(57)【要約】【課題】ワーク加工装置を直列方向に連結できると共に、直列方向に対して直角方向にも連結できる移送システムを実現する。【解決手段】ＸＹ位置決めステージを直列方向に連結したワークの移送システムにおいて、  所定のワーク加工装置に対応して直列連結方向に直交して配置された新たなワーク加工装置と、所定のワーク加工装置と新たなワーク加工装置との間に設けられワークの搬送時にワーク加工装置間にワークが挟み込まれるのを防止する挟み込防止手段と、所定のワーク加工装置と新たなワーク加工装置とにそれぞれ設けられワークを前記所定のワーク加工装置と新たなワーク加工装置との間を搬送するＹ軸方向搬送手段とを具備したことを特徴とする移送システムである。【選択図】図１
2008023637.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ軸方向にスライダを移動する一対のＸ軸リニアモータを平行配置し、前記一対のＸ軸リニアモータのスライダ間に橋渡ししたブリッジ部材にＹ軸リニアモータを設け、前記Ｙ軸リニアモータのスライダに搭載したツールを用い、吸着盤上に載置されたワークに対して所定の処理を行い、処理後は前記ワークを移送するようにしたワーク加工装置を備え、
このワーク加工装置を複数台直列に連結し、前記ワークを順次次段のワーク加工装置に移送するように構成されたワークの移送システムにおいて、
所定の前記ワーク加工装置に対応して前記直列連結方向に直交して配置された新たなワーク加工装置と、
前記所定のワーク加工装置と前記新たなワーク加工装置との間に設けられ前記ワークの搬送時に前記ワーク加工装置間にワークが挟み込まれるのを防止する挟み込防止手段と、
前記所定のワーク加工装置と前記新たなワーク加工装置とにそれぞれ設けられ前記ワークを前記所定のワーク加工装置と前記新たなワーク加工装置との間を搬送するＹ軸方向搬送手段と、
を具備したことを特徴とする移送システム。
【請求項２】
前記Ｙ軸方向搬送手段は、前記一対のＸ軸リニアモータに直交して平行配置された第２のＹ軸リニアモータと、
この第２のＹ軸リニアモータのスライダに配置され前記第２のＹ軸リニアモータの動作方向に前記ワークを吸着移送する第１の吸着手段と
を具備したことを特徴とする請求項１記載の移送システム。
【請求項３】
前記Ｙ軸方向搬送手段は、前記一対のＸ軸リニアモータのスライダ間に橋渡しされた搬送ブリッジ部材に設けられた第３のＹ軸リニアモータと、
この第３のＹ軸リニアモータのスライダに配置され前記第３のＹ軸リニアモータの動作方向に前記ワークを吸着移送する第２の吸着手段と
を具備したことを特徴とする請求項１記載の移送システム。
【請求項４】
前記第１，第２の吸着手段は、前記ワークの受け渡し時に、前記ワークの送り出し側の吸着手段と前記ワークの受け取り側の吸着手段とが、前記ワーク加工装置が互いに接する境目近くまで互いに移動接近して前記ワークの受け渡しを行うこと
を特徴とする請求項２又は請求項３記載の移送システム。
【請求項５】
前記第１，第２の吸着手段は、吸着パッドが使用されたこと
を特徴とする請求項２乃至請求項４の何れかに記載の移送システム。
【請求項６】
前記吸着パッドは、前記ワークに吸着する面が開口する椀状をなすこと
を特徴とする請求項５記載の移送システム。
【請求項７】
一端が前記吸着パッドに設けられ他端がエアー吸引源に接続され前記ワークを吸引する吸引パイプ
を具備したことを特徴とする請求項５又は請求項６記載の移送システム。
【請求項８】
前記エアー吸引源として真空ポンプが使用されたこと
を特徴とする請求項７記載の移送システム。
【請求項９】
前記挟み込防止手段は、前記ワーク加工装置間に配置され前記ワークの搬送時に噴気孔から気体を噴出して前記ワークを浮上させる補助プレートが使用されたこと
を特徴とする請求項１記載の移送システム。
【請求項１０】
前記挟み込防止手段は、前記ワーク加工装置間に配置され前記ワークの搬送時にローラが回転して前記ワークを移送する補助ローラが使用されたこと
を特徴とする請求項１記載の移送システム。
【請求項１１】
前記新たなワーク加工装置を複数台連続してＹ軸方向に連結されたこと
を特徴とする請求項１乃至請求項１０の何れかに記載の移送システム。
【請求項１２】
前記ワークは新たなワーク加工装置側に送られた後、前記所定のワーク加工装置に戻されること
を特徴とする請求項１乃至請求項１１の何れかに記載の移送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ軸方向にスライダを移動する一対のＸ軸リニアモータを平行配置し、一対のＸ軸リニアモータのスライダ間に橋渡ししたブリッジ部材にＹ軸リニアモータを設けＹ軸リニアモータのスライダに搭載したツールを用いて加工対象となるワークに対して所定の処理をするワーク加工装置を有する移送システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
リニアモータおよびワークの移送システムに関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
【０００３】
【特許文献１】特開昭６３−２１３４９０号公報
【特許文献２】特開２０００−０６５９７０号公報
【特許文献３】特開２００６−０８２１４８号公報
【０００４】
以下、特開２００６−０８２１４８号公報に付いて説明する。
図１０は、一対のＸ軸リニアモータを所定距離を隔てて平行に配置し、各Ｘ軸リニアモータのスライダ間をブリッジ部材で橋渡しし、このブリッジ部材上にＹ軸リニアモータを設けたワーク加工装置の外観斜視図である。
【０００５】
１はワーク加工装置の筐体であり、上面のＸ軸方向の両端部にＸ軸方向に平行配置した突出部１ａ及び１ｂが形成されて断面が凹状とされ、この凹部１ｃ上面に加工対象となるワーク２が所定位置にセットされる。
【０００６】
３１は突出部１ａの上面にステータが設置されたＸ１軸リニアモータ、３２は突出部１ｂの上面にステータが設置されたＸ２軸リニアモータである。
４１及び４２は、これらリニアモータのステータ上をＸ軸方向に走行するスライダである。
【０００７】
５はブリッジ部材であり、スライダ４１及び４２間に橋渡しし、Ｘ軸に直交するＹ軸方向に平行に配置される。６はブリッジ部材の上面にステータが配置されたＹ軸リニアモータであり、７はこのステータ６上をＹ軸方向に走行するスライダである。
【０００８】
Ｙ軸リニアモータのスライダ７にワーク２に対して所定の処理（液晶、半導体、電子部品等の製作、検査）を実行するためのツール（図示せず）が搭載され、このワーク加工装置はツールのワーク２に対するＸＹ位置決め制御を行う。
【０００９】
しかしながら、上述のワーク加工装置では次のような問題点がある。
（１）ワークをステージ内外に搬入搬出するローダ及びアンローダ並びに搬送装置が位置決めステージ間に専用装置として別途必要であり、連結されるワーク加工装置の数が多くなるとこれら専用装置の占めるスペースのために設置可能なワーク加工装置の数に制約を生じ、スペース効率が低下する。
【００１０】
（２）また、専用装置の数が増加すると、ワーク加工装置以外の付帯コストが増加し、移送システムを構築するためのコスト低減の障害要因となる。
