(57)【要約】【課題】  精密な位置決めが可能で、制御性が良く、消費電力が小さく信頼性に富んだ駆動装置を、小型、簡易な構造で実現する。【解決手段】  そこで、上記課題を解決する為に本発明の駆動装置は、稼動部と、一端を稼動部に固定常態に、他端を支持部材に固定状態に設けられ弾性部材と、一端を前記稼動部に固定状態に、他端を支持部材に固定状態に設けられた圧電アクチュエータと、を有し、圧電アクチュエータの変位により前記稼動部材は第一の方向に稼動し、弾性部材の第一の方向への剛性は第一の方向と直交する他の方向の剛性よりも低いことを特徴とする駆動装置とする。【選択図】  図１
2008079492.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
稼動部と、
一端を稼動部に固定状態に、他端を支持部材に固定状態に設けられた弾性部材と、
一端を前記稼動部に固定状態に、他端を前記支持部材に固定状態に設けられた圧電アクチュエータと、を有し、
前記圧電アクチュエータの変位により前記稼動部材は第一の方向に稼動し、
前記弾性部材の前記第一の方向への剛性は前記第一の方向と直交する方向の剛性よりも低いことを特徴とする駆動装置。
【請求項２】
請求項１記載の駆動装置と、
一端を前記支持部材に固定状態に、他端を第二の支持部材に固定状態に設けられた第二の弾性部材と、
一端を前記支持部材に固定状態に、他端を前記第二の支持部材に固定状態に設けられた第二の圧電アクチュエータと、を有し、
前記第二の圧電アクチュエータの変位により前記支持部材は前記第一の方向と直交する第二の方向に稼動し、
前記第二の弾性部材の、前記第二の方向への剛性は前記第二の方向と直交する方向の剛性よりも低いことを特徴とする駆動装置。
【請求項３】
前記支持部材と前記第二の支持部材は前記稼動部の稼動する面内に設けられたことを特徴とする請求項２に記載の駆動装置
【請求項４】
前記支持部材と前記第二の支持部材は前記稼動部の稼動する面内と直交する軸上に設けられたことを特徴とする請求項２に記載の駆動装置
【請求項５】
前記弾性部材は一対のバネ部材から構成されることを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載の駆動装置。
【請求項６】
前記圧電アクチュエータは一対の圧電アクチュエータで構成されることを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載の駆動装置。
【請求項７】
前記圧電アクチュエータは前記弾性部材を兼ねることを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載の駆動装置。
【請求項８】
前記支持部材から前記稼動部と前記弾性部材との固定点までの距離と、前記支持部材から前記稼動部と前記アクチュエータの固定点までの距離は同じであることを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載の駆動装置。
【請求項９】
請求項１乃至８の何れかに記載の駆動装置を備えたことを特徴とする電子機器。
【請求項１０】
請求項１乃至８の何れかに記載の駆動装置と、手振れを検出するセンサと、前記センサの出力に応じて前記駆動装置を駆動制御する制御手段と、を有することを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電アクチュエータを用いた駆動装置に係り、特にカメラやビデオカメラに搭載され、レンズや撮像素子を駆動して、ユーザーの手振れを補正する駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子機器の高機能化、高性能化が進んでいる。例えばデジタルスチルカメラにおいては、ユーザーの手振れを光学的に補正する機能を有するものが増えており、様々なアクチュエータが使用されている。
【０００３】
手振れの様々な方向のうち、画像に対して問題となるのはレンズの光軸に直交する二つの軸周り（ピッチ、ヨー）の回転運動であり、この影響を補正する方法として、光軸と直交する面内に配置した補正レンズもしくは撮像素子自体を、手振れの方向、量に応じて稼動する方法が知られている。
【０００４】
