(57)【要約】      （修正有）【課題】装置内外の洗浄環境を良好に保つことができる洗浄装置を提供。【解決手段】洗浄装置１は、ワーク搬入搬出口１４、洗浄槽１２、洗浄槽１２の下部乃至胴部の洗浄機器を収容する第１筐体１０、洗浄機器を制御する制御機器１０１、制御機器１０１の下側の洗浄機器乃至制御機器１０１の電源装置１０７を収容する第２筐体１００、第１筐体１０と第２筐体１００を接続する電気配線を収容する接続管１５０を有する。第１筐体１０には、第１の吸気口１３、第１の排気口、第１の吸気口１３から第１の排気口に流れる気流２１を発生させる第１の気流発生手段１５、洗浄槽１２乃至洗浄機器と第１筐体１０の壁部との間の気流２１の流路となる空間部１２とが設けられている。第２筐体１００には、第２の吸気口、第２の排気口、第２の吸気口から第２の排気口に流れる気流を発生させる第２の気流発生手段とが設けられている。【選択図】図１
2008086900.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワーク搬入搬出口、ワークを洗浄する洗浄槽、及び該洗浄槽の下部乃至胴部に設けられてワークの洗浄を実行する洗浄機器を少なくとも収容する第１筐体と、
前記洗浄機器を制御する制御機器、及び該制御機器の下側に設けられて前記洗浄機器乃至該制御機器に電源を供給する電源装置を少なくとも収容する第２筐体と、
前記第１筐体及び前記第２筐体を接続する電気配線を少なくとも収容する接続管と、を有し、
前記第１筐体には、第１の吸気口と、第１の排気口と、前記第１の吸気口から前記第１の排気口に向かって流れる気流を発生させる第１の気流発生手段と、前記洗浄槽乃至前記洗浄機器と該第１筐体の壁部との間に設けられて前記気流の流路となる空間部とが設けられており、
前記第２筐体には、第２の吸気口と、第２の排気口と、前記第２の吸気口から前記第２の排気口に向かって流れる気流を発生させる第２の気流発生手段とが設けられていることを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】
前記第１筐体において、前記洗浄槽は、前記ワークを洗浄溶剤に浸して超音波により洗浄する浸漬槽と、該浸漬槽の上方であって前記ワーク搬入搬出口と前記浸漬槽との間に位置して、前記ワークを蒸気洗浄する蒸気洗浄領域と、該蒸気洗浄領域の上方であって前記蒸気洗浄領域と前記ワーク搬入搬出口との間に位置して、前記ワークを冷却乾燥する冷却領域と、該洗浄槽に配管接続されて前記蒸気洗浄領域に前記溶剤蒸気を供給する蒸気発生槽と、を含み、
前記洗浄機器は、前記超音波を発生する超音波振動子と、前記冷却領域の外周に設けられた冷却器及び放熱用ファンモータと、前記蒸気発生槽を加熱するヒータと、前記洗浄槽の下側に設けられて前記洗浄溶媒を循環させるポンプ及び前記洗浄溶剤を冷却する冷却装置を少なくとも含む液循環駆動部と、を含み、
前記放熱用ファンモータが前記第１の気流発生手段であり、
前記第１の吸気口と前記放熱用ファンモータとの間には、該第１の吸気口からの吸気を該放熱用ファンモータに案内する案内手段が設けられている、請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項３】
前記第２筐体において、前記制御機器は、冷却ファンモータを有して前記超音波振動子を制御する制御コントローラを含み、
前記制御コントローラは、前記第２の吸気口と前記電源装置との間に配置され、
前記冷却ファンモータが前記第２の気流発生手段であって、該第２の気流発生手段により、前記第２の吸気口からの吸気を前記制御コントローラ、前記電源装置及び前記第２の排気口の順で経由させる、請求項１又は２に記載の洗浄装置。
【請求項４】
前記第２の吸気口には吸気用ファンモータが設けられている、請求項１から３のいずれかに記載の洗浄装置。
【請求項５】
前記第２筐体内に収容される前記制御機器及び前記電源装置は、積載可能なラックに載置されている、請求項１から４のいずれかに記載の洗浄装置。
【請求項６】
前記第１の排気口及び前記第２の排気口が、負圧雰囲気の排気ダクトに接続されている、請求項１から５のいずれかに記載の洗浄装置。
【請求項７】
前記第１の排気口及び前記第２の排気口には、排気用のファンモータが設けられている、請求項１から６のいずれかに記載の洗浄装置。
【請求項８】
前記第１の排気口及び前記第２の排気口には、排気調整用のバルブが設けられている、請求項１から７のいずれかに記載の洗浄装置。
【請求項９】
前記接続管がフレキシブルな樹脂製チューブである、請求項１から８のいずれかに記載の洗浄装置。
【請求項１０】
クリーンルーム内に設置される、請求項１から９のいずれかに記載の洗浄装置。
【請求項１１】
前記ワーク搬入搬出口を覆うカバーを備える、請求項１から１０のいずれかに記載の洗浄装置。
【請求項１２】
少なくとも、ワーク搬入搬出口、ワークを洗浄する洗浄槽、及び該洗浄槽の下部乃至胴部に設けられてワークの洗浄を実行する洗浄機器を筐体に収容する洗浄装置であって、
前記筐体には、吸気口と、排気口と、前記吸気口から前記排気口に向かって流れる気流を発生させる気流発生手段と、前記洗浄槽乃至前記洗浄機器と該筐体の壁部との間に設けられて前記気流の流路となる空間部とが設けられていることを特徴とする洗浄装置。
【請求項１３】
前記洗浄槽は、前記ワークを洗浄溶剤に浸して超音波により洗浄する浸漬槽と、該浸漬槽の上方であって前記ワーク搬入搬出口と前記浸漬槽との間に位置して、前記ワークを蒸気洗浄する蒸気洗浄領域と、該蒸気洗浄領域の上方であって前記蒸気洗浄領域と前記ワーク搬入搬出口との間に位置して、前記ワークを冷却乾燥する冷却領域と、該洗浄槽に配管接続されて前記蒸気洗浄領域に前記溶剤蒸気を供給する蒸気発生槽と、を含み、
前記洗浄機器は、前記超音波を発生する超音波振動子と、前記冷却領域の外周に設けられた冷却器及び放熱用ファンモータと、前記蒸気発生槽を加熱するヒータと、前記洗浄槽の下側に設けられて前記洗浄溶媒を循環させるポンプ及び前記洗浄溶剤を冷却する冷却装置を少なくとも含む液循環駆動部と、を含み、
前記放熱用ファンモータが前記気流発生手段であり、
前記吸気口と前記放熱用ファンモータとの間には、該吸気口からの吸気を該放熱用ファンモータに案内する案内手段が設けられている、請求項１２に記載の洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄装置に関し、更に詳しくは、電子部品、精密部品、金属部品、プリント配線基板、ガラス基板その他の各種被洗浄物（ワーク）を洗浄処理することができる洗浄装置であって、特に装置内外の洗浄環境を良好に保つことができる洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品、精密部品、金属部品、プリント配線基板、ガラス基板その他の各種被洗浄物（以下、「ワーク」という。）を洗浄処理するための洗浄装置が提案されている（例えば、特許文献１を参照）。特許文献１に記載の洗浄装置は、上部にワーク出入口を有し、下部に洗浄溶剤を貯溜する洗浄槽を有すると共に、中間部に位置する冷却エリアと、その冷却エリアと洗浄槽の溶剤液面との間に位置する蒸気処理エリアとを有するタンク本体を備えている。この洗浄装置では、洗浄溶剤中で洗浄された後に上方に引き上げられたワークは、蒸気処理エリアで洗浄溶剤蒸気で洗浄され、その後、さらにその上方の冷却エリアで冷却乾燥される。この冷却エリアでは、洗浄溶剤蒸気を冷やして凝縮することで、洗浄溶剤蒸気の蒸気圧を下げ、ワークの表面に凝縮していた洗浄溶剤滴を気化させることで乾燥が行われる。
