(57)【要約】【課題】流量検知を安価に行うことができる流体制御弁を提供すること。【解決手段】弁部２に駆動力を与え、第１ポート５と第２ポート６との間を流れるクーラント液を制御する流体制御弁１において、第１圧力検出手段１３によって第１ポート５に入力するクーラント液の圧力Ｐ1を検出するとともに、第２圧力検出手段１４によって第２ポート６から出力されるクーラント液の圧力Ｐ2を検出し、流量が圧力Ｐ1，Ｐ2の差圧に基づいて検知されるものである。【選択図】    図１
2008256062.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
弁部に駆動力を与え、第１ポートと第２ポートとの間を流れる流体を制御する流体制御弁において、
流量が前記第１ポートと前記第２ポートとの差圧に基づいて検知されるものである
ことを特徴とする流体制御弁。
【請求項２】
弁部に駆動力を与え、第１ポートと第２ポートとの間を流れる流体を制御する流体制御弁において、
前記第１ポートと前記第２ポートとの差圧に基づいて流量を検知する制御装置を有する
ことを特徴とする流体制御弁。
【請求項３】
請求項２に記載する流体制御弁において、
前記流量が設定流量未満になったときに、異常信号を出力する異常出力手段を有する
ことを特徴とする流体制御弁。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３の何れか一つに記載する流体制御弁において、
前記第１ポートに入力した流体の圧力を検出する第１圧力検出手段と、
前記第２ポートから出力される流体の圧力を検出する第２圧力検出手段と、
を有することを特徴とする流体制御弁。
【請求項５】
請求項４に記載する流体制御弁において、
前記第１及び第２圧力検出手段は、前記第１ポートと前記第２ポートが設けられたボディに埋設されている
ことを特徴とする流体制御弁。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５の何れか一つに記載する流体制御弁において、
前記第１ポートと前記第２ポートとの間を流れる流体の温度を検出する温度検出手段を有する
ことを特徴とする流体制御弁。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６の何れか一つに記載する流体制御弁において、
前記流体がクーラント液である
ことを特徴とする流体制御弁。
【請求項８】
流体制御弁がノズルに流体を供給する流体制御システムにおいて、
前記流体制御弁の第１ポートと第２ポートとの差圧を検出し、前記差圧に基づいて前記流体制御弁の流量を検知する流量検知手段を有する
ことを特徴とする流体制御システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体を制御するための流体制御弁及び流体制御システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、例えば図７に示す流体制御システムでは、切削加工等に必要な高圧のクーラント液を供給する流体制御弁、いわゆるクーラントバルブ１１０が、ＮＣ工作機械等に接続され使用されている。タンク１０１に貯められたクーラント液１０２は、高圧クーラントポンプ１０３で加圧され、高圧クーラントバルブ１１０を経由してＮＣ工作機械等の加工機械１０４に供給される。加工機械１０４は、先端部に切粉洗浄ノズル１０６等が設けられたガンドリル１０５を装着され、切粉洗浄ノズル１０６からクーラント液１０２を高圧噴射しながらガンドリル１０５により被加工対象物を切削する。クーラント液１０２は、切削加工時の切削液、潤滑液、または冷却剤として使用され、再びタンク１０１に回収される。
【０００３】
