(57)【要約】      （修正有）【課題】電極間寸法の微細化が進んでも弾力性が低下せず、被検査体のバンプ形状高さのバラツキを吸収でき、正確な位置合せもでき、小押圧力の場合にも電気的導通を得ることができ、永久変形を生じさせる座屈の発生もない耐久性の良好な異方導電性コネクターを提供する。【解決手段】第１の異方導電性シート層２０Ａと検査用回路基板側に配置される第２の異方導電性シート層２０Ｂと、第１、第２の異方導電性シート層２０Ａ，２０Ｂ間に配置される絶縁性のシート状スペーサ２０Ｃと、から構成され、第１の異方導電性シート層２０Ａと、第２の異方導電性シート層２０Ｂとは、それぞれ厚さ方向に弾性導電路２１が突出して形成され、これらの各弾性導電路の突出部分２１ａがシート状スペーサ２０Ｃの貫通孔２３内に挿入された状態で、第１の異方導電性シート層２０Ａと、第２の異方導電性シート層２０Ｂと、シート状スペーサ２０Ｃとが一体的に組み付けされている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査体の電気的特性を検査するための異方導電性コネクターであって、
検査対象となる被検査体側に配置される第１の異方導電性シート層と、検査用回路基板側に配置される第２の異方導電性シート層と、前記第１の異方導電性シート層および前記第２の異方導電性シート層間に配置される絶縁性のシート状スペーサと、から構成され、
前記第１の異方導電性シート層と、前記第２の異方導電性シート層とは、それぞれ厚さ方向に弾性導電路が突出して形成され、これらの各弾性導電路の突出部分が前記シート状スペーサの貫通孔内に挿入された状態で、前記第１の異方導電性シート層と、前記第２の異方導電性シート層と、前記シート状スペーサとが一体的に組み付けされていることを特徴とする異方導電性コネクター。
【請求項２】
被検査体の電気的特性を検査するための異方導電性コネクターであって、
検査対象となる被検査体側に配置される第１の異方導電性シート層と、検査用回路基板側に配置される第２の異方導電性シート層と、前記第１の異方導電性シート層および前記第２の異方導電性シート層間に配置される絶縁性のシート状スペーサと、前記シート状スペーサの裏面側に固設された導電性接点部材と、から構成され、
前記第１の異方導電性シート層と、前記第２の異方導電性シート層とは、それぞれ厚さ方向に弾性導電路が突出して形成されているとともに、前記第１の異方導電性シート層における弾性導電路あるいは前記第2の異方導電性シートにおける弾性導電路のいずれか一
方の弾性導電路の突出部分が、前記シート状スペーサの貫通孔内に挿入された際に、前記第１の異方導電性シート層の前記突出部分と、前記第２の異方導電性シート層の前記突出部分とが、前記導電性接点部材を介して対向配置されていることを特徴とする異方導電性コネクター。
【請求項３】
前記シート状スペーサの裏面側に固設された前記導電性接点部材が金属板よりなることを特徴とする請求項２に記載の異方導電性コネクター。
【請求項４】
前記導電性接点部材を支持する前記シート状スペーサの支持領域部分が当該シート状スペーサの厚さ方向に変位可能に形成されていることを特徴とする請求項３に記載の異方導電性コネクター。
【請求項５】
前記シート状スペーサにおける前記支持領域部分に、スリットが形成されることにより、このスリットの周囲が厚さ方向に変位可能に形成されていることを特徴とする請求項４に記載の異方導電性コネクター。
【請求項６】
前記シート状スペーサが、２枚の板材から構成され、この第１の板材と第２の板材との間に前記導電性接点部材が配置されていることを特徴とする請求項２〜５のいずれか１項に記載の異方導電性コネクター。
【請求項７】
被検査体側に配置され弾性導電路が厚み方向に突出して形成された第１の異方導電性シート層と、
被検査体側に配置され弾性導電路が厚み方向に突出して形成された第２の異方導電性シート層との間に、貫通孔が形成された絶縁性のシート状スペーサを配置するに際し、
