(57)【要約】【課題】大きな容積を占有することなく、かつ容易な手段で密閉可能なウェーハ輸送ケースを提供すること。【解決手段】リング形状のウェーハ収納容器１２にウェーハ１を載置したユニットを複数重ねた状態で覆うウェーハ輸送ケース１０であって、ウェーハ収納容器１２を載置するための円盤状の載置台２２と、ドーム状の形態を有するドーム部３５と、当該ドーム部３５の開口端から周方向外方に向かって延出する鍔部３７とを有し、載置台２２の上にウェーハ収納容器１２の全体を覆うように配置される蓋体２４と、載置台２２の上に配設されるリング状のガスケット２８と、鍔部３７と載置台２２の外周部２２ｂを狭持して両者を固定する固定部材２６とを有するものとする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
リング形状のウェーハ収納容器にウェーハを載置したユニットを複数重ねた状態で覆うウェーハ輸送ケースであって、
上記ウェーハ収納容器を載置するための円盤状の載置台と、
ドーム状の形態を有するドーム部と、当該ドーム部の開口端から周方向外方に向かって延出する鍔部と、を有し、上記載置台の上に上記ウェーハ収納容器の全体を覆うように配置される蓋体と、
上記載置台の上に配設されるリング状のガスケットと、
上記鍔部と上記載置台の外周部を狭持して両者を固定する固定部材と、
を有することを特徴とするウェーハ輸送ケース。
【請求項２】
前記載置台および前記蓋体のうちの少なくとも一方は、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリスチレン、ＡＢＳ樹脂、メタクリル樹脂もしくはＡＳ樹脂から成ることを特徴とする請求項１記載のウェーハ輸送ケース。
【請求項３】
前記ウェーハ収納容器は上方に突出する凸部を有しており、前記載置台に前記ウェーハ収納容器の上記凸部と係合するための係合部を設けたことを特徴とする請求項１または２記載のウェーハ輸送ケース。
【請求項４】
前記載置台の外周部近傍には、前記ウェーハ収納容器に収納されている前記ウェーハの方向性を表すための目印が設けられていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項記載のウェーハ輸送ケース。
【請求項５】
前記載置台には、埃や塵を除去するためのフィルタが配設されていることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項記載のウェーハ輸送ケース。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハを収納し、輸送するためのウェーハ輸送ケースに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子機器の需要拡大に伴い、半導体ウェーハの需要も増加している。したがって、ウェーハを安全な状態で大量に輸送するウェーハ輸送ケースが要求されている。従来からのウェーハ輸送ケースとして、ケース体に形成された複数のＵ字型の溝に、ウェーハを別個に収納し、この状態で当該ウェーハを輸送または保管するものが知られている（例えば、特許文献１）。
【０００３】
【特許文献１】特開平６−５６１８５号公報（図１〜図３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に開示されているウェーハ輸送ケースの場合、ウェーハを挿入するためのＵ字の開口部を形成しなければならないので、ケース体は、円形のウェーハを収納するための容積と比べ、大きな容積が要求される。その結果、ケース体が大型化し、それに伴い、ウェーハ輸送ケースが大型化してしまうといった問題がある。また、特許文献１に開示されているウェーハ輸送ケースでは、ケース蓋に設けられているロック用翼状部材を、ケース本体に設けられた突起に嵌合させてウェーハ輸送ケースの密閉を行っている。したがって、ウェーハ輸送ケースの密閉を行うために複雑な機構を要する。
【０００５】
本発明は、かかる問題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは大きな容積を占有することなく、かつ容易な手段で密閉可能なウェーハ輸送ケースを提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明は、リング形状のウェーハ収納容器にウェーハを載置したユニットを複数重ねた状態で覆うウェーハ輸送ケースであって、ウェーハ収納容器を載置するための円盤状の載置台と、ドーム状の形態を有するドーム部と、当該ドーム部の開口端から周方向外方に向かって延出する鍔部と、を有し、載置台の上にウェーハ収納容器の全体を覆うように配置される蓋体と、載置台の上に配設されるリング状のガスケットと、鍔部と載置台の外周部を狭持して両者を固定する固定部材とを有するものである。
