(57)【要約】【課題】反りの無い高精度な延伸ガラス部材を連続して得られる製造方法を提供することにある。【解決手段】延伸方向における中心軸に対して、その熱容量が左右非対称な領域を有するガラス母材１０を、ヒーター１８〜２１からガラス母材１０までの距離を個々に調整して、ガラス母材１０の温度が当該左右で対称となるように加熱する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
加熱軟化させたガラス母材の一端を延伸しつつ冷却することで、該ガラス母材と相似形の断面形状の延伸ガラス部材を製造する方法において、延伸方向における中心軸に対して、その熱容量が左右非対称な領域を有するガラス母材を、ガラス母材の温度が当該左右で対称となるように加熱することを特徴とする延伸ガラス部材の製造方法。
【請求項２】
延伸ガラス部材を用いた画像表示装置用スペーサの製造方法において、該延伸ガラス部材が、請求項１に記載の延伸ガラス部材の製造方法により製造されることを特徴とする画像表示装置用スペーサの製造方法。
【請求項３】
２枚のパネルを、スペーサを挟んで対向させ、周囲を封着した画像表示装置の製造方法において、該スペーサを、請求項２に記載の方法にて製造することを特徴とする画像表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加熱延伸法による延伸ガラス部材の製造方法、それを用いた画像表示装置用スペーサの製造方法及び画像表示装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、加熱炉で加熱軟化させたガラス母材の端部を、加熱炉から連続的に引き出して延伸しつつ冷却することで、ガラス母材とほぼ相似形の断面形状の延伸ガラス部材が得られることが知られている。この方法は、例えば光ファイバー母材やパネル型画像表示装置用スペーサの製造に利用されている。
【０００３】
さらに、パネル型画像表示装置用スペーサの製造方法を例に説明すると、ガラス母材をその粘度がＬｏｇη＝１０5〜１０9ポアズになるように加熱しつつ延伸することで、得られるスペーサのガラス母材に対する相似性を向上させることができる。これは、例えば、特許文献１に開示されている。また、加熱炉から引き出された延伸ガラス部材を外気雰囲気により急冷することにより、得られるスペーサの圧縮強度を向上させることができることが、特許文献２に開示されている。さらに、形成された延伸ガラス部材にアニール処理を施すと、残留応力が低減して、スペーサとして用いた場合の変形、反り、破損を防止できることが、特許文献３に開示されている。
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−２０３８５７号公報
【特許文献２】特開２００３−３１７６４８号公報
【特許文献３】特開２００３−３１７６５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に示されるように、加熱軟化されたガラス母材の粘度を所定の範囲に調整しても、得られる延伸ガラス部材の断面形状が線対称ではない場合、得られる延伸ガラス部材に反りを生じる問題がある。つまり、延伸ガラス部材は連続してガラス母材の端部から引き出されて形成されるが、ガラス母材の粘度を定常に保っていても、引き出される方向に垂直な面で温度差があると、得られる延伸ガラス部材の長さ方向に収縮量の差が生じる。その結果、延伸ガラス部材に反りを生じてしまうという問題がある。
【０００６】
特許文献２及び３の方法は、もともと反りの抑制を目的としたものではなく、得られる延伸ガラス部材の反りに対しては無力である。つまり、特許文献２のアニール処理は一旦延伸ガラス部材を形成した後、つまり延伸力が解除されて断面寸法が固定された後に施されるものであり、しかも残留応力を解除するものでしかないことから、延伸ガラス部材の反りを是正することはできない。また、本発明者の知見によれば、特許文献３の外気雰囲気による急冷は、延伸ガラス部材の断面内の温度分布と急冷の方向によっては、得られる延伸ガラス部材の反りを返って助長してしまう傾向にある。
