(57)【要約】【課題】複数の操作スイッチを近くに配列した場合においても、個々の操作スイッチが検知した圧力の位置を特定する精度に優れていること。【解決手段】圧力検知センサ１０ａは、板状の圧電体板８ａと、圧電体板の一面に、導電性の第１の櫛状電極と第２の櫛状電極とで形成された交差指電極対を備える。そして、交差指電極対は、同心円状、または放射状に形成されていることを特徴とする。そして、パネルスイッチに、本発明に係る圧力検知センサを採用している。【選択図】図３
2008159538.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状の圧電体板と、
前記圧電体板の一面に、導電性の第１の櫛状電極と第２の櫛状電極とで形成された交差指電極対を備えることを特徴とする
圧力検知センサ。
【請求項２】
請求項１に記載の圧力検知センサにおいて、
前記交差指電極対は、同心円状、または放射状に形成されていることを特徴とする
圧力検知センサ。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の圧力検知センサを用いて構成されていることを特徴とする
パネルスイッチ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、圧電セラミックスで形成される圧電体を用いて、使用者の押圧操作に対応する電圧を取り出すことが可能な圧力検知センサ及び圧力検知センサを用いたパネルスイッチに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電子機器を制御する制御パネルとして、金属やセラミックス等の硬い材質で形成された平面パネルと一体化して構成されるパネルスイッチが広く用いられている。例えば、平面パネルのスイッチ部に対応する箇所には、孔が空けてあり、その孔に押ボタン式スイッチが設置される。そして、平面パネルの表面には、可撓性を有するシートが貼り付けてある。使用者は、平面パネル表面の押ボタン式スイッチ部に対応するシート部分を押すことでスイッチをオン・オフして、電子機器を制御できる。
【０００３】
また、別の例として、パネルスイッチは、平面パネルの裏面に面電極を形成したものがある。そして、面電極に対して、パネルの厚さ方向に対向するように対向電極が構成してある。このパネルスイッチは、人の指先がパネル表面に接触する際、面電極と対向電極との静電容量が変化する原理を利用している。そして、検出した静電容量の変化を、オン・オフのスイッチ信号として取り出している。静電容量の変化を利用するパネルスイッチは、一般家電の操作スイッチ、エレベータ用の行先階指定スイッチなどに用いられている。
【０００４】
ところで、電磁調理器等の操作スイッチにパネルスイッチを採用する場合、その使用環境は、水や油で汚れやすい環境である。そして、調理器具を滑らせて移動させることが多くなることが想定される。このような環境下で用いられるパネルスイッチは、金属などの硬い材質で形成され、平面パネル表面の凹凸がまったく無いことが望ましい。すると、上述したような、押ボタン式や静電容量の変化を利用するパネルスイッチを採用することは得策ではない。
【０００５】
このため、電磁調理器の操作スイッチ等に用いられるパネルスイッチには、圧電体で構成される圧力検知センサが採用される。圧力検知センサを用いたパネルスイッチでは、使用者の指が押圧した圧力によって、圧電体が電圧を生じる。そして、圧電体が生じた出力電圧は、スイッチ信号として取り出される。
【０００６】
特許文献１には、圧電体を用いた圧電歪センサ１００の構成例について開示されている。ここでは、圧電歪センサ１００の構成例について、図９を参照して説明する。圧電歪センサ１００は、外部圧力によって電圧を生じる圧電セラミックス１０１と、圧電セラミックス１０１の表面に設けた第１の電極１０２ａと、圧電セラミックス１０１の表面から裏面に至るように設けた第２の電極１０２ｂとを備える。第１の電極１０２ａと第２の電極１０２ｂの間の圧電セラミックス１０１には、溝１０３が形成される。このように、圧電歪センサ１００を構成することによって、分極方向を調整することができ、縦振動モードによる歪み検知を抑制した状態で被検知物の歪みを検知することができる。
