(57)【要約】【課題】  容易に被加工物の表面を鏡面に加工する。【解決手段】  圧電材料からなる被加工物Ｂの表面を加工する表面加工装置１００であって、液体Ｌと酸化セリウムからなる砥粒ＳとメディアＭと被加工物Ｂとが入れられる導電性材料からなる筒体１０と、この筒体１０の中心軸線Ｃ１に長さ方向を合わせて配置される導電性材料からなる棒状の軸体２０と、筒体１０と軸体２０との間に設けられる絶縁部材０と、筒体１０と軸体２０とに接続され、筒体１０の内周面１３をプラス電極、軸体２０の外周面２１とマイナス電極とする電圧を印加する電源４０と、筒体１０を中心軸線を回転軸として回転させる動力手段５０と、を備え、軸体２０の中心軸線Ｃ２を水平にした場合に、電気泳動によって砥粒Ｓを筒体１０の内周面１３に被着させた状態で、動力手段５０で筒体１０を回転させて被加工物Ｂの表面の加工を行うことを特徴とする。【選択図】      図１
2008030177.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電材料からなる被加工物の表面を加工する表面加工装置であって、
アルカリ性にｐＨ調整された液体と酸化セリウムからなる砥粒とメディアとで少なくとも構成される表面加工用組成物と前記被加工物とが入れられる導電性材料からなる筒体と、
この筒体の中心軸線に長さ方向を合わせて配置される導電性材料からなる棒状の軸体と、
前記筒体と前記軸体との間に設けられる絶縁部材と、
前記筒体と前記軸体とに接続され、前記筒体の内周面をプラス電極、前記軸体の外周面とマイナス電極とするように電圧を印加する電源と、
前記筒体を中心軸線を回転軸として回転させる動力手段と、
を備え、
前記軸体の中心軸線を水平にした場合に、電気泳動によって前記砥粒を前記筒体の内周面に被着させた状態で、前記動力手段で前記筒体を回転させて前記被加工物の表面の加工を行うことを特徴とする表面加工装置。
【請求項２】
前記表面加工用組成物の前記砥粒が、コロイダルシリカからなることを特徴とする請求項１に記載の表面加工装置。
【請求項３】
圧電材料からなる被加工物の表面を加工する表面加工装置であって、
酸性にｐＨ調整された液体とコロイダルシリカからなる砥粒とメディアとで少なくとも構成される表面加工用組成物と前記被加工物とが入れられる導電性材料からなる筒体と、
この筒体の中心軸線に長さ方向を合わせて配置される導電性材料からなる棒状の軸体と、
前記筒体と前記軸体との間に設けられる絶縁部材と、
前記筒体と前記軸体とに接続され、前記筒体の内周面をマイナス電極、前記軸体の外周面とプラス電極とするように電圧を印加する電源と、
前記筒体を中心軸線を回転軸として回転させる動力手段と、
を備え、
前記軸体の中心軸線を水平にした場合に、電気泳動によって前記砥粒を前記筒体の内周面に被着させた状態で、前記動力手段で前記筒体を回転させて前記被加工物の表面の加工を行うことを特徴とする表面加工装置。
【請求項４】
圧電材料からなる被加工物の表面を加工する表面加工方法であって、
導電性材料からなる棒状の軸体に絶縁部材を介して設けられる導電性材料からなる筒体の内部にアルカリ性にｐＨ調整された液体と酸化セリウムからなる砥粒とメディアとで少なくとも構成される表面加工用組成物と前記被加工物とを封入する筒体内封入工程と、
前記筒体の中心軸線と前記軸体の中心軸線とが同一であり、前記軸体の中心軸線を水平にして、前記筒体を前記中心軸線を回転軸として動力手段により回転させる筒体回転工程と、
前記筒体を回転させた状態で前記筒体と前記軸体とに接続される電源により前記筒体の内周面をプラス電極、前記軸体の外周面をマイナス電極にして前記砥粒を前記筒体の内周面に固定させ、前記被加工物の表面を加工する表面加工工程と、
を備えて構成されることを特徴とする表面加工方法。
【請求項５】
前記表面加工用組成物の前記砥粒が、コロイダルシリカからなることを特徴とする請求項３に記載の表面加工方法。
【請求項６】
圧電材料からなる被加工物の表面を加工する表面加工方法であって、
