(57)【要約】【課題】複数のドレン分離チャンバを設け、減圧室の連続的な減圧運転と、ドレン分離チャンバからのドレンの迅速且つ確実な排出とを可能にする。【解決手段】減圧室１からドレン分離チャンバ２，３を経て真空ポンプ４に至るガス抜き経路１１〜１６を設けた負圧形成装置の該ドレン分離チャンバからドレンを排出する方法において、減圧室１に対して２基以上並列に設置したドレン分離チャンバ２，３の一部に該ガス抜き経路を連通させて減圧室１の内部を減圧処理し、他のドレン分離チャンバでは真空ポンプ４の吐出ガスの少なくとも一部を導入して該ドレン分離チャンバ内を大気圧より高圧の雰囲気とした後、ドレン排出弁１９，２０を開放することにより、該ドレン分離チャンバからドレンを排出し、該減圧工程と該ドレン排出工程とを複数のドレン分離チャンバ２，３で順次切り替え実施する。【選択図】図１
2008173544.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
減圧室からドレン分離チャンバを経て真空ポンプに至るガス抜き経路を設けた負圧形成装置の該ドレン分離チャンバからドレンを排出する方法において、
前記減圧室に対して２基以上並列に設置した前記ドレン分離チャンバの一部に前記ガス抜き経路を連通させて前記減圧室の内部を減圧処理し、
他のドレン分離チャンバでは該真空ポンプの吐出ガスの少なくとも一部を導入して該ドレン分離チャンバ内を大気圧より高圧の雰囲気とした後、ドレン排出弁を開放することにより、該ドレン分離チャンバからドレンを排出し、
前記減圧工程と前記ドレン排出工程とを該複数のドレン分離チャンバで順次切り替え実施するようにしたことを特徴とするドレン排出方法。
【請求項２】
前記ドレン分離チャンバを前記ドレン排出工程から前記減圧工程に切り替えるに際し、まず前記真空ポンプにより該ドレン分離チャンバ内のガス圧を前記減圧室内のガス圧以下とした後、該ドレン分離チャンバと該減圧室とを連通させることを特徴とする請求項１に記載のドレン排出方法。
【請求項３】
前記真空ポンプに設けた吸入口から外気を吸入し、前記ドレン分離チャンバに供給する吐出ガス量を増大させるようにしたことを特徴とする請求項１に記載のドレン排出方法。
【請求項４】
減圧室からドレン分離チャンバを経て真空ポンプに至るガス抜き経路を設けた負圧形成装置において、
前記減圧室に対して２基以上並列に設置され下部にドレン排出弁を備えたドレン分離チャンバと、
前記減圧室と該複数のドレン分離チャンバとの間のガス抜き経路を該複数のドレン分離チャンバに切り換え可能に接続する第１の配管及び弁機構と、
該複数のドレン分離チャンバと該真空ポンプとの間のガス抜き経路を該複数のドレン分離チャンバに切り換え可能に接続する第２の配管及び弁機構と、
該真空ポンプの吐出ガスの少なくとも一部を該複数のドレン分離チャンバに切り換え可能に供給する第３の配管及び弁機構と、を備え、
該第１〜第３の配管及び弁機構を操作することにより、該減圧室の減圧処理と該ドレン分離チャンバのドレン排出処理とを該複数のドレン分離チャンバで順次切り換え可能に構成したことを特徴とする負圧形成装置。
【請求項５】
前記真空ポンプに開閉可能な外気吸入口を設けることにより、吐出ガス量を増大可能にしたことを特徴とする請求項４に記載の負圧形成装置。
【請求項６】
前記ドレン排出弁の下流側に設けたドレン排出管に外気が前記ドレン分離チャンバに侵入することを防止する逆止弁を設けたことを特徴とする請求項４に記載の負圧形成装置。
【請求項７】
前記ドレン分離チャンバが２基設けられ、前記第１の配管及び弁機構が、三方弁と、前記減圧室と該三方弁とを結ぶ第１のガス抜き経路と、該三方弁と各水分離チャンバとをそれぞれ結ぶ第２及び第３のガス抜き経路とで構成されたことを特徴とする請求項４に記載の負圧形成装置。
【請求項８】
