(57)【要約】【課題】外力が加わっても、破損や収納不良が発生しにくいウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造を提供する。【解決手段】蓋体７の裏面側７ａに固定される一対の支持枠部１０，１０の間に、下面１０ａ側と略面一に水平に延設されると共に、一定の幅で、しかも、弾性変形可能な長さを有して架設される水平部１１，１１が各々一体となるように設けられている。  そして、容器本体６内に収納される複数の半導体ウエハ４…が、ウエハ接触部９，９の移動抑制突起１６，１６が設けられた下向きに凸状の弾性変形可能な円弧部１４，１４に各々当接されて保持されている。【選択図】図３
2008141106.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上部に開口部を設けた有底箱状の容器本体の内部に、円板状の半導体ウエハを収納すると共に、該開口部に装着されて該開口部を閉塞する蓋体を設け、該蓋体の内側には、前記容器本体内に収納された半導体ウエハの上縁部に弾接して、保持するウエハ押さえ部材を設けてなるウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造であって、
前記ウエハ押さえ部材は、前記半導体ウエハに弾接されるウエハ接触部と、該ウエハ接触部の両側に設けられて、前記蓋体の裏面側に固定される一対の支持枠部との間に、該支持枠部下面側から水平に延設されると共に、一定の幅で、しかも、弾性変形可能な長さを有して架設される水平部を各々設けて、該水平部の内側に連結されて下向きに凸状の円弧部によって、前記ウエハ接触部を支持することを特徴とするウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造。
【請求項２】
前記水平部よりも前記ウエハ接触部が下方に位置すると共に、該水平部の内側端部とウエハ接触部の外側端部との間を上下方向で連結する立ち上がり部を設け、該立ち上がり部には、内向きに一定の傾斜角度が与えられていることを特徴とする請求項１記載のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造。
【請求項３】
前記ウエハ接触部を支持する円弧部を左右一対形成すると共に、該両円弧部間を上向きに凸状の中央連結部で一体に連結することを特徴とする請求項１又は２記載のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造。
【請求項４】
前記中央連結部の上方には、前記蓋体の裏面側から突設されて、所望の位置で、前記ウエハ接触部の変形を停止させるストッパ突起部が設けられていることを特徴とする請求項３記載のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造。
【請求項５】
前記水平部、立ち上がり部、円弧部及び中央連結部は、該水平部と略同一の一定の幅を有して一体に形成されると共に、略一定の厚みを有することを特徴とする請求項３又は４記載のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造。
【請求項６】
前記ウエハ接触部は、前記円弧部の幅方向に一対となるように、該円弧部の内側端部近傍位置から下向きに突設されて、介装により半導体ウエハの上縁部を保持する移動抑制突起部を有することを特徴とする請求項１乃至５のうち何れか一項記載のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造。
【請求項７】
前記ウエハ押さえ部材は、曲げ弾性率１〜２．５ＧＰａの物性を有する材料が用いられて、構成されていることを特徴とする請求項１乃至６のうち何れか一項記載のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハを複数収納する搬送容器のウエハ搬送容器に用いられて、特に内部に収納したウエハが破損しにくい構造を有するウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造を提供するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体シリコンウエハ搬送容器としては、円盤状の半導体シリコンウエハを、内部に複数枚収納して保管或いは移送する容器が知られている（例えば、特許文献１乃至３等参照）。
【０００３】
このような従来のものでは、蓋体の内側面に、図１９中二点鎖線で示すようなウエハ押さえ部材１が設けられていて、蓋体閉塞状態で、半導体ウエハ４を、押さえて保持するように構成されているものが知られている。
【０００４】
このようなウエハ押さえ部材１では、左右一対の蓋体に固定される支持枠部材２，２から、各々真下方向に向けて延設される縦壁部３，３が設けられている。
【０００５】
この縦壁部３，３の下端部３ａ，３ａからは、両縦壁部３，３間を接続するように、直線状のウエハ押さえ片本体３ｂが略水平方向よりもやや斜め上方に向けて傾斜するように延設されている。
【０００６】
このウエハ押さえ片本体３ｂの略中央部には、上方に凸の水平凹部３ｃが形成されている。また、この水平凹部３ｃの左，右両側には、前記半導体ウエハ４の上縁部４ａ，４ａを左，右二箇所で保持するように、このウエハ押さえ片本体３ｂ，３ｂが連設されている。このウエハ押さえ片本体３ｂには、幅方向から、前記半導体ウエハ４の上縁部４ａ，４ａをガイドして支持する一対のウエハ押さえ突起部５，５が、これらの各ウエハ押さえ片本体３ｂ,３ｂの略全長に渡り、幅方向両側縁に沿って、一体に形成されている。
