(57)【要約】      （修正有）【課題】工具摩耗や被加工物の硬さのばらつきによる加工深さのばらつきを抑制し得る微細凹部加工装置及び微細凹部加工方法を提供すること。【解決手段】凹部形成用の凸部を有するフォームローラ10と、フォームローラを回転自在に支持するローラ支持部材20と、円周面の中心軸とフォームローラの回転軸とが平行となる状態にローラ支持部材を保持する工具ホルダ30と、ローラ支持部材に対して荷重を付与してフォームローラを円周面に圧接させる荷重付与手段40と、フォームローラと被加工物の間のすべりを検出するすべり検出手段70と、すべり検出手段から入力されるデータによって、円周面に対するフォームローラの圧接荷重を変化させる荷重制御手段とを備え、被加工物の円周面に微細凹部を形成する微細凹部加工装置である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物の円周面に微細凹部を形成する微細凹部加工装置であって、
凹部形成用の凸部を有するフォームローラと、
フォームローラを回転自在に支持するローラ支持部材と、
円周面の中心軸とフォームローラの回転軸とが平行となる状態にローラ支持部材を保持する工具ホルダと、
ローラ支持部材に対して荷重を付与してフォームローラを円周面に圧接させる荷重付与手段と、
フォームローラと被加工物の間のすべりを検出するすべり検出手段と、
すべり検出手段から入力されるデータによって、円周面に対するフォームローラの圧接荷重を変化させる荷重制御手段と、
を備えることを特徴とする微細凹部加工装置。
【請求項２】
被加工物と工具ホルダが円周面の中心軸回りに相対的に回転できる回転機構を更に有すると共に、すべり検出手段が、フォームローラの接線方向の力を測定するものであることを特徴とする請求項１に記載の微細凹部加工装置。
【請求項３】
すべり検出手段が、フォームローラと被加工物の回転速度差を測定するものであることを特徴とする請求項１又は２に記載の微細凹部加工装置。
【請求項４】
すべり検出手段が、ローラ支持部材の歪みを測定するものであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つの項に記載の微細凹部加工装置。
【請求項５】
すべり検出手段が、被加工物のトルク変動を測定するものであることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つの項に記載の微細凹部加工装置。
【請求項６】
すべり検出手段が、加工後の２個以上の微細形状間の距離を測定するものであることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つの項に記載の微細凹部加工装置。
【請求項７】
荷重制御手段が、すべり検出手段から入力されるフォームローラと各被加工物の間のすべりの平均値を演算し、次の被加工物の円周面に対するフォームローラの圧接荷重を変化させることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１つの項に記載の微細凹部加工装置。
【請求項８】
荷重制御手段が、すべり検出手段から入力されるフォームローラと被加工物の間の１回転分のすべりの平均値を演算し、被加工物の円周面に対するフォームローラの次の１回転分の圧接荷重を変化させることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１つの項に記載の微細凹部加工装置。
【請求項９】
荷重制御手段が、すべり検出手段から入力されるフォームローラと被加工物の間のすべりが一定となるように、被加工物の円周面に対するフォームローラの圧接荷重を変化させることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１つの項に記載の微細凹部加工装置。
【請求項１０】
すべり検出手段から入力されるフォームローラと被加工物の間のすべりの変化、又は被加工物の円周面に対するフォームローラの圧接荷重の変化からフォームローラの摩耗を判断する摩耗判断手段を更に備えることを特徴とする請求項１〜９のいずれか１つの項に記載の微細凹部加工装置。
【請求項１１】
