(57)【要約】【課題】半導体基板と回路基板との接合を確実に達成する。【解決手段】一対の基板を構成する半導体基板と回路基板との各表面にそれぞれ形成された電極の間に絶縁材料が埋め込まれて、絶縁材料が接着性を発現する第１の温度にて、半導体基板が回路基板に対して傾けられ、仮固定されて、仮固定した複数の一対の基板が真空引きされて、仮固定した複数の一対の基板の表面に均等に圧力を加えて、一対の基板を接合し、圧力を維持するとともに、絶縁材料が硬化する第２の温度にて、接合された絶縁材料が硬化させられて、電極同士が固相拡散を発現もしくは電極同士が融解する第３の温度にて、接合された電極間に金属接合が形成されるようになる。【選択図】図１
2008084951.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フリップチップ構造を有する半導体装置の製造方法において、
一対の基板を構成する半導体基板と回路基板との各表面にそれぞれ形成された電極の間を絶縁材料にて埋め込む工程と、
前記絶縁材料が接着性を発現する第１の温度にて、前記半導体基板を前記回路基板に対して傾けて、仮固定する工程と、
仮固定した複数の前記一対の基板を真空引きする工程と、
仮固定した複数の前記一対の基板の表面に均等に圧力を加えて、前記一対の基板を接合し、前記圧力を維持するとともに、前記絶縁材料が硬化する第２の温度にて、接合された前記絶縁材料を硬化させる工程と、
前記電極同士が固相拡散を発現もしくは前記電極同士が融解する第３の温度にて、接合された前記電極間に金属接合を形成させる工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項２】
前記電極の間を前記絶縁材料にて埋め込む工程の後に、前記絶縁材料の表面および前記電極の表面を平坦化する工程をさらに有することを特徴とする請求項１記載の半導体装置の製造方法。
【請求項３】
前記絶縁材料にエポキシ系接着剤もしくはベンゾシクロブテン系接着剤を用いることを特徴とする請求項１乃至２のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項４】
前記電極に、金、銅、錫または錫合金のうちいずれか１種もしくは２種を用いることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項５】
前記電極が前記基板上に、電解メッキ法、無電解メッキ法、印刷法またはワイヤバンプを用いて形成されることを特徴とする請求項４記載の半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体装置の製造方法に関し、特にフリップチップ実装を有する半導体装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子機器の小型化、薄型化に伴い、電子部品の高密度実装の要求が高まってきている。特に、電子部品などに係る半導体基板の実装では、ワイヤボンディングによる接合方法に代わって、半導体基板を、その表面にアレイ状に配置されたバンプ電極を介して、回路基板に直接搭載し、半導体基板と回路基板との間に注入された封止樹脂によって接合させるフリップチップ実装が用いられている。
【０００３】
近年、このフリップチップ実装において、半導体基板の高密度化にともなって、配列された複数のバンプ電極の間隔が小さくなってきている。このために、実装後に注入された封止樹脂中に、ボイドや気泡などが発生してしまうため、熱ストレスが印加された場合に圧力変動が生じ電極接合部を破壊する。この結果、半導体基板と回路基板との接合性が低下してしまうという問題が生じる。このように、バンプ電極の間隔が小さくなってきているために、半導体基板と回路基板との間に、封止樹脂を密に充填することが困難となっている。
【０００４】