【０００７】
次に、この従来例の作用効果について説明する。
【０００８】
このように構成された従来のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造では、蓋体の閉塞により、図中二点鎖線で示すように、半導体ウエハ４の上縁部４ａ，４ａが前記ウエハ押さえ突起部５，５間に介装されて、前記ウエハ押さえ片本体３ｂに弾接される。
【０００９】
このため、前記シリコンウエハ搬送容器内に収納された前記半導体ウエハ４は、このウエハ押さえ部材１によって弾性支持されて、搬送若しくは保管時に、前記半導体ウエハ４を破損させる虞を減少させることが出来る。
【特許文献１】特開２００４−２４７４６７号公報（段落００２４乃至００４４、図１）
【特許文献２】特開２００４−１５８８０８号公報（段落００１８乃至００６４、図１）
【特許文献３】特開２００５−１０１５１８号公報（段落００８４乃至０２１０、図２０乃至図２２、図３０乃至図３２、図４０,図４１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、このような従来のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造では、縦壁部３，３が、前記支持枠部材２，２から直接、略真下に向けて（多くても約２〜１０度の傾斜角度）延設されているので、図中二点鎖線で示すようにウエハ押さえ部材１が変形する際にも、この縦壁部３，３が殆ど変形しない。
【００１１】
このため、前記ウエハ押さえ片本体３ｂとこの縦壁部３，３との連結部分である下端部３ａ，３ａ近傍に応力が集中してしまい、ウエハ搬送容器が落下等した場合、破損する虞もあった。
【００１２】
また、前記水平凹部３ｃが、側面視で水平直線状に形成されているので、両側に形成されるウエハ押さえ突起部５，５の前記半導体ウエハ４の上縁部４ａ，４ａに対する追従性が良好であるとは言い難かった。
【００１３】
このため、半導体ウエハ４を収納したまま、ウエハ搬送容器を落下させると、ウエハ押さえ突起部５，５から前記半導体ウエハ４の上縁部４ａ，４ａが外れたり、隣接する他のウエハ押さえ突起部５，５に飛び移ってしまう虞もあった。
【００１４】
そこで、この発明は、外力が加わっても、破損や収納不良が発生しにくいウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記目的を達成するために、請求項１に記載された発明は、上部に開口部を設けた有底箱状の容器本体の内部に、円板状の半導体ウエハを収納すると共に、該開口部に装着されて該開口部を閉塞する蓋体を設け、該蓋体の内側には、前記容器本体内に収納された半導体ウエハの上縁部に弾接して、保持するウエハ押さえ部材を設けてなるウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造であって、前記ウエハ押さえ部材は、前記半導体ウエハに弾接されるウエハ接触部と、該ウエハ接触部の両側に設けられて、前記蓋体の裏面側に固定される一対の支持枠部との間に、該支持枠部下面側から水平に延設されると共に、一定の幅で、しかも、弾性変形可能な長さを有して架設される水平部を各々設けて、該水平部の内側に連結されて下向きに凸状の円弧部によって、前記ウエハ接触部を支持するウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造を特徴としている。
【００１６】
また、請求項２に記載されたものでは、前記水平部よりも前記ウエハ接触部が下方に位置すると共に、該水平部の内側端部とウエハ接触部の外側端部との間を上下方向で連結する立ち上がり部を設け、該立ち上がり部には、内向きに一定の傾斜角度が与えられている請求項１記載のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造を特徴としている。
【００１７】
更に、請求項３に記載されたものでは、前記ウエハ接触部を支持する円弧部を左右一対形成すると共に、該両円弧部間を上向きに凸状の中央連結部で一体に連結する請求項１又は２記載のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造を特徴としている。
【００１８】
そして、請求項４に記載されたものでは、前記中央連結部の上方には、前記蓋体の裏面側から突設されて、所望の位置で、前記ウエハ接触部の変形を停止させるストッパ突起部が設けられている請求項３記載のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造を特徴としている。
【００１９】
また、請求項５に記載されたものでは、前記水平部、立ち上がり部、円弧部及び中央連結部は、該水平部と略同一の一定の幅を有して一体に形成されると共に、略一定の厚みを有する請求項３又は４記載のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造を特徴としている。
【００２０】
更に、請求項６に記載されたものでは、前記ウエハ接触部は、前記円弧部の幅方向に一対となるように、該円弧部の内側端部近傍位置から下向きに突設されて、介装により半導体ウエハの上縁部を保持する移動抑制突起部を有する請求項１乃至６のうち何れか一項記載のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造を特徴としている。
【００２１】
