(57)【要約】【課題】音叉型振動片を用いたガスセンサ素子およびガスセンサを提供する。【解決手段】ガスセンサ素子１０は、屈曲振動をする振動腕１４を複数備えた音叉型振動片１２と、振動腕１４の先端部に設けた感応膜１８とを備えている。この感応膜１８は、振動腕１４の上面１４ａおよび下面１４ｂに設けてあってもよく、振動腕１４の上面１４ａ、下面１４ｂおよび側面１４ｃに設けてあってもよい。そして感応膜１８を水素吸蔵合金膜とすることにより、ガスセンサ素子１０は水素ガスの検出と水素濃度の測定を行える。感応膜１８は、リン酸ジルコニウム膜、脂質膜、オレイン酸膜または酸化スズ膜であってもよい。なお音叉型振動片１２は、圧電体で形成した音叉型圧電振動片であってもよい。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
屈曲振動をする振動腕を備えた音叉型振動片と、前記振動腕の先端部に設けたガス感応膜とを備えたことを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項２】
前記振動腕の上下面または側面のうち少なくとも一方の面の先端部分に前記ガス感応膜を設けたことを特徴とする請求項１に記載のガスセンサ素子。
【請求項３】
前記振動腕の先端部に設けた錘部における前記振動腕の長手方向の長さをＬとすると、前記振動腕の先端からＬ／２までに前記ガス感応膜を設けたことを特徴とする請求項１または２に記載のガスセンサ素子。
【請求項４】
前記振動腕の先端部に凹部または凸部を設け、前記凹部または前記凸部にそれぞれ前記ガス感応膜を設けたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のガスセンサ素子。
【請求項５】
前記振動腕の先端部に、前記振動腕の他の部分に比べて幅を広くした幅広部を設け、前記幅広部に前記ガス感応膜を設けたことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のガスセンサ素子。
【請求項６】
前記ガス感応膜は、水素吸蔵合金であることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載のガスセンサ素子。
【請求項７】
前記ガス感応膜は、リン酸ジルコニウム、脂質、オレイン酸および酸化スズのうちのいずれか１つであることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載のガスセンサ素子。
【請求項８】
前記音叉型振動片は、圧電体で形成されてなることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載のガスセンサ素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガスセンサ素子およびガスセンサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ガスセンサには、厚みすべり振動や屈曲振動を利用した水素センサやアンモニアセンサがある。この厚みすべり振動を利用したセンサは、振動子の表面および裏面のそれぞれに２つの駆動電極を設けるとともに、この駆動電極間に検出電極を設け、１つの駆動電極上に水素またはアンモニアを吸着する膜を設けている。このセンサは、吸着膜に水素またはアンモニアが付着すると吸着膜の質量が増加して、振動子の中心軸に対する質量バランスが崩れるので、これによって発生した振動電圧に基づいて質量を検出している。また屈曲振動を利用したセンサは、２つの駆動振動片の間に検出振動片を設けた構成を２組有し、各振動片の先端部に重量部ないしハンマーヘッドを設け、駆動振動片上の電極上に吸着膜を設けている。（特許文献１）
【特許文献１】特開２００６−１５３８５９号公報（５−６頁）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
前述した厚みすべり系の振動は他の振動モードよりも発振周波数が高い。この厚みすべり系の振動子を発振させるには、ゲインを取るために発振用の増幅回路に電流を多く供給しなければならない。このため厚みすべりの振動モードを利用したセンサは、消費電力が大きくなってしまう。
【０００４】
