(57)【要約】【課題】ファンフィルターユニットにおいて、コンパクトでかつ大きなアスペクト比を持つフィルタに対し良好な風速分布を持つファンフィルターユニットを提供する事を目的とする。【解決手段】本発明は、ファンとモーターのファンユニットをチャンバーに内蔵し、前記チャンバーの下流側に配設したフィルターからなり、スクロール無しターボファンを用いたファンユニットの回転軸の法線方向にフィルターを配置した構造を特徴とする。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ファンとモーターのファンユニットをチャンバーに内蔵し、前記チャンバーの下流側にフィルタを配設したファンフィルターユニットであって、遠心送風機を用いたファンユニットの回転軸の法線方向にフィルタを配置した構造を特徴とするファンフィルタユニット。
【請求項２】
フィルタの形状を円筒形とし、その中心軸をファンユニットの回転軸と同軸に配置したことを特徴とする請求項１記載のファンフィルターユニット。
【請求項３】
チャンバーは、フィルタ面を底面として、また、側面の少なくとも１面を傾けた斜面として垂直断面形状を台形とし、ファンユニットはその斜面またはその斜面の対面に配置したことを特徴とする請求項１記載のファンフィルターユニット。
【請求項４】
チャンバーは、フィルタ面を底面として、また、側面の１面または対向した２面を傾けた斜面として垂直断面形状を台形とし、ファンユニットはその斜面と隣り合う垂直面に配置したことを特徴とする請求項１記載のファンフィルターユニット。
【請求項５】
同一面に複数個のファンを配置したことを特徴とする請求項３記載のファンフィルターユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体工場、食品工場などの清浄空間を必要とするクリーンルームで使用されるファンフィルターユニットの構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のファンフィルターユニットの形状はファンユニットの回転軸方向にフィルタ面を配置していた。
【特許文献１】特開平７−４７２１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
設置スペースの都合上、フィルタ取付面の縦寸法が小さく横寸法が大きいいわゆるアスペクト比の大きいフィルタが求められた場合、従来のファンフィルターユニット構造では短辺が羽根径より小さくなりファンが収まらないという課題がある。
【０００４】
また、大きなアスペクト比を持つフィルタであっても、良好な分布風速に対応することが要求されている。
【０００５】
本発明は、このような従来のファンフィルターユニットの課題を解決するものであり、コンパクトでかつ大きなアスペクト比を持つフィルタに対応できるファンフィルターユニットを提供する事を目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のファンフィルターユニットは、上記目的を達成するためにファンとモーターのファンユニットをチャンバーに内蔵し、前記チャンバーの下流側にフィルタを配設したファンフィルターユニットであって、遠心送風機を用いたファンユニットの回転軸の法線方向にフィルタを配置した構造を特徴とするファンフィルターユニットである。
【０００７】
この手段によりコンパクトでかつ大きなアスペクト比を持つフィルタに対応できるファンフィルターユニットが得られる。
【０００８】
また、ほかの手段は、フィルタの形状を円筒形とし、その中心軸をファンユニットの回転軸と同軸に配置したことを特徴とするファンフィルターユニットである。
【０００９】
この手段によりコンパクトでかつ大きなアスペクト比を持つ円筒状フィルタに対応できるファンフィルターユニットが得られる。
【００１０】
また、ほかの手段は、チャンバーは、フィルタ面を底面として、また、側面の少なくとも１面を傾けた斜面として垂直断面形状を台形とし、ファンユニットはその斜面またはその斜面の対面に配置したことを特徴とするファンフィルターユニットである。
【００１１】
この手段によりコンパクトでかつ大きなアスペクト比を持つフィルタに対応できるファンフィルターユニットが得られる。
【００１２】
また、ほかの手段は、チャンバーは、フィルタ面を底面として、また、側面の１面または対向した２面を傾けた斜面として垂直断面形状を台形とし、ファンユニットはその斜面と隣り合う垂直面に配置したことを特徴とするファンフィルターユニットである。
【００１３】
この手段によりコンパクトでかつ大きなアスペクト比を持つフィルタに対応できるファンフィルターユニットが得られる。
【００１４】
また、ほかの手段は、同一面に複数個のファンを配置したことを特徴とするファンフィルターユニットである。
【００１５】
この手段によりコンパクトでかつ大きなアスペクト比を持つフィルタに対応できるファンフィルターユニットが得られる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、ファンとモーターのファンユニットをチャンバーに内蔵し、前記チャンバーの下流側にフィルタを配設したファンフィルターユニットであって、遠心送風機を用いたファンユニットの回転軸の法線方向にフィルタを配置した構造によりコンパクトでかつ大きなアスペクト比を持つフィルタに対応できるという効果が得られる。
【００１７】
また、本発明によれば、フィルタの形状を円筒形とし、その中心軸をファンユニットの回転軸と同軸に配置した構造によりコンパクトでかつ大きなアスペクト比を持つ円筒状フィルタに対応できるという効果が得られる。
【００１８】
また、本発明によれば、チャンバーは、フィルタ面を底面として、また、側面の少なくとも１面を傾けた斜面として垂直断面形状を台形とし、ファンユニットはその斜面またはその斜面の対面に配置した構造によりコンパクトでかつ大きなアスペクト比を持つフィルタに対応できるという効果が得られる。
【００１９】