前記シート状スペーサの前記貫通孔内に、前記異方導電性シート層から突出された弾性導電路を両側から突き合わせるように挿入し、前記シート状スペーサの厚さおよび前記弾性導電路の長さを適宜調整することにより、前記弾性導電路の変形量が調整されることを特徴とする異方導電性コネクターを用いた被検査体の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、ウエハ、ＩＣ基板などの回路素子相互間の電気的接続やプリント基板の検査装置におけるコネクターとして好ましく用いられる異方導電性コネクターおよびこの異方導電性コネクターを用いた被検査体の検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
異方導電性シートとして、例えば厚み方向にのみ導電性を示すもの、または厚み方向に加圧されたときに厚み方向にのみ導電性を示す加圧導電性導電部を有するものが知られている。これらはハンダ付けあるいは機械的嵌合などの手段を用いずにコンパクトな電気的接続を達成することが可能であること、シート材料がエラストマーなどの弾性体である場合は機械的な衝撃やひずみを吸収してソフトな接続が可能であることなどの特長を有する。
【０００３】
このため、このような特長を利用して、例えば電子計算機、電子式デジタル時計、電子カメラ、コンピューターキーボードなどの分野において、回路素子、例えばプリント回路基板とリードレスチップキャリアー、液晶パネルなどとの相互間の電気的な接続を達成するためのコネクターとして広く用いられている。
【０００４】
また、プリント基板などの回路基板の電気的検査においては、検査対象である回路基板の一面に形成された被検査電極と、検査用回路基板の表面に形成された接続用電極との電気的な接続を達成するために、回路基板の被検査電極領域と検査用回路基板の接続用電極領域との間に、コネクターとして、異方導電性シートを介在させることが行われている。
【０００５】
例えば、図９に示したように、検査対象であるウエハ、ＩＣ基板などの被検査体１と検査用回路基板５との間に、異方導電性コネクター１０を配置し、被検査体１を加圧することにより、この被検査体１を異方導電性コネクター１０に当接させるとともに、この状態から検査用回路基板５に電気信号を供給し、検査用回路基板５の検査用電極６から異方導電性コネクター１０および被検査体１に送った後、再びその電気信号が異方導電性コネクター１０を通って検査用回路基板５に戻ることにより、被検査体１の回路を検査している。
【０００６】
従来、このような電気的検査に使用される異方導電性シートとしては、種々の構造のものが知られており、例えば、特許文献１（特開昭５１−９３３９３号公報）等には、金属粒子をエラストマー中に均一に分散して得られる異方導電性シート（以下、これを「分散型異方導電性シート」という）が開示され、また、特許文献２（特開昭５３−１４７７７２号公報）等には、導電性磁性体粒子をエラストマー中に不均一に分布させることにより、厚み方向に伸びる多数の導電路形成部と、これらを相互に絶縁する絶縁部とが形成されてなる異方導電性シート（以下、これを「偏在型異方導電性シート」という）が開示され、更に、特許文献３（特開昭６１−２５０９０６号公報）等には、導電路形成部の表面と絶縁部との間に段差が形成された偏在型異方導電性シートが開示されている。
【０００７】
そして、偏在型異方導電性シートは、回路基板等の電極パターンと対掌のパターンに従って導電路形成部が形成されているため、分散型異方導電性シートに比較して、接続すべき電極が小さいピッチで配置されている回路基板などに対しても電極間の電気的接続を高い信頼性で達成することができる点で有利である。
【０００８】
ところで、近年、表面実装LSIや電子回路基板においては、電極寸法や電極間寸法のさ
らなる微細化、高密度化が進み、これに対応して異方性導電性シートも導電部の形成等の微細化が求められるようになってきた。このような微細化が進むことにより、異方性導電性シートにおいては、弾性体の面積と導通部との面積比が小さくなり、歪みに対しての弾性体が支える面積当たりの荷重負荷が大きくなってしまい、弾力性が低下する。
【０００９】
また、異方性導電シートと接する被検査体１の被検査電極２のバンプ形状も高さ方向に対してある程度のバラツキがある。このためバンプ形状によっては部分的に高い歪みを受ける部分があり、異方性導電シートには該バンプ形状の高さのバラツキを充分に吸収できる弾性を有することが好ましい。
【００１０】
