(57)【要約】【課題】ファンフィルターユニット本体内の風の流れを対称にしフィルターから吹き出す空気の風速分布を均一にするとともに、本体を駆動させる制御部の冷却にチャンバー内を流れる風を利用することを目的としている。【解決手段】ファンモータユニット６の間に整流機構９を配置させることで、２つの小型ターボファン１から放射状に吹き出される風を互いに衝突や干渉することなく、チャンバー７内に均一に広がらせ、フィルター８に流入する風速を均一化することができる。整流機構９は、隣接する２つのファンモータユニット６の回転軸を結んだ線分の中心点を通過するように配置することを特徴とし、形状は平板上の板または直方体としたものである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ファンとモータから構成されるファンモータと、このファンモータを固定するファンモータ固定具と、このファンモータ固定具の両端に一体に設けられる支持立板と、前記ファンモータと前記ファンモータ固定具と前記支持立板からなるファンモータユニットと、前記ファンモータユニットを２台以上収納する箱形状のチャンバーと、前記チャンバーに隣接するフィルターと、前記チャンバー内に配置する整流機構を有し、前記整流機構は、隣接する２つのファンモータユニットの回転軸を結んだ線分の中心点を通過するように配置することを特徴とするファンフィルターユニット。
【請求項２】
前記複数のファンモータユニットの回転軸を、前記チャンバーの側面と平行な同一直線上に配置したことを特徴とする請求項１記載のファンフィルターユニット。
【請求項３】
前記整流機構は平板状の板で、隣接する２台のファンモータユニットの回転軸を結んだ線分の垂直二等分線上に設けた請求項１または２に記載のファンフィルターユニット。
【請求項４】
前記整流機構は平板状の板で、ファンの回転方向の下流側に大きな空間が出来るように、隣接する２つのファンモータユニットの回転軸を結んだ線分の垂直二等分線に対して傾けて配置したことを特徴とする請求項１または２に記載のファンフィルターユニット。
【請求項５】
前記整流機構は、ファンの回転方向の下流側に大きな空間が出来るように、下面から見て平板状の板に折り曲げ部を形成した請求項１〜４のいずれかに記載のファンフィルターユニット。
【請求項６】
前記整流機構を中心にして互いに逆方向に折り曲げた２つのウイング部を整流機構のフィルター側先端に形成し、このウイング部は気流の向きを各々のファン方向に変更してなる請求項１〜５のいずれかに記載のファンフィルターユニット。
【請求項７】
前記整流機構のウイング部に開口部を設けたことを特徴とする請求項６記載のファンフィルターユニット。
【請求項８】
前記整流機構は、柱状で、チャンバーに接地させた側の面よりもチャンバー空間内で下流側に突出させた面が小さくなるように、整流機構のファンの側面に正対する側面が傾斜を持つことを特徴とした請求項１に記載のファンフィルターユニット。
【請求項９】
前記整流機構の傾斜部に、前記チャンバー上面と直交し、整流機構の長辺と平行に複数のリブを立てたことを特徴とする請求項８に記載のファンフィルターユニット。
【請求項１０】
前記整流機構の傾斜部に設けられたリブの両端に折り曲げ部を設けたことを特徴とする請求項９に記載のファンフィルターユニット。
【請求項１１】
前記整流機構の傾斜部に、前記チャンバー上面と直交し、ファンと正対するような角度でリブを立てたことを特徴とする請求項８に記載のファンフィルターユニット。
【請求項１２】
前記整流機構の傾斜部に設けられたリブの斜面に立った両端に折り曲げ部を設けたことを特徴とする請求項１１に記載のファンフィルターユニット。
【請求項１３】
整流機構の形状は直方体であり、内部に制御部を備え、その側面または底面に通風孔を設けたことを特徴とする請求項１に記載のファンフィルターユニット。
【請求項１４】
直方体の整流機構の長手方向を前記ファンモータユニットに正対するように立設する請求項１３に記載のファンフィルターユニット。
【請求項１５】
直方体の整流機構の片側の長手方向の側面のみスリット状に通風孔を設けた請求項１４に記載のファンフィルターユニット。
【請求項１６】
直方体の整流機構の長手方向の側面のみスリット状に通風孔を設けた請求項１４に記載のファンフィルターユニット。
【請求項１７】
直方体の整流機構の両側面と底面に通風孔を設けた請求項１４に記載のファンフィルターユニット。
【請求項１８】
送風方向を内側に規制する互いに逆方向に折り曲げた２つのウイング部を直方体の整流機構に設けた請求項１３〜１７のいずれかに記載のファンフィルターユニット。
【請求項１９】
直方体の整流機構の短手方向側に前記フィルター側に風の流れが向かうように流れを規制する板状の誘導部を設け、前記誘導部は、誘導部を流れる風が下流方向に向かうにつれ、誘導部との距離が小さくなる誘導部を２面以上持つことを特徴とした請求項１３〜１８のいずれかに記載のファンフィルターユニット。
【請求項２０】
前記直方体の整流機構の短手方向に形成された誘導部に直方体の外周部よりも外側に空気を流さないように側壁を形成した請求項１９に記載のファンフィルターユニット。
【請求項２１】
送風方向をファンフィルターユニット本体の中心部に誘導するように、直方体の整流機構の両側面を滑らかな曲面形状とした、請求項１２〜２０いずれかに記載のファンフィルターユニット。
【請求項２２】
３台以上のファンモータユニットをチャンバー内に備え、ファンモータユニットをジグザグ状に配置し、隣接する２つのファンモータユニットの間に整流機構を設けたことを特徴とする請求項１記載のファンフィルターユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体、液晶などを製造する装置において清浄な空気を必要とする環境下で使用され、複数のファンを搭載したファンフィルターユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のファンフィルターユニットは、チャンバー内に複数のファンを間隔を存して搭載し、平均吹き出し風量に比べて、吹出風量の少ない領域に整流板を設けることにより、フィルターから吹き出される風速分布の均一化を図ったものが知られている（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
