(57)【要約】【課題】インクに大きな圧力を加えられる圧電素子利用のインクジェットヘッドを提供すること。【解決手段】インクジェットヘッド１は、インク室６の上部にノズル３を有し、下部には弾性板５を間に介して圧電素子８が取り付けられる。圧電素子は厚さ方向が分極方向であり、中心の貫通孔９の内面には第１の電極１１があり、外面には第１の電極と絶縁して第２の電極１２がある。第２の電極を０電位とし、第１の電極に所定の電位を与えると、電場は分極方向と略直角となり、圧電素子にはシェアモードの変位が生じ、貫通孔を中心に盛り上がる方向に変形する。この変形が弾性板を上に凸の形状に面変形させ、インク室内の体積を減少させ、インク７は大きく加圧されノズルから吐出される。【選択図】図１
2008012855.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクが収納されるインク室と、厚さ方向に沿った分極方向及び貫通孔を備え前記インク室に沿って設けられた圧電素子と、前記圧電素子の前記貫通孔の内面に設けられた第１の電極と、前記貫通孔が開口した前記圧電素子の内面又は外面に前記第１の電極と絶縁して設けられた第２の電極とを有し、前記第１及び第２の電極への通電による前記圧電素子のシェアモードの変位により前記インクを加圧して前記インク室外に吐出させることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記圧電素子が前記インク室の一部を区画するように設けられ、
前記圧電素子のシェアモードの変位により前記インクが前記貫通孔を介して吐出されることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記インク室の一部を区画する壁体に設けられたノズルと、前記インク室の他の一部を区画するとともに内面が前記ノズルに対面する位置に設けられた弾性板とを更に有し、前記圧電素子は前記弾性板の外面にその内面が接するように設けられ、
前記圧電素子のシェアモードの変位により前記弾性板を変形させることで前記インクが前記ノズルを介して吐出されることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記インク室の一部を区画するとともに貫通したノズルを有する第１の弾性板を有し、第１の前記弾性板の前記ノズルに前記貫通孔が連通するように第１の前記弾性板の外面に第１の前記圧電素子が内面を接して設けられ、
前記インク室の他の一部を区画する第２の弾性板を有し、前記第２の弾性板の外面に第２の前記圧電素子が内面を接して設けられ、
第１及び第２の前記圧電素子が前記インク室に向けて同時にシェアモードの変位をすることにより加圧された前記インクが前記ノズル及び第１の前記圧電素子の前記貫通孔を介して吐出されることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記第１の電極が、前記圧電素子の内面又は外面のいずれか一方に形成された引き出し電極をもって引き出されたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一つに記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
前記第１の電極の前記引き出し電極と前記第２の電極が、前記圧電素子の同一面に形成され、前記第２の電極が、前記第１の電極及び前記引き出し電極と一定の間隔をとるパターンで形成されたことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一つに記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
