(57)【要約】【課題】  ミラー裏面を撓ませずにミラーを保持し、ミラー裏面に凹凸や湾曲などがあっても、その形状に対応可能なミラー保持方法及びミラー保持装置を提供する。【解決手段】  ミラーを保持するミラー保持方法及び装置において、ミラーの裏面の中央部を真空吸着し、ミラーの裏面の周縁領域に流体を吹き付ける。ミラーは裏面にハニカム構造を有し、流体をハニカム構造の凹部に吹き付ける。多数の吹付け穴から流体をミラーの裏面の周縁領域に吹き付ける。ミラーの裏面の中央部を真空吸着するための吸着部と、ミラーの裏面の周縁領域に流体を吹き付けるための多数の流体吹付け部とを有する。【選択図】  図３
2008256874.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
保持装置によってミラーを保持するミラー保持方法であって、
ミラーの裏面の中央部を保持装置に真空吸着し、かつ、ミラーの裏面の周縁領域に保持装置から流体を吹き付けることを特徴とするミラー保持方法。
【請求項２】
請求項１に記載のミラー保持方法において、
ミラーは裏面にハニカム構造を有し、流体をハニカム構造の凹部に吹き付けることを特徴とするミラー保持方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のミラー保持方法において、
多数の吹付け穴から流体をミラーの裏面の周縁領域に吹き付けることを特徴とするミラー保持方法。
【請求項４】
ミラーを保持するミラー保持装置において、
ミラーの裏面の中央部を真空吸着するための吸着部と、ミラーの裏面の周縁領域に流体を吹き付けるための多数の流体吹付け部とを有することを特徴とするミラー保持装置。
【請求項５】
請求項４に記載のミラー保持装置において、
流体吹付け部は、移動可能に吸着部の周辺に設けられていることを特徴とするミラー保持装置。
【請求項６】
請求項４に記載のミラー保持装置において、
流体吹付け部は、多重に形成された複数のスリットと、それらのスリットに沿って形成された多数の吹付け穴とを有することを特徴とするミラー保持装置。
【請求項７】
請求項４〜６のいずれか１項に記載のミラー保持装置において、
ミラーは裏面にハニカム構造を有し、多数の吹付け穴からハニカム構造の各凹部に流体を吹き付けることを特徴とするミラー保持装置。
【請求項８】
請求項４〜７のいずれか１項に記載のミラー保持装置において、
ミラー保持装置の上面全体が保持面として構成されており、その保持面の中央に真空式の吸着部がドーナツ状に形成され、その中心に開口部が設けられ、その開口部から空気が吸い込まれ、ミラーのリブ部を吸着部に吸着するようになっており、吸着部の開口部を中心に円弧状に複数のスリットが同心に設けられていて、それらのスリットの各々に所定間隔毎に圧縮空気を吹き付けるために吹付け穴が設けられていることを特徴とするミラー保持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ミラー保持方法及びミラー保持装置、とくにミラー（例えばアルミニウム製の表面を研磨して形成された反射ミラーのようなミラー）を裏面で保持するミラー保持方法及びミラー保持装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えば特許文献１や特許文献２に示すように、光学素子の裏面を部分的に真空吸着する技術や、例えば特許文献３や特許文献４に示すように、ボンディング材（接着材）を用いて光学素子の裏面を部分的に固定する技術、例えば特許文献５に示すように、ネジ留めする技術が知られている。なお、特許文献４の図１、図２には軽量化のために裏面をハニカム構造にしたミラーが記載されている。
【０００３】
また、従来から、例えば特許文献６や特許文献７に示すように、平板状の支持物としてウェハの裏面中央に気体を噴出してウェハの周縁を可動突出体や支持片で保持する技術が知られている。
【特許文献１】特開平１１−１５１６４８号公報
【特許文献２】特開平５−６０８８３号公報
【特許文献３】特開昭６０−６９６１１号公報
【特許文献４】特開２００３−１８５８１１号公報
【特許文献５】特開平６−３４７６８８号公報
【特許文献６】特公昭５３−２９５５０号公報
【特許文献７】特公平６−６６３８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来のように、レンズ等の光学素子を保持するときに、その裏面を部分的に真空吸着すると、保持されたレンズ等がたわみやすい。ミラーも同様に、その裏面を部分的に真空吸着すると、保持されたミラーの反射面がたわんでしまう。この場合、レーザ光等の照射光を正確に照射対象物に反射光として照射できない虞がある。
【０００５】
ネジ留めや接着材によりミラーを固定する場合も、同様に、その裏面を部分的に真空吸着すると、保持されたミラーがたわみやすい。
【０００６】
