(57)【要約】【課題】電極針の摩耗や汚染を低減すると共に効率的に帯電体を除電する。【解決手段】電極針4に対する高電圧印加の制御は、能動的にイオンを発生させて除電する除電モードと、基本的には電極針4への電圧の印加を停止し、帯電体の出現したときだけ高電圧を電極針4に印加して除電動作を行う休止モードとを有し、休止モード中、除電動作の開始及び停止は、帯電体が出現したときに発生する電極針4の自己放電に伴って内部回路に発生する自己放電検出電流の値としきい値と比較することによって実行される。この除電動作の開始及び停止の際に内部回路で生成される信号と同期して出力される信号Scによって除電装置100に供給される圧縮空気が制御され、休止モードにおける休止期間では除電装置100への圧縮空気の供給が停止される。【選択図】図17
2008159273.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極針に高電圧を印加してイオンを発生する除電装置であって、
前記電極針に高電圧を印加して帯電体を除電する除電モードと、前記電極針に基本的には高電圧イオンを印加しない休止モードとが選択的に設定可能であり、
前記電極針の自己放電により帯電体の出現を検出する自己放電検出回路と、
前記休止モードでは、前記自己放電検出回路で帯電体の出現を検出したときに、前記電極針に高電圧を印加する除電動作を開始すると共に、該自己放電検出回路で帯電体の出現を検出したときに生成される信号に基づいて、これに同期した第１の出力信号を生成して、該第１の出力信号を外部に出力することを特徴とする除電装置。
【請求項２】
前記休止モードでは、前記自己放電検出回路で帯電体の存在を検出できなくなったときに、前記除電動作を停止させると共に、該自己放電検出回路で帯電体の存在を検出できなくなったときに生成される信号に基づいて、これに同期した第２の出力信号を生成して、該第２の出力信号を外部に出力する、請求項１に記載の除電装置。
【請求項３】
前記自己放電検出回路が、前記電極針と高電圧発生源との間に抵抗を設けて該抵抗に流れる電流値を検出する回路を含む、請求項１〜２に記載の除電装置。
【請求項４】
前記自己放電検出回路が、前記電極針と接地との間に抵抗を設けて該抵抗に流れる電流値を検出する回路を
含む、請求項１〜２に記載の除電装置。
【請求項５】
前記電流値の絶対値と第１のしきい値とを比較して、前記電流値の絶対値が該第１のしきい値よりも大きいときに帯電体が出現したとして前記除電動作を開始する、請求項３又は４に記載の除電装置。
【請求項６】
前記電流値の絶対値と第２のしきい値とを比較して、前記電流値の絶対値が該第２のしきい値よりも下回ったときに除電が完了したとして前記除電動作を停止する、請求項３〜５のいずれか一項に記載の除電装置。
【請求項７】
前記除電動作が開始した後に所定のタイマ時間が経過したときに前記帯電体の存在を検出できなくなったとして前記除電動作を停止する、請求項３〜５のいずれか一項に記載の除電装置。
【請求項８】
前記電極針の回りに発生したイオンを前記帯電体まで搬送するガスを前記除電装置に供給するガスの流量が前記第１及び第２の出力信号に基づいて制御される、請求項６又は７に記載の除電装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、プラス又はマイナスに帯電している帯電体を除電するための除電装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラス、マイナスのイオンを発生することにより帯電体を除電する除電装置が知られている（引用文献１、２）。この種の除電装置は、電極針に高電圧を印加してコロナ放電を行うことによりイオンを生成し、生成したイオンをガス流を使って帯電体まで搬送することで除電効率が高められている。しかし、除電装置は能動的にコロナ放電を生じさせてイオンを発生させるものであることから、電極針が摩耗すると共に電極針が汚れることによりイオン発生能力が経時的に低下するという問題を有している。
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−５８２９０号公報
【特許文献２】特開２００３−８６３９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この問題に対して、引用文献２は、共通の電極針に極性の異なる高電圧を交互に印加してプラスイオンとマイナスイオンとを交互に発生させる除電装置を前提として、例えばプラスの電圧を印加した後、次のマイナスの電圧を印加する前に電極針に電圧を印加しないインターバル期間を設けると共に、インターバル期間に入る直前にイオンバランスが中立状態となるように電極針に印加する電圧を調整する発明を開示している。この発明によれば、極性の異なる電圧を印加する間にインターバル期間を挿入することで電極針の実働時間を短縮でき、これにより電極針の摩耗や汚染を低減することができるだけでなく、イオンバランスも適正に維持できるという効果がある。
【０００５】
本発明の目的は、電極針の摩耗や汚染を低減すると共に効率的に帯電体を除電できる除電装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の技術的課題は、本発明によれば、
電極針に高電圧を印加してイオンを発生する除電装置であって、
前記電極針に高電圧を印加して帯電体を除電する除電モードと、前記電極針に基本的には高電圧イオンを印加しない休止モードとが選択的に設定可能であり、
前記電極針の自己放電により帯電体の出現を検出する自己放電検出回路と、
前記休止モードでは、前記自己放電検出回路で帯電体の出現を検出したときに、前記電極針に高電圧を印加する除電動作を開始すると共に、該自己放電検出回路で帯電体の出現を検出したときに生成される信号に基づいて、これに同期した第１の出力信号を生成して、該第１の出力信号を外部に出力することを特徴とする除電装置を提供することにより達成される。
【０００７】