以下、そのファンフィルターユニットについて図２１（ｂ）を参照しながら説明する。
【０００４】
図に示すように、チャンバ１０１内に間隔を存して搭載された軸流ファン１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃの間の投影面上における平均吹き出し風量に比べ、吹出風量の少ない領域に整流板１０５ａ、１０５ｂが設けられており、この整流板を設けることにより、フィルター下流での風速分布の均一化を図っている。
【特許文献１】特開平７−４７２１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このような従来のファンフィルターユニットでは、ファンの投影面上において、フィルター下流側に整流板を設ける構造となっており、例えばファンを２個搭載したチャンバとファンを３個搭載したチャンバとではチャンバのサイズが異なり、都度チャンバのサイズに合わせて整流板を製作して取り付けなければならないという課題があり、容易に製作可能な部品を用いて、フィルター下流の風速分布を均一化することが要求されている。
【０００６】
また、この種の複数のファンを搭載したファンフィルターユニットにおいては、複数のファンから吹き出される風がチャンバー内にて干渉することなく、容易にチャンバー内の風の流れを対称にし、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化することが要求されている。
【０００７】
本発明は、このような従来の課題を解決するものであり、ファンモータユニットをチャンバー内に並列するように配置し、ファンモータユニット間に整流機構を配置することにより、フィルターの下流側に整流板を設けることなく、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるというファンフィルターユニットを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のファンフィルターユニットは、上記の目的を達成するために、ファンとモータから構成されるファンモータと、このファンモータを固定するファンモータ固定具と、このファンモータ固定具の両端に一体に設けられる支持立板と、前記ファンモータと前記ファンモータ固定具と前記支持立板からなるファンモータユニットと、前記ファンモータユニットを２台以上収納する箱形状のチャンバーと、前記チャンバーに隣接するフィルターと、前記チャンバー内に配置する整流機構と、前記整流機構は、隣接する２台のファンモータユニットの回転軸を結んだ線分の中心点を通過するように配置することを特徴としたものである。
【０００９】
この手段により、それぞれのファンから吹き出される風の衝突を整流機構で防ぎ、チャンバー内の風速分布を改善して、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるファンフィルターユニットが得られる。
【００１０】
また、他の手段は、複数のファンモータユニットの回転軸を、チャンバーの側面と平行な同一直線上に配置したことを特徴としたものである。
【００１１】
この手段により、整流機構を中心にしてチャンバー内の空気の流れを対称にし、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるファンフィルターユニットが得られる。
【００１２】
また、他の手段は、整流機構の形状を平板状の板とし、平板状の板を２台のファンモータユニットの回転軸を結んだ線分の垂直二等分線上に設けたことを特徴としたものである。
【００１３】
この手段により、整流機構を中心にしてチャンバー内の空気の流れを対称にし、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるファンフィルターユニットが得られる。
【００１４】
また他の手段は、ファンの回転方向の下流側に大きな空間が出来るように、整流機構を隣接する２台のファンモータユニットの回転軸を結んだ線分の垂直二等分線に対して傾けて配置したことを特徴としたものである。
【００１５】
この手段により、整流機構を中心にしてチャンバー内の空気の流れを対称にするとともにファン効率を高め、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるファンフィルターユニットが得られる。
【００１６】
また他の手段は、整流機構を中心にして互いに逆方向に折り曲げた２つのウイング部を整流機構のフィルター側先端に形成し、このウイング部は気流の向きを各々のファン方向に変更することを特徴としたものである。
【００１７】
この手段により、ファンで覆われたフィルター部分にも通風することができ、フィルターへ供給する風速分布を均一化できるファンフィルターユニットが得られる。
【００１８】
また他の手段は、ウイング部に開口部を設けたことを特徴としたものである。
【００１９】
この手段により、チャンバー内の風速分布を均一化できるとともに、ファンの底面で覆われたフィルター面にも通風することができ、フィルターへ供給する風速分布を均一化できるファンフィルターユニットが得られる。
【００２０】
また他の手段は、整流機構を柱状とし、チャンバーに接地させた側の面よりもチャンバー空間内で下流側に突出させた面が小さくなるように、整流機構のファンの側面に正対する側面が傾斜を持つことを特徴としたものである。
