(57)【要約】      （修正有）【課題】ポンプなどの駆動動力機器を用いることなく、支燃性ガスであっても、安全に圧力容器に充填することができ、さらにはロスがほとんどなく圧力容器に充填ガスを充填することができるようにする。【解決手段】液化気化槽ジャケット１１内に冷媒を供給することにより、液化気化槽を冷却して、その槽内の充填ガスを液化して液化ガスとし、圧力容器２０に充填するガスの総量および圧力から必要な液化ガス量を算出し、液化気化槽ジャケット内の冷媒を排出する液化工程と、液化気化槽ジャケット内に加温用ガスを供給し、その槽内の液化ガスを気化して圧力容器に充填する加温・昇圧工程を有し、加温・昇圧工程において、圧力容器内および液化気化槽ジャケット内の圧力に基づいて、液化気化槽ジャケット内への加温用ガスの供給量を調節し、圧力容器への充填ガスの充填速度を制御する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガスを液化・気化する液化気化槽を備えたガス充填装置を用いて、圧力容器にガスを充填するガス充填方法であって、
前記液化気化槽が収容された液化気化槽ジャケット内に冷媒を供給することにより、前記液化気化槽を冷却して、前記液化気化槽内の充填ガスを液化して液化ガスとするとともに、前記圧力容器に充填する充填ガスの総量および圧力から必要な液化ガス量を算出し、さらに、前記液化気化槽ジャケット内の冷媒を排出する液化工程と、
前記液化工程の後、前記液化気化槽ジャケット内に加温用ガスを供給することにより、前記液化気化槽内の液化ガスを気化して前記圧力容器に充填する加温・昇圧工程を有し、
前記加温・昇圧工程において、前記圧力容器内の圧力および前記液化気化槽ジャケット内の圧力に基づいて、前記液化気化槽ジャケット内への加温用ガスの供給量を調節し、前記圧力容器への充填ガスの充填速度を制御することを特徴とするガス充填方法。
【請求項２】
前記液化工程において、前記圧力容器内の圧力の上昇を確認しながら、前記液化気化槽ジャケット内の冷媒を一定量ずつ間欠的に排出することを特徴とする請求項１に記載のガス充填方法。
【請求項３】
圧力容器にガスを充填するためのガス充填装置であって、
ガスを液化・気化する液化気化槽と、該液化気化槽を収容した液化気化槽ジャケットと、前記圧力容器に充填する充填ガスの総量および圧力から必要な液化ガス量を算出するとともに、前記圧力容器内の圧力および前記液化気化槽ジャケット内の圧力に基づいて、前記液化気化槽ジャケット内への加温用ガスの供給量を調節し、前記圧力容器への充填ガスの充填速度を制御する制御部とを備えたことを特徴とするガス充填装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記圧力容器内の圧力の上昇を確認しながら、前記液化気化槽ジャケット内の冷媒を一定量ずつ間欠的に排出するように制御することを特徴とする請求項３に記載のガス充填装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガスボンベなどの圧力容器に、酸素などのガスを充填する方法および装置に関し、さらに詳しくは、昇圧ポンプや圧縮機などの駆動動力機器を使用することなく、圧力容器にガスを充填することが可能なガス充填方法およびガス充填装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
圧力容器にガスを充填する方法は、一般的に普及している技術である。そのガス充填方法としては、主に、昇圧ポンプ、圧縮機などを用いて充填ガスを昇圧して高圧ガスを得た後、この高圧ガスを圧力容器内に移送する方法が挙げられる。このように昇圧ポンプなどを用いる方法では、充填ガスが少量の場合、適合する昇圧ポンプなどがなかった。
また、充填ガスが支燃性ガスである場合、支燃性ガスを急激に昇圧すると、圧縮断熱に伴う温度上昇や燃焼の危険性があるため、昇圧時の安全機構が必要となる。
さらに、圧力容器に高純度のガスを充填する必要がある場合、昇圧ポンプなどを用いると、充填ガスが汚染されるおそれがあり好ましくない。
