(57)【要約】【課題】従来、移載機に対するプローブの移載はプローブの取手を作業者が手でつかみ人力にて行なっているため作業者に重量的負荷が加わると共に、プローブの検査針部にダメージを与えるおそれがあった。【解決手段】本発明のプローブ受渡し装置は、移載機を位置決めし固定せしめるためのロック手段と、プローブを受け取るアーム部と、上記アーム部を上下動せしめる上下手段とよりなり、上記プローブ移載機との間で上記プローブの受け渡すことを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
移載機を位置決めし固定せしめるためのロック手段と、プローブを受け取るアーム部と、上記アーム部を上下動せしめる上下手段とよりなり、上記プローブ移載機との間で上記プローブを受け渡すことを特徴とするプローブ受渡し装置。
【請求項２】
プローブ搬送装置とプローブ移載機を位置決めし固定せしめるためのロック手段と、プローブを受け取るアーム部と、上記アーム部を上下動せしめる上下手段とより成り、上記プローブ搬送装置と上記プローブ移載機の一方からプローブを受け取り、他方に受け渡すことを特徴とするプローブ受渡し装置。
【請求項３】
上記アーム部がＸ軸，Ｙ軸及び回転方向に可動であることを特徴とする請求項１または２記載のプローブ受渡し装置。
【請求項４】
上記プローブがプローブストッカーから得たものであることを特徴とする請求項１、２または３記載のプローブ受渡し装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はプローブ受渡し装置、特に、プローブケース内のプローブを取り出し、ウエハー検査機に対する移載機に移載し、またはその逆とするためのプローブ受渡し装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年ウエハー（集積回路の材料となる薄斤）の外径の大形化（現在は直径３００ｍｍが主流）に伴いその回路、機能を検査するプローブ（針付き検査冶具）も大形化し、その外形も４８０ｍｍ程度となり重量も最大２５ｋｇ程度となり、その価格も２５００万円以上のものもある。
【０００３】
また、ウエハーの種類（回路構成）も多岐にわたり、その都度、プローブ交換の必要があるが、プローブの生命である針先の保護が重大な課題となっている。
【０００４】
図８及び図９は従来既知のプローブケース１を示し、２はその開閉蓋、３は上記プローブケース１内に入れられたプローブ、４はこのプローブ３の検査針部、５は上記プローブ３を上記プローブケース１から取り出すために用いる折り畳み自在なプローブ取り出し取手、６はプローブケース１に設けたケース搬送取手、７は位置出しピン孔、８はプローブ固定孔である。
【０００５】
従来、プローブ３をウエハー検査機に移載するための移載機上にウエハーケース１内のプローブを引き出し移載するには、上記取手５を作業者が手でつかみ人力にて行なっている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記のように従来、移載機に対するプローブ３の移載はプローブ３の取手５を作業者が手でつかみ人力にて行なっているため作業者に重量的負荷が加わると共に、プローブ３の検査針部４にダメージを与えるおそれがあった。
【０００７】
本発明はこのような欠点を除くようにしたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のプローブ受渡し装置は、移載機を位置決めし固定せしめるためのロック手段と、プローブを受け取るアーム部と、上記アーム部を上下動せしめる上下手段とよりなり、上記プローブ移載機との間で上記プローブを受け渡すことを特徴とする。
【０００９】
また、本発明のプローブ受渡し装置は、プローブ搬送装置とプローブ移載機を位置決めし固定せしめるためのロック手段と、プローブを受け取るアーム部と、上記アーム部を上下動せしめる上下手段とより成り、上記プローブ搬送装置と上記プローブ移載機の一方からプローブを受け取り、他方に受け渡すことを特徴とする。
【００１０】
上記アーム部は、Ｘ軸，Ｙ軸及び回転方向に可動であることを特徴とする。
【００１１】
上記プローブは、プローブストッカーから得たものであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のプローブ受渡し装置によれば下記のような効果が得られる。
【００１３】
（１）受渡し装置のアーム部にプローブ３の取手５を掛ける時、又は切り離す時以外は作業者の負担は全くない。
【００１４】
（２）機械的にプローブ３の移載を行うので、作業者に重量的負荷をかけない。
【００１５】
