(57)【要約】【課題】  ヘッドユニットを構成するプレート部材間における接着剤の不足を早期に発見することができるヘッドユニットの厚さの管理方法および製造方法を実現する。【解決手段】  キャビティプレート３１からノズルプレート３８の各板厚を総て合計した総板厚をＢ、１組当りのプレート部材間に存在する接着層の厚さの設定値をＣ、積層されたプレート部材の数を８とすると、各プレート部材間の接着層Ｌ１〜Ｌ７を合計した接着層Ｃ１〜Ｃ７の総厚は、７×Ｃとなるから、キャビティユニット５０の総板厚は、Ｂ＋（Ｎ−１）×Ｃで表すことができる。つまり、キャビティユニット５０の総板厚の管理値をＡとした場合に、Ａ≧Ｂ＋（Ｎ−１）×Ｃを満たすように総板厚を管理すれば、設定値Ｃよりも小さい厚さの接着層が存在しないようにすることができる。【選択図】  図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体の流路が形成されたプレート部材を複数枚積層して構成されているとともに、各プレート部材間が接着層によって接着されており、アクチュエータの駆動により液滴を噴射するノズルが配置されたノズル面を前面に有するヘッドユニットにおいて、前記複数枚のプレート部材のうち少なくとも一部の複数枚の板厚を総て合計した総板厚をＢ、前記一部の複数枚のプレート部材の数をＮ、１組当りのプレート部材間に存在する前記接着層の厚さの設定値をＣ、前記一部の複数枚からなる総板厚の管理値をＡとした場合に、
Ａ≧Ｂ＋（Ｎ−１）×Ｃ
を満たすように前記ヘッドユニットの総板厚を管理することを特徴とするヘッドユニットの厚さの管理方法。
【請求項２】
液体の流路が形成されたプレート部材を複数枚積層して構成されているとともに、各プレート部材間が接着層によって接着されており、アクチュエータの駆動により液滴を噴射するノズルが配置されたノズル面を前面に有するヘッドユニットにおいて、
あらかじめ設定された厚さにそれぞれ形成された前記複数枚のプレート部材を、それらの間に前記接着層を介在して積層接着する工程と、
前記複数枚のプレート部材のうち少なくとも一部の複数枚が積層接着された状態でその総板厚を測定する工程と、
前記一部の複数枚の各プレート部材のあらかじめ設定された板厚を総て合計した総板厚をＢ、前記一部の複数枚のプレート部材の数をＮ、１組当りのプレート部材間に存在する前記接着層の厚さの設定値をＣとしたとき、Ｂ＋（Ｎ−１）×Ｃの値と前記測定した総板厚とを比較する工程と
を備えることを特徴とするヘッドユニットの製造方法。
【請求項３】
前記測定した総板厚が、前記Ｂ＋（Ｎ−１）×Ｃの値と同じかそれよりも大きいものについて、前記積層接着された前記複数枚のプレート部材に前記アクチュエータを接合する工程をさらに備えることを特徴とする請求項２に記載のヘッドユニットの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、液体の流路が形成されたプレート部材を接着剤によって複数積層して構成されており、アクチュエータの駆動により液滴を噴射するヘッドユニットの厚さの管理方法および製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のヘッドユニットを使用したものとして、インク液滴を噴射するヘッドユニットを被記録媒体と対向させて走査することにより、被記録媒体にインクで記録を行うインクジェット記録装置が知られている。上記ヘッドユニットは、インクの流路が形成されたキャビティユニットと、このキャビティユニットに隣接して配置された圧電アクチュエータと、この圧電アクチュエータを駆動する駆動回路とを備える。上記キャビティユニットは、インクを収容する複数の圧力室が形成されたキャビティプレート、各圧力室へインクを供給する共通インク室が形成されたマニホールドプレートおよび各圧力室と連通するノズルが開口形成されたノズルプレートなどの複数枚のプレートを備えており、各プレート間は接着層によって接着されている。
