(57)【要約】【課題】本発明は、硬化処理により被検査体の表面部に生じる硬化層の深さを高精度に、且つ、手間を掛けずに計測することが可能な方法を提供することを課題とする。【解決手段】被検査体に硬化処理を施すことによって、前記被検査体の表面部に生じる硬化層の深さを計測する方法であって、前記被検査体と形状等が同一のサンプル体に前記被検査体に施される前記硬化処理と同一の硬化処理を施すことによって、前記サンプル体の表面部に生じる硬化層の実測深さと、前記硬化処理前後の前記サンプル体の表面部における実測された超音波伝播速度の変化率との相関関係を作成するステップと、前記硬化処理前後の前記被検査体の表面部における超音波伝播速度の変化率を実測するステップと、前記相関関係に基づいて、前記被検査体の表面部における実測された超音波伝播速度の変化率から、前記被検査体の前記硬化層の深さを算出するステップとを含む硬化層の深さを計測する方法を提供する。【選択図】図１
2008256575.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査体に硬化処理を施すことによって、前記被検査体の表面部に生じる硬化層の深さを計測する方法であって、
前記被検査体と形状及び材質が同一のサンプル体に前記被検査体に施される前記硬化処理と同一の硬化処理を施すことによって、前記サンプル体の表面部に生じる硬化層の実測深さと、前記硬化処理前後の前記サンプル体の表面部における実測された超音波伝播速度の変化率との相関関係を作成するステップと、
前記硬化処理前後の前記被検査体の表面部における超音波伝播速度の変化率を実測するステップと、
前記相関関係に基づいて、前記硬化処理前後の前記被検査体の表面部における実測された超音波伝播速度の変化率から、前記被検査体の前記硬化層の深さを算出するステップとを含むことを特徴とする硬化層の深さを計測する方法。
【請求項２】
円柱状又は円筒状の被検査体に硬化処理を施すことによって、前記被検査体の表面部に生じる硬化層の深さを計測する方法であって、
材質及び施される硬化処理が前記被検査体と同一である円柱状又は円筒状の互いに径が異なる複数の各サンプル体について、硬化処理を施すことによって表面部に生じる硬化層の実測深さと、前記硬化処理前後の前記表面部における実測された超音波伝播速度の変化率との相関関係を作成するステップと、
前記硬化処理前後の前記被検査体の表面部における超音波伝播速度の変化率を実測するステップと、
作成された複数のサンプル体の相関関係の中から、前記被検査体と径の差異が最も小さいサンプル体の相関関係を選択するステップと、
選択された相関関係に基づいて、前記硬化処理前後の前記被検査体の表面部における実測された超音波伝播速度の変化率から、前記被検査体の前記硬化層の深さを算出するステップとを含むことを特徴とする硬化層の深さを計測する方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、硬化処理により被検査体の表面部に生じる硬化層の深さを計測する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、棒鋼や鋼管等の金属材料からなる被検査体に対して、焼入れ等の硬化処理を施すことで、被検査体の機械的強度や耐摩耗性等の向上を図ることが行われている。硬化処理の不良等は、品質保証の観点より、検査を行って検出する必要がある。具体的には、硬化処理の不良等により規格を逸脱している製品や部位を、その製造工程（検査工程を含む）において検出し、除去等する必要がある。
【０００３】
このような検査手法の一つとして、硬化処理後に被検査体を切断し、被検査体の切断面の硬度を硬度計を用いて計測する手法が挙げられる。しかしながら、このような破壊検査は、時間と労力とを必要とし、手間が掛かるという問題がある。さらに、このような破壊検査は、全数検査を行うことができないという問題もある。
【０００４】
一方、被検査体を破壊せずに硬化層の深さを計測する方法が特許文献１に記載されている。特許文献１の計測方法は、被検査体の表面部における超音波伝播速度が、硬化層の深さに影響されることを利用したものである。具体的には、特許文献１の計測方法は、硬化処理後の被検査体の表面部において周方向に伝播するＳＨ波（Axial  Shear  Wave）の伝播速度と、硬化処理後の被検査体の剛性率及び密度等とから硬化層の深さを計測するものである。
