(57)【要約】【課題】回転テーブル上に設置できる吸引ステージの数を、ロータリージョイントにおける回転部の接続点数に依らず増やせる吸引切替装置を提供する。【解決手段】回転テーブル１上に搭載した被搬送品２０の吸引保持と、この吸引保持からの解放との切替えを自動的に行う吸引切替装置８であって、被搬送品を吸引保持するための吸引ステージ１１を備え略鉛直軸を回転軸Ｊ１として所定方向に回転駆動可能とされた回転テーブルと、内蔵したスイッチ部材９５を駆動することにより吸引圧と解放圧とを選択的に吸引ステージに供給するように構成されると共に回転テーブルと一体となって回転動作するように設けられた切替弁９０と、回転テーブルの回転角度に応じて吸引ステージに吸引圧が供給されるようにスイッチ部材を駆動する第１カム８１と、回転テーブルの回転角度に応じて吸引ステージに解放圧が供給されるようにスイッチ部材を駆動する第２カム８２とを備える。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転テーブル（１）上に搭載した被搬送品（２０）の吸引保持と、この吸引保持からの解放との切替えを自動的に行う吸引切替装置（８）であって、
被搬送品（２０）を吸引保持するための吸引ステージ（１１）を備え略鉛直軸を回転軸（Ｊ１）として所定方向に回転駆動可能とされた回転テーブル（１）と、
内蔵したスイッチ部材（９５）を駆動することにより吸引圧と解放圧とを選択的に吸引ステージ（１１）に供給するように構成されると共に回転テーブル（１）と一体となって回転動作するように設けられた切替弁（９０）と、
回転テーブル（１）の回転角度に応じて吸引ステージ（１１）に吸引圧が供給されるようにスイッチ部材（９５）を駆動する第１カム（８１）と、
回転テーブル（１）の回転角度に応じて吸引ステージ（１１）に解放圧が供給されるようにスイッチ部材（９５）を駆動する第２カム（８２）と
を備えることを特徴とする吸引切替装置。
【請求項２】
第１カム（８１）を駆動してその配置位置を調整可能とする第１カム駆動部（８１１）と、第２カム（８２）を駆動してその配置位置を調整可能とする第２カム駆動部（８２２）とを備える請求項１に記載の吸引切替装置。
【請求項３】
吸引ステージ（１１）は、回転テーブル（１）の回転方向に沿って複数設けられ、複数の吸引ステージ（１１）にそれぞれ対応して複数の切替弁（９０）が設けられた請求項１または請求項２に記載の吸引切替装置。
【請求項４】
回転テーブル（１）は、被搬送品（２０）を取り込むロードステーション（ＬＳ）と、被搬送品（２０）を取り出すアンロードステーション（ＵＳ）とに配置可能とされ、
第１カム（８１）は、ロードステーション（ＬＳ）において被搬送品（２０）を吸引ステージ（１１）に搭載する直前に、切替弁（９０）におけるスイッチ部材（９５）に当接して吸引ステージ（１１）に吸引圧が供給されるようにスイッチ部材（９５）を駆動するように設けられ、
第２カム（８２）は、アンロードステーション（ＵＳ）において被搬送品（２０）を吸引ステージ（１１）から取り出す直前に、切替弁（９０）におけるスイッチ部材（９５）に当接して吸引ステージ（１１）に解放圧が供給されるようにスイッチ部材（９５）を駆動するように設けられる請求項１から請求項３のいずれかに記載の吸引切替装置。
【請求項５】
一つの回転接続点（８４１ａ）及び別の回転接続点（８４１ｂ）を備えたロータリージョイント（８４）を備え、一つの回転接続点（８４１ａ）は吸引ポンプ（８３）に配管接続され、別の回転接続点（８４１ｂ）は切替弁（９０）を介して吸引ステージ（１１）に配管接続された請求項１から請求項４のいずれかに記載の吸引切替装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は吸引切替装置に関する。より詳しくは、回転テーブル上に搭載した被搬送品の吸引保持と、この吸引保持からの解放との切替えを自動的に行う装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体チップの製造工程では、パターンを形成した半導体ウエハをダイシングして個々の半導体チップに分割している。このダイシング処理工程においては、半導体チップに割れや欠けが生じたり、チップ表面に汚れや傷が生じたりする場合がある。
