(57)【要約】【課題】ポンプ室の容積を小さくすることができ、かつ、微小吐出と微小な吐出量の制御が可能なマイクロポンプ及びそれを備えた徐放装置を提供する。【解決手段】マイクロポンプ１００は、ポンプ室１と、外部からポンプ室１に液体を吸入するための吸入口２と、吸入口２において液体の流れを調節するための吸入側逆止弁３０と、ポンプ室１の内部からポンプ室１の外部に液体を吐出する吐出口４と、吐出口４において液体の流れを調節するための吐出側逆止弁５０と、ポンプ室１の容積を変化させるための振動板６とを備え、吸入側逆止弁３０は、その一部が振動板６に接触するようにポンプ室１に組み込まれている。【選択図】図１
2008082289.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポンプ室と、
外部から前記ポンプ室に液体を吸入するための吸入口と、
前記吸入口において液体の流れを調節するための吸入側逆止弁と、
前記ポンプ室の内部から前記ポンプ室の外部に液体を吐出する吐出口と、
前記吐出口において液体の流れを調節するための吐出側逆止弁と、
前記ポンプ室の容積を変化させるための振動板とを備え、
前記吸入側逆止弁は、その一部が前記振動板に接触するように前記ポンプ室に組み込まれている、マイクロポンプ。
【請求項２】
前記吸入側逆止弁が前記吸入口を閉じる方向に前記吸入側逆止弁は前記振動板によって押圧されるように前記ポンプ室に組み込まれている、請求項１に記載のマイクロポンプ。
【請求項３】
前記吸入側逆止弁が、前記振動板の振動の全周期において前記振動板に接触している、請求項１または請求項２に記載のマイクロポンプ。
【請求項４】
前記吸入側逆止弁と前記吐出側逆止弁においては、弁の軸を含む縦断面が、相対的に断面積が大きい頭部と相対的に断面積が小さい脚部とを有し、前記脚部においては、前記頭部と反対側の径が、前記頭部側の径とほぼ同等である、または、前記頭部と反対側の径が、前記頭部側の径よりも小さい、請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載のマイクロポンプ。
【請求項５】
前記吐出側逆止弁は、その一部が液体の流路を形成する壁部に接触するように前記ポンプ室に組み込まれている、請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載のマイクロポンプ。
【請求項６】
前記吸入口に導かれる開口部の径が、前記吸入口を閉じる前記吸入側逆止弁の外径以上の大きさを有する、請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載のマイクロポンプ。
【請求項７】
前記振動板は、商用交流電圧の周波数の半周期単位で駆動することが可能であるように構成されている、請求項１から請求項６までのいずれか１項に記載のマイクロポンプ。
【請求項８】
前記吐出口から外部への液体の流路には、液体の存在を検出するための液検出用端子が配置されている、請求項１から請求項７までのいずれか１項に記載のマイクロポンプ。
【請求項９】
請求項１から請求項８までのいずれか１項に記載のマイクロポンプを備え、前記ポンプ室に香料を吸入し、前記ポンプ室から外部に断続的に吐出するように構成されている、徐放装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、一般的にはマイクロポンプに関し、特定的には微小な流量を吐出するマイクロポンプとそれを適用した徐放装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、冷却装置のような分野でマイクロポンプを使用する場合は、マイクロポンプは、ある程度の流量を確保するように設計される。マイクロポンプを駆動する振動板に用いられる圧電素子のサイズとしては、一般に、直径２０ｍｍ程度以上のものが多く用いられている。電源としては、多くの場合、商用交流電源が使用されている。このようなマイクロポンプの実際の商品の例では、マイクロポンプは、６０Ｈｚ駆動で、１分間あたり３６ｍＬ（ミリリットル）程度（交流電圧の一周期当たり１０μＬ（マイクロリットル）程度）の流量を持つことになる。このようなマイクロポンプは各分野で使用されているが、医療や芳香の分野等において微量な薬品を扱う場合には、管理すべき流量はさらに少なくなり、１μＬ単位の流量を制御することが要求される。そのため、さらにポンプのサイズや振動板を小型化し、超低流量で、かつ、安定した流量を実現することができるポンプが必要となっている。
【０００３】
図１５は、従来のマイクロポンプの一例として、マイクロポンプの全体の断面を示す図である。
【０００４】
図１５に示すように、従来のマイクロポンプ９００は、圧電素子９７に交流電圧を印加することによって、圧電素子９７に接着されてポンプ室９１の底面を形成している振動板９６を振動させ、ポンプ室９１内の容積を変化させる。ポンプ室９１は、ケース９１２の凹部内に形成され、吸入側逆止弁９３０を介して流体が吸入され、吐出側逆止弁９５０を介して流体が吐出される空間である。吸入側逆止弁９３０と、吐出側逆止弁９５０は、開いた傘のような形状である傘型弁である。吸入側逆止弁９３０の頭部９３１と吐出側逆止弁の頭部９５１は扁平な形状であり、吸入側逆止弁９３０の脚部９３２と吐出側逆止弁９５０の脚部９５２は、球状に形成されて、ポンプ室９１を構成するケース９１２から、それぞれの弁が抜け落ちないように支えている。吸入側逆止弁９３０の頭部９３１の頂点９３３と振動板９６との間、吐出側逆止弁９５０の頭部９５１の頂点９５３と吐出管９２０を形成する壁面との間には、空間が設けられている。マイクロポンプ９００の液タンク９１０内に貯留されている液体９１４は、振動板９６の振動によってポンプ室９１の容積が増大して、吸入側逆止弁９３０と吸入口９２との間に隙間ができると、吸入口９２を通ってポンプ室９１の内部に流入する。また、ポンプ室９１内に流入した液体は、振動板９６の振動によってポンプ室９１の容積が減少して、吐出側逆止弁９５０と吐出口９４との間に隙間ができると、吐出口９４を通ってポンプ室９１の内部から吐出管９２０に流出し、吐出端９９を通って外部に放出される。
【０００５】
特開２００５−２４８７１３号公報（特許文献１）に記載の流体ポンプは、排出部を吸入部よりも振動板（ダイヤフラム）側に配置して吸入部と排出部の弁の高さをそろえることによって、薄型化されている。
