(57)【要約】      （修正有）【課題】微少流量から大流量まで高精度で検出することができる流量検出装置を提供する。【解決手段】上流側サーミスタＴＨ１及び下流側サーミスタＴＨ２の少なくとも一方を加熱する加熱回路３１と、その抵抗値変化の差を電圧として取り出す差動増幅回路３３と、その電圧を処理して流量に対応した信号を出力する演算部３６と、演算部３６の出力信号に基づいて出力電圧のゼロ点を微調整するゼロ点微調整回路３４を含む検出回路３とを備え、演算部３６は、両サーミスタを同時に加熱したときの冷却時間の差を第１の流量値として取り出す第１の検出動作と、ゼロ点微調整回路３４を駆動しつつ一方のサーミスタのみを加熱しそのサーミスタの冷却時間を第２の流量値として取り出す第２の検出動作と、上流側サーミスタＴＨ１のみを加熱したときの下流側サーミスタＴＨ２が温度上昇するまでの時間を第３の流量値として取り出す第３の検出動作とを選択的に実行する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体が流動する管路内に流動方向に沿って上流側に配置された第１の感温抵抗体及び下流側に配置された第２の感温抵抗体を含み、前記各感温抵抗体の抵抗値変化をそれぞれ検知するセンサ部と、
前記感温抵抗体の少なくとも一方を加熱する加熱回路と、前記感温抵抗体の抵抗値変化の差を出力電圧として取り出す差動増幅回路と、その出力電圧を処理して流量に対応した信号を出力する演算部と、前記演算部の出力信号に基づいて前記出力電圧のゼロ点を微調整するゼロ点微調整回路を含む検出回路とを備え、
前記演算部は、前記両感温抵抗体を同時に加熱したときの冷却時間を第１の流量値として取り出す第１の検出動作と、前記ゼロ点微調整回路を駆動しつつ前記感温抵抗体の一方のみを加熱しその感温抵抗体の冷却時間を第２の流量値として取り出す第２の検出動作と、前記第１の感温抵抗体のみを加熱したときの前記第２の感温抵抗体が温度上昇するまでの時間を第３の流量値として取り出す第３の検出動作とを選択的に実行することを特徴とする流量検出装置。
【請求項２】
前記各流量値は前記第１の流量値＞前記第２の流量値＞前記第３の流量値となる関係を有するとともに、前記演算部は、第１の検出動作、第２の検出動作及び第３の検出動作の順に検出動作を実行することを特徴とする請求項１に記載の流量検出装置。
【請求項３】
前記感温抵抗体は、負の温度係数を有するＮＴＣサーミスタからなることを特徴とする請求項１又は２に記載の流量検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ドリンクサーバーなどの配管における微少の流体漏洩を検出する流量検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
オフィスビルや飲食店などに設置されるドリンクサーバー（例えばカップ式ドリンクサーバー）は、濃縮された原液が貯蔵された原液タンクと、水道水を冷却する冷却タンクと、冷却水を炭酸化する炭酸水タンクとを備え、原液を冷却水、または必要に応じて炭酸水で希釈し、所定の飲料が供給されるように構成されている。この飲料供給設備においては、例えば冷却タンクに原液希釈用水道水を供給するための配管に微少であっても漏水が発生し、長時間放置された場合には、床面を濡らすなどの不具合が発生する。そこで、配管の途中に流量検出装置を設置し、検出された流量を監視し、漏水が発生した場合は、供給管内の流体の流動を遮断するシステムを導入することが検討されている。
【０００３】
この流量監視システムが正常に機能するためには、微少流量と通常の流量と過度の流量を検出することが必要となる。微少流量を検出するための装置としては、いくつかの構造が提案されている。特許文献１には、例えば１ｍｌ／ｍｉｎの流量の流れの有無を検出するために、液体管路の内部における流れの本流とその近くのよどみ点に２つのサーミスタを設置し、液体が静止しているときに、これらのサーミスタの間に電気回路を接続してこれらの電気的バランス（零バランス）を取り、次いで液体が流れるときに、サーミスタを発熱させることにより、設定値に対する電気的バランスが崩れたことを判定するようにした検出装置が記載されている。
