(57)【要約】【課題】潤滑剤が外部に洩れることがなく、且つ、長期に渡って潤滑流体を流体軸受装置の内部に保持するシール構造を有している流体軸受装置を提供する。【解決手段】シャフト３の外周面３ａとカバー９の傾斜面９ａとの間で形成された第１のシール部と、カバー９の傾斜面９ｂとスリーブ５の面５ｅとの間で形成された第２のシール部と、第１の凹部３１の面３１ａと第２の凹部３２の面３２ａの間で形成された第３のシール部と、第１の凹部３１の傾斜面３１ｂと第２の凹部３２の傾斜面３２ｂとの間で形成された第４のシール部と、通気穴８の内周面８ａと第３の凹部３３の面３３ａとの間で形成された第５のシール部と、を備え、第３及び第５のシール部は、潤滑流体１１が有する濡れ性を最大限利用したものである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シャフトと、
一端側が閉塞された軸受穴を有し、前記軸受穴に隙間を介し前記シャフトを回転自在に支持するスリーブと、
前記スリーブの開口部側端面に軸方向隙間を有する第１の空間を覆うカバーと、
前記第１の空間と前記スリーブの前記閉塞側端面に形成されている第２の空間を連通させる連通路と、
前記開口部側端面における前記連通路の開口部近傍箇所から前記軸受孔の前記開口端まで毛管現象を生じる導入最小隙間部と、
前記カバーにおける前記導入最小隙間部が形成されていない箇所に形成された外気に通じる通気孔と、
少なくとも前記軸受穴内の前記隙間と、前記第１の空間と、前記第２の空間と、前記連通路と、前記導入最小隙間部とに充填された潤滑流体と、を有し、
前記通気孔が形成されている前記カバーの内側に形成された前記通気孔の内周面より大径な内周面を有する第１凹部と、
前記第１凹部に対向している前記スリーブ端面に形成された第２凹部と、
前記第２凹部の底面に形成された前記第２凹部よりも小径な第３凹部と、
を有することを特徴としている流体軸受装置。
【請求項２】
前記第１凹部を形成している内周面と前記通気孔を形成している前記内周面および、前記第２凹部を形成している内周面と前記第３凹部を形成している内周面、とが前記通気孔に向かって傾斜している面で連結されていることを特徴とする請求項１に記載の流体軸受装置。
【請求項３】
前記第３凹部を形成している内周面の内径が、前記通気孔の内周面よりも小径であることを特徴とする請求項１または、請求項２に記載の流体軸受装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに１項に記載の流体軸受装置を搭載しているスピンドルモータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ディスク、光ディスクなどの磁気記録装置を回転駆動させるスピンドルモータに使用される流体軸受装置に関するものであり、特に、流体軸受装置に注入されている潤滑流体を長期に渡り保持し且つ、外部に漏洩しないシール構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
ハードディスク装置等の磁気記録装置を構成しているスピンドルモータなどに用いられている軸受装置は、従来、用いられていた玉軸受装置に代わって、回転精度が優れ、しかも静音性にも優れている流体軸受装置が多く採用されている。
【０００３】
流体軸受装置は、回転体と固定体の微小隙間に潤滑流体を介在させ、回転体と固定体の少なくとも一方に形成された動圧発生溝により潤滑流体に圧力を生じさせ、回転体を固定体に対して非接触で回転支持している。したがって、微小隙間に介在している潤滑流体が途切れたり、渇枯したりすることで、回転体と固定体が接触、磨耗してしまう。接触、磨耗が生じることにより、振動が発生してしまい、回転精度、静音性などの特性が劣化する。そこで、微小隙間の潤滑流体が途切たり、渇枯しないために、様々な軸受設計が検討されている。
【０００４】
