(57)【要約】【課題】タッチダウンなくスライダの飛行高さを測定する方法ならびにディスクドライブおよびスライダを実現する。【解決手段】静電力を用いて磁気データ記憶媒体の上方でスライダの飛行高さを非接触測定するためのシステム及び方法は、読取り／書込みヘッドを伴うスライダが磁気データ記憶媒体の上を飛行する。スライダと磁気データ記憶媒体との間には一連の全く異なる電圧が印加され、対応するリードバック信号が記録される。記録されたリードバック信号を用いて、曲線近似経験式のための係数が計算される。この係数は、正規化され、飛行高さ測定値に換算される。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
スライダの飛行高さを測定する方法にであって、
読取り／書込みヘッドを有するスライダを磁気データ記憶媒体上で飛行させるステップと、
一連の全く異なる電圧を前記スライダと前記磁気データ記憶媒体との間に印加するステップと、
各々の対応する印加された全く異なる電圧に基づいてリードバック信号を記憶するステップと、
記録された前記リードバック信号を用いて曲線近似経験式の係数を計算するステップと、
前記曲線近似経験式の係数を正規化するステップと、
前記正規化された係数をスライダのための飛行高さ測定値に換算するステップと、
を備えることを特徴とする方法。
【請求項２】
前記一連の全く異なる電圧が少なくとも３つの全く異なる電圧を含む請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記一連の全く異なる電圧には両方の極性が含まれる請求項１に記載の方法。
【請求項４】
反対の極性の全く異なる電圧の極端値が、実質的に等しい飛行高さ減少をもたらす請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記該一連の全く異なる電圧が、最大飛行高さとその約５０％減の間の飛行高さ範囲を結果としてもたらす一範囲内にある請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記スライダ及び前記磁気データ記憶媒体のうちの一方に対するアーク損傷を防ぐべく、前記一連の全く異なる電圧が限流デバイス内を通過する請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記限流デバイスが抵抗器である請求項６に記載の方法。
【請求項８】
複数のＤＣバッテリが前記一連の全く異なる電圧を供給する請求項１に記載の方法。
【請求項９】
安定化したＤＣ電源が前記一連の全く異なる電圧を供給する請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
前記スライダ及び前記磁気データ記憶媒体が互いに電気的に絶縁されている請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
前記曲線近似経験式が二次方程式である請求項１に記載の方法。
【請求項１２】
前記曲線近似経験式の係数が、前記曲線近似経験式のバーテックスを用いて正規化される請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
データを読取るための読取り素子及びデータを書込むための書込み素子のセットを有する読取り／書込みヘッドを伴うスライダと、
データを記憶するための磁気データ記憶媒体と、
前記スライダを支持し前記スライダと磁気データ記憶媒体との間の間隔を維持するためのサスペンションと、
前記スライダと前記磁気データ記憶媒体との間の間隔に対し可変的制御電圧を提供するための電源と、
を備えることを特徴とするディスクドライブ。
【請求項１４】
前記ディスクドライブに対する損傷を予防するための限流抵抗器をさらに備える請求項１３に記載のディスクドライブ。
【請求項１５】
前記電源が安定化したＤＣ電源である請求項１３に記載のディスクドライブ。
【請求項１６】
前記電源が少なくとも１つのＤＣバッテリである請求項１３に記載のディスクドライブ。
【請求項１７】
前記限流抵抗器が前記電源の一コンポーネントである請求項１４に記載のディスクドライブ。
【請求項１８】
前記電源が前記スライダに結合されている請求項１３に記載のディスクドライブ。
【請求項１９】
スライダとデータ記憶媒体との間の間隔を横断して前記データ記憶媒体からデータを読取るための読取り素子セット及び前記データ記憶媒体にデータを書込むための書込み素子セットを有する読取り／書込みヘッドと、
前記スライダと前記データ記憶媒体との間の間隔に対し可変的制御電圧を提供するため前記スライダに結合された電源と、
