(57)【要約】【課題】ロールブラシのブラシ軸の一端部と他端部を、ブラシ軸に応力を加えることなく確実に回転可能に支持することができるブラシ洗浄装置を提供することにある。【解決手段】ブラシ軸３１にブラシ部３４が設けられた一対のロールブラシ１４，１５を有し、所定方向に搬送される基板を一対のロールブラシ間に通して洗浄するブラシ洗浄装置であって、  ブラシ軸の一端部を回転可能に支持したラジアル軸受と、ラジアル軸受によって回転可能に支持されたブラシ軸の一端部に連結されブラシ軸を回転駆動する回転駆動源と、外周面が凸状曲面４６に形成されその凸状曲面によってブラシ軸の他端部の外周面を点接触によって回転可能に支持する一対の支持ローラ４５を具備する。【選択図】      図７
2008307479.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ブラシ軸にブラシ部が設けられた一対のロールブラシを有し、所定方向に搬送される基板を上記一対のロールブラシ間に通して洗浄するブラシ洗浄装置であって、
上記ブラシ軸の一端部を回転可能に支持したラジアル軸受と、
このラジアル軸受によって回転可能に支持された上記ブラシ軸の一端部に連結されこのブラシ軸を回転駆動する回転駆動源と、
外周面が凸状の曲面に形成されその曲面によって上記ブラシ軸の他端部の外周面を点接触によって回転可能に支持する一対の支持ローラと
を具備したことを特徴とするブラシ洗浄装置。
【請求項２】
一対のロールブラシのブラシ軸の一端部を回転可能に支持したラジアル軸受はそれぞれ第１の可動体に設けられ、一対の第１の可動体は第１のガイド手段によって上下方向に移動可能に設けられ、
上記ブラシ軸の他端部を回転可能に支持した一対の支持ローラはそれぞれ第２の可動体に設けられ、一対の第２の可動体は第２のガイド手段によって上下方向に移動可能に設けられていて、
上記一対の第１の可動体はそれぞれ上下駆動手段によって上記第１のガイド手段に沿う上下方向に駆動され、各第１の可動体に対応する各第２の可動体の上記第２のガイド手段に沿う上下動はそれぞれ動力伝達手段によって各々の第１の可動体の上下動に連動する構成であることを特徴とする請求項１記載のブラシ洗浄装置。
【請求項３】
上記動力伝達手段は、
軸線を上記ロールブラシの軸線と平行にして配置された連動軸と、
この連動軸を回転駆動する連動用駆動源と、
上記連動軸の上記ロールブラシのブラシ軸の一端部に対応する部分に設けられた第１の回転カム体と、
上記連動軸の上記ロールブラシのブラシ軸の他端部に対応する部分に設けられた第２の回転カム体と、
下端に上記第１の回転カム体と第２の回転カム体とに形成されたカム面にそれぞれ当接するカムフォロアが設けられ上端が上記第１の可動体と第２の可動体とにそれぞれ連結されていて、上記各回転カム体が上記連動軸とともに上記連動用駆動源によって回転駆動されることで上下動する一対の駆動部材と
を具備したことを特徴とする請求項２記載のブラシ洗浄装置。
【請求項４】
上記回転カム体は、盤状体を有し、この盤状体の一側面に凹部によって外周面が上記カム面となったカム部が形成されていることを特徴とする請求項３記載のブラシ洗浄装置。
【請求項５】
上記ブラシ軸の少なくとも上記回転駆動源が連結される一端には継ぎ手によって支軸が分解可能に連結されるようになっていて、
上記継ぎ手は上記支軸の末端に設けられた上記ブラシ軸と同径のフランジを有し、このフランジは上記ブラシ軸の端面に結合手段によって取付け固定される構成であって、
上記フランジの端面と、このフランジが取付け固定される上記ブラシ軸の端面のどちらか一方には凸部が形成され、他方には上記凸部が嵌合する凹部が形成されていることを特徴とする請求項１記載のブラシ洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は所定方向に搬送される基板を一対のロールブラシによってブラシ洗浄処理するブラシ洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置に用いられるガラス製の基板には回路パターンが形成される。基板に回路パターンを形成するにはリソグラフィープロセスが採用される。リソグラフィープロセスは周知のように上記基板にレジストを塗布し、このレジストに回路パターンが形成されたマスクを介して光を照射する。
【０００３】
つぎに、レジストの光が照射されない部分或いは光が照射された部分を除去し、レジストが除去された部分をエッチングする。そして、エッチング後に基板からレジストを除去するという一連の工程を複数回繰り返すことで、上記基板に回路パターンを形成する。
【０００４】
