(57)【要約】【課題】本発明は電子顕微鏡用試料ホルダーに関し、可能な限り９０°に近い傾斜角度で視野を得ることができ、また操作性のよい電子顕微鏡用試料ホルダーを提供することを目的としている。【解決手段】棒状の回転部と、該回転部の先端部に設けられたリテーナ２０よりなる電子顕微鏡用試料ホルダーにおいて、前記リテーナ２０は、その先端に試料全体の視野探しの基準となる穴１５ａが設けられた部材１５と、該部材１５に設けられた試料の位置決めを行なう円形溝１５ｂとを有し、試料位置での傾斜軸と直角方向の部材を無くした形状となるように構成される。【選択図】図２
2008159513.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
棒状の回転部と、該回転部の先端部に設けられたリテーナよりなる電子顕微鏡用試料ホルダーにおいて、
前記リテーナは、その先端に試料全体の視野探しの基準となる穴が設けられた部材と、該部材に設けられた試料の位置決めを行なう円形溝とを有し、試料位置での傾斜軸と直角方向の部材を無くした形状としたことを特徴とする電子顕微鏡用試料ホルダー。
【請求項２】
試料保持部分の一部が試料の大きさよりも小さくなっていることを特徴とする請求項１記載の電子顕微鏡用試料ホルダー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は電子顕微鏡用試料ホルダーに関し、高傾斜角でも試料像を得ることができるようにした電子顕微鏡用試料ホルダーに関する。近年、主に生物分野でトモグラフィーという３次元像の構築技術が注目されている。トモグラフィーでは、傾斜させた試料情報を画像処理するもので、その情報が多ければより正確な３次元像を構築することができる。本発明は、その情報取得のために使用される電子顕微鏡用試料ホルダーに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図５は従来の電子顕微鏡用試料ホルダーの外観構成例を示す図で、試料ホルダー全体を示している。図において、１は棒状の回転部、２は該回転部１を回転させるためのモータ、３は回転部１の先端に設けられた試料ホールド部分（リテーナ）である。４は該リテーナ３に取り付けられた試料、５は回転部１の回転軸である。図のＡは回転方向を示している。図に示すように、時計方向及び反時計方向に回転する。
【０００３】
図６は従来のリテーナの展開図である。図５と同一のものは、同一の符号を付して示す。図において、１０は試料４を取り付けるための部材（プレート）である。４は試料であり、径はφ３〜φ３．２ｍｍ程度であり、厚さは５０μｍ程度である。１０ａは部材１０の先端に設けられた穴であり、試料全体の視野探しの基準となる穴である。１０ｂは部材１０の先端に形成された円形の溝であり、試料の位置を決めるための溝である。１０ｃは部材１０の最先端に形成された溝であり、試料を取り出す際のピンセット先端の挿入口である。
【０００４】
１１は試料４を押さえるための板バネである。この板バネ１１は、ネジ１２により部材１０のネジ穴１０ｄに取り付けられるようになっている。このように構成された装置の試料の固定方法について説明する。
【０００５】
先ず、試料４を部材１０に設けられた円形の溝１０ｂに沿って置く。次に、板バネ１１をネジ１２によって部材１０に固定する。この結果、板バネ１１のバネの力により試料４が部材１０に固定されることになる。
【０００６】
従来のこの種の装置としては、カートリッジ本体の先端部にメッシュ状部を形成し、スライスされた試料等はこのメッシュ状部ですくいとるようにした構成が知られている（例えば特許文献１参照）。また、試験片チップは熱伝導性材料の試験片グリッドを含み、試験片グリッドはグリッド開口を形成するように交差する複数のグリッドバーを有し、グリッド開口の各々は長さ及び幅を有し、各グリッド開口の長さはホルダ本体の長手軸線に実質上垂直で当該グリッド開口の幅より大であり、試験片チップは水平から両方向に少なくとも約９０°の角度にわたって回転できるようにした試験片低温移送ホルダが知られている（例えば特許文献２参照）。
