(57)【要約】【課題】耐久性の向上を図る。【解決手段】パッド本体３１の下面側には、弾性材料からなる弾性パッド部３２が接続されている。弾性パッド部３２は、吸着時に被吸着物である液晶パネル１１に対して当接可能とされる。パッド本体３１及び弾性パッド部３２には、内部を貫通し弾性パッド部３２における液晶パネル１１との対向面に開口する排気路４２が確保されている。パッド本体３１及び弾性パッド部３２の接続部分３４は、外周側からカバー３５によって保持されている。【選択図】図４
2008012637.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被吸着物を真空吸着して保持するための吸着パッドであって、
パッド本体と、
前記パッド本体よりも軟質な弾性材料からなり、パッド本体に接続されるとともに吸着時に前記被吸着物に対して当接される弾性パッド部と、
前記パッド本体及び前記弾性パッド部を貫通し弾性パッド部における前記被吸着物との対向面に開口する排気路と、
前記パッド本体及び前記弾性パッド部の接続部分を外周側から保持する保持部材とを備える吸着パッド。
【請求項２】
前記保持部材は、前記接続部分をほぼ全周にわたって取り囲む略筒状に形成されている請求項１記載の吸着パッド。
【請求項３】
前記保持部材は、弾性材料からなるとともに前記接続部分に対して圧接可能な弾性保持部と、この弾性保持部よりも硬質な材料からなるとともに弾性保持部の外周側に配される受け部とにより構成されている請求項１または請求項２記載の吸着パッド。
【請求項４】
前記保持部材は、ヒンジ部を介して開閉可能に組み付けられた一対の半割部品により構成され、前記接続部分に対して着脱可能とされている請求項２または請求項３記載の吸着パッド。
【請求項５】
前記弾性パッド部は、多層構造に形成され、層間の界面が曲面形状または凹凸形状に形成されている請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の吸着パッド。
【請求項６】
前記弾性パッド部は、硬さが異なる複数の材料によって多層構造に形成され、このうち前記パッド本体に隣接する層が、パッド本体とは反対側に隣接する層よりも硬質な材料により形成されている請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の吸着パッド。
【請求項７】
表示パネルを製造するのに用いられるものであって、前記請求項１ないし前記請求項６のいずれかに記載の吸着パッドを備えている表示パネルの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸着パッド及びそれを用いた表示パネルの製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置は、大まかには、表示パネルである液晶パネルと、液晶パネルに対して光を照射する外部光源であるバックライトとから構成され、このうち液晶パネルは、一対のガラス製の基板間に液晶を挟持した構造を有する。この液晶パネルの製造工程で用いられる搬送装置や分断装置では、基板や液晶パネルを真空吸着して保持するようにしており、そのために吸着パッドが備えられている。
【０００３】
吸着パッドは、例えば金属製のパッド本体と、パッド本体に接続され基板や液晶パネルに対して当接されるゴム製の弾性パッド部とからなる。パッド本体及び弾性パッド部には、排気路が弾性パッド部における基板や液晶パネルとの対向面に開口する形態で貫通形成されている。この弾性パッド部を基板や液晶パネルに当接させた状態で排気路から真空ポンプなどで排気することで、基板や液晶パネルが弾性パッド部に真空吸着される。この吸着時には、弾性パッドが弾性変形することで、基板や液晶パネルに対する密着度が高められるとともに緩衝が図られるようになっている。
【０００４】
なお、この種の吸着パッドの一例として下記特許文献１に記載されたものが知られている。
【特許文献１】特開２００３−１９１１９１公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、基板や液晶パネルを真空吸着する際や、保持した基板や液晶パネルを移動させる際には、弾性パッド部に横向き、つまり接続部分の面方向に沿った向きの力が作用することがある。このとき、金属製のパッド本体に対してゴム製の弾性パッド部が横方向にずれると、両者の接続部分の界面に剥離が生じるおそれがあり、このため、弾性パッド部の交換頻度が高くなる、という問題があった。