【００２１】
この手段により、各々のファンから吹き出された風を傾斜部を経由してフィルター中央部に誘導し、チャンバー内の風速分布を均一化し、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるファンフィルターユニットが得られる。
【００２２】
また他の手段は、傾斜部にチャンバー上面と直交し、整流機構の長辺と平行に複数のリブを立てたことを特徴としたものである。
【００２３】
この手段により、傾斜部を経由して風をフィルター中央部に誘導するとともに、リブにより傾斜部直下のフィルター上流側にも風を誘導し、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるファンフィルターユニットが得られる。
【００２４】
また他の手段は、傾斜部に設けられたリブの両端に折り曲げ部を設けたことを特徴としたものである。
【００２５】
この手段により、傾斜部とリブの両端に設けられた折り曲げ部によりフィルターの中央部に風を誘導するとともに、傾斜部直下のフィルター上流側にも風を誘導し、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるファンフィルターユニットが得られる。
【００２６】
また他の手段は、傾斜部にチャンバー上面と直交し、ファンと正対するような角度でリブを立てたことを特徴としたものである。
【００２７】
この手段により、傾斜部とリブによりフィルターの中央部に風を誘導するとともに、傾斜部直下のフィルター上流側にも風を誘導し、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるファンフィルターユニットが得られる。
【００２８】
また他の手段は、傾斜部に設けられたリブの斜面に立った両端に折り曲げ部を設けたことを特徴としたものである。
【００２９】
この手段により、傾斜部とリブとリブの両端に設けられた折り曲げ部によりフィルターの中央部に風を誘導するとともに、傾斜部直下のフィルター上流側にも風を誘導し、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるファンフィルターユニットが得られる。
【００３０】
また他の手段は、整流機構の形状を直方体とし、内部に制御部を備え、その側面または底面に通風孔を設けたことを特徴としたものである。
【００３１】
この手段により、直方体の整流機構の内部に設けられている制御部の電子部品をファンから吹き出される風によって冷却し、制御部の放熱を行うことでファンフィルターユニットの長寿命化を図れるとともに、直方体の整流機構を中心にしてチャンバー内の空気の流れを対称にし、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるファンフィルターユニットが得られる。
【００３２】
また他の手段は、直方体の整流機構の長手方向を前記ファンモータユニットに正対するように立設することを特徴としたものである。
【００３３】
この手段により、制御部の電子部品をファンから吹き出される風によって冷却し、制御部の放熱を行うことでファンフィルターユニットの長寿命化を図れるとともに、直方体の整流機構を中心にしてチャンバー内の空気の流れを対称にし、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるファンフィルターユニットが得られる。
【００３４】
また他の手段は、直方体の整流機構の片側の長手方向の側面のみスリット状に通風孔を設けたことを特徴としたものである。
【００３５】
この手段により制御部の電子部品をファンから吹き出される風によって冷却し、直方体の整流機構を中心にしてチャンバー内の空気の流れを対称にし、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるファンフィルターユニットが得られる。
【００３６】
また他の手段は、直方体の整流機構の長手方向の側面のみスリット状に通風孔を設けたことを特徴としたものである。
【００３７】
この手段により制御部の電子部品をファンから吹き出される風によって冷却し、直方体の整流機構を中心にしてチャンバー内の空気の流れを対称にし、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるファンフィルターユニットが得られる。
【００３８】
また他の手段は、直方体の整流機構の両側面と底面に通風孔を設けたことを特徴としたものである。
【００３９】
この手段により、直方体の整流機構の側面より流入した風が内部に設けられている制御部の電子部品を冷却し、底面の通風孔より直方体の整流機構の底面で覆われたフィルター面などの空気の流れが行き届きにくい領域に空気の流れを案内し、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるファンフィルターユニットが得られる。
【００４０】
また他の手段は、送風方向を内側に規制する互いに逆方向に折り曲げた２つのウイング部を直方体の整流機構に設けたことを特徴としたものである。
【００４１】
この手段により、直方体の整流機構に設けられたウイング部によりファンの底面で覆われたフィルター面などの空気の流れが行き届きにくい領域に空気の流れを案内し、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるファンフィルターユニットが得られる。
【００４２】
また他の手段は、直方体の整流機構の短手方向側にフィルター側に風の流れが向かうように流れを規制する板状の誘導部を設け、誘導部は、誘導部を流れる風が下流方向に向かうにつれ、誘導部との距離が小さくなる誘導部を２面以上持つことを特徴としたものである。
【００４３】
