(57)【要約】【課題】液体吐出ヘッドのノズルのインク吐出量を均一化する。【解決手段】液体を吐出するための複数のノズルを有する液体吐出ヘッドにより媒体に液体を吐出する液体吐出装置であって、液体吐出ヘッドの複数のノズルそれぞれからの液体吐出量を複数のノズルそれぞれについて個別に変更できる吐出量可変部３０４を有し、吐出量可変部は、複数のノズルそれぞれに供給される駆動パルスの駆動電圧値を変更できる電圧制御回路３１３を含む。【選択図】      図１８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するための複数のノズルを有する液体吐出ヘッドから液体を基板上に吐出して表示装置用のパネルを製造するパネルの製造方法であって、
各ノズルの液体吐出量を独立に変更可能な吐出量可変手段を用いて、各ノズルから吐出される液体の吐出量が一定となるように前記各ノズルの液体吐出量を補正する工程と、
前記補正された液体吐出量に従って前記液体吐出ヘッドから液体を吐出する工程とを有し、
１枚の前記基板への液体吐出動作に使用されるノズルの組み合わせ、１枚の前記基板への液体吐出動作に使用されるノズルの数、ノズルからの液体の吐出タイミング、前記液体吐出ヘッドと前記基板との相対移動方向、前記液体吐出ヘッドと前記基板との相対移動スピードの内の少なくとも１つが変化した場合、当該変化によって引き起こされる液体吐出量の変化を補正するように、前記吐出量可変手段を用いて前記各ノズルの液体吐出量を補正することを特徴とするパネルの製造方法。
【請求項２】
液体を吐出するための複数のノズルを有する液体吐出ヘッドから液体を基板上に吐出して表示装置用のパネルを製造するパネルの製造方法であって、
各ノズルから吐出された液体の着弾位置を測定する工程と、
前記着弾位置の測定結果に基づいて前記各ノズルの液体の吐出タイミングを決定する工程と、
各ノズルの液体吐出量を独立に変更可能な吐出量可変手段を用いて、前記決定された吐出タイミングに従って各ノズルから吐出される液体の吐出量が一定となるように前記各ノズルの液体吐出量を補正する工程と、
前記補正された液体吐出量に従って前記液体吐出ヘッドから液体を吐出する工程とを有し、
１枚の前記基板への液体吐出動作に使用されるノズルの組み合わせ、１枚の前記基板への液体吐出動作に使用されるノズルの数、ノズルからの液体の吐出タイミング、前記液体吐出ヘッドと前記基板との相対移動方向、前記液体吐出ヘッドと前記基板との相対移動スピードの内の少なくとも１つが変化した場合、当該変化によって引き起こされる液体吐出量の変化を補正するように、前記吐出量可変手段を用いて前記各ノズルの液体吐出量を補正することを特徴とするパネルの製造方法。
【請求項３】
前記液体はインクであり、
前記パネルは、前記液体吐出ヘッドから前記インクを前記基板上のブラックマトリクスにより仕切られた画素領域に吐出することにより製造されたカラーフィルタを備えることを特徴とする請求項１または２に記載のパネルの製造方法。
【請求項４】
前記液体はエレクトロルミネッセンス材料であり、
前記パネルは、前記液体吐出ヘッドから前記エレクトロルミネッセンス材料を前記基板上の画素領域に吐出することにより製造されたエレクトロルミネッセンス素子を備えることを特徴とする請求項１または２に記載のパネルの製造方法。
【請求項５】
前記液体は導電性薄膜材料であり、
前記パネルは、前記液体吐出ヘッドから前記導電性薄膜材料を前記基板上に吐出することにより製造された電子放出素子を備えることを特徴とする請求項１または２に記載のパネルの製造方法。
【請求項６】
前記液体は導電性薄膜材料であり、
前記パネルは、前記液体吐出ヘッドから前記導電性薄膜材料を前記基板上に吐出することにより製造された複数の電子放出素子を含むことを特徴とする請求項１または２に記載のパネルの製造方法。
【請求項７】
前記吐出量可変手段は、各ノズルに供給する駆動パルスの電圧値およびパルス幅の内の少なくとも１つを変更することにより、前記液体吐出量を変更するものであることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載のパネルの製造方法。
【請求項８】
インクを吐出するための複数のノズルを有するインクジェットヘッドからインクを基板上に吐出してカラーフィルタを製造するカラーフィルタの製造方法であって、
各ノズルのインク吐出量を独立に変更可能な吐出量可変手段を用いて、各ノズルから吐出されるインクの吐出量が一定となるように前記各ノズルのインク吐出量を補正する工程と、
前記補正されたインク吐出量に従って前記インクジェットヘッドからインクを吐出する工程とを有し、
１枚の前記基板へのインク吐出動作に使用されるノズルの組み合わせ、１枚の前記基板へのインク吐出動作に使用されるノズルの数、ノズルからのインクの吐出タイミング、前記インクジェットヘッドと前記基板との相対移動方向、前記インクジェットヘッドと前記基板との相対移動スピードの内の少なくとも１つが変化した場合、当該変化によって引き起こされるインク吐出量の変化を補正するように、前記吐出量可変手段を用いて前記各ノズルのインク吐出量を補正することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項９】
インクを吐出するための複数のノズルを有するインクジェットヘッドからインクを基板上に吐出してカラーフィルタを製造するカラーフィルタの製造方法であって、
各ノズルから吐出されたインクの着弾位置を測定する工程と、
前記着弾位置の測定結果に基づいて前記各ノズルのインクの吐出タイミングを決定する工程と、
各ノズルのインク吐出量を独立に変更可能な吐出量可変手段を用いて、前記決定された吐出タイミングに従って各ノズルから吐出されるインクの吐出量が一定となるように前記各ノズルのインク吐出量を補正する工程と、
前記補正されたインク吐出量に従って前記インクジェットヘッドからインクを吐出する工程とを有し、
１枚の前記基板へのインク吐出動作に使用されるノズルの組み合わせ、１枚の前記基板へのインク吐出動作に使用されるノズルの数、ノズルからのインクの吐出タイミング、前記インクジェットヘッドと前記基板との相対移動方向、前記インクジェットヘッドと前記基板との相対移動スピードの内の少なくとも１つが変化した場合、当該変化によって引き起こされるインク吐出量の変化を補正するように、前記吐出量可変手段を用いて前記各ノズルのインク吐出量を補正することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項１０】
請求項８または９に記載の方法により製造されたカラーフィルタを用意する工程と、
前記カラーフィルタと対向基板の間に液晶化合物を封入する工程と、
を備えることを特徴とする液晶表示パネルの製造方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載の方法により製造された液晶表示パネルを用意する工程と、
前記液晶表示パネルを、該液晶表示パネルに信号を供給する信号供給手段に接続する工程と、
を備えることを特徴とする液晶表示パネルを備えた装置の製造方法。
【請求項１２】
前記吐出量可変手段は、各ノズルに供給する駆動パルスの電圧値およびパルス幅の内の少なくとも１つを変更することにより、前記液体吐出量を変更するものであることを特徴とする請求項８または９に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項１３】
液体を吐出するための複数のノズルを有する液体吐出ヘッドから液体を基板上に吐出して表示装置用のパネルを製造するパネルの製造装置であって、
各ノズルの液体吐出量を独立に変更可能な吐出量可変手段であって、各ノズルから吐出される液体の吐出量が一定となるように前記各ノズルの液体吐出量を補正するための吐出量可変手段を備え、
１枚の前記基板への液体吐出動作に使用されるノズルの組み合わせ、１枚の前記基板への液体吐出動作に使用されるノズルの数、ノズルからの液体の吐出タイミング、前記液体吐出ヘッドと前記基板との相対移動方向、前記液体吐出ヘッドと前記基板との相対移動スピードの内の少なくとも１つが変化した場合、当該変化によって引き起こされる液体吐出量の変化を補正するように、前記吐出量可変手段は前記各ノズルの液体吐出量を補正することを特徴とするパネルの製造装置。
【請求項１４】
液体を吐出するための複数のノズルを有する液体吐出ヘッドから液体を基板上に吐出して表示装置用のパネルを製造するパネルの製造装置であって、
各ノズルから吐出された液体の着弾位置の測定結果に基づいて前記各ノズルの液体の吐出タイミングを決定する手段と、
各ノズルの液体吐出量を独立に変更可能な吐出量可変手段を用いて、前記決定された吐出タイミングに従って各ノズルから吐出される液体の吐出量が一定となるように前記各ノズルの液体吐出量を補正するための吐出量可変手段とを備え、
１枚の前記基板への液体吐出動作に使用されるノズルの組み合わせ、１枚の前記基板への液体吐出動作に使用されるノズルの数、ノズルからの液体の吐出タイミング、前記液体吐出ヘッドと前記基板との相対移動方向、前記液体吐出ヘッドと前記基板との相対移動スピードの内の少なくとも１つが変化した場合、当該変化によって引き起こされる液体吐出量の変化を補正するように、前記吐出量可変手段は前記各ノズルの液体吐出量を補正することを特徴とするパネルの製造装置。
【請求項１５】
インクを吐出するための複数のノズルを有するインクジェットヘッドからインクを基板上に吐出してカラーフィルタを製造するカラーフィルタの製造方法であって、
各ノズルのインク吐出量を独立に変更可能な吐出量可変手段であって、各ノズルから吐出されるインクの吐出量が一定となるように前記各ノズルのインク吐出量を補正するための吐出量可変手段を具備し、
１枚の前記基板へのインク吐出動作に使用されるノズルの組み合わせ、１枚の前記基板へのインク吐出動作に使用されるノズルの数、ノズルからのインクの吐出タイミング、前記インクジェットヘッドと前記基板との相対移動方向、前記インクジェットヘッドと前記基板との相対移動スピードの内の少なくとも１つが変化した場合、当該変化によって引き起こされるインク吐出量の変化を補正するように、前記吐出量可変手段は前記各ノズルのインク吐出量を補正することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項１６】
インクを吐出するための複数のノズルを有するインクジェットヘッドからインクを基板上に吐出してカラーフィルタを製造するカラーフィルタの製造方法であって、
各ノズルから吐出されたインクの着弾位置の測定結果に基づいて前記各ノズルのインクの吐出タイミングを決定する手段と、
各ノズルのインク吐出量を独立に変更可能な吐出量可変手段であって、前記決定された吐出タイミングに従って各ノズルから吐出されるインクの吐出量が一定となるように前記各ノズルのインク吐出量を補正するための吐出量可変手段とを具備し、
１枚の前記基板へのインク吐出動作に使用されるノズルの組み合わせ、１枚の前記基板へのインク吐出動作に使用されるノズルの数、ノズルからのインクの吐出タイミング、前記インクジェットヘッドと前記基板との相対移動方向、前記インクジェットヘッドと前記基板との相対移動スピードの内の少なくとも１つが変化した場合、当該変化によって引き起こされるインク吐出量の変化を補正するように、前記吐出量可変手段は前記各ノズルのインク吐出量を補正することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッド（例えば、インクジェット式ヘッド）を用いて所定のパターンを形成あるいは描画する技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に液晶表示装置は、パーソナルコンピュータ、ワードプロセッサ、パチンコ遊戯台、自動車ナビゲーションシステム、小型テレビ等に搭載され、近年需要が増大している。しかしながら、液晶表示装置は価格が高く、液晶表示装置に対するコストダウン要求は年々強まっている。特に液晶表示装置の構成部品の中でも、カラーフィルタのコスト比率が高く、カラーフィルタのコストダウンへの要求が高まっている。
【０００３】
液晶表示装置に使用されるカラーフィルタは透明基板上に赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）などの着色されたフィルタエレメントを配列して構成され、さらにこれらの各フィルタエレメントの周囲には液晶表示装置の表示コントラストを高めるために、光を遮光するブラックマトリックス（ＢＭ）が設けられている。ＢＭに関してはＣｒ金属薄膜を使用したものから、近年は黒色樹脂を使用した樹脂ＢＭもある。
【０００４】
フィルタエレメントを含む着色層の上には、平滑性の改善などのためにアクリル系樹脂やエポキシ系樹脂からなる厚さ０．５〜２μｍのオーバーコート層（保護層）が形成され、さらにこの上に透明電極（ＩＴＯ）膜が形成される。
【０００５】
カラーフィルタのフィルタエレメントを着色する方法としては、従来から種々の方法が知られており、これらには染色法、顔料分散法、電着法、印刷法等がある。
【０００６】
染色法とは、ガラス基板上に染色用の材料である水溶性高分子材料を塗布しフォトリソグラフィを用いて所定の形状にパターンニングした後これを染色液に浸漬し着色する工程をＲ・Ｇ・Ｂの各色について繰り返しカラーフィルタを得る方法である。
【０００７】
顔料分散法とは、透明基板上に感光性樹脂材中に色材顔料を分散した層をスピンコーターなどにより形成し、これをパターンニングする工程をＲ・Ｇ・Ｂの各色につき夫々１回づつ、合計３回繰り返すことによりＲ・Ｇ・Ｂのカラーフィルタを得る方法である。
【０００８】
電着法とは、透明基板上に透明電極をパターンニングし顔料、樹脂、電解液等の電着塗装液に浸漬し着色する工程をＲ・Ｇ・Ｂの各色について繰り返しカラーフィルタを得る方法である。
【０００９】
印刷法とは、顔料系色材が分散された熱硬化型樹脂をオフセット印刷により着色する工程をＲ・Ｇ・Ｂの各色について繰り返しカラーフィルタを得る方法である。
【００１０】