導電性材料からなる棒状の軸体に絶縁部材を介して設けられる導電性材料からなる筒体の内部に酸性にｐＨ調整された液体とコロイダルシリカからなる砥粒とメディアとで少なくとも構成される表面加工用組成物と前記被加工物とを封入する筒体内封入工程と、
前記筒体の中心軸線と前記軸体の中心軸線とが同一であり、前記軸体の中心軸線を水平にして、前記筒体を前記中心軸線を回転軸として動力手段により回転させる筒体回転工程と、
前記筒体を回転させた状態で前記筒体と前記軸体とに接続される電源により前記筒体の内周面をマイナス電極、前記軸体の外周面をプラス電極にして前記砥粒を前記筒体の内周面に固定させ、前記被加工物の表面を加工する表面加工工程と、
を備えて構成されることを特徴とする表面加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物の表面を加工する表面加工装置及び表面加工方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、電子機器や各種センサに実装される圧電振動子等に用いられる圧電振動素子（以下、「被加工物」という。）の表面には例えばベベリングによる面取り加工がされる場合がある。
このような加工を行う場合、一般的には、回転軸となる軸体に筒体を設け、その筒体の中に砥粒と球状のアルミナ系又は金属系からなるメディアとからなる研磨用組成物と被加工物とを入れて、軸体を水平にした常態で筒体を回転させるか、または、遥動させる。これにより、被加工物は筒体の内周面を滑ることで砥粒とメディアとに接触して表面が加工されることとなる（例えば、特許文献１参照）。ここで、砥粒には主にＧＣ（グリーンカーボランダム）などの炭化珪素系が用いられる。
【特許文献１】特開２００２−２２４９４３号公報（段落０００２〜００１７、図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、砥粒にＧＣ（グリーンカーボランダム）などの炭化珪素系が用いられる場合、被加工物の表面粗さが鏡面のレベルにはならないという問題があった。
また、筒体の内周面と被加工物の表面との間に砥粒が挟まれて被加工物の表面を加工する際、砥粒が固定されていないために、被加工物との摩擦力が小さく加工力が小さかった。
【０００４】
そこで、本発明では、前記した問題を解決し、容易に被加工物の表面を鏡面に加工する表面加工装置及び表面加工方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記課題を解決するため、本発明は、圧電材料からなる被加工物の表面を加工する表面加工装置であって、アルカリ性にｐＨ調整された液体と酸化セリウムからなる砥粒とメディアとからなる表面加工用組成物と前記被加工物とが入れられる導電性材料からなる筒体と、この筒体の中心軸線に長さ方向を合わせて配置される導電性材料からなる棒状の軸体と、前記筒体と前記軸体との間に設けられる絶縁部材と、前記筒体と前記軸体とに接続され、前記筒体の内周面をプラス電極、前記軸体の外周面とマイナス電極とするように電圧を印加する電源と、前記筒体を中心軸線を回転軸として回転させる動力手段と、を備え、前記軸体の中心軸線を水平にした場合に、電気泳動によって前記砥粒を前記筒体の内周面に被着させた状態で、前記動力手段で前記筒体を回転させて前記被加工物の表面の加工を行うことを特徴とする。
【０００６】
また、本発明は、前記表面加工用組成物の前記砥粒が、コロイダルシリカであっても良い。
【０００７】
また、本発明は、圧電材料からなる被加工物の表面を加工する表面加工装置であって、酸性にｐＨ調整された液体とコロイダルシリカからなる砥粒とメディアとで少なくとも構成される表面加工用組成物と前記被加工物とが入れられる導電性材料からなる筒体と、この筒体の中心軸線に長さ方向を合わせて配置される導電性材料からなる棒状の軸体と、前記筒体と前記軸体との間に設けられる絶縁部材と、前記筒体と前記軸体とに接続され、前記筒体の内周面をマイナス電極、前記軸体の外周面とプラス電極とするように電圧を印加する電源と、前記筒体を中心軸線を回転軸として回転させる動力手段と、を備え、前記軸体の中心軸線を水平にした場合に、電気泳動によって前記砥粒を前記筒体の内周面に被着させた状態で、前記動力手段で前記筒体を回転させて前記被加工物の表面の加工を行うことを特徴とする。