を備えることを特徴とするスライダ。
【請求項２０】
前記電源が安定化したＤＣ電源である請求項１９に記載のスライダ。
【請求項２１】
前記電源が少なくとも１つのＤＣバッテリである請求項１９に記載のスライダ。
【請求項２２】
前記スライダ及び前記データ記憶媒体に対する損傷を防ぐための限流抵抗器をさらに備える請求項１９に記載のスライダ。
【請求項２３】
前記限流抵抗器が前記電源の一コンポーネントである請求項２２に記載のスライダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ハードディスクドライブに関し、より具体的には、本発明は、静電力により磁気データ記憶媒体上の磁気ヘッドの飛行高さを測定する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１は、当該技術分野において標準的なハードディスクドライブ設計を例示している。ハードディスクドライブは、基本的に、磁気読取り及び書込み素子によりアクセスされる回転可能な一連のディスク１０１又はその他の磁気記憶媒体から成る一般的な情報記憶デバイスである。一般にトランスジューサ１０２として知られているこれらのデータ転送素子は標準的に、読取り又は書込み作業を実施できるようにするべくディスク１０１上に形成された離散的データトラック上で相対的に接近した位置に保持されたスライダ本体によって担持されその中に埋込まれている。ディスク表面との関係においてトランスジューサ１０２を適切に位置づけするために、スライダ本体上に形成された空気軸受表面（ＡＢＳ：Ａｉｒ  Ｂｅａｒｉｎｇ  Ｓｕｒｆａｃｅ）は、「スライダ」とトランスジューサをディスクデータトラックの上方を「飛行」させるのに充分な揚力を提供する流体空気流を受ける。磁気ディスクの高速回転は、ディスクの接線速度に対して実質的に平行な方向でその表面に沿って空気流又は風を生成する。空気流はスライダ本体のＡＢＳと協働して、スライダが回転ディスクの上方を飛行できるようにする。実際、懸垂されたスライダは物理的にこの自己作動式空気軸受を通してディスク表面から物理的に分離されている。
【０００３】
図２は、磁気ディスク上を一定の飛行高さで飛行するスライダを例示している。ＡＢＳ設計での主要な目標の一部として、スライダ及びそれに付随するトランスジューサ２０２を、可能なかぎり回転するディスクの表面近くで飛行させること、そして可変的飛行条件の如何に関わらずその恒常で近接した距離を均等に維持することがある。空気軸受スライダと回転磁気ディスクの間との高さすなわち分離ギャップは、「飛行高さ」として一般に定義されている。一般に、取付けられたトランスジューサ又は読取り／書込み素子は、回転ディスクの表面よりおよそ２５．４ｍｍ（１マイクロインチ）未満上方を飛行する。スライダの飛行高さは、取付けられた読取り／書込み素子の磁気ディスク読取り及び記録能力に影響を及ぼす最も重要なパラメータの１つと考えられている。スライダの飛行高さは同様に、ディスクドライブの機械的完全性及び磁気性能にも直接影響を及ぼす。比較的小さい飛行高さは、ディスク表面上の異なるデータビット位置の間でトランスジューサがより大きな解像度を達成できるようにし、かくしてデータ密度及び記憶容量を改善させる。比較的小さいもののなお強力なディスクドライブを利用する軽量でかつコンパクトなノート型コンピュータが増々人気を博していくにつれて、漸進的に飛行高さが低くなる必要性が常に高まっている。
【０００４】
スライダの飛行高さを測定するためにはさまざまな方法が存在する。このような方法の１つとして、光学式飛行高さ測定がある。光学式飛行高さ測定は、スライダから反射される光の干渉に基づくものである。これには透明なディスクが必要であり、繊細な読取り／書込みトランスジューサに対する静電放電（ＥＳＤ）損傷という多大な危険性をもたらす。その結果、光学式飛行高さ測定は標準的には、統計的プロセス制御の一部としてスライダの小さな部分の上でのみ実施される。
【０００５】
