(57)【要約】【課題】製造コストを抑制するとともに準備段階での所要時間を短縮した基板検査装置を提供する。【解決手段】前列のプローブブロック９，10に対して後列の移動プローブブロック10を、位置決め機構20により相対的に位置決めする。所定の固定プローブブロック９を基準として他の全ての移動プローブブロック10を位置決めする場合などと比較して、位置決め機構20を簡略化でき、基板検査装置１の製造コストを抑制できる。移動プローブブロック10の移動距離を短くすることも可能となり、基板２に対応して各移動プローブブロック10を位置決めする準備段階での所要時間を短縮できる。【選択図】図１
2008082837.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の被検査部を電気的に検査する検査回路を備えた検査部と、
互いに隣接して複数列設けられ、前記被検査部のいずれかと前記検査回路とを電気的に接続可能なプローブ部と、
互いに隣接する前記プローブ部の一方に対して他方を相対的にそれぞれ位置決めする位置決め機構と
を具備したことを特徴とした基板検査装置。
【請求項２】
前記プローブ部のいずれか一つは、位置が固定され、
他の前記プローブ部は、位置が可動的である
ことを特徴とした請求項１記載の基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の被検査部を電気的に検査する基板検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば半導体、あるいは、液晶表示装置などの平面表示装置すなわちフラットパネルディスプレイ(FPD)に使用される基板などに設けられた複数のデバイスを電気的に検査する基板検査装置がある。
【０００３】
このような基板検査装置は、基板などを載置するステージと、このステージ上に載置された基板のデバイスに設けられた検査用パッドに対して電気的に接触する複数のピンすなわちプローブとを備え、これらプローブが、検査用の所定の検査回路である接続用回路を備えた測定機であるテスタに電気的に接続されている。
【０００４】
そして、この接続用回路から出力された所定の信号を、プローブを介して検査用パッドから各デバイスに入力するとともに、これらデバイスからの出力を、プローブを介してテスタ側で検出することで、各デバイスを電気的に検査することが可能となっている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００５】
検査用パッドのピン配列すなわちピンアサインは、デバイスの品種間で可能な限り共通化することで、同一のプローブとテスタとにより多品種の検査が可能となる。
【０００６】
しかしながら、品種により機能や回路構成が異なるデバイスにおいては、完全なピンアサインの一致は容易でない。また、１チップ(デバイス)のピンアサインは全く同じ場合でも、チップサイズが異なる場合がある。
【０００７】
このため、複数のプローブをデバイス毎のプローブ部としてのプローブブロックとし、テスタ側の接続用回路の基板に対して、１つのプローブブロックを固定するとともに、複数列の移動プローブブロックを、数センチ単位などで前後左右に移動できるように柔軟なケーブルなどで電気的に接続し、かつ、テスタ側の接続用回路に、マルチプレクサなどのピンアサインの切換機構を設けることが考えられる。
【０００８】
上記各移動プローブブロックは、例えば移動用のリニアステージに取り付け、電動マイクロメータなどの位置決め機構であるリニアアクチュエータにより、固定プローブブロックを基準として、チップのピッチの違いに合わせてリニアステージに沿って移動することで位置決めされる。
【特許文献１】特開２００４−３０２０９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上述の基板検査装置では、固定プローブブロックから離れた位置にある移動プローブブロックほど、移動距離が長くなるので、固定プローブブロックから遠い位置にある移動プローブブロックには、固定プローブブロックに対して近い位置にある移動プローブブロックよりもストロークが長いリニアステージが必要になり、かつ、移動プローブブロック毎に長さが異なるリニアアクチュエータを設置しなければならないなど、機構的に複雑になり、製造コストを抑制することが容易でないという問題点を有している。
【００１０】
また、検査されるデバイスに対応して移動プローブブロックを移動させるための準備段階で、これら移動プローブブロックが移動する距離が長くなり、移動時間が掛かってしまうという問題点もある。
【００１１】
本発明は、このような点に鑑みなされたもので、製造コストを抑制するとともに準備段階での所要時間を短縮した基板検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、複数の被検査部を電気的に検査する検査回路を備えた検査部と、互いに隣接して複数列設けられ、前記被検査部のいずれかと前記検査回路とを電気的に接続可能なプローブ部と、互いに隣接する前記プローブ部の一方に対して他方を相対的にそれぞれ位置決めする位置決め機構とを具備したものである。
【００１３】