前記第１の電極の前記引き出し電極と前記第２の電極が、前記圧電素子の異なる面に形成され、前記第２の電極が、前記貫通孔の開口縁と一定の間隔をとるパターンで形成されたことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一つに記載のインクジェットヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子に分極方向に沿う貫通孔を形成し、その貫通孔の内面と圧電素子の表面とに形成した両電極により、圧電素子に対して分極方向と垂直方向の電場を加えてシェアモードの変位を生じさせ、この変位によりインクを加圧してノズルから吐出させるインクジェットヘッドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
圧電素子に電場を加えて変形させることにより、インクを加圧して吐出するインクジェットヘッドが知られている。例えば、図９は、ユニモルフ型（分極方向と電場方向が平行である場合；ｄ３３）のインクジェットヘッドを示す略図である。積層された圧電体１００の分極方向は厚さ方向と一致しており、該圧電体１００の最上部の下面側には共通電極１０１が設けられ、同圧電体１００の上面側には複数の個別電極１０２が所定間隔で設けられている。圧電体１００の下方には個別電極１０２に対応する所定の間隔でセラミクス等からなる壁体１０３が配置されて複数のインク室１０５が区画されている。ここで共通電極を０電位とし、所望の個別電極１０２に所定の＋又は−の電位を印可すれば、圧電体１００にはベンドモードの変位が生じてインク室１０５内のインクが加圧され、インクはインク室１０５の下方に設けられた図示しないノズルから外方に向けて吐出される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところが、前述したようなベンドモードによる圧電素子を用いたインクジェットヘッドでは、２つの電極で挟まれた板状の圧電素子を電圧と平行方向に縮ませることで変位を生じさせており、電圧と垂直方向の伸びを利用するタイプに比べれば大きな変位が得られるとされているが、近年のインクジェットヘッドに要求される機能を考慮すると、その変位は必ずしも大きなものとはいえない場合もあり、十分なインクの吐出力が得られない場合がある。例えば、図９に示す例では、圧電素子１００の１層の厚さ、すなわち共通電極１０１と個別電極１０２との間隔を１５μｍとし、個別電極の寸法を２５０μｍとした場合、変位は１．９ｎｍにしかならない。また変位と垂直な方向の変形が少なくないため、例えば上記インクジェットヘッドにおいてはクロストーク等の影響が問題になるという課題もある。
【０００４】
本発明は、以上の課題に鑑みてなされたものであり、ベンドモードに比べて変位量が大きいためインクに一層大きな圧力を加えることができ、クロストークの影響が少ないために高密度化が可能である圧電素子を利用したインクジェットヘッドを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１に記載されたインクジェットヘッドは、インクが収納されるインク室と、厚さ方向に沿った分極方向及び貫通孔を備え前記インク室に沿って設けられた圧電素子と、前記圧電素子の前記貫通孔の内面に設けられた第１の電極と、前記貫通孔が開口した前記圧電素子の内面又は外面に前記第１の電極と絶縁して設けられた第２の電極とを有し、前記第１及び第２の電極への通電による前記圧電素子の変位により前記インクを加圧して前記インク室外に吐出させることを特徴としている。
【０００６】
請求項２に記載されたインクジェットヘッドは、請求項１記載のインクジェットヘッドにおいて、前記圧電素子が前記インク室の一部を区画するように設けられ、前記圧電素子の変位により前記インクが前記貫通孔を介して吐出されることを特徴としている。
【０００７】
請求項３に記載されたインクジェットヘッドは、請求項１記載のインクジェットヘッドにおいて、前記インク室の一部を区画する壁体に設けられたノズルと、前記インク室の他の一部を区画するとともに内面が前記ノズルに対面する位置に設けられた弾性板とを更に有し、前記圧電素子は前記弾性板の外面にその内面が接するように設けられ、前記圧電素子の変位により前記弾性板を変形させることで前記インクが前記ノズルを介して吐出されることを特徴としている。