【０００３】
しかしながら、上記した従来の洗浄装置においては、洗浄溶剤蒸気がワーク出入口から漏れて周辺を汚染するという問題がある。特に洗浄性能に優れるトリクロロエチレンや塩化メチレン（化学式ＣＨ２Ｃｌ２で示されるメチレンクロライド）、又はそれらの代替として用いられているＨＦＣ（ハイドロ・フルオロ・カーボン）やＨＦＥ（ハイドロ・フルオロ・エーテル）等のフッ素系溶剤や臭素系溶剤（主成分ｎ−プロピルブロマイド）等のような有機系洗浄溶剤のなかには、作業環境上好ましくないものがあり、できるだけ漏れを少なくすることが望ましい。
【０００４】
一方、洗浄槽の周囲への汚染を防止するための処理装置が提案されている（例えば、特許文献２を参照）。特許文献２に記載の処理装置は、半導体ウエハ等を浸漬洗浄するための処理装置であり、給気ファンとＵＬＰＡフィルタにより洗浄槽を包含する容器にクリーンエアを供給する一方、排気ダクトからクリーンエアを排気して、容器内にクリーンエアのダウンフローを形成するように構成されている。
【特許文献１】特開２００５−７４３１９号公報
【特許文献２】特開２００１−３５１８９１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献２に記載のような処理装置は洗浄槽の周囲への汚染防止には一定の効果を奏すると思われるが、そのダウンフロー機構を上記特許文献１に記載のような複雑化した洗浄装置に適用し、特にその洗浄装置が清浄度の高いクリーンルーム内に設置される場合には、洗浄溶剤を封じ込めるためのファンモータから粉塵が発生して周囲の作業環境を汚染してしまうという問題が生じるおそれがある。
【０００６】
また、上記特許文献１に記載のような複雑化した洗浄装置は、冷却エリアや蒸気処理エリアを有するので、粉塵等が冷却エリアや蒸気処理エリアに侵入しないことが要求される。
【０００７】
また、清浄度の高いクリーンルーム内に上記特許文献１に記載のような洗浄装置を設置する場合は、洗浄槽とその周辺機器とを筐体内に一括して収容することが必要である。すなわち、冷却エリア、蒸気処理エリア及び浸漬処理エリアを有する洗浄槽と、超音波洗浄機、循環ポンプ及び冷却装置等の洗浄機器とを筐体内に一括して収容する。この場合には、その洗浄機器から発生する粉塵が洗浄槽内に侵入して洗浄性能が低下するのを防ぐ必要がある。また、それらの洗浄機器は蒸気発生機構など発熱するものが多い。そのため、洗浄機器の発熱により、筐体が高温となり、冷却エリアでの乾燥機能を低下させたり、他の洗浄機器の機能や寿命に悪影響を及ぼすという問題がある。
【０００８】
また、洗浄槽及び洗浄機器を有する洗浄装置と、その洗浄機器を制御する制御機器類とを清浄度の高いクリーンルーム内に設置しようとする場合には、その制御機器が有するファンモータ等から発生する粉塵を周囲の作業環境に漏らさないようにすることが必要であると共に、制御機器から発生する熱による悪影響が生じないようにすることも必要である。
【０００９】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、装置内外の洗浄環境を良好に保つことができる洗浄装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するための本発明の洗浄装置は、ワーク搬入搬出口、ワークを洗浄する洗浄槽、及び該洗浄槽の下部乃至胴部に設けられてワークの洗浄を実行する洗浄機器を少なくとも収容する第１筐体と、前記洗浄機器を制御する制御機器、及び該制御機器の下側に設けられて前記洗浄機器乃至該制御機器に電源を供給する電源装置を少なくとも収容する第２筐体と、前記第１筐体及び前記第２筐体を接続する電気配線を少なくとも収容する接続管と、を有し、前記第１筐体には、第１の吸気口と、第１の排気口と、前記第１の吸気口から前記第１の排気口に向かって流れる気流を発生させる第１の気流発生手段と、前記洗浄槽乃至前記洗浄機器と該第１筐体の壁部との間に設けられて前記気流の流路となる空間部とが設けられており、前記第２筐体には、第２の吸気口と、第２の排気口と、前記第２の吸気口から前記第２の排気口に向かって流れる気流を発生させる第２の気流発生手段とが設けられていることを特徴とする。
【００１１】
この発明によれば、洗浄槽と洗浄機器を収容する第１筐体には、第１の吸気口から第１の排気口に向かって流れる気流を発生させる第１の気流発生手段と、その気流の流路となる空間部とが設けられているので、第１筐体内で生じる粉塵や溶媒ミストを装置外の作業環境に漏らすことなく又装置内の洗浄エリアに侵入させることなく、空間部内を流れる気流に乗せて第１の排気口から装置外に排出させることができる。その結果、洗浄槽や洗浄機器が例えばファンモータ等の粉塵発生要素を構成部材として備える場合であっても、生じた粉塵等による悪影響を低減でき、装置内外の洗浄環境を良好に保つことができる。一方、制御機器と電源装置を収容する第２筐体にも、第２の吸気口から第２の排気口に向かって流れる気流を発生させる第２の気流発生手段が設けられているので、第２筐体内で生じる粉塵を装置外の作業環境に漏らすことなく気流に乗せて第２の排気口から装置外に排出させることができる。その結果、制御機器が例えばファンモータ等の粉塵発生要素を構成部材として備える場合であっても、生じた粉塵等による悪影響を低減でき、装置内外の洗浄環境を良好に保つことができる。
【００１２】
本発明の洗浄装置の好ましい態様として、前記第１筐体において、前記洗浄槽は、前記ワークを洗浄溶剤に浸して超音波により洗浄する浸漬槽と、該浸漬槽の上方であって前記ワーク搬入搬出口と前記浸漬槽との間に位置して、前記ワークを蒸気洗浄する蒸気洗浄領域と、該蒸気洗浄領域の上方であって前記蒸気洗浄領域と前記ワーク搬入搬出口との間に位置して、前記ワークを冷却乾燥する冷却領域と、該洗浄槽に配管接続されて前記蒸気洗浄領域に前記溶剤蒸気を供給する蒸気発生槽と、を含み、前記洗浄機器は、前記超音波を発生する超音波振動子と、前記冷却領域の外周に設けられた冷却器及び放熱用ファンモータと、前記蒸気発生槽を加熱するヒータと、前記洗浄槽の下側に設けられて前記洗浄溶媒を循環させるポンプ及び前記洗浄溶剤を冷却する冷却装置を少なくとも含む液循環駆動部と、を含み、前記放熱用ファンモータが前記第１の気流発生手段であり、前記第１の吸気口と前記放熱用ファンモータとの間には、該第１の吸気口からの吸気を該放熱用ファンモータに案内する案内手段が設けられている。