【０００３】
従来、液化ガス貯槽内に貯留されている低温の液化ガスを、昇圧ポンプを使用せずに昇圧して圧力容器に充填する方法として、液化ガス貯槽内の液化ガスを加圧槽へ移送し、加圧槽に設けた加圧蒸発器で液化ガスの一部を気化して昇圧し、液化ガス貯槽内の液化ガスよりも高圧のガスを得た後、この高圧ガスを圧力容器に充填する方法が開示されている（例えば、特許文献１参照）。
しかしながら、この方法では、液化ガスを加圧槽へ移送する際、加圧槽の冷却を充填対象である液化ガスで行っている。そのため、加圧槽が冷却されるまで、液化ガスは気化され、気化したガスを放出しなければならないためロスが発生する。そのため、この方法は、高価なガスを使用する場合には不向きである。
【０００４】
また、本発明者等は、充填ガス以外の加温用ガスにより、液化した充填ガスを加温・昇圧した後、圧力容器に充填する方法を検討している。
しかしながら、この方法は、充填ガスが急激に昇圧するおそれがあるため、充填ガスが支燃性ガスである場合、急激な昇圧に伴って燃焼の危険性があるから、支燃性ガスには適用することができない。
【特許文献１】特開２００２−２９５７９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
よって、本発明における課題は、ポンプなどの駆動動力機器を用いることなく、支燃性ガスであっても、安全に圧力容器に充填することができ、さらにはロスがほとんどなく圧力容器に充填ガスを充填することができるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のガス充填方法は、ガスを液化・気化する液化気化槽を備えたガス充填装置を用いて、圧力容器にガスを充填するガス充填方法であって、前記液化気化槽が収容された液化気化槽ジャケット内に冷媒を供給することにより、前記液化気化槽を冷却して、前記液化気化槽内の充填ガスを液化して液化ガスとするとともに、前記圧力容器に充填する充填ガスの総量および圧力から必要な液化ガス量を算出し、さらに、前記液化気化槽ジャケット内の冷媒を排出する液化工程と、前記液化工程の後、前記液化気化槽ジャケット内に加温用ガスを供給することにより、前記液化気化槽内の液化ガスを気化して前記圧力容器に充填する加温・昇圧工程を有し、前記加温・昇圧工程において、前記圧力容器内の圧力および前記液化気化槽ジャケット内の圧力に基づいて、前記液化気化槽ジャケット内への加温用ガスの供給量を調節し、前記圧力容器への充填ガスの充填速度を制御することを特徴とする。
【０００７】
前記液化工程において、前記圧力容器内の圧力の上昇を確認しながら、前記液化気化槽ジャケット内の冷媒を一定量ずつ間欠的に排出することが好ましい。
【０００８】
本発明のガス充填装置は、圧力容器にガスを充填するためのガス充填装置であって、ガスを液化・気化する液化気化槽と、該液化気化槽を収容した液化気化槽ジャケットと、前記圧力容器に充填する充填ガスの総量および圧力から必要な液化ガス量を算出するとともに、前記圧力容器内の圧力および前記液化気化槽ジャケット内の圧力に基づいて、前記液化気化槽ジャケット内への加温用ガスの供給量を調節し、前記圧力容器への充填ガスの充填速度を制御する制御部とを備えたことを特徴とする。
【０００９】
前記制御部は、前記圧力容器内の圧力の上昇を確認しながら、前記液化気化槽ジャケット内の冷媒を一定量ずつ間欠的に排出するように制御することが好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、液化気化槽を内包する液化気化槽ジャケット内に冷媒を供給し、液化気化槽にて、充填ガスを他の冷媒により冷却して液化した後、この液化ガスを充填ガスとは異なる加温用ガスにより加温して気化して、圧力容器に充填するので、充填ガスをパージする必要が無く、ロスが生じない。したがって、特に高価なガスを圧力容器に充填する際に適している。