リードバック信号による高さの測定は、スライダの飛行高さを測定するもう１つの方法である。リードバック信号による飛行高さの測定は、間隔損失のウォレス方程式に基づいている。２つの全く異なる条件下でのリードバック信号の振幅を比較することにより、間隔変動を計算することができる。しかしながら、実際の飛行高さを知るためには、２つの全く異なる条件のうちの少なくとも１つの下でのスライダ飛行高さがわかっていなくてはならない。それゆえ、リードバック信号による高さ測定には通常、スライダの飛行高さをゼロ又はその近くまで降下させる「タッチダウン」プロセスが必要となる。タッチダウン時点でのスライダ飛行高さの測定は、もう１つの全く異なる条件でスライダ飛行高さを測定するための基準飛行高さを提供し、実際の飛行高さの測定を可能にする。しかしながら、タッチダウンプロセスは、スライダとディスクとの界面に摩擦をひき起こし、かつ時間がかかる。その上、タッチダウンにおける読取り／書込みトランスジューサとディスクとの間の磁気的間隔は、残屑及び潤滑剤の侵入ならびにスライダの振動に起因して不確実である。結果は、実際のスライダの信頼性と充分相関していない。
【０００６】
近年、業界では、熱膨張による飛行高さ調整が採用されてきた。読取り／書込みトランスジューサの近くでスライダ内に埋込まれた電熱器が、もともと平坦なＡＢＳからディスクに向かってトランスジューサを突出させる。公称飛行高さは活動化前に幾分か上昇させられ、その後読取り／書込み活動を実施するべくヒーターにより必要に応じて削減される。この技術では、スライダ飛行高さ許容誤差は幾分か緩和され得る。しかしながら、低空飛行体（過度に低く飛行しヒータによって救出され得ないスライダ）及び高空飛行体（過度に高く飛行し過度の熱を必要とし、かくして電気を浪費と読取りセンサー寿命を短縮させるスライダ）の数を最小限にするために、ドライブ生産において飛行高さ制御がなおも重要であり続けている。「タッチダウン」は、ヒータ無しのスライダに比べ、ヒータにより加速され単純化される。それでも、タッチダウンにおける飛行高さはなおも不確実であり続けている。さらに、スライダ及びディスク上の摩耗及び引裂は、タッチダウンプロセスを反復的に実施する妨げとなり得る。従って、大気圧及び大気温に伴って頻繁に飛行高さが変化する携帯式デバイスにおいて現場でヒーター突出の規模を最適化することは困難である。
【０００７】
飛行高さは同様に静電力によっても調整可能である。スライダ本体とディスクとの間に電圧が印加される。熱膨張方法に比べて、静電力方法に必要な電力は少ない。同様に、静電力により飛行高さを調整することで、読取り／書込みセンサーが加熱されることはない。しかしながら、電圧が過剰である場合、アーク放電のリスクが存在する。飛行高さ調整の方法とは無関係に、飛行高さ自体は、スライダとディスクとの間のキャパシタンスか又はリードバック信号のいずれかにより測定可能である。いずれの場合でも、望ましくない「タッチダウン」が必要である。
【０００８】
かくして、必要とされているのは、透明なディスクも、「タッチダウン」も必要とせずに、スライダ飛行高さを測定する改良型方法である。
【発明の開示】
【０００９】
静電力を用いたスライダの飛行高さの非接触式測定のためのシステム及び方法が開示されている。読取り／書込みヘッドを伴うスライダは磁気データ記憶媒体上の予め定められたトラックとインタフェースし得る。スライダの読取り／書込みヘッドが予め定められたトラックとインタフェースしている間、スライダと磁気データ記憶媒体の間に一連の全く異なる電圧を印加することができる。印加された全く異なる電圧に応答して、各々の印加電圧に基づきリードバック信号を記録することができる。リードバック信号を使用して、二次方程式の係数を計算することができる。次にこの係数を、この二次方程式のバーテックスを用いて正規化することができる。次に、この正規化された係数を、スライダの飛行高さ測定値に換算することができる。
【００１０】
図３は、本発明において実施される通りのディスクドライブシステムの一実施例を例示する図である。ディスクドライブシステムは、１本の軸を中心としてスピンドル３０６上でアクチュエータアーム３０４を回転させるために用いられる音声コイルモータ３０２を内含し得る。ロードビーム３０８を内含するサスペンションをアクチュエータアーム３０４に連結することができる。サスペンションはスライダ３１０を担持し得る。スライダ３１０は、磁気ディスク上のデータを読取りかつ／又は書込むための読取り／書込みヘッド又は読取り／書込みトランスジューサ（図示せず）を収納し得る。ディスクが回転するにつれて、スライダ３１０は、一定の飛行高さでディスク３１２の上を飛行し得る。スライダ３１０がディスク３１２上を飛行するにつれて、スライダとディスクと間の界面を非並列コンデンサとして特徴づけするか又はモデリングすることができる。磁気ディスクが下部電極として作用し得る一方で、スライダは上部電極として作用し得る。ディスクドライブシステムは同様に、スライダと磁気ディスク表面との間の間隔に制御電圧を供給するため、安定化したＤＣ電源又は単数又は複数のＤＣバッテリといったような電源コンポーネント（図示せず）も内含し得る。
