(57)【要約】【課題】小形・低コストで、かつ、複数の放電ユニットのいずれかに異常電流を検出したとき、異常電流を検出した放電ユニットの高圧電源のみを遮断するようにし、他の高圧電源及び放電ユニットはそのまま稼動するようにしたガス浄化装置を得ること。【解決手段】プラズマ放電により生成される活性種により被浄化ガス１に含まれる化学物質を分解除去する分解処理部１０２を備え、送風機４により吸込口２から前記被浄化ガス１を吸込んで前記分解処理部１０２に送り込み、該分解処理部１０２で前記被浄化ガス１を浄化し、吹出口９から吹出すガス浄化装置１００において、前記分解処理部１０２は、多数に細分化した吸着剤を有する接地電極５と、該接地電極５に対向させて設置した高圧電極７と、からなる電極ユニットを複数組備え、一組の前記電極ユニット毎に一つの高圧電源６を備える。【選択図】        図１
2008245739.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラズマ放電により生成される活性種により被浄化ガスに含まれる化学物質を分解除去する分解処理部を備え、送風機により吸込口から前記被浄化ガスを吸込んで前記分解処理部に送り込み、該分解処理部で前記被浄化ガスを浄化し、吹出口から吹出すガス浄化装置において、
前記分解処理部は、
多数に細分化した吸着剤を有する接地電極と、該接地電極に対向させて設置した高圧電極と、からなる電極ユニットを複数組備え、
一組の前記電極ユニット毎に一つの高圧電源を備えることを特徴とするガス浄化装置。
【請求項２】
前記接地電極は、ハニカム状触媒担持導電性吸着剤を有し、
前記高圧電極は、誘電体で被覆された金属電極であることを特徴とする請求項１に記載のガス浄化装置。
【請求項３】
前記高圧電源の夫々に異常電流検出回路を設け、前記高圧電極の前記誘電体の破損等により異常電流が発生すると、異常電流を検出した高圧電源のみを遮断するようにしたことを特徴とする請求項１又は２に記載のガス浄化装置。
【請求項４】
前記高圧電源のうち特定の高圧電源の異常電流を検知したとき、異常電流の発生及び発生箇所を表示する表示手段を備えることを特徴とする請求項３に記載のガス浄化装置。
【請求項５】
前記複数組の放電ユニットを、前記送風機の吹出口を囲むように配置したことを特徴とする請求項１〜４のいずれか一つに記載のガス浄化装置。
【請求項６】
前記分解処理部よりも上流側に設置され、前記被浄化ガスに含まれる粒子状物質を分離する粒子状物質分離手段をさらに備えることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一つに記載のガス浄化装置。
【請求項７】
前記送風機は、両吸込シロッコファンであることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一つに記載のガス浄化装置。
【請求項８】
前記高圧電極は、細長薄板状に形成され、断面の縦辺と前記接地電極に対向する横辺との比が、縦辺／横辺＜１／２０であり、横辺が前記接地電極の幅の１５％以下、前記高圧電極と接地電極間距離の７倍以下、かつ、前記接地電極に対する前記高圧電極の開口率が５０％以上であることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一つに記載のガス浄化装置。
【請求項９】
前記高圧電極は、前記縦辺を回転軸として、回動可能であることを特徴とする請求項８に記載のガス浄化装置。
【請求項１０】
前記高圧電極は、前記接地電極の両側に設置され、一方側の高圧電極は、他方側の２つの高圧電極間に対向するように設置されていることを特徴とする請求項９に記載のガス浄化装置。
【請求項１１】
前記高圧電極は、細長棒状に形成され、外径がφ１ｍｍ〜φ５ｍｍであり、前記接地電極に対する前記高圧電極の開口率が３０％以上であることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一つに記載のガス浄化装置。
【請求項１２】
前記高圧電極は、多数の円孔又は角孔を有する板状に形成され、前記孔の開口率が５０％以上であることを特徴とする請求項１〜７にいずれか一つに記載のガス浄化装置。
【請求項１３】
