(57)【要約】【課題】搬送ビームでの搬送ストロークが足りない分を補充搬送手段で補うようにした移送システムを実現する。【解決手段】Ｘ軸方向にスライダを移動する一対のＸ軸リニアモータを平行配置し、一対のＸ軸リニアモータのスライダ間に橋渡ししたブリッジ部材にＹ軸リニアモータを設け、Ｙ軸リニアモータのスライダに搭載したツールを用いて吸着盤上に載置された加工対象となるワークに対して所定の処理をする位置決めステージにおいて、一対のＸ軸リニアモータに沿ってＸ軸方向に移動する一対の搬送スライダ部材と搬送スライダ部材間に橋渡しされた搬送ブリッジ部材と搬送ブリッジ部材に取り付けられてワークの下面を支持しＸ軸方向に伸びたアーム部材とを備えワークを支持してＸ軸方向に移動しステージの外に対してワークの受け渡しを行うワーク搬送手段と、アーム部材の搬送ストロークを補充してワークを搬送する補充搬送手段とを具備したことを特徴とする位置決めステージである。【選択図】図１
2008030171.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ軸方向にスライダを移動する一対のＸ軸リニアモータを平行配置し、前記一対のＸ軸リニアモータのスライダ間に橋渡ししたブリッジ部材にＹ軸リニアモータを設け、前記Ｙ軸リニアモータのスライダに搭載したツールを用いて吸着盤上に載置された加工対象となるワークに対して所定の処理をする位置決めステージにおいて、
前記一対のＸ軸リニアモータに沿ってＸ軸方向に移動する一対の搬送スライダ部材と
この搬送スライダ部材間に橋渡しされた搬送ブリッジ部材と
この搬送ブリッジ部材に取り付けられて前記ワークの下面を支持しＸ軸方向に伸びたアーム部材とを備え
前記ワークを支持してＸ軸方向に移動しステージの外に対してワークの受け渡しを行うワーク搬送手段と、
前記アーム部材の搬送ストロークを補充して前記ワークを搬送する補充搬送手段と
を具備したことを特徴とする位置決めステージ。
【請求項２】
前記補充搬送手段は、一方の面が前記ワークの下面を支持する第２のアーム部材と、
前記第２のアーム部材の他方の面に一方の面が接続され他方の面が前記アーム部材に接続され前記第２のアーム部材をＸ軸方向に摺動する摺動手段と
を具備したことを特徴とする請求項１記載の位置決めステージ。
【請求項３】
前記摺動手段は、前記第２のアーム部材の他方の面に一方の面が接続され他方の面が前記アーム部材に接続される摺動ブロックと、
この摺動ブロックに螺合されるボールねじの棒と、
このボールねじの棒の一端に取り付けられ前記摺動ブロックをＸ軸方向に摺動するモータと
を具備したことを特徴とする請求項２記載の位置決めステージ。
【請求項４】
前記補充搬送手段は、搬送時に前記ワークを載置したまま前記吸着盤をＸ軸方向に前記ステージ端まで移動する移動手段
を具備したことを特徴とする請求項１記載の位置決めステージ。
【請求項５】
前記一対の搬送スライダ部材は、前記一対のＸ軸リニアモータにより移動操作されること
を特徴とする請求項１乃至請求項４の何れかに記載の位置決めステージ。
【請求項６】
前記アーム部材は、待機状態では前記ワークの加工処理位置外に配置され、前記ワークの搬送時にはＺ軸方向にリフトアップされた前記ワークの下面に移動操作されること
を特徴とする請求項１乃至請求項５の何れかに記載の位置決めステージ。
【請求項７】
前記ワークをその下面側よりＺ軸方向にリフトアップ又はリフトダウン操作するための複数のリフトピン手段を備えること
を特徴とする請求項１乃至請求項６の何れかに記載の位置決めステージ。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７記載の位置決めステージを、Ｘ軸方向に複数個連結したことを特徴とする移送システム。
【請求項９】
前記各位置決めステージは、前記ワークの受け入れ側と受け渡し側が共通のメカニカルインターフェース構造になっていることを特徴とする請求項８記載の移送システム。
【請求項１０】
前記ワーク搬送手段は、上流側の位置決めステージで加工処理済みのワークを、連結された下流側の位置決めステージの加工処理位置に搬送した後に待機位置に戻ることを特徴とする請求項８又は請求項９記載の移送システム。
【請求項１１】
前記ワーク搬送手段は、上流側の位置決めステージで加工処理済みのワークを、連結された下流側の位置決めステージの加工処理位置に搬送し、下流側の位置決めステージで加工処理済みのワークを上流側の位置決めステージの加工処理位置に搬送した後に待機位置に戻ることを特徴とする請求項８又は請求項９記載の移送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ軸方向にスライダを移動する一対のＸ軸リニアモータを平行配置し、一対のＸ軸リニアモータのスライダ間に橋渡ししたブリッジ部材にＹ軸リニアモータを設けＹ軸リニアモータのスライダに搭載したツールを用いて加工対象となるワークに対して所定の処理をするワーク加工装置を有する移送システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
リニアモータおよびワークの移送システムに関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
【０００３】
【特許文献１】特開昭６３−２１３４９０号公報
【特許文献２】特開２０００−０６５９７０号公報
【特許文献３】特開２００６−０８２１４８号公報
【０００４】
以下、特開２００６−０８２１４８号公報に付いて説明する。
図７は、一対のＸ軸リニアモータを所定距離を隔てて平行に配置し、各Ｘ軸リニアモータのスライダ間をブリッジ部材で橋渡しし、このブリッジ部材上にＹ軸リニアモータを設けたワーク加工装置の外観斜視図である。
【０００５】
１はワーク加工装置の筐体であり、上面のＸ軸方向の両端部にＸ軸方向に平行配置した突出部１ａ及び１ｂが形成されて断面が凹状とされ、この凹部１ｃ上面に加工対象となるワーク２が所定位置にセットされる。
【０００６】
３１は突出部１ａの上面にステータが設置されたＸ１軸リニアモータ、３２は突出部１ｂの上面にステータが設置されたＸ２軸リニアモータである。
４１及び４２は、これらリニアモータのステータ上をＸ軸方向に走行するスライダである。
