(57)【要約】【課題】安定な記録再生が行える磁気記録媒体を提供する。【解決手段】プリアンブル領域およびバースト領域を含み磁性体のマークが形成されたサーボ領域と、磁性体のディスクリートトラックが形成されたデータ領域とを有し、前記バースト領域は信号部と非信号部とを含み、信号部にトラック方向に沿って周期的なパターンで平面形状が矩形となる磁性体の矩形マークが形成され、非信号部にトラック方向に沿って周期的なパターンで平面形状が矩形となる磁性体の矩形マークが形成されており、非信号部における磁性体の矩形マークの周期は信号部における磁性体の矩形マークの周期と異なっており、信号部の矩形マークと非信号部の矩形マークのトラックを交差する方向のサイズが略一致し、かつ信号部と非信号部とで磁性体パターンの面積比率が略一致していることを特徴とする磁気記録媒体。【選択図】      図４
2008084535.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プリアンブル領域およびバースト領域を含み磁性体のマークが形成されたサーボ領域と、前記磁性体のディスクリートトラックが形成されたデータ領域とを有し、前記バースト領域は信号部と非信号部とを含み、前記信号部にトラック方向に沿って周期的なパターンで平面形状が矩形となる前記磁性体の矩形マークが形成され、前記非信号部にトラック方向に沿って周期的なパターンで平面形状が矩形となる前記磁性体の矩形マークが形成されており、前記非信号部における前記磁性体の前記矩形マークの周期は前記信号部における前記磁性体の前記矩形マークの周期と異なっており、信号部の矩形マークと非信号部の矩形マークのトラックを交差する方向のサイズが略一致し、かつ信号部と非信号部とで磁性体パターンの面積比率が略一致していることを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項２】
前記磁性パターン間に保護膜が充填されていることを特徴とする請求項１に記載の磁気記録媒体。
【請求項３】
基板上に磁性膜を堆積し、前記磁性膜上にレジストを塗布し、
前記レジストにインプリント原盤を押し付けて、前記レジストに請求項１に記載の磁気記録媒体の前記サーボ領域および前記データ領域のパターンに対応する凹凸パターンをインプリントし、
インプリント後の前記レジストをマスクとして前記磁性膜を加工する
ことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
【請求項４】
請求項１または２に記載の磁気記録媒体と、
前記磁気記録媒体に対して記録再生を行う磁気ヘッドと
を有することを特徴とする磁気記録再生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は磁気記録媒体およびその製造方法ならびにこの磁気記録媒体を用いた磁気記録再生装置に関し、特にインプリントリソグラフィー技術を適用したものに関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気記録再生装置では、大容量化の要求に応じて、磁気記録媒体の記録密度を増加させる必要がある。高い記録密度を有する磁気記録媒体では、磁気ヘッドによってあるトラックにデータを記録する際に、隣接するトラックに記録されたデータに悪影響が及ぶ可能性が高くなる。この問題を解決するために、トラック幅方向において互いに物理的に分離された磁性体でトラックを形成した磁気記録媒体（ディスクリートトラック媒体）が提案されている（たとえば特許文献１参照）。
【０００３】