【０００８】
請求項４に記載されたインクジェットヘッドは、請求項１記載のインクジェットヘッドにおいて、前記インク室の一部を区画するとともに貫通したノズルを有する第１の弾性板を有し、第１の前記弾性板の前記ノズルに前記貫通孔が連通するように第１の前記弾性板の外面に第１の前記圧電素子が内面を接して設けられ、前記インク室の他の一部を区画する第２の弾性板を有し、前記第２の弾性板の外面に第２の前記圧電素子が内面を接して設けられ、第１及び第２の前記圧電素子が前記インク室に向けて同時にシェアモードの変位をすることにより加圧された前記インクが前記ノズル及び第１の前記圧電素子の前記貫通孔を介して吐出されることを特徴としている。
【０００９】
請求項５に記載されたインクジェットヘッドは、請求項１乃至４のいずれか一つに記載のインクジェットヘッドにおいて、前記第１の電極が、前記圧電素子の内面又は外面のいずれか一方に形成された引き出し電極をもって引き出されたことを特徴としている。
【００１０】
請求項６に記載されたインクジェットヘッドは、請求項１乃至５のいずれか一つに記載のインクジェットヘッドにおいて、前記第１の電極の前記引き出し電極と前記第２の電極が、前記圧電素子の同一面に形成され、前記第２の電極が、前記第１の電極及び前記引き出し電極と一定の間隔をとるパターンで形成されたことを特徴としている。
【００１１】
請求項７に記載されたインクジェットヘッドは、請求項１乃至５のいずれか一つに記載のインクジェットヘッドにおいて、前記第１の電極の前記引き出し電極と前記第２の電極が、前記圧電素子の異なる面に形成され、前記第２の電極が、前記貫通孔の開口縁と一定の間隔をとるパターンで形成されたことを特徴としている。
【発明の効果】
【００１２】
請求項１に記載されたインクジェットヘッドによれば、貫通孔の内面と、これと垂直な圧電素子の表面に、互いに絶縁された電極がそれぞれ設けられ、駆動時に両電極により発生する電場の方向と圧電素子の分極方向が互いに垂直となるので、圧電素子は貫通孔を中心として貫通孔の軸方向（圧電素子の厚さ方向）に向けて持ち上がるように変形する。この変形量はベンドモードの場合よりも大きく、インク室の体積変化率も大きくなり、インク室内のインクには十分な圧力を加えることができ、インクを必要な圧力で安定して吐出させることができる。
【００１３】
請求項２に記載されたインクジェットヘッドによれば、請求項１記載のインクジェットヘッドによる効果において、特に前記圧電素子における貫通孔を中心としたシェアモードの大きな変形が、インク室内のインクに直接加わり、十分な圧力かつ高い応答性でインクを加圧できる。
【００１４】
請求項３に記載されたインクジェットヘッドによれば、請求項１記載のインクジェットヘッドによる効果において、特に前記圧電素子における貫通孔を中心としたシェアモードの大きな変形が、貫通孔付近を中心とした比較的狭い領域での変位に留まらず、弾性板をインク室に向けて面状に変位させるので、インクに圧力を加えるインク室の体積変化を全体として大きくすることができ、インクへの加圧がさらに十分になりインク吐出の機能性が一層向上する。
【００１５】
請求項４に記載されたインクジェットヘッドによれば、請求項１記載のインクジェットヘッドによる効果において、特に弾性板と圧電素子が、インク室を区画して対面する両側に配置される構成なので、両圧電素子を同時にインク室に向けて変位させることでインク室内のインクには起きな圧力が加わり、単一の圧電素子を用いる場合よりもさらに大きな吐出力を得ることができる。
【００１６】
請求項５に記載されたインクジェットヘッドによれば、請求項１乃至４のいずれか一つに記載のインクジェットヘッドによる効果において、さらに、圧電素子の貫通孔の内面に設けられた第１の電極を、周辺駆動回路等との接続等に便宜となるように、圧電素子の内面又は外面の所望の面に引き出し電極をもって引き出すことができる。
【００１７】