そして、請求項７に記載されたものは、前記ウエハ押さえ部材は、曲げ弾性率１〜２．５ＧＰａの物性を有する材料が用いられて、構成されている請求項１乃至７のうち何れか一項記載のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造を特徴としている。
【発明の効果】
【００２２】
このように構成された本願発明の請求項１記載のものは、該支持枠部下面側から水平に延設された水平部が、前記半導体ウエハを弾接保持するウエハ接触部を上下方向に弾性変形しながら保持する。
【００２３】
このため、応力が集中する部分が無くなり、半導体ウエハが収納されたまま、ウエハ搬送容器が落下しても、破損する虞が減少する。
【００２４】
また、長いストロークで前記半導体ウエハを保持出来るため追従性が良好で、該半導体ウエハが外れたり、隣接する他のウエハ接触部に飛び移ってしまう虞が減少する。
【００２５】
更に、前記立ち上がり部の内側に連結された下向きに凸状の円弧部によって、前記ウエハ接触部が支持されている。
【００２６】
このため、従来のやや斜め上方に向けて形成されているものに0比して、下向きに凸状の分、ストロークを長く設定出来、更に、半導体ウエハへの追従性が良好である。
【００２７】
また、請求項２に記載されたものは、該立ち上がり部に、内向きに一定の傾斜角度が与えられている。
【００２８】
このため、更に応力が集中しにくく、破損の虞を減少させることができる。
【００２９】
また、請求項３に記載されたものは、前記ウエハ接触部を支持する円弧部が左右一対形成されて、凸状の中央連結部で一体に連結されている。
【００３０】
このため、従来の水平直線状に形成されているもの比して、更に、半導体ウエハへの追従性が良好である。
【００３１】
更に、請求項４に記載されたものは、前記ストッパ突起部に前記中央連結部の上面側が当接して、所望の位置で、前記ウエハ接触部の上方への移動を停止させる。
【００３２】
このため、更に、前記ウエハ接触部から、該半導体ウエハが外れたり、隣接する他のウエハ接触部に飛び移ってしまう虞が減少する。
【００３３】
また、蓋体の裏面側に、該ストッパ突起部が突設されているので、前記中央連結部側に突起が形成される場合に比して、該中央連結部の変形を阻害せずに、この点においても追従性を良好なものとすることができる。
【００３４】
しかも、請求項５に記載されたものは、前記水平部、立ち上がり部、円弧部及び中央連結部が、前記水平部と略同一の一定の幅を有して一体に形成されると共に、略一定の厚みを有しているので、応力集中が、更に起こり難い。
【００３５】
また、請求項６に記載されたものは、前記ウエハ接触部に設けられた移動抑制突起部によって、前記円弧部の幅方向への半導体ウエハの上縁部の移動が抑制されて、更に、該半導体ウエハが外れたり、隣接する他のウエハ接触部に飛び移ってしまう虞を減少させることができる。
【００３６】
しかも、移動抑制突起部の寸法を、前記円弧部の長手方向の寸法に比して小さく設定することにより、半導体ウエハへの追従性を損なうことが無い。
【００３７】
そして、請求項７に記載されたものは、前記ウエハ押さえ部材が、曲げ弾性率１〜２．５ＧＰａの物性を有する材料が用いられて、構成されている。
【００３８】
例えば、曲げ弾性率１〜２．５ＧＰａの物性を有する材料として、曲げ弾性率１〜２．５ＧＰａの物性を有するポリエステル系の熱可塑性エラストマーが、用いられて、構成されている。
【００３９】
このため、前記半導体ウエハへの追従性を損なうことが無いと共に、干渉により、該半導体ウエハを損傷させる虞も減少させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４０】
次に、図面に基づいて、この発明を実施するための最良の実施の形態のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造について説明する。
【００４１】
図１乃至図１２は、この発明の実施の形態のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造を示すものである。
【００４２】
まず、構成から説明すると、この実施の形態では、図３中（ａ）に示すように、ウエハ収納容器２０のうち、上部に開口部６ａが設けられた有底箱状の容器本体６の内部に、円板状の半導体ウエハ４…が複数枚、収納されるものである。
【００４３】
この開口部６ａには、この開口部６ａを閉塞する蓋体７が設けられている。
【００４４】
そして、この蓋体７の裏面側７ａには、前記容器本体６内に収納された半導体ウエハ４の上縁部４ａ，４ａに弾接して、保持するウエハ押さえ部材８が設けられている。
【実施例１】
【００４５】
この実施例１のウエハ押さえ部材８は、曲げ弾性率１〜２．５ＧＰａの物性を有するポリエステル系の熱可塑性エラストマーが、用いられて、構成されている。
【００４６】
すなわち、このウエハ押さえ部材８は、図３中（ｄ）に示すように、前記蓋体７の裏面側７ａに固定される一対の支持枠部１０，１０の間に、複数の橋状体１２…が、一定間隔を置いて掛け渡されている。
【００４７】
この橋状体１２…には、各々前記半導体ウエハ４に弾接されるウエハ接触部９と、このウエハ接触部９の両側に設けられて、前記蓋体７の裏面側７ａに、対向面側を開放して一体に形成された取付溝部７ｂ，７ｂに係合固定される一対の支持枠部１０，１０との間に、支持枠部１０，１０の下面１０ａ側と略面一に水平に延設されると共に、一定の幅で、しかも、弾性変形可能な長さを有して架設される水平部１１，１１が各々一体となるように設けられている。
【００４８】
