(57)【要約】【課題】気泡を巻き込まないようにマイクロ流路もしくはマイクロチャンバーに流体を流すことができるマイクロ流路デバイスを提供すること。【解決手段】マイクロ流路及びマイクロチャンバーを有し流体を流すためのマイクロ流路デバイスであって、流体が重力方向と逆向きにマイクロ流路もしくはマイクロチャンバーを流れる部分を有するマイクロ流路デバイスであって、好ましくは、流体が重力方向と逆方向に流れるマイクロ流路もしくはマイクロチャンバーの断面形状の幅が１μｍ以上１ｍｍ以下で深さが１μｍ以上１ｍｍ以下であることをマイクロ流路デバイス。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
マイクロ流路及びマイクロチャンバーを有し流体を流すためのマイクロ流路デバイスであって、流体が重力方向と逆向きにマイクロ流路もしくはマイクロチャンバーを流れる部分を有することを特徴とするマイクロ流路デバイス。
【請求項２】
重力差もしくは表面張力による動力よって流体が流れるものである請求項１記載のマイクロ流路デバイス。
【請求項３】
前記マイクロ流路もしくはマイクロチャンバーの表面の水に対する接触角が６０度以下である請求項２記載のマイクロ流路デバイス。
【請求項４】
前記マイクロ流路もしくはマイクロチャンバーの表面が、プラズマ処理、コロナ放電処理、又は親水性ポリマーを表面コート処理のいずれの処理がされている請求項３記載のマイクロ流路デバイス。
【請求項５】
前記マイクロ流路もしくはマイクロチャンバーの表面が、ポリエチレングリコール（ＰＥＧ）、エバール（ＥＶＯＨ）、ポバール（ＰＶＯＨ）、又はホスホリルコリン基を有するポリマーを成分とする親水性ポリマーをコート処理されている請求項３記載のマイクロ流路デバイス。
【請求項６】
流体が重力方向と逆方向に流れるマイクロ流路もしくはマイクロチャンバーの断面形状の幅が１μｍ以上１ｍｍ以下で深さが１μｍ以上１ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１〜５いずれか記載のマイクロ流路デバイス。
【請求項７】
前記マイクロ流路デバイスの母材がプラスチックから構成される請求項１〜６いずれか記載のマイクロ流路デバイス。
【請求項８】
マイクロ流路デバイスのマイクロ流路もしくはマイクロチャンバーの一部に核酸、タンパク質、糖鎖、及び糖タンパクのうち少なくとも一つを含む生理活性物質を固定化もしくは封入した請求項１〜７いずれか記載のマイクロ流路デバイス。
【請求項９】
請求項１〜８いずれか記載のマイクロ流路デバイスの使用方法であって、マイクロ流路デバイスをマイクロチャンバーに流れる流体が重力方向に対し逆方向になるようにセットして、流体を流すことを特徴とするマイクロ流路デバイスの使用方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微細な流路、反応槽、電気泳動カラム、膜分離機構などの構造が形成されたマイクロ流体制御機構付マイクロ流路デバイスに関する。詳しくは、化学、生化学などに広く利用される微小反応デバイス（マイクロリアクター）；集積型ＤＮＡ分析デバイス、微小電気泳動デバイス、微小クロマトグラフィーデバイスなどの微小分析デバイス、質量スペクトルや液体クロマトグラフィーなどの分析試料調製用微小デバイス、抽出、膜分離、透析などの物理化学的処理デバイスなどとして有用なマイクロ流路デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
最近はマイクロリアクターやマイクロトータルアナリシスシステム（μＴＡＳ）と呼ばれる微細加工技術を利用した化学反応や分離システムの微小化の研究が盛んになっており、マイクロチャネル（微細流路）を持つマイクロチップ上で行う核酸、タンパク質、糖鎖などの分析や合成、微量化学物質の迅速分析、医薬品・薬物のハイスループットスクリーニングへの応用が期待されている。
