(57)【要約】【課題】電子部品の配線基板への位置ズレを精度良く検知し、少ない部品構成で安価に検知することができる位置ズレ検知バンプを設ける。【解決手段】配線基板４のドライバＩＣ５の実装領域において、配線１２の電極端子部１２ＡとドライバＩＣ５の接続端子５Ｂの位置ズレを検査する位置ズレ検出用バンプ５Ｃを備える。配線１１Ａに形成した特定の電極端子部１１Ａｂａは、その電極端子部１１Ａｂａと位置ズレ検出用バンプ５Ｃとの間隔が他の隣り合う電極端子部１２Ａ同士の間隔よりも小さい間隔となっている。特定の電極端子部１１Ａｂａは、配線１１Ａから突出する分岐部分１１Ａｂｂと、この分岐部分１１Ａｂｂに接続され前記方向に延びる幅狭部分１１Ａｂｃと、この幅狭部分１１Ａｂｃの先端に接続され電極端子部１２Ａが並んでいる方向に直交する方向に延びる延長部分１１Ａｂｄとを備える。【選択図】  図２
2008141022.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
配線基板は、複数の配線が形成され、前記各配線が複数の電極端子部が並んで設置された構成とされ、前記各電極端子部と、電子部品の各接続端子とが対応して電気的に接続される電子部品の接続構造であって、
前記電子部品は、その実装領域において、前記電極端子部と接続端子の位置ズレを検査する位置ズレ検出用のバンプが設けられ、
前記電極端子部のうち特定の電極端子部は、前記位置ズレ検出用のバンプとの間隔が他の隣り合う電極端子部同士の間隔よりも小さい間隔となる、前記電極端子部と接続端子の位置ズレを検査する検査部を備えていることを特徴とする電子部品の接続構造。
【請求項２】
前記検査部は、前記複数の電極端子部が並んでいる方向に直交する方向に延びる第１の部分を有することを特徴とする請求項１記載の電子部品の接続構造。
【請求項３】
前記第１の部分は、前記位置ズレ検出用のバンプを挟んで両側に設けられていることを特徴とする請求項２記載の電子部品の接続構造。
【請求項４】
前記検査部は、前記複数の電極端子部が並んでいる方向に延びる第２の部分を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の電子部品の接続構造。
【請求項５】
前記第２の部分は、前記位置ズレ検出用のバンプを挟んで両側に設けられていることを特徴とする請求項４記載の電子部品の接続構造。
【請求項６】
前記電子部品は、インクジェットヘッドに供給する駆動信号を生成する駆動回路ユニットであり、
前記インクジェットヘッドは、前記複数の圧力室に対応して個別電極及び圧電層が設けられる一方、前記圧電層を挟んで前記複数の圧力室に対して共通の内部電極が設けられ、前記個別電極及び内部電極に、前記配線基板の配線を通じて前記駆動信号が供給されるものであり、
前記特定の電極端子部の配線は、前記駆動回路ユニットに接続される配線であって、検査用信号を供給する配線であって、
前記駆動回路ユニットの実装領域において、前記特定の電極端子部との間隔が他の隣り合う電極端子部との間隔よりも小さくなるように前記位置ズレ検出用のバンプが設けられていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の電子部品の接続構造。
【請求項７】
前記電子部品は、インクジェットヘッドに供給する駆動信号を生成する駆動回路ユニットであり、
前記インクジェットヘッドは、前記複数の圧力室に対応して個別電極及び圧電層が設けられる一方、前記圧電層を挟んで前記複数の圧力室に対して共通の内部電極が設けられ、前記個別電極及び内部電極に、前記配線基板の配線を通じて前記駆動信号が供給されるものであり、
前記特定の電極端子部の配線は、前記内部電極に接続されるものであり、
前記駆動回路ユニットの実装領域において、前記特定の電極端子部の配線との間隔が他の隣り合う電極端子部との間隔より小さくなるように前記位置ズレ検出用のバンプが設けられていて、
前記位置ズレ検出用のバンプは、製造工程において、前記内部電極との間に所定の電圧を印加し、前記圧電層を分極する際に用いる前記配線に対応して接続する電子部品の接続端子であることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の電子部品の接続構造。
【請求項８】
前記特定の電極端子部は、前記接続端子が配列される方向の端付近に配置されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の電子部品の接続構造。
【請求項９】
配線基板は複数の配線が形成され、前記各配線は複数の電極端子部が並んで設置された構成とされ、前記配線基板の各電極端子部に、電子部品の各接続端子を接続した際に、それらの接続状態を検査する電子部品の接続検査方法であって、
前記電子部品は、その実装領域において、前記電極端子部と接続端子の位置ズレを検査する位置ズレ検出用のバンプを設け、
前記電極端子部のうち特定の電極端子部は、前記位置ズレ検出用のバンプと隣り合って並び、
前記配線基板の各電極端子部に前記電子部品の各接続端子を接続した際に、前記位置ズレ検出用のバンプを介しての、前記特定の電極端子部と隣の電極端子部との導通状態の有無により、前記接続状態を検査することを特徴とする電子部品の接続検査方法。
【請求項１０】
配線基板は、複数の配線が形成され、前記各配線が複数の電極端子部を並んで設置された構成とされ、前記配線基板の各電極端子部に、電子部品の各接続端子を接続した際に、それらの接続状態を検査する電子部品の接続検査方法であって、
前記電子部品は、その実装領域において、前記電極端子部と接続端子の位置ズレを検査する位置ズレ検出用のバンプを設け、