【００１３】
この発明によれば、冷却領域の外周には第１の気流発生手段としての放熱用ファンモータが設けられ、その放熱用ファンモータと第１の吸気口との間には、第１の吸気口からの吸気を放熱用ファンモータに案内する案内手段が設けられているので、たとえ放熱用ファンモータから粉塵が発生した場合であっても、発生した粉塵は第１の吸気口から装置外に飛散せずにその放熱用ファンモータにより発生する気流に乗って第１の排気口に向かって流れる。その結果、冷却領域の外周に放熱用ファンモータが設けられた洗浄装置であっても、生じた粉塵等による悪影響を低減でき、装置内外の洗浄環境を良好に保つことができる。
【００１４】
本発明の洗浄装置の好ましい態様として、前記第２筐体において、前記制御機器は、冷却ファンモータを有して前記超音波振動子を制御する制御コントローラを含み、前記制御コントローラは、前記第２の吸気口と前記電源装置との間に配置され、前記冷却ファンモータが前記第２の気流発生手段であって、該第２の気流発生手段により、前記第２の吸気口からの吸気を前記制御コントローラ、前記電源装置及び前記第２の排気口の順で経由させる。
【００１５】
この発明によれば、超音波振動子を制御する制御コントローラが第２の気流発生手段としての冷却ファンモータを備えるので、その冷却ファンモータにより、第２の吸気口からの吸気を制御コントローラ、電源装置及び第２の排気口の順に経由する気流とすることができる。その結果、第２筐体内に収容される制御機器や電源装置から粉塵が発生した場合であっても、発生した粉塵はその冷却ファンモータにより発生する気流に乗って第２の排気口に向かって流れるので、生じた粉塵等による悪影響を低減でき、装置内外の洗浄環境を良好に保つことができる。
【００１６】
本発明の洗浄装置の好ましい態様として、前記第２の吸気口には吸気用ファンモータが設けられている。
【００１７】
この発明によれば、第２の吸気口に吸気用ファンモータを設けることにより、第２の吸気口から第２の排気口に向かう気流を生じさせることができる。
【００１８】
本発明の洗浄装置の好ましい態様として、前記第２筐体内に収容される前記制御機器及び前記電源装置は、積載可能なラックに載置されている。また、筐体内の粉塵や熱の排出を効果的に行なう制御機器の配置を簡便に構成することができる。
【００１９】
この発明によれば、積載可能なラックを用いたので、例えば粉塵が発生し易い装置や発熱し易い装置を第２の排気口に近い側に載置することができる。
【００２０】
本発明の洗浄装置の好ましい態様として、（ａ）前記第１の排気口及び前記第２の排気口が、負圧雰囲気の排気ダクトに接続されていてもよいし、（ｂ）前記第１の排気口及び前記第２の排気口には、排気用のファンモータが設けられていてもよいし、（ｃ）前記第１の排気口及び前記第２の排気口には、排気調整用のバルブが設けられていてもよい。
【００２１】
この発明によれば、第１筐体及び第２筐体からの排気を調節して、洗浄機器や制御機器を最適に機能させるように各筐体内の温度を適正に制御することができる。
【００２２】
本発明の洗浄装置の好ましい態様として、前記接続管がフレキシブルな樹脂製チューブである。この発明によれば、接続管をフレキシブルな樹脂製チューブとすれば、第１筐体と第２筐体との連結部分から粉塵や蒸気ミストの飛散を防ぐ態様下において、第１筐体が収容する洗浄装置と第２筐体が収容する制御機器との位置関係を自在に変更することができる。
【００２３】
本発明の洗浄装置の好ましい態様として、上記本発明の洗浄装置がクリーンルーム内に設置される。本発明の洗浄装置は、洗浄槽や制御機器に悪影響を及ぼすことが無く、装置内外の洗浄環境を良好に保つことができるので、高い清浄度が要求されるクリーンルーム内で使用するのに適している。
【００２４】
本発明の洗浄装置の好ましい態様として、前記ワーク搬入搬出口を覆うカバーを備える。この発明によれば、ワーク搬入搬出口を覆うカバーを備えれば、装置内外の洗浄環境をさらに良好に保つことができる。
【００２５】
本発明の他の形態に係る洗浄装置は、少なくとも、ワーク搬入搬出口、ワークを洗浄する洗浄槽、及び該洗浄槽の下部乃至胴部に設けられてワークの洗浄を実行する洗浄機器を筐体に収容する洗浄装置であって、前記筐体には、吸気口と、排気口と、前記吸気口から前記排気口に向かって流れる気流を発生させる気流発生手段と、前記洗浄槽乃至前記洗浄機器と該筐体の壁部との間に設けられて前記気流の流路となる空間部とが設けられていることを特徴とする。
【００２６】
上記他の形態に係る洗浄装置において、前記洗浄槽は、前記ワークを洗浄溶剤に浸して超音波により洗浄する浸漬槽と、該浸漬槽の上方であって前記ワーク搬入搬出口と前記浸漬槽との間に位置して、前記ワークを蒸気洗浄する蒸気洗浄領域と、該蒸気洗浄領域の上方であって前記蒸気洗浄領域と前記ワーク搬入搬出口との間に位置して、前記ワークを冷却乾燥する冷却領域と、該洗浄槽に配管接続されて前記蒸気洗浄領域に前記溶剤蒸気を供給する蒸気発生槽と、を含み、前記洗浄機器は、前記超音波を発生する超音波振動子と、前記冷却領域の外周に設けられた冷却器及び放熱用ファンモータと、前記蒸気発生槽を加熱するヒータと、前記洗浄槽の下側に設けられて前記洗浄溶媒を循環させるポンプ及び前記洗浄溶剤を冷却する冷却装置を少なくとも含む液循環駆動部と、を含み、前記放熱用ファンモータが前記気流発生手段であり、前記吸気口と前記放熱用ファンモータとの間には、該吸気口からの吸気を該放熱用ファンモータに案内する案内手段が設けられていることが好ましい。
【発明の効果】
【００２７】
本発明の洗浄装置によれば、第１筐体内で生じる粉塵や溶媒ミストを、装置外の作業環境に漏らすことなく又装置内の洗浄エリアに侵入させることなく、空間部内を流れる気流に乗せて第１の排気口から装置外に排出させることができるので、洗浄槽や洗浄機器が例えばファンモータ等の粉塵発生要素を構成部材として備える場合であっても、生じた粉塵等による悪影響を低減でき、装置内外の洗浄環境を良好に保つことができる。一方、第２筐体内で生じる粉塵についても、装置外の作業環境に漏らすことなく、気流に乗せて第２の排気口から装置外に排出させることができるので、制御機器が例えばファンモータ等の粉塵発生要素を構成部材として備える場合であっても、生じた粉塵等による悪影響を低減でき、装置内外の洗浄環境を良好に保つことができる。
【００２８】
また、本発明の洗浄装置によれば、発熱による熱風は気流により排気口側に流れることになるので、洗浄槽や制御機器に悪影響を及ぼすことが無く、装置内の温度変化を適切な範囲に抑制して洗浄機器や制御機器の動作を良好に保つことができる。
【００２９】
