(57)【要約】【課題】コンパクトでかつ幅広いフィルタ圧損に対応できるファンフィルターユニットを提供する事を目的としている。【解決手段】本発明は、ファンとモーターのファンユニットをチャンバーに内蔵し、前記チャンバーの下流側にフィルタを配設したファンフィルタユニットであって、遠心送風機を用いたファンユニット複数個を気流方向に対し直列に配置し、ファンユニット間に気流調整板を配置し、これらを前記チャンバーに内蔵した構造を特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
遠心送風機を用いたファンとモーターのファンユニットをチャンバーに内蔵し、前記チャンバーの下流側にフィルタを配設したファンフィルターユニットであって、ファンユニット複数個を気流方向に対し直列に配置し、ファンユニット間に気流調整板を配置し、これらを前記チャンバーに内蔵した構造を特徴とするファンフィルターユニット。
【請求項２】
複数個のファンユニットをそれぞれ別々のチャンバーに内蔵し、それぞれチャンバーを気流方向に対し直列に重ね、最下流側チャンバーの吹出し側にフィルタを配設し、それ以外のチャンバーの風下側に気流調整板を配設してなるファンフィルターユニット。
【請求項３】
重ねられたチャンバー同士は、１辺あるいは１箇所でヒンジによって結合した開閉機構を設けたことを特徴とする請求項２記載のファンフィルターユニット。
【請求項４】
気流調整板は、遠心送風機の直径と略同径の円盤状の板であり、ファンユニットの下流側にファンユニットの軸上に気流調整板の中心を配置するように設けたことを特徴とする請求項１〜３いずれかに記載のファンフィルターユニット。
【請求項５】
気流調整板は、パンチング材を用いたことを特徴とする請求項４記載のファンフィルターユニット。
【請求項６】
パンチング材を用いた気流調整板は、中心部に比べて周縁部の開口率が低いことを特徴とする請求項５記載のファンフィルターユニット。
【請求項７】
気流調整板に固定翼を設けたことを特徴とする請求項１〜６いずれかに記載のファンフィルターユニット。
【請求項８】
固定翼として数枚のブレードをファンを中心に放射状に固定配置し、下流側のファン吸込み口に気流を誘導することを特徴とする請求項７記載のファンフィルターユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体工場、食品工場などの清浄空間を必要とするクリーンルームで使用されるファンフィルターユニットの構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のファンフィルターユニット内蔵ファンには様々なタイプがあり、ファンタイプは高圧型、大風量型など用途により使い分けられている。
【０００３】
大きな風量を必要とする場合には、ファンを複数台並列に配置して大風量化を図る機器がある（例えば、特許文献１）。
【特許文献１】特開平９−３８４４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような従来のファンフィルターユニット構造では並列に配置すると設置面積が大きくなるという課題がある。
【０００５】
また、最近ファンフィルターユニットにケミカルフィルタを取り付けることが多くなり幅広いフィルタ圧損に対応することが要求されている。
【０００６】
本発明は、このような従来のファンフィルターユニットの課題を解決するものであり、コンパクトでかつ幅広いフィルタ圧損に対応できるファンフィルターユニットを提供する事を目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のファンフィルターユニットは、上記目的を達成するために、遠心送風機を用いたファンとモーターのファンユニットをチャンバーに内蔵し、前記チャンバーの下流側にフィルタを配設したファンフィルタユニットであって、ファンユニット複数個を気流方向に対し直列に配置し、ファンユニット間に気流調整板を配置し、これらを前記チャンバーに内蔵した構造を特徴とするファンフィルタユニットである。
【０００８】
この手段によりコンパクトでかつ幅広いフィルタ圧損に対応できるファンフィルターユニットが得られる。
【０００９】
また、ほかの手段は、複数個のファンユニットをそれぞれ別々のチャンバーに内蔵し、それぞれのチャンバーを気流方向に対し直列に重ね、最下流側チャンバーの吹出し面にフィルタを配設し、それ以外のチャンバーの風下側に気流調整板を配設したことを特徴とするファンフィルタユニットである。
【００１０】
この手段によりメンテナンス性に優れコンパクトでかつ幅広いフィルタ圧損に対応できるファンフィルターユニットが得られる。
【００１１】
また、ほかの手段は、重ねられたチャンバー同士は、１辺あるいは１箇所でヒンジによって結合した開閉機構を設けたことを特徴とするファンフィルタユニットである。
【００１２】
