(57)【要約】【課題】自由度の大きな曲面状であって広角テーパを備えるくびれ形状のテーパノズルを、高精度に、かつ多数加工することができるノズルプレートの製造方法及びノズルプレート並びにノズル加工装置を提供すること。【解決手段】  光の通過範囲を規制するマスク部材を介してプレート部材に光を照射して、前記プレート部材にノズルを形成するノズルプレートの製造方法において、前記マスク部材は中空筒状であって、その表面には中心軸を中心に回転させたときの回転方向について面積が順次減少し中心線を共通とする複数の透光部を備える第１領域を有し、前記マスク部材の中空部には反射部材を有しており、前記マスク部材について中心軸を中心に回転させ、レーザ光を前記中心軸の方向から前記中空部に入射させ、前記反射部材に反射させ、前記透光部から出射させてプレート部材に照射することを、を特徴とする。【選択図】  図３
2008012857.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光の通過範囲を規制するマスク部材を介してプレート部材に光を照射して、前記プレート部材にノズルを形成するノズルプレートの製造方法において、
前記マスク部材は中空筒状であって、その表面には中心軸を中心に回転させたときの回転方向について面積が順次減少し中心線を共通とする複数の透光部を備える第１領域を有し、
前記マスク部材の中空部には反射部材を有しており、
前記マスク部材について中心軸を中心に回転させ、レーザ光を前記中心軸の方向から前記中空部に入射させ、前記反射部材に反射させ、前記透光部から出射させてプレート部材に照射すること、
を特徴とするノズルプレートの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載のノズルプレートの製造方法において、
ケラー照明方式を使用するものであって、少なくとも第１の絞り開口および前記第１の絞り開口より小さい第２の絞り開口を実現する絞り開口手段を有すること、
を特徴とするノズルプレートの製造方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載のノズルプレートの製造方法において、
前記マスク部材は、その表面には前記回転方向について面積が変化せず中心線を共通とする複数の透光部を備える第２領域を有し、前記第２領域に備わる透光部の面積は前記第１領域に備わる透光部の最小面積以下であること、
を特徴とするノズルプレートの製造方法。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載のノズルプレートの製造方法において、
前記第１領域に備わる前記透光部のうち最大面積の透光部の形状は、前記第２領域に備わる前記透光部の形状と非相似形であること、
を特徴とするノズルプレートの製造方法。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載のノズルプレートの製造方法において、
前記マスク部材は、少なくとも前記第１領域に備わる透光部の周囲に形成され前記第１領域に備わる透光部の最大面積よりも小さい面積の溝形成用透光部を有すること、
を特徴とするノズルプレートの製造方法。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１項に記載のノズルプレートの製造方法において、
前記第１領域に備わる透光部の外周部には、前記回転方向について位相が順次変化する突起形状の突起状透光部を有すること、
を特徴とするノズルプレートの製造方法。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか１項に記載のノズルプレートの製造方法により製造されるノズルプレートにおいて、
前記ノズルプレートは、当該ノズルプレートを画像形成装置の記録ヘッドに配置したときの被記録媒体の搬送方向と垂直な方向に沿う行方向と、前記行方向に対して斜めに交差する列方向にそれぞれ複数のノズルが直線上に並ぶように配置されるマトリクス型のノズル配列を有し、
前記マトリクス型のノズル配列は、前記斜めの列方向に沿って直線上に並ぶノズルの当該列方向のピッチが、前記行方向に沿って直線上に並ぶノズルの当該行方向のピッチよりも狭いことを特徴とするノズルプレート。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか１項に記載のノズルプレートの製造方法を実現するものであって、前記マスク部材の近傍に前記ノズル毎の透過率を補正するための補正部材を配置したこと、を特徴とするノズル加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はノズルプレートの製造方法及びノズルプレート並びにノズル加工装置に係り、特に、インクジェット方式の画像形成装置の印字ヘッドの吐出面などに用いられるノズルプレートの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット方式の画像形成装置の印字ヘッドは、記録媒体と対向する吐出面を構成するノズルプレートに複数のノズルが形成されている。記録媒体に対してインク滴を吐出する各ノズルの形状は、インク滴の大きさや吐出速度等に影響を与えやすいため、ノズルは高精度に加工されることが要求される。そこで、レーザ光などを用いた光学系装置による加工が考えられる。
【０００３】
レーザ光を用いた光学系装置によるノズルの加工について、以下の特許文献１乃至４にて開示されている（以下、従来の第１乃至４の製造方法という）。
【０００４】
図１５は、従来の第１の製造方法の工程を示す図である。図１５に示すように、従来の第１製造方法では、複数の大きさや形状からなる開口部を同一円周上に備えるマスク１０１を使用する。そして、このマスク１０１を回転させて所望の開口部を窓１０２の部分に合わせることにより、レーザ光を所望のビーム形状に整形して対象物に照射する。これにより、対象物において所望の形状の加工ができるとする。
【０００５】
また、従来の第２の製造方法では、図１６に示すように、アレイレンズ照明系２０１、リレーレンズ２０２、入射瞳２０３、投影レンズ２０４、マスク２０５、プレート部材（オリフィスプレート）２０６などから構成されるケラー照明方式を利用した孔加工装置を使用している。そして、プレート部材２０６の板面に対して垂直な軸線を有する逆テーパのオリフィス孔を形成している。このとき、レーザ光の熱によるマスクの変形や損傷が生じるのを防止するため、一対のマスクの間に熱交換部材を設けたり、冷却用気体を直接流通させている。
【０００６】
