(57)【要約】      （修正有）【課題】クリーンルーム内の搬送システムにおいて、走行駆動ユニットの軽量化、コストダウン、コンパクト化が図れる走行台車を提供する。【解決手段】モータ１と、このモータ１の出力軸１ａに同軸直結される減速機２と、この減速機２の出力軸２ａに同軸直結される車輪３とからなる走行駆動ユニット５を備える。そして、モータ１の出力軸１ａと減速機２とを車輪３内に収納し、また、モータ１を走行駆動ユニット５を装着する走行台車１０のフレーム７内側に配置する。【選択図】図１
2008074225.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
モータと、このモータの出力軸に同軸直結される減速機と、この減速機の出力軸に同軸直結される車輪とからなる走行駆動ユニットを備えた走行台車。
【請求項２】
モータの出力軸と、減速機とが車輪内に収容されている請求項１記載の走行台車。
【請求項３】
モータを、走行駆動ユニットを装着する走行台車のフレーム内側に配置した請求項１または２記載の走行台車。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワーク（「搬送対象物」をいう。）を搬送する搬送システムなどに用いられ、ワークを直接、あるいは、移載装置や、この移載装置を昇降させる昇降装置を介して直線移動させるための走行台車に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体基板や液晶表示板などを製造する工場においては、その素材となる平板状素材（半導体ウエハや、ガラス板）や、その平板状素材を収容したトレイなどの搬送対象物であるワークをクリーンルーム内で搬送する搬送システムが必須のものであり、その搬送システムにおいて、主に地上あるいはフロア上に敷設された走行路を走行し、ワークを直線移動させるために走行台車が用いられている。
【０００３】
この走行台車の一例における走行駆動ユニット、つまり、走行路上を走行する車輪とこれを駆動する部分を図３に示すが、図３（ａ）はその平面図、（ｂ）はその一部破断の側面図である。
【０００４】
この走行台車３０は、モータ２１と、このモータ２１の回転駆動力を受ける減速機２２と、減速機２２の出力側から回転駆動力を受ける車輪２３と、車輪２３の車軸２３ａを支える軸受２３ｂと、軸受２３ｂを内部に設置した走行台車フレーム２７とを備えている。
【０００５】
減速機２２は、走行台車フレーム２７に設置された取付板２４により、車輪２３の車軸２３ａに、減速機２２の出力が同軸上で与えられるように支えられている。この取付板２４は、減速機２２だけでなくモータ２１の重量をも支えるもので、頑丈なものとなっている。
【０００６】
走行駆動ユニット２５は、上記モータ２１と、減速機２２と、車輪２３と、取付板２４となどで構成されている。車輪２３は、フロア上に敷設された走行路２８上を走行する。
このような構成により、走行台車３０は、走行台車フレーム２７上に直接ワークを載置し、あるいは、移載装置や、この移載装置を昇降させる昇降装置を介してワークを載置して、走行路２８上を直線移動する。
【０００７】
しかしながら、この走行駆動ユニット２５は、モータ２１と減速機２２とが車輪２３から外側に大きく張り出す構成、つまり、走行台車３０の外側にはみ出す構造となっており、走行障害の点から、このはみ出しをなくすことが求められていた。
また、このようなモータ２１、減速機２２に加え、頑丈な取付板２４とを合わせると、走行駆動ユニット２５全体の重量や費用もかなりのものとなっており、その低減も求められていた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本願発明は、上記問題を解決しようとするものであり、走行駆動ユニットの軽量化、コストダウン、コンパクト化が図れる走行台車を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１記載の走行台車は、モータと、このモータの出力軸に同軸直結される減速機と、この減速機の出力軸に同軸直結される車輪とからなる走行駆動ユニットを備えたことを特徴とする。
【００１０】
請求項２記載の走行台車は、請求項１に従属し、モータの出力軸と、減速機とが車輪内に収容されていることを特徴とする。
【００１１】
請求項３記載の走行台車は、請求項１または２に従属し、モータを、走行駆動ユニットを装着する走行台車のフレーム内側に配置したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
