(57)【要約】      （修正有）【課題】接着剤の硬化・冷却時に発生する応力を緩和し、記録素子基板の変形や両者の剥離を防止することのできるインクジェットヘッドの提供。【解決手段】所定の配列方向に配列された複数のインク供給口７と、インク供給口相互を分け隔てる開口仕切部４と、を有する記録素子基板１のインク供給口配列方向の両端部は、記録素子基板の裏面と基板支持部２とが接着剤３ａ、３ｂによっては固定されておらず、記録素子基板の側面と基板支持部とに接して配される封止材１３により固定されているインクジェットヘッドを提供する。【選択図】図５Ａ
2008173960.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の配列方向に配列された複数のインク供給口と、前記インク供給口相互を分け隔てる開口仕切部と、を有する記録素子基板と、
前記記録素子基板をその裏面から支持し、前記インク供給口に対応するインク供給路と前記開口仕切部に対応する供給路仕切部とを備える基板支持部と、
前記記録素子基板の側面と前記基板支持部とに接して配される封止材と、
前記開口仕切部と前記供給路仕切部とを固定する接着剤と、
を有し、
前記記録素子基板の前記インク供給口の配列方向における両端部の前記裏面と前記基板支持部とは、前記接着剤により固定されていないことを特徴とするインクジェットへッド。
【請求項２】
前記記録素子基板の前記インク供給口の配列方向における両端部は、封止材により前記基板支持部に固定されていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットへッド。
【請求項３】
前記記録素子基板の前記インク供給口の配列方向における両端部の前記裏面と前記基板支持部との間には、前記接着剤よりも弱い接着力の他の接着剤が塗布されているとともに、前記記録素子基板の前記両端部の前記裏面と前記基板支持部とは剥離していることを特徴とする請求項１又は２に記載のインクジェットへッド。
【請求項４】
前記接着剤と前記他の接着剤はエポキシ樹脂を主剤とした熱硬化性接着剤であり、前記他の接着剤は前記接着剤よりも分子量当たりのエポキシ基の数が少ないことを特徴とする請求項３に記載のインクジェットへッド。
【請求項５】
前記接着剤と前記他の接着剤はエポキシ樹脂を主剤とした熱硬化性接着剤であり、前記他の接着剤中に用いられる硬化剤は、前記接着剤と比べて当該接着剤の硬化温度における反応促進率が低いことを特徴とする請求項３に記載のインクジェットへッド。
【請求項６】
前記記録素子基板の前記インク供給口の配列方向における両端部の前記裏面と前記基板支持部との間には、接着剤が塗布されていないことを特徴とする請求項１又は２に記載のインクジェットへッド。
【請求項７】
前記インク供給口の内面の表面はシリコン面であり、前記接着剤は前記開口仕切部と供給路仕切部との間から前記インク供給口の内面まで付着していることを特徴とする請求項１から６の何れか１項に記載のインクジェットへッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク等の液体を吐出口から吐出するインクジェットへッドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のインクジェットヘッドにおいては、インク吐出口を備える構造物が形成された基板（記録素子基板）の裏面のみを、その記録素子基板を支持する基板支持部に対して接着することにより、記録素子基板のヘッド筐体への接着及び固定を行っていた（特許文献１及び２）。図９は、記録素子基板１を、記録素子基板１の裏面を支持する部材（基板支持部２）に対して接着剤３で接着させた、従来の構成を模式的に表した図である。図９のインクジェットヘッドにおいては、接着剤３が記録素子基板１の裏面のみに塗布され、基板支持部２に対して接着されている。
【０００３】
また、図１０は、従来の他のタイプのインクジェットヘッドである。このヘッドは、記録素子基板１のインク供給口７同士の間を隔てる開口仕切部４と、記録素子基板１の両端部裏面及び外周の側面の一部と、が接着剤３により、インク供給路２１を隔てる供給路仕切部５を含む基板支持部２に対して接着されている。そして、この開口仕切部４の先端部を覆うように（インク供給口７の内面部分まで覆うように）接着剤３が塗布されている。
【０００４】
