(57)【要約】【課題】冷却ロールを用いて非晶質合金薄帯を製造する際、製造中、冷却ロールの円周面を、オンラインで、冷却ロールの幅方向において研磨し、長時間にわたり、健全な状態に維持して、磁気特性に優れた非晶質合金薄帯を量産する。【解決手段】溶融合金を、高速回転中の冷却ロールの円周面に噴射し、急冷凝固させて非晶質合金薄帯を製造する方法において、薄帯の製造中、非晶質合金薄帯を剥離した後の冷却ロールの円周面を研磨する際、冷却ロールの幅方向に、研磨特性に分布をもたせて研磨する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
溶融合金を、高速回転中の冷却ロールの円周面に噴射し、急冷凝固させて非晶質合金薄帯を製造する方法において、薄帯の製造中、非晶質合金薄帯を剥離した後の冷却ロールの円周面を研磨する際、冷却ロールの幅方向に、研磨特性に分布をもたせて研磨することを特徴とする非晶質合金薄帯の製造方法。
【請求項２】
前記研磨を、連続的又は間欠的に行うことを特徴とする請求項１に記載の非晶質合金薄帯の製造方法。
【請求項３】
前記研磨を、冷却ロールの幅方向に分割し、並列して行うことを特徴とする請求項１又は２に記載の非晶質合金薄帯の製造方法。
【請求項４】
前記研磨の一部又は全部を、冷却ロールの円周方向に、段階的に行うことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の非晶質合金薄帯の製造方法。
【請求項５】
前記研磨特性が、研磨手段の材質、形状、研磨粗さ、硬度、密度（単位面積当りの研磨材の数）、接触面積、押圧力の一つ又は二つ以上であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の非晶質合金薄帯の製造方法。
【請求項６】
前記研磨特性の分布が、冷却ロールの幅方向の表面性状に応じて形成されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の非晶質合金薄帯の製造方法。
【請求項７】
前記研磨を、研磨材で行うことを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の非晶質合金薄帯の製造方法。
【請求項８】
溶融合金を、高速回転中の冷却ロールの円周面に噴射し、急冷凝固させて非晶質合金薄帯を製造する装置において、薄帯の製造中、非晶質合金薄帯を剥離した後の冷却ロールの円周面を研磨するため、製造した薄帯を剥離する位置と溶融合金を噴射する位置の間における冷却ロールの外周に、冷却ロール幅方向に研磨特性の分布を有する研磨手段を配置したことを特徴とする非晶質合金薄帯の製造装置。
【請求項９】
前記研磨手段と、研磨後の冷却ロールの円周面を清浄化する清浄化手段を、この順序で、製造した薄帯を剥離する位置と溶融合金を噴射する位置の間における冷却ロールの外周に配置したことを特徴とする請求項８に記載の非晶質合金薄帯の製造装置。
【請求項１０】
前記研磨手段が、連続的又は間欠的に、冷却ロールの円周面に接触することを特徴とする請求項８又は９に記載の非晶質合金薄帯の製造装置。
【請求項１１】
前記研磨手段が、冷却ロールの幅方向に分割されて配置されていることを特徴とする請求項８〜１０のいずれか１項に記載の非晶質合金薄帯の製造装置。
【請求項１２】
前記研磨手段の一部又は全部が、冷却ロールの円周方向に、段階的に配置されていることを特徴とする請求項８〜１１のいずれか１項に記載の非晶質合金薄帯の製造装置。
【請求項１３】
前記研磨特性が、研磨手段の材質、形状、研磨粗さ、硬度、密度（単位面積当りの研磨材の数）、接触面積、押圧力の一つ又は二つ以上であることを特徴とする請求項８〜１２のいずれか１項に記載の非晶質合金薄帯の製造装置。
【請求項１４】
前記研磨特性の分布が、冷却ロールの幅方向の表面性状に応じて形成されていることを特徴とする請求項８〜１３のいずれか１項に記載の非晶質合金薄帯の製造装置。
【請求項１５】
