(57)【要約】【課題】高い透過率、感度を維持し、且つ、室温での高い保存安定性を有するポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】（Ａ）成分：炭素原子数が３乃至１６であって末端に不飽和結合を有する側鎖を持ち、数平均分子量が２，０００乃至３，０００であるアルカリ可溶性アクリル重合体、（Ｂ）成分：１，２−キノンジアジド化合物、（Ｃ）溶剤を含有するポジ型感光性樹脂組成物、並びに、該組成物を用いて得られる硬化膜。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記（Ａ）成分、（Ｂ）成分及び（Ｃ）溶剤を含有するポジ型感光性樹脂組成物。
（Ａ）成分：炭素原子数が３乃至１６であって末端に不飽和結合を有する側鎖を持ち、数平均分子量がポリスチレン換算で２，０００乃至３０，０００であるアルカリ可溶性アクリル重合体、
（Ｂ）成分：１，２−キノンジアジド化合物、
（Ｃ）溶剤。
【請求項２】
上記（Ａ）成分が、末端に不飽和結合を有する脂肪族の側鎖を有するアルカリ可溶性アクリル重合体である、請求項１に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【請求項３】
（Ａ）成分が、末端にアクリロイル基又はメタクリロイル基を有する側鎖を持つアルカリ可溶性アクリル重合体である、請求項１又は請求項２に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【請求項４】
（Ａ）成分の１００質量部に対して、５乃至１００質量部の（Ｂ）成分を含有する、請求項１乃至請求項３のうちいずれか一項に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【請求項５】
（Ｄ）成分として、界面活性剤を更にポジ型感光性樹脂組成物中に０．１質量％以下含有する、請求項１乃至請求項４のうちいずれか一項に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【請求項６】
（Ｅ）成分として、密着促進剤を更に（Ａ）成分の１００質量部に対して０．５乃至１０質量部含有する、請求項１乃至請求項５のうちいずれか一項に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６のうちいずれか一項に記載のポジ型感光性樹脂組成物を用いて得られる硬化膜。
【請求項８】
請求項７に記載の硬化膜を有する液晶表示素子。
【請求項９】
請求項７に記載の硬化膜からなる液晶ディスプレイ用アレイ平坦化膜。
【請求項１０】
請求項７に記載の硬化膜からなる層間絶縁膜。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ポジ型感光性樹脂組成物及びそれから得られる硬化膜に関する。より詳しくは、本発明は、ディスプレイ材料の用途において好適なポジ型感光性樹脂組成物及びその硬化膜、並びに該硬化膜を用いた各種材料に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）型液晶表示素子、有機ＥＬ（ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ）素子等のディスプレイ素子においては、パターン形成された電極保護膜、平坦化膜、絶縁膜等が設けられている。これらの膜を形成する材料としては、感光性樹脂組成物の中でも、必要とするパターン形状を得るための工程数が少なくしかも十分な平坦性を有するという特徴を持つところの感光性樹脂組成物が、従来より幅広く使用されている。
【０００３】
そして、上述のこれらの膜には、耐熱性、耐溶剤性、長時間焼成耐性、メタルスパッタ耐性などのプロセス耐性に優れていること、下地との密着性が良好であること、使用目的に合わせた様々なプロセス条件でパターンを形成し得る広いプロセスマージンを有すること、加えて、高感度且つ高透明性であること、並びに現像後の膜ムラが少ないこと等の諸特性が要求される。そこで、斯かる要求特性の点から、これまで従来、上記の感光性樹脂組成物としては、ナフトキノンジアジド化合物を含む樹脂が汎用されてきた。
【０００４】
またこれらの材料はエポキシ架橋剤を添加したり、アクリル樹脂中にカルボキシル基とエポキシ基を含有させたりすることで、形成されたパターンを熱架橋させ硬化させることが提案されている（特許文献１及び２）。
【特許文献１】特開２０００−１０３９３７号公報
【特許文献２】特開平４−３５２１０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし上述のようなエポキシ架橋系を有するアクリル樹脂を含む感光性樹脂組成物は室温での保存安定性が低く、使用中、時間の経過と共に粘度が増加し、膜厚経時制御を難しくさせ、ときには塗布装置の配管のつまりを引き起こすことがある。また、徐々に感度が低下し現像不良を起こすことがある。
また、従来のエポキシ架橋系を有するアクリル樹脂を含む感光性樹脂組成物は室温における反応性の高さから冷凍保存を必須とし、使用にあたってはその都度解凍することとなるが、上述の通り時間の経過とともに性能の劣化を急速に引き起こすことから、一旦解凍した当該組成物の使用後の残りのものは、もはや再度硬化膜の作製に使用できなくなる、すなわち多量の製品ロスを生むことにもなった。
【０００６】
本発明は、上記の事情に鑑みなされたものであって、高い透過率、感度を維持し、且つ、室温での高い保存安定性を有するポジ型感光性樹脂組成物を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者は、上記の課題を解決するべく鋭意研究を行った結果、本発明を見出すに至った。
すなわち第一観点として、下記（Ａ）成分、（Ｂ）成分及び（Ｃ）溶剤を含有するポジ型感光性樹脂組成物に関する。
（Ａ）成分：炭素原子数が３乃至１６であって末端に不飽和結合を有する側鎖を持ち、数
