(57)【要約】【課題】金属製外環と樹脂製内環とからなるナットにおいて、ねじ山の偏摩耗を低減させることができ、高面圧条件下でも長寿命化であるすべりねじ装置のナット、および、該ナットを用いたすべりねじ装置を提供する。【解決手段】ねじ軸に螺合され、ねじ軸と軸方向に相対移動するナット１であって、該ナットは、金属で形成された金属製外環３と、該金属製外環３の内周部に潤滑性樹脂を一体成形するとともに上記ねじ軸に螺合される樹脂製内環４とからなり、上記金属製外環３の内周軸方向形状は、金属製外環３から樹脂製内環４に荷重を伝える箇所が、軸方向で少なくとも２箇所以上ある形状であり、さらに、該形状はナットの軸方向断面において、ナットに荷重を加えたときの樹脂製内環とねじ軸との接触面における軸方向の接触圧力分布を略均一にできる形状であり、該接触圧力分布はナットの二次元軸対称モデルを用いて有限要素法による解析により求めたものである。【選択図】図１
2008256047.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ねじ軸に螺合され、ねじ軸と軸方向に相対移動するナットであって、該ナットは、金属で形成された金属製外環と、該金属製外環の内周部に潤滑性樹脂を一体成形するとともに前記ねじ軸に螺合される樹脂製内環とからなり、
前記金属製外環の内周軸方向形状は、前記金属製外環から前記樹脂製内環に荷重を伝える箇所が、軸方向で少なくとも２箇所以上ある形状であることを特徴とするナット。
【請求項２】
前記荷重を伝える箇所は、前記金属製外環に形成された軸方向の抜け止め用突起部であることを特徴とする請求項１記載のナット。
【請求項３】
前記抜け止め用突起部を含む前記ナットの軸方向断面において、前記抜け止め用突起部の断面形状が、四角形または三角形であることを特徴とする請求項２記載のナット。
【請求項４】
前記金属製外環は、フランジが形成されていることを特徴とする請求項１、請求項２または請求項３記載のナット。
【請求項５】
前記金属製外環の内周軸方向形状は、前記ナットの軸方向断面において、前記ナットに荷重を加えたときの前記樹脂製内環と前記ねじ軸との接触面における軸方向の接触圧力分布を略均一にできる形状であり、
前記接触圧力分布は、前記ナットの二次元軸対称モデルを用いて有限要素法による解析により求めたものであることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか一項記載のナット。
【請求項６】
前記有限要素法による解析は、前記ねじ軸と前記ナットとの摺動時における該ねじ軸と該ナット内部の温度分布を求めた後、該温度分布と、所定の負荷荷重とを拘束条件として前記接触圧力分布の解析を行なう伝熱−構造連成解析であることを特徴とする請求項５記載のナット。
【請求項７】
ねじ軸にナットを螺合して、ナットをねじ軸と軸方向に相対移動させるすべりねじ装置であって、前記ナットが請求項１ないし請求項６のいずれか一項記載のナットであることを特徴とするすべりねじ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属製外環付きの樹脂製ナットおよびこれを用いたすべりねじ装置に関し、特に金属製外環と樹脂ナット部分（樹脂製内環）との嵌合形状を、構造解析に基づいてねじ接触面での接触圧力分布を均一化できる形状としたナットおよびこれを用いたすべりねじ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
回転運動を直線運動に変換するすべりねじ装置は、ボールねじ装置に較べてコンパクトに設計できるという利点がある。ナットを用いたすべりねじ装置は、ねじ軸を回転駆動して、ナットのフランジに直線駆動力が伝達される移動テーブル等の被駆動体を取り付ける場合が多く、各種産業機械の送り装置や位置決め装置等に多用されている。そのなかで樹脂製ナットを用いたすべりねじ装置は、近年光学測定機器、半導体製造装置、医療機器など用途が拡大するとともに、それぞれの装置に応じた仕様や特性が要求されるようになってきている。