そして、このレンズや撮像素子からなる稼動体を駆動する機構部には、磁石とコイルからなる電磁型のアクチュエータと、シャフトとオイレスメタルからなる案内機構を用いたもの（特許文献１）や、圧電素子の急速変形により圧電素子に設けられた駆動ロッドと摩擦結合する稼動部を摩擦駆動するもの（特許文献２）が知られている。
【特許文献１】特許第２６４１１７２号公報
【特許文献２】特開平１０−２５４０１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、電磁型のアクチュエータを用いたものの場合には、稼動体を特定位置に保持しておくためには電流を流し続けておかなければならず、消費電力の低減が困難であった。そして、このアクチュエータが搭載される電子機器が使用されないとき（アクチュエータに電流が供給されない際）にはアクチュエータには保持力は働かないから、落下や衝撃によって、駆動装置にダメージを与える恐れがあった。これを防止する機構を設けることも出来るが、この場合駆動装置が大型化したり、消費電力が増大する恐れがあった。また、ガイド軸等の案内機構を用いるとスムーズな動きが出来ない場合があるとともに、案内部には僅かながら隙間（ガタ）が存在するから、手振れ補正に用いた場合には稼動部の位置決め精度が低下し、希望通りの補正効果が得られない場合があった。
【０００６】
一方、圧電素子の急速変形により、圧電素子に設けられた駆動ロッドと摩擦結合する稼動部を摩擦駆動するタイプの場合には、駆動シャフトと稼動部の加圧機構、案内機構が複雑になるためコストの低減が困難であるとともに、摩擦駆動により摩耗粉が必然的に発生してしまった。従ってこれをカメラに搭載した場合には摩耗粉がレンズや撮像素子に付着することがないような防塵対策が必要となり、設計の自由度を低下させるとともにコストの上昇を招いてしまった。
【０００７】
本発明の目的は、機構が簡単でありながらもスムーズな動きが可能で制御性が良く、消費電力の増大、コスト上昇を招くことのない構成を有した駆動装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
そこで、上記課題を解決する為に本発明の駆動装置は、稼動部と、一端を稼動部に固定常態に、他端を支持部材に固定状態に設けられ弾性部材と、一端を前記稼動部に固定状態に、他端を支持部材に固定状態に設けられた圧電アクチュエータと、を有し、圧電アクチュエータの変位により前記稼動部材は第一の方向に稼動し、弾性部材の第一の方向への剛性は第一の方向と直交する他の方向の剛性よりも低いことを特徴とする駆動装置とする。      
【０００９】
これによれば、制御性が良く、低消費電力な駆動装置を小型で簡単な構成で実現できる。
【００１０】
そして、さらに一端を支持部材に固定状態に、他端を第二の支持部材に固定状態に設けられた第二の弾性部材と、一端を支持部材に固定状態に、他端を第二の支持部材に固定状態に設けられた第二の圧電アクチュエータと、を有し、第二の圧電アクチュエータの変位により第二の支持部材は第一の方向と直交する第二の方向に稼動し、第二の弾性部材の、第二の方向への剛性は第二の方向と直交する他の方向の剛性よりも低いことを特徴とする駆動装置とする。これによれば、一つの平面（ｘ−ｙ平面）内を自由に稼動できる駆動装置が実現できる。
【００１１】
ここで、弾性部材は一対のバネ部材から構成されることを特徴とする。これによれば、稼動部を、回転運動を伴わず目的の方向に精密にかつスムーズに稼動することが可能となり、圧電アクチュエータの変位と稼動部の変位は線形関係となるから制御性が良くなる。
【００１２】
そして、圧電アクチュエータを一対の圧電アクチュエータで構成する。これによれば、更にこの効果は大きくなる。
【００１３】
更に、圧電アクチュエータは弾性部材を兼ねることを特徴とする。これによれば、駆動装置の小型、簡素化が可能となる。
【００１４】
更に支持部材から稼動部と弾性部材との固定点までの距離と、支持部材から稼動部とアクチュエータの固定点までの距離は同じであることを特徴とする。これによれば、圧電アクチュエータの変位と稼動部の変位は線形関係となるから制御性が良くなる。
【００１５】
そして、これらの駆動装置を備えたことを特徴とする電子機器とすることで、低消費電力で信頼性の高い電子機器が実現できる。
【００１６】