例えば、図７（ａ）に図示されているスピンドルモータ２００を構成している流体軸受装置２０１は、一端がスラストプレート２０５にて閉塞されたスリーブ２０３に形成されている中空穴２０３ａに微小隙間を介し、一端側にスラストフランジ２０４が形成されているシャフト２０２が挿入、配置されている。また、スリーブ２０３の開口部側には、スリーブ２０３の開口部端面と空間を形成するように凹部形状を有するカバー２０６が固定されている。また、スリーブ２０３、シャフト２０２、スラストフランジ２０４、スラストプレート２０５、カバー２０６にて形成されている隙間に、潤滑流体２０７が介在しており、一端開口型の流体軸受装置２０１を構成している。
【０００５】
このような流体軸受装置２０１の内部に介在している潤滑流体２０７を外部に漏洩しないように、スリーブ２０３とカバー２０６との間に、潤滑剤漏洩防止シール部が形成されている。図７（ｂ）は、潤滑剤漏洩防止シール部の拡大図である。図７（ｂ）に図示しているように、カバー２０６のシャフト２０２に対抗している内周面には、回転軸外方向に向かって傾斜している傾斜面２０６ａが形成されており、シャフト２０２の外周面２０２ａとの間にて、第１のテーパキャピラリーシール構造を形成して、流体軸受装置２０１から潤滑流体２０７が漏洩しない構造を有している。
【０００６】
また、カバー２０６の凹部内側面２０６ｂに軸方向で対向しているスリーブ２０３の軸受開口部側端面２０３ｂは、回転軸外方向に向かって傾斜しており、凹部内側面２０６ｂとスリーブ２０３の軸受開口部側端面２０３ｂとの間で、第２のテーパキャピラリーシール構造を形成して、流体軸受装置２０１から潤滑流体２０７が漏洩しない構造を有している。
【０００７】
更に、スリーブ２０３の軸受開口部側端面２０３ｂには、なだらかな傾斜面２０３ｃを有する溝部２０３ｄが形成されており、且つ、カバー２０６には、流体軸受装置内部の圧力を一定にするために通気孔２０６ｃが形成されており、潤滑流体２０７の空気と接している液面２０７ａが、第２のテーパキャピラリーシール部を超えても潤滑流体２０７を外部に漏洩させないために、カバー２０６の凹部内側面２０６ｂとなだらかな傾斜面２０３ｃとの間で、第３のテーパキャピラリーシール構造を形成している。
【０００８】
このように、３つのテーパキャピラリーシール部を軸受開口部に設けることで、流体軸受装置の内部に潤滑剤を保持している。
【特許文献１】米国特許第７０５６０２６号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、前記従来の構成では、カバー２０６とスリーブ２０３とで空間を形成している面は、軸受部に供給する潤滑流体保持しており、コンタミなどが滞留しないことが必須である。また、潤滑流体２０７を保持するために、上述した３つのテーパキャピラリーシール部が形成されている。
【００１０】
テーパキャピラリーシール部は、潤滑流体の界面が大気と接しているので、潤滑流体を外部に漏洩させないために、撥油効果のある膜を形成することが効果的であり、多くの軸受にて採用されている。しかし、膜が剥離するなどしてコンタミが潤滑流体へ混入する可能性がある。従って、カバー２０６とスリーブ２０３とで空間を形成している面には、撥油効果のある膜を形成することができない。
【００１１】
また、スリーブ２０３の軸受開口部側端面２０３ｂおよび、２０３ｃがなだらかな傾斜面に形成されているために、潤滑剤２０７が回転軸方向に垂直な外方向に傾斜面を這い出し易くなっている。この状態で回転軸方向に垂直な外方向に外的な振動、衝撃が加わると、潤滑流体２０７の空気と接している界面２０７ａが、急激に回転軸方向に垂直な外方向へと移動することとなり、傾斜面２０３ｃの面上を潤滑流体２０７が這い出してしまい、溝部２０３ｄに潤滑流体２０７が溜まり、カバー２０６に形成されている通気孔２０６ｃから潤滑流体２０７が漏洩するという課題を有していた。
【００１２】
本発明は、前記従来の課題を解決するもので、流体軸受装置に外部から急激な衝撃、振動が加えられた場合でも、潤滑剤が外部に洩れることがなく、且つ、長期に渡って潤滑流体を流体軸受装置の内部に保持するシール構造を有している流体軸受装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
