子の反射率Ｒｉｎを上記数１及び数２で表されるように選定するものである。
従来は、インピーダンスマッチングを取るため、外部共振器の入力結合素子の反射率がほぼ外部共振器の内部損失と等しくなるように選定していた。
これに対し、本発明者等は、基本波光源の周波数ジッタが波長変換光のノイズ源となることを究明した。そして、共振器の周波数線幅Δνcavに着目し、基本波光源の特性に合わせてこの周波数線幅Δνcavが上記数２で示すように、基本波光源の周波数ジッタｆjitterより大となるように、入力結合素子の反射率Ｒinを選定することによって、波長変換光に現れるノイズを低減化できることを確認した。
したがって、本発明によれば、このような基本波光源の周波数ジッタに起因する波長変換光のノイズを確実に低減化することが可能である。特に、基本波光源として分布帰還型半導体レーザ又は外部共振器型半導体レーザなどの半導体レーザを用いる場合においては、周波数ジッタが比較的大きいことから、従来は波長変換装置の基本波光源として用いることが困難であったが、本発明構成とすることによって、このような比較的安価で小型の基本波光源を利用することが可能となる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の波長変換装置及び波長変換方法によれば、波長変換光におけるノイズの低減化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下本発明を実施するための最良の形態の例を説明するが、本発明は以下の例に限定されるものではない。
図１に、本発明の実施形態例に係る波長変換装置の一例の概略構成図を示す。この例においては、基本波光源１１、周波数誤差信号を得るための位相変調器１２、集光レンズ１３、光検出器１４、制御回路１５、外部共振器２０を備える構成とするものである。外部共振器２０は、所定の反射率の半透過ミラーより成る入力結合素子２１、ミラー２２〜２４、入力結合素子２１とミラー２２との間に配置される非線形光学素子１７とより構成される。
このような構成において、基本波光源１１から出射された基本波光は、位相変調器１２を介して集光レンズ１３により入力結合素子２１に集光される。入力結合素子２１から外部共振器２０内に入射したレーザ光は、共振器内を多重干渉して増幅され、非線形光学素子１７によって波長変換された出力光が、例えばハーフミラーとされるミラー２２から外部に出力される。
なお、入力結合素子２１により反射された光は光検出器１４で検出される。その検出信号を用いて制御回路１５により電磁アクチュエータ１６の位置制御を行って入射光を共振動作させることにより、非線形光学素子１７から効率よく高調波光が得られる。
【００１４】
この波長変換装置においては基本波光源として例えば図２に示すように分布帰還型（ＤＦＢ：Distributed Feedback）ファイバを用いる構成とすることができる。図２においては、ＤＦＢファイバを用いた基本波光源１１の一例の概略構成図を示す。ＤＦＢファイバを用いる場合、一般に少なくともＤＦＢファイバ及び励起用レーザより構成され、出力光の波長によっては、シードレーザが用いられる。この例においては、シードレーザを用いない場合を示す。図２に示すように、この基本波光源１１には、例えば波長分割多重素子（ＷＤＭ：Wavelength Division Multiplexing）３１、Ｅｒ、Ｙｂなどの希土類含有、例えばＹｂ含有のＤＦＢファイバ３２、波長分割多重素子３３、励起用レーザ３４が設けられる。
励起用レーザ３４から出力された励起光は、波長多重分割素子３１、３３の間で往復してＤＦＢファイバ３２を励起する。励起された光は波長分割多重素子３３を通過して外部に矢印Ｌｆで示すように出力される。
このようなＤＦＢファイバレーザを用いることによって、スペクトル幅の狭い、すなわち単一縦モードの光を得ることができる。
【００１５】
