(57)【要約】【課題】  チップ部品の寸法が極小となっても、チップ部品に与える損傷を抑えて高い確度で効率よく分離を行うことができるチップ部品分離装置を提供する。【解決手段】  本発明に係るチップ部品分離装置１００は、可撓性を有し、チップ形状に切断処理されたグリーンシート８０を付着保持する粘着シート１と、粘着シート１に付着保持されたグリーンシート８０を湾曲させる湾曲面５１，６１を有する湾曲部材９０と、グリーンシート８０が湾曲部材９０の湾曲面５１，６１によって湾曲されているときに、粘着シート１に対して間欠的に張力を増加させる駆動手段９２とを備えるため、チップを破損する事が無いので分離工程での歩留りが高くなり、とくに極小サイズのチップ部品の分離率が大幅に向上する上、駆動手段９２により、グリーンシート８０が湾曲部材９０の湾曲面５１，６１によって湾曲されているときに粘着シート１の張力を間欠的に増加させることができるため、より確実にチップ部品の分離を行うことが可能となっている。【選択図】  図１
2008085176.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可撓性を有し、チップ形状に切断処理された積層体グリーンシートを付着保持する保持部材と、
前記保持部材に付着保持された前記積層体グリーンシートを湾曲させる湾曲面を有する湾曲部材と、
前記積層体グリーンシートが前記湾曲部材の前記湾曲面によって湾曲されているときに、前記保持部材に対して間欠的に張力を増加させる張力増加手段と
を備える、チップ部品分離装置。
【請求項２】
前記張力増加手段は、前記積層体グリーンシートのチップ１個につき少なくとも１回は、前記保持部材の張力増加をおこなう、請求項１に記載のチップ部品分離装置。
【請求項３】
前記湾曲部材の温度調整をおこなう温度調整手段をさらに備える、請求項１又は２に記載のチップ部品分離装置。
【請求項４】
前記張力増加手段は、前記保持部材の前記積層体グリーンシートを保持する面に対して、交差する方向に前記保持部材を振動させて張力を増加させる、請求項１〜３のいずれか一項に記載のチップ部品分離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チップ形状に切断処理されたグリーンシートを個々のチップ部品に分離するチップ部品分離装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、出願人においては、台紙上に積層体グリーンシートを載せ、押切切断機等のチップ切断機でグリーシートをチップ形状に切断し、それをチップ分離機にて個々のチップ部品に分離する工程をとっていた。この場合、以下の問題があった。
▲１▼  現状の分離工程は分離率が低く、また分離治具一台に一人の作業者がついて作業を行っており、省人化、作業者の安全性、作業リードタイム等においても問題が残っている。
▲２▼  切断工程でのグリーンシートの台紙は分離工程でも兼用されているが必ずしも分離工程に適した性質を有するものではない。すなわち、切断工程の台紙は通気紙を用い、その通気紙は薄く弾性が無いが、分離工程で弾性の殆ど無い台紙を用いると、分離処理で発生するストレスは殆ど全てチップに直接かかることになり製品に悪影響を与える。
▲３▼  切断工程に適した台紙の性質として、切断刃への付着物を避けるため、粘着性が無いことが要求されるが、分離工程で粘着性の殆ど無い台紙を用いると、ハンドリング性が悪く、自動化の妨げとなる。
【０００３】
また、押切切断機を使用した場合、以下に述べるチップ切断後の問題がある。従来、積層体のグリーンシートは積層時にシート同士に接合性を持たせなければならない為、バインダーが使用されている。このバインダーの作用の為、いわゆる押切切断機等のチップ切断機（切断時チップ同士に間隙が出来ないタイプ）で切断を行った場合には、切断工程が進行すると同時にチップの接合も進んでしまうと言った問題がある。この結果として、切断工程完了時に切断したはずのチップが２つ以上くっついた状態（アベック）を起こしてしまう。この現象はチップサイズが小さくなればなるほど大きく現れ重要な問題となってくる。
【０００４】
この問題を解決する為に、従来技術として下記特許文献１及び特許文献２が提案されている。特許文献１の工法は、粘着シートに接着したグリーンシートを切断し、シャープエッジとブレード刃（スクレーパとして機能する）を用いて分離する方式である。
【０００５】
