(57)【要約】【課題】簡単な構成で吸着力を増大させた吸着パッドを提供することを課題とする。【解決手段】吸着パッド１０は、伸縮可能な蛇腹部１２と、蛇腹部１２の先端部内側に固着され空気吸引孔１７を有するコア部１４と、を備えている。コア部１４の吸着側は平坦な吸着面１４Ｆに溝１６が形成された形状とされている。従って、蛇腹部１２の先端側は、コア部１４の括れ部１８から吸着面側に向けてスカート状に広がる裾部１２Ｔとされている。そして、裾部１２Ｔとコア部１４の吸着側の側壁１４Ｓとによって、吸着面側で開放された空隙Ｚが形成されている。溝１６は、空気吸引孔１７及び空隙Ｚに連通している。ワークＷにコア部１４が当接すると、コア部１４の吸着側から溝１６に入る空気流量がワークＷによって低減する。このため、空隙Ｚから空気が溝１６に吸引され、空隙Ｚでは減圧される。この結果、裾部１２ＴがワークＷに密着する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被吸引媒体を吸引する吸引孔を有し、前記吸引孔から前記被吸引媒体を吸引することによって被搬送物を吸着する吸着パッドにおいて、
前記吸引孔が形成されていて吸着側で前記被搬送物に当接するコア部と、
前記コア部の周囲から吸着側に向けて広がり、吸着側で開放された空隙を前記コア部の吸着側の側壁との間で形成する裾部と、
が設けられ、
前記コア部の吸着側には、前記吸引孔及び前記空隙に連通する溝が形成されていることを特徴とする吸着パッド。
【請求項２】
吸着側に対して伸縮可能で、先端側に前記裾部が形成されているとともに内側に前記コア部が固定されている蛇腹部を備えたことを特徴とする請求項１に記載の吸着パッド。
【請求項３】
前記コア部の吸着側では、平坦な吸着面に前記溝が形成されていることを特徴とする請求項２に記載の吸着パッド。
【請求項４】
前記コア部の吸着側では前記吸引孔が前記コア部の中心位置に開口し、
前記溝は、前記吸引孔からコア部外周側に向けて、隣り合う溝同士が均等な角度をなして放射状に延び出していることを特徴とする請求項３に記載の吸着パッド。
【請求項５】
前記コア部の吸着側の周縁部には、前記溝に連通する面取り部が形成されていることを特徴とする請求項４に記載の吸着パッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、空気を吸引する空気吸引孔を有し、空気吸引孔からの空気吸引によって被搬送物を吸着する吸着パッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
工場等では、被搬送物（ワーク）を搬送するために、空気吸引源に接続されて被搬送物を吸着、保持する吸着パッドが多用されている。
【０００３】
このような吸着パッドでは、被搬送物を吸着、保持した際に被搬送物に撓みなどの変形が生じることを防止した構造とすることが提案されている（例えば特許文献１〜３参照）。
【０００４】
しかし、このような変形を防止した吸着パッドであっても、吸着力が更に大きいほうが好ましい。
【特許文献１】特開２００５−１４４５７０号公報
【特許文献２】特開２００２−３４６９６２号公報
【特許文献３】特開２００６−３１０６９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記事実を考慮して、簡単な構成で吸着力を増大させた吸着パッドを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載の発明は、被吸引媒体を吸引する吸引孔を有し、前記吸引孔から前記被吸引媒体を吸引することによって被搬送物を吸着する吸着パッドにおいて、前記吸引孔が形成されていて吸着側で前記被搬送物に当接するコア部と、前記コア部の周囲から吸着側に向けて広がり、吸着側で開放された空隙を前記コア部の吸着側の側壁との間で形成する裾部と、が設けられ、前記コア部の吸着側には、前記吸引孔及び前記空隙に連通する溝が形成されていることを特徴とする。
【０００７】
請求項１に記載の発明では、被搬送物にコア部が当接すると、コア部の吸着側から溝に入る空気流量が被搬送物によって低減する。このため、裾部とコア部の吸着側の側壁とで形成された上記空隙から気体（通常は空気）が溝に吸引される。ここで、被搬送物の一部または全部が裾部に当接していると、上記空隙では、気体が溝へ吸引されることによって減圧される。これにより、裾部が被搬送物に密着し、吸着力が増大する。
【０００８】
請求項２に記載の発明は、吸着側に対して伸縮可能で、先端側に前記裾部が形成されているとともに内側に前記コア部が固定されている蛇腹部を備えたことを特徴とする。
【０００９】
