(57)【要約】【課題】金属板にパンチプレスによる穴開けを行うときに供給する潤滑等のための加工油を、不要な部分に広げないように供給して、穴開け加工後の粗化加工が良好に行えるようにすること。【解決手段】穴１３の開いたメタルコア１１を製造するための製造方法であって、金属板からなる基材１２の穴開け加工位置に対して局所的に加工油４１を供給した後、パンチ５１による穴開け加工を行い、穴開け加工後の基材１２に粗化加工を施す。基材１２に供給された加工油４１のほとんどは、穴開け加工によって、打ち抜かれる部分とともに排出され、穴開け加工後の基材１２には加工油４１がほとんど残らない状態となる。このため、後の脱脂工程が完全に行え、粗化加工を良好なものとすることができる。この結果、メタルコア１１に樹脂シートを重合すると、良品質な積層体を得ることができる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
穴の開いた金属板を製造する穴開き金属板の製造方法であって、
金属板からなる基材の穴開け加工位置に対して局所的に加工油を供給した後、機械的に穴開け加工を行い、
穴開け加工後の基材に粗化加工を施す
穴開き金属板の製造方法。
【請求項２】
前記基材がメタルコア基板に用いられる金属板である
請求項１に記載の穴開き金属板の製造方法。
【請求項３】
前記加工油の供給を、穴開け加工位置を露出する開口部を有したマスキング材を用いて行う
請求項１または請求項２に記載の穴開き金属板の製造方法。
【請求項４】
前記マスキング材に、開口部が漏斗状に形成されたものを用いる
請求項３に記載の穴開き金属板の製造方法。
【請求項５】
前記マスキング材を基材の上に隙間を隔てて配置した状態で加工油の供給を行う
請求項３または請求項４に記載の穴開き金属板の製造方法。
【請求項６】
前記マスキング材の開口部の口径を、機械的な穴開け加工を行う工具の径よりも大きく設定し、
マスキング材をマスキングした状態のまま穴開け加工を行う
請求項３から請求項５のうちのいずれか一項に記載の金属板の製造方法。
【請求項７】
前記加工油の供給を、加工油を滴下して行う
請求項１または請求項２に記載の穴開き金属板の製造方法。
【請求項８】
前記加工油を供給する前またはその後で、油を吸収する油吸収部材を、供給される加工油の周囲に隙間を隔てて配置する
請求項１から請求項７のうちのいずれか一項に記載の金属板の製造方法。
【請求項９】
前記加工油を供給する前またはその後で、油をはじく撥油部材を、供給される加工油の周囲に配置する
請求項１から請求項７のうちのいずれか一項に記載の金属板の製造方法。
【請求項１０】
前記加工油の供給を、加工油を保持し押圧されると排出する油保持材の配置で行う
請求項１または請求項２に記載の金属板の製造方法。
【請求項１１】
前記請求項２から請求項１０のうちいずれか一項に記載の方法で製造されたメタルコアとしての穴開き金属板に樹脂シートを重合し、
重合状態の穴開き金属板と樹脂シートに熱処理を行って、金属板の穴に樹脂シートの樹脂を充填させる
メタルコア基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、穴を有する金属板の製造方法に関し、より詳しくは、たとえばメタルコア基板に用いられるメタルコアなどのように後加工がなされる穴開き金属板に適用するのに好適な穴開金属板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
金属板に対する穴開けは、パンチを用いた打ち抜きやドリルを用いた穿孔などの方法によって行われる。このとき、摩擦による発熱を抑え、被加工材としての金属板とパンチやドリルなどの工具との焼き付きを防止したりするために、加工油が利用される。金属板に対する穴開け工程を示すと、図１４に示したとおりである。すなわち、上記加工油１０１は、金属板１０２の全面に塗布され、この状態で穴開け加工が行われる。図１４中、１０３はパンチ、１０４はダイス、１０５は穴である。
【０００３】
しかし、金属板１０２の全面に加工油１０１を塗布すると、加工が行われない部分にも加工油１０１を供給することになるので、加工油１０１の使用量が多くなって、コストの増大が問題となる。
【０００４】