これらの課題を克服するために、半導体基板側もしくは回路基板側に封止樹脂層をあらかじめ形成し、半導体基板のバンプ電極と回路基板とを一括して接合する方法が提案されている。例えば、導電性粒子を配合した接着剤シートを用いて導電性粒子の接触接合と封止樹脂の封入を一括して行う方法や、半導体基板上および回路基板上に形成されたバンプ電極上に、エポキシ樹脂を主成分とする封止樹脂シートを形成して実装を行う方法などがある。ところが、このような方法において、特に、上述のエポキシ樹脂を利用した場合については、実装すると封止樹脂が対向するバンプ電極間に挟まり、導通不良になりやすい。このために、切削や研磨によって、封止樹脂から電極を露出させて確実にバンプ電極と回路基板とを接触させて、フリップチップ実装を行うことが試みられている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００５】
一方、さらなるプロセス時間の短縮や回路基板の両面に実装を行うことができるようにするために、複数の半導体素子に対して、一括して、フリップチップ実装を行うことができるようなプロセスが考案されている。例えば、封止樹脂の接着力により半導体素子と回路基板とを逐次仮固定し、その後、仮固定した半導体素子と回路基板とに加圧することによって一括して封止樹脂の硬化と溶融接合などが行われている（例えば、特許文献２参照。）。なお、この場合においても、バンプ電極と回路基板とにおいて確実に導通を確保するために、特許文献１と同様にして、切削や研磨によって、封止樹脂から電極を露出させて確実にバンプ電極と回路基板とを接触させて、フリップチップ実装を行うことが試みられている。
【特許文献１】特開２００５−１２０９８号公報
【特許文献２】特開２０００−３９２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、バンプ電極が設けられた半導体基板にあらかじめ封止樹脂層を形成して、封止樹脂層の表面およびバンプ電極の表面を切削や研磨によって、平坦化することには、以下のような問題点があった。
【０００７】
図１２は、半導体基板と回路基板との従来例であり、図１３は、実装された半導体基板と回路基板との従来例である。
半導体基板と回路基板１００は、電極が形成された半導体基板１１０と電極が形成された回路基板１２０が対になって構成されている。そして、電極が形成された半導体基板１１０は、半導体基板１０１上にバンプ電極１０２が複数形成されることによって、構成されている。また、同様に、電極が形成された回路基板１２０は、回路基板１１１上にバンプ電極１１２が複数形成されることによって構成されている。
【０００８】
すなわち、封止樹脂層が形成されていない場合は、半導体基板１０１上および回路基板１１１上にそれぞれ形成されたバンプ電極１０２，１１２の高さにばらつきがあっても、半導体基板１０１と回路基板１１１とを接合させると、図１３に示すように、バンプ電極１０２，１１２が変形することによって、高さのばらつきの影響が吸収されて、片当たりが表れない。
【０００９】
図１４は、平坦化された半導体基板と回路基板との従来例であり、図１５は、平坦化されて実装された半導体基板と回路基板との従来例である。
半導体基板と回路基板２００は、封止された半導体基板２１０と封止された回路基板２２０とが対になって構成されている。そして、封止された半導体基板２１０は、半導体基板２０１上にバンプ電極２０２が複数形成されて、バンプ電極２０２の間を埋めるようにして封止樹脂２０３が形成されることによって構成されている。また、同様に、封止された回路基板２２０は、回路基板２１１上にバンプ電極２１２が複数形成されて、バンプ電極２１２の間を埋めるようにして封止樹脂２１３が形成されることによって構成されている。
【００１０】
一方、このように封止樹脂層が形成されている場合は、図１４、図１５に示すように、切削や研磨により平坦化された封止された半導体基板２１０と封止された回路基板２２０とにフリップチップ接合を行うと、封止された半導体基板２１０および封止された回路基板２２０の全面を変形させる必要があるために接合装置の平行度や封止された半導体基板２１０または封止された回路基板２２０の厚さのばらつきによって片当たりが顕著に表れる。
【００１１】