また、従来の第３の製造方法では、前記の従来技術２の製造方法と同様に図１６に示すようなケラー照明方式を利用した孔加工装置を使用している。アレイレンズ照明系２０１、リレーレンズ２０２、入射瞳２０３、投影レンズ２０４、マスク２０５の配置を調整して条件を成立させる。そして、レーザ光の集光面をプレート部材２０６の断面内部に位置させながら加工することにより、順テーパ部と逆テーパ部を有するくびれ断面形状のノズル（オリフィス）を形成している。また、レーザ光の絞り角を制御してノズルのテーパ角度を変更させたり、レーザ光の集光面などを制御して逆テーパ部の奥行きを変化させたりしている。
【０００７】
また、従来の第４の製造方法では、前記の従来技術２、３の製造方法と同様に図１６に示すようなケラー照明方式を利用した孔加工装置を使用している。そして、短パルスレーザ光を矩形マスクに照射し、表裏で形状の異なる螺旋溝付き逆テーパノズルを形成している。
【特許文献１】特開平６−９９２９７号公報
【特許文献２】特開２０００−２１８８０２号公報
【特許文献３】特開２００１−１８７４５１号公報
【特許文献４】特開２００２−５２７１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、従来の製造方法には、次のような問題がある。
【０００９】
従来の第１の製造方法では、マスク１０１を備える装置の構成上１つの孔を加工するのには適しているが、多数の孔の同時加工には適していない。また、一般的なマスク投影法を用いているに過ぎないので、対象物において逆テーパ形状やくびれ形状の孔を形成することは困難である。
【００１０】
従来の第２の製造方法では、レーザ光はマスク２０５の同一箇所に照射されている。そのため、レーザ光の強度などによっては、熱交換部材や冷却用気体による冷却効果にも限界があり、マスク２０５に変形や損傷が生じてしまうおそれがある。
【００１１】
従来の第３の製造方法では、ケラー照明方式を利用しＮＡ（開口数）を大きくして露光を行うことで１２°程度のテーパを形成している。しかし、ＮＡを大きくするには限界があり、高粘高速吐出に必要な３０〜６０°程度の広角テーパの形成は難しい。また、レーザ光の照射形状がそのまま転写されるに過ぎないため、自由度の大きな曲線状のノズルの断面形成は困難である。ノズルプレート接着後に加工をしており部品単体検査が出来ないため、ワンパス記録用などの多ノズル用途では歩留まりも低下しやすい。
【００１２】
従来の第４の製造方法では、ケラー照明方式を利用した比較的ＮＡの大きな露光をしているが、上記同様に３０〜６０°程度の広角テーパの形成は難しい。また、レーザ光の照射形状がそのまま転写されるに過ぎないため、自由度の大きな曲線状のノズルの断面形成は困難である。
【００１３】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、自由度の大きな曲面状であって広角テーパを備えるくびれ形状のテーパノズルを、高精度に、かつ多数加工することができるノズルプレートの製造方法及びノズルプレート並びにノズル加工装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
前記目的を達成するために請求項１に記載の発明は、ノズルプレートの製造方法において、光の通過範囲を規制するマスク部材を介してプレート部材に光を照射して、前記プレート部材にノズルを形成するノズルプレートの製造方法において、前記マスク部材は中空筒状であって、その表面には中心軸を中心に回転させたときの回転方向について面積が順次減少し中心線を共通とする複数の透光部を備える第１領域を有し、前記マスク部材の中空部には反射部材を有しており、前記マスク部材について中心軸を中心に回転させ、レーザ光を前記中心軸の方向から前記中空部に入射させ、前記反射部材に反射させ、前記透光部から出射させてプレート部材に照射することを、を特徴とする。
【００１５】
本発明によれば、マスク部材を回転させことにより、レーザ光が出射する複数の透光部の面積が順次減少するように変化しながらプレート部材にレーザ光が照射することになる。そのため、プレート部材における照射範囲が順次減少することから、広角テーパを備えるノズルを高精度に形成することができる。
【００１６】
また、さらに第１領域に備わる透光部の形状について、マスク部材の中心軸方向についてはそれぞれ同一形状からなるものとし、一方、マスク部材の回転方向については順に多角形状へと変化するものとした場合には、マスク部材の中心軸方向にわたって自由度の大きい曲面状の断面のテーパを形成することができる。
【００１７】
また、マスク部材を回転させることにより、マスク部材への蓄熱が軽減しマスク部材における寸法変化や寿命低下も抑制することができる。マスク部材は、一定の速度で回転させても、間欠的に回転させてもよい。マスク部材を一定の速度で回転させることにより、ノズルプレートの生産効率が向上する。なお、マスク部材の中空部の断面形状は円形に限らず、多角形であってもよい。また、マスク部材の回転に同期してレーザ光の発光を制御してもよい。
【００１８】
また、マスク部材の回転方向に中心線を共通にして配置される透光部をマスク部材の中心軸方向にも複数配置することにより、広角テーパを備えるノズルを高精度に、かつ多数形成することができる。
【００１９】
なお、マスク部材の表面に形成される透光部の面積は非常に小さいため、筒形状の曲率変化が透光部の断面形状に与える影響は無視することができる。
【００２０】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のノズルプレートの製造方法において、ケラー照明方式を使用するものであって、少なくとも第１の絞り開口および前記第１の絞り開口より小さい第２の絞り開口を実現する絞り開口手段を有すること、を特徴とする。
【００２１】
本発明によれば、絞り開口手段を第１の絞り開口の状態にすることにより、広角にテーパが形成されるノズルの広角テーパ部を形成する。その一方で、絞り開口手段の絞りを第１の絞り開口よりも小さい第２の絞り開口の状態として、プレート部材へのレーザ光の照射角度を小さくすることにより、狭角にテーパが形成されかつ逆テーパが形成されるノズルの狭角くびれ部を形成する。そのため、広角テーパ部と狭角くびれ部を備えるノズルを形成することができる。
【００２２】
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載のノズルプレートの製造方法において、前記マスク部材は、その表面には前記回転方向について面積が変化せず中心線を共通とする複数の透光部を備える第２領域を有し、前記第２領域に備わる透光部の面積は前記第１領域に備わる透光部の最小面積以下であること、を特徴とする。