前記電極端子部のうち特定の電極端子部は、前記位置ズレ検出用のバンプと隣り合って並び、
前記配線基板の各電極端子部に前記電子部品の各接続端子を接続した際に、前記電子部品への所定の信号入力により、前記位置ズレ検出用のバンプを介しての、前記特定の電極端子部からの設定信号の出力の有無により、前記接続状態を検査することを特徴とする電子部品の接続検査方法。
【請求項１１】
前記電子部品は、インクジェットヘッドに供給する駆動信号を生成する駆動回路ユニットであり、
前記インクジェットヘッドは、前記複数の圧力室に対応して個別電極及び圧電層が設けられる一方、前記圧電層を挟んで前記複数の圧力室に対して共通の内部電極が設けられ、前記個別電極及び内部電極に、前記配線基板の配線を通じて前記駆動信号が供給されるものであり、
前記特定の電極端子部の配線は、前記駆動回路ユニットに接続される配線であって、検査用信号を供給する配線であって、
前記駆動回路ユニットの実装領域において、前記特定の電極端子部との間隔が他の隣り合う電極端子部との間隔よりも小さくなるように前記位置ズレ検出用のバンプが設けられていることを特徴とする請求項９または１０記載の電子部品の接続検査方法。
【請求項１２】
前記電子部品は、インクジェットヘッドに供給する駆動信号を生成する駆動回路ユニットであり、
前記インクジェットヘッドは、前記複数の圧力室に対応して個別電極及び圧電層が設けられる一方、前記圧電層を挟んで前記複数の圧力室に対して共通の内部電極が設けられ、前記個別電極及び内部電極に、前記配線基板の配線を通じて前記駆動信号が供給されるものであり、
前記特定の電極端子部の配線は、前記内部電極に接続されるものであり、前記駆動回路ユニットの実装領域において、前記特定の電極端子部の配線との間隔が他の隣り合う電極端子部との間隔より小さくなるように前記位置ズレ検出用のバンプが設け、
前記位置ズレ検出用のバンプは、製造工程の分極の際に、前記内部電極との間に所定の電圧を印加し、前記圧電層を分極する際に用いる前記配線に対応して接続する電子部品の接続端子そのものであることを特徴とする請求項９または１０記載の電子部品の接続検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品の接続構造およびその接続検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えばインクジェットプリンタなどのいわゆる電子機器において、基板上への電子部品の実装、および加工などの接続時には、例えば図８（ａ）に示すような、駆動信号や駆動電圧を供給するための駆動回路ユニット２０１（電子部品）を配線基板２０２に対して実装することが行われる。この場合、図８（ｂ）に示すように、駆動ユニット２０１には、配線基板２０２と接続する側の面に各接続端子２０１ａが形成され、その各接続端子２０１ａが、配線基板２０２に形成された複数の配線２０３の複数の電極端子部２０３ａと対応している。そして、各電極端子部２０３ａと接続端子２０１ａが重ねて接合することで電気的に接続される。このような接続が行われる時、各接続端子２０１ａと各電極端子部２０３ａとは、図８（ｃ）に示すように位置ズレが生じるおそれがあり、特に各端子２０１ａおよび２０３ａの配列ピッチが小さいときは、その配列方向に対して僅かな位置ズレでも、その隣の端子２０１ａまたは２０３ａと接触して短絡を起こしてしまうことがある。このような位置ずれは、外観検査では検知し難く、時間もかかり生産性が良くない。そのため、基板上の配線や電子部品の接続時に、接続する対象同士の位置ズレを確認するために検査用の配線や端子などを別に設けて、その導通を検知する機能検査が行われることが知られている（例えば、特許文献１，２，３参照）。
【特許文献１】特開２０００−２３５１９１号公報（段落００２２〜００２８および図３）
【特許文献２】特開２００２−２３２１０５号公報（段落００２５〜００３６および図１〜図４）
【特許文献３】特開２００３−１９５２４９号公報（段落００１１〜００３０および図２、図３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記特許文献１〜３に記載のものでは、各電子部品の駆動にあたり電気的な役割を担う接続配線、端子に加えて、検査用の配線や端子を設ける必要があるので、本来必要な接続配線、端子以外に、接続配線、端子を特別に設ける必要があり、コストアップの原因となる。また、検査用の配線や端子を設けるためのスペースが必要となり、省スペース化の面においても好ましくない。
さらに、最近の配線の高密度化に伴い、駆動回路ユニット２０１側の接続端子２０１ａと配線基板２０２側の端子部２０３ａとの接続時における位置ズレ量が公差の範囲内にあり、実装時の機能検査で問題なくとも、経時変化によりマイグレーションなどにより電子部品が駆動している最中に短絡に至る可能性が高くなることがあり、そのような潜在的な短絡を引き起こさせるような位置ズレは、従来の機能検査では検知できないという問題もあった。
【０００４】
そこで、本発明は，このような潜在的な短絡を起こさせるような位置ズレを検知できるとともに、位置ズレ検出用のバンプを電子部品に設け、配線基板が本来備える端子に、位置ズレを検査する機能を持たせる（つまり兼用させる）ことで、少ない部品構成で位置ズレを安価に検査することができる電子部品の接続構造およびその接続検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１の発明は、電子部品の接続構造を対象とするもので、配線基板は、複数の配線が形成され、前記各配線が複数の電極端子部が並んで設置された構成とされ、前記各電極端子部と、電子部品の各接続端子とが対応して電気的に接続されることを前提とする。そして、請求項１の発明は、前記電子部品の実装領域において、前記電極端子部と接続端子の位置ズレを検査する位置ズレ検出用のバンプが設けられ、前記電極端子部のうち特定の電極端子部が、前記位置ズレ検出用のバンプとの間隔が他の隣り合う電極端子部同士の間隔よりも小さい間隔となる、前記電極端子部と接続端子の位置ズレを検査する検査部を備えていることを特徴とする。
