(57)【要約】【課題】  ウエハ加工において周波数バラツキが発生しても適正周波数へ容易に調整できる音叉型水晶振動素子及びその製造方法を提供する。【解決手段】  アーム先端部に１又は複数の溝形状の溝部３、若しくは複数の凹形状の凹部５を形成し、当該溝部３又は凹部５に周波数調整用の金属被膜４，６を形成したものであり、特に金属被膜４，６を形成する前の周波数特性を所望の周波数より全て高くなるようにして、金属被膜４，６を形成することで周波数特性を全て所望の周波数より低くし、金属被膜４，６を削って所望の周波数に調整することが可能な音叉型水晶振動素子及びその製造方法である。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
アーム先端部に１又は複数の溝形状の溝部を形成し、当該溝部に周波数調整用の金属被膜を形成したことを特徴とする音叉型水晶振動素子。
【請求項２】
１又は複数の溝形状の溝部をアーム先端の両面に形成し、当該溝部に周波数調整用の金属被膜を形成したことを特徴とする音叉型水晶振動素子。
【請求項３】
金属被膜の厚みを１μｍ以下としたことを特徴とする請求項１，２記載の音叉型水晶振動素子。
【請求項４】
溝部の形状は、長さ５００μｍ、幅１０〜９０μｍとしたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか記載の音叉型水晶振動素子。
【請求項５】
溝部の形状は、アーム先端寄りに長さ３００μｍ、幅１０〜９０μｍとしたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか記載の音叉型水晶振動素子。
【請求項６】
アーム先端部に複数の凹形状の凹部を形成し、当該凹部に周波数調整用の金属被膜を形成したことを特徴とする音叉型水晶振動素子。
【請求項７】
複数の凹形状の凹部をアーム先端の両面に形成し、当該凹部に周波数調整用の金属被膜を形成したことを特徴とする音叉型水晶振動素子。
【請求項８】
凹部の形状は、直径が１０〜９０μｍとしたことを特徴とする請求項６，７記載の音叉型水晶振動素子。
【請求項９】
アーム先端部に１又は複数の溝形状の溝部を形成し、当該溝部に金属被膜を形成することを特徴とする音叉型水晶振動素子の製造方法。
【請求項１０】
１又は複数の溝形状の溝部をアーム先端の一方の面に形成し、前記アームの他方の面に１又は複数の溝形状の溝部を前記一方の面に形成した溝部に対向して形成し、当該溝部に金属被膜を形成することを特徴とする音叉型水晶振動素子の製造方法。
【請求項１１】
アーム先端部に複数の凹形状の凹部を形成し、当該凹部に金属被膜を形成することを特徴とする音叉型水晶振動素子の製造方法。
【請求項１２】
複数の凹形状の凹部をアーム先端の一方の面に形成し、前記アームの他方の面に複数の凹形状の凹部を前記一方の面に形成した凹部に対向して形成し、当該凹部に金属被膜を形成することを特徴とする音叉型水晶振動素子の製造方法。
【請求項１３】
周波数調整用の金属被膜が形成される前の素子の状態で、ウエハ工程で発生した周波数特性の周波数のバラツキについて、当該バラツキのある周波数の中で最低の周波数が、所望の周波数より高くなるよう製造しておき、アーム先端に設けられた溝形状の溝部又は凹形状の凹部に金属被膜を形成することにより音叉型水晶振動素子の周波数特性の周波数を全て所望の周波数より低くし、前記溝部又は前記凹部に形成された金属被膜をイオンビームにより削って所望の周波数に調整することを特徴とする請求項９乃至１２のいずれか記載の音叉型水晶振動素子の製造方法。
【請求項１４】
請求項１乃至８のいずれか記載の音叉型水晶振動素子をパッケージ内に収納したことを特徴とする音叉型水晶振動子。
【請求項１５】
請求項１乃至８のいずれか記載の音叉型水晶振動素子と集積回路をパッケージ内に収納したことを特徴とする水晶発振器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、音叉型水晶振動素子及びその製造方法に係り、特に、ウエハ加工における周波数バラツキが発生しても適正周波数への調整が容易な音叉型水晶振動素子及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の音叉型水晶振動素子について図９を参照しながら説明する。図９は、従来の音叉型水晶振動素子の平面説明図である。
