(57)【要約】【課題】１個の差圧計を用いるにも関わらず、差圧計の表示が正確で、かつ切り換え直後でも表示が安定する差圧監視盤を提供する。【解決手段】微差圧計１４をロータリバルブ１２の測定ポート２４、２５に連結し、ロータリバルブ１２の導圧ポート２６〜２９を各室Ａ〜Ｄと連通し、ロータリバルブ１２の中心ダイヤル２１と周縁ダイヤル２２とで導圧ポートと測定ポートの連結を切り換えると共に、切り換えの途中でパージポート３５、３８から微差圧計１４の残圧を排出するようにした差圧監視盤１０。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の室内のうち、選択した２室の差圧を表示する差圧監視盤であって、
２個の圧力測定口を備えた差圧計と、それらの圧力測定口といずれかの室内とを選択的に連通する切り換え手段と、前記圧力測定口を一定圧の空間と連通／遮断するパージ手段とを備えている、差圧監視盤。
【請求項２】
前記切り換え手段が、それぞれの室内と連通する導圧ポートと、前記差圧計と連通する測定ポートとを備えた本体と、その本体に対して回転自在に取り付けられ、回転角度により、測定ポートに連結する導圧ポートを選択的に切り換えるダイヤルとを備えている請求項１記載の差圧監視盤。
【請求項３】
前記ダイヤルが一定圧の空間と連通するパージポートを備えており、測定済みの導圧ポートからこれから測定しようとする他の導圧ポートに切り換えるときに、一旦パージポートと測定ポートを連通させた上で、他の導圧ポートに切り換えられるように構成されている請求項２記載の差圧監視盤。
【請求項４】
前記切り換え手段が、１個の導圧ポートと１個の測定ポートとを連通させる第１ダイヤルと、他の１個の導圧ポートと他の測定ポートとを連通させる第２ダイヤルとを備えており、
第１ダイヤルと第２ダイヤルとを個別に操作できるように構成されている請求項１または２記載の差圧監視盤。
【請求項５】
前記切り換え手段が、隣室同士の２室の導圧ポートと２個の測定ポートとを選択的に連通するように構成されている請求項１または２記載の差圧監視盤。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は差圧監視盤に関する。さらに詳しくは、複数の室内のうち選択した２室の差圧を表示する差圧監視盤に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１の図１２には、それぞれ１番から１２番までの圧力計測ポートを有し、連動して作動する２個のロータリ式切り換え弁と、それらの間に介在される差圧センサとを備え、コンピュータによりロータリ式切り換え弁を１番から１２番まで順次切り換えて圧力計測点の圧力を圧力センサに導き、差圧を測定し、この信号をコンピュータに収録する多点圧力計測装置が開示されている。
【０００３】
特許文献１の記載ではこの装置の作用は充分には理解できないが、測定点を順次切り換えていくため、任意の計測点のデータ収録を直ちに行うことができない、とされている。また、特許文献１の図６には、多数の切替弁をコンピュータで制御切替して差圧を測定しているが、停電時など、圧力バランスが崩れやすく、一番確認が必要なときに確認ができない。また、研究施設などの場合は部屋割りの変更期間が短いため、配管だけではく電源や通信配線の変更が必要となり煩雑となる。
【０００４】
他方、特許文献２には、封入液を具備する差圧測定装置における、接液ダイヤフラムの破損や受圧室への水素の透過を検視する手段を備えた差圧測定装置が開示されている。このものは通常時に圧力を検出するポートを、熱媒体導入管に切り換えて、異常を検出することを教えている。
【特許文献１】特開平７−８３７７９号公報
【特許文献２】特開２００３−１５６４０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