【００２３】
本発明によれば、マスク部材の第２領域に備わる透光部から出射されるレーザ光の照射範囲を第１領域に備わる透光部から出射されるレーザ光の最小照射範囲として一定に保った状態にすることができるので、より確実に広角テーパ部と狭角くびれ部を備えるノズルを形成することができる。
【００２４】
請求項４に記載の発明は、請求項１乃至３のいずれか１項に記載のノズルプレートの製造方法において、前記第１領域に備わる前記透光部のうち最大面積の透光部の形状は、前記第２領域に備わる前記透光部の形状と非相似形であること、を特徴とする。
【００２５】
本発明によれば、プレート部材の両面において照射される形状を互いに非相似形にすることができるので、ノズルプレートの両面で開口断面の形状が非相似形のノズル開口部を形成できる。
【００２６】
なお、さらに第１領域に備わる透光部のうち最大面積の透光部の形状を相手部材の断面形状に合わせるようにした場合には、ノズルに供給される流体内の気泡の排出性や吐出の安定性を向上させることができる。
【００２７】
請求項５に記載の発明は、請求項１乃至４のいずれか１項に記載のノズルプレートの製造方法において、前記マスク部材は、少なくとも前記第１領域に備わる透光部の周囲に形成され前記第１領域に備わる透光部の最大面積よりも小さい面積の溝形成用透光部を有すること、を特徴とする。
【００２８】
本発明によれば、ノズルの最大内径が形成される流体流入側の開口部の周囲に当該開口部の内径よりも小さい径の溝を同時に形成することができるので、ノズルプレートと相手部品を接合する時に、余剰の接着剤は溝に流れ込みノズルには流れ込まない。そのため、ノズル内に接着剤が詰まることを防止できる。また、溝の存在によりノズルプレート内に生じうる熱応力による歪は緩和される。
【００２９】
請求項６に記載の発明は、請求項１乃至５のいずれか１項に記載のノズルプレートの製造方法において、前記第１領域に備わる透光部の外周部には、前記回転方向について位相が順次変化する突起形状の突起状透光部を有すること、を特徴とする。
【００３０】
本発明によれば、突起状透光部によりノズルの内面に螺旋状の溝が形成されるので、ノズルにインクを供給した場合にインクに回転が付与され、より一層のインクの飛翔の安定化を図ることができる。
【００３１】
請求項７に記載の発明は、請求項１乃至６のいずれか１項に記載のノズルプレートの製造方法により製造されるノズルプレートにおいて、前記ノズルプレートは、当該ノズルプレートを画像形成装置の記録ヘッドに配置したときの被記録媒体の搬送方向と垂直な方向に沿う行方向と、前記行方向に対して斜めに交差する列方向にそれぞれ複数のノズルが直線上に並ぶように配置されるマトリクス型のノズル配列を有し、前記マトリクス型のノズル配列は、前記斜めの列方向に沿って直線上に並ぶノズルの当該列方向のピッチが、前記行方向に沿って直線上に並ぶノズルの当該行方向のピッチよりも狭いことを特徴とする。
【００３２】
本発明に係るノズルプレートの製造時には、ノズル間隔が相対的に狭い斜めの列方向の直線上に並ぶ複数のノズルをマスク部材による一括加工の単位とすることが望ましい。すなわち、本発明によれば、その製造時において、マスク部材での照明光のケラレを軽減することにより照明光の光源の利用効率を高めて生産効率が高くなるノズルプレートを提供することができる。
【００３３】
請求項８に記載の発明は、請求項１乃至７のいずれか１項に記載のノズルプレートの製造方法を実現するものであって、前記マスク部材の近傍に前記ノズル毎の透過率を補正するための補正部材を配置したこと、を特徴とするノズル加工装置である。
【００３４】
本発明によれば、照射光の光源のムラの補正が可能で、ノズル間での形状バラツキが安定する。
【発明の効果】
【００３５】
本発明によれば、ノズルプレートについて、自由度の大きな曲面状であって広角テーパを備えるくびれ形状のテーパノズルを、高精度に、かつ多数加工することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態について詳説する。
【００３７】
〔全体的な加工プロセスの説明〕
まず、本発明の特徴であるノズルプレートの製造の説明の前に、本発明により得られるノズルプレートを備える印字ヘッドの全体的な加工プロセスについて説明する。
【００３８】
図１は、全体的な加工プロセスについてのフローチャート図である。図１に示すように、プレート部材を取り出す原板に撥液剤コートと加熱処理を行い（ステップＳ１）、保護シートを貼り合わせる（ステップＳ２）。次に、プレス加工などの外形抜き加工により原板からプレート部材を取り出す（ステップＳ３）。次に、ノズルを形成するため、後述する本発明のノズルプレートの製造方法を実現する装置の治具にプレート部材をセットする（ステップＳ４）。当該治具へのセットとしては、吸引による保持などが考えられる。そこで、当該プレート部材にノズルや溝などを加工し、ノズルプレートの製造を行う（ステップＳ５）。本発明はこのノズルプレートの製造に特徴を有するものであり、詳細には後述する。
【００３９】
ノズルプレートの製造（ステップＳ５）の後は、印字ヘッドを製造するため当該ノズルプレートに基板をエポキシ系の接着剤により接合する（ステップＳ６）。次に、ノズルプレートを装置の治具から取り外して（ステップＳ７）、保護膜シートを剥離する（ステップＳ８）。以上が、印字ヘッドの全体的な加工プロセスである。
【００４０】
〔ノズルプレートの製造〕
そこで、前記のステップＳ５における本発明の特徴であるノズルプレートの製造について説明する。
【００４１】
図２は、本実施形態を実現するノズル加工装置の全体構成図である。図２に示すように、当該装置は、アレイレンズ照明系１１、リレーレンズ１２、マスク部材である回転マスク１３、反射部材である反射ミラー１４、絞り開口手段である可変絞り１６、投影レンズ１７などから構成されるケラー照明方式を用いる。
【００４２】
図３は、回転マスク１３の（ａ）外観斜視図と（ｂ）正面図である。なお、説明の便宜上、後述する透光部２１の数は実際より少なく、また透光部２１の大きさは実際より大きく示している。図３に示すように、回転マスク１３は中空円筒形であり、その表面には複数のパターンの形状からなる透光部２１が、回転マスク１３の回転方向および中心軸方向に多数形成されている。なお、回転マスク１３を中空円筒形にしているが、透光部２１の面積は非常に小さいため円筒形の曲率変化が透光部２１の断面形状に与える影響は無視することができる。
【００４３】
