(57)【要約】【課題】  ロールｔｏロール方式での銅張り積層板の製造に際し、フレキシブルプリント配線板や板厚の薄い配線板のような軟質の積層板であっても、「しわ」の発生を抑え、プリント配線板のパターン間距離の伸縮を少くする等により、製品性能と、信頼性を確保、向上することのできる新しい製造装置を提供する。【解決手段】  ロール状に巻回されている銅張り積層板１０を繰り出す搬出部１と、繰り出された銅張り積層板１０を処理もしくは検査する処置部２と、その後に配置された銅張り積層板１０をロール状に巻取り回収する巻取部３とを備えた銅張り積層板１０の製造装置であって、搬出部１と処置部２、並びに処置部２と巻取部３との各々の間にはアキュームロール４が設けられており、該アキュームロール４の少くとも一方の稼動ロール部には重量付加の調節を可能とするスプリングバランサー装置が配設されている製造装置とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロール状に巻回されている銅張り積層板を繰り出す搬出部と、繰り出された銅張り積層板を処理もしくは検査する処置部と、その後に配置された銅張り積層板をロール状に巻取り回収する巻取部とを備えた銅張り積層板の製造装置であって、搬出部と処置部、並びに処置部と巻取部との各々の間にはアキュームロールが設けられており、該アキュームロールの少くとも一方の稼動ロール部には重量付加の調節を可能とするスプリングバランサー装置が配設されていることを特徴とする積層板の製造方法。
【請求項２】
処置部は、基材表面に回路形成された銅張り積層板を検査する検査部であることを特徴とする請求項１に記載の積層板製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、銅張り積層板の処理や検査に係わる積層板の製造装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プリント配線板もしくはそのための積層板の製造に係わる装置として、ロール状に巻回されている長尺の銅張り積層板を繰り出して、感光性樹脂のレジスト塗布やフィルムラミネートを行い、マスクした後に露光して配線回路を形成する処理を施したり、あるいは形成された配線回路を検査し、その後ロール状に巻取り回収する、いわゆるロールｔｏロールの積層板の製造装置が知られている。このロールｔｏロール方式の製造装置では、大幅な生産性の向上が図れるもとになる。
【０００３】
ただ、このロールｔｏロール方式の銅張り積層板製造のための装置では、処理や検査等の処置部の前後での送り込みと送り出しに際して余裕代を必要としていることから、長尺の積層板の搬送過程での「たるみ」による「しわ」を生じやすく、この「しわ」はプリント配線板の配線パターンの位置ずれやゆがみの発生原因となりやすいという問題がある。
【０００４】
そこで、これまでにも、長尺基材のロールｔｏロールでのプリント配線板の製造において、その処理や検査の前段や後段にアキューム（段差）ロールを配置して、アキューム（段差）ロールの重みの付加により「たるみ」を吸収すること（特許文献１）や、アキューム（段差）ロールに錘りを付けること、さらには鎖により上下動を調製できるようにすること（特許文献２、３）が工夫されてきている。
【０００５】
しかしながら、このような工夫改善の提案がなされているものの、アキュームロールによる重み付加の調整についてはより簡便で精度よく行うことが求められている。錘りを付けることには手作業による操作と生産ラインの中断という問題があり、また鎖による昇降では、重み付加の調節が必ずしも円滑に、かつ精度良く行えないという問題がある。このような問題点は、特に、フレキシブルプリント配線板や板厚の薄いプリント配線板を製造する際に考慮されねばならない。
【０００６】
それと言うのも、これらの製造では、軟質な積層板であるが故に「しわ」が発生しやすく、そして「しわ」の発生は製品性能とその信頼性により大きな影響を及ぼしかねないからである。たとえば、プリント配線板の配線回路を形成した場合には、銅箔のエッチングされた部分が基点となって「しわ」が発生し、この「しわ」により製品内のパターン問距離が伸縮してしまい、製品に「ゆがみ」が生じ、製品性能と信頼性を損いかねない。
【特許文献１】特開２０００−１０６４８０号公報
【特許文献２】特開２００１−１２５２７４号公報
