(57)【要約】      （修正有）【課題】バルブロッドを曲げることなくバルブプレートをバルブシートに動かすことが可能であるにもかかわらず構造が簡単であり、かつ、バルブプレートのバルブシートへの平行な変位調節が実現される真空バルブを提供する。【解決手段】バルブプレート８は開放位置ではバルブ開口部４を開放し、閉塞位置ではバルブシート６に密接し、中間位置ではバルブ開口部４を覆う一方でバルブシート６から離れている。横変位調節ユニット１２により、バルブプレート８がバルブ開口部４の縦軸１０に対して垂直な横変位方向１６に開放位置と中間位置との間で動かされる。案内装置１８により、横変位調節ユニット１２がバルブボディ１に対して、縦変位方向１７に平行に変位することができる。案内装置１８は、バルブプレート８の中間位置から閉塞位置への変位および閉塞位置から中間位置への変位により、バルブボディ１に対して、縦変位方向１７に平行に変位する。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
縦軸（１０）を有するバルブ開口部（４）と該バルブ開口部（４）の周囲に設けられたバルブシート（６）とを有するバルブボディ（１）と、
前記バルブ開口部（４）が開放されている開放位置から、前記バルブ開口部（４）が覆われている一方で前記バルブシート（６）から離れている中間位置を経て、前記バルブシート（６）に密接する閉塞位置に変位可能であり、かつ、該閉塞位置から該中間位置を経て該開放位置に変位可能なバルブプレート（８）と、
前記バルブプレート（８）を支持するバルブロッド（１１）と、
前記バルブ開口部（４）の前記縦軸（１０）に垂直な横変位方向（１６）に前記バルブプレート（８）を前記開放位置から前記中間位置に変位調節可能であり、かつ、該横変位方向（１６）の反対方向に前記バルブプレート（８）を前記中間位置から前記開放位置に変位調節可能な横変位調節ユニット（１２）と、
前記バルブ開口部（４）の前記縦軸（１０）に平行な縦変位方向（１７）に前記バルブプレート（８）を前記中間位置から前記閉塞位置に変位調節可能であり、かつ、該縦変位方向（１７）の反対方向に前記バルブプレート（８）を前記閉塞位置から前記中間位置に変位調節可能な縦変位調節ユニット（１３）と、
前記横変位調節ユニット（１２）を前記バルブボディ（１）に対して、前記縦変位方向（１７）に平行に変位可能とし、前記バルブプレート（８）の前記中間位置から前記閉塞位置への変位および前記閉塞位置から前記中間位置への変位により、前記バルブボディ（１）に対して、前記縦変位方向（１７）に平行に変位する案内装置（１８）とを備えていることを特徴とする真空バルブ。
【請求項２】
請求項１記載の真空バルブにおいて、
前記バルブプレート（８）の前記中間位置から前記閉塞位置への変位および前記閉塞位置から前記中間位置への変位により、前記横変位調節ユニット（１２）および前記バルブロッド（１１）が、該バルブプレート（８）と一緒に前記縦変位方向にまたはその反対方向に変位することを特徴とする真空バルブ。
【請求項３】
請求項１または２記載の真空バルブにおいて、
前記案内装置（１８）が、前記バルブボディ（１）に対して前記横変位調節ユニット（１２）を変位可能に案内するための平行四辺形案内装置であることを特徴とする真空バルブ。
【請求項４】
請求項３記載の真空バルブにおいて、
前記案内装置（１８）が前記バルブロッド（１１）の両側に配置された案内部材（１９）を備え、該案内部材（１９）は前記横変位方向（１６）および前記縦変位方向（１７）に垂直な第１軸（２０）および第２軸（２１）のそれぞれのまわりに揺動可能なまたは湾曲可能であり、かつ、一方の側で前記バルブボディ（１）に取り付けられ、他方の側で前記横変位調節ユニット（１２）に取り付けられていることを特徴とする真空バルブ。
【請求項５】
請求項４記載の真空バルブにおいて、
前記案内部材（１９）が板状に形成されていることを特徴とする真空バルブ。
【請求項６】
請求項１〜５のうちいずれか１つに記載の真空バルブにおいて、
前記横変位調節ユニット（１２）が少なくとも１つのピストンシリンダユニットを備えていることを特徴とする真空バルブ。
【請求項７】
請求項１〜６のうちいずれか１つに記載の真空バルブにおいて、
真空バルブの真空領域の外側に配置された押圧要素（４０）により、前記バルブプレート（８）が前記中間位置にあるときは前記横変位調節ユニット（１２）がストッパ（４１）に押し付けられ、前記バルブプレート（８）が前記閉塞位置にあるときは前記横変位調節ユニット（１２）が該ストッパ（４１）から離れることを特徴とする真空バルブ。
【請求項８】
