(57)【要約】【課題】簡素な構成でベローズが圧縮されることがなく、除振効果の高い振動低減構造及び該構造を適用した真空ポンプを提供する。【解決手段】ダンパ４００内部を真空排気すると、フランジ４３１Ａとフランジ４０１Ｂには大気圧により、圧縮方向の力がかかる。また、この際、板４１１Ａと板４２１Ｂには、この大気圧により、同様に圧縮方向の力がかかる。板４１１Ａと板４２１Ｂが圧縮される力は、それぞれ柱４３９ａ、４３９ｂ、４３９ｃと柱４０９ａ、４０９ｂ、４０９ｃを介して、フランジ４３１Ａとフランジ４０１Ｂを伸張する力に変換される。従って、フランジ４３１Ａとフランジ４０１Ｂにかかる圧縮方向の力と伸張方向の力をバランスさせると、ダンパ４００内部を真空排気しても、フランジ４３１Ａとフランジ４０１Ｂに力が発生しないので、縮まない。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のフランジと、
該第１のフランジに対峙された第２のフランジと、
該第２のフランジの底面と前記第１のフランジの底面間に配設された少なくとも一つの板と、
該板と前記第１のフランジ間、該板と前記第２のフランジ間、該板同士の間及び前記第１のフランジと前記第２のフランジ間のいずれか少なくとも一箇所に配設され第１の圧力室を形成するベローズ及び／又は弾性体と、
該ベローズ及び／又は弾性体の伸長若しくは収縮に抗して作用する反力を生成する反力生成手段とを備えたことを特徴とする振動低減構造。
【請求項２】
前記ベローズ及び前記板はそれぞれ複数配設され、
前記板と前記第１のフランジ間、及び／又は前記板と前記第２のフランジ間を支持する柱とを備え、
前記反力生成手段による反力は該ベローズの面積差に基づき前記板に作用され、
該板に作用した反力が前記柱を介して前記第１のフランジ又は前記第２のフランジに作用することを特徴とする請求項１記載の振動低減構造。
【請求項３】
前記柱が前記ベローズの内側及び／又は外側に配設されたことを特徴とする請求項２記載の振動低減構造。
【請求項４】
前記柱が前記板に形成された穴に対し所定の遊びを有して貫通されたことを特徴とする請求項２又は請求項３記載の振動低減構造。
【請求項５】
前記反力生成手段による反力は、前記第１の圧力室に通ずる複数の小型ベローズにより前記板に作用され、
該板に作用した反力が前記柱を介して前記第１のフランジ又は前記第２のフランジに作用することを特徴とする請求項２、３又は４記載の振動低減構造。
【請求項６】
前記板と前記第１のフランジ間、前記板と前記第２のフランジ間、前記板同士の間及び前記第１のフランジと前記第２のフランジ間のいずれか少なくとも一箇所に前記ベローズの収縮を規制するストッパを備えたことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の振動低減構造。
【請求項７】
前記反力生成手段による反力は、重りにより生成されることを特徴とする請求項１記載の振動低減構造。
【請求項８】
前記ベローズの内の少なくとも一つには、更に外周に外側ベローズを有し、
該外側ベローズと前記ベローズ間に形成された圧力調整室を備え、
前記反力生成手段による反力は、該圧力調整室に充填された流体の圧力に基づくことを特徴とする請求項１記載の振動低減構造。
【請求項９】
前記反力生成手段による反力は、前記板同士の間を吸引若しくは反発する永久磁石若しくは電磁石により生成されることを特徴とする請求項１記載の振動低減構造。
【請求項１０】
前記ベローズの内の少なくとも一つには、更に外周に２重の外側ベローズを有し、
該２重の外側ベローズにより形成された圧力調整室と、
該圧力調整室と前記第１の圧力室とを連通させるか、該圧力調整室と大気とを連通させるかを切り換える切換ダイヤルとを備え、
前記反力生成手段による反力は、該切換ダイヤルにより調整された前記圧力調整室の圧力に基づくことを特徴とする請求項１記載の振動低減構造。
【請求項１１】
第１のフランジと、
該第１のフランジに対峙された第２のフランジと、
該第２のフランジと前記第１のフランジ間にベローズで仕切られた第１の流体室と、
該第１の流体室に囲まれ気体の通る、若しくは真空状態となる第１の圧力室と、
第３のフランジと、
該第３のフランジに対峙された第４のフランジと、
該第４のフランジと前記第３のフランジ間に形成され、前記第１の流体室と連通された第２の流体室と、
該第２の流体室に囲まれ気体の通る、若しくは真空状態とされ、前記第１の圧力室と連通された第２の圧力室とを備えたことを特徴とする振動低減構造。
【請求項１２】
請求項１〜１１のいずれか１項に記載の振動低減構造を搭載したことを特徴とする真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は振動低減構造及び該構造を適用した真空ポンプに係わり、特に簡素な構成でベローズが圧縮されることがなく、除振効果の高い振動低減構造及び該構造を適用した真空ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年のエレクトロニクスの発展に伴い、メモリや集積回路といった半導体の需要が急激に増大している。
これらの半導体は、極めて純度の高い半導体基板に不純物をドープして電気的性質を与えたり、エッチングにより半導体基板上に微細な回路を形成したりなどして製造される。
【０００３】
そして、これらの作業は空気中の塵等による影響を避けるため高真空状態のチャンバ内で行われる必要がある。このチャンバの排気には、一般に真空ポンプが用いられているが、特に残留ガスが少なく、保守が容易等の点から真空ポンプの中の一つであるターボ分子ポンプが多用されている。
【０００４】
また、半導体の製造工程では、さまざまなプロセスガスを半導体の基板に作用させる工程が数多くあり、ターボ分子ポンプはチャンバ内を真空にするのみならず、これらのプロセスガスをチャンバ内から排気するのにも使用される。このターボ分子ポンプの縦断面図を図１８に示す。
【０００５】
図１８において、ターボ分子ポンプ１００は、円筒状の外筒１２７の上端にポンプフランジ２０１が形成されている。そして、このポンプフランジ２０１の内側には吸気口１０１が形成されている。外筒１２７の内方には、ガスを吸引排気するためのタービンブレードによる複数の回転翼１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ・・・を周部に放射状かつ多段に形成した回転体１０３を備える。
【０００６】
この回転体１０３の中心にはロータ軸１１３が取付けられており、このロータ軸１１３は、例えば、いわゆる５軸制御の磁気軸受により空中に浮上支持かつ位置制御されている。
【０００７】
上側径方向電磁石１０４は、４個の電磁石がＸ軸とＹ軸とに対をなして配置されている。この上側径方向電磁石１０４に近接かつ対応されて４個の電磁石からなる上側径方向センサ１０７が備えられている。この上側径方向センサ１０７は回転体１０３の径方向変位を検出し、図示せぬ制御装置に送るように構成されている。