また前述したように、このセンサは発振周波数が高いので、このセンサを駆動（発振）させる回路（発振回路）から出力する信号の周波数も高くなる。しかし発振回路の後段に接続する論理回路が高い周波数に対応していなければ、発振回路から出力する信号を入力することができないので、論理回路の入力にプリスケーラ等を設けて前記信号の周波数を低くしなければならない。さらに前記発振回路の後段にＴＴＬ（Transistor Transistor Logic）等の論理回路が接続する場合がある。そして発振回路にコルピッツ型等を用いると、この発振回路の一段発振では論理回路に前記信号を入力できる電圧レベルに到達しないので、アンプ等を設けて前記信号を増幅する必要がある。このため厚みすべり系の振動モードを利用したセンサは、プリスケーラやアンプ等の周辺回路を接続することによって複雑および大型になってしまう。
【０００５】
また、このセンサは、振動子の駆動電極に電気信号を供給して基板を振動させ、この振動が検出電極まで伝わったものを検出電極で検知するものであるから、振動を間接的に測定して水素やアンモニアの濃度を測定することになる。このためセンサの検出感度が低下するおそれがある。
【０００６】
また前述した屈曲振動を利用したセンサは、振動子基部から６本の振動片が伸びた形状なので、振動子が大きくなってしまい、また形状が複雑になっている。このため１枚のウエハから得られる振動子の数が少なく、また加工が複雑になることから、センサを得るためのコストが高くなってしまう。さらに、このセンサは、前述した組を構成している１つの検出振動片に吸着膜を設けているので吸着膜同士の間隔が離れている。このため測定環境のガス濃度が不均一である場合は、この吸着膜への付着量に大きなバラツキを生じ、このセンサを用いると正確な水素やアンモニアの濃度検出ができない。
【０００７】
本発明は、音叉型振動片を用いたガスセンサ素子を提供することを目的とする。また本発明は、このガスセンサ素子を用いたガスセンサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係るガスセンサ素子は、屈曲振動をする振動腕を備えた音叉型振動片と、振動腕の先端部に設けたガス感応膜とを備えたことを特徴とする。これによりガス感応膜が被検出ガスを吸着すると重くなるので、振動腕の先端部が重くなり屈曲振動の周波数を変えることができる。そして、この周波数変化を読み取ることにより、被検出ガスの検知と濃度を測定できる。また音叉型振動片が行う屈曲振動の周波数は数十ｋＨｚなので、ガスセンサ素子に接続する発振回路のゲインを大きくする必要はなく、少ない電流で発振できる。よってガスセンサ素子は、消費電流を少なくすることができる。またガスセンサ素子は、振動腕にガス感応膜を設けて屈曲振動の周波数の変化を直接捉えているから、検出感度が低下するおそれはない。また振動腕の互いの間隔は狭いので、ガス感応膜の互いの間隔も狭くできる。このためガスセンサ素子が配置される測定環境のガス濃度が不均一であっても狭い範囲での測定ができ、正確なガス濃度の測定ができる。また音叉型振動片は小型なので、１枚のウエハから得られる振動片の数を多くでき、また音叉型振動片は簡単な形状なので容易に加工できる。よってガスセンサ素子を得るためのコストを低くできる。
【０００９】
また発振回路から出力する周波数信号の周波数は、屈曲振動の周波数に応じて数十ｋＨｚになるので、発振回路の後段にプリスケーラ等の周波数を低くする手段を設ける必要がない。また音叉型振動片を用いたガスセンサ素子は１段の発振回路で発振できるので、アンプ等の電圧レベルを調整するための手段を設ける必要がない。
【００１０】
また本発明に係るガスセンサ素子は、振動腕の上下面または側面のうち少なくとも１つの面の先端部分にガス感応膜を設けたことを特徴としている。これによりガスセンサ素子は、被検出ガスをガス感応膜で吸着して振動腕の先端部を重くし、屈曲振動の周波数を低くできる。
【００１１】
また本発明に係るガスセンサ素子は、振動腕の側面にガス感応膜を設けたことを特徴としている。これによりガスセンサ素子は、被検出ガスを感応膜で吸着して振動腕の先端部を重くし、屈曲振動の周波数を低くできる。そして振動腕の上面および下面に加えて側面にもガス感応膜を設ければ、ガス感応膜の表面積が大きくなるので被検出ガスをより多く吸着でき、ガスセンサ素子の検出感度を向上できる。
