(57)【要約】【課題】テープ搬送装置において、ジャミングの発生を防止する。また、テープの搬送寸法精度の向上を図ることである。【解決手段】テープ４１を案内するガイド３３と、引き出しアーム３６と、保持基板３５と、を備える。引き出しアーム３６は、初期位置においてガイド３３上のテープ４１を吸着し、テープの長手方向に向かって保持基板上まで引き出す。引き出したテープ４１は保持基板３５に吸着固定される。カッタ６０によるテープ４１の切断が終了した後、引き出しアーム３６を初期位置に復帰させる。【選択図】図３
2008159913.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
テープを長手方向に搬送するテープ搬送装置において、
前記テープを長手方向に沿って案内するガイドと、
前記ガイド上の前記テープを吸着し、長手方向に切断単位長さだけ引き出す引き出しアームと、
前記ガイドの前記テープ引き出し側に隣接して設けられ、前記引き出しアームによって引き出された前記テープを吸着保持する保持基板と、
を有することを特徴とするテープ搬送装置。
【請求項２】
請求項１に記載のテープ搬送装置において、
前記引き出しアームの動作制御と、前記保持基板の吸着制御とを行う制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記ガイド上の前記テープを引き出しアームによって吸着し、長手方向に向かって切断単位長さだけ前記保持基板上に引き出すテープ引き出し手段と、
引き出した前記テープを前記保持基板に吸着固定するテープ吸着手段と、
前記引き出しアームを前記ガイド上に復帰させる引き出しアーム復帰手段と、
を有することを特徴とするテープ搬送装置。
【請求項３】
請求項２に記載のテープ搬送装置において、
前記ガイドは、前記テープを吸着保持し、
前記制御部は、前記ガイドの吸着制御を行い、
前記テープ吸着手段は、引き出した前記テープを前記ガイドに吸着固定すること、
を特徴とするテープ搬送装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載のテープ搬送装置において、
前記保持基板に吸着固定された前記テープを切断するカッタ
を有することを特徴とするテープ搬送装置。
【請求項５】
請求項４に記載のテープ搬送装置において、
前記制御部は、前記保持基板に吸着固定された前記テープを前記カッタによって切断するテープ切断手段
を有することを特徴とするテープ搬送装置。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか１項に記載のテープ搬送装置において、
前記テープは、熱圧着テープであること
を特徴とするテープ搬送装置。
【請求項７】
テープを長手方向に沿って案内するガイドと、前記ガイド上の前記テープを吸着し、前記テープの長手方向に引き出す引き出しアームと、前記ガイドの前記テープ引き出し側に隣接して設けられ、前記引き出しアームによって引き出された前記テープを吸着保持する保持基板と、を備え、前記テープを長手方向に搬送するテープ搬送装置のテープ搬送方法において、
前記ガイド上の前記テープを引き出しアームによって吸着し、長手方向に向かって切断単位長さだけ前記保持基板上に引き出すテープ引き出し工程と、
引き出した前記テープを前記保持基板に吸着固定するテープ吸着工程と、
前記引き出しアームを前記ガイド上に復帰させる引き出しアーム復帰工程と、
を有することを特徴とするテープ搬送方法。
【請求項８】
請求項７に記載のテープ搬送方法において、
前記ガイドは、前記テープを吸着保持し、
前記テープ吸着工程は、引き出した前記テープを前記ガイドに吸着固定すること、
を特徴とするテープ搬送方法。
【請求項９】
請求項６又は７に記載のテープ搬送方法において、
前記テープ搬送装置は、前記保持基板に吸着固定された前記テープを切断するカッタを備え、
前記保持基板に吸着固定された前記テープを前記カッタによって切断するテープ切断工程
を有することを特徴とするテープ搬送方法。
【請求項１０】
請求項７から９のいずれか１項に記載のテープ搬送方法において、
前記テープは、熱圧着テープであること
を特徴とするテープ搬送方法。
【請求項１１】
テープを長手方向に沿って案内するガイドと、前記ガイド上の前記テープを吸着し、前記テープの長手方向に引き出す引き出しアームと、前記ガイドの前記テープ引き出し側に隣接して設けられ、前記引き出しアームによって引き出された前記テープを吸着保持する保持基板と、を備え、前記テープを長手方向に搬送するテープ搬送装置のテープ搬送プログラムにおいて、
前記ガイド上の前記テープを引き出しアームによって吸着し、長手方向に向かって切断単位長さだけ前記保持基板上に引き出すテープ引き出しプログラムと、
引き出した前記テープを前記保持基板に吸着固定するテープ吸着プログラムと、
前記引き出しアームを前記ガイド上に復帰させる引き出しアーム復帰プログラムと、
を有することを特徴とするテープ搬送プログラム。
【請求項１２】
請求項１１に記載のテープ搬送プログラムにおいて、
前記ガイドは、前記テープを吸着保持し、
前記テープ吸着プログラムは、引き出した前記テープを前記ガイドに吸着固定すること、
を特徴とするテープ搬送プログラム。
【請求項１３】
請求項１１又は１２に記載のテープ搬送方法において、
前記テープ搬送装置は、前記保持基板に吸着固定された前記テープを切断するカッタを備え、
前記保持基板に吸着固定された前記テープを前記カッタによって切断するテープ切断プログラム
を有することを特徴とするテープ搬送プログラム。
【請求項１４】
請求項１１から１３のいずれか１項に記載のテープ搬送プログラムにおいて、
前記テープは、熱圧着テープであること
を特徴とするテープ搬送プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、テープ搬送装置の構造及びテープ搬送方法及びプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の製造工程の一つとして、前工程で形成された半導体ダイを、リードフレームあるいはリードフレームのダイパッド上に固定するダイボンディング工程がある。ダイボンディング工程における半導体ダイのダイパッド等への固定には、接合用樹脂を両面接着性の熱圧着テープに形成し、これを所定の大きさの熱圧着テープ片に切断してダイパッド等に供給し、この熱圧着テープ片を介して半導体ダイをダイパッド等に熱圧着する方法が用いられている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
