(57)【要約】【課題】  鉄等の微細な磁性金属異物を、吸着力の弱い非磁性粒子の内部に混入されている場合であっても、被処理物から分離して、確実に捕捉する。【解決手段】  被処理物を溶液状として、磁石１２直上に設置された流路部材１４に流し、磁石１２の磁力により被処理物中に含まれる磁性金属異物を流路部材１４上に捕捉する。流路部材１４は、磁石１２の表面形状に沿った形状を有する樋１８であり、この樋１８及び磁石１４を傾斜して配置して、樋１８に溶液状の被処理物を流し込み、溶液状の被処理物が樋１８に形成された溝部２０を通過することにより樋１８の溝部２０において磁性金属異物を捕捉する。樋１８の少なくとも流路面は、１００μｍ以下の厚みに形成する。溶液状の被処理物の樋１８への流量を一定に調整して、樋１８に流し込む。【選択図】        図１
2008307452.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理物を溶液状として、磁石直上に設置された流路部材に流し、前記磁石の磁力により前記被処理物中に含まれる磁性金属異物を前記流路部材上に捕捉する磁性金属異物の捕捉方法において、前記流路部材として前記磁石の表面形状に沿った形状を有する樋を使用し、前記樋及び前記磁石を傾斜して配置して、前記樋に前記溶液状の被処理物を流し込み、前記溶液状の被処理物が前記樋に形成された溝部を通過することにより前記樋の溝部において前記磁性金属異物を捕捉することを特徴とする磁性金属異物の捕捉方法。
【請求項２】
請求項１に記載された磁性金属異物の捕捉方法であって、前記樋の少なくとも流路面を１００μｍ以下の厚みに形成することを特徴とする磁性金属異物の捕捉方法。
【請求項３】
請求項１又は請求項２のいずれかに記載された磁性金属異物の捕捉方法であって、前記樋を非磁性材料から形成することを特徴とする磁性金属異物の捕捉方法。
【請求項４】
請求項３に記載された磁性金属異物の捕捉方法であって、前記樋を形成する前記非磁性材料として銅を使用することを特徴とする磁性金属異物の捕捉方法。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれかに記載された磁性金属異物の捕捉方法であって、前記溝部は、前記樋において前記被処理物の進行方向に延びるように形成されていることを特徴とする磁性金属異物の捕捉方法。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５のいずれかに記載された磁性金属異物の捕捉方法であって、前記溶液状の被処理物の前記樋へ供給する流量を定量に調整することを特徴とする磁性金属異物の捕捉方法。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６のいずれかに記載された磁性金属異物の捕捉方法であって、前記溶液状の被処理物の前記樋へ供給する流量を前記樋の溝部における流れの厚みが２ｍｍ以下となるように調整することを特徴とする磁性金属異物の捕捉方法。
【請求項８】
請求項６又は請求項７のいずれかに記載された磁性金属異物の捕捉方法であって、ポンプにより前記溶液状の被処理物の前記樋へ供給する流量を調整することを特徴とする磁性金属異物の捕捉方法。
【請求項９】
請求項１乃至請求項８のいずれかに記載された磁性金属異物の捕捉方法であって、前記溶液状の被処理物の溶液濃度を一定に調整することを特徴とする磁性金属異物の捕捉方法。
【請求項１０】
請求項１乃至請求項９のいずれかに記載された磁性金属異物の捕捉方法であって、複数の前記磁石を、異極同士を相対向させることにより連結させて配置することを特徴とする磁性金属異物の捕捉方法。
【請求項１１】
請求項１乃至請求項１０のいずれかに記載された磁性金属異物の捕捉方法であって、前記磁石及び前記樋の傾斜角度を４０°以下に設定することを特徴とする磁性金属異物の捕捉方法。
【請求項１２】
請求項１乃至請求項１１のいずれかに記載された磁性金属異物の捕捉方法であって、前記溶液状の被処理物を複数回にわたり前記樋に流し込むことを特徴とする磁性金属異物の捕捉方法。
【請求項１３】
請求項１乃至請求項１２のいずれかに記載された磁性金属異物の捕捉方法であって、前記磁性金属異物を前記樋上に捕捉した後、前記磁石により前記樋上に前記磁性金属異物を捕捉したまま、前記樋及び前記磁石に超音波振動を付与することを特徴とする磁性金属異物の捕捉方法。
【請求項１４】
磁石と、前記磁石の直上に設置され溶液状の被処理物が流し込まれる流路部材とを備え、前記磁石の磁力により前記被処理物中に含まれる磁性金属異物を前記流路部材上に捕捉する磁性金属異物の捕捉装置において、前記流路部材は、前記磁石の表面形状に沿った形状を有する樋から成り、前記樋は前記溶液状の被処理物が通過する溝部を有し、前記樋及び前記磁石は傾斜して配置され、前記磁石は、前記樋の溝部において前記溶液状の被処理物から前記磁性金属異物を捕捉することを特徴とする磁性金属異物の捕捉装置。
【請求項１５】
請求項１４に記載された磁性金属異物の捕捉装置であって、前記樋は、少なくとも流路面が１００μｍ以下の厚みに形成されていることを特徴とする磁性金属異物の捕捉装置。
【請求項１６】
請求項１４又は請求項１５のいずれかに記載された磁性金属異物の捕捉装置であって、前記樋は、非磁性材料から形成されていることを特徴とする磁性金属異物の捕捉装置。
【請求項１７】
請求項１６に記載された磁性金属異物の捕捉装置であって、前記樋を形成する前記非磁性材料は、銅であることを特徴とする磁性金属異物の捕捉装置。
【請求項１８】
請求項１４至請求項１７のいずれかに記載された磁性金属異物の捕捉装置であって、前記溝部は、前記樋において前記被処理物の進行方向に延びるように形成されていることを特徴とする磁性金属異物の捕捉装置。
【請求項１９】
請求項１４乃至請求項１８のいずれかに記載された磁性金属異物の捕捉装置であって、前記樋は、前記磁石を保持する磁石収納部を有し、前記磁石は、前記磁石収納部内に着脱自在に設置されることを特徴とする磁性金属異物の捕捉装置。
【請求項２０】
請求項１４乃至請求項１９のいずれかに記載された磁性金属異物の捕捉装置であって、前記溶液状の被処理物の前記樋へ供給する流量を定量に調整する流量調整手段を備えていることを特徴とする磁性金属異物の捕捉装置。
