(57)【要約】【課題】純水洗浄の省略が許容される被洗浄物を洗浄する装置において、洗浄時間が長くなるのを防止しつつ洗浄液の長寿命化を図る。【解決手段】外側容器１４と、外側容器１４内に配設され、洗浄液が貯溜されるとともに被洗浄物Ｗを出し入れ可能な開口部が設けられた内側容器３８と、被洗浄物Ｗに付着した洗浄液が蒸発する程度に外側容器１４の内部を減圧させるための減圧手段２０と、洗浄液を浄化するためのフィルタ５８と、内側容器３８の開口部を気密状に塞ぐための蓋５２と、を備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被洗浄物を洗浄液で洗浄するとともに被洗浄物に付着した洗浄液を乾燥させる洗浄乾燥装置であって、
外側容器と、
前記外側容器内に配設され、前記洗浄液が貯溜されるとともに被洗浄物を出し入れ可能な開口部が設けられた内側容器と、
被洗浄物に付着した洗浄液が蒸発する程度に前記外側容器の内部を減圧させるための減圧手段と、
前記洗浄液を浄化するための浄化手段と、
前記内側容器の前記開口部を気密状に塞ぐための蓋と、を備えている洗浄乾燥装置。
【請求項２】
洗浄液を加熱するヒータを備えている請求項１に記載の洗浄乾燥装置。
【請求項３】
前記内側容器は、容器内部を、被洗浄物が浸漬される第１室と、第２室とに仕切る仕切り壁を備え、
前記内側容器には、一端部が前記第１室に接続されるとともに他端部が前記第２室に接続された循環路が設けられ、
前記循環路にポンプが設けられ、このポンプの駆動により前記第１室内の洗浄液を前記仕切り壁から前記第２室内へオーバーフローさせる請求項１又は２に記載の洗浄乾燥装置。
【請求項４】
前記浄化手段は、前記循環路に設けられたフィルタによって構成されている請求項３に記載の洗浄乾燥装置。
【請求項５】
前記内側容器に超音波洗浄手段が設けられている請求項１から４の何れか１項に記載の洗浄乾燥装置。
【請求項６】
前記減圧手段は、前記外側容器に接続された吸引路と、この吸引路に設けられたポンプとを備え、
前記吸引路は、気液分離器に接続され、
前記気液分離器には凝縮手段が設けられている請求項１から５の何れか１項に記載の洗浄乾燥装置。
【請求項７】
前記被洗浄物を前記内側容器の内部と外部との間で搬送するための搬送手段を備え、
前記搬送手段は、前記内側容器内での被洗浄物の洗浄時に当該被洗浄物を揺動可能に構成されている請求項１から５の何れか１項に記載の洗浄乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄乾燥装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、特許文献１に開示されているように、二槽タイプの真空脱脂洗浄装置が知られている。この洗浄装置は、図２に示すように、洗浄室１０１の上に乾燥室１０２が配設され上下二槽に構成されるものであり、洗浄室１０１に貯溜された洗浄液によって被洗浄物Ｗを洗浄し、その後昇降装置１０３によって被洗浄物Ｗを乾燥室１０２まで引き上げ、乾燥室１０２内を真空引きすることで被洗浄物Ｗを乾燥させるようにしている。また、洗浄液中の汚れ成分が被洗浄物Ｗに付着することを考慮し、被洗浄物Ｗを乾燥させる前に被洗浄物Ｗに洗浄液を浴びせるシャワー１０４を乾燥室１０２に設けるようにしている。
【０００３】
一方、特許文献２に開示されているように、一槽タイプの洗浄装置も知られている。図３に示すように、この洗浄装置では、洗浄槽１１１が、洗浄液による被洗浄物Ｗの洗浄を行うだけでなく、純水による純水洗浄と被洗浄物Ｗの乾燥とが行えるようになっている。また洗浄槽１１１には、洗浄液を循環させて汚れ成分をフィルタ１１２で除去する循環ろ過装置１１３が設けられている。そして洗浄液による洗浄時には循環ろ過装置１１３を作動させて洗浄液の清浄度を維持するようにしている。また洗浄後には、汚れた洗浄液をドレイン管１１４を通じて排出し、純水供給ライン１１５から洗浄槽１１１に純水を供給し、循環ろ過装置１１３を作動させながら被洗浄物Ｗの水洗をしている。そして、最後に純水を排出するとともに、エア供給ダクト１１６を通して洗浄槽１１１に乾燥エアを供給して被洗浄物Ｗを乾燥させ、一連の洗浄工程を終えるようにしている。
