(57)【要約】【課題】媒体の流れ検出機構を持たない既存のシステムにも容易に追加取り付け可能な冷媒の流れ検出機構を提供する。【解決手段】冷媒タンクに蓄えられた冷媒を流入管を介して被冷却部材に流入させ、この被冷却部材を冷却した後流出管を介して前記冷媒タンクに戻るように構成された冷却装置の冷媒の流れ検知機構において、前記流入管および流出管に前記冷媒の流れを検出するセンサを設けた。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
冷媒タンクに蓄えられた冷媒を流入管を介して被冷却部材に流入させ、この被冷却部材を冷却した後流出管を介して前記冷媒タンクに戻るように構成された冷却装置の冷媒の流れ検知機構において、
前記流入管および流出管に前記冷媒の流れを検出するセンサを設けたことを特徴とする冷媒の流れ検知機構。
【請求項２】
前記センサは少なくとも２個の歪み検出センサであって、これら歪みセンサの歪み検出方向の向きが前記流入管および流出管を流れる冷媒の流れ方向に対して一方は同一方向に、他方は反対方向に取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載の冷媒の流れ検知機構。
【請求項３】
前記少なくとも２個の歪みセンサの出力を入力する差動増幅器と、この差動増幅器の出力を入力するフィルタと、このフィルタの出力を入力する判定回路を備えたことを特徴とする請求項２に記載の冷媒の流れ検知機構。
【請求項４】
冷媒タンクに蓄えられた冷媒を流入管を介して被冷却部材に流入させ、この被冷却部材を冷却した後流出管を介して前記冷媒タンクに戻るように構成された冷却装置の冷媒の流れ検知機構において、
前記流入管または流出管に取り付けられた第１流れ検出センサと、前記流入管または流出管以外の前記第１流れ検出センサの近傍に設けられた第２流れ検出センサを有することを特徴とする冷媒の流れ検知機構。
【請求項５】
前記第１，第２流れ検出センサの出力を入力する差動増幅器と、この差動増幅器の出力を入力するフィルタと、このフィルタの出力を入力する判定回路を備えたことを特徴とする請求項４に記載の冷媒の流れ検知機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、冷媒の流れ検知機構に関し、流体状の冷媒を循環させて被冷却部材の冷却を行なう冷却装置に用いて好適な冷媒の流れ検知機構にするものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば多数の内部発熱部材を内蔵したＩＣテスタユニットは比較的に大量の内部発熱を生じ、テスタユニットは例えば２５℃±５℃の温度範囲に空調された室内空気との熱交換作用により室内雰囲気に放出される。
【０００３】
また、ＩＣテストシステムでは、冷媒タンクから供給される冷媒(たとえば冷却水)をテストヘッドに導き、さらに複数の基板ユニット（被冷却部材）に分配している。
図３（ａ，ｂ）はこのようなＩＣテストシステムの冷却機構を示す概略構成図である。
図３ａにおいて、１は例えば水槽からなる冷媒タンク、２は冷媒タンクに一端が接続され他端が閉塞された冷媒の流出本管、３は一端が閉塞され、他端が冷媒タンク１に接続された流入本管である。
【０００４】
４は被冷却部材としての複数の基板ユニットである。５は流入管で、一端が流出本管２に接続され、他端は基板ユニット４の１つに接続されている。６は流出管で、一端が基板ユニット４に接続され、他端は流入本管３に接続されている。この流入管５と流出管６はそれぞれの基板ユニット４に対して一組づつ接続されている。
【０００５】
即ち、流入管５は流出本管２から分岐して基板ユニット４の冷媒流入口（図示省略）に接続されており、基板ユニット４の発熱部（図示省略）に冷媒を直接または間接的に接触させ、流出管６を介して流入本管３に還流させるように構成されている。
【０００６】
図３（ｂ）は図３（ａ）のＡ部拡大図であり、流入管５と流出本管２および流出管６と流入本管３が一組のコネクタ（カプラ）７により接続されている状態を示している。ここで用いるコネクタ７はコネクタ同士が接続されない状態では冷媒の流れはオフとなるように設計されている。
【０００７】
上述の構成において、冷媒タンク１から流出本管２に送り出された冷媒は複数の流入管６を介してそれぞれ接続された基板ユニット４の発熱部を冷却し流出管６、流入本管３を
通って冷媒タンク１に戻るようになっている。
【０００８】
図４は基板ユニット一つに対する接続状態を示すもので、流入管５に冷媒センサ８を設けた例を示している（ここでは流出本管２と流入本管３は省略している）。９は冷媒センサからの出力を入力し、冷媒の流れを判定する判定回路である。
なお、冷媒の流れを検出するセンサとしては、冷媒の流れにより羽（水車）を回し、その回転を検出する手段がよく知られている。
【０００９】
ところで、通常、基板ユニット４の検査は数十枚を設置して行われる。その場合、従来は一般的には冷媒が正常に循環しているか否かを個別に検出する機構を持たないため、コネクタ７の接続し忘れや、接続したつもりでも接続が不完全であるという事故が起こりうる。
