(57)【要約】【課題】オフセット印刷法を用いたパターン形成に適した製造方法を提供する。薄膜化を行っても遮蔽率が高く、かつライン乱れのないパターンを形成できる。【解決手段】フロントガラス基板１１上にオフセット印刷法により黒色ペースト組成物を用いてライン状の黒色層１６ｂを形成し、この未焼成の黒色層の上に、オフセット印刷法により白色導電性ペースト組成物を用いて黒色層よりもライン幅の狭い白色層１６ａを積層する。形成した黒色層及び白色層の２層を同時に焼成することにより、黒色層と白色層からなるバス電極１６を形成する各工程とを含み、黒色層である黒色膜の形成に用いる黒色ペースト組成物が、１０〜５０重量％の黒色酸化物粉末と、５〜３０重量％のガラス粉末と、残部が有機系ビヒクルとを含み、黒色酸化物粉末の平均粒径が０．０１〜０．５μｍであって、黒色酸化物粉末の比表面積が５〜５０ｍ2／ｇであることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フロントガラス基板上にオフセット印刷法により黒色ペースト組成物を用いてライン状の黒色層を形成する工程と、
前記形成した未焼成の黒色層の上に、オフセット印刷法により白色導電性ペースト組成物を用いて前記黒色層よりもライン幅の狭い白色層を積層する工程と、
前記形成した黒色層及び前記白色層の２層を同時に焼成することにより、黒色層と白色層からなるバス電極を形成する工程と
を含むプラズマディスプレイパネルの製造方法において、
前記黒色層の形成に用いる黒色ペースト組成物が、１０〜５０重量％の黒色酸化物粉末と、５〜３０重量％のガラス粉末と、残部が有機系ビヒクルとを含み、
前記黒色酸化物粉末の平均粒径が０．０１〜０．５μｍであって、
前記黒色酸化物粉末の比表面積が５〜５０ｍ2／ｇであることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２】
オフセット印刷法により未焼成の黒色層を形成する工程の後であって、前記形成した未焼成の黒色層の上に白色層を積層する工程の前に、前記未焼成の黒色層を乾燥する工程を更に含む請求項１記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３】
未焼成の黒色層を乾燥する工程が、室温の空気を前記黒色層に送風して乾燥する工程又は前記黒色層を加熱して乾燥する工程である請求項２記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４】
黒色層の形成に用いる黒色ペースト組成物を構成する有機系ビヒクルが、熱硬化性樹脂或いは光硬化性樹脂を含み、
オフセット印刷法により未焼成の黒色層を形成する工程の後であって、前記形成した未焼成の黒色層の上に白色層を積層する工程の前に、前記未焼成の黒色層を熱硬化或いは光硬化する工程を更に含む請求項１記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項５】
白色層の形成に用いる白色導電性ペースト組成物は、５０〜９０重量％の銀含有粉末と、１〜１０重量％のガラス粉末と、残部が有機系ビヒクルとを含み、
黒色層の形成に用いる黒色ペースト組成物に含まれる有機系ビヒクルと前記白色導電性ペースト組成物に含まれる有機系ビヒクルとが同一種類の成分である請求項１記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項６】
有機系ビヒクルが、焼成時に炭化せずに消失する合成樹脂及びこれらの樹脂を溶解することができる有機溶剤の双方を含む請求項１記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項７】
合成樹脂が、エポキシ樹脂、セルロース樹脂、ウレタン樹脂、ブチラール樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、スチレン樹脂、フェノール樹脂及びこれらの樹脂を複数混合して架橋反応させた樹脂からなる群より選ばれた樹脂である請求項６記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項８】
有機溶剤が、アルコール系溶剤、ケトン系溶剤、エーテル系溶剤、カルビトール系溶剤、炭化水素系溶剤、ジオール系溶剤、グリコール系溶剤及びグリコールエーテル系溶剤からなる群より選ばれた１種の単一溶剤又は２種以上の混合溶剤である請求項６記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項９】
オフセット印刷法が、ペースト組成物を凹状のパターンを有する印刷版に充填し、前記充填したペースト組成物を表面にシリコーンゴムシートを有する印刷用ブランケットへ転写した後、前記印刷用ブランケットから基板上へペースト組成物を転写するとき、
前記印刷用ブランケット表面に対して５〜３０℃の空気を印刷中連続して吹き付ける請求項１記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１０】
フロントガラス基板上にオフセット印刷法により黒色ペースト組成物を用いてライン状の黒色層を形成する工程と、
前記形成した黒色層を焼成する工程と、
前記焼成した黒色層の上に、オフセット印刷法により白色導電性ペースト組成物を用いて前記黒色層よりもライン幅の狭い白色層を積層する工程と、
前記形成したライン状の白色層を焼成することにより黒色層と白色層からなるバス電極を形成する工程と
を含むプラズマディスプレイパネルの製造方法において、
前記黒色層の形成に用いる黒色ペースト組成物が、１０〜５０重量％の黒色酸化物粉末と、５〜３０重量％のガラス粉末と、残部が有機系ビヒクルとを含み、
前記黒色酸化物粉末の平均粒径が０．０１〜０．５μｍであって、
前記黒色酸化物粉末の比表面積が５〜５０ｍ2／ｇであることを特徴とするプラズマディスプレイパネルのバス電極の製造方法。
【請求項１１】
白色層の形成に用いる白色導電性ペースト組成物は、５０〜９０重量％の銀含有粉末と、１〜１０重量％のガラス粉末と、残部が有機系ビヒクルとを含み、
黒色層の形成に用いる黒色ペースト組成物に含まれる有機系ビヒクルと前記白色導電性ペースト組成物に含まれる有機系ビヒクルとが同一種類の成分である請求項１０記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１２】