このように、従来のインクジェットヘッドでは、記録素子基板１は、基板支持部２に接触する面の全部の部分に接着剤３が塗布され、基板支持部２に対して接着されていた。
【特許文献１】特開２０００−２１８８０３号公報
【特許文献２】特開２００１−１５０６８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、図９及び図１０に示されるような従来の技術では、以下のような問題があった。
【０００６】
（１）記録素子基板１は通常はシリコン基板を用いて製造される。このため、記録素子基板１は、記録素子基板１を支持する基板支持部２よりも線膨張係数が小さいのが一般的である。従って、シリコン製の記録素子基板１を樹脂製の基板支持部２により支持する場合、両者が接する面の全部を熱硬化型の接着剤３により固定すると、硬化時の熱により両者の熱膨張係数の差に応じて記録素子基板１に引張り方向の力が負荷される。他方、同様に、接着剤３の硬化後の冷却により記録素子基板１に圧縮方向の力が負荷される。このため、これらの力の負荷により記録素子基板１を変形させてしまう場合があった。
【０００７】
図１１は、従来技術により記録素子基板１を基板支持部２に対して接着させる際に、記録素子基板１にかかる変形過程を示した模式図である。図１１Ａは、記録素子基板１を位置決めして基板支持部２に接触させた工程を表す図である。この工程では、接着剤３を硬化させるために加熱する。
【０００８】
この状態においては、記録素子基板１は線膨張係数が小さいため、引張り方向Ｄ１にほとんど伸びない。一方、樹脂製の基板支持部２は、熱による引張り方向Ｄ２への膨張量が大きく、この方向に大きく伸びる。そして、このように両者の間で異なる変形量となった状態で接着剤３が硬化し、記録素子基板１が基板支持部２に固定される。
【０００９】
次に、図１１Ｂは、図１１Ａの工程により硬化させたものを、室温で冷却した状態を表す模式図である。記録素子基板１は、図１１Ａの加熱中に引張り方向にほとんど伸びないため、室温への冷却時における圧縮方向Ｄ３への変位量が小さい。これに対して、基板支持部２は、図１１Ａの加熱中に熱膨張量（引張り方向への伸び）が大きいため、室温への冷却時における圧縮方向Ｄ４への変位量が大きい。このため、記録素子基板１は、その両側から圧縮方向（図中白矢印Ｄ３の方向）に力を受ける形になって、記録素子基板１の両端部が図１１Ｂに示すように変形し、記録素子基板１全体が上側に凸状に湾曲する場合があった。
【００１０】
（２）通常、記録素子基板１の裏面には、熱酸化膜又は自然酸化膜が形成されている。これらの酸化膜は、その性質上、接着力が低かった。このため、従来のような記録素子基板１の裏面のみを接着剤３で接着する方法では、接着剤３の硬化後に、両者間に剥離が生じる場合があった。
【００１１】
（３）接着剤３の硬化後にインク供給口７を分け隔てている開口仕切部４が剥離してしまうと、以下のような問題が生じた。インク供給口７毎に異なる複数色のインクを吐出するヘッド構成を１つの記録素子基板１に設けたインクジェットヘッドでは、隣のインク供給口７内のインクが混じりあうことがあった。この結果、所定の記録品位を維持することができなくなっていた。
【００１２】
また、複数の吐出口列から同じ色のインクを吐出するヘッド構成を１つの記録素子基板１に設けたインクジェットヘッドでは、上述のインクの混じりあいにより、吐出口からのインクの吐出量が不規則となり、記録品位の低下を招く場合があった。
【００１３】
本発明は上記課題に鑑みてなされたものである。すなわち、本発明の目的は、記録素子基板の異なる部位を異なる接着方法により固定することで、接着剤の硬化・冷却時に発生する応力を緩和し記録素子基板の変形や両者の剥離を防止するインクジェットヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記課題を解決するため、本発明は、所定の配列方向に配列された複数のインク供給口と、前記インク供給口相互を分け隔てる開口仕切部と、を有する記録素子基板と、前記記録素子基板をその裏面から支持し、前記インク供給口に対応するインク供給路と前記開口仕切部に対応する供給路仕切部とを備える基板支持部と、前記記録素子基板の側面と前記基板支持部とに接して配される封止材と、前記開口仕切部と前記供給路仕切部とを固定する接着剤と、を有し、前記記録素子基板の前記インク供給口の配列方