【請求項２１】
請求項１４乃至請求項２０のいずれかに記載された磁性金属異物の捕捉装置であって、前記溶液状の被処理物の前記樋へ供給する流量を前記樋の溝部における流れの厚みが２ｍｍ以下となるように調整する流量調整手段を備えていることを特徴とする磁性金属異物の捕捉装置。
【請求項２２】
請求項２０又は請求項２１のいずれかに記載された磁性金属異物の捕捉装置であって、前記流量調整手段が、ポンプであることを特徴とする磁性金属異物の捕捉装置。
【請求項２３】
請求項１４乃至請求項２２のいずれかに記載された磁性金属異物の捕捉装置であって、複数の前記磁石が、異極同士を相対向させることにより連結させて配置されていることを特徴とする磁性金属異物の捕捉装置。
【請求項２４】
請求項１４乃至請求項２３のいずれかに記載された磁性金属異物の捕捉装置であって、前記磁石及び前記樋の傾斜角度は４０°以下に設定されていることを特徴とする磁性金属異物の捕捉装置。
【請求項２５】
請求項１４乃至請求項２４のいずれかに記載された磁性金属異物の捕捉装置であって、前記磁性金属異物を前記樋上に捕捉した後、前記磁石により前記樋上に前記磁性金属異物を捕捉したまま、前記樋及び前記磁石に超音波振動を付与する超音波振動手段を更に備えていることを特徴とする磁性金属異物の捕捉装置。
【請求項２６】
請求項１４乃至請求項２５のいずれかの磁性金属異物の捕捉装置を使用した請求項１乃至請求項１３のいずれかに記載された磁性金属異物の捕捉方法により、被処理物中に含まれる磁性金属異物を捕捉して、前記捕捉された磁性金属異物を分析する被処理物の検査方法であって、前記被処理物が半導体封止用樹脂組成物であり、前記半導体封止用樹脂組成物の製品検査として前記半導体封止用樹脂組成物に含有される前記磁性金属異物を捕捉、分析することを特徴とする被処理物の検査方法。
【請求項２７】
請求項１４乃至請求項２５のいずれかの磁性金属異物の捕捉装置を使用した請求項１乃至請求項１３のいずれかに記載された磁性金属異物の捕捉方法により、被処理物中に含まれる磁性金属異物を捕捉して、前記捕捉された磁性金属異物を分析する被処理物の検査方法であって、前記被処理物が半導体封止用樹脂組成物の原材料であり、前記半導体封止用樹脂組成物の製造前に前記原材料の受け入れ検査として前記半導体封止用樹脂組成物の原材料に含有される前記磁性金属異物を捕捉、分析することを特徴とする被処理物の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体封止用の樹脂組成物等に混入した磁性金属等の磁性金属異物を捕捉する方法及び装置の改良、並びに磁性金属異物を捕捉して被処理物を検査する方法の改良に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
（１．異物の除去の必要性）
例えば、ＩＣやＬＳＩ等の半導体素子の封止には信頼性や生産性の観点からトランスファー成形ができる熱硬化性樹脂組成物が広く用いられる。半導体封止用熱硬化性樹脂組成物として最も一般的なエポキシ樹脂組成物は、通常各原料を所定量秤量したものを混合装置で予備混合し、次いで単軸混練機、二軸混練機、加熱ロール、連続ニーダ−等の加熱混練機を用いて溶融混練した後、粉砕機により粉砕し、タブレットマシンにより打錠するという製造工程を経て製造される。これら製造工程においては、混合装置、加熱混練機、粉砕機等の製造装置が摩耗等をして、樹脂組成物中に僅かながら鉄粉等の磁性金属が異物として混入することがある。
【０００３】
しかし、このような鉄粉等の導電性の異物が樹脂組成物中に存在していると、半導体パッケージ内のピンや配線間をショートさせて電気的不良の原因となるおそれがある。特に、近年、半導体を樹脂組成物により封止した半導体パッケージは、極端に小型化、薄型化される傾向にあり、その結果、半導体パッケージ内のピンや配線の間隔は狭くなってきているため、相当程度微細な鉄粉等の導電性の異物が含まれているだけでも、これらの電気的不良の原因となるおそれがある。このため、従前以上により微細なレベルで鉄粉等の導電性の異物を除去することが必要となっており、製品の出荷検査や工程検査において、これらの磁性金属異物の大きさや個数、組成等を適格に把握し、管理することが要求されるに至っている。
【０００４】
（２．振動による除去の問題点）
この点については、従来から、磁性金属異物を含む非磁性材料を、その非磁性成分は溶解するが磁性金属異物は溶解しない溶媒に混合して、その非磁性成分を溶解させて溶液とし、この溶液を下方に磁石を脱着可能に配設した微細に振動する振動板の上面の一端部に供給して、振動板上で振動させながら薄層状態で移動させて磁石の上方を通過させると共に、溶液中に含まれる磁性金属異物を磁石の磁力によって振動板上に保持することにより磁性金属異物を含む非磁性材料から磁性金属異物を分離する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
しかし、この方法では、振動により溶液を移動させるため、捕集された磁性金属異物は常に振動条件下に置かれることとなる結果、捕集された磁性金属異物のうち、吸着力が比較的弱い磁性金属異物は振動板上に確実には保持されず、溶液と共に移動してしまったり、振動板から落下するおそれが生じる。また、振動機構を備えるためには、振動板が適切に振動できるだけの充分な厚みを備える必要があり、その結果、この振動板の厚みにより、磁性金属異物を捕捉する磁石が、その本来の能力を発揮することができず、吸着力の弱い磁性金属異物等を確実に捕集できない問題もあった。
【０００６】
（３．傾斜落下による除去の限界）
一方、上記の溶液を、磁石上に設置された傾斜板上に流し、傾斜板を振動させることなく自然落下により通過させて、磁石により捕集することも考えられる（例えば、特許文献２等参照）。しかし、この場合、溶液を、単に傾斜板上に流し込むだけでは、流体の厚みに不均一な箇所が生じる結果、磁力の磁性金属異物に対する影響も不均一となって差が生じ、特に流体が厚く流れ出ている部分については、微細な磁性金属異物を確実に捕捉することができなくなるおそれがある。とりわけ、磁性金属異物は、単体で存在する場合のみならず、シリカ等の非磁性粒子の内部に混入して存在している場合もあり、この場合には、磁性金属異物が磁力の影響を一段と受けにくくなり、確実に捕捉することが困難となる問題が生じる。
