(57)【要約】【課題】波長変換素子の温度変化を低減させ、高い効率で安定した光量のレーザ光を供給可能な光源装置、及びその光源装置を用いるプロジェクタを提供すること。【解決手段】レーザ光を供給する光源部と、光源部からのレーザ光の波長を変換する波長変換素子であるＳＨＧ素子１２と、弾性力を用いて基板１６に対して波長変換素子を固定する固定部である板バネ部１３と、波長変換素子と固定部との間に設けられ、波長変換素子の温度を計測する温度計測部であるサーミスタ４０と、温度計測部による計測結果に基づいて波長変換素子の温度を調節する温度調節部と、を有する。【選択図】図５
2008159415.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光を供給する光源部と、
前記光源部からの前記レーザ光の波長を変換する波長変換素子と、
弾性力を用いて基板に対して前記波長変換素子を固定する固定部と、
前記波長変換素子及び前記固定部の間に設けられ、前記波長変換素子の温度を計測する温度計測部と、
前記温度計測部による計測結果に基づいて前記波長変換素子の温度を調節する温度調節部と、を有することを特徴とする光源装置。
【請求項２】
前記固定部は、バネ力を用いて前記基板に対して前記波長変換素子を固定する板バネ部を備えることを特徴とする請求項１に記載の光源装置。
【請求項３】
前記波長変換素子は、前記基板側に設けられた第１面と、前記第１面とは反対側に設けられた第２面と、を備え、
前記板バネ部は、前記第２面の中心部においてバネ力を付加することを特徴とする請求項２に記載の光源装置。
【請求項４】
前記温度調節部は、熱を供給する熱供給部と、前記温度計測部による計測結果に基づいて前記熱供給部を制御する制御部と、を備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の光源装置。
【請求項５】
前記熱供給部及び前記波長変換素子の間に設けられ、前記熱供給部からの熱を拡散させる熱拡散部を有し、
前記固定部は、前記熱拡散部に前記波長変換素子を固定することを特徴とする請求項４に記載の光源装置。
【請求項６】
前記温度計測部は、前記固定部に接着されることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の光源装置。
【請求項７】
前記温度計測部に接続された配線部を有し、
前記配線部は、前記固定部上に設けられることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の光源装置。
【請求項８】
前記配線部及び前記固定部の間に設けられた絶縁層を有することを特徴とする請求項７に記載の光源装置。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか一項に記載の光源装置と、
前記光源装置からの光を画像信号に応じて変調する空間光変調装置と、を有することを特徴とするプロジェクタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光源装置及びプロジェクタ、特に、レーザ光を供給する光源装置の技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、レーザ光を供給する光源装置において、波長変換素子、例えば第二高調波発生（Second−Harmonic  Generation；ＳＨＧ）素子が用いられている。ＳＨＧ素子を用いることで、例えば、容易に入手可能な汎用のレーザを用いて、所望の波長のレーザ光を供給することが可能となる。ＳＨＧ素子は、温度変化によって屈折率分布が変化する場合、位相整合条件が崩れ、波長を変換する効率が低下することが知られている。高い効率で安定した光量のレーザ光を供給するためには、波長変換素子の温度変化を低減させることが望まれる。例えば、特許文献１に提案されている技術では、大きな熱伝導率を持つ部材を用いて波長変換素子を囲むことにより、周辺温度の影響を低減させている。
