(57)【要約】【課題】パーテイクル発生の問題を回避しながら、大型化するワークに対応した移載が可能な移載装置を提供する。【解決手段】移載装置３０は、二本のアーム（基端側アーム２と先端側アーム３）から構成される一対のフリーアーム４の基端側アーム２の基端側を基台１に回動自在に取り付け、先端側アーム３の先端側を相互に回動自在に連結した移載アーム５を備え、基台１を移載方向にスライドさせるスライド部２０を備えた。【選択図】図１
2008074549.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
二本のアームから構成される一対のフリーアームの基端側を基台に回動自在に取り付け、前記一対のフリーアームの先端側を相互に回動自在に連結した移載アームを備え、前記基台を移載方向にスライドさせるスライド部を備えた移載装置。
【請求項２】
移載物を載置した場合には、移載アームが待機位置にある状態で、スライド部によって基台をスライドさせるようにした請求項１記載の移載装置。
【請求項３】
移載物を載置しない場合には、移載アームのフリーアームによる移動と、スライド部による基台の移動とを同時に行うようにした請求項１または２記載の移載装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワーク（「搬送対象物」をいう。）を搬送する搬送システムなどに用いられ、ワークを同一水平面内で、多関節のアームによって、直線移動させる移載装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体基板や液晶表示板などを製造する工場においては、その素材となる平板状素材（半導体ウエハや、ガラス板）に多工程の処理を異なる位置で施すため、その平板状素材を収容したトレイなどの搬送対象物であるワークをクリーンルーム内で搬送する搬送システムが必須のものであり、その搬送システムにおいて、多関節のアームによって、ワークを同一水平面内で直線移動させる移載装置がワークを移載するのに用いられている。
【０００３】
このようにクリーンルーム内で、多関節のアーム型の移載装置（「スカラーアーム」とも称される。）が用いられるのは、クリーンルームを汚染するパーティクルの発生が少ないからである。
【０００４】
図１２は、そのような移載装置であって、本発明の背景技術である移載装置の一例を示す正面図である。この移載装置は、特許文献１に記載されたものである。
【０００５】
この移載装置１００は、一対の基台１０１と、この一対の基台１０１のそれぞれに回転自在に取り付けられた一対の基端側アーム１０２と、この一対の基端側アーム１０２のそれぞれの先端に回転可能に取り付けられた一対の先端側アーム１０３と、この一対の先端側アームの先端側を回転自在に連結した移載アーム１０５とを備えている。
【０００６】
それぞれの基台１０１は、基端側アーム１０２を、その基台１０１の中心線対称に同期回転駆動し、これにより、この移載装置１００は、移載アーム１０５を、図中に二点鎖線の想像線で示した状態から、実線で示した状態まで、対称中心線方向に直線移動させることができる。
【０００７】
移載アーム１０５には、ワークＷを把持する一対の把持アーム１０６が設けられている。よって、この移載装置１００は、ワークＷを、その直線移動範囲内で、掴み、移動させ、下ろすという移載機能を発揮する。
【０００８】
しかしながら、この移載装置１００では、ワークＷが小型・軽量の場合はあまり問題にならないが、ワークＷが大型化するについて、移載距離が長くなりかつ移載重量も増加し、これに対応して各アームの長さが長くなり、梁としての強度が求められ、多関節アームの構造上、移載距離や移載重量が大きくなると対応することが困難であり、解決が望まれていた。
