(57)【要約】      （修正有）【課題】ワーク（電子部品）に外力を加えることなく、ワークを供給位置に搬送することができるワーク搬送機構を提供する。【解決手段】外周側に周方向に沿って所定ピッチでワーク保持手段を配置したターンテーブル１１を備え、ターンテーブル１１を回転させて各ワーク保持手段にて保持されている電子部品１２を順次搬送するワーク搬送機構である。ワーク供給位置に供給すべき電子部品１２がこのワーク供給位置に対して正規姿勢状態となる位置でターンテーブル１１を停止する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外周側に周方向に沿って所定ピッチでワーク保持手段を配置したターンテーブルを備え、ターンテーブルを回転させて各ワーク保持手段にて保持されている電子部品を順次搬送するワーク搬送機構であって、
ワーク供給位置に供給すべき電子部品がこのワーク供給位置に対して正規姿勢状態となる位置で前記ターンテーブルを停止することを特徴とするワーク搬送機構。
【請求項２】
ワーク保持手段にて保持されている電子部品の姿勢を検出する姿勢検出手段と、ワーク供給位置に対して正規姿勢状態でターンテーブルの回転を停止する制御手段とを備えたことを特徴とする請求項１のワーク搬送機構。
【請求項３】
前記搬送位置側はＸ軸方向およびＸ軸方向に直交するＹ軸方向の移動が可能であり、前記制御手段は、前記ターンテーブルの停止状態でワーク供給位置へのワーク保持手段からのワーク供給可能位置でないときに、このワーク供給可能位置までワーク供給位置側を移動させることを特徴とする請求項２のワーク搬送機構。
【請求項４】
前記ワーク供給位置が、キャリアテープのポケットであることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかのワーク搬送機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体素子等の電子部品（ワーク）を搬送するワーク搬送機構に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子の製造工場においては、一般には、半導体素子の電気的特性測定や外観観察等の複合処理を行って、テーピング梱包して出荷している。ここで、テーピング梱包とはキャリアテープに半導体素子等を収納する作業である。キャリアテープは、電子部品やICの収納・搬送・保管等に使われるものであって、PSやPVC等のシートを押出成形や真空成形加工によりポケットを形成したものである。形状はテープ状であり、エンボス成形されたポケットが連続的に続いている。そのポケットに電子部品等を入れた後は、フィルム状のカバーテープで蓋をしてリールに巻かれて使用される。
【０００３】
そして、キャリアテープに収納する場合、図５に示すような装置が使用される。すなわち、外周側に周方向に沿って所定ピッチでワーク保持手段（例えば、吸着コレット）を配置したターンテーブル１を備える。また、ワーク保持手段は、例えば、吸着コレットが使用される。吸着コレットは下面に吸着孔が開口したヘッドを備え、この吸着孔には真空発生器が連結され、この真空発生器の駆動によって吸着孔のエアを吸引してワークを吸着するものである。
【０００４】
次に図５に示す装置を使用したワーク搬送方法を説明する。すなわち、ターンテーブル１を例えば矢印Ａ方向に回転させることによって、ワーク保持手段である吸着コレットに保持されたワーク２がワーク供給可能位置にきたときに、ターンテーブル１の回転を停止する。次に、吸着コレットを下降させて、ワーク２の吸着を解除し、キャリアテープ３のポケット４に収納する。
【０００５】
しかしながら、キャリアテープ３のポケット４に収納する際には、ポケット４の位置とワーク２の位置とが一致し、しかも、ワーク２の姿勢がポケット４の形状に合った状態でなければ、ワーク２が損傷したり、キャリアテープ３が損傷したりする。このため、従来においては、キャリアテープ３のポケット４に収納する前において、ワーク２が位置や姿勢がずれていれば、このワーク２の位置を修正（補正）する必要があった。ここで、ポケット４やワークの位置とは、ＸＹ座標上の位置であり、ワーク２の姿勢とは、平面視におけるワーク供給位置（ワーク供給部位の形状であって、この場合、キャリアテープ３のポケット４の形状）に対する姿勢（θ）である。また、正規姿勢状態とは、ワーク供給位置（キャリアテープ３のポケット４）に対して角度変位がない状態である。
【０００６】
