(57)【要約】【課題】この種の流体軸受装置において、循環路を構成する流体流路の形成の良否を適正に判定することのできる判定方法を提供する。【解決手段】ハウジング７の内周に、予め複数本の軸方向溝８ｃ１を形成した軸受スリーブ８を接着固定して、ハウジング７と軸受スリーブ８との間に複数の軸方向の流路１０を形成してなる軸受部材６（ハウジング７）の一端開口側から光Ｌ１を照射する。この照射光Ｌ１のうち、軸受スリーブ８の内周面８ａを通過し、かつ、ハウジング７の底部７ｂの上底面７ｂ１で反射してその閉塞側から開口側へと軸方向の流路１０を通過する光（通過光Ｌ２）を認識する。そして、この認識に基づき、流路１０の形成の良否に関する判定を行う。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
他端を閉塞したハウジングの内周に、軸孔を有する軸受スリーブを固定することにより前記ハウジングと前記軸受スリーブとの間に形成されるもので前記軸孔とその他端閉塞側でつながる１又は複数の流体流路、の良否を判定する方法であって、
前記ハウジングの一端開口側から光を照射し、該照射光のうち、前記軸孔を通過しかつその他端閉塞側で生じる光の回り込みにより前記流体流路を通過した光を認識し、該認識情報に基づき前記流体流路の良否を判定する流体軸受装置の流体流路の良否判定方法。
【請求項２】
前記照射光の光源から前記軸孔に到る空間と、前記流体流路から前記通過光の認識箇所に至る空間との間を遮蔽した状態で前記光の照射および認識を行う請求項１記載の流体流路の良否判定方法。
【請求項３】
前記通過光の認識を目視で行う請求項１記載の流体流路の良否判定方法。
【請求項４】
前記通過光の認識を、前記通過光の進行方向延長線上に配置した受光部で行う請求項１記載の流体流路の良否判定方法。
【請求項５】
前記受光部で認識した前記通過光の数および形態を画像化して評価する請求項４記載の流体流路の良否判定方法。
【請求項６】
前記受光部で認識した前記通過光に係る物理量を予め設定した閾値と比較して評価することにより、前記流体流路の良否を判定する請求項４記載の流体流路の良否判定方法。
【請求項７】
前記通過光の進行方向前方に１又は複数の反射面を設け、該反射面によりその進行方向を変化させた前記通過光を認識するようにした請求項３又は４記載の流体流路の良否判定方法。
【請求項８】
前記反射面によりその進行方向を変化させた前記通過光の認識を、前記ハウジングの他端閉塞側で行う請求項７記載の流体流路の良否判定方法。
【請求項９】
請求項１〜８の何れか記載の判定工程を用いた流体軸受装置の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体軸受装置の流体流路の良否を判定する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
流体軸受装置は、軸受隙間に形成される流体の膜で軸部材を相対回転自在に支持するものである。この種の軸受装置は、特に高速回転時における回転精度、静粛性等に優れており、情報機器をはじめ種々の電気機器に搭載されるモータ用の軸受装置として好適に使用される。具体的には、ＨＤＤ等の磁気ディスク装置、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ／ＲＷ、ＤＶＤ−ＲＯＭ／ＲＡＭ等の光ディスク装置、ＭＤ、ＭＯ等の光磁気ディスク装置等におけるスピンドルモータ用の軸受装置として、あるいはレーザビームプリンタ（ＬＢＰ）のポリゴンスキャナモータ、プロジェクタのカラーホイールモータ、ファンモータなどのモータ用軸受装置として好適に使用される。
【０００３】
また、最近では、上記情報機器等の携帯化・小型化に伴い、これらに搭載して使用される流体軸受装置にも小型化の要請が高まっている。
【０００４】