【特許文献１】特開平７−１０９５９０号公報
【特許文献２】特開平６−８４８７２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この特許文献２の洗浄装置では、一槽タイプとなっているので、装置の小型化が可能であるが、この装置では、純水洗浄するためには、洗浄液を排出（廃棄）して洗浄槽１１１内を空にしないといけない。この洗浄装置は、洗浄液による洗浄後に純水洗浄が必要な被洗浄物Ｗを対象とした装置であるが、この洗浄装置では、一回ごとに洗浄液を廃棄する必要があるため、大量の洗浄液が必要になるという問題がある。
【０００５】
一方、特許文献１の洗浄装置では、純水洗浄工程がないことから、一回ごとに洗浄液を廃棄する必要はないが、洗浄液が洗浄室１０１にずっと溜められていることになるので、洗浄液は次第に汚れてくる。このため汚れた洗浄液で被洗浄物Ｗを洗浄せざるを得ないという問題がある。また、被洗浄物Ｗに付着した汚れをシャワー１０４で洗い落とすようにしているが、この構成では、洗浄工程での時間が余分にかかってしまうという問題が残されている。
【０００６】
そこで、本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、純水洗浄の省略が許容される被洗浄物を洗浄する装置において、洗浄時間が長くなるのを防止しつつ洗浄液の長寿命化を図ることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記の目的を達成するため、本発明は、被洗浄物を洗浄液で洗浄するとともに被洗浄物に付着した洗浄液を乾燥させる洗浄乾燥装置であって、外側容器と、前記外側容器内に配設され、前記洗浄液が貯溜されるとともに被洗浄物を出し入れ可能な開口部が設けられた内側容器と、被洗浄物に付着した洗浄液が蒸発する程度に前記外側容器の内部を減圧させるための減圧手段と、前記洗浄液を浄化するための浄化手段と、前記内側容器の前記開口部を気密状に塞ぐための蓋と、を備えている洗浄乾燥装置である。
【０００８】
本発明では、洗浄液を浄化する浄化手段が設けられているため、内側容器内で被洗浄物を洗浄することで洗浄液が汚れることがあるとしても、洗浄液の浄化が可能となる。このため、洗浄後に改めてシャワーをする等の対策を講ずる必要がなく、洗浄工程が長くなるのを防止することができる。しかも洗浄液を長持ちさせることができる。また、外側容器の内部を減圧することによって洗浄後の被洗浄物を乾燥させるので、被洗浄物を細部に亘って乾燥させることができる。このとき、内側容器が蓋によって気密状に塞がれているため、内側容器内の洗浄液をそこに溜めたまま外側容器内を減圧することができる。このため、被洗浄物の乾燥時に洗浄液を排出する時間を省略でき、乾燥工程の時間を短縮できるとともに、無駄な洗浄液の廃棄を防止することができる。しかも、被洗浄物の乾燥に用いられる外側容器内に洗浄用の内側容器が収容される構成となっているので、密閉容器として構成する必要のある外側容器自体の加工工数が増えるのを抑制することができる。さらに、外側容器の内側に内側容器が配設される構成となっているので、装置の設置時等において内側容器の水平度を調整する際に内側容器のみを独立して動かすことができ、調整作業が煩雑になるのを抑制することができる。つまり、図２に示す上下二槽の構成では、洗浄室と乾燥室との間のシール性を確保すべく、洗浄室には乾燥室がリジッドに固定されており、この洗浄室の水平度を調整するには、乾燥室が一体となった装置の傾き調整を行わなければならず、調整作業が煩雑となる。これに対し、本発明のように外側容器内に内側容器が収容される構成では、外側容器と内側容器との接合部でシール性を確保する必要が生じないので、内側容器単体で傾き調整を行うことが可能となり、調整作業に要する労力が低減される。