制御装置においては、上側径方向センサ１０７が検出した変位信号に基づき、ＰＩＤ調節機能を有する補償回路を介して上側径方向電磁石１０４の励磁を制御し、ロータ軸１１３の上側の径方向位置を調整する。
【０００８】
ロータ軸１１３は、高透磁率材（鉄など）などにより形成され、上側径方向電磁石１０４の磁力により吸引されるようになっている。かかる調整は、Ｘ軸方向とＹ軸方向とにそれぞれ独立して行われる。
【０００９】
また、下側径方向電磁石１０５及び下側径方向センサ１０８が、上側径方向電磁石１０４及び上側径方向センサ１０７と同様に配置され、ロータ軸１１３の下側の径方向位置を上側の径方向位置と同様に調整している。
【００１０】
更に、軸方向電磁石１０６Ａ、１０６Ｂが、ロータ軸１１３の下部に備えた円板状の金属ディスク１１１を上下に挟んで配置されている。金属ディスク１１１は、鉄などの高透磁率材で構成されている。ロータ軸１１３の軸方向変位を検出するために軸方向センサ１０９が備えられ、その軸方向変位信号が制御装置に送られるように構成されている。
【００１１】
そして、軸方向電磁石１０６Ａ、１０６Ｂは、この軸方向変位信号に基づき制御装置のＰＩＤ調節機能を有する補償回路を介して励磁制御されるようになっている。軸方向電磁石１０６Ａは、磁力により金属ディスク１１１を上方に吸引し、軸方向電磁石１０６Ｂは、金属ディスク１１１を下方に吸引する。
【００１２】
このように、制御装置は、この軸方向電磁石１０６Ａ、１０６Ｂが金属ディスク１１１に及ぼす磁力を適当に調節し、ロータ軸１１３を軸方向に磁気浮上させ、空間に非接触で保持するようになっている。
【００１３】
モータ１２１は、ロータ軸１１３を取り囲むように周状に配置された複数の磁極を備えている。各磁極は、ロータ軸１１３との間に作用する電磁力を介してロータ軸１１３を回転駆動するように、制御装置によって制御されている。
また、モータ１２１には図示しない回転数センサが組み込まれており、この回転数センサの検出信号によりロータ軸１１３の回転数が検出されるようになっている。
【００１４】
更に、例えば下側径方向センサ１０８近傍に、図示しない位相センサが取付けてあり、ロータ軸１１３の回転の位相を検出するようになっている。制御装置では、この位相センサと回転数センサの検出信号を共に用いて磁極の位置を検出するようになっている。
【００１５】
回転翼１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ・・・とわずかの空隙を隔てて複数枚の固定翼１２３ａ、１２３ｂ、１２３ｃ・・・が配設されている。回転翼１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ・・・は、それぞれ排気ガスの分子を衝突により下方向に移送するため、ロータ軸１１３の軸線に垂直な平面から所定の角度だけ傾斜して形成されている。
【００１６】
また、固定翼１２３も、同様にロータ軸１１３の軸線に垂直な平面から所定の角度だけ傾斜して形成され、かつ外筒１２７の内方に向けて回転翼１０２の段と互い違いに配設されている。
そして、固定翼１２３の一端は、複数の段積みされた固定翼スペーサ１２５ａ、１２５ｂ、１２５ｃ・・・の間に嵌挿された状態で支持されている。
【００１７】
固定翼スペーサ１２５はリング状の部材であり、例えばアルミニウム、鉄、ステンレス、銅などの金属、又はこれらの金属を成分として含む合金などの金属によって構成されている。
【００１８】
固定翼スペーサ１２５の外周には、わずかの空隙を隔てて外筒１２７が固定されている。外筒１２７の底部にはベース部１２９が配設され、固定翼スペーサ１２５の下部とベース部１２９の間にはネジ付きスペーサ１３１が配設されている。そして、ベース部１２９中のネジ付きスペーサ１３１の下部には排気口１３３が形成され、外部に連通されている。
【００１９】
ネジ付きスペーサ１３１は、アルミニウム、銅、ステンレス、鉄、又はこれらの金属を成分とする合金などの金属によって構成された円筒状の部材であり、その内周面に螺旋状のネジ溝１３１ａが複数条刻設されている。
ネジ溝１３１ａの螺旋の方向は、回転体１０３の回転方向に排気ガスの分子が移動したときに、この分子が排気口１３３の方へ移送される方向である。
【００２０】
回転体１０３の回転翼１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ・・・に続く最下部には回転翼１０２ｄが垂下されている。この回転翼１０２ｄの外周面は、円筒状で、かつネジ付きスペーサ１３１の内周面に向かって張り出されており、このネジ付きスペーサ１３１の内周面と所定の隙間を隔てて近接されている。
【００２１】
ベース部１２９は、ターボ分子ポンプ１００の基底部を構成する円盤状の部材であり、一般には鉄、アルミニウム、ステンレスなどの金属によって構成されている。
ベース部１２９はターボ分子ポンプ１００を物理的に保持すると共に、熱の伝導路の機能も兼ね備えているので、鉄、アルミニウムや銅などの剛性があり、熱伝導率も高い金属が使用されるのが望ましい。
【００２２】
かかる構成において、回転翼１０２がモータ１２１により駆動されてロータ軸１１３と共に回転すると、回転翼１０２と固定翼１２３の作用により、吸気口１０１を通じてチャンバからの排気ガスが吸気される。
吸気口１０１から吸気された排気ガスは、回転翼１０２と固定翼１２３の間を通り、ベース部１２９へ移送される。
【００２３】
この回転翼１０２の回転に伴い、機械的な微小振動が生ずるが、これらがチャンバ側に伝達されるのを防止するため、従来は、図１９に示すように、チャンバ３００とターボ分子ポンプ１００間に外付けダンパ３１０が配設されている。
しかしながら、この外付けダンパ３１０を使った場合、チャンバ３００を真空排気すると、べローズが３００ｋｇｆ近い力で圧縮され、その機能を失ってしまう。
それを防止するため、例えば特許文献１では、真空ポンプの下面にバランス用真空室を設け、べローズが圧縮されることを防止している。
【特許文献１】特開昭５９−２２１４８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２４】
しかしながら、この特許文献１の構造は複雑で、汎用性がないので、ほとんど使われていない。また、チャンバとターボ分子ポンプ間に支持部材を設置しなくてはいけないので、実装に制約が生じるおそれがあった。そして、この支持部材がチャンバ３００側に付くので、支持部材の固有振動数がチャンバの振動に現れてしまうおそれもあった。
【００２５】
更に、真空ポンプ下部に複雑なバランス用真空室や配管を追加しなければいけないので、コストが高くなったり、ポンプ寸法が大きくなっていた。更に、メンテナンスのために真空ポンプを交換する場合、交換が困難になっていた。更に、配管が多いので、リークする可能性が高まっていた。構造的に、ダンパ単体を製品として販売しにくい等の問題もあった。
