(57)【要約】【課題】シール性を確保するとともに、設計自由度の高い流体機器モジュール、及び流体機器モジュール接続構造を提供する。【解決手段】上面に第１流体制御弁１６を取り付ける機器取付面を備え、第１側面に流路孔１１ｂを備え、ブロック接続突起１１ａが形成されたブロック１１と、上面に第２流体制御弁１７を取り付ける機器取付面を備え、第１側面に流路孔１１ｂを備え、ブロック接続突起１１ａが形成されたブロック１１と、上側押圧面１３ａを備える上側接続部材１３と、下側押圧面１４ｂを備える下側接続部材１４と、を備え、ブロック接続突起１１ａ、又は上側押圧面１３ａ及び前記下側押圧面１４ｂの少なくともどちらか一方にテーパ面が形成され、締結手段によって上側接続部材１３と下側接続部材１４とが近接方向に移動されることで、流路孔１１ｂ同士が連通するよう隣り合うブロック１１が接合されることを特徴とする流体機器モジュール。【選択図】図４
2008082358.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面に第１流体制御機器を取り付ける機器取付面を備え、第１側面に第１流路孔を備え、前記第１流路孔の上部と下部に接続突起が形成された第１ブロックと、
上面に第２流体制御機器を取り付ける機器取付面を備え、第１側面に第２流路孔を備え、前記第２流路孔の上部と下部に接続突起が形成された第２ブロックと、
前記第１ブロックの上部に備えられた接続突起及び前記第２ブロックの上部に備えられた接続突起の両側に当接する上側押圧面を備える上側接続部材と、
前記第１ブロックの下部に備えられた接続突起及び前記第２ブロックの下部に備えられた接続突起の両側に当接する下側押圧面を備える下側接続部材と、
を備え、
前記第１ブロックの接続突起及び前記第２ブロックの接続突起、又は前記上側押圧面及び前記下側押圧面の少なくともどちらか一方にテーパ面が形成され、
締結手段によって前記上側接続部材と前記下側接続部材とが近接方向に移動されることで、前記第１流路孔と前記第２流路孔とが連通するよう前記第１ブロックと前記第２ブロックが接合されることを特徴とする流体機器モジュール。
【請求項２】
請求項１に記載された流体機器モジュールにおいて、
第１側面に第３流路孔を備え、前記第３流路孔の上部と下部に接続突起が形成され、第２側面に継手部が形成された、継手ブロックを備え、
前記第１ブロックは、第２側面に第４流路孔を備え、前記第４流路孔の上部と下部に接続突起が形成され、
前記第１ブロックの接続突起及び前記継手ブロックの接続突起、又は前記上側押圧面及び前記下側押圧面の少なくともどちらか一方にテーパ面が形成され、
前記締結手段によって前記上側接続部材と前記下側接続部材とが近接方向に移動されることで、前記第３流路と前記第４流路とが連通するよう、前記第１ブロックと前記継手ブロックが接合されることを特徴とする流体機器モジュール。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載される流体機器モジュールにおいて、
前記第１ブロック及び前記第２ブロックを貫通する補強カラーを備え、
前記補強カラーが前記第１ブロック及び前記第２ブロックの材質よりも強度が高く、
前記締結手段が前記補強カラーを貫通して配置されることを特徴とする流体機器モジュール。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれかに記載される流体機器モジュールにおいて、
前記第１ブロックに設けられる第１流体制御機器、又は前記第２ブロックに設けられる第２流体制御機器の少なくともどちらか一方が、ブロック内部に設けられることを特徴とする流体機器モジュール。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれかに記載される流体機器モジュールにおいて、
前記第１ブロック及び前記第２ブロックの上面に備える機器取り付け面に取り付けられる第１流体制御機器及び第２流体制御機器を取り付ける取り付けネジを、前記締結部材が兼ねていることを特徴とする流体機器モジュール。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５のいずれかに記載される流体機器モジュールにおいて、
前記下側接続部材が、一体的なプレートで構成されていることを特徴とする流体機器モジュール。
【請求項７】
請求項１乃至請求項４のいずれかに記載される流体機器モジュールにおいて、
前記締結手段は、
前記上側接続部材と、
前記上側接続部材の前記上側押圧面が前記下側押圧面と対向するように配置された前記下側接続部材と、
前記上側接続部材の上部に弾性部材を挟んで配置される受圧プレートと、
前記受圧部レートの上部に配置される連結プレートと、
前記連結プレート、前記受圧プレート、及び前記上側接続部材を貫通して前記下側接続部材に連結される連結ロッドと、
前記連結プレートに回動可能に保持され、動作させることで前記受圧プレートを押圧するレバーと、
が設けられた締付アタッチメントであり、
前記締結アタッチメントを操作することで、前記第１ブロックと前記第２ブロックを接合及び解体が可能なことを特徴とする流体機器モジュール。
【請求項８】
請求項１乃至請求項４のいずれかに記載される流体機器モジュールにおいて、
前記第１ブロックの第１側面に、内部に前記第１流路孔を有する円錐状に形成された前記接続突起が備えられ、
前記第２ブロックの第１側面に、内部に前記第２流路孔を有する円錐状に形成された前記接続突起が備えられ、
前記第１ブロックの接続突起と前記第２ブロックの接続突起が、前記上側接続部材と前記下側接続部材とで挟まれた状態で、前記締結手段によって締結されることで、前記第１ブロックの接続突起と前記第２ブロックの接続突起が、前記上側押圧面及び前記下側押圧面によって押圧され、前記第１流路孔と前記第２流路孔とが連通することを特徴とする流体機器モジュール。
【請求項９】
請求項１乃至請求項７のいずれかに記載される流体機器モジュールにおいて、
上面に第３流体制御機器を取り付ける機器取付面を備え、
第１側面に第５流路孔を備え、前記第５流路孔の上部と下部に接続突起が形成された第３ブロックと、
前記第１ブロックは、
第１側面と隣り合う第３側面に第６流路孔を備え、
前記第６流路孔の上部と下部に接続突起が形成され、
前記第１ブロックの接続突起及び前記第３ブロックの接続突起、又は前記上側押圧面及び前記下側押圧面の少なくともどちらか一方にテーパ面が形成され、
前記締結手段によって前記上側接続部材と前記下側接続部材とが近接方向に移動されることで、前記第５流路と前記第６流路とが連通するよう、前記第１ブロックと前記第３ブロックが接合されることを特徴とする流体機器モジュール。
【請求項１０】
第１側面に第１流路孔を備え、前記第１流路孔の上部と下部に接続突起を備えた第１流体機器と、
第１側面に第２流路孔を備え、前記第２流路孔の上部と下部に接続突起を備えた第２流体機器と、
前記第１流体機器の上部に備えられた接続突起及び前記第２流体機器の上部に備えられた接続突起の両方に当接する上側押圧面を備える上側接続部材と、
前記第１流体機器の下部に備えられた接続突起及び前記第２流体機器の下部に備えられた接続突起の両方に当接する下側押圧面を備える下側接続部材と、
を備え、
前記第１流体機器の接続突起及び前記第２流体機器の接続突起、又は前記上側押圧面及び前記下側押圧面の少なくともどちらか一方にテーパ面が形成され、
締結手段によって前記上側接続部材と前記下側接続部材とが近接方向に移動されることで、前記第１流路孔と前記第２流路孔とが連通するよう前記第１流体機器と前記第２流体機器が接合されることを特徴とする流体機器モジュール接続構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体を制御する樹脂製バルブや金属性バルブを、組み立てが容易で省スペース化が可能な接続構造を備えたブロックモジュールとする技術に関する発明である。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程には様々な薬液が用いられており、その供給に多様な流体制御用バルブが用いられている。流体制御用バルブは配管で接続されて設備に使用されるが、設備の小型化に伴って、流体制御用バルブの小型化はもちろんのこと、マニホールド化をして継ぎ手や配管等を少なくするような技術も公開されている。
流体制御用バルブをマニホールド化する場合、従来技術で良く用いられている方法としては、流路を構成する部分をブロック化し一体的に形成する方法である。
しかし、流体制御用バルブを一体的なブロックとしてしまうと、使用者のニーズに合わせて仕様が異なるので、ボディ部分のブロックの種類を多数用意するか、ニーズに合わせて加工する必要がある。この方法では汎用性に乏しく、仕様に合わせて受注生産する必要があるためにコストも高くつくことから、特許文献１や特許文献２に開示されるような接続構造を備えたブロックモジュールが考案されている。
【０００３】
特許文献１にはブロック体の連結開口の接続構造に関する技術が開示されている。
一方のブロック体の連結面に設けられた流路開口部の周囲に環状凹溝部が形成され、他方のブロック体の連結面に設けられた流路開口部の周囲に環状突起が形成され、それぞれのブロック体には連結面に対して直角に４箇所のボルト孔が設けられている。そして、２つのブロック体が組み合わされる際には、環状凹溝部に環状突起が挿入され圧着され、４つのボルト孔に締結部材である貫通ボルトが差し込まれて締め付ける構造となっている。
したがって、複数のブロック体を横一列に並べて、貫通ボルトで締結することでマニホールドブロックとすることができ、ブロック体の連結面には継ぎ手や配管を必要とせず、省スペース化を図ることが可能である。また、環状凹溝部に環状突起を挿し込み、塑性変形させるので、シール性も確保することが可能である。
【０００４】
特許文献２には配管部材の接続構造に関する技術が開示されている。
