(57)【要約】【課題】ウエハテストのための処理方法および処理装置において合理的かつ効率的なテスト結果確定を可能とすること。【解決手段】ウエハ上の各デバイスについてウエハテスタまたはウエハプローバによるテストの結果データを取得し、これに基づいてウエハ上の各デバイスについてパス／フェールに関する第１のデータを作成し、これらのデータを保持し、ウエハ上の各デバイスについてウエハテスタまたはウエハプローバによる、上記テストとは実行タイミングの異なるテストの結果データを取得し、これに基づいてウエハ上の各デバイスについてパス／フェールに関する第２データを作成し、あらかじめ設定された基準に基づいて第１のデータおよび第２のデータからいずれかを選択し、該選択されたデータをウエハ上の各デバイスについての最終的なパス／フェールに関するデータと判定する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハ上の各デバイスについてのウエハテスタまたはウエハプローバによる第１のテストにおける結果を第１のデータとして取得し、
前記第１のデータに基づいて前記ウエハ上の前記各デバイスについてパス／フェールに関する第２のデータを作成し、
前記第１、第２のデータを保持し、
前記ウエハ上の前記各デバイスについての前記ウエハテスタまたは前記ウエハプローバによる、前記第１のテストとは実行タイミングの異なる第２のテストにおける結果を第３のデータとして取得し、
前記第３のデータに基づいて前記ウエハ上の前記各デバイスについてパス／フェールに関する第４のデータを作成し、
あらかじめ設定された基準に基づいて前記第２のデータおよび前記第４のデータからいずれかを選択し、該選択されたデータを前記ウエハ上の前記各デバイスについての最終的なパス／フェールに関するデータと判定すること
を特徴とする、ウエハテストのための処理方法。
【請求項２】
前記第１のデータ、前記第３のデータが、それぞれ、少なくともＢＩＮデータを含み、さらに、フューズデータ、テスト制御データ、およびプローブデータのうち少なくともひとつを含むことを特徴とする請求項１記載の、ウエハテストのための処理方法。
【請求項３】
前記第２のデータ、前記第４のデータが、それぞれ、パス、リペアパス、フェールのいずれであるかを表わすデータであることを特徴とする請求項１記載の、ウエハテストのための処理方法。
【請求項４】
さらに、前記選択されたデータに対応する前記第１のデータまたは前記第３のデータを、前記ウエハ上の前記各デバイスについてのテストにおける最終的な結果とすることを特徴とする請求項１記載の、ウエハテストのための処理方法。
【請求項５】
ウエハ上の各デバイスについてのウエハテスタまたはウエハプローバによる第１のテストにおける結果を第１のデータとして取得する手段と、
前記第１のデータに基づいて前記ウエハ上の前記各デバイスについてパス／フェールに関する第２のデータを作成する手段と、
前記第１、第２のデータを保持する手段と、
前記ウエハ上の前記各デバイスについての前記ウエハテスタまたは前記ウエハプローバによる、前記第１のテストとは実行タイミングの異なる第２のテストにおける結果を第３のデータとして取得する手段と、
前記第３のデータに基づいて前記ウエハ上の前記各デバイスについてパス／フェールに関する第４のデータを作成する手段と、
あらかじめ設定された基準に基づいて前記第２のデータおよび前記第４のデータからいずれかを選択し、該選択されたデータを前記ウエハ上の前記各デバイスについての最終的なパス／フェールに関するデータと判定する手段と
を具備することを特徴とする、ウエハテストのための処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハテストのための処理方法および処理装置に係り、特に、合理的かつ効率的なテスト結果の確定に適する処理方法および処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ上に形成された各デバイスをウエハの段階でテストすることは、その後の工程での無駄な労力やコストを軽減する上で必須である。デバイスの高集積化や高機能化に伴い、このようなテストはテスト自体が多段階に行われている。各段階のテストでは、一般に、そのＢＩＮデータやパス／フェールのデータに基づき次段階のテストに引き継ぐべきフューズデータ、テスト制御データ、プローブデータなどのデータが各デバイスごとに作成される。