請求項６に記載されたインクジェットヘッドによれば、請求項１乃至５のいずれか一つに記載のインクジェットヘッドによる効果において、さらに、圧電素子の表面に引き出された両電極の間隔が、変形の中心となる圧電素子の貫通孔における両電極の間隔と同等とされているので、圧電素子の全体において圧電素子に加わる電場が一定となるため、圧電素子の変位が貫通孔を中心とした所期の態様で行われ、インク室のインクへの加圧が好適に行われる。
【００１８】
請求項７に記載されたインクジェットヘッドによれば、請求項１乃至５のいずれか一つに記載のインクジェットヘッドによる効果に加え、さらに、圧電素子の各表面に引き出された両電極は圧電素子の厚さに相当する距離だけ離れるので、変形の中心となる圧電素子の貫通孔における両電極の間隔が当該距離と同等であるとすれば、圧電素子の全体において圧電素子に加わる電場は一定となるため、圧電素子の変位が貫通孔を中心とした所期の態様で行われ、インク室のインクへの加圧が好適に行われる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
１．第１実施形態（図１〜図４）
図１に示す本例のインクジェットヘッド１は、側壁２と、ノズル３が形成された上壁４と、上壁４乃至ノズル３と対面する下方位置に配置されたステンレスからなる弾性板５とにより構成されたインク室６を備えている。このインク室６には図示しない供給手段からインク７が供給される。本例では、一例としてインク室６は略円筒形としたが、後述するようにその形状には限定されない。
【００２０】
弾性板５の外面（インク室６内を基準として外側）には、圧電素子８が取り付けられている。圧電素子８は弾性板５と同じ円板形であり、その内面側が弾性板５の外面に密着するように固定されている。圧電素子８は、その厚さ方向に沿った分極方向を有しており、その中心には厚さ方向に沿って貫通孔９が形成されている。圧電素子８の貫通孔９は、弾性板５を挟んでノズル３に対応する位置に配置されている。
【００２１】
圧電素子８の貫通孔９の内面には、第１の電極１１が設けられている。また、貫通孔９が開口した圧電素子８の外面には、第１の電極１１と絶縁して第２の電極１２が設けられている。
【００２２】
上記構成における本例での具体的な一寸法例を示せば、弾性板５の厚さは２００μｍ、圧電素子８の厚さは２５０μｍ、圧電素子８の貫通孔９の直径は１００μｍ、第１の電極１１と第２の電極１２の絶縁のためのギャップは５０μｍである。
【００２３】
以上の構成において、第２の電極１２を０電位とし、第１の電極１２に＋又は−の所定の電位を与えると、両電極間に生じる電場の方向は、圧電素子８の分極方向と略直角となり（ｄ１５）、圧電素子８にはシェアモードの変位が生じる。すなわち、圧電素子８は、図１及び図２中に矢印にて示すように、矩形の断面が歪んで平行四辺形となるような変形を示し、貫通孔９を中心として図中上方に大きく盛り上がるが、貫通孔９の開口径はほとんど変化しない態様となる。そして、この圧電素子８の局所的な略点状の変形が、弾性板５を上方にたわませて弾性板５の内面を上に凸の形状に面変形させ、インク室６内の体積を大きく減少させる。その結果、インク室６内のインク７は大きく加圧され、インク７はノズル３から所定の大きさ（容量）のインク滴となって外界に吐出される。
【００２４】
このように、本例によれば、圧電素子８の分極方向と平行な厚さ方向に貫通孔９を設け、その内周面と、圧電素子８の表面にそれぞれ電極を設け、両電極間に電圧を加えることによって分極方向に対して直交する電場を加え、ベンドモードなどに比して変位量をかせげるシェアモードの変形を起こし、さらにこれを貫通孔９周辺の局所的な変形から弾性板５による面状の変形に変換してインク室６の容積変動を大きくとり、大きなインクの吐出力を得ているのである。
【００２５】
