(57)【要約】【課題】熱電対温度センサの温度ドリフトの発生状況を正確に診断する。【解決手段】第１の温度領域（温度ドリフトが発生するであろう温度領域）Ｓ１における各温度範囲（温度幅５０℃）での熱電対温度センサの使用時間にその温度範囲に応じた正方向への重み付けを施す。第２の温度領域（温度ドリフトが解消するであろう温度領域）Ｓ２における各温度範囲での熱電対温度センサの使用時間にその温度範囲に応じた負方向への重み付けを施す。第１の温度領域Ｓ１および第２の温度領域Ｓ２における各温度範囲での重み付けが施された熱電対温度センサの使用時間を加算し、その加算値をドリフト量とする。このドリフト量に基づいて温度ドリフトの発生状況を診断する。【選択図】  図１
2008107089.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱電対温度センサが高温に晒された場合に発生する温度ドリフトの発生状況を診断する熱電対温度センサの温度ドリフト診断装置において、
前記温度ドリフトが発生するであろう温度での前記熱電対温度センサの使用時間にその温度に応じた重み付けを施し、前記温度ドリフトが解消するであろう温度での前記熱電対温度センサの使用時間にその温度に応じた重み付けを施す重み付け手段と、
前記重み付けが施された熱電対温度センサの使用時間の加算値をドリフト量として求めるドリフト量演算手段と、
前記ドリフト量演算手段によって求められたドリフト量に基づいて前記熱電対温度センサの温度ドリフトの発生状況を診断する温度ドリフト診断手段と
を備えることを特徴とする熱電対温度センサの温度ドリフト診断装置。
【請求項２】
熱電対温度センサが高温に晒された場合に発生する温度ドリフトの発生状況を診断する熱電対温度センサの温度ドリフト診断装置において、
前記温度ドリフトが発生するであろう温度領域として定められた第１の温度領域における各温度範囲での前記熱電対温度センサの使用時間にその温度範囲に応じた正方向への重み付けを施し、前記温度ドリフトが解消するであろう温度領域として定められた第２の温度領域における各温度範囲での前記熱電対温度センサの使用時間にその温度範囲に応じた負方向への重み付けを施す重み付け手段と、
前記第１の温度領域および前記第２の温度領域における各温度範囲での前記重み付けが施された熱電対温度センサの使用時間の加算値をドリフト量として求めるドリフト量演算手段と、
前記ドリフト量演算手段によって求められたドリフト量に基づいて前記熱電対温度センサの温度ドリフトの発生状況を診断する温度ドリフト診断手段と
を備えることを特徴とする熱電対温度センサの温度ドリフト診断装置。
【請求項３】
請求項１に記載された熱電対温度センサの温度ドリフト診断装置において、
前記温度ドリフト診断手段は、
前記ドリフト量がプラス値であり、かつそのドリフト量が予め定められた閾値以上であった場合、前記熱電対温度センサの異常を通知する
ことを特徴とする熱電対温度センサの温度ドリフト診断装置。
【請求項４】
請求項１に記載された熱電対温度センサの温度ドリフト診断装置において、
前記温度ドリフト診断手段は、前記ドリフト量がプラス値であった場合、そのドリフト量に応じて前記熱電対温度センサの計測温度を補正する
ことを特徴とする熱電対温度センサの温度ドリフト診断装置。
【請求項５】
請求項１に記載された熱電対温度センサの温度ドリフト診断装置において、
前記ドリフト量診断手段は、
前記ドリフト量がプラス値であり、かつそのドリフト量が予め定められた閾値以上であった場合、前記熱電対温度センサを必要に応じて前記第２の温度領域内の所定温度で所定時間加熱する