一般的に、熱圧着テープは半導体ダイの幅と略同一幅となるように形成したものが用いられ、熱圧着テープ片はテープ搬送装置によってリールから上記の熱圧着テープを所定の寸法だけ切断装置に送り出し、送り出された熱圧着テープをテープ切断装置によって切断して形成される。このため、熱圧着テープ片の寸法はテープを切断装置に送り出すテープ搬送装置の送り出し量によって決まってくる。このような熱圧着テープの搬送装置としては、互いに外接された一対のローラの一方を回転駆動させ、ローラ間に挟持された熱圧着テープを切断装置に送り出すように構成したものや、熱圧着テープの上下に配置された爪によってテープを上下に挟んで熱圧着テープを切断装置に送り出す搬送装置が提案されている（例えば、特許文献１及び２参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開平４−１９９７２０号公報
【特許文献２】特開２００３−１３３３４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
一方、この熱圧着テープ片を用いた接合方法では、接合品質を確保するために熱圧着テープの寸法が半導体ダイの寸法に略一致していることが必要となる。形成された熱圧着テープ片の大きさが接合する半導体ダイの大きさよりも大きい場合には、熱圧着の際に半導体ダイの周囲にはみ出た熱圧着テープがリードフレーム上に形成された第２ボンド点（リード）表面を覆い、ワイヤボンディング等による半導体ダイとリードフレームとの間の配線ができなくなってしまうという場合があり、逆に熱圧着テープ片の大きさが接合する半導体ダイの大きさよりも小さい場合には、接合不良等が発生するという場合があるためである。
【０００６】
従って、熱圧着テープ片を用いたダイボンディングにおいて、接合品質を確保するためには、熱圧着テープの切断装置への送り量の精度が必要となる。
【０００７】
ところが、近年、半導体装置の薄型化が求められるに従って、上記の熱圧着テープもより薄いものが用いられるようになってきた。このような薄型熱圧着テープはその剛性が低いことから、特許文献１，２に記載のテープ搬送装置では、切断装置に送り出された際に、切断装置の面とテープとの間の摩擦力によってテープに加わる圧縮力がテープの座屈荷重よりも大きくなり、テープが座屈していわゆるジャミングが発生し、熱圧着テープの搬送ができなくなるという問題があった。また、ジャミングの発生に及ばなくとも送り出しの際にテープに加わる圧縮力によってテープが歪んだり、その送り出し方向がテープの長手方向からずれたりすることによって、形成される熱圧着テープ片の形状が歪み正確な寸法の熱圧着テープ片の形成ができないという問題があった。このような問題は、半導体ダイ接合用の熱圧着テープの搬送装置に限られず、薄いテープを搬送する他のテープ搬送装置においても同様に問題となっている。
【０００８】
本発明は、テープ搬送装置におけるジャミングの発生を防止することを目的とする。また、本発明の他の目的は、テープの搬送寸法精度の向上を図ることである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のテープ搬送装置は、テープを長手方向に搬送するテープ搬送装置において、前記テープを長手方向に沿って案内するガイドと、前記ガイド上の前記テープを吸着し、長手方向に切断単位長さだけ引き出す引き出しアームと、前記ガイドの前記テープ引き出し側に隣接して設けられ、前記引き出しアームによって引き出された前記テープを吸着保持する保持基板と、を有することを特徴とする。また、本発明のテープ搬送装置において、前記引き出しアームの動作制御と、前記保持基板の吸着制御とを行う制御部と、を備え、前記制御部は、前記ガイド上の前記テープを引き出しアームによって吸着し、長手方向に向かって切断単位長さだけ前記保持基板上に引き出すテープ引き出し手段と、引き出した前記テープを前記保持基板に吸着固定するテープ吸着手段と、前記引き出しアームを前記ガイド上に復帰させる引き出しアーム復帰手段と、を有すること、としても好適であるし、前記ガイドは、前記テープを吸着保持し、前記制御部は、前記ガイドの吸着制御を行い、前記テープ吸着手段は、引き出した前記テープを前記ガイドに吸着固定すること、としても好適である。また、本発明のテープ搬送装置において、前記保持基板に吸着固定された前記テープを切断するカッタを有すること、としても好適であるし、前記制御部は、前記保持基板に吸着固定された前記テープを前記カッタによって切断するテープ切断手段を有することとしても好適であるし、前記テープは、熱圧着テープであること、としても好適である。
【００１０】
本発明のテープ搬送方法は、テープを長手方向に沿って案内するガイドと、前記ガイド上の前記テープを吸着し、前記テープの長手方向に引き出す引き出しアームと、前記ガイドの前記テープ引き出し側に隣接して設けられ、前記引き出しアームによって引き出された前記テープを吸着保持する保持基板と、を備え、前記テープを長手方向に搬送するテープ搬送装置のテープ搬送方法において、前記ガイド上の前記テープを引き出しアームによって吸着し、長手方向に向かって切断単位長さだけ前記保持基板上に引き出すテープ引き出し工程と、引き出した前記テープを前記保持基板に吸着固定するテープ吸着工程と、前記引き出しアームを前記ガイド上に復帰させる引き出しアーム復帰工程と、を有することを特徴とする。また、本発明のテープ搬送方法において、前記ガイドは、前記テープを吸着保持し、前記テープ吸着工程は、引き出した前記テープを前記ガイドに吸着固定すること、としても好適であるし、前記保持基板に吸着固定された前記テープを前記カッタによって切断するテープ切断工程を有することとしても好適であるし、前記テープは、熱圧着テープであること、としても好適である。
【００１１】
本発明のテープ搬送プログラムは、テープを長手方向に沿って案内するガイドと、前記ガイド上の前記テープを吸着し、前記テープの長手方向に引き出す引き出しアームと、前記ガイドの前記テープ引き出し側に隣接して設けられ、前記引き出しアームによって引き出された前記テープを吸着保持する保持基板と、を備え、前記テープを長手方向に搬送するテープ搬送装置のテープ搬送プログラムにおいて、前記ガイド上の前記テープを引き出しアームによって吸着し、長手方向に向かって切断単位長さだけ前記保持基板上に引き出すテープ引き出しプログラムと、引き出した前記テープを前記保持基板に吸着固定するテープ吸着プログラムと、前記引き出しアームを前記ガイド上に復帰させる引き出しアーム復帰プログラムと、を有することを特徴とする。また、本発明のテープ搬送プログラムにおいて、前記ガイドは、前記テープを吸着保持し、前記テープ吸着プログラムは、引き出した前記テープを前記ガイドに吸着固定すること、としても好適であるし、前記保持基板に吸着固定された前記テープを前記カッタによって切断するテープ切断プログラムを有することとしても好適であるし、前記テープは、熱圧着テープであること、としても好適である。