【０００７】
このように構成した場合には、ウェーハが収納されたウェーハ収納容器を載置台に載置し、蓋体を被せるといった容易な方法で、ウェーハ収納容器をウェーハ輸送ケースの内部に収納することができる。さらに、蓋体の形状は、ドーム形状を有しているため、当該蓋体の形状をウェーハ収納容器の大きさに応じた形状とすることができる。その結果、蓋体が占有する容積を最小にすることができる。それに伴い、ウェーハ輸送ケースをコンパクトにすることができる。また、載置台にガスケットが配設されているため、蓋体を被せると、ウェーハ輸送ケースを密閉することができる。したがって、蓋体を被せるといった容易な手段でウェーハ輸送ケースを密閉することが可能となる。また、載置台に蓋体を被せ、その外側から固定部材を取り付けるといった容易な方法で蓋体を載置台に対して固定できる。したがって、ウェーハ収納容器を容易に収納することができる。
【０００８】
また、他の発明は、上述の発明に加えて更に、載置台および蓋体のうちの少なくとも一方は、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリスチレン、ＡＢＳ樹脂、メタクリル樹脂もしくはＡＳ樹脂から成るものである。
【０００９】
このように構成した場合には、ウェーハ輸送ケースの透明性および耐衝撃性が向上する。また、これらの樹脂にカーボンファイバーや導電性樹脂等を配合することにより、帯電防止性を付与することが可能である。
【００１０】
さらに、他の発明は、上述の発明に加えて更に、ウェーハ収納容器は上方に突出する凸部を有しており、載置台にウェーハ収納容器の凸部と係合するための係合部を設けたものである。
【００１１】
このように構成した場合には、ウェーハ収納容器をウェーハ輸送ケースに対して位置決めすることが可能となる。また、ウェーハ収納容器がウェーハ輸送ケースの内部でガタついたり位置ズレしたりするのを防止できる。
【００１２】
また、他の発明は、上述の発明に加えて更に、載置台の外周部近傍には、ウェーハ収納容器に収納されているウェーハの方向性を表すための目印が設けられているものである。
【００１３】
このように構成した場合には、ウェーハに一定の方向性を持たせて、ウェーハ収納容器をウェーハ輸送ケースから取り出すことが可能となる。
【００１４】
さらに、他の発明は、上述の発明に加えて更に、載置台には、埃や塵を除去するためのフィルタが配設されているものである。
【００１５】
このように構成した場合には、埃や塵等の汚染物質がウェーハ輸送ケース内に侵入するのを防止でき、その結果、ウェーハが汚染されるのを防止できる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によると、大きな容積を占有することなく、かつ容易な手段で密閉可能なウェーハ輸送ケースを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の一実施の形態に係るウェーハ輸送ケース１０について図面を参照しながら説明する。
【００１８】
図１は、本発明の一実施の形態に係るウェーハ輸送ケース１０に収納されるウェーハ収納容器１２の構成を示す斜視図である。なお、以下の説明において、図１〜図３および図５に示す矢示Ｚ１方向を上および矢示Ｚ２方向を下とそれぞれ規定する。
【００１９】
ウェーハ１をウェーハ輸送ケース１０にて輸送する前に、当該ウェーハ１は、ウェーハ収納容器１２に収納される。図１に示すように、ウェーハ収納容器１２は、平面において略リング状の形態を有している。また、ウェーハ収納容器１２は、その外周側に設けられるリング状の円周部１４と、円周部１４の内側に設けられている載置部１６とを有している。ウェーハ収納容器１２の径方向の外寸は、例えば、ウェーハ１の外径を４５０ｍｍとすると、５００〜５５０ｍｍの範囲が好適であるが、ウェーハ収納容器１２に載置されるウェーハ１の外径に対応して適宜変更することができる。
【００２０】