このようなリソグラフィープロセスにおいては、上記基板に現像液、エッチング液或いはエッチング後にレジストを除去する剥離液などの処理液によって基板を処理する工程、さらに処理液による処理後に洗浄液によって洗浄する工程が必要となる。
【０００５】
基板を洗浄する洗浄工程において、たとえば基板に付着した処理液を洗浄除去するような場合には、処理槽内を搬送される基板に対し、シャワーノズルによって洗浄液を噴射することで、基板から処理液を洗浄除去することが可能である。
【０００６】
しかしながら、基板にパーティクルなどの汚れが強固に付着しているような場合、基板に単に洗浄液を噴射するだけでは汚れを確実に洗浄除去することができない。したがって、そのような場合には処理槽内を搬送される基板をロールブラシによって洗浄するということが行われる。
【０００７】
上記ロールブラシはブラシ軸を有し、このブラシ軸の両端部を除く部分にはブラシ毛を有するブラシ部が設けられている。上記ブラシ軸の両端部には継ぎ手を介して支軸が連結される。一対の支軸はそれぞれ軸受体に回転可能に支持されている。各軸受体は洗浄槽内に設けられた架台などの取付け部に取付け固定されている。
【０００８】
最近では基板が大型化する傾向にある。基板が大型化すると、上記ロールブラシは基板の幅寸法に応じて長尺化することになる。ロールブラシが長尺化すると、このブラシ軸の両端部に連結される支軸を回転可能に支持するための一対の軸受体の間隔が大きくなる。
【０００９】
一対の軸受体の間隔が大きくなると、これら軸受体の軸芯を高精度に一致させて設けることが難しくなる。一対の軸受体の軸芯が高精度に一致していないと、これら軸受体に支持されたロールブラシが円滑に回転しなくなり、上記支軸や軸受体が早期に損傷することになる。
【００１０】
そこで、特許文献１に示されるように上記ロールブラシが支持されるフレームに、同一垂直面上に位置し、しかも水平方向に所定間隔で離間する平坦面を有する第１の取付け部と第２の取付け部を設ける。そして、第１の取付け部と第２の取付け部に、上部ロールブラシのブラシ軸の両端部に設けられた支軸を回転可能に支持する一対の第１の軸受体と、下部ロールブラシのブラシ軸の両端部に設けられた支軸を回転可能に支持する一対の第２の軸受体をそれぞれ設けるようにしている。
【特許文献１】特開２００６−１１６４６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ところで、特許文献１に示された従来技術によると、第１の軸受体と第２の軸受体を設けるための上記第１の取付け部と第２の取付け部を、同一垂直面上に位置させ、しかも水平方向に所定間隔で離間するよう上記フレームに設けなければならない。
【００１２】
しかしながら、フレームに設けられる第１の取付け部と第２の取付け部が同一垂直面上からずれていると、各取付け部に取付けられる各一対の第１、第２の軸受体の軸芯にもずれが生じることになる。
【００１３】
各一対の第１、第２の軸受体の軸芯にずれが生じると、これら軸受体によってブラシ軸の両端部に設けられる支軸を支持したときに、支軸を介して第１、第２の軸受体に支持された支軸やブラシ軸に応力が加わることになる。
【００１４】
支軸やブラシ軸に応力が加わった状態で、ロールブラシが長時間にわたって回転駆動されると、その応力によって支軸やブラシ軸にクラックが発生したり、そのクラックの部分から破断するという虞がある。さらに、支軸やブラシ軸に生じた応力は軸受体に作用するから、その軸受体が早期に損傷する原因になるということもある。
【００１５】
この発明は、ロールブラシのブラシ軸の一端部と他端部とを支持する位置が高精度に一致しなくとも、上記ロールブラシのブラシ軸に応力が発生することがないようにしたブラシ洗浄装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
この発明は、ブラシ軸にブラシ部が設けられた一対のロールブラシを有し、所定方向に搬送される基板を上記一対のロールブラシ間に通して洗浄するブラシ洗浄装置であって、
上記ブラシ軸の一端部を回転可能に支持したラジアル軸受と、
このラジアル軸受によって回転可能に支持された上記ブラシ軸の一端部に連結されこのブラシ軸を回転駆動する回転駆動源と、
外周面が凸状の曲面に形成されその曲面によって上記ブラシ軸の他端部の外周面を点接触によって回転可能に支持する一対の支持ローラと
を具備したことを特徴とするブラシ洗浄装置にある。
【００１７】
一対のロールブラシのブラシ軸の一端部を回転可能に支持したラジアル軸受はそれぞれ第１の可動体に設けられ、一対の第１の可動体は第１のガイド手段によって上下方向に移動可能に設けられ、