【０００７】
【特許文献１】特開２００５−１３７９６０号公報
【特許文献２】特開平１１−７６８６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明が解決しようとする課題は、上記の問題点に鑑み、鉄等の微細な磁性金属異物を、吸着力の弱い非磁性粒子の内部に混入されている場合であっても、被処理物から分離して、確実に捕捉することができる磁性金属異物の捕捉方法及び磁性金属異物の捕捉装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
（１．磁性金属異物の捕捉方法）
本発明は、上記の課題を解決するための第１の手段として、被処理物を溶液状として、磁石直上に設置された流路部材に流し、磁石の磁力により被処理物中に含まれる磁性金属異物を流路部材上に捕捉する磁性金属異物の捕捉方法において、流路部材として磁石の表面形状に沿った形状を有する樋を使用し、樋及び磁石を傾斜して配置して、樋に溶液状の被処理物を流し込み、溶液状の被処理物が樋に形成された溝部を通過することにより樋の溝部において磁性金属異物を捕捉することを特徴とする磁性金属異物の捕捉方法を提供するものである。
【００１０】
本発明は、上記の課題を解決するための第２の手段として、上記第１の解決手段において、樋の少なくとも流路面を１００μｍ以下の厚みに形成することを特徴とする磁性金属異物の捕捉方法を提供するものである。
【００１１】
本発明は、上記の課題を解決するための第３の手段として、上記第１又は第２のいずれかの解決手段において、樋を非磁性材料から形成することを特徴とする磁性金属異物の捕捉方法を提供するものである。
【００１２】
本発明は、上記の課題を解決するための第４の手段として、上記第３の解決手段において、樋を形成する非磁性材料として銅を使用することを特徴とする磁性金属異物の捕捉方法を提供するものである。
【００１３】
本発明は、上記の課題を解決するための第５の手段として、上記第１乃至第４のいずれかの解決手段において、溝部は、樋において被処理物の進行方向に延びるように形成されていることを特徴とする磁性金属異物の捕捉方法を提供するものである。
【００１４】
本発明は、上記の課題を解決するための第６の手段として、上記第１乃至第５のいずれかの解決手段において、溶液状の被処理物の樋へ供給する流量を定量に調整することを特徴とする磁性金属異物の捕捉方法を提供するものである。
【００１５】
本発明は、上記の課題を解決するための第７の手段として、上記第５又は第６のいずれかの解決手段において、溶液状の被処理物の樋へ供給する流量を樋の溝部における流れの厚みが２ｍｍ以下となるように調整することを特徴とする磁性金属異物の捕捉方法を提供するものである。
【００１６】
本発明は、上記の課題を解決するための第８の手段として、上記第６又は第７のいずれかの解決手段において、ポンプにより溶液状の被処理物の樋へ供給する流量を調整することを特徴とする磁性金属異物の捕捉方法を提供するものである。
【００１７】
本発明は、上記の課題を解決するための第９の手段として、上記第１乃至第８のいずれかの解決手段において、溶液状の被処理物の溶液濃度を一定に調整することを特徴とする磁性金属異物の捕捉方法を提供するものである。
【００１８】
本発明は、上記の課題を解決するための第１０の手段として、上記第１乃至第９のいずれかの解決手段において、複数の磁石を、異極同士を相対向させることにより連結させて配置することを特徴とする磁性金属異物の捕捉方法を提供するものである。
【００１９】
本発明は、上記の課題を解決するための第１１の手段として、上記第５又は第６のいずれかの解決手段において、磁石及び樋の傾斜角度を４０°以下に設定することを特徴とする磁性金属異物の捕捉方法を提供するものである。
【００２０】
本発明は、上記の課題を解決するための第１２の手段として、上記第１乃至第１１のいずれかの解決手段において、溶液状の被処理物を複数回にわたり樋に流し込むことを特徴とする磁性金属異物の捕捉方法を提供するものである。
【００２１】
本発明は、上記の課題を解決するための第１３の手段として、上記第１乃至第１２のいずれかの解決手段において、磁性金属異物を樋上に捕捉した後、磁石により樋上に磁性金属異物を捕捉したまま、樋及び磁石に超音波振動を付与することを特徴とする磁性金属異物の捕捉方法を提供するものである。
【００２２】
（２．磁性金属異物の捕捉装置）
本発明は、上記の課題を解決するための第１４の手段として、磁石と、この磁石の直上に設置され溶液状の被処理物が流し込まれる流路部材とを備え、磁石の磁力により被処理物中に含まれる磁性金属異物を流路部材上に捕捉する磁性金属異物の捕捉装置において、流路部材は、磁石の表面形状に沿った形状を有する樋から成り、樋は溶液状の被処理物が通過する溝部を有し、樋及び磁石は傾斜して配置され、磁石は、樋の溝部において溶液状の被処理物から磁性金属異物を捕捉することを特徴とする磁性金属異物の捕捉装置を提供するものである。
【００２３】
本発明は、上記の課題を解決するための第１５の手段として、上記第１４の解決手段において、樋は、少なくとも流路面が１００μｍ以下の厚みに形成されていることを特徴とする磁性金属異物の捕捉装置を提供するものである。
【００２４】
本発明は、上記の課題を解決するための第１６の手段として、上記第１４又は第１５のいずれかの解決手段において、樋は、非磁性材料から形成されていることを特徴とする磁性金属異物の捕捉装置を提供するものである。
【００２５】
本発明は、上記の課題を解決するための第１７の手段として、上記第１６の解決手段において、樋を形成する非磁性材料は、銅であることを特徴とする磁性金属異物の捕捉装置を提供するものである。
【００２６】
本発明は、上記の課題を解決するための第１８の手段として、上記第１４乃至第１７のいずれかの解決手段において、溝部は、樋において被処理物の進行方向に延びるように形成されていることを特徴とする磁性金属異物の捕捉装置を提供するものである。