【発明の効果】
【００１２】
本発明は、テープ搬送装置におけるジャミングの発生を防止することができるという効果を奏する。また、本発明は、テープの搬送寸法精度の向上を図ることが出来るという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明をダイボンダに用いられる半導体ダイ接合用の熱圧着テープ搬送装置に適用した場合における実施形態について説明する。テープ搬送装置の実施形態について説明する前に、ダイボンダの構成について図面を参照しながら説明する。
【００１４】
図１及び図２に示すように、ダイボンダ１０は、半導体ダイ接合用のカットされた熱圧着テープ片２３をリードフレーム２２又はすでにボンディングされた半導体ダイ２４の上に貼り付けるテープ貼り付けへッド１１と、熱圧着テープ片２３の上から半導体ダイ２４を熱圧着するボンディングへッド１４と、リードフレームをテープ貼り付けへッド１１とボンディングへッド１４とに供給するフレームフィーダ１７と、熱圧着テープ（テープ）４１を切断してテープ貼り付けへッド１１に供給する熱圧着テープ片２３とするカッタ６０と、カッタ６０に熱圧着テープ４１を搬送する熱圧着テープ搬送装置３１と、ダイシングしたウエハを保持するウエハホルダ１８を備えている。以下、リードフレーム２２の送り方向をＸ方向、水平面内でＸ方向と直角方向をＹ方向、上下方向をＺ方向として説明する。
【００１５】
テープ貼り付けへッド１１は、ＸＹ平面内で自在に移動でき、先端にテープ吸着コレット１３を備えるテープ貼り付けアーム１２を備えている。また、テープ貼り付けへッド１１の内部には、テープ貼り付けアーム１２先端をＺ方向に移動させるＺ方向モータを備えている。テープ貼り付けアーム１２先端のテープ吸着コレット１３は、テープ貼り付けへッド１１のＸＹ方向の移動とＺ方向モータによってＸＹＺ方向に自在に移動することができるように構成されている。
【００１６】
ボンディングへッド１４もテープ貼り付けへッド１１と同様に、ＸＹ平面内で自在に移動でき、先端にボンディングコレット１６を備えるボンディングアーム１５を備えている。ボンディングへッド１４の内部には、ボンディングアーム１５先端をＺ方向に移動させるＺ方向モータを備えている。ボンディングアーム１５先端のボンディングコレット１６は、ボンディングへッド１４のＸＹ方向の移動とＺ方向モータによってＸＹＺ方向に自在に移動することができるように構成されている。
【００１７】
フレームフィーダ１７は、ダイボンダ１０のＸ方向に延びて対向して配置された２本の溝型のガイドレールと図示しないリードフレーム搬送装置を備えている。そしてフレームフィーダ１７の一端にはリードフレーム２２をフレームフィーダ１７に供給するフレームローダ２０を備え、他の一端にはダイボンディングが終了したリードフレーム２２をフレームフィーダ１７から取り出すフレームアンローダ２１を備えている。
【００１８】
図２に示すように、テープ貼り付けへッド１１のＹ方向位置にはフレームフィーダ１７を挟んで熱圧着テープ搬送装置３１とカッタ６０とが備えられている。熱圧着テープ搬送装置３１は、熱圧着テープ４１を案内するガイド３３と、熱圧着テープ４１を吸着して引き出す引き出しアーム３６と、引き出された熱圧着テープ４１を吸着保持する保持基板３５と、を備えている。また、図２に示すように、カッタ６０は、ガイド３３と保持基板３５のテープ貼り付けへッド１１の反対側に設けられ、ガイド３３と保持基板３５との間で熱圧着テープ４１を切断し、熱圧着テープ片２３とするように構成されている。
【００１９】
図２に示すように、ボンディングへッド１４のＹ方向位置にはフレームフィーダ１７を挟んでウエハホルダ１８が設けられている。ウエハホルダ１８にはダイ突き上げユニット１９が備えられている。ダイ突き上げユニット１９は、ウエハホルダ１８に保持されたウエハの中の１つの半導体ダイ２４を突き上げて、他の半導体ダイ２４との間に高低差を持たせ、ボンディングコレット１６がその１つの半導体ダイ２４を吸着することができるようにする装置である。
【００２０】
このように構成された、ダイボンダ１０のボンディング動作について簡単に説明する。熱圧着テープ搬送装置３１によってガイド３３から保持基板３５の上に引き出された熱圧着テープ４１は、カッタ６０によって切断され、保持基板３５の上に熱圧着テープ片２３が形成される。一方、フレームローダ２０から供給されたリードフレーム２２はフレームフィーダ１７によってテープ貼り付けへッド１１の位置までＸ方向に送られてくる。リードフレーム２２が送られてくると、テープ貼り付けへッド１１はテープ吸着コレット１３をＸＹＺ方向に動作させて熱圧着テープ片２３を保持基板３５の上からピックアップし、リードフレーム２２の所定の位置に貼り付ける。熱圧着テープ片２３が貼り付けられたリードフレーム２２はフレームフィーダ１７によってボンディングへッド１４の位置までＸ方向に送られる。リードフレーム２２が送られてくると、ボンディングへッド１４はボンディングコレット１６をＸＹＺ方向に動作させて、ダイ突き上げユニット１９によって突き上げられた半導体ダイ２４をウエハホルダ１８上のウエハからピックアップし、リードフレーム２２の熱圧着テープ片２３の上に圧着する。この際、リードフレーム２２は加熱されており熱圧着テープ片２３の接合用樹脂が溶けて半導体ダイ２４はリードフレーム２２の上に固定される。前述の動作を繰り返し行いリードフレーム２２に搭載すべき半導体ダイ２４を全て搭載した後に、半導体ダイ２４が固定されたリードフレーム２２はフレームフィーダ１７によってフレームアンローダ２１に搬送され、取り出されて次の半導体製造工程に送られる。
【実施例１】
【００２１】
以上説明したダイボンダに用いられる熱圧着テープ搬送装置３１の実施形態について、図３及び図４を参照しながら説明する。図３は熱圧着テープ搬送装置３１の詳細側面図及び制御系統を示す図であり、図４は熱圧着テープ搬送装置３１の平面を示す図である。図３、図４におけるＸＹＺの方向は図１、図２で説明したＸＹＺの方向と同一方向である。また、図１、図２で説明したのと同様の部位には同様の符号を付して説明は省略する。