例えば、流体軸受装置の軸方向寸法（厚み）を小さくすることを目的として、ハウジングの外周面とこれに対向するハブの筒部の内周面との間に、潤滑油をシールするためのシール空間を形成し、軸受スリーブと軸との間に形成されるラジアル軸受隙間の半径方向外側にシール空間を配設した流体軸受装置が知られている（例えば、特許文献１を参照）。この場合、回転軸の一端に設けたハブの下端面とハウジングの上端面との間にスラスト軸受隙間が設けられるので、ハブを除き回転軸は径一定のものでよく、例えばハウジングとして、その一端を開口し他端を閉塞した形状のものが提案されている（同じく、特許文献１を参照）。
【０００５】
また、この種の流体軸受装置においては、軸受内部空間における圧力バランスの調整や潤滑油中に混入した気泡の除去等を図る目的で、ハウジングとこのハウジングの内周に固定される軸受スリーブとの間に軸方向の流路が形成される場合がある。この種の流路は、例えば軸受スリーブの外周に予め１又は複数の軸方向溝を設けておき、この軸受スリーブをハウジングの内周に固定することで形成される（特許文献１を参照）。かかる流路を設けることで、この流路と、ラジアル軸受隙間、さらには、スラスト軸受隙間やシール空間を介して潤滑油を循環可能とする循環路が構成される。
【特許文献１】特開２００６−２０７７８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このように、上記循環路の一部をなす軸方向の流路をハウジングと軸受スリーブとの間に形成する際、その固定手段によっては、当該流路が適正に形成されない可能性がある。すなわち、ハウジングと軸受スリーブとの固定を接着により行う場合、ハウジングと軸受スリーブとの間に充填すべき接着剤の供給量を部品寸法のばらつきに応じて個別に調整することは難しく、供給量が過剰となる場合には、循環路を形成する流路が接着剤で塞がれる恐れがある。また、両者を圧入で固定する場合には、締め代のばらつきや圧入時の精度によっては不必要な変形を生じ、これにより軸方向溝（流路）が変形して塞がってしまう恐れがある。
【０００７】
以上の理由から、組立の際にこれらの不具合が生じていないか検査することが必要となるが、上述の流路は通常、数十μｍ〜数百μｍと小径で、目視によりこれら流路が変形することなく形成されているか、あるいは接着剤により途中が塞がれていないか等を検査することは困難である。特に、上述のように、シール空間をラジアル軸受隙間の半径方向外側に配設してなる流体軸受装置において、その一端を閉塞したハウジングに軸受スリーブを固定してなるサブアッシーについては、流路の良否を検査するための手段が限られる。また、複数の流路が形成される場合には、これら複数の流路の良否を個別に判定することが必要となるが、既知の方法ではこれらの良否を個別に適正に判定することは難しい。
【０００８】
以上の事情に鑑み、本発明では、この種の流体軸受装置において、循環路を構成する流体流路の形成の良否を適正に判定することのできる判定方法を提供することを技術的課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決するため、本発明は、他端を閉塞したハウジングの内周に、軸孔を有する軸受スリーブを固定することによりハウジングと軸受スリーブとの間に形成されるもので軸孔とその他端閉塞側でつながる１又は複数の流体流路、の良否を判定する方法であって、ハウジングの一端開口側から光を照射し、照射光のうち、軸孔を通過しかつその他端閉塞側で生じる光の回り込みにより流体流路を通過した光を認識し、認識情報に基づき流体流路の良否を判定する流体軸受装置の流体流路の良否判定方法を提供する。
【００１０】
このように、ハウジングの一端開口側から照射した光のうち、１の軸孔を通過しかつ軸孔の他端閉塞側で回り込んだ光が流体流路を通過したものを認識し、この認識に基づき良否判定を実施するのであれば、流体流路が複数存在する場合であっても、１の光源から光を照射した際にこれら流体流路を通過する光の数でもって、良好に形成された流体流路の数を評価することができる。また、軸孔を通過し、かつ軸孔の閉塞側で生じる光の回り込みを利用して流体流路を通過する光を認識するようにしたので、軸孔の多端閉塞側に到った光がハウジングと軸受スリーブとの間で反射を繰り返しながらその進行方向を変えて流体流路にその他端閉塞側から流体流路に侵入する。そのため、他端を閉塞したハウジングに軸受スリーブを固定することで両者の間に形成される流体流路を検査対象とする場合であっても、閉塞側から開口側へと流体流路を通過した光を認識して、流体流路の良否を適正に評価することができる。
