(57)【要約】【課題】簡易的な構成で加湿性能を損なうことなく装置の小型化が図れる加湿器を提供する。【解決手段】ガス流路１２を介して供給される乾燥ガスの流量を制御するガス流量制御手段２と、乾燥ガスを部分的に加湿して部分加湿ガスにする第１加湿手段３と、第１加湿手段３からで生成された部分加湿ガスを加湿して加湿ガスを生成する第２加湿手段４と、循環水流路１１内を循環する循環水を用いて加湿ガスを目的の露点温度に温度調節するとともに、熱交換により加湿ガス中に含まれる過剰な水分を除去する機能を有する熱交換水分除去手段７とを備え、第１加湿手段３は、ガス流量制御手段２と前記第２加湿手段４との間に配設されるガス−循環水流路１３内に設けられ、乾燥ガスを第１加湿手段３、第２加湿手段４の順に段階的に加湿する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガスを送出入するためのガス流路と、温度制御された循環水を循環するための循環水流路との２系統を有し、前記循環水を用いて前記ガスを所望の露点温度に加湿して加湿ガスを得る加湿器であって、
前記ガス流路を介して供給される乾燥ガスの流量を制御するガス流量制御手段と、
前記循環水流路から前記循環水を散水するための散水ノズルを備え、前記散水ノズルから前記循環水を散水して前記ガス流量制御手段から供給された乾燥ガスを部分的に加湿して部分加湿ガスにして送出する第１加湿手段と、
前記循環水を貯水するための貯水タンクを備え、前記第１加湿手段から送出された部分加湿ガスを前記貯水タンク内でバブリングして加湿ガスを生成した後、前記ガス流路を介して前記加湿ガスを送出する第２加湿手段と、
前記循環水流路内を循環する循環水を用いて前記加湿ガスを目的の露点温度に温度調節するとともに、熱交換により前記加湿ガス中に含まれる過剰な水分を除去する機能を有する熱交換水分除去手段とを備え、
前記第１加湿手段は、前記ガス流量制御手段と前記第２加湿手段との間に配設されて前記ガス流路と前記循環水流路とが合流するガス−循環水流路内に設けられ、前記乾燥ガスを前記第１加湿手段、前記第２加湿手段の順に送出して段階的に加湿することを特徴とする加湿器。
【請求項２】
前記循環水流路内を循環する循環水を所定温度まで加熱する加熱手段を、前記熱交換水分除去手段の下流側に配設し、前記加熱手段は、前記熱交換水分除去手段を通過する際に測定された前記循環水の温度データに基づき前記循環水を前記温度データよりも高い温度になるように加熱することを特徴とする請求項１記載の加湿手段。
【請求項３】
前記第２加湿手段は、前記第１加湿手段から送出された部分加湿ガスを加湿する際に補助的に加湿するための補助加湿手段を備えたことを特徴とする請求項１記載の加湿器。
【請求項４】
ガスを送出入するためのガス流路と、温度制御された循環水を循環するための循環水流路との２系統を有し、前記循環水を用いて前記ガスを所望の露点温度に加湿して加湿ガスを得る加湿器であって、
前記ガス流路を介して供給される乾燥ガスの流量を制御するガス流量制御手段と、
前記循環水流路から前記循環水を散水するための散水ノズルを備え、前記散水ノズルから前記循環水を散水して前記ガス流量制御手段から供給された乾燥ガスを部分的に加湿して部分加湿ガスにして送出する第１加湿手段と、
前記循環水を貯水するための貯水タンクを備え、前記第１加湿手段から送出された部分加湿ガスを前記貯水タンク内でバブリングして加湿ガスを生成した後、前記ガス流路を介して前記加湿ガスを送出する第２加湿手段とを備え、
前記第１加湿手段は、前記ガス流量制御手段と前記第２加湿手段との間に配設されて前記ガス流路と前記循環水流路とが合流するガス−循環水流路内に設けられ、前記乾燥ガスを前記第１加湿手段、前記第２加湿手段の順に送出して段階的に加湿することを特徴とする加湿器。
【請求項５】