本例では、圧電素子８の形状は図１乃至図２に示したように中心に貫通孔９を有する円板形であったが、これは一例にすぎない。これは、本例のような分極方向を有する圧電素子８にシェアモードの変位を起こさせるための電極配置としては、貫通孔９の内周面と、上面又は下面（内面又は外面）のいずれかにそれぞれ電極を設ければよいので、板状の圧電素子８の外端面に貫通孔９内の電極と平行な電極を設ける必要がなく、従って板状の圧電素子８の外形は問題にならず、任意の外形を採用できるからである。
【００２６】
よって、第１例のように圧電素子８を円板形としてインクジェットヘッド全体を円筒状としてもかまわないが、現実的には図３に模式的に示すように外形が矩形の圧電素子８を採用して直方体状のインクジェットヘッドとすることもできる。
【００２７】
なお、この矩形の圧電素子８においては、中央に円形の貫通孔９があり、その内周面に第１の電極１１があり、素子の上面に、貫通孔９の周囲に絶縁領域を設けて第２の電極１２が設けられている。
【００２８】
次に、図４を参照して本例のインクジェットヘッドにおける圧電素子８の変位の大きさについて比較例を参照して説明する。図４は、図１乃至図２に示した円板形の圧電素子８の矩形断面を示すものであり、加えられた電場によって平行四辺形状に変位している状態を併せて表したものである。なお、これらの図では、矩形断面の縦（素子の厚さ）が５０μｍ、横（素子の貫通孔９を除いた半径方向の寸法）が１００μｍである。
【００２９】
同図（ａ）に示すように、第２の電極１２が上面の略全面にわたって形成され、第１の電極１１と第２の電極１２が極めて微小な隙間をもって対峙している場合は、駆動時に圧電素子８に加えられる電場が強く、変位δは９．２ｎｍとなる。
【００３０】
しかし、製造上の困難性又は使用による経年変化等によって両電極の絶縁状態に問題が生じる可能性を考慮した場合、両電極の隙間はより大きくすることが好ましい。例えば、図４（ｂ）に示すように、第２の電極１２を素子の上面の外方約半分だけに形成し、同上面における両電極の間隔を約５０μｍとした場合、駆動時に圧電素子８に加えられる電場はやや弱くなり、変位δは５．４ｎｍとなる。
【００３１】
これに対し、図４（ｃ）に示すように、貫通孔９に第１の電極１１を設けるとともに、素子の外端面に第１の電極１１と平行で第１の電極１１と同寸法（高さ５０μｍ）である第２の電極１２を設けた場合には、駆動時の変位δは４．８ｎｍと小さい。この例は、図４（ａ），（ｂ）と同様に分極方向と電場が直交する場合であるが、第２の電極１２を外周端面に設けたために変位が少なくなったものであり、また、外周端面に第２の電極１２があるために圧電素子８自体の外形にも制約が加えられてしまう。このように、本例の条件として第２の電極１２は、貫通孔９が開口している面に形成することが必要である。そして、絶縁の問題から、両電極にはある程度の間隔（例えば第１の電極１１の高さ寸法乃至圧電素子８の厚さと同程度）を置くことが好ましい。
【００３２】
２．第２実施形態（図５及び図６）
図５に示す第２例のインクジェットヘッド１ａは、第１例で説明したシェアモード変位の圧電素子８によるアクチュエータ機構を上下一対でダブルに用い、両者を同時に駆動して一方に設けたノズルからインクを吐出するものであって、さらにこのようなノズルを複数列設した構成例である。
【００３３】
まず、第２例のインクジェットヘッド１ａは、所定間隔で配置されてインク室６を区画する複数の側壁２を有している。各インク室６ごとに、側壁２の上端側には該インク室６の上側を区画するとともに貫通したノズル３が中央に形成された第１の弾性板５ａが設けられている。この第１の弾性板５ａの外面には第１の圧電素子８ａが内面を接して設けられている。第１の圧電素子８ａは貫通孔９ａを有し、この貫通孔９ａと第１の弾性板５ａのノズル３は連通している。
【００３４】
各インク室６ごとに、側壁２の下端側には該インク室６の下側を区画する第２の弾性板５ｂが設けられており、この第２の弾性板５ｂの外面には第２の圧電素子８ｂが内面を接して設けられている。第２の圧電素子８ｂは貫通孔９ｂを有し、この貫通孔９ｂは、直上の第２の弾性板５ｂ及びさらにインク室６を挟んで上方にある第１の弾性板５ａのノズル３及び第１の圧電素子８ａの貫通孔９ａと平面視で対応する位置に配置されている。