【０００６】
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、耐久性の向上を図ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の吸着パッドは、被吸着物を真空吸着して保持するための吸着パッドであって、パッド本体と、前記パッド本体よりも軟質な弾性材料からなり、パッド本体に接続されるとともに吸着時に前記被吸着物に対して当接される弾性パッド部と、前記パッド本体及び前記弾性パッド部を貫通し弾性パッド部における前記被吸着物との対向面に開口する排気路と、前記パッド本体及び前記弾性パッド部の接続部分を外周側から保持する保持部材とを備える構成とされる。
【０００８】
このようにすると、弾性パッド部を被吸着物に当接させつつ排気路から排気すると、被吸着物が弾性パッド部に真空吸着されて保持される。この真空吸着時などには、弾性パッド部に対し、接続部分の面方向に沿った向きの力が作用することがあるが、接続部分を外周側から保持部材により保持するようにしたから、この保持部材により上記力を受けることができるとともに、パッド本体に対する弾性パッド部のずれを抑制できる。これにより、接続部分に剥離が生じ難くすることができる。
【０００９】
本発明の実施態様として、次の構成が好ましい。
（１）前記保持部材は、前記接続部分をほぼ全周にわたって取り囲む略筒状に形成される構成とする。このようにすれば、接続部分の剥離防止に一層有効となる。その上、保持部材による接続部分の保護にもより有効となる。
【００１０】
（２）前記保持部材は、弾性材料からなるとともに前記接続部分に対して圧接可能な弾性保持部と、この弾性保持部よりも硬質な材料からなるとともに弾性保持部の外周側に配される受け部とにより構成されるものとする。このようにすれば、接続部分に対して圧接された弾性保持部が、それよりも硬質な材料からなる受け部によって外周側で受けられるから、接続部分をほぼ隙間無く保持することができる。
【００１１】
（３）前記保持部材は、ヒンジ部を介して開閉可能に組み付けられた一対の半割部品により構成され、前記接続部分に対して着脱可能とされる構成とする。このようにすれば、保持部材を接続部分から取り外すことで、弾性パッド部の交換作業を容易に行うことができる。
【００１２】
（４）前記弾性パッド部は、多層構造に形成され、層間の界面が曲面形状または凹凸形状に形成される構成とする。このようにすれば、弾性パッド部の層間の界面における表面積が増加するので、弾性パッド部に作用する力の分散化を図ることができる。
【００１３】
（５）前記弾性パッド部は、硬さが異なる複数の材料によって多層構造に形成され、このうち前記パッド本体に隣接する層が、パッド本体とは反対側に隣接する層よりも硬質な材料により形成される構成とする。このようにすれば、弾性パッド部に作用する力を、パッド本体に隣接する層とは反対側の軟質な材料からなる層によって良好に吸収することができる。
【００１４】
（６）表示パネルを製造するのに用いられるものであって、上記（１）ないし（５）のいずれかに記載の吸着パッドを備えている表示パネルの製造装置とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、耐久性の向上を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
＜実施形態１＞
本発明の実施形態１を図１ないし図４によって説明する。本実施形態では、液晶表示装置１０を構成する液晶パネル１１の製造工程で用いられる装置に備えられた吸着パッド３０を例示する。
【００１７】
まず、液晶表示装置１０の構造について説明する。液晶表示装置１０は、図１に示すように、大まかには、画像を表示するための液晶パネル１１と、液晶パネル１１の裏側（後側）に配される外部光源であるバックライト１２とを互いに組み付けた構成とされる。液晶パネル１１は、その裏側のバックライト１２と、表側（前側）に配された略枠形をなすベゼル１３との間に挟まれた状態で保持される。