【特許文献１】特開２００５―２４８７１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来のマイクロポンプ９００や特開２００５−２４８７１３号公報（特許文献１）に記載の流体ポンプに用いられている傘型弁は、傘型の反対側を球状等にして穴にはめ込む形であり、傘型の方がしっかり面に押さえつけられていないと弁部で漏れが生じ、ポンプが動作していない場合に、順方向、逆方向に流れが生じることがあった。特に超低流量の場合は、この漏れは大きな誤差原因になる。
【０００７】
このような弁からの流体の漏れなどが原因で微小な吐出量の制御ができないマイクロポンプの場合には、例えば、マイクロポンプを利用して室内に香料を放出する場合、原液を薄めた希釈液を用いることによって、ポンプ室から吐出される香料の量が多くなっても室内の人が気分を悪くするなどの問題が生じないようにする必要があった。しかし、香料の原液の希釈液を用いる場合、香料の原料を用いる場合に比べると、ポンプ室に供給するための希釈液を貯留しておく空間が大きくなってしまう。
【０００８】
一方、逆止弁を動作させるためには、ある程度以上の変位量と圧力差が必要である。特に初めて液を吸い込むときや、気体を吸い込んだときなど、ポンプ内に空気が含まれている場合には、ポンプ動作前とポンプ動作時での圧力差（ポンプ動作前とポンプ動作時の体積の比率×１気圧）が十分でないと、液を吸い込むことができない。
【０００９】
マイクロポンプをさらに小型化して、圧電素子のサイズを小さくすると、そのサイズの約３乗に比例して圧電素子で駆動できる流量が変化する。直径１０〜１５ｍｍの圧電素子の変位量は、印加電圧や圧電素子の厚さ等の条件により異なるが、最も変位が大きい中央部でも、０．０１５〜０．０３ｍｍ程度でしかない。そのため、実際に圧電素子の直径を１０〜１５ｍｍ程度にした場合は、電圧や圧電素子の性能にもよるが、１サイクルで上方向に最大に変位したときと下方向に最大に変位したときとの変位差によるポンプ室の容積の変化は０．５〜４μＬ程度になる。
【００１０】
上記の程度の圧電素子の変位の場合、仮に特にポンプ室内が気体で満たされているとすると、ポンプ室の容積がその変位量の１０倍程度であれば、０．１気圧の圧力差を生成でき、その圧力差は十分、弁を動作させる圧力差になる。しかし、ポンプ室の容積が圧電素子の変位量の１００倍程度になると、上記の程度の圧電素子の変位によって生成することができる気圧の差が０．０１気圧になり、ポンプの動作が不安定になって液を吸い込むことができなくなる。すなわち、サイズの小さい圧電素子の変位によって十分な気圧差を生じさせるためには、ポンプ室の容積を小さくする必要がある。
【００１１】
そこで、この発明の目的は、ポンプ室の容積を小さくすることができ、かつ、微小吐出と微小な吐出量の制御が可能なマイクロポンプ及びそれを備えた徐放装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
この発明に従ったマイクロポンプは、ポンプ室と、外部からポンプ室に液体を吸入するための吸入口と、吸入口において液体の流れを調節するための吸入側逆止弁と、ポンプ室の内部からポンプ室の外部に液体を吐出する吐出口と、吐出口において液体の流れを調節するための吐出側逆止弁と、ポンプ室の容積を変化させるための振動板とを備え、吸入側逆止弁は、その一部が振動板に接触するようにポンプ室に組み込まれている。
【００１３】
ポンプ室の容積は圧電素子の大きさで直径方向の大きさがある程度決まるので、ポンプ室の容積を小さくするためには、ポンプ室の厚みをできるだけ薄くする必要がある。吸入側逆止弁を振動板に接触するようにポンプ室に組み込むことによって、ポンプ室の厚みを薄くして、ポンプ室の容積を小さくすることができるとともに、微小な吐出量を制御することができる。このようにすることにより、小型で、微小吐出と微小な吐出量の制御が可能なマイクロポンプを提供することができる。
【００１４】
この発明に従ったマイクロポンプにおいては、吸入側逆止弁が吸入口を閉じる方向に吸入側逆止弁は振動板によって押圧されるようにポンプ室に組み込まれていることが好ましい。
【００１５】
このようにすることにより、弁の漏れをなくし、安定した吐出のマイクロポンプを実現することができる。
【００１６】
この発明に従ったマイクロポンプおいては、吸入側逆止弁が、振動板の振動の全周期において振動板に接触していることが好ましい。
【００１７】
このようにすることにより、振動板の振動の全周期で弁を固定することができるため、安定した吐出のマイクロポンプを実現することができる。
【００１８】
この発明に従ったマイクロポンプにおいては、吸入側逆止弁と吐出側逆止弁においては、弁の軸を含む縦断面が、相対的に断面積が大きい頭部と相対的に断面積が小さい脚部とを有し、脚部においては、頭部と反対側の径が、頭部側の径とほぼ同等である、または、頭部と反対側の径が、頭部側の径よりも小さいことが好ましい。
【００１９】
このようにすることにより、弁全体の厚みを薄く、かつ、組み立てやすい形状とすることができ、ポンプを小型化することができる。
【００２０】
この発明に従ったマイクロポンプにおいては、吐出側逆止弁は、その一部が液体の流路を形成する壁部に接触するようにポンプ室に組み込まれていることが好ましい。
【００２１】
このようにすることにより、吐出側逆止弁も薄くすることができ、ポンプを小型化できる。また、吸入側逆止弁と同じ構造の弁となるため、コストを抑えることができる。
【００２２】
この発明に従ったマイクロポンプにおいては、吸入口に導かれる開口部の径が、吸入口を閉じる吸入側逆止弁の外径以上の大きさを有することが好ましい。
【００２３】
このようにすることにより、小型ポンプであっても、液の吸入開始を確実にすることができる。
【００２４】
この発明に従ったマイクロポンプにおいては、振動板は、商用交流電圧の周波数の半周期単位で駆動することが可能であるように構成されていることが好ましい。
【００２５】
このようにすることにより、より微小な流量を制御することができる。
【００２６】
この発明に従ったマイクロポンプは、吐出口から外部への液体の流路には、液体の存在を検出するための液検出用端子が配置されていることが好ましい。
【００２７】
このようにすることにより、液体の頭出しが可能なマイクロポンプを実現することができる。
【００２８】
この発明に従った徐放装置は、以上に記載したいずれかの特徴を有するマイクロポンプを備え、ポンプ室に香料を吸入し、ポンプ室から外部に断続的に吐出するように構成されていることが好ましい。
【００２９】
このようにすることにより、原液などの濃い香料でも、必要時に必要量の芳香が可能な徐放をすることが可能な徐放装置を実現することができる。その結果、香料液タンクも含めた小型な徐放装置が実現可能になる。
