(57)【要約】【課題】基材の凹凸の間隔が微細であっても、基材にフィルム状樹脂層を密着追従させて基材とフィルム状樹脂層との間に気泡が残存しないようにした積層装置および積層方法を提供する。【解決手段】相対向する一対の熱盤２３，２６が設置され、これら両熱盤２３，２６の少なくとも一方が他方に対し進退可能である真空積層装置２を備えている。そして、この真空積層装置２により、表裏両面の少なくとも一方に凹凸を有する基材８ａの上記凹凸面にフィルム状樹脂材を積層して積層体９を形成する積層装置であって、上記フィルム状樹脂材に相対向する熱盤２３（２６）の、上記フィルム状樹脂材側の面に、フィルム状樹脂材８ｂの表面に当接してこれを加圧する弾性プレス板２４（２７）を設けている。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
相対向する一対の加熱手段付き熱盤が設置され、これら両熱盤の少なくとも一方が他方に対し進退可能である真空プレス装置を備え、この真空プレス装置により、表裏両面の少なくとも一方に凹凸を有する基材の上記凹凸面にフィルム状樹脂材を積層して積層体を形成する積層装置であって、上記フィルム状樹脂材に相対向する熱盤の、上記フィルム状樹脂材側の面に、フィルム状樹脂材を加圧する弾性プレス板を設けたことを特徴とする積層装置。
【請求項２】
上記弾性プレス板が、耐熱性シリコーンゴムもしくは耐熱性フッ素ゴムからなる請求項１記載の積層装置。
【請求項３】
上記弾性プレス板が繊維層を有する請求項１または２記載の積層装置。
【請求項４】
上記弾性プレス板のショアーＡ硬度が４０度以上である請求項１〜３のいずれか一項に記載の積層装置。
【請求項５】
上記弾性プレス板の、フィルム状樹脂材に接する表面が粗面化されている請求項１〜４のいずれか一項に記載の積層装置。
【請求項６】
上記フィルム状樹脂材に対向する熱盤と弾性プレス板との間に板状体を設け、この板状体と弾性プレス板を接着固定している請求項１〜５のいずれか一項に記載の積層装置。
【請求項７】
上記熱盤と上記板状体との間に緩衝材を設けた請求項６記載の積層装置。
【請求項８】
第１帯状フィルムが巻回された第１フィルム巻回ロールと、この第１フィルム巻回ロールと相対峙して設けられ第２帯状フィルムが巻回された第２フィルム巻回ロールと、上記第１および第２フィルム巻回ロールに巻回された第１および第２の帯状フィルムを相対向状態で引出して上記真空プレス装置の両熱盤間を通過させ巻き取る第１および第２のフィルム巻き取りロールと、上記両フィルム巻回ロールから引き出された両帯状フィルム間に形成される隙間に，基材の少なくとも片面にフィルム状樹脂材が仮止めされた仮積層体を供給する供給手段を備えている請求項１〜７のいずれか一項に記載の積層装置。
【請求項９】
第１および第２のフィルム巻き取りロールを、両熱盤の一回ごとの作動に合わせて間欠駆動する巻き取りロール駆動手段を備えている請求項８記載の積層装置。
【請求項１０】
フィルム状樹脂材を帯状にしてなる第１の帯状フィルム状樹脂材が巻回された第１樹脂材巻回ロールと、この第１樹脂材巻回ロールと相対峙して設けられフィルム状樹脂材を帯状にしてなる第２の帯状フィルム状樹脂材が巻回された第２樹脂材巻回ロールと、上記両樹脂材巻回ロールから引き出された両帯状フィルム状樹脂材間に形成される隙間に基材を供給する供給手段を備え、上記第１および第２樹脂材巻回ロールから引き出された第１および第２の帯状フィルム状樹脂材を相対向状態で上記真空プレス装置の両熱盤間に案内する第１および第２の案内手段と、上記基材を間に挟んだ第１および第２の帯状フィルム状樹脂材を上記両熱盤間に導入しこの作動により基材の表裏両面に上記第１および第２の帯状フィルム状樹脂材を積層してなる帯状積層体を形成する真空プレス装置と、上記帯状積層体を引っ張る手段を備えている請求項１〜７のいずれか一項に記載の積層装置。
【請求項１１】
基材が、枚葉基板もしくは帯状基板である請求項１０記載の積層装置。
【請求項１２】
上記帯状積層体を引っ張る手段を、両熱盤の一回ごとの作動に合わせて間欠駆動する手段を備えている請求項１０または１１記載の積層装置。
【請求項１３】
第１帯状フィルムが巻回された第１フィルム巻回ロールと、第２帯状フィルムが巻回された第２フィルム巻回ロールと、これらを案内する第１および第２の案内手段と、上記第１および第２の帯状フィルムを巻き取る巻き取りロールとをさらに設け、第１および第２の樹脂材巻回ロールから引き出され、基材を間に挟んだ第１および第２の帯状フィルム状樹脂材を、上記両フィルム巻回ロールから引き出された両帯状フィルムで挟んだ状態で帯状積層体を形成し、第１および第２の帯状フィルムを上記帯状積層体とは別個に巻き取るようにした請求項１０〜１２のいずれか一項に記載の積層装置。
【請求項１４】
相対向する一対の熱盤が設置され、これら両熱盤の少なくとも一方が他方に対し進退可能である平面プレス装置を備え、この平面プレス装置の両熱盤で、上記真空プレス装置により形成された積層体の表裏両面を加圧して平滑にするように構成した請求項１〜１３のいずれか一項に記載の積層装置。
【請求項１５】
請求項１〜１４のいずれか一項に記載の積層装置を用い、表裏両面の少なくとも一方に凹凸を有する基材の上記凹凸面にフィルム状樹脂材を積層して積層体を形成することを特徴とする積層方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント回路基材等の製造の際に用いられる積層装置およびそれを用いた積層方法に関するものであり、さらに詳しくは、プリント回路基材等の凹凸を有する基材にフィルム状樹脂層を密着追従させることで基材とフィルム状樹脂層との間に気泡が残存しないようにした、ビルドアップ工法に有用な積層装置およびそれを用いた積層方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子機器の小型化、高性能化に伴いプリント回路基材の高密度化、多層化が進行し、ＭＰＵ用パッケージ基板等の特殊用途として回路基材の厚さが厚い製品も増加している。このようなプリント回路基材の多層化においては、熱硬化型樹脂組成物または感光性樹脂組成物を電気絶縁層として使用し、予め形成した内層回路の上に上記熱硬化型樹脂組成物または感光性樹脂組成物を塗布し、あるいは上記熱硬化型樹脂組成物または感光性樹脂組成物からなるフィルム状樹脂層を積層するようにしている。また、このフィルム状樹脂層の片面には、通常銅箔や支持体フィルム（セパレーターフィルム）が積層されており、銅箔の場合にはそれをハーフエッチングまたは全面エッチングし、支持体フィルムの場合にはそれを剥離し、ついでレーザーまたは紫外線による穴あけをし、つぎに銅メッキを施したのち、再度フォトレジストフィルムを用いて光によるパターニングを行い回路形成する方法、いわゆるビルドアップ工法が有効に用いられている。
【０００３】
上記のビルドアップ工法においては、凹凸を有する基材上にフィルム状樹脂層を平坦に積層する技術が重要である。このような技術としては、ダイアフラム式真空積層装置やダイアフラム式でない真空積層装置がある。
【０００４】
上記のダイアフラム式真空積層装置としては、図３１に示すような真空プレス装置がある。この真空プレス装置は、真空チャンバ７１が、支持ブロック７２に固定された上側ハウジング部材７３と、エアシリンダ７４ａにより昇降自在な下側ハウジング部材７５とで構成されており、上記上側ハウジング部材７３内に上側加圧ブロック７６が配置され、上記下側ハウジング部材７５内に、シリンダ装置７４ｂにより昇降自在な下側加圧ブロック７７が配置されている。また、上記上側加圧ブロック７６内にヒータープレート７８が収容されているとともに、このヒータープレート７８の加圧面側がダイアフラム７９で覆われており、これにより、上記上側加圧ブロック７６の内部空間（ダイアフラム７９で覆われた空間）が密閉構造とされ、真空状態にしたり加圧状態にしたりできるようになっている。また、同様に、上記下側加圧ブロック７７内にもヒータープレート８０が収容されているとともに、このヒータープレート８０の加圧面側がダイアフラム８１で覆われており、これにより、上記下側加圧ブロック７７の内部空間（ダイアフラム８１で覆われた空間）も密閉構造とされ、真空状態にしたり加圧状態にしたりできるようになっている。
【０００５】
そして、基板８２を加熱加圧する際には、基板８２を真空チャンバ７１内の中央部に位置付けし、エアシリンダ７４ａを上昇させて上側ハウジング部材７３に下側ハウジング部材７５を密着させて形成される真空チャンバ７１内を減圧しながらヒータープレート７８，８０により基板８２表面に保持されたフィルム状材料を加熱し、その状態でシリンダ装置７４ｂを伸長して下側加圧ブロック７７を上昇させ、基板８２を上下両加圧ブロック７６，７７間に挟んで加圧し、この加圧のときに、上下両加圧ブロック７６，７７の内部空間の一方もしくは双方を加圧状態にし、ダイアフラム７９，８１の一方もしくは双方で基板８２表面のフィルム状材料を加圧するようにしている（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
また、ダイアフラム式でない真空積層装置（非ダイアフラム式真空積層装置）としては、図３２に示すような積層成形装置が提案されている。この積層成形装置は、真空ラミネータ９１と平坦化プレス機９２とを備え、真空ラミネータ９１および平坦化プレス機９２の双方に上下一対の熱盤９３ａ，９３ｂ，９４ａ，９４ｂを設けている。そして、真空ラミネータ９１では、真空状態で積層材９５，被積層材９６を両熱盤９３ａ，９３ｂで加熱加圧して被積層材９６を積層材９５に積層しており、平坦化プレス機９２では、両熱盤９４ａ，９４ｂの互いの対向面に緩衝材層を介して弾性変形可能な鏡面板（ともに図示せず）を設け、積層材９５，被積層材９６を両鏡面板で加熱加圧して積層材９５の表面を平坦化するようにしている。また、上記の真空ラミネータ９１においても、両熱盤９３ａ，９３ｂの互いの対向面に緩衝材層を介して弾性変形可能な鏡面板（ともに図示せず）を設け、真空状態で積層材９５，被積層材９６を両鏡面板で加熱加圧して被積層材９６を積層材９５に積層することも示されている（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２００３−１８１６９７号公報