【０００７】
本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされたもので、反りの無い高精度な延伸ガラス部材を連続して得られるようにすることを目的とする。また、本発明は、画像表示装置用スペーサの寸法精度を向上させることにより、高品質な画像表示装置が容易に得られるようにすることをも目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第１は、加熱軟化させたガラス母材の一端を延伸しつつ冷却することで、該ガラス母材と相似形の断面形状の延伸ガラス部材を製造する方法において、延伸方向における中心軸に対して、その熱容量が左右非対称な領域を有するガラス母材を、ガラス母材の温度が当該左右で対称となるように加熱することを特徴とする。
【０００９】
また、本発明の第２は、延伸ガラス部材を用いた画像表示装置用スペーサの製造方法において、該延伸ガラス部材を前記本発明の延伸ガラス部材の製造方法により製造することを特徴とする。
【００１０】
さらに本発明の第３は、２枚のパネルを、スペーサを挟んで対向させ、周囲を封着した画像表示装置の製造方法において、該スペーサを、前記本発明の画像表示用スペーサの製造方法により製造することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の第１によれば、加熱軟化されたガラス母材の幅または径が細くなり始める位置から、引き出された延伸ガラス部材が冷却されて延伸されなくなる位置までのガラスの温度分布が延伸方向における中心軸に対して常に一定に保たれる。そのため、得られる延伸ガラス部材の収縮量が一定となり、反りの無い、直進性のある延伸ガラス部材を連続して得ることができる。
【００１２】
本発明の第２及び第３によれば、高精度のスペーサを用いた高品質な画像表示装置を容易に得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
加熱軟化されたガラス母材の粘度を所定の範囲に調整することは、特に特許文献１だけでなく、加熱延伸法による延伸ガラス部材の製造方法においてごく一般的な手法であると考えられる。
【００１４】
しかしながら、本発明者は、ガラス母材が、該ガラス母材の延伸方向における中心軸に対して、その熱容量が左右非対称な領域を有することが、得られる延伸ガラス部材の反りの原因となっていることを見出し、本発明をなすに至ったものである。つまり、ガラス母材の延伸方向における中心軸に対して左右非対称な熱容量の分布を有する母材は、母材内で表面積及び体積差から生じる温度むらが生じることから、反りを起こす。
【００１５】
本発明の延伸ガラス部材の製造方法は、画像表示装置のスペーサの製造のみではなく、例えば光ファイバの母材の製造などにも用いることができる。とりわけ、画像表示装置用スペーサは高い寸法精度が要求されることから、±数μｍの精度の形状再現性を達成し得る本発明の方法は、この画像表示装置用スペーサの製造に好ましく適用される。
【００１６】
以下に、画像表示装置用スペーサの製造方法を例に、本発明について具体的に説明する。
【００１７】
先ず、図１は、本発明の延伸ガラス部材の製造方法を用いて製造されたスペーサが適用された画像表示装置の概略構成図である。
【００１８】
リアプレート１には、複数の電子放出素子２が、複数の行方向配線３及び複数の列方向配線４によってマトリクス配線された電子源が形成されている。
【００１９】
フェースプレート５には、蛍光体６とアノード電極であるメタルバック７とが形成されている。