一方のブロック体の連結面に設けられた流路開口部の周囲に環状凹溝部が形成され、他方のブロック体の連結面に設けられた流路開口部の周囲にも環状凹溝部が形成され、それぞれのブロック体の連結面にジョイント嵌合部が形成されている。そして、２つのブロック体が組み合わされる際には、略円環状のスリーブを環状凹溝部に挿し込み、ジョイント嵌合部にピンを差し込んで連結することでマニホールドブロックとすることができる。
また、ジョイント嵌合部を用いずに底面にプレートを配置し、裏からブロック体をネジ止めすることで、横一列でなく側面４方向にブロック体を配置することが可能となる。
ブロック体の結合時に用いるスリーブはＯリングを備えており、環状凹溝部に対して径方向にシールを行うので、特許文献１のように側面からボルトで締め付けなくても漏れにくいシールを実現することが可能であり、マニホールド化が可能であるので、省スペース化を図ることが可能である。
【０００５】
【特許文献１】特開2001-116155号公報
【特許文献２】特開2004-316667号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来技術には以下のような問題があった。
（１）クリープ作用の影響で緩みが発生する虞がある。
特許文献１に示されるような連結面に直角にボルト孔を備えて貫通ボルトで締め付ける構造を採用する場合には、流路の軸方向のシールが可能であるが、特許文献１の方法ではボルトの座面だけで締め付けていることから、クリープ作用の影響で緩みが出る虞がある。
このクリープ作用とは、長時間にわたって受ける圧力変動や温度変化によって樹脂が変形を起こす作用のことをいい、耐食性を持たせるためにブロック体に樹脂を用いている場合には、接続部分の圧着力が弱まり、流路から液体が漏れる等の問題がある。特に半導体製造工程では高い耐食性を求められるためにＰＴＦＥやＰＦＡ等のフッ素系の樹脂が用いられることが多いが、これらの素材はクリープ作用が起こりやすく、特にマニホールド連数が多いほど、このようなクリープ作用の影響が大きくなり問題となる。
【０００７】
（２）軸方向シールを用いることができない。
特許文献２に示されるようなピンによる結合方法や、プレートを用いて裏からボルトで固定するような方法を採用する場合、クリアランスを吸収する機能が無いためガタが発生する虞があり、また構造上、軸方向のシール手段を用いることができない。
径方向のシール手段は、軸方向のシール手段に比べて部品点数が増えたり、加工が複雑となったりするためにコストが高くなる傾向にある。
ここで軸方向シールとは、ブロック同士の結合面に対して垂直に作用する力を利用してシールする手段をいう。また径方向シールとは、ブロック同士の結合面で流路が結合された時の流路の径方向、つまり流路をブロック同士の結合面で切断してできた円の法線方向に作用する力を利用してシールする手段をいう。
【０００８】
つまり、従来技術である特許文献１または特許文献２に開示される技術では、（１）クリープ作用による影響で緩みが発生する虞がある、（２）軸方向シールを用いることができない、などの問題があった。
クリープ作用が起こると、前述したように流路からの液体の漏れが発生する虞があるが、半導体製造工程などでは腐食性を有する薬液や、人体に有害な薬液等を用いることもあるため、シール性を確保することは必須課題である。また、軸方向シールを用いることができないと、比較的コストの高い径方向シール手段を用いる必要があり、設計自由度も低くなってしまう。
【０００９】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、シール性を確保するとともに、設計自由度の高い流体機器モジュール、及び流体機器モジュール接続構造を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記問題点を解決するために、本発明の流体機器モジュール、及び流体機器モジュール接続構造は、次のような構成を有している。
（１）上面に第１流体制御機器を取り付ける機器取付面を備え、第１側面に第１流路孔を備え、前記第１流路孔の上部と下部に接続突起が形成された第１ブロックと、上面に第２流体制御機器を取り付ける機器取付面を備え、第１側面に第２流路孔を備え、前記第２流路孔の上部と下部に接続突起が形成された第２ブロックと、前記第１ブロックの上部に備えられた接続突起及び前記第２ブロックの上部に備えられた接続突起の両側に当接する上側押圧面を備える上側接続部材と、前記第１ブロックの下部に備えられた接続突起及び前記第２ブロックの下部に備えられた接続突起の両側に当接する下側押圧面を備える下側接続部材と、を備え、前記第１ブロックの接続突起及び前記第２ブロックの接続突起、又は前記上側押圧面及び前記下側押圧面の少なくともどちらか一方にテーパ面が形成され、締結手段によって前記上側接続部材と前記下側接続部材とが近接方向に移動されることで、前記第１流路孔と前記第２流路孔とが連通するよう前記第１ブロックと前記第２ブロックが接合されることを特徴とする流体機器モジュール。
【００１１】
（２）（１）に記載された流体機器モジュールにおいて、第１側面に第３流路孔を備え、前記第３流路孔の上部と下部に接続突起が形成され、第２側面に継手部が形成された、継手ブロックを備え、前記第１ブロックは、第２側面に第４流路孔を備え、前記第４流路孔の上部と下部に接続突起が形成され、前記第１ブロックの接続突起及び前記継手ブロックの接続突起、又は前記上側押圧面及び前記下側押圧面の少なくともどちらか一方にテーパ面が形成され、前記締結手段によって前記上側接続部材と前記下側接続部材とが近接方向に移動されることで、前記第３流路と前記第４流路とが連通するよう、前記第１ブロックと前記継手ブロックが接合されることを特徴とする。
【００１２】
（３）（１）又は（２）記載される流体機器モジュールにおいて、前記第１ブロック及び前記第２ブロックを貫通する補強カラーを備え、前記補強カラーが前記第１ブロック及び前記第２ブロックの材質よりも強度が高く、前記締結手段が前記補強カラーを貫通して配置されることを特徴とする。
【００１３】
（４）（１）乃至（３）のいずれかに記載される流体機器モジュールにおいて、前記第１ブロックに設けられる第１流体制御機器、又は前記第２ブロックに設けられる第２流体制御機器の少なくともどちらか一方が、ブロック内部に設けられることを特徴とする。
【００１４】
（５）（１）乃至（４）に記載される流体機器モジュールにおいて、前記第１ブロック及び前記第２ブロックの上面に備える機器取り付け面に取り付けられる第１流体制御機器及び第２流体制御機器を取り付ける取り付けネジを、前記締結部材が兼ねていることを特徴とする。
【００１５】
（６）（１）乃至（５）のいずれかに記載される流体機器モジュールにおいて、前記下側接続部材が、一体的なプレートで構成されていることを特徴とする。
【００１６】
（７）（１）乃至（４）のいずれかに記載される流体機器モジュールにおいて、前記締結手段は、前記上側接続部材と、前記上側接続部材の前記上側押圧面が前記下側押圧面と対向するように配置された前記下側接続部材と、前記上側接続部材の上部に弾性部材を挟んで配置される受圧プレートと、前記受圧部レートの上部に配置される連結プレートと、前記連結プレート、前記受圧プレート、及び前記上側接続部材を貫通して前記下側接続部材に連結される連結ロッドと、前記連結プレートに回動可能に保持され、動作させることで前記受圧プレートを押圧するレバーと、が設けられた締付アタッチメントであり、前記締結アタッチメントを操作することで、前記第１ブロックと前記第２ブロックを接合及び解体が可能なことを特徴とする。
【００１７】
（８）（１）乃至（４）のいずれかに記載される流体機器モジュールにおいて、前記第１ブロックの第１側面に、内部に前記第１流路孔を有する円錐状に形成された前記接続突起が備えられ、前記第２ブロックの第１側面に、内部に前記第２流路孔を有する円錐状に形成された前記接続突起が備えられ、前記第１ブロックの接続突起と前記第２ブロックの接続突起が、前記上側接続部材と前記下側接続部材とで挟まれた状態で、前記締結手段によって締結されることで、前記第１ブロックの接続突起と前記第２ブロックの接続突起が、前記上側押圧面及び前記下側押圧面によって押圧され、前記第１流路孔と前記第２流路孔とが連通することを特徴とする。
【００１８】
（９）（１）乃至（７）のいずれかに記載される流体機器モジュールにおいて、上面に第３流体制御機器を取り付ける機器取付面を備え、第１側面に第５流路孔を備え、前記第５流路孔の上部と下部に接続突起が形成された第３ブロックと、前記第１ブロックは、第１側面と隣り合う第３側面に第６流路孔を備え、前記第６流路孔の上部と下部に接続突起が形成され、前記第１ブロックの接続突起及び前記第３ブロックの接続突起、又は前記上側押圧面及び前記下側押圧面の少なくともどちらか一方にテーパ面が形成され、前記締結手段によって前記上側接続部材と前記下側接続部材とが近接方向に移動されることで、前記第５流路と前記第６流路とが連通するよう、前記第１ブロックと前記第３ブロックが接合されることを特徴とする。
【００１９】
（１０）（１）乃至（４）のいずれかに記載される流体機器モジュールにおいて、前記第１ブロックの第１側面に隣接する両側面に上面と下面がテーパ面となる台形突起を備え、前記第２ブロックの第１側面に隣接する両側面に上面と下面がテーパ面となる台形突起を備え、前記上側接続部材に前記第１ブロック及び前記第２ブロックの備える台形突起を上側から押圧可能な押圧アーム部を備え、前記下側接続部材に前記第１ブロック及び前記第２ブロックの備える台形突起を下側から押圧可能な押圧アーム部を備えていることを特徴とする流体機器モジュール。
【００２０】
