(57)【要約】【課題】載置台上のガラス基板の検査部分のみを短時間で所定の温度に制御することができる検査装置を提供する。【解決手段】本発明の検査装置１０は、ガラス基板５０を載置する載置台１１と、載置台１１上のガラス基板５０と電気的に接触する複数のプローブ１２Ａと、ガラス基板５０のＴＦＴセル５１を温度制御する温度制御装置１３と、を備え、温度制御装置１３によって検査部分（複数のプローブ１２Ａが接触するＴＦＴセル５１の部分）を温度制御しながらガラス基板５０の電気的特性検査を行う装置であって、温度制御装置１３は、検査部分の上面と隙間なく直に接する熱媒体１３１を有し、熱媒体１３１を介して検査部分を温度制御するように構成されている。【選択図】図１
2008082792.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査体を載置する載置台と、上記載置台上の被検査体と電気的に接触する複数のプローブと、上記被検査体の検査部分を温度制御する温度制御装置と、を備え、上記温度制御装置によって上記検査部分を温度制御しながら上記被検査体の電気的特性検査を行う検査装置であって、上記温度制御装置は、上記検査部分の上面と隙間なく直に接する熱媒体を有し、上記熱媒体を介して上記検査部分を温度制御することを特徴とする検査装置。
【請求項２】
上記温度制御装置は、温度調節可能な温調体と、上記温調体と上記検査部分の間で上記熱媒体の層を形成するように上記熱媒体を給排する給排手段と、を有することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
上記給排手段は、上記温調体の下面で開口するように上記温調体内に形成された上記熱媒体の給排用流路と、上記熱媒体を溜める容器と、上記容器と上記給排用の流路とを接続する循環路と、上記熱媒体を循環させるように上記循環路に設けられたポンプと、を有することを特徴とする請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
上記循環路に流量調整機構を設けたことを特徴とする請求項３に記載の検査装置。
【請求項５】
上記載置台の外周縁部に上記熱媒体の排出部を設け、この排出部から上記容器へ上記熱媒体を回収することを特徴とする請求項３または請求項４に記載の検査装置。
【請求項６】
上記温調体の外周面に沿って気体を供給する手段を設けたことを特徴とする請求項２〜請求項５のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項７】
上記熱媒体が柔軟性に富むシートとして形成されていることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項８】
上記柔軟性に富むシート上にペルチエ素子が配置されていることを特徴とする請求項７に記載の検査装置。
【請求項９】
上記被検査体がフラットディスプレイ用ガラス基板であることを特徴とする請求項１〜請求項８のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項１０】
載置台上に載置された被検査体の検査部分と複数のプローブとを電気的に接触させ、上記検査部分の温度を制御しながら上記検査部分の電気的特性検査を行う検査方法であって、上記検査部分の上面と隙間なく直に接する熱媒体を介して上記検査部分を温度制御することを特徴とする検査方法。
【請求項１１】
上記検査部分の上面側に、上記検査部分の温度を制御する温調体を配置する工程と、上記検査部分と上記温調体との間で上記熱媒体を給排する工程と、を有することを特徴とする請求項１０に記載の検査方法。
【請求項１２】
上記熱媒体の給排工程では、上記温調体に設けられた給排用の流路から上記熱媒体を給排することを特徴とする請求項１１に記載の検査方法。
