(57)【要約】【課題】少なくとも上下２段の空気ばね３，４を備えた多段式エアマウントＡにおいて、被支持体側（ばね上）に剛性の低い部分ができないようにしながら、空気ばね３，４の合計の受圧面積を十分に大きくして、荷重支持性能を高める。【解決手段】上段及び下段空気ばね３，４において基礎側（ばね下）である底板部（ボトムプレート１、アッパプレート７）同士を、軸部材５及びセンタブロック６からなる支柱によって連結する。一方、被支持体側（ばね上）である天板部（トッププレート２、ロワプレート１１）同士は、分厚い壁部材２１〜２４を組み合わせてなる外周壁２０によって連結し、一体的にボックス状に構成する。上段及び下段空気ばね３，４の中間には左右の水平空気ばね２６，２７を配設する。【選択図】    図４
2008082389.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基礎に対して被支持体を支持する上下方向の気体ばねが、少なくとも上段及び下段の２つ、設けられている多段式の気体ばね除振装置であって、
前記下段の気体ばねの底板部における内周寄りの部位から上方の気体室に向かって延びるように支柱が設けられ、
前記支柱が、前記下段気体ばねの天板部に形成された貫通穴を通過して上方に延びていて、その外周と貫通穴の周縁との間が可撓性部材によって気密に封止されるとともに、
当該支柱の上端が前記上段の気体ばねの底板部における内周側の部位に連繋する一方、その上段気体ばねの天板部の外周から下方に垂下するように周壁が設けられ、この周壁の下端部が前記下段気体ばねの天板部の外周に連繋している
ことを特徴とする多段式気体ばね除振装置。
【請求項２】
上段気体ばねの底板部と下段気体ばねの天板部との中間には、支柱と周壁との間にばね力を作用させるように水平方向の気体ばねが配設されている
ことを特徴とする請求項１に記載の多段式気体ばね除振装置。
【請求項３】
水平方向の気体ばねは支柱を挟んで対向配置され、それぞれの気体室が周壁の内部に形成されていることを特徴とする請求項２に記載の多段式気体ばね除振装置。
【請求項４】
上段及び下段の気体ばねが略同じ容積の気体室を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の多段式気体ばね除振装置。
【請求項５】
支柱の内部には、気体ばねに対して気体を給排するための通路が形成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の多段式気体ばね除振装置。
【請求項６】
上段及び下段の気体ばねの中間に中段の気体ばねが設けられ、
支柱は、前記中段の気体ばねの底板部における内周側の部位に貫通状態で固定されるとともに、該中段気体ばねの天板部に形成された貫通穴を通過して上方に延びていて、その外周と貫通穴の周縁との間が可撓性部材によって気密に封止されており、
周壁の内周が、前記中段の気体ばねの天板部の外周と連繋している
ことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載の多段式気体ばね除振装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、精密機器等を気体ばねにより支持して、基礎側からの振動の伝達を抑制するようにした除振装置に関し、少なくとも上段及び下段の２つの気体ばねが設けられている多段式のものの構造の技術分野に属する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、この種の気体ばね式の除振装置としては、例えば特許文献１、２等に開示されるように、基礎側の固定台と被支持体側の可動台との間に上下方向に重ねて複数の圧力空気室、即ち空気ばねを形成することにより、設置面積をあまり大きくすることなく、それら複数の空気ばねの合計の受圧面積を確保して、必要な出力（最大支持荷重）を得るようにした多段式のものが公知である。
【０００３】
