(57)【要約】【課題】  基板ホルダ組立て装置を提供する。【解決手段】  基板をベースプレートに取り付けおよび取り外す装置、特に、調節可能なスナップ・リング・ホルダを含む、コーティング機構における使用のために基板をラッチし、および基板をベースプレートから取り外す自動化された形体を含む基板ホルダ組立て装置である。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動止めを有するベースおよび止め部を有するカバーを含み、前記止め部が前記移動止めと係合し、前記カバーを前記ベースに固定するタイプの基板ホルダを組み立ておよび分解するための基板ホルダ組立て装置であって、
前記基板ホルダを表を下にして支持するための基板ホルダ台と、
組立ておよび分解中に前記基板ホルダを表を上にして支持するための基板ホルダ装填ドックと、
前記基板ホルダをつかみ、前記基板ホルダを反転させ、前記基板ホルダを前記基板ホルダ装填ドックの上に配置するための、前記基板ホルダ台と前記基板ホルダ装填ドックとの間において可動なリフティング・アームと、
前記移動止めを前記止め部から離脱させ、それにより、前記カバーが前記ベースから分離され、基板が装填されるか、または基板ホルダから取り出されることを可能にする、前記基板ホルダ装填ドックから延びるアクチュエータ手段と、
を備える、基板ホルダ組立て装置。
【請求項２】
前記リフティング・アームが、前記基板ホルダを前記リフティング・アームに固定するために前記ベース上のロッキング溝と係合するためのロッキング指状突起を含む、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記リフティング・アームが、前記基板ホルダ台と前記基板ホルダ装填ドックとの間において旋回式に取り付けられ、それにより、前記リフティング・アームが前記基板ホルダ台から前記基板ホルダ装填ドックに回転することにより、前記基板ホルダを表が下から表が上に反転する、請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記アクチュエータ手段が、前記ベースの上に取り付けられた複数の移動止めと係合するために、前記基板ホルダ装填ドック上に間隔をおいて配置された複数の可動アクチュエータを含む、請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記移動止めを前記止め部から解放するために、前記可動アクチュエータが前記移動止めを径方向内向きにスライドさせるように径方向内向きに往復運動する、請求項４に記載の装置。
【請求項６】
前記基板ホルダ台が、前記可動アクチュエータの相対位置に対応する複数のインジケータを含み、それにより、前記基板ホルダ台における前記移動止めと前記インジケータとの位置合わせが、前記移動止めが前記基板ホルダ装填ドックにおいて前記可動アクチュエータと位置合わせされることを保証する、請求項４に記載の装置。
【請求項７】
前記基板ホルダ台が、間隔をおいて配置された複数の台座を含み、各台座が、前記複数のインジケータの１つを提供する、請求項６に記載の装置。
【請求項８】
各台座が、前記基板ホルダを支え位置に誘導するための斜め面を含む、請求項７に記載の装置。
【請求項９】
基板ホルダをさらに備え、前記基板ホルダが、
その上に往復運動可能な複数の移動止めを含むベースと、
前記移動止めと係合するための複数の止め部を含むカバーと、
を備える、請求項１に記載の装置。
【請求項１０】
各移動止めが、それぞれのカム表面と係合するためのラッチ表面、およびそれぞれのアクチュエータと係合するための当接表面を備える、請求項９に記載の装置。
【請求項１１】
前記ラッチ表面が、前記ベースに対して鋭角にあり、それにより、前記ラッチ表面が、前記基板の厚さに応じて複数の位置において前記カム表面によって係合可能である、請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】
前記カム表面と係合するように前記ラッチ表面を偏向させるばね手段をさらに備える、請求項１０に記載の装置。
【請求項１３】