【００１８】
バックライト１２は、表側（液晶パネル１１側）に向けて開口した略箱形をなすケース１４と、ケース１４内に互いに平行に並んだ状態で収容される複数本の線状光源１５（例えば冷陰極管）と、ケース１４の開口部に積層した状態で配される複数の光学シート１６（例えば裏側から順に拡散板、拡散シート、レンズシート、及び輝度上昇シート）と、これら光学シート１６群をケース１４との間で挟んで保持するための略枠状のフレーム１７とから構成される。各光学シート１６は、各線状光源１５から発せられる光を面状に変換するなどの機能を有するものである。
【００１９】
液晶パネル１１は、大まかには、全体として矩形状をなしており、一対の透明な（透光性を有する）ガラス製の基板１８，１９と、両基板１８，１９間に挟持されるとともに電界印加に伴って光学特性が変化する物質である液晶２０とを備えている。両基板１８，１９は、互いに対向するとともに図示しないスペーサによって間に所定の間隔（ギャップ）を空けた状態で貼り合わせられ、間に挟持された液晶２０は、シール剤２１によって取り囲まれて液密状態に保たれる。また、両基板１８，１９の外面側には、それぞれ表裏一対の偏光板２２，２３が貼り付けられている。
【００２０】
両基板１８，１９は、表側がＣＦ基板１８とされ、裏側がアレイ基板１９とされる。アレイ基板１９における内面側（液晶２０側、ＣＦ基板１８との対向面側）には、スイッチング素子（例えばＴＦＴ）及び画素電極が多数個並んで設けられるとともに、これらスイッチング素子及び画素電極（画素）の周りには、格子状をなすソース配線及びゲート配線が取り囲むようにして配設されている。アレイ基板１９の縁近辺には、各配線の端子部が設けられ、この端子部に対して画像信号を供給する外部回路に接続されたドライバ（電子部品）が圧着接続されるようになっている。一方、ＣＦ基板１８には、アレイ基板１９側の画素電極と対向する対向電極が設けられるとともに、各画素に対応した位置にカラーフィルタが多数個並んで設けられている。カラーフィルタは、Ｒ，Ｇ，Ｂの三色が交互に並ぶ配置とされる。
【００２１】
続いて、上記した構成の液晶表示装置１０のうち、液晶パネル１１の製造工程について簡単に説明する。各基板１８，１９をなす母材（マザーガラス）に対して、既知のフォトリソグラフィ法などによりスイッチング素子やカラーフィルタなどを形成した後、母材の状態の両基板１８，１９を貼り合わせるとともに、その間に液晶２０を注入してから、製造する液晶パネル１１の大きさに合わせて分断する。得られた液晶パネル１１に対して偏光板２２，２３を貼り付けるとともに、アレイ基板１９側にドライバを実装する作業などを行う。
【００２２】
上記した液晶パネル１１の製造過程では、母材の状態の基板１８，１９や液晶パネル１１を搬送したり、所定の位置に固定する必要があることから、各製造装置（例えば基板分断装置やドライバの実装装置）には、基板１８，１９や液晶パネル１１を真空吸着して保持するための吸着パッド３０が備えられている。続いて、各種の製造装置に用いられる吸着パッド３０について詳細に説明する。なお、この吸着パッド３０は、図示はしないが、製造装置に多数個設置され、協同して基板１８，１９や液晶パネル１１を搬送したり固定することができるようになっている。
【００２３】
吸着パッド３０は、図２に示すように、大まかにはパッド本体３１と、パッド本体３１に接続される弾性パッド部３２と、パッド本体３１及び弾性パッド部３２を貫通して設置された排気管３３と、パッド本体３１及び弾性パッド部３２の接続部分３４に対して着脱可能に取り付けられるカバー３５とから構成される。なお、本実施形態に係る接続部分３４は、詳細は続いて説明するが、パッド本体３１のうちの拡径部３６と、弾性パッド部３２のうちの第１層３７及び第２層３８（弾性パッド部３２のうち密着片４１を除いた部分）とからなる。
【００２４】