キャリアテープ３のポケット４に収納する前におけるワーク２の修正（補正）するものとしては、図５に示すように、一般的に補正爪５を有する補正構造６を使用している（例えば、特許文献１）。この補正構造６はワーク２の各辺に対応する４つの補正爪５を備え、図示省略の位置検出器にて検出されたワーク２の位置状態に基づいて、各補正爪５を作動させるものである。
【０００７】
すなわち、ターンテーブル１が矢印Ａ方向に回転して、キャリアテープ３のポケット４への供給位置に来たときに、ワーク２とポケット４とが位置や姿勢にすれが生じる場合、このずれを補正するために、各補正爪５をその対応する辺に対して接近・離間する方向に作動させることによって、ＸＹθ方向にワーク２を変位させる。
【特許文献１】特開２００５−５１０９０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、前記したような補正爪を使用すれば、補正爪が製品（電子部品）に接触することになるので、隅部等において製品に欠けが生じるおそれがある。このような欠けが生じた場合、キャリアテープ３のポケット４への供給段階、つまり製品検査終了段階であるために、その後の製品検査が行われない。このため、欠けを有する不良品が出荷されることになる。
【０００９】
本発明は、上記課題に鑑みて、ワーク（電子部品）に外力を加えることなく、ワークを供給位置に搬送することができるワーク搬送機構を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明のワーク搬送機構は、外周側に周方向に沿って所定ピッチでワーク保持手段を配置したターンテーブルを備え、ターンテーブルを回転させて各ワーク保持手段にて保持されている電子部品を順次搬送するワーク搬送機構であって、ワーク供給位置に供給すべき電子部品がこのワーク供給位置に対して正規姿勢状態となる位置で前記ターンテーブルを停止するものである。ここで、姿勢とは、平面視におけるワーク供給位置（ワーク供給部位の形状）に対する姿勢であって、正規姿勢状態とは、ワーク供給位置に対して角度変位がない状態であって、この正規姿勢状態のワークがワーク供給位置の真上に位置した状態でこのまま下降することによってワーク供給位置にこのワークを収納することができる姿勢である。
【００１１】
本発明のワーク搬送機構によれば、ターンテーブルは、ワーク供給位置に供給すべき電子部品がこのワーク供給位置に対して正規姿勢状態となる位置で停止するので、ワーク供給位置に供給する際に、姿勢を補正する必要がない。
【００１２】
ワーク保持手段にて保持されている電子部品の姿勢を検出する姿勢検出手段と、ワーク供給位置に対して正規姿勢状態でターンテーブルの回転を停止する制御手段とを備えている。このため、姿勢検出手段にて電子部品の姿勢を検出し、この検出データに基づいて制御手段にて正規姿勢状態でターンテーブル、延いてはワークを停止することができる。
【００１３】
前記搬送位置側はＸ軸方向およびＸ軸方向に直交するＹ軸方向の移動が可能であり、前記制御手段は、前記ターンテーブルの停止状態でワーク供給位置へのワーク保持手段からのワーク供給可能位置でないときに、このワーク供給可能位置までワーク供給位置側を移動させる。ターンテーブルが停止したときに、ワークがワーク供給可能位置でないときに（ワーク供給位置に対して位置ずれしているときに）、搬送位置側をＸＹ方向に移動させることによって、ワークを正規姿勢に維持したままワーク供給可能位置に移動させることができる。
【００１４】
前記ワーク供給位置としては、例えば、キャリアテープのポケットである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明では、ワーク供給位置に供給する際に、姿勢を補正する必要がないので、ワークの姿勢を補正するためにワークに対して外力を付与する必要がない。このため、補正爪によるワークの欠けやワークによるワーク供給位置側の傷付けを防止でき、ワーク供給位置に供給する際の不良品形成がなくなり、良品を供給位置に供給することができる。
【００１６】
姿勢検出手段にて電子部品の姿勢を検出し、この検出データに基づいて制御手段にて正規姿勢状態でターンテーブル、延いてはワークを停止することができるので、ワークを高精度に正規姿勢状態で停止することができ、ワーク供給位置でのワークの供給が安定する。
【００１７】
ワークを正規姿勢に維持したまま、ワーク供給位置側のみをＸＹ軸方向へ移動させることによってワーク供給可能位置にワークを位置させることができ、ワーク供給位置への供給性の向上を図ることができる。
【００１８】