このようなシステムのマイクロ化の利点としては、（１）化学反応や抗原抗体反応で使用するサンプルや試薬の使用量、廃棄量を低減できる、（２）プロセスに必要な動力源の低減ができる、（３）体積に対する表面積の比率が向上することにより、熱移動・物質移動の高速化が実現でき、その結果、反応や分離の精密な制御、高速・高効率化、副反応の抑制が期待される、（４）同一基板上で多くのサンプルを同時に取り扱うことができる、（５）サンプリングから検出までを同一基板上で実施できる、等のことが挙げられ省スペースで持ち運び可能な安価なシステムの実現が考えられている。
【０００３】
一方、デメリットとしては（１）検出面積が小さくなるが故に検出感度が低下するケースが多い、（２）マイクロスケールの流体流れでは乱流を発生させることが難しく、試薬等を混合させる場合に拡散混合となり時間を要す、（３）気泡等が発生した場合に表面張力の影響が大きく除去することは難しく測定系に大きな影響を及ぼすことが多い、ことが挙げられる。このようなメリット、デメリットがある中でマイクロフルイディクス技術は検討され、自動車産業分野では加速センサーや圧力センサー、位置センサー（ジャイロスコープ）等、電気通信業界分野では光導波路、光スイッチ、ミラー、レンズ等、ライフサイエンス産業分野では血液分析、ＤＮＡ分析、化学犯罪捜査用途等として我々の日常生活で見られる形となっている。その他、食品分野、環境試験分野、軍需分野にもその用途を展開している。
【０００４】
現在開発されているマイクロフルイディクス技術としては、センサー用途が多く、酵素もしくは抗原抗体反応、イオン感応電界効果（ＩＳＦＥＴ）、マイクロ電極、マイクロカンチレバー、音響波、共鳴を利用したマイクロセンサーが報告されている。用途してはマイクロ電気泳動チップ、マイクロＰＣＲ（Ｐｌｙｍｅｒａｓｅ  Ｃｈａｉｎ  Ｒｅａｃｔｉｏｎ）チップ、マイクロガスクロマトグラフィチップ、マイクロ液クロマトグラフィチップ、ＤＮＡ分離チップ等が多く報告されている。また、サンプリングから分析までを同一チップ上で実施するＬａｂ−ｏｎ−ａ−Ｃｈｉｐの開発も報告されており、炭疽菌や大腸菌に特異な核酸や抗体を用いた多機能バイオチップやグルコースやラクトース等をモニタリングする携帯可能な測定器、抗原抗体反応を用いた臨床検査チップ等が挙げられる。
【０００５】
上記のようなマイクロ流路デバイスにおいて、流体をマイクロ流路に流す際に空気の巻き込みが原因となる気泡の発生が課題としてあった。流体をマイクロ流路に流す際に空気の巻き込みが発生するとマイクロ流路内に滞留部が発生する、流速が制御できない、反応が均一に進行しない、光学検出や電気検出等において検出値ばらつきおよび異常値の発生となる等の不具合が発生する。
【０００６】
この問題を解決するために、マイクロ流路の形状を流線型にすることにより流体の流れ先端の乱れを防ぐことにより空気の巻き込みによる気泡の発生を防ぐ方法があるがマイクロ流体の粘度、流体速度により効果が違うため各々の流体に対して形状を最適化する必要があった。また、流路を蛇行させることにより空気の巻き込みによる気泡の発生を防ぐ方法も提案されているが（特許文献１）、マイクロ流体の粘度、流体速度によっては効果を発揮しない。更にマイクロ流体に巻き込まれた気泡を抜く方法として流体を通さず空気のみを通すメンブレンを流路に設置することによりマイクロ流体への空気の巻き込みによる気泡の発生を防ぐ方法があるが（特許文献２）、マイクロ流路に特殊なメンブレンを貼り付ける必要があり製造工程が複雑となる問題がある。上記のようにこの問題を解決するため、様々な提案がなされているが完全なる解決には至っておらず課題として残っていた。
【０００７】
【特許文献１】特開２００５−３２９３３３号公報
【特許文献２】特開２００６−２２３１１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の目的は、気泡を巻き込まないようにマイクロ流路もしくはマイクロチャンバーに流体を流すことができるマイクロ流路デバイスを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、以下の通りである。
（１）マイクロ流路及びマイクロチャンバーを有し流体を流すためのマイクロ流路デバイスであって、流体が重力方向と逆向きにマイクロ流路もしくはマイクロチャンバーを流れる部分を有することを特徴とするマイクロ流路デバイス。
