(57)【要約】      （修正有）【課題】本発明は、溝付きローラの位置調整を容易に行うと共に、ワークの両面を高精度に加工することを課題とする。【解決手段】ワーク２７の第１の面２７Ａの第１の所定位置Ｆ１〜Ｆ５からセンサまでの第１の距離データ及びワーク２７の第２の面の第２の所定位置Ｍ１〜Ｍ５からセンサまでの第２の距離データに基づいて、複数の溝付きローラ６２,６３,６４,６５,６６の溝６２Ａ,６３Ａ,６４Ａ,６５Ａ,６６Ａにより形成されるローラ拘束面Ｊが所定の面に対して略平行となるように、複数の溝付きローラ６２,６３,６４,６５,６６の軸方向の移動量Ｇ２又は移動量Ｇ３を求め、この移動量Ｇ２又は移動量Ｇ３に基づいて、複数の溝付きローラ６２,６３,６４,６５,６６の位置を自動調整後に、ワーク２７の両面を加工する。【選択図】図７
2008012612.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の溝付きローラに形成された溝により前記ワークを回転可能に保持するワーク保持装置と、前記ワーク保持装置を介して、対向するように配置された第１及び第２の加工部材と、を備え、
前記第１及び第２の加工部材により、前記ワークの第１の面及び第２の面を加工する両面加工装置の加工方法であって、
前記ワークの前記第１の面の第１の所定位置からセンサまでの第１の距離に関する第１の距離データ、及び／又は前記ワークの前記第２の面の第２の所定位置から前記センサまでの第２の距離に関する第２の距離データを取得する距離データ取得工程と、
前記複数の溝付きローラの前記溝により形成されるローラ拘束面が所定の面となるように、前記第１の距離データ及び／又は前記第２の距離データに基づいて、前記複数の溝付きローラの軸方向の移動量を求める移動量演算工程と、
前記移動量に基づいて、前記複数の溝付きローラの前記軸方向の位置を自動調整するローラ位置自動調整工程と、を含むことを特徴とする両面加工装置の加工方法。
【請求項２】
前記第１及び第２の加工部材により加工された前記ワークの形状を測定する測定工程を有し、
前記ワークの形状が所定の形状でない場合に、前記移動量に基づいて、前記複数の溝付きローラの前記軸方向の位置を自動調整することを特徴とする請求項１記載の両面加工装置の加工方法。
【請求項３】
前記第１及び第２の加工部材により加工された前記ワークの枚数が所定の枚数を超えたときに、前記移動量に基づいて、前記複数の溝付きローラの前記軸方向の位置を自動調整することを特徴とする請求項１または２記載の両面加工装置の加工方法。
【請求項４】
前記第１及び第２の所定位置は、それぞれ複数の位置からなることを特徴とする請求項１ないし３のうち、いずれか一項記載の両面加工装置の加工方法。
【請求項５】
前記第１及び第２の所定位置は、前記複数の溝付きローラの近傍に配置することを特徴とする請求項１ないし４のうち、いずれか一項記載の両面加工装置の加工方法。
【請求項６】
前記所定の面は、前記第１の加工部材と前記第２の加工部材との中間を通過する面と略平行であることを特徴とする請求項１ないし５のうち、いずれか一項記載の両面加工装置の加工方法。
【請求項７】
前記移動量は、前記第１の距離データ及び／又は第２の距離データに基づいて最小自乗法により求めることを特徴とする請求項１ないし６のうち、いずれか一項記載の両面加工装置の加工方法。
【請求項８】
前記最小自乗法により求められた前記移動量に所定の補正係数を掛けて、前記移動量を補正することを特徴とする請求項７記載の両面加工装置の加工方法。
【請求項９】
前記最小自乗法により求められた前記移動量に、前記第１の距離データ及び／又は第２の距離データに応じた補正係数を掛けて、前記移動量を補正することを特徴とする請求項７記載の両面加工装置の加工方法。
【請求項１０】
前記第１の距離データ及び／又は第２の距離データに基づいて最小二乗近似直線を求め、前記最小二乗近似直線を前記ワーク保持装置の傾斜に起因する傾斜成分とし、前記第１の距離データ及び／又は第２の距離データから前記最小二乗近似直線を引いた残差を前記ワークの形状に起因するうねり成分とし、
前記最小自乗法により、前記傾斜成分に基づいて第１の移動量を求めると共に、前記うねり成分に基づいて第２の移動量を求め、
前記第１の移動量に第１の補正係数を掛けた第１の補正移動量と、前記第２の移動量に第２の補正係数を掛けた第２の補正移動量との和である補正移動量に基づいて、前記複数の溝付きローラの前記軸方向の位置を自動調整することを特徴とする請求項７記載の両面加工装置の加工方法。
【請求項１１】
前記第１及び第２の補正係数は、所定の値であることを特徴とする請求項１０記載の両面加工装置の加工方法。
【請求項１２】
前記第１の補正係数は、前記傾斜成分に応じた補正係数であり、
前記第２の補正係数は、前記うねり成分に応じた補正係数であることを特徴とする請求項１１記載の両面加工装置の加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特にワーク保持装置により保持されたガラスやシリコン等の硬脆性材料よりなるワークの両面を加工する両面加工装置の加工方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ワーク保持装置に保持されたワークの両面を高精度に加工可能な従来の両面加工装置として、例えば、図１に示すような両面加工装置２００がある。
【０００３】
図１は、従来の両面加工装置の概略構成図である。図１において、Ｘ，Ｘ方向は研削主軸２０５，２１１の移動方向、Ｙ，Ｙ方向はＸ，Ｘ方向と直交する方向をそれぞれ示している。
【０００４】
図１を参照するに、従来の両面加工装置２００は、第１の加工装置２０１と、第２の加工装置２０２と、ワーク保持装置２０３とを有する。
【０００５】
第１の加工装置２０１は、ワーク保持装置２０３に保持されたワーク２１５の面２１５Ａと対向するように配置されている。第１の加工装置２０１は、研削主軸２０５と、台座２０６と、砥石２０７とを有する。研削主軸２０５は、Ｘ，Ｘ方向に移動可能であると共に、回転可能な構成とされている。台座２０６は、ワーク保持装置２０３側に位置する研削主軸２０５の端部に設けられている。砥石２０７は、台座２０６に取り付けられている。砥石２０７は、ワーク２１５の面２１５Ａと接触する研削動作面２０７Ａを有する。砥石２０７は、研削主軸２０５が回転移動した際、研削主軸２０５と一体的に回転移動する。第１の加工装置２０１は、回転移動する砥石２０７の研削動作面２０７Ａにより、ワーク２１５の面２１５Ａを加工する。
【０００６】
第２の加工装置２０２は、ワーク２１５を介して、第１の加工装置２０１と対向するように配置されている。第２の加工装置２０２は、研削主軸２１１と、台座２１２と、砥石２１３とを有する。研削主軸２１１は、Ｘ，Ｘ方向に移動可能であると共に、回転可能な構成とされている。台座２１２は、ワーク保持装置２０３側に位置する研削主軸２１１の端部に設けられている。砥石２１３は、台座２１２に取り付けられている。砥石２１３は、ワーク２１５の面２１５Ｂと接触する研削動作面２１３Ａを有する。砥石２１３は、研削主軸２１１が回転移動した際、研削主軸２１１と一体的に回転移動する。第２の加工装置２０２は、回転移動する砥石２１３の研削動作面２１３Ａにより、ワーク２１５の面２１５Ｂを加工する。
【０００７】
ワーク保持装置２０３は、フレーム２１７と、手動ローラ位置調整機構２２１〜２２３と、溝付きローラ２２５〜２２７とを有する。フレーム２１７は、複数のネジ穴（図示せず）を有する。手動ローラ位置調整機構２２１〜２２３は、ネジ部２２１Ａ〜２２３Ａを有する。ネジ部２２１Ａ〜２２３Ａは、フレーム２１７に形成されたネジ穴（図示せず）と締結されている。手動ローラ位置調整機構２２１〜２２３は、溝付きローラ２２５〜２２７の軸方向の位置を作業者が手動で調整するためのものである。
【０００８】
溝付きローラ２２５は、ワーク２１５の外周部と接触する溝２２５Ａを有する。溝付きローラ２２５は、回転可能な状態で手動ローラ位置調整機構２２１に設けられている。溝付きローラ２２６は、ワーク２１５の外周部と接触する溝２２６Ａを有する。溝付きローラ２２６は、回転可能な状態で手動ローラ位置調整機構２２２に設けられている。溝付きローラ２２７は、ワーク２１５の外周部と接触する溝２２７Ａを有する。溝付きローラ２２７は、回転可能な状態で手動ローラ位置調整機構２２３に設けられている。ワーク２１５は、溝付きローラ２２５〜２２７の溝２２５Ａ〜２２７Ａにより回転可能に保持されている。
【０００９】
溝付きローラ２２５〜２２７の軸方向の位置調整は、ワーク２１５を加工する前に、作業者が手動ローラ位置調整機構２２１〜２２３を手動で回転させることで行う。このとき、溝付きローラ２２５〜２２７の溝２２５Ａ〜２２７Ａにより形成されるローラ拘束面Ａと、回転する砥石２０７の研削動作面２０７Ａにより形成される回転軌跡面Ｂ（図示せず）とが略平行となるように、溝付きローラ２２５〜１２７の軸方向における位置の調整を行う。
【００１０】