本発明によれば、休止モードを設定したときに、帯電体の出現したときだけに限定して除電動作が行われ、この除電動作は、帯電体の存在が無くなったときに停止される。そして、帯電体の有無は、内部回路に自己放電検出回路を設けて、休止中の電極針の自己放電によって除電装置内部に発生する信号によって知ることができる。したがって、帯電体の有無を検出するために外部にセンサを設ける必要がない。また、この休止中の電極針の自己放電によって除電装置内部に発生する信号をトリガとして、除電装置から出力信号を外部機器に出力することで、例えば、発生したイオンを前記帯電体まで搬送するガスを除電装置に供給するガスの流量を制御することで休止モードにおけるガスの消費を抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下に、添付の図面に基づいて本発明の好ましい実施例を説明する。
【０００９】
図１は実施例の除電装置の回路図である。図１において、１は直流電源であり、例えば二次電池等の外部直流電源で構成されている。２ａ、２ｂは直流電源１の出力側に設けられた第１、第２のスイッチである。第１、第２のスイッチ２ａ、２ｂは制御ユニット３からの制御信号Ｓａ、Ｓｂによって開閉制御される。勿論、第１、第２のスイッチ２ａ、２ｂはトランジスタ等の電子的スイッチを用いることができる。
【００１０】
直流電源１のプラス端子には、第１のスイッチ２ａを介して、トランス５ａ、倍電圧整流回路５ｂよりなる正極性の第１の高電圧発生回路５が接続され、他方、直流電源１のマイナス端子には、第２のスイッチ２ｂを介して、トランス６ａ、倍電圧整流回路６ｂよりなる負極性の第２の高電圧発生回路６が接続されている。
【００１１】
各高電圧発生回路５、６は、電流制限用のインピーダンスとして作用する等価の抵抗Ｒ１、Ｒ１を介して電極針４に接続されている。そして、電極針４は第２の抵抗Ｒ２を介して接地されている。
【００１２】
制御ユニット３から出力される制御信号Ｓａ、Ｓｂによって、第１、第２のスイッチ２ａ、２ｂが交互に開閉されることにより、第１、第２の高電圧発生回路５、６から所定の周波数で交互にプラス又はマイナスのパルス状の高電圧が電極針４に供給され、これにより電極針４からプラス又はマイナスの極性のイオンが交互に生成される。
【００１３】
除電装置の制御は、電極針４に高電圧を印加してイオンを生成して能動的に帯電体を除電する除電する、つまり電極針４に電極針４の周辺の雰囲気ガスをイオン化可能な電圧を印加する除電モードと、電極針４への高電圧の印加を休止してイオンの能動的な生成を行わない、つまり電極針４に電圧を印加しないまたは単独では電極針４に電極針４の周辺の雰囲気ガスをイオン化不可能な電圧を印加して電極針４を実質的に休止状態にする休止モードとを有し、ユーザが操作可能なモード切換スイッチ１１（図１）によって除電モードと休止モードとが選択的に設定される。
【００１４】
ところで、休止モードで動作しているときに、電極針４から自己放電が発生可能な電極針４との間の電位差を保有する帯電体が出現すると電極針４の先端部に帯電体と逆極性の電荷が誘起され、これにより自己放電現象が発生する。自己放電の発生に伴って除電装置の内部回路に発生する信号によって知ることができる。具体的には、自己放電の際に電極針４に流れる電流を直接又は間接的に検出するために、電極針４と接地との間に、又は、高電圧発生回路５、６と電極針４との間に抵抗を設け、この抵抗に流れる電流値を検出して、この電流値がしきい値以上であれば自己放電が発生したと判定する方法を挙げることができる。具体的には、（１）高圧電源と接地との間に流れる自己放電検出電流を検出するために抵抗を介在させ、この抵抗に流れる電流値を検出して自己放電を間接的に検知する方法、（２）対向電極と接地との間に流れる自己放電検出電流を検出するために抵抗を介在させ、この抵抗に流れる電流値を検出して自己放電を間接的に検知する方法、（３）上記（１）と（２）の組み合わせ、つまり高圧電源と接地との間に流れる自己放電検出電流を検出するために抵抗を介在させると共に、対向電極と接地との間に流れる自己放電検出電流を検出するために抵抗Ｒ２を介在させて自己放電を検知する方法（図１）、（４）電極針と高圧電源との間に抵抗Ｒ２を介在させて、この抵抗に流れる自己放電検出電流値を検出して自己放電を直接的に検知する方法（図２）を例示することができる。
【００１５】
なお、上述した（１）〜（３）のいずれの自己放電検知手段つまり接地との間に流れる電流値を検出する自己放電検出回路を採用したときには、この回路を、少なくとも上述した除電モードにおいて、除電中のイオンバランスを検出する検出する検出手段として兼用することができる。具体的には、各抵抗に流れる電流値を検出し、現在設定しているプラスとマイナスのデューティ比に基づく除電が適切であれば、この周期に抵抗に流れる電流のトータル値はゼロとなり、適切なデューティ比であることが認識され、後続の周期にも同様のデューティ比が採用されることになる。一方、現在設定しているプラスとマイナスのデューティ比においての除電が不適切であれば、この周期に抵抗に流れる電流のトータル値はプラスまたはマイナスのいずれかに偏った値となり、その値を基に、後続の周期の際、現在のデューティ比を補正したデューティ比を採用し、より適切な除電が行われるように制御が行われる。従って、図１に示す回路は、モード切換スイッチ３からの信号により、この抵抗Ｒ２から提供される電流値データを除電モードと休止モードとで使い分けるように除電装置の制御が行われる。勿論、休止モードにおいて除電のために電極針４に高電圧を印加したときに、抵抗Ｒ２に流れる電流値を使ってイオンバランス制御を行ってもよい。
【００１６】
自己放電に関連して回路内に流れる自己放電検出電流は、図１、図２に例示するように、増幅器８、ローパスフィルタ（LPF）９、アナログ／デジタル変換器（A/F）１０を介して制御ユニット３に供給されるようになっている。
【００１７】
除電モードでは、図３に例示するように、交互に極性の異なるパルス状の高電圧が連続的に電極針４に印加される。図４、図５は除電モードにおける動作の変形例を示す。図４に図示するように、プラス側と次のマイナス側、マイナス側と次のプラス側の高電圧を印加するタイミングに高電圧を印加しないインターバル期間を挿入して電極針４の寿命を延長させるようにしてもよいし、その更なる変形例として、図５に示すように、プラス側に高電圧を印加してプラスイオンを発生した後にマイナス側の高電圧を電極針４に短時間印加し、その後インターバルをおいてマイナス側の高電圧を印加してマイナスイオンを発生させ、同様にマイナス側に高電圧を印加してマイナスイオンを発生した後に逆極性（プラス側）の高電圧を電極針４に短時間印加し、その後インターバルをおいてプラス側の高電圧を印加してプラスイオンを発生させるようにしてもよい。この図５に示す更なる変形例の高電圧印加方式によれば、プラスイオンを発生した後に逆極性の電圧を短時間電極針４に印加することで、電極針４に至る高電圧印加系路に残存するプラス電圧を中和することができる。そして、このように中和用の電圧を電極針４に印加することで、電極針４に経時的に付着するゴミの量を低減することができる。
