(57)【要約】【課題】本発明の目的は、ウェーハをより安全に搬送することが可能となり、また、何らかの要因によりウェーハがガイドを乗り上げた時に、リカバリーによりウェーハ強制収納が可能となり、これにより、サービスマンが装置内に入ることがなく、装置内の汚濁を防止することができるウェーハハンドリング方法及びその装置を提供することにある。【解決手段】本発明は、ウェーハの外周部を保持するウェーハ搭載部が形成されたガイドを有する複数本のアームに前記ウェーハを載置し、前記アームに載置された前記ウェーハをウェーハ収納密閉容器と半導体製造装置との間で取り出し搬送するウェーハハンドリング方法において、前記ウェーハが前記ウェーハ搭載部から外れた場合、前記ウェーハを前記ウェーハ収納密閉容器に強制収納することを特徴とする。【選択図】図３
2008004829.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハの外周部を保持するウェーハ搭載部が形成されたガイドを有する複数本のアームに前記ウェーハを載置し、前記アームに載置された前記ウェーハをウェーハ収納密閉容器と半導体製造装置との間で取り出し搬送するウェーハハンドリング方法において、前記ウェーハが前記ウェーハ搭載部から外れた場合、前記ウェーハを前記ウェーハ収納密閉容器に強制収納することを特徴とするウェーハハンドリング方法。
【請求項２】
請求項１において、前記ガイドは、前記各アームの先端部に設けられた平型ガイドと、前記アームを支持する支持部に設けられた山型ガイドとを有し、いずれも前記ウェーハ搭載部を有し、前記ウェーハ搭載部以外の前記平型ガイドの高さを山型ガイドの高さより低くいことを特徴とするウェーハハンドリング方法。
【請求項３】
請求項２において、前記平型ガイドに設けられた乗り上げセンサによって、前記ウェーハが前記搭載部から外れて乗り上げたことを検出することを特徴とするウェーハハンドリング方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかにおいて、前記ウェーハが、前記ウェーハ搭載部から外れて乗り上げたことを検出した場合、ゆるやかに前記搬送を停止させることを特徴とするウェーハハンドリング方法。
【請求項５】
請求項４において、前記搬送を停止させた後、前記ウェーハが周辺部位と干渉させることなく搬送可能か判定することを特徴とするウェーハハンドリング方法。
【請求項６】
請求項５において、前記搬送可能の判定の結果、前記搬送可能な場合、前記ウェーハが滑らないゆっくりとした速度で搬送を行い、指定の前記ウェーハ収納密閉容器に強制収納することを特徴とするウェーハハンドリング方法。
【請求項７】
ウェーハの外周部を保持するウェーハ搭載部が形成されたガイドを有する複数本のアームと、前記ウェーハを前記ウェーハ搭載部に載置してウェーハ収納密閉容器と半導体製造装置との間で取り出し搬送するハンドリング手段と、前記ウェーハが前記ウェーハ搭載部から外れた場合の検出手段と、その検出結果前記ウェーハ搭載部から外れた前記ウェーハを前記ウェーハ収納密閉容器に強制収納する制御コントローラとを有することを特徴とするウェーハハンドリング装置。
【請求項８】
請求項７において、前記ガイドは、前記各アームの先端部に設けられた平型ガイドと、前記アームを支持する支持部に設けられた山型ガイドとを有し、いずれも前記ウェーハ搭載部を有することを特徴とするウェーハハンドリング装置。
【請求項９】
請求項８において、前記平型ガイドは、前記ウェーハが前記ウェーハ搭載部から外れて乗り上げたことを検出する乗り上げセンサを有することを特徴とするウェーハハンドリング装置。
【請求項１０】
請求項７〜９のいずれかにおいて、前記制御コントローラは、前記ウェーハが前記ウェーハ搭載部から外れて乗り上げたことを検出した場合、ゆるやかに前記搬送を停止させる搬送停止処理部を有することを特徴とするウェーハハンドリング装置。
【請求項１１】
