(57)【要約】【課題】積層体の表面に孔の開口が形成されている場合にも、かかる積層体のプレート同士を拡散接合によって均等に接合する。【解決手段】積層体１０５の下面に共通インク室２３が開口している。このような積層体１０５に含まれている金属板同士を拡散接合する際に、加圧用治具５１及び５２を用いて上下から圧力を印加する。加圧用治具５２は基部５４と、基部５４から突出した突出部５３とを有している。加圧用治具５２が積層体１０５の下面に当接する際、突出部５３が共通インク室２３内に進入し、突出部５３の上面が共通インク室２３の天井面に当接する。これによって、積層体１０５内の金属板に均等に圧力が印加されるので、加圧接合によって均等に金属板が接合される。【選択図】図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数枚のプレートの積層体であって、その積層方向に関して互いに最も離隔しており且つ互いに平行な第１及び第２の表面と、前記第１の表面に開口した開口孔と、前記開口孔内に形成された前記第１の表面と平行な第３の表面とを有する積層体において、前記積層体中のプレート同士を接合する方法であって、
前記第１の表面に当接する第１の当接面、及び、前記第１の当接面が前記第１の表面に当接する際に前記第１の表面における前記開口孔の開口から前記開口孔内に進入して前記第３の表面に当接する第２の当接面を有する第１の加圧用治具と、前記第２の表面に当接する第３の当接面を有する第２の加圧用治具とに、前記第１〜第３の当接面を前記第１、第３及び第２の表面へとそれぞれ当接させて、前記第１及び第２の加圧用治具から前記積層体へと前記積層方向に関する両方向からの圧力を印加する加圧工程と、
前記加圧工程で圧力が印加されている前記積層体を加熱することによって当該積層体中のプレート同士を拡散接合する接合工程とを備えている積層体の接合方法。
【請求項２】
前記加圧工程において、
前記第１〜第３の当接面の少なくともいずれかを含む部分が、前記積層体において前記第１〜第３の当接面の前記いずれかと当接する部分を構成する材料と異なる材料からなる前記第１及び第２の加圧用治具を使用することを特徴とする請求項１に記載の積層体の接合方法。
【請求項３】
前記加圧工程において、
前記積層体において前記第１〜第３の当接面の前記いずれかと当接する部分が金属材料からなる場合に、前記第１〜第３の当接面の前記いずれかを含む部分がセラミック材料からなる前記第１及び第２の加圧用治具を使用することを特徴とする請求項２に記載の積層体の接合方法。
【請求項４】
前記加圧工程において、
前記積層体において前記第１〜第３の当接面の前記いずれかと当接する部分が金属材料からなる場合に、前記第１〜第３の当接面の前記いずれかを含む部分が金属化合物材料からなる前記第１及び第２の加圧用治具を使用することを特徴とする請求項２に記載の積層体の接合方法。
【請求項５】
前記加圧工程において、
前記積層体において前記第１〜第３の当接面の前記いずれかと当接する部分が合金材料からなる場合に、前記第１〜第３の当接面の前記いずれかを含む部分が前記合金材料とは異なる系統の合金材料からなる前記第１及び第２の加圧用治具を使用することを特徴とする請求項２に記載の積層体の接合方法。
【請求項６】
前記加圧工程において、
前記積層体において前記第１〜第３の当接面の前記いずれかと当接する部分を構成する材料と同じ材料からなる同材料層と、前記積層体において前記第１〜第３の当接面の前記いずれかと当接する部分を構成する材料とは異なる材料からなる前記同材料層上に形成されたコーティング層とを有しており、前記コーティング層の表面に前記第１〜第３の当接面の前記いずれかが形成された前記第１及び第２の加圧用治具を使用することを特徴とする請求項２〜５のいずれか１項に記載の積層体の接合方法。
【請求項７】
前記積層体が、
前記第２の表面に開口した、前記開口孔とは別の開口孔と、当該別の開口孔内に形成された前記第２の表面に平行な第４の表面とを有しており、
前記第２の加圧用治具が、
前記第３の当接面が前記第２の表面に当接する際に前記第２の表面における前記別の開口孔の開口から前記開口孔内に進入して前記第４の表面に当接する第４の当接面をさらに有しており、
前記加圧工程において、
前記第１及び第２の加圧用治具の前記第１〜第４の当接面を前記第１、第３、第２及び第４の表面へとそれぞれ当接させて、前記第１及び第２の加圧用治具から前記積層体へと前記積層方向に関する両方向からの圧力を印加することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の積層体の接合方法。
【請求項８】
前記第１及び第２の積層体並びに前記第１及び第２の加圧用治具を、前記第１の積層体、前記第１の加圧用治具、前記第２の積層体、及び、前記第２の加圧用治具の順に、前記第１〜第３の当接面を前記第１、第３及び第２の表面へとそれぞれ当接させて前記第１及び第２の加圧用治具に前記第１及び第２の積層体をそれぞれ支持させるように、前記積層方向に関して積層する複合積層工程をさらに備えており、
前記加圧工程において、前記複合積層工程で積層された前記第１及び第２の積層体並びに前記第１及び第２の加圧用治具の複合積層体へと、前記積層方向に関して両方向からの圧力を印加し、
前記接合工程において、前記加圧工程で圧力が印加されている前記複合積層体を加熱することによって当該積層体中のプレート同士を拡散接合することを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の積層体の接合方法。
【請求項９】
請求項１〜７のいずれか１項に記載の積層体の接合方法によって拡散接合された積層体を有しており、液体を吐出する吐出口と前記積層体の前記開口孔及び前記吐出口の両方に連通する流路とが形成された流路ユニットを製造する方法であって、
前記流路を構成することとなる流路孔及び前記開口孔となる孔を複数のプレートに形成する孔形成工程と、
前記吐出口をプレートに形成する吐出口形成工程と、
前記流路孔及び前記開口孔となる孔が連通して前記流路及び前記開口孔がそれぞれ形成され、且つ、前記流路及び開口孔が互いに連通するように、前記孔形成工程で前記流路孔が形成された複数枚のプレートを積層する第１のプレート積層工程と、
前記吐出口形成工程で前記吐出口が形成されたプレートを、前記プレート積層工程で積層された前記複数枚のプレートからなる前記積層体上に、前記吐出口が前記流路に連通するように積層する第２のプレート積層工程とを備えており、
前記加圧工程において、
前記第１のプレート積層工程で積層された前記複数のプレートの積層体を、前記第１及び第２の加圧用治具に、前記第１〜第３の当接面を前記第１、第３及び第２の表面へとそれぞれ当接させて、前記第１及び第２の加圧用治具から前記第１のプレート積層工程で積層された前記積層体へと前記積層方向に関する両方向からの圧力を印加し、