【００３５】
上記各圧電素子８ａ，８ｂにおける第１及び第２の電極１１，１２の構成は第１の例と同様であるが、両圧電素子８ａ，８ｂの第２の電極１２は共通に接続されて０電位が与えられ、第１の電極１１はインク室６ごとに上下を接続してインク室６ごとに各々独立して選択信号を与えることができるようになっている。なお、その他の図示しないインク供給機構等の構成は第１の例と同様である。
【００３６】
以上の構成において、共通電極である第２の電極１２を０電位とし、選択電極である第１の電極１１に選択的に＋又は−の所定の電位を与えると、両電極間に生じる電場の方向は、圧電素子８ａ，８ｂの分極方向と略直角となり（ｄ１５）、各圧電素子８ａ，８ｂにはシェアモードの変位が生じる。すなわち、選択されたインク室６の上下一対の圧電素子８ａ，８ｂは、図５に示すように、それぞれインク室６に向けて貫通孔９ａ，９ｂを中心として大きく盛り上がり、各弾性板５ａ，５ｂをインク室６内に向けてたわませて各弾性板５ａ，５ｂの内面を内方にに凸の形状に面変形させ、インク室６内の体積を第１例以上に大きく減少させる。その結果、インク室６内のインク７はさらに大きく加圧され、インク７はノズル３から所定の大きさ（容量）のインク滴となって外界に吐出される。その他の作用、効果は第１の例と基本的に同一である。
【００３７】
図６は、本例のような複数のノズルを有するインクジェットヘッドにおいて、ノズルの配置についての様々な例を説明の便宜上一つのヘッド内にまとめて示した図である。すなわち、図６が本例のインクジェットヘッドにおいてノズルを主走査方向について並べた構成を示すものとした場合、図６中のＡ部に示すように主走査方向に隣接するノズル３を副走査方向に位置をずらして配置すれば、隣のノズル３から影響を受けにくくなる。隣のノズル３からの影響を考慮する必要がない場合には、同図中Ｂ部に示すように、複数のノズル３は副走査方向の位置を一致させて主走査方向に並べればよい。また、同図中Ｃ部に示すように、一つのインク室６に複数のノズル３を設けて吐出するインクの量を増やすこともできる。
【００３８】
３．第３実施形態（図７）
図７に示す第３例のインクジェットヘッド１ｂは、第１例で説明したシェアモード変位の圧電素子８によるアクチュエータ機構を有するものであるが、単一の圧電素子８に複数のノズル兼貫通孔９が設けられ、第１例と異なり弾性板を使用しないで圧電素子８だけの変位で貫通孔９をノズルとしてインクを吐出する例である。
【００３９】
インクが収納される複数のインク室６は、その下方が下部壁体４ｂで仕切られ、その上方が共通の圧電素子８で直接仕切られている。圧電素子８とインク室６の間には前記他の例のような弾性板５はない。この圧電素子８には、各インク室６ごとに、各インク室６に連通する貫通孔９が１つずつ設けられている。この貫通孔９はインクを吐出するノズルとしても機能する。本例では、ノズル（貫通孔９）の間隔が、例えばノズル径の数倍程度と比較的小さいので、圧電素子８の貫通孔９の近傍における局所的なシェアモード変位だけで十分なインク吐出力が得られるため、弾性板を用いていないのである。
【００４０】
なお、図ではインク室６を明示するためにインク室６の手前側及び奥側が開口しているように表されているが、実際には閉止されており、他の例で説明したようにインク供給手段に接続されてインクが供給されるようになっていることは言うまでもない。
【００４１】
本例における電極構造を説明すると、図７中では詳細は省略するが、貫通孔９の内周面に第１の電極１１が設けられ、第１の電極１１は圧電素子８の上面に図示しない引き出し線を介して引き出され、選択電極としてそれぞれ独立に電位を与えることができる。また、圧電素子８の上面には、第１の電極１１の引き出し線及び貫通孔９の周囲を除いて全面に共通電極としての第２の電極１２が設けられてる。
【００４２】
４．電極構造の例（図８）