【特許文献１】特開平６−１５６６３２号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本願発明は、上記問題を解決しようとするものであり、パーテイクル発生の問題を回避しながら、大型化するワークに対応した移載が可能な移載装置を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１記載の移載装置は、二本のアームから構成される一対のフリーアームの基端側を基台に回動自在に取り付け、前記一対のフリーアームの先端側を相互に回動自在に連結した移載アームを備え、前記基台を移載方向にスライドさせるスライド部を備えたことを特徴とする。
【００１１】
なお、本発明では、移載装置の移載対象を移載物と称したり、同じ移載物を、搬送システムに於ける搬送対象物として、ワークと称したりしているが、いずれも同じものを意味するものである。
【００１２】
請求項２記載の移載装置は、請求項１に従属し、移載物を載置した場合には、移載アームが待機位置にある状態で、スライド部によって基台をスライドさせるようにしたことを特徴とする。
【００１３】
請求項３記載の移載装置は、請求項１または２に従属し、移載物を載置しない場合には、移載アームのフリーアームによる移動と、スライド部による基台の移動とを同時に行うようにしたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１記載の移載装置によれば、二本のアームから構成される一対のフリーアームの基端側を基台に回動自在に取り付け、前記一対のフリーアームの先端側を相互に回動自在に連結した移載アームを備え、前記基台を移載方向にスライドさせるスライド部を備えたので、フリーアームによる移載アームの移動ストロークを短くすることができ、大型化する移載物の移載を可能にする。
【００１５】
また、移載物の載置エリアなどに、移載アーム以外の部分を侵入させないで移載物を移載することが可能であり、移載装置から発生するパーテイクルにより載置エリアに置かれている別の移載物の汚染を防止することが可能となる。
【００１６】
請求項２記載の移載装置によれば、請求項１の効果に加え、移載物を載置した場合には、移載アームが待機位置にある状態で、スライド部によって基台をスライドさせるようにしたので、スライド部の軸受にかかる動負荷荷重を低減し、軸受を長持ちさせることができる。
【００１７】
請求項３記載の移載装置によれば、請求項１または２の効果に加え、移載物を載置しない場合には、移載アームのフリーアームによる移動と、スライド部による基台の移動とを同時に行うようにしたので、比較的負荷の少ない時には、移載アームをより早く移動させ、動作時間を短縮することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下に、本発明の実施の形態（実施例）について、図面を用いて説明する。
【００１９】
図１（ａ）は、本発明の移載装置の一例を示す正面図、（ｂ）は（ａ）の側面図である。
【００２０】
この移載装置３０は、例えば、半導体基板や液晶表示板などを製造する工場において、その平板状素材（半導体ウエハや、ガラス板）にクリーンルーム内で種々の加工処理を施すために、その平板状素材を一枚ずつ収容したトレイを搬送対象物であるワークＷとして、一個あるいは複数段積みした状態で移載する際に用いられるものである。
【００２１】
なお、ここでは、移載装置が好適に用いられる例として、クリーンルーム内で平板状素材を収容したトレイを搬送する場合を示すが、本発明の移載装置は、これに限定されるものではなく、一般に、搬送対象を、同一平面上の他の位置に移載する場合に用いることができるものである。
【００２２】
本発明の移載装置３０は、二本のアーム（基端側アーム２、先端側アーム３）から構成される一対のフリーアーム４の基端側アーム２の基端側を基台１に回動自在に取り付け、一対のフリーアーム４の先端側アーム３の先端側を相互に回動自在に連結した移載アーム５を備え、基台１を移載方向にスライドさせるスライド部２０を備えたことを特徴とする。
【００２３】
一対の基台１が一対の基端側アーム２のそれぞれを中心線対称に同期回転駆動することによって、移載アーム５が、この対称中心線方向に直線移動する点については、図１２で示した背景技術の移載装置１００と同様であるので、詳細は省略する。
