(57)【要約】【課題】  装置の大型化を図った場合であっても、特殊車両を用いることなく輸送を可能とすると共に、基台の機械加工を容易に行うことのできるステージ装置を提供することを課題とする。【解決手段】ステージ装置１において、基台２をガントリ部９の移動方向Ｙに分割面１２を境として分割可能とする。これによって、ステージ装置１を、輸送車に搭載可能な大きさの本体部１ａと分割部１ｂとに分割可能な構成とすると共に、本体部１ａと分割部１ｂとに分割して機械加工を可能とする。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台に支持され、当該基台上を進行方向である一軸方向に移動するガントリ部を有するステージ装置において、
前記基台は、前記ガントリ部の移動方向に分割可能に構成されていることを特徴とするステージ装置。
【請求項２】
前記基台上にワークを載置する載置領域を有し、
前記基台の分割面は、前記載置領域を除く領域に形成されることを特徴とする請求項１記載のステージ装置。
【請求項３】
前記基台を下方から支持する支持架台を備え、
前記支持架台は、複数本の脚部を有すると共に、前記複数本の脚部のうち、前記基台の分割面の下に配置される脚部を有することを特徴とする請求項１又は２記載のステージ装置。
【請求項４】
前記支持架台は、各々独立な脚部のみで構成されていることを特徴とする請求項３記載のステージ装置。
【請求項５】
前記基台を下方から支持する支持架台を備え、
前記支持架台は、前記ガントリ部の移動方向に分割可能に構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のステージ装置。
【請求項６】
基台に支持され、当該基台上を進行方向である一軸方向に移動するガントリ部を有するステージ装置の組立方法において、
前記ガントリ部の移動方向に分割された前記基台を用意し、
前記基台の分割面の下を、補助脚部材で支持した状態で、分割された前記基台を連結することを特徴とするステージ装置の組立方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基台に支持され、当該基台上を進行方向である一軸方向に移動するガントリ部を有するステージ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶パネルや半導体の各種基板の製造装置として用いられるステージ装置として、複数本の缶材を連結して構築された製缶構造の基台と、基台上の両側に設けられたガイドレールと、ガイドレールに沿って案内される案内スライダを有するビームとを備え、ビームがガイドレールに沿って移動するステージ装置が知られている。（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００６−２６９５０９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記ステージ装置にあっては、近年液晶ディスプレイの大型化などに伴い装置の大型化を図った場合、輸送用の車両などに積載することができない場合がある。ここで、特殊車両を用いて輸送することが考えられるが、コストが膨大となってしまう。また、基台を構築するための缶材も長くなるため、加工装置で機械加工を全長に渡って施すことが困難となってしまう場合がある。
【０００４】
本発明は、このような課題を解決するためになされたものであり、装置の大型化を図った場合であっても、特殊車両を用いることなく輸送を可能とすると共に、基台の機械加工を容易に行うことのできるステージ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明によるステージ装置は、基台に支持され、当該基台上を進行方向である一軸方向に移動するガントリ部を有するステージ装置において、基台は、ガントリ部の移動方向に分割可能に構成されていることを特徴とする。
【０００６】
このような構成によれば、ガントリ部の移動方向に基台を分割することによって、装置を分割して輸送車に積載することができる。これによって、装置の大型化を図った場合であっても特殊車両を用いることなく輸送が可能となる。また、基台を機械加工する際も、分割された部分ごとに行うことができるため、容易に機械加工を行うことができる。
【０００７】