【００２７】
本発明は、上記の課題を解決するための第１９の手段として、上記第１４乃至第１８のいずれかの解決手段において、樋は、磁石を保持する磁石収納部を有し、磁石は、磁石収納部内に着脱自在に設置されることを特徴とする磁性金属異物の捕捉装置を提供するものである。
【００２８】
本発明は、上記の課題を解決するための第２０の手段として、上記第１４乃至第１９のいずれかの解決手段において、溶液状の被処理物の樋へ供給する流量を定量に調整する流量調整手段を備えていることを特徴とする磁性金属異物の捕捉装置を提供するものである。
【００２９】
本発明は、上記の課題を解決するための第２１の手段として、上記第１４乃至第２０のいずれかの解決手段において、溶液状の被処理物の樋へ供給する流量を樋の溝部における流れの厚みが２ｍｍ以下となるように調整する流量調整手段を備えていることを特徴とする磁性金属異物の捕捉装置を提供するものである。
【００３０】
本発明は、上記の課題を解決するための第２２の手段として、上記第２０又は第２１のいずれかの解決手段において、流量調整手段が、ポンプであることを特徴とする磁性金属異物の捕捉装置を提供するものである。
【００３１】
本発明は、上記の課題を解決するための第２３の手段として、上記第１４乃至第２２のいずれかの解決手段において、複数の磁石が、異極同士を相対向させることにより連結させて配置されていることを特徴とする磁性金属異物の捕捉装置を提供するものである。
【００３２】
本発明は、上記の課題を解決するための第２４の手段として、上記第１４乃至第２３のいずれかの解決手段において、磁石及び樋の傾斜角度は４０°以下に設定されていることを特徴とする磁性金属異物の捕捉装置を提供するものである。
【００３３】
本発明は、上記の課題を解決するための第２５の手段として、上記第１４乃至第２４のいずれかの解決手段において、磁性金属異物を樋上に捕捉した後、磁石により樋上に磁性金属異物を捕捉したまま、樋及び磁石に超音波振動を付与する超音波振動手段を更に備えていることを特徴とする磁性金属異物の捕捉装置を提供するものである。
（３．被処理物の検査方法）
【００３４】
本発明は、上記の課題を解決するための第２６の手段として、上記第１４乃至第２５のいずれかの解決手段である磁性金属異物の捕捉装置を使用した上記第１乃至第１３のいずれかの磁性金属異物の捕捉方法により、被処理物中に含まれる磁性金属異物を捕捉して、この捕捉された磁性金属異物を分析する被処理物の検査方法であって、この被処理物が半導体封止用樹脂組成物であり、この半導体封止用樹脂組成物の製品検査として半導体封止用樹脂組成物に含有される磁性金属異物を捕捉、分析することを特徴とする被処理物の検査方法を提供するものである。
【００３５】
本発明は、上記の課題を解決するための第２６の手段として、上記第１４乃至第２５のいずれかの解決手段である磁性金属異物の捕捉装置を使用した上記第１乃至第１３のいずれかの磁性金属異物の捕捉方法により、被処理物中に含まれる磁性金属異物を捕捉して、この捕捉された磁性金属異物を分析する被処理物の検査方法であって、この被処理物が半導体封止用樹脂組成物の原材料であり、この半導体封止用樹脂組成物の製造前に前記原材料の受け入れ検査として前記半導体封止用樹脂組成物の原材料に含有される前記磁性金属異物を捕捉、分析することを特徴とする被処理物の検査方法を提供するものである。
【発明の効果】
【００３６】
本発明によれば、上記のように、樋及び磁石を傾斜して配置して、溶液状の被処理物が樋に形成された溝部を自然落下することにより樋の溝部において磁性金属異物を捕捉するため、振動を付与することなく被処理物の全てを確実に磁石の表面上部を通過させることができると共に、溶液が溝部という一定形状を有する流路を落下させていくため、溶液の流れがランダムとなるのを抑制して一定化することができ、溶液が適切に薄い均一な厚みで流れていくため、高い精度で確実に、被処理物中の磁性金属異物を樋上に捕捉することができる実益がある。
【００３７】
この場合、特に、本発明によれば、上記のように、振動を付与する必要がない結果、樋の少なくとも流路面を１００μｍ以下の厚みに形成することができるため、被処理物が通過する樋の溝部における磁力を、樋の下方に位置する磁石の磁力とほぼ同等に維持することができ、磁石本来の吸着能力を充分に発揮させた強力な吸着力で磁性金属異物を捕捉することができるので、例えば、シリカ等の非磁性粒子中に取り込まれた状態で存在する数μｍ単位の磁性金属異物であっても、確実に捕捉することができる実益がある。
【００３８】
同様に、この場合、本発明によれば、上記のように、溶液濃度を一定に調整した上で、ポンプ等により溶液の流量を調整しているため、一定形状を有する樋の溝部を流路としていることと相乗して、一定の適切な流量（流れる溶液の厚み）で落下させることができるので、繰り返し精度が高い状態で均一に微細な磁性金属異物であっても、確実に捕捉することができる実益がある。
【００３９】
更に、この場合、本発明によれば、上記のように、複数の磁石を、異極同士を相対向させることにより連結させて配置しているため、被処理物の進行方向に延びるように形成された溝部を流路としていることと相乗して、被処理物の溶液が、磁束密度が高い部分に直交して流れ、更には、流路上の複数の箇所で捕捉される機会に恵まれるため、磁性金属異物を、一定した高い精度で確実に捕捉することができる実益がある。
【００４０】
また、本発明によれば、上記のように、磁石を樋の磁石収納部内に着脱自在に設置しているため、磁石を樋から分離することにより、樋への磁力を解除して、捕捉した磁性金属異物を簡易に回収、分析することができる実益がある。
【００４１】
この場合、特に、本発明によれば、上記のように、磁性金属異物を樋上に捕捉した後、磁石により樋上に磁性金属異物を捕捉したまま、樋及び磁石に超音波振動を付与しているため、樋上にシリカ等の目的外の非磁性物が溶媒に曝した程度では流れ落ちない程度の磁力以外の物理吸着で吸着していた場合であっても、磁性金属異物を樋上に捕捉したまま、当該非磁性粒子のみを樋から分離して除去することができ、残余の目的物である磁性金属異物のみを適切に回収して、その後の分析に精度良く提供することができる実益がある。