【０００７】
５はブリッジ部材であり、スライダ４１及び４２間に橋渡しし、Ｘ軸に直交するＹ軸方向に平行に配置される。６はブリッジ部材の上面にステータが配置されたＹ軸リニアモータであり、７はこのステータ６上をＹ軸方向に走行するスライダである。
【０００８】
Ｙ軸リニアモータのスライダ７にワーク２に対して所定の処理（液晶、半導体、電子部品等の製作、検査）を実行するためのツール（図示せず）が搭載され、このワーク加工装置はツールのワーク２に対するＸＹ位置決め制御を行う。
【０００９】
しかしながら、上述のワーク加工装置では次のような問題点がある。
（１）ワークをステージ内外に搬入搬出するローダ及びアンローダ並びに搬送装置が位置決めステージ間に専用装置として別途必要であり、連結されるワーク加工装置の数が多くなるとこれら専用装置の占めるスペースのために設置可能なワーク加工装置の数に制約を生じ、スペース効率が低下する。
【００１０】
（２）また、専用装置の数が増加すると、ワーク加工装置以外の付帯コストが増加し、移送システムを構築するためのコスト低減の障害要因となる。
【００１１】
図８はスペース効率とコスト低減を図った移送システムを示すもので上述の［特許文献３］の特開２００４−２６７１３７号公報に記載されたものである。
図８において、１０１、１０２、１０３はＸ軸方向に３個連結された同一構造のワーク加工装置である。ワーク加工装置１０１にセットされたワーク２は、このステージでの加工が終了すると矢印Ｐで示すようにＸ軸方向に移送され、ワーク加工装置１０２に２’で示す位置にセットされてこのステージでの加工が実行される。
【００１２】
更に、このステージでの加工が終了すると矢印Ｐ’で示すようにＸ軸方向に移送され、ワーク加工装置１０３に２”で示す位置にセットされてこのステージでの加工が実行され、次に、矢印Ｐ”方向に移送される。
【００１３】
ワーク加工装置１０１とワーク加工装置１０２とが結合するインターフェース部２０１及びワーク加工装置１０２とワーク加工装置１０３とが結合するインターフェース部２０２は、ワーク加工装置１０３の凹部１０３ｃと同一の凹部形状を有する共通のメカニカルインターフェース構造になっており、任意個数のワーク加工装置を共通のインターフェースで連結結合することが可能となっている。
【００１４】
図９は、図８におけるインターフェース部２０１及びインターフェース部２０２においてワーク加工装置の筐体内部に形成される移送手段３０１及び３０２の配置を示す平面図である。
移送手段は、上流側のワーク加工装置にセットされたワークにアクセスして移送し、これを下流側のワーク加工装置の所定位置に移送するアクチュエータ機能を備えた手段で実現される。
【００１５】
図１０は、移送手段の構成例を示す斜視図である。平行レール６０１，６０２上を走行するスライダ７００にアクチュエータ８００が搭載され、このアクチュエータで伸縮駆動される操作アーム９０１，９０２により、ワークを乗せて移送させる。
図１１は、操作アーム９０１，９０２が伸ばされた状態を示す斜視図である。
【００１６】
次に、吸着盤６０が使用された、２００６年４月１４日出願の先願に関わる出願番号２００６−１１２３７３号のワーク加工装置に付いて説明する。
図１２はワーク加工装置の一実施形態を示す平面図（ａ），正面図（ｂ），側面図（ｃ）である。なお、図７で説明した従来例と同一要素には同一符号を付している。
【００１７】
図１２において、ワーク２は透明体として表示している。このワーク２は吸着盤６０の所定の箇所に配置されている。３０は処理手段であり、ブリッジ部材５に沿ってＹ軸方向に往復移動する。
【００１８】
５０はチューブで、このチューブの一端が吸着盤６０の裏面に装着されており、他端は図示しない真空・加圧ポンプに接続されている。
７０は筐体１に取付けられたワーク搬送手段であり、図示の例では矩形状のワーク２の長手方向の端部付近の対向する側面に４個設けられている。
【００１９】
このワーク搬送手段７０はワーク処理中はワーク２からわずかに離れた位置に配置されており、矢印Ａ方向（ｃ図参照）に往復移動する。
図１２はワーク加工装置での加工処理が終了し、ブリッジ部材５が上流側に移動し、吸着盤６０による吸着状態が解除され、チューブ５０から圧縮気体が送風されてワークがＺ方向に記号Ｋで示す距離（例えば０．５ｍｍ）浮上するとともに、ワーク搬送手段７０ａ，７０ａ’，７０ｂ，７０ｂ’の先端部が矢印Ａ方向に伸長してワークの側面を支持した状態を示している。
【００２０】
図１３はワーク搬送手段７０がワーク２を支持した状態で矢印Ｇ方向に移動し、２台並べたワーク加工装置の下流側の装置へワーク２を移動させている状態を示すものである。
この場合、ワーク搬送手段７０自身がリニアモータにより単独で又はワーク搬送手段７０ａ，７０ａ’およびワーク搬送手段７０ｂ，７０ｂ’が一対となって移動し、下流側のワーク搬送手段７０ｃ，７０ｃ’，７０ｄ，７０ｄ’はワーク２が自身の前に来た段階でワーク２の側面に向かって先端部を伸長させ、ワークを支持して所定の位置に移動させる。なお、ワーク２が移動している状態ではブリッジ部材５はそれぞれのワーク加工装置の上流側（図示の位置）に待機している。
【００２１】
図１４はワーク２が下流側のワーク加工装置の所定の位置に移動し、ワーク搬送手段７０がワークの側面から離れるとともに吸引が開始されてワーク２が吸着盤６０に固定された状態を示している。
また、この例では上流側のワーク加工装置の所定の位置に新たなワークが固定され、ブリッジ部材５に搭載された処理手段３０によりワーク２のそれぞれに対して加工が施されている状態を示している。
【００２２】
図１５は上述のワーク搬送手段７０にストッパ７３を設けた例を示すもので、ワークへの加工処理が終了すると、ワーク搬送手段を構成する伸長部材７０ｘがワークの端部上方ヘ矢印Ｂ方向に移動する。
次にワークの吸引が解除され矢印Ｚ方向からの圧縮気体の噴射によりワーク２が浮上する。浮上したワークはストッパ７３で浮上が阻止される。
【００２３】
次に伸長手段７０ｘが矢印Ｅ方向に移動してワーク２を支持し、支持した状態でストッパ７３がわずかに上方に移動してワークとは非接触の状態となる。
次にワーク搬送手段７０がＸ方向に移動してワークを移動させる。