有機系ビヒクルが、焼成時に炭化せずに消失する合成樹脂及びこれらの樹脂を溶解することができる有機溶剤の双方を含む請求項１０記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１３】
合成樹脂が、エポキシ樹脂、セルロース樹脂、ウレタン樹脂、ブチラール樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、スチレン樹脂、フェノール樹脂及びこれらの樹脂を複数混合して架橋反応させた樹脂からなる群より選ばれた樹脂である請求項１２記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１４】
有機溶剤が、アルコール系溶剤、ケトン系溶剤、エーテル系溶剤、カルビトール系溶剤、炭化水素系溶剤、ジオール系溶剤、グリコール系溶剤及びグリコールエーテル系溶剤からなる群より選ばれた１種の単一溶剤又は２種以上の混合溶剤である請求項１２記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１５】
オフセット印刷法が、ペースト組成物を凹状のパターンを有する印刷版に充填し、前記充填したペースト組成物を表面にシリコーンゴムシートを有する印刷用ブランケットへ転写した後、前記印刷用ブランケットから基板上へペースト組成物を転写するとき、
前記印刷用ブランケット表面に対して５〜３０℃の空気を印刷中連続して吹き付ける請求項１０記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１６】
フロントガラス基板上に形成され、リアガラス基板上に形成された隔壁端部に対向する誘電体層上に、オフセット印刷法により黒色ペースト組成物を用いてブラックストライプを形成する工程と
を含むプラズマディスプレイパネルの製造方法において、
前記ブラックストライプの形成に用いる黒色ペースト組成物が、１０〜５０重量％の黒色酸化物粉末と、５〜３０重量％のガラス粉末と、残部が有機系ビヒクルとを含み、
前記黒色酸化物粉末の平均粒径が０．０１〜０．５μｍであって、
前記黒色酸化物粉末の比表面積が５〜５０ｍ2／ｇであることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１７】
有機系ビヒクルが、焼成時に炭化せずに消失する合成樹脂及びこれらの樹脂を溶解することができる有機溶剤の双方を含む請求項１６記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１８】
合成樹脂が、エポキシ樹脂、セルロース樹脂、ウレタン樹脂、ブチラール樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、スチレン樹脂、フェノール樹脂及びこれらの樹脂を複数混合して架橋反応させた樹脂からなる群より選ばれた樹脂である請求項１７記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１９】
有機溶剤が、アルコール系溶剤、ケトン系溶剤、エーテル系溶剤、カルビトール系溶剤、炭化水素系溶剤、ジオール系溶剤、グリコール系溶剤及びグリコールエーテル系溶剤からなる群より選ばれた１種の単一溶剤又は２種以上の混合溶剤である請求項１７記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２０】
オフセット印刷法が、ペースト組成物を凹状のパターンを有する印刷版に充填し、前記充填したペースト組成物を表面にシリコーンゴムシートを有する印刷用ブランケットへ転写した後、前記印刷用ブランケットから基板上へペースト組成物を転写するとき、
前記印刷用ブランケット表面に対して５〜３０℃の空気を印刷中連続して吹き付ける請求項１６記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマディスプレイパネル（Plasma Display Panel、以下、ＰＤＰという。）の製造方法に関し、更に詳しくは、オフセット印刷法によってフロントガラス基板上にバス電極やブラックストライプを作製するのに適したＰＤＰの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＰＤＰはガスを封入した密閉空間である放電セルの電極対に電圧を印加し、プラズマ放電を発生させ、ガスから発生する紫外線を放電セル内に塗布された蛍光体に照射し、蛍光体を励起させてこれを発光させることにより情報を表示する表示デバイスである。
【０００３】
図１に示すように、ＰＤＰ１０では、フロントガラス基板１１とリアガラス基板１２との間に放電の広がりを一定領域に抑え、表示を規定のセル内で行わせると同時に、かつ均一な放電空間を確保するために隔壁（障壁、リブ）１３が設けられる。フロントガラス基板１１の内面にはバス電極１６が設けられ、リアガラス基板１２の内面には、バス電極１６に対向してアドレス電極１７が設けられる。両基板１１及び１２は隔壁１３により区画され、区画された内部にはガスが封入され、放電空間１４が形成される。放電空間１４内には蛍光体１８Ｇ，１８Ｂ，１８Ｒが設けられる。ＰＤＰはこの放電空間１４内で相対向するバス電極１６とアドレス電極１７との間にプラズマ放電を生じさせることにより、この放電空間１４内に封入されているガスから発生する紫外線を放電空間１４内に設けられた蛍光体１８に当てることにより表示を行うものである。なお、図１中の符号１９は保護膜、符号２１は透明誘電体層、符号２２がカラーフィルタ、符号２３が透明電極をそれぞれ示す。
【０００４】
近年、高画質ＰＤＰを作製することが求められている。このＰＤＰ高画質化の対策の１つに、コントラストの向上が挙げられる。従来、ＰＤＰのコントラストは、ブラウン管テレビと比べ低いものであった。このコントラストを低下させている要因として、室内光の反射輝度の高さが指摘されていた。室内光は可視光であるが、可視光に対する蛍光体の反射率は高いので、室内光がＰＤＰを構成する放電セル内に射し込んで蛍光体に当たると、室内光が反射してＰＤＰの前面で視聴している視聴者の目に入り、視聴者が蛍光体による発光を視認し難くなっていたためである。