【０００７】
次に、特許文献１に開示された圧電歪センサを、電磁調理器用パネル１１０に適用した場合の構成例について、図１０を参照して説明する。
図１０（ａ）は、各機能に対応した平面状のパネルスイッチ１１１ａ〜１１１ｃが印刷された電磁調理器用パネルの例を示す。電磁調理器用パネル１１０は、弾性を有する板状の部材である。
図１０（ｂ）は、図１０（ａ）の電磁調理器用パネル１１０の裏面に配置された圧電歪センサ１００ａ〜１００ｃの例を示す。なお、圧電歪センサ１００ａ〜１００ｃの構成例は、前述の圧力歪センサ１００と同様である。
【０００８】
圧電歪センサ１００ａ〜１００ｃは、使用者がパネルスイッチを押した際に、押圧の影響が無くなる距離だけ互いに隔てて、電磁調理器用パネル１１０の裏面に配置される。このような構成とすると、圧電歪センサ１００ａ〜１００ｃによって、押圧時に生じた電圧による圧力検知が可能となる。そして、第１と第２の電極を外部接続する際の配線処理を簡略化している。
【特許文献１】特開２００２−３５７４９０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、特許文献１に開示された圧電歪センサ１００では、第２の電極１０２ｂの一部の面が、第１の電極１０２ａの形成面側に引き回された多面電極形成構造となっている。このような構造としているため、第１と第２の電極形成に係る製造工程を自動化することが困難であった。
【００１０】
また、圧電歪センサ１００の電極形成面は、圧電セラミックス１０１の表裏面に形成される。このため、十分な圧力検出を行うには、例えば、電磁調理器用パネル１１０の裏面と圧電歪センサ１００ａのいずれの接合面も十分に密着させる必要がある。このため、電磁調理器用パネル１１０の裏面−圧電歪センサ１００ａの取り付け条件が煩雑になっていた。
【００１１】
また、例えば、調理器具等を電磁調理器用パネル１１０上で滑らせた場合に生じる押圧歪によって、圧電歪センサが不要に反応してしまうことがある。また、使用者が目的のパネルスイッチを押圧した際、その押圧部を中心として周囲の圧電セラミックス１０１にまで歪みが及ぶことがある。つまり、目的のパネルスイッチに形成された圧電歪センサだけでなく、周囲に配置される圧電歪センサまでもが反応してしまうことがある。このため、複数のパネルスイッチの間隔は、ある程度の距離を必要としていた。このことは、昨今の電子機器の高機能化に伴い、スイッチを高密度に配列する要求に対応することが困難であることを示している。
【００１２】
本発明は、上述の問題に鑑み成されたものであって、複数のパネルスイッチを近接配置した場合でも、押圧された位置を特定する精度に優れた圧力検知センサ及び圧力検知センサを用いたパネルスイッチを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上述した目的を達成するために、本発明に係る圧力検知センサは、板状の圧電体板と、圧電体板の一面に、導電性の第１の櫛状電極と第２の櫛状電極とで形成された交差指電極対を備える。そして、交差指電極対は、同心円状、または放射状に形成されていることを特徴とする。そして、パネルスイッチに、本発明に係る圧力検知センサを採用している。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係る圧力検知センサは、圧電体板の一面に、互いに接触しない導電性の第１の櫛状電極と第２の櫛状電極とで形成された交差指電極対を備えている。このため、交差指電極対の対向する第１の櫛状電極と第２の櫛状電極間において分極処理を行うことで、押圧時における歪検出、すなわち圧力検知が可能となる。そして、パネルスイッチを製造する場合に要する構成部品の数を減らすことができ、製造コストを低減することが可能となる。