【特許文献３】特開２００１−１２７４０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、以上のとおりの背景から、従来の問題点を解消し、ロールｔｏロール方式での銅張り積層板の製造に際し、フレキシブルプリント配線板や板厚の薄い配線板のような軟質の積層板であっても、「しわ」の発生を抑え、プリント配線板のパターン間距離の伸縮を少くする等により、製品性能と、信頼性を確保、向上することのできる新しい製造装置を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の製造装置は以下のことを特徴としている。
【０００９】
第１：ロール状に巻回されている銅張り積層板を繰り出す搬出部と、繰り出された銅張り積層板を処理もしくは検査する処置部と、その後に配置された銅張り積層板をロール状に巻取り回収する巻取部とを備えた銅張り積層板の製造装置であって、搬出部と処置部、並びに処置部と巻取部との各々の間にはアキュームロールが設けられており、該アキュームロールの少くとも一方の稼動ロール部には重量付加の調節を可能とするスプリングバランサー装置が配設されている。
【００１０】
第２：処置部は、基材表面に回路形成された銅張り積層板を検査する検査部である。
【発明の効果】
【００１１】
上記第１の発明の製造装置によれば、アキュームロールの稼動ロール部に重量付加の調節を可能とするスプリングバランサー装置が配設されていることで、ロールｔｏロール方式での銅張り積層板の製造に際し、フレキシブルプリント配線板や板厚の薄い配線板のような軟質の積層板であっても、「しわ」の発生を抑え、プリント配線板のパターン間距離の伸縮を少くする等により、製品性能の確保と向上を図ることができる。
【００１２】
また、第２の配線回路によれば、すでに回路形成されたフレキシブル積層板や板厚の薄い積層板等の軟質のプリント配線板用積層板においても、その検査過程で上記のとおりの効果を確実に実現することもできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本配線回路の積層板の製造装置については、その実施の形態を、たとえば図１の全体構成例として示すことができる。この例に示したように、積層板の製造装置は、ロール状に巻回されている銅張り積層板１０を繰り出す搬出部１と、繰り出された銅張り積層板１０を処理もしくは検査る処置部２と、その後に配置された銅張り積層板１０をロール状に巻取り回収する巻取部３とを備えている。そして、搬出部１と処置部２、並びに処置部２と巻取部３との各々の間にはアキュームロール４が設けられており、該アキュームロールの少くとも一方の稼動ロール部には重量付加の調節を可能とするスプリングバランサー装置５が配設されている。
【００１４】
ここで、アキュームロール４は、ダンサ（段差）ロールとも呼ばれているものであって、通常の搬送用ロール６とは、その回転軸心の水平位置が、高さ方向において相違し、いわゆる段差のある位置関係を有している。このアキュームロール４は、その速さによって、銅張り積層板１０の搬送過程における好ましくない「たるみ」を解消するものとして従来より使用されているものである。そして、このアキュームロールの重さを調製するために、錘りを付けたり、さらには鎖により上下昇降可能とすることが従来より工夫されている。
【００１５】
しかしながら、その重さがあらかじめ所定範囲内に設定されているとは言え、アキュームロール４だけの場合にはその自重の全てが銅張り積層板１０にかかってしまい、特に、フレキシブル、あるいは板厚の薄い積層板では収縮、「しわ」が発生しやすくなる。このような問題は、付けたり、外したり、あるいは変更したりする面倒な操作を必要とする錘の付加や上下昇降動作がスムーズに精度良く行うことの難しい鎖手段によっては、簡便に、かつ精度良く解消することは難しい。
【００１６】
一方、上記のようにアキュームロール４の稼動ロール部にスプリングバランサー装置５を配設することで、これらの問題を解消している。スプリングバランサー装置５は、上記の稼動ロールを上方より支持した上下に昇降自在とし、アキュームロール４の重みによる重量付加の度合いを調節可能としている。つまりアキュームロール４の自重を軽減できるようにしている。
【００１７】