前記接合工程において、
前記加圧工程で圧力が印加されている前記積層体を加熱することによって当該積層体中のプレート同士を拡散接合し、
前記第２のプレート積層工程において、
前記接合工程で拡散接合された前記積層体上に前記吐出口形成工程で前記吐出口が形成されたプレートをさらに積層することを特徴とする流路ユニットの製造方法。
【請求項１０】
複数枚のプレートの積層体であって、その積層方向に関して互いに最も離隔しており且つ互いに平行な第１及び第２の表面と、前記第１の表面に開口した開口孔と、前記開口孔内に形成された前記第１の表面と平行な第３の表面とを有する積層体において、前記積層体中のプレート同士を拡散接合する際に前記積層体を支持する加圧用治具であって、
前記積層体を支持する際に前記第１の表面に当接する第１の当接面と、
前記第１の当接面が前記第１の表面に当接する際に、前記第１の表面における前記開口孔の開口から前記開口孔内に進入して前記第３の表面に当接する第２の当接面とを備えていることを特徴とする加圧用治具。
【請求項１１】
前記第１の当接面から突出しており、前記開口孔内に収容可能な大きさ及び形状を有する突出部をさらに備えており、
当該突出部に前記第２の当接面が形成されていることを特徴とする請求項１０に記載の加圧用治具。
【請求項１２】
前記第１及び第２の当接面が互いに平行な２つの平面のそれぞれに沿って形成されており、
前記突出部が、前記第１の当接面から前記第２の当接面へと向かって先細りの形状を有していることを特徴とする請求項１１に記載の加圧用治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層体の接合方法、特に、拡散接合を用いた積層体の接合方法、その接合方法を用いた流路ユニットの製造方法及びこれらの方法に用いられる加圧用治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
プレート同士を積層して積層体を作製する場合においてプレート同士を接合する方法として、拡散接合と呼ばれる接合方法がある。拡散接合とは、プレートを構成する材料の融点未満の温度までプレートを加熱しつつプレートの接合面に垂直な両方向からプレートに圧力を印加することにより、プレート同士を密着させて接合する接合方法である。
【０００３】
一方、インクジェットプリンタなどの液体を吐出する装置において、液体の吐出口とその吐出口に連通する液体流路とが形成された流路ユニットが複数のプレートの積層体からなる場合がある。特許文献１は、このような流路ユニットを有するインクジェットヘッドの製造方法に係るものである。特許文献１に記載の製造方法によると、まず、液体流路や吐出口となる孔が複数のプレートのそれぞれに形成される。次に、孔が形成されたこれらのプレートが積層される。そして、このように積層されたプレートが、治具を用いて加圧されると共に加熱される。これによって、複数のプレートが互いに拡散接合によって接合される。
【０００４】
【特許文献１】特開平５−１６３７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、液体流路などの孔が形成された積層体を拡散接合する場合には、積層体を構成するプレートの接合面に均等に圧力が印加されないことがある。このような問題は、例えば、図１６に示されているような積層体３００のプレート同士が、拡散接合によって接合される場合に生じる。積層体３００は液体吐出装置の流路ユニットの一部を構成する部材であり、プレート３１１〜３１６からなる。積層体３００の内部には液体流路３２０が形成されている。液体流路３２０は、積層体３００において最下層のプレート３１６の下面に開口している。
【０００６】
このような積層体３００に、従来の加圧用治具３０１及び３０２を用いて図１６の矢印が示す上下からの圧力を印加すると、プレート３１３及び３１４の互いの接合面における破線３１０ａで囲まれた領域に圧力が印加されにくくなる。これは、積層体３００の下面に液体流路３２０が大きく開口しているため、プレートの接合面まで圧力がうまく伝達されないからである。
【０００７】
以上のように、液体流路などの孔が表面に開口しているような積層体に従来の加圧用治具を用いて圧力を印加すると、プレートの接合面に圧力が均等に印加されない場合がある。プレートの接合面に印加される圧力が不均等であると、プレート同士の接合が均等になされず部分的に接合が不十分になるおそれがある。
【０００８】
本発明の目的は、積層体の表面に孔の開口が形成されている場合にも、かかる積層体のプレート同士を拡散接合によって均等に接合することが可能な積層体の接合方法、その接合方法を用いた流路ユニットの製造方法及びこれらの方法に用いられる加圧用治具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の積層体の接合方法は、複数枚のプレートの積層体であって、その積層方向に関して互いに最も離隔しており且つ互いに平行な第１及び第２の表面と、前記第１の表面に開口した開口孔と、前記開口孔内に形成された前記第１の表面と平行な第３の表面とを有する積層体において、前記積層体中のプレート同士を接合する方法であって、前記第１の表面に当接する第１の当接面、及び、前記第１の当接面が前記第１の表面に当接する際に前記第１の表面における前記開口孔の開口から前記開口孔内に進入して前記第３の表面に当接する第２の当接面を有する第１の加圧用治具と、前記第２の表面に当接する第３の当接面を有する第２の加圧用治具とに、前記第１〜第３の当接面を前記第１、第３及び第２の表面へとそれぞれ当接させて、前記第１及び第２の加圧用治具から前記積層体へと前記積層方向に関する両方向からの圧力を印加する加圧工程と、前記加圧工程で圧力が印加されている前記積層体を加熱することによって当該積層体中のプレート同士を拡散接合する接合工程とを備えている。
【００１０】
本発明の積層体の接合方法によると、積層体の表面に開口する孔が形成されている場合でも、かかる孔の内部の表面に加圧用治具が当接して積層体を支持するため、拡散接合において、かかる孔に対応する接合領域に確実に圧力が印加され得る。したがって、孔の内部の表面に当接する上記のような当接面を有していない加圧用治具を用いる場合と比べて、積層体が確実に接合され得る。
【００１１】