【０００８】
また、本発明は、圧電材料からなる被加工物の表面を加工する表面加工方法であって、導電性材料からなる棒状の軸体に絶縁部材を介して設けられる導電性材料からなる筒体の内部にアルカリ性にｐＨ調整された液体と酸化セリウムからなる砥粒とメディアとからなる表面加工用組成物と前記被加工物とを封入する筒体内封入工程と、前記筒体の中心軸線と前記軸体の中心軸線とが同一であり、前記軸体の中心軸線を水平にして、前記筒体を前記中心軸線を回転軸として動力手段により回転させる筒体回転工程と、前記筒体を回転させた状態で前記筒体と前記軸体とに接続される電源により前記筒体の内周面をプラス電極、前記軸体の外周面をマイナス電極にして前記砥粒を前記筒体の内周面に固定させ、前記被加工物の表面を加工する表面加工工程と、を備えて構成されることを特徴とする。
【０００９】
また、本発明は、前記表面加工用組成物の前記砥粒が、コロイダルシリカであっても良い。
【００１０】
また、本発明は、圧電材料からなる被加工物の表面を加工する表面加工方法であって、
導電性材料からなる棒状の軸体に絶縁部材を介して設けられる導電性材料からなる筒体の内部に酸性にｐＨ調整された液体とコロイダルシリカからなる砥粒とメディアとで少なくとも構成される表面加工用組成物と前記被加工物とを封入する筒体内封入工程と、前記筒体の中心軸線と前記軸体の中心軸線とが同一であり、前記軸体の中心軸線を水平にして、前記筒体を前記中心軸線を回転軸として動力手段により回転させる筒体回転工程と、前記筒体を回転させた状態で前記筒体と前記軸体とに接続される電源により前記筒体の内周面をマイナス電極、前記軸体の外周面をプラス電極にして前記砥粒を前記筒体の内周面に固定させ、前記被加工物の表面を加工する表面加工工程と、を備えて構成されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
このような表面加工装置によれば、砥粒が筒体の内周面に電気泳動により固定されるので、筒体の内周面に固定された砥粒上を被加工物が滑るので、容易に被加工物の表面を鏡面に加工することができる。
また、このような表面加工方法によれば、砥粒が筒体の内周面に電気泳動により固定されるので、筒体の内周面に固定された砥粒上を被加工物が滑るので、容易に被加工物の表面を鏡面に加工することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
次に、本発明を実施するための最良の形態（以下、「実施形態」という。）について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。なお、被加工物を水晶からなる圧電材料で形成された圧電振動素子とし、既に表面が粗く表面加工された状態であるとして説明する。また、各実施形態について同一の構成要素については同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００１３】
（第一の実施形態）
図１は本発明の第一の実施形態に係る表面加工装置の一例を示す模式図である。図２は筒体に液体と砥粒とメディアと被加工物とを入れる前の状態を示す図である。図３は筒体と軸体とに電圧を印加する前の一例を示す模式図である。
【００１４】
図１に示すように、本発明の第一の実施形態に係る表面加工装置１００は、被加工物Ｂの表面を加工する役割を果たし、筒体１０、軸体２０、絶縁部材３０、電源４０、動力手段５０、動力伝達手段６０から主に構成される。
この表面加工装置１００は、筒体１０の中心軸線Ｃ１に軸体２０の中心軸線Ｃ２を合わせ、絶縁部材３０を介在させて筒体１０と軸体２０とを固定し、筒体１０の内周面１３がプラス電極、軸体２０の外周面２１がマイナス電極となるように電源４０を筒体１０と軸体２０とに接続し、動力伝達手段６０を介して動力手段５０によって筒体１０の中心軸線Ｃ１（軸体２０の中心軸線Ｃ２）を回転軸としてその筒体１０を回転させる構成となっている。