【００２４】
ここで、対称中心線とは、基台１の軸中心を結んだ線の中点において、この軸中心を結んだ線に直交する線を言い、図１（ｂ）は、この対称中心線で、移載装置３０を縦断した縦断面図である。
【００２５】
上述のそれぞれ一対の基台１、基端側アーム２、先端側アーム３（これらを合わせて「フリーアーム４」としている。）、移載アーム５を纏めてアーム移載部１０という。  なお、このアーム移載部１０、あるいは、移載装置３０を「スカラーアーム」と称することがある。
【００２６】
移載装置３０は、上述した各部に加えて、アーム移載部１０全体を上記対称中心線方向（この方向は、ワークＷを移載する方向でもあるので、「移載方向」とも言う。）にスライドさせるスライド部２０を備え、上述したように、この点を基本的な特徴とする。
【００２７】
アーム移載部１０を載せたスライド部２０は、回転部４０の上に載置され、アーム移載部１０とスライド部２０は回転可能となっている。
【００２８】
この回転部４０が、この図で概念的に２点鎖線で示された昇降台５０の上に載置され、アーム移載部１０とスライド部２０（つまり、移載装置３０）、及び、回転部４０は昇降可能となっている。
【００２９】
ここで、この移載装置３０の特徴は、アーム移載部１０の下方に、このアーム移載部１０全体を載置し、移載方向に直線移動させるスライド部２０を備えたことである。
【００３０】
つまり、目標とする移載距離を達成するために、スライド部２０による移載と、アーム移載部１０による移載の双方を用い、後述するように、アーム移載部１０を上に設置して、特にその移載アーム５だけが、移載対象であるワークＷの上方に位置することがあるようにし、下方にあるスライド部２０は、ワークＷの上方あるいは近辺には位置しないようにしている。
【００３１】
つまり、この移載装置３０によれば、移載物の上方や近辺については、パーティクル発生の少ないアーム移載部１０で移動させ、移載物の下方や離れた位置では、スライド部２０で移動させ、アーム移載部１０の負担を軽減しながら、全体として目標とする移載距離を達成し、ワークＷの大型化に対応可能であり、かつ、パーティクルの影響を少なくすることができるのである。この作用効果については、図３〜１０を用いて、後により詳しく説明する。
【００３２】
本発明においては、アーム移載部１０自体にも特徴がある。アーム移載部１０の移載アーム５は、移載面を構成する上面５ａ、アームの下面５ｂ、アームの基端となる基端部５ｄ、及び、移載面５ａを維持しながら、基端部５ｓから移載方向の前側に伸び出す一対の受けアーム５ｅを備えている。
【００３３】
この移載アーム５の下面５ｂが、この移載アーム５を回転自在に支持する先端側アーム３の上面３ａより下になっている点が特徴である。つまり、移載アーム５が先端側アーム３に対して上下方向に干渉するように設けられている点である。
【００３４】
より、具体的には、このようにして、移載アーム５の高さを先端側アーム３側に干渉する方向で獲得した結果、移載アーム５の上面（移載面５ａ）が、フリーアーム４の先端側アーム３の上面３ａとほとんど同じ上下位置か、わずかに上の位置となっている。つまり、極力、移載装置３０の移載面の高さを低くすることができるようになっている。
【００３５】
一方、このような移載アーム５とフリーアーム４の先端側アーム３とが上下に干渉する位置関係となっていると、フリーアーム４の回転位相によっては、移載アーム５と先端側アーム３の上下にかぶる部分が衝突する事態となってしまう。
【００３６】
そこで、この移載装置３０においては、移載アーム５の根元部分であって、先端側アーム３と衝突することとなる部分に、図１（ａ）に示したような、移載アーム５と先端側アーム３との相互間の連結部から反連結方向にアーム部分を斜め方向に逃がす逃がし部５ｃを設けている。  
【００３７】
図１（ａ）は、アーム移載部１０を移載方向に対して、最も後退させた状態を示しているが、移載アーム５の逃がし部５ｃによって、移載アーム５と先端側アーム３とは近接はしているが、相互に当接はしない状態となっており、衝突を回避していることが解る。
