(57)【要約】【課題】基板の外観を高精度に検査する。【解決手段】層の特徴部分を白色領域とし、層の非特徴部分を黒色領域として、ＣＡＤデータから基板の各層の層画像データを取得する層画像データ取得部１３１２と、各層の層画像データを重ね合わせ、深さ方向の可視範囲内の白色領域及び黒色領域に基づいて積層構造データを作成する積層構造データ作成部１３１４と、基板製造データに基づいて色データベース１４４０から各層の特徴部分に対応する色データを取得する色データ取得部１３４２と、積層構造データと色データとに基づいて基板の各領域の色特徴値を表す領域色特徴データを作成する領域色特徴データ作成部１３９２と、基板の撮像画像データと領域色特徴データとに基づいて基板の外観を検査する検査部１３９４とを有する。【選択図】図１
2008084054.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の層からなる基板の外観の良否を検査する基板外観検査装置において、
前記基板の撮像画像データを取得する撮像部と、
前記基板の設計図面を表すＣＡＤデータを格納しているＣＡＤデータ格納手段から該ＣＡＤデータを読み出すＣＡＤデータ読出部と、
特定の材料により形成されている部分または特定の処理が施されている部分を特徴部分とし、該特徴部分が存在する領域を第１色領域とし、及び該特徴部分が存在しない領域を第２色領域として、前記ＣＡＤデータ読出部によって読み出された前記ＣＡＤデータから、前記基板の層ごとに、該層の画像を表す層画像データを取得する層画像データ取得部と、
前記層画像データ取得部によって取得された各層の前記層画像データを重ね合わせて合成層画像データを作成し、作成した該合成層画像データから、深さ方向の可視範囲がそれぞれ異なる各内部領域を各検査領域として抽出し、抽出した検査領域ごとに、深さ方向の可視範囲内の前記第１色領域及び前記第２色領域に基づいて、該合成層画像データを二値のコードに変換することにより、各検査領域の積層構造を表す積層構造データを作成する積層構造データ作成部と、
前記基板の製造に関する基板製造データを格納している基板製造データ格納手段から該基板製造データを読み出す基板製造データ読出部と、
前記特徴部分に応じて定まる色を表す色データを格納している色データベースと、
前記基板製造データ読出部によって読み出された前記基板製造データに基づいて、前記色データベースから、前記基板の層ごとに、前記特徴部分に対応する前記色データを取得する色データ取得部と、
前記積層構造データ作成部によって作成された各検査領域の前記積層構造データと、前記色データ取得部によって取得された各層の前記特徴部分に対応する前記色データとに基づいて、各検査領域の論理上の色階調値である色特徴値を表す領域色特徴データを作成する領域色特徴データ作成部と、
前記撮像部によって取得された前記撮像画像データから、各検査領域の色階調値を検出し、前記領域色特徴データ作成部によって作成された前記領域色特徴データが表す各検査領域の前記色特徴値と、検出した各検査領域の前記色階調値とを比較し、各検査領域の前記色特徴値と各検査領域の該色階調値とが予め定められた誤差範囲内で一致する場合に、前記基板の外観を適正と判断する検査部とを有する
ことを特徴とする基板外観検査装置。
【請求項２】
複数の層からなる基板の外観の良否を検査する基板外観検査装置において、
前記基板の撮像画像データを取得する撮像部と、
前記撮像部によって取得された前記撮像画像データのスキューを補正して、スキュー補正画像データを取得するスキュー補正部と、
前記基板の設計図面を表すＣＡＤデータを格納しているＣＡＤデータ格納手段から該ＣＡＤデータを読み出すＣＡＤデータ読出部と、
特定の材料により形成されている部分または特定の処理が施されている部分を特徴部分とし、該特徴部分が存在する領域を第１色領域とし、及び該特徴部分が存在しない領域を第２色領域として、前記ＣＡＤデータ読出部によって読み出された前記ＣＡＤデータから、前記基板の層ごとに、該層の画像を表す層画像データを取得する層画像データ取得部と、
前記層画像データ取得部によって取得された各層の前記層画像データを重ね合わせて合成層画像データを作成し、作成した該合成層画像データから、深さ方向の可視範囲がそれぞれ異なる各内部領域を各検査領域として抽出し、抽出した検査領域ごとに、深さ方向の可視範囲内の前記第１色領域及び前記第２色領域に基づいて、該合成層画像データを二値のコードに変換することにより、各検査領域の積層構造を表す積層構造データを作成する積層構造データ作成部と、
前記スキュー補正部によって取得された前記スキュー補正画像データから各検査領域を検出し、検出した各検査領域に前記積層構造データ作成部によって作成された前記積層構造データを対応付けることにより、位置合わせデータを作成する位置合わせ部と、
前記基板の製造に関する基板製造データを格納している基板製造データ格納手段から該基板製造データを読み出す基板製造データ読出部と、
前記特徴部分に応じて定まる色を表す色データを格納している色データベースと、
前記基板製造データ読出部によって読み出された前記基板製造データに基づいて、前記色データベースから、前記基板の層ごとに、前記特徴部分に対応する前記色データを取得する色データ取得部と、
前記位置合わせ部によって作成された前記位置合わせデータと、前記色データ取得部によって取得された各層の前記特徴部分に対応する前記色データとに基づいて、各検査領域の論理上の色階調値である色特徴値を算出し、該色特徴値を表す領域色特徴データを作成する領域色特徴データ作成部と、
前記スキュー補正部によって取得された前記スキュー補正画像データから、各検査領域の色階調値を検出し、前記領域色特徴データ作成部によって作成された前記領域色特徴データが表す各検査領域の前記色特徴値と、検出した各検査領域の該色階調値とを比較し、各検査領域の前記色特徴値と各検査領域の該色階調値とが予め定められた誤差範囲内で一致する場合に、前記基板の外観を適正と判断する検査部とを有する
ことを特徴とする基板外観検査装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の基板外観検査装置において、
前記領域色特徴データ作成部によって作成された領域色特徴データが表す各検査領域の色特徴値は、Ｒ色特徴値、Ｇ色特徴値、及びＢ色特徴値とを含み、
前記Ｒ色特徴値、前記Ｇ色特徴値、及び前記Ｂ色特徴値は、それぞれ、以下の式１〜３により算出される値である
ことを特徴とする基板外観検査装置。
【数１】
2008084054.tif 000007
【請求項４】
複数の層からなる基板の外観の良否を検査する基板外観検査装置において、
前記基板の撮像画像データを取得する撮像部と、
前記基板の設計図面を表すＣＡＤデータを格納しているＣＡＤデータ格納手段から該ＣＡＤデータを読み出すＣＡＤデータ読出部と、
特定の材料により形成されている部分または特定の処理が施されている部分を特徴部分とし、該特徴部分が存在する領域を第１色領域とし、及び該特徴部分が存在しない領域を第２色領域として、前記ＣＡＤデータ読出部によって読み出された前記ＣＡＤデータから、前記基板の層ごとに、該層の画像を表す層画像データを取得する層画像データ取得部と、
前記基板の製造に関する基板製造データを格納している基板製造データ格納手段から該基板製造データを読み出す基板製造データ読出部と、
前記基板製造データから、前記基板の各層を構成している材料の種類を表す材料種類データを取得する材料種類データ取得部と、
前記基板製造データから、処理が施されている層の処理内容を表す層処理データを取得する層処理データ取得部と、
前記基板製造データから、前記基板の各層を構成している材料の厚さを表す材料厚データを取得する材料厚データ取得部と、
前記基板製造データから、前記基板の各層の構成を表す層構成データを取得する層構成データ取得部と、
前記特徴部分に応じて定まる色を表す色データを格納している色データベースと、
前記材料種類データ取得部によって取得された前記材料種類データおよび／または前記層処理データ取得部によって取得された前記層処理データに基づいて、前記色データベースから、前記基板の層ごとに、前記特徴部分に対応する前記色データを取得する色データ取得部と、
前記色データ取得部によって取得された各層の前記特徴部分に対応する前記色データを、前記層画像データ取得部によって取得された各層の前記層画像データの中の前記第１色領域に合成することにより、前記基板の層ごとに、各層のカラー画像を表すカラー層画像データを作成するカラー層画像データ作成部と、
前記層処理データ取得部によって取得された前記層処理データと前記材料厚データ取得部によって取得された前記材料厚データと前記層構成データ取得部によって取得された前記層構成データとに基づいて、前記カラー層画像データ作成部によって作成された各層の前記カラー層画像データを重ね合わせて、前記基板の積層構造のカラー画像を表すカラー積層画像データを作成するカラー積層画像データ作成部と、
前記カラー積層画像データ作成部によって作成された前記カラー積層画像データに基づいて、前記カラー層画像データ作成部によって作成された各層の前記カラー層画像データを重ね合わせることにより、前記基板の主表面のカラー画像を表すカラー表面画像データを作成するカラー表面画像データ作成部と、
前記カラー表面画像データ作成部によって作成された前記カラー表面画像データから色パターンの輪郭で区切られた各内部領域を各検査領域として抽出し、抽出した各検査領域の論理上の色階調値である色特徴値を表す領域色特徴データを作成する領域色特徴データ作成部と、
前記撮像部によって取得された前記撮像画像データから、各検査領域の色階調値を検出し、前記領域色特徴データ作成部によって作成された前記領域色特徴データが表す各検査領域の前記色特徴値と、検出した各検査領域の該色階調値とを比較し、各検査領域の前記色特徴値と各検査領域の該色階調値とが予め定められた誤差範囲内で一致する場合に、前記基板の外観を適正と判断する検査部とを有する
ことを特徴とする基板外観検査装置。
【請求項５】
請求項４に記載の基板外観検査装置において、
前記領域色特徴データ作成部は、前記カラー表面画像データ作成部によって作成された前記カラー表面画像データから色パターンの輪郭で区切られた各内部領域を各検査領域として抽出し、さらに、以下の式１〜３により、抽出した各検査領域のＲ色特徴値、Ｇ色特徴値、及びＢ色特徴値を算出する
ことを特徴とする基板外観検査装置。
【数２】
2008084054.tif 000008
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、基板の外観の良否を検査する基板外観検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板の製造に際して、基板の外観の良否の検査（以下、単に「外観検査」と称する）は、検査者が目視によって行っていた。しかしながら、目視による検査は、検査者の能力によって、検査時間や検査精度にバラツキが生じる。そのため、基板の外観検査は、検査者の能力による検査時間や検査精度にバラツキが生じないようにすること、さらには、従来よりも検査時間を短縮させるとともに検査精度を向上させることが望まれていた。
【０００３】
そこで、近年、基板の外観検査は、基板外観検査装置と称される装置によって行われるようになってきた（例えば、特許文献１及び２参照）。
【０００４】
この基板外観検査装置による検査で、時間を短縮するとともに精度を向上させるためには、虚報、すなわち、イレギュラーな検査結果の数を減らす必要がある。そこで、基板外観検査装置を操作するオペレータは、基板外観検査装置に設定する設定データを調整することによって、虚報の数を減らしていた。なお、設定データとしては、例えば、検査パラメータや検査領域データなどがある。検査パラメータは、検査対象に関連するデータであり、例えば、基板の大きさや厚さなどの基板の外形データ、不良検出個数や不良の大きさなどの検査精度データがある。検査領域データは、基板の主表面の色パターンの輪郭で区切られた各内部領域を外観検査の対象領域（以下、「検査領域」と称する）とし、その各検査領域に関するデータであり、例えば、検査領域の位置座標データ、検査領域の色特徴値データなどがある。なお、主表面とは、配線パターンが形成された基板の上側の露出面（以下、「上面」と称する）及び下側の露出面（以下、「下面」と称する）の、一方または両方を意味する。
【０００５】
しかしながら、設定データの調整は、一枚の基準基板のデータからでは、高精度な基準基板データを取得することができない。そのため、設定データの調整は、例えば、以下に述べる理由により、多大な時間を必要としていた。
【０００６】
（１）第１の理由は、設定データを調整するためのティーチング作業において、多くの作業を、手作業で慎重かつ精度良く行うための時間を必要とするからである。
【０００７】
なお、「ティーチング作業」とは、コンピュータに設定データを作成させて、その設定データを基板外観検査装置に設定する作業のことである。ティーチング作業の内容としては、例えば、以下の第１〜第５の作業がある。
【０００８】
第１の作業は、外観検査の基準となる基板（以下、「基準基板」と称する）を選別する作業である。なお、この基準基板は、「ゴールデンボード」と称される場合もある。この作業は、手作業で、多数の検査の対象となる基板（以下、「検査基板」と称する）の中から、不良（キズ、色ムラなど）が無いものを、選別することによって、行われる。
【０００９】
第２の作業は、コンピュータに検査領域データを作成させて、手作業で、その検査領域データを基板外観検査装置に設定する作業である。
【００１０】
第３の作業は、基板外観検査装置に基準基板を検査させて、基準基板のデータを収集させる作業である。
【００１１】
第４の作業は、コンピュータに、基準基板の収集データの中から、外観検査の基準となる特徴データ（以下、「検査基準特徴データ」と称する）を抽出させる作業である。
【００１２】
第５の作業は、手作業で、検査基準特徴データを、検査パラメータの一種として、基板外観検査装置に設定する作業である。
【００１３】
このようなティーチング作業は、基板外観検査装置の性能に大きな影響を与えるため、慎重かつ精度良く行う必要がある。しかも、このようなティーチング作業は、多くの作業がオペレータの手作業によって行われている。そのため、多大な時間が必要である。
【００１４】
（２）第２の理由は、ティーチング作業において、良好な検査基準特徴データを得るための時間を必要とするからである。
【００１５】
良好な検査基準特徴データを抽出するためには、オペレータは、不良（キズ、色ムラなど）が全く無い基板だけを、基準基板として、選別する必要がある。しかしながら、実際には、オペレータは、不良が若干存在する基板を、基準基板として、選別する場合がある。そのため、一枚の基準基板の収集データの中から抽出された検査基準特徴データは、基板ごとのバラツキが大きく、信頼性が低い。この検査基準特徴データを用いて基板の外観検査を行うと、当然ながら、検査の精度は低下する。
【００１６】
そこで、オペレータは、検査の精度を向上させるために、以下のようにして、基板の外観検査を行っている。すなわち、まず、オペレータは、多数の基板の中から、複数枚の基準基板を選別し、選別した複数枚の基準基板を基板外観検査装置に外観検査させて、複数枚の基準基板のデータを収集させる。次に、オペレータは、コンピュータに、複数枚の基準基板の収集データから平均データを作成させ、その平均データの中から検査基準特徴データを抽出させる。これによって、オペレータは、基板ごとのバラツキを抑えた良好な検査基準特徴データを得る。オペレータは、このようにして得た良好な検査基準特徴データを、検査パラメータの一種として、基板外観検査装置に設定して、基板外観検査装置に基板の外観検査を行わせる。このようにして、オペレータは、検査の精度を向上させていた。
【００１７】
しかしながら、このような作業は、煩雑であり、またオペレータに高度な技能を要求するため、多大な時間が必要であった。
【００１８】
（３）第３の理由は、ティーチング作業において、設定データを手作業で基板外観検査装置に設定するための時間を必要とするからである。
【００１９】
設定データとしては、上述の通り、例えば、検査パラメータや検査領域データなどがある。オペレータは、検査パラメータとして、基板の外形（大きさ、厚さ）や検査精度（不良検出個数、不良の大きさ）などを、基板外観検査装置に設定するとともに、検査領域データとして、基板の上面の色パターンの輪郭などを、基板外観検査装置に設定する。これらの作業は、手作業で行われるため、多大な時間が必要であった。
【００２０】
しかも、検査領域データを設定するためには、以下のような作業を行う必要があった。すなわち、まず、オペレータは、多数の基板の中から、複数枚の基準基板を選別し、選別した複数枚の基準基板を基板外観検査装置に外観検査させて、複数枚の基準基板のデータを収集させる。次に、オペレータは、コンピュータに、複数枚の基準基板の収集データから平均データを作成させ、その平均データにおける輝度の差に基づいて検査領域を決定させ、その検査領域を表す検査領域データを作成させる。最後に、オペレータは、作成された検査領域データを基板外観検査装置に設定する。しかしながら、コンピュータは、輝度の差だけでは正確な検査領域を決定することができない。そこで、オペレータは、以下のようにして、検査領域データの設定を調整している。すなわち、まず、オペレータは、コンピュータを操作して、ディスプレイに基板の画像を表示させ、さらに、作成された検査領域データが表す検査領域、すなわち、輝度の差に基づいて決定させた検査領域を、その基板の画像の上に重ねて表示させる。そして、オペレータは、例えばマウスなどのポインティングデバイスを用いて、ディスプレイに表示された検査領域を修正する。コンピュータは、これに応答して、検査領域データの設定を調整する。
【特許文献１】特開平０６−３４８８２０号公報（図１）
【特許文献２】特開平１１−３３７４９８号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２１】
従来の基板外観検査装置は、一枚の基準基板のデータからでは、高精度な基準基板データを取得することができない。そのため、従来の基板外観検査装置は、高精度な検査を行うために、オペレータが以下のような煩雑な基板外観検査装置へのティーチング作業を行う必要があった。すなわち、従来の基板外観検査装置は、（１）多量の基板を用意する作業、（２）多量の基板の中から多量の基準基板を選定する作業、（３）多量の基準基板のデータを収集する作業、（４）検査領域データを逐次作成する作業、（５）手作業で基板外観検査装置への設定データ、例えば、検査パラメータや、検査領域データ、検査領域に対応する色データなどを設定する作業、及び調整する作業などが必要であった。
【００２２】
したがって、このような従来の基板外観検査装置は、作業が煩雑であるとともに、オペレータに高度な技能を要求するため、高精度な検査を行うためには、多大な時間をかける必要があるという課題があった。
【００２３】
この課題は、基板外観検査装置の検査効率を低下させ、さらに、基板の製造効率を低下させる。特に、この課題は、本来の目的である基板の外観検査よりも、基板外観検査装置へのティーチング作業に多大な時間を必要とする場合があるため、多品種の基板を少量ずつ製造する基板メーカ（以下、「多品種少量基板メーカ」と称する）にとって、深刻である。そのため、多品種少量基板メーカの中には、基板外観検査装置の利用を断念して、別の手法で基板の外観検査を行うメーカもある。したがって、この課題は、多品種少量基板メーカへの基板外観検査装置の普及を妨げる要因ともなっている。
【００２４】
しかも、従来の基板外観検査装置は、基板の撮像画像データを取得し、取得した撮像画像データの各画素の色（具体的には、赤色（Ｒ色）、緑色（Ｇ色）、及び青色（Ｂ色）の階調値）を解析して、撮像画像データの中から、色ごとに、レジスト材、シルク材、パットなどの各領域を検出する。そして、従来の基板外観検査装置は、検出した各領域を検査領域として、各検査領域の画像を撮像画像データから分離し、分離した各検査領域の色に基づいて、基板の外観の良否（以下、単に「外観」と称する場合もある）を検査する。しかしながら、例えば、構成が複雑な多層基板は、領域の色の種類が多数ありかつ領域の形状が複雑である。そのため、外観検査は、基板の構成が複雑な場合に、色の解析だけでは、常に正確に検査領域を分離することができない。仮に、検査領域が不正確に分離された場合は、検査精度が低下する。したがって、従来の基板外観検査装置は、常に正確に検査領域を分離することができないという課題、及び、検査領域が不正確に分離された場合に、検査精度が低下するという課題があった。
【００２５】
そこで、この発明の目的は、ティーチング作業の時間を従来よりも短縮しつつ、検査の精度を従来よりも向上させるために、基板の設計画像を表すＣＡＤデータと、基板の製造に関する基板製造データとを用いて、検査の基準となる基準基板データを擬似的に作成し、その基準基板データを用いて基板の外観の良否を検査する基板外観検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２６】
上述の目的の達成を図るため、第１の発明の要旨によれば、以下の構成を具える基板外観検査装置を提供する。
【００２７】