また、磁気記録再生装置では、磁気記録媒体のサーボ領域からサーボデータを読み取って磁気ヘッドの位置決めを行う。現状の磁気記録媒体ではサーボライタを用いて磁性膜に磁気記録することによりサーボ領域を形成している。これに対して、ディスクリートトラック媒体では、サーボ領域においても磁性膜を加工した磁性体パターンを形成することが好ましい。このような磁気記録媒体はいわゆるパターンドメディアであり、インプリントリソグラフィー法を利用して製造することが好ましい。ここで、磁性パターンのサイズが約５００ｎｍ以下になると、フォトリソグラフィーを用いた磁性体の加工が困難になる。また、電子線リソグラフィーを用いれば５００ｎｍ以下のサイズの微細構造を形成することはできるが、描画速度が遅いためスループットが低い。これに対して、インプリントリソグラフィー法では、高スループットでパターンドメディアを作製できるという利点がある。
【０００４】
インプリントリソグラフィー法を利用した磁気記録媒体（パターンドメディア）の製造方法について説明する。まず、たとえば以下のような方法により、磁気記録媒体上の磁性体パターンと逆パターンの凸部を有するインプリントスタンパを作製する。原盤上に電子線レジストを塗布し、電子線により所定のパターンを描画し、現像して電子線レジストの凹凸パターンを形成する。電子線レジストの凹凸パターンを形成した原盤に対して電鋳処理を行い、電鋳により形成された金属ディスクを剥離してインプリントスタンパを作製する。次に、たとえば以下のようなインプリントリソグラフィー法により磁気記録媒体を作製する。基板上に磁性膜を製膜し、レジストを塗布する。レジストにインプリントスタンパを押し付けて、インプリントスタンパ表面の凹凸をレジスト表面に転写する。インプリントスタンパを取り外した後、凹凸が転写されたレジストをマスクとして磁性膜を加工し、所望の磁性体パターンが形成された磁気記録媒体（パターンドメディア）を製造する。
【０００５】
上記のようにインプリントリソグラフィー法を用いれば、電子線リソグラフィーを利用して作製したインプリントスタンパを多数回にわたってインプリント工程に使用することができ、しかもインプリント工程のスループットが高いので、媒体の製造コストを低減できる。しかも、サーボ領域の磁性体パターンとデータ領域のディスクリートトラックを一括して形成することにより、サーボ領域とディスクリートトラックとの位置精度の向上が期待できる。なお、記録密度を向上させるためには、垂直磁気記録媒体の製造に適用することが有利である。
【０００６】
しかし、インプリントリソグラフィー法により磁気記録媒体を作製した場合、サーボ領域のパターンによっては形成される磁性膜の厚みにばらつきが生じ、その結果として記録再生が不安定になるという問題があることがわかってきた。
【特許文献１】特開昭６２−２５６２２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、磁性膜の厚みのばらつきが少なく、安定な記録再生が行える磁気記録媒体、このような磁気記録媒体を製造するための方法、およびこの磁気記録媒体を用いた磁気記録再生装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様に係る磁気記録媒体は、プリアンブル領域およびバースト領域を含み磁性体のマークが形成されたサーボ領域と、前記磁性体のディスクリートトラックが形成されたデータ領域とを有し、前記バースト領域は信号部と非信号部とを含み、前記信号部にトラック方向に沿って周期的なパターンで平面形状が矩形となる前記磁性体の矩形マークが形成され、前記非信号部に前記信号部の前記矩形マークのパターンと異なるパターンで前記磁性体のマークが形成されていることを特徴とする。
【０００９】
本発明の他の態様に係る磁気記録媒体の製造方法は、基板上に磁性膜を堆積し、前記磁性膜上にレジストを塗布し、前記レジストにインプリント原盤を押し付けて、前記レジストに前記の磁気記録媒体の前記サーボ領域および前記データ領域のパターンに対応する凹凸パターンをインプリントし、インプリント後の前記レジストをマスクとして前記磁性膜を加工することを特徴とする。
【００１０】
