(57)【要約】【課題】高効率化、長寿命化を可能にし、しかも異物等に起因する欠陥を防止して特にラインヘッドに応用した場合に優れた特性を発揮する有機ＥＬ素子の製造方法と、この製造方法によって得られた有機ＥＬ素子を備えてなるラインヘッドを提供する。【解決手段】陽極３と陰極４との間に、少なくとも発光層１１（１６）を有する有機機能層７（１４）を備えた発光ユニット５（６）を複数積層し、これら各発光ユニット間を、電荷発生層１２によって仕切る有機ＥＬ素子１の製造方法である。陽極３側の第１発光ユニット５の有機機能層７を液相法で形成し、その後、第１発光ユニット５上に電荷発生層１２を介して第２発光ユニット６を形成する。【選択図】図１
2008277193.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
陽極と陰極との間に、少なくとも発光層を有する有機機能層を備えた発光ユニットを複数積層し、これら各発光ユニット間を、電荷発生層によって仕切る有機ＥＬ素子の製造方法において、
前記陽極側の第１発光ユニットの前記有機機能層を液相法で形成し、その後、前記第１発光ユニット上に電荷発生層を介して第２発光ユニットを形成することを特徴とする有機ＥＬ素子の製造方法。
【請求項２】
前記発光ユニットを二つ具備する場合に、前記第２発光ユニットの前記有機機能層も液相法で形成することを特徴とする請求項１記載の有機ＥＬ素子の製造方法。
【請求項３】
前記発光ユニットを二つ具備する場合に、前記第１発光ユニットの発光層を蛍光材料で形成し、前記第２発光ユニットの発光層を、燐光材料を含有する発光材料で形成することを特徴とする請求項１記載の有機ＥＬ素子の製造方法。
【請求項４】
前記各発光ユニットは、有機機能層の前記陰極側に電子注入層を有していることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の有機ＥＬ素子の製造方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の有機ＥＬ素子の製造方法で得られた有機ＥＬ素子を備えてなるラインヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機ＥＬ素子の製造方法及びラインヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
電子写真プリンタの光源となる光プリンタヘッドとして、有機ＥＬ素子アレイ（有機エレクトロルミネッセンス素子アレイ）からなる露光ヘッド（ラインヘッド）が提案されている（例えば、特許文献１参照）。この有機ＥＬ素子アレイからなる露光ヘッドは、低コスト化、高密度化、小型化を目的としたものであるが、このような露光ヘッド（ラインヘッド）を実現するためには、有機ＥＬ素子の特性として、高輝度における高効率や高信頼性（長寿命）が求められる。
【０００３】
高効率、長寿命の有機ＥＬ素子を実現するため、近年、マルチフォトンと呼ばれる中間層（電荷発生層）を介在した発光層を含有する、複数の発光ユニットを有した有機ＥＬ素子が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開平１０−５５８９０号公報
【特許文献２】特開２００３−２７２８６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、前記特許文献２に記載された有機ＥＬ素子では、発光層等の有機機能層を蒸着法等の気相法で形成していることから、以下に示す課題がある。
１）電流効率は良いが、電圧効率は極めて低い。
２）電極の表面形状や異物の影響を受け易く、欠陥が生じ易いといった問題がある。特に、露光ヘッド（ラインヘッド）に応用した場合、多数の発光画素のうち一つ欠陥があっても、印刷品質の低下に繋がってしまう。
３）蒸着法では材料効率も悪く、コストが高くなる。
【０００５】
本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、高効率化、長寿命化を可能にし、しかも異物等に起因する欠陥を防止して特にラインヘッドに応用した場合に優れた特性を発揮する有機ＥＬ素子の製造方法と、この製造方法によって得られた有機ＥＬ素子を備えてなるラインヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記の課題を解決するため本発明の有機ＥＬ素子の製造方法は、陽極と陰極との間に、少なくとも発光層を有する有機機能層を備えた発光ユニットを複数積層し、これら各発光ユニット間を、電荷発生層によって仕切る有機ＥＬ素子の製造方法において、前記陽極側の第１発光ユニットの前記有機機能層を液相法で形成し、その後、前記第１発光ユニット上に電荷発生層を介して第２発光ユニットを形成することを特徴としている。