【００１１】
上述のようにして流体流路の良否判定を実施する場合、照射光の光源から軸孔に到る空間と、流体流路から通過光の認識箇所に至る空間との間を遮蔽した状態で光の照射および認識を行うのが好ましい。軸孔における照射光の入口と、流体流路における通過光の出口とは共にハウジングの一端開口側となるため、これら光の出入口となる空間の間に適当な遮蔽を施すことで、流体流路を通過する光のみを確実に認識することができ、認識精度ひいては判定精度を高めることができる。
【００１２】
上記手段により流体流路を通過した光は、例えば直接目視により認識することができる。この場合、作業者（視認した者）の認識に基づき流体流路の貫通の程度を個別に評価することで、その良否を判定することができる。
【００１３】
また、通過光の認識は、この通過光の進行方向延長線上に受光部を配置し、かかる受光部で通過光を認識することによっても行うことができる。この場合、受光部で認識した通過光の数および形態を画像化して評価することもでき、あるいは、受光部で認識した通過光に係る物理量（例えば光量、光度など）を予め設定した閾値と比較して評価することにより、流体流路の良否を判定することもできる。前者の方法によれば、通過光の認識情報を拡大して画像化したものを認識できるので、より確実に判定することができる。また、後者の方法によれば、通過光の認識から当該認識情報に基づく流体流路の良否判定に到る工程を自動的かつ定量的に行うことができるので、かかる判定の簡便性および正確性を高め、ひいてはこの方法を用いた検査の信頼性向上を図ることができる。
【００１４】
また、通過光の認識に関し、例えばその進行方向前方に１又は複数の反射面を設け、この反射面によりその進行方向を変化させた通過光を認識するようにしても構わない。また、この場合、１又は複数の反射面によりその進行方向を変化させた通過光を、ハウジングの他端閉塞側で認識するようにしても構わない。上述のように、光を照射する位置と通過光を認識する位置とを異ならせることで、双方の作業スペースが重複するのを避けて、各々の工程を実施することができる。
【発明の効果】
【００１５】
以上のように、本発明によれば、流体軸受装置における循環路を構成する流体流路の形成の良否を適正に判定することができる。また、本発明に係る判定方法を用いた検査工程を経て提供される流体軸受装置の信頼性を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の一実施形態を図１〜図５に基づいて説明する。なお、以下の説明における『上下』方向は、単に各図における構成要素間の位置関係を容易に理解するために用いるもので、流体軸受装置（動圧軸受装置）の設置方向や使用態様、あるいは後述する良否判定時のワーク（軸受部材）の配置態様等を特定するものではない。
【００１７】
図１は、本発明の一実施形態に係る判定方法の対象となる動圧軸受装置１を組込んだ情報機器用スピンドルモータの断面図を示している。このスピンドルモータは、ＨＤＤ等のディスク駆動装置に用いられるもので、軸２を有する回転体３を回転自在に非接触支持する動圧軸受装置１と、例えば半径方向のギャップを介して対向させたステータコイル４ａおよびロータマグネット４ｂと、ブラケット５とを備えている。ステータコイル４ａはブラケット５の外径側に取付けられ、ロータマグネット４ｂは回転体３を構成するハブ９の外周に取付けられている。動圧軸受装置１のハウジング７は、ブラケット５の内周に固定される。回転体３には、図示は省略するが、磁気ディスク等のディスク状情報記録媒体（以下、単にディスクという。）が一又は複数枚保持される。このように構成されたスピンドルモータにおいて、ステータコイル４ａに通電すると、ステータコイル４ａとロータマグネット４ｂとの間に発生する励磁力でロータマグネット４ｂが回転し、これに伴って、回転体３に保持されたディスクが軸２と一体に回転する。