【００２２】
図３、図４に示すように、熱圧着テープ搬送装置３１は、熱圧着テープ４１を長手方向に案内するガイド３３と、ガイド３３の上の熱圧着テープ４１を吸着してテープ長手方向に引き出す引き出しアーム３６と、引き出しアーム３６によって引き出された熱圧着テープ４１を吸着保持する保持基板３５と、を備えている。
【００２３】
図３、図４に示すように、ガイド３３は熱圧着テープ４１を長手方向に案内するガイド面に固定ガイドピン３４ａと調整ガイドピン３４ｃとを備え、各ガイドピン３４ａ，３４ｃの上面にガイド板３４ｂが取りつけられている。調整ガイドピン３４ｃは搬送する熱圧着テープ４１の幅に合わせて熱圧着テープ４１の幅方向に移動することができるように構成されている。図４に示すように、２つの固定ガイドピン３４ａと調整ガイドピン３４ｃは、熱圧着テープ４１の両側に搬送方向に向かって交互に配置され、熱圧着テープ４１を長手方向にガイドできるよう構成されている。また、各ガイドピンに３４ａ，３４ｃによって形成されるテープガイド幅は熱圧着テープ４１の幅に熱圧着テープ４１の搬送に必要なクリアランスを加えた幅となっている。各ガイドピン３４ａ，３４ｃ及びガイド板３４ｂはテープ通路を構成する。
【００２４】
図３、図４（ａ）に示すように、ガイド面のテープ通路のテープ搬送方向側には、熱圧着テープ４１の幅及び長手方向に沿ってそれぞれ複数の通気孔４２が設けられ、ガイド面の各通気孔４２に向かって複数の溝４２ａが設けられている。各溝４２ａは通気孔４２と連通するよう構成されている。複数の通気孔４２は、ガイド３３の内部、あるいは外部で通気配管４５に接続されている。通気配管４５には、通気配管４５の空気の流れを遮断するガイド通気元弁４８が設けられている。ガイド通気元弁４８は空気配管によってガイド通気切り換え弁５１に接続されている。ガイド通気切り換え弁５１は、空気配管によって真空装置５５とブロワ５７とに接続されており、ガイド通気元弁４８と真空装置５５またはブロワ５７との接続を切り換えられるように構成されている。本実施形態においては、ガイド通気切り換え弁５１は三方弁であり、一方にガイド通気元弁４８、他の一方に真空装置５５、その他の一方にブロワ５７が接続されるように構成されている。
【００２５】
図３、図４（ａ）に示すように、保持基板３５はガイド３３の熱圧着テープ４１の引き出し方向に隣接して設けられている。保持基板３５の熱圧着テープ４１の吸着面は、ガイド３３の熱圧着テープ４１を案内するガイド面の高さ（Ｚ方向位置）と略同一高さとなっており、ガイド３３と保持基板３５との間には、例えば数ミクロン程度の微小な隙間が設けられている。保持基板３５の熱圧着テープ４１の吸着面には、ガイド３３のガイド面と同様に複数の通気孔４３と溝４３ａとが設けられている。また、複数の通気孔４３は、保持基板３５の内部、あるいは外部で通気配管４６に接続され、通気配管４６には、通気配管４６の空気の流れを遮断する保持基板通気元弁４９が設けられている。保持基板通気元弁４９は空気配管によって保持基板通気切り換え弁５２に接続され、保持基板通気切り換え弁５２は、空気配管によって真空装置５５とブロワ５７とに接続されて、保持基板通気元弁４９と真空装置５５またはブロワ５７との接続を切り換えられるように構成されている。本実施形態においては、保持基板通気切り換え弁５２はガイド通気切り換え弁５１と同様、三方弁である。
【００２６】
図３、図４（ａ）に示すように、引き出しアーム３６は、保持基板３５の熱圧着テープの引き出し側に設けられたアームへッドテーブル４０の上でＸ方向に自由にスライドできるアームへッド３７に取りつけられている。アームへッド３７にはＸ方向の駆動用のサーボモータが取り付けられており、その回転角度によってアームへッド３７のＸ方向の駆動及び移動量の制御をすることができるように構成されている。このＸ方向駆動用のサーボモータはアームへッド３７ではなく、アームへッドテーブル４０に取り付けてアームへッド３７のＸ方向の駆動及び移動量の制御をするように構成してもよい。また、Ｘ方向の駆動はサーボモータによる駆動に限られず、汎用モータによってＸ方向の駆動を行い、位置検出器によってアームへッド３７の位置を検出して汎用モータをフィードバック制御するように構成してもよい。
【００２７】
アームへッド３７には、引き出しアーム３６の先端をＺ方向に移動させるＺ方向駆動機構３９が取り付けられている。Ｚ方向駆動機構３９は、引き出しアーム３６をアームへッド３７に設けた回転中心の周りにモータによって回転させて、先端の吸着ノズル３８をＺ方向に移動させるように構成されていてもよいし、吸着ノズル３８をＺ方向に移動することができれば回転中心の周りに引き出しアーム３６を回転させずにアームへッド３７に設けたリニアガイドなどに沿って直線状に上下方向に移動するように構成してもよい。直線状に上下方向に移動するように構成する場合には、リニアモータなどによって引き出しアーム３６を駆動してもよいし、電磁力によって上下方向に駆動するように構成してもよい。また、カムなどによってアームへッド３７に取り付けられたＸ方向駆動用のサーボモータと連動して上下方向の移動ができるように構成してもよい。
【００２８】
このように構成されていることから、引き出しアーム３６の先端は、アームへッド３７のＸ方向の移動とＺ方向駆動機構３９によってＸＺ方向に自在に移動することができる。また、アームへッド３７はＸ方向のみではなく、ＸＹ方向に自由にスライドできるように構成してもよい。ＸＹ方向に移動できるように構成する場合でもＸＹ方向の駆動と移動量の制御を行うサーボモータはアームへッド３７に設けてもよいし、アームへッドテーブル４０に設けてもよい。この場合は、アームへッド３７のＸＹ方向の動作とＺ方向駆動機構３９によって引き出しアーム３６の先端をＸＹＺ方向に自在に移動させることができる。
【００２９】
引き出しアーム３６の先端の熱圧着テープ側には、熱圧着テープ４１を吸着する吸着ノズル３８が取りつけられている。吸着ノズル３８は熱圧着テープ４１を吸着する平面状の吸着面を有している。図４（ｂ）は、この吸着面側から見た引き出しアーム３６の平面図である。図４（ｂ）に示すように、吸着ノズル３８の吸着面には通気孔４４と溝４４ａとが設けられている。各通気孔４４は引き出しアーム３６の中に設けられた空気通路を通って通気配管４７に接続され、通気配管４７には、通気配管４７の空気の流れを遮断するアーム通気元弁５０が設けられている。アーム通気元弁５０は空気配管によってアーム通気切り換え弁５３に接続され、アーム通気切り換え弁５３は、空気配管によって真空装置５５とブロワ５７とに接続されて、アーム通気元弁５０と真空装置５５またはブロワ５７との接続を切り換えられるように構成されている。本実施形態においては、アーム通気切り換え弁５３はガイド通気切り換え弁５１と同様、三方弁である。また、吸着ノズル３８は、熱圧着テープ４１の幅や形成する熱圧着テープ片２３の大きさによって交換することができるように着脱自在に構成されている。