【００２６】
このため、通常は、ベローズの外側にゴムを巻きつけ、ゴムの反力で、べローズが圧縮されることを防止している。但し、この際には、ゴムが圧縮され硬くなるので、除振効果がかなり悪化してしまうおそれがあった。すなわち、ダンパの除振効果は圧縮されたゴムの硬度で決まっていた。
【００２７】
本発明はこのような従来の課題に鑑みてなされたもので、簡素な構成でベローズが圧縮されることがなく、除振効果の高い振動低減構造及び該構造を適用した真空ポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２８】
このため本発明（請求項１）である振動低減構造は、第１のフランジと、該第１のフランジに対峙された第２のフランジと、該第２のフランジの底面と前記第１のフランジの底面間に配設された少なくとも一つの板と、該板と前記第１のフランジ間、該板と前記第２のフランジ間、該板同士の間及び前記第１のフランジと前記第２のフランジ間のいずれか少なくとも一箇所に配設され第１の圧力室を形成するベローズ及び／又は弾性体と、該ベローズ及び／又は弾性体の伸長若しくは収縮に抗して作用する反力を生成する反力生成手段とを備えて構成した。
【００２９】
ベローズ内部を例えば真空排気等すると、第１のフランジと第２のフランジ間には大気圧により、圧縮方向の力がかかりベローズや弾性体は縮もうとする。この縮もうとする力に抗するように反力生成手段で反力を生成する。
従って、第１のフランジと第２のフランジにかかる圧縮方向の力と伸張方向の力をバランスさせると、ベローズ内部を例えば真空排気等しても、第１のフランジと第２のフランジに力が発生しないので、縮まない。
【００３０】
また、この際には、第１のフランジと第２のフランジを例えば手で動かそうとすれば非常に小さい力で動かすことができる。
ベローズと弾性体には、非常に軟らかい材質を使用可能で、第１のフランジと第２のフランジの振動伝達を非常に低減できる。
【００３１】
以上により、本振動低減構造をダンパとして利用した場合には、従来のダンパより、１桁以上除振効果が高いダンパを実現できる。ダンパは単体としても製品になる。
【００３２】
また、本発明（請求項２）である振動低減構造は、前記ベローズ及び前記板はそれぞれ複数配設され、前記板と前記第１のフランジ間、及び／又は前記板と前記第２のフランジ間を支持する柱とを備え、前記反力生成手段による反力は該ベローズの面積差に基づき前記板に作用され、該板に作用した反力が前記柱を介して前記第１のフランジ又は前記第２のフランジに作用することを特徴とする。
【００３３】
ベローズ内部を真空排気等した際、板にも、この大気圧により同様に圧縮方向の力がかかる。板が圧縮される力は、それぞれ柱を介して、第１のフランジと第２のフランジを伸張する力に変換される。
従って、第１のフランジと第２のフランジにかかる圧縮方向の力と伸張方向の力をバランスさせると、ダベローズ内部を真空排気等しても、第１のフランジと第２のフランジに力が発生しないので、縮まない。ベローズの直径を調整することで力のバランスを調整可能であるが、板及びベローズを複数段に積み重ねるようにして力のバランスを調整されてもよい。
【００３４】
更に、本発明（請求項３）である振動低減構造は、前記柱が前記ベローズの内側及び／又は外側に配設されたことを特徴とする。
【００３５】
このことにより、製品の多様化を図ることができる。
【００３６】
更に、本発明（請求項４）である振動低減構造は、前記柱が前記板に形成された穴に対し所定の遊びを有して貫通されたことを特徴とする。
万一異常なトルクが二つのフランジ間にかかった場合であっても、柱によりトルクが効率良く吸収される。従って、振動低減構造は破壊しない。
【００３７】
更に、本発明（請求項５）である振動低減構造は、前記反力生成手段による反力は、前記第１の圧力室に通ずる複数の小型ベローズにより前記板に作用され、該板に作用した反力が前記柱を介して前記第１のフランジ又は前記第２のフランジに作用することを特徴とする。
【００３８】
ベローズ内部を例えば真空排気等すると、第１のフランジと第２のフランジ間には大気圧により、圧縮方向の力がかかりベローズや弾性体は縮もうとする。この際、小型ベローズ内も真空排気されるので、大気圧により、ベローズ７の断面積の合計に応じた圧縮方向の力がかかる。この圧縮方向の力は、第１のフランジと第２のフランジ間を伸張する力になる。
従って、第１のフランジと第２のフランジにかかる圧縮方向の力と伸張方向の力をバランスさせると、ベローズ内部を真空排気しても、第１のフランジと第２のフランジに力が発生しないので、縮まない。
【００３９】
以上により、本振動低減構造をダンパとして利用した場合には、従来のダンパより、１桁以上除振効果が高いダンパを実現できる。また、ベローズの数が少ない分ダンパの高さを低く形成できる
【００４０】
更に、本発明（請求項６）である振動低減構造は、前記板と前記第１のフランジ間、前記板と前記第２のフランジ間、前記板同士の間及び前記第１のフランジと前記第２のフランジ間のいずれか少なくとも一箇所に前記ベローズの収縮を規制するストッパを備えて構成した。
【００４１】
ストッパを備えたことで、振動低減構造が延びすぎたり、縮みすぎたりした場合に、べローズが壊れないように可動量の制限をすることが可能となる。
【００４２】
更に、本発明（請求項７）である振動低減構造は、前記反力生成手段による反力は、重りにより生成されることを特徴とする。
【００４３】
振動低減構造の伸びと縮みの力を重りを備えたことで調節する機構を設けたものである。このように、重りを備えるという簡単な構造でべローズの伸縮の調整を容易に行うことができる。
【００４４】
更に、本発明（請求項８）である振動低減構造は、前記ベローズの内の少なくとも一つには、更に外周に外側ベローズを有し、該外側ベローズと前記ベローズ間に形成された圧力調整室を備え、前記反力生成手段による反力は、該圧力調整室に充填された流体の圧力に基づくことを特徴とする。
【００４５】
圧力調整室への流体の封入圧を変えることにより、板にかかる流体圧力がフランジに作用し、大気圧とのバランス調整が取られる。このことにより、真空吸引等された場合の第１のフランジと第２のフランジ間に作用する伸びと縮みの力を調整することが可能となる。
【００４６】
更に、本発明（請求項９）である振動低減構造は、前記反力生成手段による反力は、前記板同士の間を吸引若しくは反発する永久磁石若しくは電磁石により生成されることを特徴とする。
【００４７】
板に作用する磁力を調整可能である。この磁力は、第１のフランジと第２のフランジに働く。このことにより、真空吸引された場合の第１のフランジと第２のフランジ間に作用する伸びと縮みの力を調整することが可能となる。
【００４８】
