(57)【要約】【課題】本発明は、気密性の高い真空封止が可能な圧電振動子及びその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】光透過性を有する蓋７２は、パッケージ６０の内部空間を真空になるように気密封止する。ロウ材層７０と蓋７２との間に第１及び第２の金属膜７４，７６並びにバリア膜７８が積層形成されている。第１の金属膜７４は、酸化性を有する第１の金属からなり、蓋７２に直接形成されている。第２の金属膜７６は、第１の金属よりも、酸化性が低くてロウ材層７０との溶融時の濡れ性が高い第２の金属からなり、ロウ材層７０に直性形成されている。バリア膜７８は、第１及び第２の金属膜７４，７６の間に位置し、第１及び第２の金属膜７４，７６間の拡散を妨げる第３の金属からなる。第１の金属膜７４は、蓋７２の、枠壁部６４との対向領域から底部６２との対向領域に至るまで形成され、内部空間に露出する。【選択図】図３
2008294783.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電振動片と、
前記圧電振動片が固定される底部と、前記底部を囲む枠壁部と、を含み、前記底部の上方に開口を有するパッケージと、
前記底部及び前記枠壁部とオーバーラップして前記パッケージの前記開口を塞いで気密封止する、光透過性を有する蓋と、
前記枠壁部と前記蓋との間に形成されてなるロウ材層と、
前記ロウ材層と前記蓋との間に形成されてなる、積層された複数の金属膜と、
を有し、
前記複数の金属膜は、
酸化性を有する第１の金属からなり、前記蓋に直接形成された第１の金属膜と、
前記第１の金属よりも、前記酸化性が低くて前記ロウ材層との溶融時の濡れ性が高い第２の金属からなり、前記ロウ材層に直接形成された第２の金属膜と、
前記第１及び第２の金属膜の間に位置し、前記第１及び第２の金属膜間の拡散を妨げる第３の金属からなるバリア膜と、
を含み、
前記第１の金属膜は、前記蓋の、前記枠壁部との対向領域から前記底部との対向領域に至るまで形成され、前記内部空間に露出してなる圧電振動子。
【請求項２】
請求項１に記載された圧電振動子において、
前記圧電振動片は、振動腕を有し、
前記第１の金属膜は、前記蓋の、前記振動腕の周波数調整部との対向領域を避けて形成されてなる圧電振動子。
【請求項３】
請求項１又は２に記載された圧電振動子において、
前記蓋は、ガラス又はセラミックスからなり、
前記バリア膜を構成する前記第３の金属の、前記第２の金属への拡散係数は、前記第１の金属の、前記第２の金属への拡散係数よりも小さい圧電振動子。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載された圧電振動子において、
前記バリア膜を構成する前記第３の金属の、前記第１の金属への拡散係数は、前記第２の金属の、前記第１の金属への拡散係数よりも小さい圧電振動子。
【請求項５】
底部と前記底部を囲む枠壁部とを含み前記底部の上方に開口を有するパッケージの前記底部に圧電振動片を固定する工程と、
光透過性を有し、複数の金属膜が積層形成されてなる蓋を、前記複数の金属膜が前記パッケージを向くように配置し、前記複数の金属膜と前記枠壁部の間にロウ材を配置する工程と、
前記蓋によって、前記パッケージの前記開口を塞いで、気密封止する工程と、
を含み、
前記気密封止は、前記ロウ材を使用する、ろう接合を含み、
前記複数の金属膜は、
酸化性を有する第１の金属からなり、前記蓋に直接形成された第１の金属膜と、
前記第１の金属よりも、前記酸化性が低くて前記ロウ材との濡れ性が高い第２の金属からなり、前記ロウ材に接触する第２の金属膜と、
前記第１及び第２の金属膜の間に位置し、前記第１及び第２の金属膜間の拡散を妨げる第３の金属からなるバリア膜と、
を含み、
