(57)【要約】【課題】空気清浄ユニットにおいて、定期的に交換が必要なケミカルフィルタの交換をクリーン空間に入らずに、かつ、塵埃除去フィルタを外すことなく行えることを目的とする。【解決手段】ファン１とモーター２のファンユニット３をチャンバー４に内蔵し、その下方にケミカルフィルタ５および塵埃除去フィルタ６を設け、チャンバー４の上面には切り欠き１１があるジャッキアップ用金具１２が取り付けられ、スクリューボルト１８は長ボルト１３とその上部に座金１４とスペーサー１５と座金１４とばね座金１６とナット１７で構成され、ジャッキアップ用金具１２のきり欠き１１部分に挿入し、設置枠１０内部にあるナット１９に配置される。スクリューボルト１８を回転させることによりジャッキアップ用金具１２が上下し、チャンバー４をケミカルフィルタ５と密着・開放し、着脱可能となる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ファンとモーターとで構成されるファンユニットをチャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの下流側にケミカルフィルタと塵埃除去フィルタと設置枠を層状に配設した空気清浄ユニットであって、前記チャンバーの上面に切り欠き形状したジャッキアップ用金具を複数有し、頭部を前記ジャッキアップ用金具に当接し、先端部を設置枠に設けたナットに取り付けるようにしたスクリューボルトを設け、前記スクリューボルトを回転させてジャッキアップ用金具の高さを変化させることにより前記ケミカルフィルタと密着・開放させ、前記ケミカルフィルタを取り出せることを特徴とするフィルタ交換装置。
【請求項２】
前記スクリューボルトの頭部を手動で回転できるようにハンドルとしたことを特徴とする請求項１記載のフィルタ交換装置。
【請求項３】
前記ジャッキアップ用金具に抜け防止用のＬ字形切り欠きを持つことを特徴とする請求項１または２記載のフィルタ交換装置。
【請求項４】
前記ジャッキアップ用金具に抜け防止用のクランプ金具を持ったことを特徴とする請求項１または２記載のフィルタ交換装置。
【請求項５】
前記チャンバーに前記ケミカルフィルタをスライドさせるためのスライドガイドを持つことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のフィルタ交換装置。
【請求項６】
前記ケミカルフィルタの側面に、手で出し入れし易くするための取っ手を装着させたことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のフィルタ交換装置。
【請求項７】
前記スクリューボルトの先端部に抜け防止用のピンを持ったことを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のフィルタ交換装置。
【請求項８】
前記設置枠に底部を固定し、前記チャンバー、ケミカルフィルタ、塵埃除去フィルタの側面に接し、前記スクリューボルトが抜けない高さに鉤型の抜け防止形状を設けたストッパー金具を複数設けたことを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のフィルタ交換装置。
【請求項９】
前記チャンバーの側面にねじ穴を設け、Ｌ字形でその縦面には縦方向に長穴を設けたガイド金具を設け、前記ガイド金具の底部を設置枠に固定し、ガイド金具の長穴とチャンバーのねじ穴を貫通するようにボルトをチャンバーに取り付け、前記長穴の縦方向の長さは、前記スクリューボルトが抜け落ちない長さとしたことを特徴とする請求項１〜６いずれかに記載のフィルタ交換装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体工場、食品工場などの清浄空間を必要とするクリーンルームで使用される空気清浄ユニットのフィルタ交換装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のファンフィルタユニットのフィルタ交換装置は、クリーンルーム内側方向からアプローチして着脱可能に構成している（例えば特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２０００−８４３２６号公報（段落００２９〜００３０、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような従来のフィルタ交換装置ではクリーンな環境を保つべきクリーン空間内に人が入ってケミカルフィルタの交換作業をおこなうことになり、内部のクリーンな環境に障害を及ぼすという課題がある。