このように、ローラ拘束面Ａと回転軌跡面Ｂとが略平行となるように、溝付きローラ２２５〜１２７の溝２２５Ａ〜２２７Ａの位置を調整し、その後、ワーク２１５を加工することにより、ワーク２１５の両面２１５Ａ，２１５Ｂを高精度（具体的には、ワーク２１５の両面２１５Ａ，２１５Ｂの平坦度の向上やナノトポグラフィの抑制等）に加工することができる。
【００１１】
なお、ローラ拘束面Ａと回転軌跡面Ｂとが略平行となったかどうかのチェックは、台座２０６又は研削主軸２０５にセンサー（図示せず）を取り付けて行う。また、センサー（図示せず）は、溝付きローラ２２５〜２２７の位置調整後に台座２０６又は研削主軸２０５から取り外す（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開２００４−９８１９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、従来の両面加工装置２００では、溝付きローラ２２５〜２２７の位置調整を作業者が手動で行っていたため、ローラ拘束面Ａと回転軌跡面Ｂとが略平行となるように溝付きローラ２２５〜２２７の位置を調整することは非常に困難であった。そのため、ワーク２１５の両面２１５Ａ，２１５Ｂを高精度に加工することができないという問題があった。
【００１３】
そこで、本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、ワークを保持する溝付きローラの位置調整を容易に行うことができると共に、ワークの両面を高精度に加工することのできる両面加工装置の加工方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明の一観点によれば、複数の溝付きローラに形成された溝により前記ワークを回転可能に保持するワーク保持装置と、前記ワーク保持装置を介して、対向するように配置された第１及び第２の加工部材と、を備え、前記第１及び第２の加工部材により、前記ワークの第１の面及び第２の面を加工する両面加工装置の加工方法であって、前記ワークの前記第１の面の第１の所定位置からセンサまでの第１の距離に関する第１の距離データ、及び／又は前記ワークの前記第２の面の第２の所定位置から前記センサまでの第２の距離に関する第２の距離データを取得する距離データ取得工程と、前記複数の溝付きローラの前記溝により形成されるローラ拘束面が所定の面となるように、前記第１の距離データ及び／又は前記第２の距離データに基づいて、前記複数の溝付きローラの軸方向の移動量を求める移動量演算工程と、前記移動量に基づいて、前記複数の溝付きローラの前記軸方向の位置を自動調整するローラ位置自動調整工程と、を含むことを特徴とする両面加工装置の加工方法が提供される。
【００１５】
本発明によれば、複数の溝付きローラの溝により形成されるローラ拘束面が所定の面となるように、第１の距離データ及び／又は第２の距離データに基づいて、複数の溝付きローラの軸方向の移動量を求め、この移動量に基づいて、複数の溝付きローラの軸方向の位置を自動調整することにより、ワークを保持する溝付きローラの位置調整を容易に行うことができる。また、ローラ拘束面が所定の面となるように複数の溝付きローラの軸方向の位置を自動調整後にワークの加工を行うことにより、ワークの両面を高精度に加工することができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明は、溝付きローラの位置調整を容易に行うことができると共に、ワークの両面を高精度に加工することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
次に、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。
【００１８】
（実施の形態）
図２は、本発明の実施の形態に係る両面加工装置の概略構成図である。図２において、Ｘ，Ｘ方向はサドル２２，３２の移動方向、Ｙ，Ｙ方向はＸ，Ｘ方向と直交する方向をそれぞれ示している。
【００１９】
図２を参照するに、第１の実施の形態の両面加工装置１０は、両面加工装置本体１１と、移動量演算手段１２と、制御手段１３とを有する。
【００２０】
両面加工装置本体１１は、架台１５と、第１の加工装置１６と、第２の加工装置１７と、ワーク保持装置１８と、測定装置１９とを有する。架台１５は、板部１５Ａと、突出部１５Ｂ，１５Ｃとを有する。架台１５は、第１及び第２の加工装置１６，１７と、ワーク保持装置１８とを支持するためのものである。
【００２１】
第１の加工装置１６は、サドル移動装置２１と、サドル２２と、研削主軸２３と、第１の回転駆動装置（図示せず）と、台座２４と、第１の加工部材である砥石２５とを有する。
【００２２】
サドル移動装置２１は、架台１５の突出部１５Ｂ上に設けられている。サドル移動装置２１は、サドル２２をＸ，Ｘ方向に移動させるためのものである。サドル２２は、突出部１５Ｂとワーク保持装置１８との間に位置する架台１５の板部１５Ａ上に設けられている。サドル２２は、サドル移動装置２１と接続されている。サドル２２は、Ｘ，Ｘ方向に移動可能な状態で架台１５に支持されている。
【００２３】
研削主軸２３は、サドル移動装置２１が接続された側とは反対側に位置するサドル２２に設けられている。研削主軸２３は、サドル移動装置２１によりサドル２２がＸ，Ｘ方向に移動させられた際、サドル２２と一体的に移動する。第１の回転駆動装置（図示せず）は、研削主軸２３を回転させるためのものである。
【００２４】
台座２４は、ワーク保持装置１８側に位置する研削主軸２３に設けられている。台座２４は、円環状の突出部２４Ａと、ネジ穴２４Ｂとを有する。ネジ穴２４Ｂは、台座２４に測定装置１９を装着するためのものである。台座２４は、研削主軸２３が回転移動した際、研削主軸２３と一体的に回転移動する。
【００２５】
砥石２５は、円環状とされており、台座２４の突出部２４Ａに設けられている。砥石２５は、台座２４が回転移動させられた際、台座２４と一体的に回転移動する。砥石２５は、ワーク２７の第１の面２７Ａと接触する研削動作面２５Ａを有する。研削動作面２５Ａは、ワーク２７の中心位置を通過するように配置されている。
【００２６】
上記構成とされた第１の加工装置１６は、回転移動する砥石２５の研削動作面２５Ａにより、ワーク２７の第１の面２７Ａ側を加工する。
【００２７】
第２の加工装置１７は、サドル移動装置３１と、サドル３２と、研削主軸３３と、第２の回転駆動装置（図示せず）と、台座３４と、第２の加工部材である砥石３５とを有する。
【００２８】
サドル移動装置３１は、架台１５の突出部１５Ｃ上に設けられている。サドル移動装置３１は、サドル３２をＸ，Ｘ方向に移動させるためのものである。サドル３２は、突出部１５Ｃとワーク保持装置１８との間に位置する架台１５の板部１５Ａ上に設けられている。サドル３２は、Ｘ，Ｘ方向に移動可能な状態で架台１５に支持されている。サドル３２は、サドル移動装置３１と接続されている。
【００２９】
研削主軸３３は、サドル移動装置３１が接続された側とは反対側に位置するサドル３２に設けられている。研削主軸３３は、サドル移動装置３１によりサドル３２がＸ，Ｘ方向に移動させられた際、サドル３２と一体的に移動する。第２の回転駆動装置（図示せず）は、研削主軸３３を回転させるためのものである。
【００３０】
台座３４は、ワーク保持装置１８側に位置する研削主軸３３に設けられている。台座３４は、円環状の突出部３４Ａを有する。台座３４は、研削主軸３３が回転移動させられた際、研削主軸３３と一体的に回転移動する。
【００３１】
砥石３５は、円環状とされており、台座３４の突出部３４Ａに設けられている。砥石３５は、台座３４が回転移動させられた際、台座３４と一体的に回転移動する。砥石３５は、ワーク２７の第２の面２７Ｂと接触する研削動作面３５Ａを有する。研削動作面３５Ａは、ワーク２７の中心位置を通過するように配置されている。
【００３２】
上記構成とされた第２の加工装置１７は、回転移動する砥石３５の研削動作面３５Ａにより、ワーク２７の第２の面２７Ｂ側を加工する。
【００３３】
図３は、図２に示すワーク保持装置をＤ視した図である。
【００３４】
図３を参照するに、ワーク保持装置１８は、フレーム４１と、ローラ位置自動調整機構４２〜４６と、ローラ支持機構５２〜５６と、溝付きローラ６２〜６６とを有する。
【００３５】
フレーム４１は、第１の加工装置１６と第２の加工装置１７との間に位置する架台１５の板部１５Ａ上に設けられており、コの字型とされている。
【００３６】
ローラ位置自動調整機構４２，４３は、フレーム４１の下部内壁４１Ａに設けられている。ローラ位置自動調整機構４４は、フレーム４１の内壁４１Ｂに設けられている。ローラ位置自動調整機構４５，４６は、フレーム４１の上部内壁４１Ｃに設けられている。ローラ位置自動調整機構４２〜４６は、ローラ支持機構５２〜５６を介して、溝付きローラ６２〜６６の軸方向に溝付きローラ６２〜６６を移動させて、溝付きローラ６２〜６６の溝６２Ａ〜６６Ａの位置を自動で調整するためのものである（図２参照）。
【００３７】