すべりねじ装置用の樹脂製ナットとしては、切削加工や射出成形によって全体が樹脂で形成され、このナットを形成する樹脂として、熱可塑性ポリイミド樹脂を用いたもの（特許文献１参照）や、ポリフェニレンサルファイド樹脂を用いたもの（特許文献２参照）等が開示されている。
【０００３】
また、ナットのフランジ部分も含めて全体を樹脂製とすると、高面圧、高速化の用途等においてはフランジの変形や破壊が起こる可能性がある。これに対し、従来、フランジ付きナットにおいて、フランジを含む外周部を金属で形成し、ねじ軸に螺合される内周部を潤滑性樹脂で形成して、これらの外周部と内周部との間の回り止めと抜け止めをする手段を設けたナット等が開示されている（特許文献３参照）。回り止めと抜け止めをする手段としては、図５に示すように、外周部である金属製外環３の内径面に、軸方向に延びる複数の突起部３ｃが円周方向で等間隔に設けられ、この金属製外環３の内径側に内周部として樹脂製内環４を射出成形によって形成することで、突起部３ｃの周りに樹脂が充填され、一体となった外周部と内周部とが回り止めと抜け止めされている。このナットでは、フランジを含む金属製外環を設けることで、フランジでの破壊が発生せず、摺動による摩擦熱を金属製外環を介して放熱でき、全体を樹脂で形成したナットよりも高面圧、高速に対応できるという利点がある。
【０００４】
しかしながら、すべりねじ装置において、上記特許文献３の金属製外環付き樹脂製ナットにおいて、図５に示すような形状の突起部を設けて、金属製外環と樹脂部分とを一体化させている場合、金属製外環の無い樹脂製ナットと比較してねじ山の偏摩耗が大きいという問題がある。具体的には、ナットの軸方向において荷重が加わる側の反対側周辺のねじ山で摩耗量が最も多くなる。これは、後述する解析結果（図１１参照）より、該部分においてねじ接触面での接触圧力が最大となるためであると考えられる。
【特許文献１】特開平６−１９３７０１号公報
【特許文献２】特開２００１−１１６１０２号公報
【特許文献３】特開２００６−１３８４０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明はこのような問題に対処するためになされたものであり、金属製外環と樹脂製内環とからなるナットにおいて、樹脂製内環に形成されたねじ山の偏摩耗を低減させることができ、高面圧条件下でも長寿命であるすべりねじ装置のナット、および、該ナットを用いたすべりねじ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のナットは、ねじ軸に螺合され、ねじ軸と軸方向に相対移動するナットであって、該ナットは、金属で形成された金属製外環と、該金属製外環の内周部に潤滑性樹脂を一体成形するとともに上記ねじ軸に螺合される樹脂製内環とからなり、上記金属製外環の内周軸方向形状は、上記金属製外環から上記樹脂製内環に荷重を伝える箇所が、軸方向で少なくとも２箇所以上ある形状であることを特徴とする。
【０００７】
上記荷重を伝える箇所は、上記金属製外環に形成された軸方向の抜け止め用突起部であることを特徴とする。
また、上記抜け止め用突起部を含む上記ナットの軸方向断面において、上記抜け止め用突起部の断面形状が、四角形または三角形であることを特徴とする。
また、上記金属製外環は、フランジが形成されていることを特徴とする。
【０００８】
上記金属製外環の内周軸方向形状は、上記ナットの軸方向断面において、上記ナットに荷重を加えたときの上記樹脂製内環と上記ねじ軸との接触面における軸方向の接触圧力分布を略均一にできる形状であり、上記接触圧力分布は、上記ナットの二次元軸対称モデルを用いて有限要素法による解析により求めたものであることを特徴とする。
【０００９】
上記有限要素法による解析は、上記ねじ軸と上記ナットとの摺動時における該ねじ軸と該ナット内部の温度分布を求めた後、該温度分布と、所定の負荷荷重とを拘束条件として上記接触圧力分布の解析を行なう伝熱−構造連成解析であることを特徴とする。
【００１０】