前記従来の課題を解決するために、本発明の流体軸受装置は、シャフトと、一端側が閉塞された軸受穴を有し、軸受穴に微小隙間を介しシャフトを回転自在に支持するスリーブと、スリーブの開口部側端面に軸方向隙間を有する第１の空間を覆うカバーと、第１の空間とスリーブの閉塞側端面に形成されている第２の空間を連通させる連通路と、開口部側端面における連通路の開口部近傍箇所から軸受孔の開口端まで毛管現象を生じる導入最小隙間部と、カバーにおける導入最小隙間部が形成されていない箇所に形成された外気に通じる通気孔と、少なくとも軸受穴内の隙間と、第１の空間と、第２の空間と、連通路と、導入最小隙間部とに充填された潤滑流体とを有し、通気孔が形成されているカバーの内側に形成された通気孔の内周面より大径な内周面を有する第１凹部と、第１凹部に対向しているスリーブ端面に形成された第２凹部と、第２凹部の底面に形成された前記第２凹部よりも小径な第３凹部とを有することを特徴としたものである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の流体軸受装置によれば、急激な外的な衝撃、振動が流体軸受装置に加わったとしても、スリーブの軸受開口部側端面がなだらかな傾斜面ではなく、凹部が形成されているので、界面の両端部が直ぐに軸受開口部側端面を伝わりにくい形状となっているので、界面の保持力が向上し、潤滑流体の漏洩防止が可能となる。また、凹部が複数個形成されているために、半径方向外側に向かって界面が緩やかに移動することとなり、通気孔に界面が急激に移動することが生じにくいので、長期に渡って潤滑流体を軸受内部に保持することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の流体軸受装置の実施の形態を図面とともに詳細に説明する。
【００１６】
（実施の形態１）
図１は本発明の実施の形態１に係る流体軸受装置２を備えたスピンドルモータ１の断面図である。以下の説明は、理解し易いように、図１に示すように、スリーブ５の軸受孔５ｃにおける開口端５ａを上方、閉塞端５ｂを下方として説明するが、実際に使用する場合はこの配置に限るものではないことは当然である。
【００１７】
図１に示すように、スピンドルモータ１の流体軸受装置２は、シャフト３と、スピンドルモータ１のベース４に固定され、開口する上側の開口端５ａと閉塞された下側の閉塞端５ｂとを有する軸受孔５ｃを有し、シャフト３に対して間隙（空間）を介して回転自在な姿勢で挿入させたスリーブ５と、シャフト３の下端部に外嵌結合やねじにより固定されているとともに、軸受孔５ｃにおける閉塞端側である太径孔部５ｄに、この太径孔部５ｄの上面に対して間隙を有する姿勢で配置された太径のスラストフランジ６と、スラストフランジ６の下面と間隙を有する姿勢で対向するようにスリーブ５の底部に固定されたスラストプレート７と、を備え、さらにこれらの構成に加えて、スリーブ５の上端面（開口端側端面）に空間を有した姿勢で覆うとともに、外気に通じる１つの通気孔８を有したカバー９を設けている。
【００１８】
また、シャフト３におけるスリーブ５の軸受孔５ｃから突出している突出軸部３ａには、その外周に例えば磁気記録ディスクが固定される回転部材としてのハブ１７が圧入状態で外嵌されている。この実施の形態では、ハブ１７のベース寄り部分内周にロータマグネット１８が取り付けられている。また、ベース４には、ロータマグネット１８に対向するように、ステータコイル１９が巻かれたステータコア２０が取り付けられている。そして、このロータマグネット１８とステータコア２０とにより、シャフト３とスリーブ５との間に回転駆動力を与えるスピンドルモータの回転駆動部が構成されている。
【００１９】
本発明の実施の形態１に係る流体軸受装置２の断面図である図２（ａ）を用いて、流体軸受装置２について説明する。流体軸受装置２において、スリーブ５における外周面寄りの箇所に、回転軸と平行に延びる１つの連通路１０が穿孔されており、この連通路１０により、軸受孔５ｃの閉塞端５ｂ側に設けられた太径孔部５ｄ（閉塞端面側空間領域と称す）と、カバー９とスリーブ５の開口端（５ａ）側端面である上端面との間の空間領域（開口端側空間領域と称す）とが連通されている。
【００２０】