クリーンルームでは、外部からのほこりの侵入を防止するため、クリーンルーム以外の室に対して陽圧にしているが、多数のクリーンルームが隣接している場合、クリーン度が高い室の圧力をクリーン度が低い室の圧力より高く維持する必要がある。大きいクリーンルームを多数の小室に仕切って使用する場合も同様である。そしてそのような状態が維持されているかを常時監視するため、たとえば図１４に示すような差圧監視盤１００が用いられている。また、クリーンルームのほか、汚染物質の拡散を防ぐため周囲に対して負圧に維持する必要があるハザード施設とその周囲の空間との差圧も常時監視する必要がある。
【０００６】
図１４の差圧監視盤１００は、多数の差圧計１０１、とくに微差圧計を縦横に配列し、縦ｎ番目、横ｍ番目の差圧計１０１ｍｎにより第ｎ室と第ｍ室の差圧を表示する。そのため、多数の室同士の差圧を一度に表示できる利点はあるが、測定しようとする室の数をＮとすると、高圧側のポートと低圧側のポートが定まっている差圧計の場合は、Ｎ室から取り出す順番を含めた場合の任意の２室を取り出す組み合わせの数、すなわち、Ｎ（Ｎ−１）個の差圧計が必要になる。差圧計として、高圧ポートと低圧ポートのプラスの差だけでなく、マイナスの差圧（低圧ポートが高圧の場合）を表示できるものを用いる場合は、取り出す順番が逆でもよいので単なる組み合わせ（コンビネーション）の数、「nＣ2」（２項係数）、すなわちＮ（Ｎ−１）／２個の差圧計で足りる。いずれの場合も、それぞれの差圧計の更正（校正：０点校正）作業が煩雑であり、測定しようとする差圧を表示している微差圧計を誤ることもある。
【０００７】
このような差圧監視盤として、たとえば特許文献１のように、２個のロータリバルブと差圧計とを組み合わせた多点圧力計測装置を採用することも考えられる。しかし同一の差圧計を用いて異なる室内の圧力を測定する場合、表示に誤差が生ずる場合がある。また、切り換えの直後は表示が安定せず、表示が安定するまで時間がかかる場合がある。本発明は１個の差圧計を用いるにも関わらず、差圧計の表示が正確で、かつ切り換え直後でも表示が安定する差圧監視盤を提供することを技術課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の差圧監視盤（請求項１）は、複数の室内のうち、選択した２室の差圧を表示する差圧監視盤であって、２個の圧力測定口を備えた差圧計と、それらの圧力測定口といずれかの室内とを選択的に連通する切り換え手段と、前記圧力測定口を一定圧の空間と連通／遮断するパージ手段とを備えていることを特徴としている。ここで「一定圧の空間」とは、差圧計の許容範囲の室圧で、急な室圧変動のない特定空間を意味し、２個の圧力測定口がほぼ同時に開放されるのであれば、一般的に大気圧の空間、通常は差圧監視盤が設けられている室内または天井裏である。
【０００９】
このような差圧監視盤においては、前記切り換え手段が、それぞれの室内と連通する導圧ポートと、前記差圧計と連通する測定ポートとを備えた本体と、その本体に対して回転自在に取り付けられ、回転角度により、測定ポートに連結する導圧ポートを選択的に切り換えるダイヤルとを備えているものが好ましい（請求項２）。
【００１０】
その場合、前記ダイヤルが一定圧の空間と連通するパージポートを備えており、測定済みの導圧ポートからこれから測定しようとする他の導圧ポートに切り換えるときに、一旦パージポートと測定ポートを連通させた上で、他の導圧ポートに切り換えられるように構成されているものが好ましい（請求項３）。
【００１１】
また、前記切り換え手段が、１個の導圧ポートと１個の測定ポートとを連通させる第１ダイヤルと、他の１個の導圧ポートと他の測定ポートとを連通させる第２ダイヤルとを備えており、第１ダイヤルと第２ダイヤルとを個別に操作できるように構成されているものであってもよい（請求項４）。
【００１２】