この基板外観検査装置は、撮像部とＣＡＤデータ読出部と層画像データ取得部と積層構造データ作成部と基板製造データ読出部と色データベースと色データ取得部と領域色特徴データ作成部と検査部とを有する。なお、ここでは、「取得」とは、任意のデータの中からそのデータの中に含まれているデータを抽出する動作、任意のデータに基づいて別のデータを作成する動作、及び、任意の記憶部からデータを読み出す動作のいずれか一乃至複数の動作を意味している。
【００２８】
撮像部は、複数の層からなる基板を撮像して、基板の撮像画像データを取得する。
【００２９】
ＣＡＤデータ読出部は、基板の設計画像を表すＣＡＤデータを格納しているＣＡＤデータ格納手段からＣＡＤデータを読み出す。このＣＡＤデータは、基板の設計画像を表すデータであり、基板の設計過程で作成される。
【００３０】
層画像データ取得部は、特定の材料により形成されている部分または特定の処理が施されている部分を特徴部分とし、特徴部分が存在する領域を第１色領域、例えば、白色領域とし、及び特徴部分が存在しない領域を第２色領域、例えば、黒色領域として、ＣＡＤデータ読出部によって読み出されたＣＡＤデータから、基板の層ごとに、層の画像を表す層画像データを取得する。
【００３１】
積層構造データ作成部は、層画像データ取得部によって取得された各層の層画像データを重ね合わせて合成層画像データを作成し、作成した合成層画像データから、深さ方向の可視範囲がそれぞれ異なる各内部領域を各検査領域として抽出し、抽出した検査領域ごとに、深さ方向の可視範囲内の第１色領域及び第２色領域に基づいて、合成層画像データを二値のコードに変換する。これにより、積層構造データ作成部は、各検査領域の積層構造を表す積層構造データを作成する。なお、ここで、「可視範囲」とは、基板の一方の主表面の外側から基板を垂直に見たときに、主表面から、主表面の下の透けて見える層までの範囲を意味している。「可視範囲」は、通常、銅、シルク材、コア材などの透過率が低いため、主表面から、これらの材料によって構成された層よりも上の層（ただし、これら銅、シルク材、コア材などによって構成された層を含む）までの範囲となる。
【００３２】
基板製造データ読出部は、基板の製造に関する基板製造データを格納している基板製造データ格納手段から基板製造データを読み出す。この基板製造データは、基板の製造に関するデータであり、基板の製造過程で用いられる。この基板製造データは、例えば、材料の種類を表す材料種類データ、処理が施されている層の処理内容を表す層処理データ、材料の厚さを表す材料厚データ、及び、層の構成を表す層構成データを含んでいる。
【００３３】
色データベースは、特徴部分に応じて定まる色を表す色データを格納している。
【００３４】
色データ取得部は、基板製造データ読出部によって読み出された基板製造データに基づいて、色データベースから、基板の層ごとに、特徴部分に対応する色データを取得する。
【００３５】
領域色特徴データ作成部は、積層構造データ作成部によって作成された各検査領域の積層構造データと、色データ取得部によって取得された各層の特徴部分に対応する色データとに基づいて、各検査領域の論理上の色階調値である色特徴値を算出し、この色特徴値を表す領域色特徴データを作成する。この各検査領域の色特徴値は、基板の外観の良否を検査するための基準基板データとなる。
【００３６】
検査部は、撮像部によって取得された撮像画像データから、各検査領域の測定上の色特徴値である色階調値を検出し、領域色特徴データ作成部によって作成された領域色特徴データが表す各検査領域の色特徴値と、検出した各検査領域の色階調値とを比較し、各検査領域の色特徴値と各検査領域の色階調値とが予め定められた誤差範囲内で一致する場合に、基板の外観を適正と判断する。
【００３７】
また、上述の目的の達成を図るため、第２の発明の要旨によれば、以下の構成を具える基板外観検査装置を提供する。
【００３８】
この基板外観検査装置は、撮像部とＣＡＤデータ読出部と層画像データ取得部と基板製造データ読出部と材料種類データ取得部と層処理データ取得部と材料厚データ取得部と層構成データ取得部と色データベースと色データ取得部とカラー層画像データ作成部とカラー積層画像データ作成部とカラー表面画像データ作成部と領域色特徴データ作成部と検査部とを有する。
【００３９】
撮像部は、複数の層からなる基板を撮像して、基板の撮像画像データを取得する。
【００４０】
ＣＡＤデータ読出部は、基板の設計過程で作成されるＣＡＤデータを格納しているＣＡＤデータ格納手段からＣＡＤデータを読み出す。このＣＡＤデータは、基板の設計画像のデータである。
【００４１】
層画像データ取得部は、特定の材料により形成されている部分または特定の処理が施されている部分を特徴部分とし、特徴部分が存在する領域を第１色領域、例えば、白色領域とし、及び特徴部分が存在しない領域を第２色領域、例えば、黒色領域として、ＣＡＤデータ読出部によって読み出されたＣＡＤデータから、基板の層ごとに、層の画像を表す層画像データを取得する。
【００４２】
基板製造データ読出部は、基板の製造に関する基板製造データを格納している基板製造データ格納手段から基板製造データを読み出す。
【００４３】
材料種類データ取得部は、基板製造データから、例えば、レジスト材、コア材、プリプレグ材、シルク材、メッキ材などの、基板の各層を構成している材料の種類を表す材料種類データを取得する。なお、各層を構成している材料が、各層の特徴部分となる。
【００４４】
層処理データ取得部は、基板製造データから、処理が施されている層の処理内容を表す層処理データを取得する。なお、処理が施されている層の処理部分が、各層の特徴部分となる。
【００４５】
材料厚データ取得部は、基板製造データから、基板の各層を構成している材料の厚さを表す材料厚データを取得する。
【００４６】
層構成データ取得部は、基板製造データから、基板の各層の構成を表す層構成データを取得する。
【００４７】
色データベースは、特徴部分に応じて定まる色を表す色データを格納している。
【００４８】
色データ取得部は、材料種類データ取得部によって取得された材料種類データおよび／または層処理データ取得部によって取得された層処理データに基づいて、色データベースから、基板の層ごとに、特徴部分に対応する色データを取得する。
【００４９】
カラー層画像データ作成部は、色データ取得部によって取得された各層の特徴部分に対応する色データを、層画像データ取得部によって取得された各層の層画像データの中の第１色領域に合成することにより、基板の層ごとに、各層のカラー画像を表すカラー層画像データを作成する。
【００５０】
カラー積層画像データ作成部は、層処理データ取得部によって取得された層処理データと材料厚データ取得部によって取得された材料厚データと層構成データ取得部によって取得された層構成データとに基づいて、カラー層画像データ作成部によって作成された各層のカラー層画像データを重ね合わせて、基板の積層構造のカラー画像を表すカラー積層画像データを作成する。
【００５１】
カラー表面画像データ作成部は、カラー積層画像データ作成部によって作成されたカラー積層画像データに基づいて、カラー層画像データ作成部によって作成された各層のカラー層画像データを重ね合わせることにより、カラー表面画像データを作成する。
【００５２】
領域色特徴データ作成部は、カラー表面画像データ作成部によって作成されたカラー表面画像データから色パターンの輪郭で区切られた各内部領域を各検査領域として抽出し、抽出した各検査領域の色特徴値を表す領域色特徴データを作成する。
【００５３】
検査部は、撮像部によって取得された撮像画像データから、各検査領域の測定上の色特徴値である色階調値を検出し、領域色特徴データ作成部によって作成された領域色特徴データが表す各検査領域の色特徴値と、検出した各検査領域の色階調値とを比較し、各検査領域の色特徴値と各検査領域の色階調値とが予め定められた誤差範囲内で一致する場合に、基板の外観を適正と判断する。
【発明の効果】
【００５４】
第１の発明に係る基板外観検査装置は、従来のように、基板の撮像画像データを取得し、取得した撮像画像データの各領域の色を解析して、色ごとに、レジスト材、シルク材、パットなどの領域を各検査領域として分離するのではなく、ＣＡＤデータに基づいて層画像データを作成し、その層画像データに基づいて基板の各検査領域を分離する。そして、この基板外観検査装置は、このようにして分離した各検査領域の色特徴値を算出し、その各検査領域の色特徴値を、基準基板データとして用いることにより、基板の外観の良否を検査する。
【００５５】
この基板外観検査装置によれば、従来のように色の解析だけで各検査領域を分離するのではなく、ＣＡＤデータに基づいて作成される層画像データに基づいて基板の各検査領域を分離する。そのため、この基板外観検査装置によれば、常に正確に各検査領域を分離することができる。また、この基板外観検査装置によれば、検査領域を不正確に分離することを防止することができるので、検査の精度を従来よりも向上させることができる。
【００５６】
また、第１の発明及び第２の発明のいずれかに係る基板外観検査装置は、実際の基板を用いることなく、ＣＡＤデータと基板製造データとに基づいて、領域色特徴データを作成することができる。そのため、この基板外観検査装置によれば、（１）多量の基板を用意する作業を排除することができる、（２）用意した基板の中から多量の基準基板を選定する作業を排除することができる、及び（３）多量の基準基板のデータを収集する作業を排除することができる。
【００５７】
また、この基板外観検査装置によれば、作成したカラー表面画像データの色パターンの輪郭で区切られた各内部領域は各検査領域を表しているので、この輪郭で区切られた各内部領域を検出することにより、検査領域データを自動的に作成することができる。（４）このため、オペレータによる検査領域データを逐次作成する作業を排除することができる。
【００５８】
また、この基板外観検査装置によれば、基準基板データの一種として作成したカラー表面画像データは基板外観検査装置に設定する設定データの一種となるので、基板外観検査装置への設定データ、例えば、検査パラメータや、検査領域データ、検査領域に対応する色データなどの設定や調整を行うことができる。（５）このため、オペレータの手作業による基板外観検査装置への設定データを設定する作業や調整する作業を排除することができる。
【００５９】
その結果、この基板外観検査装置によれば、ティーチング作業の時間を従来よりも短縮しつつ、検査の精度を従来よりも向上させることができるという効果を得ることができる。
【００６０】
この基板外観検査装置は、少品種または多品種の基板を大量に検査する場合でも有効であるが、特に、多品種の基板を少量ずつ検査する場合に有効である。そのため、この基板外観検査装置は、多品種少量基板メーカへの普及を促すことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００６１】
以下、図を参照して、この発明の実施の形態につき説明する。各図において、共通する構成要素や同様な構成要素については、同一の符号を付し、それらの重複する説明を省略する。
【００６２】
［第１の実施の形態］
＜基板外観検査装置の構成＞
以下、図１を参照して、第１の実施の形態に係る基板外観検査装置の構成につき説明する。なお、図１は、第１の実施の形態に係る基板外観検査装置の構成例を示すブロック図である。
【００６３】
基板外観検査装置１０００は、検査基板１０ｂの外観を検査する装置である。
【００６４】
図１に示すように、基板外観検査装置１０００は、入力部１１００と出力部１２００と主演算部１３００と主格納部１４００とを有している。
【００６５】
上述の入力部１１００は、基板外観検査装置１０００の外部から各種のデータを入力する手段である。入力部１１００は、検査基板１０ｂを撮像する撮像部１１０２、基板外観検査装置１０００の外部に設けられている各種の記憶媒体や記憶装置から各種のデータを読み出すデータ読出部１１１０、及び、キーボードや、ポインティングデバイス、例えば、マウスなどの入力手段（図示せず）を備えている。
【００６６】
撮像部１１０２は、イメージセンサやカメラによって構成されている。撮像部１１０２は、検査基板１０ｂを撮像して、検査基板１０ｂの外観をカラー画像として示す撮像画像データ１１０２ａ（図２参照）を取得する。図２は、撮像画像データが与える画像の一例を示す図である。図２は、各領域の積層構造の違いによって、領域ごとに色パターンが異なる検査基板１０ｂの画像を示している。なお、図２中、２つの矢印は、Ｘ軸方向とＹ軸方向を示している。
【００６７】
なお、この実施の形態では、検査基板１０ｂは、図３に示すような、積層構造を有しているものとして説明する。図３は、検査基板の積層構造の一例を示す図である。図３に示す例では、検査基板１０ｂは、上から順に、第１層目のシルク材によって形成された層（以下、「第１シルク層」と称する）１１ｂと、第２層目のレジスト材によって形成された層（以下、「第１レジスト層」と称する）１２ｂと、第３層目の、銅メッキによって形成され、かつ、処理が施された表層（以下、「表層（処理層）」または「第１処理層」と称する）１３ｂと、第４層目の銅メッキによって形成された表層（以下、「表層（銅メッキ層）」または「第１銅メッキ層」と称する）１４ｂと、第５層目のプリプレグ材によって形成された層（以下、「第１プリプレグ層」と称する）１５ｂと、第６層目の、銅メッキによって形成され、かつ、処理が施された中層（以下、「中層（処理層）」または「第２処理層」と称する）１６ｂと、第７層目の銅メッキによって形成された中層（以下、「中層（銅メッキ層）」または「第２銅メッキ層」と称する）１７ｂと、第８層目のコア材によって形成された層（以下、「コア層」と称する）１８ｂと、第９層目の中層（銅メッキ層）（以下、「第３銅メッキ層」と称する）１９ｂと、第１０層目の中層（処理層）（以下、「第３処理層」と称する）２０ｂと、第１１層目の第２プリプレグ層２１ｂと、第１２層目の表層（銅メッキ層）（以下、「第４銅メッキ層」と称する）２２ｂと、第１３層目の表層（処理層）（以下、「第４処理層」と称する）２３ｂと、第１４層目の第２レジスト層２４ｂと、第１５層目の第２シルク層２５ｂとからなる、１５層の積層構造を有している。
【００６８】
データ読出部１１１０は、各種の記憶媒体や記憶装置からデータを読み出すリーダライタ（Ｒ／Ｗ）や、外部の装置との間で通信する入出力インターフェース（Ｉ／Ｏ）などによって、構成されている。
【００６９】
データ読出部１１１０は、ＣＡＤデータ格納手段５２からＣＡＤデータ５２ａを読み出すＣＡＤデータ読出部１１１２と、基板製造データ格納手段５４から基板製造データ５４ａを読み出す基板製造データ読出部１１２２と、色データベース作成装置５００から色データ５００ａを読み出す色データ読出部１１３２とを備えている。
【００７０】
なお、データ格納手段５０は、基板の設計画像を表すＣＡＤデータ５２ａや基板の製造に関する基板製造データ５４ａを格納する手段である。データ格納手段５０は、各種の記憶媒体、例えば、ＤＶＤやＣＤ−ＲＯＭ、フロッピー（登録商標）ディスク、ＵＳＢメモリなど、または、各種の記憶装置、例えば、ハードディスク装置やコンピュータなどによって構成されている。データ格納手段５０は、ＣＡＤデータ５２ａを格納するＣＡＤデータ格納手段５２と、基板製造データ５４ａを格納する基板製造データ格納手段５４とを構成要素として備えている。なお、ＣＡＤデータ５２ａについては、後述の「ＣＡＤデータから取得されるデータ」の項で、詳述する。また、基板製造データ５４ａについては、後述の「基板製造データから取得されるデータ」の項で、詳述する。この実施の形態では、ＣＡＤデータ格納手段５２と基板製造データ格納手段５４は、別々に形成されているものとして説明するが、一体に形成されていてもよい。
【００７１】
また、色データベース作成装置５００は、基板の各層の特徴部分、すなわち、特定の材料により形成されている部分または特定の処理が施されている部分に応じて定まる色データ５００ａを作成する装置である。なお、色データ５００ａについては、後述の「色データベースに格納されるデータ」の項で、詳述する。
【００７２】
この実施の形態では、ＣＡＤデータ読出部１１１２と基板製造データ読出部１１２２と色データ読出部１１３２は、別々に形成されているものとして説明するが、一体に形成されていてもよい。
【００７３】
上述の出力部１２００は、各種のデータを出力する手段である。出力部１２００は、ディスプレイ、プリンタ、各種の記憶媒体との間でデータを読み書きするリーダライタ（Ｒ／Ｗ）、外部の装置と通信する入出力インターフェース（Ｉ／Ｏ）などで構成されている。
【００７４】
上述の主演算部１３００は、各種の演算を実行する手段である。主演算部１３００は、ＣＰＵで構成されている。主演算部１３００は、層画像データ取得部１３１２と積層構造データ作成部１３１４と色データ取得部１３４２とスキュー補正部１３８４と位置合わせ部１３８６と領域色特徴データ作成部１３９２と検査部１３９４とを構成要素として備えている。なお、ここでは、「取得」とは、任意のデータの中からそのデータの中に含まれている特定のデータを抽出する動作、任意のデータに基づいて特定のデータを作成する動作、及び、任意の記憶部から特定のデータを読み出す動作のいずれか一乃至複数の動作を意味している。
【００７５】
上述の主格納部１４００は、各種のプログラムやデータを格納する手段である。主格納部１４００は、ＲＡＭで構成されている。主格納部１４００は、撮像画像データ格納部１４０２と層画像データ格納部１４１２と積層構造データ格納部１４１４と基板製造データ格納部１４２２と色データベース１４４０と色データ格納部１４４２とスキュー補正画像データ格納部１４８４と位置合わせデータ格納部１４８６と演算用データ格納部１４８８と領域色特徴データ格納部１４９２とを構成要素として備えている。
【００７６】
以下、主演算部１３００及び主格納部１４００の構成要素につき、順次説明する。
【００７７】
層画像データ取得部１３１２は、ＣＡＤデータ格納手段５２に格納されているＣＡＤデータ５２ａから、白と黒の二値の、基板の各層の画像を表すデータ（以下、「層画像データ」と称する）１３１２ａ（図５（Ａ）〜（Ｄ）参照）を取得して、層画像データ格納部１４１２に格納する機能手段である。
【００７８】
積層構造データ作成部１３１４は、層画像データ格納部１４１２に格納されている基板の各層の層画像データ１３１２ａから、検査基板１０ｂの各領域の積層構造を表すデータ（以下、「積層構造データ」と称する）１３１４ａ（図１４参照）を作成して、積層構造データ格納部１４１４に格納する機能手段である。
【００７９】
色データ取得部１３４２は、色データベース１４４０に格納されている色データ５００ａの中から、基板の各層の特徴部分に応じて定まる色データ１３４２ａ（図１５参照）を取得し、色データ格納部１４４２に格納する機能手段である。
【００８０】
スキュー補正部１３８４は、撮像部１１０２によって取得された検査基板１０ｂの撮像画像データ１１０２ａから、傾き（スキュー）を補正した撮像画像データ（以下、「スキュー補正画像データ」と称する）１３８４ａ（図１６参照）を作成して、スキュー補正画像データ格納部１４８４に格納する機能手段である。
【００８１】
位置合わせ部１３８６は、スキュー補正画像データ格納部１４８４に格納されているスキュー補正画像データ１３８４ａから各検査領域を検出し、検出した各検査領域に積層構造データ格納部１４１４に格納されている積層構造データ１３１４ａを対応付けることにより、位置合わせデータ１３８６ａ（図１７参照）を作成して、位置合わせデータ格納部１４８６に格納する機能手段である。
【００８２】
領域色特徴データ作成部１３９２は、位置合わせ部１３８６によって作成された位置合わせデータ１３８６ａと、色データ取得部１３４２によって取得された各層の特徴部分に対応する色データ１３４２ａとに基づいて、後述の式１〜３により、各検査領域の色特徴値を算出し、各検査領域の色特徴値を表す領域色特徴データ１３９２ａ（図１８参照）を作成して、領域色特徴データ格納部１４９２に格納する機能手段である。
【００８３】
検査部１３９４は、スキュー補正部１１８４によってスキュー補正された撮像画像データ１１０２ａであるスキュー補正画像データ１３８４ａと、領域色特徴データ作成部１３９２によって作成された領域色特徴データ１３９２ａとに基づいて、検査基板１０ｂの外観を検査して、検査結果を表すデータ（以下、「検査結果データ」と称する）１３９４ａを出力部１２００に出力する機能手段である。この実施の形態では、検査基板１０ｂの外観検査は、検査部１３９４が、スキュー補正画像データ１３８４ａから、各検査領域の色階調値を検出し、領域色特徴データ作成部１３９２によって作成された領域色特徴データ１３９２ａが表す各検査領域の色特徴値と、検出した各検査領域の色階調値とを比較することにより、行われる。
【００８４】
撮像画像データ格納部１４０２は、撮像部１１０２によって取得された検査基板１０ｂの撮像画像データ１１０２ａを格納する記憶領域である。
【００８５】
層画像データ格納部１４１２は、層画像データ取得部１３１２によって取得される層画像データ１３１２ａを格納する記憶領域である。
【００８６】
基板製造データ格納部１４２２は、基板製造データ読出部１１２２によって読み出される基板製造データ５４ａを格納する記憶領域である。
【００８７】
色データベース１４４０は、色データベース作成装置５００によって作成される、様々な色データ５００ａを格納するデータベースである。色データベース１４４０に格納される色データ５００ａは、それぞれ、例えば、層の形成に用いられている材料や処理が施されている層の処理内容などに対応している。
