(57)【要約】【課題】複数の接点間の導通と絶縁をスムーズに切り替える。【解決手段】アクチュエータ２への通電が行われていないとき、導電性流体５が、基体１のガラス基板７に形成された接点３，３上にはあるが、接点４，４上には存在していないので、接点３，４間は絶縁している。一方、アクチュエータ２への通電が行われると、このアクチュエータ２によってダイアフラム１１が下側に弾性変形し、シリコン基板６に形成された内部空間１０の容積が減少し、導電性流体５の先端が流体通路１３を移動する。これにより、導電性流体５が接点３，３上だけでなく接点４，４上にも存在することになり、導電性流体５を介して接点３，４間は導通する。その後、アクチュエータ２への通電が行われなくなると、ダイアフラム１１の変形及び内部空間１０の容積が元に戻るので、導電性流体５の先端が流体通路１３を液溜め部１２側に移動する。これにより、接点３，４間は絶縁する。【選択図】図１
2008159484.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体を収納可能とする内部空間と、弾性変形することで前記内部空間の容積を変化させるダイアフラムとが形成された基体と、
通電時に前記ダイアフラムを弾性変形させる動作を行うアクチュエータと、
それぞれが離隔して前記内部空間に露出する複数の接点と、
前記内部空間に収納され、前記アクチュエータの動作停止時に前記複数の接点のうち一部の接点のみと接触するのに対し、前記アクチュエータの動作時に前記内部空間の容積変化によって当該内部空間内を移動し、前記一部の接点と残部の接点とを導通させる導電性流体と
を備えることを特徴とするリレー装置。
【請求項２】
流体を収納可能とする内部空間と、弾性変形することで前記内部空間の容積を変化させるダイアフラムとが形成された基体と、
非通電時に前記ダイアフラムを弾性変形させるように設けられ、通電時に前記ダイアフラムの弾性変形を緩和させる動作を行うアクチュエータと、
それぞれが離隔して前記内部空間に露出する複数の接点と、
前記内部空間に収納され、前記アクチュエータの動作停止時に前記複数の接点間を導通させるのに対し、前記アクチュエータの動作時に前記内部空間の容積変化によって前記内部空間内を移動し、前記複数の接点のうち一部の接点のみと接触する導電性流体と
を備えることを特徴とするリレー装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の接点間の導通と絶縁を切り替えるリレー装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
複数の接点間の導通と絶縁を切り替える従来のリレー装置として、特許文献１には、スイッチング流体（導電性流体）を用いて電極（接点）間の導通と絶縁を切り替える流体式スイッチ（第１従来例のリレー装置）が開示されている。特許文献１の流体式スイッチは、複数のキャビティ（内部空間）が基板（基体）に形成され、一のキャビティにスイッチング流体が保持され、他のキャビティに作動流体が保持されているものである。このような構成の流体式スイッチにおいて、作動流体を加熱して作動流体の圧力を変化させると、スイッチング流体は、一のキャビティで形状が変化し、移動し、分岐する。このような一のキャビティでのスイッチング流体の変化に基づいて電極間を導通させたり絶縁させたりする。
【０００３】
ところが、上記第１従来例のリレー装置には、作動流体を加熱する必要があることから、消費電力が大きくなるという問題があった。また、加熱による温度上昇によって品質劣化しやすくなることから、寿命を長くすることができないという問題もあった。
【０００４】
上記問題を解決するものとして、アクチュエータの撓みで、基体に形成された内部空間の容積を変化させることによって、この内部空間に収納された導電性流体が内部空間内を移動し、複数の接点間の導通と絶縁を切り替える第２従来例のリレー装置がある。
【特許文献１】特開２００５−１５８７１７号公報（段落０００６〜００３０及び第５〜７図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記第２従来例のリレー装置には、複数の接点間の導通と絶縁を切り替えるために導電性流体がすべての接点間を移動しなければならないことから、導電性流体と各接点の間での濡れ性の影響が大きくなり、これに伴って、複数の接点間の導電と絶縁をスムーズに切り替えることができないという問題があった。