【発明の効果】
【００３０】
以上のように、この発明によれば、ポンプ室の容積を小さくすることができ、かつ、微小吐出と微小な吐出量の制御が可能なマイクロポンプ及びそれを備えた徐放装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００３２】
図１は、この発明の第一の実施の形態として、マイクロポンプの全体を示す断面図である。
【００３３】
図１に示すように、マイクロポンプ１００は、液タンク１０と、ポンプ室１と、外部からポンプ室１に液体を吸入するための吸入口２と、吸入口２において液体の流れを調節するための吸入側逆止弁３０と、ポンプ室１の内部からポンプ室１の外部に液体を吐出する吐出口４と、吐出口４において液体の流れを調節するための吐出側逆止弁５０と、ポンプ室１の容積を変化させるための振動板６とを備え、吸入側逆止弁３０は、その一部である頂点３３が振動板６に接触するようにポンプ室１に組み込まれている。
【００３４】
吸入側逆止弁３０を介して、液体が吸入され、吐出側逆止弁５０を介して液体が吐出されるまでの空間がポンプ室１であり、吸入側逆止弁３０と吐出側逆止弁５０は、ハウジング１２に取り付けられている。ポンプ室１の底面は振動板６によって形成されている。振動板６の端部は、ハウジング１２と、振動板側ケース１９との間に挿入されて固定されている。振動板６の下面には、圧電素子７が接着されている。圧電素子７の下部には、空間が設けられ、圧電素子７は上下に振動することができる。ハウジング１２の上部には、吸入吐出側ケース１１が取り付けられており、内部に流路として吐出管２０が形成されている。ハウジング１２と吸入吐出側ケース１１との間には８の字Ｏリング１３が配置され、ハウジング１２と振動板側ケース１９との間にはＯリング２１が配置されて密閉されている。
【００３５】
吸入側逆止弁３０と吐出側逆止弁５０は、弁の軸を含む縦断面が、相対的に断面積が大きい頭部と相対的に断面積が小さい脚部を有し、開いた傘のような形状をしている。吸入側逆止弁３０は、扁平な頭部３１を下に向け、棒状の脚部３２を上に向けて、脚部３２がハウジング１２に取り付けられていることによってポンプ室１に組み込まれている。脚部３２は、先端がほぼ平らであり、ハウジング１２に形成された凹部に受容されて保持されている。吸入側逆止弁３０の頭部３１は、頂点３３が振動板６に接している。吐出側逆止弁５０は、扁平な頭部５１を上に向け、棒状の脚部５２を下に向けて、脚部５２がハウジング１２に取り付けられていることによって、ポンプ室１に組み込まれている。脚部５２は、先端がほぼ平らであり、ハウジング１２に形成された凹部に受容されて保持されている。吐出側逆止弁５０の頭部５１は、頂点５３が吐出管２０の壁部として吸入吐出側ケース１１の内壁に接している。吸入側逆止弁３０の直径は５ｍｍ、圧電素子７の長さは１７ｍｍとする。
【００３６】
ポンプ室１の上部には、液タンク１０が配置されており、液タンク１０の内部には液体１４が貯留されている。液タンク１０の下部と吸入吐出側ケース１１の上部は開口部８によって連結されており、液体１４は開口部８を通って吸入口２に入る。開口部８の径は、５ｍｍとする。
【００３７】
このように、吸入口２に導かれる開口部８の径が、吸入口２を閉じる吸入側逆止弁３０の外径以上の大きさを有することにより、小型ポンプであっても、液の吸入開始を確実にすることができる。
【００３８】
圧電素子７に交流電圧を印加することによって、交流電圧の周波数に対応する周波数で圧電素子７が振動する。この圧電素子７の振動と連動して、圧電素子７に接着されている振動板６が振動し、ポンプ室１の容積を変化させる。振動板６が上下どちらにも変位していないときには、吸入側逆止弁３０の頭部３１が吸入口２を閉じ、吐出側逆止弁５０の頭部５１が吐出口４を閉じている。
【００３９】
図２と図３は、この発明の一つの実施の形態として、振動板を振動させてポンプ室の容積を変化させたときのマイクロポンプの動作を順に示す図である。
【００４０】
まず、図２は、ポンプ室内に液体を吸入するときのマイクロポンプのポンプ室周辺を示す断面図である。
【００４１】
図２に示すように、振動板６が下方向に変位すると、ポンプ室１の容積が大きくなる。ポンプ室１の容積が大きくなると、吸入側逆止弁３０の頭部３１と吸入口２との間に隙間ができて、液タンク１０に溜められている液体１４がポンプ室１内に流入する。このとき、吐出側逆止弁５０の頭部５１によって吐出口４はふさがれており、ポンプ室１内に流入した液体が吐出口４から流出することはない。
【００４２】
次に、図３は、ポンプ室内に吸入した液体を外部に吐出するときのマイクロポンプのポンプ室周辺を示す断面図である。
【００４３】
図３に示すように、振動板６が上方向に変位すると、ポンプ室１の容積が小さくなる。ポンプ室１の容積が小さくなると、吸入側逆止弁３０の頭部３１と吸入口２との間の隙間がふさがれて、液タンク１０からポンプ室１には液体が流入しない。一方、吐出側逆止弁５０と吐出口４との間に隙間ができて、ポンプ室１内の液体が吐出口４から吐出管２０に流出し、吐出端９を通って外部に吐出される。
【００４４】
マイクロポンプ１００は、図１に示すように振動板６の変位がない状態と、図２に示すようにポンプ室１の容積を大きくする方向に振動板６が変位している状態と、図３に示すようにポンプ室１の容積を小さくする方向に振動板６が変位している状態と、を繰り返すことによって、液タンク１０内の液体１４をポンプ室１内に吸入し、外部に吐出する。
【００４５】
このように、吸入側逆止弁３０の頭部３１の頂点３３が振動板６に接していることにより、ポンプ室１の容積を小さくすることができ、微小な吐出量を制御する。
【００４６】
このようにすることにより、ポンプ室１の容積を小さくすることができ、かつ、微小吐出と微小な吐出量の制御が可能なマイクロポンプ１００を提供することができる。
【００４７】
また、吐出側逆止弁５０の頭部５１の頂点５３は、吐出管２０の壁部として吸入吐出側ケース１１の内壁に接している。
【００４８】
このようにすることにより、吐出側逆止弁５０も薄くすることができ、マイクロポンプ１００を小型化できる。また、吸入側逆止弁３０と吐出側逆止弁５０とが同じ構造の弁となるため、コストを抑えることができる。
【００４９】
さらに、吸入側逆止弁３０においては、弁の軸を含む縦断面が、相対的に断面積が大きい頭部３１と相対的に断面積が小さい脚部３２とを有し、脚部３２の先端がほぼ平らであり、吐出側逆止弁５０においては、弁の軸を含む縦断面が、相対的に断面積が大きい頭部５１と相対的に断面積が小さい脚部５２とを有し、脚部５２の先端がほぼ平らである。