【特許文献２】特開２００２−１２０１００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、ダイアフラム式真空積層装置では、ダイアフラム７９，８１の厚みが厚い（２〜３ｍｍ程度）ため、基板８２の凹凸の間隔が微細（２０μｍ程度）もしくは凹凸が深い（４０μｍ以上）場合は、基板８２にフィルム状材料を密着追従させることが難しく、基板８２とフィルム状材料との間に気泡が残存する。一方、非ダイアフラム式真空積層装置は、厚みの薄い基材から厚い基材まで容易に強い圧力で加圧することができる点でダイアフラム式真空積層装置より有利であるが、上記積層成形装置のように、上下一対の熱盤９３ａ，９３ｂや鏡面板で積層材９５，被積層材９６を加圧するため、ダイアフラム式真空積層装置と同様に、被積層材９６の凹凸の間隔が微細（２０μｍ程度）もしくは凹凸が深い（４０μｍ以上）場合は、被積層材９６に積層材９５を密着追従させることが難しく、被積層材９６と積層材９５の間に気泡が残存することがある。
【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みなされたものであって、基材の凹凸の間隔が微細もしくは凹凸が深い場合でも、基材にフィルム状樹脂層を密着追従させて基材とフィルム状樹脂層の間に気泡が残存しないようにした積層装置およびそれを用いた積層方法の提供をその目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達成するため、本発明は、相対向する一対の加熱手段付き加熱手段付き熱盤が設置され、これら両熱盤の少なくとも一方が他方に対し進退可能である真空プレス装置を備え、この真空プレス装置により、表裏両面の少なくとも一方に凹凸を有する基材の上記凹凸面にフィルム状樹脂材を積層して積層体を形成する積層装置であって、上記フィルム状樹脂材に相対向する熱盤の、上記フィルム状樹脂材側の面に、フィルム状樹脂材を加圧する弾性プレス板を設けた積層装置を第１の要旨とし、上記積層装置を用い、表裏両面の少なくとも一方に凹凸を有する基材の上記凹凸面にフィルム状樹脂材を積層して積層体を形成する積層方法を第２の要旨とする。
【発明の効果】
【００１０】
すなわち、本発明の積層装置は、相対向する一対の加熱手段付き熱盤が設置され、これら両熱盤の少なくとも一方が他方に対し進退可能である真空プレス装置を備え、この真空プレス装置により、表裏両面の少なくとも一方に凹凸を有する基材の上記凹凸面にフィルム状樹脂材を積層して積層体を形成する積層装置である。そして、上記フィルム状樹脂材に相対向する熱盤の、上記フィルム状樹脂材側の面に、フィルム状樹脂材を加圧する弾性プレス板を設けるようにしている。このように、本発明の積層装置では、上記弾性プレス板を用い、これでフィルム状樹脂材の表面を加圧しているため、上記弾性プレス板により、強い圧力でフィルム状樹脂材の表面を加圧することができ、この加圧の際に、上記弾性プレス板の弾性により、その加圧面（上記フィルム状樹脂材の表面を加圧する面）を基材の凹凸面に沿って弾性変形させることができる。このため、基材の凹凸の間隔が微細もしくは凹凸が深い場合であっても、上記加圧の際にフィルム状樹脂材を基材に密着追従させることができ、この基材とフィルム状樹脂材との間に気泡が残存しない。一方、本発明の積層方法は、上記の積層装置を用いた方法であるため、上記の優れた効果を奏する。
【００１１】
また、本発明において、上記弾性プレス板が、耐熱性シリコーンゴムもしくは耐熱性フッ素ゴムからなる場合には、上記弾性プレス板が耐熱性に優れ、さらに、上記弾性プレス板に繊維層ヲ 設けるか上記弾性プレス板をステンレス板等の板体に加硫接着して使用することにより、上記弾性プレス板が圧縮された際に圧縮される加圧方向およびこの加圧方向に対し直交する直交方向への上記弾性プレス板の伸びが抑制され、基材の凹面上のフィルム状樹脂材と凸面上のフィルム状樹脂材に対して均等に加圧力が伝達されてフィルム状樹脂材の基材への密着追従性が改善されると同時に強度的にも優れ、高温下において加圧を繰り返し行っても上記弾性プレス板の伸張変形を抑制することができる。
【００１２】
さらに、本発明において、上記弾性プレス板が繊維層を有する場合には、高温下において加圧を繰り返し行っても、上記弾性プレス板の伸張変形を抑制することができ、基材に対するフィルム状樹脂材の追従性や密着性に優れ、上記弾性プレス板の耐久性を向上させることができる。
【００１３】
また、本発明において、上記弾性プレス板のショアーＡ硬度が４０度以上である場合には、上記弾性プレス板は良く伸張して引き裂かれにくいと同時に、強い引き裂き強度を得ることができ、一方、充分な剥離性をも得ることができ、積層体が弾性プレス板から剥がれやすくなる。さらに剥離性を得るために、積層体と接する弾性プレス板の表面にエンボス加工もしくは化学的離形処理を施してもよい。
【００１４】
そして、本発明において、上記弾性プレス板の、フィルム状樹脂材に接する表面が粗面化されている場合には、上記弾性プレス板による加圧ののち、この弾性プレス板が積層体もしくは、後述する帯状フィルムを用いている場合には、この帯状フィルムから剥がれやすい。
【００１５】
また、本発明において、上記フィルム状樹脂材に相対向する熱盤と弾性プレス板との間に板状体を設け、この板状体と弾性プレス板を接着固定している場合には、高温下において加圧を繰り返し行っても、上記板状体により弾性プレス板の伸張変形を抑制することができ、基材に対するフィルム状樹脂材の追従性や密着性に優れ、上記弾性プレス板の耐久性を向上させることができる。
【００１６】
さらに、本発明において、上記熱盤と上記板状体との間に緩衝材を設けている場合には、上記熱盤，板状体の作製時の寸法誤差等を緩衝材の緩衝作用により吸収することができ、上記熱盤と板状体との片当たり等をなくすことができる。
【００１７】
また、本発明において、第１帯状フィルムが巻回された第１フィルム巻回ロールと、この第１フィルム巻回ロールと相対峙して設けられ第２帯状フィルムが巻回された第２フィルム巻回ロールと、上記第１および第２フィルム巻回ロールに巻回された第１および第２の帯状フィルムを相対向状態で引出して上記真空プレス装置の両熱盤間を通過させ巻き取る第１および第２のフィルム巻き取りロールと、上記両フィルム巻回ロールから引き出された両帯状フィルム間に形成される隙間に，基材の少なくとも片面にフィルム状樹脂材が仮止めされた仮積層体を供給する供給手段を備えている場合には、上記両帯状フィルムにより仮積層体を真空プレス装置に供給して積層体を形成することができると同時に、積層体形成時に軟化したフィルム状樹脂が真空プレス装置の両熱盤等へ付着することを防止できる。なお、基材の少なくとも片面にフィルム状樹脂材が仮止めされた仮積層体は、連続帯状のフィルム状樹脂材を基材のサイズに合わせてカットし基材に仮止めするオートシートカットラミネータ（伯東社製Ｍａｃｈ６３０，Ｍａｃｈ６１０、日立インダストリーズ社製ＴＬＤ−６５００，ＴＬＤ−２４００）等を用いて作成し、本発明の積層装置に供給することができる。
【００１８】
そして、本発明において、フィルム状樹脂材を帯状にしてなる第１の帯状フィルム状樹脂材が巻回された第１樹脂材巻回ロールと、この第１樹脂材巻回ロールと相対峙して設けられフィルム状樹脂材を帯状にしてなる第２の帯状フィルム状樹脂材が巻回された第２樹脂材巻回ロールと、上記両樹脂材巻回ロールから引き出された両帯状フィルム状樹脂材間に形成される隙間に基材を供給する供給手段を備え、上記第１および第２樹脂材巻回ロールから引き出された第１および第２の帯状フィルム状樹脂材を相対向状態で上記真空プレス装置の両熱盤間に案内する案内手段である第１および第２の案内ロールと、上記基材を間に挟んだ第１および第２の帯状フィルム状樹脂材を上記両熱盤間に導入しこの作動により基材の表裏両面に上記第１および第２の帯状フィルム状樹脂材を積層してなる帯状積層体を形成する真空プレス装置と、上記帯状積層体を引っ張る手段（上記帯状積層体を巻き取る積層体巻き取りロール、上記帯状積層体を引っ張るニップロールもしくは上記帯状積層体をチャック機構で挟持して引っ張る機構等）を備えている場合には、上記両帯状フィルム状樹脂材，基材を真空プレス装置に連続的に供給して、複数の積層体が一連に（連続してもしくは間欠的に）つながれた帯状積層体を形成することができる。本発明では、基材の片面へフィルム状樹脂材を仮止めする必要がなく、基材の少なくとも片面にフィルム状樹脂材が仮止めされた仮積層体を形成するために必要となる上記オートシートカットラミネータ等が不要となる。なお、本発明は、上記の第１および第２の案内ロールに限定されるものではなく、帯状材料の引き回しを同様に行えるものであれば、どのような機構でもよい。後述の第３案内ロールに関しても、同様に本発明の構成が案内ロールに限定されるものではない。
【００１９】
さらに、本発明において、基材が枚葉基板もしくは帯状基板である場合には、上記両帯状フィルム状樹脂材，基材を真空プレス装置に間欠的もしくは連続的に供給して、積層体が一連につながれた帯状積層体を形成することができる。
【００２０】
また、本発明において、第１帯状フィルムが巻回された第１フィルム巻回ロールと、第２帯状フィルムが巻回された第２フィルム巻回ロールと、これらを案内する第１および第２の案内手段と、上記第１および第２の帯状フィルムを巻き取る巻き取りロールとをさらに設け、第１および第２の樹脂材巻回ロールから引き出され、基材を間に挟んだ第１および第２の帯状フィルム状樹脂材を、上記両フィルム巻回ロールから引き出された両帯状フィルムで挟んだ状態で帯状積層体を形成し、第１および第２の帯状フィルムを上記帯状積層体とは別個に巻き取るようにした場合には、帯状積層体形成時に軟化したフィルム状樹脂が真空プレス装置の両熱盤等へ付着することを防止できる。
【００２１】
また、本発明において、相対向する一対の熱盤が設置され、これら両熱盤の少なくとも一方が他方に対し進退可能である平面プレス装置を備え、この平面プレス装置の両熱盤で、上記真空プレス装置により形成された積層体の表裏両面を加圧して平滑にするように構成した場合には、平面プレス装置により積層体の表裏両面を平滑にすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
つぎに、本発明の実施の形態を図面にもとづいて詳しく説明する。ただし、本発明は、この実施の形態に限定されるものではない。
【００２３】
図１は本発明の積層装置の一実施の形態を示している。この実施の形態では、上記積層装置は、搬送フィルム巻き出し部１、真空積層装置（真空プレス装置）２、平面プレス装置３および搬送フィルム巻き取り部４で構成されており、基板（図２および図３参照）の流れ方向（図１の矢印参照）の上流から下流に向かってこの順で配設されている。
【００２４】