（１１）第１側面に第１流路孔を備え、前記第１流路孔の上部と下部に接続突起を備えた第１流体機器と、第１側面に第２流路孔を備え、前記第２流路孔の上部と下部に接続突起を備えた第２流体機器と、前記第１流体機器の上部に備えられた接続突起及び前記第２流体機器の上部に備えられた接続突起の両方に当接する上側押圧面を備える上側接続部材と、前記第１流体機器の下部に備えられた接続突起及び前記第２流体機器の下部に備えられた接続突起の両方に当接する下側押圧面を備える下側接続部材と、を備え、前記第１流体機器の接続突起及び前記第２流体機器の接続突起、又は前記上側押圧面及び前記下側押圧面の少なくともどちらか一方にテーパ面が形成され、締結手段によって前記上側接続部材と前記下側接続部材とが近接方向に移動されることで、前記第１流路孔と前記第２流路孔とが連通するよう前記第１流体機器と前記第２流体機器が接合されることを特徴とする流体機器モジュール接続構造。
【００２１】
ここでいう流体機器とは、流体制御弁、逆止弁、及び圧力計等の流体を制御又は計測するための機器、或いはこれらの流体制御機器を取り付ける為の単なる流路を構成するブロック等のことを指している。したがって特に弁体を備えたり、駆動部を備えたりする必要はなく、広く流体のために用いる機器を含むものとする。
【発明の効果】
【００２２】
次に、上記構成を有する流体機器モジュール、及び流体機器モジュール接続構造の作用及び効果について説明する。
まず、（１）に記載する発明は、第１ブロック及び第２ブロックに形成された接続突起を、上側接続部材と下側接続部材に備える上側押圧面と下側押圧面で押圧することで、第１ブロックと第２ブロックを結合し、第１流路孔と第２流路孔が連通するので、結合時に第１ブロックの接続突起及び第２ブロックの接続突起又は上側押圧面及び下側押圧面の少なくともどちらか一方に形成されたテーパ面によってスラスト方向とラジアル方向に力が発生し、径方向シールによっても軸方向シールによっても、第１流路孔と第２流路孔との接続部からの漏れを防止することができるので、シール性を確保すると共に設計自由度の高い流体機器モジュールの提供が可能となる。
ここでいうスラスト方向の力とは、第１ブロック及び第２ブロックに備えられる機器取付面に対して垂直に作用する力を指す。また、ラジアル方向の力とは、機器取付面に対して平行に作用する力を指す。
このように、ラジアル方向とスラスト方向の力が接続部に置いて発生することで、クリープ作用によっても漏れが発生しにくい上に、第１ブロックと第２ブロックの間に隙間が生じるようなこともない。
このような構造を採用することで、マニホールドの連数を増やしていっても、特許文献１に示された技術のように一体にするのではなく、下側接続部材と上側接続部材によって各接続部で個々に結合されるので、クリープ作用が発生したとしても、第１流路孔と第２流路孔の接続部分のシール性に変化がない。
【００２３】
また、（２）に記載する発明は、第１ブロック及び第２ブロックの他に継手ブロックを備えることで、接続の自由度を高めることができる。
つまり、第１ブロックの第１側面乃至第４側面の何れの場所にも第２ブロックは接続可能であり、その他の側面に継手ブロックを接続することが可能となり、任意の面に継手を設けることが可能となる。継手を任意の位置の設けることができるので、設計の自由度が上がり、継手に接続する配管長さを短くする等が可能となる。
【００２４】
また、（３）に記載する発明は、第１ブロック及び第２ブロックを貫通する、強度の高い補強カラーを備え、その補強カラーを貫通して締結部材が配置されるので、例えば第１ブロック及び第２ブロックの材質が樹脂のような剛性の低い部材で構成されている場合に、ボルトのような連結部材を用いて締め付けることで発生する締結力や、第１ブロックと第２ブロックの間に備えるシール部材の反発力などによって、第１ブロック及び第２ブロックの変形を防ぐことが出来る。締結部材の締結力やシール部材の反発力の影響によって発生する第１ブロック及び第２ブロックの変形は、第１流路孔及び第２流路孔の接続部分に影響して漏れを生じる虞があるが、補強カラーを用いることで、このような漏れの発生の要因となりうる変形を防ぐことができる。
【００２５】
また、（４）に記載する発明は、ブロック内部に流体制御機器が設けられるので、省スペース化を実現できるスマートな流体機器モジュールの提供が可能となる。
また、（５）に記載する発明は、第１流体制御機器及び第２流体制御機器を取り付けるネジを締結部材が兼ねているので、第１流体制御機器及び第２流体制御機器の下に上側接続部材を配置できる。第１ブロックと第２ブロックを横に並べた場合、各ブロックの上面に取り付けられる部品は、第１流体制御機器、第２流体制御機器、及び上側接続部材であり、最低限この３つの部品を並べるだけの幅が必要になる。しかしながら、本発明により、第１流体制御機器及び第２流体制御機器の下に上側接続部材を配置できるので、マニホールド化した場合に上側接続部材の幅分だけマニホールドの長さが短縮できる。これにより、更なる設備の省スペース化に貢献する。
【００２６】
また、（６）に記載する発明は、下側接続部材が一体的なプレートで構成されているので、部品点数が少なくて済む。
また、（７）に記載する発明は、締結アタッチメントを操作することにより第１ブロックと第２ブロックを接続、解体可能なので、接続、解体にボルト等を必要とせず工具が必要なくなるので、施工性を上げることが可能になる。半導体製造工程は設備の縮小化が進んでいるので、作業スペースが狭いことが多い。したがって施工性及び作業性が向上することで、メンテナンス時に要する時間の短縮が可能になる。
また、締め付け力のバラツキが無くなるので、作業者によって施工がばらつくことなく、同じ締め付け力での施工が可能となり、接続不良の低減が図れる。
【００２７】
また、（８）に記載する発明は、第１流路孔を有する円錐状に形成された接続突起と、第２流路孔を有する円錐状に形成された接続突起を上側接続部材と下側接続部材で挟むことによって、第１ブロックと第２ブロックを接合する構造であるため、第１流路孔及び第２流路孔を接合する部分と、押圧する上側接続部材と下側接続部材との距離が近くなり、第１流路孔及び第２流路孔との接続部のシール性を高めることができる。
【００２８】
また、（９）に記載する発明は、第１ブロックと第２ブロックと第３ブロックを自由に配置して接続することが可能であるため、ブロックを直列にマニホールド化するだけでなく、平面上に配置可能となるので複雑な流路構成の流体機器モジュールの提供が可能となる。この組み合わせは使用者が任意に決定できるので、様々なニーズに対応できる。
【００２９】
また、（１０）に記載する発明は、第１ブロック及び第２ブロックの側面に台形突起を備えており、上側接続部材及び下側接続部材に押圧アーム部を備えているので、第１ブロック及び第２ブロックの上部及び下部に備えられる接続突起だけでなく、側面に備えられる台形突起を、上側接続部材及び下側接続部材によって押さえられ、その結果、例えば第１ブロック及び第２ブロックが樹脂のような比較的剛性の低い部材で構成されていた場合でも、第１ブロックと第２ブロックが離れようとする力が発生して、第１ブロック及び第２ブロックが変形することを防ぐことができ、その結果、第１流路孔と第２流路孔の接続部からの漏れを防止することが可能となる。
【００３０】
また、（１１）に記載する発明は、第１流体機器の接続突起と第２流体機器の接続突起を上側接続部材と下側接続部材とで押さえることで、第１流体機器と第２流体機器が接合する流体機器モジュール接続構造であるので、結合時に第１ブロックの接続突起及び第２ブロックの接続突起又は上側押圧面及び下側押圧面の少なくともどちらか一方に形成されたテーパ面によってスラスト方向とラジアル方向に締結力が発生し、軸方向シール手段と径方向シール手段のどちらでも採用可能となり、設計自由度が高くなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
本発明の一実施の形態である流体機器モジュール、及び流体機器モジュール接続構造について、図面を参照しながら詳細に説明する。
まず、初めに本発明の第１実施例の構成について説明する。
（第１実施例）
図１に第１実施例の流体機器モジュールの斜視図を示す。
また、図２に第１実施例の流体機器モジュールの分解斜視図を、図３は更に分解した状態での流体機器モジュールの分解斜視図を示す。
流体機器モジュール１０は、図１に示すように３つのブロック１１を組み合わせた形で構成されるマニホールドブロックである。
ブロック１１は略正方形のブロック形状であり、上面には第１流体制御弁１６乃至第３流体制御弁１８を取り付けるための、図示しない機器取付面が形成されている。なお、ブロック１１は説明の便宜上３つとも同じ符号を付けているが、全く同じ構造である必要はない。回路設計上、適宜流路を増減させたりすることを妨げない。また、第１流体制御弁１６乃至第３流体制御弁１８は、説明の便宜上、符号を変えているが、同じ機能を果たす流体制御弁であっても構わないし、別の機能を果たすものでも構わない。回路設計上の都合で適宜選択されるべきである。
また、側面には図３に示すように流路孔１１ｂが形成されている。この流路孔１１ｂの上端部と下端部には、ブロック接続突起１１ａが設けられている。
ブロック接続突起１１ａはテーパ面を備えており、ブロック１１を流路孔１１ｂが繋がるように２つ並べた場合に、ブロック接続突起１１ａのテーパ面は他方のブロック接続突起１１ａのテーパ面とで山形を形成する。なお、図示はしていないが、流路孔１１ｂが設けられている面と対向する面にも、流路孔１１ｂが設けられ、その上端部と下端部にはブロック接続突起１１ａが設けられている。
また、流路孔１１ｂの設けられる側面と隣接する側面には継手２０が設けられている。なお、図１乃至図３に示す継手２０は作図上の関係で単純な円筒形状をしている。本明細書に示す継手２０は全て同じ形で表しているが、この部分にはカシメ継手やワンタッチ継手等チューブの材質に合わせた継手を設けても良いし、Ｒｃネジなどを設けて継手をねじ込むタイプとするか、フランジを設けて接続するように構成しても良い。
【００３２】