【０００６】
本発明は上記の点に鑑みて為されたものであり、その目的とするところは、複数の接点間の導通と絶縁をスムーズに切り替えることができるリレー装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１の発明は、流体を収納可能とする内部空間と、弾性変形することで前記内部空間の容積を変化させるダイアフラムとが形成された基体と、通電時に前記ダイアフラムを弾性変形させる動作を行うアクチュエータと、それぞれが離隔して前記内部空間に露出する複数の接点と、前記内部空間に収納され、前記アクチュエータの動作停止時に前記複数の接点のうち一部の接点のみと接触するのに対し、前記アクチュエータの動作時に前記内部空間の容積変化によって当該内部空間内を移動し、前記一部の接点と残部の接点とを導通させる導電性流体とを備えることを特徴とする。
【０００８】
請求項２の発明は、流体を収納可能とする内部空間と、弾性変形することで前記内部空間の容積を変化させるダイアフラムとが形成された基体と、非通電時に前記ダイアフラムを弾性変形させるように設けられ、通電時に前記ダイアフラムの弾性変形を緩和させる動作を行うアクチュエータと、それぞれが離隔して前記内部空間に露出する複数の接点と、前記内部空間に収納され、前記アクチュエータの動作停止時に前記複数の接点間を導通させるのに対し、前記アクチュエータの動作時に前記内部空間の容積変化によって前記内部空間内を移動し、前記複数の接点のうち一部の接点のみと接触する導電性流体とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１の発明によれば、アクチュエータの動作停止時に導電性流体が複数の接点のうち一部の接点と既に接触していることから、アクチュエータの動作停止時に導電性流体が複数の接点のすべてと接触していない場合に比べて、導電性流体と各接点の間での濡れ性の影響を低減することができ、アクチュエータの動作時における導電性流体の移動距離も短くすることができるので、複数の接点間の導通と絶縁をスムーズに切り替えることができる。
【００１０】
請求項２の発明によれば、アクチュエータの動作時であっても導電性流体が複数の接点のうち一部の接点と接触していることから、アクチュエータの動作時に導電性流体が複数の接点のすべてと接触しない場合に比べて、導電性流体と各接点の間での濡れ性の影響を低減することができ、アクチュエータの動作時における導電性流体の移動距離も短くすることができるので、複数の接点間の導通と絶縁をスムーズに切り替えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
（実施形態１）
まず、本発明の実施形態１に係るリレー装置の構成について図１，２を用いて説明する。このリレー装置は、複数の接点間の導通と絶縁を切り替えるものであり、図１に示すように、内部空間１０及びダイアフラム１１が形成された基体（積層体）１と、通電時にダイアフラム１１を弾性変形させる動作を行うアクチュエータ２と、それぞれが離隔して内部空間１０に露出する４つの接点３，３，４，４と、内部空間１０に収納され接点３，３と接点４，４の間を導通させたり絶縁させたりする導電性流体（液体金属）５とを備えている。
【００１２】
基体１は、図１（ｃ）に示すように、シリコン基板６と、このシリコン基板６と接合するガラス基板７と、後述の注入口１５を封止するガラス蓋８とを備えている。
【００１３】
シリコン基板６の下面６０には、図１（ｂ）に示すように、導電性流体５を収納可能とする内部空間１０として、下面６０側（図１（ｂ）の正面側）から見て菱形状に形成された液溜め部１２と、下面６０側から見てＪ字状に形成され一端が液溜め部１２の図１（ｂ）の左側角部と連通する流体通路１３と、液溜め部１２の図１（ｂ）の右側角部と連通する注入用通路１４とが形成されている。流体通路１３は液溜め部１２より断面積が小さく、他端が閉塞されている。また、シリコン基板６には、図１（ｃ）に示すように、注入用通路１４と連通し導電性流体５を外部から注入するための注入口１５が下面６０から上面６１まで貫通して形成されている。注入口１５は、上面６１側から下面６０側に向けて徐々に内径が小さくなるテーパ状のものである。