特に、これらの駆動装置と、手振れを検出するセンサと、センサの出力に応じて駆動装置を駆動制御する制御手段と、を有することを特徴とする電子機器（カメラ）とすることで、電池寿命が長く、広範囲な周波数領域の手振れを補正可能なカメラが実現できる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、消費電力が小さく、稼動部をスムーズにかつ精密に位置決め出来る駆動装置を簡単な構造で実現できるため、この駆動装置を用いた電子機器の小型化、低消費電力化が可能となる。特に、本発明の駆動装置をカメラの手振れ補正装置に用いれば、広い周波数範囲に渡って手振れを補正することが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、図面を基にして本発明の実施の形態について説明する。
【００１９】
（実施の形態１）
図１（ａ）を基にして本発明の駆動装置１００の構造、動作について説明する。本発明の駆動装置１００は、支持部材４と、支持部材４に一端を固定された相互に平行な一対の弾性部材（板バネ）２，３と、弾性部材２，３の他端に固定された稼動部１と、支持部材４に一端を固定された圧電アクチュエータ６と、圧電アクチュエータ６の他端と弾性部材３の他端を接続する接合部材５から構成されている。
【００２０】
弾性部材２，３はステンレス等の金属やプラスチックから構成される板バネであり、図中ｘ軸方向の寸法（幅）が、他の方向の寸法（厚み、長さ）に比較して薄くなっているためｘ軸方向には変形し易く（剛性が低く）、ｘ軸方向とは直交する方向には変形し難く（剛性が高く）なっている。稼動部材１と弾性部材２，３の固定は稼動部１に設けられた凸部１ａ，１ｂにおいて接着等の手段で行われる。但し、凸部１ａ，１ｂを稼動部１とは別部材で構成しても構わない。凸部１ａ，１ｂは弾性部材２，３が変形した際に、これらが稼動部１と接触しないように設けられる。
【００２１】
圧電アクチュエータ６は二枚の圧電素子６ａ，６ｂを張り合わせた一般的なバイモルフ素子である。圧電アクチュエータ６と弾性部材３の間には接合部材５を接着して設けたが、これは圧電アクチュエータ６と弾性部材３とが接触しないようにしながら、弾性部材３を介して稼動部１に推進力を伝えるためのものである。従って、弾性部材３や圧電アクチュエータ６に凸部を設けてこの機能を持たせても構わない。また、圧電アクチュエータ６の発生力は、弾性部材３を介さずに稼動部１に直接加わる構造を採っても良い。そして、接合部材５と弾性部材３の接合領域は、凸部１ｂと弾性部材３の接合領域とｘ軸方向に断面的に重なるが、凸部１ｂと弾性部材３の接合領域に収まる範囲とすることで、接合部材５と弾性部材３の接合が弾性部材３の変形に影響を与えることはなく、弾性部材２の変形と同じとなる。また、支持部材４から稼動部１と弾性部材２，３との固定点までの距離と、支持部材４から稼動部１と圧電アクチュエータ６の固定点までの距離を同じとすることで圧電アクチュエータ６の変位と稼動部１の変位を線形関係とすることが出来るから、駆動装置１００の制御性は良くなる。
【００２２】
次に本発明の駆動装置１００の動作について説明する。稼動部４は弾性部材２，３により第一の方向（ｘ軸方向）に稼動するように案内されている。圧電アクチュエータ６に電圧が加わると、圧電アクチュエータ６は屈曲変位し、圧電アクチュエータ６の他端（接合部材５との接合部）は第一の方向に変位する。これにより図１（ｂ）に示した様に稼動部１も第一の方向に変位する。圧電アクチュエータ６は等価的に容量と見なせるから、稼動部１を動かしている（電圧値を変化させた）際には電流は流れるが、特定位置で停止させている（同一の電圧値を加えている）場合には電流は流れない。稼動部１の移動方向は圧電アクチュエータ６に印加する電圧の極性で異なり、変位量は電圧値によってコントロールすることが出来る。このように、弾性部材（板バネ）２，３を平行に配置して、一対でバネとして機能する構成とすることで、稼動部１は回転動作を伴わず、第一の方向（図中ｘ方向）にのみ稼動可能とすることが出来る。更に、この弾性部材２，３とは独立して圧電アクチュエータ６を設けることにより、たとえ圧電アクチュエータ６の変位の方向が第一の方向と多少異なったとしても稼動部１は弾性部材２，３の変形に伴い第一の方向に動作するように導かれる。また、稼動部１を弾性部材２，３により支持する構成を採ることで、落下や衝撃に対するショックを吸収し、信頼性の高い駆動装置１００が実現できる。