【請求項１３】
上記熱媒体を上記載置台の外周縁部に形成された排出部から排出する工程を有することを特徴とする請求項１０〜請求項１２のいずれか１項に記載の検査方法。
【請求項１４】
上記熱媒体として柔軟性に富むシートを用いることを特徴とする請求項１０に記載の検査方法。
【請求項１５】
ペルチエ素子を用いて上記柔軟性に富むシートを温度制御することを特徴とする請求項１４に記載の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、フラットパネルディスプレイ（以下、「ＦＰＤ」と称す。）用ガラス基板に形成された薄膜トランジスタアレイ（以下、「ＴＦＴアレイ」と称す）の電気的検査に用いられる検査装置及び検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＦＰＤパネルは、例えば携帯電話やデジタルカメラ等の表示装置として広く普及している。近年、パネルサイズは、その用途に応じて益々大型化してきている。ＦＰＤパネルの製造工程にはＦＰＤ用ガラス基板（以下、単に「ガラス基板」と称す。）に形成されたＴＦＴアレイを検査する工程がある。ＴＦＴアレイは、ガラス基板の上面に複数のＴＦＴセルが縦横に配列して構成されている。ＴＦＴセルにはＴＦＴと一緒にＴＦＴの駆動回路等の周辺回路がＴＦＴと一緒に作り込まれている。従って、ＴＦＴアレイの検査では、載置台上にガラス基板を載置し、載置台上のガラス基板に複数のプローブを電気的に接触させて検査用信号を印加して、各ＴＦＴセルのＴＦＴや周辺回路の検査を行う。
【０００３】
また、ＴＦＴセルの周辺回路の温度特性を保証するために、ＴＦＴアレイの段階で低温領域から高温領域まで温度を変化させ、高低温領域において周辺回路の電気特性を測定する、いわゆる信頼性試験を行う必要が出てくる。信頼性試験を行う場合には、温度制御装置で載置台を温度制御することにより、載置台を介してガラス基板を温度制御している。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の検査方法では、載置台を介してガラス基板全面を温度制御するとガラス基板の熱伝導率が小さいため、載置台から周辺回路が偏在するガラス基板の上面までの熱伝導速度が遅く、しかも載置台とガラス基板はいずれも固体であって隙間なく密着することができないため、これら載置台からガラス基板への熱伝導速度が益々遅くなり、ガラス基板の上面が所定の検査温度に達するまでに長時間を必要とする。
【０００５】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、載置台上のガラス基板の検査部分のみを短時間で所定の温度に制御することができる検査装置及び検査方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の請求項１に記載の検査装置は、被検査体を載置する載置台と、上記載置台上の被検査体と電気的に接触する複数のプローブと、上記被検査体の検査部分を温度制御する温度制御装置と、を備え、上記温度制御装置によって上記検査部分を温度制御しながら上記被検査体の電気的特性検査を行う検査装置であって、上記温度制御装置は、上記検査部分の上面と隙間なく直に接する熱媒体を有し、上記熱媒体を介して上記検査部分を温度制御することを特徴とするものである。
【０００７】
また、本発明の請求項２に記載の検査装置は、請求項１に記載の発明において、上記温度制御装置は、温度調節可能な温調体と、上記温調体と上記検査部分の間で上記熱媒体の層を形成するように上記熱媒体を給排する給排手段と、を有することを特徴とするものである。
【０００８】