前記高圧電極は、前記接地電極の両側に設置されていることを特徴とする請求項１１又は１２に記載のガス浄化装置。
【請求項１４】
前記吸着剤として、貴金属触媒を併用することを特徴とする請求項１〜１３のいずれか一つに記載のガス浄化装置。
【請求項１５】
前記貴金属触媒は、パラジウム、白金又はロジウムであることを特徴とする請求項１４に記載のガス浄化装置。
【請求項１６】
前記吸込口及び吹出口に、ダクト着脱用のフランジ部を備えることを特徴とする請求項１〜１５のいずれか一つに記載のガス浄化装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガス浄化装置に関し、特に、低濃度の揮発性有機化合物（ＶＯＣｓ；Ｖｏｌａｔｉｌｅ  Ｏｒｇａｎｉｃ  Ｃｏｍｐｏｕｎｄｓ）等の化学物質を含んだ大気から、放電プラズマにより、化学物質を分解除去するガス浄化装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のガス浄化装置は、放電プラズマと吸着剤（吸着材）を利用し、吸着剤の吸着能力を長期に亘って維持させるようにし、ガス浄化装置のメンテナンスを容易にしている。
【０００３】
すなわち、従来のガス浄化装置は、大気下において、粒子状物質と化学物質を含有するガスから粒子状物質を取り除いた後に、ガス中に含まれる化学物質を吸着剤により捕集すると共に、ガス中に含まれる水分を捕集しながら、化学物質を吸着した吸着剤をゼロ電位に保ち、この吸着剤と電極との間で放電を生じさせて、吸着剤表面で放電により生成される活性種により、若しくは、照射された活性種と大気中若しくは吸着剤表面に存在する水分が反応することにより生成された活性種により、吸着剤に吸着された化学物質を分解除去する（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、誘電物質で覆われた金属電極で構成され電極対を構成する接地側電極および高圧側電極と、各接地側電極と各高圧側電極との間に備えられた誘電体部材と、上記電極対および誘電体部材が内部に設置されるプラズマ処理室とを有し、電極対の少なくとも一方の電極と誘電体部材との間に空隙が形成され、誘電体部材は、被処理ガスの実質的全量が誘電体部材内を誘電体部材に対して垂直な方向に流通するように、プラズマ処理室内に配置されているガス処理装置であって、電極間にグロー放電を誘起させてガスの処理を行なうものがある（例えば、特許文献２参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−８９７０８号公報
【特許文献２】特開２００６−１８７７６６号公報
【０００６】
また、化学物質の分解除去効率を上げる方法は、一つは、吸着剤の空間速度（ＳＶ値＝処理ガス量／吸着剤量）を低下させることであり、そのためには、吸着剤の表面積あるいは厚さを増加する必要がある。もう一つは、高圧電極から吸着剤への放電を均一化することであり、そのためには、吸着剤と対向する位置に、高圧電極を極力密に配置する必要がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記従来の技術によれば、一つの高圧電源から、高圧電極全数または任意の高圧電極に電力を供給するので、大容量の電源が必要となって高コストとなる。また、誘電体が破損したようなとき、金属が露出した部分に集中した異常放電が生じて危険である。そのため、保護装置により装置を全面停止させなければならない、という問題があった。
【０００８】
また、化学物質の分解除去効率を上げるために吸着剤の表面積を大きくすると、装置が大形化してしまう。吸着剤の厚さの増加及び放電均一化のために、吸着剤と対向する位置に、高圧電極を密に配置すると、圧力損失が大きくなるため、一定以上の処理風量を満足させるために、大容量のファンモータが必要となる、という問題があった。