ことを特徴とする熱電対温度センサの温度ドリフト診断装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、熱電対温度センサが高温に晒された場合に発生する温度ドリフトの発生状況を診断する熱電対温度センサの温度ドリフト診断装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、熱電対温度センサは、温度制御等において用いられる調節計、記録計、温度計等に利用されている。熱電対温度センサとして、Ｋ熱電対（ニッケルおよびクロムを成分とする合金系熱電対）やＲ熱電対（白金およびロジウムを成分とする合金系熱電対）においては、ショートレンジオーダリングという、特定温度領域における温度ドリフトがあることが知られている。例えば、３５０〜６００℃の高温に熱電対温度センサが晒されると、熱起電力が変化し、計測温度に温度ドリフトが発生し、検出精度が低下する。
【０００３】
このような検出精度の低下に対し、特許文献１には、熱電対温度センサの各温度での経過時間を測定する時間測定部と、熱電対温度センサの基準使用温度と寿命（時間）との関係を格納した寿命情報記憶部と、基準使用温度を超えた劣化を促進する温度では劣化係数を合わせて時間とともに実使用温度を記憶する温度履歴保存部とを設け、温度履歴保存部に保存された実使用温度と時間測定部で測定された経過時間と寿命情報記憶部に格納された基準使用温度および寿命（時間）とに基づいて熱電対センサの寿命を予測することが記載されている。
【０００４】
この記載からすると、特許文献１では、基準使用温度を越えた温度では劣化係数を考慮するものとしたうえ、熱電対温度センサの各温度での使用時間を積算し、この使用時間の積算値を基準使用温度と関係づけられている寿命（時間）から差し引いて、熱電対温度センサの残りの寿命を予測するようにしているものと考えられる。
【０００５】
【特許文献１】特開平４−７６７９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述した特許文献１に示された技術では、ショートレンジオーダリングが生じる特定温度領域以上の温度領域で、その使用温度と使用時間が温度ドリフトを解消させる方向に作用することがあるにも拘わらず、熱電対温度センサの各温度での使用時間を全て正方向の値として積算するようにしている。このため、使用時間の積算値に温度ドリフトが解消する方向に作用した時間も含まれるものとなり、正確な寿命の予測が妨げられる。なお、特許文献１では、熱電対温度センサの寿命の予測を行っているが、例えば使用時間の積算値が予め定められた閾値を超えた場合に異常を知らせるなどしてもよく、寿命を予測する場合と同様、温度ドリフトの発生状況の正確な診断が妨げられる。
【０００７】
本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、熱電対温度センサの温度ドリフトの発生状況を正確に診断することができる熱電対温度センサの温度ドリフト診断装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
このような目的を達成するために本発明は、熱電対温度センサが高温に晒された場合に発生する温度ドリフトの発生状況を診断する熱電対温度センサの温度ドリフト診断装置において、温度ドリフトが発生するであろう温度での熱電対温度センサの使用時間にその温度に応じた重み付けを施し、温度ドリフトが解消するであろう温度での熱電対温度センサの使用時間にその温度に応じた重み付けを施す重み付け手段と、重み付けが施された熱電対温度センサの使用時間の加算値をドリフト量として求めるドリフト量演算手段と、ドリフト量演算手段によって求められたドリフト量に基づいて熱電対温度センサの温度ドリフトの発生状況を診断する温度ドリフト診断手段とを設けたものである。
【０００９】