【００２０】
この画像表示装置は、リアプレート１に形成された電子源から、画像信号に応じて電子が放出され、フェースプレート５に形成され、１ｋＶ〜２０ｋＶの高電圧が印加されたメタルバック７により前記電子が加速されて、蛍光体６に照射される。これにより、前記画像信号に応じた画像が表示される。また、電子源を構成する電子放出素子２は、従来から良く知られている、電界放出型素子（ＦＥ）、ＭＩＭ型電子放出素子、表面伝導型電子放出素子などが適用される。
【００２１】
前記リアプレート１と前記フェースプレート５は、それらの間に配置された外枠８に封着材によって接着されており、リアプレート１、フェースプレート５及び外枠８によって気密容器が構成されている。
【００２２】
かかる気密容器内は１０-4〜１０-6Ｐａの真空度とされており、気密容器に加わる大気圧を当該気密容器の内部から支持するための構造体として、気密容器内にはスペーサ９が複数配置されている。
【００２３】
次に、上述した画像表示装置用スペーサの製造方法の実施形態について図面を用いて説明する。
【００２４】
〔実施形態１〕
図２、図３は、本発明に係る画像表示装置用スペーサの製造方法の第１の例を示す説明図であり、図３は図２中のＡ−Ａ’断面図である。
【００２５】
画像表示装置用スペーサ９へと延伸加工されるガラス母材１０としては、例えば住田光学社製の「ＳＫ１８」などが用いられる。
【００２６】
先ず、所定の形状に加工された（１０’の溝を持つ）ガラス母材１０の一端を、母材送り装置１５の挟持体１１で保持する。挟持体１１は母材送り装置１５によって徐々に下降してガラス母材１０の他端をヒーターコイル１８〜２１を内包する加熱炉１２内に送り込み、ガラス母材１０の当該端部を連続的に引き出して延伸可能な温度まで加熱軟化させる。加熱温度は、軟化点温度以上の温度で適宜選択される。ガラス母材１０とヒーターコイル１８〜２１の位置関係は、先ず、ヒーターコイル１８、１９はそれぞれ、母材１０の長辺の側面から等しい距離ａにある。一方、ヒーターコイル２０は母材１０の短辺の側面からａの距離にあるのに対し、ヒーターコイル２１は母材１０の短辺の側面からの距離はａよりも短いｂである。これは、母材１０の片側に１０’の溝部があり、これが、母材内（図で左右）で表面積及び体積差から生じる温度むらを防止するためである。ガラス母材の溝のある部分と溝のない部分を比較すると溝のあるほうが表面積は約１５％大きく、体積は約５％小さくなる。つまり、同等の熱量を与えた場合、溝のあるほうが加熱されやすく、溝のないほうより温度が高くなる。
【００２７】
上記母材送り装置１５によるガラス母材１０の加熱炉１２内への送り込み速度は、通常、１〜５ｍｍ／ｍｉｎ程度とされる。また、加熱炉１２内は、ガラス母材１０の種類にもよるが、加熱炉１２内に送り込まれたガラス母材１０の端部の粘度がｌｏｇη＝７．０〜７．９ポアズとなるような温度に設定される。その温度は、延伸の安定性などの点から、±０．１℃の精度で制御されることが好ましい。
【００２８】
加熱炉１２内で上記温度に加熱されたガラス母材１０の端部は、軟化して下垂し、延伸されて延伸ガラス部材１３となり、延伸されながら、加熱炉１２から、加熱炉１２に連続して設けられている、筒形の覆い１４内へと引き出される。
【００２９】
ここで、覆い１４は、遮熱性を有し、延伸ガラス部材１３の延伸方向におけるその長さを適宜設定することにより、覆い１４内に、延伸方向に沿って徐々に温度が下がる温度勾配を形成することができる。温度勾配は、例えば、ガラス母材１０の軟化点温度Ｔ１から固化する温度Ｔ２またはそれ未満の温度までの温度勾配である。延伸ガラス部材１３は、この覆い１４内を延伸されつつ移動し、延伸ガラス部材１３が固化する温度まで冷却され、そこで延伸を完了する。
【００３０】