また、カバー９とスリーブ５との間を含むスリーブ５の内部の空間（すなわち、シャフト３の外周面とスリーブ５の内周面との間の空間、軸受孔５ｃの太径孔部５ｄ内の空間、軸受孔５ｃの太径孔部５ｄと連通路１０との間の連通箇所の空間、連通路１０内の空間、スリーブ５の上端面とカバー９との間の開口端側空間領域（ただし、通気孔８の箇所は除く））に潤滑油などの潤滑流体１１が充填されている。
【００２１】
また、スリーブ５の内周面（またはシャフト３の外周面、若しくは、スリーブ５の内周面とシャフト３の外周面との両方に設けてもよい）には上下に魚骨状パターンなどの２つのラジアル動圧溝（図示しない）が形成され、回転駆動力によりシャフト３とスリーブ５とが相対的に回転された際に、このラジアル動圧溝により掻き出される潤滑流体１１の力により、シャフト３とスリーブ５とがラジアル方向（半径方向）に所定間隙を介して回転自在に支持されるラジアル軸受部が構成されている。
【００２２】
また、スラストフランジ６の上面と下面（または、これに対向するスリーブ５の下面やスラストプレート７の上面、またはスラストフランジ６の上下面とスリーブ５の下面やスラストプレート７の上面との全てに設けてもよい）とには、螺旋状パターンなどのスラスト動圧溝（図示しない）が形成され、回転駆動力などによりシャフト３に取り付けられたスラストフランジ６とスリーブ５とが相対的に回転された際に、このスラスト動圧溝により掻き出される潤滑流体１１の力により、シャフト３とスリーブ５とがスラスト方向（軸心方向）に所定間隙を介して回転自在に支持されるスラスト軸受部が構成されている。
【００２３】
ここで、ラジアル流体軸受を構成するラジアル動圧溝は、周知のヘリングボーン形状とされ、シャフト３の外周面における上側と下側の２箇所に形成されているが、下側のラジアル動圧溝は、その頂部から斜めに上がる溝と斜めに下がる溝とが同じ長さとされている一方、上側のラジアル動圧溝は、その頂部から斜めに上がる溝が、頂部から斜めに下がる溝よりも長めに形成され、回転駆動時にはこの上側のラジアル動圧溝によって、この隙間の潤滑流体１１が積極的に下方に送り出されるように構成されている。
【００２４】
更に、図３および、図４を用いて、開口端側空間領域について説明する。
【００２５】
図３（ａ）は、図２（ａ）における開口端空間領域を開口端５ａ側から見た上視図である。また、図３（ｂ）は、図２（ａ）における連通路１０を中心に開口端空間領域について図示した周方向断面図である。
【００２６】
図４（ａ）は、図３（ａ）における線分１−４の断面図を図示しており、図４（ｂ）は
、図３（ａ）における線分２−３の断面図を図示している。
【００２７】
図３（ｂ）に示すように、スリーブ５におけるカバー９に対向する対向する上端面（５ａ）は、ほぼ平面形状とされている。これに対して、カバー９は、その裏面部が、スリーブ５の上端面に開口する連通路１０の開口部近傍領域９９と、図３（ａ）および、図４（ａ）に示すように、スリーブ５の軸受孔５ｃの開口端の近傍外周部８８とは、これに対応するカバー９の裏面部分とこれに対向するスリーブ５の上端面との離間距離が毛管現象を生じる寸法であり、スリーブ５の内周面の軸受孔５ｃに毛管現象により潤滑流体１１が流入する隙間（導入最小隙間部９８）を形成するように配置されている。また、図３（ａ）および、図４（ａ）に図示されているように、導入最小隙間部９８は、連通路１０の軸受開口部近傍箇所９９から軸受孔５ｃの開口部近傍領域８８を介してスリーブ５の軸受孔５ｃの開口端５ａに続くように形成されている。
【００２８】
また、図３（ｂ）および、図４（ｂ）に図示しているように、カバー５の裏面部における前記導入最小隙間部９８以外の箇所は、導入最小隙間部９８の隙間よりも大きな空間となるように窪ませて潤滑流体１１を貯留可能な流体溜まり空間部９７を、導入最小隙間部９８と通気孔８とを周方向に連通させるように形成している。なお、この流体溜まり空間部９７は、更に、空間部９７は、図３（ｂ）に図示されているように、通気孔８から連通路１０に向かって周方向に傾斜している。
【００２９】
以上の構成である流体軸受装置２の潤滑流体１１の漏洩防止のためのシール構造について図２および、図５を用いて説明する。
【００３０】
