(57)【要約】【課題】構造が簡単でありながら、バルブ開口部のサイズを大きくすることができる真空バルブを提供する。【解決手段】第１縦駆動装置（２１）および第２縦駆動装置（２２）がバルブハウジング（１）の真空領域に位置する作動端（２９）（３０）を有する複数の作動要素（２５）（２６）を備えている。作動要素（２５）（２６）は真空ガイド（２７）（２８）を通じて真空領域に案内され、かつ、真空領域の外側に配置された駆動要素（２３）（２４）によって非作動位置と作動位置との間で変位可能である。作動要素（２５）（２６）が非作動位置にあるとき前記作動端（２９）（３０）が開閉リム（１３）から離れている。一方、作動要素（２５）（２６）が前記作動位置にあるとき作動端（２９）（３０）が開閉リム（１３）に押し付けられ、かつ、第１開閉プレート（１４）が第１バルブシート（１１）に押し付けられ、あるいは、第２開閉プレート（１５）が第２バルブシート（１２）に押し付けられる【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空領域が形成される内部空間（２）と、相互に平行な第１縦軸（７）および第２縦軸（８）を有する第１バルブ開口部（５）および第２バルブ開口部（６）とを有し、該第１バルブ開口部（５）の周囲に第１バルブシート（１１）が設けられ、かつ、該第２バルブ開口部（６）の周囲に第２バルブシート（１２）が設けられているバルブハウジング（１）と、
第１開閉プレート（１４）および第２開閉プレート（１５）を有する開閉リム（１３）と、
前記第１縦軸（７）および前記第２縦軸（８）に対して垂直な作動方向について、前記第１開閉プレート（１４）により前記第１バルブ開口部（５）が開放され、かつ、前記第２開閉プレート（１５）により前記第２バルブ開口部（６）が開放されている開放位置と、前記第１開閉プレート（１４）が前記第１バルブ開口部（５）を覆う一方で前記第１バルブシート（１１）から離れ、かつ、前記第２開閉プレート（１５）が前記第２バルブ開口部（６）のそれぞれを覆う一方で前記第２バルブシート（１２）から離れている中間位置との間で前記開閉リム（１３）を駆動する横駆動装置（１８）と、
前記中間位置と、前記第１開閉プレート（１４）が前記第１バルブシート（１１）に押し付けられている第１閉塞位置との間で前記開閉リム（１３）を駆動する第１縦駆動装置（２１）と、
前記中間位置と、前記第２開閉プレート（１５）が前記第２バルブシート（１２）に押し付けられている第２閉塞位置との間で前記開閉リム（１３）を駆動する第２縦駆動装置（２２）とを備え、
前記第１縦駆動装置（２１）および前記第２縦駆動装置（２２）が前記バルブハウジング（１）の前記真空領域に位置する作動端（２９）（３０）を有する複数の作動要素（２５）（２６）を備え、該作動要素（２５）（２６）は真空ガイド（２７）（２８）を通じて該真空領域に案内され、かつ、該真空領域の外側に配置された駆動要素（２３）（２４）によって非作動位置と作動位置との間で変位可能であり、前記作動要素（２５）（２６）が前記非作動位置にあるとき前記作動端（２９）（３０）が前記開閉リム（１３）から離れている一方、前記作動要素（２５）（２６）が前記作動位置にあるとき前記作動端（２９）（３０）が前記開閉リム（１３）に押し付けられ、かつ、前記第１開閉プレート（１４）が前記第１バルブシート（１１）に押し付けられ、あるいは、前記第２開閉プレート（１５）が前記第２バルブシート（１２）に押し付けられることを特徴とする真空バルブ。
【請求項２】
請求項１記載の真空バルブにおいて、
前記作動要素（２５）（２６）のそれぞれが、固有の駆動要素（２３）（２４）によって変位可能であることを特徴とする真空バルブ。
【請求項３】
請求項１または２記載の真空バルブにおいて、
前記駆動要素（２３）（２４）がピストンシリンダユニットにより構成されていることを特徴とする真空バルブ。
【請求項４】
請求項１〜３のうちいずれか１つに記載の真空バルブにおいて、
前記作動要素（２５）（２６）が前記非作動位置および前記作動位置の間で、前記第１縦軸（７）および前記第２縦軸（８）に平行な方向に変位可能であることを特徴とする真空バルブ。
【請求項５】
請求項１〜４のうちいずれか１つに記載の真空バルブにおいて、
前記第１開閉プレート（１４）および前記第２開閉プレート（１５）が支持装置に取り付けられ、該支持装置は前記第１縦軸（７）および前記第２縦軸（８）に対して垂直かつ前記横駆動装置（１８）の駆動方向に対して垂直に設けられた少なくとも２つのホルダ（３１）（３２）を備え、該ホルダ（３１）（３２）はその長手方向について少なくとも前記第１開閉プレート（１４）および前記第２開閉プレート（１５）の幅を超えて延びていることを特徴とする真空バルブ。
【請求項６】
請求項５記載の真空バルブにおいて、
前記横駆動装置（１８）が前記ホルダ（３１）（３２）の１つに当接することを特徴とする真空バルブ。
【請求項７】
請求項５または６記載の真空バルブにおいて、