【００１１】
ある実施例においては、スライダ３１０及びディスク３１２は互いに電気的に絶縁されており、従ってその間の電圧を操作することが可能である。その漏れが過剰の電流を作り出してスライダ、ディスク又はモータが損傷を受けるのでないかぎり、スライダとディスクとの間には１０ＭΩといったような幾分かの漏れ抵抗が受容可能でありかつ予想される。ある実施例においては、スライダ本体を接地することができる。一般にスライダ本体は、銀エポキシを用いることによりサスペンション本体に接地され得る。代替例として、スライダ本体を、接地されたトレースに接着させた金パッドを通して接地させることもできる。スライダ本体が接地されていることから、ディスクを接地しなくてもよい。ある実施例においては、ディスク３１２をディスクスピンドル３１４から絶縁することができる。代替例として、ディスクスピンドル３１４をモーターベース（図示せず）から電気的に絶縁することができる。いずれの実施例においても、ディスク３１２から電源コンポーネントまで電気経路を確立することができる。もう１つの実施例においては、ディスクを接地することができる。スライダ３１０は、非導電性接着剤を通してロードビーム３０８から電気的に絶縁され得る。スライダ３１０を電源コンポーネントに対し電気的に接続することもまた可能である。
【００１２】
一般に、スライダの飛行高さは、スライダとディスクの間に電圧が印加されるにつれて、
【数１】
2008159241.tif 000003
という方程式により記述される引力に起因して減少する。なおここで式中、Ｆは２つの電極（すなわちスライダ及びディスク内のトランスジューサ）の間の静電引力を表わしている。符号ｋは定数値を表わす。符合Ｖは、電極に印加された電圧、すなわちスライダとディスクとの間の静電場の電位差を表わす。符号ｈは、トランスジューサヘッドとディスクとの間の距離を表わす。
【００１３】
図４は、マイクロアクチュエータを伴うヘッド・ジンバルアセンブリを例示する図である。マイクロアクチュエータは、データ記憶媒体からデータを読取るための読取り素子セット及びデータ記憶媒体にデータを書込むための書込み素子セットを含む、読取り／書込みヘッド又は読取り／書込みトランスジューサを伴うスライダを内含し得る。スライダは電源に結合されるか又は電気的に接続され得る。電源は、スライダとデータ記憶媒体との間の間隔に対して可変的制御電圧を提供することができる。電源は、安定化したＤＣ電源であり得る。代替例として、電源は単数又は複数のＤＣバッテリであってもよい。抵抗器といったような限流デバイスによって、電源が過剰な電圧を印加しスライダ又はデータ記憶媒体を損傷するのを防ぐことができる。ある実施例においては、限流デバイスは電源内に組込まれてもよいし、或いは又電源の一コンポーネントであってもよい。
【００１４】
図５は、静電力を用いたスライダの飛行高さの非接触測定のための一実施例を例示するフローチャートである。ブロック５１０では、読取り／書込みヘッドを伴うスライダを磁気データ記憶媒体の上に飛行させることができる。スライダＡＢＳ及び磁気データ記憶媒体のディスク表面は、材料が類似していないため異なる電位を自然に発生させ得る。従って、スライダ本体及びディスク基板が電気的に共に短絡させられている場合、スライダ空気軸受を横断して自然発生的な電圧が存在し得る。ブロック５２０では、静電力を作り出すためにスライダとディスクとの間に一連の全く異なる制御電圧を印加することができる。ある実施例においては、スライダ読取り／書込みヘッドが磁気データ記憶媒体の離散的データトラック上での読取り又は書込み作業を行なっている時に、一連の全く異なる電圧を連続的に印加することが可能である。ある実施例においては、一連の磁気データ記憶媒体には、読取り／書込みトランスジューサが磁気データ記憶媒体の離散的データトラックを読取っている間に連続的に印加され得る３つの全く異なる電圧が含まれ得る。これら３つの全く異なる電圧の１つはゼロであってよい。
【００１５】