【００２３】
ところで、図１においては弾性部材２，３が固定される支持部材４と圧電アクチュエータ６が固定される支持部材４は同一のものであるが、別個のものとしても構わない。但し、この場合、全ての支持部材は他の部材に固定される等によって同じ動作状態となることが条件となる。このような動作案内方法はガイド軸等による摺動を伴う案内とは違い、スティックスリップが発生しないのでスムーズに動作するとともに、案内部での力のロスが無い。そして摩耗粉の発生も無いため、他の部材を汚してしまうことも無ければ、摩耗による寿命を考える必要も無い。この為、制御性に優れる駆動装置１００が実現できる。
【００２４】
また、弾性部材２，３並びに支持部材４は夫々別部材で構成した例を示したが一体の部材で構成しても良い。金属板から放電加工等により形状加工しても良いし、プレス等により金属板を塑性変形させて目的の形状を得ても良い。また、プラスチックで射出成形して目的の形状を得ても良い。
【００２５】
（実施の形態２）
本発明の駆動装置の第二の例を、図２を基にして説明する。ここでは実施の形態１で示した駆動装置１００との相違点を中心に説明する。
【００２６】
本発明の駆動装置２００の構成を示す図２において、圧電アクチュエータとして一対の圧電アクチュエータ９，１０を用いる。圧電アクチュエータ９，１０は支持部材８の二つの延出部８ａ，８ｂに一端を、他端を弾性部材２，３の他端（稼動部１の凸部１ａ，１ｂとの接合部となる面の裏面）に夫々接合されている。ここで圧電アクチュエータ９，１０はｘ軸方向に伸縮する積層圧電素子であり、互いに逆方向に変位することで稼動部１を稼動させる。例えば、圧電アクチュエータ９を伸ばして、圧電アクチュエータ１０を縮ませれば可動部１はｘ軸方向に＋側(図１（ｂ）の可動部１の変位方向と同じ)に変位する。ところで、圧電アクチュエータ９，１０は稼動部１をｘ軸方向に稼動させる変位を発生するものであれば、形状、原理は問わず、例えば特表２００３−５１８７５２号公報に示されている様な、らせん状に湾曲された圧電素子からなる圧電アクチュエータ（通称ヘリモルフアクチュエータ）を用いても良い。また、実施の形態１に示した様にバイモルフ型のアクチュエータやユニモルフ型のアクチュエータを用いても良い。但しこの場合には、二つのアクチュエータの変位方向を同じにすることで稼動部１を動かす。
【００２７】
この様に、一対の弾性部材２，３と、これら夫々に対応するように一対の圧電アクチュエータ９，１０を設けることにより、稼動部１に加わる力は左右対称になるから、稼動部１には回転動作も起こらず、ｘ軸方向にスムーズに稼動する。
【００２８】
（実施の形態３）
本発明の駆動装置の第３の例を、図３を基にして説明する。ここでも実施の形態１で示した駆動装置１００との相違点を中心に説明する。図３において、駆動装置３００は、実施の形態１における可動部１を支持する一対の弾性部材の一方（弾性部材３）を、バイモルフ型の圧電アクチュエータ６で兼ねた構成となっている。一つの弾性部材を省くことにより、駆動装置３００の小型化、低コスト化が実現できる。特に弾性部材２と圧電アクチュエータ６の剛性を同等にすることにより、可動部１には回転力は加わらず、ｘ軸方向にのみ正確に可動可能となる。
【００２９】
図４は本発明の駆動装置の第３の例の変形例である。二つの同一のバイモルフ型の圧電アクチュエータ７，１１で稼動部１を支持し、これらが弾性部材を兼ねる構成としている。圧電アクチュエータ７は二枚の圧電素子７ａ、７ｂの間に、金属板で構成され電極を兼ねるシム７ｃが設けられている。圧電アクチュエータ１１は二枚の圧電素子１１ａ、１１ｂの間に金属板で構成され、電極を兼ねるシム１１ｃが設けられている。シム７ｃ、１１ｃはバネ部材として働くと共に圧電素子の耐衝撃性の低さを補い、落下等に対しても高い信頼性を得ることが可能となる。
【００３０】
図３の構成に対して、圧電アクチュエータ７，１１を左右に夫々備え、これらで弾性部材を兼ねる構成としたことで、弾性部材となる二つの圧電アクチュエータ７，１１の変形は同じであるから稼動部１には回転力は加わらず、ｘ軸方向のみに正確に稼動させることが出来るから、圧電アクチュエータ７，１１の設計の自由度は高くなる。