【０００３】
このような欠陥半導体チップは良品半導体チップから分別し、排除する必要があり、例えば特許文献１に記載のような装置を用いて、半導体チップの外観検査及び分別を行っていた。図７は従来の外観検査装置１００の概略を示す平面図、図８は従来の外観検査装置１００に組み込まれた吸引切替装置の要部を示す平面図である。
【０００４】
図７に示すように、外観検査装置１００では、まずロードステーションＬＳにおいてコレット３ａは、トレイ２ａに収納された半導体チップ２０を上方から真空吸着して、回転テーブル１の上に設けられた吸引ステージ１１に移載する。吸引ステージ１１では、吸引孔１２からの真空吸引により半導体チップ２０を固定保持する。その後、回転テーブル１の間欠回転により、固定保持した半導体チップ２０を補正ステーションＨＳに移す。
【０００５】
補正ステーションＨＳでは、上方に設けられた顕微鏡付きカメラ４により、到来した半導体チップ２０の位置と角度を測定する。その測定データに基づき吸引ステージ１１を移動回転して位置補正する。その後、回転テーブル１の間欠回転により、位置補正した半導体チップ２０を検査ステーションＫＳに移す。検査ステーションＫＳでは、顕微鏡付きカメラ５が半導体チップ２０を撮像する。撮像により得た画像を画像処理部（図示せず）に送り、所定の画像処理により半導体チップ２０の良否判定を行なう。その後、良否判定された半導体チップ２０は、回転テーブル１の間欠回転によりアンロードステーションＵＳに移る。アンロードステーションＵＳでは、吸引ステージ１１での真空吸引から半導体チップ２０を解放する。検査ステーションＫＳで判定された良否結果に応じて、半導体チップ２０はコレット６ａで真空吸着されて良品トレイまたは不良品トレイのいずれかに振り分けられる。
【０００６】
外観検査装置１００では、ロードステーションＬＳで半導体チップ２０を吸引ステージ１１に吸引保持した後は、補正ステーションＨＳ及び検査ステーションＫＳを経てアンロードステーションＵＳに至るまで、吸引保持を維持する。そして、アンロードステーションＵＳで吸引保持を解放する。この吸引保持と解放との切替えは、図８に示す吸引切替装置を組み込むことで行っていた。従来の吸引切替装置は、回転テーブル１、吸引ステージ１１、吸引ポンプ８３、ロータリージョイント８４、電磁弁９００、及び制御コンピュータ９２０などを構成要素としている。制御コンピュータ９２０は、各電磁弁９００を次のように制御する。即ち、ロードステーションＬＳで半導体チップ２０を吸引ステージ１１に搭載する直前にその吸引ステージ１１が吸引オンし、且つアンロードステーションＵＳで半導体チップ２０を取り出す直前にその吸引ステージ１１が吸引オフするように、その吸引ステージ１１に対応する電磁弁９００を制御する。
【特許文献１】特開２００４−４５２００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従来の吸引切替装置では、各吸引ステージ１１における吸引のオンオフは、ロータリージョイント８４と吸引ポンプ８３との配管９ｃに設けた電磁弁９００を制御することで行っていた。ところで、回転テーブル１上に設置できる吸引ステージ１１の数は、ロータリージョイント８４における回転接続点８４１の数、即ち回転部の接続点数に依存する。ロータリージョイント８４における回転接続点８４１には制限があるため、回転テーブル１上に設置できる吸引ステージ１１の数を自由に増やすことができない。従って、隣り合う吸引ステージ１１間の距離をあまり短くすることができず、一つの吸引ステージ１１から次の吸引ステージ１１への移動に要する時間が長くなる。これは検査のタクトタイムの短縮を図る上で大きな障害となった。