さらに前記切り換え手段が、隣室同士の２室の導圧ポートと２個の測定ポートとを選択的に連通するように構成されているものであってもよい（請求項５）。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の差圧監視盤（請求項１）は、選択した２室の差圧の測定が終わった後、つぎの２室の導圧ポートに切り換える前に、パージ手段で差圧計を一旦大気圧などの一定圧の空間に連通させる。それにより差圧計の表示が正確になり、表示が安定する。このような効果が生ずるのは、パージ手段により差圧計内の両側の残圧がパージされ、差圧計および測定ポート内の空気が残存していることに基づく影響がなくなるためである。
【００１４】
すなわち、本来であれば次の測定対象となる導圧ポートに切り換えるだけで、差圧計内の圧力は新しい導圧ポートの圧力となるはずである。しかし元の室の圧力に対して新たな室の圧力がわずかに低いか、逆にわずかに高い場合は、差圧計内への連通路が細いためか、差圧計内の残圧が直ちには解消せず、そのため、誤差が生じたり測定中に変動したりするためと考えられる。そこで本発明では、つぎの測定の前に差圧計内の残圧を除去するべく、パージ手段を設けたのである。それにより、１個の差圧計を用いて切り換える形態としたにも関わらず、正確で安定した測定ができるようになった。
【００１５】
上記の差圧監視盤において、前記切り換え手段が、それぞれの室内と連通する導圧ポートと、前記差圧計と連通する測定ポートとを備えた本体と、その本体に対して回転自在に取り付けられ、回転角度により、測定ポートに連結する導圧ポートを選択的に切り換えるダイヤルとを備えている場合（請求項２）は、操作が容易であり、誤操作が少なくなる。
【００１６】
前記ダイヤルが一定圧の空間と連通するパージポートを備えており、測定済みの導圧ポートからこれから測定しようとする他の導圧ポートに切り換えるときに、一旦パージポートと測定ポートを連通させた上で、他の導圧ポートに切り換えられるように構成されている場合（請求項３）は、ダイヤルを切り換えるたびに自動的に差圧計の内部の残圧を開放することができる。そのため、パージ操作を忘れることがない。
【００１７】
また、前記切り換え手段が、１個の導圧ポートと１個の測定ポートとを連通させる第１ダイヤルと、他の１個の導圧ポートと他の測定ポートとを連通させる第２ダイヤルとを備えており、第１ダイヤルと第２ダイヤルとを個別に操作できるように構成されている場合（請求項４）は、差圧監視盤の導圧系の配管が簡単になる。また、任意の２室の選択が容易になる。
【００１８】
すなわち、測定しようとする２室の導圧ポートをセットで多数組設け、それらの多数の組から所望の組み合わせのセットを１個のダイヤルで選択するように構成することもできる。そのときはｎ室の場合、ｎ（ｎ−１）／２、すなわち「nＣ2」組のセットが必要である。これに対し、２個のダイヤルでそれぞれ測定対象の室の導圧ポートを選択する構成では、各ダイヤルについてｎ個の導圧ポートに選択的に連結できるようにするだけで足りる。それにより配管が簡単になる。
【００１９】
前記切り換え手段が、隣室同士の２室の導圧ポートと２個の測定ポートとを連通するように構成されている場合（請求項５）は、測定対象の組み合わせが少ないため、構成がシンプルで配管が容易になる。すなわちクリーンルームの２室の差圧を監視する場合は、隣接する２室同士の差圧を監視すれば足りることが多い。したがってこのような構成も実用性が高い。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
つぎに図面を参照しながら本発明の差圧監視盤の実施の形態を説明する。図１は本発明の差圧監視盤の一実施形態を示す正面図、図２、図３および図４はそれぞれその差圧監視盤に用いるロータリバルブの概略分解斜視図、組立後の斜視図および断面図、図５および図６はそれぞれ本発明の差圧監視盤に用いるロータリバルブの他の実施形態を示す分解斜視図および組立後の平面図、図７および図８はロータリバルブのさらに他の実施形態を示す分解斜視図および組立後の縦断面図、図９は図８のIX-IX線断面図、図１０および図１１はそれぞれロータリバルブのさらに他の実施形態を示す分解斜視図および平面断面図、図１２は本発明の差圧監視盤のさらに他の実施形態を示す正面図、図１３は図１２の差圧監視盤に用いる切り換えバルブの他の実施形態を操作状態と共に示す概略断面図である。