そして、駆動回路によって駆動された圧電アクチュエータが圧力室に対して選択的に噴射圧力を付与し、圧力室と接続されたノズルからインク液滴を被記録媒体へ噴射する。
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−９６１７１号公報（公報第２２段落、図１〜３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、キャビティユニットを製造する場合に、各プレート間を接着する接着剤の量が不足すると、インク流路間が連通し、インクの混色などが発生する場合がある。
しかし、従来のヘッドユニットの製造方法では、ヘッドユニット製造後の印字検査においてインクの混色が発見された場合に、所定のプレート部材間における接着剤の不足により、インク流路間の連通が発生していと判断するため、接着不良に対する対策が遅れるという問題がある。
特に、印字検査に用いるヘッドユニットには、高価な圧電アクチュエータおよび駆動回路が取付けられており、そのヘッドユニットを相当のロット数製造した後に印字検査を行うため、印字検査の時点で接着不良が発見されると、多数のヘッドユニットが製造不良となってしまい、製造の歩留まりが低下するという問題がある。
【０００５】
そこで、この発明は、ヘッドユニットを構成するプレート部材間における接着剤の不足を早期に発見することができるヘッドユニットの厚さの管理方法および製造方法を実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明は、上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、液体の流路（３１ａ〜３１ｈ、３２ａ〜３２ｎ、３３ａ〜３３ｎ、３４ａ〜３４ｎ、３５ａ〜３５ｎ、３６ａ〜３６ｎ、３７ｈ、３７ｉ、３７ｎ、３８ｆ〜３８ｎ）が形成されたプレート部材（３１〜３８）を複数枚積層して構成されているとともに、各プレート部材間が接着層（Ｌ１〜Ｌ７）によって接着されており、アクチュエータ（４０）の駆動により液滴を噴射するノズル（３８ｆ〜３８ｎ）が配置されたノズル面（３８ｐ）を前面に有するヘッドユニット（３０）において、前記複数枚のプレート部材のうち少なくとも一部の複数枚の板厚を総て合計した総板厚をＢ、前記一部の複数枚のプレート部材の数をＮ、１組当りのプレート部材間に存在する前記接着層の厚さの設定値をＣ、前記一部の複数枚からなる総板厚の管理値をＡとした場合に、Ａ≧Ｂ＋（Ｎ−１）×Ｃを満たすように前記ヘッドユニットの総板厚を管理するヘッドユニットの厚さの管理方法という技術的手段を用いる。
【０００７】
請求項２に記載の発明では、液体の流路（３１ａ〜３１ｈ、３２ａ〜３２ｎ、３３ａ〜３３ｎ、３４ａ〜３４ｎ、３５ａ〜３５ｎ、３６ａ〜３６ｎ、３７ｈ、３７ｉ、３７ｎ、３８ｆ〜３８ｎ）が形成されたプレート部材（３１〜３８）を複数枚積層して構成されているとともに、各プレート部材間が接着層（Ｌ１〜Ｌ７）によって接着されており、アクチュエータ（４０）の駆動により液滴を噴射するノズル（３８ｆ〜３８ｎ）が配置されたノズル面（３８ｐ）を前面に有するヘッドユニット（３０）において、あらかじめ設定された厚さにそれぞれ形成された前記複数枚のプレート部材を、それらの間に前記接着層を介在して積層接着する工程（Ｓ１）と、前記複数枚のプレート部材のうち少なくとも一部の複数枚が積層接着された状態でその総板厚を測定する工程（Ｓ２）と、前記一部の複数枚の各プレート部材のあらかじめ設定された板厚を総て合計した総板厚をＢ、前記一部の複数枚のプレート部材の数をＮ、１組当りのプレート部材間に存在する前記接着層の厚さの設定値をＣとしたとき、Ｂ＋（Ｎ−１）×Ｃの値と前記測定した総板厚とを比較する工程（Ｓ３）とを備えるヘッドユニットの製造方法という技術的手段を用いる。
【０００８】
