(57)【要約】【課題】搬送の都度にジョイント機構の着脱を行うことを必要とせず、基板をスムーズに搬送する。【解決手段】隣接して配置された２以上の搬送ステージ４Ａ，４Ｂを備え、基板Ａを水平状態に維持しつつ搬送する基板搬送システム１であって、搬送ステージ４Ａ，４Ｂの少なくとも１つに、該搬送ステージ４Ａの高さを調節するレベル調節機構７が備えられるとともに、該レベル調節機構７により搬送ステージ４Ａを下降させた位置で該搬送ステージ４Ａの下面を突き当てる突当部材８が設けられ、該突当部材８は、該突当部材８に下面を突き当てた状態の搬送ステージ４Ａによる基板の搬送高さが、隣接する他の搬送ステージ４Ｂによる基板Ａの搬送高さと略一致する位置に配置されている基板搬送システム１を提供する。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
隣接して配置された２以上の搬送ステージを備え、基板を水平状態に維持しつつ搬送する基板搬送システムであって、
前記搬送ステージの少なくとも１つに、該搬送ステージの高さを調節するレベル調節機構が備えられるとともに、該レベル調節機構により搬送ステージを下降させた位置で該搬送ステージの下面を突き当てる突当部材が設けられ、
該突当部材は、該突当部材に下面を突き当てた状態の搬送ステージによる基板の搬送高さが、隣接する他の搬送ステージによる基板の搬送高さと略一致する位置に配置されている基板搬送システム。
【請求項２】
前記レベル調節機構が、空気圧により搬送ステージの高さを調節する請求項１に記載の基板搬送システム。
【請求項３】
前記レベル調節機構が、除振装置を構成している請求項１または請求項２に記載の基板搬送システム。
【請求項４】
前記搬送ステージの搬送方向の端部に、基板の下面に接触して支持するローラが備えられている請求項１に記載の基板搬送システム。
【請求項５】
前記レベル調節機構が設けられた搬送ステージが、基板を検査する基板検査装置に備えられている請求項１に記載の基板搬送システム。
【請求項６】
前記搬送ステージによる隣接する搬送ステージに対し基板の搬送が行われる際に、該搬送ステージの下面が前記突当部材に突き当たるまで前記搬送ステージを下降させるよう前記レベル調節機構を制御する制御装置を備える請求項１に記載の基板搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板のようなシート状の基板を搬送する基板搬送システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ガラス基板の搬送装置として、例えば、特許文献１に開示されている浮上搬送装置がある。
この浮上搬送装置は、ステージ表面上に多数のエアー吹き出し孔を備える複数の浮上エアーステージと、各浮上エアーステージの両端に配置された吸着搬送部とを備えている。浮上エアーステージによりガラス基板を浮上させた状態で、吸着搬送部により吸着保持して搬送方向に移動させることでガラス基板が、順次、次の浮上エアーステージに送られ搬送されていくようになっている。
【０００３】
この場合において、各浮上エアーステージの高さのばらつきや、振動を抑えるための除振台による上下動によって、隣接する浮上エアーステージの表面に高低差が生ずるのを防止するために、隣接する２つの浮上エアーステージの間に相互に嵌合する凹部と凸部とからなるジョイント機構を備えている。ガラス基板が、浮上エアーステージを越えて搬送される際にジョイント機構が連結されることにより、浮上エアーステージ間の高低差を低減し、ガラス基板をスムーズに搬送することができる。
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−３３１３１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示されている浮上搬送装置では、ガラス基板が１つの浮上エアーステージ上に配置されているとき、各浮上エアーステージに備えられた除振台を機能させるために、ジョイント機構による連結を解除する必要がある。したがって、特許文献１の浮上搬送装置では、浮上エアーステージを越えてガラス基板を搬送する都度に、ジョイント機構の連結および解除を繰り返さなければならないという不都合がある。
【０００６】
本発明は上述した事情に鑑みてなされたものであって、搬送の都度にジョイント機構の着脱を行うことを必要とせず、基板をスムーズに搬送することができる基板搬送システムを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明は以下の手段を提供する。
