(57)【要約】【課題】脆性材料微粒子を含むエアロゾルを基板に吹き付け、脆性材料構造物を基板上に形成させることによって、基板と脆性材料構造物からなる複合構造物を作製する複合構造物の作製方法に関し、原料粒子の基板への付着ばらつき低減を図る。【解決手段】ノズルと基板と吸引部材とで構成された空間の圧力をＰ１とし、構造物形成室と第二の排気機構との接続開口部の圧力をＰ２とし、吸引部材と第一の排気機構との接続開口部の圧力をＰ３としたとき、（数１）を満たす条件下で脆性材料の構造物を作製することを特徴とする複合構造物の作製方法。  （数１）Ｐ１＞Ｐ２＞Ｐ３【選択図】図１
2008184647.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つのノズル周辺に少なくとも１つの吸引部材を設け、前記吸引部材に接続された第一の排気機構と、構造物形成室に設けられた少なくとも１つの第二の排気機構により前記構造物形成室内を低真空に保持し、脆性材料微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを前記ノズルから噴射させて基板に衝突させ、脆性材料の構造物を作製する複合構造物の作製方法において、
前記ノズルと前記基板と前記吸引部材とで構成された空間の圧力をＰ１とし、前記構造物形成室と前記第二の排気機構との接続開口部の圧力をＰ２とし、前記吸引部材と前記第一の排気機構との接続開口部の圧力をＰ３としたとき、（数１）を満たす条件下で脆性材料の構造物を作製することを特徴とする、複合構造物の作製方法。
（数１）Ｐ１＞Ｐ２＞Ｐ３
【請求項２】
少なくとも１つの前記ノズル周辺に少なくとも１つの吸引部材を設け、前記吸引部材に接続された第一の排気機構と、前記構造物形成室に設けられた少なくとも１つの第二の排気機構により前記構造物形成室内を低真空に保持し、前記ノズルの先端と前記吸引部材の開口部とで囲まれた空間領域の単位空間体積あたりの排気速度を、前記構造物形成室と前記第二の排気機構との接続開口部における空間領域の単位空間体積あたりの排気速度より大きくした状態で脆性材料の構造物を作製することを特徴とする、
請求項１に記載の複合構造物の作製方法。
【請求項３】
前記脆性材料微粒子がリチウム含有遷移金属酸化物であることを特徴とする、
請求項１または２に記載の複合料構造物の作製方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、脆性材料微粒子を含むエアロゾルを基板に吹き付け、脆性材料構造物を基板上に形成することによって、基板と脆性材料構造物からなる複合構造物を作製する複合構造物の作製方法に関し、特に、その作製方法を用いたリチウム二次電池用電極の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯機器等の電子機器の発達に伴い、電子機器に対する高機能化および小型化のニーズが高まっている。電子機器の電源に用いられるリチウム二次電池に対しても、更なる高容量化が求められている。
【０００３】
従来のリチウム二次電池の電極の作製方法は、正極活物質または負極活物質を、バインダーおよび導電剤とともに溶剤に分散させてスラリーとし、このスラリーを集電体に塗布して作製することが一般的であった。活物質を含む電極成分のうち、バインダーおよび導電剤が少ないほど、単位体積あたりの電池容量を大きくすることができ、高容量な電池が得られるのだが、上記作製方法においては、バインダーにより粒子−粒子間、および粒子−集電体間の結合力を持たせている点から、バインダーを全く無くした（バインダーフリー）電極を作製することはできなかった。
【０００４】
しかしながら、コールドスプレー法やエアロゾルデポジション法により、バインダーフリー電極等を作製する方法が提案されている（例えば、特許文献１〜３参照）。
【０００５】
特許文献１では、シリコンを負極活物質として、コールドスプレー法により負極を作製している。上記特許文献１では、粒子の衝突による集電体金属の塑性変形を利用して、粒子と集電体との間にアンカー効果を持たせることで、粒子を集電体表面に直接結合させている。
【０００６】