【特許文献１】特開２００１−２０８５２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１の計測方法は、被検査体を破壊せずに硬化層の深さを計測する方法であるため、剛性率及び密度の実測のために、被検査体を破壊することができない。このため、特許文献１の計測方法では、硬化層の深さの計測に使用される硬化処理後の被検査体の剛性率及び密度には推定値が用いられる。しかしながら、被検査体の形状、材質及び硬化処理の条件等によって硬化層の生じ方が異なるため、硬化処理後の被検査体の剛性率及び密度を正確に推定することは非常に困難である。このため、推定された被検査体の剛性率及び密度は、実測値と掛け離れた値となる場合がある。よって、特許文献１の計測方法では、硬化層の深さを正確に計測することができない場合がある。
【０００６】
本発明は、かかる従来技術の問題点を解決するべくなされたものであり、硬化処理により被検査体の表面部に生じる硬化層の深さを高精度に、且つ、手間を掛けずに計測することが可能な硬化層の深さを計測する方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するべく、本発明は、第１の手段として、被検査体に硬化処理を施すことによって、前記被検査体の表面部に生じる硬化層の深さを計測する方法であって、前記被検査体と形状及び材質が同一のサンプル体に前記被検査体に施される前記硬化処理と同一の硬化処理を施すことによって、前記サンプル体の表面部に生じる硬化層の実測深さと、前記硬化処理前後の前記サンプル体の表面部における実測された超音波伝播速度の変化率との相関関係を作成するステップと、前記硬化処理前後の前記被検査体の表面部における超音波伝播速度の変化率を実測するステップと、前記相関関係に基づいて、前記硬化処理前後の前記被検査体の表面部における実測された超音波伝播速度の変化率から、前記被検査体の前記硬化層の深さを算出するステップとを含むことを特徴とする硬化層の深さを計測する方法を提供するものである。
【０００８】
本発明は、サンプル体における硬化層の実測深さと、硬化処理前後のサンプル体の表面部における実測された超音波伝播速度の変化率との相関関係に基づいて、硬化処理前後の被検査体の表面部における実測された超音波伝播速度の変化率から、被検査体の硬化層の深さを算出するものである。このようにサンプル体の相関関係に基づいて、被検査体の硬化層の深さを算出できるのは、サンプル体と被検査体との相関関係を同一とみなすことができるためである。同一とみなすことができるのは、被検査体とサンプル体とは、形状、材質、施される硬化処理が同一であるためである。
【０００９】
本発明においては、サンプル体の硬化層の実測深さと超音波伝播速度の変化率とは、サンプル体を実測することによって測定されるものである。よって、被検査体の硬化層の深さの算出に用いられる相関関係は、被検査体の実際の相関関係とずれが小さい。このため、本発明によれば、被検査体の硬化層の深さを高精度に計測することができる。
【００１０】
また、サンプル体の硬化層の実測深さは、サンプル体に切断等の加工を施して、サンプル体を実測することによって測定されるものである。このように、硬化層の実測深さが測定されるのは、サンプル体であるため、硬化層の実測深さの測定のための加工が施されるのはサンプル体であり、被検査体ではない。よって、本発明は、被検査体に加工が施されないため、被検査体の全数に対して実施することが可能である。
【００１１】
また、前記相関関係には、形状、材質及び施される硬化処理が被検査体と同一のサンプル体の相関関係が用いられる。よって、形状、材質及び施される硬化処理が同一の複数の被検査体については、同じ相関関係を用いて硬化層の深さが算出される。よって、形状、材質及び施される硬化処理が同一の複数の被検査体の硬化層の深さを計測する場合は、一つの被検査体に対応するサンプル体の相関関係を作成すれば、他の被検査体については相関関係を作成する必要がない。従って、本発明によれば、被検査体毎に相関関係を作成する時間と労力を省くことができ、手間を掛けずに硬化層の深さを計測することができる。
【００１２】
