(57)【要約】【課題】温度が変動しても所定の周波数の音を消音でき、安定した消音効果が発現される膜振動レゾネータを提供する。【解決手段】電圧の印加によって弾性係数が変化する誘電エラストマからなる隔膜３を用いた。  電圧を印加することで、隔膜の弾性係数を変化させることができ、雰囲気温度の変動による弾性係数の変化と、電圧印加による弾性係数の変化とが相殺される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸気通路を構成する管体部を持つ吸気システムに配置され、一端が該管体部に分岐接続された共鳴管と、該共鳴管内を少なくとも一つの共鳴室に仕切ると共に固有振動数を持つ少なくとも一枚の隔膜と、を備えた膜振動レゾネータであって、
該隔膜は電圧の印加によって弾性係数が変化する誘電エラストマからなることを特徴とする膜振動レゾネータ。
【請求項２】
請求項１に記載の膜振動レゾネータと、
前記隔膜の雰囲気温度に関連した物理量を検出する温度検出手段と、
前記隔膜に電圧を印加する電圧印加手段と、
該温度検出手段で検出された温度に基づいて該電圧印加手段を制御する制御手段と、を有し、
雰囲気温度に応じて前記隔膜の弾性係数を変化させることで消音できる音の周波数を可変することを特徴とする膜振動レゾネータの制御装置。
【請求項３】
エンジン回転数に関連した物理量を検出する回転数検出手段をさらに備えた請求項２に記載の膜振動レゾネータの制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エンジンに連結された吸気システムあるいは空調用の吸気システムの吸気騒音を抑制できる膜振動レゾネータ及びその制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、車両のエンジンに連結された吸気システムの吸気騒音を抑制するために、サイドブランチタイプのレゾネータやヘルムホルツタイプのレゾネータが用いられている。しかしながら、これら従来のレゾネータによると、吸気騒音のうち比較的周波数の低い低周波成分の音圧を抑制する場合、レゾネータが大型となり配置スペースが大きくなってしまう。
【０００３】
例えば、サイドブランチタイプのレゾネータの場合、共鳴によって消音できる音の固有周波数は、サイドブランチの長さに依存している。一方、波長は低周波成分ほど長い。このため、サイドブランチタイプのレゾネータにより低周波成分を抑制しようとすると、サイドブランチの長さを長くする必要がある。したがって、レゾネータの配置スペースが大きくなる。
【０００４】
また、ヘルムホルツタイプのレゾネータの場合、共鳴によって消音できる音の固有周波数は、次式により表すことができる。
【０００５】
【数１】
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【０００６】
式中、ｆは固有周波数（共鳴周波数）を、ｃは音速を、ｌは連通管部の長さを、Ｖは空洞室の容積を、Ｓは連通管部の断面積を、それぞれ示す。低周波成分を抑制する場合、固有周波数ｆを小さくする必要がある。固有周波数ｆを小さくするためには、Ｓに対してｌあるいはＶを大きくする必要がある。したがって、この場合も、レゾネータの配置スペースが大きくなる。
【０００７】
そこで実開平02−080710号公報には、配置スペースの小さいレゾネータが紹介されている。同文献記載のレゾネータは、弾性膜とカップ部材とを備えている。カップ部材は、カップ開口が伏せられた状態で、サージタンクに取り付けられている。カップ開口とサージタンクとの間には、弾性膜が介装されている。弾性膜により、カップ内部とサージタンク内部とは、遮断されている。
【０００８】
弾性膜の固有振動数は、サージタンク内部の気柱共鳴の共鳴周波数と等しくなるように、設定されている。同文献記載のレゾネータによると、当該弾性膜の膜振動効果により、サージタンク内部の気柱脈動を抑制することができる。
【０００９】
