(57)【要約】【課題】主発塵源である走行レール・車輪接触部からの発生塵埃を拡散させずに床下へ排出するとともに、クリーン搬送装置のファンフィルタユニットを減らし、低コスト化と省力化を図るようにしたクリーン搬送装置を提供すること。【解決手段】クリーンルーム１内で走行レール２上を、スタッカクレーン３が車輪走行するとともに、クリーンルーム１内の空気を走行レール２の設置床面から排出するようにしたクリーン搬送装置において、設置床面として配設した通気床４を、走行レール付近４ａの開口率が他の部分４ｂより大きくなるように設定する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルーム内で走行レール上を台車が車輪走行するようにするとともに、クリーンルーム内の空気を走行レールの設置床面から排出するようにしたクリーン搬送装置において、走行レールの設置床面として配設した通気床を、走行レール付近の開口率が他の部分より大きくなるように設定して構成したことを特徴とするクリーン搬送装置。
【請求項２】
走行レールの設置床面を、グレーチングとしたことを特徴とする請求項１記載のクリーン搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーン搬送装置に関し、特に、カセットストッカーやその他のクリーンルーム内に配設した走行レールに沿って搬送台車の車輪を転動させることで走行するようにしたクリーン搬送装置において、主発塵源である走行レールと車輪の接触部からの発生塵埃を拡散させずに床下へ排出するとともに、クリーン搬送装置に付設するファンフィルタユニットを減らし、低コスト化と省力化を図るようにしたクリーン搬送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶ガラス基板や半導体ウエハの工場では、クリーンルーム内に搬送装置が設けられている。
このクリーン搬送装置として、特に限定されるものではないが、例えば、カセットストッカーは、図３に示すように、多段式に多数のカセットを収納するようにしたクリーンルーム１内の床面に走行レール２を敷設し、該走行レール２上をスタッカクレーン３が車輪走行するように構成するとともに、クリーンルーム１内を天井面より床面に向かい、かつ走行レール設置床面から排気するようダウンフローを形成している。
【０００３】
このため、クリーンルーム１には、図２（ｂ）に示すように、天井部に設けたファンフィルタユニット５から清浄空気が導入され、この導入された清浄空気によりダウンフローを発生させて、スタッカクレーン３のクレーン部３１及びカセット収納部のカセット６の周囲を通過した後、走行レール２を設置した床面に配設したグレーチングからなる通気床４を通じて床下に排出するようにし、所定のクリーン度を保つようにしている。
【０００４】
ところで、上記従来のクリーン搬送装置は、通気部となる通気床４の開口率は床全面に亘って一律であり、最も発塵し易い走行レール２と車輪３２との接触部においても、他の床面部と同様に排気流速が比較的遅いことから、走行レール２と車輪３２の接触部から発生した塵埃が舞い上がって拡散するおそれがある。
したがって、発生した塵埃の舞い上がり拡散を防止するため、従来のクリーン搬送装置においては、塵埃の舞い上がりを防止できる十分な排気流速を確保するために、ファンフィルタユニット５の設置台数を多くする必要があるという問題があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、従来のクリーン搬送装置の有する問題点に鑑み、付設するファンフィルタユニットを減らしても、主発塵源である走行レールと車輪の接触部からの発生塵埃を拡散させずに床下へスムースに排出するようにして、低コスト化と省力化を図るようにしたクリーン搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明のクリーン搬送装置は、クリーンルーム内で走行レール上を台車が車輪走行するようにするとともに、クリーンルーム内の空気を走行レールの設置床面から排出するようにしたクリーン搬送装置において、走行レールの設置床面として配設した通気床を、走行レール付近の開口率が他の部分より大きくなるように設定して構成したことを特徴とする。
【０００７】
この場合において、走行レールの設置床面を、グレーチングとすることができる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明のクリーン搬送装置によれば、クリーンルーム内で走行レール上を台車が車輪走行するようにするとともに、クリーンルーム内の空気を走行レールの設置床面から排出するようにしたクリーン搬送装置において、走行レールの設置床面として配設した通気床を、走行レール付近の開口率が他の部分より大きくなるように設定して構成しているから、簡単に発塵の多い走行レール付近の排気流量を多く、他は少なく設定することができ、これにより、走行レール付近の排気流速を上げることができるので、主発塵源である走行レールと車輪の接触部からの発生塵埃を拡散させることなく床下にスムースに排出することができ、かつカセット等の搬送物をクリーンに保つとともに、走行による塵埃巻上げを抑えることにより、台車の走行速度を上げることができる。
また、発塵の多い箇所の排気流量を多く、他は少なくすることにより、全面一律の開口率とする場合と比べ、装置全体に必要な空気の流入流量を減らすことができ、これにより、ファンフィルタユニットを減じて、低コスト化と省力化を図ることができる。
【０００９】
また、走行レールの設置床面を、グレーチングとしているから、床面において排気流量が異なる床面の構成も簡易に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明のクリーン搬送装置の実施の形態を、図面に基づいて説明する。
【実施例１】
【００１１】
図１〜図２に、本発明のクリーン搬送装置の第１実施例を示す。
このクリーン搬送装置は、特に限定されるものではないが、例えば、カセットストッカーのクリーンルーム１内の床面に走行レール２を２本平行して敷設され、該走行レール２上をスタッカクレーン３が車輪３２を転動するようにして走行し、該クリーンルーム１内で、かつスタッカクレーン３の走行レールに沿って走行する方向に沿って複数列に、かつ多段式に多数のカセット収納棚を配置し、スタッカクレーン３の走行と、該スタッカクレーン３に備えたクレーン部３１によって、液晶ガラス基板等が収納されたカセット６を両サイドの保管棚（図示省略）に移載するように構成している。
