(57)【要約】【課題】９０度剥離試験、４５度剥離試験などを行うに際し、被試験材の膜の剥離強度を正確に計測することができる剥離強度計測装置を提供すること。【解決手段】基材上に剥離可能な膜を有する被試験材の前記膜の剥離強度を計測する剥離強度計測装置において、被試験材１の膜１ｂを剥離する剥離機構２０に結合され、剥離機構２０による膜引張り方向の角度を調整可能に設定する剥離角度調整機構３０と、被試験材１の未剥離部分に対する剥離された膜１ｂがなす剥離角度を計測するための剥離角度計測用センサー４０と、剥離試験中にわたって膜の剥離角度θが予め設定された一定の角度を保持するように、剥離角度計測用センサー４０による計測結果に基づいて剥離角度調整機構３０を制御する制御部５０とを備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材上に剥離可能な膜を有する被試験材の前記膜の剥離強度を計測する剥離強度計測装置において、
平坦なテーブル面に被試験材が固定状態で載置されるスライドテーブルを有し、該スライドテーブルを水平方向に移動させるテーブル移動機構と、
前記スライドテーブル上に載置された被試験材の一端側の膜端部を固定する膜端固定部及び該膜端固定部にかかる負荷を測る荷重測定器を有し、前記膜端固定部及び前記荷重測定器を膜引張り方向に直線的に移動させて被試験材の膜を剥離する剥離機構と、
前記剥離機構に結合され、前記剥離機構による膜引張り方向の角度を調整可能に設定する剥離角度調整機構と、
前記スライドテーブル上に載置されている被試験材の未剥離部分に対する剥離された膜がなす剥離角度を計測するための剥離角度計測用センサーと、
前記スライドテーブルの移動速度と前記膜端固定部及び前記荷重測定器の移動速度とを予め設定された同一の一定速度に制御し、剥離試験中にわたって前記剥離角度が予め設定された一定の角度を保持するように、前記剥離角度計測用センサーによる計測結果に基づいて前記剥離角度調整機構を制御し、及び、前記荷重測定器による測定結果に基づいて被試験材の膜の剥離強度を求める制御部と、を備えたことを特徴とする剥離強度計測装置。
【請求項２】
前記剥離角度計測用センサーが、前記スライドテーブルのテーブル面に対して垂直をなす上下方向に一定の間隔距離Ｄを隔てて配置され、該スライドテーブル上に載置されている被試験材の未剥離部分と平行する方向に、かつ、該被試験材より剥離された直後の膜部分に向けてレーザー光を投射し、該剥離された直後の膜との距離を計測する第１及び第２の２つのレーザー式距離計で構成されており、前記制御部は、前記間隔距離Ｄ、及び、前記第１のレーザー式距離計から剥離された膜までの距離Ｌ１と前記第２のレーザー式距離計から剥離された膜までの距離Ｌ２との差に基づいて、剥離された直後の膜の剥離角度を求めることを特徴とする請求項１記載の剥離強度計測装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、ポリイミドフィルム基板上に銅薄膜の配線を有するフレキシブルプリント基板のような、基材上に剥離可能な膜を有する被試験材について、被試験材の前記膜の剥離強度を計測するための剥離強度計測装置に関するものである
【背景技術】
【０００２】
粘着テープにおける貼着部材と被貼着部材との密着性、また、プリント基板における基材と金属膜との密着性を評価する試験として、剥離試験が用いられている。剥離試験には、剥離の形態により、９０度剥離試験、１８０度剥離試験、Ｔ字剥離試験などがある。
【０００３】
これらの剥離試験は、対象とする被試験材によって使い分けられている。例えば、粘着テープでは１８０度剥離試験が多用されており、プリント基板では９０度剥離試験が適用され、ＪＩＳ  Ｃ  ６４８１のプリント配線板用銅張積層板試験方法として示されている。