前記研磨手段が、研磨材であることを特徴とする請求項８〜１４のいずれか１項に記載の非晶質合金薄帯の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、溶融合金を、冷却ロールの表面に噴射し、急冷凝固させて非晶質合金薄帯を製造する方法及び装置、特に、薄帯の製造中、冷却ロールの表面を、オンラインで研磨する方法及び装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
非晶質合金薄帯の製造方法としては、通常、溶融合金を、高速回転している冷却ロールの円周面に噴出し、冷却ロールの抜熱作用で急冷凝固させる方法、即ち、単ロール法が、一般的に採用されている。
【０００３】
単ロール法においては、溶融合金を、１０４〜１０５℃／秒程度の冷却速度で急冷することが必要である。そのため、溶融合金から急速に熱を奪う冷却ロールとして、通常、銅合金等の熱伝導度の大きい金属材料で構成した冷却ロールが用いられている。
【０００４】
非晶質合金薄帯を工業的に製造する場合、溶融合金を冷却ロールで急冷凝固させた後、非晶質合金薄帯を、冷却ロールから剥離しつつ、連続的に巻き取るが、冷却ロールの表面には、溶融合金が直接接触するので、製造が進むにつれ、冷却ロールの表面が、熱履歴や溶融合金の凝固などにより損傷し、冷却ロールの表面粗度が増大したり、冷却ロールの表層部の材質が劣化したりする。
【０００５】
この現象は、非晶質合金薄帯の表面性状、磁気特性等に悪影響を及ぼし、時には、製造中、非晶質合金薄帯の破断を引き起こすこともある。
【０００６】
それ故、非晶質合金薄帯を工業的に製造する場合、冷却ロールの円周面を、長時間にわたり、健全な状態に維持することは、非晶質合金薄帯の生産性だけでなく、その磁気特性を一定に維持するうえで、不可欠のことであり、これまで、冷却ロールの円周面を研磨する提案が、数多くなされている（特許文献１〜１２、参照）。
【０００７】
例えば、特許文献３には、冷却ロール表面を薄帯の長手方向に対して、カップブラシやロータリーブラシを用いて、１５°以上の角度をなす向きに研磨を施す研磨方法が提案されている。
【０００８】
また、特許文献８には、冷却ロール表面粗さを計測するオンライン計測装置を設け、オンライン計測装置の出力に基づいて、研磨又は研削する方法が提案され、特許文献１１には、冷却ロールの表面をブラシロールで研磨し、研磨により発生した研磨粉及びブラシ屑を櫛刃状の鋤き取り装置で除去する方法が提案されている。
【０００９】
しかし、特許文献１〜１２が提案する方法は、全て、非晶質合金薄帯の製造に伴い、冷却ロールの円周面に生じる損傷が、冷却ロールの幅方向においてほぼ同程度であることを前提とするものである。
【００１０】
即ち、上記方法は、冷却ロールの円周面が受ける損傷の程度が、冷却ロールの幅方向において異なる場合、冷却ロールの円周面を、健全な状態にまで研磨することができないものである。
【００１１】
磁気特性に優れた非晶質合金薄帯を工業的に製造する場合、冷却ロールの円周面を、長時間にわたり、常に、健全な状態に維持する必要があり、損傷の程度が、冷却ロールの幅方向において異なる場合でも、冷却ロールの円周面を、常に、健全な状態にまで研磨することができる技術の開発が求められている。
【００１２】
【特許文献１】特開昭５８−０２５８４８号公報
【特許文献２】特開昭５８−０２９５５７号公報
【特許文献３】特開昭６１−２０９７５５号公報
【特許文献４】特開昭６２−１６６０５９号公報
【特許文献５】特開昭６２−１７６６５０号公報
【特許文献６】特開昭６３−０９０３４１号公報
【特許文献７】特開昭６３−０９０３４３号公報
【特許文献８】特開平０３−１６９４６０号公報
【特許文献９】特開平０３−２７５２５２号公報
【特許文献１０】特開平０７−１７８５１６号公報
【特許文献１１】特開平０７−１７８５１７号公報