また、液化気化槽ジャケット内の圧力に基づいて、液化気化槽ジャケット内への加温用ガスの供給量を調節し、圧力容器への充填ガスの充填速度を制御するので、液化気化槽と圧力容器における急激な圧力の上昇を防止することができ、ガスの断熱圧縮などによる急激な温度上昇を防止することができるから、支燃性ガスに好適である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
「ガス充填装置」
図１は、本発明のガス充填装置の一例を示す概略構成図である。
この例のガス充填装置は、充填ガスを貯留するバッファータンク３と、充填ガスを液化・気化する液化気化槽１０と、液化気化槽１０を収容し、気密構造にて一体化した液化気化槽ジャケット１１と、制御部２９とから概略構成されている。
【００１２】
バッファータンク３は、管２２、および、その中途に設けられたマスフローコントローラ１とエア駆動弁２から構成され、バッファータンク３に充填ガスを供給するための充填ガス供給ラインと、圧力計４とを備えている。
液化気化槽１０は、液化気化槽１０内の充填ガスの圧力を測定する圧力計９を備えるとともに、管２３と、その中途に設けられたエア駆動弁６およびマスフローコントローラ５とから構成される移送ラインを介して、バッファータンク３に接続されている。また、液化気化槽１０は、管２４と、その中途に設けられたエア駆動弁２１とから構成され、圧力容器２０に充填ガスを充填するための充填ラインを介して、圧力容器２０に接続されている。
また、マスフローコントローラ５は、移送した液化ガスの流量を積算する機能を有している。
【００１３】
さらに、液化気化槽１０は、その中途に調節弁８とエア駆動弁７が設けられた管２５を介して、バッファータンク３に接続されている。この管２５は、何らかの原因により液化気化槽１０内の圧力が上昇した場合、液化気化槽１０内の充填ガスをバッファータンク３に戻すため、あるいは、充填後において系内に残った充填ガスをバッファータンク３に回収するための戻りラインである。
【００１４】
液化気化槽ジャケット１１は、管２６と、その中途に設けられた蒸発器１５および電磁弁１６とから構成され、液化気化槽ジャケット１１に加温するガスを供給するための加温ガス供給ラインを備えている。
また、液化気化槽ジャケット１１は、管２７と、その中途に設けられた電磁弁１７とから構成され、液化気化槽ジャケット１１に冷媒を供給するための冷媒供給ラインを備えている。
さらに、液化気化槽ジャケット１１は、管２８と、その中途に設けられた電磁弁１８とから構成され、液化気化槽ジャケット１１から冷媒を排出するための排気ラインを備えている。
【００１５】
また、液化気化槽ジャケット１１は、気化した冷媒を大気放出するための調節弁１３と電磁弁１４とを並列に備えている。
また、液化気化槽ジャケット１１は、冷媒の液面を計測するための液面計１９と、冷媒の圧力を感知する圧力計１２とを備えている。
【００１６】
制御部２９では、圧力容器２０に充填する充填ガスの総量および圧力から必要な液化ガス量を算出する。
また、制御部２９は、圧力容器２０内の圧力および液化気化槽ジャケット１１内の圧力に基づいて、液化気化槽ジャケット１１内への加温用ガスの供給量を調節し、圧力容器２０への充填ガスの充填速度を制御する。
さらに、制御部２９は、圧力容器２０内の圧力の上昇を確認しながら、液化気化槽ジャケット１１内の冷媒を一定量ずつ間欠的に排出するように制御する。
【００１７】
「ガス充填方法」
次に、図１に示したガス充填装置を使用し、圧力容器にガスを充填する方法（ガス充填方法）について説明する。
このガス充填方法は、充圧工程、液化工程、加温・昇圧工程および圧力回収工程から構成されている。
この説明において、充填ガスとしては支燃性ガスの酸素同位体ガス、冷媒としては液化窒素を用いる場合を例示する。酸素同位体ガスは、通常の酸素と同様に支燃性であり、非常に高価なガスである。
【００１８】
（充圧填工程）
まず、バッファータンクに充填ガスである酸素同位体ガスを導入する工程（充圧填工程）について説明する。
エア駆動弁２，６を開、エア駆動弁７，２１を閉とするとともに、マスフローコントローラ５を全開とし、マスフローコントローラ１を徐々に設定値の最大値まで開くことにより、バッファータンク３および充填ガス供給ラインに、緩やかに酸素同位体ガスを導入する。
