(57)【要約】【課題】従来のファンフィルタユニットの吹出風量調整・設定は、本体に調整手段を備えているため設置箇所での作業が必要であり、非常に困難で時間を費やす作業のため、作業時間を短縮することができるファンフィルタユニットを提供することを目的とする。【解決手段】本体１に送信部５からのワイヤレス送信を受信することができる受信部６と、この受信部６の情報からモータ３を駆動する制御部８を備え、各種設定をすることができる設定部９と、この設定情報をデータ化してワイヤレス送信することができる送信部５を備えた操作手段１１を本体１と別離した構成とすることにより、本体１より離れた場所から無線で各種の設定ができ、調整作業を容易にし、作業時間を短縮するファンフィルタユニットを得られる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体にファンとモータとフィルタを備えたファンフィルタユニットにおいて、本体に送信部からのワイヤレス送信を受信することができる受信部とこの受信部の情報からモータを駆動する制御部を備え、各種設定をすることができる設定部と、この設定情報をデータ化してワイヤレス送信することができる送信部を備えた操作手段を本体と別離することを特徴とするファンフィルタユニット。
【請求項２】
送信部は各種の設定情報の搬送を赤外線とすることを特徴とする請求項１記載のファンフィルタユニット。
【請求項３】
送信部は各種の設定情報の搬送を電波とすることを特徴とする請求項１記載のファンフィルタユニット。
【請求項４】
設定部は本体の発停を設定する機能とすることを特徴とする請求項１記載のファンフィルタユニット。
【請求項５】
設定部はモータ回転数を設定する機能とすることを特徴とする請求項１記載のファンフィルタユニット。
【請求項６】
操作手段に少なくとも１台以上の対象とするファンフィルタユニットに信号を送る設定ができるアドレス設定部を備えたことを特徴とする請求項１記載のファンフィルタユニット。
【請求項７】
受信部の受信方向を可変できる固定部を備えたことを特徴とする請求項１記載のファンフィルタユニット。
【請求項８】
受信部と報知手段を操作手段へ備え、第２送信部を本体に備えたことを特徴とする請求項１記載のファンフィルタユニット。
【請求項９】
報知手段は視覚表示を行なう表示手段とすることを特徴とする請求項８記載のファンフィルタユニット。
【請求項１０】
報知手段は音による聴覚伝達を用いた発報手段とすることを特徴とする請求項８記載のファンフィルタユニット。
【請求項１１】
回転数検出手段を本体に備えたことを特徴とする請求項８記載のファンフィルタユニット。
【請求項１２】
異常検出手段を本体に備えたことを特徴とする請求項８記載のファンフィルタユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体、液晶、およびプラズマディスプレイパネルなどの清浄環境を必要とする製造装置やクリーンルームに使用されるファンフィルタユニットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のファンフィルタユニットは、本体内に吸い込んだ空気量を任意に機外排出することで、吹き出し風量の調整を実現したものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
以下、そのファンフィルタユニットについて図５を参照しながら説明する。
【０００４】
図５に示すように、本体１０１にファン１０２とモータ１０３とフィルタ１０４および、空気流出部１０５を備えた構成であり、モータ１０３が回転しファン１０２の作用で本体１０１内部へ空気を吸い込むと、フィルタ１０４の通風抵抗により本体１０１内部の圧力が加圧されて、押し出される空気がフィルタ１０４を通ることで清浄空気を製造装置やクリーンルームに吹き出している。また、本体１０１の内部空間と外部空間をつなぐ開口１０６とこの開口１０６の開放面積を調整するスライド板１０７にて構成される空気流出部１０５の開放面積に適応した空気の量が、フィルタ１０４を通ることなく本体１０１の外部空間へと放出されるため本体１０１内部の圧力を低減し、フィルタ１０４から吹き出される風量を調整している。
【０００５】
また、図示していないが、その他の吹出風速・風量の調整方法としては、モータの巻線に中間タップを設け、電圧を供給する箇所を可変させてモータの回転数を調整するものや、モータへ供給する電圧を可変・変形することにより、電圧の実効値を変えてモータの回転数を可変し、本体から吹出す清浄空気の風量を調整するものが知られており、ＡＣモータではトライアックを使用した位相制御方式、ＤＣモータではＰＷＭ、ＰＡＭ制御方式が一般的に用いられている。