こうした本発明の洗浄装置は、装置内外の洗浄環境を良好に保つことができるので、高い清浄度が要求されるクリーンルーム内で使用するのに特に適している。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、本発明を実施するための最良の形態を、図面に基づき説明する。なお、本発明の洗浄装置は、その技術的特徴を有する範囲において、以下の説明及び図面に限定されない。
【００３１】
図１は、本発明の洗浄装置の一例を示す概略正面図である。本発明の洗浄装置１は、図１に示すように、第１筐体１０と、第２筐体１００と、第１筐体１０及び第２筐体１００を接続する接続管１５０とで構成されている。第１筐体１０は、ワーク搬入搬出口１４と、ワーク４４を洗浄する洗浄槽１２と、洗浄槽１２の下部乃至胴部に設けられてワーク４４の洗浄を実行する洗浄機器（４０，４１等）とを少なくとも収容している。一方、第２筐体１００は、前記の洗浄機器を制御する制御機器１０１と、その制御機器１０１の下側に設けられて前記の洗浄機器や制御機器１０１に電源を供給する電源装置１０７とを少なくとも収容している。また、接続管１５０は、第１筐体１０と第２筐体１００とを接続する電気配線（図５を参照）を少なくとも収容している。以下に、本発明の洗浄装置１を構成する第１筐体１０と第２筐体１００と接続管１５０について順に説明する。
【００３２】
（第１筐体）
まず、第１筐体１０について説明する。図１の左図は、第１筐体１０内の洗浄槽１２と洗浄機器類の配置態様の一例を示す模式的な正面図であり、図２は、第１筐体１０内の洗浄槽１２と洗浄機器類の配置態様の一例を示す模式的な左側面図である。第１筐体１０は、例えばステンレス鋼等の金属や塗装処理された金属で形成された箱体１１からなるものであり、図１及び図２に示すように、ワーク搬入搬出口１４と、洗浄槽１２と、各種の洗浄機器とを少なくとも収容し、キャスター部材１０９により移動可能に構成されている。なお、筐体１１のハッチングはその断面を示しており、ワーク搬入搬出口１４以外は可能な限り封止態様となるように形成されていることが好ましい。
【００３３】
洗浄槽１２は、図１に示すように、ワーク１４を洗浄溶剤４６に浸して超音波により洗浄する浸漬槽３７（液体洗浄領域１６）と、ワーク４４を蒸気洗浄する蒸気洗浄領域１８と、ワーク４４を冷却乾燥する冷却領域２０とで構成されている。蒸気洗浄領域１８は、浸漬槽３７の上方であって浸漬槽３７と冷却領域２０との間に位置しており、冷却領域２０は、蒸気洗浄領域１８の上方であって蒸気洗浄領域１８とワーク搬入搬出口１４との間に位置している。さらに、洗浄槽１２には、蒸気洗浄領域１８に溶剤蒸気４８を供給する蒸気発生槽５２が配管５４により接続されている。また、洗浄槽１２には水分離槽２８が配管接続されていてもよく、その水分離槽２８は、洗浄槽１２からの回収溶剤から水を分離する槽であり、分離した後の溶剤を再び洗浄溶剤４６として供給するのに使用される。
【００３４】
本願における「洗浄機器」とは、ワーク４４を洗浄する洗浄槽１２に付帯する各種の洗浄機器のことであり、具体的には、図１及び図２に示すように、上記の液体洗浄領域１６、蒸気洗浄領域１８及び冷却領域２０での洗浄操作を行うための各種の洗浄機器、例えば、超音波を発生する超音波振動子６０や、冷却領域２０の外周に設けられた冷却器６４及び放熱用ファンモータ１５や、洗浄槽１２の下側に設けられて洗浄溶媒４６を循環させる循環ポンプ４１及び洗浄溶剤４６を冷却する冷却装置４０を少なくとも含む液循環駆動部４７や、蒸気発生槽５２を加熱するヒータ５３や、浸漬槽３７を冷却するための冷却器６２等を代表的なものとして挙げることができるが、これら以外のものが含まれていても構わない。なお、フィルタ４２は洗浄機器ではあるが、図２に示すように第１筐体１０内に収容されていないので、本願でいうところの洗浄機器には入らない。
【００３５】
洗浄槽１２と各種の洗浄機器類が収容された第１筐体１０には、第１の吸気口１３と、第１の排気口１９と、第１の吸気口１３から第１の排気口１９に向かって流れる気流２１を発生させる第１の気流発生手段と、洗浄槽１２乃至各種の洗浄機器類と第１筐体１０の壁部との間に設けられて気流２１の流路となる空間部２３とが設けられている。図１及び図２の例では、第１の吸気口１３が筐体上部に設けられ、第１の排気口１９が筐体最下部に設けられており、放熱用ファンモータ１５が第１の気流発生手段となっている。
【００３６】
また、第１筐体１０の最下部であって第１の排気口１９に近い側には、循環ポンプ４１や冷却装置４０等のような発熱するものを配置することが好ましい。
【００３７】
こうした構成からなる本発明の洗浄装置１は、洗浄槽１２と各種の洗浄機器を収容する第１筐体１０に、第１の吸気口１３から第１の排気口１９に向かって流れる気流２１を発生させる放熱用ファンモータ１５（第１の気流発生手段）と、その気流２１の流路となる空間部２３とが設けられているので、第１筐体１０内で生じる粉塵や溶媒ミスト等を装置外の作業環境に漏らすことなく且つ装置内の洗浄槽１２を構成する各領域（液体洗浄領域１６、蒸気洗浄領域１８及び冷却領域２０）に侵入させることなく、その粉塵や溶媒ミスト等を空間部２３内を流れる気流２１に乗せて第１の排気口１９から装置外に排出させることができる。その結果、洗浄槽１２や洗浄機器が例えば放熱用ファンモータ１５等のような粉塵発生要素を構成部材として備える場合であっても、生じた粉塵等による悪影響を低減でき、装置内の洗浄環境や装置外の作業環境を良好に保つことができる。また、循環ポンプ４１やヒータ５３等のような発熱するものが多い洗浄機器を第１の排気口１９に近い側に設けたので、発熱により生じた熱風は気流２１に乗って第１の排気口１９から排出されることになる。その結果、洗浄槽１２でのワークの洗浄条件に悪影響を及ぼすことが無く、装置内外の洗浄環境を良好に保つことができるという効果を奏する。
【００３８】
第１の排気口１９は、図２に示すように、負圧雰囲気の排気ダクト７１に接続されていることが好ましい。また、その第１の排気口１９には、排気用のファンモータ７２が設けられていてもよいし、排気調整用のバルブ７３が設けられていてもよい。このとき、負圧雰囲気の排気ダクト７１が吸引する空気量や、排気用のファンモータ７２が吸引する空気量は、上記の放熱用ファンモータ１５が第１筐体１０内に吸気する空気量よりも大きい必要があるが、排気調整用のバルブ７３はそうした空気量の調整に用いることができる。なお、負圧雰囲気の排気ダクト７１は、粉塵等を嫌う精密部品を取り扱う一般的な工場やクリーンルームには通常設置されているので、本発明の洗浄装置１が有する第１の排気口１９はそうした排気ダクト７１に接続すればよい。
【００３９】