図４に回転マスク１３の展開図を示す。なお、説明の便宜上、透光部２１の数は実際より少なく、また透光部２１の大きさは実際より大きく示している。図４に示すように、回転マスク１３には四角形から六角形、八角形へと順に多角形に推移しつつ、内径も順に縮小する透光部２１を備える第１領域２２と、円形の同形状の透光部２１を備える第２領域２３とが形成されている。
【００４４】
また、第１領域２２に備わる透光部２１の周囲には、ノズルプレート上に溝を形成するための楕円形状の透光部２４が形成されている。そして、図２に示すように、回転マスク１３の中空部内には反射ミラー１４が配置されている。
【００４５】
このような構成および形状を有するノズル加工装置は次のように作用する。
【００４６】
エキシマレーザ機器（不図示）から発せられたレーザ光は、アレイレンズ照明系１１により集光面１５に集光され、リレーレンズ１２を通して回転マスク１３内に配置される反射ミラー１４に照射される。反射ミラー１４に照射されたレーザ光は、向きを変えて回転マスク１３の透光部２１上で重ね合わされ可変絞り１６へと照射され、可変絞り１６の位置に集光面１５の像が結像される。そして、回転マスク１３の透光部２１のパターンが投影レンズ１７を通してプレート部材１９に投影されることにより、アブレーション加工が行われプレート部材１９にノズル２６が形成される。なお、本実施形態では、一定速度で回転する回転マスク１３に対して透光部２１の回転方向のパターンがプレート部材１９上で重なるようにレーザ光の発光を制御している。
【００４７】
そこで、本実施形態によるノズル２６の形成プロセスについて、図５を用いて詳しく説明する。図５に示すように、本実施形態では、透光部２１の大きさ、可変絞り１６の絞り開口の大きさ、レーザ光の照射強度の大きさの条件を規定することによりノズル２６を形成する。
【００４８】
ここでは、例えば、透光部２１の大きさ、可変絞り１６の絞り開口の大きさ、レーザ光の照射強度の大きさの条件を、各々「大、中、小」の３つ状態の設定とする場合を考えてみる。本実施形態では、透光部２１の大きさは、図３、図４に示すように回転方向につき透光部２１の面積が順次変化する回転マスク１３を回転させることにより設定することとなる。図５（ａ）は、図５（ｂ）に示す条件下で、各々対応するノズル２６の形状の様子を示したものである。
【００４９】
まず、図５（ｂ）に示す条件（１）では、回転マスク１３の第１領域２２において透光部２１の大きさを「大」に設定し、可変絞り１６の絞り開口の大きさを「大」に、レーザ光の照射強度の大きさを「小」に設定する。すると、回転マスクの透光部２１の大きさを「大」と設定することによりプレート部材１９への照射範囲が大きくなり、可変絞り１６の絞り開口の大きさを「大」と設定することによりプレート部材１９への照射角が広角になる。そして、レーザ光の照射強度の大きさを「小」に設定することにより、プレート部材１９への照射深度を小さくすることができテーパ角は広角傾向となる。そのため、図５（ａ）における（１）に示す部分のノズル２６が形成される。
【００５０】
次に、図５（ｂ）に示す条件（２）では、条件（１）の時から回転マスク１３を回転させて回転マスク１３の第１領域２２において透光部２１の大きさを「中」に設定し、可変絞り１６の絞り開口の大きさを「大」に、レーザ光の照射強度の大きさを「中」に設定する。すると、回転マスクの透光部２１の大きさを「中」と設定することによりプレート部材１９への照射範囲が条件（１）のときより小さくなり、可変絞り１６の絞り開口の大きさを「大」と設定することによりプレート部材１９への照射角は条件（１）と同様に広角になる。そして、レーザ光の照射強度の大きさを「中」に設定することにより、プレート部材１９への照射深度を条件（１）よりもやや大きくすることができる。そのため、図５（ａ）における（２）に示す部分のノズル２６が形成される。
【００５１】
次に、図５（ｂ）に示す条件（３）では、条件（２）の時から回転マスク１３を回転させて回転マスク１３の第１領域２２において透光部２１の大きさを「小」に設定し、可変絞り１６の絞り開口の大きさを「中」に、レーザ光の照射強度の大きさを「中〜大」に設定する。すると、回転マスクの透光部２１の大きさを「小」と設定することによりプレート部材１９への照射範囲が条件（２）のときより小さくなり、可変絞り１６の絞り開口の大きさを「中」と設定することによりプレート部材１９への照射角は条件（２）より狭角になる。そして、レーザ光の照射強度の大きさを「中〜大」に設定することにより、プレート部材１９への照射深度を条件（２）よりもやや大きくすることができる。そのため、図５（ａ）における（３）に示す部分のノズル２６が形成される。
【００５２】
次に、図５（ｂ）に示す条件（４）では、回転マスク１３を回転させて回転マスク１３の第２領域２３に設定することにより回転マスクの透光部２１の大きさを「小」に、可変絞り１６の絞り開口の大きさを「小」に、レーザ光の照射強度の大きさを「大」に設定する。すると、回転マスクの透光部２１の大きさを「小」と設定することによりプレート部材１９への照射範囲が条件（３）と同様に小さくなり、可変絞り１６の絞り開口の大きさを「小」と設定することによりプレート部材１９への照射角は条件（３）より狭角になる。そして、レーザ光の照射強度の大きさを「大」に設定することにより、プレート部材１９への照射深度が大きくなるとともに、レーザ光はくびれ形状となりプレート部材１９の外へと放射される。そのため、図５（ａ）における（４）に示す部分のノズル２６が形成される。
【００５３】
以上のようなノズル２６の断面形成により、図５に示すように、条件（１）〜（３）のもとにノズル２６の広角テーパ部２７が形成され、条件（４）のもとにノズル２６の狭角くびれ部２８が形成されることが分かる。なお、前記のように、条件（１）〜（３）では、回転マスク１３の第１領域２２によって透光部２１の大きさを設定する。また、条件（４）では、回転マスク１３の第２領域２３によって透光部２１の大きさを設定する。
【００５４】
そして、図６に示すように、プレート部材１９には開口角度が３０〜６０°（全角で６０〜１２０°）の広角テーパ部２７と、開口角度が１０〜１５°（全角で２０〜３０°）の狭角くびれ部２８を有するノズル２６が形成される。このようにノズル２６に広角テーパ部２７と狭角くびれ部２８が形成されることにより、高粘液の高速リフィルが可能で開口精度や飛翔曲がりも安定させることができる。なお、プレート部材１９には予め撥液膜１８が付されている。
【００５５】
また、回転マスク１３の回転方向について第１領域２２における透光部２１の形状を、各々異なる形状とすることにより、自由度の大きな曲面状の広角テーパ部２７が形成される。
【００５６】