また特開2003−065173号公報には、膜振動を利用した低騒音ダクトが提案されている。この低騒音ダクトは、ダクト本体に連通する連通短管と、連通短管の連通孔を塞ぐ膜状シートと、膜状シートを覆うように連通短管に取付けられる保護キャップと、からなるものである。
【００１０】
これらのレゾネータによれば、弾性膜又は膜状シートの共振によって消音効果が得られる。したがって全体の体積を小さくすることができ、配置スペースを縮小することができる。
【００１１】
ところが上記した従来のレゾネータの場合、所望の音圧抑制効果を長時間維持するのは困難である。すなわち、弾性膜の固有振動数は、気柱共鳴の共鳴周波数と等しい周波数に、常時維持しておく必要がある。ここで、弾性膜の固有振動数は、弾性膜の張力に依存している。しかし、弾性膜の張力は、弾性膜設置から時間が経つに連れ、徐々に小さくなる。このため、上記したレゾネータの場合、所望の音圧抑制効果を長時間維持するのは困難である。
【００１２】
そこで特開2006−125381号公報には、外気を取り入れる吸気口と、吸気口とエンジンの燃焼室とを連通する吸気通路と、を区画する管体部を持つ吸気システムに配置されるレゾネータであって、一端が管体部に分岐接続され、他端が閉口し、内部に消音室を区画する分岐管体部と、消音室を少なくとも一つの空気ばね室に仕切ると共に、吸気通路から伝播する吸気騒音のうち消音しようとする消音対象音の周波数よりも低い固有振動数を持つ少なくとも一枚の隔膜と、を備えてなる膜振動レゾネータが提案されている。
【００１３】
この膜振動レゾネータによれば、隔膜は、従来のヘルムホルツタイプのレゾネータの連通管部のマスと等価である。したがって、設置スペースが小さくて済む。また、隔膜のマス効果を利用するものである。言い換えると、隔膜と、隔膜の背面側に隣接する空気ばね室内の空気と、の共鳴現象により、消音対象音の音圧を抑制するものである。
【特許文献１】実開平02−080710号
【特許文献２】特開2003−065173号
【特許文献３】特開2006−125381号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
ところで、上記した各特許文献に記載の弾性膜、膜状シートあるいは隔膜を樹脂あるいはゴムなどから形成した場合、雰囲気温度によって張力、弾性率などが変化する。そのため特許文献１、２に記載のレゾネータでは、経時の劣化と同様に温度によって音圧抑制効果が異なるという問題がある。また特許文献３に記載のレゾネータであっても、隔膜の弾性係数が温度によって変化するためマス効果が変化し、消音できる周波数が変化するという問題があった。
【００１５】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、温度が変動しても所定の周波数の音を消音でき、安定した消音効果が発現されるようにすることを解決すべき課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記課題を解決する本発明の膜振動レゾネータの特徴は、吸気通路を構成する管体部を持つ吸気システムに配置され、一端が管体部に分岐接続された共鳴管と、共鳴管内を少なくとも一つの共鳴室に仕切ると共に固有振動数を持つ少なくとも一枚の隔膜と、を備えた膜振動レゾネータであって、隔膜は電圧の印加によって弾性係数が変化する誘電エラストマからなることにある。
【００１７】
また本発明の膜振動レゾネータの制御装置の特徴は、請求項１に記載の膜振動レゾネータと、隔膜の雰囲気温度に関連した物理量を検出する温度検出手段と、隔膜に電圧を印加する電圧印加手段と、温度検出手段で検出された温度に基づいて電圧印加手段を制御する制御手段と、を有し、雰囲気温度に応じて隔膜の弾性係数を変化させることで消音できる音の周波数を可変することにある。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の膜振動レゾネータでは、隔膜は電圧の印加によって厚さや弾性率が変化する誘電エラストマから形成されている。したがって隔膜に電圧を印加することで、隔膜の厚さや弾性率を自在に制御することができ、弾性係数を変化させることができる。例えば常温で所定の張力を付与した状態で隔膜を配設した場合、温度が低下すると隔膜は弾性率が上昇するとともに収縮して張力が増大する。この場合、隔膜に所定の電圧を印加すると、発生するクーロン力によって隔膜は断面が小さくなるとともに伸びる方向へ変形し、張力が低下して弾性係数が低下する。これにより温度の低下による弾性係数の上昇と電圧印加による弾性係数の低下とが相殺され、隔膜は所定の固有振動数で振動し所定の物性を有するので、常温の場合と同等の消音効果が発現される。