【００８８】
色データ格納部１４４２は、色データベース１４４０に格納されている色データ５００ａの中から、色データ取得部１３４２によって取得される基板の各層の特徴部分に応じて定まる色データ１３４２ａを格納する記憶領域である。
【００８９】
演算用データ格納部１４８８は、基準基板データとなる領域色特徴データ１３９２ａを作成する際に用いる様々なデータを格納する記憶領域である。演算用データ格納部１４８８は、例えば、後述の式１〜３や、後述の層の重ね合わせ定数、後述の層の厚さによる色の減衰定数、後述の材料種類または層処理に応じた色特徴値などを格納する。なお、この実施の形態では、「色特徴値」は、Ｒ色特徴値、Ｇ色特徴値、及びＢ色特徴値によって構成されているものとする。「Ｒ色特徴値」、「Ｇ色特徴値」、及び「Ｂ色特徴値」は、それぞれ、論理的に算出される赤色（Ｒ色）の階調値、緑色（Ｇ色）の階調値、及び青色（Ｂ色）の階調値を意味する。当然ながら、同一の色は、同一の色特徴値となる。
【００９０】
領域色特徴データ格納部１４９２は、領域色特徴データ作成部１３９２によって作成される領域色特徴データ１３９２ａを格納する記憶領域である。
【００９１】
なお、この実施の形態では、スキュー補正部１３８４、スキュー補正画像データ格納部１４８４、位置合わせ部１３８６、及び位置合わせデータ格納部１４８６を設けている。これらの構成要素は、検査基板１０ｂの外観の検査精度を向上するのに有用であるが、省略することも可能である。省略した場合は、領域色特徴データ作成部１３９２は、積層構造データ格納部１４１４から各検査領域の積層構造データ１３１４ａを取得するとともに、色データ格納部１４４２から各層の特徴部分に対応する色データ１３４２ａを取得し、各検査領域の積層構造データ１３１４ａと各層の特徴部分に対応する色データ１３４２ａとに基づいて、領域色特徴データ１３９２ａを作成する構成となる。また、検査部１３９４は、撮像画像データ格納部１４０２から撮像画像データ１１０２ａを取得するとともに、領域色特徴データ格納部１４９２から領域色特徴データ１３９２ａを取得し、撮像画像データ１１０２ａと領域色特徴データ１３９２ａとに基づいて、検査基板１０ｂの外観を検査する構成となる。
【００９２】
＜ＣＡＤデータから取得されるデータ＞
以下、図４を参照して、ＣＡＤデータ５２ａから取得されるデータにつき説明する。なお、図４は、ＣＡＤデータから取得されるデータの説明図である。
【００９３】
ＣＡＤデータ５２ａは、基板の設計画像を表すデータである。このＣＡＤデータ５２ａは、基板の設計過程で作成される。ＣＡＤデータ５２ａは、基板の各層の画像を表すデータ（以下、「層画像データ」と称する）１３１２ａに変換することができる。この層画像データ１３１２ａは、白と黒の二値の、基板の設計図面データである。
【００９４】
図４に示すように、ＣＡＤデータ読出部１１１２は、ＣＡＤデータ格納手段５２からＣＡＤデータ５２ａを読み出し、読み出したＣＡＤデータ５２ａを層画像データ取得部１３１２に出力する。なお、この実施の形態では、ＣＡＤデータ５２ａは、図３に示す積層構造を有する検査基板１０ｂの各層、すなわち、図３に示す第１シルク層１１ｂ〜第２シルク層２５ｂのそれぞれの画像を表しているものとする。
【００９５】
層画像データ取得部１３１２は、ＣＡＤデータ読出部１１１２からＣＡＤデータ５２ａが入力されると、これに応答して、基板の層ごとに、ＣＡＤデータ５２ａを白と黒の二値の画像データに変換して、層画像データ１３１２ａ（図５（Ａ）〜（Ｄ）参照）を取得する。
【００９６】
なお、図５（Ａ）〜（Ｄ）は、層画像データが与える画像の一例を示す図である。図５（Ａ）は、図３に示す第１シルク層１１ｂに対応するシルク層画像データ１１ａが与える画像の一例を示している。図５（Ｂ）は、図３に示す第１レジスト層１２ｂに対応するレジスト層画像データ１２ａが与える画像の一例を示している。図５（Ｃ）は、図３に示す第１銅メッキ層１４ｂに対応する表層（銅メッキ層）画像データ１４ａが与える画像の一例を示している。図５（Ｄ）は、図３に示す第２銅メッキ層１７ｂに対応する中層（銅メッキ層）画像データ１７ａが与える画像の一例を示している。層画像データ１３１２ａは、白色領域と黒色領域とを二値で表すデータとなっている。
【００９７】
図５（Ａ）〜（Ｄ）中、白色領域は、特徴部分が存在する領域を示しており、黒色領域は、特徴部分が存在しない領域を示している。なお、特徴部分とは、例えば、特定の材料により形成されている部分または特定の処理が施されている部分を意味する。図５（Ａ）に示す例では、白色領域は、シルク材によって形成されている部分を示している。図５（Ｂ）に示す例では、白色領域は、レジスト材によって形成されている部分を示している。図５（Ｃ）に示す例では、白色領域は、銅メッキによって形成されている表層部分を示している。図５（Ｄ）に示す例では、白色領域は、銅メッキによって形成されている中層部分を示している。
【００９８】
なお、各層画像データ１３１２ａの中の白色領域と黒色領域は、それぞれ、後に、積層構造データ作成部１３１４によって、二値のコードに変換される。また、このとき、変換されたコードの中の白色領域に対応するコード部分は、後に、領域色特徴データ作成部１３９２によって、色データ１３４２ａが割り当てられる。
【００９９】
層画像データ取得部１３１２は、層画像データ１３１２ａを取得すると、これに応答して、層画像データ１３１２ａを主格納部１４００に出力して、主格納部１４００の層画像データ格納部１４１２に格納する。
【０１００】
なお、図４に示す例では、層画像データ格納部１４１２は、層画像データ１３１２ａとして、例えば、シルク層（上面）画像データ１１ａ、レジスト層（上面）画像データ１２ａ、表層（処理層）画像データ１３ａ、表層（銅メッキ層）画像データ１４ａ、プリプレグ層画像データ１５ａ、中層（処理層）画像データ１６ａ、中層（銅メッキ層）画像データ１７ａ、コア層画像データ１８ａ、中層（銅メッキ層）画像データ１９ａ、中層（処理層）画像データ２０ａ、プリプレグ層画像データ２１ａ、表層（銅メッキ層）画像データ２２ａ、表層（処理層）画像データ２３ａ、レジスト層（下面）画像データ２４ａ、及びシルク層（下面）画像データ２５ａを格納している。
【０１０１】
＜基板製造データから取得されるデータ＞
以下、図６を参照して、基板製造データ５４ａから取得されるデータにつき説明する。なお、図６は、基板製造データから取得されるデータの説明図である。
【０１０２】
基板製造データ５４ａは、基板の製造に関するデータである。この基板製造データ５４ａは、過程で用いられる。この基板製造データ５４ａは、例えば、基板の各層を構成する材料の種類を表すデータ（以下、「材料種類データ」と称する）、処理が施されている層、特に、層の表面の処理内容を表すデータ（以下、「層処理データ」と称する）、基板の各層を構成する材料の厚さ（以下、「材料厚データ」と称する）、及び基板の各層の構成を表すデータ（以下、「層構成データ」と称する）を含んでいる。
【０１０３】
図６に示すように、基板製造データ読出部１１２２は、基板製造データ格納手段５４から基板製造データ５４ａを読み出す。この基板製造データ５４ａは、図７に示すように、検査基板１０ｂの各層、すなわち、図３に示す第１シルク層１１ｂ〜第２シルク層２５ｂのそれぞれに対応して、各層に割り当てられた「層番号データ」と、「層構成データ」と、「材料種類／層処理データ」と、「材料厚データ」とを含んでいる。なお、図７は、基板製造データの一例を示す図（１）である。図７中、「層番号データ」は、層に付された番号を表している。また、「層構成データ」は、層の数や各層の形状などの層の構成を表している。また、「材料種類／層処理データ」は、基板の製造に用いる材料の種類や処理が施されている層、特に、層の表面の処理内容などを表している。また、「材料厚データ」は、基板の製造に用いる材料の厚さを表している。なお、「材料種類／層処理データ」の種類と処理内容としては、例えば、図８（Ａ）及び（Ｂ）に示すものがある。図８（Ａ）及び（Ｂ）は、基板製造データの一例を示す図（２）である。図８（Ａ）は、材料種類データの一例を示しており、図８（Ｂ）は、層処理データの一例を示している。この実施の形態では、検査基板１０ｂは、第１及び第２シルク層１１ｂ及び２５ｂが「２００Ｗ」からなり、第１及び第２レジスト層１２ｂ及び２４ｂが「Ｇ２４」からなり、第１及び第４処理層１３ｂ及び２３ｂが「ＳＲ」からなり、第１〜第４銅メッキ層１４ｂ、１７ｂ、１９ｂ、及び２２ｂが「Ｃｕ」からなり、第１及び第２プリプレグ層１５ｂ及び２１ｂが「ＦＲ−４」からなり、第２及び第３処理層１６ｂ及び２０ｂが「Ｂ／Ｏ」からなり、コア層１８ｂが「ＦＲ−４」からなるものとして説明する。なお、材料種類データは、好ましくは、材料メーカや材質などに応じて作成されているとよい。なお、この実施の形態では、基板外観検査装置１０００は、材料種類データ３１２ａに対応する色データ（以下、「材料色データ」と称する場合もある）と層処理データ３１４ａに対応する色データ（以下、「処理色データ」と称する場合もある）とを、ともに同じ色データ１３４２ａとして扱っている。これは、例えばメッキ処理などの処理により形成された層の表面を新たな層と見なすことにより、その新たな層の色を、後に算出する領域色特徴データ１３９２ａに反映させるためである。
【０１０４】
基板製造データ読出部１１２２は、基板製造データ５４ａを読み出すと、これに応答して、基板製造データ５４ａを主格納部１４００に出力して、主格納部１４００の基板製造データ格納部１４２２に格納する。
【０１０５】
なお、図６に示す例では、基板製造データ読出部１１２２は、材料種類データ３１２ａとして、例えば、コア材種類データ３１３ａ、プリプレグ材種類データ３１３ｂ、レジスト材種類データ３１３ｃ、シルク材種類データ３１３ｄ、メッキ材種類データ３１３ｅなどを、また、層処理データ３１４ａとして、中層の表面に施される処理に関するデータ（以下、単に「中層処理データ」と称する）３１５ａと、表層の表面に施される処理に関するデータ（以下、単に「表層処理データ」と称する）３１５ｂなどを格納している。
【０１０６】
コア材種類データ３１３ａは、コア材に関するデータである。プリプレグ材種類データ３１３ｂは、プリプレグ材に関するデータである。レジスト材種類データ３１３ｃは、レジスト材に関するデータである。シルク材種類データ３１３ｄは、シルク材に関するデータである。メッキ材種類データ３１３ｅは、メッキ材に関するデータである。
【０１０７】
コア材とプリプレグ材は、図８（Ａ）に示すように、例えば、「ＦＲ−４」、「ＦＲ−４．５」、「ＦＲ−４  ＨＦ」、「ポリイミド」、「ＢＴ」などの種類がある。また、レジスト材は、図８（Ａ）に示すように、例えば、「Ｇ２４」、「ＢＬ０１アオ」、「Ｈ１２Ｆ  ＡＢ」などの種類がある。また、シルク材は、図８（Ａ）に示すように、例えば、「２００Ｗ」、「２００Ｙ」、「２００Ｂ」などの種類がある。また、メッキ材は、図８（Ａ）に示すように、例えば、「銅（Ｃｕ）」、「半田；ソルダ・コート（ＳＣ）」、及び「金（Ａｕ）」などの種類がある。これらの材料は、それぞれ、特有の色が存在する。
【０１０８】
中層処理データ３１５ａは、中層の表面に施される処理に関するデータである。表層処理データ３１５ｂは、表層の表面に施される処理に関するデータである。
【０１０９】
中層処理は、図８（Ｂ）に示すように、例えば、「Ｂ／Ｏ」、「ＣＺ」などの種類がある。また、表層処理は、図８（Ｂ）に示すように、例えば、「ＳＲ」、「ＣＺ」、「金メッキ」などの種類がある。これらの層処理は、それぞれ、材料ごとに、特有の色が存在する。
【０１１０】
＜色データベースに格納されるデータ＞
以下、図９を参照して、色データベース１４４０に格納されるデータ、すなわち、色データ５００ａにつき説明する。なお、図９は、色データベース作成装置の構成例を示すブロック図である。この実施の形態では、色データベース作成装置５００は、図９に示す構成要素が構築されたコンピュータであるものとして説明する。なお、この実施の形態では、色データベース作成装置５００は、基板外観検査装置１０００とは異なる装置であるものとして説明するが、基板外観検査装置１０００と一体の装置として構成してもよい。
【０１１１】
色データベース作成装置５００は、各種の演算を実行する主演算部５１０と、各種のデータを格納する主格納部５２０とを有する。主演算部５１０は、ＣＰＵによって構成されている。また、主格納部５２０は、ＲＡＭによって構成されている。
【０１１２】
上述の主演算部５１０は、画像取得部５１２と、色解析部５１４と、色データベース出力部５１６とを備えている。
【０１１３】
画像取得部５１２は、主格納部５２０から材料種類データに対応するカラー画像データ５２０ａ及び層処理データに対応するカラー画像データ５２０ａを取得して出力する機能手段である。
【０１１４】
色解析部５１４は、画像取得部５１２によって取得されたカラー画像データ５２０ａのそれぞれをＲＧＢ（赤、緑、青）成分に分解して、材料種類データに対応する色データ５００ａ及び層処理データに対応する色データ５００ａを作成する機能手段である。色解析部５１４は、作成した色データ５００ａを主格納部５２０に出力して、主格納部５２０の色データ格納部５３４に格納する。
【０１１５】
色データベース出力部５１６は、色データ格納部５３４から色データ５００ａを読み出し、読み出した色データ５００ａを基板外観検査装置１０００に出力する機能手段である。なお、基板外観検査装置１０００に出力された色データ５００ａは、基板外観検査装置１０００の色データベース１４４０に格納される。
【０１１６】
上述の主格納部５２０は、コア材・プリプレグ材データ格納部５２２と、レジスト材データ格納部５２４と、シルク材データ格納部５２６と、メッキ材データ格納部５２８と、中層処理データ格納部５３０と、表層処理データ格納部５３２と、色データ格納部５３４とを備えている。
【０１１７】
コア材・プリプレグ材データ格納部５２２は、材料種類データの一種として、例えば図８（Ａ）に示すような、コア材・プリプレグ材データ５２２ａを格納する記憶領域である。図９に示す例では、コア材・プリプレグ材データ格納部５２２は、「ＦＲ−４」、「ＦＲ−４．５」、「ＦＲ−４  ＨＦ」、「ポリイミド」、及び「ＢＴ」の５つの材料種類データを格納している。これらの材料種類データは、それぞれ、対応するカラー画像データ５２０ａを含んでいる。
【０１１８】
レジスト材データ格納部５２４は、材料種類データの一種として、例えば図８（Ａ）に示すような、レジスト材データ５２４ａを格納する記憶領域である。図９に示す例では、レジスト材データ格納部５２４は、「Ｇ２４」、「ＢＬ０１アオ」、及び「Ｈ１２Ｆ  ＡＢ」の３つの材料種類データを格納している。これらの材料種類データは、それぞれ、対応するカラー画像データ５２０ａを含んでいる。
【０１１９】
シルク材データ格納部５２６は、材料種類データの一種として、例えば図８（Ａ）に示すような、シルク材データ５２６ａを格納する記憶領域である。図９に示す例では、シルク材データ格納部５２６は、「２００Ｗ」、「２００Ｙ」、及び「２００Ｂ」の３つの材料種類データを格納している。これらの材料種類データは、それぞれ、対応するカラー画像データ５２０ａを含んでいる。
【０１２０】
メッキ材データ格納部５２８は、材料種類データの一種として、例えば図８（Ａ）に示すような、メッキ材データ５２８ａを格納する記憶領域である。図９に示す例では、メッキ材データ格納部５２８は、「銅（Ｃｕ）」、「半田（ＳＣ）」、及び「金（Ａｕ）」の３つの材料種類データを格納している。これらの材料種類データは、それぞれ、対応するカラー画像データ５２０ａを含んでいる。
【０１２１】
中層処理データ格納部５３０は、層処理データの一種として、例えば図８（Ｂ）に示すような、中層処理データ５３０ａを格納する記憶領域である。図９に示す例では、中層処理データ格納部５３０は、「Ｂ／Ｏ」、「ＣＺ」の２つの層処理データを格納している。これらの層処理データは、それぞれ、対応するカラー画像データ５２０ａを含んでいる。
【０１２２】
表層処理データ格納部５３２は、層処理データの一種として、例えば図８（Ｂ）に示すような、表層処理データ５３２ａを格納する記憶領域である。図９に示す例では、表層処理データ格納部５３２は、「ＳＲ」、「ＣＺ」、及び「金メッキ」の３つの層処理データを格納している。これらの層処理データは、それぞれ、対応するカラー画像データ５２０ａを含んでいる。
【０１２３】
色データ格納部５３４は、色解析部５１４によって作成された色データ５００ａを格納する記憶領域である。
【０１２４】
色データベース作成装置５００は、以下のように動作する。
【０１２５】
まず、カラー画像データ５２０ａを含む材料種類データまたは層処理データが、主格納部５２０に格納される。これは、色データベース作成装置５００のオペレータが以下のような作業を行うことによってなされる。
【０１２６】
すなわち、オペレータは、コア材・プリプレグ材として、色の影響を受けない材料の上に、例えば、「ＦＲ−４」、「ＦＲ−４．５」、「ＦＲ−４  ＨＦ」、「ポリイミド」、及び「ＢＴ」のそれぞれが予め定められた厚さ（以下、「基準厚」と称する）だけ配置された試料を用意する。そして、オペレータは、撮像装置６００を作動させる。このとき、撮像装置６００は、これらコア材・プリプレグ材のそれぞれの画像を撮影して、各コア材・プリプレグ材に対応するカラー画像データ５２０ａを取得する。撮像装置６００は、各コア材・プリプレグ材に対応するカラー画像データ５２０ａを取得すると、これに応答して、取得したカラー画像データ５２０ａのそれぞれを、コア材・プリプレグ材のデータとして、色データベース作成装置５００に出力する。色データベース作成装置５００は、撮像装置６００からカラー画像データ５２０ａのそれぞれが入力されると、入力されたカラー画像データ５２０ａのそれぞれを、材料種類データのコア材・プリプレグ材データ５２２ａとして、コア材・プリプレグ材データ格納部５２２に格納する。
【０１２７】
同様に、オペレータは、レジスト材として、色の影響を受けない材料の上に、例えば、「Ｇ２４」、「ＢＬ０１  アオ」、及び「Ｈ１２Ｆ  ＡＢ」のそれぞれが基準厚だけ配置された試料を用意し、撮像装置６００を作動させる。このとき、撮像装置６００は、これらレジスト材のそれぞれの画像を撮影して、各レジスト材に対応するカラー画像データ５２０ａを取得する。撮像装置６００は、各レジスト材に対応するカラー画像データ５２０ａを取得すると、これに応答して、取得したカラー画像データ５２０ａのそれぞれを、レジスト材のデータとして、色データベース作成装置５００に出力する。色データベース作成装置５００は、撮像装置６００からカラー画像データ５２０ａのそれぞれが入力されると、入力されたカラー画像データ５２０ａのそれぞれを、材料種類データのレジスト材データ５２４ａとして、レジスト材データ格納部５２４に格納する。
【０１２８】
同様に、オペレータは、シルク材として、色の影響を受けない材料の上に、例えば、「２００Ｗ」、「２００Ｙ」、及び「２００Ｂ」のそれぞれが基準厚だけ配置された試料を用意し、撮像装置６００を作動させる。このとき、撮像装置６００は、これらシルク材のそれぞれの画像を撮影して、各シルク材に対応するカラー画像データ５２０ａを取得する。撮像装置６００は、各レジスト材に対応するカラー画像データ５２０ａを取得すると、これに応答して、取得したカラー画像データ５２０ａのそれぞれを、シルク材のデータとして、色データベース作成装置５００に出力する。色データベース作成装置５００は、撮像装置６００からカラー画像データ５２０ａのそれぞれが入力されると、入力されたカラー画像データ５２０ａのそれぞれを、材料種類データのシルク材データ５２６ａとして、シルク材データ格納部５２６に格納する。
【０１２９】
同様に、オペレータは、メッキ材として、色の影響を受けない材料の上に、例えば、「銅（Ｃｕ）」、「半田（ＳＣ）」、及び「金（Ａｕ）」のそれぞれが基準厚だけ配置された試料を用意し、撮像装置６００を作動させる。このとき、撮像装置６００は、これらメッキ材のそれぞれの画像を撮影して、各メッキ材に対応するカラー画像データ５２０ａを取得する。撮像装置６００は、各メッキ材に対応するカラー画像データ５２０ａを取得すると、これに応答して、取得したカラー画像データ５２０ａのそれぞれを、メッキ材のデータとして、色データベース作成装置５００に出力する。色データベース作成装置５００は、撮像装置６００からカラー画像データ５２０ａのそれぞれが入力されると、入力されたカラー画像データ５２０ａのそれぞれを、材料種類データのメッキ材データ５２８ａとして、メッキ材データ格納部５２８に格納する。
【０１３０】
同様に、オペレータは、表面に層処理が施された材料として、例えば、「Ｂ／Ｏ」及び「ＣＺ」のそれぞれの処理が表面に施された基準厚の材料を用意し、撮像装置６００を作動させる。このとき、撮像装置６００は、これら表面に層処理が施された材料のそれぞれの画像を撮影して、各材料に対応するカラー画像データ５２０ａを取得する。撮像装置６００は、各材料に対応する各カラー画像データ５２０ａを取得すると、これに応答して、取得したカラー画像データ５２０ａのそれぞれを、中層処理のデータとして、色データベース作成装置５００に出力する。色データベース作成装置５００は、撮像装置６００からカラー画像データ５２０ａのそれぞれが入力されると、入力されたカラー画像データ５２０ａのそれぞれを、層処理データの中層処理データ５３０ａとして、中層処理データ格納部５３０に格納する。