このため、下記特許文献１、２のように加工油の使用量を抑えるものが提案されている。
【０００５】
特許文献１に開示された発明は、プレス加工用潤滑油供給方法であって、パンチとこのパンチを取り囲む部材との隙間に潤滑油を供給するというものである。
【０００６】
特許文献２に開示された発明は、打ち抜き剪断面への給油手段を有するプレス型であって、パンチの周囲に油溜りを形成してパンチのパンチ動作の度に被加工材に対して給油を行うというものである。
【０００７】
これらの発明によれば、パンチの近傍に油供給のための手段を備えて、加工時に油の供給を行うので、加工すべき部位の数や範囲が少ない場合には、被加工材の全面に油を供給する場合に比して、油の使用量を抑えることはできる。
【０００８】
しかし、加工油が加工位置以外の部分に広がること、そしてこのことが後の工程に与える影響については考慮されていない。つまり、特許文献１、２の発明では、加工油は、被加工材に対して加工を行う時、すなわち加工しながら供給され、しかもその供給はパンチの動きに従って行われるので、供給された加工油が広がりやすい。この結果、加工油が必要以上の範囲に広がって付着してしまう。
【０００９】
加工油が必要以上に広がると、加工油の完全な除去が困難となり（図１４（ｅ）参照。）、穴開け対象となる金属板の用途によっては、後に行われる加工に大きな影響がでることがある。
【００１０】
たとえば、金属板がメタルコア基板のメタルコアの場合、穴が形成された後は、脱脂処理、粗化加工、樹脂シートの積層加工等が順になされるが、加工油が少しでも残った状態で粗化加工としてのエッチングが行われると、エッチングのための液がはじかれてしまい、粗化が十分に行われず、部分的に粗化が浅くなったり、平坦な部分が残ったりしてしまう。
【００１１】
粗化が不充分であると、樹脂シートの積層加工をしても樹脂の食い込みが悪く、必要なアンカー効果が得られない。そのうえ、樹脂シートの積層をしたときにメタルコアと樹脂との間に空気が入ってしまうことがあり、この場合には、はんだリフロー等の加熱時や過酷な使用環境下においてデラミネーションと呼ばれる層間剥離現象が発生するような不良品となってしまう。
【特許文献１】特開２０００−２７１６７３号公報
【特許文献２】特開平１０−１０９１２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
そこでこの発明は、穴開け加工位置に対して加工油を広がらないように供給し、加工油の付着による後の加工への影響をなくすことを主たる課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
そのための手段は、穴の開いた金属板を製造する穴開き金属板の製造方法であって、金属板からなる基材の穴開け加工位置に対して局所的に加工油を供給した後、機械的に穴開け加工を行い、穴開け加工後の基材に粗化加工を施す穴開き金属板の製造方法である。
【００１４】
すなわち、加工油は、基材の穴開け位置という局所（範囲が限られた所、全体の一部）に供給される。そして供給後、加工油が供給された部位である穴開け加工位置に、パンチやドリルを用いた機械的な穴開け加工がなされる。この穴開け加工により、加工油が供給された部分は基材から除去される。
【００１５】
穴開けがなされた後は、穴開け加工後の基材に必要な処理がなされてから粗化加工が施される。
【００１６】
上記のように、加工油はあらかじめ供給されて、その後に穴開け加工がなされるので、加工油を広がらないように加工油の動きを規制することができる。また、加工油の広がりを規制できるため、供給された加工油の多くは穴開け加工によって除去される。このため、洗浄等の脱脂を行う場合に、脱脂処理にかかる負担を軽減でき、加工油の残留のない所望の洗浄状態を得ることができる。この結果、粗化加工がバラツキなく良好に行える。
【００１７】
別の手段は、上記の方法で製造された穴開き金属板をメタルコアとして用い、このメタルコアとしての穴開き金属板に樹脂シートを重合し、重合状態の穴開き金属板と樹脂シートに熱処理を行って、金属板の穴に樹脂シートの樹脂を充填させるメタルコア基板の製造方法である。
【００１８】