【００５０】
このようにすることにより、弁全体の厚みを少なく、かつ、組み立てやすい形状とすることができ、マイクロポンプ１００を小型化することができる。
【００５１】
図４は、この発明の一つの実施の形態として、（Ａ）は吸入側逆止弁の全体を示す図、（Ｂ）は、振動板が変位していない状態で振動板に接している吸入側逆止弁を示す図である。
【００５２】
図４（Ａ）に示すように、吸入側逆止弁３０の頭部３１においては、頂点３３から所定の高さを押さえ代ｈとする。図４（Ｂ）に示すように、振動板６は、吸入側逆止弁３０が押さえ代ｈだけ圧縮されるように、吸入側逆止弁３０を上方向に押圧するようにして接している。吸入側逆止弁３０はゴムで形成されており、振動板６に押圧されることによって圧縮される。この実施の形態では、押さえ代ｈは、０．０１５ｍｍとする。
【００５３】
吸入側逆止弁３０は、このように、押さえ代ｈだけ圧縮された状態でポンプ室１に組み込まれている。吸入側逆止弁３０が振動板６によって圧縮された状態でポンプ室１に組み込まれることによって、吸入側逆止弁３０は吸入口２を閉じる方向に振動板６によって押圧されるようにポンプ室１に組み込まれている。
【００５４】
このようにすることにより、弁の漏れをなくし、安定した吐出のマイクロポンプ１００を実現することができる。
【００５５】
図１から図３に示すように、振動板６は、圧電素子７に印加される交流電圧の周波数に応じて振動するが、振動の周期を通じて、振動板６の中央部６１では最も変位が大きい。振動板６の変位の大きさは、圧電素子７の大きさや圧電素子７に印加する電圧の大きさによる。この実施の形態では、１００Ｖの交流電圧を印加した場合、振動板６が下向きに変位してポンプ室１の容積を大きくするとき（図２）と、振動板６が上向きに変位してポンプ室１の容積を小さくするとき（図３）とを比較すると、振動板６の中央部６１の変位は、最大で０．０３ｍｍ程度になる。振動板６の変位がない状態（図１）と比較すると、振動板６の中央部６１は、上下にそれぞれ最大で０．０１５ｍｍ程度変位する。
【００５６】
吸入側逆止弁３０には押さえ代ｈがあり、押さえ代ｈが０．０１５ｍｍとなるように振動板６が押圧してポンプ室１に組み込まれているので、振動板６が下向きに最大に変位した場合にも吸入側逆止弁３０と振動板６とが離れることがない。
【００５７】
このように、吸入側逆止弁３０が、振動板６の振動の全周期において振動板６に接触していることにより、振動板６の振動の全周期で吸入側逆止弁３０を固定することができるため、安定した吐出のマイクロポンプ１００を実現することができる。
【００５８】
押さえ代ｈが振動板６の変位の大きさ以上であれば、吸入側逆止弁３０は振動板６の振動の全周期において振動板６に接触する。また、押さえ代ｈは０であってもよい。押さえ代ｈが０であれば、振動板６の変位がない状態から振動板６が上向きに変位している状態の間では、吸入側逆止弁３０と振動板６とが接触し、振動板６が下向きに変位している間は吸入側逆止弁３０と振動板６とが接触しない。振動板６が下向きに変位するときには、ポンプ室１の容積が大きくなり、吸入側逆止弁３０と吸入口２との間に隙間ができて、液タンク１０内の液体１４が吸入口２を通ってポンプ室１内に流入する。このとき、吸入側逆止弁３０の押さえ代ｈが０であれば、振動板６が吸入口２を閉じるように吸入側逆止弁３０を押圧することはできなくなるが、液体１４を吸入する際には吸入口２を閉じるように吸入側逆止弁３０を押圧する必要がない。したがって、押さえ代ｈは０であってもよい。
【００５９】
ここまでの例では、振動板６の変位が０の状態（図１）から、振動板６がポンプ室１の容積を大きくする方向に変位した状態（図２）に変化し、振動板６の変位が０の状態（図１）に戻り、続いて振動板６がポンプ室１の容積を小さくする方向に変位した状態（図３）に変化し、振動板６の変位が０の状態（図１）に戻るまでの一連の動作の場合、すなわち１サイクル動作の場合を示したが、振動板６の変位が０の状態（図１）から、振動板６がポンプ室１の容積を大きくする方向に変位した状態（図２）に変化し、振動板６の変位が０の状態（図１）に戻る動作、すなわち半サイクル動作でも、マイクロポンプ１００による液体１４の吸入と吐出が可能である。この場合は、１サイクルの半分程度の吐出量となる。同様に振動板６の変位が０の状態（図１）から、振動板６がポンプ室１の容積を小さくする方向に変位した状態（図３）に変化し、振動板６の変位が０の状態（図１）に戻る動作、すなわち半サイクル動作でも、マイクロポンプ１００による吸入と吐出が可能であり、この場合も１サイクル動作の半分程度の吐出量となる。
【００６０】
振動板６の材質にもよるが、この実施の形態の場合には、１サイクル動作での吐出量は、およそ１μＬ、半サイクル動作での吐出量は０．４〜０．５μＬになる。
【００６１】
なお、この実施の形態においての弁径や圧電素子のサイズは本発明を限定するものでなく、微小流量を得るのに必要な同程度のサイズのすべてで有効である。
【００６２】
このように、振動板６によって吸入側逆止弁３０を固定する構造にすることによって、漏れのない動作が確実になる。
【００６３】
また、ポンプ室１の容積を非常に小さくすることができるため、１μＬ以下という微少な単位での吐出を行うことができるポンプを実現できる。さらに、ポンプ室１内に空気が入った状態であっても、ポンプ室１の容積が小さいため、１サイクル動作でポンプ室１内に十分な気圧差を作り出すことができる。このようにして、はじめの液の吸い込みから安定したポンプ動作を実現することができる。
【００６４】
さらに、吐出側逆止弁５０も吐出管２０の壁に接する構造にすることで、吐出口４の付近の空間も小さくすることができる。したがって、ポンプ室１を含むマイクロポンプ１００全体、または、吐出管２０内に収容する液体１４の体積が少なくなり、吸入から吐出までに必要な時間を短くすることができる。
【００６５】
また、吸入側逆止弁３０を押圧するようにポンプ室１に組み込む構造のため、従来の傘型弁にある、傘型弁を固定するための傘の反対部の球状突起（図１５の吸入側逆止弁９３０の脚部９３２と吐出側逆止弁９５０の脚部９５２）が不要になる。このため、傘型弁の薄型化、傘型弁の組み付け易さの向上、はめつけやすく壊す心配なく外せるといった保守のしやすさの向上、金型の製作しやすさの向上、傘型弁の制作しやすさの向上が達成できて、傘型弁のコストダウンが可能となる。
【００６６】