【０００５】
そのため、最近のＰＤＰでは、室内光の反射輝度によるコントラストの低下を解決する対策として、フロント基板の遮蔽率を向上させて、室内光がＰＤＰを構成する放電セル内に射し込むのを防止する方法が採用されている。第一の方法は、図１に示すように、パネルの放電していない部分、即ち、各放電セルを区画する隔壁１３位置にブラックストライプ２４を形成することにより、遮蔽して外光反射率を下げる方法である。第二の方法は、電気抵抗率の低い銀などから構成される白色層１層１６ａからなる従来のバス電極１６の代わりに、白色層の形成される部分に先ず黒色ペーストを塗布して黒色層１６ｂを形成し、その上に白色層１６ａを積層することにより白黒２層１６ａ，１６ｂから構成されるバス電極１６とする方法である。
【０００６】
上記ブラックストライプ２４やバス電極１６の黒色層１６ｂのような黒色膜を形成する場合、フォトリソグラフィー法を用いて形成するのが一般的であった。例えば、フォトリソグラフィー法を用いてバス電極を形成する場合では、基板全面に感光性ペーストを塗布し、所定パターンのマスクを介して露光、現像し、現像後の残存層を焼成することによりバス電極を形成していた。また、ブラックストライプを形成する場合についてもフォトリソグラフィー法を用いて形成するのが一般的であった。
【０００７】
しかしながら、フォトリソグラフィー法では、光重合性モノマーや光重合開始剤が含まれる感光性のペーストを使用する必要がある。従って、このような感光性黒色ペーストを塗布して形成した塗膜層の全ての厚さ方向に存在する光重合性モノマーや光重合開始剤を露光して、露光した部分の塗膜層の全ての厚さを硬化する必要があるため、感光性黒色ペーストに含まれる黒色顔料のような黒色粉末の粒子径を小さくして、より微細なパターンの黒色膜を形成しようとしても、一定の粒子径以下の場合では、粒子が集まって密な状態となって、露光の光を遮ってしまうため、光の透過率が不十分となって塗膜層の硬化が進まず、パターン成形に十分な硬度が得られないため、微細なパターンの黒色膜が形成できないという問題があった。
【０００８】
また、フォトリソグラフィー法では、露光した部分以外は除去してしまうため、ペースト材料の利用効率が極めて悪く、有効活用ができないという問題があった。更に、除去するペースト材料に含まれる元素の種類によっては、処理方法やリサイクル等にコストがかかるといった問題も生じていた。更に、露光や現像等が必要であるため、工程が煩雑化するといった問題もあった。
【０００９】
そこで、フォトリソグラフィー法に代えて、オフセット印刷法によりパターン形成する技術が開発されている。具体的には、透明電極が形成された基板上に第１黒色層パターン、主電極層パターン及び第２黒色層をそれぞれオフセット印刷法で形成するパターン形成工程と、第１黒色層パターン、主電極層パターン及び第２黒色層パターンを同時焼成して、第１黒色層、主電極層及び第２黒色層を形成する焼成工程と、を含むことを特徴とするディスプレイパネルの製造方法が開示されている（例えば、特許文献１参照。）。この特許文献１では、第１黒色層パターンの形成材料には、無機黒色顔料、銀粉末、ガラス粉末、樹脂、溶剤を混合した黒色導電ペースト（黒Ａｇペースト）を用い、主電極層パターンの形成材料には、銀粉末、ガラス粉末、樹脂、溶剤を混合した導体ペースト（白Ａｇペースト）を用い、第２黒色層（ＢＳ層）パターンの形成材料には、無機黒色顔料、ガラス粉末、樹脂、溶剤を混合した黒色ペーストを用いている。
【特許文献１】特開２００４−１８５８９５号公報（請求項１、段落［００１９］）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、上記特許文献１には、それぞれのパターン形成材料を調製する際の成分については開示されているが、オフセット印刷法に最適とされる各成分の諸条件については言及されていない
本発明の目的は、オフセット印刷法を用いたパターン形成に適したＰＤＰの製造方法を提供することにある。
本発明の目的は、薄膜化を行っても遮蔽率が高く、かつライン乱れのないパターンを形成し得る、ＰＤＰの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
請求項１に係る発明は、図２に示すように、フロントガラス基板１１上にオフセット印刷法により黒色ペースト組成物を用いてライン状の黒色層１６ｂを形成する工程と、形成した未焼成の黒色層１６ｂの上に、オフセット印刷法により白色導電性ペースト組成物を用いて黒色層１６ｂよりもライン幅の狭い白色層１６ａを積層する工程と、形成した黒色層１６ｂ及び白色層１６ａの２層を同時に焼成することにより、黒色層１６ｂと白色層１６ａからなるバス電極１６を形成する工程とを含むＰＤＰの製造方法の改良である。その特徴ある構成は、黒色層１６ｂである黒色膜の形成に用いる黒色ペースト組成物が、１０〜５０重量％の黒色酸化物粉末と、５〜３０重量％のガラス粉末と、残部が有機系ビヒクルとを含み、黒色酸化物粉末の平均粒径が０．０１〜０．５μｍであって、黒色酸化物粉末の比表面積が５〜５０ｍ2／ｇであるところにある。
請求項１に係る発明では、各成分の配合割合をオフセット印刷法に使用するのに最適となるように制御した黒色ペースト組成物によりライン状の黒色層１６ｂを形成するため、オフセット印刷法を用いたパターン形成に適し、また、黒色ペースト組成物を構成する黒色酸化物粉末を上記範囲内の平均粒径、比表面積となるように制御することで、微細で、薄膜化を行っても遮蔽率が高く、かつライン乱れのないパターンの黒色層１６ｂを形成することができる。また、重ねた２層の塗布膜を同時に焼成するため、工程の短縮化を図ることができる。
【００１２】
請求項２に係る発明は、請求項１に係る発明であって、オフセット印刷法により未焼成の黒色層を形成する工程の後であって、形成した未焼成の黒色層の上に白色層を積層する工程の前に、未焼成の黒色層を乾燥する工程を更に含むプラズマディスプレイパネルの製造方法である。
【００１３】
請求項３に係る発明は、請求項２に係る発明であって、未焼成の黒色層を乾燥する工程が、室温の空気を黒色層に送風して乾燥する工程又は黒色層を加熱して乾燥する工程であるプラズマディスプレイパネルの製造方法である。
【００１４】