【００１８】
勿論、電極針４に高電圧を印加することによって生成されるプラス、マイナスのイオンのバランスを制御するのであれば、例えばマイナス側にイオンバランスが偏倚しているときには、プラスの高電圧のパルス幅を相対的に拡大するDuty制御を加えることで電極針４の回りの雰囲気のイオンバランスを一定に維持することができる。イオンバランス制御に関しては、例えば特開２００３−８６３９３号公報に詳しい説明があることから、この公報に開示の内容をここに援用するが、この実施例では、除電モードでは、プラスの極性の高電圧とマイナスの極性の高電圧を電極針４に印加するDuty比は、その直前に実行された単数又は複数のDuty比に基づいて決定される。
【００１９】
休止モードでは、基本的に、電極針４に対して電圧が印加されない。そして、この電圧を印加しない休止期間中に自己放電が発生したのを除電装置の内部回路の第２抵抗Ｒ２を流れる電流値で検出すると除電動作が開始され、次いで所定時間が経過又は帯電体の除電が終わると休止期間に戻る。すなわち、休止モードでは、基本的には、電極針４に対する電圧の印加が中止された状態にあり、除電対象エリアに帯電体が出現したのを検知されたときに限定して除電動作が実行される。そして、除電対象エリアへの帯電体の侵入は除電装置の内部回路によって検出される。
【００２０】
以下に、除電モードを詳しく説明すると、図６及び図７は休止モードの制御例であり、図６（イ）は第１例の休止モード (1)を示し、図６（ロ）は第２例の休止モード(2)を示し、図７（ハ）は第３例の休止モード(3)を示し、図７（ニ）は第４例の休止モード(4)を示す。
【００２１】
図６（イ）及び（ロ）の休止モード(1)、(2)の制御態様では、予め定められた期間であるイオンを発生しない休止期間に加えて、この休止期間の前後に予め定めた期間、電極針４に高電圧を印加してイオンを生成するイオン発生期間を含んでいる。休止期間に対する予め定められた期間の設定方法としては、除電装置に固定の期間を設定してもよいし、或いはユーザがパルス数や時間に基づいて任意に設定するいずれの方法を採用してもよい。イオン発生期間に対する予め定められた期間の設定方法としては、除電装置に固定の期間を設定してよいし、或いはユーザがパルス数や時間に基づいて任意に設定するいずれの方法を採用してもよい。
【００２２】
図７（ハ）及び（ニ）の休止モード(3)、(4)の制御態様では、休止モードが休止期間だけで構成されている。したがって、この休止モード(3)、(4)の制御態様における休止期間には予め定められた期間はなく、所定値以上に帯電した帯電体を検出して除電を開始しない限り、この休止期間が継続される。また、図６、図７を参照して、休止期間は、所定値以上に帯電した帯電体が除電対象エリアに存在しない限り、イオンを発生しない程度の電圧を電極針４に印加してもよいし（図６（イ）の休止モード(1)、図７（ハ）の休止モード(3)）、電極針４に全く電圧を印加しないようにしてもよい（電圧の印加を中止）（図６（ロ）の休止モード(2)、図７（ニ）の休止モード(4)）。
【００２３】
図６（イ）、図７（ハ）に図示の休止モード(1)、(3)を採用したときには、休止期間において、放電が開始する電圧よりも低い高電圧を電極針４に印加することで、電極針４と帯電体と間の電位差を小さくして僅かに帯電した帯電体に対する感度を高めることができる。
【００２４】
図６（ロ）、図７（ニ）の休止モード(2)、(4)のように、休止期間中は電極針４に電圧を印加するのを中止する場合には、例えば電極針４に高電圧を印加して電極針４の周囲の雰囲気をイオン化することのできる電圧値が３kＶであったとすると、休止期間中に電極針４と帯電体との電位差がしきい値（例えば３kＶ）を越えた場合に、電極針４から自己放電が発生し、この自己放電を上述した除電装置内の回路（第２抵抗を流れる電流の値）で検出すると除電動作が開始される。なお、この除電動作における電極針４に印加する電圧値は例えば５.３kＶである。
【００２５】
図６（イ）、（ハ）の休止モード(1)、(3)のように、休止期間中は電極針４に比較的低レベルの高電圧（例えば２kＶ）を印加する場合には、休止期間中に電極針４と帯電体との電位差がしきい値（例えば１kＶ）を越えた場合に、電極針４から自己放電が発生し、この自己放電を第２抵抗Ｒ２を流れる電流値で検出すると、電極針４に対して、その回りの雰囲気をイオン化することのできる高電圧（例えば５.3KＶ）が印加される（除電動作の開始）。この除電動作は、前述した除電モードの動作と実質的に同様である。このように、休止期間中に比較的低レベルの高電圧を印加することで帯電体を検出する感度を高めることができる。そして、これにより、除電対象エリアに帯電体が侵入したこと（帯電体の有無）を検出するための外部センサを設けることなく、除電装置の内部回路を使って帯電体が存在するときに限定して除電動作を実行できる。換言すれば、帯電体が存在してないときには電極針４によるイオン発生を停止した状態を継続することができるため、電極針４の摩耗やゴミの付着を低減することができる。
【００２６】
上述した図６、図７に基づく制御における「しきい値」は、言うまでもなく、一般的に予めメモリなどに記憶させておく「しきい値」ではなく、図６、図７に示す各休止モード態様での休止期間中における電極針４に印加される電圧又は印加されない状態における接地と電極針４との間の電位差と、電極針４がその回りの雰囲気をイオン化することのできる電圧との差によって決められるものであることは勿論である。ただし、休止モードにおける休止期間中、電極針４に電圧を印加しない態様では、そのしきい値は３KＶ以上の値であればよく、３KＶに固執する必要はない。同様に休止モードの休止期間中、比較的低いレベルの高電圧を印加する場合に、例えばその電圧値が２KＶを電極針４に印加するのであれば、しきい値は１KＶ以上の値であればよく、１KＶに固執する必要はない。このことから、この「しきい値」は、上記の考え方に従って、除電装置として休止モードに対する固定値を「しきい値」として設定してもよく、或いは上述した「しきい値」としての下限値と、つまり除電モードで印加する電圧値を上限値として自動的に制限すれば、ユーザの設定行為に委ねて、その間の任意の値を「しきい値」としてユーザが設定できるようにしてもよい。