（２）重力差もしくは表面張力による動力よって流体が流れるものである（１）記載のマイクロ流路デバイス。
（３）前記マイクロ流路もしくはマイクロチャンバーの表面の水に対する接触角が６０度以下である（２）記載のマイクロ流路デバイス。
（４）前記マイクロ流路もしくはマイクロチャンバーの表面が、プラズマ処理、コロナ放電処理、又は親水性ポリマーを表面コート処理のいずれの処理がされている（３）記載のマイクロ流路デバイス。
（５）前記マイクロ流路もしくはマイクロチャンバーの表面が、ポリエチレングリコール（ＰＥＧ）、エバール（ＥＶＯＨ）、ポバール（ＰＶＯＨ）、又はホスホリルコリン基を有するポリマーを成分とする親水性ポリマーをコート処理されている（３）記載のマイクロ流路デバイス。
（６）流体が重力方向と逆方向に流れるマイクロ流路もしくはマイクロチャンバーの断面形状の幅が１μｍ以上１ｍｍ以下で深さが１μｍ以上１ｍｍ以下であることを特徴とする（１）〜（５）いずれか記載のマイクロ流路デバイス。
（７）前記マイクロ流路デバイスの母材がプラスチックから構成される（１）〜（６）いずれか記載のマイクロ流路デバイス。
（８）マイクロ流路デバイスのマイクロ流路もしくはマイクロチャンバーの一部に核酸、タンパク質、糖鎖、及び糖タンパクのうち少なくとも一つを含む生理活性物質を固定化もしくは封入した（１）〜（７）いずれか記載のマイクロ流路デバイス。
（９）（１）〜（８）いずれか記載のマイクロ流路デバイスの使用方法であって、マイクロ流路デバイスをマイクロチャンバーに流れる流体が重力方向に対し逆方向になるようにセットして、流体を流すことを特徴とするマイクロ流路デバイスの使用方法。
【発明の効果】
【００１０】
本発明を用いることにより、気泡を巻き込まないようにマイクロ流路もしくはマイクロチャンバーに流体を流すことができるマイクロ流路デバイスを提供することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の実施形態を図を用いて説明する。
図１〜４は、本発明のマイクロ流路デバイスの一例の平面図における断面の端面部を模式的に示す図である。
【００１２】
図１に示したマイクロ流路デバイスでは、試料となる流体は流体入口２から導入され、流体入口と反応および検出されるマイクロチャンバー４とを連絡する流路３を重力、表面張力、流体入口２からポンプ等で加えられる圧力、又は外界と連絡する出口５から加えられる吸引力による動力により流れ、反応および検出されるマイクロチャンバー４に導入される。導入された流体は反応および検出されるマイクロチャンバー４で重力と逆方向に流れ空気を上に押し上げるようにマイクロチャンバー４を満たしながら流れる。マイクロチャンバー４を満たした流体は外界と連絡する出口５を通じて流れ外界と通じたところで表面張力によって止まる、もしくは表面張力によって外界と連絡する出口５の入口で止まる。これは、外界と連絡する出口５の流路表面が流体に対して濡れ性が良いか悪いか、外界と連絡する出口５の流路断面積が反応および検出されるチャンバー４の断面積の比によって異なる。
【００１３】
図２に示したマイクロ流路デバイスは、図１と同じ原理と動作をもつが流路デザインが異なるマイクロ流体デバイスである。
【００１４】
図３に示したマイクロ流路デバイスは、図２のマイクロ流路デバイスに反応および検出されるマイクロチャンバー４及び外界と連絡する出口５が２つ装備された流路デザインのマイクロ流体デバイスである。試料となる流体は流体入口２から導入された流体は流体入口とマイクロチャンバー４とを連絡する流路３を通り、２つの反応および検出されるマイクロチャンバー４を満たし外界と連絡する出口５を通じて流れ外界と通じたところで表面張力によって止まる、もしくは表面張力によって外界と連絡する出口５の入口で止まる。ここでは２つのマイクロチャンバー４と外界と連絡する出口５を例として挙げるが、３つ以上の場合でも可能である。
【００１５】