【０００９】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、小形・低コストで、かつ、複数の放電ユニットのいずれかに異常電流を検出したとき、異常電流を検出した放電ユニットの高圧電源のみを遮断するようにし、他の高圧電源及び放電ユニットはそのまま稼動するようにしたガス浄化装置を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、プラズマ放電により生成される活性種により被浄化ガスに含まれる化学物質を分解除去する分解処理部を備え、送風機により吸込口から前記被浄化ガスを吸込んで前記分解処理部に送り込み、該分解処理部で前記被浄化ガスを浄化し、吹出口から吹出すガス浄化装置において、前記分解処理部は、多数に細分化した吸着剤を有する接地電極と、該接地電極に対向させて設置した高圧電極と、からなる電極ユニットを複数組備え、一組の前記電極ユニット毎に一つの高圧電源を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
この発明によれば、小形・低コストで、稼動効率の良いガス浄化装置が得られる、という効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下に、本発明にかかるガス浄化装置の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
【００１３】
実施の形態１．
図１は、本発明にかかるガス浄化装置の実施の形態１を示す縦断面図であり、図２は、実施の形態１のガス浄化装置のシロッコファンの第１の配置例を示す横断面図であり、図３は、シロッコファンの第２の配置例を示す横断面図であり、図４は、シロッコファンの第３の配置例を示す縦断面図であり、図５は、シロッコファンの第３の配置例を示す横断面図であり、図６は、斜流ファンの配置例を示す縦断面図であり、図７は、分解処理部（放電空間）を示す透視図である。
【００１４】
図１に示すように、実施の形態１のガス浄化装置１００は、縦長直方体状に形成された筐体１０１を備えている。筐体１０１の前方上部には、斜め上方を向いた、被処理ガス１の吸込口２が設けられている。
【００１５】
筐体１０１の天板後方には、ガス浄化装置１００で浄化されたガスの吹出口９が設けられている。被処理ガス１には、粉塵等の粒子状物質や、化学物質としての、ホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、トルエン、エチレン等の低濃度の揮発性有機化合物や、アンモニア等が含まれている。
【００１６】
筐体１０１の前方下部には、制御装置１０が設置され、前面板には、操作パネル１１が設置されている。筐体１０１の後方上部には、分解処理部としてのガス浄化室１０２が形成され、後方下部には、送風機としてのシロッコファン４が設置されている。
【００１７】
筐体１０１の前方上部から下部にかけて風路１０３が形成され、風路１０３の上流側には、粒子状物質分離手段としての除塵フィルタ３が設置されている。シロッコファン４及びガス浄化室１０２は、風路１０３の中流から下流部分を構成している。
【００１８】
図７に示すように、ガス浄化室１０２の周囲には、多数に細分化した吸着剤としてのハニカム状触媒担持導電性吸着剤を有する接地電極５と、接地電極５に対向させて設置され誘電体で金属電極を被覆した高圧電極７とからなる一対の放電ユニット１１０を複数組（５組）、シロッコファン４の吹出口１２を囲むように設置し、内部に放電空間を形成している。
【００１９】
複数組の放電ユニット１１０でファン吹出口１２を囲むようにした放電空間を設けることにより、吸着剤の表面積を増加させても装置内にコンパクトに収まり、また、放電空間内が加圧されて各吸着剤の全面に均一に被浄化ガス１が通過し易くなり、吸着剤を有効に作用させることができる。また、放電空間を閉空間とすることにより、化学物質を含んだ被浄化ガス１の放電空間からの漏れを防止する。
【００２０】
接地電極５としてのハニカム状触媒担持導電性吸着剤は、小スペースで吸着剤表面積が極めて大きい。接地電極７は接地８されている。ハニカム状触媒担持導電性吸着剤５は、ハニカム構造を有する吸着剤を、（導電性）給電電極により、外周を覆うようにしたものである。
【００２１】
吸着剤には、黒鉛、活性炭、シリカゲル、ゼオライト等が用いられ、被処理ガス１の通路となる細孔が設けられ、ハニカム状となっている。吸着剤表面に、二酸化マンガン、二酸化チタン、酸化亜鉛等の触媒作用を有する物質や、パラジウム、白金又はロジウム等の貴金属触媒を担持させ、触媒を併用して化学物質の分解除去効果を高めるようにする。
【００２２】