そして、互いに隣接するプローブ部の一方に対して他方を、位置決め機構により相対的に位置決めする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、所定のプローブ部を基準として他の全てのプローブ部を位置決めする場合と比較して、位置決め機構を簡略化でき、製造コストを抑制できるとともに、プローブ部の移動距離を短くすることも可能となり、準備段階での所要時間を短縮できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の一実施の形態の基板検査装置の構成を、図１を参照して説明する。
【００１６】
図１において、１は基板検査装置を示し、この基板検査装置１は、例えば半導体、あるいは、液晶表示装置などの平面表示装置すなわちフラットパネルディスプレイ(FPD)に使用される基板２に実装された複数の被検査部としてのデバイス３を電気的に検査するものである。
【００１７】
そして、この基板検査装置１は、基板２を取り付ける装置本体５と、検査用の検査回路としての接続用回路６が設けられた接続用回路基板７と、この接続用回路基板７に対して電気的に接続された測定機であるテスタ８と、接続用回路基板７に対して固定された検査部であるプローブ部としての固定プローブブロック９と、接続用回路基板７に対して移動可能に設けられた検査針部である複数列のプローブ部としての移動プローブブロック10とを備えている。
【００１８】
測定対象となる各デバイス３には、必要な電源用、駆動用ロジック信号の入力用、および、これらデバイス３からの出力用のために、図示しない数十本の検査用パッドが設けられている。これら検査用パッドのピン配列すなわちピンアサインは、品種間で可能な限り共通化することで、同一のプローブブロック９，10とテスタ８とにより多品種の検査が可能となるように考慮されている。
【００１９】
但し、品種により機能や回路構成が異なるデバイスにおいては、完全なピンアサインの一致は容易でない。このため、テスタ８側の接続用回路６には、例えばマルチプレクサなどの図示しないピンアサインの切換機構が設けられ、この切換機構により、接続用回路６側の電気的接続が各デバイス３の検査用パッドのピンアサインに対応するように切り換え可能となっている。
【００２０】
また、テスタ８は、接続用回路６を介してデバイス３へと所定の検査用信号を出力したり、デバイス３からの出力を測定し、図示しないモニタなどにその測定結果を表示させたり、予め設定された閾値などを測定結果と比較して、デバイス３に異常がないかどうかを判定したりする図示しない制御回路を備えている。
【００２１】
そして、接続用回路基板７およびテスタ８などにより、基板２を検査する検査部13が構成されている。
【００２２】
また、プローブブロック９，10は、上記デバイス３の検査用パッドに対応させた配置に、デバイス３毎のブロックとして形成されている。
【００２３】
固定プローブブロック９は、左右端のいずれか、本実施の形態では左端の列に位置し、プローブ部本体である固定プローブブロック本体9aの先端部に、各デバイス３の検査用パッドに電気的に接触するピンであるプローブを複数備えた固定プローブ群9bが設けられ、この固定プローブ群9bの各プローブが、固定プローブブロック本体9aを介して接続用回路６に電気的に接続されている。
【００２４】
なお、以下、プローブブロック９，10は、固定プローブブロック９側である左側を前列とし、この固定プローブブロック９から離間される右側を順次後列とする。
【００２５】
各移動プローブブロック10は、プローブ部本体である移動プローブブロック本体10aの先端部に、各デバイス３の検査用パッドに電気的に接触するピンであるプローブを複数備えた移動プローブ群10bがそれぞれ設けられ、これら移動プローブ群10bの各プローブが、移動プローブブロック本体10aを介して接続用回路６に電気的に接続されている。
【００２６】
移動プローブブロック本体10aは、装置本体５に設けられたガイド部としてのリニアガイドであるリニアステージ15上に共通に取り付けられ、移動手段としてのリニアアクチュエータである電動マイクロメータ16により、テスタ８側の接続用回路基板７に対して、数センチ単位で移動可能となるように構成されている。
【００２７】
ここで、各電動マイクロメータ16は、シリンダ16aと、このシリンダ16aに基端側が挿入され先端側が突出する伸縮ロッド16bとを有し、柔軟なケーブル18により駆動制御部としてのコントローラ19に電気的に接続され、このコントローラ19からの信号に対応して伸縮ロッド16bの先端側がシリンダ16aに対して伸縮するように構成されている。そして、これら電動マイクロメータ16およびコントローラ19により、位置決め機構20が構成されている。
【００２８】
各伸縮ロッド16bは、その先端部が前列のプローブブロック本体９a，10aの側部にそれぞれ接続されている。すなわち、最前列の移動プローブブロック10に設けられた電動マイクロメータ16の伸縮ロッド16bの先端部は、前列である左側に位置するプローブ部である固定プローブブロック９の固定プローブブロック本体9aの側部に接続され、２列目以降の移動プローブブロック10に設けられた電動マイクロメータ16の伸縮ロッド16bの先端部は、それぞれ前列の移動プローブブロック10の移動プローブブロック本体10aの側部に接続されている。