図４に示したマイクロ流路デバイスは、反応および検出されるマイクロチャンバー４と廃液チャンバーを連絡する流路６、及び廃液チャンバー７を装備するマイクロ流体デバイスである。試料となる流体は流体入口２とマイクロチャンバー４を連絡する流路３を重力、表面張力、流体入口２からポンプ等で加えられる圧力、又は外界と連絡する出口５から加えられる吸引力による動力により流れ、マイクロチャンバー４に導入される。導入された流体は反応および検出されるマイクロチャンバー４で重力と逆方向に流れ空気を上に押し上げるように反応および検出されるマイクロチャンバー４を満たしながら流れる。マイクロチャンバー４を満たした流体は重力、表面張力、流体入口２からポンプ等で加えられる圧力、又は外界と連絡する出口５から加えられる吸引力による動力によりマイクロチャンバー４と廃液チャンバー７を連絡する流路６を流れ、廃液チャンバー７へと送られ溜められる。図４は複数の流体を流す場合に有効なデザインである。
【００１６】
流体が重力方向と逆向きにマイクロ流路もしくはマイクロチャンバーを流れることにより、マイクロ流路もしくはマイクロチャンバーを具備するマイクロ流路デバイスで課題となる流体への気泡残りを防ぐことができる。流体が重力方向と逆向きとは、流体の流れる方向を重力方向の成分と重力方向と垂直な方向の成分へ物理学的に分解した場合に、一成分でも重力方向と逆方向に流体の流れる方向の成分があることである。
【００１７】
流体入口５を反応および検出されるマイクロチャンバー４より重力方向で高い位置に設置することにより流体が流れる動力を重力差とすることができる。また、流体に対してマイクロ流路もしくはマイクロチャンバーの濡れ性を良くする事により表面張力が働きキャビラリー効果で流体がマイクロ流路もしくはマイクロチャンバーを流れることができ、マイクロ流路もしくはマイクロチャンバーの幅、深さ、長さによっては重力方向と逆方向にも流れることができる。この原理を用いることによってポンプや吸引機等の外部ソースを使用せずとも利用できるマイクロ流路デバイスも作製することができる。
【００１８】
本発明のマイクロ流路デバイスは、平板状の母材を加工して得ることが好ましい。母材はプラスチックであることが好ましい。プラスチックの材質としては、加工性、経済性も含め、現在最も用いられている検出法が蛍光検出であるため自己蛍光の少なく、ＦＤＡから生体適応材料（血液に接触しても問題が無い）材料として認知されている環状ポリオレフィン（ＣＯＣ）が最も好ましいが、種々のプラスチック材料を選択することが可能であり、作製されるマクロチップの用途、処理、使用する溶媒、生理活性物質、検出方法の特性に合わせて、成形性、耐熱性、耐薬品性、吸着性等を考慮し適宜に選択される。
【００１９】
プラスチック材料としては、例えば、ポリスチレン、ポリエチレン、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレン、ポリカーボネート、ポリエステル、ポリメチルメタクリレート、ポリビニルアセテート、ビニル−アセテート共重合体、スチレン−メチルメタアクリレート共重合体、アクリルニトリル−スチレン共重合体、アクリルニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体、ナイロン、ポリメチルペンテン、シリコン樹脂、アミノ樹脂、ポリスルフォン、ポリエーテルスルフォン、ポリエーテルイミド、フッ素樹脂、ポリイミド等が挙げられる。
また、これらのプラスチック材料に、顔料、染料、酸化防止剤、難燃剤等の添加物を適宜混合してもよい。
【００２０】
本発明において、導入口、流路等を母材に加工する加工方法としては任意であり、切削加工、射出成形、溶剤キャスト法、フォトリソグラフィー、レーザーアブレーション、ホットエンボス法などの方法を利用できる
【００２１】
本発明において、マイクロ流路もしくはマイクロチャンバーの断面形状の幅および深さが１μｍ以上１ｍｍ以下であることが好ましく、更に好ましくは５μｍ以上８００μｍ以下である。マイクロ流路もしくはマイクロチャンバーの幅および深さが下限値未満ではマイクロ流路もしくはマイクロチャンバーを作製する際に技術を要し工業的に生産することが出来なくなり効率的ではない。マイクロ流路もしくはマイクロチャンバーの幅および深さが上限値を超えると表面張力やキャピラリー効果による流体の移動効果が薄くなり流体が流路を流れる際に時間を要するため良くない。
【００２２】