また、本発明によれば、チャンバーは、フィルタ面を底面として、また、側面の１面または対向した２面を傾けた斜面として垂直断面形状を台形とし、ファンユニットはその斜面と隣り合う垂直面に配置した構造によりコンパクトでかつ大きなアスペクト比を持つフィルタに対応できるという効果が得られる。
【００２０】
同一面に複数個のファンを配置した構造によりコンパクトでかつ大きなアスペクト比を持つフィルタに対応できるという効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
本発明の請求項１記載の発明は、ファンとモーターのファンユニットをチャンバーに内蔵し、前記チャンバーの下流側にフィルタを配設したファンフィルターユニットであって、遠心送風機を用いたファンユニットの回転軸の法線方向にフィルタを配置した構造を特徴とするファンフィルタユニットであり、コンパクトでかつ大きなアスペクト比を持つフィルタに対応できるという作用を有する。
【００２２】
また、本発明の請求項２記載の発明は、フィルタの形状を円筒形とし、その中心軸をファンユニットの回転軸と同軸に配置した構造を特徴とするファンフィルターユニットであり、円筒状のフィルタに対応できるという作用を有する。
【００２３】
また、本発明の請求項３記載の発明は、チャンバーは、フィルタ面を底面として、また、側面の少なくとも１面を傾けた斜面として垂直断面形状を台形とし、ファンユニットはその斜面またはその斜面の対面に配置した構造によりコンパクトでかつ大きなアスペクト比を持つフィルタの風速分布を良化するという作用を有する。
【００２４】
また、本発明の請求項４記載の発明は、チャンバーは、フィルタ面を底面として、また、側面の１面または対向した２面を傾けた斜面として垂直断面形状を台形とし、ファンユニットはその斜面と隣り合う垂直面に配置した構造によりコンパクトでかつ大きなアスペクト比を持つフィルタの風速分布を良化するという作用を有する。
【００２５】
また、本発明の請求項５記載の発明は、同一面に複数個のファンを配置した構造によりコンパクトでかつ大きなアスペクト比を持つフィルタの風速分布を良化するという作用を有する。
【００２６】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００２７】
（実施の形態１）
図１に示すように、風の流れに沿って、吸い込み口１、ファン２とモーター３よりなるファンユニット４、これらをチャンバー５の側面に配置し、風下に塵埃除去フィルタ６が配置されている。
【００２８】
上記構成においてファンユニット４を運転すると、チャンバーの隅々まで気流が到達し、大きなアスペクト比を持つフィルターの端まで良好な風速分布を保つこととなる。
【００２９】
（実施の形態２）
図２に示すように、風の流れに沿って、吸い込み口１、ファン２とモーター３よりなるファンユニット４、これらを円筒形チャンバー７に配置し、ファンユニットの回転軸の法線方向全周に円筒状フィルター８が配置されている。
【００３０】
上記構成においてファンユニット４を運転すると、大きなアスペクト比を持つ円筒状フィルターの全域に良好な風速分布を保つこととなる。
【００３１】
（実施の形態３）
図３に示すように、風の流れに沿って、吸い込み口１、ファン２とモーター３よりなるファンユニット４、これらを台形チャンバー９の斜面に配置し、風下に塵埃除去フィルタ６が配置されている。
【００３２】
上記構成においてファンユニット４を運転すると、台形チャンバーの隅々まで気流が到達し、大きなアスペクト比を持つフィルターの端まで良好な風速分布を保つこととなる。
【００３３】
（実施の形態４）
図４に示すように、風の流れに沿って、吸い込み口１、ファン２とモーター３よりなるファンユニット４、これらを台形チャンバー１０の垂直面にファンを配置し、風下に塵埃除去フィルタ６が配置されている。
【００３４】
上記構成においてファンユニット４を運転すると、台形チャンバーの隅々まで気流が到達し、大きなアスペクト比を持つフィルターの端まで良好な風速分布を保つこととなる。
【００３５】
（実施の形態５）
図５に示すように、風の流れに沿って、吸い込み口１、ファン２とモーター３よりなるファンユニット４、これらをチャンバー１１の斜面に複数個のファンを配置し、風下に塵埃除去フィルタ６が配置されている（図５では、ファンユニット４を２つ（ファンユニット４ａ，４ｂ）備えた例を示す。）。
【００３６】
上記構成においてファンユニット４を運転すると、台形チャンバーの隅々まで気流が到達し、大きなアスペクト比を持つフィルターの端まで良好な風速分布を保つこととなる。
【産業上の利用可能性】
【００３７】
以上のように本発明によれば、ファンとモーターのファンユニットをチャンバーに内蔵し、前記チャンバーの下流側にフィルタを配設したファンフィルターユニットであって、スクロール無しターボファンを用いたファンユニットの回転軸の法線方向にフィルタを配置した構造を特徴とするファンフィルタユニットの用途に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の実施の形態１の構成を示す図（（ａ）同側面断面図、（ｂ）同正面断面図）
【図２】本発明の実施の形態２の構成を示す図（（ａ）同側面断面図、（ｂ）同平面断面図）
【図３】本発明の実施の形態３の構成を示す図（（ａ）同側面断面図、（ｂ）同正面断面図）
【図４】本発明の実施の形態４の構成を示す図（（ａ）同側面断面図、（ｂ）同正面断面図）
【図５】本発明の実施の形態５の構成を示す図（（ａ）同側面断面図、（ｂ）同正面断面図）
【符号の説明】
【００３９】
１    吸い込み口
２    ファン
３    モーター
４    ファンユニット
５    チャンバー
６    塵埃除去フィルタ
７    円筒形チャンバー
８    円筒状フィルター
９    台形チャンバー
１０  台形チャンバー
１１  チャンバー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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