香りに対して、人間には慣れるという特性があることが知られている。通常の芳香に使用する程度の香りであれば、個人差もあるが、１０分程度で慣れてしまい、そのにおいを感じなくなる。つまり、高価な精油などの香料を絶えず拡散させても、拡散当初のみ香りを感じ、それ以降は感じないか、弱くしか感じなくなる。また、逆に、においのない状態にしばらく置かれると、においに対する慣れは回復し、再度においを嗅ぐとそのにおいを感じるようになる。つまり、通常使用されているような、液をろ紙に染み込ませるなどして常時香りを出し続ける従来の芳香システムでは、香りを有効に楽しむことができない。
【００６７】
そこで、本発明のマイクロポンプを用いて、振動板の駆動やファンの駆動を間欠的に行うことによって、一定時間ごとに香りを感じることができる徐放装置ができる。
【００６８】
図５は、この発明の第二の実施の形態として、第一の実施の形態のマイクロポンプを用いた徐放装置の制御関連の構成を示すブロック図である。
【００６９】
図５に示すように、本発明の徐放装置１１０は、マイクロポンプ１００と、マイクロポンプ１００から放出された液体を受ける徐放板１７と、徐放板１７に送風するためのファン１８と、制御装置１０１とを備える。徐放装置１１０の制御装置１０１は、部屋大きさ設定手段１０３と、芳香強さ設定手段１０４とから制御信号を受信する。また、制御装置１０１は、表示手段１０２と、選択手段１０６と、調圧手段１０７と、ファン１８に制御信号を送る。制御装置１０１は、計時手段１０５とは制御信号の送受信を行う。マイクロポンプ１００の液タンク１０には、香料を貯留する。
【００７０】
使用者は、芳香強さ設定手段１０４を通して、芳香の強さを「弱」「標準」「強」のいずれかから選択して制御装置１０１に入力する。また、使用者は、部屋大きさ設定手段１０３を通して、部屋の大きさが４．５畳から１２畳までのいずれであるかを制御装置１０１に入力する。使用者によって入力されたこれらの情報に基づいて、制御装置１０１は、１回当たりの徐放量を求める。表１に１回当たりの香料の徐放量として好ましい例を示す。
【００７１】
【表１】
2008082289.tif 000003
【００７２】
表２には、表１に示す徐放量を得るために必要な、振動板を駆動するサイクル数を示す。
【００７３】
【表２】
2008082289.tif 000004
【００７４】
表２に示すように、制御装置１０１は、表１に示す徐放量を得るために必要な振動板６の駆動サイクルと電圧とを求めて、調圧手段１０７と選択手段１０６に制御信号を送る。例えば、６畳の部屋で、芳香強さを「標準」に設定した場合には、１回の徐放において１００Ｖで３サイクルだけ振動板６を駆動させることによって、３μＬの香料が吐出端９から放出される。１２畳の部屋で、芳香強さを「強」に設定した場合には、１回の徐放において１００Ｖで９サイクルだけ振動板６を駆動させることによって、９μＬの香料が吐出端９から放出される。４．５畳の部屋で、芳香強さを「弱」に設定した場合には、１回の徐放において７５Ｖで１．５サイクルだけ振動板６を駆動させることによって、１．１２５μＬの香料が吐出端９から放出される。
【００７５】
図６は、選択手段と調圧手段によって調整された電圧を模式的に示す図である。
【００７６】
マイクロポンプ１００は、商用交流電源１０８から電力を供給される。商用交流電源１０８から供給される電圧を、図６（Ａ）に模式的に示す。図６（Ａ）の電圧は、選択手段１０６によって、図６（Ｂ）に示すように、任意の周期を選択される。図６（Ｂ）では、２周期が選択されているが、０、０．５、１．０、１．５、２．０、２．５（周期）など、任意の周期を選択することができる。次に、調圧手段１０７によって、電圧の大きさが０Ｖから１００Ｖまでの間の任意の電圧に調整される。
【００７７】
圧電素子７の変位の周期は電圧の周期に一致し、圧電素子７の変位の大きさは電圧の大きさに比例する。そのため、電圧の大きさによってマイクロポンプ１００の吐出量が変化する。しかしながら、圧電素子７の変位は微小であるため、実際には電圧０Ｖに近い場合にはマイクロポンプ１００はポンプとしての動作を行うことができない。この実施の形態においては、圧電素子７に印加する電圧は５０〜１００Ｖが安定した動作が可能な範囲であって、１００Ｖを印加した場合に対して５０〜１００％の範囲で吐出量を調整することができる。
【００７８】
このように、振動板６は、商用交流電圧の周波数の半周期単位で駆動することが可能であるように構成されていることによって、より微小な流量を制御することができる。
【００７９】
図７は、この発明の第二の実施の形態として、第一の実施の形態のマイクロポンプを用いた徐放装置の徐放運転の制御処理を順に示すフローチャートである。
【００８０】
図１から図７に基づいて本発明の徐放装置の徐放運転を説明する。以下の工程において、所定の判断を行う主体は制御装置１０１である。
【００８１】
図７に示すように、ステップＳ１０１において、計時手段１０５が現在の時刻を制御装置１０１に入力する。ステップＳ１０２では、制御装置１０１が、ステップＳ１０１において入力された時刻と前回の徐放の時刻とを比較する。
【００８２】
ステップＳ１０３では、前回の徐放から１時間が経過しているかどうかを確認する。前回の徐放から１時間経過していれば、ステップＳ１０４に進む。前回の徐放から１時間経過していなければ、ステップＳ１０１に戻る。
【００８３】
ステップＳ１０４では、制御装置１０１が、使用者の設定に基づいて、選択手段１０６と調圧手段１０７を制御して、圧電素子７に所定の周期、所定の電圧で交流電圧を印加するように制御する。また、ファン１８を駆動するように電圧を印加するように制御する。その後、ステップＳ１０５に進む。
【００８４】
圧電素子７に交流電圧が印加されると、圧電素子７が交流電圧の周波数に対応して振動し、圧電素子７の振動と連動して振動板６が振動する。振動板６が振動することによって、ポンプ室１の容積も振動し、液タンク１０内に貯留されている液体１４が吐出管２０を通って、吐出端９から外部に放出され、徐放板１７に滴下される。徐放板１７に滴下した液体は、ファン１８の送風によって蒸発し、室内に香りを拡散させる。
【００８５】
ステップＳ１０５では、計時手段１０５が、現在の時刻を制御装置１０１に入力する。
【００８６】
ステップＳ１０６では、計時手段１０５が、ファン１８の駆動時間の計測を開始する。
【００８７】
ステップＳ１０７では、ファン１８の駆動時間が所定の時間を経過したかどうかを確認する。ファン１８の駆動時間が所定の時間を経過していれば、ステップＳ１０８に進み、ファン１８の駆動を停止してステップＳ１０１に戻る。ファン１８の駆動時間が所定の時間を経過していなければ、ステップＳ１０６に戻る。
【００８８】