ブロック１１の隣に並ぶ継手ブロック１２は、継手２０が備えられており、図示しない裏側にもこの継手２０と連通する流路孔１２ｂが設けられている。
継手ブロック１２の備える流路孔１２ｂの上部と下部にはブロック接続突起１１ａと同様の形状をした継手ブロック接続突起１２ａが設けられている。
ブロック１１及び継手ブロック１２は、下側接続部材１４の上に並べられて、上側接続部材１３を介して締結手段である締結ボルト１５で下側接続部材１４に締結されることで、一体の流体機器モジュール１０となる。
上側接続部材１３は、２つのテーパ面で構成されるＶ溝状の上側押圧面１３ａが形成されており、締結ボルト１５が貫通する孔を備えている。
下側接続部材１４は、一枚のプレート状になっており、ブロック１１及び継手ブロック１２が当接する側に複数の下側押圧面１４ｂが形成されている。この下側押圧面１４ｂは２つのテーパ面でＶ溝状に構成されており、その頂部には雌ネジ部１４ａが形成されている。締結ボルト１５は、この雌ネジ部１４ａに締結されることになる。
【００３３】
この上側接続部材１３及び下側接続部材１４は、ブロック１１及び継手ブロック１２よりも剛性のある材質で作られていることが望ましい。上側接続部材１３は、締結ボルト１５の座面が直接接触する部材であり、締結ボルト１５の締結力をブロック１１及び継手ブロック１２に均一に伝える必要があるためである。また、下側接続部材１４は雌ネジ部１４ａが形成される必要があり、締結ボルト１５に引っ張り上げられる形で、ブロック１１及び継手ブロック１２に均一に力を伝える必要があるためである。上側接続部材１３と下側接続部材１４でブロック１１及び継手ブロック１２を均等な力で挟み込むことで、ブロック１１同士、及びブロック１１と継手ブロック１２をしっかりと接合できる。
【００３４】
図４に、第１実施例の流体機器モジュールの断面図を示す。
なお、図４に示す流体機器モジュール１０は、２連となっており、第３流体制御弁１８及び第３流体制御弁１８が取り付けられるブロック１１を省略しているが、第１流体制御弁１６及び第２流体制御弁１７が取り付けられるブロック１１と内部の構造は同じである。
流体機器モジュール１０の内部に形成される流路は、継手ブロック１２に設けられる流路孔１２ｂとブロック１１に設けられる流路孔１１ｂが連通し、隣り合うブロック１１に設けられる流路孔１１ｂ同士が連通して形成される。そして、両端部の継手ブロック１２に設けられた継手２０を連通している。また、ブロック１１の上部には、第１流体制御弁１６乃至第３流体制御弁１８が取り付けられているので、それぞれ連通している。
【００３５】
なお、流路孔１２ｂと流路孔１１ｂの接続部及び流路孔１１ｂ同士の接続部分については、図３０に示すような何れの方式を採用しても良い。
図３０には、接続部分の構造を示したものであり、図３０（ａ）は、Ｏリングを用いた軸方向シールの断面を示し、図３０（ｂ）は、シール部材を用いた軸方向シールの断面を示し、図３０（ｃ）は、Ｏリングを用いた径方向シールの断面を示し、図３０（ｄ）は、環状シールを用いた径方向シールの断面を示している。
図３０（ａ）のＯリング７４を用いた軸方向シールを行う場合は、ブロック１１の側面であって流路孔１１ｂの周囲にＯリング溝を形成して、そのＯリング溝にＯリングを嵌め込み、Ｏリングを潰すようにしてブロック１１同士、あるいはブロック１１と継手ブロック１２を組み合わせることで、ラジアル方向に働くＯリングの弾性力によってシールする方法である。
【００３６】
図３０（ｂ）のシール部材７５を用いた軸方向シールを行う場合は、ブロック１１の側面であって、流路孔１１ｂの周囲にディスク状のシール部材７５の厚みの半分よりも若干浅い凹みを設け、ブロック１１同士、あるいはブロック１１と継手ブロック１２を組み合わせ、ラジアル方向にシール部材７５を潰すようにしてシールする。
このシール部材７５の材質はゴムであっても良いし、ＰＴＦＥの要に柔らかい樹脂であっても構わない。一定の押圧力で潰れることによってシールする機能を有する部材であれば良い。
図３０（ｃ）のＯリング７４を用いた径方向シールを行う場合は、一方のブロック１１の備える流路孔１１ｂの周囲に円筒状の凸部を形成し、円筒状の凸部の外周部にＯリング溝を形成してＯリング７４を嵌め込み、他方のブロック１１の備える流路孔１１ｂの周囲に凸部が嵌合する凹部を形成して、凸部と凹部が組み合わされた際にＯリング７４が径方向に潰れてシールする。
図３０（ｄ）の環状シール７６を用いた径方向シールを行う場合は、ブロック１１の備える流路孔１１ｂの周囲に環状溝を形成し、環状シール７６を嵌め込むことで、環状シール７６は径方向に潰れてシールを行うことができる。
【００３７】
以上に説明した第１実施例の流体機器モジュールの構成によって、以下のような作用、効果を示す。
まず、ブロック１１及び継手ブロック１２を接続するにあたり、上部及び下部に設けられたブロック接続突起１１ａ及び継手ブロック接続突起１２ａが、上側接続部材１３が備える上側押圧面１３ａ及び下側接続部材１４が備える下側押圧面１４ｂによって押圧されることで、ブロック１１及び継手ブロック１２にはスラスト方向及びラジアル方向の押圧力が発生する。
これは、ブロック接続突起１１ａ、継手ブロック接続突起１２ａ、上側押圧面１３ａ及び下側押圧面１４ｂに、テーパ面が設けられているためで、締結ボルト１５を雌ネジ部１４ａに締め付けることで発生するスラスト方向の力は、テーパ面によってスラスト方向及びラジアル方向に分解される。
【００３８】
この時発生するラジアル方向の力によって、例えば図３０（ａ）のようなＯリング７４を用いた軸方向シールを用いる場合でも、Ｏリング７４を有効に潰すことが可能となるため、シールが有効に発揮される。図３０（ｂ）のシール部材７５を用いた場合も同様である。また、図３０（ｃ）及び図３０（ｄ）に示す径方向シールを用いることも可能である。
ブロック１１及び継手ブロック１２を上側接続部材１３及び下側接続部材１４で組みつける場合に発生するスラスト方向の力とラジアル方向の力は、ブロック接続突起１１ａ、継手ブロック接続突起１２ａ、上側押圧面１３ａ及び下側押圧面１４ｂに備えられるテーパ面の角度を変更することで、調整することが可能である。また、この組み付ける際に発生するラジアル方向の力は、ブロック１１同士及びブロック１１と継手ブロック１２を密着する方向に移動させる力となるガイド機能を果たすので、組み付けを容易にする効果もある。このように、径方向シールと軸方向シールの何れのシール手段も採用が可能であるので、設計自由度が広がる。
【００３９】
また、流体機器モジュール１０のシール部材として用いるものが、図３０（ａ）に示したＯリング７４や、図３０（ｂ）に示したシール部材７５であった場合、特許文献１に示すような従来技術では接合面に対して直角に備えるボルトを流路の対角に配置して均一に締めていく必要があるが、第１実施例の方法であれば、上側接続部材１３及び下側接続部材１４を上下に締め付けることでスラスト方向とラジアル方向の力が発生するため、Ｏリング７４又はシール部材７５が所定の位置に設けられていれば、締結ボルト１５を締め付けることで、均一にＯリング７４及びシール部材７５が潰されていくので、良好なシール性が得られるというメリットがある。
【００４０】
また、継手ブロック１２をブロック１１とは別に備えることで、例えば継手２０が破損してしまった場合などに、継手ブロック１２だけで交換が可能になる他、図１乃至図３に示すようにブロック１１の前面に設ける継手２０についても継手ブロック１２を設けて接続するように構成すれば、より設計自由度を広げることが可能となる。
図５に、第１実施例の流体機器モジュールにおいて、多数のブロックを平面上に配列した例の斜視図を示す。
図５に示す流体機器モジュール１０は、ブロック１１を３×３の９個並べ、それぞれに第１流体制御弁１６を備えた状態に構成されている。そして、任意の場所に継手ブロック１２の取付が可能である。ただし、図４に示す流体機器モジュール１０は、取付可能な部分全てに機器と継手ブロック１２を組みつけた状態であり、実際に使用する流体回路がこのような形態になるとは考えにくい。そこで、図６に３×３でブロック１１を並べた状態での流体機器モジュール１０の断面図を示す。
継手ブロック１２、上側接続部材１３、及び下側接続部材１４は、それぞれ図４に示した形状と同等である。ブロック１１についてもほぼ同じであるが、内部に形成される流路がそれぞれ異なる。また、上面に機器取付面を備えず、内部に流路のみが形成されている流路ブロック７７や、上面に機器取付面を備えず、内部に逆止弁７１を備える逆止弁ブロック７３、図示しない圧力センサを取り付ける、センサブロック７２等も備えられているが、基本的には図１に示したブロック１１の外観とほぼ同じ形状をしており、ブロック接続突起１１ａを備えている。
【００４１】
この図６に示すような複雑な流体回路であっても、ブロック１１に継手ブロック１２を取り付けるように構成する流体機器モジュール１０によって実現が可能である。そして、必要に応じて流路ブロック７７や、逆止弁ブロック７３を備えることで、多くのバリエーションを持つ流体機器モジュール１０が構成できる。
しかし、基本的なユニットは、ブロック１１、継手ブロック１２、逆止弁ブロック７３、流路ブロック７７、及び上側接続部材１３、下側接続部材１４等の限られたパーツによって構成されているので、図６のような複雑な流体回路を実現する場合であっても、在庫としてストックされるこれらのパーツに流路の孔等を追加工するだけで良く、短期間で複雑な流体回路を備えた流体機器モジュール１０の制作が可能となる。
なお、第１実施例の下側接続部材１４はプレート状であるため、取り付けるブロック１１の数や配列位置によって複数のパターンを用意する必要はある。
【００４２】
また、第１実施例の流体機器モジュール１０は、基本的にブロック１１の機器取付面側からのアクセスによって、組みつけ及び解体が可能であるため、施工性に優れる。
これは、ブロック１１及び継手ブロック１２は、上側接続部材１３の上面から差し込まれる締結ボルト１５を下側接続部材１４に設けられた雌ネジ部１４ａに締結することで、ブロック１１同士、及びブロック１１と継手ブロック１２を接合しているためである。