【００１５】
そして、本発明に係る圧力検知センサをパネルスイッチとして用いることによって、近接配置されるスイッチ間の歪みによる影響を少なくできる。このため、狭い領域であっても多くのスイッチを配置できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の第１の実施の形態について、図１〜図５を参照して説明する。本実施の形態では、パネルスイッチを備える電磁調理器用パネル１に適用した例として説明する。電磁調理器用パネル１のパネルスイッチには、使用者の押圧操作を検知する圧力検知センサを適用している。
【００１７】
まず、電磁調理器用パネル１の構成例について、図１を参照して説明する。ただし、図１は、電磁調理器用パネル１の裏面に複数個接合したパネルスイッチのうち、スイッチが配置された部位の近傍のみを概略的に示している。平板状である電磁調理器用パネル１の表面には、図示しないパネル保護用のシートが貼り付けてあったり、保護膜が形成されたりしている。一方、電磁調理器用パネル１の裏面には、パネルスイッチに対応する箇所に、使用者が電磁調理器用パネル１の表面から押下する指の圧力を検出するパネルスイッチ２が形成される。各パネルスイッチ２には、使用者の押圧操作により電圧を生じる圧力検知センサ１０ａ〜１０ｃが設置される。そして、各圧力検知センサ１０ａ〜１０ｃには、互いに接触しない櫛状の第１の櫛状電極３ａ〜３ｃと、第２の櫛状電極４ａ〜４ｃが形成される。また、各第１の櫛状電極３ａ〜３ｃには、電圧を取り出すための第１の取り出し線５ａ〜５ｃが形成される。同様に、各第２の櫛状電極４ａ〜４ｃには、第２の取り出し線６ａ〜６ｃが形成される。
【００１８】
次に、圧力検知センサ１０ａに対するパネルスイッチ２の回路構成例について、図２を参照して説明する。パネルスイッチ２は、通常のスイッチを押圧する力で発生する電圧レベルに合わせて、適切なトリガーレベルが定めてある。パネルスイッチ２は、押圧力の大きさを電圧に変換する圧力検知センサ１０ａと、圧力検知センサ１０ａの出力電圧信号を効率よく増幅する電荷増幅器１１ａと、増幅された出力電圧を所定の基準電圧と比較して、オン・オフのスイッチ信号を出力するコンパレータ１２ａとで構成される。なお、圧力検知センサ１０ｂ，１０ｃについても、圧力検知センサ１０ａの場合と同様の回路構成としているため、詳細な説明は省略する。
【００１９】
ここで、パネルスイッチ２の動作例について説明する。使用者が圧力検知センサ１０ａを押圧操作すると、圧力検知センサ１０ａは電圧を生じる。圧力検知センサ１０ａが生じた電圧は、電荷増幅器１１ａで増幅される。増幅された電圧は、コンパレータ１２ａで基準電圧と比較される。コンパレータ１２ａは、増幅された電圧が基準電圧より大きい場合、図示しない電子機器にオン信号を供給する。
【００２０】
次に、本発明の第１の実施形態に係る圧力検知センサ１０ａの構成例について、図３の斜視図を参照しながら説明する。圧力検知センサ１０ａは、圧電セラミックスで四角平板状に形成された圧電体板８ａと、圧電体板８ａの一面に形成された第１の櫛状電極３ａと、第２の櫛状電極４ａとから構成される。
【００２１】
第１の櫛状電極３ａと第２の櫛状電極４ａは、互いの櫛先部が交互に、かつ等間隔に、並列で対向するよう配置されている。そして、第１の櫛状電極３ａは、第１の櫛状電極端末６ａによってまとめられる。同様に、第２の櫛状電極４ａは、第２の櫛状電極端末７ａによってまとめられる。そして、第１の櫛状電極３ａと第２の櫛状電極４ａの櫛先部は、分極処理用と、圧力検出用の電極機能を兼ね備えている。また、圧力検知センサ１０ａには、第１の櫛状電極端末６ａと第２の櫛状電極端末７ａによって、図示しない外部機器が電気的に接続される。なお、圧力検知センサ１０ｂ，１０ｃについても、圧力検知センサ１０ａと同様の構成としているため、詳細な説明は省略する。