特許文献２の工法は、粘着シートに接着したグリーンシートを切断し、シートを内巻きにして切断を完全なものとしてから、さやに収納して焼成炉を通して分離する方式である。
【特許文献１】特開平８−３３０１７７号公報
【特許文献２】特開平５−３２６３２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記特許文献１の工法での問題点は以下の通りである。
▲１▼  粘着シートに貼り付けた状態で切断した場合、粘着シートによりグリーンシートの片面が完全に固定されてしまう為に、押切切断機の様に切断刃分体積が逃げなければならないような切断では切断形状が崩れ易い（特に極小チップ部品ではその可能性が高い）。
▲２▼  粘着シートからの剥離にブレード刃等を用いた場合、そこで受けるストレスによってチップ部品を破壊する可能性が高い。
【０００７】
上記特許文献２の工法での問題点は以下の通りである。
▲１▼  特許文献１の工法と同様に切断時にチップ形状が崩れ易い。
▲２▼  シートを内巻きにしただけでは極小チップの分離は難しい。
▲３▼  内巻き工程、さや詰め工程、焼成工程が必要になり、工程が複雑になる（人手作業が多い）。
【０００８】
従来技術では、０６０３（０．６ｍｍ×０．３ｍｍ×０．３ｍｍ）サイズ以下の極小チップ部品を破損せずに分離し、なおかつ分離率を上げる事は難しい。また分離のみを考えた方式の場合、人手の入る要素が多く、自動化等の省力化が困難となっている。
【０００９】
そこで、本発明は、上述の課題を解決するためになされたもので、チップ部品の寸法が極小となっても、チップ部品に与える損傷を抑えて高い確度で効率よく分離を行うことができるチップ部品分離装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係るチップ部品分離装置は、可撓性を有し、チップ形状に切断処理された積層体グリーンシートを付着保持する保持部材と、保持部材に付着保持された積層体グリーンシートを湾曲させる湾曲面を有する湾曲部材と、積層体グリーンシートが湾曲部材の湾曲面によって湾曲されているときに、保持部材に対して間欠的に張力を増加させる張力増加手段とを備える。
【００１１】
このチップ部品分離装置においては、チップを破損する事が無いので分離工程での歩留りが高くなり、とくに極小サイズのチップ部品の分離率が大幅に向上する上、張力増加手段により、積層体グリーンシートが湾曲部材の湾曲面によって湾曲されているときに保持部材の張力を間欠的に増加させることができるため、より確実にチップ部品の分離を行うことが可能となっている。
【００１２】
また、張力増加手段は、積層体グリーンシートのチップ１個につき少なくとも１回は、保持部材の張力増加をおこなう態様であってもよい。この場合、個々のチップに対する分離促進を確実に行うことができる。
【００１３】
また、湾曲部材の温度調整をおこなう温度調整手段をさらに備える態様であってもよい。この場合、湾曲部材を通過する積層体グリーンシートの分離や、湾曲部材を通過する保持部材からの積層体グリーンシートの脱離を、効果的に行うことができる。
【００１４】
また、張力増加手段は、保持部材の積層体グリーンシートを保持する面に対して、交差する方向に保持部材を振動させて張力を増加させる態様であってもよい。この場合、簡便な方法で張力を増加させることができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、チップ部品の寸法が極小となっても、チップ部品に与える損傷を抑えて高い確度で効率よく分離を行うことができるチップ部品分離装置が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、添付図面を参照して本発明を実施するにあたり最良と思われる形態について詳細に説明する。なお、同一又は同等の要素については同一の符号を付し、説明が重複する場合にはその説明を省略する。
【００１７】
本発明の第１の実施形態に係るチップ部品分離装置１００を、図１〜図６を参照しつつ説明する。これらの図において、符号１は可撓性を有する長尺テープ状粘着シート（保持部材）、符号１０は粘着シート１の繰り出しリール部、符号１１は同じく巻取りリール部であり、繰り出しリール部１０から繰り出された粘着シート１はガイド１２、反転用ガイド１３等を経て巻取りリール部１１で巻き取られるようになっている。また、粘着シート１を間欠送りするために粘着シートの搬送経路の途中に駆動ロール部１４が設けられている。この駆動ロール部１４はモータ等で間欠的に回転駆動される駆動ロール１５と駆動ロール１５との間で粘着シート１を挟む圧接ロール１６とからなっている。ここで使用する粘着シート１は片側のみに粘着層が設けられたものであり、他方の側は基材面で非粘着性である。