【０００４】
また、最近の局所クリーン化の動きに伴い、クリーンな環境を維持すべき空間が小型化しており、内部に設けられた各種製造装置によってクリーン空間内のメンテナンススペースの確保が困難なため、クリーン空間の中に入らず、ケミカルフィルタを交換できることが要求されている。
【０００５】
また、ケミカルフィルタの交換作業についても製造装置等の稼動時間に制約を与えるために、可能な限り短時間で行なえることが要求されている。
【０００６】
また、ケミカルフィルタを交換する際に外部空間からクリーン空間へ塵埃の侵入する課題があるため、塵埃除去フィルタを外さずにケミカルフィルタの交換をおこなうことが要求されている。
【０００７】
本発明は、このような従来のフィルタ交換装置の課題を解決するものであり、クリーン空間に入ることなくケミカルフィルタの交換ができ、また、短時間に外部の塵埃をクリーン空間内に侵入させることなく交換がおこなえるフィルタ交換装置を提供する事を目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のフィルタ交換装置は、ファンとモーターとで構成されるファンユニットをチャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの下流側にケミカルフィルタと塵埃除去フィルタと設置枠を層状に配設した空気清浄ユニットであって、前記チャンバーの上面に切り欠き形状したジャッキアップ用金具を複数有し、頭部を前記ジャッキアップ用金具に当接し、先端部を設置枠に設けたナットに取り付けるようにしたスクリューボルトを設け、前記スクリューボルトを回転させてジャッキアップ用金具の高さを変化させることにより前記ケミカルフィルタと密着・開放させ、前記ケミカルフィルタを取り出せることを特徴とするフィルタ交換装置である。
【０００９】
上記構成により、スクリューボルトを回転させることにより前記ジャッキアップ用金具が上下し、前記チャンバーが前記ケミカルフィルタと密着・開放し、前記ケミカルフィルタを取り出せるようにしたものである。
【００１０】
また、他の手段は、前記スクリューボルトの頭部を手動で回転できるようにハンドルとしたことを特徴とするフィルタ交換である。
【００１１】
上記構成により、工具を使うこと無くスクリューボルトを手動で回転させ、ケミカルフィルタの交換を容易にさせたものである。
【００１２】
また、他の手段は、前記ジャッキアップ用金具に抜け防止用のＬ字形切り欠きを持つことを特徴とするフィルタ交換装置である。
【００１３】
上記構成により、スクリューボルトをジャッキアップ用金具のＬ字形切り欠きの内側へ位置させることにより、スクリューボルトの回転時において外側へ抜け難くすることができ、ケミカルフィルタの交換を容易にしたものである。
【００１４】
また、他の手段は、前記ジャッキアップ用金具に抜け防止用のクランプ金具を持ったことを特徴とするフィルタ交換装置である。
【００１５】
上記構成により、スクリューボルトをジャッキアップ用金具の内側に位置させた後にクランプ金具を装着し、スクリューボルトの回転時において切り欠きの外側へ抜けるのを防ぎ、ケミカルフィルタの交換を容易にしたものである。
【００１６】
また、他の手段は、前記チャンバーに前記ケミカルフィルタをスライドさせるためのスライドガイドを持つことを特徴とするフィルタ交換装置である。
【００１７】
上記構成により、チャンバーにスライドガイドを設けてスライド位置を規制し、ケミカルフィルタの交換を容易にしたものである。
【００１８】
また、他の手段は、前記ケミカルフィルタの側面に、手で出し入れし易くするための取っ手を装着させたことを特徴とするフィルタ交換装置である。
【００１９】
上記構成により、ケミカルフィルタの側面に取っ手を設け、ケミカルフィルタの交換を容易にしたものである。
【００２０】
また、他の手段は、前記スクリューボルトの先端部に抜け防止用のピンを持ったことを特徴とするフィルタ交換装置である。
【００２１】
上記構成により、スクリューボルト先端部に固定ピンを設け、スクリューボルトの回転し過ぎで抜けることを防止する機能を付加したものである。
【００２２】
また、他の手段は、前記設置枠に底部を固定し、前記チャンバー、ケミカルフィルタ、塵埃除去フィルタの側面に接し、前記スクリューボルトが抜けない高さに鉤型の抜け防止形状を設けたストッパー金具を複数設けたことを特徴とするフィルタ交換装置である。
