(57)【要約】【課題】局所的に連続して発生する印刷不良を有効に防止して、印刷品質を確保することができるスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。【解決手段】パターン孔１２ａが設けられたマスクプレート１２に基板を当接させて半田ペーストＳを電極１０ａに印刷するスクリーン印刷において、印刷後の基板におけるペーストの印刷状態について印刷量が過小の「かすれ」を検査項目に含んだ印刷検査の判定結果に基づき、マスクプレート１２におけるパターン孔１２ａの状態を検査してクリーニングが必要とされる要クリーニング部位を特定し、特定された要クリーニング部位を吸引ヘッド３８によって局所的にクリーニングする。これにより、局所的に連続して発生する印刷不良を有効に防止して、印刷品質を確保することができる。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
パターン孔が設けられたマスクプレートに基板を当接させ、マスクプレート上にペーストを供給してスキージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置であって、
印刷後の基板におけるペーストの印刷状態について、印刷対象部位における印刷量が過小の「かすれ」を検査項目に含んだ印刷検査を行い、前記検査項目について所定の検査しきい値に基づく判定結果を出力する印刷検査部と、前記判定結果に基づき前記マスクプレートにおけるパターン孔の状態を検査してクリーニングが必要とされる要クリーニング部位を特定するマスク検査部とを備えたことを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項２】
前記要クリーニング部位を局所的にクリーニングする局所クリーニング手段を備えたことを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷装置。
【請求項３】
前記要クリーニング部位を画面に表示して指示する表示部を備えたことを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷装置。
【請求項４】
パターン孔が設けられたマスクプレートに基板を当接させ、マスクプレート上にペーストを供給してスキージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷方法であって、
印刷後の基板におけるペーストの印刷状態について、印刷対象部位における印刷量が過小の「かすれ」を検査項目に含んだ印刷検査を行い、前記検査項目について所定の検査しきい値に基づく判定結果を出力する印刷検査工程と、前記判定結果に基づき前記マスクプレートにおけるパターン孔の状態を検査してクリーニングが必要とされる要クリーニング部位を特定するマスク検査工程とを含むことを特徴とするスクリーン印刷方法。
【請求項５】
前記要クリーニング部位を局所的にクリーニングする局所クリーニング手段によって、前記要クリーニング部位を自動的にクリーニングすることを特徴とする請求項４に記載のスクリーン印刷方法。
【請求項６】
前記要クリーニング部位を画面に表示して指示することを特徴とする請求項４に記載のスクリーン印刷方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に半田ペーストや導電性ペーストなどのペーストを印刷するスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子部品の実装においては、基板への電子部品の搭載に先立って基板の表面に半田ペーストが塗布される。半田塗布の方法としてはスクリーン印刷による方法が広く用いられており、印刷工程の後には半田ペーストの印刷状態を検査する印刷検査が行われる。この印刷検査は、スクリーン印刷後の基板をカメラにより撮像し、撮像結果を画像認識処理することにより印刷部位に正しく半田ペーストが印刷されているか否かを判定するものであり、印刷対象部位におけるペーストの印刷量が過大で印刷範囲から外側にはみ出した「にじみ」および印刷対象部位における印刷量が過小の「かすれ」などの検査項目について、検査結果が出力される。
【０００３】