前記カバーが、前記ベースの周囲を取り巻いて延びる環状フランジを備え、前記フランジの外側自由縁が、前記カム表面を有する前記止め部を形成する、請求項１０に記載の装置。
【請求項１４】
前記カバーが、０．００５インチと０．０１５インチの間の厚さであり、電気錫めっきスチールから製作され、前記カバーを１回または２回の使用後に使い捨て可能であり得る、請求項１０に記載の装置。
【請求項１５】
前記基板ホルダが前記基板ホルダ台に取り付けられているとき、前記基板ホルダをつかむために前記ベース上のロッキング溝と係合する取外し工具をさらに備える、請求項１に記載の装置。
【請求項１６】
前記取外し工具が、細長いハンドル、前記ロッキング溝の１側面と係合するための固定ブラケット、前記ロッキング溝の対向側面と係合するためのスライド・ブラケット、および前記ロッキング溝と係合し、かつ前記ロッキング溝から離脱するように前記スライド・ブラケットを作動させるための前記細長いハンドル上に取り付けられたアクチュエータを含む、請求項１５に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板をベースプレートに取り付けおよび取り外す装置、特に、調節可能スナップ・リング・ホルダを含む、コーティング機構における使用のために基板をラッチし、および基板をベースプレートから取り外す自動化された形体を含む基板ホルダ組立て装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１に示される従来の基板ホルダ１は、ねじ固定具４を使用して環状カバー３に固定されたベースプレート２を含む。環状カバー３は、１つまたは複数の基板７の縁をベースプレート２に接して保持するための環状ショルダ６を含む。円筒凹部８または他の位置合わせの形体が、コーティング・システムにおいて取付け機構から先細ピンを受け、それにより先細ピンの追合位置合わせの形体を提供するためにベースプレート２に設けられている。
【０００３】
残念ながら、ねじ固定具を使用する基板ホルダは、技術者が環状カバーを手作業で組み立て、ベースから解体する間、組立てプロセスおよび分解プロセス中に貴重な時間を浪費する。さらに、基板ホルダを手作業で操作することにより、基板ホルダ、またはさらに悪いことには基板自体を損傷する危険性が増大する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、ねじ固定具の必要性を排除し、かつ基板ホルダと人との接触を最小限に抑える自動基板ホルダ組立て装置を提供することによって、従来技術の欠点を克服することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
したがって、本発明は、移動止めを有するベースおよび止め部を有するカバーを含み、前記止め部が前記移動止めと係合し、前記カバーを前記ベースに固定するタイプの基板ホルダを組み立ておよび分解するための基板ホルダ組立て装置に関するものであり、
前記基板ホルダを表を下にして支持するための基板ホルダ台と、
組立ておよび分解中に前記基板ホルダを表を上にして支持するための基板ホルダ装填ドックと、
前記基板ホルダをつかみ、前記基板ホルダを反転させ、前記基板ホルダを前記基板ホルダ装填ドックの上に配置するための、前記基板ホルダ台と前記基板ホルダ装填ドックとの間において可動なリフティング・アームと、
前記移動止めを前記止め部から離脱させ、それにより、前記カバーが前記ベースから分離され、基板が装填されるか、または基板ホルダから取り出されることを可能にする、前記基板ホルダ装填ドックから延びるアクチュエータ手段と、を備える。
【０００６】
本発明は、好ましい実施形態を表す添付の図面を参照してさらに詳細に記述される。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