【００１９】
また印加電圧の大きさによって隔膜の伸長度合い及び弾性率を変化させることができ、弾性係数を所定の値に制御することができる。したがって消音するべき音の周波数（以下、対象周波数という）を容易に可変することができ、一つの隔膜で複数の周波数の音を消音することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
本発明の膜振動レゾネータは、一端が管体部に分岐接続された共鳴管と、共鳴管内を少なくとも一つの共鳴室に仕切ると共に固有振動数を持つ少なくとも一枚の隔膜と、を備えている。共鳴管の他端は、閉塞されていてもよいし開放されていてもよい。
【００２１】
隔膜は共鳴管内又は共鳴管の他端に振動可能に保持され、共鳴管内を少なくとも一つの共鳴室に仕切っている。例えば共鳴管の中央を仕切る一枚の隔膜を配置した場合、隔膜の両側に共鳴室が形成される。また共鳴管の他端が開放されている場合には、隔膜の共鳴管側に共鳴室が形成される。隔膜は１枚でもよいし、複数枚を配置することもできる。複数枚を配置した場合には、隔膜どうしの間にも共鳴室が形成される。
【００２２】
共鳴管は、全長にわたって同一の径をもつように形成してもよいが、吸気通路に連通する連通管部と、連通管部に連通し吸気騒音の伝播方向に対して垂直方向の断面積が連通管部よりも大きい空洞室と、からなる構造とすることも好ましい。後者の場合、連通管部がヘルムホルツタイプのレゾネータの連通管部を構成し、空洞室がヘルムホルツタイプのレゾネータの空洞部を構成するので、共鳴による消音効果が加味される。後者の場合、連通管部が空洞室の内部にあってもよい。また隔膜は、連通管部に形成してもよいし、空洞室に形成してもよい。
【００２３】
吸気通路に連通する連通管部と、連通管部に連通し吸気騒音の伝播方向に対して垂直方向の断面積が連通管部よりも大きい空洞室と、からなる構成によると、同形状のヘルムホルツタイプのレゾネータと比較して、対象周波数を低周波数側にシフトさせることができる。また、同一の対象周波数が設定されたヘルムホルツタイプのレゾネータと比較して、体格を小さくすることができる。
【００２４】
隔膜は、電圧の印加によって弾性係数が変化する誘電エラストマから形成されている。誘電エラストマとしては、シリコーンエラストマー、アクリルエラストマー、ポリウレタン、ＰＶＤＦを含む共重合体、エチレン・ブロピレン・ジエンエラストマおよびそれらの組み合わせからなるグループから選択して用いることができる。このように電圧の印加によって弾性係数が変化する誘電エラストマは、特表2001−514278号公報、特表2003−526213号公報、特表2003−505865号公報、特表2003−506858号公報、特表2005−527178号公報、特表2005−522162号公報などに詳しく記載されている。
【００２５】
隔膜への電圧の印加方向は、一般には厚さ方向であるが、場合によっては厚さ方向に対して垂直方向に印加することもできる。厚さ方向に電圧を印加する場合、隔膜に直接電圧を印加してもよいが、隔膜に一対の電極を形成しておき、その電極を介して隔膜に電圧を印加することが望ましい。ここで、隔膜は厚さが変化することで伸縮変形するので、電極は可撓性を有することが望ましい。このような可撓性電極としては、グラファイト、カーボン、導電性ポリマ、カーボングリースまたはシルバーグリースのような導電グリース、コロイド懸濁液、カーボン微小繊維およびカーボンナノチューブのような高アスペクト比導電材料、およびイオン導電材料の混合物から構成される群から選択して用いることができる。
【００２６】