すべり検出手段から入力されるフォームローラと被加工物の間のすべりの変化からフォームローラの破損を判断する破損判断手段を更に備えることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１つの項に記載の微細凹部加工装置。
【請求項１２】
請求項１〜１１のいずれか１つの項に記載の微細凹部加工装置を用い、被加工物の円周面に微細凹部を形成する加工方法であって、
荷重付与手段によりローラ支持部材に荷重を付与してフォームローラの凸部を被加工物の円周面に圧接させ、被加工物の円周面に圧接させたフォームローラを円周面に沿って転動させることにより、同円周面に微細凹部を形成するに当たり、すべり検出手段から入力されるデータによって、円周面に対するフォームローラの圧接荷重を荷重制御手段で変化させながら微細凹部を形成することを特徴とする微細凹部加工方法。
【請求項１３】
請求項１２に記載の微細凹部加工方法によって、円周面に微細凹部を形成したことを特徴とする摺動部材。
【請求項１４】
請求項１２に記載の微細凹部加工方法によって、円周面に微細凹部を形成したジャーナル及び／又はピンを有することを特徴とするクランクシャフト。
【請求項１５】
請求項１２に記載の微細凹部加工方法によって、円周面に微細凹部を形成したジャーナル及び／又はカムロブを有することを特徴とするカムシャフト。
【請求項１６】
請求項１２に記載の微細凹部加工方法によって、円周面に微細凹部を形成したジャーナルを有することを特徴とするバランサシャフト。
【請求項１７】
請求項１２に記載の微細凹部加工方法によって、円周面に微細凹部を形成したことを特徴とするピストンピン。
【請求項１８】
請求項１２に記載の微細凹部加工方法によって、円周面に微細凹部を形成したシリンダボアを有することを特徴とするシリンダブロック。  
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微細凹部加工装置及び微細凹部加工方法に係り、更に詳細には、例えば自動車用エンジンにおけるシリンダブロックのシリンダボアの内周面や、カムシャフトのジャーナル部やピストンの外周面などのように摺動接触を伴う被加工物の内周面や外周面などの円周面に、低フリクション化を実現するための微細凹部（油だまり）を形成するのに用いられる微細凹部加工装置及び微細凹部加工方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、外周面に凹凸のあるローラを被加工物に所定の荷重で押し込み、被加工物を回転させ、被加工物表面に微細な凹凸を形成する加工装置や加工方法が提案されている（特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開２００２−３６１３５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、フォームローラの外周部に設けられた突起の摩耗によって、フォームローラと被加工物との接触状態（面圧）が変化し、加工される微細形状の加工深さにばらつきが発生することがあった。
また、被加工物の硬さのばらつきなどによっても、同様に、加工される微細形状の加工深さにばらつきが発生することがあった。
そして、従来は、加工深さの測定は、加工後に粗さ計や非接触式の３次元測定器を使用して深さを測定する必要があり、上記のような理由によって発生する加工深さのばらつきを判断するために非常に多くの時間を要していた。
【０００４】
本発明は、このような従来技術の有する課題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、工具摩耗や被加工物の硬さのばらつきによる加工深さのばらつきを抑制し得る微細凹部加工装置及び微細凹部加工方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明者らは、上記目的を達成するため鋭意検討を重ねたところ、荷重付与手段によりローラ支持部材に荷重を付与してフォームローラの凸部を被加工物の円周面に圧接させ、被加工物の円周面に圧接させたフォームローラを円周面に沿って転動させることにより、同円周面に微細凹部を形成するに当たり、すべり検出手段から入力されるデータによって、円周面に対するフォームローラの圧接荷重を荷重制御手段で変化させながら微細凹部を形成することなどにより、上記目的が達成できることを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００６】