例えば特許文献１のものでは、基礎側に設置したボックス状固定台の天井部（上端の環状板）と、その上方に位置する円板との間に圧力空気室を形成して、上段の空気ばねを構成するとともに、その円板から下方に向かい天井部の貫通穴を通過して固定台の内部に垂下する支柱（軸部）を設けて、その下端に取り付けた円板と固定台の底部との間にも圧力空気室を形成することにより、下段の空気ばねを構成している。
【０００４】
つまり、前記従来例の空気ばね除振装置は、上段及び下段の空気ばねのそれぞれの天板部である円板同士を中央の支柱により連結しており、これにより、被支持体の荷重を２つの空気ばねによって支持するようにしたものである。
【特許文献１】特開２００２−３１１８３号公報
【特許文献２】特開２００５−２４１０１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、前記のように上段及び下段空気ばねの天板部同士を中央の支柱により連結した場合は、この支柱が被支持体側、即ちばね上になることから、その剛性は非常に高くしなくてはならない。これは、被支持体側（ばね上）に剛性の低い部分があると、この部分にて発生する共振の影響を受けて、除振性能が低下することになるからである。
【０００６】
しかしながら、前記のように支柱の剛性を高くしようとすれば、それをかなり太くせざるを得ず、その分は上段の空気ばねの受圧面積が小さくなってしまうから、折角、空気ばねを多段化したにも拘わらず、思うように受圧面積を大きくすることができず、最大支持荷重はあまり大きくならないことが判明した。
【０００７】
本発明は斯かる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、上段及び下段の気体ばね同士の連結構造に工夫を凝らして、ばね上に剛性の低い部分ができないようにしながら、気体ばねの合計の受圧面積を十分に大きくして、荷重支持性能を高めることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記の目的を達成するために、本発明は、従来例（特許文献１、２）のような多段式の気体ばね装置を上下逆転させて、上段及び下段の気体ばねの底板部（ばね下）同士を支柱にて連繋させる一方、被支持体側の天板部（ばね上）同士は、それらの外周を囲む壁により連繋させて一体的なボックス状としたものである。
【０００９】
すなわち、請求項１の発明は、基礎に対し被支持体を支持する上下方向の気体ばねが、少なくとも上段及び下段の２つ、設けられている多段式の気体ばね除振装置を対象として、図１に一例を示すように、下段の気体ばね(4)の底板部(1)における内周寄りの部位から上方の気体室に向かって延びるように支柱(5)を設け、この支柱(5)を該下段気体ばね(4)の天板部(11)に形成した貫通穴(11a)に挿通してさらに上方に延ばすとともに、その外周と貫通穴(11a)の周縁との間を可撓性部材(13)によって気密に封止する。そして、当該支柱(5)の上端を上段の気体ばね(3)の底板部(7)における内周側の部位に連繋させる一方、その上段気体ばね(3)の天板部(2)の外周から下方に垂下するように周壁(20)を設け、この周壁(20)の下端部を前記下段気体ばね(4)の天板部(7)の外周に連繋させたものである。
【００１０】
前記構成の気体ばね除振装置(A)は、上段及び下段の少なくとも２つの気体ばね(3,4)があるので、それらの合計の受圧面積を大きくしても設置面積はあまり大きくはならない。しかも、それらの気体ばね(3,4)の底板部(7,11)（ばね下）同士が内周寄りの部位にて支柱(5)により連結されており、この支柱(5)もばね下になることから、従来例のようにばね上にあるものと比べて支柱(5)を細くすることができ、その分も気体ばね(4)の受圧面積を大きくすることができる。
【００１１】
一方、上段及び下段気体ばね(3,4)の天板部(2,1)同士（ばね上）は外周の周壁(20)により連結されていて、それらが一体的にボックス状とされているので、全体として剛性を高くしやすい。よって、ばね上に剛性の低い部分ができないようにしながら、気体ばねの多段化による受圧面積の拡大効果を十分に得て、狙い通り荷重支持性能を高めることができる。