【００３１】
（実施の形態４）
本発明の駆動装置の第４の例を図５を基にして説明する。本実施の形態における駆動装置５００は稼動部２０を図中ｘ、ｙ軸方向に自由に稼動可能な駆動装置である。
【００３２】
駆動装置５００はＬ字形状の第二の支持部材１２と、第二の支持部材１２に一端を固定された相互に平行な一対の第二の弾性部材（板バネ）１３，１４と、第二の弾性部材１３，１４の他端に固定されたロ形状の支持部材１６と、支持部材１６の内側に配置され、一端を支持部材１６に固定された相互に平行な一対の弾性部材（板バネ）１７，１８と、弾性部材１７，１８の他端に固定された稼動部２０と、第二の支持部材１２に一端を固定され、他端を第二の弾性部材１４に固定された第二の圧電アクチュエータ１５と、支持部材１６に一端を固定され、他端を弾性部材１８に固定された圧電アクチュエータ１９と、から構成されている。そして稼動部２０の中央にはレンズ２０ｃが設けられている。
【００３３】
第二の弾性部材１３，１４はステンレス等の金属やプラスチックから構成される板バネであり、Ｙ軸方向の寸法（幅）が、他の方向の寸法（厚み、長さ）に比較して薄くなっているためＹ軸方向には変形し易く（剛性が低く）、Ｙ方向とは直交する方向には変形し難く（剛性が高く）なっている。弾性部材１７，１８もステンレス等の金属やプラスチックから構成される板バネであり、ｘ軸方向の寸法（幅）が、他の方向の寸法（厚み、長さ）に比較して薄くなっているためｘ軸方向には変形し易く（剛性が低く）、ｘ軸方向とは直交する方向には変形し難く（剛性が高く）なっている。
【００３４】
支持部材１６と第二の弾性部材１３，１４の固定は支持部材１６に設けられた凸部１６ａ，１６ｂにおいて接着等の手段で行われるが、凸部１６ａ，１６ｂを別部材で構成しても構わない。凸部１６ａ，１６ｂは第二の弾性部材１３，１４が変形した際に支持部材１６と接触しないように設けられる。同様に、稼動部材２０と弾性部材１７，１８の固定は稼動部２０に設けられた凸部２０ａ，２０ｂにおいて接着等の手段で行われるが、凸部２０ａ，２０ｂを別部材で構成しても構わない。凸部２０ａ，２０ｂは弾性部材１７，１８が変形した際に稼動部１と接触しないように設けられる。
【００３５】
第二の圧電アクチュエータ１５は第二の支持部材１２に一端を、第二の弾性部材１４に他端を接合されている。圧電アクチュエータ１９は支持部材１６に一端を、弾性部材１８に他端を接合されている。ここで第二の圧電アクチュエータ１５はｙ軸方向に伸縮する積層圧電素子であり、圧電アクチュエータ１９はｘ軸方向に伸縮する積層圧電素子である。第二の圧電アクチュエータ１５の変位により稼動部２０が固定される支持部材１６はｙ軸方向に稼動し、圧電アクチュエータ１９の変位により稼動部２０はｘ軸方向に稼動する。従って、第二の圧電アクチュエータ１５と圧電アクチュエータ１９を夫々独立に駆動することで稼動部２０はｘ軸方向の希望の位置にも、ｙ軸方向の希望の位置にも稼動させることが可能である。即ち、稼動部２０をｘ−ｙ平面内の希望の位置に自由に位置決めできる。このように支持部材１６と第二の支持部材１２は稼動部２０の稼動する面内に設けられているから駆動装置５００の薄型化が可能となる。
【００３６】
ところで、第二の圧電アクチュエータ１５は稼動部２０をｙ軸方向に稼動させる変位を発生するものであり、圧電アクチュエータ１９は稼動部２０をｘ軸方向に稼動させる変位を発生するものであれば、これらの形状、原理は問わず、例えば特表２００３−５１８７５２号公報に示されているような、らせん状に湾曲された圧電素子からなる圧電アクチュエータ（通称ヘリモルフアクチュエータ）を用いても良い。また、実施の形態１に示したようにバイモルフ型のアクチュエータやユニモルフ型のアクチュエータを用いても良い。そして、実施の形態２，３に示した様に、稼動部２０並びに支持部材１６を稼動させる夫々の圧電アクチュエータを一対の圧電アクチュエータで構成して機能させれば、稼動部２０並びに支持部材１６には回転力は加わらないから稼動部２０並びに支持部材１６を目的の方向にスムーズに稼動することが出来る。
【００３７】
（実施の形態５）
本発明の駆動装置の第５の例を図６を基にして説明する。本実施の形態における駆動装置６００は実施の形態４と同様に稼動部２０を図中ｘ、ｙ軸方向に自由に稼動可能な駆動装置である。実施の形態４との相違点を中心に説明する。