平均分子量がポリスチレン換算で２，０００乃至３０，０００であるアルカリ可溶性アクリル重合体、
（Ｂ）成分：１，２−キノンジアジド化合物、
（Ｃ）溶剤。
第二観点として、上記（Ａ）成分が、末端に不飽和結合を有する脂肪族の側鎖を結う売るアルカリ可溶性アクリル重合体である、第一観点に記載のポジ型感光性樹脂組成物に関する。
第三観点として、（Ａ）成分が、末端にアクリロイル基又はメタクリロイル基を有する側鎖を持つアルカリ可溶性アクリル重合体である、第一観点又は第二観点に記載のポジ型感光性樹脂組成物に関する。
第四観点として、（Ａ）成分の１００質量部に対して、５乃至１００質量部の（Ｂ）成分を含有する、第一観点乃至第三観点のうちいずれか一項に記載のポジ型感光性樹脂組成物に関する。
第五観点として、（Ｄ）成分として、界面活性剤を更にポジ型感光性樹脂組成物中に０．１質量％以下含有する、第一観点乃至第四観点のうちいずれか一項に記載のポジ型感光性樹脂組成物に関する。
第六観点として、（Ｅ）成分として、密着促進剤を更に（Ａ）成分の１００質量部に対して０．５乃至１０質量部含有する、第一観点乃至第五観点のうちいずれか一項に記載のポジ型感光性樹脂組成物に関する。
第七観点として第一観点乃至第六観点のうちいずれか一項に記載のポジ型感光性樹脂組成物を用いて得られる硬化膜に関する。
第八観点として、第七観点に記載の硬化膜を有する液晶表示素子に関する。
第九観点として、第七観点に記載の硬化膜からなる液晶ディスプレイ用アレイ平坦化膜に関する。
第十観点として、第七観点に記載の硬化膜からなる層間絶縁膜に関する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明のポジ型感光性樹脂組成物は、室温で１０日間保存後においても組成物の粘度上昇が生じず、しかも感度の変化も生じない塗膜を提供することができる。
したがって、これまで冷凍保存を必須とし、解凍して使用する際の残量ロスの発生をなくして経済的に不利であったエポキシ架橋系感光性樹脂組成物の欠点を解消した、新たなポジ型感光性樹脂組成物およびそれから得られる塗膜を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明のポジ型感光性樹脂組成物は、下記（Ａ）成分のアクリル重合体、（Ｂ）成分のキノンジアジド化合物及び（Ｃ）溶剤を含有し、且つ、所望により（Ｄ）成分の界面活性剤及び（Ｅ）成分の密着促進剤、さらにその他添加剤を含有する組成物である。
以下、各成分の詳細を説明する。
【００１０】
＜（Ａ）成分＞
（Ａ）成分は、アクリル重合体の構造中に、炭素原子数が３乃至１６であって末端に不飽和結合を有する側鎖（以下、特定側鎖と称す。）を持ち、且つポリスチレン換算数平均分子量（以下、数平均分子量と称す。）が２，０００乃至３０，０００である、アルカリ可溶性アクリル重合体（以下、単にアクリル重合体とも称する）である。
【００１１】
本発明において、アクリル重合体とはアクリル酸エステル、メタクリル酸エステル、スチレン等の不飽和二重結合を有するモノマーを用いて単独重合もしくは共重合して得られた重合体を指す。
（Ａ）成分のアクリル重合体は、斯かる構造を有するアクリル重合体であればよく、アクリル重合体を構成する高分子の主鎖の骨格及び特定側鎖以外に有し得る側鎖の種類など
について特に限定されない。
【００１２】
然しながら、（Ａ）成分のアクリル重合体は、数平均分子量が３０，０００を超えて過大なものであると、段差に対する平坦化性能が低下する一方、数平均分子量が２，０００未満で過小なものであると、熱硬化時に硬化不足になり溶剤耐性が低下する場合がある。従って、（Ａ）成分のアクリル重合体は数平均分子量が２，０００乃至３０，０００の範囲内にあるものである。
【００１３】
上述のように、（Ａ）成分の特定側鎖は、炭素原子数が３乃至１６であって、末端に不飽和結合を有するものであれば特に限定されない。中でも下記式（１）で表される特定側鎖が好ましい。
【００１４】
【化１】
2008256974.tif 000002
【００１５】
式（１）中、Ｒ1は、炭素原子数が１乃至１３であり、脂肪族基、環式構造を含む脂肪
族基及び芳香族基からなる群から選ばれる有機基又はそれらの群から選ばれる複数の有機基の組み合わせからなる有機基である。そして、Ｒ1には、エステル結合、エーテル結合
、アミド結合、ウレタン結合等の結合を含んでいても良い。
【００１６】
Ｒ1の具体例を挙げると、下記式（Ａ−１）乃至式（Ａ−１０）等が挙げられる。
【００１７】
【化２】
2008256974.tif 000003
【００１８】
前記式（１）で表される特定側鎖の中でも、特に、脂肪族の側鎖である特定側鎖が好ましい。
より好ましくは、前記式（１）で表される特定側鎖の中でも、特に、末端がアクリロイル基又はメタクリロイル基である特定側鎖が好ましい。
またさらに好ましくは、前記式（１）で表される特定側鎖に含まれる不飽和二重結合は、（Ａ）成分のアクリル重合体２００乃至１，３００ｇ当量に対して１ｍｏｌ当量含まれることが望ましい。
【００１９】
上記のような特定側鎖を有するアクリル重合体を得る方法は、特に限定されないが、例えば、あらかじめラジカル重合等の重合方法によって、特定官能基を有するアクリル重合体を生成し、その特定官能基と、末端に不飽和結合を有する化合物（以下、特定化合物と称す。）とを反応させることによって特定側鎖を生成して、（Ａ）成分であるアクリル重合体とすることができる。
【００２０】
ここで、前記特定官能基とは、カルボキシル基、グリシジル基、ヒドロキシ基、活性水素を有するアミノ基、フェノール性ヒドロキシ基、イソシアネート基等からなる群から選ばれる一種又は複数種の官能基を意味する。
また、前記特定化合物としては、例えば、グリシジルメタクリレート、グリシジルアクリレート、イソシアナートエチルメタクリレート、イソシアナートエチルアクリレート、メタクリル酸クロリド、アクリル酸クロリド、メタクリル酸、アクリル酸等が挙げられる。