【００２４】
図１６はワーク搬送手段の他の実施例を示す要部平面図（ａ）、正面図（ｂ）及び側面図（ｂ）である。
この例では回転部材７２を有するワーク搬送手段７１自身が筐体１に固定されており、ワークは回転部材７２に支持され、回転部材７２の回転により搬送される。
【００２５】
図１６ではワーク加工装置での加工処理が終了し、ブリッジ部材５が上流側に移動し、吸着盤６０による吸着状態が解除され、ワーク搬送手段７０のチューブ５０から圧縮気体が送風されてワーク２が矢印Ｚ方向にＫで示す距離だけ浮上してストッパ７３に当接した状態を示している。
【００２６】
図１７はワーク搬送手段７１の部分詳細説明図である。この状態では回転部材７２とワーク２は非接触の状態になっている。
次にストッパ７３がわずかに上方に移動してワーク２と非接触の状態となり、ワーク搬送手段７１が矢印Ｅ方向に移動してワーク２の側面に接触する。
そして接触した状態で回転部材７２が矢印Ｃ方向に回転することによりワーク２が矢印Ｄ方向に移動可能となる。
【００２７】
図１８はこのようなワーク加工装置を複数台（図示の例では２台）直列方向に並べた状態を示しており、回転部材７２が回転し、ワーク２を矢印Ｇ方向に移送している途中の状態を示している。
ワーク２は移送前の状態では搬送手段７１ａ，７１ａ’，７１ｂ，７１ｂ’の回転部材７２（図５参照）で支持されているが、移送の途中では７１ｂ，７１ｂ’，７１ｃ，７１ｃ’で支持された状態となる。
【００２８】
図１９は移送が終了し、先に図１６で説明した逆の操作が行われワーク２を吸着盤６０上に載置した状態を示している。
即ち、図１６に示すストッパ７３をワーク２に接触させ、回転部材７２をワーク２の側面から離間させ、圧縮気体の圧力を下げて吸着盤６０上に載置して吸着し固定する。
これらワーク搬送部材の動作は図示しない制御装置により制御される。
また、ワーク２のＸＹ方向の正確な位置決めは別の手段により行うものとする。
【００２９】
次に、アーム部材８７，８８が使用された、２００５年１０月７日出願の先願に関わる出願番号２００５−２９４５４３号のワーク加工装置に付いて説明する。
【００３０】
図２０は本発明を適用したワーク加工装置の一実施形態を示す外観斜視図である。図７、図８と同一要素には同一符号を付して説明を省略する。
以下、本発明の特徴部につき説明する。
【００３１】
本発明は、ワークを支持してＸ軸方向に移動し、ステージの外に対してワークの受け渡しを行うワーク搬送手段を、ワーク加工装置自身に備える構成を特徴としている。
図２０により、ワーク搬送手段の構成を説明する。
【００３２】
本発明が適用されるワーク搬送手段の基本構成は、一対のＸ軸リニアモータ３１，３２に沿ってＸ軸方向に移動する一対の搬送スライダ部材８１，８２と、この搬送スライダ部材間に橋渡しした搬送ブリッジ部材８３と、この搬送ブリッジ部材に取り付けられてワークの下面を支持するアーム部材８７，８８よりなる。
【００３３】
一対の搬送スライダ部材８１，８２は、スライダ４１，４２と共通に、一対のＸ軸リニアモータ３１，３２上をＸ軸方向に移動操作される。
これら一対の搬送スライダ部材８１，８２間を橋渡しして、搬送ブリッジ部材８３が配置されている。
【００３４】
８４はＹ軸リニアモータであり、搬送ブリッジ部材８３上にＹ軸方向に配置されている。このＹ軸リニアモータ８４は、ブリッジ部材５に配置されたＹ軸リニアモータ５と同一構造とすることができる。
【００３５】
８５，８６は一対のスライダであり、Ｙ軸リニアモータ８４上を夫々が独立してＹ軸方向に移動操作される。これらスライダも、Ｙ軸リニアモータ５上に配置されたスライダ７と同一構造とすることができる。
【００３６】
８７，８８は一対のアーム部材であり、リフトアップされたワーク２の下面を支持して凹部１ｃの面に平行にＸ軸方向に伸び、ステージ外にワーク２を搬出又はステージ外よりワーク２を搬入する。これら一対のアーム部材８７，８８は、連結部材８７ａ，８８ａにより、一対のスライダ８５，８６に結合され、これら一対のスライダ８５，８６により、夫々が独立してＹ軸方向に移動操作される。
【００３７】
これら一対のアーム部材８７，８８は、ワーク２の加工処理中は待機状態とされ、ワークの加工処理位置外のＹ軸方向にシフト配置され、搬送ブリッジ部材８３もステージのＸ軸方向の上流側端部にシフト配置され、ワーク２の加工処理の障害とならない位置にセットされる。
【００３８】
これら一対のアーム部材８７，８８は、ワーク２の搬出・搬入時には、Ｚ軸方向にリフトアップされたワーク２の下面に生じた空隙をＹ軸方向に移動操作され、ワーク２を下面から支持した状態でＸ軸方向に移動操作される形態となる。
【００３９】
図２１乃至図２３は、ワーク加工用のブリッジ６及びワーク移送用の搬送ブリッジ部材８３の移動を説明する平面図である。
図２１はワーク加工前の待機状態を示す平面図、図２２はワーク加工中の状態を示す平面図、図２３はワーク移送中の状態を示す平面図である。
【００４０】
図２１に示す待機状態において、搬送ブリッジ部材８３は、ステージの上流側端部にシフト配置されている。
８９は吸着盤であり、凹部１ｃ面上にワーク２（図示せず）の形状に合わせてＺ軸方向に所定の高さもって形成されている。ワーク２は、この吸着盤８９の上面に真空吸着手段（図示せず）により吸着固定されて加工処理される。
【００４１】
９０は、吸着盤８９の下面側空間に複数個配置されたリフトピン手段であり、吸着盤の上面に形成された孔よりＺ軸方向にピンを突出させ、ワーク２をＺ軸方向にリフトアップ又はリフトダウン操作する。
【００４２】
複数個のリフトピン手段９０は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に所定の間隔で格子状に配列されている。Ｘ軸方向の一対の列９０Ａ及び９０Ａ´は、Ｙ軸方向で一番外側の列Ａ及び列Ａ´である。Ｘ軸方向の一対の列９０Ｂ及び９０Ｂ´は、列Ａ及びＡ´の内側の列Ｂ及び列Ｂ´である。列の数は任意である。
【００４３】
図２２に示すワーク加工中の状態では、ブリッジ部材５がＸ軸方向に吸着盤８９に固定されたワーク２（図示せず）上を移動操作され、所定の加工処理を実行する。
加工期間中は、搬送ブリッジ手段８３は、図２１の待機位置を維持している。
【００４４】