【０００４】
９０度剥離試験を行う場合には、基材上に膜を有する被試験材を硬いベース部材に両面テープ、あるいは接着剤で固定したのち、膜の一方の端部を剥離させ、その端部を引っ張り装置（剥離機構）に固定し、被試験材の未剥離の部分に対して９０度をなす方向に引っ張りながら膜を剥離し、ロードセルなどで引っ張り強度を測定して、膜の剥離強度を算出するようにしている。特開２００２−１２２５３３号公報には、このような９０度剥離試験による剥離強度を求めるやり方を、基材上に設けられた二層膜の密着性の評価に適用する例が示されている。
【０００５】
このように、剥離試験開始に先立って被試験材から剥離して引き出した膜の端部を引っ張り装置の膜端固定部に固定しておき、次いで膜を引っ張り剥離させる方法では、幾何学的に考えると、引っ張り試験中に、被試験材の未剥離の部分に対する剥離された膜の角度が９０度からずれていく。そのため、被試験材（試料）のサイズが小さい場合などには正確な膜の剥離強度の計測ができなくなる。すなわち、剥離試験開始前における被試験材から引っ張り装置の膜端固定部に至る膜端引き出し部分の長さに比べて、剥離試験中に剥離させる膜の長さが長い場合には、前記角度のずれは無視できないものとなる。
【０００６】
ところで、プリント基板は、樹脂基板上に銅膜が設けられた後、エッチングなどで銅の配線が形成される。この場合、銅膜の配線幅は年々狭くなってきており、過去には数ｍｍの幅だったものが、近年では１００μｍとなってきており、最近は２０μｍ、あるいは１０μｍ幅の配線の開発が進められている。そして、このような配線に対する剥離強度の計測が求められている。
【０００７】
このような状況下においては、配線形状の複雑化も進み、配線長さについても短小化が進行する。そのため、場合によっては被試験材として準備できる長さが数ｍｍ〜数十ｍｍ程度しかとれない場合もある。その場合、前述の、膜端部を引っ張り装置（剥離機構）の膜端固定部に固定するタイプの９０度剥離試験では、正確に剥離強度の計測を行うことが難しくなる。すなわち、剥離試験開始前における被試験材から引っ張り装置の膜端固定部に至る膜端引き出し部分の長さが、数ｍｍ〜数十ｍｍの程度であるので、剥離試験中に被試験材から膜を数十ｍｍ程度の長さ剥離させて剥離試験を行おうと、被試験材の未剥離の部分に対する剥離された膜の角度を９０度に保持できず、その角度変化が大きく、正確に剥離強度の計測を行うことができなくなる。
【０００８】
なお、特開２００５−２０１８２３号公報には、Ｔ字剥離を行う剥離強度計測装置として、粘着剤によって貼り合わされた２つの部材をそれぞれ固定する２つのクランプを備え、一方のクランプを固定した状態で、他方のクランプを移動させて両部材を剥離させながら剥離強度を計測する剥離強度計測装置が開示されている。この剥離強度計測装置は、前記他方のクランプとともに移動し、粘着剤によって貼り合わされた部材の未剥離の部分を他方のクランプの移動方向に対して常に所定の角度に維持しながら保持する保持ガイドを設けることにより、弾性体である被剥離部材が伸縮する現象を抑え、部材の剥離強度を正確に計測することができるようにしている。
【０００９】
従来、９０度剥離試験、４５度剥離試験、３０度剥離試験などを行うに際し、被試験材の未剥離部分に対する剥離された膜がなす角度を設定された一定の角度に正確に保持させながら剥離試験を行うことができ、被試験材の膜の剥離強度を正確に計測することができるようにした剥離強度計測装置として、適当なものがなかった。
【００１０】
【特許文献１】特開２００２−１２２５３３号公報
【特許文献２】特開２００５−２０１８２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