従来の音叉型水晶振動素子は、図９に示すように、基本的に、基部１１と、２本のアーム部１２，１３とから構成されている。
尚、音叉型水晶振動素子は、水晶基板を図９の形状に加工した後に、金属の電極膜を形成するようになっている。
【０００３】
基部１１は、水晶基板上に金属の電極膜１１ａ，１１ｂが形成されている。
アーム部１２，１３は、基部１１から突出して形成され、基部１１に近い側に溝部１２ａ，１３ａが形成されている。溝部１２ａ，１３ａは、表面に溝が形成され、金属膜で覆われている。
【０００４】
アーム部１２，１３の先端部には、溝部１２ａ，１３ａに続いて電極が形成されていない水晶露出部１２ｂ，１３ｂ、周波数調整用の調整用電極１２ｃ，１３ｃが形成されている。
調整用電極１２ｃ，１３ｃは、具体的には、クロム（Ｃｒ）膜と金（Ａｕ）膜が積層され、共振回路に接続して共振させ、周波数を測定して調整用電極１２ｃ，１３ｃのＡｕ膜をレーザ照射によって除去し、振動素子全体の周波数の調整を行うものである。
【０００５】
尚、関連する先行技術として、特開２００３−１３３８８５号公報（特許文献１）、特開２００４−１２０２４９号公報（特許文献２）、特開２０００−０６９５９２号公報（特許文献３）がある。
【０００６】
特許文献１には、周波数調整用電極を粗調用電極と微調用電極とに分けて形成し、微調用電極においてレーザ照射が表の電極を通過して裏の電極まで除去してしまう課題を解決するために、微調用電極は、一定間隔で複数設けるようにし、裏面の電極位置と表面の電極位置が重ならないよう、交互に形成した振動片が示されている。
【０００７】
特許文献２では、アーム部先端に形成された金属被膜にレーザ光を照射して金属被膜を部分的に蒸散させて周波数調整を行うものではあるが、この金属被膜のために励振電極の面積が減少するのを防止するために、アーム部に設けられた溝内にアイランド状又は半島状の領域を形成し、その表面に金属被膜を設ける圧電振動片が示されている。
【０００８】
特許文献３には、超音波マイクロフォンにおいて、外周部に複数本のスリットを形成することにより共振周波数を調整可能とすることが示されている。
【０００９】
【特許文献１】特開２００３−１３３８８５号公報
【特許文献２】特開２００４−１２０２４９号公報
【特許文献３】特開２０００−０６９５９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、上記従来の音叉型水晶振動素子では、ウエハ加工の工程において発生した周波数のバラツキを調整するために、周波数調整用電極にレーザを照射して電極を削り取るものとなっているので、周波数の大幅な調整を行うためには多くの電極部分を削り取る必要があり、電極として十分な金属膜が積層されている必要があり、周波数調整用電極を十分厚くしなければならないとなると、構造及び製造が複雑になるという問題点があった。
【００１１】
特許文献１，２は、基本的には上記従来の音叉型水晶振動素子と同様であり、アーム部に形成された周波数調整用電極を削り取る手法を用いている。特に、特許文献１，２では、素子の表面に厚く電極を形成してしまうと周波数特性に大きく影響してしまうため、薄い電極膜をある程度の面積で形成して削り取るようになっているため、面積の制限から周波数調整の範囲を広範囲にすることができないものとなっていた。
また、特許文献３は、単に複数のスリットによって周波数調整を行うマイクロフォンが示されているに過ぎない。
【００１２】
本発明は上記実情に鑑みて為されたもので、ウエハ加工において周波数バラツキが発生しても適正周波数へ容易に調整できる音叉型水晶振動素子及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記従来例の問題点を解決するための本発明は、音叉型水晶振動素子において、アーム先端部に１又は複数の溝形状の溝部を形成し、当該溝部に周波数調整用の金属被膜を形成したことを特徴とする。
【００１４】
本発明は、音叉型水晶振動素子において、１又は複数の溝形状の溝部をアーム先端の両面に形成し、当該溝部に周波数調整用の金属被膜を形成したことを特徴とする。
【００１５】