複数枚のプレート部材のうち少なくとも一部の複数枚の各板厚を総て合計した総板厚をＢ、１組当りのプレート部材間に存在する接着層の厚さの設定値をＣとし、前記一部の複数枚のプレート部材の数をＮとすると、各プレート部材間の接着層を合計した接着層の総厚は、（Ｎ−１）×Ｃとなるから、各プレート部材を接着層によって接着して積層して作成された積層体の総板厚は、Ｂ＋（Ｎ−１）×Ｃで表すことができる。
つまり、上記積層体の実際の総板厚Ａを測定し、その測定した総板厚Ａが、Ｂ＋（Ｎ−１）×Ｃと同一か、または、Ｂ＋（Ｎ−１）×Ｃよりも厚い場合は、上記積層体を構成する各プレート部材間の接着層の厚さの平均値は、少なくとも設定値Ｃ以上であると推定することができる。
従って、請求項１または請求項２に係る発明によれば、ヘッドユニットを構成するプレート部材を積層する工程の途中であっても、各プレート部材間の接着剤の厚さが適正か否かを判断することができるため、接着剤の不足を早期に発見することができる。
【０００９】
請求項３に記載の発明では、請求項２に記載のヘッドユニットの製造方法において、前記測定した総板厚が、前記Ｂ＋（Ｎ−１）×Ｃの値と同じかそれよりも大きいものについて、前記積層接着された前記複数枚のプレート部材に前記アクチュエータを接合する工程（Ｓ４）をさらに備えるという技術的手段を用いる。
【００１０】
アクチュエータは積層接着された複数枚のプレート部材に接合するため、接合後にアクチュエータを積層接着された複数枚のプレート部材から外して再利用することは困難である。このため、積層接着された複数枚のプレート部材にアクチュエータを接合した後で接着剤の不足が発見されると、積層接着された複数枚のプレート部材と共にアクチュエータまでもが無駄になってしまうが、請求項３に係る発明によれば、複数枚のプレート部材を積層してなる積層体の総板厚Ａの測定結果が合格した場合にのみ、積層接着された複数枚のプレート部材にアクチュエータを接合することができるため、プレート部材間の接着剤の不足に起因してアクチュエータが無駄になることがない。
従って、ヘッドユニットの製造歩留まりを高めることができる。
特に、印字検査は、複数枚のプレート部材を積層してなるキャビティユニットに圧電アクチュエータおよび駆動回路を取付けたヘッドユニットをロット単位で製造した後に行うため、印字検査の時点で接着不良が発見されると、相当のロット数のヘッドユニットが製造不良となってしまうが、請求項３に係る発明によれば、ヘッドユニットをロット単位で製造する前に接着剤の不足を発見することができるため、ヘッドユニットの製造の歩留まりをより一層高めることができる。
【００１１】
なお、上記括弧内の符号は、後述する各実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
この発明の実施形態について、インクジェット記録装置に搭載されたヘッドユニットの厚さの管理方法および製造方法を例にして説明する。
［主要構成］
最初に、インクジェット記録装置の主要構成について図１を参照して説明する。図１はインクジェット記録装置の主要構成を示す平面説明図である。
インクジェット記録装置１の内部には、２本のガイド軸６，７が設けられており、そのガイド軸６，７には、キャリッジを兼用するヘッドホルダ９が取付けられている。ヘッドホルダ９には、記録用紙Ｐへインクを噴射して記録を行うヘッドユニット３０が保持されている。ヘッドホルダ９は、キャリッジモータ１０により回転する無端ベルト１１に取付けられており、無端ベルト１１の回転により、ガイド軸６，７に沿って移動する。
【００１３】