この手段により、チャンバー側面付近を流れる風を誘導部によりフィルターの中央部に案内し、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化でき、制御部の内部に設けられている電子部品を、ファンから吹き出される風によって冷却し、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるファンフィルターユニットが得られる。
【００４４】
また他の手段は、直方体の整流機構の短手方向に形成された誘導部に直方体の外周部よりも外側に空気を流さないように側壁を形成したことを特徴としたものである。
【００４５】
この手段により、チャンバー側面付近を流れる風を誘導部と誘導部に設けられた側壁によりフィルターの中央部にスムーズに案内し、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化でき、制御部の内部に設けられている電子部品を、ファンから吹き出される風によって冷却し、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるファンフィルターユニットが得られる。
【００４６】
また他の手段は、送風方向をファンフィルターユニット本地あの中心部に誘導するように、直方体の整流機構の両側面を滑らかな曲面形状としたものである。
【００４７】
この手段により、ファンから吹き出される風を滑らかな曲面形状をした整流機構の側面によって、整流機構の底面で覆われたフィルター面などの空気の流れが行き届きにくい領域に空気の流れを案内し、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるファンフィルターユニットが得られる。
【００４８】
また他の手段は、３台以上のファンモータユニットをチャンバー内に備え、ファンモータユニットをジグザグ状に配置し、隣接する２つのファンモータユニットの間に整流機構を設けたことを特徴としたものである。
【００４９】
この手段により、チャンバー内に３台以上のファンモータユニットが備えられていても、隣接する２つのファンモータユニットの間に整流機構を設けることにより、整流機構を中心にして、チャンバー内の風速分布を改善して、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるファンフィルターユニットが得られる。
【発明の効果】
【００５０】
本発明によれば、チャンバーのサイズが異なっても、整流機構によりそれぞれのターボファンより吹き出される風の干渉を防止し、チャンバー内の風速分布を改善し、フィルターから吹き出される風の風速分布を均一化できるという効果のあるファンフィルターユニットを提供できる。
【００５１】
また、整流機構の２つのウイング部により、ファンの底面で覆われた風の流れにくい部分に気流を誘導し、フィルターへ供給する空気の風速分布を均一化できるファンフィルターユニットを提供できる。
【００５２】
また、整流機構の傾斜部のリブにより、ファンフィルターユニット本体中央部の風が流れにくい部分に気流を誘導し、フィルターへ供給する風速分布を均一化できるファンフィルターユニットを提供できる。
【００５３】
また、直方体の整流機構によりそれぞれのターボファンから吹き出される風の衝突を抑え、直方体の整流機構の側面を利用して、風の流れる方向を規制し、チャンバー内の風の流れを対称にできるという効果のあるファンフィルターユニットを提供できる。
【００５４】
また、直方体の整流機構の側面に設けられた通風孔により、整流機構の内部に設けられた制御部の電子部品を冷却し、ファンフィルターユニットの長寿命化が図れるという効果のあるファンフィルターユニットを提供できる。
【００５５】
また、直方体の整流機構の底面に設けられた通風孔により、直方体の整流機構の底面で覆われた風の流れにくい部分に気流を誘導し、フィルターへ供給する風速分布を均一化できるファンフィルターユニットを提供できる。
【００５６】
また、直方体の整流機構に設けられたウイング部により、ターボファンの底面で覆われた空気の流れが行き届きにくいフィルター面にも風を案内することができるという効果のあるファンフィルターユニットを提供できる。
【００５７】
また、直方体の整流機構の短手方向側に設けられた誘導部により、フィルターの中央部に風を誘導し、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化でき、直方体の整流機構の内部に設けられた制御部の電子部品を、ファンから吹き出される風によって冷却し、制御部の放熱を行うことでファンフィルターユニットの長寿命化を図れるとともに、直方体の整流機構を中心にしてチャンバー内の空気の流れを対称にし、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるファンフィルターユニットを提供できる。
【００５８】
また、滑らかな曲面形状とした直方体の整流機構の側面により、整流機構の底面で覆われた空気の流れが行き届きにくいフィルター面にも風を案内することができるという効果のあるファンフィルターユニットを提供できる。
【００５９】
また、３個以上のファンモータユニットがチャンバー内に備えられている場合においても、隣接する２台のファンモータユニットの間に整流機構を設けることにより、チャンバー内の風速分布を改善して、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるファンフィルターユニットを提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００６０】