上記のカラーフィルタ製造方法での共通点は、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色を着色するために同一の工程を繰り返す必要があり、コストがかかることである。また工程数が多くなることで製造歩留が低下すると言う問題がある。
【００１１】
これらの欠点を補うべく、特開昭５９−７５２０５号公報（特許文献１）、特開昭６３−２３５９０１号公報（特許文献２）あるいは特開平１−２１７３２０号公報（特許文献３）等には、インクジェット方式を用いたカラーフィルタの製造方法が開示されている。インクジェット方式はＲ・Ｇ・Ｂの色材を含有する着色材をインクジェットを用いて透明基板上に噴射して着色し乾燥定着させフィルタエレメントを形成する方法である。カラーフィルタに必要なＲ・Ｇ・Ｂ三色を同時に形成することが可能なことから製造工程の簡略とコストダウン効果を得ることが出来る。また、染色法、顔料分散法、電着法、印刷法等に比べ工程数が少ないことから製造歩留の向上が達成できる。
【００１２】
ところで、一般の液晶表示装置等に用いられるカラーフィルタにおいては、各画素を仕切るためのブラックマトリクス開口部（すなわち画素）の形状は長方形であり、これに対しインクジェットヘッドから吐出されるインク滴の形状は略円形であるため、１つの画素において必要なインク量を一度に吐出し、かつブラックマトリクスの開口部全体に均一にインクを広げることは，困難である。そのため、インクジェットヘッドを基板に対し相対的に主走査させながら、基板上の１つの画素に対して複数のインク滴を吐出して着色することが行われる。
【００１３】
また、各画素に充填されるインクの量のばらつきが小さいほど、ムラが低減された、高品位なカラーフィルタを製造することができる。
【００１４】
しかしながら、インクジェットヘッドから吐出されるインクの量は、ヘッドを構成するノズルあるいは吐出に関係する構造、駆動機構、駆動特性のばらつきにより、同じ吐出駆動条件で吐出駆動を行っても各ノズル間で吐出量が異なる場合がある。この場合、各画素に対し同じ数のインクを吐出したとしても、使用するノズルが異なることに起因して各画素のインク充填量がばらついてしまい、このインク充填量のバラツキが画素間のムラとなって、カラーフィルタの品位および歩留まりを低下させる原因となっていた。
【００１５】
この濃度ムラの問題を解決するために、従来以下のような２つの方法（ビット補正、シェーディング補正）がとられていた。なお、ここでは、熱エネルギーによりインクを吐出させるインクジェットヘッドの場合について説明する。
【００１６】
まず、特開平９−２８１３２４号公報（特許文献４）に記載されているように図１１乃至図１３に示される複数のインク吐出ノズルを有するインクジェットヘッドＩＪＨの各ノズル間のインク吐出量の差を補正する方法（以下ビット補正と呼ぶ）について説明する。
【００１７】
まず、図１１に示すようにインクジェットヘッドＩＪＨの例えば３つのノズルであるノズル１、ノズル２、ノズル３からインクを所定の基板上に吐出させ、夫々のノズルから吐出されるインクが基板Ｐ上に形成するインクドットの大きさを測定し、各ノズルからのインク吐出量を測定する。このとき、各ノズルのヒータに加えるヒートパルスを一定幅とし、プレヒートパルスの幅を変化させる。これにより図１２に示すようなプレヒートパルス幅とインク吐出量の関係を示す曲線が得られる。ここで、例えば、各ノズルからのインク吐出量をすべて２０ｎｇに統一したいとすると、図１２に示す曲線から、ノズル１に加えるプレヒートパルスの幅は１．０μs、ノズル２では０．５μs、ノズル３では０．７５μsであることがわかる。従って、各ノズルのヒータに、これらの幅のプレヒートパルスをくわえることにより、図１３に示すように各ノズルからのインク吐出量をすべて２０ｎｇに揃えることができる。このようにして、各ノズルからのインク吐出量を補正することをビット補正と呼ぶ。
【００１８】
次に、図１４及び図１５は、各インク吐出ノズルからのインク吐出密度を調整することにより、インクジェットヘッドの走査方向の濃度のムラを補正する方法（以下シェーディング補正と呼ぶ）を示す図である。例えば、図１４に示すように、インクジェットヘッドのノズル3のインク吐出量を基準としたときに、ノズル１のインク吐出量が−１０％、ノズル２のインク吐出量が＋２０％であったとする。このとき、インクジェットヘッドＩＪＨを走査させながら、図１５に示すように、ノズル１のヒータには基準クロックの９回に１回ずつヒートパルスを加え、ノズル２のヒータには基準クロックの１２回に１回ずつヒートパルスを加え、ノズル３のヒータには基準クロックの１０回に１回ずつヒートパルスを加える。このようにすることにより、走査方向のインク吐出数を各ノズルごとに変化させ、図１４に示すようにカラーフィルタの画素内の走査方向のインク密度を一定にすることができ、各画素の濃度ムラを防止することができる。このようにして、走査方向のインク吐出密度を補正することをシェーディング補正と呼ぶ。
【特許文献１】特開昭５９−７５２０５号公報
【特許文献２】特開昭６３−２３５９０１号公報
【特許文献３】特開平１−２１７３２０号公報
【特許文献４】特開平９−２８１３２４号公報
【特許文献５】特開平８−１７９１１０号公報。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
濃度ムラを低減させる方法として上記のような２つの方法が知られているが、従来、例えば特開平８−１７９１１０号公報（特許文献５）に記載のような各色がストライプ状に着色されるカラーフィルタにおいては、上記の２つの方法のうちの後者であるシェーディング補正法により１つの画素列を一単位として吐出ピッチを調整し、１つの画素列に対する吐出量を調整していた。なお、このストライプ状のカラーフィルタでは、１つの画素列に吐出される所定色のインクが異色の隣接画素列へ流れ込まないように、各色画素列間に混色防止壁が設けられている。
【００２０】
しかし、前記のような各色画素列間に混色防止壁が設けられ、ストライプ状に着色されるカラーフィルタでなく、画素列間に混色防止壁が設けられず、画素間の仕切りがＢＭ（ブラックマトリク）のみであるカラ−フィルタでは、１つの画素列を一単位としてライン状にインクを吐出してしまうと、撥水性のあるＢＭ上に吐出されたインクが隣接する画素領域へ流れ込んでしまうため、画素内の吐出量を管理することが非常に困難となる。
【００２１】
つまり、前記シェーディング補正のような吐出間隔を調整する方法では、画素内へのインク付与量を所定量に制御することは困難である。
【００２２】
またカラーフィルタ画素の高精細化により画素面積が縮小傾向にあり、画素内のインク充填量の制御がますます難しくなっている。
【００２３】
そのため、上記の２つの濃度ムラ低減方法のうち、前者である吐出量を均一化する方法（ビット補正）によるカラーフィルタのムラ品位向上への新たな対応が重要な課題となっている。
【００２４】
すなわち、１つの画素列を一単位とするのではなく、１つの画素を一単位としてインク充填量の調整を行う形態においては、上記ビット補正を用いて各画素内へのインク充填量の均一化を行うことが有効であると考えられるため、このビット補正によるインク充填量の均一化を極力簡単な構成にて実現できる形態が望まれる。
このように高品位なカラーフィルタを製造するための第１の課題として、ビット補正による所定領域（画素）内の液体充填量の均一化が挙げられる。
【００２５】
ところで、１つのノズルからのインク吐出量は、隣接ノズルから同時タイミングでインク吐出が行われているかどうかの影響を受け、隣接ノズルが同時タイミングで吐出されている場合と吐出されていない場合とで吐出量が異なる。なお、本明細書では、この現象を隣接ノズルクロストークと呼ぶ。インク吐出量を均一化して画素間のムラを解消するためには、この隣接ノズルクロストークによる吐出変動を配慮することが好ましい。
【００２６】
図３５に、本発明の動機となったところの、隣接ノズルクロストークの測定結果例を示す。
【００２７】
図３５では、インクジェットヘッドの複数のノズル（ここでは、８０ch）に対して、吐出タイミングを進ませたり遅らせたり、あるいはノズルからインクを吐出させたり吐出させなかったりという制御を行い、これら制御により吐出量がどのように変動するかについて示している。特に、上記した隣接ノズルクロストークによる吐出量変動の影響を示している。詳しくは、図３５においては、全ノズルＺ（８０ｃｈ）のうち、Ｎ番目のノズル（ｃｈ１２）の吐出量に着目し、この着目ノズルの吐出量測定を行う。この吐出量測定に際しては、着目ノズル（ｃｈ１２）を駆動する電圧、電流、パルス波形は、全ての測定において一定に保つ。このようにして、着目ノズル（ｃｈ１２）の吐出に対して、周辺ノズルの吐出のタイミングを変化させたのが図３５である。
【００２８】
図３５において（ａ）は、全ノズル（８０ｃｈ）から同時にインク吐出させた時のｃｈ１２の吐出量であり、それを100として右の棒グラフで表わす。
【００２９】
（ｂ）は、全ノズル（８０ｃｈ）のうち選択した半数のノズル（４０ｃｈ）からインク吐出させた場合した時のｃｈ１２の吐出量である。このノズル選択においては、ｃｈ１２の隣接ノズルであるところのｃｈ１１とｃｈ１３からは同時にインク吐出を行っている。この場合には、（ａ）の吐出量よりも１％小さくなる。
【００３０】
（ｃ）は、８０ｃｈのうち、（ｂ）とは別の選択をした４０ｃｈからインク吐出させた時のｃｈ１２ノズルの吐出量である。このノズル選択においては、ｃｈ１２の隣接ノズルであるところのｃｈ１１とｃｈ１３からはインク吐出を行わない。この場合には、（ａ）の吐出量よりも５％小さくなる。
【００３１】
（ｄ）は、８０ｃｈのうち、（ｃ）と同じ選択をした４０ｃｈの吐出タイミングずらして吐出した時のｃｈ１２ノズルの吐出量である。このノズル選択においては、ｃｈ１２の隣接ノズルであるところのｃｈ１１とｃｈ１３からはインク吐出を行わない。また、ここでは、着目ノズル（ｃｈ１２）以外の残りのノズル（３９ｃｈ）は、着目ノズル（ｃｈ１２）よりも１０μsec遅れてインク吐出を行う。この場合には、（ａ）の吐出量よりも7％小さく、また（ｃ）の吐出量よりも2％小さくなる。
【００３２】
（ｅ）は、８０ｃｈのうち、ｃｈ１２のみから単独でインク吐出させた時の吐出量である。このノズル選択においては、（ａ）の吐出量よりも１２％小さくなる。逆にいうと、（ａ）の８０ｃｈ同時吐出の場合には、（ｅ）の単独ｃｈ吐出に比べて12％吐出量が多くなる。
【００３３】
（ｆ）は、８０ｃｈのうち、（ｄ）とは異なる選択をした４０ｃｈからインク吐出させた時のｃｈ１２ノズルの吐出量である。このノズル選択においては、ｃｈ１２の隣接ノズルであるところのｃｈ１１とｃｈ１３からインク吐出を行う。ここでは、着目ノズル（ｃｈ１２）以外の残りのノズル（３９ｃｈ）は、着目ノズル（ｃｈ１２）よりも１０μsec遅れて吐出する。この場合には、（ｅ）の吐出量よりもさらに7％小さくなる。
【００３４】
（ｇ）は、全ノズル（８０ｃｈ）からインク吐出を行うが、着目ノズル（ｃｈ１２）以外の全てのノズル（残りの７９ｃｈ）は、着目ノズル（ｃｈ１２）よりも１０μsec遅れてインク吐出を行う。この場合には、（ｅ）の吐出量よりもさらに9％小さくなる。
【００３５】
以上の現象の発生メカニズムは、インク液室１１４から夫々の液路１１０に至るインクの圧力波の伝播によるノズル間クロストークとして説明できる。すなわち、着目ノズルによる単独吐出（ｅ）の場合に比べて、８０ｃｈ同時吐出（ａ）の場合においては、着目ノズル（ｃｈ１２）以外のノズル（全７９ｃｈ）の吐出の圧力波が着目ノズル（ｃｈ１２）の吐出を助長するので（ａ）は吐出が増える。
【００３６】
（ｂ）と（ｃ）は４０ｃｈ同時吐出なので、８０ｃｈ同時吐出ほどは吐出量が増えない。また、（ｂ）は（ｃ）に比べて隣接ノズルからインク吐出を行っているので、その違いの分だけ吐出量が増えている。すなわち、隣接ノズルから同時にインク吐出が行われるか否かが着目ノズル（ｃｈ１２）の吐出に最も大きな影響を与える。
【００３７】
次に、（ａ）と（ｅ）と（ｇ）を比較すると、着目ノズル（ｃｈ１２）以外のノズルの吐出タイミングを変えると着目ノズル（ｃｈ１２）の吐出量が変わることがわかる。（ｅ）に比べて（ａ）のように他のノズルを着目ノズルと同時に吐出すると着目ノズルの吐出量は増えるが、（ｅ）に比べて（ｇ）のように他のノズルをｃｈ１２に対して少しタイミングを遅らせて吐出すると逆に着目ノズルの吐出量は減る。これは他のノズルによる圧力波の干渉位相が逆になって、着目ノズルの吐出圧力が打ち消されるように作用するからである。
【００３８】
同様に（ｂ）と（ｅ）と（ｆ）を比較しても、着目ノズル以外の他のノズルの吐出タイミングを変えた時に着目ノズルの吐出量が変わることが解る。
【００３９】
また、（ｂ）と（ｅ）と（ｆ）を比較した場合は、（ａ）と（ｅ）と（ｇ）を比較した場合と比べて、着目ノズル（ｃｈ１２）以外の残りノズルの数が少ない分だけ、残りノズルの吐出タイミングの違いに対する着目ノズル（ｃｈ１２）の吐出量変動は小さいといえる。
【００４０】
また、着目ノズル以外のノズルの吐出タイミングの違いに対する着目ノズル（ｃｈ１２）の吐出量変動は、着目ノズルに隣接する隣接ノズルの影響が最も大きいが、（ｃ）と（ｄ）を比較すると、３ノズルあるいはそれ以上離れたノズルでも少しは影響を与えているといえる。
【００４１】
以上述べたように、着目ノズル以外の他のノズルの吐出の有無や吐出タイミングが着目ノズルのインク吐出量に影響を与えるのであるが、従来、この影響が考慮されていなかった。つまり、使用ノズル数の変更や、使用ノズルの組み合わせの変更や、ノズル毎の吐出タイミングの変更が生じると、ノズル毎の吐出量が変化してしまい、その吐出量変動に起因して画素間に濃度ムラが発生してしまう場合もあるので、高品位なカラーフィルタを製造する場合には上記隣接ノズルクロストークによる吐出量変動を考慮することが望ましい。
更に加えるならば、パターン形成前あるいはパターン描画前に各ノズルの吐出量をビット補正により均一化しておいたとしても、上記隣接ノズルクロストークによる吐出量変動が生じる場合もあるので、この点を考慮することが望ましい。
このように、更なる高品位なカラーフィルタを製造するための第２の課題として、隣接ノズルクロストークによる吐出量変動を考慮した上での、所定領域（画素）内の液体充填量の均一化が挙げられる。