【０００８】
本発明は上述の問題に鑑みてなされたものであり、回転テーブル上に設置できる吸引ステージの数を、ロータリージョイントにおける回転部の接続点数に依存することなく増やすことができる吸引切替装置を提供することを目的とする。
【０００９】
上記目的は、下記の本発明により達成される。なお「特許請求の範囲」及び「課題を解決するための手段」の欄において各構成要素に付した括弧書きの符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【００１０】
本発明は、回転テーブル（１）上に搭載した被搬送品（２０）の吸引保持と、この吸引保持からの解放との切替えを自動的に行う吸引切替装置（８）であって、被搬送品（２０）を吸引保持するための吸引ステージ（１１）を備え略鉛直軸を回転軸（Ｊ１）として所定方向に回転駆動可能とされた回転テーブル（１）と、内蔵したスイッチ部材（９５）を駆動することにより吸引圧と解放圧とを選択的に吸引ステージ（１１）に供給するように構成されると共に回転テーブル（１）と一体となって回転動作するように設けられた切替弁（９０）と、回転テーブル（１）の回転角度に応じて吸引ステージ（１１）に吸引圧が供給されるようにスイッチ部材（９５）を駆動する第１カム（８１）と、回転テーブル（１）の回転角度に応じて吸引ステージ（１１）に解放圧が供給されるようにスイッチ部材（９５）を駆動する第２カム（８２）とを備えることを特徴とする。
【００１１】
本発明に係る吸引切替装置（８）によると、切替弁（９０）は、スイッチ部材（９５）を駆動することにより吸引圧と解放圧とを選択的に吸引ステージ（１１）に供給するように構成される。切替弁（９０）は、回転テーブル（１）と一体となって回転動作を行う。第１カム（８１）は、回転テーブル（１）の回転角度に応じて、吸引ステージ（１１）に吸引圧が供給されるようにスイッチ部材（９５）を駆動する。第２カム（８２）は、回転テーブル（１）の回転角度に応じて、吸引ステージ（１１）に解放圧が供給されるようにスイッチ部材（９５）を駆動する。このように吸引圧と解放圧との切替は、回転テーブル（１）の回転力を利用して第１カム（８１）及び第２カム（８２）がスイッチ部材（９５）を駆動することで行う。従って、従来とは異なり、ロータリージョイント（８４）における回転接続点（８４１）に接続する配管（９ｃ）毎に電磁弁（９００）を設けるという必要がなく、ロータリージョイント（８４）おける回転接続点（８４１）による制限がない。つまり、回転テーブル（１）上に設置できる吸引ステージ（１１）の数を、ロータリージョイント（８４）における回転接続点（８４１）の数に依存することなく増やすことができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によると、回転テーブル上に設置できる吸引ステージの数を、ロータリージョイントにおける回転部の接続点数に依存することなく増やすことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。図１は外観検査装置の概略を示す平面図、図２は本発明に係る吸引切替装置の要部を示す平面図、図３はローラ付三方弁を示す正面一部断面図、図４は本発明に係る吸引切替装置の空圧系統図である。図において直交座標系の３軸をＸ、Ｙ、Ｚとし、ＸＹ平面は水平面、Ｚ方向は鉛直方向である。なお本実施形態では、図面を見やすく表記する都合上、吸引ステージ１１及びローラ付三方弁９０の数をそれぞれ８個としてあるが、実際にはそれぞれ３２個ずつ設けられる。