更に、本発明（請求項１０）である振動低減構造は、前記ベローズの内の少なくとも一つには、更に外周に２重の外側ベローズを有し、該２重の外側ベローズにより形成された圧力調整室と、該圧力調整室と前記第１の圧力室とを連通させるか、該圧力調整室と大気とを連通させるかを切り換える切換ダイヤルとを備え、前記反力生成手段による反力は、該切換ダイヤルにより調整された前記圧力調整室の圧力に基づくことを特徴とする。
【００４９】
切換ダイヤルは、圧力調整室と第１の圧力室とを連通させるか、圧力調整室と大気とを連通させるかを切り換える。このように、圧力調整室内の気圧を調整することで、板間に作用する力を調整可能である。この力は、第１のフランジと第２のフランジに働く。このことにより、真空吸引された場合の第１のフランジと第２のフランジ間に作用する伸びと縮みの力を調整することが可能となる。
【００５０】
更に、本発明（請求項１１）である振動低減構造は、第１のフランジと、該第１のフランジに対峙された第２のフランジと、該第２のフランジと前記第１のフランジ間にベローズで仕切られた第１の流体室と、該第１の流体室に囲まれ気体の通る、若しくは真空状態となる第１の圧力室と、第３のフランジと、該第３のフランジに対峙された第４のフランジと、該第４のフランジと前記第３のフランジ間に形成され、前記第１の流体室と連通された第２の流体室と、該第２の流体室に囲まれ気体の通る、若しくは真空状態とされ、前記第１の圧力室と連通された第２の圧力室とを備えて構成した。
【００５１】
第１の流体室と第２の流体室とが連通されているので、第１の流体室と第２の流体室とで同一の油圧等になる。このため、真空引きしても第１のフランジと第２のフランジ間は縮まない。しかしながら、手で押すと第１のフランジと第２のフランジ間は伸縮可能である。
【００５２】
更に、本発明（請求項１２）は、真空ポンプに関し、振動低減構造を搭載したことを特徴とする。
【００５３】
振動低減構造をダンパとして真空ポンプと接続してもよいし、振動低減構造を真空ポンプと一体化してもよい。このことにより、低振動の真空ポンプを実現できる。また、振動低減構造を真空ポンプと一体化した場合には、高さを低く抑えることができる。
【発明の効果】
【００５４】
以上説明したように本発明によれば、ベローズや弾性体の伸長若しくは収縮に抗して作用する反力を生成する反力生成手段を備えて構成したので、ベローズ内部を例えば真空排気等しても、第１のフランジと第２のフランジに力が発生しないので、縮まない。この際には、第１のフランジと第２のフランジを例えば手で動かそうとすれば非常に小さい力で動かすことができる。ベローズと弾性体には、非常に軟らかい材質を使用可能で、第１のフランジと第２のフランジの振動伝達を非常に低減できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５５】
以下、本発明の実施形態について説明する。本発明の第１実施形態であるダンパ４００の縦断面図を図１に示す。また、図２（Ｄ）にフランジ４０１Ｂの底面図を示す。フランジ４０１Ｂは中空円板であり、空洞４０３を取り巻く周囲には、Ｏリング溝４０５が刻設され、Ｏリングが埋設されるようになっている。フランジ４０１Ｂには、ダンパ４００の底部にターボ分子ポンプ１００のポンプフランジ２０１を固定するためのフランジ取付穴４０７が８個配設されている。フランジ取付穴はポンプフランジ２０１の同位置にも配設されている。
【００５６】
また、フランジ４０１Ｂの上面には、３本の柱４０９ａ、４０９ｂ、４０９ｃが空洞４０３を取り巻く周囲に均等に立設されている。柱は柱状であるが、角状等であってもよい。このフランジ４０１Ｂの上側には板４１１Ａが配設されている。図２（Ｃ）にこの板４１１Ａの上面図を示す。板４１１Ａには、空洞４０３を仕切る大穴４１３に連通して均等配置された小穴４１５ａ、４１５ｂ、４１５ｃが形成されている。小穴４１５ａ、４１５ｂ、４１５ｃの直径は、柱４０９ａ、４０９ｂ、４０９ｃの直径よりも遊び分大きく形成され、柱４０９ａ、４０９ｂ、４０９ｃはそれぞれ小穴４１５ａ、４１５ｂ、４１５ｃを貫通するようになっている。
【００５７】
一方、板４１１Ａの上部には板４２１Ｂを介してフランジ４３１Ａが配設されている。板４２１Ｂの底面図を図２（Ｂ）に示し、フランジ４３１Ａの上面図を図２（Ａ）に示す。ここに、板４１１Ａ及び板４２１Ｂの直径は、フランジ４０１Ｂ及びフランジ４３１Ａの直径より大きく形成されている。
【００５８】
そして、このフランジ４３１Ａの上面にはフランジ４０１Ｂと対称に、空洞４０３を取り巻く周囲にＯリング溝４３３が刻設され、Ｏリングが埋設されるようになっている。フランジ４３１Ａには、ダンパ４００の上部に連結パイプやチャンバ３００と固定するためのフランジ取付穴４３７が８個配設されている。フランジ取付穴は連結パイプやチャンバ３００側の図示しないフランジの同位置にも配設されている。
【００５９】
フランジ４３１Ａの底面には、３本の柱４３９ａ、４３９ｂ、４３９ｃが空洞４０３を取り巻く周囲に均等に立設されている。柱４３９ａ、４３９ｂ、４３９ｃは、柱４０９ａ、４０９ｂ、４０９ｃとそれぞれ６０度ずつ隔てて配設されている。板４２１Ｂには、空洞４０３を仕切る大穴４２３に連通して均等配置された小穴４２５ａ、４２５ｂ、４２５ｃが形成されている。小穴４２５ａ、４２５ｂ、４２５ｃの直径は、柱４３９ａ、４３９ｂ、４３９ｃの直径よりも遊び分大きく形成され、柱４３９ａ、４３９ｂ、４３９ｃはそれぞれ小穴４２５ａ、４２５ｂ、４２５ｃを貫通するようになっている。
【００６０】
柱４０９ａ、４０９ｂ、４０９ｃの上端は、板４２１Ｂの底面に対し固着されている。一方、柱４３９ａ、４３９ｂ、４３９ｃの下端は板４１１Ａの上面に対し固着されている。ここに、板４１１Ａとフランジ４３１Ａとには、柱４３９ａ、４３９ｂ、４３９ｃと連結されて一体とされているため、符号（Ａ）を付した。同様に、板４２１Ｂとフランジ４０１Ｂとには、柱４０９ａ、４０９ｂ、４０９ｃと連結されて一体とされているため、符号（Ｂ）を付した（以下、同旨）。
【００６１】
また、フランジ４０１Ｂと板４１１Ａの間の空洞４０３回りには空洞４０３を囲むようにベローズ４５１が配設されている。そして、このベローズ４５１の外周にはダンピング用の弾性体に相当する軟らかいゴム４５３が巻かれている。同様に、板４１１Ａと板４２１Ｂの間にも空洞４０３回りに空洞４０３を囲むようにベローズ４５５が配設され、このベローズ４５５の外周にはダンピング用の軟らかいゴム４５７が巻かれている。更に、板４２１Ｂとフランジ４３１Ａの間にも空洞４０３回りに空洞４０３を囲むようにベローズ４５９が配設され、このベローズ４５９の外周にはダンピング用の軟らかいゴム４６１が巻かれている。ベローズ４５５の直径は、ベローズ４５１及びベローズ４５９のほぼ２１／２倍程度大きく形成されている。
【００６２】
次に、本発明の第１実施形態の動作を説明する。
【００６３】
ダンパ４００内部を真空排気すると、フランジ４３１Ａとフランジ４０１Ｂには大気圧により、圧縮方向の力がかかる。また、この際、板４１１Ａと板４２１Ｂには、この大気圧により、同様に圧縮方向の力がかかる。