これらの検査は、一般に画像認識処理によって算出された印刷面積などの検査諸量を、予め設定された検査しきい値と比較することによって行われ、検査しきい値を境として良否の判定がなされる。またこれとともに、所定の検査項目については、算出された検査諸量を良否判定以外の目的、例えば印刷状態の特定項目の傾向を判断して動作パラメータを変更するためのフィードバックの要否判断に用いるようになっている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００２−１９０７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところでスクリーン印刷における印刷不良の発生傾向はマスクプレートの局所的な状態に依存する場合が多く、マスクプレートの状態に何らかの異常が発生している場合には、印刷後の基板において同一箇所に同様傾向の印刷不良が連続して検出される。しかしながら、前述の先行技術文献に示す例を含め、従来のスクリーン印刷においては、マスクプレートにおける何らかの異常に起因する印刷不良が検出された場合においても、マスクプレート全体を対象とするクリーニング動作の実行を指示する旨のフィードバック情報が出されるのみであり、局所的に発生した印刷不良に適正に対処するための処置が必ず行われるとは限らなかった。このように、従来のスクリーン印刷装置においては、局所的に連続して発生する印刷不良に対して有効に対処することができず、このことが印刷品質の低下の一因となっていた。
【０００５】
そこで本発明は、局所的に連続して発生する印刷不良を有効に防止して、印刷品質を確保することができるスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のスクリーン印刷装置は、パターン孔が設けられたマスクプレートに基板を当接させ、マスクプレート上にペーストを供給してスキージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置であって、印刷後の基板におけるペーストの印刷状態について、印刷対象部位における印刷量が過小の「かすれ」を検査項目に含んだ印刷検査を行い、前記検査項目について所定の検査しきい値に基づく判定結果を出力する印刷検査部と、前記判定結果に基づき前記マスクプレートにおけるパターン孔の状態を検査してクリーニングが必要とされる要クリーニング部位を特定するマ
スク検査部とを備えた。
【０００７】
本発明のスクリーン印刷方法は、パターン孔が設けられたマスクプレートに基板を当接させ、マスクプレート上にペーストを供給してスキージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷方法であって、印刷後の基板におけるペーストの印刷状態について、印刷対象部位における印刷量が過小の「かすれ」を検査項目に含んだ印刷検査を行い、前記検査項目について所定の検査しきい値に基づく判定結果を出力する印刷検査工程と、前記判定結果に基づき前記マスクプレートにおけるパターン孔の状態を検査してクリーニングが必要とされる要クリーニング部位を特定するマスク検査工程とを含む。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、印刷後の基板におけるペーストの印刷状態について、印刷対象部位における印刷量が過小の「かすれ」を検査項目に含んだ印刷検査の判定結果に基づいて、マスクプレートにおけるパターン孔の状態を検査してクリーニングが必要とされる要クリーニング部位を特定することにより、局所的に連続して発生する印刷不良を有効に防止して、印刷品質を確保することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の正面図、図２は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の側面図、図３は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の平面図、図４は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のクリーニングユニットの構造説明図、図５は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のクリーニングユニットの動作説明図、図６は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の制御系の構成を示すブロック図、図７は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷方法におけるマスククリーニング動作の説明図である。
【００１０】