【０００９】
前記洗浄乾燥装置において、洗浄液を加熱するヒータを備えているのが好ましい。外側容器内では、減圧に伴って洗浄液が蒸発するため、気化潜熱による温度低下が生ずるが、この態様では、洗浄液を加熱するヒータが設けられているので、温度低下に伴って内側容器内の洗浄液が凝固するのを防止することができる。また、洗浄液の温度上昇により洗浄能力を向上させることもできる。また、処理温度を一定に保つこともできる。
【００１０】
また、前記洗浄乾燥装置において、前記内側容器は、容器内部を、被洗浄物が浸漬される第１室と、第２室とに仕切る仕切り壁を備え、前記内側容器には、一端部が前記第１室に接続されるとともに他端部が前記第２室に接続された循環路が設けられ、前記循環路にポンプが設けられる場合には、このポンプの駆動により前記第１室内の洗浄液を前記仕切り壁から前記第２室内へオーバーフローさせるのが好ましい。
【００１１】
この態様では、ポンプが駆動すると、第２室内の洗浄液が循環路を通して第１室へ流入する。そして、第１室内の洗浄液は仕切り壁からオーバーフローして第２室内へ流れ込む。このように洗浄液を強制的に循環させることができる。すなわち、被洗浄物が浸漬される第１室内の洗浄液を強制的に流動させることができるので、被洗浄物の洗浄能力を向上することができる。
【００１２】
この態様において、前記浄化手段は、前記循環路に設けられたフィルタによって構成されているのが好ましい。この態様では、ポンプの駆動によって洗浄液が内側容器から循環路に流入し、この洗浄液が循環路を流れる。そして、この洗浄液はフィルタによって浄化される。
【００１３】
前記洗浄乾燥装置において、前記内側容器に超音波洗浄手段が設けられているのが好ましい。この態様では、被洗浄物の洗浄力をさらに向上することができる。
【００１４】
前記洗浄乾燥装置において、前記減圧手段は、前記外側容器に接続された吸引路と、この吸引路に設けられたポンプとを備え、前記吸引路は、気液分離器に接続され、前記気液分離器には凝縮手段が設けられているのが好ましい。
【００１５】
この態様では、吸引路を通して吸引される空気が気液分離器に流入するが、この空気に含まれる気化洗浄液が気液分離器に貯溜されることとなる。気液分離器には凝縮手段が設けられているため、気化洗浄液を液化して分離することが可能である。
【００１６】
前記洗浄乾燥装置において、前記被洗浄物を前記内側容器の内部と外部との間で搬送するための搬送手段を備える場合には、前記搬送手段は、前記内側容器内での被洗浄物の洗浄時に当該被洗浄物を揺動可能に構成されていてもよい。この態様では、被洗浄物を揺動させながら被洗浄物の洗浄を行うことができるので、洗浄能力をより向上させることができる。
【発明の効果】
【００１７】
以上説明したように、本発明によれば、純水洗浄の省略が許容される被洗浄物を洗浄する装置において、洗浄時間が長くなるのを防止しつつ洗浄液の長寿命化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明を実施するための最良の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１９】
図１は、本発明による洗浄乾燥装置の一実施形態を概略的に示している。本実施形態による洗浄乾燥装置１０は、半導体や精密機械部品等を洗浄乾燥するための装置である。同図に示すように、洗浄乾燥装置１０は、ケース１２を備え、このケース１２内に外側容器１４が収納された構成となっている。
【００２０】