【００１８】
上記のように、前記粘着シート１は繰り出しリール部１０から巻取りリール部１１に向けて搬送されることになるが、繰り出しリール部１０から巻取りリール部１１に至る粘着シート１の搬送経路には、方形チップ形状に切断処理された積層体グリーンシートを粘着シート１の粘着層側に供給するための供給部２０、前記グリーシートの粘着シート１への付着を確実にするための再圧着部３０、押さえローラーで前記グリーンシートを順次部分的に押圧し切断個所に剪断力を作用させてチップ部品への分離を促進する分離促進部４０、前記グリーンシートを個々のチップ部品７０に分離する分離エッジ部５０、及びチップ部品７０を前記粘着シート１から剥離し、チップ受け箱７５に落下させる剥離部６０が順次配設されている。そして、上記分離エッジ部５０と剥離部６０とにより、本発明の湾曲部材９０が構成されている。
【００１９】
前記供給部２０は平面ベッド２１とこれに対向する平板状の受けプレート２２とを有し、平面ベッド２１、受けプレート２２の少なくとも一方が昇降することで相互の対向間隔が離間した状態から狭い状態に変化する機構を有する。図示の場合は、受けプレート２２が固定で、平面ベッド２１がエアシリンダ等の昇降手段２３により昇降駆動される機構としている。そして、台紙８１上に置かれて予め方形チップ形状に切断処理（押切切断機等のチップ切断機により処理）された積層体グリーンシート８０を台紙８１と共に平面ベッド２１上に載置し、粘着層を下向きとした粘着シート１がその上を通過する配置として、平面ベッド２１と受けプレート２２の間隔を狭めてグリーシート８０を粘着シート１の粘着層に押し付ける。これにより、グリーシート８０が粘着シート１側に供給され、以後グリーシート８０は粘着シート１の粘着層に付着保持された状態で搬送されることになる。なお、台紙８１は、グリーシート８０の切断時に使用した下敷きのシートであり、この時にグリーンシート８０から外れることになる。台紙８１はグリーシート切断用の下敷きのシートとして使用可能な材質で、粘着シート１にグリーンシート８０を転写（移載）できる物であればなんでも構わない。例えば、クリーン紙等で、粘着力の無いシートである。
【００２０】
前記再圧着部３０は位置固定の受けローラー３１と、圧着用の押えローラー３２の組を有し、押えローラー３２は受けローラー３１に圧接する向きにエアーシリンダ等の付勢手段３３で付勢されており、受けローラー３１との間にグリーシート８０が付着した粘着シート１を挟んで再圧着処理を行う。これにより、粘着シート１に転写されたグリーンシート８０を、グリーンシート面から所定の圧力により押さえ付け、粘着シート１への密着を促進させる。
【００２１】
図２〜図５に示すように、前記分離促進部４０は、装置フレーム４５に受け台ブロック４６を介して固定、支持された固定プレート４１と、その上を横方向（図２では紙面に垂直）に往復移動自在でプレート４１に圧接する向きに昇降用エアーシリンダ等の付勢手段４３で付勢される円筒状の押さえローラー４２とを有する。押さえローラー４２は昇降用エアーシリンダ等の付勢手段４３によりプレート４１に対して昇降自在である。
【００２２】
方形チップ形状に切断処理されたグリーンシート８０を付着させた粘着シート１は、図１の反転用ガイド１３による反転動作が終了した後、固定プレート４１上に搬送される。このとき図４のように、粘着シート１の基材２が下側、粘着層３が上側、さらにその上側にグリーシート８０が付着して固定プレート４１上を通過するようになっている。前記プレート４１は粘着シート１の粘着性能を上げること及びグリーンシートそのものを軟化する為に適正な温度に保持されている加熱プレートである。前記プレート４１の温度は、５０〜９０℃の範囲が好ましい。但し、粘着シート１として発泡温度が９０℃の熱発泡粘着シート（加熱すると発泡して粘着力が低下する性質を持つ）を使用する場合には、最高温度は７０℃以下とする。
【００２３】