ここで、ワークの載置領域に基台の分割面が形成された場合は基台と共にワークも分割する必要があるため、基台の分割面は、載置領域を除く領域に形成されることが好ましい。これにより、ワークを分割することなく装置を分割できる。
【０００８】
また、基台を下方から支持する支持架台を備え、支持架台は、複数本の脚部を有すると共に、複数本の脚部のうち、基台の分割面の下に配置される脚部を有することが好ましい。このような構成を採用した場合、例えば、分割された基台を連結する際に、脚部が分割面の下を支持することとなるため、他の支持部材を用いることなく、容易に装置の組み立てを行うことができる。
【０００９】
また、支持架台は、各々独立な脚部のみで構成されていることが好ましい。このような構成を採用した場合、輸送時において、装置を、分割された基台、支持架台であるそれぞれの脚部に更に分けて積載することができる。これによって、装置を更に細かく分割することができる。
【００１０】
ここで、例えば、支持架台を分割することを避けて基台を分割する場合、大きく分割できない場合があり、ガントリ部の移動方向の両端側の各々で分割しなくては輸送車に積載できない場合がある。この場合には、組立時において両端側の分割箇所で位置調整を行う必要がある。従って、基台を下方から支持する支持架台を備え、支持架台は、ガントリ部の移動方向に分割可能に構成されていることが好ましい。このように、支持架台を分割することが可能な場合、大きく分割することも可能となるので、分割箇所は一箇所で良く、この分割により、輸送が可能となると共に、組立時において、一箇所の分割箇所で位置調整を行うのみでよく、組み立てが容易となる。
【００１１】
また、本発明に係るステージ装置の組み立て方法は、基台に支持され、当該基台上を進行方向である一軸方向に移動するガントリ部を有するステージ装置の組立方法において、ガントリ部の移動方向に分割された基台を用意し、基台の分割面の下を、補助脚部材で支持した状態で、分割された基台を連結することを特徴とする。
【００１２】
このような方法によれば、分割された基台を連結する際に、補助脚部材が分割面の下を支持することとなるため、容易に装置の組み立てを行うことができる。
【発明の効果】
【００１３】
このように、本発明によれば、装置の大型化を図った場合であっても、特殊輸送車を用いることなく、輸送が可能となると共に、基台の機械加工が容易となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明によるステージ装置の好適な実施形態について添付図面を参照しながら説明する。なお、各図において、同一又は相当要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００１５】
［第１の実施形態］
図１は、本発明の第１の実施形態に係るステージ装置１を示す斜視図、図２は、図１に示すステージ装置１にワーク定盤（ワーク）１５をセットした斜視図、図３は、図１に示すステージ装置１の側面図である。
【００１６】
図１に示すように、本実施形態のステージ装置１は、複数本の缶材を連結して構築された製缶構造のベースフレーム２（基台）２と、ベースフレーム２を下から支持する支持架台３と、ベースフレーム２上を移動するガントリ部９と、ベースフレーム２に設けられ、ガントリ部９の移動を案内するガイドフレーム４及び永久磁石６と、ガントリ部９の下部に設けられ、ガイドレール４に案内される案内スライダ７及び永久磁石６と対向する電磁石８とを備え、このガントリ部９がガイドレール４に沿って移動するものである。なお、図１において、ベースフレーム２の長手方向をＹ軸方向とし、それと直交する水平方向をＸ軸方向とする。
【００１７】
ベースフレーム２は、Ｘ軸方向に延在する缶材２ａ，２ｂと、Ｙ軸方向に延在する缶材２ｃ，２ｄとを各々連結させることで形成される矩形状の枠体の内側を、複数の缶材で補強することにより構成される。
【００１８】
支持架台３は、ベースフレーム２の四隅をそれぞれ支持する脚部３ａと、脚部３ａ同士を連結して補強する連結部３ｂとから構成される。なお、脚部３ａとベースフレーム２との間には、空気バネやバネなどの弾性材による除振機構が設けられている。
【００１９】
ガイドレール４は、缶材２ｃ，２ｄの上面に各々設けられ、Ｙ軸方向に延在する。また、永久磁石６は、缶材２ｃ，２ｄの上面においてガイドレール４よりも外側の位置に隣接して設けられ、Ｙ軸方向に延在する。この永久磁石６は、Ｙ軸方向にＳ極とＮ極の所定パターンが繰り返されているものである。
【００２０】