なお、ここまでは、製造対象物をカラーフィルタとして説明したが、上記第１よおび第２の課題はカラーフィルタの製造においてのみ生じるものではなく、基板上の所定領域に対する液体付与量を所定量に制御する必要がある場合においては同様に生じるものである。例えば、基板上の所定領域に対し所定量のＥＬ（エレクトロルミネッセンス）材料液を液体吐出ヘッド（インクジェット式ヘッド）により付与しＥＬ表示素子を製造する場合においても同様の課題が生じる。また、基板上の所定領域に対し所定量の導電性薄膜材料液（金属元素を含有する液体）を液体吐出ヘッド（インクジェット式ヘッド）により付与し、基板上に導電性薄膜が形成されてなる電子放出素子や当該素子を複数個含む表示パネルを製造する場合においても同様の課題が生じる。
【００４２】
従って、本発明は上述した課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、液体吐出ヘッド（例えば、インクジェット式ヘッド）の各ノズルからの液体吐出量を簡単な構成にて均一化できるようにすることである。
【００４３】
また、本発明の他の目的は、簡単な構成にて、各ノズル独立に液体吐出量を可変にできるようにすることである。
【００４４】
また、本発明のさらに他の目的は、基板上の所定領域（例えば、画素）への液体付与量を所定量に間単に制御できるようにし、所定領域（画素）への液体付与量を均一化することである。そして、これにより、所定領域（画素）毎の液体充填量を均一化し、各画素が要求特性を満たしている高品位なカラーフィルタやＥＬ表示素子等の表示装置用パネルや、電子放出素子および当該電子放出素子を含む表示パネルを製造する。
【課題を解決するための手段】
【００４５】
上述した目的を達成するための本発明は、液体を吐出するための複数のノズルを有する液体吐出ヘッドから液体を基板上に吐出して表示装置用のパネルを製造するパネルの製造方法であって、各ノズルの液体吐出量を独立に変更可能な吐出量可変手段を用いて、各ノズルから吐出される液体の吐出量が一定となるように前記各ノズルの液体吐出量を補正する工程と、前記補正された液体吐出量に従って前記液体吐出ヘッドから液体を吐出する工程とを有し、１枚の前記基板への液体吐出動作に使用されるノズルの組み合わせ、１枚の前記基板への液体吐出動作に使用されるノズルの数、ノズルからの液体の吐出タイミング、前記液体吐出ヘッドと前記基板との相対移動方向、前記液体吐出ヘッドと前記基板との相対移動スピードの内の少なくとも１つが変化した場合、当該変化によって引き起こされる液体吐出量の変化を補正するように、前記吐出量可変手段を用いて前記各ノズルの液体吐出量を補正することを特徴とする。
【００４６】
また、本発明は、液体を吐出するための複数のノズルを有する液体吐出ヘッドから液体を基板上に吐出して表示装置用のパネルを製造するパネルの製造方法であって、各ノズルから吐出された液体の着弾位置を測定する工程と、前記着弾位置の測定結果に基づいて前記各ノズルの液体の吐出タイミングを決定する工程と、各ノズルの液体吐出量を独立に変更可能な吐出量可変手段を用いて、前記決定された吐出タイミングに従って各ノズルから吐出される液体の吐出量が一定となるように前記各ノズルの液体吐出量を補正する工程と、前記補正された液体吐出量に従って前記液体吐出ヘッドから液体を吐出する工程とを有し、１枚の前記基板への液体吐出動作に使用されるノズルの組み合わせ、１枚の前記基板への液体吐出動作に使用されるノズルの数、ノズルからの液体の吐出タイミング、前記液体吐出ヘッドと前記基板との相対移動方向、前記液体吐出ヘッドと前記基板との相対移動スピードの内の少なくとも１つが変化した場合、当該変化によって引き起こされる液体吐出量の変化を補正するように、前記吐出量可変手段を用いて前記各ノズルの液体吐出量を補正することを特徴とする。
【００４７】
また、本発明は、インクを吐出するための複数のノズルを有するインクジェットヘッドからインクを基板上に吐出してカラーフィルタを製造するカラーフィルタの製造方法であって、各ノズルのインク吐出量を独立に変更可能な吐出量可変手段を用いて、各ノズルから吐出されるインクの吐出量が一定となるように前記各ノズルのインク吐出量を補正する工程と、前記補正されたインク吐出量に従って前記インクジェットヘッドからインクを吐出する工程とを有し、１枚の前記基板へのインク吐出動作に使用されるノズルの組み合わせ、１枚の前記基板へのインク吐出動作に使用されるノズルの数、ノズルからのインクの吐出タイミング、前記インクジェットヘッドと前記基板との相対移動方向、前記インクジェットヘッドと前記基板との相対移動スピードの内の少なくとも１つが変化した場合、当該変化によって引き起こされるインク吐出量の変化を補正するように、前記吐出量可変手段を用いて前記各ノズルのインク吐出量を補正することを特徴とする。
【００４８】
また、本発明は、インクを吐出するための複数のノズルを有するインクジェットヘッドからインクを基板上に吐出してカラーフィルタを製造するカラーフィルタの製造方法であって、各ノズルから吐出されたインクの着弾位置を測定する工程と、前記着弾位置の測定結果に基づいて前記各ノズルのインクの吐出タイミングを決定する工程と、各ノズルのインク吐出量を独立に変更可能な吐出量可変手段を用いて、前記決定された吐出タイミングに従って各ノズルから吐出されるインクの吐出量が一定となるように前記各ノズルのインク吐出量を補正する工程と、前記補正されたインク吐出量に従って前記インクジェットヘッドからインクを吐出する工程とを有し、１枚の前記基板へのインク吐出動作に使用されるノズルの組み合わせ、１枚の前記基板へのインク吐出動作に使用されるノズルの数、ノズルからのインクの吐出タイミング、前記インクジェットヘッドと前記基板との相対移動方向、前記インクジェットヘッドと前記基板との相対移動スピードの内の少なくとも１つが変化した場合、当該変化によって引き起こされるインク吐出量の変化を補正するように、前記吐出量可変手段を用いて前記各ノズルのインク吐出量を補正することを特徴とする。
【００４９】
また、本発明に係わる液晶表示パネルの製造方法は、上記の方法により製造されたカラーフィルタを用意する工程と、前記カラーフィルタと対向基板の間に液晶化合物を封入する工程と、を備えることを特徴とする。
【００５０】
また、本発明に係わる液晶表示パネルを備えた装置の製造方法は、上記の方法により製造された液晶表示パネルを用意する工程と、前記液晶表示パネルを、該液晶表示パネルに信号を供給する信号供給手段に接続する工程と、を備えることを特徴とする。
【００５１】
また、本発明は、液体を吐出するための複数のノズルを有する液体吐出ヘッドから液体を基板上に吐出して表示装置用のパネルを製造するパネルの製造装置であって、各ノズルの液体吐出量を独立に変更可能な吐出量可変手段であって、各ノズルから吐出される液体の吐出量が一定となるように前記各ノズルの液体吐出量を補正するための吐出量可変手段を備え、１枚の前記基板への液体吐出動作に使用されるノズルの組み合わせ、１枚の前記基板への液体吐出動作に使用されるノズルの数、ノズルからの液体の吐出タイミング、前記液体吐出ヘッドと前記基板との相対移動方向、前記液体吐出ヘッドと前記基板との相対移動スピードの内の少なくとも１つが変化した場合、当該変化によって引き起こされる液体吐出量の変化を補正するように、前記吐出量可変手段は前記各ノズルの液体吐出量を補正することを特徴とする。
【００５２】
また、本発明は、液体を吐出するための複数のノズルを有する液体吐出ヘッドから液体を基板上に吐出して表示装置用のパネルを製造するパネルの製造装置であって、各ノズルから吐出された液体の着弾位置の測定結果に基づいて前記各ノズルの液体の吐出タイミングを決定する手段と、各ノズルの液体吐出量を独立に変更可能な吐出量可変手段を用いて、前記決定された吐出タイミングに従って各ノズルから吐出される液体の吐出量が一定となるように前記各ノズルの液体吐出量を補正するための吐出量可変手段とを備え、１枚の前記基板への液体吐出動作に使用されるノズルの組み合わせ、１枚の前記基板への液体吐出動作に使用されるノズルの数、ノズルからの液体の吐出タイミング、前記液体吐出ヘッドと前記基板との相対移動方向、前記液体吐出ヘッドと前記基板との相対移動スピードの内の少なくとも１つが変化した場合、当該変化によって引き起こされる液体吐出量の変化を補正するように、前記吐出量可変手段は前記各ノズルの液体吐出量を補正することを特徴とする。
【００５３】
また、本発明は、インクを吐出するための複数のノズルを有するインクジェットヘッドからインクを基板上に吐出してカラーフィルタを製造するカラーフィルタの製造方法であって、各ノズルのインク吐出量を独立に変更可能な吐出量可変手段であって、各ノズルから吐出されるインクの吐出量が一定となるように前記各ノズルのインク吐出量を補正するための吐出量可変手段を具備し、１枚の前記基板へのインク吐出動作に使用されるノズルの組み合わせ、１枚の前記基板へのインク吐出動作に使用されるノズルの数、ノズルからのインクの吐出タイミング、前記インクジェットヘッドと前記基板との相対移動方向、前記インクジェットヘッドと前記基板との相対移動スピードの内の少なくとも１つが変化した場合、当該変化によって引き起こされるインク吐出量の変化を補正するように、前記吐出量可変手段は前記各ノズルのインク吐出量を補正することを特徴とする。
【００５４】
また、本発明は、インクを吐出するための複数のノズルを有するインクジェットヘッドからインクを基板上に吐出してカラーフィルタを製造するカラーフィルタの製造方法であって、各ノズルから吐出されたインクの着弾位置の測定結果に基づいて前記各ノズルのインクの吐出タイミングを決定する手段と、各ノズルのインク吐出量を独立に変更可能な吐出量可変手段であって、前記決定された吐出タイミングに従って各ノズルから吐出されるインクの吐出量が一定となるように前記各ノズルのインク吐出量を補正するための吐出量可変手段とを具備し、１枚の前記基板へのインク吐出動作に使用されるノズルの組み合わせ、１枚の前記基板へのインク吐出動作に使用されるノズルの数、ノズルからのインクの吐出タイミング、前記インクジェットヘッドと前記基板との相対移動方向、前記インクジェットヘッドと前記基板との相対移動スピードの内の少なくとも１つが変化した場合、当該変化によって引き起こされるインク吐出量の変化を補正するように、前記吐出量可変手段は前記各ノズルのインク吐出量を補正することを特徴とする。
【００５５】
また、上述した吐出量可変手段は、各ノズルに供給する駆動パルスの電圧値及びパルス幅の内の少なくとも１つを変更することにより、前記液体吐出量を変更するものである。
【００５６】
以上の構成によれば、複数のノズルそれぞれに吐出量可変手段を接続し、各ノズル独立に吐出量を変更できるようにしているので、各ノズル間の吐出量を簡単に均一化でき、それによって所定領域（例えば、画素）内の液体充填量を均一に制御することが可能となる。
【００５７】
また、隣接ノズルの吐出／非吐出の状況や使用ノズル数を考慮して、各ノズルに与える駆動電圧値やパルス幅等の駆動条件を制御しているので、各ノズルからの吐出量を高精度で所望量に合せることができる。
【００５８】
更に、基板上の所定領域（例えば、画素）への液体付与量を所定量に間単に制御できるため、所定領域（画素）への液体付与量が均一化された、高品位なカラーフィルタやＥＬ表示素子等の表示装置用パネル、電子放出素子や当該電子放出素子を含む表示パネルを製造できる。
なお、本発明では、液体吐出ヘッドとして、インクジェット方式のヘッドを使用しているが、製造対象物によってはインク以外の液体を吐出する場合もある。例えば、製造対象物がカラーフィルタであればインクを吐出するのであるが、製造対象物がＥＬ素子であればＥＬ材料液を吐出し、製造対象物が電子放出素子であれば導電性薄膜材料液を吐出する。このように本明細書で定義する液体吐出ヘッドはインク以外の液体を吐出するヘッドも包含するが、吐出形式としてインクジェット方式を採用しているので、本明細書では、吐出する液体がインクでなくとも、その液体吐出ヘッドのことをインクジェットヘッドと称することもある。
【発明の効果】
【００５９】
本発明によれば、液体吐出ヘッドの各ノズルからの液体吐出量を均一化することが可能となる。また、各ノズル独立に液体吐出量を可変にできるようになる。
【００６０】
また、基板上の所定領域（例えば、画素）への液体付与量を所定量に間単に制御できるため、所定領域（画素）への液体付与量が均一化された、高品位なカラーフィルタやＥＬ表示素子等の表示装置用パネル、電子放出素子および当該素子を含む表示パネルを製造できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００６１】
以下、本発明の好適な実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。なお、以下の実施形態では、カラーフィルタやＥＬ素子等の表示装置用パネル、電子放出素子や当該素子を含む表示パネルの製造時における吐出量補正について説明するが、本発明は、これらの製造時における吐出量補正に限定されるものではない。本発明は、各ノズルからの液体吐出量を高精度で簡単な構成にて均一化することが要求される場合に適用すればよく、例えば、普通紙やＯＨＰシート等の媒体に対してインクを吐出し画像をプリントする民生用のプリンタにおける吐出量補正にも適用することもできる。
【００６２】
なお、本発明において定義する表示装置用パネルとは、例えば着色部を備えるカラーフィルタあるいは自己発光する材料により形成された発光部を備えるＥＬ素子（エレクトロルミネッセンス素子、エレクトロルミネッセンス材料）、導電性薄膜部を有する電子放出素子を複数個含む表示パネル等を含む、表示装置に使用されるパネルのことである。
【００６３】
また、本発明において定義するカラーフィルタとは、着色部と基体とを備えるものであり、入力光に対し、特性を変えた出力光を得ることができるものである。具体例としては、液晶表示装置においてバックライト光を透過させることによりバックライト光からＲ，Ｇ，ＢまたはＣ，Ｍ，Ｙの３原色の光を得るものがあげられる。なお、ここでいう基体とは、ガラスやプラスチック等の基板を含み、さらに板状以外の形状も含むものである。
【００６４】
（第１の実施形態）