パッド本体３１は、金属材料（弾性パッド部３２よりも硬質な材料）からなり、上端側が製造装置のうち液晶パネル１１や基板１８，１９を搬送するための搬送部や、液晶パネル１１や基板１８，１９を固定するための固定部を構成するシリンダに接続されるとともに、そのシリンダに対して上下動可能とされる。パッド本体３１は、図示上下方向（被吸着物である液晶パネル１１や基板１８，１９の板面と略直交する方向）に沿って延びる略円筒状に形成され、その下端部については段付き状に拡径した中空の略円柱状をなす拡径部３６とされる。この拡径部３６の下面側に次述する弾性パッド部３２が接続されている。なお、パッド本体３１の内径寸法は、全長にわたって同じとされる。
【００２５】
弾性パッド部３２は、ゴム材などの弾縮変形可能な弾性材料（パッド本体３１よりも軟質な材料）からなるとともに、上下方向に沿って延びる中空の略円柱状に形成されている。弾性パッド部３２は、パッド本体３１の拡径部３６の下面側（被吸着物である液晶パネル１１や基板１８，１９側）に両面テープや接着剤などの固定手段によって接続状態に固定されている。弾性パッド部３２は、その外径寸法及び内径寸法がパッド本体３１の拡径部３６とほぼ同じに設定され、外周面及び内周面が段差無く連続している。
【００２６】
この弾性パッド部３２は、硬さが異なる２種類の弾性材料により２層構造に形成されており、硬質な弾性材料からなる第１層３７と、軟質な弾性材料からなる第２層３８とを上下に積層した構造となっている。弾性パッド部３２の第１層３７の上面と、パッド本体３１の拡径部３６の下面とが両者３１，３２の接続面３９とされ、両接続面３９は共に上下方向と略直交する水平な面として形成されている。
【００２７】
弾性パッド部３２における第１層３７と第２層３８との界面４０は、波形の曲面形状に形成されており、界面４０における表面積の増大化が図られている。第２層３８の下面３８ａにおける周縁部からは、薄肉状で先端側に行くに連れて径寸法が次第に大きくなる、いわゆるラッパ状に形成された密着片４１が下方へ突出して設けられている。吸着時には、この密着片４１が液晶パネル１１や基板１８，１９に対して密着されるようになっている。また、弾性パッド部３２は、例えば二色成形などにより一体に形成されている。なお、図２では被吸着物として偏光板２２，２３を貼り付ける前の状態の液晶パネル１１の概略を例示している。
【００２８】
排気管３３は、合成樹脂製とされ、上下方向に沿って延びる略円筒状に形成されている。この排気管３３は、パッド本体３１及び弾性パッド部３２の内部空間（中心位置）を上下に貫通した状態で設けられている。この排気管３３は、下端部が弾性パッド部３２における第２層３８の下面３８ａの中心位置に開口しており、その内部空間が密着片４１により囲まれた空間に連通している。この排気管３３内の空間及び密着片４１により囲まれた空間が、吸着パッド３０における排気路４２とされる。この排気路４２は、弾性パッド部３２の下面（被吸着物である液晶パネル１１や基板１８，１９との対向面）に開口するとともに、排気管３３の上端側に接続された真空ポンプＰによって排気されるようになっている。
【００２９】
続いて、カバー３５について詳細に説明する。カバー３５は、図２及び図３に示すように、大まかには一対の半割部品４３がヒンジ部４４を介して開閉可能に組み付けられた構成とされ、パッド本体３１及び弾性パッド部３２の接続部分３４における外周側に着脱可能に装着されるようになっている。両半割部品４３のうち、一方の半割部品４３におけるヒンジ部４４とは反対側の端部には、ロック片４５が設けられ、他方の半割部品４３におけるヒンジ部４４とは反対側の端部には、ロック片４５が係止可能なロック部４６が設けられており、これにより両半割部品４３が閉止状態でロック（保持）されるようになっている。両半割部品４３は、上下方向に沿って延びる略半円筒状をなし、その上端部には、径方向について内側に張り出す張出部４７が形成されている。張出部４７は、パッド本体３１の拡径部３６における上端面に対して当接（係止）可能とされている。
【００３０】
両半割部品４３は、装着状態では周方向に関してパッド本体３１及び弾性パッド部３２の接続部分３４の外周面を全周にわたって覆うことができる一方、上下方向については、パッド本体３１の拡径部３６の上端位置から、パッド本体３１と弾性パッド部３２との接続面３９を越えて、さらに弾性パッド部３２における両層の界面４０よりも下側の位置に至る範囲を覆うような長さに設定されている。
【００３１】
