(57)【要約】【課題】コンタミネーション防止が図れるハンドラー装置を実現する。【解決手段】ポケットから他のポケットにデバイスを一端に吸着して搬送するピックアップと、このピックアップに設けられこのピックアップの前記一端に一端が開口し他端に負圧が印加される空気流路とを具備するハンドラー装置において、前記空気流路の前記他端に連通され所定時に前記空気流路に圧力空気を印加する圧力空気印加手段と、前記圧力空気印加手段の動作時に前記ピックアップの前記一端が移動して対向配置され前記空気流路に加えられた前記圧力空気と異物とが流入される異物収集手段とを具備したことを特徴とするハンドラー装置である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポケットから他のポケットにデバイスを一端に吸着して搬送するピックアップと、このピックアップに設けられこのピックアップの前記一端に一端が開口し他端に負圧が印加される空気流路とを具備するハンドラー装置において、
前記空気流路の前記他端に連通され所定時に前記空気流路に圧力空気を印加する圧力空気印加手段と、
前記圧力空気印加手段の動作時に前記ピックアップの前記一端が移動して対向配置され前記空気流路に加えられた前記圧力空気と異物とが流入される異物収集手段と
を具備したことを特徴とするハンドラー装置。
【請求項２】
前記圧力空気印加手段は、エアコンプレッサが使用されたこと
を特徴とする請求項１記載のハンドラー装置。
【請求項３】
前記圧力空気印加手段は、空気ボンベが使用されたこと
を特徴とする請求項１記載のハンドラー装置。
【請求項４】
前記異物収集手段は、異物流入ノズルが使用されたこと
を特徴とする請求項１乃至請求項３の何れかに記載のハンドラー装置。
【請求項５】
前記異物収集手段に負圧を印加する負圧空気印加手段
を具備したことを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れかに記載のハンドラー装置。
【請求項６】
前記負圧空気印加手段は、真空ポンプが使用されたこと
を特徴とする請求項５記載のハンドラー装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハンドラー装置におけるコンタミネーション防止に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ハンドラ装置に関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−３３７７６７号公報
【０００４】
図２は従来より一般に使用されている従来例の構成説明図で、図３は図２の要部詳細説明図である。
図２に示す如く、ハンドラー装置の基本動作のひとつは、ある位置に設置されたポケット１Ａ内に入っているＩＣデバイス２を取り出し、別の位置に設置されてあるポケット１Ｂの中に移動させることである。
【０００５】
デバイス２の保持には、図３に示すようにデバイス２の上面に吸盤状の吸着パッド３１を押し当て、吸着パッド３１が取り付けられているピックアップ本体３２の内部を貫いて形成されている空気流路４を介して真空系５で発生した負圧で吸い上げる方法が多く用いられている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このような装置においては、以下の間題点がある。
この際、デバイスの表面から離れたゴミ６も負圧で吸い上げられ、空気流路４に進入する。進入したゴミ６はピックアップ３内の空気流路４に留まっている場合や、真空系５にまで進む場合もある。このため、空気流路４や真空系５の詰まりの原因となる不都合があった。
【０００７】
更に、空気流路４を大気圧に戻すことで、デバイス２を移送先のポケット位置で離すことができるが、この際、進入したゴミ６がある時間を経過してから、再びデバイス２上に落ちてくることがあり、このゴミ６が移送先のポケットに入り、デバイス２がポケットに正しく入らない不具合が生じたり、また、微細な電気的接触を必要とするデバイスソケット部７に混入すると、接触不良の原因となる欠点があった。
【０００８】
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、コンタミネーション防止が図れるハンドラー装置を提供することにある。
