(57)【要約】【課題】ソルダーレジストによる印刷斑の発生やソルダーレジストによるインナーリードの汚染を防止することができるＴＡＢテープ用スクリーン印刷機の吸着ホルダを提供する。【解決手段】スリット状の開口穴１１ｂに耐折性強化用樹脂３が充填されている配線フィルム１にソルダーレジスト層４を形成するためのＴＡＢテープ用スクリーン印刷機の印刷ステージ５に改良を施した。すなわち、印刷ステージ５の吸着ホルダ５２に、配線フィルム１の開口穴１１ｂからはみ出した耐折性強化用樹脂３を収容する凹溝５２ｂを形成した。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
スリット状の開口穴に耐折性強化用樹脂が充填されている配線フィルムにソルダーレジスト層を形成するためのＴＡＢテープ用スクリーン印刷機の印刷ステージに用いられる吸着ホルダであって、
前記配線フィルムの開口穴からはみ出した前記耐折性強化用樹脂を収容する収容部が形成されていることを特徴とするＴＡＢテープ用スクリーン印刷機の吸着ホルダ。
【請求項２】
前記収容部は、前記配線フィルムが載置される面で前記スリット状の開口穴に対応する位置に形成された凹溝であることを特徴とする請求項１に記載のＴＡＢテープ用スクリーン印刷機の吸着ホルダ。
【請求項３】
前記凹溝の底部に、前記配線フィルムを支持するための突起が形成されていることを特徴とする請求項２に記載のＴＡＢテープ用スクリーン印刷機の吸着ホルダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＴＡＢテープ用スクリーン印刷機の印刷ステージに用いられる吸着ホルダに関し、具体的には、屈曲性を高めるためのスリットに耐折性強化用樹脂が充填されたＴＡＢテープにソルダーレジストを塗布するために、ＴＡＢテープを吸着して保持する吸着ホルダに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体素子実装部品の１つとしてＴＡＢテープが知られている。このＴＡＢテープは、搬送用のスプロケットホールや半導体素子配設用のデバイスホール等の開口部を有する、ポリイミドフィルム等からなる絶縁フィルムに、インナーリードとアウターリードとを含む配線が形成されたものである。
【０００３】
かかるＴＡＢテープは、絶縁フィルムにスリット状の開口穴を設け、ＴＡＢテープに高い屈曲性を持たせることにより、例えば、各種装置の可動部に適用される。
【０００４】
図４に、かかるＴＡＢテープの一単位（一部分）の断面を例示する。ＴＡＢテープ２の配線フィルム１は、絶縁フィルムからなるフィルム本体１１を有している。フィルム本体１１には、デバイスホール１１ａとスリット状の開口穴１１ｂとが形成されている。フィルム本体１１の片面には、インナーリード１２ａとアウターリード１２ｂからなる配線層１２が形成され、インナーリード１２ａの先端は、デバイスホール１１ａの開口壁よりも内側に突出している。
【０００５】
開口穴１１ｂは、ＴＡＢテープ２の屈曲性を高めるためのものであるが、その反面、配線フィルム１の耐折性が低くなるため、開口穴１１ｂには耐折性強化用樹脂３が充填されている。この耐折性強化用樹脂３の一部は、フィルム本体１１の下面から突出している。さらに、配線層１２のインナーリード１２ａとアウターリード１２ｂとを除く範囲には、絶縁性の確保および腐食環境からの保護のためにソルダーレジスト層４が形成されている。
【０００６】
このソルダーレジスト層４を形成するためには、ＴＡＢテープ用スクリーン印刷機が使用される。従来のＴＡＢテープ用スクリーン印刷機としては、図５の断面図に示されるものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００７】
このＴＡＢテープ用スクリーン印刷機は、底部に真空吸引孔５１ａが形成された基台５１と、この基台５１上に設けられ、印刷時に配線フィルム１が載置される吸着ホルダ５２とを備える印刷ステージ５を備えている。スクリーン印刷の際には、印刷ステージ５の上方にスクリーンマスク６を配置し、スキージホルダ７に保持されたゴム製のスキージ８をスクリーンマスク６に押圧する。