【００４２】
本発明によれば、上記のように、半導体封止用樹脂組成物の製品検査として磁石により半導体封止用樹脂組成物に含有される磁性金属異物を捕捉しているため、この捕捉された磁性金属異物を分析することにより、製造工程からの磁性金属異物の混入状態を把握して、所定の大きさや個数を超える磁性金属異物が混入した半導体封止用樹脂組成物の流出を防ぐことができ、半導体パッケージ内のピンや配線間のショート等の不具合を未然に防止することができる実益がある。
【００４３】
本発明によれば、上記のように、半導体封止用樹脂組成物の原材料を被処理物として、半導体封止樹脂組成物の製造前に原材料の受け入れ検査として磁石により半導体封止用樹脂組成物の原材料に含有される磁性金属異物を捕捉しているため、この捕捉された磁性金属異物を分析することにより、原材料への磁性金属異物の混入状態を把握して、所定の大きさや個数を超える磁性金属異物が混入した原材料による半導体封止用樹脂組成物への加工を未然に防止することができ、製品の歩留まりを向上させることができると共に、事後的に不適な製品を排除する手間を回避することができる実益がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４４】
本発明の実施の形態を図面を参照しながら詳細に説明すると、図１及び図２は、本発明の磁性金属異物の捕捉装置１０により、本発明の磁性金属異物の捕捉方法を実施する状態を示し、この磁性金属異物の捕捉装置１０は、図１に示すように、磁石１２と、この磁石１２の直上に設置される流路部材１４と、被処理物１を流路部材１４に供給するホッパー等の供給手段１６とを備えている。
【００４５】
本発明においては、この捕捉装置１０を使用して、特に図２に示すように、被処理物１を溶液状として、供給手段１６から磁石１２直上に設置された流路部材１４に流し、磁石１２の磁力により被処理物１中に含まれる磁性金属異物２を流路部材１４上に捕捉するものである。
【００４６】
（１．被処理物）
この場合、被処理物１としては、例えば、エポキシ樹脂、硬化剤、無機質充填剤等の半導体封止用樹脂組成物の原材料や、これらの原材料を加工した半導体封止用樹脂組成物等を挙げることができ、これらの原材料に当初から含まれていた磁性金属異物２や、原材料からの製造工程中に樹脂組成物に混入した鉄粉等の磁性金属異物２の捕捉に使用することができる。なお、本発明においては、後述するように、例えば、シリカ等の非磁性粒子３中に取り込まれる形で存在する鉄等の磁性金属異物２の捕捉にも有効である。
【００４７】
本発明においては、これらの被処理物１を、元来の成分であるエポキシ樹脂は溶解するが、磁性金属異物等は溶解しない溶媒中に投与して撹拌することにより、溶液状とする。これは、被処理物１を溶液状とすることにより、元来の成分であるエポキシ樹脂等から鉄等の磁性金属異物２を分離して捕捉することを容易とするためである。このような溶媒としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、トルエン、メタノール等を挙げることができる。
【００４８】
また、この場合、後述するように、この溶液状の被処理物１の流れ分布を一定にするために、被処理物１の溶液への濃度を、一定に、具体的には、３０重量％以上、４０重量％以下程度に保持することが望ましい。このようにして、溶液状とされた被処理物１は、図１及び図２に示すように、ホッパー等の供給手段１６に充填されて、この供給手段１６から流路部材１４に供給され、磁性金属異物２が除去された後、流路部材１４の下方に設置された廃液回収容器２７に回収される。
【００４９】
（２．流路部材）
本発明においては、流路部材１４は、図１及び図４に示すように、磁石１２の表面形状に沿った形状を有する樋１８から成っている。この樋１８は、特に図４に示すように、後述する円筒形状の磁石収納部２２の表面（流路面１８ａ）と、この磁石保持部２２から斜め上方に延びるように設置された２つの側壁１８ｂとによって構成される。この場合、樋１８は、特に図４に示すように、２つの側壁１８ｂを流路面１８ａの頂面よりも下方から突出させることにより、流路面１８ａと側壁１８ｂとの境界部に溶液状の被処理物１が通過する溝部２０が形成される。
【００５０】
また、この樋１８及び磁石１２は、図１及び図２に示すように、傾斜して配置されている。従って、本発明においては、溶液状の被処理物１は、この樋１８に形成された溝部２０を自然落下することにより樋１８の溝部２０において磁石１２の磁力により磁性金属異物２を捕捉するため、流路部材１４である樋１８に振動を付与することなく、被処理物１の全てを確実に磁石１２の表面上部を通過させることができる。
【００５１】
また、この溝部２０は、図１及び図４に示すように、樋１８において被処理物１の進行方向に延びるように一定形状（図示の実施の形態では、直線状）に形成されている。このため、溶液状の被処理物１は、特に、図４に示すように、溝部２０という一定形状を有する流路を落下していくため、溶液状の被処理物１の流れがランダムとなるのを抑制して一定化することができ、溶液状の被処理物１が適切に薄い均一な厚みで流れていくため、高い精度で確実に、被処理物１中の磁性金属異物２を樋１８上に捕捉することができる。
【００５２】
なお、この樋１８は、磁石１２から分離した後において残留磁束のない非磁性材料、具体的には、例えば、銅から形成することが望ましい。また、この樋１８、特に、その流路面１８ａの厚みは、磁力により磁性金属異物を確実に捕捉することができれば、特に、限定はないが、磁石１２の作る磁界の強さは、磁石１２表面が最も強く、この表面からの距離が大きくなる程弱くなるため、溶液状の被処理物１が流れる部分の磁界の強さ、即ち、流路面１８ａ表面の磁界の強さは流路面１８ａの厚みに依存する。このため、流路部材１４である樋１８、特に、少なくとも、その流路面１８ａの厚みは１００μｍ以下、望ましくは、後述する実施例で良好な結果が得られることが確認された、７０μｍ程度とすることが望ましい。また、このように、少なくとも７０μｍ程度の厚みは確保することにより、後述する磁石収納部２２からの磁石１２の着脱の際における強度も充分に確保することができる。