上記ブラシ軸の他端部を回転可能に支持した一対の支持ローラはそれぞれ第２の可動体に設けられ、一対の第２の可動体は第２のガイド手段によって上下方向に移動可能に設けられていて、
上記一対の第１の可動体はそれぞれ上下駆動手段によって上記第１のガイド手段に沿う上下方向に駆動され、各第１の可動体に対応する各第２の可動体の上記第２のガイド手段に沿う上下動はそれぞれ動力伝達手段によって各々の第１の可動体の上下動に連動する構成であることが好ましい。
【００１８】
上記動力伝達手段は、
軸線を上記ロールブラシの軸線と平行にして配置された連動軸と、
この連動軸を回転駆動する連動用駆動源と、
上記連動軸の上記ロールブラシのブラシ軸の一端部に対応する部分に設けられた第１の回転カム体と、
上記連動軸の上記ロールブラシのブラシ軸の他端部に対応する部分に設けられた第２の回転カム体と、
下端に上記第１の回転カム体と第２の回転カム体とに形成されたカム面にそれぞれ当接するカムフォロアが設けられ上端が上記第１の可動体と第２の可動体とにそれぞれ連結されていて、上記各回転カム体が上記連動軸とともに上記連動用駆動源によって回転駆動されることで上下動する一対の駆動部材と
を具備したことが好ましい。
【００１９】
上記回転カム体は、盤状体を有し、この盤状体の一側面に凹部によって外周面が上記カム面となったカム部が形成されていることが好ましい。
【００２０】
上記ブラシ軸の少なくとも上記回転駆動源が連結される一端には継ぎ手によって支軸が分解可能に連結されるようになっていて、
上記継ぎ手は上記支軸の末端に設けられた上記ブラシ軸と同径のフランジを有し、このフランジは上記ブラシ軸の端面に結合手段によって取付け固定される構成であって、
上記フランジの端面と、このフランジが取付け固定される上記ブラシ軸の端面のどちらか一方には凸部が形成され、他方には上記凸部が嵌合する凹部が形成されていることが好ましい。
【発明の効果】
【００２１】
この発明によれば、ロールブラシのブラシ軸の一端部をラジアル軸受によって回転可能に支持し、他端部は一対の支持ローラの凸状の曲面に外周面を点接触させて支持するため、ブラシ軸の一端部と他端部とを支持する左右一対の支持位置に水平方向や垂直方向のずれがあっても、そのずれは他端部の支持ローラによる支持構造によって吸収される。
【００２２】
それによって、回転可能に支持されたロールブラシのブラシ軸に応力が発生するのが防止されるから、ブラシ軸の損傷やブラシ軸の一端部を回転可能に支持したラジアル軸受の損傷を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、この発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
【００２４】
図１は横型のブラシ洗浄装置を示す縦断面図であって、このブラシ洗浄装置は処理槽１を備えている。この処理槽１内には図２に示すように複数の搬送ローラ２からなる搬送機構３が設けられている。これらの搬送ローラ２は図示しない駆動機構によって所定方向に回転駆動される。
【００２５】
上記処理槽１の一端には搬入口４が形成され、この搬入口４から処理槽１内に、たとえば液晶表示パネルなどに用いられるガラス製の基板Ｗが搬入される。処理槽１内に搬入された基板Ｗは回転駆動される上記搬送ローラ２によって搬送され、上記処理槽１の他端に形成された搬出口５から搬出されるようになっている。
【００２６】
図１に示すように、上記処理槽１は上面に形成された開口部７が蓋体６によって開閉できる構成となっている。上記処理槽１内には、この処理槽１内を上記搬送ローラ２によって搬送される基板Ｗをブラシ洗浄する２つのブラシユニット１１（図２に示す）が基板Ｗの搬送方向に沿って所定間隔で離間して設置されている。上記処理槽１の底部は排液管８を介して廃液タンク９に接続されている。
【００２７】
上記ブラシユニット１１は、図３乃至図５に示すように第１の支持体１２と第２の支持体１３とによって軸方向の一端部と他端部とが後述するように軸線を平行にして支持された上部ロールブラシ１４と下部ロールブラシ１５を有する。
【００２８】
各支持体１２，１３は矩形状のベース板１７を有する。ベース板１７の上面には、それぞれ第１、第２のガイド手段を構成する断面形状がコ字状のガイド部材１８が立設されている。図６と図７に示すように、各ガイド部材１８の内面の上部にはリニアガイドレール１９が上下方向に沿って設けられている。
【００２９】
第１の支持体１２には第１の上部可動体２１と第１の下部可動体２２が上下方向に移動可能に設けられ、第２の支持体１３には第２の上部可動体２３と第２の下部可動体２４が上下方向に移動可能に設けられている。