（３）プローブ３の心臓部である検査針部４にダメージを全く与えない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下図面によって本発明の実施例を説明する。
【実施例１】
【００１７】
図１はプローブ３の入ったプローブケース１を搬送する搬送装置９からプローブ３を受け取り、ウエハー検査機のための移載機１０に受渡すための受渡し装置１１を示す。
【００１８】
なお、１２は上記受渡し装置１１に設けたロック手段、１３はロックシリンダ、１４は搬送装置９を検知する検知器、１５は搬送装置９を載せる基準ベース、１６はプローブホルダー、１７はプローブホルダー１６は上に設けた位置決めピンである。
【００１９】
また、図２及び図３は搬送装置９を示し、１８，１９は夫々予備棚、２０は予備棚部ストッパリリースペダル、２１は搬送装置９用の取手、２２はケース回転部、２３は回転位置決めストッパ、２４は回転位置決めストッパリリースペダル、２５，２６は夫々ローラ、２７，２８は夫々ストッパー、２９はプローブケース位置決めレバー、３０はストッパリリースノブ、３１はロック手段である。
【００２０】
また、図４及び図５は本発明の受渡し装置１１を示し、３２はプローブチャック用アーム部、３３は落下防止爪、３４はアーム部上下スイッチ、３５はこのスイッチ３４を有する握り、３６はアーム支持部、３７はアーム部上下ベルト、３８はフリーローラである。
【００２１】
また、図６に示すように、受渡し装置１１のロック手段１２は、その側面に取り付けたプレート１２０と、夫々上記プレート１２０の側面に互いに離間して配置した一方及び他方のブロック１２１，１２２と、上記一方及び他方のブロック１２１，１２２の互いに対向する面に形成した弧状溝１２３，１２４とにより構成する。
【００２２】
また、上記搬送装置９のロック手段３１は上記ブロック１２１，１２２の弧状溝１２３，１２４に夫々嵌入される一方及び他方のローラ１２５，１２６と、これらのローラ１２５，１２６を夫々回転自在に支持する一方及び他方のアーム１２７，１２８と、上記一方のアーム１２７を上記搬送装置９の側面に取り付けるための変位可能手段１２９と、上記他方のアーム１２８を上記搬送装置９の側面に固定するボルト１３０とにより構成される。
【００２３】
上記変位可能手段１２９は、上記一方のアーム１２７の基部１３１をスライド自在に支持するため上記搬送装置９の側面に沿って固定したガイドレール１３２と、上記一方のアーム１２７に設けた、このアーム１２７から上記他方のアーム１２８の方向に向って延びるロッド１３３と、このロッド１３３を移動自在に支持する反力受け板１３４と、上記一方のアーム１２７を上記他方のアーム１２８から離れる方向に移動可能ならしめるため上記反力受け板１３４と上記一方のアーム１２７間に介挿した圧縮スプリング１３６とにより構成される。
【００２４】
上記ロック手段３１は常時は図６に示すように上記一方のアーム１２７は圧縮スプリング１３６の作用により他方のアーム１２８から離れる方向に向ってスライドされており、従って上記一方と他方のローラ１２５，１２６間の間隔は上記一方と他方のブロック１２１，１２２間の間隔より十分に大きくされている。従って搬送装置９のローラ１２５を受渡し装置１１のブロック１２１の溝１２３に入れ、上記圧縮スプリング１３６を圧縮する方向に搬送装置９を前進させながら、これを振れば図７に示すように他方のアーム１２８のローラ１２６が受渡し装置１１の溝１２４に直接挿入出来る様になる。
【００２５】
従って受渡し装置１１に設けられたブロック１２１と他方のブロック１２２の溝１２３，１２４に搬送装置９のローラ１２５，１２６が圧縮スプリング１３６の復元力によって挿入され、受渡し装置１１と搬送装置９が固定されると同時に両方の位置関係も固定されるようになる。
【００２６】
以下本発明のプローブ受渡し装置の使用状態を説明する。
【００２７】
（１）搬送装置９の棚よりプローブケース１を取り出し、搬送装置９の上面のローラ２６上にのせる。
【００２８】
（２）ストッパー２７がケース１によって押されロックされるまでケース１を押し込む。
【００２９】
（３）受渡し装置１１にてプローブ３を取り出す時開いている開閉蓋２がじゃまにならないようケース１をケース回転部２２を中心として水平面内で１８０°回転せしめる。
【００３０】
なお、このとき搬送装置９の回転位置決めストッパリリースペダル２４を踏み、ケース１が１８０°回転して回転ストッパ２８に当ったときリリースペダル２４を離す。
【００３１】
（４）この状態で搬送装置９を移動させ図１に示す基準ベース１５上にのせる。
【００３２】
（５）図１に示す受渡し装置１１のロック手段１１と、図３に示す搬送装置９のロック手段３１をドッキングさせる。
【００３３】
（６）検出器１４で搬送装置９を検出し、ロックシリンダー１３を作動させ搬送装置９を基準ベース１５上に固定する。