【００２１】
図１はクリーンルームＲの各室Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄの室内同士の差圧を監視する差圧監視盤１０を概略的に示している。なお、クリーンルームに代えて、他室より負圧にしてウイルスや細菌などの危険物質の流出を防止するハザード施設の室内同士の差圧を監視するものであってもよい。この差圧監視盤１０は、各室とチューブなどの配管１１で連結されたロータリバルブ１２と、そのロータリバルブ１２とチューブなどの配管１３で連結された微差圧計１４とからなる。簡単のため、クリーンルームＲはＡ〜Ｄの４室としているが、さらに多くてもよく、少なくてもよい。
【００２２】
微差圧計１４としては、半導体結晶を加圧すると電気抵抗が変化する原理を応用したピエゾ半導体センサと、そのセンサの出力を増幅する増幅器を備えたマノメータなどが用いられる。微差圧計１４は、差圧を測定しようとする２個の圧力測定口１５、１６を有し、測定開始・終了などの操作する操作ボタン１７、１８、測定結果を示す液晶パネルなどからなる表示部１９とを備えている。差圧の表示は、一方の測定口１５から導入した圧力の値から他方の測定口１６から導入した圧力の値を減算した値を＋−付きで表示するもの、あるいは高圧側を示す表示と差圧の絶対値を同時に示すものなど、種々選択することができる。
【００２３】
ロータリバルブ１２は、図２に示すように、本体２０と、その本体の中心部と周縁部にそれぞれ回転自在に取り付けられる２個のダイヤル２１、２２とからなる。本体２０は略円板状で、上面の中心近辺に環状の突出壁２３を備えている。内側に設けられる中心ダイヤル（第１ダイヤル）２１は突出壁２３の内部に回転自在に保持され、その下面は突出壁２３で囲まれる本体上面の領域（以下、中心領域という）Ｅ１と接している。他方、外周側に設けられる周縁ダイヤル（第２ダイヤル）２２は突出壁２３の外周に回転自在に保持されており、突出壁２３の外側の本体上面の領域（以下、周縁領域という）Ｅ２と接している（図３、図４参照）。中心ダイヤル２１と周縁ダイヤル２２はそれぞれ独立して回転操作することができる。
【００２４】
図１に示すように、本体２０の外周には、微差圧計１４の圧力測定口１５、１６と連結される測定ポート２４、２５と、測定対象と連結する導圧ポート２６〜２９とが放射状に配列されている。中心ダイヤル２１は、基本的には導圧ポート２６〜２９のうちいずれか１個を選択して第１測定ポート２４に連結するためのものである。周縁ダイヤル２２は、基本的には導圧ポート２６〜２９の１個を選択して第２測定ポート２５に連結するためのものである。なお、４個の導圧ポート２６〜２９については、実質的に同一であるので、以下の説明では１個の導圧ポート２６について説明する、
【００２５】
微差圧計１４と連通する第１測定ポート２４は本体２０の中心近辺まで延びて立ち上がり、中心領域Ｅ１の中心で開口している。導圧ポート２６は途中で分岐し、それらのうち、一方は中心領域Ｅ１で開口し、他方は周縁領域Ｅ２で開口している。さらに突出壁２３には、導圧ポート２６と対応する部位に半径方向の貫通孔３０が形成されている。
【００２６】
そして中心ダイヤル２１は、第１測定ポート２４の中心側の開口部２４ａと、突出壁２３の貫通孔３０の内側の開口部３０ａとを選択的に連結するための略Ｌ字状の第１連結孔３１を備えている。なお、図２に示すように、この実施形態ではその第１連結孔３１の水平方向の孔３２は平面視で十文字状に形成されている。他方、周縁ダイヤル２２には、導圧ポート２６の外周領域Ｅ２の開口部２６ａと、貫通孔３０の外側の開口部３０ｂとを連通するための略Ｌ字状の第２連結孔３４が形成されている。さらに周縁ダイヤル２２には、第２連結孔３４と隣接して、貫通孔３０の外側の開口部３０ｂと一定圧空間（大気）とを連通させることができる略Ｌ字状の第１パージポート３５が形成されている。