そこで、封止樹脂層を容易に変形させるために、フリップチップ実装の際、封止樹脂の粘度が低下する温度で接合させる方法が考えられる。しかし、この温度では、最初に接合した箇所から封止樹脂が押し出されるために露出した電極上に封止樹脂が流れ込み、流れ込んだ状態で実装を行った場合に、封止樹脂が対向するバンプ電極間に挟まり、導通不良が発生する。また、封止樹脂が容易に流動する状態で加圧した場合には、不均等な圧力や回路基板の厚さのばらつきの影響によりボイドが生じやすい。このようなボイドが接合部に残留すると、前述の通り熱ストレスの印加でボイドの圧力が増大し電極接合部を破壊するという問題があった。
【００１２】
また、平坦化された半導体基板と回路基板とを接合させることによって仮固定し、仮固定した半導体基板と回路基板との複数個を同時に一軸メタルプレスなどの加圧装置に接合させて加圧する場合、半導体基板と回路基板とは厚みにそれぞればらつきがあるために、そのばらつきの影響のために片当たりの影響がさらに著しくなる。
【００１３】
一方、例えば、バンプ電極の接合として、錫銀（Sn−Ag）系のハンダを用いて溶融接合を行う場合、ハンダの融点は２２０℃前後である。また、金（Au）または銅（Cu）などのメッキバンプ電極による固相拡散を行う場合は、一般的に２００℃以上の高い温度が必要とされる。ところが固相拡散が進展する温度まで封止樹脂の温度を上昇させた場合、すぐに硬化がはじまらずに一旦粘度が低下してから徐々に硬化が進展する。すなわち、封止樹脂が流動性を有しているために対向するバンプ電極間に挟まりやすいという別の問題があった。
【００１４】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、半導体基板と回路基板との接合を確実に達成することができる接合性信頼の高い半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明では上記課題を解決するために、図１のフローチャート図に示すように、フリップチップ構造を有する半導体装置の製造方法において、一対の基板を構成する半導体基板と回路基板との各表面にそれぞれ形成された電極の間を絶縁材料にて埋め込む工程（Ｓ１１）と、絶縁材料が接着性を発現する第１の温度にて、半導体基板を回路基板に対して傾けて、仮固定する工程（Ｓ１２）と、仮固定した複数の一対の基板を真空引きする工程（Ｓ１３）と、仮固定した複数の一対の基板の表面に均等に圧力を加えて、一対の基板を接合し、圧力を維持するとともに、絶縁材料が硬化する第２の温度にて、接合された絶縁材料を硬化させる工程（Ｓ１４）と、電極同士が固相拡散を発現もしくは電極同士が融解する第３の温度にて、接合された電極間に金属接合を形成させる工程（Ｓ１５）と、を有することを特徴とする半導体装置の製造方法が提供される。
【００１６】
このような半導体装置の製造方法によれば、一対の基板を構成する半導体基板と回路基板との各表面にそれぞれ形成された電極の間に絶縁材料が埋め込まれて、絶縁材料が接着性を発現する第１の温度にて、半導体基板が回路基板に対して傾けられ、仮固定されて、仮固定した複数の一対の基板が真空引きされて、仮固定した複数の一対の基板の表面に均等に圧力を加えて、一対の基板を接合し、圧力を維持するとともに、絶縁材料が硬化する第２の温度にて、接合された絶縁材料が硬化させられて、電極同士が固相拡散を発現もしくは電極同士が融解する第３の温度にて、接合された電極間に金属接合が形成されるようになる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明では、一対の基板を構成する半導体基板と回路基板との各表面にそれぞれ形成された電極の間に絶縁材料を埋め込み、絶縁材料が接着性を発現する第１の温度にて、半導体基板を回路基板に対して傾け、仮固定して、仮固定した複数の一対の基板を真空引きして、仮固定した複数の一対の基板の表面に均等に圧力を加えて、一対の基板を接合し、圧力を維持するとともに、絶縁材料が硬化する第２の温度にて、接合された絶縁材料を硬化させて、電極同士が固相拡散を発現もしくは電極同士が融解する第３の温度にて、接合された電極間に金属接合を形成するようになる。このような半導体装置の製造方法によって、半導体基板と回路基板とのフリップチップ実装の電極同士の接合信頼性が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の概要を、図面を参照して詳細に説明する。