【０００３】
【特許文献１】特開平６−３０１４２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
波長変換素子は、周辺温度に応じて温度が変化する他、レーザ光を照射し続けることによっても温度が変化する。大きな熱伝導率を持つ部材により波長変換素子を囲むのみでは、波長変換素子の内部で生じた熱等による温度変化を低減させることは困難である。また、周辺温度が大幅に変動する場合等に、波長変換素子への影響を完全には排除し得ないこともある。このように、従来の技術によると、波長変換素子の温度変化を低減させることが困難であるという問題を生じる。本発明は、上述の問題に鑑みてなされたものであり、波長変換素子の温度変化を低減させ、高い効率で安定した光量のレーザ光を供給可能な光源装置、及びその光源装置を用いるプロジェクタを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明によれば、レーザ光を供給する光源部と、光源部からのレーザ光の波長を変換する波長変換素子と、弾性力を用いて基板に対して波長変換素子を固定する固定部と、波長変換素子及び固定部の間に設けられ、波長変換素子の温度を計測する温度計測部と、温度計測部による計測結果に基づいて波長変換素子の温度を調節する温度調節部と、を有することを特徴とする光源装置を提供することができる。
【０００６】
固定部は、基板の位置に対して波長変換素子を特定の位置に固定する。本発明の光源装置は、温度計測部による計測結果に基づいて温度調節部のフィードバック制御を行う。固定部を用いることにより、固定部の弾性力を用いて波長変換素子に温度計測部を当接させる。波長変換素子に温度計測部を十分当接させることで、波長変換素子の温度を正確に計測することが可能となる。正確に計測された波長変換素子の温度に基づいて温度調節部を制御することで、波長変換素子の温度変化を低減させることができる。また、外的要因による温度変化に対する影響も低減させることができる。これにより、波長変換素子の温度変化を低減させ、高い効率で安定した光量のレーザ光を供給可能な光源装置を得られる。
【０００７】
また、本発明の好ましい態様としては、固定部は、バネ力を用いて基板に対して波長変換素子を固定する板バネ部を備えることが望ましい。これにより、簡易かつ安価な製造を可能とし、かつ波長変換素子に温度計測部を十分当接させることができる。
【０００８】
また、本発明の好ましい態様としては、波長変換素子は、基板側に設けられた第１面と、第１面とは反対側に設けられた第２面と、を備え、板バネ部は、第２面の中心部においてバネ力を付加することが望ましい。これにより、波長変換素子のうち熱が集中し易い中心部において積極的に放熱を行い、波長変換素子の温度の均一化を図れる。
【０００９】
また、本発明の好ましい態様としては、温度調節部は、熱を供給する熱供給部と、温度計測部による計測結果に基づいて熱供給部を制御する制御部と、を備えることが望ましい。これにより、温度計測部による計測結果に基づいて波長変換素子の温度を調節することができる。
【００１０】
また、本発明の好ましい態様としては、熱供給部及び波長変換素子の間に設けられ、熱供給部からの熱を拡散させる熱拡散部を有し、固定部は、熱拡散部に波長変換素子を固定することが望ましい。熱拡散部を用いることで、熱供給部からの熱を均一化させて波長変換素子へ伝播させることができる。
【００１１】
また、本発明の好ましい態様としては、温度計測部は、固定部に接着されることが望ましい。これにより、所定の位置に温度計測部を固定でき、かつ接着剤等を介さずに波長変換素子に直接温度計測部を当接させることができる。
【００１２】