【０００６】
このようにすれば、特定の電極端子部の検査部と位置ズレ検出用のバンプとの導通状態の有無により、接続状態つまり電極端子部と接続端子の位置ズレを簡単に検査することができる。さらに、配線基板に本来設けられている電極端子部のうち特定の電極端子部に、位置ズレ検出用のバンプとの間隔が、他の隣り合う電極端子部同士の間隔よりも小さい間隔となる検査部が設けられているので、潜在的な短絡を起こさせるような位置ズレが起こった場合、他の隣り合う電極端子部同士が短絡しなくても、特定の端子部と検査部が短絡する。そのため、前述したような位置ズレを簡単に検査することができる。加えて、配線基板本来設けられている電極端子部と、検査部を設けているだけであるから、構造が簡単であり、安価である。
【０００７】
請求項２に記載のように、請求項１の電子部品の接続構造において、前記検査部は、前記複数の電極端子部が並んでいる方向に直交する方向に延びる第１の部分を有する構成とすることができる。
【０００８】
このようにすれば、請求項１の効果に加えて、第１の部分によって、前記複数の電極端子部が並んでいる方向に直交する方向における電子部品の位置ズレ、つまり電極端子部と接続端子の位置ズレを検査することができる。
【０００９】
請求項３に記載のように、請求項２の電子部品の接続構造において、前記第１の部分は、前記位置ズレ検出用のバンプを挟んで両側に設けられていることが望ましい。
【００１０】
このようにすれば、請求項２の効果に加えて、前記複数の電極端子部が並んでいる方向に直交する方向において、いずれの側に電子部品の位置ズレが生じても、検査することができる。
【００１１】
請求項４に記載のように、請求項１〜３のいずれかの電子部品の接続構造において、前記検査部は、前記複数の電極端子部が並んでいる方向に延びる第２の部分を有することが望ましい。
【００１２】
このようにすれば、請求項１から３のいずれかの効果に加えて、前記複数の電極端子部が並んでいる方向に直交する方向だけでなく、前記複数の電極端子部が並んでいる方向についても電子部品の位置ズレを検査することができる。
【００１３】
請求項５に記載のように、請求項４記載の電子部品の接続構造において、前記第２の部分は、前記位置ズレ検出用のバンプを挟んで両側に設けられている構成とすることも可能
である。
【００１４】
このようにすれば、請求項４の効果に加えて前記複数の電極端子部が並んでいる方向においても、いずれの側に電子部品の位置ズレが生じても、検査することができる。
【００１５】
請求項６に記載のように、請求項１〜５のいずれかの電子部品の接続構造において、前記電子部品は、インクジェットヘッドに供給する駆動信号を生成する駆動回路ユニットであり、前記インクジェットヘッドは、前記複数の圧力室に対応して個別電極及び圧電層が設けられる一方、前記圧電層を挟んで前記複数の圧力室に対して共通の内部電極が設けられ、前記個別電極及び内部電極に、前記配線基板の配線を通じて前記駆動信号が供給されるものであり、前記特定の電極端子部の配線は、前記駆動回路ユニットに接続される配線であって、検査用信号を供給する配線であって、前記駆動回路ユニットの実装領域において、前記特定の電極端子部との間隔が他の隣り合う電極端子部との間隔よりも小さくなるように前記位置ズレ検出用のバンプが設けられている構成とすることができる。
【００１６】
このようにすれば、請求項１〜５のいずれかの効果に加えて、前記駆動回路ユニットに接続される配線であって検査用信号を供給する配線の電極端子部として、特定の電極端子部を利用しているので、検査用の配線や端子を設けるためのスペースを設ける必要がなくなる。よって、省スペース化でき、配線の高密度化にも対応できる。また、低コストである。さらに、特定の電極端子部の配線は、検査用信号を供給する配線なので、インクジェットヘッドが通常使用されている時には、検査用の配線や端子には電流が流れない。そのため、使用している間の経時変化によって短絡しても、その短絡が駆動動作に影響することがない。
【００１７】
請求項７に記載のように、請求項１〜５のいずれかの電子部品の接続構造において、前記電子部品は、インクジェットヘッドに供給する駆動信号を生成する駆動回路ユニットであり、前記インクジェットヘッドは、前記複数の圧力室に対応して個別電極及び圧電層が設けられる一方、前記圧電層を挟んで前記複数の圧力室に対して共通の内部電極が設けられ、前記個別電極及び内部電極に、前記配線基板の配線を通じて前記駆動信号が供給されるものであり、前記特定の電極端子部の配線は、前記内部電極に接続されるものであり、前記駆動回路ユニットの実装領域において、前記特定の電極端子部の配線との間隔が他の隣り合う電極端子部との間隔より小さくなるように前記位置ズレ検出用のバンプが設けられていて、前記位置ズレ検出用のバンプは、製造工程において、前記内部電極との間に所定の電圧を印加し、前記圧電層を分極する際に用いる前記配線に対応して接続する電子部品の接続端子とすることも可能である。
【００１８】