そして、固定プレート４１上にて停止中の粘着シート１上のグリーシート８０に対して押さえローラー４２が粘着シート搬送方向に沿って横方向に動く（１回又は複数回往復運動する）ことで、粘着シート１に転写されたグリーンシート８０をグリーンシート面から所定の圧力により部分的に順次押さえ付け分離を促進させる。つまり、ローラー４２がグリーンシート８０上を加圧しながら移動すると、ローラー４２がかかっているグリーンシート上の個別チップ７０Ａ−１には加圧力Ｆが働き、粘着シート基材２上に塗布されている粘着層３（弾性変形可能な材質である）の中に沈み込もうとする。一方、ローラー４２のかかっていないチップ７０Ａ−２は加圧力Ｆの影響を受けない。この為、チップ７０Ａ−１と７０Ａ−２の境の切断個所Ｃに対して剪断力が働きチップ同士の分離が促進される。ローラー４２の移動速度は１ｍｍ／Ｓ〜５０ｍｍ／Ｓ、ローラー加圧力は５Ｎ／ｍｍ（線接触加圧時、１ｍｍ長さ当たりの加圧値）以下、ローラー材質はシリコンゴムでその硬度は５０〜９０°である。
【００２４】
ここで、図３及び図５に示すように、粘着シート１の搬送方向と押さえローラー４２中心軸方向（又は外周線）とが直交している場合、換言すればローラー４２の移動方向とシート１の搬送方向とが平行な場合、前記グリーンシート８０の切断線Ａ，Ｂが粘着シート１の搬送方向に対して非平行かつ非直角であって、前記グリーンシート８０の切断線Ａ（チップ長辺が沿った方向）と押さえローラー４２の軸方向とが所定角度αを成していることが望ましい。好ましくは角度αは２０〜４０°である。
【００２５】
その理由は、図５（Ａ）の平面図のように、前記グリーンシート８０の切断線Ａと押さえローラー４２の軸方向（又は外周線）とが平行の場合、切断線Ａに沿ったチップ７０Ａの長辺は剪断分離されるが、切断線Ｂ に沿ったチップ７０Ａの短辺は分離が進まないからである。図５（Ｂ）の平面図のように、分離促進部４０がプレート４１上に停止した前記グリーンシート８０の切断線Ａに対し所定の角度α（０°＜α＜９０°で好ましくは２０°≦α≦４０°）を成す押さえローラー４２を持つ場合には、前記角度αを成す状態でグリーンシート８０上を押さえローラー４２が加圧しながら移動することにより、グリーンシート８０全域に渡って分離の促進を行うことができる。前記角度αを設けたことで、切断線Ａ及びＢに沿ったチップ７０Ａの辺が共に剪断分離される。
【００２６】
なお、図３、図５（Ｂ）のように平面上で角度αを相対的に作るには、前記供給部２０において、方形チップ形状に切断されたグリーンシート８０を、粘着シート走行方向に対して平面上（図１の平面ベッド２１上）で切断線Ａ，Ｂを傾斜させて載置、転写すればよい。その場合、供給部２０に、平面上で回動する回転テーブルを設けておき、チップ形状に切断されたグリーンシート８０を角度α分回動してもよい。
【００２７】
あるいは、図示の場合とは異なり、方形チップ形状に切断されたグリーンシート８０の切断線Ａと粘着シート１の搬送方向とを平面上において直交させておき、分離促進用の押えローラー４２を粘着シート１の搬送方向に対して角度α分、平面上において傾斜移動させてもよい。
【００２８】
前記分離促進部４０における分離率を上げたい場合には、押さえローラー４２の圧力を上げる、ローラー４２の移動速度を遅くする、もしくは往復回数を多くすることにより、その目的が達成される。プレート４１は分離率を上げる為に所定の温度に加温されているが、加温する事は同時にチップアベックを促進させる効果もある。このことから分離促進動作が終了した後、グリーンシート８０は速やかにプレート４１上から移動させる事が望ましい。ここでのローラー４２の表面素材も粘着シート１に粘着しにくい材質が望ましい。
【００２９】
なお、上記分離促進部４０の動作を粘着層３のような柔らかい層を持たないシート上で行った場合には加圧されたチップの沈み込み量がほとんど無くなってしまう為に分離は促進されにくくなる。
【００３０】
図６に示すように、分離エッジ部５０は、グリーンシート８０の個々のチップ７０Ａへの分離を更に進め、また分離状態を確認する為に、シャープエッジ（微小曲率半径Ｒａ）又は小径の固定軸体（微小半径Ｒａ）の湾曲面５１を用いて粘着シート１を走行させ、その方向転換を行う。このとき、粘着シート１には一定のテンションが掛かっており、チップ７０Ａ相互は離間分離処理されることになり、分離は完全なものとなる。
【００３１】
この場合、シャープエッジ角度は特に規定しないが、エッジ先端の曲率半径もしくは軸体半径Ｒａ寸法はチップ部品サイズにより変更することが望ましく、例えば半径３ｍｍ以下とする。また、分離エッジ部５０上で粘着シート１の粘着力で隣接するチップ７０Ａ同士に間隙ｔａが出来るように、粘着シート１のテンションを調整する。