【００２９】
このため、最前列の移動プローブブロック10は、固定プローブブロック９に対して電動マイクロメータ16の伸縮により相対的に位置決めされ、２列目以降の移動プローブブロック10は、それぞれ前列の移動プローブブロック10に対して電動マイクロメータ16の伸縮により相対的に位置決めされるように構成されている。
【００３０】
また、各電動マイクロメータ16には、図示しない原点検出機構が設けられ、コントローラ19には、各電動マイクロメータ16のストロークを記憶する図示しない記憶機構が設けられている。
【００３１】
次に、上記一実施の形態の動作を説明する。
【００３２】
検査される基板２を装置本体５に固定した状態で、作業者が基板２の品種に対応してコントローラ19に対して所定の操作を入力すると、このコントローラ19の記憶機構に記憶された各電動マイクロメータ16のストロークに対応して、各電動マイクロメータ16の伸縮ロッド16bが伸縮し、リニアステージ15に沿って各移動プローブブロック10が図１に示す左右方向に移動する。
【００３３】
この結果、最前列の移動プローブブロック10は、固定プローブブロック９に対して相対的に位置決めされ、他の移動プローブブロック10は、それぞれ前列の移動プローブブロック10に対して相対的に位置決めされる。
【００３４】
同時に、接続用回路６では、切換機構が作動して、検査されるデバイス３の検査用パッドのピンアサインに対して、各プローブブロック９，10のプローブ群9b，10bのピンアサインが対応するように電気的接続が切り換えられる。
【００３５】
この状態で、テスタ８側から接続用回路６を介して所定の検査信号が各プローブブロック９，10の各プローブ群9b，10bを介して、各デバイス３の検査用パッドに入力され、この入力された検査信号に対する各デバイス３の出力が各プローブ群9b，10bから接続用回路６を介してテスタ８側へと伝達され、このテスタ８において、この検査結果が表示および判定される。
【００３６】
検査の結果、問題が検出されない基板２は次工程へと移し、問題が検出された基板２は、それぞれの問題に対して対処する工程へと戻す。
【００３７】
上述したように、上記一実施の形態では、互いに隣接するプローブ部の一方に対して他方を位置決めする、具体的には、前列のプローブブロック９，10に対して後列の移動プローブブロック10を、位置決め機構20により相対的に位置決めする構成とした。
【００３８】
このため、例えば所定の固定プローブブロック９を基準として他の全ての移動プローブブロック10を位置決めする場合などと比較して、位置決め機構20を簡略化でき、基板検査装置１の製造コストを抑制できるとともに、移動プローブブロック10の移動距離を短くすることも可能となり、基板２に対応して各移動プローブブロック10を位置決めする準備段階での所要時間を短縮できる。
【００３９】
また、プローブ部の一つを固定プローブブロック９とすることにより、プローブ部を全て移動プローブブロック10とする場合と比較して、位置決め機構20などの構成をより簡略化できる。
【００４０】
さらに、電動マイクロメータ16に原点検出機構を設けるとともに、電動マイクロメータ16の伸縮ロッド16bのコントローラ19の記憶機構に記憶することにより、各品種の基板２に対して、原点検出機構に基づいて検出した原点と、記憶機構に記憶する各電動マイクロメータ16のストロークとから最初の位置決め時に得られた各移動プローブブロック10の位置を位置情報すなわちレシピとしてまとめてティーチングあるいは登録することで、これらレシピを再度呼び出すだけで、品種毎のプローブブロック９，10の間隔を容易に設定できる。
【００４１】
そして、接続用回路６は、切換機構により、電気的接続が各デバイス３の検査用パッドのピンアサインに対応するように切り換え可能とすることで、基板検査装置１が、共通のプローブブロック９，10および検査部13によって、より多品種の基板２に対応できる。
【００４２】
なお、上記一実施の形態において、全てのプローブ部を移動プローブブロックとしてもよい。
【００４３】
また、電動マイクロメータ16は、シリンダ16aを例えば前列のプローブ部に取り付け、伸縮ロッド16bの先端部を後列のプローブ部に接続するようにしても、上記一実施の形態と同様の作用効果を奏することが可能である。
【００４４】
さらに、移動手段としては、電動マイクロメータ16以外でも、例えば油圧アクチュエータなど、任意のものを用いることができる。
【００４５】
そして、固定プローブブロック９の位置は、最前列に限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の一実施の形態の基板検査装置を示す説明図である。
【符号の説明】
【００４７】
１    基板検査装置
３    被検査部としてのデバイス
６    検査回路としての接続用回路
９    プローブ部としての固定プローブブロック
10    プローブ部としての可動プローブブロック
13    検査部
20    位置決め機構
【図１】
2008082837.tif 000003