【０００３】
ＢＩＮとは、正常デバイスと不良デバイスとを分類する基準のことでありＢＩＮデータは数値として表わされる。フューズデータとは、デバイス上に形成された冗長回路を活用するためのフューズの位置アドレスに関するデータである。このデータにより後段階で冗長回路を活かしデバイスの救済を図ることができる。テスト制御データとは、次段階テストに引き継ぐべき制御データ一般である。プローブデータとは、そのデバイスを次段階でプロービングするかしないかの指示データである。
【０００４】
このようなテストにおいて、テスタやプローバなどのテスト治具の異常に起因するデバイス歩留まりの低下を回避するため同一テストを複数回行う（やり直す）ことがある。テストを複数回行った場合にどのように合理的かつ効率的なテスト結果確定を行うかについては、現状ではあまり考慮されておらず、例えば単純にやり直しの結果のほうを用いることが行われている。例えば、下記特許文献１に開示の方法は、測定端子の不良の有無を判定する系が備えられ、この不良判定に基づき別のテスタの正常な測定端子によるテストが再度行われる。
【特許文献１】特開平１１−２２３６６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、ウエハテストのための処理方法および処理装置において、合理的かつ効率的なテスト結果確定が可能な、ウエハテストのための処理方法および処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様である、ウエハテストのための処理方法は、ウエハ上の各デバイスについてのウエハテスタまたはウエハプローバによる第１のテストにおける結果を第１のデータとして取得し、前記第１のデータに基づいて前記ウエハ上の前記各デバイスについてパス／フェールに関する第２のデータを作成し、前記第１、第２のデータを保持し、前記ウエハ上の前記各デバイスについての前記ウエハテスタまたは前記ウエハプローバによる、前記第１のテストとは実行タイミングの異なる第２のテストにおける結果を第３のデータとして取得し、前記第３のデータに基づいて前記ウエハ上の前記各デバイスについてパス／フェールに関する第４のデータを作成し、あらかじめ設定された基準に基づいて前記第２のデータおよび前記第４のデータからいずれかを選択し、該選択されたデータを前記ウエハ上の前記各デバイスについての最終的なパス／フェールに関するデータと判定する。
【０００７】
また、本発明の別の態様である、ウエハテストのための処理装置は、ウエハ上の各デバイスについてのウエハテスタまたはウエハプローバによる第１のテストにおける結果を第１のデータとして取得する手段と、前記第１のデータに基づいて前記ウエハ上の前記各デバイスについてパス／フェールに関する第２のデータを作成する手段と、前記第１、第２のデータを保持する手段と、前記ウエハ上の前記各デバイスについての前記ウエハテスタまたは前記ウエハプローバによる、前記第１のテストとは実行タイミングの異なる第２のテストにおける結果を第３のデータとして取得する手段と、前記第３のデータに基づいて前記ウエハ上の前記各デバイスについてパス／フェールに関する第４のデータを作成する手段と、あらかじめ設定された基準に基づいて前記第２のデータおよび前記第４のデータからいずれかを選択し、該選択されたデータを前記ウエハ上の前記各デバイスについての最終的なパス／フェールに関するデータと判定する手段とを具備する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、ウエハテストのための処理方法および処理装置において、合理的かつ効率的なテスト結果確定が可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明の一態様または別の態様である、ウエハテストのための処理方法または処理装置によれば、実行タイミングの異なる各テストにおけるウエハ上の各デバイスについてのテスト結果の各データから、それぞれ、各デバイスについてパス／フェールに関するデータが作成される。