請求項１記載の走行台車によれば、モータと、このモータの出力軸に同軸直結される減速機と、この減速機の出力軸に同軸直結される車輪とからなる走行駆動ユニットを備えたので、直結されない場合に必要な取付板、芯合わせなどが不要となり、軽量化を図ることができる。
【００１３】
請求項２記載の走行台車によれば、請求項１の効果に加え、モータの出力軸と、減速機とが車輪内に収容されているので、軸方向の長さが短縮され、ユニットがコンパクトになる。
【００１４】
請求項３記載の走行台車によれば、請求項１または２の効果に加え、モータを、走行駆動ユニットを装着する走行台車のフレーム内側に配置したので、モータが走行台車の外側へ出っ張るのを回避することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下に、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。
図１は、本発明の走行台車の一例における走行駆動ユニットの部分を示す部分断面図である。
【００１６】
この走行台車１０は、例えば、半導体基板や液晶表示板などを製造する工場において、その平板状素材（半導体ウエハや、ガラス板）にクリーンルーム内で種々の加工処理を施すために、その平板状素材を一枚ずつ収容したトレイを搬送対象物であるワークとして、一個あるいは複数段積みした状態で搬送する際に用いられるものである。
【００１７】
なお、ここでは、走行台車が用いられる例として、クリーンルーム内で平板状素材を収容したトレイを搬送する場合を示すが、本発明の走行台車は、これに限定されるものではなく、一般に、搬送対象物を地上またはフロア上に敷設された走行路上を、あるいは、平坦面上を直線移動させる場合に用いることができるものである。
【００１８】
走行台車１０は、その構造的な本体部分となる走行台車フレーム７に、モータ１と、このモータ１の出力軸１ａに同軸直結される減速機２と、この減速機２の出力軸２ａに同軸直結される車輪３とからなる走行駆動ユニット５を備えている。
【００１９】
減速機２は、全体形状としては円盤状であり、その円盤状の一方側（モータ１の出力軸１ａ側）が入力側であり、他方側が出力側であって、この出力側としての出力軸２ａと、この入力側の円筒状の入力側外殻２ｂと、この入力側外殻２ｂに固定されたフタ２ｃと、このフタ２ｃに固定され、モータ１の出力軸１ａから回転駆動力を受け、それを所定比で減速して出力軸２ａに伝達する減速機構２ｄとを備えている。
【００２０】
入力側外殻２ｂが走行台車フレーム７に固定され、フタ２ｃに固定された減速機構２ｄで、モータ１の固定側が固定されるとともに、出力軸１ａからの回転駆動力が受けられ、その回転駆動力は、所定比で減速されて出力軸２ａに出力されている。この減速機構２ｄは公知、公用のものであり、その具体的な構成の詳細は省略する。
【００２１】
入力側外殻２ｂは、その外側一方部分が走行台車フレーム７に固定され、その円筒状内部に減速機構２ｄを収容する形状となっており、この減速機構２ｄでモータ１を支持すると共に、このモータ１の出力軸１ａを減速機構２ｄに同軸直結させている。
【００２２】
したがって、図３に示す背景技術の走行駆動ユニット２５では必要であった、頑丈で重量、コストの掛かる取付板２４が不要になると共に、この取付板２４の際には必要であったモータの出力軸と減速機の入力軸との芯合わせが不要になっており、組立工数も減少して、コストダウンとなっている。
【００２３】
車輪３は、走行路に接する部分である外輪部３ａと、この外輪部３ａをその外周部分に設けた片方開口の円筒状の車輪本体部３ｂとを備えている。車輪本体部３ｂの閉止円盤部分の内側が、減速機２の出力軸２ａに嵌め込まれ、同軸直結された状態で、車輪３がこの出力軸２ａに固定されている。
【００２４】
車輪３の内周部分と、減速機２の入力側外殻２ｂ及びフタ２ｃの外周部分との間には、相互の同心を維持しながら、車輪３を減速機２に対して回転させる軸受４が嵌め込まれている。
この構造により、車輪３は、走行台車フレーム７に固定された減速機２の入力側外殻２ｂに回転支持されて、円滑に回転する。
【００２５】
回転駆動力は、減速機２の減速機構２ｄの固定側に固定されたモータ１から、このモータ１の出力軸１ａ、減速機構２ｄ、減速機２の出力軸２ａ、車輪３の車輪本体部３ｂ、外輪部３ａと伝達され、車輪３が回転する。
【００２６】
この車輪３は、上記の構成に加え、車輪本体部３ｂが、すっぽりモータ１の出力軸１ａ及び減速機２を収納することとなっており、結果、この車輪本体部３ｂは、外輪部３ａの車輪幅より余り飛び出していない（具体的には、外輪部３ａの車輪幅の１割強程度しか出っ張っていない。）ので、背景技術に比べて、非常に省スペース、コンパクトになっている。
【００２７】