特許文献２では、エアロゾルデポジション法により、脆性材料の多結晶構造物を基板上に直接形成することに加えて、粒径が１０ｎｍ〜５μｍのセラミックスなどのエアロゾル化した超微粒子が、ノズルより高速の超微粒子流として噴射されて基板に衝突する前に、イオン、原子、分子ビームや低温プラズマなどの高速の高エネルギービームを超微粒子や基板に照射することで、作製される構造物を強固なものとする工夫が開示されている。
【０００７】
特許文献３では、エアロゾルを高速で基板に向けて噴射するノズルと、エアロゾルと基板の衝突部位近傍に設置され、基板に衝突した後に構造物の形成に関らないエアロゾルを吸入する吸引部材と、吸引部材に連結され、構造物の形成に関らずにエアロゾル中のガスと分離された脆性材料微粒子を捕捉して貯留する微粒子回収容器と、微粒子回収容器に連結され、脆性材料微粒子と分離されたガスを構造物形成室外へ排出する排気装置とを有する複合構造物の作製装置により、脆性材料微粒子を構造物形成室内に散逸させることなく微粒子回収容器に回収し、上記回収した微粒子をエアロゾル発生器に戻して再利用することを可能とする工夫が開示されている。
【特許文献１】特開２００５−３１０５０２号公報
【特許文献２】特開２０００−２１２７６６号公報
【特許文献３】特開２００３−１１９５７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献３では、ノズルから噴出されたエアロゾル中の微粒子、具体的には、１０ｎｍ〜サブミクロンオーダーの一次粒子が集まった、サブミクロン〜数μｍの微粒子が、吸引部材と基板間の非常に狭い領域において、ノズル先端から基板上で３６０゜に広がる構造物形成室内の高真空側への気流の影響を受けて偏向されたり、基板に衝突した際に破砕された一次粒子が、他の微粒子または一次粒子などと衝突して偏向されたりする。そのため、膜状の脆性材料構造物が基板上に形成される際、付着強度の著しく低い領域が生じ、基板と膜状の脆性材料構造物との付着強度ばらつき、膜状の脆性材料構造物の重量ばらつきなどの成膜ばらつきが生じてしまう。
【０００９】
したがって、エアロゾルデポジション法を用いた複合構造物の作製装置では、原理的にエアロゾルの流れや速度を、エアロゾル発生器、構造物形成室、ノズル噴射口などにおける空間領域の圧力差を利用して成膜しているので、各空間領域における圧力、排気速度などを制御し、吸引部材と基板間の非常に狭い領域での、ノズルから噴出されたエアロゾル中の微粒子に対する、ノズル先端から基板上で３６０゜に広がる構造物形成室内の高真空側への気流の影響を打ち消すことが重要である。
【００１０】
本発明は、上記従来の問題を解決することを目的とし、エアロゾルデポジション法の成膜ばらつきが低減可能な複合構造物の作製方法、特にその作製方法を用いたリチウム二次電池用電極の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の複合構造物の作製方法は、少なくとも１つのノズル周辺に少なくとも１つの吸引部材を設け、前記吸引部材に接続された第一の排気機構と、構造物形成室に設けられた少なくとも１つの第二の排気機構により前記構造物形成室内を低真空に保持し、脆性材料微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを前記ノズルから噴射させて基板に衝突させ、脆性材料の構造物を作製する複合構造物の作製方法において、前記ノズルと前記基板と前記吸引部材とで構成された空間の圧力をＰ１とし、前記構造物形成室と前記第二の排気機構との接続開口部の圧力をＰ２とし、前記吸引部材と前記第一の排気機構との接続開口部の圧力をＰ３としたとき、（数１）を満たす条件下で脆性材料の構造物を作製することを特徴とする。
【００１２】
（数１）Ｐ１＞Ｐ２＞Ｐ３
さらに、少なくとも１つの前記ノズル周辺に少なくとも１つの吸引部材を設け、前記吸引部材に接続された第一の排気機構と、前記構造物形成室に設けられた少なくとも１つの第二の排気機構により前記構造物形成室内を低真空に保持し、前記ノズルの先端と前記吸引部材の開口部とで囲まれた空間領域の単位空間体積あたりの排気速度を、前記構造物形成室と前記第二の排気機構との接続開口部における空間領域の単位空間体積あたりの排気速度より大きくした状態で脆性材料の構造物を作製することを特徴とする。
【００１３】