【００１２】
また、このカセットストッカーのクリーンルーム１内を、所定のクリーン度を保つため、クリーンルーム天井部より床面に向かう清浄空気によるダウンフローを形成するようにしている。
このクリーンルーム１内のダウンフローは、天井部に設けた複数台のファンフィルタユニット５と、走行レール設置床面の通気床４とより形成する。
また、複数台のファンフィルタユニット５は、クリーンルーム１内を、より詳しくはスタッカクレーン走行空間部とカセット収納棚部とを清浄空気が流下するようにして天井部に配設するとともに、走行レール２の設置床面に、通気床４を配設して構成する。
【００１３】
また、走行レール２の設置床面としての通気床４には、特に限定されるものではないが、例えば、図１に示すように、ステンレス等の細い金属板を格子状に組み合わせたものからなるグレーチングを用いることができる。
なお、通気床４には、グレーチングのほか、例えば、強度を要する場合には、通気孔を形成したコンクリート床等で構成することもできる。
この場合、通気床４は、スタッカクレーンの走行時、最も発塵し易い箇所、例えば、走行レール付近４ａ（走行レール２の真下及びその両側部）の床面部の開口率を大きくなるように、また他の部分４ｂの開口率を走行レール付近４ａのそれよりも小さくなるように設定する。
これはグレーチングの格子の目幅を調整することにより、走行レール付近４ａ（走行レール２の真下及びその両側部）の開口率が他の部分４ｂより大きくなるようにすることができる。
この走行レール付近４ａの床面部の開口率は、走行レール上を車輪の転動にて発塵する塵埃の舞い上がりを防止できる十分な排気流速を局部的に確保できるようにして設定するもので、また他の部分４ｂの開口率は、クリーンルーム１内を設定されたダウンフロー流速を得るようにして設定するようにする。
【００１４】
これにより、天井部に設けた複数台のファンフィルタユニット５から清浄空気がクリーンルーム１内に導入され、この導入された清浄空気が、図３に示すように、ダウンフローとなってスタッカクレーン３のクレーン部３１やカセット６の周囲を通過した後、走行レール２の設置床面として配設した通気床４を通じて床下に排出されるようにする。
【００１５】
次に、本発明のクリーン搬送装置の作用について説明する。
カセットストッカーなどのクリーンルーム１内で、走行レール２上をスタッカクレーン３が車輪走行するようにするとともに、クリーンルーム１内天井部のファンフィルタユニット５から清浄空気を噴出してクリーンルーム１内を、スタッカクレーン３のクレーン部３１及びカセット６の周囲を通過した後、走行レール２の設置床面の通気床４を通じて床下に排出するようにダウンフローを形成する。
この場合、スタッカクレーン３が走行レール２上を車輪走行するとき、走行レール２と車輪３２の接触面から発生する塵埃はダウンフローに載って通気床４を経て床下に排出されるが、通気床４の走行レール付近４ａの開口率を大きく、他の部分４ｂの開口率をそれより小さくしているから、走行レール付近４ａの排気流量と排気流速が、図２（ａ）に示すように、増大され、走行レール２と車輪３２の接触面から発生する塵埃を舞い上げることなく確実に床下に排出される。
【００１６】
なお、本実施例では、カセットストッカーについて説明したが、上記通気床４の構成は、ＯＨＶ（天井搬送台車）、ＲＧＶ（液晶用無人搬送台車）、ＣＶ（コンベア）等を用いたクリーン搬送装置にも適用することができる。
【００１７】
このように、本発明のクリーン搬送装置においては、発塵の多い走行レール付近４ａの排気流量を多く、他は少なくすることにより、走行レール付近４ａの排気流速を上げ、主発塵源である走行レール２と車輪３２の接触部からの発生塵埃を拡散させることなく床下に確実に排出して、カセット等の搬送物をクリーンに保つことができる。
【００１８】
また、走行レール付近４ａの排気流速を上げ、走行による塵埃巻上げを抑えることにより、スタッカクレーン３の走行速度を上げ、搬送効率の向上を図ることができる。
そして、発塵の多い箇所の排気流量を多く、他は少なくすることにより、全面一律の開口率の場合と比べ、装置全体に必要な清浄空気の流入流量を減らすことができるので、ファンフィルタユニット５の設置数を減じることができ、低コスト化と省力化を図ることができる利点を有する。
【００１９】
以上、本発明のクリーン搬送装置について、クリーンルーム天井部より床面に向かう清浄空気によるダウンフローを形成するようにした場合の実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、例えば、クリーンルーム側壁部より床面に向かう清浄空気によるサイドフローを形成するようにした場合にも適用できる等、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができるものである。
【産業上の利用可能性】
【００２０】
本発明のクリーン搬送装置は、ファンフィルタユニットの設置数を減らしても、主発塵源である走行レールと車輪の接触部からの発生塵埃を拡散させずに床下へスムースに排出するという特性を有していることから、カセットストッカーの用途に好適に用いることができるほか、例えば、クリーンルーム内で使用される有軌道の搬送装置の用途にも用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明のクリーン搬送装置の第１実施例を示す縦断面図である。
【図２】クリーン搬送装置のダウンフローの説明図で、（ａ）は本発明の実施例を、（ｂ）は従来の実施例を示す。
【図３】従来のクリーン搬送装置を示す縦断面図である。
【符号の説明】
【００２２】
１    クリーンルーム
２    走行レール
３    スタッカクレーン
３１  クレーン部
３２  車輪
４    通気床
４ａ  通気床の走行レール付近
４ｂ  通気床の他の部分
５    ファンフィルタユニット
６    カセット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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