また、本発明は第２の手段として、円柱状又は円筒状の被検査体に硬化処理を施すことによって、前記被検査体の表面部に生じる硬化層の深さを計測する方法であって、材質及び施される硬化処理が前記被検査体と同一である円柱状又は円筒状の互いに径が異なる複数の各サンプル体について、硬化処理を施すことによって表面部に生じる硬化層の実測深さと、前記硬化処理前後の前記表面部における実測された超音波伝播速度の変化率との相関関係を作成するステップと、前記硬化処理前後の前記被検査体の表面部における超音波伝播速度の変化率を実測するステップと、作成された複数のサンプル体の相関関係の中から、前記被検査体と径の差異が最も小さいサンプル体の相関関係を選択するステップと、選択された相関関係に基づいて、前記硬化処理前後の前記被検査体の表面部における実測された超音波伝播速度の変化率から、前記被検査体の前記硬化層の深さを算出するステップとを含むことを特徴とする硬化層の深さを計測する方法を提供する。
【００１３】
第２の手段によれば、被検査体と径の差異が最も小さいサンプル体の相関関係に基づいて、被検査体の硬化層の深さが算出される。被検査体とサンプル体との径の差異が小さい場合、被検査体とサンプル体との互いの相関関係の差異は小さい。よって、被検査体と径の差異が最も小さいサンプル体の相関関係に基づいて、被検査体の硬化層の深さを算出すれば、該硬化層の深さを高精度に計測することができる。このように、被検査体と径の差異が最も小さいサンプル体の相関関係に基づいて、被検査体の硬化層の深さを高精度に計測することができるので、第２の手段によれば、径の異なる被検査体毎にサンプル体の相関関係を作成する必要がない。よって、第２の手段によれば、手間を掛けずに被検査体の硬化層の深さを高精度に計測することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、被検査体の硬化層の深さを高精度に、且つ、手間を掛けずに計測することが可能である。また、本発明は、被検査体の全数に対して実施することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
（実施形態１）
以下、添付図面を適宜参照しつつ、本発明に係る硬化層の深さを計測する方法の一実施形態について説明する。本実施形態に係る硬化層の深さを計測する方法は、第１ステップと、第２ステップと、第３ステップとを含む。
【００１６】
第１ステップは、被検査体と形状及び材質が同一のサンプル体に被検査体に施される硬化処理と同一の硬化処理を施すことによって、サンプル体の表面部に生じる硬化層の実測深さＤと、硬化処理前後のサンプル体の表面部における実測された超音波伝播速度の変化率Ｖ２（以下、「サンプル体の超音波伝播速度の変化率Ｖ２」という）との相関関係を作成するステップである。図１は、かかる相関関係を表す相関線を示した図である。図１に示す相関線は、複数のサンプル体における、硬化層の実測深さＤと、サンプル体の超音波伝播速度の変化率Ｖ２とから求めたものである。尚、本実施形態では、サンプル体の形状は、円柱状又は円筒状であるとする。
【００１７】
サンプル体の硬化層の実測深さＤは、硬化処理によりサンプル体の表面部に生じる硬化層を実際に測定することで求められる深さである。実測方法は、特に限定されるものでなく、例えば、硬化処理後に、サンプル体を切断し、切断面の状態に基づいて判断することで行うことができる。切断面の状態に基づいての判断は、例えば、硬度計を用いて切断面の硬度を測定し、その結果に基づいて行うことができる。このように硬度計を用いて切断面の硬度を測定し、その結果に基づいて硬化層の実測深さＤを測定する場合は、例えば、サンプル体の材質がＳ３８Ｃ（機械構造用炭素鋼）のときは、ビッカース硬度が４００ＨＶ以上ある部分のうち表面から最も遠い部分の距離を硬化層の実測深さとすることができる。
【００１８】
一方、サンプル体の超音波伝播速度の変化率Ｖ２は、硬化処理前のサンプル体の表面部における実測された超音波伝播速度Ｖ０と、硬化処理後のサンプル体の表面部における実測された超音波伝播速度Ｖ１とから算出されるものである。サンプル体の超音波伝播速度の変化率Ｖ２は、具体的には、次式（１）によって算出される。
Ｖ２＝（Ｖ１−Ｖ０）／Ｖ０×１００…（１）
【００１９】