【０００７】
この有機ＥＬ素子の製造方法によれば、陽極と陰極との間に複数の発光ユニットを有し、これら各発光ユニット間を電荷発生層によって仕切る、いわゆるマルチフォトン構造の有機ＥＬ素子を製造するので、得られる有機ＥＬ素子は、例えば発光輝度に関しては、発光ユニットが一層設けられた従来の有機ＥＬ素子を直列につないだものと同様に動作することにより、高効率化や長寿命化が可能になる。
また、陽極側の第１発光ユニットの前記有機機能層を高分子材料などを用いて液相法で形成するので、得られる有機ＥＬ素子は電圧効率も良好になる。また、電極の表面形状や異物等に起因する欠陥も、有機機能層を、下地の影響を受けない液相法（塗布法）で形成することによって防止される。さらに、液相法（塗布法）を採用することで、従来の蒸着法に比べて材料効率が良くなり、コストの低減化が可能になる。
【０００８】
また、前記の製造方法においては、前記発光ユニットを二つ具備する場合に、前記第２発光ユニットの前記有機機能層も液相法で形成するのが好ましい。
このようにすれば、有機機能層を全て液相法で形成することにより、特に電極の表面形状や異物等に起因する欠陥がより確実に防止され、さらに、材料効率が良くなってコストの一層の低減化が可能になる。また、後述する実験例で示すように、より良好に長寿命化を図ることができる。
【０００９】
また、前記の製造方法においては、前記発光ユニットを二つ具備する場合に、前記第１発光ユニットの発光層を蛍光材料で形成し、前記第２発光ユニットの発光層を、燐光材料を含有する発光材料で形成するのが好ましい。
このようにすれば、後述する実験例で示すように、比較的良好な電流効率を維持しつつ、長寿命化を図ることができる。
【００１０】
前記各発光ユニットは、有機機能層の前記陰極側に電子注入層を有しているのが好ましい。
このようにすれば、陰極側から電子注入層を介して発光層により良好に電子を注入・輸送することができ、これにより発光効率を高めることができる。
【００１１】
本発明のラインヘッドは、前記の製造方法で得られた有機ＥＬ素子を備えてなることを特徴としている。
このラインヘッドによれば、高効率化、長寿命化が図られ、しかも異物等に起因する欠陥が防止された有機ＥＬ素子を備えてなるので、優れた発光特性を発揮し、良好な印刷品質を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。なお、以下の図面においては、各構成をわかりやすくするために、実際の構造と各構造における縮尺や数等が異なっている。
【００１３】
（第１実施形態）
まず、本発明の有機ＥＬ素子（有機エレクトロルミネッセンス素子）の製造方法の説明に先立ち、この製造方法で得られた有機ＥＬ素子の概略構成について説明する。
図１は、本発明の有機ＥＬ素子の製造方法の、第１実施形態で製造された有機ＥＬ素子１の概略構成図である。
【００１４】
この有機ＥＬ素子１は、基板２上に電極としての陽極３と陰極４とを有し、これら電極間（陽極３と陰極４との間）に、発光ユニットを二つ具備したものである。すなわち、この有機ＥＬ素子１は、陽極３側に第１発光ユニット５を備え、陰極４側に第２発光ユニット６を備えて構成されたものである。
【００１５】
また、この有機ＥＬ素子１は、特に基板２側から発光した光を出射するボトムエミッションタイプのもので、前記基板２としては、透明ガラスや石英、透明樹脂などの透明材料によって形成されており、本実施形態では透明ガラスからなっている。
陽極３は、透明導電材料によって形成されたもので、本実施形態ではＩＴＯ（インジウム・錫酸化物）からなっている。また、陰極４は、反射層を兼ねて形成されたもので、本実施形態では厚さ２００ｎｍ程度のアルミニウム（Ａｌ）によって形成されている。
【００１６】
第１発光ユニット５は、有機機能層７と電子注入層８とを備えて構成されたものである。有機機能層７は、陽極４側から順に、正孔注入層９、正孔輸送層１０、発光層１１が積層されて形成されたもので、後述するように液相法（塗布法）によって形成されたものである。