まず図１、図２、図３を参照して、スクリーン印刷装置の構造を説明する。図１において、スクリーン印刷装置は、基板位置決め部１の上方にスクリーン印刷機構１３を配設して構成されている。基板位置決め部１は、Ｙ軸テーブル２、Ｘ軸テーブル３およびθ軸テーブル４を段積みし、更にその上に第１のＺ軸テーブル５、第２のＺ軸テーブル６を組み合わせて構成されている。第１のＺ軸テーブル５の構成を説明する。θ軸テーブル４の上面に設けられた水平なベースプレート４ａの上面側には、同様に水平なベースプレート５ａが昇降ガイド機構（図示省略）によって昇降自在に保持されている。ベースプレート５ａは、複数の送りねじ５ｃをモータ５ｂによってベルト５ｄを介して回転駆動する構成のＺ軸昇降機構によって昇降する。
【００１１】
ベースプレート５ａには垂直フレーム５ｅが立設されており、垂直フレーム５ｅの上端部には基板搬送機構８が保持されている。基板搬送機構８は基板搬送方向（Ｘ方向−−図１において紙面垂直方向）に平行に配設された２条の搬送レールを備えており、これらの搬送レールによって印刷対象の基板１０の両端部を支持して搬送する。第１のＺ軸テーブル５を駆動することにより、基板搬送機構８によって保持された状態の基板１０を、基板搬送機構８とともに後述するスクリーン印刷機構１３に対して昇降させることができる。図２、図３に示すように、基板搬送機構８は上流側（図２、図３において左側）および下流側に延出し、上流側から搬入された基板１０は基板搬送機構８によって搬送され、さらに基板位置決め部１によって位置決めされる。そして後述するスクリーン印刷機構によって印刷が行われた後の基板１０は、基板搬送機構８によって下流側に搬出される。
【００１２】
第２のＺ軸テーブル６の構成を説明する。基板搬送機構８とベースプレート５ａの中間には、水平なベースプレート６ａが昇降ガイド機構（図示省略）に沿って昇降自在に配設
されている。ベースプレート６ａは、複数の送りねじ６ｃをモータ６ｂによってベルト６ｄを介して回転駆動する構成のＺ軸昇降機構によって昇降する。ベースプレート６ａの上面には、上面に基板１０を保持する下受け面が設けられた基板下受部７が配設されている。
【００１３】
第２のＺ軸テーブル６を駆動することにより、基板下受部７は基板搬送機構８に保持された状態の基板１０に対して昇降する。そして基板下受部７の下受け面が基板１０の下面に当接することにより、基板下受部７は基板１０を下面側から支持する。基板搬送機構８の上面にはクランプ機構９が配設されている。クランプ機構９は、左右対向して配置された２つのクランプ部材９ａを備えており、一方側のクランプ部材９ａを駆動機構９ｂによって進退させることにより、基板１０を両側からクランプして固定する。
【００１４】
次に基板位置決め部１の上方に配設されたスクリーン印刷機構１３について説明する。図１，図２において、マスク枠１１にはマスクプレート１２が展張されており、マスクプレート１２には、基板１０におおいて印刷対象となる電極１０ａの形状・位置（図３参照）に対応して、パターン孔１２ａが設けられている。マスクプレート１２上にはスキージヘッド１３ａが配設されており、スキージヘッド１３ａは、水平なプレート１４にスキージ１６を昇降させるスキージ昇降機構１５を配設した構成となっている。スキージ昇降機構１５を駆動することによりスキージ１６は昇降して、マスクプレート１２の上面に当接する。
【００１５】
図２に示すように、縦フレーム２５上に配置されたブラケット２６上にはガイドレール２７がＹ方向に配設されており、ガイドレール２７にスライド自在に嵌合したスライダ２８は、プレート１４の両端に結合されている。これにより、スキージヘッド１３ａはＹ方向にスライド自在となっている。プレート１４は、ナット３０、送りねじ２９および送りねじ２９を回転駆動するスキージ移動用モータ（図示省略）より成るスキージ移動手段によりＹ方向に水平移動する。
【００１６】
次に、マスクプレート１２の下面をクリーニングするマスククリーニング機構およびカメラヘッドユニット１７について説明する。本実施の形態においては、クリーニング機構として、マスクプレート１２の下面全体を対象として拭取りによるクリーニング動作を実行するための拭取クリーニングユニット１８Ａと、マスクプレート１２の特定の部位を対象として吸引によるクリーニング動作を実行するための吸引クリーニングユニット１８Ｂを備えた構成を採用している。
【００１７】
図１に示すように、クリーニングヘッドユニット１８は基板１０およびマスクプレート１２を撮像するカメラヘッドユニット１７と一体的にＹ方向に移動する構成となっている。カメラヘッドユニット１７は、基板１０を上方から撮像するための基板認識カメラ１７ａと、マスクプレート１２を下面側から撮像するためのマスク認識カメラ１７ｂとを備えており、ヘッドＸ軸テーブル１９に装着されてＹ方向に一体的に移動する。カメラヘッドユニット１７をＸ方向、Ｙ方向に移動させて基板位置決め部１とマスクプレート１２との間に位置させることにより、基板１０の認識とマスクプレート１２の認識とを同時に行うことができる。