吸着剤に貴金属触媒を併用することにより、無声放電による化学物質の分解除去と同時に、放電により生成する熱を利用して分解除去が行なわれ、省電力、高分解効率で化学物質の除去が行なわれる。
【００２３】
粒子状物質としての粉塵及び化学物質としてのＶＯＣｓを含む被処理ガス１は、吸込口２から通風路１０３に吸込まれ、粒子状物質分離手段としての除塵フィルター３により粉塵が除去されて送風機としてのシロッコファン４に吸込まれる。シロッコファン４のファン吹出口１２からガス浄化室１０２内に吹出された被処理ガス１は、複数組の放電ユニット１１０により浄化され、吹出口９から外部へ吹出される。
【００２４】
一組の放電ユニット１１０には、一つの高圧電源６が設けられている。シロッコファン４から吹出された被浄化ガス１は、放電空間内で加圧状態となり、高圧電極７及びハニカム状触媒担持導電性吸着剤を有する接地電極５を均一に通過し、吸着剤全面を有効に活用する。
【００２５】
高圧電源６は、トランスのみを一組の放電ユニット毎に配置し、制御部は一つにまとめてもよい。このようにした場合でも、各トランスに流れる電流が少なくなり、高圧電源６はコンパクトになる。
【００２６】
また、図示しないが、高圧電源６の夫々に異常電流検出回路を設け、高圧電極７を被覆している誘電体の破損等により高圧電源６に異常電流が発生すると、異常電流を検出した高圧電源６のみを遮断するようにする。
【００２７】
また、複数の高圧電源６のうち特定の高圧電源の異常電流を検出したとき、異常電流の発生及び発生箇所を表示する表示手段を設ける。異常電流を検出するのではなく、高圧電源６及び放電ユニット１１０の温度、光、音等の異常を検出するようにし、高圧電源６を遮断したり、異常の発生及び発生箇所を表示するようにしてもよい。
【００２８】
ハニカム状触媒担持導電性吸着剤を有する接地電極５には、高圧電源６により高電圧が印加され、高圧電極７と接地電極５間に無声放電を発生させ、高圧電極７近傍にプラズマを発生させ、プラズマ放電により生成される活性種により化学物質を分解させ、吸着剤により除去している。
【００２９】
シロッコファン４の設置向きは、図１及び図２に示すように吸込口を側方に向けたり、図３に示すように吸込口を前方に向けたり、図４及び図５に示すように吸込口を上向きにしたり、吸込口を任意の方向へ向けて設置することができる。また、図６に示すように、シロッコファン４に換えて斜流ダクトファン２４を用いてもよい。
【００３０】
実施の形態２．
図８は、本発明にかかるガス浄化装置の実施の形態２を示す横断面図である。図８に示すように、実施の形態２のガス浄化装置２００は、シロッコファンとして、モータ２４ｂ側からも被浄化ガス１を吸込む両吸込シロッコファン２４を備えている。
【００３１】
両吸込シロッコファン２４は、対向する二つの吸込口から被浄化ガス１を吸込むので、被浄化ガス１の流れが均一化され、下流の分解処理部１０２での浄化が効率的に行なわれる。また、両吸込シロッコファン２４のメンテナンスは、筐体１０１の側面のメンテナンスカバー２４ｃを取り外し、モータ２４ｂ及び翼２４ａだけを取り出して行なうことができる。
【００３２】
ケーシングを含む両吸込シロッコファン２４全体を取り外す必要はなく、メンテナンスが容易である。また、モータ２４ｂ周辺の風により、モータ２４ｂの冷却効果が得られ、モータ２４ｂを小形なものにすることができる。
【００３３】
実施の形態３．
図９は、本発明にかかるガス浄化装置の実施の形態３を示す図であり、図１０は、実施の形態３の他の例を示す図である。
【００３４】
図９に示すように、実施の形態３のガス浄化装置３００の放電ユニット１３０、１３１は、長方形厚板状に形成された接地電極３５に対向させて、複数の細長薄板状の高圧電極３７を平行に配置する。
【００３５】
高圧電極３７は、断面の縦辺と接地電極３５に対向する横辺との比が、縦辺／横辺＜１／２０の長方形とし、横辺の幅を、接地電極３５の幅の１５％以下とする。また、横辺の幅を、高圧電極３７と接地電極３５間距離の７倍以下とし、かつ、接地電極３５に対する高圧電極３７の開口率を５０％以上とし、接地電極３５と高圧電極３７間距離は、一定の等間隔とする。
【００３６】