そこで、本発明の課題は、９０度剥離試験、４５度剥離試験、３０度剥離試験などにより、基材上に剥離可能な膜を有する被試験材の前記膜の剥離強度を計測するに際し、被試験材の未剥離部分に対する剥離された膜がなす角度を剥離試験中にわたって一定の角度に正確に保持させながら剥離試験を行うことができ、被試験材の膜の剥離強度を正確に計測することができる剥離強度計測装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
前記の課題を解決するため、本願発明では、次の技術的手段を講じている。
【００１３】
請求項１の発明は、基材上に剥離可能な膜を有する被試験材の前記膜の剥離強度を計測する剥離強度計測装置において、平坦なテーブル面に被試験材が固定状態で載置されるスライドテーブルを有し、該スライドテーブルを水平方向に移動させるテーブル移動機構と、前記スライドテーブル上に載置された被試験材の一端側の膜端部を固定する膜端固定部及び該膜端固定部にかかる負荷を測る荷重測定器を有し、前記膜端固定部及び前記荷重測定器を膜引張り方向に直線的に移動させて被試験材の膜を剥離する剥離機構と、前記剥離機構に結合され、前記剥離機構による膜引張り方向の角度を調整可能に設定する剥離角度調整機構と、前記スライドテーブル上に載置されている被試験材の未剥離部分に対する剥離された膜がなす剥離角度を計測するための剥離角度計測用センサーと、前記スライドテーブルの移動速度と前記膜端固定部及び前記荷重測定器の移動速度とを予め設定された同一の一定速度に制御し、剥離試験中にわたって前記剥離角度が予め設定された一定の角度を保持するように、前記剥離角度計測用センサーによる計測結果に基づいて前記剥離角度調整機構を制御し、及び、前記荷重測定器による測定結果に基づいて被試験材の膜の剥離強度を求める制御部と、を備えたことを特徴とする剥離強度計測装置である。
【００１４】
請求項２の発明は、請求項１記載の剥離強度計測装置において、前記剥離角度計測用センサーが、前記スライドテーブルのテーブル面に対して垂直をなす上下方向に一定の間隔距離Ｄを隔てて配置され、該スライドテーブル上に載置されている被試験材の未剥離部分と平行する方向に、かつ、該被試験材より剥離された直後の膜部分に向けてレーザー光を投射し、該剥離された直後の膜との距離を計測する第１及び第２の２つのレーザー式距離計で構成されており、前記制御部は、前記間隔距離Ｄ、及び、前記第１のレーザー式距離計から剥離された膜までの距離Ｌ１と前記第２のレーザー式距離計から剥離された膜までの距離Ｌ２との差に基づいて、剥離された直後の膜の剥離角度を求めることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の剥離強度計測装置は、被試験材の膜を剥離する剥離機構に結合され、剥離機構による膜引張り方向の角度を調整可能に設定する剥離角度調整機構と、被試験材の未剥離部分に対する剥離された膜がなす剥離角度を計測するための剥離角度計測用センサーと、剥離試験中にわたって膜の剥離角度が予め設定された一定の角度を保持するように、剥離角度計測用センサーによる計測結果に基づいて前記剥離角度調整機構を制御する制御部とを備えている。したがって、９０度剥離試験、４５度剥離試験、３０度剥離試験などにより、基材上に剥離可能な膜を有する被試験材の前記膜の剥離強度を計測するに際し、被試験材の未剥離部分に対する剥離された膜がなす角度を剥離試験中にわたって一定の角度に正確に保持させながら剥離試験を行うことができ、被試験材の膜の剥離強度を正確に計測することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。図１は本発明の一実施形態による剥離強度計測装置の構成を概略的に示す側面図、図２は図１に示す剥離強度計測装置によって４５度剥離試験を行う場合を示す説明図である。