本発明のさらに他の態様に係る磁気記録再生装置は、前記の磁気記録媒体と、前記磁気記録媒体に対して記録再生を行う磁気ヘッドとを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の実施形態に係る磁気記録媒体では、バースト領域の非信号部に磁性体のマークを形成したことにより、サーボ領域とデータ領域との間で磁性体パターンの面積比率の差が小さくなっている。この磁気記録媒体を製造するために用いるインプリントスタンパにおいても部位間での凸部の面積比率の差が小さくなっている。このため、インプリント後にレジスト残渣の厚みの差を抑えることができ、このレジストをマスクとして磁性膜をエッチングすることにより、ほぼ均一な厚みの磁性体パターンを形成することができる。したがって、本発明の実施形態に係る磁気記録媒体では安定な記録再生が行える。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態に係る磁気記録媒体を説明するが、本発明と対比される技術についても説明する。 
図１にインプリントリソグラフィー法を用いて製造することが想定される磁気記録媒体（ディスクリートトラック媒体）の平面図を示す。図１に示されるように、この磁気記録媒体は、磁性体のマークが形成されたサーボ領域１と、磁性体のディスクリートトラックが形成されたデータ領域２を有する。サーボ領域１はプリアンブル領域１１、アドレス領域１２、バースト領域（位置決めバースト領域）１３を含む。なお、磁性体のマーク以外の部分には非磁性体を充填してもよいし空隙としてもよい。以下においては、磁性体のマークの間に非磁性体が充填されているものとして説明する。また、垂直磁気記録媒体においては、磁性体のマークは予め垂直方向に磁化される。
【００１３】
プリアンブル領域１１は、アドレス領域１２およびバースト領域１３よりも前に磁気ヘッド５０によって読み出され、信号アンプの増幅率を調整して振幅を一定にするために用いられる。プリアンブル領域１１は、磁気ヘッド５０がどのトラック位置にあっても同様の信号が得られるように、トラック幅方向に延びる複数の磁性体の線状マークを並べたパターンをなしている。
【００１４】
アドレス領域１２は、トラックデータおよびセクタデータを持っている。トラックデータは、シーク中であっても磁気ヘッド５０が読み取ることができるように、グレイコードとなっている。
【００１５】
バースト領域１３は、磁気ヘッド５０を所定のトラックの中心へ移動させるために設けられている。バースト領域１３は、磁性体の矩形マークとその間の非磁性体とがトラック方向に沿って等間隔で形成された信号部１３ａと、磁性体マークがなく非磁性体のみからなる非信号部１３ｂを含む。このバースト領域１３は、サーボライタを用いて磁気記録されている現状の磁気記録媒体におけるバースト領域と同様のパターンを有している。信号部１３ａにはトラックの中心からの相対位置が互いに異なるバーストＡ〜バーストＤが含まれる。磁気ヘッド５０がバースト領域１３をトレースしたとき、磁気ヘッド５０のトラック中心からのずれに応じて再生信号の強度が変化する。すなわち、磁気ヘッド５０の中心とトラックの中心とが一致していれば、バーストＡとバーストＢから得られる信号強度は等しい。一方、たとえば磁気ヘッド５０がバーストＡ方向に変位していればバーストＡからの信号強度が強くバーストＢからの信号強度が弱くなる。したがって、バースト領域からの再生信号によってトラックの中心に対するヘッド位置を計算することができ、ヘッド位置をフィードバック制御することにより磁気ヘッド５０をトラックの中心に移動させることができる。
【００１６】
ここで、図１に示される磁気記録媒体の各領域における磁性体の面積比率の一例を示す。プリアンブル領域１１では磁性体の線状マークとその間の非磁性体とがトラック方向に沿って等間隔で形成されているので、磁性体マークの面積比率は約５０％である。アドレス領域１２ではアドレスの値によってパターンが異なるので、磁性体マークの面積比率はアドレスによって異なる。バースト領域１３では磁性体の矩形マークとその間の非磁性体とがトラック方向に沿って等間隔で形成された信号部１３ａと磁性体マークがなく非磁性体のみからなる非信号部１３ｂが形成されているので、磁性体マークの面積比率は約２５％となる。また、データ領域２における磁性体のディスクリートトラックの面積比率は約６７％に設定されている。