板４１１Ａと板４２１Ｂが圧縮される力は、それぞれ柱４３９ａ、４３９ｂ、４３９ｃと柱４０９ａ、４０９ｂ、４０９ｃを介して、フランジ４３１Ａとフランジ４０１Ｂを伸張する力に変換される。
【００６４】
従って、フランジ４３１Ａとフランジ４０１Ｂにかかる圧縮方向の力と伸張方向の力をバランスさせると、ダンパ４００内部を真空排気しても、フランジ４３１Ａとフランジ４０１Ｂに力が発生しないので、縮まない。ベローズ４５５の直径は、ベローズ４５１及びベローズ４５９のほぼ２１／２倍程度大きくすることで、フランジ４３１Ａとフランジ４０１Ｂに及ぶ力はほぼ０にすることができる。
【００６５】
また、この際には、フランジ４３１Ａとフランジ４０１Ｂを例えば手で動かそうとすれば非常に小さい力で動かすことができる。
ベローズ４５１、４５５、４５９とゴム４５３、４５７、４６１に非常に軟らかい材質を使用可能で、フランジ４３１Ａとフランジ４０１Ｂの振動伝達を非常に低減できる。
【００６６】
以上により、従来のダンパより、１桁以上（バネ定数が例えば１／１０程度）除振効果が高いダンパを実現できる。従って、ダンパ４００をターボ分子ポンプ１００とフランジ接続することで、非常に低振動の真空ポンプを実現できる。ダンパ４００は単体としても製品になる。
【００６７】
なお、べローズ４５１、４５５、４５９は図３に示すように波型でなく、図４に示すようなアコーデオン状の円錐板溶接タイプにすることが望ましい。アコーデオン状のベローズの方が柔軟性が高いためである。
【００６８】
また、ゴム４５３、４５７、４６１は、従来のダンパに用いられてきたものより薄いもので構成可能である。ゴム４５３、４５７、４６１には柔軟なシリコンゴムのようなものを用いると一層望ましい。更に、ゴムは全てのべローズ４５１、４５５、４５９に巻く必要はない。例えばべローズ４５１、４５５、４５９の内の一つのべローズに対してのみに巻く等であってもよい。
【００６９】
更に、回転体１０３が万一破壊した場合には通常異常なトルクが発生する。しかしながら、本実施形態では、小穴４１５ａ、４１５ｂ、４１５ｃ及び小穴４２５ａ、４２５ｂ、４２５ｃの直径を柱４０９ａ、４０９ｂ、４０９ｃ及び柱４３９ａ、４３９ｂ、４３９ｃの直径よりも遊び分大きく形成したので、遊びによりトルクが効率良く吸収され、ダンパの回りを停止することができる。従って、ダンパ４００は破壊しない。
【００７０】
次に、本発明の第２実施形態について説明する。本発明の第２実施形態であるダンパ４５０の縦断面図を図５に示す。なお、図１と同一要素のものについては同一符号を付して説明は省略する。
【００７１】
本発明の第２実施形態が第１実施形態と異なるのは、フランジ間に電気絶縁構造を採用し、フランジ間にノイズ電流を流れなくしたことである。図５において、ベローズ４５９とゴム４６１とは板４７１に固着され、また、柱４３９ａ、４３９ｂ、４３９ｃの端部も板４７１に固着されている。そして、この板４７１とフランジ４３１Ａとの間に電気絶縁材４７３が間装されている。
【００７２】
このことにより、ダンパ４５０は、電気ノイズも機械的振動も絶縁することが可能になる。
【００７３】
次に、本発明の第３実施形態について説明する。本発明の第３実施形態であるダンパ５００の縦断面図を図６（Ａ）に示す。なお、図１と同一要素のものについては同一符号を付して説明は省略する。
【００７４】
フランジ４０１Ｂの上面には、３本の柱５０９ａ、５０９ｂ、５０９ｃが空洞４０３を取り巻く周囲に均等に立設されている。このフランジ４０１Ｂの上側には板５１１Ａが配設されている。図６（Ｃ）にこの板５１１Ａの上面図を示す。板５１１Ａの中央には、空洞４０３を仕切る穴５１３が形成されている。そして、この板５１１Ａの外縁には柱５０９ａ、５０９ｂ、５０９ｃが貫通可能なように角状の切欠５１５ａ、５１５ｂ、５１５ｃが形成されている。但し、切欠の形状は角状ではなく、円形等であってもよい。切欠５１５ａ、５１５ｂ、５１５ｃは、本発明の第１実施形態と同様に回転体の異常に伴う破壊を防止するため柱５０９ａ、５０９ｂ、５０９ｃに対し所定の遊びを有している。
【００７５】
一方、板５１１Ａの上部には板５２１Ｂを介してフランジ４３１Ａが配設されている。板５２１Ｂの底面図を図６（Ｂ）に示す。フランジ４３１Ａの底面には、３本の柱５３９ａ、５３９ｂ、５３９ｃが空洞４０３を取り巻く周囲に均等に立設されている。柱５３９ａ、５３９ｂ、５３９ｃは、柱５０９ａ、５０９ｂ、５０９ｃとそれぞれ６０度ずつ隔てて配設されている。そして、板５２１Ｂの外縁には柱５３９ａ、５３９ｂ、５３９ｃが貫通可能なように角状の切欠５２５ａ、５２５ｂ、５２５ｃが形成されている。切欠５２５ａ、５２５ｂ、５２５ｃも切欠５１５ａ、５１５ｂ、５１５ｃと同様に、回転体の異常に伴う破壊を防止するため柱５０９ａ、５０９ｂ、５０９ｃに対し所定の遊びを有している。
【００７６】
柱５０９ａ、５０９ｂ、５０９ｃの上端は、板５２１Ｂの底面に対し固着されている。一方、柱５３９ａ、５３９ｂ、５３９ｃの下端は板５１１Ａの上面に対し固着されている。
【００７７】
かかる構成において、本発明の第１実施形態では、柱４０９ａ、４０９ｂ、４０９ｃ及び柱４３９ａ、４３９ｂ、４３９ｃは真空側に配設したが、第３実施形態では、柱５０９ａ、５０９ｂ、５０９ｃ及び柱５３９ａ、５３９ｂ、５３９ｃは大気側に配設することができる。なお、大気圧の作用する力及びフランジの平衡については本発明の第１実施形態と同様なので説明を省略する。以上により、低振動なダンパを実現すると共に効率のよい真空吸引が可能となる。
【００７８】
次に、本発明の第４実施形態について説明する。本発明の第４実施形態であるダンパ６００の縦断面図を図７（Ａ）に示す。なお、図１と同一要素のものについては同一符号を付して説明は省略する。
【００７９】
フランジ６０１Ｂの上面には、４本の柱６０９ａ、６０９ｂ、６０９ｃ、６０９ｄが空洞４０３を取り巻く周囲に均等に立設されている。このフランジ６０１Ｂの上側には板６１１Ａが配設されている。図７（Ｃ）にこの板６１１Ａの上面図を示す。板６１１Ａの中央には、空洞４０３を仕切る穴６１３が形成されている。そして、柱６０９ａ、６０９ｂ、６０９ｃ、６０９ｄは、この穴６１３の内側を通り板６２１Ｂの底面に固着されている。図７（Ｂ）にこの板６２１Ｂの底面図を示す。板６２１Ｂの中心部には穴６１３よりも径の小さい穴６２３が配設されている。フランジ６３１はフランジ底面６３１ａを有している。そして、このフランジ底面６３１ａよりフランジ胴部６３１ｂが円柱状に立設されている。フランジ胴部６３１ｂの上端は折り返されてフランジ上面６３１ｃが形成されている。
【００８０】
フランジ底面６３１ａと板６１１Ａの間には、４本の柱６３９ａ、６３９ｂ、６３９ｃ、６３９ｄが板６２１Ｂの周囲に均等に立設されている。柱６３９ａ、６３９ｂ、６３９ｃ、６３９ｄの両端はそれぞれフランジ底面６３１ａと板６１１Ａに固着されている。
【００８１】