【００３８】
移載アーム５と先端側アーム３との間に上下の干渉がない場合、この図１（ａ）の状態より、移載アーム５は、更に、右方向（後退方向）に、基端側アーム２及び先端側アーム３の対称中心線（あるいは、移載方向）との成す角度が０度になる位置まで、後退可能であるが、本発明の移載装置３０では、図１（ａ）の状態までである。
【００３９】
しかしながら、図１（ａ）の状態で、基端側アーム２及び先端側アーム３の対称中心線（あるいは、移載方向）との成す角度は僅かであり、この角度が０度になるまでに後退可能は距離は、全体からすれば僅かの距離であり、本発明の発明者は、この僅かの距離のロスより、移載装置３０の移載面を極力さげる利点の方が、産業上より重要であると考えたものである。
【００４０】
図２は、図１の移載装置のスライド部を示すもので、（ａ）はその正面図、（ｂ）は（ａ）の側面図である。なお、これより既に説明した部分については、同じ符号を付して重複説明を省略する。
【００４１】
このスライド部２０は、左右一対で設けられた、公知の直線移動ガイド手段１１と、この一対の直線移動ガイド手段１１を設置したスライドフレーム１２と、このスライドフレーム１２に設置された左右一対の直線移動ガイド手段１１の中間位置に設けられた、公知の直線移動駆動手段１３と、直線移動ガイド手段１１の両端に設けられたストッパ１４とを備えている。
【００４２】
直線移動ガイド手段１１は、直線路を形成するレール部１１ｂと、このレール部１１ｂ上を直線移動する移動体１１ａとを備えている。この例では、移動体１１ａは、片側のレール部ｂに三個設置されている。
【００４３】
直線移動駆動手段１３は、この例ではネジ軸と雌ネジとを組み合わせたものを用いているが、これ以外に、ラックとピニオンとを組み合わせたもの、リニアモータなど、直線移動の駆動力を発生させるものであれば、種類を問わない。ただし、クリーンルーム内で用いる場合には、できるだけパーティクルの発生の少ないものが良い。
【００４４】
左右一対の直線移動ガイド手段１１の合計６個の移動体１１ａの上に、移載アーム部１０の基台１が固定され、また、この基台１は、その長手方向中心位置で、直線移動駆動手段１３による直線駆動力を受けて、スライドし、その移動の両端がストッパ１４で制止されている。
【００４５】
このような構成で、このスライド部２０は、その上に、移載アーム部１０を載置して、移載アーム部１０自体による直線移動とは独立して、移載アーム部１０を所定距離間において、直線移動させることができる。
【００４６】
さて、上記のような構成と作用効果を持つ、移載装置３０の作動態様について、図３から図１０を用いて説明し確認する。
【００４７】
図３は、図１の移載装置の移載アーム部とスライド部の作動タイミングを示すタイミングチャートで、（ａ）は積荷時のタイミングチャート、（ｂ）は空荷時のタイミングチャートである。
【００４８】
この二つのタイミングチャートで、それぞれ横軸は、時間ｔ、縦軸はそれぞれ移載アーム部１０の移載アーム５単独の移載方向の移動速度ｖ１、スライド部２０による移載アーム部１０に基台１の移載方向の移動速度ｖ２、基台１に載った移載アーム部１０の移載アーム５の移載方向の実際上の移動速度ｖ３を示している。
【００４９】
ここで、それぞれ同じ向きに移動する場合、  
移動速度ｖ１＋移動速度ｖ２＝移動速度ｖ３
という関係が成立する。
【００５０】
移載アーム部１０、スライド部２０の具体的作動態様については、図４から図１０を用いて説明するが、ここでは、上記二つのタイミングチャートを用いて、移載装置３０の作動態様の特徴点について説明する。
【００５１】
＜積荷時＞  
移載アーム部１０の移載アーム５にワークＷが載っている場合は、図３（ａ）の積荷時のタイミングチャートによると、まず、スライド部２０だけが作動して、待機状態の移載アーム部１０を加速し、一定速度を維持させ、スライド終点に近づいたら減速させて停止させる（速度ｖ２）。
【００５２】
