(57)【要約】  【課題】ノーフローアンダーフィルによるフリップチップ実装方法において、フィラーが高充填されている樹脂を基板へ先塗りする場合に、半導体のバンプと基板のパッド電極との間にフィラーが挟みこまれることがなく、バンプを確実にパッド電極に接触させ、信頼性高くリフローはんだ付けできるようにする。  【解決手段】基板５２へ樹脂を先塗りし、その後に、バンプ付き半導体５０を前記基板５２へ搭載して、基板５２のパッド電極５３とバンプ５１とを接合するノーフローアンダーフィルによるフリップチップ実装方法において、基板５２のパッド電極５３以外の領域へフィラー５５が高充填されている樹脂５４ａを塗布するとともに、基板５２のパッド電極５３部分にフィラーが充填されていない樹脂５４ｂを塗布し、その後に、バンプ付き半導体５０を基板５２の所定位置へ搭載する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板へ樹脂を先塗りし、その後に、バンプ付き半導体を前記基板へ搭載して、基板のパッド電極と前記バンプとを接合するノーフローアンダーフィルによるフリップチップ実装方法において、
前記基板のパッド電極以外の領域へフィラーが高充填されている樹脂を塗布するとともに、該基板のパッド電極部分にフィラーが充填されていない樹脂を塗布し、その後に、バンプ付き半導体を前記基板の所定位置へ搭載することを特徴とするノーフローアンダーフィルによるフリップチップ実装方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はノーフローアンダーフィルによるフリップチップ実装方法に関するものであり、特に、フィラーが高充填されている樹脂を基板へ先塗りする場合に、半導体のバンプと基板のパッド電極との間にフィラーが挟みこまれることがなく、バンプを確実にバンプ電極に接触させ、信頼性高くリフローはんだ付けできるようにしたノーフローアンダーフィルによるフリップチップ実装方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子機器の小型化が進み、省スペースおよび電気特性の向上などから、フリップチップ実装方法によって半導体を基板へ搭載することが多い。フリップチップ実装方法は、半導体チップの裏面に設けた端子電極にバンプと称される突起状電極を設け、基板に設けられているパッド電極に前記バンプを介して固定し導通させるものである。
【０００３】
前記バンプは、はんだ材などで形成されるが、接合面積が小さいため取付強度が不足することが多く、また、基板と半導体の熱膨張率の差異などから歪が発生し、機械的衝撃や熱衝撃により、前記バンプがパッド電極から離反するおそれがある。したがって、接合強度を高めるために、前記バンプを熱溶着で基板のパッド電極に接合させた後に、半導体と基板との隙間にエポキシ系の樹脂を流し込んで加熱硬化させるアンダーフィル処理がなされている。
【０００４】
しかし、上記アンダーフィル処理は、はんだ付けによる電極間の接続と、樹脂の硬化のそれぞれについて加熱処理が必要であり、加熱工程が多いのでコスト高となる。また、半導体と基板との隙間の側方から樹脂を流し込むため作業性が悪く、流し込むためのスペースも必要であり、電子機器の小型化の点では不利であった。
【０００５】
この不具合を解消するために、基板へ樹脂を先塗りしておき、その後に、バンプ付き半導体を基板へ押し付けることにより、先塗りした樹脂を押し広げてバンプとパッド電極とを接触させ、その状態のまま加熱することにより、電極間の接続と樹脂の硬化とを一回の加熱工程で行うノーフローアンダーフィルによる実装方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
ここで、アンダーフィル処理またはノーフローアンダーフィル処理に使用するエポキシ系の樹脂には、フィラーと称されるアルミナや酸化シリカなどの粉末を混入して樹脂の強度を高めてある。アンダーフィル処理においては、バンプをパッド電極に接合させた後に樹脂を流し込むので、フィラーが悪影響を与えることはない。
【０００７】
しかし、ノーフローアンダーフィル処理においては、図４に示すように、半導体５０の自重だけでバンプ５１を基板５２のパッド電極５３へ接触させるので、樹脂５４に混入されているフィラー５５がバンプ５１とパッド電極５３との間に挟み込まれて、バンプ５１とパッド電極５３とに間隙が生じることがある。ノーフローアンダーフィル処理では、電極間の接続と樹脂の硬化とを同一加熱工程で行うため、バンプ５１とパッド電極５３とに間隙があると、この間隙が樹脂５４で塞がれて電気的導通ができなくなる。