前記循環水流路内を循環する循環水を所定温度まで加熱する加熱手段を、前記第１加湿手段の上流側に配設することを特徴とする請求項４記載の加湿器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、所望の露点温度に加湿した加湿ガスを生成する加湿器に係り、特に加湿性能を維持しつつ装置本体の小型化が図れる高性能の加湿器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、用途に応じた様々な乾燥ガスを加湿して所望の露点温度に制御した加湿ガスを生成する加湿器として、バブラー方式の加湿器が知られている。このバブラー方式の加湿器は、タンク内に所望の温度に制御された水が貯水され、その水中に加湿したいガスを吹き込んで飽和水蒸気分の水分をガスに随伴させ、所望の露点温度に制御した加湿ガスを得ている。このバブラー方式の加湿器は、ガスの加湿量の制御が容易であるため、近年では固体高分子型燃料電池（ＰＥＦＣ）などの燃料電池に供給するガスの加湿器として一般的に用いられており、例えば特許文献１に開示されたものが公知である。
【０００３】
特許文献１に開示された加湿器は、固体高分子型燃料電池に供給するガスを加湿するものであり、図３に示すように鉛直方向下方に開口部を備えた容器５１、この開口部にシール５３を介してフランジ結合された密閉板５２、内部に貯留された水、開口端を容器内部の鉛直方向下方の水中に配して組み込まれたガス導入管５４、開口端を容器内部の鉛直方向上方の気中に配して組み込まれた加湿ガス取出し管５５、容器の外周に配されたヒーター５６，ならび容器１の上面の上部に配された保温材５７から構成されている。
【０００４】
また、上述した加湿器の他の方式として、タンク上部に複数設けられた散水ノズルから所望の露点温度の水を散水した状態で乾燥ガスを加湿するシャワー方式がある。このシャワー方式の加湿器を用いた燃料電池としては、例えば特許文献２に開示されたものが公知である。
【０００５】
特許文献２に開示された燃料電池発電システムでは、図４に示すように燃料電池に導入する酸化剤ガスａ１をシャワー方式の加湿器である気液接触塔６１にて加湿している。この気液接触塔６１は、その内部に、上部から、加湿用水ｋを散布し流下させる水分散器６２と、散布した加湿用水ｋと酸化剤ガスａ１との接触を促進させる充填部６３と、充填部６３を下から支持する充填物支持板６４とを有している。充填部６３には多孔質材料が充填され、水分散器６２から散布された加湿用水ｋを拡散して酸化剤ガスａ１との接触面積を増大し、酸化剤ガスａ１の加湿を促進させるように構成されている。
【特許文献１】特開２０００−６７８９３号公報
【特許文献２】特開２００６−４９０４０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、バブラー方式の加湿器では、タンク容量が大きく、それに伴い装置自体が大型となってしまうため、設置スペースが確保できる大規模な工場やプラントなどに特定されてしまうとともに、装置自体が大型のため運用コストが嵩んでしまうという問題もあった。
【０００７】
また、特許文献２に開示されるようなシャワー方式の加湿器では、バブラー方式の加湿器に比べてタンク容量が多少小さくなっているものの、やはり装置自体が大掛かりなものであるため、バブラー方式の加湿器と同様に設置場所や運用コスト面における問題があった。
【０００８】
そこで、本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、簡易的な構成で加湿性能を損なうことなく装置の小型化が図れる加湿器を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記した目的を達成するために、請求項１記載の加湿器は、ガスを送出入するためのガス流路と、温度制御された循環水を循環するための循環水流路との２系統を有し、前記循環水を用いて前記ガスを所望の露点温度に加湿して加湿ガスを得る加湿器であって、
前記ガス流路を介して供給される乾燥ガスの流量を制御するガス流量制御手段と、
前記循環水流路から前記循環水を散水するための散水ノズルを備え、前記散水ノズルから前記循環水を散水して前記ガス流量制御手段から供給された乾燥ガスを部分的に加湿して部分加湿ガスにして送出する第１加湿手段と、
前記循環水を貯水するための貯水タンクを備え、前記第１加湿手段から送出された部分加湿ガスを前記貯水タンク内でバブリングして加湿ガスを生成した後、前記ガス流路を介して前記加湿ガスを送出する第２加湿手段と、
