(57)【要約】【課題】検査時間の短縮化が図れ、かつ、任意の位置で位置補正して、常に顕微鏡と透過照明部との光軸を一致させ、しかも顕微鏡による観察時における照度の均一性を保つ。【解決手段】基板Ａを基板ステージ２によってＹ方向へ移動させつつ、顕微鏡４を門型アーム３によってＸ方向へ移動させるとともに、顕微鏡の移動に同期させて透過照明部６を透過照明部移動機構５によってＸ方向へ移動させるとき、予め記憶部１４に記憶させた補正データに基づき、制御部１３によって微調整用ステージ７を駆動させて透過照明部を、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向へ移動させる。これにより、顕微鏡と透過照明部の光軸を一致させ、しかもそれらの焦点を一致させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象である基板を該基板の表面に沿うＹ方向へ移動させるＹ軸ステージと、
前記基板を観察する顕微鏡を、前記基板の表面に沿いかつ前記Ｙ方向と直交するＸ方向へ移動させる第１Ｘ軸ステージと、
該第１Ｘ軸ステージと平行に配置され、透過照明部をＸ方向へ移動させる第２Ｘ軸ステージと、
前記第１Ｘ軸ステージと第２Ｘ軸ステージのいずれかに設置され、前記第１Ｘ軸ステージに設置された場合には前記顕微鏡を、または第２Ｘ軸ステージに設置された場合には前記透過照明部を、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向へ移動調整する微調整用ステージと、
前記基板をＹ軸ステージによってＹ方向へ移動させつつ、前記顕微鏡を第１Ｘ軸ステージによってＸ方向へ移動させるとともに、該顕微鏡の移動に同期させて前記透過照明部を前記第２Ｘ軸ステージによってＸ方向へ移動させるとき前記顕微鏡と透過照明部の光軸および焦点が一致するように予め記憶させた補正データに基づいて、微調整用ステージを駆動させて前記顕微鏡または前記透過照明部を、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向へ移動させる制御部と、
を備えることを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】
検査対象である基板を該基板の表面に沿うＹ方向へ移動させるＹ軸ステージと、
前記基板を観察する顕微鏡を、前記基板の表面に沿いかつ前記Ｙ方向と直交するＸ方向へ移動させる第１Ｘ軸ステージと、
該第１Ｘ軸ステージと平行に配置され、透過照明部を前記顕微鏡のＸ方向の移動と同期してＸ方向へ移動させる第２Ｘ軸ステージと、
前記第１Ｘ軸ステージと第２Ｘ軸ステージのいずれかに設置され、前記Ｘ軸ステージに設置された場合には前記顕微鏡を、または第２Ｘ軸ステージに設置された場合には前記透過照明部を、Ｙ方向およびＺ方向へ移動調整する微調整用ステージと、
前記基板をＹ軸ステージによってＹ方向へ移動させつつ、前記顕微鏡を第１Ｘ軸ステージによってＸ方向へ移動させるとともに、該顕微鏡の移動に同期させて前記透過照明部を前記第２Ｘ軸ステージによって移動させるとき前記顕微鏡と透過照明部の光軸および焦点が一致するよう予め記憶させた補正データに基づいて、微調整用ステージを駆動させて前記顕微鏡または前記透過照明部をＹ方向およびＺ方向へ移動させるとともに、第１または第２Ｘ軸ステージを駆動させて、前記顕微鏡または前記透過照明部をＸ方向へ移動させる制御部と、
を備えることを特徴とする基板検査装置。
【請求項３】
検査対象である基板を該基板の表面に沿うＹ方向へ移動させるＹ軸ステージと、
前記基板を観察する顕微鏡を、前記基板の表面に沿いかつ前記Ｙ方向と直交するＸ方向へ移動させる第１Ｘ軸ステージと、
該第１Ｘ軸ステージと平行に配置され、透過照明部を前記顕微鏡のＸ方向の移動と同期してＸ方向へ移動させる第２Ｘ軸ステージと、