前記ホルダ（３１）（３２）が、前記第１開閉プレート（１４）および前記第２開閉プレート（１５）の両側から横に突出する端部を有し、前記第１縦駆動装置（２１）および前記第２縦駆動装置（２２）の前記作動要素（２５）（２６）が該端部に当接することを特徴とする真空バルブ。
【請求項８】
請求項５〜７のうちいずれか１つに記載の真空バルブにおいて、
前記第１開閉プレート（１４）および前記第２開閉プレート（１５）と前記ホルダ（３１）（３２）との連結部材（４３）に前記バルブハウジング（１）の変形に適応しうる柔軟性を持たせ、該連結部材（４３）は一方の側において少なくとも１つの連結位置（４４）で前記ホルダ（３１）（３２）に連結されている一方、他方の側において前記ホルダ（３１）（３２）の長手方向に相互に離れ、かつ、前記ホルダ（３１）（３２）との該連結位置（４４）の両側に位置する少なくとも２つの連結位置（４５）（４６）において前記第１開閉プレート（１４）および前記第２開閉プレート（１５）に連結されていることを特徴とする真空バルブ。
【請求項９】
請求項８記載の真空バルブにおいて、
前記ホルダ（３１）（３２）との前記連結位置（４４）から前記ホルダ（３１）（３２）の長手方向両側に延びる連結アーム（４８）（４９）が設けられ、該連結アーム（４８）（４９）の端部が共通の連結レグ（５０）に連結され、該連結レグ（５０）は前記ホルダ（３１）（３２）の長手方向に前記連結アーム（４８）の端部を超えて延び、かつ、少なくとも端部において前記第１開閉プレート（１４）および前記第２開閉プレート（１５）に連結されていることを特徴とする真空バルブ。
【請求項１０】
請求項１〜９のうちいずれか１つに記載の真空バルブにおいて、
前記バルブハウジング（１）は前記開閉リム（１３）のためのガイドを備え、このガイドを通じた前記開閉リム（１３）の開放位置から中間位置への変位によって前記第１開閉プレート（１４）および前記第２開閉プレート（１５）が前記バルブハウジング（１）から離れている中間位置に維持されることを特徴とする真空バルブ。
【請求項１１】
請求項１０記載の真空バルブにおいて、
前記開閉リム（１３）の前記ガイドに続くガイドスペース（３９）（４０）が前記バルブハウジング（１）に設けられ、該ガイドスペース（３９）（４０）において前記横駆動装置（１８）の駆動方向に対して垂直かつ前記第１縦軸（７）および前記第２縦軸（８）に対して垂直な方向に前記開閉リム（１３）から突出している突出部が設けられていることを特徴とする真空バルブ。
【請求項１２】
請求項１〜１１のうちいずれか１つに記載の真空バルブにおいて、前記第１バルブ開口部（５）および前記第２バルブ開口部（６）のそれぞれが前記第１縦軸（７）および前記第２縦軸（８）の方向から見たときに矩形状に形成され、その短辺部分が前記横駆動装置（１８）の駆動方向に対して平行であることを特徴とする真空バルブ。
【請求項１３】
請求項１２記載の真空バルブにおいて、
前記第１バルブ開口部（５）および前記第２バルブ開口部（６）のそれぞれが、短辺部分のサイズが４００［ｍｍ］以上であり、長辺部分のサイズが８００［ｍｍ］以上であることを特徴とする真空バルブ。
【請求項１４】
請求項１〜１３のうちいずれか１つに記載の真空バルブにおいて、前記第１縦駆動装置（２１）および前記第２縦駆動装置（２２）の前記駆動要素（２３）（２５）および前記作動要素（２４）（２６）が、前記第１バルブ開口部（５）および前記第２バルブ開口部（６）の、前記横駆動装置（１８）の駆動方向に対して平行な側部にのみ設けられていることを特徴とする真空バルブ。
【請求項１５】
請求項１〜１４のうちいずれか１つに記載の真空バルブにおいて、前記バルブハウジング（１）の対向する側部のうち、一方の側に前記第２縦駆動装置（２２）の前記駆動要素（２４）が配置され、他方の側に前記第１縦駆動装置（２１）の前記駆動要素（２３）が配置されていることを特徴とする真空バルブ。
【請求項１６】
請求項１〜１５のうちいずれか１つに記載の真空バルブにおいて、前記第１開閉プレート（１４）および前記第２開閉プレート（１５）を、前記バルブハウジング（１）に対して密接させるためのシールリング（１７）が設けられていることを特徴とする真空バルブ。
【請求項１７】
請求項１６記載の真空バルブにおいて、