請求項１０において、前記搬送を停止させた後、前記ウェーハが周辺部位と干渉させることなく前記ウェーハ収納密閉容器に強制収納する搬送が可能か判定する判定部を有することを特徴とするウェーハハンドリング装置。
【請求項１２】
請求項１１において、前記制御コントローラは、前記判定部によって前記ウェーハ収納密閉容器に強制収納する搬送が可能と判定された場合、前記ウェーハが滑らないゆっくりとした速度で搬送を行い、指定の前記ウェーハ収納密閉容器に強制収納する指定部を有することを特徴とするウェーハハンドリング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハの搬送を行うための新規なウェーハハンドリング方法及びその装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置にウェーハを供給し、排出する搬送装置での主な搬送は、ウェーハ収納密閉容器（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｆｉｌｄ  Ｐｏｄ；以下、ＦＯＵＰと称す）からウェーハを取出し、半導体製造装置に供給し、半導体製造装置から排出されたウェーハを取出し、ＦＯＵＰに収納する。このようなウェーハ搬送において、ウェーハ裏面を真空吸着等で接触搬送するハンドリングでは、接触部における異物付着が発生し易く、微小の異物であっても半導体製造装置に影響を与えてしまう場合があり、歩留まりが悪くなる。また、半導体製造装置内で洗浄されたウェーハを搬出する場合は、ウェーハ裏面の異物付着が次の工程で影響を与えてしまう可能性がある。
【０００３】
このため、ウェーハハンドリング装置ではウェーハを外周部でガイドしてウェーハのエッジ部で保持することでウェーハの裏面に接触することなくハンドリング可能としたものである。ウェーハハンドリングのガイドはウェーハ外径より、やや大きい位置でガイドするようになっており、ガイドの内側にウェーハを入れるようになっている。
【０００４】
ＦＯＵＰはＳＥＭＩ規格から定められた遊びを持っており、ウェーハ位置にばらつきがある。また、ＦＯＵＰの固体差などもあり、ウェーハ位置のばらつきはさらに大きくなる。そのため、ガイドも位置をウェーハのばらつきを考慮した位置にすると、ハンドリング時のウェーハの傾きが大きくなり、裏面接触を起こす可能性がる。このため、ウェーハハンドリング装置では山型ガイドをＦＯＵＰの外側に設け、ウェーハのばらつく位置を修正し、ガイドの内側でウェーハ位置が来るようにしている。
【０００５】
ＦＯＵＰ内に入り込む平型ガイドは、ＦＯＵＰのウェーハ段差の制約で高くすることが出来ない。そのため、ウェーハが搬送中に平型ガイドを乗り上げ、周辺部位と接触したり、落下させたりする可能性がある。それを未然に防ぐ方法として、ウェーハが適切位置でハンドリングされているかを常時検出するセンサを実装している。
【０００６】
このセンサがウェーハを検出した場合は、ゆるやかに搬送を停止させる。停止後、ウェーハが周辺部位に干渉することなく搬送可能かセンシングし、可能な場合はウェーハが滑らない速度で搬送し、指定のＦＯＵＰに強制収納するリカバリー方法を持っている。
【０００７】
強制収納が無い場合、ウェーハを撤去するにはサービスマンが装置内に入り、作業を行う必要があるが、ウェーハハンドリング装置では、そのままＦＯＵＰに強制収納させ、サービスマンが装置内に入ることなく、ウェーハの撤去を可能としている。
【０００８】
ウェーハハンドリング装置は、特許文献１、２に示されている。特許文献１には、パドルアームの先端に設けられた２本のアームの各々に固定フィンガと、パドルアーム本体に設けられた移動フィンガとによってウェーハのエッジに係合させてハンドリングすることが示されている。又、特許文献２には、運動アームに取り付けられたエンドエフェクタに２つの指を有し、その自由端設けられた突起によってウェーハを保持してハンドリングすることが示されている。
【０００９】
【特許文献１】特表２００３−５２４８８１号広報