前記第１Ｘ軸ステージと第２Ｘ軸ステージのいずれかに設置され、前記第１Ｘ軸ステージに設置された場合には顕微鏡を、または第２Ｘ軸ステージに設置された場合には前記透過照明部を、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向へ移動調整する微調整用ステージと、
該微調整用ステージを制御する制御部とを備える基板検査装置を用いた基板検査方法であって、
前記顕微鏡を前記第１Ｘ軸ステージによって移動させるとともに、前記透過照明部を前記第２Ｘ軸ステージによって前記顕微鏡と同期して移動させるとき、前記顕微鏡と前記透過照明部との相対位置を求め、その差を記憶部に補正データとして予め記憶しておき、
前記基板をＹ軸ステージによってＹ方向へ移動させつつ、前記顕微鏡を第１Ｘ軸ステージによってＸ方向へ移動させるとともに、該顕微鏡の移動に同期させて前記透過照明部を前記第２Ｘ軸ステージによって移動させて、前記基板を前記顕微鏡により検査するときに、前記顕微鏡と透過照明部の光軸および焦点が一致するよう、記憶させた前記補正データに基づき前記制御部を介して前記微調整用ステージを駆動させて前記顕微鏡または前記透過照明部を少なくともＹ方向およびＺ方向へ移動させることを特徴とする基板検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等で用いられるガラス基板等の検査に用いられる基板検査装置および基板検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ガラス基板等を顕微鏡を利用して検査する基板検査装置の一例として、検査対象である基板を検査ステージに載せて基板表面に沿ったＹ方向へ移動させつつ、基板を跨ぐ門型ステージに載せた顕微鏡を基板の移動方向（Ｙ方向）と直交するＸ方向へ移動させ、しかも、透過照明部を前記基板を間に挟んで顕微鏡の真下に位置するよう顕微鏡と同期して移動させて、透過照明部によって基板を下側から照射しながら、顕微鏡によって基板を観察・検査する構造のものが知られている。
【０００３】
ところで、顕微鏡を移動させる門型アームや透過照明部を移動させる案内部に取り付けてあるリニアガイドは、すべての領域において直線状でかつ互いに平行であることが理想である。しかしながら、リニアガイドを取り付ける際の取付精度や、リニアガイドの個々の部品精度には限界があり、リニアガイドに多少のうねりやゆがみが生じるのは避けられない。
【０００４】
近年、検査対象である基板がますます大型化する傾向にあり、リニアガイドも必然的に長くなってきている。このため、これまでと同等の取付精度や部品精度であっても、所望の真直度や直交度を得ることができなくなり、結果として、顕微鏡と透過照明部との光軸が一致しなくなる箇所が発生する問題が生じている。また、透過照明部による照明範囲を広くした場合に、その照明範囲内で照度の均一性を保つことが困難となり、任意の位置で同様の照度を得ることは難しいという問題も生じている。このような問題は、特に、厳密な照度合わせ並びに光軸合わせが必要な分光測定においては、検査位置によって測定値がばらつくこととなるため、より重大となる。
【０００５】
このような問題に対処する技術として、例えば、特許文献１には、観察時において、顕微鏡（測光部位）と透過照明部によるスポット照明光の位置とのずれ量を検出し、このずれ量にしたがって透過照明部の位置補正を行う技術が提示されている。
【特許文献１】特開２００２−２６７９３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、前記特許文献１に記載された基板検査装置にあっては、検査を行っているときに、顕微鏡に取り付けた撮像素子から得られる画像を処理することによって逐一位置補正データを作成し、この位置補正データに基づいて透過照明部の位置補正を行うから、データ処理を行う分だけ位置補正に時間がかかり、結果的に検査時間が長くなるという問題があった。