【００１４】
図１，２に示すように、外観検査装置１０は、回転テーブル１、被検査品供給機構２、被検査品移載機構３、顕微鏡付きカメラ４、顕微鏡付きカメラ５、検査品取込機構６、検査品収納機構７、吸引切替装置８及び制御コンピュータ９を備え、処理内容に応じた４つのステーションに区分けされている。即ち、回転テーブル１の回転駆動方向に沿って順次設けられたロードステーションＬＳ、補正ステーションＨＳ、検査ステーションＫＳ及びアンロードステーションＵＳである。
【００１５】
回転テーブル１は、円盤形状とされ、円盤中心の鉛直線を回転軸Ｊ１として図１，２の反時計周り方向に所定の１ピッチずつ間欠的に回転駆動（順送り）可能な構成とされる。回転テーブル１の上面には、その周方向に沿う等間隔合計８箇所に吸引ステージ１１が設けられる。
【００１６】
各吸引ステージ１１は、それぞれ半導体チップ２０を吸引保持可能な吸引孔１２を備えると共にＸＹθ機構を備える。ここで前述の１ピッチとは、互いに隣り合う吸引ステージ１１における吸引孔１２間の周方向距離に相当する距離である。また、前述のＸＹθ機構とは、吸引ステージ１１を水平方向に駆動する機構、及び吸引ステージ１１を回転軸Ｊ１まわりに回動駆動する機構である。
【００１７】
被検査品供給機構２は、複数個の半導体チップ２０を収納したトレイ２ａを、ロードステーションＬＳにおける所定の位置に供給するように構成される。被検査品移載機構３は、真空吸着により半導体チップ２０を吸着保持可能なコレット３ａと、コレット３ａをＸＹＺ各方向に駆動する駆動部とを備え、トレイ２ａに収納されている半導体チップ２０をコレット３ａにより１個ずつピックアップして、ロードステーションＬＳに到来した吸引ステージ１１の上に移載するように構成される。
【００１８】
顕微鏡付きカメラ４は、補正ステーションＨＳの上方に配設され、補正ステーションＨＳに到来した吸引ステージ１１に吸引保持された半導体チップ２０の角度及び位置を測定し、そのとき得られた角度及び位置データを制御コンピュータ９に送る構成とされる。
【００１９】
顕微鏡付きカメラ５は、検査ステーションＫＳの上方に配設され、検査ステーションＫＳに到来した吸引ステージ１１に吸引保持された半導体チップ２０の外観を撮像し、そのとき得られた画像データを制御コンピュータ９に送る構成とされる。
【００２０】
検査品取込機構６は、真空吸着により半導体チップ２０を吸着保持可能なコレット６ａと、コレット６ａをＸＹＺ各方向に駆動する駆動部とを備え、アンロードステーションＵＳに到来した吸引ステージ１１の上に搭載された半導体チップ２０をコレット６ａにより１個ずつピックアップして、検査品収納機構７に移載するように構成される。
【００２１】
検査品収納機構７は、良品チップトレイ収納機構７１と再検査品チップトレイ収納機構７２とを備え、検査結果に応じて良品と不良品を含む再検査品とに分別収納することができる。なお、検査結果が良品、要再検査品及び不良品の３つになる場合は、不良品チップトレイ収納機構を別個に設けてもよい。
【００２２】
吸引切替装置８は、図２に示すように、ローラ付三方弁９０、上部カム８１、下部カム８２、吸引ポンプ８３、ロータリージョイント８４、上部カム駆動部８１１及び下部カム駆動部８２２などを備える。
【００２３】
ローラ付三方弁９０は、図３に示すように、本体ブロック９４、プランジャ９５、上側ローラ９５１、下側ローラ９５２、上側アーム９６１及び下側アーム９６２からなり、第１ポート９１、第２ポート９２及び第３ポート９３の３つの流出入口を備える。ローラ付三方弁９０は、回転テーブル１の周方向に沿った等間隔８箇所における外周面位置にそれぞれブラケット８０を介して固定される。
【００２４】