また、本発明の請求項３に記載の検査装置は、請求項２に記載の発明において、上記給排手段は、上記温調体の下面で開口するように上記温調体内に形成された上記熱媒体の給排用流路と、上記熱媒体を溜める容器と、上記容器と上記給排用の流路とを接続する循環路と、上記熱媒体を循環させるように上記循環路に設けられたポンプと、を有することを特徴とするものである。
【０００９】
また、本発明の請求項４に記載の検査装置は、請求項３に記載の発明において、上記循環路に流量調整機構を設けたことを特徴とするものである。
【００１０】
また、本発明の請求項５に記載の検査装置は、請求項３または請求項４に記載の発明において、上記載置台の外周縁部に上記熱媒体の排出部を設け、この排出部から上記容器へ上記熱媒体を回収することを特徴とするものである。
【００１１】
また、本発明の請求項６に記載の検査装置は、請求項２〜請求項５のいずれか１項に記載の発明において、上記温調体の外周面に沿って気体を供給する手段を設けたことを特徴とするものである。
【００１２】
また、本発明の請求項７に記載の検査装置は、請求項１に記載の発明において、上記熱媒体が柔軟性に富むシートとして形成されていることを特徴とするものである。
【００１３】
また、本発明の請求項８に記載の検査装置は、請求項７に記載の発明において、上記柔軟性に富むシート上にペルチエ素子が配置されていることを特徴とするものである。
【００１４】
また、本発明の請求項９に記載の検査装置は、請求項１〜請求項８のいずれか１項に記載の発明において、上記被検査体がフラットディスプレイ用ガラス基板であることを特徴とするものである。
【００１５】
また、本発明の請求項１０に記載の検査方法は、載置台上に載置された被検査体の検査部分と複数のプローブとを電気的に接触させ、上記検査部分の温度を制御しながら上記検査部分の電気的特性検査を行う検査方法であって、上記検査部分の上面と隙間なく直に接する熱媒体を介して上記検査部分を温度制御することを特徴とするものである。
【００１６】
また、本発明の請求項１１に記載の検査方法は、請求項１０に記載の発明において、上記検査部分の上面側に、上記検査部分の温度を制御する温調体を配置する工程と、上記検査部分と上記温調体との間で上記熱媒体を給排する工程と、を有することを特徴とするものである。
【００１７】
また、本発明の請求項１２に記載の検査方法は、請求項１１に記載の発明において、上記熱媒体の給排工程では、上記温調体に設けられた給排用の流路から上記熱媒体を給排することを特徴とするものである。
【００１８】
また、本発明の請求項１３に記載の検査方法は、請求項１０〜請求項１２のいずれか１項に記載の発明において、上記熱媒体を上記載置台の外周縁部に形成された排出部から排出する工程を有することを特徴とするものである。
【００１９】
また、本発明の請求項１４に記載の検査方法は、請求項１０に記載の発明において、上記熱媒体として柔軟性に富むシートを用いることを特徴とするものである。
【００２０】
また、本発明の請求項１５に記載の検査方法は、請求項１４に記載の発明において、ペルチエ素子を用いて上記柔軟性に富むシートを温度制御することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、載置台上のガラス基板の検査部分のみを短時間で所定の温度に制御することができる検査装置及び検査方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、図１〜図３に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。尚、図１は本発明の検査装置の一実施形態の要部を示す構成図、図２は図１に示す検査装置の載置台の平面図、図３は本発明の検査装置の他の実施形態の要部を示す構成図である。
【００２３】
第１の実施形態
