(57)【要約】【課題】貫通孔に入ったはんだボールの一部がマスクの上面側に露出するようにして、はんだボールがマスクの全ての貫通孔に入ったかどうかの確認を容易に行うことができるようにする。【解決手段】同一位置に貫通孔２ａ、３ａを設けた二枚のマスク２、３をもって構成する。上側の一方のマスク２は下側の他方のマスク３より若干小さくする。下側のマスク３の支持枠５にシリンダー６を固着し、該シリンダー６のピストンロッド６ａを上側のマスク２の支持枠４に接続する。該シリンダー６を作動してそのピストンロッド６ａを進退させることによって水平方向にずらし、二枚のマスク２、３の相対位置を水平方向にずらすものである。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
同一位置に貫通孔を設けた二枚のマスクをもって構成し、これら二枚のマスクを、その相対位置を水平方向にずらすことにより夫々の貫通孔の位置を一致或いは不一致とするようになしたボール供給装置等用マスク。
【請求項２】
一方のマスクを他方のマスクより小さくなし、一方のマスクの支持枠に固着したシリンダーのピストンロッドを他方のマスクの支持枠に接続し、該シリンダーを作動してそのピストンロッドを進退させることによって水平方向にずらし、もって二枚のマスクの相対位置を水平方向にずらすようになした請求項１記載のボール供給装置等用マスク。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体ウエハ、回路装置或いは配線基板等における端子となる電極部にはんだバンプを形成する際に、電極部にはんだボールを供給して載せるための装置等に用いるマスクに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体ウエハ、回路装置或いは配線基板等における端子となる電極部にはんだバンプを形成する際に、電極部にはんだボールを供給して載せるための方法として、予め電極部に印刷によりフラックスやクリームはんだを塗布しておき、ホッパからマスク上にはんだボールを落として載せ、このはんだボールを適宜の手段をもってマスクの貫通孔内に落下させる方法が用いられている。
【０００３】
そして、斯かる方法の実施のために用いられるはんだボールの供給装置にあっては、貫通孔が設けられた一枚構成のマスクが用いられている。しかし、このような従来のマスクの場合には、その貫通孔内に落ち込んだはんだボールの上端がマスクの上面と略同じかこれより低い位置になり、したがって、貫通孔内に落ち込んだはんだボールをマスクの上面側からは確認しずらく、全ての貫通孔に入ったかどうかの確認が困難であった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は上記の点に鑑みなされたものであって、貫通孔に入ったはんだボールの一部がマスクの上面側に露出するようにして、はんだボールがマスクの全ての貫通孔に入ったかどうかの確認を容易に行うことができるようになしたボール供給装置等用マスクを提供せんとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
而して、本発明の要旨とするところは、同一位置に貫通孔を設けた二枚のマスクをもって構成し、これら二枚のマスクを、その相対位置を水平方向にずらすことにより夫々の貫通孔の位置を一致或いは不一致とするようになしたボール供給装置等用マスクにある。
【０００６】
また、上記構成において、一つの例として、一方のマスクを他方のマスクより小さくなし、一方のマスクの支持枠に固着したシリンダーのピストンロッドを他方のマスクの支持枠に接続し、該シリンダーを作動してそのピストンロッドを進退させることによって水平方向にずらし、もって二枚のマスクの相対位置を水平方向にずらすようになしてもよい。
【発明の効果】
【０００７】
本発明は上記の如き構成であり、貫通孔に入ったボールの一部がマスクの上面側に露出するように構成してなるものであるから、はんだボールがマスクの全ての貫通孔に入ったかどうかの確認を容易に行うことができるものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
本発明を実施するための最良の形態は、同一位置に貫通孔を設けた二枚のマスクをもって構成し、これら二枚のマスクを、その相対位置を水平方向にずらすことにより夫々の貫通孔の位置を一致或いは不一致とするようになしたボール供給装置等用マスクであって、一方のマスクを他方のマスクより小さくなし、一方のマスクの支持枠に固着したシリンダーのピストンロッドを他方のマスクの支持枠に接続し、該シリンダーを作動してそのピストンロッドを進退させることによって水平方向にずらし、もって二枚のマスクの相対位置を水平方向にずらすようになしたことにある。
【実施例】
【０００９】
図１は本発明に係るボール供給装置等用マスクの分解斜視図、図２は同平面図、図３は本発明の作動説明図であり、貫通孔を一時的に遮断した状態を示す図、図４は本発明の作動説明図であり、貫通孔を通過可能とした状態を示す図、図５は本発明を実施したボール供給装置の正面側から看た概略的説明図、図６は同装置の側面側から看た概略的説明図である。
【００１０】
図中、１はボール供給装置等用マスクである。また、該ボール供給装置等用マスク１は、同一位置に貫通孔２ａ、３ａを設けた二枚のマスク２、３をもって構成し、これら二枚のマスク２、３を、その相対位置を水平方向にずらすことにより夫々の貫通孔２ａ、３ａの位置を一致或いは不一致とするようになしたものである。
【００１１】
また、本実施例においては、上側の一方のマスク２を下側の他方のマスク３より小さくなし、下側のマスク３の支持枠５に固着したシリンダー６のピストンロッド６ａを上側のマスク２の支持枠４に接続し、該シリンダー６を作動してそのピストンロッド６ａを進退させることによって水平方向にずらし、もって二枚のマスク２、３の相対位置を水平方向にずらすようになしている。
【００１２】