全く異なる制御電圧の供給源は、単数又は複数のＤＣバッテリであり得る。代替例として、電源は安定化したＤＣ電源であり得る。電源又はバッテリはディスクドライブシステムの一コンポーネントであってよい。ある実施例においては、電源又はバッテリはスライダと結合されてもよい。測定プロセスの一部として、スライダとディスクの間にある範囲の制御電圧レベルを印加し、かくして適切な飛行高さ変化が生み出され、いかなるスライダ−ディスクタッチダウン接触も結果としてもたらされないようにすることができる。電源により印加される制御電圧は、両方の極性の電圧を含み得る。極端値を有する一極性の電圧は、もう一方の極性のもう１つの極端電圧値によりひき起こされる飛行高さ減少と実質的に等しいスライダ飛行高さ減少とを結果としてもたらし得る。しかしながら一般的には、この印加電圧範囲は、自然発生的な電圧と結合された印加電圧が、標準的スライダ上で達成される飛行高さの５０％減少を結果としてもたらすような形で選択される。飛行高さ測定の精度は、印加電圧範囲が狭過ぎる場合に損なわれる。しかしながら、アーク放電が重大な問題となるほど印加電圧を高くすることは絶対にあってならない。アーク放電の可能性を最小限におさえるためには、印加電圧の範囲を、正及び負の両方の電圧による飛行高さ減少が等しくなるようなものにすべきである。印加電圧範囲は、スライダとディスクとの間の固有表面電位差に起因してゼロを中心として対称的に分布していないかもしれない。ゼロからのオフセット量は、一般に０．５〜１ボルトの間であり得る。アーク放電によりひき起こされる損傷を最小限におさえるため、抵抗器といったような限流デバイスをディスクドライブシステムに内含させることができる。ある実施例においては、全く異なる制御電圧の電源内に限流抵抗器を内蔵又は組込むことができる。代替例として、この限流抵抗器は、空気軸受表面に近接して設置することができる。例えば、抵抗器をスライダ内に埋込み、導電性経路のキャパシタンスが直接アーク放電エネルギーの一因とならないようにすることが可能である。
【００１６】
ブロック５３０では、リードバック信号のトラック平均振幅も測定し記録できる。スライダトランスジューサが読取り又は書込み作業を、磁気データ記憶媒体上に見い出される離散的データトラック上で行なう場合、スライダとディスクとの間の全く異なる制御電圧の印加に応答して、リードバック信号振幅を測定することができる。その上、読取り回路プリアンプが線形範囲内で作動するかぎり、読取り回路プリアンプの利得が必ずしも必要とされない可能性がある。飛行高さ測定中、測定されている書込みされたトラックはスライダトランスジューサの読取り幅よりも広いものであり得る。スライダは同様に、トラックミスレギュレーション（ＴＭＲ）としても知られる半径方向変位に付随する振幅変動を最小限におさえるためオントラックでデータを読取ることもできる。書込まれた信号の波長も一定であり得、かくして較正定数を調整するのにいかなる作動力も必要とされない可能性がある。さらに、ある実施例では、飛行高さ測定を、磁気パラメータテストの一部として実施でき、従って付加的なバンドリングは全く必要とされない。
【００１７】
ブロック５４０では、二次曲線あてはめ経験式の係数を計算することができる。１実施形態では、静電力といったような非接触方法を用いてスライダの飛行高さを測定する上で、スライダとディスクとの間の空気軸受は非並列平板コンデンサとしてモデリングされ得る。スライダとディスクの間の静電力は、
【数２】
2008159241.tif 000004
としてより精確に近似され得る。なおここで式中Ｆは静電力、Ｖはスライダとディスクとの間に印加された全く異なる制御電圧であり、Ｖ0はスライダと磁気ディスク表面との間の静電場の初期電位差であり、スライダとディスク表面の材料特性によって決定され、ｑはＡＢＳレール形状及びスライダの飛行ピッチ角（通常はＩ＜ｑ＜２）により決定され、ｈはスライダの飛行高さである。各々のスライダ空気軸受設計について、スライダ飛行高さ対電圧の関数を得るべく、連続的に増大する静電圧の下で数値シミュレーションを実施することができる。この関数は、変数ｑを生み出すように曲線あてはめされ得る。現在、数値シミュレーションを行なうために、カリフォルニア大学バークリー校のコンピュータメカニクス研究室が開発した「ＣＭＬ空気軸受シミュレーションパッケージ」が使用されている。
【００１８】
ある実施例においては、スライダ空気軸受を非線形バネとして扱かい、γがほぼ１であるものとして∂Ａ／∂ｈ∝ｈγとしてこれをモデリングすることができる。Ａ0が公称飛行高さにおけるリードバック振幅であり得るものとして、間隔損失のウォレス方程式を用いると、∂Ａ／∂ｈ∝Ａ0である。代替的には、Ａ0は、特定の基準飛行高さでのリードバック振幅であり得る。微分法の連鎖法則を用いると、
【数３】
2008159241.tif 000005
である。
該方程式を積分すると、以下のものが得られる。
【数４】
2008159241.tif 000006
これと比較して、曲線あてはめ経験式のために用いられる二次方程式は、以下のように表現することができる。
【数５】
2008159241.tif 000007
積分した方程式内の変数Ａのための二次方程式を代入し、方程式を簡約すると、次の式が得られる。