このように、溝付きローラ６２〜６６の溝６２Ａ〜６６Ａの軸方向の位置を自動調整するローラ位置自動調整機構４２〜４６を設けることにより、作業者が溝付きローラ６２〜６６の軸方向の位置調整を手動で行なった場合と比較して、容易に溝付きローラ６２〜６６の溝６２Ａ〜６６Ａの位置の調整を行うことができる。
【００３８】
図４は、図３に示すローラ位置自動調整機構のＥ−Ｅ線方向の断面図であり、図５は、図４に示すローラ位置自動調整機構のＨ−Ｈ線方向の断面図である。
【００３９】
図４及び図５を参照して、ローラ位置自動調整機構４２の具体的な構成について説明する。ローラ位置自動調整機構４２は、回転モータ７１と、ボールネジ７２と、ガイドベース７３と、複数のボールネジ軸受７４と、支持体７５と、ステージ７７と、転がりガイド７８とを有する。
【００４０】
回転モータ７１は、フレーム４１上に設けられている。回転モータ７１は、制御手段１３と電気的に接続されている。回転モータ７１は、制御手段１３の指令に基づいて、ボールネジ７２を回転させて、支持体７５を溝付きローラ６２の軸方向に移動させるためのものである。
【００４１】
ボールネジ７２は、その長手方向が溝付きローラ６２の軸方向となるように回転モータ７１と接続されている。ボールネジ７２は、ガイドベース７３に形成された貫通穴７３Ｂを貫通すると共に、ガイドベース７３の収容部７３Ａに延在するように配置されている。
【００４２】
ガイドベース７３は、フレーム４１に設けられている。ガイドベース７３は、収容部７３Ａと、貫通穴７３Ｂと、一対の突出部８１，８２とを有する。収容部７３Ａは、ボールネジ７２の一部及び支持体７５を収容するためのものである。貫通穴７３Ｂは、回転モータ７１と対向するガイドベース７３部分に形成されている。一対の突出部８１，８２は、ボールネジ７２を介して対向するように配置されている。
【００４３】
複数のボールネジ軸受７４は、貫通穴７３Ｂに対応するガイドベース７３に設けられている。複数のボールネジ軸受７４は、ボールネジ７２を回転可能に支持している。
【００４４】
支持体７５は、収容部７３Ａに収容されたボールネジ７２に設けられている。支持体７５は、溝付きローラ６２を支持するローラ支持機構５２を配設するためのものである。支持体７５は、ボールネジ７２が回転した際、溝付きローラ６２の軸方向に移動する。これにより、ローラ支持機構５２が溝付きローラ６２の軸方向に移動するので、溝付きローラ６２の溝６２Ａの位置調整を自動で行うことができる。
【００４５】
ステージ７７は、板部８４と、突出部８５，８６とを有する。板部８４は、支持体７５上に固定されている。板部８４は、収容部７３Ａの上面を覆うように配置されている。突出部８５，８６は、板部８４に設けられている。突出部８５は、ガイドベース７３の突出部８１と対向するように配置されている。突出部８６は、ガイドベース７３の突出部８２と対向するように配置されている。ステージ７７は、ローラ支持機構５２を配設するためのものである。
【００４６】
転がりガイド７８は、第１のガイド板９１，９２と、第２のガイド板９３，９４と、複数のボール９５，９６とを有する。第１のガイド板９１は、突出部８１の外壁８１Ａに設けられている。第１のガイド板９１には、複数のボール９５の一部を収容する溝が形成されている。第１のガイド板９２は、突出部８２の外壁８２Ａに設けられている。第１のガイド板９２には、複数のボール９６の一部を収容する溝が形成されている。
【００４７】
第２のガイド板９３は、突出部８５の内壁８５Ａに設けられている。第２のガイド板９３には、複数のボール９５の一部を収容する溝が形成されている。第２のガイド板９４は、突出部８６の内壁８６Ａに設けられている。第２のガイド板９４には、複数のボール９６の一部を収容する溝が形成されている。
【００４８】
複数のボール９５は、第１及び第２のガイド板９１，９３に形成された溝に収容されている。複数のボール９６は、第１及び第２のガイド板９２，９４に形成された溝に収容されている。
【００４９】
上記構成とされた転がりガイド７８は、複数のボール９５，９６が第１及び第２のガイド板９１，９２，９３，９４に形成された溝を移動することで、溝付きローラ６２の軸方向にステージ７７を案内するためのガイドである。
【００５０】
ローラ位置自動調整機構４３〜４６は、上記説明したローラ位置自動調整機構４２と同様な構成とされている。
【００５１】
なお、回転モータ７１及びボールネジ７２からなるローラ位置自動調整機構４２〜４６のアクチュエータのストロークは第１及び第２のガイド板９１〜９４に形成された溝の加工精度の約１０倍程度あればよい。また、上記アクチュエータの位置決め精度としては、所望の調整精度の１／１０程度であればよい。
【００５２】
図４を参照するに、ローラ支持機構５２は、回転軸収容部材９８と、ローラ用回転軸９９と、複数の軸受１０１とを有する。回転軸収容部材９８は、ステージ７７上に設けられている。回転軸収容部材９８は、ローラ用回転軸９９を挿入するための貫通部９８Ａを有する。ローラ用回転軸９９は、貫通部９８Ａを貫通すると共に、回転軸収容部材９８から突出するように配置されている。ローラ用回転軸９９は、溝付きローラ６２を配設するためのものである。
【００５３】
複数の軸受１０１は、貫通部９８Ａを形成する回転軸収容部材９８に設けられている。複数の軸受１０１は、ローラ用回転軸９９を回転可能に支持するためのものである。
【００５４】
ローラ支持機構５３〜５６は、上記説明したローラ支持機構５２と同様な構成とされている。また、ローラ支持機構５３は、ローラ位置自動調整機構４３に設けられており、ローラ支持機構５４は、ローラ位置自動調整機構４４に設けられている（図３参照）。また、ローラ支持機構５５は、ローラ位置自動調整機構４５に設けられており、ローラ支持機構５６は、ローラ位置自動調整機構４６に設けられている（図３参照）。
【００５５】
図４を参照するに、溝付きローラ６２は、ローラ支持機構５２に設けられたローラ用回転軸９９に配設されている。溝付きローラ６２は、ワーク２７の外周部と接触する溝６２Ａを有する。溝付きローラ６２は、ローラ支持機構５２が溝付きローラ６２の軸方向（ローラ支持機構５２に設けられたローラ用回転軸９９の軸方向）に移動させられた際、ローラ支持機構５２と一体的に移動する。
【００５６】
次に、図３を参照して、溝付きローラ６３〜６６について説明する。溝付きローラ６３は、ローラ支持機構５３に設けられたローラ用回転軸９９に配設されている。溝付きローラ６３は、ワーク２７の外周部と接触する溝６３Ａを有する。溝付きローラ６３は、ローラ支持機構５３が溝付きローラ６３の軸方向に移動させられた際、ローラ支持機構５３と一体的に移動する。
【００５７】
溝付きローラ６４は、ローラ支持機構５４に設けられたローラ用回転軸９９に配設されている。溝付きローラ６４は、ワーク２７の外周部と接触する溝６４Ａを有する。溝付きローラ６４は、ローラ支持機構５４が溝付きローラ６４の軸方向に移動させられた際、ローラ支持機構５４と一体的に移動する。
【００５８】
溝付きローラ６５は、ローラ支持機構５５に設けられたローラ用回転軸９９に配設されている。溝付きローラ６５は、ワーク２７の外周部と接触する溝６５Ａを有する。溝付きローラ６５は、ローラ支持機構５５が溝付きローラ６５の軸方向に移動した際、ローラ支持機構５５と一体的に移動する。
【００５９】
溝付きローラ６６は、ローラ支持機構５６に設けられたローラ用回転軸９９に配設されている。溝付きローラ６６は、ワーク２７の外周部と接触する溝６６Ａを有する。溝付きローラ６６は、ローラ支持機構５６が溝付きローラ６６の軸方向に移動した際、ローラ支持機構５６と一体的に移動する。
【００６０】
溝付きローラ６５，６６は、ワーク２７を加工する際、図示していない駆動装置により回転させられる。このとき、溝付きローラ６２〜６４は、溝付きローラ６５，６６により回転させられるワーク２７の回転運動により、従動回転する。
【００６１】
図２を参照するに、測定装置１９は、支持部材１０３と、ネジ部１０４と、センサ１０５とを有する。支持部材１０３は、Ｌ字形状とされている。支持部材１０３は、センサ１０５を配設するためのものである。ネジ部１０４は、支持部材１０３の一方の端部に設けられている。ネジ部１０４は、台座２４に形成されたネジ穴２４Ｂと締結されている。これにより、台座２４に支持部材１０３が固定される。
【００６２】
図６は、砥石とセンサとの位置関係を説明するための図である。
【００６３】
図６を参照するに、センサ１０５は、研削動作面２５Ａと対向する部分の支持部材１０３に設けられている。センサ１０５は、センサ１０５からワーク２７の第１の面２７Ａの第１の所定位置及び／又はワーク２７の第２の面２７Ｂの第２の所定位置までの第１の距離及び／又は第２の距離を測定して、第１の距離データ及び／又は第２の距離データを取得するためのものである。なお、本実施の形態では、センサ１０５により第１の距離データと第２の距離データの両方を取得する場合を例に挙げて以下の説明を行う。
【００６４】
図７は、センサが測定する第１の所定位置の一例を示す図である。図７において、Ｆ１〜Ｆ５はワーク２７の第１の面２７Ａの第１の所定位置（以下、「第１の所定位置Ｆ１〜Ｆ５」とする）を示している。