【００１８】
図２は、動圧軸受装置１の断面図を示している。この動圧軸受装置１は、主にハウジング７および軸受スリーブ８からなる軸受部材６と、軸受部材６に対して相対回転する回転体３とを備えている。
【００１９】
回転体３は、ハウジング７の一端開口側に配置されるハブ９と、軸受スリーブ８の内周に挿入される軸２とを有する。
【００２０】
ハブ９は金属材料あるいは樹脂材料で形成され、ハウジング７の一端開口側（上側）を覆う円盤部９ａと、円盤部９ａの外周部から軸方向下方に延びた筒状部９ｂと、筒状部９ｂのさらに外周に設けられたディスク搭載面９ｃおよび鍔部９ｄとで構成される。図示されていないディスクは、円盤部９ａの外周に外嵌され、ディスク搭載面９ｃに載置される。そして、図示しない適当な保持手段（クランパなど）によってディスクがハブ９に保持される。
【００２１】
軸２は、この実施形態ではハブ９と別体に形成され、その上端をハブ９の中央に設けた孔に圧入、接着等の手段により固定している。もちろん、軸２をハブ９と同材料で一体に形成することもでき、あるいは、異材料で形成される軸２とハブ９の一方をインサート部品として他方を金属や樹脂の射出成形で形成することもできる。
【００２２】
軸受スリーブ８は、例えば銅を主成分とする焼結金属の多孔質体で円筒状に形成される。また、軸受スリーブ８は、樹脂やセラミック等の非金属材料からなる多孔質体で形成することもでき、また焼結金属等の多孔質体以外にも、内部空孔を持たない中実の、あるいは潤滑油の出入りができない程度の大きさの空孔を有する構造の材料で形成することもできる。
【００２３】
軸受スリーブ８の内周面８ａの全面もしくはその一部には、ラジアル動圧発生部として
複数の動圧溝を配列した領域が形成される。この実施形態では、例えば図３に示すように、複数の動圧溝８ａ１をヘリングボーン形状に配列した領域と、複数の動圧溝８ａ２を同じくへリングボーン形状に配列した領域とが軸方向に離隔して形成される。上側の動圧溝８ａ１配列領域では、動圧溝８ａ１が、軸方向中心ｍ（上下の傾斜溝間領域の軸方向中央）に対して軸方向非対称に形成されており、軸方向中心ｍより上側の配列領域の軸方向寸法Ｘ１が下側の配列領域の軸方向寸法Ｘ２よりも大きくなるよう形成されている。
【００２４】
軸受スリーブ８の外周面８ｃには、後述する軸方向の流路１０をハウジング７との間に形成する目的で、１又は複数本の軸方向溝８ｃ１が形成される。この実施形態では、図４に示すように、円周方向等間隔に６本の軸方向の流路１０が形成されるよう、軸受スリーブ８の外周面８ｃに６本の軸方向溝８ｃ１が円周方向等間隔に形成される。なお、この実施形態のように軸受スリーブ８が焼結金属で形成される場合、かかる軸方向溝８ｃ１は圧粉成形時と焼結後各種サイジング時の何れの段階においても形成することが可能であるが、後述の如く、光を効率よく通過させることを考慮した場合、焼結後の各種サイジング時に同時に形成するのが好ましい。もちろん、各サイジング時に既に形成した軸方向溝８ｃ１の表面を目潰しする（再圧縮する）ことが可能であれば、圧粉成形時に軸方向溝８ｃ１を形成しておいても構わない。
【００２５】
軸受スリーブ８と共に軸受部材６を構成するハウジング７はその一端を開口すると共に他端を閉塞した形状をなし、例えば金属材料で略円筒状に形成される。詳細には、ハウジング７は、筒部７ａと、筒部７ａの他端を閉塞する底部７ｂとを一体に有し、筒部７ａの内周面７ｃに軸受スリーブ８の外周面８ｃを接着固定してなる。これにより、図３に示すサブアッシーとしての軸受部材６が形成される。また、ハウジング７に軸受スリーブ８を固定することで、軸受スリーブ８の外周に設けた複数の軸方向溝８ｃ１と、この軸方向溝８ｃ１とラジアル方向に対向するハウジング７の内周面７ｃとの間に後述する循環路を構成する軸方向の流路１０が形成される。
【００２６】
また、この際、軸受スリーブ８の下端面８ｂとハウジング７の底部７ｂの上底面７ｂ１とは非接触の状態（軸方向に離隔した状態）で互いに接着固定されており、両面７ｂ１、８ｂ間には流体（ここでは潤滑油）が流通可能な程度の隙間が形成される。