本発明のすべりねじ装置は、ねじ軸にナットを螺合して、ナットをねじ軸と軸方向に相対移動させるすべりねじ装置であって、このナットが上記本発明のナットであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のナットは、金属で形成された金属製外環と、この内周部に潤滑性樹脂で形成され、ねじ軸に螺合される樹脂製内環とからなり、金属製外環の内周軸方向形状を、金属製外環から樹脂製内環に荷重を伝える箇所が、軸方向で少なくとも２箇所以上ある形状とすることで、高面圧条件下でも樹脂製内環に形成されたねじ山の偏摩耗が少なくなり、ナットの長寿命化が図られる。
【００１２】
特に所定のモデルを用いた有限要素法による伝熱−構造連成解析により、樹脂製内環のねじ山が受けるねじ軸との接触圧力分布を正確に解析でき、該解析結果に基づいて、上記接触圧力分布が概ね均一化できるような金属製外環の内周軸方向形状を決定するので、高面圧条件下でもねじ山の偏摩耗が少なく長寿命なナットが得られる。
【００１３】
また、ねじ軸に螺合される樹脂製内環を潤滑性樹脂で形成するので、グリース等の潤滑材が不要である。また、フランジを金属製外環に設けるのでフランジの変形や破壊も防止することができる。
【００１４】
本発明のすべりねじ装置は、ねじ軸にナットを螺合して、ナットをねじ軸と軸方向に相対移動させるすべりねじ装置において、ねじ山の偏摩耗の少ない上記ナットを用いるので、高面圧条件下において長寿命となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明のナットの構成を図１に基づいて説明する。図１は、金属製外環にフランジを設けたフランジ付きナットの斜視図を示す。
図１に示すように、本発明のナット１は、フランジ２を含み金属で形成された金属製外環３と、該金属製外環３の内周部に潤滑性樹脂で一体成形される樹脂製内環４とからなる。樹脂製内環４の内径面には、ねじ軸（図示省略）に螺合される雌ねじ４ａが形成されている。ここで、金属製外環３を形成する金属としては、ステンレス鋼、亜鉛めっき、ニッケルめっき、錫めっき、クロムめっき、塗装等の表面処理等を施した鋼材、アルミニウム合金、銅合金等が挙げられる。
【００１６】
また、樹脂製内環４を形成する潤滑性樹脂としては、熱可塑性ポリイミド樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、フェノール樹脂、およびこれらをブレンドしたもの等を主成分として、四フッ化エチレン樹脂を 10〜40 体積％程度配合した樹脂が挙げられる。なお、上記ポリフェニレンサルファイド樹脂としては、分子の架橋状態により架橋型、半架橋型、直鎖型、分岐型等のものがあるが、いずれも使用でき、これらをブレンドしたものであってもよい。
【００１７】
これらの樹脂には、その潤滑性を阻害しない程度で、炭素粉末、酸化鉄、酸化チタン等の着色剤、黒鉛、金属粉末、金属酸化物粉末、炭素粉末等の熱伝導性向上剤、およびガラス繊維、炭素繊維、アラミド繊維、ウィスカ等の耐摩耗性向上材を配合してもよい。
【００１８】
金属製外環３の内周軸方向形状の一実施例を図２に基づいて説明する。図２（ａ）〜（ｃ）は、図１のナットの軸方向断面図である。なお、ナットは略軸対称形状であることから、図２（ａ）〜（ｃ）ではナット軸方向の片側断面のみを示している。
図２（ａ）〜（ｃ）に示すように、金属製外環３の内径面に、断面四角形（段差状）の軸方向の抜け止め用突起部３ａが形成されている。ナット製造工程において、射出成形でこれらの突起部３ａの周りに樹脂を充填し、樹脂製内環４を該突起部形状にインサート成形することで、金属製外環３と樹脂製内環４とが抜け止めされる。また、円周方向で突起部３ａの一部を取り除くこと等により、金属製外環３と樹脂製内環４とを回り止めすることができる。
【００１９】
樹脂製内環４の内径面の雌ねじ４ａは射出成形時の金型によって形成される。また、雌ねじ４ａは射出成形後に機械加工で形成することもでき、ねじ山の形状は特に限定されず、台形、ゴシックアーク、三角、矩形等いずれの形状であってもよい。
【００２０】