図1はカラーフィルタの製造装置の実施形態の構成を示す概略図である。
【００６５】
図1において、51は装置架台、52は架台51上に配置されたＸＹθステージ、53はＸＹθステージ52上にセットされたカラーフィルタ基板、54はカラーフィルタ基板53上に形成されるカラーフィルタ、55はカラーフィルタ54の着色を行うＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）のインクジェットヘッド、58はカラーフィルタの製造装置90の全体動作を制御するコントローラ、59はコントローラの表示部であるところのティーチングペンダント（パーソナルコンピュータ）、60はティーチペンダント59の操作部であるところのキーボードを示している。
【００６６】
図2はカラーフィルタ製造装置90の制御コントローラの構成図である。59は制御コントローラ58の入出力手段であるティーチングペンダント、62は製造の進行状況及びヘッドの異常の有無等の情報を表示する表示部、60はカラーフィルタ製造装置90の動作等を指示する操作部（キーボード）である。
【００６７】
58はカラーフィルタ製造装置90の全体動作を制御するところのコントローラ、65はティーチングペンダント59とのデータの受け渡しを行うインターフェース、66はカラーフィルタ製造装置90の制御を行うＣＰＵ、67はＣＰＵ66を動作させるための制御プログラムを記憶しているＲＯＭ、68は生産情報等を記憶するＲＡＭ、70はカラーフィルタの各画素内へのインクの吐出（液体吐出動作、インク吐出動作）を制御する吐出制御部、71はカラーフィルタ製造装置90のＸＹθステージ52の動作を制御するステージ制御部、90はコントローラ58に接続され、その指示に従って動作するカラーフィルタ製造装置を示している。
【００６８】
図３はインクジェットヘッドＩＪＨの一般的な構造を示す図である。
【００６９】
図１の装置に於いては、インクジェットヘッド５５はＲ，Ｇ，Ｂの３色に対応して３個設けられているが、これらの３個のヘッドは夫々同一の構造であるので、図３にはこれらの３個のヘッドのうち１個の構造を代表して示している。
【００７０】
図３に於いてインクジェットヘッドＩＪＨはインクを加熱する為の複数のヒータ１０２が形成された基板であるヒータボード１０４と、このヒータボード１０４の上に被せられる天板１０６とから概略構成されている。天板１０６には複数の吐出口１０８が形成されており吐出口１０８の後方には、この吐出口１０８に連通するトンネル状の液路１１０が形成されている。各液路１１０は、隔壁１１２により隣りの液路と隔絶されている。各液路１１０はその後方に於いて１つのインク液室１１４に共通に接続されており、インク液室１１４にはインク供給口１１６を介してインクが供給され、このインクはインク液室１１４から夫々の液路１１０に供給される。
【００７１】
ヒータボード１０４と、天板１０６とは各液路１１０に対応した位置に各ヒータ１０２が来る様に位置合わせされて図３の様な状態に組み立てられる。図３に於いては２つのヒータ１０２しか示されていないがヒータ１０２は夫々の液路１１０に対応して１つずつ配置されている。図３の様に組み立てられた状態でヒータ１０２に所定の駆動パルスを供給すると、ヒータ１０２上のインクが沸騰して気泡を形成する。この気泡の体積膨張によりインクが吐出口１０８から押し出されてインクが吐出される。従ってヒータ１０２に加える駆動パルスを制御して気泡の大きさを調節することで吐出口から吐出されるインク体積をコントロールする事が可能である。制御するパラメータとしてはヒータに供給する電力等がある。
【００７２】
図４は、このようにヒータに加える電力を変化させてインクの吐出量を制御する方法を説明するための図である。
【００７３】
この実施形態では、インクの吐出量を調整するために、ヒータ１０２に２種類の低電圧パルスを印加する様になされている。２種類のパルスとは、図４に示す様にプレヒートパルスとメインヒートパルス（以下、単にヒートパルスという）である。プレヒートパルスは、実際にインクを吐出するに先立ってインクを所定温度に温めるためのパルスであり、インクを吐出するために必要な最低のパルス幅t5よりも短い値に設定されている。従って、このプレヒートパルスによりインクが吐出されることはない。プレヒートパルスをヒータ102に加えるのは、インクの初期温度を、一定の温度にまで上昇させておくことにより、後に一定のヒートパルスを印加したときのインク吐出量を常に一定にするためである。また、逆にプレヒートパルスの長さを調節することにより、予めインクの温度を調節しておき、同じヒートパルスが印加された場合でも、インクの吐出量を異ならせることも可能である。また、ヒートパルスの印加に先立ってインクを暖めておくことにより、ヒートパルスを印加した時のインク吐出の時間的な立ち上がりを早めて応答性を良くする働きを持っている。
【００７４】
一方、ヒートパルスは、実際にインクを吐出させるためのパルスであり、上記のインクを吐出するために必要な最低のパルス幅t5よりも長く設定されている。ヒータ102が発生するエネルギーは、ヒートパルスの幅（印加時間）に比例するものであるため、このヒートパルスの幅を調節することにより、ヒータ102の特性のバラツキを調節することが可能である。
【００７５】
なお、プレヒートパルスとヒートパルスとの間隔を調節して、プレヒートパルスによる熱の拡散状態を制御することによってもインクの吐出量を調節することが可能となる。
【００７６】
上記の説明から分かる様に、インクの吐出量は、プレヒートパルスとヒートパルスの印加時間を調節することによっても可能であるし、またプレヒートパルスとヒートパルスの印加間隔を調節することによっても可能である。従って、プレヒートパルス及びヒートパルスの印加時間やプレヒートパルスとヒートパルスの印加間隔を必要に応じて調節することにより、インクの吐出量やインクの吐出の印加パルスに対する応答性を自在に調節することが可能となる。特に、カラーフィルタを着色する場合、色ムラの発生を抑制する意味で、各フィルタエレメント間や１つのフィルタエレメント内での着色濃度（色濃度）を略均一することが望ましく、そのために各ノズルからのインク吐出量を同じにするように制御する場合がある。ノズル毎のインク吐出量が同じであれば、各フィルタエレメントに打ち込まれるインク量も同じになるので、フィルタエレメント間での着色濃度を略同一にできる。また、１つのフィルタエレメント内でのムラも低減できる。従って、各ノズル毎のインク吐出量を同一に調節したいときは、上記したインク吐出量の制御を行えばよい。
【００７７】
次に、図5はカラーフィルタの製造工程を示した図である。図5を参照してカラーフィルタ54の製造工程を説明する。
【００７８】
図5（ａ）は光透過部9と遮光部10を構成するブラックマトリックス2備えたガラス基板1を示す。まず、ブラックマトリックス2の形成された基板1上に、それ自身はインク受容性に富んでいるが、ある条件下（例えば光照射、または光照射と加熱）でインクの受容性が低下するとともに、ある条件下で硬化する特性を有する樹脂組成物を塗布し、必要に応じてプリベークを行って樹脂組成物層3を形成する（図5（ｂ））。樹脂組成物層3の形成には、スピンコート、ロールコート、バーコート、スプレーコート、ディップコート等の塗布方法を用いることができ、特に限定されるものではない。
【００７９】
次に、フォトマスク4を使用して光透過部9上の樹脂層に予めパターン露光を行うことにより樹脂層を一部インク受容性を低下させて（図5（ｃ））、樹脂組成物層3にインク受容性部分6とインク受容性の低下した部分5を形成する（図5（ｄ））。また、インクジェットヘッドが基板上を相対的に複数回走査しながらインクを吐出（駆動吐出）する際、インクジェットヘッドを固定して基板を移動させることにより相対的走査を行う場合と、基板を固定してインクジェットヘッドを移動させることにより相対的走査を行う場合のいずれも可能である。
【００８０】
その後インクジェット方式によりＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各色インクを樹脂組成物層3に吐出して一度に着色し（図5（ｅ））、必要に応じてインクの乾燥を行う。インクジェット方式としては、熱エネルギーによる方式あるいは機械エネルギーによる方式が挙げられるが、いずれの方式も好適に用いることができる。使用するインクとしては、インクジェット用として用いることができるものであれば、特に限られるものではなく、インクの着色剤としては、各種染料あるいは顔料のなかから、Ｒ，Ｇ，Ｂの各画素に要求される透過スペクトルに適合したものが適宜選択される。なおインクジェットヘッドから吐出されるインクは樹脂組成部層３に付着される時点で滴状になっていてもよいが、インクジェットヘッドから滴状に分離せず、柱状の形態で、付着することが好ましい。
【００８１】
次いで、光照射または光照射と加熱処理を行って着色された樹脂組成物層3を硬化させ必要に応じて保護層8を形成する（図5（ｆ））。この樹脂組成物層3を硬化させるには先の撥インク化処理における条件とは異なる条件、例えば光照射における露光量を大きくするか、加熱条件を厳しくするか、もしくは光照射と加熱処理を併用する等の方法が採用できる。
【００８２】
図6および図7は上記カラーフィルタを組み込んだカラー液晶表示装置30の基本構成を示す断面図である。
【００８３】
カラー液晶表示装置は、一般的にカラーフィルタ基板1と対向基板21を合わせこみ、液晶化合物18を封入することにより形成される。液晶表示装置の一方の基板21の内側に、ＴＦＴ(Thin Film Transistor)（不図示）と透明な画素電極20がマトリクス状に形成される。また、もう一方の基板1の内側には、画素電極に対向する位置にＲＧＢの色材が配列するようなカラーフィルタ54が配置され、その上に透明な対向電極（共通電極）16が一面に形成される。ブラックマトリクス2は、通常カラーフィルタ基板1側に形成されるが（図6参照）、ＢＭ（ブラックマトリクス）オンアレイタイプの液晶パネル（液晶表示パネル）においては対向するＴＦＴ基板側に形成される（図7参照）。さらに、両基板の画内には配向膜19が形成されており、これをラビング処理することにより液晶分子を一定方向に配列させることができる。また、それぞれのガラス基板の外側には偏光板11，12が接着されており、液晶化合物18は、これらのガラス基板の間隙（２〜５μｍ程度）に充填される。また、バックライトとしては蛍光灯（不図示）と散乱板（不図示）の組み合わせが一般的に用いられており、液晶化合物をバックライト光の透過率を変化させる光シャッターとして機能させることにより表示を行う。
【００８４】
このような液晶表示装置を情報処理装置に適用した場合の例を図８乃至図１０を参照して説明する。
【００８５】
図８は上記の液晶表示装置をワードプロセッサ、パーソナルコンピュータ、ファクシミリ装置、複写装置としての機能を有する情報処理装置（信号供給部）に適用した場合の概略構成を示すブロック図である。
【００８６】
図中、１８０１は装置全体の制御を行う制御部で、マイクロプロセッサ等のＣＰＵや各種Ｉ／Ｏポートを備え、各部に制御信号やデータ信号等を出力したり、各部よりの制御信号やデータ信号を入力して制御を行っている。１８００２はディスプレイ部で、この表示画面には各種メニューや文書情報およびイメージリーダ１８０７で読み取ったイメージデータ等が表示される。１８０３はディスプレイ部１８０２上に設けられた透明な感圧式のタッチパネルで、指等によりその表面を押圧することにより、ディスプレイ部１８０２上での項目入力や座標位置入力等を行うことができる。
【００８７】
１８０４はＦＭ(Frequency Modulation)音源部で、音楽エディタ等で作成された音楽情報をメモリ部１８１０や外部記憶装置１８１２にデジタルデータとして記憶しておき、それらメモリ等から読み出してＦＭ変調を行うものである。ＦＭ音源部１８０４からの電気信号はスピーカー部１８０５により可聴音に変換される。プリンタ部１８０６はワードプロセッサ、パーソナルコンピュータ、ファクシミリ装置、複写装置の出力端末として用いられる。
【００８８】
１８０７は原稿データを光電的に読み取って入力するイメージリーダ部で、原稿の搬送経路中に設けられており、ファクシミリ原稿や複写原稿の他各種原稿の読み取りを行う。
【００８９】
１８０８はイメージリーダ部１８０７で読み取った原稿データのファクシミリ送信や、送られてきたファクシミリ信号を受信して複写するファクシミリ（ＦＡＸ）の送受信部であり、外部とのインターフェース機能を有する。１８０９は通常の電話機能や留守番電話機能等の各種電話機能を有する電話部である。
【００９０】
１８１０はシステムプログラムやマネージャープログラムおよびその他のアプリケーションプログラム等や文字フォントおよび辞書等を記憶するＲＯＭや、外部記憶装置１８１２からロードされたアプリケーションプログラムや文書情報、さらにはビデオＲＡＭ等を含むメモリ部である。
【００９１】
１８１１は文書情報や各種コマンド等を入力するキーボード部である。
【００９２】
１８１２はフロッピーディスクやハードディスク等を記憶媒体とする外部記憶装置でこの外部記憶装置１８１２には文書情報や音楽あるいは音声情報、ユーザのアプリケーションプログラム等が格納される。
【００９３】
図９は図８に示す情報処理装置の模式的概観図である。
【００９４】
図中、１９０１は上記の液晶表示装置を利用したフラットパネルディスプレイで、各種メニューや図形情報および文書情報を表示する。このディスプレイ１９０１上ではタッチパネル１８０３の表面は指等で押圧することにより座標入力や項目指定入力を行うことができる。１９０２は装置が電話機として機能する時に使用されているハンドセットである。キーボード１９０３は本体と着脱可能にコードを介して接続されており、各種文書機能や各種データ入力を行うことができる。また、このキーボード１９０３には各種機能キー１９０４等が設けられている。１９０５は外部記憶装置１８１２へのフロッピーディスクの挿入口である。
【００９５】
１９０６はイメージリーダ部１８０７で読取られる原稿を載置する用紙載置部で、読み取られた原稿は装置後部より排出される。またファクシミリの受信等においては、インクジェットプリンタ１９０７よりプリントされる。
【００９６】