【００１２】
尚、ばね下になる支柱(5)は、最大支持荷重に耐えるだけの強度を有していればよく、仮にその剛性不足に起因して比較的低周波域において共振が発生したとしても、これによる振動は気体ばね(3,4)にて吸収されることになり、ばね上である被支持体側への影響は少ないので、除振性能が低下することはない。
【００１３】
前記のような気体ばね除振装置においては被支持体に水平方向の力を作用させるべく、水平方向の気体ばねを配設することがあるが、その場合に好ましいのは、その水平方向の気体ばねを上段及び下段気体ばねの中間に配設して、支柱と周壁との間にばね力を作用させるようにすることである（請求項２）。こうすれば、水平方向の気体ばねの発生する力が除振装置における荷重の支持点付近に作用することになり、モーメントが小さくなるので、被支持体側に無理な力が作用することがない。
【００１４】
より好ましいのは、前記水平方向の気体ばねを、支柱を挟んで対向配置するとともに、それぞれの気体室を周壁の内部に形成することである（請求項３）。こうして水平方向の気体ばねを対向配置すれば、被支持体に対して水平方向の力を安定的に作用させる上で有利になる。また、気体室を周壁の内部に形成するためには、その分、周壁全体の厚みを大きくする必要があり、このことは、ばね上にある周壁の剛性を確保する上で好ましい。
【００１５】
また、前記上段及び下段の気体ばねに対する気体の給排を考慮すれば、それらの気体室の容積は略同じであることが好ましい（請求項４）。こうすれば、それらの気体ばねに対する気体の給排量を共通のバルブによって制御しても、各気体ばねの圧力が略同じように変化することになるので、整定時間が短くなり制御性が向上する。
【００１６】
さらに、そうして気体ばねに対し気体を給排するための通路は、少なくとも一部を支柱の内部に形成するのがよい（請求項５）。こうすれば、上下方向及び水平方向の何れについても、対をなす２つの気体ばねへの気体の給排通路長さを略同じにして、前記の作用をより確実なものとすることができ、しかも、各気体ばねへの気体の給排通路長さを短くして、制御応答性も高めることができる。
【００１７】
前記図１には、一例として上段及び下段の２つの気体ばねを有するものを示したが、それら上段及び下段の気体ばねの中間に中段の気体ばねを設けることもできる（請求項６）。この場合、支柱は、前記中段の気体ばねの底板部における内周側の部位に貫通状態で固定するとともに、該中段気体ばねの天板部に形成した貫通穴を通過させてさらに上方に延ばし、その外周と貫通穴の周縁との間は可撓性部材によって気密に封止すればよい。また、周壁の内周は前記中段の気体ばねの天板部の外周と連繋させればよい。
【発明の効果】
【００１８】
以上のように、本発明に係る多段式の気体ばね除振装置によると、上段及び下段の気体ばねにおける底板部（ばね下）同士を支柱により連繋させる一方、天板部（ばね上）同士は外周壁により連繋させて、それらを一体的なボックス状に構成することで、ばね上には剛性の低い部分ができないようにしながら、ばね下である支柱は従来よりも細くすることができ、その分も気体ばねの受圧面積を拡大することができる。よって、気体ばねの多段化による受圧面積の拡大効果を十分に得て、荷重支持性能を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態を図面に基いて説明する。尚、以下の好ましい実施形態の説明は、本質的に例示に過ぎず、本発明、その適用物或いはその用途を制限することを意図するものではない。
【００２０】
図２及び図３は、本発明に係る気体ばね除振装置の実施形態であるエアマウントＡを示す。このエアマウントＡは、図示しない半導体関連装置等の精密機器（被支持体）を、床振動から殆ど絶縁した状態で設置するために用いられ、通常は３〜５個のエアマウントＡ，Ａ，…によって被支持体を支持するものである。
【００２１】