上記搬送フィルム巻き出し部１は、図４の拡大図に示すように、上側搬送フィルム（第１帯状フィルム）５が巻回された上側搬送フィルム巻回ロール（第１フィルム巻回ロール）１１と、下側搬送フィルム（第２帯状フィルム）６が巻回され上側搬送フィルム巻回ロール１１より下側に、上側搬送フィルム巻回ロール１１と相対峙して、配設された下側搬送フィルム巻回ロール（第２フィルム巻回ロール）１２と、上下両搬送フィルム巻回ロール１１，１２間に配設された搬入コンベア１３とを備えている。そして、上側搬送フィルム巻回ロール１１から引き出された上側搬送フィルム５は、真空積層装置２および平面プレス装置３の相対向する上下一対の熱盤２３，２６，４７，５１（図６および図１２の拡大図参照）間を通ったのち搬送フィルム巻き取り部４（図５の拡大図参照）の上側巻き取りロール（第１フィルム巻き取りロール）１４に巻き取られ、下側搬送フィルム巻回ロール１２から巻き出された下側搬送フィルム６も同様に、真空積層装置２および平面プレス装置３の相対向する上下一対の熱盤２３，２６，４７，５１間を通ったのち搬送フィルム巻き取り部４の下側巻き取りロール（第２フィルム巻き取りロール）１５に巻き取られるようにしている。また、上側巻き取りロール１４を、熱盤２３，２６，４７，５１の一回の作動ごとに間欠的に巻き取り駆動する第１駆動手段（第１フィルム駆動手段）１４ｂと、下側巻き取りロール１５を上記上側巻き取りロール１４と同期して間欠的に巻き取り駆動する第２駆動手段（第２フィルム駆動手段）１５ａとを備えている。なお、本発明において、熱盤とは、加熱手段を有する盤のことであり、加熱されて熱盤となるものを意味する。
【００２５】
上記上下両搬送フィルム５，６としては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムがあげられ、具体的には、ユニチカ社製の「ＥＭＢＬＥＴ  ＰＴＨシリーズ」や、ダイアフォイル社製の「マットフィルムシリーズ」が使用される。また、上記上下両搬送フィルム５，６の幅は、加熱加圧されたフィルム状樹脂が支持体フィルムの外側へ滲み出して真空積層装置２および平面プレス装置３に付着することを防止する目的で、仮積層体７，積層体９の幅より１０〜４０ｍｍ程度広く設定される。真空積層装置２および平面プレス装置３に滲み出したフィルム状樹脂が付着すると、付着したフィルム状樹脂が後続の製品の支持体フィルムに再付着する。滲み出した樹脂が付着した箇所のフィルム状樹脂材８ｂの厚みは、付着した樹脂の厚み分だけ厚くなり製品が不良となる。このような上下両搬送フィルム５，６は、０．５〜１５０ｋＮの範囲内で張力を付与された状態で走行させられる。また、上下両搬送フィルム５，６の搬送速度は、通常１〜２０ｍ／分の範囲内に設定される。
【００２６】
図４の拡大図に示す搬入コンベア（供給手段）１３は、上記のように、仮積層体７を受け入れてこの仮積層体７を上下両搬送フィルム５，６間に供給する作用をする。仮積層体７は、仮積層体７の投入側の搬送方向と直交する辺を必要に応じてエアシリンダ１３ｂにより昇降可能な仮積層体ストッパー１３ａに上記直交する辺の全体もしくは両端・中央部等の複数箇所で当接させて停止することにより上下両搬送フィルム５，６間に供給する前に正確に位置決めしてもよい。仮積層体７は、凹凸を有する基材８ａ（以下、基材８ａと略す）と、この基材８ａの凹凸面に、これを覆った状態で重ねられて（例えば、フィルム状樹脂材８ｂの角や外側の辺の中央部をスポット状にもしくは周縁部の１辺をライン状に加熱・加圧もしくは加圧する等して接着固定されて）仮止めされたフィルム状樹脂材８ｂとからなっている（図２参照）。凹凸を有する基材８ａとしては、例えば銅，半田等のパターン等を施したプリント基板が用いられ、また、ビルドアップ工法等に用いられる多積層基板を用いてもよい。基材８ａの厚みや縦横の大きさは、特に限定されないが、厚みは０．１〜１０ｍｍの範囲内のものが好ましく、縦横の大きさは１５０〜８００ｍｍの範囲内のものが好ましい。フィルム状樹脂材８ｂ（真空積層後にフィルム状樹脂層８ｃになる）としては、粘着性や接着性，ホットメルト性を持つものや、ガラス転移温度以上で軟化する樹脂を主成分とする樹脂組成物であれば特には制限されないが、特に電気絶縁性を持つものが有用である。このような樹脂組成物としては、主にエポキシ樹脂，エポキシ樹脂からなる熱硬化性樹脂組成物，エチレン性不飽和化合物および光重合開始剤からなる感光性樹脂組成物等があげられる。この実施の形態では、上記仮積層体７は、表裏両面に凹凸を有する基材８ａと、この基材８ａの表裏両面の凹凸面に予め仮止めされた上下一対のフィルム状樹脂材８ｂ（巻き芯に巻かれた帯状のフィルム状樹脂材８ｂを上記オートシートカットラミネータ等により短冊シート状にカットしたもの）とからなっているが、基材８ａの表裏両面の一方にだけ凹凸を有する場合には、凹凸を有する面にだけフィルム状樹脂材８ｂを仮止めするようにしてもよい。
【００２７】
つぎに、真空積層装置２は、上下両搬送フィルム５，６により搬送されてきた仮積層体７を真空状態で加熱加圧し、基材８ａにフィルム状樹脂層８ｃが積層されてなる積層体９（図３参照）とするものであり、図６の拡大図に示すように、プレス台１７に立設された複数本（図６では、２本しか図示せず）の支柱１８と、これら各支柱１８にボルト，ナット等の固定手段１９で固定された上部プレート２０と、上記各支柱１８に上下移動可能に取り付けられた下部プレート２１等を備えている。この下部プレート２１は、ジョイント２８を介して油圧シリンダもしくはエアーシリンダ２９に連結されており、この油圧シリンダもしくはエアーシリンダ２９の作動により（ピストンロッド２９ａの上昇および下降に伴って）上下移動するようにしている。
【００２８】
上部プレート２０には、平板状の上側断熱材２２，上側熱盤２３，真空積層時に仮積層体７の上側フィルム状樹脂材８ｂ（図２参照）の表面を加圧するゴム製の上側弾性プレス板２４が上側からこの順に固定されており、下部プレート２１には、平板状の下側断熱材２５，下側熱盤２６，真空積層時に仮積層体７の下側フィルム状樹脂材８ｂ（図２参照）の表面を加圧するゴム製の下側弾性プレス板２７が下側からこの順に固定されている（図７参照）。
【００２９】
なお、上記両弾性プレス板２４，２７の両熱盤２３，２６への固定方法は、特に限定されるものではなく、枠体，ボルト，カラー等の固定手段（図示せず）を用いる方法や、両弾性プレス板２４，２７と両熱盤２３，２６間をシールした状態でその内部を減圧して両弾性プレス板２４，２７を両熱盤２３，２６に吸着固定する方法等、各種の方法を用いることができる。
【００３０】
また、別の固定方法として、上記両弾性プレス板２４，２７と両熱盤２３，２６との間にそれぞれ金属板２４ａ，２７ａ（図８参照）を設け、これら両金属板２４ａ，２７ａの一側面に両弾性プレス板２４，２７を加硫接着するとともに、他側面（弾性プレス板２４，２７を加硫接着していない側面）を両熱盤２３，２６にボルト，カラー等の固定手段（図示せず）で固定する方法を用いることもできる。しかし、これに限定されず、両熱盤２３，２６と両金属板２４ａ，２７ａ間をシールした状態でその内部を減圧して両金属板２４ａ，２７ａを両熱盤２３，２６に吸着固定する方法等を適宜用いることができる。また、図８に示すように、上記両弾性プレス板２４，２７と両熱盤２３，２６との間に設けさせた両金属板２４ａ，２７ａと、両熱盤２３，２６との間にそれぞれ、ゴム弾性等を有する緩衝材２４ｂ，２７ｂを設けることが好ましく、両金属板２４ａ，２７ａの両側面に弾性プレス板２４，２７を加硫接着し、一側面の弾性プレス板２４，２７を緩衝材２４ｂ，２７ｂとして使用することもできる。上記のように両金属板２４ａ，２７ａの両側面に弾性プレス板２４，２７を加硫接着すると、弾性プレス板２４もしくは２７が異物等により表面が傷ついてしまったときには、傷ついた弾性プレス板２４，２７が加硫接着された金属板２４ａ，２７ａを本体から取り外し、傷ついた弾性プレス板２４，２７を緩衝材として使用するように表裏逆に取り付けて生産を続行することが可能となり、装置の保全性の面で好ましい。
【００３１】
上側断熱材２２は、上部プレート２０の下面にボルト，ナット等の固定手段（図示せず）で固定されている。上側熱盤２３は、上側断熱材２２にボルト，ナット等の固定手段（図示せず）で固定され、上側弾性プレス板２４は、上側熱盤２３の下面に直接に接着固定等されている。また、下側断熱材２５は、下部プレート２１の上面にボルト，ナット等の固定手段（図示せず）で固定されている。下側熱盤２６は、下側断熱材２５にボルト，ナット等の固定手段（図示せず）で固定され、下側弾性プレス板２７は、下側熱盤２６の上面に直接に接着固定等されている。なお、上部（下部）プレート２０（２１）と上側（下側）熱盤２３（２６）を直接ボルト，ナット等の固定手段で固定すると、ボルト，ナット等を介して上側（下側）熱盤２３（２６）の熱が上部（下部）プレート２０（２１）に伝導しやすくなり、好ましくない。
【００３２】
上下両熱盤２３，２６には、その内部に、弾性プレス板２４，２７を加熱するための温度コントロール可能な加熱手段が適宜配置されている。この実施の形態では、上記加熱手段として、上下両熱盤２３，２６の内部に複数本のシース状ヒーター２３ａ，２６ａが並列配置されている。後述する上下両熱盤４７，５１も、同様構造である。
【００３３】
また、真空積層装置２は、可動真空枠３０を備えている。この可動真空枠３０は、図９（この図９では、上下両断熱材２２，２５、上下両熱盤２３，２６、上下両弾性プレス板２４，２７、金属板２４ａ，２７ａ、緩衝材２４ｂ，２７ｂは図示せず。図１０および図１１も同じ）に示すように、上部プレート２０の下面に気密状に固定された略四角形枠状の上側固定枠部３１と、下部プレート２１の上面に気密状に固定された可動枠３２とを備えている。上側固定枠部３１には、その周側壁に穿設された貫通穴３１ａに真空引き用ノズル３３が固定されており、この真空引き用ノズル３３により、上下両プレート２０，２１の密封契合時に、上側固定枠部３１と可動枠３２間に形成される空間部３４（図１０参照）内を真空引きし、この空間部３４の圧力を調整する（すなわち、所定圧力の真空状態とする）ことができる。なお、真空引き用ノズル３３は、上側固定枠部３１ではなく、上部プレート２０に貫通穴を設けて配置してもよく、さらに複数箇所に設けると効率よく空間部３４の圧力を調整することができる。
【００３４】
上記可動枠３２は、下部プレート２１の上面に気密状に固定された略四角形枠状の下側固定枠部３５と、可動枠部３６と、この可動枠部３６を上下移動自在に支受するスプリング３７とを備えている。上記下側固定枠部３５の上部は、その全周が外側に突出形成されており、この突出形成部の外周面の全周に形成された凹溝３５ａに環状のシール部材３８が嵌合固定されている。シール部材３８の形状は、リップパッキンが好適である。
【００３５】