【００２７】
如上のように、「しきい値」によって、休止モードの休止期間を中止して除電動作を開始する及びこの除電動作を停止して休止期間へ戻すスイッチングを第２抵抗Ｒ２（図１、図２）を流れる電流ｉの値（増幅器７で増幅した絶対値）に基づいて行うことができる。図８は休止モードにおいて休止期間中に帯電体を検出して除電動作を実行し、また、この除電動作を終了させて休止期間に戻す制御例を示す。この図８を参照して、自己放電検出電流の絶対値|i|が第1のしきい値（例えば３KＶに対応する電流値）を越えたときに休止期間が中止されて除電動作に入る。そして、帯電体に対する除電が進行して、自己放電検出電流の絶対値|i|が第２のしきい値（例えば１KＶ未満に対応する電流値）を下回ったときに除電動作が終了して休止期間に戻る。すなわち、図８の制御例は、休止モードでの除電動作の開始及び除電動作の停止を共にしきい値を用いて行う例である。
【００２８】
なお、休止モード中に実行される除電動作の具体的な除電制御は、前記した図３〜図５を参照して例示した除電モードで行われる電圧印加方式の種々の具体例のなかから除電モードとして採用した電圧印加方式と同じ電圧印加方式を採用してもよい。勿論、除電モードで採用した電圧印加方式とは異なる方式を休止モード中の除電動作で採用してもよいことは勿論である。
【００２９】
休止モードにおいて、「しきい値」を用いて休止期間を中止して除電動作を開始した後、この除電動作を停止するのにタイマを使用してもよい。その具体例を図９〜図１１に示す。図９は、タイマの設定時間ｔは一定であり、この設定時間ｔは工場出荷時に設定した固定値であってもよいし、ユーザが任意に設定できるようにしてもよい。
【００３０】
図１０は、タイマ時間ｔを自己放電検出電流の絶対値のピーク値の大小によって調整する例を示し、図１１は、自己放電検出電流値が減少する傾きの大小によってタイマ時間ｔを調整する例を示す。
【００３１】
図１０に例示の「ピーク値」によるタイマ時間tの調整は、「ピーク値」が大きいとき、つまり帯電体の帯電量が大きいときには、タイマ時間tが長時間となるように調整し、「ピーク値」が小さいとき、つまり帯電体の帯電量が小さいときには、タイマ時間tが短時間となるように調整するのがよい。
【００３２】
図１１に図示の「傾き」によるタイマ時間tの調整は、「傾き」が小さいとき、つまり帯電体の帯電量が僅かずつ減少しているときには、タイマ時間tが長時間となるように調整し、「傾き」が大きいとき、つまり帯電体の帯電量が大きく減少しているときには、タイマ時間tが短時間となるように調整するのがよい。
【００３３】
なお、図８〜図１１では休止モードとして、電極針４に全く電圧を印加しない例（図７の休止モード(4)）を図示してあるが、休止モード(1)、休止モード(3)の制御態様や後に説明する他の制御態様（図１３、図１４）を採用してもよいことは言うまでもない。図１２は、休止期間中に比較的低い電圧を電極針４に印加する図６（イ）の休止モード(1)又は図７（ハ）の休止モード(3)中に帯電体を検出して除電動作を開始し、また、この除電動作を終了するのに、共に「しきい値」を使って制御する例を示すものであるが、図９〜図１１と同様に除電動作の終了をタイマ制御するようにしもて良いことは言うまでもない。
【００３４】
如上のように、除電装置の内部回路で休止期間中に帯電体を検出したときには、電極針４に高電圧を印加してイオンを能動的に発生させる除電動作が実行される。また、図６（イ）、図７（ハ）に例示したように、休止モード中に間欠的に且つ定期的に電極針４に高電圧を印加してイオンを生成するイオン発生期間を含めることにより、弱く帯電した帯電体の除電を徹底することができる。ここに、図６（イ）、図７（ハ）に例示した休止モードの制御態様(1)、(3)において、イオン発生期間の長さ及び休止期間の長さは任意に設定すればよい。また、イオン発生期間と、それに続く休止期間との組み合わせからなる単一サイクルの時間及びこの単一サイクル内でのイオン発生期間と休止期間との割合は任意に設定することができる。例えば、単一サイクルの時間は、例えば、ワーク（被除電体）が流れる搬送コンベアに除電装置を配設する場合には、ワークの搬送タクトに一致させた時間を設定すればよい。
【００３５】
休止モードにイオン発生期間を設ける場合や休止期間中に除電動作を実行する際に、電極針４に高電圧を印加するイオン発生期間又は除電動作の停止と休止期間との間に移行期間を付加するのがよい。すなわち、イオン発生期間（又は除電動作）から直ちに休止期間に切り替えた場合、休止期間に切り替える直前つまりイオン発生期間の最後に電極針４に印加した高電圧の極性が休止期間の初期の除電対象エリアのイオンバランスに影響を及ぼしてイオンバランスに偏倚が現れる虞がある。また、イオン発生期間（又は除電動作）で回路内部で貯まった残存する電荷が休止期間において電極針４に印加され、これにより休止期間にあってもイオンを発生し続けてしまう虞がある。これに対処するのに、図１３に例示するように、イオン発生期間（又は除電動作）から休止期間に切り替える前に前段移行期間を挿入して、この前段移行期間では、徐々に電圧の絶対値を小さくなる電圧を電極針４に印加するのが好ましい。図１３（イ）は、休止期間において電極針４に全く電圧を印加しない休止モードの制御例を示し、図１３（ロ）は、休止期間において電極針４に低レベルの電圧を印加する休止モードの制御例を示してある。
【００３６】
同様に、休止期間からイオン発生期間又は除電動作へ移行するときに移行期間を付加するのがよい。すなわち、休止期間から直ちにイオン発生期間（又は除電動作）に切り替えた場合、被除電体が突然イオンを浴びて被除電体を帯電させてしまうことになり、それにより例えば半導体が被除電体であれば、急激な電荷によってメモリが消えてしまうなど被除電体に思わぬダメージを与えてしまう可能性がある。これに対処するのに、図１４に例示するように、休止期間からイオン発生期間（又は除電動作）に切り替える前に後段移行期間を挿入して、この後段移行期間では、徐々に絶対値が大きくなる電圧を電極針４に印加するのが好ましい。図１４（イ）は、休止期間において電極針４に全く電圧を印加しない休止モードの制御例を示し、図１４（ロ）は、休止期間において電極針４に低レベルの電圧を印加する休止モードの制御例を示してある。
【００３７】