また、本発明の好ましい態様としては、温度計測部に接続された配線部を有し、配線部は、固定部上に設けられることが望ましい。これにより、温度計測部による温度の計測を行うことができる。
【００１３】
また、本発明の好ましい態様としては、配線部及び固定部の間に設けられた絶縁層を有することが望ましい。これにより、配線部と固定部とを絶縁させることができる。
【００１４】
さらに、本発明によれば、上記の光源装置と、光源装置からの光を画像信号に応じて変調する空間光変調装置と、を有することを特徴とするプロジェクタを提供することができる。上記の光源装置を用いることで、波長変換素子の温度変化を低減させ、高い効率で安定した光量のレーザ光を供給できる。これにより、高い効率で明るい画像を安定して表示可能なプロジェクタを得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下に図面を参照して、本発明の実施例を詳細に説明する。
【実施例１】
【００１６】
図１は、本発明の実施例１に係る光源装置１０の概略構成を示す。光源装置１０は、半導体レーザ１１を有する。半導体レーザ１１は、端面発光型レーザであって、レーザ光を供給する光源部である。ＳＨＧ素子１２は、半導体レーザ１１からのレーザ光の波長を変換する波長変換素子である。ＳＨＧ素子１２は、半導体レーザ１１からのレーザ光を、２分の１の波長のレーザ光に変換して出射させる。例えば、半導体レーザ１１からＳＨＧ素子１２へ１０６４ｎｍのレーザ光を入射させる場合、ＳＨＧ素子１２は、５３２ｎｍのレーザ光を出射させる。ＳＨＧ素子１２としては、例えば、非線形光学結晶を用いることができる。
【００１７】
支柱１５の上には、熱拡散板１４が積層されている。熱拡散板１４は、後述するヒータからの熱を略均一に拡散させる熱拡散部である。ＳＨＧ素子１２は、熱拡散板１４の上に設けられている。ＳＨＧ素子１２と熱的に接触させる要素がほぼ熱拡散板１４のみである構成とすることで、ＳＨＧ素子１２は、殆ど熱拡散板１４のみから熱の移動を受けることとなる。熱拡散板１４により略均一に熱を拡散させることで、ＳＨＧ素子１２へ均一化された熱を供給することができる。均一化された熱をＳＨＧ素子１２へ供給可能とすることで、ＳＨＧ素子１２全体の温度を均一化させることができる。熱拡散板１４は、高い熱伝導率を持つ部材、例えば銅を用いて形成できる。半導体レーザ１１及び支柱１５は、共通の基板１６上に設けられている。基板１６は、不図示のパッケージに固定されている。
【００１８】
図２は、ＳＨＧ素子１２及びその周辺の各部を示す。ＳＨＧ素子１２は、板バネ部１３によって覆われている。板バネ部１３は、弾性力であるバネ力を用いて熱拡散板１４にＳＨＧ素子１２を固定する固定部である。支柱１５に熱拡散板１４を固定することで、ＳＨＧ素子１２は、基板１６（図１参照）に対して固定される。このように、板バネ部１３は、基板１６の位置に対してＳＨＧ素子１２を特定の位置に固定する。板バネ部１３は、バネ性を備え、かつ熱に対する高い耐性を持つ部材、例えばリン青銅をプレスすることにより形成できる。板バネ部１３は、リン青銅を用いる他、例えばステンレスを用いて形成しても良い。
【００１９】
図３は、ＳＨＧ素子１２の斜視構成を示す。ＳＨＧ素子１２は、略矩形形状の第１面２１及び第２面２２を有する直方体形状をなしている。第１面２１は、支柱１５（図１参照）側に設けられ、熱拡散板１４に当接している。第２面２２は、第１面２１とは反対側に設けられている。入射面２３は、半導体レーザ１１（図１参照）からの光を入射させる。出射面２４は、ＳＨＧ素子１２を透過させたレーザ光を出射させる。２つの側面２５、２６は、第１面２１、第２面２２、入射面２３、出射面２４以外の面であって、いずれも第１面２１、第２面２２、入射面２３、出射面２４に略直交する。側面２５、２６は、互いに対向する。
【００２０】