また、従来の偏在型異方導電性シートは、シリコーンゴムなどを基材とするものであるが、これと接続される回路基板や半導体素子等は、ガラス繊維含有エポキシ樹脂や銅などの金属板やシリコンなどであり、両者の熱膨張係数が異なるため、温度変化により両者の電極位置にずれが生じ、特に、押圧力が小さい場合には電気的導通が得られないことがある。このような問題は、電極間隔が狭く、微細な電極パターンになるほど顕著になる。
【００１１】
一方、このような問題を解決するため、本出願人により、例えば、特許文献４（特開２００１−９３５９９号公報）が提供されている。この特許文献４では、図１０に示したように、被検査体３と異方導電性シート７との間に、貫通孔が形成された絶縁性のシート状スペーサ９を介装し、このシート状スペーサ９の貫通孔１１に対し、一方側から被検査体３に突出形成された突起電極３ａを挿入し、他方側から異方導電性シート７に突出形成された導電路形成部７ａを挿入し、互いの先端部を貫通孔内で当接させている。
【特許文献１】特開昭５１−９３３９３号公報
【特許文献２】特開昭５３−１４７７７２号公報
【特許文献３】特開昭６１−２５０９０６号公報
【特許文献４】特開２００１−９３５９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
ところで、特許文献４のように、突起電極３ａおよび導電路形成部７ａを直接スペーサ９の貫通孔１１内に挿入する場合は、突起電極３と導電路形成部７ａとの位置合わせが困難になることから、異方導電性シートの厚さを十分に厚く設定することが出来なかった。また、寸法精度を高く設定しないと、スペーサ９による加圧時の変形量を調整することが困難で被検査体３側から加圧された場合に、導電路形成部７ａが横方向に座屈し、そのまま永久変形を生じさせてしまう虞があった。
【００１３】
本発明はこのような従来の実情に鑑み、検査対象の電気的特性を検査するにあたり、電極間寸法の微細化が進んで弾性体が支える面積当たりの荷重負荷が大きくなっても弾力性が低下することがなく、また被検査体のバンプ形状の高さのバラツキを充分に吸収することができ、さらには微細化が進んだ被検査体の電極位置と異方導電性シートの電極位置とを正確に位置合わせすることができ、加えて押圧力が小さい場合にも電気的導通を得ることができ、さらには異方導電性シートの弾性導電路に永久変形を生じさせる座屈の発生もなく、耐久性の良好な異方導電性コネクターを提供することを目的としている。
【００１４】
また、本発明は、この異方導電性コネクターを用いた被検査体の検査方法を提供すること目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明に係る異方導電性コネクターは、
被検査体の電気的特性を検査するための異方導電性コネクターであって、
検査対象となる被検査体側に配置される第１の異方導電性シート層と、検査用回路基板側に配置される第２の異方導電性シート層と、前記第１の異方導電性シート層および前記第２の異方導電性シート層間に配置される絶縁性のシート状スペーサと、から構成され、
前記第１の異方導電性シート層と、前記第２の異方導電性シート層とは、それぞれ厚さ方向に弾性導電路が突出して形成され、これらの各弾性導電路の突出部分が前記シート状スペーサの貫通孔内に挿入された状態で、前記第１の異方導電性シート層と、前記第２の異方導電性シート層と、前記シート状スペーサとが一体的に組み付けされていることを特徴としている。
【００１６】
このような構成の異方導電性コネクターによれば、スペーサの厚さを適宜選択することができるので、十分な厚さを確保することができる。
また、本発明に係る被検査体の電気的特性を検査するための異方導電性コネクターは、
被検査体の電気的特性を検査するための異方導電性コネクターであって、
検査対象となる被検査体側に配置される第１の異方導電性シート層と、検査用回路基板側に配置される第２の異方導電性シート層と、前記第１の異方導電性シート層および前記第２の異方導電性シート層間に配置される絶縁性のシート状スペーサと、前記シート状スペーサの裏面側に固設された導電性接点部材と、から構成され、
前記第１の異方導電性シート層と、前記第２の異方導電性シート層とは、それぞれ厚さ方向に弾性導電路が突出して形成されているとともに、前記第１の異方導電性シート層における弾性導電路あるいは前記第2の異方導電性シートにおける弾性導電路のいずれか一