請求項４に係る発明は、請求項１に係る発明であって、黒色層の形成に用いる黒色ペースト組成物を構成する有機系ビヒクルが、熱硬化性樹脂或いは光硬化性樹脂を含み、オフセット印刷により未焼成の黒色層を形成する工程の後であって、形成した未焼成の黒色層の上に白色層を積層する工程の前に、未焼成の黒色層を熱硬化或いは光硬化する工程を更に含むプラズマディスプレイパネルの製造方法である。
【００１５】
請求項２ないし４に係る発明では、未焼成の黒色層を乾燥又は硬化することで、黒色層を形成している黒色ペースト組成物が有する粘着性を低下させることができるため、後に続く工程に至るまでの間にこの黒色層表面に塵等が付着しても、ブローなどによって容易に取り除くことができる。また、未焼成の黒色層を乾燥又は硬化することで、黒色層の形状保持性を高めることができる。
【００１６】
請求項５に係る発明は、請求項１に係る発明であって、白色層１６ａの形成に用いる白色導電性ペースト組成物は、５０〜９０重量％の銀含有粉末と、１〜１０重量％のガラス粉末と、残部が有機系ビヒクルとを含み、黒色層１６ｂの形成に用いる黒色ペースト組成物に含まれる有機系ビヒクルと白色導電性ペースト組成物に含まれる有機系ビヒクルとが同一種類の成分であるＰＤＰの製造方法である。
請求項５に係る発明では、各成分の配合割合をオフセット印刷に使用するのに最適となるように制御した白色導電性ペースト組成物によりライン状の白色層１６ａを形成するため、オフセット印刷法を用いたパターン形成に適する。また、白色導電性ペースト組成物に含まれる有機系ビヒクルを黒色層１６ｂの形成に用いる黒色ペースト組成物に含まれる有機系ビヒクルの成分と同一種類の成分とすることで、黒色層１６ｂの上に積層する白色層１６ａの密着性が高まる。
【００１７】
請求項６に係る発明は、請求項１に係る発明であって、有機系ビヒクルが、焼成時に炭化せずに消失する合成樹脂及びこれらの樹脂を溶解することができる有機溶剤の双方を含むプラズマディスプレイパネルの製造方法である。
【００１８】
請求項７に係る発明は、請求項６に係る発明であって、合成樹脂が、エポキシ樹脂、セルロース樹脂、ウレタン樹脂、ブチラール樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、スチレン樹脂、フェノール樹脂及びこれらの樹脂を複数混合して架橋反応させた樹脂からなる群より選ばれた樹脂であるプラズマディスプレイパネルの製造方法である。
【００１９】
請求項８に係る発明は、請求項６に係る発明であって、有機溶剤が、アルコール系溶剤、ケトン系溶剤、エーテル系溶剤、カルビトール系溶剤、炭化水素系溶剤、ジオール系溶剤、グリコール系溶剤及びグリコールエーテル系溶剤からなる群より選ばれた１種の単一溶剤又は２種以上の混合溶剤であるプラズマディスプレイパネルの製造方法である。
【００２０】
請求項９に係る発明は、請求項１に係る発明であって、オフセット印刷法が、ペースト組成物を凹状のパターンを有する印刷版に充填し、充填したペースト組成物を表面にシリコーンゴムシートを有する印刷用ブランケットへ転写した後、印刷用ブランケットから基板上へペースト組成物を転写するとき、印刷用ブランケット表面に対して５〜３０℃の空気を印刷中連続して吹き付けるプラズマディスプレイパネルの製造方法である。
【００２１】
請求項１０に係る発明は、図２に示すように、フロントガラス基板１１上にオフセット印刷法により黒色ペースト組成物を用いてライン状の黒色層１６ｂを形成する工程と、形成した黒色層１６ｂを焼成する工程と、焼成した黒色層１６ｂの上に、オフセット印刷法により白色導電性ペースト組成物を用いて黒色層１６ｂよりもライン幅の狭い白色層１６ａを積層する工程と、形成したライン状の白色層１６ａを焼成することにより黒色層１６ｂと白色層１６ａからなるバス電極１６を形成する工程とを含むＰＤＰの製造方法の改良である。その特徴ある構成は、黒色層１６ｂの形成に用いる黒色ペースト組成物が、１０〜５０重量％の黒色酸化物粉末と、５〜３０重量％のガラス粉末と、残部が有機系ビヒクルとを含み、黒色酸化物粉末の平均粒径が０．０１〜０．５μｍであって、黒色酸化物粉末の比表面積が５〜５０ｍ2／ｇであるところにある。
請求項１０に係る発明では、各成分の配合割合をオフセット印刷法に使用するのに最適となるように制御した黒色ペースト組成物によりライン状の黒色層１６ｂを形成するため、オフセット印刷法を用いたパターン形成に適し、また、黒色ペースト組成物を構成する黒色酸化物粉末を上記範囲内の平均粒径、比表面積となるように制御することで、微細で、薄膜化を行っても遮蔽率が高く、かつライン乱れのないパターンの黒色層１６ｂを形成することができる。
【００２２】
請求項１１に係る発明は、請求項１０に係る発明であって、白色層１６ａの形成に用いる白色導電性ペースト組成物は、５０〜９０重量％の銀含有粉末と、１〜１０重量％のガラス粉末と、残部が有機系ビヒクルとを含み、黒色層１６ｂの形成に用いる黒色ペースト組成物に含まれる有機系ビヒクルと白色導電性ペースト組成物に含まれる有機系ビヒクルとが同一種類の成分であるＰＤＰの製造方法である。
請求項１１に係る発明では、各成分の配合割合をオフセット印刷に使用するのに最適となるように制御した白色導電性ペースト組成物によりライン状の白色層１６ａを形成するため、オフセット印刷法を用いたパターン形成に適する。また、白色導電性ペースト組成物に含まれる有機系ビヒクルを黒色層１６ｂの形成に用いる黒色ペースト組成物に含まれる有機系ビヒクルの成分と同一種類の成分とすることで、黒色層１６ｂの上に積層する白色層１６ａの密着性が高まる。
【００２３】
請求項１２に係る発明は、請求項１０に係る発明であって、有機系ビヒクルが、焼成時に炭化せずに消失する合成樹脂及びこれらの樹脂を溶解することができる有機溶剤の双方を含むプラズマディスプレイパネルの製造方法である。
【００２４】
請求項１３に係る発明は、請求項１２に係る発明であって、合成樹脂が、エポキシ樹脂、セルロース樹脂、ウレタン樹脂、ブチラール樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、スチレン樹脂、フェノール樹脂及びこれらの樹脂を複数混合して架橋反応させた樹脂からなる群より選ばれた樹脂であるプラズマディスプレイパネルの製造方法である。