【００１７】
この剥離強度計測装置は、図１，図２に示すように、テーブル移動機構１０、剥離機構２０、剥離角度調整機構３０、剥離角度計測用センサー４０及び制御部５０を備えている。
【００１８】
テーブル移動機構１０は、平坦なテーブル面を持つスライドテーブル１１を有し、このスライドテーブル１１を水平方向に移動させるものである。テーブル移動機構１０は、ボールねじを使用したねじ駆動方式を採用しており、スライドテーブル１１は、ボールねじに螺合するナットに結合され、ガイド部材に案内されながら水平に直線運動して移動されるようになっている。１２は、前記ボールねじを回転駆動するためのステッピングモータである。そして、このスライドテーブル１１上に、基材１ａ上に膜１ｂを有する被試験材１が、固定状態で載置されるようになっている。この実施形態では、両面テープ２により、スライドテーブル１１上に被試験材１が固定される。
【００１９】
剥離機構２０は、スライドブロック２１と、スライドブロック２１に固定された荷重測定器としてのロードセル２２と、ロードセル２２に固着された膜端固定部２３とを有し、スライドテーブル１１上に載置された被試験材１の膜１ｂの一端側の端部が膜端固定部２３に固定された状態で、膜端固定部２３及びロードセル２２が取り付けられたスライドブロック２１を膜引張り方向に直線的に移動させて被試験材１の膜１ｂを剥離するものである。この実施形態では、剥離試験開始にあたり、両面テープ３により、膜端固定部２３に被試験材１より引き剥がされた膜１ｂの先端側が固定される。
【００２０】
この剥離機構２０は、ボールねじを使用したねじ駆動方式を採用しており、スライドブロック２１は、ボールねじに螺合するナットに結合され、ガイド部材に案内されながら膜引張り方向に直線運動して移動されるようになっている。２４は、ボールねじを回転駆動するためのステッピングモータである。また、前記ロードセル２２は、膜端固定部２２にかかる負荷、すなわち、スライドブロック２１の移動による膜１ｂの剥離に伴ってロードセル２２にかかる負荷を測定するものである。
【００２１】
剥離角度調整機構３０は、ステッピングモータ３１を有し、軸と歯車とを組合せて構成されるとともに、剥離機構２０の基端に結合されており、ステッピングモータ３１を回転駆動することで、剥離機構２０全体が被試験材１の未剥離部分に対して接近する方向に、あるいは離反する方向に剥離機構２０を微小回動させることにより、剥離機構２０による膜引張り方向の角度、すなわち、スライドテーブル１１と剥離機構２０の長手方向における軸線とのなす角度を調整可能に設定するものである。３２は剥離角度調整機構３０の基台である。
【００２２】
剥離角度計測用センサー４０は、スライドテーブル１１上に載置されている被試験材１の未剥離部分に対する剥離された膜１ｂがなす剥離角度θを計測するためのセンサーであり、この実施形態では、スライドテーブル１１のテーブル面に対して垂直をなす上下方向に一定の間隔距離Ｄを隔てて配置され、被試験材１の未剥離部分と平行する方向に、かつ、被試験材１より剥離された直後の膜１ｂ部分に向けてレーザー光を投射し、該剥離された直後の膜１ｂとの距離を計測する短距離測定用の第１及び第２の２つのレーザー式距離計４１，４２で構成されている。なお、第１のレーザー式距離計４１の軸線と第２のレーザー式距離計４２との軸線間の距離である前記間隔距離Ｄは、例えば１０ｍｍに設定される。
【００２３】