上記可動枠部３６は、下側固定枠部３５の突出形成部に上下に摺動自在に外嵌されており、この状態で下側固定枠部３５にスプリング３７により支受されている。すなわち、上記可動枠部３６の下面に形成された複数個（図９〜図１１では、２個しか図示せず）の凹部３６ａにスプリング３７の上部が挿入されており、これら各スプリング３７が、下側固定枠部３５の下端突出部３５ｂ上に載置されている。これにより、上記可動枠部３６が下側固定枠部３５にスプリング３７を介して上下移動自在に支受されている。また、上記可動枠部３６の内周面が、下側固定枠部３５のシール部材３８に気密状でかつ摺動自在に当接している。
【００３６】
また、上記可動枠部３６の上面の全周に凹溝３６ｂが形成されており、この凹溝３６ｂに略四角形環状のシール部材３９が嵌合固定されている。このシール部材３９は、上下両プレート２０，２１の密封契合時に上記空間部３４内を気密状に保持する作用をする。また、このシール部材３９の形状は、リップパッキンが好適である。図９〜図１１において、４０ａ，４０ｂはシール部材である。
【００３７】
このような可動真空枠３０は、油圧シリンダもしくはエアーシリンダ２９（図６参照）の作動により下部プレート２１を上昇させることで、上側固定枠部３１の下面と可動枠部３６の上面とを密着させて（図１０参照）その内部空間（上記空間部３４）を密封空間とすることができる（すなわち、上下両プレート２０，２１を密封契合させることができる）。さらに、上記各スプリング３７を撓ませながら下部プレート２１を上昇させることができ、可動枠部３６の下面を下側固定枠部３５の下端突出部３５ｂの上面に当接させるまで下部プレート２１を上昇させることもできる（図１１参照）。
【００３８】
つぎに、平面プレス装置３は、真空積層装置２から上下両搬送フィルム５，６により搬送されてきた積層体９を上下両プレスブロック４１，４２（図１２参照）間に位置決めし、これら上下両プレスブロック４１，４２で加熱加圧して積層体９の表裏両面を平滑にする（図１３参照）ものであり、図１２に示すように、プレス台４３に立設された複数本（図１２では、２本しか図示せず）の支柱４３ａと、これら各支柱４３ａにボルト，ナット等の固定手段４３ｂで固定される上プレスブロック４１と、上記各支柱４３ａに上下移動可能に取り付けられる下プレスブロック４２等を備えている。この下プレスブロック４２は、ジョイント５４を介して油圧シリンダもしくはエアーシリンダ５５に連結されており、この油圧シリンダもしくはエアーシリンダ５５の作動により（ピストンロッド５５ａの上昇および下降に伴って）上下移動されるようにしている。
【００３９】
上記上下両プレスブロック４１，４２について、この実施の形態では、上プレスブロック４１は、上部ベース層４４に平板状の上側断熱材４６，上側熱盤４７，平板状の上側緩衝材４８および上側フレキシブル金属板４９が上側からこの順に固定されたもので構成されており、下プレスブロック４２は、下部ベース層４５に平板状の下側断熱材５０，下側熱盤５１，平板状の下側緩衝材５２および下側フレキシブル金属板５３が下側からこの順に固定されたもので構成されている。
【００４０】
上側断熱材４６は、上部ベース層４４の下面にボルト，ナット等の固定手段（図示せず）により固定されている。上側熱盤４７は、上側断熱材４６にボルト，ナット等の固定手段（図示せず）により固定され、上側フレキシブル金属板４９は上側緩衝材４８を介して上側熱盤４７にボルト，カラー等の固定手段（図示せず）で固定されている。また、下側断熱材５０は、下部ベース層４５の上面にボルト，ナット等の固定手段（図示せず）により固定されている。下側熱盤５１は、下側断熱材５０にボルト，ナット等の固定手段（図示せず）で固定され、下側フレキシブル金属板５３は下側緩衝材５２を介して下側熱盤５１にボルト，カラー等の固定手段（図示せず）により固定されている。なお、上部（下部）ベース層４４（４５）と上側（下側）熱盤４７（５１）とを直接ボルト，ナット等の固定手段で固定すると、ボルト，ナット等を介して上側（下側）熱盤４７（５１）の熱が上部（下部）ベース層４４（４５）に伝導しやすくなり、好ましくない。図において、４７ａ，５１ａは上下両熱盤４７，５１の内部に並列配置されたシース状ヒーターである。
【００４１】
つぎに、搬送フィルム巻き取り部４は、図５の拡大図に示すように、上側搬送フィルム５が巻き取られる上側巻き取りロール１４と、下側搬送フィルム６が巻き取られ上側巻き取りロール１４より下側に配設された下側巻き取りロール１５と、上下両巻き取りロール１４，１５間に配設された排出コンベア（図示せず）とを備えている。なお、この排出コンベアは、配設されていなくてもよい。また、搬送フィルム巻き取り部４では、冷却ファン５６等の冷却手段により、表裏両面が平滑にされた積層体９を冷却し、積層体９表面の、軟化したフィルム状樹脂層８ｃを硬化させて積層体９表面を変形させにくくするとともに、滲み出したフィルム状樹脂層８ｃと搬送フィルム５，６とを剥離させやすくすることもできる。
【００４２】
本発明の積層装置は、上記のように、真空積層装置２における、上下両熱盤２３，２６の、仮積層体７側の面にそれぞれ、仮積層体７のフィルム状樹脂材８ｂの表面を加圧する弾性プレス板２４，２７を設けたことを最大の特徴としている。
【００４３】
上下両弾性プレス板２４，２７の構成材料としては、耐熱性シリコーンゴム，耐熱性フッ素ゴム等のゴム材料や、弾性を有する各種の樹脂材料が用いられ、内部等に繊維層を設けたものが好適に用いられる。この繊維層を設けることにより、上下両弾性プレス板２４，２７の耐久性を向上させることができ、高温下において加圧を繰り返し行っても上下両弾性プレス板２４，２７の伸張変形を抑制することができ、基材８ａに対するフィルム状樹脂材８ｂ，フィルム状樹脂層８ｃの追従性や密着性に優れた効果を発揮する。一方、上下両弾性プレス板２４，２７に繊維層を設けない場合には、金属板２４ａ，２７ａに上下両弾性プレス板２４，２７を加硫接着することにより、繊維層を設けた場合と同様に、高温下において加圧を繰り返し行っても上下両弾性プレス板２４，２７の伸張変形を抑制することができ、基材８ａに対するフィルム状樹脂材８ｂ，フィルム状樹脂層８ｃの追従性や密着性に優れた効果を発揮する。
【００４４】
上記繊維層としては、特に限定されないが、化学繊維やガラス繊維を布状に織ったものが好適に用いられ、例えば、ゴム製の板状本体６１の内部に、化学繊維を布状に織った繊維層６２を１層もしくは複数層設けて一体化したり（図１４参照）、ゴム製の板状本体６１の表裏両面の少なくとも一方に上記繊維層６２を１層もしくは複数層設けて一体化したり（図１５参照）することが行われる。
【００４５】
上記金属板２４ａ，２７ａとしては、特に限定されないが、ステンレス板が防錆の点から好適に用いられ、厚みは特に限定されないが、０．１〜１０ｍｍの範囲内が好ましく、さらに好ましくは１〜５ｍｍの範囲内である。
【００４６】
上記のフッ素系ゴムとしては、フッ化ビニリデン系ゴム、含フッ素シリコーンゴム、テトラフルオロエチレン系ゴム、含フッ素ビニルエーテル系ゴム、含フッ素フォスフォニトリル系ゴム、含フッ素アクリレート系ゴム、含フッ素ニトロソメタン系ゴム、含フッ素ポリエステルゴム、含フッ素トリアジンゴム等があげられ、市販品としては例えば、金陽社製「キンヨーボード」シリーズ、クレハエラストマー社製「フッソゴムシートＦＢ」シリーズ、ダイキン工業社製「ダイエル」シリーズ、デュポン社製「ビトン」シリーズ、ダウコーニング社製「シラステック」シリーズ、モンテディソン社製「テクノフロン」シリーズ、３Ｍ社製「フルオレル」シリーズ、「ケル−Ｆ」シリーズ等があげられる。
【００４７】
また、上記繊維層の繊維の素材としては、ガラス繊維や、ポリエステルやその他の極性硬質素材、ポリエチレン等の非極性硬質素材、ポリエステル系およびナイロン系等の極性軟質素材、オレフィン系等の無極性軟質素材等がゴム材料との接着が容易である点から好ましく、ポリエステルやナイロンが強度および耐熱性に優れている点から好ましい。特に好ましいのは、ゴム材料として耐熱性フッ素ゴムを用い、内部に耐熱性ナイロン製の布（耐熱性ナイロンを布状に織って作製した繊維層）を設けたものであり、非常に強度および耐熱性に優れている。市販品としては、例えば金陽社製「キンヨーボード」シリーズ、中でも「Ｆ−２００」が好ましい。
【００４８】
上下両弾性プレス板２４，２７の硬度については、ショアーＡ硬度が４０度以上に設定されていることが好ましい。すなわち、上下両弾性プレス板２４，２７には、相反する強い引き裂き強度と高い剥離性とが求められており、上記硬度は、引き裂き強度と剥離性とに大きく影響するものである。上記ショアーＡ硬度が４０度以上であると、上下両弾性プレス板２４，２７は良く伸張して引き裂かれにくいと同時に、加圧ラミネーションに耐える強い引き裂き強度を獲得することができる。一方、剥離性に関しては、充分な剥離性が得られ、積層体９が上下両弾性プレス板２４，２７から剥がれやすくなる。これら上下両弾性プレス板２４，２７の好ましい硬度は５０度以上であり、さらには６０度以上である。なお、本発明において、ショアーＡ硬度とはＪＩＳ  Ｚ２２４６（２０００）に準処して測定されるものである。
【００４９】
また、上下両弾性プレス板２４，２７の厚みは０．１〜１０ｍｍの範囲内のものが好ましく、さらには０．５〜３ｍｍの範囲内のものが好ましい。上記厚みが薄すぎると、繊維層の織り目が上下両弾性プレス板２４，２７の表面に現れてフィルム状樹脂層８ｃの表面に繊維層の織り目が転写してしまう傾向があり、厚すぎると、上側熱盤２３，下側熱盤２６からフィルム状樹脂層８ｃへの熱伝導が悪くなり、上側熱盤２３，下側熱盤２６の温度分布が不均一となる傾向がある。また、上下両弾性プレス板２４，２７の表面は粗面化されていることが好ましく、その表面粗さＲｚは１μｍ以上のものが好ましく、さらには２０〜４００μｍの範囲内のものが好ましく、さらに２０〜６０μｍの範囲内のものがもっとも好ましい。上記表面粗さＲｚが大きければ大きいほど、加熱加圧後に上下両弾性プレス板２４，２７がフィルム状樹脂層８ｃもしくは上下両搬送フィルム５，６から離間しやすいが、上下両弾性プレス板２４，２７の表面粗さがフィルム状樹脂層８ｃの表面に転写して積層体９の表面鏡面性が損なわれる傾向があり、小さすぎると、フィルム状樹脂層８ｃもしくは上下両搬送フィルム５，６との密着性が良くなりすぎ、加熱加圧後に上下両弾性プレス板２４，２７がフィルム状樹脂層８ｃから剥がれにくくなる傾向がある。なお、本発明において、表面粗さＲｚとはＪＩＳ  Ｂ０６０１（２００１）に準処して測定されるものである。
【００５０】