即ち、本発明の微細凹部加工装置は、被加工物の円周面に微細凹部を形成する微細凹部加工装置であって、凹部形成用の凸部を有するフォームローラと、フォームローラを回転自在に支持するローラ支持部材と、円周面の中心軸とフォームローラの回転軸とが平行となる状態にローラ支持部材を保持する工具ホルダと、ローラ支持部材に対して荷重を付与してフォームローラを円周面に圧接させる荷重付与手段と、フォームローラと被加工物の間のすべりを検出するすべり検出手段と、すべり検出手段から入力されるデータによって、円周面に対するフォームローラの圧接荷重を変化させる荷重制御手段と、を備えることを特徴とする。
【０００７】
また、本発明の微細凹部加工方法は、上記本発明の微細凹部加工装置を用い、被加工物の円周面に微細凹部を形成する加工方法であって、荷重付与手段によりローラ支持部材に荷重を付与してフォームローラの凸部を被加工物の円周面に圧接させ、被加工物の円周面に圧接させたフォームローラを円周面に沿って転動させることにより、同円周面に微細凹部を形成するに当たり、すべり検出手段から入力されるデータによって、円周面に対するフォームローラの圧接荷重を荷重制御手段で変化させながら微細凹部を形成することを特徴とする。
【０００８】
更に、本発明の摺動部材、クランクシャフト、カムシャフト、バランサシャフト、ピストンピン及びシリンダブロックは、それぞれ円周面に微細凹部を形成したこと、円周面に微細凹部を形成したジャーナル及びカムロブの少なくとも一方を有すること、円周面に微細凹部を形成したことジャーナルを有すること、円周面に微細凹部を形成したこと、並びに円周面に微細凹部を形成したシリンダボアを有すること、を特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、荷重付与手段によりローラ支持部材に荷重を付与してフォームローラの凸部を被加工物の円周面に圧接させ、被加工物の円周面に圧接させたフォームローラを円周面に沿って転動させることにより、同円周面に微細凹部を形成するに当たり、すべり検出手段から入力されるデータによって、円周面に対するフォームローラの圧接荷重を荷重制御手段で変化させながら微細凹部を形成することなどとしたため、工具摩耗や被加工物の硬さのばらつきによる加工深さのばらつきを抑制し得る微細凹部加工装置及び微細凹部加工方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の微細凹部加工装置について詳細に説明する。
上述の如く、本発明の微細凹部加工装置は、被加工物の円周面に微細凹部を形成する微細凹部加工装置であって、凹部形成用の凸部を有するフォームローラと、フォームローラを回転自在に支持するローラ支持部材と、円周面の中心軸とフォームローラの回転軸とが平行となる状態にローラ支持部材を保持する工具ホルダと、ローラ支持部材に対して荷重を付与してフォームローラを円周面に圧接させる荷重付与手段と、フォームローラと被加工物の間のすべりを検出するすべり検出手段と、すべり検出手段から入力されるデータによって、円周面に対するフォームローラの圧接荷重を変化させる荷重制御手段とを備え、工具摩耗や被加工物の硬さのばらつきによる加工深さのばらつきを抑制し得る。
【００１１】
また、本発明の微細凹部加工装置においては、被加工物と工具ホルダが円周面の中心軸回りに相対的に回転できる回転機構を更に有すると共に、備えるすべり検出手段を、フォームローラの接線方向の力を測定するものとすることができ、これによって、工具摩耗や被加工物の硬さのばらつきによる加工深さのばらつきを抑制し得る。
【００１２】
更に、本発明の微細凹部加工装置においては、備えるすべり検出手段を、フォームローラと被加工物の回転速度差を測定するものとすることができ、これによって、工具摩耗や被加工物の硬さのばらつきによる加工深さのばらつきを抑制し得る。また、すべりの検出速度が早いので、インプロセスで加工深さの判断をすることができ、加工深さのばらつきをより抑制することが可能となる。