制御部（制御装置）５０は、剥離試験において、スライドテーブル１１の移動速度とスライドブロック２１の移動速度とを、予め設定された同一の一定速度に制御するとともに、剥離試験中にわたって剥離角度θが予め設定された一定の角度を保持するように、レーザー式距離計４１，４２による計測結果に基づいて剥離角度調整機構３０を制御し、かつ、ロードセル２２による測定結果に基づいて被試験材１の膜１ｂの剥離強度を算出して求めるものである。また、前記ロードセル２２による測定結果に基づいて被試験材１の膜１ｂの剥離強度を求め、その表示を行う機能を備えている。なお、各ステッピングモータ１２，２４，３１の駆動回路は、制御部５０に備えられている。
【００２４】
次に、このように構成される剥離強度計測装置による９０度剥離試験について説明する。被試験材１の未剥離部分に対して膜１ｂを９０度の方向に剥がす９０度剥離試験を行うべく、まず、剥離角度調整機構３０を駆動して剥離機構２０の微小回動による位置決めを行って、スライドテーブル１１のテーブル面に対して垂直方向にスライドブロック２１が移動するように調整しておく。
【００２５】
次に、試験員によって、長手方向に延びる被試験材１についてその膜１ｂの一端側の端部を所定長さだけ剥がして膜端引き剥部分を形成し、この状態で、両面テープ２を用いて、スライドテーブル１１のテーブル面上に該被試験材１の基材１ａ側を固定する。その次に、両面テープ３により、剥離機構２０の膜端固定部２２に、被試験材１の前記膜端引き剥部分の先端側を固定する。そして、必要に応じて、スライドテーブル１１とスライドブロック２１とを微調整して位置決めし、剥離試験開始に先立ち、被試験材１の未剥離部分に対する膜１ｂの剥離角度θが９０度になるように設定しておく。
【００２６】
そして、スライドテーブル１１及びスライドブロック２１の移動速度を同一の一定速度に設定しておき、次いで、９０度剥離試験が開始され、スライドブロック２１が図１における矢印Ｂの向きに移動し、同時に、スライドテーブル１１が図１における矢印Ａの向きに移動し、スライドブロック２１によって被試験材１の膜１ｂを引っ張って所定長さ剥離してから、スライドブロック２１及びスライドテーブル１１の移動が停止される。
【００２７】
この場合、剥離試験中において、レーザー式距離計４１，４２による計測結果に基づいて剥離角度調整機構３０が駆動されることで剥離機構２０による膜引張り方向の角度が制御される。これによって剥離試験中にわたって膜１ｂの剥離角度θを９０度に保持させることができる。
【００２８】
すなわち、制御部５０において、剥離試験中において所定の時間間隔ごとに、第１のレーザー式距離計４１による剥離された膜１ｂまでの距離Ｌ１と、第２のレーザー式距離計４２によるその剥離された膜１ｂまでの距離Ｌ２とが読み込まれ、前記距離Ｌ１と前記距離Ｌ２との差（Ｌ１−Ｌ２）と、前記間隔距離Ｄとから、膜１ｂの剥離角度θが演算により求められ、この剥離角度θの計測値と設定された剥離角度９０度とが比較される。この比較結果に基づいて、前記所定の時間間隔ごとに、剥離角度の設定値と前記計測値との差を解消するように剥離角度調整機構３０が駆動されることにより、剥離試験中にわたって膜１ｂの剥離角度θが９０度に保持される。
【００２９】
そして、被試験材１の膜１ｂを所定長さ剥離させるためのスライドブロック２１及びスライドテーブル１１の移動が停止すると、制御部５０において、ロードセル２２による剥離試験中にわたる測定結果が記録されており、例えば、膜の所定剥離長さ範囲における平均剥離力、剥離力の最小値、剥離力の最大値が表示されるとともに、平均剥離強度が算出され、表示される。
【００３０】