本発明では、図１の積層装置を用い、つぎのようにして積層体９を作製する。まず、基材８ａの凹凸面にフィルム状樹脂材８ｂを仮止めしてなる仮積層体７を予め準備しておく。ついで、仮積層体７を搬入コンベア１３に送給し、この搬入コンベア１３から上下両搬送用フィルム５，６間に供給する。この供給された仮積層体７は上下両搬送用フィルム５，６に挟持されて真空積層装置２に搬入される。
【００５１】
この真空積層装置２では、つぎのようにして真空積層工程を行う。まず、上記仮積層体７を上下両搬送用フィルム５，６で真空積層装置２内に搬送して所定の位置（圧締位置）に位置決めする（図１および図１６参照、この図１６では、上下両搬送用フィルム５，６は図示せず。図１７および図１８も同じ）。ついで、油圧シリンダもしくはエアーシリンダ２９を作動して下部プレート２１を上昇させ、上部プレート２０の上側固定枠部３１の下面と下部プレート２１の可動枠部３６の上面とを密着させて上下両プレート２０，２１を密封契合する（図１０および図１７参照）。
【００５２】
この密封契合ののち、空間部３４を減圧状態にする。具体的には、真空引き用ノズル３３（図９参照）により空間部３４を真空ポンプ（図示せず）で減圧する（図１７参照）。上記空間部３４の圧力は２００Ｐａ以下、好ましくは１００Ｐａ以下の真空状態にする。上記圧力が大きすぎると、基板８ａとフィルム状樹脂材８ｂとの間にマイクロボイドが残存し、積層後のフィルム状樹脂層８ｃを後工程で熱硬化する際に、マイクロボイドが残存した箇所の表面が陥没して製品が不良となる傾向がある。
【００５３】
つぎに、油圧シリンダもしくはエアーシリンダ２９を作動し、下部プレート２１を上昇させ、上下両弾性プレス板２４，２７で仮積層体７を挟圧して加熱・加圧し（図１８参照）、基材８ａの表裏両面にフィルム状樹脂材８ｂを貼り合わせて積層体９を作製する。上記圧力の調整は、具体的には、空間部３４を減圧したまま下側弾性プレス板２７の圧力を調節すればよく、上下両弾性プレス板２４，２７で仮積層体７の上下両フィルム状樹脂材８ｂを押圧し、基材８ａとフィルム状樹脂材８ｂとを圧締するのである。このようにして仮積層体７が真空積層されて積層体９となる。この積層体９の表面は、基材８ａの凹凸にフィルム状樹脂層８ｃが密着追従しているものの、基材８ａの凹凸が反映して平滑ではない。
【００５４】
上記加熱・加圧の際には、上側熱盤２３および下側熱盤２６の温度を３０〜１８５℃にすることが好ましく、より好ましくは７０〜１４０℃である。上記温度が低すぎると、基材８ａにフィルム状樹脂層８ｃを充填することができず、追従性が悪くマイクロボイドが残存する傾向がある。一方、上記温度が高すぎると、フィルム状樹脂材８ｂが熱分解硬化を起し分解ガスによる追従性が低下してマイクロボイドが発生する傾向がある。このような温度コントロールの方法としては特に限定されないが、上下両熱盤２３，２６に内蔵されるシース状ヒーター２３ａ，２６ａ等で調整される。
【００５５】
上記の加熱・加圧において、加圧条件は、０．１〜２ＭＰａの範囲内に設定され、好適には０．４〜１．５ＭＰａである。
【００５６】
上記の加熱・加圧工程が終了した後に、真空引き用ノズル３３により上記空間部３４の真空状態を解放して常圧に戻し、油圧シリンダもしくはエアーシリンダ２９を作動し、下部プレート２１を下降させる。そののち、積層体９は上下両搬送用フィルム５，６に挟持され、次工程の平面プレス装置３に搬入される。
【００５７】
この平面プレス装置３では、つぎのようにして平面プレス工程を行う。まず、上記積層体９を上下両搬送用フィルム５，６で平面プレス装置３内に搬送して所定の位置（プレス位置）に位置決めする。ついで、油圧シリンダもしくはエアーシリンダ５５を作動して下プレスブロック４２を上昇させ、上下両フレキシブル金属板４９，５３で積層体９を挟圧するようにして加熱加圧し、積層体９のフィルム状樹脂層８ｃの表面を平滑にする。
【００５８】
つぎに、油圧シリンダもしくはエアーシリンダ５５を作動し、下プレスブロック４２を下降させる。そののち、積層体９は、上下両搬送用フィルム５，６で平面プレス装置３から排出され、搬送フィルム巻き取り部４において、空冷ファン５６により冷却されたのちに上下両搬送用フィルム５，６から剥離され、排出コンベアで排出される。
【００５９】
上記の平面プレス工程において、加熱温度は、３０〜２００℃、好適には７０〜１４０℃に設定され、加圧条件は、０．１〜２ＭＰａ、好適には０．５〜１．５ＭＰａに設定される。
【００６０】
上記のように、この実施の形態では、真空積層装置２に設けた両熱盤２３，２６にそれぞれ弾性プレス板２４，２７を固定し、これら両弾性プレス板２４，２７を用いてフィルム状樹脂材８ｂの表面を加圧しているため、上記両弾性プレス板２４，２７により強い圧力でフィルム状樹脂材８ｂの表面を加圧することができ、この加圧の際に、上記両弾性プレス板２４，２７の弾性により、その加圧面（上記フィルム状樹脂材８ｂの表面を加圧する面）を基材８ａの凹凸面に沿って弾性変形させることができる。このため、基材８ａの凹凸の間隔が微細もしくは凹凸が深い場合であっても、上記加圧の際にフィルム状樹脂材８ｂを基材８ａに密着追従させることができ、この基材８ａとフィルム状樹脂材８ｂとの間に気泡が残存しない。しかも、この実施の形態では、平面プレス装置３を備えているため、この平面プレス装置３により、上記真空積層装置２で形成された積層体９の表裏両面を加圧して平滑にすることができる。
【００６１】
図１９は本発明の積層装置の他の実施の形態を示している。この実施の形態では、上記実施の形態のように、仮積層体７を搬入コンベア１３により１個ずつ上下両搬送フィルム５，６間に搬入して真空積層装置２に供給するのではない。それに代えて、帯状基板１０ｃを用い、それに伴い、上側帯状フィルム状樹脂材１０ａ，下側帯状フィルム状樹脂材１０ｂを用いるとともに、これらを巻回した各巻回ロール１１ａ〜１１ｃ（図２０参照）と、これら各巻回ロール１１ａ〜１１ｃから引き出した上下両帯状フィルム状樹脂材１０ａ，１０ｂおよび帯状基板１０ｃを真空積層装置２に導入して得られた帯状積層体９ａ（帯状基板１０ｃの表面に上側帯状フィルム状樹脂材１０ａが、裏面に下側帯状フィルム状樹脂材１０ｂがそれぞれ積層されたもの）を巻き取る積層体巻き取りロール１４ａを設けている。これにより、上下両帯状フィルム状樹脂材１０ａ，１０ｂおよび帯状基板１０ｃを真空積層装置２，平面プレス装置３に連続的に供給するようにしている。
【００６２】
この実施の形態の積層装置は、フィルム等巻き出し部１ａ，真空積層装置２，平面プレス装置３およびフィルム等巻き取り部４ａで構成されており、真空積層装置２，平面プレス装置３は上記実施の形態と同様の構造であり、同様に機能する。なお、この実施の形態では、仮積層体７を用いていないため、オートシートカットラミネータおよび搬入コンベア１３を使用していない。
【００６３】
上記フィルム等巻き出し部１ａは、上記実施の形態（の搬送フィルム巻回部１）と同様に、上側搬送フィルム巻回ロール１１および下側搬送フィルム巻回ロール１２を備えているだけでなく、これら上下両搬送フィルム巻回ロール１１，１２に加えて、上側帯状フィルム状樹脂材１０ａが巻回された上側樹脂材巻回ロール１１ａと、下側帯状フィルム状樹脂材１０ｂが巻回され上側樹脂材巻回ロール１１ａより下側に（上側樹脂材巻回ロール１１ａと相対峙して）配設された下側樹脂材巻回ロール１１ｂと、帯状基板１０ｃが巻回された帯状基板巻回ロール１１ｃとを備えている。また、この積層装置は、上側樹脂材巻回ロール１１ａから引き出された上側帯状フィルム状樹脂材１０ａを上記真空プレス装置２の両熱盤２３，２６間に案内する第１案内ロール１２ａと、（この第１案内ロール１２ａより下側にこの第１案内ロール１２ａと相対峙して配設され）下側樹脂材巻回ロール１１ｂから引き出された下側帯状フィルム状樹脂材１０ｂを上側帯状フィルム状樹脂材１０ａと相対向する状態で上記両熱盤２３，２６間に案内する第２案内ロール１２ｂとを備えている。また、この積層装置は、帯状基板巻回ロール１１ｃから引出された帯状基板１０ｃを上記上下両帯状フィルム状樹脂材１０ａ，１０ｂの間に位置決めして上記両熱盤２３，２６間に案内する第３案内ロール１２ｃを備えている。そして、この積層装置は、上下両帯状フィルム状樹脂材１０ａ，１０ｂおよび帯状基板１０ｃを上記両熱盤２３，２６間に導入し、上記両熱盤２３，２６を作動させて形成した帯状積層体９ａを巻き取る積層体巻き取りロール１４ａを備えている。
【００６４】
ここで、上記フィルム等巻き出し部１ａからは、図１９から明らかなように、各巻回ロール１１，１２，１１ａ〜１１ｃから引き出される上下両搬送フィルム５，６、上下両帯状フィルム状樹脂材１０ａ，１０ｂおよび帯状基板１０ｃが、上側から下側に向かって上側搬送フィルム５，上側帯状フィルム状樹脂材１０ａ，帯状基板１０ｃ，下側帯状フィルム状樹脂材１０ｂ，下側搬送フィルム６の順に並んだ状態で送り出される。このため、上下搬送フィルム巻回ロール１１，１２より基板の流れ方向（図１９の矢印参照）の上流側（図１９では、右側）に上下両樹脂材巻回ロール１１ａ，１１ｂを配置して上下両搬送フィルム５，６間に上下両帯状フィルム状樹脂材１０ａ，１０ｂを位置決めするようにし、さらに上下両樹脂材巻回ロール１１ａ，１１ｂより上記流れ方向の上流側（図１９では、右側）に帯状基板巻回ロール１１ｃを配置して上下両帯状フィルム状樹脂材１０ａ，１０ｂ間に帯状基板１０ｃを位置決めするようにしている。なお、上下両樹脂材巻回ロール１１ａ，１１ｂを上下搬送フィルム巻回ロール１１，１２より基板の流れ方向（図１９の矢印参照）の下流側に設けてもよい。
【００６５】
また、上下両帯状フィルム状樹脂材１０ａ，１０ｂの樹脂面（帯状基板１０ｃに相対向する面）がカバーフィルム（図示せず）で保護され、使用に際してカバーフィルムを剥がす必要がある場合には、上下両樹脂材巻回ロール１１ａ，１１ｂの近傍に、カバーフィルムを巻き取るための巻き取りロール（図示せず）を設ける。この巻き取りロールの駆動手段は特に限定されず、専用のモーター等の駆動手段を設けてもよいし、巻き取りロール外周と上下両樹脂材巻回ロール１１ａ，１１ｂの外周を接触させて上下両樹脂材巻回ロール１１ａ，１１ｂの回転を巻き取りロールに伝達して巻き取るようにしてもよい。
【００６６】