本発明は、上記音叉型水晶振動素子において、金属被膜の厚みを１μｍ以下としたことを特徴とする。
【００１６】
本発明は、上記音叉型水晶振動素子において、溝部の形状が、長さ５００μｍ、幅１０〜９０μｍとしたことを特徴とする。
【００１７】
本発明は、上記音叉型水晶振動素子において、溝部の形状が、アーム先端寄りに長さ３００μｍ、幅１０〜９０μｍとしたことを特徴とする。
【００１８】
本発明は、音叉型水晶振動素子において、アーム先端部に複数の凹形状の凹部を形成し、当該凹部に周波数調整用の金属被膜を形成したことを特徴とする。
【００１９】
本発明は、音叉型水晶振動素子において、複数の凹形状の凹部をアーム先端の両面に形成し、当該凹部に周波数調整用の金属被膜を形成したことを特徴とする。
【００２０】
本発明は、上記音叉型水晶振動素子において、凹部の形状が、直径が１０〜９０μｍとしたことを特徴とする。
【００２１】
本発明は、音叉型水晶振動素子の製造方法において、アーム先端部に１又は複数の溝形状の溝部を形成し、当該溝部に金属被膜を形成することを特徴とする。
【００２２】
本発明は、音叉型水晶振動素子の製造方法において、１又は複数の溝形状の溝部をアーム先端の一方の面に形成し、該アームの他方の面に１又は複数の溝形状の溝部を一方の面に形成した溝部に対向して形成し、当該溝部に金属被膜を形成することを特徴とする。
【００２３】
本発明は、音叉型水晶振動素子の製造方法において、アーム先端部に複数の凹形状の凹部を形成し、当該凹部に金属被膜を形成することを特徴とする。
【００２４】
本発明は、音叉型水晶振動素子の製造方法において、複数の凹形状の凹部をアーム先端の一方の面に形成し、該アームの他方の面に複数の凹形状の凹部を一方の面に形成した凹部に対向して形成し、当該凹部に金属被膜を形成することを特徴とする。
【００２５】
本発明は、上記音叉型水晶振動素子の製造方法において、周波数調整用の金属被膜が形成される前の素子の状態で、ウエハ工程で発生した周波数特性の周波数のバラツキについて、当該バラツキのある周波数の中で最低の周波数が、所望の周波数より高くなるよう製造しておき、アーム先端に設けられた溝形状の溝部又は凹形状の凹部に金属被膜を形成することにより音叉型水晶振動素子の周波数特性の周波数を全て所望の周波数より低くし、溝部又は凹部に形成された金属被膜をイオンビームにより削って所望の周波数に調整することを特徴とする。
【００２６】
本発明は、音叉型水晶振動子において、上記音叉型水晶振動素子をパッケージ内に収納したことを特徴とする。
【００２７】
本発明は、水晶発振器において、上記音叉型水晶振動素子と集積回路をパッケージ内に収納したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によれば、アーム先端部に１又は複数の溝形状の溝部を形成し、当該溝部に周波数調整用の金属被膜を形成した音叉型水晶振動素子としているので、周波数バラツキを適正周波数に容易に調整できる効果がある。
【００２９】
本発明によれば、１又は複数の溝形状の溝部をアーム先端の両面に形成し、当該溝部に周波数調整用の金属被膜を形成した音叉型水晶振動素子としているので、周波数バラツキを適正周波数に容易に調整できる効果がある。
【００３０】
本発明によれば、アーム先端部に複数の凹形状の凹部を形成し、当該凹部に周波数調整用の金属被膜を形成した音叉型水晶振動素子としているので、周波数バラツキを適正周波数に容易に調整できる効果がある。
【００３１】
本発明によれば、複数の凹形状の凹部をアーム先端の両面に形成し、当該凹部に周波数調整用の金属被膜を形成した音叉型水晶振動素子としているので、周波数バラツキを適正周波数に容易に調整できる効果がある。
【００３２】
本発明によれば、アーム先端部に１又は複数の溝形状の溝部を形成し、当該溝部に金属被膜を形成する音叉型水晶振動素子の製造方法としているので、周波数バラツキを適正周波数に容易に調整できる効果がある。
【００３３】
本発明によれば、１又は複数の溝形状の溝部をアーム先端の一方の面に形成し、該アームの他方の面に１又は複数の溝形状の溝部を一方の面に形成した溝部に対向して形成し、当該溝部に金属被膜を形成する音叉型水晶振動素子の製造方法としているので、周波数バラツキを適正周波数に容易に調整できる効果がある。