【００１２】
また本発明に係るガスセンサ素子は、振動腕の先端部に設けた錘部における振動腕の長手方向の長さをＬとすると、振動腕の先端からＬ／２までにガス感応膜を設けたことを特徴としている。振動腕の先端により近いほうにガス感応膜を設けると、ガス感応膜が被検出ガスを吸着して質量が増加したときに、効果的に屈曲振動に影響を与えることができ、屈曲振動の周波数を敏感に変化させることができる。これにより被検出ガスの検知や濃度測定を行い易くなり、ガスセンサ素子の検出感度を向上できる。
【００１３】
また本発明に係るガスセンサ素子は、振動腕の先端部に凹部または凸部を設け、この凹部または凸部にそれぞれガス感応膜を設けたことを特徴としている。これによりガス感応膜の表面積が大きくなるので、被検出ガスをより多く吸着でき、ガスセンサ素子の検出感度を向上できる。
【００１４】
また本発明に係るガスセンサ素子は、振動腕の先端部に、振動腕の他の部分に比べて幅を広くした幅広部を設け、この幅広部にガス感応膜を設けたことを特徴としている。これにより幅広部に設けるガス感応膜の表面積が大きくなるので、被検出ガスをより多く吸着でき、ガスセンサ素子の検出感度を向上できる。
【００１５】
そして前述したガス感応膜は、水素吸蔵合金であることを特徴としている。これによりガスセンサ素子は、水素ガスを吸蔵すると屈曲振動の周波数が変わるので、測定環境に水素ガスが存在していることを検出でき、また水素ガスの濃度を測定できる。
【００１６】
そして前述したガス感応膜は、リン酸ジルコニウム、脂質、オレイン酸および酸化スズのうちのいずれか１つであることを特徴としている。ガスセンサ素子は、ガス感応膜をリン酸ジルコニウムにすればアンモニアガスの検知と濃度測定ができ、ガス感応膜を脂質にすれば揮発性有機塩素化合物の検知と濃度測定ができ、ガス感応膜をオレイン酸にすればエタノールの検知と濃度測定ができ、ガス感応膜を酸化スズにすれば硫化水素やアンモニア、アルコールの検知と濃度測定ができる。
【００１７】
そして前述した音叉型振動片は、圧電体で形成されてなることを特徴としている。すなわち音叉型振動片は、圧電体で形成した音叉型圧電振動片であってもよい。音叉型圧電振動片とすれば、発振周波数の安定性を始めとする音叉型振動片の様々な特性を良くすることができる。また音叉型振動片を水晶で形成すれば、この音叉型水晶振動片の特性をより向上することができる。
【００１８】
また本発明に係るガスセンサは、前述したガスセンサ素子に発振回路を接続するとともに、発振回路に周波数測定手段を接続したことを特徴としている。発振回路から出力する周波数信号は、ガスセンサ素子が行う屈曲振動の周波数に応じた周波数を有している。これによりガスセンサは、発振回路から出力される周波数信号の周波数を測定することにより被検出ガスを検知でき、周波数信号の変化から被検出ガスの濃度を測定できる。
【００１９】
また音叉型振動片が行う屈曲振動の周波数は数十ｋＨｚなので、ガスセンサ素子に接続する発振回路のゲインを大きくする必要はなく、少ない電流で発振できる。よってガスセンサは、消費電流を少なくすることができる。また発振回路から出力する周波数信号の周波数は、屈曲振動の周波数に応じて数十ｋＨｚになるので、発振回路の後段にプリスケーラ等の周波数を低くする手段を設ける必要がない。さらに音叉型振動片を用いたガスセンサ素子は１段の発振回路で発振できるので、アンプ等の電圧レベルを調整するための手段を設ける必要がない。よってガスセンサは、ガスセンサ素子に接続する周辺回路が複雑になったり、大型になったりするのを防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下に、本発明に係るガスセンサ素子およびガスセンサの最良の実施形態について説明する。図１はガスセンサ素子の説明図である。ここで図１（Ａ）はガスセンサ素子の平面図であり、図１（Ｂ）は概略側面図である。ガスセンサ素子１０は、音叉型振動片１２を有している。音叉型振動片１２は、平行に配置した２本の振動腕１４（１４１，１４２）と、これらの振動腕１４の一端（根元）に設けた基部１６を備えている。そして振動腕１４および基部１６（音叉型振動片１２）は、圧電体で形成してある。この圧電体は、例えば水晶とすることができる。振動腕１４および基部１６を水晶で形成することにより、発振周波数の温度特性に対する安定性を始めとする音叉型振動片１２の様々な特性を良くできる。