【００２３】
上記構成により、スクリューボルトの回転し過ぎによるチャンバーの脱落を防止する機能を付加したものである。
【００２４】
また、他の手段は、前記チャンバーの側面に前記スクリューボルトが抜けないようにガイド金具とボルトを複数設けたことを特徴とするフィルタ交換装置である。
【００２５】
上記構成により、スクリューボルトの回転し過ぎによるチャンバーの脱落を防止する機能を付加したものである。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、ファンとモーターとで構成されるファンユニットをチャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの下流側にケミカルフィルタと塵埃除去フィルタと設置枠を層状に配設した空気清浄ユニットであって、前記チャンバーの上面に切り欠き形状したジャッキアップ用金具を複数有し、頭部を前記ジャッキアップ用金具に当接し、先端部を設置枠に設けたナットに取り付けるようにしたスクリューボルトを設け、前記スクリューボルトを回転させてジャッキアップ用金具の高さを変化させることにより前記ケミカルフィルタと密着・開放させ、前記ケミカルフィルタを取り出せるようにしたことによりクリーン空間に入ることなくケミカルフィルタの交換が可能になる効果が得られる。
【００２７】
また、本発明によれば、スクリューボルトの頭部をハンドル形状とすることにより、工具を使うこと無く手動で回転させられるという効果が得られる。
【００２８】
また、本発明によれば、ジャッキアップ用金具に抜け防止用のＬ字形切り欠きを設けることにより、スクリューボルトの回転をスムース且つ確実に行なえるという効果が得られる。
【００２９】
また、本発明によれば、ジャッキアップ用金具にクランプ金具を挿入することにより、スクリューボルトの回転時において抜けること無く確実に移動できるという効果が得られる。
【００３０】
また、本発明によれば、チャンバーの側面へスライドガイドを設けることにより、ケミカルフィルタをスムース且つ確実に移動できるという効果が得られる。
【００３１】
また、本発明によれば、ケミカルフィルタの側面へ取っ手を装着することにより、ケミカルフィルタの移動作業が容易にできるという効果が得られる。
【００３２】
また、本発明によれば、スクリューボルト先端部に固定ピンを設けることにより、スクリューボルトの回転し過ぎを防止し、スクリューボルト及びチャンバーの脱落するのを防止できるという効果が得られる。
【００３３】
また、本発明によれば、チャンバーの側面沿って鉤型の抜け防止形状をしたストッパー金具を設置枠に固定することにより、スクリューボルトの回転し過ぎを防止し、スクリューボルト及びチャンバーの脱落するのを防止できるという効果が得られる。
【００３４】
また、本発明によれば、チャンバーの側面に沿ってガイド金具を設置し、チャンバーに取り付けたボルトをガイド金具へ貫通させることにより、スクリューボルトの回転し過ぎを防止し、スクリューボルト及びチャンバーの脱落するのを防止できるという効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
本発明の請求項１記載の発明は、ファンとモーターとで構成されるファンユニットをチャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの下流側にケミカルフィルタと塵埃除去フィルタと設置枠を層状に配設した空気清浄ユニットであって、前記チャンバーの上面に切り欠き形状したジャッキアップ用金具を複数有し、頭部を前記ジャッキアップ用金具に当接し、先端部を設置枠に設けたナットに取り付けるようにしたスクリューボルトを設け、前記スクリューボルトを回転させてジャッキアップ用金具の高さを変化させることにより前記ケミカルフィルタと密着・開放させ、前記ケミカルフィルタを取り出せることを特徴とするフィルタ交換装置であり、ケミカルフィルタを容易に交換できるという作用を有する。
【００３６】
また、本発明の請求項２記載の発明は、スクリューボルトの頭部をハンドル形状としたフィルタ交換装置であり、工具を使うこと無く手動で回転させられるという作用を有する。
【００３７】
また、本発明の請求項３記載の発明は、ジャッキアップ用金具に抜け防止用のＬ字形切り欠きを設けたフィルタ交換装置であり、スクリューボルトの回転をスムース且つ確実に行なえるという作用を有する。