【特許文献２】特表２００２−５０４７５０号広報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかし、いずれの特許文献においても、ウェーハを外周部でガイドし、ウェーハ自重で保持して搬送する方向は、搬送時の振動、予期せぬ外部振動により不安定となる。ウェーハがガイドから外れた場合は、ウェーハが周辺部に干渉し破損したり、搬送により加減速によりウェーハを落下させたり、装置を破損させる危険性がある。
【００１１】
本発明の目的は、ウェーハをより安全に搬送することが可能となり、また、何らかの要因によりウェーハがガイドを乗り上げた時に、リカバリーによりウェーハ強制収納が可能となり、これにより、サービスマンが装置内に入ることがなく、装置内の汚濁を防止することができるウェーハハンドリング方法及びその装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、ガイド部にウェーハ乗り上げセンサを実装し、常時ウェーハが適切な位置にあるかを確認し、ウェーハが乗り上げた場合はゆるやかに搬送を停止すると共に、ウェーハが周辺部位と干渉することが無く、強制収納可能か判定するセンサ（ウェーハ有無センサ兼用）を実装し、強制収納可能な場合は、ウェーハが滑らない速度で指定のウェーハ収納密閉容器に強制収納するものである。
【００１３】
本発明は、具体的には、ウェーハの外周部を保持するウェーハ搭載部が形成されたガイドを有する複数本のアームに前記ウェーハを載置し、前記アームに載置された前記ウェーハをウェーハ収納密閉容器と半導体製造装置との間で取り出し搬送するウェーハハンドリング方法において、前記ウェーハが前記ウェーハ搭載部から外れた場合、前記ウェーハを前記ウェーハ収納密閉容器に強制収納することを特徴とする。
【００１４】
前記ガイドは、前記各アームの先端部に設けられた平型ガイドと、前記アームを支持する支持部に設けられた山型ガイドとを有し、いずれも前記ウェーハ搭載部を有し、前記ウェーハ搭載部以外の前記平型ガイドの高さを山型ガイドの高さより低くいことが好ましい。
【００１５】
前記平型ガイドに設けられた乗り上げセンサによって前記ウェーハが前記搭載部から外れて乗り上げたことを検出すること、又、前記ウェーハが前記ウェーハ搭載部から外れて乗り上げたことを検出した場合ゆるやかに前記搬送を停止させることが好ましい。
【００１６】
前記搬送を停止させた後前記ウェーハが周辺部位と干渉させることなく搬送可能か判定すること、又、前記搬送可能の判定の結果前記ウェーハが滑らないゆっくりとした速度で搬送を行い、指定の前記ウェーハ収納密閉容器に強制収納することが好ましい。
【００１７】
本発明は、ウェーハの外周部を保持するウェーハ搭載部が形成されたガイドを有する複数本のアームと、前記ウェーハを前記ウェーハ搭載部に載置してウェーハ収納密閉容器と半導体製造装置との間で取り出し搬送するハンドリング手段と、前記ウェーハが前記ウェーハ搭載部から外れた場合の検出手段と、その検出結果前記ウェーハ搭載部から外れた前記ウェーハを前記ウェーハ収納密閉容器に強制収納する制御コントローラとを有することを特徴とするウェーハハンドリング装置にある。
【００１８】
前記ガイドは、前記各アームの先端部に設けられた平型ガイドと、前記アームを支持する支持部に設けられた山型ガイドとを有し、いずれも前記ウェーハ搭載部を有すること、又、前記平型ガイドは、前記ウェーハが前記ウェーハ搭載部から外れて乗り上げたことを検出する乗り上げセンサを有することが好ましい。
【００１９】
前記制御コントローラは、前記ウェーハが前記ウェーハ搭載部から外れて乗り上げたことを検出した場合、ゆるやかに前記搬送を停止させる搬送停止処理部を有すること、又、前記ウェーハが前記ウェーハ搭載部から外れて乗り上げたことを検出した場合、ゆるやかに搬送を停止させた後、前記ウェーハが周辺部位と干渉させることなく前記ウェーハ収納密閉容器に強制収納する搬送が可能か判定する判定部を有すること、又、前記判定部によって前記ウェーハ収納密閉容器に強制収納する搬送が可能と判定された場合、前記ウェーハが滑らないゆっくりとした速度で搬送を行い、指定の前記ウェーハ収納密閉容器に強制収納する指定部を有することが好ましい。