【００３４】
本発明によれば、アーム先端部に複数の凹形状の凹部を形成し、当該凹部に金属被膜を形成する音叉型水晶振動素子の製造方法としているので、周波数バラツキを適正周波数に容易に調整できる効果がある。
【００３５】
本発明によれば、複数の凹形状の凹部をアーム先端の一方の面に形成し、該アームの他方の面に複数の凹形状の凹部を一方の面に形成した凹部に対向して形成し、当該凹部に金属被膜を形成する音叉型水晶振動素子の製造方法としているので、周波数バラツキを適正周波数に容易に調整できる効果がある。
【００３６】
本発明によれば、周波数調整用の金属被膜が形成される前の素子の状態で、ウエハ工程で発生した周波数特性の周波数のバラツキについて、当該バラツキのある周波数の中で最低の周波数が、所望の周波数より高くなるよう製造しておき、アーム先端に設けられた溝形状の溝部又は凹形状の凹部に金属被膜を形成することにより音叉型水晶振動素子の周波数特性の周波数を全て所望の周波数より低くし、溝部又は凹部に形成された金属被膜をイオンビームにより削って所望の周波数に調整する上記音叉型水晶振動素子の製造方法としているので、バラツキのある全ての音叉型水晶振動素子を適正周波数に調整できる効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３７】
［発明の概要］
本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
本発明の実施の形態に係る第１の音叉型水晶振動素子及びその製造方法は、アーム先端部に１又は複数の溝形状の溝部を形成し、当該溝部に周波数調整用の金属被膜を形成したものであり、ウエハ加工における周波数バラツキを適正周波数に容易に調整できるものである。
特に、溝部はアーム先端の両面に形成され、長さは３００〜５００μｍ程度、幅１０〜９０μｍ程度とし、金属被膜の厚みは１μｍ以下としたものである。
【００３８】
また、本発明の実施の形態に係る第２の音叉型水晶振動素子及びその製造方法は、アーム先端部に複数の凹形状の凹部を形成し、当該凹部に周波数調整用の金属被膜を形成したものであり、ウエハ加工における周波数バラツキを適正周波数に容易に調整できるものである。
特に、凹部はアーム先端の両面に形成され、凹部の形状は直径が１０〜９０μｍとしたものである。
【００３９】
本発明の実施の形態に係る音叉型水晶振動素子の製造方法は、上記製造方法において、周波数調整用の金属被膜が形成される前の素子の状態で、ウエハ工程で発生する周波数特性の周波数のバラツキについて、当該バラツキのある周波数の中で最低の周波数が、所望の周波数より高くなるよう製造しておき、アーム先端の溝形状の溝部又は凹形状の凹部に金属被膜を形成することにより音叉型水晶振動素子の周波数特性の周波数を全て所望の周波数より低くし、溝部又は凹部に形成された金属被膜をイオンビームにより削って所望の周波数に調整するものであり、バラツキのある全ての音叉型水晶振動素子を適正周波数に調整できるものである。
【００４０】
［第１の実施の形態］
本発明の実施の形態に係る第１の音叉型水晶振動素子について図１を参照しながら説明する。図１は、本発明の実施の形態に係る第１の音叉型水晶振動素子の概略構成図である。
本発明の実施の形態に係る第１の音叉型水晶振動素子（第１の素子）は、図１に示すように、基本的に、基部１１と、２本のアーム部１２，１３とから構成されている。
第１の素子は、水晶基板を図１の形状に加工した後に、金属の電極膜を形成するようになっている。
【００４１】
水晶基板は、例えば、厚み１００μｍ〜１５０μｍのＺ−ｃｕｔ水晶板を用いている。
基部１１は、水晶基板上に金属の電極膜１１ａ，１１ｂが形成されている。
アーム部１２，１３は、基部１１から突出して形成され、基部１１に近い側に溝部１２ａ，１３ａが形成されている。溝部１２ａ，１３ａは、金属膜で覆われている。
【００４２】
アーム部１２，１３の先端部には、溝部１２ａ，１３ａに続いて電極が形成されていない水晶露出部１２ｂ，１３ｂ、周波数調整用の調整用電極１２ｃ，１３ｃが形成されている。
調整用電極１２ｃ，１３ｃは、具体的には、クロム（Ｃｒ）膜と金（Ａｕ）膜が積層されている。
アーム部１２，１３は、電極膜１１ａ，１１ｂが共振回路に接続されると共振するものである。