外側容器１４は、上側が開放された容器であり、この外側容器１４には、外蓋１５が設けられている。外蓋１５は、外側容器１４の上側に形成された外側開口１６を開閉可能に構成されていて、この外側開口１６を気密状に塞ぐことができるようになっている。この外側開口１６は、被洗浄物Ｗを外側容器１４内に搬入する際に使用される。
【００２１】
外側容器１４には、外側容器１４の内部を減圧するための減圧手段２０が設けられている。この減圧手段２０は、吸引路２０ａと、真空ポンプ２０ｂとを備えている。吸引路２０ａは、一端部が外側容器１４に設けられた真空ポート２２に接続されている。吸引路２０ａには第１逆止弁２３、前記真空ポンプ２０ｂ、第２逆止弁２４が設けられている。真空ポンプ２０ｂを駆動することにより、外側容器１４内が減圧される。
【００２２】
吸引路２０ａの他端部は気液分離器２６に接続されている。この気液分離器２６は、吸引路２０ａを通して吸引された空気に含まれる気化洗浄液を空気から分離するためのものであり、気液分離器２６には凝縮手段としての加圧ポンプ２８が設けられている。加圧ポンプ２８は、気液分離器２６に接続されており、この加圧ポンプ２８を駆動することにより、減圧状態にある気液分離器２６内を加圧できるように構成されている。気液分離器２６内が加圧されることにより、気化した洗浄液を液化させることができる。液化した洗浄液は洗浄液回収タンク３０に回収される。
【００２３】
気液分離器２６には、排気路３２が接続されている。この排気路３２は、気液分離器２６内の空気をケース１２外へ排気するためのものであり、排気路３２には逆止弁３３が設けられている。また気液分離器２６には液面センサ３５が設けられている。
【００２４】
外側容器１４内には、内側容器３８が収容されている。この内側容器３８以外の外側容器１４内の空間は被洗浄物Ｗを乾燥させるための乾燥用空間Ｓ１として機能する。内側容器３８は、上側が開放された側壁（外壁）３８ａを有する容器であり、この容器３８には洗浄液（薬液）が貯溜されている。内側容器３８の内部は、仕切り壁３８ｂによって第１室３９と第２室４０とに仕切られている。第１室３９は、被洗浄物Ｗを挿入可能な大きさに構成され、第２室４０は仕切り壁３８ｂを挟んで第１室３９の側方に位置している。仕切り壁３８ｂは内側容器３８の側壁３８ａよりも低い高さとなっているので、この仕切り壁３８ｂを越える程度に洗浄液が第１室３９内に供給された場合には、第１室３９内の洗浄液は、仕切り壁３８ｂを超えて第２室４０内に貯溜されることになる。
【００２５】
第２室４０には液面センサ４２と排出ポート４４とが設けられている。液面センサ４２は、第２室４０内の液量を所定範囲内に制御するためのものであり、第２室４０内の液面を検出可能に構成されている。そして、液面センサ４２は、コントローラ４６に接続されている。第２室４０内の液面が下限高さを下回ると、供給ポンプ４８を駆動して洗浄液供給タンク４９から洗浄液を供給し、上限高さを越えると、洗浄液供給タンク４９からの液供給を停止できるようになっている。排出ポート４４は第２室４０内の洗浄液を全排出するために使用される。
【００２６】
内側容器３８には、天部３８ｃが設けられている。天部３８ｃは、内側容器３８の開口を一部塞ぐように側壁３８ａ上に設けられている。この天部３８ｃには、洗浄液供給タンク４９が繋がる供給管５０の出口端が固定されている。
【００２７】
また内側容器３８には、上側開口を開閉するための蓋５２が設けられている。蓋５２は、内側容器３８の側壁３８ａに回動可能に設けられており、蓋５２は、水平向きとなる閉じ位置と、この閉じ位置から起立した縦向きとなる開き位置との二位置を取り得る。そして、閉じ位置では、上側開口を気密状に塞ぐことができるようになっている。閉じ位置では、蓋５２は天部３８ｃと面接合することで気密性が確保されている。なお、図１では、閉じ位置にある蓋５２を実線で示し、開き位置にある蓋５２を破線で示している。
【００２８】