本実施形態の検査装置１０は、例えば図１に示すように、被検査体、例えばＦＰＤ用ガラス基板（以下、単に「ガラス基板」と称す。）５０を載置する載置台１１と、載置台１１上に載置されたガラス基板５０に電気的に接触する複数のプローブ１２Ａを有するプローブカード１２と、ガラス基板５０の検査部分の温度を制御する温度制御装置１３と、を備え、温度制御装置１３によって検査部分を所定の検査温度に制御しながらガラス基板５０の電気的特性検査を行うように構成されている。ガラス基板５０の上面の略全面には複数のＴＦＴセル５１が縦横に配列してＴＦＴアレイとして形成されている。そして、検査時には、例えば複数のプローブ１２Ａと個々のＴＦＴセル５１とを順次電気的に接触させてアレイ検査を行う。ここで検査部分とは、複数のプローブ１２Ａが電気的に接触する部分で、本実施形態では一枚分のＴＦＴセル５１が検査部分に相当することになる。
【００２４】
載置台１１はプローブ室（図示せず）内にＸ、Ｙ、Ｚ方向に移動可能に設けられ、プローブカード１２は載置台１１の上方に配置してプローブ室の上面に固定されている。プローブ室内には載置台１１上のガラス基板５０とプローブとの位置合わせを行う位置合わせ機構（図示せず）が設けられ、載置台１１がＸ、Ｙ、Ｚ方向に移動する間に位置合わせ機構を介してガラス基板５０とプローブ１２Ａとの位置合わせを行う。この位置合わせを行った後、ガラス基板５０のＴＦＴアレイの検査を行う。
【００２５】
而して、温度制御装置１３は、ガラス基板５０を上面から温度制御するように構成されている。ＴＦＴセル５１の周辺回路は、ガラス基板５０の上面の表層部に偏在しているため、ガラス基板５０の上面から温度制御することによりＴＦＴセル５１の周辺回路を短時間で温度制御することができる。また、温度制御装置１３は、検査部分、即ち一枚分のＴＦＴセル５１のみを、その上面から温度制御を行うように構成されている。従って、従来のように載置台１１を介してガラス基板５０全面を下面から温度制御する場合と比較して大幅な省エネルギーを実現することができる。
【００２６】
温度制御装置１３は、例えば図１に示すように、ＴＦＴセル５１の上面と隙間なく接する熱媒体１３１を有し、熱媒体１３１を介してＴＦＴセル５１を温度制御するように構成されている。熱媒体１３１は、ＴＦＴセル５１の上面と隙間なく接するものであれば特に制限されないが、可能な限り広い温度範囲で使用できるものが好ましい。また、この熱媒体１３１は、検査温度に応じて高温用と低温用に使い分けることもできる。本実施形態では、熱媒体１３１として例えばオイルやフロリナート等の電気絶縁性の液体を用いる。以下では、熱媒体としてフロリナートを用いて０℃以下の低温領域で検査する場合について説明する。
【００２７】
本実施形態に用いられる温度制御装置１３は、熱媒体１３１を介してＴＦＴセル５１を温度制御するものであれば特に制限されない。この温度制御装置１３は、図１に示すように、温度調節可能な温調体（以下、「温調ヘッド」と称す。）１３２と、温調ヘッド１３２とＴＦＴセル５１の間に熱媒体１３１が介在するように熱媒体１３１を循環させる熱媒体循環装置１３３と、を備えている。そして、温調ヘッド１３２は、プローブカード１２の中央開口に臨み、且つ、プローブ１２ＡがＴＦＴセル５１と電気的に接触した時にＴＦＴセル５１との間に隙間（熱媒体１３１が介在する隙間）を形成するように配置されている。従って、温調ヘッド１３２は、プローブカード１２との位置関係が固定されるように一体の構造物として構成されていることが好ましい。熱媒体１３１は、温調ヘッド１３２とＴＦＴセル５１との隙間に介在するため、温調ヘッド１３２とＴＦＴセル５１は熱媒体１３１の薄層を介して効率良く熱交換を行い、ＴＦＴセル５１を短時間で所定の検査温度に制御することができる。尚、温調ヘッド１３２は、プローブカード１２に対して昇降可能になっていても良い。
【００２８】