【００２５】
請求項１４に係る発明は、請求項１２に係る発明であって、有機溶剤が、アルコール系溶剤、ケトン系溶剤、エーテル系溶剤、カルビトール系溶剤、炭化水素系溶剤、ジオール系溶剤、グリコール系溶剤及びグリコールエーテル系溶剤からなる群より選ばれた１種の単一溶剤又は２種以上の混合溶剤であるプラズマディスプレイパネルの製造方法である。
【００２６】
請求項１５に係る発明は、請求項１０に係る発明であって、オフセット印刷法が、ペースト組成物を凹状のパターンを有する印刷版に充填し、充填したペースト組成物を表面にシリコーンゴムシートを有する印刷用ブランケットへ転写した後、印刷用ブランケットから基板上へペースト組成物を転写するとき、印刷用ブランケット表面に対して５〜３０℃の空気を印刷中連続して吹き付けるプラズマディスプレイパネルの製造方法である。
【００２７】
請求項１６に係る発明は、図１に示すように、フロントガラス基板１１上に形成され、リアガラス基板１２上に形成された隔壁１３端部に対向する誘電体層２１上に、オフセット印刷法により黒色ペースト組成物を用いてブラックストライプ２４を形成する工程とを含むＰＤＰの製造方法の改良である。その特徴ある構成は、ブラックストライプ２４の形成に用いる黒色ペースト組成物が、１０〜５０重量％の黒色酸化物粉末と、５〜３０重量％のガラス粉末と、残部が有機系ビヒクルとを含み、黒色酸化物粉末の平均粒径が０．０１〜０．５μｍであって、黒色酸化物粉末の比表面積が５〜５０ｍ2／ｇであるところにある。
請求項１６に係る発明では、各成分の配合割合をオフセット印刷法に使用するのに最適となるように制御した黒色ペースト組成物によりブラックストライプ２４を形成するため、オフセット印刷法を用いたパターン形成に適し、また、黒色ペースト組成物を構成する黒色酸化物粉末を上記範囲内の平均粒径、比表面積となるように制御することで、微細で、薄膜化を行っても遮蔽率が高く、かつライン乱れのないパターンのブラックストライプ２４を形成することができる。
【００２８】
請求項１７に係る発明は、請求項１６に係る発明であって、有機系ビヒクルが、焼成時に炭化せずに消失する合成樹脂及びこれらの樹脂を溶解することができる有機溶剤の双方を含むプラズマディスプレイパネルの製造方法である。
【００２９】
請求項１８に係る発明は、請求項１７に係る発明であって、合成樹脂が、エポキシ樹脂、セルロース樹脂、ウレタン樹脂、ブチラール樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、スチレン樹脂、フェノール樹脂及びこれらの樹脂を複数混合して架橋反応させた樹脂からなる群より選ばれた樹脂であるプラズマディスプレイパネルの製造方法である。
【００３０】
請求項１９に係る発明は、請求項１７に係る発明であって、有機溶剤が、アルコール系溶剤、ケトン系溶剤、エーテル系溶剤、カルビトール系溶剤、炭化水素系溶剤、ジオール系溶剤、グリコール系溶剤及びグリコールエーテル系溶剤からなる群より選ばれた１種の単一溶剤又は２種以上の混合溶剤であるプラズマディスプレイパネルの製造方法である。
【００３１】
請求項２０に係る発明は、請求項１６に係る発明であって、オフセット印刷法が、ペースト組成物を凹状のパターンを有する印刷版に充填し、充填したペースト組成物を表面にシリコーンゴムシートを有する印刷用ブランケットへ転写した後、印刷用ブランケットから基板上へペースト組成物を転写するとき、印刷用ブランケット表面に対して５〜３０℃の空気を印刷中連続して吹き付けるプラズマディスプレイパネルの製造方法である。
【発明の効果】
【００３２】
請求項１又は請求項１０に係る製造方法では、各成分の配合割合をオフセット印刷法に使用するのに最適となるように制御した黒色ペースト組成物によりライン状の黒色層を形成するため、オフセット印刷法を用いたパターン形成に適し、また、黒色ペースト組成物を構成する黒色酸化物粉末を上記範囲内の平均粒径、比表面積となるように制御することで、微細で、薄膜化を行っても遮蔽率が高く、かつライン乱れのないパターンの黒色層を形成することができる。
また、請求項１６に係る製造方法では、各成分の配合割合をオフセット印刷法に使用するのに最適となるように制御した黒色ペースト組成物によりブラックストライプを形成するため、オフセット印刷法を用いたパターン形成に適し、また、黒色ペースト組成物を構成する黒色酸化物粉末を上記範囲内の平均粒径、比表面積となるように制御することで、微細で、薄膜化を行っても遮蔽率が高く、かつライン乱れのないパターンのブラックストライプを形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
次に本発明を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。
先ず、図２（ａ）に示すような、フロントガラス基板１１を用意し、図２（ｂ）に示すように、フロントガラス基板１１に透明電極２３を形成する。ここで形成する透明電極２３は、プラズマ放電に必要であり、かつ発光の妨げにならないように透明な材質で形成される。透明電極２３はＩＴＯ（Indium Tin Oxide）やＳｎＯ2等の酸化膜が使用され、スパッタリング、蒸着等の真空成膜法やＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）法によって形成することができる。
【００３４】
次いで、図２（ｃ）に示すように、フロントガラス基板１１上に形成した透明電極２３の上に、黒色ペースト組成物をオフセット印刷法により塗布することにより、ライン状の黒色層１６ｂを形成する。本発明の方法において、黒色層１６ｂの形成に用いる黒色ペースト組成物は、１０〜５０重量％の黒色酸化物粉末と、５〜３０重量％のガラス粉末と、残部が有機系ビヒクルとを含むように構成される。また、平均粒径を０．０１〜０．５μｍの範囲内とし、かつ比表面積を５〜５０ｍ2／ｇとした平均粒径が小さく、比表面積が大きな黒色酸化物粉末を使用する。このように本発明の方法では、各成分の配合割合をオフセット印刷法に使用するのに最適となるように制御した黒色ペースト組成物によりライン状の黒色層１６ｂを形成するため、オフセット印刷法を用いたパターン形成に適し、また、黒色ペースト組成物を構成する黒色酸化物粉末を上記範囲内の平均粒径、比表面積となるように制御することで、微細で、薄膜化を行っても遮蔽率が高く、かつライン乱れのないパターンの黒色層１６ｂを形成することができる。このうち、使用する黒色酸化物粉末は、平均粒径が０．０５〜０．３μｍで、かつ比表面積が１５〜４５ｍ2／ｇの粉末が好ましい。