上記上下両帯状フィルム状樹脂材１０ａ，１０ｂとしては、上記実施の形態で用いたフィルム状樹脂材８ｂと全く同じ物（上記実施の形態では、短冊シート状に形成されているるが、この実施の形態では、長尺に形成されている）が使用可能であり、巻き芯（図示せず）に巻かれた帯状フィルム状樹脂材８ｂを用いることができる。また、上記帯状基板１０ｃとしては、ロール状にして帯状基板巻回ロール１１ｃに取り付け可能で、かつ積層体巻き取りロール１４ａに巻き取り可能な程度に柔軟性を有するものが用いられ、例えば、フレキシブル性を有する複数の基材８ａがフレキシブル性を有するフィルムで連結されたものや、フレキシブル性を有する長尺のベースフィルムに回路配線等が複数箇所に形成されたもの（回路配線等が形成された部分が、基材８ａとなる）を用いてもよい。帯状基板１０ｃの厚みや長さは、特に限定されないが、厚みは０．０２〜２ｍｍの範囲内のものが好ましく、長さは１０〜１０００ｍの範囲内のものが好ましい。また、上記上下両搬送フィルム５，６は、上記実施の形態で用いた搬送フィルムと同一の物が使用可能である。このような上下両帯状フィルム状樹脂材１０ａ，１０ｂ、帯状基板１０ｃおよび上下両搬送フィルム５，６は、０．５〜１５０ｋＮの範囲内で張力を付与された状態で走行させられ、搬送速度は、通常１〜２０ｍ／分の範囲内に設定される。
【００６７】
上記フィルム等巻き取り部４ａは、上記実施の形態（の搬送フィルム巻き取り部４）と同様に、上側巻き取りロール１４，下側巻き取りロール１５，第１駆動手段および第２駆動手段を備えているだけでなく、これらに加えて、真空積層装置２および平面プレス装置３を経由して作製された帯状積層体９ａ（複数の柔軟な積層体９が一連につながれたもの）を巻き取る積層体巻き取りロール１４ａを備えている。この積層体巻き取りロール１４ａは、上下両巻き取りロール１４，１５より上記流れ方向の下流側（図１９では、左側）に配置されており、上下両搬送フィルム５，６間に帯状積層体９ａが位置決めされるようにしている。また、このフィルム等巻き取り部４ａは、積層体巻き取りロール１４ａを上記上下両巻き取りロール１４，１５と同期して間欠的に巻き取り駆動する積層体駆動手段１４ｃ（図２１参照）を備えている。なお、この実施の形態では、排出コンベアは配設されていない。
【００６８】
上記上側搬送フィルム巻回ロール１１から巻き出された上側搬送フィルム５は、真空積層装置２および平面プレス装置３を通ったのちフィルム等巻き取り部４ａの上側巻き取りロール１４に巻き取られ、下側搬送フィルム巻回ロール１２から巻き出された下側搬送フィルム６も同様に、真空積層装置２および平面プレス装置３を通ったのちフィルム等巻き取り部４ａの下側巻き取りロール１５に巻き取られる。また、各巻回ロール１１ａ〜１１ｃから巻き出された上下両帯状フィルム状樹脂材１０ａ，１０ｂおよび帯状基板１０ｃは、各案内ロール１２ａ〜１２ｃを経由して真空積層装置２，平面プレス装置３に導入され、一体の帯状積層体９ａとなって積層体巻き取りロール１４ａに巻き取られる。
【００６９】
なお、真空積層装置２では、上下両搬送フィルム５，６、上下両帯状フィルム状樹脂材１０ａ，１０ｂおよび帯状基板１０ｃが真空状態で加熱加圧され、上下両搬送フィルム５，６間で、上下両帯状フィルム状樹脂材１０ａ，１０ｂと帯状基板１０ｃとが積層された帯状積層体９ａが形成される。また、平面プレス装置３では、真空積層装置２から搬送されてきた上下両搬送フィルム５，６、上下両帯状フィルム状樹脂材１０ａ，１０ｂおよび帯状基板１０ｃが加熱加圧され、上下両搬送フィルム５，６間で上記帯状積層体９ａの表裏両面が平滑にされる。
【００７０】
この実施の形態では、得られる帯状積層体９ａには、１個の基材８ａとこれに積層される上下両フィルム状樹脂材８ｂとで構成される１個の製品が、長手方向に連続して形成されている。したがって、帯状積層体９ａは、後工程において、１個の製品ごとに切断される。１個の製品を効率よく得るためには、製品間の距離が短いほうが好ましい。この実施の形態では、真空積層装置２と平面プレス装置３との間に距離があるため、この距離分に相当する帯状積層体９ａのスペースには、製品を形成することができない。それを解消するため、図２２に示すように、上記両装置２，３間に段差ロール１５ａを設け、この段差ロール１５ａにより、真空積層装置２の熱盤２３，２６の作動の１サイクルに相当する距離分の帯状積層体９ａを撓ませて保持させると、隣り合う製品間の距離を短くすることができる。これにより、真空積層装置２と平面プレス装置３との間の距離にもとづく無駄が解消される。また、真空積層装置２と平面プレス装置３とを所定の間隔（上記熱盤２３，２６の作動の１サイクルに相当する距離）をあけて設置してもよい。
【００７１】
上記のように、この実施の形態では、上記実施の形態と同様の作用・効果を奏する。しかも、上記実施の形態では、高価なオートシートカットラミネータ等の付帯設備が必要であるのに対し、この実施の形態では、高価な付帯設備が不要である利点を有している。しかも、基材８ａの絶縁層（ベースフィルム）の厚みが１００μｍ以下の場合に、絶縁層を短冊シート状にカットすると反ってカールしたり、あるいは強度が不足するため、仮積層体７の形成や搬送が困難になるが、この実施の形態では、帯状にして張力を付与した状態で帯状基板１０ｃを取り扱うことにより上記絶縁層の厚みが１００μｍ以下の場合にも、上下両帯状フィルム状樹脂材１０ａ，１０ｂおよび帯状基板１０ｃを積層し平滑化することが可能となる。
【００７２】
図２３は本発明の積層装置のさらに他の実施の形態を示している。この実施の形態では、図１９に示す実施の形態において、上下両搬送フィルム巻回ロール１１，１２、上下両巻き取りロール１４，１５および両駆動手段を備えていない。それ以外の部分は、図１９に示す実施の形態と同様であり、同様の部分には同じ符号を付している。この実施の形態でも、図１９に示す実施の形態と同様の作用・効果を奏する。
【００７３】
図２４は本発明の積層装置のさらに他の実施の形態を示している。この実施の形態では、図１９に示す実施の形態において、帯状積層体９ａを巻き取る積層体巻き取りロール１４ａを備えていない。また、帯状積層体９ａの駆動手段１４ｃを図２４に示す位置に設けている。それ以外の部分は、図１９に示す実施の形態と同様であり、同様の部分には同じ符号を付している。この実施の形態でも、図１９に示す実施の形態と同様の作用・効果を奏する。また、この実施の形態においては、本発明の積層装置から引き出された帯状積層体９ａは、１個の基材８ａとこれに積層される上下両フィルム状樹脂材８ｂとで構成される１個の製品が、長手方向に連続して形成されており、帯状積層体９ａは、本発明の積層装置に隣接して配置された切断装置（図示せず）により１個の製品ごとに切断される。なお、図示しないが切断装置を帯状積層体９ａの駆動手段１４ｃの下流の本発明の積層装置内に配置してもよい。
【００７４】
図２５は本発明の積層装置のさらに他の実施の形態を示している。この実施の形態では、図１９に示す実施の形態において、帯状積層体９ａを巻き取る積層体巻き取りロール１４ａを備えていない。また、帯状積層体９ａの駆動手段１４ｃを図２５に示す位置に設け、さらに上下両搬送フィルム巻回ロール１１，１２、上下両巻き取りロール１４，１５および両駆動手段を備えていない。それ以外の部分は、図１９に示す実施の形態と同様であり、同様の部分には同じ符号を付している。この実施の形態でも、図１９に示す実施の形態と同様の作用・効果を奏する。この実施の形態は、本発明の積層装置により上側帯状フィルム状樹脂材１０ａ，下側帯状フィルム状樹脂材１０ｂが加熱・加圧された際に、これら両帯状フィルム状樹脂材１０ａ，１０ｂの端部から樹脂が溶けて滲み出し本発明の積層装置に付着しない場合に用いられる。具体的には、感光性ポリイミドフィルム等に対して好適に用いられる。
【００７５】
図２６は本発明の積層装置のさらに他の実施の形態を示している。この実施の形態では、図１９に示す実施の形態において、帯状基板１０ｃの代わりに、基材（枚葉基板）８ａを用い、真空積層装置２に供給する構成である。それに伴い、図１９に示す巻回ロール１１ｃに代えて搬入コンベア１３を備えることにより、基材（枚葉基板）８ａを搬入コンベア１３で１個ずつ上下両帯状フィルム状樹脂材１０ａ，１０ｂ間に搬入して真空積層装置２に供給することができる。それ以外の部分は、図１９に示す実施の形態と同様であり、同様の部分には同じ符号を付している。この実施の形態でも、図１９に示す実施の形態と同様の作用・効果を奏する。しかも、この実施の形態では、基材（枚葉基板）８ａに対して高価なオートシートカットラミネータ等の付帯設備を用いずに、上下両帯状フィルム状樹脂材１０ａ，１０ｂを積層することができる。
【００７６】
図２７は本発明の積層装置のさらに他の実施の形態を示している。この実施の形態では、図１９に示す実施の形態において、帯状積層体９ａを巻き取る積層体巻き取りロール１４ａを備えていない。また、帯状積層体９ａの駆動手段１４ｃは図２７に示す位置に設け、さらに帯状基板１０ｃの代わりに基材（枚葉基板）８ａを用い、真空積層装置２に供給する構成である。それに伴い、図１９に示す巻回ロール１１ｃに代えて搬入コンベア１３を備えることにより、基材８ａを搬入コンベア１３で１個ずつ上下両帯状フィルム状樹脂材１０ａ，１０ｂ間に搬入して真空積層装置２に供給することができる。それ以外の部分は、図１９に示す実施の形態と同様であり、同様の部分には同じ符号を付している。この実施の形態でも、図１９に示す実施の形態と同様の作用・効果を奏する。この実施の形態では、基材８ａに対して高価なオートシートカットラミネータ等の付帯設備を用いずに上下両帯状フィルム状樹脂材１０ａ，１０ｂを積層することができる。さらに、本発明の積層装置から引き出された帯状積層体９ａは、１個の基材（枚葉基板）８ａとこれに積層される上下両帯状フィルム状樹脂材１０ａ，１０ｂとで構成され、長手方向に連続した帯状積層体９ａは、本発明の積層装置に隣接して配置された切断装置（図示せず）により１個の製品ごとに切断される。また、図示しないが切断装置を帯状積層体９ａの駆動手段１４ｃの下流の本発明の積層装置内に配置してもよい。          
【００７７】
図２８は本発明の積層装置のさらに他の実施の形態を示している。この実施の形態では、図１９に示す実施の形態において、帯状基板１０ｃの代わりに基材（枚葉基板）８ａを用い、真空積層装置２に供給する構成である。それに伴い、図１９に示す巻回ロール１１ｃに代えて搬入コンベア１３を備えることにより、基材（枚葉基板）８ａを搬入コンベア１３で１個ずつ上下両帯状フィルム状樹脂材１０ａ，１０ｂ間に搬入して真空積層装置２に供給することができる。さらに、図１９に対して上下両搬送フィルム巻回ロール１１，１２、上下両巻き取りロール１４，１５および両駆動手段を備えていない。それ以外の部分は、図１９に示す実施の形態と同様であり、同様の部分には同じ符号を付している。この実施の形態でも、図１９に示す実施の形態と同様の作用・効果を奏する。しかも、この実施の形態では、基材（枚葉基板）８ａに対して高価なオートシートカットラミネータ等の付帯設備を用いずに、上下両帯状フィルム状樹脂材１０ａ，１０ｂを積層することができる。さらに、この実施の形態では、本発明の積層装置により上下両帯状フィルム状樹脂材１０ａ，１０ｂが加熱・加圧された際に、これら両帯状フィルム状樹脂材１０ａ，１０ｂの端部から樹脂が溶けて滲み出し本発明の積層装置に付着しない場合に用いられる。具体的には、感光性ポリイミドフィルム等に対して好適に用いられる。