【特許文献１】特開２００５−００３２４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このような従来のファンフィルタユニットは、クリーンルームや装置に組み込まれて使用されるが、本体が天井裏や壁面高所など様々な場所に数百台ほど並列して設置されており、クリーンルーム内や装置内部に要求される環境に合わせるように各ファンフィルタユニットの吹出風量など動作の設定・調整をする必要がある。その設定・調整作業は本体に調整手段を備えているため１台１台本体の設置箇所で実施する必要があり、非常に困難で時間を費やす作業となっているという課題がある。また、モータへの供給電圧を可変して吹き出し風量など動作の設定・調整する場合、モータ回転数の指示部を本体から別離して構成することが可能であるが、この場合には、風量など動作の設定・調整作業を容易にし、作業時間の改善はできるものの、本体から別離したモータ回転数の指示部を電気的に接続するための配線材料の追加と配線作業に時間を費やすこととなっているという課題がある。
【０００７】
本発明は、このような従来の課題を解決するものであり、本体より離れた場所から無線で各種の設定をできるようにしたので、配線材料費、配線作業を削減しつつ、調整作業を容易にし、作業時間を短縮することができる。また並列して設置された少なくとも１台以上のファンフィルタユニットに各種の設定を一括送信することもできるファンフィルタユニットを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のファンフィルタユニットは上記目的を達成するために、本体に送信部からのワイヤレス送信を受信することができる受信部と、この受信部の情報からモータを駆動する制御部を備え、各種設定をすることができる設定部と、この設定情報をデータ化してワイヤレス送信することができる送信部を備えた操作手段を本体と別離した構成としたものである。
【０００９】
この手段により、本体より離れた場所から無線で各種の設定をすることができるファンフィルタユニットが得られる。
【００１０】
また、送信部は各種の設定情報の搬送を赤外線とすることを特徴とする。
【００１１】
また、送信部は各種の設定情報の搬送を電波とすることを特徴とする。
【００１２】
また、設定部は本体の発停を設定する機能とすることを特徴とする。
【００１３】
また、設定部はモータ回転数を設定する機能とすることを特徴とする。
【００１４】
また、操作手段に少なくとも１台以上の対象とするファンフィルタユニットに信号を送る設定ができるアドレス設定部を備えたことを特徴とする。
【００１５】
また、受信部の取付け向きを可変できる固定部を備えたことを特徴とする。
【００１６】
また、受信部と報知手段を操作手段へ備え、送信部を本体に備えたことを特徴とする。
【００１７】
また、報知手段は視覚表示を行なう表示手段とすることを特徴とする。
【００１８】
また、報知手段は音による聴覚伝達を用いた発報手段とすることを特徴とする。
【００１９】
また、回転数検出手段を本体に備えたことを特徴とする。
【００２０】
また、異常検出手段を本体に備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、本体から離れた場所で各種の設定をすることができるので、調整作業を容易にし、作業時間を短縮することができる。また、並列して設置された少なくとも１台以上のファンフィルタユニットに各種の設定を一括送信することもできるので、更なる作業の短縮ができるファンフィルタユニットを提供できる。
【００２２】
また、送信部は各種の設定情報の搬送を赤外線とすることにより、同様の効果と安価な構成で本体の各種設定をワイヤレスで送信することができるファンフィルタユニットを提供できる。
【００２３】
また、送信部は各種の設定情報の搬送を電波とすることにより、同様の効果と建物の影響を受け難く、直線視界の確保できない設置状況でも、本体の各種設定をワイヤレスで送信することができるファンフィルタユニットを提供できる。
【００２４】
また、設定部は本体の発停を設定する機能とすることにより、同様の効果と離れた場所から本体を発停することができるファンフィルタユニットを提供できる。
【００２５】
また、設定部はモータ回転数を設定する機能とすることにより、同様の効果と離れた場所から本体の吹出風速・風量を調整することができるファンフィルタユニットを提供できる。
【００２６】
また、操作手段に少なくとも１台以上の対象とするファンフィルタユニットに信号を送る設定ができるアドレス設定部を備えたことにより、同様の効果と少なくとも１台以上の対象とするファンフィルタユニットを個別に設定することができるファンフィルタユニットを提供できる。
【００２７】
また、受信部の取付け向きを可変できる固定部を備えたことにより、同様の効果と本体の設置状況に左右されず、各種設定を受信することができるファンフィルタユニットを提供できる。
【００２８】
また、受信部と報知手段を操作手段へ備え、送信部を本体に備えたことにより、同様の効果と操作手段から送信した設定を本体が受信できたか否かを確認し、確実に設定をすることができるファンフィルタユニットを提供できる。