前記ドレン分離チャンバが２基設けられ、前記第２の配管及び弁機構が、三方弁と、前記真空ポンプと該三方弁とを結ぶ第１のガス抜き経路と、該三方弁と各ドレン分離チャンバとをそれぞれ結ぶ第２及び第３のガス抜き経路とで構成されたことを特徴とする請求項４に記載の負圧形成装置。
【請求項９】
前記ドレン分離チャンバが２基設けられ、前記第３の配管及び弁機構が、三方弁と、前記真空ポンプの吐出口と該三方弁とを結ぶ第１のガス抜き経路と、該三方弁と各ドレン分離チャンバとをそれぞれ結ぶ第２及び第３のガス抜き経路とで構成されたことを特徴とする請求項４に記載の負圧形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、減圧室からドレン分離チャンバを経て真空ポンプに至るガス抜き経路を設けた負圧形成装置において、該ドレン分離チャンバを複数配設し、一部のドレン分離チャンバで減圧工程を行いながら、他方のドレン分離チャンバに溜まったドレンを迅速に排出可能にした負圧形成装置及びそのドレン排出方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来真空ポンプ等の真空吸引装置で減圧室内に真空状態を形成する場合は、真空ポンプに水分、油分、ゴミ等を含むドレンが吸い込まれることによる真空到達時間の遅れが発生する。またドレンによるチップシールのシール効果が低下したり、また吸引ガス中に混入しているゴミにより真空ポンプの耐久性が悪化する。これらの不具合を防止するために、減圧室から真空ポンプに至るガス抜き経路の途中にドレン分離チャンバを設け、該ドレン分離チャンバでドレンを分離している。
【０００３】
該ドレン分離チャンバに溜まったドレンはいずれ排出する必要があるが、ドレンを排出するためには真空ポンプの稼動を停止する必要があり、装置の稼動効率が悪化する。
そのため特許文献１（特開平１１−９９３７９号公報）には、この問題点を解消するため、２基以上のドレン分離チャンバを並列に設置したガス吸引装置が開示されている。この装置を図８により説明する。
【０００４】
図８において、この装置は、揮発性有機化合物で汚染された土壌から有機化合物を吸収除去して修復する装置に係り、土壌中の揮発性有機化合物を吸引するガス吸引井０１に接続された吸引管０１１を水分離タンク０３ａ、０３ｂ及び保護用水分離タンク０８を経て真空ポンプ０７に接続している。水分離チャンバ０３は２基設けられ、一方の水分離タンク０３ａではガス流入弁０２ａ及びガス流出弁０４ａが開放され、空気取入弁０５ａ及び排水弁０６ａが閉じられて、真空ポンプ０７によるガス吸収井０１のガス吸収を行い、他方の水分離タンク０３ｂでは、ガス流入弁０２ｂ及びガス流出弁０４ｂが閉じられ、空気取入弁０５ｂ及び排水弁０６ｂが開放されて、水分離タンク０３ｂ内を大気圧とした上で水の排出を行なっている。
【０００５】
各水分離タンク０３でガス吸収工程とドレン排出工程とを切り替え実施することにより、連続してガス吸収処理ができるようにしている。なお図中、０９は排水弁であり、真空ポンプ０７からの排出ガス０１０は図示しないガス処理装置に送られて処理される。
【０００６】
【特許文献１】特開平１１−９９３７９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１に開示された装置は、水分離タンク０３ａがガス吸収工程から水排出工程に切り替える際に、ガス流入弁０２ａ及びガス流出弁０４ａを閉じ、次に空気取入弁０５を開放して水分離タンク０３ａ内を大気圧とし、その後排水弁０６ａを開放してドレンを排出するが、水分離タンク０３内を大気圧とするのに時間を要する。また排水弁０６ａを開放してドレンを排出する際にも、水分離タンク０３ａの内外で差圧を設けず、ドレンの自重で排出するため、ドレンの排出にも時間を要するという問題がある。またドレンの自重で排出するため、すべてのドレンが確実に水分離タンク外に排出されるとは限らず、油分やゴミ等の夾雑物と一緒にドレンが水分離タンク０３内に残留してしまうおそれがある。
【０００８】