前記第１の金属膜は、前記蓋の、前記枠壁部との対向領域から前記底部との対向領域に至るまで形成され、前記内部空間に露出する圧電振動子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電振動子及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電振動片をパッケージ内に固定してガラス製の蓋で封止することが知られおり、ガラス製の蓋とパッケージは、低融点ガラスを使用して接合される（特許文献１）。しかし、低融点ガラスの強度が低いため広い接合面積が必要となってパッケージの小型化に適していない。しかも、蓋全体がガラス製であると、割れ・クラックが生じるという問題もある。なお、樹脂接着剤を使用した接合では気密性に劣るので真空封止をすることができない。また、金属製の蓋で封止することも知られている（特許文献２）が、金属製の蓋では、蓋による封止後はパッケージの内部を光学的に認識することができないという問題があった。
【特許文献１】特開２００６−１９６９３２号公報
【特許文献２】特開平１０−３３５９７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明は、気密性の高い真空封止が可能な圧電振動子及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
（１）本発明に係る圧電振動子は、
圧電振動片と、
前記圧電振動片が固定される底部と、前記底部を囲む枠壁部と、を含み、前記底部の上方に開口を有するパッケージと、
前記底部及び前記枠壁部とオーバーラップして前記パッケージの前記開口を塞いで気密封止する、光透過性を有する蓋と、
前記枠壁部と前記蓋との間に形成されてなるロウ材層と、
前記ロウ材層と前記蓋との間に形成されてなる、積層された複数の金属膜と、
を有し、
前記複数の金属膜は、
酸化性を有する第１の金属からなり、前記蓋に直接形成された第１の金属膜と、
前記第１の金属よりも、前記酸化性が低くて前記ロウ材層との溶融時の濡れ性が高い第２の金属からなり、前記ロウ材層に直性形成された第２の金属膜と、
前記第１及び第２の金属膜の間に位置し、前記第１及び第２の金属膜間の拡散を妨げる第３の金属からなるバリア膜と、
を含み、
前記第１の金属膜は、前記蓋の、前記枠壁部との対向領域から前記底部との対向領域に至るまで形成され、前記内部空間に露出してなる。本発明によれば、酸化性が第２の金属よりも高い第１の金属からなる第１の金属膜が内部空間に露出するので、酸素を吸収して真空封止の性能を高めることができる。また、ロウ材層による封止なので気密性が高く、バリア膜によって酸化性の高い第１の金属が、第２の金属内を拡散して表面に出ることを防いでいるので、第２の金属膜の表面でロウ材の濡れ性が損なわれない。
（２）この圧電振動子において、
前記圧電振動片は、振動腕を有し、
前記第１の金属膜は、前記蓋の、前記振動腕の周波数調整部との対向領域を避けて形成されていてもよい。
（３）この圧電振動子において、
前記蓋は、ガラス又はセラミックスからなり、
前記バリア膜を構成する前記第３の金属の、前記第２の金属への拡散係数は、前記第１の金属の、前記第２の金属への拡散係数よりも小さくてもよい。
（４）この圧電振動子において、
前記バリア膜を構成する前記第３の金属の、前記第１の金属への拡散係数は、前記第２の金属の、前記第１の金属への拡散よりも小さくてもよい。
（５）本発明に係る圧電振動子の製造方法は、
底部と前記底部を囲む枠壁部とを含み前記底部の上方に開口を有するパッケージの前記底部に圧電振動片を固定する工程と、
光透過性を有し、複数の金属膜が積層形成されてなる蓋を、前記複数の金属膜が前記パッケージを向くように配置し、前記複数の金属膜と前記枠壁部の間にロウ材を配置する工程と、
前記蓋によって、前記パッケージの前記開口を塞いで、気密封止する工程と、
を含み、
前記気密封止は、前記ロウ材を使用する、ろう接合を含み、
前記複数の金属膜は、
酸化性を有する第１の金属からなり、前記蓋に直接形成された第１の金属膜と、
前記第１の金属よりも、前記酸化性が低くて前記ロウ材との濡れ性が高い第２の金属からなり、前記ロウ材に接触する第２の金属膜と、
前記第１及び第２の金属膜の間に位置し、前記第１及び第２の金属膜間の拡散を妨げる第３の金属からなるバリア膜と、
を含み、