【０１３１】
同様に、オペレータは、表面に層処理が施された材料として、例えば、「ＳＲ」、「ＣＺ」、及び「金メッキ」のそれぞれの処理が表面に施された基準厚の材料を用意し、撮像装置６００を作動させる。このとき、撮像装置６００は、これら表面に層処理が施された材料のそれぞれの画像を撮影して、各材料に対応するカラー画像データ５２０ａを取得する。撮像装置６００は、各材料に対応する各カラー画像データ５２０ａを取得すると、これに応答して、取得したカラー画像データ５２０ａのそれぞれを、表層処理のデータとして、色データベース作成装置５００に出力する。色データベース作成装置５００は、撮像装置６００からカラー画像データ５２０ａのそれぞれが入力されると、入力されたカラー画像データ５２０ａのそれぞれを、層処理データの表層処理データ５３２ａとして、表層処理データ格納部５３２に格納する。
【０１３２】
このようにして、色データベース作成装置５００の主格納部５２０は、カラー画像データ５２０ａを含む材料種類データまたは層処理データを格納する。
【０１３３】
次に、色データベース作成装置５００は、オペレータによって色データ５００ａの作成を指示する指令が入力されると、これに応答して、色データ５００ａの作成を開始する。
【０１３４】
このとき、主演算部５１０の画像取得部５１２は、主格納部５２０のコア材・プリプレグ材データ格納部５２２とレジスト材データ格納部５２４とシルク材データ格納部５２６とメッキ材データ格納部５２８と中層処理データ格納部５３０と表層処理データ格納部５３２のそれぞれから、材料種類データに対応するカラー画像データ５２０ａ及び層処理データに対応するカラー画像データ５２０ａのそれぞれを読み出し、読み出した各カラー画像データ５２０ａを色解析部５１４に出力する。
【０１３５】
次に、色解析部５１４は、画像取得部５１２から各カラー画像データ５２０ａが入力されると、これに応答して、カラー画像データ５２０ａのそれぞれから、材料種類または層処理に対応する色データ５００ａを作成する。具体的には、色解析部５１４は、カラー画像データ５２０ａのそれぞれを、例えば２５６階調のＲＧＢ成分に分解して、各カラー画像データ５２０ａの、２５６階調のＲ成分の画像データと２５６階調のＧ成分の画像データと２５６階調のＢ成分の画像データとを作成する。そして、色解析部５１４は、各カラー画像データ５２０ａの、Ｒ成分の画像データの平均値、Ｇ成分の画像データの平均値、及びＢ成分の画像データの平均値を算出する。これらの平均値は、それぞれ、各カラー画像データ５２０ａにおける材料種類データの色特徴値または層処理データの色特徴値を表している。したがって、これらの平均値は、材料種類または層処理に対応する色データを意味している。このようにして、色解析部５１４は、各カラー画像データ５２０ａの、Ｒ成分の画像データの平均値、Ｇ成分の画像データの平均値、及びＢ成分の画像データの平均値、すなわち、各カラー画像データ５２０ａの、材料種類または層処理に対応する色データ５００ａを作成する。そして、色解析部５１４は、各カラー画像データ５２０ａの、Ｒ成分の画像データの平均値、Ｇ成分の画像データの平均値、及びＢ成分の画像データの平均値のそれぞれを、材料種類または層処理に対応する色データ５００ａとして、主格納部５２０に出力して、主格納部５２０の色データ格納部５３４に格納する。
【０１３６】
なお、色データ格納部５３４に格納された色データ５００ａは、例えば、以下のように、色データベース作成装置５００が基板外観検査装置１０００から色データ５００ａの出力を要求する指令（以下、「色データ出力要求指令」と称する）を受信した場合に、基板外観検査装置１０００に送信される。すなわち、色データベース作成装置５００は、基板外観検査装置１０００から色データ５００ａの出力を要求する指令を受信すると、色データベース出力部５１６は、色データ格納部５３４から色データ５００ａを読み出して、基板外観検査装置１０００に送信する。基板外観検査装置１０００は、入力部１１００によって、色データベース作成装置５００から送信された色データ５００ａを受信する。基板外観検査装置１０００は、これに応答して、色データベース作成装置５００から受信した色データ５００ａを色データベース１４４０に格納する。
【０１３７】
この実施の形態では、色データベース作成装置５００は、各カラー画像データ５２０ａをＲＧＢ成分に分解することによって色データ５００ａを作成しているが、その他の様々な方法、例えば、色差計で測定する方法などによっても色データ５００ａを作成することができる。
【０１３８】
＜基板外観検査装置の動作＞
以下、図１を参照して、基板外観検査装置の動作につき説明する。
【０１３９】
基板外観検査装置１０００は、検査基板１０ｂの外観を検査するに際して、予め、以下のような事前動作を行う。
【０１４０】
まず、基板外観検査装置１０００のオペレータによるマウスやキーボードなどの入力部１１００の操作によって、色データベース作成装置５００から色データ５００ａを読み出す旨を指示する指令（以下、「色データ読出指令」と称する）が、基板外観検査装置１０００に入力される。基板外観検査装置１０００は、色データ読出指令が入力されると、これに応答して、入力部１１００の色データ読出部１１３２が色データ出力要求指令を色データベース作成装置５００に送信する。色データベース作成装置５００は、基板外観検査装置１０００から色データ出力要求指令を受信すると、これに応答して、色データベース出力部５１６が色データ格納部５３４から色データ５００ａを読み出して、基板外観検査装置１０００に送信する（図９参照）。基板外観検査装置１０００は、入力部１１００の色データ読出部１１３２により、色データベース作成装置５００から送信された色データ５００ａを受信する。色データ読出部１１３２は、色データ５００ａを受信すると、これに応答して、受信した色データ５００ａを主格納部１４００に出力し、主格納部１４００の色データベース１４４０に格納する。
【０１４１】
次に、オペレータによるマウスやキーボードなどの入力部１１００の操作によって、データ格納手段５０からＣＡＤデータ５２ａを読み出す旨を指示する指令（以下、「ＣＡＤデータ読出指令」と称する）が、基板外観検査装置１０００に入力される。なお、このＣＡＤデータ読出指令の入力は、色データ読出指令の入力よりも前であってもよい。基板外観検査装置１０００は、ＣＡＤデータ読出指令が入力されると、これに応答して、入力部１１００のＣＡＤデータ読出部１１１２が、データ格納手段５０のＣＡＤデータ格納手段５２から、検査基板１０ｂのＣＡＤデータ５２ａを読み出し、読み出したＣＡＤデータ５２ａを層画像データ取得部１３１２に出力する。層画像データ取得部１３１２は、ＣＡＤデータ読出部１１１２からＣＡＤデータ５２ａが入力されると、これに応答して、検査基板１０ｂの層ごとに、ＣＡＤデータ５２ａを、例えば図５（Ａ）〜（Ｄ）に示すような、白と黒の二値の層画像データに変換する。これにより、層画像データ取得部１３１２は、検査基板１０ｂの各層の層画像データ１３１２ａを取得する。
【０１４２】
層画像データ取得部１３１２は、検査基板１０ｂの各層の層画像データ１３１２ａを取得すると、これに応答して、層画像データ１３１２ａのそれぞれを主格納部１４００に出力して、主格納部１４００の層画像データ格納部１４１２に格納する。
【０１４３】
層画像データ１３１２ａのそれぞれが層画像データ格納部１４１２に格納されると、これに応答して、積層構造データ作成部１３１４が起動する。
【０１４４】
以下、図１０〜図１４を参照して、この積層構造データ作成部１３１４の動作につき説明する。なお、図１０〜図１４は、それぞれ、積層構造データ作成部の説明図である。
【０１４５】
図１０は、検査基板１０ｂの積層構造を示している。この検査基板１０ｂは、検査基板１０ｂを一方の主表面（図１０に示す例では、上面）側から見た場合に、積層構造の違いによって、深さ方向の可視範囲が異なる領域が複数存在する。例えば、図１０に示す例では、検査基板１０ｂは、深さ方向の可視範囲が異なる領域として、領域Ｒ１〜Ｒ９が存在する。なお、図１０中、矢印ｒ１〜ｒ９は、それぞれ、各領域Ｒ１〜Ｒ９における深さ方向の可視範囲を一例として示している。
【０１４６】
これは、検査基板１０ｂの内部に、光の透過率が予め定められた閾値よりも低くて、内側の層が透けて見えない層（以下、「不透明層」と称する）と、光の透過率が予め定められた閾値よりも高くて、内側の層が透けて見える層（以下、「透明層」と称する）とが、存在するからである。不透明層は、主に金属で形成されている。この実施の形態では、銅（Ｃｕ）メッキによって形成された第１処理層１３ｂ、第１銅メッキ層１４ｂ、第２処理層１６ｂ、第２銅メッキ層１７ｂ、第３銅メッキ層１９ｂ、第３処理層２０ｂ、第４銅メッキ層２２ｂ、及び第４処理層２３ｂが、不透明層となる。また、第１シルク層１１ｂ、コア層１８ｂ、及び第２シルク層２５ｂも、光の透過率が予め定められた閾値よりも低くて、下の層が透けて見えないので、不透明層となる。これら以外の層、すなわち、第１レジスト層１２ｂ、第１プリプレグ層１５ｂ、第２プリプレグ層２１ｂ、及び第２レジスト層２４ｂは、透明層となる。
【０１４７】
不透明層と透明層の関係を図１１及び図１２に示す。なお、図１１は、層画像データ取得部１３１２によって取得された各層の層画像データ１３１２ａ（図５（Ａ）〜（Ｄ）参照）を重ね合わせることにより作成された、合成層画像データ１０ｃを示している。また、図１２は、図１１に示す切断線１０ｄによって合成層画像データ１０ｃを切断した場合の切断面を示している。
【０１４８】
なお、図１１中、一点鎖線１０ｄは、合成層画像データ１０ｃを切断する切断線を示している。図１１に示す例では、切断線１０ｄは、Ｙ軸方向の座標値（以下、「Ｙ座標値」と称する）が「（ｉ）」に固定され、かつ、Ｘ軸と平行に配置されている。また、矢印ｒは、深さ方向を示している。
【０１４９】
また、図１２中、「×」印が付された層は、不透明層を示しており、「○」印が付された層は、透明層を示している。また、各層の着色されていない領域は、白色領域、すなわち、特徴部分が存在する領域を表しており、各層の着色された領域は、黒色領域、すなわち、特徴部分が存在しない領域を表している。また、矢印ｒ１〜ｒ９は、それぞれ、各領域Ｒ１〜Ｒ９における深さ方向の可視範囲を表している。この深さ方向の可視範囲ｒ１〜ｒ９は、主表面から、不透明層、すなわち、図１２に示す「×」印が付された層の白色領域までの範囲となる。
【０１５０】
積層構造データ作成部１３１４は、以下のように動作して、深さ方向の可視範囲ｒ１〜ｒ９を検出し、検出した深さ方向の可視範囲ｒ１〜ｒ９に基づいて各領域Ｒ１〜Ｒ９を検出し、さらに、検出した各領域Ｒ１〜Ｒ９に基づいて各領域Ｒ１〜Ｒ９における積層構造データ１３１４ａを作成する。
【０１５１】
（１）積層構造データ作成部１３１４は、起動すると、これに応答して、層画像データ格納部１４１２から各層の層画像データ１３１２ａ（図５（Ａ）〜（Ｄ）参照）を読み出し、読み出した各層の層画像データ１３１２ａを重ね合わせて、合成層画像データ１０ｃ（図１１参照）を作成する。
【０１５２】
（２）積層構造データ作成部１３１４は、合成層画像データ１０ｃを作成すると、これに応答して、切断線１０ｄ（図１１参照）のＹ座標値を例えば初期値「ｉ」に固定して、合成層画像データ１０ｃをＸ軸と平行に切断して、合成層画像データ１０ｃの切断面の画像データ（図１２参照）を作成する。
【０１５３】
（３）積層構造データ作成部１３１４は、合成層画像データ１０ｃの切断面の画像データを作成すると、これに応答して、合成層画像データ１０ｃの切断面の画像データから、Ｘ軸方向の全ての画素位置のそれぞれで、主表面から、不透明層、すなわち、図１２に示す「×」印が付された層の白色領域までの範囲を検出する。このとき検出された主表面から不透明層の白色領域までの範囲のそれぞれは、切断線１０ｄのＹ座標値を初期値「ｉ」とする場合の、Ｘ軸方向の各画素位置における深さ方向の可視範囲となる。
【０１５４】
（４）積層構造データ作成部１３１４は、各画素位置における深さ方向の可視範囲を検出すると、これに応答して、各画素位置における深さ方向の可視範囲内の白色領域と黒色領域とを検出する。なお、白色領域は、特徴部分が存在する領域を表しており、黒色領域は、特徴部分が存在しない領域を表している。
【０１５５】
（５）積層構造データ作成部１３１４は、各画素位置における深さ方向の可視範囲内の白色領域と黒色領域とを検出すると、これに応答して、図１３に示すように、白色領域をコード「１」とし、黒色領域をコード「０」として、各画素位置における深さ方向の可視範囲内の白色領域と黒色領域とを、二値のコードに変換する。これにより、積層構造データ作成部１３１４は、各画素位置における積層構造データ１３１４ａを作成する。
【０１５６】
（６）積層構造データ作成部１３１４は、各画素位置における積層構造データ１３１４ａを作成すると、これに応答して、隣接する画素位置同士の積層構造データ１３１４ａを比較する。この比較において、両者、すなわち、隣接する画素位置同士の積層構造データ１３１４ａが同一であると判断される場合に、積層構造データ作成部１３１４は、両者を同一領域内のデータとして検出する。積層構造データ作成部１３１４は、このような比較を、全ての画素位置における積層構造データ１３１４ａに対して行う。これにより、積層構造データ作成部１３１４は、各領域Ｒ１〜Ｒ９を検出する。
【０１５７】
（７）積層構造データ作成部１３１４は、各領域Ｒ１〜Ｒ９を検出すると、これに応答して、切断線１０ｄのＹ座標値を初期値「ｉ」とする場合の各領域Ｒ１〜Ｒ９における積層構造データ１３１４ａ（図１３参照）を作成する。なお、図１３は、各領域Ｒ１〜Ｒ９における積層構造データ１３１４ａの一例を示している。
【０１５８】
図１３に示す例では、領域Ｒ１の積層構造データ１３１４ａは「（１）」となり、領域Ｒ２の積層構造データ１３１４ａは「（０，１，１）」となり、領域Ｒ３の積層構造データ１３１４ａは「（０，１，０，０，１，１）」となり、領域Ｒ４の積層構造データ１３１４ａは「（０，１，０，０，１，０，０，１）」となり、領域Ｒ５の積層構造データ１３１４ａは「（０，０，０，０，１，０，０，１）」となり、領域Ｒ６の積層構造データ１３１４ａは「（０，０，１）」となり、領域Ｒ７の積層構造データ１３１４ａは「（０，０，０，０，１，０，０，１）」となり、領域Ｒ８の積層構造データ１３１４ａは「（０，１，０，０，１，０，０，１）」となり、領域Ｒ９の積層構造データ１３１４ａは「（０，０，０，０，１，０，０，１）」となっている。積層構造データ１３１４ａは、積層構造が同一の領域内であれば、いずれの画素位置でも、値が同一となる。したがって、各領域Ｒ１〜Ｒ９における積層構造データ１３１４ａは、いずれの画素位置でも、値が同一となる。
【０１５９】
積層構造データ作成部１３１４は、上述の（１）〜（７）の工程を実行することにより、切断線１０ｄのＹ座標値を初期値「ｉ」とする場合の各領域Ｒ１〜Ｒ９における積層構造データ１３１４ａを作成する。
【０１６０】
（８）積層構造データ作成部１３１４は、切断線１０ｄのＹ座標値を初期値「ｉ」とする場合の各領域Ｒ１〜Ｒ９における積層構造データ１３１４ａを作成すると、これに応答して、図１４に示すように、各領域Ｒ１〜Ｒ９の画素座標を積層構造データ１３１４ａに対応付け、主格納部１４００に出力して、主格納部１４００の積層構造データ格納部１４１４に格納する。なお、図１４は、各領域Ｒ１〜Ｒ９の画素座標を対応付けた積層構造データ１３１４ａの一例を示している。図１４中、「画素座標」欄に記入されているデータは、それぞれ、各領域Ｒ１〜Ｒ９のＸ軸方向の座標範囲、すなわち、各領域Ｒ１〜Ｒ９のＸ軸方向の始端の座標値から終端の座標値までの座標範囲を、Ｙ座標値ごとに表している。
【０１６１】
この後、積層構造データ作成部１３１４は、以下のように、Ｙ座標値を変更して、同様の工程を実行し、二次元方向の全ての領域における積層構造データ１３１４ａを作成する。
【０１６２】
（９）積層構造データ作成部１３１４は、切断線１０ｄのＹ座標値を初期値「ｉ」とする場合の、Ｘ軸方向の全ての画素位置における積層構造データ１３１４ａを作成すると、これに応答して、切断線１０ｄのＹ座標値を初期値「ｉ」に「＋１」を加算した値、すなわち、「ｉ＋１」に固定して、上述の（２）の工程と同様に、合成層画像データ１０ｃをＸ軸方向に切断して、合成層画像データ１０ｃの切断面の画像データを作成する。
【０１６３】
（１０）積層構造データ作成部１３１４は、合成層画像データ１０ｃの切断面の画像データを作成すると、これに応答して、上述の（３）の工程と同様に、合成層画像データ１０ｃの切断面の画像データから、Ｘ軸方向の全ての画素位置のそれぞれで、主表面から不透明層の白色領域までの範囲、すなわち、各画素位置における深さ方向の可視範囲を検出する。
【０１６４】
（１１）積層構造データ作成部１３１４は、各画素位置における深さ方向の可視範囲を検出すると、これに応答して、上述の（４）の工程と同様に、各画素位置における深さ方向の可視範囲内の白色領域と黒色領域とを検出する。
【０１６５】
（１２）積層構造データ作成部１３１４は、各画素位置における深さ方向の可視範囲内の白色領域と黒色領域とを検出すると、これに応答して、上述の（５）の工程と同様に、白色領域をコード「１」とし、黒色領域をコード「０」として、各画素位置における深さ方向の可視範囲内の白色領域と黒色領域とを、二値のコードに変換する。これにより、積層構造データ作成部１３１４は、各画素位置における積層構造データ１３１４ａを作成する。
【０１６６】
（１３）積層構造データ作成部１３１４は、各画素位置における積層構造データ１３１４ａを作成すると、これに応答して、上述の（６）の工程と同様に、隣接する画素位置同士の積層構造データ１３１４ａを比較して、切断線１０ｄのＹ座標値を初期値「ｉ＋１」とする場合の各領域を検出する。
【０１６７】
（１４）積層構造データ作成部１３１４は、各領域Ｒ１〜Ｒ９を検出すると、これに応答して、上述の（７）の工程と同様に、切断線１０ｄのＹ座標値を初期値「ｉ＋１」とする場合の各領域における積層構造データ１３１４ａを作成する。
【０１６８】
積層構造データ作成部１３１４は、上述の（９）〜（１４）の工程を実行することにより、切断線１０ｄのＹ座標値を初期値「ｉ＋１」とする場合の、Ｘ軸方向の全ての画素位置における積層構造データ１３１４ａを作成する。
【０１６９】
（１５）積層構造データ作成部１３１４は、切断線１０ｄのＹ座標値を初期値「ｉ＋１」とする場合の各領域における積層構造データ１３１４ａを作成すると、これに応答して、上述の（８）の工程と同様に、各領域の画素座標を積層構造データ１３１４ａに対応付け、主格納部１４００に出力して、主格納部１４００の積層構造データ格納部１４１４に格納する。
【０１７０】
以後、積層構造データ作成部１３１４は、切断線１０ｄのＹ座標値が終端の値となるまで、上述の（９）〜（１５）の工程を繰り返し実行する。
【０１７１】
このようにして、積層構造データ作成部１３１４は、二次元方向の全ての領域における積層構造データ１３１４ａを作成し、各領域の画素座標を積層構造データ１３１４ａに対応付け、主格納部１４００に出力して、主格納部１４００の積層構造データ格納部１４１４に格納する。
【０１７２】
次に、オペレータによるマウスやキーボードなどの入力部１１００の操作によって、データ格納手段５０から基板製造データ５４ａを読み出す旨を指示する指令（以下、「基板製造データ読出指令」と称する）が、基板外観検査装置１０００に入力される。なお、この基板製造データ読出指令の入力は、色データ読出指令の入力またはＣＡＤデータ読出指令よりも前であってもよい。基板外観検査装置１０００は、基板製造データ読出指令が入力されると、これに応答して、入力部１１００の基板製造データ読出部１１２２が、データ格納手段５０の基板製造データ格納手段５４から、例えば図７に示すような、検査基板１０ｂの基板製造データ５４ａを読み出し、読み出した基板製造データ５４ａを主格納部１４００に出力して、主格納部１４００の基板製造データ格納部１４２２に格納する。
【０１７３】
なお、検査基板１０ｂの基板製造データ５４ａは、図７に示すように、検査基板１０ｂの第１シルク層１１ｂ〜第２シルク層２５ｂのそれぞれに対応して、例えば、各層に割り当てられた「層番号データ」と、「層構成データ」と、「材料種類／層処理データ」と、「材料厚データ」とを含んでいる。したがって、この実施の形態では、基板外観検査装置１０００は、基板製造データ５４ａから、例えば、コア材の材料種類データとして「ＦＲ−４」を取得し、プリプレグ材の材料種類データとして「ＦＲ−４」を取得し、レジスト材の材料種類データとして「Ｇ２４」を取得し、シルク材の材料種類データとして「２００Ｗ」を取得し、及びメッキ材の材料種類データとして「Ｃｕ」を取得することができる（図７参照）。また、この実施の形態では、基板外観検査装置１０００は、基板製造データ５４ａから、例えば、表層（処理層）の層処理データとして「ＳＲ」を取得し、及び中層（処理層）の層処理データとして「Ｂ／Ｏ」を取得することができる（図７参照）。また、この実施の形態では、基板外観検査装置１０００は、基板製造データ５４ａから、例えば、コア材の材料厚データとして「１００μｍ」を取得し、プリプレグ材の材料厚データとして「１００μｍ」、レジスト材の材料厚データとして「１０μｍ」を取得し、シルク材の材料厚データとして「５０μｍ」を取得し、及びメッキ材の材料厚データとして「１８μｍ」を取得する（図７参照）。
【０１７４】