【００３０】
各可動体２１〜２４は上記リニアガイドレール１９にスライド可能に係合したスライダ２５を有する。各スライダ２５には取付け板２６が板面を垂直にして設けられている。図６に示すように、第１の上部可動体２１と第１の下部可動体２２の取付け板２６にはそれぞれ一対のラジアル軸受２８（第１の上部可動体２１のみ図示）が軸芯を水平方向に一致させて設けられている。一対のラジアル軸受２８はカバー２９によって覆われている。図６は第１の下部可動体２２がカバー２９によって覆われ、第１の上部可動体２１はカバー２９が取り外されている状態を示している。  
なお、図４と図５は第１の上部可動体２１と第１の下部可動体２２がそれぞれカバー２９によって覆われている状態を示している。
【００３１】
各第１の上部可動体２１と第１の下部可動体２２の取付け板２６に設けられた各一対のラジアル軸受２８には上記上部ロールブラシ１４と下部ロールブラシ１５のブラシ軸３１の一端に後述する継ぎ手３２によって着脱可能に連結された第１の支軸３３が回転可能に支持されている。
【００３２】
なお、上記各ロールブラシ１４，１５のブラシ軸３１の両端部を除く部分の外周面は、たとえばブラシ毛を保持した保持部材をらせん状に巻装するなどしてブラシ部３４が形成されている。
【００３３】
上記上部ロールブラシ１４の第１の支軸３３は上記取付け板２６の幅方向の端部に設けられた第１の回転駆動源３５の回転軸３６に継ぎ手３７によって連結されている。上記下部ロールブラシ１５の第１の支軸３３は、同じく上記取付け板２６の幅方向の端部の上記第１の回転駆動源３５の下方に設けられた第２の回転駆動源３８の回転軸３９に継ぎ手４１によって連結されている。
【００３４】
図７に示すように、上記上部ロールブラシ１４と下部ロールブラシ１５のブラシ軸３１の他端には、上記第１の支軸３３をブラシ軸３１の一端に連結した上記継ぎ手３２と同じ構造の継ぎ手３２によって第２の支軸４２が着脱可能に連結されている。
【００３５】
上記上部ロールブラシ１４と下部ロールブラシ１５の第２の支軸４２は、上記第２の支持体１３に設けられた第２の上部可動体２３と第２の下部可動体２４にそれぞれ回転可能に支持されている。
【００３６】
すなわち、第２の上部可動体２３と第２の下部可動体２４の取付け板２６には一対の柱状の取付け部材４３がロールブラシ１４，１５の軸線と直交する水平方向に沿って所定間隔で設けられている。各取付け部材４３には、軸線を上記各ロールブラシ１４，１５の軸線と平行にして取付け軸４４が設けられ、各取付け軸４４には支持ローラ４５が回転可能に取付けられている。
【００３７】
図１３に示すように、上記支持ローラ４５の外周面は凸状曲面４６に形成されている。そして、上記第２の支軸４２は、上記一対の支持ローラ４５の凸状曲面４６によって点接触によって回転可能に支持されている。それによって、第２の支軸４２は一対の支持ローラ４５に対して軸線方向に移動可能であり、しかも軸線方向と交差する方向に対して揺動可能となっている。
【００３８】
一対の取付け部材４３には一対の支持ローラ４５によって支持された上記第２の支軸４２よりも上の部分に横部材４８が図示しないねじによって着脱可能に取付けられている。この横部材４８には一対の支持ローラ４５によって支持された第２の支軸４２が上記支持ローラ４５から大きく浮き上がるのを防止する押えローラ４９がねじ軸５１によって回転可能に設けられている。つまり、押えローラ４９は第２の支軸４２の外周面に対して非接触状態となっているが、各ロールブラシ１４，１５の重量によって第２の支軸４２が支持ローラ４５から浮き上がるのが防止されている。
【００３９】
このように、第１の支軸３３がラジアル軸受２８によって回転可能に支持され、第２の支軸４２が一対の支持ローラ４５によって回転可能に支持された上部ロールブラシ１４と下部ロールブラシ１５は、上記第１の回転駆動源３５と第２の回転駆動源３８が作動することによってそれぞれ回転駆動されるようになっている。
【００４０】
上記ブラシ軸３１の一端と他端とに上記第１の支軸３３と第２の支軸４２を連結するそれぞれの継ぎ手３２は図１２に示す構造となっている。すなわち、ブラシ軸３１の一端に接続される第１、第２の支軸３３，４２の先端には上記ブラシ軸３１と同じ外形寸法のフランジ５２が設けられている。このフランジ５２には周方向に所定間隔で複数、たとえば４つの通孔５３（２つだけ図示）が穿設されている。上記フランジ５２の上記ブラシ軸３１の一端面に接続される端面には円盤状の凸部５４が設けられている。
【００４１】