上記のように粗化加工が良好に行えるので、樹脂の食い込みを所望とおりに行え、空気の侵入もないメタルコア基板ができる。
【発明の効果】
【００１９】
以上のように、この発明によれば、機械的な穴開け加工に必要な加工油を、広がらないように供給してから穴開け加工を行う。そして、加工油が付着した部分のほとんどは穴開け加工によって基材から除去されるので、穴開け加工後に加工油の付着を抑えることができる。この結果、加工油の残留による後加工への影響をなくすことが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
この発明を実施するための一形態を、以下図面を用いて説明する。  
この一実施形態では、穴開き金属板としてメタルコア基板のメタルコアを例に説明を行う。
【００２１】
図１の（ａ）〜（ｂ）がメタルコア基板の製造工程を示す断面図である。  
まず、メタルコア基板の製造工程を説明する。
【００２２】
メタルコア１１の材料としては、銅やアルミニウムからなる矩形の金属板（以下、「基材１２」という。）が用いられる（ａ）。
【００２３】
この基材１２に対して機械的に穴１３を開け、水洗などの脱脂処理、続いて、表面を粗くする粗化加工を施すことで、メタルコア１１が得られる（ｂ）。
【００２４】
次に、メタルコア１１の両面に、樹脂シート２１（たとえばＦＲ−４のようなプリプレグ）と電解銅箔２２を配置する。樹脂シート２１がメタルコア１１側で、電解銅箔２２が表面側である（ｃ）。
【００２５】
そして、この状態で、熱を加えるとともに真空引きをしながらプレスして、メタルコア１１の穴１３内に樹脂シート２１の溶けた樹脂を注入充填させる。樹脂が固化すると１枚の積層板３１となる（ｄ）。
【００２６】
この後、積層板３１の樹脂充填部位に、メタルコア１１の穴１３よりも小径で厚み方向に貫通するスルーホール３１ａを開ける（ｅ）。
【００２７】
つづいて、表面に位置する電解銅箔２２の上に銅メッキ層３２を形成する。この銅メッキ層３２と電解銅箔２２とよりなる層が回路パタンーン層３１ｂである（ｆ）。
【００２８】
この回路パターン層３１ｂの上の所定部位にはマスク３３をかけ（ｇ）、マスク３３のかかってない部分の回路パターン層３１ｂを除去する（ｈ）。
【００２９】
このあと、上記のマスク３３を除去し（ｉ）、表面の所定部位に、内部保護のためのソルダーレジスト３４を形成する（ｊ）。
【００３０】
最後に、適宜、プリフラックスやはんだレベラーなどのコーティングをかけ、メタルコア基板として完成させる。
【００３１】
つぎに、基材１２に対する穴開け加工と粗化加工について説明する。  
図２の（ａ）〜（ｄ）が穴開け加工の工程を示す断面図であり、図２の（ｅ）が粗化加工後のメタルコアの断面図である。
【００３２】
この図２（ａ）〜（ｄ）に示すように、穴開け加工は、基材１２の表面の局所に加工油４１を供給してから（ｂ）、穴開け加工を行い（ｃ）、穴１３を形成する（ｄ）。加工油４１の供給位置は、穴開け加工を行う位置のみである。加工油４１の具体的な供給範囲は、形成する穴１３の大きさと加工油４１の粘度等の条件に応じて適宜設定される。
【００３３】
なお、この例で穴開けは、パンチプレスで行い、加工油４１には、適宜のプレス油が用いられる。図２中、５１はパンチ、５２はダイスである。また、プレス油には様々な粘度のものがあるが、この発明では、低粘度ものでも高粘度のものでも好適に使用できる。後で行われる脱脂処理のことを考慮すると粘度の低い加工油４１のほうが加工油４１を落としやすいのでよいが、粘度の高いものでも、所定範囲以上に加工油４１を広げないという点で有利である。
【００３４】
以下、図３〜図１３を用いて、加工油４１の供給方法について説明するが、この説明の中で必要に応じて好ましい加工油の粘度について言及する。
【００３５】
図３に示した加工油４１の供給方法は、マスキング材６１を用いるものである。すなわち、マスキング材６１は合成樹脂フィルム等で形成され、穴開け加工位置を露出する開口部６２を必要位置に有している。開口部６２の大きさは、加工油４１を供給する所望範囲に応じて設定される。また、マスキング材６１は、下面に粘着剤を有するものがよい。マスキングしたときに基材１２に対して密着するので、加工油４１がマスキング材６１と基材１２との間に浸入するのを規制できる。