図示するｚ方向は、レーザ光を進行させる方向である。ｘ方向は、ｚ方向に垂直な方向であって、水平方向である。ｙ方向は、ｚ方向に垂直な方向であって、鉛直方向である。ＳＨＧ素子１２へ正確にレーザ光を透過させるには、少なくともｘ方向及びｙ方向の位置、及びｙ軸回りの回転に関する正確なアライメントを要する。ＳＨＧ素子１２のアライメントは、通常の機械加工精度によって十分行うことができる。特に、ＳＨＧ素子１２のｙ方向についての位置は、熱拡散板１４、支柱１５の厚みに対応させて正確に調整可能である。この他、ｚ方向の位置、ｘ軸回り、ｚ軸回りの回転に関してもアライメントを行うこととしても良い。
【００２１】
図４は、支柱１５の平面構成を示す。支柱１５のうち、熱拡散板１４側の面の中心部には、ヒータ３１が埋め込まれている。ヒータ３１は、熱を供給する熱供給部である。なお、ヒータ３１は、熱拡散板１４を経てＳＨＧ素子１２へ熱を供給可能であれば良く、本実施例で説明する位置以外の位置に配置することとしても良い。
【００２２】
図５は、ＳＨＧ素子１２及びその周辺の各部の断面構成を示す。板バネ部１３は、ＳＨＧ素子１２の第２面２２の中心部に対応して設けられた凹部１９を有する。ＳＨＧ素子１２の第２面２２と板バネ部１３の凹部１９との間には、サーミスタ４０が設けられている。サーミスタ４０は、ＳＨＧ素子１２の温度を計測する温度計測部である。板バネ部１３は、凹部１９において、サーミスタ４０を介して第２面２２の中心部へバネ力を付加する。サーミスタ４０は、凹部１９によるバネ力の付加によって、ＳＨＧ素子１２の第２面２２に押し付けられる。ＳＨＧ素子１２は、凹部１９によるバネ力の付加によって、熱拡散板１４に押し付けられる。
【００２３】
板バネ部１３を用いることで、ＳＨＧ素子１２にサーミスタ４０を十分当接させることができる。また、第１面２１、第２面２２に垂直な方向（図３に示すｙ方向）についてのＳＨＧ素子１２のガタつきを防止できる。第２面２２の中心部へバネ力を付加することで、ＳＨＧ素子１２がいずれかの向き（図３に示すｘ軸回りの回転、ｚ軸回りの回転）に傾くことも防ぐことができる。
【００２４】
板バネ部１３は、ＳＨＧ素子１２の側面２５、２６に対応して設けられた凹部２０、３０を有する。板バネ部１３は、凹部２０、３０において、側面２５、２６へバネ力を付加する。両側面２５、２６に付加されるバネ力は互いに対向するため、側面２５、２６に垂直な方向（図３に示すｘ方向）についてのガタつきを防止できる。ＳＨＧ素子１２は、第２面２２側の凹部１９と側面２５、２６側の凹部２０、３０によって上下左右が固定される。板バネ部１３のうちＳＨＧ素子１２の周囲を取り囲む周囲部３２は、熱拡散板１４に固定されている。周囲部３２と熱拡散板１４との固定には、例えば溶接を用いることができる。溶接は、ＳＨＧ素子１２に関して上述のアライメントを施した後に行われる。
【００２５】
図６は、図５に示す構成のＡＡ断面を示す。板バネ部１３は、ＳＨＧ素子１２の入射面２３側に設けられた入射側嵌合部３３、及びＳＨＧ素子１２の出射面２４側に設けられた出射側嵌合部３４を有する。入射側嵌合部３３は、入射面２３のうちレーザ光を入射させる領域Ｌ以外の領域においてＳＨＧ素子１２を嵌合させる嵌合部である。出射側嵌合部３４は、出射面２４のうちレーザ光を出射させる領域Ｌ以外の領域においてＳＨＧ素子１２を嵌合させる嵌合部である。これにより、レーザ光を遮ること無く、レーザ光の進行方向（図３に示すｚ方向）についてのＳＨＧ素子１２のガタつきを防止できる。
【００２６】
図７は、図６に示す構成のＢＢ断面を示す。入射側嵌合部３３、出射側嵌合部３４のいずれも、支柱１５側の端部３５へ向かうに従い漸次広がりを持たせた形状を備える。入射側嵌合部３３の端部３５及び出射側嵌合部３４の端部３５の間隔をＳＨＧ素子１２の幅より大きくすることで、板バネ部１３へＳＨＧ素子１２を容易に挿入させることが可能となる。入射側嵌合部３３、出射側嵌合部３４のうち端部３５とは反対側についてはＳＨＧ素子１２の幅と略同じか僅かに小さく形成されている。これにより、板バネ部１３にＳＨＧ素子１２を容易に固定させることができる。