【特許文献１２】特開平０８−０１９８３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明は、冷却ロールを用いて非晶質合金薄帯を製造する際、製造中、冷却ロールの円周面を、オンラインで、冷却ロールの幅方向において研磨し、長時間にわたり、健全な状態に維持することを課題とし、該課題を解決し、磁気特性に優れた非晶質合金薄帯を量産することができる製造方法及び製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明者は、非晶質合金薄帯の製造中、冷却ロールの円周面を、長時間にわたり、健全な状態に維持する手法を開発するため、冷却ロールの円周面に発生する損傷の態様について、鋭意調査した。
【００１５】
その結果、（ｉ）溶融合金が冷却ロール上で凝固し、収縮する時、冷却ロール表面の微細凹部に食い込んで凝固した凝固部分が、冷却ロール表面を引っ掻いて疵が発生するが、（ii）薄帯の収縮は、薄帯の幅方向の両端部において、最も大きく、（iii）時間の経過とともに、薄帯両端部に当接する冷却ロールの円周面の損傷が、中央部の損傷に比べ大きくなることが判明した。
【００１６】
本発明は、上記知見に基づいてなされたもので、その要旨は以下のとおりである。
【００１７】
（１）  溶融合金を、高速回転中の冷却ロールの円周面に噴射し、急冷凝固させて非晶質合金薄帯を製造する方法において、薄帯の製造中、非晶質合金薄帯を剥離した後の冷却ロールの円周面を研磨する際、冷却ロールの幅方向に、研磨特性に分布をもたせて研磨することを特徴とする非晶質合金薄帯の製造方法。
【００１８】
（２）  前記研磨を、連続的又は間欠的に行うことを特徴とする前記（１）に記載の非晶質合金薄帯の製造方法。
【００１９】
（３）  前記研磨を、冷却ロールの幅方向に分割し、並列して行うことを特徴とする前記（１）又は（２）に記載の非晶質合金薄帯の製造方法。
【００２０】
（４）  前記研磨の一部又は全部を、冷却ロールの円周方向に、段階的に行うことを特徴とする前記（１）〜（３）のいずれかに記載の非晶質合金薄帯の製造方法。
【００２１】
（５）  前記研磨特性が、研磨手段の材質、形状、研磨粗さ、硬度、密度（単位面積当りの研磨材の数）、接触面積、押圧力の一つ又は二つ以上であることを特徴とする前記（１）〜（４）のいずれかに記載の非晶質合金薄帯の製造方法。
【００２２】
（６）  前記研磨特性の分布が、冷却ロールの幅方向の表面性状に応じて形成されていることを特徴とする前記（１）〜（５）のいずれかに記載の非晶質合金薄帯の製造方法。
【００２３】
（７）  前記研磨を、研磨材で行うことを特徴とする前記（１）〜（６）のいずれかに記載の非晶質合金薄帯の製造方法。
【００２４】
（８）  溶融合金を、高速回転中の冷却ロールの円周面に噴射し、急冷凝固させて非晶質合金薄帯を製造する装置において、薄帯の製造中、非晶質合金薄帯を剥離した後の冷却ロールの円周面を研磨するため、製造した薄帯を剥離する位置と溶融合金を噴射する位置の間における冷却ロールの外周に、冷却ロール幅方向に研磨特性の分布を有する研磨手段を配置したことを特徴とする非晶質合金薄帯の製造装置。
【００２５】
（９）  前記研磨手段と、研磨後の冷却ロールの円周面を清浄化する清浄化手段を、この順序で、製造した薄帯を剥離する位置と溶融合金を噴射する位置の間における冷却ロールの外周に配置したことを特徴とする前記（８）に記載の非晶質合金薄帯の製造装置。
【００２６】
（１０）  前記研磨手段が、連続的又は間欠的に、冷却ロールの円周面に接触することを特徴とする前記（８）又は（９）に記載の非晶質合金薄帯の製造装置。
【００２７】
（１１）  前記研磨手段が、冷却ロールの幅方向に分割されて配置されていることを特徴とする前記（８）〜（１０）のいずれかに記載の非晶質合金薄帯の製造装置。
【００２８】
（１２）  前記研磨手段の一部又は全部が、冷却ロールの円周方向に、段階的に配置されていることを特徴とする前記（８）〜（１１）のいずれかに記載の非晶質合金薄帯の製造装置。
【００２９】
（１３）  前記研磨特性が、研磨手段の材質、形状、研磨粗さ、硬度、密度（単位面積当りの研磨材の数）、接触面積、押圧力の一つ又は二つ以上であることを特徴とする前記（８）〜（１２）のいずれかに記載の非晶質合金薄帯の製造装置。
【００３０】