前記循環水流路内を循環する循環水を用いて前記加湿ガスを目的の露点温度に温度調節するとともに、熱交換により前記加湿ガス中に含まれる過剰な水分を除去する機能を有する熱交換水分除去手段とを備え、
前記第１加湿手段は、前記ガス流量制御手段と前記第２加湿手段との間に配設されて前記ガス流路と前記循環水流路とが合流するガス−循環水流路内に設けられ、前記乾燥ガスを前記第１加湿手段、前記第２加湿手段の順に送出して段階的に加湿することを特徴とする。
【００１０】
請求項２記載の加湿器は、請求項１記載の加湿手段において、前記循環水流路内を循環する循環水を所定温度まで加熱する加熱手段を、前記熱交換水分除去手段の下流側に配設し、前記加熱手段は、前記熱交換水分除去手段を通過する際に測定された前記循環水の温度データに基づき前記循環水を前記温度データよりも高い温度になるように加熱することを特徴とする。
【００１１】
請求項３記載の加湿器は、請求項１記載の加湿器において、前記第２加湿手段は、前記第１加湿手段から送出された部分加湿ガスを加湿する際に補助的に加湿するための補助加湿手段を備えたことを特徴とする。
【００１２】
請求項４記載の加湿器は、ガスを送出入するためのガス流路と、温度制御された循環水を循環するための循環水流路との２系統を有し、前記循環水を用いて前記ガスを所望の露点温度に加湿して加湿ガスを得る加湿器であって、
前記ガス流路を介して供給される乾燥ガスの流量を制御するガス流量制御手段と、
前記循環水流路から前記循環水を散水するための散水ノズルを備え、前記散水ノズルから前記循環水を散水して前記ガス流量制御手段から供給された乾燥ガスを部分的に加湿して部分加湿ガスにして送出する第１加湿手段と、
前記循環水を貯水するための貯水タンクを備え、前記第１加湿手段から送出された部分加湿ガスを前記貯水タンク内でバブリングして加湿ガスを生成した後、前記ガス流路を介して前記加湿ガスを送出する第２加湿手段とを備え、
前記第１加湿手段は、前記ガス流量制御手段と前記第２加湿手段との間に配設されて前記ガス流路と前記循環水流路とが合流するガス−循環水流路内に設けられ、前記乾燥ガスを前記第１加湿手段、前記第２加湿手段の順に送出して段階的に加湿することを特徴とする。
【００１３】
請求項５記載の加湿器は、請求項４記載の加湿器において、前記循環水流路内を循環する循環水を所定温度まで加熱する加熱手段を、前記第１加湿手段の上流側に配設することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の加湿器によれば、乾燥ガスの加湿を第１加湿手段と第２加湿手段と２つに分けて段階的に行うことによって、従来のバブラー方式やシャワー方式の加湿器と比べて貯水タンクの容量を小さくすることができるため、装置の省スペース化が図れるとともに、運用コストを安価にすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明を実施するための最良の形態について、添付した図面を参照しながら詳細に説明する。図１は本発明に係る加湿器の第１形態を説明するための概略構成図であり、図２は本発明に係る加湿器の第２形態を説明するための概略構成図である。
なお、以下の説明では、各形態における加湿器を、供試体である燃料電池に供給するガスを加湿するための加湿器として使用した場合を例にとって説明する。
【００１６】
まず、図１を参照しながら、本例の第１形態における加湿器の構成について詳細に説明する。第１形態の加湿器１は、ガス流量制御手段２と、第１加湿手段３と、第２加湿手段４と、水供給手段５と、循環水循環手段６と、熱変換水分除去手段７と、加熱手段８と、冷却手段９と、制御手段１０とを備えて概略構成される。
【００１７】
ここで、本例の第１形態における加湿器１の流路系統について説明する。第１形態の加湿器１は、乾燥ガスを加湿するための循環水（例えば水、温水など）が流れる循環水流路１１と、乾燥ガスや加湿ガスが流れるガス流路１２との２系統を有している。
【００１８】
循環水流路１１は、図示の通り、循環水循環手段６の駆動により熱交換水分除去手段７→加熱手段８→冷却手段９→第１加湿手段３→第２加湿手段４→熱交換水分除去手段７→…の順に循環水（常温＋１０℃〜８５℃前後に温度制御された純水）が循環するように配管接続されている。循環水流路１１内を循環する循環水は、熱交換水分除去手段７から流出された循環水が再度循環してくる際の水温が露点温度となるように加熱手段８や冷却手段９を駆動制御することで温度調節されている。