本発明の膜振動レゾネータの制御装置は、本発明の膜振動レゾネータと、隔膜の雰囲気温度に関連した物理量を検出する温度検出手段と、隔膜に電圧を印加する電圧印加手段と、制御手段と、を有する。
【００２７】
隔膜の雰囲気温度に関連した物理量としては、雰囲気温度を直接検知してもよいし、気温から推定することもできる。したがって温度検出手段は、一般の温度センサを用いることができる。
【００２８】
電圧印加手段は、上記した可撓性電極と、電源及び変圧装置から構成することができる。
【００２９】
制御手段は、温度検出手段で検出された温度に基づいて電圧印加手段を制御するものであり、ＥＣＵを利用することが好ましい。
【００３０】
また本発明の制御装置は、エンジン回転数に関連した物理量を検出する回転数検出手段をさらに備えることが望ましい。これにより実際の運転状況に応じて消音すべき対象周波数を設定することができ、吸気騒音をさらに抑制することができる。
【００３１】
回転数検出手段は、エンジン回転数を直接検出してもよいし、アクセルペダルの踏み込み量、車速などから演算によってエンジン回転数を求めることも可能である。
【実施例】
【００３２】
以下、実施例及び比較例により本発明を具体的に説明する。
【００３３】
（実施例１）
図１に本実施例の膜振動レゾネータの断面図を示す。この膜振動レゾネータは、吸気ダクトから分岐する連通管部１と、連通管部１に連通し吸気騒音の伝播方向に対して垂直方向の断面積が連通管部１よりも大きい空洞室２と、空洞室２を仕切る隔膜群３’と、から構成されている。空洞室２には、隔膜群３’の両側にそれぞれ共鳴室20、21が形成されている。
【００３４】
隔膜群３’は、図２に拡大して示すように、シリコン系の誘電エラストマから形成された厚さ 100μｍの隔膜本体30と、隔膜本体30の表裏両面に形成された厚さ20μｍのシリコン系の可撓性電極層31とからなる隔膜３が６枚積層されてなる。各隔膜３の可撓性電極層31は、片側毎にそれぞれ電気的に連結され、各隔膜３の両側に正極32と負極33とがそれぞれ形成されている。
【００３５】
本実施例の膜振動レゾネータは、図１に示すように、エアクリーナケース４の上流側に配置されている。各隔膜３の正極32と負極33とは、ＥＣＵを利用した制御部５に連結されている。また空洞室２内には、温度センサ22が配置されている。
【００３６】
制御部５は、図３に示すように、演算部50と、入力部51と、出力部52と、記憶部53とからなる。入力部51には、温度センサ22の検出信号とエンジン６の現実の回転数とが入力され、演算部50はその入力値に基づいて記憶部53の情報を参照しながら演算し、演算結果を出力部52に送る。出力部52は、演算結果に基づいて正極32と負極33に所定の直流電圧を印加する。
【００３７】
空洞室２内の温度（Ｔ）によって、隔膜３の弾性係数（ｋ）が変化する。その関係は、図５に示すグラフのようになり、記憶部53にはこの関係が記憶されている。
【００３８】
またエンジン回転数（Ｒ）と騒音の主たる要因である爆発一次成分の共鳴周波数（Ｆ）との間には、ほぼ比例関係があり、エンジン回転数（Ｒ）を検出することで消音すべき音の共鳴周波数（Ｆ）（対象周波数）が算出される。記憶部53には、エンジン回転数（Ｒ）と共鳴周波数（Ｆ）との関係式（Ｆ＝ｆ（Ｒ））が記憶されている。
【００３９】
さらに、一般の膜振動レゾネータにおいて、共鳴周波数（Ｆ）は隔膜３の弾性係数（ｋ）とほぼ比例関係にあることがわかっており、共鳴周波数（Ｆ）から隔膜３の目的弾性係数（Ｋ）を算出することができる。記憶部53には、共鳴周波数（Ｆ）と隔膜３の弾性係数（ｋ）との関係式（ｋ＝ｆ（Ｆ））が記憶されている。
【００４０】
一方、隔膜３の隔膜本体30を構成する誘電エラストマの特性として、厚さ方向に電圧（Ｖ）を印加すると伸長する方向へ変形し、弾性係数（ｋ）は低下する。しかし図５に示すように、低温域ほど弾性係数（ｋ）が変化する程度が大きく、高温域ほど弾性係数（ｋ）が変化する程度が小さい。
【００４１】