また、本発明にあっては、前記加圧工程において、前記第１〜第３の当接面の少なくともいずれかを含む部分が、前記積層体において前記第１〜第３の当接面の前記いずれかと当接する部分を構成する材料と異なる材料からなる前記第１及び第２の加圧用治具を使用することが好ましい。これによると、加圧用治具と積層体との当接部分が互いに同じ材料からなる場合と比べて、加圧用治具の当接面と積層体の表面とが拡散接合によって接合しにくくなる。これによって、拡散接合の後に積層体から加圧用治具を剥離しやすくなると共に、加圧用治具の当接面に積層体を構成する材料が残存することが少なくなる。
【００１２】
また、本発明にあっては、前記加圧工程において、前記積層体において前記第１〜第３の当接面の前記いずれかと当接する部分が金属材料からなる場合に、前記第１〜第３の当接面の前記いずれかを含む部分がセラミック材料からなる前記第１及び第２の加圧用治具を使用することが好ましい。これによると、金属材料とセラミック材料とは一般に拡散接合しにくいので、より確実に、拡散接合の後に積層体から加圧用治具を剥離しやすくなると共に、加圧用治具の当接面に積層体を構成する材料が残存することが少なくなる。
【００１３】
また、本発明にあっては、前記加圧工程において、前記積層体において前記第１〜第３の当接面の前記いずれかと当接する部分が金属材料からなる場合に、前記第１〜第３の当接面の前記いずれかを含む部分が金属化合物材料からなる前記第１及び第２の加圧用治具を使用してもよい。これによると、金属材料と金属化合物材料とは一般に拡散接合しにくいので、より確実に、拡散接合の後に積層体から加圧用治具を剥離しやすくなると共に、加圧用治具の当接面に積層体を構成する材料が残存することが少なくなる。
【００１４】
また、本発明にあっては、前記加圧工程において、前記積層体において前記第１〜第３の当接面の前記いずれかと当接する部分が合金材料からなる場合に、前記第１〜第３の当接面の前記いずれかを含む部分が前記合金材料とは異なる系統の合金材料からなる前記第１及び第２の加圧用治具を使用してもよい。これによると、加圧用治具と積層体との当接部分が互いに同じ系統の合金材料からなる場合と比べて、加圧用治具の当接面と積層体の表面とが拡散接合によって接合しにくくなる。
【００１５】
また、本発明にあっては、前記加圧工程において、前記積層体において前記第１〜第３の当接面の前記いずれかと当接する部分を構成する材料と同じ材料からなる同材料層と、前記積層体において前記第１〜第３の当接面の前記いずれかと当接する部分を構成する材料とは異なる材料からなる前記同材料層上に形成されたコーティング層とを有しており、前記コーティング層の表面に前記第１〜第３の当接面の前記いずれかが形成された前記第１及び第２の加圧用治具を使用することが好ましい。これによると、加圧用治具が積層体の当接部分と同じ材料からなる同材料層を有している。このため、加圧用治具が積層体の当接部分と異なる材料からなる場合と比べて、接合工程において加熱された際に、加圧用治具の膨張率と積層体の膨張率との差が小さくなる。したがって、接合工程において、加圧用治具によって積層体が支持された状態が確実に保持される。
【００１６】
また、本発明においては、前記積層体が、前記第２の表面に開口した、前記開口孔とは別の開口孔と、当該別の開口孔内に形成された前記第２の表面に平行な第４の表面とを有しており、前記第２の加圧用治具が、前記第３の当接面が前記第２の表面に当接する際に前記第２の表面における前記別の開口孔の開口から前記開口孔内に進入して前記第４の表面に当接する第４の当接面をさらに有しており、前記加圧工程において、前記第１及び第２の加圧用治具の前記第１〜第４の当接面を前記第１、第３、第２及び第４の表面へとそれぞれ当接させて、前記第１及び第２の加圧用治具から前記積層体へと前記積層方向に関する両方向からの圧力を印加することが好ましい。これによると、積層体の積層方向について両側に孔が形成されている場合に、かかる両側において孔の内部の表面に加圧用治具が当接して積層体を支持する。このため、一方の孔にのみ当接する場合と比べて、拡散接合において、かかる孔に対応する接合領域に確実に圧力が印加され得る。
【００１７】
また、本発明においては、前記第１及び第２の積層体並びに前記第１及び第２の加圧用治具を、前記第１の積層体、前記第１の加圧用治具、前記第２の積層体、及び、前記第２の加圧用治具の順に、前記第１〜第３の当接面を前記第１、第３及び第２の表面へとそれぞれ当接させて前記第１及び第２の加圧用治具に前記第１及び第２の積層体をそれぞれ支持させるように、前記積層方向に関して積層する複合積層工程をさらに備えており、前記加圧工程において、前記複合積層工程で積層された前記第１及び第２の積層体並びに前記第１及び第２の加圧用治具の複合積層体へと、前記積層方向に関して両方向からの圧力を印加し、前記接合工程において、前記加圧工程で圧力が印加されている前記複合積層体を加熱することによって当該積層体中のプレート同士を拡散接合するが好ましい。これによると、２つの積層体を同時に接合することができるので、積層体の製造工程が簡易になる。
【００１８】
また、本発明の流路ユニットの製造方法は、本発明の積層体の接合方法によって拡散接合された積層体を有しており、液体を吐出する吐出口と前記積層体の前記開口孔及び前記吐出口の両方に連通する流路とが形成された流路ユニットを製造する方法であって、前記流路を構成することとなる流路孔及び前記開口孔となる孔を複数のプレートに形成する孔形成工程と、前記吐出口をプレートに形成する吐出口形成工程と、前記流路孔及び前記開口孔となる孔が連通して前記流路及び前記開口孔がそれぞれ形成され、且つ、前記流路及び開口孔が互いに連通するように、前記孔形成工程で前記流路孔が形成された複数枚のプレートを積層する第１のプレート積層工程と、前記吐出口形成工程で前記吐出口が形成されたプレートを、前記プレート積層工程で積層された前記複数枚のプレートからなる前記積層体上に、前記吐出口が前記流路に連通するように積層する第２のプレート積層工程とを備えており、前記加圧工程において、前記第１のプレート積層工程で積層された前記複数のプレートの積層体を、前記第１及び第２の加圧用治具に、前記第１〜第３の当接面を前記第１、第３及び第２の表面へとそれぞれ当接させて、前記第１及び第２の加圧用治具から前記第１のプレート積層工程で積層された前記積層体へと前記積層方向に関する両方向からの圧力を印加し、前記接合工程において、前記加圧工程で圧力が印加されている前記積層体を加熱することによって当該積層体中のプレート同士を拡散接合し、前記第２のプレート積層工程において、前記接合工程で拡散接合された前記積層体上に前記吐出口形成工程で前記吐出口が形成されたプレートをさらに積層するというものである。
【００１９】
本発明の流路ユニットの製造方法によると、本発明の積層体の接合方法によって流路ユニットが形成されるため、流路が形成された積層体が確実に接合される。これによって、プレート同士の間に不要な隙間が生じるなどにより流路形成の精度が低下するのが抑制される。