このようにすれば、請求項１〜５のいずれかの効果に加えて、特定の電極端子部は、圧電層を分極する際に用いる配線に対応して接続する電子部品の接続端子を利用しているので、検査用の配線や端子を設けるスペースは必要なく、省スペース化できる。また、低コストである。さらに、インクジェットヘッドが通常使用されている時には、検査用の配線や端子は同電位であり、また接地されているため、経時変化により短絡しても、その短絡が動作に影響することがない。
【００１９】
請求項８に記載のように、請求項１〜７のいずれかの電子部品の接続構造において、前記特定の電極端子部は、前記接続端子が配列される方向の端付近に配置されていることが望ましい。
【００２０】
このようにすれば、請求項１〜７のいずれかの効果に加えて、特定の電極端子部は電子部品の接続端子が配列される方向の端付近に配置されているので、他の電極端子部や接続端子に与える影響が小さい。
【００２１】
請求項９の発明は、電子部品の接続検査方法を対象とするもので、配線基板は複数の配線が形成され、前記各配線は複数の電極端子部が並んで設置された構成とされ、前記配線基板の各電極端子部に、電子部品の各接続端子を接続した際に、それらの接続状態を検査することを前提とする。そして、請求項９の発明は、前記電子部品の実装領域において、前記電極端子部と接続端子の位置ズレを検査する位置ズレ検出用のバンプを設け、前記電極端子部のうち特定の電極端子部は、前記位置ズレ検出用のバンプと隣り合って並び、前記配線基板の各電極端子部に前記電子部品の各接続端子を接続した際に、前記位置ズレ検出用のバンプを介しての、前記特定の電極端子部と隣の電極端子部との導通状態の有無により、前記接続状態を検査することを特徴とする。
【００２２】
このようにすれば、位置ズレ検出用のバンプを介しての特定の電極端子部の検査部と隣の電極端子部との導通状態の有無により、配線基板の各電極端子部と電子部品の各接続端子との接続状態を簡単に検査することができる。
【００２３】
請求項１０の発明は、電子部品の接続検査方法を対象とするもので、配線基板は複数の配線が形成され、前記各配線は複数の電極端子部が並んで設置された構成とされ、前記配線基板の各電極端子部に、電子部品の各接続端子を接続した際に、それらの接続状態を検査することを前提とする。そして、請求項１０の発明は、前記電子部品の実装領域において、前記電極端子部と接続端子の位置ズレを検査する位置ズレ検出用のバンプを設け、前記電極端子部のうち特定の電極端子部は、前記位置ズレ検出用のバンプと隣り合って並び、前記配線基板の各電極端子部に前記電子部品の各接続端子を接続した際に、前記電子部品への所定の信号入力により、前記位置ズレ検出用のバンプを介しての、前記特定の電極端子部からの設定信号の出力の有無により、前記接続状態を検査することを特徴とする。
【００２４】
このようにすれば、電子部品に所定の信号を入力して、位置ズレ検出用のバンプを介しての、前記特定の電極端子部からの設定信号の出力の有無をみることにより、前記接続状態を簡単に検査することができる。
【００２５】
請求項１１に記載のように、請求項９または１０の電子部品の接続検査方法において、前記電子部品は、インクジェットヘッドに供給する駆動信号を生成する駆動回路ユニットであり、前記インクジェットヘッドは、前記複数の圧力室に対応して個別電極及び圧電層が設けられる一方、前記圧電層を挟んで前記複数の圧力室に対して共通の内部電極が設けられ、前記個別電極及び内部電極に、前記配線基板の配線を通じて前記駆動信号が供給されるものであり、前記特定の電極端子部の配線は、前記駆動回路ユニットに接続される配線であって、検査用信号を供給する配線であって、前記駆動回路ユニットの実装領域において、前記特定の電極端子部との間隔が他の隣り合う電極端子部との間隔よりも小さくなるように前記位置ズレ検出用のバンプが設けられている構成とすることができる。ここで、検査用信号を供給する配線とは、インクジェットヘッドを駆動するために用いられる配線ではなく、正常に駆動できるかどうかを検査するための検査用信号を供給するものを意味する。
【００２６】
このようにすれば、請求項９または１０の効果に加えて、特定の電極端子部として検査用信号を供給する配線の電極端子部を用いているため、インクジェットヘッドの製造工程において、外観検査よりも精度よく、前記位置ズレを簡単に検査することができ、生産性も良い。また、インクジェットヘッドを駆動する通常使用時には、電流が流れず、経時変化により短絡しても、その短絡が動作に影響することがない。
【００２７】
請求項１２に記載のように、請求項９または１０の電子部品の接続検査方法において、前記電子部品は、インクジェットヘッドに供給する駆動信号を生成する駆動回路ユニットであり、前記インクジェットヘッドは、前記複数の圧力室に対応して個別電極及び圧電層が設けられる一方、前記圧電層を挟んで前記複数の圧力室に対して共通の内部電極が設けられ、前記個別電極及び内部電極に、前記配線基板の配線を通じて前記駆動信号が供給されるものであり、前記特定の電極端子部の配線は、前記内部電極に接続されるものであり、前記駆動回路ユニットの実装領域において、前記特定の電極端子部の配線との間隔が他の隣り合う電極端子部との間隔より小さくなるように前記位置ズレ検出用のバンプが設け、前記位置ズレ検出用のバンプは、製造工程の分極の際に、前記内部電極との間に所定の電圧を印加し、前記圧電層を分極する際に用いる前記配線に対応して接続する電子部品の接続端子である構成としてもよい。
【００２８】
このようにすれば、請求項９または１０の効果に加えて、圧電層を分極する際に用いる配線に対応して接続する電子部品の接続端子を利用して検査するため、インクジェットヘッドの製造工程において、従来の外観検査よりも精度よく、前記位置ズレを簡単に検査することができ、生産性も良い。また、通常のインクジェットヘッドの使用時には、互いに同電位になっているため、経時変化により短絡しても、その短絡が動作に影響することがない。