【００１１】
図１１はスペース効率とコスト低減を図った移送システムを示すもので上述の［特許文献３］の特開２００６−０８２１４８号公報に記載されたものである。
図１１において、１０１、１０２、１０３はＸ軸方向に３個連結された同一構造のワーク加工装置である。ワーク加工装置１０１にセットされたワーク２は、このステージでの加工が終了すると矢印Ｐで示すようにＸ軸方向に移送され、ワーク加工装置１０２に２’で示す位置にセットされてこのステージでの加工が実行される。
【００１２】
更に、このステージでの加工が終了すると矢印Ｐ’で示すようにＸ軸方向に移送され、ワーク加工装置１０３に２”で示す位置にセットされてこのステージでの加工が実行され、次に、矢印Ｐ”方向に移送される。
【００１３】
ワーク加工装置１０１とワーク加工装置１０２とが結合するインターフェース部２０１及びワーク加工装置１０２とワーク加工装置１０３とが結合するインターフェース部２０２は、ワーク加工装置１０３の凹部１０３ｃと同一の凹部形状を有する共通のメカニカルインターフェース構造になっており、任意個数のワーク加工装置を共通のインターフェースで連結結合することが可能となっている。
【００１４】
図１２は、図１１におけるインターフェース部２０１及びインターフェース部２０２においてワーク加工装置の筐体内部に形成される移送手段３０１及び３０２の配置を示す平面図である。
移送手段は、上流側のワーク加工装置にセットされたワークにアクセスして移送し、これを下流側のワーク加工装置の所定位置に移送するアクチュエータ機能を備えた手段で実現される。
【００１５】
図１３は、移送手段の構成例を示す斜視図である。平行レール６０１，６０２上を走行するスライダ７００にアクチュエータ８００が搭載され、このアクチュエータで伸縮駆動される操作アーム９０１，９０２により、ワークを乗せて移送させる。
図１４は、操作アーム９０１，９０２が伸ばされた状態を示す斜視図である。
【００１６】
次に、吸着盤６０が使用された、２００６年４月１４日出願の先願に関わる出願番号２００６−１１２３７３号のワーク加工装置に付いて説明する。
図１５はワーク加工装置の一実施形態を示す平面図（ａ），正面図（ｂ），側面図（ｃ）である。なお、図１０で説明した従来例と同一要素には同一符号を付している。
【００１７】
図１５において、ワーク２は透明体として表示している。このワーク２は吸着盤６０の所定の箇所に配置されている。３０は処理手段であり、ブリッジ部材５に沿ってＹ軸方向に往復移動する。
【００１８】
５０はチューブで、このチューブの一端が吸着盤６０の裏面に装着されており、他端は図示しない真空・加圧ポンプに接続されている。
７０は筐体１に取付けられたワーク搬送手段であり、図示の例では矩形状のワーク２の長手方向の端部付近の対向する側面に４個設けられている。
【００１９】
このワーク搬送手段７０はワーク処理中はワーク２からわずかに離れた位置に配置されており、矢印Ａ方向（ｃ図参照）に往復移動する。
図１５はワーク加工装置での加工処理が終了し、ブリッジ部材５が上流側に移動し、吸着盤６０による吸着状態が解除され、チューブ５０から圧縮気体が送風されてワークがＺ方向に記号Ｋで示す距離（例えば０．５ｍｍ）浮上するとともに、ワーク搬送手段７０ａ，７０ａ’，７０ｂ，７０ｂ’の先端部が矢印Ａ方向に伸長してワークの側面を支持した状態を示している。
【００２０】
図１６はワーク搬送手段７０がワーク２を支持した状態で矢印Ｇ方向に移動し、２台並べたワーク加工装置の下流側の装置へワーク２を移動させている状態を示すものである。
この場合、ワーク搬送手段７０自身がリニアモータにより単独で又はワーク搬送手段７０ａ，７０ａ’およびワーク搬送手段７０ｂ，７０ｂ’が一対となって移動する。
【００２１】
下流側のワーク搬送手段７０ｃ，７０ｃ’，７０ｄ，７０ｄ’はワーク２が自身の前に来た段階でワーク２の側面に向かって先端部を伸長させ、ワークを支持して所定の位置に移動させる。
なお、ワーク２が移動している状態ではブリッジ部材５はそれぞれのワーク加工装置の上流側（図示の位置）に待機している。
【００２２】
図１７はワーク２が下流側のワーク加工装置の所定の位置に移動し、ワーク搬送手段７０がワークの側面から離れるとともに吸引が開始されてワーク２が吸着盤６０に固定された状態を示している。
また、この例では上流側のワーク加工装置の所定の位置に新たなワークが固定され、ブリッジ部材５に搭載された処理手段３０によりワーク２のそれぞれに対して加工が施されている状態を示している。
【００２３】
図１８は上述のワーク搬送手段７０にストッパ７３を設けた例を示すものである。
ワークへの加工処理が終了すると、ワーク搬送手段を構成する伸長部材７０ｘがワークの端部上方ヘ矢印Ｂ方向に移動する。
次にワークの吸引が解除され矢印Ｚ方向からの圧縮気体の噴射によりワーク２が浮上する。
【００２４】
浮上したワークはストッパ７３で浮上が阻止される。
次に伸長手段７０ｘが矢印Ｅ方向に移動してワーク２を支持し、支持した状態でストッパ７３がわずかに上方に移動してワークとは非接触の状態となる。
次にワーク搬送手段７０がＸ方向に移動してワークを移動させる。
【００２５】
図１９はワーク搬送手段の他の実施例を示す要部平面図（ａ）、正面図（ｂ）及び側面図（ｂ）である。
この例では回転部材７２を有するワーク搬送手段７１自身が筐体１に固定されており、ワークは回転部材７２に支持され、回転部材７２の回転により搬送される。
【００２６】
図１９ではワーク加工装置での加工処理が終了し、ブリッジ部材５が上流側に移動し、吸着盤６０による吸着状態が解除され、ワーク搬送手段７０のチューブ５０から圧縮気体が送風されてワーク２が矢印Ｚ方向にＫで示す距離だけ浮上してストッパ７３に当接した状態を示している。
【００２７】
図２０はワーク搬送手段７１の部分詳細説明図である。この状態では回転部材７２とワーク２は非接触の状態になっている。
次にストッパ７３がわずかに上方に移動してワーク２と非接触の状態となり、ワーク搬送手段７１が矢印Ｅ方向に移動してワーク２の側面に接触する。
そして接触した状態で回転部材７２が矢印Ｃ方向に回転することによりワーク２が矢印Ｄ方向に移動可能となる。
【００２８】
図２１はこのようなワーク加工装置を複数台（図示の例では２台）直列方向に並べた状態を示しており、回転部材７２が回転し、ワーク２を矢印Ｇ方向に移送している途中の状態を示している。ワーク２は移送前の状態では搬送手段７１ａ，７１ａ’，７１ｂ，７１ｂ’の回転部材７２（図１９参照）で支持されているが、移送の途中では７１ｂ，７１ｂ’，７１ｃ，７１ｃ’で支持された状態となる。
【００２９】
図２２は移送が終了し先に図１９で説明した逆の操作が行われワーク２を吸着盤６０上に載置した状態を示している。
即ち、図１９に示すストッパ７３をワーク２に接触させ、回転部材７２をワーク２の側面から離間させ、圧縮気体の圧力を下げて吸着盤６０上に載置して吸着し固定する。
これらワーク搬送部材の動作は図示しない制御装置により制御される。
また、ワーク２のＸＹ方向の正確な位置決めは別の手段により行うものとする。
【００３０】
