(57)【要約】【課題】Ｎｉアノード表面の不動態化を抑制して、電流効率および成膜レートの低下を防止する。安定したＮｉめっき膜を供給することで品質向上に寄与し、また、安定した生産能力を維持できる電解Ｎｉめっき装置を提供する。【解決手段】平均グレインサイズが１０μｍ以下であるニッケル（Ｎｉ）アノードを備えることを特徴とする電解Ｎｉめっき装置。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
平均グレインサイズが１０μｍ以下であるニッケル（Ｎｉ）アノードを備えることを特徴とする電解Ｎｉめっき装置。
【請求項２】
前記平均グレインサイズが３μｍ以下である、請求項１に記載の電解Ｎｉめっき装置。
【請求項３】
平均グレインサイズが１０μｍ以下である電解Ｎｉめっき用Ｎｉアノード。
【請求項４】
電解Ｎｉめっき工程を含む半導体装置の製造方法であって、前記電解Ｎｉめっき工程において、アノードとして、平均グレインサイズが１０μｍ以下であるＮｉアノードを用いる、半導体装置の製造方法。
【請求項５】
請求項１または２に記載の電解Ｎｉめっき装置を用いて製造された半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平均グレインサイズが１０μｍ以下であるＮｉアノードを備える電解Ｎｉめっき装置および半導体装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
環境対策として鉛フリーはんだが急速に普及しており、半導体装置のフリップチップ品に使用される鉛フリーはんだにおけるバリアメタルは、合金化速度の大きいＣuから合金化速度の小さいＮｉへと置き換わりつつある。このＮｉの成膜方法には無電解めっきまたは電解めっきが一般的である。特に半導体製造プロセスに使用されるＮｉめっき装置においては、Ｎｉめっき膜を安定して高スループットに成膜できることが必要とされる。従来、半導体用途の電解めっき装置においては、一般的に溶解性のＮｉアノードが陽極として採用されている。
【０００３】
図５は、従来のＮｉめっき装置２００の構成を示す図である。図５に示すようにＮｉめっき装置２００は、内槽１０１、外槽１０２、ウェハホルダ１０３、および貯液タンク１０４で構成されている。内槽１０１の底面には、平均グレインサイズが１０μｍより大きいＮｉアノード１０５と、めっき液噴流口１０６が設けられている。また、外槽１０２の底面には、めっき液排液口１０７が設けられている。また、ポンプ１０８とフィルタ１０９とが設けられている。Ｎｉアノード１０５およびコンタクト部１１０には、電源１１１が接続されている。ウェハ１１２は、ウェハホルダ１０３に保持されたまま下降してコンタクト部１１０の上に置かれ、めっき液噴流口１０６から噴流しためっき液がウエハ１１２と接液する。ウエハ１１２を陰極、Ｎｉアノード１０５を陽極となるよう、電源１１１より電圧を加えると、ウエハ１１２表面ではＮｉが析出し、Ｎｉアノード１０５表面ではＮｉが溶解してめっき処理が行なわれる。電圧をかけ始めてから数秒〜数十秒の成膜初期では、Ｎｉアノード１０５は高電位の状態が続く。従って、高電流密度条件でウエハ連続処理を行った場合、すなわち、Ｎｉアノード１０５が高電位になっている比率が高い場合、Ｎｉアノード１０５の表面が不動態化して電流効率が低下し、成膜レートが下がっていくという問題があった。
【特許文献１】特開２００３−１７１７９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
電解Ｎｉめっき装置に使用されるアノードには、Ｐｔ、Ｔｉ等の不溶解性アノードおよび溶解性のＮｉアノードがある。微細パターンの存在するシリコンウエハへのめっきに対しては、アノードからの酸素の発生が少ないＮｉアノードが一般的に使用されている。
【０００５】
陽極として用いられるＮｉアノードは、通常のＮｉめっき成膜時、Ｎｉ→Ｎｉ２+＋２ｅ−で示される反応が生じ、徐々に溶解していく。しかし、或る値より高い電位にさらされた場合、前記溶解反応と共に、Ｎｉ酸化物またはＮｉ水酸化物の生成反応が生じ、表面が不動態化する。Ｎｉアノードを陽極とする電解Ｎｉめっきでは、電圧をかけ始めてから数秒〜数十秒の成膜初期において、成膜後期に比べ高電位の状態になることがわかっている。従って、高電流密度条件でウエハの連続処理を行った場合、Ｎｉアノードが高電位になっている比率が高く、Ｎｉ酸化物またはＮｉ水酸化物が生成し易い状況となる。従来使用されているＮｉアノードは、平均グレインサイズが１０μｍを超えていたため、粒界比率が小さく、溶解速度が遅い。そのため、Ｎｉ酸化物またはＮｉ水酸化物が生成し易く、すなわち、不動態化し易い。従って、アノード表面が不動態化して電流効率が低下し、成膜レートが下がっていくという問題があった。
なお、特許文献１では、銅アノードの粒径を制御することにより、アノード側で発生するスラッジ等のパーティクルの発生を抑制することについて開示されているが、不動態化の問題を解決しようとするものではない。銅アノードを用いる場合には上記のような問題は生じず、本発明はＮｉアノードを用いた場合に生じる特有の課題を解決しようとするものである。