この実施形態のエアマウントＡは、図４にその要部を断面にて示すように、床面（基礎）Ｆに設置されるボトムプレート１と、精密機器等を直接に、或いは図示しない定盤等（被支持体）を介して間接に支持するトッププレート２とを備え、該トッププレート２を天板部として被支持体の荷重を支持する上段の空気ばね３（気体ばね）が構成されるとともに、同様に前記ボトムプレート１を底板部とする下段の空気ばね４が設けられた上下２段式のものである。この例では２つの空気ばね３，４は略同じ容積の空気室を有している。
【００２２】
前記ボトムプレート１及びトッププレート２は、いずれもアルミ合金材を鍛造してなる矩形状の厚肉の板部材であり、鋼製のものに比べて軽量でありながら高い剛性を有している。そして、図４にのみ示すが、ボトムプレート１の上面略中央部から上方に向かって延びるように円柱状の軸部材５が配設され、その上には概略直方体形状のセンタブロック６が配設され、さらにその上に前記上段の空気ばね３が配設されている。
【００２３】
すなわち、前記センタブロック６の上面には、それよりも大径の円板状アッパプレート７が重ね合わされて締結され、その外周部とトッププレート２の外周部との間にゴム材料からなる環状のダイヤフラム８が配設されて、該トッププレート２をアッパプレート７に対し上下動可能に連結している。このダイヤフラム８によってトッププレート２とアッパプレート７との間に区画された容積可変の密閉空間を空気室として、上段空気ばね３が構成されており、アッパプレート７はその底板部となっている。
【００２４】
前記上段空気ばね３においてトッププレート２の下面には、空気室内に向かう断面円形の凸部２ａが形成されており、これは、該トッププレート２のアッパプレート７に対する下方への変位を規制するストッパ部として機能する。また、図４において符号９は、ダイヤフラム８の外周部をトッププレート２の下面外周部との間に挟んで固定する締付リングを示し、同様に符号１０は、ダイヤフラム８の内周部をアッパプレート７の上面外周部との間に挟んで固定する締付リングを示している。
【００２５】
尚、図４においてはセンタブロック６を、中央のブロック部材とその上下の板部材とに分割して構成するように示しているが、これに限らず、単一の部材として構成することも可能であり、反対に中央のブロック部材をさらに複数の部材に分割して構成することもできる。同様に図において単一の部材として示している軸部材５等も複数の部材に分割して構成することができる。
【００２６】
前記の如き構成の上段空気ばね３と同様に、下段の空気ばね４は、ボトムプレート１とその上方に位置するロワプレート１１とを環状のダイヤフラム１２によって連結してなる。ロワプレート１１は、下段の空気ばね４の天板部であって、ボトムプレート１やトッププレート２と同様のアルミ合金製の板部材からなり、この実施形態ではそれらの４隅を切り欠いて平面視で八角形状に形成している。
【００２７】
そして、図４にのみ示すが、前記ロワプレート１１の略中央部には断面円形の貫通穴１１ａが形成され、そこにボトムプレート１から延びる軸部材５が挿通されている。この軸部材５の外周面と貫通穴１１ａの内周面との間には隙間が形成されていて、この隙間を気密に封止するようにゴム材料からなる環状のダイヤフラム１３（可撓性部材）が配設されている。また、軸部材５の下半部は上半部に比べて小径とされていて、ダイヤフラム１３の内周部を固定するための締結リング１４が外挿されている。
【００２８】
前記下段空気ばね４においてはボトムプレート１の上面に断面円形の凸部１ａが形成される一方、上方に対向するロワプレート１１の下面には、環状の凸部１１ｂが形成されており、それらが当接することで両者の相対的な近接方向への変位が規制されるようになっている。また、ボトムプレート１とロワプレート１１との相対的な離遠方向への変位は、該ロワプレート１１の上面がセンタブロック６の下面に当接することで、規制されるようになっている。尚、図示の符号１５〜１７は、それぞれ、前記締結リング１４と同様にダイヤフラム１２，１３の内周乃至外周部を固定するための締付リングである。
【００２９】