また、この図１から解るように、走行駆動ユニット５のモータ１は、走行台車フレーム７の内側に配置されており、フレーム７の外側（この部分に、通常、走行上の障害物などが存在し得る。）には出っ張っていないので、この点でもコンパクトであり、安全性が向上している。
【００２８】
なお、減速機は、この例に示したような入力側と出力側とが同軸ではあるが、車輪３の幅内に収容されるようなコンパクトなものではなく、例えば、出力側あるいは入力側がより飛び出しているようなものであってもよく、その場合には、その飛び出し分を、走行台車フレーム７の内側方向へ向けるようにすればよい。
【００２９】
図２は、図１の走行駆動ユニットを備えた走行台車を示す外観斜視図である。これより既に説明した部分には、同じ符号を付して重複説明を省略する。
【００３０】
この図２に示す走行台車１０は、走行路８上を走行して、その走行台車１０上に、昇降装置１１、上部フレーム１２、昇降台１３及び移載装置１４を設置して、この移載装置１４の上に、ワークを載置して、ワークを搬送する搬送システム２０の一部を成すものである。
【００３１】
昇降装置１１は、走行台車１０の上に、走行方向の前後端に一対立設され、その内部に昇降駆動手段（不図示）を設けて、これにより一対の昇降装置１１間に架け渡されるように設置された昇降台１３を昇降させるものである。
上部フレーム１２は、一対の昇降装置１１の天頂部分を連結して、走行台車１０、一対の昇降装置１１、上部フレーム１２で構成される強固な構造体を構成している。
【００３２】
移載装置１４は、いわゆるスカラーアームと称されるアーム部分と、このアーム部分を直線状にスライドさせるスライド部分と、このスライド部分を回転させる回転部分とを備え、この回転部分が、昇降台１３に載置されている。
【００３３】
ワークは、移載装置１４の最上段のアームの上に載置されて、移載装置１４のアーム部分により前進後退（矢印Ｐ１）され、スライド部分により前進後退（矢印Ｐ２）され、回転部分により回転（矢印Ｐ３）される。
【００３４】
また、ワークは、移載装置１４に載置された状態で、この移載装置１４を載せた昇降台１３により上下昇降（矢印Ｐ４）され、また、昇降台１３を昇降させる昇降装置１１を載せた走行台車１０の走行により直線状に移動（矢印Ｐ５）される。
【００３５】
移載装置１４は、その待機位置では、ワーク載せたままで、昇降台１３上で、図のアーム先端の向きから、１８０度反対向きまで回転することができる。
【００３６】
したがって、この搬送システム２０によれば、この走行路８の両側の異なる位置の異なる高さのＡ地点からＢ地点まで、ワークを搬送することができ、その場合に、本発明の走行台車１０は、走行路８に沿った直線移動を受け持ちながら、軽量化、コストダウン、コンパクト化を達成するもので、その効果は、搬送システム２０にも及ぶものである。
【００３７】
また、走行台車１０は、その車輪３から走行路８の走行方向に直交する方向への出っ張りがほとんど無いので、走行の安全性も高いし、走行路８により近い位置に、ワークの載置場所を選定することができる。
【００３８】
以上、実施態様において本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示にすぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術、つまり、本願特許発明の技術的範囲には、各所に適宜記載しているように、以上に例示した実施態様を様々に変形、変更したもの、または、それらの組み合わせが含まれる。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
本発明の走行台車は、ワークを載置して直線移動させ、その際、走行駆動ユニットの軽量化、コストダウン、コンパクト化が要請される産業分野に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の走行台車の一例における走行駆動ユニットの部分を示す部分断面図
【図２】図１の走行駆動ユニットを備えた走行台車を示す外観斜視図
【図３】背景技術である走行台車の走行駆動ユニットの部分を示すもので、（ａ）はその平面図、（ｂ）はその一部破断の側面図
【符号の説明】
【００４１】
１        モータ
１ａ      出力軸
２        減速機
２ａ      出力軸
２ｂ      入力側外殻
２ｃ      フタ
３        車輪
４        軸受
５        走行駆動ユニット
７        走行台車フレーム
８        走行路
１０        走行台車
２０        搬送システム
【図１】
2008074225.tif 000003
【図２】
2008074225.tif 000004
【図３】
2008074225.tif 000005