【００３５】
黒色層１６ｂを形成するための黒色ペースト組成物を構成する黒色酸化物粉末は、Ｃｏ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｍｎ、Ｆｅ及びＮｉからなる群より選ばれた１種又は２種以上の金属元素を含む金属酸化物又はこれらの複合酸化物であることが好適である。このうち、Ｃｏ3Ｏ4やＦｅ，Ｍｎ，Ｃｕ複合酸化物、Ｃｕ，Ｃｒ，Ｍｎ複合酸化物が特に好ましい。
【００３６】
黒色層１６ｂを形成するための黒色ペースト組成物を構成するガラス粉末は、酸化鉛、酸化ビスマス、酸化亜鉛、酸化ホウ素、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化リン、酸化カルシウム及び酸化チタンからなる群より選ばれた１種又は２種以上の酸化物を含む４００〜５５０℃の軟化点を有するフリットガラスであることが好適である。軟化点を上記範囲内としたのは、軟化点が下限値未満のフリットガラスでは、ガラス粉末がペースト組成物中の有機ビヒクルを構成するバインダ樹脂の脱バインダを妨げてしまい、残渣物が黒色層内に残り、パネル内を汚染する可能性があるためであり、軟化点が上限値を越えるフリットガラスでは、ガラス粉末がガラス基板との間の十分なアンカーを与えることができないためである。フリットガラスの軟化点は４５０〜５５０℃が特に好ましい。具体的には、ＰｂＯ−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2、ＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2、ＰｂＯ−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3、ＰｂＯ−ＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2、ＰｂＯ−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3−ＺｎＯ、ＰｂＯ−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2−ＣａＯ、Ｂ2Ｏ3−ＺｎＯ−Ｂｉ2Ｏ3、Ｂ2Ｏ3−Ｂｉ2Ｏ3、Ｂ2Ｏ3−ＺｎＯ、Ｂｉ2Ｏ3−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2、ＺｎＯ−Ｐ2Ｏ5−ＳｉＯ2、Ｐ2Ｏ5−Ｂ2Ｏ3−Ａｌ2Ｏ3、ＺｎＯ−Ｐ2Ｏ5−ＴｉＯ2などの組み合わせが挙げられる。
【００３７】
黒色層１６ｂを形成するための黒色ペースト組成物を構成する有機系ビヒクルは、焼成時に炭化せずに消失する合成樹脂及びこれらの樹脂を溶解することができる有機溶剤の双方を含み、合成樹脂を有機溶剤に溶解することにより調製されたものを使用することが好ましい。合成樹脂としては、エポキシ樹脂、セルロース樹脂、ウレタン樹脂、ブチラール樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、スチレン樹脂、フェノール樹脂及びこれらの樹脂を複数混合して架橋反応させた樹脂からなる群より選ばれた樹脂が挙げられる。有機溶剤としては、アルコール系溶剤、ケトン系溶剤、エーテル系溶剤、カルビトール系溶剤、炭化水素系溶剤、ジオール系溶剤、グリコール系溶剤及びグリコールエーテル系溶剤からなる群より選ばれた１種の単一溶剤又は２種以上の混合溶剤が挙げられる。また、必要に応じて、分散剤や粘度調整剤等の添加剤を加えてもよい。分散剤は黒色酸化物粉末やガラス粉末の分散性向上のために、粘度調整剤はペースト粘度調整のために添加する。
【００３８】
ここで行われるオフセット印刷法では、ペースト組成物を凹状のパターンを有する印刷版に充填し、充填したペースト組成物を印刷用ブランケットへ転写した後、印刷用ブランケットから基板上へペースト組成物を転写することにより、基板上にライン状の黒色層を形成するものである。オフセット印刷法では、印刷用ブランケットから基板上にペースト組成物を１００％転写させるために、印刷用ブランケット表面にはシリコーンゴムシートを用い、ペースト組成物には印刷用ブランケット表面のシリコーンゴムシートに濡れ易く、かつ、浸透し難い溶剤を添加し、ペースト組成物とシリコーンゴム界面の表面張力を低下させることで、シリコーンゴムからペースト組成物を剥離し易くしてペースト組成物を印刷用ブランケットから基板上に転写させている。
【００３９】
本発明の製造方法では、印刷用ブランケット表面に対して５〜３０℃の空気を印刷中連続して吹き付けることが好適である。印刷用ブランケット表面のシリコーンゴムシートに対して５〜３０℃の空気を印刷中に連続して吹き付けることで、印刷版から印刷用ブランケットへペースト組成物を転写した後は、ペースト組成物から溶剤成分を速やかに揮発させるため、印刷用ブランケット表面に転写したペースト組成物の凝集力が向上する。ペースト組成物の凝集力が向上すると、印刷用ブランケットから基板上へ印刷する際に、印刷用ブランケット上にペースト組成物が残留し難くなる。また、印刷用ブランケットから基板上へペースト組成物を転写して１回分の印刷を終えた後は、印刷用ブランケット表面に浸透している溶剤成分を速やかに除去するため、印刷用ブランケットの状態を溶剤成分浸透前の状態に保つことができる。これらの効果によって、連続印刷におけるパイリング現象の発生を低減し、かつパイリング現象が発生するまでの連続印刷回数を延ばすことができる。
【００４０】
オフセット印刷法により未焼成の黒色層を形成した後、形成した未焼成の黒色層の上に白色層を積層する工程を施す前に、未焼成の黒色層を乾燥する工程を更に含むことが好適である。未焼成の黒色層を乾燥する工程としては、室温の空気を黒色層に送風して乾燥する工程、黒色層を加熱して乾燥する工程が挙げられる。室温の空気を黒色層に送風することによって黒色層の表層を乾燥するには、例えば、室温の空気を０．１〜１０ｍ／ｓｅｃの範囲内の速度で基板上に形成した未焼成の黒色層に対して１〜３０分間送風することにより行われる。また、黒色層を加熱することによって黒色層の表層を乾燥するには、例えば、未焼成の黒色層を形成した基板を１００〜２２０℃の温度に１〜３０分間保持することにより行われる。