高圧電極３７を、上記の形状と配置とすることにより、高圧電極３７による被浄化ガス１の圧力損失を抑え、接地電極３５の吸着剤を効率的に作用させることができる。また、図１０に示す放電ユニット１３１のように、高圧電極３７を接地電極３５の両側に配置する場合は、一方側の高圧電極３７は、他方側の２つの高圧電極３７間に対向するように配置するようにし、放電が、接地電極（吸着剤）１６の全面に均一に行き渡るようにする。
【００３７】
実施の形態４．
図１１は、本発明にかかるガス浄化装置の実施の形態４を示す図であり、図１２は、実施の形態４の他の例を示す図である。
【００３８】
図１１に示すように、実施の形態４のガス浄化装置４００の放電ユニット１４０、１４１は、長方形厚板状に形成された接地電極４５に対向させて、複数の細長い高圧電極４７を平行に配置する。
【００３９】
高圧電極４７は、細長丸棒状に形成され、外径を、φ１ｍｍ〜φ５ｍｍとしている。また、接地電極４５に対する高圧電極４７の開口率は３０％以上とし、接地電極４５と高圧電極４７の間の距離は、一定の等間隔とする。
【００４０】
高圧電極４７を、上記の形状と配置とすることにより、高圧電極４７による被浄化ガス１の圧力損失を抑え、接地電極４５の吸着剤１６を効率的に作用させることができる。また、図１２に示す放電ユニット１４１のように、高圧電極４７を接地電極４５の両側に配置するとよい。
【００４１】
次に、寸法形状又は開口率の異なる複数の高圧電極の評価試験の結果について説明する。評価試験は、まず、断面が長方形のものについて行った。高圧電極板３７単体の場合と、接地電極（吸着剤；１９０セル／ｉｎｃ2、厚さ１６ｍｍ）３５の両側に接地電極３５から２ｍｍ離間させて平行に高圧電極板３７を配置した場合について行ない、風量と圧力損失の関係について評価した。
【００４２】
高圧電極板３７には、幅１０、１５、２０ｍｍで開口率５０％の３種類と、幅１５ｍｍで開口率３０％、４０％の２種類の合計５種類を用いた。それぞれの高圧電極板３７について、接地電極（吸着剤）３５を交換せずに風量と圧力損失を測定し、幅寸法および開口率の変化による圧力損失の変化を調べた。
【００４３】
試験結果を、図１３、図１４及び図１５に示す。図１３中、縦軸は損失係数、横軸は板幅（ｍｍ）を示している。また、図１４中、縦軸は、高圧電極３７と接地電極３５を組合せたときの圧力損失をｂ、高圧電極３７と接地電極３５各々単体の圧力損失の和をａとしたときの比（ｂ／ａ）を示し、横軸は板幅（ｍｍ）を示している。
【００４４】
試験の結果、同一開口率（５０％）のときの高圧電極板幅の影響は、１０ｍｍと１５ｍｍでは、圧力損失は同レベル（損失係数５以下）であるが、高圧電極板幅２０ｍｍでは、圧力損失が増加（損失係数５超）する。
【００４５】
また、接地電極３５と組合せたときは、高圧電極板３７と接地電極３５各々単体の圧力損失の和よりも４０〜１００％増加した値となる。この原因は、高圧電極板３７と接地電極３５との間隔が２ｍｍと狭いので、ガスが高圧電極板３７を通過して拡散する前に接地電極（吸着剤）３５に到達してしまい、吸着剤３５全面にガスが行き渡らず、見かけ上、吸着剤のガス通過面積が減少しているためと考えられる。
【００４６】
また、当然のことながら、高圧電極板３７の幅が大きくなるほど、上記の影響を受けやすくなるので、圧力損失は増加するが、接地電極３５と組合せたときの圧力損失ｂと、単体の圧力損失の和ａとの比（ｂ／ａ）を比較すると、１０ｍｍ→１５ｍｍの増加率と比較し、１５ｍｍ→２０ｍｍの増加率は大きくなる。同一開口率（５０％）の場合、高圧電極板３７単体及び接地電極３５との組合せ時で共に、幅１５ｍｍを限界とし、それ以上大きくしたときは、急速に圧力損失が増大する。
【００４７】
さらに、高圧電極板３７の幅は同一幅（１５ｍｍ）とし、開口率を、３０％、４０％、５０％と変えたときの損失係数の変化を図１５に示す。図１５中、縦軸は損失係数、横軸は開口率（％）を示している。圧力損失は、開口率の増加に伴い比例的に減少していく。損失係数のレベル、及び、接地電極（吸着剤）３５の見かけ上のガス通過面積減少を考えた場合、開口率５０％は必要である。
【００４８】
次に、断面が円形の細長棒状の高圧電極４７について評価試験を行なった。高圧電極４７単体の場合と、接地電極（吸着剤；１９０セル／ｉｎｃ2、厚さ１６ｍｍ）４５の両側に接地電極４７から２ｍｍ離間させて平行に高圧電極棒４７を配置した場合について試験を行ない、風量と圧力損失の関係について評価した。