【００２１】
このようにして得られるアクリル重合体の中で、好ましい特定側鎖を有するアクリル重合体は、式（１）で表される側鎖を有するアクリル重合体であり、即ち、下記式（２）で表される構造を有するアクリル重合体である。
【００２２】
【化３】
2008256974.tif 000004
【００２３】
（式（２）中、Ｒ1は前述の式（１）にて定義したように炭素原子数が１乃至１３であり
、脂肪族基、環式構造を含む脂肪族基及び芳香族基からなる群から選ばれる有機基又はそれらの群から選ばれる複数の有機基の組み合わせからなる有機基である。そして、Ｒ1に
は、エステル結合、エーテル結合、アミド結合、ウレタン結合等の結合を含んでいても良い。Ｒ2は水素原子又はメチル基を表す。）
【００２４】
上記特定側鎖を生成させる反応において、好ましい前記特定官能基と前記特定化合物の組み合わせは、カルボキシル基とエポキシ基、ヒドロキシ基とイソシアネート基、フェノール性ヒドロキシ基とエポキシ基、カルボキシル基とイソシアネート基、アミノ基とイソシアネート基、ヒドロキシ基と酸クロリド等の組み合わせである。より具体的には、カルボキシル基とグリシジルメタクリレート、及びヒドロキシ基とイソシアネートエチルメタクリレートであることが好ましい。
【００２５】
上記の特定官能基を有するアクリル重合体は、特定化合物と反応するための官能基（特定官能基）を有するモノマー、すなわち、カルボキシル基、グリシジル基、ヒドロキシ基、活性水素を有するアミノ基、フェノール性ヒドロキシ基又はイソシアネート基等を有するモノマーからなる群から選ばれるモノマーを必須の構成成分として重合して得られる（共）重合体であって、その数平均分子量が２，０００乃至２５，０００のものである。その際、特定官能基を有するモノマーは、単独でも良いし、重合中に反応しない組み合わせであれば複数種を併用しても良い。
以下に、特定官能基を有するアクリル重合体を得るために必要な、特定官能基を有するモノマーの具体例を挙げるがこれらに限定されるものではない。
【００２６】
カルボキシル基を有するモノマーとしては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、モノ−（２−（アクリロイルオキシ）エチル）フタレート、モノ−（２−（メタクリロイルオキシ）エチル）フタレート、Ｎ−（カルボキシフェニル）マレイミド、Ｎ−（カルボキシフェニル）メタクリルアミド、Ｎ−（カルボキシフェニル）アクリルアミド等が挙げられる。
【００２７】
グリシジル基を有するモノマーとしては、例えば、グリシジルメタクリレート、グリシジルアクリレート、アリルグリシジルエーテル、３−エテニル−７−オキサビシクロ［４．１．０］ヘプタン、１，２−エポキシ−５−ヘキセン、１，７−オクタジエンモノエポキサイド等が挙げられる。
【００２８】
ヒドロキシ基を有するモノマーとしては、例えば、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシプロピルアクリレート、２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、４−ヒドロキシブチルアクリレート、４−ヒドロキシブチルメタクリレート、２，３−ジヒドロキシプロピルアクリレート、２，３−ジヒドロキシプロピルメタクリレート、ジエチレングリコールモノアクリレート、ジエチレングリコールモノメタクリレート、カプロラクトン２−（アクリロイルオキシ）エチルエステル、カプロラクトン２−（メタクリロイルオキシ）エチルエステル、ポリ（エチレングリコール）エチルエーテルアクリレート、ポリ（エチレングリコール）エチルエーテルメタクリレート、５−アクリロイルオキシ−６−ヒドロキシノルボルネン−２−カルボキシリック−６−ラクトン、５−メタクリロイルオキシ−６−ヒドロキシノルボルネン−２−カルボキシリック−６−ラクトン等が挙げられる。
【００２９】
活性水素を有するアミノ基を有するモノマーとしては、２−アミノエチルアクリレート、２−アミノメチルメタクリレート等が挙げられる。
【００３０】
フェノール性ヒドロキシ基を有するモノマーとしては、例えば、ヒドロキシスチレン、Ｎ−（ヒドロキシフェニル）アクリルアミド、Ｎ−（ヒドロキシフェニル）メタクリルアミド、Ｎ−（ヒドロキシフェニル）マレイミド等が挙げられる。
【００３１】
さらに、イソシアネート基を有するモノマーとしては、例えば、アクリロイルエチルイソシアネート、メタクリロイルエチルイソシアネート、ｍ−テトラメチルキシレンイソシアネート、等が挙げられる。
【００３２】
また、本発明においては、特定官能基を有するアクリル重合体を得る際に、前述の特定官能基を有するモノマーと共重合可能な、非反応性官能基を有するモノマーを併用することができる。
非反応性官能基を有するモノマーの具体例としては、アクリル酸エステル化合物、メタクリル酸エステル化合物、マレイミド化合物、アクリロニトリル、マレイン酸無水物、スチレン化合物及びビニル化合物等が挙げられる。
以下、非反応性官能基を有するモノマーの具体例を挙げるが、これらに限定されるものではない。
【００３３】
前記アクリル酸エステル化合物としては、例えば、メチルアクリレート、エチルアクリレート、イソプロピルアクリレート、ベンジルアクリレート、ナフチルアクリレート、アントリルアクリレート、アントリルメチルアクリレート、フェニルアクリレート、２，２，２−トリフルオロエチルアクリレート、ｔｅｒｔ−ブチルアクリレート、シクロヘキシルアクリレート、イソボルニルアクリレート、２−メトキシエチルアクリレート、メトキシトリエチレングリコールアクリレート、２−エトキシエチルアクリレート、テトラヒド
ロフルフリルアクリレート、３−メトキシブチルアクリレート、２−メチル−２−アダマンチルアクリレート、２−プロピル−２−アダマンチルアクリレート、８−メチル−８−トリシクロデシルアクリレート、及び、８−エチル−８−トリシクロデシルアクリレート等が挙げられる。