【発明の効果】
【００２９】
本発明は、位置ズレ検出用のバンプを電子部品に設け、配線基板が本来備える端子に、位置ズレを検査する機能を持たせる（つまり兼用させる）ことで、潜在的な短絡を起こさせる可能性のある位置ズレを簡単に検査できるとともに、少ない部品構成で位置ズレを安価に検査することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
本発明は、電子機器などの基板上への電子部品の実装、および加工などの接続構造およびその接続検査方法に関し、例えば、インクジェットヘッドに適用されたものである。図１は本発明を適用するインクジェットヘッドの上面にフレキシブル配線基板が接合された状態を示す斜視図である。
【００３１】
図１に示すように、インクジェットヘッド１は、特開２００６−１９８９０３号公報に記載された公知のものと同様に流路ユニット２の上に、アクチュエータユニット３、およびフレキシブル配線材４を積層して構成をしている。インクジェットヘッド１は、インクジェット式記録装置に用いられるもので、具体的に図示していないが、インクジェットヘッド１は、記録用紙の搬送方向Ｙ（副走査方向）と直交する方向Ｘ（主走査方向）に往復移動するキャリッジに搭載されている。
インクジェットヘッド１の流路ユニット２は、複数のプレートが積層された積層体で、複数の配列された圧力室２ａと、各圧力室２ａに連通する複数のノズル（図示せず）と、図示しないインク供給源からのインクを各圧力室２ａおよびノズルに連通するインク流路（図示せず）とを備える。また、アクチュエータユニット３は、複数の圧電層２３（例えば、ＰＺＴ）が積層された積層体で、複数の圧力室２ａに対応して形成された複数の個別電極（図示せず）と、複数の圧力室２ａに共通の内部電極（図示せず）が各圧電層２３を挟んで構成されている。共通の内部電極はグランドに接続され、個別電極に選択的に電圧を印加することにより、個別電極および前記内部電極とで挟まれる圧電層２３の部分が、各圧力室あるいはノズルに対応する複数の圧電変形部として選択的に駆動されることで、圧電変形部が変形し、対応する圧力室内のインクに圧力を与え複数のノズルから選択的にインクを吐出して記録用紙（被記録媒体）に記録を行う。
【００３２】
また、アクチュエータユニット３の最上面には、表面個別電極２２および表面内部電極２４が銀―パラジウム系の導電部材にてスクリーン印刷形成され、表面個別電極２２および表面内部電極２４は、特開２００３-８０７０９号公報に記載の公知の構成と同様に、積層された圧電層２３の積層方向に貫通したスルーホール（図示せず）に充填された導電性材料を介して、圧電層２３内の個別電極および共通の内部電極にそれぞれ導通されている。
【００３３】
このアクチュエータ３の上面には、フレキシブル配線材４が積層される。フレキシブル配線材４は、電気絶縁性を有し可撓性の剛性樹脂材（例えばポリイミド樹脂））からなる帯状のベース材の片面に、後述する銅などの複数の配線１１Ａ〜１１Ｄ、１２がフォトレジスト等により形成されていて、これらの表面を電気絶縁性を有し可撓性の合成樹脂（例えばポリイミド樹脂）からなるカバーレイにて被覆させている。
【００３４】
フレキシブル配線材４は、その長手方向（Ｘ方向）の一端側の裏面に、各表面個別電極２２および表面内部電極２３に対応して形成された個別電極バンプ１２Ｂおよび表面電極バンプ１１ＡＡが設けられていて、他端側（ドライバＩＣ５が設けられている側）には、後述する電極端子部１１Ａａ、１１Ｂａ、１１Ｃａ、１１Ｄａ・・・（総じる場合は電極端子部１１とする）が一定のピッチで並んで設置されている。個別電極バンプ１２Ｂおよび表面電極バンプ１１ＡＡは、ベース材の対応する部位に孔を開けて配線１２の一部分を露出させ、その上にハンダ等の導電性ろう材を溶融させてバンプ電極を固着している。また、電極端子部は、カバーレイの上面側（アクチュエータ３と反対側）を露出していて形成されている。
【００３５】
また、配線基板４上には、配線基板４の幅方向（Ｙ方向）に延びる駆動回路ユニットであるドライバＩＣ５（電子部品）が実装されている。ドライバＩＣ５は、本体側からの印字データなどの駆動信号や駆動電圧などをアクチュエータユニット３に伝達して、アクチュエータユニット３を選択的に駆動させている。また、配線基板４には、その駆動信号および駆動電圧等をドライバＩＣ５に入力するための複数の入力側配線１１Ｂ（ＶＳＳ２），１１Ｃ（ＶＤＤ２）、１１Ｄおよび、ドライバＩＣ５から圧電変形部に出力する複数の出力側配線１２と、表面内部電極２４と接続される配線１１Ａ（ＣＯＭ）が、配線基板４の長手方向（Ｘ方向）に延びて形成されている。そして、個別電極バンプ１２ＢはドライバＩＣ５から長手方向に延びる出力配線１２と接続されている。
【００３６】
各電極端子部１１Ｂａ，１１Ｃａ，１１Ｄａ，・・・は、それらと対応して形成されたドライバＩＣ５の各入力側接続端子（配線１１Ｂ，１１Ｃに対応する入力側接続端子５Ａａ，５Ａｂのみ図示）に、配線１１Ｂ，１１Ｃ，１１Ｄ，・・・を介して電気的に接続されている。また、ドライバＩＣ５には複数の出力側接続端子５Ｂ，・・・が設けられている。これら出力側接続端子５Ｂ，・・・は、各圧力室２ａに対応する個別電極に駆動信号を供給するため、配線基板４の出力側配線１２の各電極端子部１２Ａに電気的に接続され、これによりドライバＩＣ５が配線基板４上に実装される。入力側接続端子および出力側接続端子は、ドライバＩＣ５に金を溶融させて接続電極として形成されている。
【００３７】