前記開閉リム（１３）の閉塞位置において前記第１開閉プレート（１４）を前記第１バルブシート（１１）に押し付けるため、あるいは、前記第２開閉プレート（１５）を前記第２バルブシート（１２）に押し付けるため、前記シールリング（１７）の長さ１［ｍｍ］あたり２〜４［Ｎ］の力が前記第１縦駆動装置（２１）または前記第２縦駆動装置（２２）によって加えられることを特徴とする真空バルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は真空バルブに関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば、当該技術分野において次のような真空バルブが提案されている（特許文献１参照）。この真空バルブの開閉リムは第１および第２開閉プレートを備え、第１および第２開閉プレートは第１および第２バルブ開口部のそれぞれの周囲に設けられた第１および第２バルブシートに交互に押し付けられる。開閉リムは、横駆動装置によって開放位置と中間位置との間で、これらバルブ開口部の縦軸に対して垂直方向に変位することができる。この中間位置において、閉塞部材の開閉プレートはバルブ開口部を覆う一方でバルブシートから離れている。横駆動装置は、第１軸まわりに揺動可能な第１揺動部材に取り付けられている。第１揺動部材は、第１駆動要素によって第１軸まわりに揺動され、第１開閉プレートを第１バルブシートに押し付ける。第１駆動要素および第１揺動部材の第１軸のそばに、第２駆動要素によって第２軸まわりに揺動可能な第２揺動部材が配置されている。第２揺動部材が第２軸まわりに揺動されることにより、第２開閉プレートが第２バルブシートに押し付けられる。この構成は比較的コストがかさむ。また、この真空バルブは比較的小さいバルブ開口部のために設計されている。
【０００３】
また、次のような真空バルブが知られている（特許文献２参照）。この真空バルブによれば、バルブプレートが揺動アームに取り付けられ、揺動アームは軸まわりに揺動可能かつこの軸方向に変位可能なシャフトに取り付けられている。シャフトはバルブハウジングに対してリンクガイドによって案内されている。シャフトを軸方向に動かし、かつ、シャフトを軸まわりに揺動させるため、リンクガイドに連結されて作動し、シャフトの内側にねじってはめられ、かつ、駆動要素によって回転可能な別のシャフトが機能する。さらに、バルブハウジングの内側において駆動要素は、真空領域に突き出されるタペット様の作動要素と相互作用するピストンシリンダユニットである。この構成により、開閉プレートはその閉塞位置において、補強的な力によってバルブシートに押し付けられる。
【０００４】
さらに、次のような真空バルブが知られている（特許文献３参照）。この真空バルブによれば、開閉リムが、ピストンシリンダユニットにより変位可能な第１開閉プレートが配置される支持部を備えている。開閉リムがバルブ開口部を覆っている位置において、このバルブ開口部の周囲に設けられているバルブシートに第１開閉プレートが押し付けられる。また、ピストンシリンダユニットにより支持部に対して変位可能な第２開閉プレート（または補強プレート）が設けられ、第２開閉プレートは第１開閉プレートの閉塞位置においてバルブハウジングの他方の壁に開設されているバルブ開口部の周囲に設けられているバルブシートに押し付けられる。第１開閉プレートおよび第２開閉プレートには、バルブハウジングの壁と相互作用するエラストマーリングが設けられている。
【０００５】
また、次のような異なる種類の真空バルブが知られている（特許文献４参照）。この真空バルブによれば、１つのバルブ開口部が開閉リムによって閉塞されうる。横のガイド溝によって案内される開閉リムをバルブ開口部のバルブシートに押し付けるため、縦駆動装置としての押し付けシリンダが用いられる。開閉リムを開放し、開閉リムをガイド溝に沿って後退させ、これにより引き続いて横駆動装置によりバルブ開口部を完全に開放するため、反対方向に作用する他の押し付けシリンダが必要とされる。
【特許文献１】米国特許公報  ＵＳ６，３９０，４４８  Ｂ１
【特許文献２】米国特許公報  ＵＳ６，７７６，３９４  Ｂ２
【特許文献３】米国特許公開公報  ＵＳ２００４／００７９９１５  Ａ１
【特許文献４】仏国特許公報  ＦＲ２２８３３７５
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、構造が簡単でありながら、バルブ開口部のサイズを大きくすることができる真空バルブを提供することを解決課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の真空バルブは、真空領域が形成される内部空間と、相互に平行な第１縦軸および第２縦軸を有する第１バルブ開口部および第２バルブ開口部とを有し、該第１バルブ開口部の周囲に第１バルブシートが設けられ、かつ、該第２バルブ開口部の周囲に第２バルブシートが設けられているバルブハウジングと、第１開閉プレートおよび第２開閉プレートを有する開閉リムと、前記第１縦軸および前記第２縦軸に対して垂直な作動方向について、前記第１開閉プレートにより前記第１バルブ開口部が開放され、かつ、前記第２開閉プレートにより前記第２バルブ開口部が開放されている開放位置と、前記第１開閉プレートが前記第１バルブ開口部を覆う一方で前記第１バルブシートから離れ、かつ、前記第２開閉プレートが前記第２バルブ開口部のそれぞれを覆う一方で前記第２バルブシートから離れている中間位置との間で前記開閉リムを駆動する横駆動装置と、前記中間位置と、前記第１開閉プレートが前記第１バルブシートに押し付けられている第１閉塞位置との間で前記開閉リムを駆動する第１縦駆動装置と、前記中間位置と、前記第２開閉プレートが前記第２バルブシートに押し付けられている第２閉塞位置との間で前記開閉リムを駆動する第２縦駆動装置とを備えている真空バルブに関する。