【００２２】
次に、本発明に係る圧力検知センサの製造工程の例について、図４のフローチャートを参照して、概略的に説明する。図４では、圧力検知センサ１０ａの製造工程の例について説明するが、圧力検知センサ１０ｂ，１０ｃについても同様の工程を経て製造される。
【００２３】
（圧電体の製造工程）
始めに、圧電体板８ａを製造する（ステップＳ１）。このとき、Ｐｂ（Ｔｉ，Ｚｒ）Ｏ３を基本組成とした構成材料について、モル比率や添加物の量を原料の重量比に換算し秤量調合する。その後、一般的な粉末冶金技術による混合粉砕工程→仮焼工程→粉砕工程→造粒工程→成型工程→焼結工程を経た後、板状の圧電体板８ａが得られる。
【００２４】
（第１及び第２の櫛状電極形成工程）
次に、圧電体板８ａの一面上に、第１の櫛状電極３ａと第２の櫛状電極４ａを形成する（ステップＳ２）。第１の櫛状電極３ａと第２の櫛状電極４ａは、銀（Ａｇ）やアルミニウム（Ａｌ）等に代表される導電性金属を用いたスクリーン印刷・焼成法やスパッタリング法、あるいは蒸着法等の薄膜形成技術によって、圧電体板８ａの一面上に互いの櫛先が対向する一組の交差指電極対として形成される。
【００２５】
（圧電体の分極処理工程）
次に、圧電体板８ａの分極処理を行う（ステップＳ３）。ここで、圧電体板８ａ（圧電セラミックス）の分極処理工程について簡単に説明する。ここで、高温で焼き固めた多結晶の強誘電体を「圧電セラミックス」と称している。圧電セラミックスの内部には、多結晶粒が存在している。焼結を終えた後の工程における圧電セラミックスの個々の結晶粒は、その分域ごとに分極方向が任意の方向を向いている。このため、全体としての双極子モーメントはゼロとなる。すなわち、分極方向が均一でない状態であるため、外力を受けても圧電性を示さない。
【００２６】
そこで、所望の方向に結晶粒を分極させるため、前工程で形成した第１の櫛状電極３ａと第２の櫛状電極４ａの間に直流高電圧を加えて、電極間の圧電体を分極する。この結果、電圧の印加が終わっても分極方向が再び最初の状態（分域ごとに任意の方向を向いている状態）に戻らなくなり、圧電現象を利用できるようになる。そして、圧力検知センサ１０ａは、使用者の押圧操作によって電圧を生じるようになる。
【００２７】
以上のプロセスによって製造される圧力検知センサ１０ａは、圧電体板８ａの一方の面にのみ電極を形成すればよいことから、従来のセンサと比較して、特に電極形成工程を容易化できる。結果として、製造工程とコストを低減できるようになる。
【００２８】
次に、図１で説明した電磁調理器用パネル１のうち、圧力検知センサ１０ａの近傍部分をＡ−Ａ’線において断面視し、パネルスイッチ２を押圧した状態の例について、図５を参照して説明する。図５では、説明の便宜上、電磁調理器用パネル１（図１参照）の上下を逆にし、かつ電極端末及び取出し線の接続は模式的に示している。
【００２９】
図５から分かるように、圧力検知センサ１０ａが配置された部分に相当する電磁調理器用パネル１の表面を押圧すると、電磁調理器用パネル１はわずかに屈曲する。その結果、圧力検知センサ１０ａの圧電体板８ａも屈曲し、長さ方向に伸び歪が発生する。そして、伸び歪によって、第１の櫛状電極３ａと第２の櫛状電極４ａとの電極端子間に電圧が発生する。発生した電圧の大きさは、圧電体板８ａの歪に比例しており、ほぼ電磁調理器用パネル１を押圧する圧力に比例する。
【００３０】
以上説明した第１の実施の形態に係る圧力検知センサ１０ａ〜１０ｃは、パネル裏面に接着剤等によって直接貼付け固定されて、パネルスイッチとして構成される。このような構成が実現可能な理由としては、対向する第１の櫛状電極と第２の櫛状電極間で分極処理を行うことで、歪の検出、すなわち圧力検知が可能となるからである。そして、パネルスイッチを製造する際に、製造部材のコストを低減できるという効果がある。
【００３１】