本発明において、マイクロ流路もしくはマイクロチャンバーの水に対する接触角は６０度以下であることが好ましく、更に好ましくは４０度以下である。マイクロ流路もしくはマイクロチャンバーの水に対する接触角が上限値を超えると表面張力やキャピラリー効果による流体の移動効果が薄くなり液体が流路を流れる際に時間を要するため良くない。
【００２３】
マイクロ流路もしくはマイクロチャンバーの水に対する接触角を６０度以下にする手法として、プラズマ処理またはコロナ放電処理、親水性ポリマーを表面コート処理、ポリエチレングリコール（ＰＥＧ）もしくは、エバール（ＥＶＯＨ）、ポバール（ＰＶＯＨ）、ホスホリルコリン基を有するポリマーを成分とする親水性ポリマーを表面コート処理することが好ましいが、流体の組成物や組成比を変化させるような悪い影響を与えない方法であれば特に限定しない。
【００２４】
マイクロ流路もしくはマイクロチャンバーに、試料である流体と反応する反応試薬や電極を配置した空間を設け、流体の分析をすることができる。
【００２５】
これらのマイクロ流体デバイスを用いたマイクロ流路デバイスの流路設計は検出対象物、利便性を考慮に適宜設計される。マイクロ流路デバイスとして、膜、ポンプ、バルブ、センサー、モーター、ミキサー、ギア、クラッチ、マイクロレンズ、電気回路等を装備したり、複数本のマイクロチャネルを同一基板上に加工することにより複合化することが可能である
【００２６】
本発明のマイクロ流路デバイスのマイクロ流路もしくはマイクロチャンバーの一部に生理活性物質を固定化することができる。生理活性物質としては、核酸、タンパク質、糖鎖、糖タンパク等が挙げられるが検出対象物の特性により適宜、最適な生理活性物質を選択することができる。また、同一チャネル上に複数の生理活性物質を固定化してもよく、同じマイクロ流路デバイスに違うマイクロチャネルを作製し別々に生理活性物質を固定しても良い。生理活性物質をマイクロ流路デバイスのマイクロチャネル表面に固定化するためにプラスチック表面に表面改質、例えば官能基の導入、機能材料の固定化、親水性の付与、および疎水性の付与等を実施したりすることも可能である。
【実施例】
【００２７】
以下に実施例により本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらの例によって何ら限定されるものではない。
【００２８】
（実施例１）
母材としてサイクリックオレフィン（日本ゼオン製ＺＥＯＮＯＲ  １０６０Ｒ）製のプラスチック基板（３０ｍｍ幅×７０ｍｍ長さ×１ｍｍ厚み）を用いた。図５に示すように、流体入口（開口部幅６ｍｍ、高さ５ｍｍ、深さ０．７ｍｍ）、重力方向に流体が流れる流路（幅０．３ｍｍ、深さ０．２ｍｍ、長さ８ｍｍ）、重力方向に対し横方向に流体が流れる流路（幅０．３ｍｍ、深さ０．２ｍｍ、長さ６ｍｍ）、重力方向に対して流体が逆向きに流れ流体入口と反応および検出されるマイクロチャンバーと連絡する流路（幅０．３ｍｍ、深さ０．２ｍｍ、長さ１ｍｍ）、反応および検出されるマイクロチャンバー（幅１ｍｍ、深さ０．２ｍｍ、長さ６ｍｍ）、及び外界と連絡する出口（流路幅０．３ｍｍ、流路深さ０．２ｍｍ、長さ７ｍｍ）をこの順になるように切削加工にて作製した。この基板と、同じ母材で加工していない別の平板とを熱圧着により貼り合せて図１に示す流路デザインのマイクロ流路デバイスを作製した。表面処理として酸素プラズマ処理を実施し、基板の水に対する接触角は６０度であった。
無痛針を使用し指先から血液を１０μＬの量をピペットにて採取し、マイクロ流路デバイスを反応および検出されるマイクロチャンバーに流れる流体が重力方向に対し逆方向になるようにセットし、流体入口に導入したところ、血液は流体入口から反応および検出されるマイクロチャンバーを連絡する流路へ流れ、更に反応および検出されるマイクロチャンバーに気泡を巻き込むことなく流れた。
【００２９】
（実施例２）
母材としてアクリル基板（３０ｍｍ幅×７０ｍｍ長さ×１ｍｍ厚み）を用い、実施例と同様のマイクロ流路を切削加工にて作製し、母材が同じ平板と熱圧着により貼り合せて図１に示すようなマイクロ流路デバイスを作製した。基板表面の接触角は８５度であった。