斯くして、この実施形態のエアマウントＡでは、下段空気ばね４の底板部であるボトムプレート１の略中央部から上方に延びる軸部材５が、天板部であるロワプレート１１の貫通穴１１ａを通過していて、その上に連続するセンタブロック６と共に、上段空気ばね３（アッパプレート７）を下方から支持する支柱を構成している。つまり、上段及び下段の２つの空気ばね３，４は、それぞれの基礎側、即ちばね下である底板部（ボトムプレート１、アッパプレート７）同士が、軸部材５及びセンタブロック６からなる支柱によって連結されている。
【００３０】
そうして底板部（アッパプレート７）を下方から支持されている上段の気体ばね３において、その天板部であるトッププレート２の下面外周部には、フレーム１８を介して、下方に延びる外周壁２０が取り付けられている。そのフレーム１８は、平面視で概略「ロ」の字状をなし、アッパプレート７の外周を離間して取り囲む枠部と、その下端から内周側に向かい、センタブロック６の上部側面に近接するまで延びる平板部とからなり、それらがアルミ合金材によって一体に成形されたものである。
【００３１】
また、前記外周壁２０は、各々アルミ合金材によって塊状に形成された４つの分厚い壁部材２１〜２４からなり、これらがエアマウントＡの前後左右に対応してセンタブロック６を取り囲むように配置されて、周方向に隣り合うもの同士が互いの側縁を接合して組み合わされている。すなわち、外周壁２０の上端は前記のようにフレーム１８を介してトッププレート２に締結され、一方、下端はロワプレート１１の上面外周部に締結されており、それらは一体的にボックス状に構成されている。
【００３２】
つまり、上段及び下段の２つの各空気ばね３，４における被支持体側、即ちばね上である天板部（トッププレート２、ロワプレート１１）同士は、分厚い壁部材２１〜２４からなる外周壁２０によって連結されてボックス状になっており、これにより、それら全体の剛性が十分に高くなっている。
【００３３】
前記外周壁２０を構成する左右の壁部材２１，２２は、前後の壁部材２３，２４と比べても分厚く形成され、その内面には断面円形の凹部２１ａ，２２ａが開口している。また、それら左右の壁部材２１，２２の内面に対向するセンタブロック６の左右両側面には、それぞれ前記凹部２１ａ，２２ａよりも小径の円柱状凸部６ａ，６ｂが設けられ、その各突端面が凹部２１ａ，２２ａの開口付近まで延びている。それらの間の隙間はゴムのダイヤフラム２５，２５によって封止されて空気室が形成され、これにより、水平方向の空気ばね２６，２７が構成されている。尚、図示の符号２８，２９は、それぞれ、ダイヤフラム２５，２５の外周部及び内周部を固定するための締付リングである。
【００３４】
前記水平方向の空気ばね２６，２７は、センタブロック６を挟んで左右に対向配置されており（以下、左右の水平空気ばねという）、それらを互いに逆位相で作動させることで、センタブロック６（ばね下）から外周壁２０（ばね上）に対し略同じ大きさで同じ向きに水平方向の力を作用させることができる。このことは、被支持体側に水平方向の力を安定的に作用させる上で有利であり、また、その力による振動制御の応答性を高める上でも有利である。
【００３５】
また、左右の水平空気ばね２６，２７は、上段空気ばね３と下段空気ばね４との中間に配置されており、前記のようにセンタブロック６から外周壁２０に作用する水平方向の力は、エアマウントＡにおける荷重の支持点付近に作用することになる。このことは、その水平方向の力によって荷重支持点周りに作用するモーメントが小さくなることを意味し、このようなモーメントによってトッププレート２が傾斜して、被支持体側に無理な力がかかることを阻止する上で有利である。
【００３６】
さらに、水平方向の空気ばね２６，２７のそれぞれの空気室となる凹部２１ａ，２２ａが左右の壁部材２１，２２に形成され、その分、左右の壁部材２１，２２の厚みが大きくなっていることは、結果としてそれら左右の壁部材２１，２２の剛性をより高くする上で好ましいと言える。
【００３７】
前記センタブロック６は、上述したように上段、下段の空気ばね３，４同士を連結する支柱として機能するとともに、左右の水平空気ばね２６，２７を支持するものであり、さらに、それら各空気ばね３，４，２６，２７との間で空気の給排を行うための給排制御系が設けられている。具体的には、図３や図４に示すようにセンタブロック６の前面にはサーボ弁３０，３１が配設されており、一方のサーボ弁３０は、センタブロック６の内部に形成された同じ長さの一対の空気通路３２，３３を介して、左右の水平空気ばね２６，２７との間で空気を給排するようになっている。