【００３８】
図６(a)は駆動装置６００の上面図、図６（ｂ）は側面図である。駆動装置６００はコ字形状の第二の支持部材３２と、第二の支持部材３２に一端を固定された相互に平行な一対の第二の圧電アクチュエータ３０，３１と、第二の圧電アクチュエータ３０，３１の他端に固定されたロ形状の支持部材２９と、支持部材２９に一端を固定された相互に平行な一対の圧電アクチュエータ２７，２８と、圧電アクチュエータ２７，２８の他端に固定された稼動部２０とから構成されている。そして稼動部２０の中央にはレンズ２０ｃが設けられている。従って、実施の形態４で示した駆動装置５００とは異なり、支持部材２９と前記第二の支持部材３２は稼動部２０の稼動する面内と直交する軸上に重ねられて設けられている。これにより駆動装置５００の断面積を小さくすることが出来る。
【００３９】
圧電アクチュエータ２７，２８，３０、３１は実施の形態３(図４)で示した圧電アクチュエータ７，１１と同様に、弾性部材を兼ねたバイモルフ型の圧電アクチュエータである。圧電アクチュエータ２７，２８は稼動部２０を図中ｘ軸方向へ動かし、第二の圧電アクチュエータ３０，３１は支持部材２９並びに稼動部２０を図中ｙ軸方向に動かす。ところで、圧電アクチュエータ並びに弾性部材はこれに限るものでなく、実施の形態１乃至４に示したものを利用しても良い。
【００４０】
（実施の形態６）
本発明の駆動装置を用いた手振れ補正装置並びにこれを搭載した電子機器であるカメラについて説明する。図７はカメラの光学系における手振れ補正装置の駆動部の位置及び働きを示した図である。図８は手振れ補正装置７００を示したブロック図である。ここで、駆動部は実施の形態４，５で示した駆動装置５００，６００であり、以下駆動部５００，６００と呼ぶ。
【００４１】
先ず初めに駆動部５００，６００の働きについて説明する。駆動部５００，６００は被写体側にあるレンズ２４と撮像素子２５の間に配置される。ここで撮像素子２５はデジタルカメラの場合にはＣＣＤやＣ−ＭＯＳセンサであり、フィルムカメラの場合にはフィルムに当たる。今、手振れによってカメラが傾き、光軸２６ａが光２６ｂになったとすると撮像素子２５へ到達する画像は図６中Ａで示す量だけ振れることになる。これを補正するために駆動部５００，６００の中央に設けられたレンズを、振れの方向、振れ量に応じて光軸と直交する面内に稼動させ、撮像素子２５が捉える画像に振れが生じないようにする。
【００４２】
次に、この駆動部５００，６００を手振れに応じて駆動、制御する方法を、図７を用いて説明する。本発明の手振れ補正装置は、レンズ２０ｃを有する稼動部２０と稼動部２０を稼動させる圧電アクチュエータ１５、第二の圧電アクチュエータ１９を有する駆動部５００，６００と、カメラの手振れによるピッチ方向の回転角速度を検出するジャイロセンサ２１とジャイロセンサ１で検出する回転軸と直交したヨー方向の回転軸周りの角速度を検出する第二のジャイロセンサ２２と、ジャイロセンサ２１，２２の検出信号に基づき圧電アクチュエータ１５、第二の圧電アクチュエータ１９を駆動制御する制御手段２３とで構成される。圧電アクチュエータ１５  はジャイロセンサ２１の検出量に基づき駆動、制御され、第二の圧電アクチュエータ１９  はジャイロセンサ２２の検出量に基づき駆動、制御される。
【００４３】
ところで、本発明の手振れ補正装置における駆動部として、ｘ−ｙ平面内を稼動可能な駆動装置５００，６００を用いたが、実施の形態１から３に示した駆動装置１００、２００、３００，４００を光軸上に二つ配置し、各々の駆動装置が、夫々レンズをｘ軸方向とｙ軸方向へ稼動させる構成を採っても構わない。
【００４４】
次に本発明の手振れ補正装置を搭載したデジタルカメラの動作について説明する。図示しないシャッターボタンをユーザーが押した際に、あるいは押す前の前段階としてシャッターボタンに触れた際に手振れが発生していることをジャイロセンサ２１，２２が検出すると、ジャイロセンサ２１，２２夫々が検出信号を制御手段２３に入力する。制御手段２３はこれら検出信号から、この際の手振れを補正するにはレンズ２０ｃをどの方向に、どれだけ動かせば良いかを判断し、圧電アクチュエータ１５、第二の圧電アクチュエータ１９夫々に駆動信号を印加する。稼動部２０の位置は図示しない位置センサによって検出し、位置センサからの出力信号を制御手段２３に入力することで、制御手段２３は稼動部２０が所定位置に位置するように圧電アクチュエータ１５、第二の圧電アクチュエータ１９を制御する。このような方法によりカメラに手振れが発生したとしても、これを補正して撮像素子２５には手振れの無い画像が入力される。