柱６０９ａ、６０９ｂ、６０９ｃ、６０９ｄの外側であって、かつフランジ６０１Ｂと板６１１Ａの間にはベローズ４５１が配設され、更にこのベローズ４５１の外周にはゴム４５３が巻かれている。また、柱６０９ａ、６０９ｂ、６０９ｃ、６０９ｄの外側で、かつ柱６３９ａ、６３９ｂ、６３９ｃ、６３９ｄの内側、及び板６１１Ａと板６２１Ｂの間には同様にベローズ４５５とゴム４５７が配設されている。更に、柱６３９ａ、６３９ｂ、６３９ｃ、６３９ｄの内側であって、フランジ底面６３１ａと板６２１Ｂの間には同様にベローズ４５９とゴム４６１が配設されている。
【００８２】
かかる構成において、本発明の第４実施形態では、柱６０９ａ、６０９ｂ、６０９ｃ、６０９ｄは真空側に配設され、一方、柱６３９ａ、６３９ｂ、６３９ｃ、６３９ｄは大気側に配設される。なお、大気圧の作用する力及びフランジの平衡については本発明の第１実施形態と同様なので説明を省略する。以上により、低振動なダンパを実現すると共に効率のよい真空吸引が可能である。また、ダンパ構造の多様化を図ることができる。
【００８３】
次に、本発明の第５実施形態について説明する。本発明の第５実施形態であるダンパ６５０の縦断面図を図８に示す。なお、図７と同一要素のものについては同一符号を付して説明は省略する。
【００８４】
ダンパ６５０のフランジ底面６３１ａには、板６２１Ｂに向けてストッパ６６１が突設されている。一方、板６１１Ａには、板６２１Ｂに向けてストッパ６６３が突設されている。これらの点で本発明の第５実施形態は、第４実施形態と異なる。
【００８５】
かかる構成において、ストッパ６６１及びストッパ６６３を突設したことで、ダンパ６５０が延びすぎたり、縮みすぎたりした場合に、べローズ４５９、４５１、６６３が壊れないように可動量の制限をすることが可能となる。
【００８６】
次に、本発明の第６実施形態について説明する。本発明の第６実施形態であるダンパ７００の縦断面図を図９（Ａ）に示す。また、図９（Ｂ）には、図９（Ａ）中のＡ−Ａ矢視断面図を示す。なお、図７と同一要素のものについては同一符号を付して説明は省略する。
【００８７】
フランジ７０１はフランジ上面７０１ａを有している。そして、このフランジ上面７０１ａよりフランジ胴部７０１ｂが円柱状に立設されている。フランジ胴部７０１ｂの下端は折り返されてフランジ底面７０１ｃが形成されている。
【００８８】
フランジ上面７０１ａと板６１１Ａの間には、それぞれ独立した円柱型のベローズ７０３ａ、７０３ｂ、７０３ｃ、７０３ｄ、７０３ｅがフランジ胴部７０１ｂ回りに均等に５個配設されている。ベローズ７０３ａ、７０３ｂ、７０３ｃ、７０３ｄ、７０３ｅの斜視図を図９（ｃ）に示す。フランジ底面６３１ａと板６１１Ａ間であって、かつベローズ７０３ａ、７０３ｂ、７０３ｃ、７０３ｄ、７０３ｅの外側には５本の柱６３９ａ、６３９ｂ、６３９ｃ、６３９ｄ、６３９ｅが配設されている。
【００８９】
フランジ上面７０１ａには、空洞４０３よりベローズ７０３ａ、７０３ｂ、７０３ｃ、７０３ｄ、７０３ｅに通ずる通気孔７０５が設けられており、空洞４０３内部とベローズ７０３ａ、７０３ｂ、７０３ｃ、７０３ｄ、７０３ｅ内部とが同じ気圧になっている。
【００９０】
かかる構成において、ダンパ７００内部を真空排気すると、フランジ６３１とフランジ７０１には大気圧により、圧縮方向の力がかかる。また、この際、ベローズ７０３ａ、７０３ｂ、７０３ｃ、７０３ｄ、７０３ｅ内も真空排気されるので、フランジ上面７０１ａには、この大気圧により、ベローズ７０３ａ、７０３ｂ、７０３ｃ、７０３ｄ、７０３ｅの断面積の合計に応じた圧縮方向の力がかかる。この圧縮方向の力は、フランジ７０１とフランジ６３１間を伸張する力になる。
【００９１】
従って、フランジ６３１とフランジ７０１にかかる圧縮方向の力と伸張方向の力をバランスさせると、ダンパ７００内部を真空排気しても、フランジ６３１とフランジ７０１に力が発生しないので、縮まない。
また、この際には、フランジ６３１とフランジ７０１を例えば手で動かそうとすれば非常に小さい力で動かすことができる。
【００９２】
以上により、本発明の第１実施形態と同様の効果を得ることができる。また、ベローズの数が少ない分ダンパの高さを低く形成できる
【００９３】
次に、本発明の第７実施形態について説明する。本発明の第７実施形態であるダンパ７５０の縦断面図を図１０（Ａ）に示す。また、図１０（Ｂ）には、外観図を示す。なお、図１と同一要素のものについては同一符号を付して説明は省略する。本発明の第７実施形態が第１実施形態と異なるのは、第１実施形態の構成を複数段重ねることでダンパの外径を小さくしたものである。
【００９４】
図１０において、板４２１Ｂの上方には、板４１１Ａと同一構成の板７５１Ａが配設され、その板７５１Ａの更に上方には、板４２１Ｂと同一構成の板７６１Ｂが配設されている。板７６１Ｂの上方にはフランジ４３１Ａが配設されている。そして、板７５１Ａと板７６１Ｂ間には、ベローズ４５５、ゴム４５７と同様にベローズ７５５、ゴム７５７が配設され、また、板７６１Ｂとフランジ４３１Ａとの間にベローズ７５９、ゴム７６１が配設されている。板４２１Ｂと板７６１Ｂの間には、柱７０９ａ、７０９ｂ、７０９ｃが備えられ、一方、板７５１Ａとフランジ４３１Ａとの間に柱７３９ａ、７３９ｂ、７３９ｃが備えられている。
【００９５】
かかる構成において、大気圧の作用する面積を確保するため、第１実施形態では板４１１Ａと板４２１Ｂの面積をフランジ４３１Ａとフランジ４０１Ｂの面積よりも大きくした。しかしながら、本実施形態では、板４１１Ａと板７５１Ａを２段に配設したことで、大気圧が板４１１Ａと板７５１Ａとの両面に作用することになり、フランジ４３１Ａとフランジ４０１Ｂを均衡させるのに確保すべき面積は第１実施形態の半分で済む。板４２１Ｂと板７６１Ｂの面積についても、本実施形態では第１実施形態の半分で済む。
【００９６】
以上により、ダンパの外径を小さくすることができる。
【００９７】
次に、本発明の第８実施形態について説明する。本発明の第８実施形態であるダンパ８００の縦断面図を図１１に示す。なお、図１と同一要素のものについては同一符号を付して説明は省略する。
【００９８】
本発明の第８実施形態では、第１実施形態の構成に加え、板４２１Ｂに環状の重り８０１が着脱自在になっている。上述したように、フランジ４３１Ａとフランジ４０１Ｂ間に作用する伸びと縮みの力はべローズの直径を変えることで設定できる。従って、ダンパにターボ分子ポンプ１００がつるされる場合、ターボ分子ポンプ１００の重量を引き上げる分だけ縮み方向の力が発生するように縮みと伸びの力のバランスを取ればよい。
【００９９】
また、これとは逆に、ダンパの上にターボ分子ポンプ１００を倒立で乗せる場合、ターボ分子ポンプ１００の重量を支える分だけ伸び方向の力が発生するように縮みと伸びの力のバランスを取ればよい。
【０１００】
本実施形態は、このダンパの伸びと縮みの力を重り８０１を備えたことで調節する機構を設けたものである。このように、重り８０１を備えるという簡単な構造でダンパの伸縮の調整を容易に行うことができる。