また、本実施形態では、回転マスク１３の１回転でプレート部材１９の短辺一列を一括加工し、更に回転マスク１３が１回転する間にプレート部材１９を長辺方向にノズルピッチ分だけ間欠送りするようにし、回転マスク１３は一定速度で回転しているので、高速加工が可能となりノズルプレートの生産効率が向上する。なお、エキシマレーザの発光パルス幅は発振周期に比べて極めて短く、また、１／５〜１／１０倍程度の縮小投影を行うため、レーザ照射中の回転マスク１３の移動は許容できる。
【００５７】
また、回転マスク１３を回転させるので、マスクの戻し操作が不要でマスクの蓄熱による寸法変化や寿命低下も改善できる。
【００５８】
エキシマレーザなどを用いたアブレーション加工によれば、０．１〜０．２μｍ／パルスの精密加工が可能なため、多重のマスク加工であっても滑らかな断面形成が可能である。なお、プレート部材の厚みのバラツキに対しては厚み測定やオートフォーカス、パルスエネルギ調整で対応するのが望ましい。
【００５９】
なお、回転マスク１３の透光部２１のプレートと回転マスクの透光部の間であってマスク表面の近傍に、透光部２１間での透過率を補正する補正部材として、透過率補正フィルタ３１を実装するとよい。例えば、透光部２１毎に透過率を補正した石英ガラス製の蒸着フィルタなどを実装することが考えられる。これにより、レーザ光の光源のムラの補正が可能で、ノズル２６間での形状のばらつきを抑制することができる。
【００６０】
また、回転マスク１３の透光部２１は回転マスク１３の表裏で開口形状が異なるものとしてもよい。表面の開口を表面より大きくしておけば、より滑らかなテーパ形状が可能となる。
【００６１】
回転マスク１３が１回転しプレート部材１９にノズル２６が１列分形成されると、回転マスク１３が更に１回転する間にプレート部材１９の間欠送りを行い、次にノズル２６を形成すべき所定の列位置に合わせる。このとき、本実施形態では、ノズルプレート２０を画像形成装置の記録ヘッドに配置したときの被記録媒体の搬送方向に垂直な方向(ノズルプレート２０の長辺方向に相当する「行方向」)に沿って直線上に並ぶノズル２６のピッチ（行方向ピッチ）に比べて、当該行方向に対して斜めに交差する「列方向」に沿って直線上に並ぶノズル２６のピッチ（斜めの列方向ピッチ）が狭くなるような、２次元マトリクス型のノズル配置を実現すべく、圧力室１５２の形状を設定しておく。これにより、回転マスク１３での照明光のケラレを軽減し、エキシマレーザ光源の利用効率を高めることができる。なお、詳細については圧力室１５２についての説明の中で後述する。
【００６２】
また、回転マスク１３の透光部２１の周囲に形成されている楕円形状の透光部２４を介してレーザ光がプレート部材１９に照射されることにより、ノズル２６の形成と同時にノズル２６の周囲に溝２９も形成される。この溝２９は、インク流入側である広角テーパ部２７の開口径よりも小さい開口径として形成されている。そのため、ノズルプレート２０を印字ヘッドの基板に接着剤で取り付ける際に、毛細管現象によって余剰接着剤は溝２９に流れ込むことになり、余剰接着剤のはみ出しを確実に防止してノズル２６内に接着剤が混入して目詰まりが発生するのを防止する。
【００６３】
また、溝２９を形成することにより印字ヘッドの基板との線膨張率差も吸収できるので、反りや剥がれなどの不具合も生じにくい。このように、溝２９をノズル２６と同時に加工することにより、加工精度や生産性も一層向上させることができる。
【００６４】
以上のような製造方法よりノズルプレート２０が形成される。
【００６５】
また、本実施形態では、図４に示すような第１領域２２における開口部２１の形状とすることにより、ノズル２６の広角テーパ部２７の開口断面を圧力室１５２（図１１参照）などの断面形状に近似して略矩形に形成し、ノズル２６の狭角くびれ部２８の開口断面を円形に形成して、互いに非相似形にできる。ここで図７、８は、印字ヘッドを構成する基板１５９にノズルプレート２０を接合したときの圧力室１５２内のノズル２６近傍における斜視断面図であり、ノズル２６の広角テーパ部２７の断面を円形または略矩形に形成し、ノズル２６の狭角くびれ部２８の断面を円形としたときの効果についての説明図である。
【００６６】
図７（ａ）は、ノズル２６の広角テーパ部２７の開口断面の形状をノズル２６の狭角くびれ部２８の断面の形状と同じく円形に形成した場合を示しており、図７（ｂ）は、圧力室１５２側からみたノズル２６近傍の拡大上面図である。図７（ｂ）に示すように、圧力室１５２の内面の形状が矩形であるのに対してノズル２６の広角テーパ部２７の開口断面の形状が円形であるので、ノズル２６の入り口と圧力室１５２の外壁部分が交わる部分におおよそ鋭角形状を有する平面部Ａが存在する。そのため、圧力室１５２からノズル２６にインクを供給する際に、平面部Ａにおいてインクの流れが滞ってインクの中に含まれる気泡が溜まってしまうおそれがある。したがって、ノズル２６へのインクの供給が安定せず、ノズル２６からのインク吐出の安定化を図れないおそれがある。
【００６７】
一方、図８（ａ）は、本実施形態のように、ノズル２６の広角テーパ部２７の開口断面の形状をノズル２６の狭角くびれ部２８の開口断面の形状とは異なる略矩形に形成した場合を示しており、図８（ｂ）は、圧力室１５２側からみたノズル２６近傍の拡大上面図である。図８（ｂ）に示すように、本実施形態によれば、圧力室１５２の内面の形状と近似してノズル２６の開口断面の形状が略矩形に形成されているので、ノズル２６の入り口と圧力室１５２の外壁部分が交わる部分に前記のような平面部Ａを非常に小さくすることができる。そのため、圧力室１５２からノズル２６にインクを供給する際に、インクの流れが滞る部分を非常に小さくすることができ、気泡が溜まるのを抑制することができる。したがって、ノズル２６へのインクの供給が安定し、ノズル２６からのインク吐出の安定化を図ることができる。
【００６８】
また、回転マスク１３の他の仕様として、図９に示すように回転マスク１３の第１領域２２における透光部２１の形状を円形に形成し、その外周部に凸形状の透光部である突起部２１Ａを設けてもよい。なお、説明の便宜上、透光部２１の数は実際より少なく、また透光部２１の大きさは実際より大きく示している。そして、この突起部２１Ａは、回転マスク１３の回転方向について位相が変化するように形成しておく。そこで、この回転マスク１３を用いて前記のようにプレート部材１９にレーザ光を照射させると、図１０に示すような過程により、ノズル２６の内面に螺旋形状の溝２６Ａが形成されるノズルプレートを形成することができる。このように、ノズル２６の内面に螺旋形状の溝を形成しておくことで、ノズル２６内にインクを流し込んだ場合にインクに回転を付与することができるので、より一層の飛翔の安定化を図ることができる。