【００３２】
また、分離エッジ部５０においても、前記分離促進部４０の場合と同様に、グリーンシート８０の切断線Ａと粘着シート１の進行方向との間には所定の角度αが与えられている。つまり、分離エッジ部５０が有するシャープエッジ又は小径の固定軸体からなる湾曲面５１を通過する際、隣接する全てのチップ同士の切断面（切断線Ａ，Ｂ両方共）に間隙が出来るようにグリーンシート８０の切断線Ａと分離エッジ部５０の向きとの間には所定の角度α（２０〜４０°）を持たせてある。角度αによりチップ７０Ａの長辺と短辺の両側に分離隙間ができるので、外周と内周の円弧周差により、チップ同士がチップ長辺、短辺の両方で離間する効果を得て、効果的に分離を行うことができる。また、この分離隙間により、分離エッジ部５０の湾曲面に対向する方向から各チップの分離状態がチップ全周に渡り目視又は撮像手段により観察して確認できる。
【００３３】
また、分離エッジ部５０の後段（粘着シート搬送経路の下流側）に設けられた剥離部６０は、チップ同士が再付着しない様な間隙を作れる曲率半径Ｒｂ（Ｒｂ＞Ｒａで、好ましくは６ｍｍ≦Ｒｂ≦３０ｍｍ）の湾曲面６１で粘着シート１を走行させてグリーシート８０側を下向きに変える。
【００３４】
上述した分離エッジ部５０と剥離部６０とにより構成される湾曲部材９０は、駆動手段９２によって一体的に駆動される。湾曲部材９０駆動方向は、図１に示す左右方向であり、粘着シート１をその進行方向に沿って伸縮させる方向である。そのため、駆動手段９２の駆動を制御することにより、粘着シート１の張力を必要に応じて増加させることができるようになっている。すなわち、この駆動手段９２が本発明における張力増加手段として機能する。
【００３５】
ここで、駆動手段９２が、粘着シート１の張力を増加させるタイミングは、粘着シート１に搬送されてグリーンシート８０が湾曲部材９０に到達して、湾曲面５１（若しくは湾曲面６１）で湾曲されていることを、図示しない検出器（例えば、ＣＣＤカメラ等）で検出したタイミングである。つまり、駆動手段９２による湾曲部材９０の駆動により、グリーンシート８０は湾曲部材９０の位置において湾曲された状態で、その付着領域の粘着シート１が伸長される。より具体的には、駆動手段９２によるシート伸長のタイミングは、湾曲部材９０によって湾曲されたグリーンシート８０のチップ部品７０それぞれが、必ず少なくとも１回はシート伸長を受けるタイミングであり、上述した第１の実施の形態においては、１つのグリーンシート８０につき複数回のシート伸長が行われて、粘着シート１が間欠的に繰り返し伸長されて振動する。チップ部品７０の各々へ伸長を作用させるタイミングは、例えば、グリーンシート８０や粘着シート１の表面へ事前に印刷された位置基準マークの位置をグリーンシート８０の切断線Ａ、Ｂの位置と関連づけておき、その位置基準マークを図示しない検出器（例えば、ＣＣＤカメラ等）で検出し、検出した位置基準マークの位置からチップ部品７０の各々の位置を換算して把握することにより決定可能である。
【００３６】
湾曲部材９０には、粘着シート１の粘着力を低下させるための加熱、冷却等の処理を行う温度調整手段９４が取り付けられており、この温度調整手段９４による粘着シート１の粘着力を減少させる処理にてグリーシート８０からチップ部品７０を確実に分離した状態で粘着シート１から剥離させる。例えば、粘着シート１が加熱により粘着力が低下する熱発泡粘着シートであれば、剥離部６０に温度調整手段９４としての剥離用ヒーターを内蔵させて、粘着シート１が通る湾曲面６１を加熱する。
【００３７】
前記粘着シート１が加熱により粘着力が低下する熱発泡粘着シートであれば、方形チップ形状に切断されたグリーンシート８０は、湾曲部材９０の剥離部６０のヒーターで加熱された湾曲面６１を通過する時に粘着シート１の粘着力が低下することによって個品のチップ状態、つまりチップ部品７０となってチップ受け箱７５中に落ちる。剥離部６０の湾曲面６１は加熱している時にチップ同士のアベックが促進されない様に隣接するチップ同士に間隙ｔｂが形成される曲率半径Ｒｂに設定する。また、この部分で前記グリーンシート８０が停止してしまった場合にはその伝熱効果により前記湾曲面６１に沿っていないグリーンシート８０のチップまで剥離してしまう可能性がある。この時のチップはアベック状態が促進された状態で粘着シート１から剥離してしまう為に個品として確実に分離されたチップ部品７０を得る事が難しい。この現象を防止する為に、剥離部６０の加熱された湾曲面６１を通過させる際にはチップ部品７０が湾曲面上で剥離するような温度と搬送速度を持ち、且つ停止する事無くグリーンシート８０の１シート分を通過させる必要が有る。