基板製造データ５４ａが基板製造データ格納部１４２２に格納されると、これに応答して、色データ取得部１３４２が起動する。
【０１７５】
以下、図１５を参照して、この色データ取得部１３４２の動作につき説明する。なお、図１５は、色データ取得部の説明図である。
【０１７６】
色データ取得部１３４２は、起動すると、これに応答して、基板製造データ格納部１４２２から基板製造データ５４ａを読み出し、読み出した基板製造データ５４ａの中から材料種類データ３１２ａや層処理データ３１４ａ（図６参照）を取得する。
【０１７７】
色データ取得部１３４２は、材料種類データ３１２ａや層処理データ３１４ａを取得すると、これに応答して、色データベース１４４０から、色データ５００ａの中の、材料種類データ３１２ａや層処理データ３１４ａのそれぞれに対応する色データ１３４２ａ（図１５参照）を読み出す。図１５は、色データ取得部１３４２が色データベース１４４０から読み出した色データ１３４２ａを示している。図１５に示す例では、色データ取得部１３４２は、材料種類データ「ＦＲ−４」に対応する色データ１３４２ａとして、Ｒ色の色特徴値であるＲ（ＦＲ−４）とＧ色の色特徴値であるＧ（ＦＲ−４）とＢ色の色特徴値であるＢ（ＦＲ−４）とを読み出している。また、色データ取得部１３４２は、材料種類データ「Ｇ２４」に対応する色データ１３４２ａとして、Ｒ色の色特徴値であるＲ（Ｇ２４）とＧ色の色特徴値であるＧ（Ｇ２４）とＢ色の色特徴値であるＢ（Ｇ２４）とを読み出している。また、色データ取得部１３４２は、材料種類データ「２００Ｗ」に対応する色データ１３４２ａとして、Ｒ（赤）色の色特徴値であるＲ（２００Ｗ）とＧ（緑）色の色特徴値であるＧ（２００Ｗ）とＢ（青）色の色特徴値であるＢ（２００Ｗ）とを読み出している。また、色データ取得部１３４２は、材料種類データ「Ｃｕ」に対応する色データ１３４２ａとして、Ｒ色の色特徴値であるＲ（Ｃｕ）とＧ色の色特徴値であるＧ（Ｃｕ）とＢ色の色特徴値であるＢ（Ｃｕ）とを読み出している。また、色データ取得部１３４２は、層処理データ「Ｂ／Ｏ」に対応する色データ１３４２ａとして、Ｒ色の色特徴値であるＲ（Ｂ／Ｏ）とＧ色の色特徴値であるＧ（Ｂ／Ｏ）とＢ色の色特徴値であるＢ（Ｂ／Ｏ）とを読み出している。また、色データ取得部１３４２は、層処理データ「ＳＲ」に対応する色データ１３４２ａとして、Ｒ色の色特徴値であるＲ（ＳＲ）とＧ色の色特徴値であるＧ（ＳＲ）とＢ色の色特徴値であるＢ（ＳＲ）とを読み出している。このようにして、色データ取得部１３４２は、材料種類データ３１２ａや層処理データ３１４ａのそれぞれに対応する色データ１３４２ａを取得する。
【０１７８】
色データ取得部１３４２は、材料種類データ３１２ａや層処理データ３１４ａのそれぞれに対応する色データ１３４２ａを取得すると、主格納部１４００に出力し、主格納部１４００の色データ格納部１４４２に格納する。
【０１７９】
また、このとき、色データ取得部１３４２は、基板製造データ格納部１４２２から読み出した基板製造データ５４ａに含まれている各層の材料厚データを、各層の色データ１３４２ａに関連するデータとして、主格納部１４００に出力し、主格納部１４００の色データ格納部１４４２に格納する。
【０１８０】
以上が、検査基板１０ｂの外観を検査するに際の事前動作である。
【０１８１】
基板外観検査装置１０００は、事前動作が終了すると、検査基板１０ｂの外観を検査する旨を指示する指令（以下、「検査指令」と称する）を入力可能な状態となる。この後、オペレータによるマウスやキーボードなどの入力部１１００の操作によって、検査指令が、基板外観検査装置１０００に入力される。
【０１８２】
基板外観検査装置１０００は、検査指令が入力されると、これに応答して、入力部１１００の撮像部１１０２が起動する。
【０１８３】
撮像部１１０２は、起動すると、これに応答して、検査基板１０ｂを撮像して、検査基板１０ｂの撮像画像データ１１０２ａを取得する。撮像部１１０２は、検査基板１０ｂの撮像画像データ１１０２ａを取得すると、これに応答して、取得した撮像画像データ１１０２ａを主格納部１４００に出力して、主格納部１４００の撮像画像データ格納部１４０２に格納する。
【０１８４】
撮像画像データ１１０２ａが撮像画像データ格納部１４０２に格納されると、これに応答して、スキュー補正部１３８４が起動する。
【０１８５】
スキュー補正部１３８４は、起動すると、これに応答して、撮像画像データ１４０２から撮像画像データ１１０２ａを読み出し、読み出した撮像画像データ１１０２ａの傾き（スキュー）を公知の手法で補正して、スキュー補正画像データ１３８４ａ（図１６参照）を作成する。図１６は、スキュー補正部の説明図である。図１６は、角度θの撮像画像データ１１０２ａのスキューを補正したスキュー補正画像データ１３８４ａが与える画像の一例を示している。図１６中、領域Ｒｍ、Ｒｍ＋１、Ｒｎ、Ｒｎ＋１、Ｒｎ＋２、Ｒｎ＋３は、外観検査の対象となる検査領域の一例である。各検査領域内の積層構造は、いずれの画素位置でも、同一である。例えば、検査領域Ｒｍ内に存在する画素Ｒｍ（１）、Ｒｍ（２）、Ｒｍ（３）などの積層構造は、全て同一である。
【０１８６】
なお、スキューを補正する手法としては、例えば、以下のように、アライメントマークを用いる手法がある。
【０１８７】
すなわち、検査基板１０ｂは、アライメントマーク（図示せず）と称される位置合わせ用のマークが予め定められた位置に設けられている。アライメントマークは、例えば、検査基板１０ｂの形状が長方形であれば、長方形の４つの頂点の中の３つの頂点に、それぞれ、１つずつ設けられている。スキュー補正部１３８４は、検査基板１０ｂの撮像画像データ１１０２ａから、３つのアライメントマークの中の横方向に並ぶ２つを検出する。これら横方向に並ぶ２つのアライメントマークは、互いの間を線で結ぶことにより、Ｘ軸にほぼ平行な線を描く。また、スキュー補正部１３８４は、検査基板１０ｂの撮像画像データ１１０２ａから、３つのアライメントマークの中の縦方向に並ぶ２つを検出する。これら縦方向に並ぶ２つのアライメントマークは、互いの間を線で結ぶことにより、Ｙ軸にほぼ平行な線を描く。スキュー補正部１３８４は、横方向に並ぶ２つのアライメントマークが描く線（以下、「横方向の線」と称する）と縦方向に並ぶ２つのアライメントマークが描く線（以下、「縦方向の線」と称する）に共通するアライメントマーク（以下、「共通アライメントマーク」と称する）を二次元座標の原点とし、横方向の線及び縦方向の線がそれぞれＸ軸及びＹ軸に重なるように、撮像画像データ１１０２ａのスキューを補正する。これにより、スキュー補正部１３８４は、スキュー補正画像データ１３８４ａを作成する。なお、横方向の線と縦方向の線がそれぞれＸ軸及びＹ軸に重ならない場合は、スキュー補正部１３８４は、撮像画像データ１１０２ａに対して、以下の補正を行うことにより、スキュー補正画像データ１３８４ａを作成する。すなわち、スキュー補正部１３８４は、横方向の線の終端側のアライメントマークの位置における横方向の線のＸ軸からのずれ量及び縦方向の線の終端側のアライメントマークの位置における縦方向の線のＹ軸からのずれ量を検出し、撮像画像データ１１０２ａに対して、各画素間の間隔の伸縮率が終端側の位置ほど大きくなるように、各ずれ量に応じて、画素単位の位置ごとに伸縮率を変化させて、各画素間の間隔を伸縮する補正を行う。
【０１８８】
スキュー補正部１３８４は、スキュー補正画像データ１３８４ａを作成すると、これに応答して、作成したスキュー補正画像データ１３８４ａを主格納部１４００に出力して、主格納部１４００のスキュー補正画像データ格納部１４８４に格納する。
【０１８９】
スキュー補正画像データ格納部１４８４にスキュー補正画像データ１３８４ａが格納されると、これに応答して、位置合わせ部１３８６が起動する。
【０１９０】
以下、図１７を参照して、この位置合わせ部１３８６の動作につき説明する。なお、図１７は、位置合わせ部の説明図である。
【０１９１】
位置合わせ部１３８６は、起動すると、これに応答して、スキュー補正画像データ格納部１４８４からスキュー補正画像データ１３８４ａ（図１６参照）を読み出すとともに、積層構造データ格納部１４１４から積層構造データ１３１４ａ（図１４参照）を読み出す。
【０１９２】
位置合わせ部１３８６は、スキュー補正画像データ格納部１４８４からスキュー補正画像データ１３８４ａを読み出すとともに、積層構造データ格納部１４１４から積層構造データ１３１４ａを読み出すと、これに応答して、スキュー補正画像データ１３８４ａの各画素の色（具体的には、Ｒ色階調値、Ｇ色階調値、及びＢ色階調値）を解析して、スキュー補正画像データ１３８４ａの中から色ごとに各領域を検出する。このとき、位置合わせ部１３８６は、上述の共通アライメントマークを二次元座標の原点として、この原点に基づいて各領域の画素座標を検出する。しかしながら、このとき検出された各領域の画素座標は、検出がスキュー補正画像データ１３８４ａの各画素の色に基づいて行われているため、位置が正確ではない。
【０１９３】
位置合わせ部１３８６は、スキュー補正画像データ１３８４ａから各領域を検出すると、これに応答して、積層構造データ１３１４ａに基づいて、各領域の中から外観検査の対象領域である検査領域を抽出する。ここでは、位置合わせ部１３８６は、例えば、図１６に示す検査領域Ｒｍ、Ｒｍ＋１、Ｒｎ、Ｒｎ＋１、Ｒｎ＋２、Ｒｎ＋３を抽出したものとする。なお、このとき抽出された各検査領域の画素座標は、抽出の対象となっている各領域がスキュー補正画像データ１３８４ａの各画素の色に基づいて検出されているため、位置が正確ではない。
【０１９４】
位置合わせ部１３８６は、各領域の中から検査領域を抽出すると、これに応答して、積層構造データ１３１４ａの中から各検査領域に該当するデータを抽出する。
【０１９５】
位置合わせ部１３８６は、積層構造データ１３１４ａの中から各検査領域に該当するデータを抽出すると、これに応答して、スキュー補正画像データ１３８４ａから検出した各検査領域に、積層構造データ１３１４ａの中から抽出した各検査領域に該当するデータを対応付けて、位置合わせデータ１３８６ａ（図１７参照）を作成する。
【０１９６】
図１７は、位置合わせ部１３８６によって作成される位置合わせデータ１３８６ａの一例を示している。図１７に示す例では、位置合わせデータ１３８６ａは、各検査領域と、積層構造データ格納部１４１４から読み出された積層構造データ１３１４ａの中から抽出された各検査領域に該当するデータとが組み合わされた構成となっている。なお、位置合わせデータ１３８６ａの構成は、運用に応じて、適宜変更することができる。
【０１９７】
位置合わせ部１３８６は、位置合わせデータ１３８６ａを作成すると、これに応答して、作成した位置合わせデータ１３８６ａを主格納部１４００に出力して、主格納部１４００の位置合わせデータ格納部１４８６に格納する。
【０１９８】
位置合わせデータ１３８６ａが位置合わせデータ格納部１４８６に格納されると、これに応答して、領域色特徴データ作成部１３９２が起動する。
【０１９９】
以下、図１８を参照して、この領域色特徴データ作成部１３９２の動作につき説明する。なお、図１８は、領域色特徴データ作成部の説明図である。
【０２００】
領域色特徴データ作成部１３９２は、起動すると、これに応答して、位置合わせデータ格納部１４８６から位置合わせデータ１３８６ａを読み出し、さらに、色データ格納部１４４２から各層の特徴部分に対応する色データ１３４２ａを読み出す。なお、各層の特徴部分に対応する色データ１３４２ａは、例えば、層が第１番目の層であれば、それぞれ、第１番目の層の特徴部分である第１シルク層１１ｂの材料「２００Ｗ」に対応する、Ｒ色特徴値、すなわち、Ｒ（２００Ｗ）、Ｇ色特徴値、すなわち、Ｇ（２００Ｗ）、及びＢ色特徴値、すなわち、Ｂ（２００Ｗ）となる。
【０２０１】
領域色特徴データ作成部１３９２は、位置合わせデータ１３８６ａと色データ１３４２ａとを読み出すと、これに応答して、各検査領域の位置合わせデータ１３８６ａと各層の特徴部分に対応する色データ１３４２ａとに基づいて、各検査領域の領域色特徴データ１３９２ａ（図１８参照）を作成する。
【０２０２】
図１８は、領域色特徴データ作成部１３９２が作成する領域色特徴データ１３９２ａの一例を示している。各検査領域の領域色特徴データ１３９２ａは、各検査領域のＲ色特徴値、Ｇ色特徴値、及びＢ色特徴値を表している。図１８に示す例では、領域色特徴データ作成部１３９２は、検査領域Ｒｍの積層構造データ１３１４ａである（０，１，０，０，１，１）に基づいて、検査領域Ｒｍの領域色特徴データ１３９２ａとして、Ｒ（０，Ｇ２４，０，０，ＦＲ−４，Ｂ／Ｏ）、Ｇ（０，Ｇ２４，０，０，ＦＲ−４，Ｂ／Ｏ）、及びＢ（０，Ｇ２４，０，０，ＦＲ−４，Ｂ／Ｏ）を作成している。また、領域色特徴データ作成部１３９２は、検査領域Ｒｍ＋１の積層構造データ１３１４ａである（０，１，０，０，１，０，０，１）に基づいて、検査領域Ｒｍ＋１の領域色特徴データ１３９２ａとして、Ｒ（０，Ｇ２４，０，０，ＦＲ−４，０，０，ＦＲ−４）、Ｇ（０，Ｇ２４，０，０，ＦＲ−４，０，０，ＦＲ−４）、及びＢ（０，Ｇ２４，０，０，ＦＲ−４，０，０，ＦＲ−４）を作成している。
【０２０３】
領域色特徴データ作成部１３９２は、領域色特徴データ１３９２ａを作成すると、これに応答して、作成した領域色特徴データ１３９２ａを主格納部１４００に出力し、主格納部１４００の領域色特徴データ格納部１４９２に格納する。
【０２０４】
なお、各検査領域の領域色特徴データ１３９２ａが表すＲ色特徴値、Ｇ色特徴値、及びＢ色特徴値は、この実施の形態では、それぞれ、以下の式１〜３により算出される値となる。なお、以下の式１〜３並びに後述の式４〜１２は、一例に過ぎず、他の数式の適用も可能である。
【０２０５】
【数３】
2008084054.tif 000003
【０２０６】
この実施の形態では、領域色特徴データ作成部１３９２は、領域色特徴データ１３９２ａを領域色特徴データ格納部１４９２に格納すると、これに応答して、以下のようにして、各検査領域の領域色特徴データ１３９２ａが表すＲ色特徴値、Ｇ色特徴値、及びＢ色特徴値を算出する。
【０２０７】
すなわち、領域色特徴データ作成部１３９２は、領域色特徴データ１３９２ａを領域色特徴データ格納部１４９２に格納すると、これに応答して、演算用データ格納部１４８８から演算用データ１４８８ａを読み出し、さらに、色データ格納部１４４２から材料厚データを読み出す。なお、このとき読み出された演算用データ１４８８ａは、上述の式１〜３を含んでいるものとする。
【０２０８】
領域色特徴データ作成部１３９２は、演算用データ１４８８ａと材料厚データとを読み出すと、これに応答して、演算用データ１４８８ａから上述の式１〜３を抽出し、読み出した材料厚データを用いて、抽出した上述の式１〜３により、各検査領域の領域色特徴データ１３９２ａが表すＲ色特徴値、Ｇ色特徴値、及びＢ色特徴値を算出する。
【０２０９】
なお、上述の式１〜３は、例えば、領域が検査領域Ｒｍであれば、以下の式４〜６のようになる。
【０２１０】
【数４】
2008084054.tif 000004
【０２１１】
ここで、Ｒ色特徴値（Ｒｍ）は、領域Ｒｍの領域色特徴データ１３９２ａが表すＲ色特徴値を示し、Ｇ色特徴値（Ｒｍ）は、領域Ｒｍの領域色特徴データ１３９２ａが表すＧ色特徴値を示し、Ｂ色特徴値（Ｒｍ）は、領域Ｒｍの領域色特徴データ１３９２ａが表すＢ色特徴値を示している。
【０２１２】
また、第１レジスト層１２ｂは上から第２番目の層であるので、第１レジスト層１２ｂはｉ＝２となり、第１プリプレグ層１５ｂは上から第５目の層であるので、第１プリプレグ層１５ｂはｉ＝５、第２処理層１６ｂは上から第６目の層であるので、第２処理層１６ｂはｉ＝６となっている（図３及び図７参照）。これらのデータは、領域色特徴データ作成部１３９２によって、位置合わせデータ１３８６ａから抽出されて、領域色特徴データの算出に用いられる。
【０２１３】
また、第１レジスト層１２ｂの厚さＴｒ２、Ｔｇ２、Ｔｂ２は、それぞれ、１０（μｍ）となっている（図７参照）。また、第１プリプレグ層１５ｂの厚さＴｒ５、Ｔｇ５、Ｔｂ５は、それぞれ、１００（μｍ）となっている（図７参照）。また、第２処理層１６ｂの厚さＴｒ６、Ｔｇ６、Ｔｂ６は、それぞれ、実際には層の表面処理であるため、厚さは無いものの、予め定められた基準厚（ここでは、１０（μｍ））となっている。これらのデータは、領域色特徴データ作成部１３９２によって、色データ格納部１４４２から読み出されて、色特徴データの算出に用いられる。
【０２１４】
このように、領域色特徴データ作成部１３９２は、検査基板１０ｂの領域Ｒｍにおける色特徴データとして、Ｒ色特徴値（Ｒｍ）、Ｇ色特徴値（Ｒｍ）、及びＢ色特徴値（Ｒｍ）を算出する。
【０２１５】
領域色特徴データ作成部１３９２は、このような演算を、各検査領域に対して行う。これにより、領域色特徴データ作成部１３９２は、検査基板１０ｂの全ての検査領域の領域色特徴データ１３９２ａが表す、Ｒ色特徴値、Ｇ色特徴値、及びＢ色特徴値（以下、「全色特徴値」と称する）を算出する。
【０２１６】
領域色特徴データ作成部１３９２は、全色特徴値を算出すると、これに応答して、算出した全色特徴値を主格納部１４００に出力し、主格納部１４００の領域色特徴データ格納部１４９２に格納する。このとき領域色特徴データ格納部１４９２は、各検査領域の領域色特徴データ１３９２ａに各検査領域の色特徴値を対応付けて格納する。
【０２１７】
全色特徴値が領域色特徴データ格納部１４９２に格納されると、これに応答して、検査部１３９４が起動する。
【０２１８】
検査部１３９４は、起動すると、これに応答して、スキュー補正画像データ格納部１４８４からスキュー補正画像データ１３８４ａを読み出すとともに、領域色特徴データ格納部１４９２から各検査領域の領域色特徴データ１３９２ａを読み出す。なお、このとき読み出される各検査領域の領域色特徴データ１３９２ａには、対応する色特徴値が含まれている。
【０２１９】
検査部１３９４は、スキュー補正画像データ格納部１４８４からスキュー補正画像データ１３８４ａを読み出すとともに、領域色特徴データ格納部１４９２から領域色特徴データ１３９２ａを読み出すと、これに応答して、領域色特徴データ１３９２ａの画素座標に基づいて、スキュー補正画像データ１３８４ａから各検査領域を検出し、さらに、各検査領域の色階調値を検出する。
【０２２０】
検査部１３９４は、各検査領域の色階調値を検出すると、これに応答して、領域色特徴データ１３９２ａが表す各検査領域の色特徴値を抽出し、検出した各検査領域の色階調値と抽出した各検査領域の色特徴値とを比較する。
【０２２１】
この比較において、両者が予め定められた誤差範囲内で一致する場合は、検査基板１０ｂが良品であることを意味する。この場合に、検査部１３９４は、検査基板１０ｂの外観が適正であると判断して、例えば「適正」を意味する検査結果を出力部１２００に出力する。これにより、出力部１２００は、「適正」を意味する検査結果を、ディスプレイに表示したり、記憶装置に格納する。なお、「誤差範囲」は、主格納部１４００の図示せぬ記憶領域または演算用データ格納部１４８８に予め格納されており、色特徴値が比較される場合に、検査部１３９４によって読み出される。
【０２２２】
または、この比較において、両者が予め定められた誤差範囲内で一致しない場合は、検査基板１０ｂが不良品であることを意味する。この場合に、検査部１３９４は、検査基板１０ｂの外観が不適正であると判断して、例えば「不適正」を意味する検査結果を出力部１２００に出力する。これにより、出力部１２００は、「不適正」を意味する検査結果を、ディスプレイに表示したり、記憶装置に格納する。
【０２２３】
このようにして、基板外観検査装置１０００は、検査基板１０ｂの外観を検査する。
【０２２４】
［第２の実施の形態］
＜基板外観検査装置の構成＞
以下、図１９を参照して、第２の実施の形態に係る基板外観検査装置の構成につき説明する。なお、図１９は、第２の実施の形態に係る基板外観検査装置の構成例を示すブロック図である。
【０２２５】
基板外観検査装置１０００Ａは、第１の実施の形態の基板外観検査装置１０００と同様に、検査基板１０ｂの外観を検査する装置である。
【０２２６】
図１９に示すように、基板外観検査装置１０００Ａは、入力部１１００と出力部１２００と主演算部１３００Ａと主格納部１４００Ａとを有している。
【０２２７】
上述の入力部１１００は、第１の実施の形態の入力部１１００（図１参照）と同様の構成要素である。なお、この実施の形態では、第１の実施の形態の入力部１１００と同様に、撮像部１１０２は、図３に示す積層構造を有している検査基板１０ｂを撮像することにより、図２に示す撮像画像データを取得するものとする。
【０２２８】
上述の出力部１２００は、第１の実施の形態の出力部１２００（図１参照）と同様の構成要素である。
【０２２９】
上述の主演算部１３００Ａは、第１の実施の形態の主演算部１３００（図１参照）と同様に、各種の演算を実行する手段である。主演算部１３００Ａは、ＣＰＵで構成されている。主演算部１３００Ａは、層画像データ取得部１３１２と材料種類データ取得部１３３２と層処理データ取得部１３３４と材料厚データ取得部１３３６と層構成データ取得部１３３８と色データ取得部１３４２Ａと層画像データ展開部１３５２とカラー層画像データ作成部１３５４と基準基板データ作成部１３６０とスキュー補正部１３８４と検査部１３９４とを構成要素として備えている。
【０２３０】