図１及び図２に示す洗浄装置１においては、上部に冷却領域２０を有し、その冷却領域２０を冷却するための冷却器６４に空気を送る放熱用ファンモータ１５が設けられているので、放熱用ファンモータ１５の吸気口が第１の吸気口１３となり、その放熱用ファンモータ１５が気流２１を発生する第１の気流発生手段となっている。放熱用ファンモータ１５によって気流２１が生じるためには、第１の排気口１９から空気が排出されなければならないことから、本発明の洗浄装置では、第１の排気口１９が負圧雰囲気の排気ダクト７１に接続されていたり、第１の排気口１９に排気用のファンモータ７２が接続されていたりすることが好ましい。
【００４０】
本発明において、第１の吸気口１３と放熱用ファンモータ１５との間に、第１の吸気口１３からの吸気を放熱用ファンモータ１５に案内する案内手段１７を設けることが好ましい。図３は、案内手段の設置例を示す構成図（Ａ）と、案内手段の斜視図（Ｂ）である。図３に示す案内手段１７は、角形の中空形状からなる角筒であり、通常、ステンレス鋼等の金属板を加工したものが用いられる。こうした案内手段１７を放熱用ファンモータ１５と第１の吸気口１３との間に設けることにより、第１の吸気口１３からの吸気を放熱用ファンモータ１５に案内することができるので、たとえ放熱用ファンモータ１５から粉塵が発生した場合であっても、発生した粉塵は第１の吸気口１３から装置外に飛散せずにその放熱用ファンモータ１５により発生する気流２１に乗って第１の排気口１９に向かって流れる。その結果、冷却領域２０の外周に放熱用ファンモータ１５が設けられた洗浄装置であっても、生じた粉塵等による悪影響を低減でき、装置内外の洗浄環境を良好に保つことができる。
【００４１】
なお、こうした案内手段１７は、冷却装置４０が備える放熱用ファンモータ４５と吸気口１３Ａとの間にも装着されていることが好ましい。
【００４２】
（第２筐体）
次に、第２筐体１００について説明する。図１の右図は、第２筐体１００内の制御機器１０１、電源装置１０７、その他の装置の配置態様の一例を示す模式的な正面図であり、図４は、第２筐体１００内の制御機器１０１、電源装置１０７、その他の装置の配置態様の一例を示す模式的な右側面図である。第２筐体１００は、例えばステンレス鋼等の金属や塗装処理された金属で形成された箱体１０８からなるものであり、第１筐体１０内に収容された前記の洗浄機器を制御するための制御機器１０１と、その制御機器１０１の下側に設けられて前記の洗浄機器や制御機器１０１に電源を供給するための電源装置１０７とを少なくとも収容している。第２筐体１００も第１筐体１０と同様、キャスター部材１０９により移動可能に構成されている。箱体１０８のハッチングはその断面を示しており、可能な限り封止態様となるように形成されていることが好ましい。なお、符号１３０はシグナルタワーである。
【００４３】
第２筐体１００には、第２の吸気口１１３と、第２の排気口１１９と、第２の吸気口１１３から第２の排気口１１９に向かって流れる気流１２１を発生させる第２の気流発生手段とが設けられている。図４の例では、第２の吸気口１１３が上部に設けられ、第２の排気口１１９が最下部に設けられており、吸気用ファンモータ１１５が第２の気流発生手段となっている。
【００４４】
制御機器１０１は、第１筐体１０に設けられた洗浄機器やその他の機器類を駆動又は制御するための機器のことであり、具体的には、図１及び図４に示すように、浸漬槽３７内に設置した超音波振動子６０を制御する制御コントローラ１０４，１０５や、冷却器６２，６４、冷却装置４０及び循環ポンプ４１に電力を供給するための電源装置１０７等を代表的なものとして挙げることができるが、これら以外のものが含まれていても構わない。例えば、制御機器１０１として、図１に示すように、制御モニタ１２２や温度調整器、操作スイッチ等を前面パネル１２０に装着した表示装置１０２が含まれていてもよいし、制御コントローラ１０４，１０５を任意に切り替える切替装置１０３が含まれていてもよい。
【００４５】
なお、図４に示す第２筐体１００において、制御コントローラ１０４，１０５は、それぞれ冷却ファンモータ１１２を有しており、その制御コントローラ１０４，１０５は、第２の吸気口１１３と電源装置１０７との間に配置されている。また、２つの制御コントローラ１０４，１０５はそれぞれ出力の異なるものであり、その上に設けられた切替装置１０３により任意に切り替えることにより、浸漬槽３７内に設置した超音波振動子６０の出力を変更ないし調整することができる。
【００４６】
第２筐体１００の最下部であって第２の排気口１１９の近い側には、電源装置１０７や電源トランス１１０等が設けられていることが好ましい。電源装置１０７や電源トランス１１０等のような熱を発生し易いものを第２の排気口１１９に近い側に設けることにより、発熱による熱風は気流１２１により第２の排気口１１９側に流れることになる。その結果、第２筐体１００内の制御機器１０１に悪影響を及ぼすことが無く、制御環境を良好に保つことができるという効果を奏する。
【００４７】
図４の例では、制御コントローラ１０４，１０５が有する冷却ファンモータ１１２が第２の気流発生手段となっている。したがって、制御コントローラ１０４，１０５はそれぞれが有する冷却ファンモータ１１２が同じ側になるように第２筐体１００内に積載されていることが望ましい。気流１２１は冷却ファンモータ１１２により生じ、図４中の矢印に示すように、第２の吸気口１１３から吸気した空気を、制御コントローラ１０４，１０５、電源装置１０７及び第２の排気口１１９の順で経由させて排気することができる。
【００４８】
冷却ファンモータ１１２によって気流１２１が生じるためには、第２の排気口１１９から空気が排出されなければならないことから、本発明の洗浄装置では、図４に示すように、第２の排気口１１９が負圧雰囲気の排気ダクト１１１に接続されていたり、第２の排気口１１９に排気用のファンモータ１１４が接続されていたりすることが好ましい。また、排気調整用のバルブ１１６が設けられていてもよい。このとき、負圧雰囲気の排気ダクト１１１が吸引する空気量や、排気用のファンモータ１１４が吸引する空気量は、上記の冷却ファンモータ１１２が第２筐体１００内に吸気する空気量よりも大きい必要があるが、排気調整用のバルブ１１６はそうした空気量の調整に用いることができる。なお、負圧雰囲気の排気ダクト１１１は、粉塵等を嫌う精密部品を取り扱う一般的な工場やクリーンルームには通常設置されているので、本発明の洗浄装置１が有する第２の排気口１１９はそうした排気ダクト１１１に接続すればよい。
【００４９】
第２の吸気口１１３は、通常、第２筐体１００の背面側に設けられるが、他の面に設けられていてもよい。また、第２の吸気口１１３の数も特に限定されないが、例えば３個程度設けることができる。その第２の吸気口１１３には、吸気用ファンモータ１１５を必要に応じて任意に設けることができる。なお、この吸気用ファンモータ１１５によっても、第２の吸気口１１３から第２の排気口１１９に向かう気流１２１を生じさせることができるので、例えば第２筐体１００内に冷却ファンモータ１１２を備えた制御コントローラ１０４，１０５が設けられていない場合には、この吸気ファンモータ１１５を第２の気流発生手段としてもよい。