【００３０】
図４（ａ）に示すように、ガイド３３と保持基板３５の横にはカッタ６０が設けられている。カッタ６０は、カッタ刃６５が取り付けられたカッタへッド６３とカッタへッド６３をＺ方向に案内するカッタヘッドガイド６１を備えている。カッタへッド６３にはＺ方向駆動用のサーボモータが取りつけられ、カッタ刃６５をＺ方向に移動させることができるように構成されている。カッタへッド６３の駆動はサーボモータに限られず、例えば、駆動用シリンダによって駆動するようにしてもよい。カッタ刃６５は先端がガイド３３と保持基板３５との隙間に入り込んで熱圧着テープ４１の切断ができるような位置に取りつけられており、熱圧着テープ４１の幅以上の長さを有するよう構成されている。また、カッタ刃６５のガイド３３側の面とガイド３３の保持基板側の面とによって熱圧着テープ４１を剪断できるように、ガイド３３の保持基板側のガイド側端面に刃を設けるように構成してもよい。
【００３１】
図３に示すように、本実施形態の熱圧着テープ搬送装置３１はＣＰＵを有する制御部７１によって全体の制御が行われるように構成されている。アームへッド３７、Ｚ方向駆動機構３９、ガイド通気元弁４８、保持基板通気元弁４９、アーム通気元弁５０、ガイド通気切り換え弁５１、保持基板通気切り換え弁５２、アーム通気切り換え弁５３は、それぞれアームへッド駆動インターフェース７７、Ｚ方向駆動機構インターフェース７９、ガイド通気元弁インターフェース８１、保持基板通気元弁インターフェース８２、アーム通気元弁インターフェース８３、ガイド通気切り換え弁インターフェース８４、保持基板通気切り換え弁インターフェース８５、アーム通気切り換え弁インターフェース８６を介してデータバス７３に接続されている。そしてデータバス７３が制御部７１に接続されることによって、各機器の制御を制御部７１によって行うことができるように構成している。また、データバス７３には制御用のプログラムやデータ等を格納しておく記憶部７５が接続されている。
【００３２】
本実施形態では、カッタ６０、真空装置５５、ブロワ５７、テープ貼り付けへッド１１、ボンディングへッド１４は図示しない他の制御部に接続されて制御されるように構成され、各機器の動作状態はデータバス７３を介して制御部７１に入力することができるように構成されている。他の制御部は制御部７１と協調して各機器の制御を行うことができるように構成されている。なお、カッタ６０等の機器も各インターフェースを介して制御部７１に接続し、一体の制御部として構成することとしてもよい。
【００３３】
以上、本実施形態の熱圧着テープ搬送装置３１の構成について説明したが、以下、本実施形態の動作について図面を参照しながら説明する。図５は本実施形態の動作を示すフローチャートであり、図６から図１７は動作状態を示す動作説明図である。
【００３４】
図６に示すように、本実施形態の熱圧着テープ搬送装置３１の動作が開始される前の初期状態において、吸着ノズル３８は、その吸着面がガイド３３のテープ搬送方向側にある通気孔４２の上であって、ガイド３３の吸着面からＺ方向上側に向かって、例えば０．１から０．２ｍｍ程度上昇した位置となっており、吸着ノズル３８の吸着面とガイド３３の吸着面との間に熱圧着テープ４１が入る状態となっている。初期状態においては、図３で示すガイド通気元弁４８、保持基板通気元弁４９、アーム通気元弁５０はすべて閉状態であり、各通気孔４２，４３，４４、及び各溝４２ａ，４３ａ，４４ａに空気の流れは無く、リール６７に巻かれた熱圧着テープ４１は、固定ガイドピン３４ａ、調整ガイドピン３４ｃ、ガイド板３４ｂによって構成されるテープ通路を通って長手方向に延びて、その先端がガイド３３の保持基板３５側の端面付近にある基準位置となる様にセットされ、熱圧着テープ４１はガイド３３のガイド面にある通気孔４２と溝４２ａとを覆っている。ここで、基準位置は、カッタ刃６５の刃先のテープ長手方向の位置である。また、初期状態においては、カッタ６０のカッタへッド６３は上昇位置にあり、カッタ刃６５とガイド３３、保持基板３５との間には引き出しアーム３６が移動することができるスペースが確保されるような状態となっている。
【００３５】
そして、熱圧着テープ搬送装置３１の動作が開始されると、図５のステップＳ１０１に示すように、制御部７１は、吸着ノズル３８がガイド３３の上の初期位置にあるかどうかを確認し、吸着ノズル３８がこの初期位置に無い場合には、アームへッド３７及びＺ方向駆動機構３９を動作させて吸着ノズル３８をガイド３３の上の初期位置に移動させる指令を出力する。制御部７１からの指令はアームへッド駆動インターフェース７７、Ｚ方向駆動機構インターフェース７９を介してそれぞれアームへッド３７とＺ方向駆動機構３９に制御信号として伝達されアームへッド３７及びＺ方向駆動機構３９を動作が動作し、吸着ノズル３８が初期位置に移動される。
【００３６】
図５のステップＳ１０２及び図７に示すように、制御部７１は、Ｚ方向駆動機構３９によって引き出しアーム３６の先端に取り付けられた吸着ノズル３８をガイド３３のガイド面に向かって降下させる指令を出力する。この指令によってＺ方向駆動機構３９が動作して吸着ノズル３８を降下させ、テープ引き出し工程が開始される。
【００３７】
図５のステップＳ１０３に示すように、制御部７１は、図３で示すアーム通気切り換え弁５３を真空装置５５の側となるような指令を出力する。この指令はアーム通気切り換え弁インターフェース８６を介してアーム通気切り換え弁５３に制御信号として伝達され、アーム通気切り換え弁５３が動作し、アーム通気切り換え弁５３が真空装置５５の側に切り換えられる。そして、図５のステップＳ１０４に示すように、制御部７１は、図３で示すアーム通気元弁５０を開とする指令を出力する。この指令はアーム通気元弁インターフェース８３を介してアーム通気元弁５０に制御信号として伝達され、アーム通気元弁５０が動作し、アーム通気元弁５０が開となる。すると、図７に示すように、真空装置５５と通気配管４７とが連通し、吸着ノズル３８に設けられた通気孔４４と溝４４ａとから空気が吸い込まれ、吸着ノズル３８の吸着面は熱圧着テープ４１を吸着する。
【００３８】