図８は、図７に示す制御処理を行ったときの圧電素子に印加する電圧（Ａ）、ファンに印加する電圧（Ｂ）、香りの強度（Ｃ）、香りの感じ方（Ｄ）の時間変化を模式的に示す図である。圧電素子７に電圧を印加するタイミングは、振動板６の駆動のタイミングに一致している。また、ファン１８は、電圧を印加することによって駆動される。
【００８９】
図８に示すように、マイクロポンプ１００の駆動（Ａ）と合わせてファン１８の駆動（Ｂ）を行うことによって、香りの強度（Ｃ）は、液体の放出直後から急激に増加し、その後、緩やかに減少する。図８（Ｄ）には、香りが拡散する室内に居る使用者の香りの感じ方を示す。振動板６の駆動までの時間である第一期ａにおいては、香りが拡散しておらず、使用者は香りを感じていない。図８（Ａ）の時間Ｐ１において振動板６が駆動されると、振動板６の駆動直後である第二期ｂの時間帯においては、使用者は、設定した強度の香りを感じる。香りが部屋に拡散してから十分に時間が経過した第三期ｃには、使用者は、香りに慣れて香りを感じなくなる。さらに時間が経過した第四期ｄには、香りが薄れて使用者には感じられない濃度となる。その後、第五期ｅには、使用者は、香りがないことに慣れる。このように、使用者が、香りがないことになれた第五期ｅにおいてある程度の時間が経過した後、時間Ｐ２において再び振動板６の駆動とファン１８の駆動を行い、新たに香りを拡散させる。香りがないことに慣れた使用者は、このとき拡散する香りの強度が前回と同じ強度であっても、香りを感じることができる。使用者の香りの感じ方は、この後、振動板６の駆動とファン１８の駆動がある度に、第二期ｂ〜第五期ｅを繰り返す。このように、振動板６の駆動やファン１８の動作を間欠的に行うことによって、一定時間ごとに香りを感じることができる徐放装置１１０ができることになる。
【００９０】
なお、ここでは１時間ごとの徐放としたが、別の時間設定でもかまわない。たとえば、８畳の部屋に標準的な香りを拡散させるとして、朝、昼、夕方、就寝前の１日４回の徐放をするとした場合、１年間の香料の消費量は４μＬ×４×３６５＝５．８４ｍＬとなり、１０ｍＬ以下のタンクを含めて非常に小型の装置で１年以上芳香が可能な徐放装置１１０を実現できることになる。
【００９１】
このように、この発明に従った徐放装置１１０が、マイクロポンプ１００を備え、ポンプ室１に香料を吸入し、ポンプ室１から外部に断続的に吐出するように構成されていることにより、原液などの濃い香料でも、必要時に必要量の芳香が可能な徐放をすることが可能な徐放装置１１０を実現することができる。その結果、香料液タンクも含めた小型徐放装置が実現可能になる。
【００９２】
図９は、本発明の第二の実施の形態の別の例として、圧電素子に印加する電圧（Ａ）、ファンに印加する電圧（Ｂ）、香りの強度（Ｃ）、室内の人の香りの感じ方（Ｄ）、室内に入ってきた人の香りの感じ方（Ｅ）の時間変化を模式的に示す図である。圧電素子７に電圧を印加するタイミングは、振動板６の駆動のタイミングに一致している。また、ファン１８は、電圧を印加することによって駆動される。
【００９３】
図９に示すように、振動板６の駆動（Ａ）の時間間隔を短くし、振動板６を最初に駆動した後はファン１８の駆動（Ｂ）を停止させない。このようにすることにより、空間内の香りの強さ（Ｃ）をほぼ一定に保つことができる。
【００９４】
図９に示すように、振動板６の駆動（Ａ）と同時にファン１８の駆動（Ｂ）を行うことによって、香りの強度（Ｃ）は、液体の放出直後から急激に増大、その後緩やかに減少する。図９（Ｄ）には、香りが拡散する室内に居る使用者の香りの感じ方を示す。振動板６の駆動開始までの時間である第一期ａにおいては、香りが拡散しておらず、使用者は香りを感じていない。振動板６の駆動直後である第二期ｂの時間帯においては、使用者は、設定した強度の香りを感じる。香りが部屋に拡散してから十分に時間が経過した第三期ｃには、使用者は、香りに慣れて香りを感じなくなる。この後、振動板６は繰り返し駆動され（Ａ）、間欠的に液体が放出されて、ファン１８の送風によって香りが拡散される。香りは薄れていないが、使用者は、時間が経過すると慣れた強度の香りは感じなくなる。一方、香りを拡散させている室内に新たに入ってきた人（Ｅ）は、室内に入った直後の第一期ｆには、設定された強度の香りを感じる。その後時間が経過した第二期ｇには、慣れて香りを感じなくなる。
【００９５】
このように、振動板６の駆動を短い時間間隔で間欠的に行い、ファン１８を常に駆動して香りを拡散させることによって、新たに室内に入ってきた人が香りを感じることができる徐放装置１１０ができることになる。
【００９６】
徐放装置１１０によって、ホテルのロビーなど人の出入りの多い場所などで、香りを拡散させた空間内に、いつ入った人にも香りを感じさせることができる。徐放装置１１０が備えるマイクロポンプ１００によって吐出量の微小な制御が可能であり、香料の原液など、濃度の高いものを使用することができるので、液タンク１０を小さくすることができる。このようにすることにより、装置の小型化、芳香剤の取替え期間までの継続使用可能期間の長期化、使い始めから液がなくなるまで、ほぼ一定の強さの香りを保持することができる等、これまでにない徐放装置を実現することができる。
【００９７】
図１０は、この発明の第三の実施の形態として、マイクロポンプの全体を示す断面図である。
【００９８】
図１０に示すように、マイクロポンプ２００は、図１のマイクロポンプ１００と異なる点としては、開口部８の周囲の吸入吐出側ケース１１の壁面に液給検出電極１５が配置され、また、吐出端９の周囲の吐出管２の壁面を形成する吸入吐出側ケース１１に液検出用端子として液出検出電極１６が配置されている。
【００９９】
多くの液体には、わずかながら電流が流れる。そのため、吐出管２０の吐出端９に電流が流れるかどうかを確認することによって、吐出端９に液体があるかどうか、すなわち、すぐに放出することができる液体があるかどうかを判定することができる。
【０１００】
液タンク１０に貯留する液体１４が香料である場合、香料は微量な量を正確に吐出しないと、においが強すぎて不快になるなどの不都合が発生するものである。そのため、香料を吐出端９の所定の箇所に留めておくことが非常に重要であり、吐出端９での液検出を行うことが好ましい。また、正確な量を吐出するためには開口部８の液検知も重要で、この二つの検知部で、液量を確保することが好ましい。香料は、各種精油等であってもよいし、みどりの香りとされる青葉アルコール等でもよい。また、香料の他に、殺虫剤などの薬剤を用いてもかまわない。
【０１０１】
このように、吐出管２０には、液体の存在を検出するための液出検出電極１６が配置されていることにより、液体の頭出しが可能なマイクロポンプ２００を実現することができる。