【０００６】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、Ｎｉアノードの表面の不動態化を抑制し、電流効率および成膜レートの低下を防止するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明によれば、平均グレインサイズが１０μｍ以下であるニッケル（Ｎｉ）アノードを備えることを特徴とする電解Ｎｉめっき装置が提供される。
平均グレインサイズが１０μｍ以下であるＮｉアノードを用いることにより、Ｎｉアノード表面の不動態化を抑制し、電流効率および成膜レートの低下を防止する。
【０００８】
また、本発明によれば、平均グレインサイズが１０μｍ以下である電解Ｎｉめっき用Ｎｉアノードが提供される。
【０００９】
さらに、本発明によれば、電解Ｎｉめっき工程を含む半導体装置の製造方法であって、該電解Ｎｉめっき工程において、アノードとして、平均グレインサイズが１０μｍ以下であるＮｉアノードを用いる、半導体装置の製造方法が提供される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、平均グレインサイズが１０μｍ以下であるＮｉアノードを用いることにより、Ｎｉアノード表面の不動態化が抑制され、電流効率および成膜レートの低下が防止される。従って、安定したＮｉめっき膜を供給することで品質向上に寄与し、また、安定した生産能力を維持できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下に、本発明に係わる電解Ｎｉめっき装置の実施の形態を図面を参照しながら詳細に説明する。なお、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００１２】
図１は、本発明にかかる電解Ｎｉめっき装置１００の一例を示す図である。Ｎｉめっき装置１００は、内槽１０１、外槽１０２、ウェハホルダ１０３、および貯液タンク１０４を含む。内槽１０１の底面には、平均グレインサイズが１０μｍ以下であるＮｉアノード１０５と、めっき液を内槽１０１に送りこむためのめっき液噴流口１０６が設けられている。また、内槽１０１からオーバーフローしためっき液を貯液タンク１０３に送液するために、外槽１０２の底面にはめっき液排液口１０７が設けられている。また、貯液タンク１０４に貯液されためっき液を内槽１０１に噴流させるためのポンプ１０８と噴流時のゴミ除去を行うためのフィルタ１０９とが設けられている。Ｎｉアノード１０５およびコンタクト部１１０には、電流を供給する電源１１１が接続されている。図２は、図１に示すウエハ１１２の断面拡大図であり、鉛はんだバンプおよび鉛フリーはんだバンプ向けのウエハである。半導体基板１１３の表面にＣｕシード膜１１４が成膜され、Ｃｕシード膜１１４の上にフォトレジスト１１５がパターニングされる。
【００１３】
ウェハ１１２は、フォトレジスト１１５がパターニングされた面が下向きになる様、ウェハホルダ１０３に保持さる。ウェハホルダ１０３とウェハ１１２は下降してコンタクト部１１０の上に置かれ、めっき液噴流口１０６から噴流しためっき液がウエハ１１２と接液する。コンタクト部１１０と導通しているウエハ１１２を陰極、Ｎｉアノード１０５を陽極となるよう、電源１１１より電圧を加えると、ウエハ１１２表面ではＣｕシード膜１１４が露出した部分にＮｉが析出し、Ｎｉアノード１０５表面ではＮｉが溶解する。
【００１４】
本実施形態において、Ｎｉアノードの平均グレインサイズの上限値は１０μｍ以下であり、好ましくは３μｍ以下である。また、Ｎｉアノードの平均グレインサイズの下限値は特に限定されないが、好ましくは０．１μｍ以上である。
【００１５】
Ｎｉアノードの平均グレインサイズは、例えば以下の手順により算出することができる。まず、ＦＩＢ（Ｆｏｃｕｓｅｄ  Ｉｏｎ  Ｂｅａｍ）装置を用いて清浄なアノード断面を作成する。この断面をＳＩＭ（Ｓｃａｎｎｉｎｇ  Ｉｏｎ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）像で撮影する。該ＳＩＭ像において、単位面積当たりのグレイン数をカウントする。カウントされたグレイン数を単位面積で除することにより、平均グレインサイズが得られる。
【００１６】
従来使用されていたＮｉアノードは、平均グレインサイズが大きいため、粒界比率が小さく、溶解速度が遅かった。従って、Ｎｉ酸化物またはＮｉ水酸化物が生成し易く、不動態化し易かった。一方、本発明のＮｉめっき装置に用いられるＮｉアノードは、平均グレインサイズが小さく、１０μｍ以下である。従って、粒界比率が大きく、溶解速度が速いため、Ｎｉ酸化物またはＮｉ水酸化物が生成しにくい。すなわち、不動態化しにくく、高電流密度条件でウエハの連続処理を行った場合でも、電流効率低下、すなわち成膜レートの低下を防止することができる。
【００１７】
ここで高電流密度条件とは、例えば、アノード電流密度が１．５Ａ／ｄｍ２以上である場合をいう。本実施形態のＮｉアノードは上記のような高電流密度条件であっても不動態化しにくい。