上記ブラシ軸３１の一端面には上記凸部５４が嵌合する凹部５５及びこの凹部５５の周辺部に上記通孔５３と対応して複数のねじ孔５６が形成されている。そして、上記第１、第２の支軸３３，４２はフランジ５２の凸部５４をブラシ軸３１の凹部５５に嵌合させてそのフランジ５２をブラシ軸３１の一端面に接触させ、通孔５３から上記ねじ孔５６に結合手段としての連結ねじ５７を螺合して着脱可能に連結されている。
【００４２】
このような連結構造によれば、ブラシ軸３１に対するフランジ５２の連結ねじ５７による連結方向が基板Ｗを洗浄するときにブラシ軸３１に加わる振動方向と直交しており、しかもフランジ５２に設けられた凸部５４がブラシ軸３１に設けられた凹部５５に嵌合しているから、これらのことによってブラシ軸３１に生じる振動がこのブラシ軸３１と第１、第２の支軸３３，４２との連結部分によって増幅され難くなっている。
【００４３】
上記上部ロールブラシ１４と下部ロールブラシ１５は長尺化によって高重量となるから、第１、第２の支持体１２，１３から図１４乃至図１６に示す取り外し用治具５８を用いて取り外すようになっている。上記取り外し用治具５８は吊り上げ軸５９と、この吊り上げ軸５９の両端に設けられ上記ブラシ軸３１の両端部に着脱可能に係合するフック６１とによって構成されている。
【００４４】
そして、上記フック６１を上部ロールブラシ１４のブラシ軸３１の両端部に係合させたならば、上記吊り上げ軸５９にチェーンブロックのフック（ともに図示せず）を係合させた後、上記第１の支軸３３のフランジ５２をブラシ軸３１の一端にした連結ねじ５７を取り外し、ブラシ軸３１から第１の支軸３３を分解する。
【００４５】
ついで、第２の支軸４２を支持ローラ４５から浮き上がらないよう保持した押えローラ４９が設けられた横部材４８を取付け部材４３から取り外したならば、チェーンブロックを巻き上げて上部ロールブラシ１４を上記取り外し用治具５８によって吊り上げれば、上記上部ロール１４を一対の支持体１２，１３から取り外すことができる。
【００４６】
上部ロールブラシ１４を取り外した後、下部ロールブラシ１５も同様にして一対の支持体１２，１３から取り外すことができる。それによって、上部ロールブラシ１４と下部ロールブラシ１５が長尺化して高重量となっても、これらロールブラシ１４，１５の修理点検や交換作業を容易に行なうことができるようになっている。
【００４７】
上記基板Ｗは上記上部ロールブラシ１４と下部ロールブラシ１５との間を搬送される。上部ロールブラシ１４と下部ロールブラシ１５の間隔は、基板Ｗの厚さや洗浄条件などに応じてこれらロールブラシ１４，１５を上下駆動手段６３によって上下方向に駆動することによって設定できるようになっている。
【００４８】
上記上下駆動手段６３は、第１の支持体１２に設けられた第１の上部可動体２１と第１の下部可動体２２をガイド部材１８に沿って上下駆動するようになっていて、第１の上部可動体２１と第１の下部可動体２２が上下動すると、その上下動が動力伝達手段６４によって第２の支持体１３に設けられた第２の上部可動体２３と第２の下部可動体２４に伝達されるようになっている。
【００４９】
上記上下駆動手段６３は、図８と図９に示すように第１の支持体１２のベース板１７の下面に設けられた上部上下用駆動源６５と下部上下用駆動源６６を有する。各駆動源６５，６６の回転軸６５ａ，６６ａにはそれぞれ第１のカム軸６７の一端が連結されている。各第１のカム軸６７は上記ベース板１７の下面に設けられた各一対の軸受部材７０によって回転可能に支持されている。
【００５０】
一対の第１のカム軸６７には第１の回転カム体６８がそれぞれ設けられている。この第１の回転カム体６８は図１１に示すように盤状体６９を有し、この盤状体６９の一側面には円弧状の凹部７１によって外周面がカム面７２となったカム部７３が形成されている。
【００５１】
一対の第１の回転カム体６８のカム面７２には、第１の駆動部材７５の下端部に回転可能に設けられたカムフォロア７６が係合している。上記凹部７１の内周面と上記カム面７２との間隔は上記カムフォロア７６の外形寸法とほぼ同じなるよう設定されている。
【００５２】
それによって、上記カムフォロア７６の外周面とカム面７２との接触状態が離れることなく保持されるから、カムフォロア７６が設けられた第１の駆動部材７５が上下方向に自由に動くのが規制されている。
【００５３】
図８に示すように、上記一対の第１の駆動部材７５は上記ベース板１７に形成された開口部１７ａからこのベース板１７の上面側に突出している。上部上下用駆動源６５によって回転駆動される第１の回転カム体６８の回転に連動して上下動する一方の第１の駆動部材７５の上端は第１の支持体１２に設けられた第１の上部可動体２１に連結され、下部上下用駆動源６６によって回転駆動される第１の回転カム体６８の回転に連動して上下動する他方の第１の駆動部材７５の上端は第１の下部可動体２２に連結されている。