まず、本発明の概要について説明し、その後に、本発明の実施の形態について説明を行う。
【００１９】
図１は、本発明の概要を表すフローチャート図である。
本発明では、以下のステップＳ１１からステップＳ１５を経ることによって、半導体基板と回路基板とにフリップチップ実装が実現される。
【００２０】
［ステップＳ１１］半導体基板と回路基板との表面に形成された複数の電極の間を、絶縁樹脂を用いて埋め込む。ただし、電極は露出されるようにする。
［ステップＳ１２］電極が露出されるように絶縁樹脂に覆われた半導体基板および回路基板を、それぞれの電極同士および絶縁樹脂同士が対向するように接合する。絶縁樹脂が流動化せずに、接着性を発現する温度にて、回路基板に対し半導体基板を傾けた状態で、半導体基板周辺部４辺のうち何れか１辺のみで回路基板に絶縁樹脂の接着力を利用して仮固定させる。
【００２１】
［ステップＳ１３］仮固定させた半導体基板と回路基板との外気を真空引きし、半導体基板と回路基板の間の残留空気を排出させる。
［ステップＳ１４］仮固定された半導体基板と回路基板との表面を均等に加圧する。加圧して、一定の圧力を維持しながら、絶縁樹脂が硬化する温度にて、仮固定された半導体基板と回路基板との絶縁樹脂を硬化させる。
【００２２】
［ステップＳ１５］仮固定された半導体基板と回路基板との電極同士を、電極が固相拡散を発現もしくは電極が融解する温度にて、金属接合によって接合させる。
以上のように、絶縁樹脂が流動性を発現する温度以下で接合された半導体基板と回路基板とを加圧し、絶縁樹脂の接着力により半導体基板と回路基板とが仮固定されるために、露出された電極への絶縁樹脂の流入を防止することができる。さらに半導体基板の外周部のみで仮固定した状態で真空引きすることにより、半導体基板と回路基板との間の残留空気を排出した状態で仮固定された半導体基板と回路基板とを加圧することにより、ボイドの生成を抑制する。引き続き、一定圧力を維持したまま、絶縁樹脂を硬化させることによって、絶縁樹脂の膨張を抑え込むことができ、電極への絶縁樹脂の流入を防止することができる。また、半導体基板と回路基板とを均等圧によって加圧することから、確実に対向する電極同士の接合を実現することが可能となる。さらに、仮固定後、電極が固相拡散を発現もしくは電極が融解する温度にて、対向する電極同士を接合させると、電極間に金属接合が生じるために、確実に電極同士の接合を実現することが可能となる。
【００２３】
このようにして、本発明では、電極同士の接合信頼性が向上したフリップチップ構造を有する半導体装置を実現することが可能となる。
次に実施の形態について、図２〜図１１を用いて以下に説明する。
【００２４】
まず、半導体基板の表面に形成されたバンプ電極を、絶縁樹脂を用いて埋め込む。
図２は、バンプ電極が絶縁樹脂により封止された半導体基板の断面模式図である。
半導体基板１１上に、電極材料のCuを用いて複数のバンプ電極１２ａを形成する。エポキシ系の接着剤である絶縁樹脂１３ａを印刷法により、複数のバンプ電極１２ａ間に塗布して、バンプ電極１２ａの間を埋め込む。
【００２５】
なお、半導体基板１１上のバンプ電極１２ａは、例えば、電解メッキ法、無電解メッキ法、印刷法またはワイヤバンプによって形成することができる。
また、絶縁樹脂１３ａによってバンプ電極１２ａの間を埋め込むとき、図２に示すように、バンプ電極１２ａ全体を覆うように絶縁樹脂１３ａを形成した場合は、次に説明するように、平坦化処理を行うことによって、バンプ電極１２ａを露出させることができる。
【００２６】
次に、絶縁樹脂で埋め込まれた半導体基板の表面を平坦化する。
図３は、平坦化されているバンプ電極が絶縁樹脂により封止された半導体基板の断面模式図であり、図４は、平坦化されたバンプ電極が絶縁樹脂により封止された半導体基板の断面模式図である。
【００２７】
封止された半導体基板１０ａを、例えば１００℃程度の温度にて約３０分間程度乾燥させて、半硬化の状態にする。なお、塗布した絶縁樹脂１３ａを乾燥させて、半硬化の状態にする代わりに、最初から半硬化の状態のエポキシ樹脂シートを半導体基板１１上に貼り付けるようにしても、同様の効果を得ることができる。
【００２８】