そして、両半割部品４３は、ゴム材などの弾縮変形可能な弾性材料からなる弾性保持部４８と、金属材料（弾性保持部４８をなす弾性材料よりも硬質な材料）からなる受け部４９とを内外に配した２層構造とされる。このうち、弾性保持部４８における張出部４７を除いた筒状部分の内径寸法は、パッド本体３１及び弾性パッド部３２の接続部分３４の外径寸法よりも少し小さく設定されているので、装着状態では、弾性保持部４８がやや弾縮された状態でその内周面が接続部分３４の外周面に対して圧接されるようになっている。この装着状態では、弾性保持部４８がその外周側に配される受け部４９によって受けられることで、接続部分３４の外周面に対してほぼ隙間無く密着されるようになっている。なお、本実施形態に係る弾性保持部４８を構成する弾性材料の硬さは、弾性パッド部３２の第１層３７をなす弾性材料とほぼ同じかそれよりも硬くなる設定とされる。但し、弾性保持部４８を構成する弾性材料の硬さは、それ以外にも任意に変更可能である。
【００３２】
本実施形態は以上のような構造であり、続いてその作用を説明する。本実施形態では、偏光板２２，２３を貼り付ける前の状態の液晶パネル１１を吸着パッド３０により真空吸着する場合を示す。吸着作業を行う前の段階で、予めカバー３５をパッド本体３１及び弾性パッド部３２の接続部分３４に装着しておくものとする。
【００３３】
図２に示す状態から吸着パッド３０を液晶パネル１１に向けて下降させるか、液晶パネル１１を載せたステージ（図示せず）を上昇させるかして、吸着パッド３０を液晶パネル１１に対して上下方向について相対変位させることで、弾性パッド部３２の密着片４１を液晶パネル１１の表面に当接させる。この状態で真空ポンプＰによって排気路４２内の空気を吸引して排気を行う。すると、図４に示すように、密着片４１が液晶パネル１１の表面に密着されるとともに、液晶パネル１１が吸着パッド３０により真空吸着されて保持される。この状態で、例えば吸着パッド３０を移動させることにより、液晶パネル１１を搬送することができる。
【００３４】
ところで、真空吸着したり真空破壊する際や、液晶パネル１１を搬送する際には、弾性パッド部３２に対して、横向き（上下方向と略直交する方向、接続部分３４の接続面３９の面方向に沿った向き）の力が作用することがある。その場合でも、パッド本体３１及び弾性パッド部３２の接続部分３４が外周側からカバー３５によって保持されているので、このカバー３５によって上記した横向きの力を受けることができる。
【００３５】
詳しくは、カバー３５のうち弾性保持部４８は、外周側に配された金属製の受け部４９により受けられることで、接続部分３４の外周面に対して圧接し隙間無く密着している。従って、横向きの力により弾性パッド部３２がパッド本体３１に対して相対的に横方向に変形しようとしても、圧接した弾性保持部４８が弾性パッド部３２と共に変形することで、作用する力を吸収できるとともに、弾性パッド部３２の変形量が抑制される。これにより、パッド本体３１に対する弾性パッド部３２の横ずれを抑制することができ、接続面３９に剥離が生じ難くすることができる。
【００３６】
さらには、弾性パッド部３２のうち、吸着時に液晶パネル１１に対して直接接触する密着片４１を備えた第２層３８が、パッド本体３１に接続された第１層３７よりも軟質な弾性材料により形成されているから、上記横向きの力が作用したときに、第２層３８が比較的大きく変形するので、第１層３７の変形量が抑制されることになる。これにより、パッド本体３１に対する第１層３７の横ずれを抑制することができるので、接続面３９に一層剥離が生じ難くすることができる。以上により、弾性パッド部３２の交換頻度を下げることができ、もって吸着パッド３０の耐久性を向上させることができる。
【００３７】
上記のように接続部分３４の劣化が抑制されているとはいえ、その劣化は経時的に徐々に進行するため、メンテナンスにより弾性パッド部３２を交換しなければならない場合がある。その場合でも、カバー３５は、ヒンジ部４４を介して開閉可能な半割部品４３により構成されているので、接続部分３４から容易に取り外すことができ、もって弾性パッド部３２の交換作業を簡単に行うことができる。
【００３８】