式（１）におけるＶ０及びＶ１の実測方法は、特に限定されるものでなく、例えば、特許文献１に記載の方法を挙げることができる。
【００２０】
図２は、Ｖ０及びＶ１を実測する際に用いる電磁超音波センサ１０の概念図である。図２に示すように、電磁超音波センサ１０は、サンプル体３０を囲繞する磁化コイル１４と、磁化コイル１４内に配置された蛇行コイル１６とを備えている。磁化コイル１４は、直流電源（図示しない）に接続され、サンプル体３０の軸方向に沿った静磁界をサンプル体３０に印加可能とされている。一方、蛇行コイル１６は、サンプル体３０の表面部に周方向に巻き付けられると共に、交流電源２０に接続され、電流の流れる方向が周期的に変化する。このような構成の電磁超音波センサ１０においては、蛇行コイル１６に流れる電流の方向が変化することにより、蛇行コイル１６によって生成されるサンプル体３０の軸方向に直交する方向の交流磁界の大きさが変動する。交流磁界の大きさが変動することにより、この交流磁界と磁化コイル１４によって生成される静磁界とが合成された合成磁界の向きが、サンプル体３０の軸方向を中心にして変動する。合成磁界の向きがこのように変動することにより、振動方向がサンプル体３０の軸方向で、サンプル体３０の表面部の周方向に伝搬する横波（ＳＨ波）が発生する。尚、磁化コイル１４が接続される電源は、直流電源に限らず、交流電源であってもよい。
【００２１】
Ｖ０の実測は、硬化処理前のサンプル体３０の表面部に蛇行コイル１６を周方向に巻き付けて、該サンプル体３０を磁化コイル１４内に配置し、前記のＳＨ波をサンプル体３０の表面部に発生させ、該ＳＨ波の速度を検出することで行う。一方、Ｖ１の実測は、硬化処理後のサンプル体３０の表面部に蛇行コイル１６を周方向に巻き付けて、該サンプル体３０を磁化コイル１４内に配置し、前記のＳＨ波をサンプル体３０の表面部に発生させ、該ＳＨ波の速度を検出することで行う。
【００２２】
第１ステップに用いられるサンプル体は、被検査体と形状及び材質が同一である。形状及び材質が同一とは、形状及び材質が完全に同一である場合のみならず、形状及び材質が実質的に等しい場合も包含する意味である。実質的に等しい場合とは、例えば、サンプル体と被検査体との形状の差異が公差の範囲内である場合や、サンプル体と被検査体との材質の差異が製品として同一と認められる範囲内である場合を意味する。尚、被検査体及びサンプル体の形状は、特に限定されるものでなく、例えば、本実施形態のように、円柱状又は円筒状とすることができる。被検査体及びサンプル体が円柱状又は円筒状の場合、サンプル体の形状が被検査体と実質的に等しい場合とは、サンプル体と被検査体の径の差が、被検査体の径に対して、±６％以内である場合をいう。
【００２３】
また、被検査体及びサンプル体に施される硬化処理とは、表面部に硬化層を生じさせて、表面部の硬度や耐摩耗性等の向上を目的とするものである。硬化処理として、例えば、焼入れ処理、炭化処理、窒化処理等を挙げることができる。サンプル体に施される硬化処理は、前述のように、被検査体に施される硬化処理と同一の硬化処理である。同一の硬化処理とは、例えば、硬化処理の方法（焼入れ処理等）や、硬化処理において設定するパラメータ（例えば、焼入れ処理における冷却速度等）が同一であることを意味する。
【００２４】
次に、第２ステップは、硬化処理前後の被検査体の表面部における超音波伝播速度の変化率Ｗ２（以下、「被検査体の超音波伝播速度の変化率Ｗ２」という）を実測するステップである。被検査体の超音波伝播速度の変化率Ｗ２は、硬化処理前の被検査体の表面部における実測された超音波伝播速度Ｗ０と、硬化処理後の被検査体の表面部における実測された超音波伝播速度Ｗ１とから算出されるものである。被検査体の超音波伝播速度の変化率Ｗ２は、具体的には、次式（２）によって算出される。
Ｗ２＝（Ｗ１−Ｗ０）／Ｗ０×１００…（２）
【００２５】
式（２）のＷ０及びＷ１の実測方法は、特に限定されるものでなく、例えば、Ｖ０及びＶ１と同様の方法とすることができる。
【００２６】