また、圧力検知センサ１０ａ〜１０ｃは、出力電圧（スイッチ信号）を増幅する電荷増幅器と電気的に接続される。第１及び第２の櫛状電極で形成される交差指電極対形成領域は、圧電体板の一面、すなわち電磁調理器用パネル１に接合される圧電体の面とは反対の面にのみ形成される。このため、圧力検知センサ１０ａ〜１０ｃに対する電極形成の工程が省けるのは勿論、外部機器等と容易に接続できるという効果がある。
【００３２】
さらに、個々の圧力検知センサ１０ａ〜１０ｃは、電極対形成領域のいずれかの部位に発生する局部的な歪を検出できる。このため、圧力検知センサと電磁調理器用パネル１とを必要以上に密着させる必要がない。結果として、製造条件を簡素化しながらも、圧力検出特性のばらつきを小さくすることが可能となるという効果がある。
【００３３】
次に、本発明の第２の実施の形態に係る圧力検知センサ２０の構成例について、図６と図７を参照しながら説明する。なお、図６で示す２種類の圧力検知センサは、既に説明した圧力検知センサ１０ａと同様の工程を経て製造されるため、製造工程の詳細説明は省略する。
【００３４】
まず、２種類の圧力検知センサの例について、図６を参照して説明する。
図６（ａ）は、交差指電極対を同心円状に配列した例を示す。
図６（ｂ）は、交差指電極対を放射状に配列した例を示す。
【００３５】
図６（ａ）より、圧電体板２８の一面に、第１の櫛状電極２３と第２の櫛状電極２４とからなる交差指電極対が同心円状に形成されていることが示される。第１の櫛状電極２３と第２の櫛状電極２４は、互いの櫛先部が交互にかつ等間隔に並列し、対向するように配置される。それぞれの櫛先部は、第１の櫛状電極端末２６、第２の櫛状電極端末２７によってまとめられる。第１の櫛状電極２３と第２の櫛状電極２４は、分極処理用と圧力検出用の電極機能を兼ね備えている。このため、上述した第１の実施の形態に係る圧力検知センサ１０ａ〜１０ｃと同様、この交差指電極対の２端子間に直流高電圧を印加することで分極処理が行われ、押圧によって生じる出力電圧を検出可能となる。さらに、圧力検知センサ２０と図示しない外部機器とは、第１の櫛状電極端末２６、第２の櫛状電極端末２７によって電気的に接続される。
【００３６】
また、図６（ｂ）より、圧電体板３８の一面に、第１の櫛状電極３３と第２の櫛状電極３４とからなる交差指電極対が放射状に形成されていることが示される。第１の櫛状電極３３と第２の櫛状電極３４は、互いの櫛先部が交互にかつ等間隔に並列し、対向するように配置される。それぞれの櫛先部は、第１の櫛状電極端末３６、第２の櫛状電極端末３７によってまとめられる。第１の櫛状電極３３と第２の櫛状電極３４は、分極処理用と圧力検出用の電極機能を兼ね備えている。このため、第１の実施の形態に係る圧力検知センサ１０ａ〜１０ｃと同様、この交差指電極対の２端子間に直流高電圧を印加することで分極処理が行われ、押圧によって生じる出力電圧を検出可能となる。そして、圧力検知センサ３０と図示しない外部機器とは、第１の櫛状電極端末３６、第２の櫛状電極端末３７によって電気的に接続される。
【００３７】
次に、本例の圧力検知センサ２０をパネルスイッチ４２として構成した場合における検出動作の例について、図７を参照して説明する。なお、図７では、圧力検知センサ２０を電磁調理器用パネル４１のパネルスイッチ４２に用いた例として説明するが、圧力検知センサ３０を用いてもよいし、圧力検知センサ２０，３０を組み合わせて用いてもよい。
【００３８】
図７（ａ）は、電磁調理器パネル４１上に近接配置された１０個のパネルスイッチ４２ａ〜４２ｊを上面視した例を示している。本例では、パネルスイッチ４２ａ〜４２ｊをまとめて、操作スイッチ領域４０と称する。
図７（ｂ）は、図７（ａ）における操作スイッチ領域４０のみを拡大視するとともに、パネルスイッチ４２の裏面に接合された圧力検知センサ２０の例を示している。なお、記載を簡略化するため、圧力検知センサ２０は、第１の櫛状電極２３と第２の櫛状電極２４の電極外形４３ａ〜４３ｊを模式的に破線で表している。