【００５３】
（３．磁石）
この流路部材１４である樋１８は、図１及び図４に示すように、流路面１８ａの下方に、磁石１２を保持する磁石収納部２２を有する。この磁石収納部２２は、具体的には、図１及び図４に示すように、その一部が流路面１８ａとなる中空の円筒形状を有する。磁石１２は、この磁石収納部２２と同様の円筒形状を有し、磁石収納部２２内に着脱自在に設置されることにより、保持される。これにより、樋１８は、磁石１２の直上に設置される。この場合、磁石１２の磁力を最大限に発揮させて磁性金属異物２を捕捉するためには、磁石収納部２２は、特に、少なくとも、その流路面１８ａとなる部分において、磁石１２と密着する形状とすることが望ましい。但し、この磁石収納部２２及び磁石１２の表面形状は、溶液状の被処理物１が溝部２０を確実に流れることができれば、必ずしも円筒形状に限定されるものではなく、他の形状とすることもできる。
【００５４】
また、図示の実施の形態では、特に、図２に示すように、複数の磁石１２を使用し、これらの複数の磁石１２を、異極同士を相対向させることにより連結させて、磁石収納部２２内に配置している。これにより、異極同士を相対向させた部分では磁束密度が高まるため、これらの磁石１２の作る強力な磁界により、溝部２０を落下していく溶液状の被処理物１中に存在する鉄等の磁性金属異物２は、瞬時に磁化されて、樋１８の溝部２０上に吸着され、その状態で保持される。
【００５５】
加えて、この場合、特に、磁石１２の異極同士を相対向させた部分が、溝部２０という一定形状の流路において複数箇所に設定されることになるため、溶液状の被処理物１中の磁性金属異物２は、少なくとも１回は磁束密度が高い箇所を通過するため、あるいは、複数回の磁化の機会にさらされるため、漏れなく捕捉される確率が格段と高まる。
【００５６】
なお、これらの各磁石１２は、シリカ等の非磁性粒子中に混入している鉄等の磁性金属異物をも確実に捕捉するためには、異極同士が相対向する箇所において、１．４Ｔ以上の磁束密度を発揮する磁石１２を使用することが望ましい。また、樋１８の幅方向の端部付近に形成された溝部２０において、確実に磁界が発生するよう、磁石１８は、樋１８の幅方向において、少なくとも左右の２つの溝部２０間の幅以上の幅として、樋１８の流路面１８ａの全幅にわたって配置させることが望ましい。また、図２に示す実施の形態においては、４つの磁石１２を使用して、３カ所の異極同士を相対向させた部分を設定しているが、特に、その個数に限定はない。但し、３つ以上の磁石１２を使用して、少なくとも２カ所以上で異極同士を相対向させた部分を設定することが好ましく、より望ましくは、磁石１２の個数、ひいては、異極同士を相対向させた部分の設定数が多い程、磁性金属異物２の捕捉機会及び捕捉率が向上するため、８つ以上の磁石１２を使用する。
【００５７】
（４．流量（流れの厚み）の調整）
また、本発明の捕捉装置１０は、図１及び図２に示すように、溶液状の被処理物１の樋１８へ供給する流量を定量に調整する流量調整手段２４を備えている。これは、溶液状の被処理物１を、樋１８の溝部２０に確実に流し込むと同時に、磁石１２により磁性金属異物２を捕捉するのに適した量に調整するためである。
【００５８】
即ち、左右の溝部の両方に跨って流れる程の流量であると、流体分布が一定せず一定の流路（溝部２０）を確実に通過させることができなくなると共に、磁石１２の磁力の影響は磁石１２からの距離が遠ざかるに連れ低下するため、溝部２０のみを通過するとしても、その際の流れの厚みがあまりに厚いと、磁性金属異物２を確実に捕捉することが困難となるからである。この場合、具体的な流量は、樋１８の寸法や、磁石１２の磁力により相対的に決定されるが、上述した能力の範疇の磁石１２や樋１８を使用する場合においては、溝部２０における流れの厚みが２ｍｍ程度になる流量とすることが好ましい。
【００５９】
これらの流量調整手段２４としては、具体的には、モーノポンプやチューブポンプ等のポンプ２６を使用することができる。即ち、図示の実施の形態では、ホッパー等の供給手段１６内に充填された溶液状の被処理物１は、このポンプ２６により、一定の流量で、流路部材１４である樋１８に流し込まれる。この場合、流量が適切であるため、特に、図４に示すように、溶液状の被処理物１は、樋１８において、いわば最深部に位置する溝部２０に確実に流れ出す。なお、図示の実施の形態では、流量調整手段２４としてポンプ２６を使用したが、必ずしもポンプ２６に限定されるものではなく、図示しない所定の通過口を有するホッパー等の供給手段１６や配管１５の直径を適切に選択すること等により、流量を調整することもできる。
【００６０】
なお、磁石１２及び樋１８の傾斜角度があまりに大きいと、磁性金属異物２が捕捉される前に流れ落ちると共に捕捉した磁性金属異物２を保持することにも大きな力を要するため、磁性金属異物２を確実に捕捉することが困難となるおそれがある。一方で、この磁石１２及び樋１８の傾斜角度があまりに小さいと、樋１８上において溶液状の被処理物１が滞留し、溶液状の被処理物１の厚みが２ｍｍを超えるおそれがある。このため、この磁石１２及び樋１８の傾斜角度は、このような現象を抑止しうる５°以上４０°以下、望ましくは、後述する実施例で良好な結果が得られることが確認された、１０°以上３０°以下程度に設定することが望ましいといえる。
【００６１】
（５．超音波処理）
加えて、本発明の捕捉装置１０は、図１及び図３に示すように、磁性金属異物２を樋１８上に捕捉した後、磁石１２により樋１８上に磁性金属異物２を捕捉したまま、樋１８及び磁石１２に超音波振動を付与する超音波振動手段２８を更に備えている。
【００６２】
この超音波振動付与手段２８は、磁性金属異物２を保持した樋１８及び磁石１２に超音波振動を伝達する溶液３０と、この溶液３０が充填され溶液３０に超音波振動を付与する振動発生器３２から成っている。
【００６３】