例えば、本発明では、温度ドリフトが発生するであろう温度領域として定められた第１の温度領域における各温度範囲での熱電対温度センサの使用時間にその温度範囲に応じた正方向への重み付けを施し、温度ドリフトが解消するであろう温度領域として定められた第２の温度領域における各温度範囲での熱電対温度センサの使用時間にその温度範囲に応じた負方向への重み付けを施す重み付け手段と、第１の温度領域および第２の温度領域における各温度範囲での重み付けが施された熱電対温度センサの使用時間の加算値をドリフト量として求めるドリフト量演算手段と、ドリフト量演算手段によって求められたドリフト量に基づいて熱電対温度センサの温度ドリフトの発生状況を診断する温度ドリフト診断手段とを設けるようにする。
【００１０】
これにより、第１の温度領域（温度ドリフトが発生するであろう温度領域（例えば、３５０〜６００℃））における各温度範囲（例えば、温度幅５０℃）での熱電対温度センサの使用時間にその温度範囲に応じた正方向への重み付けが施され、第２の温度領域（温度ドリフトが解消するであろう温度領域（例えば、６００〜１０００℃））における各温度範囲（例えば、温度幅５０℃）での熱電対温度センサの使用時間にその温度範囲に応じた負方向への重み付けが施され、第１の温度領域および第２の温度領域における各温度範囲での重み付けが施された熱電対温度センサの使用時間の加算値がドリフト量として求められる。この場合、ドリフト量は、第１の温度領域で生じる温度ドリフトの発生量と第２の温度領域で生じる温度ドリフトの解消量との差を示し、このドリフト量に基づいて熱電対温度センサの温度ドリフトの発生状況が診断される。
【００１１】
本発明において、第１の温度領域での重み付けは、例えば、各温度範囲の単位時間当たりの温度ドリフトの発生量に応じ、温度リフトの発生量が大きい温度範囲では正方向への重み付けを大きくし、温度ドリフトの発生量が小さい温度範囲では正方向への重み付けを小さくするようにする。また、第２の温度領域での重み付けは、例えば、各温度範囲の単位時間当たりの温度ドリフトの解消量に応じ、温度ドリフトの解消量が大きい温度範囲では負方向への重み付けを大きくし、温度ドリフトの解消量が小さい温度範囲では負方向への重み付けを小さくするようにする。このようにして、各温度範囲の熱電対温度センサの使用温度に重み付けを施すことによって、第１の温度領域で生じる温度ドリフトの発生量および第２の温度領域で生じる温度ドリフトの解消量を正確に求めることが可能となる。
【００１２】
本発明において、ドリフト量を求める方法は、上述した温度範囲に区切る方法に限られない。例えば、温度ドリフトの発生量の傾向を示す多項式などを曲線で作っておいて、この曲線を重み付けを示す曲線として積算に用いて実現するようにしてもよい。この場合、温度範囲に区切る必要はなく、処理が簡単となる。
【００１３】
本発明において、温度ドリフト診断手段は、ドリフト量がプラス値であり、かつそのドリフト量が予め定められた閾値以上であった場合、熱電対温度センサの異常を通知する機能を有する。また、ドリフト量がプラス値であった場合、そのドリフト量に応じて熱電対温度センサの計測温度を補正する機能を有する。また、ドリフト量がプラス値であり、かつそのドリフト量が予め定められた閾値以上であった場合、必要に応じて熱電対温度センサを第２の温度領域内の所定温度で所定時間加熱する機能を有する。熱電対温度センサを第２の温度領域内の所定温度で所定時間加熱すると、その温度と時間を温度ドリフトが解消する方向に作用させ、検出精度を回復させることが可能となる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、温度ドリフトが発生するであろう温度での熱電対温度センサの使用時間にその温度に応じた重み付けを施し、温度ドリフトが解消するであろう温度での熱電対温度センサの使用時間にその温度に応じた負方向への重み付けを施し、重み付けが施された熱電対温度センサの使用時間の加算値をドリフト量として求めるようにしたので、温度ドリフトの発生量および温度ドリフトの解消量を正確に求め、この温度ドリフトの発生量と解消量との差を示すドリフト量から、熱電対温度センサの温度ドリフトの発生状況を正確に診断することができるようになる。