【００７８】
図２９は本発明の積層装置のさらに他の実施の形態を示している。この実施の形態では、図１９に示す実施の形態において、帯状積層体９ａを巻き取る積層体巻き取りロール１４ａを備えていない。また、帯状積層体９ａの駆動手段１４ｃは図２９に示す位置に設け、さらに帯状基板１０ｃの代わりに基材（枚葉基板）８ａを用い、真空積層装置２に供給する構成である。それに伴い、図１９に示す巻回ロール１１ｃに代えて搬入コンベア１３を備えることにより、基材（枚葉基板）８ａを搬入コンベア１３で１個ずつ上下両帯状フィルム状樹脂材１０ａ，１０ｂ間に搬入して真空積層装置２に供給することができる。さらに、図１９に対して上下両搬送フィルム巻回ロール１１，１２、上下両巻き取りロール１４，１５および両駆動手段を備えていない。それ以外の部分は、図１９に示す実施の形態と同様であり、同様の部分には同じ符号を付している。この実施の形態でも、図１９に示す実施の形態と同様の作用・効果を奏する。しかも、この実施の形態では、基材（枚葉基板）８ａに対して高価なオートシートカットラミネータ等の付帯設備を用いずに上下両帯状フィルム状樹脂材１０ａ，１０ｂを積層することができる。さらに、本発明の積層装置から引き出された帯状積層体９ａは、１個の基材（枚葉基板）８ａとこれに積層される上下両帯状フィルム状樹脂材１０ａ，１０ｂとで構成され、長手方向に間欠的に形成された帯状積層体９ａは、本発明の積層装置に隣接して配置された切断装置（図示せず）により１個の製品ごとに切断される。また、図示しないが切断装置を帯状積層体９ａの駆動手段１４ｃの下流の本発明の積層装置内に配置してもよい。さらに、この実施の形態は、本発明の積層装置により上下両帯状フィルム状樹脂材１０ａ，１０ｂが加熱・加圧された際に、上下両帯状フィルム状樹脂材１０ａ，１０ｂの端部から樹脂が溶けて滲み出し本発明の積層装置に付着しない場合に用いられる。具体的には、感光性ポリイミドフィルム等に対して好適に用いられる。
【００７９】
なお、図１では、真空積層装置２および平面プレス装置３を併設した連続積層装置になっているが、これに限定するものではなく、真空積層装置２および平面プレス装置３を独立して使用してもよい。また、図１では、仮積層体７，積層体９の搬送やフィルム状樹脂材８ｂ，フィルム状樹脂層８ｃからのしみだしを取り除くために上下両搬送フィルム５，６を併用しているが、このような上下両搬送フィルム５，６の張力および搬送速度を制御調節するために、搬送フィルム巻き出し部１が真空積層装置２の仮積層体７の搬入口付近に、搬送フィルム巻き取り部４が平面プレス装置３の積層体９の搬出口付近にそれぞれ配置されている。また，図１９，図２４，図２６および図２７では、帯状積層体９ａからの樹脂のしみだしを取り除くために上下両搬送フィルム５，６を併用しているが、このような上下両搬送フィルム５，６の張力および搬送速度を制御調節するために、フィルム等巻き出し部１ａが真空積層装置２のフィルム入口付近に、フィルム等巻き取り部４ａが平面プレス装置３のフィルム出口付近にそれぞれ配置されている。
【００８０】
また、上記真空積層装置２および平面プレス装置３において、上部プレート２０，上プレスブロック４１が上下移動可能で、下部プレート２１，下プレスブロック４２が固定されたものを用いてもよいが、上部プレート２０，上プレスブロック４１の昇降機構より発生する異物塵埃の点から、図１，図１９および図２４〜図２９の構成が好ましい。
【００８１】
また、図１，図１９，図２４，図２６および図２７では、真空積層装置２および平面プレス装置３で処理する際にいずれも上下両搬送フィルム５，６を用いる場合を示しているが、これら上下両搬送フィルム５，６を真空積層装置２で処理する際にだけ用いたり、平面プレス装置３で処理する際にだけ用いてもよい。また、真空積層装置２および平面プレス装置３にそれぞれ別々に上下両搬送フィルム５，６が設置されていてもよい。
【００８２】
図３０は上記各実施の形態で用いた真空積層装置２の変形例を示している。この例では、上記真空積層装置２に可動真空枠３０を設けておらず、上部プレート２０の下面に略四角形枠状の上側固定枠部６３が気密状に固定され、下部プレート２１に略四角形枠状の下側固定枠部６４が固定されている。また、この例では、上側固定枠部６３に真空引き用ノズル３３が固定されておらず、下部プレート２１に下側固定枠部６４に沿って真空引き用貫通穴６５を設け、この真空引き用貫通穴６５を介して空間部３４内の空気を真空引きするようにしている。
【００８３】
また、この例では、下部プレート２１を昇降自在に支受する油圧シリンダもしくはエアーシリンダ６６と、下側熱盤２６に下側断熱材２５を介して固定された支受板６７を昇降自在に支受する油圧シリンダもしくはエアーシリンダ６８とを設け、油圧シリンダもしくはエアーシリンダ６６で下部プレート２１を上下移動させ、油圧シリンダもしくはエアーシリンダ６８で下側熱盤２６を上下移動させるようにしている。図において、６９は上記下側固定枠部６４の上面に固定された環状のシール部材であり、真空積層時に空間部３４内を気密状に保持する作用をする。それ以外の部分は上記各実施の形態で用いた真空積層装置２と同様であり、同様の部分には同じ符号を付している。この例の真空積層装置２を用いた場合にも、上記各実施の形態の積層装置と同様の作用・効果を奏する。
【００８４】
なお、前記の両積層装置を用い、本発明の積層方法を行うに先立って微粘着ロールや超音波クリーナー等のクリーナー装置を配置し、これらにより基板８ａの表面や上下両搬送フィルム５，６の表面をクリーニングしてもよい。
【００８５】
また、真空積層装置２の前や平面プレス装置３の後には、搬入コンベア１３，排出コンベア（図示せず）が配置され、搬入コンベア１３により仮積層体７が上下両搬送フィルム５，６に供給され、排出コンベアにより、上下両搬送フィルム５，６から剥離した積層体９が排出されるが、これら両コンベア１３に代えて回転ロール群やエンドレスベルトを用いてもよい。また、両コンベア１３の素材は汚れにくく発塵しないものがよい。また、上記両コンベア１３のサイズは、長さ０．３〜３ｍの範囲内で、好ましくは０．５〜１．５ｍであればよく、また、その搬送速度は通常１〜２５ｍ／分の範囲内である。
【００８６】
平面プレス装置３から積層体９が排出されるとき、後工程での押し跡（打痕跡）を防止するために、排出直後に室温程度に冷却固化されることが好ましく、このような冷却方法については特に限定されず、自然放熱により冷却してもよいが、平面プレス装置３の直後に冷却装置を設けてもよい。この冷却装置は工業的には、冷凍機、空気の断熱膨張を利用して得た冷気を利用する冷却ファンや冷風エアーナイフ、冷水を通管した冷却ロール等が用いられる。
【００８７】
この冷却に際して、上下両搬送フィルム５，６に挟持させた状態で積層体９を冷却するのがさらに好ましく、平面プレス装置３より搬送された積層体９を上下両搬送フィルム５，６に挟持したまま冷却し、冷却後に後側の排出コンベアに排出するのが好ましい。
【００８８】
排出コンベアの入口には、平面プレス装置３での加熱加圧処理後、積層体９と上下両搬送フィルム５，６とを剥がすための剥離ロール等の剥離装置、例えば跳ね上がり防止装置（図示せず）を設置すると好適である。平面プレス装置３の後に、圧締された積層体９を貯蔵するためのストッカーや、積層体９の表面平滑性の向上のためにさらに加圧装置等を適宜配置してもよい。なお、静電気対策のために上下両搬送フィルム５，６のフィルムラインや各所に除電バー等を設置してもよい。
【００８９】
また、図１９において、上下両帯状フィルム状樹脂材１０ａ，１０ｂおよび上下両樹脂材巻回ロール１１ａ，１１ｂに代えて、帯状基板巻回ロール１１ｃをオートシートカットラミネータ上流に配置して帯状基板巻回ロール１１ｃから引き出した帯状基板１０ｃをオートシートカットラミネータに挿通し短冊シート状にカットされたフィルム状樹脂材８ｂを帯状基板１０ｃに仮止めして真空積層装置２に供給してもよいし、帯状基板１０ｃおよび帯状基板巻回ロール１１ｃに代えて、図２６，図２７に示すように、基材８ａを搬入コンベア１３により１個ずつ上下両帯状フィルム状樹脂材１０ａ，１０ｂ間に搬入して真空積層装置２に供給してもよい。また、図３０において、帯状基板１０ｃおよび帯状基板巻回ロール１１ｃに代えて、図２８，図２９に示すように、基材（枚葉基板）８ａを搬入コンベア１３により１個ずつ上下両帯状フィルム状樹脂材１０ａ，１０ｂ間に搬入して真空積層装置２に供給してもよい。
【００９０】
本発明は、プリント基板以外の他用途、例えばＬＣＤ基板の上に粘着剤付き偏光板や粘着剤付き位相差板を張り合わすとき、タブテープに各種基材を貼り合わすとき、各種電子基板にダイシングテープ等やホットメルト樹脂の付着したフィルム、例えばＩＣカード等を貼り合わすときにも、有効な装置や方法である。さらに、本発明の真空プレス装置を用いることにより、凹凸を有する基材にフィルム状樹脂材を密着追従させると同時に、基材の凹凸に由来するフィルム状樹脂材の表面の凹凸を平坦化することが可能であり、本発明の真空プレス装置で積層した製品をさらに平面プレス装置で平滑化する用途においては、フィルム状樹脂材の表面が上記のとおり平坦化されるために平面プレス時間が短縮されると同時に、フィルム状樹脂材周囲からの樹脂の滲み出しが抑制されてフィルム状樹脂材周辺部の樹脂厚均一性が改善される。
【実施例】
【００９１】
以下、実施例をあげて本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はその要旨を超えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。
【００９２】
〔実施例１〕
図１に示す真空積層装置２および平面プレス装置３を用いた。真空積層装置２の上下両プレート２０，２１の熱盤２３，２６により空間部３４を予め１１０℃に調整しておいた。まず、エポキシ樹脂からなる熱硬化性樹脂組成物（ガラス転移温度８０℃）とポリエチレンテレフタレート支持フィルムとからなるフィルム状樹脂材８ｂを、表裏両面に凹凸を有する基板８ａの表裏両面に配設し、両フィルム状樹脂材８ｂ（樹脂層の厚み３８μｍ）の樹脂面が上記基板８ａの凹凸面（凹凸の厚み１８μｍ、凹凸の間隔２０μｍ）に接するようにオートシートカットラミネータにより仮止めして仮積層体７を用意した。
【００９３】