タンク１０１のクーラント液１０２は、繰り返し使用され、切粉などを含む。クーラント液１０２に含まれる切粉等が切粉洗浄ノズル１０６に詰まると、ガンドリル１０５の動作時に発生する摩擦熱が大きくなってガンドリル１０５を変形させたり、削ったばかりの切粉がガンドリル１０５に絡みつき、加工作業を阻害するなどの不具合を生じる。そのため、図７に示す流体制御システムでは、クーラントバルブ１１０と加工機械１０４との間に流量計１１１を設置して、流量計１１１が検出する流量に基づいてクーラント液１０２が流れているか否かを監視し、切粉洗浄ノズル１０６の詰まりを検出している（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−２５９３９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の流体制御システムは、流量計１１１が例えば羽車の回転数によって流量を測定する方法や、白金薄膜センサで温度変化から流量を測定する方法があるが、切粉や砥粒が羽車の軸部に詰まって羽車の回転を悪くしたり、薄膜センサに砥粒が付着し、温度変化が正確に測定できなくなるなど、切粉や砥粒の影響で流量検出部に不具合が生じやすかった。この場合、実際にはクーラント液１０２がクーラントバルブ１１０を流れていないにも関わらず、流れを誤検出し、加工品の精度不良、ガンドリル１０５の破損や劣化を発生させていた。
【０００６】
この点、圧力計は、例えば、ダイヤフラムが流体圧を受けて変位する変位量を歪みセンサで検出し、歪み量から圧力を検出する。そのため、圧力計は、切粉や砥粒の影響で圧力検知部が損傷しにくく、上記流体制御システムの流量計１１１に代えて圧力計を設置することも考えられる。ところが、この方法では、切粉洗浄ノズル１０６が詰まってクーラントバルブ１１０の二次側圧力が上昇した場合にも、圧力計が圧力を検出し、クーラント液１０２がガンドリル１０５より吐出されていると誤検出し、加工品の精度不良、ガンドリル１０５の破損や劣化を促進させてしまうため、適切ではない。
【０００７】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、流量測定の信頼性が高い流体制御弁及び流体制御システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る流体制御弁は、次のような構成を有している。
（１）弁部に駆動力を与え、第１ポートと第２ポートとの間を流れる流体を制御する流体制御弁において、流量が前記第１ポートと前記第２ポートとの差圧に基づいて検知されるものである。
【０００９】
（２）弁部に駆動力を与え、第１ポートと第２ポートとの間を流れる流体を制御する流体制御弁において、前記第１ポートと前記第２ポートとの差圧に基づいて流量を検知する制御装置を有する。
【００１０】
（３）（２）に記載の発明において、前記流量が設定流量以上になったときに、異常信号を出力する異常出力手段を有する。
【００１１】
（４）（１）乃至（３）の何れか一つに記載の発明において、前記第１ポートに入力した流体の圧力を検出する第１圧力検出手段と、前記第２ポートから出力される流体の圧力を検出する第２圧力検出手段と、を有する。
【００１２】
（５）（４）に記載の発明において、前記第１及び第２圧力検出手段は、前記第１ポートと前記第２ポートが設けられたボディに埋設されている。
【００１３】
（６）（１）乃至（５）の何れか一つに記載の発明において、前記第１ポートと前記第２ポートとの間を流れる流体の温度を検出する温度検出手段を有する。
【００１４】
（７）（１）乃至（６）の何れか一つに記載の発明において、前記流体がクーラント液である。
【００１５】
本発明の流体制御システムは、以下の構成を有する。
（８）流体制御弁がノズルに流体を供給する流体制御システムにおいて、前記流体制御弁の第１ポートと第２ポートとの差圧を検出し、前記差圧に基づいて前記流体制御弁の流量を検知する流量検知手段を有する。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の流体制御弁及び流体制御システムは、第１ポートと第２ポートとの差圧に基づいて流体制御弁を流れる流体（例えばクーラント液）の流量を検知するので、流量計と比べて損傷しにくく、流量計を用いて流量を測定する場合よりも誤検出が少ない。よって、本発明の流体制御弁及び流体制御システムによれば、流量検知に対する信頼性を向上させることができる。
【００１７】