第３ステップは、第１ステップにおいて作成されたサンプル体の相関関係に基づいて、第２ステップにおいて算出された被検査体の超音波伝播速度の変化率Ｗ２から、被検査体の硬化層の深さを算出するステップである。具体的には、被検査体の超音波伝播速度の変化率Ｗ２と同じ値のサンプル体の超音波伝播速度の変化率Ｖ２と対応する硬化層の実測深さＤを図１に示す相関線に基づいて算出し、算出した硬化層の実測深さＤを、被検査体の硬化層の深さとするステップである。このように、サンプル体の相関関係に基づいて、被検査体の超音波伝播速度の変化率Ｗ２から、被検査体の硬化層の深さを算出することができるのは、被検査体とサンプル体は、形状、材質、施される硬化処理が同一であるため、被検査体とサンプル体との相関関を同一とみなすことができるためである。
【００２７】
以上に説明した本実施形態に係る方法に基づいて、被検査体の硬化層の深さを計測する方法を以下において具体的に説明する。
【００２８】
まず、第１ステップを実行する。第１ステップは、以下の（１−１）〜（１−６）を実行することで行われる。また、第１ステップは、Ｎ（Ｎ：２以上の正の整数）本のサンプル体を用いて実行するものとする。
（１−１）最初に、Ｎ本の各サンプル体のＶ０（硬化処理前のサンプル体の表面部における実測された超音波伝播速度）を実測する。
（１−２）次に、Ｎ本の各サンプル体に被検査体と同一の硬化処理を施す。
（１−３）次に、Ｎ本の各サンプル体のＶ１（硬化処理後のサンプル体の表面部における実測された超音波伝播速度）を実測する。
（１−４）次に、Ｎ本の各サンプル体を切断し、Ｎ本の各サンプル体の硬化層の実測深さＤを測定する。
（１−５）次に、式（１）を用いて、各サンプル体の超音波伝播速度の変化率Ｖ２を算出する。かかる（１−５）において、各サンプル体の超音波伝播速度の変化率Ｖ２を算出する際には、式（１）のＶ０には、（１―１）で実測した各サンプル体のＶ０を、式（１）のＶ１には、（１−３）で実測した各サンプル体のＶ１を代入する。
（１−６）最後に、（１−４）で測定した各サンプル体の硬化層の実測深さＤと、（１−５）で算出したサンプル体の超音波伝播速度の変化率Ｖ２との相関関係に基づいて、図１の相関線で示す、サンプル体の相関関係を作成する。
【００２９】
尚、図１に示すように、サンプル体によって硬化層の実測深さＤとサンプル体の超音波伝播速度の変化率Ｖ２とが異なるのは、各サンプル体の形状が、公差の範囲内で異なったり、各サンプル体の材質が、製品として同一と認められる範囲内で異なったり、各サンプル体の硬化層が、硬化処理の方法や硬化処理において設定するパラメータが同一であっても不可避的に差異が生じ得る等の理由によるものである。
【００３０】
次に第２ステップを実行する。第２ステップは、以下の（２−１）〜（２−４）を実行することで行われる。
（２−１）最初に、被検査体のＷ０（硬化処理前の被検査体の表面部における実測された超音波伝播速度）を実測する。
（２−２）次に、被検査体に硬化処理を施す。
（２−３）次に、被検査体のＷ１（硬化処理後の被検査体の表面部における実測された超音波伝播速度）を実測する。
（２−４）最後に、式（２）を用いて、被検査体の超音波伝播速度の変化率Ｗ２を算出する。かかる（２−４）において、被検査体の超音波伝播速度の変化率Ｗ２を算出する際には、式（２）のＷ０には、（２−１）で実測したＷ０を、式（２）のＷ１には、（２−３）で実測したＷ１を代入する。
【００３１】
次に第３ステップを実行する。第３ステップでは、図１に示す相関線を用いて、第２ステップの（２−４）で算出した被検査体の超音波伝播速度の変化率Ｗ２と同じ値のサンプル体の超音波伝播速度の変化率Ｖ２と対応する硬化層の実測深さＤを図１に示す相関線に基づいて算出し、算出した硬化層の実測深さＤを、被検査体の硬化層の深さとする。例えば、被検査体の超音波伝播速度の変化率Ｗ２が−２．０％であれば、被検査体の実測深さはＤ１（図１参照）となる。
【００３２】
以上のように、本実施形態によれば、第１ステップにおいて作成される相関関係の基となる硬化層の実測深さＤと、サンプル体の超音波伝播速度の変化率Ｖ２とは、実測されたものである。よって、第１ステップにおいて作成される相関関係は、被検査体の実際の相関関係とずれが小さい。このため、本発明によれば、被検査体の硬化層の深さを高精度に計測することができる。
【００３３】
また、サンプル体の硬化層の実測深さＤは、サンプル体に切断等の加工を施して、サンプル体を実測することによって測定されるものである。このように、硬化層の実測深さＤが測定されるのは、サンプル体であるため、硬化層の実測深さＤの測定のための加工が施されるのはサンプル体であり、被検査体ではない。よって、本実施形態に係る方法は、被検査体に加工が施されないため、被検査体の全数に対して実施することが可能である。