【００５０】
制御コントローラ１０４，１０５と電源装置１０７との間には、スライド可能な仕切り板１０６を設けてもよい。仕切り板１０６は、図４に示すように、Ａ位置からＢ位置の間でスライドさせることができる。仕切り板１０６のスライドは、第２の気流発生手段（図４では冷却ファンモータ１１２）の風量と、例えば負圧雰囲気の排気ダクト１１１の吸引量との大きさを考慮して行われ、例えば仕切り板１０６をＢ位置にすれば、気流１２１の多くは電源装置１０７や電源トランス１１０を経由して第２の排気口１１９に至ることになる。
【００５１】
こうした構成からなる本発明の洗浄装置１は、制御機器１０１と電源装置１０７を少なくとも収容する第２筐体１００に、第２の吸気口１１３から第２の排気口１１９に向かって流れる気流１２１を発生させる第２の気流発生手段（図４では冷却ファンモータ１１２）が設けられているので、第２筐体１００内で生じる粉塵を装置外の作業環境に漏らすことなく気流１２１に乗せて第２の排気口１１９から装置外に排出させることができる。その結果、制御機器１０１が例えば冷却ファンモータ１１２等の粉塵発生要素を構成部材として備える場合であっても、生じた粉塵等による悪影響を低減でき、装置内外の洗浄環境を良好に保つことができる。また、電源装置１０７や電源トランス１１０等のような発熱するものが多い電源装置を第２の排気口１１９に近い側に設けたので、発熱による熱風は気流１２１により第２の排気口１１９側に流れることになる。その結果、比較的熱に弱い制御機器１０１等に悪影響を及ぼすことが無いという効果を奏する。
【００５２】
なお、第２筐体１００内に収容される制御機器１０１及び電源装置１０７等は、積載可能なラック（図示しない）に載置されていることが好ましい。ラックは例えば市販のものを用いることができ、総コストの観点から有利である。
【００５３】
（接続管）
次に、接続管について説明する。図５は、本発明の洗浄装置１を上から見たときの模式的な平面図である。接続管１５０は、第１筐体１０と第２筐体１００とを接続したものであり、電気配線１５１を少なくとも収容している。電気配線１５１には、電源線や信号線等が含まれる。例えば、第２筐体１００内の制御コントローラ１０４，１０５から第１筐体１０内の超音波振動子６０に電力と制御信号を供給する電源線及び信号線や、第１筐体１０内の循環ポンプ４１、冷却装置４０及び冷却器６２，６４に電力と制御信号を供給する電源線及び信号線、さらに、第１筐体１０内の蒸気発生槽等を加熱するヒータ５３に電力等を供給する電源線等が挙げられる。
【００５４】
本発明においては、接続管１５０がフレキシブルな樹脂製チューブであることが好ましい。その材質としては、軟質塩化ビニール等が挙げられる。こうした材質からなる樹脂製のチューブで構成した接続管１５０は、装置周辺の粉塵等が付着しにくいという効果がある。また、樹脂製のチューブで接続管１５０をフレキシブルにすれば、第１筐体１０と第２筐体１００との連結部分から粉塵や蒸気ミストの飛散を防ぐ態様下において、第１筐体１０が収容する洗浄槽１２と第２筐体１００が収容する制御機器１０１等との位置関係を自在に変更することができる。
【００５５】
本発明の洗浄装置１はクリーンルーム内に設置されて使用されることが好ましい。本発明の洗浄装置１は、洗浄槽１２や制御機器１０１等に悪影響を及ぼすことが無く、装置内外の洗浄環境を良好に保つことができるので、高い清浄度が要求されるクリーンルーム内で使用するのに特に適している。
【００５６】
以上説明したように、本発明の実施例では、第１の吸気口１３及び第２の吸気口１１３を第１筐体１０及び第２筐体の筐体１００の上部にそれぞれ設け、第１の排気口１９及び第２の排気口１１９を第１筐体１０及び第２筐体１００の最下部にそれぞれ設けるとともに、第１筐体１０及び第２筐体１００の最下部に発熱量の多い洗浄機器や電源装置をそれぞれ配置しているので、各筐体内の発熱による熱風を排気口側に良好に流すことができる。また、筐体上部に吸気口１３，１１３を配置し、筐体下部に排気口１９，１１９を配置することにより気流２１，１２１が下降気流となるので、上昇する特性のある熱気を効果的に排出制御することができる。なお、発熱量の多い洗浄機器や電源装置の近傍に排気口１９，１１９を設け、吸気口１３，１１３から排気口１９，１１９への気流２１，１２１を筐体内で発生させることができるならば、吸気口及び排気口の位置は限定されるものではない。
【００５７】
（カバー）
第１筐体１０の上部にはワーク搬入搬出口１４が設けられ、このワーク搬入搬出口１４からワーク４４の出し入れが行われる。したがって、ワーク搬入搬出口１４から第１筐体１０内に、外部の粉塵等が入り込まないようにすることが望ましい。図６は、それに対応できるカバー１６０の一例を示す模式図であり、（Ａ）は左側面図であって図２に示す第１筐体１０上に設けた形態であり、（Ｂ）は正面図であって図１に示す第１筐体１０上に設けた形態である。
【００５８】
カバー１６０は、枠体１６１と、蝶番１６５を介して開閉可能な扉１６２，１６３，１６４とで主に構成されている。カバー１６０内には、ワーク搬入搬出口１４からワーク４４の出し入れを可能にする昇降機１８０が設けられている。この昇降機１８０は、駆動装置１８４と昇降アーム１８３とを備え、その昇降アーム１８３には、ワーク４４を吊り下げる吊り下げ部材１８１が取り付けられている。また、図６に示す例では、４つの側面のうちの３つの側面に扉１６２，１６３，１６４を設け、その扉１６２，１６３，１６４は取っ手１７２，１７３，１７４を有し、その扉１６２，１６３，１６４の下部には、扉の開閉を検知するセンサー１６６が設けられていてもよい。なお、カバー１６０の天板にはダンパー部材１６７を設けることができ、このダンパー部材１６７を上記同様の負圧雰囲気の排気ダクトに接続すれば、ワーク搬入搬出口１４から飛散する可能性のある粉塵や溶媒ミストが装置外の作業環境に漏れるのを防ぐことができる。また、カバー１６０上面に排気口１８５を設け、排気調整用のバルブ１８６を接続することで、ワーク搬入搬出口１４から、わずかなから蒸散してくる溶剤の回収量を排気量の調整により行なうことができる。
【００５９】
本発明の洗浄装置がこうしたカバー１６０を備えることにより、ワーク搬入搬出口１４を覆うことができるので、装置内外の洗浄環境をさらに良好に保つことができる。
【００６０】
以上説明したように、本発明の洗浄装置は、第１筐体に収容された洗浄槽や洗浄機器が例えばファンモータ等の粉塵発生要素を構成部材として備える場合であっても、生じた粉塵等による悪影響を低減でき、装置内外の洗浄環境を良好に保つことができる。また、第２筐体に収容された制御機器が例えばファンモータ等の粉塵発生要素を構成部材として備える場合であっても、生じた粉塵等による悪影響を低減でき、装置内外の洗浄環境を良好に保つことができる。こうした本発明の洗浄装置は、装置内外の洗浄環境を良好に保つことができるので、高い清浄度が要求されるクリーンルーム内で使用するのに特に適している。