【００２７】
図８は、サーミスタ４０及びその周辺の各部を示す。サーミスタ４０は、接着層４１によって板バネ部１３に接着されている。接着層４１は、例えば熱硬化性樹脂を用いて構成されている。これにより、所定の位置にサーミスタ４０を固定でき、かつＳＨＧ素子１２にサーミスタ４０を当接させることができる。サーミスタ４０は、板バネ部１３上に設けられたフレキシブルケーブル４２に接続されている。フレキシブルケーブル４２は、サーミスタ４０に接続された配線部である。サーミスタ４０は、フレキシブルケーブル４２を介した電力供給によって温度の計測を行う。配線部としては、フレキシブルケーブル４２の他、リード線等を用いることができる。
【００２８】
図９は、サーミスタ４０による計測結果に基づいてＳＨＧ素子１２の温度を調節するためのブロック構成を示す。制御部４３は、サーミスタ４０の出力に応じてヒータ駆動部４４を制御する。ヒータ駆動部４４は、制御部４３による制御に応じてヒータ３１を駆動する。このように、制御部４３は、サーミスタ４０による計測結果に基づいてヒータ３１のフィードバック制御を行う。ヒータ３１及び制御部４３は、サーミスタ４０による計測結果に基づいてＳＨＧ素子１２の温度を調節する温度調節部を構成する。
【００２９】
板バネ部１３のバネ力を用いてＳＨＧ素子１２にサーミスタ４０を十分当接させることで、ＳＨＧ素子１２の温度を正確に計測することが可能となる。正確に計測されたＳＨＧ素子１２の温度に基づいてヒータ３１を制御することで、ＳＨＧ素子１２の温度変化を低減させることができる。また、外的要因による温度変化に対する影響も低減させることができる。これにより、波長変換素子の温度変化を低減させ、高い効率で安定した光量のレーザ光を供給することができるという効果を奏する。
【００３０】
なお、サーミスタ４０とＳＨＧ素子１２との間に熱伝導グリスや熱伝導接着剤を介在させても良い。これにより、ＳＨＧ素子１２にサーミスタ４０を固定させ、かつサーミスタ４０による正確な温度測定を行うことができる。また、図１０に示すように、絶縁層４６を設ける構成としても良い。絶縁層４６は、配線４５及び板バネ部１３の間に設けられている。絶縁層４６は、配線４５と板バネ部１３とを絶縁する。絶縁層４６は、例えばポリイミド等の絶縁性樹脂を用いて形成できる。配線４５は、サーミスタ４０に接続された配線部であって、絶縁層４６上に実装されている。配線４５は、例えば金属膜をパターニングすることにより形成できる。サーミスタ４０と配線４５とは、例えばはんだ付けにより接続されている。
【００３１】
板バネ部１３の周囲部３２と熱拡散板１４との固定には溶接を用いる他、図１１に示すようにネジ３６を用いることとしても良い。ネジ３６は、周囲部３２と熱拡散板１４とを固定する他、周囲部３２、熱拡散板１４、及び支柱１５を固定するものとしても良い。板バネ部１３の周囲部３２と熱拡散板１４との固定にはネジ３６を用いる場合に限られず、周囲部３２と熱拡散板１４とを固定可能な他の機械的構造を用いても良い。
【００３２】
本発明の光源装置は、適宜構成を変更しても良い。例えば図１２に示す光源装置５０のように、面発光型レーザである半導体レーザ５１を用いる構成としても良い。半導体レーザ５１及び支柱１５は、基板５２上に固定されている。ＳＨＧ素子１２は、板バネ部１３により、基板５２に対して固定されている。光源装置に用いられる光源部としては、半導体レーザ１１、５１の他、固体レーザ、液体レーザ、ガスレーザ等を用いても良い。
【００３３】
図１３に示す光源装置６０は、半導体レーザ励起固体（Diode  Pumped  Solid  State；ＤＰＳＳ）レーザ発振器である。光源装置６０は、共振ミラー６２、６４を用いた共振器構造を有する。励起用レーザ６１は、例えば、８０８ｎｍの波長を持つレーザ光を供給する。励起用レーザ６１からのレーザ光は共振ミラー６２を通過した後、レーザ結晶６３へ入射する。レーザ結晶６３としては、例えばＮｄ：ＹＶＯ4結晶やＮｄ：ＹＡＧ（Ｙ3Ａｌ5Ｏ12）結晶を用いることができる。