請求項７記載の真空バルブにおいて、
前記押圧要素（４０）が少なくとも１つのバネにより構成されていることを特徴とする真空バルブ。
【請求項９】
請求項７記載の真空バルブにおいて、
前記押圧要素（４０）が少なくとも１つのピストンシリンダユニットにより構成されていることを特徴とする真空バルブ。
【請求項１０】
請求項１〜９のうちいずれか１つに記載の真空バルブにおいて、
前記縦変位調節ユニット（１３）が前記バルブプレート（８）の内部空間（３０９に配置されたピストン（３１）を備えていることを特徴とする真空バルブ。
【請求項１１】
請求項１〜９のうちいずれか１つに記載の真空バルブにおいて、
前記縦変位調節ユニット（１３）が完全に真空バルブの真空領域の外側に配置され、かつ、前記横変位調節ユニット（１２）に作用を及ぼすことを特徴とする真空バルブ。
【請求項１２】
請求項１〜１１のうちいずれか１つに記載の真空バルブにおいて、前記バルブプレート（８）が、前記バルブボディ（７）の真空領域が形成された内部空間（７）に配置されていることを特徴とする真空バルブ。
【請求項１３】
請求項１２記載の真空バルブにおいて、
前記バルブロッド（１１）が、前記バルブボディ（７）の真空領域が形成された内部空間（７）の密閉状態を維持しながら、この内部空間（７）からその外側に案内されて前記横変位方向（１６）および前記縦変位方向（１７）に動くことができることを特徴とする真空バルブ。
【請求項１４】
請求項１３記載の真空バルブにおいて、
前記バルブボディ（１）の内部空間（７）の密閉状態を維持したまま、この内部空間（７）からその外側に前記バルブロッド（１１）を案内するために蛇腹部材（２７）が設けられていることを特徴とする真空バルブ。
【請求項１５】
請求項１３記載の真空バルブにおいて、
前記バルブボディ（１）の内部空間（７）の密閉状態を維持したまま、この内部空間（７）からその外側に前記バルブロッド（１１）を案内するためのスライドシール要素（４９）を備え、該バルブロッド（１１）との隙間が塞がれるように該バルブロッド（１１）が該スライドシール要素（４９）を貫通して設けられることによって該バルブロッド（１１）が該スライドシール要素（４９）に対して軸方向に変位可能であり、該スライドシール要素（４９）が前記バルブボディ（１）との隙間が塞がれるように傾倒要素（４６）を介して前記バルブボディ（１）に連結されていることを特徴とする真空バルブ。
【請求項１６】
請求項１〜１５のうちいずれか１つに記載の真空バルブにおいて、前記横変位調節ユニット（１２）の変位位置を測定するためのセンサ（４３）が真空バルブの真空領域の外側に配置されていることを特徴とする真空バルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は真空バルブに関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば、次のようなバルブが提案されている（たとえば特許文献１参照）。横変位調節ユニットにより軸方向に変位可能なバルブロッドにドライブボディが取り付けられ、バルブプレートをバルブシートに押し付けるための縦変位調節ユニットがこのドライブボディに取り付けられている。一実施形態において、ドライブボディのバルブプレートに対向する側に支持プレートが設けられ、バルブプレートに反力を作用させるためにこの支持プレートはピストンシリンダユニットによりバルブボディの内壁に押し付けられる。しかし、構造が比較的複雑であるため、コストが比較的高くなり、サイズも比較的大きくなってしまう。他の実施形態において、押圧プレートが省略され、これにより、バルブプレートの反力がバルブシートから伝えられなくてはならず、あるいは、バルブロッドが相応の弾性を有していなくてはならないので、バルブボディのバルブシートに対向する内壁にドライブボディが押し付けられうる。
【０００３】
また、他のバルブが提案されている（たとえば特許文献２参照）。バルブロッドに運搬プレートが取り付けられ、バルブプレートをバルブボディに押し付けるためのピストンシリンダユニットを備え、あるいは、バルブロッドに運搬プレートが取り付けられ、バルブボディのバルブシートに対向する内壁に支持プレートを押し付けるためのピストンシリンダユニットを備え、これによりバルブプレートをバルブシートに向かって動かされる。類似の真空バルブが提案されている（たとえば特許文献３）。
【０００４】
バルブプレートがピストンシリンダユニットにより、バルブロッドに取り付けられたドライブボディに対して変位可能とされている真空バルブが提案されている（たとえば特許文献４および５参照）。