【００２７】
ハウジング７の一端開口側に位置する上端面７ｄには、スラスト軸受面として、例えば図３に示すように複数の動圧溝７ｄ１をスパイラル状に配列した領域が形成される。このスラスト軸受面（動圧溝７ｄ１配列領域）は、ハブ９の円盤部９ａの下端面９ａ１と対向し、回転体３の回転時には、下端面９ａ１との間に後述するスラスト軸受部Ｔのスラスト軸受隙間を形成する（図２を参照）。
【００２８】
ハウジング７の外周には、上方に向かって漸次拡径するテーパ状のシール面７ｅが形成される。このテーパ状のシール面７ｅは、筒状部９ｂの内周面９ｂ１との間に、ハウジング７の閉塞側（下方）から開口側（上方）に向けて半径方向寸法を漸次縮小させた環状のシール空間Ｓを形成する。このシール空間Ｓは、軸２およびハブ９の回転時、スラスト軸受部Ｔのスラスト軸受隙間の外径側と連通しており、各軸受隙間を含む軸受内部空間との間で潤滑油の流通を可能としている。潤滑油を充填した状態では、潤滑油の油面（気液界面）は、少なくとも想定される使用もしくは輸送温度範囲内では、常にシール空間Ｓ内に維持される。
【００２９】
ここで、動圧軸受装置１の内部に充填する潤滑油としては、種々のものが使用可能である。この実施形態のように、ＨＤＤ等のディスク駆動装置用の動圧軸受装置に提供される潤滑油には、蒸発率が小さく、かつ低温時の粘度低下が少ないエステル系の潤滑油が好適に使用される。
【００３０】
上記構成の動圧軸受装置１において、軸２（回転体３）の回転時、軸受スリーブ８の内周面８ａのラジアル軸受面となる領域（上下２ヶ所の動圧溝８ａ１、８ａ２配列領域）は、軸２の外周面２ａとラジアル軸受隙間を介して対向する。そして、軸２の回転に伴い、上記ラジアル軸受隙間の潤滑油が各動圧溝８ａ１、８ａ２配列領域の軸方向中心ｍ側に押し込まれ、軸方向中心ｍ側の領域において潤滑油の圧力が上昇する。このような動圧溝８ａ１、８ａ２の動圧作用によって、軸２をラジアル方向に回転自在に非接触支持する第１ラジアル軸受部Ｒ１と第２ラジアル軸受部Ｒ２とがそれぞれ構成される。
【００３１】
また、ハウジング７のスラスト軸受面（動圧溝７ｄ１配列領域）とこれに対向するハブ９の下端面９ａ１との間のスラスト軸受隙間に、動圧溝７ｄ１の動圧作用により潤滑油の油膜が形成される。そして、この油膜の圧力によって、回転体３をスラスト方向に非接触支持するスラスト軸受部Ｔが構成される。
【００３２】
また、ハウジング７と軸受スリーブ８との間に軸方向の流路１０が形成されることにより、第１ラジアル軸受部Ｒ１のラジアル軸受隙間から、第２ラジアル軸受部Ｒ２のラジアル軸受隙間、軸受スリーブ８の下端面８ｂとハウジング底部７ｂの上底面７ｂ１との隙間、複数の軸方向の流路１０、そして軸受スリーブ８の上端面８ｄとハブ９の下端面９ａ１との隙間を介して再び上側のラジアル軸受隙間へと戻る、潤滑油の循環路が形成される（図２を参照）。このようにして循環路が形成されることで、潤滑油の圧力バランスが崩れた場合も早急にかかる圧力差を解消することができ、局部的な負圧の発生に伴う気泡の生成、気泡の生成に起因する潤滑油の漏れや振動の発生等を防止することが可能となる。また、この循環路は、軸方向の流路１０の上端からスラスト軸受隙間を介してシール空間Ｓに通じている。そのため、何らかの理由で潤滑油中に気泡が混入した場合でも、気泡が潤滑油に伴って循環する際にシール空間Ｓを介して外部空間に排出されるので、気泡の混入に伴う上記不具合の発生を確実に防止することができる。
【００３３】
上述の如き循環路の作用は、その構成要素である軸方向の流路１０の良否により大きく左右されるため、かかる流路１０の良否判定を動圧軸受装置１の品質検査の一環として設ける必要が生じる。以下、流路１０の良否判定方法の一例を図５と共に説明する。
【００３４】
図５は、軸受部材６に形成される軸方向の流路１０の形成良否の判定工程の一例を概念的に説明する図である。同図に示すように、この判定方法では、軸受部材６（ハウジング７）の一端開口側から光Ｌ１を照射し、この照射光Ｌ１のうち、軸孔を形成する軸受スリーブ８の内周面８ａを通過し、かつ、ハウジング７の底部７ｂの上底面７ｂ１で反射してその閉塞側から開口側へと軸方向の流路１０を通過する光（通過光Ｌ２）を認識する。そして、この認識に基づき、流路１０の形成の良否に関する判定を行う。