【００３６】
このようなマスキング材６１を基材１２の上にのせた後（図３（ａ））、スプレー７１やローラ７２、刷毛７３等を用いた塗布やカーテンコート等によって、マスキング材６１の上の全面、あるいは開口部６２部分のみに加工油４１を塗布する（図３（ｂ））。すると、マスキング材６１の開口部６２内に加工油４１が充填された状態となる（図３（ｃ））。
【００３７】
このあと、マスキング材６１を外してから、あるいはマスキング材６１をつけたまま、パンチ５１によるプレス（打ち抜き）を行う（図２（ｃ）参照。）。
【００３８】
マスキング材６１をつけたまま穴開けを行う場合には、図４に示したように、開口部６２の径Ｄ１をパンチ５１の径Ｄ２よりも大きく形成しておく。このようにマスキング材６１をつけたまま穴開けを行うと、供給した加工油の広がりを積極的に防止できるのでよい。
【００３９】
また、マスキング材６１の開口部６２は、図５（ａ）に示したように、入口側、すなわち厚み方向の上側を漏斗状に広げた形状に形成すると、スプレー塗布の場合でも入口側のテーパ面６２ａが加工油４１の侵入を容易にするのでよい。この場合であって使用する加工油４１の粘度が高くない場合、開口部６２の入口側と反対の下面側の径は、所望の供給範囲よりも小さく設定しても、図５（ｂ）に示したように、マスキング材６１を外した時に加工油４１が広がるのでよい。
【００４０】
さらに、塗布は図６に示したように、マスキング材６１を基材１２の上面から浮かせて行うこともできる。浮かせる高さ（隙間ｓの高さ）ｈは、毛細管現象を生じさせない高さである。開口部６２の大きさや浮かせる高さｈは、加工油４１の供給範囲や加工油の粘度に応じて適宜設定される。このようにマスキング材６１を浮かせて塗布すると、加工油４１の粘度が低い場合に、マスキング材６１と基材１２との間に加工油４１が毛細管現象により浸入しないので、不測の広がりを防止できる。
【００４１】
加工油４１の粘度に関連して説明すると、図４に示したようにマスキング材をつけたまま穴開けを行う場合には、より低い粘度のものがよい。たとえば、１０cSt(mm2/s)（40℃）以下が好ましい。
また、図５（ｂ）に示したように供給された加工油４１のある程度の広がりを想定する場合には、一般的な低粘度のものがよい。たとえば、１０〜４０cSt(mm2/s)（40℃）程度が好ましい。
図３（ｃ）に示したようにマスキング材の開口部に加工油４１を充填した後、マスキング材を外して穴開けを行う場合には、高粘度のものがよい。たとえば、８０cSt(mm2/s)（40℃）以上が好ましい。
さらに、加工油４１の粘度が高い場合には、加工油４１の供給範囲を、開けるべき穴の大きさよりも小さく設定する。粘度の高い加工油４１は、穴開け加工位置の中心に存在すれば、十分に役割を果たすからである。
【００４２】
図７に示した加工油４１の供給方法は、必要量の加工油４１を基材１２の上に滴下して行うものである。この場合は、上記の図３（ｃ）に示したようにマスキング材の開口部に加工油４１を充填した後、マスキング材を外して穴開けを行う場合と同様に、たとえば、８０cSt(mm2/s)（40℃）以上の高粘度のものがよい。
【００４３】
加工油４１の滴下は、人手による作業など適宜の方法で行えるが、例えば図８（ａ）に示したような加工油供給装置８１を用いて行うとよい。この加工油供給装置８１は、移動可能なアーム８２の先端に、基材１２と同程度の大きさの平板状をなすハンド８３を備えている。ハンド８３の下面には、穴開け加工位置に対応するように配設された複数本の棒状のピン８４…が垂設されている。これらのピン８４…は、先端部をタンク８５に貯留された加工油４１に浸された後、基材１２の上に移動させて、図８（ｂ）に示したように加工油４１の供給を行う。
【００４４】
上記のピン８４の先端は、例えば図９（ａ）に示したように構成することができる。図９（ａ）に示したピン８４は、先端部内に空所８４ａを有し、図示しないバキューム手段で所定量の加工油４１をスポイトのように吸引保持し、基材１２の上で吐出するものである。このような構造のピン８４は、粘度の高い加工油４１でも粘度の低い加工油４１でも使用できる。
【００４５】