【０００５】
バルブロッドにより支持されたバルブプレートが、ピストンシリンダユニットによってバルブ開口部が開放されている位置から、バルブ開口部が覆われている一方でバルブシートから離れている位置に駆動される真空バルブが提案されている（たとえば特許文献６参照）。このピストンシリンダユニットのシリンダはバルブロッドの縦軸に垂直で、かつ、バルブ開口部の縦軸に垂直な軸まわりに揺動する。たとえばピストンシリンダユニットとして構成される変位調節ユニットによりシリンダが揺動されることにより、バルブプレートがバルブシートに押し付けられる。
【０００６】
バルブボディのシリンダ孔に配置された、ピストンにより動かされる複数のタペットが、バルブプレートの閉塞位置においてバルブシートに押し付けられる揺動バルブが提案されている（たとえば特許文献７参照）。
【特許文献１】米国特許公開公報  ＵＳ２００４／００７９９１５  Ａ１
【特許文献２】米国特許公報  ＵＳ６，５６１，４８４  Ｂ２
【特許文献３】米国特許公報  ＵＳ６，５６１，４８３  Ｂ２
【特許文献４】米国特許公報  ＵＳ６，０５６，２６６  Ｂ２
【特許文献５】米国特許公報  ＵＳ６，８９９，３１６  Ｂ２
【特許文献６】米国特許公報  ＵＳ６，４３１，５１８  Ｂ１
【特許文献７】米国特許公報  ＵＳ６，７７６，３９４  Ｂ２
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、バルブロッドを曲げることなくバルブプレートをバルブシートに動かすことが可能であるにもかかわらず構造が簡単であり、かつ、バルブプレートのバルブシートへの平行な変位調節が実現される真空バルブを提供することを解決課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の真空バルブは、縦軸を有するバルブ開口部と該バルブ開口部の周囲に設けられたバルブシートとを有するバルブボディと、前記バルブ開口部が開放されている開放位置から、前記バルブ開口部が覆われている一方で前記バルブシートから離れている中間位置を経て、前記バルブシートに密接する閉塞位置に変位可能であり、かつ、該閉塞位置から該中間位置を経て該開放位置に変位可能なバルブプレートと、前記バルブプレートを支持するバルブロッドと、前記バルブ開口部の前記縦軸に垂直な横変位方向に前記バルブプレートを前記開放位置から前記中間位置に変位調節可能であり、かつ、該横変位方向の反対方向に前記バルブプレートを前記中間位置から前記開放位置に変位調節可能な横変位調節ユニットと、前記バルブ開口部の前記縦軸に平行な縦変位方向に前記バルブプレートを前記中間位置から前記閉塞位置に変位調節可能であり、かつ、該縦変位方向の反対方向に前記バルブプレートを前記閉塞位置から前記中間位置に変位調節可能な縦変位調節ユニットと、前記横変位調節ユニットを前記バルブボディに対して、前記縦変位方向に平行に変位可能とし、前記バルブプレートの前記中間位置から前記閉塞位置への変位および前記閉塞位置から前記中間位置への変位により、前記バルブボディに対して、前記縦変位方向に平行に変位する案内装置とを備えていることを特徴とする。
【０００９】
本発明の真空バルブによれば、横変位調節ユニットがバルブボディに対して縦変位方向に平行に動かされ、バルブプレートがバルブシートに正確に平行に変位することができ、バルブプレートの変位自由度の向上と、高いねじり剛性とが実現される。
【００１０】
本発明の真空バルブによれば、簡単かつ低コストの構造を有する。
【００１１】
本発明の構成によれば省スペース化が可能となる。
【００１２】
また、本発明の真空バルブによれば、バルブプレートが閉塞位置にあっても中間位置にあっても、真空領域の外側で横変位調節ユニットの位置が測定される。
【００１３】
本発明の他の態様として、横変位調節ユニットをバルブボディに対して案内するための案内装置が平行四辺形案内装置として構成される。
【００１４】
横変位調節ユニットのためのストッパが設けられ、バルブプレートの中間位置において横変位調節ユニットは押圧要素、たとえばバネ要素によってこのストッパに押し付けられ、バルブプレートの閉塞位置において横変位調節ユニットはこのストッパから離される。押圧要素はバルブプレートを閉塞位置から中間位置に動かすのに役立つ。
【００１５】
