(57)【要約】【課題】  多数の試料を効率よく観察するために、試料の取り付けが容易に行え、しかも、観察面に触れず、試料を水平に取り付けるのが容易で、高い熟練性が必要でない走査電子顕微鏡用の断面試料台および試料ホルダを提供する。【解決手段】  走査電子顕微鏡内部において断面試料を起立させるための試料台において、断面試料の断面の一部を挟む試料台１及び試料台２と、挟んだ断面試料を締め付ける締め付け手段を有することを特徴とする走査電子顕微鏡用の断面試料台および走査電子顕微鏡内部において走査可能な断面試料とするための断面切削装置の試料ホルダにおいて、切削面と平行な載置面を持つ試料台載置台と試料台を固定するための締め付け手段を有することを特徴とする試料ホルダを提供する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
走査電子顕微鏡内部において断面試料を起立させるための試料台において、断面試料の断面の一部を挟む試料台１及び試料台２と、挟んだ断面試料を締め付ける締め付け手段を有することを特徴とする走査電子顕微鏡用の断面試料台。
【請求項２】
走査電子顕微鏡内部において走査可能な断面試料とするための断面切削装置の試料ホルダにおいて、切削面と平行な載置面を持つ試料台載置台と試料台を固定するための締め付け手段を有することを特徴とする試料ホルダ。
【請求項３】
前記試料台１及び試料台２の厚さが１〜２ｍｍであることを特徴とする請求項１記載の断面試料台。
【請求項４】
前記締め付け手段が、締め付け具８と締め付け具９とからなり、さらに各締め付け具の表面に弾力性のある締め付け板１０を有することを特徴とする請求項２記載の試料ホルダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
走査電子顕微鏡内部において断面試料を起立させるための試料台及び走査電子顕微鏡内部において走査可能な断面試料とするための断面切削装置の試料ホルダに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
超高分解能観察を行う電子顕微鏡は、対物レンズの中に試料を導入するインレンズ形が一般的に用いられている。インレンズ形の試料ホルダはサイドエントリー方式であり、断面観察用の試料サイズは最大で厚さ２ｍｍ、高さ６．５ｍｍの制限がある。
【０００３】
通常の走査電子顕微鏡用の試料台の表面は平坦であり、断面試料の断面を観察する際の試料の支持方法としては、断面試料を立てたままカーボン等の導電性のある接着剤により接着する方法（特許文献１参照）、バネ等の断面試料を押さえる治具を用いて試料台に固定する方法などがあった。一方で、インレンズ形の走査電子顕微鏡の場合、断面観察では断面切削装置を用いて断面出しを行った試料は、断面切削のときに用いた試料ホルダからはずし、走査電子顕微鏡用の断面観察用ホルダに観察面の高さを合わせ、水平に取り付けていた。
【０００４】
特許文献は以下の通り。
【特許文献１】特開平７−６５７６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
通常の作業において、多数の試料を走査電子顕微鏡によって観察することは頻繁に行われており、効率よく観察を行っていくことが必要不可欠な課題である。
【０００６】
インレンズ形の走査電子顕微鏡では作動距離が非常に短いため、焦点の合う範囲が非常に狭い。
【０００７】
このため、多数の試料を効率よく観察するためには、試料の取り付けが容易に行えることが重要である。しかし、観察面に触れず、試料を水平に取り付けるのは容易ではなく、高い熟練性が必要であった。
【０００８】
この場合の上記方法において、実際の断面試料の観察を行うためには、断面切削装置にて切削し、この試料ホルダから取り外して作業を行っていた。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
走査電子顕微鏡で観察する試料を保持する断面試料台において、導電性を有する素材を加工した試料台１と試料台２の間に試料を入れ、締め付けネジ３を用いて一体化し、試料を保持することを特徴とし、試料台の厚さを薄くすることにより、厚さ３ｍｍまでの試料が取り付けられる走査電子顕微鏡用の断面試料台を提供するものである。
【００１０】
断面切削装置の試料ホルダにおいて、走査電子顕微鏡用の断面試料台を断面切削装置に保持でき、試料台と水平に試料を切削できることを特徴とする断面切削装置の試料ホルダである。
【００１１】
具体的には、請求項１に係る発明は、走査電子顕微鏡内部において断面試料を起立させ
るための試料台において、断面試料の断面の一部を挟む試料台１及び試料台２と、挟んだ断面試料を締め付ける締め付け手段を有することを特徴とする走査電子顕微鏡用の断面試料台である。
【００１２】
また、請求項２に係る発明は、走査電子顕微鏡内部において走査可能な断面試料とするための断面切削装置の試料ホルダにおいて、切削面と平行な載置面を持つ試料台載置台と試料台を固定するための締め付け手段を有することを特徴とする試料ホルダである。
【００１３】
また、請求項３に係る発明は、前記試料台１及び試料台２の厚さが１〜２ｍｍであることを特徴とする請求項１記載の断面試料台である。