また、ウェハ等の平板状物体の保持方法をハニカム構造のミラーのリブ部に適用した場合も、保持装置の吹付け部に、ハニカム構造のリブ部や凹部を正確に位置合わせしなければならない。この場合、保持する対象物を移動させる手間を要し、しっかりと正確に保持対象物を保持することができない虞がある。
【０００７】
また、ミラー裏面は必ずしも正確な平面ではなく、凹凸があったり、湾曲しているため、ウェハ等の平板状物体の保持方法をそのまま転用することはできない。
【０００８】
そこで、本発明は、ミラー裏面を撓ませずに保持し、かつ、仮にミラー裏面に凹凸や湾曲などがあっても、それらの形状に対応可能なミラー保持方法及びミラー保持装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の解決手段を例示すると、次のとおりである。
【００１０】
（１）保持装置によってミラーを保持するミラー保持方法であって、
ミラーの裏面の中央部を保持装置に真空吸着し、かつ、ミラーの裏面の周縁領域に保持装置から流体を吹き付けることを特徴とするミラー保持方法。
【００１１】
（２）前述のミラー保持方法において、
ミラーは裏面にハニカム構造を有し、流体をハニカム構造の凹部に吹き付けることを特徴とするミラー保持方法。
【００１２】
（３）前述のミラー保持方法において、
多数の吹付け穴から流体をミラーの裏面の周縁領域に吹き付けることを特徴とするミラー保持方法。
【００１３】
（４）ミラーを保持するミラー保持装置において、
ミラーの裏面の中央部を真空吸着するための吸着部と、ミラーの裏面の周縁領域に流体を吹き付けるための多数の流体吹付け部とを有することを特徴とするミラー保持装置。
【００１４】
（５）前述のミラー保持装置において、
流体吹付け部は、移動可能に吸着部の周辺に設けられていることを特徴とするミラー保持装置。
【００１５】
（６）前述のミラー保持装置において、
流体吹付け部は、多重に形成された複数のスリットと、それらのスリットに沿って形成された多数の吹付け穴とを有することを特徴とするミラー保持装置。
【００１６】
（７）前述のミラー保持装置において、
ミラーは裏面にハニカム構造を有し、多数の吹付け穴からハニカム構造の各凹部に流体を吹き付けることを特徴とするミラー保持装置。
【００１７】
（８）前述のミラー保持装置において、
ミラー保持装置の上面全体が保持面として構成されており、その保持面の中央に真空式の吸着部がドーナツ状に形成され、その中心に開口部が設けられ、その開口部から空気が吸い込まれ、ミラーのリブ部を吸着部に吸着するようになっており、吸着部の開口部を中心に円弧状に複数のスリットが同心に設けられていて、それらのスリットの各々に所定間隔毎に圧縮空気を吹き付けるために吹付け穴が設けられていることを特徴とするミラー保持装置。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、ミラー裏面を撓ませずにミラーを保持し、ミラー裏面に凹凸や湾曲などがあっても、その形状に対応してミラーを保持することができる。ミラー裏面がハニカム構造になっているような大口径ミラーを保持する場合にも、堅固に且つ正確に、大口径ミラーを保持することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
本発明は、保持装置によってミラーを保持するミラー保持方法及び装置を改良したものである。
【００２０】
例えば、ミラーの裏面の中央部を保持装置の対応部分に真空吸着すると同時に、ミラーの裏面の周縁領域に保持装置から流体を吹き付ける。
【００２１】
好ましくは、ミラーは裏面にハニカム構造を有し、流体をハニカム構造の凹部に吹き付ける。とくに、多数の吹付け穴から流体をミラーの裏面の周縁領域に吹き付ける。
【００２２】
また、ミラー保持装置は、ミラーの裏面の中央部を真空吸着するための吸着部と、ミラーの裏面の周縁領域に流体を吹き付けるための多数の流体吹付け部とを有する。
【００２３】
流体吹付け部は、移動可能に吸着部の周辺に設けられている。好ましくは、流体吹付け部は、多数の吹付け穴を有する。とくに、多重に形成された複数のスリットと、それらのスリットに沿って形成された多数の吹付け穴を有する。
【００２４】
好ましくは、ミラー保持装置の上面全体が保持面として構成されており、その保持面の中央に真空式の吸着部がドーナツ状に形成され、その中心に開口部が設けられ、そこから空気が吸い込まれ、ミラーのリブ部を吸着部に吸着するようになっている。そして、吸着部の開口部を中心に円弧状に複数のスリットが同心に設けられていて、それらのスリットの各々に所定間隔毎に圧縮空気を吹き付けるために吹付け穴が設けられている。
【実施例】
【００２５】
以下、図面を参照して、本発明の好適な実施例を説明する。
【００２６】
図１は、反射ミラー１０と、それを保持するミラー保持装置２０を示す。
【００２７】