このような構造を採っているため、同一方向からのアクセスで接合、解体作業ができる。このように、同一方向からのアクセスでメンテナンスができることは、確保しなければならないメンテナンススペースを小さくするとともに、メンテナンスの時間を短縮することに繋がる。
【００４３】
次に、本発明の第２実施例について説明を行う。
（第２実施例）
図７に、第２実施例の流体機器モジュールの斜視図を示す。また、図８に、第２実施例の流体機器モジュールの分解斜視図を、図９に、図８の分解斜視図をさらに分解した斜視図を示す。
第２実施例の流体機器モジュール１０は、第１実施例の流体機器モジュール１０と基本的な構成は類似している。したがって、異なる部分を中心に説明を行う。なお、同じ構成の部分には同じ符号を付している。
流体機器モジュール１０は、３つのブロック２１を組み合わせた形で構成されるマニホールドブロックである。
上面に第１流体制御弁１６乃至第３流体制御弁１８を取り付ける機器取付面を備えるブロック２１は、側面に流路孔２１ｂを備え、流路孔２１ｂの上部と下部にブロック接続突起２１ａを備えている。ブロック接続突起２１ａには、テーパ面を備えている。
また、隣接する側面には継手２０が設けられる他に、ブロック台形突起２１ｃが備えられている。このブロック台形突起２１ｃの上部と下部には、ブロック接続突起２１ａと同じ角度のテーパ面が設けられている。また、ブロック台形突起２１ｃは継手２０の備えられている側面と対向する側面にも設けられている。
【００４４】
ブロック２１の隣に並ぶ継手ブロック２２には、継手２０が備えられており、図示しない裏側にもこの継手２０と連通する流路２２ｂが設けられている。
継手ブロック２２の備える継手２０の上部と下部にはブロック接続突起２１ａと同様の形状をした継手ブロック接続突起２２ａが設けられている。
そして、ブロック２１に設けられているブロック台形突起２１ｃと対称になるように継手ブロック台形突起２２ｃが設けられている。
上側接続部材２３はコの字型になっており、図示しない２つのテーパ面でＶ溝状に構成される上側押圧面２３ａが設けられる他に、ブロック台形突起２１ｃ及び継手ブロック台形突起２２ｃを押さえるように構成された上側押圧アーム２３ｂを２つ備えている。
下側接続部材２４は、一枚のプレート状になっており、ブロック２１及び継手ブロック２２が当接する側に複数の下側押圧面２４ｂが形成されている。下側押圧面２４ｂは２つのテーパ面でＶ溝状に構成されており、その頂部には、雌ネジ部２４ａが構成されている。締結ボルト１５は、この雌ネジ部２４ａに締結されることになる。
【００４５】
そして、下側接続部材２４には、ブロック２１の備えるブロック台形突起２１ｃ及び継手ブロック２２の備える継手ブロック台形突起２２ｃを押さえるように構成された下側押圧アーム２４ｃを備えている。下側押圧アーム２４ｃは、ブロック２１を３つ組み付ける流体機器モジュール１０である場合には、片側４つ、合計８カ所に設けられる。この下側押圧アーム２４ｃは下側接続部材２４に対して一体的に形成されても良いし、別のパーツとして制作され、組み合わされても良い。
【００４６】
以上に説明した第２実施例の流体機器モジュールの構成によって、以下のような作用、効果を示す。
このような、ブロック２１、継手ブロック２２、上側接続部材２３、及び下側接続部材２４は、第１実施例と同様に組み付けられ流体機器モジュール１０を構成するが、ブロック２１にブロック台形突起２１ｃ、継手ブロック２２に継手ブロック台形突起２２ｃ、上側接続部材２３に上側押圧アーム２３ｂ、下側接続部材２４に下側押圧アーム２４ｃがそれぞれ設けられているので、ブロック２１及び継手ブロック２２の側面に設けられたブロック台形突起２１ｃ及び継手ブロック台形突起２２ｃが押さえられ、ブロック２１の外周全体に締結ボルト１５での締結力が及びやすくなる。
ブロック２１及び継手ブロック２２が、剛性の低い樹脂のような材質でできている場合であって、流体機器モジュール１０内を流れる流体を高い圧力で使用したい場合、第１実施例で示すようにブロック１１同士又はブロック１１と継手ブロック１２の上部及び下部だけで押さえる場合には、流路孔１１ｂの高さとなる中央部で膨らむ方向に力が働き変形する可能性がある。
【００４７】
このような上側接続部材１３と下側接続部材１４の中間辺りでブロック１１及び継手ブロック１２の変形が発生すると、漏れに繋がる虞がある。この様な事態を防ぐために、ブロック２１にブロック台形突起２１ｃ、継手ブロック２２に継手ブロック台形突起２２ｃ、上側接続部材２３に上側押圧アーム２３ｂ、及び下側接続部材２４に下側押圧アーム２４ｃを設けることで、上側接続部材２３と下側接続部材２４の中間辺りでもラジアル方向に力が発生する。
第１実施例と比較して、第２実施例の構成の場合は、形状が複雑になるためにコストがかかることになるが、より漏れが発生する虞を防ぐ効果があるため、そのようなニーズに合わせて対応可能である。
特に半導体製造装置のように、流体に腐食性を有する薬液や、人体に有害な液体等を使う場合は、漏れを防ぐことで設備稼働時の信頼性を高め、薬液が高価なものである場合には、漏れを防ぐことでランニングコストを抑えることが可能となるので、少々イニシャルコストが上がったとしてもメリットがある。
【００４８】
次に、本発明の第３実施例について説明を行う。
（第３実施例）
図１０に、第３実施例の流体機器モジュールの斜視図を示す。また、図１１にその分解斜視図を、図１２に一部分だけ取り外している様子を示す斜視図を示す。
第３実施例の流体機器モジュール１０は、基本的な構成は第１実施例の流体機器モジュール１０と同じである。同じ番号を付した部品は、同じ機能を示すものとする。
第３実施例が第１実施例と異なる点は、下側接続部材１４が、下側接続部材２５と下部プレート２６に分離している点である。下側接続部材２５は、上側接続部材１３に対応して１カ所ずつ用意され、ブロック１１に第１流体制御弁１６乃至第３流体制御弁１８を機器取付ボルト１９で固定するために雌ネジ部を形成した下部プレート２６をブロック１１の下部に用意している。
【００４９】
以上に説明した第３実施例の流体機器モジュールの構成によって、以下のような作用、効果を示す。
このように、下側接続部材２５を個々に設けることで、図１２に示すように、部分的にブロック１１を取り外すことが可能となる。
つまり、第２流体制御弁１７の取り付けられたブロック１１は、第１実施例の流体機器モジュール１０では、ブロック１１の間に設けられるシール材の関係で、端から順に、例えば継手ブロック１２を固定する上側接続部材１３の締結ボルト１５を緩め、第１流体制御弁１６の取り付けられたブロック１１を固定する上側接続部材１３の締結ボルト１５を緩め、場合によっては、第３流体制御弁１８の取り付けられるブロック１１を固定する上側接続部材１３の締結ボルト１５を緩めてから、継手ブロック１２と第１流体制御弁１６の取り付けられたブロック１１を外し、その後、第２流体制御弁１７の取り付けられたブロック１１を外す運びとなる。
【００５０】
しかしながら、第３実施例の流体機器モジュール１０では、第２流体制御弁１７が取り付けられるブロック１１の左右を固定する上側接続部材１３の締結ボルト１５を取り外せば、第２流体制御弁１７が取り付けられたブロック１１を外すことが可能になる。したがって、途中に組みつけられたブロック１１の交換が容易になるというメリットがある。
なお、第３実施例の流体機器モジュール１０の方式であれば、第１実施例の図５に示すような平面的にブロック１１を複数並べるような流体機器モジュール１０を構成する場合にも、メンテナンスが容易となるためメリットが高い。
【００５１】
次に、本発明の第４実施例について説明を行う。
（第４実施例）
図１３に、第４実施例の流体機器モジュールの斜視図を示す。また、図１４にその分解斜視図を示す。
第４実施例の流体機器モジュール１０は、第３実施例の流体機器モジュール１０を、例えばＤＩＮレール等のレール２７に取付可能にしたものである。
レール２７はコの字状の部材の縁にリップが取り付けられたものであり、センサーのコントローラなどを取り付けるのに使われるものと同じタイプのものである。
図１４に示すように、レール２７には、取付部材２８が取り付けられ、取付ネジ２９が取付部材２８に備える貫通孔２８ｂを介して下側接続部材２５に締め付け可能なように、下側接続部材２５には雌ネジ部２５ｂが設けられている。
レール２７に取り付けられる取付部材２８は、固定ネジ２８ａによってレール２７のリップを挟んで固定可能であり、固定ネジ２８ａを緩めた状態では、レール２７上をスライド可能となる。
【００５２】
以上に説明した第４実施例の流体機器モジュールの構成によって、以下のような作用、効果を示す。
第３実施例の流体機器モジュール１０をレール２７に取り付け可能にした第４実施例の流体機器モジュール１０は、設備等に設置する際にレール２７によって壁面取り付け等が容易になるというメリットがある。
図１３及び図１４では図示していないが、レール２７には底部に長孔が設けてあるタイプなども用いることが可能であるし、長孔が無いものでも、穴を開けてボルトで留めることが可能であるので、レール２７を壁面に取り付けた後、取付部材２８を下側接続部材２５に取り付けて、レール２７に固定することが可能である。
このようなレール２７は市販されているので、下側接続部材２５に雌ネジ部２５ｂを設けておくだけで、施工性が上がるというメリットがある。
【００５３】
半導体製造ライン等では、設備の縮小化の要望や、高価な薬液を使用するなどの理由から、配管流路の長さを極力短くしたいという要望が強い。流路の長さが長いと、配管内部に残存する流体のパージをする際に手間がかかる他、配管内部に残存する流体を無駄にしてしまうこととなる。
ブロック１１に第１流体制御弁１６乃至第３流体制御弁１８を取り付けるような方式にすることで、継手や配管を排除し小型化を実現可能とした流体機器モジュール１０であるが、このように小型化された結果、できる限り他の設備に近い場所に流体機器モジュール１０を設置できれば、更に利便性が高くなる。