ワーク供給位置として、キャリアテープのポケットであれば、補正爪によるワークの欠けやワークによるキャリアテープ側の傷付けを防止できる。このため、欠け等を有さない良品のワーク（電子部品）をポケットに収納でき、しかも、ポケット内へのキャリアテープの欠け片（異物）が入り込まない。このため、このキャリアテープに収納された電子部品を、欠け等を有さない良品のまま出荷・搬送でき、このキャリアテープから取り出される製品は良品状態を維持している。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下本発明の実施の形態を図１から図４に基づいて説明する。本発明に係るワーク搬送機構は図１に示すように、外周側に周方向に沿って所定ピッチでワーク保持手段１５（図４参照）を配置したターンテーブル（回転テーブル）１１を備え、ターンテーブル１１を回転させて各ワーク保持手段１５にて保持されている半導体素子等の電子部品１２を順次、キャリアテープ１６のポケット１７に搬送（供給）するものである。
【００２０】
ターンテーブル１１は、モータ等の駆動手段２１（図２参照）の駆動によってその回転軸（中心軸）の軸心廻りに回転する。また、ワーク保持手段１５は、例えば、図４に示すように、吸着コレット１５ａからなる。この吸着コレット１５ａはその下面に開口する吸着孔１８を有するヘッド１９を有し、吸着孔１８を介してワーク１2が真空吸引され、このヘッド１９の下端面（先端面）にワーク１２が吸着する。この真空吸引（真空引き）が解除されれば、ヘッド１９からワーク１２が外れる。また、各吸着コレット１５ａはシリンダ機構、ボールねじ機構、リニアモータ機構等の上下動機構を介して上下動可能とされている。
【００２１】
キャリアテープ１６は、電子部品やICの収納・搬送・保管等に使われるものであって、PSやPVC等のシートを押出成形や真空成形加工によりポケット１７を形成したものである。そのポケット１７に電子部品等を入れた後は、フィルム状のカバーテープ２０で蓋をしてリールに巻かれて使用される。
【００２２】
このキャリアテープ１６は、図示省略のテープ供給部から矢印Ｂ方向に送出され、各ポケット１７にワーク１２が収納された状態でポケット１７に収納される。そして、このキャリアテープ１６は駆動手段２２（図２参照）にて、図１に示すように、ＸＹ方向に移動できる。この駆動手段２２としては、公知・公用の搬送手段であるＸＹステージ等にて構成できる。
【００２３】
さらに、このワーク搬送機構は、図２に示すように、ワーク保持手段１５にて保持されている電子部品（ワーク）１２の姿勢を検出する姿勢検出手段２３と、ワーク供給位置に対して正規姿勢状態でターンテーブル１１の回転を停止する制御手段２４とを備える。ここで、ワーク１２の姿勢とは、平面視におけるワーク供給位置（ワーク供給部位の形状であって、キャリアテープ１６のポケット１７の形状）に対する姿勢である。
【００２４】
姿勢検出手段２３は、ＣＣＤカメラ等のカメラを備え、ワーク１２をカメラが撮像し、撮像した画像を演算処理してワーク１２のその検出位置でのワークの位置及び姿勢（角度）を検出する。そして、そのデータを制御手段２４に送る。なお、制御手段２４は例えばマイクロコンピュータにて構成することができる。
【００２５】
次に前記したワーク搬送機構にてワークを搬送する方法を図３のフローチャート図を使用して説明する。キャリアテープ１６のポケット１７に収納すべきワーク１２（電気的特性測定や外観観察等が終了したワーク）をワーク保持手段１５にて保持させて、ターンテーブル１１を矢印Ａ方向に駆動する。そして、検査位置にそのワーク１２が到達したときに、姿勢検出手段２３にてワーク１２の姿勢を検査する（ステップＳ１）。
【００２６】
そして、ワーク１２の姿勢が正規姿勢となったときにターンテーブル１１の回転を停止する（ステップＳ２）。ここで、正規姿勢とは、ワーク１２の姿勢を回転させることなく、ＸＹ方向に移動させること、又はＸＹ方向に移動させることなく、ワーク１２をキャリアテープ１６のポケット１７の上方に位置させることができて、このまま下降させれば、ワーク１２をキャリアテープ１６のポケット１７に収納させることができる姿勢である。このため、前記姿勢検出手段２３にて検出した位置に基づいて、制御手段２４の演算部が演算して、正規姿勢になったときに停止するように、制御手段２４がターンテーブル用駆動手段２１に停止信号を送る。
【００２７】
この状態におけるワーク位置は制御手段２４に記憶され、この停止位置で、そのまま吸着コレット１５ａを下降することによって、ワーク１２をキャリアテープ１６のポケット１７に収納させる位置であれば、キャリアテープ１６側を移動させることなく、吸着コレット１５ａを下降させてワーク１２をキャリアテープ１６のポケット１７に収納する。すなわち、ステップＳ３のように、ワーク１２がＸＹ方向にずれているか否かを判断する。そして、ずれていなければ、ステップＳ４に移行してポケット１７にワーク１２を供給する。