つぎに、ポリエチレンテレフタレートフィルムからなる上下両搬送フィルム５，６（厚み３８μｍ、表面粗さ０．５μｍ）で上記仮積層体７を真空積層装置２内の圧締位置に搬送したのち、下部プレート２１を上昇させ、上部プレート２０と密封契合したのち、減圧操作に入った。
【００９４】
真空引き用ノズル３３から空気を真空ポンプ（図示せず）で吸引して吸引開始３０秒の後の空間部３４を１００Ｐａとし、厚み２ｍｍ，サイズ（縦×横）６３ｃｍ×６３ｃｍの上下両弾性プレス板２４，２７で仮積層体７を１ＭＰａの圧力で２０秒間加圧した。上下両弾性プレス板２４，２７として、金陽社製「キンヨーボードＦ２００」を上下両熱盤２３，２６に直接固定して用い、上下両熱盤２３，２６の内部にそれぞれシースヒーター２３ａ，２６ａを９本内蔵した。
【００９５】
つぎに、空間部３４を大気圧に戻し、下部プレート２１を下降させて、圧締された仮積層体７（すなわち、積層体９）を上下両搬送フィルム５，６により真空積層装置２から排出して平面プレス装置３に搬送した。
【００９６】
つぎに、平面プレス装置３により積層体９のプレスを行った。上下両フレキシブル金属板４９，５３として、プレス面の平面度が３μｍのステンレス板（ＳＵＳ６３０Ｈ，厚み３ｍｍ）を用い、上下両緩衝材４８，５２として、フッ化ビニリデン系ゴム（フッ化ビニリデン，六フッ化プロピレン，四フッ化エチレンの共重合体）を♯１５００のサンドペーパーで表面処理して、厚み２．５ｍｍ，表面粗さＲｚ１５μｍ，ショアーＡ硬度７０度に調整したものを用いた。また、上下両熱盤４７，５１の内部にシースヒーター４７ａ，５１ａを９本内蔵し、下部プレート４５として、厚み８０ｍｍの鉄製のものを用いた。
【００９７】
まず、平面プレス装置３の上下両プレート４４，４５の熱盤４７，５１を１２０℃に調整し、下部プレート４５を上昇させ、上下両フレキシブル金属板４９，５３で積層体９を１．５ＭＰａの圧力で５０秒間加熱プレスした。
【００９８】
そののち、下部プレート４５を下降させて、積層体９を上下両搬送フィルム５，６で搬送して平面プレス装置３から排出した。得られた積層体９について追従性，膜厚均一性，表面鏡面性，しわの発生の評価を以下の要領で行った。
【００９９】
［追従性］
積層体９の表面を観察し、基板８ａの凹凸に沿ってフィルム状樹脂層８ｃが積層されているかどうか２５０倍顕微鏡で観察した。
○……凹凸に沿ってフィルム状樹脂層８ｃが充填されており、マイクロボイドもなく追従している。
×……凹凸に沿ってフィルム状樹脂層８ｃが充填されていない、または、マイクロボイドがある。
【０１００】
［膜厚均一性］
積層体９をクロスセクション法で、垂直切断面を電子顕微鏡にて観察して、基板８ａの凸面上に積層される樹脂層の厚みを測定し、それぞれの厚みの差を以下のように評価した。
○……０．５μｍ未満
×……０．５μｍを超える
【０１０１】
［表面鏡面性］
積層体９のフィルム状樹脂層８ｃ面を斜め４５度の角度で基板８ａに当たった蛍光灯の反射光を目視で観察し、以下のように評価した。
○……鏡面に近い状態である
×……鏡面にはならず
【０１０２】
［しわの発生］
積層体９の表面を観察し、フィルム状樹脂層８ｃの表面にしわが発生していないかどうか観察した。
○……しわは発生していない
×……しわが発生した
【０１０３】
〔実施例２〕
実施例１の条件で基材８ａを真空積層装置２の熱盤２３，２６の中央部に置き３０万回運転後に実施例１の条件で得られた積層体９について追従性，膜厚均一性，表面鏡面性，しわの発生を同様に評価した。
【０１０４】
〔実施例３〕
実施例２の条件で、真空積層装置２の上下両弾性プレス板２４，２７として、ショアーＡ硬度６０度、厚み４ｍｍ，表面粗さＲｚ３μｍの含フッ素シリコーンゴムを平面度３μｍのステンレス板（ＳＵＳ６３０Ｈ，厚み２ｍｍ）の片面に加硫接着し、含フッ素シリコーンゴムを加硫接着していない側の面に、金陽社製「キンヨーボードＦ２００」を緩衝材〔サイズ（縦×横）６３ｃｍ×６３ｃｍ〕として上下両熱盤２３，２６に固定した以外は、同じ条件で積層体９を形成し、追従性，膜厚均一性，表面鏡面性，しわの発生を同様に評価した。
【０１０５】
〔実施例４〕
図１９に示す真空積層装置２および平面プレス装置３を用い、連続帯状のエポキシ樹脂からなる熱硬化性樹脂組成物（ガラス転移温度８０℃）とポリエチレンテレフタレート支持フィルムとからなる連続帯状フィルム状樹脂材１０ａ，１０ｂを、表裏両面に凹凸を有する帯状基板１０ｃ（帯状基板１０ｃの絶縁層は、７０μｍのポリイミドフィルム、凹凸の厚み１８μｍ、凹凸の間隔２０μｍ）を図２０に示すように挿通した以外は、実施例２の条件で連続帯状積層体９ａを形成し、追従性，膜厚均一性，表面鏡面性，しわの発生を同様に評価した。
【０１０６】
〔実施例５〕
実施例２の条件で用いた両フィルム状樹脂材８ｂの樹脂層の厚み６８μｍ、基材８ａの凹凸の厚み５０μｍ、凹凸の間隔５０μｍである以外は実施例２と同じ条件で積層体９を形成し、追従性，膜厚均一性，表面鏡面性，しわの発生を同様に評価した。
【０１０７】
〔実施例６〕
実施例３の条件で用いた両フィルム状樹脂材８ｂの樹脂層の厚み６８μｍ、基材８ａの凹凸の厚み５０μｍ、凹凸の間隔５０μｍである以外は実施例３と同じ条件で積層体９を形成し、追従性，膜厚均一性，表面鏡面性，しわの発生を同様に評価した。
【０１０８】
〔実施例７〕
実施例４の条件で用いた連続帯状両フィルム状樹脂材１０ａ，１０ｂの厚み６８μｍ、帯状基板１０ｃ（帯状基板１０ｃの絶縁層は、７０μｍのポリイミドフィルム、凹凸の厚み５０μｍ、凹凸の間隔５０μｍ）である以外は実施例４と同じ条件で連続帯状積層体９ａを形成し、追従性，膜厚均一性，表面鏡面性，しわの発生を同様に評価した。
【０１０９】
〔比較例１〕
図１に示す真空積層装置２，平面プレス装置３に代えて、１台の平面プレス装置３を用いて積層体９を形成し、追従性，膜厚均一性，表面鏡面性，しわの発生を同様に評価した。
【０１１０】
〔比較例２〕
真空積層装置２の上下両弾性プレス板２４，２７として、繊維層を含まないショアーＡ硬度６０度、厚み４ｍｍ，表面粗さＲｚ３μｍの含フッ素シリコーンゴムを使用した以外は、実施例２と同じ条件で積層体９を形成し、追従性，膜厚均一性，表面鏡面性，しわの発生を同様に評価した。
【０１１１】
実施例１〜７および比較例１，２の評価結果を下記の表１に示す。
【０１１２】
【表１】
2008012918.tif 000003
【０１１３】
上記の表１により、追従性，膜厚均一性，表面鏡面性およびしわの発生において、実施例１〜７のほうが比較例１より優れていることが判る。
【図面の簡単な説明】
【０１１４】
【図１】本発明の積層装置の一実施の形態を示す構成図である。
【図２】仮積層体の断面図である。
【図３】積層体の断面図である。
【図４】搬送フィルム巻回部を示す構成図である。
【図５】搬送フィルム巻き取り部を示す構成図である。
【図６】真空積層装置を示す構成図である。
【図７】上記真空積層装置の要部を示す構成図である。
【図８】上記真空積層装置の他の例を示す構成図である。
【図９】上記真空積層装置の可動真空枠の作用を示す断面図である。
【図１０】上記真空積層装置の可動真空枠の作用を示す断面図である。
【図１１】上記真空積層装置の可動真空枠の作用を示す断面図である。
【図１２】平面プレス装置を示す構成図である。
【図１３】積層体の断面図である。
【図１４】弾性プレス板の一例を示す断面図である。
【図１５】弾性プレス板の他の例を示す断面図である。
【図１６】上記真空積層装置の作用を示す構成図である。
【図１７】上記真空積層装置の作用を示す構成図である。
【図１８】上記真空積層装置の作用を示す構成図である。
【図１９】本発明の積層装置の他の実施の形態を示す構成図である。
【図２０】フィルム等巻き出し部を示す構成図である。
【図２１】フィルム等巻き取り部を示す構成図である。
【図２２】段差ロールの説明図である。
【図２３】本発明の積層装置のさらに他の実施の形態を示す構成図である。
【図２４】本発明の積層装置のさらに他の実施の形態を示す構成図である。
【図２５】本発明の積層装置のさらに他の実施の形態を示す構成図である。
【図２６】本発明の積層装置のさらに他の実施の形態を示す構成図である。
【図２７】本発明の積層装置のさらに他の実施の形態を示す構成図である。
【図２８】本発明の積層装置のさらに他の実施の形態を示す構成図である。
【図２９】本発明の積層装置のさらに他の実施の形態を示す構成図である。
【図３０】上記真空積層装置の変形例を示す構成図である。
【図３１】従来例を示す側面図である。
【図３２】他の従来例を示す構成図である。
【符号の説明】
【０１１５】
２  真空積層装置
８ａ  基材
９  積層体
２３，２６  熱盤
２４，２７  弾性プレス板
【図１】
2008012918.tif 000004
【図２】
2008012918.tif 000005
【図３】
2008012918.tif 000006
【図４】
2008012918.tif 000007
【図５】
2008012918.tif 000008
【図６】
2008012918.tif 000009
【図７】
2008012918.tif 000010
【図８】
2008012918.tif 000011
【図９】
2008012918.tif 000012
【図１０】
2008012918.tif 000013
【図１１】
2008012918.tif 000014
【図１２】
2008012918.tif 000015
【図１３】
2008012918.tif 000016
【図１４】
2008012918.tif 000017
【図１５】
2008012918.tif 000018
【図１６】
2008012918.tif 000019
【図１７】
2008012918.tif 000020
【図１８】
2008012918.tif 000021
【図１９】
2008012918.tif 000022
【図２０】
2008012918.tif 000023
【図２１】
2008012918.tif 000024
【図２２】
2008012918.tif 000025
【図２３】
2008012918.tif 000026
【図２４】
2008012918.tif 000027
【図２５】
2008012918.tif 000028
【図２６】
2008012918.tif 000029
【図２７】
2008012918.tif 000030
【図２８】
2008012918.tif 000031
【図２９】
2008012918.tif 000032
【図３０】
2008012918.tif 000033
【図３１】
2008012918.tif 000034
【図３２】
2008012918.tif 000035