【００１０】
接続し忘れや、接続が不完全な場合、基板ユニット４には冷媒が供給されないので、基板ユニットの温度が上昇し、異常温度に達した時点で温度アラームが発せられて電源強制断となり、はじめて異常に気づくことになる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、水車を回して冷媒の流れ（例えば水流）を検出する方法は、メカ的な機構が追加になるため、占有容積が大きくなってしまうという問題があり、水流検出機構を持たない既存のシステムに、後から追加するのは困難であるという問題があった。
従って、本発明は媒体の流れ検出機構を持たない既存のシステムにも容易に追加取り付け可能な冷媒の流れ検出機構を提供することを目的としている。
なお、気体を用いたテストヘッド冷却装置の先行技術として例えば下記の特許文献に示されたものがある。
【００１２】
【特許文献１】特開平１１−５２０２２号公報
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は上記問題点を解決するためになされたもので、請求項１記載の冷媒の流れ検出機構の発明においては、
冷媒タンクに蓄えられた冷媒を流入管を介して被冷却部材に流入させ、この被冷却部材を冷却した後流出管を介して前記冷媒タンクに戻るように構成された冷却装置の冷媒の流れ検知機構において、
前記流入管および流出管に前記冷媒の流れを検出するセンサを設けたことを特徴とする。
【００１４】
請求項２においては請求項１に記載の冷媒の流れ検知機構において、
前記センサは少なくとも２個の歪み検出センサであって、これら歪みセンサの歪み検出方向の向きが前記流入管および流出管を流れる冷媒の流れ方向に対して一方は同一方向に、他方は反対方向に取り付けられていることを特徴とする。
【００１５】
請求項３においては請求項２に記載の冷媒の流れ検知機構において、
前記少なくとも２個の歪みセンサの出力を入力する差動増幅器と、この差動増幅器の出力を入力するフィルタと、このフィルタの出力を入力する判定回路を備えたことを特徴とする。
【００１６】
請求項４の冷媒の流れ検出機構の発明においては、
冷媒タンクに蓄えられた冷媒を流入管を介して被冷却部材に流入させ、この被冷却部材を冷却した後流出管を介して前記冷媒タンクに戻るように構成された冷却装置の冷媒の流れ検知機構において、
前記流入管または流出管に取り付けられた第１流れ検出センサと、前記流入管または流出管以外の前記第１流れ検出センサの近傍に設けられた第２流れ検出センサを有することを特徴とする。
【００１７】
請求項５においては請求項４に記載の冷媒の流れ検知機構において、
前記第１，第２流れ検出センサの出力を入力する差動増幅器と、この差動増幅器の出力を入力するフィルタと、このフィルタの出力を入力する判定回路を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
以上説明したことから明らかなように本発明の請求項１乃至５によれば、次のような効果がある。
請求項１によれば、流入管および流出管に前記冷媒の流れを検出するセンサを設けたので、ＩＣテストシステムのテストヘッドにおける、コネクタの接続し忘れや、接続が不完全な場合によるトラブルを防止できる。
【００１９】
請求項２，３によれば、歪みセンサの歪み検出方向の向きを流入管および流出管を流れる冷媒の流れ方向に対して一方は同一方向に、他方は反対方向に取り付け、これらの歪みセンサの出力を入力する差動増幅器と、この差動増幅器の出力を入力するフィルタと、このフィルタの出力を入力する判定回路を備えているので、歪みセンサからの歪み検出信号を倍増することができ、ノイズをキャンセルすることができる。
【００２０】
請求項４，５によれば、流入管または流出管に取り付けられた第１流れ検出センサと、流入管または流出管以外の第１流れ検出センサの近傍に設けられた第２流れ検出センサを設け、第１，第２流れ検出センサの出力を入力する差動増幅器と、この差動増幅器の出力を入力するフィルタと、このフィルタの出力を入力する判定回路を備えたので、ノイズをキャンセルすることができる。
【００２１】
そして、本発明の冷媒の流れ検出機構は、新規設計に盛り込むことはもちろん、既存のものに機能を追加するのが容易である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
図１（ａ〜ｃ）は本発明の一実施例を示すもので、図３，４と同一要素には同一符号を付している。図１（ａ）において、１０は流入管５の外周に取り付けた第１歪センサ、１１は流出管６の外周に取り付けた第２歪センサである。１２はこれら第１，第２歪みセンサからの出力信号を入力する差動増幅器、１３は差動増幅器１３からの出力を入力するフィルタ、９はフィルタからの出力を入力する判定回路である。
【００２３】