【００５４】
したがって、上部上下用駆動源６５によって第１の回転カム体６８が回転駆動されれば、その回転によって第１の上部可動体２１を第１の支持体１２に設けられたリニアガイド１９に沿って上昇方向或いは下降方向に駆動することができ、下部上下用駆動源６６によって第１の回転カム体６８が回転駆動されれば、その回転によって第１の下部可動体２２を同じく上昇方向或いは下降方向に駆動することができるようになっている。
【００５５】
上記第１の上部可動体２１と上記第１の下部可動体２２の上下動は、上記動力伝達手段６４によって第２の支持体１３に設けられた上記第２の上部可動体２３と上記第２の下部可動体２４に伝達される。それによって、第２の支持体１３に設けられた第２の上部可動体２３と第２の下部可動体２４は、上記第１の上部可動体２１と上記第１の下部可動体２２の上下動に連動するようになっている。
【００５６】
上記動力伝達手段６４は一対の第１のカム軸６７の他端に一端を継ぎ手７７によって着脱可能に連結した一対の連動軸７８を有する。各連動軸７８の他端には図１０に示すようにそれぞれ第２のカム軸７９の一端が継ぎ手８０によって分解可能に連結されている。一対の第２のカム軸７９にはそれぞれ第２の回転カム体８１が設けられている。第２の回転カム体８１は図１１に示す上記第１の回転カム体６８と同じ構造であるので説明は省略する。
【００５７】
上記第２のカム軸７９は上記第２の支持体１３のベース板１７の下面に設けられた一対の軸受部材８２によって回転可能に支持されている。各第２の回転カム体８１のカム面７２には第２の駆動部材８３（図４、図５に示す）の下端に回転可能に設けられたカムフォロア８４が係合している。
【００５８】
一対の第２の駆動部材８３は上記ベース板１７に形成された開口部１７ａ（図１０に示す）から上面側に突出している。図４と図５に示すように、上部上下用駆動源６５によって回転駆動される一方の連動軸７８側の第２の回転カム体８１によって上下駆動される一方の第２の駆動部材８３の上端は第２の上部可動体２３に連結され、他方の第２の駆動部材８３の上端は第２の下部可動体２４に連結されている。
【００５９】
すなわち、上記上部上下用駆動源６５と下部上下用駆動源６６が作動して第１のカム軸６７が回転駆動されれば、その回転が連動軸７８を介して第２のカム軸７９に伝達されるから、第１の回転カム体６８と第２の回転カム体８１とが連動して回転する。
【００６０】
第１の回転カム体６８と第２の回転カム体８１とが連動して回転すれば、これらカム体６８，８１によって第１の駆動部材７５と第２の駆動部材８３が連動して上下動するから、第１の支持体１２と第２の支持体１３に設けられた第１の上部可動体２１と第２の上部可動体２３及び第１の下部可動体２２と第２の下部可動体２４が連動して上下動する。
【００６１】
したがって、各一対の上部可動体２１，２３及び下部可動体２２，２４の上下動に連動して上部ロールブラシ１４と下部ロールブラシ１５をそれぞれ水平な状態で上下動させることができるようになっている。
【００６２】
図１０に示すように、一対の第２のカム軸７９にはそれぞれ駆動回転歯車８６が設けられ、これら駆動回転歯車８６の回転は従動回転歯車８７に伝達される。従動回転歯車８７は、上記第２の支持体１３のベース板１７の下面に回転可能に支持された支軸８８に設けられている。この支軸８８には複数の角度検出円板８９が所定間隔で設けられている。各角度検出円板８９には図示しない切り欠きが設けられている。各角度検出円板８９はそれぞれの切り欠きが周方向に角度をずらして上記支軸８８に設けられている。
【００６３】
上記ベース板１７には上記各角度検出円板８９に対向して各角度検出円板８９の切り欠きを検出する４つの検出センサ９０が設けられている。これら検出センサ９０は、第２のカム軸７９が回転し、その回転が駆動回転歯車８６と従動回転歯車８７を介して上記支軸８８に伝達され、この支軸８８とともに角度検出円板８９が回転すると、角度検出円板８９の切り欠きを検出した１つの検出センサ９０によって、そのときの第２のカム軸７９の回転角度、つまり第２のカム軸７９が連結された連動軸７８を介して上部上下用駆動源６５と下部上下用駆動源６６とによって回転駆動される一対の第１のカム軸６７の回転角度が検出される。
【００６４】
上記上部上下用駆動源６５と下部上下用駆動源６６は検出センサ９０からの検出信号によって駆動が制御される。それによって、上部ロールブラシ１４と下部ロールブラシ１５の上下方向の位置、つまり上部ロールブラシ１４と下部ロールブラシ１５の間隔を基板Ｗの厚さや洗浄条件などによって設定することができる。