また、インクジェット記録装置１には、イエロー色のインク（以下、イエローインクという）が収容されたインクタンク５ａと、マゼンタ色のインク（以下、マゼンタインクという）が収容されたインクタンク５ｂと、シアン色のインク（以下、シアンインクという）が収容されたインクタンク５ｃと、ブラック色のインク（以下、ブラックインクという）が収容されたインクタンク５ｄとが備えられている。各インクタンク５ａ〜５ｄは、それぞれ可撓性のインク供給チューブ１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄに接続されており、各インク供給チューブから供給される各インクは、ヘッドホルダ９から前方へ延出されたチューブジョイント２０を介してヘッドユニット３０へ導入される。各インクとしては、顔料系インクまたは染料系インクを使用することができる。
【００１４】
［ヘッドユニットの構造］
次に、ヘッドユニット３０の構造について図２ないし図５を参照して説明する。
図２はヘッドホルダ９をノズル面から見た平面図である。図３は図２に示すヘッドホルダ９に保持されたヘッドユニットを構成する各プレート部材の斜視図である。図４は、図２に示すヘッドホルダ９に保持されたヘッドユニットのＡ−Ａ矢視断面の部分説明図である。図５は、図４に示すヘッドユニットを構成する各プレート部材が接着層を介して積層されている状態を模式的に示す説明図である。なお、以下の説明では、インクを噴射する方向を下方とする。
【００１５】
図２に示すように、ヘッドユニット３０の下面に形成されたノズル面３８ｐには、ブラックインクを噴射するノズル３８ｆと、イエローインクを噴射するノズル３８ｈと、シアンインクを噴射するノズル３８ｉと、マゼンタインクを噴射するノズル３８ｎとが、それぞれヘッドホルダ９の移動方向（主走査方向）と直交する方向に延びるように列状に配置されている。各ノズルは、被記録媒体たる記録用紙Ｐ（図１）の上面に対向するように下向きに開口している。
【００１６】
図４に示すように、ヘッドユニット３０は、キャビティユニット５０の上面に圧電アクチュエータ４０を接合して構成される。図３に示すように、キャビティユニット５０は、下から順にノズルプレート３８、スペーサプレート３７、ダンパープレート３６、マニホールドプレート３５，３４、サプライプレート３３、ベースプレート３２、キャビティプレート３１の合計８枚の薄いプレート部材をそれぞれ重ね接合した構造である。各プレート部材は、５０μｍ〜１５０μｍの厚さを有し、ノズルプレート３８は、ポリイミドなどの合成樹脂製、他のプレート部材は４２合金鋼（４２％ニッケル合金鋼）などの金属製である。
図５に示すように、各プレート部材間は、接着層Ｌ１〜Ｌ７によって接着されている。この実施形態では、各接着層は、例えば熱硬化性エポキシ樹脂などを塗布または転写などにより形成されている。
【００１７】
圧電アクチュエータ４０は、ブラックインクを噴射するためのエネルギを発生する活性部４１，４１と、イエローインクを噴射するためのエネルギを発生する活性部４２とを備える。図４では省略されているが、実際には、活性部４２の右方には、シアンインクを噴射するためのエネルギを発生する活性部が配置されており、さらにその右方には、マゼンタインクを噴射するためのエネルギを発生する活性部が配置されている。ここで、活性部とは、圧電アクチュエータのうち、圧力室内のインクに噴射のための圧力を与えるために変位する部分のことである。
【００１８】
圧電アクチュエータ４０は、圧電材料により形成された圧電シートと、膜状の電極とを交互に積層して構成されている。活性部４１は、電極４１ｂ，４１ｃ間に上下を挟まれた圧電シートの部分４１ａで構成されており、他の活性部も同様に構成されている。
各活性部の下方であって、キャビティプレート３１の内部には、複数の圧力室が形成されている。複数の活性部４１の下方であって、キャビティプレート３１の内部には、ブラックインクに噴射圧力を与えるための圧力室３１ｅがそれぞれ形成され配列されている。同様に複数の活性部４２の下方には、イエローインクのための圧力室３１ｆ、他の活性部の下方には、シアンインクのための圧力室３１ｇ、マゼンタインクのための圧力室３１ｈががそれぞれ形成され配列されている。