また、Ｚ方向の位置補正については行っておらず、透過照明部と顕微鏡との距離が異なると、照明範囲内で照度の均一性を保つことが困難となることから、測定位置に拘わらず照度の均一性を保つという課題は残されたままであった。
【０００７】
本発明は、上記事情を鑑みなされたもので、検査時間の短縮化が図れ、かつ、任意の位置で位置補正して、常に顕微鏡と透過照明部との光軸および焦点を一致させることができ、しかも顕微鏡による観察時における照度の均一性を保つことができる基板検査装置および基板検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的を達するために、この発明は以下の手段を提供している。
請求項１記載の基板検査装置は、検査対象である基板を該基板の表面に沿うＹ方向へ移動させるＹ軸ステージと、前記基板を観察する顕微鏡を、前記基板の表面に沿いかつ前記Ｙ方向と直交するＸ方向へ移動させる第１Ｘ軸ステージと、該第１Ｘ軸ステージと平行に配置され、透過照明部を前記顕微鏡のＸ方向への移動と同期してＸ方向へ移動させる第２Ｘ軸ステージと、前記第１Ｘ軸ステージと第２Ｘ軸ステージのいずれかに設置され、前記Ｘ軸ステージに設置された場合には前記顕微鏡を、または第２Ｘ軸ステージに設置された場合には前記透過照明部を、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向へ移動調整する微調整用ステージと、前記基板をＹ軸ステージによってＹ方向へ移動させつつ、前記顕微鏡を第１Ｘ軸ステージによってＸ方向へ移動させるとともに、該顕微鏡の移動に同期させて前記透過照明部を前記第２Ｘ軸ステージによって移動させるとき前記顕微鏡と透過照明部の光軸および焦点が一致するよう予め記憶させた補正データに基づいて、微調整用ステージを駆動させて前記顕微鏡または前記透過照明部を、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向へ移動させる制御部と、を備えることを特徴とする。
【０００９】
本発明の基板検査装置によれば、顕微鏡と透過照明部の光軸および焦点が一致するよう、微調整用ステージを駆動させて顕微鏡または透過照明部を移動させるが、このとき、予め記憶させた補正データに基づいて顕微鏡または透過照明部を移動させるから、画像処理等によって逐一位置補正データを作成するための演算を行う必要がなく、速やかな制御が行える。また、Ｘ方向およびＹ方向に限られることなく、Ｚ方向についても位置補正を行うので、検査・測定位置に限られることなく、透過照明部と顕微鏡との距離を一定に保持することができ、これにより、照明範囲内で照度の均一性を保つことができる。
また、例えば、ディスプレイ装置に用いられるカラーフィルタ基板の透過率測定のような分光測定においては、フィルタのマトリックスが微細であることから、顕微鏡と透過照明部のXY方向の精密な位置きめが必要である。それに加えて、透過率（透過光量）の精密な測定のためには、照明の均一性を確保することが必要である。本発明によれば、顕微鏡と透過照明部の光軸と焦点をあわせることにより、これらの要求を満たすことができるので、このような分光測定に特に有効である。
【００１０】
請求項２記載の基板検査装置は、検査対象である基板を該基板の表面に沿うＹ方向へ移動させるＹ軸ステージと、前記基板を観察する顕微鏡を、前記基板の表面に沿いかつ前記Ｙ方向と直交するＸ方向へ移動させる第１Ｘ軸ステージと、該第１Ｘ軸ステージと平行に配置され、透過照明部をＸ方向へ移動させる第２Ｘ軸ステージと、前記第１Ｘ軸ステージと第２Ｘ軸ステージのいずれかに設置され、前記第１Ｘ軸ステージに設置された場合には前記顕微鏡を、または第２Ｘ軸ステージに設置された場合には前記透過照明部を、Ｙ方向およびＺ方向へ移動調整する微調整用ステージと、前記基板をＹ軸ステージによってＹ方向へ移動させつつ、前記顕微鏡を第１Ｘ軸ステージによってＸ方向へ移動させるとともに、該顕微鏡の移動に同期させて前記透過照明部を前記第２Ｘ軸ステージによって移動させるとき前記顕微鏡と透過照明部の光軸および焦点が一致するよう予め記憶させた補正データに基づいて、微調整用ステージを駆動させて前記顕微鏡または前記透過照明部をＹ方向およびＺ方向へ移動させるとともに、第１または第２Ｘ軸ステージを駆動させて、前記顕微鏡または前記透過照明部をＸ方向へ移動させる制御部と、を備えることを特徴とする。