本発明の流体制御弁は、第１ポートと第２ポートとの差圧に基づいて流量を検知する制御装置を有するので、配線の手間を軽減できる。
【００１８】
本発明の流体制御弁は、流量が設定流量未満になったときに、異常信号を出力する異常出力手段を有するので、流体制御弁を組み付けたシステムの異常を早期に検出することができる。
【００１９】
本発明の流体制御弁は、第１圧力検出手段により第１ポートに入力した流体の圧力を検出し、第２圧力検出手段により第２ポートから出力される流体の圧力を検出するので、流体制御弁の外部に配管などで流量計や圧力計などを接続する必要がなく、配管コストを安価にできる。
【００２０】
本発明の流体制御弁は、第１及び第２圧力検出手段が、第１及び第２ポートが設けられたボディに埋設されているため、流体制御弁と第１及び第２圧力検出手段とを一体化し、省スペース化を図ることができる。
【００２１】
本発明の流体制御弁は、温度検出手段が検出する温度に基づいて検知した流量を補正することにより、流量を精度良く検出することができる。
【００２２】
本発明の流体制御弁は、クーラント液を制御するので、例えば、自動車の製造ラインのように流体制御弁を多数使用する場合に、流体制御弁１個当たりの値段を安価にすることにより、自動車製造ライン全体のコストダウンを図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
次に、本発明に係る流体制御弁及び流体制御システムの一実施形態について図面を参照して説明する。
【００２４】
（第１実施形態）
＜全体構成＞
図１は、第１実施形態に係る「流体制御弁」の一例であるクーラントバルブ１の断面図である。
クーラントバルブ１は、図７に示す流体制御システムに従来のクーラントバルブ１１０に代えて組み込まれ、切粉洗浄ノズル１０６に供給する流体（第１実施形態ではクーラント液１０２）の流量を制御する。クーラントバルブ１は、例えば２００ＭＰａ以上の高圧でクーラント液１０２を切粉洗浄ノズル１０６に供給する。クーラントバルブ１は、弁部２と駆動部３とにより外観が形成されている。
【００２５】
弁部２は、ボディ４に内設されている。ボディ４は、高圧クーラント液１０２に対する耐圧性を確保するために、アルミニウムや鋳鉄など剛性を有する金属を材質とする。ボディ４は、第１ポート５と第２ポート６とが設けられ、上面開口部を閉鎖部材７に塞がれて第１ポート５と第２ポート６との間に弁室８を形成している。弁室８には、弁座部材９が配設され、弁体１０が当接又は離間するようになっている。
【００２６】
ボディ４は、第１及び第２装着部１１，１２が下向きに突き出している。第１及び第２装着部１１，１２には、空洞１１ａ，１２ａがそれぞれ開設されている。空洞１１ａ，１２ａには、「第１圧力検出手段」及び「温度検出手段」の一例である第１圧力温度計１３と、「第２圧力検出手段」及び「温度検出手段」の一例である第２圧力温度計１４がそれぞれ内設されている。すなわち、第１及び第２圧力温度計１３，１４は、ボディ４に埋設されている。ボディ４には、空洞１１ａ，１２ａを第１ポート５又は第２ポート６に連通させるための連通流路２ａ，２ｂが形成されている。
【００２７】
従って、空洞１１ａ，１２ａに取り付けられた第１及び第２圧力温度計１３，１４は、連通流路２ａ，２ｂを介して第１，第２ポート５，６を流れるクーラント液１０２（図７参照）に接し、クーラント液１０２の圧力と温度を検出する。
【００２８】
駆動部３は、シリンダ１５が閉鎖部材７を介してボディ４にボルト止めされ、閉鎖部材７とシリンダ１５との間にピストン室１６が形成されている。ピストン室１６は、ピストン１７が摺動可能に装填され、ピストン１７を挟んで上室１６Ａと下室１６Ｂとに気密に区画されている。
【００２９】
上室１６Ａには、圧縮コイルばね１８が縮設され、ピストン１７に図中下向き（弁座部材９方向）の力を常時作用させている。また、上室１６Ａは、呼吸孔１５ａを介して大気開放されている。一方、下室１６Ｂは、図示しない操作ポートを介して操作エア供給装置１９に連通し、操作エアの給排気を制御される。
【００３０】