【００４３】
特に、アーム部先端の調整用電極１２ｃ，１３ｃの形状は、アーム部の長手方向に溝形状（スリット形状）の溝部（スリット）が形成され、その溝部にクロム（Ｃｒ）膜と金（Ａｕ）膜等の金属被膜が埋め込まれている。
金属被膜は、錘調整膜であり、周波数調整用の金属被膜の役割を果たすものである。
図１の例では、１本のアーム部の片面に溝部が２本設けられ、同様に裏面にも２本の溝部が設けられている。
【００４４】
例えば、溝部の形状は、長さが３００〜５００μｍ程度、幅１０〜９０μｍ程度とし、金属被膜の厚みは１μｍ以下としている。尚、溝部の長さは、３００μｍ程度が望ましい。
【００４５】
第１の素子は、水晶基板を、機械加工、フォトリソ／エッチング加工等によって音叉型に加工した後、真空蒸着やスパッタ等の装置を使い、電極材を成膜してパターニングする。
調整用電極１２ｃ，１３ｃに相当する部分の溝部形成前（工程１）の断面説明図を図２に示す。図２は、溝部形成前の断面説明図である。
図２に示すように、水晶基板１を電極材の金属膜２が覆った状態となっている。ここで、金属膜２は、水晶基板上に最初にＣｒ膜を形成し、その上にＡｕ膜を形成したものである。
【００４６】
次に、アーム部先端の調整用電極１２ｃ，１３ｃに相当する部分にフォトリソ／エッチング加工等によって周波数調整用の溝部を表裏に形成する。
調整用電極１２ｃ，１３ｃに相当する部分の溝部形成後（工程２）の断面説明図を図３に示す。図３は、溝部形成後の断面説明図である。
図３に示すように、溝部３が金属膜２の厚みより深く水晶基板１の内部まで形成されている。
【００４７】
次に、調整用電極１２ｃ，１３ｃに相当する部分において、溝部に錘用の金属被膜４を、金属マスク等を用いて成膜する。
調整用電極１２ｃ，１３ｃに相当する部分の金属被膜成膜後（工程３）の断面説明図を図４に示す。図４は、金属被膜成膜後の断面説明図である。
図４に示すように、錘用の金属被膜４を溝部３に成膜する。金属被膜４の厚みは、溝部３の深さと同程度とする。これにより、調整用電極１２ｃ，１３ｃに相当する部分の厚みを厚くすることなく、錘用の電極を形成できる。
【００４８】
上記製造工程をウエハ工程で実現するものである。
上記ウエハ工程で作成される、金属被膜４が形成される前の音叉型水晶振動素子について、発生する周波数バラツキを想定し、周波数特性が、その周波数の中で最低の周波数が所望の周波数（公称周波数：３２７６８Ｈｚ）より高くなるよう製造しておき、更に金属被膜４が溝部３に形成されることで、音叉型水晶振動素子の周波数特性が全て公称周波数より低くする。
【００４９】
つまり、金属被膜４が形成される前は、全ての音叉型水晶振動素子の周波数特性が公称周波数より高くなり、金属被膜４が形成された後は、全ての音叉型水晶振動素子の周波数特性が公称周波数より低くなるよう製造されるものである。
周波数特性を低くするには、溝部３の深さ、錘用の金属被膜４の厚みを調整して、適正な溝部３の深さ、錘用の金属被膜４の厚みを特定しておく。
これにより、ウエハ工程で製造される音叉型水晶振動素子は、全て公称周波数より低い周波数特性を有するものとなる。
【００５０】
その後、ウエハから切り出された音叉型水晶振動素子について、アルゴンガスの雰囲気中で、イオンビームのエネルギーによってマスク等により金属被膜４部分の表面を削る処理を行い、周波数特性の調整を行う。
つまり、金属被膜４を削ることにより、アーム部の先端を軽量にできるため、周波数特性の周波数を高くすることができ、削る量を多くすれば、それに応じて周波数を高く設定できる。これによって、音叉型水晶振動素子の周波数特性を公称周波数に調整することができる。
【００５１】
次に、本発明の実施の形態に係る第２の音叉型水晶振動素子について図５を参照しながら説明する。図５は、本発明の実施の形態に係る第２の音叉型水晶振動素子の概略構成図である。
本発明の実施の形態に係る第２の音叉型水晶振動素子（第２の素子）は、図５に示すように、基本的に、基部１１と、２本のアーム部１２，１３とから構成されている。
【００５２】
第２の素子は、基本的に第１の素子と同様であるが、相違するのは、アーム部先端の調整用電極１２ｃ′，１３ｃ′に相当する部分に、溝（スリット）ではなく、複数の凹形状の凹部を設け、その凹部に錘用の金属被膜を形成した点である。