このようなスプリングバランサー装置５は、たとえば一般的には、吊り下げワイヤを巻き付けた回転可能な回転ドラムと、ワイヤを巻き付けるための力（巻き取る方向へのトルク）をドラムに付与するスプリングとをケース内に内蔵したものとして知られている各種のものを使用することができる。なかでも、スプリングのトルク変化を、テーパドラムにすることにより良好なバランスを取れるようにしたスプリングバランサー装置（たとえば特開２００３−２４６５９０号公報等を参照）、より具体的には、遠藤工業株式会社製のスプリングバランサーＥＷＳ、ＥＷ、ＥＷＦ型等の使用を考慮することができる。
【００１８】
このようなスプリングバランサー装置を配設することで、銅張り積層板１０に対してアキュームロール４により付加される重みの度合が所要の範囲内になるように上記トルク変化を制御することができる。これによって、銅張り積層板１０には、均一に所要のテンションが付加されて「しわ」の発生、ひいては回路パターン間距離の伸縮等の不具合の発生を抑えることが可能となる。
【００１９】
スプリングバランサー装置を配設した本発明の製造装置においては、図１に例示した搬出部１、処置部２、および巻取部３についてはこれまで公知の構成をはじめとして各種のものとしてよい。図１においては省略しているが、各種ロールの回転駆動のための駆動源や動力伝達装置、銅張り積層板１０の搬送速度のための計測モニター装置や制御装置、あるいは温度制御装置等の各種の手段が用いられてよいことは言うまでもない。
【００２０】
また、処置部２については、たとえば配線回路の形成のための露光等の処理や、パターン形成された配線回路の検査等を目的とするものであってよい。これらの処置部の前後には、搬送部１や巻取部３の一部として前処理部、あるいは後処理部を配置してもよい。たとえば処置部２が配線回路の検査部（たとえば特開２０００−１０６４８０号等に記載）である場合には、前処理部として、配線回路形成部を配置してもよい。この場合には、たとえば、銅箔表面の研磨、レジストインクの塗布、あるいはレジスト用ラミネートフィルムの貼着、レジストの露光、エッチング、エッチングレジストの除去等のための処理部であってよい。
【００２１】
そこで以下に実施例を示し、さらに詳しく説明する。
【００２２】
もちろん以下の例によって発明が限定されることはない。
【実施例】
【００２３】
この実施形態においては、フレキシブル回路形成品（銅張り積層板）について、スプリングバランサー装置の有る場合と無い場合について、検査（処置部）時の「しわ」の発生状況と、パターン間距離のバラツキの差について評価した。
（試料）
厚み１２．５μｍ、幅２５０ｍｍのベースフィルム（ポリイミド、東レエンジニアリング「９Ｈ１−ＲＮ５０」）に厚み１８μｍの銅箔が貼られたロール片面銅張り積層板を化学研磨、ドライフィルムラミネート、露光、そして回路形成（東京加工機社製エッチッグライン）したプリント配線用積層板を用いた。
（試験）
上記の積層板を用いて、内層用回路の欠陥検査（大日本スクリーン社製ＡＯＩ検査機ＰＩ−６４００）を行った。
【００２４】
検査機の前後および後段のアキュームロールの稼動ロール部にスプリングバランサー装置（遠藤工業株式会社製、「ＥＷＦ−１５」）を設置して検査を行った。また比較のために設置行わない場合についても検査を行った。
【００２５】
なお、上記積層板の送り速度はいずれの場合も約２ｍ／ｍｉｎとした。
【００２６】
上記各々場合について、「しわ」の発生と、パターン間距離のバラツキ変化を次の方法により評価した。
（１）しわ発生
検査後の試料を所定サイズに切断し、目視にて確認評価した。
（２）パターン間距離
表面回路を形成したもののマークの距離の、強度、外力等で収縮する時の設計値からのズレバラツキの大きさ
（結果）
試験の結果は表１のとおりであった。アキュームロールの稼動ロール部にスプリングバランサー装置を配置することにより「しわ」の発生およびパターン間距離のズレ、バラツキが大幅に低減できることが判明した。
【００２７】
また、スプリングバランサー装置を前段および後段のいずれか一方に配置した場合でも同等の効果が得られた。
【００２８】
【表１】
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【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】実施形態として装置の全体構成を例示した概要図である。
【符号の説明】
【００３０】
１  搬出部
２  処置部
３  巻取部
４  アキュームロール
５  スプリングバランサー装置
６  搬送用ロール
１０  銅張り積層板
【図１】
2008084961.tif 000004