この間、移載アーム部１０は作動せず、スライド部２０が減速を開始した時点に合わせて移載アーム５の加速を始め、その減速が終了した時点で、一定速度に達し、その一定速度を維持し、最伸長時に近づいたら減速し停止させる（速度ｖ１）。
【００５３】
この結果、移載アーム５の実際の移動速度ｖ３は、図３（ａ）のチャートの最上段のようになる。
【００５４】
つまり、積荷時は、本発明の移載装置３０では、移載アーム５が待機位置にある状態で、スライド部２０によって基台１をスライドさせ、一方、移載アーム５が作動時には、スライド部２０を停止させるようにしている。
【００５５】
また、積荷状態では、移載物であるワークＷに出来るだけ振動を与えないようにするため、相互の加減速のタイミングを調整して、一定速度を維持するようにしている。
【００５６】
移載アーム部１０が最伸長した場合には、移載アーム５に載置されたワークＷの荷重が最も大きなモーメントとして基台１を通じてスライド部２０に作用するが、このように移載アーム５が待機位置にある状態では、スライド部２０に作用するワークＷの荷重によるモーメントは最小であり、その状態で、スライド部２０を作動させると、このスライド部２０の軸受にかかる動負荷荷重を低減し、軸受を長持ちさせることができる。
【００５７】
＜空荷時＞
移載アーム部１０の移載アーム５にワークＷが載っていない場合は、図３（ｂ）の空荷時のタイミングチャートによると、移載アーム部１０とスライド部２０とが同時に作動して、先に所定距離の移動を終了するスライド部２０の速度ｖ２がゼロになった後に、移載アーム部１０の移載アーム５の速度ｖ１がゼロとなっている。
【００５８】
この結果、移載アーム５の実際の移動速度ｖ３は、図３（ｂ）のチャートの最上段のようになる。
【００５９】
つまり、移載物を載置しない空荷の場合には、移載アーム５のフリーアーム４（移載アーム部１０）による移動と、スライド部２０による基台１の移動とを同時に行うようにして高速移動を可能にしている。
【００６０】
この場合、ワークＷが移載アーム５に載置されていないので、このワークＷの荷重によるモーメントのスライド部２０への影響を考慮する必要はなく、双方が同時に作動するので、移載アーム５をより早く移動させ、目標とする移載距離の移動達成のための時間も、図３（ａ）と図３（ｂ）とを比較すれば解るように、短縮することができる。
【００６１】
また、移載アーム部１０を駆動する駆動源Ａ、スライド部２０を駆動を駆動する駆動源Ｂのパワー効率の点から考察すると、この移載装置３０のように、それぞれを別の駆動源Ａ、Ｂとした場合には、個別に作動させる際の同じ駆動源Ａ、Ｂを用いながら、双方を同時に駆動することで、移載アーム５の移動速度ｖ３を、双方の移動速度ｖ１、ｖ２を加えた高速のものとすることができる。
【００６２】
一方、同じ加算された移動速度ｖ３を達成するのに、例えば、移載アーム部１０を駆動する駆動源Ｃだけで行うとすると、駆動源Ｃに必要なパワーは、駆動源Ａ、Ｂのパワーを加算したものが必要とされる。しかし、その場合、積荷時には、より低速で移動させる必要があることから、駆動源Ｃの大きなパワーをフルに使用することのない、パワー効率の悪い状態となる。
【００６３】
つまり、このように、移載のための移動手段を移載アーム部１０とスライド部２０とに分け、それぞれに好適の駆動源Ａ、Ｂを備えることとすると、双方の駆動源をそれぞれに単独に作動させること、同時に作動させることができ、使用の態様が増えると共に、それぞれの駆動源Ａ、Ｂを有効に使いながら、単独では到達しえない、高速移動も達成することができる。
【００６４】
さて、続いて図４から図１０を用いて移載アーム部１０、スライド部２０の具体的作動態様について説明する。
【００６５】
図１の状態では、移載装置３０の移載方向は、この移載装置３０が載置されている昇降台５０の長手方向と一致している。ここで、回転部４０により、スライド部２０と移載装置３０が９０度反時計回りに回転されると図４の状態となる。
【００６６】