ピストン１７の中央部には、ピストンロッド２０が連結されている。ピストンロッド２０は、閉鎖部材７に摺動可能に貫き通され、先端部が弁室８内に突き出している。ピストンロッド２０の先端部には、弁体１０がピン２１を介して連結されている。
【００３１】
従って、クーラントバルブ１は、ピストン１７が圧縮コイルばね１８の弾性力と操作エア供給装置１９が給排気する操作エアの圧力とのバランスに応じてピストン室１６内を往復運動し、弁体１０を弁座部材９に当接又は離間させる。
【００３２】
クーラントバルブ１は、第１及び第２圧力温度計１３，１４が制御装置２２に接続されている。制御装置２２は、第１及び第２圧力温度計１３，１４が検出する第１及び第２ポート５，６の差圧を算出し、その差圧に基づいて流量Ｑを検知する。具体的には、制御装置２２は、次の通式１に基づいて流量Ｑを算出する。
【００３３】
【数１】
2008256062.tif 000003
但し、Ｑは流量を示す。
Ｃｖは、バルブ固有の流量係数を示す規定値である。
Ｐ1は、第１圧力温度計１３が検出した圧力である。
Ｐ2は、第２圧力温度計１４が検出した圧力である。
Ｇは、流体の比重を示す。
【００３４】
制御装置２２は、図７に示す流体制御システムの動作を制御する図示しない上位装置に組み込まれている。制御装置２２は、図示しない上位装置に通信可能に接続され、流量検知信号を図示しない上位装置に出力する。流量検知信号の出力には、スイッチ出力とアナログ出力とが考えられる。
【００３５】
流量検知信号をスイッチ出力する場合、制御装置２２は、例えば上記数式１に基づいて算出した流量Ｑを設定流量と比較し、算出した流量Ｑが設定流量を下回る場合には異常と判断して異常信号を図示しない上位装置に出力する一方、算出した流量Ｑが設定流量以上である場合には正常と判断して異常信号を図示しない上位装置に出力しない。設定流量は、例えば制御装置２２に設けた流量設定手段によって使用者が設定することができ、任意に設定変更できる。
尚、制御装置２２は、設定流量の上限値と下限値を設定する機能を有する場合には、算出した流量Ｑが設定流量の上限値と下限値の範囲内にあるときに正常と判断し、正常信号を出力する一方、算出した流量Ｑが設定流量の上限値と下限値の範囲内にないときに異常と判断し、正常信号を出力しないようにしてもよい。
【００３６】
これに対して、流量検知信号をアナログ出力する場合には、制御装置２２は、算出した流量Ｑをある範囲、例えば１〜５Ｖの電圧に換算してアナログ信号を図示しない上位装置に出力する。図示しない上位装置は、制御装置２２から受信したアナログ信号を閾値と比較し、流量が設定流量を下回る場合には異常と判断し、流量が設定流量以上である場合には正常と判断する。
【００３７】
＜動作説明＞
次に、上記構成を有するクーラントバルブ１の動作について説明する。
操作エア供給装置１９が下室１６Ｂに操作エアを供給していないときには、ピストン１７が圧縮コイルばね１８によって図中下向きに押し下げられ、弁体１０を弁座部材９に当接させる。そのため、第１ポート５に入力したクーラント液１０２は、弁座部材９において遮断され、第２ポート６から出力されない。
【００３８】
一方、操作エア供給装置１９が下室１６Ｂに操作エアを供給し、操作エアの圧力が圧縮コイルばね１８の弾性力に打ち勝つと、ピストン１７がピストンロッド２０を介して弁体１０を引き上げ、弁座部材９から離間させる。弁体１０は、操作エアの圧力と圧縮コイルばね１８の弾性力とがバランスする位置まで上昇する。そのため、第１ポート５に入力したクーラント液１０２は、弁座部材９を通過するときに弁開度に応じた流量に調整され、第２出力ポート６から出力される。
【００３９】
制御装置２２は、流量制御システムが上記のようにクーラントバルブ１に弁開閉動作させて切粉洗浄ノズル１０６に供給するクーラント液１０２を制御している間、クーラントバルブ１を流れるクーラント液１０２の流量を監視している。すなわち、制御装置２２は、第１圧力温度計１３から取得した一次側圧力Ｐ1と、第２圧力温度計１４から取得した二次側圧力Ｐ2と、クーラント液１０２の比重Ｇと、クーラントバルブ１固有の流量係数Ｃｖとを上記数式１にあてはめ、流量Ｑを算出する。