本発明は、かかる従来技術の課題に鑑み、複数のドレン分離チャンバを設け、これらのドレン分離チャンバで減圧室内のガスを吸引する工程とドレン排出工程を切り換え運転することにより、減圧室の連続的な減圧運転を可能にした負圧形成装置において、ドレン排出工程においてドレンの排出を迅速且つ確実に行なうことができるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
かかる目的を達成するため、本発明の負圧形成装置におけるドレン排出方法は、
減圧室からドレン分離チャンバを経て真空ポンプに至るガス抜き経路を設けた負圧形成装置の該ドレン分離チャンバからドレンを排出する方法において、
前記減圧室に対して２基以上並列に設置した前記ドレン分離チャンバの一部に前記ガス抜き経路を連通させて前記減圧室の内部を減圧処理し、
他のドレン分離チャンバでは該真空ポンプの吐出ガスの少なくとも一部を導入して該ドレン分離チャンバ内を大気圧より高圧の雰囲気とした後、ドレン排出弁を開放することにより、該ドレン分離チャンバからドレンを排出し、
前記減圧工程と前記ドレン排出工程とを該複数のドレン分離チャンバで順次切り替え実施するようにしたものである。
【００１０】
本発明方法においては、減圧室に対してドレン分離チャンバを２基以上並列に設置し、一部のドレン分離チャンバで減圧室内のガスを吸引する工程を行い、他のドレン分離チャンバでドレン排出工程を行い、この２つの工程を複数のドレン分離チャンバで順次切り換えるようにしたため、減圧室のガス吸引を連続的に行ないながら、併せて各ドレン分離チャンバのドレン排出を行なうようにすることができる。
【００１１】
またドレン排出工程では、ドレン分離チャンバに真空ポンプの吐出ガスの少なくとも一部を導入するため、減圧室のガス吸引運転直後で真空状態となっているドレン分離チャンバ内を急速に加圧することができる。そして該ドレン分離チャンバ内を大気圧より高圧の雰囲気とした後、ドレン排出弁を開放することにより、ドレン分離チャンバ内外の圧力差を利用して、ドレン分離チャンバからドレンを急速かつ確実に排出することができる。
【００１２】
即ち大気に捨ててしまう真空ポンプの吐出ガスを利用してドレン分離チャンバを急速に大気圧より高圧の雰囲気とする。これによってドレン分離チャンバの内外の圧力差を利用し、ドレン分離チャンバ内のドレンをドレン分離チャンバ外に向わせる力を発生させることにより、ドレン分離チャンバ内のドレンを迅速かつ確実に残留分なくドレン分離チャンバ外に排出することができる。
【００１３】
また本発明方法では、ドレン排出工程のドレン分離チャンバにおいて、ドレン分離チャンバ内を大気圧より高圧の雰囲気とした後、ドレン排出弁を開放するようにしているため、ドレンがドレン分離チャンバの内外の圧力差によりドレン分離チャンバ内に逆流するのを防止することができる。
本発明方法において、好ましくは、ドレン分離チャンバをドレン排出工程から減圧工程に切り替えるに際し、まず真空ポンプにより該ドレン分離チャンバ内のガス圧を減圧室内のガス圧以下とした後、ドレン分離チャンバと減圧室とを連通させるようにするとよい。これによってドレン分離チャンバと減圧室とを連通させた時、ドレン分離チャンバ内のガスが減圧室内に逆流し、減圧室内のガス圧が増大するのを防止することができる。
【００１４】
また本発明の負圧形成装置は、
減圧室からドレン分離チャンバを経て真空ポンプに至るガス抜き経路を設けた負圧形成装置において、
前記減圧室に対して２基以上並列に設置され下部にドレン排出弁を備えたドレン分離チャンバと、
前記減圧室と該複数のドレン分離チャンバとの間のガス抜き経路を該複数のドレン分離チャンバに切り換え可能に接続する第１の配管及び弁機構と、
該複数のドレン分離チャンバと該真空ポンプとの間のガス抜き経路を該複数のドレン分離チャンバに切り換え可能に接続する第２の配管及び弁機構と、