【００１７】
このように、図１図示の磁気記録媒体では、磁性体マークの面積比率は、プリアンブル領域１１で約５０％、バースト領域１３で約２５％、データ領域２で約６７％となっている。図１の構造を有する磁気記録媒体をインプリントリソグラフィー法により製造する場合、媒体の磁性体部分に対応する凹部と非磁性体部分に対応する凸部とが形成されたインプリントスタンパを用いる。したがって、上記の磁気記録媒体の製造に使用されるインプリントスタンパでは、凸部の面積比率が媒体上の磁性体パターンの面積比率と逆になり、プリアンブル部で約５０％、バースト部で約７５％、データ部で約３３％となる。なお、インプリントスタンパは上述したようにたとえば電子線リソグラフィーを含む方法によって作製されるので、凸部の高さはどの領域でも一定である。
【００１８】
図２（ａ）〜（ｄ）を参照して、このようなインプリントスタンパを用いて図１の構造を有する磁気記録媒体を製造する場合に生じうる問題点について説明する。問題点を明確にするために、図２（ａ）〜（ｄ）にはインプリントスタンパ２０における互いに凸部の面積比率が大きく異なっている隣接した２つの領域を示している。
【００１９】
図２（ａ）は、基板３１上に製膜された磁性膜３２上にレジスト３３を塗布し、レジスト３３に対向してインプリントスタンパ２０を配置した状態を示している。このインプリントスタンパ２０では、凸部の面積比率が左側の領域で小さく、右側の領域で大きくなっている。
【００２０】
図２（ｂ）は、圧力を加えてインプリントスタンパ２０をレジスト３３に押し付けるインプリント工程の初期段階を示している。インプリントスタンパ２０の凸部がレジスト３３中に押し込まれ、凸部によって押しのけられたレジストがインプリントスタンパ２０の凹部に入り込む。図２（ｂ）の右側のように凸部の面積比率が大きい領域では、この段階でインプリントスタンパ２０の凹部が押しのけられたレジストによって埋め尽くされる。レジストは粘度が高く、インプリントの際に長距離を移動することができない。このため、この状態からさらに圧力を加えても、右側の領域では凸部をレジスト中へ押し込んでインプリント深度を深くすることはできなくなる。一方、図２（ｂ）の左側のように凸部の面積比率が小さい領域では、凸部によって押しのけられるレジストの量が少なく、インプリントスタンパ２０の凹部は押しのけられたレジストによってまだ埋め尽くされていない。したがって、この状態からさらに圧力を加えると、左側の領域ではインプリントスタンパ２０の凸部をレジスト中へ押し込むことができる。
【００２１】
図２（ｃ）は、インプリント工程の最終段階を示している。この図に示されるように、右側の領域では図２（ｂ）と状態が変わらないが、左側の領域では図２（ｂ）の状態からさらに凸部がレジスト中に押し込まれてインプリント深度が増している。その結果、インプリントスタンパ２０の右側の領域と左側の領域との間の中間領域に歪みが生じる。この段階では、左側の領域でも、インプリントスタンパ２０の凹部が押しのけられたレジストによって埋め尽くされている。このため、この状態からさらに圧力を加えても、どの領域においても凸部をレジスト中へ押し込むことはできない。このように、それ以上インプリント深度を増すことができなくなった時点でインプリントを終了する。
【００２２】
図２（ｄ）は、インプリント終了後に、インプリントスタンパ２０を取り去った状態を示している。上述したように、インプリントスタンパ２０の右側の領域と左側の領域でインプリント深度が異なっていたので、磁性膜３２上に残るレジスト残渣の厚みも右側の領域と左側の領域で異なっている。
【００２３】