【０１０１】
次に、本発明の第９実施形態について説明する。本発明の第９実施形態であるダンパ８５０の縦断面図を図１２に示す。なお、図１と同一要素のものについては同一符号を付して説明は省略する。
【０１０２】
本発明の第９実施形態では、第１実施形態のベローズ４５５の外周に更にベローズ８５３が配設されている。そして、ベローズ４５５、ベローズ８５３及びゴム４５７の上端は板８５１に固着されている。板８５１とベローズ４５５、ベローズ８５３及び板４１１Ａで仕切られた空間には圧力調整室８５５が形成されている。板８５１は、板４２１Ｂとほぼ同様に構成されているが、この板８５１の周端部には圧力調整室８５５に通じる圧力調整ポート８５７が配設されている点で板４２１Ｂとは異なる。圧力調整ポート８５７からは窒素ガス等が封入可能なようになっている。
【０１０３】
かかる構成において、圧力調整室８５５への窒素ガスの封入圧を変えることにより、板８５１と板４１１Ａ間にかかるガス圧力が柱４３９ａ、４３９ｂ、４３９ｃ及び柱４０９ａ、４０９ｂ、４０９ｃを介してフランジ４３１Ａとフランジ４０１Ｂに作用し、大気圧とのバランス調整が取られる。このことにより、真空吸引された場合のフランジ４３１Ａとフランジ４０１Ｂ間に作用する伸びと縮みの力を調整することが可能となる。
【０１０４】
次に、本発明の第１０実施形態について説明する。本発明の第１０実施形態であるダンパ９００の縦断面図を図１３に示す。なお、図１と同一要素のものについては同一符号を付して説明は省略する。
【０１０５】
図１３において、板４１１Ａの上面には、断面Ｌ字状でかつ底面より円筒状に突設された強磁性体９０１が配設されている。そして、強磁性体９０１には上端側がＮ極に、下端側がＳ極に着磁された永久磁石９０３が立設されている。一方、強磁性体９０１及び永久磁石９０３に対峙して中空円板状の磁性体９０５が板４２１Ｂの下面に配設されている。この磁性体９０５は、縦筋状の長孔を有するスライド板９０７を介してネジ９０９により摺動自在なようになっている。スライド板９０７は、板４２１Ｂの周縁に対し垂直に固定されている。すなわち、ネジ９０９は、長孔を貫通しており上下に移動可能である。そして、適当な高さに磁性体９０５を調整した後、ネジ９０９を締結することで磁性体９０５の高さを固定できる。
【０１０６】
かかる構成において、磁性体９０５の高さを調整することで、板４１１Ａと板４２１Ｂ間に作用する磁力を調整可能である。この磁力は、柱４３９ａ、４３９ｂ、４３９ｃを介してフランジ４３１Ａに働き、また、柱４０９ａ、４０９ｂ、４０９ｃを介してフランジ４０１Ｂに働く。このことにより、真空吸引された場合のフランジ４３１Ａとフランジ４０１Ｂ間に作用する伸びと縮みの力を調整することが可能となる。
【０１０７】
次に、本発明の第１１実施形態について説明する。本発明の第１１実施形態であるダンパ９５０の縦断面図を図１４（Ａ）に示す。なお、図１と同一要素のものについては同一符号を付して説明は省略する。
【０１０８】
図１４（Ａ）において、板４１１Ａの上面には、電磁石９５１が周状に複数個均等に配設されている。この電磁石９５１の図１４（Ａ）中のＢ−Ｂ矢視断面図を図１４（Ｂ）に示す。電磁石９５１の筐体９５１ａはシリンダ状であり、内部に環状に巻かれた巻線９５１ｂに電流が流されることで、棒状の強磁性体９５１ｃが筐体９５１ａ内に引かれる強さが調節されるようになっている。強磁性体９５１ｃの上端は板４２１Ｂの底面に固着されている。
【０１０９】
かかる構成において、強磁性体９５１ｃの吸引力を調整することで、板４１１Ａと板４２１Ｂ間に作用する電磁力を調整可能である。この電磁力は、柱４３９ａ、４３９ｂ、４３９ｃを介してフランジ４３１Ａに働き、また、柱４０９ａ、４０９ｂ、４０９ｃを介してフランジ４０１Ｂに働く。このことにより、真空吸引された場合のフランジ４３１Ａとフランジ４０１Ｂ間に作用する伸びと縮みの力を調整することが可能となる。
【０１１０】
次に、本発明の第１２実施形態について説明する。本発明の第１２実施形態であるダンパ１０００の縦断面図を図１５に示す。なお、図１と同一要素のものについては同一符号を付して説明は省略する。
【０１１１】
本発明の第１実施形態において配設されていた板４２１Ｂに代えて、本実施形態では板１００１Ｂが配設されている。この板１００１Ｂには弁機能を有する真空・大気切換ダイヤル１００３が回動自在に貫通されている。真空・大気切換ダイヤル１００３の頭部にはつまみ１００３ａを有し、胴部１００３ｂは円柱状に形成されている。そして、この胴部１００３ｂには、側面から底面に貫通する通気孔１００３ｃが設けられている。
【０１１２】
板１００１Ｂには、また、側端部より真空・大気切換ダイヤル１００３の胴部１００３ｂに向けて通気孔１００５が設けられている。そして、更にこの通気孔１００５の延長線上には、この真空・大気切換ダイヤル１００３の胴部１００３ｂより、板１００１Ｂの底面に貫通する通気孔１００８が設けられている。図１５では、通気孔１００３ｃが通気孔１００８に接続された状態を示している。一方、真空・大気切換ダイヤル１００３のつまみ１００３ａを１８０度回転した場合には、今度は、この通気孔１００３ｃが通気孔１００５に接続されるようになっている。ベローズ４５５の外周にはベローズ１００７とベローズ１００９が配設され、ベローズ１００７とベローズ１００９の間に圧力調整室１０１１が形成されている。通気孔１００３ｃの下端は、この圧力調整室１０１１に連通されている。
【０１１３】
かかる構成において、真空・大気切換ダイヤル１００３のつまみ１００３ａを回転することで、通気孔１００３ｃの上端を通気孔１００５に接続したり、通気孔１００８に接続したりする。この際、通気孔１００５に接続した場合には圧力調整室１０１１は大気と連通される。このとき、圧力調整室１０１１内の気圧は高くなる。一方、通気孔１００８に接続した場合には圧力調整室１０１１は真空側に連通される。このとき、圧力調整室１０１１内の気圧は低くなる。通気孔１００５と通気孔１００８から位置をずらされた場合には、圧力調整室１０１１の気圧の調整は行われず圧力調整室１０１１内の気圧は維持される。
【０１１４】
このように、圧力調整室１０１１内の気圧を調整することで、板４１１Ａと板１００１Ｂ間に作用する力を調整可能である。この力は、柱４３９ａ、４３９ｂ、４３９ｃを介してフランジ４３１Ａに働き、また、柱４０９ａ、４０９ｂ、４０９ｃを介してフランジ４０１Ｂに働く。このことにより、真空吸引された場合のフランジ４３１Ａとフランジ４０１Ｂ間に作用する伸びと縮みの力を調整することが可能となる。
【０１１５】
次に、本発明の第１３実施形態について説明する。本発明の第１３実施形態であるダンパ機能付きターボ分子ポンプ１１００の縦断面図を図１６に示す。図中波断線より左側は断面図を示し、右側は外観を示している。なお、図６と同一要素のものについては同一符号を付して説明は省略する。