【００１４】
また、請求項４に係る発明は、前記締め付け手段が、締め付け具８と締め付け具９とからなり、さらに各締め付け具の表面に弾力性のある締め付け板１０を有することを特徴とする請求項２記載の試料ホルダである。
【発明の効果】
【００１５】
走査電子顕微鏡用の断面試料台に試料を取り付け、断面切削装置の試料ホルダに水平に取り付けることにより、断面試料台に水平な断面出しができる。このため、試料台装着時に水平を保つように考慮することはなくなる。
【００１６】
前記試料台は、表面観察用ホルダに装着するため、試料台の取り付けが容易である。
【００１７】
また、走査電子顕微鏡の断面試料台において、試料の厚さにより断面試料台の厚さを変えることにより、厚さ３ｍｍまでの試料を取り付けることができる。
【００１８】
さらに、前記試料台に試料を取り付けるとき、断面出し前の試料であるため、観察面や試料の水平を気にすることなく、簡単に行える。
【００１９】
加えて、断面切削装置の試料ホルダにおいて、前記試料台と水平に試料を切削できるように取り付けることができる。
【００２０】
また、試料の断面出しが終わった後、前記試料台を前記試料ホルダからはずし、走査電子顕微鏡の表面観察用ホルダに装着することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
図１は走査電子顕微鏡の断面試料台であり、アルミニウム素材を加工して作成したものである。なお、走査電子顕微鏡で観察する試料は、導電性がないと帯電を起こし、観察不可能になるため、試料台も導電性を有することが必要である。試料台は導電性があり加工可能な素材であれば任意のものを用いることができる。この試料台１と試料台２はネジ貫通孔４を２箇所設けており、下側は走査電子顕微鏡の表面試料ホルダに装着するための張り出し５とテーパー６を設けている。
【００２２】
試料台の外側は下側にテーパーを設けているが、内側は平らな面である。締め付けネジ３を用いて試料台１と試料台２を一体化させ、試料Ｓを保持する。
【００２３】
図３〜５は従来のサイドエントリー断面観察用ホルダである。試料Ｓの保持は、試料Ｓを試料セット部７にスペーサー８と共に入れ、止めネジ１４で締め付ける。この時、試料Ｓの観察面を水平に取り付ける必要があるが、取り付けは容易ではなく、高い熟練性が必要であった。
【００２４】
図６〜８はサイドエントリー表面観察用ホルダである。試料台の装着は、前記試料台を試料セット部７に載せ、押さえバネ１０で固定する。試料Ｓの観察面は試料台１と平行に断面出しを行っているため、試料セット部に載せるだけで観察面が水平になり、試料台の装着が容易である。
【００２５】
図９は断面切削装置用の試料ホルダである。前記試料台を挟み締め付け具１２はネジ１５と一体化した可動式であり、締め付け具１３はホルダ１１と前記試料台を載せる台１６と一体化した固定式である。
【実施例１】
【００２６】
以下に具体的な実施例を示す。
【００２７】
フィルム等の試料を樹脂で薄く包埋したものを試料台１のネジ貫通孔４の間に置き、試料台２を載せ、締め付けネジ３を用いて締め付ける。このときの試料の厚さに応じて試料台の厚さを変え、総厚が約５ｍｍになるようにする。
【００２８】
この試料台を試料ホルダの台１６の上に置き、ネジ１５で締め付ける。試料ホルダを断面切削装置に取り付け、観察面を切削し、断面出しを行う。
【００２９】
試料ホルダから試料台をはずし、走査電子顕微鏡の表面観察用ホルダに装着する。表面観察用ホルダを走査電子顕微鏡に導入し、観察を行う。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】走査電子顕微鏡における断面試料台の斜視図である。
【図２】走査電子顕微鏡における断面試料台の側面図である。
【図３】走査電子顕微鏡におけるサイドエントリー断面観察用ホルダの側面図である。
【図４】走査電子顕微鏡におけるサイドエントリー断面観察用ホルダ試料セット部の側面図である。
【図５】走査電子顕微鏡におけるサイドエントリー断面観察用ホルダ試料セット部の平面図である。
【図６】走査電子顕微鏡におけるサイドエントリー表面観察用ホルダの側面図である。
【図７】走査電子顕微鏡におけるサイドエントリー表面観察用ホルダ試料セット部の側面図である。
【図８】走査電子顕微鏡におけるサイドエントリー表面観察用ホルダ試料セット部の平面図である。
【図９】断面切削装置における試料ホルダの平面図である。
【図１０】断面切削装置における試料ホルダの側面図である。
【符号の説明】
【００３１】
１    試料台
２    試料台
３    締め付けネジ
４    ネジ貫通孔
５    張り出し
６    テーパー
７    試料セット部
８    止めネジ
９    スペーサー
１０  押さえバネ
１１  ホルダ
１２  締め付け具
１３  締め付け具
１４  締め付け板
１５  ネジ
１６  台
Ｓ    試料
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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