（１４）  前記研磨特性の分布が、冷却ロールの幅方向の表面性状に応じて形成されていることを特徴とする前記（８）〜（１３）のいずれかに記載の非晶質合金薄帯の製造装置。
【００３１】
（１５）  前記研磨手段が、研磨材であることを特徴とする前記（８）〜（１４）のいずれかに記載の非晶質合金薄帯の製造装置。
【発明の効果】
【００３２】
本発明によれば、非晶質合金薄帯の製造中、冷却ロールの幅方向で損傷程度が異なる冷却ロールの円周面を、オンラインで研磨し、長時間にわたり、冷却ロールの幅方向において健全な状態に維持することができ、その結果、磁気特性に優れた非晶質合金薄帯を安定して量産することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
本発明について詳細に説明する。
【００３４】
非晶質合金薄帯の製造に伴い、冷却ロールの円周面に生じる損傷は、非晶質合金薄帯の表面性状及び磁気特性に大きく影響する。そこで、本発明者らは、非晶質合金薄帯の表面性状及び磁気特性に大きく影響する冷却ロールの表面粗度の変化に着目し、損傷の発生態様について調査し、次の知見を得るに至った。
【００３５】
冷却ロールの円周面を研磨しない場合、製造の進行に伴い、図１に示すように、冷却ロールの幅方向における粗度が変化する。
【００３６】
図１は、製造した非晶質合金薄帯毎に、冷却ロール幅方向の粗度変化を調査した結果であるが、具体的には、溶融合金が接触した冷却ロールの円周面において、中央部の粗度に対し、接触端部（薄帯端部）に向かうほど、粗度が大きくなる。
【００３７】
また、中央部と接触端部（薄帯端部）の粗度の差は、非晶質合金薄帯の幅が広くなるほど、大きくなり、非晶質薄帯の幅が５０ｍｍ以上で顕著となる。
【００３８】
そして、本発明者が、この原因を鋭意解析した結果、非晶質合金薄帯の製造の進行に伴い、冷却ロールの円周面の中央部と接触端部（薄帯端部）において、冷却ロールの表面粗度に差が生じ、その差が拡大する現象は、溶融合金の凝固時に生じる冷却ロールの幅方向における熱収縮に起因することが判明した。
【００３９】
即ち、溶融合金が冷却ロールの表面で凝固する際、冷却ロール上で収縮するが、この収縮時、冷却ロール表面の微細な凹部に食い込んで既に凝固した合金が、冷却ロールの中央部に引っ張られて、冷却ロールの表面を引っ掻くことになり、その結果、冷却ロールの表面が損傷を受け、粗くなる。
【００４０】
また、一旦、冷却ロール表面が損傷を受けると、損傷部に溶融合金が食い込み易くなり、冷却ロールの損傷は、製造の進行に伴い、大きくなる。
【００４１】
溶融合金の凝固時の熱収縮は、冷却ロールの幅方向及び長手方向で生じるが、長手方向では、供給する溶融合金の幅がほぼ一定であるので、冷却ロールの長手方向での熱収縮量は等しく、また、溶融合金の長手方向の幅は、数ｍｍ以下と狭いため、熱収縮量も小さく、結果として、熱収縮による冷却ロールの粗面化の程度も、ほぼ同程度となり、また、熱収縮による冷却ロールの粗面化の程度も小さい。
【００４２】
一方、冷却ロールの幅方向においては、接触端部（薄帯端部）の収縮長さは、中央部の収縮長さに比較して長いので、接触端部（薄帯端部）及びその近傍での表面損傷の程度は、中央部に比較し、大きくなる。
【００４３】
本発明者らは、上記現象が、５０ｍｍ幅以上の非晶質合金薄帯を、冷却ロールの円周面を研磨せずに、５分以上継続して製造する場合に顕著に発現することを確認した。
【００４４】
図２に、冷却ロールの円周面を研磨せずに、１０６ｍｍ幅の非晶質合金薄帯を、製造時間を変更して製造した場合における中央部と接触端部（薄帯端部）の冷却ロールの粗度変化を示す。中央部での損傷は、製造時間を長くしても、変化が少ない（図中、△印、参照）のに対し、接触端部（薄帯端部、エッジ部）では、５分以上継続して製造すると、損傷が大きくなり（図中、●印、参照）、薄帯性状、及び、磁気特性が劣化する。
【００４５】
本発明においては、このように、冷却ロールの幅方向において、損傷の程度が異なる冷却ロールの円周面を、幅方向にわたり健全な面に仕上げるため、薄帯の製造中、非晶質合金薄帯を剥離した後の冷却ロールの円周面を研磨する際、冷却ロールの幅方向に、研磨特性に分布をもたせて研磨する。この点が、本発明の特徴である。