【０１０２】
図１１は、この発明の第四の実施の形態として、第三の実施の形態のマイクロポンプを用いた徐放装置の制御関連の構成を示すブロック図である。
【０１０３】
図１１に示すように、本発明の徐放装置２１０は、マイクロポンプ２００と、マイクロポンプ２００から放出された液体を受ける徐放板１７と、徐放板１７に送風するためのファン１８と、制御装置１０１を備える。マイクロポンプ２００の制御装置１０１は、部屋大きさ設定手段１０３と、芳香強さ設定手段１０４と、液給検出手段１５と、液出検出手段１６とから制御信号を受信する。また、制御装置１０１は、表示手段１０２と、選択手段１０６と、調圧手段１０７と、ファン１８に制御信号を送る。制御装置１０１は、計時手段１０５とは制御信号の送受信を行う。
【０１０４】
使用者は、芳香強さ設定手段１０４を通して、芳香の強さを「弱」「標準」「強」のいずれかから選択して制御装置１０１に入力する。また、使用者は、部屋大きさ設定手段１０３を通して、部屋の大きさが４．５畳から１２畳までのいずれであるかを制御装置１０１に入力する。使用者によって入力されたこれらの情報に基づいて、制御装置１０１は、１回当たりの徐放量を求める。１回当たりの香料の徐放量として好ましい例と、その徐放量を得るための方法は、第二の実施の形態と同様である。
【０１０５】
図１２は、この発明の第四の実施の形態にかかる、徐放装置の液確認運転の制御処理を順に示すフローチャートである。
【０１０６】
図１０から図１２に基づいて本発明の徐放装置２１０の液確認運転を説明する。以下の工程において、所定の判断を行う主体は制御装置１０１である。
【０１０７】
図１２に示すように、ステップＳ２０１において、液給検出電極１５が、液給検出電極１５の電位の状態を制御装置１０１に入力する。
【０１０８】
ステップＳ２０２において、制御装置１０１は、液給検出電極１５に電流が流れるかどうかを確認する。液給検出電極１５に電流が流れれば、ステップＳ２０１に戻る。液給検出電極１５に電流が流れなければ、ステップＳ２０３に進み、制御装置１０１が表示装置１０２に制御信号を送り、液タンク１０に液体１４が貯留されていないことを示す「液無しエラー」表示を表示させるように制御して、液確認運転の制御処理を終了する。
【０１０９】
このように、開口部８に液給検出電極１５を配置し、開口部８で液体の存在が確認されなければ表示装置１０２に「液無しエラー」表示を表示させることによって、使用者に注意を促して液体を液タンクに供給させることができるので、液量を確保することができる。
【０１１０】
図１３は、この発明の第四の実施の形態にかかる、徐放装置の頭出し運転の制御処理を順に示すフローチャートである。
【０１１１】
図１０、図１１と図１３に基づいて本発明の徐放装置２１０の頭出し運転を説明する。以下の工程においても、所定の判断を行う主体は制御装置１０１である。
【０１１２】
図１３に示すように、ステップＳ３０１において、液出検出電極１６が、液出検出電極１６の電位の状態を制御装置１０１に入力する。
【０１１３】
ステップＳ３０２において、制御装置１０１は、液出検出電極１６に電流が流れるかどうかを確認する。液出検出電極１６に電流が流れれば、頭出し運転の制御処理を終了する。液出検出電極１６に電流が流れなければ、ステップＳ３０３に進み、振動板６を５０Ｖで半周期駆動させるように制御し、ステップＳ３０１に戻る。
【０１１４】
商用交流電圧の半分の電圧である５０Ｖは、この実施の形態において、マイクロポンプ２００を安定して駆動させることができる最低の電圧である。このように、小さな電圧で、半周期だけマイクロポンプ２００を駆動させることによって、ポンプ室１内の容積をより微小に変化させて、ポンプ室１内の液体を吐出可能な最小量ずつ吐出口４から吐出させる。これを液出検出電極１６に電流が流れることが確認されるまで繰り返すことによって、吐出端９に液体を存在させることができる。
【０１１５】
このように、液出検出電極１６に電流が流れるかどうかを制御装置１０１が判定することによって、電流が流れればすぐに吐出可能な液体があるということが分かる。液出検出電極１６に電流が流れなければ、まだ吐出端９に液体が到達していないため、マイクロポンプ２００を動作させてもすぐに吐出できないか、必要な容量よりも少ない量の徐放しかできないことになる。そのため、マイクロポンプ２００の起動可能な最低レベルの吐出となる動作を液出検出電極１６に電流が流れるまで繰り返すことによって、吐出端９に液体を存在させて、必要なときに正確な量を吐出するために必要な液の頭出しができることになる。
【０１１６】
このような液の頭出しも、非常に微小な吐出を管理できる本発明のマイクロポンプ２００を備えた徐放装置２１０であるから初めて可能になることである。吐出量の多いポンプであれば、一回の動作で多くの量の液体が吐出されるため、頭出しは不可能である。
【０１１７】
一方、初めて頭出しをする際、まず、液が吸入口２に届く必要があるが、開口部８の径が小さいと、液の表面張力の関係から、吸込側逆止弁３０の上部に空気が残りやすくなる。本発明の実施形態においては、開口部８の径が５ｍｍであり、吸入側逆止弁３０の直径とほぼ同じ大きさとすることにより、液供給の際、空気が開口部８に残る可能性を小さくして、頭出しが正確にできるようになっている。
【０１１８】
また、頭出しは、初めて液を供給する場合だけでなく、マイクロポンプ２００をしばらく使用していない場合に、吐出管２０内の液体が蒸発して、吐出端９に液体が存在しなくなっている場合にも有効である。
【０１１９】
図１４は、この発明の第四の実施の形態にかかる、本発明の徐放装置の空だし防止吐出の運転の制御処理を順に示すフローチャートである。
【０１２０】
図１０から図１１と図１４に基づいて本発明の徐放装置２１０の空だし防止吐出の運転を説明する。以下の工程においても、所定の判断を行う主体は制御装置１０１である。
【０１２１】
図１４に示すように、ステップＳ４０１において、使用者が入力した部屋の大きさや香りの強度の情報に基づいて、制御装置１０１が吐出サイクルを決定し、ステップＳ４０２において、圧電素子７に印加する電圧を設定し、ステップＳ４０３に進む。吐出サイクルの決定と電圧の設定は、第二の実施の形態と同様に行う。
【０１２２】
ステップＳ４０３において、液給検出電極１５が、液給検出電極１５の電位の状態を制御装置１０１に入力する。
【０１２３】