円周部１４は、リング状の平板を周方向に沿って凹凸が交互に４回ずつ繰り返すような形態を有している。具体的には、円周部１４は、上方側に突出する略円弧状の凸部１８と、下方側にくぼむ略円弧状の凹部２０とを有している。円周部１２の径方向の長さは、２０〜３０ｍｍの範囲であるのが好ましいが、この範囲に限定されるものではない。
【００２１】
図１に示すように、ウェーハ収納容器１２は、ウェーハ輸送ケース１０によって運搬される際、ウェーハ１を載置部１６に載置した状態で複数個積み重ねられる。ウェーハ収納容器１２は、凸部１８同士および凹部２０同士が、それぞれ合わせさるように、他のウェーハ収納容器１２の上に積み重ねられる。ウェーハ収納容器１２が積み重ねられた状態では、各ウェーハ収納容器１２の凸部１８同士および凹部２０同士がそれぞれ接するため、ウェーハ収納容器１２同士がずれたり、ガタつくことはない。
【００２２】
図２は、ウェーハ輸送ケース１０の分解斜視図である。
【００２３】
図２に示すように、ウェーハ輸送ケース１０は、ウェーハ１が収納されたウェーハ収納容器１２が載置される載置台２２と、その上に被せられる蓋体２４と、載置台２２と蓋体２４とを固定する固定部材２６と、ガスケット２８と、ウェーハ収納容器１２を上から押さえる押さえ部材３０とから、主に構成されている。
【００２４】
載置台２２は、円盤状の形態を有している。また、載置台２２の外周部近傍からは、円周状に上方に向かって突出する周状突出部３２が設けられている。この周状突出部３２によって、載置台２２は、載置部２２ａと外周部２２ｂとに区分される。載置部２２ａは、積み重ねられたウェーハ収納容器１２が載置される部分である。外周部２２ｂは、後述する蓋体２４における鍔部３７と重なり合う部分である。載置台２２は、ポリカーボネート（ＰＣ）、シクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）、ポリスチレン（ＰＳ）、ＡＢＳ樹脂、メタクリル（ＰＭＭＡ）樹脂もしくはＡＳ樹脂等の樹脂から成る。しかしながら、これらの樹脂に限定することなく、透明性、耐衝撃性もしくは耐帯電性を有する他の樹脂を採用してもよい。
【００２５】
蓋体２４は、円形状の円板部３３と、その外縁から下方に向かって延出する円筒状の周壁部３４とからなるドーム状のドーム部３５と、ドーム部３５の開口端から全周に亘って外方に延出する鍔部３７とを有する。ドーム部３５の内側には中空状の空間部３９が形成されている（図４（Ａ）を参照）。蓋体２４は、ＰＣ、ＣＯＰ、ＰＳ、ＡＢＳ樹脂、ＰＭＭＡ樹脂もしくはＡＳ樹脂等の樹脂から成る。しかしながら、これらの樹脂に限定することなく、透明性、耐衝撃性もしくは耐帯電性を有する他の樹脂を採用してもよい。
【００２６】
固定部材２６は、２つの脚部２６ａ，２６ａを有する断面略コの字状をした円弧状の部材である。また、固定部材２６は、その内側に周方向に沿った円弧状の溝部２６ｂを有する。固定部材２６は、載置台２２に蓋体２４を被せた状態で、その外側から、溝部２６に鍔部３７および外周部２２ｂを嵌め込む形で取り付けられる。本実施の形態では、固定部材２６は合計４個用いられている。しかしながら、固定部材２６の数は、４個に限定されるものではない。ガスケット２８は、リング状の形態を有しており、載置台２２における周状突出部３２の外側に配置される。当該ガスケット２８は、載置台２２に蓋体２４を被せた際に、気密性を持たせるための部材である。ガスケット２８の素材として、例えば、シリコーンゴム、フッ素ゴムもしくは熱可塑性エラストマー等が挙げられる。
【００２７】
押さえ部材３０は、ウェーハ収納容器１２と略同径のリング状の形態を有する部材である。押さえ部材３０は、ウェーハ収納容器１２と蓋体２４との間に配置される。押さえ部材３０をウェーハ収納容器１２と蓋体２４との間に配置することにより、ウェーハ輸送ケース１０に収納されたウェーハ収納容器１２のガタツキや位置ズレを防止できる。押さえ部材３０の素材としては、ポリエチレン（ＰＥ）樹脂、熱可塑性エラストマー（ＴＰＥ）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）樹脂、ＰＣ、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリエーテルサルフォン（ＰＥＳ）若しくはポリエーテルイミド（ＰＥＩ）等のエンジニアリングプラスチックが挙げられる。しかしながら、押さえ部材３０の素材は、これらの素材に限定されるものではない。これらの素材のうち、押さえ部材３０の素材としてＰＥ樹脂、ＴＰＥもしくはＰＢＴを用いるのが好ましい。