【００１３】
また、本発明の微細凹部加工装置においては、備えるすべり検出手段を、ローラ支持部材の歪みを測定するものとすることができ、これによって、工具摩耗や被加工物の硬さのばらつきによる加工深さのばらつきを抑制し得る。また、すべりの検出をローラ維持部材の歪みから検出することができるので、装置構成を簡略化することができるという利点がある。
【００１４】
更に、本発明の微細凹部加工装置においては、備えるすべり検出手段を、被加工物のトルク変動を測定するものとすることができ、これによって、工具摩耗や被加工物の硬さのばらつきによる加工深さのばらつきを抑制し得る。また、すべりの検出を被加工物のトルクから検出することができるので、装置構成を簡略化することができるという利点がある。
【００１５】
更にまた、本発明の微細凹部加工装置においては、備えるすべり検出手段を、加工後の２個以上の微細形状間の距離を測定するものとすることができ、これによって、工具摩耗や被加工物の硬さのばらつきによる加工深さのばらつきを抑制し得る。また、すべりの検出を加工後の微細形状間の距離から検出することができるので、装置構成を簡略化することができるという利点がある。
【００１６】
また、本発明の微細凹部加工装置においては、備える荷重制御手段を、すべり検出手段から入力されるフォームローラと各被加工物の間のすべりの平均値を演算し、次の被加工物の円周面に対するフォームローラの圧接荷重を変化させるものとすることができるので、各被加工物間の加工深さやパターンのばらつきをより低減することができる。
【００１７】
更に、本発明の微細凹部加工装置においては、備える荷重制御手段を、すべり検出手段から入力されるフォームローラと被加工物の間の１回転分のすべりの平均値を演算し、被加工物の円周面に対するフォームローラの次の１回転分の圧接荷重を変化させるものとすることができるので、１つの被加工物内での加工深さやパターンのばらつきをより低減することができる。
【００１８】
更にまた、本発明の微細凹部加工装置においては、備える荷重制御手段を、すべり検出手段から入力されるフォームローラと被加工物の間のすべりが一定となるように、被加工物の円周面に対するフォームローラの圧接荷重を変化させるものとすることができるので、加工深さやパターンのばらつきを更に低減することができる。
【００１９】
また、本発明の微細凹部加工装置においては、すべり検出手段から入力されるフォームローラと被加工物の間のすべりの変化、又は被加工物の円周面に対するフォームローラの圧接荷重の変化からフォームローラの摩耗を判断する摩耗判断手段を更に備えるものとすることも可能であり、これによって、フォームローラを直接測定せずに、フォームローラの摩耗が判断できるので、フォームローラの検査工程を省いても、フォームローラを寿命限界まで使用することができるという利点がある。
【００２０】
更に、本発明の微細凹部加工装置においては、すべり検出手段から入力されるフォームローラと被加工物の間のすべりの変化からフォームローラの破損を判断する破損判断手段を更に備えるものとすることも可能であり、これによって、フォームローラを直接測定せずに、フォームローラの破損が判断できるので、フォームローラの急な破損による不良品の発生を低減することができる。
【００２１】
次に、本発明の微細凹部加工方法、及びこれにより得られる摺動部材等について詳細に説明する。
上述の如く、本発明の微細凹部加工方法は、上記本発明の微細凹部加工装置を用い、被加工物の円周面に微細凹部を形成する加工方法であって、荷重付与手段によりローラ支持部材に荷重を付与してフォームローラの凸部を被加工物の円周面に圧接させ、被加工物の円周面に圧接させたフォームローラを円周面に沿って転動させることにより、同円周面に微細凹部を形成するに当たり、すべり検出手段から入力されるデータによって、円周面に対するフォームローラの圧接荷重を荷重制御手段で変化させながら微細凹部を形成する加工方法であって、例えば所望の微細凹部を有する摺動部材やクランクシャフト、カムシャフトバランサシャフト、ピストンピン、シリンダブロックなどを製造することができる。