【００３４】
前記メタクリル酸エステル化合物としては、例えば、メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、イソプロピルメタクリレート、ベンジルメタクリレート、ナフチルメタクリレート、アントリルメタクリレート、アントリルメチルメタクリレート、フェニルメタクリレート、２，２，２−トリフルオロエチルメタクリレート、ｔｅｒｔ−ブチルメタクリレート、シクロヘキシルメタクリレート、イソボルニルメタクリレート、２−メトキシエチルメタクリレート、メトキシトリエチレングリコールメタクリレート、２−エトキシエチルメタクリレート、テトラヒドロフルフリルメタクリレート、３−メトキシブチルメタクリレート、２−メチル−２−アダマンチルメタクリレート、γ−ブチロラクトンメタクリレート、２−プロピル−２−アダマンチルメタクリレート、８−メチル−８−トリシクロデシルメタクリレート、及び、８−エチル−８−トリシクロデシルメタクリレート等が挙げられる。
【００３５】
前記ビニル化合物としては、例えば、メチルビニルエーテル、ベンジルビニルエーテル、ビニルナフタレン、ビニルアントラセン、ビニルカルバゾール、２−ヒドロキシエチルビニルエーテル、フェニルビニルエーテル、及び、プロピルビニルエーテル等が挙げられる。
【００３６】
前記スチレン化合物としては、例えば、スチレン、メチルスチレン、クロロスチレン、ブロモスチレン等が挙げられる。
【００３７】
前記マレイミド化合物としては、例えば、マレイミド、Ｎ−メチルマレイミド、Ｎ−フェニルマレイミド、及びＮ−シクロヘキシルマレイミド等が挙げられる。
【００３８】
本発明に用いる特定官能基を有するアクリル重合体を得る方法は特に限定されないが、例えば、特定官能基を有するモノマー、それ以外の共重合可能な非反応性官能基を有するモノマー及び所望により重合開始剤等を共存させた溶剤中において、５０乃至１１０℃の温度下で重合反応させることにより、得られる。その際、用いられる溶剤は、特定官能基を有するアクリル重合体を構成するモノマー及び特定官能基を有するアクリル重合体を溶解するものであれば特に限定されない。具体例としては、後述する（Ｃ）溶剤に記載する溶剤が挙げられる。
このようにして得られる特定官能基を有するアクリル重合体は、通常、溶剤に溶解した溶液の状態である。
【００３９】
次いで、得られた特定官能基を有するアクリル重合体に特定化合物を反応させて、（Ａ）成分であるアクリル重合体（以下、特定共重合体とも称す。）を得ることができる。その際、通常は、特定官能基を有するアクリル重合体の溶液を反応に供する。
具体的には、例えば、カルボキシル基を有するアクリル重合体の溶液に、ベンジルトリエチルアンモニウムクロリド等の触媒存在下、８０℃乃至１５０℃の温度でグリシジルメタクリレートを反応させることにより、特定共重合体を得ることができる。その際、用いられる溶剤は、特定共重合体を構成するモノマー及び特定共重合体を溶解するものであれば特に限定されない。具体例としては、後述する（Ｃ）溶剤に記載する溶剤が挙げられる。
このようにして得られる（Ａ）成分である特定共重合体は、通常、この特定共重合体が溶剤に溶解した溶液の状態である。
【００４０】
また、上記のようにして得られた（Ａ）成分である特定共重合体の溶液を、ジエチルエーテルや水等の撹拌下に投入して再沈殿させ、生成した沈殿物を濾過・洗浄した後、常圧又は減圧下で、常温あるいは加熱乾燥することで、特定共重合体の粉体とすることができる。このような操作により、特定共重合体の溶液に残存する重合開始剤や未反応モノマーを除去することができ、その結果、精製した特定共重合体の粉体を得られる。一度の操作で充分に精製できない場合は、得られた粉体を溶剤に再溶解して、上記の操作を繰り返し行えば良い。
本発明においては、上記特定共重合体の粉体をそのまま用いても良く、あるいはその粉体を、たとえば後述する（Ｃ）溶剤に再溶解して溶液の状態として用いても良い。
また、本発明においては、（Ａ）成分のアクリル重合体は、複数種の特定共重合体の混合物であってもよい。
【００４１】
＜Ｂ成分＞
（Ｂ）成分である１，２−キノンジアジド化合物としては、ヒドロキシ基又はアミノ基のいずれか一方を有する化合物、又は、ヒドロキシ基及びアミノ基の両方を有する化合物において、これらのヒドロキシ基又はアミノ基（ヒドロキシ基とアミノ基の両方を有する場合は、それらの合計モル量）のうち、好ましくは１０乃至１００モル％、特に好ましくは２０乃至９５モル％を１，２−キノンジアジドスルホン酸化合物でエステル化、又はアミド化した化合物を挙げることができる。
【００４２】
前記ヒドロキシ基を有する化合物としては例えば、フェノール、ｏ−クレゾール、ｍ−クレゾール、ｐ−クレゾール、ハイドロキノン、レゾルシノール、カテコール、ガリック酸メチル、ガリック酸エチル、１，３，３−トリス（４−ヒドロキシフェニル）ブタン、４，４−イソプロプリデンジフェノール、２，２−ビス（４−ヒドロキシフェニル）プロパン、１，１−ビス（４−ヒドロキシフェニル）シクロヘキサン、４，４’−ジヒドロキシフェニルスルホン、４，４−ヘキサフルオロイソプロピリデンジフェノール、４，４’,４’’−トリスヒドロキシフェニルエタン、１，１，１−トリスヒドロキシフェニルエ
タン、４，４'−［１−［４−［１−（４−ヒドロキシフェニル）−１−メチルエチル］
フェニル］エチリデン］ビスフェノール、２，４−ジヒドロキシベンゾフェノン、２，３，４−トリヒドロキシベンゾフェノン、２，２’，４，４’−テトラヒドロキシベンゾフェノン、２，３，４，４’−テトラヒドロキシベンゾフェノン、２，２’，３，４，４’−ペンタヒドロキシベンゾフェノン、２，５−ビス（２−ヒドロキシ−５−メチルベンジル）メチルなどのフェノール化合物、エタノール、２−プロパノール、４−ブタノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、プロピレングリコール、ジエチレングリコール、ジプロピレングリコール、２−メトキシエタノール、２−ブトキシエタノール、２−メトキシプロパノール、２−ブトキシプロパノール、乳酸エチル、乳酸ブチルなどの脂肪族アルコール類を挙げることができる。