加工油４１の粘度が低い場合には、図９（ｂ）に示したように、先端に柔軟な多孔質部状のスポンジ状部材８４ｂを備えたピン８４を用いて、基材１２の穴開け加工位置に対し加工油４１を塗布するように構成することもできる。すなわち、タンク８５内の加工油４１をスポンジ状部材８４ｂに吸い込ませたのち、基材に向けて降下させ、スポンジ状部材８４ｂが基材１２に押し付け、スポンジ状部材８４ｂに含まれていた加工油４１を排出して、基材１２の上に塗布する。
【００４６】
基材１２の上に供給された加工油４１は、そのままでは広がらないが、不測の広がりを積極的に防止する油拡散防止手段を設けることができる。
【００４７】
図１０は、油拡散防止手段の一例としての油吸収部材９１を示している。この油吸収部材９１は、たとえば紙製の油吸収シートを円環状に打ち抜いて形成される。
【００４８】
油吸収部材９１の内径は、加工油４１の供給範囲よりも大きく設定する。つまり、供給される加工油４１と油吸収部材９１との間には隙間９２ができる。この隙間９２の大きさは、加工油４１の粘度や、加工油４１の供給から穴開け加工までの間に手作業による移送を含むかなどの諸条件に応じて適宜定められる。
【００４９】
この油吸収部材９１は、加工油４１の供給前、またはその後に基材１２上に置かれる。加工油４１の供給前に置く場合であって、マスキング材を用いて加工油４１の塗布を行う場合には、油吸収部材９１をあらかじめマスキング材の下に配置すればよい。
【００５０】
このように油吸収部材９１を備えると、加工油４１が外力を受けたりして不測に広がったとしても、加工油４１は油吸収部材９１に吸収されるので、油吸収部材９１の外周縁よりも外側には広がらない。加工油４１の付着は、最悪の場合でも図１０中の矢印の範囲内に抑えることができる。
【００５１】
図１１は、油拡散防止手段の他の一例としての撥油部材９３を示している。撥油部材９３は、上記の油吸収部材９１と同様に円環状に形成されるが、その性質は油をはじくものである。
【００５２】
撥油部材９３は、たとえばフェルト生地や適宜の布帛、紙等に水を吸収させて形成される。そして、撥油部材９３の内径は、加工油４１の供給範囲と同程度の大きさに設定されている。
【００５３】
この撥油部材９３も、加工油４１の供給前、またはその後に基材１２上に置かれる。加工油４１の供給前に置く場合であって、マスキング材を用いて加工油４１の塗布を行う場合には、撥油部材９３をあらかじめマスキング材の下に配置すればよい。
【００５４】
このような撥油部材９３を備えると、撥油部材９３の水が加工油４１をはじくので、供給された加工油４１を内径の範囲内（図１０の矢印の範囲内）に押さえ込んで防波堤の役割を果たし、この結果、加工油４１の拡散を防止できる。
【００５５】
図１２に示した加工油４１の供給方法は、油保持材９５の配置で行うものである。油保持材９５は、加工油４１を保持し押圧されると排出するもので、加工油４１を吸収するスポンジ状の部材や、所定量の加工油４１を貯留し押圧により破壊可能なカプセル状または袋状の部材で構成される。
【００５６】
すなわち、図１２（ａ）（ｂ）に示したように、基材１２の上の穴開け加工位置に油保持材９５を配置し、この状態で、図１２（ｃ）に示したようにパンチ５１による打ち抜きを行う。
【００５７】
油保持材９５がパンチ５１によって押圧されると、このときにパンチ５１による押圧力を受けて油保持材９５が押し潰されたり破壊されたりして、基材１２の表面において、保持された加工油４１が排出され、この加工油４１が必要部位に作用する。そして、排出された加工油４１と油保持材９５は、打ち抜かれた部位とともに排出される（図１２（ｄ））。
【００５８】
このような油保持材９５は、手作業によって供給するもよいが、図１３に示したような油供給装置８１によって供給するとよい。油供給装置８１は、アーム８２の先端に、平板状のハンド８３を備え、ハンド８３の下面には、棒状のピン８４…が複数本垂設されている。これらのピン８４…の配置は、穴開け加工位置に対応する配置である。
【００５９】
そして、各ピン８４…には、油保持材９５を保持するための保持手段が備えられている。保持手段は、たとえば図１３（ａ）に示したように図示しないバキュームにより吸着および分離を行うもので構成できる。この場合、油保持材９５が通気性を有するものである場合には、上面に非通気性のシート９５ａを備えたものが使用される。