このような構成とすることにより、加工後の溝深さを測らないでも加工深さの変動を検知することができるので、加工後に加工深さの測定をしなくても、加工深さの品質を管理することができる。つまり、加工品全数の検査をしなくても、抜き取り検査によって品質を管理することができる。
なお、加工深さの品質は、例えば加工深さとすべりの関係を予め実験等により求めておき、その結果より、加工深さの品質限界となるすべりを求め、その値をすべりの限界値として設定することで管理できる。
また、工具摩耗や被加工物のばらつき（形状や硬さなど。）による加工深さの変動を修正することもできる。
そして、このような加工方法で形成した微細凹部は、潤滑油溜まりとなり、また潤滑油の流れを効率的に制御することができるので、摺動部材の摩擦を低減することができる。
また、円周面に微細凹部を形成したジャーナル及びピンの少なくとも一方を有するクランクシャフトや円周面に微細凹部を形成したジャーナル及びカムロブの少なくとも一方を有するカムシャフト、円周面に微細凹部を形成したジャーナルを有するバランサシャフト、円周面に微細凹部を形成したピストンピン、円周面に微細凹部を形成したシリンダボアを有するシリンダブロックにおいても同様の効果を得ることができる。
【実施例】
【００２２】
以下、本発明を実施例により更に詳細に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
【００２３】
（実施例１−１）
図１は、本発明の微細凹部加工装置の第１実施例の構成を示す説明図である。同図に示すように、同図に垂直な回転軸を中心に回転可能に保持された被加工物Ｗが保持されている。そして、本例の微細凹部加工装置は、凹部形成用の凸部を有するフォームローラ１０の一例である外周部に微細な突起を有し、高硬度な部材から成る円筒状のフォームローラ１２と、フォームローラ１２を回転自在に支持するローラ支持部材２０の一例であるアーム２２と、被加工物Ｗの円周面の中心軸とフォームローラ１２の回転軸とが平行となる状態にローラ支持部材２０と後述する荷重付与手段４０と荷重付与手段４０で発生した荷重を検出する荷重検出器５０を保持すると共に、図中のＸ、Ｚ及びＣ方向に移動可能な工具ホルダ３０の一例であるボディ３２と、ローラ支持部材２０に対して荷重を付与してフォームローラ１２を所定の荷重で円周面に圧接させる荷重付与手段４０の一例である弾性体（例えばバネなど。）４２と、ローラ支持部材２０をほぼ水平方向に支える支持部材６０と、フォームローラ１２と被加工物Ｗの間のすべりを検出するすべり検出手段７０の一例であるフォームローラ１２の接線方向の力を測定するすべり検出器７１とを備える。
そして、すべり検出手段７０から入力されるデータによって、円周面に対するフォームローラ１２の圧接荷重を変化させる荷重制御手段とを更に備える。
なお、荷重検出器は、荷重制御手段の一部を構成する。
【００２４】
図２は、本例の微細凹部加工装置を使用した微細凹部加工方法の一実施例を示すフローチャートである。同図に示すように、まず、Ｓｔｅｐ１０１（以下、「Ｓ１０１」のように略記する。）において、被加工物を微細凹部加工装置に取り付ける。
次に、Ｓ１０２において、すべりの値の限界値、すべりと荷重の相関データ、工具寿命荷重、加工荷重、加工速度及び加工範囲などの加工条件を入力する。
ここで、「すべりの値」とは、本例においては、すべり検出器で測定された荷重をいう。また、加工深さを一定にしたときのすべりの値（摩擦係数）と圧接荷重とは、図３に示すような相関関係を有する。図３は、加工深さを一定にしたときのすべりの値（摩擦係数）と圧接荷重との関係を示すグラフ図である。このような相関データは、すべりの値の限界値及び工具寿命荷重と共に、事前に予備実験等を行って求めておく。
【００２５】
次に、Ｓ１０３において、フォームローラを被加工物の真上に移動させる。
次に、Ｓ１０４において、フォームローラをＺ方向に移動させ、被加工物に圧接させる。
このとき、フォームローラはバネなどの弾性体で構成される荷重付与手段を介して押し付けられるので、被加工物の形状が若干変形していても、ほぼ一定の圧接荷重で被加工物に押し付けられる。
【００２６】