【００２０】
また、本発明の加圧用治具は、複数枚のプレートの積層体であって、その積層方向に関して互いに最も離隔しており且つ互いに平行な第１及び第２の表面と、前記第１の表面に開口した開口孔と、前記開口孔内に形成された前記第１の表面と平行な第３の表面とを有する積層体において、前記積層体中のプレート同士を拡散接合する際に前記積層体を支持する加圧用治具であって、前記積層体を支持する際に前記第１の表面に当接する第１の当接面と、前記第１の当接面が前記第１の表面に当接する際に、前記第１の表面における前記開口孔の開口から前記開口孔内に進入して前記第３の表面に当接する第２の当接面とを備えている。
【００２１】
本発明の加圧用治具によると、拡散接合の際に、開口孔の内部の表面へと当接しつつ加圧用治具に積層体を支持させることができるので、積層体をより確実に拡散接合することが可能となる。
【００２２】
また、本発明の加圧用治具においては、前記第１の当接面から突出しており、前記開口孔内に収容可能な大きさ及び形状を有する突出部をさらに備えており、当該突出部に前記第２の当接面が形成されていることが好ましい。この構成によると、突出部を開口孔内へと進入させることにより第２の当接面を開口孔の内部における第３の表面に当接させることができる。
【００２３】
また、本発明の加圧用治具においては、前記第１及び第２の当接面が互いに平行な２つの平面のそれぞれに沿って形成されており、前記突出部が、前記第１の当接面から前記第２の当接面へと向かって先細りの形状を有していることが好ましい。この構成によると、突出部が先細りとなるように形成されているため、加圧用治具に積層体を支持させる際に、突出部を開口孔へと進入させやすくなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下は、本発明の好適な一実施形態についての説明である。以下の説明は、（１）本実施形態に係る流路ユニットの製造方法を用いて製造される液滴噴射装置の一例であるインクジェットプリンタ１００の構成についての説明と、（２）本実施形態の流路ユニットの製造方法に係る第１及び第２の実施形態についての説明とを含んでいる。
【００２５】
［インクジェットプリンタ］
図１は、インクジェットプリンタ１００の概略的な構成を示す斜視図である。インクジェットプリンタ１００（以下、単に「プリンタ１００」と呼称）は、インクジェットヘッド１、キャリッジ２及び搬送ローラ３を有している。インクジェットヘッド１はキャリッジ２に固定されており、記録用紙Ｐに対してインクを吐出するシリアル型のインクジェットヘッドである。キャリッジ２は、図１の走査方向に沿って往復移動することができるようにプリンタ１００に設置されている。搬送ローラ３は記録用紙Ｐを図１の前方へ搬送する。
【００２６】
プリンタ１００は、コンピュータ（不図示）などに接続されており、かかるコンピュータから文字や画像等を示す画像データがプリンタ１００へと送信される。一方、プリンタ１００はメイン制御部（不図示）を有している。このメイン制御部は、コンピュータからの画像データに基づいて、紙送り方向に沿って記録用紙Ｐを搬送ローラ３に搬送させたり、走査方向に沿ってキャリッジ２に往復移動させたり、インクジェットヘッド１にインクを吐出させたりする。これによって、コンピュータからの画像データが示す文字や画像等が記録用紙Ｐ上に記録される。このように文字や画像等が記録された記録用紙Ｐは、搬送ローラ３によってプリンタ１００の前方（紙送り方向）へと排出される。
【００２７】
図２はインクジェットヘッド１の上面図、図３は図２の一部拡大図、図４は図３のＡ−Ａ線断面図である。図２〜図４に示されているように、インクジェットヘッド１は、流路ユニット５及び圧電アクチュエータ６を有している。
【００２８】
流路ユニット５の上面において紙送り方向に関する一端（図２の下部）の近傍には、インク導入口１７が形成されている。インク導入口１７には図示されていないインクタンクからのインクが供給される。また、流路ユニット５の下面には、インクを吐出する１０個のノズル２５（吐出口）が形成されている。ノズル２５は、走査方向に関する流路ユニット５の中央の近傍に、紙送り方向に沿って直線的に５個ずつ２列に配列されている。また、ノズル２５は、紙送り方向に関して互いに異なる位置に配置されるように、千鳥状に配列されている。
【００２９】
流路ユニット５の内部には共通インク室２３が形成されている。共通インク室２３は、紙送り方向に沿って延在する流路２３ａと、走査方向に沿って延在する流路２３ｂとを有している。このうち流路２３ａは、走査方向（図２の左右方向）に関する流路ユニット５の両端の近傍にそれぞれ１本ずつ配置されている。流路２３ｂは、流路ユニット５の上面において流路ユニット５の厚み方向に関してインク導入口１７と対向する位置に配置されており、インク導入口１７と連通している。また、流路２３ｂは２本の流路２３ａの両方と連通している。
【００３０】
また、流路ユニット５の内部には、１０個の個別流路２０が形成されている。個別流路２０は、共通インク室２３が有する流路２３ａとノズル２５のそれぞれとを繋ぐインク流路である。これにより、インク導入口１７から流路２３ｂ、流路２３ａ及び個別流路２０を介してノズル２５に至るインク流路が流路ユニット５に形成されている。個別流路２０は圧力室２４を有している。圧力室２４は、個別流路２０において流路２３ａからノズル２５に至る中途に位置している、個別流路２０の一部分である。圧力室２４は、走査方向に関して長尺であり且つ角が円い概略的に長方形の形状を有している。
【００３１】
流路ユニット５の上面には圧電アクチュエータ６が貼り合わされている。圧電アクチュエータ６は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を主成分とする圧電材料からなる圧電層を有している。かかる圧電層は分極されており、所定の大きさ及び方向の電界が印加されると湾曲する。また、圧電アクチュエータ６は１０個の個別電極３２を有している。個別電極３２は概略的に圧力室２４と相似な形状を有しており、圧力室２４より小さい。個別電極３２のそれぞれは平面視において各圧力室２４の中央に配置されている。個別電極３２には配線３５が接続されている。配線３５は圧電アクチュエータ６を駆動する駆動制御部（不図示）に電気的に接続されている。また、駆動制御部はメイン制御部からの指示信号を受信し、かかる指示信号に従って配線３５へと電圧パルス信号を供給する。
【００３２】