【００２７】
上記の差圧監視盤１０では、ロータリバルブ１２の中心ダイヤル２１を回転させて第１連結孔３１の４本の水平方向の孔３２のいずれかを突出壁２３の貫通孔３０の内側の開口部３０ａと合わせると共に、周縁ダイヤル２２を回転させて第２連結孔３４を貫通孔３０の外側の開口部３０ｂに合わせることにより、導圧ポート２６を第１測定ポート２４に連結することができる（図４参照）。しかも周縁ダイヤル２２をそのように合わせる前に、第１パージポート３５を通じて、第１測定ポート２４を大気に開放して、差圧計内の残圧を除去することができる。
【００２８】
他方、中心ダイヤル２１には、本体の中心領域Ｅ１に開口する導圧ポート２６の開口部２６ｂと、突出壁２３の内面側で開口する第２測定ポート２５の開口部２５ａとを連結することができる略Ｌ字状の第３連結孔３６が形成されている。この第３連結孔３６の水平方向の孔３７も平面視で十文字状に形成されている。そして第３連結孔３６と隣接して、第２測定ポート２５を外気に連通させるための第２パージポート３８が形成されている。
【００２９】
以上の説明では１個の導圧ポート２６を代表させて説明したが、他の導圧ポート２７〜２９についても同様である。たとえば図４の右側に示すように、中心ダイヤル２１を回転することにより、他の導圧ポート２８の中心領域の開口部２８ｂを第２測定ポート２５に連通させることができ、その操作の前に、第２測定ポート２５を第２パージポート３８を介して外気に開放することができる。それによりＡ室に連結している導圧ポート２６の圧力と、Ｃ室に連結している導圧ポート２８の圧力との差圧を微差圧計１４で表示させることができる。
【００３０】
上記のように、図１の差圧監視盤１０では、ロータリバルブ１２の中心ダイヤル２１と周縁ダイヤル２２の回転位置を個別に選択することにより、クリーンルームＲの任意の２室Ａ〜Ｄ間の差圧を微差圧計１４で測定することができる。しかも測定に先立って微差圧計１４の内部の残圧を除去することができるので、正確に差圧を測定することができる。図１ではデジタル式差圧計を用いているが、指針式差圧計でもよい。
【００３１】
図１〜４のロータリバルブ１２では、第２測定ポート２５の上端を突出壁２３の内面側に開口させているが、外面側に開口させてもよい。その場合は、突出壁２３には貫通孔を設ける必要がない。そして周縁ダイヤル２２の回転角だけで第２測定ポート２５に連結する導圧ポート２６〜２９を選択することができ、中心ダイヤル２１だけで第１測定ポート２４に連結する導圧ポート２６〜２９を選択できる。また、本体２０、中心ダイヤル２１および周縁ダイヤル２２を通る各ポートや連結孔の組み合わせも、前記実施形態に限られるものではなく、種々の組み合わせを採用することができる。
【００３２】
図５および図６に示すロータリバルブ４０は、本体４１と、その本体４１の左右両面に形成された円筒状の凹所４２、４３内に回転自在に収容される左ダイヤル（第１ダイヤル）４４および右ダイヤル（第２ダイヤル）４５とを備えている。左右のダイヤル４４、４５は独立して回転操作することができる。図６に示すように、本体４１には２個の測定ポート２４、２５と４個の導圧ポート２６〜２９が設けられている。導圧ポート２６〜２９は、本体４１内で左右に分岐している。そして各ダイヤル４４、４５と本体４１とは、それぞれ複数個の導圧ポート２６〜２９を選択的に測定ポート２４、２５に連結する通常のロータリバルブを構成している。
【００３３】
たとえば図６に示すように、本体４１内の凹所４２、４３の底面４６には、測定ポート２４、２５の一端が開口しており、凹所４２、４３の内周面４７には導圧ポート２６〜２９の一端が開口している。そしてそれぞれのダイヤル４４、４５には、内周面４７の開口と底面４６の開口とを選択的に連結するための複数個の連結孔４８が形成され、放射状に配列されている。そのため、左右のダイヤル４４、４５を回転することにより、いずれかの導圧ポート２６〜２９の開口部を第１測定ポート２４および第２測定ポート２５に連結することができる。