次に、アーム部材８７，８８が使用された、２００５年１０月７日出願の先願に関わる出願番号２００５−２９４５４３号のワーク加工装置に付いて説明する。
【００３１】
図２３は本発明を適用したワーク加工装置の一実施形態を示す外観斜視図である。図１０、図１１と同一要素には同一符号を付して説明を省略する。以下、本発明の特徴部につき説明する。
【００３２】
本発明は、ワークを支持してＸ軸方向に移動し、ステージの外に対してワークの受け渡しを行うワーク搬送手段を、ワーク加工装置自身に備える構成を特徴としている。
図２３により、ワーク搬送手段の構成を説明する。
【００３３】
本発明が適用されるワーク搬送手段の基本構成は、一対のＸ軸リニアモータ３１，３２に沿ってＸ軸方向に移動する一対の搬送スライダ部材８１，８２と、この搬送スライダ部材間に橋渡しした搬送ブリッジ部材８３と、この搬送ブリッジ部材に取り付けられてワークの下面を支持するアーム部材８７，８８よりなる。
【００３４】
一対の搬送スライダ部材８１，８２は、スライダ４１，４２と共通に、一対のＸ軸リニアモータ３１，３２上をＸ軸方向に移動操作される。
これら一対の搬送スライダ部材８１，８２間を橋渡しして、搬送ブリッジ部材８３が配置されている。
【００３５】
８４はＹ軸リニアモータであり、搬送ブリッジ部材８３上にＹ軸方向に配置されている。  このＹ軸リニアモータ８４は、ブリッジ部材５に配置されたＹ軸リニアモータ５と同一構造とすることができる。
【００３６】
８５，８６は一対のスライダであり、Ｙ軸リニアモータ８４上を夫々が独立してＹ軸方向に移動操作される。
これらスライダも、Ｙ軸リニアモータ５上に配置されたスライダ７と同一構造とすることができる。
【００３７】
８７，８８は一対のアーム部材であり、リフトアップされたワーク２の下面を支持して凹部１ｃの面に平行にＸ軸方向に伸び、ステージ外にワーク２を搬出又はステージ外よりワーク２を搬入する。
これら一対のアーム部材８７，８８は、連結部材８７ａ，８８ａにより、一対のスライダ８５，８６に結合され、これら一対のスライダ８５，８６により、夫々が独立してＹ軸方向に移動操作される。
【００３８】
これら一対のアーム部材８７，８８は、ワーク２の加工処理中は待機状態とされ、ワークの加工処理位置外のＹ軸方向にシフト配置され、搬送ブリッジ部材８３もステージのＸ軸方向の上流側端部にシフト配置され、ワーク２の加工処理の障害とならない位置にセットされる。
【００３９】
これら一対のアーム部材８７，８８は、ワーク２の搬出・搬入時には、Ｚ軸方向にリフトアップされたワーク２の下面に生じた空隙をＹ軸方向に移動操作され、ワーク２を下面から支持した状態でＸ軸方向に移動操作される形態となる。
【００４０】
図２４乃至図２６は、ワーク加工用のブリッジ６及びワーク移送用の搬送ブリッジ部材８３の移動を説明する平面図である。図２４はワーク加工前の待機状態を示す平面図、図２５はワーク加工中の状態を示す平面図、図２６はワーク移送中の状態を示す平面図である。
【００４１】
図２４に示す待機状態において、搬送ブリッジ部材８３は、ステージの上流側端部にシフト配置されている。
８９は吸着盤であり、凹部１ｃ面上にワーク２（図示せず）の形状に合わせてＺ軸方向に所定の高さもって形成されている。ワーク２は、この吸着盤８９の上面に真空吸着手段（図示せず）により吸着固定されて加工処理される。
【００４２】
９０は、吸着盤８９の下面側空間に複数個配置されたリフトピン手段であり、吸着盤の上面に形成された孔よりＺ軸方向にピンを突出させ、ワーク２をＺ軸方向にリフトアップ又はリフトダウン操作する。
【００４３】
複数個のリフトピン手段９０は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に所定の間隔で格子状に配列されている。
Ｘ軸方向の一対の列９０Ａ及び９０Ａ´は、Ｙ軸方向で一番外側の列Ａ及び列Ａ´である。
Ｘ軸方向の一対の列９０Ｂ及び９０Ｂ´は、列Ａ及びＡ´の内側の列Ｂ及び列Ｂ´である。列の数は任意である。
【００４４】
図２５に示すワーク加工中の状態では、ブリッジ部材５がＸ軸方向に吸着盤８９に固定されたワーク２（図示せず）上を移動操作され、所定の加工処理を実行する。
加工期間中は、搬送ブリッジ手段８３は、図２４の待機位置を維持している。
【００４５】
図２６に示すワーク搬送中の状態では、加工処理が終了したブリッジ部材６は、ステージのＸ軸方向最下流位置まで移動してその位置で停止される（図示の状態）。
加工処理が終了すると、ワーク２はリフトピン手段９０によってＺ軸方向にリフトアップされる。
【００４６】
待機状態ではワークの加工処理位置外にＹ軸方向端部に配置されていたアーム部材８７，８８は、リフトアップにより生じたワーク２と吸着盤８９の空隙をＹ軸方向中心部に向かって所定位置まで移動操作される。
【００４７】
アーム部材の移動操作が終了すると、ワーク２はリフトピン手段９０によってリフトダウンされ、アーム部材８７，８８上に搭載される。搭載が完了すると、搬送ブリッジ手段８３がＸ軸方向（矢印Ｐ）に下流側に移動操作され、ワーク２はアーム部材８７，８８上に搭載された状態で図示のようにステージ外に搬出され、次工程の装置に渡される。
【００４８】
図２７乃至図２９は、リフトピン手段９０によるワーク２のリフトアップ及びリフトダウン並びにアーム部材８７，８８の移動操作の遷移を説明するイメージ図である。
簡単のため、Ａ列とＢ列のリフトピン各１個及びアーム部材８７の部分を図示している。
【００４９】
図２７（Ａ）乃至図２７（Ｊ）は、アーム部材８７，８８が待機状態にある初期位置からワーク２を支持するまでの遷移を示している。
図２７（Ａ）の初期位置では、ワーク２は吸着盤８９上に吸着保持されている。
【００５０】
吸着盤８９の下面空間に設置されたリフトピン手段は、Ｚ軸方向に延びるピン９１とピン操作部９２よりなり、この初期位置ではピン９１は最下部まで引き込まれた状態である。
アーム部材８７（８８も同じ、以下同様）は、ワーク２の加工処理位置よりＹ軸方向に外れた位置にある。
【００５１】
図２７（Ｂ）では、リフトピン手段９０の全ピンがＺ軸方向に伸ばされ、吸着が解除されたワーク２を吸着盤８９の面からＺ軸方向にリフトアップする。
図２７（Ｃ）ではＡ列のピンのみが初期位置に引き込まれるので、アーム部材８７のＢ列までの移動スペースが出現する。
【００５２】
図２７（Ｄ）では、アーム部材８７がＢ列の手前までＹ軸方向に移動操作される。
図２７（Ｅ）では、引き込まれていたＡ列のピンがワーク２の下面まで伸ばされる。
図２７（Ｆ）では、Ｂ列のピンのみが初期位置に引き込まれるので、アーム部材８７のＣ列（図示せず）までの移動スペースが出現する。
【００５３】
図２７（Ｇ）では、アーム部材８７がＣ列の手前までＹ軸方向に移動操作される。
図２７（Ｈ）では、引き込まれていたＢ列のピンがワーク２の下面まで伸ばされる。
図２７（Ｉ）は、以上の動作の繰り返しを表記しており、この操作によりアーム部材８７を目的のＹ軸方向位置まで順次移動操作する。
【００５４】
図２７（Ｊ）では、アーム部材８７の移動操作が終了し、リフトピン手段９０の全ピンが初期位置に引き込まれた状態を示しており、ワーク２は移動操作されたアーム部材８７に支持された状態となる