該真空ポンプの吐出ガスの少なくとも一部を該複数のドレン分離チャンバに切り換え可能に供給する第３の配管及び弁機構と、を備え、
該第１〜第３の配管及び弁機構を操作することにより、該減圧室の減圧処理と該ドレン分離チャンバのドレン排出処理とを該複数のドレン分離チャンバで順次切り換え可能に構成したものである。
【００１５】
かかる構成とすることにより、減圧室を複数のドレン分離チャンバの一部を介して真空ポンプに連通させて、減圧室内のガスを吸引する工程を行ない、他のドレン分離チャンバを真空ポンプから遮断してドレン排出工程を行なうようにすることができる。この２工程を複数のドレン分離チャンバで切り替え実施することにより、減圧室内のガス吸引工程を連続的に行なうことができる。
【００１６】
また前記第３の配管及び弁機構を備えたことにより、ドレン排出工程に移行するドレン分離チャンバに真空ポンプの吐出ガスの少なくとも一部を供給することができる。これによってドレン分離チャンバ内を急速に大気圧より高圧の雰囲気にすることができる。そしてドレン分離チャンバ内外の圧力差を利用し、ドレン分離チャンバ内のドレンに対してドレン分離チャンバ外に向わせる力を付与させることにより、ドレンをドレン排出弁を介して迅速かつ残留分を残さずに確実に排出させることができる。
【００１７】
本発明方法及び装置において、好ましくは、真空ポンプに開閉可能な外気吸入口を設け、該吸入口から外気を吸入するようにすれば、真空ポンプの吐出ガス量を増大させることができる。これによってドレン排出工程に切り替わるドレン分離チャンバに供給するガス量を増大させて、該水分離チャンバに大気圧より高圧の吐出ガスを確実に供給することができる。
【００１８】
本発明装置において、ドレン分離チャンバに設けられたドレン排出弁の下流側に設けたドレン排出管に外気がドレン分離チャンバに侵入することを防止する逆止弁を設けるようにすれば、該ドレン排出管からの外気の侵入を確実に防止できる。
【００１９】
本発明装置において、ドレン分離チャンバを２基設ける場合、前記第１の配管及び弁機構を、三方弁と、前記減圧室と該三方弁とを結ぶ第１のガス抜き経路と、該三方弁と各水分離チャンバとをそれぞれ結ぶ第２及び第３のガス抜き経路とで構成するか、あるいは前記第２の配管及び弁機構を、三方弁と、前記真空ポンプと該三方弁とを結ぶ第１のガス抜き経路と、該三方弁と各ドレン分離チャンバとをそれぞれ結ぶ第２及び第３のガス抜き経路とで構成するか、あるいは前記第３の配管及び弁機構を、三方弁と、前記真空ポンプの吐出口と該三方弁とを結ぶ第１のガス抜き経路と、該三方弁と各ドレン分離チャンバとをそれぞれ結ぶ第２及び第３のガス抜き経路とで構成するようにしてもよい。
このようにドレン分離チャンバを２基設ける場合、三方弁を用いることで、第１〜第３の配管及び弁機構を簡素化することができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明のドレン排出方法によれば、減圧室に対して２基以上並列に設置したドレン分離チャンバの一部にガス抜き経路を連通させて減圧室の内部を減圧処理し、他のドレン分離チャンバでは該真空ポンプの吐出空気の少なくとも一部を導入して該ドレン分離チャンバ内を大気圧より高圧の雰囲気とした後、ドレン弁を開放することにより、該ドレン分離チャンバからドレンを排出し、前記減圧工程と前記ドレン排出工程とを該複数のドレン分離チャンバで順次切り替え実施するようにしたことにより、減圧室の減圧処理を連続的に行うことができると共に、ドレン分離チャンバのドレン排出処理をドレン排出口でゴミ等による詰まりを生じることなく、迅速かつ確実に行うことができる。
【００２１】