【００１４】
一方、シリコン基板６の上面６１には、上面６１側（図１（ａ）の正面側）から見て正方形状となるダイアフラム１１が、液溜め部１２の裏側にエッチングによって形成されている。ダイアフラム１１は、弾性変形することで内部空間１０の容積を変化させる。具体的に説明すると、ダイアフラム１１が下側に押されて弾性変形すると内部空間１０の容積が減少する。
【００１５】
ガラス基板７には、図１（ｂ）に示すように、下面７０側（図１（ｂ）の正面側）から見てそれぞれが円状となる４つの貫通孔７１，７１，７２，７２が流体通路１３と対向する位置に形成されている。図１（ｄ）に示すように、それぞれの貫通孔７１，７２は下側から上側に向けて徐々に内径が小さくなるテーパ状のものであり、流体通路１３と連通している。ガラス基板７は上面７３を接合面として、液溜め部１２、流体通路１３及び注入用通路１４を塞ぐようにシリコン基板６と陽極接合している。
【００１６】
図１（ｃ）に示すガラス蓋８は、導電性流体５が注入口１５から内部空間１０に注入された後、注入口１５を封止するものである。
【００１７】
アクチュエータ２は例えば圧電材料で短冊状に形成されたものであり、図１（ｅ）に示すように、シリコン基板６の上面６１におけるダイアフラム１１の周縁部に長手方向の一端部２０が固着されるとともに、長手方向の他端部２１がダイアフラム１１のピボット１１０に対向している。このアクチュエータ２は通電すると、他端部２１が下側に撓んでピボット１１０を押圧し、ダイアフラム１１を液溜め部１２側に弾性変形させる。一方、アクチュエータ２への通電が停止されると、他端部２１がピボット１１０を押圧する力がなくなり、ダイアフラム１１は元に戻る。
【００１８】
各接点３，４は、図１（ｄ）に示すように、例えば銅やニッケルなど導電性を有する金属材料がガラス基板７の貫通孔７１，７２に設けられたものである。各接点３，４の上側は閉塞し、流体通路１３に露出している。また、図１（ｂ）に示すように、２つの接点３，３は、導電パターン３０を介して電極パッド３１と電気的に接続している。同様に、２つの接点４，４は、導電パターン４０を介して電極パッド４１と電気的に接続している。導電パターン３０，４０及び電極パッド３１，４１はガラス基板７の下面７０上に形成されている。
【００１９】
導電性流体５は例えば水銀などであり、注入口１５（図１（ｃ）参照）から注入されて液溜め部１２及び流体通路１３の一部に移動自在に収納されている。この導電性流体５は、アクチュエータ２の動作停止時に接点３，３のみと接触しているのに対し、図２に示すように、アクチュエータ２の動作時に内部空間１０の容積が減少することで、先端が流体通路１３内を液溜め部１２とは反対側に距離ａだけ移動し、接点３，３と接点４，４を導通させる。その後、アクチュエータ２の動作が停止すると内部空間１０が元に戻り、これに伴って、導電性流体５の先端は流体通路１３内を液溜め部１２側に距離ａだけ移動し、接点３，３のみと接触するようになる（図１（ｂ）参照）。
【００２０】
次に、実施形態１に係るリレー装置の製造方法について説明する。最初に導電性流体５の注入前までの工程について図１を用いて説明する。まず、シリコン基板６の下面６０をエッチングして液溜め部１２、流体通路１３及び注入用通路１４を形成するとともに注入口１５を形成する（第１工程）。また、シリコン基板６の上面６１を異方性エッチングしてダイアフラム１１を形成する（第２工程）。第１，２工程とは別に、ガラス基板７に４つの貫通孔７１，７１，７２，７２を形成する（第３工程）。第３工程後、それぞれの貫通孔７１，７２の孔壁をめっきして孔内に金属材料を設けて接点３，４を形成する（第４工程）。また、ガラス基板７の下面７０に導電パターン３０，４０及び電極パッド３１，４１を形成する（第５工程）。第１〜５工程後に、シリコン基板６の下面６０とガラス基板７の上面７３とを対向させて、シリコン基板６とガラス基板７を陽極接合してサンプル９（図３参照）を形成する（第６工程）。なお、第１，２工程と第３〜５工程の順序は限定されるものではなく、どちらの工程を先に行ってもよい。
【００２１】