【０００４】
また特許文献２には、流路に２つの温度センサ（サーミスタ）を設置し、流路の上流側にある温度センサを加熱し、この温度センサの出力信号を流路の下流にある温度センサの出力信号で補償し、補償回路の出力信号に基づいて流量を演算し、その流量を基準値と比較してその結果を出力して、負荷をオンオフするようにした流量検出スイッチが記載されている。さらに特許文献３には、流体の通路内に発熱用サーミスタを設置するとともにこのサーミスタの下流側に温度検出用サーミスタを設置し、発熱用サーミスタをパルス状に発熱させるとともに、温度検出用サーミスタによって通過する流体の温度を検出し、発熱用サーミスタの発熱駆動時刻から温度検出用サーミスタによって検出した温度が最大となる時刻までの時間差により、流体の流量を演算するようにした流量計が記載されている。
【０００５】
【特許文献１】特開昭６３−２５３２５８号公報（第２−３頁、図１、図３）
【特許文献２】特開平９−８９６１８号公報（第２−４頁、図１）
【特許文献３】特開２００２−２１４０４５号公報（第３−４頁、図１、図３、図５）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかるに特許文献１に記載された流量検出装置は、微少流量の検出を行うことはできるが、大流量の検出ができないという問題がある。また特許文献２に記載された検出スイッチによれば、高精度の検出ができないという問題がある。さらに特許文献３に記載された流量計によれば、流体の温度が最大値を示すまでの時間を算出するので、高精度の検出ができないという問題がある。
【０００７】
従って本発明の目的は、微少流量から大流量まで高精度で検出することができる流量検出装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明の流量検出装置は、
流体が流動する管路内に流動方向に沿って上流側に配置された第１の感温抵抗体及び下流側に配置された第２の感温抵抗体を含み、前記各感温抵抗体の抵抗値変化をそれぞれ検知するセンサ部と、
前記感温抵抗体の少なくとも一方を加熱する加熱回路と、前記感温抵抗体の抵抗値変化の差を出力電圧として取り出す差動増幅回路と、その出力電圧を処理して流量に対応した信号を出力する演算部と、前記演算部の出力信号に基づいて前記出力電圧のゼロ点を微調整するゼロ点微調整回路を含む検出回路とを備え、
前記演算部は、前記両感温抵抗体を同時に加熱したときの冷却時間を第１の流量値として取り出す第１の検出動作と、前記ゼロ点微調整回路を駆動しつつ前記感温抵抗体の一方のみを加熱しその感温抵抗体の冷却時間を第２の流量値として取り出す第２の検出動作と、前記第１の感温抵抗体のみを加熱したときの前記第２の感温抵抗体が温度上昇するまでの時間を第３の流量値として取り出す第３の検出動作とを選択的に実行することを特徴とするものである。
【０００９】
本発明においては、前記各流量値は前記第１の流量値＞前記第２の流量値＞前記第３の流量値となる関係を有するとともに、前記演算部は、第１の検出動作、第２の検出動作及び第３の検出動作の順に検出動作を実行することが好ましい。
【００１０】
本発明においては、感温抵抗体としてＮＴＣサーミスタを使用することが好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、一対の感温抵抗体の少なくとも一方を加熱し、その冷却時間又は冷却時間の差を差動増幅器により出力電圧として取り出し、その差動増幅器のゼロ点を自動的に調整する（温度差がゼロのときに出力は０となる）とともに、演算部では流量に応じて異なる検出動作を実行するので、高精度で微少流量（例えば内径１５ｍｍの配管において０．０１ｍｌ／ｍｉｎ）から大流量（例えば内径１５ｍｍの配管において５０〜１００ｍｌ／ｍｉｎ）まで測定することができる。