なお、マスフローコントローラ１の前段には、充填ガスの貯槽や、空気から充填ガスとその他のガスとに分離するための空気分離装置（図示略）などが設けられている。エア駆動弁２の開閉により、充填ガスが一気に流れたり、停止して、この空気分離装置の気液バランスを乱すおそれがあるため、マスフローコントローラ１を徐々に開とする。
【００１９】
次いで、圧力計４により、バッファータンク３内の圧力を測定し、規定圧力に達したらマスフローコントローラ１を徐々に設定値０（閉）とし、設定値が０に到達した後、エア駆動弁２を閉とし、バッファータンク３および充填ガス供給ラインへの酸素同位体ガスの導入（充圧填）を終了する。
なお、上記の規定圧力を、酸素同位体ガスの原料自体の圧力値未満とする。
【００２０】
（液化工程）
次に、酸素同位体ガスを液化する工程（液化工程）について説明する。
上記の充圧填工程にて、バッファータンク３および充填ガス供給ラインへの酸素同位体ガスの導入が完了した後、圧力容器２０および管２４を酸素でパージし、充填ライン内の空気分などを除去しておく。
次に、エア駆動弁２１を開とし、その時点における圧力計４による測定値を制御システム（図示略）に保存する。この圧力計４による測定値（圧力値）は、液化開始時において、バッファータンク３および充填ガス供給ライン（管２３）に存在する酸素同位体ガスの圧力、並びに、液化気化槽１０および充填ライン（管２４）に存在するガスの圧力を示す。
なお、この圧力値は、酸素同位体ガスの流量の積算（酸素同位体ガスの充填量）の終了判定に用いられる。
【００２１】
次いで、エア駆動弁６を開のまま維持し、マスフローコントローラ５の設定値を一定として、バッファータンク３から液化気化槽１０へ移送する酸素同位体ガスの流量が一定となるようにする。
【００２２】
次いで、液化気化槽ジャケット１１に設けられた液面計１９の測定値に応じて、電磁弁１７の開閉を制御し、液化気化槽ジャケット１１に冷媒である液化窒素を規定値まで供給する。なお、液面計１９の測定値が常に規定値付近になるよう電磁弁１７の開閉を制御する。
この際、液化気化槽ジャケット１１に導入した液化窒素の蒸発分を大気放出するために、圧力計１２と調節弁１３を調節することにより、液化気化槽ジャケット１１内の圧力をＰＩＤ制御する。
【００２３】
なお、液化窒素を供給する規定値は、液化気化槽ジャケット１１の容積の７０〜９０％程度が好ましい。
また、調節弁１３を調節しても液化窒素の蒸発分の大気放出を十分に行えない場合、電磁弁１４を常時、開とし、蒸発分の大気放出能力を上げることも有効である。
また、液化気化槽ジャケット１１へ液化窒素を導入する際、液化気化槽ジャケット１１内の圧力が規定値以上に達した場合、電磁弁１７を閉として液化窒素の導入を一時的に中断する機構が設けられていればより安全であるので好ましい。
【００２４】
このように液化気化槽ジャケット１１を液化窒素で満たすことにより、液化気化槽１０を冷却する。その結果、液化気化槽１０内にて酸素同位体ガスが液化され、液化気化槽１０内の圧力が低下する。すると、バッファータンク３に充填された酸素同位体ガスは、マスフローコントローラ５を通じて液化気化槽１０に移送され、液化される。
そして、マスフローコントローラ５を流れる酸素同位体ガスの流量を積算し、この積算量が既定値に達した時、マスフローコントローラ５の設定値を０（閉）として、エア駆動弁６，１７を閉とする。
また、液化窒素の蒸発分を大気放出するために、電磁弁１４を開としている場合、こちらも同時に閉とする。
【００２５】
なお、バッファータンク３から液化気化槽１０へ移送する酸素同位体ガスの積算量、すなわち、充填量の既定値は、下記の式（１）に基づいて算出される。
（Ｐ２＋０．１０１３）×（Ｖ１＋Ｖ２＋Ｖ３）／０．１０１３−（Ｐ１＋０．１０１３）×（Ｖ１＋Ｖ２＋Ｖ３）／０．１０１３          （１）
