(57)【要約】【課題】基板を基板貯留装置から複数同時にあるいは１枚ずつ搬送することができる基板搬送システムおよび基板搬送方法を提供する。【解決手段】基板移載部４０には互いに間隔を空けて積層状態に配置された複数のアーム４２が設けられている。各アーム４２は水平状態に伸縮自在となっている。各アーム４２はそれぞれ基板貯留装置５０に貯留された１枚の基板Ｓを保持することができるようになっている。【選択図】図１
2008066534.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板を積層状態に貯留する基板貯留装置から基板を搬送するための基板搬送システムであって、
一端が前記基板貯留装置の近傍に設けられた案内レールと、
前記案内レールに沿って案内される移動自在のベース部と、
前記ベース部に設けられ、互いに間隔を空けて積層状態に設置されるとともに水平方向に伸縮自在となっている複数のアームを有する基板移載部であって、前記各アームはそれぞれ前記基板貯留装置に貯留された１枚の基板を保持することができるような基板移載部と、
を備えたことを特徴とする基板搬送システム。
【請求項２】
前記案内レールの近傍に位置し、基板を枚葉単位で保管する保管棚を更に備えたことを特徴とする請求項１記載の基板搬送システム。
【請求項３】
前記ベース部に昇降自在に設置された昇降台を更に備え、
前記基板移載部は当該昇降台に載置されていることを特徴とする請求項１または２記載の基板搬送システム。
【請求項４】
前記基板移載部は、複数のアームによって前記基板貯留装置に貯留された複数の基板を同時に搬出することができるようになっていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の基板搬送システム。
【請求項５】
前記基板移載部は、一つのアームによって前記基板貯留装置に貯留された複数の基板のうち１枚の基板のみを搬出することができるようになっていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の基板搬送システム。
【請求項６】
複数の基板を積層状態に貯留する基板貯留装置から基板を搬送するための基板搬送方法であって、
基板移載部が配設されたベース部を前記基板貯留装置の近傍に移動させる工程と、
前記基板移載部における複数のアームを水平方向に伸ばし、これらのアームにより前記基板貯留装置に貯留された基板を各アームにつき１枚ずつ保持させる工程と、
前記ベース部を前記基板貯留装置から離間させる工程と、
を備えたことを特徴とする基板搬送方法。
【請求項７】
前記ベース部を、基板を枚葉単位で保管する保管棚の近傍に移動させる工程と、
前記各アームに保持される基板を、前記保管棚に移載する工程と、
を更に備えたことを特徴とする請求項６記載の基板搬送方法。
【請求項８】
前記複数のアームにより前記基板貯留装置に貯留された基板を保持させる前記工程において、複数のアームによってそれぞれ対応する基板を同時に搬出させることを特徴とする請求項６または７記載の基板搬送方法。
【請求項９】
前記複数のアームにより前記基板貯留装置に貯留された基板を保持させる前記工程において、一つのアームによって前記基板貯留装置に貯留された複数の基板のうち１枚の基板のみを搬出させることを特徴とする請求項６または７記載の基板搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の基板を積層状態に貯留する基板貯留装置から基板を搬送し、この基板貯留装置から搬出された基板を、例えば当該基板を枚葉単位で保管するための保管棚等に送るための基板搬送システムおよび基板搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えばフラットパネルディスプレイ製造工場において、ガラス基板（以下、単に基板ともいう。）が様々な工程を経て製造されている。このようなフラットパネルディスプレイ製造工場では、各工程で使用される装置は互いに離間しているので、各装置間で基板を搬送する必要がある。
【０００３】
従来より、複数の基板を貯留する基板貯留装置から他の処理装置へ基板を搬送するための様々な基板搬送システムが知られている（例えば、特許文献１乃至３等参照）。このような基板搬送システムは、数十枚の基板を積層状態に収納することができるカセットを備えており、このカセット単位で基板を搬送するようになっている。