また本発明の負圧形成装置によれば、減圧室に対して２基以上並列に設置され下部にドレン排出弁を備えたドレン分離チャンバと、減圧室と該複数のドレン分離チャンバとの間のガス抜き経路を該複数のガス分離チャンバに切り換え可能に接続する第１の配管及び弁機構と、該複数のドレン分離チャンバと前記真空ポンプとの間のガス抜き経路を該複数のドレン分離チャンバに切り換え可能に接続する第２の配管及び弁機構と、該真空ポンプの吐出ガスの少なくとも一部を該複数のドレン分離チャンバに切り換え可能に供給する第３の配管及び弁機構と、を備え、該第１〜第３の配管及び弁機構を操作することにより、該減圧室の減圧工程と該ドレン分離チャンバのドレン排出工程とを該複数のドレン分離チャンバで順次切り換え可能に構成したことにより、減圧室の減圧処理を連続的に行うことができると共に、ドレン分離チャンバのドレン排出処理をドレン排出口でゴミ等による詰まりを生じることなく、迅速かつ確実に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明を図に示した実施形態を用いて詳細に説明する。但し、この実施形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは特に特定的な記載がない限り、この発明の範囲をそれのみに限定する趣旨ではない。
（実施形態１）
【００２３】
まず本発明の第１実施形態を図１及び図２に基づいて説明する。図１及び図２は本実施形態の全体構成を示す系統図、図３は本実施形態の負圧形成装置の各構成機器の操作手順を示す線図である。図１及び図２おいて、減圧室１に対して２基のドレン分離チャンバ２及び３が並列に配置され、減圧室１とドレン分離チャンバ２又は３とは、ガス抜き経路１１〜１３及び及びこれらガス抜き経路に介設された電動三方弁５を介して切り換え可能に接続される。またドレン分離チャンバ２又は３と真空ポンプ４の吸引口４１とは、ガス抜き経路１４〜１６及びこれらガス抜き経路に介設された電動三方弁６を介して切り換え可能に接続される。
【００２４】
またドレン分離チャンバ２及び３の下部には、該ドレン分離チャンバの底部に溜まった水分、油分、ゴミ等を含むドレンを排出するためのドレン排出経路１７及び１８が設けられ、ドレン排出経路１７及び１８はドレン排出弁１９及び２０が設けられている。またドレン排出弁１９及び２０の下流側でドレン排出管１７及び１８が合流した合流配管２７には、ドレンがドレン分離チャンバ２又は３に逆流するのを防止するための逆止弁２１が設けられている。
当初、即ち図３に示す即ち（初期状態）において、減圧室１及びドレン分離チャンバ２及び３は大気圧の状態となっている。
【００２５】
そして減圧室１をドレン分離チャンバ２又は３のいずれかを通して真空ポンプ４の吸入口４１と接続し、真空ポンプ４を稼動させることにより、減圧室１内のガス抜きを行う。これによって減圧室１内のガス圧を次第に低下させることにより、最終的に減圧室１内を真空状態とする。本実施形態において、まずドレン分離チャンバ２を減圧室１と接続し、ドレン分離チャンバ３を減圧室１から切り離してドレンの排出を行なう場合から説明する。この場合、電動三方弁５及び６の通路（ａ−ｃ）がともに開となり、ドレン排出弁１９及び開閉弁２５が閉となり、そしてドレン排出弁２０及び開閉弁２６が開となるように設定される。
【００２６】
この状態で即ち図３のステージ２に移行し、真空ポンプ４を稼動する。ステージ２では、真空ポンプ４により減圧室１内及びドレン分離チャンバ２内のガスが吸引されて減圧室１内及びドレン分離チャンバ２内が減圧されていく。真空ポンプ４の吐出ガスは吐出口４２から吐出され、大気圧より高い圧力（大気圧＋α）をもつが、その一部は吐出口４３から経路２２及び２４を経由してドレン分離チャンバ３に導入される。ドレン分離チャンバ３に導入される吐出ガスは、大気圧より高圧の吐出ガス（大気圧＋α）であり、これによってドレン排出工程の内部は大気圧より高圧の雰囲気となり、ドレン分離チャンバ３の内外でドレン分離チャンバ３の内部の方が高い圧力差が発生する。
【００２７】