【００３８】
また、本発明の請求項４記載の発明は、ジャッキアップ用金具にスクリューボルト挿入後クランプ金具を取り付けたフィルタ交換装置であり、スクリューボルトの回転時において抜けること無く確実に移動できるという作用を有する。
【００３９】
また、本発明の請求項５記載の発明は、チャンバーの側面へスライドガイドを設けたフィルタ交換装置であり、ケミカルフィルタをスムース且つ確実に移動できるという作用を有する。
【００４０】
また、本発明の請求項６記載の発明は、ケミカルフィルタの側面へ取っ手を装着したフィルタ交換装置であり、ケミカルフィルタの移動作業が容易にできるという作用を有する。
【００４１】
また、本発明の請求項７記載の発明は、スクリューボルト先端部に固定ピンを設けたフィルタ交換装置であり、スクリューボルトの回転し過ぎを防止し、スクリューボルト及びチャンバーの脱落するのを防止できるという作用を有する。
【００４２】
また、本発明の請求項８記載の発明は、チャンバーの側面沿って鉤型の抜け防止形状をしたストッパー金具を設置枠に固定したフィルタ交換装置であり、スクリューボルトの回転し過ぎを防止し、スクリューボルト及びチャンバーの脱落するのを防止できるという作用を有する。
【００４３】
また、本発明の請求項９記載の発明は、チャンバーの側面に沿ってＬ字形のガイド金具を設置し、チャンバーに取り付けたボルトをガイド金具へ貫通させたフィルタ交換装置であり、スクリューボルトの回転し過ぎを防止し、スクリューボルト及びチャンバーの脱落するのを防止できるという作用を有する。
【００４４】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００４５】
（実施の形態１）
本発明の第１の実施の形態による空気清浄ユニットには、図１に示すように、ファン１とモーター２で構成されるファンユニット３をチャンバー４に内蔵し、その下方にケミカルフィルタ５および塵埃除去フィルタ６が設けられる。また、チャンバー４とケミカルフィルタ５のシールをするケミカルフィルタ上面パッキン７、ケミカルフィルタ５と塵埃除去フィルタ６をシールする塵埃除去フィルタ上面パッキン８、塵埃除去フィルタ６と設置枠１０をシールする塵埃除去フィルタ下面パッキン９を備えている。スクリューボルト１８は長ボルト１３と、２枚の座金１４、スペーサー１５、ばね座金１６、ナット１７で構成され、その頭部には座金１４、スペーサー１５、座金１４、ばね座金１６、ナット１７の順で備えられる。スクリューボルト１８の取付方法は、先に、先端部を設置枠１０内部にあるナット１９に取り付ける。その後、スペーサー１５にジャッキアップ用金具１２の切り欠き１１を挿入し、スクリューボルト１８とジャッキアップ用金具１２とを同時に高さ調整しながらチャンバー４の上面に取り付ける。この際スペーサー１５の高さは、ジャッキアップ用金具１２の厚みよりも少しだけ大きく設定し、スクリューボルト１８の締め付けと緩める時の距離をなるべく短くしている。
【００４６】
上記構成において、スクリューボルト１８を回転させることによりジャッキアップ用金具１２が上下し、通常時（運転時）には、チャンバー４とケミカルフィルタ５とが密着するように、スクリューボルト１８を締め付ける。一方、メンテナンス、フィルタ交換時にはスクリューボルト１８を緩めてチャンバー４とケミカルフィルタ５を開放する。こうしてチャンバー４がケミカルフィルタ５と密着・開放し、ケミカルフィルタ５を着脱することができる。
【００４７】
（実施の形態２）
図２に示すようにスクリューボルト１８の頭部にハンドル２１を設ける。
【００４８】
上記構成において、工具を使うこと無くスクリューボルト１８を回転させることができ、ケミカルフィルタ５の交換を短時間で作業することができる。
【００４９】
（実施の形態３）
図３に示すようにジャッキアップ用金具１２の切り欠き１１の末端にＬ字形切り欠き３１を設ける。
【００５０】
上記構成において、スクリューボルト１８を回転させる時にジャッキアップ用金具１２のＬ字形切り欠き３１へ位置することが可能となり、切り欠きの外側へ逃げにくくすることができ、スクリューボルト１８は外れ難くなる。
【００５１】
（実施の形態４）
図４に示すようにスクリューボルト１８をジャッキアップ用金具１２へ挿入した後に切り欠き１１端部へクランプ金具４１を装着する。
【００５２】