移載すべきワークＷを載置すべき載置場所は、図１１で後述するように、昇降台５０の長手方向に沿った走行路の両側に設けられており、一旦移載装置３０に載置され、待機状態であったワークＷ（図１）の移載動作がこの図４の状態から、開始される。この後の移載装置３０の動きは、図３（ａ）の積荷時のタイミングチャートに沿うものである。
【００６７】
図４から図５では、移載装置３０のスライド部２０だけが作動して、移載アーム部１０は作動しない。つまり、移載アーム部１０のフリーアーム４が最後退状態（待機状態）を維持しながら、移載アーム部１０全体がスライドして、図５の状態となっている。
【００６８】
この間の移載移動では、移載アーム部１０はワークＷを載置した積荷の状態ではあるが、最後退した待機状態であって、そのワークＷの荷重によってスライド部２０に作用するモーメントは最小の状態であり、上述したように、スライド部２０の軸受に負荷される動負荷荷重が低減され、軸受を長持ちさせることができる。
【００６９】
ついで、図５から図９では、アーム移載部１０だけが作動して、その先端側の移載アーム５がワークＷを載せた状態で順に前進している。なお、この間、スライド部２０は静止しているので、移載アーム５に載せられたワークＷの荷重によるモーメントの影響も静止的なものであり、動荷重ではないので、その影響は少ない。
【００７０】
ここで、図９では、基端側アーム２及び先端側アーム３と移載方向となす角度が１８０度（あるいは、双方が平行状態）となって、フリーアーム４が完全の伸びきった状態となっており、この状態で、昇降台５０が下降して、移載装置３０は、ワークＷを目的の載置場所に載置する。
【００７１】
さて、ワークＷを降ろした後は、移載装置３０は空荷の状態となり、この場合には、図３（ｂ）のタイムチャートに示すように、アーム移載部１０（速度ｖ１）とスライド部２０（速度ｖ２）が同時に作動して、移載アーム５を高速で後退させる。
【００７２】
つまり、空荷で、移載アーム５に負荷のない時には、移載アーム５をより早く移動させ、動作時間を短縮することができる。
【００７３】
図１０は、その途中過程を示すものであり、移載アーム５が最後退位置まで後退すると、図４の状態となる。ただし、その場合には、ワークＷがない状態である。
【００７４】
なお、図８、図９に示す符号ＺＷは、ワークＷを載置しておくべきワーク載置エリアＺＷを示し、符号ＺＳは、ワークＷを搬送するために用いる搬送エリアＺＳを示し、これらのワーク載置エリアＺＷと搬送エリアＺＳとの境界を太線の２点鎖線の境界線ＢＺで示している。
【００７５】
ここで、上述したように、本発明の移載装置３０では、パーテイクルの発生の可能性の高いスライド部２０は、境界線ＢＺよりも搬送エリアＺＳ側へ大きく後退した位置であり、ワーク載置エリアＺＷにあるワークＷへのパーテイクルの影響を極力少なくすることができる。
【００７６】
一方、ワーク載置エリアＺＷへ侵入するアーム移載部１０は、多関節アーム構造であり、パーテイクルの発生は少なく、この部分にあるワークＷの汚染を極力抑えることができる。
【００７７】
加えて、移載装置３０の全体の移載距離は、アーム移載部１０の移載距離と、スライド部２０の移載距離を合わせたものとなっており、全体として、より長い移載距離を達成することができる。
【００７８】
こうして、本発明の移載装置３０によれば、繰り返しとなるが、パーテイクル発生の問題を回避しながら、大型化するワークに対応した移載が可能となっている。
【００７９】
図１１は、図１の移載装置を備えた搬送システムの一例を示す外観斜視図である。
【００８０】
この図１１に示す搬送システム８０は、すでに説明した、アーム移載部１０とスライド部２０とを備えた移載装置３０と、回転部４０と、昇降台５０とに加え、この昇降台５０を昇降させる昇降装置６０と、この昇降装置６０を設けた走行台車７０とを備えている。
【００８１】
昇降装置６０は、走行台車７０の上に、走行方向の前後端に一対立設され、その内部に昇降駆動手段（不図示）を設けて、これにより一対の昇降装置６０間に架け渡されるように設置された昇降台５０を昇降させるものである。
【００８２】
上部フレーム６１は、一対の昇降装置６０の天頂部分を連結して、走行台車７０、一対の昇降装置６０、上部フレーム６１で構成される強固な構造体を構成している。