【００３４】
さらにそれぞれの凹所４２、４３の内面における各導圧ポート２６〜２９の開口部の間には、測定ポート２４、２５と外気とを連通するための第１パージポート３５および第２パージポート３８がそれぞれ形成されている。なお、左右のダイヤル４４、４５に測定ポート２４、２５と連通する連結孔を設けてもよい。それにより、左右のダイヤル４４、４５を回転させて差圧を測定する前に、差圧計の内部の残圧を除去することができ、正確な差圧を測定することができる。
【００３５】
なお、図５、図６のロータリバルブ４０の底面は、本体４１の下面をボードに取り付けるので、ダイヤル４４、４５の裏面側が見にくい。これに対し、図１〜４のロータリバルブ１２はダイヤル２１、２２の全周を確認しやすい。
【００３６】
前記実施形態では２個のダイヤルを備えたロータリバルブ１２、４０を用いているが、図７に示すロータリバルブ５０のように、本体５１に対して１個のダイヤル５３を設けるだけでもよい。たとえばＡ室、Ｂ室、Ｃ室がある場合、Ａ室とＢ室の差圧とＢ室とＣ室の差圧のみが重要で、Ａ室とＣ室の差圧の測定はそれほど重要でないことがある。このような場合は測定対象を少なくしたロータリバルブ５０を用いるのが好ましく、それにより差圧監視盤の部品が少なくなり、配管構造がシンプルになる。
【００３７】
このロータリバルブ５０は、本体５１と、その本体に形成した円筒状の凹所５２に回転自在に収容した円柱状ないし円板状のダイヤル５３とからなる。そして凹所５２の底面５４の中心に形成した孔５５に、第１測定ポート２４が連通している。そしてその中心の孔５５の周囲に同心状に設けた環状溝５６に第２測定ポート２５が連通している。さらに底面５４には、導圧ポート２６〜２８の一端が同一円周上で、かつ、等間隔で開口しており、各開口部２６ａ、２７ａ、２８ａに隣接してパージポート３５の一端が開口している。パージポート３５の他端は、本体５１の外周面に開口している。
【００３８】
他方、ダイヤル５３には、図８および図９に示すように、本体５１の中心の孔５５と導圧ポート２６〜２８の開口部２６ａ〜２８ａとを連結するための第１連結孔５７と、環状溝５６と導圧ポート２６〜２８の開口部２６ａ〜２８ａとを連結するための第２連結孔５８とが形成されている。それぞれの連結孔５７、５８は、図８に示すように、側面視で略コ字状である。
【００３９】
このように構成されるロータリバルブ５０は、ダイヤル５３を回転させて導圧ポート２６を第１測定ポート２４と連通させると、他の導圧ポート２７が第２測定ポート２５と連通する。さらにダイヤル５３をその位置に回転させる途中で、第１連結孔５７が第１測定ポート２４とパージポート３５を連通させると共に、第２連結孔５８が第２測定ポート２５とパージポート３５を連通させる。それにより微差圧計内の残圧が除去され、正確な差圧を測定することができる。
【００４０】
図１０、図１１のロータリバルブ６０は、図７のロータリバルブ５０とほぼ同様であるが、本体６１に差圧を測定しようとする２室と連通させた一組の導圧ポート２６、２７の開口部２６ａ、２７ａを近接して配置し、そのような組を複数組、環状に配列している。なお、各組のうち、一方の開口部は第１の円上に環状に配列し、他の開口部は同心で径が大きい第２の円上に環状に配列して、円周方向および径方向を互いにずらせている。さらに円周方向で隣接する開口部同士の間にパージポート３５の開口部３５ａを設けている、さらに本体６１内の管路をシンプルにするため、導圧ポートを本体内で分岐させず、それぞれの組ごとに放射状に設けている。そのため、Ａ室と連通させた導圧ポート２６ａが２個所、Ｂ室と連通する導圧ポート２６ｂが２個所などと、同一の室と連通する導圧ポートを複数個所に設けている。
【００４１】