【特許文献１】特開平８−１７３８１号公報（段落００１０、図１、図２）
【特許文献２】特許第３６０５１１９号公報（第４頁第３２行〜第５頁第４行、第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
図７は従来のリテーナの傾斜時の有効視野の説明図である。図６と同一のものは、同一の符号を付して示す。（ｂ）がリテーナの観察方向である。（ａ）は傾斜角０°の場合の状態を示している。プレート（部材）１０の上に試料４が載置されており、その上から板バネ１１で試料４を固定している。そして、上方から電子線ＥＢを照射すると、蛍光板に像を結像する。Ｂは蛍光板上の像である。有効視野φ２ｍｍである。
【０００８】
ここで、傾斜角が６０°になると、（ｃ）に示すように試料４が６０°傾斜し、この結果、得られる蛍光板上の像もＣに示すように楕円状の視野が確保できる。（ｄ）は傾斜角が８０°の場合である。この場合には、板バネ１１や円形溝１０ｂによって視界が遮られ、蛍光板上の像は見えなくなる。また、試料を取り出す時、ピンセットを試料の下に入れにくく、試料を傷つけてしまうという問題もあった。また、試料の装着位置出し及び着脱の作業性は簡単かつ確実でなければならない。
【０００９】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであって、可能な限り９０°に近い傾斜角度で視野を得ることができ、また操作性のよい電子顕微鏡用試料ホルダーを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
（１）請求項１記載の発明は、棒状の回転部と、該回転部の先端部に設けられたリテーナよりなる電子顕微鏡用試料ホルダーにおいて、前記リテーナは、その先端に試料全体の視野探しの基準となる穴が設けられた部材と、該部材に設けられた試料の位置決めを行なう円形溝とを有し、試料位置での傾斜軸と直角方向の部材を無くした形状としたことを特徴とする。
（２）請求項２記載の発明は、試料保持部分の一部が試料の大きさよりも小さくなっていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
（１）請求項１記載の発明によれば、試料位置での傾斜軸と直角方向の部材を無くした形状とすることにより、可能な限り９０°に近い傾斜角度で視野を得ることができる。
（２）請求項２記載の発明によれば、試料を取り外す時の操作性が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。図１は本発明のリテーナの一実施の形態を示す外観構成図である。図６と同一のものは、同一の符号を付して示す。試料の固定方法は、従来のものと同じである。図において、４は試料、２０はリテーナ、１５は部材、１１’は板バネ、１２は該板バネ１１’を部材１５に固定するためのネジ、２１はリテーナ２０の先端部に設けられた試料搭載部である。図より明らかなように、試料４の方が試料搭載部２１より大きいことが分かる。このように、試料保持部分の一部が試料の大きさよりも小さくなっていることにより、試料４をピンセットで容易に挟むことができ、試料を取り外す時の操作性が向上する。
【００１３】
図２は本発明のリテーナの展開図である。図１、図６と同一のものは、同一の符号を付して示す。図において、１５は試料４を取り付けるための部材（プレート）である。４は試料であり、径はφ３〜φ３．２ｍｍ程度であり、厚さは５０μｍ程度である。１５ａは部材１５の先端に設けられた穴であり、試料全体の視野探しの基準となる穴である。１５ｂは部材１５の先端に形成された円形の溝であり、試料の位置を決めるための溝である。１５ｃは部材１５の最先端に形成された部材である。該部材１５ｃの幅は試料径よりも小さくして、傾斜時の障害となる部分を全て無くした形状にする。この結果、試料４をピンセットで摘み上げる作業を容易にする。穴１５ａ、円形溝１５ｂ及び部材１５ｃとで、試料搭載部２１を形成している。
【００１４】