図１５は、休止モードにイオン発生期間を設ける場合の好ましい制御例として、イオン発生期間（又は除電動作）から休止期間への切り替えの直前に前段移行期間を挿入すると共に、休止期間からイオン発生期間（又は除電動作）への切り替えの直前に後段移行期間を挿入する例を示す。図１５（イ）は、休止期間において電極針４に全く電圧を印加しない休止モードの制御例を示し、図１５（ロ）は、休止期間において電極針４に低レベルの電圧を印加する休止モードの制御例を示してある。
【００３８】
除電装置には、電極針４に高電圧を印加することにより生成したイオンを被除電体(帯電体)に向けて効率的に搬送するために送風するのが通例である。図１６には除電装置１００が図示されている。除電装置１００は、前述した電極針４を含む複数の電極ユニット１２が互いに間隔を隔てて配置され、この除電装置１００には外部配管１３を通じて、濾過した圧縮空気や窒素などの不活性ガスが供給され、除電装置１００に入り込んだ圧縮空気や不活性ガスは、各電極ユニット１２を通じて吐出される。
【００３９】
外部配管１２には、電磁式の開閉弁又は電動の開度調整弁１４が介装され、この開閉弁又は開度調整弁１４の開度は、除電装置１００からの出力信号Ｓcによって制御される。開閉弁又は開度調整弁１４の制御の一例を図１７を参照して説明する。図１７に例示の制御では、同図から分かるように、休止期間では電極針４に電圧を印加することが停止された状態なる。自己放電検出電流ｉの絶対値が第１しきい値よりも大きくなると除電動作に切り替わって、電極針４に対する高電圧の印加が開始される。と同時に、自己放電検出電流ｉの絶対値が第１しきい値よりも大きくなったときには、出力信号Ｓcが除電装置１００から出力されて電磁式の開閉弁１４が開かれる。これにより、除電モードに切り替わるのと同期して、除電装置１００に対して圧縮空気又は不活性ガスの供給が開始されることになる。他方、自己放電検出電流ｉの絶対値が第２しきい値を下回ると除電動作が終了して休止期間に復帰するが、これに同期して開閉弁１４が閉弁されて除電装置１００に対する圧縮空気又は不活性ガスの供給が停止される。
【００４０】
このように、自己放電検出電流ｉの絶対値に基づいて休止モード中のイオン発生期間又は除電動作と休止期間との間の切り替え制御を行うトリガ信号又はこれに基づく制御信号を外部に出力して、例えば除電装置１００に供給するガスの流量を出力信号Ｓcに基づいて制御することで、圧縮空気又は不活性ガスの消費を合理的なものにすることができる。なお、休止期間において低レベルの電圧を電極針４に印加する場合には、休止期間への移行に同期して、出力信号Ｓcによって開度調整弁１４の開度を絞り込んで除電装置１００に対する圧縮空気又は不活性ガスの供給量を少なくするのがよい。
【００４１】
また、図６などで説明した休止モードがイオン発生期間と休止期間とを含む場合には、イオン発生期間から休止期間、休止期間からイオン発生期間へ切り換えるために除電装置１００の内部で生成される信号又はこれに基づく制御信号を除電装置１００から出力信号Ｓcとして開閉弁又は開度調整弁１４に供給するようにしてもよい。この場合にあっても、図６（ロ）、図７（ニ）に例示したように休止期間において電極針４に全く電圧を印加しない場合には、開閉弁１４を閉じて除電装置１００に対する圧縮空気又は不活性ガスの供給を停止するのがよく、図６（イ）などに例示したように休止期間において電極針４に低レベルの電圧を印加する場合には、開度調整弁１４の開度を絞り込む信号を除電装置１００から供給するのがよい。除電装置１００からの出力信号Ｓcは、除電装置１００の現在の動作状態を表示するのに用いてもよい。すなわち、除電装置１００が、現在、イオン発生期間の動作を実行中であることや休止期間の動作を実行中であること、或いは除電モードで動作中であることを除電装置１００又はその近傍に設けた表示灯(図示せず)で表示する場合に、除電装置１００の制御で用いた内部信号に基づく出力信号Ｓcによって表示灯の点滅を制御するようにしてもよい。
【００４２】
具体的な制御例を図１８〜図２１に例示のフローチャートに基づいて説明する。図１８は、前述した図８の「しきい値」に基づく休止モード中の除電動作の制御に関するフローチャートである。図１８のフローチャートを参照して、ステップＳ１で休止モードが設定されているか否かの判定が行われ、ＹＥＳ（休止モードが設定）であれば、ステップＳ２に進んで自己放電検出電流ｉを計測し、そして、計測した自己放電検出電流ｉの絶対値が第１しきい値よりも大きいか否かを判定し（ステップＳ３）、ＹＥＳであれば次のステップＳ４に進んで除電動作が開始される。そして、ステップＳ５で自己放電検出電流ｉを計測して、この自己放電検出電流ｉの絶対値が第２しきい値よりも小さくまで除電動作が継続され、自己放電検出電流ｉの絶対値が第２しきい値よりも小さくなったらステップＳ６で除電動作が停止される。これにより除電装置は休止モードにおける休止期間に戻り、また、帯電体の出現つまり自己放電発生の監視が継続され、除電装置を休止状態で待機させることができる。
【００４３】
図１９のフローチャートは、図９を参照して説明した除電動作をタイマによって終了させる制御に対応している。図１９のフローチャートを参照して、ステップＳ１０で休止モードが設定されているか否かの判定が行われ、ＹＥＳ（休止モードが設定）であれば、ステップＳ１１で自己放電検出電流ｉを計測し、計測した自己放電検出電流ｉの絶対値が第１しきい値よりも大きいか否かを判定し（ステップＳ１２）、ＹＥＳであれば次のステップＳ１３に進んで除電動作が開始され、そして、ステップＳ１４でタイマを動作させて、このタイマ時間ｔが所定の時間ｔ0になったらステップＳ１５に進んで除電動作が停止される。これにより除電装置は休止モードにおける休止期間に戻る。これにより除電装置は休止モードにおける休止期間に戻り、また、帯電体の出現つまり自己放電発生の監視が継続される。
【００４４】
図２０のフローチャートは、図１０で説明したタイマ時間を可変にする制御に対応している。図２０のフローチャートを参照して、ステップＳ２０で休止モードが設定されているか否かの判定が行われ、ＹＥＳ（休止モードが設定）であれば、ステップＳ２１で自己放電検出電流ｉを計測し、計測した自己放電検出電流ｉの絶対値が第１しきい値よりも大きいか否かを判定し（ステップＳ２２）、ＹＥＳであれば次のステップＳ２３に進んで除電動作が開始される。そして、ステップＳ２４で自己放電検出電流ｉを計測し、この自己放電検出電流値ｉからアース電流のピーク値を検出して(ステップＳ２５)、このピーク値に対応するタイマ時間ｔ0をデータテーブルから求める（ステップＳ２６）。続いてデータテーブルから求めたタイマ時間ｔ0にタイマをセットしてタイマｔをスタートさせ（ステップＳ２７）、タイマｔが設定したタイマ時間ｔ0になったら（ステップＳ２８）、除電動作が停止される（ステップＳ２９）。これにより除電装置は休止モードにおける休止期間に戻る。これにより除電装置は休止モードにおける休止期間に戻り、また、帯電体の出現つまり自己放電発生の監視が継続される。