なお、テーブル移動機構１０及び剥離機構２０に必要とされる特性（仕様）については、試験対象とする被試験材の大きさや剥離強度などの仕様によって異なってくるが、基材上に銅膜を有するプリント基板の場合、移動速度として３０〜３００ｍｍ／ｍｉｎ程度、位置決め精度として０．０１〜０．２ｍｍ程度が必要であり、可搬推力として１０Ｎ程度が必要である。また、ロードセル２２の測定特性については、微小な測定を対象としていることから、０．００１〜１０Ｎの範囲の測定が可能なものがよい。また、膜１ｂの剥離角度θを計測するためのレーザー式距離計４１，４２については、１０μｍという高精度が必要とされる。
【００３１】
なお、剥離角度計測用センサー４０として、レーザー式距離計４１，４２に代えて１台のＣＣＤカメラを用い、ＣＣＤカメラにより、剥離試験中において所定の時間間隔ごとに、図１，図２における奥行き方向において被試験材１から膜１ｂが剥離されている箇所を撮影し、制御部にてその画像を処理して膜１ｂの剥離角度θを求めるようにしてもよい。
【実施例】
【００３２】
次に、本発明の剥離強度計測装置を用いて、９０度剥離試験を実施した（図１参照）。
【００３３】
被試験材として、以下のものを準備した。まず、厚み２５μｍ、長さ１００ｍｍ、幅３ｍｍのポリイミドフィルム（東レ製：カプトンフィルム）からなる基材上に、蒸着法により、全面にわたって、厚み２μｍの銅薄膜を形成した。次に、塩化第二鉄水溶液を用いたウェットエッチング法により、前記全面に形成された銅薄膜におけるその周囲部分をエッチングして除去することにより、幅３ｍｍ、長さ１００ｍｍのポリイミドフィルム基材上に、幅１ｍｍ、長さ９０ｍｍの寸法にて細幅矩形形状の銅薄膜を有してなる被試験材を作製した。
【００３４】
次に、この被試験材について、その銅薄膜の長手方向の一端側の端部をカッターナイフによって長さ２０ｍｍだけ剥がして膜端引き剥部分を形成し、この状態で、両面テープ２を用いて、テーブル移動機構１０のスライドテーブル１１のテーブル面上に該被試験材のポリイミドフィルム基材側を固定した。また、次に、両面テープ３により、剥離機構２０の膜端固定部２３に、前記膜端引き剥部分の先端側を固定した。
【００３５】
なお、この被試験材の固定を行う前に、被試験材の未剥離部分に対して銅薄膜を９０度の方向に剥がす９０度剥離試験を行うべく、剥離角度調整機構３０を駆動して剥離機構２０の微小回動による位置決めを行って、スライドテーブル１１のテーブル面に対して垂直をなす上下方向にスライドブロック２１が移動するように調整しておいた。
【００３６】
そして、スライドテーブル１１及びスライドブロック２１の移動速度を同一の５０ｍｍ／ｍｉｎに設定しておき、スライドブロック２１を図１における矢印Ｂの向きに移動させ、同時に、スライドテーブル１１を図１における矢印Ａの向きに移動させ、かつ、剥離試験中にわたって銅薄膜の剥離角度が９０度を保持するように、２台のレーザー式距離計４１，４２による計測結果に基づいて剥離角度調整機構３０を駆動制御しながら、スライドブロック２１によって被試験材の銅薄膜を引っ張って剥離し、スライドブロック２１を５０ｍｍ移動させてから、スライドブロック２１及びスライドテーブル１１の移動を停止させた。
【００３７】
その結果、スライドブロック２１の移動長さ１０ｍｍ〜４０ｍｍの間で計測された銅薄膜の平均剥離力は０．０６Ｎであり、平均剥離強度は６０Ｎ／ｍであった。また、銅薄膜の剥離力の最小値は０．０５９Ｎ、剥離力の最大値は０．０６１Ｎであり、計測値のばらつきが小さいものであった。
【００３８】
次に、前述したのと同様の手順で準備した被試験材（幅３ｍｍ、長さ１００ｍｍのポリイミドフィルム基材上に、幅１ｍｍ、長さ９０ｍｍの寸法にて細幅矩形形状の銅薄膜を有してなる被試験材）について、比較例１として、次のようにして９０度剥離試験を行った。
【００３９】