【００６５】
図７を参照して、ワーク２７の第１の面２７Ａの第１の所定位置Ｆ１〜Ｆ５について説明する。第１の所定位置Ｆ１〜Ｆ５は、砥石２５の研削動作面２５Ａと対向する領域のワーク２７の第１の面２７Ａ内に適宜設定することができる。例えば、図７に示すように、第１の所定位置Ｆ１を溝付きローラ６２の近傍に配置し、第１の所定位置Ｆ２を溝付きローラ６３の近傍に配置し、第１の所定位置Ｆ３を溝付きローラ６４の近傍に配置し、第１の所定位置Ｆ４を溝付きローラ６５の近傍に配置し、第１の所定位置Ｆ５を溝付きローラ６６の近傍に配置するとよい。
【００６６】
このように、第１の所定位置Ｆ１〜Ｆ５を溝付きローラ６２〜６６の近傍に配置することにより、センサ１０５から第１の所定位置Ｆ１〜Ｆ５までの第１の距離を測定した際に取得される第１の距離データに溝付きローラ６２〜６６の軸方向の位置に関するデータを多く含ませることができる。
【００６７】
なお、図７では、第１の所定位置の数（この場合５つ）と溝付きローラ６２〜６６の数（この場合５つ）とが等しい場合を例に挙げたが、第１の所定位置の数を溝付きローラ６２〜６６の数よりも多く設定してもよい。第１の所定位置の数は、溝付きローラ６２〜６６の数と等しいか、或いは溝付きローラ６２〜６６の数よりも多ければよい。
【００６８】
図８は、センサが測定する第２の所定位置の一例を示す図である。図８において、Ｍ１〜Ｍ５はワーク２７の第２の面２７Ｂの第２の所定位置（以下、「第２の所定位置Ｍ１〜Ｍ５」とする）を示している。
【００６９】
図８を参照して、ワーク２７の第２の面２７Ａの第２の所定位置Ｍ１〜Ｍ５について説明する。第２の所定位置Ｍ１〜Ｍ５は、砥石２５の研削動作面２５Ａと対向する領域のワーク２７の第２の面２７Ｂ内に適宜設定することができる。例えば、図８に示すように、第２の所定位置Ｍ１を溝付きローラ６２の近傍に設定し、第２の所定位置Ｍ２を溝付きローラ６３の近傍に配置し、第２の所定位置Ｍ３を溝付きローラ６４の近傍に配置し、第２の所定位置Ｍ４を溝付きローラ６５の近傍に配置し、第２の所定位置Ｍ５を溝付きローラ６６の近傍に配置するとよい。
【００７０】
このように、第２の所定位置Ｍ１〜Ｍ５を溝付きローラ６２〜６６の近傍に配置することにより、センサ１０５から第２の所定位置Ｍ１〜Ｍ５までの第１の距離を測定した際に取得される第１の距離データに溝付きローラ６２〜６６の軸方向の位置に関するデータを多く含ませることができる。
【００７１】
なお、センサ１０５により第２の所定位置Ｍ１〜Ｍ５からセンサ１０５までの第２の距離を測定する場合には、図７に示すワーク２７の状態（研削動作面２５Ａとワーク２７の第１の面２７Ａとが対向する状態）から、図８に示すように、研削動作面２５Ａとワーク２７の第２の面２７Ｂが対向するようにワーク２７を反転させる。
【００７２】
また、図８では、第２の所定位置の数（この場合５つ）と溝付きローラ６２〜６６の数（この場合５つ）とが等しい場合を例に挙げたが、第２の所定位置の数を溝付きローラ６２〜６６の数よりも多く設定してもよい。第２の所定位置の数は、溝付きローラ６２〜６６の数と等しいか、或いは溝付きローラ６２〜６６の数よりも多ければよい。また、第２の所定位置の数は、第１の所定位置の数と等しくするとよい。
【００７３】
ここで、第１及び第２の所定位置Ｆ１〜Ｆ５，Ｍ１〜Ｍ５をセンサ１０５が測定する場合（第１の所定位置Ｆ１〜Ｆ５の数と第２の所定位置Ｍ１〜Ｍ５の数と溝付きローラ６２〜６６の数とが等しい場合）を例に挙げて、センサ１０５が予め取得するローラ変位量データＦＡ，ＦＢについて説明する。
【００７４】
センサ１０５は、ワーク保持装置１８によりワーク２７を回転させた状態で、溝付きローラ６２〜６６を軸方向に変位させない状態（初期状態）で、センサ１０５から第１の所定位置Ｆ１〜Ｆ５までの距離を測定して、初期状態の距離データを取得する。
【００７５】
センサ１０５は、ワーク保持装置１８によりワーク２７を回転させた状態で、溝付きローラ６２のみを溝付きローラ６２の軸方向に所定の変位量ｇだけ変位させたときのセンサ１０５から第１の所定位置Ｆ１〜Ｆ５までの距離を測定する。続いて、溝付きローラ６３のみを溝付きローラ６３の軸方向に所定の変位量ｇだけ変位させたときのセンサ１０５から第１の所定位置Ｆ１〜Ｆ５までの距離を測定する。次いで、溝付きローラ６４のみを溝付きローラ６４の軸方向に所定の変位量ｇだけ変位させたときのセンサ１０５から第１の所定位置Ｆ１〜Ｆ５までの距離を測定する。続いて、溝付きローラ６５のみを溝付きローラ６５の軸方向に所定の変位量ｇだけ変位させたときのセンサ１０５から第１の所定位置Ｆ１〜Ｆ５までの距離を測定する。次いで、溝付きローラ６６のみを溝付きローラ６６の軸方向に所定の変位量ｇだけ変位させたときのセンサ１０５から第１の所定位置Ｆ１〜Ｆ５までの距離を測定する。
【００７６】
ローラ変位量データＦＡは、各溝付きローラ６２〜６６を個別に変位させたときの上記距離に関するデータから初期状態の距離データを引くことにより求められるデータである。この場合のローラ変位量データＦＡは、５×５の行列で表されるデータである。
【００７７】
ローラ変位量データＦＢは、センサ１０５とワーク２７の第２の面２７Ｂが対向するようにワーク２７を反転させ（図８に示す状態）、その後、ローラ変位量データＦＡを取得するときと同様な手法により取得する。この場合のローラ変位量データＦＢは、５×５の行列で表されるデータである。センサ１０５により取得されたローラ変位量データＦＡ，ＦＢは、移動量演算手段１２に送信され、記憶部１２Ａに記憶される。
【００７８】
また、上記所定の変位量ｇは、センサ１０５の計測精度よりも十分に大きな値であればよい。所定の変位量ｇは、例えば、１０μｍ〜１００μｍの範囲内で設定することができる。
【００７９】
なお、上記５回の測定を複数行って、平均化したデータに基づいてローラ変位量データＦＡ，ＦＢを求めてもよい。
【００８０】
このように、上記５回の測定を複数行って複数のローラ変位量データを取得し、この複数のローラ変位量データを平均化してローラ変位量データＦＡ，ＦＢを取得することにより、ローラ変位量データＦＡ，ＦＢに含まれる計測誤差成分（例えば、センサ１０５の測定誤差等）を低減させることができる。
【００８１】
また、センサ１０５は、ワーク保持装置１８によりワーク２７を回転させると共に、全ての溝付きローラ６２〜６６を変位させない状態で、センサ１０５から第１の所定位置Ｆ１〜Ｆ５までの第１の距離を順次測定して、第１の距離データｄ１−１〜ｄ１−５を取得すると共に、センサ１０５から第２の所定位置Ｍ１〜Ｍ５までの第２の距離を順次測定して、第２の距離データｄ２−１〜ｄ２−５を取得する。第１の距離データｄ１−１〜ｄ１−５及び第２の距離データｄ２−１〜ｄ２−５は、複数の溝付きローラ６２〜６６の溝６２Ａ〜６６Ａにより形成されるローラ拘束面Ｊ（図２参照）の形状に対応したローラ拘束面形状データＪｄを取得する際に用いられるデータである。
【００８２】
センサ１０５は、移動量演算手段１２と電気的に接続されている。センサ１０５により取得された第１の距離データｄ１−１〜ｄ１−５及び第２の距離データｄ２−１〜ｄ２−５は、移動量演算手段１２に送信される。
【００８３】
このように、台座２４に取り付けられ、センサ１０５を所定の位置に移動させる駆動部を備えていない測定装置１９を用いることにより、センサ１０５が取得するローラ変位量データＦＡ，ＦＢ、第１の距離データｄ１−１〜ｄ１−５、及び第２の距離データｄ２−１〜ｄ２−５に含まれる運動誤差成分を小さくすることができる。
【００８４】
図２を参照するに、移動量演算手段１２は、記憶部１２Ａと、補正部１２Ｂと、演算部１２Ｃとを有する。記憶部１２Ａには、ローラ変位量データＦＡ，ＦＢ、ワーク２７の所定の形状に関するデータＴｗ、ローラ拘束面Ｊの所定の形状に関するデータＴＪ等が記憶されている。ワーク２７の所定の形状に関するデータＴｗとは、例えば、ワーク２７の厚さに関するスペックや、ワークの反りやナノトポグラフィに関するスペック等に関するデータである。ワーク２７の所定の形状に関するデータＴｗは、両面加工装置１０によりワーク２７を加工するか否かを判断する際に使用されるデータである。
【００８５】
ローラ拘束面Ｊの所定の形状に関するデータＴＪとは、例えば、センサ１０５からワーク２７の第１の面２７Ａまでの距離を複数測定したときの最大値から最小値を引いた値のスペックに関するデータである。ローラ拘束面Ｊの所定の形状に関するデータＴＪは、両面加工装置１０によりワーク２７を加工するか否かを判定する際に使用されるデータである。
【００８６】
補正部１２Ｂは、第１の距離データｄ１−１〜ｄ１−５及び第２の距離データｄ２−１〜ｄ２−５のそれぞれに対して平均化処理やローパスフィルタ処理を行う。
【００８７】
これにより、第１の距離データｄ１−１〜ｄ１−５からワーク２７の振動や溝付きローラ６２〜６６の振れ成分等が低減された中心値データｄ１−１Ａ〜ｄ１−５Ａが取得され、第２の距離データｄ２−１〜ｄ２−５からワーク２７の振動や溝付きローラ６２〜６６の振れ成分等が低減された中心値データｄ２−１Ａ〜ｄ２−５Ａが取得される。