【００４０】
制御装置２２は、算出した流量Ｑが設定された流量以上であるときには、クーラント液１０２が切粉洗浄ノズル１０６から噴出されていると判断し、異常信号を上位装置に送信しない。よって、流体制御システムは、切粉洗浄ノズル１０６からクーラント液１０２を噴出しながらガンドリル１０５で加工対象物を切削する。
【００４１】
一方、制御装置２２は、算出した流量Ｑがゼロであるときには、クーラント液１０２が切粉洗浄ノズル１０６から噴出されていないと判断し、異常信号を上位装置に送信する。この場合、上位装置は、操作エア供給装置１９に操作エアを排出させ、クーラントバルブ１を緊急停止させる。これにより、流体制御システムは、切粉洗浄ノズル１０６からクーラント液１０２を噴出しない状態でガンドリル１０５が動作し、ガンドリル１０５が摩擦熱で破損したり、切粉によってシステムが壊れるなどの不具合を回避できる。
【００４２】
ここで、第１及び第２圧力温度計１３，１４は、クーラント液１０２の温度によって、圧力Ｐ1，Ｐ2を検出するレベルが異なる。そのため、制御装置２２は、第１及び第２圧力温度計１３，１４が検出する温度Ｔ1，Ｔ2に基づいて圧力Ｐ1，Ｐ2を補正し、補正後の圧力Ｐ1’，Ｐ2’を数式１にあてはめて流量Ｑを算出する。
【００４３】
また、クーラント液１０２は、切粉洗浄ノズル１０６に常温で供給されることもあれば、高温で供給されることもあり、供給温度が使用用途に合わせて調整される。クーラント液１０２の中には、供給温度によって粘性に差があるものがあり、その粘性によってクーラントバルブ１を流れる流量が変わる。そこで、制御装置２２は、第１及び第２圧力温度計１３，１４が測定する温度Ｔ1，Ｔ2に基づいて数式１のバルブ固有の流量係数を示す規定値Ｃｖを補正し、補正後の数式１’を用いて流量Ｑを算出する。
【００４４】
＜作用効果＞
以上説明したように、第１実施形態のクーラントバルブ１及び流体制御システムは、第１及び第２圧力温度計１３，１４を用いて第１ポート５の圧力Ｐ1と第２ポート６の圧力Ｐ2とを取得し、その差圧Ｐ1−Ｐ2に基づいてクーラントバルブ１を流れるクーラント液１０２の流量を検知するので（数式１参照）、切粉や砥粒などの異物による誤検出の影響を受け難く、流量計１１１を用いて流量を測定する場合よりも誤検出が少ない。よって、第１実施形態のクーラントバルブ１及び流体制御システムによれば、流量検知に対する信頼性を向上させることができる。また、第１実施形態のクーラントバルブ１及び流体制御システムは、図７に示す高価な流量計１１１を使用しないため、安価である。これらの効果は、例えば自動車の製造ラインなどにクーラントバルブ１を多数取り付ける場合に、特に有益である。
【００４５】
第１実施形態のクーラントバルブ１は、クーラント液１０２流量が設定流量未満になったときに、図示しない上位装置に異常信号を出力するので、クーラントバルブ１を組み付けたシステム（図７参照）の異常を早期に検出することができる。
【００４６】
また、第１実施形態のクーラントバルブ１は、第１圧力温度計１３により第１ポート５に入力したクーラント液１０２の圧力Ｐ1を検出し、第２圧力温度計１４により第２ポート６から出力されるクーラント液１０２の圧力Ｐ2を検出するので、クーラントバルブ１の外部にチーズなどの配管を用いて流量計１１１や圧力計などを接続する必要がなく、配管コストを安価にできる。
【００４７】
また、第１実施形態のクーラントバルブ１は、第１及び第２圧力温度計１３，１４が、ボディ４に設けられた装着部１１，１２の空洞１１ａ，１２ａに収納され、ボディ４に埋設されているため、クーラントバルブ１と第１及び第２圧力温度計１３，１４とが一体化される。そのため、第１実施形態のクーラントバルブ１によれば、クーラントバルブ１の前後にチーズなどの配管を用いて圧力計を設置する必要がなく、省スペース化を図ることができる。特に、クーラントバルブ１は、第１及び第２圧力温度計１３，１４をボディ４の下側に取り付けるため、幅寸法を従来品と変えずに第１及び第２圧力温度計１３，１４を追加することができる。
【００４８】