前記第１の金属膜は、前記蓋の、前記枠壁部との対向領域から前記底部との対向領域に至るまで形成され、前記内部空間に露出する。本発明によれば、酸化性が第２の金属よりも高い第１の金属からなる第１の金属膜が内部空間に露出するので、酸素を吸収して真空封止の性能を高めることができる。また、ロウ材層による封止なので気密性が高く、バリア膜によって第１及び第２の金属膜間の拡散を妨げているので、第２の金属膜でロウ材の濡れ性が損なわれない。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００５】
図１は、本発明の実施の形態に係る圧電振動子に含まれる圧電振動片１０（音叉型圧電振動片）を示す平面図である。なお、圧電振動片１０の底面図は平面図と対称に表れる。圧電振動片１０は、水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム等の圧電材料からなる。圧電振動片１０は、基部１２と、基部１２から延びる一対の振動腕１４と、を含む。
【０００６】
図２は、図１に示す圧電振動片１０のII−II線断面拡大図である。振動腕１４は、相互に反対を向く表裏面１６と、表裏面１６を両側で接続する第１及び第２の側面２０，２２とを有する。圧電振動片１０を水晶から構成する場合、結晶方位について、表裏面１６がＺ軸方向を向き、第１の側面２０がＸ軸の＋方向を向き、第２の側面２２がＸ軸の−方向を向くように構成する。
【０００７】
一方（図１で左側）の振動腕１４の第１の側面２０と、他方（図１で右側）の振動腕１４の第２の側面２２が対向するように並列している。第１の側面２０は、表裏面１６の間隔によって定義される振動腕１４の厚みの中央方向に高くなる山型となるように形成されている（図２参照）。第１の側面２０が描く山型の高さは、第１及び第２の側面２０，２２の間隔によって定義される振動腕１４の幅の、０％超１２．５％以下である。
【０００８】
振動腕１４は、基部１２に接続される根本部２４において、基部１２側に向けて幅を拡げてあり、広い幅で基部１２に接続するので剛性が高くなっている。振動腕１４は、第１及び第２の側面２０，２２の間隔によって定義される幅が、基部１２から先端に向けて細くなる第１のテーパ部２６を含む。第１のテーパ部２６を形成することにより、振動腕１４は振動しやすくなっている。振動腕１４は、第１のテーパ部２６よりも先端に近い位置に、幅が第１のテーパ部２６から先端に向けて太くなる第２のテーパ部２８を含む。第２のテーパ部２８は、錘の機能を果たすので、振動周波数を低くすることができる。振動腕１４は、第１及び第２のテーパ部２６，２８が接続される幅変更点が長溝３０よりも先端近くに位置するように形成されている。
【０００９】
振動腕１４には、表裏面１６に、長手方向に延びる長溝３０がそれぞれ形成されている。長溝３０によって振動腕１４が動きやすくなって効率的に振動するのでＣＩ値を下げることができる。長溝３０は、振動腕１４の長さの５０〜７０％の長さを有する。また、長溝３０は、振動腕１４の幅の６０〜９０％の幅を有する。
【００１０】
長溝３０は、第１の側面２０と背中合わせに延びる第１の内面３２と、第２の側面２２と背中合わせに延びる第２の内面３４と、を含む。第１の内面３２は第２の内面３４よりも、表裏面１６に対する角度が垂直に近くなっている。第１の内面３２は平坦面であってもよい。第２の内面３４も平坦面であってもよいが、図２に示す例では、異なる角度の面が接続されてなる。第１及び第２の側面２０，２２は、第２の内面３４よりも表裏面１６に対する角度（表裏面１６と接続する部分の角度）が垂直に近くなっている。
【００１１】
圧電振動片１０は、一対の支持腕３６を含む。一対の支持腕３６は、基部１２から一対の振動腕１４が延びる方向とは交差方向であってそれぞれ相互に反対方向に延び、一対の振動腕１４の延びる方向に屈曲してさらに延びる。屈曲することで、支持腕３６は小型化される。支持腕３６は、パッケージ６０に取り付けられる部分であり、支持腕３６での取り付けによって、振動腕１４及び基部１２は浮いた状態になる。
【００１２】