この状態で凹凸が転写されたレジスト３３をマスクとしてエッチング処理を行い、磁性膜３２を加工すると、レジスト残渣の違いに起因して磁性膜３２の加工膜厚にムラが生じる。すなわち、図２（ｄ）の左側の領域ではレジスト残渣の厚みｔ１が薄いため磁性膜３２のエッチング深さが相対的に深いのに対し、図２（ｄ）の右側の領域ではレジスト残渣の厚みｔ２が厚いため磁性膜３２のエッチング深さが相対的に浅くなる。
【００２４】
より具体的に数値を示すと、上述したように図１の構造を有する磁気記録媒体をインプリントリソグラフィー法により製造する場合、図３（ａ）に示すように凸部の面積比率がプリアンブル部２０ａで約５０％、バースト部２０ｂで約７５％、データ部２０ｃで約３３％となっているインプリントスタンパ２０を用いる。なお、簡略化のために、インプリントスタンパ２０には凸部のパターンを図示していない。また、アドレス領域の占有面積はプリアンブル領域、バースト領域、データ領域に比べて小さく、アドレス領域におけるインプリント深度は周囲のプリアンブル領域またはバースト領域のインプリント深度に近いレベルになるため、アドレス領域は図示していない。
【００２５】
この場合、プリアンブル部２０ａ、バースト部２０ｂおよびデータ部２０ｃにおけるインプリントスタンパ２０の凸部のレジスト３３へのインプリント深度は図３（ｂ）に示すようになる。すなわちインプリント深度は、凸部の面積比率に応じて、データ部２０ｃで最も深く、バースト部２０ｂで最も浅く、プリアンブル部２０ａでは両者の中間のレベルになる。この結果、レジスト残渣の厚さは、データ領域で最も薄く、バースト領域で最も厚く、プリアンブル領域では両者の中間のレベルになる。
【００２６】
この状態で凹凸が転写されたレジスト３３をマスクとしてエッチング処理を行うと、磁性膜３２のエッチング深さは、データ領域で最も深く、バースト領域で最も浅く、プリアンブル領域では両者の中間のレベルになる。したがって、エッチング後の磁性膜３２の厚さは、データ領域で最も薄く、バースト領域で最も厚く、プリアンブル領域では両者の中間のレベルになる。このように磁性膜３２の厚みにばらつきのある磁気記録媒体では、磁性膜３２の厚みに応じて信号強度や記録特性が異なるため、安定な記録再生が困難になる。
【００２７】
これに対して、本発明の実施形態に係る磁気記録媒体では、バースト領域の非信号部に磁性体のマークが形成されている。このようにバースト領域の非信号部に磁性体のマークを形成することによって、サーボ領域（プリアンブル領域およびバースト領域）とデータ領域との間で磁性体パターンの面積比率の差をできるだけ小さくすることが好ましい。たとえば、バースト領域における磁性体パターンの面積比率を、プリアンブル領域およびデータ領域における面積比率の中間の値とすることが好ましい。
【００２８】
第１の実施形態
図４は、本実施形態に係る磁気記録媒体の平面図である。図４に示されるように、この磁気記録媒体は、磁性体のマークが形成されたサーボ領域１と、磁性体のディスクリートトラックが形成されたデータ領域２を有する。サーボ領域１はプリアンブル領域１１、アドレス領域１２、バースト領域１３を含む。
【００２９】
プリアンブル領域１１では磁性体の線状マークとその間の非磁性体とがトラック方向に沿って等間隔で形成されているので、磁性体マークの面積比率は約５０％である。アドレス領域１２ではアドレスの値によってパターンが異なるので、磁性体マークの面積比率はアドレスによって異なる。データ領域２における磁性体のディスクリートトラックの面積比率は約６７％に設定されている。これらの領域は、図１における対応する領域と同じである。
【００３０】
図４のバースト領域１３は、信号部１３ａと非信号部１３ｃとを含み、信号部１３ａおよび非信号部１３ｃのトラック方向の長さは同じである。信号部１３ａには４個の磁性体の矩形マークとその間の非磁性体とがトラック方向に沿って等間隔で形成されている。信号部１３ａにはトラックの中心からの相対位置が互いに異なるバーストＡ〜バーストＤが含まれる。この信号部１３ａも、図１における信号部と同じである。一方、非信号部１３ｃには１１個の磁性体の矩形マークとその間の非磁性体とがトラック方向に沿って等間隔で形成されている。非信号部１３ｃにおける磁性体の矩形マークの周期は信号部１３ａにおける磁性体の矩形マークの周期と異なっている。このバースト領域１３では、信号部１３ａでも非信号部１３ｃでも磁性体の矩形マークとその間の非磁性体とがトラック方向に沿って等間隔で形成されているので、磁性体パターンの面積比率は約５０％である。