【００６５】
図３に示すように、第１の支持体１２と第２の支持体１３とのベース板１７の下面はそれぞれ下部カバー９１によって覆われ、上面側は上部カバー９２によって覆われている。それによって、上記ベース板１７の下面と上面に設けられた各種の部品が覆い隠されている。
【００６６】
図２に示すように上記上部ロールブラシ１４や洗浄される基板Ｗの上面にはノズル体９３によって洗浄液が供給される。図３乃至図５に示すように、各ロールブラシ１４，１５のブラシ軸３１の一端と他端に連結された第１、第２の支軸３３，４２には供給された洗浄液が各支軸３３，４２を伝わって処理槽１の外部に流れるのを阻止する一対の液止め部材９４が設けられている。
【００６７】
このような構成のブラシ洗浄装置によれば、上部ロールブラシ１４のブラシ軸３１の一端に設けられた第１の支軸３３は第１の回転駆動源３５の回転軸３６に連結し、他端に設けられた第２の支軸４２は第２の上部可動体２３に設けられた一対の支持ローラ４５の凸状曲面４６によって点接触で支持するようにした。
【００６８】
同様に、下部ロールブラシ１５のブラシ軸３１の一端に設けられた第１の支軸３３は第２の回転駆動源３８の回転軸３９に連結し、他端に設けられた第２の支軸４２は第２の上部可動体２３に設けられた一対の支持ローラ４５の凸状曲面４６によって点接触で支持するようにした。
【００６９】
そのため、各ブラシ軸３１の一端の第１の支軸３３と、他端の第２の支軸４２を支持する位置が水平方向や垂直方向にずれがあったとしても、第２の支軸４２を一対の支持ローラ４５の凸状曲面４６によって点接触で支持するようにしたことで、この第２の支軸４２がずれに応じて変位して吸収される。
【００７０】
つまり、第２の支軸４２は、一対の支持ローラ４５の凸状曲面４６との接触点を支点として水平方向及び垂直方向に対してそれぞれ揺動可能に支持されている。そのため、各ブラシ軸３１の一端の第１の支軸３３と、他端の第２の支軸４２を指示する位置にずれがあっても、そのずれは第２の支軸４２が揺動変位して吸収されるから、第１、第２の支軸３３，４２やこれら支軸３３，４２が連結された各ロールブラシ１４，１５のブラシ軸３１に応力が加わることがない。
【００７１】
したがって、各ロールブラシ１４，１５が長時間にわたって回転駆動されても、ブラシ軸３１や第１、第２の支軸３３，４２が応力によってクラックが発生したり、そのクラックの部分から破断するという虞がないばかりか、第１の支軸３３を支持したラジアル軸受２８が早期に損傷するということもない。
【００７２】
上記上部ロールブラシ１４のブラシ軸３１の一端の第１の支軸３３を支持した第１の上部可動体２１と、下部ロールブラシ１５のブラシ軸３１の一端の第１の支軸３３を支持した第１の下部可動体２２がガイド部材１８のリニアガイドレール１９に沿って上下動すると、その上下動は動力伝達手段６４によって各ロールブラシ１４，１５のブラシ軸３１の他端に連結された第２の支軸３３を回転可能に支持した第２の上部可動体２３と第２の下部可動体２４が連動する。
【００７３】
それによって、上部ロールブラシ１４と下部ロールブラシ１５のブラシ軸３１の一端と他端に設けられた第１の支軸３３と第２の支軸４２は、それぞれ上下方向に同じ距離だけ駆動されるから、上部ロールブラシ１４と下部ロールブラシ１５を水平に上下動させることができる。
【００７４】
つまり、上部ロールブラシ１４と下部ロールブラシ１５の間隔を調整する際、これらロールブラシ１４，１５を水平に上下動させることができるから、上記間隔を軸方向全長にわたって均一に設定することが可能となる。つまり、上部ロールブラシ１４と下部ロールブラシ１５を平行に上下動させることができる。
【００７５】
上記上部ロールブラシ１４と下部ロールブラシ１５との上下駆動は、それぞれ一対の第１、第２の第１の回転カム体６８，８１を上部上下用駆動源６５と下部上下用駆動源６６とで回転駆動する。そして、その回転を上記第１、第２の回転カム体６８，８１のカム面７２に係合するカムフォロア７６が下端に設けられた第１の駆動部材７５と第２の駆動部材８３によって上下動に変換し、その上下動を第１の上部可動体２１と第１の下部可動体２２及び第１、第２の下部可動体２２，２４に伝達するようにした。
【００７６】
上記第１、第２の第１の回転カム体６８，８１のカム面７２は凹部７１によって形成され、上記カムフォロア７６は上記凹部７１に入れられて上記カム面７２に係合している。そして、凹部７１の径方向に沿う寸法と、カムフォロア７６の外径寸法がほぼ同じに設定されているから、カムフォロア７６とカム面７２との接触状態が確実に維持される。
【００７７】