そして、半硬化の状態の封止された半導体基板１０ａを、図３に示すように、バイト１４によって切削平坦化する。切削平坦化することによって、封止された半導体基板１０ａの表面の凹凸が減少されるだけでなく、絶縁樹脂１３ａによって埋もれていたバンプ電極１２ａが露出される。なお、平坦化の手法にはＣＭＰ（Chemical Mechanical Polishing：化学機械研磨）、研削、切削などがある。しかし、このように半硬化絶縁樹脂とバンプ電極を平坦化する場合には、ＣＭＰでは薬液使用による絶縁樹脂変質の問題があり、研削は砥粒が絶縁樹脂に埋没する問題がある。切削は、薬液や砥粒などを用いないためにこれらの問題はなく、確実にバンプ電極１２ａが露出される。
【００２９】
そして、封止された半導体基板１０ａを切削平坦化すると、図４に示すように、封止された半導体基板１０となる。封止された半導体基板１０は、半導体基板１１上に、露出されたバンプ電極１２と、バンプ電極１２間に埋め込まれた絶縁樹脂１３とによって構成される。
【００３０】
次に、回路基板上の表面にバンプ電極を形成し、形成した後にバンプ電極の間を絶縁樹脂で埋め込む。
図５は、表面に形成されたバンプ電極の間が絶縁樹脂にて埋め込まれた回路基板の断面模式図である。
【００３１】
回路基板２１上に、封止された半導体基板１０と異なり、電極材料のSnを用いてバンプ電極２２を形成する。エポキシ系の接着剤である絶縁樹脂２３を印刷法により、バンプ電極２２の間に塗布して、バンプ電極２２の間を埋め込むことによって、図５に示すような、封止された回路基板２０が形成される。
【００３２】
なお、封止された回路基板２０上のバンプ電極２２は、半導体基板１１上のバンプ電極１２ａと同様に、例えば、電解メッキ法、無電解メッキ法、印刷法またはワイヤバンプによって形成することができる。
【００３３】
また、封止された回路基板２０においても、バンプ電極２２全体が覆われるように絶縁樹脂２３が形成された場合は、封止された半導体基板１０の形成の際に説明したように、封止された回路基板２０の表面およびバンプ電極２２の表面を平坦化することによって、バンプ電極２２を露出させることができる。なお、回路基板２０においては、絶縁樹脂２３を完全硬化させてもよい。完全硬化させた場合、砥粒の埋没が減るために切削する以外に研削、研磨によって平坦化しバンプ電極を露出させることができる。
【００３４】
また、バンプ電極２２全体が絶縁樹脂２３に覆われたときのように、封止された回路基板２０に平坦化が必要な場合は、平坦化処理の代わりに、バンプ電極形成の際に用いるソルダーレジストを、バンプ電極との段差が３μｍ以内とするように塗布することによって、平坦化処理と同様の効果が得られる。
【００３５】
次に、上述のように作成された半導体基板と回路基板とを接合する。
封止された半導体基板１０と封止された回路基板２０とを実装する工程には、大きく分けて「仮固定」処理の工程、「樹脂硬化」処理の工程、「金属接合」処理の工程の３つに分けられる。
【００３６】
図６は、仮固定された半導体基板と回路基板との断面模式図である。
フリップチップボンダにより「仮固定」し、バンプ電極１２，２２同士および絶縁樹脂１３，２３同士が対向するようにする。ここで、半導体基板１１は、回路基板２１に対して傾いた状態で仮固定されている。続いて、均等圧力接合装置で、「樹脂硬化」し、さらに連続して均等圧力接合装置を用いるか、もしくは加熱炉またはリフロー炉を用いて電極同士を「金属接合」させる。
【００３７】
図７は、半導体基板と回路基板とを接合させる時の温度、圧力、気圧のグラフである。
半導体基板と回路基板とを接合させるために、「仮固定」処理の工程、「樹脂硬化」処理の工程、「金属接合」処理の工程の３つの工程が、図７に示すような、温度、圧力、気圧に従って行われる。
【００３８】
「仮固定」処理の工程では、半導体基板と回路基板とを、絶縁樹脂を介して、仮固定する。次の「樹脂硬化」処理の工程では、仮固定した半導体基板と回路基板とに圧力を加えて、加熱することにより、絶縁樹脂を硬化させる。最後の「金属接合」処理の工程では、バンプ電極間に金属接合を形成させる。以上のような、３つの工程によって半導体基板と回路基板とのフリップチップ接合が完了する。
【００３９】
図８は、均等圧力接合装置に搭載された半導体基板と回路基板との断面模式図である。