方の弾性導電路の突出部分が、前記シート状スペーサの貫通孔内に挿入された際に、前記第１の異方導電性シート層の前記突出部分と、前記第２の異方導電性シート層の前記突出部分とが、前記導電性接点部材を介して対向配置されていることを特徴としている。
【００１７】
このような構成の異方導電性コネクターによれば、スペーサの厚さを適宜選択することができるとともに、被検査体側からの押圧荷重が小さい場合にも、導電性接点部材を介して、第１の異方導電性シート層から突出形成された弾性導電路と、第２の異方導電性シート層から突出形成された弾性導電路との安定した電気的接続を実現することができ、これにより、弾性導電路と弾性導電路との間の接触安定性が十分に高くなり、弾性導電路の座屈、損傷、つぶれ、または永久変形になり得る小変形などを防ぐことができ、高い耐久性を得ることができる。
さらに、本発明は、前記シート状スペーサの裏面側に固設された前記導電性接点部材が金属板よりなることが好ましい。
【００１８】
このような構成であれば、異方導電性コネクターの弾性導電路の例えば歪みなどの異常変形の発生を防止することができる。
また、本発明は、前記導電性接点部材を支持する前記シート状スペーサの支持領域部分が当該シート状スペーサの厚さ方向に変位可能に形成されていることが好ましい。
【００１９】
このような構成であれば、導電性接点部材と弾性導電路との接触を確実に行うことができる。
ここで、前記シート状スペーサにおける前記支持領域部分に、スリットが形成されることにより、このスリットの周囲が厚さ方向に変位可能に形成されていることが好ましい。
【００２０】
このような構成であれば、支持領域部分の変形を容易に実現することができる。
また、本発明では、前記シート状スペーサが、２枚の板材から構成され、この第１の板材と第２の板材との間に前記導電性接点部材が配置されていても良い。
【００２１】
このような構成であれば、第１の異方導電性シート側の弾性導電路と、第２の異方導電
性シート側の弾性導電路とを、２枚の板材の中央位置に配置することができるので、位置決めを正確に行うことができる。
【００２２】
また、本発明に係る異方導電性コネクターを用いた被検査体の検査方法は、
被検査体側に配置され弾性導電路が厚み方向に突出して形成された第１の異方導電性シート層と、
被検査体側に配置され弾性導電路が厚み方向に突出して形成された第２の異方導電性シート層との間に、貫通孔が形成された絶縁性のシート状スペーサを配置するに際し、
前記シート状スペーサの前記貫通孔内に、前記異方導電性シート層から突出された弾性導電路を両側から突き合わせるように挿入し、前記シート状スペーサの厚さおよび前記弾性導電路の長さを適宜調整することにより、前記弾性導電路の変形量が調整されることを特徴としている。
【００２３】
このような検査方法によれば、弾性導電路の変形量を適宜に設定することができるので、正確な検査を行いつつ耐久性の向上に寄与することができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明に係る異方導電性コネクターによれば、スペーサを介在させることにより、全体の厚さを十分に厚く設定することができる。また、スペーサの厚さを調整することにより加圧時の変形量を調整することができる。さらに、スペーサの貫通孔の内壁面により、弾性導電路の変形量を規制することができる。これにより、繰り返し使用した場合の耐久性を向上させることができる。さらに、シート状スペーサの貫通孔の裏面に導電性接点部材を固設した場合は、小さい加圧力で検査が行われたとしても、電気的接続が容易となるので、正しい検査を行うことができる。
【００２５】
さらに、本発明に係る異方導電性コネクターを用いた検査方法によれば、異方導電性コネクターを最も好ましい厚さに調整することが可能であるので、正しい検査を実施することができるのは勿論のこと、弾性導電路の変形量を規制することができることから、繰り返し使用した場合の耐久性が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明に係る異方導電性コネクターおよびこの異方導電性コネクターを用いた被検査体の検査方法について図面を参照しながら説明する。