温調ヘッド１３２は、例えば第１循環配管１３４を介して冷凍機１３５及びポンプ１３６に接続されている。そして、冷凍機１３５の二次熱媒体は、ポンプ１３６の働きで第１循環配管１３４を介して温調ヘッド１３２内の第１流路１３２Ａを循環し、温調ヘッド１３２を所定の検査温度まで冷却するようにしてある。
【００２９】
また、熱媒体循環装置１３３は、熱媒体１３１を溜めるタンク１３７と、タンク１３７と温調ヘッド１３２とを接続する第２循環配管１３８と、第２循環配管１３８にタンク１３７の下流側に順次配置して設けられたポンプ１３９及びフィルタ１４０と、を備え、ポンプ１３９の働きで熱媒体１３１が第２循環配管１３８を介してタンク１３７と温調ヘッド１３２との間を循環し、温調ヘッド１３２とガラス基板５０との間を流動して熱媒体層を形成するようにしてある。熱媒体１３１が温調ヘッド１３２とＴＦＴセル５１の隙間を通る間に熱媒体１３１中に塵埃が混入した場合には、第２循環配管１３８に配置されたフィルタ１４０によって確実に除去される。更に、第２循環配管１３８の往路でフィルタ１４０の下流側には第１流量調整機構１３８Ａが設けられ、第１流量調整機構１３８Ａによって温調ヘッド１３２へ供給する熱媒体１３１の流量を調整するようにしてある。第２循環配管１３８の帰路で温調ヘッド１３２とタンク１３７の間には第２流量調整機構１３８Ｂが設けられ、第２流量調整機構１３８Ｂによって温調ヘッド１３２へ供給する熱媒体１３１の流量を調整するようにしてある。流量調整機構は、第２循環配管１３８の往路、帰路の少なくともいずれか一方に設けられている場合でも良い。
【００３０】
温調ヘッド１３２には熱媒体１３１が循環する第２、第３流路１３２Ｂ、１３２Ｃがそれぞれ複数個ずつ上下に貫通して形成されている。複数の第２流路１３２Ｂは、熱媒体１３１の流入路として温調ヘッド１３２の外周に沿って中心側に配列され、それぞれの上端開口が第２循環配管１３８の往路側に接続されている。第３流路１３２Ｃは、熱媒体１３１の流出路として温調ヘッド１３２の外周に沿って第２流路１３２Ｂを囲むように配列され、それぞれの上端開口が第２循環配管１３８の帰路側に接続されている。
【００３１】
従って、熱媒体１３１がポンプ１３９の働きで第２循環配管１３８を介して温調ヘッド１３２とタンク１３７の間を循環する間に、温調ヘッド１３２において、熱媒体１３１は第２流路１３２Ｂの下端開口から温調ヘッド１３２の下面とＴＦＴセル５１との隙間に流出し、この隙間を通って第３流路１３２Ｃの下端開口に流入することにより、温調ヘッド１３２とＴＦＴセル５１の間に熱媒体１３１の薄層を形成する。熱媒体１３１は、複数の第２流路１３２Ｂを通る間に二次熱媒体で所定の温度まで冷却された温調ヘッド１３２によって冷却され、ＴＦＴセル５１の上面を瞬時に冷却する。
【００３２】
また、図１に示すように、温調ヘッド１３２にはその外周面に沿って下降流で気体、例えば乾燥空気を供給する気体流路１４１が設けられ、この気体流路１４１に沿って流下する乾燥空気によって温調ヘッド１３２への結露を防止すると共に、この乾燥空気によって熱媒体１３１の層を温調ヘッド１３２とＴＦＴセル５１の隙間に封止し、熱媒体１３１の外部への散逸を防止することができる。
【００３３】
更に、図２に示すように、載置台１１にはその一側面に沿って熱媒体１３１を排出するための排出孔１１Ａが形成され、この排出孔１１Ａは図１に示すように配管１４２を介してからタンク１３７と接続されている。従って、検査終了後、載置台１１が移動して温調ヘッド１３２が排出孔１１Ａに達すると、温調ヘッド１３２に付着した熱媒体１３１は負圧になった配管１４２を経由してタンク１３７へ戻る。
【００３４】
次に、本実施形態の検査装置１０を用いる本実施形態の検査方法の一例について説明する。まず、プローバ室内において載置台１１上にガラス基板５０を載置すると、載置台１１がＸ、Ｙ、Ｚ方向へ移動する間に位置合わせ機構を介してガラス基板５０の検査用電極とプローブ１２Ａの位置合わせを行う。その後、載置台１１が最初に検査すべきＴＦＴセル５1の真下まで移動し、その位置から載置台１１が上昇してＴＦＴセル５１の検査用電極とプローブ１２Ａとを電気的に接触させる。