【００６９】
〔ヘッドの構造〕
次に、上述した製造方法により製造したノズルプレートの具体的な適用例としてのヘッドの構造について説明する。色別の各ヘッド１１２Ｋ，１１２Ｃ，１１２Ｍ，１１２Ｙ（図１３参照）の構造は共通しているので、以下、これらを代表して符号１５０によってヘッドを示すものとする。
【００７０】
図１１(ａ) はヘッド１５０の構造例を示す平面透視図であり、図１１(ｂ) はその一部の拡大図である。また、図１２は１つの液滴吐出素子（１つのノズル２６に対応したインク室ユニット）の立体的構成を示す断面図（図１１(ａ) 中の１２−１２線に沿う断面図）である。
【００７１】
記録紙１１６上に印字されるドットピッチを高密度化するためには、ヘッド１５０におけるノズルピッチを高密度化する必要がある。本例のヘッド１５０は、図１１(ａ)、(ｂ) に示したように、インク吐出口であるノズル２６と、各ノズル２６に対応する圧力室１５２等からなる複数のインク室ユニット（液滴吐出素子）１５３を千鳥でマトリクス状に（２次元的に）配置させた構造を有し、これにより、ヘッド１５０の長辺方向（被記録媒体の搬送方向と直交する方向）に沿って並ぶように投影される実質的なノズル間隔（投影ノズルピッチ）の高密度化を達成している。
【００７２】
各ノズル２６に対応して設けられている圧力室１５２は、その平面形状が概略長方形となっており（図１１(ａ)、(ｂ) 参照）、対角線上の両隅部の一方にノズル２６への流出口が設けられ、他方の隅部にインクの供給口１５４が設けられている。
【００７３】
また、図１１（ａ）に示したとおり、各圧力室１５２の長辺方向はヘッド１５０の長辺方向と一致しており、上記構成のインク室ユニット１５３をヘッド１５０の長辺方向に沿う行方向及び長辺方向に対して直交しない一定の角度α（αは鋭角）を有する斜めの列方向とに沿って直線的に一定の配列パターンで斜めの格子状に多数配列させることにより、当該マトリクス配列に対応した高密度の２次元マトリクス配列のノズル群が実現されている。
【００７４】
すなわち、ヘッド１５０を構成するノズルプレート２０には、行方向及びこの行方向に対して斜めに交差する列方向にそれぞれ複数のノズル２６が直線上に並ぶように配置されるマトリクス型のノズル配列が形成されている。なお、フルライン型のヘッドを適用したインクジェット記録装置の場合、ヘッドの長辺方向は主走査方向であり、紙送り方向は副走査方向となる。
【００７５】
同図では、ヘッド１５０の短辺方向のノズル数（行数）ｎを「ｎ＝６」としているが、本発明の実施に際しては、ノズル配列のマトリクスの形態は、本例に限定されない。ただし、ｎ＝２は２列の千鳥配列に相当するため、ここではｎ＝３以上の場合に適用することが望ましい。
【００７６】
図１１（ａ）に示した本例のマトリクス型のノズル配列において、斜めの列方向に沿って直線上に並ぶノズル２６の当該列方向のピッチＰaは、行方向に沿って直線上に並ぶノズル２６の当該行方向のピッチＰbよりも狭くなっている(Ｐa＜Ｐb）。
【００７７】
行方向に沿ってピッチＰbで直線上に並ぶノズル２６のノズル列がヘッド１５０の短辺方向に行間隔Ｌs（ヘッド１５０の短辺方向への行ピッチ）でｎ行（図１１（ａ）ではｎ＝６）配列されているとすると、ヘッド１５０の長辺方向に沿って並ぶように投影される実質的なノズルピッチＰNmは、次式の関係を満たす。
【００７８】
ＰNm＝Ｐa×cosα＝Ｌs／tanα
Ｐb＝ｎ×ＰNm
なお、行方向のピッチＰbは、斜めの列方向に沿って直線上に並ぶノズル２６のノズル列(図１１（ａ）の点線で囲んだノズルブロック)の行方向への繰り返し単位に相当する長さであり、斜めの列方向に並ぶノズル２６によって構成されるノズル列の「折り返しピッチ」に相当している。
【００７９】
ここで、ヘッド１５０の圧力室１５２の平面形状を概略長方形とし、ヘッド１５０を構成するノズルプレート２０において上記の如きマトリックス型にノズル２６を配置するときの、ノズルプレート２０の製造上の利点について説明する。
【００８０】
このようなノズルプレート２０の製造にあたっては、まず、回転マスク１３を長方形のプレート部材１９の短辺方向に対して所定の角度で傾斜させて配置する。すなわち、回転マスク１３の回転軸を図１１（ａ）で説明したマトリクス配列の斜めの列方向に一致させて回転マスク１３とプレート部材１９を配置する。そして、回転マスク１３を１回転させて所定の角度で傾斜されるノズルの１列分（図１１（ａ）の点線で囲んだ部分に相当）を形成し、次に、プレート部材１９を長辺方向に所定の間隔で搬送し、同様にノズルの１列分を形成する。これを繰り返すことにより、マトリックス型にノズル２６が形成されたノズルプレート２０を形成する。
【００８１】
前記のように、ヘッド１５０を構成するノズルプレート２０は、斜めの列方向に並ぶノズル２６のピッチ（Ｐa）が、ヘッド長辺方向に並ぶノズル２６のピッチ（Ｐb）よりも狭くなるようにノズル２６が配置されるものであり、その製造時には、斜めの列方向に並ぶ複数のノズル２６を回転マスク１３で一括加工（同時加工）する工程が繰り返される。そのため、回転マスク１３の中心軸方向の透光部２３、２４の配置の密度を出来るだけ高くすることができる。したがって、回転マスク１３の透光部２３、２４を介してプレート部材１９にエキシマレーザ光を照射する際に、エキシマレーザ光のケラレを軽減してエキシマレーザ光源の利用効率が高くすることにより、ノズルプレート２０の生産効率を高めることができる。以上が、ノズルプレート２０の製造上の利点についての説明である。
【００８２】
なお、圧力室１５２の形状は、本例に限定されず、平面形状が四角形（菱形、正方形など）、五角形、六角形その他の多角形、円形、楕円形など、多様な形態があり得る。
【００８３】
図１２に示すように、基板１５９に形成される各圧力室１５２は供給口１５４を介して共通流路１５５と連通されている。共通流路１５５はインク供給源たるインクタンク（不図示）と連通しており、インクタンクから供給されるインクは共通流路１５５を介して各圧力室１５２に分配供給される。
【００８４】
圧力室１５２の一部の面（図１２において天面）を構成している加圧板（共通電極と兼用される振動板）１５６には個別電極１５７を備えたアクチュエータ１５８が接合されている。個別電極１５７と共通電極間に駆動電圧を印加することによってアクチュエータ１５８が変形して圧力室１５２の容積が変化し、これに伴う圧力変化によりノズル２６からインクが吐出される。なお、アクチュエータ１５８には、チタン酸ジルコン酸鉛やチタン酸バリウムなどの圧電体を用いた圧電素子が好適に用いられる。インク吐出後、アクチュエータ１５８の変位が元に戻る際に、共通流路１５５から供給口１５４を通って新しいインクが圧力室１５２に再充填される。