図７（ｃ）は、図７（ｂ）において、使用者が、パネルスイッチ４２ｃの中央部を押圧した際における、パネルスイッチの「すり鉢」状の歪み領域４４と、使用者の押圧操作に伴って変形した電極外形の概略図を示している。
【００３９】
電磁調理器パネル４１に形成されたパネルスイッチ４２ｃが押圧されると、電磁調理器用パネル４１は押圧した点である押圧中心点４４を中心として「すり鉢」状の歪み領域４４のように変形する。同様に、圧力検知センサ（圧電体）も変形（歪）する。したがって、同心円状に櫛状電極が形成された圧力検知センサは、交差指電極対の押圧中心点４４を中心にしたほぼ円形の窪みを生じ、放射状に均等な伸び歪４６が生ずることになる。結果、全ての櫛状電極が、発生した歪と効率よく結合し、大きな出力電圧が発生する。
【００４０】
一方、パネルスイッチ４２ｃに近接配置された他のパネルスイッチ４２ｂ，４２ｄ，４２ｇ〜４２ｉに配置された圧力検知センサ４３ｂ，４３ｄ，４３ｇ〜４３ｉに対しては、板を押した場所からの距離が離れているため、発生する歪の量が少なくなる。さらには、発生する歪の方向が一方向となり、一方向の伸び歪み５０ｂ，５０ｄ，５０ｇ〜５０ｉのように変形する。このため、歪と効率よく結合する交差指電極領域は、目的のパネルスイッチに配置された圧力検知センサの電極領域よりも当然小さくなり、発生する電圧も小さくなる。このとき、発生する電圧は、半分程度のレベルまで下がる。
【００４１】
そして、本例では、目的のスイッチを押圧する力で発生する電圧レベルに合わせて、適切なトリガーレベルを定めている。このことによって、従来の圧力検知センサのように、目的のパネルスイッチを押圧した際に、目的以外の圧力検知センサが反応してしまうといった、従来の圧電歪センサが有していた不具合を発生させることなく、圧力検知における位置特定精度に優れたパネルスイッチを構成することができる。
【００４２】
なお、圧力検知センサ２０と同様、放射状に帯状電極が形成された圧力検知センサ３０も交差指電極対のほぼ中央部を中心にしたほぼ円形の窪みを生じ、放射状の伸び歪を生じる。結果、全ての櫛状電極が、発生した歪と効率よく結合し、大きな出力電圧が発生する。一方、他の圧力検知センサ３０は、発生する歪の量が少なくなり、発生する歪の方向が一方向となるため、発生する電圧も小さくなる。
【００４３】
以上説明した第２の実施の形態に係る圧力検知センサ２０，３０は、電磁調理器用パネルのパネルスイッチに対応する部位の裏面に接合することで、パネルスイッチとして機能する。そして、電磁調理器用パネル４１と圧力検知センサ２０，３０とを接合する際に、製造工程の簡素化、それに伴う製造部材のコスト低減が実現できる。
【００４４】
また、交差指電極対の形状を、同心円状あるいは放射状としている。このような形状により、パネルを押圧したときの歪に対応した、すなわち選択したスイッチに対する位置特定精度を、一層高めることが可能となる。
【００４５】
また、交差指電極対が圧電体板の一面、すなわちパネルと接合される圧電体の面とは反対面にのみ形成されている。このため、電極形成の手間が省けるのは勿論、外部機器等との接続も容易になる。
【００４６】
さらに、個々の圧力検知センサにおける電極対形成領域のいずれかの部位に発生する局部的な歪を検出することが可能である。このため、圧力検知センサとパネルとを必要以上に密着させる必要がなく、製造条件を簡素化しながらにして、圧力検出特性のばらつきを小さくすることが可能となる。
【００４７】
以上説明した第１と第２の実施の形態に係る圧力検知センサ１０ａ〜１０ｃ，２０，３０を用いてパネルスイッチを構成することで、近接配置されるスイッチ間の歪みによる影響を少なくできる。このため、狭い領域であっても多くのスイッチを配置できるという効果がある。
【００４８】
なお、第１と第２の実施の形態に係る圧力検知センサ１０ａ〜１０ｃ，２０，３０は、単独で用いてもよいし、組み合わせて用いるようにしてもよい。
【００４９】