向における両端部の前記裏面と前記基板支持部とは、前記接着剤により固定されていないことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明では、記録素子基板の異なる部位を異なる接着方法により固定することで、両者（記録素子基板と基板支持部）の線膨張係数の相違に起因する接着剤の硬化・冷却時に発生する応力を緩和し、記録素子基板の変形や両者の剥離を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下に、このような本発明の実施例に係るインクジェットヘッドについて、図面を用いて説明する。
まず、インクジェットヘッド及びこれを構成する各部材について説明する。
【００１７】
図１及び図２は、インクジェットヘッド１０の分解斜視図である。インクジェットヘッド１０は、記録素子基板１、可撓性を備えた電気配線部材１４、インク貯留容器１８、インク貯留部材２０及び蓋部材１９等から構成されている。
【００１８】
可撓性の電気配線部材１４は、記録素子基板１に対してインク吐出用の電気信号や電気エネルギーを印加する、配線パターン化された電気信号経路を有するものである。また、この電気配線部材１４には、記録素子基板１をその内部に収めるための開口部１６が形成されている。この開口部１６の縁付近には、記録素子基板１の電気接続部１２に接続するリード線１７が形成されている。さらに、電気配線部材１４には、本体装置からの電気信号を受け取るための外部信号入力端子１５が形成されている。そして、この外部信号入力端子１５とリード線１７とが、各々対応するように配線パターンでつながれている。
【００１９】
電気配線部材１４と記録素子基板１との電気接続は、例えば以下のようなものである。すなわち、この電気接続は、記録素子基板１の電気接続部１２に形成されたバンプと、電気配線部材１４のリード線１７と、を所定の位置関係に保って電気接合するものである。
【００２０】
インク貯留容器１８は、例えば、樹脂成形により形成されている。このインク貯留容器１８は、図２に示すように、内部にインクを保持し負圧を発生するためのインク貯留部材２０を収容することでインクタンクとしての機能をもっている。そして、記録素子基板１にそのインクを導くためのインク供給の経路を形成することでインク供給機能を実現している。
【００２１】
電気配線部材１４のリード線１７と記録素子基板１の電気接続部１２との電気接続部分は、封止材１３若しくはこの封止材１３と他の成分から成る封止材との２層構成で覆われることで、電気接続部分をインクによる腐食や外的衝撃から保護されている。さらに、封止材１３は、記録素子基板１の側面の外周部分を封止している。そして、この封止材１３は、記録素子基板１のインク供給口７の配列方向の両端部を基板支持部２に対して固定する役目も有している。
【００２２】
蓋部材１９は、インク貯留容器１８の上部開口部（基板支持部２が配された面とは反対側の面にある）に溶着されることで、インク貯留容器１８からインクが漏れることを防いでいる。
【００２３】
図３は、記録素子基板１の構成を説明するための図で、一部破断した状態で示す模式的斜視図である。図３のインクジェットヘッド１０は、記録素子基板１の表側の表面に形成された流路形成部材８の内部のインク流路に沿って電気熱変換素子９が設けられ、流路形成部材８の表面に列状の複数のインク吐出口６が開口している。このインク吐出口６の列は、並列して３列（２列以上の複数でも良い。）が形成されている。
【００２４】
また、この記録素子基板１は、例えば、厚さ０．５ｍｍ〜１ｍｍのシリコン基板にインクの供給路の一部である長溝状の貫通口のインク供給口７をシリコンの結晶方位を利用した異方性エッチングやサンドブラストなどの方法で形成したものである。この記録素子基板１には、細長いインク供給口７を挟んでその両側に、電気熱変換素子（吐出エネルギー発生素子）９が１列ずつ並べて配置されている。さらに電気熱変換素子９に電力を供給するアルミニューム等からなる電気配線（不図示）が形成されている。これら電気熱変換素子９と電気配線とは、既存の成膜技術を利用して形成することができる。
【００２５】
インクジェットヘッド１０は、インク供給口７から供給されたインクを、各電気熱変換素子９の発熱によって生成したインク中の気泡の成長の圧力で、流路形成部材８の内部のインク流路を介して各電気熱変換素子９に対向する吐出口６から吐出させる。