【００２９】
また、報知手段は視覚表示を行なう表示手段とすることにより、同様の効果と操作手段から送信した設定を本体が受信できたか否かを操作手段を目で見て確認することができるファンフィルタユニットを提供できる。
【００３０】
また、報知手段は音による聴覚伝達を用いた発報手段とすることにより、同様の効果と操作手段から送信した設定を本体が受信できたか否かを操作手段から発する音を聞くことで確認することができるファンフィルタユニットを提供できる。
【００３１】
また、回転数検出手段を本体に備えたことにより、同様の効果とモータの回転数を確認しながら各種の設定をすることができるファンフィルタユニットを提供できる。
【００３２】
また、異常検出手段を本体に備えたことにより、同様の効果と本体の異常情報を操作手段で確認することができるファンフィルタユニットを提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
本発明の請求項１記載の発明は、本体に送信部からのワイヤレス送信を受信することができる受信部と、この受信部の情報からモータを駆動する制御部を備え、各種設定をすることができる設定部と、この設定情報をデータ化してワイヤレス送信することができる送信部を備えた操作手段を本体と別離するものであり、本体の各種設定をワイヤレスで送信することができるという作用を有する。
【００３４】
また、送信部は各種の設定情報の搬送を赤外線とするものであり、本体の各種設定は赤外線を用いてワイヤレスで送信することができるという作用を有する。
【００３５】
また、送信部は各種の設定情報の搬送を電波とするものであり、本体の各種設定は電波を用いてワイヤレスで送信することができるという作用を有する。
【００３６】
また、設定部は本体の発停を設定する機能とするものであり、本体の発停を設定し、ワイヤレスで送信することができるという作用を有する。
【００３７】
また、設定部はモータ回転数を設定する機能とするものであり、モータ回転数を設定し、ワイヤレスで送信することができるという作用を有する。
【００３８】
また、操作手段に少なくとも１台以上の対象とするファンフィルタユニットに信号を送る設定ができるアドレス設定部を備えたものであり、少なくとも１台以上の対象とするファンフィルタユニットに限定して、各種の設定をワイヤレスで送信することができるという作用を有する。
【００３９】
また、受信部の取付け向きを可変できる固定部を備えたものであり、受信感度の良い方向に受信部を向けることができるという作用を有する。
【００４０】
また、受信部と報知手段を操作手段へ備え、送信部を本体に備えたものであり、操作手段からの送信を受信できた時に、送信部から操作手段へ向け受信完了信号を送信し、操作手段の受信部でこの信号を受信できるようにしたので、操作手段と本体間で双方向通信をすることができる。また、受信部が受信したときに、報知手段を動作させることができるという作用を有する。
【００４１】
また、報知手段は視覚表示を行なう表示手段とするものであり、受信部が受信したときに、表示手段を動作させることができるという作用を有する。
【００４２】
また、報知手段は音による聴覚伝達を用いた発報手段とするものであり、受信部が受信したときに、発報手段を動作させることができるという作用を有する。
【００４３】
また、回転数検出手段を本体に備えたものであり、モータ回転数を操作手段へ送信することができるという作用を有する。
【００４４】
また、異常検出手段を本体に備えたものであり、本体の異常情報を操作手段へ送信することができるという作用を有する。
【００４５】
（実施の形態１）
以下、本発明の実施の形態１について図１および図２を参照しながら説明する。
【００４６】
図１に示すように、本体１にファン２とモータ３とフィルタ４を備えたファンフィルタユニットにおいて、本体１に送信部５からの赤外線ワイヤレス送信を受信することができる赤外線レシーバを用いた受信部６を、取付け向きを可変できる固定部７に固定し、この受信部６の情報からモータ３を駆動できるリレーを用いた制御部８とを備え、各種の設定をすることができる設定部９は本体１の発停を設定するためのプッシュスイッチを用いた設定部９とし、この設定情報は赤外ＬＥＤを用いて赤外線搬送（望ましくは、波長８８０〜９５０ｎｍ）でワイヤレス送信する送信部５とＤＩＰスイッチを用いたアドレス設定部１０を備えた操作手段１１を本体１と別離する構成である。また、図２に示すように、この本体１を例えばクリーンブース１２に設置する場合は、クリーンブース１２の壁１３一面に縦横に多数台の本体１を設置する場合が多い。
【００４７】
また、制御部８はモータ３の駆動ができれば良く、トライアック、トランジスタなどを用いて構成しても良い。
【００４８】