【００８８】
上記中心値データｄ１−１Ａ〜ｄ１−５Ａ，ｄ２−１Ａ〜ｄ２−５Ａは、補正部１２Ｂから演算部１２Ｃに送信される。中心値データｄ１−１Ａ〜ｄ１−５Ａ，ｄ２−１Ａ〜ｄ２−５Ａは、ローラ拘束面形状データＪｄを求める際に使用される。
【００８９】
このように、ワーク２７の振動や溝付きローラ６２〜６６の振れ成分等が除去された中心値データｄ１−１Ａ〜ｄ１−５Ａ，ｄ２−１Ａ〜ｄ２−５Ａに基づいて、ローラ拘束面形状データＪｄを求めることにより、ローラ拘束面形状データＪｄに含まれるワーク２７に関する運動誤差成分や溝付きローラ６２〜６６に関する運動誤差成分等を低減することができる。
【００９０】
また、補正部１２Ｂは、演算部１２Ｃにより求められる移動量Ｇ２（移動量推定値）に基づいて、ローラ位置自動調整機構４２〜４６が溝付きローラ６２〜６６の軸方向の位置を調整後に、センサ１０５が測定することにより取得されるワーク拘束面ＪがデータＴＪを満たしているか否かの判定を行う。ワーク拘束面ＪがデータＴＪを満たしていないと判定された場合（ローラ拘束面形状データＪｄに重畳している誤差成分を十分に低減できていない場合）、補正部１２Ｂは、移動量Ｇ２に補正係数ＫＣ（＜１）を掛けて、移動量Ｇ２を補正して移動量Ｇ３（＝Ｇ２・ＫＣ）を算出する。補正係数ＫＣは、所定の値を有する補正係数である。
【００９１】
このようにして求められる移動量Ｇ３（移動量推定値）に基づいて、溝付きローラ６２〜６６の軸方向の位置を調整することにより、調整後のローラ拘束面Ｊの形状がデータＴＪを満たすことができる。
【００９２】
ところで、ローラ拘束面Ｊの形状がデータＴＪを満たすような移動量Ｇ３を取得するためには、センサ１０５による計測と補正部１２Ｂによる補正とを繰り返し行う必要があるため、多くの時間を要する。そこで、予め第１及び第２の距離データｄ１−１〜ｄ１−５，ｄ２−１〜ｄ２−５の繰り返し計測精度の標準偏差σ１を求めておき、移動量Ｇ２が標準偏差σ１よりもかなり大きい場合には、補正係数ＫＣＨを１（ＫＣＨ＝１）とし、移動量Ｇ２（移動量推定値）が繰り返し計測精度の標準偏差σ１よりもそれほど大きくない場合には、補正係数ＫＣＨ（ＫＣＨ＜１）をローラ拘束面形状データＪｄに応じて可変させて、移動量Ｇ２の補正を行う可変フィードバック処理を適用するとよい。
【００９３】
このような可変フィードバックの方法としては、例えば、繰り返し計測精度の標準偏差σ１にある係数Ｒを掛けた値を補正するか否かの閾値Ｔ１（＝σ１・Ｒ）とし、ローラ拘束面形状データＪｄが閾値Ｔ１よりも大きい場合（Ｇ２＞Ｔ１）には、補正係数ＫＣＨを１（ＫＣＨ＝１）とし、移動量Ｇ２が閾値Ｔ１と等しいか或いは閾値Ｔ１よりも小さい場合（Ｇ２≦Ｔ１）には、補正係数ＫＣＨを１よりも小さい値（ＫＣＨ＜１）として、移動量Ｇ２の補正を行って、移動量Ｇ３（移動量推定値）を取得する方法がある。
【００９４】
また、可変フィードバックの他の方法としては、例えば、繰り返し計測精度の標準偏差σ１にある係数Ｒを掛けた値（＝σ１・Ｒ）を補正するか否かの閾値Ｔ１とし、移動量Ｇ２が閾値Ｔ１よりも大きい場合（Ｇ２＞Ｔ１）には、補正係数ＫＣＨを１（ＫＣＨ＝１）とし、移動量Ｇ２が閾値Ｔ１と等しいか或いは閾値Ｔ１よりも小さい場合（Ｇ２≦Ｔ１）には、移動量Ｇ２を閾値Ｔ１で割った値を補正係数ＫＣＨ（＝Ｇ２／Ｔ１）として、移動量Ｇ２の補正を行って、移動量Ｇ３（移動量推定値）を取得する方法がある。
【００９５】
このように、移動量Ｇ２を閾値Ｔ１で割った値を補正係数ＫＣＨ（＝Ｇ２／Ｔ１）として用いることにより、移動量Ｇ２の大きさ（より具体的には、第１の距離データｄ１−１〜ｄ１−５及び第２の距離データｄ２−１〜ｄ２−５の大きさ）に応じた補正を行うことができる。
【００９６】
さらに、可変フィードバックのその他の方法としては、例えば、ローラ拘束面形状データＪｄの値のばらつきの標準偏差σ２を予め求めておき、標準偏差σ２にある係数Ｒを掛けた値（＝σ２・Ｒ）を補正するか否かの閾値Ｔ２とし、移動量Ｇ２が閾値Ｔ２よりも大きい場合（Ｇ２＞Ｔ２）には、補正係数ＫＣＨを１（ＫＣＨ＝１）とし、移動量Ｇ２が閾値Ｔ２と等しいか或いは閾値Ｔ２よりも小さい場合（Ｇ２≦Ｔ２）には、（σ２−σ１）／σ２を補正係数Ｋｃ（＝（σ２−σ１）／σ２）として、移動量Ｇ２の補正を行って、移動量Ｇ３（移動量推定値）を取得する方法がある。
【００９７】
上記説明したような可変フィードバック処理を用いて、移動量Ｇ２の補正を行うことにより、少ない繰り返し回数で移動量Ｇ２（移動量推定値）に重畳している誤差成分を十分に低減して、誤差成分が十分に低減された移動量Ｇ３（移動量推定値）を取得することができる。このようにして得られた移動量Ｇ３（移動量推定値）に基づいて、ローラ位置自動調整機構４２〜４６が溝付きローラ６２〜６６の軸方向の位置を調整することにより、ローラ拘束面Ｊを所定の面に対して略平行にすることができる。
【００９８】
所定の面とは、ワーク２７の両面２７Ａ，２７Ｂを高精度に加工することのできる面のことである。この所定の面とローラ拘束面Ｊとが略平行となるように、溝付きローラ６２〜６６の軸方向の位置を調整することで、ワーク２７の両面２７Ａ，２７Ｂを高精度に加工することができる。
【００９９】
所定の面としては、例えば、砥石２５が回転したときに研削動作面２５Ａにより形成される回転軌跡面Ｈを用いることができる。また、研削動作面２５Ａと研削動作面３５Ａとの中間を通過する面を所定の面としてもよい。さらに、回転軌跡面Ｈと、砥石３５が回転したときに研削動作面３５Ａにより形成される回転軌跡面Ｉとの中間を通過する面を所定の面としてもよい。本実施の形態では、所定の面として回転軌跡面Ｈを用いる場合を例に挙げて以下の説明を行う。
【０１００】
なお、上記標準偏差σ１，σ２の代わりに、分散や複数回測定したときの最大値から最小値を引いた値等を用いてもよい。つまり、標準偏差σ１，σ２の代わりに、それぞれのデータのばらつきを表す評価値を用いることができる。
【０１０１】
図９は、ローラ拘束面形状データを傾斜成分とうねり成分に分解した様子を模式的に示す図である。
【０１０２】
図９に示すように、ローラ拘束面形状データＪｄを傾斜成分Ｊｓ（ワーク保持装置１８全体が傾斜することに起因する誤差成分）とうねり成分Ｊｗ（ワーク２７の反りやうねりに起因する誤差成分）とに分解して、傾斜成分Ｊｓに関する繰り返し計測誤差の標準偏差σｓと、うねり成分Ｊｗに関する繰り返し計測誤差の標準偏差σｗとを求め、標準偏差σｓと標準偏差σｗとの間に有意な差がある場合、上記説明したいずれかの可変フィードバック処理を傾斜成分Ｊｓとうねり成分Ｊｗとに対して行ってもよい。
【０１０３】
具体的には、例えば、ローラ拘束面形状データＪｄに対する最小二乗近似直線を求め、この最小二乗近似直線を傾斜成分Ｊｓとし、残差（Ｊｄ−Ｊｓ）をうねり成分Ｊｗとし、後述する（４）式（最小自乗法）により、傾斜成分Ｊｓに基づいて、第１の移動量である移動量Ｇ２ｓ（移動量推定値）と、うねり成分Ｊｗに基づいて、第２の移動量である移動量Ｇ２ｗ（移動量推定値）とを求める。次いで、上記説明したいずれかの補正係数により移動量Ｇ２ｓの補正係数Ｋｓ（第１の補正係数）と移動量Ｇ２ｗの補正係数Ｋｗ（第２の補正係数）とを求め、移動量Ｇ２ｓに補正係数Ｋｓを掛けた第１の補正移動量（＝Ｇ２ｓ・Ｋｓ）と移動量Ｇ２ｗに補正係数Ｋｗを掛けた第２の補正移動量（＝Ｇ２ｗ・Ｋｗ）との和を補正された移動量Ｇ３（＝Ｇ２ｓ・Ｋｓ＋Ｇ２ｗ・Ｋｗ）とすることができる。
【０１０４】
このように、ローラ拘束面形状データＪｄを傾斜成分Ｊｓとうねり成分Ｊｗとに分解して移動量Ｇ２ｓ，Ｇ２ｗを求め、移動量Ｇ２ｓ，Ｇ２ｗを上記可変フィードバック処理により補正することで、傾斜成分Ｊｓ及びうねり成分Ｊｗに含まれる計測誤差に応じた補正を行うことができる。
【０１０５】
また、うねり成分Ｊｗの補正方法には次のような方法がある。この場合、うねり成分Ｊｗに対する移動量Ｇ２ｗは、例えば、溝付きローラ６２〜６６の数が５つの場合、行列演算により求める４次の最小二乗曲線Ｊｗｍとうねり成分Ｊｗとの差分Ｊｍにより求めることができる。これは、４次の最小二乗曲線Ｊｗｍのみが実在するローラ拘束面Ｊのうねり成分であり、差分Ｊｍは計測誤差とみなす考え方である。
【０１０６】
すなわち、うねり成分Ｊｗと４次の最小二乗曲線Ｊｗｍとの差分Ｊｍをローラ拘束面形状データＪｄに対して求め、その分散Ｗｍを求め、この分散Ｗｍからうねり成分Ｊｗの分散Ｗｗから差し引いた値を実在のローラ拘束面Ｊのうねり成分（ワーク２７に起因する誤差成分、溝付きローラ６２〜６６の溝６２Ａ〜６６Ａの位置に起因する誤差成分、及びセンサ１０５の計測誤差成分等）の推定分散Ｗｘ（＝Ｗｗ−Ｗｍ）とする。このとき、うねり成分Ｊｗの補正係数Ｋｃｗは、Ｋｃｗ＝Ｗｘ／Ｗｗとする。
【０１０７】
これにより、うねり成分Ｊｗが４次の最小二乗曲線Ｊｗｍによく表されている場合は、Ｗｘ≒Ｗｗ、つまりＫｃｗ≒１となるので、ローラ拘束面Ｊのうねり成分が十分に補正することができる。また、ローラ拘束面形状データＪｄが小さい場合、つまりうねり成分Ｊｗが４次の最小二乗曲線Ｊｗｍによく表されていない場合は、推定分散Ｗｘが小さいので、Ｋｃｗ≒０となり、計測誤差成分に起因する不正な補正動作を低減することができる。