以上説明したように本実施形態によれば、パッド本体３１と弾性パッド部３２との接続部分３４を外周側からカバー３５によって保持するようにしたから、カバー３５により弾性パッド部３２に対して作用する接続部分３４の面方向に沿った向きの力を受けることができ、パッド本体３１に対する弾性パッド部３２のずれを抑制することができる。これにより、接続部分３４に剥離が生じ難くすることができ、もって吸着パッド３０の耐久性の向上を図ることができる。なお、カバー３５が接続部分３４の外周側に配されているので、仮に内周側に配した場合にカバー（保持部材）を排気路４２に設置しなければならないのと比較すると、排気路４２ひいては吸着パッド３０の設計上の制約を低減でき、また接続部分３４の保護も図ることができる。
【００３９】
また、カバー３５が接続部分３４をほぼ全周にわたって取り囲む略筒状に形成されているから、弾性パッド部３２に作用する力を確実に受けることができ、接続部分３４の剥離防止に一層有効となる。その上、カバー３５による接続部分３４の保護に一層有効となる。
【００４０】
また、カバー３５が、弾性材料からなるとともに接続部分３４に対して圧接可能な弾性保持部４８と、弾性保持部４８よりも硬質な材料である金属材料からなるとともに弾性保持部４８の外周側に配される受け部４９とにより構成されているから、弾性保持部４８により接続部分３４をほぼ隙間無く保持することができる。
【００４１】
また、カバー３５が、ヒンジ部４４を介して開閉可能に組み付けられた一対の半割部品４３により構成され、接続部分３４に対して着脱可能とされているから、カバー３５を接続部分３４から取り外すことで、弾性パッド部３２の交換作業を容易に行うことができる。
【００４２】
また、弾性パッド部３２が、２層構造に形成され、両層３７，３８間の界面４０が曲面形状に形成されているから、弾性パッド部３２の両層３７，３８間の界面４０における表面積が増加するとともに、界面４０が横方向に対して交差する面を含むことになるので、弾性パッド部３２に作用する力の分散化を図ることができる。
【００４３】
また、弾性パッド部３２が、硬さが異なる２種類の弾性材料によって２層構造に形成され、このうちパッド本体３１に隣接する第１層３７が、パッド本体３１とは反対側に隣接する第２層３８よりも硬質な弾性材料により形成されているから、弾性パッド部３２に作用する力を、軟質な第２層３８によって良好に吸収することができ、第１層３７とパッド本体３１との接続面３９への影響を緩和することができる。
【００４４】
＜実施形態２＞
本発明の実施形態２を図５によって説明する。この実施形態２では、弾性パッド部３２Ａの構造を変更したものを示す。なお、この実施形態２では、上記した実施形態１と同様の構造、作用及び効果について重複する説明は省略する。
【００４５】
弾性パッド部３２Ａは、図５に示すように、パッド本体３１に接続された第１層３７Ａと、その下側に設けられた第２層３８Ａと、さらにその下側に設けられた第３層５０とから構成される。第１層３７Ａと第３層５０とは、同じ弾性材料により構成され、その弾性材料は第２層３８Ａを構成する弾性材料よりも硬質なものとなっている。第３層５０の下面５０ａには、薄肉状の密着片４１Ａが周縁部から突設されるとともに、中心位置には排気管３３が開口している。また、各層３７Ａ，３８Ａ，５０間の界面４０Ａ，５１は曲面形状とされる。
【００４６】
以上のように、弾性パッド部３２Ａのうち、被吸着物である液晶パネル１１や基板１８，１９と直接接触する第３層５０について、パッド本体３１に接続された第１層３７Ａに隣接する第２層３８Ａよりも硬質な弾性材料により形成したから、液晶パネル１１や基板１８，１９との間で生じる摩擦による弾性パッド部３２Ａの劣化を抑制することができる。なお、第３層５０の弾性材料は、必ずしも第１層３７Ａと同じものである必要はなく、第１層３７Ａとは異なる弾性材料を用いても構わない。
【００４７】
＜実施形態３＞
本発明の実施形態３を図６によって説明する。この実施形態３では、パッド本体３１Ｂと弾性パッド部３２Ｂとの接続面３９Ｂの形状を変更したものを示す。なお、この実施形態３では、上記した実施形態１と同様の構造、作用及び効果について重複する説明は省略する。
【００４８】