また、前記脆性材料微粒子がリチウム含有遷移金属酸化物であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の複合構造物の作製方法によれば、構造物形成室内の吸引部材と基板間の非常に狭い領域における気流またはコンダクタンスを、構造物形成室と第二の排気機構との接続開口部から、吸引部材と第一の排気機構との接続開口部の方向へ、つまり、従来とは逆方向へ生じさせることができるため、ノズルから噴出されたエアロゾル中の微粒子に対する、ノズル先端から基板上で３６０゜に広がる構造物形成室内の高真空側への気流を打ち消すことができる。
【００１５】
また、吸引部材の開口部における単位空間体積の排気速度を最も大きくしたことにより、粒子吸引量が大きくなったため、原料粒子の利用効率を高めてエアロゾルの微粒子濃度を長期的に安定して発生させることができる。
【００１６】
したがって、膜状の脆性材料構造物が基板上に形成される際の、付着強度の著しく低い領域の減少が可能となり、基板と膜状の脆性材料構造物との付着強度ばらつき、膜状の脆性材料構造物の重量ばらつきなどの成膜ばらつきの低減が可能となって、良好な構造物を形成することができる。この結果、成膜ばらつきを低減したバインダーフリー電極や、バインダーフリーのリチウム二次電池用電極を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しながら説明する。なお、本発明は、以下の内容に限定されない。
【００１８】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１における複合構造物の作製装置１００である。図１に示すように、エアロゾル発生器３は、ガス搬送管２を介してアルゴンガスボンベ１に接続されている。また、エアロゾル発生器３は、エアロゾル搬送管４を介して、構造物形成室５内に設置されたノズル６に接続されている。ノズル６の先端と対向した位置には、基板ホルダー８に固定された基板７が配置されている。ノズル６の周囲には、吸引部材としての吸引筒９が、基板７側に開口するように設置されている。
【００１９】
構造物形成室５の内寸は２５０×２５０×１５０ｍｍであり、基板ホルダー８や吸引筒９などを除いた空間体積は７．５リットル程度である。吸引筒９は中空状で、その開口部の内径は１０ｍｍである。吸引筒９とノズル６とで設けられた空間体積は約１０ｃｍ３である。
【００２０】
ノズル６の先端から基板７の表面までの距離は５ｍｍである。吸引筒９は、基板７の表面から３ｍｍ離れた位置、すなわち、ノズル６が吸引筒９の開口部より２ｍｍ内側に配置されている。
【００２１】
なお、本発明の実施の形態１において、ノズル６としては、本発明の効果がより鮮明となるように、ストレート形状で、内径が４ｍｍ、外径が６．２５ｍｍのものを使用した。
【００２２】
また、基板ホルダー８としては、通常、ＸＹステージを使用することで、基板７を揺動させてエアロゾル衝突位置を変化させつつ、基板７上に微粒子の衝突による膜状の脆性材料構造物を形成するのだが、本発明の実施の形態１では、成膜ばらつきをより鮮明でわかりやすくするため、基板ホルダー８を固定した。
【００２３】
第一の排気機構として、第一の真空ポンプ１１が、第一の吸引配管１２および第一の微粒子回収容器１０を介し、さらには構造物形成室５を貫通して、吸引筒９に接続されている。また、第一の吸引配管１２には、第一の調整弁３０が設置されている。
【００２４】
第二の排気機構として、第二の真空ポンプ１４が、第二の吸引配管１５および第二の微粒子回収容器１３を介して、構造物形成室５に接続されている。また、第二の吸引配管１５には、第二の調整弁３１が設置されている。
【００２５】
構造物形成室５と第二の吸引配管１５との接続開口部の内径は５０ｍｍである。
【００２６】
第一および第二の排気機構における排気量と圧力は、第一の調整弁３０および第二の調整弁３１の開口率を変化させることで調整する。
【００２７】
なお、本発明の実施の形態１において、第一の真空ポンプ１１および第二の真空ポンプ１４としては、最大排気能力１３５リットル／分のものを使用した。
【００２８】
また、本発明の実施の形態１においては、第二の排気機構により、構造物形成室５の内気圧全体を一定レベルに下げているのだが、これに限られることはなく、第二の排気機構を用いずに、第一の排気機構により、構造物形成室５内を減圧してもよい。
