(57)【要約】【課題】本発明は、主として無線通信機器にて使用される弾性表面波デバイスに関して、弾性表面波デバイスの電気的特性を向上させることを目的とする。【解決手段】本発明は、弾性表面波デバイスを構成する圧電体基板１の裏面に設けられる支持体３を複数の空孔４を有するポーラス構造としたことにより支持体側に透過したバルク波は空孔を透過するのに伴い減衰されるため、支持体による反射波の影響を低減させることが出来るので、結果として弾性表面波デバイスの電気的特性を向上させることが出来るのである。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電体基板と、
この圧電体基板の表面に設けた櫛型電極と、前記圧電体基板の裏面に設けた支持体を備え、前記支持体は複数の空孔を有するポーラス構造としたことを特徴とする弾性表面波デバイス。
【請求項２】
空孔の含有率を、支持体の裏面側より圧電体基板側を少なくしたことを特徴とする請求項１に記載の弾性表面波デバイス。
【請求項３】
支持体に絶縁体材料を含浸させたことを特徴とする請求項１に記載の弾性表面波デバイス。
【請求項４】
絶縁体材料の含浸度合いを、支持体の裏面側より圧電体基板側を少なくしたことを特徴とする請求項２に記載の弾性表面波デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、主として無線通信機器にて使用される弾性表面波デバイスに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般にこの種の弾性表面波デバイスは、圧電体基板上に櫛型電極を設けた構造となっているのであるが、圧電体基板の温度特性を低減させる手段として、圧電体基板より線膨張係数が小さく圧電体基板との密着性を有するシリコン等の支持体を貼り合わせた構造が知られている。
【０００３】
なお、この出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
【特許文献１】特開２００４−９６６７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、圧電体基板を薄くすることにより、櫛型電極で発生したバルク波の圧電体基板の裏面反射により弾性表面波デバイスの電気的特性が劣化してしまう上に、支持体側に透過したバルク波も支持体の底面に反射し弾性表面波デバイスの電気的特性が劣化してしまうという問題を有していた。
【０００５】
そこで、本発明はこのような問題を解決し電気的特性の優れた弾性表面波デバイスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この目的を達成するために本発明は、弾性表面波デバイスを構成する圧電体基板の裏面に設けられる支持体を複数の空孔を有するポーラス構造としたのである。
【発明の効果】
【０００７】
この構成により、支持体側に透過したバルク波は空孔を透過するのに伴い減衰されるため、支持体による反射波の影響を低減させることが出来るので、結果として弾性表面波デバイスの電気的特性を向上させることが出来るのである。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明の一実施形態について図面を用いて説明する。
【０００９】
図１は弾性表面波デバイスを模式的に示したものであり、その基本構造はタンタル酸リチウムやニオブ酸リチウムなどの圧電体基板１の上面に櫛型電極２を配置するとともに、圧電体基板１の下面に、アルミナからなる支持体３が接合した構造となっている。
【００１０】
そして、この支持体３は図２に示すごとく複数の空孔が層内に分散配置されたポーラス構造としており、これにより弾性表面波デバイスの温度特性の改善を図るとともに電気的特性を向上させている。
【００１１】
すなわち、圧電体基板１と接する支持体３をポーラス構造としたことにより、櫛型電極２から放射された矢印で示すバルク波が圧電体基板１を透過した場合においても、支持体３内に音響インピーダンスが小さい空孔が存在することにより、バルク波が乱反射を起こし位相のずれた反射波同士で打ち消し合うようになりバルク波による影響を抑制できるとともに、バルク波が空孔を透過したとしてもその透過に伴いバルク波の伝搬損失が増しバルク波が減衰するので、よりバルク波の影響を抑制できるのである。
【００１２】
また、支持体３における空孔はバルク波の減衰作用に寄与するものであるが、支持体３の構造強度に対しては劣化させる方向に作用するものである。よって、圧電体基板１の熱膨張に対して最も抑制効果の高い弾性表面波デバイスの裏面側つまり支持体３における圧電体基板１と反対側の部分の空孔４の含有率を小さく圧電体基板１側を大きくすることで、温度特性の劣化を効果的に抑制できるとともに、バルク波の減衰に効果の高い圧電体基板１との当接面近傍の空孔含有率を大きくすることで、圧電体基板１の温度特性の劣化を抑制できるとともに、バルク波の減衰作用も得ることが出来るのである。
【００１３】
なお、支持体３を多数の空孔を含むポーラス構造とすることで、支持体３の構造強度が低下してしまい、支持体３を設ける主目的である温度変化に伴う圧電体基板１の膨張抑制作用を損なうこととなるのであるが、空孔４内に絶縁材料を含浸させることで支持体３の構造強度が増加し圧電体基板１の膨張抑制作用を補うことが出来るのである。
【００１４】
また、支持体３に含浸させる材料は支持体３とは異なる材料であることが望ましく、特に支持体３より伝搬損失が大きく、かつ音響インピーダンスが異なる材料であることが望ましい。
【００１５】
また、圧電体基板１の熱膨張に対して最も抑制効果の高い弾性表面波デバイスの裏面側つまり支持体３における圧電体基板１と反対側の部分の含浸率を大きくして圧電体基板１側を小さくすることで、上述した空孔４の含有率と同様に温度特性の劣化を効果的に抑制できるとともに、バルク波の減衰に効果の高い圧電体基板１との当接面近傍の含浸率を小さくすることで、圧電体基板１の温度特性の劣化を抑制できるとともに、バルク波の減衰作用も得ることができるのである。
【００１６】
さらに、支持層の裏面つまり弾性表面波デバイスの下面に絶縁体材料を含浸させることで、この面の緻密性が高まるので、このような弾性表面波デバイスをマザー基板等への実装時に用いる真空吸着型実装器などにおける吸着性が高まり、結果として弾性表面波デバイスの実装性を高めることにつながるのである。
【００１７】
なお、この一実施形態においては弾性表面波デバイスとして一対の櫛型電極２を用いた模式的な構造を用いて説明したが、櫛型電極２を梯子型に組み合わせたラダー型フィルタや、複数の櫛型電極２を圧電体基板１の伝播方向に配置した縦モード型フィルタ、また、このような弾性表面波フィルタを適宜組み合わせた分波器や共用器といったものが弾性表面波デバイスとして挙げられ同様の作用効果を奏することが出来る。
【産業上の利用可能性】
【００１８】
本発明に係る弾性表面波デバイスは、温度特性の抑制及び電気的特性を向上できるという効果を有するものであり、主として無線通信機器に用いられる弾性表面波フィルタや弾性表面波デュプレクサなどの弾性表面波デバイス等において有用となるものである。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一実施の形態における弾性表面波デバイスの斜視図
【図２】同弾性表面波デバイスの断面図
【符号の説明】
【００２０】
１  圧電体基板
２  櫛型電極
３  支持体
４  空孔
【図１】
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【図２】
2008219720.tif 000004