図５は、図２における通気孔８近傍の拡大図であり、本発明の実施の形態１における流体軸受装置２に充填されている潤滑流体１１を外部に漏洩させないためのシール構造部を図示している。
【００３１】
まず、図２を用いて第１のシール部について説明する。カバー９のシャフト３に臨む内周面には開口側ほど広がるように傾斜面９ａ形成されており、シャフト３の外周面３ａと傾斜面９ａとの間に潤滑流体１１の界面１１ａが位置し、キャピラリー効果により軸受内部から外部に潤滑流体１１が漏洩しない構成となっている。
【００３２】
次に、第２のシール部について説明する。図２において、スリーブ５の開口端５ａ側の面５ｅに対向しているカバー９の面は、通気孔８側から連通孔１０に向かって傾斜している傾斜面９ｂが形成されており、面５ｅと傾斜面９ｂとの間に潤滑流体１１の界面１１ｂが位置し、キャピラリー効果により軸受内部から外部に潤滑流体１１が漏洩しない構成となっている。
【００３３】
更に、本発明の流体軸受装置２には、第３のシール部、第４のシール部および、第５のシール部が形成されている。第３〜第５のシール部について図５を用いて説明する。
【００３４】
図５（ａ）は、潤滑流体１１が外部に漏洩しないように第３のシール部により潤滑流体１１の界面１１ｃが保持されている状態を図示した断面図である。図５（ｂ）は、潤滑流体１１が外部に漏洩しないように第４のシール部により潤滑流体１１の界面１１ｄが保持されている状態を図示した断面図である。図５（ｃ）は、潤滑流体１１が外部に漏洩しないように第５のシール部により潤滑流体１１の界面１１ｅが保持されている状態を図示した断面図である。
【００３５】
図５（ａ）において、通気孔８が形成されているカバー９のスリーブ５の開口端５ａ側の面５ｅに対向している内側面には、第１の凹部３１が形成されている。また、第１の凹部３１に対向している面５ｅには、第２の凹部３２が形成されている。
【００３６】
図２に図示されているように、潤滑流体１１の界面１１ｂは、キャピラリー効果により、傾斜面９ｂと面５ｅの間に位置している。しかし、潤滑流体１１は、高温状態、低気圧状態などにより、膨張する。また、その潤滑流体１１が膨張した状態で、外部からの衝撃・振動などが加わることで、界面１１ｂが、図５（ａ）に図示している界面１１ｃのような状態となる。図５（ａ）に図示している状態では、キャピラリー効果により界面１１ｃを保持することができない。
【００３７】
しかしながら、本発明の流体軸受装置２においては、第３のシール部により、界面１１ｃを保持することができる。
【００３８】
従来のキャピラリーシール部に界面が形成されていた場合では、キャピラリーシールを形成している傾斜面の傾斜面角度が１０〜３０°程度のために、潤滑流体１１が有している接触角θに達する前に、傾斜面に潤滑剤が接してしまい、潤滑流体１１の界面が傾斜面を這い上がっていき、潤滑流体１１の外部への漏洩に至っていたが、本実施例では、図５（ａ）に図示しているように、第１の凹部３１の面３１ａと第２の凹部３２の面３２ａが、シャフト３と平行な面で形成されているために、接触角θが、９０°になるまで潤滑流体１１の界面１１ｃを保持することとなり、潤滑流体１１が有する濡れ性を最大限利用したものであり、長く界面を保持することができる。
【００３９】
次に、第４のシール部について説明する。図５（ｂ）において、第２の凹部３２の底面には、第３の凹部３３が形成されている。第３のシール部にて潤滑流体１１の界面１１ｃが保持できなくなり、外部に向かって界面１１ｃが移動するが、図５（ｂ）に図示しているように、カバー９に形成されている第１の凹部３１を形成している傾斜面３１ｂおよび、スリーブ５に形成されている第２の凹部３２を形成している傾斜面３２ｂの間に界面１１ｄが位置することとなり、キャピラリー効果で潤滑流体１１の外部への漏洩を防止することが可能となる。
【００４０】
また、図５（ｃ）に図示しているように、第５のシール部は、第３のシール部と同様に通気孔８の内周面８ａと第３の凹部３３を形成している面３３ａが、シャフト３と平行な面で形成されているために、潤滑流体１１の接触角θが９０°になるまで潤滑流体１１の界面１１ｃを保持することとなり、潤滑流体１１が有する濡れ性を最大限利用したものであり、長く界面を保持することができる。