図２３に示すワーク搬送中の状態では、加工処理が終了したブリッジ部材６は、ステージのＸ軸方向最下流位置まで移動してその位置で停止される（図示の状態）。
加工処理が終了すると、ワーク２はリフトピン手段９０によってＺ軸方向にリフトアップされる。
【００４５】
待機状態ではワークの加工処理位置外にＹ軸方向端部に配置されていたアーム部材８７，８８は、リフトアップにより生じたワーク２と吸着盤８９の空隙をＹ軸方向中心部に向かって所定位置まで移動操作される。
【００４６】
アーム部材の移動操作が終了すると、ワーク２はリフトピン手段９０によってリフトダウンされ、アーム部材８７，８８上に搭載される。搭載が完了すると、搬送ブリッジ手段８３がＸ軸方向（矢印Ｐ）に下流側に移動操作され、ワーク２はアーム部材８７，８８上に搭載された状態で図示のようにステージ外に搬出され、次工程の装置に渡される。
【００４７】
図２４乃至図２６は、リフトピン手段９０によるワーク２のリフトアップ及びリフトダウン並びにアーム部材８７，８８の移動操作の遷移を説明するイメージ図である。
簡単のため、Ａ列とＢ列のリフトピン各１個及びアーム部材８７の部分を図示している。
【００４８】
図２４（Ａ）乃至図２４（Ｊ）は、アーム部材８７，８８が待機状態にある初期位置からワーク２を支持するまでの遷移を示している。
図２４（Ａ）の初期位置では、ワーク２は吸着盤８９上に吸着保持されている。
【００４９】
吸着盤８９の下面空間に設置されたリフトピン手段は、Ｚ軸方向に延びるピン９１とピン操作部９２よりなり、この初期位置ではピン９１は最下部まで引き込まれた状態である。アーム部材８７（８８も同じ、以下同様）は、ワーク２の加工処理位置よりＹ軸方向に外れた位置にある。
【００５０】
図２４（Ｂ）では、リフトピン手段９０の全ピンがＺ軸方向に伸ばされ、吸着が解除されたワーク２を吸着盤８９の面からＺ軸方向にリフトアップする。
図２４（Ｃ）ではＡ列のピンのみが初期位置に引き込まれるので、アーム部材８７のＢ列までの移動スペースが出現する。
【００５１】
図２４（Ｄ）では、アーム部材８７がＢ列の手前までＹ軸方向に移動操作される。
図２４（Ｅ）では、引き込まれていたＡ列のピンがワーク２の下面まで伸ばされる。
図２４（Ｆ）では、Ｂ列のピンのみが初期位置に引き込まれるので、アーム部材８７のＣ列（図示せず）までの移動スペースが出現する。
【００５２】
図２４（Ｇ）では、アーム部材８７がＣ列の手前までＹ軸方向に移動操作される。
図２４（Ｈ）では、引き込まれていたＢ列のピンがワーク２の下面まで伸ばされる。
図２４（Ｉ）は、以上の動作の繰り返しを表記しており、この操作によりアーム部材８７を目的のＹ軸方向位置まで順次移動操作する。
【００５３】
図２４（Ｊ）では、アーム部材８７の移動操作が終了し、リフトピン手段９０の全ピンが初期位置に引き込まれた状態を示しており、ワーク２は移動操作されたアーム部材８７に支持された状態となる。この状態で搬送ブリッジ部材８３がＸ軸方向に移動操作されて、アーム部材８７に支持されたワーク２をステージ外に搬出する。
【００５４】
図２５（Ａ）乃至図２５（Ｊ）は、リフトアップしたワーク２を吸着盤８９上にリフトダウンさせ、アーム部材８７を待機位置に移動させる遷移を示している。
図２５（Ａ）の初期位置では、リフトピン手段９０の全ピンが初期位置に引き込まれた状態でワーク２はアーム部材８７で支持されている。
【００５５】
図２５（Ｂ）では、リフトピン手段９０の全ピンがＺ軸方向に伸ばされてワーク２をアーム部材８７の支持面から更にＺ軸方向にリフトアップする。
図２５（Ｃ）ではＢ列のピンのみが初期位置に引き込まれるので、アーム部材８７のＡ列までの移動スペースが出現する。
【００５６】
図２５（Ｄ）では、アーム部材８７がＡ列の手前までＹ軸方向に移動操作される。
図２５（Ｅ）では、引き込まれていたＢ列のピンがワーク２の下面まで伸ばされる。
図２５（Ｆ）では、Ａ列のピンのみが初期位置に引き込まれるので、アーム部材８７の待機位置までの移動スペースが出現する。
【００５７】
図２５（Ｇ）では、アーム部材８７が待機位置までＹ軸方向に移動操作される。
図２５（Ｈ）では、引き込まれていたＢ列のピンがワーク２の下面まで伸ばされる。
図２５（Ｉ）は、以上の動作の繰り返しを表記しており、この操作によりアーム部材８７は待機位置までＹ軸方向位置に移動する。
【００５８】
図２５（Ｊ）では、アーム部材８７の待機位置への移動操作が終了し、リフトピン手段９０の全ピンが初期位置に引き込まれた状態を示しており、ワーク２は吸着盤８９の上面に保持された状態となる。
【００５９】
図２６（Ａ）乃至（Ｄ）は、連結された移送システムで、上流側のステージから搬出されたワーク２を下流側ステージスの吸着盤上に載せる遷移を示している。
図２６（Ａ）は、上流側ステージのアーム部材８７によりワーク２が下流側ステージスの吸着盤８９の位置に移送された状態であり、下流側ステージスのリフトピン手段９０の全ピンが初期位置に引き込まれている。
９３は、下流側ステージのアーム部材を示す。
【００６０】
図２６（Ｂ）では、引き込まれていた全ピンがワーク２の下面まで伸ばされ、ワーク２はアーム部材８７により離れてＺ軸方向にリフトアップされる。
図２６（Ｃ）では、上流側ステージのアーム部材８７が上流側ステージに戻される。
図２６（Ｄ）では、リフトピン手段９０の全ピンが初期位置に引き込まれ、ワーク２は吸着盤８９の上面に保持された状態となる。
【００６１】
図２０に示した実施形態では、搬送スライダ部材８１，８２は、スライダ４１，４２と共通の一対のＸ軸リニアモータ３１，３２を共用して移動操作される構成を示したが、これに限定されるものではない。
【００６２】
図２７は、図２０の他の実施形態を示すワーク加工装置の外観斜視図である。
９４及び９５は、筐体１の突出部１ａ及び１ｂの内壁部にＸ軸方向に配置された一対のガイドレールであり、搬送スライダ部材８１，８２は、これらガイドレールに取り付けられてＸ軸方向に移動操作される。
操作手段は、リニアモータ、ボールネジ、タイミングベルト等を採用することが可能である。
【００６３】
図２８は、図２０に示した本発明のワーク加工装置を、Ｘ軸方向に複数個連結した移送システムの実施形態を示す斜視図である。この実施形態では、Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３の３ステージを連結した移送システムを示す。