この溶液３０としては、例えば、アセトンを使用することができる。これは、エポキシ樹脂組成物等の被処理物１に含まれるシリカ等の非磁性粒子３を樋１８表面に付着させているエポキシ樹脂等の成分を洗い流し、シリカ等の非磁性粒子３を分離しやすくするためである。この溶液３０を介して、樋１８に吸着されていた捕捉物に、超音波振動が伝達することにより、図３に示すように、樋１８上にシリカ等の目的外の非磁性粒子３が溶媒に曝した程度では流れ落ちない程度の磁力以外の物理吸着で吸着していた場合であっても、樋１８と非磁性粒子３とを分離させることができる。
【００６４】
この場合、図３に示すように、非磁性粒子３は、磁力の影響を受けないため、樋１８から分離し、一方、磁性金属異物２は、磁石１２の磁力により、引き続き樋１８上に捕捉されたままとなる。このため、図３に示すように、当該非磁性粒子３のみを分離して除去して、残余の目的物である磁性金属異物２のみを適切に回収することができる。この磁性金属異物２は、磁石収納部２２から磁石１２を取り出して、樋１８への磁力を解除することにより、瞬時に樋１８への吸着力を失うので、例えば、下方に磁性金属異物２の回収容器を用意し、アセトン等の溶媒をかけ流すことで、樋１８からも簡易に分離して、回収することができ、人手の作業で分離する場合に比べて、その後の分析に精度良く提供することができる。
【００６５】
なお、この場合、溶液３０として、アセトン等を使用しているため、揮発により容易に磁性金属異物２を回収することができる。また、この超音波振動付与手段２８としては、非磁性粒子３を磁性金属異物２から分離することができれば、特に限定はなく、様々なものを使用することができ、例えば、超音波洗浄器を挙げることができる。また、この超音波振動付与手段２８による超音波処理の設定条件は、目的外の非磁性粒子３のみが離脱する条件に設定する。
【００６６】
（６．捕捉方法（捕捉装置の使用方法）及び検査方法）
次に、捕捉装置１０を使用した本発明の捕捉方法の実施状態について説明すると、被処理物１を、アセトン等の溶媒により溶液状として、ホッパー等の供給手段１６に充填する。次いで、この供給手段に充填された溶液状の被処理物１を、ポンプ２６により、所定の流量で、流路部材１４である樋１８に送り込む。この場合、溶液状の被処理物１は、適切な流量に調整されているため、特に、図４に示すように、樋１８の溝部２０を確実にかつ適切に自然落下していく。このため、特に、複数の磁石１２の磁束密度の高い箇所において、被処理物１中の磁性金属異物２が、磁石１２の磁力により、樋１８上に保持される。
【００６７】
この場合、被処理物１の処理工程の一部として、処理すべき溶液状の被処理物１の全てを一度に連続的に樋１８に流し込むこともできる。また、これとは異なり、処理すべき溶液状の被処理物１を所定量ずつ分割して樋１８に流し込むこともできる。なお、いずれの場合も、回収した被処理物１を、再度、樋１８に流し込んで、繰り返し処理することにより、即ち、溶液状とした被処理物１をホッパー等の供給手段１６に充填する工程から被処理物１中の磁性金属異物２を磁石１２の磁力により樋１８上に捕捉させる工程までを繰り返し行うことで、より充分に磁性金属異物２を捕捉することができる。その他、流路部材１４を長くする、あるいは、流路部材１４を多段に配置する等の手段を、各々単独で、又は必要に応じて組み合わせて実施することによっても、より充分に磁性金属異物２を捕捉することができる。これらの方法等により充分に磁性金属異物２を樋１８上に捕捉した上で、磁石１２及び流路部材１４である樋１８を、超音波振動付与手段２８にて、超音波処理することが好ましい。
【００６８】
また、本発明の捕捉装置１０による捕捉方法の実施は、半導体封止用樹脂組成物の製品検査として行うことができる。これにより、この捕捉された磁性金属異物２を分析することにより、製造工程からの磁性金属異物２の混入状態を把握して、所定の大きさや個数を超える磁性金属異物２が混入した半導体封止用樹脂組成物の流出を防ぐことができ、半導体パッケージ内のピンや配線間のショート等の不具合を未然に防止することができる。
【００６９】
更に、本発明の捕捉装置１０による捕捉方法の実施は、その他、半導体封止用樹脂組成物の原材料の半導体封止用樹脂組成物への加工前に原材料の受け入れ検査として行うこともできる。これにより、所定の大きさや個数を超える磁性金属異物２が混入した原材料による半導体封止用樹脂組成物の製造を未然に防止することができ、製品の歩留まりを向上させることができると共に、事後的に不適な製品を排除する手間を回避することができる。
【実施例】
【００７０】
（１．実施例）
次に、本発明の捕捉装置１０による捕捉方法の実施例について説明すると、半導体封止用樹脂組成物を被処理物１として、これを３００ｇ容器に計量し、アセトンを５００ｇ加えて、シェーカー（ヤマト科学社製ＳＡ−３１）にて攪拌・溶解し、溶液状とした。この溶液状の被処理物１を、容量１０００ｍｌのホッパーに充填し、チューブポンプ（アズワン社製チューブポンプ７５５３−８０  ヘッド７５１８−１２）により、８０ｍｌ／ｍｉｎの流量で、図４に示す形状の樋１８に流し込んだ。なお、磁石１２及び樋１８の傾斜角度は、１０°に設定し、また、８つの磁石を使用して、磁束密度が１．４Ｔの箇所を７箇所設定した。磁石１２としては、８個円筒上の磁石が円筒状のケースに収められ、ケース表面の磁束密度が１．４Ｔになる箇所が７箇所ある磁石ユニット（ＮＥＯＭＡＸエンジニアリング社製マグネットバーφ２４．３×１８５ｍｍ）を使用し、これらの磁石１２上に密着するように銅製の樋１８を配置した。また、樋１８は、幅を約２４ｍｍ、全長を約１８５ｍｍに設定した。
【００７１】
この溶液状の被処理物１を全量流し終わった後、樋１８を磁石１２ごと、超音波処理装置（アズワン社製超音波洗浄器ＵＴ−１０５Ｓ）に投入し、３分間超音波処理を行った。超音波処理後、樋１８の磁石収納部２２から磁石１２を取り除き、樋１８の上部よりアセトンをかけ流し、磁性金属異物２をビーカーに回収した。更に、アセトンを揮発させた後、回収した磁性金属異物２を顕微鏡で観察したところ、１０μｍ以下の鉄、ステンレス片や半導体封止用樹脂組成物の原材料であるシリカに取り込まれた鉄（たとえば、直径５０μｍのシリカに取り込まれた１０μｍの鉄）が確認された。即ち、本発明の捕捉装置１０による捕捉方法によれば、従来は捕捉が困難であった数μｍ単位の鉄粉を、被処理物１から適切に除去することができた。
【００７２】