【００２８】
次に、ウェーハ輸送ケース１０の組立工程について説明する。
【００２９】
図３は、ウェーハ収納容器１２をウェーハ輸送ケース１０に収納するための工程を説明するための図であり、載置台２２にウェーハ収納容器１２を載置した状態を示す図である。図４は、ウェーハ収納容器１２をウェーハ輸送ケース１０に収納するための工程を説明するための図であり、（Ａ）は、蓋体２４に押さえ部材３０を取り付けた状態を示す図であり、（Ｂ）は、ウェーハ収納容器１２を収納した後のウェーハ輸送ケース１０の斜視図である。
【００３０】
まず、図３に示すように、ガスケット２８を載置台２２における周状突出部３２の外側に取り付ける。そして、積層されたウェーハ収納容器１２を載置部２２ａに載置する。次に、図３および図４（Ａ）に示すように、蓋体２４における円板部３３の裏側に押さえ部材３０を取り付ける。押さえ部材３０の外径と周壁部３４の内径は、略同一の大きさであるため、押さえ部材３０を空間部３９に嵌め込むことによって、押さえ部材３０を蓋体２４の内部に固定することができる。次に、押さえ部材３０が取り付けられた蓋体２４を、ウェーハ収納容器１２が載置された載置台２２の上に被せる。この際、周壁部３４の内周面がガスケット２８の外側になるように、蓋体２４を載置台２２の上に配置させる。この状態では、周壁部３４の内周面とガスケット２８の外周面が密着しているため、空間部３９は、載置台２２と蓋体２４とによって密閉された状態となる。また、蓋体２４を載置台２２の上に配置した状態では、押さえ部材３０は、蓋体２４の円板部３３とウェーハ収納容器１２の両者と接触した状態となる。そのため、押さえ部材３０によって、ウェーハ収納容器１２が下方に向かって押さえられる。また、載置台２２に蓋体２４を被せた状態では、鍔部３７と外周部２２ｂが重なり合う。次に、重なり合った鍔部３７と外周部２２ｂの外側に合計４つの固定部材２６を取り付ける。すると、図４（Ｂ）に示すように、ウェーハ収納容器１２はウェーハ輸送ケース１０の内部に収納される。４つの固定部材２６は、それぞれが周方向に沿って等間隔に取り付けられるのが好ましい。固定部材２６は、溝部２６ｂに重なり合った鍔部３７および外周部２２ｂを嵌め込む形で取り付けられる。すると、脚部２６ａ，２６ａによって鍔部３７および外周部２２ｂは狭持され、蓋体２４は載置台２２に対して固定される。
【００３１】
図５は、ウェーハ収納容器１２をウェーハ輸送ケース１０に収納した状態を説明するための図であり、（Ａ）は、蓋体２４と押さえ部材３０の一部を切断した状態の全体図であり、（Ｂ）は、（Ａ）中の一点鎖線Ａで囲んだ部分の拡大図である。
【００３２】
図５（Ａ）に示すように、固定部材２６を取り付けることにより、蓋体２４は、載置台２２に対して固定される。また、押さえ部材３０は、ウェーハ収納容器１２と円板部３３との間に介在するように配置されている。蓋体２４が載置台２２に固定された状態では、押さえ部材３０は円板部３３から下方に向かう圧力を受ける。押さえ部材３０は、その圧力を利用して、ウェーハ収納容器１２を押さえつけている。図５（Ｂ）に示すように、押さえ部材３０は、リング形状であり、かつ平板状の周板部４０と、周板部４０の外周から全周に亘って略鉛直下方に向かって延出する外周部４２と、周板部４０の内周から全周に亘って略内側斜め上方に向かって延出する上周部４４と、周板部４０の内周から全周に亘って略内側斜め下方に向かって延出する下周部４６とから構成されている。
【００３３】
図５（Ｂ）に示すように、押さえ部材３０は、積み重ねられたウェーハ収納容器１２において最も上方に配置されるウェーハ収納容器１２の円周部１４を覆うように配置されている。押さえ部３０が配置された状態では、当該押さえ部３０は、凸部１８と接している。具体的には、押さえ部３０における外周部４２および下周部４６が凸部１８と接している。また、押さえ部３０は、円板部３３の内側面３３ａとも接している。具体的には、上周部４４および周板部４０と外周部４２とが交わる頂部４８が内側面３３ａと接している。押さえ部材３０が円板部３３から下方に向かって圧力を受けると、上周部４４が下方に向かって撓むと共に、頂部４８はその力を受け止める。上周部４４が撓むことによって下周部４６に力が伝達される。そして、下周部４６は上周部４４から伝達された力により、凸部１８をその接点において押さえつける。頂部４８によって受け止められた力は、外周部４２に伝達され、当該外周部４２が凸部１８をその接点において押さえつける。すなわち、押さえ部材３０は、外周部４２と下周部４６とにより凸部１８をその外周側と内周側の両側から押さえつけている。したがって、ウェーハ収納容器１２がガタついたり、位置ズレしたりすることがなくなる。