本発明の請求項１記載の発明は、ファンとモータから構成されるファンモータと、このファンモータを固定するファンモータ固定具と、このファンモータ固定具の両端に一体に設けられる支持立板と、前記ファンモータと前記ファンモータ固定具と前記支持立板からなるファンモータユニットと、前記ファンモータユニットを２台以上収納する箱形状のチャンバーと、前記チャンバーに隣接するフィルターと、前記チャンバー内に配置する整流機構を有し、前記整流機構は、隣接する２台のファンモータユニットの回転軸を結んだ線分の中心点を通過するように配置することを特徴としたものであり、ファンから吹き出される風の衝突を整流機構で防止し、整流機構の形状によりチャンバー内の空気の流れを対称にし、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるという作用を有する。
【００６１】
本発明の請求項２記載の発明は、複数の前記ファンモータユニットの回転軸を、前記チャンバーの側面と平行な同一直線上に配置したという特徴を有したファンフィルターユニットであり、整流機構の形状によりチャンバー内の空気の流れを対称にし、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるという作用を有する。
【００６２】
本発明の請求項３記載の発明は、前記整流機構を平板状の板とし、隣接する２台の前記ファンモータユニットの回転軸を結んだ線分の垂直二等分線上に設けたという特徴を有したファンフィルターユニットであり、整流機構の形状によりチャンバー内の空気の流れを対称にし、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるという作用を有する。
【００６３】
本発明の請求項４記載の発明は、ファンの回転方向の下流側に大きな空間が出来るように、隣接する２台の前記ファンモータユニットの回転軸を結んだ線分の垂直二等分線に対して傾けて配置したという特徴を有したファンフィルターユニットであり、整流機構の形状によりチャンバー内の空気の流れを対称にし、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるという作用を有する。
【００６４】
本発明の請求項５記載の発明は、ファンの回転方向の下流側に大きな空間が出来るように、前記平板状の板に下面からみて折り曲げ部を形成したという特徴を有したファンフィルターユニットであり、整流機構の形状によりチャンバー内の空気の流れを対称にし、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるという作用を有する。
【００６５】
本発明の請求項６記載の発明は、前記整流機構を中心にして互いに逆方向に折り曲げた２つのウイング部を整流機構のフィルター側に形成し、このウイング部は気流の向きを各々のファン方向に変更してなるという特徴を有したファンフィルターユニットであり、整流機構の形状によりチャンバー内の空気の流れを対称にし、ウイング部によって風向が変更され、ファンで覆われたフィルター面などの風の行き届き難い範囲に気流を案内させることができるという作用を有する。
【００６６】
本発明の請求項７記載の発明は、前記整流機構の前記ウイング部に開口部を設けたことを特徴としたものであり、整流機構のウイング部はファンとフィルター間に案内する風と、ウイング部の下方にも供給する風とに分配することで、フィルターに対して満遍なく送風することができるという作用を有する。
【００６７】
本発明の請求項８記載の発明は、前記整流機構は柱状で、チャンバーに接地させた側の面よりもチャンバー空間内で下流側に突出させた面が小さくなるように、整流機構のファンの側面に正対する側面が傾斜を持つことを特徴としたものであり、傾斜部により、ファンから吹き出される風をチャンバー中央部に案内し、チャンバー全体に風を行き届かせることができるという作用を有する。
【００６８】
本発明の請求項９記載の発明は、前記整流機構の前記傾斜部に、チャンバー上面と直交し、整流機構の長辺と平行に複数のリブを立てたことを特徴とすしたものであり、リブにより傾斜部によってチャンバー中央部に案内される風の向きを変更させてやることで、チャンバー全体に満遍なく風を行き届かせることができるという作用を有する。
【００６９】
本発明の請求項１０記載の発明は、前記整流機構の前記傾斜部に設けられた前記リブの両端に折り曲げ部を設けたこという特徴を有したファンフィルターユニットであり、リブにより傾斜部によってチャンバー中央部に案内される風の向きを変更させてやることで、チャンバー全体に満遍なく風を行き届かせることができるという作用を有する。
【００７０】
本発明の請求項１１記載の発明は、前記整流機構の前記傾斜部に、チャンバー上面と直交しファンと正対するような角度でリブを立てたという特徴を有したファンフィルターユニットであり、リブにより傾斜部によってチャンバー中央部に案内される風の向きを変更させてやることで、チャンバー全体に満遍なく風を行き届かせることができるという作用を有する。
【００７１】
本発明の請求項１２記載の発明は、前記整流機構の前記傾斜部に設けられたリブの斜面に立った両端に折り曲げ部を設けたという特徴を有したファンフィルターユニットであり、リブにより傾斜部によってチャンバー中央部に案内される風の向きを変更させてやることで、チャンバー全体に満遍なく風を行き届かせることができるという作用を有する。
【００７２】
本発明の請求項１３記載の発明は、前記整流機構の形状を直方体とし、内部に制御部を備え、その側面または底面に通風孔をもうけたという特徴を有したファンフィルターユニットであり、整流機構の形状によりチャンバー内の空気の流れを対称にし、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるという作用を有する。
【００７３】
本発明の請求項１４記載の発明は、前記直方体の整流機構の長手方向を前記ファンモータユニットに正対するように立設するという特徴を有したファンフィルターユニットであり、整流機構の形状によりチャンバー内の空気の流れを対称にし、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるという作用を有する。