【００１１】
本発明の基板検査装置では、前記請求項１記載の発明と同様な効果を奏する。特に、ここでは、顕微鏡と透過照明部の光軸および焦点が一致するよう、顕微鏡または透過照明部をＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向へ移動させるときに、Ｙ方向およびＺ方向への移動については微調整用ステージを利用し、Ｘ方向への移動については、もともとある第１Ｘ軸ステージまたは第２Ｘ軸ステージを利用している。このように、もともとある第１Ｘ軸ステージまたは第２Ｘ軸ステージを利用してＸ方向の位置補正のための移動を行うから、微調整用ステージにＸ方向に関する移動構成要素は不要となり、請求項１記載の発明に比べて、微調整用ステージの構成の簡素化を図ることができる。
【００１２】
請求項３記載の基板検査方法は、検査対象である基板を該基板の表面に沿うＹ方向へ移動させるＹ軸ステージと、前記基板を観察する顕微鏡を、前記基板の表面に沿いかつ前記Ｙ方向と直交するＸ方向へ移動させる第１Ｘ軸ステージと、該第１Ｘ軸ステージと平行に配置され、透過照明部をＸ方向へ移動させる第２Ｘ軸ステージと、前記第１Ｘ軸ステージと第２Ｘ軸ステージのいずれかに設置され、前記第１Ｘ軸ステージに設置された場合には顕微鏡を、または第２Ｘ軸ステージに設置された場合には前記透過照明部を、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向へ移動調整する微調整用ステージと、該微調整用ステージを制御する制御部とを備える基板検査装置を用いた基板検査方法であって、前記顕微鏡を前記第１Ｘ軸ステージによって移動させるとともに、前記透過照明部を前記第２Ｘ軸ステージによって前記顕微鏡と同期して移動させるとき、前記顕微鏡と前記透過照明部との相対位置を求め、その差を記憶部に補正データとして予め記憶しておき、前記基板をＹ軸ステージによってＹ方向へ移動させつつ、前記顕微鏡を第１Ｘ軸ステージによってＸ方向へ移動させるとともに、該顕微鏡の移動に同期させて前記透過照明部を前記第２Ｘ軸ステージによって移動させて、前記基板を前記顕微鏡により検査するときに前記顕微鏡と透過照明部の光軸および焦点が一致するよう、記憶させた前記補正データに基づき前記制御部を介して前記微調整用ステージを駆動させて前記顕微鏡または前記透過照明部を少なくともＹ方向およびＺ方向へ移動させることを特徴とする。
本発明の基板検査方法では、請求項１記載の発明と同様な効果を奏する。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、顕微鏡と透過照明部の光軸および焦点が一致するよう、微調整用ステージを駆動させて顕微鏡または透過照明部を移動させるが、このとき、予め記憶させた補正データに基づいて顕微鏡または透過照明部を移動させるから、画像処理等によって逐一位置補正データを作成するための演算を行う必要がない。この結果、速やかな位置補正制御が行える。また、Ｘ方向およびＹ方向に限られることなく、Ｚ方向についても位置補正を行うので、検査位置に限られることなく、透過照明部と顕微鏡との距離を一定に保持することができる。これにより、照明範囲内で照度の均一性を保つことができ、特に、厳密な照度合わせ並びに光軸合わせが必要な分光測定において有効である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図面を参照し、本発明の実施形態に係る基板検査装置及び基板検査方法について説明する。