凹部の平面から見た形状は、円形であっても、多角形であってもよい。
また、凹部の形状は直径が１０〜９０μｍ程度とし、深さが１μｍ以下とするのが望ましい。
【００５３】
第２の素子の製造方法は、第１の素子の製造方法と同様であり、水晶基板１上に電極材の金属膜２を成膜してパターニングするまでは同じである。
調整用電極１２ｃ′，１３ｃ′に相当する部分の凹部形成前（工程１）の断面説明図を図６に示す。図６は、凹部形成前の断面説明図である。
【００５４】
次に、アーム部先端の調整用電極１２ｃ′，１３ｃ′に相当する部分にフォトリソ／エッチング加工等によって周波数調整用の凹部５を表裏に形成する。
調整用電極１２ｃ′，１３ｃ′に相当する部分の凹部形成後（工程２）の断面説明図を図７に示す。図７は、凹部形成後の断面説明図である。
図７に示すように、凹部５が金属膜２の厚みより深く水晶基板１の内部まで形成されている。
【００５５】
次に、調整用電極１２ｃ′，１３ｃ′に相当する部分において、凹部に錘用の金属被膜６を、金属マスク等を用いて成膜する。
調整用電極１２ｃ′，１３ｃ′に相当する部分の金属被膜成膜後（工程３）の断面説明図を図８に示す。図８は、金属被膜成膜後の断面説明図である。
図８に示すように、錘用の金属被膜６を凹部５に成膜する。金属被膜６の厚みは、凹部５の深さと同程度とする。これにより、調整用電極１２ｃ′，１３ｃ′に相当する部分の厚みを厚くすることなく、錘用の電極を形成できる。
上記製造工程をウエハ工程で実現するものである。
【００５６】
調整用電極１２ｃ′，１３ｃ′を公称周波数に調整する方法は、第１の素子において説明したのと同様の方法を用いるものである。
つまり、金属被膜６が形成される前は、全ての音叉型水晶振動素子の周波数特性が公称周波数より高くなり、金属被膜６が形成された後は、全ての音叉型水晶振動素子の周波数特性が公称周波数より低くなるよう製造され、更に金属被膜６を削って周波数特性を公称周波数に調整するものである。
【００５７】
第１の素子、第２の素子をパッケージに収納して音叉型水晶振動子を提供するものである。
また、第１の素子、第２の素子と集積回路をパッケージに収納して水晶発振器を提供するものである。
【００５８】
第１の素子、第２の素子、それを組み込んだ音叉型水晶振動子、水晶発振器によれば、音叉型水晶振動素子のアーム部を厚くすることなく、周波数調整用の電極の面積を広くすることもなく、周波数調整の範囲を広くすることができ、ウエハ加工における素子の周波数バラツキを容易に調整できる効果がある。
【００５９】
第１の素子、第２の素子の製造方法によれば、音叉型水晶振動素子のアーム部を厚くすることなく、周波数調整用の電極の面積を広くすることもなく、周波数調整の範囲を広くして、ウエハ加工における素子の周波数バラツキを容易に調整できる素子を製造できる効果がある。
【産業上の利用可能性】
【００６０】
本発明は、ウエハ加工において周波数バラツキが発生しても適正周波数へ容易に調整できる音叉型水晶振動素子及びその製造方法に好適である。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明の実施の形態に係る第１の音叉型水晶振動素子の概略構成図である。
【図２】溝部形成前の断面説明図である。
【図３】溝部形成後の断面説明図である。
【図４】金属被膜成膜後の断面説明図である。
【図５】本発明の実施の形態に係る第２の音叉型水晶振動素子の概略構成図である。
【図６】凹部形成前の断面説明図である。
【図７】凹部形成後の断面説明図である。
【図８】金属被膜成膜後の断面説明図である。
【図９】従来の音叉型水晶振動素子の平面説明図である。
【符号の説明】
【００６２】
１…水晶基板、  ２…金属膜、  ３…溝部、  ４…金属被膜、  ５…凹部、  ６…金属被膜、  １１…基部、  １１ａ，１１ｂ…電極膜、  １２，１３…アーム部、  １２ａ，１３ａ…溝部、  １２ｂ，１３ｂ…水晶露出部、  １２ｃ，１３ｃ，１２ｃ′，１３ｃ′，１２ｃ，１３ｃ…調整用電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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