【００６４】
連結した移送システムでは、各ステージは、上流側のステージからのワークの受け入れ側と下流側ステージへのワークの受け渡し側が共通のメカニカルインターフェース構造になっている必要がある。
【００６５】
ワーク２に対する加工処理が、上流側ステージから下流側ステージに順次受け渡される一般的な移送システムでは、各ステージのワーク搬送手段は、上流側ステージで加工処理済みのワークを、連結された下流側ステージの加工処理位置に搬送した後に待機位置に戻る。
【００６６】
下流側のステージで加工処理済みのワークを、再度上流側ステージに戻して再加工する場合には、上流側ステージのワーク搬送手段は、ワーク２を、連結された下流側ステージの加工処理位置に搬送し、下流側ステージで加工処理済みのワーク２を、再度上流側ステージの加工処理位置に搬送した後に待機位置に戻る。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００６７】
このような装置においては、以下の間題点がある。
図２９に示す如く、３個の隣接するステージにワーク２を搬送させる場合について説明する。以下、上流側から順次各ステージを第１のステージ、第２のステージ、第３のステージと称する。
【００６８】
第１のステージのブリッジ部材５と、第２のステージの搬送ブリッジ部材８３とが邪魔になり、デッドスペースとなり、図３０に示す如く、ワーク２を第１のステージでのステージ相対位置に対して、第２のステージでは、同じステージ相対位置に搬送しきれない。
【００６９】
従って、図３１に示す如く、ワーク２を第２のステージから、第３のステージに搬送する場合には、第３のステージに搬送しきれなくなってしまう。
要するに、Ｘ軸方向に複数個のステージを連結した場合に、搬送ビームでの搬送ストロークが足りなくなってしまう。
【００７０】
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、搬送ビームでの搬送ストロークが足りない分を補充搬送手段で補うようにした移送システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００７１】
このような課題を達成するために、本発明では、請求項１の位置決めステージにおいては、
Ｘ軸方向にスライダを移動する一対のＸ軸リニアモータを平行配置し、前記一対のＸ軸リニアモータのスライダ間に橋渡ししたブリッジ部材にＹ軸リニアモータを設け、前記Ｙ軸リニアモータのスライダに搭載したツールを用いて吸着盤上に載置された加工対象となるワークに対して所定の処理をする位置決めステージにおいて、前記一対のＸ軸リニアモータに沿ってＸ軸方向に移動する一対の搬送スライダ部材とこの搬送スライダ部材間に橋渡しされた搬送ブリッジ部材とこの搬送ブリッジ部材に取り付けられて前記ワークの下面を支持しＸ軸方向に伸びたアーム部材とを備え前記ワークを支持してＸ軸方向に移動しステージの外に対してワークの受け渡しを行うワーク搬送手段と、前記アーム部材の搬送ストロークを補充して前記ワークを搬送する補充搬送手段とを具備したことを特徴とする。
【００７２】
本発明の請求項２の位置決めステージにおいては、請求項１記載の位置決めステージにおいて、
前記補充搬送手段は、一方の面が前記ワークの下面を支持する第２のアーム部材と、前記第２のアーム部材の他方の面に一方の面が接続され他方の面が前記アーム部材に接続され前記第２のアーム部材をＸ軸方向に摺動する摺動手段とを具備したことを特徴とする。
【００７３】
本発明の請求項３の位置決めステージにおいては、請求項２記載の位置決めステージにおいて、
前記摺動手段は、前記第２のアーム部材の他方の面に一方の面が接続され他方の面が前記アーム部材に接続される摺動ブロックと、この摺動ブロックに螺合されるボールねじの棒と、このボールねじの棒の一端に取り付けられ前記摺動ブロックをＸ軸方向に摺動するモータとを具備したことを特徴とする。
【００７４】
本発明の請求項４の位置決めステージにおいては、請求項１記載の位置決めステージにおいて、
前記補充搬送手段は、搬送時に前記ワークを載置したまま前記吸着盤をＸ軸方向に前記ステージ端まで移動する移動手段を具備したことを特徴とする。
【００７５】
本発明の請求項５の位置決めステージにおいては、請求項１乃至請求項４の何れかに記載の位置決めステージにおいて、
前記一対の搬送スライダ部材は、前記一対のＸ軸リニアモータにより移動操作されることを特徴とする。
【００７６】
本発明の請求項６の位置決めステージにおいては、請求項１乃至請求項５の何れかに記載の位置決めステージにおいて、
前記アーム部材は、待機状態では前記ワークの加工処理位置外に配置され、前記ワークの搬送時にはＺ軸方向にリフトアップされた前記ワークの下面に移動操作されることを特徴とする。
【００７７】
本発明の請求項７の位置決めステージにおいては、請求項１乃至請求項６の何れかに記載の位置決めステージにおいて、
前記ワークをその下面側よりＺ軸方向にリフトアップ又はリフトダウン操作するための複数のリフトピン手段を備えることを特徴とする。
【００７８】
本発明の請求項８の移送システムにおいては、
請求項１乃至請求項７記載の位置決めステージを、Ｘ軸方向に複数個連結したことを特徴とする。
【００７９】
本発明の請求項９の移送システムにおいては、請求項８記載の移送システムにおいて、
前記各位置決めステージは、前記ワークの受け入れ側と受け渡し側が共通のメカニカルインターフェース構造になっていることを特徴とする。
【００８０】
本発明の請求項１０の移送システムにおいては、請求項８又は請求項９記載の移送システムにおいて、
前記ワーク搬送手段は、上流側の位置決めステージで加工処理済みのワークを、連結された下流側の位置決めステージの加工処理位置に搬送した後に待機位置に戻ることを特徴とする。
【００８１】
本発明の請求項１１の移送システムにおいては、請求項８又は請求項９記載の移送システムにおいて、
前記ワーク搬送手段は、上流側の位置決めステージで加工処理済みのワークを、連結された下流側の位置決めステージの加工処理位置に搬送し、下流側の位置決めステージで加工処理済みのワークを上流側の位置決めステージの加工処理位置に搬送した後に待機位置に戻ることを特徴とする。