【００４６】
本発明について図面に基づいて説明する。図３に、非晶質合金薄帯を製造する単ロール装置の態様例を示す。
【００４７】
図３に示す単ロール装置においては、高速回転している冷却ロール５の円周面に、噴出ノズル３の開口面を接近させ、噴出ノズル３から、タンディッシュ１内の溶融合金２を噴出して、非晶質合金薄帯６を連続的に製造する。
【００４８】
タンディッシュ１内のストッパー４を上げると、溶融合金２は、冷却ロール５の円周面に噴出し、非晶質合金薄帯６の製造が始まり、非晶質合金薄帯６は、巻取りロール７ａに巻き取られる。
【００４９】
図３に示す単ロール装置では、次の巻取りロール７ｂが、非晶質合金薄帯近傍に待機しており、巻取りロール７ａの巻取り量が所定量になったところで、非晶質合金薄帯６は切断され（切断装置は図示せず）、次の巻取りロール７ｂに切り替わる。
【００５０】
所定量の非晶質合金薄帯を巻き取った巻取りロール７ａは、交換装置により（図示せず）、新たな巻取りロールに交換され、その後、カローゼルリール８が回転して、図３の状態で巻取りを継続し、長時間にわたり、非晶質合金薄帯が製造される。
【００５１】
非晶質合金薄帯６を剥離した後の冷却ロール５の円周面を、オンラインで、冷却ロールの円周面に当接した研磨手段９により研磨するが、本発明においては、前述したように、冷却ロールの幅方向に、研磨特性に分布をもたせた研磨手段を使用して研磨する。
【００５２】
研磨特性の分布は、研磨手段の材質、形状、研磨粗さ、硬度、密度（単位面積当たりの研磨材の数）、接触面積、押圧力の一つ又は二つ以上を、冷却ロールの幅方向で適宜調整することにより形成することができる。
【００５３】
図４に、研磨特性に分布を持たせた研磨手段の一態様を示す。研磨手段を中央部と両端部に区分けし、中央部と両端部において、異なる研磨特性を設定する。
【００５４】
前述したように、冷却ロールの幅方向における損傷の程度は、中央部に比べ、接触端部（薄帯端部）及びその近傍で大きいから、研磨手段には、接触端部（薄帯端部）とその近傍を研磨する両端部における研磨能力が、中央部の研磨能力より大きくなるような研磨特性分布をもたせる必要がある。
【００５５】
但し、冷却ロールの表面粗度は、非晶質合金薄帯の特性を劣化させないレベルの表面粗度に抑える必要があり、事前に、実験により、適正な研磨材を決定しておく必要がある。
【００５６】
図４（ａ）は、接触端部（薄帯端部）とその近傍を研磨する両端部における研磨能力を、中央部の研磨能力より大きくするため、研磨手段の密度は同じで、研磨粗さを変えた場合であり（研磨材の研磨番手を変更）、中央部の研磨粗さを細かくし、両端部の研磨粗さを粗くした例である。
【００５７】
図４（ｂ）は、同じく、研磨手段の研磨粗さは同じで、研磨材密度を変えた場合であり、中央部の研磨材密度を小さく（粗に）、両端部の研磨材密度を大きく（密に）した例である。
【００５８】
なお、図４には、中央部と両端部に区分けし、研磨特性に分布をもたせた研磨手段を示したが、区分け幅は、冷却ロールの幅方向における損傷程度に応じて定めればよく、また、研磨特性の分布を形成するための区分け自体も、冷却ロールの幅方向における損傷程度に応じて定めればよい。例えば、中央部の区分け幅を比較的狭くし、両端部を２つに区分して、研磨特性の分布を形成してもよい。
【００５９】
研磨手段は、研磨特性に分布をもたせることができる形状、材質等で構成したものであればよく、特定の研磨手段に制限されないが、研磨特性を、適宜、調整でき、且つ、研磨特性を長時間維持できる点で、円筒形状のブラシロールが好ましく、研磨材としては、冷却ロールの表面硬度より軟らかく、冷却ロール表面との摩擦に強い材質、例えば、樹脂繊維線材に砥粒を編み込んだものが好ましい。
【００６０】