さらに、圧電アクチュエータ６は、個別電極３２と共に上記の圧電層を挟むように水平に延在する共通電極（不図示）を有している。かかる共通電極は図示されていない領域において接地されている。駆動制御部が配線３５を介して個別電極３２に電圧パルス信号を印加すると、個別電極３２と共通電極との間に電位差が生じる。これによって、圧電層に電界が生じ、圧電アクチュエータ６が圧力室２４に向かって湾曲する。圧電アクチュエータ６が圧力室２４に向かって湾曲すると、圧力室２４の容積が変化し、圧力室２４内のインクに圧力が印加される。駆動制御部は、ノズル２５からインクが吐出されるような圧力を圧電アクチュエータ６が圧力室２４内のインクに印加するように、所定の波形を有する電圧パルス信号を個別電極３２に供給する。
【００３３】
図３には流路ユニット５における個別流路２０の周辺の構成が示されている。個別流路２０は、鉛直流路２１、絞り流路２６、鉛直流路２２、圧力室２４及びディセンダ流路１９から構成されている。ディセンダ流路１９、及び鉛直流路２１、２２は、流路ユニット５の厚み方向（図３の紙面に垂直な方向）に沿って延在している。これに対して、絞り流路２６及び圧力室２４は、流路ユニット５が伸張する方向に延在している。絞り流路２６は、走査方向に長尺な概略的に長方形の形状を有している。
【００３４】
図４に示されているように、流路ユニット５は複数のプレート１１〜１６が積層された積層体から構成されている。プレート１１〜１５はステンレス鋼等からなる金属製の板であり、いずれも同じ材料からなる。プレート１６はポリイミド等の高分子合成樹脂材料からなる板である。なお、プレート１６が金属製の板であってもよい。各プレートには、個別流路２０を構成することとなる複数の孔が形成されている。プレート１１には圧力室２４となる孔が形成されている。プレート１２にはディセンダ流路１９となる孔と鉛直流路２２となる孔とが形成されている。プレート１３にはディセンダ流路１９となる孔と絞り流路２６となる凹みと鉛直流路21となる孔とが形成されている。プレート１４及び１５のそれぞれには、ディセンダ流路１９となる孔と流路２３ａとなる孔とが形成されている。プレート１６にはディセンダ流路１９の下端部分に連結するノズル２５が形成されている。
【００３５】
これらの孔が互いに連通するようにプレート１１〜１６が積層されることにより、以下のように各流路が連結した個別流路２０が構成されている。鉛直流路２１の一端は下方の流路２３ａに連結している。鉛直流路２１の他端は上方の絞り流路２６の一端に連結している。絞り流路２６の他端は上方の鉛直流路２２の一端に連結し、鉛直流路２２の他端は上方の圧力室２４の一端に連結している。圧力室２４の他端は下方のディセンダ流路１９の一端に連結している。ディセンダ流路１９の他端はノズル２５に連結されている。
【００３６】
図４に示されているように、流路ユニット５の上面に貼り合わされている圧電アクチュエータ６は、上層６ａ及び下層６ｂとを有している。上層６ａには圧電層、個別電極３２及び共通電極が含まれており、下層６ｂには振動板が含まれている。下層６ｂの振動板はステンレス鋼等からなる金属製の板である。
【００３７】
［第１の実施形態］
以下は、流路ユニット５を作製する方法に係る第１の実施形態についての説明である。図５は、流路ユニット５を作製する工程Ｓ１〜Ｓ５を示す工程図である。まず、流路ユニット５を構成するプレート１１〜１５となる複数の金属板に孔が形成される（Ｓ１）。ここで形成された孔は、金属板が積層された際に個別流路２０を構成することとなるものである。次に、工程Ｓ１において孔が形成された金属板が互いに積層されると共に、最上層の金属板上に圧電アクチュエータ６の下層６ｂとなる振動板が積層される（Ｓ２）。
【００３８】
次に、工程Ｓ２において積層された金属板及び振動板の積層体に圧力が印加されると共に、かかる積層体が加熱される。これによって、金属板及び振動板同士が拡散接合によって接合される（Ｓ３）。一方で、プレート１６となる樹脂シートにノズル２５となる孔が形成される（Ｓ５）。そして、工程Ｓ３において拡散接合によって接合された金属板及び振動板に、Ｓ５においてノズル２５となる孔が形成された樹脂シートが熱硬化性接着剤等を介して接着される（Ｓ４）。これによって、流路ユニット５が完成する。
【００３９】
以下は、流路ユニット５の作製工程Ｓ１〜Ｓ５のさらに詳細な説明である。図６は、個別流路２０となる孔が金属板に形成される工程Ｓ１に係る図である。これらの孔はエッチングによって各金属板に形成される。まず、金属板１１１の表面に、ポジ型又はネガ型のレジスト材１４１が配置される。さらにそのレジスト材１４１上には、形成されるべき孔の平面形状と同一形状のマスク部分又は非マスク部分を有するマスクが配置される。なお、マスク部分及び非マスク部分のどちらを流路孔と同一形状にするのかは、レジスト材１４１がポジ型かネガ型かによる。レジスト材１４１の配置後にマスク上方から光が照射され、レジスト材１４１が感光する。光が照射された金属板１１１が現像液に漬けられると、孔が形成される予定の領域のレジスト材１４１のみが現像液に溶け出す。
【００４０】
次に、レジスト材１４１に覆われた金属板１１１の表面にエッチング剤がかけられる。これにより、図６（ａ）に示されるように、金属板１１１においてレジスト材１４１に覆われていない領域１１１ａは、その表面から徐々にエッチング剤に溶解していく。図６（ｂ）に示されているように、一定時間経過後には領域１１１ａに貫通孔が形成される。その後、金属板１１１の表面からエッチング剤及びレジスト材１４１が除去される。圧力室２４及びディセンダ流路１９並びに鉛直流路２１及び２２となる孔はこのように形成される。
【００４１】
一方で、絞り流路２６となる凹みはハーフエッチングによって形成される。すなわち、レジスト材で覆われた金属板上にエッチング剤が散布された後、エッチング剤による溶解で形成された孔が金属板を完全に貫通する前にエッチングが中止され、レジスト材が除去される。これにより、金属板の半ばまで達する絞り流路２６となる孔が形成される。
【００４２】
図７は、樹脂シート１１６にノズル２５となる孔を形成する工程Ｓ５に係る図である。ノズル２５は、エキシマレーザ照射器等のレーザ照射器１７１から照射されるレーザーによって樹脂シート１１６に形成される。まず、樹脂シート１１６の上方に固定されたレーザ照射器１７１に対して、ノズル２５の配列に従って樹脂シート１１６が位置合わせされる。そして、レーザ照射器１７１から樹脂シート１１６にレーザ光が照射されることにより、樹脂シート１１６の所定の位置にノズル２５となる孔が形成される。
【００４３】