【０００８】
スクリーンマスク６は、ポリエステル繊維またはステンレス繊維のメッシュシートに、感光乳剤を塗布した後、マスクを用いて露光し、現像することによって得られる。このスクリーンマスク６には、配線フィルム１の配線印刷パターンに対応した所定形状の透孔（図示せず）が形成されている。
【０００９】
ソルダーレジスト層４の形成にあたっては、先ず、フィルム本体１１の片面に配線層１２が形成された配線フィルム１を、印刷ステージ５の吸着ホルダ５２上に載置する。
【００１０】
次に、配線フィルム１の上方に一定間隔ａを置いてスクリーンマスク６を配置する。その際、水平方向の位置合わせも行う。そして、真空吸引孔５１ａを介して、真空ポンプ等により真空引きすることにより、印刷ステージ５の吸着ホルダ５２に形成されたフィルム吸着用吸引孔５２ａを介して配線フィルム１を真空吸引し、配線フィルム１を吸着ホルダ５２の上面に吸着する。この状態で、スキージホルダ７に保持したゴム製のスキージ８をスクリーンマスク６に押圧する。この押圧力によりスクリーンマスク６上のソルダーレジストＲがスクリーンマスク６の透孔を通して押し出され、ソルダーレジストＲが配線フィルム１の所定の位置に転写される。
【００１１】
しかしながら、上述したＴＡＢテープ用スクリーン印刷機では、配線フィルム１をフィルム吸着用吸引孔５２ａを介して真空吸引し、吸着ホルダ５２上に配線フィルム１を吸着し、固定しようとしても、吸着ホルダ５２の上面が平坦であるため、耐折性強化用樹脂３の存在により吸着ホルダ５２とフィルム本体１１との間に空隙ｂが形成される。この空隙ｂを介して外部の空気が空隙ｂに流入すると、印刷ステージ５における吸引力が不足する。そのため、スクリーン印刷時のスキージ８の圧力により配線フィルム１が動き、印刷斑が発生したり、インナーリード１２ａにソルダーレジストＲが付着したりするという問題があった。
【特許文献１】特許３１０５９９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
上述したように、従来のＴＡＢテープ用スクリーン印刷機の吸着ホルダでは、ソルダーレジストによる印刷斑の発生防止や、ソルダーレジストによるインナーリードの汚染防止を達成すべきであるという課題があった。
【００１３】
本発明は、かかる課題を解決するためになされたもので、ソルダーレジストによる印刷斑の発生やソルダーレジストによるインナーリードの汚染を防止することができるＴＡＢテープ用スクリーン印刷機の吸着ホルダを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明者は、このような課題に対して鋭意研究を重ねた結果、配線フィルムのスリットからはみ出した耐折性強化用樹脂を収容する収容部を吸着ホルダに形成することにより、上記の問題点を解決することができることを見出し、この知見に基づいて本発明を完成させたものである。
【００１５】
すなわち、本発明のＴＡＢテープ用スクリーン印刷機の吸着ホルダは、スリット状の開口穴に耐折性強化用樹脂が充填されている配線フィルムにソルダーレジスト層を形成するためのＴＡＢテープ用スクリーン印刷機の印刷ステージに用いられる吸着ホルダであって、前記配線フィルムの開口穴からはみ出した前記耐折性強化用樹脂を収容する収容部が形成されている。
【００１６】
前記収容部は、前記配線フィルムが載置される面で前記スリット状の開口穴に対応する位置に形成された凹溝であることが好ましい。さらに、該凹溝の底部に、前記配線フィルムを支持するための突起が形成されていることが好ましい。
【００１７】
なお、本発明の目的に添ったものであれば、上記発明を適宜組み合わせた構成も採用可能である。
【発明の効果】
【００１８】
本発明のＴＡＢテープ用スクリーン印刷機の吸着ホルダでは、配線フィルムの開口穴からはみ出した耐折性強化用樹脂が印刷ステージの吸着ホルダに形成されている収容部に収容されるので、配線フィルム面とホルダ面とが密着し、スクリーン印刷時のスキージの圧力により配線フィルムが動くことがない。そのため、ソルダーレジストによる印刷斑の発生やソルダーレジストによるインナーリードの汚染を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