図２から４を参照すると、本発明による好ましい基板ホルダ１１は、ベース１３の上に取り付けられた全体的に使い捨て可能なカバー１２ａ（図３）、またはベース１３の上に取り付けられた全体的に再使用可能なカバー１２ｂ（図４）を含み、本発明の出願人のものとして２００６年４月２０日に公開された米国特許公開２００６／００８１４６８において開示されているように、１つまたは複数の鉄、コバルト、およびニッケルを含む強磁性材料など、磁気ラッチによって引き付けられる材料で全体的または少なくとも部分的に形成されることが好ましい。ベース１３は、磁気ラッチから先細ピンを受けるための凹部を有する円筒突出部１４、および環状溝２０を形成する環状取付けリング１５を含み、これらは以下において記述される。ベース１３は、基板１６の背面の保護カバーを提供し、それにより、意図せずかつ望ましくない背面のコーティングを防止する。各カバー１２ａおよび１２ｂは、基板１６の１つまたは複数の開口を含み、各開口を取り巻いて延びるリップ１８を画定する。各リップ１８は、ベース１３の上面に形成されたスロット１９において基板１６の縁を保持する。カバー１２ａおよび１２ｂの開口は、通常は丸いが、基板１６の形状に応じて正方形または楕円などの任意の形状とすることができる。
【０００８】
カバー１２ａおよび１２ｂはまた、ベース１３の上面が覆われ、それにより漂遊コーティング材料から保護されることを保証するために、環状中間領域２１をも含む。環状フランジ２２が、ベース１３の側壁を漂遊コーティング材料から保護するために、ベース１３の側壁に隣接する中間領域２１から垂直に延びる。カバー１２ａ（図３）では、環状フランジ２２の上方および外側自由縁２３ａが、ベース１３の上においてラッチ表面３１と係合するための止め部またはカム表面（ｃａｍｍｉｎｇ  ｓｕｒｆａｃｅ）を形成する環状フランジ２２の残りと平行に内側後方にぐるりと曲げられる。代替として、１つまたは複数の別のクリップが、移動止め３２のラッチ表面３１と係合するようにカバー１２ａからカバー１２ａに垂直に延びることができる。クリップは、カバー１２ａと同じシート金属など、弾性材料で作成され、クリップおよびカバー１２ａが比較的容易に、すなわち補助工具を使用せずに手作業で解放されることを可能にすることが好ましい。クリップから延びるレバー、押しボタン、および回転ノブを含めて、クリップの離脱を容易にするために、様々な機械的手段を提供することができる。
【０００９】
カバー１２ｂの環状フランジ２２の上方または外側自由縁は、固体環状リング２６および環状溝２７を含む（図４参照）。環状リング２６は、移動止め３２のための止め部を提供し、環状溝２７に隣接して斜めコーナ２８を有し、ラッチ表面３１と係合するためのカム表面を提供する。
【００１０】
カバー１２ａまたは１２ｂをベース１３から取り外すのを容易にするために、ラッチ表面３１は、可動な移動止めまたはスライド３２の上に配置され、これは、十分な力が加えられるとき、ベース１３の中心に向かって、たとえば径方向に、すなわち円筒凹部１４に向かって往復運動する。ねじ込み固定具３３が、往復運動中に移動止め３２を誘導するために、移動止め３２のスロット３４を通ってベース１３の中に延びる。環状リング１５の背面から延びるばね３６が、移動止め３２を外向きにばね偏向させ、それによりラッチ表面３１は、止め部の上のカム表面、すなわち環状フランジ２２の外側自由縁２３ａまたは２３ｂと係合し、カバー１２ａまたは１２ｂをベース１３から解放するために打ち勝たなければならない一連の力を提供する。ラッチ表面３１はまた、斜めコーナ２８とほぼ同じ角度において斜め縁を含み、これにより、ラッチ表面３１の斜め縁が、様々な基板の厚さに対応する様々な位置において斜め面コーナ２８と係合することが可能になる。環状溝２７は、様々な基板の厚さに対応する様々な位置において移動止め２３の端部を受けるための十分なギャップを提供する。当接表面３７が、以下で議論される理由により、ラッチ表面３１と反対側において、かつばね３６が移動止め３２と係合する場所と隣接して移動止め３２の端部の上に設けられる。
【００１１】
通常の基板は、直径が２００ｍｍで厚さが０．２ｍｍから１．４ｍｍのガラス・ウエハ２００である。しかし、たとえば３２ｍｍまでの厚さおよび２ｋｇまでの質量など、他の基板の形態が可能である。
【００１２】
図２から４に示される基板ホルダは、１回または２回の使用後に使い捨て可能である安価なシート金属スタンピングから製作されることが好ましい使い捨て可能カバー１２ａ、または再使用可能カバー１２ｂを使用する。カバー１２ａおよび１２ｂは、加速、振動、および温度のサイクル中に基板１６をベース１３に対して確実かつ精確に保持する。さらに、カバー１２ａおよび１２ｂは、ベース１３を漂遊コーティング・フラックスから遮断し、漂遊コーティング・フラックスは、そうでない場合、ベース１３の上に付着して、剥がれ落ちる場合、基板１６を損傷する原因となる。