【００４９】
高圧電極棒４７は、径φ４で、開口率３０％、４０％、５０％の３種類を用いた。それぞれの高圧電極棒４７について、接地電極４５を交換することなく、風量と圧力損失を測定し、開口率の違いによる損失係数の変化を調べた。試験結果を図１６に示す。図１６中、縦軸は損失係数、横軸は開口率（％）を示している。
【００５０】
試験の結果、開口率を、３０％、４０％、５０％と変化させた場合、圧力損失は、開口率の増加に伴い比例的に減少していく。損失係数のレベル（５以下）を目安とすると、図１６より、開口率は３０％以上必要である。
【００５１】
また、接地電極４５と組合せたときは、高圧電極棒４７と接地電極４５各々単体の圧力損失の和よりも４０〜１００％増加した値となる。この原因は、高圧電極棒４７と接地電極４５との間隔が２ｍｍと狭いので、ガスが高圧電極棒４７を通過して拡散する前に接地電極（吸着剤）４５に到達してしまい、吸着剤全面にガスが行き渡らず、見かけ上、吸着剤のガス通過面積が減少しているためと考えられる。
【００５２】
また、接地電極４５と組合せたときは、高圧電極棒４７と接地電極４５各々単体の圧力損失の和とほぼ同等の値となった。この理由は、高圧電極４７の断面が円形であるので、高圧電極棒４７を通過したガスが電極に巻き込まれて吸着剤全面に行き渡るためと考えられる。
【００５３】
実施の形態５．
図１７〜図２０は、本発明にかかるガス浄化装置の実施の形態５を示す図である。図１７〜図２０に示すように、実施の形態５のガス浄化装置５００の放電ユニット１５０、１５１、１５２、１５３は、高圧電極５７、５８を、接地電極５５と略同じ面積の板状に形成し、パンチング等により円孔５７ａ又は角孔５８ａを設けている。円孔５７ａ又は角孔５８ａの開口率は、５０％以上とする。
【００５４】
高圧電極５７、５８を、接地電極５５から離間させ、接地電極５５と平行に配置する。図１８、図２０に示す放電ユニット１５１、１５３のように、高圧電極５７、５８を、接地電極５５の両側に配置してもよい。
【００５５】
実施の形態５のガス浄化装置５００の放電ユニット１５０、１５１、１５２、１５３は、高圧電極５７、５８による圧力損失を低く抑え、放電ユニット１５０、１５１、１５２、１５３の接地電極（吸着剤）５５を効率よく作用させることができる。
【００５６】
実施の形態６．
図２１及び図２２は、本発明にかかるガス浄化装置の実施の形態６を示す図である。図２１に示すように、実施の形態６のガス浄化装置６００の放電ユニット１６０は、長方形厚板状に形成された接地電極６５に対向させて、複数の細長薄板状の高圧電極６７を平行に配置する。
【００５７】
高圧電極６７は、断面の縦辺と接地電極６５に対向する横辺との比を、縦辺／横辺＜１／２０の長方形としている。高圧電極６７は、縦辺（横辺の一端）を回転軸として、９０°回動可能となっている。また、図２２に示す放電ユニット１６１のように、高圧電極６７を、接地電極６５の両側に配置してもよい。
【００５８】
実施の形態６のガス浄化装置６００の放電ユニット１６０、１６１は、高圧電極６７による圧力損失を低く抑え、接地電極（吸着剤）６５を効率よく作用させることができる。ガス浄化装置６００の連続運転により、化学物質を接地電極の吸着剤６５に吸着させるときは、高圧電極６７の横辺を吸着剤６５に対して垂直にし、高圧電極６７を開状態にして被浄化ガス１の流路を作り、放電分解時は、高圧電極６７の横辺を吸着剤６５に対して平行にし、高圧電極６７を閉状態として放電分解を行なう。
【００５９】
上述のように、高圧電極６７を閉状態にし、吸着剤６５を密閉して放電分解を行なう方法があるが、閉状態としたときでも、高圧電極６７間に隙間を設け、被浄化ガス１を流しながら放電分解を行なってもよい。また、開閉する高圧電極６７は、複数枚のものに限定されず、一枚板のものであってもよい。
【００６０】
以上説明した、実施の形態３〜６の誘電体で被覆した高圧電極を用いれば、被浄化ガス１の風路が確保され、高圧電極による圧力損失が低減される。結果として、送風機のファン及びモータの容量を小型化することができ、モータの消費電力を抑えることができる。
【００６１】
実施の形態７．
図２３及び図２４は、本発明にかかるガス浄化装置の実施の形態７を示す側面図である。図２３に示すように、ガス浄化装置７００の吸込口２及び吹出口９に、ダクトを接続できるようにフランジ部７２、７９を設ける。