正孔注入層９は、その形成材料として、特にポリ（３，４）エチレンジオキシチオフェン／ポリスチレンスルフォン酸（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ）の分散液（懸濁液）、すなわち、分散媒としてのポリスチレンスルフォン酸に３，４−ポリエチレンジオキシチオフェンを分散させ、さらにこれを水等に分散させた分散液（懸濁液）が好適に用いられ、本実施形態でも正孔注入層９は、このＰＥＤＯＴ／ＰＳＳによって形成されている。
【００１７】
正孔輸送層１０は、その形成材料として、例えばトリフェニルアミン系のポリマーなどの芳香族アミンポリマーが好適に用いられ、本実施形態でも正孔輸送層１０は、芳香族アミンポリマーによって形成されている。
発光層１１は、その形成材料として、蛍光あるいは燐光を発光することが可能な公知の発光材料が用いられる。具体的には、（ポリ）フルオレン誘導体（ＰＦ）、（ポリ）パラフェニレンビニレン誘導体（ＰＰＶ）、ポリフェニレン誘導体（ＰＰ）、ポリパラフェニレン誘導体（ＰＰＰ）、ポリビニルカルバゾール（ＰＶＫ）、ポリチオフェン誘導体、ポリメチルフェニルシラン（ＰＭＰＳ）などのポリシラン系などが好適に用いられる。また、これらの高分子材料に、ペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素や、ルブレン、ペリレン、９，１０−ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン６、キナクリドン等の低分子材料をドープして用いることもできる。また、カルバゾール(ＣＢＰ)などの低分子材料にこれらの低分子色素をドープして発光層１１とすることもできる。
ただし、本発明では、後述するようにこの発光層１１は液相法（塗布法）で形成されることから、本実施形態では、この発光層１１は赤色発光性のポリフルオレン誘導体によって形成されている。
【００１８】
電子注入層８は、電子注入陰極として機能するもので、本実施形態ではカルシウム（Ｃａ）によって形成されている。
このような構成からなる第１発光ユニット５と、前記の第２発光ユニット６との間には、電荷発生層１２が配設されている。この電荷発生層１２は、例えばこれの上に形成される第２発光ユニット６の正孔輸送層１３との間で、酸化還元反応によるラジカルカチオンとラジカルアニオンからなる電荷移動錯体を形成するものである。すなわち、この電荷発生層１２は、該電荷移動錯体中のラジカルカチオン状態とラジカルアニオン状態とを、電圧印加時にそれぞれ陰極方向と陽極方向へ移動することにより、該電荷発生層１２の陽極３側に接する第１発光ユニット５に電子を注入し、電荷発生層１２の陰極４側に接する第２発光ユニット６に正孔を注入するものである。このような電荷発生層１２は、五酸化バナジウム（Ｖ２Ｏ５）や三酸化モリブデン（ＭｏＯ３）などによって形成され、本実施形態では五酸化バナジウム（Ｖ２Ｏ５）によって形成されている。
【００１９】
第２発光ユニット６は、有機機能層１４と電子注入層１５とを備えて構成されたものである。有機機能層１４は、前記電荷発生層１２側から順に、正孔輸送層１３、発光層１６が積層されて形成されたもので、後述するように液相法（塗布法）によって形成されたものである。
正孔輸送層１３は、前記したように電荷発生層１２との間で酸化還元反応を生じ、これによってこれらの間にラジカルカチオンとラジカルアニオンからなる電荷移動錯体を形成するものである。この正孔輸送層１３の形成材料としては、第１発光ユニット５の正孔輸送層１０と同様に、トリフェニルアミン系のポリマーなどの芳香族アミンポリマーが好適に用いられ、本実施形態では芳香族アミンポリマーによって正孔輸送層１３が形成されている。
【００２０】
発光層１６は、その形成材料として、蛍光あるいは燐光を発光することが可能な公知の発光材料が用いられる。具体的には、（ポリ）フルオレン誘導体（ＰＦ）、（ポリ）パラフェニレンビニレン誘導体（ＰＰＶ）、ポリフェニレン誘導体（ＰＰ）、ポリパラフェニレン誘導体（ＰＰＰ）、ポリビニルカルバゾール（ＰＶＫ）、ポリチオフェン誘導体、ポリメチルフェニルシラン（ＰＭＰＳ）などのポリシラン系などが好適に用いられる。また、これらの高分子材料に、ペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素や、ルブレン、ペリレン、９，１０−ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン６、キナクリドン等の低分子材料をドープして用いることもできる。また、カルバゾール(ＣＢＰ)などの低分子材料にこれらの低分子色素をドープして発光層とすることもできる。