図８は、個別流路２０となる孔が形成された金属板１１１〜１１５が順に積層される工程Ｓ２に係る図である。金属板１１１〜１１５は、プレート１１〜１５にそれぞれ相当する。まず、図８（ａ）に示されているように、積層台１６１上に金属板１１５が載置される。そして、金属板１１５上に金属板１１４が、金属板１１４及び１１５に形成された孔が互いに適切に連通するように位置合わせされつつ載置される。次に、図８（ｂ）に示されているように、金属板１１４上に金属板１１３が、金属板１１３及び１１４に形成された孔が互いに適切に連通するように位置合わせされつつ載置される。このように金属板１１１〜１１５が積層台１６１上で順に積層される。そして、金属板１１１上に振動板１０６が載置されることにより、図８（ｃ）に示されているように、金属板１１１〜１１５及び振動板１０６からなる積層体１０５が完成する。
【００４４】
図９及び図１０は、積層体１０５に圧力を印加しつつ積層体１０５を加熱して積層体１０５中の金属板及び振動板同士を拡散接合によって接合する工程Ｓ３に係る図である。図９は、工程Ｓ３において用いられる加圧用治具５１及び５２と、加圧用治具５１及び５２によって支持される積層体１０５との斜視図である。
【００４５】
加圧用治具５１及び５２は積層体１０５の上面及び下面にそれぞれ当接する治具である。加圧用治具５１は平坦な下面を有している。積層体１０５における最上層の振動板１０６の上面は平坦であり、加圧用治具５１の下面は積層体１０５の平坦な上面に密着する。一方で、加圧用治具５２は基部５４と、基部５４の上面から上方に突出した突出部５３とを有している。突出部５３は、平面視において共通インク室２３と同様の形状を有していると共に、共通インク室２３内に収容されるように共通インク室２３より一回り小さく形成されている。積層体１０５の下面には、共通インク室２３が開口している。加圧用治具５２が積層体１０５に当接する際に、突出部５３が共通インク室２３内に収容される。
【００４６】
図１０は、加圧用治具５１及び５２、並びに、積層体１０５の断面図である。図１０（ａ）〜図１０（ｃ）は、加圧用治具５１及び５２を用いて積層体１０５に圧力が印加される一連の工程を示している。図１０に示されているように、加圧用治具５１は下層５１ａ及び上層５１ｂの２層を有している。下層５１ａ（コーティング層）はセラミック材料からなり、上層５１ｂ（同材料層）は積層体１０５の最上層の振動板１０６と同じ材料からなる。また、加圧用治具５２は上層５２ａ及び下層５２ｂの２層を有している。上層５２ａ（コーティング層）はセラミック材料からなり、下層５２ｂ（同材料層）は積層体１０５の最下層の金属板１１５と同じ材料からなる。加圧用治具５２の突出部５３は、基部５４の上面から突出部５３の上面に（図１０の上方に）向かって細くなっている。つまり、突出部５３はテーパーの形状を有している。
【００４７】
加圧用治具５１及び５２の両方の内部にはヒータ５５が設置されている。ヒータ５５が作動すると、加圧用治具５１及び５２の表面を介して積層体１０５が加熱される。なお、図１０（ｂ）及び図１０（ｃ）において、図を見やすくするためヒータ５５の図示が適宜省略されている。
【００４８】
加圧用治具５１及び５２を用いて積層体１０５に圧力が印加される工程は以下のとおりである。まず、図１０（ａ）及び図１０（ｂ）に示されているように、積層体１０５に加圧用治具５２が当接させられる。このとき、突出部５３が共通インク室２３内に進入して、突出部５３の上面（第２の当接面）が共通インク室２３の天井面（第３の表面）に当接すると共に、基部５４の上面（第１の当接面）が金属板１１５の下面（第１の表面）に当接する。次に、図１０（ｂ）及び図１０（ｃ）に示されているように、加圧用治具５１が積層体１０５に当接させられる。このとき、加圧用治具５１の下面（第３の当接面）が振動板１０６の上面（第２の表面）に当接する。そして、加圧用治具５１を介して上方からの圧力Ｐ１が積層体１０５に印加されると共に、加圧用治具５２を介して下方からの圧力Ｐ２が積層体１０５に印加される。
【００４９】
さらに、加圧用治具５１及び５２を介して積層体１０５に圧力が印加されると同時に、加圧用治具５１及び５２の内部のヒータ５５が駆動される。これによって、積層体１０５が加熱される。このとき、積層体１０５は、金属板１１１〜１１５の融点未満の温度に至るまで加熱される。このように圧力が印加されつつ加熱されることにより、積層体１０５内の金属板１１１〜１１５及び振動板１０６の各当接面が拡散接合によって互いに接合される。
【００５０】
なお、図１０に示されている工程とは異なり、図１１に示される工程によって拡散接合がなされてもよい。まず、１個の加圧用治具５１、複数個の積層体１０５及び複数個の加圧用治具５２が、上から加圧用治具５１、積層体１０５、加圧用治具５２、積層体１０５、加圧用治具５２、…、積層体１０５及び加圧用治具５２の順に積層される。その後、加圧用治具５１を介して上方からの圧力が印加されると共に、最下層の加圧用治具５２を介して下方からの圧力が印加される。これと同時に、加圧用治具５１及び各加圧用治具５２の内部のヒータが駆動されて各積層体１０５が加熱される。
【００５１】
これによると、複数の積層体１０５に同時に拡散接合が施されるので、複数の積層体１０５を拡散接合する工程が簡易になる。
【００５２】
図１２は工程Ｓ４に係る図である。工程Ｓ３において拡散接合が施された積層体１０５に、工程Ｓ５においてノズル２５が形成された樹脂シート１１６が、熱硬化性接着剤等を用いて貼り合わされる。これによって、流路ユニット５が完成する。
【００５３】
以下は、加圧用治具５２の作製工程についての説明である。加圧用治具５２はＡＤ（Aero-zol Deposition）法を用いて作製される。図１３は、ＡＤ法を施す装置の構成を示す概略図である。ＡＤ法は、エアロゾル生成装置１７３、ゾル流路１７４及びノズル１７２を用いて実施される。エアロゾル生成装置１７３は、セラミックの微粒子と気体とを混合してエアロゾルを生成する。エアロゾル生成装置１７３が生成したエアロゾルはゾル流路１７４を介してノズル１７２に送られる。ノズル１７２はエアロゾル生成装置１７３からのエアロゾルを下方へと噴射する。
【００５４】
加圧用治具５２は以下の工程を経て作製される。まず、加圧用治具５２の下層５２ｂが金属材料を用いて作製される。次に、加圧用治具５２の下層５２ｂがノズル１７２の下方に設置される。このとき、下層５２ｂは、セラミック層を形成すべき表面が上方に面するように設置される。そして、ノズル１７２からエアロゾルが噴射されると共に、下層５２ｂが左右方向に何度も往復移動される。これによって、下層５２ｂの上面にセラミック材料からなるセラミック層１５２ａが堆積してゆき、加圧用治具５２の上層５２ａとなる。このようにして加圧用治具５２の上層５２ａが形成される。なお、スパッタ法やＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）法を用いて加圧用治具５２の上層５２ａが形成されてもよい。
【００５５】
［第１の実施形態の概括］