【発明の効果】
【００２０】
本発明により、ウェーハをより安全に搬送することが可能となり、また、何らかの要因によりウェーハがガイドを乗り上げた時には、リカバリー方式によりウェーハ強制収納が可能となり、これにより、サービスマンが装置内に入ることがなく、装置内の汚濁を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
図１は、本発明のウェーハ搬送装置を有するミニエン試料搬送システムを示す斜視図である。半導体製造装置１にウェーハ２を供給し、排出するウェーハ搬送装置は、その主な搬送がＦＯＵＰ３からウェーハ２を取出して、半導体製造装置１に供給すると共に、半導体製造装置１から排出させ、ウェーハ２を取出し、ＦＯＵＰ３に収納するものである。このようなウェーハ搬送装置をミニエン試料搬送システムと称す。
【００２２】
ミニエン試料搬送システムは、ミニエン筐体４、ファン フィルター ユニットのＦＦＵ部５、ロードポート部６、半導体製造装置１、ウェ−ハ搬送ロボット部７、制御コントローラ８を有する。
【００２３】
ミニエン筐体４は、外部を固定板（外装カバー）で覆い、外部と隔離した空間を提供する。また、ロードポート部６、半導体装置１の接続部等の役割も有する。
【００２４】
ＦＦＵ部５は、送風ファン９とフィルターから構成され、ミニエン筐体４内の上部に設置され、クリーンエアをダウンフローすることでミニエン筐体４内のクリーン環境を実現する。
【００２５】
ロードポート部６は、主に密閉容器固定台と容器開閉機能を有し、ミニエン筐体４に複数箇所に接合され、半導体製造装置１とミニエン筐体４の試料搬送口の役割とする。
【００２６】
ウェーハ搬送ロボット７は、主に水平動作、上下動作、旋回動作を行う機構と、ウェーハ２を乗せるためウェーハハンドリング機構１０とを有し、ミニエン筐体４の内部に実装され、ロードポート部６と、半導体製造装置１にウェーハ２の搬送を実現する。
【００２７】
制御コントローラ８は、上位装置との通信、各機構の制御を行い、ミニエン搬送システムのコントロールを行う。
【００２８】
又、制御コントローラ８には、図示されていないが、ウェーハ２がウェーハ搭載部から外れて乗り上げたことを検出した場合、ゆるやかに搬送を停止させる搬送停止処理部と、ウェーハ２がウェーハ搭載部から外れて乗り上げたことを検出した場合、ゆるやかに搬送を停止させた後、ウェーハ２が周辺部位と干渉させることなくウェーハ収納密閉容器３に強制収納する搬送が可能か判定する判定部と、判定部によってウェーハ収納密閉容器３に強制収納する搬送が可能と判定された場合、ウェーハ２が滑らないゆっくりとした速度で搬送を行い、オペレータの指示により３つのウェーハ収納密閉容器３のうちの指定のウェーハ収納密閉容器３に強制収納する指定部を有するものである。
【００２９】
本実施例のミニエン搬送システムを用いたウェーハ搬送シーケンス例を示す。ロードポート部６に設置されたＦＯＵＰ３よりウェーハ２をウェーハ搬送ロボット７を介して取り出し、半導体製造装置１の接続部を通じて搬送する。また、半導体製造装置１の接続部の開口部よりウェーハ２をウェーハ搬送ロボット７を介して回収し、ロードポート部６に設置されたＦＯＵＰ３に開口部を通じで搬送し、収納する。
【００３０】
本発明でのロードポート部６からのウェーハ搬送を用いて説明する。ＦＯＵＰ３はロードポート部６の開閉機構により、ＦＯＵＰ３の蓋を外し、ウェーハ２とウェーハ搬送ロボット７がアクセス可能となる。ウェーハ搬送ロボット７により、ＦＯＵＰ３内のウェーハ２を取り出し、対称位置に設置された半導体製造装置１に供給する。
【００３１】
半導体製造装置１で処理を終えたウェーハ２をウェーハ搬送ロボット７により取り出し、ＦＯＵＰ３に収納する。規定のウェーハ２を収納するとロードポート部６の開閉機構により、ＦＯＵＰ３に蓋をする。ウェーハハンドリング機構１０はウェーハ搬送ロボット７に実装されている。