図１は本発明の一実施例に係る異方導電性コネクター２０の平面図、図２は図１のＡ−Ａ線方向の部分拡大断面図である。
【００２７】
本実施例の異方導電性コネクター２０は、図２に示したように、第１の異方導電性シート層２０Ａと、第２の異方導電性シート層２０Ｂと、これら第１、第２の異方導電性シート層との間に配置される絶縁性のシート状スペーサ２０Ｃとから構成されている。
【００２８】
第１の異方導電性シート層２０Ａと、第２の異方導電性シート２０Ｂとは同様に形成されているので、以下に、第１の異方導電性シート層２０Ａを例に説明する。
この異方導電性シート２０Ａは、図１に示したように、厚さ方向に延びる複数の円柱状の弾性導電路２１と、これらの弾性導電路２１を相互に絶縁する絶縁部１５と、絶縁部１５を支持する板状の支持体１７とから構成され、全体として矩形シート状に形成されている。弾性導電路２１には、磁性を示す導電性粒子Ｐが含有され、この弾性導電路２１は、厚み方向に加圧されたときに導通性が示される。また図１に示した例では、複数の弾性導電路２１のうち、例えば、検査対象となるウエハ、ＩＣ基板などの被検査電極に電気的に接続される範囲が有効導電路１２とされ、接続対象電極に接続されない部分が無効導電路１３とされている。そして、有効導電路１２は、接続対象となる被検査電極のパターンに
対応して配置されているとともに、弾性導電路２１は、図２に示したように、厚み方向両側にそれぞれ突出部２１ａが形成されている。
【００２９】
絶縁部１５は、個々の弾性導電路２１の周囲を取り囲むよう一体的に形成されており、これにより全ての弾性導電路２１は、絶縁部１５によって相互に絶縁された状態となっている。
【００３０】
導電性粒子Ｐを含有する基材および絶縁部１５の形成材料としては、種々のものを用いることができ、その具体例としては、ポリブタジエンゴム、天然ゴム、ポリイソプレンゴム、スチレン−ブタジエン共重合体ゴム、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体ゴムなどの共役ジエン系ゴムおよびこれらの水素添加物、スチレン−ブタジエン−ジエンブロック共重合体ゴム、スチレン−イソプレンブロック共重合体などのブロック共重合体ゴムおよびこれらの水素添加物、クロロプレン、ウレタンゴム、ポリエステル系ゴム、エピクロルヒドリンゴム、シリコーンゴム、エチレン−プロピレン共重合体ゴム、エチレン−プロピレン−ジエン共重合体ゴムなどが挙げられる。以上において、得られる異方導電性シートに耐候性が要求される場合には、共役ジエン系ゴム以外のものを用いることが好ましく、特に、成形加工性および電気特性の観点から、シリコーンゴムを用いることが好ましい。
【００３１】
導電性粒子Ｐの具体例としては、鉄、コバルト、ニッケルなどの磁性を示す金属の粒子若しくはこれらの合金の粒子またはこれらの金属を含有する粒子、またはこれらの粒子を芯粒子とし、当該芯粒子の表面に金、銀、パラジウム、ロジウムなどの導電性の良好な金属のメッキを施したもの、あるいは非磁性金属粒子若しくはガラスビーズなどの無機物質粒子またはポリマー粒子を芯粒子とし、当該芯粒子の表面に、ニッケル、コバルトなどの導電性磁性体のメッキを施したもの、あるいは芯粒子に、導電性磁性体および導電性の良好な金属の両方を被覆したものなどが挙げられる。これらの中では、ニッケル粒子を芯粒子とし、その表面に金や銀などの導電性の良好な金属のメッキを施したものを用いることが好ましく、特に、金および銀の両方が被覆されているものが好ましい。芯粒子の表面に導電性金属を被覆する手段としては、特に限定されるものではないが、例えば化学メッキまたは無電解メッキにより行うことができる。
【００３２】
第１の異方導電性シート２０Ａ、第２の異方導電性シート２０Ｂは上記のように形成されている。
以下に、シート状スペーサ２０Ｃについて説明する。
【００３３】
シート状スペーサ２０Ｃは、図９に示した場合と同様に、被検査体１の被検査電極２のパターンに対応する位置、すなわち異方導電性シート層２０Ａ，２０Ｂの弾性導電路２１，２１に対応する位置に、貫通孔２３が形成されている。各貫通孔２３内には、対応する異方導電性シート層２０Ａ，２０Ｂの突出部分２１ａ，２１ａが両方向から挿入される。