＜第１実施形態＞
図１〜図３は本発明の第１実施形態を示し、図１は装置全体の概略構成を示す斜視図である。図１において符号１は基台である。基台１上には、検査対象である基板Ａを基板表面に沿うＹ方向へ移動させる基板ステージ（Ｙ軸ステージ）２が配置されている。基板ステージ２は、後述する門型アーム３を挟んで左右２つに分かれている。基板ステージ２上には基板Ａが、高圧エアによるエア浮上方式や複数のコロによる直接支持方式によって略水平面に沿うように支持される。基板Ａは、基板ステージ２に付随する基板搬送手段によって例えば一方の側端を把持され、そのままの状態で、該基板搬送手段と一体的にＹ方向へ移動されるようになっている。
【００１５】
基台１には門型アーム３が基板ステージ２上の前記基板Ａを跨ぐように固定されている。門型アーム３は、基板Ａを観察する顕微鏡４を、基板Ａの表面に沿いかつ前記基板Ａの移動方向（Ｙ方向）と直交する方向（Ｘ方向）へ移動可能に支持するものである。
すなわち、門型アーム３は、図示しない駆動手段を内蔵しており、この駆動手段により、門型アーム３に設けられた案内部（リニアガイド）によってＸ方向へ移動可能に支持された顕微鏡４を、任意の位置まで移動させてそこで停止させ得るものである。つまり、駆動手段と案内部は、顕微鏡をX方向へ移動させる顕微鏡移動機構（第１X軸ステージ）を構成している。
【００１６】
また、５は、基台１上に前記門型アーム３に隣接して固定された透過照明部移動機構（第２Ｘ軸ステージ）である。透過照明部移動機構５は、前記門型アーム３と平行となるように配置されて、透過照明部６を、門型アーム３による顕微鏡４のＸ方向への移動と同期してＸ方向へ移動させるものである。
すなわち、透過照明部移動機構５は、図示しない駆動手段を内蔵しており、この駆動手段により、透過照明部移動機構５に設けられた案内部（リニアガイド）によってＸ方向へ移動可能に支持された透過照明部６を、任意の位置まで移動させてそこで停止させ得るものである。
【００１７】
透過照明部移動機構５と透過照明部６との間には、透過照明部６をＸ方向、Ｙ方向、およびそれらＸ方向およびＹ方向に直交するＺ方向へそれぞれ移動調整する微調整用ステージ７が介在されている。
微調整用ステージ７は、透過照明部移動機構５によってＸ方向へ移動される基礎基板８と、図示せぬ駆動手段により基礎基板８上に沿ってＹ方向へ移動されるＹ基板９と、図示せぬ駆動手段によりＹ基板９上に沿ってＸ方向へ移動されるＸ基板１０と、図示せぬ駆動手段によりＸ基板１０に対してＺ方向へ移動されるＺ基板１１とからなっている。そして、Ｚ基板１１に透過照明部６が支持されている。
【００１８】
門型アーム３、透過照明部移動機構５および微調整用ステージ７にそれぞれ内蔵される各駆動手段は制御部１３に電気的に接続されている。制御部１３は、門型アーム３による顕微鏡４の移動に同期させて、透過照明部６を透過照明部移動機構５によって移動させるとき、顕微鏡４と透過照明部６の光軸が一致するようにかつそれらの焦点位置が一致するように、予め記憶部１４に記憶させた補正データに基づいて、微調整用ステージの各駆動手段を駆動させて透過照明部６を、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向へ移動させるものである。
【００１９】
次に、上記構成の基板検査装置を用いた基板検査方法について説明する。
顕微鏡４による観察・検査を行う前に、顕微鏡４および透過照明部６を同期させながらＸ方向へ移動させるときに、それらのＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向の相対的なずれ量を求める。
【００２０】
すなわち、初期位置から門型アーム３を介して顕微鏡４をＸ方向へ例えば、１００ｍｍ、２００ｍｍ、３００ｍｍ、…と１００ｍｍ置きに移動させる。これと同時に、透過照明部移動機構５により透過照明部６も１００ｍｍ置きにＸ方向へ移動させる。
【００２１】