スライドテーブル１１のテーブル面に対して垂直をなす上下方向にスライドブロック２１が移動するように調整した後に、両面テープ２を用いて、スライドテーブル１１のテーブル面上に被試験材のポリイミドフィルム基材側を固定し、次に、両面テープ３により、剥離機構２０の膜端固定部２３に、膜端引き剥部分（長さ２０ｍｍ）の先端側を固定した。そして、スライドテーブル１１を移動させず、かつ、剥離角度調整機構３０を制御せず、スライドブロック２１のみを移動速度５０ｍｍ／ｍｉｎにて移動させたところ、スライドブロック２１の移動距離が３０ｍｍを超えたところで、被試験材の銅薄膜が破断した。銅薄膜の剥離力は、スライドブロック２１の移動距離が１０ｍｍのとき０．０６５Ｎ、２０ｍｍのとき０．０７Ｎ、３０ｍｍのとき０．０８５Ｎであり、変動が続くため、銅薄膜の剥離強度を定めることができなかった。
【００４０】
また、同じく、前述したのと同様の手順で準備した被試験材について、比較例２として、次のようにして９０度剥離試験を行った。
【００４１】
直径３１ｍｍ、長さ１０ｍｍの円筒形状をなし、摩擦係数０．０３の軸付きボールベアリングローラに、両面テープで被試験材を固定し、回転軸と垂直方向に被試験材の銅薄膜を引っ張りながら、銅薄膜を剥離させた。１０ｍｍ〜４０ｍｍの間での銅薄膜の剥離力は、最小値が０．０５１Ｎ、最大値が０．０７７Ｎ、平均値が０．０６２Ｎであった。比較例２では、本発明の剥離強度計測装置による９０度剥離試験の結果に比べて、計測値のばらつきが大であった。
【００４２】
次に、本発明の剥離強度計測装置を用いて、４５度剥離試験を実施した（図２参照）。
【００４３】
前述した９０度剥離試験の場合と同様の手順にて、被試験材を準備した。剥離試験に先立ち、被試験材の未剥離部分に対して銅薄膜を４５度の方向に剥がす４５度剥離試験を行うべく、剥離角度調整機構３０を駆動して剥離機構２０の微小回動による位置決めを行って、図２に示すように、スライドテーブル１１のテーブル面に対して４５度をなしてスライドブロック２１が移動するように調整した。
【００４４】
そして、スライドテーブル１１及びスライドブロック２１の移動速度を同一の５０ｍｍ／ｍｉｎに設定しておき、スライドブロック２１を図２における矢印Ｂの向きに移動させ、同時に、スライドテーブル１１を図２における矢印Ａの向きに移動させ、かつ、剥離試験中にわたって銅薄膜の剥離角度が４５度を保持するように、２台のレーザー式距離計４１，４２による計測結果に基づいて剥離角度調整機構３０を制御しながら、スライドブロック２１によって被試験材の銅薄膜を引っ張って剥離し、スライドブロック２１を５０ｍｍ移動させてから、スライドブロック２１及びスライドテーブル１１の移動を停止させた。
【００４５】
その結果、スライドブロック２１の移動長さ１０ｍｍ〜４０ｍｍの間で計測された銅薄膜の平均剥離力は０．１３Ｎであり、計測値のばらつきが小さく、平均剥離強度は１３０Ｎ／ｍであった。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の一実施形態による剥離強度計測装置の構成を概略的に示す側面図である。
【図２】図１に示す剥離強度計測装置によって４５度剥離試験を行う場合を示す説明図である。
【符号の説明】
【００４７】
１…被試験材
１ａ…基材
１ｂ…膜
２，３…両面テープ
１０…テーブル移動機構
１１…スライドテーブル
１２…ステッピングモータ
２０…剥離機構
２１…スライドブロック
２２…ロードセル
２３…膜端固定部
２４…ステッピングモータ
３０…剥離角度調整機構
３１…ステッピングモータ
３２…基台
４０…剥離角度計測用センサー
４１…第１のレーザー式距離計
４２…第２のレーザー式距離計
５０…制御部
【図１】
2008309588.tif 000003
【図２】
2008309588.tif 000004