ガイドレール４及び永久磁石６の上方には、Ｘ軸方向に延びるガントリ部９の両側の下部に連結された連結板１１が配置されており、この連結板１１の下面には、案内スライダ７と電磁石８が各々隣接して設けられている。電磁石８は、永久磁石６のＳ極とＮ極のパターンにあわせて磁極を変化させ、永久磁石６との間で反発力を発生させることによってガントリ部９をガイドレール４で案内しながらＹ軸方向に移動させることができる。
【００２１】
ガントリ部９は、Ｘ軸方向に延びる支持部９ａ、リニアモータ部９ｂ及び移動部９ｃを備える。移動部９ｃは、リニアモータ部９ｂにより当該リニアモータ部９ｂに沿ってＸ軸方向へ移動可能とされている。そして、この移動部９ｃに所定の処理装置を付設することで、処理装置がＸ軸方向に移動し所定の処理が実行される。
【００２２】
図２に示すように、ステージ装置１のベースフレーム２上には、液晶パネルなどを載置するためのワーク定盤１５が設置される。ベースフレーム２において、ワーク定盤１５が載置される領域を載置領域２ｅとする。この載置領域２ｅは、ベースフレーム２よりＸ軸方向及びＹ軸方向において小とされている。なお、ステージ装置１が輸送車で輸送される際、このワーク定盤１５が設置された状態で輸送車に積載される。
【００２３】
ここで、特に本実施形態においては、図３に示すように、ベースフレーム２、ガイドレール４、永久磁石６及びワーク定盤１５は、Ｙ軸方向と直交する分割面１２ａで分割され、支持架台３は分割面１２ｂで分割される。そして、分割されたベースフレーム２、支持架台３、ガイドレール４、永久磁石６及びワーク定盤１５は、分割面１２ａ，１２ｂでボルト等によって連結される。このように、ベースフレーム２、支持架台３、ガイドレール４、永久磁石６及びワーク定盤１５はＹ軸方向に分割可能に構成されているため、ステージ装置１は本体部１ａと分割部１ｂに分割可能に構成されることになる。なお、分割面１２ａ，１２ｂは、本体部１ａが輸送車に積載可能な大きさとなるような位置に形成される。なお、分割面１２ａ，１２ｂの周辺には、ベースフレーム２を支持する脚部が、ベースフレーム２と支持架台３との間に設けられている。
【００２４】
ここで、図４を用いて分割された本体部１ａと分割部１ｂを連結させる方法について説明をする。図４は、組立時のステージ装置１を示す側面図である。
【００２５】
図４に示すように、先ず支持架台３における分割面１２ｂの下部を補助脚部材１３で支持し、支持架台３とベースフレーム２との間に補助脚部材１４を配置して、ベースフレーム２における分割面１２ａの下部を支持する。
【００２６】
次いで、補助脚部材１３，１４により、分割面１２ｂ，１２ａの下部を支持した状態で、分割されたベースフレーム２、支持架台３、ガイドレール４、永久磁石６及びワーク定盤１５、すなわち、本体部１ａと本体部１ｂをボルト等で連結する。なお、ボルトで連結する前段階では、それぞれの部材同士が分割面１２ａ，１２ｂでずれを生じないように位置調整を行う。
【００２７】
このように、本実施形態に係るステージ装置１では、Ｙ軸方向にベースフレーム２を分割することによって、分割して輸送車に積載することができる。これによって、ステージ装置１の大型化を図った場合であっても特殊車両を用いることなく輸送が可能となる。また、ベースフレーム２を構成する缶材を機械加工する際も、分割された部分ごとに行うことができるため、容易に機械加工を行うことができる。
【００２８】
また、例えば、支持架台３を分割することを避けてステージ装置１を分割した場合、大きく分割できない場合があり、ベースフレーム２のＹ軸方向の両端側の２箇所で分割しなくては輸送車に積載できない場合がある。この場合には、組立時においてベースフレーム２の両側の分割箇所で位置調整を行う必要がある。しかしながら、本実施形態に係るステージ装置１では、支持架台３を分割することが可能なため、大きく分割することも可能となるので、分割箇所は一箇所で良く、この分割により、輸送が可能となると共に、組立時において、一箇所の分割箇所で位置調整を行うのみでよく、組み立てが容易となる。
【００２９】
また、分割されたステージ装置１を連結する際に、補助脚部材１３，１４がベースフレーム２及び支持架台３における分割面１２ｂ，１２ａの下部を支持することとなるため、本体部１ａと分割部１ｂを容易に連結することができ、これによって容易にステージ装置１の組み立てを行うことができる。
【００３０】