【００３８】
使用可能な粘着シート１の具体例としては、熱発泡剥離シート（例えば、日東電工社製  
リバアルファ）があり、その仕様は以下の通りである。
【００３９】
粘着力：３．７Ｎ又は４．９Ｎ／２０ｍｍ（発泡前）０．０５Ｎ／２０ｍｍ以下（発泡後）発泡温度：９０℃又は１２０℃また、剥離部６０における剥離温度（湾曲面６１の温度）は、粘着シートの発泡温度が９０℃の時、９０〜１１０℃に設定し、発泡温度が１２０℃の時、１２０〜１４０℃に設定すればよい。
【００４０】
この第１の実施の形態の場合の全体的な動作説明を行う。
【００４１】
粘着シート１は繰り出しリール部１０から繰り出され、駆動ロール部１４により間欠走行するように搬送されて、巻取りリール部１１で巻き取られるようになっており、台紙８１上に載置して押切切断機等のチップ切断機で方形チップ形状に切断処理されたグリーンシート８０が、供給部２０において粘着シート１の粘着層３側に供給され、ここで、グリーシート８０は粘着シート１に付着してこれに移し変えられる。
【００４２】
粘着シート１の間欠走行に伴い、グリーシート８０は再圧着部３０を通過し、ここでグリーンシート８０を粘着シート１の粘着層３側に押し付け、粘着シート１への密着を促進させる。
【００４３】
粘着シート１及びこれに付着したグリーシート８０は再圧着部３０を通過した後、反転用ガイド１３で反転されてグリーシート８０が粘着シート１の上側となった状態で走行して分離促進部４０に至り、押さえローラー４２の横方向の動きでグリーンシート面から所定の圧力が順次加わることでチップ毎の分離が促進される（図４のチップ切断個所Ｃに対し、厚さ方向に剪断力が加えられる。）。
【００４４】
そして、分離エッジ部５０に至った粘着シート１及びグリーシート８０は、湾曲部材９０の分離エッジ部５０のシャープエッジ（微小曲率半径Ｒａ）又は固定小径軸体（微小半径Ｒａ）の湾曲面５１を通過して方向転換することでさらに分離が進められ、その後、チップ同士が再付着しない様な間隙を作れる曲率半径Ｒｂを持つ湾曲部材９０の剥離部６０を走行しながら、粘着シート１の粘着力を減少させる処理が行われることで、個々のチップ部品７０に分離しかつ粘着シート１から剥離してチップ受け箱７５に落下する。
【００４５】
なお、湾曲部材９０をグリーンシート８０が通過して、グリーンシート８０が湾曲部材９０の湾曲面５１（若しくは湾曲面６１）によって湾曲されているときに、駆動手段９２が、粘着シート１に対して間欠的に張力を増加させる。
【００４６】
この第１の実施の形態によれば、以下の効果を奏することができる。
（１）  極小チップ部品の分離の際に、従来（前記特許文献１等）のブレード刃を使用する方法ではなく、ブレード刃のようなチップを損傷する恐れのあるものを使用しない分離・剥離方法を実現できる。従来では、分離率を上げようとする際、チップに必要以上の外力、ストレスをかける恐れがある。特に極小サイズのチップにおいては、過度のストレスによりチップの破損をまねき分離工程での歩留りが低下する。本実施の形態によれば、チップを破損する事が無いので分離工程での歩留りが高くなり、とくに極小サイズのチップ部品の分離率は大幅に向上する。
（２）  切断済みグリーンシート８０の切断線Ａ，Ｂを粘着シート１の搬送方向に対して所定の角度αを持って配置することによって、分離エッジ部５０のシャープエッジ又は小径軸体の湾曲面５１を通過する際に、目視やカメラ等の撮像手段によりチップ相互の分離状態が簡単に検出できる。
（３）  分離促進部４０において、切断済みグリーンシート８０の切断方向（切断線Ａ又はＢ）が押さえローラー４２の移動方向に対して非平行かつ非直角であるように設定することにより、切断済みグリーンシート８０の切断線Ａ，Ｂの両方に沿ったチップ分離促進が可能である。
（４）  チップ形状に切断処理したグリーンシート８０を、リール式の粘着シート１により分離促進部４０、分離エッジ部５０、剥離部６０の順に搬送でき、特に極小チップ部品、例えば１００５（１．０ｍｍ×０．５ｍｍ×０．５ｍｍ）サイズ、０６０３（０．６ｍｍ×０．３ｍｍ×０．３ｍｍ）サイズ、０４０２（０．４ｍｍ×０．２ｍｍ×０．２ｍｍ）サイズチップ部品等の分離、剥離処理に適している。