上記構成において、スクリューボルト１８をジャッキアップ用金具１２の切り欠き１１の内側に位置させた後にクランプ金具４１を装着し、スクリューボルト１８を回転させる時に切り欠き１１から外側へ抜けるのを防止できる。
【００５３】
（実施の形態５）
図５に示すようにチャンバー４側面にスライドガイド５１を設ける。
【００５４】
上記構成において、ケミカルフィルタ５を交換するとき、スライドガイド５１に沿って移動でき、幅方向の位置決めとしても働き、正確に装着することができる。
【００５５】
（実施の形態６）
図６に示すようにケミカルフィルタ５の側面に取っ手６１を設ける。
【００５６】
上記構成において、ケミカルフィルタ５を確実且つスムースに移動することが可能となり、作業性が容易となる。
【００５７】
（実施の形態７）
図７に示すようにスクリューボルト１８の先端部に固定ピン７１を設ける。
【００５８】
上記構成において、スクリューボルト１８を回転させ上昇した時に設置枠１０内部のナット１９に引っ掛かり、脱落するのを防止し、チャンバー４の脱落を防止できる。
【００５９】
（実施の形態８）
図８に示すように設置枠１０にチャンバー４の側面に沿ってストッパー金具８１を設ける。このストッパー金具８１は鉤形をしており、下面はねじ穴を通し設置枠１０とボルトで固定され、上面はチャンバー４との間に適切な隙間が設けられており、スクリューボルト１８が回転・上昇した時に脱落しない高さとしている。
【００６０】
上記構成において、スクリューボルト１８を回転・上昇し過ぎた時、ストッパー金具８１の鉤形上部にチャンバー４が接触して止まり、スクリューボルト１８及びチャンバー４の脱落を防止できる。
【００６１】
（実施の形態９）
図９に示すように設置枠１０にチャンバー４の側面に位置させるようにＬ字形のガイド金具９１を設ける。ガイド金具９１の縦面には、スクリューボルト１８が抜け落ちない長さとした縦方向の長穴９２を設け、長穴９２を貫通してボルト９３がチャンバー４へ取り付けられる。ガイド金具９１の底部はねじ穴を通してボルト固定するなど、設置枠１０と固定される。
【００６２】
上記構成において、スクリューボルト１８を回転・上昇し過ぎた時、チャンバー４に取り付けられたボルト９３がガイド金具９１の長穴９２の上部へ接触して止まり、スクリューボルト１８及びチャンバー４の脱落を防止できる。
【産業上の利用可能性】
【００６３】
以上のように本発明によれば、チャンバー上面に切り欠きを持ったジャッキアップ用金具を有し、そこに当接した長ボルト・座金・スペーサー・座金・ばね座金・ナットで構成されたスクリューボルトを回転・上下させることでジャッキアップ用金具を介してチャンバーをケミカルフィルタと密着・開放させ容易に着脱可能となり、クリーンルーム内で用いられる空気清浄ユニットのフィルタ交換装置の用途に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明の実施の形態１の構成を示す図（（ａ）正面図、（ｂ）平面図、（ｃ）斜視図）
【図２】本発明の実施の形態２の構成を示す斜視図
【図３】本発明の実施の形態３の構成を示す斜視図
【図４】本発明の実施の形態４の構成を示す図（（ａ）正面図、（ｂ）平面図、（ｃ）側面図、（ｄ）斜視図）
【図５】本発明の実施の形態５の構成を示す斜視図
【図６】本発明の実施の形態６の構成を示す斜視図
【図７】本発明の実施の形態７の構成を示す斜視図
【図８】本発明の実施の形態８の構成を示す斜視図
【図９】本発明の実施の形態９の構成を示す斜視図
【符号の説明】
【００６５】
１    ファン
２    モーター
３    ファンユニット
４    チャンバー
５    ケミカルフィルタ
６    塵埃除去フィルタ
７    ケミカルフィルタ上面パッキン
８    塵埃除去フィルタ上面パッキン
９    塵埃除去フィルタ下面パッキン
１０  設置枠
１１  切り欠き
１２  ジャッキアップ用金具
１３  長ボルト
１４  座金
１５  スペーサー
１６  ばね座金
１７  ナット
１８  スクリューボルト
１９  ナット
２１  ハンドル
３１  Ｌ字形切り欠き
４１  クランプ金具
５１  スライドガイド
６１  取っ手
７１  固定ピン
８１  ストッパー金具
９１  ガイド金具
９２  長穴
９３  ボルト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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