このようなＤＦＢファイバレーザを用いて図１に示す波長変換装置を構成した場合の波長変換光出力値のノイズの一例を図３に示す。この例においては、基本波光源としてＤＦＢファイバレーザのＳＨＧ（Second Harmonic Generation：第２高調波）を用いた場合で、発振波長は５３２ｎｍである。また、外部共振器内に用いる非線形光学素子としてβ−ＢＢＯ（β−ＢａＢ２Ｏ４、ベータホウ酸バリウム）を用いて、波長２６６ｎｍの波長変換光を出力した。図３に示すように、波長変換光にはＮｃで示す定常的なノイズが発生しているが、これは１００ｋＨｚ程度の周波数ノイズであり、peak-to-peak値で２％程度である。これに対し、ＤＦＢレーザ等の周波数ジッタが比較的大きい基本波光源を用いる場合は、波長変換光出力値に非定常的にノイズＮｓが発生する。このノイズはパルス幅が１０μｓ程度、peak-to-peak値で４〜８％程度と比較的大きい出力のノイズである。
本発明者等はこの比較的大きいノイズに着目して、以下の考察を行った。
【００１６】
上述したように、従来の波長変換装置においては、外部共振器の入力結合素子の透過率Ｔin（＝１−Ｒin）を、外部共振器のインピーダンスマッチをとるために、内部損失の合計値とほぼ等しくなるように選定していた。また上記特許文献１に記載されているように、この内部損失に加えて、外部共振器内に配置する非線形光学素子の波長変換効率も考慮してこの入力結合素子の透過率を選定している例もある。
【００１７】
これに対し、上述したように、本発明者等はノイズの低減化を図るためにはより重要なファクタがあることを究明した。
通常考えられているノイズ源は、基本波光源の励起レーザの強度ノイズと外乱によるものであり、前述の図３に示すノイズＮｃがこれに相当する。これらはサーボ回路のループゲインを高めることにより解決できる。
一方、基本波光源の励起レーザの周波数ジッタが、ノイズの原因となることが明らかになった。すなわち、基本波光源の周波数を制御してジッタを与えると、波長変換光に図３中Ｎｓで示すような非定常的なノイズが現れることが分かった。
【００１８】
そこで、図４及び図５に示すような物理モデルを提唱する。図４及び図５に示す釣り鐘型曲線は外部共振器の周波数アクセプタンスを示す。ＦＷＭＨ（半値全幅）が周波数線幅Δνcavである。図４及び図５において実線ｆｃは基本波光源の周波数を示し、この周波数ｆｃが矢印ｓで示すようにジッタリングしている様子を示す。
図４は従来の波長変換装置における周波数アクセプタンスを示し、インピーダンスマッチングが満たされている例である。この場合、周波数線幅Δνcav＝２．８ＭＨｚであり、外部共振器の入力結合素子の透過率はＴin＝１．０％、反射率はＲin＝９９．０％である。このように、従来の手法により入力結合素子の透過率（反射率）を選定すると、図４に示すように、実線Ｂ１で示す周波数アクセプタンスは比較的幅狭となる。このため、周波数ｆｃが矢印ｓで示すようにジッタリングすると、外部共振器内の許容範囲を超えてしまうときにカップリング低下が生じ、波長変換光のノイズとなって現れるものと思われる。
【００１９】
一方、図５に示すように、意図的にフィネスを下げることによって周波数アクセプタンスＢ２を幅広とした場合は、基本波光源の周波数ｆｃが矢印ｓで示すようにジッタリングしても、外部共振器の許容範囲を超えないので、波長変換光にノイズが現れないものと考えられる。図５においては、周波数線幅をΔνcav＝４．０ＭＨｚ、入力結合素子の透過率をＴin＝２．０％、反射率をＲin＝９８．０％とした例を示す。この場合、従来の手法によるインピーダンスマッチングを無視して入力結合素子の反射率を決定するものである。
【００２０】
ここで、図１に示す構成の波長変換装置において、外部共振器２０の内部損失を１％とし、入力結合素子２１の透過率Ｔinを変化させたときの波長変換光の出力の変化を解析する。この例においては、基本波光源として波長５３２ｎｍのＤＦＢファイバレーザのＳＨＧ、非線形光学素子としてＢＢＯを用いて波長２６６ｎｍの紫外光を出力する構成とする。この結果を図６に示す。入力結合素子２１の透過率Ｔinを内部損失とほぼ等しく１％程度とする場合（領域Ａ２で示す）はインピーダンスが整合しており、効率が最大化して、紫外光出力が最大となっていることが分かる。
【００２１】
従来方式では、上述したように、
Ｔin≒δ      ・・・・・（１）