【００８５】
本実施形態では、ピエゾ素子（圧電素子）に代表されるアクチュエータ１５８の変形によってインク滴を飛ばす方式が採用されているが、本発明の実施に際して、インクを吐出させる方式は特に限定されず、ピエゾジェット方式に代えて、ヒータなどの発熱体によってインクを加熱して気泡を発生させ、その圧力でインク滴を飛ばすサーマルジェット方式など、各種方式を適用できる。
【００８６】
〔インクジェット記録装置の構成〕
次に、インクジェット記録装置について説明する。
【００８７】
図１３は、本発明に係るノズルプレートを備えた印字ヘッドが構成されるインクジェット記録装置の全体構成図である。同図に示すように、このインクジェット記録装置１１０は、黒（Ｋ），シアン（Ｃ），マゼンタ（Ｍ），イエロー（Ｙ）の各インクに対応して設けられた複数のインクジェット記録ヘッド（以下、ヘッドという。）１１２Ｋ，１１２Ｃ，１１２Ｍ，１１２Ｙを有する印字部１１２と、各ヘッド１１２Ｋ，１１２Ｃ，１１２Ｍ，１１２Ｙに供給するインクを貯蔵しておくインク貯蔵／装填部１１４と、被記録媒体たる記録紙１１６を供給する給紙部１１８と、記録紙１１６のカールを除去するデカール処理部１２０と、前記印字部１１２のノズル面（インク吐出面）に対向して配置され、記録紙１１６の平面性を保持しながら記録紙１１６を搬送するベルト搬送部１２２と、印字部１１２による印字結果を読み取る印字検出部１２４と、記録済みの記録紙（プリント物）を外部に排紙する排紙部１２６とを備えている。
【００８８】
インク貯蔵／装填部１１４は、各ヘッド１１２Ｋ，１１２Ｃ，１１２Ｍ，１１２Ｙに対応する色のインクを貯蔵するインクタンクを有し、各タンクは所要の管路を介してヘッド１１２Ｋ，１１２Ｃ，１１２Ｍ，１１２Ｙと連通されている。
【００８９】
給紙部１１８から送り出される記録紙１１６はマガジンに装填されていたことによる巻きクセが残り、カールする。このカールを除去するために、デカール処理部１２０においてマガジンの巻きクセ方向と逆方向に加熱ドラム１３０で記録紙１１６に熱を与える。
【００９０】
ロール紙を使用する装置構成の場合、図１３のように、裁断用のカッター（第１のカッター）１２８が設けられており、該カッター１２８によってロール紙は所望のサイズにカットされる。なお、カット紙を使用する場合には、カッター１２８は不要である。
【００９１】
デカール処理後、カットされた記録紙１１６は、ベルト搬送部１２２へと送られる。ベルト搬送部１２２は、ローラ１３１、１３２間に無端状のベルト１３３が巻き掛けられた構造を有し、少なくとも印字部１１２のノズル面及び印字検出部１２４のセンサ面に対向する部分が水平面（フラット面）をなすように構成されている。
【００９２】
縁無しプリント等を印字するとベルト１３３上にもインクが付着するので、ベルト１３３の外側の所定位置（印字領域以外の適当な位置）にベルト清掃部１３６が設けられている。
【００９３】
ベルト搬送部１２２により形成される用紙搬送路上において印字部１１２の上流側には、加熱ファン１４０が設けられている。加熱ファン１４０は、印字前の記録紙１１６に加熱空気を吹き付け、記録紙１１６を加熱する。印字直前に記録紙１１６を加熱しておくことにより、インクが着弾後乾き易くなる。
【００９４】
印字部１１２の各ヘッド１１２Ｋ，１１２Ｃ，１１２Ｍ，１１２Ｙは、当該インクジェット記録装置１１０が対象とする記録紙１１６の最大紙幅に対応する長さを有し、そのノズル面には最大サイズの被記録媒体の少なくとも一辺を超える長さ（描画可能範囲の全幅）にわたりインク吐出用のノズルが複数配列されたフルライン型のヘッドとなっている。
【００９５】
ヘッド１１２Ｋ，１１２Ｃ，１１２Ｍ，１１２Ｙは、記録紙１１６の送り方向に沿って上流側から黒（Ｋ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の色順に配置され、それぞれのヘッド１１２Ｋ，１１２Ｃ，１１２Ｍ，１１２Ｙが記録紙１１６の搬送方向と略直交する方向に沿って延在するように固定設置される。
【００９６】
ベルト搬送部１２２により記録紙１１６を搬送しつつ各ヘッド１１２Ｋ，１１２Ｃ，１１２Ｍ，１１２Ｙからそれぞれ異色のインクを吐出することにより記録紙１１６上にカラー画像を形成し得る。
【００９７】
このように、紙幅の全域をカバーするノズル列を有するフルライン型のヘッド１１２Ｋ，１１２Ｃ，１１２Ｍ，１１２Ｙを色別に設ける構成によれば、紙送り方向（副走査方向）について記録紙１１６と印字部１１２を相対的に移動させる動作を１回行うだけで（すなわち１回の副走査で）、記録紙１１６の全面に画像を記録することができる。これにより、記録ヘッドが紙搬送方向と直交する方向に往復動作するシャトル型ヘッドに比べて高速印字が可能であり、生産性を向上させることができる。
【００９８】
図１３に示した印字検出部１２４は、印字部１１２の打滴結果を撮像するためのイメージセンサ（ラインセンサ又はエリアセンサ）を含み、該イメージセンサによって読み取った打滴画像からノズルの目詰まりや着弾位置誤差などの吐出特性をチェックする手段として機能する。
【００９９】
印字検出部１２４の後段には後乾燥部１４２が設けられている。後乾燥部１４２は、印字された画像面を乾燥させる手段であり、例えば、加熱ファンが用いられる。印字後のインクが乾燥するまでは印字面と接触することは避けたほうが好ましいので、熱風を吹き付ける方式が好ましい。
【０１００】
後乾燥部１４２の後段には、加熱・加圧部１４４が設けられている。加熱・加圧部１４４は、画像表面の光沢度を制御するための手段であり、画像面を加熱しながら所定の表面凹凸形状を有する加圧ローラ１４５で加圧し、画像面に凹凸形状を転写する。
【０１０１】
こうして生成されたプリント物は排紙部１２６から排出される。本来プリントすべき本画像（目的の画像を印刷したもの）とテスト印字とは分けて排出することが好ましい。このインクジェット記録装置１１０では、本画像のプリント物と、テスト印字のプリント物とを選別してそれぞれの排出部１２６Ａ、１２６Ｂへと送るために排紙経路を切り換える不図示の選別手段が設けられている。なお、大きめの用紙に本画像とテスト印字とを同時に並列に形成する場合は、カッター（第２のカッター）１４８によってテスト印字の部分を切り離す。また、図１３には示さないが、本画像の排出部１２６Ａには、オーダー別に画像を集積するソーターが設けられる。
【０１０２】
〔制御系の説明〕