【００４３】
また、前記アミノ基を含有する化合物としては、アニリン、ｏ−トルイジン、ｍ−トルイジン、ｐ−トルイジン、４−アミノジフェニルメタン、４−アミノジフェニル、ｏ−フェニレンジアミン、ｍ−フェニレンジアミン、ｐ−フェニレンジアミン、４，４’−ジアミノフェニルメタン、４，４’−ジアミノジフェニルエーテル、などのアニリン類、アミノシクロヘキサンを挙げることができる。
【００４４】
さらに、ヒドロキシ基とアミノ基両方を含有する化合物としては、例えば、ｏ−アミノフェノール、ｍ−アミノフェノール、ｐ−アミノフェノール、４−アミノレゾルシノール、２，３−ジアミノフェノール、２，４−ジアミノフェノール、４，４’−ジアミノ−４’’−ヒドロキシトリフェニルメタン、４−アミノ−４’，４’’−ジヒドロキシトリフェニルメタン、ビス（４−アミノ−３−カルボキシ−５−ヒドロキシフェニル）エーテル、ビス（４−アミノ−３−カルボキシ−５−ヒドロキシフェニル）メタン、２，２−ビス
（４−アミノ−３−カルボキシ−５−ヒドロキシフェニル）プロパン、２，２−ビス（４−アミノ−３−カルボキシ−５−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパンなどのアミノフェノール類、２−アミノエタノール、３−アミノプロパノール、４−アミノシクロヘキサノールなどのアルカノールアミン類を挙げることができる。
【００４５】
これらの１，２−キノンジアジド化合物は単独又は２種以上の組み合わせで使用することができる。
【００４６】
本発明のポジ型感光性樹脂組成物における（Ｂ）成分の含有量は、（Ａ）成分の１００質量部に対して、好ましくは５乃至１００質量部、より好ましくは８乃至５０質量部、更に好ましくは１０乃至４０質量部である。５質量部未満の場合、ポジ型感光性樹脂組成物の露光部と未露光部の現像液への溶解速度差が小さくなり、現像によるパターニングが困難となる場合がある。また、１００質量部を超えると、短時間での露光で１，２−キノンジアジド化合物が十分に分解されず感度が低下する場合や、（Ｂ）成分が光を吸収して硬化膜の透明性を低下させてしまう場合がある。
【００４７】
＜（Ｃ）溶剤＞
本発明に用いる（Ｃ）溶剤は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分を溶解し、且つ所望により添加される後述の（Ｄ）成分乃至（Ｅ）成分などを溶解するものであり、斯様な溶解能を有する溶剤であれば、その種類及び構造などは特に限定されるものでない。
斯様な（Ｃ）溶剤としては、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテル、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート、トルエン、キシレン、メチルエチルケトン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、２−ブタノン、３−メチル−２−ペンタノン、２−ペンタノン、２−ヘプタノン、γ−ブチロラクトン、２−ヒドロキシプロピオン酸エチル、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、２−ヒドロキシ−３−メチルブタン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸エチル、乳酸ブチル、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、及びＮ−メチルピロリドン等が挙げられる。
【００４８】
これらの溶剤は、一種単独で、又は二種以上の組合せで使用することができる。
これら（Ｃ）溶剤の中、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、２−ヘプタノン、プロピレングリコールプロピルエーテル、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート、乳酸エチル、乳酸ブチル等が、塗膜性が良好で安全性が高いという観点より好ましい。これら溶剤は、一般にフォトレジスト材料のための溶剤として用いられている。
【００４９】
＜Ｄ成分＞
（Ｄ）成分は、界面活性剤である。本発明のポジ型感光性樹脂組成物にあっては、その塗布性を向上させるという目的で、本発明の効果を損なわない限りにおいて、更に界面活性剤を含有することができる。
【００５０】
（Ｄ）成分の界面活性剤としては、特に制限されないが、例えば、フッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤などが挙げられる。この種の界面活性剤としては、例えば、住友スリーエム（株）製、大日本インキ化学工業（株）製或いは旭
硝子（株）製等の市販品を用いることができる。これら市販品は、容易に入手することができるので、好都合である。その具体的な例としては、エフトップＥＦ３０１、ＥＦ３０３、ＥＦ３５２（（株）ジェムコ製）、メガファックＲ３０、Ｒ０８、Ｒ９０、ＢＬ２０、Ｒ６１、Ｆ１７１、Ｆ１７３、Ｆ４７１、Ｆ４７５、Ｆ４７９、Ｆ４７４、Ｆ４７７、Ｆ４８０、Ｆ４８２、Ｆ４８３、Ｆ４８４（大日本インキ化学工業（株）製）、フロラードＦＣ４３０、ＦＣ４３１（住友スリーエム（株）製）、アサヒガードＡＧ７１０、サーフロンＳ−３８２、ＳＣ１０１、ＳＣ１０２、ＳＣ１０３、ＳＣ１０４、ＳＣ１０５、ＳＣ１０６（旭硝子（株）製）等のフッ素系界面活性剤が挙げられる。
（Ｄ）成分の界面活性剤は、一種単独で、又は二種以上の組合せで使用することができる。