反射ミラー１０の表面１１は、アルミニウムの板材の表面を研磨して反射ミラー面として形成されている。反射ミラー１０の裏面は、中央がリブ部で補強されている。リブ部の両側は多数の凹部を有するハニカム構造になっている。このような反射ミラー１０それ自体の構造は公知であるので、詳細な説明を省略する。
【００２８】
ミラー保持装置２０は、上面全体が保持面２１として構成されており、その保持面２１の中央には、真空式の吸着部２２がドーナツ状のランドとして形成され、その中心に円形の開口部２３が設けられ、その中心に孔２４が形成され、そこを介して通路２９に空気が吸い込まれ、その結果、反射ミラー１０のリブ部１３を保持面２１の吸着部２２に吸着するようになっている。
【００２９】
また、保持面２１は、吸着部２２内の開口部２３を中心にしてその周辺に平坦面２１ａを有する。その平坦面２１ａには、図２に示すように、円弧状に複数のスリット２５が同心に（つまり多重に）設けられ、それらのスリット２５の各々に所定間隔毎に圧縮空気を吹き付けるための吹付け穴２６が形成されて、吹付け部が構成されている。
【００３０】
圧縮空気は共通の通路２７を通って各小通路２８から各吹付け穴２６に送られる。
【００３１】
吹付け部の共通の通路２７は、ミラー保持装置の外部に設けられた空気ポンプ（図示せず）に連結されている。
【００３２】
このような構造であれば、軽量化のためにミラー１０の裏面を凹凸のハニカム構造にしたもの（反射ミラー）であっても、ミラー裏面の所望領域に確実に圧縮空気（流体）を吹きつけることができる。
【００３３】
図３は、本発明の別の実施例によるミラー保持装置の吹付け部を概略的に示す。
【００３４】
図３の吹付け部は、各スリット２５に沿ってノズル３０が移動するようになっている。各ノズル３０の先端に流体吹付け穴３１が形成されており、各ノズル３０の後端にホース３２の一端が連結されている。各ホース３２の他端は、ミラー保持装置の外部に設けられた空気ポンプ（図示せず）に連結されている。
【００３５】
多数のノズル３０は、多重配置されたスリット２５の各々に沿って移動して、必要に応じて圧縮空気を吹き付けうるようになっている。
【００３６】
図３の実施例の場合、反射ミラー１０を動かさずに、吹付け部のノズル３０を移動させる。そして、反射ミラー１０のハニカム構造の凹部の真下に、吹付け部のノズル３０の吹付け穴３１を移動させ、空気ポンプから送られてきた圧縮空気を反射ミラー１０の裏面の凹部に吹き付ける。この凹部（ハニカム穴）をオリフィス絞りのエアーポケットとして利用することができる。
【００３７】
吹付け穴３１の、反射ミラー１０の裏面の凹部への位置決めについては、反射ミラー１０の裏面の設計図をもとに、凹部の座標を図示しない制御装置に入力し、その座標位置に吹付け穴３１を移動させることで、正確に位置決めすることができる。
【００３８】
好ましくは、各スリット２５から見える吹付け穴３１の両側に、スライドするカーテン部（図示せず）を設け、吹付け穴３１が移動するときに、両側のカーテン部も移動させる。常に吹付け穴３１のみが表面に出て、吹付け穴３１以外から圧縮空気が吹き出すことがないように構成されている。
【００３９】
また、好ましくは、スリット２５の内側には円弧状に図示しないレールが設けられている。
【００４０】
また、吹付け用のノズル３０の側面には、駆動モータ３３が固定されている。その駆動モータ３３に取り付けられたコロ３４（車輪）は、スリット２５の内側に設けられたレール（図示せず）と係合し、駆動モータ３３とノズル３０が一緒にスリット２５に沿って移動する。
【００４１】
吹付けノズル３０の後端には、圧縮空気を送り出すホース３２が取り付けられていて、吹付けノズル３０の吹付け穴３１から圧縮空気を反射ミラー１０の裏面の周辺領域に吹き付けるようになっている。
【００４２】
以上により、ミラー裏面を撓ませずにミラーを保持し、ミラー裏面の凹凸や湾曲などの形状に対応可能にすることができる。特に、裏面がハニカム構造になっているような大口径ミラーを保持する場合であっても、堅固に且つ正確に大口径ミラーを保持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】反射ミラーを保持した状態で、本発明の好適な１つの実施例によるミラー保持装置を示す断面図。
【図２】図１に示されたミラー保持装置の全体を示す斜視図。
【図３】ミラー保持装置の吹付け部の変形例を示す図。
【符号の説明】
【００４４】
１０  反射ミラー
２０  ミラー保持装置
２１  保持面
２１ａ  平坦面
２２  吸着部
２３  開口部
２５  スリット
２６  吹付け穴
３０  ノズル
３１  吹付け穴
３２  ホース
３３  駆動モータ
３４  コロ
【図１】
2008256874.tif 000003
【図２】
2008256874.tif 000004
【図３】
2008256874.tif 000005