本体６１の中心部には、図７の場合と同様に、第１測定ポート２４と連通する中心の孔５５と、第２測定ポート２５と連通する環状溝５６とを設けている。そしてダイヤル６２には、ダイヤルの回転位置に応じて中心の孔５５と第１の円上の開口部とを連通させる第１連結孔５７と、環状溝５６と第２の円上の開口部を連通させる第２連結孔５８とが形成されている。第１連結孔５７の外側の開口部と第２連結孔５８の外側の開口部とは、一組の導圧ポートと合うように径方向および周方向にずらせている。
【００４２】
このように構成されるロータリバルブ６０では、ダイヤル６２を回転させることにより、Ａ室とＢ室の差圧、Ｂ室とＣ室の差圧、Ｃ室とＤ室の差圧、Ｄ室とＡ室の差圧を微差圧計で測定して監視することができる。なお、差圧導入ポートの組み合わせを６組にすることにより、さらにＡ室とＣ室、Ｂ室とＤ室の差圧を監視できるようにすることもできる。
【００４３】
前記差圧計は指針式を用いることもまだまだ多いが、デジタル式で自己校正するものを用いると便利である。
【００４４】
図１２に示す差圧監視盤６４は、微差圧計１４と、その微差圧計の圧力測定口１５、１６にそれぞれ連結された第１ヘッダ管６５および第２ヘッダ管６６と、第１ヘッダ管６５および第２ヘッダ管６６にそれぞれ連結した測定対象選択用の切り換えバルブ６７、６８と、それらの切り換えバルブ６７、６８の入口側とクリーンルームＲの各室Ａ、Ｂ・・と連結したナイロンチューブなどの配管６９と、各ヘッダ管６５、６６に連結したパージ用の切り換えバルブ７０、７１とを備えている。選択用の切り換えバルブ６７、６８の入口側は導圧ポート２６、２７であり、パージ用の切り換えバルブ７０、７１の出口側はパージポート３５である。
【００４５】
それぞれの切り換えバルブ６７、６８、７０、７１は、つまみ７２を配管方向に対して直角にした状態では左右の配管同士を遮断し、９０度回転させて配管方向に合わせたときに左右の配管同士を連通する４ポート２方向切り換えバルブ（ロータリバルブ）であり、とくにミニチュアバルブが好ましく用いられる。ただし切り換えバルブとして、レバー操作の切り換えバルブ、スライドタイプあるいは押しボタンタイプのバルブなどを用いることもできる。
【００４６】
上記の差圧監視盤６４で選択した２室の差圧を測定するには、まずパージ用の切り換えバルブ７０、７１を開放して微差圧計１４内の残圧を除去する。ついでそれらのパージ用の切り換えバルブ７０、７１を閉じ、測定しようとする一方の室に対応する第１ヘッダ管６５の切り換えバルブ６７および他方の室に対応する第２ヘッダ管６６の切り換えバルブ６８を開く。それにより各室の圧力が微差圧計に導入され、両者の差圧を測定することができる。この場合、各室の圧力が微差圧計１４に導入される前にパージ用の切り換えバルブ７０、７１によって微差圧計１４の残圧が排出されているから、正確な差圧を測定することができる。
【００４７】
他の２室の組み合わせの差圧を測定する場合は、測定済みの切り換えバルブ６７、６８を閉じ側に回動し、ついでパージ用の切り換えバルブ７０、７１を開いて微差圧計１４の残圧を除去する。さらにパージ用の切り換えバルブを閉じてこれから測定しようとする２室に対応する切り換えバルブ６７、６８を開く。
【００４８】
なお、測定対象選択用の切り換えバルブ６７、６８を閉じる側に操作したことを検出するセンサを設けると共に、パージ用の切り換えバルブ７０、７１を電磁バルブなどとし、センサの出力でパージ用の切り換えバルブを自動的に開閉操作するように構成してもよい。
【００４９】
さらに押しボタン・バネ復帰タイプの切り換えバルブを配列しておき、スライドカムによって押しボタンを順に押し操作できるように構成してもよい。その場合は、スライドカムの位置により、開放する切り換えバルブを選択することができる。その場合、選択用の切り換えバルブの間にパージ用の押しボタンタイプの切り換えバルブを配置しておくと、選択用の切り換えバルブを変える途中で自動的に微差圧計の残圧をパージすることができる。
【００５０】