【００３５】
この時、冷凍機１３５及びポンプ１３６がそれぞれ始動し、冷凍機１３５と温調ヘッド１３２との間で二次熱媒体が循環し、第１流路１３２Ａを介して温調ヘッド１３２を冷却する。これと同期して熱媒体循環装置１３３のポンプ１３９が始動し、タンク１３７内の熱媒体が温調ヘッド１３２とタンク１３７との間で循環する。温調ヘッド１３２では、熱媒体１３１が第２流路１３２Ｂから温調ヘッド１３２とＴＦＴセル５１との隙間に流出した後、隙間を通って熱媒体１３１の薄層を形成しながら第３流路１３２Ｃを通ってタンク１３７へ戻る。温調ヘッド１３２は熱媒体１３１を介してＴＦＴセル５１の上面を所定の検査温度まで瞬時に冷却する。この時、第１、第２流量調整機構１３８Ａ、１３８Ｂを介して温調ヘッド１３２とＴＦＴセル５１間における熱媒体１３１の流量を調整する。これにより、検査装置１０では所定の低温検査を行うことができる。検査中、乾燥空気が温調ヘッド１３２の外周面の気体流路１４１に沿って下降流で噴射しているため、乾燥空気によって温調ヘッド１３２への結露を防止すると共に熱媒体１３１の層を温調ヘッド１３２とＴＦＴセル５１の隙間に封じ込めることができる。
【００３６】
最初のＴＦＴセル５１の検査が終了すると、載置台１１が下降して温調ヘッド１３２とガラス基板５０との隙間が大きくなる。この時、第１流量調整機構１３８Ａを駆動して熱媒体１３１の温調ヘッド１３２への流入量を一時的に増やし、温調ヘッド１３２とガラス基板５０間の熱媒体１３１の体積を増加させて温調ヘッド１３２とガラス基板５０の隙間を熱媒体１３１で満たし、載置台１１が次のＴＦＴセル５１へ移動する時に、熱媒体１３１が温調ヘッド１３２とガラス基板５０の間で適切な体積を保持して介在するようにする。
【００３７】
その後、載置台１１が次のＴＦＴセル５１の真下まで水平方向に移動した後、上昇して温調ヘッド１３２とガラス基板５０の隙間を小さくしてＴＦＴセル５１とプローブ１２Ａが電気的に接触する。載置台１１が上昇する時には温調ヘッド１３２とガラス基板５０の隙間が小さくなるため、第２流量調整機構１３８Ｂが駆動して熱媒体１３１の温調ヘッド１３２からの流出量を一時的に増やし、熱媒体１３１の体積を減少させて、熱媒体１３１が温調ヘッド１３２とガラス基板５０の間で熱交換に適切な体積を保持して介在するようにする。載置台１１がＴＦＴセル５１間を移動する時にも乾燥空気が気体流路１４１から下方に向けて噴出しているため、温調ヘッド１３２下面の熱媒体１３１はその表面張力の働きと相俟って温調ヘッド１３２の下面で保持される。そして、プローブ１２ＡとＴＦＴセル５１とが電気的に接触した時には、これら両者間に熱媒体１３１の薄層が形成される。従って、温調ヘッド１３２は熱媒体１３１を介してＴＦＴセル５１を瞬時に所定の検査温度に冷却することができる。
【００３８】
温調ヘッド１３２とプローブカード１２が固定された関係では、検査中の載置台１１の昇降で温調ヘッド１３２とガラス基板５０の隙間は狭くなったり広くなったりして変化する。温調ヘッド１３２がプローブカード１２に対して昇降可能な場合には、載置台１１が昇降動作に追随して温調ヘッド１３２とガラス基板５０との隙間を一定に保つようにしても良い。
【００３９】
上述の動作を繰り返してアレイ検査を終了すると、温調ヘッド１３２とガラス基板５０の隙間に介在する熱媒体１３１を温調ヘッド１３２の第３流路１３２Ｃから排出した後、ポンプ１３９を止める。温調ヘッド１３２とガラス基板５０隙間に熱媒体１３１が残存する場合には、載置台１１を水平方向に移動させて温調ヘッド１３２を排出孔１１Ａ上に配置し、排気孔１１Ａを負圧にして残りの熱媒体１３１を排出孔１１Ａからタンク１３７へ回収する。