（５）  駆動手段９２により、所定のタイミングでグリーンシート８０を付着保持する粘着シート１を、その搬送方向の向きに引っ張ることで、より確実なチップ部品の分離が実現されている。特に、グリーンシート８０のチップ１個につき少なくとも１回、駆動手段９２が粘着シート１の張力増加をおこなうことで、個々のチップに対する分離促進をより確実に行うことができる。
【００４７】
図７は本発明の第２の実施の形態を示す。
【００４８】
この場合、分離エッジ部５０は湾曲面として小径の回転軸体（微小半径Ｒａ）の外周面５２を用いて粘着シート１を走行させその方向転換を行う。このとき、粘着シート１には一定のテンションが掛かっており、チップ７０Ａ相互は離間分離処理されることになり、分離は完全なものとなる。ここで、軸体半径Ｒａ寸法はチップ部品サイズにより変更することが望ましく、例えば半径３ｍｍ以下とする。また、分離エッジ部５０上で粘着シート１の粘着力で隣接するチップ７０Ａ同士に間隙ｔａが出来るように、粘着シート１のテンションを調整する。
【００４９】
また、分離エッジ部５０の後段に設けられた剥離部６０は、隣接するチップ同士に間隙ｔｂが形成されることで再付着しない様な湾曲面としての曲率半径Ｒｂ（Ｒｂ＞Ｒａで、好ましくは６ｍｍ≦Ｒｂ≦３０ｍｍ）の円周面を有する回転円筒若しくは円柱体の外周面６２で粘着シート１を走行させてグリーシート８０側を下向きに変えるとともに、粘着シート１の粘着力を低下させるための加熱、冷却等の処理を行う温度調整手段９４を有する。この温度調整手段９４による粘着シート１の粘着力を減少させる処理にてグリーシート８０からチップ部品７０を確実に分離した状態で粘着シート１から剥離させる。例えば、粘着シート１が加熱により粘着力が低下する熱発泡粘着シートであれば、剥離部６０の回転円筒若しくは円柱体内に剥離用ヒーターを内蔵させて、粘着シート１が通る外周面６２を加熱する。
【００５０】
この第２の実施の形態におけるその他の構成は前述の第１の実施の形態と同様であり、同一又は相当部分に同一符号を付して説明を省略する。
【００５１】
図７の第２の実施の形態では、分離エッジ部５０及び剥離部６０共に回転する構成であるが、いずれか一方が図６のように固定構造であっても良い。
【００５２】
なお、グリーンシート切断時に使用するクリーン紙等の台紙は、実施の形態では個片状、つまり枚葉シートとしたが、前の工程にあたるグリーンシート切断機での使用形態によっては、テープ状（リールｔｏリール用）の台紙を使用してもよい。
【００５３】
また、上記第１及び第２の実施の形態では粘着シート１が加熱により粘着力が低下する場合を例示したが、粘着シート１が冷却により粘着力が低下するものであれば、剥離部６０では冷却（冷風の吹き付け等）を行えばよい。
【００５４】
本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、様々な変形が可能である。例えば、上述した張力増加手段の駆動手段９２に代えて、図８に示すような張力増加手段を採用することも可能である。図８（ａ）に示す張力増加手段９２Ａは、湾曲部材９０と駆動ロール部１４との間において、上述した所定タイミングで粘着シート１を真空吸着して、本来の搬送路（図の一点鎖線参照）から粘着シート１を外す装置である。また、図８（ｂ）に示す張力増加手段９２Ｂは、湾曲部材９０と駆動ロール部１４との間において、上述した所定タイミングで粘着シート１に振動を付与する装置であり、弾性体の振動レバー９６と振動レバー９６をその軸線と直交する方向に往復動させる駆動部９８とを備えた構成となっている。この張力増加手段９２Ｂにおいては、駆動部９８が振動レバー９６を駆動することで、粘着シート１の主面（グリーンシート８０を保持する側の面）１ａに対して、交差する方向に粘着シート１が振動して、粘着シート１の張力が増加することとなる。
【００５５】
上記張力増加手段９２Ａ及び張力増加手段９２Ｂでも、駆動手段９２による粘着シート１の張力増加と同様の作用及び効果を得ることができる。
【００５６】
また、上述した実施形態では、保持部材としてロール状の粘着シート１を採用した態様の装置１００を示したが、以下に示すような長尺シート状の保持部材を備えた装置１００Ａに適宜変更することも可能である。
【００５７】
図９及び図１０において、符号１Ａは長尺シート状保持部材、符号１１０Ａ，１１０Ｂは保持部材１Ａを上下方向から挟んで保持する保持ユニット、符号１１２は一方の保持ユニット１１０Ｂを他方の保持ユニット１１０Ａから離間させる方向にスライド可能なアクチュエータ、符号１１４は先端に湾曲面１１４ａを有し、上下動及び水平移動が可能な湾曲部材である。