このとき、基板Ａの大型化に伴い、門型アーム３および透過照明部移動機構５による顕微鏡４等の移動距離が長くなる傾向にあるため、それら門型アーム３等の取付精度や部品精度に起因して、門型アーム３の顕微鏡４案内部と透過照明部移動機構５の透過照明部６の案内部とを平行に保つことが困難になる。この結果、図２（ａ）に示すように、門型アーム３によって支持される顕微鏡４の光軸４Ａと透過照明部移動機構５により支持される透過照明部６の光軸６Ａとにずれが生じる。
【００２２】
そこで、顕微鏡４の光軸４Ａと透過照明部６の光軸６Ａとを一致させるよう、微調整用ステージ７を介して透過照明部６をＸ方向およびＹ方向へ移動させる。このときの微調整用ステージ７による移動量、つまりＸ方向（１０μｍ、−３４μｍ、５μｍ、４５μｍ、…）およびＹ方向（２３μｍ、６μｍ、１２３μｍ、−６７μｍ、…）に分けた補正量を求め、それらを記憶部１４に補正データとして記憶する。
【００２３】
また、同様に、顕微鏡４と透過照明部６の焦点方向においても、図２ｂに示すように、顕微鏡のＺ方向軌跡と透過照明部６のＺ方向軌跡とにずれが生じる。このため、顕微鏡４の対物レンズ４Ｂと透過照明部６の集光レンズ６Ｂとの焦点位置が常に一致するように（対物レンズ４Ｂと集光レンズ６Ｂの距離（図２ｂの各矢印の長さ）が一定となるように）、微調整用ステージ７を介して透過照明部６をＺ方向へ移動させ、このときの補正量（１２３μｍ、−４５６μｍ、５６μｍ、―７８μｍ、…）を記憶部１４に補正データとして記憶する。
これらＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向のそれぞれの補正量をまとめたものが、図３に示すマッピングデータである。
なお、記憶部１４に記憶するこのマッピングデータは、検査ロットが変わる都度新たに求めて更新してもよく、また、所定期間置き、例えば１週間置きあるいは２週間置きに求めて更新してもよい。
【００２４】
顕微鏡４により基板Ａを観察・検査するときには、マクロ検査等の事前検査によって、基板Ａに対し欠陥の可能性のある箇所が座標の形で予め求められており、この欠陥可能性位置に顕微鏡４の観察領域が至るように、基板ステージ２により基板ＡをＹ方向へ所定量
移動させ、また、門型アーム３によって顕微鏡４をＸ方向へ所定量移動させる。このとき、顕微鏡４の移動に同期して、透過照明部移動機構５により、透過照明部６もＸ方向へ所定量移動させる。
【００２５】
ここで、予め記憶部１４に記憶しているマッピングデータから、顕微鏡４の初期位置から欠陥可能性位置までの目標移動量に対応する補正量を求め、この補正量に基づき、微調整用ステージ７を介して透過照明部６を、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向へそれぞれ移動させる。
なお、目標移動量に対応する補正量がマッピングデータにない場合には、その前後のマッピングデータを用いて線形補正を行うことで推定補正量を求め、この推定補正量に基づき透過照明部６を移動させる。
【００２６】
このように、記憶部１４に記憶しているマッピングデータから透過照明部６の目標移動量に対応する補正量を求め、この補正量に基づき、微調整用ステージ７を介して透過照明部６を、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向へ移動させるので、顕微鏡４がいかなる位置にあっても、顕微鏡４と透過照明部６の光軸および焦点を一致させることができ、顕微鏡４による精密な観察、並びに分光測定（カラーフィルタの透過率測定）のような光学測定を行うことができる。
またこのとき、予め記憶部１４に記憶させた補正データに基づいて透過照明部６を移動させるから、画像処理等によって逐一位置補正データを作成するための演算を行う必要がなく、この結果、速やかな位置補正制御が行える。
＜第２実施形態＞
【００２７】
図４は、本発明の第２実施形態を示す。