【００１８】
図２において縦フレーム２５上にはガイドレール３１がＹ方向に配設されており、ガイドレール３１にスライド自在に嵌合したスライダ３２は、ヘッドＸ軸テーブル１９にブラケット１９ａを介して結合されている。これにより、ヘッドＸ軸テーブル１９はＹ方向にスライド自在となっている。ヘッドＸ軸テーブル１９は、ナット３４、送りねじ３３および送りねじ３３を回転駆動するヘッド移動用モータ（図示省略）より成るヘッドＹ軸移動機構２０によりＹ方向に水平移動する。
【００１９】
ヘッドＸ軸テーブル１９にはカメラヘッドユニット１７および吸引クリーニングユニット１８Ｂが装着されており、ヘッドＸ軸テーブル１９を駆動することにより、カメラヘッドユニット１７および吸引クリーニングユニット１８Ｂは一体的にＸ方向に移動する。ヘッドＸ軸テーブル１９およびヘッドＹ軸移動機構２０は、カメラヘッドユニット１７、拭取クリーニングユニット１８Ａ，吸引クリーニングユニット１８Ｂを移動させるヘッド移動手段を構成する。なお、カメラヘッドユニット１７および吸引クリーニングユニット１８Ｂを一体的に移動させる構成に替えて、それぞれを個別に移動させる専用の移動手段を備えるようにしてもよい。
【００２０】
次にスクリーン印刷機構１３による印刷動作について説明する。まず基板搬送機構８によって基板１０が印刷位置に搬入されると、第２のＺ軸テーブル６を駆動して基板下受部７を上昇させ、基板１０の下面を下受けする。そしてこの状態で、基板位置決め部１を駆動して基板１０をマスクプレート１２に対して位置合わせする。この後、第１のＺ軸テーブル５を駆動して基板１０を基板搬送機構８とともに上昇させてマスクプレート１２の下面に当接させ、次いで基板１０をクランプ機構９によってクランプする。これにより、スキージヘッド１３ａによるスキージングにおいて、基板１０の水平位置が固定される。そしてこの状態で、ペーストである半田ペーストが供給されたマスクプレート１２上でスキージ１６を摺動させることにより、パターン孔１２ａを介して基板１０には半田ペーストが印刷される。  次に、図３，図４，図５を参照して、拭取クリーニングユニット１８Ａ、吸引クリーニングヘッドユニット１８Ｂの構造を説明する。図３に示すように、拭取クリーニングユニット１８Ａは、水平なユニットベースに未使用のクリーニングペーパを巻回したペーパロール２２Ａと、使用済みのクリーニングペーパを巻回したペーパロール２２Ｂおよび拭取ヘッド２１を配設した構成となっており、ペーパロール２２Ａから引き出されたクリーニングペーパは、拭取ヘッド２１を経由してペーパロール２２Ｂに回収される。
【００２１】
図４（ａ）は図３に示す拭取クリーニングユニット１８ＡのＹ方向の断面を示しており、ペーパロール２２Ａから引き出されたクリーニングペーパ２３は、複数のガイドローラ３６によって導かれて、拭取ヘッド２１の上面の押付面を周回して、ペーパロール２２Ｂに巻き取られる。拭取ヘッド２１はヘッド昇降機構３５によって昇降自在となっている。
【００２２】
図４（ｂ）は、ヘッドＸ軸テーブル１９に装着された吸引クリーニングユニット１８Ｂの構造を示している。図４（ｂ）において、ヘッドＸ軸テーブル１９の移動プレート１９ｂに結合されたベース部材３７には、吸引ヘッド３８が昇降機構３８ａによって昇降自在に配設されている。吸引ヘッド３８の上面はマスクプレート１２の下面に当接して吸引する吸引面となっており、吸引面に設けられた吸引孔３８ｂには真空吸引源３９が接続されている。真空吸引源３９を駆動することにより、吸引孔３８ｂから真空吸引し、これによりマスクプレート１２の下面を対象として、吸引によるクリーニングを行うことが可能となっている。  
【００２３】
図５（ａ）に示す通常状態では、拭取クリーニングユニット１８Ａ、吸引クリーニングユニット１８Ｂにおいては拭取ヘッド２１、吸引ヘッド３８はいずれも下降状態にある。そしてマスクプレート１２の下面を清掃するマスククリーニング時には、拭取クリーニングユニット１８Ａ、吸引クリーニングユニット１８Ｂによるクリーニング動作を選択的にあるいは併用して実行する。すなわち図５（ｂ）に示すように、ヘッド昇降機構３５を駆動して拭取ヘッド２１を上昇させ、クリーニングペーパ２３をマスクプレート１２の下面に押し当てた状態で拭取ヘッド２１をマスクプレート１２の下面に対して摺動させる。また吸引ヘッド３８を上昇させて、吸引面を特定のクリーニング対象部位に押しつけ、真空吸引源３９を駆動して吸引孔３８ｂから吸引する。