そして、このパス／フェールに関するそれぞれのデータから、あらかじめ設定された基準に基づいていずれかを選択し、該選択されたデータを最終的なパス／フェールに関するデータと判定する。したがって、各テストの結果が機械的に廃棄されることがなく有効に利用され得る。よって、合理的かつ効率的なテスト結果確定が可能になる。
【００１０】
なお、処理装置における各手段としては、例えば、マイクロプロセッサ、メモリ、インターフェースなどのハードウエアと、これらのハードウエハ上で動作する基本ソフトウエア（ＯＳ）およびアプリケーションプログラムとで構成することができる。また、「あらかじめ設定された基準」としては、パス／フェールに関する各データがそれぞれパス、フェールのときパスを優先させる設定、あるいは逆にこのときフェールを優先させる設定があり得る。
【００１１】
本発明の実施態様として、前記第１のデータ、前記第３のデータが、それぞれ、少なくともＢＩＮデータを含み、さらに、フューズデータ、テスト制御データ、およびプローブデータのうち少なくともひとつを含む、とすることができる。ＢＩＮとは、正常デバイスと不良デバイスとを分類する基準のことでありＢＩＮデータは数値として表わされる。フューズデータとは、デバイス上に形成された冗長回路を活用するためのフューズの位置アドレスに関するデータである。このデータにより後段階で冗長回路を活かしデバイスの救済を図ることができる。テスト制御データとは、次段階テストに引き継ぐべき制御データ一般である。プローブデータとは、そのデバイスを次段階でプロービングするかしないかの指示データである。これらのデータを含むことにより、テストが複数の段階で行われる場合に対応することができる。
【００１２】
また、実施態様として、前記第２のデータ、前記第４のデータが、それぞれ、パス、リペアパス、フェールのいずれであるかを表わすデータである、とすることができる。このようなデータとすれば、パス／フェールに関するデータとしてより実際的である。パス、フェールのみとする場合も考えられる。各データがパス、リペアパス、フェールのいずれかである場合には、パス、リペアパスの組合せのときリペアパスを優先させる設定や、リペアパス、フェールの組合せのときリペアパスを優先させる設定があり得る。
【００１３】
また、実施態様として、さらに、前記選択されたデータに対応する前記第１のデータまたは前記第３のデータを、前記ウエハ上の前記各デバイスについてのテストにおける最終的な結果としてもよい。これによれば、デバイスについてのテスト結果としてパス／フェールに関するデータ以外のデータが必要な場合に対応できる。
【００１４】
以上を踏まえ、以下では本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。図１は、一実施形態に係る、ウエハテストのための処理装置を含んだテストシステムの構成を示すブロック図である。図１に示すように、このシステムは、処理装置１０を中心にウエハテスタ２０、ウエハプローバ３０、フューザ装置５１、ウエハテスタ５２、ウエハプローバ５３を有しており、処理装置１０とウエハテスタ２０およびウエハプローバ３０との間はネットワーク４１で接続され、処理装置１０とフューザ装置５１、ウエハテスタ５２、およびウエハプローバ５３との間はネットワーク４２で接続されている。
【００１５】