上述の主格納部１４００Ａは、第１の実施の形態の主格納部１４００（図１参照）と同様に、各種のプログラムやデータを格納する手段である。主格納部１４００Ａは、ＲＡＭで構成されている。主格納部１４００Ａは、撮像画像データ格納部１４０２と層画像データ格納部１４１２と材料種類データ格納部１４３２と層処理データ格納部１４３４と材料厚データ格納部１４３６と層構成データ格納部１４３８と色データベース１４４０と色データ格納部１４４２Ａとカラー層画像データ格納部１４５４と基準基板データ格納部１４６０とスキュー補正画像データ格納部１４８４と演算用データ格納部１４８８とを構成要素として備えている。
【０２３１】
以下、主演算部１３００Ａ及び主格納部１４００Ａの構成要素につき、順次説明する。
【０２３２】
層画像データ取得部１３１２は、第１の実施の形態の層画像データ取得部１３１２（図１参照）と同様の構成要素である。
【０２３３】
材料種類データ取得部１３３２は、基板製造データ格納手段５４から基板製造データ５４ａを読み出し、読み出した基板製造データ５４ａの中から、基板の各層の形成に用いられている材料の種類を表す材料種類データ３１２ａを抽出して、材料種類データ格納部１４３２に格納する機能手段である。
【０２３４】
層処理データ取得部１３３４は、基板製造データ格納手段５４から基板製造データ５４ａを読み出し、読み出した基板製造データ５４ａの中から、処理が施されている層の処理内容を表す層処理データ３１４ａを抽出して、層処理データ格納部１４３４に格納する機能手段である。
【０２３５】
なお、第１の実施の形態では、色データ取得部１３４２が、基板製造データ５４ａの中から材料種類データ３１２ａと層処理データ３１４ａとを抽出している。しかしながら、この実施の形態では、材料種類データ取得部１３３２が基板製造データ５４ａの中から材料種類データ３１２ａを抽出し、層処理データ取得部１３３４が基板製造データ５４ａの中から層処理データ３１４ａを抽出する構成となっている。したがって、この実施の形態では、色データ取得部１３４２Ａは、材料種類データ３１２ａと層処理データ３１４ａとを抽出せずに、材料種類データ取得部１３３２と層処理データ取得部１３３４によって抽出された材料種類データ３１２ａと層処理データ３１４ａとを処理に用いるだけである。これは、この実施の形態では、層処理データ３１４ａが色データ取得部１３４２Ａだけでなく基準基板データ作成部１３６０にも用いられるので、層処理データ３１４ａを予め抽出しておき、色データ取得部１３４２Ａと基準基板データ作成部１３６０は予め抽出された層処理データ３１４ａを処理に用いることによって、色データ取得部１３４２Ａと基準基板データ作成部１３６０とにおける処理の速度を向上させるためである。
【０２３６】
材料厚データ取得部１３３６は、基板製造データ格納手段５４から基板製造データ５４ａを読み出し、読み出した基板製造データ５４ａの中から、基板の各層の材料の厚さを表す材料厚データ３１６ａを抽出して、材料厚データ格納部１４３６に格納する機能手段である。
【０２３７】
層構成データ取得部１３３８は、基板製造データ格納手段５４から基板製造データ５４ａを読み出し、読み出した基板製造データ５４ａの中から、基板の各層の構成を表す層構成データ３１８ａを抽出して、層構成データ格納部１４３８に格納する機能手段である。
【０２３８】
色データ取得部１３４２Ａは、第１の実施の形態の色データ取得部１３４２（図１参照）と同様に、色データベース１４４０から色データ５００ａを読み出し、読み出した色データ５００ａの中から、基板の各層の特徴部分に応じて定まる色データ１３４２ａを抽出して、色データ格納部１４４２Ａに格納する機能手段である。
【０２３９】
なお、第１の実施の形態では、色データ取得部１３４２が、基板製造データ５４ａの中から材料種類データ３１２ａと層処理データ３１４ａとを抽出し、抽出した材料種類データ３１２ａと層処理データ３１４ａとを色データ１３４２ａの抽出処理に用いている。しかしながら、この実施の形態では、色データ取得部１３４２Ａは、材料種類データ３１２ａと層処理データ３１４ａとを抽出せずに、予め抽出された材料種類データ３１２ａと層処理データ３１４ａとを色データ１３４２ａの抽出処理に用いている。
【０２４０】
層画像データ展開部１３５２は、層画像データ格納部１４１２から基板の各層の層画像データ１３１２ａを読み出して、イメージデータとして展開する機能手段である。なお、ここでは、「展開」とは、画像の中の各ドットの位置座標が特定されたイメージデータとして、データを作成する動作を意味している。
【０２４１】
カラー層画像データ作成部１３５４は、層画像データ１３１２ａと色データ１３４２ａとに基づいて、基板の各層のカラー画像を表すデータ（以下、「カラー層画像データ」と称する）１３５４ａを作成して、カラー層画像データ格納部１４５４に格納する機能手段である。このカラー層画像データ１３５４ａは、例えば、図５（Ａ）〜（Ｄ）に示す層画像データ１３１２ａの白色領域に、白色領域を構成する材料の種類の色データ１３４２ａに対応する色または白色領域に施される処理の色データ１３４２ａに対応する色を合成することによって、作成される。
【０２４２】
基準基板データ作成部１３６０は、検査基板１０ｂの外観を検査するための基準となる基準基板データ１３６０ａを擬似的に作成する機能手段である。この実施の形態では、基準基板データ１３６０ａは、例えば、後述のカラー積層画像データ１３６２ａ、カラー表面画像データ１３６４ａ、領域色特徴データ１３６６ａ、及び検査領域データ１３６８ａなどを含んでいるものとする。
【０２４３】
基準基板データ作成部１３６０は、カラー積層画像データ作成部１３６２とカラー表面画像データ作成部１３６４と領域色特徴データ作成部１３６６と検査領域データ作成部１３６８とを備えている。
【０２４４】
カラー積層画像データ作成部１３６２は、例えば図２３に示すような、基板の積層構造のカラー画像を表すデータ（以下、「カラー積層画像データ」と称する）１３６２ａを作成して、基準基板データ格納部１４６０に格納する機能手段である。
【０２４５】
なお、図２３は、カラー積層画像データ作成部の説明図である。図２３は、カラー積層画像データ作成部１３６２が作成するカラー積層画像データ１３６２ａが与える画像の一例を示している。
【０２４６】
図２３に示す例では、カラー積層画像データ１３６２ａは、検査基板１０ｂの、ある断面における積層構造を簡略的に示している。この例では、検査基板１０ｂは、上から順に、第１層目の第１シルク層１１ｂと、第２層目の第１レジスト層１２ｂと、第３層目の第１処理層１３ｂと、第４層目の第１銅メッキ層１４ｂと、第５層目の第１プリプレグ層１５ｂと、第６層目の第２処理層１６ｂと、第７層目の第２銅メッキ層１７ｂと、第８層目のコア層１８ｂと、第９層目の第３銅メッキ層１９ｂと、第１０層目の第３処理層２０ｂと、第１１層目の第２プリプレグ層２１ｂと、第１２層目の第４銅メッキ層２２ｂと、第１３層目の第４処理層２３ｂと、第１４層目の第２レジスト層２４ｂと、第１５層目の第２シルク層２５ｂとからなる、１５層の積層構造を有している。
【０２４７】
カラー積層画像データ作成部１３６２は、層処理データ格納部１４３４から読み出される層処理データ３１４ａ、材料厚データ格納部１４３６から読み出される材料厚データ３１６ａ、及び層構成データ格納部１４３８から読み出される層構成データ３１８ａのいずれか一つのデータあるいは２以上の組み合わせデータと、カラー層画像データ格納部１４５４から読み出されるカラー層画像データ１３５４ａとに基づいて、図２３に示すカラー積層画像データ１３６２ａを作成する。
【０２４８】
カラー表面画像データ作成部１３６４は、例えば図２４に示すような、基板の主表面のカラー画像を表すデータ（以下、「カラー表面画像データ」と称する）１３６４ａを作成して、基準基板データ格納部１４６０に格納する機能手段である。
【０２４９】
なお、図２４は、カラー表面画像データ作成部の説明図である。図２４は、カラー表面画像データ作成部１３６４によって作成されたカラー表面画像データ１３６４ａの一例を示している。図２４に示すように、カラー表面画像データ１３６４ａは、基板の主表面、例えば、「上面」の色パターンを示している。なお、図２４中、２つの矢印は、Ｘ軸方向とＹ軸方向を示している。
【０２５０】
カラー表面画像データ作成部１３６４は、カラー積層画像データ作成部１３６２によって作成されたカラー積層画像データ１３６２ａに基づいて、図２４に示すカラー表面画像データ１３６４ａを作成する。
【０２５１】
領域色特徴データ作成部１３６６は、例えば図２７に示すような、検査基板１０ｂの全画素の色特徴値を表す領域色特徴データ１３６６ａを作成して、基準基板データ格納部１４６０に格納する機能手段である。
【０２５２】
なお、図２７は、領域色特徴データ作成部の説明図である。図２７は、領域色特徴データ作成部１３６６が作成する領域色特徴データ１３６６ａの一例を示している。
【０２５３】
領域色特徴データ作成部１３６６は、カラー表面画像データ作成部１３６４によって作成されたカラー表面画像データ１３６４ａにおける検査基板１０ｂの全画素の色特徴値を算出することにより、図２７に示す領域色特徴データ１３６６ａを作成する。
【０２５４】
検査領域データ作成部１３６８は、例えば図２８に示すような、基板の検査対象となる領域の位置を表すデータ（以下、「検査領域データ」と称する）１３６８ａを作成して、基準基板データ格納部１４６０に格納する機能手段である。
【０２５５】
なお、図２８は、検査領域データ作成部の説明図である。図２８は、検査領域データ作成部１３６８が作成する検査領域データ１３６８ａの一例を示している。
【０２５６】
検査領域データ１３６８ａは、カラー表面画像データ１３６４ａの色パターンの輪郭で区切られた各内部領域の位置を表す座標データである。この検査領域データ１３６８ａは、領域ごとに、各領域の領域色特徴データ１３６６ａと対応付けられる。
【０２５７】
検査領域データ作成部１３６８は、カラー表面画像データ作成部１３６４によって作成されたカラー表面画像データ１３６４ａに基づいて、カラー表面画像データ１３６４ａの色パターンの輪郭で区切られた各内部領域の位置を識別することにより、図２８に示す検査領域データ１３６８ａを作成する。
【０２５８】
スキュー補正部１３８４は、第１の実施の形態のスキュー補正部１３８４（図１参照）と同様の構成要素である。
【０２５９】
検査部１３９４は、第１の実施の形態の検査部１３９４（図１参照）と同様の構成要素である。
【０２６０】
撮像画像データ格納部１４０２は、第１の実施の形態の撮像画像データ格納部１４０２（図１参照）と同様の構成要素である。
【０２６１】
層画像データ格納部１４１２は、第１の実施の形態の層画像データ格納部１４１２（図１参照）と同様の構成要素である。
【０２６２】
材料種類データ格納部１４１２は、材料種類データ取得部１３３２によって取得される材料種類データ３１２ａを格納する記憶領域である。
【０２６３】
層処理データ格納部１４３４は、層処理データ取得部１３３４によって取得される層処理データ３１４ａを格納する記憶領域である。
【０２６４】
材料厚データ格納部１４３６は、材料厚データ取得部１３３６によって取得される材料厚データ３１６ａを格納する記憶領域である。
【０２６５】
層構成データ格納部１４３８は、層構成データ取得部１３３８によって取得される層構成データ３１８ａを格納する記憶領域である。
【０２６６】
色データベース１４４０は、第１の実施の形態の色データベース１４４０（図１参照）と同様の構成要素である。
【０２６７】
色データ格納部１４４２Ａは、色データ取得部１３４２Ａによって取得される色データ１３４２ａを格納する記憶領域である。
【０２６８】
カラー層画像データ格納部１４５４は、カラー層画像データ作成部１３５４によって作成されるカラー層画像データ１３５４ａを格納する記憶領域である。
【０２６９】
基準基板データ格納部１４６０は、基準基板データ作成部１３６０によって擬似的に作成される基準基板データ１３６０ａを格納する記憶領域である。基準基板データ格納部１４６０は、基準基板データ１３６０ａとして、例えば、カラー積層画像データ１３６２ａ、カラー表面画像データ１３６４ａ、領域色特徴データ１３６６ａ、及び検査領域データ１３６８ａを格納する。
【０２７０】
スキュー補正画像データ格納部１４８４は、第１の実施の形態のスキュー補正画像データ格納部１４８４（図１参照）と同様の構成要素である。
【０２７１】
演算用データ格納部１４８８は、第１の実施の形態の演算用データ格納部１４８８（図１参照）と同様の構成要素である。
【０２７２】
＜ＣＡＤデータから取得されるデータ＞
基板外観検査装置１０００Ａは、第１の実施の形態に係る基板外見検査装置１０００と同様に、ＣＡＤデータ５２ａに基づいて、検査基板１０ｂの各層の層画像データ１３１２ａを取得する（図４、及び図５（Ａ）〜（Ｄ）参照）。なお、取得された層画像データ１３１２ａは、主格納部１４００Ａの層画像データ格納部１４１２に格納される。
【０２７３】
＜基板製造データから取得されるデータ＞
以下、図２０を参照して、基板製造データ５４ａから取得されるデータ、すなわち、材料種類データ３１２ａと層処理データ３１４ａと材料厚データ３１６ａと層構成データ３１８ａにつき説明する。なお、図２０は、基板製造データの説明図である。
【０２７４】
図２０に示すように、基板製造データ読出部１１２２は、基板製造データ格納手段５４から基板製造データ５４ａ（図７参照）を読み出す。この基板製造データ５４ａは、上述の通り、検査基板１０ｂの各層、すなわち、図３に示す第１シルク層１１ｂ〜第２シルク層２５ｂのそれぞれに対応して、各層に割り当てられた「層番号データ」と、「層構成データ」と、「材料種類／層処理データ」と、「材料厚データ」とを含んでいる。
【０２７５】
基板製造データ読出部１１２２は、基板製造データ５４ａを読み出すと、これに応答して、基板製造データ５４ａを材料種類データ取得部１３３２と層処理データ取得部１３３４と材料厚データ取得部１３３６と層構成データ取得部１３３８とに出力する。
【０２７６】
材料種類データ取得部１３３２は、基板製造データ読出部１１２２から基板製造データ５４ａが入力されると、これに応答して、基板製造データ５４ａから材料種類データ３１２ａを取得し、材料種類データ３１２ａを材料種類データ格納部１４３２に格納する。
【０２７７】
なお、図２０に示す例では、材料種類データ取得部１３３２は、材料種類データ３１２ａとして、例えば、コア材種類データ３１３ａ、プリプレグ材種類データ３１３ｂ、レジスト材種類データ３１３ｃ、シルク材種類データ３１３ｄ、メッキ材種類データ３１３ｅなどを格納している。
【０２７８】
層処理データ取得部１３３４は、基板製造データ読出部１１２２から基板製造データ５４ａが入力されると、これに応答して、基板製造データ５４ａから層処理データ３１４ａを取得し、層処理データ３１４ａを層処理データ格納部１４３４に格納する。
【０２７９】
なお、図２０に示す例では、層処理データ取得部１３３４は、層処理データ３１４ａとして、例えば、中層処理データ３１５ａと、表層処理データ３１５ｂなどを格納している。
【０２８０】
材料厚データ取得部１３３６は、基板製造データ読出部１１２２から基板製造データ５４ａが入力されると、これに応答して、基板製造データ５４ａから材料厚データ３１６ａを取得し、材料厚データ３１６ａを材料厚データ格納部１４３６に格納する。
【０２８１】
なお、図２０に示す例では、材料厚データ取得部１３３６は、材料厚データ３１６ａとして、例えば、コア材厚データ３１７ａとプリプレグ材厚データ３１７ｂとレジスト材厚データ３１７ｃなどを格納している。
【０２８２】
層構成データ取得部１３３８は、基板製造データ読出部１１２２から基板製造データ５４ａが入力されると、これに応答して、基板製造データ５４ａから層構成データ３１８ａを取得し、層構成データ３１８ａを層構成データ格納部１４３８に格納する。
【０２８３】
なお、層構成データ３１８ａは、層の数や各層の形状などの基板の各層の構成を表すデータである。層構成データ３１８ａは、例えば、各層が透明層であるのかまたは不透明層であるのかを識別する際に用いられる。
【０２８４】
＜色データベースに格納されるデータ＞
基板外観検査装置１０００Ａは、第１の実施の形態に係る基板外見検査装置１０００と同様に、色データベース作成装置５００から色データ５００ａを取得する（図９参照）。なお、取得された色データ５００ａは、主格納部１４００Ａの色データベース１４４０に格納される。
【０２８５】
＜基板外観検査装置の動作＞
以下、図１９を参照して、基板外観検査装置の動作につき説明する。
【０２８６】
基板外観検査装置１０００Ａは、検査基板１０ｂの外観を検査するに際して、予め、以下のような事前動作を行う。
【０２８７】
まず、基板外観検査装置１０００Ａのオペレータによるマウスやキーボードなどの入力部１１００の操作によって、色データベース作成装置５００から色データ５００ａを読み出す旨を指示する指令（以下、「色データ読出指令」と称する）が、基板外観検査装置１０００Ａに入力される。基板外観検査装置１０００Ａは、色データ読出指令が入力されると、これに応答して、入力部１１００の色データ読出部１１３２により、色データベース作成装置５００から送信された色データ５００ａを受信する。色データ読出部１１３２は、色データ５００ａを受信すると、これに応答して、受信した色データ５００ａを主格納部１４００Ａに出力し、主格納部１４００Ａの色データベース１４４０に格納する。
【０２８８】
次に、オペレータによるマウスやキーボードなどの入力部１１００の操作によって、データ格納手段５０からＣＡＤデータ５２ａを読み出す旨を指示する指令（以下、「ＣＡＤデータ読出指令」と称する）が、基板外観検査装置１０００Ａに入力される。なお、このＣＡＤデータ読出指令の入力は、色データ読出指令の入力よりも前であってもよい。基板外観検査装置１０００Ａは、ＣＡＤデータ読出指令が入力されると、これに応答して、入力部１１００のＣＡＤデータ読出部１１１２が、データ格納手段５０のＣＡＤデータ格納手段５２から、検査基板１０ｂのＣＡＤデータ５２ａを読み出し、読み出したＣＡＤデータ５２ａを層画像データ取得部１３１２に出力する。層画像データ取得部１３１２は、ＣＡＤデータ読出部１１１２からＣＡＤデータ５２ａが入力されると、これに応答して、検査基板１０ｂの層ごとに、ＣＡＤデータ５２ａを、例えば図５（Ａ）〜（Ｄ）に示すような、白と黒の二値の層画像データに変換する。これにより、層画像データ取得部１３１２は、検査基板１０ｂの各層の層画像データ１３１２ａを取得する。なお、図５（Ａ）〜（Ｄ）における白色領域は、それぞれ、上述の通り、後に、カラー層画像データ作成部１３５４によって、色データ１３４２ａに対応する色が合成される。
【０２８９】
層画像データ取得部１３１２は、検査基板１０ｂの各層の層画像データ１３１２ａを取得すると、これに応答して、層画像データ１３１２ａのそれぞれを主格納部１４００Ａに出力して、主格納部１４００Ａの層画像データ格納部１４１２に格納する。
【０２９０】
次に、オペレータによるマウスやキーボードなどの入力部１１００の操作によって、データ格納手段５０から基板製造データ５４ａを読み出す旨を指示する指令（以下、「基板製造データ読出指令」と称する）が、基板外観検査装置１０００Ａに入力される。なお、この基板製造データ読出指令の入力は、色データ読出指令の入力またはＣＡＤデータ読出指令よりも前であってもよい。基板外観検査装置１０００Ａは、基板製造データ読出指令が入力されると、これに応答して、入力部１１００の基板製造データ読出部１１２２が、データ格納手段５０の基板製造データ格納手段５４から、例えば図７に示すような、検査基板１０ｂの基板製造データ５４ａを読み出し、読み出した基板製造データ５４ａを、材料種類データ取得部１３３２と層処理データ取得部１３３４と材料厚データ取得部１３３６と層構成データ取得部１３３８に出力する。
【０２９１】
なお、検査基板１０ｂの基板製造データ５４ａは、図７に示すように、検査基板１０ｂの第１シルク層１１ｂ〜第２シルク層２５ｂのそれぞれに対応して、例えば、各層に割り当てられた「層番号データ」と、「層構成データ」と、「材料種類／層処理データ」と、「材料厚データ」とを含んでいる。
【０２９２】
材料種類データ取得部１３３２は、基板製造データ読出部１１２２から検査基板１０ｂの基板製造データ５４ａが入力されると、これに応答して、基板製造データ５４ａから、検査基板１０ｂの層ごとに、材料種類データ３１２ａを抽出する。これにより、材料種類データ取得部１３３２は、検査基板１０ｂの各層に用いられる材料種類データ３１２ａを取得する。この実施の形態では、材料種類データ取得部１３３２は、例えば、コア材の材料種類データ３１２ａとして「ＦＲ−４」を取得し、プリプレグ材の材料種類データ３１２ａとして「ＦＲ−４」を取得し、レジスト材の材料種類データ３１２ａとして「Ｇ２４」を取得し、シルク材の材料種類データ３１２ａとして「２００Ｗ」を取得し、メッキ材の材料種類データ３１２ａとして「Ｃｕ」を取得する（図７参照）。
【０２９３】
材料種類データ取得部１３３２は、検査基板１０ｂの材料種類データ３１２ａを取得すると、これに応答して、材料種類データ３１２ａを主格納部１４００Ａに出力して、主格納部１４００Ａの材料種類データ格納部１４３２に格納する。
【０２９４】
また、層処理データ取得部１３３４は、基板製造データ読出部１１２２から検査基板１０ｂの基板製造データ５４ａが入力されると、これに応答して、基板製造データ５４ａから、検査基板１０ｂの処理が施される層ごとに、層処理データ３１４ａを抽出する。これにより、層処理データ取得部１３３４は、検査基板１０ｂの各層に施される層処理データ３１４ａを取得する。この実施の形態では、層処理データ取得部１３３４は、例えば、表層処理の層処理データ３１４ａとして「ＳＲ」を取得し、中層処理の層処理データ３１４ａとして「Ｂ／Ｏ」を取得する（図７参照）。