【００１５】
また、本発明によれば、ドリフト量がプラス値であり、かつそのドリフト量が予め定められた閾値以上であった場合、熱電対温度センサの異常を通知することにより、早すぎたり遅すぎたりすることなく、適確なタイミングで熱電対温度センサの交換を促すことが可能となる。
また、本発明によれば、ドリフト量がプラス値であった場合、そのドリフト量に応じて熱電対温度センサの計測温度を補正することにより、温度ドリフトの発生の有無に拘わらず、常に精度の高い温度計測を行うことが可能となる。
また、本発明によれば、ドリフト量がプラス値であり、かつそのドリフト量が予め定められた閾値以上であった場合、熱電対温度センサを第２の温度領域内の所定温度で所定時間加熱することにより、その温度と時間を温度ドリフトが解消する方向に作用させ、検出精度を回復させることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明を図面に基づいて詳細に説明する。先ず、本発明の実施の形態の説明に入る前に、本発明の概要について説明する。
【００１７】
〔概要〕
図１は、熱電対温度センサの使用温度範囲（℃）を横軸とし、熱電対温度センサの使用時間（積算時間（ｈ））および単位時間当たりの温度ドリフトの発生量（℃）を縦軸として表されたグラフを示す図である。
【００１８】
同図において、グラフＧ１（棒グラフ）は、温度幅を５０℃として分割した各温度範囲の熱電対温度センサの使用時間を示し、グラフＧ２（折れ線グラフ）は、温度幅を５０℃として分割した各温度範囲の熱電対温度センサの単位時間当たりの温度ドリフトの発生量を示す。
【００１９】
なお、図１のグラフＧ１，Ｇ２は本発明の概略を説明するために参考的に示したものであり、このようなデータが実際に得られている訳ではない。熱電対温度センサの単位時間当たりの温度ドリフトの発生量は、グラフＧ２で示したように、概ねこのような傾向を示すものと考えられる。
【００２０】
また、グラフＧ２において、単位時間当たりの温度ドリフトの発生量のマイナス値は、温度ドリフトを解消する能力を示し、実際にマイナスの温度ドリフトが発生する訳ではない。すなわち、グラフＧ２において、単位時間当たりの温度ドリフトの発生量のプラス値は単位時間当たりの温度ドリフトの発生量を示しているが、単位時間当たりの温度ドリフトの発生量のマイナス値は単位時間当たりの温度ドリフトの解消量を示している。
【００２１】
グラフＧ２において、熱電対温度センサの単位時間当たりの温度ドリフトの発生量は、３５０〜６００℃の温度領域においてプラス値をとり、６００〜１０００℃の温度領域においてマイナス値をとっている。そこで、本発明では、３５０〜６００℃の温度領域を温度ドリフトが発生するであろう温度領域（第１の温度領域）Ｓ１とし、６００〜１０００℃の温度領域を温度ドリフトが解消するであろう温度領域（第２の温度領域）Ｓ２として定める。
【００２２】
そして、第１の温度領域Ｓ１における各温度範囲での熱電対温度センサの使用時間にその温度範囲に応じた正方向への重み付けを施し、第２の温度領域Ｓ２における各温度範囲での熱電対温度センサの使用時間にその温度範囲に応じた負方向への重み付けを施す。
【００２３】
この場合、第１の温度領域Ｓ１では、各温度範囲の単位時間当たりの温度ドリフトの発生量に応じ、温度ドリフトの発生量が大きい温度範囲では正方向への重み付けを大きくし、温度ドリフトの発生量が小さい温度範囲では正方向への重み付けを小さくする。第２の温度領域Ｓ２では、各温度範囲の単位時間当たりの温度ドリフトの解消量に応じ、温度ドリフトの解消量が大きい温度範囲では負方向への重み付けを大きくし、温度ドリフトの解消量が小さい温度範囲では負方向への重み付けを小さくする。