ステップＳ４０４において、制御装置１０１は、液給検出電極１５に電流が流れるかどうかを確認する。液給検出電極１５に電流が流れれば、ステップＳ４０６に進む。液給検出電極１５に電流が流れなければ、ステップＳ４０５に進み、振動板６を５０Ｖで半周期駆動させるように制御し、ステップＳ４０３に戻る。ステップＳ４０５で半周期だけ振動板６を駆動させるときには、この半周期は、ステップＳ４０１において設定したサイクルには含めない。例えば、ステップＳ４０１で吐出サイクルを３．０周期に設定した場合、ステップＳ４０５で半周期、振動板６を駆動させても、吐出サイクルは、３．０周期残っているものとする。
【０１２４】
ステップＳ４０６では、ステップＳ４０１で設定した吐出サイクルのうち、残りのサイクルが０．５周期であるかどうかを確認する。例えば、ステップＳ４０１で吐出サイクルを３．０周期に設定した場合、空出し防止吐出の運転を開始して最初にステップＳ４０６に到達したときには、ステップＳ４０５で半周期駆動行った回数にかかわらず、残りサイクルは３．０周期である。ステップＳ４０１で設定した吐出サイクルのうち、残りのサイクルが０．５周期であれば、ステップＳ４０７に進む。ステップＳ４０１で設定した吐出サイクルのうち、残りのサイクルが０．５周期でなければ、ステップＳ４０８に進む。
【０１２５】
ステップＳ４０７では、ステップＳ４０２で設定した電圧で、振動板６を半周期駆動させて、空出し防止吐出の運転を終了する。
【０１２６】
ステップＳ４０８では、ステップＳ４０２で設定した電圧で、振動板６を１周期駆動させ、残りの吐出サイクルを１周期減らす。例えば、ステップＳ４０１で吐出サイクルを３．０周期に設定した場合、空出し防止吐出の運転を開始して最初にステップＳ４０８に到達したときには、ステップＳ４０５で半周期駆動を行った回数にかかわらず、残りサイクルは３．０周期であり、ステップＳ４０８で振動板６を１周期駆動させることによって、残りサイクルは２．０周期になる。
【０１２７】
ステップＳ４０９では、ステップＳ４０１で設定した吐出サイクルの残りが０かどうかを確認する。例えば、ステップＳ４０１で吐出サイクルを３．０周期に設定した場合、空出し防止吐出の運転を開始して最初にステップＳ４０９に到達したときには、残りサイクルは２．０周期である。ステップＳ４０１で設定した吐出サイクルの残りが０でなければ、ステップＳ４０３に戻る。ステップＳ４０１で設定した吐出サイクルの残りが０であれば、空出し防止吐出の運転の制御処理を終了する。
【０１２８】
このように、吐出端９に液体が存在するかどうかを確認しながら振動板６を駆動させることによって、液体中に気体が含まれている場合にも、設定した吐出量を正確に吐出することができる。
【０１２９】
なお、より吐出量の小さいポンプ、例えば１００Ｖの電圧を圧電素子７に印加した場合に１周期で０．５μＬ以下の吐出量となるようなポンプであれば、半周期駆動や、電圧を下げた駆動ではなく、１００Ｖの電圧で１周期駆動させることによって頭出しを行っても良い。
【０１３０】
以上に開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考慮されるべきである。本発明の範囲は、以上の実施の形態ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての修正と変形を含むものである。
【図面の簡単な説明】
【０１３１】
【図１】本発明の第一の実施の形態として、マイクロポンプの全体を示す断面図である。
【図２】ポンプ室内に液体を吸入するときのマイクロポンプのポンプ室周辺を示す断面図である。
【図３】ポンプ室内に吸入した液体を外部に吐出するときのマイクロポンプのポンプ室周辺を示す断面図である。
【図４】この発明の第一の実施の形態として、（Ａ）は吸入側逆止弁の全体を示す図、（Ｂ）は、振動板が変位していない状態で振動板に接している吸入側逆止弁を示す図である。
【図５】この発明の第二の実施の形態として、第一の実施の形態のマイクロポンプを用いた徐放システムの制御関連の構成を示すブロック図である。
【図６】選択手段と調圧手段によって調整された電圧を模式的に示す図である。
【図７】この発明の第二の実施の形態として、第一の実施の形態のマイクロポンプを用いた徐放装置の徐放運転の制御処理を順に示すフローチャートである。
【図８】図７に示す制御処理を行ったときの、圧電素子に印加する電圧（Ａ）、ファンに印加する電圧（Ｂ）、香りの強度（Ｃ）、香りの感じ方（Ｄ）の時間変化を模式的に示す図である。
【図９】本発明の第二の実施の形態の別の例として、圧電素子に印加する電圧（Ａ）、ファンに印加する電圧（Ｂ）、香りの強度（Ｃ）、香りの感じ方（Ｄ、Ｅ）の時間変化を模式的に示す図である。
【図１０】この発明の第三の実施の形態として、マイクロポンプの全体を示す断面図である。
【図１１】この発明の第四の実施の形態として、第三の実施の形態のマイクロポンプを用いた徐放装置の制御関連の構成を示すブロック図である。
【図１２】この発明の第四の実施の形態にかかる、徐放装置の液確認運転の制御処理を順に示すフローチャートである。
【図１３】この発明の第四の実施の形態にかかる、徐放装置の頭出し運転の制御処理を順に示すフローチャートである。
【図１４】図１４は、この発明の第四の実施の形態にかかる、本発明の徐放装置の空だし防止吐出の運転の制御処理を順に示すフローチャートである。
【図１５】従来のマイクロポンプの一例として、マイクロポンプの全体の断面を示す図である。
【符号の説明】
【０１３２】
１：ポンプ室、２：吸入口、４：吐出口、６：振動板、８：開口部、１１：吸入吐出側ケース、１６：液出検出電極、２０：吐出管、３０：吸入側逆止弁、３１：頭部、３２：脚部、５０：吐出側逆止弁、５１：頭部、５２：脚部、１００：マイクロポンプ、１１０：徐放装置、２００：マイクロポンプ、２１０：徐放装置。
【図１】
2008082289.tif 000005
【図２】
2008082289.tif 000006
【図３】
2008082289.tif 000007
【図４】
2008082289.tif 000008
【図５】
2008082289.tif 000009
【図６】
2008082289.tif 000010
【図７】
2008082289.tif 000011
【図８】
2008082289.tif 000012
【図９】
2008082289.tif 000013
【図１０】
2008082289.tif 000014
【図１１】
2008082289.tif 000015
【図１２】
2008082289.tif 000016
【図１３】
2008082289.tif 000017
【図１４】
2008082289.tif 000018
【図１５】
2008082289.tif 000019