【００３４】
以上のように構成されたウェーハ輸送ケース１０では、ウェーハ１が収納されたウェーハ収納容器１２を載置台２２に載置し、蓋体２４を被せるといった容易な方法で、ウェーハ収納容器１２をウェーハ輸送ケース１０の内部に収納することができる。さらに、蓋体２４の形状は、ドーム形状を有しているため、当該蓋体２４の形状をウェーハ収納容器１２の大きさに応じた形状とすることができる。その結果、蓋体２４が占有する容積を最小にすることができる。それに伴い、ウェーハ輸送ケース１０をコンパクトにすることができる。また、載置台２２にガスケット２８が配設されているため、蓋体２４を被せた状態では、ウェーハ輸送ケース１０を密閉することができる。したがって、蓋体２４を被せるといった容易な手段でウェーハ輸送ケース１０を密閉することが可能となる。また、載置台２２に蓋体２４を被せ、その外側から固定部材２６を取り付けるといった容易な方法で蓋体２４を載置台２２に対して固定できる。したがって、ウェーハ収納容器１２を容易に収納することができる。
【００３５】
また、ウェーハ輸送ケース１０では、ウェーハ収納容器１２と蓋体２４との間には、押さえ部材３０が配置されている。したがって、ウェーハ収納容器１２がガタついたり、位置ズレしたりすることを防止できる。また、押さえ部材３０は、上周部４４が撓むことによって下周部４６に力が伝達される構成となっている。したがって、ウェーハ収納容器１２を弾性的に保持することが可能となり、適度な力でウェーハ収納容器１２を保持することが可能となる。また、押さえ部材３０は、外周部４２と下周部４６とによりウェーハ収納容器１２をその外周側と内周側の両側から押さえつけて保持している。したがって、ウェーハ収納容器１２のガタつきや位置ズレをより効果的に防止することが可能となる。また、押さえ部材３０の素材をＰＥ樹脂やＴＰＥ等の樹脂とすることで、押さえ部材３０に弾性を付与することが可能となる。
【００３６】
また、ウェーハ輸送ケース１０における載置台２２および蓋体２４は、ＰＣ、ＣＯＰ、ＰＳ、ＡＢＳ樹脂、ＰＭＭＡ樹脂もしくはＡＳ樹脂等の樹脂から成る。このため、ウェーハ輸送ケース１０の透明性および耐衝撃性が向上する。また、これらの樹脂にカーボンファイバーや導電性樹脂等を配合することにより、帯電防止性を付与することが可能である。
【００３７】
また、ウェーハ輸送ケース１０では、蓋体２４のドーム部３５の高さを調節することによって、ウェーハ輸送ケース１０に収納されるウェーハ１の数（積み重ねられるウェーハ収納容器１２の数）が変更された場合にも適応できる。具体的には、予め複数種の高さが異なる蓋体２４を用意しておけばウェーハ１の枚数の変更にも容易に適応することが可能となる。例えば、図６（Ａ），（Ｂ）に示すように、積み重ねられるウェーハ収納容器１２の数が少ない場合、蓋体２４のドーム部３５の高さを低くすることで、ウェーハ収納容器１２を適切に収納することができる。
【００３８】
以上、本発明の一実施の形態について説明したが、本発明は上述の形態に限定されることなく、種々変形した形態にて実施可能である。
【００３９】
上述の実施の形態では、ウェーハ輸送ケース１０には、フィルタを配設していないが、図７（Ａ），（Ｂ）に示すように、載置台２２の略中央に円形の円孔５０を設け、当該円孔５０に円形状のフィルタ５１を取り付けるようにしても良い。フィルタ５１としては、一般的な高性能エアフィルタの他、アニオンフィルタ、カチオンフィルタまたは活性炭フィルタ等を採用することができるが、これらの種類のフィルタに限定されるものではない。フィルタ５１を配設することによって、埃や塵等の汚染物質がウェーハ輸送ケース１０内に侵入するのを防止できる。その結果、ウェーハ１が汚染物質によって汚染されるのを防止できる。また、フィルタ５１の形状は円形に限定することなく、他の形状としても良い。また、フィルタ５１の取り付け位置も載置台２２の略中央に限定されるものではなく、ウェーハ輸送ケース１０中の他の位置としても良い。
【００４０】