【００３４】
シート状スペーサ２０Ｃの貫通孔２３の形状は、特に限定されるものではないが、弾性導電路２１の形状および異方導電性シート層２０Ａ，２０Ｂの突出部分２１ａの形状を考慮して、例えば、円柱状に形成されている。
【００３５】
貫通孔２３の内径は、異方導電性シート２０Ａ，２０Ｂの突出部分２１ａが挿入されるように、それらの突出部分２１ａよりも大きい寸法であればよいが、その径に対して余裕のある方が好ましい。具体的には、貫通孔２３の内径は、突出部分２１ａの径に対する比率が例えば１．０５〜２倍、好ましくは１．１〜１．８倍となる大きさであることが好ましい。シート状スペーサ２０Ｃとしては、それぞれ両方向から挿入された突出部分２１ａの先端が当該貫通孔３１の中間部に互いに近接する程度に位置されることが好ましい。
【００３６】
シート状スペーサ２０Ｃの材質は、寸法安定性の高い耐熱性絶縁材料よりなるものであることが好ましく、具体的には、ガラス繊維補強型エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂などの熱硬化性樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、塩化ビニル樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂、ポリエチレン樹脂、アクリル樹脂、ポリブタジエン樹脂などの熱可塑性樹脂、その他の各種の絶縁性樹脂を使用することができるが、特にガラス繊維補強型エポキシ樹脂が最適である。
【００３７】
このような絶縁材料に対し、例えば数値制御方式によるドリル穴あけ装置またはレーザー加工装置などを用いて貫通孔２３を形成することにより、シート状スペーサ２０Ｃが得られる。
【００３８】
シート状スペーサ２０Ｃの厚さｄは、一方の突出部分２１ａの突出高さＨと、他方の突出部分２１ａの高さＨとの合計より小さい。そして、シート状スペーサ２０Ｃの厚さｄと突出部分２１ａの大きさ及び高さとを制御することにより、図９に示した被検査体１を押圧した場合に、一方の突出部分２１ａと他方の突出部分２１ａとを適正な力で接触させて両者の電気的な接続を確実にする。また、シート状スペーサ２０Ｃの厚さと弾性導電路２１の突出部分２１ａの高さを適宜調整することにより、異方導電性シート２０Ａ，２０Ｂの突出部分２１ａを含む導電路形成部２１に過大な変形を生じさせることが回避される。従って信頼性の高い作用が得られると共に、使用寿命を長いものとすることができる。
【００３９】
本実施例に係る第１の異方導電性シート層２０Ａと、第２の異方導電性シート層２０Ｂと、シート状スペーサ２０Ｃとは、それぞれ上記のように構成されているが、これらは図３に示したように組付けられ、第１の異方導電性シート層２０Ａとシート状スペーサ２０Ｃとの間、および第２の異方導電性シート層２０Ｂとシート状スペーサ２０Ｃとの間は、絶縁部１５において、シリコン製などの接着剤により一体的に固定されている。
【００４０】
このようにして形成された異方導電性コネクター２０は、図９に示した場合と同様に、ＩＣ基板などの被検査体１と、検査用回路基板５との間に配置され、被検査体１の電気的検査に用いられる。なお、図１において、符合１９はガイドピンが挿入されるガイド孔を示したものである。
【００４１】
図３に示したような異方導電性コネクター２０を用いた場合は、弾性導電路２１の突出部分２１ａおよびシート状スペーサ２０Ｃの厚さを適宜調整することができるので、ＩＣ基板、ウエハなどの被検査体１の正確な検査を行うことができる。また、高さの低い突出部分２１ａ、２１ａが貫通孔２３の両側から挿入され、その貫通孔２３の中央部で互いに対向し合うので、電極位置にずれが生じ難い。したがって、小さな圧力で検査を行うとしても、若干大きな加圧力で検査を行うとしても、電気的導通を得ることができる。また、突出部分２１ａの押圧による変形により、被検査電極２の高さ方向のバラツキを吸収することができる。
【００４２】
このように本発明では、電極間隔が狭く、微細な電極パターンが形成された被検査体１を検査する場合に、良好な電気的検査を行うことができる。
また、本発明に係る異方導電性シートを用いたＩＣ基板などの被検査体の検査方法では、弾性導電路２１の変形量を適宜に設定することができることから正確な検査を行うことができ、しかも耐久性が良好である。