ガス流路１２は、図示の通り、ガス流量制御手段２→第１加湿手段３→第２加湿手段４→熱交換水分除去手段７→供試体（本例では燃料電池）の順にガスを送出するように配管接続されている。さらに、ガス流路１２は、ガス流量制御手段２から一旦第１加湿手段３の配設箇所にて循環水流路１１と合流してガス−循環水流路１３となり、第２加湿手段４の下流側から再びガス流路１２のみの系統となる。
【００１９】
ガス流量制御手段２は、乾燥ガスの流量制御を行うマスフローコントローラ２ａやガス流路１２内におけるガスの逆流や後述する第１加湿手段３から散水された循環水の浸入を防止する逆止弁２ｂを備えて構成され、制御手段１０の制御により燃料電池に供給するための加湿ガスの元となる乾燥ガスの流量を制御し、第１加湿手段３へ送出している。
【００２０】
第１加湿手段３は、ガス流量制御手段２から送出された乾燥ガスの部分加湿用に使用されるため、後述する第２加湿手段４の上流側、すなわちガス流量制御手段２と第２加湿手段４との間にあるガス−循環水流路１３内に配設され、循環水流路１１から供給された循環水を噴出するための散水ノズル３ａを複数個（図中では２つ）備えている。第１加湿手段３は、制御手段１０の制御により散水ノズル３ａから所定量の循環水をガス−循環水流路１３内に散水してガス流量制御手段２から送出された乾燥ガスを部分的に加湿して部分加湿ガスを生成し、この生成した部分加湿ガスを加湿に使用した循環水とともに第２加湿手段４へ送出している。
【００２１】
第２加湿手段４は、貯水タンク４ａと、補助加湿手段４ｂと、水位計４ｃとを備えて構成され、第１加湿手段３で部分的に加湿された部分加湿ガスを所望の露点温度に加湿した加湿ガスにしている。第２加湿手段４は、予め貯水タンク４ａ内に所定量の循環水を貯水しておき、第１加湿手段３から送出された部分加湿ガスと循環水とを貯水タンク４ａの下方側から送出してバブラー方式（バブリング）で部分加湿ガスを加湿し、さらにタンク内上部に設けられた補助加湿手段４ｂから循環水を散水して完全に加湿されていない部分加湿ガスを完全な加湿ガスにした後、タンク上流側からガス流路１２を介して熱交換水分除去手段７へ加湿ガスを送出している。また、第２加湿手段４は、水位計４ｃによって検出された貯水タンク４ａ内の水位レベル信号を制御手段１０に出力している。
【００２２】
水供給手段５は、水供給槽５ａとソレノイドバルブ５ｂを備えており、制御手段１０の制御によりソレノイドバルブ５ｂを開放して水供給槽５ａに貯水された純水を必要量だけ循環水流路１１に供給している。なお、純水の供給方法としては、例えば純水を精製する純水精製装置などとソレノイドバルブ５ｂとを配管を通じて接続し、そこから直接純水を供給することもできる。
【００２３】
循環水循環手段６は、例えば循環ポンプなどで構成され、制御手段１０の制御により水供給手段５から供給された純水が循環水流路１１内を所定流量で循環するように駆動制御される。
【００２４】
熱変換水分除去手段７は、例えば熱交換器や遠心分離機などで構成され、加湿ガスを目的の露点温度に温度調節するとともに、熱交換により加湿ガス中に含まれる過剰な水分を除去している。熱交換水分除去手段７は、第２加湿手段４から導出されたガス流路１２と循環水流路１１とが交差する流路上に配置され、第２加湿手段４から送出された加湿ガスを、この加湿ガスよりも温度の低い循環水と熱交換することで加湿ガスを冷却し、そこに含まれる水分を凝縮させて過剰な水分を除去するように構成されている。また、熱交換水分除去手段７の循環水流路１１の下流側には例えば熱電対などで構成された温度計１４が配設され、この温度計１４により測定した循環水の温度データを制御手段１０に出力している。さらに、熱交換水分除去手段７近傍には、ドレインポッドなどで構成された水回収手段１５が設けられており、熱交換水分除去手段７の熱交換処理によって凝縮した水分を回収している。
【００２５】
なお、熱変換水分除去手段７は、加湿ガスを目的の露点温度に温度調節するとともに、熱交換作用により加湿ガス中に含まれる過剰な水分を除去する機能を有する機器であれば特に限定はされない。