【００３４】
（７）図４に示すプローブチャック用アーム部３２の上下手段３７の上下スイッチ３４にて、受渡し装置１１の落下防止爪３３がついているアーム部３２をベルト３７を介して最下段まで下降させ、プローブケース１の取手５を作業者により起立せしめアーム部３２に掛ける。
【００３５】
（８）上下スイッチ３４を押してアーム部３２を最上段まで上昇させる。
【００３６】
（９）最上段までアーム部３２が上昇したときロックシリンダ１３を復帰せしめ、搬送装置９のロック手段３１と受渡し装置１１のロック手段１２のドッキングを解除せしめる。
【００３７】
（１０）搬送装置９上の空となったケース１の開閉蓋２を閉める。
【００３８】
（１１）搬送装置９のペダル２４を踏んでケース１を１８０°回転させ、ストッパリリースノブ３０を引いてプローブケース１を搬送装置９より外す。
【００３９】
（１２）空になっているケース１は搬送装置９の予備棚１８，１９に収納する。この状態ではプローブ３はプローブチャック用アーム部３２によって吊り上げられ最上段にある。
【００４０】
（１３）次に搬送装置９の代りに上記ロック手段３１と同様のロック手段を有する移載機１０を受渡し装置１１に上記基準ベース１５上でドッキングせしめる。
【００４１】
（１４）図４及び図５に示すスイッチ３４を押してプローブ３を下降せしめ、移載機１０に乗せたプローブホルダー１６上のピン１７とプローブ３のピン孔７を合わせる。この時アーム部３２と、アーム支持部３６の間には、フリーローラ３８が介挿されている為アーム部３２はＸ，Ｙ軸方向のみならず回転方向に可動である。
【００４２】
（１５）プローブ３が最下段に位置したとき、落下防止爪３３押してプローブ３の取手５からアーム部３２を離す。
【００４３】
（１６）離した後はアーム部３２をスイッチ３４の操作により最上段まで上昇させる。
【００４４】
（１７）アーム部３２が最上段になったとき、ドッキング部１２のロックシリンダ１３を解放して移載機１０と受渡し装置１１のドッキングを解除する。
【００４５】
（１８）移載機１０に乗せられているプローブ３を搬送装置９に移載する場合は上記と全く逆の操作で行う。
【００４６】
なお、上記プローブはプローブストッカーから直接上記プローブ受渡し装置に供給せしめることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明において用いるプローブ受渡し装置の平面図である。
【図２】本発明において用いる搬送装置の正面図である。
【図３】図２に示す搬送装置の平面図である。
【図４】本発明において用いるプローブ受渡し装置の正面図である。
【図５】図４に示す受渡し装置の一部の拡大図である。
【図６】ロック装置の平面図である。
【図７】図６に示すロック装置の結合状態説明図である。
【図８】プローブを有するプローブケースの正面図である。
【図９】図８に示すプローブケースの平面図である。
【符号の説明】
【００４８】
１  プローブケース
２  開閉蓋
３  プローブ
４  検査針部
５  取手
６  ケース搬送取手
７  位置出しピン孔
８  プローブ固定孔
９  搬送装置
１０  移載機
１１  受渡し装置
１２  ロック手段
１３  ロックシリンダ
１４  検知機
１５  基準ベース
１６  プローブホルダー
１７  位置決めピン
１８  予備棚
１９  予備棚
２０  ストッパリリースペダル
２１  取手
２２  ケース回転部
２３  回転位置決めストッパ
２４  回転位置決めストッパリリースペダル
２５  ローラ
２６  ローラ
２７  ストッパー
２８  ストッパー
２９  プローブケース位置決めレバー
３０  ストッパリリースノブ
３１  ロック手段
３２  アーム部
３３  落下防止爪
３４  上下スイッチ
３５  上下スイッチを有する握り
３６  アーム部支持部
３７  アーム部上下ベルト
３８  フリーローラ
１２０  プレート
１２１  ブロック
１２２  ブロック
１２３  弧状溝
１２４  弧状溝
１２５  ローラ
１２６  ローラ
１２７  アーム
１２８  アーム
１２９  変位可能手段
１３０  ボルト
１３１  基部
１３２  ガイドレール
１３３  ロッド
１３４  反力受け板
１３６  圧縮スプリング
【図１】
2008159979.tif 000003
【図２】
2008159979.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2008159979.tif 000008
【図７】
2008159979.tif 000009
【図８】
2008159979.tif 000010
【図９】
2008159979.tif 000011