図２（ａ）〜（ｃ）において、金属製外環３に図中上側から荷重（図中矢印Ａ）が加わると、この荷重は上記突起部３ａから樹脂製内環４に伝達される（図中各矢印Ａ’）。荷重を直接伝える箇所としては、各突起部３ａの段差下面部分であり、軸方向で２箇所である。
【００２１】
金属製外環３の内周軸方向形状の他の実施例を図３に基づいて説明する。図３（ａ）〜（ｃ）は、図１のナットの軸方向断面図である。なお、ナットは略軸対称形状であることから、図３（ａ）〜（ｃ）では図２と同様にナット軸方向の片側断面のみを示している。
図３（ａ）〜（ｃ）に示すように、金属製外環３の内径面に、断面三角形（山状）の軸方向の抜け止め用突起部３ｂが形成されている。図２の場合と同様にナット製造工程において、射出成形でこれらの突起部３ｂの周りに樹脂を充填し、樹脂製内環４を該突起部形状にインサート成形することで、金属製外環３と樹脂製内環４とが抜け止めされる。また、円周方向で突起部３ｂの一部を取り除くこと等により、金属製外環３と樹脂製内環４とを回り止めすることができ、雌ねじ４ａの形成方法等は図２の場合と同様である。
【００２２】
図３（ａ）〜（ｃ）において、金属製外環３に図中上側から荷重（図中矢印Ｂ）が加わると、この荷重は上記突起部３ｂから樹脂製内環４に伝達される（図中各矢印Ｂ’）。荷重を直接伝える箇所としては、各突起部３ｂの下斜面部分であり、軸方向で２箇所である。
【００２３】
図４は、ナット１を用いた本発明に係るすべりねじ装置を示す。このすべりねじ装置は、ねじ軸６を回転駆動することにより、ねじ軸６の雄ねじに樹脂製内環４の雌ねじで螺合されたナット１を直線駆動するものであり、フランジ２のボルト孔５には、移動テーブル等の被駆動体が取り付けられる。この被駆動体より金属製外環３を介して、樹脂製内環４に荷重（負荷荷重）が伝わる。
【００２４】
以上の形状に対し、図５に示す従来の金属製外環３の内周軸方向形状の場合、荷重を伝える箇所としては、突起部３ｃの段差下面部分であり、軸方向で１箇所である。この場合では、上述したように、ねじ山の偏摩耗が大きく、荷重が加わる側の反対側のねじ山で摩耗量が最も多くなる。
この偏摩耗の原因を探るべく、ナットの二次元軸対称モデルを用いて有限要素法による構造解析を行なったところ、ナットの軸方向断面において、樹脂製内環の雌ねじと、ねじ軸の雄ねじとの接触面における軸方向の接触圧力分布が上記摩耗量の偏りに合わせて偏っていることが分かった。これに対し、ナットの内部形状、すなわち金属製外環３の内周軸方向形状を種々検討・解析した結果、上記図２に示すような金属製外環から樹脂製内環に荷重を伝える箇所が、軸方向で少なくとも２箇所以上ある形状の場合には、ねじ接触面での上記接触圧力分布を略均一にできることを見出した。本発明はナットに関するものであるが、構造解析に基づいて内部形状を決定するという製造工程においても特徴を有するものである。
【００２５】
有限要素法による解析手段としては、既存の解析ソフト等を使用できる。以下実施例に示す解析結果等は、米国アンシス社製の解析ソフト「ＡＮＳＹＳ」バージョン 8.0 を使用した結果である。
図６に示すような二次元軸対称（図中ｙ軸で対称）のモデルを用いて解析を行なった。該簡略化モデルとしたのは、ナット構造がほぼ軸対称であることと、計算時間を短縮できるためである。簡略化しているため若干実際とは異なる構造部分があるが、全体の構造の中で大きな影響を及ぼす要素であるとは考え難い。また、実際は回転することで接触面に摩擦発熱が生じるのであるが、モデルが二次元のため、回転が考慮できない。そこで、摩擦面については、回転の摩擦によって起こる摩擦熱を算出し、接触面に熱流束という形で熱の供給を設定することで解析を行なった。なお、図６では、ナットの内部構造として金属製外環の内周軸方向形状を直線で表現してあるが、実際の解析時には、図２〜図５に示すような形状に設定する。
【００２６】
樹脂製ナットを用いたすべりねじ装置において、ナットの破断が起きたときの負荷荷重は材料強度のみから想定される荷重より低い値であることが多い。これは、摩擦発熱に起因する温度分布によって、樹脂に熱膨張が生じ、ねじ軸とナットとの接触に特徴が生まれ、その接触形態が摩擦面の温度や接触圧力の偏りを生むために、小さな荷重でも破断が起きてしまう原因になっていると考えられる。