【００３５】
具体的には、照射光Ｌ１の光源から軸受スリーブ８の軸孔に到る空間と、軸方向の流路１０から通過光Ｌ２の認識箇所に到る空間との間を遮蔽すべく、筒状の遮蔽部材２１の一端を軸受スリーブ８の上端面８ｄに当接させた状態で、この遮蔽部材２１の他端側から適当な光源により軸孔に向けて光Ｌ１を照射する。これにより、光源から照射された光Ｌ１が流路１０の側から軸受内部に侵入するのを防ぎ、かつ、底部７ｂ付近での光の回り込みにより流路１０を通過した光Ｌ２のみをその延長線上で認識するようにする。
【００３６】
このように、軸方向の流路１０を通過した光Ｌ２を認識し、この認識に基づき良否判定を実施することで、本実施形態に例示の如く流路１０が複数存在する場合であっても、１の光源から光Ｌ１を照射した際にこれら流路１０を通過する光Ｌ２の数でもって、良好に形成された流路１０の数を評価することができる。また、軸孔を通過し、かつ軸孔の閉塞側から軸受スリーブ８の下端面８ｂとハウジング７の底部７ｂの上底面７ｂ１との隙間に回り込んで流路１０を通過する光Ｌ２を認識することで、閉塞側から開口側へ軸方向の流路１０を通過した光Ｌ２を認識することとなる。そのため、底部７ｂを有しその他端を閉塞したハウジング７に軸受スリーブ８を固定することで形成される流路１０を検査対象とする場合であっても、通過光Ｌ２の認識情報に基づき、かかる流路１０の良否を適正に評価することができる。
【００３７】
なお、上述の工程において、流路１０を通過した光Ｌ２は、直接目視により認識することができる他、この通過光Ｌ２の進行方法延長線上に受光部（例えば、図６にて例示するＣＣＤカメラ２３など）を配置し、かかる受光部で通過光Ｌ２を認識することによっても行うことができる。
【００３８】
また、受光部で通過光Ｌ２を認識する場合、受光部で認識した通過光Ｌ２の数および形態を画像化して評価することもでき、あるいは、受光部で認識した通過光Ｌ２に係る物理量（例えば光量、光度など）を予め設定した閾値と比較して評価することにより、流路１０の良否を判定することもできる。前者の方法によれば、通過光Ｌ２の認識情報をモニター等に拡大して画像化したものを認識できるので、より確実に判定することができる。また、後者の方法によれば、通過光Ｌ２の認識から当該認識情報に基づく流路１０の良否判定に到る工程を自動かつ定量的に行うことができるので、判定（検査）の簡便性および正確性を高め、ひいてはこの方法を用いた検査の信頼性向上を図ることができる。特に、通過光Ｌ２に係る物理量を各流路１０を通過した光Ｌ２ごとに取得すれば、各々の流路１０ごとの良否判定を自動的かつ高速に実施することができる。もちろん、認識した通過光Ｌ２の個数だけでもって、流路１０の形成良否に関し、一応の信頼性ある判定（検査）を行うことも可能である。
【００３９】
なお、照射すべき光Ｌ１の光量（光度）は、通過に際して反射すべきハウジング７や軸受スリーブ８の材質、表面粗さ、流路１０の長さ（軸方向寸法）、通過光Ｌ２の認識方法、およびその評価（判定）方法に応じて適切に設定するのがよい。また、光源としては特に限定されることなく種々のものが使用可能であるが、例えば比較的短波長の光を照射可能なものが好適であり、その具体例として、ハロゲンランプを挙げることができる。
【００４０】
また、通過光の認識に関し、例えばその進行方向前方に１又は複数の反射面を設け、この反射面によりその進行方向を変化させた通過光を認識するようにしても構わない。図６は本発明に係る流路１０の良否判定方法の他の例を示すもので、同図に示すように、遮蔽部材２１の外周には、流路１０を通過した光Ｌ２を反射してその進行方向を変化させるための反射部材２２が取り付けられている。ここで、反射部材２２は、通過光Ｌ２を最初に反射する内径側の反射面（第１の反射面２２ａ）と、この反射面２２ａの外径側に配設され、互いに傾斜角の異なる反射面（第２の反射面２２ｂ）とを備えてなる。この実施形態では、第１の反射面２２ａは通過光Ｌ２の進行方向に対して４５°の傾斜角（入射角）を有し、かつ、この反射面２２ａに対して９０°傾斜した第２の反射面２２ｂに４５°の入射角をもって入射および反射するよう、軸受部材６（流路１０）に対する配置位置（姿勢）が設定されている。