【００２１】
各振動腕１４の上面１４ａ、下面１４ｂおよび側面１４ｃに励振電極２０が設けてあり、また各振動腕１４の先端部に錘部２２が設けてある。そして一方の振動腕１４１の上面１４ａおよび下面１４ｂに設けた励振電極２０と、他方の振動腕１４２の側面１４ｃに設けた励振電極２０が導通しており、また一方の振動腕１４１の側面１４ｃに設けた励振電極２０と他方の振動腕１４２の上面１４ａおよび下面１４ｂに設けた励振電極２０が導通している。また基部１６に接続電極２４が設けてあり、励振電極２０と１対１に導通している。なお図１（Ｂ）では、励振電極２０や錘部２２、接続電極２４の記載を省略している。
【００２２】
そしてガスセンサ素子１０は、各振動腕１４の上面１４ａおよび下面１４ｂの錘部２２上に感応膜（ガス感応膜）１８を設けている。感応膜１８は、被検出ガスを吸蔵または吸着等（以下「吸着」という。）するものである。具体的には、この感応膜１８が水素吸蔵合金であれば、水素ガスを吸着できる。この水素吸蔵合金の一例としては、パラジウム−ニッケルの合金等であればよく、スパッタ等の成膜法を用いて錘部２２上に設ければよい。また感応膜１８がリン酸ジルコニウムであればアンモニアガスを吸着でき、感応膜１８が脂質（人工脂質）であれば揮発性有機塩素化合物（トリクロロエチレンやテトラクロロエチレン）を吸着でき、感応膜１８がオレイン酸（不飽和脂肪酸）であればエタノールを吸着でき、感応膜１８が酸化スズ（二酸化スズ）であれば硫化水素やアンモニア、アルコールを吸着できる。
【００２３】
図２はガスセンサのブロック図である。ガスセンサ３０は、前述したガスセンサ素子１０を用いている。具体的には、ガスセンサ３０は、ガスセンサ素子１０に発振回路３２が接続するとともに、発振回路３２に周波数測定手段３４が接続している。発振回路３２は、ガスセンサ素子１０を発振させて、この発振により生じた信号（周波数信号）を出力している。また周波数測定手段３４は周波数信号を入力して、この周波数信号の周波数を測定するものであり、例えば周波数カウンタであればよい。
【００２４】
次に、このようなガスセンサ素子１０およびガスセンサ３０の動作について説明する。なお以下では、ガス検出および濃度測定の一例として、ガスセンサ素子１０およびガスセンサ３０を用いて水素ガスを検出、濃度測定する場合について説明する。このため感応膜１８は水素吸蔵合金となっている。
【００２５】
発振回路３２からガスセンサ素子１０に供給された電気信号は、接続電極２４を介して励振電極２０に入力する。これによりガスセンサ素子１０の振動腕１４は屈曲振動する。そしてガスセンサ素子１０が配置される測定環境に水素ガスがあると、水素吸蔵合金は水素ガスを吸蔵して重くなる。これにより振動腕１４の先端が重くなって、屈曲振動の周波数（発振周波数）が低くなり、発振回路３２から出力される周波数信号の周波数も低くなる。周波数測定手段３４で発振回路３２から出力される周波数信号の周波数を測定し、この周波数変化を検出してこの周波数変化量に基づいて水素ガスの濃度を求めれば、水素ガスの存在を検知でき、また水素ガスの濃度を測定できる。
【００２６】
以上のようにガスセンサ素子１０は、音叉型振動片１２を構成する振動腕１４の先端部に感応膜１８を設けたので、この感応膜１８と反応する被検出ガスを吸着できる。これによりガスセンサ素子１０は、振動腕１４の質量が重くなるので、屈曲振動の周波数を変えることができる。そしてガスセンサ３０は、発振回路３２から出力される周波数信号の周波数を測定することにより被検出ガスを検知でき、周波数信号の変化から被検出ガスの濃度を得ることができる。
【００２７】
またガスセンサ素子１０は音叉型振動片１２を用いているので、屈曲振動の周波数を数十ｋＨｚにすることができる。このためガスセンサ素子１０を屈曲振動させるために、発振回路３２のゲインを大きくする必要はなく、厚みすべり振動を利用するものに比べて少ない電流で発振できる。よって消費電流を少なくできる。
【００２８】