【００４０】
以上説明したように本実施形態によれば、載置台１１上のガラス基板５０と複数のプローブ１２Ａと電気的に接触させ、温度制御装置１３でガラス基板５０を所定の温度に冷却しながら検査を行う際に、温度制御装置１３は、ガラス基板５０の検査部分（複数のプローブ１２Ａが接触するＴＦＴセル５１の部分）の上面と隙間なく直に接する熱媒体１３１を有し、熱媒体１３１を介してＴＦＴセル５１を温度制御するように構成されているため、熱媒体１３１を介してガラス基板５０の上面に偏在する周辺回路を直接冷却することができ、ガラス基板５０の熱伝導率が小さくても載置台１１上のガラス基板５０のＴＦＴセル５１のみをその上面から効率良く短時間で所定の温度に温度制御することができ、延いては検査のスループットを向上させることができる。また、検査中、ガラス基板５０の検査部分だけを温度制御するため、省エネルギー化を促進することができる。
【００４１】
また、本実施形態によれば、温度制御装置１３は、温度調節可能な温調ヘッド１３２と、温調ヘッド１３２と検査部分の隙間に熱媒体１３１が流動するように熱媒体１３１を循環させる熱媒体循環装置１３３と、を有するため、熱媒体１３１を介して温調ヘッド１３２とＴＦＴセル５１との熱交換を効率良く行うことができる。また、熱媒体循環装置１３３は、温調ヘッド１３２の下面で開口するよう温調ヘッド１３２の内部に形成された熱媒体循環用の第１、第２流路１３２Ｂ、１３２Ｃと、熱媒体１３１を溜めるタンク１３７と、タンク１３７と第１、第２流路１３２Ｂ、１３２Ｃとを接続する第２循環配管１３８と、熱媒体１３１を循環させるように第２循環配管１３８に設けられたポンプ１３９と、を有するため、熱媒体１３１が温調ヘッド１３２とＴＦＴセル５１の隙間を通り、温調ヘッド１３２とＴＦＴセル５１の双方に隙間なく密着する熱媒体１３１の薄層を形成することができる。更に、第２循環配管１３８の往路及び帰路に第１、第２流量調整機構１３８Ａ、１３８Ｂをそれぞれ設けたため、検査中に載置台１１がＴＦＴセル５１間を移動する間に温調ヘッド１３２とガラス基板５０との間の熱媒体１３１の体積を適切に保持することができる。
【００４２】
第２の実施形態
本実施形態の検査装置は、温度制御装置を異にする以外は、第１の実施形態に準じて構成されている。従って、本実施形態では第１の実施形態と同一または相当部分には同一符号を付して本発明を説明する。
【００４３】
本実施形態の検査装置１０Ａに用いられる温度制御装置１３は、例えば図３に示すように、検査部分の上面と隙間なく直に接する柔軟性に富む熱媒体１３１を有し、熱媒体１３１を介して検査部分を温度制御するように構成されている。
【００４４】
柔軟性に富む熱媒体１３１は、電気絶縁性を有し、検査部分の上面に微細な凹凸があっても凹凸に即して柔軟に変形して凹凸に馴染み、隙間を形成することなく密着するものである。このような熱媒体１３１としては、例えばクールシート（商品名：大倉ゴム工業（株）製）等のようなシート状のものが好ましい。そのため、本実施形態では、熱媒体１３１を熱媒体シート１３１として説明する。
【００４５】
また、本実施形態に用いられる温度制御装置１３は、例えば温調体としてのペルチエ素子１３２と、ペルチエ素子１３２の温度を検出する温度センサ１３２Ａと、温度センサ１３２Ａの検出値と予め設定された低温領域の温度とに基づいてペルチエ素子１３２を所定の設定温度に制御する制御回路１３２Ｂと、を有している。ペルチエ素子１３２は、第１の実施形態と同様に、プローブカード１２の中央開口部に臨むようにプローブカード１２と一体化している。そして、熱媒体シート１３１は、ペルチエ素子１３２の下面に接合、固定されており、複数のプローブ１２ＡとＴＦＴセル５１とが電気的に接触した時点で、ＴＦＴセル５１の上面と密着するようにしてある。
【００４６】