【００２６】
このインク供給の経路には、記録素子基板１にインクを供給するためのインク供給口が含まれる。そして、記録素子基板１のインク供給口７がインク貯留容器１８のインク供給路２１と連通し、記録素子基板１の開口仕切部４が基板支持部２の供給路仕切部５に接着される（図４）。このようにして、記録素子基板１が基板支持部２に対して接着、固定される。
【００２７】
この開口仕切部４と供給路仕切部５との接着に用いられる接着剤３ａは、低粘度で硬化温度が低く短時間で硬化し、硬化後は比較的高い硬度を有し、かつ耐インク性のあるものが望ましい。この接着剤３ａとしては、例えば、エポキシ樹脂を主剤とした熱硬化性接着剤がある。
【００２８】
さらに、本発明の実施例を詳細に説明する。
本発明の実施例に係る記録素子基板１には、インク吐出口６の配列方向と交差する方向（例えば、直交する方向）に沿って複数のインク供給口７が並べられている。各インク供給口７は、対応する複数のインク吐出口６とは、流路形成部材８の内部に形成されたインク流路を介して連通している。また、インク流路には、各インク吐出口６に対応するように、液滴を吐出させるためのエネルギーを発生する吐出エネルギー発生素子である電気熱変換素子９を備えている。電気熱変換素子９は、熱エネルギーを発生させて気泡を発生させ、そのときに生じる圧力によって液滴を吐出するものである。また、吐出エネルギー発生素子としては、ピエゾ素子の形態変形により生じる圧力変動を用いて液滴を吐出するものであっても良い。各インク供給口７は、隣同士のインク供給口７とはインク供給口相互を分け隔てる開口仕切部４を介して、互いに隔てられている。
【００２９】
また、基板支持部２（インク貯留容器１８の一つの面にあって、記録素子基板１の裏面を支持する部位）は、複数のインク供給路２１を有しており、各インク供給路２１は、隣同士のインク供給路２１とは供給路仕切部５を介して互いに隔てられている。そして、この記録素子基板１のインク供給口７及び開口仕切部４と、基板支持部２のインク供給路２１及び供給路仕切部５とが、それぞれ対応してインクの供給経路を形成している。各供給経路は、隣の供給経路のインクとは混じらないように構成されている。また、記録素子基板１の少なくとも両端部は封止材１３で覆われるように、基板支持部２に対して固定されている。この封止材１３による固定方法としては、熱硬化性の樹脂を、記録素子基板１の少なくとも両端部に塗布することで、記録素子基板１の側面と基板支持部２の表面との少なくとも２面に接して配し、さらに加熱硬化させる方法である。
【００３０】
記録素子基板１のインク供給口７の配列方向の両端部においては、記録素子基板１の裏面と基板支持部２とは接着剤３ａによっては固定されておらず、実質的には封止材１３により固定されている。ここで、接着剤３ａによっては固定されていない、とは、接着剤３ａが塗布されていない形態と、記録素子基板１と基板支持部２との間にこれらを固定するには足らないくらいの接着力の弱い他の接着剤３ｂを塗布する形態と、がある。
【００３１】
ここで、接着剤３ａよりも接着力の弱い他の接着剤３ｂは、以下のようにして得ることができる。例えば、接着剤３ａと他の接着剤３ｂとはエポキシ樹脂を主剤とした熱硬化性接着剤であり、他の接着剤３ｂは、接着剤３ａよりも主剤の分子量当たりのエポキシ基の数が少ない熱硬化性接着剤である。あるいは、接着剤３ａと他の接着剤３ｂとはエポキシ樹脂を主剤とした熱硬化性接着剤であり、他の接着剤３ｂ中に用いられる硬化剤は、接着剤３ａと比べて、接着剤３ａの硬化温度における反応促進率が低い熱硬化性接着剤である。そして、用いる記録素子基板１や基板支持部２の材質や大きさ等を考慮しつつ、接着剤３ａの熱硬化処理から冷却までの間に、他の接着剤３ｂを介した記録素子基板１と基板支持部２との間に剥離が生じるように、適切な主剤や硬化剤を調製することで他の接着剤３ｂを得る。
【００３２】
このようにして、少なくとも、開口仕切部４と供給路仕切部５との互いに対向する面には、十分な接着力を有する接着剤３ａが塗布され、開口仕切部４と供給路仕切部５とを、接着・固定している。開口仕切部４は、供給路仕切部５に対向する面だけでなく、この面からさらにインク供給口７の内壁面まで覆うように接着剤３ａが塗布されていても良い。この場合、接着剤３ａの塗布面積を大きくすることによって、より強い接着力で開口仕切部４と供給路仕切部５とを接着させることができる。また、インク供給口７の内壁面を、酸化物を介さない、シリコン面から構成することによって、更に強い接着力で両仕切部４，５を接着・固定させることができる。