そして、前記容器本体６内に収納される前記複数の半導体ウエハ４…の最大収納枚数、この実施例１では、２５枚の半導体ウエハ４…が弾性支持可能とされるように、２５本の前記橋状体１２…が、図４に示すように、前記角棒状の支持枠部１０，１０と一体に形成されている。
【００４９】
このうち、図１に示すように、前記ウエハ接触部９が、前記水平部１１，１１よりも下方に位置されていて、この水平部１１，１１の内側端部１１ａ，１１ａと、ウエハ接触部９の外側端部との間が、立ち上がり部１３，１３によって各々上下方向で連結されている。
【００５０】
この立ち上がり部１３，１３には、各々内向きに一定の傾斜角度α（約１０〜４０度）が与えられている。
【００５１】
更に、前記立ち上がり部１３，１３の内側には、前記ウエハ接触部９，９を支持する下向きに凸状の円弧部１４，１４が設けられている。
【００５２】
このウエハ接触部９，９を支持する円弧部１４，１４は、左右一対形成されると共に、両円弧部１４，１４間が上向きに凸状の中央連結部１５で一体に連結されている。
【００５３】
また、この実施例１では、図２に示すように、この橋状体１２の前記水平部１１，１１、立ち上がり部１３，１３、円弧部１４，１４及び中央連結部１５が、全て略同一の一定の幅ｗを有して一体に形成されている。
【００５４】
更に、この実施例１では、図１に示すように、この橋状体１２の前記水平部１１，１１、立ち上がり部１３，１３、円弧部１４，１４及び中央連結部１５が、全て略一定の厚みｄを有して一体に形成されている。
【００５５】
そして、前記ウエハ接触部９には、前記円弧部１４，１４の幅方向に一対となるように、この円弧部１４，１４の内側端部１４ａ，１４ａ近傍位置の一部から下向きに移動抑制突起１６，１６が各々突設されている。
【００５６】
この移動抑制突起１６は、介装される半導体ウエハ４の上縁部４ａを両側から保持するように、接触面１６ａ，１６ａを各々傾斜させた正面視略三角形形状を呈して構成されている。
【００５７】
更に、この実施例１の移動抑制突起１６は、図１に示される様に、前記円弧部１４の長手方向長さ寸法Ｌ１に比して、円弧部１４長手方向長さ寸法Ｌ２を、Ｌ２／Ｌ１＝０．１〜０．２の比となるように形成されていて、この円弧部１４の弾性変形を阻害しないように構成されている。
【００５８】
また、この実施例１では、図３中（ｂ）及び図４に示すように、前記支持枠部１０，１０の下面側の両端縁近傍には、取付用摘み部１０ｂ，１０ｂが、各々一体に突設形成されている。
【００５９】
この取付用摘み部１０ｂ，１０ｂは、図3中（ｃ）に示すように、蓋体７の裏面側７ａに前記ウエハ押さえ部材８を装着する際、把持により、白抜き矢印に示す方向へ、前記円弧部１４…等を撓ませて、一対の取付溝部７ｂ，７ｂ内に前記支持枠部１０，１０を挿入させて係合させるように構成されている。
【００６０】
そして、係合後は、この取付溝部７ｂ，７ｂの両端面に、これらの取付用摘み部１０ｂ，１０ｂが両側から当接されて、取付溝部７ｂ延設方向へのスライド移動が不能となるように、挟持するように構成されている。
【００６１】
更に、この実施例１では、図３に示すように、前記中央連結部１５に対向する前記蓋体７の裏面側７ａから突設されて、所望の位置で、前記ウエハ接触部９の変形を停止させるストッパ突起部１７が一体に設けられている。
【００６２】
次に、この実施例１のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造の作用について、図７乃至図１０を用いて説明する。なお、図７乃至図１０は、説明の為、上，下方向を反対とすると共に、前記中央連結部１５の左，右側の何れか一方を表している。
【００６３】
この実施例１では、ウエハ搬送容器２０内に収納された半導体ウエハ４に、落下等により、前記ウエハ押さえ部材８を押し上げる方向の力が作用すると、図７に示すように通常状態で、前記ウエハ接触部９の移動抑制突起１６，１６間の円弧部１４の上面に、まず、上縁部４ａが当接して、これらの移動抑制突起１６，１６間に保持される。
【００６４】
更に、変形が進むと、図８に示すように、半導体ウエハ４の上縁部４ａが、前記円弧部１４の上方に凸の部分を押圧しながら、上縁部４ａの円弧に合わせて、この円弧部１４の形＊状を弾性変形させる。
【００６５】
この際、図９及び図１０に示すように、前記支持枠部１０の下面１０ａ側から水平に延設された水平部１１が、前記半導体ウエハ４を弾接保持するウエハ接触部９を上下方向に弾性変形させながら、前記半導体ウエハ４の保持を維持する。
【００６６】
前記水平部１１は、このウエハ接触部９の両側で、しかも、面内外方向に両持ち梁のような状態で、曲げ変形しながら加わる力を、円弧部１４全域で受けて、ウエハ押さえ部材８全体で分散吸収する。
【００６７】
このため、応力が集中する部分が無くなり、半導体ウエハ４が収納されたまま、ウエハ搬送容器２０が落下しても、従来の様に縦壁部３が破損する虞が無く、半導体ウエハ４の破損する虞も減少する。
【００６８】
また、水平部１１の変形に加えて、円弧部１４では、中央連結部１５が、前記ストッパ突起部１７に当接することにより、先当たりしている円弧部１４の移動抑制突起１６付近を中心として、図１０中、白抜き矢印Ｆに示すような回転方向の力が作用して、この移動抑制突起１６が形成されている部分の図中右位置を押し下げる。
【００６９】
このため、前記図７に示す様に下方に凸状の状態から、図１０に示すように、前記半導体ウエハ４の上縁部４ａの外周形状に沿って、上方に凸の状態になるように、円弧部１４が弾性変形する。
【００７０】