【００３１】
このように、図４図示の磁気記録媒体では、磁性体マークの面積比率は、プリアンブル領域１１で約５０％、バースト領域１３で約５０％、データ領域２で約６７％となっており、面積比率の差が比較的小さい。上記の磁気記録媒体の製造に使用されるインプリントスタンパでは、凸部の面積比率が、プリアンブル部で約５０％、バースト部で約５０％、データ部で約３３％となる。このインプリントスタンパは部位間での凸部の面積比率の差が小さいので、インプリント後にレジスト残渣の厚みの差を抑えることができ、このレジストをマスクとして磁性膜をエッチングすることにより、ほぼ均一な厚みの磁性体パターンを形成することができる。
【００３２】
本発明の実施形態に係る磁気記録媒体と通常の磁気ヘッドとを用いて磁気記録再生装置を作製して記録再生を行うことができる。記録再生時に図４図示の磁気記録媒体から得られるバースト信号について説明する。上述したように、バースト領域１３の信号部１３ａには４個の磁性体の矩形マークが並び、非信号部１３ｃには１１個の磁性体の矩形マークが並んでおり、２つの領域で矩形マークの周期が異なっている。この場合、信号部１３ａから得られる信号の周波数は４ｘ（ｘは定数）Ｈｚ、非信号部１３ｃから得られる信号の周波数は１１ｘＨｚとなる。このため、非信号部１３ｃからの周波数成分の信号を除去して、信号部１３ａからの周波数成分の信号を取り出すことができる。
【００３３】
さらに、上述したように、本発明の実施形態に係る磁気記録媒体ではほぼ均一な厚みの磁性体パターンが形成されているので、安定な記録再生が行える。
【００３４】
第２の実施形態
図５は、本実施形態に係る磁気記録媒体のバースト領域の平面図である。図５のバースト領域１３では、非信号部１３ｃにトラック方向に平行な複数の磁性体の線状マークが形成されている。それ以外の構造は図４と同様である。なお、図５の非信号部１３ｃにおける線状マークのトラック幅方向の周期は特に限定されない。この場合、線状マークの幅と線状マーク間の非磁性体の幅との比を３：１に設定しているので、非信号部１３ｃにおける磁性体パターンの面積比率は約７５％である。したがって、バースト領域１３における磁性体パターンの面積比率は約６３％となる。
【００３５】
図５図示の磁気記録媒体では、磁性体マークの面積比率は、プリアンブル領域１１で約５０％、バースト領域１３で約６３％、データ領域２で約６７％となっており、面積比率の差が比較的小さい。したがって、この実施形態でも第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００３６】
第３の実施形態
図６は、本実施形態に係る磁気記録媒体のバースト領域の平面図である。図６のバースト領域１３では、非信号部１３ｃに複数の磁性体のドットマークが形成されている。また、非信号部１３ｃにおける磁性体のドットマークの周期は信号部１３ａにおける磁性体の矩形マークの周期と異なっている。それ以外の構造は図４と同様である。なお、図６の非信号部１３ｃにおけるドットマークのトラック幅方向の周期は特に限定されない。この場合、ドットマークの幅とドットマーク間の非磁性体の幅との比を、トラック方向で３：１、トラック幅方向で３：１に設定しているので、非信号部１３ｃにおける磁性体パターンの面積比率は約５６％である。したがって、バースト領域１３における磁性体パターンの面積比率は約５４％となる。
【００３７】