【００４１】
従って、３つのシール部に加えて、２つの接触角シール部により従来の潤滑流体保持力より高い保持力を有することとなり、軸受の寿命を向上させることが可能となる。また、衝撃・振動などにより潤滑流体の界面が移動した場合でも、潤滑流体の界面は、滑らか且つ、一気に外部へ漏れることが生じなくなるので、潤滑流体を長期にわたって軸受内部に保持することが可能となるので、信頼性が向上する。
【００４２】
また、本発明の流体軸受装置２を構成しているスリーブ５にカバー９を取り付ける際に、連通路１０が形成されている位置に対して通気孔８を１８０°対抗した部分に形成させている。（図３（ａ）を参照のこと）
これは、図２および、図３（ｂ）に図示している潤滑流体１１が蒸発することで、通気孔８近傍の潤滑流体１１の界面１１ｂが、連通路１０に向かって均一に周方向へと移動させるためである。つまり、連通路１０に対して、通気孔８を１８０°対角部分に配置することが、潤滑流体１１を効率的且つ、長期にわたり保持することができる。
【００４３】
図６は、スリーブ５にカバー９を取り付ける状態を図示したものである。図５に図示されているように、冶具５０をシャフト３の外周面３ａを基準として取り付ける。次に、スリーブ３の面５ｅに形成されている第３の凹部３３に、ピン５１挿入して位置決めする。
【００４４】
次に、冶具５０の外周面にカバー９の内周面を沿わせると同時に、カバー９の通気孔８をピン５１に挿入する。このように２箇所を固定することで、容易に連通路１０に対して通気孔８を１８０°対抗した部分に位置決めすることができる。したがって、連通路１０に対して通気孔８の位置を微調整したり、相対位置の検査などを行う必要がなく、短い時間で、正確にスリーブ５にカバー９を取り付けることができる。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
本発明の流体軸受装置は、ディスク駆動装置、リール駆動装置、キャプスタン駆動装置、ドラム駆動装置などのスピンドルモータとして特に好適であるが、これに限るものではない。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の実施の形態１におけるスピンドルモータの断面図
【図２】本発明の実施の形態１における流体軸受装置の断面図
【図３】（ａ）は本発明の実施の形態１における流体軸受装置の開口部側からみた上視図、（ｂ）は図２（ａ）における連通路を中心に開口端空間領域について図示した周方向断面図
【図４】（ａ）は図３（ａ）における線分１−４の断面図、（ｂ）は図３（ａ）における線分２−３の断面図
【図５】図２における要部拡大断面図
【図６】スリーブにカバーを取り付ける状態図
【図７】（ａ）は、従来の流体軸受装置の断面図、（ｂ）は同従来の流体軸受装置のカバー部断面図
【符号の説明】
【００４７】
１  スピンドルモータ
２  流体軸受装置
３  シャフト
３ａ  外周面
４  ベース
５  スリーブ
５ａ  開口端
５ｂ  閉塞端
５ｃ  軸受孔
５ｄ  太径孔部
６  スラストフランジ
７  スラストプレート
８  通気孔
８ａ  内周面
９  カバー
９ａ  傾斜面
１０  連通路
１１  潤滑流体
１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ、１１ｅ  界面
１７  ハブ
１８  ロータマグネット
１９  ステータコイル
２０  ステータコア
３１  第１の凹部
３１ａ、３２ａ、３３ａ  面
３１ｂ、３２ｂ  傾斜面
３２  第２の凹部
３３  第３の凹部
５０  冶具
５１  ピン
８８、９９  開口部近傍領域
９７  空間部
９８  導入最小隙間部
【図１】
2008309207.tif 000003
【図２】
2008309207.tif 000004
【図３】
2008309207.tif 000005
【図４】
2008309207.tif 000006
【図５】
2008309207.tif 000007
【図６】
2008309207.tif 000008
【図７】
2008309207.tif 000009