【００１５】
筒体１０は、例えば鉄などの導電性材料からなり、図１及び図２に示すように、筒体本体１１、蓋体１２、筒体用通電端子部１４から構成され、蓋体１１と容器本体１２とが嵌合可能になっている。これにより、筒体１０の内部に液体Ｌと砥粒ＳとメディアＭと前記被加工物Ｂとを入れられるようになっている。
【００１６】
筒体本体１１は、後述する軸体２０を備えても内部に空間が確保できる所定の直径を有しており、一方の端部の縁から中心軸線Ｃ１までの間であって、後述する軸体２０と絶縁部材３０とが占める領域が残されるように軸方向壁部Ｋが設けられている。また、他方の端部は開口しており、蓋体１２で塞がれるようになっている。
【００１７】
蓋体１２は、前記の通り筒体本体１１の開口する端部を塞ぎ、軸体２０を備えても内部に空間が確保できる所定の直径を有しており、一方の端部の縁から中心軸線Ｃ１までの間であって、後述する軸体２０と絶縁部材３０とが占める領域が残されるように軸方向壁部Ｋが設けられている。
【００１８】
筒体用通電端子部１４は、筒体本体１１の軸方向壁部Ｋの表面に、中心軸線Ｃ１を中心に円環状に設けられ、後述する電源４０と電気的に接続する役割を果たす。
これにより、筒体１０が回転している状態でも通電することができ、筒体１０の内周面１３が、後述する電源４０により電圧が印加されることでプラス電極となる。
【００１９】
ここで、液体Ｌは例えばアルカリ性にｐＨ調整された水が用いられる。これにより、砥粒Ｓの表面電位をマイナスにさせることができる。なお、液体Ｌは、例えば、主成分がアルカノールアミン類である分散剤と水とを混合したものを用いることもできる。
メディアＭは、被加工物の表面を加工する際の補助材であって、例えば、アルミナ系又は金属系からなる球体状体が用いられる。
【００２０】
砥粒Ｓは、酸化セリウムからなり、被加工物Ｂの表面を鏡面に加工する役割を果たす。
砥粒Ｓの粒径は、例えば、０．５μｍ〜２．０μｍのものが用いられる。この砥粒Ｓは酸化セリウムからなるため、後述するように、液体Ｌ内ではマイナスの電荷を帯電しているため、電圧が印加されて筒体１０の内周面１３がプラス電極となった場合に、電気泳動によりこの筒体１０の内周面１３に引き付けられて固定されることとなる。
これにより、回転する筒体１０の内周面１３に固定された砥粒Ｓ上を被加工物Ｂが滑るので、この砥粒Ｓで被加工物Ｂの表面を鏡面に加工することができる。
【００２１】
なお、酸化セリウムからなる砥粒Ｓに代えてコロイダルシリカ（図示せず）を用いても良い。コロイダルシリカを用いても酸化セリウムからなる砥粒Ｓと同様の効果を奏する。
またこの場合、液体に純水を用いることができる。なお、液体には、コロイダルシリカが分散する分散剤と純水とを混合して用いても良い。
【００２２】
被加工物Ｂは、例えば、円板状に形成された圧電振動素子であって、砥粒ＳやメディアＭとで表面が加工されることとなる。
【００２３】
軸体２０は、図１及び図２に示すように、例えば鉄などの導電性材料からなり、所定の長さを有し、筒体１０の内部に所定の空間が形成される程度に筒体１０の直径よりも小さい直径となっており、筒体１０の長さよりも長く形成されている。また、軸体２０は、筒体１０の中心軸線Ｃ１に長さ方向を合わせて筒体１０の内部に挿通して配置される。したがって、軸体２０の中心軸線Ｃ２は筒体１０の中心軸線Ｃ１と同一となっており、筒体１０を回転させる場合に、この筒体１０が軸体２０の中心軸線Ｃ２を回転軸として回転することができる。
また、軸体２０の一方の端部には軸体用通電端子部２２が設けられ、後述する電源４０と電気的に接続される。
【００２４】
軸体用通電端子部２２は、軸体２０の中心軸線Ｃ２を中心に環状となるように軸体２０の外周面に設けられる。
これにより、軸体２０が回転している状態でも通電することができ、軸体２０の外周面２１は、後述するが、電源４０により電圧が印加されることでマイナス電極となる。