なお、均等圧力接合装置４０には、ヒータ４１ａ，４１ｂ、ポンプ４２、フリップチップボンダ４３および側壁４４ａ，４４ｂにより構成されている。
【００４０】
ポンプ４２は、均等圧力接合装置４０中の気圧を自由に調節して、真空にすることができる。そして、弾性材料にて構成されるフリップチップボンダ４３は、均等圧力接合装置４０の側壁４４ａ，４４ｂに沿って上下に動くことができて、均等圧力接合装置４０内に搭載された、封止された半導体基板１０と封止された回路基板２０とに自由に圧力を加えることができる。
【００４１】
それでは、以下に「仮固定」処理、「樹脂硬化」処理、「金属接合」処理の各工程の詳細について説明する。
まず、「仮固定」処理の工程について説明する。
【００４２】
図６に示したように、フリップチップボンダ４３により対となった封止された半導体基板１０と封止された回路基板２０の位置合わせを行った後に、封止された半導体基板１０と封止された回路基板２０とを、バンプ電極１２，２２同士および絶縁樹脂１３，２３同士が対向するようにし、絶縁樹脂１３，２３の接着性を利用して仮固定する。このとき、封止された半導体基板１０の周辺部４辺のうち何れか１辺のみで仮固定するために、封止された半導体基板１０を封止された回路基板２０と平行の位置から１μｍ〜２μｍ程度傾けておく。
【００４３】
なお、この時の、仮固定温度は、半硬化のエポキシ系の接着剤の絶縁樹脂１３，２３が接着性を発現する１００℃程度とする。そして、仮固定のための、フリップチップボンダ４３の圧力は、０．０１ＭＰａ〜１ＭＰａとする。
【００４４】
次に「樹脂硬化」処理の工程について説明する。
図８に示したように、均等圧力接合装置４０内にフリップチップボンダ４３によって仮固定された封止された半導体基板１０と封止された回路基板２０とが複数搭載される。
【００４５】
図９は、加熱および加圧されている均等圧力接合装置に搭載された半導体基板と回路基板との断面模式図である。
なお、「樹脂硬化」処理では、さらに２段階の工程を有する。
【００４６】
まず、仮固定された封止された半導体基板１０と封止された回路基板２０とが搭載された均等圧力接合装置４０内を、絶縁樹脂１３，２３が流動化しない温度、例えば１００℃程度に、ヒータ４１ａ，４１ｂを用いて調節するとともに、ポンプ４２を用いて真空にする。この条件下で、仮固定された封止された半導体基板１０と封止された回路基板２０とを、図９に示すように、フリップチップボンダ４３を用いて、０．３ＭＰａ〜数１０ＭＰａの圧力で加圧し、一定の圧力を維持する。
【００４７】
次に、均等圧力接合装置４０内の温度を、絶縁樹脂１３，２３が硬化する温度、例えば１８０℃程度に、１０分間程度、ヒータ４１ａ，４１ｂを用いて調節して保持して、絶縁樹脂１３，２３を硬化させる。
【００４８】
最後に「金属接合」処理の工程について説明する。
「樹脂硬化」処理とともに、図９に示したように、バンプ電極１２，２２間では、Cu電極とSn電極とで固相拡散が生じて、CuとSnとの金属間化合物（Cu6Sn6およびCu3Sn）が生成される。
【００４９】
さらに、圧力を保持したまま、１００℃程度まで冷却する。そして、圧力および気圧を解除してから、接合された封止された半導体基板１０と封止された回路基板２０とを均等圧力接合装置４０から取り出す。
【００５０】
図１０は、加熱されている接合された半導体基板と回路基板との断面模式図である。
図１０に示すように、均等圧力接合装置４０から取り出された、接合された封止された半導体基板１０と封止された回路基板２０とをオーブンなどによって、２５０℃〜３００℃の温度によって加熱する。接合された封止された半導体基板１０と封止された回路基板２０とが、再び加熱されることによって、バンプ電極１２，２２間の固相拡散がさらに進展する。固相拡散がさらに進展すると、リン青銅において、Cu6Sn6からCu3Snへの変化が促進され応力集中の少ない電極構造となり、バンプ電極１２，２２の接合が強化されて、フリップチップ構造を有する半導体装置が完成する。
【００５１】