【００１２】
本発明では、流量を検出するために、感温低抗体をある程度の時間（１０ｓｅｃ以下）だけ加熱するので、電動弁を備えた配管などのように、流路の遮断に例えば１０ｓｅｃ程度の時間を要する（所定時間の遅れが許容される）配管系の流量検出装置として好適なものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下本発明の詳細を添付図面により説明する。図１は本発明の実施の形態に係わる流量検出装置のブロック図、図２は図１の検出回路を示す図、図３はサーミスタの冷却曲線を示す図、図４は流量の検出方法の一例を説明するための図、図５は流量と検出回路の出力電圧との関係を示す図、図６は検出動作の実行手順を示すフローチャートである。
【００１４】
［流量検出装置の構成］
図１に示す流量検出装置１は、一端から他端に向って流体（例えば５〜４０℃の水道水）が流動する配管１０に設置されて流体と接触する一対の感温抵抗体ＴＨ１、ＴＨ２を含むセンサ部２と、これらの抵抗変化に基づいて流量を検出する検出回路３と、その流量に基づいて配管の開閉手段［配管１０内の上流側に設置され電動弁（不図示）］を駆動する操作部４とを備えている。
【００１５】
センサ部２を構成する感温抵抗体ＴＨ１とその下流側に設置された感温抵抗体ＴＨ２は、その先端が配管１０の内部に突出するようにシール２３と軸受２４を介してホルダー２１に装着され、ホルダー２１はキャップ２５で配管１０に配管２に固定されるとともに、ホルダー２１と配管１０との間にシール２２で封止されている。本実施の形態では、感温抵抗体ＴＨ１、ＴＨ２は、いずれも負の温度係数を有するＮＴＣサーミスタから構成され、以下の説明では、ＴＨ１を上流側サーミスタ、ＴＨ２を下流側サーミスタという。
【００１６】
感温抵抗体として、サーミスタを使用することにより、例えば内径１５ｍｍの配管において０．１〜６０ｍｌ／ｓｅｃ（１滴の水の体積は約０．０６ｍｌ）の検出感度が得られるので、高い検出精度を保証することができる。
【００１７】
センサ部２から流量に応じた信号を取り出す検出回路３は、両サーミスタＴＨ１、ＴＨ２の少なくとも一方を加熱する加熱回路３１と、両サーミスタＴＨ１、ＴＨ２に一定の電流を供給する定電流回路３２を有する。また検出回路３は、サーミスタのＴＨ１及びＴＨ２の出力電圧の差（抵抗変化）を増幅して取り出すために差動増幅回路３４と、その差電圧をディジタル信号に変換するＡ／Ｄコンバータ３５とこのディジタル信号を演算処理して流量に対応した信号を出力する演算部３６を含むＣＰＵ３０とを備えている。差動増幅回路３４には、そのゼロ点をリアルタイムで微調整するために、演算部３６との間にゼロ点微調整回路３８が接続されている。演算部３６には、その演算結果（流量値）を記憶する不揮発性メモリ（ＥＥＰＲＯＭ）３７及び流量データを端末（不図示）などに送信する通信回路３８が接続されている。また検出回路３は、上記各回路を駆動する電源回路３９と電動弁などの流路開閉手段に駆動信号を出力するバルブドライバ４０を有する。ＣＰＵ３０の出力は、検出された流量を表示する表示器４１と、漏水が修復された後に電動弁などの駆動を再開するリセットスイッチ４２を含む操作部４に送出される。
【００１８】
上記検出回路３を例えば図２に示すように構成することにより、数種類の検出動作を実行することができる。
まず、センサ部２では、下流側サーミスタＴＨ２には、直列に負荷抵抗Ｒ１が接続され、上流側サーミスタＴＨ１には、素子の特性のバラツキを補正するために可変抵抗ＶＲが直列に接続されて高精度の検出を行えるようにしている。
【００１９】
加熱回路３１は、下流側サーミスタＴＨ２に、アノード側に抵抗Ｒ１を接続したＬＥＤとフォトトランジスタを有するフォトカプラＰＣ１が接続されるとともに、上流側サーミスタＴＨ１に、アノード側に抵抗Ｒ２を接続したＬＥＤとフォトトランジスタを有するフォトカプラＰＣ２が接続されて構成される。これらのフォトカプラはＣＰＵで制御するために、ＣＰＵ３０の出力端子Ｐ０１、Ｐ０２に接続される。この構成によりサーミスタＴＨ１及びサーミスタＴＨ２に所定時間（例えば５〜１０ｓｅｃ）だけ抵抗値測定時の電流値を大きく超えた電流を流すことができ、所定温度（例えば環境温度から５〜１０℃高い温度）まで選択的に加熱することができる。