この軸体２０は、基部Ｄ２で固定された支持部Ｄ１にベアリングＪを介して回動可能に支持されている。
【００２５】
絶縁部材３０は、図１及び図２に示すように、筒体１０と軸体２０との間に設けられて筒体１０と軸体２０とを固定し、筒体１０と軸体２０とが通電するのを防ぐ役割を果たす。具体的には、筒体１０の軸方向壁部Ｋから軸体２０までの間を塞ぐように設けられる。
この絶縁部材３０は、筒体１０の内周面１３をプラス電極、軸体２０の外周面２１をマイナス電極とするために、通電（短絡）しないように筒体１０と軸体２０との間に設けられるものである。
【００２６】
電源４０は、図１に示すように、筒体１０と軸体２０とに接続され、電圧を印加して筒体１０の内周面１３をプラス電極、軸体２０の外周面２１をマイナス電極とする役割を果たす。この電源４０は、筒体１０の筒体用通電端子部１４と接触する筒体用接触端子Ｔ１と、この筒体用接触端子Ｔ１に接続される導線Ｒ１と、軸体２０の軸体用通電端子部２２と接触する軸体用接触端子Ｔ２と、軸体用接触端子Ｔ２に接続される導線Ｒ２とを備えている。
【００２７】
したがって、電源４０から延びる導線Ｒ１と接続する筒体用接触端子Ｔ１が筒体用通電端子部１４を介して筒体１０と電気的に接続され、電源４０から延びる導線Ｒ２と接続する軸体用接触端子Ｔ２が軸体用通電端子部２２を介して軸体２０と電気的に接続される。
ここで、電源４０からの電流が直流であるとき、導線Ｒ１と筒体用接触端子Ｔ１とからなる系をプラス側、導線Ｒ２と軸体用接触端子Ｔ２とからなる系をマイナス側にすると、筒体１０の内周面１３をプラス電極、軸体２０の外周面２１をマイナス電極とすることができる。
【００２８】
これにより、筒体１０が回転していても筒体１０と軸体２０と電気的に接続することができるので、回転している筒体１０の内部に入れられている砥粒Ｓを電気泳動により筒体１０の内周面１３に固定することができる。
【００２９】
動力手段５０は、例えば、所定の回転数で回転可能なモータ等が用いられ、図１に示すように、軸体２０の中心軸線Ｃ２を水平にした状態で、筒体１０を回転させる役割を果たす。
例えば、動力手段５０は、動力伝達手段６０を介して動力を軸体２０に伝達させ、この軸体２０を回転させることで筒体１０を回転させる。
【００３０】
この動力伝達手段６０は、図１に示すように、動力手段側プーリー６１、軸体側プーリー６３、Ｖベルト６２とから構成される。
動力手段側プーリー６１は円板状に形成され、厚み側にＶベルト６２を掛けるための溝（図示せず）が設けられており、円板の中心が動力手段５０の回転動力の中心軸線と一致するように動力手段５０に取り付けられている。
【００３１】
また、軸体側プーリー６３は、動力手段側プーリー６１の直径よりも小さい直径で円板状に形成され、厚み側にＶベルト６２を掛けるための溝（図示せず）が設けられており、円板の中心が軸体２０の中心軸線Ｃ２と一致するように軸体２０に取り付けられている。
Ｖベルト６２は環状に形成され、動力手段側プーリー６１と軸体側プーリー６３とに架けられる。
【００３２】
これにより、動力手段５０を駆動させることにより、得られる動力が動力手段側プーリー６１、Ｖベルト６２、軸体側プーリー６３により軸体２０に伝えられることとなり、筒体１０を回転させることができる。
【００３３】
このように、本発明の実施形態に係る表面加工装置１００を構成したので、砥粒Ｓが回転する筒体１０の内周面１３に電気泳動により固定され、筒体１０の内周面１３に固定された砥粒Ｓ上を圧電振動素子が滑るので、従来よりも短時間で、また、多くの加工量で圧電振動素子の表面を鏡面に加工することができる。
【００３４】
次に、本発明の第一の実施形態に係る表面加工方法について説明する。
（筒体内封入工程）
筒体内封入工程では、図２に示すように、導電性材料からなる棒状の軸体２０に絶縁部材３０を介して設けられる導電性材料からなる筒体１０の内部に液体Ｌと酸化セリウムからなる砥粒ＳとメディアＭと前記被加工物Ｂとを封入する。
筒体１０の筒体本体１１と蓋体１２とを分離させた状態で筒体本体１１内に液体Ｌと砥粒ＳとメディアＭと被加工物Ｂとを入れた後に筒体本体１１と蓋体１２とを組み付けて封入する。