また、アドレス設定部１０は、少なくとも１台以上の対象とするファンフィルタユニットに信号を送る設定ができれば良く、ＤＩＰスイッチの他にロータリースイッチやマイコンなどを使用して設定をしても良い。
【００４９】
また、設定部９は各種の設定ができれば良く、プッシュスイッチの他にスライドスイッチなどを用いても良い。また、各種の設定とは、クリーンモジュールユニットの機能の設定（発停、吹出風量・風速を可変させる為のモータ回転数設定など）やメンテナンスに関わる設定（異常検出の閾値の設定など）のことを言う。
【００５０】
また、本実施の形態１では制御部８をモータ３と別の構成として記載したが、制御部８をモータ３へ内蔵させた構成としても、その主たる作用、効果は同一である。
【００５１】
上記構成において操作手段１１に備えたアドレス設定部１０を予め決定している本体１のアドレスの番号（例えば０００１）に設定し、設定部９のスイッチを押すことで、送信部５からクリーンブース１２の壁１３に多数設置された本体１の受信部６に向けて赤外線による運転信号が一括で送信される。この運転信号を本体１に備えた受信部６にて送信アドレスと本体アドレスを比較し、不適合の場合は受信せず、適合している場合は受信し制御部８へモータ３の駆動を指示し、モータ３が回転しファン２の作用で本体１内部へ空気を吸い込むと、フィルタ４の通風抵抗により本体１内部の圧力が加圧されて、押し出される空気がフィルタ４を通ることで清浄空気をクリーンブース１２に吹き出す。
【００５２】
また、再度設定部９のスイッチを押し、受信部６が受信するとモータ３が停止し、清浄空気の吹出を停止する。
【００５３】
また、受信部６は送信部５の方向へ向けるように固定部７にて調整している。
【００５４】
また、本体１のアドレス番号設定は、受信部６においてＥＥＰＲＯＭやマイコンなどのＩＣを用いて記憶することを前提に記載したが、スイッチなどを新たに追加した構成とし、物理的に記憶させても良い。
【００５５】
このように、本体１の各種設定をワイヤレスで送信することができるので、本体１から離れた場所から各種の設定をすることができ、並列して設置された少なくとも１台以上のファンフィルタユニットに各種の設定を一括送信することもできるので、調整作業を容易にし作業時間を短縮することができる。
【００５６】
また、ワイヤレス送信は赤外線としたので、安価で容易な構成で本体１の各種設定（実施の形態１では本体１の発停を事例として説明）をワイヤレスで送信することができる。
【００５７】
また、アドレス設定部１０を設けた構成としたので、少なくとも１台以上の対象とするファンフィルタユニットに限定して、ワイヤレスで設定することができる。また、本体１のアドレス番号を他の本体１と共通の番号とすることでグループ化による設定をすることができる。
【００５８】
また、固定部７により受信感度の良い方向に受信部６を向けることができるので、本体１の設置状況に左右されず、各種の設定を受信することができる。
【００５９】
（実施の形態２）
以下、本発明の実施の形態２について図３を参照しながら説明する。また、実施の形態１において説明した構成部品と同一の部品については、同一番号を付与し詳細な説明は省略する。
【００６０】
図３に示すように、本体１に操作手段１１へ受信完了信号とモータ回転数信号を送る送信部１４と反射式ピックアップ型を用いた回転数検出手段１５とモータ３の回転数を可変し駆動できる制御部１９を備え、各種の設定をすることができる設定部１６はモータ３の回転数を設定するためボリュームスイッチを用いた設定部１６とし、この設定情報は電波を用いてワイヤレス送信する送信部１４と、本体１に備えた送信部１４からの送信を受信できる受信部１８と報知手段１７は視覚表示を行なうため液晶パネルを用いた表示手段として操作手段１１へと備えた構成である。
【００６１】
また、回転数検出手段１５は、モータ３の回転数が検出できれば良く、反射式ピックアップ型のように、実際の回転数を検出する方式の他に、モータ３の実効電流値から換算するものや電流波形から算出する方式の電気的な検出をしても良い。
【００６２】
また、報知手段１７は視覚表示ができれば良く、液晶パネルの他にＬＥＤやランプなどを用いても良い。
【００６３】
また、受信部１８は送信部１４より送信される電波を受信できる電波レシーバとしている。
【００６４】
また、送信部１４より発する電波は、総務省で定められた特定小電力電波や微弱電波を用いるのが望ましい。
【００６５】
また、制御部１９はモータ３の回転数を可変できれば良く、ＡＣモータの場合はモータ電圧の供給開始位相を可変させるためにトライアックを用いた回路や、モータの巻線に中間タップを設け、電圧を供給する箇所を可変させるためのリレー回路、ＤＣモータの場合は、ＰＡＭ・ＰＷＭ制御を行うための電圧可変回路や６素子トランジスタ回路を用いた回路でも良い。
【００６６】