なお、ここでは、ガントリ部９がＹ軸方向に移動し、移動部９ｃがＸ軸方向に移動する２軸タイプのステージ装置に対する適用を述べているが、ガントリ部のみが移動する１軸タイプにも適用可能である。
【００３１】
また、ガントリ部や移動部の移動は、接触タイプ、非接触タイプの何れであってもよい。
【００３２】
［第２の実施形態］
図５は、本発明の第２の実施形態に係るステージ装置２１の側面図である。この第２の実施形態が第１の実施形態と違う点は、第１の実施形態の支持架台３と異なる支持架台２３を用いた点である。
【００３３】
図５に示すように、支持架台２３は、連結部により連結されることなく、複数本の脚部２３ａのみで構成されている。また、脚部２３ａのうちの数本は、ベースフレーム２の隅を支持する代わりに、ベースフレーム２における分割面１２ａの下部を支持する構成とされている。
【００３４】
このような第２の実施形態によれば、分割されたステージ装置２１を連結する際に、脚部２３ａが、ベースフレーム２における分割面１２ａの下部を支持することとなるため、補助脚部材を用いることなく、容易にステージ装置２１の組み立てを行うことができる。
【００３５】
また、支持架台２３が、各々独立な脚部２３ａのみで構成されているため、輸送時において、ステージ装置２１を、分割されたベースフレーム２、ガイドレール４、永久磁石６及びワーク定盤１５からなるユニットと、支持架台２３であるそれぞれの脚部２３ａとに更に分けて積載することができる。これによって、ステージ装置２１を更に細かく分割することができる。
【００３６】
［第３の実施形態］
図６は、本発明の第３の実施形態に係るステージ装置３１の側面図である。この第３の実施形態が第１の実施形態と違う点は、第１の実施形態の分割面１２ａ，１２ｂと異なる位置に分割面を形成した点である。
【００３７】
図６に示すように、分割面４２ａ，４２ｂ，４３ａ，４３ｂは、ベースフレーム２におけるワーク定盤１５が載置される載置領域２ｅを除く領域に形成されている。すなわち、分割面４２ａ，４２ｂ，４３ａ，４３ｂは、ワーク定盤１５のＹ軸方向の両端よりも外側の位置に各々形成されている。なお、分割面４２ａ，４２ｂ，４３ａ，４３ｂの周辺には、ベースフレーム２を支持する脚部が、ベースフレーム２と支持架台３との間に設けられている（図示せず）。
【００３８】
このように、第３の実施形態よれば、ワーク定盤１５を分割することなくステージ装置３１を分割できる。
【００３９】
以上、本発明をその実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、例えば、分割面１２ａ，１２ｂ，４２ａ，４２ｂ，４３ａ，４３ｂを、図７（ａ）に示すように、上下方向に沿って凹凸が並ぶインロー型の分割面５０としてもよく、また、図７（ｂ）に示すように、傾斜する分割面５１としても良い。
【００４０】
なお、図６の第３の実施形態では、載置領域２ｅを分割しないようにしているが、第１，第２の実施形態にあっても、載置領域２ｅを分割しないことも可能である。
【００４１】
なお、図４の第１の実施形態では、脚部３ａをベースフレーム２の四隅に配置しているが、分割面１２ａで分割する位置に一組配置してもよく、この位置に配置した脚部３ａによって分割面１２ａを下方から支持し、補助脚部材１３，１４を用いない構成としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るステージ装置を示す斜視図である。
【図２】図１に示すステージ装置にワーク定盤をセットした斜視図である。
【図３】図１に示すステージ装置の側面図である。
【図４】組立時のステージ装置を示す側面図である。
【図５】本発明の第２の実施形態に係るステージ装置の側面図である。
【図６】本発明の第３の実施形態に係るステージ装置の側面図である。
【図７】他の分割面を示す図であり、（ａ）は分割面をインロー型とした場合を示し、（ｂ）は分割面を傾斜面とした場合を示す図である。
【符号の説明】
【００４３】
１，２１，３１…ステージ装置、２…ベースフレーム（基台）、２ｅ…載置領域、３，２３…支持架台、３ａ，２３ａ…脚部、９…ガントリ部、１２ａ，１２ｂ，４２ａ，４２ｂ，４３ａ，４３ｂ，５０，５１…分割面、１３，１４…補助脚部材、１５…ワーク定盤（ワーク）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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