【０００４】
基板貯留装置から他の処理装置への基板の搬送を行うにあたり、複数の基板を収納したカセットを有軌道台車、自動搬送車（ＡＧＶ）等の搬送台車に載置し、この搬送台車により各装置間における基板の搬送を行っている。基板が搬送されるべき処理装置においては、ロボット等の機器によりカセットから基板を枚葉毎に取り出している。そして、処理装置により基板に対する処理が行われた後、再び前述のロボット等の機器により基板がカセットに再収納され、次の処理装置に搬送されるようになっている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−５３７０５号公報
【特許文献２】特開２００５−２１２９４３号公報
【特許文献３】特開２００５−３２００５０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来の基板搬送システムによれば、基板を数枚しか製造しない場合であっても、数十枚の基板を収納可能なカセットに対してこの数枚の基板を収納して保管することとなり、基板の保管が効率的ではなく、カセットのスペースが無駄となってしまうという問題がある。特に、近年ではテレビ等の大型化に伴い、フラットパネルディスプレイ用のガラス基板のサイズも大型化しているため、カセットによる保管スペースが増大しており、保管をより効率的に行うことが望まれている。
また、基板のサイズの大型化に伴い、複数の基板をカセット単位で搬送する方法では、これらの基板を収納したカセットの重量が増大することにより台車等の搬送機器が大型化してしまうという問題がある。また、基板の大きさに対応するようカセットの交換を行う必要が生じる場合がある。
【０００７】
さらに、複数の基板をカセットに収納する方法では、当該カセット内の基板のうち数枚のみの基板を使用する際にも、他の使用しない基板をも収納しながらカセットの搬送を行い、必要のない基板を再び保管棚に搬送することとなる。このため、基板の搬送が非効率的となってしまうという問題がある。
【０００８】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、基板を基板貯留装置から複数同時にあるいは１枚ずつ搬送することができ、このことにより、複数の基板を収容するためのカセットが不要となり、基板搬送システムの小型化を図ることができ、また、基板貯留装置に貯留された基板のうち必要な基板だけを必要な枚数だけ搬送することができるような基板搬送システムおよび基板搬送方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、複数の基板を積層状態に貯留する基板貯留装置から基板を搬送するための基板搬送システムであって、一端が前記基板貯留装置の近傍に設けられた案内レールと、前記案内レールに沿って案内される移動自在のベース部と、前記ベース部に設けられ、互いに間隔を空けて積層状態に設置されるとともに水平方向に伸縮自在となっている複数のアームを有する基板移載部であって、前記各アームはそれぞれ前記基板貯留装置に貯留された１枚の基板を保持することができるような基板移載部と、を備えたことを特徴とする基板搬送システムである。
【００１０】
また、本発明は、複数の基板を積層状態に貯留する基板貯留装置から基板を搬送するための基板搬送方法であって、基板移載部が配設されたベース部を前記基板貯留装置の近傍に移動させる工程と、前記基板移載部における複数のアームを水平方向に伸ばし、これらのアームにより前記基板貯留装置に貯留された基板を各アームにつき１枚ずつ保持させる工程と、前記ベース部を前記基板貯留装置から離間させる工程と、を備えたことを特徴とする基板搬送方法である。
【００１１】
このような基板搬送システムおよび基板搬送方法によれば、基板を基板貯留装置から複数同時にあるいは１枚ずつ搬送することができるようになる。このことにより、複数の基板を収容するためのカセットが不要となり、基板搬送システムの小型化を図ることができる。また、各アームでそれぞれ１枚の基板を保持しており、基板を枚葉単位で保持することができるので、基板の搬送をより効率的に行うことができる。さらに、基板貯留装置に貯留された基板のうち必要な基板だけを必要な枚数だけ搬送することができる。