処理装置１０は、このシステムで必要な処理を行う本体であり、例えば汎用の情報処理装置（ＰＣなど）に必要なソフトウエアを組み込んだものとすることができる。ウエハテスタ２０は、ウエハ段階の各デバイスに対して諸テストを行う機能を有し、このテストのためウエハプローバ３０と相互に接続されている。ウエハプローバ３０は、ウエハ段階の各デバイスにプロービングする機能を少なくとも有する装置であり、プロービングによりウエハテスタ２０からの試験信号のデバイスへの印加、および試験信号による発生信号のデバイスからの取り出しを行う。ウエハテスタ２０およびウエハプローバ３０は、ウエハに対するひとつのテスト工程段階のための装置である。
【００１６】
ウエハテスタ２０およびウエハプローバ３０によるテストの結果は、ＢＩＮデータ保持部２２、フューズデータ保持部２３、テスト制御データ保持部２４、プローブデータ保持部３５に、これらの保持部それぞれに対応のデータとして保持される。ＢＩＮデータ、フューズデータ、テスト制御データ、プローブデータについては、すでに説明した通りである。これらのデータは、ネットワーク４１を介して処理装置１０に送られ得る。ネットワーク４１は、例えばイントラネットである。
【００１７】
処理装置１０は、ネットワーク４１を介して、ウエハテスタ２０およびウエハプローバ３０からテストの結果であるＢＩＮデータ、フューズデータ、テスト制御データ、プローブデータを取得することができる。取得された各データは、それぞれ、ＢＩＮデータ履歴保持部１２、フューズデータ履歴保持部１３、テスト制御データ履歴保持部１４、プローブデータ履歴保持部１５に保持され得る。これらの保持は、テストのプロセス名称、テスト対象のロット番号、ウエハ番号、ウエハ内でのデバイス位置（さらにはデバイス内でのブロック位置）などの情報が付加され対応づけて行われる。これらの付加情報により、履歴となっているデータから同一ウエハに対して同一テストが複数回行われた場合にそれらの結果を、処理部１１が検索処理し取り出すことができる。
【００１８】
処理装置１０がウエハテスタ２０からＢＩＮデータを取得した場合には、続けて、このＢＩＮデータからパス／フェールに関する情報（パス／フェールデータ）が処理部１１で作成され、作成された情報は、パス／フェールデータ履歴保持部１６に保持される。この保持についても、上記説明のＢＩＮデータの保持などの場合と同様に情報の付加、対応づけが行われる。
【００１９】
処理装置１０の処理部１０は、また、ＢＩＮデータ履歴保持部１２、フューズデータ履歴保持部１３、テスト制御データ履歴保持部１４、プローブデータ履歴保持部１５に保持された同一ウエハに対する同一テストの結果履歴から、あらかじめ設定された基準（具体的には後述する）に基づいて適当なものを選択する機能を有する。なお、同一ウエハに対して同一テストが複数回行われるのは、ウエハプローバ３０のプローブなどに再現性のない不具合が生じて信頼性が低下したテスト結果が得られることがあるからである。このような場合のテスト結果はデバイス不良による結果とは本質的に異なるものの、結果としてデバイス歩留まり低下の原因になる。複数回のテストによりこのような不都合をできるだけ排除する。
【００２０】
上記の選択により選ばれたＢＩＮデータ、フューズデータ、テスト制御データ、プローブデータは、それぞれ、判定ＢＩＮデータ保持部１２Ａ、判定フューズデータ保持部１３Ａ、判定テスト制御データ保持部１４Ａ、判定プローブデータ保持部１５Ａに送られ保持される。これらの保持データは、最終的なウエハテスト結果として、次テスト工程などに供され得る。判定ＢＩＮデータ保持部１２Ａに保持されたＢＩＮデータは、例えば、不図示の生産システム（ＭＥＳ）や解析システム（ＹＭＳ）などにそれらの必要データとして供給することもできる。
【００２１】
判定フューズデータ保持部１３Ａに保持されたデータは、ネットワーク４２を介してフューザ装置５１に渡され得る。フューザ装置５１では、渡されたデータに基づいて、ウエハ段階のデバイスに対し、デバイス上に形成された冗長回路を活用すべくフューズを溶断するなどの処理を行う。また、判定テスト制御データ保持部１４Ａに保持されたデータは、ネットワーク４２を介してウエハテスタ５２に渡され得る。判定プローブデータ保持部１５Ａに保持されたデータは、ネットワーク４２を介してウエハプローバ５３に渡され得る。ウエハテスタ５２およびウエハプローバ５３は、ウエハに対して次テスト工程を行う装置であり、渡されたデータに基づきこれを行う。ネットワーク４２は、ネットワーク４１と同様に例えばイントラネットである。