【００１３】
理想的には、カバー１２ａおよび１２ｂは、漂遊コーティング材料の接着性を促進する表面特性を外面上に含み、また、容易な洗浄を助長し、基板１６と接触するとき、基板１６の品質を落とさない表面特性を内面上に含む。カバー１２ａおよび１２ｂの１つまたは複数の材料は、コーティング温度において低い蒸気圧を有するべきであり、それにより、カバーから放出される任意の材料が基板１６を汚染すること、またはそうでない場合はコーティング・プロセスに影響を与えることを最小限に抑える。
【００１４】
使い捨て可能カバー１２ａは、安価で、適宜ばね力を提供するように十分な弾性で容易に変形可能であり、コーティング温度において低い蒸気圧を有し、最小限の毒性廃棄物の流出を有するべきである。理想的には、使い捨て可能カバー１２ａは、厚さが０．００５インチと０．０１５の間である。しかし、より薄いカバーが、非常に小さい基板には可能である。すなわち、０．０１５インチまでが好ましい。カバー１２ａは、比較的安価で容易に形成される電気錫めっきスチール（錫プレート）から製作されることが好ましい。電気錫めっきスチールは、容易に洗浄することができる滑らかな表面を有する。錫めっきは、コーティング温度において低い蒸気圧（２３２．０６℃において５．７８Ｅ−２１Ｐａ）を有し、ほとんどの金属および金属酸化物について比較的良好な接着性を提供し、それにより、漂遊コーティング材料は、基板１６上へ偏向するよりも、むしろカバー１２ａに付着する。錫の融点（２３２℃）より高いコーティングの応用分野では、アルミニウムおよびステンレス・スチールなどの他のシート金属を使用することができる。カバー１２ａの外面の接着特性を向上させるために、表面処置が必要である可能性がある。
【００１５】
再使用可能カバー１２ｂは、アルミニウムまたはステンレス・スチールから作成されることが好ましい。アルミニウムは容易に機械加工することができ、かつ軽量であり、漂遊コーティング材料はアルミニウムによく接着する。アルミニウム・カバー１２ｂの外面を粗仕上げすることにより、材料の接着性を向上させることができる。アルミニウムはあまり硬くないので、基板支持リップ１８の形状および清浄度を維持するために、慎重にしなければならない。ステンレス・スチールは非常に硬く、基板１６の優れた支持を提供する。漂遊コーティング材料の接着性を向上させるために、外面を荒仕上げする、またはそうでない場合はトレッド模様とすることができる。
【００１６】
図５、６、および７を参照すると、４１において全体的に示される基板ホルダ組立て装置は、基板ホルダ台または支え区域４２、ピボット・アーム４３、およびプラットフォーム４５の上に取り付けられた基板ホルダ装填ドック４４を含む。台区域４２は、間隔をおいて配置された４つの台座４６を含み、それぞれ、斜め面４７およびショルダ４８を形成する斜め面内部コーナを有する。各台座４６の斜め面４７は、基板ホルダ１１を４つのショルダ４８上の支え位置に誘導するための誘導表面を提供する。図示された台区域４２は、ピボット・アーム４２への取り付け期間に基板ホルダ１１の支持を提供する任意の等価な構造によって置き換えることができる。
【００１７】
ピボット・アーム４３は、水平回転軸４９の回りにおいて装填ドック区域４４に旋回式に接続され、軸４９から外向きに延びるプレート５１、およびプレート５１の外側自由端部に対して垂直に延びるハンドル５２を備える。ロッキング指状突起（ｆｉｎｇｅｒ）５４を有するセンタリング・ソケット５３が、環状リング１５の中に延びるためにプレート５１からその中央付近まで延び、それにより、ロッキング指状突起５４は、溝２０と係合し、基板ホルダ１１のベース１３をピボット・アーム４３に固定することができる。センタリング・ソケット５３は、ベース１３がピボット・アーム４３と適切に位置合わせされているとき、円筒突出部１４を受ける。ロッキング指状突起５４の作動機構５５は、プレート５１からセンタリング・ソケット５３と反対側に延びる。
【００１８】