【００２４】
次に図６を参照して、制御系の構成を説明する。図６において、制御部４０は以下に説明する各部を統括して制御する。記憶部４１は、制御部４０による制御処理に必要な各種のプログラムや、動作や演算の制御に用いられる制御パラメータなどの各種データを記憶する。表示部４２は、液晶パネルなどの表示装置であり、各種の報知や警告などの表示を行う。この表示項目には、マスクプレート１２において局所的なクリーニングを必要とする要クリーニング部位を画面に表示して指示するための表示画面が含まれる。
【００２５】
画像認識部４３は、基板認識カメラ１７ａ、マスク認識カメラ１７ｂによる撮像データを認識処理する。印刷検査部４４は、スクリーン印刷後の基板１０を基板認識カメラ１７ａによって撮像した撮像データを認識処理することにより、印刷後の基板１０の印刷対象部位である電極１０ａにおける半田ペーストＳの印刷状態についての検査を行う。すなわち画像認識部４３によって算出された半田ペーストの面積などの検査諸量を検査しきい値と比較することによって、印刷対象部位において印刷量が過小であることを示す「かすれ」、印刷量が過大であることを示す「にじみ」、正規の印刷範囲からずれた位置に半田が印刷される「位置ずれ」などの項目が検査される。すなわち、印刷検査部４４は、印刷対象部位における印刷量が過小の「かすれ」を検査項目に含んだ印刷検査を行い、これらの検査項目について所定の検査しきい値に基づく判定結果を出力する。
【００２６】
マスク検査部４５は、印刷検査部４４の判定結果に基づき、マスクプレート１２におけるパターン孔１２ａの状態を検査して、クリーニングが必要とされる要クリーニング部位を特定する処理を行う。すなわちマスク検査部４５によって「かすれ」や「にじみ」など、パターン孔１２ａの状態に起因する度合いが大きい印刷不良が連続して同一部位に発生していると判断された場合には、まずマスク認識カメラ１７ｂを当該部位に移動させてマスクプレート１２の下面を撮像する。次いでこの撮像データの認識処理を画像認識部４３に行わせることにより、当該部位が局所的なクリーニングが必要とされる要クリーニング部位であるか否かの確認を行う。
【００２７】
ここで要クリーニング部位であることが確認された場合には、吸引クリーニングユニット１８Ｂによって当該部位を局所的にクリーニングする。すなわち、吸引クリーニングユニット１８Ｂは、要クリーニング部位を局所的にクリーニングする局所クリーニング手段となっている。なお局所クリーニング手段を備えていない場合には、マシンオペレータによる手動クリーニングを行う。すなわち、表示部４２によって要クリーニング部位を画面に表示して指示し、マシンオペレータはこの指示にしたがって要クリーニング部位を吸引具などの作業ツールを用いてクリーニングする。
【００２８】
機構制御部４６は、記憶部４１に記憶されたプログラムや制御パラメータに基づいて、スクリーン印刷機構１３、基板位置決め部１の動作を制御するとともに、拭取クリーニングユニット１８Ａ、吸引クリーニングユニット１８Ｂによって構成されるマスククリーニング機構４７、ヘッドＸ軸テーブル１９およびヘッドＹ軸移動機構２０によって構成されるヘッド移動手段４８の動作制御を行う。
【００２９】
次に、このスクリーン印刷装置によって行われるスクリーン印刷方法における印刷検査およびこの印刷検査の結果に基づいて実行されるマスククリーニング動作について、図７を参照して説明する。まず、基板認識カメラ１７ａによってスクリーン印刷印刷後の基板１０を撮像することにより、基板１０における半田ペーストの印刷状態について、印刷対象部位における印刷量が過小の「かすれ」を検査項目に含んだ印刷検査を行い、検査項目について所定の検査しきい値に基づく判定結果を出力する（印刷検査工程）。図７（ａ）は、この印刷検査工程において、一部の電極１０ａにパターン孔１２ａによる印刷範囲の中央の一部分にしか半田ペーストＳが印刷されていない「かすれ」が発生し、さらに一部
の電極１０ａに印刷範囲を超えて半田ペーストＳがはみ出している「にじみ」が発生したことが判定結果として出力された場合の例を示している。
【００３０】