上記覆い１４内で固化する温度まで冷却され、延伸を完了した延伸ガラス部材１３は、一対の引き取りローラー１６に挟まれて引き取られる。
【００３１】
上記引き取りローラー１６による延伸ガラス部材１３の引き取り速度は、１０００〜５０００ｍｍ／ｍｉｎであることが好ましい。また、上記送り込み速度とこの引き取り速度との比（引き取り速度／送り込み速度）は、ガラス母材１０と延伸を完了した延伸ガラス部材１３の断面形状の相似性の確保などの点から、２００〜２０００であることが好ましい。
【００３２】
引き取りローラー１６を通過した延伸ガラス部材１３は、カッター１７で切断され、所要の長さの細板状または柱状の延伸ガラス部材１３’となる。この延伸ガラス部材１３’は、このままスペーサ９（図１参照）として用いられる場合もあるが、通常、さらなる処理を経てスペーサ９を形成する。また、切断前の延伸ガラス部材１３の表面に、表面被覆材や表面処理材などを連続的に塗布することもできる。さらに、延伸ガラス部材１３を長尺のまま取り出せば、光ファイバ母材として用いることができる。
【００３３】
覆い１４内は、熱によって生じる対流が安定し、外部空気の流れの影響も受けにくいので、覆い１４内の前記温度勾配が安定した状態となり、延伸ガラス部材１３が固化する温度まで冷却される。従って、製造される延伸ガラス部材１３，１３’及びスペーサ９（図１参照）の形状再現性に優れる。
【００３４】
ちなみに、上記覆い１４を設けない場合には、製造される延伸ガラス部材１３の形状再現性が低下する。原因としは、加熱炉１２で加熱軟化され、延伸されつつ加熱炉１２から引き出されてくる延伸ガラス部材１３が、加熱炉１２から出た途端に外気の乱流に曝されることで、延伸ガラス部材１３の温度が不規則に変動してしまうことが考えられる。
【００３５】
スペーサ９（図１参照）の製造に際しては、延伸ガラス部材１３’にさらに寸法合わせのための切断処理を施したり、延伸ガラス部材１３’の表面に抵抗膜を被覆する処理を施すこともできる。この抵抗膜は、図１に示される画像表示装置内において、電子源から放出される電子の照射による、スペーサ９の表面の帯電を防止する目的で形成される。
【００３６】
延伸ガラス部材１３’の表面への上記抵抗膜の被覆は、蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法、プラズマＣＶＤ法などによって行うことができる。また、その膜厚は１０ｎｍ〜１．０μｍ、好ましくは５０ｎｍ〜５００ｎｍで、抵抗膜の表面抵抗は１０7〜１０14Ω／□であることが好ましい。
【００３７】
抵抗膜の材料としては、例えば金属酸化物を用いることができる。金属酸化物の中でも、クロム、ニッケル、銅の酸化物が好ましい材料である。その理由は、これらの酸化物は二次電子放出効率が比較的小さく、電子がスペーサに当たった場合においても帯電しにくいからである。また、金属酸化物以外であっても、炭素は二次電子放出効率が小さく好ましい材料である。特に、非晶質カーボンは高抵抗であり、スペーサの抵抗を所望の値に制御しやすい。その他の材料として、ゲルマニウムと遷移金属合金の窒化物や、アルミニウムと遷移金属合金の窒化物は、遷移金属の組成を調整することにより良伝導体から絶縁体まで広い範囲に抵抗値を制御できるので、実用的に使いやすい。
【００３８】
以上のようにして製造されたスペーサ９を、図１に示した、蛍光体６とメタルバック７とが形成されているフェースプレート５側または電子源が形成されているリアプレート１側に固定する。次いで、外枠８に、フリットガラスやＩｎなどの封着材を設け、形成される気密容器内が前述した真空度となるように、真空チャンバー内で、前記フェースプレート５、外枠８、リアプレート１を封着することで画像表示パネルが製造される。
【００３９】