【０００８】
本発明の真空バルブは、前記第１縦駆動装置および前記第２縦駆動装置が前記バルブハウジングの前記真空領域に位置する作動端を有する複数の作動要素を備え、該作動要素は真空ガイドを通じて該真空領域に案内され、かつ、該真空領域の外側に配置された駆動要素によって非作動位置と作動位置との間で変位可能であり、前記作動要素が前記非作動位置にあるとき前記作動端が前記開閉リムから離れている一方、前記作動要素が前記作動位置にあるとき前記作動端が前記開閉リムに押し付けられ、かつ、前記第１開閉プレートが前記第１バルブシートに押し付けられ、あるいは、前記第２開閉プレートが前記第２バルブシートに押し付けられることを特徴とする。
【０００９】
本発明は、第１バルブシートに当接可能な第１開閉プレートおよび第２バルブシートのそれぞれに当接可能な第２開閉プレートを有する真空バルブの構成により、いずれの側に作用するかとは無関係に両側の開閉プレートを対応するバルブシートに押し付けるために差圧が利用されうる。開閉リムを中間位置と両方の閉塞位置との間で変位させる縦駆動装置は、比較的弱い閉塞力を作用させるように構成されうる。真空領域の外側に駆動要素を設置するという簡単な方法が可能であり、この駆動要素は、真空領域における真空ガイドを通じて突き出されるタペット様の作動要素を、非作動位置（または後退位置）と作動位置（または前進位置）との間で駆動する。非作動位置において作動要素の作動端は開閉リムから離れている。作動位置において作動要素は開閉リムの開閉プレートをバルブシートに押し付ける。
【００１０】
各作動要素が固有の駆動要素によって非作動位置と作動位置との間で駆動されうる。駆動要素は空気圧によって作動するピストンシリンダユニットにより構成されうる。
【００１１】
また、第１および第２開閉プレートが、少なくとも２つの平行なホルダを有する支持装置に取り付けられる。これらのホルダはバルブ開口部の縦軸方向に対して垂直かつ横駆動装置の駆動方向に対して垂直な方向について第１および第２開閉プレートのサイズを超えて延びている。さらに、ホルダが第１および第２開閉プレートの両側から突出する端部を有し、縦駆動装置の作動要素がこの端部に当接する。開閉プレートはホルダと比較して柔軟性があるように構成されている。開閉プレートをバルブハウジングの変形に適応させるため、開閉プレートがホルダに連結部材を介して連結されている場合、ホルダと連結部材との間の中央連結位置に作用する力が、開閉プレートとホルダとの間の、ホルダの長手方向に相互に離れた２以上の連結部材に伝達される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明の真空バルブの実施形態について図面を用いて説明する。真空バルブは真空領域が形成される内部空間２を有するバルブハウジング１を備えている。バルブハウジング１の対向する第１側壁３および第２側壁４のそれぞれには、第１バルブ開口部５および第２バルブ開口部６のそれぞれが貫通形成されている。第１バルブ開口部５および第２バルブ開口部６のそれぞれが設けられた領域において第１側壁３および第２側壁４は相互に平行な平面であり、かつ、第１側壁３を貫通する第１バルブ開口部５の第１縦軸７と、第２側壁４を貫通する第２バルブ開口部６の第２縦軸８はこの平面に垂直であり、このため、第１縦軸７および第２縦軸８は相互に平行である。
【００１３】
図４〜図６のそれぞれに明示されているように第１縦軸７および第２縦軸８は同軸であり、相互にまっすぐに並べられている第１バルブ開口部５および第２バルブ開口部６の形状およびサイズのそれぞれは同一である。第１縦軸７および第２縦軸８の方向からバルブハウジング１をみると、第１バルブ開口部５および第２バルブ開口部６は矩形状であり、その短辺部分は後述する横駆動装置１８の駆動方向に対して平行に配置されている。本発明は、特に、サイズが大きい第１バルブ開口部５および第２バルブ開口部６を有する真空バルブについて優れた効果をもたらす。たとえば、第１バルブ開口部５および第２バルブ開口部６のそれぞれの短辺部分のサイズは４００［ｍｍ］以上であり、長辺部分のサイズは８００［ｍｍ］以上である。
【００１４】
第１バルブ開口部５および第２バルブ開口部６のそれぞれの周囲には、第１側壁３および第２側壁４のそれぞれの外側に設けられたネジ穴９が配置されている（図３参照）。図３においては第１バルブ開口部５の周囲に配置されたネジ穴９が示されている。第２バルブ開口部６の周囲にもまったく同様にネジ穴９が配置されている。ネジ穴９と第１バルブ開口部５および第２バルブ開口部６のそれぞれの周縁部との間にはシール面が設けられている。これにより、バルブハウジング１を、真空チャンバ等の真空装置に連結するためのフランジが形成される。たとえば、本発明の真空バルブが、半導体製品等の製造プロセスが実行されうる装置の２つの真空チャンバの間に配置される。