【００２９】
エアロゾル発生器３内には脆性材料微粒子、例えば、リチウム含有遷移金属酸化物の微粒子粉体が充填されている。なお、本発明の実施の形態１では、リチウム含有遷移金属酸化物として、ニッケルコバルト酸リチウムを使用した。
【００３０】
ここで脆性材料とは、無機材料および一部の合金系材料のうち、破断が脆性破壊の破断モードを示すもので、共有結合性の高い半導体などの非金属元素、セラミックス、金属間化合物などが含まれる。
【００３１】
正極用のリチウム含有遷移金属酸化物としては、ニッケル酸リチウムや、コバルト酸リチウムなどのリチウム含有遷移金属酸化物、およびその固溶体が用いられる。特に、ニッケルを主成分とするリチウム含有遷移金属酸化物は、二次粒子形態となりやすいので好ましい。上記ニッケル酸リチウム系およびコバルト酸リチウム系の複合酸化物は、一般式（化１）で表される。
【００３２】
（化１）ＬｉｘＭ（１−ｙ）ＬｙＯ２
元素Ｍは、ＮｉおよびＣｏよりなる群から選択される少なくとも１種である。元素Ｌは、アルカリ土類金属元素、ＮｉおよびＣｏ以外の遷移元素、希土類元素、IIIｂ族元素、およびIVｂ族元素よりなる群から選択される少なくとも１種である。
【００３３】
また、元素Ｌは、Ａｌ、Ｍｎ、Ｔｉ、Ｍｇ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｗ、およびＹよりなる群から選択される少なくとも１種を含むことが好ましい。これらの元素は、単独で含まれてもよく、２種以上が含まれてもよい。さらには、元素Ｌを、Ｍｎなどの遷移元素とすることが望ましい。その調製方法は、所定の金属元素比の酸化物、または水酸化物を酸化雰囲気中で焼成することにより合成することができる。
【００３４】
一般式（化１）におけるｘおよびｙは、０．８５≦ｘ≦１．２５、かつ、０≦ｙ≦０．５０を満たすことが望ましい。特に、リチウム含有量を表すｘの範囲は、電池の充放電により増減するが、完全放電状態や、電池組立直後の初期状態、もしくはリチウム複合酸化物の合成直後において、０．８５≦ｘ≦１．３５であればよく、さらには１．０２≦ｘ≦１．２５が好ましい。
【００３５】
また、負極用の脆性材料としては、シリコンやスズ合金などを用いることができる。
【００３６】
基板７を正極集電体とする場合には、アルミニウム、ステンレス鋼、ニッケル、チタン、炭素、導電性樹脂などからなる箔もしくはシートを用いることができ、さらにはアルミニウム箔、アルミニウム合金箔等を用いることが好ましい。正極芯材の厚みは、特に限定されないが、例えば、１〜２００μｍの範囲内であることが好ましい。
【００３７】
本発明の実施の形態１においては、脆性材料を搬送するガスの成分であるキャリアガスとしてアルゴンを用いたが、ヘリウムなどの希ガスも用いることができる。キャリアガスは、脆性材料を搬送するだけでなく、成膜時の雰囲気としても関与しており、不活性雰囲気の方が生成した新生界面の接合活性が消失しにくく、結果的には強固な接合が得られやすくなる。さらに、ヘリウムなどの軽い元素気体を用いた方が、粒子の衝突速度を大きくすることが可能となり、緻密で結合力の大きい膜が得られる。
【００３８】
以下、本発明の実施の形態１における複合構造物の作製装置１００の作用について述べる。
【００３９】
アルゴンガスボンベ１を開栓し、アルゴンガスをエアロゾル発生器３内に送り込むと同時に、エアロゾル発生器３を稼働して、脆性材料微粒子とアルゴンガスが適当比で混合されたエアロゾルを発生させる。また同時に、第一の真空ポンプ１１および第二の真空ポンプ１４を稼働して、エアロゾル発生器３と構造物形成室５の間に差圧を生じさせる。エアロゾル発生器３内で発生したエアロゾルは、上記差圧により加速され、エアロゾル搬送管４を通ってノズル６より基板７に向けて噴射される。なお、上述したように、本発明の実施の形態１では、成膜ばらつきをより鮮明でわかりやすくするため、基板ホルダー８を固定している。
【００４０】