またガスセンサ素子１０は、屈曲振動の周波数が数十ｋＨｚであるから、発振回路３２の後段に周波数信号の周波数を低くするプリスケーラ等を設ける必要がない。さらにガスセンサ素子１０は音叉型振動片１２を利用しているので、ガスセンサ素子１０に接続した発振回路３２を、ＣＭＯＳインバータ回路を用いたものにすることができる。このため、この発振回路３２を１段用いてガスセンサ素子１０を発振させても、発振回路３２の後段に接続する回路に十分な電圧レベルの周波数信号を出力できる。すなわち発振回路３２の後段にアンプを設ける必要がない。よってガスセンサ素子１０およびガスセンサ３０は、周辺回路が複雑になったり、大型になったりするのを防止できる。
【００２９】
またガスセンサ素子１０は、２本の振動腕１４を備えた音叉型なので、この音叉型振動片１２の１つの大きさが小型になり、また形状が簡単になる。よって１枚のウエハから得られる振動片の数を多くでき、また加工が容易なことから、ガスセンサ素子１０を得るためのコストを低くできる。さらにガスセンサ素子１０は、各振動腕１４の上面１４ａおよび下面１４ｂに感応膜１８を設けているので、容易に設けることができ、生産性を向上できる。
【００３０】
またガスセンサ素子１０は、振動腕１４に感応膜１８を設けて屈曲振動の周波数の変化を直接捉えているから、検出感度が低下するおそれはない。またガスセンサ素子１０は、振動腕１４の先端部に感応膜１８を設けているので、それぞれの感応膜１８の間隔を狭くでき、被検出ガスの感応膜１８への吸着のバラツキを小さくできる。このため測定環境のガス濃度が不均一であっても狭い範囲での検出を行え、正確なガス濃度の検出ができる。
【００３１】
次に、前述したガスセンサ素子１０の変形例について説明する。まず感応膜１８の設け方の変形例について説明する。図３は第１の変形例に係るガスセンサ素子の説明図である。ここで図３（Ａ）はガスセンサ素子の平面図であり、図３（Ｂ）は概略側面図である。なお図３では、励振電極や接続電極の記載を省略している。第１の変形例に係るガスセンサ素子４０は、各振動腕１４における先端部の上面１４ａ、下面１４ｂおよび側面１４ｃの錘部２２上に感応膜１８を設けている。このように各振動腕１４の側面１４ｃにも感応膜１８を設けたので、感応膜１８の表面積を前述した実施形態に比べて大きくでき、より多くの被検出ガスを吸着して質量が増加したことを早く振動腕１４に伝えることができる。すなわち、このガスセンサ素子４０は、被検出ガスの検出能力を高くすることができる。
【００３２】
図４は第２の変形例に係るガスセンサ素子の平面図である。第２の変形例に係るガスセンサ素子４４は、感応膜１８を設ける部分を規制したものである。振動腕１４は屈曲振動をするので、基部１６と接続している根元側が重くなるよりも、先端が重くなった方が屈曲振動に影響を与えることができる。すなわち振動腕１４の先端により近い方にのみ感応膜１８を設ければ、感応膜１８を振動腕１４全体に成膜した場合の構成と比較して、振動腕１４の基部１６付近の屈曲する部分に屈曲振動を妨げる感応膜が存在しないので、感応膜１８の質量が増加したときに屈曲振動の周波数が敏感に変化する。したがって第２の変形例に係るガスセンサ素子４４は、振動腕１４の長手方向における錘部２２の長さをＬとすると、振動腕１４の先端からＬ／２の範囲まで感応膜１８を設けている。なお感応膜１８は、各振動腕１４の上面１４ａおよび下面１４ｂに設けてあってもよく、各振動腕１４の上面１４ａ、下面１４ｂおよび側面１４ｃに設けてあってもよいが、各振動腕１４の上面１４ａおよび下面１４ｂのみに設けてあれば感応膜１８の塗布量を少なくできる。これにより振動腕１４の屈曲振動に影響を与え易くなるので、被検出ガスの検知や濃度測定を行い易くなり、ガスセンサ素子４４の検出感度を向上できる。なお感応膜１８を先端からＬ／２の長さまで設けているので、被検出ガスを吸着して屈曲振動に影響を与えられる質量変化を得ることができる。
【００３３】