更に、詳述すれば、デバイス表面から吸着された異物で真空経路の詰まりが生じる欠点を改善し、異物が移送先のポケットに入り、デバイスの乗り上げを起こす欠点を改善し、異物がＩＣソケットまで運ばれ、接触不良を起こす欠点を改善出来るハンドラー装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
このような課題を達成するために、本発明では、請求項１のハンドラー装置においては、
ポケットから他のポケットにデバイスを一端に吸着して搬送するピックアップと、このピックアップに設けられこのピックアップの前記一端に一端が開口し他端に負圧が印加される空気流路とを具備するハンドラー装置において、前記空気流路の前記他端に連通され所定時に前記空気流路に圧力空気を印加する圧力空気印加手段と、前記圧力空気印加手段の動作時に前記ピックアップの前記一端が移動して対向配置され前記空気流路に加えられた前記圧力空気と異物とが流入される異物収集手段とを具備したことを特徴とする。
【００１０】
本発明の請求項２のハンドラー装置においては、請求項１記載のハンドラー装置において、
前記圧力空気印加手段は、エアコンプレッサが使用されたことを特徴とする。
【００１１】
本発明の請求項３のハンドラー装置においては、請求項１記載のハンドラー装置において、
前記圧力空気印加手段は、空気ボンベが使用されたことを特徴とする。
【００１２】
本発明の請求項４のハンドラー装置においては、請求項１乃至請求項３の何れかに記載のハンドラー装置において、
前記異物収集手段は、異物流入ノズルが使用されたことを特徴とする。
【００１３】
本発明の請求項５のハンドラー装置においては、請求項１乃至請求項４の何れかに記載のハンドラー装置において、
前記異物収集手段に負圧を印加する負圧空気印加手段を具備したことを特徴とする。
【００１４】
本発明の請求項６のハンドラー装置においては、請求項５記載のハンドラー装置において、
前記負圧空気印加手段は、真空ポンプが使用されたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の請求項１によれば、次のような効果がある。
デバイスの表面から離れたゴミがピックアップの負圧で吸い上げられ、空気流路に進入し、ピックアップ内の空気流路に留まっていても、強制的に排出できるので空気流路の詰まりを起こさないハンドラー装置が得られる。
【００１６】
また、圧力空気印加手段を真空系の直前で切り替える構成にすることで、異物が真空系の入口にまで進んでも、異物を強制的に排出できるので真空経路の詰まりを起こさないハンドラー装置が得られる。
【００１７】
更に、異物吸い込み用ノズルの中に異物を強制的に排出するので、異物がある時間を経過してから、再びデバイス上に落ちてくることはなく、従って従来問題であった異物が移送先のポケットに入り、デバイスがポケットに正しく入らない不具合や、微細な電気的接触を必要とするデバイスソケット部に混入し、接触不良の原因となる欠点が解消されるハンドラー装置が得られる。
【００１８】
圧力空気印加手段の動作時に、ピックアップの一方端が対向して配置され、空気流路に加えられた圧力空気が導入される異物吸い込みノズルが設けられたので、異物の回収が確実に出来るハンドラー装置が得られる。
【００１９】
本発明の請求項２によれば、次のような効果がある。
圧力空気印加手段は、エアコンプレッサが使用されたので、強力確実な圧力空気印加が出来るハンドラー装置が得られる。
【００２０】
本発明の請求項３によれば、次のような効果がある。
圧力空気印加手段は、空気ボンベが使用されたので、簡易な圧力空気印加が出来るハンドラー装置が得られる。
【００２１】
本発明の請求項４によれば、次のような効果がある。
異物収集手段は、異物流入ノズルが使用されたので、簡易な異物収集が出来るハンドラー装置が得られる。
【００２２】
本発明の請求項５によれば、次のような効果がある。
異物収集手段に負圧を印加する負圧空気印加手段が使用されたので、強力確実な異物収集が出来るハンドラー装置が得られる。
【００２３】
本発明の請求項６によれば、次のような効果がある。