７は本発明を実施したボール供給装置である。また、該ボール供給装置７は、前記ボール供給装置等用マスクにおけるマスクの支持枠４、５を境として該マスクの支持枠４、５の上部側に形成し、その内部の気圧をエアバッグ８、９等の適宜の気圧の昇降手段を用いて所要のタイミングで上昇及び下降させるようになした密閉可能な室１０と、該室１０内に配設し、適宜の駆動手段をもってマスク２、３上を水平に移動する支持架台１１と、前記支持架台１１に取着され、底部にボールの直径に合わせて開口面積を調節可能とした供給口を設けた樋状のホッパ１２と、前記樋状のホッパ１２の直上に配設され、該樋状のホッパ１２にボールを落下供給するボール供給手段１３と、前記樋状のホッパ１２の周囲に設けた、マスク２、３上のボールの不要箇所への拡散を防止すると共に風圧によってボールを転動させるエア噴出手段１４と、貫通孔に入ったボールを、その貫通孔の途中迄受け入れて一時的に通過を遮断することができるようになした本発明に係る前記マスク１とからなるものである。尚、前記ホッパ１２は内部を仕切板１２ａをもって複数に仕切っており、また、該ホッパ１２内には、支持架台１１上に立設したガイドフレーム１５に取付けた可逆転モータ１６の駆動力を伝達される回転軸１７をもって上下方向に回動し、その底部の供給口（図示せず。）の開口面積を調節する絞り板（図示せず。）が設けられている。また、その他図中１３ａはボール供給手段１３におけるガラス瓶形の透明ガラス製ボール供給カートリッジ１３Ａを抱持してセットするホルダー、１８は冶具（図示せず。）をもって固定したはんだボールの被供給体である半導体ウエハ、１９はその端子となる電極部、２０は該電極部１９の上面に塗布したフラックス、２１ははんだバンプ形成用のはんだボールである。また、２２ははんだボールの被供給体の支持テーブルである。
【００１３】
次に、上記装置を用いて行うはんだボール供給方法について説明する。
先ず、冶具をもって固定したボールの被供給体である半導体ウエハ１８と、該半導体ウエハ１８の上面に配置するマスク２、３とを、該マスク２、３の貫通孔２ａ、３ａが所定の位置となるように、即ち半導体ウエハ１８の電極部１９とマスク２、３の貫通孔２ａ、３ａとが一致する位置となるように位置合わせを行う。
【００１４】
次に、支持架台１１に取着され、底部に、はんだボール２１の直径に合わせて開口面積を調節可能とした供給口を設けた樋状のホッパ１２に、該樋状のホッパ１２の直上に配設されたはんだボール供給手段１３からはんだボール２１を落下供給する。
【００１５】
次に、支持架台１１をマスク２、３の上面に沿って移動させ、樋状のホッパ１２の供給口からはんだボール２１をマスク２、３上に落下させる。そしてまたこれと同時に樋状のホッパ１２の周囲に設けたエア噴出手段１４、１４、１４、１４によりマスク２、３上のはんだボール２１の不要箇所への拡散を防止すると共に風圧によってはんだボール２１を転動させる。
【００１６】
転動するはんだボール２１が本発明に係るマスク１における上側のマスク２の貫通孔２ａに入ったら、該貫通孔２ａの途中迄受け入れて一時的に通過を遮断する。そして、支持架台１１が一回分の移動範囲において移動し、その終端位置に達したら、マスク２の全ての貫通孔２ａにはんだボール２１が入ったか否かを確認する。尚、この確認は、図示しないカメラ装置等の公知の適宜の手段をもって行う。
【００１７】
そして、マスク２の全ての貫通孔２ａにはんだボール２１が入ったことを確認したら、該マスク２の貫通孔２ａを通過させる。そしてこの通過のときに室７内の気圧を上昇させてマスク２の上面側から加圧を行うものである。
【００１８】
また、上記マスク２、３の作動については更に具体的に説明すると、該マスク２、３は、その相対位置を水平方向にずらすことにより夫々の貫通孔２ａ、３ａの位置を一致或いは不一致とするようになしたものであり、図３に示す如く上側のマスク２をずらすことにより相互の貫通孔２ａ、３ａがずれ、これにより上側のマスク２の貫通孔２ａに入ったはんだボールは下側のマスク３の上面によって通過を遮断され、これによりはんだボールの上側部分は上側のマスク２の貫通孔２ａから突出した状態となるものである。このように、貫通孔に入ったはんだボールの一部がマスクの上面側に露出するようになしたから、はんだボールがマスクの全ての貫通孔に入ったかどうかの確認を容易に行うことができるものである。そして、該マスク２の全ての貫通孔２ａにはんだボールが入ったことを確認したら、図４に示す如く、該上側のマスク２を水平方向にずらして貫通孔２ａ、３ａの位置を一致させる。これによりはんだボールが下側のマスク３の貫通孔３ａ内に落下するものである。
【００１９】
尚、上記においては半導体ウエハの電極部にはんだバンプ形成用のはんだボールを供給する装置に実施する場合を例にとって説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、これ以外の場合にも用いることができるものである。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明に係るボール供給装置等用マスクの分解斜視図である。
【図２】本発明に係るボール供給装置等用マスクの平面図である。
【図３】本発明の作動説明図であり、貫通孔を一時的に遮断した状態を示す図である。
【図４】本発明の作動説明図であり、貫通孔を通過可能とした状態を示す図である。
【図５】本発明を実施したボール供給装置の正面側から看た概略的説明図である。
【図６】本発明を実施したボール供給装置の側面側から看た概略的説明図である。
【符号の説明】
【００２１】
１  ボール供給装置等用マスク
２  マスク
２ａ  貫通孔
３  マスク
３ａ  貫通孔
４  マスク支持枠
５  マスク支持枠
６  シリンダー
６ａ  シリンダーのピストンロッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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