基部１２には、振動腕１４の表裏面１６と同じ側の面に括れた形状が表れるように、相互に対向方向に一対の切り込み３８が形成されている。一対の切り込み３８は、それぞれ、一対の支持腕３６が基部１２から延びて屈曲する方向の側で一対の支持腕３６に隣接して基部１２に形成されている。切り込み３８によって、振動腕１４の振動の伝達が遮断されるので、振動が基部１２や支持腕３６を介して外部に伝わること（振動漏れ）を抑制し、ＣＩ値の上昇を防止することができる。切り込み３８の長さ（深さ）は、基部１２の強度を確保できる範囲で長い（深い）ほど、振動漏れ抑制効果は大きい。一対の切り込み３８の間の幅（一対の切り込み３８に挟まれた部分の幅）は、一対の振動腕１４の対向する第１及び第２の側面２０，２２の間隔よりも小さくしてもよいし大きくしてもよいし、一対の振動腕１４の相互に反対を向く第１及び第２の側面２０，２２の距離よりも小さくしてもよいし大きくしてもよい。
【００１３】
振動腕１４には、励振電極膜が形成されている。励振電極膜は、１００Å以上３００Å以下の厚みを有する下地のＣｒ膜と、Ｃｒ膜上に形成された２００Å以上５００Å以下の厚みを有するＡｕ膜と、を含む多層構造であってもよい。Ｃｒ膜は水晶との密着性が高く、Ａｕ膜は電気抵抗が低く酸化し難い。励振電極膜は、第１及び第２の側面２０，２２にそれぞれ形成された第１及び第２の側面電極膜４２，４４と、第１及び第２の内面３２，３４にそれぞれ形成された第１及び第２の内面電極膜４６，４８と、を含む。励振電極膜によって、第１及び第２の励振電極５０，５２が構成される。
【００１４】
第１の励振電極５０は、長溝３０に形成された第１及び第２の内面電極膜４６，４８を含む。１つの長溝３０に形成された第１及び第２の内面電極膜４６，４８は、相互に連続的に形成されて電気的に接続されている。表裏面１６の一方（例えば表面）の長溝３０に形成された第１及び第２の内面電極膜４６，４８と、表裏面１６の他方（例えば裏面）の長溝３０に形成された第１及び第２の内面電極膜４６，４８と、は電気的に接続されている。すなわち、表裏面１６それぞれに形成された一対の第１の励振電極５０は電気的に接続されている。また、一方の振動腕１４に形成された一対の第１の励振電極５０は、基部１２上の表裏面１６それぞれに形成された引き出し電極５４に接続され、これらの引き出し電極５４が、他方の振動腕１４の第１又は第２の側面電極膜４２，４４に接続されることで電気的に接続される。
【００１５】
第２の励振電極５２は、第１及び第２の側面電極膜４２，４４を含む。また、第１及び第２の側面電極膜４２，４４は電気的に接続されている。その電気的接続は、振動腕１４の長溝３０が形成されていない部分（例えば先端部）において、表裏面１６の少なくとも一方（あるいは両方）上に形成された接続電極５６によってなされている。
【００１６】
一方の振動腕１４に形成された第１の励振電極５０と、他方の振動腕１４に形成された第２の励振電極５２と、は基部１２上の引き出し電極５４で電気的に接続されている。引き出し電極５４は、第２の励振電極５２が形成される振動腕１４の隣に並ぶ支持腕３６上に至るまで形成されている。引き出し電極５４は、支持腕３６の表裏面１６（あるいはさらに側面）に形成されている。支持腕３６上で、引き出し電極５４を外部との電気的接続部にすることができる。
【００１７】
振動腕１４（その先端部）には、表裏面１６の少なくとも一方であって励振電極膜上に金属層５８がさらに形成されている。金属層５８は、振動腕１４の錘の役割を果たしており、その一部を除去することで錘の重さを調整することができる。なお、振動腕１４の先端部の重さが重いほど振動腕１４の振動周波数が小さくなり、軽いほど振動腕１４の振動周波数が大きくなる。これを利用して周波数の調整を行うことができる。詳細は後述する。
【００１８】
本実施の形態では、第１の側面電極膜４２と第１の内面電極膜４６との間に電圧を印加し、第２の側面電極膜４４と第２の内面電極膜４８との間に電圧を印加することで、振動腕１４の一方の側端を伸ばし、他方の側端を縮ませて振動腕１４を屈曲させて振動させる。言い換えると、１つの振動腕１４において、第１及び第２の励振電極５０，５２間に電圧を印加して、振動腕１４の第１及び第２の側面２０，２２を伸縮させることで振動腕１４を振動させる。なお、第１及び第２の励振電極５０，５２は、振動腕１４の７０％までは、長いほどＣＩ値が下がることが分かっている。
【００１９】