そして、電極端子部１１Ａａ，１１Ｂａ，１１Ｃａは、複数の電極端子部１１が配列される方向（Ｙ方向）の両端付近に略対称に、この順に並んで配置されている。そして、複数の電極端子部１１が配列される方向（Ｙ方向）の中央部分には、残りの他の電極端子部１１Ｄａ，・・・が複数並んで配置されている。つまり、配線基板４の幅方向（Ｙ方向）の両端縁には、それぞれ端子部１１Ａａ、１１Ｂａ、１１Ｃａがこの順で略対称に２箇所設けられていて、その内側に端子部１１Ｄａが複数並んで配置されている。
【００３８】
配線基板４の最外両端縁には、電極端子１１Ａａ、１１Ａａから延びる配線１１Ａが配線基板４の長手方向の側縁に沿って平行に延びていて、表面内部電極２４と接続されていて、アース電位となっている。
【００３９】
その電極端子部１１Ａａ、１１Ａａの隣で、かつ内側に略対称に並んだ電極端子部１１Ｂａ、１１Ｂａから延びる配線１１Ｂは、配線１１Ａの内側においてドライバＩＣ５付近まで延び、ドライバＩＣ５の実装位置において、両者の電極端子部１１Ｂａ、１１Ｂａを結ぶループを形成するように互いに接続されている。そして、そのループ近傍の配線部分で、ドライバＩＣ５の下で接続端子５Ａａ，・・・とが接続されている。この配線１１Ｂは、後述するように、製造工程において、アース電位となる前記内部電極との間に所定の電圧を印加し、前記各アクチュエータを分極する際に用いる配線ＶＳＳ２である。
【００４０】
電極端子部１１Ｂａ、１１Ｂａの隣かつ内側で、略対称に並んだ電極端子部１１Ｃａ、１１Ｃａから延びる配線１１Ｃも、配線１１Ａ，１１Ｂの内側においてドライバＩＣ５付近まで延び、ドライバＩＣ５の実装位置において、両者の電極端子部１１Ｃａ、１１Ｃaを結ぶループを形成するように互いに接続されている。そしてそのループ近傍の配線部分で、ドライバＩＣ５の接続端子５Ａｂとが接続されている。この配線１１Ｃは導線ＶＤＤ２で、駆動電圧（ここでは３０Ｖ）を供給するためのものである。
【００４１】
そして、両側の電極端子部１１Ｃａ、１１Ｃａの間の複数の電極端子部１１Ｄａ・・・の配線１１Ｄは、ドライバＩＣ５まで延びて接続され、入力信号を供給する信号線として機能している。
【００４２】
電極端子部１１Ｄａに入力された入力信号が、ドライバIC５を介して特開２００２-１６０３７２号公報に公知の駆動制御と同様にして制御されることで、圧電変形部（図３におけるＰＺＴ）を変形させる。図３を参照すると、ドライバＩＣ５内には、シフトレジスタ１１１、Ｄフリップフロップ１１２、ドライバ１０５等が構成されている。ノズル数に対応して、シフトレジスタ１１１、Ｄフリップフロップ１１２が複数設けられ、これらの駆動電圧を供給するための導線が、導線ＶＤＤ１，ＶＳＳ１である。また、ドライバ１０５、符号Ｃ（ＰＺＴ）の圧電変形部もノズル数に応じて複数用意されていて、これらの駆動電圧（ここでは３０Ｖ）を供給するための導線が導線ＶＤＤ２、ＶＳＳ２であり、前述した配線基板４の配線１１Ｂ、配線１１Ｃである。ＶＳＳ２は、ドライバ１０５の共通電位の部分に共通して接続されていて、通常アースされている。また、圧電変形部ＰＺＴのドライバＩＣ５と反対側の電極を共通接続した導線ＣＯＭが、前述した配線１１Ａであり、アースされている。そして、導線ＣＯＭと導線ＶＳＳ２とが導線６５で接続されている。
【００４３】
このドライバＩＣ５に入力信号がシリアルに入力され、パラレル信号に変換されるとともに、配線１１Ｃ（ＶＤＤ２）から入力された駆動電圧に対応した電圧を有する駆動信号に変換される。その駆動信号は、ドライバＩＣ５の出力側接続端子５Ｂから、配線１２および個別電極バンプ１２Ｂを通してアクチュエータ３内の個別電極に供給され、各アクチュエータの圧電変形部（ＰＺＴ）が駆動される。各圧電変形部（ＰＺＴ）に供給する駆動信号を生成するドライバ１０５は、各圧電変形部（ＰＺＴ）ごとに独立して設けられ（図３参照）、それぞれ配線１１Ｃ（ＶＤＤ２）から駆動電圧を供給され、各配線１２を通して駆動信号を出力する。なお、前記内部電極は、配線１１Ａ（ＣＯＭ）を通して接地されている。
【００４４】
また、ドライバＩＣ５は、その実装領域において、電極端子部１２Ａと接続端子５Ｂの位置ズレを検査するための位置ズレ検出用のバンプ５Ｃが設けられている。この位置ズレ検出用のバンプ５Ｃは、後述するように、製造工程の分極の際に、各個別電極と前記内部電極との間に所定の電圧を印加し、圧電層２３を分極する際に用いる配線１１Ｂ（ＶＳＳ２）に対応して接続するドライバＩＣ５の接続端子そのものである。つまり、バンプ５Ｃは、圧電層２３を分極する際に用いられる配線１１Ｂ（ＶＳＳ２）に、ドライバＩＣ５内の回路を経由して接続される接続端子である。
【００４５】
配線１１Ａ（ＣＯＭ）には、ドライバＩＣ５（電子部品）の実装領域において、複数の電極端子部１２Ａに並ぶ位置に、検査部としての電極端子部１１Ａｂａ（特定の電極端子部）が分岐して形成されている。
【００４６】
この検査部１１Ａｂａは、配線１１Ａから電極端子部１２Ａが並んでいる方向に突出して分岐する分岐部分１１Ａｂｂと、この分岐部分１１Ａｂｂに接続され電極端子部１２Ａが並んでいる方向に延びる幅狭部分１１Ａｂｃ（第２の部分）と、この幅狭部分１１Ａｂｃの先端に接続され電極端子部１２Ａが並んでいる方向に直交する方向に延びる延長部分１１Ａｂｄ（第１の部分）とを備える。よって、分岐部分１１Ａｂｂと延長部分１１Ａｂｄとは、位置ズレ検出用のバンプ５Ｃを挟んで両側に設けられていることになる。また、これらの部分１１Ａｂｂ，１１Ａｂｄに幅狭部分１１Ａｂｃを加えた３つの部分で、位置ズレ検出用のバンプ５Ｃを囲むようになっている。さらに、分岐部分１１Ａｂｂと延長部分１１Ａｂｄは、位置ズレ検出用のバンプ５Ｃとの間隔が、他の隣り合う電極端子部１２Ａ、１２Ａ同士の間隔（配列ピッチ）よりも小さい間隔となっている。