【００５８】
保持部材１Ａは、形状が矩形状である点以外は上述した粘着シート１と同様若しくは同等のものである。そして、保持部材１Ａはその両側を一対の保持ユニット１１０Ａ，１１０Ｂによって水平に張られた状態で保持されており、保持ユニット１１０Ｂに連結されたアクチュエータ１１２によって、その張力が調整されている。すなわち、この態様においては、アクチュエータ１１２が本発明における張力増加手段として機能する。
【００５９】
湾曲部材１１４は、図１０に示すように水平に延在する保持部材１Ａをその下面から突き上げて、その上端の湾曲面１１４ａにおいて、保持部材１Ａに保持されているグリーンシート８０を湾曲させる。この湾曲部材１１４は、第１のアクチュエータ１１６により上下移動が可能となっており、第２のアクチュエータ１１８により水平移動が可能となっている。
【００６０】
ここで、アクチュエータ１１２が、保持部材１Ａの張力を増加させるタイミングは、グリーンシート８０が湾曲部材１１４の湾曲面１１４ａで湾曲されていることを、図示しない検出器で検出したタイミングである。つまり、アクチュエータ１１２による保持ユニット１１０Ｂの移動により、グリーンシート８０が湾曲部材１１４により湾曲された状態で、その付着領域の保持部材１Ａが伸長される。より具体的には、アクチュエータ１１２によるシート伸長のタイミングは、湾曲部材１１４によって湾曲されたグリーンシート８０のチップ部品７０それぞれが、必ず少なくとも１回はシート伸長を受けるタイミングである。チップ部品７０の各々へ伸長を作用させるタイミングは、例えば、グリーンシート８０や保持部材１Ａの表面へ事前に印刷された位置基準マークの位置をグリーンシート８０の切断線Ａ、Ｂの位置と関連づけておき、その位置基準マークを図示しない検出器（例えば、ＣＣＤカメラ等）で検出し、検出した位置基準マークの位置からチップ部品７０の各々の位置を換算して把握することにより決定可能である。
【００６１】
このようにアクチュエータ１１２により、所定のタイミングでグリーンシート８０を付着保持する保持部材１Ａを引っ張ることで、より確実なチップ部品の分離が実現される。
【００６２】
以上本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明はこれに限定されることなく請求項の記載の範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当業者には自明であろう。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の実施形態に係るチップ部品分離装置を示した構成図である。
【図２】図１に示した分離促進部の機構を示す側断面図である。
【図３】図１に示した分離促進部の（ａ）平面図と（ｂ）側面図である。
【図４】図１に示した分離促進部の要部拡大図である。
【図５】図１に示した分離促進部の平面図であり、（ａ）はグリーンシートの切断線と押さえローラー中心軸とが平行な状態、（ｂ）はグリーンシートの切断線と押さえローラー中心軸とが非平行かつ非直角であり所定の角度αをなしている状態を示している。
【図６】図１に示した湾曲部材の要部拡大図である。
【図７】図６とは異なる態様の湾曲部材を示した要部拡大図である。
【図８】図１とは異なる態様の張力増加手段を示した図である。
【図９】図１とは異なる態様のチップ部品分離装置を示した構成図である。
【図１０】図９にチップ部品分離装置の動作時の状態を示した図である。
【符号の説明】
【００６４】
１，１Ａ…保持部材、５１，６１，１１４ａ…湾曲面、７０…チップ部品、８０…グリーンシート、９０，１１４…湾曲部材、９２，９２Ａ，９２Ｂ，１１２…張力増加手段、９４…温度調整手段、１００，１００Ａ…チップ部品分離装置。
【図１】
2008085176.tif 000003
【図２】
2008085176.tif 000004
【図３】
2008085176.tif 000005
【図４】
2008085176.tif 000006
【図５】
2008085176.tif 000007
【図６】
2008085176.tif 000008
【図７】
2008085176.tif 000009
【図８】
2008085176.tif 000010
【図９】
2008085176.tif 000011
【図１０】
2008085176.tif 000012