図２は、本実施の形態に係る圧電振動片１０の動作を説明する図である。図２に示すように、一方の振動腕１４の第１及び第２の励振電極５０，５２に電圧が印加され、他方の振動腕１４の第１及び第２の励振電極５０，５２に電圧が印加される。ここで、一方（左側）の振動腕１４の第１の励振電極５０と他方（右側）の振動腕１４の第２の励振電極５２が同じ電位（図２の例では＋電位）となり、一方（左側）の振動腕１４の第２の励振電極５２と他方（右側）の振動腕１４の第１の励振電極５０が同じ電位（図２の例では−電位）となるように、第１の励振電極５０及び第２の励振電極５２は、クロス配線によって交流電源に接続され、駆動電圧としての交番電圧が印加されるようになっている。印加電圧によって、図２に矢印で示すように電界が発生し、これにより、振動腕１４は、互いに逆相振動となるように（振動腕１４の先端側が互いに接近・離間するように）励振されて屈曲振動する。また、基本モードで振動するように交番電圧が調整されている。
【００２０】
図３は、本発明の実施の形態に係る圧電振動子を示す断面図であり、図４は、本発明の実施の形態に係る圧電振動子を示す平面図である。
【００２１】
圧電振動子は、パッケージ６０を有する。パッケージ６０は、上述した圧電振動片１０が固定される底部６２と、底部６２を囲む枠壁部６４と、を含む。パッケージ６０は、その全体を金属で形成してもよいが、主としてセラミックス等の非金属で形成する場合には枠壁部６４の上端面６６は、メタライズされている。図３の例では、枠壁部６４の非金属部上に、Ｍｏ（又はＷ）膜、Ｎｉ膜及びＡｕ膜が順に積層されて、上端面６６はＡｕからなる。底部６２には、真空引きを行うための貫通穴６８が形成され、貫通穴６８は、ロウ材で塞がれている。
【００２２】
ロウ材層７０（シールリング）が、枠壁部６４の上端面６６に設けられている。ロウ材層７０の材料は、溶融温度の比較的高いロウ材（例えば、ＡｕＧｅ、ＡｕＳｉ、Ａｇろう）から、他の部品の耐熱温度の範囲で選択される。
【００２３】
圧電振動子は、底部６２及び枠壁部６４とオーバーラップしてパッケージ６０の開口を塞いで、内部空間が真空になるように気密封止する蓋７２を有する。蓋７２は、ガラス（例えばホウ珪酸ガラス）又はセラミックスからなり、光透過性を有する。枠壁部６４と蓋７２との間に、ロウ材層７０が配置されている。ロウ材層７０と蓋７２との間に、積層された複数の金属膜が形成されている。
【００２４】
複数の金属膜は、第１及び第２の金属膜７４，７６並びにバリア膜７８を含む。第１の金属膜７４は、酸化性を有する第１の金属（膜厚１０００〜３０００Å。例えばガラスとの密着性がよいＴｉ又はセラミックスとの密着性がよいＭｏ若しくはＷ。）からなり、蓋７２に直接形成されている。第２の金属膜７６は、第１の金属よりも、酸化性が低くてロウ材層７０との溶融時の濡れ性が高い第２の金属（膜厚５００〜３０００Å。例えばＡｕ）からなり、ロウ材層７０に直性形成されている。
【００２５】
バリア膜７８は、第１及び第２の金属膜７４，７６の間に位置し、第１及び第２の金属膜７４，７６間の拡散を妨げる第３の金属（例えばＮｉ（膜厚１０００〜３０００Å））からなる。バリア膜７８によって酸化性の高い第１の金属が、第２の金属内を拡散して表面に出ることを防いでいるので第２の金属膜７６の表面が酸化され難く、ロウ材の濡れ性を損なわない。なお、バリア膜７８を構成する第３の金属（例えばＮｉ）の、第２の金属（例えばＡｕ）への拡散係数は、第１の金属（例えばＴｉ）の、第２の金属（例えばＡｕ）への拡散係数よりも小さい。バリア膜７８を構成する第３の金属（例えばＮｉ）の、第１の金属（例えばＴｉ）への拡散係数は、第２の金属（例えばＡｕ）の、第１の金属（例えばＴｉ）への拡散係数よりも小さい。
【００２６】
酸化性の高い第１の金属膜７４は、蓋７２の、枠壁部６４との対向領域から底部６２との対向領域に至るまで形成され、内部空間に露出してなる。言い換えると、第１の金属膜７４は、バリア膜７８との重複部分から蓋７２の中央方向に延びており、中央をさらに超えてもよい。ただし、第１の金属膜７４は、蓋７２の、振動腕１４の金属層５８との対向領域を避けて形成されている。こうすることで、光透過性を有する蓋７２は、少なくとも金属層５８との対向領域においては、第１の金属膜７４によっては光が遮断されない。
【００２７】
本実施の形態によれば、酸化性が第２の金属よりも高い第１の金属からなる第１の金属膜７４が内部空間に露出するので、酸素を吸収して真空封止の性能を高めることができる。また、ロウ材層７０による封止なので気密性が高い。