【００６１】
（洗浄槽の構造）
本発明の要旨は上述したとおりであるが、以下では、第１筐体１０に収容されている洗浄槽１２の構造についてさらに詳しく説明する。なお、上記において既に説明した内容は省略する。図７は、洗浄槽とその洗浄槽の周囲に設けられる洗浄機器類の配置態様の一例を示す模式的な構成図であり、図８は、図７に示す洗浄槽と洗浄機器類の配置態様の平面図である。
【００６２】
洗浄槽１２は、図７及び図８に示すように、液状及び蒸気の洗浄溶剤４６を用いてワーク４４を洗浄するための槽であり、ワーク１４を洗浄溶剤４６に浸して超音波により洗浄する浸漬槽３７（液体洗浄領域１６）と、ワーク４４を蒸気洗浄する蒸気洗浄領域１８と、ワーク４４を冷却乾燥する冷却領域２０とで構成されている。洗浄槽１２と蒸気発生槽５２との間には、蒸気発生槽５２で発生させた蒸気を蒸気洗浄領域１８に供給するための配管５４が設けられているが、その配管形態は特に限定されない。
【００６３】
液体洗浄領域１６（浸漬槽３７）は、洗浄槽１２の下部に設けられて、液状の洗浄溶剤４６でワーク４４を洗浄するエリアである。この液体洗浄領域１６は、１つ又は複数のワーク４４を洗浄溶剤４６に浸漬できるだけの容量を持っている。その底部には、超音波振動子６０を設けてもよい。この超音波振動子６０は、必要に応じて作動させ、ワーク４４の洗浄効率を向上させることができる。また、温度制御を行うための温度制御手段を設けてもよい。例えば超音波振動子６０を動作させると洗浄溶剤４６の温度が上昇するので、図７に示すように、温度を一定に保つための冷却器６２（例えばペルチェ素子）を適当な部位に所定の個数設けてもよい。こうした冷却器６２は、ペルチェ効果を利用した素子であり、可動部が無く騒音を発生しないという利点がある。冷却器６２は、各種のものを用いることができ、例えばペルチェ素子と冷却ファンモータ１１２を組み合わせて用いることができる。
【００６４】
液体洗浄領域１６は、一定量の洗浄溶剤４６を貯める浸漬槽３７と、その浸漬槽３７からオーバーフローした洗浄溶剤４６を受けるオーバーフロー槽３８とで構成できる。このオーバーフロー槽３８は、例えば浸漬槽３７が図７及び図８に示すように四角形である場合には、その四辺に設けてもよいし一辺に設けてもよく、特に限定されない。こうした構造とすることにより、洗浄溶剤４６を常に一定量とすることができ、洗浄溶剤４６の余剰量のみをオーバーフロー槽３８にオーバーフローさせるので、浸漬槽３７内での液の清浄度が安定し、その結果、安定した液体洗浄を達成することができる。なお、符号３９Ａは浸漬槽３７の液面計であり、符号３９Ｂはオーバーフロー槽３８の液面計である。
【００６５】
浸漬槽３７をオーバーフローしてオーバーフロー槽３８に流れ込んだ洗浄溶剤４６は、冷却装置４０を介して洗浄槽１２に循環されるように構成してもよい。このときの冷却装置４０としては、例えば熱交換機等を挙げることができる。また、オーバーフローした洗浄溶剤４６の循環は、循環ポンプ４１とフィルタ４２を経由して再び液体洗浄領域１６に戻すようにすることができる。こうした構成にすることによって、ワーク４４の洗浄の自由度を向上させることができる。例えば、循環経路の先端に取り付けた１つ又は複数のノズル４３を、浸漬槽３７内に浸漬したワーク４４に直接当たるようにして洗浄効率を向上させてもよいし、冷却装置４０で冷却した洗浄溶剤４６をワーク４４に当ててワーク４４を冷やしておくことにより、その後に蒸気洗浄領域１８に引き上げた際の蒸気洗浄効率を向上させることもできる。なお、この循環流量は、任意に設定することができる。
【００６６】
蒸気洗浄領域１８は、洗浄槽１２の中間部に設けられて、洗浄溶剤の蒸気４８でワーク４４を洗浄するエリアである。この蒸気洗浄領域１８も、上記液体洗浄領域１６と同様、１つ又は複数のワーク４４を洗浄溶剤の蒸気４８雰囲気に曝すことができるだけの容量を持っている。この蒸気洗浄領域１８では、洗浄溶剤の蒸気４８が飽和状態でワーク４４に接触するように供給される。その蒸気４８は、蒸気発生槽５２で発生した蒸気が第１配管５４を上昇してきた蒸気である。こうして供給された蒸気４８は、ワーク４４の表面に接触して凝縮することにより、ワーク４４の洗浄が行われる。
【００６７】
この蒸気洗浄領域１８の壁面３１（洗浄槽１２の中間部の内壁面又は外壁面）には、図１に示すように、ヒータ３０等の加熱手段を設けることが好ましい。こうした加熱手段を設けることによって、洗浄溶剤の蒸気４８がその壁面３１で結露して液化するのを抑制できるので、蒸気洗浄を安定した状態で行うことができる。なお、この加熱手段は、蒸気洗浄領域１８と冷却領域２０との境界付近の蒸気洗浄領域１８側に設けられていることが好ましい。この位置に加熱手段を設けることにより、冷却領域２０の冷気が壁面を伝導して蒸気洗浄領域１８の壁面の温度を下げるのを防ぐことができ、その結果、蒸気４８がその壁面３１で結露して液化するのを防ぐことができる。加熱手段としては種々のものを挙げることができ、例えば面状ヒータやパイプヒータ等を挙げることができる。これらの加熱手段は、洗浄溶剤に対する耐性等を考慮して、内壁面又は外壁面に沿わせて設けることができる。
【００６８】
また、液体洗浄領域１６と蒸気洗浄領域１８との境界付近の壁面には、断熱部材３６を設けることが好ましい。断熱部材３６を境界付近の壁面に設けることによって、蒸気洗浄領域壁面の高い温度と、液体洗浄領域壁面の低い温度との温度干渉を起こり難くすることができるので、それぞれのエリアでの効率的な洗浄を実現することができる。なお、蒸気洗浄領域１８と冷却領域２０との境界付近の壁面にも断熱部材３５を設けることが好ましい。
【００６９】
冷却領域２０は、洗浄槽１２の上部に設けられて、洗浄溶剤の蒸気を冷却して液化させるエリアである。この冷却領域２０は、液化できない蒸気がワーク搬入搬出口１４から作業環境中に逃げない程度の高さ及び大きさであればよく、その高さ及び大きさは、洗浄槽１２全体の容量に基づいて設計される。具体的には、本実施の形態においては、開口部の短辺Ｌに対する冷却領域２０の高さＨのフリーボード比を１．５以上確保することが好ましい。
【００７０】
この冷却領域２０では、冷却された内壁面で蒸気が冷やされて液化する。こうした液化は冷却領域２０内の蒸気圧を下げ、ワーク４４の表面に凝縮していた液滴を気化させ、その結果、ワーク４４の乾燥が行われる。図７においては、蒸気洗浄領域１８内での温度低下を防ぐように加熱手段３０や断熱部材３６を設けるので、ワーク４４の温度が高く維持され、乾燥時に気化熱が奪われてもワーク４４の温度が下がりすぎることがなく、再凝縮によるシミ等の発生も起こらないという利点がある。また、冷却領域２０の温度を低下させるようにヒートシンク３２を設けるので、蒸気圧を下げてワーク４４表面に凝縮していた液滴を速やかに気化させることができる。