【００７４】
本発明の請求項１５記載の発明は、前記直方体の整流機構の片側の長手方向の側面のみスリット状に通風孔を設けたという特徴を有したファンフィルターユニットであり、通風孔を通過した風が内部に設けられた制御部の電子部品の冷却を行い、もう片側の長手方向の通風孔が設けられていない側面により、ファンから吹き出された風同士の干渉が抑えることができ、チャンバー内の空気の流れを対称にすることができるという作用を有する。
【００７５】
本発明の請求項１６記載の発明は、前記直方体の整流機構の長手方向の側面のみスリット状に通風孔を設けたという特徴を有したファンフィルターユニットであり、両側の側面より内部に設けられた制御部の電子部品を冷却を行うとともに、チャンバー内に風の流れを広がるように案内できるという作用を有する。
【００７６】
本発明の請求項１７記載の発明は、前記直方体の整流機構の両側面と底面に通風孔を設けたという特徴を有したファンフィルターユニットであり、制御部の電子部品の冷却を行うとともに、整流機構の底面の通風孔により、整流機構の底面で覆われた空気の流れが行き届きにくい領域にも風の流れを案内することができるという作用を有する。
【００７７】
本発明の請求項１８記載の発明は、送風方向を内側に規制する互いに逆方向に折り曲げた２つのウイング部を前記直方体の整流機構にもうけたという特徴を有したファンフィルターユニットであり、ターボファンから吹き出された風を整流機構の両側の長手方向の側面からウイング部を経由して、ターボファンの底面で覆われたフィルター面などの空気の流れが行き届きにくい領域に空気の流れを案内するとともに、整流機構の側面部にて風の流れをチャンバー全体に広がるように案内することで、フィルターに対し満遍なく風を送ることができるという作用を有する。
【００７８】
本発明の請求項１９記載の発明は、前記直方体の整流機構の短手方向側にフィルター側に風の流れが向かうように流れを規制する板状の誘導部を設け、誘導部は、誘導部を流れる風が下流方向に向かうにつれ、誘導部との距離が小さくなる誘導部を２面以上持つという特徴を有したファンフィルターユニットであり、ファンから吹き出される風をファンフィルターユニットの中央付近に案内し、チャンバー全体に風を行き届かせることができるという作用を有する。
【００７９】
本発明の請求項２０記載の発明は、前記直方体の整流機構の短手方向に形成された誘導部に直方体の外周部よりも外側に空気を流さないように側壁を形成したという特徴を有したファンフィルターユニットであり、誘導部に形成された側壁により、ファンフィルターユニットの中央付近に誘導し、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるという作用を有する。
【００８０】
本発明の請求項２１記載の発明は、送風方向をファンフィルターユニット本体の中心部に誘導するように、前記直方体の整流機構の両側面を滑らかな曲面形状としたという特徴を有したファンフィルターユニットであり、滑らかな曲面により、スムーズにチャンバー全体に空気の流れを案内するとともに、制御部直下の空気の流れの行き届きにくい領域にもスムーズに風の流れを案内することができるという作用を有する。
【００８１】
本発明の請求項２２記載の発明は、３台以上のファンモータユニットをチャンバー内に備え、ファンモータユニットをジグザグ状に配置し、隣接する２台のファンモータユニットの間に整流機構を設けたという特徴を有したファンフィルターユニットであり、ファンモータユニットの間に整流機構を設けることにより、チャンバー内の風速分布を改善して、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるファンフィルターユニットを提供できる。
【００８２】
（実施の形態１）
図１及び図２に示すように、小型ターボファン１と駆動用のモータ２で構成されるファンモータ３は、ファンモータ固定具４により中心部で支えられ、前記ファンモータ３と前記ファンモータ固定具４と前記ファンモータ固定具４の両端に設けられた支持立板５で構成されるファンモータユニット６が、チャンバー７に固定されている。支持立板５とファンモータ固定具４とは全体としてブリッジ状の形状を成し、支持立板５がチャンバー７に立設して固定される。前記ファンモータユニット６間には、ファンモータ３の回転中心を結んだ線分の中点を通過するように、個々の前記小型ターボファン１から吹き出される風の干渉を防ぐため整流機構９が配置されている。また、図２に示すように、空気を清浄化するフィルター８が、チャンバー７の下部に取り付けられている。
【００８３】
上記構成により、ファンモータ３を運転させると、図中の矢印で示すとおり、装置上部の吸込口（図示せず）から空気が吸込まれ、チャンバー７内に送り込まれる。その空気はフィルター８により粉塵等を除去して清浄化された後に、対象の空間に供給される。このとき、２つの小型ターボファン１から放射状に吹き出される風は、整流機構９により、互いに衝突や干渉することなく、チャンバー７全体に広がっていき、フィルター８に流入する構成となっている。
【００８４】
さらに、整流機構９の形状を平板形状の平板状の板１０（図３）とすることで、個々の小型ターボファン１から吹き出された風は、互いに干渉することなく整流機構９の構造により、風速を乱すことなく、チャンバー７内に均一に広がり、フィルター８に流入する風速を均一化することができる。この場合には、２つの小型ターボファン１から放射状に吹き出される空気の一部は、支持立板５Ａ、５Ｂにより風向を規制され、平板状の板１０に案内されるので、互いに風が衝突せず、チャンバー７内で風の乱れを生じないようにして、フィルター８に通風する構成となっている。
【００８５】