次に、Ｓ１０５において、圧接荷重がＳ１０２で入力された加工荷重となったか否かを判断し、ＹＥＳの場合には、Ｓ１０６に進む。
【００２７】
Ｓ１０６において、フォームローラのＺ方向の移動を停止し、被加工物を回転させると共に、フォームローラを被加工物の回転軸方向への送りを開始する。
次に、Ｓ１０７において、すべり検出器により、すべりの値の測定と記録を開始する。
このとき、加工中はすべり検出器により常に測定と記録を行う。
【００２８】
次に、Ｓ１０８において、加工範囲全面に加工が終了したか否かを判断し、ＹＥＳの場合には、Ｓ１０９に進む。
【００２９】
Ｓ１０９において、すべり検出器で測定されたすべりの値の平均値を演算する。
次に、Ｓ１１０において、すべりの値の平均値がＳ１０２で入力されたすべりの値の限界値以下か否かを判断し、ＹＥＳの場合には、Ｓ１１１に進む。
【００３０】
Ｓ１１１において、加工後の被加工物を取り出す。
次に、Ｓ１１２において、次の被加工物の加工を開始する。
【００３１】
一方、Ｓ１０５において、圧接荷重がＳ１０２で入力された加工荷重となったか否かを判断し、ＮＯの場合には、Ｓ１０４に進む。
【００３２】
また、Ｓ１０８において、加工範囲全面に加工が終了したか否かを判断し、ＮＯの場合には、Ｓ１０６に進む。
【００３３】
更に、Ｓ１１０において、すべりの値の平均値がＳ１０２で入力されたすべりの値の限界値以下か否かを判断し、ＮＯの場合には、Ｓ１１３に進む。
【００３４】
Ｓ１１３において、すべりと荷重の相関データから荷重補正値を計算し、加工荷重を修正する。
次に、Ｓ１１４において、修正加工荷重が工具寿命荷重以下か否かを判断し、ＹＥＳの場合には、Ｓ１１１に進む。
【００３５】
更にまた、Ｓ１１４において、修正加工荷重が工具寿命荷重以下か否かを判断し、ＮＯの場合には、フォームローラの摩耗が著しく大きくなったと判断し、Ｓ１１５に進む。
【００３６】
Ｓ１１５において、フォームローラを交換し、修正加工荷重を初期の加工荷重に修正する。
【００３７】
なお、すべりの値の記録から図４に示すような急激な変化が検出された場合には、図示しないがフォームローラの外周部の微細な凸部に破損が発生したと判断し、その場でフォームローラを交換してもよい。
このときは、破損した凸部の数を積算し、所定の数となったときに、フォームローラの交換を行ってもよい。
【００３８】
また、このような加工方法によって、フォームローラの摩耗や被加工物間の硬さの変化などによる加工深さの変動を管理することもできる。この加工深さの管理によって、加工した微細凹部の加工後に全数測定しなくとも、加工深さの変動を管理することができ、抜き取り検査は必要とするが、加工後の部品を測定する工程を省くことができる。
更に、加工深さのばらつきを所定のばらつき以下に低減することもできる。更にまた、フォームローラを直接測定しなくてもフォームローラの摩耗を判断することができ、フォームローラの測定工程を省くことができ、更にフォームローラを工具寿命限界まで使用することができる。
【００３９】
（実施例１−２）
図５は、本発明の微細凹部加工装置の第２実施例の構成を示す説明図である。同図に示すように、本例の微細凹部加工装置は、実施例１の微細凹部加工装置とほぼ同じであるが、フォームローラ１２と被加工物Ｗの間のすべりを検出するすべり検出手段７０として、フォームローラ１２の接線方向の力を測定するすべり検出器７１に代えて、フォームローラ１２と被加工物Ｗの回転速度差を測定する回転速度検出器７２を備え、フォームローラ１２と被加工物Ｗの周速度差を測定して、すべりを検出できるようになっている。ここで、すべり速度は、Ｖｗ−Ｖｔで算出される。
【００４０】
（実施例１−３）
図６は、本発明の微細凹部加工装置の第３実施例の構成を示す説明図である。同図に示すように、本例の微細凹部加工装置は、実施例１の微細凹部加工装置とほぼ同じであるが、フォームローラ１２と被加工物Ｗの間のすべりを検出するすべり検出手段７０として、フォームローラ１２の接線方向の力を測定するすべり検出器７１に代えて、ローラ支持部材２０の被加工物Ｗの接線方向における歪みを測定する歪みゲージ７３を備え、ローラ支持部材２０の被加工物Ｗの接線方向における歪みを測定して、すべりを検出できるようになっている。
【００４１】
（実施例１−４）