内側容器３８には洗浄液を循環させるための循環路５５が接続されている。循環路５５の一端部５５ａ（上流側端部）は第２室４０の底部に接続され、他端部５５ｂ（下流側端部）は第１室３９の底部に接続されている。この他端部５５ｂは、例えば水平方向に延びる管状に構成されていて、その管壁に設けられた多数の貫通孔（図示省略）を通して循環路５５内の洗浄液を内側容器３８内に流出させる。
【００２９】
循環路５５には循環ポンプ５７と浄化手段としてのフィルタ５８とが設けられている。循環ポンプ５７は、洗浄液を強制的に流動させるためのものであり、この循環ポンプ５７は、第２室４０に接続された一端部５５ａから第１室３９に接続された他端部５５ｂに向かって洗浄液を流動させるように構成されている。循環ポンプ５７が駆動すると、第２室４０内の洗浄液を吸引する一方、循環路５５内の洗浄液を第１室３９内に送出し、洗浄液を内側容器３８と循環路５５との間で循環させることができる。フィルタ５８は、洗浄液を浄化するためのものであり、洗浄液に含まれる汚れ成分を捕捉可能に構成されている。
【００３０】
内側容器３８には、超音波洗浄手段６０が設けられている。この超音波洗浄手段６０は内側容器３８内の洗浄液に超音波振動を付与することで洗浄液の洗浄力を向上するものである。
【００３１】
循環路５５には、洗浄液を加熱可能なヒータ６２が設けられている。このヒータ６２はコントローラ４６によって制御可能に構成されている。また、内側容器３８には洗浄液の温度を検出するための液温計６４が設けられている。この液温計６４もコントローラ４６に接続されている。ヒータ６２で洗浄液を加熱するようにしているのは、外側容器１４内の乾燥用空間Ｓ１を減圧することで外側容器１４内の洗浄液が蒸発し、それに伴う吸熱作用により内側容器３８内の洗浄液が冷却されて凝固してしまうのを防止するためである。一方、洗浄液の温度を監視することで、洗浄液が沸騰してしまうほどに加熱されるのが防止されている。なお、循環ポンプ５７、フィルタ５８及びヒータ６２は、外側容器１４の外側のケース１２内に配設されている。
【００３２】
循環路５５にはヒータ６２に滞留する洗浄液を排出するためのヒータ側排出管６５と、フィルタ５８に滞留する洗浄液を排出するためのフィルタ側排出管６６とが接続されている。これら排出管６５，６６は何れもドレインタンク６８に接続されている。またヒータ側排出管６５には逆止弁６９が、またフィルタ側排出管６６にはニードル弁７０がそれぞれ設けられている。また、外側容器内に溜まった洗浄液は、ドレイン管７２を通してドレインタンク６８に回収される。
【００３３】
洗浄乾燥装置１０には、被洗浄物Ｗを内側容器３８の内部と外部との間で搬送するための搬送手段７４が設けられている。搬送手段７４は、図外のモータによって駆動するリフター７４ａを備えており、このリフター７４ａは、上下に延びるガイド７４ｂに沿って上下方向に移動可能に構成されている。そして、搬送手段７４は、リフター７４ａに載置された被洗浄物Ｗを、洗浄工程に先立って内側容器３８の外部から内部へと搬送する一方、洗浄が終わると内側容器３８の内部から外部（乾燥用空間Ｓ１）へ被洗浄物Ｗを搬送する。なお、図示省略しているが、外側容器１４の壁には上下方向と垂直に穴が貫通形成されていて、この穴をリフターの支持部材（図示省略）が貫通している。そして、リフター７４ａの上下移動の際には支持部材はその穴の内側で上下移動する。この穴はベローズによって封止されていて、これにより外側容器１４の密閉度が確保されている。
【００３４】
リフター７４ａは、被洗浄物Ｗを洗浄する際に揺動させることができる。例えば、ガイド７４ｂに沿ってリフター７４ａを上下方向に揺動させるように構成されていてもよく、あるいはリフター７４ａをガイド７４ｂに対して左右に揺動可能に構成してもよい。
【００３５】