各圧力室の列の下方であって、マニホールドプレート３５，３４の内部には、各圧力室へインクを供給する共通インク室が各圧力室の列の全長にわたる長さに形成されている。圧力室３１ｅの列の下方であって、マニホールドプレート３５，３４の内部には、ブラックインクを収容する共通インク室３５ａ，３４ａが形成されている。圧力室３１ｆの列の下方であって、マニホールドプレート３５，３４の内部には、イエローインクを収容する共通インク室３５ｂ，３４ｂが形成されている。圧力室３１ｇの列の下方であって、マニホールドプレート３５，３４の内部には、シアンインクを収容するための共通インク室３５ｃ，３４ｃが形成されており、圧力室３１ｈの列の下方であって、マニホールドプレート３５，３４の内部には、マゼンタインクを収容するための共通インク室３５ｄ，３４ｄが形成されている（図３）。
【００１９】
各共通インク室３４ａ〜３４ｄの上方に配置されたサプライプレート３３の内部には、各圧力室に対応して絞り部３３ｅ，３３ｇ，３３ｊ，３３ｍが形成されている。各絞り部は、それぞれサプライプレート３３の上部の平板面に沿って溝状に形成されている。各絞り部のインク流入側の端部は、上下方向に貫通形成された連通孔を介して各共通インク室とそれぞれ連通している。
また、サプライプレート３３の上には、各絞り部の長手方向開放面を覆ってベースプレート３２が積層され、このベースプレート３２に上下方向に貫通形成された連通孔３２ｅ，３２ｇ，３２ｊ，３２ｍにより、各圧力室と各絞り部のインク流出側の端部とをそれぞれ連通している。
【００２０】
各絞り部の縦断面積は、それぞれ連通する圧力室の断面積よりも小さく形成されており、共通インク室及び圧力室よりも流路抵抗が大きく設定されている。つまり、各絞り部は、連通する圧力室内で発生した圧力変動のうち、共通インク室へ向かう成分を緩和する役割をする。
各共通インク室と対応する位置においてダンパープレート３６の下面にはダンパー室３６ａ〜３６ｄが形成されている。各ダンパー室は、ダンパープレート３６の下面にてそれぞれ下向きに開口形成されており、各ダンパー室の横断面形状は、ダンパープレート３６に隣接する各共通インク室の下面の横断面形状と同一形状に形成されている。
【００２１】
ダンパープレート３６は、弾性変形可能な金属などの素材により形成されており、各ダンパー室上部の薄い板状の底板部３６ｅは、共通インク室側にも、ダンパー室側にも自由に振動することができる。インク液滴の噴射時に、圧力室で発生した圧力変動が共通インク室に伝播しても、上記底板部３６ｅが弾性変形して振動することにより、上記圧力変動を吸収減衰させるというダンパー効果を有し、圧力変動が他の圧力室へ伝播するというクロストークを防止する効果を奏するものである。
【００２２】
キャビティプレート３１とノズルプレート３８との間の各プレート３２〜３７には、圧力室３１ｅ内のブラックインクをノズル３８ｆに導くための貫通孔３２ｆ〜３６ｆと、圧力室３１ｆ内のイエローインクをノズル３８ｈに導くための貫通孔３２ｈ〜３６ｈと、圧力室３１ｇ内のシアンインクをノズル３８ｉに導くための貫通孔３２ｉ〜３６ｉと、圧力室３１ｈ内のマゼンタインクをノズル３８ｎに導くための貫通孔３２ｎ〜３６ｎとがそれぞれ上下方向に相互に連通して形成されている。
【００２３】
ヘッドホルダ９には、各インクタンク５ａ〜５ｄ（図１）から供給されるインクに含まれる気泡を貯留する中継インク室を有する中継タンク（図示せず）が備えられている。図３に示すように、キャビティプレート３１、ベースプレート３２およびサプライプレート３３には、上記中継タンクから供給される各インクを対応する共通インク室へ供給するためのインク供給口３１ａ〜３１ｄ、３２ａ〜３２ｄおよび３３ａ〜３３ｄがそれぞれ上下方向に相互に連通して形成されている。また、キャビティプレート３１のインク供給口３１ａ〜３１ｄには、各インクに含まれる不純物を濾過するためのフィルタ６１〜６４を有するフィルタ部材６０が被せられている。
【００２４】
［ヘッドユニットの厚さの管理方法］