ただし、本実施形態では、後述するようにこの発光層１６も液相法（塗布法）で形成されることから、この発光層１６は第１発光ユニット５と同様に、赤色発光性のポリフルオレン誘導体によって形成されている。
【００２１】
電子注入層１５は、電子注入陰極として機能するもので、本実施形態では、第１発光ユニット５の電子注入層８と同様に、カルシウム（Ｃａ）によって形成されている。
そして、この電子注入層１５上には、該電子注入層１５を覆って前記陰極４が配置されており、さらにこの陰極４上には、ガラス基板からなる封止基板（図示せず）が設けられている。このような構成により、有機ＥＬ素子１が形成されている。
【００２２】
この有機ＥＬ素子１にあっては、第１発光ユニット５と第２発光ユニット６とを有し、これら発光ユニット間を電荷発生層１２によって仕切る、いわゆるマルチフォトン構造となっているので、特に発光輝度に関しては、発光ユニットが一層設けられた従来の有機ＥＬ素子を二つ直列につないだものと同様に動作することになり、したがって高効率化や長寿命化が図られたものとなっている。
【００２３】
次に、このような有機ＥＬ素子１の製造方法に基づき、本発明の製造方法の第１実施形態を説明する。
まず、図２（ａ）に示すように透明ガラスからなる基板２上にスパッタ法等によってＩＴＯを成膜し、陽極３を形成する。
【００２４】
次に、この基板２の陽極３上に、図２（ｂ）に示すように第１発光ユニット５の有機機能層７を、塗布法（液相法）で形成する。
まず、前記陽極３上に、正孔注入層９の形成材料として前記のＰＥＤＯＴ／ＰＳＳの分散液（懸濁液）をスピンコート法で塗布し、さらにホットプレート上にて２００℃で１０分間熱処理し、乾燥することにより、正孔注入層９を厚さ５０ｎｍ程度に形成する。
【００２５】
次いで、芳香族アミンポリマーをキシレンに溶解し、得られたキシレン溶液を正孔輸送層１０の形成材料として用いて、これを前記正孔注入層９上にスピンコート法で塗布する。続いて、酸素濃度、水分濃度がいずれも１０ｐｐｍ（重量基準）以下の窒素雰囲気中にて、２００℃で３０分間焼成し、正孔輸送層１０を厚さ１０ｎｍ程度に形成する。
【００２６】
次いで、赤色発光性のポリフルオレン誘導体をキシレンに溶解し、得られたキシレン溶液を発光層１１の形成材料として用いて、これを前記正孔輸送層１０上にスピンコート法で塗布する。続いて、酸素濃度、水分濃度がいずれも１０ｐｐｍ（重量基準）以下の窒素雰囲気中にて、１３０℃で３０分間焼成し、発光層１１を厚さ１２０ｎｍ程度に形成する。これにより、正孔注入層９、正孔輸送層１０、発光層１１からなる有機機能層７が塗布法（液相法）によって得られる。
このようにして有機機能層７を塗布法（液相法）で形成すると、特に陽極３の表面に微小な凹凸が形成されていたり、陽極３や正孔注入層９、正孔輸送層１０上に微小な異物が付着してしまった場合にも、発光層１１等を塗布法（液相法）で形成した際に、これら下地の凹凸の影響をなくして平坦な層を形成することができる。
【００２７】
次いで、前記基板２を例えば真空チャンバー内に移し、この真空チャンバー内を１．０×１０−４Ｐａ以下にまで減圧する。続いて、図２（ｃ）に示すように蒸着法で前記発光層１１上にカルシウム（Ｃａ）を蒸着し、電子注入層８を厚さ２ｎｍ程度に形成する。これにより、第１発光ユニット５が形成される。
次いで、この電子注入層８上に、蒸着法で五酸化バナジウムを成膜し、電荷発生層１２を厚さ１０ｎｍ程度に形成する。
【００２８】
次いで、この電荷発生層１２上に、図３（ａ）に示すように第２発光ユニット６の有機機能層１４を、塗布法（液相法）で形成する。
まず、正孔輸送層１３の形成材料として、前記正孔輸送層１０の形成材料と同じキシレン溶液を用意し、これを前記電荷発生層１２上にスピンコート法で塗布する。続いて、前記正孔輸送層１０の形成と同様に、酸素濃度、水分濃度がいずれも１０ｐｐｍ（重量基準）以下の窒素雰囲気中にて２００℃で３０分間焼成し、正孔輸送層１３を厚さ１０ｎｍ程度に形成する。
【００２９】
次いで、発光層１６の形成材料として、前記発光層１１の形成材料と同じキシレン溶液を用意し、これを前記正孔輸送層１３上にスピンコート法で塗布する。続いて、前記発光層１１の形成と同様に、酸素濃度、水分濃度がいずれも１０ｐｐｍ（重量基準）以下の窒素雰囲気中にて、１３０℃で３０分間焼成し、発光層１６を厚さ１２０ｎｍ程度に形成する。これにより、正孔輸送層１３、発光層１６からなる有機機能層１４が塗布法（液相法）によって得られる。
このようにして有機機能層１４も塗布法（液相法）で形成すると、特に電荷発生層１２や正孔輸送層１３上に微小な異物が付着してしまった場合にも、発光層１６等を塗布法（液相法）で形成した際に、これら下地の凹凸の影響をなくして平坦な層を形成することができる。