【発明の効果】
【００８２】
本発明の請求項１によれば、次のような効果がある。
アーム部材の搬送ストロークを補充して、ワークを搬送する補充搬送手段が設けられたので、搬送ブリッジ部材等により生ずる搬送のデッドスペースの影響が排除できて、連続して配置されたステージ間のワークの搬送を可能にする位置決めステージが得られる。
【００８３】
本発明の請求項２によれば、次のような効果がある。
補充搬送手段は、一方の面がワークの下面を支持する第２のアーム部材と、第２のアーム部材の他方の面に一方の面が接続され他方の面がアーム部材に接続され第２のアーム部材をＸ軸方向に摺動する摺動手段とが設けられたので、アーム部材を伸ばした構成が得られ、簡単な構成により、安価な位置決めステージが得られる。
【００８４】
本発明の請求項３によれば、次のような効果がある。
摺動手段は、第２のアーム部材の他方の面に一方の面が接続され他方の面がアーム部材に接続される摺動ブロックと、摺動ブロックに螺合されるボールネジの棒と、ボールネジの棒の一端に取り付けられ摺動ブロックをＸ軸方向に摺動するモータとが設けられたので、補充搬送が確実に行うことができる位置決めステージが得られる。
【００８５】
本発明の請求項４によれば、次のような効果がある。
補充搬送手段は、搬送時にワークを載置したまま吸着盤を、Ｘ軸方向にステージ端まで移動する移動手段が設けられたので、補充搬送が確実に行うことができる位置決めステージが得られる。
【００８６】
本発明の請求項５によれば、次のような効果がある。
一対の搬送スライダ部材は、一対のＸ軸リニアモータにより移動操作されるので、Ｘ軸方向移動手段を新たに設ける必要がなく、安価な位置決めステージが得られる。
【００８７】
本発明の請求項６によれば、次のような効果がある。
アーム部材は、待機状態ではワークの加工処理位置外に配置され、ワークの搬送時にはＺ軸方向にリフトアップされたワークの下面に移動操作されるので、加工処理が容易な位置決めステージが得られる。
【００８８】
本発明の請求項７によれば、次のような効果がある。
ワークをその下面側よりＺ軸方向にリフトアップ又はリフトダウン操作するための複数のリフトピン手段を備えるので、ワークのリフトアップ又はリフトダウン操作が簡単にできる位置決めステージが得られる。
【００８９】
本発明の請求項８によれば、次のような効果がある。
前記位置決めステージを、Ｘ軸方向に複数個連結したので、搬送ブリッジ部材等により生ずる搬送のデッドスペースの影響が排除できて、連続して配置されたステージ間のワークの搬送を確実に可能にする移送システムが得られる。
【００９０】
本発明の請求項９によれば、次のような効果がある。
前記各位置決めステージは、前記ワークの受け入れ側と受け渡し側が共通のメカニカルインターフェース構造になっていることを特徴とするので、部品の共通化が図れ、安価な移送システムが得られる。
【００９１】
本発明の請求項１０によれば、次のような効果がある。
ワーク搬送手段は、上流側の位置決めステージで加工処理済みのワークを、連結された下流側の位置決めステージの加工処理位置に搬送した後に待機位置に戻るので、ワークの搬送が確実にできる移送システムが得られる。
【００９２】
本発明の請求項１１によれば、次のような効果がある。
ワーク搬送手段は、上流側の位置決めステージで加工処理済みのワークを、連結された下流側の位置決めステージの加工処理位置に搬送し、下流側の位置決めステージで加工処理済みのワークを上流側の位置決めステージの加工処理位置に搬送した後に待機位置に戻るので、上流側での再加工が容易にできる移送システムが得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００９３】
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図１は本発明の一実施例の要部構成説明図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、図２，図３，図４，は図１の動作説明図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。
図１２と同様な吸着盤６０が使用された実施例である。
図において、図１２と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図１２との相違部分のみ説明する。
【００９４】
ワーク搬送手段１１は、ワーク２を支持してＸ軸方向に移動し、ステージの外に対してワーク２の受け渡しを行う。
ワーク搬送手段１１は、一対の搬送スライダ部材１１１，１１２と搬送ブリッジ部材１１３とアーム部材１１４とを備える。
【００９５】
一対の搬送スライダ部材１１１，１１２は、一対のＸ軸リニアモータ３１,３２に沿ってＸ軸方向に移動する。
搬送ブリッジ部材１１３は、この搬送スライダ部材１１１，１１２間に橋渡しされている。
【００９６】
アーム部材１１４は、この搬送ブリッジ部材１１３に取り付けられて、ワーク２の下面を支持しＸ軸方向に伸びている。
補充搬送手段１２は、アーム部材１１４の搬送ストロークを補充して、ワーク２を搬送する。
【００９７】
この場合は、補充搬送手段１２は、搬送時にワーク２を載置したまま、吸着盤６０をＸ軸方向にステージ端まで移動する移動手段を有する。
移動手段は、例えば、Ｘ軸リニアモータ３１,３２を利用して、吸着盤６０をＸ軸方向に移動する。
【００９８】
なお、一対の搬送スライダ部材１１１，１１２は、一対のＸ軸リニアモータ３１,３２により移動操作されている。
また、アーム部材１１４は、待機状態ではワーク２の加工処理位置外に配置され、ワーク２の搬送時にはＺ軸方向にリフトアップされたワーク２の下面に移動操作される。
【００９９】
また、２００５年１０月７日出願の先願に関わる出願番号２００５−２９４５４３号の位置決め装置において説明されているように、ワーク２をその下面側よりＺ軸方向にリフトアップ又はリフトダウン操作するための複数のリフトピン手段を備えている。
また、図１では、位置決めステージを、Ｘ軸方向に複数個連結している。