図５のステップＳ１０５に示すように、制御部７１は、図３で示すガイド通気切り換え弁５１をブロワ５７の側となるような指令を出力する。この指令はガイド通気切り換え弁インターフェース８４を介してガイド通気切り換え弁５１に制御信号として伝達され、ガイド通気切り換え弁５１が動作し、ガイド通気切り換え弁５１がブロワ５７の側に切り換えられる。そして、図５のステップＳ１０６に示すように、制御部７１は、図３で示すガイド通気元弁４８を開とする指令を出力する。この指令はガイド通気元弁インターフェース８１を介してガイド通気元弁４８に制御信号として伝達され、ガイド通気元弁４８が動作し、ガイド通気元弁４８が開となる。すると、図７に示すように、ブロワ５７と通気配管４５とが連通し、ガイド３３のガイド面に設けられた通気孔４２と溝４２ａとから空気が吹き出される。
【００３９】
図５のステップＳ１０７及び図８に示すように、制御部７１は、Ｚ方向駆動機構３９によって引き出しアーム３６の先端に取り付けられた吸着ノズル３８をＺ方向に上昇させる指令を出力する。この指令によってＺ方向駆動機構３９が動作して吸着ノズル３８が上昇する。吸着ノズル３８の上昇高さは、熱圧着テープ引き出しの際にガイド３３と保持基板３５との間に隙間を確保できるだけの高さであればよく、例えば、０．１から０．２ｍｍ程度である。熱圧着テープ４１の種類や剛性、あるいは各部の構成寸法などによって、この上昇高さは変更することができる。図８に示すように、吸着ノズル３８が熱圧着テープ４１を吸着して上昇する際には、ガイド３３の通気孔４２と溝４２ａとから空気が吹き出して熱圧着テープ４１のガイド３３のガイド面からの剥離が容易になる。
【００４０】
図５のステップＳ１０８及び図９に示すように、制御部７１は、吸着ノズル３８を保持基板３５の上に移動させる指令を出力する。この指令によってアームへッド３７が動作して引き出しアーム３６先端の吸着ノズル３８を保持基板３５の上に移動させる。アームへッド３７の移動量はサーボモータによって精度よく制御される。図９に示すように引き出しアーム３６先端の吸着ノズル３８はその吸着面に熱圧着テープ４１を吸着した状態で保持基板３５の上に移動する。この動作によって、引き出しアーム３６の先端の吸着ノズル３８は熱圧着テープ４１を保持基板の上に引き出す。引き出しの際に熱圧着テープ４１はガイド３３に設けられた各ガイドピン３４ａ，３４ｃ及びガイド板３４ｂによって案内され、テープの長手方向にまっすぐに引き出される。そして、熱圧着テープ４１の先端は、吸着ノズル３８の移動距離だけカッタ刃６５の刃先の基準位置から引き出される。
【００４１】
この様に、熱圧着テープ４１を引き出して長手方向に搬送するので、搬送の際に熱圧着テープ４１に圧縮力がかかることがなくなる。このため、熱圧着テープ４１の搬送の際に熱圧着テープ４１が座屈してジャミングを起こし、搬送ができなくなることを防止し、スムーズに熱圧着テープ４１を長手方向に搬送することができる。また、熱圧着テープ４１が搬送中に圧縮力によって撓むことが無く、吸着ノズル３８の移動量の精度が高いことから、熱圧着テープ４１の引き出し長さの精度を高くして、熱圧着テープの搬送寸法精度の向上を図ることが出来る。さらに、熱圧着テープ４１は、各ガイドピン３４ａ，３４ｃ及びガイド板３４ｂによって案内されて引き出されるので、各ガイドピン３４ａ，３４ｃと熱圧着テープ４１とのクリアランスを小さくして方向精度を向上させても、各ガイドピン３４ａ，３４ｃ及びガイド板３４ｂを熱圧着テープが通過する際の抵抗の増加によって熱圧着テープ４１がジャミングを起こすことがなくなり、搬送における方向精度を向上させつつスムーズに熱圧着テープ４１を長手方向に搬送することができる。
【００４２】
図５のステップＳ１０９及び図９に示すように、制御部７１は、吸着ノズル３８の移動距離がカッタ６０の切断によって形成される１枚の熱圧着テープ片２３の長さの切断単位長さとなるまで移動させるようにアームへッド３７をＸ方向に移動させる。そして図５のステップＳ１１０に示すように、この移動距離が切断単位長さになったらアームへッド３７の移動を停止する指令を出力する。この指令によって、アームへッド３７は移動を停止する。アームへッド３７の移動が停止した状態では、熱圧着テープ４１の先端はカッタ刃６５の刃先の基準位置から熱圧着テープ片２３の長さの切断単位長さだけ引き出されている。そして、吸着ノズルの移動が停止すると、テープ引き出し工程は終了する。
【００４３】
テープ引き出し工程が終了すると、テープ吸着工程が開始される。図５のステップＳ１１１に示すように、制御部７１は、図３で示す保持基板通気切り換え弁５２を真空装置５５の側となるような指令を出力する。この指令は保持基板通気切り換え弁インターフェース８５を介して保持基板通気切り換え弁５２に制御信号として伝達され、保持基板通気切り換え弁５２が動作し、保持基板通気切り換え弁５２が真空装置５５の側に切り換えられる。そして、図５のステップＳ１１２に示すように、制御部７１は、図３で示す保持基板通気元弁４９を開とする指令を出力する。この指令は保持基板通気元弁インターフェース８２を介して保持基板通気元弁４９に制御信号として伝達され、保持基板通気元弁４９が動作し、保持基板通気元弁４９が開となる。すると、図１０に示すように、真空装置５５と通気配管４６とが連通し、保持基板３５に設けられた通気孔４３と溝４３ａとから空気が吸い込まれる。この状態では、熱圧着テープ４１は吸着ノズル３８の吸着面に吸着されており、熱圧着テープ４１と保持基板３５の吸着面との間には、例えば０．１から０．２ｍｍ程度の隙間が開いている。
【００４４】
図５のステップＳ１１３に示すように、制御部７１は、Ｚ方向駆動機構３９によって引き出しアーム３６の先端に取り付けられた吸着ノズル３８を保持基板３５の吸着面に向かって降下させる指令を出力する。この指令によってＺ方向駆動機構３９が動作して吸着ノズル３８を降下させる。吸着ノズル３８が保持基板３５の吸着面まで降下すると、図５のステップＳ１１４に示すように、制御部７１は、図３で示すアーム通気元弁５０を閉とする指令を出力する。この指令によって、アーム通気元弁５０は閉となり、吸着ノズル３８の吸着面の通気孔４４と溝４４ａとからの空気の吸い込みが停止する。そして、図１１に示すように、通気孔４４と溝４４ａとからの空気の吸い込みが停止した状態で、熱圧着テープ４１が保持基板３５の吸着面に吸着、固定される。図５のステップＳ１１５及び図１１に示すように、制御部７１は、図３で示すガイド通気切り換え弁５１を真空装置５５の側に切り換える指令を出力する。この指令によって、ガイド通気切り換え弁５１は真空装置５５の側に切り換えられ、ガイド３３のガイド面の通気孔４２と溝４２ａとから空気が吸い込まれ、ガイド面上の熱圧着テープ４１はガイド面に吸着、固定される。熱圧着テープ４１が保持基板３５とガイド３３に吸着固定されると、テープ吸着工程は終了する。