上記情報処理装置をパーソナルコンピュータやワードプロセッサとして機能する場合、キーボード部１８１１から入力された各種情報が制御部１８０１により所定のプログラムにしたがって処理され、プリンタ部１８０６に画像として出力される。
【００９７】
ファクシミリ装置の受信機として機能する場合、通信回線を介してＦＡＸ送受信部１８０８から入力したファクシミリ情報が制御部１８０１により所定のプログラムに従って入信処理され、プリンタ部１８０６に受信画像として出力される。
【００９８】
また、複写装置として機能する場合、イメージリーダ部１８０７によって原稿を読み取り、読み取られた原稿データが制御部１８０１を介してプリンタ部１８０６に複写画像として出力される。なお、ファクシミリ装置の受信機として機能する場合、イメージリーダ部１８０７によって読み取られた原稿データは制御部１８０１により所定のプログラムに従って送信処理された後、ＦＡＸ送受信部１８０８を介して通信回線に送信される。
【００９９】
なお、上述した情報処理装置は図１０に示すようにインクジェットプリンタを本体に内蔵した一体型としてもよく、この場合は、よりポータブル性を高めることが可能となる。
【０１００】
同図において、図９と同一機能を有する部分には、対応する符号を付す。
【０１０１】
図１８は本実施形態の吐出量制御回路構成を示したものである。この図１８は、全ノズルの各々がヘッドノズル駆動回路（DAコンバータや増幅回路を含む電圧変更手段）に接続されており、全てのノズルが吐出量変更可能ノズルとなっている。
【０１０２】
図１８において、描画コントロール部311は、画像データシリアルパラレル変換回路322に画像シリアルデータ319を供給し、画像データラッチ出力回路321にデータラッチ信号318を供給し、駆動信号パターン発生回路320に駆動タイミング信号317を供給するものである。また、この描画コントロール部311は、ヘッドノズル駆動回路３０４に対して設定制御電圧の指令を与えるものである。この描画コントロール部311からの各種信号に基づき吐出量制御が行われる。具体的には、まず、各ノズル（ch）の吐出・非吐出を選択する画像シリアルデータ319が画像データシリアルパラレル変換回路322によりパラレルデータに変換される。そして、この変換データが画像データラッチ回路321においてデータラッチ信号318によりラッチされる。このラッチデータに基づいて各ノズルが選択される。その後、駆動信号パターン発生回路320からの駆動タイミング信号317がノズル駆動回路304に供給され、この駆動タイミング信号に基ついてノズル駆動回路304から上記選択されたノズルの吐出駆動素子309に対して駆動信号が供給される。
【０１０３】
なお、吐出駆動素子は、バブルジェット（登録商標）方式のヘッドでは、ヒータに相当する。また、ピエゾ方式のヘッドでは、ノズルのインク室の吐出駆動用側壁に使用される圧電素子に相当する。
【０１０４】
上記吐出量制御回路では、ノズルに供給する駆動信号の電圧を制御することにより吐出量制御を行うものである。この電圧制御はヘッドノズル駆動回路３０４で行われ、ヘッドノズル駆動回路３０４は、電圧制御回路313、信号基準電圧回路314、出力電圧増幅回路315および出力充電放電回路316を含むものである。電圧制御回路313および信号基準電圧回路314は、描画コントロール部311から設定制御電圧値の指令を受け、各ノズルの描画制御電圧を設定する。詳しくは、信号基準電圧回路314が駆動電圧の中心値を設定し、信号電圧制御回路313が各ノズルの駆動電圧の中心値に対して補正電圧を設定する。つまり、この信号電圧制御回路313により駆動電圧を補正し、電圧値を変更する。
【０１０５】
出力電圧増幅回路３１５は、補正された電圧値に基づいて駆動電圧を出力充放電回路３１６に供給する。
【０１０６】
以上により、出力充放電回路316から各ノズルに対して補正された駆動信号が出力供給され、ノズルからの吐出量の制御が行われる。なお、電圧制御を行うヘッドノズル駆動回路３０４では、駆動信号の電圧値を変更するためのものであるので、変電回路ということもできる。
【０１０７】
図１９は各ノズル（ノズル１〜３）に与える駆動信号の電圧値を補正した場合を示しており、図２０は駆動電圧を補正する前と補正した後の描画状態を示している。図１９の任意のノズル１（符号324）、ノズル２（符号325）、ノズル３（符号326）の補正前の状態が図２０（ａ）の「補正前」に相当し、この図２０（ａ）ではノズル２が目標吐出量、ノズル１が目標吐出量より少ない吐出量、ノズル３が目標吐出量より多い吐出量となっている。
【０１０８】
このため、各ノズルに供給すべき駆動信号の電圧としては、ノズル1（符号324、端部のノズル）に対してはノズル２（符号325）の駆動電圧Ｖ2よりΔｖ１だけ高めに補正した値の駆動電圧（Ｖ2＋Δｖ１）が供給され、ノズル３（符号326）に対してはノズル２（符号325）の駆動電圧Ｖ２よりもΔｖ2だけ低めに補正した値の駆動電圧（Ｖ2―Δｖ2）が供給される。
【０１０９】
以上のようにして電圧補正された吐出量状態を示したものが図２０（ｂ）の「補正後」に相当する。
【０１１０】
次に、図２１に、各ノズルからの吐出量を目標値に一致させるための吐出量補正シーケンスを示す。
【０１１１】
各ノズルの吐出量を制御するにあたって、まず各ノズルの吐出量と可変条件（ここでは、駆動電圧）との関係を表す可変特性を求める。
【０１１２】
この可変特性は、図２１の(1)−(3)の手順に従って求められる。まず、(1)に記載されるように、描画時に使用可能な範囲内の駆動電圧値であって、その駆動電圧値を変更して得られた複数の異なる駆動電圧値でインクを吐出する。つまり、異なる駆動電圧値それぞれに対応する、複数のインクドットを描画するのである。たとえば、吐出量の少ない電圧値と吐出量の多い電圧値を少なくても２点以上複数点設定し、描画時に使用する同じパルス幅の駆動信号の条件でガラス基板上に描画を行う。このインクドットの描画は全ノズルに対して個別に行う。
【０１１３】
次に、(2)に記載されるように、ガラス基板上に描画されたインクドットの透過光量を測定し、その測定結果に基づき各インク吐出量を求める。
【０１１４】
次に、(3)に記載されるように、吐出量の多い点Ｖd2と少ない点Ｖd1の２点の差と、そのときの電圧値Ｖ２とＶ１の差から、電圧を可変したときの吐出量変化量（ここでは補正感度Ｋとよぶ）を算出する。なお、電圧値とそれに対応するインク吐出量との関係は図２２のようになり、上記補正感度Ｋは図示される直線の傾きに相当する。ここでは、各ノズルについて、駆動信号電圧を１８ｖ、２０ｖ、２４ｖとしたときの吐出量を測定している。
【０１１５】
次に、(4)に記載されるように、実際の描画時に使用する駆動条件下での全ノズルの吐出量を計測し、全ノズルの平均吐出量Ｖdxを算出する。各ノズルの吐出量ＶdnＮと平均吐出量Ｖdxの差および上記補正感度Ｋに基づいて、ノズル毎に補正量ＶdnＮＹを算出する。このようにして求めた補正量ＶdnＮＹを、図１８に示される信号電圧制御回路３１３に設定する。設定後、インク吐出を行い、その描画結果から目標吐出量に補正されるまで図２１(4)，(5)項の補正処理を行う。
【０１１６】
次に、図２３に、図２１で示される補正シーケンス実行前の状態における吸光度バラツキ（吐出量バラツキ）と、補正シーケンス実行後の状態における吸光度バラツキ（吐出量バラツキ）との関係を示すものである。補正前における吐出量ばらつきデータは、駆動電圧を全て１９ｖに設定した場合の吐出量ばらつきを示すデータであって、ばらつきは+4％に及んでいる。一方、図２１にて記載されるように、全ノズルの平均吐出量を算出し、その平均吐出量と各ノズルの吐出量との差および上記補正感度Ｋから各ノズルの補正量を算出し、その補正量を用いて補正した場合、その補正後の吐出量ばらつきは±１％以内に抑えられている。
なお、本実施形態の場合、信号設定電圧を１００ｍＶ程度の設定分解能とすることで吐出量を１％可変させることができ、更に設定分解能を小さくすることで０．５％程度の吐出量制御も可能である。
【０１１７】
以上のようにして各ノズルからのインク吐出量を補正するのであるが、この吐出量補正をカラーフィルタの描画の際に活用した場合を示す。図１６はカラーフィルタの画素の配列パターンを示す図であり、図１７は吐出量補正を行った後の描画状態を示す図である。ここでは、各ノズルからのインク吐出量が目標値に一致するよう、各ノズルの吐出量を個別に制御して、各画素内に充填するインク量を均一化している。詳しくは、図１７に示されるように、各ノズルからのインク吐出量が同じとなるように駆動電圧の補正を行い、これにより各ノズルから吐出される１滴あたりの吐出量を均一化し、各画素内のインク充填量を等しくしている。この構成によれば、画素内のインク充填量を同じにできるため、濃度ムラのない高品位のカラーフィルを製造できる。
【０１１８】
また、使用ノズルの中に、インクを吐出できない不吐ノズルが発生した場合には、図１７の右側２画素に示されるように、１滴あたりのインク吐出量を増加させ、不吐ノズルの発生に伴うインク吐出量の減少を補うことで、画素内へのインク吐出量が目標量（１画素内へ本来吐出されるべきインク量）となるように補正する。詳しくは、図１７では、１画素に対し５つのノズルを対向させ、これら５つのノズルからそれぞれ１滴づつのインクを吐出させることで１画素へのインク充填を完成させている（図の左側３画素参照）。ところが、上記５つのノズルのうち、１つのノズルが不吐ノズルとなった場合、４つのノズルからの４滴のインクで１画素を形成することになる（右側から２番目の画素参照）。５滴のインクが吐出される通常の場合と変わらないインク吐出量を設定していたのでは、当然、画素内へのインク充填量が減少してしまう。そこで、４滴のインクでも上記目標量を達成できるように、１滴あたりのインク吐出量を増加させるのである。この例の場合、１画素に対して５滴吐出される通常の場合にくらべ、１滴あたりのインク吐出量を５／４倍にすればよい。同様に、１画素に対応する５つのノズルのうち、２つのノズルが不吐ノズルとなって３滴のインクで１画素を形成する場合（右側から１番目の画素参照）には、通常の場合にくらべ、１滴あたりのインク吐出量を５／３倍とし、画素内へのインク吐出量を目標量に一致させればよい。なお、このように不吐ノズルが発生し、インク吐出量を増加させる場合においても、各ノズルから吐出される１滴あたりのインク量が均一化されるように各ノズルの駆動電圧は設定される。
【０１１９】
なお、図１７のカラーフィルタとは異なり、ヘッドの走査方向に対して直角に画素列が配列されたカラーフィルタを製造するでも同様に適応可能である。
【０１２０】
ここで、実際のカラーフィルタ描画時における吐出量補正の効果を示す。
【０１２１】
図２４は、未補正時の各ノズルの吐出量バラツキの状態を示している。これは、任意の１ヘッドでの吐出量分布の一例である。図のように、補正前の状態では、各ノズル間における吐出量バラツキは大きい。
【０１２２】
一方、図２５は、上記吐出量補正方法に基づいて描画に使用するノズルについて吐出量補正を行った場合の、補正後の吐出量バラツキの状態を示している。図のように、描画時に使用するノズルについて、補正後の吐出量バラツキを±１％以下に抑えることができ、この条件で描画することでムラ少ない、高品位なカラーフィルタを製造できる。
【０１２３】
なお、以上の実施形態では、インク吐出量を可変にするための吐出量可変手段として、駆動信号の電圧値を変更可能に設定できる電圧制御手段を用い、この電圧制御手段を各ノズルに対応させて設け、各ノズルによる吐出量の可変を駆動信号の設定電圧を変えることで実現したが、吐出量可変手段としては上記電圧制御手段に限定されるものではない。例えば、電圧は一定にして駆動信号のパルス幅を変化させることにより吐出量調整を行っても良い。この形態の場合、吐出量可変手段として、駆動信号のパルス幅を変更可能に設定できる駆動パルス制御手段を用い、この駆動パルス制御手段を各ノズルに対応させて設けるようにする。
さらに、１ノズルごとに独立に駆動信号の駆動電圧とパルス幅を任意に組み合わせた可変条件で吐出量制御を行うこともできる。
【０１２４】
以上で説明したように、この第１の実施形態によれば、複数のノズルそれぞれに吐出量可変手段（詳しくは、複数のノズルそれぞれに供給される駆動パルスの駆動電圧値を変更できる電圧制御手段）を接続し、各ノズル独立に吐出量を変更できるように構成することで、各ノズル間の吐出量を簡単に均一化でき、それによって画素内のインク充填量を均一に制御することが可能となる。そして、これにより、シェーディング補正のようにインク吐出間隔の調整等を行う必要がなくなる。また、シェーディング補正の場合、インク吐出間隔（インク吐出数）の調整により１画素内のインク充填量を補正するわけであるが、インク吐出数の調整だけでは、１画素内のインク充填量を目標値に高精度で一致させることが出来ない場合がある。しかし、この第１の実施形態では、各ノズルそれぞれの駆動電圧や駆動パルスを調整し１滴あたりのインク吐出量を変更できるため、１画素内のインク充填量を目標値に高精度で一致させることが可能となる。従って、シェーディング補正によりカラーフィルタを製造製造する場合に比べ、各画素間でのインク充填量のバラツキがより少ない高品位なカラーフィルタを製造できる。
【０１２５】
（第１の実施形態の変形例）
この変形例では、１つのガラス基板から、その大きさの異なる複数のカラ−フィルタを製造する際の、吐出量補正方法について説明する。
【０１２６】
図２６は、１つのガラス基板から画素の大きさの異なる複数のカラーフィルタ（画素Ａを有するカラーフィルタ、画素Ｂを有するカラーフィルタ）を製造する場合を示した図である。
【０１２７】
このように大きさの異なる画素に対しインクを吐出する場合には、ノズルからのインク吐出量を画素の大きさに応じて変える必要がある。図２６の場合では、Ｎｏ．９のノズルが画素Ａと画素Ｂの双方に対してインク吐出を行うため、それぞれの画素へのインク吐出時に吐出量を変えなくてはならない。ここでは、Ｎｏ．９のノズルだけが双方の画素への描画を行うと説明したが、実際には、Ｎｏ．９のノズル以外のノズルにおいても、双方の画素への描画が行われる。また、製造するカラーフィルタの種類が異なれば、当然、複数種の画素への描画を行うノズルも異なってくる。様々な形態に対応するためには、全ノズル独立に吐出量を可変とする構成が必要となる。なお、この変形例においては、各ノズルからのインク吐出量はノズル毎で個別に制御されるものの、全ノズルの吐出量の均一化は行われない。しかし、同じ大きさの画素に対して描画する場合には、同じ吐出量となるように制御される。つまり、画素Ａに対しては吐出量Ａでインク吐出が行われ、画素Ｂに対しては吐出量Ｂでインク吐出が行われるように、吐出量制御が実行される。このように、同じ大きさの画素に対するインク吐出量を均一化する点は、上記第１の実施形態と同様である。