また、平板状の板１０に対して対称位置にファンモータユニット６が配置されるので、風の流れもほぼ対象となり、双方の風速分布を同一に保つことができる。
【００８６】
（実施の形態２）
図４に示すように、平板状の板１０を、ファンの回転方向の下流側に大きな空間ができるように、すなわち２台のファンモータユニット６の回転軸を結んだ線分の垂直二等分線に対して傾けて配置している。（この図４では小型ターボファン１は反時計回りに回転し、反時計回りの気流（矢印で記載）を生成する。下流側に大きな空間を作るように傾けて配置するとは、平板状の板１０の近傍での下流側に空間１８ができるように平板状の板１０を傾けて配置することである）。
【００８７】
上記構成において、支持立板５Ａによって方向を規制されたファン１からの気流は、平板状の板１０の側壁に沿って移動するときに、流路が次第に拡大するため吹き出し抵抗を少なくして移動できるので圧力変動が少なくなり、ファン１による送風効率を向上させることができる。すなわち、平板状の板１０を気流方向に対して圧力変動の少ない配置とすることにより、ファン効率を向上するとともに風速の乱れを少なくして、チャンバー７内の風速分布を平均化することができ、さらにフィルター８に供給する風速を均一化することができる。
【００８８】
（実施の形態３）
図５に示すように、平板状の板１０に逆向きの折り曲げ部１１Ａ、１１Ｂを設け、折り曲げ部１１Ａ、１１Ｂは送風方向を拡大する向きとしている。また平板状の板１０は、２台のファンモータユニット６間の中央に位置している。
【００８９】
上記構成において、支持立板５Ａによって方向を規制された小型ターボファン１からの気流は、平板状の板１０の側壁に沿って移動するときに、折り曲げ部１１Ａ、１１Ｂがあるため、平板状の板１０の側壁と小型ターボファン１の外周部との間隔が、まず少し拡大し、次に少し縮小し、さらに大きく拡大する（左側の小型ターボ小型ターボファン１の周りに矢印で図示）。これにより小型ターボファン１からの流速をいったん大きくした後に、吹出し側に向かって気流を拡大させることができ、小型ターボファン１から吹き出す気流に勢いを付けることで、送風方向に遠く広く拡散することができ、フィルター８の隅々まで供給して、全体的に風速を均一化することができる。
【００９０】
（実施の形態４）
図６および図７および図８に示すように、各小型ターボファン１Ａ、１Ｂから吹き出す気流を受ける平板状の板１０に略水平方向に折り曲げたウイング部１２Ａ、１２Ｂを２ヶ所形成し、ウイング部１２Ａ、１２Ｂはそれぞれ逆方向に曲げられ、各小型ターボファン１Ａ、１Ｂに向い突設している。またウイング部１２Ａ、１２Ｂの先端は、相対的に小型ターボファン１Ａ、１Ｂの下端部より下方に位置させている。
【００９１】
上記構成において、小型ターボファン１Ａ、１Ｂからの気流は、支持立板５Ａで方向を規制されて平板状の板１０に沿って流れ、さらに略水平方向に曲げられたウイング部１２Ａ、１２Ｂによって小型ターボファン１Ａ、１Ｂ方向に風向が変更される。これにより気流がストレートにフィルター８側に流入しないようにして、小型ターボファン１Ａ、１Ｂで覆われた風の行き届き難い範囲に案内される。
【００９２】
また、ウイング部１２Ａ、１２Ｂを相対的に小型ターボファン１Ａ、１Ｂの下端部より下方に位置させることで、効率よく小型ターボファン１Ａ、１Ｂとフィルター８間に気流を案内することができ、フィルター８のデッドスペースを解消して、フィルター８に対して均一な風速分布を得ることができる。
【００９３】
また、ウイング部に通風孔を設けることで、ウイング部１２Ａ、１２Ｂの直下にも供給されるので、フィルターに対してデッドスペースのない良好な風速分布を形成することができる。
【００９４】
（実施の形態５）
図９に示すように、本実施形態の整流機構は、柱状で、チャンバーに接地させた側の面よりもチャンバー空間内で下流側に突出させた面が小さくなるようにファンと正対した面を傾斜させた傾斜部１３を有するものである。
【００９５】
上記の構成において、個々の小型ターボファン１から吹き出される風を傾斜部１３によりチャンバー７中央部分に誘導し、個々の小型ターボファンから吹き出された風を干渉させること無く、傾斜部１３の形状に沿うように風をチャンバー７中央部に集約し、フィルター８から吹き出される風の風速分布を均一化できる。
【００９６】
また、図１０、図１１および図１２に示すように、傾斜部１３にチャンバー上面と直交する複数のリブ１４が配置されている。
【００９７】
また、傾斜部１３に設けられたリブ１４は、傾斜部１３に沿うように流れる風の一部を傾斜部１３直下の領域にも流すことができる。
【００９８】
また、図１１に示すように、リブ１４の両端に設けられた折り曲げ部１１は、チャンバー７端部を流れる風の一部を傾斜部１３へと誘導し、チャンバー７中央部に風を集約し、フィルター８から吹き出される風の風速分布を均一化できるという作用を有する。
【００９９】
また、図１２に示すように、リブ１４を、送風方向を拡大する向きに、すなわちファンと正対するような角度でリブを立てることにより、チャンバー７中央部に風を集約し、フィルター８から吹き出される風の風速分布を均一化できるという作用を有する。
【０１００】
（実施の形態６）
図１３および図１４に示すように、前記整流機構９を直方体形状とし、内部に制御部を搭載したものである。
【０１０１】
上記の構成において、個々の小型ターボ小型ターボファン１から吹き出された風は、互いに干渉することなく直方体の整流機構１５の側面に沿って移動し、風速を乱すことなく、チャンバー７内に均一に広がり、フィルター８に流入する風速を均一化することができる。
【０１０２】
また、直方体の整流機構１５の側面に設けられた通風孔より、小型ターボファン１から吹き出された風は、スリット状の通風孔を経由して、直方体の整流機構１５の内部に流入する。この流入した風は、直方体の整流機構１５の内部に設けられた制御部の電子部品を冷却し、もう片側の直方体の整流機構１５の側面により、再び通風孔を経由して、チャンバー７内に行き届き、風速を乱すことなくチャンバー７内に均一に広がり、フィルター８に流入する風速を均一化することができる。