【００２２】
図２は、図１中に示した、ウエハテストのための処理装置における動作のフローを示す流れ図である。以下では、この流れ図を参照して図１中に示した処理装置１０について経時的な動作説明を行う。図２中に示した参照符号と図１中に示したものとは同一符号の場合互いに対応している。
【００２３】
まず、ウエハテスタ２０およびウエハプローバ３０におけるテスト結果であるＢＩＮデータ、フューズデータ、テスト制御データ、プローブデータを、それぞれ、ＢＩＮデータ保持部２２、フューズデータ保持部２３、テスト制御データ保持部２４、プローブデータ保持部３５から取得する（ステップ６１）。すでに説明したように、これらのデータは少なくともウエハ上の各デバイスごとに管理されたデータである。
【００２４】
次に、取得されたＢＩＮデータからパス／フェールデータを作成する（ステップ６２）。そして、取得されたＢＩＮデータ、フューズデータ、テスト制御データ、プローブデータ、および作成されたパス／フェールデータを、履歴としてそれぞれ、ＢＩＮデータ履歴保持部１２、フューズデータ履歴保持部１３、テスト制御データ履歴保持部１４、プローブデータ履歴保持部１５、パス／フェールデータ履歴保持部１６に送り保持させる（ステップ６３）。以上のステップ６１からステップ６３は、同一ウエハに対する同一テストとして実行タイミングを異ならせ複数回行われ得る。
【００２５】
次に、履歴となっている同一ウエハに対する複数の同一テスト結果のデータを、処理部１１が、ＢＩＮデータ履歴保持部１２、フューズデータ履歴保持部１３、テスト制御データ履歴保持部１４、プローブデータ履歴保持部１５、パス／フェールデータ履歴保持部１６から取り出す（ステップ６４）。これは例えば、ウエハテスタ２０およびウエハプローバ３０から新たに、ＢＩＮデータ、フューズデータ、テスト制御データ、プローブデータを取得した場合に、各履歴保持部１３、１４、１５、１６を検索して自動的に行うようにしてもよい。
【００２６】
次に、処理部１１は、あらかじめ設定された基準に基づき、ウエハ上の各デバイスについて、取り出したデータ履歴の中から適切なパス／フェールデータを選択する（ステップ６５）。そして、選択されたパス／フェールデータに対応してデータ履歴の中からＢＩＮデータ、フューズデータ、テスト制御データ、プローブデータを確定し、次テスト工程に反映させる（ステップ６６）。このため、これらのデータは、それぞれ、判定ＢＩＮデータ保持部１２Ａ、判定フューズデータ保持部１３Ａ、判定テスト制御データ保持部１４Ａ、判定プローブデータ保持部１５Ａに送られる。以上で処理装置１０の一連の処理が終了する。
【００２７】
次に、処理装置１０における処理の具体例を図３ないし図１３を参照して説明する。図３は、同一ウエハを２度テストした場合に得られた各デバイスごとのパス／フェールのデータ例をウエハで模式的に示す図である。図３（ａ）が１回目のテストによるパス／フェールデータを示し、図３（ｂ）が２回目のテストによるパス／フェールデータを示している。この例では、ＢＩＮの値により、「パス」「フェール（高ＢＩＮ）」「フェール（低ＢＩＮ）」「フェール」の４種に分類されたパス／フェールデータになっている。テストが行われるごとにこのようにデータが異なるのは、すでに述べたような事情による。
【００２８】
図３に示すような２度のテストのデータ履歴がある場合、今例えば、「パス」を優先とする基準による処理を行うものとする。図４（ａ）は、このような履歴に係るパス／フェールデータ、および処理により得られたパス／フェールデータを模式的に示している。履歴は、図示するように、プロセス名称（この例ではＰ１）、ロット番号（同Ａ）、ウエハ番号（同１）、ウエハ内でのデバイス位置（同ＸおよびＹ）などにより管理されている。