【００４５】
図１２に示すように、テープ吸着工程が終了すると、制御部７１と協調して動作する他の制御部によってカッタ６０のカッタへッド６３の降下動作指令が出力され、この指令によってカッタへッド６３が降下し、カッタ刃６５によって熱圧着テープ４１を切断するテープ切断工程が開始される。熱圧着テープ４１の先端はカッタ刃６５の位置である基準位置から熱圧着テープ片２３の長さ分だけ保持基板３５の方向に引き出されていることから、この切断によって、保持基板３５の吸着面に熱圧着テープ片２３が形成される。また、切断後の熱圧着テープ４１の先端はカッタ刃６５の位置である基準位置となる。
【００４６】
図１３に示すように、切断が終了したら制御部７１と協調して動作する他の制御部はカッタへッド６３を初期位置に上昇させる指令を出力し、この指令によってカッタへッド６３は初期位置まで上昇する。カッタへッド６３の初期位置への上昇によりテープ切断工程は終了する。
【００４７】
テープ吸着工程とテープ切断工程が終了すると、アーム復帰工程が開始される。図５のステップＳ１１６及び図１３に示すように、制御部７１は、図３で示すアーム通気切り換え弁５３をブロワ側に切り換える指令を出力する。この指令によって、アーム通気切り換え弁５３はブロワ側に切り換えられる。そして、図５のステップＳ１１７に示すように、制御部７１は、図３で示すアーム通気元弁５０を開とする指令を出力する。この指令によって、アーム通気元弁５０は開となり、吸着ノズル３８の吸着面の通気孔４４と溝４４ａとから空気が吹き出す。
【００４８】
図５のステップＳ１１８及び図１３に示すように、制御部７１は、Ｚ方向駆動機構３９によって引き出しアーム３６の先端に取り付けられた吸着ノズル３８をＺ方向に上昇させる指令を出力する。この指令によってＺ方向駆動機構３９が動作して吸着ノズル３８が上昇する。この際、吸着ノズル３８の吸着面の通気孔４４と溝４４ａとから空気が吹き出しているので、吸着ノズル３８は容易に熱圧着テープ４１を離して上昇することができる。
【００４９】
図５のステップＳ１１９及び図１４に示すように、制御部７１は、図３で示すアーム通気元弁５０を閉とする指令を出力する。この指令によって、アーム通気元弁５０は閉となり、吸着ノズル３８の吸着面の通気孔４４と溝４４ａとからの空気の吹き出しが停止する。
【００５０】
図５のステップＳ１２０及び図１４に示すように、制御部７１は、吸着ノズル３８を保持基板３５の上から退避させる指令を出力する。この指令によってアームへッド３７が動作して引き出しアーム３６先端の吸着ノズル３８を保持基板３５の上からテープの送り方向に退避させる。退避位置は図１４に示すように、アームへッドテーブル４０のであっても良いし、アームへッド３７がＸＹ方向に移動できるように構成されている場合には、Ｙ方向に保持基板３５の上から退避させるようにしても良い。
【００５１】
図１５に示すように、引き出しアーム３６が退避すると、他の制御部によって制御されているテープ貼り付けアーム１２の先端に取り付けられているテープ吸着コレット１３が熱圧着テープ片２３に吸着する。テープ吸着コレット１３が吸着するとその信号が他の制御部から制御部７１に送られる。図５のステップＳ１２１と図１６に示すように、この信号によって制御部７１は、図３で示す保持基板通気切り換え弁５２をブロワ側に切り換える指令を出力する。この指令によって、保持基板通気切り換え弁５２はブロワ側に切り換えられ、保持基板３５の吸着面の通気孔４３と溝４３ａとから空気が吹き出し、保持基板３５の吸着面は熱圧着テープ４１を吸着しなくなる。保持基板３５によって熱圧着テープ片２３の吸着保持がなくなると、図１６に示すように、他の制御部はテープ貼り付けアーム１２を動作させてテープ吸着コレット１３に吸着された熱圧着テープ片２３をリードフレーム２２に移送する。
【００５２】
図５のステップＳ１２２に示すように、制御部７１は、図３で示す保持基板通気元弁４９を閉とする指令を出力する。この指令によって、保持基板通気元弁４９は閉となり吸着面の通気孔４３と溝４３ａとからの空気の吹き出しが停止する。また、図５のステップＳ１２３に示すように、制御部７１は、図３で示すガイド通気元弁４８を閉とする指令を出力する。この指令によって、ガイド通気元弁４８は閉となりガイド３３の通気孔４２と溝４２ａによる熱圧着テープ４１の吸着、固定が停止する。
【００５３】
図５のステップＳ１２４及び図１７に示すように、制御部７１は、吸着ノズル３８をガイド３３の上の初期位置に復帰させる指令を出力する。この指令によってアームへッド３７が動作して引き出しアーム３６先端の吸着ノズル３８をガイド３３の上の初期位置に復帰させる。吸着ノズル３８が初期位置に復帰したら、アーム復帰工程は終了する。
【００５４】
このように、引き出しアーム３６先端の吸着ノズル３８で熱圧着テープ４１を吸着して初期位置から保持基板３５上に切断単位長さだけ引き出すテープ引き出し工程と、引き出した熱圧着テープ４１を保持基板３５の吸着面に吸着させる吸着工程と、引き出しアーム３６先端の吸着ノズル３８の熱圧着テープの吸着を停止してその位置を初期位置に復帰させる復帰工程とを繰り返し行うことによって、熱圧着テープ４１を熱圧着テープ片２３の長さである切断単位長さ分ずつ搬送することができる。
【００５５】
本実施形態の熱圧着テープ搬送装置３１は、引き出しアーム３６先端の吸着ノズル３８で熱圧着テープ４１を吸着して初期位置から保持基板３５上に切断単位長さだけ引き出すことによって熱圧着テープ４１を長手方向に搬送するように構成されていることから、搬送の際に熱圧着テープ４１に圧縮力がかかることがない。このため、熱圧着テープ４１の搬送の際に熱圧着テープ４１が座屈してジャミングを起こし、搬送ができなくなることを防止し、スムーズに熱圧着テープ４１を長手方向に搬送することができるという効果を奏する。
【００５６】
また、熱圧着テープ４１は引き出しアーム３６先端の吸着ノズル３８に吸着されて引き出され、熱圧着テープ４１が搬送中に撓むことが無く、吸着ノズル３８の移動量はアームへッド３７のサーボモータによって制御され、その移動量の精度が高いことから、熱圧着テープ４１の引き出し長さの精度を高くして、熱圧着テープの搬送寸法精度の向上を図ることが出来るという効果を奏する。熱圧着テープ４１はテープ引き出し工程において熱圧着テープ片２３の長さである切断単位長さだけ引き出されることから、搬送寸法精度の向上は最終的に成形される熱圧着テープ片２３の寸法精度を向上させる、ボンディング品質の向上を図ることが出来るという効果を奏する。