次に、本実施形態による洗浄乾燥装置１０の動作について説明する。この洗浄乾燥装置１０の動作には、被洗浄物Ｗを洗浄する洗浄工程と、濡れた被洗浄物Ｗを乾燥させる乾燥工程とがある。洗浄工程では、被洗浄物Ｗが搬送手段７４によって内側容器３８内に搬送されて洗浄液に浸漬される。この搬送時には、外蓋１５を開けて、外側容器１４の外側開口１６を通して外側容器１４内に被洗浄物Ｗを入れ、蓋５２を開けてリフター７４ａを降下させて内側容器３８内に被洗浄物Ｗを搬入する。
【００３６】
循環ポンプ５７の駆動により、内側容器３８の第２室４０内の洗浄液が循環路５５に吸入され、この洗浄液は循環路５５を流れた後、他端部５５ｂ（下流側端部）を通して第１室３９内に供給される。循環路５５の他端部５５ｂは第１室３９の底部に設けられているため、内側容器３８の第１室３９内では、下から供給された洗浄液が仕切り壁３８ｂをオーバーフローするという上向きの流動が生ずる。そして、洗浄液は内側容器３８と循環路５５との間で循環するが、この循環により、洗浄液に含まれる汚れ成分はフィルタ５８によって除去される。
【００３７】
また洗浄工程では、超音波洗浄手段６０により洗浄液に超音波振動が発生し、またリフター７４ａの揺動により被洗浄物Ｗが揺動する。このため、洗浄液の流動に加えて超音波振動及び被洗浄物Ｗ自体の揺動により洗浄が行われる。そして、洗浄が終わると、リフター７４ａが上昇し、被洗浄物Ｗは内側容器３８の外側、即ち乾燥用空間Ｓ１内へ運び出される。なお、洗浄時には蓋５２を開けておいてもよく、あるいは閉めておいてもいい。
【００３８】
乾燥工程では、内側容器３８の蓋５２が閉められ、真空ポンプ２０ｂが駆動する。これにより、内側容器３８の外側の空間（乾燥用空間）Ｓ１が減圧されることになる。そして、減圧に伴って洗浄液が蒸発し、これにより被洗浄物Ｗは乾燥する。
【００３９】
一方、気化した洗浄液は真空ポンプ２０ｂによって吸引され、吸引路２０ａを通して気液分離器２６に導入される。気液分離器２６では、加圧ポンプ２８の駆動により気体状の洗浄液が凝縮し、空気と分離される。空気は排気路３２を通して外部に排気され、洗浄液は洗浄液回収タンク３０に回収される。
【００４０】
この乾燥工程において、乾燥用空間Ｓ１での洗浄液の気化に伴って周囲の熱が奪われて温度が低下することがある。この温度低下に伴って内側容器３８内の洗浄液の温度が低下し、洗浄液が凝固するのは好ましいことではないため、ヒータ６２で洗浄液を加熱することにより、洗浄液の凝固を防止している。また、内側容器３８内の洗浄液の温度が液温計６４によって検出されており、洗浄液が沸騰してしまう温度にまで加熱されるのを防止している。なお、洗浄液は乾燥工程の際にも循環ポンプ５７で循環するようにしているが、洗浄液の凝固の虞がないような場合等には洗浄工程のときだけ循環ポンプ５７を駆動するようにしてもよい。
【００４１】
以上説明したように、本実施形態によれば、洗浄液を浄化するフィルタ５８が設けられているため、内側容器３８内で被洗浄物Ｗを洗浄することで洗浄液が汚れることがあるとしても、洗浄液の浄化が可能となっている。したがって、洗浄後に改めてシャワーをする等の対策を講ずる必要がなく、洗浄工程が長くなるのを防止することができる。しかも洗浄液を長持ちさせることができる。また、外側容器１４の内部を減圧することによって洗浄後の被洗浄物Ｗを乾燥させるので、被洗浄物Ｗを細部に亘って乾燥させることができる。このとき、内側容器３８が蓋５２によって気密状に塞がれているため、内側容器３８内の洗浄液をそこに溜めたまま外側容器１４内を減圧することができる。このため、被洗浄物Ｗの乾燥時に洗浄液を排出する時間を省略でき、乾燥工程の時間を短縮できるとともに、無駄な洗浄液の廃棄を防止することができる。しかも、被洗浄物Ｗの乾燥に用いられる外側容器１４内に洗浄用の内側容器３８が収容される構成となっているので、密閉容器として構成する必要のある外側容器１４自体の加工工数が増えるのを抑制することができる。