【００４５】
図２１のフローチャートは、図１１の制御に対応している。図２１のフローチャートを参照して、ステップＳ３０で休止モードが設定されているか否かの判定が行われ、ＹＥＳ（休止モードが設定）であれば、ステップＳ３１で自己放電検出電流ｉを計測し、計測した自己放電検出電流ｉの絶対値が第１しきい値よりも大きいか否かを判定し（ステップＳ３２）、ＹＥＳであれば次のステップＳ３３に進んで除電動作が開始される。そして、ステップＳ３４で自己放電検出電流ｉを計測し、この電流値ｉからアース電流のピーク値を検出する（ステップＳ３５)。ピーク値を検出したらステップＳ３６に進んで自己放電検出電流ｉを計測し、この電流値ｉの微分値から傾きを求める（ステップＳ３７）。そして、求めた傾きに対応するタイマ時間ｔ0をデータテーブルから求める（ステップＳ３８）。続いて、データテーブルから求めたタイマ時間ｔ0にタイマをセットしてタイマｔをスタートさせ（ステップＳ３９）、タイマｔが設定したタイマ時間ｔ0になったら（ステップＳ４０）、除電動作が停止される（ステップＳ４１）。これにより除電装置は休止モードにおける休止期間に戻る。これにより除電装置は休止モードにおける休止期間に戻り、また、帯電体の出現つまり自己放電発生の監視が継続される。
【００４６】
上述した除電装置１００において、休止モードでの動作中に、除電対象エリアのイオンバランスが偏倚しているときには、例えば図２２、図２３に示すようにイオンバランスを適正に保つ制御を行うのがよい。図２２に例示のイオンバランス制御は、電極針４に印加するパルス状の高電圧のパルス幅を変化させる制御（Duty比制御）であり、図２２（イ）は電極針４の回りのイオンバランスがプラス側に偏倚している場合の制御を示し、この場合には、プラスの高電圧を印加するパルス幅が小さくなるように制御される。他方、図２２（ロ）は電極針４の回りのイオンバランスがマイナス側に偏倚している場合の制御を示し、この場合には、プラスの高電圧を印加するパルス幅が拡大するように制御される。
【００４７】
図２２の制御例は高電圧のパルス幅を変化させることでイオンバランスを適正に維持する制御例であるが、電極針４に印加するプラス/マイナスの高電圧の電圧値を変化させるようにしてもよい。また、図２３に示すように、イオンバランスの偏倚の程度に相当するプラス/マイナスの高電圧の電圧値の平均値となるようにしてもよい。勿論、デジタルに平均化するようにしてもよい。このようなイオンバランス制御を休止モード中でも行う場合、電極針４に印加したプラス/マイナスの高電圧のサンプリングを適正に行う必要があり、また、好ましくは適切な平均化の手法を使ってイオンバランス制御を適切に行うのがよい。
【００４８】
この点について具体的に説明すると、イオンバランス制御は、電極針４回りのプラス/マイナスのイオンバランスが帯電体の電荷を中和するのに適当となるように電極針４に印加するプラス側の高電圧とマイナス側の高電圧を制御するものであるが、このイオンバランス制御では、例えばプラス/マイナスの高電圧のDuty比でイオンバランス制御を行う場合、例えばプラスに帯電した帯電物が除電対象エリアに侵入したときには、この帯電状態を検出してDuty比をマイナス側に増大するように調整した高電圧が電極針４に印加される。この制御を適正に実行するには、少なくとも現在実行したDuty比と、その結果としての除電対象エリアのイオンバランス状態とを次回の電極針４に印加すべき高電圧のDuty比の決定に反映させるのが好ましい。
【００４９】
上述したように休止モードは電極針４でイオンを発生させない休止期間を含んでおり、この休止期間からイオン発生期間へ移行した際又は休止期間から除電動作に移行した際は、現在実行したDuty比の存在は実質的に無く、したがって休止期間のDuty比をイオン発生期間又は除電動作に移行した直後のイオンバランス制御に反映させることは、イオン発生期間又は除電動作に移行した直後のイオンバランス制御を不適にする原因となり易い。
【００５０】
また、休止モードの休止期間において、イオン化のための高電圧を電極針４に印加しない方式を採用したときには、休止期間を含めたイオンバランス制御データを最適化するために、直前又はそれ以前の幾つかの保存してあるデータを平均化することも適当であるが、このデータに休止期間中のデータまで含めて平均化することはイオン発生期間又は除電動作に移行した直後のイオンバランス制御を不適にする原因となり易い。具体的には、通常、除電装置においては、プラスの極性の高電圧とマイナスの極性の高電圧とを電極針４に印加するDuty比は、その直前に行われていた単数又は複数のDuty比に基づいて決定されているが、これを休止期間を含む休止モードのときに採用したときは、適切なDuty比の設定ができなくなる虞がある。これを回避するために、図２４にフローチャートで示すように、休止期間中のデータのサンプリングを中止して、過去のイオン発生期間又は除電動作における最新のデータに基づいて、これから始めようとする電極針４への高電圧印加の制御に反映させるのがよい。更に、この高電圧印加におけるイオンバランス制御を最適化するために過去のデータを平均化するのが好ましい。
【００５１】
図２４は、図６（イ）及び図６（ロ）で説明した休止期間とイオン発生期間を含む休止モード(1)及び(2)に関連して実行されるフローチャートである。先ずステップＳ５０で高電圧電源がオンされ、次のステップＳ５１でイオン発生期間であるか否かの判定が行われる。ＹＥＳつまり電極針４に高電圧が印加されてイオンを発生しているときにはステップＳ５２に進んで、電極針４への印加を実行した高電圧のプラス側とマイナス側の例えばDuty比のサンプリングが行われ、図２５に示すようにメモリに保存される。次いでステップS５３において、所定数のサンプリングデータに基づいてその平均値が演算され、この平均値がメモリに保存されると共にこの平均値に基づいてイオンバランス制御が実行される。
【００５２】