なお、説明の便宜上、この第２実施形態の構成要素のうち、前記第１実施形態の構成要素と同一構成要素については同一符号を付してその説明を省略する。
【００２８】
この第２実施形態が前記第１実施形態と異なるところは、微調整用ステージ２０が、透過照明部６をＹ方向およびＺ方向へのみ移動調整可能であって、Ｘ方向への移動調整機能がない点である。
すなわち、微調整用ステージ２０は、図示せぬ駆動手段により透過照明部移動機構５に沿ってＸ方向へ移動される基礎基板２１と、図示せぬ駆動手段により基礎基板２１上に沿ってＹ方向へ移動されるＹ基板２２と、図示せぬ駆動手段によりＹ基板２２に対してＺ方向へ移動されるＺ基板２３とからなっており、このＺ基板２３に透過照明部６が支持されている。  
【００２９】
この第２実施形態において、透過照明部６のＸ方向の補正量調整は、Ｘ方向の移動要素を有する透過照明部移動機構５によって行う。なお、これに限られることなく、透過照明部移動機構５によるＸ方向の補正量調整は行わず、逆に、門型アーム３によって顕微鏡４を移動させることにより、補正量調整を行っても良い。
第２実施形態においても、前述の第１実施形態と同様、顕微鏡４と透過照明部６の光軸および焦点をそれぞれ一致させることができる効果を奏する。また、この第２実施形態では、上記効果の加えて、微調整用ステージ２０の構成の簡素化並びに部品点数を少なくすることができ、しかも、Ｘ方向へ移動に関する制御の簡素化も図ることができる効果を奏する。
なお、顕微鏡４および透過照明部６がそれぞれXYステージに搭載され、ホルダ上に固定された基板上を移動可能なXYガントリーステージにおいても、可動範囲における同様のマッピング・データを予め持つことにより、同様の効果を得ることができる。
【００３０】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。  
例えば、前記第１実施形態では、顕微鏡４と透過照明部６の光軸および焦点を一致させるにあたり、顕微鏡４を固定し、透過照明部６を微調整用ステージ７によりＸ方向、Ｙ方向、およびＺ方向に移動させているが、これに限られることなく、逆に、透過照明部６を固定し、門型アームに設けた微調整用ステージにより顕微鏡４をＸ方向、Ｙ方向、およびＺ方向に移動させてもよい。
また、検査対象物である基板Ａの表面に対する顕微鏡４の焦点位置のずれ量を自動焦点機構により求め、これを透過照明部６のＺ方向補正量に加算する構成にすれば、任意の位置で、顕微鏡４と透過照明部６の焦点を一致させる（顕微鏡４と透過照明部６との距離を一定に保つ）ことがに加えて、検査対象物（基板Ａ）に焦点を合わせることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の第１実施形態の基板搬送装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】同基板搬送装置によるマッピングデータの取得方法を示すもので、（ａ）はＸ方向およびＹ方向のデータの取得方法を示す図、（ｂ）はＺ方向のデータの取得方法を表す図である。
【図３】同基板搬送装置によるマッピングデータの一例を示す図である。
【図４】本発明の第２実施形態の基板搬送装置の概略構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００３２】
Ａ  基板
１  基台
２  基板ステージ（第１Ｘ軸ステージ）
３  門型アーム（Ｙ軸ステージ）
４  顕微鏡
５  透明照明部移動機構（第２Ｘ軸ステージ）
６  透過照明部
７  微調整用ステージ
１３  制御部
１４  記憶部
【図１】
2008082703.tif 000003
【図２】
2008082703.tif 000004
【図３】
2008082703.tif 000005
【図４】
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