この手段によりメンテナンス性に優れコンパクトでかつ幅広いフィルタ圧損に対応できるファンフィルターユニットが得られる。
【００１３】
また、ほかの手段は、気流調整板は、遠心送風機の直径と略同径の円盤状の板であり、ファンユニットの下流側にファンユニットの軸上に気流調整板の中心を配置するように設けたことを特徴とするファンフィルターユニットである。
【００１４】
この手段により高校率でかつ幅広いフィルタ圧損に対応できるファンフィルターユニットが得られる。
【００１５】
また、ほかの手段は、気流調整板にパンチング材を用いたことを特徴とするファンフィルターユニットである。
【００１６】
この手段により高効率でかつ幅広いフィルタ圧損に対応できるファンフィルターユニットが得られる。
【００１７】
また、ほかの手段は、パンチング材を用いた気流調整板は、中心部に比べて周縁部の開口率が低いことを特徴とするファンフィルターユニットである。
【００１８】
この手段により高効率でかつ幅広いフィルタ圧損に対応できるファンフィルターユニットが得られる。
【００１９】
また、ほかの手段は、気流調整板に固定翼を設けたことを特徴とするファンフィルタユニットである。
【００２０】
この手段により高効率でかつ幅広いフィルタ圧損に対応できるファンフィルターユニットが得られる。
【００２１】
また、ほかの手段は、固定翼として数枚のブレードをファンを中心に放射状に固定配置し、下流側のファン吸込み口に気流を誘導することを特徴とするファンフィルタユニットである。
【００２２】
この手段により高効率でかつ幅広いフィルタ圧損に対応できるファンフィルターユニットが得られる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、コンパクトでかつ幅広いフィルタ圧損に対応できるという効果が得られる。
【００２４】
また、開閉機構を設けた構造によりメンテナンス性に優れたファンフィルターユニットが得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
本発明の請求項１記載の発明は、遠心送風機を用いたファンとモーターのファンユニットをチャンバーに内蔵し、前記チャンバーの下流側にフィルタを配設したファンフィルタユニットであって、ファンユニット複数個を気流方向に対し直列に配置し、ファンユニット間に気流調整板を配置し、これらを前記チャンバーに内蔵した構造を特徴とするファンフィルタユニットであり、コンパクトでかつ幅広いフィルタ圧損に対応できるという作用を有する。
【００２６】
本発明の請求項２記載の発明は、複数個のファンユニットをそれぞれ別々のチャンバーに内蔵し、それぞれのチャンバーを気流方向に対し直列に重ね、最下流側チャンバーの吹出し面にフィルタを配設し、それ以外のチャンバーの風下側に気流調整板を配設した構造を特徴とするファンフィルタユニットであり、メンテナンス性に優れコンパクトでかつ幅広いフィルタ圧損に対応できるという作用を有する。
【００２７】
本発明の請求項３記載の発明は、重ねられたチャンバー同士は、１辺あるいは１箇所でヒンジによって結合した開閉機構を設けた構造を特徴とするファンフィルタユニットであり、メンテナンス性に優れコンパクトでかつ幅広いフィルタ圧損に対応できるという作用を有する。
【００２８】
本発明の請求項４記載の発明は、気流調整板は、遠心送風機の直径と略同径の円盤状の板であり、ファンユニットの下流側にファンユニットの軸上に気流調整板の中心を配置するように設けた構造を特徴とするファンフィルタユニットであり、高効率でかつ幅広いフィルタ圧損に対応できるという作用を有する。
【００２９】
本発明の請求項５記載の発明は、気流調整板にパンチング材を用いた構造構造を特徴とするファンフィルタユニットであり、高効率でかつ幅広いフィルタ圧損に対応できるという作用を有する。
【００３０】
本発明の請求項６記載の発明は、パンチング材を用いた気流調整板は、中心部に比べて周縁部の開口率が低いという構造を特徴とするファンフィルタユニットであり、高効率でかつ幅広いフィルタ圧損に対応できるという作用を有する。
【００３１】
本発明の請求項７記載の発明は、気流調整板に固定翼を設けた構造を特徴とするファンフィルタユニットであり、高効率でかつ幅広いフィルタ圧損に対応できるという作用を有する。
【００３２】
本発明の請求項８記載の発明は、固定翼として数枚のブレードをファンを中心に放射状に固定配置し、下流側のファン吸込み口に気流を誘導する構造を特徴とするファンフィルタユニットであり、高効率でかつ幅広いフィルタ圧損に対応できるという作用を有する。
【００３３】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００３４】
（実施の形態１）
図１に示すように、風の流れに沿って、吸い込み口１、ファン２とモーター３よりなるファンユニット４、気流調整板５、ファン６とモーター７よりなるファンユニット８、これらを一つのチャンバー９に収納し、さらに風下にケミカルフィルタ１０、塵埃除去フィルタ１１が配置されている。