但し、式（１）中、Ｐ１は液化開始時において、圧力計４が示す圧力値であり、バッファータンク３および充填ガス供給ライン（管２３）に存在する酸素同位体ガスの圧力、並びに、液化気化槽１０および充填ライン（管２４）に存在するガスの圧力を表している。Ｐ２は圧力容器２０への充填目標圧力、Ｖ１は液化気化槽１０の体積、Ｖ２は圧力容器２０の体積、Ｖ３は液化気化槽１０と圧力容器２０を接続する管２４の体積＋αを表している。
【００２６】
上記の式（１）の第一項は、充填目標圧力下における液化気化槽１０の体積＋圧力容器２０の体積＋管２４の体積＋αの体積を、標準圧力（０℃、１ａｔｍ）時の体積に換算した数値である。一方、第二項は、液化開始前に管２４と液化気化槽１０に入っていた酸素同位体ガスの体積を引いた数値である。
【００２７】
また、Ｖ３において、充填配管の体積にα（体積）を加えた値とするのは、後述する加温・昇圧工程にて、バッファータンク３に酸素同位体ガスが僅かに戻ることがあるため、その不足分を補正する必要があるからである。
【００２８】
また、ガス充填装置の周囲の温度Ｔを測定可能な場合、上記の式（１）を、下記の式（２）のように変更することによって、より正確に酸素同位体ガスの積算量の規定値を決定することができる。
［（Ｐ２＋０．１０１３）×（Ｖ１＋Ｖ２＋Ｖ３）／０．１０１３−（Ｐ１＋０．１０１３）×（Ｖ１＋Ｖ２＋Ｖ３）／０．１０１３］×Ｔ／２７３          （２）
なお、上記式のTは液化工程開始時に測定した値である。
【００２９】
次いで、電磁弁１８を開として、液化気化槽ジャケット１１内に充填した液化窒素を排出する。
この際、液化気化槽ジャケット１１内の液化窒素の量が少なくなるに伴って、液化気化槽１０にて液化している酸素同位体ガスが気化し、圧力計９によって測定される、圧力容器２０内の酸素同位体ガスの圧力値が急激に上昇する危険性がある。
そこで、図２に示すように、液化気化槽ジャケット１１内に充填されている液化窒素を一定量ずつ、間欠的に液化窒素を排出する。それとともに、酸素同位体ガスの急激な昇圧を防止するために、液化窒素を一定量排出する度に、圧力計９により酸素同位体ガスの圧力を確認して、酸素同位体ガスの圧力が規定圧力以上に上昇した場合には液化窒素の排出を一時的に中断し、酸素同位体ガスの圧力が規定圧力以下に低下した後、液化窒素の排出を再開する。
【００３０】
次いで、液化気化槽ジャケット１１内の液化窒素の液面が液化気化槽ジャケット１１の容積の１％以下まで下がった時点で、電磁弁１８を閉とし、液化窒素の排出を終了する。
なお、液化窒素を排出する間隔は、液化気化槽１０に充填されている酸素同位体ガスの総量の１０％程度ずつとすることが好ましいが、より少量ずつ排出することによって安全性を高めることができる。
【００３１】
（加温・昇圧工程）
次に、酸素同位体ガスを加温・昇圧する工程（加温・昇圧工程）について説明する。
上記の液化工程が完了した、電磁弁１６を開とし、蒸発器１５により気化した液化窒素（加温用ガス）を、液化気化槽ジャケット１１に移送し、電磁弁１３を介して大気放出することによって液化気化槽１０を加温する。この液化気化槽１０の加温により、この槽内の酸素同位体ガスは気化し、昇圧する。
【００３２】
そして、気化した酸素同位体ガスが圧力容器２０に移送され、充填が開始される。
ここでは、圧力計１２の測定値および圧力計９の測定値に応じて、電磁弁１６の開閉を制御し、液化気化槽ジャケット１１内への加温用ガスの供給量を調節し、圧力容器２０への充填ガスの充填速度を制御する。
すなわち、圧力計１２の測定値（液化気化槽ジャケット内の圧力値）が所定の値よりも高くなった場合、電磁弁１６を閉とし、加温用ガスの移送を停止して液化気化槽１０の熱交換能力を下げる。一方、圧力計１２の測定値が所定の値よりも低くなった場合、電磁弁１６を開とし、加温用ガスの移送を再開して液化気化槽ジャケット１１へ、連続的に気化した液化窒素の供給し、液化気化槽１０を加温して熱交換能力を上げる。
【００３３】
この加温・昇圧工程では、調節弁１３を調節することにより、圧力計９と圧力計１２の両方をＰＩＤ制御する。
圧力計９と圧力計１２のＰＩＤ制御をハイセレクターとし、開出力が大きい方を優先する。