上述したように、本発明により得られるスペーサ９は、長手方向で反りがなく直進性が良好である。そのため、フェースプレート５とリアプレート１間での高さ精度が、個々のスペーサ９においても、複数のスペーサ９間においても±数μｍと良好であり、画像表示面での歪み、封着時や封着後のスペーサ９の座屈や倒壊を防ぐことができる。また、上記画像表示パネルの形成後、画像表示のための駆動回路が装着されて、画像表示装置が製造される。
【００４０】
〔実施形態２〕
図４は、本発明に係る画像表示装置用スペーサの製造方法の第２の例を示す説明図である。尚、図４において図３と同じ符号は同様の部材または部位を示す。
【００４１】
基本的には図２、図３で説明した第１の例と同様であるが、ガラス母材１０の長辺側を主に加熱するヒーターコイル１８、１９がガラス母材１０の溝１０’の方にいくに従って、徐々に離れていくレイアウトになっている点が相違している。
【００４２】
このように、ガラス母材の長辺側を加熱するヒーターが、徐々に離れていくレイアウトの場合でも、図３で示した場合と同様に、母材内（図で左右）で表面積及び体積差から生じる温度むらを防止する事が可能となり、反りのない延伸部材が得ることができる。
【００４３】
尚、延伸ガラス部材１３’への切断、必要に応じて行われるスペーサ９（図１参照）の製造のためのさらなる処理、さらには画像表示装置の製造手順は、第１の例での説明と同様である。
【００４４】
〔実施形態３〕
本例は、図３のヒーターコイル１８〜２１のガラス母材１０からの距離を一定とし、ヒーター２１の径を１８〜２０より大きくして放射エネルギー量が増大されたものとなっている。
【００４５】
本例においても、ガラス母材の、延伸方向における中心軸に対して、その熱容量が左右非対称な領域を有するガラス母材を、ガラス母材の温度が当該左右で対称となるように加熱することができる。そのため、製造される延伸ガラス部材１３，１３’及びスペーサ９（図１参照）の直進性に優れるとともに、得られるスペーサ９は、形状再現性が良好である。よって、図１に示されるフェースプレート５とリアプレート１間での高さ精度が、個々のスペーサ９においても、複数のスペーサ９間においても良好であり、画像表示面での歪み、封着時や封着後のスペーサ９の座屈や倒壊を防ぐことができる。
【実施例】
【００４６】
（実施例１）
本実施例では、画像表示装置用スペーサを、前記実施形態１の方法を用いて製造した。
【００４７】
先ず、ガラス母材１０としては、図５に示されるように、その矩形断面形状が、長手ａ×短手ｂ＝４９．２３ｍｍ×６．１５ｍｍ、長さｈ＝６００ｍｍで、軟化点温度７７０℃、ガラス転移点温度６４０℃のガラスを用いた。さらに、このガラス母材１０には、長手ａ側両表面に、長さｈ方向に伸びる溝１０’が溝ピッチＰ＝約１ｍｍで複数本並列されており、長手ａ側両表面に凹凸が形成されている。
【００４８】
上記ガラス母材１０を、その長さｈ方向が延伸方向となるように挟持体１１で保持し、挟持体１１を５ｍｍ／ｍｉｎの速度にて降下させて、ガラス母材１０の端部を、その内部にヒーター１８〜２１が配置された加熱炉１２内に送り込んだ。本例では、図３に示すａを６０ｍｍ、ｂを４０ｍｍとした。加熱炉１２内は、ガラス母材１０が粘度ｌｏｇη＝７．５ポアズとなる７８０℃（±０．１℃）の温度に制御した。
【００４９】
加熱炉１２内に送り込まれたガラス母材１０の端部は、軟化して延伸されながら下垂し、この延伸した延伸ガラス部材１３を、加熱炉１２に連続して設けられている覆い１４内を通過させた。
【００５０】
覆い１４は、加熱炉１２の外壁と同様の、遮熱性に優れたステンレス（材料）で構成した。また、覆い１４の長さは、加熱炉１２下端から１２０ｍｍとした。
【００５１】
覆い１４を通過して、既に固化した延伸ガラス部材１３を引き取る一対の引き取りローラー１６の引き取り速度は４７３３ｍｍ／ｍｉｎとし、（引き取り速度／送り込み速度）＝約９４７とした。
【００５２】