この際、この実施例１では、図１に示される様に、前記円弧部１４の長手方向長さ寸法Ｌ１に比して、移動抑制突起１６の円弧部１４長手方向の長さ寸法Ｌ２が、Ｌ２／Ｌ１＝０．１〜０．２の比となるように形成されていて、円弧部１４は、他の水平部１１と略同様の柔軟性を有する。このため、前記移動抑制突起１６が形成されていても、円弧部１４の弾性変形が阻害されない。
【００７１】
従って、更に、長いストロークで前記半導体ウエハ４を保持出来るため追従性が良好であると共に、円弧部１４の略全域に渡る長い接触面で、前記半導体ウエハ４の上縁部４ａに弾性接触して保持する。よって、半導体ウエハ４が外れたり、隣接する他のウエハ接触部９に飛び移ってしまう虞が減少する。
【００７２】
また、前記立ち上がり部１３には、図１に示すように、内向きに一定の傾斜角度αが与えられている。
【００７３】
このため、この立ち上がり部１３も、変形して、応力を吸収するので、更に、応力が集中しにくく、破損の虞を減少させることができる。
【００７４】
更に、前記立ち上がり部１３の内側に設けられた下向きに凸状の円弧部１４によって、前記ウエハ接触部９が支持されている。
【００７５】
このため、従来のやや斜め上方に向けて形成されているものに比して、下向きに凸状の分、ストロークを長く設定出来、更に、半導体ウエハへの追従性が良好である。
【００７６】
また、前記ウエハ接触部９を支持する円弧部１４，１４が左右一対形成されて、凸状の中央連結部１５で一体に連結されている。
【００７７】
このため、従来の水平直線状に形成されているものに比して、更に、半導体ウエハへの追従性が良好である。
【００７８】
特に、この実施例１では、図１に示すように、中央連結部１５の円弧が、両側面部を、β＝約２０〜５０度の勾配で内側へ向けて上昇させた後、中央で、約Ｒ５程度の曲率半径で円滑に接続しているので、半導体ウエハ４の上縁部４ａ，４ａが接触する接触部９，９上の位置を中央寄りの内側位置とすることができる。
【００７９】
このため、更に、水平部１１，１１を長く設定して応力を分散させることが可能である。
【００８０】
更に、前記水平部１１，１１、立ち上がり部１３，１３、円弧部１４，１４及び中央連結部１５が、前記水平部１１，１１と略同一の一定の幅を有して一体に形成されると共に、略一定の厚みを有しているので、応力集中が、更に起こり難い。
【００８１】
また、前記ウエハ接触部９に設けられた移動抑制突起部１６，１６によって、前記円弧部１４，１４の幅方向への半導体ウエハ４の上縁部４ａの移動が抑制されて、更に、半導体ウエハ４が外れたり、隣接する他のウエハ接触部９に飛び移ってしまう虞を減少させることができる。
【００８２】
このため、半導体ウエハ４の上縁部４ａが、前記円弧部１４の上方に凸の部分を押圧しながら、圧接される際、移動抑制突起１６，１６が、円弧部１４の幅方向へのこの上縁部４ａの移動を阻止して、円弧部１４を弾性変形させる際にも保持することにより、圧着面積を有効に増大させることができる。
【００８３】
しかも、この実施例１では、前記ウエハ接触部９に設けられた移動抑制突起部１６，１６が、円弧部１４，１４の内側端部１４ａ，１４ａ近傍位置の一部から下向きに突設されているため、円弧部１４の長手方向に一定の長さを有して形成されているものに比して、この円弧部１４の弾性変形を阻害する虞がなく、この点においても追従性を良好なものとすることができる。
【００８４】
そして、移動抑制突起部１６，１６が、単純な形状で、円弧部１４に一体に形成されているので、複雑な形状の突起部に比して、樹脂材料等の素材の削りカス等の塵芥が発生しにくい。
【００８５】
このため、半導体ウエハ４のウエハ搬送容器の内部に用いても、静電気による塵芥の半導体ウエハ４への付着を減少させることが出来る。
【００８６】
更に、この実施例１では、前記ストッパ突起部１７に前記中央連結部１５の上面側が当接して、所望の位置で、前記ウエハ接触部９の上方への移動を停止させる。
【００８７】
このため、落下等により、一時に大きな応力が加わっても、必要以上に前記橋状体１２が変形することがない。従って、更に、前記ウエハ接触部９の移動抑制突起１６，１６間から、半導体ウエハ４が外れたり、隣接する他のウエハ接触部に飛び移ってしまう虞が減少する。
【００８８】
また、前記蓋体７の裏面側７ａに、このストッパ突起部１７が突設されているので、例えば、前記中央連結部１５の上面側に、ストッパ突起が一体に形成される場合に比して、中央連結部１５の変形を阻害せずに、この点においても追従性を良好なものとすることができる。
【００８９】
図５及び図６に、この発明の実施の形態のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造及び比較例を示す。共通条件として、直径４００ｍｍの半導体ウエハ４を用いている。
【００９０】
図６中、（ａ）は、水平部が殆ど無い形状、（ｂ）は水平部１１を設けた形状、（ｃ）は、立ち上がり部を略垂直に変更した形状、（ｄ）はストッパ突起部１１７が平坦形状に変更されて、中央連結部１１５を水平板上としたもの、（ｅ）は、水平部が殆ど無く、ウエハ接触部１９を長く設定し、立ち上がり部を略垂直に変更した形状、（ｆ）は立ち上がり部の傾斜角度α２を大きく設定した形状、（ｇ）は、傾斜角度αは小さく、水平部の長さＬを大きく設定した形状、（ｈ）は、傾斜角度α３を大きく、水平部の長さＬを大きく設定すると共に、ウエハ接触部２９の長さを（ｂ）に比して短く設定した形状が示されている。
【００９１】
このうち、（ａ）に比して、（ｂ）では、水平部１１が設定されているので、クッション応力値は、低く抑えられる。この水平部１１の長さＬを約５〜１３ｍｍに設定すると、総合判定が、○若しくは△となる。