つまり、上部ロールブラシ１４と下部ロールブラシ１５との間に基板Ｗを通して洗浄する際、上部ロールブラシ１４や下部ロールブラシ１５、とくに上部ロールブラシ１４を押し上げる力が発生しても、その力によってカムフォロア７６がカム面７２から浮き上がり第１、第２の上部可動体２１，２３、つまり上部ロールブラシ１４が上方へ変位することがない。
【００７８】
それによって、上部ロールブラシ１４と下部ロールブラシ１５との間隔が常に一定に維持されるから、これらロールブラシ１４，１５による基板Ｗの洗浄を確実に行なうことが可能となる。
【００７９】
各ロールブラシ１４，１５は、ブラシ軸３１の一端に第１の支軸３３を分解可能に連結し、他端に第２の支軸４２を分解可能に連結し、これら第１の支軸３３をラジアル軸受２８に回転可能に支持し、第２の支軸４２を支持ローラ４５によって回転可能に支持するようにしている。
【００８０】
回転可能に支持される第１、第２の支軸３３，４２は長期の使用によって損耗することがあるから、損耗したときには交換できるよう分解可能な構成にしている。そして、ブラシ軸３１に対して第１、第２の支軸３３，４２を分解自在に接続する構成であると、その接続部分で各ロールブラシ１４，１５に加わる振動が増幅される虞がある。
【００８１】
しかしながら、上記第１、第２の支軸３３，４２とブラシ軸３１との連結構造は、支軸３３，４２にフランジ５２を設け、このフランジ５２を上記ブラシ軸３１の端面に接触させてねじ５１によって結合するようにした。しかもフランジ５２には凸部５４を形成し、ブラシ軸３１の端面には上記凸部５４が嵌合する凹部５５を形成した。
【００８２】
つまり、ブラシ軸３１と支軸３３，４２のフランジ５２は、ねじ５１及び凸部５４と凹部５５の嵌合によって径方向と直交する方向である、軸方向に対して結合されているから、基板Ｗの洗浄時に各ロールブラシ１４，１５が径方向に振動しても、その振動がブラシ軸３１と支軸３３，４２との軸方向に連結された結合部分によって増幅されるのを防止することができる。
【００８３】
上記一実施の形態では一対の支持ローラによって支持された第２の支軸を押えローラによって支持ローラから浮き上がるのを防止するようにしたが、ロールブラシは長尺化すると高重量化するから、押えローラを設けなくとも、その重量によって浮き上がるのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８４】
【図１】この発明の一実施の形態を示すブラシユニットが組み込まれたブラシ洗浄装置の縦断面図。
【図２】ブラシ洗浄装置の概略的構成図。
【図３】ブラシユニットを斜め上方から見た斜視図。
【図４】ブラシユニットを斜め下方から見た斜視図。
【図５】一対の支持体からカバーを取り外したブラシユニットを斜め下方から見た斜視図。
【図６】一対のロールブラシのブラシ軸の一端に連結された第１の支軸の支持構造を示す斜視図。
【図７】一対のロールブラシのブラシ軸の他端に連結された第２の支軸の支持構造を示す斜視図。
【図８】第１の支持体に設けられた第１の上部可動体と第１の下部可動体を上下駆動する上下駆動手段を示す斜視図。
【図９】上下駆動手段を拡大して示す斜視図。
【図１０】第２の支持体の第２の回転カム体が設けられた部分の拡大斜視図。
【図１１】第１、第２の回転カム体を示す正面図。
【図１２】ブラシ軸と支持軸との連結構造を示す図。
【図１３】第２の支軸を支持する支持ローラの断面図。
【図１４】取り外し用治具を用いて上部ロールブラシを取り外すときの斜視図。
【図１５】ブラシ軸の一端に取り外し用治具のフックを係合させた状態を示す斜視図。
【図１６】ブラシ軸の他端に取り外し用治具のフックを係合させた状態を示す斜視図
【符号の説明】
【００８５】
１１…ブラシユニット、１２…第１の支持体、１３…第２の支持体、１４…上部ロールブラシ、１５…下部ロールブラシ、２１…第１の上部可動体、２２…第１の下部可動体、２３…第２の上部可動体、２４…第２の下部可動体、２８…ラジアル軸受、３１…ブラシ軸、３２…継ぎ手、３３…第１の支軸、３４…ブラシ部、３５…第１の回転駆動源、３８…第２の回転駆動源、４２…支軸、４５…支持ローラ、４６…凸状曲面、４９…押えローラ、６３…上下駆動手段、６４…動力伝達手段、６５…上部上下用駆動源、６６…下部上下用駆動源、６８…第１の回転カム体、７１…凹部、７２…カム面、７３…カム部、７５…第１の駆動部材、７６…カムフォロア、７８…連動軸、８１…第２の回転カム体。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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