上側アーム９６１は、その一端は水平軸まわりに回転可能に本体ブロック９４の上部に軸支され、他端は上側ローラ９５１を水平軸まわりに回転可能に軸支する。そして上側アーム９６１の腹部分が下降することによりプランジャ９５の上端部を押圧可能となるように取り付けられる。また、下側アーム９６２は、その一端は水平軸まわりに回転可能に本体ブロック９４の下部に軸支され、他端は下側ローラ９５２を水平軸まわりに回転可能に軸支する。そして下側アーム９６２の腹部分が上昇することによりプランジャ９５の下端部を押圧可能となるように取り付けられる。
【００２５】
ローラ付三方弁９０は、プランジャ９５を下方に駆動することにより第１ポート９１と第２ポート９２とが連通し、プランジャ９５を上方に駆動することにより第３ポート９３と第２ポート９２とが連通するように構成される。また、下方に駆動されたプランジャ９５は最下方位置で保持（ホールド）され、上方に駆動されたプランジャ９５は最上方位置で保持されるように構成される。
【００２６】
各ローラ付三方弁９０において、第１ポート９１は配管９ａによりロータリージョイント８４に連通している。ロータリージョイント８４は、一つの回転接続点８４１ａと、別の回転接続点８４１ｂとを備える。一つの回転接続点８４１ａは吸引ポンプ８３に配管接続される。別の回転接続点８４１ｂは各ローラ付三方弁９０を介して吸引ステージ１１に配管接続される。つまり、第２ポート９２は配管９ｂにより吸引ステージ１１の吸引孔１２に接続される。第３ポート９３は大気開放される。従って、プランジャ９５が下方位置になったときは、そのローラ付三方弁９０に接続した吸引ステージ１１の吸引孔１２に吸引圧が供給される。この状態を吸引オンとする。反対に、プランジャ９５が上方位置になったときは、そのローラ付三方弁９０に接続した吸引ステージ１１の吸引孔１２に生じていた吸引圧が解放される。この状態を吸引オフとする。
【００２７】
上部カム８１は、ロードステーションＬＳにおいて、吸引オフの状態にあるローラ付三方弁９０の上側ローラ９５１に当接可能な位置に配置される。具体的には、回転テーブル１の回転角度がφ１のとき、上側ローラ９５１に当接する配置とされる。上部カム駆動部８１１は、上部カム８１に機械的に連結したエアーシリンダまたはサーボモータ機構などで構成され、上部カム８１の水平方向位置を調整可能とする。なお、上下方向位置を調整可能としてもよい。
【００２８】
下部カム８２は、アンロードステーションＵＳにおいて、吸引オンの状態にあるローラ付三方弁９０の下側ローラ９５２に当接可能な位置に配置される。具体的には、回転テーブル１の回転角度がφ２のとき、下側ローラ９５２に当接する配置とされる。下部カム駆動部８２２は、下部カム８２に機械的に連結したエアーシリンダまたはサーボモータ機構などで構成され、下部カム８２の水平方向位置を調整可能とする。なお、上下方向位置を調整可能としてもよい。上部カム駆動部８１１及び下部カム駆動部８２２により、それぞれ上部カム８１及び下部カム８２を、目的に応じた適切な位置に配置することができる。
【００２９】
制御コンピュータ９は、タッチパネル等の入出力装置、メモリチップやマイクロプロセッサなどを主体とした適当なハードウエア、このハードウエアを動作させるためのコンピュータプログラムを組み込んだハードディスク装置、及び各構成部とデータ通信を行う適当なインターフェイス回路などから構成され、外観検査装置１が一連の検査動作を行うように、外観検査装置１の全体または一部を制御するためのコンピュータである。
【００３０】
次に、以上のように構成された外観検査装置１の動作について説明する。図５は本発明に係る吸引切替装置８の吸引オン動作を説明するための図、図６は本発明に係る吸引切替装置８の吸引オフ動作を説明するための図である。なお説明上、ある半導体チップ２０や吸引ステージ１１を他の半導体チップや吸引ステージと特に区別する必要のある場合は、各符号の末尾に「Ａ」「Ｂ」等の大文字のアルファベットを付記する。