となるように入力結合素子２１の透過率を設計していた。Ｔinは透過率、δは内部損失の合計値である。
【００２２】
本発明では、励起レーザの周波数ジッタ最大値をΔｆjitterとすると、上記数２で示すように、
Δνcav≧Δｆjitter  ・・（２）
となるように、上記数１で示す外部共振器の周波数線幅を決定する方程式から入力結合素子の反射率Ｒinを選定するものである。
【００２３】
例えば基本波光源１１として上述の図２に示すようなＤＦＢ半導体レーザを用いる場合は、Δｆjitterは数ＭＨｚ程度であり、これにより求めた入力結合素子の透過率Ｔinは約３％程度であり、図６中領域Ａ１で示す範囲となる。
また、入力結合素子の透過率に対する周波数線幅の変化を図７に示す。従来の手法により選定する場合は、領域Ａ４の範囲であり比較的周波数線幅Δνcavが小さく、例えば前述の図４に示す例のように、２．８ＭＨｚ近傍となる。
一方、本発明による場合は、領域Ａ３で示す範囲となり、周波数線幅Δνcavが比較的大きくなり、図５に示す例のように、例えば４ＭＨｚ近傍となる。
【００２４】
基本波光源として例えばＮＰＲＯ（Non-Planar Ring Oscillator）型のレーザを用いる場合はその周波数線幅は１ｋＨｚ〜数ｋＨｚ程度である。したがって、従来と同様の構成としても波長変換光にノイズが現れることは殆どない。
一方、１００ｋＨｚを超える周波数線幅である場合、すなわち
Δνcav＞１００ｋＨｚ    ・・（３）
となるレーザ装置を基本波光源として用いる場合は、本発明構成とし、すなわち上記式（２）及び上記数１により外部共振器の入力結合素子の反射率を選定することが望ましいといえる。
【００２５】
具体的に、基本波光源として例えば発振波長５３２ｎｍのＤＦＢ型ファイバレーザのＳＨＧを用い、外部共振器の非線形光学結晶としてＢＢＯを用いる構成とし、内部損失が０．２％の場合において、外部共振器の入力結合素子の透過率Ｔin（すなわち反射率Ｒin）を従来の手法により選定した比較例と、上記数１及び上記式（２）により反射率Ｒinを選定した本発明の実施形態例による場合の波長変換光強度を測定した。この結果を図８及び図９に示す。これらを比較すると明らかなように、本発明によれば、波長変換光出力のノイズを格段に低減化できることがわかる。
【００２６】
なお、周波数線幅Δνcavを大きくする程、周波数アクセプタンスが広がるので周波数ノイズによる影響を低減化することが可能であるが、Δνcavが２００ＭＨｚを超える場合は、フィネスが２以下となってしまう。したがって、共振器を用いるメリット、すなわち多重干渉による増幅効果が得られなくなり、出力が低下する恐れがある。このため、本発明の波長変換装置及び波長変換方法において、外部共振器の入力結合素子の反射率は、周波数線幅が、
Δνcav＜２００ＭＨｚ
となる範囲に選定することが望ましい。実用的には、周波数線幅Δνcavを２ＭＨｚ〜数十ＭＨｚ以下程度とすることが望ましいといえる。
【００２７】
上述の例においては基本波光源としてＤＦＢ半導体レーザを用いる場合について説明したが、本発明はその他の比較的周波数ジッタの大きい半導体レーザ等の各種レーザを用いる場合に適用可能である。例えば図１０に示す外部共振器型半導体レーザ（ＥＣＤＬ：External Cavity Diode Laser）を用いる場合にも適用可能である。この場合、基本波光源１１は、半導体レーザ等の励起光源３６、反射型グレーティング３７及びミラー３８より構成される。そして励起光源３６からの出射光を反射型グレーティング３７に反射させ、リトロリフレクター等のミラー３８で反射させて励起レーザＬｅ（基本波光）が出力される。このようなＥＣＤＬ型の半導体レーザを基本波光源として用いる場合においても、上述の実施形態例と同様に、波長変換光のノイズを格段に低減化することが可能である。
【００２８】
以上説明したように、本発明の波長変換装置によれば、波長変換光の強度ノイズを格段に低減化することができる。
特に、ＤＦＢファイバレーザ、ＥＣＤＬ、ＤＦＢ半導体レーザ等の周波数ジッタの大きい光源を基本波光源に使用する場合においても、確実に波長変換光の強度ノイズの低減化を図ることができる。