【００３３】
このように、記録素子基板１のインク供給口７の配列方向（吐出口配列方向と交差する方向）の両端部を除く、開口仕切部４と供給路仕切部５との接合部で、記録素子基板１と基板支持部２（インク貯留容器１８の記録素子基板の支持面）の固定を行う。さらに、記録素子基板１のインク供給口７の配列方向の両端部と基板支持部２とは、封止材１３の加熱硬化後の冷却等の熱環境の変化に伴う各部材の熱応力を緩和しつつ、接着剤３ａではなく、封止材１３で実質的に固定されるものである。封止材１３は、記録素子基板１のインク供給口７の配列方向の両端部に設けられ、記録素子基板１を基板支持部２に対して固定すると共に、記録素子基板１の電気接続部へのインクの侵入を防止している。なお、この封止材１３は、電気接続部が設けられている、記録素子基板の端部を覆うようにも配されている。
【００３４】
図４は、本発明の実施例に係るインクジェットヘッド１０を示す模式図である。接着剤３ａは熱硬化性接着剤である。また、他の接着剤３ｂは接着剤３ａと比較して弱い接着力のものであって、熱硬化性接着剤でも良い。
【００３５】
記録素子基板１の裏面（基板支持部２と対向する側の面；基板支持部２と接触する面）には、全域にわたって熱酸化膜又は自然酸化膜が形成されている。また、記録素子基板１のインク供給口７の内壁（開口仕切部４の外壁）にはシリコンが露出している。
【００３６】
また、上述したように、基板支持部２にはインク供給路２１と供給路仕切部５とが設けられ、記録素子基板１のインク供給口７及び開口仕切部４にそれぞれ対応するように、基板支持部２のインク供給路２１及び供給路仕切部５が配置されている。
【００３７】
図４のインクジェットヘッドにおいては、まず、記録素子基板１と基板支持部２とを、それぞれ開口仕切部４と供給路仕切部５及びインク供給口７とインク供給路２１とが対応するように位置決めを行う。次に、開口仕切部４と供給路仕切部５とを十分な接着力を発揮できる接着剤３ａを付ける。また、記録素子基板１のインク供給口７の配列方向の両端部の記録素子基板１の裏面と基板支持部２とは、接着剤３ａを付けず、他の接着剤３ｂが付ける。この際、他の接着剤３ｂは、記録素子基板１の側面には付着させない方が好ましい。
【００３８】
また、他の実施例として、記録素子基板１のインク供給口７の配列方向の両端部の記録素子基板１の裏面と基板支持部２とは、接着剤３ａ及び他の接着剤３ｂのいずれも付けられていないものであっても良い。
【００３９】
図５は、図４のインクジェットヘッドを製造する際における接着剤の硬化前後の記録素子基板１及び基板支持部２の変形状態を示したものである。ここで、図５中のＤ５〜Ｄ８は、接着剤３ａの硬化の際の記録素子基板１及び基板支持部２が熱により変形する方向を示したものである。
【００４０】
まず、図５Ａに示すように、接着剤３ａの硬化のための加熱の際に、記録素子基板１及び基板支持部２が、それぞれ図中のＤ５及びＤ６の方向に熱膨張する。しかし、この際に、記録素子基板１はシリコンから構成されるため線膨張係数が非常に小さく、樹脂材料から構成される基板支持部２に比べると熱膨張量は限りなく僅少な量となっている。
【００４１】
この後、図５Ｂに示すように、接着剤３ａの硬化のための加熱工程を終了させ、室温に戻すと、記録素子基板１及び基板支持部２は、それぞれＤ７及びＤ８の矢印方向に収縮する。特に、記録素子基板１の両端部は、収縮量が中央付近に比べて多くなっている。また、記録素子基板１の両端部は、基板支持部２に対して、裏面のみが他の接着剤３ｂで接着されていると共に両端部は封止材１３で封止されている。また、他の実施例の場合には、接着剤そのものが付けられていない。更に、この記録素子基板１の裏面には、熱酸化膜又は自然酸化膜が覆っており、接着性が劣るものとなっている。このため、記録素子基板１の両端部の裏面の他の接着剤３ｂにより接着された部分の一部は、室温への冷却時の収縮による圧縮力に耐え切れず界面剥離を起こす。他の実施例の場合には、接着剤そのものが付けられていないため、両者は冷却前から剥離している。
【００４２】