【００３１】
回転テーブル１は間欠的な回転（以降、間欠回転と記す）を開始する。このとき回転テーブル１の上に設けられた吸引ステージ１１Ａは吸引オフである（図５（Ａ）参照）。ローラ付三方弁９０における上側ローラ９５１は、回転テーブル１の回転開始後にロードステーションＬＳにおいて、上部カム８１に当接する（図５（Ｂ）参照）。これにより、上部カム８１は上側ローラ９５１及び上側アーム９６１を介してプランジャ９５を下方に押圧する。その結果、プランジャ９５は下降し、ローラ付三方弁９０は吸引オンとなり、吸引ステージ１１Ａの吸引孔１２に負圧が生じる。回転テーブル１は１ピッチ回転したところで一旦停止する。トレイ２ａに収納された半導体チップ２０Ａを上方から真空吸着したコレット３ａは、吸引孔１２に負圧が生じた直後、その半導体チップ２０Ａを吸引ステージ１１Ａに移載する。即ち、ローラ付三方弁９０におけるプランジャ９５は、ロードステーションＬＳにおいて半導体チップ２０Ａを吸引ステージ１１Ａに搭載する直前に下方に押圧駆動される。
【００３２】
その後、回転テーブル１は間欠回転を再び開始する。下方に駆動されたプランジャ９５は最下方位置で保持されるため、その後も半導体チップ２０Ａは吸引保持されている（図５（Ｃ）参照）。そして次の吸引ステージ１１Ｂに対しても、上記と同様な要領で半導体チップ２０Ｂの搭載を行う。このとき２つ目の半導体チップ２０Ｂは吸引ステージ１１Ｂに吸引保持されることになる。回転テーブル１が２ピッチ回転した時点で、１つ目の半導体チップ２０Ａは補正ステーションＨＳに到来する。
【００３３】
補正ステーションＨＳでは、上方に設けられた顕微鏡付きカメラ４により、到来した半導体チップ２０Ａの位置と角度を測定する。その測定データに基づきＸＹθ機構は吸引ステージ１１Ａを移動回転させて位置補正する。その後、回転テーブル１の間欠回転により、位置補正した半導体チップ２０Ａは検査ステーションＫＳに移動する。検査ステーションＫＳでは、顕微鏡付きカメラ５が半導体チップ２０Ａを撮像する。撮像により得た画像を制御コンピュータ９に送り、所定の画像処理により半導体チップ２０Ａの良否判定を行なう。
【００３４】
半導体チップ２０Ａの良否判定が終わると、回転テーブル１は間欠回転を開始する。半導体チップ２０Ａを吸引保持した吸引ステージ１１Ａは、アンロードステーションＵＳに向けて移動する（図６（Ａ）参照）。回転テーブル１が所定ピッチの間欠回転をして、アンロードステーションＵＳで吸引ステージ１１Ａが停止する直前に、ローラ付三方弁９０における下側ローラ９５２が下部カム８２に当接する（図６（Ｂ）参照）。
【００３５】
これにより下部カム８２は下側ローラ９５２及び下側アーム９６２を介してプランジャ９５を上方に押圧する。プランジャ９５は上昇し、ローラ付三方弁９０は吸引オフとなる。その結果、アンロードステーションＵＳでは、吸引ステージ１１Ａの吸引孔１２Ａは大気圧に戻り、半導体チップ２０Ａは吸引保持から解放される（図６（Ｃ）参照）。その直後、回転テーブル１は間欠回転を終了したところで一旦停止する。
【００３６】
検査ステーションＫＳで判定された良否結果に応じて、半導体チップ２０Ａはコレット６ａで真空吸着されて、良品トレイ７１１または不良品トレイ７２２のいずれかに振り分けられる。このように、ローラ付三方弁９０におけるプランジャ９５は、アンロードステーションＵＳにおいて半導体チップ２０Ａを吸引ステージ１１から取り出す直前に上方に押圧駆動される。
【００３７】
上述したように外観検査装置１では、ロードステーションＬＳで半導体チップ２０を吸引保持した後は、補正ステーションＨＳ及び検査ステーションＫＳを経てアンロードステーションＵＳに至るまで、この吸引保持を維持する。そして、アンロードステーションＵＳで吸引保持を解放する。