図１（ｂ）は媒体の流れに対して流入管５および流出管６に生じる歪みの状態を示す図である。冷媒の流れは流れに平行な（１）の流れの外，所定の角度を有する（３）の方向へも流れ、流入管５および流出管６には（２）の方向に応力が生じる。歪みセンサ１０および１１はこの（２）の応力を検出して電気信号を発生する。
【００２４】
これら第１，第２歪みセンサ１０および１１の電気信号は差動増幅器１２に入力され、その差分が増幅されてフィルタ１３に入力され、所望の信号帯の中の電気信号が選別されて出力される。判定回路９はフィルタ１３から出力された信号を入力し、その信号に基づいて冷媒の流れの有無を判定する。
【００２５】
図３（ｃ）は流入管５および流出管６に対する歪みセンサの取り付け方向を示すもので、歪みセンサ１０，１１は歪み検出の向きが同じ方向になっているのに対し、冷媒の流れの向きは逆になっているため電気信号の極性は反対になる。
【００２６】
一方、振動などによる外乱で歪みセンサに歪みが加わった場合、歪みセンサ１０と歪みセンサー１１の歪み検出の向きが同じになっていることから、２つの歪みセンサの電気信号の極性は等しくなる。
【００２７】
これらの歪みセンサから発生した電気信号は、差動増幅器１２によって減算・増幅処理がなされる。冷媒の流による歪みは前述のように逆極性であり、減算処理は加算処理にな
って、より大きな値となって出力される。一方、振動等の外乱による歪みは前述のように同極性であり、減算処理によってより小さな値となる。
【００２８】
差動増幅器１２の出力はフィルタ１３へ入力され、外乱などによって生じた非定常的な歪みの影響が除去される。
そして、フィルタ１３の出力は判定回路９へ入力され、ある一定レベル以上の信号が入力された場合に「冷媒の流れあり」、それ以外の場合は「流れなし」と判定し、アラーム回路(図示省略)へ接続される。
【００２９】
アラーム回路は、判定回路９の出力が「流れなし」であった場合に、テストシステムの本体に対してアラームを発する。温度アラームなど既存のアラーム系がある場合は、それらを束ねる機能を併せ持つ。
【００３０】
図２は他の実施例を示す概略構成図である。図において図１と同一要素には同一符号を付している。図１の実施例では、冷媒の流れによって流入管および流出管に生じる歪みを検出することによって冷媒の流れの有無を判断しているが、この実施例では、冷媒の流れによって流入管または流出管のいずれか一方に生じる振動や音を加速度センサー（音の場合はマイクロフォン）などで検出する。
【００３１】
この場合は、２個１組のセンサを流入管または流出管のいずれか一方と、これらの管以外の場所（基板表面など）に設置し、外乱の影響を取り除く形となる。１４は例えば第１加速度センサ（又はマイクロフォン）、１５は第１加速度センサ（又はマイクロフォン）と同等の第２センサである。
【００３２】
この場合も一組のセンサから発生した電気信号は、差動増幅器１２によって減算・増幅処理がなされる。差動増幅器１２の出力はフィルタ１３へ入力され、外乱などによって生じた非定常的な歪みの影響が除去される。
そして、フィルタ１３の出力は判定回路９へ入力され、ある一定レベル以上の信号が入力された場合に「冷媒の流れあり」、それ以外の場合は「流れなし」と判定し、アラーム回路(図示省略)へ接続される。
【００３３】
以上説明したように、本発明によれば、ＩＣテストシステムのテストヘッドにおける、コネクタの接続し忘れや、接続が不完全な場合によるトラブルを防止できる。そして、歪みセンサからの歪み検出信号を倍増することができ、ノイズをキャンセルすることができ、精度が高く、新規設計に盛り込むことはもちろん、既存のものに機能を追加するのが容易な冷媒の流れ検出機構を提供することができる。
【００３４】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。たとえば、冷媒は水以外のものであってもよく、センサは２個以上の一組であってもよい。従って本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形を含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の一実施例を示す冷媒の流れ検出機構の構成図である。
【図２】他の実施例を示す冷媒の流れ検出機構の構成図である。
【図３】一般的なＩＣテストシステムの構成を示す説明図である。
【図４】従来の冷媒の流れ検出機構の一例を示す構成図である。
【符号の説明】
【００３６】
１      冷媒タンク
２      流出本管
３      流入本管
４      基板ユニット
５      流入管
６      流出管
７      コネクタ（カプラ）
８      冷媒センサ
９      判定回路
１０    第１歪みセンサ
１１    第２歪みセンサ
１２    差動増幅器
１３    フィルタ
１４    第１センサ（加速度又はマイクロフォン）
１５    第２センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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