また、第１実施形態のクーラントバルブ１は、例えば、第１及び第２圧力温度計１３，１４が検出した圧力Ｐ1，Ｐ2のレベルがクーラント液１０２の温度によって異なる場合や、クーラント液１０２が温度によって粘性が異なる場合であっても、制御装置２２が、第１及び第２圧力温度計が検出する温度Ｔ1，Ｔ2に基づいて検出した圧力Ｐ1，Ｐ2を補正したり、或いは、数式１の流量係数Ｃｖを補正することにより、クーラント液１０２の温度に起因して流量Ｑの検知精度にばらつきが生じることを防止する。よって、第１実施形態のクーラントバルブ１によれば、流量Ｑを精度良く検出することができる。
【００４９】
また、第１実施形態のクーラントバルブ１は、クーラント液を制御するので、例えば、自動車の製造ラインのようにクーラントバルブ１を何百個も使用する場合に、クーラントバルブ１の１個当たりの値段を安価にすることにより、自動車製造ライン全体のコストダウンを図ることができる。また、クーラントバルブ１を使用して配管スペースを小さくすることにより、自動車製造ライン全体のシステムコンパクト化を図ることができる。
【００５０】
また、第１実施形態のクーラントバルブ１は、弁座部材９が絞りの役割を果たすため、別途絞り弁を設ける必要がなく、安価である。しかも、クーラントバルブ１は、図７に示すように流量計１１１が流量検出するために絞り弁等により流量を絞りすぎることがなく、絞り部分の圧力損失を低減させてクーラント液１０２を効率良く切粉洗浄ノズル１０６に供給することができると共に、切粉洗浄ノズル１０６に供給するクーラント液１０２の流量を従来より増加させることができる。
【００５１】
また、第１実施形態のクーラントバルブ１は、制御装置２２が一体的に組み付けられることにより、クーラントバルブ１を流体制御システムに組み込むときの配線の手間やコストを軽減することができる。一方、制御装置２２をクーラントバルブ１の上位装置に組み込む場合には、クーラントバルブ１をバルブ本体の大きさとして省スペース化を図ることができる。
【００５２】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態に係る流体制御弁について図面を参照して説明する。図２は、本発明の第２実施形態に係る「流体制御弁」の一例であるクーラントバルブ１Ａの断面図である。
第２実施形態に係るクーラントバルブ１Ａは、装着部１１，１２を横向きに設けたボディ３０を備える点が第１実施形態と相違し、その他の点は、第１実施形態と共通する。
【００５３】
第２実施形態のクーラントバルブ１Ａは、側方に突き出す装着部１１，１２に第１及び第２圧力温度計１３，１４を取り付けるので、例えば、第１及び第２圧力温度計１３，１４が故障した場合に、交換しやすい。
【００５４】
（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態に係る流体制御弁について図面を参照して説明する。図３は、第３実施形態に係る「流体制御弁」の一例であるクーラントバルブ１Ｂの外観斜視図である。
第３実施形態のクーラントバルブ１Ｂは、制御装置２２をクーラントバルブ１Ｂ側に設けた点が第２実施形態と相違する。ここでは、第２実施形態と相違する点を説明し、共通する点は説明を省略する。
【００５５】
クーラントバルブ１Ｂは、シリンダ１５を覆うようにカバー３１がボディ３０に固定されている。弁部２と駆動部３との間には、取付部材３２が取り付けられている。制御装置２２は、取付部材３２にネジ等で固定され、ボディ３０に沿うように配置されている。制御装置２２は、クーラントバルブ１Ｂを流れるクーラント液１０２の流量が設定流量以上である場合に異常を検知し、音声等で異常を知らせたり、或いは、図示しない上位装置に異常信号を出力する。
【００５６】
このように、クーラントバルブ１Ｂは、制御装置２２を有するので、クーラントバルブ１Ｂを上位装置に電気接続する配線作業を施工する必要がない。特に、制御装置２２を第１及び第２圧力温度計１３，１４の近くに配置するので、制御装置２２に第１及び第２圧力温度計１３，１４を配線しやすい。
また、クーラントバルブ１Ｂは、制御装置２２がクーラント液１０２の流量が設定流量未満になると、図示しない上位装置に異常信号を出力したり、或いは、音声等で異常を報知するので、システムの異常を早期に検出することができる。