【００３０】
次いで、前記基板２を例えば真空チャンバー内に移し、この真空チャンバー内を１．０×１０−４Ｐａ以下にまで減圧する。続いて、図３（ｂ）に示すように蒸着法で前記発光層１１上にカルシウム（Ｃａ）を蒸着し、電子注入層１５を厚さ５ｎｍ程度に形成する。これにより、第２発光ユニット６が形成される。
次いで、この電子注入層１５上に、図３（ｃ）に示すように蒸着法でアルミニウムを成膜し、陰極４を厚さ２００ｎｍ程度に形成する。その後、ガラス基板を用いて封止を行うことにより、有機ＥＬ素子１を得る。
【００３１】
このような有機ＥＬ素子１の製造方法にあっては、得られる有機ＥＬ素子１がマルチフォトン構造となるので、前記したように発光特性に関して、高効率化や長寿命化が図られたものとなる。
また、陽極３側の第１発光ユニット５の有機機能層７を塗布法（液相法）で形成するので、得られる有機ＥＬ素子１は電圧効率も良好になる。また、陽極３の表面形状や異物等に起因する欠陥も、有機機能層７を、下地の影響を受けない液相法（塗布法）で形成することにより、防止することができる。すなわち、陽極３の表面に微小な凹凸が形成されていたり、陽極３や正孔注入層９、正孔輸送層１０上に微小な異物が付着してしまった場合にも、発光層１１等を塗布法（液相法）で形成することにより、これら下地の凹凸の影響をなくして平坦な層を形成することができ、これによって欠陥の発生を防止することができる。
【００３２】
また、第２発光ユニット６の有機機能層１４も液相法で形成するので、特に陽極３の表面形状や異物等に起因する欠陥をより確実に防止することができる。
さらに、有機機能層７、１４の形成に液相法（塗布法）を採用するので、従来の蒸着法に比べて材料効率を良くし、コストの低減化を図ることができる。
【００３３】
（第２実施形態）
次に、本発明の有機ＥＬ素子（有機エレクトロルミネッセンス素子）の製造方法の第２実施形態を説明する。
図４は、本発明の有機ＥＬ素子の製造方法の、第２実施形態で製造された有機ＥＬ素子２０の概略構成図である。
【００３４】
この有機ＥＬ素子２０が図１に示した有機ＥＬ素子１と異なるところは、陰極２１および第２発光ユニット２２の材質や構成が異なる点である。
すなわち、この有機ＥＬ素子２０において第２発光ユニット２２は、電荷発生層１２上に形成された有機機能層２３と、電子注入層２４とを備えて構成されたものである。有機機能層２３は、前記電荷発生層１２側から順に、正孔輸送層２５、発光層２６、正孔ブロック層２７が積層されて形成されたもので、後述するように気相法（蒸着法）によって形成されたものである。
【００３５】
正孔輸送層２５は、図１に示した正孔輸送層１３と同様に、電荷発生層１２との間で酸化還元反応を生じ、これによってこれらの間にラジカルカチオンとラジカルアニオンからなる電荷移動錯体を形成するものである。この正孔輸送層２６の形成材料としては、本実施形態ではαＮＰＤ（４，４’−ビス［Ｎ−（２−ナフチル）−Ｎ−フェニル−アミノ］ビフェニル）が用いられている。
【００３６】
発光層２６は、その形成材料として特に燐光材料を含有する発光材料が用いられ、例えば蛍光材料をホストとし、燐光材料をゲストとする材料が好適に用いられる。本実施形態では、以下に化合物（１）として示す蛍光材料のＣＢＰ（４，４’−Ｎ，Ｎ’−ジカルバゾールビフェニル）がホスト材料とされ、以下に化合物（２）として示す赤色燐光材料のＩｒ錯体がゲスト材料とされ、これらが９０：１０（重量比）となるように共蒸着されたことにより、発光層２６が形成されている。
【００３７】
【化１】
2008277193.tif 000003
【００３８】
【化２】
2008277193.tif 000004
【００３９】
正孔ブロック層２７は、電荷発生層１２から供給された正孔が発光層２６を通過し、陰極２１側に移動するのを防止するためのもので、本実施形態では、ＢＡｌｑ［ビス（２−メチル−８−キノリノラト）（ｐ−フェニルフェノラト）アルミニウム］によって形成されている。
電子注入層２４は、本実施形態では電子注入・輸送層として機能するもので、Ａｌｑ３［トリス（Ｓ−キノリノラト）アルミニウム］によって形成されている。
陰極２１は、前記電子注入層２４側にフッ化リチウムを有し、さらにその上にアルミニウムを積層してなるものである。
【００４０】