【０１０８】
このような補正により取得される移動量Ｇ３（移動量推定値）に基づいて、ローラ位置自動調整機構４２〜４６が溝付きローラ６２〜６６の軸方向の位置を調整することにより、ローラ拘束面Ｊを回転軌跡面Ｈに対して略平行にすることができる。
【０１０９】
なお、うねり成分Ｊｗと４次の最小二乗曲線Ｊｗｍとが大きくかけ離れた場合、推定分散Ｗｘ＜０となることがあるが、この場合はＫｃｗ＝０として、うねり成分Ｊｗの補正は行わない。
【０１１０】
上記いずれかの方法により求められた移動量Ｇ３（移動量推定値）は、制御手段１３に送信される。
【０１１１】
演算部１２Ｃは、補正部１２Ｂにより求められた中心値データｄ１−１Ａ〜ｄ１−５Ａと中心値データｄ２−１Ａ〜ｄ２−５Ａとを平均化して、ローラ拘束面形状データＪｄを取得する。また、演算部１２Ｃは、予め取得されたローラ変位量データＦＡ，ＦＢとを平均化してローラ変位量データＦＣを算出する。
【０１１２】
また、演算部１２Ｃは、ローラ変位量データＦＣと、ローラ拘束面形状データＪｄとに基づいて、回転軌跡面Ｈとローラ拘束面Ｊとが略平行となるように、溝付きローラ６２〜６６の軸方向に対する移動量Ｇを演算により求める。
【０１１３】
ここで、溝付きローラ６２〜６６の数と測定装置１９が測定する第１及び第２の所定位置の数が同じ場合の溝付きローラ６２〜６６の軸方向に対する移動量Ｇ１の求め方について説明する。
【０１１４】
この場合、先に説明したように、ローラ変位量データＦＡ，ＦＢは、５×５の行列で表されるので、ローラ変位量データＦＣも５×５の行列で表される。したがって、ローラ変位量データＦＣは正方行列であり、ローラ変位量データＦＣには逆行列が存在する。よって、この場合の移動量Ｇ１は、ローラ変位量データＦＣの逆行列にローラ拘束面形状データＪｄを掛けることで求められる（下記（１）式参照）。演算部１２Ｃにより求められた移動量Ｇ１は、制御手段１３に送信される。
【０１１５】
Ｇ１＝ＦＣ−１・Ｊｄ  ・・・（１）
このようにして求められた移動量Ｇ１に基づいて、ローラ位置自動調整機構４２〜４６が溝付きローラ６２〜６６の軸方向の溝６２Ａ〜６６Ａの位置を調整することにより、ローラ拘束面Ｊを回転軌跡面Ｈに対して略平行にすることができる。
【０１１６】
次に、溝付きローラ６２〜６６の数よりも測定装置１９が測定する第１及び第２の所定位置の数が多く、かつ第１の所定位置の数と第２の所定位置の数とが同じ場合の溝付きローラ６２〜６６の軸方向に対する移動量Ｇ２（移動量推定値）の求め方について説明する。
【０１１７】
この場合、第１及び第２の所定位置の数をＮｓ（＞５）、ＸＲを溝付きローラ６２〜６６の個数分のベクトル（以下、「ローラ変位量ベクトルＸＲ」とする）とすると、ローラ変位量データＦＣは、５×Ｎｓ行列となる。ローラ拘束面形状データＪｄは、ローラ変位量ベクトルＸＲにローラ変位量データＦＣを掛けたものと等しくなり、下記（２）式が成立する。
【０１１８】
Ｊｄ＝ＦＣ・ＸＲ  ・・・（２）
また、ローラ変位量ベクトルＸＲは、溝付きローラ６２〜６６の数の自由度（この場合５つ）を持つので、ローラ拘束面形状データＪｄは、４次多項式で表すことができる。よって、４次多項式の係数ベクトルＶは、下記（３）式に示すように、最小自乗近似行列Ｌを用いて求めることができる。
【０１１９】
Ｖ＝Ｌ・Ｊｄ＝Ｌ・ＦＣ・ＸＲ  ・・・（３）
上記（３）式の第２項及び第３項より、移動量Ｇ２（移動量推定値）は、下記（４）式により求められる。演算部１２Ｃにより求められた移動量Ｇ２（移動量推定値）は、制御手段１３に送信される。
【０１２０】
Ｇ２＝（Ｌ・ＦＣ）−１・Ｌ・Ｊｄ  ・・・（４）
このように、最小自乗法によって移動量Ｇ２（移動量推定値）を推定することにより、ローラ拘束面形状データＪｄに重畳している誤差成分（例えば、ワーク２７の反り形状、転がりガイド７８の運動誤差、センサ１０５の精度誤差等）の影響を低減することができる。
【０１２１】
なお、最小自乗法によって移動量Ｇ２（移動量推定値）を推定する場合、測定装置１９が測定する第１及び第２の所定位置の数が多い方が、ローラ拘束面形状データＪｄに重畳している誤差成分を低減する効果が大きい。
【０１２２】
制御手段１３は、両面加工装置本体１１の制御全般を行うためのものである。制御手段１３は、移動量演算手段１２及びローラ位置自動調整機構４２〜４６の回転モータ７１と接続されている。制御手段１３は、移動量演算手段１２の演算部１２Ｃから送信された移動量Ｇ（具体的には、先に説明した移動量Ｇ１、または移動量Ｇ２（移動量推定値）、或いは移動量Ｇ３（移動量推定値））に基づいて、ローラ位置自動調整機構４２〜４６の回転モータ７１を介して、溝付きローラ６２〜６６の軸方向の位置（具体的には、溝６２Ａ〜６６Ａの位置）を制御する。
【０１２３】
本実施の形態の両面加工装置によれば、センサ１０５からワーク２７の第１の面２７Ａの第１の所定位置Ｆ１〜Ｆ５までの第１の距離に関する第１の距離データｄ１−１〜ｄ１−５、及びセンサ１０５からワーク２７の第２の面２７Ｂの第２の所定位置Ｍ１〜Ｍ５までの第２の距離に関する第２の距離データｄ２−１〜ｄ２−５を取得する測定装置１９と、複数の溝付きローラ６２〜６６の溝６２Ａ〜６６Ａにより形成されるローラ拘束面Ｊが回転軌跡面Ｈ（所定の面）となるように、第１の距離データｄ１−１〜ｄ１−５及び第２の距離データｄ２−１〜ｄ２−５に基づいて、溝付きローラ６２〜６６の軸方向の移動量Ｇを求める移動量演算手段１２と、移動量Ｇに応じて、複数の溝付きローラ６２〜６６の軸方向の位置を自動調整するローラ位置自動調整機構４２〜４６とを設けることにより、溝付きローラ６２〜６６の軸方向の位置調整を容易に行うことができると共に、ワーク２７の両面２７Ａ，２７Ｂを高精度に加工することができる。
【０１２４】
なお、本実施の形態の両面加工装置１０において、溝付きローラ６２〜６６の軸方向の位置を自動調整する際、溝付きローラ６２〜６６のうちの１つの溝付きローラの位置を固定し、この溝付きローラの軸方向の位置を基準として、他の４つの溝付きローラの軸方向の位置を調整してもよい。この場合、ワーク拘束面Ｊから砥石２５までの距離とワーク拘束面Ｊから砥石３５までの距離とが略等しくなるように、研削主軸２３，３３を移動させて砥石２５，３５の位置を調整するとよい。
【０１２５】
このような方法により、溝付きローラ６２〜６６の軸方向の位置の調整を行うことで、全ての溝付きローラ６２〜６６の位置調整を行う必要がなくなるため、溝付きローラ６２〜６６の軸方向の位置調整に要する時間を短縮することができる。
【０１２６】
また、本実施の形態の両面加工装置１０では、第１及び第２の加工部材として砥石２５，３５を用いた場合を例に挙げて説明したが、第１及び第２の加工部材は砥石２５，３５に限定されない。本実施の形態は、例えば、砥石２５，３５の代わりに研磨布（ワーク２７の両面２７Ａ，２７Ｂを鏡面加工する際に使用される加工部材）を備えた両面加工装置にも適用可能であり、この場合も本実施の形態の両面加工装置１０と同様な効果を得ることができる。
【０１２７】
さらに、本実施の形態の両面加工装置１０では、測定装置１９を台座２４に設けた場合を例に挙げて説明したが、測定装置１９を研削主軸２３に設けてもよい。また、ワーク保持装置１８の両側に測定装置１９を設けてもよい。ワーク保持装置１８の両側に測定装置１９を設けることにより、ワーク２７の両面２７Ａ，２７Ｂを同時に測定することが可能となるため、第１の距離データ及び第２の距離データの取得に要する時間を短縮することができる。
【０１２８】
図１０は、本発明の実施の形態に係る両面加工装置の加工方法のフローチャート示す図である。
【０１２９】
図１０を参照して、センサ１０５から第１の所定位置Ｆ１〜Ｆ５までの第１の距離に関する第１の距離データｄ１−１〜ｄ１−５と、センサ１０５から第２の所定位置Ｍ１〜Ｍ５までの第２の距離に関する第２の距離データｄ２−１〜ｄ２−５とを取得して、最小自乗法により溝付きローラ６２〜６６の移動量Ｇ２（移動量推定値）を推定する場合を例に挙げて、本実施の形態に係る両面加工装置１０の加工方法について説明する。
【０１３０】
図１０に示す処理が起動すると、まずＳＴＥＰ１２１では、ワーク保持装置１８によりワーク２７の第１の面２７Ａとセンサ１０５とが対向するように保持し、ワーク２７を回転させる。ワーク２７の回転速度は、例えば、数十ｒｐｍとすることができる。
【０１３１】
続く、ＳＴＥＰ１２２では、研削主軸２３を移動させて、センサ１０５がワーク２７の第１の面２７Ａを測定可能な位置までセンサ１０５を移動させる。
【０１３２】
次いで、ＳＴＥＰ１２３では、センサ１０５により、センサ１０５から第１の所定位置Ｆ１までの第１の距離を測定して、第１の距離データｄ１−１を取得する。取得された第１の距離データｄ１−１は、移動量演算手段１２の補正部１２Ｂに送信される。このように、ＳＴＥＰ１２３では、センサ１０５から第１の所定位置Ｆ１〜Ｆ５までの５つの第１の距離を一括して測定するのではなく、第１の所定位置Ｆ１〜Ｆ５のうちの１つの第１の所定位置からセンサ１０５までの第１の距離を測定して、１つの第１の距離データを取得する。その後、処理はＳＴＥＰ１２４へと進む。