次に、ヘッドユニット３０の厚さの管理方法について説明する。
図５に示すように、キャビティプレート３１の下面及びベースプレート３２の上面は、厚さＣ１の接着層Ｌ１により、ベースプレート３２の下面及びサプライプレート３３の上面は、厚さＣ２の接着層Ｌ２によりそれぞれ接着されている。サプライプレート３３の下面及びマニホールドプレート３４の上面は、厚さＣ３の接着層Ｌ３により、マニホールドプレート３４の下面及びマニホールドプレート３５の上面は、厚さＣ４の接着層Ｌ４によりそれぞれ接着されている。マニホールドプレート３５の下面及びダンパープレート３６の上面は、厚さＣ５の接着層Ｌ５により、ダンパープレート３６の下面及びスペーサプレート３７の上面は、厚さＣ６の接着層Ｌ６により、スペーサプレート３７の下面及びノズルプレート３８の上面は、厚さＣ７の接着層Ｌ７によりそれぞれ接着されている。
【００２５】
積層すべき各プレート部材の各板厚を総て合計した総板厚をＢとし、１組当りのプレート部材間に存在すべき接着層の厚さの設定値をＣとし、積層されたプレート部材の数をＮとすると、各プレート部材間の接着層を合計した接着層の総厚は、（Ｎ−１）×Ｃとなるから、各プレート部材を接着層によって接着して積層して作成された積層体の総板厚は、Ｂ＋（Ｎ−１）×Ｃで表すことができる。
つまり、上記積層体の総板厚が、Ｂ＋（Ｎ−１）×Ｃと同一か、または、Ｂ＋（Ｎ−１）×Ｃよりも厚い場合は、上記積層体を構成する各プレート部材間の接着層の厚さの平均値は、少なくとも設定値Ｃ以上であると推定することができる。換言すると、上記積層体の総板厚の管理値をＡとした場合に、Ａ≧Ｂ＋（Ｎ−１）×Ｃを満たすようにキャビティユニット５０の総板厚を管理すれば、設定値Ｃよりも小さい厚さの接着層が存在しないようにすることができる。
【００２６】
ここで、キャビティユニット５０の各プレート部材３１〜３８の各板厚を総て合計した総板厚Ｂが７４０μｍ、接着層の厚さの設定値Ｃを１μｍとすると、図５に示すキャビティユニット５０の場合、プレート部材の数Ｎは８であるから、Ｂ＋（Ｎ−１）×Ｃ＝７４０μｍ＋（８−１）×１μｍ＝７４７μｍとなる。
例えば、実際に測定したキャビティユニット５０の総板厚Ａが７４５μｍであった場合は、各プレート部材間の接着層Ｌ１〜Ｌ７の厚さＣ１〜Ｃ７の平均値は、（７４５μｍ−７４０μｍ）／７≒０．７１μｍとなり、少なくともいずれか１組のプレート部材間の接着層の厚さが１μｍ未満であると推定できる。
また、測定した総板厚Ａが７５０μｍであった場合は、接着層の厚さの平均値は、（７５０μｍ−７４０μｍ）／７≒１．４３μｍとなり、各プレート部材間の各接着層の厚さはそれぞれ少なくとも設定値の１μｍ以上であると推定できる。換言すると、設定値の１μｍよりも小さい厚さの接着層は存在しないと推定することができる。
【００２７】
［ヘッドユニットの製造方法］
次に、ヘッドユニット３０の製造方法について図を参照して説明する。図６は、ヘッドユニットの製造方法を示す工程図である。
プレート部材間に接着剤を介在させた状態で積層し、プレート部材間をプレス機械などの押圧手段によって押圧するとともに加熱し、接着剤を加熱硬化させることにより、プレート部材同士を接着固定し、キャビティユニットを製造する（ステップ（以下、Ｓと略す）１）。この接着作業は、プレート部材を１枚ずつ積層する毎に行うこともでき、所定枚数を積層してからまとめて一度に行うこともできる。
【００２８】
続いて、Ｓ１によって作成されたキャビティユニット５０の総板厚Ｄをレーザ測定器などの測定手段によって測定する（Ｓ２）。続いて、Ｓ２において測定された総板厚Ｄが、予め求めておいたＢ＋（Ｎ−１）×Ｃの値（以下、目標値という）以上か否かを判断し（Ｓ３）、目標値以上であると判断した場合は（Ｓ３：Ｙｅｓ）、キャビティユニット５０に圧電アクチュエータ４０を接合する（Ｓ４）。また、総板厚Ｄが目標値よりも小さいと判断した場合は（Ｓ３：Ｎｏ）、圧電アクチュエータ４０の接合を行わず、Ｓ１において製造したキャビティユニットをＮＧとし、製造工程から外す（Ｓ５）。