第４実施例のようにレール２７に取り付け可能とすることで、壁面や天井面などに取り付けが容易になるので、できる限り他の設備に近い場所に流体機器モジュール１０を設置したいという使用者のニーズに応えることができる。
また、第４実施例の流体機器モジュール１０は、固定ネジ２８ａを緩めることで、流体機器モジュール１０が脱落しない状態でレール２７方向に自由度を持たせることが可能となるので、作業時に流体機器モジュール１０を配管から取り外して作業する必要がなくなり、壁面や天井面等に取り付けたままの作業がし易いというメリットがある。
【００５４】
次に、本発明の第５実施例について説明を行う。
（第５実施例）
図１５に、第５実施例の流体機器モジュールの斜視図を示す。また、図１６にその分解斜視図を示す。
第５実施例の流体機器モジュール１０は、第３実施例の流体機器モジュール１０と類似しているが、ブロック１１に対応するブロック３１の形状等が異なる。なお、同じ記号を付したものは同じ機能を示すものとする。
流体機器モジュール１０は、３つのブロック３１を組み合わせた形で構成されるマニホールドブロックである。上面に第１流体制御弁１６乃至第３流体制御弁１８を取り付ける機器取付面を備えるブロック３１は、ブロック接続突起３１ａがブロック３１のボディを一部へこませた状態で設けられている点で、第３実施例のブロック１１と異なる。
【００５５】
上部に設けられるブロック接続突起３１ａは、その頂部がブロック３１の機器取付面の高さと同じになるように掘り下げられて形成されており、下部に設けられるブロック接続突起３１ａも、下部プレート３５が取り付けられる面と同じレベルまで掘り下げられて形成されている。なお、下側接続部材３４には、雌ネジ部は設けられず、貫通孔３４ａが備えられている。また、上側接続部材３３及び下側接続部材３４は、第３実施例の流体機器モジュール１０の備える上側接続部材１３及び下側接続部材１４とは異なり、貫通孔は２カ所ではなく４カ所設けられており、片側２本ずつの機器取付ボルト１９又は締結ボルト１５が貫通できるように構成されている。
そして、組み付けの手順は、図１６に示すように３つのブロック３１及び２つの継手ブロック３２を並べ、上側接続部材３３及び下側接続部材３４を、ブロック接続突起３１ａと継手ブロック接続突起３２ａ、及びブロック接続突起３１ａ同士を押圧するようにセットし、下側接続部材３４の下側に下部プレート３５を、上側接続部材３３の上側から第１流体制御弁１６及び第３流体制御弁１８を配置し、機器取付ボルト１９及び締結ボルト１５で締結することで固定する。
したがって、上側接続部材３３及び下側接続部材３４は、継手ブロック３２とブロック３１を留める端部では、締結ボルト１５と機器取付ボルト１９が貫通し、ブロック３１とブロック３１を接合する部分では、機器取付ボルト１９が貫通することとなる。
【００５６】
以上に説明した第５実施例の流体機器モジュールの構成によって、以下のような作用、効果を示す。
このような、ブロック３１、継手ブロック３２、上側接続部材３３、下側接続部材３４、及び下部プレート３５と、第１流体制御弁１６乃至第３流体制御弁１８によって、第５実施例の流体機器モジュール１０は構成されるが、前述した通り、上側接続部材３３は、ブロック３１及び継手ブロック３２と第１流体制御弁１６乃至第３流体制御弁１８に挟まれ、下側接続部材３４は下部プレート３５とブロック３１及び継手ブロック３２と挟まれるように取り付けられるため、第１実施例乃至第４実施例の流体機器モジュール１０と比べて、第５実施例の流体機器モジュール１０はその幅が短くなる。
【００５７】
つまり、第１流体制御弁１６と第２流体制御弁１７の間に上側接続部材１３が配置される第１実施例等と比較した場合、第１流体制御弁１６のすぐ隣に第２流体制御弁１７が配置できるので、流体機器モジュール１０の小型化に貢献できるのである。
これは、上側接続部材３３及び下側接続部材３４を挟み込んで固定する方式を採用したため、例えば第１流体制御弁１６の隣に上側接続部材３３を挟んで第２流体制御弁１７を並べる必要がなくなり、その分だけ小型化が可能となったためである。
この構成では、とくに直列にブロック３１を並べてマニホールド化する際には有効な手段となる。
なお、第５実施例の形態を更に変化させ、例えば下側接続部材３４にねじ穴を設けることで、下部プレート３５を使用せずに構成することも可能である。この場合は、機器取付ボルト１９を、第１流体制御弁１６乃至第３流体制御弁１８を通して、上側接続部材３３及びブロック３１を貫通し、ねじ穴を設けた下側接続部材３４に締結することで、流体機器モジュール１０として構成される。こうすれば下部プレート３５を減らすことができ、コスト削減に繋がる。
【００５８】
次に、本発明の第６実施例について説明を行う。
（第６実施例）
図１７に、第６実施例の流体機器モジュールの斜視図を示す。
第６実施例の流体機器モジュール１０は、第５実施例の流体機器モジュール１０の考え方を拡張して、図５に示したような多列配置可能なように構成したものである。
流体制御弁１６ａ乃至流体制御弁１８ｃは、説明の都合上便宜的に符号を付しているが、同じものを３×３の９個並べても構わないし、異なる複数の流体制御弁を配置しても構わない。また、必要であれば更に列を増やすことも可能である。
図１８に、第６実施例の流体機器モジュールの斜視図を示す。図１８は図１７の一部を抜き出したもので、説明のために３つのブロックを取り出して説明している。そして、図１９は第６実施例の流体機器モジュールの分解斜視図を、図２０は図１９の分解斜視図を更に分解した斜視図を示す。
【００５９】
第６実施例の図１７に示される流体機器モジュール１０のうち、流体制御弁１６ｂ、流体制御弁１７ｂ、及び流体制御弁１７ｃと、それに対応するブロック３６と、継手ブロック３７、上側接続部材３８、及び下側接続部材３９を抜き出したのが図１８であるが、その基本構成は、第５実施例の流体機器モジュール１０の基本構成と類似している。
つまり、第５実施例の流体機器モジュール１０は、ブロック３１及び継手ブロック３２に、上側接続部材３３及び下側接続部材３４を組み合わせ、上側接続部材３３の上部から第１流体制御弁１６乃至第３流体制御弁１８を組み付けて、機器取付ボルト１９で下部プレート３５に設けられる雌ネジ孔に締結することで固定しているが、第６実施例の流体機器モジュール１０についても、流体制御弁１６ｂ、流体制御弁１７ｂ、及び流体制御弁１７ｃで、上側接続部材３８を挟んで、継手ブロック３７と下側接続部材３９を組み合わせ、一番下に設ける下部プレート３５の設けられた雌ネジ孔に、機器取付ボルト１９で締結する構成となっている。
【００６０】
ただし、上側接続部材３８及び下側接続部材３９は、隣接するブロック３６に備えるブロック接続突起３６ａを押さえられるようになっており、図２０に示すように中央部分は十字に、側面部分はＴ字に、図１７に示すようにコーナー部分はＬ字の形状になっており、Ｖ溝状の上側押圧面３８ａ、及び下側押圧面３９ａが形成され、十字及びＴ字の上側接続部材３８及び下側接続部材３９には４カ所にボルト孔３８ｂ及びボルト孔３９ｂが形成されており、Ｌ字の上側接続部材３８及び下側接続部材３９には３カ所にボルト孔３８ｂ及びボルト孔３９ｂが形成され、機器取付ボルト１９及び締結ボルト１５を通すことが出来る。
第６実施例のブロック３６には、他の実施例と同様にブロック接続突起３６ａが上端部と下端部に備えられている。このブロック接続突起３６ａは８箇所に備えられ、ブロック３６の４面に他のブロック３６又は継手ブロック３７を接続可能である。
ブロック３６の上面には機器取付面が形成され、上側接続部材３８及び下側接続部材３９がはまるように四隅に切り欠きが設けられている。また、図では確認しづらいが、ブロック３６の四隅には機器取付ボルト１９を通すための貫通孔が設けられている。
継手ブロック３７についても、他の実施例と同様の構成となっているが、両端は上側接続部材３８及び下側接続部材３９が取り付けられるように切り欠きがあるので、側面から見ると十字型となっている。この切り欠きがしてある部分に、締結ボルト１５を通すための貫通孔が設けられている。
【００６１】
以上に説明した第６実施例の流体機器モジュールの構成によって、以下のような作用、効果を示す。
第６実施例の流体機器モジュール１０は、第５実施例の流体機器モジュール１０と同様、ブロック間の距離を短縮できるというメリットがある。これは、第５実施例の継手２０の基本構造と類似の構成を備えているため、機器取付ボルト１９によって、継手ブロック３７、上側接続部材３８、及び下側接続部材３９を貫通し、下部プレート３５に締結しているためである。
したがって、流体機器モジュール１０の小型化が可能となり、第１実施例の図５に示す多列の流体機器モジュール１０と同等の作用効果を得ながら、より省スペースに構成することが可能になる。
なお、第１実施例同様に、ブロック３６には図示しない圧力計や逆止弁等が取り付け可能であり、大きな機器の取り付けが可能な場合には、ブロック３６の二つ分のスペース、又は四つ分のスペースを使ったブロックを制作して、その周囲にブロック３６及び継手ブロック３７を取り付ける構成でも良い。
【００６２】
次に、本発明の第７実施例について説明を行う。
（第７実施例）
図２１に、第７実施例の流体機器モジュールの斜視図を示す。また、図２２に、第７実施例の流体機器モジュールの分解斜視図を、図２３に、図２２の分解斜視図を更に分解した斜視図を示す。
第７実施例の流体機器モジュール１０は、第１実施例乃至第５実施例の流体機器モジュール１０とは、その接続構造において異なる。なお、同じ符号が付してある部分は同じ機能を示すものとする。
上面に第１流体制御弁１６乃至第３流体制御弁１８を取り付ける機器取付面を備えるブロック４１は、側面に設けた流路孔４１ｂの周囲に円錐状のブロック接続突起４１ａが設けられている。このブロック接続突起４１ａは外側に向けて面積が広がるように円錐状に形成されていれば良く、例えばブロック４１の側面にねじ込むようにして、別の部材によって設けられても良い。