本発明は、隣接して配置された２以上の搬送ステージを備え、基板を水平状態に維持しつつ搬送する基板搬送システムであって、前記搬送ステージの少なくとも１つに、該搬送ステージの高さを調節するレベル調節機構が備えられるとともに、該レベル調節機構により搬送ステージを下降させた位置で該搬送ステージの下面を突き当てる突当部材が設けられ、該突当部材は、該突当部材に下面を突き当てた状態の搬送ステージによる基板の搬送高さが、隣接する他の搬送ステージによる基板の搬送高さと略一致する位置に配置されている基板搬送システムを提供する。
【０００８】
本発明によれば、搬送ステージの作動によりシート状の基板が水平状態に維持されつつ搬送方向に移動させられる。少なくとも１つの搬送ステージにはレベル調節機構が備えられているので、該レベル調節機構の作動により搬送ステージの高さが調節される。その結果、高さが調節された搬送ステージは、隣接する搬送ステージに対して基板の搬送高さが異なるようになる。
【０００９】
基板が搬送ステージ間にわたって搬送されるときには、レベル調節機構により搬送ステージの下面が突当部材に突き当たるまで、搬送ステージを下降させる。この位置で、隣接する搬送ステージによる基板の搬送高さが略一致するので、基板の水平状態を維持したまま、搬送ステージ間で基板をスムーズに搬送することが可能となる。
【００１０】
上記発明においては、前記レベル調節機構が、空気圧により搬送ステージの高さを調節することとしてもよい。空気圧式のレベル調節機構を採用することにより、空気圧を調節して簡易に搬送ステージの高さを調節し、かつ、空気圧を低下させて、搬送ステージを簡易に下降させることができる。
【００１１】
また、上記発明においては、前記レベル調節機構が、除振装置を構成していることとしてもよい。
このようにすることで、レベル調節機構の作動により、外部からの振動が搬送ステージ上の基板に伝達されることを防止することができる。
【００１２】
また、上記発明においては、前記搬送ステージの搬送方向の端部に、基板の下面に接触して支持するローラが備えられていることとしてもよい。
このようにすることで、隣接する搬送ステージ間にわたって基板が搬送される際に、基板の下面がローラにより支持されるので、搬送ステージ間の間隔を広くあけても、基板をスムーズに搬送することが可能となる。
【００１３】
前記レベル調節機構が設けられた搬送ステージが、基板を検査する基板検査装置に備えられていることとしてもよい。
このようにすることで、レベル調節機構の作動により搬送ステージ上において搬送される基板の高さが一定に調節され、あるいは、外部からの振動が基板に伝達されることが防止されるので、基板検査装置による基板の検査を精度よく行うことができる。
【００１４】
また、上記発明においては、前記搬送ステージによる隣接する搬送ステージに対し基板の搬送が行われる際に、該搬送ステージの下面が前記突当部材に突き当たるまで前記搬送ステージを下降させるよう前記レベル調節機構を制御する制御装置を備えることとしてもよい。
このようにすることで、制御装置の作動により、レベル調節機構が制御され、搬送ステージが下降させられてその下面が突当部材に突き当てられるので、隣接する搬送ステージ間の高低差がなくなり、基板をスムーズに搬送することができる。
【発明の効果】
【００１５】
搬送の都度にジョイント機構の着脱を行うことを必要とせず、基板をスムーズに搬送することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明の第１の実施形態に係る基板搬送システム１について、図１〜図３を参照して以下に説明する。
本実施形態に係る基板搬送システム１は、図１に示されるように、基板Ａの搬送方向Ｂに沿って隣接配置された２つの搬送装置２Ａ，２Ｂと、これら搬送装置２Ａ，２Ｂの駆動を制御する制御装置３とを備えている。
【００１７】
各搬送装置２Ａ，２Ｂには、可撓性のあるシート状の基板Ａ、例えば、ウェハやＦＰＤガラス基板を浮上させて搬送する浮上ステージ（搬送ステージ）４Ａ，４Ｂと、該浮上ステージ４Ａ，４Ｂにより浮上させられた状態の基板Ａを把持して搬送方向に移動させる送り機構５Ａ，５Ｂとがそれぞれ設けられている。
【００１８】