これにより、上記裾部を蛇腹部で形成させて簡単な構成により裾部の内側にコア部を固定することができる。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、前記コア部の吸着側では、平坦な吸着面に前記溝が形成されていることを特徴とする。
【００１１】
これにより、ガラス基板等の平坦面を有する被搬送物をコア部の吸着側に面接触させて、溝へ流入する気体を上記空隙のみに限定することにより、吸着力を大幅に向上させることが可能になる。また、平坦な吸着面によって被搬送物を支持できるため、被搬送物の撓み等の変形を抑制できる。
【００１２】
請求項４に記載の発明は、前記コア部の吸着側では前記吸引孔が前記コア部の中心位置に開口し、前記溝は、前記吸引孔からコア部外周側に向けて、隣り合う溝同士が均等な角度をなして放射状に延び出していることを特徴とする。
【００１３】
これにより、簡易な溝形状で吸着部に均等に吸着力を発生させることが可能になる。
【００１４】
請求項５に記載の発明は、前記コア部の吸着側の周縁部には、前記溝に連通する面取り部が形成されていることを特徴とする。
【００１５】
請求項５に記載の発明では、被搬送物の吸着時に上記空隙が減圧されることによって、コア部の吸着側の周縁部で裾部が被搬送物に密着する。従って、吸着力を更に増大させた吸着パッドとすることができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、簡単な構成で吸着力を増大させた吸着パッドとすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、実施形態を挙げ、本発明の実施の形態について説明する。なお、第２実施形態以下では、既に説明した構成要素と同様のものには同じ符号を付して、その説明を省略する。
【００１８】
［第１実施形態］
まず、第１実施形態について説明する。図１〜図５に示すように、本実施形態に係る吸着パッド１０は、空気吸引ラインに接続された基部（図示せず）と、基部と一体的に設けられ、吸着パッド１０の軸方向Ｖ（図１では紙面上下方向）に伸縮可能、すなわち吸着側に伸縮可能な蛇腹部１２と、蛇腹部１２の先端部内側に固定されたコア部１４と、を備えている。
【００１９】
図２〜図４に示すように、コア部１４の吸着側は平坦な吸着面１４Ｆに溝１６が形成された形状とされている。また、コア部１４には、蛇腹部１２の形状に合わせて括れ部１８が形成されており、また、吸着面側から見て円形となっている。従って、図１に示したように、蛇腹部１２の先端側は、コア部１４の括れ部１８から吸着面側に向けてスカート状に広がる柔軟性の裾部１２Ｔとされている。そして、裾部１２Ｔとコア部１４の吸着側の側壁１４Ｓとによって、吸着面側で開放された空隙Ｚが形成されている。
【００２０】
コア部１４の中心には、吸着パッド１０の軸方向Ｖに貫通する空気吸引孔１７が形成されている。また、コア部１４の吸着面１４Ｆは、吸着時にはワーク（被搬送物）Ｗに当接するようになっている。
【００２１】
図１〜図５に示す本実施形態では、溝１６は、空気吸引孔１７に連通してコア部外周側に向けて放射状に広がるように形成されている。本実施形態では、溝１６は、コア部１４の中心から半径方向に、隣り合う溝同士がなす角度が均等（４５度）であるように８本形成されている。また、コア部１４の外周側では、溝１６が空隙Ｚに連通するように溝先端１６Ｔが開放されている。
【００２２】
コア部１４及び蛇腹部１２の材質は特に限定しない。裾部１２ＴのワークＷへの貼り付き防止、及びワークＷへの裾部１２Ｔの跡付きを防止するため、コア部１４の材質をポリテトラフロロエチレン（ＰＴＦＥ）、ポリアセタール（ＰＯＭ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）等の樹脂材料を使用することが好ましい。ワークＷが高温の場合は、耐熱性に優れたＰＴＦＥが好ましい。また、帯電防止のため、例えばＳＵＳ等の金属を用いることもできる。
また、蛇腹部１２を、弾性を有し耐久性及び安定性が良いニトリルゴム、シリコーンゴム、ウレタンゴム、フッ素ゴム、クロロプレンゴム、天然ゴムなどのゴム材料や熱可塑性エラストマー等の樹脂材料で形成できる。
【００２３】
以下、本実施形態に係る吸着パッド１０の作用、効果を説明する。本実施形態では、裾部１２Ｔの先端で形成される円よりも寸法が大きい平板（太陽光発電板、液晶パネル、プラズマディスプレイ・パネル、ガラス基板、プラスチック基板など）をワークとして吸着、保持して搬送することを説明する。
【００２４】