図７は、本発明の微細凹部加工装置の第４実施例の構成を示す説明図である。同図に示すように、本例の微細凹部加工装置は、実施例１の微細凹部加工装置とほぼ同じであるが、フォームローラ１２と被加工物Ｗの間のすべりを検出するすべり検出手段７０として、フォームローラ１２の接線方向の力を測定するすべり検出器７１に代えて、図示しない被加工物Ｗの回転トルク変動を測定するセンサーを備え、被加工物の回転トルク変動を測定して、すべりを検出できるようになっている。
【００４２】
（実施例１−５）
図８（ａ）は、本発明の微細凹部加工装置の第５実施例の構成を示す説明図である。同図に示すように、本例の微細凹部加工装置は、実施例１の微細凹部加工装置とほぼ同じであるが、フォームローラ１２と被加工物Ｗの間のすべりを検出するすべり検出手段７０として、フォームローラ１２の接線方向の力を測定するすべり検出器７１に代えて、加工後の２個以上の微細形状間の距離を測定する加工形状測定装置７５を備え、加工直後の微細形状間の距離を測定して、すべりを検出できるようになっている。なお、同図（ｂ）は、実際に加工された微細形状の様子を示す説明図である。
【００４３】
（実施例２）
本例においても、実施例１−１と同様の微細凹部加工装置を使用して被加工物の円周面に微細凹部を形成した。
図９は、本例の微細凹部加工装置を使用した微細凹部加工方法の他の実施例を示すフローチャートである。同図に示すように、まず、Ｓ２０１において、被加工物を微細凹部加工装置に取り付ける。
次に、Ｓ２０２において、すべりと荷重の相関データ、加工荷重、加工速度及び加工範囲などの加工条件を入力する。
次に、Ｓ２０３において、フォームローラを被加工物の真上に移動させる。
次に、Ｓ２０４において、フォームローラをＺ方向に移動させ、被加工物に圧接させる。
次に、Ｓ２０５において、圧接荷重がＳ２０２で入力された加工荷重となったか否かを判断し、ＹＥＳの場合には、Ｓ２０６に進む。
【００４４】
Ｓ２０６において、フォームローラのＺ方向の移動を停止し、被加工物を回転させると共に、フォームローラを被加工物の回転軸方向への送りを開始する。
次に、Ｓ２０７において、すべり検出器により、すべりの値の測定と記録を開始する。
このとき、加工中はすべり検出器により常に測定と記録を行う。
【００４５】
次に、Ｓ２０８において、加工範囲全面に加工が終了したか否かを判断し、ＹＥＳの場合には、Ｓ２０９に進む。
【００４６】
Ｓ２０９において、すべり検出器で測定されたすべりの値の平均値を演算し、直前の被加工物におけるすべりの値の平均値との差を更に演算する。
次に、Ｓ２１０において、すべりと荷重の相関データから荷重補正値を計算し、加工荷重を修正する。
次に、Ｓ２１１において、加工後の被加工物を取り出す。
次に、Ｓ２１２において、次の被加工物の加工を開始する。
【００４７】
また、Ｓ２０５において、圧接荷重がＳ２０２で入力された加工荷重となったか否かを判断し、ＮＯの場合には、Ｓ２０４に進む。
【００４８】
更に、Ｓ２０８において、加工範囲全面に加工が終了したか否かを判断し、ＮＯの場合には、Ｓ２０６に進む。
【００４９】
このような加工方法によって、加工された被加工物間で、加工深さやパターンのばらつきが少ない微細形状を加工することができる。
【００５０】
（実施例３）
本例においても、実施例１−１と同様の微細凹部加工装置を使用して被加工物の円周面に微細凹部を形成した。
図１０は、本例の微細凹部加工装置を使用した微細凹部加工方法の更に他の実施例を示すフローチャートである。同図に示すように、まず、Ｓ３０１において、被加工物を微細凹部加工装置に取り付ける。
次に、Ｓ３０２において、加工荷重、加工速度及び加工範囲などの加工条件を入力する。
次に、Ｓ３０３において、フォームローラを被加工物の真上に移動させる。
次に、Ｓ３０４において、フォームローラをＺ方向に移動させ、被加工物に圧接させる。
次に、Ｓ３０５において、圧接荷重がＳ３０２で入力された加工荷重となったか否かを判断し、ＹＥＳの場合には、Ｓ３０６に進む。
【００５１】
Ｓ３０６において、フォームローラのＺ方向の移動を停止し、被加工物を回転させると共に、フォームローラを被加工物の回転軸方向への送りを開始する。