【０００８】
図５に示すように、重錘５６などで半導体５０を強制的に基板５２へ押圧すれば、フィラー５５が押し退けられて、あるいは、フィラー５５を巻き込みながら、バンプ５１とパッド電極５３との電気的導通が確保される。しかし、この状態でリフローはんだ付けを行うと、バンプ５１がパッド電極５３に熱溶着したのちも重錘５６の重みが作用し続けるため、バンプ５１が圧壊したり、あるいは、パッド電極５３からはみ出して電気的短絡を起こしたりするおそれがある。
【０００９】
ノーフローアンダーフィル処理において重錘を使用する構成としては、基板の上面に球状粒子を含有させた樹脂を塗布し、該球状粒子を基板のパッド電極間の領域に配置させ、半導体の上部に重錘を載置して、そのままリフローはんだ付けを行うようにした装置および方法が知られている（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開平１０−１２５７２４号公報
【特許文献２】特開２００１−５３１０９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
特許文献１記載の発明は、基板へ樹脂を先塗りして、電極間の接続と樹脂の硬化とを一回の加熱工程で行うので、工程の簡素化によるコストダウンが図られる。しかし、図４に示すように、樹脂に混入されているフィラーが、バンプとパッド電極との間に挟み込まれて、電気的導通ができなくなるおそれがある。樹脂に混入されているフィラーを少なくするか、まったく混入させなければ、フィラーの挟み込みによる不具合を解消することができるが、樹脂の強度が低減してバンプが破壊するおそれがある。
【００１１】
特許文献２記載の発明は、重錘によってフィラーを押し退けて、あるいは、フィラーを巻き込んで、バンプとパッド電極との電気的導通を確保するとともに、樹脂の中に球状粒子を混入することにより、半導体と基板との間隙を所定の寸法に保持しようとするものである。しかし、必ずしも球状粒子が基板のパッド電極間の領域に正確に配置されるとは限らず、重錘が位置ずれを起こすおそれもある。
【００１２】
そこで、本発明は、ノーフローアンダーフィルによるフリップチップ実装方法において、フィラーが高充填されている樹脂を基板へ先塗りする場合に、半導体のバンプと基板のパッド電極との間にフィラーが挟みこまれることがなく、バンプを確実にパッド電極に接触させ、信頼性高くリフローはんだ付けできるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は上記目的を達成するために提案されたものであり、請求項１記載の発明は、基板へ樹脂を先塗りし、その後に、バンプ付き半導体を前記基板へ搭載して、基板のパッド電極と前記バンプとを接合するノーフローアンダーフィルによるフリップチップ実装方法において、前記基板のパッド電極以外の領域へフィラーが高充填されている樹脂を塗布するとともに、該基板のパッド電極部分にフィラーが充填されていない樹脂を塗布し、その後に、バンプ付き半導体を前記基板の所定位置へ搭載することを特徴とするノーフローアンダーフィルによるフリップチップ実装方法を提供する。
【００１４】
この構成によれば、基板のパッド電極部分にフィラーが充填されていない樹脂を塗布するとともに、それ以外の領域はフィラーが高充填されている樹脂を塗布し、その後に半導体を搭載する。このように、樹脂を選択して塗布することにより、バンプとパッド電極との間にフィラーが存在しないので、フィラーを挟み込むようなことがなく、バンプが確実にパッド電極に接触する。
【００１５】
この状態でリフローはんだ付けを行うと、フィラーに接続を阻害されることなく前記バンプが熱溶着によってパッド電極と確実に接合され、さらに、フィラーなし樹脂とフィラー高充填樹脂が混ざり合い、半導体と基板との間にはフィラーが高充填された樹脂によってアンダーフィルが形成される。
【発明の効果】
【００１６】
本発明は、上述したように、フィラーなし樹脂とフィラー高充填樹脂を選択して塗布することにより、基板のパッド電極部分にはフィラーが充填されていない樹脂が塗布されるため、リフローはんだ付けの際に、バンプとパッド電極との間にフィラーを挟み込むようなことがなく、バンプが確実にパッド電極に接合される。
【００１７】