以上の工程を有する第１の実施形態によると、図１０に示されているように、拡散接合の際に加圧用治具５２の突出部５３が共通インク室２３内に進入し、突出部５３の上面が共通インク室２３の天井面に当接する。したがって、積層体１０５の内部において金属板及び振動板の当接面の領域１０５ａにも均等に圧力が印加されやすくなる。これによって、図１６に示されているような加圧用治具を用いる場合と比べて、積層体１０５の金属板及び振動板同士が拡散接合によって均等に接合されやすくなる。ここで突出部５３は、基部５４の上面から突出部５３の上面に向かって先細りの形状を有している。このため、加圧用治具５２は、例えば突出部５３の縦断面が長方形の形状である場合と比べて、突出部５３を共通インク室２３内に進入させやすいものとなっている。
【００５６】
ところで、加圧用治具５１及び５２の表面を含む部分が拡散接合によって積層体１０５と接合されやすい材料からなるものであると、加圧用治具５１及び５２を積層体１０５から剥離しにくくなったり、剥離した際に加圧用治具５１及び５２の積層体１０５との当接面に積層体１０５の金属材料が付着したりするおそれがある。これに対して本実施形態によると、加圧用治具５１及び５２において積層体１０５と当接する表面にセラミック材料からなる層５１ａ及び５２ａが形成されている。つまり、加圧用治具５１及び５２の表面には、金属材料からなる積層体１０５と拡散接合によって非常に接合されにくい材料からなる層が形成されている。したがって、加圧用治具５１及び５２を介して積層体１０５に圧力が印加されつつ積層体１０５が加熱されても、加圧用治具５１及び５２と積層体１０５とが拡散接合によって接合されるのを抑制することが可能である。ここで、積層体１０５の金属板と加圧用治具５１及び５２の表面を含む部分とは、できるだけ互いに拡散接合しにくい材料からなるものであることが好ましい。
【００５７】
なお、加圧用治具５１及び５２と積層体１０５とが接合されるのを抑制するためには少なくとも、加圧用治具５１及び５２の表面を含む部分が積層体１０５と異種の材料からなるものであればよい。例えば、積層体１０５がステンレス鋼からなるものである場合には、加圧用治具５１及び５２の表面を含む部分が積層体１０５とは異なる系統のステンレス鋼からなるものであればよい。加圧用治具５１及び５２の表面を含む部分が、ステンレス鋼とは異なる鉄系でない合金材料、チタン又はタングステン等からなるものであることがより好ましい。このような場合には、積層体１０５と加圧用治具５１及び５２の表面とが同じ系統のステンレス鋼からなる場合と比べて、一般に、加圧用治具５１及び５２と積層体１０５とが接合されにくい。
【００５８】
あるいは、積層体１０５が金属材料からなるものであるのに対して、加圧用治具５１及び５２の表面に、アルミナ、ジルコニア及び窒化ケイ素等のセラミック材料以外の金属化合物からなる材料層が形成されていてもよい。この場合にも、加圧用治具５１及び５２と積層体１０５とが接合されにくい材料をセラミック材料以外の材料から選択することが可能である。
【００５９】
また、本実施形態において、加圧用治具５１及び５２は、積層体１０５と同じ材料の層である上層５１ｂ及び下層５２ｂをそれぞれ有している。一方、加圧用治具５１及び５２内のヒータ５５が作動された際に、積層体１０５と加圧用治具５１及び５２とは熱膨張する。ここで、加圧用治具５１及び５２の全体が積層体１０５と異なる材料からなる場合には、加圧用治具５１及び５２と積層体１０５とが互いに異なる膨張率で膨張するため、これらの治具と積層体１０５との当接が確保されなくなったり、共通インク室２３が破損したりするおそれが生じる。これに対して、加圧用治具５１及び５２は積層体１０５と同じ材料の層である上層５１ｂ及び下層５２ｂをそれぞれ有しているので、これらの治具と積層体１０５との膨張率が近くなり、上記のような問題が生じにくくなる。
【００６０】
［第２の実施形態］
以下は、流路ユニット５を作製する方法に係る第２の実施形態についての説明である。第２の実施形態において流路ユニット５を作製する工程の多くは第１の実施形態におけるものと同じである。このため、以下においては主に、第１の実施形態とは異なる工程についての説明がなされ、第１の実施形態と同じ工程についての説明は適宜省略される。
【００６１】
第２の実施形態において第１の実施形態と異なるのは、積層体を作製する工程及び積層体を拡散接合によって接合する工程である。第２の実施形態においては、流路ユニット５を構成する金属板１１１〜１１５が積層された後に、振動板１０６が積層されることなく拡散接合の工程が行われる。そして、拡散接合の工程において、第１の実施形態の加圧用治具５１の代わりに図１４に示されている加圧用治具１５１が用いられる。第２の実施形態においては振動板１０６が積層されないので、図１４に示されているような積層体２０５に拡散接合が施される。積層体２０５の上面には、積層体２０５の最上層の金属板１１１に形成された圧力室２４が開口している。これに対して、加圧用治具１５１は平板状の基部１５４と共に、基部１５４から突出した突出部１５３を有している。突出部１５３は圧力室２４とほぼ同じ形状を有しており、圧力室２４の内部に収容されるように圧力室２４より小さく形成されている。
【００６２】
図１５（ａ）〜図１５（ｃ）は、加圧用治具５２及び１５１を用いて積層体２０５に圧力が印加される一連の工程を示している。なお、図１５に示されているように、加圧用治具１５１も下層１５１ａ及び上層１５１ｂの２層を有している。そして、下層１５１ａ（コーティング層）はセラミック材料からなり、上層１５１ｂ（同材料層）は積層体２０５の最上層の金属板１１１と同じ材料からなる。加圧用治具１５１の突出部１５３は、先端が下方に向かって細くなっており、テーパーの形状を有している。なお、加圧用治具１５１の内部にもヒータが設置されている（不図示）。
【００６３】
加圧用治具５２及び１５１を用いて積層体２０５に圧力が印加される工程は以下のとおりである。まず、図１５（ａ）及び図１５（ｂ）に示されているように、加圧用治具５２が積層体１０５に当接させられる。このとき、突出部５３が共通インク室２３内に進入して、突出部５３の上面（第２の当接面）が共通インク室２３の天井面（第３の表面）に当接すると共に、基部５４の上面（第１の当接面）が金属板１１５の下面（第１の表面）に当接する。
【００６４】
次に、図１５（ｂ）及び図１５（ｃ）に示されているように、加圧用治具１５１が積層体１０５に当接させられる。このとき、突出部１５３が圧力室２４内に進入して、突出部１５３の下面（第４の当接面）が圧力室２４の底面（第４の表面）に当接すると共に、基部１５４の下面（第３の当接面）が金属板１１５の上面（第２の表面）に当接する。
【００６５】