この結果、図５Ｃに示すように、Ｄ９の矢印方向に応力が開放され、記録素子基板１の変形を防止することができる。一方、記録素子基板１の開口仕切部４からインク供給口７の内壁に至るまでの部分は接着剤３ａで覆われており、開口仕切部４は供給路仕切部５に強固に接着されている。このため、これら接着剤３ａの硬化・冷却時においても、開口仕切部４が供給路仕切部５に対して剥離するといったことがない。
【００４３】
図６は、図４の実施例の開口仕切部の供給路仕切部に対する接着過程を示す拡大図である。図６Ａは、接着剤３ａを塗布した基板支持部２の供給路仕切部５と、記録素子基板１の開口仕切部４と、を互いに位置決めした状態を表したものである。この後、図６Ｂに示すように、位置決めしたまま、記録素子基板１の開口仕切部４を、基板支持部２の供給路仕切部５上に塗布された接着剤３ａ中に入り込む高さまで下降させる。そして、開口仕切部４の基板支持部２に対向する面のインク供給口７の配列方向Ｄ１０の幅ＷAよりも、供給路仕切部５の記録素子基板１に対向する面のインク供給口７の配列方向Ｄ１０の幅ＷBが広くなっている。このため、開口仕切部４を供給路仕切部５に対して確実に接着させることができる。また、接着剤３ａの塗布量を多くすることによって供給路仕切部５上に塗布した接着剤３ａを供給路仕切部５上からはみ出すことなく、開口仕切部４の基板支持部２に対向する面及びインク供給口７の内壁面に塗布させることができる。ここで、インク供給口７の内壁表面はシリコンが露出しており、シリコンは接着剤３ａに対する接着性に優れている。このため、これら接着剤３ａの硬化・冷却時においても開口仕切部４が供給路仕切部５に対して剥離するといったことがなく、両仕切部４，５を強固に接着させることができる。
【００４４】
なお、本実施例のインクジェットヘッドでは、例えば、図５Ａに示すように、記録素子基板１のインク供給口７が配列された方向の両端部を熱硬化型の封止材１３で覆うことにより封止している。この封止材１３は、弾性率が高く、接着剤の硬化・冷却時に記録素子基板１及び基板支持部２に負荷される応力による変形にも柔軟に対応できるようになっている。
【００４５】
さらに、本実施例では、接着剤３ａの硬化中に、封止材１３は記録素子基板１と基板支持部２との隙間を密閉している。このため、インクが漏れたり、流入することがない。また、接着剤３ａの硬化後、室温への冷却の際にも封止材１３及び記録素子基板１の両端部の一部は剥離するが、封止材１３は弾性を有するため、封止材１３と基板支持部２との間に隙間を開けることなく応力を開放する。このため、記録素子基板１の両端部からインクが漏れたり、流入するようなことがない。
【００４６】
次に、本実施例と従来の接着方式で接着、固定させたインクジェットヘッドの記録素子基板１に形成された、複数の吐出口列に対応して複数の列状に配された電気熱変換素子９について、電気熱変換素子９間の距離の変化を測定した。図７は、インク供給口７の配列方向の両端部と中央部にある電気熱変換素子９について、隣接する電気熱変換素子９間の寸法を測定したものである。この図７から明らかなように、本発明の接着方式で固定したインクジェットヘッドは、両端部と中央部で素子間の寸法がほぼ同じとなっている。一方、従来技術の接着方式で固定したインクジェットヘッドは、両端部に比べ中央部の電気熱変換素子９の方が、隣接素子間の寸法が小さくなっていることが分かる。
【００４７】
このことから、従来のものでは、図８に示すように、接着剤３ａの冷却時に記録素子基板１のインク供給口７の配列方向に沿って、Ｄ１１の矢印方向に力が掛かり、記録素子基板の中央付近が内側に変形していることが分かる。これに対して、本発明の接着方法で固定したインクジェットヘッドは、接着剤３ａの冷却時の矢印方向（Ｄ１１）の圧縮力に対して、記録素子基板１の両端部が剥離し応力を開放させることによって変形しない、若しくは僅かな変形に止まることが分かる。
【００４８】
次に、本発明の実施例に係るインクジェットヘッドの製造方法について説明する。
複数のインク供給口７と、インク供給口７の相互間の開口仕切部４と、を有する記録素子基板１を準備する。また、記録素子基板１をその裏面から支持してインク供給口７に対応するインク供給路２１と、開口仕切部４に対応する供給路仕切部５と、を備える基板支持部２を準備する。次に、開口仕切部４と供給路仕切部５の互いに対向するそれぞれの面若しくは一方の面に接着剤３ａを付ける。
【００４９】