【００１２】
本発明の基板搬送システムにおいては、前記案内レールの近傍に位置し、基板を枚葉単位で保管する保管棚を更に備えたことが好ましい。また、本発明の基板搬送方法においては、前記ベース部を、基板を枚葉単位で保管する保管棚の近傍に移動させる工程と、前記各アームに保持される基板を、前記保管棚に移載する工程と、を更に備えたことが好ましい。このように、各アームでそれぞれ１枚の基板を保持しており、保管棚で基板を枚葉単位で保管することができるので、複数あるいは１枚の基板を、保管棚にランダムに保管することができるようになり、基板の保管を効率的に行うことができる。
【００１３】
本発明の基板搬送システムにおいては、前記ベース部に昇降自在に設置された昇降台を更に備え、前記基板移載部は当該昇降台に載置されていることが好ましい。
このような基板搬送システムによれば、基板移載部を自在に昇降させることができ、このことにより基板貯留装置に対する当該基板移載部の高さ方向の位置合わせ、とりわけ各アームの高さ方向の位置合わせを容易に行うことができる。
【００１４】
本発明の基板搬送システムにおいては、前記基板移載部は、複数のアームによって前記基板貯留装置に貯留された複数の基板を同時に搬出することができるようになっていることが好ましい。あるいは、前記基板移載部は、一つのアームによって前記基板貯留装置に貯留された複数の基板のうち１枚の基板のみを搬出することができるようになっていることが好ましい。
【００１５】
また、本発明の基板搬送方法においては、前記複数のアームにより前記基板貯留装置に貯留された基板を保持させる前記工程において、複数のアームによってそれぞれ対応する基板を同時に搬出させることが好ましい。あるいは、前記複数のアームにより前記基板貯留装置に貯留された基板を保持させる前記工程において、一つのアームによって前記基板貯留装置に貯留された複数の基板のうち１枚の基板のみを搬出させることが好ましい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の基板搬送システムおよび基板搬送方法によれば、基板を基板貯留装置から複数同時にあるいは１枚ずつ搬送することができ、このことにより、複数の基板を収容するためのカセットが不要となり、基板搬送システムの小型化を図ることができ、また、基板貯留装置に貯留された基板のうち必要な基板だけを必要な枚数だけ搬送することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１乃至図７は、本発明による基板搬送システムの実施の形態を示す図である。
このうち、図１は、本実施の形態の基板搬送システムの構成の概略を示す斜視図であり、図２は、基板移載部の複数のアームによって基板貯留装置に貯留された複数の基板を同時に搬出する際の状態を示す構成図であり、図３は、基板移載部の複数のアームによって基板貯留装置に貯留された複数の基板を同時に搬出した直後の状態を示す構成図である。また、図４は、基板移載部の一つのアームによって基板貯留装置に貯留された１枚の基板を搬出する際の状態を示す構成図であり、図５は、基板移載部の一つのアームによって基板貯留装置に貯留された１枚の基板を搬出した直後の状態を示す構成図である。また、図６は、本実施の形態の基板搬送システムの全体的な構成を示す上面図であり、図７は、図６の基板搬送システムにおける保管棚の側面図である。
【００１８】
本実施の形態の基板搬送システムは、基板貯留装置５０からガラス基板等の基板Ｓを後段の保管棚６０に搬送するためのものである（図２、図６等参照）。ここで、基板貯留装置５０は、複数の基板Ｓを互いに間隔を空けて積層状態に貯留するよう構成されている。なお、この基板貯留装置５０には、図２等に示すように例えば生産ラインから基板Ｓが順次送られるようになっている。
【００１９】
基板搬送システムは、図１に示すように、一端が基板貯留装置５０の近傍に設けられた案内レール１０と、案内レール１０に沿って案内される移動自在のベース部２０と、ベース部２０に昇降自在に設けられた昇降台３０と、昇降台３０に載置された基板移載部４０と、案内レール１０の途中部分に位置し、基板Ｓを枚葉単位で保管する保管棚６０と、を備えている。
以下、このような基板搬送管理システムの各構成要素について詳述する。
【００２０】