図６図示の磁気記録媒体では、磁性体マークの面積比率は、プリアンブル領域１１で約５０％、バースト領域１３で約５４％、データ領域２で約６７％となっており、面積比率の差が比較的小さい。また、非信号部１３ｃにおける磁性体のドットマークの周期は信号部１３ａにおける磁性体の矩形マークの周期と異なっているので、非信号部１３ｃからの周波数成分の信号を除去して、信号部１３ａからの周波数成分の信号を取り出すことができる。したがって、この実施形態でも第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００３８】
なお、図４〜図６において、バースト領域１３の非信号部１３ｃにおける磁性体マークの幅とマーク間の非磁性体の幅を適切に設定することにより、バースト領域１３全体の磁性体パターンの面積比率を調整できる。
【００３９】
また、バースト領域１３の非信号部１３ｃの構造は図４〜図６に示したものに限定されるわけではない。たとえば、バースト領域１３の非信号部１３ｃの全面に磁性体を有するものでもよい。この場合、バースト領域１３全体の磁性体パターンの面積比率は約７５％となる。
【００４０】
次に、図７（ａ）〜（ｇ）を参照して本発明の実施形態に係る磁気記録媒体の製造方法を説明する。
【００４１】
まず、以上のようにしてインプリントスタンパを作製する。図７（ａ）に示すように、原盤２１上に電子線レジスト２２を塗布する。原盤２１にはシリコンまたはガラスを用いることが好ましい。図７（ｂ）に示すように、電子線レジスト２２に電子線で直接描画した後、現像して電子線レジスト２２に凹凸パターンを形成する。図７（ｃ）に示すように、電子線レジスト２２の凹凸パターンを形成した原盤２１に対して電鋳処理を行い、電鋳により形成された金属ディスクを剥離してインプリントスタンパ２０を作製する。スタンパの材料としてはＮｉが好ましいが、これに限定されない。
【００４２】
インプリントスタンパ２０表面にはたとえば図４に示した磁気記録媒体の磁性体パターンと逆のパターンをなす凸部パターンを形成するようにする。この場合、インプリントスタンパ２０上の凸部パターンの面積比率を、プリアンブル部で約５０％、バースト部で約５０％、データ部で約３３％とする。
【００４３】
なお、図７（ｂ）の後に、形成されたレジストパターンをマスクとして原盤２１をエッチングし、レジストの凹凸パターンを原盤２１に転写することによってインプリントスタンパを作製してもよい。
【００４４】
次に、以下のようにインプリントリソグラフィー法を用いて磁気記録媒体を作製する。図７（ｄ）に示すように、基板３１上に垂直記録に適した材料からなる磁性膜３２を製膜する。この場合、磁性膜３２として軟磁性下地膜と強磁性記録膜とを形成し、垂直二層膜媒体とすることが好ましい。この磁性膜３２上にインプリント用のレジスト３３を塗布する。図７（ｅ）に示すように、基板３１上のレジスト３３にスタンパ２０を対向させ、圧力をかけてレジスト３３にスタンパ２０を押し付けてスタンパ２０表面の凸部パターンをレジスト３３表面に転写する。その後、スタンパ２０を取り外す。図７（ｆ）に示すように、凹凸パターンが形成されたレジスト３３をマスクとして磁性膜３２をエッチングすることにより、磁性膜３２を加工する。この結果、図４に示すような磁性体パターンが形成される。このとき、磁性体パターンの面積比率は、プリアンブル領域で約５０％、バースト領域で約５０％、データ領域で約６７％となる。図７（ｇ）に示すように、磁性膜３２上にカーボン保護膜３４を設け、さらに潤滑剤を塗布することにより、磁気記録媒体を作製する。
【００４５】
上記のインプリントスタンパ２０のように部位間での凸部パターンの面積比率の差が小さいものを用いた場合、インプリント後にレジスト残渣の厚みの差を抑えることができ、このレジストをマスクとして磁性膜をエッチングすることにより、ほぼ均一な厚みの磁性体パターンを形成することができる。
【００４６】