このとき、エアロゾルに含まれる多くの微粒子は、構造物形成に関らず、基板７に衝突後、四方に跳ね返り飛行する。上記跳ね返り飛行する微粒子を、基板７とエアロゾルの衝突位置近傍に設けた吸引筒９で吸引することで、構造物形成室５内での飛散微粒子の量を抑えることができる。吸引されたエアロゾル粒子は、第一の吸引配管１２を通って第一の微粒子回収容器１０内に導入され、第一の微粒子回収容器１０内で、アルゴンガスと脆性材料微粒子とが分離される。その後、アルゴンガスは第一の真空ポンプ１１に吸引され、脆性材料微粒子は第一の微粒子回収容器１０内に蓄積される。
【００４１】
次に、本発明の実施の形態１における複合構造物の作製装置１００での圧力関係について説明する。
【００４２】
構造物形成室５内において、エアロゾルが噴射されるノズル６付近、つまり、ノズル６と基板７と吸引筒９とで構成された空間の圧力をＰ１とする。構造物形成室５と第二の吸引配管１５との接続開口部の圧力をＰ２とする。吸引筒９と第一の吸引配管１２との接続開口部の圧力をＰ３とする。Ｐ１〜Ｐ３における圧力の中ではＰ１が最も高く、エアロゾルは圧力差が生じると偏向するので、（数１）および（数２）のどちらの場合でも、吸引筒９に飛散した微粒子を導くことは可能である。
【００４３】
（数１）Ｐ１＞Ｐ２＞Ｐ３
（数２）Ｐ１＞Ｐ３≧Ｐ２
特に、ノズル６から基板７に向けて噴射されるエアロゾルにおいて、偏向性の高いエアロゾルを低減し、直進性の高いエアロゾルを増大させるには、後述するように、（数１）の方が効果的である。
【００４４】
また、ノズル６の先端と吸引筒９の開口部とで囲まれた空間領域の単位空間体積あたりの排気速度を、構造物形成室５と第二の吸引配管１５との接続開口部の空間領域における単位空間体積あたりの排気速度より大きくすることで、エアロゾルの偏向を減少させ、成膜ばらつきを低減させることが可能となる。さらには、構造物形成室５内で散逸する脆性材料微粒子の量を大幅に減少させることが可能となる。
【００４５】
上述したように、構造物形成室５内の真空度、基板７およびノズル６周辺の真空度、エアロゾル発生器３内の圧力、および供給されるキャリアガスの圧力は、形成される構造物の機械的特性や電気的特性に影響を与える大きな要因である。したがって、本発明の実施の形態１における複合構造物の作製装置１００によれば、真空度および圧力をそれぞれ制御することができるため、形成される構造物の品質の安定に大きく寄与することができる。
【実施例】
【００４６】
以下、本発明の具体例について説明する。なお、圧力の測定には、大気圧から１Ｐａ程度の低真空下で測定可能なバラトロン真空計を用いた。
【００４７】
（実施例１）
本実施例１では、実施の形態１における複合構造物の作製装置１００を用いて、（数１）の条件下で、リチウム二次電池用正極極板を作製した。
【００４８】
基板７としては、厚み１５μｍの圧延アルミニウム箔を使用し、脆性材料としては、ニッケルコバルト酸リチウムを使用した。
【００４９】
アルゴンガスボンベ１から供給されるアルゴンガスの流量を２００ｓｃｃｍ、アルゴンガスの圧力を３００ｋＰａとし、エアロゾル発生器３内の圧力が１０ｋＰａとなるように調整しながら、ノズル６から基板７に向けてエアロゾルを噴射させ、３０℃で１０秒間成膜した。
【００５０】
上記成膜時には、ノズル６の先端と吸引筒９の開口部とで囲まれた空間領域の単位空間体積あたりの排気速度が大きくなるように、第一の排気機構側の単位空間体積あたりの排気速度を、第二の排気機構側の単位空間体積あたりの排気速度よりも大きくした。具体的には、第一の調整弁３０と第二の調整弁３１により、吸引筒９の開口部断面積あたりの排気速度を、構造物形成室５と第二の吸引配管１５との接続開口部断面積あたりの排気速度の２倍以上になるように調整して成膜した。バラトロン真空計でＰ１〜Ｐ３の圧力を測定したところ、Ｐ１は１０００Ｐａ、Ｐ２は６００Ｐａ、Ｐ３は３００Ｐａであった。
【００５１】
（比較例１）
本比較例１では、実施の形態１における複合構造物の作製装置１００を用いて、（数２）の条件下で、その他の条件は実施例１と同様にして、リチウム二次電池用正極極板を作製した。
【００５２】
すなわち、本比較例１においては、実施例１とは異なり、第一の調整弁３０と第二の調整弁３１により、吸引筒９の開口部断面積あたりの排気速度を、構造物形成室５と第二の吸引配管１５との接続開口部断面積あたりの排気速度と同等以上となるように調整した。バラトロン真空計でＰ１〜Ｐ３の圧力を測定したところ、Ｐ１は１０００Ｐａ、Ｐ２は６００Ｐａ、Ｐ３は６２０Ｐａであった。