【００３４】
また、相関関係には、形状、材質及び施される硬化処理が被検査体と同一のサンプル体の相関関係が用いられる。よって、形状、材質及び施される硬化処理が同一の複数の被検査体については、同じ相関関係を用いて硬化層の深さを算出することができる。よって、形状、材質及び施される硬化処理が同一の複数の被検査体の硬化層の深さを算出する場合は、一つの被検査体に対応するサンプル体の相関関係を作成すれば、他の被検査体については相関関係を作成する必要がない。従って、本実施形態に係る方法によれば、被検査体毎に相関関係を作成する時間と労力を省くことができ、手間を掛けずに硬化層の深さを計測することができる。
【００３５】
以上では、第１ステップ、第２ステップ、第３ステップの順で各ステップが実行されている場合について説明したが、第２ステップを第１ステップより先に、又は、第１ステップと第２ステップとを両方同時に行ってもよい。
【００３６】
また、図１の相関線で表される相関関係は、一つのサンプル体の複数の箇所における、硬化層の実測深さＤと超音波伝播速度の変化率Ｖ２とから求めてもよい。この場合、複数の箇所は、形状、材質及び施される硬化処理は同一である必要がある。
【００３７】
（実施形態２）
本実施形態に係る方法は、実施形態１で説明した第１〜３ステップの他、第４ステップも含む。この第４ステップは、第１ステップの後で、且つ、第３ステップの前に行われる。第２ステップは、第３ステップよりも先に行われ、例えば、第１ステップと第４ステップとの前に、第１ステップと第４ステップとの間に、第１ステップと第４テップとの後に、或いは、第１ステップ又は第４ステップと同時に行うことができる。
【００３８】
本実施形態における第１ステップは、材質及び施される硬化処理が被検査体と同一である円柱状又は円筒状の互いに径が異なる複数の各サンプル体について、硬化層の実測深さＤと、サンプル体の超音波伝播速度の変化率Ｖ２との相関関係を作成するステップである。このように、本実施形態における第１ステップは、互いに径が異なる複数のサンプル体の相関関係を作成することが実施形態１の第１ステップと異なる。
【００３９】
本実施形態における第３ステップは、第１ステップで作成された複数のサンプル体の相関関係の中から、第４ステップにおいて選択された相関関係に基づいて、被検査体の超音波伝播速度の変化率Ｗ２から、被検査体の硬化層の深さを算出するステップである。このように、本実施形態における第３ステップは、被検査体の硬化層の深さの算出に用いる相関関係が、第４ステップにおいて選択された相関関係であることが実施形態１の第３ステップと異なる。
【００４０】
第４ステップは、第１ステップで作成された複数のサンプル体の相関関係の中から、被検査体と径の差異が小さいサンプル体の相関関係を選択するステップである。
【００４１】
以上に説明したように、本実施形態に係る方法によれば、被検査体と径の差異が最も小さいサンプル体の相関関係に基づいて、被検査体の硬化層の深さが算出されることになる。被検査体とサンプル体との径の差異が小さい場合、被検査体とサンプル体との互いの相関関係の差異は小さい。よって、被検査体と径の差異が最も小さいサンプル体の相関関係に基づいて、被検査体の硬化層の深さを算出すれば、該硬化層の深さを高精度に算出することができる。このように、本実施形態に係る方法によれば、サンプル体と径の異なる被検査体についても、硬化層の深さを高精度に算出できるので、径の異なる被検査体毎にサンプル体の相関関係を作成する必要がない。よって、本実施形態に係る方法によれば、相関関係を作成する手間を掛けずに、被検査体の硬化層の深さを高精度に算出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】図１は、相関関係を表す相関線を示した図である。
【図２】図２は、硬化処理前及び硬化処理後のサンプル体の表面部における超音波伝播速度の実測の際に用いる電磁超音波センサの概念図である。
【符号の説明】
【００４３】
１０…電磁超音波センサ、１４…磁化コイル、１６…蛇行コイル、３０…被検査体
【図１】
2008256575.tif 000003
【図２】
2008256575.tif 000004