続いて、導電性流体５の注入工程について図３を用いて説明する。まず、第６工程後、図３（ａ）に示すように、導電性流体５が入った液溜め槽Ｂが設置された真空チャンバＡ内にサンプル９を収納する（第７工程）。このとき、サンプル９の内部空間１０内の圧力Ｐ１、真空チャンバＡ内の圧力Ｐ２及び真空チャンバＡ外の圧力Ｐ３はすべて等しい。第７工程後、真空チャンバＡの真空引きを行う（第８工程）。圧力Ｐ１〜Ｐ３の関係は、Ｐ１＝Ｐ２、Ｐ１（Ｐ２）＜Ｐ３となる。第８工程後、図３（ｂ）に示すように、サンプル９を液溜め槽Ｂの導電性流体５の中に浸す（第９工程）。第９工程後、図３（ｃ）に示すように、真空チャンバＡ内の圧力Ｐ２を上昇させて、圧力Ｐ１〜Ｐ３の関係をＰ１＜Ｐ２＜Ｐ３とし、液溜め槽Ｂの導電性流体５をサンプル９の内部空間１０に注入する（第１０工程）。図３（ｄ）に示すように、真空チャンバＡ内の圧力Ｐ２を目標値まで上昇させて、導電性流体５を所定量注入する（第１１工程）。第１１工程後に、サンプル９を液溜め槽Ｂから取り出して注入口１５をガラス蓋８（図１（ａ）参照）で封止し、サンプル９を真空チャンバＡ内から取り出す（第１２工程）。
【００２２】
その後、図１に示すように、シリコン基板６のダイアフラム１１の周縁部に一端部２０を固着して、他端部２１をダイアフラム１１のピボット１１０に対向させて、アクチュエータ２を取り付ける（第１３工程）。
【００２３】
次に、実施形態１に係るリレー装置の動作について図１，２を用いて説明する。図１に示すように、アクチュエータ２への通電が行われていないとき、導電性流体５が接点３，３上にはあるが、接点４，４上には存在していないので、接点３，４間は絶縁している。その後、アクチュエータ２への通電が行われると、このアクチュエータ２によってダイアフラム１１が図１（ｃ）の下側に弾性変形し、内部空間１０の容積が減少し、図２に示すように、導電性流体５の先端が流体通路１３を距離ａだけ移動する。これにより、導電性流体５が接点３，３上だけでなく接点４，４上にも存在するので、導電性流体５を介して接点３，４間は導通する。その後、アクチュエータ２への通電が行われなくなると、ダイアフラム１１の変形が元に戻り、内部空間１０の容積も元に戻るので、図１に示すように、導電性流体５の先端が流体通路１３を液溜め部１２側に距離ａだけ移動する。これにより、導電性流体５が接点４，４上には存在しなくなるので、接点３，４間は絶縁する。上記より、実施形態１のリレー装置はａ接点タイプとして動作する。
【００２４】
以上、実施形態１によれば、アクチュエータ２の動作停止時に導電性流体５が複数の接点３，３，４，４のうち接点３，３と既に接触していることから、アクチュエータ２の動作停止時に導電性流体５が複数の接点３，３，４，４のすべてと接触していない場合に比べて、導電性流体５と各接点３，３，４，４の間での濡れ性の影響を低減することができ、アクチュエータ２の動作時における導電性流体５の移動距離も短くすることができるので、複数の接点３，３，４，４間の導通と絶縁をスムーズに切り替えることができる。
【００２５】
（実施形態２）
まず、本発明の実施形態２に係るリレー装置の構成について図４，５を用いて説明する。このリレー装置は、図４に示すように、基体１と、４つの接点３，３，４，４と、導電性流体５とを実施形態１のリレー装置（図１参照）と同様に備えているが、実施形態１のリレー装置にはない以下に記載の特徴部分を有する。
【００２６】
実施形態２のリレー装置は、実施形態１のアクチュエータ２（図１参照）に代えて、非通電時にダイアフラム１１を弾性変形させるように設けられたアクチュエータ２ａを備えている。このアクチュエータ２ａは、他端部２１の下面（ピボット１１０と対向する面）に貼り付けられて設けられたスペーサ２２を備え、非通電時に下面とピボット１１０の間にあるスペーサ２２によってダイアフラム１１が弾性変形し、通電時に図４（ｃ）の上側に撓み、ダイアフラム１１の弾性変形を緩和させる動作を行う。なお、アクチュエータ２ａは上記以外の点においてアクチュエータ２と同様である。
【００２７】