【００１５】
真空バルブを真空チャンバ等の真空装置に結合するためのフランジはその他の形態で構成されてもよい。
【００１６】
バルブハウジング１は第１バルブ開口部５の周囲に設けられている第１バルブシート１１と、第２バルブ開口部６の周囲に設けられている第２バルブシート１２とを備えている。第１バルブシート１１は第１側壁３の内側のシール面として形成され、第２バルブシート１２は第２側壁４の内側のシール面として構成されている。
【００１７】
バルブハウジング１の内部空間２には開閉リム１３が配置されている。開閉リム１３は、その運搬装置により支持されている第１開閉プレート１４および第２開閉プレート１５を備えている。第１開閉プレート１４および第２開閉プレート１５のそれぞれは弾性があるシールリング１７を備えている。第１開閉プレート１４が第１バルブシート１１に押し付けられている状態において、第１バルブ開口部５が密閉される。第２開閉プレート１５が第２バルブシート１２に押し付けられている状態において、第２バルブ開口部６が密閉される。なお、第１バルブシート１１および第２バルブシート１２のそれぞれにシールリング１７が設けられ、このシールリング１７と相互作用するシール面が第１開閉プレート１４および第２開閉プレート１５のそれぞれに設けられてもよい。
【００１８】
第１開閉プレート１４および第２開閉プレート１５は同一形状であり、同軸に（まっすぐに）配置されている。
【００１９】
開閉リム１３は、バルブハウジング１の内部空間２において、開放位置（図１．図１５および図１６）と、中間位置（図２、図３、図４、図９、図１０、図１１、図１２、図１４）と、第１閉塞位置および第２閉塞位置（図５、図７、図６、図８（図２および図３においても同様に閉塞位置にある様子が示されている。））との間で変位可能である。開放位置において、第１開閉プレート１４は第１バルブ開口部５を開放し、かつ、第２開閉プレート１５は第２バルブ開口部１６を開放している。中間位置において、第１開閉プレート１４は（第１縦軸７の方向から見たときに）第１バルブ開口部５を覆う一方で、第１バルブシート１１から離れ、かつ、第２開閉プレート１５は（第２縦軸８の方向から見たときに）第２バルブ開口部６を覆う一方で、第２バルブシート１２から離れている。第１閉塞位置において、第１開閉プレート１４が第１バルブシート１１に押し付けられ、これにより第１バルブ開口部５が密閉されている。第２閉塞位置において、第２開閉プレート１５が第２バルブシート１２に押し付けられ、これにより第２バルブ開口部６が密閉されている。
【００２０】
開閉リム１３を第１バルブ開口部５の第１縦軸７および第２バルブ開口部６の第２縦軸８と垂直な方向に直線的に動かすことによって開放位置と中間位置との間で変位させるため横駆動装置１８が作動する。横駆動装置１８は、開閉リム１３に当接するピストンロッド１９および２０を有する、空気圧によって作動する２つのピストンシリンダユニットにより構成されている（図９〜図１１参照）。ピストンロッド１９および２０はバルブハウジング１の真空領域における真空ガイドを通じて案内される。真空ガイドは蛇腹部材５１および５２、特に、シート状の蛇腹部材により構成されている。蛇腹部材５１は一方の側において真空密閉にピストンロッド１９に連結され、他方の側において真空密閉にバルブハウジング１に連結されている。同様に、蛇腹部材５２は一方の側において真空密閉にピストンロッド２０に連結され、他方の側において真空密閉にバルブハウジング１に連結されている。なお、真空ガイドがこれとは異なる構成とされてもよい。
【００２１】
開閉リム１３を第１バルブ開口部５の第１縦軸７および第２バルブ開口部６の第２縦軸８に対して平行な方向に直線的に動かすことによって中間位置と第１閉塞位置との間で変位させるため第１縦駆動装置２１が作動する。第１縦駆動装置２１は、バルブハウジング１の真空領域の外側に配置された複数の第１駆動要素２３を備えている。第１駆動要素２３はピストンシリンダユニットにより構成されている。また、第１縦駆動装置２１は、非作動位置（または後退位置）（図４、図６および図８参照）と作動位置（または前進位置）（図５および図７参照）との間で、第１駆動要素２３により変位可能なタペット様の第１作動要素２５を備えている。第１作動要素２５は第１真空ガイド２７によってバルブハウジング１の真空領域に案内され、この真空領域内に位置する作動端２９を有している。第１真空ガイド２７は蛇腹部材、特に、シート状の蛇腹部材によって構成され、一方の側において真空密閉にバルブハウジング１に連結され、他方の側において真空密閉に第１作動要素２５に連結されている。なお、蛇腹部材に代えて、第１作動要素２５が貫通するバルブハウジング１の開口部に配置され、かつ、第１作動要素２５の外面が摺動可能な弾性のあるシールリングによって第１真空ガイド２７が構成されていてもよい。