よって、本発明では有限要素法による解析において、まず、伝熱解析によりねじ軸とナットとの摺動時におけるナット内部等の温度分布を求めた後、構造解析により該温度に起因する温度荷重と、所定の負荷荷重とから接触圧力分布を求める、熱の影響を考慮した伝熱−構造連成解析を行なっている。
【００２７】
［伝熱解析］
以上の解析では、実際にナットがねじ軸を摺動することを想定した解析ができない静的状態での解析となっている。このため、摩擦面に摩擦発熱を与えるのであるが、そのまま解析を行なうと、ねじ軸の固定された位置でナットが摺動しているような条件の解析になる。よって、モデル中、ナットとねじ軸の動かない接触部のみが温度上昇し続け、摩擦面からの熱流入と、熱伝達面からの熱流出が平衡状態となったときに結果として得られる温度分布は、一部のみが実際の温度よりも随分と高い値となってしまう。一方、実機等によれば、ある一定距離以上すべりねじ装置のナットを摺動移動させると、熱流入と熱流出が平衡と考えられる状態となり、ナット、ねじ軸ともに温度が収束する。また、構造解析においてもこの温度平衡状態でのナットとねじ軸の温度分布を利用する。
よって、伝熱解析手順としては、まずねじ軸の温度を導き、その後ねじ軸の温度も用いてナットの温度分布を求める。
【００２８】
［構造解析］
次に構造解析では、以上の伝熱解析の結果の温度分布と、その他負荷等の諸条件を拘束条件として入力して解析を行なう。条件設定を図７に示す
（１）まず伝熱解析より得られたねじ軸とナットの温度分布を、構造解析の条件設定として読み込み、温度拘束条件としてモデルに負荷する。
（２）摩擦によって生じる熱のほかに、移動テーブル等の被駆動体により負荷荷重が加わるため、（１）の温度荷重に加えて、図７に示すように面圧荷重として金属製外環に面圧荷重として負荷する。
（３）以上の二つの荷重を入力し、剛体運動が起こらないように、ねじ軸下部に拘束条件を加えて解析を実行する。結果としては、温度分布による材質の熱膨張による影響と、面圧荷重による影響が組み合わされた構造上の変化を観察できる。
【００２９】
二次元軸対称のモデルを用いて上記伝熱解析および構造解析からなる伝熱−構造連成解析により、以下の諸条件におけるナット（樹脂製内環）とねじ軸間に生じている接触圧力分布を求めた。
［実施例］
金属製外環３の内周軸方向形状が、図２（ｂ）に示す形状であるナットを用いた。金属製外環３は、オーステナイト系ステンレス鋼ＳＵＳ３０４を、樹脂製内環４は、熱可塑性ポリイミド樹脂（ＰＩ）をそれぞれ材質としている。ナットは、谷径が12.5mm、山径が 10.0mm、ピッチが 2mmのものを用いた。ナットの移動ストロークは500mmである。金属製外環３のフランジ部以外の外径は φ37mm、突起部を除く内径は φ23.5mmである。該ナットは、金属製外環３に上記樹脂を射出成形して一体成形したもので、ねじ軸との接触部の形態は、ねじ軸と同じで、成形に容易な30度台形ねじである。ＳＵＳ３０３、ＳＵＳ３０４、ＰＩの物性を下記表１に示す。また、全体寸法を図８に示す。
［比較例］
金属製外環３の内周軸方向形状が、図５に示す形状である以外は、実施例と同形状・同材質のナットを用いた。また、全体寸法を図８に示す。
【表１】
2008256047.tif 000003
ねじ軸は、オーステナイト系ステンレス鋼ＳＵＳ３０３を材質とするステンレス 30 度台形ねじであり、山径が 12.0mm 、谷径が 9.5mm、 ピッチが 2.0mmのものを用いた。
【００３０】
実施例および比較例における解析条件は、ナットへ軸方向下方向に図７に示す位置に負荷荷重として 1200 N を与え、ねじ軸の回転数を 200 rpmとした。雰囲気温度は30℃である。
また伝熱解析では、上記各材質の物性値等の他に技術的係数として、それぞれの材質と雰囲気流体との間の熱の受け渡しの大きさを表す値として熱伝達率を入力する必要がある。この値に関しては、明確なものが得られておらず、暫定的な値を入力した。固体表面と自然対流の空気の間の熱伝達率がおよそ 100〜101強 W/m2/K であるので、ＳＵＳと空気間は 15 W/m2/K で与えた。ＰＩと空気間の値については、ＳＵＳと空気間のそれよりは小さい値であろうと考え、ＰＩと空気間は 5 W/m2/K で与えた。