【００９２】
また、立ち上がり部１３の傾斜角度αを約１０度以上とすると、総合判定が○若しくは△となることが分かる。
【００９３】
この実施例１では、曲げ弾性率１〜２．５ＧＰａの物性を有する材料として、曲げ弾性率１〜２．５ＧＰａの物性を有するポリエステル系の熱可塑性エラストマーが、用いられて、構成されている。
【００９４】
このため、前記半導体ウエハへの追従性を損なうことが無いと共に、干渉により、該半導体ウエハを損傷させる虞も減少させることができる。
【００９５】
図１１に示すクッション材料の曲げ弾性率とクッション応力との相関図では、曲げ弾性率（ＧＰａ）が、２．５ＧＰａ以下なら、判定が○〜△になることがわかる。
【００９６】
ここで、測定条件として、この実施例１のウエハ押さえ部材８の形状で、構成された各検体としてウエハ押さえ部材８…の厚みを、通常の厚みとして設定して、◇：水準１として、プロットしている。
【００９７】
また、水準１に対して、１．５倍の肉厚を有する厚みの検体を、□：水準２としてプロットしている。
【００９８】
更に、水準１に対して、２倍の肉厚を有する厚みの検体を、△：水準３してプロットしている。
【００９９】
そして、水準１に対して、３倍の肉厚を有する厚みの検体を、×：水準４としてプロットしている。
【０１００】
クッション応力が、１０（ｋｇｆ／mm2）となると、追従性を損ない、前記半導体ウエハ８が、前記ウエハ押さえ部材８から外れやすくなる（図１１中紙面向かって右欄中×で示される追従性不良領域、なお、△で示される領域は、追従性良、○で示される領域は、追従性優良である）。
【０１０１】
このため、このウエハ押さえ部材８を構成する材料の曲げ弾性率（ＧＰａ）が、２．５ＧＰａ以下であることが好ましいことが分かる。
【０１０２】
図１２に示すクッション材料の曲げ弾性率とウエハ応力との相関図では、曲げ弾性率（ＧＰａ）が、１ＧＰａ以上、２．５ＧＰａ以下なら、判定が○〜△になることがわかる。
【０１０３】
ここで、水準４の検体は、ウエハ応力が、何れの曲げ弾性率の材質を用いても、不適領域×内（半導体ウエハに損傷を与える虞がある領域）であることが、見て取れる。
【０１０４】
このように、測定された図１１及び図１２に示される結果から、実施例１の形状のウエハ押さえ部材８では、構成する材料として、追従性を損なうことなく、しかも、半導体ウエハ４に、損傷を与える虞が無い曲げ弾性率として、曲げ弾性率１以上、２．５ＧＰａ以下の物性を有するポリエステル系の熱可塑性エラストマーが、適していることが分かる。
【実施例２】
【０１０５】
図１３及び図１４は、この発明の実施の形態の実施例２のウエハ押さえ部材１８を示すものである。
【０１０６】
なお、前記実施例１と同一乃至均等な部分については、同一符号を付して説明する。
【０１０７】
まず、構成上の相違点を中心に説明すると、この実施例２のウエハ押さえ部材１８では、一対の各円弧部１４，１４の立ち上がり部１３，１３近傍には、前記円弧部１４，１４の幅方向に一対となるように、この円弧部１４，１４の内側端部１４ａ，１４ａ近傍位置の一部から下向きに移動抑制突起２６，２６が、前記移動抑制突起１６，１６から一定距離離間されて各々下方に向けて突設されている。
【０１０８】
この実施例２では、図１３に示される様に、前記円弧部１４の長手方向長さ寸法Ｌ１に比して、移動抑制突起２６の円弧部１４長手方向の長さ寸法Ｌ３が、Ｌ３／Ｌ１＝０．１〜０．２の比となるように形成されていて、１つの円弧部１４の二対の移動抑制突起１６，２６の合計の長さ方向寸法であっても、（Ｌ２＋Ｌ３）／Ｌ１＝０．２〜０．４の比となるように構成されている。
【０１０９】
次に、この実施例２のウエハ押さえ部材１８の作用について説明する。
【０１１０】
このように構成された実施例２のウエハ押さえ部材１８では、右半分を示す図１４のように、半導体ウエハ４の上縁部４ａが、前記円弧部１４の上方に凸の部分を押圧しながら、圧接されると共に、移動抑制突起２６，２６が、前記移動抑制突起１６，１６と共に、合計４カ所で、幅方向（紙面前，後方向）へのこの上縁部４ａの移動を阻止して、円弧部１４を弾性変形させる際にも保持する。
【０１１１】
このため、ウエハ搬送容器２０の落下等、外力が加わっても、更に、半導体ウエハ４のキャッチミスを減少させて破損させる虞をなくすことができる。
【０１１２】
また、この実施例２では、図１３に示される様に、前記円弧部１４の長手方向長さ寸法Ｌ１に比して、移動抑制突起２６の円弧部１４延設方向長さ寸法Ｌ３が、Ｌ３／Ｌ１＝０．１〜０．２の比となるように形成されていて、（Ｌ２＋Ｌ３）／Ｌ１＝０．２〜０．４の比となるように構成されている。
【０１１３】
このため、保持性を向上させつつ、円弧部１４の弾性変形を阻害することがない。
【０１１４】
他の構成、及び作用効果については、前記実施例1と略同一であるので、説明を省略する。
【実施例３】
【０１１５】
図１５は、この発明の実施の形態の実施例３のウエハ押さえ部材２８を示すものである。
【０１１６】
なお、前記実施例１，２と同一乃至均等な部分については、同一符号を付して、構成上の相違点を中心に説明する。
【０１１７】
この実施例３のウエハ押さえ部材２８は、前記中央連結部１５と、前記蓋体７の裏面側７ａに設けられたストッパ突起部１７との間に、アーチ状を呈して、弾性変形可能なクッション重ね梁２１が介在されて設けられている。
【０１１８】
次に、この実施例３のウエハ押さえ部材２８の作用について説明する。
【０１１９】