この有機ＥＬ素子２０にあっても、第１発光ユニット５と第２発光ユニット２２とを有し、これら発光ユニット間を電荷発生層１２によって仕切る、いわゆるマルチフォトン構造となっているので、発光ユニットが一層設けられた従来の有機ＥＬ素子を二つ直列につないだものと同様に動作することにより、高効率化や長寿命化が図られたものとなる。
【００４１】
このような有機ＥＬ素子２０の製造方法に基づき、本発明の製造方法の第２実施形態を説明する。
まず、図５（ａ）に示すように前記の第１実施形態と同様にして、基板２上に陽極３、第１発光ユニット５、電荷発生層１２を順次形成する。
【００４２】
次いで、電荷発生層１２上に、図５（ｂ）に示すように第２発光ユニット６の有機機能層２３を、蒸着法（気相法）で形成する。
まず、正孔輸送層２５の形成材料として、前記のαＮＰＤ（４，４’−ビス［Ｎ−（２−ナフチル）−Ｎ−フェニル−アミノ］ビフェニル）を用意し、これを蒸着法で成膜することにより、正孔輸送層２５を厚さ４０ｎｍ程度に形成する。
【００４３】
次に、発光層２６の形成材料として前記のＣＢＰとＩｒ錯体を用意し、これらを９０：１０（重量比）となるように共蒸着し、成膜することにより、発光層２６を厚さ３０ｎｍ程度に形成する。
次いで、正孔ブロック層２７の形成材料として前記のＢＡｌｑを用意し、これを蒸着法で成膜することにより、正孔ブロック層２７を厚さ１０ｎｍ程度に形成する。これにより、正孔輸送層２３、発光層２６、正孔ブロック層２７からなる有機機能層２３が蒸着法（気相法）によって得られる。
【００４４】
次いで、電子注入層２４の形成材料として前記のＡｌｑ３を用意し、これを蒸着法で成膜することにより、図５（ｃ）に示すように電子注入層２４を厚さ５０ｎｍ程度に形成する。これにより、第２発光ユニット２２が形成される。
次いで、この電子注入層２４上に、蒸着法でフッ化リチウムを厚さ１ｎｍ程度に成膜し、さらにその上にアルミニウムを厚さ２００ｎｍ程度に成膜・積層することにより、陰極２１を形成する。その後、ガラス基板を用いて封止を行うことにより、有機ＥＬ素子２０を得る。
【００４５】
このような有機ＥＬ素子２０の製造方法にあっては、得られる有機ＥＬ素子２０がマルチフォトン構造となるので、発光特性に関して、高効率化や長寿命化が図られたものとなる。
また、特に陽極３側の第１発光ユニット５の有機機能層７を塗布法（液相法）で形成するので、得られる有機ＥＬ素子１は電圧効率も良好になる。また、陽極３の表面形状や異物等に起因する欠陥も、有機機能層７を、下地の影響を受けない液相法（塗布法）で形成することにより、前記第１実施形態と同様にこれを防止することができる。
【００４６】
また、第２発光ユニット２２の発光層２６を、燐光材料を含有する発光材料で形成するので、後述する実験例で示すように、比較的良好な電流効率を維持しつつ、長寿命化を図ることができる。
さらに、有機機能層７の形成に液相法（塗布法）を採用するので、従来の蒸着法に比べて材料効率を良くし、コストの低減化を図ることができる。
【００４７】
（実験例）
前記の第１実施形態で得られた有機ＥＬ素子１（実施例１）と、第２実施形態で得られた有機ＥＬ素子２０（実施例２）とについて、初期輝度１００００ｃｄ／ｍ２における素子特性と、寿命を調べた。素子特性としては、駆動電圧と電流効率とを測定した。また、寿命については、定電流にて連続駆動し、初期輝度に対して輝度が８０％に低下するまでの連続駆動時間を測定し、これを寿命とした。得られた結果を以下の表に示す。なお、表中の数値に関しては、後述する比較例１の結果を基準としてこれを１とし、この比較例１の基準値に対する相対値とした。
また、前記実施例１、実施例２、および後述する比較例１、比較例２の有機ＥＬ素子によって一つの画素を形成し、このような画素を７０００個備えてなるラインヘッドをそれぞれ作製した。そして、各ラインヘッド（比較例１、比較例２、実施例１、実施例２）をそれぞれ発光させてその発光状態を観察し、画素発光欠陥の数を調べた。得られた結果を以下の表に併記する。
【００４８】
【表１】
2008277193.tif 000005
【００４９】
（比較例１）
前記表中の比較例１は、図６に示す構成の、発光ユニットが一つである一般的な有機ＥＬ素子３０である。この有機ＥＬ素子３０は、その発光ユニット３１が、図１に示した有機ＥＬ素子１における第１発光ユニット５と同じ構成を有したものである。
【００５０】
この有機ＥＬ素子３０を製造するには、まず、前記第１実施形態と同様にして基板２上に陽極３を形成し、さらにこれの上に、第１実施形態の第１発光ユニット５と同様にして発光ユニット３１を形成する。すなわち、その有機機能層７を構成する正孔注入層９、正孔輸送層１０、発光層１１を全て塗布法（液相法）で形成する。続いて、第１実施形態の第１発光ユニット５と同様にして電子注入層８を形成し、これによって発光ユニット３１を形成する。