次にこの判定結果を受けて、判定結果に基づきマスクプレート１２におけるパターン孔１２ａの状態を検査してクリーニングが必要とされる要クリーニング部位を特定する（マスク検査工程）。すなわち図７（ｂ）に示すように、マスク認識カメラ１７ｂを前述の「かすれ」や「にじみ」が検出された電極位置に対応するマスクプレート１２の部位に移動させ、マスク認識カメラ１７ｂによって当該部位のパターン孔１２ａを撮像し、次いで撮像データを画像認識部４３によって認識処理する。これにより、「かすれ」が検出されたパターン孔１２ａにはパターン孔１２ａ内に半田ペーストＳが強固に付着した目詰まり状態が発生し、「にじみ」が発生したパターン孔１２ａの周囲のマスク下面にははみ出した半田ペーストＳが付着したままとなっていることが確認され、いずれも要クリーニング部位であることが検出される。
【００３１】
そしてこのマスク検査工程の確認結果に基づき、マスククリーニング動作が実行される。ここではまず図７（ｄ）に示すように、拭取クリーニングユニット１８Ａを「にじみ」が発生したパターン孔１２ａの近傍に移動させて、拭取ヘッド２１によってクリーニングペーパ２３を当該要クリーニング部位に押しつけ、はみ出した半田ペーストＳをクリーニングペーパ２３によって拭き取る。次いで、図７（ｅ）に示すように、吸引クリーニングユニット１８Ｂを「かすれ」が発生したパターン孔１２ａに移動させて、吸引ヘッド３８を下面側から押し当て、吸引孔３８ｂから吸引することにより、パターン孔１２ａ内に強固に付着した半田ペーストＳを除去する。
【００３２】
これにより、従来の拭取りを主体としたマスククリーニング動作では除去が困難であったパターン孔１２ａ内の目詰まりについても確実なクリーニング効果を得ることができる。なお、吸引クリーニングユニット１８Ｂによる自動マスククリーニングを行う代わりに、表示部４２によって要クリーニング部位を画面に表示して指示し、この表示にしたがってマシンオペレータによって要クリーニング部位を手作業によってクリーニングするようにしてもよい。
【００３３】
上記説明したように、本実施の形態に示すスクリーン印刷においては、印刷後の基板におけるペーストの印刷状態について、印刷対象部位における印刷量が過小の「かすれ」を検査項目に含んだ印刷検査の判定結果に基づいて、マスクプレートにおけるパターン孔の状態を検査してクリーニングが必要とされる要クリーニング部位を特定するようにしている。これにより、局所的に連続して発生する印刷不良を有効に防止して、印刷品質を確保することができる。
【００３４】
なお本実施の形態においては、ペーストとして半田ペーストを印刷する例を示したが、本発明の適用は半田ペーストに限定されるものではなく、導電性ペーストやフラックスなどの高粘性流体をスクリーン印刷によって印刷する場合にあっても、本発明を適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３５】
本発明のスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法は、局所的に連続して発生する印刷不良を有効に防止して、印刷品質を確保することができるという効果を有し、パターン孔を介して基板に半田ペーストなどのペーストを印刷する分野に利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の正面図
【図２】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の側面図
【図３】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の平面図
【図４】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のクリーニングユニットの構造説明図
【図５】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のクリーニングユニットの動作説明図
【図６】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の制御系の構成を示すブロック図
【図７】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷方法におけるマスククリーニング動作の説明図
【符号の説明】
【００３７】
１  基板位置決め部
１０  基板
１０ａ  電極
１２  マスクプレート
１２ａ  パターン孔
１３  スクリーン印刷機構
１６  スキージ
１７  カメラヘッドユニット
１８Ａ  拭取クリーニングユニット
１８Ｂ  吸引クリーニングユニット
２１  拭取ヘッド
３８  吸引ヘッド
Ｓ  半田ペースト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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