また、第１と第２の実施の形態では、電磁調理器用パネルスイッチとパネルスイッチに適用して好適な圧力検知センサについて説明したが、圧力検知センサを適用可能な電子機器はこれだけに限定されない。本発明の主旨を逸脱しない範囲（例えば、エレベータのパネルスイッチ）において、本発明に係る圧力検知センサの構造・用途等をさまざまに変形することが可能である。
【００５０】
また、本発明の圧力検知センサの変形例として、渦巻き状に電極を形成した圧力検知センサ６０の構成例について、図８を参照して説明する。なお、圧力検知センサ６０も、既に説明した圧力検知センサ１０ａと同様の工程を経て製造される。図８より、圧電体板６８の一面に、第１の電極６３と第２の電極６４とからなる電極対が渦巻き状に形成されていることが示される。第１の電極６３と第２の電極６４は、分極処理用と圧力検出用の電極機能を兼ね備えている。このため、この電極対間に直流高電圧を印加することで分極処理が行われ、押圧によって生じる出力電圧を検出可能となる。さらに、圧力検知センサ６０と図示しない外部機器とは、第１の電極端末６６、第２の電極端末６７によって電気的に接続される。このように、圧力検知センサ６０の電極対の形状を渦巻き状としたことにより、パネルを押圧したときの歪に対応した、すなわち選択したスイッチに対する位置特定精度を、一層高めることができるという効果がある。また、この圧力検知センサ６０をパネルスイッチに用いることもできることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の第１の実施の形態における電磁調理器用パネルの例を示した構成図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態における圧力検知センサのパネルスイッチの例を示した回路図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態における圧力検知センサの例を示した構成図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態における圧力検知センサの製造工程の例を示したフローチャートである。
【図５】本発明の第１の実施の形態における図１のＡ−Ａ′線に沿った圧力検知センサの断面例を示した説明図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態における圧力検知センサの例を示した構成図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態における電磁調理器用パネルの例を示した構成図である。
【図８】本発明の他の実施の形態における圧力検知センサの例を示した構成図である。
【図９】従来の圧電歪センサの例を示した構成図である。
【図１０】従来の電磁調理器用パネルに配置された圧電歪センサの例を示した構成図である。
【符号の説明】
【００５２】
１…電磁調理器用パネル、２…パネルスイッチ、３ａ〜３ｃ…第１の櫛状電極、４ａ〜４ｃ…第２の櫛状電極、５ａ〜５ｃ…第１の取り出し線、６ａ〜６ｃ…第２の取り出し線、１０ａ〜１０ｃ…圧力検知センサ、１１ａ…電荷増幅器、１２ａ…コンパレータ、２０，３０…圧力検知センサ、４０…操作スイッチ領域、４１…電磁調理器用パネル、４２ａ〜４２ｊ…パネルスイッチ、６０…圧力検知センサ
【図１】
2008159538.tif 000003
【図２】
2008159538.tif 000004
【図３】
2008159538.tif 000005
【図４】
2008159538.tif 000006
【図５】
2008159538.tif 000007
【図６】
2008159538.tif 000008
【図７】
2008159538.tif 000009
【図８】
2008159538.tif 000010
【図９】
2008159538.tif 000011
【図１０】
2008159538.tif 000012