【００５３】
以下に本発明の効果を、図２および図３を参照しながら説明する。
【００５４】
図２は実施例１の結果、図３は比較例１の結果を示している。図２および図３における（ａ）は、アルミニウム箔２３上に噴射されたエアロゾルの状態を表す写真である。図２および図３における（ｂ）は、上記（ａ）のＡ−Ａ断面線におけるアルミニウム箔２３上に噴射されたエアロゾルの状態を模式的に表した図である。図２および図３における（ｃ）は、上記（ａ）のＰ点におけるＳＥＭ写真である。
【００５５】
図２および図３の（ａ）に示すように、写真中央の直径４ｍｍ程度の黒い部分が、粒子成膜部２０であり、粒子成膜部２０の周辺で白く観察される部分が粒子飛散部２１である。図２および図３の（ａ）、（ｂ）に示すように、直進性の高いエアロゾルが噴射されたことで、アルミニウム箔２３上には、ニッケルコバルト酸リチウム微粒子２２が密集した粒子成膜部２０が形成されている。また、粒子成膜部２０の周辺には、エアロゾルが偏向されたために、ニッケルコバルト酸リチウム微粒子２２が飛散して付着した粒子飛散部２１が存在している。
【００５６】
図２および図３の（ａ）、（ｂ）より、実施例１と比較例１における粒子飛散部２１は、実施例１の方が小さいことがわかる。また、図２および図３の（ｃ）より、飛散している粒子も、実施例１の方が小さく少ないことがわかる。
【００５７】
このように、圧力を（数１）の条件下とすることによって、ノズル６から噴射された偏向性の高いエアロゾルを低減し、直進性の高いエアロゾルを増大させて、基板７に噴射させることができる。
【００５８】
また、ノズル６の先端と吸引筒９の開口部とで囲まれた空間領域の単位空間体積あたりの排気速度を、構造物形成室５と第二の吸引配管１５との接続開口部における空間領域の単位空間体積あたりの排気速度より大きくすることによって、ノズル６から噴射された偏向性の高いエアロゾルを低減し、直進性の高いエアロゾルを増大させて、基板７に噴射させることができる。
【００５９】
したがって、本発明の複合構造物の作製方法によれば、成膜ばらつきを低減したバインダーフリー電極や、バインダーフリーのリチウム二次電池用電極を得ることができる。
【００６０】
また、本発明の複合構造物の作製方法は、パターニングが必要な複合構造物の作製方法、ノズルの多連化などに有効である。
【産業上の利用可能性】
【００６１】
本発明にかかる複合構造物の作製方法は、バインダーを含まずに脆性粒子−基板間、および脆性粒子−脆性粒子間を強固に接合し、成膜ばらつきを低減した複合構造物の極板の形成を可能とし、さらには原料粒子の利用効率を高めることができるため、エアロゾルデポジション法を用いた複合構造物の作製方法に有用である。また、リチウム二次電池のみならず、電気化学的メカニズムを利用するデバイス全般の作製方法として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の実施の形態１における複合構造物の作製装置を示す模式図
【図２】（ａ）実施例１における成膜状態を表す光学顕微鏡写真（ｂ）上記（ａ）のＡ−Ａ断面線における模式図（ｃ）上記（ａ）のＰ点における走査電子顕微鏡写真
【図３】（ａ）比較例１における成膜状態を表す光学顕微鏡写真（ｂ）上記（ａ）のＡ−Ａ断面線における模式図（ｃ）上記（ａ）のＰ点における走査電子顕微鏡写真
【符号の説明】
【００６３】
１    アルゴンガスボンベ
２    ガス搬送管
３    エアロゾル発生器
４    エアロゾル搬送管
５    構造物形成室
６    ノズル
７    基板
８    基板ホルダー
９    吸引筒
１０    第一の微粒子回収容器
１１    第一の真空ポンプ
１２    第一の吸引配管
１３    第二の微粒子回収容器
１４    第二の真空ポンプ
１５    第二の吸引配管
２０    粒子成膜部
２１    粒子飛散部
２２    ニッケルコバルト酸リチウム微粒子
２３    アルミニウム箔
３０    第一の調整弁
３１    第二の調整弁
１００    複合構造物の製造装置
【図１】
2008184647.tif 000003
【図２】
2008184647.tif 000004
【図３】
2008184647.tif 000005