案内レール１０は、図１に示すように、直線状に延びるよう床面に敷設されている。なお、図１においては案内レール１０を床面に敷設した場合について示しているが、このような例に限定されることはなく、例えば案内レール１０を天井に敷設してもよく、あるいは床面および天井に互いに平行に延びるよう敷設された一対のレールから構成されていてもよい。この案内レール１０の一端は基板貯留装置５０の近傍まで延びており、この案内レール１０は保管棚６０の近傍を通過している（図６参照）。また、案内レール１０の他端は、図示しない後段の処理装置の近傍まで延びている。
【００２１】
ベース部２０の下底部分２１は、案内レール１０上を往復移動自在に走行することができるようになっている。
【００２２】
昇降台３０は、水平方向に延びる略正方形の板状部材からなり、ベース部２０の枠部分の内方に配設されている。この昇降台３０はベース部２０の枠部分の内方において図１の矢印に示すように昇降自在となっている。このような昇降台３０が設けられていることにより、後述の基板移載部４０を自在に昇降させることができるようになり、基板貯留装置５０に対する当該基板移載部４０の高さ方向の位置合わせ、とりわけ各アーム４２の高さ方向の位置合わせを容易に行うことができるようになる。また、例えば建屋の１階と２階との間での搬送を行うことも可能となる。あるいは、天井近傍まで届くような高い保管棚（後述）にも基板Ｓを保管可能となる。
【００２３】
昇降台３０には基板移載部４０が載置されている。この基板移載部４０は、前記昇降台３０から鉛直方向上方に延びるよう立設された略直方体形状の基端部材４１と、この基端部材４１から水平方向に延びるよう当該基端部材４１に連結された複数のアーム４２とを有している。各アーム４２は互いに間隔を空けて積層状態に設けられており、その基端が基端部材４１に連結されている。また、各アーム４２は図１の矢印に示すように水平方向に伸縮自在となっている。ここで、各アーム４２の各々は、他のアーム４２から独立して伸縮を行うことができるようになっている。
各アーム４２は、各々、基板貯留装置５０に貯留された１枚の基板Ｓを載置させることができるよう構成されており、このようにして各アーム４２はそれぞれ１枚の基板Ｓを保持することができるようになっている。
【００２４】
各アーム４２の各々が他のアーム４２から独立して伸縮を行うことができるようになっていることによって、基板移載部４０は、基板貯留装置５０に貯留された複数の基板Ｓを複数のアーム４２によって同時に搬出したり（図２および図３参照）、あるいは基板貯留装置に貯留された複数の基板Ｓのうち任意の１枚の基板Ｓのみを一つのアーム４２のみによって搬出したり（図４および図５参照）することができるようになっている。
【００２５】
保管棚６０は、基板Ｓを枚葉単位で保管するためのものであり、当該保管棚６０は、図７に示すように、支柱部６１と、この支柱部６１に対して上下方向に互いに間隔を空けて積層状態に取り付けられた複数の把持部６２とを有している。図７の鎖線に示すように、各把持部６２上に基板Ｓが載置され、このことにより基板Ｓが保管棚６０に保管されるようになっている。なお、ベース部２０が保管棚６０の近傍にあるときに、基板移載部４０は基板Ｓを保管棚６０における任意の把持部６２上に移載することができるようになっている。
【００２６】
次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。
まず、ベース部２０を案内レール１０に沿って走行させ、このベース部２０を基板貯留装置５０の近傍に移動させ、当該ベース部２０を基板貯留装置５０と対向させるようにする。
【００２７】
次に、昇降台３０を上昇または下降させ、基板貯留装置５０に積層状態に貯留された基板Ｓの高さと基板移載部４０の各アーム４２の高さとが略一致するよう、この昇降台３０の位置決めを行う。
【００２８】
そして、基板移載部４０のアーム４２を水平方向に伸ばし、当該アーム４２により基板Ｓを保持させる。
この際に、基板貯留装置５０から複数の基板Ｓを同時に搬出する必要がある場合には、図２に示すように基板移載部４０の複数のアーム４２を基板貯留装置５０の内部まで同時に伸ばし、これらのアーム４２により複数の基板Ｓを同時に保持させる。その後、基板貯留装置５０内部まで伸ばされた複数のアーム４２が同時に縮み、図３に示すように複数の基板Ｓが同時に基板貯留装置５０から搬出される。
【００２９】