一方の搬送装置２Ａは、例えば、基板検査装置６に備えられている。基板検査装置６は、図示しない検査ユニットを備え、該検査ユニットにより、送られてきた基板Ａを検査するようになっている。この基板検査装置６に備えられた搬送装置２Ａは、検査時における外部からの振動を抑制するために、空気圧により基板の高さ位置を調節する空気バネ式の除振装置（レベル調節機構）７と、該除振装置７により浮上ステージ４Ａが下降させられたときに、該浮上ステージ４Ａの下面を突き当ててこれを支持する突当部材８とを備えている。浮上ステージ４Ａの下面が突当部材８に突き当たる位置まで下降させられた状態で、２つの搬送装置２Ａ，２Ｂの浮上ステージ４Ａ，４Ｂは同一高さに設定されるようになっている。搬送装置２Ａ，２Ｂは突当部材８を複数備えていてもよい。
【００１９】
各浮上ステージ４Ａ，４Ｂは、図２に示されるように、基板Ａを載置する載置面に設けられた複数の空気孔９から空気を吐出させることにより、基板Ａを平坦な状態に維持しつつ浮上させることができるようになっている。
送り機構５Ａ，５Ｂは、例えば、搬送方向に沿って設けられたレール１０Ａ，１０Ｂ上を移動可能なスライダ１１Ａ，１１Ｂと、該スライダ１１Ａ，１１Ｂに搭載され、前記基板Ａの端部を把持あるいは解放することにより着脱する着脱機構１２Ａ，１２Ｂとを備えている。ここでは、着脱機構１２Ａ，１２Ｂは、例えば、基板Ａを吸着して把持するようになっている。
【００２０】
浮上ステージ４Ａ，４Ｂ上に浮上状態に維持された基板Ａの端部を着脱機構１２Ａ，１２Ｂによって把持し、スライダ１１Ａ，１１Ｂをレール１０Ａ，１０Ｂ上に搬送方向Ｂに沿って移動させることで、基板Ａを平坦な状態に維持したまま搬送方向Ｂに搬送することができるようになっている。
【００２１】
前記除振装置７は、浮上ステージ４Ａを支持する複数の空気バネ１３と、該空気バネ１３に供給する空気圧を発生するコンプレッサ１４と、該コンプレッサ１４により発生された圧縮空気を蓄積するタンク１５と、該タンク１５とコンプレッサ１４との間に配置されたレギュレータ１６と、前記タンク１５と空気バネ１３との間に配置される三方弁１７とを備えている。三方弁の第１ポート１７ａは空気バネ１３に接続され、第２ポート１７ｂがタンク１５に接続され、第３ポート１７ｃが開放されている。
【００２２】
前記制御装置３は、前記搬送装置２Ａ，２Ｂの送り機構５Ａ，５Ｂを制御して、浮上ステージ４Ａ，４Ｂにより水平状態に浮上させられた状態の基板Ａを搬送方向Ｂに移動させるようになっている。また、制御装置３は、前記送り機構５Ａにより、浮上ステージ４Ａ上の基板Ａが隣接する浮上ステージ４Ｂまで搬送される際には、前記除振装置７の三方弁１７を制御して、空気バネ１３内の圧縮空気を放出させ、浮上ステージ４Ａをその下面が突当部材８に突き当たる位置まで下降させるようになっている。
【００２３】
このように構成された本実施形態に係る基板搬送システム１の作用について以下に説明する。
本実施形態に係る基板搬送システム１により、ウェハやＦＰＤ用ガラス基板のような可撓性のあるシート状の基板Ａを搬送する場合において、基板Ａが各搬送装置２Ａ，２Ｂ内において搬送されるときには、各浮上ステージ４Ａ，４Ｂにおける空気孔９から吐出させた空気により基板Ａを水平状態に維持しつつ浮上させる。そして、浮上した基板Ａの端部を送り機構５Ａ，５Ｂの着脱機構１２Ａ，１２Ｂによって吸着し、送り機構５Ａ，５Ｂのスライダを１１Ａ，１１Ｂレール１０Ａ，１０Ｂに沿って移動させることにより、基板Ａを搬送方向Ｂに移動させることができる。
【００２４】
基板Ａが基板検査装置６に備えられた搬送装置２Ａに搭載されているときには、図１に示されるように、制御装置３の作動により、除振装置７が作動させられた状態で基板Ａの検査が行われる。すなわち、制御装置３は、除振装置７の三方弁１７に対し、第１のポート１７ａと第２のポート１７ｂとを連通させ、第３のポート１７ｃを閉止するように指令を出力する。
【００２５】
これにより、コンプレッサ１４からの圧縮空気がレギュレータ１６で除振に最適な圧力に調整された後、タンク１５および三方弁１７を介して空気バネ１３に導入され、空気バネ１３を加圧して、浮上ステージ４Ａを上昇させる。これにより、外部から伝達される振動が空気バネ１３の作動により、浮上ステージ４Ａ上の基板Ａに伝達されないように遮断される。
したがって、基板検査装置６における検査時に基板Ａが振動しないように除振されるので、振動による検査精度の低下を防止して、高い精度で精密な検査を行うことができる。
【００２６】