【００２９】
「Ｔｅｓｔ＃１」「Ｔｅｓｔ＃２」は、それぞれ１回目テスト、２回目テストにおける各デバイスのパス／フェールデータであり、括弧内の数値はＢＩＮ値である。この例では最も健全なデバイスにＢＩＮ値１００が与えられ、ＢＩＮ値が低いほど低品質であることを表わしている。ここでは、図４（ａ）に示すように、「Ｔｅｓｔ＃１」と「Ｔｅｓｔ＃２」とでパス／フェールデータが異なり少なくとも一方がパスである場合に、判定の結果としてパスになる。このような処理により、それぞれのテストの段階で歩留まり（Yield）が例えば５０％と低い場合でも、判定結果の段階では歩留まりを例えば８３％に向上することができる。図４（ｂ）は、このような判定結果として得られたパス／フェールのデータ例をウエハで模式的に示す図である。
【００３０】
図５から図９は、図４により説明したパス優先処理に対応したそれぞれ、パス／フェールデータ履歴（パス／フェールデータ履歴保持部１６に保持）とその判定結果、ＢＩＮデータ履歴（ＢＩＮデータ履歴保持部１２に保持）とその判定結果、フューズデータ履歴（フューズデータ履歴保持部１３に保持）とその判定結果、テスト制御データ履歴（テスト制御データ保持部履歴１４に保持）とその判定結果、プローブデータ履歴（プローブデータ履歴保持部１５に保持）とその判定結果である。これらの判定結果（Judge）は、それぞれ、図４により説明したパス優先処理で選択された側の結果に対応している。
【００３１】
なお、図７（フューズデータ履歴と判定結果）および図８（テスト制御データ履歴と判定結果）における「none」は「データなし」を意味し、それ以外の数字はアドレス（図７の場合）を、文字は特定の情報に付与されたラベル（図８の場合）をそれぞれ意味している。また図９における「On」「Off」は次テスト工程でプロービングするかしないかの指示を意味するデータである。
【００３２】
以上の図４から図９ではパス優先の処理の場合を説明したが、あらかじめ設定する基準としては、さらに詳細な基準を加えて設定する場合や、パス優先を採用しない種々の場合が考えられる。これらの場合を図１０を参照して説明する。図１０は、パス／フェールに関する判定基準の各例を示す図である。
【００３３】
図１０において、１行目から３行目は、判定基準としてパス優先のみ設定されている場合である。４行目、５行目は、パス優先に加えて、優先されるべき「パス」の結果が履歴にない場合にはＢＩＮ値の小さい方を選択するという設定の場合である。６行目、７行目は、パス優先に加えて、優先されるべき「パス」の結果が履歴にない場合には、逆にＢＩＮ値の大きい方を選択するという設定の場合である。
【００３４】
さらに、８行目から１０行目は、判定基準としてフェールを優先する設定のみがされている場合である。１１行目、１２行目は、フェール優先に加えて、優先される「フェール」の結果が複数履歴としてある場合にはＢＩＮ値の小さい方を選択するという設定である。１３行目、１４行目は、優先される「フェール」の結果が複数履歴としてある場合には、逆にＢＩＮ値の大きい方を選択するという設定である。
【００３５】
さらに、１５行目から１７行目は、判定基準としてリペアパスを優先する設定のみがされている場合である。リペアパスとは、リペアを行えばパスすることができるＢＩＮ値を有する場合に与えられるパス／フェールデータの１種である。リペアパス優先の場合には、リペアパスとパスとが履歴にあるときにも、リペアパスとフェールとが履歴にあるときにもリペアパスが優先される。１８行目、１９行目は、リペアパス優先に加えて、優先されるべき「リペアパス」の結果が履歴にない場合にはＢＩＮ値の小さい方を選択するという設定の場合である。２０行目、２１行目は、リペアパス優先に加えて、優先されるべき「リペアパス」の結果が履歴にない場合には、逆にＢＩＮ値の大きい方を選択するという設定の場合である。
【００３６】