【０２９５】
層処理データ取得部１３３４は、検査基板１０ｂの層処理データ３１４ａを取得すると、これに応答して、層処理データ３１４ａを主格納部１４００Ａに出力して、主格納部１４００Ａの層処理データ格納部１４３４に格納する。
【０２９６】
また、材料厚データ取得部１３３６は、基板製造データ読出部１１２２から検査基板１０ｂの基板製造データ５４ａが入力されると、これに応答して、基板製造データ５４ａから、検査基板１０ｂの層ごとに、材料厚データ３１６ａを抽出する。これにより、材料厚データ取得部１３３６は、検査基板１０ｂの各層の材料厚データ３１６ａを取得する。この実施の形態では、材料厚データ取得部１３３６は、例えば、コア材の材料厚データ３１６ａとして「１００μｍ」を取得し、プリプレグ材の材料厚データ３１６ａとして「１００μｍ」を取得し、レジスト材の材料厚データとして「１０μｍ」を取得し、シルク材の材料厚データ３１６ａとして「５０μｍ」を取得し、メッキ材の材料厚データ３１６ａとして「１８μｍ」を取得する（図７参照）。
【０２９７】
材料厚データ取得部１３３６は、検査基板１０ｂの材料厚データ３１６ａを取得すると、これに応答して、材料厚データ３１６ａを主格納部１４００Ａに出力して、主格納部１４００Ａの材料厚データ格納部１４３６に格納する。
【０２９８】
また、層構成データ取得部１３３８は、基板製造データ読出部１１２２から検査基板１０ｂの基板製造データ５４ａが入力されると、これに応答して、基板製造データ５４ａから、検査基板１０ｂの層ごとに、層構成データ３１８ａを抽出する。これにより、層構成データ取得部１３３８は、検査基板１０ｂの各層の層構成データ３１８ａを取得する。
【０２９９】
層構成データ取得部１３３８は、検査基板１０ｂの層構成データ３１８ａを取得すると、これに応答して、層構成データ３１８ａを主格納部１４００Ａに出力して、主格納部１４００Ａの層構成データ格納部１４３８に格納する。
【０３００】
材料種類データ３１２ａ、層処理データ３１４ａ、材料厚データ３１６ａ、及び層構成データ３１８ａがそれぞれに対応する格納部１４３２〜１４３８に格納されると、これに応答して、色データ取得部１３４２Ａが起動する。
【０３０１】
以下、図２１及び図２２を参照して、この色データ取得部１３４２Ａの動作につき説明する。なお、図２１及び図２２は、色データ取得部の説明図である。
【０３０２】
図２１に示すように、まず、色データ取得部１３４２Ａは、材料種類データ格納部１４３２から材料種類データ３１２ａを読み出すとともに、層処理データ格納部１４３４から層処理データ３１４ａを読み出す。
【０３０３】
色データ取得部１３４２Ａは、材料種類データ３１２ａや層処理データ３１４ａを読み出すと、これに応答して、色データベース１４４０から、色データ５００ａの中の、材料種類データ３１２ａや層処理データ３１４ａに対応する色データ１３４２ａ（図２１参照）を読み出す。図２１は、色データ取得部１３４２Ａが色データベース１４４０から読み出した色データ１３４２ａを示している。図２１に示す例では、色データ取得部１３４２Ａは、材料種類データ「ＦＲ−４」に対応する色データ１３４２ａとして、Ｒ色の色特徴値であるＲ（ＦＲ−４）とＧ色の色特徴値であるＧ（ＦＲ−４）とＢ色の色特徴値であるＢ（ＦＲ−４）とを抽出している。また、色データ取得部１３４２Ａは、材料種類データ「Ｇ２４」に対応する色データ１３４２ａとして、Ｒ色の色特徴値であるＲ（Ｇ２４）とＧ色の色特徴値であるＧ（Ｇ２４）とＢ色の色特徴値であるＢ（Ｇ２４）とを抽出している。また、色データ取得部１３４２Ａは、材料種類データ「２００Ｗ」に対応する色データ１３４２ａとして、Ｒ（赤）色の色特徴値であるＲ（２００Ｗ）とＧ（緑）色の色特徴値であるＧ（２００Ｗ）とＢ（青）色の色特徴値であるＢ（２００Ｗ）とを抽出している。また、色データ取得部１３４２Ａは、材料種類データ「Ｃｕ」に対応する色データ１３４２ａとして、Ｒ色の色特徴値であるＲ（Ｃｕ）とＧ色の色特徴値であるＧ（Ｃｕ）とＢ色の色特徴値であるＢ（Ｃｕ）とを抽出している。また、色データ取得部１３４２Ａは、層処理データ「Ｂ／Ｏ」に対応する色データ１３４２ａとして、Ｒ色の色特徴値であるＲ（Ｂ／Ｏ）とＧ色の色特徴値であるＧ（Ｂ／Ｏ）とＢ色の色特徴値であるＢ（Ｂ／Ｏ）とを抽出している。また、色データ取得部１３４２Ａは、層処理データ「ＳＲ」に対応する色データ１３４２ａとして、Ｒ色の色特徴値であるＲ（ＳＲ）とＧ色の色特徴値であるＧ（ＳＲ）とＢ色の色特徴値であるＢ（ＳＲ）とを抽出している。このようにして、色データ取得部１３４２Ａは、材料種類データ３１２ａや層処理データ３１４ａのそれぞれに対応する色データ１３４２ａを取得する。
【０３０４】
色データ取得部１３４２Ａは、材料種類データ３１２ａに対応する色データ１３４２ａや層処理データ３１４ａに対応する色データ１３４２ａを取得すると、主格納部１４００Ａに出力し、主格納部１４００Ａの色データ格納部１４４２に格納する。
【０３０５】
材料種類データ３１２ａや層処理データ３１４ａのそれぞれに対応する色データ１３４２ａが色データ格納部１４４２Ａに格納されると、これに応答して、層画像データ展開部１３５２が起動する。
【０３０６】
層画像データ展開部１３５２は、層画像データ格納部１４１２から、検査基板１０ｂの層ごとに、検査基板１０ｂの全ての層の層画像データ１３１２ａを読み出し、読み出した層画像データ１３１２ａのそれぞれを、白と黒の二値のイメージデータとして展開する。
【０３０７】
検査基板１０ｂの全ての層の層画像データ１３１２ａがイメージデータとして展開されると、これに応答して、カラー層画像データ作成部１３５４が起動する。
【０３０８】
カラー層画像データ作成部１３５４は、検査基板１０ｂの層ごとに、色データ格納部１４４２Ａから、色データ取得部１３４２Ａによって取得された各色データ１３４２ａを読み出し、検査基板１０ｂの層ごとに、読み出した色データ１３４２ａのそれぞれに対応する色を、層画像データ展開部１３５２により展開された層画像データ１３１２ａの白色領域（図５（Ａ）〜（Ｄ）参照）に合成する。これにより、カラー層画像データ作成部１３５４は、検査基板１０ｂの各層のカラー層画像データ１３５４ａを作成する。
【０３０９】
カラー層画像データ作成部１３５４は、検査基板１０ｂの各層のカラー層画像データ１３５４ａを作成すると、これに応答して、カラー層画像データ１３５４ａのそれぞれを主格納部１４００Ａに出力して、主格納部１４００Ａのカラー層画像データ格納部１４５４に格納する。
【０３１０】
カラー層画像データ１３５４ａのそれぞれがカラー層画像データ格納部１４５４に格納されると、カラー積層画像データ作成部１３６２が起動する。
【０３１１】
カラー積層画像データ作成部１３６２は、検査基板１０ｂの層ごとに、層処理データ格納部１４３４から層処理データ取得部１３３４によって取得された層処理データ３１４ａを読み出し、材料厚データ格納部１４３６から材料厚データ取得部１３３６によって取得された材料厚データ３１６ａを読み出し、層構成データ格納部１４３８から層構成データ取得部１３３８によって取得された層構成データ３１８ａを読み出し、さらに、カラー層画像データ格納部１４５４からカラー層画像データ作成部１３５４によって作成された各層のカラー層画像データ１３５４ａを読み出す。
【０３１２】
カラー積層画像データ作成部１３６２は、検査基板１０ｂの層ごとに、層処理データ３１４ａと材料厚データ３１６ａと層構成データ３１８ａと各層のカラー層画像データ１３５４ａとを読み出すと、これに応答して、検査基板１０ｂの構成に応じて、カラー層画像データ１３５４ａを重ね合わせる。このとき、カラー積層画像データ作成部１３６２は、層構成データ３１８ａが示す検査基板１０ｂの各層に対応するカラー層画像データ１３５４ａと層処理データ３１４ａが示す処理が施された層に対応するカラー層画像データ１３５４ａのそれぞれを層構成データ３１８ａが示す層の並びに配置し、カラー層画像データ１３５４ａのそれぞれを材料厚データ３１６ａが示す各層の厚さの分だけ重ね合わせる。これにより、カラー積層画像データ作成部１３６２は、カラー積層画像データ１３６２ａ（図２３参照）を作成する。
【０３１３】
カラー積層画像データ作成部１３６２は、カラー積層画像データ１３６２ａを作成すると、これに応答して、カラー積層画像データ１３６２ａを主格納部１４００Ａに出力して、主格納部１４００Ａの基準基板データ格納部１４６０に格納する。
【０３１４】
カラー積層画像データ１３６２ａが基準基板データ格納部１４６０に格納されると、カラー表面画像データ作成部１３６４が起動する。
【０３１５】
カラー表面画像データ作成部１３６４は、基準基板データ格納部１４６０からカラー積層画像データ１３６２ａを読み出すとともに、層構成データ格納部１４３８から層構成データ３１８ａを読み出す。
【０３１６】
カラー表面画像データ作成部１３６４は、基準基板データ格納部１４６０からカラー積層画像データ１３６２ａを読み出すとともに、層構成データ格納部１４３８から層構成データ３１８ａを読み出すと、これに応答して、カラー積層画像データ１３６２ａに対し、領域ごとに、各層が透明層であるのか不透明層であるのかを、層構成データ３１８ａに基づいて、特定する。
【０３１７】
カラー表面画像データ作成部１３６４は、領域ごとに、各層が透明層であるのか不透明層であるのかを特定すると、これに応答して、領域ごとに、不透明層（ただし、最も外側のもの）を含む、その不透明層よりも外側、すなわち、露出面側に形成されている層を、深さ方向の可視範囲内の層として抽出する。これにより、カラー表面画像データ作成部１３６４は、カラー積層画像データ１３６２ａの中から、領域ごとに、深さ方向の可視範囲内の各層のカラー層画像データ１３５４ａを抽出する。なお、「深さ方向の可視範囲に位置する各層のカラー層画像データ１３５４ａ」とは、この実施の形態では、不透明層である第１シルク層１１ｂ、第１処理層１３ｂ、第１銅メッキ層１４ｂ、第２処理層１６ｂ、第２銅メッキ層１７ｂ、コア層１８ｂ、第３銅メッキ層１９ｂ、第３処理層２０ｂ、第４銅メッキ層２２ｂ、第４処理層２３ｂ、及び第２シルク層２５ｂ（ただし、最も外側のもの）よりも外側に形成されている層のカラー層画像データ１３５４ａを意味している。不透明層（ただし、最も外側のもの）よりも外側に形成されている層は、各層の光の透過率が予め定められた閾値よりも高いため、各層が透けて見える。これに対して、不透明層（ただし、最も外側のもの）よりも内側、すなわち、コア側の層は、不透明層の光の透過率が予め定められた閾値よりも低いため、見えなくなる。
【０３１８】
カラー表面画像データ作成部１３６４は、領域ごとに、深さ方向の可視範囲に位置する各層のカラー層画像データ１３５４ａを抽出すると、これに応答して、抽出した深さ方向の可視範囲に位置する各層のカラー層画像データ１３５４ａに対応するそれぞれの色を合成する。これにより、カラー表面画像データ作成部１３６４は、カラー表面画像データ１３６４ａ（図２４参照）を作成する。
【０３１９】
カラー表面画像データ作成部１３６４は、カラー表面画像データ１３６４ａを作成すると、これに応答して、カラー表面画像データ１３６４ａを主格納部１４００Ａに出力して、主格納部１４００Ａの基準基板データ格納部１４６０に格納する。
【０３２０】
カラー表面画像データ１３６４ａが基準基板データ格納部１４６０に格納されると、領域色特徴データ作成部１３６６が起動する。
【０３２１】
領域色特徴データ作成部１３６６は、基準基板データ格納部１４６０からカラー表面画像データ１３６４ａとカラー積層画像データ１３６２ａを読み出す。
【０３２２】
領域色特徴データ作成部１３６６は、カラー表面画像データ１３６４ａとカラー積層画像データ１３６２ａを読み出すと、これに応答して、カラー表面画像データ１３６４ａに基づいて、検査基板１０ｂの検査領域を識別する。なお、この検査領域は、検査基板１０ｂの色パターンの輪郭で区切られた各内部領域である。例えば、図２４に示すように、カラー表面画像データ１３６４ａにおいて、積層構造の違いは、色パターンの色の違いとして現れる。この色の違いは、検査領域の違いを示している。領域色特徴データ作成部１３６６は、この色の違いを識別することにより、検査領域を識別する。
【０３２３】
領域色特徴データ作成部１３６６は、検査基板１０ｂの検査領域を識別すると、これに応答して、カラー積層画像データ１３６２ａに基づいて、検査領域ごとに、検査基板１０ｂの領域色特徴データ１３６６ａを演算する。なお、この領域色特徴データ１３６６ａは、深さ方向の可視範囲に位置する各層のカラー層画像データ１３５４ａにおける赤色（Ｒ）の階調値、緑色（Ｇ）の階調値、及び青色（Ｂ）の階調値を、それぞれ、Ｒ色特徴値、Ｇ色特徴値、及びＢ色特徴値として、抽出したデータである。領域色特徴データ１３６６ａは、カラー表面画像データ１３６４ａにおける色が同一の領域であれば、当然ながら、値が同一となる。
【０３２４】
以下に、図２５〜図２７を参照して、この領域色特徴データ１３６６ａの演算について、詳述する。なお、図２５〜図２７は、それぞれ、この実施の形態の領域色特徴データ作成部の説明図である。図２５は、検査基板１０ｂの一方の主表面（図２５に示す例では、上面）を見る視点９０ａ〜９０ｅの位置と各視点９０ａ〜９０ｅにおける深さ方向の可視範囲ｒ９０ａ〜ｒ９０ｅを一例として示している。また、図２６は、各視点９０ａ〜９０ｅの位置における検査基板１０ｂの深さ方向の可視範囲内の積層構造データを示している。また、図２７は、各視点９０ａ〜９０ｅの位置における検査基板１０ｂの領域色特徴データ１３６６ａを示している。
【０３２５】
領域色特徴データ１３６６ａは、検査基板１０ｂの深さ方向の可視範囲内の各層の重なりに対する色の組み合わせを演算することによって、求められる。この組み合わせは、以下のようになっている。
【０３２６】
すなわち、図２５に示すように、例えば、視点を矢印９０ａに合わせて検査基板１０ｂの一方の主表面（図２５に示す例では、上面）を見ると、第１シルク層１１ｂは不透明層であるため、第１シルク層１１ｂから下の層は見えなくなる。そのため、視点を矢印９０ａに合わせて検査基板１０ｂの一方の主表面（図２５に示す例では、上面）を見ると、第１シルク層１１ｂのみが見える。したがって、視点９０ａにおける色の組み合わせは、第１シルク層１１ｂの色のみとなる。
【０３２７】
また、例えば、視点を矢印９０ｂに合わせて検査基板１０ｂの上面を見ると、銅によって構成された第１処理層１３ｂは不透明層であるため、第１処理層１３ｂから下の層は見えなくなる。そのため、視点を矢印９０ｂに合わせて検査基板１０ｂの上面を見ると、第１レジスト層１２ｂを通して、第１処理層１３ｂが見える。したがって、視点９０ｂにおける色の組み合わせは、第１レジスト層１２ｂの色と第１処理層１３ｂの色となる。
【０３２８】
また、例えば、視点を矢印９０ｃに合わせて検査基板１０ｂの上面を見ると、銅によって構成された第２処理層１６ｂは不透明層であるため、第２処理層１６ｂから下の層は見えなくなる。そのため、視点を矢印９０ｃに合わせて検査基板１０ｂの上面を見ると、第１レジスト層１２ｂと第１プリプレグ層１５ｂを通して、第２処理層１６ｂが見える。したがって、視点９０ｃにおける色の組み合わせは、第１レジスト層１２ｂの色と第１プリプレグ層１５ｂの色と第２処理層１６ｂの色となる。
【０３２９】
また、例えば、視点を矢印９０ｄに合わせて検査基板１０ｂの上面を見ると、銅によって構成された第１処理層１３ｂは不透明層であるため、第１処理層１３ｂから下の層は見えなくなる。そのため、視点を矢印９０ｄに合わせて検査基板１０ｂの上面を見ると、第１処理層１３ｂのみが見える。したがって、視点９０ｄにおける色の組み合わせは、第１処理層１３ｂの色のみとなる。
【０３３０】
また、例えば、視点を矢印９０ｅに合わせて検査基板１０ｂの上面を見ると、コア層１８ｂは不透明層であるため、コア層１８ｂから下の層は見えなくなる。そのため、視点を矢印９０ｅに合わせて検査基板１０ｂの上面を見ると、第１レジスト層１２ｂと第１プリプレグ層１５ｂを通して、コア層１８ｂが見える。したがって、視点９０ｅにおける色の組み合わせは、第１レジスト層１２ｂの色と第１プリプレグ層１５ｂの色とコア層１８ｂの色となる。
【０３３１】
ここで、特徴部分が存在する領域を「１」とし、特徴部分が存在しない領域を「０」として、各視点９０ａ〜９０ｅの位置における検査基板１０ｂの可視範囲内の積層構造データを、図２６に示す。なお、「特徴部分」とは、上述の通り、例えば、特定の材料により形成されている部分または特定の処理が施されている部分を意味している。
【０３３２】
図２６に示す例では、視点９０ａの位置における検査基板１０ｂの深さ方向の可視範囲内の積層構造データは「（１）」となっている。また、視点９０ｂの位置における検査基板１０ｂの深さ方向の可視範囲内の積層構造データは「（０，１，１）」となっている。また、視点９０ｃの位置における検査基板１０ｂの深さ方向の可視範囲内の積層構造データは「（０，１，０，０，１，１）」となっている。また、視点９０ｄの位置における検査基板１０ｂの深さ方向の可視範囲内の積層構造データは「（０，０，１）」となっている。また、視点９０ｅの位置における検査基板１０ｂの深さ方向の可視範囲内の積層構造データは「（０，１，０，０，１，０，０，１）」となっている。
【０３３３】
ここで、第１番目の層である第１シルク層１１ｂの材料種類データ３１２ａは「２００Ｗ」である。そのため、領域色特徴データ１３６６ａは、例えば、層が第１番目の層であれば、第１番目の層の特徴部分に対応するＲ色特徴値、Ｇ色特徴値、及びＢ色特徴値、すなわち、第１シルク層１１ｂの材料「２００Ｗ」に対応するＲ（２００Ｗ））、Ｇ（２００Ｗ）、及びＢ（２００Ｗ）となる。
【０３３４】
同様に、第２番目の層である第１レジスト層１２ｂの材料種類データ３１２ａは「Ｇ２４」である。また、第３番目の層である第１処理層１３ｂの層処理データ３１４ａは「ＳＲ」である。また、第４番目の層である第１銅メッキ層１４ｂの材料種類データ３１２ａは「Ｃｕ」である。また、第５番目の層である第１プリプレグ層１５ｂの材料種類データ３１２ａは「ＦＲ−４」である。また、第６番目の層である第２処理層１６ｂの層処理データ３１４ａは「Ｂ／Ｏ」である。また、第７番目の層である第２銅メッキ層１７ｂの材料種類データ３１２ａは「Ｃｕ」である。また、第８番目の層であるコア層１８ｂの材料種類データ３１２ａは「ＦＲ−４」である。
【０３３５】
これら材料種類データ及び層処理データに基づいて、各視点９０ａ〜９０ｅの位置における検査基板１０ｂの領域色特徴データ１３６６ａを、図２７に示す。
【０３３６】
図２７に示す例では、視点９０ａの位置における検査基板１０ｂの領域色特徴データ１３６６ａは「Ｒ（２００Ｗ）、Ｇ（２００Ｗ）、Ｂ（２００Ｗ）」となっている。また、視点９０ｂの位置における検査基板１０ｂの領域色特徴データ１３６６ａは「Ｒ（０，Ｇ２４，ＳＲ）、Ｇ（０，Ｇ２４，ＳＲ）、Ｂ（０，Ｇ２４，ＳＲ）」となっている。また、視点９０ｃの位置における検査基板１０ｂの領域色特徴データ１３６６ａは「Ｒ（０，Ｇ２４，０，０，ＦＲ−４，Ｂ／Ｏ）、Ｇ（０，Ｇ２４，０，０，ＦＲ−４，Ｂ／Ｏ）、Ｂ（０，Ｇ２４，０，０，ＦＲ−４，Ｂ／Ｏ）」となっている。また、視点９０ｄの位置における検査基板１０ｂの領域色特徴データ１３６６ａは「Ｒ（０，０，ＳＲ）、Ｇ（０，０，ＳＲ）、Ｂ（０，０，ＳＲ）」となっている。また、視点９０ｅの位置における検査基板１０ｂの領域色特徴データ１３６６ａは「Ｒ（０，Ｇ２４，０，０，ＦＲ−４，０，０，ＦＲ−４）、Ｇ（０，Ｇ２４，０，０，ＦＲ−４，０，０，ＦＲ−４）、Ｂ（０，Ｇ２４，０，０，ＦＲ−４，０，０，ＦＲ−４）」となっている。
【０３３７】
領域色特徴データ作成部１３６６は、以下のようにして、これらの色の組み合わせを表すデータを、各検査領域における検査基板１０ｂの領域色特徴データ１３６６ａとして作成する。
【０３３８】
領域色特徴データ作成部１３６６は、検査基板１０ｂの領域色特徴データ１３６６ａの演算に際して、演算用データ格納部１４８８から以下の式７〜９を、また、各格納部から式７〜９の演算に用いる各種のデータ、例えば、材料厚データ格納部１４３６に格納されている材料厚データ３１６ａ、及び層構成データ格納部１４３８に格納されている層構成データ３１８ａなどを読み出す。なお、以下の式７〜９は、各検査領域における検査基板１０ｂの領域色特徴データ１３６６ａを算出するための式である。以下の式７〜９によれば、視点の位置を任意の位置、例えば、ｐ番目の画素（以下、「ｐ画素目」と称する場合もある）とし、その任意の位置から検査基板１０ｂの一方の主表面を垂直に見た場合に見える、検査基板１０ｂのＲ色とＧ色とＢ色のそれぞれの階調値を、各検査領域における検査基板１０ｂの領域色特徴データ１３６６ａとして算出することができる。なお、視点の位置は、図２５に示す検査基板１０ｂの左側の端部のＸ座標位置を０とする、Ｘ座標の値を表している。
【０３３９】
以下の式７〜９は、不透明層よりも外側の各層及び不透明層のそれぞれの色が、層を構成する材料の種類、層処理、及び材料の厚さによって変化することを考慮することにより、算出されている。以下の式７〜９は、それぞれ、主格納部１４００Ａの演算用データ格納部１４８８に予め格納されている。以下の式７〜９は、それぞれ、主演算部１３００Ａ（ここでは、領域色特徴データ作成部１３６６）によって、演算用データ格納部１４８８から読み出されて、領域色特徴データ１３６６ａの演算に用いられる。