【００２０】
図１は、本発明の一実施形態に係るＴＡＢテープ用スクリーン印刷機の吸着ホルダの一単位（一部分）を示す平面図である。図２は、図１のＡ−Ａ線に沿う断面図である。なお、図４および図５に示した従来技術と同一の部材には同一の符号を付す。
【００２１】
この図１および図２に示すように、吸着ホルダ５２には、吸着ホルダ５２を貫通する複数のフィルム吸着用吸引孔５２ａと、配線フィルム１が載置される面でスリット状の開口穴１１ｂに対応する位置に形成された収容部である凹溝５２ｂとが形成されている。この凹溝５２ｂの底部には、配線フィルム１を支持するための突起５２ｃが形成されている。
【００２２】
凹溝５２ｂがスリット状の開口穴１１ｂに対応する位置に形成されているのは、凹溝５２ｂに耐折性強化用樹脂３のはみ出し部分を収容させるためである。凹溝５２ｂの形状を決定するにあたっては、配線フィルム１における耐折性強化用樹脂３の形成部の寸法精度および印刷機のフィルム位置決め精度が考慮される。この際、同時に突起５２ｃの形状も決定される。
【００２３】
凹溝５２ｂの形状は、より具体的には、開口穴１１ｂの開口縁に沿った形状にされている。また、凹溝５２ｂは、開口穴１１ｂの外形より大きく、耐折性強化用樹脂３のフィルム本体１１からのはみ出し高さより深くされている。
【００２４】
例えば、凹溝５２ｂの幅を開口穴１１ｂの幅より０．５ｍｍ程度大きくし、凹溝５２ｂの深さを耐折性強化用樹脂３のはみ出し高さより０．１ｍｍ程度大きくする。これにより、開口穴１１ｂより突出する耐折性強化用樹脂３のはみ出し量が変動したり、配線フィルム１が載置される位置が若干変動したりしても、該樹脂３を凹溝５２ｂ内に確実に収容可能となる。
【００２５】
また、凹溝５２ｂの底部には、上述したように、溝の長手方向に伸長する突起５２ｃが形成されている。これは、耐折性強化用樹脂３のはみ出し部分の形状が、中央付近で窪んだ形状になっているためである。この突起５２ｃの存在により、該突起５２ｃが、開口穴１１ｂを充填する耐折性強化用樹脂３の窪み部分に当接し配線フィルム１を支持する。そして、該開口穴１１ｂ近傍への印刷時のスキージ８の圧力により該樹脂３の付近の配線フィルム１の形状が変化して印刷斑が生ずる現象を防止することができる。
【００２６】
かかる吸着ホルダ５２の材質としては、例えば、炭素鋼やステンレス鋼を用いることができ、フィルム吸着用吸引孔５２ａや凹溝５２ｂは、例えば、ドリルやエンドミルを用いて切削加工することにより形成される。
【００２７】
図３は、配線フィルム１の上面にソルダーレジストＲを塗布している時の状態を示している。図に示すように、基台５１の下面中央にある真空吸引孔５１ａを介して、真空ポンプにより真空引きすると、配線フィルム１は、印刷ステージ５の吸着ホルダ５２の上面に吸着される。この際、配線フィルム１の下面より突出する耐折性強化用樹脂３のはみ出し部分は、凹溝５２ｂ内に収容され、配線フィルム１の下面と吸着ホルダ５２の上面とは密着状態となる。
【００２８】
したがって、配線フィルム１の配線層１２上に、ソルダーレジスト層４を形成するために、ゴム製のスキージ８でスクリーンマスク６を配線フィルム１に付勢しながら、該スキージ８を移動させた場合でも、配線フィルム１の下面と吸着ホルダ５２の上面とが平面状に密着していることから、スキージの圧力により配線フィルム１が動くことがない。そのため、ソルダーレジストによる印刷斑の発生やソルダーレジストによるインナーリードの汚染を防止することができる。
【００２９】
また、突起５２ｃが耐折性強化用樹脂３を支持するので、該スキージ８の圧力によって、耐折性強化用樹脂３の付近の配線フィルム１の形状が変化することが抑止されるため、これに起因する開口穴１１ｂ近傍での僅かな印刷斑の発生をも抑止することができる。
【００３０】
以上、本発明を説明してきたが、本発明は上述した実施形態にのみ限定されるものではなく、その本質を逸脱しない範囲で、種々の変形が可能であることは言うまでもない。