また、ブラシロール等のロール状の研磨手段を用いる場合は、研磨特性を長時間維持するために回転させることが好ましいが、その場合の回転方向は、冷却ロール回転方向に対して正転、逆転どちらにしてもよく、研磨により発生する研磨屑を吸引するための吸引装置を、ブラシロール近傍に配置すると、より好ましい。
【００６１】
他にも、研磨材としては、入手のし易さから、研磨パッドや、連続的に新しい研磨面が供給できる機構を備えた研磨紙・研磨ベルト等も好ましい。
【００６２】
また、研磨特性の区分け部分で、なだらかに研磨特性を変化させるために、研磨手段を冷却ロール幅方向に揺動させてもよい。
【００６３】
さらに、冷却ロールの円周面をオンラインで円周面の損傷程度を測定し、測定結果に基づいて、研磨手段を、連続的に又は間欠的に、冷却ロールの円周面に接触させてもよい。
【００６４】
図５に、研磨特性に分布を持たせた研磨手段の別の態様を示す。図５に示すように、研磨手段を、冷却ロールの幅方向に分割し、並列に配置してもよい。
【００６５】
図５（ａ）に示す研磨態様は、中央の研磨手段の研磨粗さを細かくし、両端の研磨手段の研磨粗さを粗くし、冷却ロールの幅方向の研磨に、研磨特性の分布をもたせた場合である。
【００６６】
図５（ｂ）に示す研磨態様は、中央の研磨手段の研磨材密度を小さくし、両端の研磨手段の研磨材密度を大きくし、冷却ロールの幅方向の研磨に、研磨特性の分布をもたせた場合である。
【００６７】
また、図５（ｃ）に示す研磨態様は、中央および両端の研磨手段は同じであるが、中央の研磨手段の押圧力を小さくし、両端の研磨手段の押圧力を大きくし、冷却ロールの幅方向の研磨に、研磨特性の分布をもたせた場合である。
【００６８】
なお、研磨手段を分割する場合も、冷却ロールの幅方向における損傷程度に応じて定めればよく、分割態様は、図５に示す３分割に制限されない。
【００６９】
また、研磨手段を分割する場合も、冷却ロールの円周面をオンラインで円周面の損傷程度を測定し、測定結果に基づいて、研磨手段を一体的に、又は、個々の研磨手段を個別に、連続的に又は間欠的に、冷却ロールの円周面に接触させてもよい。
【００７０】
さらに、研磨特性の区分け部分でなだらかに研磨特性を変化させるために、研磨手段を冷却ロール幅方向に揺動させてもよい。
【００７１】
研磨手段を分割して、研磨特性に分布をもたせた場合、研磨手段間の冷却ロール円周面の研磨が不十分になる場合があり、また、幅方向全体でも研磨が不十分になる場合は、図６〜８に示すように、研磨手段９x及び９yを、冷却ロールの円周方向に、一部又は全部を重複するように複数段配置し、研磨を段階的に行ってもよい。
【００７２】
図６（ａ）に示す２段の分割研磨の態様は、中央の研磨手段の研磨粗さを細かくし、両端の研磨手段の研磨粗さを粗くし、冷却ロールの幅方向の研磨に、研磨特性の分布をもたせた場合である。
【００７３】
図６（ｂ）に示す２段の分割研磨態様は、中央の研磨材密度を小さくし、両端の研磨手段の研磨材密度を大きくし、冷却ロールの幅方向の研磨に、研磨特性の分布をもたせた場合である。
【００７４】
図６（ｃ）に示す２段の分割研磨態様は、研磨手段はすべて同じであるが、両端を２段とすることで、両端の接触面積（研磨面積）を大きくし、冷却ロールの幅方向の研磨に、研磨特性の分布をもたせた場合である。
【００７５】
また、図７（ａ）に示す分割研磨態様は、冷却ロールの幅方向に、研磨特性に分布をもたせた図４（ａ）に示す研磨手段を、冷却ロール回転向に複数段（図７（ａ）では、２段の例）設置した場合である。
【００７６】
また、図７（ｂ）に示す分割研磨態様は、冷却ロールの幅方向に、研磨特性に分布をもたせた図４（ａ）に示す研磨手段に次いで、冷却ロール幅方向の表面粗度を均一化するため、幅方向に分布のない研磨手段を冷却ロール回転向に複数個（図７（ｂ）では、２段の例）設置した場合である。
【００７７】
なお、研磨手段を複数段配置する場合も、冷却ロールの幅方向における損傷程度に応じて定めればよく、研磨手段の研磨特性の分布、分割、及び、配置段数は、図６〜８に示す研磨特性の分布、３分割、２段に制限されない。
【００７８】