【００２４】
そして、第１の温度領域Ｓ１および第２の温度領域Ｓ２における各温度範囲での重み付けが施された熱電対温度センサの使用時間を加算し、この使用時間の加算値をドリフト量とする。
【００２５】
図２に第１の温度領域Ｓ１および第２の温度領域Ｓ２における各温度範囲での重み付けが施された使用時間を示す。このように、第１の温度領域Ｓ１における各温度範囲の重み付けが施された使用時間はプラス値となり、第２の温度領域Ｓ２における各温度範囲の重み付けが施された使用時間はマイナス値となる。これらの使用時間を加算してドリフト量を求める。
【００２６】
そして、このドリフト量に基づいて、熱電対温度センサの温度ドリフトの発生状況を診断する。例えば、ドリフト量がプラス値であれば、温度ドリフトが発生しており、計測温度に誤差が生じている可能性が高いと判断する。ドリフト量がマイナス値であれば、温度ドリフトは発生しておらず、計測温度に誤差が生じている可能性は低いと判断する。
【００２７】
また、ドリフト量がプラス値であり、かつそのドリフト量が予め定められた閾値以上であった場合、熱電対温度センサの異常を通知するようにする。これにより、早すぎたり遅すぎたりすることなく、適確なタイミングで熱電対温度センサの交換を促すことが可能となる。
【００２８】
また、ドリフト量がプラス値であった場合、そのドリフト量に応じて熱電対温度センサの計測温度を補正するようにする。これにより、温度ドリフトの発生の有無に拘わらず、常に精度の高い温度計測を行うことが可能となる。
【００２９】
また、ドリフト量がプラス値であり、かつそのドリフト量が予め定められた閾値以上であった場合、例えば、炉を使用していな空き時間などユーザが望む時に、熱電対温度センサを第２の温度領域Ｓ２内の所定温度で所定時間加熱（エージング）するようにする。このエージングにより、その温度と時間を温度ドリフトが解消する方向に作用させ、検出精度を回復させることが可能となる。
【００３０】
第２の温度領域Ｓ２内で、熱電対温度センサを一定時間以上エージングすると、その温度と時間が元の検出精度に戻るところまで作用する。この場合、エージング時間が長くても、マイナスの温度ドリフトは殆ど発生しない。
【００３１】
なお、上述においては、温度範囲に区切ってドリフト量を求めるようにしたが、例えば、温度ドリフトの発生量の傾向を示す多項式などを曲線で作っておいて、この曲線を重み付けを示す曲線として積算に用いてドリフト量を求めるようにしてもよい。この場合、温度範囲に区切る必要はなく、処理が簡単となる。
【００３２】
また、上述したように、本発明では、ドリフト温度を直接積算しないで重み付けを施し、その後ドリフト温度に変換する、というようなまわりくどい計算を施す。この理由は、現場の状況に合わせて簡単にドリフト量を調整できるようにするためである。すなわち、センサの径や装置への挿入深さなど、現場の設置条件で実際のドリフト温度は大きく異なる。これに対し、ドリフトの傾向を相似と仮定し、係数を用いて重み付けだけ施しておけば、現場の状況に合わせて簡単にドリフト量を調整することが可能となる。簡単に実現するのであれば、重み付けのデータのかわりに単時時間当たりのドリフを温度を直接計算に用いてもよい。
【００３３】
〔実施の形態１〕
図３は本発明に係る熱電対温度センサの温度ドリフト診断装置の一実施の形態を用いた温度計測システムの構成図である。同図において、１は熱電対温度センサ、２は本発明に係る温度ドリフト診断装置、３はブザー、４はディスプレイである。なお、図３において、熱電対温度センサ１はＫ熱電対とする。
【００３４】
温度ドリフト診断装置２は、プロセッサや記憶装置からなるハードウェアと、これらのハードウェアと協働して各種機能を実現させるプログラムとによって実現され、本実施の形態特有の機能として温度ドリフト診断機能を有している。
【００３５】