延伸ガラス部材１３の矩形断面形状が、長手ａ’×短手ｂ’＝１．６ｍｍ×０．２ｍｍとなるように延伸した。引き取りローラー１６を通過した延伸ガラス部材１３をカッター１７で切断して、長さｈ’＝８２５ｍｍの細板状の延伸ガラス部材１３’を１０枚形成した。
【００５３】
上記１０枚の延伸ガラス部材１３’に関して、その寸法精度を測定した結果、図６に示す反り量δは０．２ｍｍ±０．１ｍｍであった。また、ヒーター１８〜２１からガラス母材１０までの距離を全て６０ｍｍとした場合、約１０℃の温度差が付き、冷却過程でその温度差の影響で左右の収縮量に差が出るため、結果的に約４ｍｍの反りが発生した。
【００５４】
また、個々の延伸ガラス部材１３’における長さｈ’方向の長手ａ’と短手ｂ’の寸法のズレは、長手ａ’で±２μｍ、短手ｂ’で±１μｍであった。また、個々の延伸ガラス部材１３’における長さｈ’方向の溝ピッチＰ’のズレは±０．１μｍ、並列した各溝ピッチＰ’同士間でのズレは±０．３μｍであった。また、１０枚の延伸ガラス部材１３’間の長手ａ’寸法のズレは±４μｍ、同短手ｂ’寸法のズレは±２μｍ、同溝ピッチＰ’のズレは±０．５μｍであった。
【００５５】
以上のようにして得られた延伸ガラス部材１３’の表面に、Ｗ−Ｇｅターゲットを用いて、アルゴンと窒素の混合ガス雰囲気中、反応性スパッタ法により、タングステンとゲルマニウムの窒素化合物からなる２００ｎｍの厚みの抵抗膜を形成した。本実施例におけるタングステンとゲルマニウムの窒素化合物膜の成膜後の比抵抗は７．９×１０3Ωｍである。また、図１に示される行方向配線３とメタルバック７とに当接される面には、それぞれスパッタ法によりＰｔ電極を形成し、画像表示装置用スペーサ９とした。
【００５６】
上記スペーサ９を、図１に示されるリアプレート１の行方向配線３上に固定し、続いて、外枠８をリアプレート１上に固定した。
【００５７】
外枠８上に封着材であるインジウムを塗布した。その後、かかるリアプレート１と、蛍光体６及びメタルバック７が形成されているフェースプレート５とを、真空度が１０-6Ｐａの真空チャンバー内に搬送して、封着材を加熱し、外枠８にフェースプレート１を封着して画像表示パネルを製造した。この後、画像表示のための駆動回路を装着して、画像表示装置を製造した。
【００５８】
以上のように製造した本実施例の画像表示装置は、画像表示面での歪み、封着時や封着後のスペーサの座屈や倒壊がない高品質なものであった。
【００５９】
（実施例２）
本実施例では、前記実施形態２の方法により、画像表示装置用スペーサの製造に用いる延伸ガラス部材１３’を製造した。
【００６０】
実施例１と同様のガラス母材１０を挟持体１１で保持し、挟持体１１を５ｍｍ／ｍｉｎの速度にて降下させて、ガラス母材１０の端部を、内部にヒーター１８〜２１が配置された加熱炉１２内に送り込んだ。本例では、ヒーター１８と１９のガラス母材１０からの距離を、最も近い位置で４５ｍｍ、最も遠い位置で６５ｍｍとした。また、ヒーター２０とガラス母材１０との距離は４０ｍｍ、ヒーター２１とガラス母材１０との距離は４０ｍｍとした。加熱炉１２内は、ガラス母材１０が粘度ｌｏｇη＝７．５ポアズとなる７８０℃（±０．１℃）の温度に制御した。
【００６１】
加熱炉１２内に送り込まれたガラス母材１０の端部は、軟化して延伸されながら下垂し、この延伸した延伸ガラス部材１３を、加熱炉１２に連続して設けられている覆い１４内を通過させた。
【００６２】
覆い１４を通過して、既に固化した延伸ガラス部材１３は、実施例１と同様にして一対の引き取りローラー１６で引き取った。
【００６３】
上記のようにして、矩形断面形状が、長手ａ’×短手ｂ’＝１．６ｍｍ×０．２ｍｍとなるように延伸し、長さｈ’＝８２５ｍｍの板状の延伸ガラス部材１３’を１０枚形成した。
【００６４】