したがって、図７のグラフに示したように、「仮固定」処理では、封止された半導体基板１０と封止された回路基板２０との絶縁樹脂１３，２３が流動性を発現する温度（温度Ａ）以下で、加圧（圧力Ｘ）して、封止された半導体基板１０と封止された回路基板２０との仮固定を行うことにより、露出されたバンプ電極１２，２２への絶縁樹脂１３，２３の流入を防止することができる。さらに「仮固定」処理で、封止された半導体基板１０の周辺部４辺のうち何れか１辺のみで封止された回路基板２０に仮固定した状態で真空引きをして加圧することで、封止された半導体基板１０と封止された回路基板２０に残留する空気を確実に排出してボイド生成を抑制することができる。そして、「樹脂硬化」処理において、引き続き、加圧し、一定圧力（圧力Ｙ）を維持するとともに、絶縁樹脂１３，２３が硬化する温度（温度Ｂ）前後にて、絶縁樹脂１３，２３を硬化させるため、絶縁樹脂１３，２３の膨張を抑え込むことができ、露出されたバンプ電極１２，２２への絶縁樹脂１３，２３の流入を防止することができる。また、フリップチップボンダ４３による均等圧により加圧することから、確実にバンプ電極１２，２２間の接合を実現することが可能となる。さらに、「金属接合」処理において、「樹脂硬化」処理後、一定圧力（圧力Ｚ）を加圧するとともに、バンプ電極１２，２２の固相拡散が発現または融解する温度（温度Ｃ）にて、バンプ電極１２，２２同士に金属接合が生じて、確実にバンプ電極１２，２２同士の接合を実現することが可能となる。
【００５２】
このようにして、本発明では、電極同士の接合信頼性が向上したフリップチップ構造を有する半導体装置を実現することが可能となる。
図１１は、樹脂と電極との組み合わせによる接合条件の表である。
【００５３】
本実施の形態では、絶縁樹脂にエポキシ系の接着剤、バンプ電極にCu−Sn電極を用いて、図７のエポキシ系、温度、圧力、時間などの条件にて、半導体基板と回路基板との接合を行った。
【００５４】
本実施の形態で挙げた材料以外でも、図１１に示した通り、例えば、絶縁樹脂にベンゾシクロブテン、バンプ電極にAu−Sn基合金を、それぞれに適した温度、圧力、時間などの条件にて、接合された半導体基板と回路基板とでも、本実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【００５５】
本実施の形態において、半導体基板と回路基板とを接合する場合を例に挙げて説明したが、半導体基板同士または回路基板同士の接合にも本実施の形態を利用することができ、同様の効果を得ることができる。一方、特に作成方法の記載が無い場合は、公知従来の方法を用いて作成するものとする。また、絶縁樹脂、電極を構成する材料や接合条件として、実施の形態に挙げた材料や条件、または、図７に示した材料や条件が考えられる。しかし、実施の形態を構成可能な材料系および条件の組み合わせにしても同様の効果を得ることができる。
【００５６】
（付記１）  フリップチップ構造を有する半導体装置の製造方法において、
一対の基板を構成する半導体基板と回路基板との各表面にそれぞれ形成された電極の間を絶縁材料にて埋め込む工程と、
前記絶縁材料が接着性を発現する第１の温度にて、前記半導体基板を前記回路基板に対して傾けて、仮固定する工程と、
仮固定した複数の前記一対の基板を真空引きする工程と、
仮固定した複数の前記一対の基板の表面に均等に圧力を加えて、前記一対の基板を接合し、前記圧力を維持するとともに、前記絶縁材料が硬化する第２の温度にて、接合された前記絶縁材料を硬化させる工程と、
前記電極同士が固相拡散を発現もしくは前記電極同士が融解する第３の温度にて、接合された前記電極間に金属接合を形成させる工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【００５７】
（付記２）  前記電極の間を前記絶縁材料にて埋め込む工程の後に、前記絶縁材料の表面および前記電極の表面を平坦化する工程をさらに有することを特徴とする付記１記載の半導体装置の製造方法。
【００５８】
（付記３）  切削によって前記平坦化を行うことを特徴とする付記２記載の半導体装置の製造方法。
（付記４）  前記平坦化する工程の前に、前記絶縁材料を半硬化する工程をさらに有することを特徴とする付記２又は３記載の半導体装置の製造方法。
【００５９】