そこで本実施例では、図５におけるt1≦Ｔ＜t2の範囲をモードＩとし、t2≦Ｔ＜t3の範囲をモードIIとし、t3≦Ｔ＜t4の範囲をモードIII として、３つの範囲に分けている。そして隔膜３は、モードIII である高温域において高い弾性係数（ｋ）を備えるように張力を設定しておく。
【００４２】
温度（Ｔ）がモードIII からモードII又はモードＩに低下した場合は、隔膜３の弾性係数（ｋ）が上昇する。したがって電圧（Ｖ）を印加して弾性係数（ｋ）を低下させる必要が生じる。しかし電圧（Ｖ）と弾性係数（ｋ）との関係は各モードで異なるので、電圧（Ｖ）と弾性係数（ｋ）との関係式を各モード毎に用意し、それぞれ記憶部53に記憶させておく。
【００４３】
電圧（Ｖ）と弾性係数（ｋ）との関係は、モードＩでは図６の関係式（ｋ＝ｆ1 （Ｖ））となり、モードIIでは図７の関係式（ｋ＝ｆ2 （Ｖ））となり、モードIII では図８の関係式（ｋ＝ｆ3 （Ｖ））となる。
【００４４】
以下、制御部５の制御内容を図９に示すフローチャートに沿って説明する。
【００４５】
ステップ 100でエンジンが始動されると、ステップ 101において、ＥＣＵから検知したエンジン回転数（Ｒ）と空洞室２内の温度（Ｔ）とが入力される。
【００４６】
ステップ 102では、入力されたエンジン回転数（Ｒ）に基づいて記憶部53の情報を参照し、エンジン回転数（Ｒ）と共鳴周波数（Ｆ）との関係式（Ｆ＝ｆ（Ｒ））から消音すべき音の共鳴周波数（Ｆ）（対象周波数）が求められる。さらに、共鳴周波数（Ｆ）と隔膜３の弾性係数（ｋ）との関係式（ｋ＝ｆ（Ｆ））から、隔膜３の目的弾性係数（Ｋ）が求められる。
【００４７】
ステップ 103〜 105では、入力された温度（Ｔ）に基づいて記憶部53の情報を参照し、ステップ 106〜 108においてどのモードであるかが判定される。
【００４８】
モードＩであると判定された場合には、記憶部53の情報から図６の関係式（ｋ＝ｆ1 （Ｖ））が参照され、ステップ 109において隔膜３の弾性係数（ｋ）を目的弾性係数（Ｋ）とする電圧が隔膜３に印加される。モードIIであると判定された場合には、記憶部53の情報から図７の関係式（ｋ＝ｆ2 （Ｖ））が参照され、ステップ 110において隔膜３の弾性係数（ｋ）を目的弾性係数（Ｋ）とする電圧が隔膜３に印加される。またモードIII であると判定された場合には、記憶部53の情報から図８の関係式（ｋ＝ｆ3 （Ｖ））が参照され、ステップ 111において隔膜３の弾性係数（ｋ）を目的弾性係数（Ｋ）とする電圧（Ｖ）が隔膜３に印加される。
【００４９】
これにより各隔膜３の弾性係数（ｋ）を目的弾性係数（Ｋ）とすることができ、隔膜群３’の振動と連通管部１及び空洞室２の共鳴によって、対象周波数の音を消音することができる。
【００５０】
そしてステップ 112では、エンジンが停止されるまで上記制御が繰り返される。
【００５１】
したがって本実施例の膜振動レゾネータ及びその制御装置によれば、空洞室２の温度（Ｔ）に応じて隔膜群３’の弾性係数を変化させることができ、隔膜群３’を最適に振動させることによって、エンジン回転数（Ｒ）に応じて求まる対象周波数の音を確実に消音することができる。
【００５２】
（実施例２）
本実施例では、温度センサ22を有していないこと以外は実施例１と同様の装置を用い、図９に示すフローチャートに基づいて制御を行っている。
【００５３】
記憶部53には、エンジン回転数（Ｒ）と共鳴周波数（Ｆ）との関係式（Ｆ＝ｆ（Ｒ））と、共鳴周波数（Ｆ）と隔膜３の弾性係数（ｋ）との関係式（ｋ＝ｆ（Ｆ））とが記憶されている。
【００５４】
ステップ 200でエンジンが始動されると、ステップ 201において、ＥＣＵから検知したエンジン回転数（Ｒ）が入力される。
【００５５】
ステップ 202では、入力されたエンジン回転数（Ｒ）に基づいて記憶部53の情報を参照し、エンジン回転数（Ｒ）と共鳴周波数（Ｆ）との関係式（Ｆ＝ｆ（Ｒ））から消音すべき音の共鳴周波数（Ｆ）（対象周波数）が求められる。さらに、共鳴周波数（Ｆ）と隔膜３の弾性係数（ｋ）との関係式（ｋ＝ｆ（Ｆ））から、隔膜３の目的弾性係数（Ｋ）が求められる。
【００５６】