【００２２】
非作動位置において第１作動要素２５の作動端２９は開閉リム１３から離れている。作動位置においてこの作動端２９は開閉リム１３、つまり、開閉リム１３の第１バルブ開口部５の側の上面に当接する。これにより、開閉リム１３が第１閉塞位置に動かされ、かつ、第１開閉プレート１４が第１バルブシート１１に押し付けられる。
【００２３】
開閉リム１３を第１バルブ開口部５の第１縦軸７および第２バルブ開口部６の第２縦軸８に対して平行な方向に直線的に動かすことによって中間位置と第２閉塞位置との間で変位させるため第２縦駆動装置２２が作動する。第２縦駆動装置２２は第１縦駆動装置２１とまったく同様に構成されている。すなわち、第２縦駆動装置２２は第２真空ガイド２８によりバルブハウジング１の真空領域に案内される第２作動要素２６を備えている。第２作動要素２６はこの真空領域の外側に配置された第２駆動要素２４により非作動位置（または後退位置）と作動位置（または前進位置）との間で変位可能である。作動位置において第２作動要素２６の作動端３０が開閉リム１３の第２バルブ開口部６の側の上面に当接することにより、この作動端３０が第２開閉プレート１５を第２バルブシート１２に押し付ける。
【００２４】
第１作動要素２５および第２作動要素２６のそれぞれは、第１縦軸７および第２縦軸８に対して平行な方向に非作動位置と作動位置との間で変位する。
【００２５】
第１駆動要素２３がピストンシリンダユニットにより構成され、タペット様の第１作動要素２５が第１駆動要素２３のピストンまたはピストンロッドに連結されている。同様に、第２駆動要素２４がピストンシリンダユニットにより構成され、タペット様の第２作動要素２６が第２駆動要素２４のピストンまたはピストンロッドに連結されている。一または複数の駆動要素および作動要素が設けられてもよい。たとえば、前記のように第１縦駆動装置２１および第２縦駆動装置２２は、合わせて４つの要素、すなわち、第１駆動要素２３、第２駆動要素２４、第１作動要素２５および第２作動要素２６を保持しているが、これより多いまたは少ない駆動要素および作動要素が設けられてもよい。
【００２６】
第２縦駆動装置２２の第２駆動要素２４は、バルブハウジング１において第１縦駆動装置２１の第１駆動要素２３の反対側に配置されている。第１作動要素２５および第２作動要素２６のそれぞれに第１駆動要素２３および第２駆動要素２４が１つずつ設けられるほか、複数の作動要素に共通の１つの駆動要素が設けられてもよい。第１縦駆動装置２１の第１駆動要素２３および第１作動要素２５と、第２縦駆動装置２２の第２駆動要素２４および第２作動要素２６とは横駆動装置１８の変位方向に対して平行な方向に配列された、第１バルブ開口部５および第２バルブ開口部６のそれぞれの近傍に設けられている。第１縦駆動装置２１の第１駆動要素２３および第１作動要素２５は第１バルブ開口部５の周囲に設けられたフランジ領域の外側に設けられ、第２縦駆動装置２２の第２駆動要素２４および第２作動要素２６は第２バルブ開口部６の周囲に設けられたフランジ領域の外側に設けられている。
【００２７】
第１開閉プレート１４および第２開閉プレート１５が保持されている開閉リム１３は２つのホルダ３１および３２を備えている。ホルダ３１および３２は横駆動装置１８の駆動方向に対して垂直な方向に延び、かつ、第１バルブ開口部５の第１縦軸７および第２バルブ開口部６の第２縦軸８に対して垂直な方向に延びている。ホルダ３１および３２は第１開閉プレート１４および第２開閉プレート１５を支持かつ保持するため、当該ホルダ３１および３２の長手方向について少なくとも第１開閉プレート１４および第２開閉プレート１５の幅を超えて延びている（図１４参照）。ホルダ３１および３２の端部が第１開閉プレート１４および第２開閉プレート１５の両側から突出している。第１縦駆動装置２１の第１作動要素２５および第２縦駆動装置２２の第２作動要素２６のそれぞれは、当該端部においてホルダ３１および３２に当接している。
【００２８】
横駆動装置１８のピストンシリンダユニットのピストンロッド１９および２０のそれぞれは、第１開閉プレート１４および第２開閉プレート１５のそれぞれから前記のように端部が突出しているホルダ３１に連結されている。ピストンロッド１９および２０のそれぞれが横駆動装置１８のピストンシリンダユニットのシリンダ３３および３４のそれぞれから最大限に隔離されていることにより、真空バルブのサイズがコンパクト化されうる。ホルダ３２は、ピストンロッド１９および２０が傍らを通過することができるように、あるいは、シリンダ３３および３４の間の領域にホルダ３２が入ることができるように短くされている。
【００２９】
ホルダ３１および３２のそれぞれは、２つの独立したブリッジ３５および３６を備えている。ブリッジ３５および３６の間において両端に第１縦駆動装置２１の第１作動要素２５と、第２縦駆動装置２２の第２作動要素２６とに当接する当接部材３７および３８が連結されている。ホルダ３１の当接部材３７にはさらにピストンロッド１９およびピストンロッド２０が当接する。