界面活性剤が使用される場合、その含有量は、ポジ型感光性樹脂組成物１００質量％中に好ましくは０．１質量％以下である。（Ｄ）成分の界面活性剤の使用量が０．１質量％を超える量に設定されても、上記塗布性の改良効果は鈍くなり、経済的でなくなる。
【００５１】
＜Ｅ成分＞
（Ｅ）成分は、密着促進剤である。本発明のポジ型感光性樹脂組成物において、現像後の基板との密着性を向上させる目的で、密着促進剤を添加してもよい。このような密着促進剤の具体例としては、トリメチルクロロシラン、ジメチルビニルクロロシラン、メチルジフェニルクロロシラン、クロロメチルジメチルクロロシラン等のクロロシラン類、トリメチルメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、メチルジメトキシシラン、ジメチルビニルエトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン等のアルコキシシラン類、ヘキサメチルジシラザン、Ｎ，Ｎ’‐ビス（トリメチルシリル）ウレア、ジメチルトリメチルシリルアミン、トリメチルシリルイミダゾール等のシラザン類、ビニルトリクロロシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、γ−（Ｎ−ピペリジニル）プロピルトリエトキシシラン等のシラン類、ベンゾトリアゾール、ベンズイミダゾール、インダゾール、イミダゾール、２−メルカプトベンズイミダゾール、２−メルカプトベンゾチアゾール、２−メルカプトベンゾオキサゾール、ウラゾール、チオウラシル、メルカプトイミダゾール、メルカプトピリミジン等の複素環状化合物や、１，１−ジメチルウレア、１，３−ジメチルウレア等の尿素、又はチオ尿素化合物を挙げることができる。
【００５２】
上記の密着促進剤は、例えば、信越化学工業（株）製、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン合同会社（旧ＧＥ東芝シリコーン（株））製や東レ・ダウコーニング（株）製等の市販品の化合物を用いることもでき、これらの市販品は用意に入手可能である。
（Ｅ）成分として、前記密着促進剤のうち１種又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。
これらの密着促進剤の添加量は、（Ａ）成分の１００質量部に対して、通常、好ましくは０．５乃至１０質量部である。１０質量部を超えて用いると塗膜の耐熱性が低下する場合があり、また、０．５質量部未満では密着促進剤の十分な効果が得られない場合がある。
【００５３】
＜その他添加剤＞
更に、本発明のポジ型感光性樹脂組成物は、本発明の効果を損なわない限りにおいて、必要に応じて、レオロジー調整剤、顔料、染料、保存安定剤、消泡剤、又は多価フェノール、多価カルボン酸等の溶解促進剤等を含有することができる。
【００５４】
＜ポジ型感光性樹脂組成物＞
本発明のポジ型感光性樹脂組成物は、（Ａ）成分のアルカリ可溶性アクリル重合体、（
Ｂ）成分の１，２−キノンジアジド化合物及び（Ｃ）溶剤を含有し、且つ、それぞれ所望により、（Ｄ）成分の界面活性剤、（Ｅ）成分の密着促進剤、及びその他添加剤のうち１種以上を更に含有することができる組成物である。
【００５５】
中でも、本発明のポジ型感光性樹脂組成物の好ましい例は、以下のとおりである。
［１］：（Ａ）成分１００質量部に基づいて、５乃至１００質量部の（Ｂ）成分を含有し、これら成分が（Ｃ）溶剤に溶解されたポジ型感光性樹脂組成物。
［２］：上記［１］の組成物において、更に（Ｄ）成分を０．１質量％以下含有するポジ型感光性樹脂組成物。
［３］：上記［１］又は［２］の組成物において、更に（Ｅ）成分を（Ａ）成分の１００質量部に基づいて０．５乃至１０質量部含有するポジ型感光性樹脂組成物。
【００５６】
本発明のポジ型感光性樹脂組成物における固形分の割合は、各成分が均一に溶剤に溶解している限り、特に限定されるものではないが、例えば１乃至８０質量％であり、また例えば５乃至６０質量％であり、又は１０乃至５０質量％である。ここで、固形分とは、ポジ型感光性樹脂組成物の全成分から（Ｃ）溶剤を除いたものをいう。
【００５７】
本発明のポジ型感光性樹脂組成物の調製方法は、特に限定されないが、その調製法としては、例えば、（Ａ）成分（アルカリ可溶性アクリル重合体）を（Ｃ）溶剤に溶解し、この溶液に（Ｂ）成分（１，２−キノンジアジド化合物）を所定の割合で混合し、均一な溶液とする方法、或いは、この調製法の適当な段階において、必要に応じて（Ｄ）成分（界面活性剤）、（Ｅ）成分（密着促進剤）及びその他添加剤を更に添加して混合する方法が挙げられる。
【００５８】
本発明のポジ型感光性樹脂組成物の調製にあたっては、（Ｃ）溶剤中における重合反応によって得られる（Ａ）成分である特定共重合体の溶液をそのまま使用することができ、この場合、この（Ａ）成分の溶液に前記と同様に（Ｂ）成分などを入れて均一な溶液とする際に、濃度調整を目的としてさらに（Ｃ）溶剤を追加投入してもよい。このとき、特定共重合体の形成過程で用いられる（Ｃ）溶剤と、ポジ型感光性樹脂組成物の調製時に濃度調整のために用いられる（Ｃ）溶剤とは同一であっても、異なっていてもよい。
【００５９】
而して、調製されたポジ型感光性樹脂組成物の溶液は、孔径が０.２μｍ程度のフィル
タなどを用いて濾過した後、使用することが好ましい。
【００６０】
＜塗膜及び硬化膜＞
本発明のポジ型感光性樹脂組成物を半導体基板（例えば、シリコン／二酸化シリコン被覆基板、シリコンナイトライド基板、金属例えばアルミニウム、モリブデン、クロムなどが被覆された基板、ガラス基板、石英基板、ＩＴＯ基板等）の上に、回転塗布、流し塗布、ロール塗布、スリット塗布、スリットに続いた回転塗布、インクジェット塗布などによって塗布し、その後、ホットプレート又はオーブン等で予備乾燥することにより、塗膜を形成することができる。その後、この塗膜を加熱処理することにより、ポジ型感光性樹脂膜が形成される。
【００６１】