【００２０】
定電流回路３２は、両サーミスタＴＨ１、ＴＨ２の出力電圧を反転増幅して、温度に比例したセンサ出力を得るために、可変抵抗ＶＲと直列に接続された抵抗Ｒ２と抵抗Ｒ１と直列に接続された抵抗Ｒ３を有するとともに、反転入力端子が可変抵抗ＲＶと抵抗Ｒ２の中点に接続されたオペアンプＩＣ３と反転入力端子が抵抗Ｒ１と抵抗Ｒ２の中点に接続されたオペアンプＩＣ４を含む。
【００２１】
差動増幅回路３３は、抵抗Ｒ７で負帰還をかけてゲインを調整したオペアンプＩＣ６及び抵抗Ｒ６、Ｒ８、Ｒ９、Ｒ１０、Ｒ１１を含み、オペアンプＩＣ３の出力とオペアンプＩＣ４の出力電圧の差を増幅してＡ／Ｄコンバータ３５の入力端子ＡＮ＿ＩＮ４に出力し、そこでディジタル信号に変換して演算部３６に供給するようにしたものである。また後述の両サーミスタＴＨ１、ＴＨ２を同時に加熱したときの冷却時間の差を検出するために、下流側サーミスタＴＨ２はＡ／Ｄコンバータ３５の入力端子ＡＮ＿ＩＮ１に、上流側サーミスタＴＨ１はＡ／Ｄコンバータ３５の入力端子ＡＮ＿ＩＮ２に接続されている。
【００２２】
なお、オペアンプＩＣ５及び抵抗Ｒ６、Ｒ７、Ｒ８、Ｒ９、Ｒ１０、Ｒ１１を含む非反転増幅回路３００の出力側は、Ａ／Ｄコンバータ３５の入力端子ＡＮ＿ＩＮ３に接続され、そこでディジタル信号に変換して演算部３６に供給される。
【００２３】
ゼロ点微調整回路３４は、差動増幅回路３３の入力側とＣＰＵ３０（演算部）との間にＤ／Ａコンバータ３４を接続することにより構成される。演算部で算出された流量値をＤ／Ａコンバータ３４でアナログ信号に変換し、それを差動増幅回路３３に入力することにより、差動増幅回路３３の非加熱時における２つのサーミスタの出力の差を無くす、ゼロ点の微調整がリアルタイムで自動的に行われる。加熱、冷却時は加熱前の値を維持する。これにより差動増幅回路３３の増幅度を最大まで上げることができ、温度差のみに着目した際の検出精度を高めることができる。
【００２４】
［検出回路の基本動作］
図１に示す検出回路３で、下流側サーミスタＴＨ２を加熱用抵抗体とし、上流側サーミスタＴＨ２を環境温度補正用抵抗体とした場合の流量の検出動作は次の通りである。下流側サーミスタＴＨ１を所定時間だけ加熱し、加熱を停止すると、流体により冷却されるので、出力電圧が変化し、一方サーミスタＴＨ１は流体の温度に相当する一定の電圧を出力するので、これらの出力電圧の差を差動増幅回路３４で増幅し、その出力をＡ／Ｄコンバータ１２でディジタル値に変換し、演算部３６に入力する。演算部３６では、その値をメモリに格納された基準値（実験により予め実際の流量に対応する冷却時間を求めておく。）と比較して流量を算出し（所定のプログラムを実行する。）、その演算結果を操作部４に出力する。
【００２５】
［検出例１］
上記の流量検出装置１により流体の流量を検出する基本動作を図３により説明する。
（１）所定温度（環境温度）の流体中に浸漬された下流側サーミスタＴＨ２に所定時間（例えば１０ｓｅｃ）だけ所定の電流（例えば２５℃で約８ｍＡ）を流す（加熱パターンＨ参照）ことにより、サーミスタＴＨ２にはジュール熱が発生して環境温度よりやや高い（例えば５℃）温度まで加熱される（抵抗が小さくなる）。
【００２６】
（２）この自己発熱により加熱された下流側サーミスタＴＨ２は、加熱を停止すると、流体との接触により環境温度まで冷却（自然冷却）される。サーミスタが加熱温度から環境温度に戻るまでの時間を冷却時間という。ここで流体の流量を変化させて冷却時間を測定すると、図３の曲線ｘ１、ｘ２、ｘ３で示すように（流量はこの順に小さくなる）、流量が小さくなるにしたがい、熱の移動が遅れる。したがって流量が大のときの冷却時間ｔ１に対して、流量が小さいときには冷却時間はｔ２と長くなる。そこで、この冷却時間を測定することにより、流量を求めることができる。なお、各冷却曲線において、加熱前後のサーミスタの温度変化は実測値であるが、加熱中のサーミスタの温度変化は実測できないので、理論値で示す。