次に、本実施形態の検査装置１０Ａを用いる検査方法は、温度制御装置１３による検査部分の温度制御方法を異にする以外は、実質的に第１の実施形態に準じて行われる。そこで、本実施形態の特徴部分について説明する。載置台１１上のガラス基板５０の検査部分とプローブカード１２の複数のプローブ１２Ａとを電気的に接触すると、ペルチエ素子１３２が熱媒体シート１３１を介してガラス基板５０の検査部分であるＴＦＴセル５１と隙間なく密着する。
【００４７】
この時、ペルチエ素子１３２は、制御回路１３２Ｂの制御下で温度センサ１３２Ａの検出値に基づいて設定温度になっているため、ペルチエ素子１３２が熱媒体シート１３１を介してＴＦＴセル５１の上面を所定の検査温度まで冷却する。この際、熱媒体シート１３１はＴＦＴセル５１と隙間なく密着しているため、ペルチエ素子１３２は熱媒体シート１３１を介してＴＦＴセル５１を瞬時に検査温度まで冷却することができる。尚、ペルチエ素子１３２を加熱手段として使用する場合には極性を反転させれば良い。
【００４８】
以上説明したように本実施形態によれば、温度制御装置１３は、熱媒体１３１が柔軟性に富むシートとして形成されており、温調体がペルチエ素子１３２であるため、熱媒体シート１３１がペルチエ素子１３２とＴＦＴセル５１の双方と隙間なく密着し、ペルチエ素子１３２によってＴＦＴセル５１の上面を所定の検査温度まで瞬時に冷却することができ、検査のスループットを向上させることができる。
【００４９】
また、本実施形態によれば、熱媒体シート１３１を用いるため、第１の実施形態のように熱媒体１３１を循環させる複雑な構造でなく、温度制御装置１３の構造を簡素化することができる。
【００５０】
尚、本発明は上記実施形態に何等制限されるものではなく、必要に応じて適宜設計変更することができる。例えば、第１の実施形態において、第２流路１３２Ｂと第３流路１３２Ｃの関係を逆にして、第２流路１３２Ｂから温調ヘッド１３２へ熱媒体１３１を供給し、第３流路１３２Ｃから熱媒体１３１を排出するようにしても良い。また、第３流路１３２Ｃから乾燥空気を供給し、第２流路１３２Ｂを熱媒体１３１の流入路及び流出路として利用しても良く、この場合には気体流路１４１を省略することができる。要は、熱媒体が被検査体の検査部分の上面と隙間なく直に接し、検査部分をその表面から熱媒体を介して温度制御することによって被検査体を検査する方法及び装置であれば本発明に包含される。熱媒体は、検査部分と隙間なく接するものであれば、液体、固体、気体のいずれであっても良い。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
本発明は、高温領域及び低温領域の双方において被処理体から吸熱作用を要求される種々の処理装置において好適に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の検査装置の一実施形態の要部を示す構成図である。
【図２】図１に示す検査装置の載置台の平面図である。
【図３】本発明の検査装置の他の実施形態の要部を示す構成図である。
【符号の説明】
【００５３】
１０    検査装置
１１    載置台
１１Ａ  排出孔
１２    プローブカード
１２Ａ  プローブ
１３    温度制御装置
５０    被検査体
５１    ＴＦＴセル（検査部分）
１３１    熱媒体、熱媒体シート
１３２    温調ヘッド、ペルチエ素子（温調体）
１３２Ｂ  第２流路（熱媒体供給用の流路）
１３２Ｃ  第３流路（熱媒体排出用の流路）
１３７    タンク（容器）
１３８    第２循環配管（循環路）
１３９    ポンプ
１４０    フィルタ
１４１    気体流路
【図１】
2008082792.tif 000003
【図２】
2008082792.tif 000004
【図３】
2008082792.tif 000005