【００４７】
この検査部１１Ａｂａが、各配線１２の電極端子部１２ＡとドライバＩＣ５の各出力側接続端子５Ｂの潜在的な短絡を誘発する位置ズレを検査するのに利用される。つまり、電極端子部１１Ａａ（配線１１Ａ）と電極端子部１１Ｂａ（配線１１Ｂ）との導通の有無により、バンプ５Ｃと検査部１１Ａｂａが接触しているかどうかがわかる。そして、検査部１１Ａｂａとバンプ５Ｃとの間隔が、他の隣合う電極端子部１２Ａ、１２Ａ同士の間隔よりも小さい間隔であるため、位置ズレ検知の精度が高くなり、バンプ５Ｃと検査部１１Ａｂａが接触していれば、ドライバＩＣ５が配線基板４に対し、潜在的な短絡を誘発させる位置ズレ状態で実装されていることがわかる。
【００４８】
また、バンプ５Ｃが配線ＶＳＳ２、検査部１１Ａｂａが配線ＣＯＭに接続しているが、これらの配線ＶＳＳ２およびＣＯＭは、圧電層２３を分極する際に電圧が供給されていて、通常使用時には、互いに同電位になっていて接地されている。そのため、通常使用時には、そのバンプ５Ｃと検査部１１Ａａｂは同電位であり、経時変化によりバンプ５Ｃと検査部１１Ａａｂが短絡しても、その短絡がインクジェットヘッド１の動作に影響することはない。
【００４９】
このような構成を用いた接続検査方法を用いれば、従来の外観検査で検知し難かった潜在的な短絡を誘発するような位置ズレも検知できるため、より精度の高い位置ズレ検知ができ、さらに本来ある配線および端子を用いて、その導通状態を検知するだけであるから、簡単で生産性も良い。
【００５０】
続いて、バンプ５Ｃが関連する分極工程について、図３に沿って説明する。
【００５１】
インクジェットヘッド１の製造工程において、まず複数のプレートを積層、接着した流路ユニット２の上に、複数の圧電層２３（ＰＺＴ）を積層し焼成したアクチュエータユニット３を予め別々に作製し、両者を接着あるいは接合させた後、そのアクチュエータユニット３の最上面の表面個別電極２２および表面内部電極２４と、フレキシブル配線基板４の個別電極バンプ１２Ｂおよび内部電極バンプ１１ＡＡを導電性ろう材を用いて電気的に接続する。
【００５２】
その後、アクチュエータユニット３の各圧電変形部（ＰＺＴ）を分極する。
【００５３】
この分極工程において用いる分極装置１０１は、分極用電圧の一部を発生する回路１０２と、分極用電圧の残りの部分を発生するための上記吐出動作を行う電源と同等の電源１０３と、イネーブル信号およびリセット信号等の信号を発生する信号回路１０４とを備える。その電源１０３、信号発生回路１０４は、吐出動作を行うために記録装置の本体部内に設ける例えば特開２００２-１６０３７２号の公知のものと同等であるので、詳細には説明しない。
【００５４】
それらの各回路１０４，１０２及び電源１０３は、フレキシブル配線基板４上に形成された各配線１１Ａ〜１１Ｄの端子部分に接続される。回路１０２は、圧電層２３下側の共通電極（アース電位）に接続した配線ＣＯＭ（配線１１Ａ）と、圧電層２３上側の各個別電極２２に接続したドライバＩＣ５の各ドライバ１０５に接続される配線ＶＳＳ２（配線１１Ｂ）との間に分極用電圧を印加するための回路である。そのため、回路１０２は、負電源−ＶＣＣ２と、スイッチＳＷ１，ＳＷ２と、抵抗Ｒ２とを備える。また、配線ＶＤＤ１と配線ＶＳＳ１との間、及び配線ＶＤＤ２（配線１１Ｃ）と配線ＶＳＳ２との間には、上記吐出動作を行うための電源と同等の電源１０３が接続される。なお、配線ＣＯＭと配線ＶＳＳ２との間が配線６５にて接続されていない状態において、前記各圧電変形部の分極が行われる。
【００５５】
続いてこの分極の詳細な処理について、図３および図４に沿って説明する。なお、分極をする際には、スイッチＳＷ１をＧ側、スイッチＳＷ２をＧ側（グランド側））にしておく。換言すると、負電圧―ＶＣＣ２と導線ＣＯＭとを接続しない側にしておき、この状態において、シフトレジスタ１１１及びＤフリップフロップ１１２のリセット信号をＨレベルとし、シフトレジスタ１１１及びＤフリップフロップ１１２の全データを吐出あり０の状態にする。そして、イネーブル信号をＬレベルからＨレベルに立ち上げると、ＯＲゲートの出力がＨレベルとなり、全てのドライバ１０５が圧電変形部ＰＺＴへの通電を開始する。このときには、まだスイッチＳＷ１，ＳＷ２がＧ側になっているため、圧電変形部ＰＺＴにかかる電圧Ｖｐｚｔは３０Ｖ（抵抗Ｒ２による電圧低下分をここでは無視する）となる。これは吐出時に圧電変形部ＰＺＴに掛かる電圧と同じであるため、分極はなされない。
【００５６】
この状態からややあって、スイッチＳＷ１，ＳＷ２がＮ側にされる。すると電源ＶＣＣ２の電圧（ここでは−２０Ｖ）が加わり、圧電変形部ＰＺＴの両端電圧は先の３０Ｖに加えて合計５０Ｖとなる。この電圧により分極が開始される。分極が完了するとイネーブル信号をＬレベルにする。Ｄフリップフロップ１１２の出力はリセット信号によりＬレベルにされているため、イネーブル信号がＬレベルになるとＯＲゲートの出力もＬレベルになる。これによりドライバ１０５により圧電変形部ＰＺＴへの通電が停止され、圧電変形部ＰＺＴには電源ＶＣＣ２による電圧４０Ｖのみが掛かる。そしてここから所定時間経過後、スイッチＳＷ２がＧ側に戻され、圧電変形部ＰＺＴの電圧Ｖｐｚｔがゼロとなる。こうして分極が完了すると、分極装置１０１をフレキシブル配線基板４から取り外し、配線６５で配線ＶＳＳ２と配線ＣＯＭを結線し、インクジェットヘッド１を前記記録装置に取り付ける。
【００５７】