さらに、記録素子基板１のインク供給口７の配列方向の両端部の裏面と基板支持部２との両方若しくは一方に、接着剤３ａよりも接着力の弱い他の接着剤３ｂを付ける。そして、記録素子基板１のインク供給口７と開口仕切部４と、それらに対応する基板支持部２のインク供給路２１と供給路仕切部５と、を互いに合致するように位置決めをする。なお、接着剤３ａを付ける工程と、他の接着剤３ｂを付ける工程と、記録素子基板１と基板支持部２とを位置決めする工程と、の順序は任意である。
【００５０】
次に、位置合わせされた記録素子基板１と基板支持部２とを、接着剤３ａと他の接着剤３ｂとを介して接触させる。次に、熱処理により接着剤３ａを硬化させることによって、開口仕切部４と供給路仕切部５とを接着させる。
【００５１】
さらに、上述の熱処理から冷却された状態までの間に、記録素子基板１のインク供給口７の配列方向の両端部と基板支持部２とに接触するように封止材１３を付けて、記録素子基板１と基板支持部２とを固定するが、この際、接着剤３ｂを介した記録素子基板１と基板支持部２との間に剥離が生じることで、冷却に伴なう記録素子基板１に作用する応力を開放する。
なお、他の例として、上述の工程において、他の接着剤３ｂを付ける工程を省き、他の接着剤３ｂが無いインクジェットヘッドであっても良い。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】図１は、本発明の実施例に係るインクジェットヘッドを示す模式図である。
【図２Ａ】図２Ａは、本発明の実施例に係るインクジェットヘッドの部品構成を示す図である。
【図２Ｂ】図２Ｂは、本発明の実施例に係るインクジェットヘッドの部品構成を示す図である。
【図３】図３は、本発明の実施例に係るインクジェットヘッドの記録素子基板を表す模式図である。
【図４】図４は、本発明の実施例に係るインクジェットヘッドの記録素子基板と基板支持部との接着状態を示す模式図である。
【図５Ａ】図５Ａは、本発明の実施例に係るインクジェットヘッドの製造時のインクジェットヘッドの変形状態を示す模式図である。
【図５Ｂ】図５Ｂは、本発明の実施例に係るインクジェットヘッドの製造時のインクジェットヘッドの変形状態を示す模式図である。
【図５Ｃ】図５Ｃは、本発明の実施例に係るインクジェットヘッドの製造時のインクジェットヘッドの変形状態を示す模式図である。
【図６Ａ】図６Ａは、本発明の実施例の記録素子基板の供給口仕切部と基板支持部の供給路仕切部を接着させる状態を示す模式図である。
【図６Ｂ】図６Ｂは、本発明の実施例の記録素子基板の供給口仕切部と基板支持部の供給路仕切部を接着させる状態を示す模式図である。
【図７】図７は、本発明と従来のインクジェットヘッドの基板の変形結果を示す図である。
【図８】図８は、従来のインクジェットヘッドのインク供給口の変形状態を示す模式図である。
【図９】図９は、従来のインクジェットヘッドを示す模式図である。
【図１０】図１０は、従来のインクジェットヘッドを示す模式図である。
【図１１Ａ】図１１Ａは、従来のインクジェットヘッドの接着時の変形を示す模式図である。
【図１１Ｂ】図１１Ｂは、従来のインクジェットヘッドの接着時の変形を示す模式図である。
【符号の説明】
【００５３】
１  記録素子基板
２  基板支持部
３、３ａ、３ｂ  接着剤
４  開口仕切部
５  供給路仕切部
７  インク供給口
１０  インクジェットヘッド
１３  封止材
２１  インク供給路
【図１】
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【図２Ａ】
2008173960.tif 000004
【図２Ｂ】
2008173960.tif 000005
【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
2008173960.tif 000009
【図５Ｃ】
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【図６Ａ】
2008173960.tif 000011
【図６Ｂ】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１Ａ】
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【図１１Ｂ】
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