上記構成において、設定部１６のボリュームスイッチにて、モータ３の回転数を設定すると、操作手段１１に備えた送信部１４から本体１の受信部１８に向けて電波によるモータ回転指示信号が送信される。このモータ回転指示信号を本体１に備えた受信部１８が受信すると、制御部１９はモータ回転指示信号に応じた回転数でモータ３を駆動する。また、本体１に備えた送信部１４から操作手段１１へ向けて受信完了信号を送信し、操作手段１１に備えた受信部１８でこの信号を受信すると視覚表示を行なうため液晶パネルを用いた表示手段とした報知手段１７において受信完了を示す表示を行う。また、モータ３が回転しているときには、回転数検出手段１５にて検出したモータ回転数を本体１に備えた送信部１４から操作手段１１に備えた受信部１８へモータ回転数信号として送信し、操作手段１１に備えた受信部１８でこの信号を受信すると、報知手段１７においてモータ回転数を示す表示を行う。
【００６７】
このように、ワイヤレス送信は電波としたので建物の影響を受け難く、直線視界が確保できないような本体１の設置状況、例えば付近にある事務所の中などからでも、本体１の各種設定（実施の形態２では本体１の回転数設定を事例として説明）をワイヤレスで送信することができる。
【００６８】
また、本体１と操作手段１１それぞれに送信部１４と受信部１８を備えたことにより、本体１と操作手段１１間での双方向通信ができるようになり、操作手段１１から送信した設定を本体１が受信できたか否かを操作手段１１を目で見て確認し、確実に設定をすることができる。
【００６９】
また、モータ回転数を操作手段１１に備えた報知手段１７で確認できるようにしたので、離れた場所から本体１のモータ回転数を確認しながら設定し、本体１の吹出風速・風量を調整することができる。
【００７０】
（実施の形態３）
以下、本発明の実施の形態３について図４を参照しながら説明する。また、実施の形態１および２において説明した構成部品と同一の部品については、同一番号を付与し詳細な説明は省略する。
【００７１】
図４に示すように、回転数検出手段１５にて検出したモータ３の回転数が所定の値（望ましくは、設定回転数の５０〜１５０％）を外れた場合に異常と判断する異常検出手段２０を本体１に備え、報知手段２１は音による聴覚伝達のためブザーを用いた発報手段として操作手段１１へと備えた構成である。
【００７２】
また、異常検出手段２０はファンフィルタユニットの異常を検出できれば良く、モータ３の回転数検出の他に、モータ３に流れる電流値をＣＴや抵抗を用いて検出したり、振動センサで本体１の振動を検出したり、差圧センサで本体１内部と本体外の圧力差圧を検出して異常状態の判断をしても良い。
【００７３】
また、報知手段２１は音による聴覚伝達ができれば良く、ブザーの他にスピーカやチャイムを用いても良い。
【００７４】
上記構成において、異常検出手段２０はモータ３の回転数が所定の値を外れた場合に異常状態であると判断し、本体１に備えた送信部１４より操作手段１１に異常信号を送信する。この信号を操作手段１１に備えた受信部１８にて受信すると、報知手段２１にて予め決定しているパターンの異常発報アラームを発する。また、操作手段１１での設定を本体１が受信したときには、本体１に備えた送信部１４より受信完了信号が操作手段１１へ送信され、その信号を操作手段１１の受信部１８にて受信することで、予め決定しているパターンの受信完了アラームを発する。また、この受信完了アラームは、設定内容に応じて変えても良い。
【００７５】
このように、操作手段１１から送信した設定を本体１が受信できたか否かを、操作手段１１から発する音を聞くことで確認することができる。
【００７６】
また、本体１の異常情報を操作手段にて確認することができる。
【産業上の利用可能性】
【００７７】
本発明は、離れている本体に対して各種の設定を無線で設定することにあり、特に同一の本体が多数設置されている場合に更なる有効性を発揮するため、事務所などの照明の設定用途にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】本発明の実施の形態１記載のファンフィルタユニットを示す構成図
【図２】同ファンフィルタユニットの設置状況の一例を示す斜視図
【図３】本発明の実施の形態２記載のファンフィルタユニットを示す構成図
【図４】本発明の実施の形態３記載のファンフィルタユニットを示す構成図
【図５】従来のファンフィルタユニットを示す構成図
【符号の説明】
【００７９】
１    本体
２    ファン
３    モータ
４    フィルタ
５    送信部
６    受信部
７    固定部
８    制御部
９    設定部
１０  アドレス設定部
１１  操作手段
１２  クリーンブース
１３  壁
１４  送信部
１５  回転数検出手段
１６  設定部
１７  報知手段
１８  受信部
１９  制御部
２０  異常検出手段
２１  報知手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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