図８（ａ）に図４に示す磁性体パターンを有する磁性膜の断面を示し、図８（ｂ）に図１に示す磁性体パターンを有する磁性膜の断面を示す。図８（ａ）の場合（本発明）、インプリントスタンパの部位間での凸部パターンの面積比率の差が小さく、媒体上のどの位置においてもインプリント後のレジスト残渣の膜厚がほぼ均一になるため、加工後の磁性膜３２の膜厚もほぼ均一になっている。一方、図８（ｂ）の場合（比較例）、インプリントスタンパの部位間での凸部パターンの面積比率の差が大きく、媒体上の位置によってインプリント後のレジスト残渣の膜厚が不均一になるため、加工後の磁性膜３２の膜厚も不均一になっている。図８（ｂ）の媒体を使用するとヘッドの振動や記録失敗などの問題が生じるが、図８（ａ）の媒体ではこのような問題は生じない。
【００４７】
次に、図９を参照して、本発明の実施形態に係る磁気記録再生装置について説明する。磁気記録再生装置１５０は、ロータリーアクチュエータを用いた形式の装置である。同図において、図４〜図６に示すような磁性体パターンを有する磁気ディスク３０は、スピンドル１５２に装着され、図示しない駆動装置制御部からの制御信号に応答する図示しないモータにより矢印Ａの方向に回転する。磁気記録再生装置１５０は、複数の磁気ディスク３０を備えていてもよい。
【００４８】
磁気ディスク３０に格納する情報の記録再生を行うヘッドスライダ１５３は、薄板状のサスペンション１５４の先端に取り付けられている。サスペンション１５４は、図示しない駆動コイルを保持するボビン部などを有するアクチュエータアーム１５５の一端に接続されている。アクチュエータアーム１５５の他端には、リニアモータの一種であるボイスコイルモータ１５６が設けられている。ボイスコイルモータ１５６は、アクチュエータアーム１５５のボビン部に巻き上げられた図示しない駆動コイルと、このコイルを挟み込むように対向して配置された永久磁石および対向ヨークからなる磁気回路とから構成される。アクチュエータアーム１５５は、ピボット１５７の上下２箇所に設けられた図示しないボールベアリングによって保持され、ボイスコイルモータ１５６により回動自在になっている。
【００４９】
磁気ディスク３０が回転すると、ヘッドスライダ１５３の媒体対向面（ＡＢＳ）は磁気ディスク３０の表面から所定の浮上量をもって保持される。なお、スライダが磁気ディスク３０と接触するいわゆる「接触走行型」であってもよい。
【００５０】
本発明の実施形態に係る磁気記録再生装置では、磁気ディスク３０の磁性膜がほぼ均一な膜厚で形成されているので、安定な記録再生が行える。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】インプリントリソグラフィー法を用いて製造することが想定されるディスクリートトラック媒体の平面図。
【図２】図１のディスクリートトラック媒体を製造する場合に生じうる問題点を説明するための断面図。
【図３】図１のディスクリートトラック媒体を製造する場合に生じうる問題点を説明するための断面図。
【図４】第１の実施形態に係る磁気記録媒体の平面図。
【図５】第２の実施形態に係る磁気記録媒体のバースト領域の平面図。
【図６】第３の実施形態に係る磁気記録媒体のバースト領域の平面図。
【図７】本発明の実施形態に係る磁気記録媒体の製造方法を示す断面図。
【図８】図４に示す磁性体パターンを有する磁性膜の断面図、および図１に示す磁性体パターンを有する磁性膜の断面図。
【図９】本発明の実施形態に係る磁気記録再生装置の斜視図。
【符号の説明】
【００５２】
１…サーボ領域、２…データ領域、１１…プリアンブル領域、１２…アドレス領域、１３…バースト領域、１３ａ…信号部、１３ｂ、１３ｃ…非信号部、２０…インプリントスタンパ、２０ａ…プリアンブル部、２０ｂ…バースト部、２０ｃ…データ部、２１…原盤、２２…電子線レジスト、３１…基板、３２…磁性膜、３３…レジスト、３４…カーボン保護膜、５０…磁気ヘッド。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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