次いで、基板検査装置６における検査が終了し、基板Ａが次工程の搬送装置２Ｂに向けて搬送される場合には、制御装置３は、除振装置７の三方弁１７に対し、第２のポート１７ｂと第３のポート１７ｃとを連通させ、第１のポート１７ａを閉止するように指令を出力する。
これにより、空気バネ１３内の圧縮空気が三方弁１７を介して第３のポート１７ｃから外部に排気され、空気バネ１３が減圧されて、浮上ステージ４Ａが下降し、その下面が突当部材８に突き当たって停止する。
【００２７】
制御装置３は、図３に示されるように、搬送装置２Ａの送り機構５Ａを作動させて、搬送装置２Ａ．２Ｂ間で基板Ａを受け渡して、次工程の搬送装置２Ｂに移送する。このとき、浮上ステージ４Ａの上面は、隣接する搬送装置２Ｂの浮上ステージ４Ｂの上面と同一高さに設定されるので、基板Ａは搬送装置２Ａ，２Ｂ間の隙間を越えてスムーズに次工程に搬送されていくことになる。
【００２８】
このように、本実施形態に係る基板搬送システム１によれば、基盤検査装置６における検査時には、空気バネ１３により除振しながら基板Ａの検査を精度よく行うことができ、搬送装置２Ａ，２Ｂ間で基板Ａを受け渡すときには、空気バネ１３から圧縮空気を排気するだけで、浮上ステージ４Ａ，４Ｂの高さを一致させてスムーズな受け渡しを行うことができる。
【００２９】
なお、本実施形態においては、２つの搬送装置２Ａ，２Ｂ間における受け渡しについて説明したが、これに限定されるものではなく、３以上の搬送装置２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄ間の受け渡しにおいても同様に実施することができる。この場合に、１つの搬送装置２Ａに除振装置７が設けられている場合に限定されるものではなく、２以上の搬送装置２Ａ〜２Ｄに除振装置７が設けられている場合においても同様にして、浮上ステージ４Ａ，４Ｂを下降させて基板Ａの受け渡しを行うことができる。
【００３０】
また、図４に示されるように、搬送装置２Ａ，２Ｂの隙間に浮上ステージ４Ａ，４Ｂに固定されたローラ２０を設けることにしてもよい。ローラ２０の周面は、各浮上ステージ４Ａ，４Ｂにより浮上された状態の基板Ａの下側面に接触する高さ位置に配置されており、一の浮上ステージ４Ａから他の浮上ステージ４Ｂに基板Ａが受け渡される際に、基板Ａをローラ２０によって支持することにより、受け渡しをさらにスムーズにすることができる。
また、この場合には、搬送装置２Ａ，２Ｂ間に隙間を大きく形成することができ、搬送装置２Ａ，２Ｂの設置における自由度を向上することができる。
【００３１】
また、図５に示されるように、ローラ２０を搬送装置２Ａ，２Ｂの隙間の中央位置に、浮上ステージ４Ａ，４Ｂにそれぞれ交互に固定した状態に設けることにしてもよい。このようにすることで、ローラ２０の数を減らして、同様の効果を達成することができる。
【００３２】
また、本実施形態においては、搬送装置２Ａ，２Ｂに設けられ、基板Ａを搬送する装置として、空気孔９から吐出される空気により基板Ａを浮上させた状態に支持する浮上ステージ４Ａ，４Ｂを有するものを例示したが、これに限定されるものではなく、基板Ａの下面をローラにより支持する方式のステージを採用してもよい。
【００３３】
また、本実施形態においては、空気バネ式の除振装置７を有する場合について説明したが、これに代えて、浮上ステージ４Ａの上下動を伴う任意の形式の除振装置７を有する搬送装置２Ａを備える場合に適用することにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の一実施形態に係る基板搬送システムを示す模式的な全体構成図である。
【図２】図１の基板搬送システムの浮上ステージと送り機構を説明する斜視図である。
【図３】図１の基板搬送システムにおいて、浮上ステージに跨る基板の搬送時の状態を示す全体構成図である。
【図４】図１の基板搬送システムの変形例を示す斜視図である。
【図５】図１の基板搬送システムの他の変形例を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００３５】
Ａ  基板
１  基板搬送システム
３  制御装置
４Ａ，４Ｂ  浮上ステージ（搬送ステージ）
６  基板検査装置
７  除振装置（レベル調節機構）
８  突当部材
２０  ローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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