なお、圧力計１２のＰＩＤ制御の設定値を一定とすることにより、液化気化槽ジャケット１１内の圧力が異常に上昇するのを防止している。
【００３４】
一方、圧力計９のＰＩＤ制御の設定値は、傾きを数段に分けて徐々に上昇することにより、充填圧力まで昇圧する。
このように圧力計９のＰＩＤ制御の設定値を徐々に上昇することによって、調節弁１３により液化気化槽ジャケット１１を通過する加温ガス（窒素ガス）の流量を調節して、酸素同位体ガスを徐々に昇圧することができる。
図３は、圧力計９のＰＩＤ制御の設定値を３段階に分け、酸素同位体ガスを徐々に昇圧した例を示す。この例では、昇圧開始時には液化気化槽ジャケット１１が十分に暖められていないため昇圧速度を遅くし（１段目）、液化気化槽ジャケット１１が十分に暖めた後、昇圧速度を速くし（２段目）、昇圧の最後においてはほとんどの酸素同位体ガスが気化しているため昇圧速度を遅くする（３段目）。
【００３５】
また、この加温・昇圧工程における安全機構として、調節弁８により圧力計９の値をＰＩＤ制御する。この調節弁８によるＰＩＤ制御の設定値を、充填ガスの圧力容器２０への充填圧力にβを加えた値とし、この加算分βを充填圧力の１〜５％程度の値とすることが好ましい。
また、調整弁８を開とする直前に、エア駆動弁７を開とし、液化気化槽１０内の圧力の超過分（気化した酸素同位体ガスの超過分）をバッファータンク３に戻す。
さらに、調節弁８を調節することにより、圧力計９の値の変化率に関するＰＩＤ制御を同時に行い、この制御をハイセレクターとし、酸素同位体ガスが急激に昇圧しても対応できるようにすることによってさらに安全性を高めることができる。
【００３６】
この加温・昇圧工程は、圧力計９の測定値が、充填ガスの圧力容器２０への充填圧力に達した時点で終了とする。すなわち、この時点で、圧力容器２０への酸素同位体ガスの充填を終了する。
【００３７】
（圧力回収工程）
次に、各ラインに残留する充填ガスをバッファータンクに回収する工程（圧力回収工程）について説明する。
圧力容器２０の元弁（図示略）を閉とし、エア駆動弁７と調節弁８を開として、バッファータンク３に酸素同位体ガス（の超過分）を回収する。このバッファータンク３に回収した酸素同位体ガスは、次回の充填ガスの充填時に再利用することができる。
【００３８】
次いで、充填ガス供給ライン、移送ライン、充填ライン、戻りラインなどの各ラインに残留する充填ガスをバッファータンク３に回収した後、エア駆動弁２１を閉として、圧力容器２０を取り出す。
【００３９】
なお、この圧力回収工程においても、調節弁８により圧力計９の値をＰＩＤ制御する。この際、圧力計９のＰＩＤ制御の設定値を徐々に下降させることにより、酸素同位体ガスが急速にバッファータンク３に移送されることを防止する。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明のガス充填方法に用いられるガス充填装置の一例を示す概略構成図である。
【図２】本発明のガス充填方法の液化工程において、液化気化槽ジャケットから使用後の液化窒素を排出する過程を示すグラフである。
【図３】本発明のガス充填方法の加温・昇圧工程において、圧力計のＰＩＤ制御に関制御の設定値の傾きを３段階に分けた場合を示すグラフである。
【符号の説明】
【００４１】
１・・・マスフローコントローラ、２・・・エア駆動弁、３・・・バッファータンク、４・・・圧力計、５・・・マスフローコントローラ、６・・・エア駆動弁、７・・・エア駆動弁、８・・・調節弁、９・・・圧力計、１０・・・液化気化槽、１１・・・液化気化槽ジャケット、１２・・・圧力計、１３・・・調節弁、１４・・・電磁弁、１５・・・蒸発器、１６・・・電磁弁、１７・・・電磁弁、１８・・・電磁弁、１９・・・液面計、２０・・・圧力容器、２１・・・エア駆動弁、２９・・・制御部。
【図１】
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【図２】
2008309314.tif 000004
【図３】
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