この状態で搬送ブリッジ部材８３がＸ軸方向に移動操作されて、アーム部材８７に支持されたワーク２をステージ外に搬出する。
【００５５】
図２８（Ａ）乃至図２８（Ｊ）は、リフトアップしたワーク２を吸着盤８９上にリフトダウンさせ、アーム部材８７を待機位置に移動させる遷移を示している。
図２８（Ａ）の初期位置では、リフトピン手段９０の全ピンが初期位置に引き込まれた状態でワーク２はアーム部材８７で支持されている。
【００５６】
図２８（Ｂ）では、リフトピン手段９０の全ピンがＺ軸方向に伸ばされてワーク２をアーム部材８７の支持面から更にＺ軸方向にリフトアップする。
図２８（Ｃ）ではＢ列のピンのみが初期位置に引き込まれるので、アーム部材８７のＡ列までの移動スペースが出現する。
【００５７】
図２８（Ｄ）では、アーム部材８７がＡ列の手前までＹ軸方向に移動操作される。
図２８（Ｅ）では、引き込まれていたＢ列のピンがワーク２の下面まで伸ばされる。
図２８（Ｆ）では、Ａ列のピンのみが初期位置に引き込まれるので、アーム部材８７の待機位置までの移動スペースが出現する。
【００５８】
図２８（Ｇ）では、アーム部材８７が待機位置までＹ軸方向に移動操作される。
図２８（Ｈ）では、引き込まれていたＢ列のピンがワーク２の下面まで伸ばされる。
図２８（Ｉ）は、以上の動作の繰り返しを表記しており、この操作によりアーム部材８７は待機位置までＹ軸方向位置に移動する。
【００５９】
図２８（Ｊ）では、アーム部材８７の待機位置への移動操作が終了し、リフトピン手段９０の全ピンが初期位置に引き込まれた状態を示しており、ワーク２は吸着盤８９の上面に保持された状態となる。
【００６０】
図２９（Ａ）乃至（Ｄ）は、連結された移送システムで、上流側のステージから搬出されたワーク２を下流側ステージスの吸着盤上に載せる遷移を示している。
図２９（Ａ）は、上流側ステージのアーム部材８７によりワーク２が下流側ステージスの吸着盤８９の位置に移送された状態であり、下流側ステージスのリフトピン手段９０の全ピンが初期位置に引き込まれている。
９３は、下流側ステージのアーム部材を示す。
【００６１】
図２９（Ｂ）では、引き込まれていた全ピンがワーク２の下面まで伸ばされ、ワーク２はアーム部材８７により離れてＺ軸方向にリフトアップされる。
図２９（Ｃ）では、上流側ステージのアーム部材８７が上流側ステージに戻される。
図２９（Ｄ）では、リフトピン手段９０の全ピンが初期位置に引き込まれ、ワーク２は吸着盤８９の上面に保持された状態となる。
【００６２】
図２３に示した実施形態では、搬送スライダ部材８１，８２は、スライダ４１，４２と共通の一対のＸ軸リニアモータ３１，３２を共用して移動操作される構成を示したが、これに限定されるものではない。
【００６３】
図３０は、本発明の他の実施形態を示すワーク加工装置の外観斜視図である。
９４及び９５は、筐体１の突出部１ａ及び１ｂの内壁部にＸ軸方向に配置された一対のガイドレールであり、搬送スライダ部材８１，８２は、これらガイドレールに取り付けられてＸ軸方向に移動操作される。
操作手段は、リニアモータ、ボールネジ、タイミングベルト等を採用することが可能である。
【００６４】
図３１は、図２３に示した本発明のワーク加工装置を、Ｘ軸方向に複数個連結した移送システムの実施形態を示す斜視図である。
この実施形態では、Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３の３ステージを連結した移送システムを示す。
【００６５】
連結した移送システムでは、各ステージは、上流側のステージからのワークの受け入れ側と下流側ステージへのワークの受け渡し側が共通のメカニカルインターフェース構造になっている必要がある。
【００６６】
ワーク２に対する加工処理が、上流側ステージから下流側ステージに順次受け渡される一般的な移送システムでは、各ステージのワーク搬送手段は、上流側ステージで加工処理済みのワークを、連結された下流側ステージの加工処理位置に搬送した後に待機位置に戻る。
【００６７】
下流側のステージで加工処理済みのワークを、再度上流側ステージに戻して再加工する場合には、上流側ステージのワーク搬送手段は、ワーク２を、連結された下流側ステージの加工処理位置に搬送し、下流側ステージで加工処理済みのワーク２を、再度上流側ステージの加工処理位置に搬送した後に待機位置に戻る。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００６８】
このような装置においては、以下の間題点がある。
従来はワーク加工装置を複数台直列にしか連結できず、直列方向に対して直角方向には連結できなかった。
【００６９】
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、ワーク加工装置を直列方向に連結できると共に、直列方向に対して直角方向にも連結できる移送システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００７０】
このような課題を達成するために、本発明では、請求項１の移送システムにおいては、
Ｘ軸方向にスライダを移動する一対のＸ軸リニアモータを平行配置し、前記一対のＸ軸リニアモータのスライダ間に橋渡ししたブリッジ部材にＹ軸リニアモータを設け、前記Ｙ軸リニアモータのスライダに搭載したツールを用い、吸着盤上に載置されたワークに対して所定の処理を行い、処理後は前記ワークを移送するようにしたワーク加工装置を備え、このワーク加工装置を複数台直列に連結し、前記ワークを順次次段のワーク加工装置に移送するように構成されたワークの移送システムにおいて、所定の前記ワーク加工装置に対応して前記直列連結方向に直交して配置された新たなワーク加工装置と、前記所定のワーク加工装置と前記新たなワーク加工装置との間に設けられ前記ワークの搬送時に前記ワーク加工装置間にワークが挟み込まれるのを防止する挟み込防止手段と、前記所定のワーク加工装置と前記新たなワーク加工装置とにそれぞれ設けられ前記ワークを前記所定のワーク加工装置と前記新たなワーク加工装置との間を搬送するＹ軸方向搬送手段とを具備したことを特徴とする。
【００７１】
本発明の請求項２の移送システムにおいては、請求項１記載の移送システムにおいて、
前記Ｙ軸方向搬送手段は、前記一対のＸ軸リニアモータに直交して平行配置された第２のＹ軸リニアモータと、この第２のＹ軸リニアモータのスライダに配置され前記第２のＹ軸リニアモータの動作方向に前記ワークを吸着移送する第１の吸着手段とを具備したことを特徴とする。
【００７２】
本発明の請求項３の移送システムにおいては、請求項１記載の移送システムにおいて、
前記Ｙ軸方向搬送手段は、前記一対のＸ軸リニアモータのスライダ間に橋渡しされた搬送ブリッジ部材に設けられた第３のＹ軸リニアモータと、この第３のＹ軸リニアモータのスライダに配置され前記第３のＹ軸リニアモータの動作方向に前記ワークを吸着移送する第２の吸着手段とを具備したことを特徴とする。
【００７３】
本発明の請求項４の移送システムにおいては、請求項２又は請求項３記載の移送システムにおいて、