【００３２】
本実施例のウェーハハンドリング装置は、ウェーハ２の外周部を保持するウェーハ搭載部が形成されたガイドを有する２本のアーム２２と、ウェーハ２をウェーハ搭載部に載置してウェーハ収納密閉容器３と半導体製造装置１との間で取り出し搬送するハンドリング手段１０と、ウェーハ２がウェーハ搭載部から外れた場合を検出する乗り上げセンサ１９と、その検出結果ウェーハ搭載部から外れたウェーハ２をウェーハ収納密閉容器３に強制収納する制御コントローラ８とを有する。
【００３３】
図２は、ＦＯＵＰからウェーハを取り出す場合の例を説明する側面図（ａ）及びＡ部の拡大図（ｂ）である。ウェーハハンドリング機構１０がウェーハ搬送ロボット７により移動する。平型ガイド部１１が取り出すウェーハ２の下面を通過し、ウェーハ２をガイドする位置まで移動する。その移動により、山型ガイド部１２がウェーハ２の位置が適切位置になるようウェーハ２の位置修正を行う。山型ガイド部１２はウェーハ２をウェーハ搭載部３８に搭載されウェーハ２をガイドするのに十分な高さを有するためウェーハ２が乗り上げることはない。ウェーハ２は、ガイドとウェーハ２の自重により保持されて、ＦＯＵＰ３から取り出され、半導体製造装置１にウェーハ搬送ロボット７により搬送される。
【００３４】
通常の搬送では、ウェーハ２はガイドと自重により安全に搬送されるが、外部振動など外的要因、ウェーハ搬送ロボット７の教示位置登録の不具合などによりウェーハ２は平型ガイド部１１を乗り上げてしまう場合がある。平型ガイド部１１はＦＯＵＰ３からウェーハ２を取り出すために高さに制約があり、ウェーハ搬送ロボット７の先端に位置するため外部振動による振幅の増大、旋回による遠心力により、平型ガイド部１１の方向に乗り上げ易い構造となっている。ウェーハ２が平型ガイド部１１に乗り上げた状態でウェーハ搬送を行うとウェーハ２が周辺部に干渉し破損したり、搬送により加減速によりウェーハ２を落下させたり、装置を破損させる危険性がある。
【００３５】
図３は、ウェーハエッジをガイドするウェーハハンドリング手段を示す斜視図で、（ａ）が全体図、（ｂ）が平型ガイド部分の拡大図である。本実施例のウェーハハンドリング機構１０は、２本のアーム２２と、２本のアーム２２を一体に支持するアーム支持部２８と、アーム２２のそれぞれの先端に設けられた平型ガイド１１と、アーム支持部２８のウェーハ搬送ロボット７側に設けられた２個の山型ガイド１２と、搬送位置確認センサ１３と、ウェーハ搬送ロボット７への接続部２９とを有し、平型ガイド１１には反射センサによる乗り上げセンサ１９、センサ投光口２０が設けられている。２本のアーム２２とアーム支持部２８とはアルミナ等のセラミックス焼結体からなる。
【００３６】
図４は、アーム先端部に設けられた平型ガイドと乗り上げセンサとの関係を示す組み立て図（ａ）と平型ガイドの構造示す平面図（ｂ）、Ｃ−Ｃ断面図（ｃ）及びＤ−Ｄ断面図（ｄ）である。平型ガイド１１は樹脂製であり、傾斜部を有するウェーハ搭載部３６と、乗り上げセンサ１９によってウェーハ２の乗り上げを検出するセンサ投光口２０を有する山部３７と、乗り上げセンサ１９の位置決め穴４の位置決めを行う突起２７からなり、アーム２２に取り付けネジ２６によって固定される。乗り上げセンサ１９には、ファイバーケーブル２５が接続され、ファイバーケーブル２５はアーム２２の内部を通して接続部２９からウェーハ搬送ロボット７に接続される。平型ガイド１１の山部３１の高さを山型ガイド１２の高さより低くしている。
【００３７】
図５は、リカバリーシーケンス処理のフロー図である。ステップ３０でウェーハ乗り上げセンサ１９によって平型ガイド部１１にウェーハ２がガイドに乗り上げたことを検出すると、ステップ３１にて搬送速度をゆっくり減速し停止する。
【００３８】