【０１００】
また、各位置決めステージは、ワーク２の受け入れ側と受け渡し側が共通のメカニカルインターフェース構造になっている。
また、ワーク搬送手段１１は、上流側の位置決めステージで加工処理済みのワーク２を、連結された下流側の位置決めステージの加工処理位置に搬送した後に待機位置に戻る。
【０１０１】
ワーク搬送手段１１は、上流側の位置決めステージで加工処理済みのワークを、連結された下流側の位置決めステージの加工処理位置に搬送し、下流側の位置決めステージで加工処理済みのワークを上流側の位置決めステージの加工処理位置に搬送した後に待機位置に戻ることもできる。
【０１０２】
以上の構成において、搬送時には、図２に示す如く、第１のステージの搬送端に第１のステージの吸着盤６０を移動手段により移動する。
そして、第１のステージの搬送端に第２のステージの吸着盤６０を移動手段により移動する。
【０１０３】
図３に示す如く、ワーク搬送手段１１により、第１のステージのワーク２を第２のステージの吸着盤６０に搬送する。
図４に示す如く、第２のステージの吸着盤６０を移動手段により加工処理位置に移動する。
以上の動作を順次下流のステージで行い、ワーク２が搬送される。
【０１０４】
この結果、
補充搬送手段１２は、搬送時にワーク２を載置したまま吸着盤６０を、Ｘ軸方向にステージ端まで移動する移動手段が設けられたので、補充搬送が確実に行うことができる位置決めステージが得られる。
【０１０５】
一対の搬送スライダ部材１１１，１１２は、一対のＸ軸リニアモータ３１,３２により移動操作されるので、Ｘ軸方向移動手段を新たに設ける必要がなく、安価な位置決めステージが得られる。
【０１０６】
アーム部材１１４は、待機状態ではワーク２の加工処理位置外に配置され、ワーク２の搬送時にはＺ軸方向にリフトアップされたワーク２の下面に移動操作されるので、加工処理が容易な位置決めステージが得られる。
【０１０７】
ワーク２をその下面側よりＺ軸方向にリフトアップ又はリフトダウン操作するための複数のリフトピン手段を備えるので、ワークのリフトアップ又はリフトダウン操作が簡単にできる位置決めステージが得られる。
【０１０８】
位置決めステージを、Ｘ軸方向に複数個連結したので、搬送ブリッジ部材１１３等により生ずる搬送のデッドスペースの影響が排除できて、連続して配置されたステージ間のワークの搬送を確実に可能にする移送システムが得られる。
【０１０９】
各位置決めステージは、ワーク２の受け入れ側と受け渡し側が共通のメカニカルインターフェース構造になっていることを特徴とするので、部品の共通化が図れ、安価な移送システムが得られる。
【０１１０】
ワーク搬送手段１１は、上流側の位置決めステージで加工処理済みのワークを、連結された下流側の位置決めステージの加工処理位置に搬送した後に待機位置に戻るので、ワークの搬送が確実にできる移送システムが得られる。
【０１１１】
ワーク搬送手段１１は、上流側の位置決めステージで加工処理済みのワークを、連結された下流側の位置決めステージの加工処理位置に搬送し、下流側の位置決めステージで加工処理済みのワークを上流側の位置決めステージの加工処理位置に搬送した後に待機位置に戻るので、上流側での再加工が容易にできる移送システムが得られる。
【０１１２】
図５は、本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
本実施例においては、補充搬送手段１３は、一方の面がワーク２の下面を支持する第２のアーム部材１３１と、第２のアーム部材１３１の他方の面に一方の面が接続され、他方の面がアーム部材１１４に接続され、第２のアーム部材１３１をＸ軸方向に摺動する摺動手段１３２とを有する。
【０１１３】
摺動手段１３２は、具体的には、図６に示す如く、第２のアーム部材１３１の他方の面に一方の面が接続され他方の面がアーム部材１１４に接続される摺動ブロック１３２１と、摺動ブロック１３２１に螺合されるボールねじの棒１３２２と、このボールねじの棒１３２２の一端に取り付けられ、摺動ブロック１３２１をＸ軸方向に摺動するモータ１３２３とを有する。
【０１１４】
この結果、
補充搬送手段１３は、一方の面がワーク２の下面を支持する第２のアーム部材１３１と、第２のアーム部材１３１の他方の面に一方の面が接続され他方の面がアーム部材１１４に接続され第２のアーム部材１３１をＸ軸方向に摺動する摺動手段１３２とが設けられたので、アーム部材１３１を伸ばした構成が得られ、簡単な構成により、安価な位置決めステージが得られる。
【０１１５】
摺動手段１３２は、第２のアーム部材１３１の他方の面に一方の面が接続され他方の面がアーム部材１１４に接続される摺動ブロック１３２１と、摺動ブロック１３２１に螺合されるボールねじの棒１３２２と、ボールねじの棒１３２２の一端に取り付けられ摺動ブロック１３２１をＸ軸方向に摺動するモータ１３２３とが設けられたので、補充搬送が確実に行うことができる位置決めステージが得られる。
【０１１６】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
【図面の簡単な説明】
【０１１７】
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図１の動作説明図である。
【図３】図１の動作説明図である。
【図４】図１の動作説明図である。
【図５】本発明の他の実施例の動作説明図である。
【図６】図５の具体例の要部構成説明図である。
【図７】従来より一般に使用されている従来例の構成説明図である。
【図８】従来より一般に使用されている他の従来例の構成説明図である。
【図９】図８におけるインターフェース部に形成される移送手段の配置を示す平面図である。
【図１０】従来の移送手段の構成例を示す斜視図である。
【図１１】図１０における操作アームが伸ばされた状態を示す斜視図である。
【図１２】吸着盤６０が使用された、２００６年４月１４日出願の先願に関わる出願番号２００６−１１２３７３号のワーク加工装置の一実施形態を示す平面図（ａ），正面図（ｂ），側面図（ｃ）である。
【図１３】図１２に示すワーク搬送手段の動作を示す説明図である。
【図１４】図１２に示すワーク加工装置を２台連結した状態を示す移送システムの構成例を示す平面図（ａ），正面図（ｂ），側面図（ｃ）である。