次に、ガスセンサ素子１０を構成する振動腕１４の変形例について説明する。図５は第３の変形例に係るガスセンサ素子の振動腕の先端部分を拡大した斜視図である。なお図５では、錘部の記載を省略している。第３の変形例では、振動腕における感応膜を設ける部分に凹部および凸部の少なくともいずれか一方を形成している。図５（Ａ）に示す振動腕１４は、その先端部の上面１４ａおよび下面１４ｂに溝（凹部５０）を設け、その先端部の上面１４ａおよび下面１４ｂと前記溝（凹部５０）の内部とに感応膜１８を設けている。また図５（Ｂ）に示す振動腕１４は、その先端部の上面１４ａおよび下面１４ｂに穴（凹部５０）を設け、その先端部の上面１４ａおよび下面１４ｂと前記穴（凹部５０）の内部とに感応膜１８を設けている。このような凹部５０は、エッチング等により形成することができる。これにより感応膜１８の表面積が増加するので、ガスセンサ素子１０の検出感度を向上できる。
【００３４】
なお凹部５０は、振動腕１４における感応膜１８を設ける箇所に１つ設けてもよく、２つ以上設けてもよい。また凹部５０は、振動腕１４の上面１４ａおよび下面１４ｂのいずれか一方にのみ設けてもよい。また感応膜１８は、図５（Ａ），（Ｂ）に示すように振動腕１４の上面１４ａおよび下面１４ｂと凹部５０の内部とに設けてもよく、また振動腕１４の上面１４ａ、下面１４ｂおよび側面１４ｃと凹部５０の内部とに設けてもよい。そして図５に示す凹部５０の他にも、感応膜１８の表面積を大きくするために、振動腕１４の先端部、すなわち感応膜１８を形成する箇所に凸部を設けることもできる。この凸部は、振動腕１４を予め大きく形成しておき、エッチング等をして振動腕１４を所望の形状に小さくするときに形成できる。
【００３５】
また図６を用いて説明する第４の変形例では、振動腕１４の先端部を他の部分に比べて幅広にし、この幅広部に感応膜１８を設けている。図６は第４の変形例に係るガスセンサ素子の概略平面図である。なお図６では、励振電極や接続電極、錘部の記載を省略している。振動腕１４の先端部を、中央部分や根元部分に比べて幅を広くしておくことで、表面積を広げることができる。そしてこの幅を広くした部分（幅広部５６）に感応膜１８を設ければ、感応膜１８の表面積を大きくでき、ガスセンサ素子１０の検出感度を向上できる。なお幅広部５６は、図６に示す形態ばかりでなく、振動腕１４の根元部分から先端部に向かって幅が広くなっていくテーパー形状や、振動腕１４の中央部分から先端部に向かって幅が広くなっていくテーパー形状であってもよい。また感応膜１８は、幅広部５６の上面および下面に設けてよく、また幅広部５６の上面、下面および側面に設けてもよい。
【００３６】
なお前述した実施形態や変形例では、振動腕１４に設けられる錘部２２上に感応膜１８を設けた構成であるが、実施形態によっては錘部２２を設けない形態、すなわち振動腕１４上に直接に感応膜１８を設けた形態であってよい。また感応膜１８と振動腕１４との間に、これらの密着性を向上するための下地膜を設けた形態であってもよい。これにより感応膜１８を錘部２２の代わりに用いることができる。
【００３７】
また上記実施形態の如く感応膜を振動腕１４の複数面（上面１４ａや下面１４ｂ）に成膜した構成のガスセンサ素子１０であれば、ガス検知感度能力の高いものが得られるが、振動腕１４の上下面または側面のうち少なくとも１つの面の先端部分に感応膜１８を設けた構造であれば、ガス検知能力を有するガスセンサ素子１０を得ることができる。
【００３８】
特に、上記実施形態ほどの高いガス検知能力を必要としない代わりに低価格なガスセンサ素子１０を必要とする場合であれば、感応膜１８を振動腕１４の上面１４ａ、下面１４ｂまたは側面１４ｃのいずれか１つの面に成膜した構成が有効である。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】ガスセンサ素子の説明図である。
【図２】ガスセンサのブロック図である。
【図３】第１の変形例に係るガスセンサ素子の説明図である。
【図４】第２の変形例に係るガスセンサ素子の平面図である。
【図５】第３の変形例に係るガスセンサ素子の振動腕の先端部分を拡大した斜視図である。
【図６】第４の変形例に係るガスセンサ素子の概略平面図である。
【符号の説明】
【００４０】
１０，４０，４４，５４………ガスセンサ素子、１２………音叉型振動片、１４………振動腕、１８………感応膜、２２………錘部、３０………ガスセンサ、３２………発振回路、５０………凹部、５６………幅広部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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