さらに、２２行目、２３行目は、判定基準としてＢＩＮ値の小さい方を選択するという設定がされている場合である。また、２４行目、２５行目は、判定基準としてＢＩＮ値の大きい方を選択するという設定がされている場合である。
【００３７】
図１０に示した各種の判定基準は、テスト対象である製品の種類によって、あるいは同一製品でも、プロセスやロットなどによってテスト結果確定の合理性や効率性に鑑みて適当なものを選んで用いることができる。
【００３８】
次に、図１１ないし図１３は、それぞれ、判定後（確定後）のフューズデータの構造例、判定後のプロセス制御データの構造例、判定後のプローブデータの構造例を示している。それぞれ、判定フューズデータ保持部１３Ａ、判定テスト制御データ保持部１４Ａ、判定プローブデータ保持部１５Ａに保持される。図示するように、それぞれ、例えばプロセスの名称、ロット番号、ウエハ番号などの情報で対応づけられて保持され、次テスト工程に供され得る。
【００３９】
本実施形態によれば、ウエハプローバ３０などの不具合に起因してテストで一度はフェールの結果になった場合でも、テストを再度行った結果を加味して合理的、効率的にテストの最終結果を得ることができる。これにより名目的な歩留まりを向上することができる。また、テストの測定系不具合からの影響が小さいテスト結果が得られることから、デバイスの不良解析もより円滑化が可能になる。さらに、テストの測定系不具合の早期確定とその修繕という意味でも利点がある。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】一実施形態に係る、ウエハテストのための処理装置を含んだテストシステムの構成を示すブロック図。
【図２】図１中に示した、ウエハテストのための処理装置における動作のフローを示す流れ図。
【図３】同一ウエハを２度テストした場合に得られる各デバイスごとのパス／フェールのデータ例をウエハで模式的に示す図。
【図４】図２に示した処理装置の動作（パス優先の場合）により得られたパス／フェールのデータ例をウエハで模式的に示す図。
【図５】パス／フェールデータ履歴保持部１６が保持する履歴とパス／フェール判定結果との関係を示す図。
【図６】ＢＩＮデータ履歴保持部１２が保持する履歴とＢＩＮデータの判定結果（判定ＢＩＮデータ保持部１２Ａに保持させる）との関係を示す図。
【図７】フューズデータ履歴保持部１３が保持する履歴とフューズデータの判定結果（判定フューズデータ保持部１３Ａに保持させる）との関係を示す図。
【図８】テスト制御データ履歴保持部１４が保持する履歴とテスト制御データの判定結果（判定テスト制御データ保持部１４Ａに保持させる）との関係を示す図。
【図９】プローブデータ履歴保持部１５が保持する履歴とプローブデータの判定結果（判定プローブデータ保持部１５Ａに保持させる）との関係を示す図。
【図１０】パス／フェールに関する判定基準の各例を示す図。
【図１１】判定後のフューズデータの構造例を示す図。
【図１２】判定後のプロセス制御データの構造例を示す図。
【図１３】判定後のプローブデータの構造例を示す図。
【符号の説明】
【００４１】
１０…ウエハテストのための処理装置、１１…処理部、１２…ＢＩＮデータ履歴保持部、１２Ａ…判定ＢＩＮデータ保持部、１３…フューズデータ履歴保持部、１３Ａ…判定フューズデータ保持部、１４…テスト制御データ履歴保持部、１４Ａ…判定テスト制御データ保持部、１５…プローブデータ履歴保持部、１５Ａ…判定プローブデータ保持部、１６…パス／フェールデータ履歴保持部、２０…ウエハテスタ、２２…ＢＩＮデータ保持部、２３…フューズデータ保持部、２４…テスト制御データ保持部、３０…ウエハプローバ、３５…プローブデータ保持部、４１、４２…ネットワーク、５１…フューザ装置、５２…ウエハテスタ、５３…ウエハプローバ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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