上記１０枚の延伸ガラス部材１３’の寸法精度を測定した結果、反り量δは０．３ｍｍ±０．１ｍｍであった。また、個々の延伸ガラス部材１３’における長さｈ’方向の長手ａ’と短手ｂ’の寸法のズレは、長手ａ’で±２μｍ、短手ｂ’で±１μｍであった。また、個々の延伸ガラス部材１３’における長さｈ’方向の溝ピッチＰ’のズレは±０．１μｍ、並列した各溝ピッチＰ’同士間でのズレは±０．３μｍであった。また、１０枚の延伸ガラス部材１３’間の長手ａ’寸法のズレは±４μｍ、同短手ｂ’寸法のズレは±２μｍ、同溝ピッチＰ’のズレは±０．５μｍであった。
【００６５】
（実施例３）
本実施例では、前記実施形態３により、画像表示装置用スペーサの製造に用いる延伸ガラス部材１３’を製造した。
【００６６】
実施例１と同様のガラス母材１０を挟持体１１で保持し、挟持体１１を５ｍｍ／ｍｉｎの速度にて降下させて、ガラス母材１０の端部を、内部にヒーター１８〜２１が配置された加熱炉１２内に送り込んだ。ガラス母材１０からヒーター１８〜２１までの距離は、全て６０ｍｍとした。更に、ヒーター２１として、ヒーター１８〜２０の径より大きいヒーターを用い、ヒーター２１からの放射エネルギー量がヒーター１８〜２０からよりも大きい所定の放射エネルギー量に制御した。加熱炉１２内は、ガラス母材１０が粘度ｌｏｇη＝７．５ポアズとなる７８０℃（±０．１℃）の温度に制御した。
【００６７】
加熱炉１２内に送り込まれたガラス母材１０の端部は、軟化して延伸されながら下垂し、この延伸した延伸ガラス部材１３を、加熱炉１２に連続して設けられている覆い１４内を通過させた。
【００６８】
覆い１４を通過して、既に固化した延伸ガラス部材１３は、実施例１と同様にして一対の引き取りローラー１６で引き取った。
【００６９】
上記のようにして、矩形断面形状が、長手ａ’×短手ｂ’＝１．６ｍｍ×０．２ｍｍとなるように延伸し、長さｈ’＝８２５ｍｍの板状の延伸ガラス部材１３’を１０枚形成した。
【００７０】
上記１０枚の延伸ガラス部材１３’の寸法精度を測定した結果、反り量δは０．３ｍｍ±０．１ｍｍであった。また、個々の延伸ガラス部材１３’における長さｈ’方向の長手ａ’と短手ｂ’の寸法のズレは、長手ａ’で±２μｍ、短手ｂ’で±１μｍであった。また、個々の延伸ガラス部材１３’における長さｈ’方向の溝ピッチＰ’のズレは±０．１μｍ、並列した各溝ピッチＰ’同士間でのズレは±０．３μｍであった。また、１０枚の延伸ガラス部材１３’間の長手ａ’寸法のズレは±４μｍ、同短手ｂ’寸法のズレは±２μｍ、同溝ピッチＰ’のズレは±０．５μｍであった。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】本発明の延伸ガラス部材の製造方法を用いて製造されたスペーサが適用された画像表示装置の概略構成図である。
【図２】本発明に係る画像表示装置用スペーサの製造方法の第１の例を示す説明図である。
【図３】本発明に係る画像表示装置用スペーサの製造方法の第１の例を示す説明図である。
【図４】本発明に係る画像表示装置用スペーサの製造方法の第２の例を示す説明図である。
【図５】ガラス母材及び延伸ガラス部材の一例を示す形状説明図である。
【図６】延伸ガラス部材の反りの様子を示す形状説明図である。
【符号の説明】
【００７２】
１  リアプレート
２  電子放出素子
３  行方向配線
４  列方向配線
５  フェースプレート
６  蛍光体
７  メタルバック
８  外枠
９  スペーサ
１０  ガラス母材
１０’  溝
１１  挟持体
１２  加熱炉
１３  延伸ガラス部材
１３’  延伸ガラス部材
１４  覆い
１５  母材送り装置
１６  引き取りローラー
１７  カッター
１８，１９，２０，２１  ヒーターコイル
【図１】
2008074682.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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