【００４３】
以上、本発明の一実施例について説明したが、本発明は、上記実施例に何ら限定されない。
例えば、上記実施例では、シート状スペーサ２０Ｃは、一枚の板材から構成されている
が、これに代え２枚の板材から構成しても良い。また、シート状スペーサとして、板材を２枚用いる場合に、これらの間に、弾性導電路２１よりも硬質の材料からなる導電性接点部材を介在させても良い。
【００４４】
以下に、シート状スペーサ２０Ｃを２枚の板材から構成し、これらの間に導電性接点部材を介在させる本発明の他の実施例について説明するが、上記実施例と同一要素については同一の符合を付して詳細な説明は省略する。
【００４５】
図４〜図７は本発明の他の実施例による異方導電性コネクター３０を示したものである。
この異方導電性コネクター３０は、第１の異方導電性シート２０Ａと、第２の異方導電性シート２０Ｂと、２枚の板材からなるシート状スペーサ２０Ｃとを備えている。
【００４６】
この異方導電性コネクター３０では、第１の異方導電性シート層２０Ａと、第２の異方導電性シート層２０Ｂとは、上記実施例と同様に形成されている。すなわち、絶縁部の両側にそれぞれ突出部分２１ａが形成されている。また、シート状スペーサ２０Ｃは、略半分の厚さの第１の板材２５と第２の板材２７とを有している。これらの板材２５，２７に、所定の貫通孔２３，２３が形成されている点は、上記実施例と同様である。
【００４７】
さらに、本実施例の異方導電性コネクター３０では、シート状スペーサ２０Ｃを構成する第１の板材２５の裏面側（第２の板材２７側）に、その貫通孔２３を覆うように導電性接点部材２９が一体的に固設されている。
【００４８】
導電性接点部材２９の材料は、導電性であれば特に制限はなく、各種金属、導電性無機材料、導電性有機材料が使用される。中でも好ましいのは、金属であり、銅、金、銀、パラジウム、ロジウム、ニッケル、鉄、ＳＵＳ、アルミニウム、コバルト、錫、亜鉛、鉛あるいはこれらの積層体若しくはこれらを含む合金などが挙げられる。これらの中では、銅、金、銀、パラジウム、ロジウム、ニッケル、鉄あるいはこれらの積層体若しくはこれらを含む合金などが好ましいものとして挙げられ、特に銅や金の積層体若しくはこれらを含む合金などが好ましいものとして挙げられる。
【００４９】
この導電性接点部材２９は、例えば、平面形状が正方形あるいは円形である。また、導電性接点部材２９は、特に電気的導通を得るために加圧されたときの圧力に耐えるよう、第１，第２の異方導電性シート層２０Ａ，２０Ｂの弾性導電部２１の材料よりも剛体であることが好ましい。
【００５０】
導電性接点部材２９の厚さは、例えば０．１〜１０００μｍであり、好ましくは１〜５００μｍであり、更に好ましくは１０〜２００μｍである。
図６は，第１の板材２５の一部を示す平面図である。第１の板材２５においては、ＩＣ基板などの被検査体の突起電極（図１０における被検査体３の突起電極３ａに相当）の各々の位置に対応して貫通孔２３が縦横に並んで格子状に配列された状態で形成されている。そして、各々の貫通孔２３を取り囲む領域に、コ字状に伸びるスリット２２ａが連続して形成されている。また、コ字状スリット２２ａのコの開いた部分に、それぞれ直線状のスリット２２ｂが形成されている。これにより、貫通孔２３の周辺領域は、図６の紙面のおいて、前後方向すなわちシート状スペーサ２０Ｃの厚さ方向に変位可能に形成されている。
【００５１】
すなわち、貫通孔２３を閉塞するように配置される導電性接点部材２９の支持領域部分２８は、これらのスリット２２ａ、２２ｂにより厚さ方向に変位可能に形成されている。これにより、導電性接点部材２９の変形が容易にされている。導電性接点部材２９の支持
領域部分２８は、厚さ方向に変位することができればよく、その形状は特に限定されるものではない。例えば、直線状のスリット２２ｂは、支持領域部分２８の変位に対する抵抗を減ずるものであり、必須のものではない。このように、変形を容易にするスリットの形状は、実施例に何ら限定されない。なお、図６において、符合１９は、位置決めピンを挿通するための孔１９を示したものである（図１参照）。
【００５２】