【００２７】
［検出例２］
検出例１とは逆に、上流側サーミスタＴＨ１を加熱し、下流側サーミスタＴＨ２を環境温度補正用抵抗体とした場合も流量を検出することができる。すなわち、図４に示すように、上流側サーミスタＴＨ１を所定時間だけ加熱すると（加熱パターンＨ参照）、上流側サーミスタＴＨ１は環境温度まで冷却される。これに対して、下流側サーミスタＴＨ２は、上流側サーミスタＴＨ１からの熱伝達により、上流側サーミスタＴＨ１よりも遅れて加熱され、環境温度まで冷却される。ここで、流体の流量が大きい場合には、上流側サーミスタＴＨ１の温度上昇が開始されてから下流側サーミスタＴＨ２の温度上昇が開始されるまでの時間差はｔｙとなる。一方流体の流量が小さい場合には、上流側サーミスタＴＨ１の温度上昇が開始されてから下流側サーミスタＴＨ２の温度上昇が開始されるまでの時間差はｔｚとなる。したがってこの時間差（ｔｙ、ｔｚ）を測定することによっても、流量を求めることができる。
【００２８】
［検出例３］
検出例１及び２とは異なり、上流側サーミスタＴＨ１と下流側サーミスタＴＨ２を同時に加熱することによっても流量を検出することができる。サーミスタの発熱量が限られているため、大流量域では発熱時間を長くしても十分な発熱温度まで到達せず、流量の大小の判別が困難となる。そこで両サーミスタを同時に加熱することで発熱量を稼ぎ、冷却時間の差を流量として求めることができる。この方法ではいずれか一方のサーミスタを温度補償用とすることはできないが、加熱前の温度はＣＰＵで測定できるため、環境温度の補償は可能である。リアルタイムで温度補償ができない分だけ精度は低下するが、大流量域では高精度を求められることはないため、十分実用に供することができる。すなわち、上流側サーミスタＴＨ１と下流側サーミスタＴＨ２を同時に同じ時間だけ加熱すると、下流側サーミスタＴＨ２には上流側サーミスタＴＨ１で暖められた流体も流動していくので、下流側サーミスタＴＨ２が環境温度まで冷却される時間は、上流側サーミスタＴＨ１が環境温度まで冷却される時間よりも長くなる。また、大流量域では上流側サーミスタによる乱流が起こり、流量増加に伴う下流側のサーミスタ付近の流速の増加は全体流速の増加に対して緩やかになるため、冷却時間の差がとりやすくなる。したがって大流量域では、この冷却時間の差を求めることにより、流量を検出することができる。特に両サーミスタの同時加熱では、一方のサーミスタを加熱した場合よりも冷却時間の差は広がるので、さらに大流量まで検出することが可能となる。
【００２９】
［実験例］
上流側サーミスタＴＨ１と下流側サーミスタＴＨ２のいずれか一方を所定時間だけ加熱した場合のセンサの出力電圧（演算値）及び両サーミスタを同時に加熱した場合の出力電圧（演算値）と流量の関係を図５に示す。なお、図５は内径１５ｍｍの配管における実験結果を示す。上流側サーミスタＴＨ１と下流側サーミスタＴＨ２を同時に加熱すると、１ｍｌ／ｍｉｎから約１０４ｍｌ／ｍｉｎ（通常の上水用配管における流量）の範囲の流量を検出できることがわかる。また下流側サーミスタＴＨ２のみを加熱した場合は、約２ｍｌ／ｍｉｎから１０４ｃｃ／ｍｉｎ付近までの流量を検出できることがわかる。さらに上流側サーミスタＴＨ１のみを加熱した場合には、約１０３ｃｃ／ｍｉｎ以下の流量を測定できることがわかる。
【００３０】
図５において、上流側サーミスタＴＨ１と下流側サーミスタＴＨ２を同時に加熱した場合のセンサ出力曲線と下流側サーミスタＴＨ２のみを加熱した場合のセンサ出力曲線の交点における流量をＱａ（センサ出力は約０．４）、下流側サーミスタＴＨ２のみを加熱した場合のセンサ出力曲線と上流側サーミスタＴＨ１のみを加熱した場合のセンサ出力曲線の交点における流量をＱｂ（センサ出力は約０．１７）とする。Ｑａを越える大流量の場合は、両サーミスタＴＨ１、ＴＨ２を同時に加熱し、ＱｂからＱａまでの流量の場合は、下流側サーミスタＴＨ２のみを加熱し、そしてＱｂ以下の小流量の場合は、上流側サーミスタＴＨ１のみを加熱することにより、例えば内径１５ｍｍの配管において約１ｍｌ／ｍｉｎ以下の微小流量から１０４ｍｌ／ｍｉｎを越える大流量まで検出できることがわかる。