【０１２８】
図２７は、インクジェットヘッドの走査方向を画素の長手方向に設定した場合を示す図である。この場合にも、Ｎｏ．５のノズルは、画素Ａと画素Ｂの双方を描画するので１滴あたりのインク吐出量を変更する必要がある。なお、この場合には、インク吐出量のみならず、走査回数も変更する必要がある。すなわち、画素Ａに対しては４回の走査が行なわれるに対し、画素Ｂに対しては２回の走査が行なわれる。
【０１２９】
図２８も、ノズル毎に描画回数、吐出量ともに変更しなければならない場合を示す。
【０１３０】
以上のように、この変形例によれば、吐出量可変手段を各ノズルに対応させて、各ノズル独立に吐出量を変更できるように構成しているので、同じノズルにより大きさの異なる画素に対しインク吐出を行う場合であっても、画素の大きさに対応した吐出量でインクを吐出することができるため、どの画素に対しても目標量のインクを充填できる。これにより、画素の大きさが異なる複数種類のカラーフィルタを１枚の基板から簡単な方法にて得ることができるようになる。すなわち、画素の大きさが異なる複数種類のカラーフィルタの多面取りを簡易な方法にて実現できるようになる。
【０１３１】
（第２の実施形態）
上述したように、各ノズルからのインク吐出量は、隣接ノズルの吐出／非吐出の状況や使用ノズル数の影響を受ける。そこで、この第２の実施形態では、これらの影響を考慮して、各ノズルに与える駆動電圧値やパルス幅等の駆動条件を制御する点を特徴とする。なお、これ以外の構成（例えば、図１８に示される吐出量制御回路等）は、上記第１の実施形態と共通するので、その説明は省略する。つまり、この第２の実施形態においても、各ノズル独立にインク吐出量が変更できるように、吐出量可変手段が各ノズルに対応して設けられている。
【０１３２】
図２９に本実施形態の特徴を表わすカラーフィルタ描画の描画フローチャートを示す。図２９において段取り替えとは、作成するフィルタ54の大きさ、解像度、ガラス基板53の形状、大きさ等が切り替わることを示す（ステップＳ５０１）。それらのうちのいずれかの条件が変わると、使用するノズルの組み合わせが変わる。それに合わせて各ノズルが描画するための画像データを変更する（ステップＳ５０２）。
【０１３３】
ところで、使用するノズルの組み合わせが変わると、課題の欄で述べたように、隣接ノズルの使用/非使用の条件が変わるノズルについては、電気的に同じ駆動条件でインク吐出を行ったとしても、隣接ノズルクロストークの影響で、吐出量が変わってくる。従って、隣接ノズルクロストークの影響を考慮し、それに見合った吐出量制御値を設定する（ステップＳ５０３）。具体的には、図３５（ｂ）のようなノズル使用条件から、図３５（ｃ）のようなノズル使用条件へ変更された場合、着目ノズル（ch１２）に隣接する隣接ノズル（ch１１、１３）の使用／非使用の条件が変わり、それに伴って隣接クロストークの影響を受けるようになる。この場合、着目ノズルの吐出量は減少する。そこで、この減少分を補うために必要な条件（吐出量制御値）を設定するのである。従って、吐出量制御値としては、隣接クロストークの影響による吐出量の変化分を補正できる条件値であればよく、例えば、駆動電圧値やパルス幅等の条件である。この吐出量制御値は、あらかじめ求めておく。
【０１３４】
以上のようにして吐出量制御値の設定を行った上でフィルタ描画を行う（ステップＳ５０４）。これは、隣接ノズルクロストーク条件が変更にならない限り、同じ吐出量制御値を使用して何度も繰り返してフィルタ描画を行うことができる（ステップＳ５０５Ｙｅｓ）。
【０１３５】
一方、作成するフィルタ54の大きさ、解像度、ガラス基板53の形状、大きさ等のいずれかが切り替わると、同じインクジェットヘッドで電気的に同じ駆動条件で吐出しても、隣接ノズルクロストークの影響で、吐出量が変わってくるので、それに見合った吐出量制御値を再度設定する（ステップＳ５０６Ｙｅｓ）。
【０１３６】
以上の構成によれば、ノズルの使用条件が変更されたとしても、隣接ノズルクロストークの影響をほとんど受けずに済むため、ノズルの吐出量は変化せず、カラーフィルタの各画素上へのインク吐出量も一定に保たれる。
【０１３７】
なお、フィルタの１つの画素へのインク吐出を単独ノズルあるいは複数ノズルを使用して複数回の吐出によって描画する場合においては、フィルタのある特定の画素上への吐出量を一定に保つためには、必ずしも各ノズルの各吐出量を一定に保つ必要はない。つまり、ある特定の画素に対する複数回の吐出による吐出総量が目標量となるように、複数回の吐出のうちのいずれかの吐出時におけるインク吐出量を調整すればよい。
【０１３８】
図３０は、他の実施例を表わす描画フローチャートである。図３０においては、使用ノズル数の条件が切り替わる時の対応を示す。例えば、１６０個のノズルが１列に並んだインクジェットヘッドがあるとする。このヘッドを使用してカラーフィルタを描画する場合、１６０個のノズル全部を使用して描画していくが、カラーフィルタの大きさとノズル数の関係で、最後の走査領域に対する描画時においては描画幅が小さくなり使用しない剰余のノズルが生じることがある。この場合、最後の走査描画時のみは、例えば１６０個のノズルのうちの１００個のノズルのみを使用して描画することになる。
【０１３９】
使用ノズル数P（１６０個）にて描画する場合と使用ノズル数Q（１００個）にて描画する場合とが存在するとして、Qの場合には１番目から１００番目のノズルを使用し、１０１番目から１６０番目は使用しないものとする。ここで１００番目のノズルに着目すると、Pの場合には両隣のノズルから略同時にインク吐出されるので１００番目のノズルからの吐出量は大きい。一方、Qの場合には、９９番目のノズルは略同時にインク吐出がされるものの、１０１番目のノズルは使用されないので、Pの場合に比べて１００番目のノズル（着目ノズル）の吐出量は小さくなる。
【０１４０】
そこで、Pの場合とQの場合とでは、図３０のように各ノズルについて設定される吐出量制御値を設定し直す必要がある。この制御値はP,Qそれぞれの条件においてあらかじめ試し描画し吐出量を測定し（ステップＳ５１１、ステップＳ５１３）、その結果から制御値を計算しておく（ステップＳ５１２、ステップＳ５１４）。すなわち、１００番目のノズルについては、最後の走査領域の描画時のみ、吐出量が大きくなるような補正値に切り替えることによって、着目ノズルの吐出量を一定に保てる。なお、ステップ５１１〜ステップＳ５１４では、P,Qの値の複数の組み合わせについてデータを作成しておく。
【０１４１】
ステップＳ５１４以降のステップでは、ステップＳ５１５で、これから製造しようとするカラーフィルタにあわせて画像データを変更し、ステップＳ５１６で、ステップＳ５１２，５１４で求めたデータに基づいて各ノズルの吐出量制御値を設定し、さらにステップＳ５１７でカラーフィルタの描画を行う。ステップＳ５１８、ステップＳ５１９では、今まで使用していたノズル数と同一のノズル数でさらにカラーフィルタ描画を行うか、ノズルを変更し他のノズル数で描画を行うかを判断し、同一ノズル数にて描画を続ける場合には吐出量制御値の変更は行わず、他のノズル数にて描画を行う場合には吐出量制御値を変更し、ステップＳ５１５に戻る。
【０１４２】
このように、使用ノズル数の変更に伴って吐出量制御値を適切に切り替えることにより、隣接ノズルクロストークの影響度合いが変更されても、吐出量の変化を招かずに済むため、カラーフィルタの画素上へのインク吐出量は一定に保たれる。
【０１４３】
図３１は、さらに他の実施例を表わす描画フローチャートである。図３１においては、描画のパス毎に使用ノズルの組み合わせが切り替わる時の対応を示す。詳しくは、ヘッドが基板を１回目に通過して描画する第１パスと、ヘッドが基板を２回目に通過して描画する第２パスとで、使用するノズルが異なる場合を考える。
【０１４４】
ここで、第１パスにも第２パスにも使用される、ある１個のノズルAに着目する。このノズルA（着目ノズル）の隣接ノズルが使用されているか否かという条件が第１パスと第２パスで異なる場合がある。つまり、第１パスではノズルＡの隣接ノズルが使用され、第２パスではノズルＡの隣接ノズルが使用されない、もしくはその逆である。そうなると、図３５で説明した隣接ノズルクロストークの影響で、ノズルAの吐出量が第１パスと第２パスにおいて異なってしまう。
【０１４５】
そこで、第１パスと第２パスとでノズルAの吐出量それぞれが等しく所定の所望値になるように、第１パスと第２パスのそれぞれにおいて、ノズルAの吐出量制御値を異なる値に設定する。このような吐出量制御値の変更を、第１パスと第２パスとで隣接ノズルクロストークが変わる全てのノズルに対して行う。
【０１４６】
すなわち、図３１のように、パス毎に、各ノズルの隣接ノズル吐出条件に応じて吐出量制御値を適切に変更し設定することより、第１パスと第２パスとで各ノズルの吐出量は等しくなり、ノズル吐出量の均一化を実現することができるようになる。
【０１４７】
このような方法によって、描画のパス毎に使用ノズルの組み合わせが変更される場合においても、各ノズル吐出量は一定に保たれ、フィルタの画素への吐出量も一定に保たれる。
【０１４８】
具体的には、図３１のステップＳ５２１でフィルタの描画を開始し、１走査が終了すると、ステップＳ５２２で、インクジェットヘッドの位置を副走査方向にずらす。このとき、第１パス用のパターンでよければ（ステップＳ５２３Ｙｅｓ）、ステップＳ５２５で第１パス用の画像パターンを読み込み、ステップＳ５２６で第１パスにて使用する各ノズルに対し、それぞれ最適な第１の吐出量制御値を設定し、ステップＳ５２７でカラーフィルタの描画を行う。一方、ステップＳ５２３、ステップＳ５２４で、第２パス用のパターンと判断された場合には、ステップＳ５２８で第２パス用の画像パターンを読み込み、ステップＳ５２９で第２パスにて使用する各ノズルに対し、それぞれ最適な第２の吐出量制御値を設定し、ステップＳ５３０でカラーフィルタの描画を行う。
【０１４９】
この構成によれば、各パス間において使用ノズルが異なる場合、各パス間で吐出量制御値を適切に変更しているので、各パス間において隣接ノズルの使用状況が変化してしまうノズル（着目ノズルＡ）においても吐出量の変化を招かずに済む。
【０１５０】
図３２は、さらに他の実施例を表わす描画フローチャートである。図３２においては、インクジェットヘッドのある１個のノズルBが不良となってノズルBを使用しないで描画する時の対応を示す。
【０１５１】
ノズルBを使用しないでカラーフィルタを描画する方法はいくつかあるが、ここでは、全てのノズルについて１回の吐出量を一定にし、ノズルBが本来描画すべきであった画素を他のノズル（不吐ノズルＢの両側の隣接ノズルであるノズルＡやノズルＣなど）により補完する（組合わせる）場合を考える。
【０１５２】
ノズルBを使用しなくなると、前述の図３５における隣接ノズルクロストークの原理によって、隣接するノズルA,ノズルCの吐出量（吐出状態）はノズルBを使用していていた時に比べて減少する。
【０１５３】
そこで図３２のように、不良ノズルBを特定し、不良ノズルBを不吐扱い（不使用）にした後、もう一度試し描画を行い（ステップＳ５３１）、隣接ノズルA、隣接ノズルCの吐出量均一化補正係数を改めて求め（ステップＳ５３２）、その吐出量均一化補正係数を設定し直した上で（ステップＳ５３３）、フィルタ描画を再開する（ステップＳ５３４）。この時、ノズルA、ノズルCの吐出量が他のノズルと同じ所望値となるようにノズルA,ノズルCの吐出量制御値を設定する。なお、ステップＳ５３４の描画の際には、継続して描画異常の検出を行い（ステップＳ５３５）、描画異常が検出された場合には（ステップＳ５３６Ｙｅｓ）、ステップＳ５３８で不良ノズルの特定を行い、ステップＳ５３９で特定された不良ノズルを不吐出扱いにして、ステップＳ５３１に戻る。また、ステップＳ５３６で描画異常が検出されなかった場合には、ステップＳ５３７に進み、予定ロットのフィルタ数の製造が終了するまで、ステップＳ５３１〜ステップＳ５３７を繰り返す。
【０１５４】
この図３２の方法によって、ノズルBが不良となってノズルBを使用しないでフィルタ描画する時においても、隣接ノズルA、隣接ノズルCの吐出量は一定に保たれて、フィルタの画素上への吐出量は一定に保たれる。
【０１５５】
図３３は、さらに他の実施例を表わす描画フローチャートである。図３３においては、各ノズルの吐出タイミング（液体吐出タイミング、吐出時刻）を前後に少しずらすことによってノズル毎の着弾位置を補正する時の対応を示す。
【０１５６】
インクジェット式ヘッドの製造精度ばらつきによって、全ノズル同時に駆動しても、ノズル毎の着弾位置がばらついてしまうことがある。この場合、ノズル毎の駆動タイミングを前後に少しづつずらす（決定する）ことによって、ノズル毎の着弾位置を補正する必要がある。ここでは、このような場合を想定する。
【０１５７】
同じノズルBを使用していても、そのノズルＢに隣接するノズルA、ノズルCの駆動タイミングを前後にずらすと、図３５で説明したように隣接クロストークの影響で、ノズルA、ノズルCの吐出量が変わってしまう。この誤差量を補償するために、あらかじめノズルA、ノズルCの駆動タイミングを前後にずらした条件においてノズルBの吐出量を測定し、その測定値からノズルBの吐出量制御値を求める。この時、ノズルBの吐出量が他のノズルと同じ所望値となるようにノズルBの吐出量制御値を設定する。
【０１５８】
なお、同じインクジェット式ヘッドを使用して描画を行う場合であっても、例えばフィルタの形、大きさ、材質が異なると、描画する時のインクジェットヘッドの移動速度（走査速度）が変わる。これに伴って着弾位置の補償のための吐出タイミングも変わってくる。すると隣接クロストークの影響度合いが変化し、吐出量も変わる。仮に移動速度が遅くなると、隣接ノズルの駆動タイミングのずれが大きくなり、この場合には一般的には吐出量は減少する。その減少量はインクジェットヘッドの移動速度（相対移動スピード）が確定すれば決まるので、各ノズルの吐出量が一定の所望値になるような吐出量制御値を決めることができる。