負圧空気印加手段は、真空ポンプが使用されたので、更に、強力確実な負圧空気印加が出来るハンドラー装置が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図１は本発明の一実施例の要部構成説明図である。
図において、図３と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図３との相違部分のみ説明する。
【００２５】
図１において、圧力空気印加手段１１は、空気流路４の他端に連通され、所定時(後述の動作説明の箇所で説明する。)に空気流路４に圧力空気を加える。
具体的には、圧力空気印加手段１１は、例えば、エアコンプレッサあるいは空気ボンベが使用されている。
【００２６】
異物吸い込みノズル１２は、圧力空気印加手段１１の動作時に、ピックアップ３の一方端が対向して配置され、空気流路４に加えられた圧力空気が導入される。
この場合は、異物吸い込みノズル１２は、ポケット１Ａとポケット１Ｂとの間に設けられている。
負圧空気印加手段１３は、異物吸い込みノズル１２に負圧を印加する。
具体的には、負圧空気印加手段１３は、例えば、真空ポンプが使用されている。
【００２７】
以上の構成において、デバイス２を吸着する前後の時点で、異物吸い込みノズル１２の上方に、ピックアップ３を移動させ、ピックアップ３の空気流路４に、圧力空気印加手段１１を動作させて圧力空気を加え、異物を強制的に異物吸い込みノズル１２に吐き出させる。
排出された異物は、異物吸い込みノズル１２に接続された負圧空気印加手段１３の負圧によって吸引される。
【００２８】
この結果、デバイス２の表面から離れたゴミ６がピックアップ３の負圧で吸い上げられ、空気流路４に進入し、ピックアップ３内の空気流路４に留まっていても、圧力空気印加手段１１により強制的に排出できるので、空気流路４の詰まりを起こさないハンドラー装置が得られる。
【００２９】
また、圧力空気印加手段１１を真空系５の直前で切り替える構成にすることで、異物が真空系５の入口にまで進んでも、異物を強制的に排出できるので真空経路の詰まりを起こさないハンドラー装置が得られる。
【００３０】
更に、異物吸い込みノズル１２の中に異物を強制的に排出するので、異物がある時間を経過してから、再びデバイス２上に落ちてくることはなく、従って従来問題であった異物が移送先のポケット１に入り、デバイス２がポケット１に正しく入らない不具合や、微細な電気的接触を必要とするデバイスソケット部に混入し、接触不良の原因となる欠点が解消されるハンドラー装置が得られる。
【００３１】
圧力空気印加手段１１の動作時に、ピックアップ３の一方端が対向して配置され、空気流路４に加えられた圧力空気が導入される異物吸い込みノズル１２が設けられたので、異物の回収が確実に出来るハンドラー装置が得られる。
【００３２】
圧力空気印加手段１１は、エアコンプレッサが使用されたので、強力確実な圧力空気印加が出来るハンドラー装置が得られる。
【００３３】
圧力空気印加手段１１は、空気ボンベが使用されたので、簡易な圧力空気印加が出来るハンドラー装置が得られる。
【００３４】
異物収集手段１２は、異物流入ノズルが使用されたので、簡易な異物収集が出来るハンドラー装置が得られる。
【００３５】
異物収集手段１２に負圧を印加する負圧空気印加手段１３が使用されたので、強力確実な異物収集が出来るハンドラー装置が得られる。
【００３６】
負圧空気印加手段１３は、真空ポンプが使用されたので、更に、強力確実な負圧空気印加が出来るハンドラー装置が得られる。
【００３７】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】従来より一般に使用されている従来例の要部構成説明図である。
【図３】図２の要部詳細説明図である。
【符号の説明】
【００３９】
１Ａ    ポケット
１Ｂ    ポケット
２      ＩＣデバイス
３      ピックアップ
３１    吸着パッド
３２    ピックアップ本体
４      空気流路
５      真空系
１１    圧力空気印加手段
１２    異物吸い込みノズル
１３    負圧空気印加手段
【図１】
2008173746.tif 000003
【図２】
2008173746.tif 000004
【図３】
2008173746.tif 000005