装填ドック区域４４は、側壁５７および上方カバー５８からなるハウジング５６を含む。上方カバー５８は、ピボット・アーム４３が装填ドック区域４４の上に適所に枢動されたとき、作動機構５５を受けるための大きな円形開口５９を含む。開口５９の回りに間隔をおいて配置されたアクチュエータ６１が、移動止め３２の当接表面３７と係合するために上方カバー５８において矩形開口を通って延び、それにより、矢印６２によって示されるアクチュエータ６１の往復運動または回転などの運動が、図４の矢印６３によって示されるように、ばね２６のバイアス力に対向して移動止め３２を往復運動させ、それによりラッチ表面３１を環状フランジ２２のカム表面から離脱させる。図示された実施形態では、４つのアクチュエータ６１が、開口５９の回りに周方向に間隔をおいて配置され、それぞれが当接表面３７と係合するために矩形アームから垂直に延びる矩形リップ６４を有する矩形アームからなり、示されているが、アクチュエータ６１の任意の数、構成、および形状が、ベース１３の上に提供される移動止め３２の数、位置、およびサイズに応じて可能である。
【００１９】
使用時、基板ホルダ１１が、台区域４２上に表を下にして慎重に配置され、移動止め３２がアクチュエータ６１と位置合わせされるように計測される。理想的には、台区域４２には、アクチュエータ６１の位置に対応する間隔をおいて配置されたインジケータが設けられており、移動止め３２は、そのインジケータと位置合わせされ、それにより、ピボット・アーム４３が装填ドック区域４３に対して回転するとき、移動止め３２はアクチュエータ６１と位置合わせされる。図示された実施形態では、移動止め３２は、台区域４２の台座４６と位置合わせされ、これにより、移動止め３２が装填ドック区域４３においてアクチュエータ６１と位置合わせされる、すなわち、台座４６自体またはその上面がインジケータとして作用することが保証される。台座４６の斜め面４７は、環状フランジ２２がショルダ４８上に支えられるまで、基板ホルダ１１を誘導する。ピボット・アーム４３は、センタリング・ソケット５３が円筒突出部１４を囲む状態で、基板ホルダ１１の上の適所に回転する。基板ホルダ１１をピボット・アーム４３に固定するために、１つまたは複数のロッキング指状突起５４が溝２０内の位置へ動かされる。次いで、作動機構５５が開口５９を通って延びる状態で、基板ホルダ１１が装填ドック区域４３の上部カバー５８上に表を上にして支えられるまで、ピボット・アーム４３が図５および６の弧によって示されるように回転される。装填ドック区域４３上の支え位置において、アクチュエータ６１の端部は、それぞれの当接表面３７の近傍の適所に延びる。アクチュエータ６１が作動することにより、移動止め３２は、環状フランジ２２上のカム表面との接触から強制的に外れ、それにより、カバー１２ａまたは１２ｂをベース１３から解放する。それにより、カバー１２ａまたは１２ｂおよび基板１６をベース１３から取り外すことができ、新しい基板１６およびカバー１２ａまたは１２をベース１３上において交換することができる。アクチュエータ６１が離脱しているとき、移動止め３２は、新しい環状フランジ２２上のカム表面と係合する。ラッチ表面３１は、ベース１３に対して鋭角にあり、それにより、ラッチ表面３１が、様々な基板の厚さに対応する様々な位置において環状フランジ２２のカム表面と係合することが可能になる。次いで、ピボット・アーム４３は台区域４２まで戻って回転することができ、この場合、ロッキング指状突起５４は溝２０から離脱し、それにより、基板ホルダ１１をピボット・アーム４３から解放する。次いで、基板ホルダ１１は、基板１６上にコーティングを加えるために、適切なコーティング機構に対して再配置される。
【００２０】
アクチュエータ６１、ロッキング指状突起５４、およびピボット・アーム４３の回転も動力を使用可能であり、たとえば電気式および／または空気式あるいは単に手動式で作動させることができる。電源は、単一の制御ボックス、または台区域４２の近傍および装填ドック区域４３の近傍など、作動された特定の装置の近傍の別々の制御位置から遠隔的に制御することができる。
【００２１】