【０１５９】
この図３３の方法によって、インクジェット式ヘッドの移動速度が変わって、それに従って着弾位置を補正するための吐出タイミングのずらし量が変わった時においても、各ノズルの吐出量は一定に保たれて、フィルタの画素への吐出量は一定に保たれる。
【０１６０】
具体的には、まず１回目の試し描画を行い（ステップＳ５４１）、各ノズルの着弾位置を測定し（ステップＳ５４２）、その測定結果に基づいて着弾位置の補正を行う（ステップＳ５４３）。その上で、２回目の試し描画を行い（ステップＳ５４４）、各ノズルの吐出量を測定し（ステップＳ５４５）、各ノズルの吐出量制御値を設定する（ステップＳ５４６）。そして、フィルタの描画を行い（ステップＳ５４７）、その条件でフィルタを続けて描画するのであれば（ステップＳ５４８Ｙｅｓ）、フィルタ描画を繰り返す。また、他の条件でフィルタを描画するのであれば（ステップＳ５４９Ｙｅｓ）、ステップＳ５４１に戻り、同じ動作を繰り返す。
【０１６１】
図３４は、さらに他の実施例を表わす描画フローチャートである。図３４においては、各ノズルの吐出タイミングを前後に少しずらすことによってノズル毎の着弾位置を補正するにあたり、さらにインクジェット式ヘッドの移動の往路と復路（相対移動方向）それぞれにおいてフィルタに描画する場合の対応を示す。
【０１６２】
図３３の場合と同様に、インクジェットヘッドの製造精度ばらつきによって、全ノズル同時に駆動しても、ノズル毎の着弾位置がばらついてしまう場合があるので、ノズル毎の吐出タイミングを前後に少しづつずらし、ノズル毎の着弾位置を補正する。
【０１６３】
フィルタ描画の描画時間を短縮しようとすると、インクジェットヘッドの往復移動のうち、往きと帰りの両方において描画することが望まれる。この場合には、あるノズルBの着弾位置補正のための吐出タイミングずらし量は正負逆になる。すなわち、例えば、ノズルBの着弾位置補正のために往きの描画においてはノズルBをノズルAおよびノズルCに対して１μsec進ませて駆動していたとすると、帰りの描画においてはノズルBをノズルAおよびノズルCに対して１μsec遅らせて駆動しなければならない。ノズルBにとって隣接ノズルA,ノズルCの駆動が１μsec早いのと遅いのとではノズルBの吐出量は異なってしまい、一般的には１μsec遅い時の方が吐出量は小さくなる。
【０１６４】
図３４においては、あらかじめインクジェットヘッドの往きの試し描画と帰りの試し描画を行って、それぞれの場合の各ノズルにおける吐出量制御値を求めておく（ステップＳ５５１〜ステップＳ５５７）。そして、往きの描画時（ステップＳ５５９Ｙｅｓ）には、往き方向描画の吐出量制御値を設定し（ステップＳ５６２〜ステップＳ５６３）、帰りの描画時（ステップＳ５６１Ｙｅｓ）には帰り方向描画の吐出量制御値を設定する（ステップＳ５６５〜ステップＳ５６６）。  以上によって、往きと帰りの隣接ノズルクロストークの影響を補償することができ、同じノズルについて、往きの描画時の吐出量と帰りの描画時の吐出量は等しくなる。
【０１６５】
この図３４の方法によって、各ノズルの吐出タイミングを前後に少しずらすことにより、ノズル毎の着弾位置を補正するにあたり、さらにインクジェットヘッドの移動の往路と復路それぞれにおいてフィルタに描画する場合においても、各ノズルの吐出量は一定に保たれて、フィルタの画素への吐出量は一定に保たれる。
【０１６６】
以上説明したように、この第２の実施形態によれば、ノズルの吐出条件の変更に伴う隣接ノズルクロストークの影響を考慮して、吐出条件の変更に伴って吐出量制御値（駆動電圧値やパルス幅等）を適切に変更しているので、隣接ノズルクロストークの影響をほとんど受けずに済み、各ノズルの吐出量を変化させずに済む。特に、着目ノズルの吐出量制御を行う際し、その着目ノズルに隣接する隣接ノズルの吐出条件（隣接ノズルも同時に駆動されるか、近傍時刻に駆動されるか、あるいは駆動されない）の変更に伴って、その着目ノズルの吐出量制御値を適宜切り替えているので、各ノズルの吐出量を常に均一に保つことができ、ムラのない画像を描画することができる。
【０１６７】
また、この方法によりカラーフィルタを製造すると、ムラのない高品質のカラーフィルタを高歩留まりで安定して製造することができると共に、製品仕様変更に対して効率的に対応することができる。
【０１６８】
（その他の実施形態）
本発明は、前記の実施形態に限定されるものではなく、種々の応用が可能である。
【０１６９】
例えばカラーフィルタを構成する着色部はガラス基板上に形成される事に限定されるものではなくて、画素電極上に着色部を形成しカラーフィルタとして機能させる様にしても良い。画素電極上に着色部を形成するには、画素電極上にインク受容層を形成し、この受容層にインクを付与する場合と、画素電極上に色材料を混入した樹脂インクを用いて着色する直打ちの場合とがある。
【０１７０】
また、本発明は、上述したカラーフィルタの製造に限定されるものではなく、たとえば、ＥＬ（エレクトロルミネッセンス、electroluminesence）表示素子の製造等にも適用可能である。ＥＬ表示素子は、蛍光性の無機および有機化合物を含む薄膜を、陰極と陽極とで挟んだ構成を有し、前記薄膜に電子および正孔（ホール）を注入して再結合させることにより励起子を生成させ、この励起子が失活する際の蛍光或いは燐光の放出を利用して発光させる素子である。こうしたＥＬ表示素子に用いられる蛍光性材料のうち、赤、緑および青色の発光色を呈する材料を本発明の製造装置（上記液体吐出ヘッドおよび上記図１８の吐出制御回路を含み、図２１や図２９〜３４等のフローを実行可能な液体付与装置を含む製造装置）を用いて、ＴＦＴ等の素子基板上にインクジェット法によりパターニングすることで、自発光フルカラーＥＬ表示素子を製造することができる。本発明には、このようなＥＬ表示素子、該表示素子の製造方法及びその製造装置等も含まれる。
【０１７１】
本発明の製造装置は、ＥＬ材料が付着しやすいように、樹脂レジスト、画素電極および下層となる層の表面に対し、プラズマ処理、ＵＶ処理、カップリング処理等の表面処理工程を実行するための手段を有するものであってもよい。
【０１７２】
本発明の製造方法を用いて製造したＥＬ表示素子は、セグメント表示や全面同時発光の静止画表示等のローインフォメーション分野にも利用できるし、点・線・面形状をもった光源としても利用することができる。さらに、パッシブ駆動の表示素子をはじめ、ＴＦＴ等のアクティブ素子を駆動に用いることで、高輝度で応答性の優れたフルカラー表示素子を得ることが可能である。
【０１７３】
以下に、本発明により製造される有機ＥＬ素子の一例を示す。図３７に、有機ＥＬ素子の積層構造断面図を示す。図３７に示す有機ＥＬ素子は、透明基板３００１、隔壁（仕切り部材）３００２、発光層（発光部）３００３、透明電極３００４および金属層３００６を備えている。また、３００７は、透明基板３００１と透明電極３００４とから構成される部分を示しており、これを駆動基板と呼ぶ。
【０１７４】
透明基板３００１としては、ＥＬ表示素子としての透明性や機械的強度等の必要特性を有していれば特に限定されるものではなく、例えば、ガラス基板やプラスチック基板等の光透過性の基板が適用可能である。
【０１７５】
隔壁（仕切り部材）３００２は、液体付与ヘッドから発光層３００３となる材料を付与するに際し隣接する画素間で該材料が混合しないように画素と画素の間を隔離するための機能を有するものである。すなわち、隔壁３００２は混合防止壁として機能するのである。また、この隔壁３００２を透明基板３００１上に設けることにより、基板上には少なくとも１つの凹部（画素領域）が形成される。尚、隔壁３００２は、該材料に対して親和性の異なる多層構造であっても問題無い。
【０１７６】
発光層３００３は、電流を流すことにより発光する材料、例えばポリフェニレンビニレン（ＰＰＶ）等公知の有機半導体材料を使用して、十分な光量が得られる厚み、例えば０．０５μｍ〜０．２μｍ程度積層して構成される。発光層３００３はインクジェット方式によって薄膜材料液（自発光材料）を隔壁３００２で囲まれる凹部に充填し加熱処理することで形成される。
【０１７７】
透明電極３００４は、導電性がありかつ光透過性のある材料、例えばＩＴＯ等により構成されている。透明電極３００４は、画素単位で発光させるために、画素領域ごとに独立して設けられている。
【０１７８】
金属層３００６は、導電性のある金属材料、例えばアルミニウムリチウム（Ａｌ−Ｌｉ）を０．１μｍ〜１．０μｍ程度積層して構成される。金属層３００６は、透明電極３００４に対向する共通電極として作用するように形成されている。
【０１７９】
駆動基板３００７は、図示しない薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）、配線膜および絶縁膜等が多層に積層されており、金属層３００６および各透明電極３００４間に画素単位で電圧を印加可能に構成されている。駆動基板３００７は公知の薄膜プロセスによって製造される。
【０１８０】
上記のような層構造を有する有機ＥＬ素子において、透明電極３００４と金属層３００６との間に電圧が印加された画素領域では、発光層３００３に電流が流れ、エレクトロルミネッセンス現象を生じ、透明電極３００４および透明基板３００１を通して光が射出されるようになっている。
【０１８１】
ここで、有機EL素子の製造工程について説明する。
【０１８２】
図３８は、有機EL素子の製造工程の一例を示したものである。以下、図３８に沿って、各工程（ａ）〜（ｄ）について説明する。
【０１８３】
工程（ａ）
まず、透明基板３００１としてガラス基板を用い、これに図示しない薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）、配線膜および絶縁膜等を多層に積層したうえ、透明電極３００４を形成して画素領域に電圧を印加できるようにする。
【０１８４】
工程（ｂ）
次に、隔壁３００２を各画素間にあたる位置に形成する。隔壁３００２は、発光層となるＥＬ材料液をインクジェット法によって付与する際に隣接する画素間でＥＬ材料液が混合しないようにするための混合防止壁として機能するものであればよい。ここでは、黒色の材料を添加したレジストを用いてフォトリソグラフィー法により形成するが、本発明はこれには限定されず、種々の材料、色、形成方法等が使用可能である。
【０１８５】
工程（ｃ）
次に、インクジェット方式よってＥＬ材料を隔壁３００２で囲まれる凹部に充填し、その後加熱処理することで発光層３００３を形成する。
【０１８６】
工程（ｄ）
さらに、発光層３００３上に金属層３００６を形成する。
この様な工程（ａ）〜（ｄ）を経ることによって、簡便な工程でフルカラーのＥＬ素子を形成（用意）することが可能となる。特にカラーの有機ＥＬ素子を形成する場合には、赤、緑または青などの異なる発光色を有する発光層を形成する必要があるため、任意の位置に所望のＥＬ材料を吐出可能なインクジェット方式を用いることは有効である。
【０１８７】
尚、本発明では、隔壁に囲まれる凹部内に液体材料を充填することにより固形部を形成しており、カラーフィルタであれば着色部が上記固形部に相当し、ＥＬ素子であれば発光部が上記固形部に相当する。上記着色部や発光部を含む固形部は、情報の表示のために用いられる部分（表示部）であり、視覚に色を認識するための部分でもある。
【０１８８】
また、カラーフィルタの着色部やＥＬ素子の発光部は、色を生じさせる（色が発さられる）部分でもあるため発色部というもできる。例えば、カラーフィルタの場合、バックライトによる光が着色部を通過してＲＧＢの光が発せられ、また、ＥＬ素子の場合、発光部が自発光することによりＲＧＢの光が発せられる。
【０１８９】
また、上記インクや自発光材料は上記発色部を形成するための材料であるので、発色を生じさせる材料ということもできる。また上記インクや自発光材料は液体であるので、総称して液体材料ということもできる。そして、これら液体を吐出する複数のノズルを有するヘッドを、液体吐出ヘッドあるいはインクジェット式ヘッドと定義する。
【０１９０】
また、本発明は、上述したカラーフィルタやＥＬ表示素子の製造に限定されるものではなく、例えば、基板上に導電性薄膜が形成されてなる電子放出素子や当該電子放出素子を用いた電子源基板、電子源、表示パネルの製造等にも適用可能である。
【０１９１】
ここで、本発明の他の適用例である、電子放出素子、その素子を用いた電子源基板、電子源、表示パネルの製造方法について述べる。なお、これら電子放出素子、当該電子放出素子を用いた電子源基板、電子源および表示パネルは、例えば、テレビジョンの表示を行うための使用されるものである。
【０１９２】
電子源基板、電子源、表示パネルなどに使用される電子放出素子（例えば、表面伝導型電子放出素子）は、基板上に形成された小面積の導電性薄膜に、膜面に平行に電流を流すことにより、電子放出が生ずる現象を利用するものである。詳しくは、導電性薄膜の一部に亀裂を発生させておき、導電性薄膜に電圧を印加して電流を流すことにより、上記亀裂（以下では、電子放出部）から電子を放出させるものである。このような表面伝導型電子放出素子の構成例を図３９に示す。
【０１９３】
図３９は本発明の製造装置（上記液体吐出ヘッドおよび上記図１８の吐出制御回路を含み、図２１や図２９〜３４等のフローを実行可能な液体付与装置を含む製造装置）を用いて製造し得る電子放出素子（表面伝導型電子放出素子）の一例を示す模式図であり、図４０はこの表面伝導型電子放出素子を製造する工程の一例を示す図である。
【０１９４】
図３９、図４０において、５００１は基板、５００２および５００３は素子電極、５００４は導電性薄膜、５００５は電子放出部、５００７は上記液体吐出ヘッドおよび上記図１８の吐出制御回路を含み、且つ図２１や図２９〜３４等のフローを実行可能な液体付与装置、５０２４は液体付与装置から吐出された導電性薄膜材料液の液滴、５０２５は通電フォーミング前の導電性薄膜である。