（付記５）  前記絶縁材料にエポキシ系接着剤もしくはベンゾシクロブテン系接着剤を用いることを特徴とする付記１乃至４のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法。
（付記６）  前記電極に、金、銅、錫または錫合金のうちいずれか１種もしくは２種を用いることを特徴とする付記１乃至５のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法。
【００６０】
（付記７）  前記電極が前記基板上に、電解メッキ法、無電解メッキ法、印刷法またはワイヤバンプを用いて形成されることを特徴とする付記６記載の半導体装置の製造方法。
（付記８）  真空中において、前記絶縁材料を硬化させる工程を行うことを特徴とする付記１乃至７のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法。
【００６１】
（付記９）  １００℃において、前記仮固定する工程を行うことを特徴とする付記１乃至８のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法。
（付記１０）  ０．０１ＭＰａから１ＭＰａの圧力下において、前記仮固定する工程を行うことを特徴とする付記１乃至９のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法。
【００６２】
（付記１１）  前記絶縁材料に前記エポキシ系接着剤を使用した時、１２０℃から２００℃において、前記絶縁材料を硬化させる工程を行うことを特徴とする付記５記載の半導体装置の製造方法。
【００６３】
（付記１２）  前記電極に、銅および錫を使用したとき、３００℃において、前記金属接合を形成させる工程を行うことを特徴とする付記６記載の半導体装置の製造方法。
（付記１３）  前記均等な圧力は、０．３ＭＰａから１０ＭＰａであることを特徴とする付記１乃至１２のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法。
【００６４】
（付記１４）  前記第２の温度は前記第１の温度よりも高く、前記第３の温度は前記第２の温度よりも高いことを特徴とする付記１乃至１３のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明の概要を表すフローチャート図である。
【図２】バンプ電極が絶縁樹脂により封止された半導体基板の断面模式図である。
【図３】平坦化されているバンプ電極が絶縁樹脂により封止された半導体基板の断面模式図である。
【図４】平坦化されたバンプ電極が絶縁樹脂により封止された半導体基板の断面模式図である。
【図５】表面に形成されたバンプ電極の間が絶縁樹脂にて埋め込まれた回路基板の断面模式図である。
【図６】仮固定された半導体基板と回路基板との断面模式図である。
【図７】半導体基板と回路基板とを接合させる時の温度、圧力、気圧のグラフである。
【図８】均等圧力接合装置に搭載された半導体基板と回路基板との断面模式図である。
【図９】加熱および加圧されている均等圧力接合装置に搭載された半導体基板と回路基板との断面模式図である。
【図１０】加熱されている接合された半導体基板と回路基板との断面模式図である。
【図１１】樹脂と電極との組み合わせによる接合条件の表である。
【図１２】半導体基板と回路基板との従来例である。
【図１３】実装された半導体基板と回路基板との従来例である。
【図１４】平坦化された半導体基板と回路基板との従来例である。
【図１５】平坦化されて実装された半導体基板と回路基板との従来例である。
【符号の説明】
【００６６】
１０  封止された半導体基板
１１  半導体基板
１２  バンプ電極
１３  絶縁樹脂
２０  封止された回路基板
２１  回路基板
２２  バンプ電極
２３  絶縁樹脂
４０  均等圧力接合装置
４１ａ，４１ｂ  ヒータ
４２  ポンプ
４３  フリップチップボンダ
４４ａ，４４ｂ  側壁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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