【００３４】
レーザ結晶６３は、励起されることによりレーザ発振し、例えば、１０６０ｎｍ前後の波長を持つレーザ光を供給する。レーザ結晶６３からのレーザ光は、ＳＨＧ素子１２により半分の波長のレーザ光に変換される。例えば１０６４ｎｍのレーザ光は、５３２ｎｍのレーザ光に変換される。所望の波長に変換されたレーザ光は、共振ミラー６４を通過する。所望の波長以外の波長のレーザ光は、共振ミラー６４で反射する。２つの共振ミラー６２、６４間で所望の波長に変換されたレーザ光は、共振ミラー６４を通過する。このようにして、所望の波長のレーザ光を効率良く出射させることができる。
【実施例２】
【００３５】
図１４は、本発明の実施例２に係るプロジェクタ７０の概略構成を示す。プロジェクタ７０は、スクリーン８８に光を供給し、スクリーン８８で反射する光を観察することで画像を鑑賞するフロント投写型のプロジェクタである。上記実施例１と重複する説明は省略する。プロジェクタ７０は、赤色（Ｒ）光用光源装置８０Ｒ、緑色（Ｇ）光用光源装置８０Ｇ、青色（Ｂ）光用光源装置８０Ｂを有する。各色光用光源装置８０Ｒ、８０Ｇ、８０Ｂは、いずれも上記実施例１の光源装置１０（図１参照）と同様の構成を有する。プロジェクタ７０は、各色光用光源装置８０Ｒ、８０Ｇ、８０Ｂからの光を用いて画像を表示する。
【００３６】
Ｒ光用光源装置８０Ｒは、Ｒ光を供給する光源装置である。回折光学素子８１は、レーザ光を回折させることにより、照明領域の整形及び拡大をする。また、回折光学素子８１は、レーザ光の光量分布の均一化も行う。回折光学素子８１としては、例えば、計算機合成ホログラム（Computer  Generated  Hologram；ＣＧＨ）を用いることができる。フィールドレンズ８２は、回折光学素子８１からのレーザ光を平行化させ、Ｒ光用空間光変調装置８３Ｒへ入射させる。Ｒ光用空間光変調装置８３Ｒは、画像信号に応じてＲ光を変調する空間光変調装置であって、透過型液晶表示装置である。Ｒ光用空間光変調装置８３Ｒで変調されたＲ光は、色合成光学系であるクロスダイクロイックプリズム８４へ入射する。
【００３７】
Ｇ光用光源装置８０Ｇは、Ｇ光を供給する光源装置である。回折光学素子８１及びフィールドレンズ８２を経たレーザ光は、Ｇ光用空間光変調装置８３Ｇへ入射する。Ｇ光用空間光変調装置８３Ｇは、画像信号に応じてＧ光を変調する空間光変調装置であって、透過型液晶表示装置である。Ｇ光用空間光変調装置８３Ｇで変調されたＧ光は、Ｒ光とは異なる側からクロスダイクロイックプリズム８４へ入射する。
【００３８】
Ｂ光用光源装置８０Ｂは、Ｂ光を供給する光源装置である。回折光学素子８１及びフィールドレンズ８２を経たレーザ光は、Ｂ光用空間光変調装置８３Ｂへ入射する。Ｂ光用空間光変調装置８３Ｂは、画像信号に応じてＢ光を変調する空間光変調装置であって、透過型液晶表示装置である。Ｂ光用空間光変調装置８３Ｂで変調されたＢ光は、Ｒ光、Ｇ光とは異なる側からクロスダイクロイックプリズム８４へ入射する。透過型液晶表示装置としては、例えば高温ポリシリコンＴＦＴ液晶パネル（High  Temperature  Polysilicon；ＨＴＰＳ）を用いることができる。
【００３９】
クロスダイクロイックプリズム８４は、互いに略直交させて配置された２つのダイクロイック膜８５、８６を有する。第１ダイクロイック膜８５は、Ｒ光を反射し、Ｇ光及びＢ光を透過させる。第２ダイクロイック膜８６は、Ｂ光を反射し、Ｒ光及びＧ光を透過させる。クロスダイクロイックプリズム８４は、それぞれ異なる方向から入射したＲ光、Ｇ光及びＢ光を合成し、投写レンズ８７の方向へ出射させる。投写レンズ８７は、クロスダイクロイックプリズム８４で合成された光をスクリーン８８の方向へ投写する。