（２．実験例Ａ）
また、磁石１２及び樋１８の傾斜角度と、溶液状の被処理物１の流量による捕捉への影響を確認するため、以下の実験例を設定した。具体的には、磁石１２及び樋１８の傾斜角度を、１０°（実験例Ａ１、Ａ２）と３０°（実験例Ａ３、Ａ４）の２種類設定し、更に、各傾斜角度毎に、単位時間当たりの流量を８０ｍｌ／ｍｉｎ（実験例Ａ１、Ａ３）と２００ｍｌ／ｍｉｎ（実験例Ａ２、Ａ４）に設定した。これらの各実験例について、約１ｇのＳＵＳ３０４粉末（１００メッシュ）を試料としてアセトン中に分散させた実験溶液を各実験例につき２回ずつ流し込んで、ＳＵＳ３０４粉末の捕捉を試みた。その結果を、表１に示す。
【００７３】
【表１】
2008307452.tif 000003
【００７４】
この表１において、実験結果の評価は、ＳＵＳ３０４粉末の投入量に対する回収量（捕捉量）を算出することにより、捕捉率を求め、これをもって、捕捉効率を判断した。なお、最終的な回収率としては、各実験例における２回の流し込みの平均値とした。この表１から解るように、磁石１２及び樋１８の傾斜角度を、比較的緩やかな１０°に設定した実験例Ａ１、Ａ２と、比較的急な３０°に設定した実験例Ａ３、Ａ４とはほぼ同等であり、かつともに高い捕捉率が得られた。この結果から、少なくとも磁石１２及び樋１８の傾斜角度は１０〜３０°の範囲であれば高い捕捉率となることが確認された。
【００７５】
また、流量に着目してみると、表１から解るように、単位時間当たりの流量が８０ｍｌ／ｍｉｎと比較的少ない実験例Ａ１、Ａ３と、単位時間当たりの流量が２００ｍｌ／ｍｉｎと比較的多い実験例Ａ２、Ａ４とはほぼ同等であり、かつともに高い捕捉率が得られた。この結果から、少なくとも単位時間当たりの流量が８０〜２００ｍｌ／ｍｉｎの範囲であれば、高い捕捉率となることが確認された。これは、上記範囲であれば、樋１８の溝部２０における流れの厚みが、磁石１２によってＳＵＳ３０４粉末を捕捉するのに充分に薄く保たれていたためと考えられる。このため、この流れの厚みを具体的に考察したところ、実験例Ａ１〜Ａ４のいずれの実験例においても、上記樋１８の溝部２０における流れの厚みは２ｍｍ程度であった。
【００７６】
（３．実験例Ｂ）
次いで、樋１８の流路面１８ａの厚みと捕捉効率との関係を確認するため、樋１８の流路面１８ａの厚みを、７０μｍとした実験例Ｂ１と、２０７０μｍとした実験例Ｂ２を設定した。なお、この場合において、樋１８の材質は、上記実施例と同じく、銅製とし、磁石１２及び樋１８の傾斜角度を１０°、単位時間当たりの流量を８０ｍｌ／ｍｉｎに設定し、試料として、上記実験例と同じく、約１ｇのＳＵＳ３０４粉末（１００メッシュ）をアセトン中に分散させた実験溶液を用い、これを各実験例につき２回ずつ流し込んで、ＳＵＳ３０４粉末の捕捉を試みた（即ち、実験例Ｂ１は、実験例Ａ１と同じであり、評価する対象が異なるため、区別したものである）。その結果を、表２に示す。
【００７７】
【表２】
2008307452.tif 000004
【００７８】
この表２においても、実験結果の評価は、ＳＵＳ３０４粉末の投入量に対する回収量（捕捉量）を算出することにより、捕捉率を求め、これをもって、捕捉効率を判断した。なお、最終的な回収率としては、各実験例における２回の流し込みの平均値とした。この表２から解るように、樋１８の厚みが薄い方が、捕捉率が高い。この結果から、樋１８の厚みは、できるだけ、薄く設定した方が、磁石１２の能力を最大限に発揮させることができ、捕捉率を向上させることができることが確認された。
【００７９】
（４．実験例Ｃ）
また、シリカ等の非磁性粒子中に混入して存在している磁性金属異物も捕捉できるか否かを確認するため、以下の実験例を設定した。具体的には、上記の実験例Ｂ１、Ｂ２における約１ｇのＳＵＳ３０４粉末（１００メッシュ）の代わりに約３００ｇのシリカ（電気化学工業株式会社製、溶融球状シリカ(平均粒径２９．３μｍ））をアセトン中に分散させたものを用いて、実験例Ｃ１、Ｃ２とし、実験例Ｂ１、Ｂ２と同じ樋の厚みで、シリカ中に混入して存在している磁性金属異物の捕捉を試みた。なお、上記の実験例Ｂ１とＢ２の結果から、樋の厚みが厚いものの方が、磁性金属異物の捕捉率が低下することが予測されたため、１回目は所定の条件で磁性金属異物を捕捉させたのち、２回目はいずれも樋１８の厚みを７０μｍとして再処理を行った。顕微鏡観察により確認できるシリカの内部に混入して存在している４５μｍ以上の磁性金属異物の個数をカウントしたところ、次の表３に示す結果となった。
【００８０】
【表３】
2008307452.tif 000005
【００８１】
この表３からも解るように、ＳＵＳ３０４粉末の場合と同様に、樋１８の厚みが薄い実験例Ｃ１の方が、傾斜角度が樋１８の厚みが厚い実験例Ｃ２よりも、捕捉個数が多いことが解る。このことから、やはり、樋１８の厚みが薄い方が、磁石１２の磁力を最大限に発揮させて、捕捉金属を樋１８に確実に止まり易くしていることが確認された。
【産業上の利用可能性】
【００８２】
本発明は、樹脂材料その他の種々の被処理物について、特に、磁性金属から成る異物の捕捉に広く適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】本発明の捕捉装置により本発明の捕捉方法を実施する状態の概略斜視図である。
【図２】本発明の捕捉装置により本発明の捕捉方法を実施する状態の概略側面図である。
【図３】本発明に使用される超音波振動手段により非磁性粒子のみを分離除去する状態の概略側面図である。
【図４】本発明に使用される樋の正面図である。
【符号の説明】
【００８４】
１  被処理物
２  磁性金属異物
３  非磁性粒子
１０  捕捉装置
１２  磁石
１４  流路部材
１５  配管
１６  供給手段
１８  樋
１８ａ  流路面
１８ｂ  側壁
２０  溝部
２２  磁石収納部
２４  流量調整手段
２６  ポンプ
２７  廃液回収容器
２８  超音波振動付与手段
【図１】
2008307452.tif 000006
【図２】
2008307452.tif 000007
【図３】
2008307452.tif 000008
【図４】
2008307452.tif 000009