【００４１】
また、オフセット印刷法により未焼成の黒色層を形成した後、形成した未焼成の黒色層の上に白色層を積層する工程を施す前に、未焼成の黒色層を熱硬化或いは光硬化する工程を更に含むことが好適である。未焼成の黒色層を熱硬化することによって黒色層の表層を硬化するには、例えば、有機系ビヒクルにアクリルモノマー、メタクリルモノマーなどの不飽和モノマーとブチルパーオキサイドのような熱ラジカル化合物を使用し、未焼成の黒色層を形成した基板を１００〜２２０℃の温度に１〜３０分間保持することにより行われる。また、未焼成の黒色層を光硬化することによって黒色層の表層を硬化するには、例えば、有機系ビヒクルにアクリルモノマー、メタクリルモノマーなどの不飽和モノマーと、２−メチル−１［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モリフォリノプロパン−１−オンのような紫外線でラジカルを発生する化合物を使用し、基板上に形成した未焼成の黒色層に対して波長が２００〜３８０ｎｍの光を５〜３６０秒間照射することにより行われる。
【００４２】
未焼成の黒色層を乾燥又は硬化することで、黒色層を形成している黒色ペースト組成物が有する粘着性を低下させることができるため、後に続く工程に至るまでの間にこの黒色層表面に塵等が付着しても、ブローなどによって容易に取り除くことができる。また、未焼成の黒色層を乾燥又は硬化することで、黒色層の形状保持性を高めることができる。このように黒色層の形状保持性を高めておくと、後に続く工程でこの黒色層の上に白色層を積層しても、下に位置する黒色層の形状が崩れ難くなるという効果が得られる。また、乾燥や硬化によって黒色層の形状保持性を高めておくと、後に続く工程でこの黒色層の上に白色層を積層しても、黒色層と白色層との積層界面に存在している溶剤成分は乾燥や硬化を施さない場合と比較して少ないため、積層した白色層がだれなくなる。
【００４３】
続いて、図２（ｄ）に示すように、形成した未焼成の黒色層１６ｂの上に、白色導電性ペースト組成物をオフセット印刷法により塗布することにより、黒色層１６ｂよりもライン幅の狭い白色層１６ａを積層する。白色層１６ａの形成に用いる白色導電性ペースト組成物は、５０〜９０重量％の銀含有粉末と、１〜１０重量％のガラス粉末と、残部が有機系ビヒクルとを含むように構成される。また、黒色層１６ｂの形成に用いる黒色ペースト組成物に含まれる有機系ビヒクルと白色導電性ペースト組成物に含まれる有機系ビヒクルとが同一種類の成分となることが好適である。このように、各成分の配合割合をオフセット印刷に使用するのに最適となるように制御した白色導電性ペースト組成物によりライン状の白色層１６ａを形成するため、オフセット印刷法を用いたパターン形成に適する。白色導電性ペースト組成物に含まれる有機系ビヒクルを黒色層１６ｂの形成に用いる黒色ペースト組成物に含まれる有機系ビヒクルの成分と同一種類の成分とすることで、黒色層１６ｂの上に積層する白色層１６ａの密着性が高まる。
【００４４】
白色導電性ペースト組成物を構成する銀含有粉末は、Ａｇ単独の導電性粉末でも良いし、Ａｇだけでなく、Ａｕ、Ａｌ、Ｐｔ、Ｐｄ等も含むような導電性粉末でも良い。
白色導電性ペースト組成物を構成するガラス粉末は、黒色層１６ｂを形成するための黒色ペースト組成物を構成するガラス粉末で使用した種類のフリットガラスと同一種類を使用することで、黒色層と白色層の密着性が向上するため、特に好ましい。フリットガラスが同一種類であると、熱膨張係数が同じになるため、２層を焼成した際に歪みが発生せず、割れや反り、密着不良の問題が起き難いため、密着性の向上に寄与する。
白色導電性ペースト組成物を構成する有機系ビヒクルは、前述したように、黒色層１６ｂを形成するための黒色ペースト組成物を構成する有機系ビヒクルの成分と同一種類の成分が好適である。
【００４５】
この白色層を積層する際のオフセット印刷についても、黒色層を形成する際のオフセット印刷と同様に、印刷用ブランケット表面に対して５〜３０℃の空気を印刷中連続して吹き付けることが好適である。
【００４６】
次に、この形成した黒色層１６ｂ及び白色層１６ａの２層を同時に焼成することにより、黒色層１６ｂ及び白色層１６ａから構成されるバス電極１６が形成される。本発明の方法では、重ねた２層の塗布膜を同時に焼成するため、工程の短縮化を図ることができる。ここでの焼成温度は５６０〜５８０℃が好適である。
なお、フロントガラス基板１１上に形成した透明電極２３の上に、オフセット印刷法により黒色ペースト組成物を用いてライン状の黒色層１６ｂを形成した後に、この黒色層１６ｂを焼成し、続いて、焼成した黒色層１６ｂの上に、オフセット印刷法により白色導電性ペースト組成物を用いて黒色層１６ｂよりもライン幅の狭い白色層１６ａを積層し、このライン状の白色層１６ａを焼成することにより、黒色層１６ｂ及び白色層１６ａから構成されるバス電極１６を形成することもできる。
【００４７】
次に、図２（ｅ）に示すように、透明電極２３及びバス電極１６を覆うように、フロントガラス基板１１の全面に透明誘電体層２１を形成する。透明誘電体層２１は電極の保護と放電時に誘電体層表面に壁電荷を形成してメモリ機能を持たせるために形成するものである。この透明誘電体層２１は、バス電極１６上に２０〜４０μｍの厚みとなるように形成される。
【００４８】
次に、図３（ａ）に示すように、フロントガラス基板１１上に形成した透明誘電体層２１の上に、黒色ペースト組成物をオフセット印刷法により塗布することにより、ブラックストライプ２４を形成する。このブラックストライプ２４は、図１に示すように、リアガラス基板１２上に形成された隔壁１３端部に対向する位置に形成される。ブラックストライプ２４を形成することで、外光反射率が低下し、コントラストが改善される。
【００４９】