【０１３３】
続く、ＳＴＥＰ１２４では、センサ１０５から第１の距離データｄ１−１〜ｄ１−５が送信された際、補正部１２Ｂにより、第１の距離データｄ１−１〜ｄ１−５のぞれぞれのデータを平均化した中心値データｄ１−１Ａ〜ｄ１−５Ａが求められる。この中心値データｄ１−１Ａ〜ｄ１−５Ａは、移動量演算手段１２の演算部１２Ｃに送信される。
【０１３４】
このように、第１の距離データｄ１−１〜ｄ１−５を平均化することにより、第１の距離データｄ１−１〜ｄ１−５に含まれる計測誤差成分（例えば、溝付きローラ６２〜６６の振れによる運動誤差成分）を低減することができる。
【０１３５】
次いで、ＳＴＥＰ１２５では、第１の所定位置Ｆ１〜Ｆ５に関する中心値データｄ１−１Ａ〜ｄ１−５Ａの取得が完了したか否かの判定が行われる。このＳＴＥＰ１２５において、否定判定された場合（Ｎｏの場合）、処理はＳＴＥＰ１２３に戻る。また、ＳＴＥＰ１２５において、肯定判定された場合（Ｙｅｓの場合）、処理はＳＴＥＰ１２６へと進む。
【０１３６】
ＳＴＥＰ１２６では、ＳＴＥＰ１２１におけるワーク２７の状態からワーク２７を反転させて、ワーク２７の第２の面２７Ｂとセンサ１０５とが対向するように、ワーク保持装置１８にワーク２７をセットすると共に、ワーク２７を回転させる。ワーク２７の回転速度は、例えば、数十ｒｐｍとすることができる。
【０１３７】
次いで、ＳＴＥＰ１２７では、研削主軸２３を移動させて、センサ１０５がワーク２７の第２の面２７Ｂを測定可能な位置までセンサ１０５を移動させる。
【０１３８】
続く、ＳＴＥＰ１２８では、センサ１０５により、センサ１０５から第２の所定位置Ｍ１までの第２の距離を測定して、第２の距離データｄ２−１を取得する。この第２の距離データｄ２−１は、移動量演算手段１２の補正部１２Ｂに送信される。このように、ＳＴＥＰ１２８では、センサ１０５から第２の所定位置Ｍ１〜Ｍ５までの５つの第２の距離を一括して測定するのではなく、第２の所定位置Ｍ１〜Ｍ５のうちの１つの第２の所定位置からセンサ１０５までの第２の距離を測定して、１つの第２の距離データを取得する。その後、処理はＳＴＥＰ１２９へと進む。
【０１３９】
続く、ＳＴＥＰ１２９では、センサ１０５から第１の距離データｄ１−１〜ｄ１−５が送信された際、補正部１２Ｂにより、第２の距離データｄ２−１〜ｄ２−５のぞれぞれのデータを平均化した中心値データｄ２−１Ａ〜ｄ２−５Ａを取得する。この中心値データｄ２−１Ａ〜ｄ２−５Ａは、移動量演算手段１２の演算部１２Ｃに送信される。
【０１４０】
このように、第２の距離データｄ２−１〜ｄ２−５を平均化することにより、第２の距離データｄ２−１〜ｄ２−５に含まれる計測誤差成分（例えば、溝付きローラ６２〜６６の振れによる運動誤差成分）を低減することができる。
【０１４１】
次いで、ＳＴＥＰ１３０では、第２の所定位置Ｍ１〜Ｍ５に関する中心値データｄ２−１Ａ〜ｄ２−５Ａの取得が完了したか否かの判定が行われる。このＳＴＥＰ１３０において、否定判定された場合（Ｎｏの場合）、処理はＳＴＥＰ１２８に戻る。また、ＳＴＥＰ１３０において、肯定判定された場合（Ｙｅｓの場合）、処理はＳＴＥＰ１３１へと進む。
【０１４２】
次いで、ＳＴＥＰ１３１では、演算部１２Ｃにおいて、中心値データｄ１−１Ａ〜ｄ１−５Ａと中心値データｄ２−１Ａ〜ｄ２−５Ａとが平均化されて、ローラ拘束面形状データＪｄが取得される。このローラ拘束面形状データＪｄは、記憶部１２Ａに記憶される。
【０１４３】
このように、中心値データｄ１−１Ａ〜ｄ１−５Ａと中心値データｄ２−１Ａ〜ｄ２−５Ａとを平均化して、ローラ拘束面形状データＪｄを求めることにより、ローラ拘束面形状データＪｄに含まれるワーク２７の形状（具体的には、反りやうねり等）に起因する誤差成分を低減することができる。
【０１４４】
次いで、ＳＴＥＰ１３２では、演算部１２Ｃにおいて、ローラ拘束面形状データＪｄ、ローラ変位量データＦＣ等のデータを用いた最小自乗法により溝付きローラ６２〜６６の軸方向の移動量Ｇ２（移動量推定値）が推定される。この移動量Ｇ２（移動量推定値）は、制御手段１３に送信される。
【０１４５】
このように、最小自乗法によって移動量Ｇ２（移動量推定値）を推定することにより、ローラ拘束面形状データＪｄに重畳している誤差成分（例えば、ワーク２７の反り形状、転がりガイド７８の運動誤差、センサ１０５の精度誤差等）を低減することができる。
【０１４６】
次いで、ＳＴＥＰ１３３では、両面加工装置本体１１をウォーミングアップして、両面加工装置本体１１の状態をワーク加工時の状態に近づける。具体的には、両面加工装置本体１１内（特に、ワーク２７が加工される領域）の温度をワーク加工時の温度に近づける。
【０１４７】
続く、ＳＴＥＰ１３４では、両面加工装置本体１１がウォーミングアップされた状態で、移動量Ｇ２（移動量推定値）に基づいて、ローラ位置自動調整機構４２〜４６により、溝付きローラ６２〜６６の軸方向の位置を自動調整する。
【０１４８】
このように、溝付きローラ６２〜６６の軸方向の位置を自動調整することで、容易に溝付きローラ６２〜６６の軸方向の位置調整を行うことができる。また、両面加工装置本体１１内の温度をワーク加工時の温度に近づけた状態で、溝付きローラ６２〜６６の軸方向の位置を調整することにより、加工時の温度の影響を調整後のローラ拘束面Ｊに反映させることができる。
【０１４９】
次いで、ＳＴＥＰ１３５では、溝付きローラ６２〜６６の位置調整後のローラ拘束面Ｊの形状を測定する。具体的には、センサ１０５により、ワーク２７の第２の面２７Ｂの第２の所定位置Ｍ１〜Ｍ５からセンサ１０５までの距離を測定することで、ローラ拘束面Ｊの形状を求める。ＳＴＥＰ１３５において取得されたローラ拘束面Ｊの形状に関するローラ拘束面形状データＪｈは、移動量演算手段１２の補正部１２Ｂに送信される。
【０１５０】
続く、ＳＴＥＰ１３６では、移動量演算手段１２の補正部１２Ｂにより、調整後のローラ拘束面Ｊの形状が回転軌跡面Ｈ（所定の面）に対して略平行となっているか否かの確認を行う。具体的には、ローラ拘束面形状データＪｈが記憶部１２Ａに記憶されたローラ拘束面Ｊの所定の形状に関するデータＴＪを満たしているか否かで調整後のローラ拘束面Ｊの形状が回転軌跡面Ｈ（所定の面）に対して略平行となっているか否かを判定する。ローラ拘束面形状データＪｈの形状がデータＴＪを満たしている場合は、調整後のローラ拘束面Ｊの形状が回転軌跡面Ｈ（所定の面）に対して略平行であると判定（Ｙｅｓ）される。ローラ拘束面形状データＪｈの形状がデータＴＪを満たしていない場合は、調整後のローラ拘束面Ｊの形状が回転軌跡面Ｈ（所定の面）に対して略平行でないと判定（Ｎｏ）される。ＳＴＥＰ１３６において、否定判定された場合（Ｎｏの場合）、処理はＳＴＥＰ１３７へと進む。また、肯定判定された場合（Ｙｅｓの場合）、処理はＳＴＥＰ１３９へと進む。
【０１５１】
ＳＴＥＰ１３７では、補正部１２Ｂにより、誤差成分が多く含まれる移動量Ｇ２（移動量推定値）を補正して、移動量Ｇ３（移動量推定値）を取得する。具体的には、先に説明したように、移動量Ｇ２（移動量推定値）に補正係数を掛けて、移動量Ｇ３（移動量推定値）を取得する。ＳＴＥＰ１３７において取得された移動量Ｇ３（移動量推定値）は、制御手段１３に送信される。
【０１５２】
続く、ＳＴＥＰ１３８では、移動量Ｇ３（移動量推定値）に基づいて、ローラ位置自動調整機構４２〜４６により、溝付きローラ６２〜６６の軸方向の位置を調整し、処理はＳＴＥＰ１３５へと戻る。
【０１５３】
このように、移動量Ｇ２（移動量推定値）を補正して、移動量Ｇ３（移動量推定値）を取得し、移動量Ｇ３（移動量推定値）に基づいて、ローラ位置自動調整機構４２〜４６により、溝付きローラ６２〜６６の軸方向の位置を調整することにより、溝付きローラ６２〜６６の溝６２Ａ〜６６Ａにより形成されるローラ拘束面Ｊを回転軌跡面Ｈ（所定の面）に対して略平行にすることができる。
【０１５４】
ＳＴＥＰ１３９では、砥石２５，３５によるワーク２７の加工を開始する。通常、複数枚のワークを両面加工装置本体１１にセットして、１枚ずつワーク２７の両面２７Ａ，２７Ｂを加工する。
【０１５５】
続く、ＳＴＥＰ１４０では、ワークを両面加工装置本体１１にセットした全てのワーク２７の加工処理が終了したか否かの判定が行われる。ＳＴＥＰ１４０において、否定判定された場合（Ｎｏの場合）、処理はＳＴＥＰ１３９に戻る。また、肯定判定された場合（Ｙｅｓの場合）、図１０に示す全ての処理は終了する。
【０１５６】
このように、溝付きローラ６２〜６６の溝６２Ａ〜６６Ａにより形成されるローラ拘束面Ｊが回転軌跡面Ｈ（所定の面）となるように、第１及び第２の距離データｄ１−１〜ｄ１−５，ｄ２−１〜ｄ２−５に基づいて、溝付きローラ６２〜６６の軸方向の移動量Ｇを求め、この移動量Ｇに基づいて、溝付きローラ６２〜６６の溝６２Ａ〜６６Ａの位置を自動調整することにより、溝付きローラ６２〜６６の溝６２Ａ〜６６Ａの位置調整を容易に行うことができると共に、ワーク２７の両面２７Ａ，２７Ｂを高精度に加工することができる。