さらに、外側容器１４の内側に内側容器３８が配設される構成となっているので、装置の設置時等において内側容器３８の水平度を調整する際に内側容器３８のみを独立して動かすことができ、調整作業が煩雑になるのを抑制することができる。つまり、図２に示す上下二槽の構成では、洗浄室と乾燥室との間のシール性を確保すべく、洗浄室には乾燥室がリジッドに固定されており、この洗浄室の水平度を調整するには、乾燥室が一体となった装置の傾き調整を行わなければならず、調整作業が煩雑となる。これに対し、本実施形態のように外側容器１４内に内側容器３８が収容される構成では、外側容器１４と内側容器３８との接合部でシール性を確保する必要が生じないので、内側容器３８単体で傾き調整を行うことが可能となり、調整作業に要する労力が低減される。特に、本実施形態では、オーバーフローさせる構成となっているので、内側容器３８の微調整が要求されるが、内側容器３８のみの調整で済むため、内側容器３８の微調整作業を行い易いものとなっている。
【００４２】
また本実施形態では洗浄液を加熱するヒータ６２が設けられているので、乾燥用空間Ｓ１内での洗浄液の蒸発に伴う温度低下によって内側容器３８内の洗浄液が凝固するのを防止することができる。また、洗浄液の温度上昇により洗浄能力を向上させることもできる。また処理温度を一定に保つことができる。
【００４３】
また本実施形態では、循環ポンプ５７が駆動すると、第２室４０内の洗浄液が循環路５５を通して第１室３９へ流入する。そして、第１室３９内の洗浄液は仕切り壁３８ｂからオーバーフローして第２室４０内へ流れ込む。このように洗浄液を強制的に循環させることができる。すなわち、被洗浄物Ｗが浸漬される第１室３９内の洗浄液をポンプ５７によって強制的に流動させることができるので、被洗浄物Ｗの洗浄能力を向上することができる。
【００４４】
しかも本実施形態では、超音波洗浄手段６０が設けられているので、被洗浄物Ｗの洗浄力をさらに向上することができる。
【００４５】
また本実施形態では、真空ポンプ２０ｂの駆動により吸引路２０ａを通して吸引される空気が気液分離器２６に流入するが、この空気に含まれる気化洗浄液が気液分離器２６に貯溜されることとなる。気液分離器２６には凝縮手段が設けられているため、気化洗浄液を液化して分離することが可能である。
【００４６】
また本実施形態では、洗浄時に被洗浄物Ｗを揺動させながら被洗浄物Ｗの洗浄を行うことができるので、洗浄能力をより向上させることができる。
【００４７】
なお、本発明は、前記実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変更、改良等が可能である。例えば、ヒータ６２は循環路５５に設けるようにしたが、これに代え、内側容器３８内に配置するようにしてもよい。
【００４８】
また本実施形態では、洗浄時にリフター７４ａを揺動させるようにしたが、被洗浄物Ｗの種類によってはリフター７４ａが揺動しないようにしてもよい。また超音波洗浄手段６０を省略してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の実施形態による洗浄乾燥装置の全体構成を概略的に示す図である。
【図２】従来の洗浄乾燥装置の構成を示す図である。
【図３】従来の洗浄乾燥装置の構成を示す図である。
【符号の説明】
【００５０】
１４  外側容器
２０  減圧手段
２０ａ  吸引路
２０ｂ  真空ポンプ
２６  気液分離器
２８  加圧ポンプ
３８  内側容器
３８ａ  側壁
３８ｂ  仕切り壁
３９  第１室
４０  第２室
５２  蓋
５５  循環路
５５ａ  一端部
５５ｂ  他端部
５７  循環ポンプ
５８  フィルタ
６０  超音波洗浄手段
６２  ヒータ
７４  搬送手段
【図１】
2008294368.tif 000003
【図２】
2008294368.tif 000004
【図３】
2008294368.tif 000005