以上説明した各例における電極構造乃至電極の引き回しパターンの例を、図８を参照して説明する。図８（ａ）〜（ｃ）は、本例の電極構造を一つの貫通孔９について拡大して外側から平面視で表したものであり、３つの構造例を示している。図８（ａ）に示すように、貫通孔９の内周面には第１の電極１１が設けられ、圧電素子８の上面に引き出し線１５を介して引き出され、選択電極としてそれぞれ独立に電位を与えることができるようになっている。また、圧電素子８の上面には、第１の電極１１の引き出し電極１５及び貫通孔９の周囲を除いて全面に共通電極としての第２の電極１２が設けられている。
【００４３】
本例では、圧電素子８の厚さが例えば５０μｍであるとすると、貫通孔９の直径Ｒ１は２５μｍ、引き出し電極１５の幅Ｗ１は１０μｍ、貫通孔９の周囲に第１の電極１１に導通して設けられた環状電極１６と、その周囲にある第２の電極１２との距離Ｒ２は５０μｍ、引き出し電極１５とその周囲にある第２の電極１２との距離Ｗ２は５０μｍと設定される。このように、第１の電極１１及び引き出し電極１５と、第２の電極１２とは、圧電素子８の大略の領域で概ね５０μｍの間隔となる。電圧をかけた場合に生じる電場の強さと圧電素子８に生じる変位量とは比例するので、上記のような寸法設定として圧電素子８に加わる電場の強さをあらゆる位置で一定とすれば、圧電素子８には貫通孔９を中心とした安定したシェアモードの変位が生じ、インクを所期の性能で安定して吐出できる。
【００４４】
図８（ｂ）に示す例は、同図（ａ）の例と概ね同じであるが、第２の電極１２が圧電素子８の略全面にベタ状に設けられた同図（ａ）の例と異なり、略一定の幅をもって形成されている点が異なる。
【００４５】
図８（ｃ）に示す例では、貫通孔９の内周面に第１の電極１１が設けられ、第１の電極１１が環状電極１６及び引き出し電極１５を介して圧電素子８の上面に引き出され、選択電極としてそれぞれ独立に電位を与えることができる点において、同図（ａ）（ｂ）の例と同一である。しかし、第２の電極１２は、圧電素子８の下面に、貫通孔９の周囲を除いて全面に形成されている。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の第１の実施形態であるインクジェットヘッドの断面図である。
【図２】本発明の第１の実施形態であるインクジェットヘッドの圧電素子を仮想的に４分割した状態を示す斜視図及び断面図である。
【図３】本発明の第１の実施形態であるインクジェットヘッドにおける圧電素子等の実際的な他の形態例を示す斜視図である。
【図４】本発明の第１の実施形態であるインクジェットヘッドにおける電極構造と圧電素子８の変位量との関係を、他の構造例と比較して示す断面図である。
【図５】本発明の第２の実施形態であるインクジェットヘッドの断面図である。
【図６】本発明の第２の実施形態であるインクジェットヘッドのノズル配置例を模式的に示す斜視図である。
【図７】本発明の第３の実施形態であるインクジェットヘッドの模式的斜視図である。
【図８】本発明の各実施形態における電極構造と電極の引き回しパターンを示す平面図である。
【図９】従来のベンドモードのインクジェットヘッドの構造例を示す断面図である。
【符号の説明】
【００４７】
１，１ａ，１ｂ…インクジェットヘッド
３…ノズル
５，５ａ，５ｂ…弾性板
６…インク室
７…インク
８，８ａ，８ｂ…圧電素子
９，９ａ，９ｂ…貫通孔
１１…第１の電極
１２…第２の電極
１５…引き出し電極
【図１】
2008012855.tif 000003
【図２】
2008012855.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図８】
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【図９】
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【図６】
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【図７】
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