また、上述の実施の形態では、載置台２２には、係合部となるリブが設けられていないが、図８に示すように、載置部２２ａの外周部近傍に、ウェーハ収納容器１２における凸部１８の裏側に形成される空間部５５に対応したリブ５３を設けるようにしても良い。このような構成とすることで、凸部１８の裏側に形成される空間部５５にリブ５３が嵌まり込み、ウェーハ収納容器１２を載置台２２に対して位置決めすることが可能となる。また、ウェーハ収納容器１２のガタツキや位置ズレも防止できる。また、リブ５３の数は、１つに限定されるものではなく、凸部１８と対応するように、２つ以上４つ以下の範囲内で設けるようにしても良い。
【００４１】
また、上述の実施の形態では、載置台２２には、ウェーハ１の方向性を表すための目印となるノッチが設けられていないが、図８に示すように、外周部２２ａにノッチ５６を設けるようにしても良い。このような構成とすることで、ウェーハ１に一定の方向性を持たせて、ウェーハ収納容器１２を収納することが可能となる。したがって、装置等によって、ウェーハ輸送ケース１０からウェーハ収納容器１２を取り出す際も、ウェーハ１に方向性を持たせながら取り出すことができ、作業効率が向上する。また、目印として、ノッチ５６の代わりに、タブを設けたり、印刷するようにしても良い。
【００４２】
また、上述の実施の形態では、蓋体２４には押さえ部材３０を固定するための手段が設けられていないが、図９に示すように、円板部３３から全周に亘って、または周方向沿った一部分に、下方に向かって略Ｌ字状に延出する係合手段５８を設けるようにしても良い。このような構成を採用することにより、上周部４４が係合手段５８と係合し、固定部材２６を蓋体２４に対して確実に固定することができる。
【００４３】
また、上述の実施の形態では、載置台２２および蓋体２４の双方がＰＣ、ＣＯＰ、ＰＳ、ＡＢＳ樹脂、ＰＭＭＡ樹脂もしくはＡＳ樹脂等の樹脂から構成されているが、載置台２２および蓋体２４のどちらか一方を上記樹脂以外の他の樹脂から構成するようにしても良い。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明のウェーハ輸送容器は、ウェーハを輸送するための輸送ケースを製造あるいは使用する産業において利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の一実施の形態に係るウェーハ輸送ケースに収納されるウェーハ収納容器の構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の一実施の形態に係るウェーハ輸送ケースの分解斜視図である。
【図３】ウェーハ収納容器をウェーハ輸送ケースに収納するための工程を説明するための図であり、載置台にウェーハ収納容器を載置した状態を示す図である。
【図４】ウェーハ収納容器をウェーハ輸送ケースに収納するための工程を説明するための図であり、（Ａ）は、蓋体に押さえ部材を取り付けた状態を示す図であり、（Ｂ）は、ウェーハ収納容器を収納した後のウェーハ輸送ケースの斜視図である。
【図５】ウェーハ収納容器をウェーハ輸送ケースに収納した状態を説明するための図であり、（Ａ）は、蓋体と押さえ部材の一部を切断した状態の全体図であり、（Ｂ）は、（Ａ）中の一点鎖線Ａで囲んだ部分の拡大図である。
【図６】収納されるウェーハの数を変更した場合のウェーハ輸送ケースの構成を説明するための図であり、（Ａ）は、収納前の状態を示す図であり、（Ｂ）は、収納後の状態を示す図である。
【図７】本発明の変形例を示す図であり、載置台にフィルタを設けた場合のウェーハ輸送ケースの構成を示す図である。
【図８】本発明の変形例を示す図であり、載置台にリブおよびノッチを設けた場合のウェーハ輸送ケースの構成を示す図である。
【図９】本発明の変形例を示す図であり、蓋体に係合手段を設けた場合のウェーハ輸送ケースの構成を説明するための図である。
【符号の説明】
【００４６】
１…ウェーハ
１０…ウェーハ輸送ケース
１２…ウェーハ収納容器
１８…凸部
２０…凹部
２２…載置台
２４…蓋体
２６…固定部材
２８…ガスケット
３０…押さえ部材
３５…ドーム部
３７…鍔部
５１…フィルタ
５３…リブ（係合部）
５６…ノッチ（目印）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2008141131.tif 000008
【図７】
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【図８】
2008141131.tif 000010
【図９】
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