【００２９】
以上のように、キャビティユニット５０の総板厚Ｄの測定結果が目標値以上であった場合にのみ、キャビティユニット５０に圧電アクチュエータ４０を接合することができるため、プレート部材間の接着剤の不足に起因して圧電アクチュエータ４０が無駄になることがない。
従って、ヘッドユニット３０の製造歩留まりを高めることができる。
特に、印字検査は、キャビティユニット５０に圧電アクチュエータ４０および駆動回路を取付けたヘッドユニット３０をロット単位で製造した後に行うため、印字検査の時点で接着不良が発見されると、相当のロット数のヘッドユニット３０が製造不良となってしまうが、上記実施形態の製造方法によれば、ヘッドユニット３０を１ロット製造する前に接着剤の不足を発見することができるため、ヘッドユニット３０の製造の歩留まりをより一層高めることができる。
【００３０】
また、Ｓ１においてキャビティユニット５０を構成するプレート部材を全部積層接着する前に、所定数のプレート部材を積層接着した段階で、その積層体の総板厚を測定し（Ｓ２）、その測定された総板厚と、その積層体に対応する目標値とを比較し（Ｓ３）、測定された総板厚が目標値以上であると判断した場合に（Ｓ３：Ｙｅｓ）、次のプレート部材を上記積層体に接着積層する工程を実行し（Ｓ６）、上記積層体の総板厚が目標値よりも小さいと判断した場合は（Ｓ３：Ｎｏ）、次のプレート部材を上記積層体に接着積層する工程を実行しないで、上記積層体をＮＧとし、製造工程から外す（Ｓ５）という製造方法でもよい。
この製造方法によれば、キャビティユニット５０を構成するプレート部材を積層する工程の途中であっても、各プレート部材間の接着剤の不足を判断することができるため、接着剤の不足を早期に発見することができる。
【００３１】
＜他の実施形態＞
（１）上記実施形態では、インクジェット記録装置に備えられたヘッドユニットの厚さの管理方法および製造方法を例にして説明したが、インク以外の液を噴射するヘッドユニットに対して、この発明を適用できることは勿論である。
（２）また、この発明は、特定のインクを一色のみ使用するヘッドユニットにも適用することができる。
（３）さらに、この発明は、インクなどの液体内に熱エネルギを付与することにより、液体内に発生した気泡による圧力変化を用いたり、静電気による振動板の変位を用いて液滴を噴射するヘッドユニットにも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】インクジェット記録装置の主要構成を示す平面説明図である。
【図２】ヘッドホルダ９をノズル面から見た平面図である。
【図３】図２に示すヘッドホルダ９に保持されたヘッドユニットを構成する各プレート部材の斜視図である。
【図４】図２に示すヘッドホルダ９に保持されたヘッドユニットのＡ−Ａ矢視断面の部分説明図である。
【図５】図４に示すヘッドユニットを構成する各プレート部材が接着層を介して積層されている状態を模式的に示す説明図である。
【図６】ヘッドユニットの製造方法を示す工程図である。
【符号の説明】
【００３３】
１・・インクジェット記録装置、３０・・ヘッドユニット、
３１・・キャビティプレート、３１ｅ・・圧力室、３２・・ベースプレート、
３３・・サプライプレート、３３ｅ・・絞り部、
３４，３５・・マニホールドプレート、３４ａ，３５ａ・・共通インク室、
３６・・ダンパープレート、３６ａ・・ダンパー室、
３７・・スペーサプレート、３８・・ノズルプレート、３８ｆ・・ノズル、
４０・・圧電アクチュエータ、５０・・キャビティユニット、
Ｌ１〜Ｌ７・・接着層。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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