ワークＷにコア部１４の吸着面１４Ｆが当接すると、吸着面側から溝１６に流入する空気流がワークＷによって妨げられる。このため、空隙Ｚに開放された溝先端１６Ｔから空気が溝１６に流入する。従って、空隙Ｚでは減圧される。これにより、図５に示すように、裾部１２ＴがワークＷに密着し、吸着パッド１０の吸着力が増大する。また、ワークＷの被吸着領域の周縁部は、裾部１２Ｔが変形して、その先端部がワークＷに吸い付けられるが、被吸着領域の周縁部内側は、コア部１４の平坦な吸着面１４Ｆによって支持されるため、ワークＷに撓み等の変形が生じることを抑制できる。
【００２５】
このように、本実施形態では、溝先端１６Ｔ（溝１６のコア部外周側）を空隙Ｚに開放した簡単な構成で、吸着力を増大させた吸着パッド１０とすることができる。また、ワークＷをコア部１４に形成された平坦な吸着面１４Ｆによって支持できるため、ワークＷの変形を抑制できる。
【００２６】
また、裾部１２Ｔを蛇腹部１２で形成させており、これにより、簡単な構成により裾部１２Ｔの内側にコア部１４を固定することができる。
【００２７】
更に、コア部１４の吸着側では、平坦な吸着面１４Ｆに溝１６が形成された形状とされている。これにより、ガラス基板等の平坦面を有するワークＷをコア部１４の吸着面１４Ｆに面接触させて、溝１６へ流入する気体を空隙Ｚのみに限定することにより、吸着力を大幅に向上させることができる。
【００２８】
また、コア部１４の中心から半径方向に向けて、隣り合う溝同士がなす角度が均等（４５度）であるように放射状の溝１６を形成すると、簡易な溝形状で吸着面側に均等に吸着力を発生させることが可能になる。
【００２９】
［第２実施形態］
次に、第２実施形態について説明する。図６〜図９に示すように、本実施形態に係る吸着パッド３０は、第１実施形態に比べ、コア部１４に代えてコア部３４を備えている。コア部３４は、コア部１４に比べ、吸着面側の外周部３４Ｅの形状が異なる。この外周部３４Ｅにはリング状に面取り部３６が形成されており、８本形成されている溝１６は面取り部３６で互いに連通している。なお、本実施形態では、面取り部３６の底面３６Ｂは溝１６の底面１６Ｂと同一平面にされている。
【００３０】
本実施形態では、このように、面取り部３６が外周部３４Ｅに形成されたコア部３４を設けている。従って、ワークＷの吸着時に空隙Ｚが減圧されることによって、コア部３４の吸着面側の全外周で裾部１２ＴがワークＷに密着する。従って、吸着パッド３０の吸着力を更に増大させることができる。
【００３１】
なお、以上の説明では、溝１６が８本形成されている例で説明したが、図１０、図１１に示すように、６本の溝４８を形成したコア部４４としても、吸着力の増大が充分に実現される。また、放射状に限らず、同心円状であっても、コア部の吸着面側に均等に吸着力を発生させることができる。
【００３２】
以上、実施形態を挙げて本発明の実施の形態を説明したが、これらの実施形態は一例であり、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施できる。また、本発明の権利範囲がこれらの実施形態に限定されないことは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】第１実施形態に係る吸着パッドの側面断面図である。
【図２】第１実施形態に係る吸着パッドを構成するコア部の底面図である。
【図３】第１実施形態に係る吸着パッドを構成するコア部の底面斜視図である。
【図４】第１実施形態に係る吸着パッドを構成するコア部の底面斜視部分断面図である。
【図５】第１実施形態に係る吸着パッドでワークを吸着した状態を示す側面断面図である。
【図６】第２実施形態に係る吸着パッドの側面断面図である。
【図７】第２実施形態に係る吸着パッドを構成するコア部の底面図である。
【図８】第２実施形態に係る吸着パッドを構成するコア部の底面斜視図である。
【図９】第２実施形態に係る吸着パッドでワークを吸着した状態を示す側面断面図である。
【図１０】第２実施形態に係る吸着パッドを構成するコア部の変形例を示す底面図である。
【図１１】第２実施形態に係る吸着パッドを構成するコア部の変形例を示す底面斜視図である。
【符号の説明】
【００３４】
１０    吸着パッド
１２    蛇腹部
１２Ｔ  裾部
１４    コア部
１４Ｆ  吸着面
１４Ｓ  側壁
１６    溝
１７    空気吸引孔
３０    吸着パッド
３４    コア部
４４    コア部
４８    溝
Ｚ      空隙
Ｗ      ワーク（被搬送物）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2008279544.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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