また、実施形態２の導電性流体５は、図４（ｂ）に示すように、アクチュエータ２ａの動作停止時に接点３，４間を導通させるのに対し、図５に示すように、アクチュエータ２ａの動作時に内部空間１０の容積が増加することで、先端が流体通路１３内を液溜め部１２側に距離ｂだけ移動し、接点３，３のみと接触する。その後、アクチュエータ２ａの動作が停止すると内部空間１０の容積が減少し、これに伴って、導電性流体５の先端は流体通路１３内を液溜め部１２とは反対側に距離ｂだけ移動し、接点３，４間を導通させる（図４（ｂ）参照）。なお、実施形態２の導電性流体５は上記以外の点において実施形態１の導電性流体５（図１参照）と同様である。
【００２８】
次に、実施形態２に係るリレー装置の製造方法について図４を用いて説明する。なお、導電性流体５の注入前までの工程（第１〜６工程）及び導電性流体５の注入工程（第７〜１２工程）は実施形態１と同様である。これらの工程とは別に、図４に示すように、アクチュエータ２ａの他端部２１の下面にスペーサ２２を貼り付けて、他端部２１を撓ませる（第１３工程）。その後、シリコン基板６のダイアフラム１１の周縁部に一端部２０を固着し、撓んだ状態の他端部２１をダイアフラム１１のピボット１１０に対向させて、ダイアフラム１１を弾性変形させるようにして、アクチュエータ２ａを取り付ける（第１４工程）。
【００２９】
次に、実施形態２に係るリレー装置の動作について図４，５を用いて説明する。図４に示すように、アクチュエータ２ａへの通電が行われていないとき、導電性流体５が接点３，３上及び接点４，４上にあるので、導電性流体５を介して接点３，４間は導通している。その後、アクチュエータ２ａへの通電が行われると、このアクチュエータ２ａによってダイアフラム１１の弾性変形が緩和し、内部空間１０の容積が増加し、図５に示すように、導電性流体５の先端が流体通路１３を液溜め部１２側に距離ｂだけ移動する。これにより、導電性流体５が接点３，３上にはあるが、接点４，４上には存在しなくなるので、接点３，４間は絶縁する。その後、アクチュエータ２ａへの通電が行われなくなると、ダイアフラム１１が弾性変形し、内部空間１０の容積が減少するので、図４に示すように、導電性流体５の先端が流体通路１３を距離ｂだけ移動する。これにより、導電性流体５が接点３，３上及び接点４，４上に存在するので、接点３，４間は導通する。上記より、実施形態２のリレー装置はｂ接点タイプとして動作する。
【００３０】
以上、実施形態２によれば、アクチュエータ２ａの動作時であっても導電性流体５が複数の接点３，３，４，４のうち接点３，３と接触していることから、アクチュエータ２ａの動作時に導電性流体５が複数の接点３，３，４，４のすべてと接触しない場合に比べて、導電性流体５と各接点３，３，４，４の間での濡れ性の影響を低減することができ、アクチュエータ２ａの動作時における導電性流体５の移動距離も短くすることができるので、複数の接点３，３，４，４間の導通と絶縁をスムーズに切り替えることができる。
【００３１】
（実施形態３）
まず、本発明の実施形態３に係るリレー装置の構成について図６を用いて説明する。このリレー装置は、実施形態１のリレー装置（図１参照）と同様に、基体１と、アクチュエータ２と、導電性流体５とを備えているが、実施形態１のリレー装置にはない以下に記載の特徴部分を有する。
【００３２】
実施形態３のリレー装置は、実施形態１の４つの接点３，３，４，４（図１参照）に代えて、図６に示すような２つの接点３ａ，４ａを備えている。なお、各接点３ａ，４ａは上記以外の点において接点３，４と同様である。
【００３３】
次に、実施形態３に係るリレー装置の動作について図６を用いて説明する。実施形態１と同様に、アクチュエータ２（図１参照）への通電が行われていないとき、接点３ａ，４ａ間は絶縁している（図６（ａ）参照）。その後、アクチュエータ２への通電が行われると、導電性流体５の先端が流体通路１３を距離ｃだけ移動し、導電性流体５を介して接点３ａ，４ａ間は導通する（図６（ｂ）参照）。その後、アクチュエータ２への通電が行われなくなると、導電性流体５の先端が流体通路１３を液溜め部１２側に距離ｃだけ移動し、再度、接点３ａ，４ａ間は絶縁する（図６（ａ）参照）。上記より、実施形態３のリレー装置はａ接点タイプとして動作する。
【００３４】
なお、実施形態３に係るリレー装置の製造方法は、接点３ａ，４ａの個数が変わったことを除いて実施形態１と同様である。
【００３５】
