(57)【要約】【課題】  発生するダストを確実に捕捉し、クリーンルームを汚染しない昇降装置を提供する【解決手段】  昇降装置１のマスト本体３は、開口部５を備えており、ファンフィルターユニット４が内蔵されて一体化している。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
マストと、当該マストに沿って昇降自在な昇降台とを有する昇降装置において、前記マストが、ダストを吸引するファンフィルターユニットを内蔵していることを特徴とする昇降装置 。
【請求項２】
マストの上端近傍に昇降台を支持する吊持材を折り返す機構が設けられており、且つマストの下端近傍に昇降駆動部が設けられており、マストの上端部と下端部の両方にファンフィルターユニットが内蔵されていることを特徴とする請求項１に記載の昇降装置。  
【請求項３】
マスト本体の断面形状が略四角形であり、当該略四角形の一辺にカバーを取り付けることによりファンフィルターユニットの収容部が形成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の昇降装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マストと、マストに沿って昇降自在な昇降台とを有する昇降装置に関する。特に、クリーンルーム内で、指定された位置に物品を搬送して、所定の高さで物品の出し入れを行う昇降装置のマストの構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
昇降装置を、クリーンルーム内で搬送に使用する場合には、自らが発塵源とならないようにするため、発塵を最小限に抑え、尚かつ発生したダストをクリーンルーム内に飛散させない十分な対策が求められる。
【０００３】
特許文献１には、下部フレームと、下部フレームに立てられた１本のマストと、マストの上部に設けられて、工程の天井に配置された上部レールに接触するガイドローラを備えた昇降装置が開示されている。下部フレームにはクリーンユニットが設けられており、上部レールとガイドローラが接触することで発生するダストを吸引する。
【特許文献１】特開平６−１７１７１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、昇降装置が大型化し、マストの全長が長くなるにつれて、マストの上部で発生したダストを、マストが立てられている下部フレームで全て吸引することが困難となってきた。特に、昇降台を吊持材で支持する昇降台では、マストの上端近傍に吊持材を折り返すためのスプロケット等のガイド機構が設けられており、ここで発生するダストを確実に捕捉して飛散させないことが求められている。
【０００５】
本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、発生するダストを確実に捕捉し、クリーンルームを汚染しない昇降装置を提供することを課題として成されたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１の発明は、マストと、当該マストに沿って昇降自在な昇降台とを有する昇降装置に関する。本発明の昇降装置は、マストが、ダストを吸引するファンフィルターユニットを内蔵していることを特徴とする。
【０００７】
昇降装置のマストにファンフィルターユニットを内蔵することで、従来の下部フレームに設けられたクリーンユニットよりも、マストの近傍で発生してマスト内を移動するダストをフィルターで確実に吸引することができる。
【０００８】
請求項２の発明は、マストの上端近傍に昇降台を支持する吊持材を折り返す機構が設けられており、マストの下端近傍に昇降駆動部が設けられている昇降装置に関する。本発明の昇降装置は、マストの上端部と下端部の両方にファンフィルターユニットが内蔵されていることを特徴とする。  
【０００９】
マストの上端近傍に昇降台を支持する吊持材を折り返す機構が設けられており、マストの下端近傍に昇降駆動部が設けられている昇降装置においては、マストの上端近傍と、下端近傍で発生するダストを共に、クリーンルームに飛散させない構成が求められる。本発明の昇降装置は、これら発塵源に近いマストの上端部と下端部の両方にファンフィルターユニットを内蔵することで、効率よくしかも確実にダストを捉えることができる。
【００１０】
請求項３の発明の昇降装置は、マスト本体の断面形状が略四角形であり、当該略四角形の一辺にカバーを取り付けることによりファンフィルターユニットの収容部が形成されていることを特徴とする。
【００１１】
略四角形で構成されたマスト本体の一辺にカバーが取り付けられて、ファンフィルターユニットの収容部が形成されていることにより、ファンフィルターユニットの取付部分に作業者等が接触する虞をなくすことができると共に、マスト全体の美観を保つことができる。更に、カバーによって、マストから発生するダストの飛散を更に厳重に防止することができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によって、マストで発生するダストを確実に捕捉し、ダストによってクリーンルームを汚染しない昇降装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下に発明を実施するための最良の形態を列記する。
【００１４】
（形態１）マストは、マスト本体と外側カバーを備えている。マスト本体は中空であり、マスト本体の側面に開口部が設けられていて、開口部にファンフィルターユニットが固定される。