【００６２】
室内に充満している被浄化ガス１を浄化の対象とする場合は、図２３に示すように、ダクトを接続せずに室内循環流を形成して室内浄化を行なう。ガス発生源が特定されている場合は、図２４に示すように、フランジ部７２、７９にダクト７２ａ、７９ａを接続し、局所浄化処理を行なうことができるようにする。フランジ部７２、７９により、ダクト７２ａ、７９ａを着脱可能とし、使用目的に合わせてダクトを着脱するようにする。
【００６３】
一定空間に充満している被浄化ガス１を対象とする場合は、ダクト７２ａ、７９ａを接続せずに室内循環流形成による室内浄化を行い、ガス発生源が特定されている場合は、ダクト７２ａ、７８ａを接続して局所浄化処理を行なう。
【産業上の利用可能性】
【００６４】
以上のように、本発明にかかるガス浄化装置は、小形化、低消費電力化、低コスト化、更には、メンテンスを容易化したものとして有用である。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明にかかるガス浄化装置の実施の形態１を示す縦断面図である。
【図２】実施の形態１のガス浄化装置のシロッコファンの第１の配置例を示す横断面図である。
【図３】シロッコファンの第２の配置例を示す横断面図である。
【図４】シロッコファンの第３の配置例を示す縦断面図である。
【図５】シロッコファンの第３の配置例を示す横断面図である。
【図６】斜流ファンの配置例を示す縦断面図である。
【図７】実施の形態１のガス浄化装置の分解処理部を示す透視図である。
【図８】実施の形態２のガス浄化装置の両吸込シロッコファンを示す横断面図である。
【図９】実施の形態３のガス浄化装置の放電ユニットを示す断面図である。
【図１０】実施の形態３のガス浄化装置の放電ユニットの他の例を示す断面図である。
【図１１】実施の形態４のガス浄化装置の放電ユニットを示す断面図である。
【図１２】実施の形態４のガス浄化装置の放電ユニットの他の例を示す断面図である。
【図１３】実施の形態３の放電ユニットの特性を示す図である。
【図１４】実施の形態３の放電ユニットの特性を示す図である。
【図１５】実施の形態３の放電ユニットの特性を示す図である。
【図１６】実施の形態４の放電ユニットの特性を示す図である。
【図１７】実施の形態５のガス浄化装置の放電ユニットを示す断面図である。
【図１８】実施の形態５のガス浄化装置の放電ユニットの他の例を示す断面図である。
【図１９】実施の形態５のガス浄化装置の放電ユニットの別の例を示す断面図である。
【図２０】実施の形態５のガス浄化装置の放電ユニットのさらに別の例を示す断面図である。
【図２１】実施の形態６のガス浄化装置の放電ユニットを示す断面図である。
【図２２】実施の形態６のガス浄化装置の放電ユニットの他の例を示す断面図である。
【図２３】実施の形態７のガス浄化装置を示す側面図である。
【図２４】実施の形態７のガス浄化装置の他の例を示す側面図である。
【符号の説明】
【００６６】
１  被処理ガス
２  吸込口
３  除塵フィルター（粒子状物質分離手段）
４  シロッコファン（送風機）
１４  斜流ファン（送風機）
５  接地電極（吸着剤）
６  高圧電源
７  高圧電極
８  接地
９  吹出口
１０  制御回路
１１  操作パネル
１２  ファン吹出口
１００  ガス浄化装置
１０１  筐体
１０２  ガス浄化室（分解処理部）
１０３  風路
１１０  電極ユニット
２４  両吸込シロッコファン
２００  ガス浄化装置
３５，４５  接地電極（吸着剤）
３７，４７  高圧電極
１３０，１３１，１４０，１４１  電極ユニット
３００，４００  ガス浄化装置
５５  接地電極（吸着剤）
５７，５８  高圧電極
１５０，１５１，１５２，１５３  電極ユニット
５００  ガス浄化装置
６５  接地電極（吸着剤）
６７  高圧電極
１６０，１６１  電極ユニット
６００  ガス浄化装置
７２，７９  フランジ部
７２ａ，７９ａ  ダクト
７００  ガス浄化装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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