【００２８】
図５は、本実施の形態に係る圧電振動子の製造方法を説明する図である。本実施の形態では、パッケージ６０の底部６２に圧電振動片１０を固定する。詳しくは、支持腕３６を接着剤８０によってパッケージ６０に固定して、振動腕１４をパッケージ６０から浮いた状態にする。底部６２は、振動腕１４の先端部と対向する領域が低くなっており、振動腕１４が底部６２に接触しないようになっている。接着剤８０として、導電性接着剤を使用して、支持腕３６の引き出し電極５４（図１参照）と電気的に接続する。接着剤８０を、パッケージ６０の底部６２に形成されている配線パターン（図示せず）上に設けて電気的に接続する。配線パターンがパッケージ６０の外側に至るまで延長されていれば、圧電振動片１０の、パッケージ６０の外部との電気的接続が可能である。
【００２９】
蓋７２を、複数の金属膜がパッケージ６０を向くように配置し、複数の金属膜と枠壁部６４の間にロウ材を配置する。蓋７２によって、パッケージ６０の開口を塞ぐ。このプロセスは、ロウ材層７０を使用したロウ接合によって行う。本実施の形態では、酸化性が高い第１の金属膜７４がバリア膜７８から突出しており、第１の金属膜７４の表面に形成される酸化膜によって、溶融したロウ材の濡れ拡がりを止めることができる。
【００３０】
また、パッケージ６０の底部６２に形成された貫通穴６８を介して内部空間を真空にし、ロウ材で貫通穴６８を塞ぐ。こうして、内部空間を気密封止する。
【００３１】
また、蓋７２をパッケージ６０に取り付けてパッケージ６０の内部空間を真空にした後に、振動腕１４に形成された金属層５８にレーザービームを照射して、その一部を除去して重さを減らす。これによって、錘となる金属層５８の重さが減るので、振動腕１４の振動周波数を小さくすることができる。また、パッケージ６０の内部空間に第１の金属膜７４が露出する領域に、レーザービームを照射すれば、第１の金属膜７４による酸素吸収を促進することができる。ここで、第１の金属膜７４へのレーザー照射は、圧電振動片が振動する領域（狭義には振動腕１４）に平面視で重ならない領域に対して行う。
【００３２】
本実施の形態に係る圧電振動子の製造方法は、上記プロセスを含み、上述した圧電振動子の構成から自明の製造プロセスをさらに含む。
【００３３】
本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び結果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】図１は、本発明の実施の形態に係る圧電振動子に含まれる圧電振動片（音叉型圧電振動片）を示す平面図である。
【図２】図２は、図１に示す圧電振動片のII−II線断面拡大図である。
【図３】図３は、本発明の実施の形態に係る圧電振動子を示す断面図である。
【図４】図４は、本発明の実施の形態に係る圧電振動子を示す平面図である。
【図５】図５は、本実施の形態に係る圧電振動子の製造方法を説明する図である。
【符号の説明】
【００３５】
１０…圧電振動片、  １２…基部、  １４…振動腕、  １６…表裏面、  ２０…第１の側面、  ２２…第２の側面、  ２４…根本部、  ２６…第１のテーパ部、  ２８…第２のテーパ部、  ３０…長溝、  ３２…第１の内面、  ３４…第２の内面、  ３６…支持腕、  ３８…切り込み、  ４２…第１の側面電極膜、  ４４…第２の側面電極膜、  ４６…第１の内面電極膜、  ４８…第２の内面電極膜、  ５０…第１の励振電極、  ５２…第２の励振電極、  ５４…引き出し電極、  ５６…接続電極、  ５８…金属層、  ６０…パッケージ、  ６２…底部、  ６４…枠壁部、  ６６…上端面、  ６８…貫通穴、  ７０…ロウ材層、  ７２…蓋、  ７４…第１の金属膜、  ７６…第２の金属膜、  ７８…バリア膜、  ８０…接着剤
【図２】
2008294783.tif 000003
【図３】
2008294783.tif 000004
【図４】
2008294783.tif 000005
【図５】
2008294783.tif 000006
【図１】
2008294783.tif 000007