図１４はインクジェット記録装置１１０のシステム構成を示す要部ブロック図である。インクジェット記録装置１１０は、通信インターフェース７０、システムコントローラ７２、画像メモリ７４、モータドライバ７６、ヒータドライバ７８、プリント制御部８０、画像バッファメモリ８２、ヘッドドライバ８４等を備えている。
【０１０３】
通信インターフェース７０は、ホストコンピュータ８６から送られてくる画像データを受信するインターフェース部である。通信インターフェース７０にはＵＳＢ（Universal serial bus）、ＩＥＥＥ１３９４、イーサネット（登録商標）、無線ネットワークなどのシリアルインターフェースやセントロニクスなどのパラレルインターフェースを適用することができる。この部分には、通信を高速化するためのバッファメモリ（不図示）を搭載してもよい。ホストコンピュータ８６から送出された画像データは通信インターフェース７０を介してインクジェット記録装置１１０に取り込まれ、一旦メモリ７４に記憶される。
【０１０４】
メモリ７４は、通信インターフェース７０を介して入力された画像を一旦格納する記憶手段であり、システムコントローラ７２を通じてデータの読み書きが行われる。メモリ７４は、半導体素子からなるメモリに限らず、ハードディスクなど磁気媒体を用いてもよい。
【０１０５】
システムコントローラ７２は、通信インターフェース７０、メモリ７４、モータドライバ７６、ヒータドライバ７８等の各部を制御する制御部である。システムコントローラ７２は、中央演算処理装置（ＣＰＵ）及びその周辺回路等から構成され、ホストコンピュータ８６との間の通信制御、メモリ７４の読み書き制御等を行うとともに、搬送系のモータ８８やヒータ８９を制御する制御信号を生成する。
【０１０６】
モータドライバ７６は、システムコントローラ７２からの指示にしたがってモータ８８を駆動するドライバ（駆動回路）である。ヒータドライバ７８は、システムコントローラ７２からの指示にしたがって後乾燥部４２（図１３に図示）等のヒータ８９を駆動するドライバである。
【０１０７】
プリント制御部８０は、システムコントローラ７２の制御に従い、メモリ７４内の画像データから印字制御用の信号を生成するための各種加工、補正などの処理を行う信号処理機能を有し、生成した印字制御信号をヘッドドライバ８４に供給する制御部である。プリント制御部８０において所要の信号処理が施され、前記画像データに基づいてヘッドドライバ８４を介してヘッド１１２のインク液滴の吐出量や吐出タイミングの制御（打滴制御）が行われる。これにより、所望のドットサイズやドット配置が実現される。
【０１０８】
プリント制御部８０には画像バッファメモリ８２が備えられており、プリント制御部８０における画像データ処理時に画像データやパラメータなどのデータが画像バッファメモリ８２に一時的に格納される。なお、図１４において画像バッファメモリ８２はプリント制御部８０に付随する態様で示されているが、メモリ７４と兼用することも可能である。また、プリント制御部８０とシステムコントローラ７２とを統合して１つのプロセッサで構成する態様も可能である。
【０１０９】
ヘッドドライバ８４はプリント制御部８０から与えられる印字データに基づいて各色のヘッド１１２Ｋ，１１２Ｃ，１１２Ｍ，１１２Ｙの圧電素子５８を駆動する。ヘッドドライバ８４にはヘッドの駆動条件を一定に保つためのフィードバック制御系を含んでいてもよい。
【０１１０】
印字検出部１２４は、図１３で説明したように、ラインセンサを含むブロックであり、記録紙１１６に印字された画像を読み取り、所要の信号処理などを行って印字状況（吐出の有無、打滴のばらつきなど）を検出し、その検出結果をプリント制御部８０に提供する。プリント制御部８０は、必要に応じて印字検出部１２４から得られる情報に基づいてヘッド５０に対する各種補正を行う。
【０１１１】
なお、システムコントローラ７２及びプリント制御部８０は、１つのプロセッサから構成されていてもよいし、システムコントローラ７２とモータドライバ７６及びヒータドライバ７８とを一体に構成したデバイスや、プリント制御部８０とヘッドドライバとを一体に構成したデバイスを用いてもよい。
【０１１２】
以上、本発明のノズルプレートの製造方法、ノズルプレート並びにノズル加工装置について詳細に説明したが、本発明は、以上の例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変形を行ってもよいのはもちろんである。
【０１１３】
例えば、本実施形態では回転マスク１３は中空円筒形であるが、中空筒状であれば中空部の断面が多角形であるものであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１１４】
【図１】全体的な加工プロセスについてのフローチャート図である。
【図２】本発明のノズルプレートの製造方法を実現する装置の全体構成図である。
【図３】回転マスクの（ａ）外観斜視図と（ｂ）正面図である。
【図４】本実施形態における回転マスクの展開図である。
【図５】透光部の大きさ、可変絞りの絞り開口の大きさ、レーザの照射強度の大きさとノズルの断面形状の関係を示す図である。
【図６】ノズルプレートの断面図である。
【図７】圧力室側からノズルをみた透視図である。
【図８】圧力室側からノズルをみた透視図である。
【図９】他の仕様の回転マスクの展開図である。
【図１０】ノズルの内面に螺旋形状の溝が形成される過程を示す図である。
【図１１（ａ）】ヘッドの構造例を示す平面透視図である。
【図１１（ｂ）】図１１（ａ）の一部の拡大図である。
【図１２】図１１(a) 中の１２−１２線に沿う断面図である。
【図１３】インクジェット記録装置の全体構成図である。
【図１４】画像形成装置のシステム構成例を示す要部ブロック図である。
【図１５】従来の第１の製造方法における製造装置を示す図である。
【図１６】従来の第２、３、４の製造方法におけるケラー照明系を示す図である。
【符号の説明】
【０１１５】
１１…アレイレンズ照明系、１２…リレーレンズ、１３…回転マスク、１４…反射ミラー、１６…可変絞り、１７…投影レンズ、１９…プレート部材、２１…透光部、２２…第１領域、２３…第２領域、２４…透光部、２６…ノズル、２７…広角テーパ部、２８…狭角くびれ部、２９…溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１（ａ）】
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【図１１（ｂ）】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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