なお、筒体１０に流体とコロイダルシリカとメディアとを入れても良い。
【００３５】
（筒体回転工程）
筒体回転工程では、図３に示すように、筒体１０の中心軸線Ｃ１と軸体２０の中心軸線Ｃ２とが同一であり、液体Ｌと砥粒ＳとメディアＭと被加工物Ｂとを筒体１０に封入した後に、軸体２０と動力手段５０とを動力伝達手段６０を介して接続し、電源４０を筒体１０と軸体２０とに接続する。そして、軸体２０の中心軸線Ｃ２を水平にした状態で動力手段５０により筒体１０を軸体２０の中心軸線Ｃ２を回転軸として回転させる。これにより、回転する筒体１０の内部の被加工物Ｂは沈降する。
【００３６】
（表面加工工程）
図１に示すように、筒体１０が回転している状態で電圧を印加して、筒体１０の内周面１３をプラス電極、軸体２０の外周面２１をマイナス電極にし、電気泳動により砥粒Ｓを筒体１０の内周面１３に固定させる。例えば、表面電位がマイナスになる砥粒Ｓは、プラス電極となった筒体１０の内周面１３に引き付けられ、この筒体１０の内周面１３に固定される。また、回転する筒体１０の内部で、被加工物Ｂはこの筒体１０の内周面１３に固定されている砥粒Ｓの上を滑り、表面が加工され鏡面となる。
なお、筒体１０に流体とコロイダルシリカとメディアとを入れた場合は、コロイダルシリカが電気泳動により筒体１０の内周面１３に固定される。
【００３７】
このように、本発明の第一の実施形態に係る表面加工方法を構成したので、砥粒Ｓが筒体１０の内周面１３に電気泳動により固定されるので、筒体１０の内周面１３に固定された砥粒Ｓ上を被加工物Ｂ（圧電振動素子）が滑り、容易に被加工物の表面を鏡面に加工することができる。
【００３８】
（第二の実施形態）
図４は本発明の第二の実施形態に係る表面加工装置の一例を示す模式図である。
図４に示すように、本発明の第二の実施形態に係る表面加工装置１０１は、動力伝達手段６０の軸体側プーリー６３がローラー６４の回転軸体に取り付けられている点で第一の実施形態と異なる。
このローラー６４は、筒体１０の長さよりも長く形成されており、複数のローラー６４が軸方向を平行にした状態で並べられて用いられる。
これらローラー６４の上に筒体１０を載置しておき、動力手段５０で得られた動力がローラー６４に伝わって回転すると、筒体１０も同時に回転する。
このように第二の実施形態に係る表面加工装置１０１を構成しても、第一の実施形態と同様の効果を奏する。
【００３９】
（第三の実施形態）
図５は本発明の第三の実施形態に係る表面加工装置の一例を示す模式図である。
図５に示すように、本発明の第三の実施形態に係る表面加工装置１０２は、筒体１０の内周面１３がマイナス電極、軸体２０の外周面がプラス電極となる点で第一の実施形態と異なる。
【００４０】
筒体１０の内周面１３がマイナス電極、軸体２０の外周面がプラス電極とするためには、電源４０からの電流が導線Ｒ１と筒体用接触端子Ｔ１とからなる系をマイナス側、導線Ｒ２と軸体用接触端子Ｔ２とからなる系をプラス側にすることで、筒体１０の内周面１３をマイナス電極、軸体２０の外周面２１をプラス電極とすることができる。
【００４１】
また、酸性にｐＨ調整された液体Ｌと、コロイダルシリカからなる砥粒Ｓとを用いる。
液体Ｌは、例えば、アンモニア、エチレンジアミン等の塩基性剤を添加して用いることができる。また、塩酸、硝酸、酢酸等を添加しても良い。
コロイダルシリカからなる砥粒Ｓは、酸性にｐＨ調整された液体Ｌ内で表面電位がプラスとなる。
【００４２】
したがって、筒体１０が回転している状態で電圧を印加して、筒体１０の内周面１３をマイナス電極、軸体２０の外周面２１をプラス電極にすると、表面電位がプラスとなる砥粒Ｓは、電気泳動により筒体１０の内周面１３に固定される。例えば、表面電位がプラスになる砥粒Ｓは、マイナス電極となった筒体１０の内周面１３に引き付けられ、この筒体１０の内周面１３に固定される。また、回転する筒体１０の内部で、被加工物Ｂはこの筒体１０の内周面１３に固定されている砥粒Ｓの上を滑り、表面が加工され鏡面となる。