このとき真空ポンプ４の吸入口４４に設けられた開閉弁４５が開となり、吸入口４４から外気が真空ポンプ４内に補給され、ドレン分離チャンバ３に供給される吐出ガスの圧力が大気圧より高い圧力（大気圧＋α。例えば０．２ｋｇ／ｃｍ２Ｇ）を保持するようにする。そしてドレン排出弁２０が開放されているので、該圧力によってドレン分離チャンバ３内のドレンをドレン分離チャンバ３外に向わせる力が発生するため、ドレン分離チャンバ３内のドレンがスムーズにかつ残留分なく確実にドレン分離チャンバ３の外部に排出される。
【００２８】
次に図３に示すステージ３に移行する。ここで図２に示すように、ドレン分離チャンバ２及び３で減圧室１の減圧処理とドレン排出処理との切り換えが行われる。即ち図２に示すように、電動三方弁５の通路（ｂ−ｃ）を開として、減圧室１とドレン分離チャンバ３とを連通させ、電動三方弁６の通路（ｂ−ｃ）を開として、ドレン分離チャンバ３と真空ポンプ４の吸入口４１とを連通させる。またドレン分離チャンバ３側のドレン排出弁２０を及び開閉弁２６を閉とし、水分離チャンバ２側のドレン排出弁１９及び開閉弁２５を開とする。
【００２９】
これによって、真空ポンプ４の吐出ガスの一部をドレン分離チャンバ２に導入して、ドレン分離チャンバ２内のガス圧を真空圧から大気圧より高い圧力（大気圧＋α）とし、外気との間で差圧を設けることにより、ドレン分離チャンバ２内に溜まったドレンをドレン排出経路１７から迅速に排出することができる。一方電動三方弁６の通路（ｂ−ｃ）を開き、ドレン分離チャンバ３の（大気圧＋α）の圧力が真空ポンプ４で吸引されて減圧室１内のガス圧以下の圧力に至った時に電動三方弁５の通路（ｂ−ｃ）を開き、減圧室１内のガスがドレン分離チャンバ３を通って真空ポンプ４に吸引される。
【００３０】
従って電動三方弁５の通路（ｂ−ｃ）が開動作を開始する時点は、電動三方弁６の通路（ｂ−ｃ）が開動作を開始する時点に対して、図３に示すように若干のタイムラグＴ１を設けている。即ちそのタイムラグＴ１は、ドレン分離チャンバ３のガス圧が減圧室１内のガス圧以下となった時点以降に電動三方弁５の通路（ｂ−ｃ）の開動作が開始されるように設定される。なお電動三方弁５は１０〜１５秒位かけて開くので、電動三方弁５の通路が（ａ−ｃ）から（ｂ−ｃ）に切り換わった時には、ドレン分離チャンバ３内は真空状態となっている。
【００３１】
即ちこのようなタイムラグを設けずに電動三方弁５の通路（ｂ−ｃ）を電動三方弁６の通路（ｂ−ｃ）と同時に切り替えると、ドレン分離チャンバ３内のガス圧が（大気圧＋α）の状態であるため、減圧室１内のガス圧とドレン分離チャンバ３内のガス圧との圧力差により、ドレン分離チャンバ３内のガスが減圧室１内に逆流して減圧室１内のガス圧が増大してしまうためである。このようにタイムラグＴ１を設けることにより、ドレン分離チャンバの切り換え時に減圧室１内のガス圧が増加するのを防止できる。
【００３２】
またドレン分離チャンバ２が減圧工程からドレン排出工程に切り替えられる際に、ドレン排出弁１９と開閉弁２５の開動作の時間は、図３に示すように、タイムラグＴ２を設けてドレン排出弁１９の開動作を遅くしている。即ちドレン排出弁１９及び開閉弁２５を同時に開くと、ドレン分離チャンバ２の内部は真空圧に近いため、ドレン分離チャンバ３内に外気が逆流し、ドレン分離チャンバ２の底部に溜まった水分、油分、ゴミ等を含むドレンがドレン内に飛散し、その後のドレン排出が効果的にできなくなる。そのためドレン分離チャンバ２内が大気圧になるまでドレン排出管１９の開放時間にタイムラグＴ２を設けている。このようにタイムラグＴ２を設けることにより、ドレン排出時にドレン分離チャンバ内のドレンを迅速かつ確実に排出することができる。
【００３３】
以上のように、本実施形態によれば、２基のドレン分離チャンバ２及び３を減圧室１に対して並列に設け、ドレン分離チャンバ２及び３を減圧室１の減圧処理を行う減圧工程とドレン分離チャンバ内のドレンを排出するドレン排出工程とに交互に切り換え実施させることにより、減圧室１の減圧運転を連続的に行ないながら、一方でドレン分離チャンバ２及び３のドレン排出を並行して行なうことができる。