【００３０】
第１開閉プレート１４および第２開閉プレート１５のそれぞれの側縁から突出しているホルダ３１および３２のそれぞれの端部は、バルブハウジング１に対する開閉リム１３の案内のために引き寄せられる。開閉リム１３の横の張り出し部に連結される、ホルダ３１および３２のそれぞれの端部は、第１案内中間空間３９および第２案内中間空間４０のそれぞれに収容される。ガイドスペース３９および４０のそれぞれを形成するため、第１側壁３および第２側壁４の横側に張出部４１および４２が設けられている（図４〜図６、図９および図１０参照）。張出部４１および４２のそれぞれは、開閉リム１３が中間位置にあるときに当接部材３７および３８のそれぞれが存在する領域まで延びている。開閉リム１３が第１閉塞位置および第２閉塞位置のそれぞれに変位しうるようにガイドスペース３９および４０のそれぞれが広く形成されている。開閉リム１３が開放位置から中間位置に到達するまで変位経路を通じて案内されることにより、開閉リム１３に横向きの力が作用したとき、あるいは、横駆動装置１８による変位によって振動が生じたとき、第１開閉プレート１４および第２開閉プレート１５のそれぞれがバルブハウジング１にぶつかることが妨げられる。
【００３１】
なお、ホルダ１３（または支持装置）は、第１バルブ開口部５の第１縦軸７および第２バルブ開口部６の第２縦軸８に対して垂直、かつ、横駆動装置１８の変位方向に対して垂直に設けられた、３つ以上のホルダを備えていてもよい。
【００３２】
連結部材４３によって第１開閉プレート１４および第２開閉プレート１５のそれぞれがホルダ３１および３２に連結されている。第１開閉プレート１４および第２開閉プレート１５のそれぞれと、ホルダ３１および３２のそれぞれとの連結箇所に柔軟性を持たせることにより、バルブハウジング１の弾性変形への適応が可能となる。大きなバルブ開口部５および６を有する大きなバルブであってもこのように変形することができる。横駆動装置１８の変位方向に対して平行な方向と比較した場合、第１バルブ開口部５の第１縦軸７および第２バルブ開口部６の第２縦軸８に対して垂直な方向に著しく大きく変形する。
【００３３】
連結部材４３は一方の側において少なくとも連結位置４４でホルダ３１および３２のそれぞれに連結され、他方の側において少なくとも２つの連結位置４５および４６において第１開閉プレート１４および第２開閉プレート１５のそれぞれに連結されている（図４〜図６、図１３参照）。２つの連結位置４５および４６はホルダ３１および３２の長手方向に相互に離れており、かつ、ホルダ３１および３２との連結位置４３からみて両側に位置している。２つの連結位置４５および４６の間に加えて、第１開閉プレート１４および第２開閉プレート１５のそれぞれとのさらなる連結位置４７が設けられている。
【００３４】
連結部材４３はホルダ３１および３２のそれぞれとの連結位置４４からホルダ３１および３２の長手方向に延びる連結アーム４８および４９を備えている（図１３参照）。連結アーム４８および４９の端部には共通の連結レグ５０が連結されている。連結レグ５０はホルダ３１および３２の長手方向に延び、連結アーム４８および４９よりも両側が突出しており、少なくとも両端部分において（本実施形態では中間部分においても）第１開閉プレート１４および第２開閉プレート１５に連結されている。第１開閉プレート１４および第２開閉プレート１５は図示しないネジにより連結位置４５、４６および４７のそれぞれに連結されている。連結部材４３はブリッジ３５および３６の間で延びるボルトによってホルダ３１および３２に連結されている。このボルトは連結部材４３の連結位置４４を貫通する穴に挿入されている。これにより、連結部材４３がホルダ３１および３２のそれぞれに対して横駆動装置１８の変位方向に対して平行な軸まわりに揺動可能な状態で、ホルダ３１および３２のそれぞれに連結される。
【００３５】
たとえば、第１開閉プレート１４および第２開閉プレート１５のうち１つが、ホルダ３１および３２の長手方向に離れている２つの連結部材４３によってホルダ３１および３２に連結されている。
【００３６】
本発明の構成の真空バルブによれば、開閉リム１３が閉塞位置にあるときに第１縦駆動装置２１および第２縦駆動装置２２のそれぞれが弱い閉塞力を作用させれば足りるという点が優れている。また、開閉リム１３に十分に強い力を作用させる差圧があったとしても真空バルブが確実に密閉される。開閉リム１３は、差圧が作用する方向に応じて、両方の閉塞位置のうち、この差圧が第１開閉プレート１４および第２開閉プレート１５のうち該当する開閉プレートを第１バルブシート１１および第２バルブシート１２のうち該当するバルブシートに押し付ける力を強める閉塞位置に動かされる。
【００３７】