この場合も、冷却ロールの円周面をオンラインで円周面の損傷程度を測定し、測定結果に基づいて、研磨手段を一体的に、又は、個々の研磨手段を個別に、連続的に又は間欠的に、冷却ロールの円周面に接触させてもよく、研磨特性の区分け部分でなだらかに研磨特性を変化させるために、研磨手段を冷却ロール幅方向に揺動させてもよい。
【００７９】
さらに、本発明においては、図８に示すように、研磨手段の近傍に、研磨後、冷却ロールの円周面に残る微小な研磨屑を除去するために、冷却ロールの円周面を清浄化する装置１０を配置すると、磁気特性に優れた非晶質合金薄帯を安定的に製造するうえで、好ましい。
【００８０】
冷却ロールの円周面を清浄化する装置としては、ガスの吹付け・吸引、布などを直接冷却ロール円周面に押し付ける、研磨材を含まないブラシロールを用いる等を採用することができる。ブラシロールについては、研磨手段と同様に、冷却ロールの表面硬度より軟らかく、冷却ロール表面の摩擦に強い材質、例えば、樹脂繊維線材で構成される円筒形状のブラシロール等が好ましい。
【００８１】
このように、本発明においては、薄帯の製造中、非晶質合金薄帯を分離した後の冷却ロールの円周面を研磨する際、冷却ロールの幅方向に、冷却ロールの損傷程度に応じて、研磨特性に分布をもたせて研磨するので、冷却ロールの円周面を、長時間にわたり、常に、健全な状態に維持することができる。
【実施例】
【００８２】
次に、本発明の実施例について説明するが、実施例の条件は、本発明の実施可能性及び効果を確認するために採用した一条件例であり、本発明は、この一条件例に限定されるものではない。本発明は、本発明の要旨を逸脱せず、本発明の目的を達成する限りにおいて、種々の条件を採用し得るものである。
【００８３】
（実施例）
図３に示す態様の単ロール装置を用い、原子％で、Ｆｅ：８０．５％、Ｓｉ：６．５％、Ｂ：１２％Ｃ：１％のＦｅ系非晶質合金を、冷却ロール直径１１９８ｍｍ、ロール幅２５０ｍｍの冷却ロール表面に、１７０ｍｍ×０．８５ｍｍの矩形スリット状のノズル開口から噴出し、板幅１７０ｍｍ、板厚約３０μｍのＦｅ系非晶質合金薄帯を製造した。なお、製造時の冷却ロール周速は２１ｍ／ｓとした。製造条件を、表１に示す。
【００８４】
【表１】
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【００８５】
研磨手段は、本発明例１では、外径φ１００ｍｍ、長さ２５０ｍｍの樹脂製のブラシロールを用い、図４（ａ）に示すように、研磨特性に分布をもたせ、ブラシロールの中央部５０ｍｍを、研磨粗さ＃１０００とし、両端の１００ｍｍを、研磨粗さ＃５００とした。
【００８６】
また、本発明例２では、２段の分割研磨とし、図６（ａ）に示すように、研磨特性に分布をもたせ、１段目の中央に、外径φ１００ｍｍ、長さ１００ｍｍ、研磨粗さ＃１０００の樹脂製のブラシロールを用い、２段目の両端に、外径φ１００ｍｍ、長さ１００ｍｍ、研磨粗さ＃５００の樹脂製のブラシロールを用いた。
【００８７】
１段目と２段目のブラシは、冷却ロール端より７５ｍｍ〜１００ｍｍの間で重複しており、重複部での１段目と２段目のブラシの間隔は５０ｍｍとした。
【００８８】
本発明例３も、２段の分割研磨で、図６（ｃ）に示すように、研磨特性に分布をもたせ、１段目の両端に、外形φ１００ｍｍ、長さ１００ｍｍ、研磨粗さ＃１０００の樹脂製のブラシロールを用い、２段目に、外径φ１００ｍｍ、長さ２５０ｍｍ、研磨粗さ＃１０００の樹脂製のブラシロールを用いた。なお、１段目と２段目のブラシの間隔は５０ｍｍとした。
【００８９】
また、本発明例４は、２段の研磨で、図７（ｂ）に示すように、研磨特性に分布をもたせ、１段目に、中央部５０ｍｍを研磨粗さ＃１０００とし、両端部の１００ｍｍを研磨粗さ＃５００とした、外径φ１００ｍｍ、長さ２５０ｍｍの樹脂製のブラシロールを用い、２段目に、連続的に新しい研磨面が供給できる機構を備えた、幅２５０ｍｍ、研磨粗さ＃１０００の研磨紙を用い、１段目と２段目の研磨手段の間隔は２００ｍｍとした。
【００９０】
なお、本発明例１〜４で用いたブラシロールの密度は、いずれも同じとした。
【００９１】