無痛針を使用し指先から血液を２０μＬの量をシリンジにて採取し、マイクロ流路デバイスを反応および検出されるマイクロチャンバーに流れる流体が重力方向に対し逆方向になるようにセットし、流体入口開口部を塞ぐ形で血液をシリンジで導入したところ、血液は流体入口から反応および検出されるマイクロチャンバーを連絡する流路へ流れ、更に反応および検出されるマイクロチャンバーに気泡を巻き込むことなく流れた。
【００３０】
（実施例３）
母材としてポリスチレン（ＰＳ）製のプラスチック基板（３０ｍｍ幅×７０ｍｍ長さ×１ｍｍ厚み）を用いた。図６に示すように、流体入口（開口部幅５ｍｍ、高さ３ｍｍ、深さ０．７ｍｍ）、流体入口と反応および検出されるマイクロチャンバーとを連絡する流路（流路幅０．３ｍｍ、流路深さ０．２ｍｍ）、反応および検出されるマイクロチャンバー（直径３ｍｍ、チャンバー深さ０．２ｍｍ）、及び外界と連絡する出口（流路幅０．３ｍｍ、流路深さ０．２ｍｍ、流路長さ３ｍｍ）をこの順になるように切削加工にて作製した。この基板と、同じ母材で加工していない別の平板とを熱圧着により貼り合せて図２に示す流路デザインのマイクロ流路デバイスを作製した。表面処理として酸素プラズマ処理を実施し、基板の水に対する接触角は５５度であった。
無痛針を使用し指先から血液を３μＬの量をピペットにて採取し、マイクロ流路デバイスを反応および検出されるマイクロチャンバーに流れる流体が重力方向に対し逆方向になるようにセットし、流体入口に導入したところ、血液は流体入口から反応および検出されるマイクロチャンバーを連絡する流路へ流れ、更に反応および検出されるマイクロチャンバーに気泡を巻き込むことなく流れた。
【００３１】
（比較例１）
実施例１に記載のマイクロ流路デバイスを用い、無痛針を使用し指先から血液を１０μＬの量をピペットにて採取し、マイクロ流路デバイスを反応および検出されるマイクロチャンバーに流れる流体が重力方向に対し横方向になるようにセットし、流体入口に導入したところ、血液は流体入口から反応および検出されるマイクロチャンバーを連絡する流路へ流れ、更に反応および検出されるマイクロチャンバーに導入されたが、反応および検出されるマイクロチャンバーにおいて気泡が残された。
【００３２】
（比較例２）
実施例２に記載のマイクロ流路デバイスを用い、無痛針を使用し指先から血液を２０μＬの量をシリンジにて採取し、マイクロ流路デバイスを反応および検出されるマイクロチャンバーに流れる流体が重力方向に対し横方向になるようにセットし、流体入口の開口部を塞ぐ形で導入したところ、血液は流体入口から反応および検出されるマイクロチャンバーを連絡する流路へ流れ、更に反応および検出されるマイクロチャンバーに導入されたが、反応および検出されるチャンバーにおいて気泡が残された。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
本発明を利用することにより、気泡を巻き込まないようにマイクロ流路もしくはマイクロチャンバーに流体を流すことができるマイクロ流路デバイスを提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明のマイクロ流路デバイスの第一例の平面図における断面の端面部を模式的に示す図
【図２】本発明のマイクロ流路デバイスの第二例の平面図における断面の端面部を模式的に示す図
【図３】本発明のマイクロ流路デバイスの第三例の平面図における断面の端面部を模式的に示す図
【図４】本発明のマイクロ流路デバイスの第四例の平面図における断面の端面部を模式的に示す図
【図５】実施例１のマイクロ流路デバイスに使用する加工基板を模式的に示す平面図
【図６】実施例３のマイクロ流路デバイスに使用する加工基板を模式的に示す平面図
【符号の説明】
【００３５】
１  マイクロ流路デバイスの母材
２  流体入口
３  流体入口とマイクロチャンバーとを連絡する流路
４  反応および検出されるマイクロチャンバー
５  外界と連絡する出口
６  マイクロチャンバーと廃液チャンバーを連絡する流路
７  廃液チャンバー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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