【００３１】
以下、実施例により本発明について説明する。
【実施例】
【００３２】
本実施例では、ＴＡＢテープ用スクリーン印刷機を用いた。そして、該印刷機の印刷ステージ５に用いられる吸着ホルダ５２には、多数のフィルム吸着用吸引孔５２ａ（φ０．８ｍｍ）が形成され、またホルダ面側には凹溝５２ｂと突起５２ｃが形成されている。
【００３３】
ＴＡＢテープ２のフィルム本体１１は、厚さが７５μｍとされ、デバイスホール１１ａのほか、所定位置に長さ２８ｍｍ×幅１．６ｍｍの開口穴１１ｂが形成されている。フィルム本体１１は絶縁フィルムとして用いられ、フィルム本体１１の所定位置には、厚さ２０μｍの配線層１２が形成されている。また、開口穴１１ｂに耐折性強化用樹脂３として宇部興産株式会社製のユピコート（登録商標）を充填した。耐折性強化用樹脂３は、配線フィルム１の下面において、長さ２８．４ｍｍ×幅２．０ｍｍ程度の面積、最大高さ１２μｍ程度はみ出していた。
【００３４】
凹溝５２ｂは、開口穴１１ｂの形状および位置に応じて、所定位置に形成した。凹溝５２ｂの外縁の寸法は、長さ２８．７ｍｍ×幅２．３ｍｍとし、深さは０．５ｍｍとした。また、凹溝５２ｂの中央部に、開口穴１１ｂの幅方向中央付近の耐折性強化用樹脂３と当接する、長さ２７．４ｍｍ×幅１．０ｍｍの突起５２ｃを形成した。該突起５２ｃの上面は、ホルダ面と同一平面上に位置するようにした。
【００３５】
一方、スクリーンマスク６は、ステンレス繊維のメッシュシート（１５０メッシュ）に、感光乳剤を厚さ２０μｍ塗布した後、マスクを用いて露光し、現像し、さらに配線フィルム１の配線印刷パターンに対応した所定形状の透孔（図示せず）を形成して作製した。
【００３６】
また、スキージ８として、ウレタンゴム製で硬度８０°のものを用いた。
【００３７】
本実施例では、ＴＡＢテープ２とスクリーンマスク６との間隔ａを１．０ｍｍ、スキージ圧（スキージ下降圧−スキージ上昇圧）を０．２ＭＰａ、スキージ速度を１００ｍｍ／ｓｅｃにそれぞれ設定した。
【００３８】
このように設定された印刷機を用いて、ソルダーレジストＲを配線フィルム１の配線層１２上の所定位置にスクリーン印刷することにより、ソルダーレジスト層４を形成した。
【００３９】
その結果、本実施例の吸着ホルダ５２を用いた場合、インナーリードの汚染発生率は０．２％となり、印刷斑の発生率は０．３％となった。一方、凹溝５２ｂが形成されていない従来の吸着ホルダを用いた場合、同一条件で実験した結果、インナーリードの汚染発生率は４．０％であり、印刷斑の発生率は１．６％であった。よって、本発明のＴＡＢテープ用スクリーン印刷機の吸着ホルダにより、インナーリードの汚染発生率が大幅に小さくなった。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明のＴＡＢテープ用スクリーン印刷機の吸着ホルダの一実施形態を示す平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図３】本発明のＴＡＢテープ用スクリーン印刷機の吸着ホルダを用いたスクリーン印刷法を説明するための図である。
【図４】ＴＡＢテープを示す説明図である。
【図５】従来のＴＡＢテープ用スクリーン印刷機の吸着ホルダを用いたスクリーン印刷法を説明するための図である。
【符号の説明】
【００４１】
１  配線フィルム
１１  フィルム本体
１１ａ  デバイスホール
１１ｂ  開口穴
１２  配線層
１２ａ  インナーリード
１２ｂ  アウターリード
２  ＴＡＢテープ
３  耐折性強化用樹脂
４  ソルダーレジスト層
５  印刷ステージ
５１  基台
５１ａ  真空吸引孔
５２  吸着ホルダ
５２ａ  フィルム吸着用吸引孔
５２ｂ  凹溝
５２ｃ  突起
６  スクリーンマスク
７  スキージホルダ
８  スキージ
Ｒ  ソルダーレジスト
ａ  間隔
ｂ  空隙
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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