すなわち、ＤＦＢファイバレーザ等の比較的安価なレーザ光源を基本波光源に使うことが可能となり、コストの低減化、また装置構成の簡易化、小型化が実現可能となる。
【００２９】
また、本発明により波長変換光のノイズを低減化することができるので、前述したような半導体装置、半導体ウエハ等の検査装置に用いる検査装置用照明光源（例えば波長１９０ｎｍ〜９００ｎｍ）として本発明を適用することによって、検査精度を損なうことなく良好な検査を行うことが可能となる。
更に、例えば画像装置としてプロジェクター等の照明光源（例えば波長４００〜６００ｎｍ）において本発明の波長変換装置及び波長変換方法を適用することによって、同様に照明光のノイズを低減化することができ、良好な画像表示が可能となる。
また更に、例えば高速スキャンが必要な暗視野顕微鏡の照明光源として本発明による波長変換装置から出力される波長変換光を使うことが可能であり、この場合においてもノイズを低減化できることによって、良好な顕微鏡観察が可能となる。
その他、本発明は、ＰＤＴ（Photo Dynamic Therapy、光線力学療法）用レーザ（例えば波長５００〜７００ｎｍ）、ディスクカッター用レーザ（例えば波長１９０ｎｍ〜４００ｎｍ）、レーザーショー用光源（例えば波長４５０ｎｍ〜６８０ｎｍ）、蛍光材料励起レーザ（例えば波長１９０ｎｍ〜４００ｎｍ）など、種々の波長変換を行う光源装置に用いることによって、ノイズの低減化、またコストの低減化、装置構成の簡易化、小型化を図ることが可能である。
【００３０】
なお、本発明は上述の図１に示す実施形態例の装置構成とする他、例えば図１１〜図１５に示す構成の波長変換装置においても適用可能である。図１１〜図１５において、図１と対応する部分には同一符号を付して重複説明を省略する。なお、図１１〜図１５においては外部共振器内の入力結合素子以外のミラーを省略して示す。
図１１に示す例では、例えば発振波長が１５６０ｎｍの基本波光源１１を用いて、この光を例えば周期的分極反転構造が形成されたＬＮ（ニオブ酸リチウム、ＬｉＮｂＯ3）等の非線形光学素子に入力し、波長７８０ｎｍの第２高調波に変換して外部共振器２０に入力する場合である。この場合においても外部共振器２０の入力結合素子の反射率を上記数１及び数２（すなわち上記式（２））により選定することによって、同様の効果を得ることができる。
【００３１】
更に、図１２においては、外部共振器２１Ａ及び２１Ｂを直列状に配置する例を示す。すなわちこの場合、基本波光源１１から波長１０６４ｎｍの光を外部共振器２０Ａに入力して波長５３２ｎｍの光を出力し、更に外部共振器２０Ｂに入力して波長２６６ｎｍの光を出力するものである。この場合においても同様に、外部共振器２０Ａ及び２０Ｂの入力結合素子２１Ａ及び２１Ｂの反射率を上記数１及び数２により選定することによってノイズの低減化を図り、同様の効果を得ることができる。一方の入力結合素子のみに本発明を適用することも可能であり、この場合においても、従来に比してノイズの低減化を図ることが可能である。
また、図１３においては、外部共振器４０を和周波混合型とする場合を示す。基本波光源１１Ａから波長２６６ｎｍの光を入力し、基本波光源１１Ｂから波長７８０ｎｍの光を入力して、波長１９８ｎｍの光を出力するものである。この場合も、入力結合素子４１Ａ及び４１Ｂの反射率を上記数１及び数２により選定することによって、ノイズを低減化し、同様の効果を得ることができる。図１３中４７は非線形光学素子を示す。
【００３２】
図１４に示す例においては、２つの基本波光源１１Ａ及び１１Ｂと２つの外部共振器２０Ａ及び２０Ｂ、更に和周波混合型の外部共振器４０を用いる場合を示す。一方の基本波光源１１Ａから波長５３２ｎｍの光を外部共振器２０Ａに入力し、他方の基本波光源１１Ｂから波長１５６０ｎｍの光を外部共振器２０Ｂに入力する。そして、外部共振器２０Ａ及び２０Ｂから出力される波長２６６ｎｍ及び７８０ｎｍの光を外部共振器４０に入力して和周波混合により波長１９８ｎｍの光を出力する。この例においても、外部共振器２０Ａ、２０Ｂの各入力結合素子２１Ａ及び２１Ｂ、外部共振器４０の２つの入力結合素子４１Ａ及び４１Ｂのそれぞれについて、上記数１及び数２により反射率を選定することによって、同様にノイズの低減化を図ることができ、同様の効果を得ることが可能である。また、少なくとも１つの入力結合素子に本発明を適用することも可能であり、この場合においても、従来に比してノイズの低減化を図ることができる。図１４において、１７Ａ、１７Ｂ及び４７は非線形光学素子を示す。