【００７１】
冷却領域２０の壁面には、図７及び図８に示すように、冷却器６４（ペルチェ素子）が適当な部位に所定の個数設けられている。この冷却器６４は、エリア内の温度を蒸気４８が液化する程度の温度に冷却するために設けられるものであり、例えば図７及び図８に示すように、複数設けられていることが好ましい。また、蒸気洗浄領域１８と冷却領域２０との境界付近の冷却領域２０側には、ヒートシンク３２を設けることが好ましい。このヒートシンク３２は、熱伝導性の良いアルミニウムや銅等の金属材料で形成された加工部材であり、蒸気洗浄領域１８と冷却領域２０との境界付近に設けたので、蒸気洗浄領域１８ではより効率的な蒸気洗浄を行い、冷却領域２０ではより効率的な乾燥と蒸気の液化を行うことができる。特に、液化を効率的に行うことができる点で好ましく用いられる。
【００７２】
ヒートシンク３２は、図７に示すように、ヒートパイプ３４に接続されている。ヒートシンク３２の形状は、ワークの出し入れを阻害しないようになっていればよく、その形状は特に限定されないが、本実施の形態においては、図８に示すように、ヒートパイプ３４の下側で洗浄槽１２の内壁に沿うように環状のヒートシンク３２が配置されている。また、ヒートパイプ３４としては、市販されている各種のものを用いることができ、例えば、従来から知られている一般的なヒートパイプを用いることができる。ヒートパイプ３４は、冷却領域２０に設けられた冷却器６４に接続されていることが好ましく、その冷却器６４で熱交換してヒートシンク３２を冷却することができる。
【００７３】
冷却領域２０で液化された洗浄溶剤は、回収手段２４により回収することができる。蒸気４８は冷却領域２０の内壁面で液化し、その内壁面を流れ落ちる。回収手段２４は、内壁面を流れ落ちる洗浄溶剤を受け止めるように設けてあればよく、例えば図７に示すように、内壁面に沿って受皿５０を形成することが好ましい。この受皿５０により、冷却領域２０で液化した洗浄溶剤を回収することができる。回収された洗浄溶剤４６は、洗浄槽１２から分離して配置される水分離槽２８に配管２６によって送られる。水分離槽２８には、回収手段２４で回収された洗浄溶剤４６から水を分離する分離手段が設けられている。分離手段は特に限定されないが、例えば洗浄溶剤として水よりも比重の大きい有機溶剤を用いれば、水槽の中央を仕切る仕切板２９を設けただけの簡単な方法によって、シミの原因となる水と洗浄溶剤４６とを分離することができる。こうした回収手段２４と水分離層２８とを設けることにより、水を含んだ状態の洗浄溶剤が、液体洗浄領域内の洗浄溶剤と混合するのを防ぐことができる。その結果、液体洗浄領域１８でのワーク４４の洗浄を安定した状態で行うことができる。
【００７４】
蒸気発生槽５２は、洗浄溶剤４６をヒータ５３等の加熱手段で加熱して蒸気を発生させる槽であり、この蒸気発生槽５２の側壁には、液面計３９Ｃを設けてもよい。
【００７５】
液体洗浄領域１６内に貯まる規定量の洗浄溶剤からオーバーフローした洗浄溶剤は、配管２７により、増加した液量は蒸気発生槽５２に送る。こうすることにより、蒸気４８が壁面３１等で液化し、オーバーフロー槽３８の液量が増加した場合であっても、洗浄槽１２の液量と蒸気発生槽５２の液量とのバランスを確保することができる。この洗浄槽１２において、オーバーフローした洗浄溶剤が、蒸気発生槽５２に直接流れ込む場合には、洗浄槽１２と蒸気発生槽５２とを連結する配管２７は図１に示すＬ字型や図７に示すＵ字型等の水封構造であることが望ましい。
【００７６】
洗浄溶剤４６としては、各種のものを挙げることができるが、例えばＨＦＣ（ハイドロ・フルオロ・カーボン）やＨＦＥ（ハイドロ・フルオロ・エーテル）等のフッ素系溶剤、臭素系溶剤等が用いられる。こうした洗浄槽１２を用いれば、洗浄溶剤の消費量を低減できると共に、ワークの蒸気洗浄及び乾燥をより効果的に行うことができるので、例えばクリーンルーム内等で、電子部品、精密部品、金属部品、プリント配線基板、ガラス基板その他の各種被洗浄物（ワーク）を極めて効率よく低コストで洗浄処理することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】本発明の洗浄装置の一例を示す概略正面図である。
【図２】第１筐体内の洗浄槽と洗浄機器類の配置態様の一例を示す模式的な左側面図である。
【図３】案内手段の設置例を示す構成図（Ａ）と、案内手段の斜視図（Ｂ）である。
【図４】第２筐体内の制御機器、電源装置、その他の装置の配置態様の一例を示す模式的な右側面図である。
【図５】本発明の洗浄装置を上から見たときの模式的な平面図である。
【図６】カバーの一例を示す模式図である。
【図７】洗浄槽とその洗浄槽の周囲に設けられる洗浄機器類の配置態様の一例を示す模式的な構成図である。
【図８】図７に示す洗浄槽と洗浄機器類の配置態様の平面図である。
【符号の説明】
【００７８】
１  洗浄装置
１０  第１筐体
１１  第１筐体の箱体
１２  洗浄槽
１３  第１の吸気口
１３Ａ  吸気口
１４  ワーク搬入搬出口
１５  放熱用ファンモータ
１６  液体洗浄領域
１７  案内手段
１８  蒸気洗浄領域
１９  第１の排気口
２０  蒸気洗浄冷却
２１  気流
２３  空間部
２８  水分離槽
３７  浸漬槽
３８  オーバーフロー槽
４０  冷却装置
４１  循環ポンプ
４２  フィルタ
４４  ワーク
４５  放熱用ファンモータ
４６  洗浄溶剤
４７  液循環駆動部
４８  蒸気
５２  蒸気発生槽
５３  ヒータ
５４  配管
６０  超音波振動子
６２  冷却器
６４  冷却器
７１  負圧雰囲気の排気ダクト
７２  排気用のファンモータ
７３  排気調整用のバルブ
１００  第２筐体
１０１  制御機器
１０２  表示装置
１０３  切替装置
１０４，１０５  制御コントローラ
１０６  仕切り板
１０７  電源装置
１０８  第２筐体の箱体
１０９  キャスター部材
１１０  電源トランス
１１１  負圧雰囲気の排気ダクト
１１２  冷却ファンモータ
１１３  第２の吸気口
１１４  排気用のファンモータ
１１５  吸気用ファンモータ
１１６  排気調整用のバルブ
１１９  第２の排気口
１２０  前面パネル
１２１  気流
１２２  制御モニタ
１３０  シグナルタワー
１５０  接続管
１５１  電気配線
１６０  カバー
１６１  枠体
１６２，１６３，１６４  開閉可能な扉
１６５  蝶番
１６６  センサー
１６７  ダンパー部材
１７２，１７３，１７４  取っ手
１８０  昇降機
１８１  吊り下げ部材
１８３  昇降アーム
１８４  駆動装置
１８５  排気口
１８６  排気調整用のバルブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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