このような製造方法によれば、インクジェットヘッド１のフレキシブル配線基板４を接合させた後に分極を行うので、分極の劣化が起きない。しかも分極に用いる電圧は、吐出用の電源電圧に対し、ドライバＩＣ５とは逆側の電極の電位を下げることにより行われるので、ドライバＩＣ５には高い電圧が掛かることはなく、従ってドライバＩＣ５が分極中に故障するのが防止される。
【００５８】
そして電圧印加の順序が、分極電圧−ＶＤＤ２印加時には、ドライバＩＣ５の出力電圧Ｖ０がＶＤＤ２電圧（３０Ｖ）であるため、電流はドライバＩＣ５から圧電変形部ＰＺＴに流れ出る方向となり、また、分極電圧−ＶＤＤ２の放電時には、ドライバＩＣ５の出力電圧Ｖ０はゼロ（０Ｖ）であるため、電流は圧電変形部ＰＺＴからドライバＩＣ７に流入する方向となるように行われる。
【００５９】
従って、ドライバＩＣ５の出力電圧Ｖ０は０〜ＶＤＤ２の範囲の電圧のみが加えられるため、ドライバＩＣ７が、分極中に故障する可能性が一層低くなる。
【００６０】
ところで、本発明は、前記実施の形態を、次のように変更することも可能である。
【００６１】
(i)図５に示すように、位置ズレ検出用のバンプ５Ｃと隣り合って、２つの第１の部分が並ぶように形成することも可能である。つまり、複数の電極端子部１２ａが並んでいる方向に直交する方向に延びる第１の部分１３Ａ，１３Ａを有する検査部１３とすることができる。これら第１の部分１３Ａ，１３Ａはいずれも図示しない配線で配線１１Ｂに接続されている。この場合、第１の部分１３Ａ，１３Ａは、位置ズレ検出用のバンプ５Ｃを挟んで両側に設けられているが、位置ズレが起こりやすい一方の側にのみ設ける構成とすることも可能である。
【００６２】
また、図６に示すように、第１の部分１３Ａ，１３Ａに加えて、前記複数の電極端子部が並んでいる方向に延び第１の部分１３Ａ，１３Ａの端部を接続する第２の部分１３Ｂ，１３Ｂを２つ有し、バンプ５Ｃの周囲を囲む検査部１３’とすることもできる。なお、第２の部分１３Ｂは、図２に示す場合と同様に、位置ズレが起こりやすい側に、１つだけ設ける構成としてもよい。
【００６３】
(ii)図７に示すように、位置ズレ検出用のバンプ５Ｃ，５Ｃを、複数の電極端子部１２ａが並んでいる方向の端付近であって左右両側に設け、それらの外側に、配線１１Ａに接続される平面視矩形状の検査部１４Ａ，１４Ｂを設けるようにしてもよい。このようにすれば、位置ズレ検出用のバンプ５Ｃを挟んで両側に設ける場合と同様な効果を得るができる。なお、各バンプ５Ｃ，５Ｃと各検査部１４Ａ，１４Ｂとの間隔は、他の隣り合う電極端子部１２Ａ、１２Ａ同士の間隔よりも小さい間隔となっている。
【００６４】
(iii)例えば電極端子部１１Ｂａから検査用信号（所定の信号）の入力により、バンプ５Ｃを介して、電極端子部１１Ａａから設定信号の出力があるかどうかをみることにより、位置ズレを検査することも可能である。この場合、前記検査用信号の入力は、電極端子部１１Ｂａに代えて、他の電極端子部１１Ｃａ，１１Ｄａを用いることも可能である。
【００６５】
(iv)配線基板４の各電極端子部１１Ａａ．１１Ｂａ，１１Ｃａ，１１ＤａにドライバＩＣ５の各入力側接続端子を接続した際に、各電極端子部１１Ｂａ，１１Ｃａ，１１ＤａからのドライバＩＣ５へ所定の信号を入力することにより検査することもできる。つまり、前記所定の信号の入力により、位置ズレ検出用のバンプ５Ｃを介しての、電極端子部１１Ａａから設定信号の出力があるかどうかをみることにより、位置ズレを検査することができる。
【００６６】
(v)上述の(iii)、（iv）の実施形態の場合、検査用信号を入力する電極端子部１１Ｂ
ａや電極端子部１１Ａａは、電子部品の駆動時において、ハイインピーダンスもしくは同電位状態にするなどして、検査用端子部に電流が流れないように構成しておくのがよい。そのような構成であれば、経時変化により短絡がおこったとしても、電子部品の駆動動作に影響が出ることはない。
【００６７】
(vi)電子部品は、インクジェットヘッドのドライバＩＣ（駆動回路ユニット）に制限されるものではなく、配線基板に実装する電子部品であれば、本発明を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明を適用するインクジェットヘッドの上面にフレキシブル配線基板が接合された状態を示す斜視図である。
【図２】配線基板とドライバＩＣ（電子部品）との接続状態の説明図である。
【図３】分極工程を説明する回路である。
【図４】分極工程の説明図である。
【図５】位置ズレ検出用のバンプと検査部との関係についての別の実施の形態を示す図である。
【図６】前記関係についてのさらに別の実施の形態を示す図である。
【図７】前記関係についての他の実施の形態を示す図である。
【図８】（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ従来例の説明図である。
【符号の説明】
【００６９】
１    インクジェットヘッド
４    配線基板
５    ドライバＩＣ（駆動回路ユニット）
５Ａａ，５Ａｂ，５Ｂ    接続端子
５Ｃ    位置ズレ検出用のバンプ
１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ，１１Ｄ    配線
１１Ａａ，１１Ｂａ，１１Ｃａ，１１Ｄａ    電極端子部
１１Ａｂａ、１３，１３’    検査部
１２    配線
１２Ａ，１２Ｂ    電極端子部
１３Ａ    第１の部分
１３Ｂ    第２の部分
１４Ａ，１４Ｂ    検査部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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