【０１１６】
本実施形態は、ターボ分子ポンプ１００の外筒１２７及びポンプフランジ２０１に代えて外筒１１２７を配設し、その周囲に直接図６に相当するダンパを一体的に組み合わせたものである。
【０１１７】
図１６において、外筒１１２７の側部にはフランジ１１２９が突設されている。そして、このフランジ１１２９にはフランジ１１０１Ｂがボルト１１３１を介して固定されている。フランジ１１０１Ｂの上方には図６の板５１１Ａに相当する板１１１１Ａが配設されている。同様に、この板１１１１Ａの上方には板５２１Ｂに相当する板１０２１Ｂが配設されている。また、図６のフランジ４３１Ａに代えて、フランジ１０３１が備えられているが、このフランジ１０３１は底面１０３１ａ、及び吸入口１０３３を取り巻き円錐状に立設された壁面１０３１ｂを有し、上端が折り返されてフランジ面１０３１ｃが形成されている。
【０１１８】
かかる構成において、ターボ分子ポンプとダンパを一体的に組み合わせて構成したので、全体的に小型に形成できる。
【０１１９】
次に、本発明の第１４実施形態について説明する。
【０１２０】
本発明の第１４実施形態であるダンパの縦断面図を図１７に示す。図１７のダンパ１２００において、フランジ１２０１の底面には、ベローズ１２０３が取り付けられ、かつこのベローズ１２０３の外周にはベローズ１２０５が取り付けられている。そして、このベローズ１２０３とベローズ１２０５には膨れを防止するために環状の膨れ防止リング１２０７が張られている。ベローズ１２０３とベローズ１２０５の下端にはフランジ１２０９が取り付けられている。ベローズ１２０３とベローズ１２０５、及びフランジ１２０１とフランジ１２０９で囲まれた空間にはオイル又は窒素ガス等が充填される流体充填室１２１１が形成されている。そして、このフランジ１２０９には一端が流体充填室１２１１に通ずる通孔１２１３が配設されている。通孔１２１３の他端は、フランジ１２０９の外周壁に位置されている。そして、この通孔１２１３の他端にはパイプ１２１５の一端が接続されており、パイプ１２１５の他端は、圧力バランス装置１２５０のフランジ１２１７に貫通されている。フランジ１２１７の上面には、ベローズ１２２１が取り付けられ、かつこのベローズ１２２１の外周にはベローズ１２２３が取り付けられている。
【０１２１】
ベローズ１２２１とベローズ１２２３の上端にはフランジ１２２５が取り付けられている。ベローズ１２２１とベローズ１２２３、及びフランジ１２２５とフランジ１２１７で囲まれた空間には流体充填室１２１１を充填するオイル又は窒素ガス等が移動自在に充填される流体充填室１２２７が形成されている。パイプ１２１５の他端は、この流体充填室１２２７に連通されている。そして、フランジ１２１７の中央には貫通孔１２２９が設けられ、この貫通孔１２２９に対しパイプ１２３１の一端が接続されている。また、フランジ１２０９にはフランジ１２０９の外周壁を一端として他端を真空側に通じる貫通孔１２３３が設けられている。パイプ１２３１の他端は貫通孔１２３３の一端と接続されている。
【０１２２】
かかる構成において、ベローズ１２２１の外径はベローズ１２０３の外径よりも小さいが、流体充填室１２１１と流体充填室１２２７とがパイプ１２１５により連通されているので、流体充填室１２１１と流体充填室１２２７とで同一の油圧等になる。このため、真空引きしてもフランジ１２０１とフランジ１２０９間は縮まない。しかしながら、手で押すとフランジ１２０１とフランジ１２０９間は伸縮可能である。
なお、ベローズ１２２１とベローズ１２２３とはベローズで流体充填室１２２７を構成したが、風船若しくは油圧シリンダを用いて構成されてもよい。
【０１２３】
また、上述した各実施形態のダンパを用いて真空装置にターボ分子ポンプを固定する場合、ターボ分子ポンプの重量を支えるために、ターボ分子ポンプを地面側に固定しても問題ない。本発明のダンパは除振効果が高いため地面の振動が真空装置に伝わらない。
【図面の簡単な説明】
【０１２４】
【図１】本発明の第１実施形態であるダンパの縦断面図
【図２】フランジ及び板の詳細図
【図３】ベローズの例
【図４】ベローズの別例
【図５】本発明の第２実施形態であるダンパの縦断面図
【図６】本発明の第３実施形態であるダンパの詳細図
【図７】本発明の第４実施形態であるダンパの詳細図
【図８】本発明の第５実施形態であるダンパの縦断面図
【図９】本発明の第６実施形態であるダンパの詳細図
【図１０】本発明の第７実施形態であるダンパの縦断面図及び外観図
【図１１】本発明の第８実施形態であるダンパの縦断面図
【図１２】本発明の第９実施形態であるダンパの縦断面図
【図１３】本発明の第１０実施形態であるダンパの縦断面図
【図１４】本発明の第１１実施形態であるダンパの縦断面図
【図１５】本発明の第１２実施形態であるダンパの縦断面図
【図１６】本発明の第１３実施形態であるダンパ機能付きターボ分子ポンプの縦断面図
【図１７】本発明の第１４実施形態であるダンパの縦断面図
【図１８】従来のターボ分子ポンプの縦断面図
【図１９】ターボ分子ポンプの使用例
【符号の説明】
【０１２５】
１００、１１００  ターボ分子ポンプ
１０３  回転体
４００、４５０、５００、６００、６５０、７００、７５０、８００、８５０、９００、９５０、１０００、１２００  ダンパ
４０１Ｂ、４３１Ａ、６０１Ｂ、６３１、７０１、１０３１、１１０１Ｂ、１１２９、１２０１、１２０９、１２１７、１２２５  フランジ
４０３  空洞
４０５、４３３  Ｏリング溝
４０７、４３７  フランジ取付穴
４０９、４３９、５０９、５３９、６０９、６３９、７０９、７３９  柱
４１１Ａ、４２１Ｂ、４７１、５１１Ａ、５２１Ｂ、６１１Ａ、６２１Ｂ、７５１Ａ、７６１Ｂ、８５１、１００１Ｂ、１０２１Ｂ、１１１１Ａ  板
４１３、４２３  大穴
４１５、４２５  小穴
４５１、４５５、４５７、４５９、７０３、７５５、７５９、８５３、１００７、１００９、１２０３、１２０５、１２２１、１２２３  ベローズ
４５３、４５７、４６１、７５７、７６１  ゴム
４７３  電気絶縁材
５１３、６１３、６２３  穴
５１５、５２５  切欠
６６１、６６３  ストッパ
７０５  通気孔
８５５、１０１１  圧力調整室
８５７  圧力調整ポート
９０１、９５１ｃ  強磁性体
９０３  永久磁石
９０５  磁性体
９０７  スライド板
９０９  ネジ
９５１  電磁石
１００３  真空・大気切換ダイヤル
１００３ｃ、１００５、１００８  通気孔
１０３３  吸入口
１１２７  外筒
１１３１  ボルト
１２１１、１２２７  流体充填室
１２１３  通孔
１２１５、１２３１  パイプ
１２２９、１２３３  貫通孔
１２５０  圧力バランス装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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