【０１０３】
また、直方体の整流機構１５の側面に設けられた通風孔より流入した風は、直方体の整流機構１５の内部に設けられた制御部の電子部品を冷却するとともに、直方体の整流機構１５の底面に設けられた通風孔により、直方体の整流機構１５の底面で覆われているため空気の流れが行き届きにくいフィルター８の領域にも風の流れを案内することができるという作用を有する。
【０１０４】
（実施の形態７）
図１５および図１６に示すように、各小型ターボファン１Ａ、１Ｂから吹き出す気流を受ける直方体の整流機構１５の側面に略水平方向に折り曲げたウイング部１２Ａ、１２Ｂを２ヶ所形成し、ウイング部１２Ａ、１２Ｂはそれぞれ逆方向に曲げられ、各小型ターボファン１Ａ、１Ｂに向い突設している。またウイング部１２Ａ、１２Ｂの先端は、相対的に小型ターボファン１Ａ、１Ｂの下端部より下方に位置させている。
【０１０５】
上記の構成において、小型ターボファン１より吹き出された風は通風孔より流入し、直方体の整流機構１５の内部に設けられた制御部の電子部品を冷却するとともに、通風孔のない直方体の整流機構１５の長手方向の側面により、吹き出された風は、互いに干渉することなくチャンバー７内に均一に広がり、フィルター８に流入する風速を均一化し、ウイング部１２Ａ、１２Ｂにより、ターボファン１底面直下の空気の流れが行き届きにくいフィルター８領域に空気の流れを案内することができる。
【０１０６】
（実施の形態８）
図１７および図１８に示すように、直方体の整流機構１５の短手方向側にフィルター８側に風の流れが向かうように流れを規制する誘導部１６を設け、誘導部１６は誘導部１６を流れる風が下流方向に向かうにつれ、フィルター８と誘導部１６との距離が小さくなる誘導部１６を２面以上持つ構成となっている。
【０１０７】
上記の構成において、小型ターボファン１から吹き出され、チャンバー端部を流れる風は、誘導部１６を経由して、チャンバー７の中央部に風を集約することができ、フィルター８から吹き出される風の風速分布を均一化できるという作用を有する。
【０１０８】
また、誘導部１６に設けられた側壁１９により、チャンバー端部を流れる風を側壁に沿って容易にチャンバー７の中央部に風を集約することができ、フィルター８から吹き出される風の風速分布を均一化できるという作用を有する。
【０１０９】
（実施の形態９）
図１９に示すように、ファンモータユニット６の間に配置された直方体の整流機構１５は、両側面を滑らかな曲面形状としたものである。
【０１１０】
上記の構成において、滑らかな曲面形状により直方体の整流機構１５底面で覆われているため空気の流れが行き届きにくいフィルター８の領域に効率よくも風の流れを案内することができるという作用を有する。
【０１１１】
（実施の形態１０）
図２０に示すように、３台のファンモータユニット６の間に、個々の前記小型ターボファン１から吹き出される風の干渉を防ぐため整流機構９が配置されている。
【０１１２】
上記の構成において、個々の小型ターボファン１から吹き出された風は、互いに干渉することなく整流機構９の構造により、風速を乱すことなく、チャンバー７内に均一に広がり、フィルター８に流入する風速を均一化することができる。
【産業上の利用可能性】
【０１１３】
本発明にかかるファンフィルターユニットは、チャンバー内部に整流機構を設けることにより、フィルター下流側に整流板等を設けることなく、フィルターから吹き出す空気の風速分布を均一化する効果を有し、また、制御部の電子部品を風によって冷却することにより、長寿命化を図れるファンフィルターユニットとして有用である。
【図面の簡単な説明】
【０１１４】
【図１】本発明の実施の形態１のファンフィルターユニットの下面透視図
【図２】同実施の形態１のファンフィルターユニットの断面図（（ａ）図１のＡ−Ａ側面断面図、（ｂ）図１のＢ−Ｂ側面断面図）
【図３】同実施の形態１の下面透視図
【図４】同実施の形態２の下面透視図
【図５】同実施の形態３の下面透視図
【図６】同実施の形態４の下面透視図
【図７】同実施の形態４の下面透視図
【図８】同実施の形態４のファンフィルターユニットの断面図
【図９】同実施の形態５の下面透視図
【図１０】同実施の形態５の下面透視図
【図１１】同実施の形態５の下面透視図
【図１２】同実施の形態５の下面透視図
【図１３】同実施の形態６の下面透視図
【図１４】同実施の形態６の下面透視図
【図１５】同実施の形態７の下面透視図
【図１６】同実施の形態７の下面透視図
【図１７】同実施の形態８の下面透視図
【図１８】同実施の形態８の下面透視図
【図１９】同実施の形態９の下面透視図
【図２０】同実施の形態１０の下面透視図
【図２１】従来のファンフィルターユニットの下面透視図（（ａ）従来のファンフィルターユニットの実施例における平面図、（ｂ）従来のファンフィルターユニットの実施例における平面図）
【符号の説明】
【０１１５】
１Ａ    小型ターボファン
１Ｂ    小型ターボファン
２      モータ
３      ファンモータ
４      ファンモータ固定具
５Ａ    支持立板
５Ｂ    支持立板
６      ファンモータユニット
７      チャンバー
８      フィルター
９      整流機構
１０    平板状の板
１１Ａ  折り曲げ部
１１Ｂ  折り曲げ部
１２Ａ  ウイング部
１２Ｂ  ウイング部
１３    傾斜部
１４    リブ
１５    直方体の整流機構
１６    誘導部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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