【図１５】ワーク搬送手段にストッパを備えた例を示す詳細説明図である。
【図１６】図１２の他の実施例におけるワーク加工装置の平面図（ａ），正面図（ｂ），側面図（ｃ）である。
【図１７】図１６に示すワーク加工装置のワーク搬送手段にストッパを備えた例を示す詳細説明図である。
【図１８】図１６に示すワーク搬送手段でワークを搬送してる途中の状態を示す図である。
【図１９】図１６に示すワーク加工装置を２台連結した状態を示す移送システムの構成例を示す平面図（ａ），正面図（ｂ），側面図（ｃ）である。
【図２０】アーム部材８７，８８が使用された、２００５年１０月７日出願の先願に関わる出願番号２００５−２９４５４３号のワーク加工装置の一実施形態を示す外観斜視図である。
【図２１】ワーク加工用のブリッジ及びワーク搬送ブリッジ部材の移動を説明する平面図である。
【図２２】ワーク加工用のブリッジ及びワーク搬送ブリッジ部材の移動を説明する平面図である。
【図２３】ワーク加工用のブリッジ及びワーク搬送ブリッジ部材の移動を説明する平面図である。
【図２４】リフトピン手段によるワークのリフトアップ及びリフトダウン並びにアーム部材の移動操作の遷移を説明するイメージ図である。
【図２５】リフトピン手段によるワークのリフトアップ及びリフトダウン並びにアーム部材の移動操作の遷移を説明するイメージ図である。
【図２６】リフトピン手段によるワークのリフトアップ及びリフトダウン並びにアーム部材の移動操作の遷移を説明するイメージ図である。
【図２７】図２０の他の実施形態を示すワーク加工装置の外観斜視図である。
【図２８】図２０のワーク加工装置を、Ｘ軸方向に複数個連結した移送システムの実施形態を示す斜視図である。
【図２９】図２８の問題点を示す構成説明図である。
【図３０】図２８の動作説明図である。
【図３１】図２８の動作説明図である。
【符号の説明】
【０１１８】
１        筐体
１ａ      突出部
１ｂ      突出部
１ｃ      凹部
２        ワーク
３１      Ｘ１軸リニアモータ
３２      Ｘ２軸リニアモータ
４１      スライダ
４２      スライダ
５        ブリッジ部材
６        Ｙ軸リニアモータ
７        スライダ
１０１    ワーク加工装置
１０２    ワーク加工装置
１０３    ワーク加工装置
１０３ｃ  凹部
２０１    インターフェース部
２０２    インターフェース部
２０３    インターフェース部
３０１    移送手段
３０２    移送手段
６０１    平行レール
６０２    平行レール
７００    スライダ
８００    アクチュエータ
９０１    操作アーム
９０２    操作アーム
３０      処理手段
５０      チューブ
６０      吸着盤
７０      ワーク搬送手段
７０ａ    ワーク搬送手段
７０ａ’  ワーク搬送手段
７０ｂ    ワーク搬送手段
７０ｂ’  ワーク搬送手段
７０ｘ    伸長部材
７１      ワーク搬送手段
７１ａ    ワーク搬送手段
７１ａ’  ワーク搬送手段
７１ｂ    ワーク搬送手段
７１ｂ’  ワーク搬送手段
７２      回転部材
７３      ストッパ
８１      搬送スライダ部材
８２      搬送スライダ部材
８３      搬送ブリッジ部材
８４      Ｙ軸リニアモータ
８５      スライダ
８６      スライダ
８７      アーム部材
８８      アーム部材
８７ａ    連結部材
８８ａ    連結部材
８９      吸着板
９０      ピン手段
９１      ピン
９２      ピン操作部
９３      アーム部材
９４      ガイドレール
９５      ガイドレール
１１      ワーク搬送手段
１１１    搬送スライダ部材
１１２    搬送スライダ部材
１１３    搬送ブリッジ部材
１１４    アーム部材
１２      補充搬送手段
１３      補充搬送手段
１３１    第２のアーム部材
１３２    摺動手段
１３２１  摺動ブロック
１３２２  ボールねじの棒
１３２３  モータ
【図１】
2008030171.tif 000003
【図２】
2008030171.tif 000004
【図３】
2008030171.tif 000005
【図４】
2008030171.tif 000006
【図５】
2008030171.tif 000007
【図６】
2008030171.tif 000008
【図７】
2008030171.tif 000009
【図８】
2008030171.tif 000010
【図９】
2008030171.tif 000011
【図１０】
2008030171.tif 000012
【図１１】
2008030171.tif 000013
【図１２】
2008030171.tif 000014
【図１３】
2008030171.tif 000015
【図１４】
2008030171.tif 000016
【図１５】
2008030171.tif 000017
【図１６】
2008030171.tif 000018
【図１７】
2008030171.tif 000019
【図１８】
2008030171.tif 000020
【図１９】
2008030171.tif 000021
【図２０】
2008030171.tif 000022
【図２１】
2008030171.tif 000023
【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
2008030171.tif 000026
【図２５】
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【図２６】
2008030171.tif 000028
【図２７】
2008030171.tif 000029
【図２８】
2008030171.tif 000030
【図２９】
2008030171.tif 000031
【図３０】
2008030171.tif 000032
【図３１】
2008030171.tif 000033