この加熱処理の条件としては、例えば、温度７０℃乃至１６０℃、時間０．３乃至６０分間の範囲の中から適宜選択された加熱温度及び加熱時間が採用される。加熱温度及び加熱時間は、好ましくは８０℃乃至１４０℃、０．５乃至１０分間である。
【００６２】
また、ポジ型感光性樹脂組成物から形成されるポジ型感光性樹脂膜の膜厚は、例えば０．１乃至３０μｍであり、また例えば０．２乃至１０μｍであり、更に例えば０．２乃至５μｍである。
【００６３】
上記で得られた塗膜上に、所定のパターンを有するマスクを装着して紫外線等の光を照射し、その後アルカリ現像液で現像することで、露光部が洗い出されて端面のシャープなレリーフパターンが得られる。
【００６４】
使用されうるアルカリ性現像液としては、例えば、水酸化カリウム、水酸化ナトリウムなどのアルカリ金属水酸化物の水溶液、水酸化テトラメチルアンモニウム、水酸化テトラエチルアンモニウム、コリンなどの水酸化第四級アンモニウムの水溶液、エタノールアミン、プロピルアミン、エチレンジアミンなどのアミン水溶液等のアルカリ性水溶液が挙げられる。さらに、これらの現像液には、界面活性剤などを加えることもできる。
【００６５】
上記の中、水酸化テトラエチルアンモニウム０．１乃至２．３８質量％水溶液は、フォトレジストの現像液として一般に使用されており、本発明の感光性樹脂組成物においても、このアルカリ性現像液を用いて、膨潤などの問題をひき起こすことなく良好に現像することができる。
【００６６】
また、現像方法としては、液盛り法、ディッピング法、揺動浸漬法など、いずれも用いることができる。その際の現像時間は、通常、１５乃至１８０秒間である。
【００６７】
現像後、ポジ型感光性樹脂膜に対して流水による洗浄を例えば２０乃至９０秒間行い、続いて圧縮空気もしくは圧縮窒素を用いて又はスピニングにより風乾することにより、基板上の水分が除去され、そしてパターン形成された膜が得られる。
【００６８】
続いて、斯かるパターン形成膜に対して、熱硬化のためにポストベークを行うことにより、具体的にはホットプレート、オーブンなどを用いて加熱することにより、耐熱性、透明性、平坦化性、低吸水性、耐薬品性などに優れ、良好なレリーフパターンを有する膜が得られる。
【００６９】
ポストベークとしては、一般に、温度１４０℃乃至２５０℃の範囲の中から選択された加熱温度にて、ホットプレート上の場合には５乃至３０分間、オーブン中の場合には３０乃至９０分間処理するという方法が採られる。
【００７０】
而して、斯かるポストべークにより、目的とする、良好なパターン形状を有する硬化膜を得ることができる。
【００７１】
以上のように、本発明のポジ型感光性樹脂組成物により、保存安定性が高く、十分高感度であり且つ現像の際に未露光部の膜減りが非常に小さく、微細なパターンを有する塗膜を形成することができる。
また、この塗膜から得られる硬化膜は耐熱性、耐溶剤性に優れ、透明性が高いという特徴を有する。そのため、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイにおける各種の膜、例えば層間絶縁膜、保護膜、絶縁膜などと共に、ＴＦＴ型液晶素子のアレイ平坦化膜等の用途で好適に用いることができる。
【００７２】
特に、これまで保存安定性の悪さから、性能劣化に加え経済的にも不利益を生じていたエポキシ架橋系感光性樹脂組成物の欠点を解消し、１０日間保存後も製造直後と殆ど変化のない品質を保つことができる、新たなポジ型感光性樹脂組成物が得られ、該組成物から得られる塗膜、硬化膜を上述の各種材料に好適に用いることができる。
【実施例】
【００７３】
以下、実施例を挙げて、本発明を更に詳しく説明するが、本発明は、これら実施例に限
定されるものでない。
【００７４】
［実施例で用いる略記号］
以下の実施例で用いる略記号の意味は、次のとおりである。
ＭＡＡ：メタクリル酸
ＭＭＡ：メチルメタクリレート
ＨＥＭＡ：２−ヒドロキシエチルメタクリレート
ＣＨＭＩ：Ｎ−シクロヘキシルマレイミド
ＧＭＡ：グリシジルメタクリレート
ＤＣＭ：ジシクロペンチルメタクリレート
ＢＴＥＡＣ：ベンジルトリエチルアンモニウム
ＴＨＰＡ：１，２，３，６−テトラヒドロフタル酸無水物
ＡＩＢＮ：アゾビスイソブチロニトリル
ＰＧＭＥＡ：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
ＱＤ：１，３，３−トリス（４−ヒドロキシフェニル）ブタン１ｍｏｌと１，２−ナフトキノン−２−ジアジド−５−スルホニルクロリド２ｍｏｌとの縮合反応によって合成される化合物。
ＣＬ１：ダイセル化学工業（株）製  エポリードＧＴ−４０１（脂環式エポキシ樹脂）
ＭＰＴＳ：γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン
Ｒ３０：大日本インキ化学工業（株）製  メガファック  Ｒ−３０（商品名）
【００７５】
［数平均分子量及び重量平均分子量の測定］
以下の合成例に従い得られた（特定）共重合体の数平均分子量及び重量平均分子量を、日本分光（株）製ＧＰＣ装置（Ｓｈｏｄｅｘ（登録商標）カラムＫＦ８０３Ｌ及びＫＦ８０４Ｌ）を用い、溶出溶媒テトラヒドロフランを流量１ｍｌ／分でカラム中に（カラム温度４０℃）流して溶離させるという条件で測定した。なお、下記の数平均分子量（以下、Ｍｎと称す。）及び重量平均分子量（以下、Ｍｗと称す。）は、ポリスチレン換算値にて表される。
【００７６】
＜合成例１＞
共重合体を構成するモノマー成分として、ＭＡＡ（４０．０ｇ）、ＤＣＭ（４０．０ｇ）を使用し、ラジカル重合開始剤としてＡＩＢＮ（２ｇ）を使用し、これらを溶剤ＰＧＭＥＡ（１２０ｇ）中において重合反応させることにより、Ｍｎ６，３００、Ｍｗ１０，６００である共重合体溶液（共重合体濃度：４０質量％）を得た（Ｐ１）。なお、重合温度は、温度６０℃乃至１００℃に調整した。
【００７７】
＜合成例２＞