前記第１，第２の吸着手段は、前記ワークの受け渡し時に、前記ワークの送り出し側の吸着手段と前記ワークの受け取り側の吸着手段とが、前記ワーク加工装置が互いに接する境目近くまで互いに移動接近して前記ワークの受け渡しを行うことを特徴とする。
【００７４】
本発明の請求項５の移送システムにおいては、請求項２乃至請求項４の何れかに記載の移送システムにおいて、
前記第１，第２の吸着手段は、吸着パッドが使用されたことを特徴とする。
【００７５】
本発明の請求項６の移送システムにおいては、請求項５記載の移送システムにおいて、
前記吸着パッドは、前記ワークに吸着する面が開口する椀状をなすことを特徴とする。
【００７６】
本発明の請求項７の移送システムにおいては、請求項５又は請求項６記載の移送システムにおいて、
一端が前記吸着パッドに設けられ他端がエアー吸引源に接続され前記ワークを吸引する吸引パイプを具備したことを特徴とする。
【００７７】
本発明の請求項８の移送システムにおいては、請求項７記載の移送システムにおいて、
前記エアー吸引源として真空ポンプが使用されたことを特徴とする。
【００７８】
本発明の請求項９の移送システムにおいては、請求項５記載の移送システムにおいて、
前記挟み込防止手段は、前記ワーク加工装置間に配置され前記ワークの搬送時に噴気孔から気体を噴出して前記ワークを浮上させる補助プレートが使用されたことを特徴とする。
【００７９】
本発明の請求項１０の移送システムにおいては、請求項１記載の移送システムにおいて、
前記挟み込防止手段は、前記ワーク加工装置間に配置され前記ワークの搬送時にローラが回転して前記ワークを移送する補助ローラが使用されたことを特徴とする。
【００８０】
本発明の請求項１１の移送システムにおいては、請求項１乃至請求項１０の何れかに記載の移送システムにおいて、
前記新たなワーク加工装置を複数台連続してＹ軸方向に連結されたことを特徴とする。
【００８１】
本発明の請求項１２の移送システムにおいては、請求項１乃至請求項１１の何れかに記載の移送システムにおいて、
前記ワークは新たなワーク加工装置側に送られた後、前記所定のワーク加工装置に戻されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００８２】
本発明の請求項１によれば、次のような効果がある。
Ｙ軸方向搬送手段が所定のワーク加工装置と新たなワーク加工装置とにそれぞれ設けられたので、ワーク加工装置を直列方向に連結できると共に、所定のワーク加工装置において、直列方向に対して直角方向にも連結できる移送システムが得られる。
【００８３】
所定のワーク加工装置と新たなワーク加工装置との間に設けられ、ワークの搬送時に、ワーク加工装置間にワークが挟み込まれるのを防止する挟み込防止手段が設けられたので、所定のワーク加工装置と新たなワーク加工装置との間にワークが挟み込まれるのを防止することが出来る移送システムが得られる。
【００８４】
本発明の請求項２によれば、次のような効果がある。
Ｙ軸方向搬送手段は、一対のＸ軸リニアモータに直交して平行配置された第２のＹ軸リニアモータと、この第２のＹ軸リニアモータのスライダに配置され、第２のＹ軸リニアモータの動作方向に、ワークを吸着移送する第１の吸着手段とが設けられたので、吸着盤を使用して、ワークを僅か浮上させた状態で容易にＹ軸方向に搬送でき、Ｙ軸方向搬送手段の構成を簡単にすることができる移送システムが得られる。
【００８５】
本発明の請求項３によれば、次のような効果がある。
Ｙ軸方向搬送手段は、一対のＸ軸リニアモータのスライダ間に橋渡しされた搬送ブリッジ部材に設けられた第３のＹ軸リニアモータと、この第３のＹ軸リニアモータのスライダに配置され第３のＹ軸リニアモータの動作方向に前記ワークを吸着移送する第２の吸着手段とが設けられたので、長いアームを使用して、ワークを吸着して確実にＹ軸方向に搬送できる移送システムが得られる。
【００８６】
本発明の請求項４によれば、次のような効果がある。
第１，第２の吸着手段は、ワークの受け渡し時に、ワークの送り出し側の吸着手段とワークの受け取り側の吸着手段とが、ワーク加工装置が互いに接する境目近くまで互いに移動接近してワークの受け渡しを行うようにしたので、搬送ストロークが小さい場合にも、ワークの受け渡しが出来ると共に、搬送ストロークが十分足りる場合にも、ワークの受け渡しが十分確実に出来る移送システムが得られる。
【００８７】
本発明の請求項５によれば、次のような効果がある。
第１，第２の吸着手段は、吸着パッドが使用されたので、ワークを確実に吸着できて且つ安価な移送システムが得られる。
【００８８】
本発明の請求項６によれば、次のような効果がある。
吸着パッドは、ワークに吸着する面が開口する椀状をなすので、吸着が更に確実に得られる移送システムが得られる。
【００８９】
本発明の請求項７によれば、次のような効果がある。
一端が吸着パッドに設けられ他端がエアー吸引源に接続され、ワークを吸引する吸引パイプが設けられたので、吸着が更に強力に得られる移送システムが得られる。
【００９０】
本発明の請求項８によれば、次のような効果がある。
前記エアー吸引源として真空ポンプが使用されたので、吸着が更に確実に得られる移送システムが得られる。
【００９１】
本発明の請求項９によれば、次のような効果がある。
挟み込防止手段は、ワーク加工装置間に配置され、ワークの搬送時に噴気孔から気体を噴出して、ワークを浮上させる補助プレートが使用されたので、簡単な構成でワークの搬送時に、ワーク加工装置間にワークが挟み込まれるのを防止することができる移送システムが得られる。
【００９２】
本発明の請求項１０によれば、次のような効果がある。
挟み込防止手段は、ワーク加工装置間に配置され、ワークの搬送時にローラが回転して、ワークを移送する補助ローラが使用されたので、簡単な構成でワークの搬送時に、ワーク加工装置間にワークが挟み込まれるのを防止することができると共に、ワークがローラ上を搬送されるので、挟み込みを確実に防止することができる移送システムが得られる。
【００９３】
本発明の請求項１１によれば、次のような効果がある。
新たなワーク加工装置を複数台連続してＹ軸方向に連結されたので、ワークをＹ軸方向に長い距離移送することが出来る移送システムが得られる。
【００９４】
本発明の請求項１２によれば、次のような効果がある。
ワークは新たなワーク加工装置側に送られた後、所定のワーク加工装置に戻されるので、ワークを二次元的な広がりをもって移送することが出来る移送システムが得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００９５】
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図１は本発明の一実施例の要部構成説明図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、図２は図１の要部構成説明図、図３は図１の要部構成説明図、図４は図１の動作説明図である。
図１５と同様な吸着盤６０が使用された実施例である。