【００６３】
そして、継手パーツ４２は、ブロック接続突起４１ａと同じ形状の継手パーツ接続突起４２ａ部分と、継手２０部分の２つで構成されている。
図２１乃至図２３には図示されていないが、ブロック接続突起４１ａ又は継手パーツ接続突起４２ａの端面には、シールを行うための例えば図３０（ａ）に示されるようなＯリング溝とＯリング７４が設けられている。図３０（ｂ）に示されるシール部材７５の様なシール手段であっても良い。なお、この構造では、径方向シールを設けることはあまりメリットが大きくないが、ブロック接続突起４１ａ及び継手パーツ接続突起４２ａの外径を大きくすれば、図３０（ｃ）、図３０（ｄ）のような径方向シール手段を設けても良い。
下側接続部材４４は、ブロック４１の備えるブロック接続突起４１ａと、継手パーツ４２の備える継手パーツ接続突起４２ａを押圧可能に、算盤の珠を半割にした状態の下側押圧面４４ｂが形成されている。そして、雌ネジ部４４ａがその両脇に形成されている。
上側接続部材４３は、ブロック４１の備えるブロック接続突起４１ａと、継手パーツ４２の備える継手パーツ接続突起４２ａを押圧可能に、算盤の珠を半割にした状態の図示しない上側押圧面４３ｂが形成されている。この上側押圧面４３ｂは下側押圧面４４ｂとほぼ同じ形状をしている。
【００６４】
上側接続部材４３と下側接続部材４４は、ブロック接続突起４１ａ及び継手パーツ接続突起４２ａを挟み込むことで、図２１に示すように固定される。そして、ブロック４１及び継手パーツ４２は接合されることになる。
なお、図２１に示すように、上側接続部材４３と下側接続部材４４は締結ボルト１５に締め付けられた状態で、上側接続部材４３と下側接続部材４４の合わせ面の部分で若干の隙間ができるように設計され、ブロック４１と継手パーツ４２の接合時にラジアル方向とスラスト方向の力が確実に発生するようになっている。もちろん、規定のトルクで締めた状態で、上側接続部材４３と下側接続部材４４の当接面の隙間が無くなるように設計されても良い。
【００６５】
以上に説明した第７実施例の流体機器モジュールの構成によって、以下のような作用、効果を示す。
第７実施例の流体機器モジュール１０は、流体機器モジュール１０内に形成される流路にブロック接続突起４１ａ及び継手パーツ接続突起４２ａの距離が近くかつ均等に力が発生するように構成されることで、ブロック４１に備える流路孔４１ｂと継手パーツ４２に備える図示しない流路孔４２ｂの接続部からの漏れを防止できるというメリットがある。
このように、ブロック接続突起４１ａ及び継手パーツ接続突起４２ａを円錐形状に形成し、上側接続部材４３の上側押圧面４３ａ及び下側接続部材４４の下側押圧面４４ｂを、ブロック接続突起４１ａ及び継手パーツ接続突起４２ａが接合した状態で押圧可能に構成することで、中心にある流路から押圧面までの距離がほぼ一定となり、その結果、押圧力が均等に接合面に発生するので、均等なシール力が確保できる。
【００６６】
特に図３０（ａ）や図３０（ｂ）に示すような軸方向シールでは、ブロック４１とブロック４１、又はブロック４１と継手パーツ４２の接合面が近づく方向であるラジアル方向の力が均等にかからないと、Ｏリング７４やシール部材７５のようなシール材にかかる力が均等とならず、条件が悪い場合には、力が弱い部分から漏れが発生する虞がある。
半導体製造ラインのように人体に有害な流体や、単価の高い流体を用いる場合には、液体の漏れは極力避ける必要があり、特に流路内に流体を高い圧力で搬送する場合は、漏れが発生する虞が高くなるので、均等なシール力が確保できるメリットが高い。
なお、第７実施例の流体機器モジュール１０の方式であれば、第１実施例の図５に示すような平面的にブロック１１を複数並べるような流体機器モジュール１０を構成する場合にも、メンテナンスが容易となるためメリットが高い。
【００６７】
次に、本発明の第８実施例について説明を行う。
（第８実施例）
図２４は、第８実施例の流体機器モジュールの斜視図を示し、図２５は、第８実施例の流体機器モジュールの分解斜視図を示している。
第８実施例の流体機器モジュール１０の構成は、第３実施例の流体機器モジュール１０の構成とほぼ同じである。したがって、ブロック５１はブロック１１に対応し、継手ブロック５２は継手ブロック１２に対応し、上側接続部材５３は上側接続部材１３に対応し、下側接続部材５４は下側接続部材１４に対応している。
ただし、図２５に示すように、ブロック５１及び継手ブロック５２には、ブロック接続突起５１ａ及び継手ブロック接続突起５２ａの備えるテーパ面にそれぞれ２つずつボルト孔崖制されており、該ボルト孔の中には、補強カラー５５が挿入される。
この補強カラー５５は、ブロック５１及び継手ブロック５２に備えられるボルト孔よりも若干短い長さで、該ボルト孔に隙間無く嵌る寸法で作られている。
【００６８】
補強カラー５５の材質は、ステンレス等の耐食性の高い金属か、比較的剛性が高い樹脂などが望ましい。
そして、ブロック５１及び継手ブロック５２に設けられるボルト孔の寸法も、締結ボルト１５に対しては補強カラー５５が嵌って締結ボルト１５が貫通できる程度に大きく作られている。
なお、第３実施例の上側接続部材１３と異なり、上側接続部材５３には締結ボルト１５が貫通するボルト孔が２カ所ではなく４カ所設けられている。下側接続部材５４もそれに対応して、雌ネジ部が４カ所設けられている。これらは、ブロック５１及び継手ブロック５２に設けられるボルト孔に対応する位置に設けられている。
【００６９】
以上に説明した第８実施例の流体機器モジュールの構成によって、以下のような作用、効果を示す。
ブロック５１及び継手ブロック５２のボルト孔に挿入される補強カラー５５は、ブロック５１及び継手ブロック５２の変形を防止する役割を果たす。
ブロック５１及び継手ブロック５２は、上側接続部材５３及び下側接続部材５４にブロック接続突起５１ａ及び継手ブロック接続突起５２ａを上下から押さえられて組み付けられる。したがって、ブロック５１及び継手ブロック５２が比較的剛性の低い樹脂のような材料を用いて作られている場合、ブロック５１同士又はブロック５１と継手ブロック５２の間に設けられるＯリング７４又はシール部材７５等の軸方向シール部材によって、ブロック５１同士又はブロック５１と継手ブロック５２の接合面から引き離そうとする力が働く。
また、流体機器モジュール１０の中に形成される流路を流れる流体の温度変化がある場合にはクリープ作用によって、さらに接合面から引き離そうとする方向に変形してしまう虞がある。
このような変形が起こると、Ｏリング７４又はシール部材７５の様な軸方向シール部材は、流路を中心としては位置されるので結果的に流路部分のシール性が最も弱くなることとなる。
これを防ぐためには、第２実施例や第７実施例に示したように、外周全体を押圧する手法の方がより確実であるが、加工コストがかかるという問題もある。
【００７０】
しかし第８実施例では、ブロック５１及び継手ブロック５２に補強カラー５５を挿入することで、上側接続部材５３と下側接続部材５４の中間辺り、つまり内部に流路が形成される付近で発生する、ブロック５１同士及びブロック５１と継手ブロック５２が接続部から離れようとする力に対して、剛性の高い補強カラー５５に力がかかることになり、その結果変形を抑制することが可能になる。すなわち補強カラー５５は、ブロック５１及び継手ブロック５２のラジアル方向への変形に対する補強となる。
このような効果は、ブロック５１又は継手ブロック５２に設けられる流路が上側接続部材５３と下側接続部材５４の中間辺りに形成されていない場合にも有効である。
このようにブロック５１及び継手ブロック５２に補強カラー５５を挿入することは、比較的加工が容易に済むこともあって安価に実施が可能である。
なお、第８実施例の流体機器モジュール１０は、図５に示したように平面上にブロック１１を配置して複雑な流路を形成する流体機器モジュール１０にも対応することができる。
また、第８実施例に示す補強カラー５５を第５実施例のブロック３１に挿入できるように構成しても、同様の効果が得られる。
【００７１】
次に、本発明の第９実施例について説明を行う。
（第９実施例）
図２６は、第９実施例の流体機器モジュールの斜視図を示している。また、図２７は第９実施例の流体機器モジュールの分解斜視図を示している。
第９実施例の流体機器モジュール１０は、第３実施例の流体機器モジュール１０とほぼ構成は同じであるが、上側接続部材１３及び下側接続部材１４の代わりに締結アタッチメント６０を使用している点で異なる。なお、同じ記号が付してあるものに関しては、同じ機能を示すものとする。
【００７２】
図２８は、締結アタッチメントの斜視図を示している。また、図２９は、締結アタッチメントの変形例の斜視図を示している。
締結アタッチメント６０は、上側接続部材１３に対応する上側接続部材６１と、下側接続部材１４に対応する下側接続部材６２を備えており、上側接続部材６１の上側にバネ６４を挟んで受圧プレート６３が配置されている。そして、受圧プレート６３の上部には、連結プレート６５が配置されており、連結プレート６５には、貫通する２本の連結ロッド６６が備えられている。この連結ロッド６６は、受圧プレート６３、上側接続部材６１を貫通して、下側接続部材６２に接続されている。連結プレート６５には、レバー６７がヒンジによって回動可能に取り付けられている。
【００７３】
図２７に示されるように、この締結アタッチメント６０は、レバー６７が立った状態では上側接続部材６１と下側接続部材６２によってブロック１１同士及びブロック１１と継手ブロック１２を接合し、レバー６７が寝た状態ではブロック１１同士及びブロック１１と継手ブロック１２を解体できるように構成されている。