（形態２）マストの上端部と下端部にスプロケットが設けられており、吊持材であるローラーチェーン（以下、吊りチェーンとも言う）が、マストの内側の側面の外壁部と、マストの中空の内部を通過するように架け渡されている。
（形態３）マストの外側の壁面に沿ったローラーチェーンには、昇降台を支持して昇降動作を行う移動ブロックが固定されている。マストの内部に位置するローラーチェーンには、カウンターウェイトが固定されている。カウンターウェイトと昇降台とで重量のバランスが取られている。
【実施例】
【００１５】
以下、本発明を適用した昇降装置の実施例を、図面を参照しつつ詳細に説明する。
【００１６】
図１は、本実施例の昇降装置１の構成を示す斜視図である。本実施例における昇降装置１は、レール７に沿って走行する台車８上に左右一対となるように固定されたマスト１０と、マスト１０の間に昇降可能に取り付けられた昇降台２を備えている。マスト１０は、マスト本体３と、これに取り付けられる外側カバー２０を備えている。
【００１７】
本実施例の昇降台２の上には、レール７に沿って設けられている倉庫に物品を出し入れし、搬送を行うための、伸縮と回転が可能なスカラーアーム９が設けられている。昇降台２は、物品の出し入れのために、マスト本体３に沿って所定の高さまで上下に動く。スカラーアーム９は、伸びた状態で物品の出し入れを行い、輸送時には縮んだ状態で物品を載置するほか、回転して反対側の倉庫に物品の出し入れを行うこともできる。昇降台２の駆動部となるモーターや制御基板は、マスト１０の下端部近傍に配置されている。
【００１８】
マスト本体３に取り付けられるファンフィルターユニット４の配置について説明する。マスト本体３はアルミニウム製で、断面が中空の略４角形となるように成形されている。以下の説明においては、マスト本体３の昇降台２に対向する面を、マスト本体３の内側の側面と称する。又、マスト本体３の内側の側面と対向する側面を、マスト本体３の外側の側面と称する。
【００１９】
図２に示すように、マスト本体３の外側の側面の上端部と下端部には、ファンフィルターユニット４を取り付けるための開口部５が設けられている。本実施例のマスト本体３には、上端部に縦２箇所横２箇所の開口部５が設けられており、下端部に縦２箇所横２箇所の開口部５が設けられている。但し、この開口部５の形状と配置は、取り付けるファンフィルターユニット４の構成に合わせて適宜変更が可能である。
【００２０】
本実施例のマスト本体３の開口部には、図３に示すように、上端部に２個と下端部に２個の計４個のファンフィルターユニット４が取り付けられる。ファンフィルターユニット４は、ファンと高性能フィルターを備えており、マスト本体３内の空気をファンで吸入し、フィルターを通過させることで、マスト本体３の外にダストの含まれないクリーンな空気を排出する。
【００２１】
図４に、昇降台２の昇降を規制するガイド部材１５と、昇降台２の昇降を補助するカウンターウェイト１８が配置されたマスト１０の断面図を示す。本実施例におけるマスト本体３は、強度を高めるために、内壁部１１と外壁部１２を備えた２重壁構造となっている。内壁部１１と外壁部１２の間には、内壁部１１と外壁部１２の両方に接続する補強部材１３が複数設けられており、この補強部材によってマスト本体３の断面は、複数の区画に区切られている。又、マスト本体３の外側の側面のコーナー部には、マスト本体３に取り付けられる外側カバー２０の係止部１４が形成されている。
【００２２】
カウンターウェイト１８が、マスト本体３の内部に収容されている。カウンターウェイト１８は、吊チェーン取付部１９を２カ所備えており、マスト本体３の内部を通過しているローラーチェーン６に吊りチェーン取付部１９がかみ合わされる。カウンターウェイト１８は、ローラーチェーン６に吊り下げられて、マスト本体３の内部を上下移動することができる。
【００２３】
マスト本体３の内側の側面の外壁部１２には、昇降台２の上下運動をガイドするガイド部材１５が、ボルト・ナットで固定され、一体化している。
【００２４】
ガイド部材１５には、移動ブロック１６が組み合わされている。移動ブロック１６は、ガイド部材１５によって前後左右の動作が規制されており、ガイド部材１５に沿った上下動のみが可能となっている。移動ブロック１６には、昇降台２を支持する図示されないピンが取り付けられている。移動ブロック１６にも、吊チェーン取付部１７が２カ所設けられており、ここに、マスト本体３の内側の側面を通過するローラーチェーン６が固定される。
【００２５】
一対のマスト本体３に取り付けられた移動ブロック１６は、ピンを介して両側から昇降台２を支持する。ローラーチェーン６が動作することにより、移動ブロック１６が昇降して、昇降台２の昇降を実現する。
【００２６】
図５に、ローラーチェーン６が配置されたマスト１０の断面図を示す。マスト本体３の上端部にスプロケット２２が設けられており、マスト本体３が立てられている下部フレーム２５にスプロケット２３が設けられている。ローラーチェーン６は、マスト本体３の上端部のスプロケット２２と下部フレーム２５のスプロケット２３で折り返されており、マスト本体３の内側の側面近傍と、マスト本体３の中空の内部を通過している。
【００２７】
下部フレーム２５に収容されている駆動装置２４から、スプロケット２３が動力を伝達されて回転することにより、ローラーチェーン６がスプロケット２２とスプロケット２３の間を循環する。
【００２８】