【００２８】
また、ワーク位置がキャリアテープ１６のポケット１７に対してＸＹ方向にずれていれば、ステップＳ５に移行してそのずれ量分だけ制御手段２４にて制御してキャリアテープ１６側をＸＹ方向に移動させる。これによって、ワーク１２をポケット１７の真上に位置させて、吸着コレット１５ａを下降させてワーク１２をキャリアテープ１６のポケット１７に収納する。その後、ステップＳ６へ移行して供給作業が終了であれば、終了し、作業を継続する場合にはステップＳ１に戻ることになる。なお、位置を補正する（移動させる）場合、Ｘ方向のみの場合、Ｙ方向のみの場合、Ｘ方向及びＹ方向の場合がある。
【００２９】
ところで、キャリアテープ１６側の走行方向をターンテーブル１１の接線とした場合、ワーク１２が正規姿勢状態となる位置としては、この接点に対応したり、接点よりも回転方向側となったり、逆に反回転方向側となったりする。
【００３０】
このように、キャリアテープ１６側に搬送されて来るワーク１２を、矢印Ｂ方向へ間欠的に移動するキャリアテープ１６の各ポケット１７に順次供給していくことができる。なお、キャリアテープ１６は、各ポケット１７にワーク１２が収納されれば、カバーテープ２０でポケット１７に対して蓋がされて、収納部に収納される。
【００３１】
本発明によれば、ターンテーブル１１は、ワーク供給位置に供給すべき電子部品であるワーク１２がこのワーク供給位置に対して正規姿勢状態となる位置で停止するので、ワーク供給位置に供給する際に、姿勢を補正する必要がない。このため、補正爪によるワーク１２の欠けやワーク１２によるワーク供給位置側の傷付けを防止でき、ワーク供給位置に供給する際の不良品形成がなくなり、良品を供給位置に供給することができる。
【００３２】
姿勢状態でターンテーブル１１、延いてはワーク１２を停止することができるので、ワーク１２を高精度に正規姿勢状態で停止することができ、ワーク供給位置でのワーク１２の供給が安定する。
【００３３】
ワーク１２を正規姿勢に維持したまま、ワーク供給位置側のみをＸＹ方向へ移動させることによってワーク供給可能位置にワーク１２を位置させることができ、ワーク供給位置への供給性の向上を図ることができる。
【００３４】
ワーク供給位置として、キャリアテープ１６のポケット１７であれば、補正爪によるワーク１２の欠けやワーク１２によるキャリアテープ側の傷付けを防止できる。このため、欠け等を有さない良品のワーク（電子部品）１２をポケットに収納でき、しかも、ポケット内へのキャリアテープ１６の欠け片（異物）が入り込まない。このため、このキャリアテープ１６に収納された電子部品を、欠け等を有さない良品のまま出荷・搬送でき、このキャリアテープ１６から取り出される製品は良品状態を維持している。
【００３５】
以上、本発明の実施形態につき説明したが、本発明は前記実施形態に限定されることなく種々の変形が可能であって、例えば、制御手段２４によってターンテーブル１１を停止する場合、観察しつつワーク１２が正規姿勢になったときに、停止するようにしてもよく、また、所定位置で観察して、その観察した位置での姿勢をもとに、その後のテーブル１１の回転量を制御することによって、停止位置を決定するようにしてもよい。また、保持手段１５を構成する吸着コレット１５ａの数は任意である。さらに、ワーク供給位置としては、前記実施形態では、キャリアテープ１６のポケット１７であったが、このようなポケット１７とは相違して、他の部位、例えば電気特性を検査する部位等であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の実施形態を示すワーク搬送機構の簡略平面図である。
【図２】前記ワーク搬送機構の簡略ブロック図である。
【図３】前記ワーク搬送機構による作業を示すフローチャート図である。
【図４】前記ワーク搬送機構のワーク保持手段を示す簡略図である。
【図５】従来のワーク搬送機構の簡略平面図である。
【符号の説明】
【００３７】
１１   ターンテーブル
１２  電子部品
１５   ワーク保持手段
１６   キャリアテープ
１７   ポケット
２３   姿勢検出手段
２４   制御手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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