図において、図１５と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図１５との相違部分のみ説明する。
【００９６】
図１において、図１５に示されているワーク加工装置が、図のＸ軸方向に三個直列に連結されている。これを区別をするために、ステージ１、ステージ２、ステージ３と称する。
ステージ２に対して、直列連結方向に直交して配置された新たなワーク加工装置をステージ４と称する。
なお、図１（ａ）において、ステージ２とステージ４のブリッジ部材５と処理手段３０とは、説明を分かり易くするために、二点鎖線で示されている。
【００９７】
図１において、挟み込防止手段１１は、所定のワーク加工装置（ステージ２）と新たなワーク加工装置（ステージ４）との間に設けられ、ワーク２の搬送時に、ワーク加工装置（ステージ２），（ステージ４）間にワーク２が挟み込まれるのを防止する。
この場合は、挟み込防止手段１１は、ワーク加工装置（ステージ２），（ステージ４）間に配置され、ワーク２の搬送時に噴気孔から気体を噴出して、ワーク２を浮上させる補助プレート１１１が使用されている。
【００９８】
なお、挟み込防止手段１１は、ワーク加工装置（ステージ２）（ステージ４）間に配置され、ワークの搬送時にローラが回転して、ワーク２を移送する補助ローラ１１２が使用されても良い。
【００９９】
Ｙ軸方向搬送手段１２は、所定のワーク加工装置（ステージ２）と新たなワーク加工装置（ステージ４）とにそれぞれ設けられ、ワーク２を所定のワーク加工装置（ステージ２）と新たなワーク加工装置（ステージ４）との間を搬送する。
【０１００】
この場合は、Ｙ軸方向搬送手段１２は、一対のＸ軸リニアモータ３１，３２の両端部分に直交して平行配置された第２のＹ軸リニアモータ１２１と、第２のＹ軸リニアモータ１２１のスライダに配置され、第２のＹ軸リニアモータ１２１の動作方向に、ワーク２を吸着移送する第１の吸着手段１２２とを有する。
【０１０１】
第１の吸着手段１２２は、第２のＹ軸リニアモータ１２１のスライダに取り付けられたアクチュエータ１２３と、アクチュエータ１２３に一端が取り付けられたアーム１２４と、アーム１２４の他端に取り付けられた吸着パッド１２５とを有する。
図３に示す如く、吸着パッド１２５は、ワーク２に吸着する面が開口する椀状をなす。
【０１０２】
吸引パイプ１２６は、一端が吸着パッド１２５に設けられ、他端がエアー吸引源に接続
されている。
エアー吸引源としては、この場合は、真空ポンプが使用されている。
【０１０３】
以上の構成において、図４に、所定のワーク加工装置（ステージ２）と新たなワーク加工装置（ステージ４）との間のワーク２の搬送の動作を示す。
【０１０４】
図４（ａ）に示す如く、吸着盤６０と補助プレート１１１とから空気を噴出する。
ワーク２は吸着盤６０より僅か浮上した状態になる。
図４（ｂ）に示す如く、所定のワーク加工装置（ステージ２）側の吸着パッド１２５でワーク２を吸着し、所定のワーク加工装置（ステージ２）から新たなワーク加工装置（ステージ４）側に、Ｙ軸方向搬送手段１２によりワーク２を搬送する。
【０１０５】
図４（ｃ）に示す如く、ワーク２の移動先端は、補助プレート１１１から空気が噴出しているので、ワーク２は、所定のワーク加工装置（ステージ２）と新たなワーク加工装置（ステージ４）との間に挟み込まれず、ワーク２の移動先端は、新たなワーク加工装置（ステージ４）側に達する。
【０１０６】
図４（ｄ）に示す如く、新たなワーク加工装置（ステージ４）側のＹ軸方向搬送手段１２が、所定のワーク加工装置（ステージ２）近くに移動し、新たなワーク加工装置（ステージ４）側の吸着パッド１２５が、図4（ｄ）に示す如く、吸着する。
【０１０７】
Ｙ軸方向搬送手段１２が、互いに近接してワーク２の受け渡しをすれば、搬送ストロークが小さい場合にも、ワーク２の受け渡しが出来ると共に、搬送ストロークが十分足りる場合にも、ワークの受け渡しが十分確実に出来る移送システムが得られる。
【０１０８】
図４（ｅ）に示す如く、所定のワーク加工装置（ステージ２）側の吸着パッド１２５は、ワーク２の吸着を止め、所定のワーク加工装置（ステージ２）側のＹ軸方向搬送手段１２は所定位置に戻る。
【０１０９】
新たなワーク加工装置（ステージ４）側のＹ軸方向搬送手段１２が移動し、ワーク２を所定意位置に搬送する。
吸着盤６０と補助プレート１１１とからの空気の噴出を止め、新たなワーク加工装置（ステージ４）側の吸着盤６０によりワーク２を吸着する。
【０１１０】
ワーク２の、新たなワーク加工装置（ステージ４）から所定のワーク加工装置（ステージ２）への搬送は上記と逆の動作となる。
【０１１１】
なお、ワーク２のＸ軸方向への搬送、ステージ１→ステージ２→ステージ３へのワーク２の搬送動作は、前述の２００６年４月１４日出願の先願に関わる出願番号２００６−１１２３７３号のワーク加工装置に説明された動作と同じである。
【０１１２】
この結果、
Ｙ軸方向搬送手段１２が所定のワーク加工装置と新たなワーク加工装置とにそれぞれ設けられたので、ワーク加工装置を直列方向に連結できると共に、所定のワーク加工装置において、直列方向に対して直角方向にも連結できる移送システムが得られる。
【０１１３】
所定のワーク加工装置と新たなワーク加工装置との間に設けられ、ワークの搬送時に、ワーク加工装置間にワークが挟み込まれるのを防止する挟み込防止手段１１が設けられたので、所定のワーク加工装置と新たなワーク加工装置との間にワークが挟み込まれるのを防止することが出来る移送システムが得られる。
【０１１４】
Ｙ軸方向搬送手段１２は、一対のＸ軸リニアモータ３１，３２の両端部分に直交して平行配置された第２のＹ軸リニアモータ１２１と、この第２のＹ軸リニアモータ１２１のスライダに配置され、第２のＹ軸リニアモータ１２１の動作方向に、ワークを吸着移送する第１の吸着手段１２２とが設けられたので、吸着盤６０を使用して、ワーク２を僅か浮上させた状態で容易にＹ軸方向に搬送でき、Ｙ軸方向搬送手段１２の構成を簡単にすることができる移送システムが得られる。
【０１１５】
第１の吸着手段１２２は、ワーク２の受け渡し時に、ワーク２の送り出し側の吸着手段１２２とワーク２の受け取り側の吸着手段１２２とが、ワーク加工装置が互いに接する境目近くまで互いに移動接近してワークの受け渡しを行うようにしたので、搬送ストロークが小さい場合にも、ワーク２の受け渡しが出来ると共に、搬送ストロークが十分足りる場合にも、ワークの受け渡しが十分確実に出来る移送システムが得られる。
【０１１６】
第１吸着手段１２２は、吸着パッド１２５が使用されたので、ワーク２を確実に吸着できて且つ安価な移送システムが得られる。
【０１１７】
吸着パッド１２５は、ワーク２に吸着する面が開口する椀状をなすので、吸着が更に確実に得られる移送システムが得られる。
【０１１８】
一端が吸着パッド１２５に設けられ他端がエアー吸引源（図示せず。）に接続され、ワークを吸引する吸引パイプ１２６が設けられたので、吸着が更に強力に得られる移送システムが得られる。
【０１１９】
エアー吸引源として真空ポンプが使用されたので、吸着が更に確実に得られる移送システムが得られる。
【０１２０】