【００３４】
またドレン分離チャンバ２又は３内のドレンを排出する工程において、真空ポンプ４の吐出口４３から吐出ガスの一部を該ドレン分離チャンバに導入するようにしている。該吐出ガスは大気圧より高い圧力（大気圧＋α）を有しているので、ドレン分離チャンバ内を大気圧より高い圧力にすることにより、外気との間で圧力差を設けて、ドレンをドレン排出経路からスムーズに排出することができる。また該圧力差を設けることにより、ドレン分離チャンバ内のドレンを残留分を残すことなく、確実に排出することができる。また外圧力差を設けることにより、ドレン中に含まれるゴミ等の夾雑物でドレン排出弁が詰まることなくドレンを排出できる。
【００３５】
また真空ポンプ４では、吸入口４４から吸入ガスを補充することによって、ドレン分離チャンバに供給する吐出ガスを確実に大気圧より高い圧力（大気圧＋α）にするようにしており、これによってドレン排出工程のドレン分離チャンバに大気圧より高い吐出圧のガスを確実に供給することができる。
（実施形態２）
【００３６】
次に本発明の第２実施形態を図４及び図５に基づいて説明する。図４及び図５は、本実施形態の全体構成を示す系統図である。本実施形態は、前記第１実施形態において吐出ガス経路２３及び２４に設けられた開閉弁２５及び２６を廃し、代わりに電動三方弁７を設けたものである。その他の構成は前記第１実施形態と同一である。本実施形態において、ステージ１（初期状態）では、減圧室１及びドレン分離チャンバ２及び３の内部は大気圧となっている。ステージ２では、図４に示すように、電動三方弁５及び６の通路（ａ−ｃ）を開、電動三方弁７の通路（ｂ−ｃ）を開とし、ドレン排出弁１９を閉、ドレン排出弁２０を開とする。
【００３７】
この状態で減圧室１、ドレン分離チャンバ２及び真空ポンプ４の吸入口４１を連通し、真空ポンプ４によって減圧室１内の減圧処理を行い、同時にドレン分離チャンバ２に入ったガスのドレン分離が開始される。減圧室１から吸引されドレン分離チャンバ２でドレンが分離されたガスは、真空ポンプ４に吸引され、吐出口４２から吐出される。一方吐出ガスの一部は吐出口４３から吐出され、（大気圧＋α）の圧力をもつ吐出ガスがドレン分離チャンバ３に導入され、ドレン分離チャンバ３内を（大気圧＋α）の雰囲気とし、ドレン分離チャンバ３の内外で圧力差を設けてドレン分離チャンバ３内のドレン排出処理を行なう。このとき開閉弁４５を開とし、吸入口４４から外気を吸入して吸入ガスを補給し、吐出口４３からドレン分離チャンバに導入される吐出ガスの圧力を確実に（大気圧＋α）とするのは前記第１実施形態と同一である。
【００３８】
次にステージ３では、図５に示すように、電動三方弁５及び６の通路（ｂ−ｃ）を開、電動三方弁７の通路（ａ−ｃ）を開とし、ドレン排出弁１９を開、ドレン排出弁２０を閉とする。かかる操作で、減圧室１、ドレン分離チャンバ３及び真空ポンプ４の吸入口４１を連通し、真空ポンプ４によって減圧室１内の減圧処理を行い、同時にドレン分離チャンバ３に入ったガスのドレン分離が開始されるとともに、ドレン分離チャンバ２ではドレン排出工程が開始される。
【００３９】
本実施形態においては、２基のドレン分離チャンバ２及び３を減圧室１に対して並列に設け、図３に示す前記第１実施形態の運転手順と同一の運転手順で同一の運転操作を行ない、ドレン分離チャンバ２及び３を減圧室１の減圧処理を行う減圧工程とドレン分離チャンバ内のドレンを排出するドレン排出工程とに交互に切り換え実施させることにより、減圧室１の減圧運転を連続的に行ないながら、一方でドレン分離チャンバ２及び３のドレン排出を並行して行なうようにするものであり、前記第１実施形態と同一の作用効果を得ることができる。
【００４０】
また第１実施形態と比べて、開閉弁２５及び２６を廃して、代わりに電動三方弁７を設けているので、部品点数を少なくし、装置構成の簡素化を達成することができる。
（実施形態３）
【００４１】