また、ウェーハ２が周辺に干渉することなく、搬送できる位置にあることを検出する乗り上げセンサ１９を設置した。この乗り上げセンサ１９によりを検出して、リカバリーシーケンスでウェーハ２を強制収納できるか判断することを可能とした。ステップ３２でセンシング装置によってウェーハ搬送可否の判断を行い、ウェーハ２の強制収納が可能であれば、ステップ３３でオペレータへの指示により、ステップ３４で指定されたＦＯＵＰ３の強制収納する。強制収納時はウェーハ２が滑らないゆっくりとした速度でウェーハ搬送ロボット７が動作する。また、山型ガイド部１２によりウェーハ２のＦＯＵＰ３による収納は適切な位置に修正される。ステップ３２でウェーハ搬送可否センサによってウェーハ２の強制収納が不可（ＯＦＦ）では、ステップ３５でサービスマンコールし、サービスマンが装置内に入ってウェーハハンドリングすることができる。
【００３９】
以上のように、本実施例のウェーハハンドリング方法は、ウェーハ２の外周部を保持するウェーハ搭載部が形成されたガイドを有する２本のアーム２２にウェーハ２を載置し、アーム２２に載置されたウェーハ２２をウェーハ収納密閉容器３と半導体製造装置１との間で取り出し搬送するウェーハハンドリング方法において、ウェーハ２がウェーハ搭載部から外れた場合、ウェーハ２をウェーハ収納密閉容器３に強制収納するものである。
【００４０】
又、本実施例のウェーハハンドリング方法では、平型ガイド１１に設けられた乗り上げセンサ１９によってウェーハ２がウェーハ搭載部から外れて乗り上げたことを検出し、ウェーハ２がウェーハ搭載部から外れて乗り上げたことを検出した場合ゆるやかに搬送を停止させ、その搬送を停止させた後ウェーハ２が周辺部位と干渉させることなく搬送可能か判定し、搬送可能の判定の結果ウェーハ２が滑らないゆっくりとした速度で搬送を行い、指定のウェーハ収納密閉容器３に強制収納するものである。
【００４１】
以上、本実施例によれば、ウェーハをより安全に搬送することが可能となり、また、何らかの要因によりウェーハがガイドを乗り上げた時には、リカバリー方式によりウェーハ強制収納が可能となり、これにより、サービスマンが装置内に入ることがなく、装置内の汚濁を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明のウェーハ搬送装置を有するミニエン試料搬送システムを示す斜視図である。
【図２】ＦＯＵＰからウェーハを取り出す場合の側面図である。
【図３】ウェーハエッジをガイドするウェーハハンドリング手段を示す斜視図で、（ａ）が全体図、（ｂ）が平型ガイド部分の拡大図である。
【図４】アーム先端部に設けられた平型ガイドと乗り上げセンサとの関係を示す組み立て図（ａ）と平型ガイドの構造示す平面図（ｂ）、Ｃ−Ｃ断面図（ｃ）及びＤ−Ｄ断面図（ｄ）である。
【図５】リカバリーシーケンス処理を示すフロー図である。
【符号の説明】
【００４３】
１…半導体製造装置、２…ウェーハ、３…ＦＯＵＰ、４…ミニエン筐体、５…ＦＦＵ部、６…ロードポート、７…ウェーハ搬送ロボット、８…制御コントローラ、９…送風ファン、１０…ウェーハハンドリング手段、１１…平型ガイド、１２…山型ガイド、１３…搬送位置確認センサ、１４…ウェーハ排出位置、１５…下側ウェーハ、１６…取り出しウェーハ、１７…ウェーハ乗り上げ位置、１８…ウェーハ載置位置、１９…乗り上げセンサ、２０…センサ投光口、２１…ウェーハ供給位置、２２…アーム、２３…投受光部、２４…位置決め穴、２５…ファイバーケーブル、２６…取付ネジ、２７…突起、２８…支持部、２９…接続部、３０…ウェーハ乗り上げセンサによる乗り上げ検出、３１…ウェーハ搬送ロボット減速停止、３２…ウェーハ搬送可否の判断、３３…オペレータ指示、３４…低速・指定ＦＯＵＰに収納、３５…サービスマンコール、３６…ウェーハ搭載部、３７…山部、３８…ウェーハ搭載部。
【図１】
2008004829.tif 000003
【図２】
2008004829.tif 000004
【図３】
2008004829.tif 000005
【図４】
2008004829.tif 000006
【図５】
2008004829.tif 000007