【００３８】
また、他方のサーボ弁３１が接続されている空気通路３４は、図示しないが、センタブロック６の後面に開口しており、そこに接続された配管が二股に分岐して、略同じ経路長さで上段及び下段の空気ばね３，４に対し空気を給排するようになっている。さらに、前記サーボ弁３０，３１は、それぞれ、センタブロック６の後面に開口する空気通路及びそこに接続された配管を介して、図外の空気圧源から圧縮空気の供給を受けるようになっている。
【００３９】
そのようなサーボ弁３０，３１の作動の制御は、図３にのみ示すが、マイクロコンピュータやＲＡＭ、ＲＯＭ等を備えた周知のコントローラ３５によって行われる。すなわち、図示しないが、エアマウントＡには、ボトムプレート１に対するトッププレート２の相対的な位置や加速度等を検出するためのセンサが配設されており、これらセンサから入力される信号に基づいて、前記コントローラ３５がサーボ弁３０，３１の作動を制御し、各空気ばね３，４，…の圧力を制御するようになっている。
【００４０】
以上のように構成されたエアマウントＡは、まず、上段、下段の２つの空気ばね３，４を有することから、それらの合計の受圧面積が大きいにも拘わらず、設置面積はあまり大きくはならない。特に下段の空気ばね４の受圧面積は、ボトムプレート１の外形寸法によって概略決まる空気室の外径と、軸部材５の外形寸法によって概略決まる空気室の内径との双方によって規定されることになるが、この実施形態では、軸部材５がばね下にあることから、それがばね上にあるときに比べて細くすることができ、その分も受圧面積を拡大することができる。
【００４１】
すなわち、ばね下になる軸部材５は、エアマウントＡに要求される最大支持荷重に耐えるだけの強度を有すれよく、それを細くしたことによって剛性が低くなり、比較的低周波域において共振が発生するようになったとしても、これによる振動は空気ばね３，４において吸収することができ、ばね上である被支持体側への影響は少ないので、除振性能が低下することはないのである。
【００４２】
一方、ばね上である上段及び下段空気ばね３，４の天板部（トッププレート２、ロワプレート１１）同士は、分厚い壁部材２１〜２４からなる外周壁２０により連結されていて、高剛性のボックス状になっているので、ばね上には前記軸部材５のように剛性の低い部分は存在せず、除振性能の低下を招くような低周波の共振が発生することはない。
【００４３】
要するに、この実施形態のエアマウントＡ（多段式空気ばね除振装置）では、上下２段の空気ばね３，４のうち、下側の空気ばね４の受圧面積の拡大を規制する軸部材５を、ばね下にしたことで、その外径を従来よりも細くすることができ、その分、受圧面積を拡大できるので、従来までのものに比べて荷重支持性能を高めることができるのである。
【００４４】
加えて、この実施形態のエアマウントＡでは、上段及び下段の空気ばね３，４の空気室容積が略同じであり、そこに空気を給排する配管の経路長さも略同じなので、それら２つの空気ばね３，４に対する圧縮空気の給排量を共通のサーボ弁３１によって制御するようにしていても、各空気ばね３，４の圧力は略同じように変化することになり、整定時間が短くて制御性が高い。このことは左右の水平空気ばね２６，２７についても言える。
【００４５】
しかも、前記上段及び下段の空気ばね３，４のみならず、左右の水平空気ばね２６，２７に対しても、センタブロック６内に形成した空気通路３２，３３，…を介して最短距離で空気の給排を行うようにしているので、制御応答性も高いものである。
【００４６】
尚、本発明の構成は、上述した実施形態に限定されず、他の種々の構成をも含むものである。すなわち、前記実施形態のエアマウントＡでは、上段及び下段空気ばね３，４の中間に左右の水平空気ばね２６，２７を互いに対向するように配置しているが、これに限らず、例えば図５に例示するように、水平空気ばね２６，２７は下段空気ばね４の下方に配置することもできる（図示の例では前記実施形態と略同じ部材には同一の符号を付す）。