次に本発明の第３実施形態を図６及び図７に基づいて説明する。図６及び図７は、本実施形態の全体構成を示す系統図である。図６及び図７において、本実施形態は、前記第２実施形態において、ドレン排出経路１７及び１８に設けられたドレン排出弁１９及び２０を廃し、代わりにドレン排出経路１７及び１８に電動三方弁８を設けたものである。その他の構成は前記第２実施形態と同一である。
【００４２】
本実施形態において、前記第１及び第２実施形態と同一の運転手順で同一の運転操作を行ない、ステージ１（初期状態）では、減圧室１及びドレン分離チャンバ２及び３の内部は大気圧となっている。ステージ２では、図６に示すように、電動三方弁５及び６の通路（ａ−ｃ）を開、電動三方弁７及び８の通路（ｂ−ｃ）を開とする。この状態で減圧室１、ドレン分離チャンバ２及び真空ポンプ４の吸入口４１を連通し、真空ポンプ４によって減圧室１内の減圧処理を行い、同時にドレン分離チャンバ２に入ったガスのドレン分離が開始される。
【００４３】
一方ドレン分離チャンバ３には、真空ポンプ４の吐出口４３から（大気圧＋α）の圧力をもつ吐出ガスが導入され、ドレン分離チャンバ３内を（大気圧＋α）の雰囲気とし、ドレン分離チャンバ３の内外で圧力差を設けてドレン分離チャンバ３内のドレン排出処理を行なう。このとき開閉弁４５を開とし、吸入口４４から外気を吸入して吸入ガスを補給し、吐出口４３からドレン分離チャンバに導入される吐出ガスの圧力を確実に（大気圧＋α）とするのは前記第１及び第２実施形態と同一である。
【００４４】
次にステージ３では、図７に示すように、電動三方弁５及び６の通路（ｂ−ｃ）を開、電動三方弁７及び８の通路（ａ−ｃ）を開とする。かかる操作で、減圧室１、ドレン分離チャンバ３及び真空ポンプ４の吸入口４１を連通し、真空ポンプ４によって減圧室１内の減圧処理を行い、同時にドレン分離チャンバ３に入ったガスのドレン分離が開始されるとともに、ドレン分離チャンバ２ではドレン排出工程が開始される。
【００４５】
本実施形態によれば、前記第２実施形態と同一の作用及び効果を得ることができるが、さらにドレン排出経路１７及び１８に設けられたドレン排出弁１９及び２０を廃し、代わりに電動三方弁８を設けたことにより、前記第２実施形態より部品点数をさらに少なくし、装置構成の簡素化を達成することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明によれば、減圧室からドレン分離チャンバを経て真空ポンプに至るガス抜き経路を設けた負圧形成装置において、減圧室の圧処理工程を連続的に行ないながら、同時にドレン分離チャンバのドレン排出を迅速かつ確実に行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の第１実施形態の全体構成を示す系統図である。
【図２】前記第１実施形態の全体構成を示す系統図である。
【図３】前記第１実施形態の各構成機器の操作手順を示す線図である。
【図４】本発明の第２実施形態の全体構成を示す系統図である。
【図５】前記第２実施形態の全体構成を示す系統図である。
【図６】本発明の第３実施形態の全体構成を示す系統図である。
【図７】前記第３実施形態の全体構成を示す系統図である。
【図８】従来の負圧形成装置の全体構成図である。
【符号の説明】
【００４８】
１          減圧室
２，３      ドレン分離チャンバ
４          真空ポンプ
５，６，７，８    電動三方弁
１１，１２，１３，１４，１５，１６    ガス抜き経路
１９，２０  ドレン排出弁
２１        逆止弁
２２，２３，２４  吐出ガス経路
２５，２６，４５  開閉弁
４１        吸入口
４２，４３，４４    吐出口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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