一方、本実施の形態の基板搬送システムは、基板貯留装置から１枚の基板Ｓのみを搬送することもできる。この場合には、図４に示すように基板移載部４０の複数のアーム４２のうち一つのアーム４２のみを基板貯留装置５０の内部まで伸ばし、このアーム４２により１枚の基板Ｓを保持させる。その後、基板貯留装置５０内部まで伸ばされた一つのアーム４２が縮み、図５に示すように１枚の基板Ｓが基板貯留装置５０から搬出される。
【００３０】
その後、基板移載部４０によって一時的に保持された１枚または複数の基板Ｓは、その後、後段の保管棚６０に搬送される。
具体的には、ベース部２０を案内レール１０に沿って走行させ、このベース部２０を保管棚６０の近傍に移動させ、当該ベース部２０を保管棚６０と対向させるようにする。次に、昇降台３０を上昇または下降させ、保管棚６０における任意の把持部６２の高さと基板移載部４０の各アーム４２の高さとが略一致するよう、この昇降台３０の位置決めを行う。そして、基板移載部４０のアーム４２を水平方向に伸ばし、当該アーム４２に保持された基板Ｓを把持部６２上に移載する。
このようにして、基板移載部４０によって一時的に保持された１枚または複数の基板Ｓが、保管棚６０に移載される。
【００３１】
その後、保管棚６０に保管された基板Ｓは、案内レール１０上を往復移動する基板移載部４０により、あるいは他の搬送装置により、後段の処理装置（図示せず）に搬送される。
【００３２】
本実施の形態の基板搬送システムおよび基板搬送方法によれば、基板移載部４０には互いに間隔を空けて積層状態に配置されるとともに水平状態に伸縮自在となっている複数のアーム４２が設けられ、各アーム４２はそれぞれ基板貯留装置５０に貯留された１枚の基板Ｓを保持することができるようになっている。このため、基板Ｓを基板貯留装置５０から複数同時にあるいは１枚ずつ搬送することができるようになる。このことにより、複数の基板Ｓを収容するためのカセットが不要となり、基板搬送システムの小型化を図ることができる。また、基板貯留装置５０に貯留された基板Ｓのうち必要な基板Ｓだけを必要な枚数だけ搬送することができる。
【００３３】
また、案内レール１０の近傍に位置し、基板Ｓを枚葉単位で保管する保管棚６０が更に設置されており、基板Ｓの搬送を行う際に、ベース部２０を保管棚６０の近傍に移動させて、各アーム４２に保持される基板Ｓを保管棚６０に移載するようになっている。このように、各アーム４２でそれぞれ１枚の基板Ｓを保持しており、保管棚６０で基板Ｓを枚葉単位で保管することができるので、複数あるいは１枚の基板Ｓを、保管棚６０にランダムに保管することができるようになり、基板Ｓの保管を効率的に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本実施の形態の基板搬送システムの構成の概略を示す斜視図である。
【図２】基板移載部の複数のアームによって基板貯留装置に貯留された複数の基板を同時に搬出する際の状態を示す構成図である。
【図３】基板移載部の複数のアームによって基板貯留装置に貯留された複数の基板を同時に搬出した直後の状態を示す構成図である。
【図４】基板移載部の一つのアームによって基板貯留装置に貯留された１枚の基板を搬出する際の状態を示す構成図である。
【図５】基板移載部の一つのアームによって基板貯留装置に貯留された１枚の基板を搬出した直後の状態を示す構成図である。
【図６】本実施の形態の基板搬送システムの全体的な構成を示す上面図である。
【図７】図６の基板搬送システムにおける保管棚の側面図である。
【符号の説明】
【００３５】
１０    案内レール
２０    ベース部
２１    下底部分
３０    昇降台
４０    基板移載部
４１    基端部材
４２    アーム
５０    基板貯留装置
６０    保管棚
６１    支柱部
６２    把持部
【図１】
2008066534.tif 000003
【図２】
2008066534.tif 000004
【図３】
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【図４】
2008066534.tif 000006
【図５】
2008066534.tif 000007
【図６】
2008066534.tif 000008
【図７】
2008066534.tif 000009