伝熱解析で使用した設定値を下記表２に示す。
【表２】
2008256047.tif 000004
【００３１】
実施例および比較例について、以上の解析により得られたナット（樹脂製内環）とねじ軸間に生じている接触圧力分布結果を図９および図１０に示す。
図１０では接触圧力分布をナット上部から溝に沿って座標軸（ｘ軸）をとり、その座標に沿った圧力を示したもの（ｙ軸）を示す。図１０においてｘ軸は、溝に沿った距離を１ピッチ分の距離で割ってあるため、１ピッチで１増加する表記になっている。また、解析条件のナットは、図９に示すように１６ピッチ存在するため、接触圧力のピークも１６箇所存在することになる。
【００３２】
図９に示すように、比較例では、金属製外環から樹脂製内環へ荷重を伝える箇所が軸方向で下部の１箇所のみであり、このため接触圧力も下部が大幅に大きくなっている。これに対し、実施例の金属製外環から樹脂製内環へ荷重を伝える箇所が軸方向で２箇所ある形状では、荷重点が分散されていることがわかる。
また、図１０に示すように、比較例は下部に向かうほど接触圧力が大幅に増加しているのに対し、実施例ではその増加を抑制できている。また最大の接触圧力値も約30％低減できていることがわかる。
【００３３】
接触圧力が大きくなると、その接触面付近で外力を大きな割合で受けることになり、破断につながる応力集中が起きる可能性が高くなると考えられる。また、ねじ山の偏摩耗が発生する。よって、所定の荷重をかけた場合において、生じる接触圧力分布を可能な限り均一にできるすべりねじ構造とすることで、接触圧力の増大に伴う応力集中とその値の増大を和らげることができると考えられる。
本発明のナットでは、上記解析に基づき内部構造を上記実施例のような形状とすることで、接触圧力分布を略均一化させるとともに最大接触圧力を低減させ、すべりねじ装置の耐荷重の上限の引き上げ、および高面圧条件下での長寿命化を図っている。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
本発明のナットおよびすべりねじ装置は、ねじ山の偏摩耗を低減させることができ、高面圧条件下でも長寿命であるので、光学測定器、半導体製造装置、医療機器等の各種装置等に好適に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明のナットの一実施例として金属製外環にフランジを設けたフランジ付きナットの斜視図を示す。
【図２】金属製外環の内周軸方向形状の一実施例を示す部分断面図である。
【図３】金属製外環の内周軸方向形状の他実施例を示す部分断面図である。
【図４】本発明のナットを用いたすべりねじ装置の斜視図を示す。
【図５】従来のナットにおける金属製外環の内周軸方向形状を示す部分断面図である。
【図６】解析で使用する二次元軸対称のモデルを示す図である。
【図７】条件設定例を示す図である。
【図８】実施例および比較例におけるナットの寸法を示す図である。
【図９】接触圧力分布の解析結果を示す図（二次元）である。
【図１０】接触圧力分布の解析結果を示す図（一次元）である。
【符号の説明】
【００３６】
１  ナット
２  フランジ
３  金属製外環
４  樹脂製内環
５  ボルト孔
６  ねじ軸
【図１】
2008256047.tif 000005
【図２】
2008256047.tif 000006
【図３】
2008256047.tif 000007
【図４】
2008256047.tif 000008
【図５】
2008256047.tif 000009
【図６】
2008256047.tif 000010
【図８】
2008256047.tif 000011
【図７】
2008256047.tif 000012
【図９】
2008256047.tif 000013
【図１０】
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