両方のバルブ開口部５および６の間に差圧がないまたは低い差圧が存在するにしか過ぎない場合、閉塞部材１３が第１閉塞位置または第２閉塞位置にあるとき、該当するシールリング１７に比較的小さな閉塞力のみが作用する。この閉塞力は少なくとも真空バルブに連結されている真空チャンバ等の真空装置の間に空気漏れを生じさせない程度に強い。
【００３８】
第１縦駆動装置２１により第１閉塞位置において第１開閉プレート１４を第１バルブシート１１に押し付け、かつ、第２縦駆動装置２２により第２閉塞位置において第２開閉プレート１５を第２バルブシート１２に押し付けるため、シールリング１［ｍｍ］あたり２〜４［Ｎ］の範囲の力、たとえば、３［Ｎ］の力が作用する。差圧力が作用する場合、第１縦駆動装置２１および第２縦駆動装置２２のそれぞれによる押し付け力にこの差圧力が加わる。
【００３９】
第１縦駆動装置２１および第２縦駆動装置２２により生じる押し付け力が比較的小さいことには、開閉リム１３の第１閉塞位置および第２閉塞位置のそれぞれにおいてシールリング１７が受けるストレスが小さくなるという利点がある。たとえば、真空における半導体処理に際して腐食性の処理用ガスが頻繁に導入される。このガスがシールリングに多く接触するほど、このシールリングがより強いストレスを受ける。このストレス状態に耐久性がある物質がすでに開発されている。本発明の真空バルブにおいては、比較的廉価な物質がシールリング１７に採用されうる。半導体の処理、特に、被覆処理または腐食処理の実行に際して、腐食ガスの導入により生じる差圧はむしろ小さくなる。半導体処理の後、あるいは、付加的な処理のため、真空バルブが中間に設けられている２つのチャンバの一方が開放されるとき、開閉リム１３が閉塞位置、すなわち、他方の開放されていない真空チャンバに連結されているバルブ開口部５、６が閉塞される位置に事前に動かされる。
【００４０】
真空バルブが開放状態から閉塞状態に移行するとき、開閉リム１３は横駆動装置１８によって開放位置から中間位置に変位する。続いて、開閉リム１３は第１縦駆動装置２１および第２縦駆動装置２２のそれぞれによって第１閉塞位置および第２閉塞位置のそれぞれに変位する。各閉塞位置が選択され、空気圧導入プロセスがさらに進行することによって差圧が生じ、開閉プレートをバルブシートに押し付ける力が強くなる。
【００４１】
なお、本発明の基本的思想を外れない範囲でのあらゆる変形が可能である。たとえば、第１駆動要素２３および第２駆動要素２４は電動モータ、すなわち、リニアモータもしくは電気軸動機または電磁アクチュエータによって構成されてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】開閉リムが開放位置にあるときの本発明の実施形態としての真空バルブの斜視図
【図２】開閉リムが中間位置にあるときの図１対応の真空バルブの斜視図
【図３】開閉リムが中間位置にあるときの真空バルブの状態説明図
【図４】図３のＡ−Ａ線断面図
【図５】開閉リムが第１閉塞位置にあるときの図４対応の真空バルブの説明図
【図６】開閉リムが第２閉塞位置にあるときの図４対応の真空バルブの説明図
【図７】図５の部分的拡大図
【図８】図６の部分的拡大図
【図９】図３のＢ−Ｂ線断面図
【図１０】図３のＣ−Ｃ線断面図
【図１１】図３のＤ−Ｄ線断面図
【図１２】図３のＥ−Ｅ線断面図
【図１３】バルブプレートの運搬装置のホルダとの連結部材の斜視図
【図１４】バルブハウジングの前側壁が除かれた状態での、開閉リムが中間位置にあるときの真空バルブの斜視図
【図１５】開閉リムが開放位置にあるときの図１４対応の真空バルブの斜視図
【図１６】前方にあるバルブプレートが除かれた状態での図１５対応の真空バルブの斜視図
【符号の説明】
【００４３】
１‥バルブハウジング、２‥内部空間、３‥第１側壁、４‥第２側壁、５‥第１バルブ開口部、６‥第２バルブ開口部、７‥第１縦軸、８‥第２縦軸、９‥ネジ穴、１１‥第１バルブシート、１２‥第２バルブシート、１３‥開閉リム、１４‥第１開閉プレート、１５‥第２開閉プレート、１７‥シールリング、１８‥横駆動装置、１９‥ピストンロッド、２０‥ピストンロッド、２１‥第１縦駆動装置、２２‥第２縦駆動装置、２３‥第１駆動要素、２４‥第２駆動要素、２５‥第１作動要素、２６‥第２作動要素、２７‥第１真空ガイド、２８‥第２真空ガイド、２９‥第１作動端、３０‥第２作動端、３１‥ホルダ、３２‥ホルダ、３３‥シリンダ、３４‥シリンダ、３５‥ブリッジ、３６‥ブリッジ、３７‥第１当接部材、３８‥第２当接部材、３９‥ガイドスペース、４０‥ガイドスペース、４１‥張出部、４２‥張出部、４３‥連結部材、４４‥連結位置、４５‥連結位置、４６‥連結位置、４７‥連結位置、４８‥連結アーム、４９‥連結アーム、５０‥連結レグ、５１‥蛇腹部材、５２‥蛇腹部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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