比較例として、比較例１では、冷却ロール幅方向で研磨特性が同一の、外径φ１００ｍｍ、長さ２５０ｍｍ、研磨粗さ＃１０００の樹脂製のブラシロールを用いた。また、比較例２では、連続的に新しい研磨面が供給できる機構を備えた、幅２５０ｍｍ、研磨粗さ＃１０００の研磨紙を用いた。
【００９２】
製造した非晶質薄帯の製造終了位置からサンプルを採取し、板幅方向に分割して磁気特性を測定し、中央部と薄帯端部の磁気特性を比較した。磁気特性は、採取したＦｅ系非晶質合金薄帯サンプル（幅２５ｍｍ×長さ１２０ｍｍ）につき、３６０℃×１時間の熱処理の後、ＳＳＴ（Single Sheet Tester）装置で、鉄損（１．３Ｔ、５０Ｈｚ）を測定した。その結果を、表１に併せて示す。
【００９３】
表１に示す結果から、本発明例１〜４では、冷却ロールの幅方向に、冷却ロールの損傷程度に応じて、研磨特性に分布をもたせて研磨するので、長時間にわたり、冷却ロールの円周面を健全な状態に維持することができ、その結果、薄帯中央部と薄帯端部の鉄損差がなく、良好な非晶質合金薄帯が得られていることが解る。
【００９４】
一方、比較例１〜２では、冷却ロールの幅方向で、研磨特性に分布をもたせていないため、冷却ロールの円周面を健全な状態に維持することができず、冷却ロールの接触端部（薄帯端部）の損傷が大きくなり、結果として、薄帯端部の鉄損が劣化していることが解る。
【００９５】
表１に示す結果から、本発明において、長時間にわたり、磁気特性に優れたＦｅ系非晶質合金薄帯を、安定して量産できることが解る。
【産業上の利用可能性】
【００９６】
前述したように、本発明によれば、非晶質合金薄帯の製造中、冷却ロールの幅方向で損傷程度が異なる冷却ロールの円周面を、オンラインで研磨し、長時間にわたり、冷却ロールの幅方向において健全な状態に維持することができ、その結果、磁気特性に優れた非晶質合金薄帯を安定して量産することができる。したがって、本発明は、非晶質合金薄帯製造産業において利用可能性が大きいものである。
【図面の簡単な説明】
【００９７】
【図１】冷却ロールの円周面を研磨せずに非晶質合金薄帯を、２０分間継続して製造した場合における冷却ロール幅方向の粗度の変化（中央部の粗度を１とした場合の粗度比率）を示す図である。
【図２】冷却ロールの円周面を研磨なしに非晶質合金薄帯を製造した場合における冷却ロール中央部と接触端部（薄帯端部）の製造時間に対する粗度変化（製造前の冷却ロール粗度を1とした場合の粗度比率）を示す図である。
【図３】非晶質合金薄帯を製造する単ロール装置の一態様を示す図である。
【図４】研磨特性に分布を持たせた研磨手段の態様を示す図である。（ａ）は、研磨粗さを変えた場合を示し、（ｂ）は、研磨材密度を変えた場合を示す。
【図５】研磨特性に分布を持たせた研磨手段の別の態様を示す図である。（ａ）は、研磨粗さを変えた場合を示し、（ｂ）は、研磨材密度を変えた場合を示す、（ｃ）は、押圧力を変えた場合を示す。
【図６】研磨特性に分布を持たせた研磨手段の別の態様を示す図である。（ａ）は、２段の分割研磨の態様で、研磨粗さを変えた場合を示し、（ｂ）は、２段の分割研磨の態様で、研磨材密度を変えた場合を示し、（ｃ）は、２段の分割研磨の態様で、接触面積を変えた場合を示す。
【図７】研磨特性に分布を持たせた研磨手段の別の態様を示す図である。（ａ）は、研磨特性に分布をもたせた研磨手段を複数段設置した場合を示し、（ｂ）は、研磨特性に分布をもたせた研磨手段に次いで、幅方向に分布のない研磨手段を設置した場合を示す。
【図８】非晶質合金薄帯を製造する単ロール装置の別の態様を示す図である。
【符号の説明】
【００９８】
１    タンディッシュ
２    溶融合金
３    噴出ノズル
４    ストッパー
５    冷却ロール
６    非晶質合金薄帯
７ａ、７ｂ    巻取りロール
８    カローゼルリール
９、９ｘ、９ｙ    研磨手段
１０    冷却ロール円周面浄化装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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