挟み込防止手段１１は、ワーク加工装置間に配置され、ワークの搬送時に噴気孔から気体を噴出して、ワーク２を浮上させる補助プレート１１１が使用されたので、簡単な構成でワーク２の搬送時に、ワーク加工装置間にワーク２が挟み込まれるのを防止することができる移送システムが得られる。
【０１２１】
図５は、本発明の他の実施例の動作説明図である。
図５は、所定のワーク加工装置（ステージ２）と新たなワーク加工装置（ステージ４）との間のワーク２の搬送の動作を示すもので、挟み込防止手段１１は、補助ローラ１１２が使用された実施例である。
【０１２２】
図５（ａ）に示す如く、吸着盤６０から空気を噴出する。
ワーク２は吸着盤６０より僅か浮上した状態になる。
図５（ｂ）に示す如く、所定のワーク加工装置（ステージ２）側の吸着パッド１２５でワーク２を吸着し、所定のワーク加工装置（ステージ２）から新たなワーク加工装置（ステージ４）側に、Ｙ軸方向搬送手段１２によりワーク２を搬送する。
【０１２３】
図５（ｃ）に示す如く、ワーク２の移動先端は、補助ローラ１１２により支持されているので、ワーク２は、所定のワーク加工装置（ステージ２）と新たなワーク加工装置（ステージ４）との間に挟み込まれず、ワーク２の移動先端は、新たなワーク加工装置（ステージ４）側に達する。
【０１２４】
図５（ｄ）に示す如く、新たなワーク加工装置（ステージ４）側のＹ軸方向搬送手段１２が、所定のワーク加工装置（ステージ２）近くに移動し、新たなワーク加工装置（ステージ４）側の吸着パッド１２５が、図４（ｄ）に示す如く、吸着する。
【０１２５】
Ｙ軸方向搬送手段１２が、互いに近接してワーク２の受け渡しをすれば、搬送ストロークが小さい場合にも、ワーク２の受け渡しが出来ると共に、搬送ストロークが十分足りる場合にも、ワークの受け渡しが十分確実に出来る移送システムが得られる。
【０１２６】
図５（ｅ）に示す如く、所定のワーク加工装置（ステージ２）側の吸着パッド１２５は、ワーク２の吸着を止め、所定のワーク加工装置（ステージ２）側のＹ軸方向搬送手段１２は所定位置に戻る。
【０１２７】
新たなワーク加工装置（ステージ４）側のＹ軸方向搬送手段１２が移動し、ワーク２を所定位置に搬送する。
吸着盤６０からの空気の噴出を止め、新たなワーク加工装置（ステージ４）側の吸着盤６０によりワーク２を吸着する。
【０１２８】
ワーク２の、新たなワーク加工装置（ステージ４）から所定のワーク加工装置（ステージ２）への搬送は上記と逆の動作となる。
【０１２９】
なお、ワーク２のＸ軸方向への搬送、ステージ１→ステージ２→ステージ３へのワーク２の搬送動作は、前述の２００６年４月１４日出願の先願に関わる出願番号２００６−１１２３７３号のワーク加工装置に説明された動作と同じである。
【０１３０】
この結果、挟み込防止手段１１は、ワーク加工装置間に配置され、ワークの搬送時にローラが回転して、ワークを移送する補助ローラ１１２が使用されたので、簡単な構成でワークの搬送時に、ワーク加工装置間にワークが挟み込まれるのを防止することができると共に、ワークがローラ上を搬送されるので、挟み込みを確実に防止することができる移送システムが得られる。
【０１３１】
図６は本発明の他の一実施例の要部構成説明図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、図７は図６の要部構成説明図、図８は図６の動作説明図、図９は図６の搬送アーム部分の要部構成説明図である。
図２３と同様な搬送アーム８７，８８が使用された実施例である。
図において、図２３と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図２３との相違部分のみ説明する。
【０１３２】
図６において、図２３に示されているワーク加工装置が、図のＸ軸方向に三個直列に連結されている。これを区別をするために、ステージ１、ステージ２、ステージ３と称する。
ステージ２に対して、直列連結方向に直交して配置された新たなワーク加工装置をステージ４と称する。
【０１３３】
図６において、挟み込防止手段１１は、所定のワーク加工装置（ステージ２）と新たなワーク加工装置（ステージ４）との間に設けられ、ワーク２の搬送時に、ワーク加工装置（ステージ２），（ステージ４）間にワーク２が挟み込まれるのを防止する。
【０１３４】
この場合は、挟み込防止手段１１は、ワーク加工装置（ステージ２），（ステージ４）間に配置され、ワーク２の搬送時にローラが回転して、ワーク２を移送する補助ローラ１１２が使用されている。
【０１３５】
Ｙ軸方向搬送手段１３は、所定のワーク加工装置（ステージ２）と新たなワーク加工装置（ステージ４）とにそれぞれ設けられ、ワーク２を所定のワーク加工装置（ステージ２）と新たなワーク加工装置（ステージ４）との間を搬送する。
【０１３６】
この場合は、Ｙ軸方向搬送手段１３は、一対のＸ軸リニアモータ３１，３２のスライダ間に橋渡しされた搬送ブリッジ部材８３に設けられた第３のＹ軸リニアモータ８４と、この第３のＹ軸リニアモータ８４のスライダに配置され、第３のＹ軸リニアモータ８４の動作方向に、ワーク２を吸着移送する第２の吸着手段１３１とを有する。
【０１３７】
第２の吸着手段１３１は、第３のＹ軸リニアモータ８４のスライダに取り付けられたアーム部材８７，８８と、アーム部材８７，８８の両端側に取り付けられた２個の吸着パッド１３２とを有する。
吸着パッド１３２は、ワーク２に吸着する面が開口する椀状をなす。
【０１３８】
吸引パイプ１３３は、一端が吸着パッド１３２に設けられ、他端がエアー吸引源に接続されている。
エアー吸引源としては、この場合は、真空ポンプが使用されている。
【０１３９】
以上の構成において、図８に、所定のワーク加工装置（ステージ２）と新たなワーク加工装置（ステージ４）との間のワーク２の搬送の動作を示す。
挟み込防止手段１１は、補助ローラ１１２が使用された実施例である。
【０１４０】
図８（ａ）に示す如く、吸着盤６０から空気を噴出する。
図９に示す如く、ワーク２は吸着盤６０より僅か浮上した状態になる。
図８（ｂ）に示す如く、所定のワーク加工装置（ステージ２）側の吸着パッド１３２でワーク２を吸着し、所定のワーク加工装置（ステージ２）から新たなワーク加工装置（ステージ４）側に、Ｙ軸方向搬送手段１３によりワーク２を搬送する。
【０１４１】
図８（ｃ）に示す如く、ワーク２の移動先端は、補助ローラ１１２により支持されているので、ワーク２は、所定のワーク加工装置（ステージ２）と新たなワーク加工装置（ステージ４）との間に挟み込まれず、ワーク２の移動先端は、新たなワーク加工装置（ステージ４）側に達する。
図８（ｄ）に示す如く、新たなワーク加工装置（ステージ４）側のＹ軸方向搬送手段１３が、所定のワーク加工装置（ステージ２）近くに移動し、新たなワーク加工装置（ステージ４）側の吸着パッド１３２が、図８（ｄ）に示す如く、吸着する。
【０１４２】
Ｙ軸方向搬送手段１３が、互いに近接してワーク２の受け渡しをすれば、搬送ストロークが小さい場合にも、ワーク２の受け渡しが出来ると共に、搬送ストロークが十分足りる場合にも、ワークの受け渡しが十分確実に出来る移送システムが得られる。
【０１４３】