【００４１】
このように、通過光Ｌ２を反射面２２ａ（あるいは反射面２２ｂ）で反射してその進行方向を変えることで、光の照射方向と認識方向とを異ならせることができる。図６の例でいえば、流路１０を通過した光Ｌ２を第１の反射面２２ａで反射させ、かつこの反射した通過光（反射光）Ｌ３を第２の反射面２２ｂで反射させることで、反射前の通過光Ｌ２と平行でその進行方向が逆となる通過光Ｌ４をＣＣＤカメラ２３で受光、認識することができる。そのため、光源の設置スペースと受光部（図６ではＣＣＤカメラ２３）の設置スペースとが重複するのを避けて、各々の工程を実施することができる。あるいは、第１の反射面２２ａのみを有する反射部材２２を用いる場合でも、第１の反射面２２ａで反射した通過光Ｌ３の進行方向延長線上にＣＣＤカメラ２３等の受光部を円周方向に移動させながら受光することで、通過光Ｌ３の認識および判定を行うことができる。
【００４２】
また、以上説明した判定方法は、上記例示の動圧軸受装置１に限らず、種々の形態をなす流体軸受装置に適用可能である。
【００４３】
例えば、循環路を構成する軸方向の流路１０に関し、かかる流路１０は必ずしも軸方向にわたって寸法一定である必要はない。主たる循環方向や優先的に保持すべき位置に応じて、その流路径（サイズ）の異ならせた複数の部分的な流路を軸方向に連続して設けた流路を判定の対象とすることも可能である。あるいは、光が通過可能である限りにおいて、途中で屈曲した部分を有する流路についても判定の対象とすることができる。
【００４４】
また、軸受スリーブ８の固定手段は特に限定されず、例示の接着（ルーズ接着のほか圧入接着を含む）のほか、圧入、溶着など適宜の手段を使用することが可能であり、何れの場合においてもこれらサブアッシー（軸受部材６）に対して本発明に係る判定方法を適用することが可能である。
【００４５】
また、以上の説明では、底部７ｂを一体に形成したハウジング７に本発明に係る判定方法を適用した場合を説明したが、底部７ｂを別体に形成し、後付けで固定したハウジングに対しても本発明を適用できることはもちろんである。
【００４６】
また、以上の説明では、ハウジング７と軸受スリーブ８との間に形成した流路１０の形成良否について判定する場合を説明したが、本発明に係る方法であれば、併せて、両部材７，８間の接着の良否や圧入の良否（隙間なく接着あるいは圧入されているか否か）についても判定することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の一実施形態に係る動圧軸受装置を組込んだスピンドルモータの断面図である。
【図２】動圧軸受装置の断面図である。
【図３】ハウジングに軸受スリーブを固定してなる軸受部材の断面図である。
【図４】軸受部材を一端開口側から見た平面図である。
【図５】ハウジングと軸受スリーブとの間に形成される流体流路の良否判定工程の一例を概念的に示す断面図である。
【図６】流体流路の良否判定工程の他の例を概念的に示す断面図である。
【符号の説明】
【００４８】
１      動圧軸受装置
２      軸
６      軸受部材
７      ハウジング
７ｂ    底部
７ｂ１  上底面
７ｃ    内周面
８      軸受スリーブ
８ｂ    下端面
８ｃ    外周面
８ｃ１  軸方向溝
１０    流路
２１    遮蔽部材
２２    反射部材
２２ａ、２２ｂ  反射面
２３    ＣＣＤカメラ
Ｌ１    照射光
Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４  通過光
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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