【００３５】
上記構成においてファンユニット４とファンユニット８を同時に運転すると、それぞれのファンの圧力が合算されて高圧となる。その際気流調整板５が気流の流れを分離し、ファン２とファン６相互の気流干渉を防止することとなる。
【００３６】
（実施の形態２）
図２に示すように、ファンユニット４および気流調整板５は、チャンバーＡ１２に収納され、ファンユニット８はチャンバーＢ１３に別々に収納されている。チャンバーＡ１２とチャンバーＢ１３は直列に配置される。すなわち、チャンバーＡ１２の吹出し側とチャンバーＢ１３の吸込み側が接するように配置される。
【００３７】
上記のように、ファン機外静圧の増加時には、チャンバーＡ１２のようなファンユニット４と気流調整板５を供えたチャンバーを直列に追加していくことによって、容易に対応することができる。
【００３８】
また、図３に示すように、チャンバーＡ１２とチャンバーＢ１３とは、接する面の１辺をヒンジ１４で結合することによって、チャンバーＡ１２を開閉する構成とする。このような構成によれば、チャンバーＡ１２を開閉することによってファンユニット４、８のメンテナンスを簡単に行うことができるようになる。
【００３９】
（実施の形態４）
図４に示すようにファンユニット４と、ファンユニット８の間に円盤状調整板１５が配置されている。
【００４０】
上記構成において、ファンユニット４の気流が放射状に均一に広がり円盤端部から均一にファンユニット８の吸込口に集まり、高効率かつ幅広いフィルタ圧損に対応することができる。
【００４１】
（実施の形態５）
図５に示すようにファンユニット４と、ファンユニット８の間の気流調整板にパンチング材１６を用いたものである。
【００４２】
上記構成において、ファンユニット４とファンユニット８の間に適切な空気抵抗を持ったパンチング材を配置することにより気流が均等に流れ、高効率でかつ幅広いフィルタ圧損に対応することができる。
【００４３】
（実施の形態６）
図６に示すように異型パンチング材１７は、場所によりパンチング穴径および配置を変えている。
【００４４】
上記構成において、気流速度に応じてパンチング開口率を適切に変化させることにより、高効率でかつ幅広いフィルタ圧損に対応することができる。
【００４５】
（実施の形態７）
図７に示すようにファンユニット４と、ファンユニット８の間の気流調整板５に固定翼１８が配置されている。
【００４６】
上記構成において、固定翼が乱流を防ぎ、高効率でかつ幅広いフィルタ圧損に対応することができる。
【００４７】
（実施の形態８）
図８に示すように固定静翼１９がファンを中心に放射状に固定配置されている。
【００４８】
上記構成において、固定静翼が乱流を防ぐと共に効率的に気流をファンユニット８に導き、高効率でかつ幅広いフィルタ圧損に対応することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４９】
以上のように本発明によれば、ファンとモーターのファンユニットをチャンバーに内蔵し、前記チャンバーの下流側にフィルタを配設したファンフィルタユニットであって、スクロール無しターボファンを用いたファンユニット複数個を気流方向に対し直列に配置し、ファンユニット間に気流調整板を配置し、これらを前記チャンバーに内蔵した構造を特徴とするファンフィルタユニットの用途に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の実施の形態１の構成を示す正面図
【図２】本発明の実施の形態２の構成を示す正面図
【図３】本発明の実施の形態３の構成を示す正面図
【図４】本発明の実施の形態４の構成を示す正面図
【図５】本発明の実施の形態５の構成を示す正面図
【図６】本発明の実施の形態５の構成を示す平面図
【図７】本発明の実施の形態５の構成を示す正面図
【図８】本発明の実施の形態５の構成を示す平面図
【符号の説明】
【００５１】
１    吸い込み口
２    ファン
３    モーター
４    ファンユニット
５    気流調整板
６    ファン
７    モーター
８    ファンユニット
９    チャンバー
１０  ケミカルフィルタ
１１  塵埃除去フィルタ
１２  チャンバーＡ
１３  チャンバーＢ
１４  ヒンジ
１５  円盤状調整板
１６  パンチング材
１７  異型パンチング材
１８  固定翼
１９  固定静翼
【図１】
2008256266.tif 000003
【図２】
2008256266.tif 000004
【図３】
2008256266.tif 000005
【図４】
2008256266.tif 000006
【図５】
2008256266.tif 000007
【図６】
2008256266.tif 000008
【図７】
2008256266.tif 000009
【図８】
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