パッド本体３１Ｂ及び弾性パッド部３２Ｂの接続面３９Ｂには、図６に示すように、段付きの凹凸形状に形成されている。詳しくは、パッド本体３１Ｂの拡径部３６Ｂの下面には、多数個の凹部５２が形成されているのに対し、弾性パッド部３２Ｂの第１層３７Ｂの上面には、上記凹部５２に対して嵌合される凸部５３が多数個形成されている。凹部５２及び凸部５３は、その周面が横方向に沿った面と上下方向に沿った面とを有するとともに、互いの周面が当接した状態に保たれている。
【００４９】
以上により、パッド本体３１Ｂ及び弾性パッド部３２Ｂの接続面３９Ｂにおける表面積が増加するとともに、接続面３９Ｂが横方向に対して直交する上下方向に沿った面を含んでいるから、接続面３９Ｂに一層剥離が生じ難くすることができる。なお、上記とは逆に、パッド本体３１Ｂ側に凹部を、弾性パッド部３２Ｂ側に凸部を設けるようにしても構わない。
【００５０】
＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
【００５１】
（１）上記した実施形態では、カバーを着脱可能な別体とした場合を例示したが、パッド本体または弾性パッド部に対してカバーを一体的に固定したものも本発明に含まれる。また、必ずしもカバーが一対の半割部品から構成されるものに限らず、他の形態のカバーを用いるようにしても構わない。
【００５２】
（２）上記した実施形態では、パッド本体を金属製とした場合を例示したが、弾性パッド部に用いられる弾性材料と比較して硬質な材料であれば、合成樹脂材料など他の材料を用いるようにしても構わない。カバーの受け部の材料についても、同様に、金属材料以外に合成樹脂材料など他の材料を用いるようにしても構わない。
【００５３】
（３）上記した実施形態では、カバーが接続部分の全周を覆う形態のものを例示したが、接続部分を周方向について部分的に覆う形態（筒状以外の形状）の保持部材を用いるようにしてもよく、そのようなものも本発明に含まれる。
【００５４】
（４）上記した実施形態では、カバーが弾性保持部と受け部とからなる２層構造のものを例示したが、弾性保持部または受け部のいずれか一方のみにより構成される形態としてもよい。逆に、カバーを３層以上の多層構造としてもよい。
【００５５】
（５）上記した実施形態では、弾性パッド部が２層構造または３層構造のものを例示したが、弾性パッド部を４層以上の多層構造としてもよい。
【００５６】
（６）上記した実施形態では、弾性パッド部の層間の界面を曲面形状としたものを例示したが、段付きの凹凸形状または横方向に沿って真っ直ぐな平面形状としたものも本発明に含まれる。
【００５７】
（７）上記した実施形態では、排気管が弾性パッド部に達する形態のものを例示したが、排気管がパッド本体に留まり、弾性パッド部に排気管に連通する孔を形成するようにしたものも本発明に含まれる。
【００５８】
（８）上記した実施形態では、被吸着物として液晶パネルを図示したが、液晶パネルを構成する基板（マザーガラス）を吸着するものも勿論本発明に含まれる。また、被吸着物として液晶パネル以外の表示パネルを扱うものにも本発明は適用可能である。さらには、被吸着物として表示パネル以外にも、例えばプリント基板など他の種類の板状部材を扱うものにも本発明は適用可能である。また、被吸着物として板状ではない部材を扱うものにも本発明は適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の実施形態１に係る液晶表示装置の断面図
【図２】吸着パッド及び液晶パネルの断面図
【図３】吸着パッドの平面図
【図４】吸着パッドにより液晶パネルを真空吸着した状態を示す断面図
【図５】本発明の実施形態２に係る吸着パッドの断面図
【図６】本発明の実施形態３に係る吸着パッドの断面図
【符号の説明】
【００６０】
１１…液晶パネル（被吸着物）
１８，１９…基板（被吸着物）
３０…吸着パッド
３１，３１Ｂ…パッド本体
３２，３２Ａ，３２Ｂ…弾性パッド部
３４…接続部分
３５…カバー（保持部材）
３７，３７Ａ，３７Ｂ…第１層（層）
３８，３８Ａ…第２層（層）
４０，４０Ａ，５１…界面
４２…排気路
４３…半割部品
４４…ヒンジ部
４８…弾性保持部
４９…受け部
５０…第３層（層）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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