【００３１】
［測定手順］
上記で説明した、流量に応じて上流側サーミスタＴＨ１と下流側サーミスタＴＨ２の少なくとも一方を加熱する３種類の操作を切り替える手順の一例を図６により説明する。ここで、各サーミスタを選択的に加熱する場合は、両サーミスタの加熱を実行する場合の保証値（基準となるセンサ出力値）をＶ１、下流側サーミスタのみの加熱を実行する場合の保証値をＶ２、上流側サーミスタのみの加熱を実行する場合の保証値をＶ３とすると、図５の結果に基づいて、保証値はＶ１＞Ｖ２＞Ｖ３の関係を満たすように設定する。
【００３２】
最初のステップＳ１で両サーミスタを同時に加熱して流量を検出し、そのときのセンサ出力が保証値Ｖ１以上の場合は、ステップＳ６で真の流量値として採用し、この測定値に基づいて漏水の有無を判断する。次にセンサ出力が保証値Ｖ１未満の場合は、ステップＳ６の処理、すなわち下流側サーミスタのみを加熱して流量を検出する処理を実行する。またセンサ出力が保証値Ｖ２以上の場合は、Ｓ６の処理を実行する。さらにセンサ出力が保証値Ｖ２未満の場合は、ステップＳ５の処理、すなわち下流側サーミスタのみを加熱して流量を検出する処理を実行する。そしてステップＳ６の処理を実行した後、最初のステップＳ１に戻る。以上の処理手順を繰り返すことにより、継続して流量の検出を行うことができる。
【００３３】
［適用条件］
本発明では、上記のように理論的には流体の流量を広範囲で検出することができる。但し、配管１０を遮断するために電動弁を使用する場合のように、その開閉に１０ｓｅｃ程度の時間を要するような、リアルタイムではなく、１０ｓｅｃ以上のタイムラグが許容される配管系に適用することが好ましい。
【００３４】
上記のすべての方法（検出例１〜３参照）で流量の検出を行う場合は、加熱時間と冷却時間を合計すると１回の測定に１分近くかかることになるが、短時間でも被害が大きい大流量のときの漏水は最初の検出動作のみで短時間（１０数秒）で検出され、速やかに流路を遮断することができる。逆に微少流量のときの漏水では実被害が発生するまでにかなりの時間を要するので、長時間を要する流量検出でも十分実用に供することができる。
【００３５】
本発明は、上記の構造に限らず種々の変更が可能である。例えばサーミスタＴＨ１、ＴＨ２と並列にリニアライザ（直線化補償回路）を接続することにより、検出精度を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の実施の形態に係わる流量検出装置のブロック図である。
【図２】本発明の実施の形態に係わる流量検出装置の検出回路を示す図である。
【図３】本発明の検出原理を説明するための図である。
【図４】サーミスタの冷却曲線を示す図である。
【図５】サーミスタの出力と流量との関係を示す図である。
【図６】複数の検出動作を実行する手順を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００３７】
１０：配管、
１：流量検出装置、
２：センサ部、ＴＨ１：上流側サーミスタ、ＴＨ２：下流側サーミスタ、
３：検出回路、３０：ＣＰＵ、３１：加熱回路、３２：定電流回路、３３：差動増幅回路、３４：ゼロ点微調整回路、３５：Ａ／Ｄコンバータ、３６：演算部、３７：不揮発性メモリ、３８：通信回路、３９：電源回路、４０：バルブドライバ
４：操作部、４１：表示器、４２：リセットスイッチ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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