図１３は各室の選択用の切り換えバルブとパージ用の切り換えバルブを１個にセットしたロータリバルブ７３を示している。このロータリバルブ７３は、本体７３ａに導圧ポート７４と、測定ポート７５と、パージポート７６とを有する。そして本体７３ａの内部で回動自在に収容されるダイヤル７７には、導圧ポート７４と測定ポート７５とを連通する連結孔７８と、測定ポート７５とパージポート７６とを連通するための連結孔７９が形成されている。
【００５１】
このロータリバルブ７３は、図１２の差圧監視盤６４の切り換えバルブ６７、６８に代えて採用することができる。その場合はパージ用の切り換えバルブ７０、７１は不要である。そしてダイヤル７７を回動させる途中で測定ポート７５をパージポート７６に自動的に連通させるので、パージ操作を忘れることがない。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の差圧監視盤の一実施形態を示す正面図である。
【図２】図１の差圧監視盤に用いるロータリバルブの概略分解斜視図である。
【図３】図１の差圧監視盤に用いるロータリバルブの組立後の斜視図である。
【図４】図１の差圧監視盤に用いるロータリバルブの組立後の断面図である。
【図５】本発明の差圧監視盤に用いるロータリバルブの他の実施形態を示す分解斜視図である。
【図６】本発明の差圧監視盤に用いるロータリバルブの他の実施形態を示す組立後の平面図である。
【図７】ロータリバルブのさらに他の実施形態を示す分解斜視図である。
【図８】図７のロータリバルブの組立後の縦断面図である。
【図９】図８のIX-IX線断面図である。
【図１０】ロータリバルブのさらに他の実施形態を示す分解斜視図である。
【図１１】図１０のロータリバルブの平面断面図である。
【図１２】本発明の差圧監視盤のさらに他の実施形態を示す正面図である。
【図１３】図１２の差圧監視盤に用いる切り換えバルブの他の実施形態を操作状態と共に示す概略断面図である。
【図１４】従来の差圧監視盤の一例を示す正面図である。
【符号の説明】
【００５３】
Ｒ  クリーンルーム
Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ  室
１０  差圧監視盤
１１  配管
１２  ロータリバルブ
１３  配管
１４  微差圧計
１５、１６  圧力測定口
１７、１８  操作ボタン
１９  表示部
２０  本体
２１  中心ダイヤル
２２  周縁ダイヤル
２３  突出壁
Ｅ１  中心領域
Ｅ２  周縁領域
２４  第１測定ポート
２４ａ  第１測定ポートの開口部
２５  第２測定ポート
２５ａ  第２測定ポートの開口部
２６、２７、２８、２９  導圧ポート
２６ａ、２６ｂ  導圧ポートの開口部
３０  突出壁の貫通孔
３０ａ、３０ｂ  貫通孔の開口部
３１  第１連結孔
３２  水平方向の孔
３４  第２連結孔
３５  第１パージポート、パージポート
３６  第３連結孔
３７  水平方向の孔
３８  第２パージポート
４０  ロータリバルブ
４１  本体
４２、４３  凹所
４４、４５  ダイヤル
４６  底面
４７  内周面
４８  連結孔
５０  ロータリバルブ
５１  本体
５２  凹所
５３  ダイヤル
５４  底面
５５  孔
５６  環状溝
５７  第１連結孔
５８  第２連結孔
６０  ロータリバルブ
６１  本体
６２  ダイヤル
６４  差圧監視盤
６５  第１ヘッダ管
６６  第２ヘッダ管
６７、６８  選択用の切り換えバルブ
６９  配管
７０、７１  パージ用の切り換えバルブ
７２  つまみ
７３  ロータリバルブ
７３ａ  本体
７４  導圧ポート
７５  測定ポート
７６  パージポート
７７  ダイヤル
７８  連結孔
７９  連結孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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