【０１５７】
また、最小自乗法により求められた移動量Ｇ２（移動量推定量）に多くの誤差成分が含まれている場合には、移動量Ｇ２（移動量推定量）を補正して、移動量Ｇ３（移動量推定量）を取得し、移動量Ｇ３（移動量推定量）に基づいて、溝付きローラ６２〜６６の溝６２Ａ〜６６Ａの位置を自動調整することにより、ワーク２７の両面２７Ａ，２７Ｂを高精度に加工することができる。
【０１５８】
なお、図１０に示すフローチャートにおいて、ＳＴＥＰ１３６を削除し、ＳＴＥＰ１３５とＳＴＥＰ１３９との間にＳＴＥＰ１３７，１３８を設けて、毎回、移動量Ｇ３（移動量推定値）を設けて、この移動量Ｇ３（移動量推定値）に基づいて、溝付きローラ６２〜６６の軸方向の位置を調整してもよい。
【０１５９】
図１１は、溝付きローラを交換後の両面加工装置の加工方法を説明するためのフローチャートを示す図である。
【０１６０】
図１１に示す処理が起動すると、まずＳＴＥＰ１５２では、図１０で説明したＳＴＥＰ１２１〜ＳＴＥＰ１３０と同様な処理を行って、第１の距離データｄ１−１〜ｄ１−５を平均化した中心値データｄ１−１Ａ〜ｄ１−５Ａと、第２の距離データｄ２−１〜ｄ２−５を平均化した中心値データｄ２−１Ａ〜ｄ２−５Ａとを取得する。
【０１６１】
次いで、ＳＴＥＰ１５３では、図１０で説明したＳＴＥＰ１３１と同様な手法により、ローラ拘束面形状データＪｄを取得する。次いで、ＳＴＥＰ１５４では、溝付きローラ６２〜６６の軸方向の移動量Ｇ（具体的には、移動量Ｇ１、又は移動量Ｇ２、或いは移動量Ｇ３）を求める。
【０１６２】
次いで、ＳＴＥＰ１５５では、ＳＴＥＰ１５４において取得した移動量Ｇに基づいて、溝付きローラ６２〜６６の軸方向の位置を自動調整する。続く、ＳＴＥＰ１５６では、図１０で説明したＳＴＥＰ１３５と同様な手法により、溝付きローラ６２〜６６の軸方向の位置調整後のローラ拘束面Ｊを測定して、ローラ拘束面形状データＪｈを取得する。
【０１６３】
次いで、ＳＴＥＰ１５７では、ローラ拘束面Ｊが所定の面に対して略平行であるか否かの判定が行われる。否定判定された場合（Ｎｏの場合）、処理はＳＴＥＰ１５４へと戻る。また、肯定判定された場合（Ｙｅｓ場合）、処理はＳＴＥＰ１５８へと進む。ＳＴＥＰ１５７では、図１０で説明したＳＴＥＰ１３６と同様な処理が行われる。
【０１６４】
ＳＴＥＰ１５８では、両面加工装置本体１１をウォーミングアップして、両面加工装置本体１１の状態をワーク加工時の状態に近づける。具体的には、両面加工装置本体１１内（特に、ワーク２７が加工される領域）の温度をワーク加工時の温度に近づける。
【０１６５】
続く、ＳＴＥＰ１５９では、両面加工装置本体１１がウォーミングアップされた状態で、溝付きローラ６２〜６６の位置調整後のローラ拘束面Ｊの形状を測定する。ＳＴＥＰ１５９では、図１０で説明したＳＴＥＰ１３５と同様な処理が行われる。
【０１６６】
次いで、ＳＴＥＰ１６０では、ローラ拘束面Ｊが所定の面に対して略平行であるか否かの判定が行われる。否定判定された場合（Ｎｏの場合）、処理はＳＴＥＰ１５４へと戻る。また、肯定判定された場合（Ｙｅｓ場合）、処理はＳＴＥＰ１６１へと進む。
【０１６７】
ＳＴＥＰ１６１では、砥石２５，３５によるワーク２７の加工を開始する。通常、複数枚のワークを両面加工装置本体１１にセットして、１枚ずつワーク２７の両面２７Ａ，２７Ｂを加工する。
【０１６８】
続く、ＳＴＥＰ１６２では、ワークを両面加工装置本体１１にセットした全てのワーク２７の加工処理が終了したか否かの判定が行われる。ＳＴＥＰ１６２において、否定判定された場合（Ｎｏの場合）、処理はＳＴＥＰ１６１に戻る。また、肯定判定された場合（Ｙｅｓの場合）、図１１に示す全ての処理は終了する。
【０１６９】
上記説明した図１１のように、溝付きローラ６２〜６６の移動量Ｇの算出、溝付きローラ６２〜６６の軸方向の位置調整、位置調整後のローラ拘束面Ｊの測定、及びローラ拘束面Ｊが所定の形状であるか否かの判定を繰り返し行うことにより、ローラ拘束面Ｊを回転軌跡面Ｈ（所定の面）に対して略平行にすることができ、ワーク２７の両面２７Ａ，２７Ｂを高精度に加工することができる。
【０１７０】
本実施の形態の両面加工装置の加工方法によれば、溝付きローラ６２〜６６の溝６２Ａ〜６６Ａにより形成されるローラ拘束面Ｊが回転軌跡面Ｈ（所定の面）となるように、第１及び第２の距離データｄ１−１〜ｄ１−５，ｄ２−１〜ｄ２−５に基づいて、溝付きローラ６２〜６６の軸方向の移動量Ｇを求め、この移動量Ｇに基づいて、溝付きローラ６２〜６６の溝６２Ａ〜６６Ａの位置を自動調整することにより、溝付きローラ６２〜６６の溝６２Ａ〜６６Ａの位置調整を容易に行うことができると共に、ワーク２７の両面２７Ａ，２７Ｂを高精度に加工することができる。
【０１７１】
以上、本発明の好ましい実施の形態について詳述したが、本発明はかかる特定の実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲内に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
【０１７２】
なお、本実施の形態において、ワーク２７の第１の面２７Ａの第１の所定位置Ｆ１〜Ｆ５からセンサ１０５までの第１の距離データｄ１−１〜ｄ１−５、またはワーク２７の第２の面２７Ｂの第２の所定位置Ｍ１〜Ｍ５からセンサ１０５までの第２の距離データｄ２−１〜ｄ２−５に基づいて移動量Ｇを求め、この移動量Ｇに基づいて、溝付きローラ６２〜６６の位置調整を行った後に、ワーク２７の両面２７Ａ，２７Ｂを加工してもよい。
【０１７３】
また、両面加工装置１０により加工されたワーク２７の形状が記憶部１２Ａに記憶されたワーク２７の所定の形状に関するデータＴｗと異なった場合に、ローラ拘束面Ｊが回転軌跡面Ｈ（所定の面）となるような移動量Ｇを求め、この移動量Ｇに基づいて溝付きローラ６２〜６６の軸方向の位置を自動調整してもよい。このような方法により、ワーク２７を加工することにより、溝付きローラ６２〜６６の軸方向の位置調整の頻度を低減することが可能となるので、両面加工装置１０の生産性を向上させることができる。
【産業上の利用可能性】
【０１７４】
本発明は、ワークを保持するワーク保持装置を備え、ワークの両面を加工する両面加工装置の加工方法に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【０１７５】
【図１】従来の両面加工装置の概略構成図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る両面加工装置の概略構成図である。
【図３】図２に示すワーク保持装置をＤ視した図である。
【図４】図３に示すローラ位置調整機構のＥ−Ｅ線方向の断面図である。
【図５】図４に示すローラ位置調整機構のＨ−Ｈ線方向の断面図である。
【図６】砥石とセンサとの位置関係を説明するための図である。
【図７】センサが測定する第１の所定位置の一例を示す図である。
【図８】センサが測定する第２の所定位置の一例を示す図である。
【図９】ローラ拘束面形状データを傾斜成分とうねり成分に分解した様子を模式的に示す図である。
【図１０】本発明の実施の形態に係る両面加工装置の加工方法のフローチャート示す図である。
【図１１】溝付きローラを交換後の両面加工装置の加工方法を説明するためのフローチャートを示す図である。
【符号の説明】
【０１７６】
１０  両面加工装置
１１  両面加工装置本体
１２  移動量演算手段
１２Ａ  記憶部
１２Ｂ  補正部
１２Ｃ  演算部
１３  制御手段
１５  架台
１５Ａ，８４  板部
１５Ｂ，１５Ｃ，２４Ａ，３４Ａ，８５，８６  突出部
１６  第１の加工装置
１７  第２の加工装置
１８  ワーク保持装置
１９  測定装置
２１，３１  サドル移動装置
２２，３２  サドル
２３，３３  研削主軸
２４，３４  台座
２４Ｂ  ネジ穴
２５，３５  砥石
２５Ａ，３５Ａ  研削動作面
２７  ワーク
２７Ａ  第１の面
２７Ｂ  第２の面
４１  フレーム
４１Ａ  下部内壁
４１Ｂ  内壁
４１Ｃ  上部内壁
４２〜４６  ローラ位置自動調整機構
５２〜５６  ローラ支持機構
６２〜６６  溝付きローラ
６２Ａ〜６６Ａ  溝
７１  回転モータ
７２  ボールネジ
７３  ガイドベース
７３Ａ  収容部
７３Ｂ  貫通穴
７４  ボールネジ軸受
７５  支持体
７７  ステージ
７８  転がりガイド
８１，８２，８５，８６  突出部
８１Ａ，８２Ａ  外壁
８５Ａ，８６Ａ  内壁
９１，９２  第１のガイド板
９３，９４  第２のガイド板
９５，９６  ボール
９８  回転軸収容部材
９８Ａ  貫通部
９９  ローラ用回転軸
１０１  軸受
１０３  支持部材
１０４  ネジ部
１０５  センサ
Ｆ１〜Ｆ５  第１の所定位置
Ｍ１〜Ｍ５  第２の所定位置
【図１】
2008012612.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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