１１´は試料４を押さえるための板バネであり、その先端は爪状になっている。この板バネ１１´は、ネジ１２により部材１５のネジ穴１０ｄに取り付けられるようになっている。このように構成された装置の試料の固定方法について説明する。
【００１５】
先ず、試料４を部材１５に設けられた円形の溝１５ｂに沿って置く。次に、板バネ１１´をネジ１２によって部材１５に固定する。この結果、板バネ１１´のバネの力により試料４が部材１５に固定されることになる。また、本発明によれば、試料位置での傾斜軸と直角方向の部材を無くした形状としている。このように構成することで、可能な限り９０°に近い傾斜角度で視野を得ることができる。また、本発明によれば、試料を取り外す時の操作性が向上する。
【００１６】
図３は本発明のリテーナの他の外観構成例を示す図である。図２と同一のものは、同一の符号を付して示す。図は、リテーナ２０に試料４が搭載された状態を示している。試料搭載部２１が試料４より小さいので、試料４を取り出す時に操作性がよいことが分かる。
【００１７】
図４は本発明のリテーナの傾斜時の有効視野の説明図である。図２と同一のものは、同一の符号を付して示す。板バネ１１´は視野カットに影響しないので省略している。（ｂ）がリテーナの観察方向である。（ａ）は傾斜角０°の場合の状態を示している。プレート（部材）１５の上に試料４が載置されており、その上から板バネ１１´（図示せず）で試料４を固定している。そして、上方から電子線ＥＢを照射すると、蛍光板に像を結像する。Ｄは蛍光板上の像である。有効視野φ２ｍｍである。
【００１８】
ここで、傾斜角が６０°になると、（ｃ）に示すように試料４が６０°傾斜し、この結果、得られる蛍光板上の像もＥに示すように楕円状の視野が確保できる。（ｄ）は傾斜角が８０°の場合である。この場合でも、試料位置での傾斜軸と直角方向の部材を無くした形状としているので、板バネ１１´や円形溝１５ｂによって視界が遮られることがなく、蛍光板上の像はＦに示すように確保される。
【００１９】
また、試料を取り出す時、ピンセットを操作性よく扱うことができ、試料４の装着位置出し及び着脱の作業性は簡単かつ確実となる。また、板バネ１１´は、従来のものに対して視野カットとなる部分を無くした形状となるが、バネにより確実に押さえられ、かつ切り口を角状にしていることにより、試料の回転やずれを抑制することができる。
【００２０】
本発明の効果を列挙すれば、以下の通りである。
１）試料を中心として回転軸と直角方向にある部材形状をなくすことにより、試料着脱の作業性は維持した上で高傾斜まで視野を得ることができる。また、各傾斜位置での広い有効視野を得ることができる。
２）試料を部材からはみ出すように構成することにより、ピンセット等で容易に挟むことができ、試料を傷つけないようにすることができる。
３）押さえバネ（板バネ１１´）の先端を図に示すように爪状にすることにより、押さえる力と同時に試料回転等の動きを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明のリテーナの一実施の形態を示す外観構成図である。
【図２】本発明のリテーナの展開図である。
【図３】本発明のリテーナの他の外観構成例を示す図である。
【図４】本発明のリテーナの傾斜時の有効視野の説明図である。
【図５】従来の電子顕微鏡用試料ホルダーの外観構成例を示す図である。
【図６】従来のリテーナの展開図である。
【図７】従来のリテーナの傾斜時の有効視野の説明図である。
【符号の説明】
【００２２】
４      試料
１１´  板バネ
１２    ネジ
１５    部材
１５ａ  穴
１５ｂ  円形溝
１５ｃ  部材
２０    リテーナ
２１    試料搭載部
【図１】
2008159513.tif 000003
【図２】
2008159513.tif 000004
【図３】
2008159513.tif 000005
【図４】
2008159513.tif 000006
【図５】
2008159513.tif 000007
【図６】
2008159513.tif 000008
【図７】
2008159513.tif 000009