【００４３】
次に、本発明の第三の実施形態に係る表面加工方法について説明する。
（筒体内封入工程）
筒体内封入工程では、図２に示すように、導電性材料からなる棒状の軸体２０に絶縁部材３０を介して設けられる導電性材料からなる筒体１０の内部に液体Ｌとコロイダルシリカからなる砥粒ＳとメディアＭと前記被加工物Ｂとを封入する。
筒体１０の筒体本体１１と蓋体１２とを分離させた状態で筒体本体１１内に液体Ｌと砥粒ＳとメディアＭと被加工物Ｂとを入れた後に筒体本体１１と蓋体１２とを組み付けて封入する。
【００４４】
（筒体回転工程）
筒体回転工程では、図３に示すように、筒体１０の中心軸線Ｃ１と軸体２０の中心軸線Ｃ２とが同一であり、液体Ｌと砥粒ＳとメディアＭと被加工物Ｂとを筒体１０に封入した後に、軸体２０と動力手段５０とを動力伝達手段６０を介して接続し、電源４０を筒体１０と軸体２０とに接続する。そして、軸体２０の中心軸線Ｃ２を水平にした状態で動力手段５０により筒体１０を軸体２０の中心軸線Ｃ２を回転軸として回転させる。これにより、回転する筒体１０の内部の被加工物Ｂは沈降する。
【００４５】
（表面加工工程）
図１に示すように、筒体１０が回転している状態で電圧を印加して、筒体１０の内周面１３をマイナス電極、軸体２０の外周面２１をプラス電極にし、電気泳動により砥粒Ｓを筒体１０の内周面１３に固定させる。
例えば、表面電位がプラスになる砥粒Ｓは、マイナス電極となった筒体１０の内周面１３に引き付けられ、この筒体１０の内周面１３に固定される。また、回転する筒体１０の内部で、被加工物Ｂはこの筒体１０の内周面１３に固定されている砥粒Ｓの上を滑り、表面が加工され鏡面となる。
【００４６】
このように第三の実施形態に係る表面加工装置１０２を構成しても、第一の実施形態と同様の効果を奏する。
【００４７】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は前記実施形態には限定されない。例えば、筒体１０の回転は、一定方向に回転させても良いし、正回転と逆回転とを繰り返す回転を行っても良い。
また、電源は、直流電源を用いても良いし、交流を直流に整流する電源を用いても良い。また、筒体用接触端子Ｔ１や軸体用接触端子Ｔ２にブラシ電極を用いて、筒体１０及び軸体２０に直接接触させても良い。
また、高レベルの鏡面にする場合は、砥粒Ｓを超微粒子（５ｎｍ〜５０ｎｍ）のものを用いることができる。
また、本発明の各実施形態に係る表面加工装置１００、１０１を、通常のベベリングに用いても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の第一の実施形態に係る表面加工装置の一例を示す模式図である。
【図２】筒体に液体と砥粒とメディアと被加工物とを入れる前の状態を示す図である。
【図３】筒体と軸体とに電圧を印加する前の一例を示す模式図である。
【図４】本発明の第二の実施形態に係る表面加工装置の一例を示す模式図である。
【図５】本発明の第三の実施形態に係る表面加工装置の一例を示す模式図である。
【符号の説明】
【００４９】
１００、１０１、１０２  表面加工装置
１０    筒体
１１    筒体本体
１２    軸体
１３    内周面
１４    筒体用通電端子部
２０    軸体
２１    外周面
２２    軸体用通電端子部
３０    絶縁部材
４０    電源
５０    動力手段
６０    動力伝達手段
６１    動力手段側プーリー
６２    Ｖベルト６２
６３    軸体側プーリー
６４    ローラー
Ｂ      被加工物
Ｃ１、Ｃ２  中心軸線
Ｋ      軸方向壁部
Ｌ      液体
Ｍ      メディア
Ｒ１、Ｒ２  導線
Ｓ      砥粒
Ｔ１    筒体用接触端子
Ｔ２    軸体用接触端子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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