【数６】
2008159241.tif 000008
なお式中、ｃは書込まれた信号の波長、プリアンプ利得及びトランスジューサセンサー効率を表わし得る。ｃが一定であり続けるかぎり、すなわちｃを含む変数が飛行高さ測定テスト中に変わらないかぎり、飛行高さは以下のように近似される。
【数７】
2008159241.tif 000009
なお式中、指数１／（γ−ｑ）＜０である。それゆえ、スライダ飛行高さｈはａ／Ａ0の単調減少関数であり得る。ブロック５５０では、二次曲線近似方程式の結果としての放物線の頂点高さ又はバーテックス（ｖｅｒｔｅｘ）を用いて、計算された係数を正規化することができる。ブロック５６０では、正規化された二次係数をスライダについての飛行高さ測定値に換算することができる。
【００１９】
飛行高さ測定方法の上記の実施例は、完全に組立てられたディスクドライブ、部分的に組立てられたディスクドライブ又はディスクドライブのコンポーネント（例えばヘッド・ジンバルアセンブリ又はヘッド・アームアセンブリ）を特徴づけするためのテスターの上に実装可能である。この方法は非破壊的であることから、動作中のディスクドライブ内で頻繁に適用することができる。その結果、スライダ飛行高さを必要な回数監視でき、飛行高さ削減量を各々の読取り／書込み作業の前に知ることができる。飛行高さ削減は、静電力単独、ヒータ単独、又は、静電力とヒータ突出との組合せ、によって達成可能である。ヒータ突出ではなくむしろ静電力によりスライダ飛行高さを削減することによって、結果として応答時間がさらに早くなり電力消費量が少なくなる可能性がある。しかしながら、過度の静電力は、アーク放電の危害を及ぼす可能性があり、スライダ上の残屑収集を促進し得る。しかしながら、スライダ飛行高さを削減するために静電力とヒータ突出との組合せ使用を最適化することで、結果として、遅延、電力消費量、残屑収集及びアーク放電が受容可能なほど低いなる可能性がある。
【００２０】
図６は、スライダからとられた経験的データの曲線近似グラフの一実施例を例示す図である。この実施例においては、スライダ飛行高さの測定から取ったサンプルデータは、結果として二次係数ａ＝４．５４４７をもたらす。基準リードバック振幅Ａ0は二次方程式から２０５．６９であるものとして計算され得る。それゆえ、ａ／Ａ0＝０．０２２である。
【００２１】
図７は、スライダ空間距離と値ａ／Ａ0の間の相関関係を示すグラフの一実施例を例示する図であり、ここで飛行高さは、制御電圧がスライダとディスクの間に印加された後従来の「タッチダウン」法を用いて間隔損失のためのウォリス方程式によって測定されている。「タッチダウン」方法は、スライダ振動及び残屑に起因して真の飛行高さを精確に生み出さない可能性があることから、このグラフは「飛行高さ」ではなく「空間距離」と名付けられる。
【００２２】
スライダの飛行高さを測定するために、開示された新規の方法を用いることで、メーカーはサンプルサイズを増大させ、かくして統計的プロセス制御における信頼性レベルを改善することができるかもしれない。この方法はさらに、メーカーが各スライダをスクリーニングしその飛行高さによってスライダを位置づけすることをも可能にするかもしれない。
【００２３】
従って、以上の記述は、本発明の原理を単に例示したものにすぎない。さらに、当業者であれば、数多くの修正及び変更が可能であり、記述されたばかりの実施例の開示は本発明をここで示した正確な構造及び動作に制限するものではなく、従って、適当なあらゆる修正及び変更が本発明の範囲内に入るということを認識することであろう。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】当業分野において標準的なハードディスクドライブを例示する図である。
【図２】１つの飛行高さで磁気ディスク上を飛行するスライダを例示する図である。
【図３】本発明で実施される通りのディスクドライブシステムの一実施例を例示する図である。
【図４】マイクロアクチュエータを伴うヘッド・ジンバルアセンブリを例示する図である。
【図５】静電力を用いたスライダの飛行高さの非接触測定のための１つの実施例を例示するフローチャートである。
【図６】スライダから取った経験的データの曲線近似グラフの一実施例を例示する図である。
【図７】スライダ飛行空間距離と値ａ／Ａ0との間の相関関係を示すグラフの一実施例を例示している図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2008159241.tif 000016
【外国語明細書】
2008159241000001.pdf