本例においてはまず、基板５００１上に素子電極５００２および５００３をある程度の距離Ｌ１を隔てて形成する（図４０（ａ））。次いで、導電性薄膜５００４を形成するための液体材料である導電性薄膜材料液（詳しくは、金属元素を含有する液体）５０２４を液体吐出ヘッド（インクジェット式のヘッド）５００７より吐出させ（図４０（ｂ））、導電性薄膜５００４を素子電極５００２、５００３に接するように形成する（図４０（ｃ））。次に、例えば後述するフォーミング処理により、導電性薄膜中に亀裂を生ぜしめ、電子放出部５００５を形成する（図４０（ｄ））。
【０１９５】
このような液体付与法を用いることにより、金属元素含有液体の微小な液滴を所望の位置（所定の領域）のみに選択的に形成することができるため、電子放出素子部を構成する材料を無駄にすることがない。また高価な装置を必要とする真空プロセス、多数の工程を含むフォトリソグラフィーによるパターニングが不要であり、生産コストを下げることができる。
【０１９６】
液体付与装置５００７の具体例を挙げるならば、任意の液滴を吐出できる装置であればどのような装置を用いても構わないが、特に、十数ｎｇから数十ｎｇ程度の範囲で制御が可能でかつ１０ｎｇ程度から数十ｎｇの微小量の液滴が容易に吐出できるインクジェット方式の装置がよい。なお、インクジェット方式の液体付与装置を用いて表面伝導型電子放出素子を作製する方法は特開平１１−３５４０１５号公報に記載されている。
【０１９７】
導電性薄膜５００４は良好な電子放出特性を得るために微粒子で構成された微粒子膜が特に好ましく、その膜厚は、素子電極５００２および５００３へのステップカバレージ、素子電極５００２・５００３間の抵抗値および後述する通電フォーミング条件等によって適宜設定されるが、好ましくは数Å〜数千Åで、特に好ましくは１０Å〜５００Åである。そのシート抵抗値は、１０3〜１０7Ω／□である。
【０１９８】
導電性薄膜５００４を構成する材料は、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｒｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｔｉ、Ｉｎ、Ｃｕ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｚｎ、Ｓｎ、Ｔａ、Ｗ、Ｐｂ等の金属、ＰｄＯ、ＳｎＯ2、Ｉｎ2Ｏ3、ＰｂＯ、Ｓｂ2Ｏ3等の酸化物、ＨｆＢ2、ＺｒＢ2、ＬａＢ6、ＣｅＢ6、ＹＢ4、ＧｄＢ4等の硼化物、ＴｉＣ、ＺｒＣ、ＨｆＣ、ＴａＣ、ＳｉＣ、ＷＣ等の炭化物、ＴｉＮ、ＺｒＮ、ＨｆＮ等の窒化物、Ｓｉ、Ｇｅ等の半導体、カーボン等が挙げられる。
【０１９９】
ここで述べる微粒子膜とは、複数の微粒子が集合した膜であり、その微細構造として、微粒子が個々に分散配置した状態のみならず、微粒子が互いに隣接あるいは重なり合った状態（島状も含む）の膜を指しており、微粒子の粒径は、数Å〜数千Å、好ましくは１０Å〜２００Åである。
【０２００】
液滴５０２４の基になる液体は、上述した導電性薄膜の構成材料を水や溶剤等に溶かしたものや有機金属溶液等が挙げられる。
【０２０１】
基板５００１としては石英ガラス、Ｎａ等の不純物含有量の少ないガラス、青板ガラス、ＳｉＯ2を表面に形成したガラス基板およびアルミナ等のセラミックス基板が用いられる。
【０２０２】
素子電極５００２および５００３の材料としては、一般的な導電性体が用いられ、例えば、Ｎｉ、Ｃｒ、Ａｕ、Ｍｏ、Ｗ、Ｐｔ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｃｕ、Ｐｄ等の金属または合金、ならびにＰｄ、Ａｇ、Ａｕ、ＲｕＯ2、Ｐｄ−Ａｇ等の金属または金属酸化物とガラス等から構成される印刷導体、Ｉｎ2Ｏ3−ＳｎＯ2等の透明導電体およびポリシリコン等の半導体材料等から適宜選択される。
【０２０３】
電子放出部５００５は導電性薄膜５００４の一部に形成された高抵抗の亀裂であり、通電フォーミング等により形成される。また、亀裂内には数Å〜数百Åの粒径の導電性微粒子を有することもある。この導電性微粒子は導電性薄膜５００４を構成する物質の少なくとも一部の元素を含んでいる。また、電子放出部５００５およびその近傍の導電性薄膜５００４は、炭素および炭素化合物を有することもある。
【０２０４】
電子放出部５００５は、導電性薄膜５００４ならびに素子電極５００２および５００３が形成されてなる素子の通電フォーミングと呼ばれる通電処理を行うことによって形成される。通電フォーミングは、特開平２−５６８２２号公報に記述されているように、素子電極５００２・５００３間に不図示の電源より通電を行い、導電性薄膜５００４を局所的に破壊、変形もしくは変質せしめ、構造を変化させた部位を形成させるものである。この局所的に構造変化させた部位を電子放出部５と呼ぶ。通電フォーミングの電圧波形は特にパルス形状が好ましく、パルス波高値が一定の電圧パルスを連続的に印加する場合と、パルス波高値を増加させながら電圧パルスを印加する場合とがある。
【０２０５】
パルス波高値を増加させながら電圧パルスを印加する場合のパルス波高値（通電フォーミング時のピーク電圧）は、例えば０．１Ｖステップ程度ずつ増加させ適当な真空雰囲気下で印加する。
【０２０６】
この場合の通電フォーミング処理は、導電性薄膜５００４を局所的に破壊・変形しない程度の電圧、例えば０．１Ｖ程度の電圧で、素子電流を測定し、抵抗値を求め、例えば１ＭΩ以上の抵抗を示した時に通電フォーミング終了とする。
次に通電フォーミングが終了した素子に活性化工程と呼ぶ処理を施すことが望ましい。活性化工程とは、例えば、１０-4〜１０-5Ｔｏｒｒ程度の真空度で、通電フォーミング同様、パルス波高値が一定の電圧パルスを繰返し印加する処理のことであり、真空中に存在する有機物質に起因する炭素および炭素化合物を導電薄膜上に堆積させ素子電流Ｉf、放出電流Ｉeを著しく変化させる処理である。活性化工程は素子電流Ｉfと放出電流Ｉeを測定しながら、例えば、放出電流Ｉeが飽和した時点で終了する。
【０２０７】
なお、ここで炭素および炭素化合物とは、グラファイト（単結晶および多結晶の両方を指す。）非晶質カーボン（非晶質カーボンおよび多結晶グラファイトの混合物を指す）であり、その膜厚は５００Å以下が好ましく、より好ましくは３００Å以下である。
【０２０８】
こうして作製した電子放出素子は、通電フォーミング工程、活性化工程における真空度よりも高い真空度の雰囲気下に置いて動作駆動させるのがよい。また、さらに高い真空度の雰囲気下で、８０℃〜１５０℃の加熱後に動作駆動させることが望ましい。
【０２０９】
なお、通電フォーミング工程、活性化処理した真空度より高い真空度とは、例えば約１０-6Ｔｏｒｒ以上の真空度であり、より好ましくは超高真空系であり、新たに炭素および炭素化合物が導電薄膜上にほとんど堆積しない真空度である。こうすることによって、素子電流Ｉf、放出電流Ｉeを安定化させることが可能となる。
【０２１０】
以上のようにして平面型表面伝導型電子放出素子を製造することができる。
図４１は、表面伝導型電子放出素子を製造するための液体吐出装置を含む製造装置の外観図を示したものである。図４１において、５１０１は制御装置を格納する筐体、５１０２は筐体に格納されたパソコンのモニタ、５１０３はパソコンキーボードあるいは操作盤、５１０４は基板５１０６を搭載するステージ、５１０５は基板５１０６に対して液体を吐出するための液体吐出ヘッド（インクジェット方式のヘッド）、５１０６は表面伝導型電子放出素子がその上に形成される基板、５１０７は基板５１０６上の任意の位置に液滴を付与できるように縦横両方向に自由に動くＸＹステージ、５１０８は液体吐出装置全体を保持する定盤、５１０９は基板５１０７上における液滴の吐出位置の位置合わせを行うためのアライメントカメラである。このように構成された製造装置は、基本的には、図１で説明したカラーフィルタ製造装置と同様に動作される。なお、基板のアライメント方法、導電性薄膜形成方法、フォーミング方法については特開平１１−３５４０１５号公報に記述されている方法を適用できる。
【０２１１】
次に、上記のように製造された表面伝導型電子放出素子を複数個基板上に配列する（複数個備える）ことにより表示パネルが形成される。図４２は、このような複数の表面伝導型電子放出素子５０９４を含む表示パネル５０９１を示す図である。この表示パネルに設けられている複数の表面伝導型電子放出素子は、例えば、ｍ行ｎ列の行列状にマトリクス配置される。そして、画像信号（例えば、ＮＴＳＣ方式のテレビ信号）に基づいて、表示パネル内の表面伝導型電子放出素子を駆動することでテレビジョン表示を行うことができる。なお、表示パネルの製造については特開平１１−３５４０１５号公報に記述されている方法を適用できる。
【０２１２】
そして、本発明の上記吐出量均一化制御を実行することによって、表示パネルに含まれる全電子放出素子の導電性薄膜の形状を一定にすることができる。従って、本発明により表示パネルの電子放出素子を製造すれば、電子放出素子を構成する導電性薄膜を均一に配することができるので、高い画像品質の表示パネルの製造を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【０２１３】
【図１】カラーフィルタの製造装置の一実施形態の構成を示す概略図である。
【図２】カラーフィルタの製造装置の動作を制御する制御部の構成を示す図である。
【図３】カラーフィルタの製造装置に使用されるインクジェットヘッドの構造を示す図である。
【図４】インクジェットヘッドのヒータに印加される電圧波形を示した図である。
【図５】カラーフィルタの製造工程を示した図である。
【図６】実施形態のカラーフィルタを組み込んだカラー液晶表示装置の基本構成を示す断面図である。
【図７】実施形態のカラーフィルタを組み込んだ液晶表示装置の基本構成の他の例を示す断面図である。
【図８】液晶表示装置が使用される情報処理装置を示した図である。
【図９】液晶表示装置が使用される情報処理装置を示した図である。
【図１０】液晶表示装置が使用される情報処理装置を示した図である。
【図１１】カラーフィルタの各画素の濃度のムラを軽減する従来の方法を説明する説明図である。
【図１２】カラーフィルタの各画素の濃度のムラを軽減する従来の方法を説明する説明図である。
【図１３】カラーフィルタの各画素の濃度のムラを軽減する従来の方法を説明する説明図である。
【図１４】カラーフィルタの各画素の濃度のムラを軽減する従来の他の方法を説明する説明図である。
【図１５】カラーフィルタの各画素の濃度のムラを軽減する従来の他の方法を説明する説明図である。
【図１６】カラーフィルタの画素配列の構成を示した図である。
【図１７】第１の実施形態のカラーフィルタ描画方法の一例を説明する。
【図１８】吐出制御回路構成について説明する図である。
【図１９】駆動信号の電圧可変時の概略を説明する図である。
【図２０】吐出量補正前後の吐出状態を説明する図である。
【図２１】吐出量補正シーケンスについて説明する図である。
【図２２】吐出量と駆動信号電圧の関係を示した図である。
【図２３】ノズル間の吐出量補正を実施した前後の状態を示した図である。
【図２４】カラーフィルタ描画時で未補正時のヘッド吐出状態の吐出量の状態を示す図である。
【図２５】カラーフィルタ描画時でヘッドの使用ノズルを補正時の吐出量の状態を説明する図である。
【図２６】１つのガラス基板から画素の大きさの異なる複数のカラーフィルタを製造する状態を示す図である。
【図２７】１つのガラス基板から画素の大きさの異なる複数のカラーフィルタを製造する状態を示す図である。
【図２８】１つのガラス基板から画素の大きさの異なる複数のカラーフィルタを製造する状態を示す図である。
【図２９】描画装置の制御方法の実施例を示すフローチャートである。
【図３０】描画装置の制御方法の他の実施例を示すフローチャートである。
【図３１】描画装置の制御方法のさらに他の実施例を示すフローチャートである。
【図３２】描画装置の制御方法のさらに他の実施例を示すフローチャートである。
【図３３】描画装置の制御方法のさらに他の実施例を示すフローチャートである。
【図３４】描画装置の制御方法のさらに他の実施例を示すフローチャートである。
【図３５】インクジェットヘッドの隣接ノズルクロストーク量の測定例を示す図である。
【図３６】吐出量補正シーケンスについて説明する図である。
【図３７】ＥＬ素子の構成の一例を示す図である。
【図３８】ＥＬ素子の製造工程の一例を示す図である。
【図３９】表面伝導型電子放出素子の構成例を示す図である。
【図４０】表面伝導型電子放出素子を製造する工程の一例を示す図である。
【図４１】表面伝導型電子放出素子を製造するための液体吐出装置を含む製造装置の外観図を示したものである。
【図４２】複数の電子放出素子を含む表示パネルの一例を示す図である。
【符号の説明】
【０２１４】
１  光透過性基板
２  ブラックマトリクス
３  樹脂組成物層
４  フォトマスク
５  非着色部
８  保護層
５２  XYθステージ
５３  ガラス基板
５４  カラーフィルタ
５５  着色ヘッド
５８  コントローラ
５９  ティーチングペンダント
６０  キーボード
３００  カラーフィルタ基板
３０１  画素領域
３０３  インクジェットヘッド
３０４  ヘッド駆動回路
３０９  駆動素子（バブルジェット方式のヒータあるいはピエゾ方式の圧電素子素子）
３１１  描画コントロール制御部
３１２  ノズルドライブ出力回路
３１３  電圧制御回路
３１４  信号基準電圧
３１５  出力電圧増幅回路
３１６  出力充電放電回路
３１７  駆動タイミング信号
３１８  データラッチ信号
３１９  画像シリアルデータ
３２０  駆動信号パターン発生出力回路
３２１  画像データラッチ出力回路
３２２  画像データシリアルパラレル変換回路
３２４〜３２９  吐出量補正時の駆動信号電圧 
３３０〜３３５   吐出量補正シーケンス
３３６  未使用ノズル
３３７  描画時使用ノズル
【図１】
2008003586.tif 000003
【図２】
2008003586.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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