以下、図４に示したフローチャートに従って、温度ドリフト診断装置２が有する温度ドリフト診断機能について説明する。温度ドリフト診断装置２は、このフローチャートの処理を測定周期Ｔ毎に繰り返す。
【００３６】
温度ドリフト診断装置２は、ステップ１０１において、熱電対温度センサ１がＫ熱電対であるか否かをチェックする。この場合、熱電対温度センサ１はＫ熱電対であるので、ステップ１０１のＹＥＳに応じてステップ１０２へ進む。なお、熱電対温度センサ１がＫ熱電対でなければ、そのまま終了する。
【００３７】
ステップ１０２では熱電対温度センサ１の交換の有無を確認する。ここで、熱電対温度センサ１が交換されて新しい熱電対温度センサとなっていれば（ステップ１０２のＹＥＳ）、ステップ１０３へ進む。熱電対温度センサ１の交換がなければ、直ちにステップ１０５へ進む。ここでは、熱電対温度センサ１が交換されて、新しい熱電対温度センサとなっているものとする。
【００３８】
この場合、温度ドリフト診断装置２は、熱電対温度センサ１のセンサ種類を設定し（ステップ１０３）、Ｋ熱電対特殊温度帯用のタイマＴＭ（ｎ）を初期化する（ステップ１０４）。この初期化によりタイマＴＭ（ｎ）のタイマ値は０となる。
【００３９】
ここで、Ｋ熱電対特殊温度帯は、前述した第１の温度領域Ｓ１および第２の温度領域Ｓ２を合わせた温度帯であり、本実施の形態では３５０〜１０００℃の温度帯とされる。また、本実施の形態では、Ｋ熱電対特殊温度帯を温度幅５０℃で分割した分割数、すなわちＫ熱電対特殊温度帯の各温度範囲の数「１３」をＮとし、ｎは１〜Ｎまでの値をとるものとする。したがって、タイマＴＭ（ｎ）は、ＴＭ（１）〜ＴＭ（１３）の１３個のタイマが存在する。
【００４０】
次に、温度ドリフト診断装置２は、熱電対温度センサ１の計測温度（現在温度）をチェックし（ステップ１０５）、現在温度がＫ熱電対特殊温度帯（３５０〜１０００℃）にあれば（ステップ１０６のＹＥＳ）、現在温度がＫ熱電対特殊温度帯のどの温度範囲に位置しているのかを調べる（ステップ１０７）。すなわち、Ｋ熱電対特殊温度帯の各温度範囲をＴＷ（ｎ）とし、現在温度がどの温度範囲ＴＷ（ｎ）に位置しているのかを調べる。
【００４１】
そして、現在温度が位置する温度範囲ＴＷ（ｎ）に対応するタイマＴＭ（ｎ）のタイマ値（前回値）に測定周期Ｔを加算して、タイマＴＭ（ｎ）のタイマ値（今回値）とする（ステップ１０８）。例えば、現在温度が温度範囲ＴＷ（１）に位置してれば、温度範囲ＴＷ（１）に対応するタイマＴＭ（１）のタイマ値（前回値）に測定周期Ｔを加算して、タイマＴＭ（１）のタイマ値（今回値）とする。これにより、タイマＴＭ（１）に、温度範囲ＴＷ（１）での熱電対温度センサ１の使用時間が積算される。
【００４２】
そして、温度ドリフト診断装置２は、温度範囲ＴＷ（ｎ）の単位時間当たりの温度ドリフトの発生量をδ（ｎ）とし、タイマＴＭ（ｎ）のタイマ値に温度ドリフトの発生量δ（ｎ）を乗じて温度範囲ＴＷ（ｎ）での重み付けが施された使用時間を求め、各温度範囲ＴＷ（ｎ）での重み付けが施された使用時間を加算し、この加算値をドリフト量ΔＤとする（ステップ１０９）。
【００４３】
ここで、温度範囲ＴＷ（ｎ）の単位時間当たりの温度ドリフトの発生量δ（ｎ）は、第１の温度領域Ｓ１ではプラス値とし、第２の温度領域Ｓ２ではマイナス値とする。マイナス値は温度ドリフトの解消量を示す。また、温度範囲ＴＷ（ｎ）の単位時間当たりの温度ドリフトの発生量δ（ｎ）は、個々の計装に合わせて測定しておき、適切な値を温度ドリフト診断装置２に記憶させておく。
【００４４】
次に、温度ドリフト診断装置２は、ドリフト量ΔＤがプラス値であるか否かをチェックする（ステップ１１０）。ここで、ドリフト量ΔＤがプラス値であれば（ステップ１１０のＹＥＳ）、温度ドリフトが発生しており、計測温度に誤差が生じている可能性が高いと判断し、ステップ１１１へ進む。ドリフト量ΔＤがマイナス値であれば（ステップ１１０のＮＯ）、温度ドリフトは発生しておらず、計測温度に誤差が生じている可能性は低いと判断し、ステップ１１１へは進まずに処理を終了する。