そしてステップ 203では、隔膜３の弾性係数（ｋ）を目的弾性係数（Ｋ）とする電圧（Ｖ）が隔膜３に印加され、ステップ 112では、エンジンが停止されるまで上記制御が繰り返される。
【００５７】
したがって本実施例の膜振動レゾネータの制御装置によれば、エンジン回転数（Ｒ）に応じて変化する共鳴周波数（Ｆ）（対象周波数）の音を消音することができ、走行状況に応じて発生する異なる騒音を効果的に消音することができる。
【００５８】
なお上記実施例１、２では、隔膜本体30と一対の可撓性電極層31とからなる隔膜３を複数枚積層して用いたが、図10に示すように一枚の隔膜３のみを用いてもよい。また図11に示すように、隔膜３を互いに間隔を隔てて複数枚配置することもできる。
【００５９】
（実施例３）
図12に本実施例の膜振動レゾネータを示す。なお、実施例１と同様の機能を備える部位には、実施例１と同じ符合を付けて説明する。
【００６０】
この膜振動レゾネータは、管体部としてのエアクリーナケース４の側面に沿うように設けられ、エアクリーナケース４と連通する連通管部１と、連通管部１に連通する空洞室２とからなり、連通管部１は空洞室２の内部に位置している。連通管部１に３枚の隔膜３が配置されている。
【００６１】
連通管部１は、内径80mm、長さ20mmの円筒状であり、一端がエアクリーナケース４に連通し空洞室２内部に向かって延びて他端が空洞室２内に開口している。空洞室２は、内部寸法で 260mm× 120mm×32mmの箱状に形成されている。連通管部１の体積（ 0.1リットル）分を除いた空洞室２の容積Ｖは0.88リットルである。
【００６２】
隔膜３は、実施例１と同様の誘電エラストマから形成された厚 500μｍの隔膜本体30と、隔膜本体30の表裏両面に形成された厚さ20μｍの可撓性電極層31とからなり、実施例１と同様に、一対の可撓性電極層31を介して電圧が印加される。
【産業上の利用可能性】
【００６３】
本発明の膜振動レゾネータは、実施例で示したエンジンへの吸気装置以外に、空調装置のダクトなどに利用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明の一実施例に係る膜振動レゾネータを用いた吸気ダクトの概略断面図である。
【図２】本発明の一実施例に係る膜振動レゾネータに用いた隔膜群の断面図である。
【図３】本発明の一実施例に係る膜振動レゾネータの制御装置における制御部のブロック図である。
【図４】本発明の一実施例に係る膜振動レゾネータの制御装置における制御部の処理を示すフローチャートである。
【図５】本発明の一実施例に係る膜振動レゾネータの制御装置において、制御部に記憶された関係式を示すグラフである。
【図６】本発明の一実施例に係る膜振動レゾネータの制御装置において、制御部に記憶された関係式を示すグラフである。
【図７】本発明の一実施例に係る膜振動レゾネータの制御装置において、制御部に記憶された関係式を示すグラフである。
【図８】本発明の一実施例に係る膜振動レゾネータの制御装置において、制御部に記憶された関係式を示すグラフである。
【図９】本発明の第２実施例に係る膜振動レゾネータの制御装置における制御部の処理を示すフローチャートである。
【図１０】本発明の一実施例の他の態様に係る膜振動レゾネータを用いた吸気ダクトの概略断面図である。
【図１１】本発明の一実施例の他の態様に係る膜振動レゾネータの断面図である。
【図１２】本発明の第３実施例に係る膜振動レゾネータの断面図である。
【符号の説明】
【００６５】
１：連通管部      ２：空洞部        ３：隔膜        ３’：隔膜群
４：エアクリーナ  ５：制御部        ６：エンジン      22：温度センサ
30：隔膜本体      31：可撓性電極層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2008075567.tif 000008
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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