図７から９を参照すると、基板ホルダ取外し工具７１は、その一端において固定された第１ハンドル７３、そのおよび中央の近傍に固定された第２ハンドル７４を有する細長いアーム７２を含む。第１ハンドル７３および第２ハンドル７４の両方とも、細長いアーム７２に対して垂直に延びるハンド・グリップを含むことが好ましい。固定されたブラケットまたはウエッジ７６が、環状リング１５の一側面上において溝２０と係合するために細長いアーム７２の外側自由端部から延びる。スライド・ブラケットまたはウエッジ７７が、固定ウエッジ７６が溝２０と係合する場所と対角に反対側の位置において環状リング１５の溝２０と係合するために、第２ハンドル７４と固定ウエッジ７６の間の領域の細長いアーム７２の上において往復運動可能である。作動レバー７８が、環状リング１５と係合し、または離脱するように、スライド・ウエッジ７６を遠隔的に作動させるために、第１ハンドル７３および第２ハンドル７４の一方の近傍に配置される。作動レバー７８の中央は、細長いアーム７２に旋回式に取り付けられ、作動レバー７８の一端は、往復運動リンクまたはロッド７９の一端に旋回式に取り付けられる。往復運動ロッド７９の他の端部は、ばね８１によって固定ウエッジ７６から離れてばね偏向されるスライド・ウエッジ７７に当接する。ばね８１は、細長いアーム７２の上に取り付けられたストップ・ショルダ８２に固定される。したがって、作動レバー７８の外側自由端部に加えられた力により、作動レバー７８が回転し、往復運動ロッド７９がスライド・ウエッジ７７と係合するように細長いアーム７２内において往復運動し、これにより、ばね８１のばね力に打ち勝って、強制的にスライド・ウエッジ７７を固定ウエッジ７６に向かって押す。その結果、スライド・ウエッジ７７は、溝２０内において離脱し、工具７１は、基板ホルダ１１から分離することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】従来の基板ホルダを示す図である。
【図２】本発明による基板ホルダの等角投影図である。
【図３】図２の基板ホルダの実施形態の断面図である。
【図４】図２の基板ホルダの他の実施形態の断面図である。
【図５】本発明による基板ホルダ組立て装置の等角投影図である。
【図６】図５の基板ホルダ組立て装置の側面図である。
【図７】図５の基板ホルダ組立て装置の等角投影図である。
【図８】本発明による基板装填／取出し工具の等角投影図である。
【図９】図８の基板装填／取出し工具の断面図である。
【符号の説明】
【００２３】
１１  基板ホルダ
１２ａ  使い捨て可能カバー
１２ｂ  再使用可能カバー
１３  ベース
１４  円筒突出部
１５  環状リング
１６  基板
１８  リップ
１９  スロット
２０  溝
２１  環状中間領域
２２  環状フランジ
２３ａ  外側自由縁
２３ｂ  外側自由縁
２６  環状リング
２７  環状溝
２８  斜めコーナ
３１  ラッチ表面
３２  移動止めまたはスライド
３３  ねじ込み固定具
３４  スロット
３６  ばね
３７  当接表面
４１  基板ホルダ組立て装置
４２  支え区域
４３  ピボット・アーム
４４  基板ホルダ装填ドック
４５  プラットフォーム
４６  台座
４７  斜め面
４８  ショルダ
４９  水平回転軸
５１  プレート
５２  ハンドル
５３  センタリング・ソケット
５４  ロッキング指状突起
５５  作動機構
５６  ハウジング
５７  側壁
５８  上方カバー
５９  大きな円形開口
６１  アクチュエータ
６２  矢印
６３  矢印
６４  矩形リップ
【図１】
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【図２】
2008075180.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2008075180.tif 000009
【図８】
2008075180.tif 000010
【図９】
2008075180.tif 000011
【外国語明細書】
2008075180.tif 000012
2008075180.tif 000013
2008075180.tif 000014
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