かくして、フィラーが高充填されている樹脂を使用して半導体を確実に実装することができ、ノーフローアンダーフィルによるフリップチップ実装方法における作業性ならびに信頼性の向上に寄与できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明に係るノーフローアンダーフィルによるフリップチップ実装方法について、好適な実施例をあげて説明する。フィラーが高充填されている樹脂を基板へ先塗りする場合に、半導体のバンプと基板のパッド電極との間にフィラーが挟みこまれることがなく、バンプを確実にパッド電極に接触させ、確実にリフローはんだ付けできるようにするという目的を達成するために、本発明は基板へ樹脂を先塗りし、その後に、バンプ付き半導体を前記基板へ搭載して、基板のパッド電極と前記バンプとを接合するノーフローアンダーフィルによるフリップチップ実装方法において、前記基板のパッド電極以外の領域へフィラーが高充填されている樹脂を塗布するとともに、該基板のパッド電極部分にフィラーが充填されていない樹脂を塗布し、その後に、バンプ付き半導体を前記基板の所定位置へ搭載することにより実現した。
【実施例１】
【００１９】
図１は本発明の実装方法の一例を模式的に示す説明図である。リフロー治具の基台（図示せず）の所定位置に基板５２が固定され、パッド電極５３が設けられている基板５２の表面に、エポキシ系の樹脂を先塗りするのであるが、パッド電極５３の部分と、該パッド電極５３以外の領域とで、異なる樹脂を選択して塗布する。
【００２０】
先ず、基板５２の表面のパッド電極５３以外の領域には、フィラー５５を高充填した樹脂５４ａを塗布する。その後、該基板５２の表面のパッド電極５３の部分に、フィラーを充填していない樹脂５４ｂを塗布する。フィラー高充填の樹脂５４ａとフィラーなしの樹脂５４ｂとでは粘度に差異を設けてあり、それぞれの樹脂を隣接して塗布したときに、塗布した境界部分が容易には混ざり合わないように形成されている。
【００２１】
図２に示すように、半導体５０の裏面に設けたバンプ５１と基板５２のパッド電極５３が正確に上下に対峙するように位置決めする。この状態では、バンプ５１とパッド電極５３の間にはフィラーなしの樹脂５４ｂが介在しており、半導体５０を押し下げてバンプ５１をパッド電極５３へ接触させたときに、フィラー５５を挟み込むようなことがなく、バンプ５１が確実にパッド電極５３に接触する。
【００２２】
その状態のまま、リフローはんだ処理にて加熱すれば、図３に示すように、フィラー５５に接続を阻害されることなく、バンプ５１が熱溶着して基板５２のパッド電極５３に確実に接合されるとともに、樹脂５４ａと５４ｂが硬化してバンプ５１およびパッド電極５３の周囲を保護する。
【００２３】
このとき、前記パッド電極５３の近傍位置では、フィラーなし樹脂５４ｂとフィラー高充填樹脂５４ａが混ざり合い、全体的には、半導体５０と基板５２との間にはフィラー５５が高充填された樹脂５４ａによってアンダーフィルが形成される。
【００２４】
かくして、フィラー５５が高充填されている樹脂５４ａと、フィラーなしの樹脂５４ｂを選択して基板５２へ塗布することにより、バンプ５１とパッド電極５３との間にフィラー５５を挟み込むようなことがなく、したがって、重錘などを使用せず半導体５０の自重だけで、半導体５０を確実に実装することができ、ノーフローアンダーフィルによるフリップチップ実装方法における作業性ならびに信頼性の向上に寄与できる。
【００２５】
なお、本発明は、本発明の精神を逸脱しない限り種々の改変を為すことができ、そして、本発明が該改変されたものに及ぶことは当然である。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の実装方法の一例を模式的に示す説明図。
【図２】図１の実装方法の動作過程を示す説明図。
【図３】図１の実装方法の最終過程を示す説明図。
【図４】従来のノーフローアンダーフィル処理の不具合を模式的に示す説明図。
【図５】図４に示す不具合を重錘により解消する一例を模式的に示す説明図。
【符号の説明】
【００２７】
５０  半導体
５１  バンプ
５２  基板
５３  パッド電極
５４  樹脂
５４ａ  フィラー高充填の樹脂
５４ｂ  フィラーなしの樹脂
５５  フィラー
【図１】
2008159624.tif 000003
【図２】
2008159624.tif 000004
【図３】
2008159624.tif 000005
【図４】
2008159624.tif 000006
【図５】
2008159624.tif 000007