このように構成された実施例３のウエハ押さえ部材２８では、図１５中二点鎖線で示すように、ウエハ搬送容器２０の落下等、外力が加わる際、半導体ウエハ４が上方へ移動しても、このクッション重ね梁２１が弾性変形しながら受け止めて、更に、破損させる虞をなくすことができる。
【０１２０】
他の構成、及び作用効果については、前記実施例1，２と略同一であるので、説明を省略する。
【実施例４】
【０１２１】
図１６は、この発明の実施の形態の実施例４のウエハ押さえ部材３８を示すものである。
【０１２２】
なお、前記実施例１乃至３と同一乃至均等な部分については、同一符号を付して、構成上の相違点を中心に説明する。
【０１２３】
この実施例４のウエハ押さえ部材３８では、円弧部１４に設けられる移動抑制突起３６，３６の内側の接触面３６ａ，３６ａが、正面視で、湾曲形状となるように構成されている。
【０１２４】
次に、この実施例４のウエハ押さえ部材３８の作用について説明する。
【０１２５】
このように構成された実施例４のウエハ押さえ部材３８では、ウエハ搬送容器２０の落下等、外力が加わる際、半導体ウエハ４の上方への移動が生じても、移動抑制突起３６，３６の内側の接触面３６ａ，３６ａの湾曲形状に沿って、半導体ウエハ４の円滑にガイドされて、干渉しない。このため、更に、破損させる虞をなくすことができる。
【０１２６】
他の構成、及び作用効果については、前記実施例1乃至３と略同一であるので、説明を省略する。
【実施例５】
【０１２７】
図１７及び図１８は、この発明の実施の形態の実施例５のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造を示すものである。
【０１２８】
なお、前記実施例１乃至４と同一乃至均等な部分については、同一符号を付して、構成上の相違点を中心に説明する。
【０１２９】
この実施例５の蓋体７の裏面側７ａには、ウエハ押さえ部材１８の水平部１１，１１の両側面に摺接されて、水平方向へのウエハ押さえ部材１８の移動を防止するズレ防止リブ部７ｃ…が、複数本、突設されている。
【０１３０】
また、この蓋体７の裏面側７ａには、前記円弧部１４の裏面側に位置して、円弧部１４の弾性変形時に、円弧部１４の立ち上がり部１３近傍の裏面側に当接することにより、過剰な変形を防止するウエハ回転防止リブ部７ｄ，７ｄが、一対、前記支持枠部１０，１０の延設方向と平行に突設されている。
【０１３１】
次に、この実施例５のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造の作用について説明する。
【０１３２】
このように構成された実施例５のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造では、ウエハ搬送容器２０の落下等、外力が加わる際、蓋体７の裏面側７ａに突設されたズレ防止リブ部７ｃ…が、ウエハ押さえ部材１８の水平部１１，１１の両側面に摺接されて、水平方向へのウエハ押さえ部材１８の移動が防止される。
【０１３３】
このため、更に、半導体ウエハ４のキャッチミスを無くして、破損させる虞を減少させることができる。
【０１３４】
また、この実施例５では、蓋体７の裏面側７ａに突設されたウエハ回転防止リブ部７ｄ，７ｄが、前記円弧部１４の裏面側に位置して、円弧部１４の弾性変形時に、円弧部１４の立ち上がり部１３近傍の裏面側に当接することにより、過剰な変形が防止される。
【０１３５】
このため、半導体ウエハ４が、一旦上方へ移動した後に、下方へ移動する際に、前記ウエハ接触部９と、この半導体ウエハ４の上縁部４ａとの間に隙間を発生させる可能性を減少させて、半導体ウエハ４の回転を抑制できる。
【０１３６】
他の構成、及び作用効果については、前記実施例1乃至４と略同一であるので、説明を省略する。
【０１３７】
以上、図面を参照して、本発明の実施の形態の実施例１乃至５を詳述してきたが、具体的な構成は、この実施の形態に限らず、本発明の要旨を逸脱しない程度の設計的変更は、本発明に含まれる。
【０１３８】
即ち、前記実施の形態の実施例１では、ウエハ押さえ部材８が、ポリエステル系の熱可塑性エラストマーが用いられて構成されているが、オレフィン系、スチレン系等の他の各種熱可塑性エラストマー及びこれらの複合物等であっても良く、また、ＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）等によって構成されていても、弾性変形可能な長さを有して架設される水平部を各々設けるものであれば良く、材質が特に限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【０１３９】
【図１】この発明の最良の実施の形態の実施例１のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造で、ウエハ押さえ部材の構成を説明する橋状体の側面図である。
【図２】実施例１のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造で、ウエハ押さえ部材の構成を説明する斜視図及び要部の拡大斜視図である。
【図３】実施例１のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造が用いられるウエハ搬送容器を下方から見た分解斜視図で、（ａ）は、ウエハ収納容器の構成を示す斜視図、（ｂ）は、蓋体にウエハ押さえ部材が装着された様子を示し、（ｃ）は、装着時にウエハ押さえ部材が撓められた様子を示し、（ｄ）は、ウエハ押さえ部材の単品斜視図である。