【００４５】
ところで、本実施の形態では被写体側にあるレンズ２４と撮像素子２５の間に手振れを補正するレンズ２０ｃを配置し、レンズ２０ｃを稼動することで手振れを補正したが、本発明の駆動装置５００，６００により撮像素子２５を直接稼動させても構わない。
【００４６】
以上、本発明の駆動装置１００、２００、３００、４００、５００、６００の応用例としてデジタルカメラ（手振れ補正装置の駆動）を示したがこれに限るものではなく、稼動部の高精度な位置決めが必要で、小型、薄型、低消費電力が望まれる電子機器、即ち光ディスクや磁気ディスクにおけるピックアップの駆動部、光ディスクにおける光学系（レンズやプリズム等の部品）の調整機構における駆動部、カメラのオートフォーカス機構におけるレンズ駆動部、顕微鏡や計測装置における微動装置等への適用が可能である。
【００４７】
この様に、本発明の駆動装置を電子機器に用いることで、電子機器の小型化、高性能化、静穏化と共に、低消費電力化が図られ、これによるバッテリーの小型化と合わせ、電子機器全体の小型化、軽量化が実現できる。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
本発明の駆動装置は、構造が簡単で小型化が容易であるとともに、精密な位置決めが可能で低消費電力という特徴を有することから、光ディスクや磁気ディスクにおけるピックアップの駆動や、光ディスクにおける光学系の調整機構（レンズやプリズム等の部品）の駆動、カメラのオートフォーカス機構におけるレンズ駆動、等への適用が可能である。また、ｘ−ｙ平面内を自由に稼動可能であるという特徴を有することから、顕微鏡や計測装置における微動装置のほか、カメラやビデオカメラにおける手振れ補正装置としても適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の実施の形態１の駆動装置の構成を示す図である。
【図２】本発明の実施の形態２の駆動装置の構成を示す図である。
【図３】本発明の実施の形態３の駆動装置の構成を示す図である。
【図４】本発明の実施の形態３の駆動装置の変形例の構成を示す図である。
【図５】本発明の実施の形態４の駆動装置の構成を示す図である。
【図６】本発明の実施の形態５の駆動装置の構成を示す図である。
【図７】本発明の実施の形態６のデジタルカメラの手振れ補正装置における駆動装置の駆動部の配置を示す図である。
【図８】本発明の実施の形態６のデジタルカメラの手振れ補正装置を示すブロック図である。
【符号の説明】
【００５０】
１，２０                                                稼動部
２，３，１７，１８                                      弾性部材
４，８，１６，２９                                      支持部材
６，７，９，１０，１１，１９，２７，２８，３０，３１    圧電アクチュエータ
１３，１４                                              第二の弾性部材
１２，３２                                              第二の支持部材
１５                                                    第二の圧電アクチュエータ
【図１】
2008079492.tif 000003
【図２】
2008079492.tif 000004
【図３】
2008079492.tif 000005
【図４】
2008079492.tif 000006
【図５】
2008079492.tif 000007
【図６】
2008079492.tif 000008
【図７】
2008079492.tif 000009
【図８】
2008079492.tif 000010