【０３４０】
【数５】
2008084054.tif 000005
【０３４１】
ここで、Ｒ色特徴値は、ＲＧＢ成分における赤色（Ｒ色）の特徴値を示し、Ｇ色特徴値は、ＲＧＢ成分における緑色（Ｇ色）の特徴値を示し、Ｂ色特徴値は、ＲＧＢ成分における青色（Ｂ色）の特徴値を示している。
【０３４２】
また、上述の式７〜９における、層の重ね合わせ定数αｒｐｉ、αｇｐｉ、αｂｐｉ、層の厚さによる色の減衰定数βｒｐｉ、βｇｐｉ、βｂｐｉ、材料種類または層処理に応じたＲ色特徴値Ｒｐｉ、材料種類または層処理に応じたＧ色特徴値Ｇｐｉ、及び、材料種類または層処理に応じたＢ色特徴値Ｂｐｉは、それぞれ、主格納部１４００Ａの演算用データ格納部１４８８に予め格納されている。これらの値は、それぞれ、主演算部１３００Ａ（ここでは、領域色特徴データ作成部１３６６）によって、演算用データ格納部１４８８から読み出されて、領域色特徴データ１３６６ａの演算に用いられる。
【０３４３】
上述の式７〜９は、任意の位置から検査基板１０ｂの一方の主表面を垂直に見た場合に、不透明層よりも外側の各層及び不透明層のそれぞれのＲ色とＧ色とＢ色の階調値を、層ごとに、層の重ね合わせ定数、層の厚さによる色の減衰定数、及び層の厚さを掛け合わせ、これによって得られる値を積算することを表している。
【０３４４】
上述の式７〜９は、例えば、視点を図２５に示す矢印９０ｃに合わせて検査基板１０ｂを見た場合に、第１レジスト層１２ｂと第１プリプレグ層１５ｂを通して、第２処理層１６ｂが見えるため、以下の式１０〜１２となる。
【０３４５】
【数６】
2008084054.tif 000006
【０３４６】
ここで、Ｒ色特徴値（視点９０ｃ）は、視点を矢印９０ｃに合わせて検査基板１０ｂを見た場合のＲ色の特徴値を示し、Ｇ色特徴値（視点９０ｃ）は、視点を矢印９０ｃに合わせて検査基板１０ｂを見た場合のＧ色の特徴値を示し、Ｂ色特徴値（視点９０ｃ）は、視点を矢印９０ｃに合わせて検査基板１０ｂを見た場合のＢ色の特徴値を示している。
【０３４７】
また、第１レジスト層１２ｂは上から第２番目の層であるので、第１レジスト層１２ｂはｉ＝２となり、第１プリプレグ層１５ｂは上から第５目の層であるので、第１プリプレグ層１５ｂはｉ＝５、第２処理層１６ｂは上から第６目の層であるので、第２処理層１６ｂはｉ＝６となっている（図３及び図７参照）。これらのデータは、領域色特徴データ作成部１３６６によって、層構成データ格納部１４３８から読み出された層構成データ３１８ａの中から抽出されて、領域色特徴データ１３６６ａの演算に用いられる。
【０３４８】
また、第１レジスト層１２ｂの厚さＴｒｐ２、Ｔｇｐ２、Ｔｂｐ２は、それぞれ、１０（μｍ）となっている（図７参照）。また、第１プリプレグ層１５ｂの厚さＴｒｐ５、Ｔｇｐ５、Ｔｂｐ５は、それぞれ、１００（μｍ）となっている（図７参照）。また、第２処理層１６ｂの厚さＴｒｐ６、Ｔｇｐ６、Ｔｂｐ６は、それぞれ、実際には層の表面処理であるため、厚さは無いものの、予め定められた基準厚（ここでは、１０（μｍ））となっている。これらのデータは、領域色特徴データ作成部１３６６によって、材料厚データ格納部１４３６から読み出された材料厚データ３１６ａの中から抽出されて、領域色特徴データ１３６６ａの演算に用いられる。
【０３４９】
このように、領域色特徴データ作成部１３６６は、視点を図２５に示す矢印９０ｃに合わせて検査基板１０ｂを見た場合に、上述の式７〜９に基づいて、上述の式１０〜１２を演算し、これによって、視点９０ｃにおける領域色特徴データ１３６６ａとして、Ｒ色特徴値（視点９０ｃ）、Ｇ色特徴値（視点９０ｃ）、及びＢ色特徴値（視点９０ｃ）を算出する。
【０３５０】
領域色特徴データ作成部１３６６は、以下のように、二次元座標系のＸ軸方向及びＹ軸方向の全画素に対して上述の演算を行い、これによって、検査基板１０ｂの全画素の領域色特徴データ１３６６ａを算出する。
【０３５１】
すなわち、まず、領域色特徴データ作成部１３６６は、カラー表面画像データ１３６４ａ（図２４参照）に写る検査基板１０ｂに対して、例えば、Ｙ座標の値を初期値「０」（単位：画素）とする、Ｘ軸と平行な線を設定し、設定したＸ軸と平行な線上に存在する、検査基板１０ｂの色パターンの各輪郭を順次抽出する。このとき抽出された色パターンの各輪郭で区切られたそれぞれの領域は、外観検査における検査基板１０ｂの各検査領域となる。
【０３５２】
領域色特徴データ作成部１３６６は、色パターンの各輪郭を順次抽出すると、これに応答して、色パターンの各輪郭のＸ座標の値を検出する。この検出は、検査基板１０ｂの左側の端部を原点、すなわち、Ｘ座標の値を０とし、各輪郭が原点から何画素目に存在するのかを検出することによって、行われる。
【０３５３】
領域色特徴データ作成部１３６６は、色パターンの各輪郭のＸ座標の値を検出すると、これに応答して、検査基板１０ｂの各検査領域、すなわち、色パターンの各輪郭で区切られたそれぞれの内部領域を特定し、検査基板１０ｂの各検査領域を特定するデータを作成する。この実施の形態では、この各検査領域を特定するデータは、Ｙ座標値を上述のＸ軸と平行な線のＹ座標値とする、各検査領域のＸ軸方向の座標範囲、すなわち、各検査領域の始端のＸ座標値から終端のＸ座標値までの座標範囲を表す座標データであるものとする。
【０３５４】
領域色特徴データ作成部１３６６は、検査基板１０ｂの各検査領域を特定するデータを作成すると、これに応答して、カラー積層画像データ１３６２ａに基づいて、各検査領域における層の構成を特定する。すなわち、領域色特徴データ作成部１３６６は、例えば、図２５に示す視点９０ａの位置における層の構成として、上から、第１シルク層１１ｂ、第１レジスト層１２ｂ、第１処理層１３ｂ、第１銅メッキ層１４ｂ、第１プリプレグ層１５ｂ、コア層１８ｂ、第３銅メッキ層１９ｂ、第３処理層２０ｂ、第２プリプレグ層２１ｂ、及び第２レジスト層２４ｂからなる構成を特定する。同様に、領域色特徴データ作成部１３６６は、他の各検査領域における層の構成を、順次特定する。
【０３５５】
領域色特徴データ作成部１３６６は、各検査領域における層の構成を特定すると、これに応答して、検査領域ごとに、各層が透明層であるのか不透明層であるのかを、特定する。
【０３５６】
領域色特徴データ作成部１３６６は、検査領域ごとに、各層が透明層であるのか不透明層であるのかを特定すると、これに応答して、検査領域ごとに、不透明層（ただし、最も外側のもの）を含む、その不透明層よりも外側、すなわち、露出面側に形成されている層を、深さ方向の可視範囲内の層として識別する。
【０３５７】
領域色特徴データ作成部１３６６は、検査領域ごとに、深さ方向の可視範囲内の層を識別すると、これに応答して、演算用データ格納部１４８８から上述の式７〜９を、また、各格納部から式７〜９の演算に用いる各種のデータ、例えば、材料厚データ格納部１４３６に格納されている材料厚データ３１６ａ、及び層構成データ格納部１４３８に格納されている層構成データ３１８ａなどを読み出す。そして、領域色特徴データ作成部１３６６は、各検査領域における深さ方向の可視範囲内の層の構成に基づいて、上述のＸ軸と平行な線上におけるＸ軸方向の全画素の領域色特徴データ１３６６ａ、すなわち、Ｒ色特徴値、Ｇ色特徴値、及びＢ色特徴値を演算する。これにより、領域色特徴データ作成部１３６６は、Ｘ軸方向の全画素の領域色特徴データ１３６６ａを算出する。
【０３５８】
領域色特徴データ作成部１３６６は、上述のＸ軸と平行な線上におけるＸ軸方向の全画素の領域色特徴データ１３６６ａを算出すると、これに応答して、上述のＸ軸と平行な線上におけるＸ軸方向の全画素の領域色特徴データ１３６６ａを主格納部１４００Ａに出力して、主格納部１４００Ａの基準基板データ格納部１４６０に格納する。
【０３５９】
領域色特徴データ作成部１３６６は、Ｙ座標の値を初期値とするＸ軸方向の全画素の領域色特徴データ１３６６ａを基準基板データ格納部１４６０に格納すると、これに応答して、カラー表面画像データ１３６４ａ（図２４参照）に写る検査基板１０ｂに対して、例えば、Ｙ座標の値を初期値の次の値「１」（単位：画素）とする、Ｘ軸と平行な線を設定し、設定したＸ軸と平行な線上に存在する、検査基板１０ｂの色パターンの各輪郭を順次抽出する。
【０３６０】
以下、領域色特徴データ作成部１３６６は、カラー表面画像データ１３６４ａに写る検査基板１０ｂの全画素に対して、同様の動作を、繰り返し行う。これにより、カラー表面画像データ１３６４ａに写る検査基板１０ｂの全画素の領域色特徴データ１３６６ａ、すなわち、Ｒ色特徴値、Ｇ色特徴値、及びＢ色特徴値が、算出されて、基準基板データ格納部１４６０に格納される。
【０３６１】
カラー表面画像データ１３６４ａに写る検査基板１０ｂの全画素の領域色特徴データ１３６６ａが基準基板データ格納部１４６０に格納されると、これに応答して、検査領域データ作成部１３６８が起動する。
【０３６２】
検査領域データ作成部１３６８は、基準基板データ格納部１４６０から、全ての検査基板１０ｂの各検査領域を特定するデータ、すなわち、Ｙ座標値を初期値から最終値までとする場合の、各Ｙ座標値に対応する、各検査領域の始端のＸ座標値から終端のＸ座標値までの座標範囲を表す座標データと、全ての各検査領域に対応する領域色特徴データ１３６６ａ、すなわち、Ｙ座標値を初期値から最終値までとする場合の、各検査領域の領域色特徴データ１３６６ａとを読み出す。
【０３６３】
検査領域データ作成部１３６８は、全ての検査基板１０ｂの各検査領域を特定するデータと全ての各検査領域に対応する領域色特徴データ１３６６ａとを読み出すと、これに応答して、Ｙ軸方向に隣接する画素位置における領域色特徴データ１３６６ａ同士を比較し、この比較で隣接する画素位置における領域色特徴データ１３６６ａ同士が同一であると判断される場合に、隣接する画素位置における領域色特徴データ１３６６ａ同士を同一の領域内のデータとして、統合する。なお、「統合」とは、特定の条件、例えば、隣接する画素位置における領域色特徴データ１３６６ａ同士が同一であるという条件に一致する複数のデータを、一つのデータとしてグループ化することを意味している。この実施の形態では、「統合」は、図２８に示すように、検査領域データ作成部１３６８が、各視点の位置と、各視点の位置の座標範囲とを対応付けることにより、行われるものとして説明する。なお、図２８中、「画素座標」欄に記入されているデータは、それぞれ、領域色特徴データ１３６６ａ同士が同一である画素の集合である視点の位置９０ｃの集合のＸ軸方向の座標範囲、すなわち、視点の位置９０ｃの集合のＸ軸方向の始端の座標値から終端の座標値までの座標範囲を、Ｙ座標値ごとに表している。図２８に示す例では、領域色特徴データ１３６６ａ同士が同一である画素の集合である視点の位置９０ｃの集合を、一検査領域と見なしている。したがって、検査領域データ作成部１３６８は、視点の位置９０ｃの集合とその画素範囲とを対応付けている。同様に、検査領域データ作成部１３６８は、他の視点の位置９０ａ、９０ｂ、９０ｄ、９０ｅなどについても、各画素範囲と対応付ける。これにより、検査領域データ作成部１３６８は、検査領域ごとに、各領域色特徴データ１３６６ａを領域単位で表す検査領域データ１３６８ａを作成する。
【０３６４】
検査領域データ作成部１３６８は、各検査領域データ１３６８ａを作成すると、これに応答して、検査領域データ１３６８ａを主格納部１４００Ａに出力して、主格納部１４００Ａの基準基板データ格納部１４６０に格納する。なお、このとき、検査領域データ作成部１３６８は、任意の演算方法で、領域色特徴データ１３６６ａと検査領域データ１３６８ａとを合成して、その合成したデータを主格納部１４００Ａに出力して、主格納部１４００Ａの基準基板データ格納部１４６０に格納するようにしてもよい。
【０３６５】
検査領域データ１３６８ａが基準基板データ格納部１４６０に格納されると、これに応答して、検査部１３９４が起動する。
【０３６６】
検査部１３９４は、起動すると、これに応答して、スキュー補正画像データ格納部１４８４からスキュー補正画像データ１３８４ａを読み出すとともに、基準基板データ格納部１４６０から、基準基板データとして、各検査領域の領域色特徴データ１３６６ａと検査領域データ１３６８ａとを読み出す。
【０３６７】
検査部１３９４は、スキュー補正画像データ格納部１４８４からスキュー補正画像データ１３８４ａを読み出すとともに、基準基板データ格納部１４６０から各検査領域の領域色特徴データ１３６６ａと検査領域データ１３６８ａとを読み出すと、これに応答して、検査領域データ１３６８ａの画素座標に基づいて、スキュー補正画像データ１３８４ａから各検査領域を検出し、さらに、各検査領域の色階調値を検出する。
【０３６８】
検査部１３９４は、各検査領域の色階調値を検出すると、これに応答して、領域色特徴データ１３６６ａが表す各検査領域の色特徴値を算出し、検出した各検査領域の色階調値と算出した各検査領域の色特徴値とを比較する。
【０３６９】
この比較において、両者が予め定められた誤差範囲内で一致する場合は、検査基板１０ｂが良品であることを意味する。この場合に、検査部１３９４は、検査基板１０ｂの外観が適正であると判断して、例えば「適正」を意味する検査結果を出力部１２００に出力する。これにより、出力部１２００は、「適正」を意味する検査結果を、ディスプレイに表示したり、記憶装置に格納する。なお、「誤差範囲」は、主格納部１４００の図示せぬ記憶領域または演算用データ格納部１４８８に予め格納されており、色特徴値が比較される場合に、検査部１３９４によって読み出される。
【０３７０】
または、この比較において、両者が予め定められた誤差範囲内で一致しない場合は、検査基板１０ｂが不良品であることを意味する。この場合に、検査部１３９４は、検査基板１０ｂの外観が不適正であると判断して、例えば「不適正」を意味する検査結果を出力部１２００に出力する。これにより、出力部１２００は、「不適正」を意味する検査結果を、ディスプレイに表示したり、記憶装置に格納する。
【０３７１】
このようにして、基板外観検査装置１０００Ａは、検査基板１０ｂの外観を検査する。
【０３７２】
以上の通り、この発明は、従来のように実際の基板を用いて作成された基準基板データに基づいて、検査基板の外観を検査するのではなく、基板の設計過程で作成されるＣＡＤデータと基板の製造過程で用いられる基板製造データとを用いて基準基板データを擬似的に作成し、作成された基準基板データに基づいて、検査基板の外観を検査する。
【０３７３】
これにより、この発明によれば、（１）実際の基板を用いることなく基準基板データを作成することができるため、多量の基板を用意する作業を排除することができる、（２）実際の基板を用いることなく基準基板データを作成することができるため、用意した基板の中から多量の基準基板を選定する作業を排除することができる、（３）実際の基板を用いることなく基準基板データを作成することができるため、多量の基準基板のデータを収集する作業を排除することができる、（４）基板外観検査装置に検査領域データを自動的に作成させることができるため、オペレータによる検査領域データを逐次作成する作業を排除することができる、（５）基板外観検査装置に設定データ、例えば、検査パラメータや、検査領域データ、検査領域に対応する色データなどの設定や調整を行わせることができるため、オペレータの手作業による基板外観検査装置への設定データを設定する作業や調整する作業を排除することができる、などの効果を得ることができる。その結果、この基板外観検査装置によれば、ティーチング作業の時間を大幅に短縮しつつ、高精度な検査を行うことができるという効果を得ることができる。
【０３７４】
この発明は、少品種の基板を大量に検査する場合でも有効であるが、特に、多品種の基板を少量ずつ検査する場合に有効である。そのため、少品種の基板を大量に製造する基板メーカだけでなく、多品種の基板を少量ずつ製造する基板メーカへの基板外観検査装置の普及を促すことができる。
【０３７５】
この発明は、上述の実施の形態に限定されることなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更や変形を行うことができる。
【０３７６】
例えば、上述の第１及び第２の実施の形態では、データ格納手段５０は、基板外観検査装置の外部の構成要素、例えば、ＤＶＤやＣＤ−ＲＯＭ、フロッピー（登録商標）ディスク、ＵＳＢメモリなどの各種の記憶媒体や、外付けハードディスク装置などの各種の記憶装置として、構成されている。しかしながら、データ格納手段５０は、例えば、主格納部の一記憶領域として、構成することにより、基板外観検査装置の内部の構成要素として構成することもできる。
【０３７７】
また、上述の実施の形態では、図７に示す基板製造データは、任意に変更することができる。例えば、レジスト材の種類が増えた場合や、材料メーカなどの新たなデータが追加になった場合に、基板製造データは、適宜変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【０３７８】
【図１】第１の実施の形態に係る基板外観検査装置の構成例を示すブロック図である。
【図２】撮像画像データが与える画像の一例を示す図である。
【図３】検査基板の積層構造の一例を示す図である。
【図４】ＣＡＤデータから取得されるデータの説明図である。
【図５】（Ａ）〜（Ｄ）は、それぞれ、層画像データが与える画像の一例を示す図である。
【図６】基板製造データから取得されるデータの説明図である。
【図７】基板製造データの一例を示す図（１）である。
【図８】基板製造データの一例を示す図（２）である。
【図９】色データベース作成装置の構成例を示すブロック図である。
【図１０】積層構造データ作成部の説明図（１）である。
【図１１】積層構造データ作成部の説明図（２）である。
【図１２】積層構造データ作成部の説明図（３）である。
【図１３】積層構造データ作成部の説明図（４）である。
【図１４】積層構造データ作成部の説明図（５）である。
【図１５】色データ取得部の説明図である。
【図１６】スキュー補正部の説明図である。
【図１７】位置合わせ部の説明図である。
【図１８】領域色特徴データ作成部の説明図である。
【図１９】第２の実施の形態に係る基板外観検査装置の構成例を示すブロック図である。
【図２０】基板製造データから取得されるデータの説明図である。
【図２１】第２の実施の形態の色データ取得部の説明図（１）である。
【図２２】第２の実施の形態の色データ取得部の説明図（２）である。
【図２３】カラー積層画像データ作成部の説明図である。
【図２４】カラー表面画像データ作成部の説明図である。
【図２５】第２の実施の形態の領域色特徴データ作成部の説明図（１）である。
【図２６】第２の実施の形態の領域色特徴データ作成部の説明図（２）である。
【図２７】第２の実施の形態の領域色特徴データ作成部の説明図（３）である。
【図２８】検査領域データ作成部の説明図である。
【符号の説明】
【０３７９】
５０    …データ格納手段
５２    …ＣＡＤデータ格納手段
５２ａ    …ＣＡＤデータ
５４    …基板製造データ格納手段
５４ａ    …基板製造データ
５００    …色データベース作成装置
５００ａ，１３４２ａ    …色データ
１０００    …基板外観検査装置
１１００    …入力部
１１０２    …撮像部
１１０２ａ    …撮像画像データ
１１１０    …データ読出部
１１１２    …ＣＡＤデータ読出部
１１２２    …基板製造データ読出部
１１３２    …色データ読出部
１２００    …出力部
１３００    …主演算部
１３１２    …層画像データ取得部
１３１２ａ    …層画像データ
１３１４    …積層構造データ作成部
１３１４ａ    …積層構造データ
１３４２    …色データ取得部
１３８４    …スキュー補正部
１３８４ａ    …スキュー補正画像データ
１３８６    …位置合わせ部
１３８６ａ    …位置合わせデータ
１３９２    …領域色特徴データ作成部
１３９２ａ    …領域色特徴データ
１３９４    …検査部
１３９４ａ    …検査結果データ
１４００    …主格納部
１４０２    …撮像画像データ格納部
１４１２    …層画像データ格納部
１４１４    …積層構造データ格納部
１４２２    …基板製造データ格納部
１４４０    …色データベース
１４４２    …色データ格納部
１４８４    …スキュー補正画像データ格納部
１４８６    …位置合わせデータ格納部
１４８８    …演算用データ格納部
１４８８ａ    …演算用データ
１４９２    …領域色特徴データ格納部
【図１】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２】
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【図１６】
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【図２４】
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【手続補正書】
【提出日】平成19年5月11日(2007.5.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
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