本発明の方法において、ブラックストライプ２４の形成に用いる黒色ペースト組成物は、１０〜５０重量％の黒色酸化物粉末と、５〜３０重量％のガラス粉末と、残部が有機系ビヒクルとを含むように構成される。また、平均粒径を０．０１〜０．５μｍの範囲内とし、かつ比表面積を５〜５０ｍ2／ｇとした平均粒径が小さく、比表面積が大きな黒色酸化物粉末を使用する。このように本発明の方法では、各成分の配合割合をオフセット印刷法に使用するのに最適となるように制御した黒色ペースト組成物によりブラックストライプ２４を形成するため、オフセット印刷法を用いたパターン形成に適し、また、黒色ペースト組成物を構成する黒色酸化物粉末を上記範囲内の平均粒径、比表面積となるように制御することで、微細で、薄膜化を行っても遮蔽率が高く、かつライン乱れのないパターンのブラックストライプ２４を形成することができる。このうち、使用する黒色酸化物粉末は、平均粒径が０．０５〜０．３μｍで、かつ比表面積が１５〜４５ｍ2／ｇの粉末が好ましい。
【００５０】
ブラックストライプ２４を形成するための黒色ペースト組成物を構成する黒色酸化物粉末は、Ｃｏ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｍｎ、Ｆｅ及びＮｉからなる群より選ばれた１種又は２種以上の金属元素を含む金属酸化物又はこれらの複合酸化物であることが好適である。このうち、Ｃｏ3Ｏ4やＦｅ，Ｍｎ，Ｃｕ複合酸化物、Ｃｕ，Ｃｒ，Ｍｎ複合酸化物が特に好ましい。
【００５１】
ブラックストライプ２４を形成するための黒色ペースト組成物を構成するガラス粉末は、酸化鉛、酸化ビスマス、酸化亜鉛、酸化ホウ素、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化リン、酸化カルシウム及び酸化チタンからなる群より選ばれた１種又は２種以上の酸化物を含む４００〜５５０℃の軟化点を有するフリットガラスであることが好適である。軟化点を上記範囲内としたのは、軟化点が下限値未満のフリットガラスでは、ガラス粉末がペースト組成物中の有機ビヒクルを構成するバインダ樹脂の脱バインダを妨げてしまい、残渣物が黒色層内に残り、パネル内を汚染する可能性があるためであり、軟化点が上限値を越えるフリットガラスでは、ガラス粉末がガラス基板との間の十分なアンカーを与えることができないためである。フリットガラスの軟化点は４５０〜５５０℃が特に好ましい。具体的には、ＰｂＯ−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2、ＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2、ＰｂＯ−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3、ＰｂＯ−ＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2、ＰｂＯ−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3−ＺｎＯ、ＰｂＯ−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2−ＣａＯ、Ｂ2Ｏ3−ＺｎＯ−Ｂｉ2Ｏ3、Ｂ2Ｏ3−Ｂｉ2Ｏ3、Ｂ2Ｏ3−ＺｎＯ、Ｂｉ2Ｏ3−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2、ＺｎＯ−Ｐ2Ｏ5−ＳｉＯ2、Ｐ2Ｏ5−Ｂ2Ｏ3−Ａｌ2Ｏ3、ＺｎＯ−Ｐ2Ｏ5−ＴｉＯ2などの組み合わせが挙げられる。
【００５２】
ブラックストライプ２４を形成するための黒色ペースト組成物を構成する有機系ビヒクルは、焼成時に炭化せずに消失する合成樹脂及びこれらの樹脂を溶解することができる有機溶剤の双方を含み、合成樹脂を有機溶剤に溶解することにより調製されたものを使用することが好ましい。合成樹脂としては、エポキシ樹脂、セルロース樹脂、ウレタン樹脂、ブチラール樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、スチレン樹脂、フェノール樹脂及びこれらの樹脂を複数混合して架橋反応させた樹脂からなる群より選ばれた樹脂が挙げられる。有機溶剤としては、アルコール系溶剤、ケトン系溶剤、エーテル系溶剤、カルビトール系溶剤、炭化水素系溶剤、ジオール系溶剤、グリコール系溶剤及びグリコールエーテル系溶剤からなる群より選ばれた１種の単一溶剤又は２種以上の混合溶剤が挙げられる。また、必要に応じて、分散剤や粘度調整剤等の添加剤を加えてもよい。分散剤は黒色酸化物粉末やガラス粉末の分散性向上のために、粘度調整剤はペースト粘度調整のために添加する。
【００５３】
このブラックストライプを積層する際のオフセット印刷についても、先に述べた黒色層や白色層を形成する際のオフセット印刷と同様に、印刷用ブランケット表面に対して５〜３０℃の空気を印刷中連続して吹き付けることが好適である。
【００５４】
次に、図３（ｂ）に示すように、透明誘電体層２１の上に、ブラックストライプ２４と同じ高さとなるように、カラーフィルタ２２を形成する。続いて、図３（ｃ）に示すように、カラーフィルタ２２及びブラックストライプ２４の上に、透明誘電体層２１を形成する。更に、図３（ｄ）に示すように、透明誘電体層２１の上に、保護膜１９を形成する。保護膜１９を形成するのは、放電によるイオン衝撃で誘電体層がダメージを受け、パネル寿命が短くなるのと、プラズマ放電に必要な二次電子放出の効率が悪いため、放電電圧が高くなるのを防ぐためである。保護膜１９はＭｇＯが使用され、電子ビーム蒸着、イオンプレーティング、スパッタリングによって形成することができる。
【００５５】
以上、図２（ａ）〜図３（ｄ）の各工程を経ることにより、ＰＤＰ用前面基板が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】ＰＤＰの放電セルを示す図。
【図２】ＰＤＰ用前面基板の製造工程の前段を示す図。
【図３】ＰＤＰ用前面基板の製造工程の後段を示す図。
【符号の説明】
【００５７】
１０  ＰＤＰ
１１  フロントガラス基板
１２  リアガラス基板
１３  隔壁
１６  バス電極
１６ａ  バス電極の白色層
１６ｂ  バス電極の黒色層
２１  誘電体層
２４  ブラックストライプ
【図１】
2008159360.tif 000003
【図２】
2008159360.tif 000004
【図３】
2008159360.tif 000005