【００３８】
そして、本発明に係る吸引切替装置８によると、ローラ付三方弁９０は、プランジャ９５を駆動することにより吸引圧と解放圧とを選択的に吸引ステージ１１に供給するように構成される。ローラ付三方弁９０は、回転テーブル１と一体となって回転動作を行う。上部カム８１は、回転テーブル１の回転角度に応じて、吸引ステージ１１に吸引圧が供給されるようにプランジャ９５を駆動する。下部カム８２は、回転テーブル１の回転角度に応じて、吸引ステージ１１に解放圧が供給されるようにプランジャ９５を駆動する。具体的には、上部カム８１は、回転テーブル１の回転角度がφ１のとき、上側ローラ９５１に当接することで吸引のための駆動を行う。下部カム８２は、回転テーブル１の回転角度がφ２のとき、下側ローラ９５２に当接することで解放のための駆動を行う。
【００３９】
このように吸引圧と解放圧との切替は、ロータリージョイント８４と各吸引ステージ１１との間に設けられたローラ付三方弁９０の制御により行う。具体的には、回転テーブル１の回転力を利用して上部カム８１及び下部カム８２がプランジャ９５を駆動することで行う。従って、従来とは異なり、ロータリージョイント８４における回転接続点に接続する配管毎に電磁弁を設けるという必要がなく、ロータリージョイント８４における回転接続点の数による制限がない。つまり、回転テーブル１上に設置できる吸引ステージ１１の数を、ロータリージョイント８４における回転接続点８４１の数に依存することなく増やすことができる。
【００４０】
以上、本発明の実施の形態について説明を行ったが、上に開示した実施の形態は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこれら実施の形態に限定されるものではない。本発明の範囲は、特許請求の範囲の記載によって示され、更に特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更を含むことが意図される。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明に係る吸引切替装置を組み込んだ外観検査装置の概略を示す平面図である。
【図２】本発明に係る吸引切替装置の要部を示す平面図である。
【図３】ローラ付三方弁を示す正面一部断面図である。
【図４】本発明に係る吸引切替装置の空圧系統図である。
【図５】本発明に係る吸引切替装置の吸引オン動作を説明するための図である。
【図６】本発明に係る吸引切替装置の吸引オフ動作を説明するための図である。
【図７】従来の外観検査装置の概略を示す平面図である。
【図８】従来の吸引切替装置の要部を示す平面図である。
【符号の説明】
【００４２】
１  回転テーブル
８  吸引切替装置
１１  吸引ステージ
２０  半導体チップ（被搬送品）
Ｊ１  回転軸
９５  プランジャ（スイッチ部材）
９０  ローラ付三方弁（切替弁）
８１  上部カム（第１カム）
８２  下部カム（第２カム）
８４１ａ  回転接続点
８４１ｂ  回転接続点
８１１  上部カム駆動部（第１カム駆動部）
８２２  下部カム駆動部（第２カム駆動部）
ＬＳ  ロードステーション
ＵＳ  アンロードステーション
【図１】
2008277760.tif 000003
【図２】
2008277760.tif 000004
【図３】
2008277760.tif 000005
【図４】
2008277760.tif 000006
【図５】
2008277760.tif 000007
【図６】
2008277760.tif 000008
【図７】
2008277760.tif 000009
【図８】
2008277760.tif 000010