【００１８】
さらに、電解Ｎｉめっき工程を含む半導体装置の製造方法において、本実施形態のＮｉアノードを用いることができる。該めっき工程においてアノードとして、平均グレインサイズが１０μｍ以下であるＮｉアノードを用いることにより、Ｎｉアノード表面の不動態化が抑制され、安定したＮｉめっき膜を供給することができる。
【００１９】
以上に述べたとおり、本発明によれば高電流密度条件でウエハの連続処理を行った場合でも、成膜レートの低下を防止することができる。従って、安定したＮｉめっき膜を供給することができ、品質向上に寄与し、また、安定した生産能力を維持できる。
以下、実施例を用いて本発明をさらに詳細に説明する。
【実施例】
【００２０】
（実施例１）
平均グレインサイズが１０μｍ以下のＮｉアノードを備えた電解Ｎｉめっき装置を用い、高電流密度条件でウエハ連続処理を行った。Ｎｉアノードの平均グレインサイズは、以下のようにして算出した。まず、ＦＩＢ装置を用いて清浄なアノード断面を作成し、この断面をＳＩＭ像で撮影した。図３の写真は、本実施例に係るＮｉアノードのＳＩＭ像である。
平均グレイン面積Ｓは単位面積をグレイン数で割ることにより得られる。本実施例のＳＩＭ像において、単位面積当たりのグレイン数をカウントした。単位面積をカウントされたグレイン数で除することにより、平均グレイン面積Ｓを得た。次いで、面積を長さに変換するために、グレインを円に近似し、平均グレインサイズＬを計算した。平均グレインサイズＬは、以下の式を用いて計算した。
Ｌ＝２＊√（Ｓ／π）
（式中、Ｌは平均グレインサイズ、Ｓは平均グレイン面積を示す。）
上記の式を用いて計算した結果、本実施例では平均グレインサイズＬは０．８μｍであった。
【００２１】
図４は、本実施例におけるウエハ処理枚数とＮｉめっき膜厚との関係を示すグラフである。グラフ中、ウエハ処理枚数毎に、Ｎｉめっき膜厚の最大値、最小値および平均値を示す。高電流密度条件でウエハ連続処理を行った場合、すなわち、Ｎｉアノードが高電位になっている比率が高い場合でも、Ｎｉアノードは不動態化しなかった。従って、電流効率の低下が生じず、その結果、成膜レートの低下も生じない。図４のグラフより、成膜膜厚はウエハ処理枚数が増加しても変化していないことがわかる。
【００２２】
（比較例１）
平均グレインサイズが１５μｍのＮｉアノードを備えた電解Ｎｉめっき装置を用い、実施例１と同様の条件でウエハ連続処理を行った。平均グレインサイズは実施例１と同様の手段により算出した。図６は、本比較例のＮｉアノードのＳＩＭ像である。
図７は、本比較例における、高電流密度条件でウエハ連続処理を行った場合の、ウエハ処理枚数とＮｉめっき膜厚との関係を示したグラフである。Ｎｉアノードの表面が不動態化した結果、徐々に電流効率が低下していき、成膜レートが低下した。図７より、成膜膜厚が徐々に減少しているのがわかる。
【００２３】
実施例１は比較例１と比較して、成膜レートが大きく改善された。上述のように、実施例１に係るＮｉめっき装置は平均グレインサイズを１０μｍ以下と小さくしたことにより、Ｎｉ酸化物またはＮｉ水酸化物が生成しにくく、従って、高電流密度条件でウエハの連続処理を行った場合でも、不動態化が抑制された。不動態化が抑制されるので、電流効率の低下、すなわち成膜レートの低下が防止される。結果として、実施例１では安定したＮｉめっき膜の供給が達成できた。
さらに、平均グレインサイズが８μｍのＮｉアノードを備えた電解Ｎｉめっき装置を用いた場合にも、実施例１と同様にウエハ連続処理を行ったところ、成膜レートが低下せず、不動態化が抑制されているのを確認した。
【００２４】
以上、本発明を実施の形態および実施例に基づいて説明したが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の実施の形態に係る電解Ｎｉめっき装置の一の構成を示す図である。
【図２】図１に示すウエハの拡大断面図である。
【図３】実施例１のＮｉアノードのＳＩＭ像である。
【図４】実施例１における、ウエハ処理枚数とＮｉめっき膜厚との関係を示すグラフである。
【図５】従来のＮｉめっき装置の一の構成を示す図である。
【図６】比較例１のＮｉアノードのＳＩＭ像である。
【図７】比較例１における、ウエハ処理枚数とＮｉめっき膜厚との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
【００２６】
１０１    内槽
１０２    外槽
１０３    ウェハホルダ
１０４    貯液タンク
１０５    Ｎｉアノード
１０６    めっき液噴流口
１０７    めっき液排液口
１０８    ポンプ
１０９    フィルタ
１１０    コンタクト部
１１１    電源
１１２    ウエハ
１１３    半導体基板
１１４    Ｃｕシード膜
１１５    フォトレジスト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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