次に、Ｓ３０７において、すべり検出器により、すべりの値の測定と記録を開始する。
このとき、加工中はすべり検出器により常に測定と記録を行う。
【００５２】
次に、Ｓ３０８において、すべりの値が変化したか否かを判断し、ＹＥＳの場合には、Ｓ３０９に進む。
【００５３】
Ｓ３０９において、すべりの値が増加したか否かを判断し、ＹＥＳの場合には、Ｓ３１０に進む。
【００５４】
Ｓ３１０において、圧接荷重を減少させる。
次に、Ｓ３１１において、加工範囲全面に加工が終了したか否かを判断し、ＹＥＳの場合には、Ｓ３１２に進む。
【００５５】
Ｓ３１２において、加工後の被加工物を取り出す。
次に、Ｓ３１３において、次の被加工物の加工を開始する。
【００５６】
また、Ｓ３０５において、圧接荷重がＳ３０２で入力された加工荷重となったか否かを判断し、ＮＯの場合には、Ｓ３０４に進む。
【００５７】
更に、Ｓ３０８において、すべりの値が変化したか否かを判断し、ＮＯの場合には、Ｓ３１１に進む。
【００５８】
また、Ｓ３０９において、すべりの値が増加したか否かを判断し、ＮＯの場合には、Ｓ３１４に進む。
【００５９】
Ｓ３１４において、圧接荷重を増加させる。
【００６０】
更に、Ｓ３１１において、加工範囲全面に加工が終了したか否かを判断し、ＮＯの場合には、Ｓ３０６に進む。
【００６１】
このような加工方法により、即ち、すべりの値が一定になるように圧接荷重を制御し、これを加工範囲全面に微細凹部が形成されるまで行うことによって、同一の部品内で加工深さのばらつきが少なく、均一なパターンの微細凹部を形成することができる。
【００６２】
以上、本発明を若干の実施例によって説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々の変形が可能である。
例えば、上記の実施例では、円筒形状の外周面に微細凹部を加工する場合を説明したが、円筒形状の内周面に微細凹部を加工する場合においても、本発明を適用することができ、同様の効果を得ることができる。
また、上記の実施例で示した微細凹部加工方法を例えば自動車用のクランクやカム、バランサなどの摺動部材の摺動部に適用することによって、加工された微細形状が潤滑油溜りとして機能したり、潤滑油の流れを制御したりすることができ、その摩擦を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の微細凹部加工装置の第１実施例の構成を示す説明図である。
【図２】本例の微細凹部加工装置を使用した微細凹部加工方法の一実施例を示すフローチャートである。
【図３】加工深さを一定にしたときのすべりの値（摩擦係数）と圧接荷重との関係を示すグラフ図である。
【図４】すべりの値の記録を示すグラフ図である。
【図５】本発明の微細凹部加工装置の第２実施例の構成を示す説明図である。
【図６】本発明の微細凹部加工装置の第３実施例の構成を示す説明図である。
【図７】本発明の微細凹部加工装置の第４実施例の構成を示す説明図である。
【図８】本発明の微細凹部加工装置の第５実施例の構成を示す説明図（ａ）及び実際に加工された微細形状の様子を示す説明図（ｂ）である。
【図９】本例の微細凹部加工装置を使用した微細凹部加工方法の他の実施例を示すフローチャートである。
【図１０】本例の微細凹部加工装置を使用した微細凹部加工方法の更に他の実施例を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００６４】
１０，１２  フォームローラ
２０        ローラ支持部材
２２        アーム
３０        工具ホルダ
３２        ボディ
４０        荷重付与手段
４２        弾性体
５０        荷重検出器
６０        支持部材
７０        すべり検出手段
７１        すべり検出器
７２        回転速度検出器
７３        歪みゲージ
７５        加工形状測定装置  
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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