【００４７】
但し、そうした場合は、エアマウント４による被支持体の荷重支持点が高くなり、水平空気ばね２６，２７の発生する力によって前記荷重支持点周りの大きなモーメントが発生することになるので、トッププレート２が傾いて定盤等、被支持体側に歪みを生じやすくなる。
【００４８】
また、図示はしないが、前記図５とは反対に水平空気ばね２６，２７を上段空気ばね３の上方に配置することもできるが、こうすると荷重支持点が低くなり、それに対し被支持体の重心が高くなるので、例えば精密装置等が被支持体の場合、その作動に伴い揺れが大きくなりやすい。
【００４９】
よって、前記実施形態のように上段及び下段空気ばね３，４の中間に水平空気ばね２６，２７を配置するのが好ましいと言える。勿論、図１に模式的に示すように水平空気ばね２６，２７を設けないことも可能である。
【００５０】
前記実施形態のエアマウントＡでは、各々の空気ばね３，４，…において空気室を画成するためにダイヤフラム８，１２，…を用いているが、これらに代えて例えばベローズを用いることもできる。また、いずれの空気ばね３，４，…も例えば窒素ガス等を充填した気体ばねとすることができる。
【００５１】
さらに、前記実施形態において上段及び下段の空気ばね３，４の中間に、さらに空気ばね（中段の空気ばね）を設けて、上下方向の空気ばねを３段以上とすることもできる。この場合には、図示は省略するが、中段の空気ばねの底板部の略中央部を貫通させた状態で軸部材５を固定するとともに、この軸部材５を、中段空気ばねの天板部に形成した貫通穴を通過させて上方に延ばし、その外周と貫通穴の周縁との間をゴムダイヤフラム等の可撓性部材によって気密に封止する。また、中段空気ばねの天板部の外周部は、上段、下段の空気ばね３，４を連結する周壁２０の内周に固定すればよい。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
以上、説明したように、本発明に係る多段式の気体ばね除振装置は、除振性能を損なうことなく、多段化によって荷重支持性能を高めることができるので、特に半導体関連装置等を支持するもののように、設置面積の増大を抑えたい場合に好適である。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の多段式気体ばね除振装置の基本構成を示す断面図である。
【図２】実施形態のエアマウント（除振装置）の外観を示す斜視図である。
【図３】同エアマウントから上段の空気ばねを取り除いて示す斜視図である。
【図４】同エアマウントの詳細構造を示す部分断面図である。
【図５】水平空気ばねを下段空気ばねの下方に配置した他の実施形態に係る図４相当図である。
【符号の説明】
【００５４】
Ａ            エアマウント（多段式気体ばね除振装置）
１            ボトムプレート（下段気体ばねの底板部）
２            トッププレート（上段気体ばねの天板部）
３            上段空気ばね（上段気体ばね）
４            下段空気ばね（下段気体ばね）
５            軸部材（支柱）
６            センタブロック（支柱）
７            アッパプレート（上段気体ばねの底板部）
１１          ロワプレート（下段気体ばねの天板部）
１１ａ        貫通穴
１３          ダイヤフラム（可撓性部材）
２０          外周壁（周壁）
２１〜２４    壁部材
２１ａ，２２ａ    凹部（水平方向の気体ばねの気体室）
２６，２７    水平空気ばね（水平方向の気体ばね）
３２〜３４    空気通路（気体の給排通路）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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