図８（ｅ）に示す如く、所定のワーク加工装置（ステージ２）側の吸着パッド１３２は、ワーク２の吸着を止め、所定のワーク加工装置（ステージ２）側のＹ軸方向搬送手段１３は所定位置に戻る。
【０１４４】
新たなワーク加工装置（ステージ４）側のＹ軸方向搬送手段１３が移動し、ワーク２を所定位置に搬送する。
吸着盤６０の空気の噴出を止め、新たなワーク加工装置（ステージ４）側の吸着盤６０によりワーク２を吸着する。
【０１４５】
ワーク２の、新たなワーク加工装置（ステージ４）から所定のワーク加工装置（ステージ２）への搬送は上記と逆の動作となる。
【０１４６】
なお、ワーク２のＸ軸方向への搬送、ステージ１→ステージ２→ステージ３へのワーク２の搬送動作は、前述のアーム部材８７，８８が使用された、２００５年１０月７日出願の先願に関わる出願番号２００５−２９４５４３号のワーク加工装置に説明された動作と同じである。
【０１４７】
なお、新たなワーク加工装置（ステージ４）を複数台連続してＹ軸方向に連結しても良い。
このようにすれば、ワーク２をＹ軸方向に長い距離移送することが出来る移送システムが得られる。
【０１４８】
また、ワーク２は新たなワーク加工装置（ステージ４）側に送られた後、所定のワーク加工装置（ステージ２）に戻されても良い。
このようにすれば、ワーク２を二次元的な広がりをもって移送することが出来る移送システムが得られる。
【０１４９】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
【図面の簡単な説明】
【０１５０】
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図１の要部構成説明図である。
【図３】図１の要部構成説明図である。
【図４】図１の動作説明図である。
【図５】本発明の他の実施例の動作説明図である。
【図６】本発明の他の実施例の動作説明図である。
【図７】図６の要部構成説明図である。
【図８】図６の動作説明図である。
【図９】図８の要部動作説明図である。
【図１０】従来より一般に使用されている従来例の構成説明図である。
【図１１】従来より一般に使用されている他の従来例の構成説明図である。
【図１２】図１１におけるインターフェース部に形成される移送手段の配置を示す平面図である。
【図１３】従来の移送手段の構成例を示す斜視図である。
【図１４】図１3における操作アームが伸ばされた状態を示す斜視図である。
【図１５】吸着盤６０が使用された、２００６年４月１４日出願の先願に関わる出願番号２００６−１１２３７３号のワーク加工装置の一実施形態を示す平面図（ａ），正面図（ｂ），側面図（ｃ）である。
【図１６】図１５に示すワーク搬送手段の動作を示す説明図である。
【図１７】図１５に示すワーク加工装置を２台連結した状態を示す移送システムの構成例を示す平面図（ａ），正面図（ｂ），側面図（ｃ）である。
【図１８】ワーク搬送手段にストッパを備えた例を示す詳細説明図である。
【図１９】他の実施例におけるワーク加工装置の平面図（ａ），正面図（ｂ），側面図（ｃ）である。
【図２０】図１９に示すワーク加工装置のワーク搬送手段にストッパを備えた例を示す詳細説明図である。
【図２１】図１９に示すワーク搬送手段でワークを搬送してる途中の状態を示す図である。
【図２２】図１９に示すワーク加工装置を２台連結した状態を示す移送システムの構成例を示す平面図（ａ），正面図（ｂ），側面図（ｃ）である。
【０１５１】
【図２３】アーム部材８７，８８が使用された、２００５年１０月７日出願の先願に関わる出願番号２００５−２９４５４３号のワーク加工装置の一実施形態を示す外観斜視図である。
【図２４】ワーク加工用のブリッジ及びワーク搬送ブリッジ部材の移動を説明する平面図である。
【図２５】ワーク加工用のブリッジ及びワーク搬送ブリッジ部材の移動を説明する平面図である。
【図２６】ワーク加工用のブリッジ及びワーク搬送ブリッジ部材の移動を説明する平面図である。
【図２７】リフトピン手段によるワークのリフトアップ及びリフトダウン並びにアーム部材の移動操作の遷移を説明するイメージ図である。
【図２８】リフトピン手段によるワークのリフトアップ及びリフトダウン並びにアーム部材の移動操作の遷移を説明するイメージ図である。
【図２９】リフトピン手段によるワークのリフトアップ及びリフトダウン並びにアーム部材の移動操作の遷移を説明するイメージ図である。
【図３０】本発明の他の実施形態を示すワーク加工装置の外観斜視図である。
【図３１】本発明のワーク加工装置を、Ｘ軸方向に複数個連結した移送システムの実施形態を示す斜視図である。
【符号の説明】
【０１５２】
１        筐体
１ａ      突出部
１ｂ      突出部
１ｃ      凹部
２        ワーク
３１      Ｘ１軸リニアモータ
３２      Ｘ２軸リニアモータ
４１      スライダ
４２      スライダ
５        ブリッジ部材
６        Ｙ軸リニアモータ
７        スライダ
１０１    ワーク加工装置
１０２    ワーク加工装置
１０３    ワーク加工装置
１０３ｃ  凹部
２０１    インターフェース部
２０２    インターフェース部
２０３    インターフェース部
３０１    移送手段
３０２    移送手段
６０１    平行レール
６０２    平行レール
７００    スライダ
８００    アクチュエータ
９０１    操作アーム
９０２    操作アーム
３０      処理手段
５０      チューブ
６０      吸着盤
７０      ワーク搬送手段
７０ａ    ワーク搬送手段
７０ａ’  ワーク搬送手段
７０ｂ    ワーク搬送手段
７０ｂ’  ワーク搬送手段
７０ｘ    伸長部材
７１      ワーク搬送手段
７１ａ    ワーク搬送手段
７１ａ’  ワーク搬送手段
７１ｂ    ワーク搬送手段
７１ｂ’  ワーク搬送手段
７２      回転部材
７３      ストッパ
８１      搬送スライダ部材
８２      搬送スライダ部材
８３      搬送ブリッジ部材
８４      Ｙ軸リニアモータ
８５      スライダ
８６      スライダ
８７      アーム部材
８８      アーム部材
８７ａ    連結部材
８８ａ    連結部材
８９      吸着板
９０      ピン手段
９１      ピン
９２      ピン操作部
９３      アーム部材
９４      ガイドレール
９５      ガイドレール
１１      挟み込防止手段
１１１    補助プレート
１１２    補助ローラ
１２      Ｙ軸方向搬送手段
１２１    第２のＹ軸リニアモータ
１２２    第１の吸着手段
１２３    アクチュエータ
１２４    アーム
１２５    吸着パッド
１２６    吸引パイプ
１３      Ｙ軸方向搬送手段
１３１    第２の吸着手段
１３２    吸着パッド
１３３    吸引パイプ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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