次いで、この電子注入層８上に、蒸着法でアルミニウムを成膜し、陰極４を形成する。その後、ガラス基板を用いて封止を行うことにより、発光ユニットが一層の有機ＥＬ素子３０を得る。
【００５１】
（比較例２）
また、前記表中の比較例２は、図７に示す構成の、二つの発光ユニットを有する、マルチフォトン有機ＥＬ素子４０である。ただし、この有機ＥＬ素子４０は、特に陽極３側の第１発光ユニット４１の有機機能層４２が、塗布法（液相法）でなく蒸着法（気相法）で形成されている。すなわち、この有機ＥＬ素子４０は、第１発光ユニット４１、第２発光ユニット４３のいずれもが、蒸着法（気相法）で形成されたものとなっている。
【００５２】
この有機ＥＬ素子４０を製造するには、まず、前記第１実施形態と同様にして基板２上に陽極３を形成する。次に、この陽極３上に第１発光ユニット４１を蒸着法（気相法）で形成する。
第１発光ユニット４１を形成するには、まず、正孔注入層４４として、銅フタロシアニンを蒸着法で成膜し、これによって正孔注入層４４を厚さ２０ｎｍ程度に形成する。
次いで、正孔輸送層４５として、前記のαＮＰＤを蒸着法で成膜し、これによって正孔輸送層４５を厚さ４０ｎｍ程度に形成する。
【００５３】
次に、発光層４６として、前記のＣＢＰとＩｒ錯体を９０：１０（重量比）となるように共蒸着し、成膜することにより、発光層４６を厚さ３０ｎｍ程度に形成する。
次いで、正孔ブロック層４７の形成材料として前記のＢＡｌｑを蒸着法で成膜し、これによって正孔ブロック層４７を厚さ１０ｎｍ程度に形成する。これにより、正孔注入層４４、正孔輸送層４５、発光層４６、正孔ブロック層４７からなる有機機能層４２が蒸着法（気相法）によって得られる。
次いで、電子注入層４８として、前記のＡｌｑ３を蒸着法で成膜し、これによって電子注入層２４を厚さ５０ｎｍ程度に形成する。これにより、第１発光ユニット４１が形成される。
【００５４】
そして、この第１発光ユニット４１上に電荷発生層１２、第２発光ユニット４３を、前記第２実施形態における電荷発生層１２、第２発光ユニット２２の形成と同じにして蒸着法で成膜し、形成する。
次いで、第２実施形態における陰極２１の形成と同じにして、フッ化リチウムとアルミニウムとを積層してなる陰極２１を形成する。その後、ガラス基板を用いて封止を行うことにより、有機ＥＬ素子４０を得る。
【００５５】
このようにして形成した比較例１、比較例２と、前記の実施例１（第１実施形態）、実施例２（第２実施形態）とを比較した結果、表に示したように実施例１、２は、いずれも比較例１、２に比べて寿命が長くなることが確認された。また、電流効率に関しては、同じマルチフォトン構造の比較例２よりは低くなるものの、比較例１よりは高くなっていることが確認された。
また、特に画素発光欠陥に関しては、陽極側の発光ユニットの有機機能層を液相法で形成した実施例１、実施例２、比較例１では画素発光欠陥が認められなかったが、第１発光ユニットおよび第２発光ユニットの両方を蒸着法で形成した比較例２では、画素発光欠陥が二つ認められた。
このように、本発明の実施例１、実施例２は素子特性、寿命、画素発光欠陥のいずれに関しても良好であり、したがって本発明の製造方法は、素子特性、寿命、画素発光欠陥の全てに関して良好な有機ＥＬ素子を製造することができることが分かった。
【００５６】
なお、本発明の製造方法は前記実施形態に限定されることなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。例えば、前記実施形態では発光ユニットを二つ有する構造としてが、三つ以上積層する構造としてもよいのはもちろんである。また、有機機能層を形成する際の塗布法については、スピンコート法以外にも、例えばインクジェット法等の液滴吐出法を採用することができ、その場合には、スピンコート法に比べてさらに材料の無駄を少なくすることができ、したがってより一層のコスト低減化を図ることができる。
【００５７】
［ラインヘッド］
次に、本発明の有機ＥＬ素子を備えたラインヘッドについて説明する。図８は、有機ＥＬ素子を多数形成してなるラインヘッド５０と、このラインヘッド５０を備えてなる画像形成装置１００を示す概略構成図である。
【００５８】