【図４】実施例１のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造で、ウエハ押さえ部材の構成を説明する斜視図である。
【図５】実施例１のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造の形状の相違による比較を説明する表図である。
【図６】実施例１のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造の形状の相違による比較を説明し、（ａ）は、水平部が殆ど無い形状、（ｂ）は水平部を設けた形状、（ｃ）は、立ち上がり部を略垂直に変更した形状、（ｄ）はストッパ突起部を平坦形状に変更した形状、（ｅ）は、水平部が殆ど無く、立ち上がり部を略垂直に変更した形状、（ｆ）は立ち上がり部の傾斜角度αを大きく設定した形状、（ｇ）は、傾斜角度αは小さく、水平部の長さＬを大きく設定した形状、（ｈ）は、傾斜角度αを大きく、水平部の長さＬを大きく設定した形状を示している系統図である。
【図７】実施例１のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造で、通常状態でのウエハ押さえ部材の形状を示す側面図である。
【図８】実施例１のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造で、応力が加わった状態でのウエハ押さえ部材の形状を示す側面図である。
【図９】実施例１のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造で、さらに応力が加わった状態でのウエハ押さえ部材の形状を示す側面図である。
【図１０】実施例１のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造で、最も応力が加わった状態でのウエハ押さえ部材の形状を示す側面図である。
【図１１】実施例１のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造に用いられるウエハ押さえ部材を構成するクッション材料の曲げ弾性率と、クッション応力との相関図である。
【図１２】実施例１のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造に用いられるウエハ押さえ部材を構成するクッション材料の曲げ弾性率と、ウエハ応力との相関図である。
【図１３】実施例２のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造で、ウエハ押さえ部材の構成を説明する橋状体の側面図である。
【図１４】実施例２のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造で、最も応力が加わった状態でのウエハ押さえ部材の形状を示し、図１０に相当する側面図である。
【図１５】実施例３のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造で、ウエハ押さえ部材の構成を説明する橋状体の側面図である。
【図１６】実施例４のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造で、ウエハ押さえ部材の要部の構成を説明する縦断面図である。
【図１７】実施例５のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造で、図１８中Ａ−Ａ線に沿った位置での断面図である。
【図１８】実施例５のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造で、ウエハ押さえ部材を下方から見た下面図である。
【図１９】従来例のウエハ搬送容器のウエハ押さえ構造で、ウエハ押さえ部材の側面図である。
【符号の説明】
【０１４０】
６              容器本体
６ａ            開口部
７              蓋体
７ａ            裏面側
８，１８，２８，３８
ウエハ押さえ部材
９，１９，２９  ウエハ接触部
９ａ            外側端部
１１，１１      水平部
１３，１３      立ち上がり部
１４，１４      円弧部
１５            中央連結部
１６，２６，３６移動抑制突起
１７，１１７    ストッパ突起部
２０            ウエハ搬送容器
【図１】
2008141106.tif 000003
【図２】
2008141106.tif 000004
【図３】
2008141106.tif 000005
【図４】
2008141106.tif 000006
【図５】
2008141106.tif 000007
【図６】
2008141106.tif 000008
【図７】
2008141106.tif 000009
【図８】
2008141106.tif 000010
【図９】
2008141106.tif 000011
【図１０】
2008141106.tif 000012
【図１１】
2008141106.tif 000013
【図１２】
2008141106.tif 000014
【図１３】
2008141106.tif 000015
【図１４】
2008141106.tif 000016
【図１５】
2008141106.tif 000017
【図１６】
2008141106.tif 000018
【図１７】
2008141106.tif 000019
【図１８】
2008141106.tif 000020
【図１９】
2008141106.tif 000021