イオン発生期間から休止期間に切り替わると、ステップＳ５１からステップ５４に進んで高電圧電源をオフし、そして、ステップＳ５５において、メモリに保存されている平均値に基づいて次に実行する電極針４への印加すべき高電圧の電圧値又はDuty比が決定され、この値はメモリに保存される。そして、休止期間が終了すると、休止期間中に決定した電圧値又はDuty比に基づいて高電圧電源から電極針４に高電圧が供給される。すなわち、休止期間中は上記例えばDuty比のサンプリングが行われない。なお、図２５はデジタル処理での例を示してあり、休止期間中は、メモリへのデータの転送を禁止するようにしてもよい。
【００５３】
休止期間からイオン発生期間へ移行した直後のイオンバランス制御を最適化するのに、休止期間中の除電対象エリアのイオンバランスを検出してメモリに保存し、休止期間中、常にこれを更新して、休止期間終期の除電対象エリアのイオンバランスデータを加味して、上述した休止期間中に決定した電圧値又はDuty比に補正を加えて、補正後の電圧値又はDuty比によって、その直後の高電圧印加の制御を実行するようにしてもよい。
【００５４】
このようにすることで、休止期間からイオン発生期間に移行した直後のイオンバランス制御に適したDuty比や高電圧値を決定することができる。イオン発生期間を含まない休止モード（図７（ハ）及び（ニ））では、除電動作中に実行されるイオンバランス制御の結果としてのDuty比又は高電圧値の最新データを逐次サンプリングしてこれを保存し除電動作を開始する直前に、それ以前の最新の除電動作中に保存したデータを平均化して、次に実行する電極針４への印加すべき高電圧の電圧値又はDuty比を決定するのがよい。これにより、休止期間中の印加電圧ゼロを含めた平均化を回避することができる。また、休止期間中の除電対象エリアのイオンバランスを検出してメモリに保存し、休止期間中、常にこれを更新して、除電動作に入る直前のデータに基づいて、上述した次に実行する電極針４への印加すべき高電圧の電圧値又はDuty比として決定した値を補正するようにしてもよい。
【００５５】
イオン発生期間のイオンバランス制御は、イオン発生期間に移行した初期、例えば第１回目にプラスとマイナスの電極針４に印加する電圧を休止期間中に決定した上記の電圧値又はDuty比に基づいて見込み制御的に印加し、次回のイオンバランス制御では、除電モードと同様のイオンバランス制御つまり内部回路に流れる電流値に基づいてプラスとマイナスの電極針４に印加する電圧の電圧値又はDuty比を決定してフィードバック制御に基づいてイオンバランス制御を行うようにしてもよい。つまり、イオン発生期間の初期は、休止期間中に決定したデータに基づいて見込み制御的にイオンバランス制御を行い、後続のイオンバランス制御ではフィードバック制御に切り換えてイオンバランス制御を行うのがよい。また、変形例として、イオン発生期間の初期は、休止期間中に決定したデータに基づいて見込み制御的にイオンバランス制御を行い、その後、内部回路に流れる電流値に基づいて休止期間中に決定したデータを補正しながらイオンバランス制御を行うようにしてもよい。
【００５６】
イオン発生期間を含まない休止モード（図７の（ハ）、（ニ））では、休止期間に行われた除電動作中にイオンバランスに関連した内部回路に流れる電流値及びその方向に関するイオンバランスデータをメモリに保存し、例えば除電動作の一番最後に電極針４に高電圧を印加した結果のイオンバランスデータを使って、次回の除電動作での初期のイオンバランス制御を実行し、後続のイオンバランス制御では上述したフィードバック制御に切り換えるようにしてもよいし、前回の除電動作中に保存したイオンバランスデータを使って後続の除電動作の初期のイオンバランス制御を見込み制御的に行い、その後は、内部回路に流れる電流値に基づいて補正しながらイオンバランス制御（例えばDuty比制御）を行うようにしてもよい。
【００５７】
以上、共通の電極針４に極性の異なる高電圧を交互に印加してプラス／マイナスのイオンを交互に発生させる例で実施例を説明したが、特開２０００−５８２９０号公報の図１６、図１７で実施例として説明している正極と負極の対となる電極針に、夫々プラス、マイナスの高電圧を印加することでプラスイオンとマイナスイオンとを生成する方式の除電装置にも本発明を同様に適用可能であることは言うまでもない。具体的には、正極と負極の各々の電極針と接地との間に自己放電検出回路を設け、いずれか一方の電極針において自己放電を検出したときには、除電モードと同様の高電圧を電極針に印加して除電動作を実行させるようにしてもよい。勿論、休止モードでの休止期間中に、イオンを発生しない程度の電圧つまり帯電体を検出する感度を高めるための電圧（例えば２kＶ）を電極針に印加してもよいことは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】実施例の除電装置に含まれる回路図である。
【図２】実施例の除電装置に含まれる回路図の変形例を示す図である。
【図３】除電モードと休止モードとを選択的に設定可能な除電装置において、除電モードでの高電圧印加の方式の一例を説明するための図である。
【図４】除電モードと休止モードとを選択的に設定可能な除電装置において、除電モードでの高電圧印加の方式の他の例を説明するための図である。
【図５】除電モードと休止モードとを選択的に設定可能な除電装置において、除電モードでの高電圧印加の方式の更に他の例を説明するための図である。
【図６】休止期間とイオン発生期間とを含む休止モードでの制御態様の例を説明するための図であり、（イ）は休止モードでの休止期間に、イオンを発生しない程度の低レベルの電圧を電極針に印加する例を示し、（ロ）は休止モードでの休止期間に、電極針に全く電圧を印加しない例を示す。
【図７】イオン発生期間を含まない休止期間だけで構成された休止モードでの制御態様の例を説明するための図であり、（ハ）は休止モード（休止期間）においてイオンを発生しない程度の低レベルの電圧を電極針に印加する例を示し、（ニ）は休止モード（休止期間）において電極針に全く電圧を印加しない例を示す。
【図８】休止モード中に帯電体を除電装置の内部回路で検出したときに、除電モードと実質的に同様に高電圧を電極針に印加して除電動作を行う制御の一例を説明するための図であり、しきい値を使って除電動作を開始及び停止する例を示す。
【図９】休止モードにおける休止期間中に帯電体が出現したときに除電動作を実行する他の例を説明するための図であり、タイマを使って除電動作を停止される例を示す。