【００２６】
加熱手段８は、例えばヒータなどで構成され、制御手段１０の制御により熱交換水分除去手段６近傍の温度計１４からの温度データに基づいて、熱交換水分除去手段７から流出する循環水の温度、すなわち熱交換水分除去手段７から流出された循環水が再度循環してくる際の水温が露点温度となるように露点温度よりも若干高い温度（露点温度＋２〜５℃程度）になるよう温度調節している。なお、加熱手段８の温度調節の仕方としては、温度計１４で検知した温度データと循環水流路１１の長さや加湿器１の部品構成に応じて最適な温度に調節される。
【００２７】
冷却手段９は、循環水を冷却目的のために低温水を循環させるチラーなどの水循環冷却装置で構成され、制御手段１０の制御により必要に応じて循環水流路１１内を流れる循環水を冷却して温度制御するべく駆動している。
【００２８】
制御手段１０は、例えばＣＰＵやＲＯＭ、ＲＡＭなどのマイクロコンピュータを備えて構成される。制御手段１０は、ガス流量制御手段２から送出する乾燥ガスのガス流量調整に関する制御（Ａ）、第１加湿手段３や第２加湿手段４における補助加湿手段４ｂからの散水ノズルから散水する循環水の水量制御（Ｂ、Ｃ）、第２加湿手段４の水位計４ｃから出力される水位レベル信号の入力（Ｃ）、水位計４ｃからの水位レベル信号に応じて水供給手段５から供給される純水の供給量制御（Ｄ）、熱交換水分除去手段７の循環水流路１０の下流側に配設された温度計１４からの温度データ入力、循環水循環手段６の駆動制御（Ｅ）、熱交換水分除去手段７近傍の温度計１４からの温度データに基づく加熱手段８や冷却手段９の駆動制御など、加湿器１を構成する各部の駆動を制御している。
【００２９】
次に、上述した第１形態の加湿器１の動作について説明する。ここでは、生成する加湿ガスの露点温度を８０℃に設定し、加熱手段８で循環水を８２℃に加熱して循環水流路１１を循環させながら、常温の乾燥ガスを露点温度８０℃に加湿する場合を例にとって説明する。
【００３０】
まず、所定量の循環水を貯水タンク４ａや循環水流路１１内に流入して循環させ、循環水が循環して熱交換水分除去手段７に流入するときの水温が露点温度である８０℃になるよう加熱手段８で８２℃に循環水を加熱する。そして、ガス流量制御手段２から所定流量の乾燥ガスを第１加湿手段３に送出する。第１加湿手段３は、散水ノズル３ａから所定量の循環水を散水してガス流量制御手段２から送出された乾燥ガスを部分的に加湿して部分加湿ガスを生成し、この生成した部分加湿ガスと循環水を貯水タンク４ａに送出する。
【００３１】
そして、貯水タンク４ａの下方側に第１加湿手段３から送出された部分加湿ガスと循環水が送出されると、貯水タンク４ａ内に予め貯水されている循環水内を部分加湿ガスがバブリングしながら通過して徐々に加湿され、さらに補助加湿手段４ｂから散水された循環水によって部分加湿ガスが完全に加湿される。完全加湿された加湿ガスは、貯水タンク４ａの上流側から熱交換水分除去手段７へ送出され、加湿ガスを目的の露点温度に温度調節するとともに、熱交換により加湿ガス中に含まれる過剰な水分を除去した後、燃料電池へ送出する。
【００３２】
なお、上述した第１形態の加湿器１では、第２加湿手段４に補助加湿手段４ｂを備えた構成で説明したが、加湿器１自体の大きさや乾燥ガスの流量によって第１加湿手段３と第２加湿手段４におけるバブリングによって十分に乾燥ガスを所望の露点温度まで加湿できる場合は、補助加湿手段４ｂを外した構成でもよい。
【００３３】
次に、図２を参照しながら本発明に係る加湿器１の第２形態について説明する。なお、第１形態と同一の構成要素には同一番号を付してその説明を省略し、第１形態と異なる構成部分のみを説明する。
【００３４】
第２形態の加湿器１は、第２加湿手段４における貯水タンク４ａ内上部に設けられた補助加湿手段４ｂと、第２加湿手段４の下流側に熱交換水分除去手段７とを具備しない構成であり、第２加湿手段４で生成した加湿ガスに含まれた過剰な水分を除去して加湿ガスのみを送出するため、例えばスチールウールや邪魔板などの過剰水分除去手段を貯水タンク４ａ内の所定位置に配設している。また、熱交換水分除去手段７の循環水流路１１の下流側に配設されていた温度計１４が貯水タンク４ａの貯水中に配設されており、この温度計１４により測定した循環水の温度データを制御手段９に出力している。