【００３３】
更に、図１５に示すように、基本波光源１１Ａ及び１１Ｂを用いて、一方の基本波光源１１Ｂからの光のみを外部共振器２０内で多重干渉させる場合においても本発明を適用することができる。この場合、基本波光源１１Ａから波長２４４ｎｍの光を外部共振器の非線形光学素子１７を通過させ、基本波光源１１Ｂから波長１０６４ｎｍの光を入力結合素子２１から外部共振器２０に入力して、波長１９８ｎｍの光を出力する例を示す。この場合においても、入力結合素子２１の反射率を上記数１及び数２により選定することによって、ノイズを低減化することができ、同様の効果を得ることが可能である。
【００３４】
以上説明したように、本発明は、基本波光源に波長変換部例えばＳＨＧ光を出力する外部共振器型の波長変換部を設ける構成とする場合にも適用可能であり、この場合において、基本波光源内の外部共振器を含んで入力結合素子の反射率を上記数１及び数２により選定することによって、ノイズの低減化を図ることができる。
なお、２以上の外部共振器を備える場合において、少なくとも１つ以上の外部共振器の入力結合素子の反射率を、上記数１及び数２で表されるように選定する場合は、従来と比較してノイズの低減化を図ることが可能となる。
【００３５】
また本発明は、上述の各実施形態例に示す構成の波長変換装置に限定されるものではなく、その他基本波光源と外部共振器とをファイバ等で結合する場合など、本発明構成を逸脱しない範囲において種々の変形、変更が可能であることはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の実施形態例に係る波長変換装置の一例の概略構成図である。
【図２】分布帰還型（ＤＦＢ）ファイバレーザの一例の概略構成図である。
【図３】波長変換光強度のノイズの一例を示す図である。
【図４】外部共振器の周波数許容度を示す図である。
【図５】外部共振器の周波数許容度を示す図である。
【図６】入力結合素子の透過率に対する波長変換光出力の変化を示す図である。
【図７】入力結合素子の透過率に対する外部共振器の周波数線幅の変化を示す図である。
【図８】比較例による波長変換光強度の一例を示す図である。
【図９】本発明の実施形態例に係る波長変化装置による波長変換光強度の一例を示す図である。
【図１０】外部共振器型半導体レーザの一例の概略構成図である。
【図１１】本発明の実施形態例に係る波長変換装置の一例の概略構成図である。
【図１２】本発明の実施形態例に係る波長変換装置の一例の概略構成図である。
【図１３】本発明の実施形態例に係る波長変換装置の一例の概略構成図である。
【図１４】本発明の実施形態例に係る波長変換装置の一例の概略構成図である。
【図１５】本発明の実施形態例に係る波長変換装置の一例の概略構成図である。
【図１６】波長変換装置の一例の概略構成図である。
【符号の説明】
【００３７】
１１．基本波光源、１１Ａ．基本波光源、１１Ｂ．基本波光源、１２．位相変調器、１３．集光レンズ、１４．光検出器、１５．制御回路、１６．電磁アクチュエータ、１７．非線形光学素子、２１．入力結合素子、２１Ａ．入力結合素子、２１Ｂ．入力結合素子、２２．ミラー、２３．ミラー、２４．ミラー、３１．波長分割多重素子、３２．ＤＦＢファイバ、３３．波長分割多重素子、３４．励起用レーザ、３６．励起光源、３７．反射型グレーティング、３８．ミラー、４０．外部共振器、４１．入力結合素子、４１Ａ．入力結合素子、４１Ｂ．入力結合素子、４７．非線形光学素子、１０１．基本波光源、１２１．入力結合素子、１２２．ミラー、１２３．ミラー、１２４．ミラー、１２５．非線形光学素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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