貫通孔２３の形状は、特に限定されるものではないが、被検査体１の被検査電極２を受容することができる点で、例えば円柱状に広がるものであることが好ましい。またこの例においては、貫通孔２１の径は、例えば、球状に形成された被検査電極２の最大径よりも、例えば１．０５〜２倍、好ましくは１．１〜１．６倍、更に好ましくは１．２〜１．４倍となる大きさに形成されている。
【００５３】
本実施例においては、このように２枚の板材２５，２７によりシート状スペーサ２０Ｃを構成し、さらに導電性接点部材２９を設けたものであるが、これらは図７に示したように互いに組付けて、第１の異方導電性シート層２０Ａと第１の板材２５との間および第２の異方導電性シート層２０Ｂと第２の板材２７との間を、絶縁性の適宜な接着剤により接着すれば良い。
本実施例では、第１の異方導電性シート層２０Ａの弾性導電路２１に形成された突出部分２１ａを、第１の板材２５の貫通孔２３内に挿入した場合に、この突出部分２１ａの先端部が導電性接点部材２９に近接する程度に若干離反して配置されるように、予め、第１の板材２５と第２の板材２７と突出部分２１ａの高さが各々調整されている。これと同様に、第２の異方導電性シート層２０Ｂの弾性導電路２１の突出部分２１ａも、導電性接点部材２９に近接する程度に若干離反して配置される。したがって、電気的検査を行うために被検査体１側から押圧された場合に、比較的柔軟な弾性導電路２１がそれぞれ比較的硬質な導電性接点部材２９に当接することにより、接触状態を得ることができ、図９と同様の使用状態において、小さい加圧力で検査が行われたとしても、電気的検査を行うことが可能である。
【００５４】
このように本発明では、２枚の板材によりシート状スペーサを構成し、このような板材で全体の厚さを厚くしたり、薄くしたり調整することもできる。
さらに、本発明は、種々の変形が可能である。
【００５５】
例えば、図４〜図７に示した本発明の他の実施例では、2枚の板材２５，２７の間に導
電性接点部材２９を介在させているが、この導電性接点部材２９は、２枚の板材２５，２７の間ではなく、図８に示した場合のように、一枚の板材からなるシート状スペーサ２０Ｃに設置することもできる。その場合には、例えば、導電性接点部材２９に対応する第２の異方導電性シート２０Ｂ’の一方の突出部分２１ａを無くし、この端面全体を略平坦に形成すれば良い。
【００５６】
このような異方導電性コネクター５０であっても、上記各実施例と略同様の作用効果を奏することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】図１は本発明の一実施例に係る異方導電性コネクターの平面図である。
【図２】図２は図１に示した異方導電性コネクターのＡ−Ａ線方向の一部拡大断面図である。
【図３】図３は図２に示した拡大部分を互いに組付けたときの断面図である。
【図４】図４は本発明の他の実施例を示したもので、シート状スペーサが２枚の板材から構成され、その一方の板材に導電性接点部材が設置された例を示した拡大断面図である。
【図５】図５は図４に示した２枚の板材からなるシート状スペーサを導電性接点部材とともに組付けた状態を示す拡大断面図である。
【図６】図６は図５に示した第１の板材の平面図である。
【図７】図７は図５に示したシート状スペーサ部材の組立断面図である。
【図８】図８は本発明のさらに他の実施例による異方導電性コネクターの断面図である。
【図９】図９は異方導電性コネクターを利用して回路基板などの被検査体を検査する従来の検査装置の概略断面図である。
【図１０】図１０は特開２００１−９３５９９号公報に開示された従来の検査装置の断面図である。
【符号の説明】
【００５８】
２０    異方導電性コネクター
２０Ａ  第１の異方導電性シート層
２０Ｂ  第２の異方導電性シート層
２０Ｂ’ 第２の異方導電性シート層
２０Ｃ  シート状スペーサ
２１    弾性導電路
２２ａ、２２ｂ  スリット
２１ａ  突出部分
２３  貫通孔
２５  第１の板材
２７  第２の板材
２８  支持領域部分
３０  異方導電性コネクター
５０  異方導電性コネクター
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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