【００５７】
図４〜図６は、クーラントバルブ１Ｂの変形例である。
制御装置２２は、図４に示す第１変形例のように、カバー３１に取り付けてもよいし、図５及び図６に示す第２，第３変形例のように、操作エア供給装置１９に取り付けてもよい。これら変形例のように制御装置２２を取り付ければ、取付部材３２を省略できる。
【００５８】
尚、本発明は、上記実施の形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。
【００５９】
（１）例えば、上記実施形態では、制御装置２２が第１及び第２圧力温度計１３，１４から圧力Ｐ1，Ｐ2を取得して差圧を算出した。これに対して、第１及び第２ポート５，６の差圧を測定する差圧測定手段をクーラントバルブ１に設けてもよい。この場合、例えば、差圧を検出できるダイヤフラムやピストンをチューブを介して接続し、近接センサや磁気センサによりダイヤフラムやピストンの位置検出を行って差圧を検出し、流量を導いてもよい。
【００６０】
（２）例えば、上記実施形態では、第１及び第２圧力温度計１３，１４により「第１及び第２圧力検出手段」と「温度検出手段」とを兼用し、省スペース化を図った。これに対して、第１及び第２圧力センサと第１及び第２温度センサを装着部１１，１２の空洞１１ａ，１２ａ内に取り付けるようにしてもよい。
【００６１】
（３）例えば、上記実施形態では、第１及び第２圧力温度計１３，１４をボディ４の装着部１１，１２に内設し、第１及び第２ポート５，６の圧力を検出した。これに対して、第１及び第２ポート５，６の内壁に半導体センサを取り付けて圧力検知してもよい。
【００６２】
（４）例えば、上記実施形態では、第１及び第２圧力温度計１３，１４をボディ４に埋設し、クーラントバルブ１と一体化した。これに対して、圧力温度計を第１ポート５の前と第２ポート６の後に別置きしてもよい。
【００６３】
（５）例えば、上記実施形態では、第１及び第２圧力温度計１３，１４により第１及び第２ポート５，６を流れるクーラント液１０２の温度Ｔ1，Ｔ2を検出した。これに対して、例えば、弁室８を流れるクーラント液１０２の温度を検出するように温度センサを１個設け、当該温度センサが検出する温度を用いて圧力Ｐ1，Ｐ2を補正したり、数式１のバルブ固有の流量係数を示す規定値Ｃｖを補正するようにして、部品点数を減らしてコストダウンを図ってもよい。
【００６４】
（６）例えば、上記実施形態では、エアオペレイト式のクーラントバルブ１を流体制御弁の一例として説明したが、ソレノイド方式のクーラントバルブ１を流体制御弁の一例としてもよい。また、クーラント液以外の流体を制御する流体制御弁にも、上記実施形態の流量検知方法を適用してもよいことは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明の第１実施形態に係るクーラントバルブの断面図である。
【図２】本発明の第２実施形態に係るクーラントバルブの断面図である。
【図３】本発明の第３実施形態に係るクーラントバルブの外観斜視図である。
【図４】図３に示すクーラントバルブの第１変形例である。
【図５】図３に示すクーラントバルブの第２変形例である。
【図６】図３に示すクーラントバルブの第３変形例である。
【図７】従来のクーラントバルブの使用方法の説明図である。
【符号の説明】
【００６６】
１，１Ａ，１Ｂ  クーラントバルブ（流体制御弁）
２  弁部
４，３０  ボディ
５  第１ポート
６  第２ポート
１３  第１圧力温度計（第１圧力検出手段、温度検出手段）
１４  第２圧力温度計（第２圧力検出手段、温度検出手段）
【図１】
2008256062.tif 000004
【図２】
2008256062.tif 000005
【図３】
2008256062.tif 000006
【図４】
2008256062.tif 000007
【図５】
2008256062.tif 000008
【図６】
2008256062.tif 000009
【図７】
2008256062.tif 000010