以上、実施形態３によれば、接点３ａ，４ａの個数が変わっても、実施形態１と同様に、アクチュエータ２の動作停止時に導電性流体５が複数の接点３ａ，４ａのうち接点３ａと既に接触していることから、アクチュエータ２の動作停止時に導電性流体５が複数の接点３ａ，４ａのすべてと接触していない場合に比べて、導電性流体５と各接点３ａ，４ａの間での濡れ性の影響を低減することができ、アクチュエータ２の動作時における導電性流体５の移動距離も短くすることができるので、複数の接点３ａ，４ａ間の導通と絶縁をスムーズに切り替えることができる。
【００３６】
（実施形態４）
まず、本発明の実施形態４に係るリレー装置の構成について図７を用いて説明する。このリレー装置は、実施形態２のリレー装置（図１参照）と同様に、基体１と、アクチュエータ２ａと、導電性流体５とを備えているが、実施形態２のリレー装置にはない以下に記載の特徴部分を有する。
【００３７】
実施形態４のリレー装置は、実施形態２の４つの接点３，３，４，４（図４参照）に代えて、図７に示すような２つの接点３ａ，４ａを備えている。なお、各接点３ａ，４ａは上記以外の点において接点３，４と同様である。
【００３８】
次に、実施形態４に係るリレー装置の動作について図７を用いて説明する。実施形態２と同様に、アクチュエータ２ａ（図４参照）への通電が行われていないとき、導電性流体５を介して接点３ａ，４ａ間は導通している（図７（ａ）参照）。その後、アクチュエータ２ａへの通電が行われると、導電性流体５の先端が流体通路１３を液溜め部１２側に距離ｄだけ移動し、接点３ａ，４ａ間は絶縁する（図７（ｂ）参照）。その後、アクチュエータ２ａへの通電が行われると、導電性流体５の先端が流体通路１３を距離ｄだけ移動し、再度、接点３ａ，４ａ間は導通する（図７（ａ）参照）。上記より、実施形態４のリレー装置はｂ接点タイプとして動作する。
【００３９】
なお、実施形態４に係るリレー装置の製造方法は、接点３ａ，４ａの個数が変わったことを除いて実施形態２と同様である。
【００４０】
以上、実施形態４によれば、接点３ａ，４ａの個数が変わっても、実施形態２と同様に、アクチュエータ２ａの動作時であっても導電性流体５が複数の接点３ａ，４ａのうち接点３ａと接触していることから、アクチュエータ２ａの動作時に導電性流体５が複数の接点３ａ，４ａのすべてと接触しない場合に比べて、導電性流体５と各接点３ａ，４ａの間での濡れ性の影響を低減することができ、アクチュエータ２ａの動作時における導電性流体５の移動距離も短くすることができるので、複数の接点３ａ，４ａ間の導通と絶縁をスムーズに切り替えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の実施形態１に係るリレー装置を示すものであって、（ａ）が上面図、（ｂ）が下面図、（ｃ）がＡ−Ａ’断面矢視図、（ｄ）がＢ−Ｂ’断面矢視図、（ｅ）がＣ−Ｃ’断面矢視図である。
【図２】同上に係るリレー装置の動作時の下面図である。
【図３】同上に係るリレー装置の導電性流体の注入工程図である。
【図４】本発明の実施形態１に係るリレー装置を示すものであって、（ａ）が上面図、（ｂ）が下面図、（ｃ）がＡ−Ａ’断面矢視図、（ｄ）がＢ−Ｂ’断面矢視図、（ｅ）がＣ−Ｃ’断面矢視図である。
【図５】同上に係るリレー装置の動作時の下面図である。
【図６】本発明の実施形態３に係るリレー装置を示すものであって、（ａ）が動作停止時の下面図、（ｂ）が動作時の下面図である。
【図７】本発明の実施形態４に係るリレー装置を示すものであって、（ａ）が動作停止時の下面図、（ｂ）が動作時の下面図である。
【符号の説明】
【００４２】
１  基体
１０  内部空間
１１  ダイアフラム
１２  液溜め部
１３  流体通路
２，２ａ  アクチュエータ
３，３ａ，４，４ａ  接点
５  導電性流体
６  シリコン基板
７  ガラス基板
【図１】
2008159484.tif 000003
【図２】
2008159484.tif 000004
【図３】
2008159484.tif 000005
【図４】
2008159484.tif 000006
【図５】
2008159484.tif 000007
【図６】
2008159484.tif 000008
【図７】
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