ラインヘッド５０は、前記実施形態１または実施形態２によって形成されたマルチフォトン構造の有機ＥＬ素子５１を、感光体ドラム７０の回転軸７４に沿って多数配列してなる発光素子列５２と、有機ＥＬ素子５１を駆動させる駆動素子からなる駆動素子群（図示せず）と、これら駆動素子（駆動素子群）の駆動を制御する制御回路群５３とを備えて構成されたものである。有機ＥＬ素子５１、駆動素子群及び制御回路群５３は、長細い矩形の素子基板２上に一体形成されている。
【００５９】
また、このラインヘッド５０を備えてなる画像形成装置１００は、転写媒体６０の走行経路の近傍に、像担持体としての感光体ドラム７０を備えている。感光体ドラム７０の周囲には、感光体ドラム７０の回転方向（図中に矢印で示す）に沿って、前記ラインヘッド５０を含む露光装置７１、現像装置７２及び転写ローラ７３が順次配設されている。感光体ドラム７０は、回転軸７４の周りに回転可能に設けられたもので、その外周面には、回転軸方向中央部に感光面７０Ａが形成されている。露光装置７１及び現像装置７２は、感光体ドラム７０の回転軸７４に沿って長軸状に配置されており、その長軸方向の幅は、感光面１６Ａの幅と概ね一致して形成されている。
【００６０】
露光装置７１は、前記ラインヘッド５０と、複数のレンズ素子７５を有した結像光学素子７６とを備えて構成されている。ラインヘッド５０と結像光学素子７６とは、互いにアライメントされた状態で図示略のヘッドケースによって保持され、感光体ドラム７０上に固定されている。
結像光学素子７６は、日本板硝子株式会社製のセルフォック（登録商標）レンズ素子と同様の構成からなり、前記ラインヘッド５０から放射された光Ｌを正立等倍結像させるレンズ素子７５を、感光体ドラム７０の回転軸７４に沿って千鳥状に２列配列（配置）してなるレンズ素子列７７を備えて構成されたものである。
【００６１】
この画像形成装置１００では、まず、感光体ドラム７０が回転する過程において、露光装置７１の上流側に設けられた図示略の帯電装置により感光体ドラム７０の表面（感光面７０Ａ）が例えば正（＋）に帯電され、次いで露光装置７１により感光体ドラム７０の表面が露光されて表面に静電潜像ＬＡが形成される。さらに、現像装置７２の現像ローラ７８により、トナー（現像剤）７９が感光体ドラム７０の表面に付与され、静電潜像ＬＡの電気的吸着力によって静電潜像ＬＡに対応したトナー像が形成される。なお、トナー粒子は正（＋）に帯電されている。
【００６２】
現像装置７２によるトナー像の形成後は、感光体ドラム７０の更なる回転によりトナー像が転写媒体６０に接触し、転写ローラ７３により転写媒体６０の背面からトナー像のトナー粒子とは逆極性の電荷（ここでは負（−）の電荷）が付与され、これに応じて、トナー像を形成するトナー粒子が感光体ドラム７０の表面から転写媒体６０に吸引され、トナー像が転写媒体６０の表面に転写される。
【００６３】
このような画像形成装置１００においてラインヘッド５０は、その発光画素となる有機ＥＬ素子５１が、前記した本発明の製造方法によって形成されているので、高効率化、長寿命化が図られ、しかも異物等に起因する欠陥が防止されたものとなっている。したがって、このような有機ＥＬ素子５１を備えたラインヘッド５０は、優れた発光特性を発揮し、良好に露光することができるので、優れた印刷品質を得ることができる。
【００６４】
なお、本発明の製造方法によって得られた有機ＥＬ素子は、前記のラインヘッドに限らず、有機ＥＬディスプレイなど種々の発光装置に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】第１実施形態で形成された有機ＥＬ素子の概略構成を示す側断面図である。
【図２】（ａ）〜（ｃ）は図１に示した有機ＥＬ素子の製造方法の説明図である。
【図３】（ａ）〜（ｃ）は図１に示した有機ＥＬ素子の製造方法の説明図である。
【図４】第２実施形態で形成された有機ＥＬ素子の概略構成を示す側断面図である。
【図５】（ａ）〜（ｃ）は図４に示した有機ＥＬ素子の製造方法の説明図である。
【図６】比較例１の有機ＥＬ素子の、概略構成を示す側断面図である。
【図７】比較例２の有機ＥＬ素子の、概略構成を示す側断面図である。
【図８】本発明のラインヘッドを備えてなる画像形成装置の概略構成図である。
【符号の説明】
【００６６】
１、２０…有機ＥＬ素子、２…基板、３…陽極、４、２１…陰極、５…第１発光ユニット、６、２２…第２発光ユニット、７、１４、２３…有機機能層、１１、１６、２６…発光層、１２…電荷発生層、５０…ラインヘッド、５１…有機ＥＬ素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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