【００４５】
ステップ１１１では、ドリフト量ΔＤを予め定められている閾値ΔＤｔｈと比較する。閾値ΔＤｔｈは、ユーザが決める限界の温度であり、目的によって異なるためユーザ指定とする。ドリフト量ΔＤが閾値ΔＤｔｈよりも大きかった場合（ステップ１１１のＹＥＳ）、温度ドリフト診断装置２は、警報を発し（ステップ１１２）、熱電対温度センサ１の異常を通知する。ドリフト量ΔＤが閾値ΔＤｔｈ以下であった場合、温度ドリフト診断装置２は、警報を発することなく、処理を終了する。以下同様にして、測定周期Ｔ毎に、上述した処理動作を繰り返す。
【００４６】
〔実施の形態２〕
実施の形態１では、ドリフト量ΔＤが閾値ΔＤｔｈよりも大きかった場合（ステップ１１１のＹＥＳ）、熱電対温度センサ１の異常を通知するようにした。これに対し、実施の形態２では、図５に図４に対応するフローチャートを示すように、ドリフト量ΔＤがプラス値であった場合（ステップ１１０のＹＥＳ）、そのドリフト量ΔＤに応じて計測温度を補正する（ステップ１１３）。
【００４７】
〔実施の形態３〕
実施の形態３では、図６に図４に対応するフローチャートを示すように、ドリフト量ΔＤが閾値ΔＤｔｈよりも大きかった場合（ステップ１１１のＹＥＳ）、必要に応じて、炉内温度を自動的に上げるなどして、熱電対温度センサ１のエージングを開始する（ステップ１１５）。エージング中は、ドリフト量ΔＤがプラス値であっても、ステップ１１１へは進まない（ステップ１１４のＹＥＳ）。
【００４８】
なお、上述した実施の形態では、第１の温度領域Ｓ１および第２の温度領域Ｓ２における各温度範囲を５０℃の温度幅としたが、５０℃に限られるものでないことは言うまでもない。また、必ずしも等温度幅としなくてもよく、各温度範囲の温度幅は異なっていてもよい。
【００４９】
また、上述した実施の形態では、第１の温度領域Ｓ１と第２の温度領域Ｓ２とを連なった領域としたが、離れた領域である場合も考えられる。また、熱電対温度センサの温度ドリフトの発生状況の診断の一形態として、熱電対温度センサの寿命の予測を行うようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】熱電対温度センサの使用温度範囲を横軸とし熱電対温度センサの使用時間および単位時間当たりの温度ドリフトの発生量を縦軸として表されたグラフＧ１およびＧ２を示す図である。
【図２】第１の温度領域および第２の温度領域における各温度範囲の重み付けが施された熱電対温度センサの使用時間を示す図である。
【図３】本発明に係る熱電対温度センサの温度ドリフト診断装置の一実施の形態を用いた温度計測システムの構成図である。
【図４】この温度計測システムで用いられる温度ドリフト診断装置が有する温度ドリフト診断機能を説明するためのフローチャート（実施の形態１）である。
【図５】この温度計測システムで用いられる温度ドリフト診断装置が有する温度ドリフト診断機能を説明するためのフローチャート（実施の形態２）である。
【図６】この温度計測システムで用いられる温度ドリフト診断装置が有する温度ドリフト診断機能を説明するためのフローチャート（実施の形態３）である。
【符号の説明】
【００５１】
１…熱電対温度センサ、２…温度ドリフト診断装置、３…ブザー、４…ディスプレイ、Ｓ１…第１の温度領域、Ｓ２…第２の温度領域。
【図１】
2008107089.tif 000003
【図２】
2008107089.tif 000004
【図３】
2008107089.tif 000005
【図４】
2008107089.tif 000006
【図５】
2008107089.tif 000007
【図６】
2008107089.tif 000008