【００６０】
また、図１３（ｂ）のように油保持材９５を突き刺して保持する針状部８４ｃと、この針状部８４ｃに保持された油保持材９５を針状部８４ｃから抜き取るべく上下動可能に備えられた抜き取り部８４ｄとを備えたもので構成することもできる。
【００６１】
このように油保持材９５を用いて加工油４１の供給を行うと、高いものから低いものまで様々な粘度の加工油４１を使用できる。しかも、加工４１は油保持材９５に保持されているので、粘度が低い加工油４１の場合であっても、基材１２の上に供給した時に加工油４１が広がることを抑制できる。
【００６２】
以上のような様々な方法で加工油４１の供給が行われた後、図２（ｃ）に示したように、パンチ５１による打ち抜きがなされると、穴１３が形成される（ｄ）。そして、この状態では、供給された加工油４１のほとんどは打ち抜かれる部位とともに排出される。このため、穴１３の開いた基材１２に付着する加工油４１の量は少ない。
【００６３】
この状態で、必要に応じて水洗などの脱脂処理がなされるので、脱脂処理が効率よく行え、脱脂液の汚れを抑えることもできる。
【００６４】
この後、穴１３の開いた基材１２に対して上記の粗化加工を行い、図２（ｅ）に示したように、穴開き基材１２の表面に凹凸１４を形成するとメタルコア１１となる。粗化加工は、周知のエッチング等で行える。好ましくは、所定範囲の大きさの凹凸からなる第１粗化面の上に、それよりも小さい凹凸からなる第２粗化面を形成する粗化加工であるとよい。第１粗化面はエッチングで形成し、第２粗化面は銅微粒子などを電析により付着して形成する。
【００６５】
穴開け加工後における基材１２に対する加工油４１の付着は少なく、加工油４１の完全な除去が可能であるので、上記の粗化加工は所望通りに行え、凹凸１４にバラツキができたり、平坦な部分が残ったりすることはない。
【００６６】
このため、上記のようにして形成されたメタルコア１１に、図１（ｄ）に示した如く樹脂を一体化させると、樹脂はメタルコア１１に対して深く食い込み、不測に空気が入ってしまうことも防止でき、良質のメタルコア基板を得ることができる。
【００６７】
この発明の構成と、上記一形態の構成との対応において、  
この発明の穴開き金属板は、上記一形態のメタルコア１１に対応するも、  
この発明は上記の構成のみに限定されるものではなく、その他の形態を採用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】メタルコア基板の製造工程を示す断面図。
【図２】メタルコアの製造工程を示す断面図。
【図３】加工油の供給方法の一例を示す断面図。
【図４】加工油の供給状態と打ち抜き工程の一例を示す断面図。
【図５】加工油の供給方法の一例を示す断面図。
【図６】加工油の供給方法の一例を示す断面図。
【図７】加工油の供給方法の一例を示す断面図。
【図８】加工油の供給方法の一例を示す断面図。
【図９】加工油供給装置の一部を示す説明図。
【図１０】油吸収部材とのその使用状態を示す断面図。
【図１１】撥油部材とその使用状態を示す断面図。
【図１２】加工油の供給方法の一例を示す断面図。
【図１３】加工油供給装置を示す説明図。
【図１４】従来技術の説明図。
【符号の説明】
【００６９】
１１…メタルコア
１２…基材
１３…穴
２１…樹脂シート
４１…加工油
５１…パンチ
５２…ダイス
６１…マスキング材
６２…開口部
９１…油吸収部材
９２…隙間
９３…撥油部材
９５…油保持材
ｓ…隙間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2008173654.tif 000009
【図８】
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【図９】
2008173654.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
2008173654.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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