マスト本体３の内側の側面近傍を通過するローラーチェーン６には、移動ブロック１６が吊り下げられている。マスト本体３の中空の内面を通過するローラーチェーン６には、カウンターウェイト１８が吊り下げられている。カウンターウェイト１８の重量は、搬送する物品を載せた昇降台２とバランスを取れるように設定されている。
【００２９】
カウンターウェイト１８を設けることで、駆動装置２４に要求される駆動力の低減を図ることができ、又、昇降台２の昇降がよりスムーズになる。
【００３０】
マスト本体３の上端部には、上部カバー２１が取り付けられている。又、マスト本体３と、下部フレーム２５の内部とは、ローラーチェーン６の通路によって連通している。この結果、マスト本体３と、上部カバー２１と、下部フレーム２５によって、ローラーチェーン６の通路を除くとほぼ閉じた空間が形成されている。
【００３１】
昇降装置１が稼働する際には、特にマスト本体３の上端部のスプロケット２２と、マスト下端部近傍の下部フレーム２５に設けられているスプロケット２３及び駆動装置２４が、ダストを発生させる発塵源となりやすい。
【００３２】
更に、昇降台２の昇降に連動して、カウンターウェイト１８が昇降台２と逆方向の上下動を行うことにより、マスト本体３の内部では空気が動き、風が発生する。このため、マスト本体３の上端部と下端部で発生したダストが、マスト本体３の内部を移動して、マスト本体３の上端部近傍のチェーンの通路から、外に放出される虞がある。
【００３３】
本実施例の昇降装置１のマスト本体３に取り付けられたファンフィルターユニット４は、マスト本体３の上端部と下端部近傍で発生したダストを、直ちに吸引して高機能フィルターで捕捉する。マスト本体３の内部では、ダストは移動前にファンフィルターユニットによって捕捉されるので、マスト本体３で発生したダストはクリーンルーム内に放出されない。
【００３４】
更に、本実施例のマスト本体３の外側の側面の係止部１４には、樹脂等の薄板によって形成された外側カバー２０が取り付けられている。外側カバー２０は、図３に示されるように複数のユニット部材が上下に複数取り付けられることによって一連のカバーが構成されており、マスト本体３の外側の側面と外側カバー２０との間に、ファンフィルターユニット４の収容部が形成されている。
【００３５】
外側カバー２０により、ファンフィルターユニット４の取付部分に作業者等が接触する虞をなくすことができると共に、マスト１０全体の美観を保つことができる。
【００３６】
以上述べてきたように、本実施例の昇降装置１のマスト本体３は、中空の略四角形の断面形状を有しており、その外側の側面の上端部と下端部にファンフィルターユニット４が配置されている。本実施例のマスト本体３には、上端部近傍にカウンターウェイト１８を折り返すスプロケット２２が設けられており、下端部近傍の下部フレーム２５にはスプロケット２３とこの駆動装置２４が配置されているが、これらから発生したダストを、その周囲に配置されたファンフィルターユニット４が吸引して捕捉するため、昇降装置１から発生したダストがクリーンルーム内に放出されることがない。
【００３７】
本実施例のマスト本体３には、樹脂等の薄板に曲げ加工を行って形成された外側カバー２０が取り付けられている。外側カバー２０によって、マスト本体３の外側の側面にファンフィルターユニット４の収容部が形成される。又、ファンフィルターユニット４の取付部分に作業者等が接触する虞をなくすことができると共に、マスト１０全体の美観を保つことができる。
【００３８】
以上、実施例において本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示にすぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。例えば、実施例では、ファンフィルターユニット４を上端部と下端部に配置する構成について説明したが、マスト本体３の中間部にもファンフィルターユニット４を配置することで、一層確実にダストを捕捉することができる。又、マスト本体３の断面形状や大きさと、外側カバー２０と上部カバー２１の大きさと形状は、作用効果を損なわない範囲において、変更することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】実施例の昇降装置１の概要を説明する斜視図である。
【図２】実施例のマスト本体３の斜視図である。
【図３】実施例のファンフィルターユニット４と外側カバー２０を取り付けたマスト１０の斜視図である。
【図４】実施例のマスト１０に、ファンフィルターユニット４とガイド部材１５とカウンターウェイト１８とカバー２０を取り付けた状態の断面図である。
【図５】実施例のマスト１０の縦断面図である。
【符号の説明】
【００４０】
１  昇降装置
２  昇降台
３  マスト本体
４  ファンフィルターユニット
５  開口部
６  ローラーチェーン
７  レール
８  台車
９  スカラーアーム
１０  マスト
１１  内壁部
１２  外壁部
１３  補強部材
１４  係止部
１５  ガイド部材
１６  移動ブロック
１７，１９  吊チェーン取付部
１８  カウンターウェイト
２０  外側カバー
２１  上側カバー
２２，２３  スプロケット
２４  駆動装置
２５  下部フレーム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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