上記共重合体（Ｐ１）２００ｇにＧＭＡ（２６．０ｇ）、ＢＴＥＡＣ（１．１ｇ）、ＰＧＭＥＡ（３９ｇ）を加えて反応させることによりＭｎ７，２００、Ｍｗ１３，２００の（Ａ）成分（特定共重合体）の溶液（特定共重合体濃度：４０質量％）を得た（Ｐ２）。なお、反応温度を９０乃至１２０℃に調整した。
【００７８】
＜合成例３＞
上記共重合体（Ｐ１）２００ｇにＧＭＡ（６６．１ｇ）、ＢＴＥＡＣ（２．８ｇ）、ＰＧＭＥＡ（９９．２ｇ）を加えて反応させた。なお、このときの反応温度は９０乃至１２０℃に調整した。
得られた反応用液２００ｇにＴＨＰＡ（２３．２ｇ）、ＰＧＭＥＡ（３４．８ｇ）を加え、温度を８０乃至１００℃に調整して反応させることにより、Ｍｎ９，３００、Ｍｗ２０，５００の（Ａ）成分（特定共重合体）の溶液（特定共重合体濃度：４０質量％）を得た（Ｐ３）。
【００７９】
＜合成例４＞
共重合体を構成するモノマー成分として、ＭＡＡ  １５．５ｇ、ＣＨＭＩ  ３５．３ｇ、ＨＥＭＡ  ２５．５ｇ、ＭＭＡ  ２３．７ｇを使用し、ラジカル重合開始剤としてＡＩＢＮ  ５ｇを使用し、これらを溶剤ＰＧＭＥＡ  ２００ｇ中において温度６０℃乃至１００℃で重合反応させることにより、Ｍｎ４，１００、Ｍｗ７，６００である共重合体の溶液（共重合体濃度：２７．５質量％）を得た。（Ｐ４）
【００８０】
＜合成例５＞
共重合体を構成するモノマー成分として、ＭＡＡ  ２３.０ｇ、ＧＭＡ  ４０．０ｇ、
ＤＣＭ  ３７．０ｇを使用し、ラジカル重合開始剤としてＡＩＢＮ  ５ｇを使用し、これらを溶剤ＰＧＭＥＡ  ２００ｇ中において温度６０℃乃至１００℃で重合反応させることにより、Ｍｎ４，３００、Ｍｗ９，６００である共重合体の溶液（共重合体濃度：２７．５質量％）を得た。（Ｐ５）
【００８１】
＜実施例１乃至４及び比較例１乃至４＞
次の表１に示す組成に従い、（Ａ）成分の溶液又は共重合体の溶液に、（Ｂ）成分及び（Ｃ）溶剤、更に（Ｄ）成分、（Ｅ）成分及びその他の成分（エポキシ樹脂）を所定の割合で混合し、室温で３時間撹拌して均一な溶液とすることにより、各実施例及び各比較例のポジ型感光性樹脂組成物を調製した。
【００８２】
【表１】
2008256974.tif 000005
【００８３】
得られた実施例１乃至４並びに比較例１乃至４の各ポジ型感光性樹脂組成物について、それぞれ、組成物の保存安定性の観点から、塗膜の感度及び膜減り（未露光部における）の評価を行い、また、硬化膜の溶剤耐性を各々測定し、それらの評価を行った。
【００８４】
［溶液安定性評価］
上述の実施例１乃至４並びに比較例１乃至４のポジ型感光性樹脂組成物について、これ
の組成物の調製直後及び室温にて１０日間保存後における感度及び膜減りを下記方法にて測定し、評価した。
【００８５】
［感度の評価］
ポジ型感光性樹脂組成物をシリコンウェハー上にスピンコーターを用いて塗布した後、温度１１０℃で１２０秒間ホットプレート上においてプリベークを行い膜厚２．５μｍの塗膜を形成した。膜厚はＦＩＬＭＥＴＲＩＣＳ製  Ｆ２０を用いて測定した。この塗膜にキヤノン（株）製紫外線照射装置ＰＬＡ−６００ＦＡにより３６５ｎｍにおける光強度が５．５ｍＷ／ｃｍ2の紫外線を一定時間照射した。その後０．４質量％の水酸化テトラメ
チルアンモニウム（以下、ＴＭＡＨと称す）水溶液に６０秒間浸漬することで現像を行った後、超純水で２０秒間流水洗浄を行った。露光部において溶け残りのなくなる最低の露光量（ｍＪ／ｃｍ2）を感度として評価した。
表２に各組成物について調製直後の組成物の感度、及び１０日間保存後の組成物の感度の変化量を示す。
【００８６】
［膜減りの評価］
ポジ型感光性樹脂組成物をシリコンウェハー上にスピンコーターを用いて塗布した後、温度１１０℃で１２０秒間ホットプレート上においてプリベークを行い膜厚２．５μｍの塗膜を形成した。この膜を０．４質量％ＴＭＡＨ水溶液に６０秒間浸漬した後、超純水で２０秒間流水洗浄を行った。次いで、この膜の厚さを測定することで、現像による未露光部の膜減り度合いを評価した。この評価における膜厚は、ＦＩＬＭＥＴＲＩＣＳ製  Ｆ２０を用いて測定した。
表２に各組成物について調製直後の組成物の膜減り度合い、及び１０日間保存後の組成物の膜減り度合いの変化量を示す。
【００８７】
［溶剤耐性の評価］
調製直後のポジ型感光性樹脂組成物をシリコンウェハー上にスピンコーターを用いて塗布した後、温度１１０℃で１２０秒間ホットプレート上においてプリベークを行い膜厚２．５μｍの塗膜を形成した。この塗膜を２３０℃で３０分加熱することによりポストベークを行い、膜厚２．１μｍの硬化膜を形成した。この塗膜をＮＭＰ中に１分間室温にて浸漬させ、浸漬前後の膜厚変化がないものを○、膜厚の減少が見られたものを×とした。
【００８８】
［評価の結果］
以上の評価を行った結果を、次の表２に示す。
【００８９】
【表２】
2008256974.tif 000006
【００９０】
表２に示す結果より判るように、実施例１乃至４のポジ型感光性樹脂組成物はいずれも高感度であり、未露光部における膜減りが無く、室温で１０日間溶液を保存後も高感度を維持していた。さらに硬化後の溶剤耐性も問題なかった。
【００９１】
一方、比較例１及び３においては、ポジ型感光性樹脂組成物の溶液安定性は高いが、ポストベークにより熱硬化が起こらず十分な溶剤耐性が得られなかった。また比較例２及び４については、ポストベーク後十分な溶剤耐性が得られるものの、溶液を室温で１０日間保存後感度の低下と膜減り量の増加が見られた。
【産業上の利用可能性】
【００９２】
本発明によるポジ型感光性樹脂組成物は、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）型液晶表示素子、有機ＥＬ素子等の各種ディスプレイにおける保護膜、平坦化膜、絶縁膜等の硬化膜を形成する材料として好適であり、特に、ＴＦＴ型液晶素子の層間絶縁膜、カラーフィルターの保護膜、アレイ平坦化膜、反射型ディスプレイの反射膜下側の凹凸膜、有機ＥＬ素子の絶縁膜等を形成する材料としても好適であり、さらにマイクロレンズ材料などの各種電子材料としても好適である。