【００８３】
走行台車７０は、走行台車フレーム６７の四角に設けられた車輪６１を備え、昇降装置６０、昇降台５０、移載装置３０を、走行路６２に沿って、直線移動させる。
【００８４】
ワークは、移載装置３０の移載アーム５上に載置されて、移載装置３０のアーム移載部１０により前進後退（矢印Ｐ１）され、スライド部２０により前進後退（矢印Ｐ２）され、回転部４０により回転（矢印Ｐ３）される。
【００８５】
また、ワークは、移載装置３０に載置された状態で、この移載装置３０を載せた昇降台５０により上下昇降（矢印Ｐ４）され、また、昇降台５０を昇降させる昇降装置６０を載せた走行台車７０の走行により直線状に移動（矢印Ｐ５）される。
【００８６】
移載装置３０は、その待機位置では、ワークを載せたままで、昇降台５０上で、図の移載アーム５の先端の向きから、１８０度反対向きまで回転することができる。
【００８７】
したがって、この搬送システム８０によれば、この走行路６２の両側の異なる位置の異なる高さのＡ地点からＢ地点まで、ワークを搬送することができ、その場合に、本発明の移載装置３０は、多関節の移載アーム１０とスライド部２０との組み合わせにより、パーティクルの発生の少ない移載を確保すると共に、ワークの大型化に対応した移載を可能とし、その効果は、搬送システム８０全体にも及ぶものである。
【００８８】
以上、実施態様において本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示にすぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術、つまり、本願特許発明の技術的範囲には、各所に適宜記載しているように、以上に例示した実施態様を様々に変形、変更したもの、または、それらの組み合わせが含まれる。
【産業上の利用可能性】
【００８９】
本発明の移載装置は、パーテイクル発生の問題を回避しながら、大型化するワークに対応した移載が可能とすることが要請される産業分野に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００９０】
【図１】（ａ）は、本発明の移載装置の一例を示す正面図、（ｂ）は（ａ）の側面図
【図２】図１の移載装置のスライド部を示すもので、（ａ）はその正面図、（ｂ）は（ａ）の側面図
【図３】図１の移載装置の移載アーム部とスライド部の作動タイミングを示すタイミングチャートで、（ａ）は積荷時のタイミングチャート、（ｂ）は空荷時のタイミングチャート
【図４】図１の移載装置の図３のタイミングチャートに沿った作動態様を順に示す図
【図５】図１の移載装置の図３のタイミングチャートに沿った作動態様を順に示す図
【図６】図１の移載装置の図３のタイミングチャートに沿った作動態様を順に示す図
【図７】図１の移載装置の図３のタイミングチャートに沿った作動態様を順に示す図
【図８】図１の移載装置の図３のタイミングチャートに沿った作動態様を順に示す図
【図９】図１の移載装置の図３のタイミングチャートに沿った作動態様を順に示す図
【図１０】図１の移載装置の図３のタイミングチャートに沿った作動態様を順に示す図
【図１１】図１の移載装置を備えた搬送システムの一例を示す外観斜視図
【図１２】本発明の背景技術である移載装置を示す正面図
【符号の説明】
【００９１】
１      基台
２      基端側アーム
３      先端側アーム
４      フリーアーム
５      移載アーム
５ｃ    逃がし部
１０      アーム移載部
２０      スライド部
３０      移載装置
４０      回転部
５０      昇降台
６０      昇降装置
７０      走行台車
８０      搬送システム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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