そして、加圧用治具１５１を介して上方からの圧力Ｐ１が積層体２０５に印加されると共に、加圧用治具５２を介して下方からの圧力Ｐ２が積層体２０５に印加される。さらに、圧力の印加と共に、加圧用治具５２及び１５１内のヒータが駆動される。このように積層体２０５に圧力が印加されつつ積層体２０５が加熱されることにより、積層体２０５内の金属板１１１〜１１５の各当接面が拡散接合によって互いに接合される。
【００６６】
なお、第１の実施形態の図１１に示される工程のように、第２の実施形態においても複数の積層体２０５に同時に拡散接合が施されてもよい。このとき、上から加圧用治具１５１、積層体２０５、加圧用治具５２、加圧用治具１５１、積層体２０５、加圧用治具５２、…、加圧用治具１５１、積層体２０５及び加圧用治具５２の順にこれらの部材が積層される。その後、最上層の加圧用治具１５１を介して上方からの圧力が印加されると共に、最下層の加圧用治具５２を介して下方からの圧力が印加される。これと同時に、各加圧用治具１５１及び各加圧用治具５２内のヒータが駆動されて各積層体２０５が加熱される。これによると、複数の積層体２０５において同時に拡散接合がなされるので、複数の積層体２０５を拡散接合する工程が簡易になる。
【００６７】
［第２の実施形態の概括］
本実施形態によると、共通インク室２３が下面に開口しているのみならず、圧力室２４が上面に開口している積層体２０５に拡散接合を施す場合であっても、加圧用治具１５１の突出部１５３が圧力室２４内に進入して圧力室２４の底面に当接する。したがって、積層体２０５内において金属板及び振動板の当接面の領域２０５ａにも均等に圧力が印加されやすくなる（図１５参照）。これによって、図１６に示されているような加圧用治具を用いる場合と比べて、積層体２０５内の金属板同士が拡散接合によって均等に接合されやすくなる。
【００６８】
＜変形例＞
以上は、本発明の好適な実施の形態についての説明であるが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、課題を解決するための手段に記載された内容の限りにおいて様々な変更が可能なものである。
【００６９】
例えば、上述の実施形態において、加圧用治具５１、５２及び１５１は、それぞれ上層及び下層の２層を有している。この２層のうちのセラミック材料からなる層は、どのような厚みを有していてもよい。例えば、加圧用治具の全体における厚みの半ば程度までセラミック材料の層が形成されていてもよい。あるいは、加圧用治具の全体がセラミック材料からなるものであってもよい。
【００７０】
また、上述の実施形態において、金属板１１１〜１１５及び振動板１０６からなる積層体１０５、及び、金属板１１１〜１１５からなる積層体２０５に拡散接合が施されている。しかし、金属板１１１及び１１２からなる積層体や金属板１１３〜１１５からなる積層体に拡散接合が施される場合に本発明が適用されてもよい。このような場合には、拡散接合が施される積層体の上面や下面に開口した孔の形状に応じた形状を有する突出部が加圧用治具に形成されていればよい。
【００７１】
また、上述の実施形態において、加圧用治具５１等の内部に設置されたヒータによって積層体１０５等が加熱されている。しかし、加圧用治具５１等とは別のヒータ部材によって積層体１０５等が加熱されてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】本発明の一実施形態である流路ユニットの製造方法を用いて製造されるインクジェットプリンタ１００の概略的な構成を示す斜視図である。
【図２】図１のインクジェットヘッド１の平面図である。
【図３】図２の一部拡大図である。
【図４】図３のＡ−Ａ線断面図である。
【図５】図２〜図４の流路ユニットを作製する第１の実施形態に係る工程図である。
【図６】図５の工程Ｓ１に係る図である。
【図７】図５の工程Ｓ５に係る図である。
【図８】図５の工程Ｓ２に係る図である。
【図９】図５の工程Ｓ３において用いられる加圧用治具と加圧用治具に支持される積層体との斜視図である。
【図１０（ａ）】図９の加圧用治具が積層体の下面に当接される様子を示す断面図である。
【図１０（ｂ）】図９の加圧用治具が積層体の上面に当接される様子を示す断面図である。
【図１０（ｃ）】図９の加圧用治具を用いて積層体に圧力が印加される様子を示す断面図である。
【図１１】図５の工程Ｓ３において加圧用治具を介して積層体に圧力が印加される場合の図１０とは異なる構成を示す図である。
【図１２】図５の工程Ｓ４に係る図である。
【図１３】図５の工程Ｓ３において用いられる加圧用治具を作製する工程に係る図である。
【図１４】図２〜図４の流路ユニットを作製する第２の実施形態において用いられる加圧用治具と加圧用治具に支持される積層体との斜視図である。である。
【図１５（ａ）】図１４の加圧用治具が積層体の下面に当接される様子を示す断面図である。
【図１５（ｂ）】図１４の加圧用治具が積層体の上面に当接される様子を示す断面図である。
【図１５（ｃ）】図１４の加圧用治具を用いて積層体に圧力が印加される様子を示す断面図である。
【図１６】従来の加圧用治具及び積層体の断面図である。
【符号の説明】
【００７３】
１  インクジェットヘッド
５  流路ユニット
６  圧電アクチュエータ
１１-１６，３１１-３１６  プレート
１９  ディセンダ流路
２１、２２  鉛直流路
２０  個別流路
２３  共通インク室
２４  圧力室
２５  ノズル
２６  絞り流路
５１、５２、１５１、３０１  加圧用治具
５３，１５３  突出部
１００  インクジェットプリンタ
１０５、２０５、３００  積層体
１１１-１１５  金属板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０（ａ）】
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【図１０（ｂ）】
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【図１０（ｃ）】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５（ａ）】
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【図１５（ｂ）】
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【図１５（ｃ）】
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【図１６】
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