【図１０】休止モードにおける休止期間中に帯電体が出現したときに除電動作を実行する更に他の例を説明するための図であり、除電動作を停止させるタイマ時間の可変制御を行う例を示す。
【図１１】休止モードにおける休止期間中に帯電体が出現したときに除電動作を実行する更に他の例を説明するための図であり、除電動作を停止させるタイマ時間の可変制御を行う他の例を示す。
【図１２】帯電体の出現により休止期間中に除電動作を行う制御において、休止期間中は、イオンを発生しない程度の低レベルの電圧を電極針に印加し続ける例を説明するための図である。
【図１３】イオン発生期間又は除電動作が終了して休止期間に移行する際に前段移行期間を設けて、この前段移行期間においては電極針に印加する電圧を徐々に低下させる制御を行う例を説明するための図であり、（イ）は休止期間に、電極針に全く電圧を印加しない例を示し、（ロ）は休止期間に、イオンを発生しない程度の低レベルの電圧を電極針に印加する例を示す。
【図１４】休止期間からイオン発生期間又は除電動作に移行する際に後段移行期間を設けて、この後段移行期間においては電極針に印加する電圧を徐々に高める制御を行う例を説明するための図であり、（イ）は休止期間に、電極針に全く電圧を印加しない例を示し、（ロ）は休止期間に、イオンを発生しない程度の低レベルの電圧を電極針に印加する例を示す。
【図１５】イオン発生期間又は除電動作の終了から休止期間に移行する際に前段移行期間を設けると共に、休止期間からイオン発生期間又は除電動作に移行する際に後段移行期間を設ける例を説明するための図であり、（イ）は休止期間に、電極針に全く電圧を印加しない例を示し、（ロ）は休止期間に、イオンを発生しない程度の低レベルの電圧を電極針に印加する例を示す。
【図１６】実施例の除電装置に圧縮空気を供給する外部配管に開閉弁又は開度調整弁を介装し、除電装置の制御に用いた内部信号によって生成した出力信号を開閉弁又は開度調整弁に供給して除電装置に供給する圧縮空気を制御する例を説明するための図である。
【図１７】帯電体の出現により休止期間中に除電動作を開始及び終了させるのに、これに同期して除電装置内部で内部信号が生成されることを説明する図である。
【図１８】休止モードの休止期間中に除電装置の内部回路で帯電体を検知したときに除電動作を行う制御例であり、しきい値を使って除電動作を開始し、また、終了させる図８の制御例のフローチャートである。
【図１９】休止モードの休止期間中に除電装置の内部回路で帯電体を検知したときに除電動作を行う制御例であり、しきい値を使って除電動作を開始し、そしてタイマを使って終了させる図９の制御例のフローチャートである。
【図２０】休止モードの休止期間中に除電装置の内部回路で帯電体を検知したときに除電動作を行う制御例であり、しきい値を使って除電動作を開始し、そしてタイマを使って終了させると共にタイマ時間を調整する図１０の制御例のフローチャートである。
【図２１】休止モードの休止期間中に除電装置の内部回路で帯電体を検知したときに除電動作を行う制御例であり、しきい値を使って除電動作を開始し、そしてタイマを使って終了させると共にタイマ時間を調整する図１１の制御例のフローチャートである。
【図２２】実施例の除電装置に含まれるイオンバランス制御の具体的な手法を説明するための図であり、（イ）はイオンバランスがプラス側に偏倚したときの制御例であり、（ロ）はイオンバランスがマイナス側に偏倚したときの制御例である。
【図２３】実施例の除電装置に含まれるイオンバランス制御の具体的な手法を説明するための図であり、イオンバランスの偏倚に相当する値でプラス／マイナスの高電圧の平均値を変化させる制御例を示す図である。  図である。
【図２４】イオン発生期間と休止期間を含む休止モードを実行する除電装置のイオンバランス制御において、休止期間中は電極針に印加する電圧値のサンプリングを停止する制御例の一例を示すフローチャートである。
【図２５】図２４においてイオン発生期間中サンプリングしたデータをメモリに保存する場合に、デジタル処理により休止期間中はメモリへの転送をキャンセルしてもよいことを説明するための図である。
【符号の説明】
【００５９】
１      直流電源
２ａ    スイッチ
２ｂ    スイッチ
３      制御ユニット
４      電極針
５      正極の高電圧発生回路
５ａ    トランス
５ｂ    倍電圧整流回路
６      負極の高電圧発生回路
６ａ    トランス
６ｂ    倍電圧整流回路
７      増幅器
８      アナログ/デジタル変換器
９      ローパスフィルタ
１００    除電装置
１２    電極ユニット
１３    外部配管
１４    弁
Ｒ２      第２抵抗
【図１】
2008159273.tif 000003
【図２】
2008159273.tif 000004
【図３】
2008159273.tif 000005
【図４】
2008159273.tif 000006
【図５】
2008159273.tif 000007
【図６】
2008159273.tif 000008
【図７】
2008159273.tif 000009
【図８】
2008159273.tif 000010
【図９】
2008159273.tif 000011
【図１０】
2008159273.tif 000012
【図１１】
2008159273.tif 000013
【図１２】
2008159273.tif 000014
【図１３】
2008159273.tif 000015
【図１４】
2008159273.tif 000016
【図１５】
2008159273.tif 000017
【図１６】
2008159273.tif 000018
【図１７】
2008159273.tif 000019
【図１８】
2008159273.tif 000020
【図１９】
2008159273.tif 000021
【図２０】
2008159273.tif 000022
【図２１】
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【図２２】
2008159273.tif 000024
【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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