【００４０】
上記の光源装置１０と同様の構成を有する各色光用光源装置８０Ｒ、８０Ｇ、８０Ｂを用いることにより、波長変換素子の温度変化を低減させ、高い効率で安定した光量のレーザ光を供給できる。これにより、高い効率で明るい画像を安定して表示できるという効果を奏する。プロジェクタ７０は、空間光変調装置として透過型液晶表示装置を用いる場合に限られない。空間光変調装置としては、反射型液晶表示装置（Liquid  Crystal  On  Silicon；ＬＣＯＳ）、ＤＭＤ（Digital  Micromirror  Device）、ＧＬＶ（Grating  Light  Valve）等を用いても良い。
【００４１】
プロジェクタ７０は、色光ごとに空間光変調装置を備える構成に限られない。プロジェクタ７０は、一の空間光変調装置により２つ又は３つ以上の色光を変調する構成としても良い。プロジェクタは、スクリーンの一方の面に光を供給し、スクリーンの他方の面から出射される光を観察することで画像を鑑賞する、いわゆるリアプロジェクタであっても良い。さらに、本発明の光源装置は、プロジェクタに適用する場合に限られない。例えば、レーザ光を用いて露光を行う露光装置や、レーザ光により照明された像をモニタするモニタ装置等に適用することとしても良い。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
以上のように、本発明に係る光源装置は、プロジェクタに用いる場合に適している。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の実施例１に係る光源装置の概略構成を示す図。
【図２】ＳＨＧ素子及びその周辺の各部を示す図。
【図３】ＳＨＧ素子の斜視構成を示す図。
【図４】支柱の平面構成を示す図。
【図５】ＳＨＧ素子及びその周辺の各部の断面構成を示す図。
【図６】図５に示す構成のＡＡ断面を示す図。
【図７】図６に示す構成のＢＢ断面を示す図。
【図８】サーミスタ及びその周辺の各部を示す図。
【図９】ＳＨＧ素子の温度を調節するためのブロック構成を示す図。
【図１０】絶縁層を設ける構成を示す図。
【図１１】ネジを用いて板バネ部を固定する構成を説明する図。
【図１２】面発光型レーザを用いる構成を説明する図。
【図１３】ＤＰＳＳレーザ発振器について説明する図。
【図１４】本発明の実施例２に係るプロジェクタの概略構成を示す図。
【符号の説明】
【００４４】
１０  光源装置、１１  半導体レーザ、１２  ＳＨＧ素子、１３  板バネ部、１４  熱拡散板、１５  支柱、１６  基板、１９  凹部、２０、３０  凹部、２１  第１面、２２  第２面、２３  入射面、２４  出射面、２５、２６  側面、３１  ヒータ、３２  周囲部、３３  入射側嵌合部、３４  出射側嵌合部、３５  端部、３６  ネジ、４０  サーミスタ、４１  接着層、４２  フレキシブルケーブル、４３  制御部、４４  ヒータ駆動部、４５  配線、４６  絶縁層、５０  光源装置、５１  半導体レーザ、５２  基板、６０  光源装置、６１  励起用レーザ、６２、６４  共振ミラー、６３  レーザ結晶、７０  プロジェクタ、８０Ｒ  Ｒ光用光源装置、８０Ｇ  Ｇ光用光源装置、８０Ｂ  Ｂ光用光源装置、８１  回折光学素子、８２  フィールドレンズ、８３Ｒ  Ｒ光用空間光変調装置、８３Ｇ  Ｇ光用空間光変調装置、８３Ｂ  Ｂ光用空間光変調装置、８４  クロスダイクロイックプリズム、８５  第１ダイクロイック膜、８６  第２ダイクロイック膜、８７  投写レンズ、８８  スクリーン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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