これは、連結プレート６５にヒンジによって回動可能に取り付けられたレバー６７の一端が、テコの原理により寝た状態から立った状態になると受圧プレート６３を押すこととなり、受圧プレート６３の下部に備えるバネ６４が上側接続部材６１を押圧する。一方、連結プレート６５を貫通する連結ロッド６６は、下側接続部材６２に連結されており、連結ロッド６６は連結プレート６５側にストッパーを持つ構造となっているので、上側接続部材６１と下側接続部材６２が近づくという作用によって実現されるものである。
【００７４】
なお、図２９に示したような、レバー６７がＬ型になったＬ型レバー６８を備えていても良い。
締結アタッチメント６０はＬ型レバー６８をレバー６７の代わりに備えることで、レバーが寝た状態でブロック１１同士及びブロック１１と継手ブロック１２を接合し、立った状態で解体できる。
このように締結アタッチメント６０にＬ型レバー６８を採用することで、流体機器モジュール１０に物があたるなど、間違って流体機器モジュール１０を解体してしまうようなことが無くなる効果がある。
【００７５】
以上に説明した第９実施例の流体機器モジュールの構成によって、以下のような作用、効果を示す。
流体機器モジュール１０の接合を締結アタッチメント６０によって行っているため、第３実施例と同等の効果がある他、接合、及び解体を締結アタッチメント６０のレバー６７又はＬ型レバー６８を手動で直接操作することで行うことができ、ネジを操作する工具を用いる必要がなくなるので、施工性が高くなる。
半導体製造工程は設備の縮小化が進んでいるので、作業スペースが狭いことが多い。したがって施工性及び作業性が向上することで、メンテナンス時に要する時間の短縮が可能となるというメリットがある。
【００７６】
なお、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。
例えば、第１実施例乃至第９実施例に記載した、上側接続部材に形成される上側押圧面、下側接続部材に形成される下側押圧面、ブロックに形成されるブロック接続突起、継手ブロックに形成される継手ブロック接続突起は、何れもテーパ面として表しているが、上側接続部材に形成される上側押圧面、下側接続部材に形成される下側押圧面、又はブロックに形成されるブロック接続突起、継手ブロックに形成される継手ブロック接続突起の何れか一方はテーパ面でなくても成り立つ。つまり、一方が他方をガイドする機能をテーパ面で実現しているため、片側が単純な突起であり、片側がテーパ面であっても、同様の働きをすると考えられる。もちろん、それぞれを構成する材質の表面の硬度や、摺動抵抗によっても考慮して、スラスト方向の力がラジアル方向とスラスト方向の両方の力に分解されるような形で実現できればよい。
【００７７】
また、例えば第１実施例のブロック１１には、継手２０を設けている他、継手ブロック１２によって継手２０を接続している状態になっているが、このような継手２０の設ける位置に関しては適宜変更することを妨げない。図５又は図６に示すようにブロック１１を配置するために、ブロック１１に継手２０を設けずに全面に継手ブロック１２が組み付けることが可能なように構成しても良いし、ブロック１１の側面に流路孔１１ｂが無い面同士で組み付けることも妨げない。継手２０をブロック１１に直接設けることで、汎用性は失われるが省スペースに構成することが可能である。したがって、使用者の利便性を考慮してこれらの配置は適宜判断されるべきである。このような継手２０を設ける位置については、第３実施例、第４実施例、第５実施例、第８実施例、第９実施例の何れにも適用可能である。第２実施例、第７実施例については上側接続部材及び下側接続部材の形状の制約があるため、この点に留意する必要がある。
【００７８】
また、第１実施例乃至第９実施例のいずれも説明の都合上、締結ボルト１５及び機器取付ボルト１９がむき出しの状態で示しているが、これらのボルト類を樹脂で構成したり、必要な部分にライニング処理を施したものを使用したりすることを妨げない。流体機器モジュール１０を使用する環境や使用する流体によっては、使用雰囲気が腐食性を示すことがあり、ステンレスやチタンなど耐食性の高い金属を用いても腐食してしまう場合もあるが、このような対策をすれば使用可能となる。また第９実施例の締結アタッチメント６０についても、同様の処理をすることを妨げない。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】本発明の第１実施例に係る流体機器モジュールの斜視図を示す。
【図２】本発明の第１実施例に係る流体機器モジュールについて図１を分解した分解斜視図を示す。
【図３】本発明の第１実施例に係る流体機器モジュールについて図１を更に分解した分解斜視図
【図４】本発明の第１実施例に係る流体機器モジュールを２連にした状態の断面図を示す。
【図５】本発明の第１実施例に係る流体機器モジュールにおいて、多数のブロックを平面上に配列した例の指図を示す。
【図６】本発明の第１実施例に係る流体機器モジュールにおいて、多数のブロックを平面上に配列し、複雑な流体回路を形成した例の断面図を示す。
【図７】本発明の第２実施例に係る流体機器モジュールの斜視図を示す。
【図８】本発明の第２実施例に係る流体機器モジュールについて図７を分解した分解斜視図を示す。
【図９】本発明の第２実施例に係る流体機器モジュールについて図７を更に分解した分解斜視図を示す。
【図１０】本発明の第３実施例に係る流体機器モジュールの斜視図を示す。
【図１１】本発明の第３実施例に係る流体機器モジュールについて図１０を分解した分解斜視図を示す。
【図１２】本発明の第３実施例に係る流体機器モジュールについて図１０の真ん中のブロックを取り外した分解斜視図を示す。
【図１３】本発明の第４実施例に係る流体機器モジュールの斜視図を示す。
【図１４】本発明の第４実施例に係る流体機器モジュールについて図１３を分解した分解斜視図を示す。
【図１５】本発明の第５実施例に係る流体機器モジュールの斜視図を示す。
【図１６】本発明の第５実施例に係る流体機器モジュールについて図１５を分解した分解斜視図を示す。
【図１７】本発明の第６実施例に係る流体機器モジュールの斜視図を示す。
【図１８】本発明の第６実施例に係る流体機器モジュールうち、一部を抜き出した状態での斜視図を示す。
【図１９】本発明の第６実施例に係る流体機器モジュールについて図１８を分解した分解斜視図を示す。
【図２０】本発明の第６実施例に係る流体機器モジュールについて図１９を更に分解した分解斜視図を示す。
【図２１】本発明の第７実施例に係る流体機器モジュールの斜視図を示す。
【図２２】本発明の第７実施例に係る流体機器モジュールについて図２１を分解した分解斜視図を示す。
【図２３】本発明の第７実施例に係る流体機器モジュールについて図２１を更に分解した分解斜視図を示す。
【図２４】本発明の第８実施例に係る流体機器モジュールの斜視図を示す。
【図２５】本発明の第８実施例に係る流体機器モジュールについて図２４を分解した分解斜視図を示す。
【図２６】本発明の第９実施例に係る流体機器モジュールの斜視図を示す。
【図２７】本発明の第９実施例に係る流体機器モジュールについて図２６を分解した分解斜視図を示す。
【図２８】本発明の第９実施例に係る締結アタッチメントの斜視図を示す。
【図２９】本発明の第９実施例に係る締結アタッチメントの別の例の斜視図を示す。
【図３０】（ａ）本発明の実施例に係るＯリングを用いた軸方向シールの構造断面図を示す。（ｂ）本発明の実施例に係るシールゴムを用いた軸方向シールの構造断面図を示す。（ｃ）本発明の実施例に係るＯリングを用いた径方向シールの構造断面図を示す。（ｄ）本発明の実施例に係る環状シールを用いた径方向シールの構造断面図を示す。
【符号の説明】
【００８０】
１０      流体機器モジュール
１１      ブロック
１１ａ      ブロック接続突起
１１ｂ      流路孔
１２      継手ブロック
１２ａ      継手ブロック接続突起
１２ｂ      流路孔
１３      上側接続部材
１３ａ      上側押圧面
１４      下側接続部材
１４ａ      雌ネジ部
１４ｂ      下側押圧面
１５      締結ボルト
１６      第１流体制御弁
１７      第２流体制御弁
１８      第３流体制御弁
１９      機器取付ボルト
２０      継手
【図１】
2008082358.tif 000003
【図２】
2008082358.tif 000004
【図３】
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【図４】
2008082358.tif 000006
【図５】
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【図６】
2008082358.tif 000008
【図７】
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【図８】
2008082358.tif 000010
【図９】
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【図１０】
2008082358.tif 000012
【図１１】
2008082358.tif 000013
【図１２】
2008082358.tif 000014
【図１３】
2008082358.tif 000015
【図１４】
2008082358.tif 000016
【図１５】
2008082358.tif 000017
【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
2008082358.tif 000020
【図１９】
2008082358.tif 000021
【図２０】
2008082358.tif 000022
【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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