【００５７】
本実施形態では、熱圧着テープ４１を長手方向に案内するガイド３３の固定ガイドピン３４ａ、調整ガイドピン３４ｃ、ガイド板３４ｂは、吸着ノズル３８の初期位置よりも搬送方向の上流側に取りつけられて、テープ通路を形成し、このテープ通路を通った熱圧着テープ４１が吸着ノズル３８によって吸着されて引き出されるように構成されている。このためテープ通路と熱圧着テープ４１とのクリアランスを小さくして、熱圧着テープ４１が長手方向にまっすぐに搬送されるようにした場合でも、テープ通路を熱圧着テープが通過する際の抵抗の増加によって熱圧着テープ４１がジャミングを起こすことがなくなり、熱圧着テープ４１の搬送における方向精度を向上させることができる。このことによって、熱圧着テープ４１とカッタ刃６５との角度の精度を向上させて、形成される熱圧着テープ片２３の形状精度の向上を図ることが出来るという効果を奏する。
【００５８】
以上述べたように、本実施形態の熱圧着テープ搬送装置３１は、熱圧着テープ搬送装置におけるジャミングの発生を防止することができるという効果を奏すると共に、熱圧着テープの搬送寸法精度の向上を図ることが出来るという効果を奏する。
【００５９】
本実施形態では、ガイド３３、保持基板３５、引き出しアーム３６にそれぞれ設けられた通気孔４２，４３，４４と溝４２ａ，４３ａ，４４ａを真空装置５５とブロワ５７に各元弁４８，４９，５０と各切り換え弁５１，５２，５３とを介して接続し、各元弁４８，４９，５０の開閉と各切り換え弁５１，５２，５３の切り換えによって各通気孔４２，４３，４４と各４２ａ，４３ａ，４４ａの空気の吸引、ブロー、停止を行うように構成することで説明したが、各通気孔４２，４３，４４と各溝４２ａ，４３ａ，４４ａの空気の吸引、ブロー、停止を行うことができれば構成は本実施形態に限られない。
【産業上の利用可能性】
【００６０】
本実施形態は、ダイボンダ１０の半導体ダイ接合用の熱圧着テープを搬送する場合について説明したが、テープを搬送するものであれば、ダイボンダ１０に限られず他のテープ搬送装置にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】ダイボンダの構造を示す立面図である。
【図２】ダイボンダの構造を示す平面図である。
【図３】本発明の実施形態における熱圧着テープ搬送装置の構造と制御系統を示す説明図である。
【図４】本発明の実施形態における熱圧着テープ搬送装置の平面を示す説明図である。
【図５】本発明の実施形態における熱圧着テープ搬送装置の動作を示すフローチャートである。
【図６】本発明の実施形態における熱圧着テープ搬送装置の動作を示す動作説明図であって、初期状態を示す図である。
【図７】本発明の実施形態における熱圧着テープ搬送装置の動作を示す動作説明図であって、吸着ノズルの降下と熱圧着テープへの吸着を示す図である。
【図８】本発明の実施形態における熱圧着テープ搬送装置の動作を示す動作説明図であって、吸着ノズルに熱圧着テープを吸着させてガイドから引き上げを示す図。
【図９】本発明の実施形態における熱圧着テープ搬送装置の動作を示す動作説明図であって、引き出しアーム先端の吸着ノズルが熱圧着テープを吸着して、保持基板の上への引き出しを示す図である。
【図１０】本発明の実施形態における熱圧着テープ搬送装置の動作を示す動作説明図であって、保持基板の熱圧着テープの吸着動作を示す図である。
【図１１】本発明の実施形態における熱圧着テープ搬送装置の動作を示す動作説明図であって、吸着ノズルを降下させて吸着ノズルに吸着されている熱圧着テープの保持基板への吸着を示す図である。
【図１２】本発明の実施形態における熱圧着テープ搬送装置の動作を示す動作説明図であって、カッタによる熱圧着テープの切断を示す図である。
【図１３】本発明の実施形態における熱圧着テープ搬送装置の動作を示す動作説明図であって、吸着ノズルの熱圧着テープの吸着の停止と上昇を示す図である。
【図１４】本発明の実施形態における熱圧着テープ搬送装置の動作を示す動作説明図であって、引き出しアーム先端の吸着アームの保持基板上からの退避を示す図である。
【図１５】本発明の実施形態における熱圧着テープ搬送装置の動作を示す動作説明図であって、テープ吸着コレットによる熱圧着テープ片の吸着を示す図である。
【図１６】本発明の実施形態における熱圧着テープ搬送装置の動作を示す動作説明図であって、テープ吸着コレットによる熱圧着テープ片の移送を示す図である。
【図１７】本発明の実施形態における熱圧着テープ搬送装置の動作を示す動作説明図であって、引き出しアーム先端の吸着ノズルの初期位置への復帰を示す図である。
【符号の説明】
【００６２】
１０  ダイボンダ、１１  テープ貼り付けへッド、１２  テープ貼り付けアーム、１３  テープ吸着コレット、１４  ボンディングへッド、１５  ボンディングアーム、１６  ボンディングコレット、１７  フレームフィーダ、１８  ウエハホルダ、１９  ダイ突き上げユニット、２０  フレームローダ、２１  フレームアンローダ、２２  リードフレーム、２３  熱圧着テープ片、２４  半導体ダイ、３１  熱圧着テープ搬送装置、３３  ガイド、３４ａ  固定ガイドピン、３４ｂ  ガイド板、３４ｃ  調整ガイドピン、３５  保持基板、３６  引き出しアーム、３７  アームへッド、３８  吸着ノズル、３９  Ｚ方向駆動機構、４０  アームへッドテーブル、４１  熱圧着テープ（テープ）、４２，４３，４４  通気孔、４２ａ，４３ａ，４４ａ  溝、４５，４６，４７  通気配管、４８  ガイド通気元弁、４９  保持基板通気元弁、５０  アーム通気元弁、５１  ガイド通気切り換え弁、５２  保持基板通気切り換え弁、５３  アーム通気切り換え弁、５５  真空装置、５７  ブロワ、６０  カッタ、６１  カッタへッドガイド、６３  カッタへッド、６５  カッタ刃、６７  リール、７１  制御部、７３  データバス、７５  記憶部、７７  アームへッド駆動インターフェース、７９  Ｚ方向駆動機構インターフェース、８１  ガイド通気元弁インターフェース、８２  保持基板通気元弁インターフェース、８３  アーム通気元弁インターフェース、８４  ガイド通気切り換え弁インターフェース、８５  保持基板通気切り換え弁インターフェース、８６  アーム通気切り換え弁インターフェース。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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