【００３５】
次に、上述した第２形態の加湿器１の動作について説明する。ここでは、第１形態の加湿器１と同様、生成する加湿ガスの露点温度を８０℃に設定し、加熱手段８で循環水を８２℃に加熱して循環水流路１１を循環させながら、常温の乾燥ガスを露点温度８０℃に加湿する場合を例にとって説明する。
【００３６】
所定量の循環水を貯水タンク４ａや循環水流路１１内に流入して循環させ、水温が露点温度である８０℃になるよう加熱手段８で８２℃に循環水を加熱する。そして、ガス流量制御手段２から所定流量の乾燥ガスを第１加湿手段３に送出する。第１加湿手段３は、散水ノズル３ａから所定量の循環水を散水してガス流量制御手段２から送出された乾燥ガスを部分的に加湿して部分加湿ガスを生成し、この生成した部分加湿ガスと循環水を貯水タンク４ａに送出する。
【００３７】
そして、貯水タンク４ａの下方側に第１加湿手段３から送出された部分加湿ガスと循環水が送出されると、貯水タンク４ａ内に予め貯水されている循環水内を部分加湿ガスがバブリングしながら通過して徐々に加湿されることで加湿ガスが生成され、この生成された加湿ガスを燃料電池へ送出する。
【００３８】
このように、上述した第１形態の加湿器１は、ガス流量制御手段２から送出された乾燥ガスをガス−循環水流路１３内に配設された第１加湿手段３で部分的に加湿して部分加湿ガスにし、さらに第２加湿手段４に送出された部分加湿ガスを完全な加湿ガスにし、この加湿ガスを熱交換水分除去手段７に送出して過剰な水分を除去した後、供試体である燃料電池へ目的の露点温度に制御された加湿ガス供給している。
すなわち、乾燥ガスの加湿方法を第１加湿手段３と第２加湿手段４と２つに分けて段階的に行うことにより効率的に加湿が行えるため、従来のバブラー方式やシャワー方式の加湿器１と比べて貯水タンク４ａの容量を小さくすることができて装置の省スペース化が図れるとともに、運用コストを安価にすることができる。
【００３９】
また、第２形態の加湿器１は、第１形態における加湿器１の補助加湿手段４ｂと熱交換水分除去手段７とを具備しない構成であるため、ガス流量の少ない場合に用いることで第１形態の加湿器１に比べて、さらに小型化が図れ、且つ、運用コストを抑える効果を奏する。
【００４０】
ところで、上述した加湿器１の用途例として燃料電池に用いる加湿器１を例に挙げて説明したが、これに限定されることはなく、所望の露点温度に飽和した加湿ガスの温度を必要に応じて高精度に温度制御して使用する燃料電池評価試験装置など幅広く使用することができる。
【００４１】
以上、本願発明における最良の形態について説明したが、この形態による記述及び図面により本発明が限定されることはない。すなわち、この形態に基づいて当業者等によりなされる他の形態、実施例及び運用技術等はすべて本発明の範疇に含まれることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明に係る加湿器の第１形態を説明するための概略構成図である。
【図２】本発明に係る加湿器の第２形態を説明するための概略構成図である。
【図３】従来のバブラー方式の加湿器の一例を説明するための概略構成図である。
【図４】従来のシャワー方式の加湿器の一例を説明するための概略構成図である。
【符号の説明】
【００４３】
１  加湿器
２  ガス流量制御手段
２ａ  マスフローコントローラ
２ｂ  逆止弁
３  第１加湿手段
３ａ  散水ノズル
４  第２加湿手段
４ａ  貯水タンク
４ｂ  補助加湿手段
４ｃ  水位計
５  水供給手段
５ａ  水供給槽  
５ｂ  ソレノイドバルブ
６  循環水循環手段
７  熱変換水分除去手段
８  加熱手段
９  冷却手段
１０  制御手段
１１  ガス流路
１２  循環水流路
１３  ガス−循環水流路
１４  温度計
１５  水回収手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
2008075943.tif 000005
【図４】
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