本発明のさらに他の態様として、バルブプレートがバルブアームに直接取り付けられ、かつ、バルブプレートを中間位置から閉塞位置に動かし、バルブシートに押し付けるため、ピストンシリンダユニットによってバルブシートに対向するバルブボディの内壁に押し付けられうるタペットを備えている。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明の真空バルブの第１実施形態について図１〜図６（ｂ）を用いて説明する。真空バルブはバルブボディ１を備え、このバルブボディ１は本実施形態ではケース状に形成されている。対向する壁部２および３のそれぞれには、バルブ開口部４を構成する入口開口部と、出口開口部５とのそれぞれが貫通して設けられている。バルブ開口部４の周囲には、壁部２の内側のシール面により構成されているバルブシート６が設けられている。
【００１７】
バルブ開口部４の縦軸１０および出口開口部４の縦軸は、一般的な場合と同様に同軸とされている。
【００１８】
真空バルブの真空領域が形成されるバルブボディ１の内部空間７にはバルブプレート８が配置されている。閉塞位置においてバルブプレート８はバルブシート６に押し付けられ、これによりバルブプレート８のシール部材９がバルブシート６に密接する。
【００１９】
たとえば、バルブシート６にシール部材９が設けられ、バルブプレート８にこのシール部材９が密接するシール面が設けられていてもよい。
【００２０】
図４にバルブプレート８がバルブ開口部を開放する開放位置にある様子が示されている。真空バルブを閉じる際、バルブプレート８が開放位置から、図３に示されている中間位置に動かされる。バルブプレート８はその中間位置において、バルブ開口部４を（その縦軸１０の方向から見たときに）覆う一方でバルブシート６から離れている。これとは反対に真空バルブを開くとき、バルブプレート８が閉塞位置から中間位置および開放位置に動かされる。
【００２１】
バルブプレート８は開放位置と中間位置との間では横方向、具体的には、バルブ開口部４の縦軸１０に対して垂直に動く。バルブプレート８は中間位置および閉塞位置の間でバルブ開口部４の縦軸１０に対して平行に動く。
【００２２】
本実施形態ではバルブロッド１１の端部にバルブプレート８が直接的に取り付けられている。バルブプレート８を開放位置および中間位置の間で変位させる際、バルブロッド１１が真空バルブの真空領域の外側に設けられた横変位調節ユニット１２によってその軸方向に横変位方向１６またはその反対方向に動かされる。バルブロッド１１は横変位方向１６に対して平行に延設されている。バルブプレート８が中間位置および閉塞位置の間で動く際、縦変位調節ユニット１３が縦変位方向１７にまたはその反対方向に作動する。
【００２３】
横変位調節ユニット１２はバルブロッド１１が取り付けられ、かつ、シリンダ１５の内部で変位可能とされているピストン１４を有するピストンシリンダユニットにより構成されている。ピストン１４は二方向に作用するピストンの形態で構成されていてもよい。作用方向の反対側にバネ付勢力が作用するように構成された、一方向に作用するピストンが採用されてもよい。高圧空気または加圧窒素等の高圧気体によりピストンが駆動される。高圧空気連結部５３および５４が図２〜図４に開示されている。
【００２４】
横変位調節ユニット１２はこれ以外の形態で構成されていてもよく、たとえば、駆動源が電動モータであってもよい。
【００２５】
横変位調節ユニット１２は案内装置１８によってバルブボディ１に対して、縦変位方向１７に平行に変位することができる。本実施形態では案内装置１８は平行四辺形案内装置に構成されている。案内装置１８はバルブロッド１１の両側に板状の案内部材１９を備えている。案内部材１９は第１軸２０のまわりに揺動可能に横変位調節ユニット１２のシリンダ１５に取り付けられ、かつ、第２軸２１のまわりに揺動可能にバルブボディ１に取り付けられている。第１軸２０および第２軸２１のそれぞれは横変位方向１６および縦変位方向１７のそれぞれに対して垂直に設けられている。両方の第１軸２０が通る平面および両方の第２軸２１が通る平面はそれぞれ横変位方向１６に対して垂直である。案内部材１９はお互いに平行に設けられている。
【００２６】
第１軸２０および第２軸２１はたとえば図５〜図６（ｂ）に示されているようにホイルヒンジにより構成されている。プレート２２はたとえばその片側に形成された溝状のくぼみ（横断面視で先が次第に細くなっている）２３および２４を有している。案内部材１９はくぼみ２３および２４の間で広がる領域において、その両側に連結されている固定フランジ２５および２６から区分されている。プレート２２は固定フランジ２５および２６により、一方でシリンダ１５にネジ止めされ、他方でバルブボディ１にネジ止めされている。プレート２２は金属板、たとえば、アルミニウム板により構成されていてもよい。プレート２２は合成樹脂、たとえば、繊維強化合成樹脂により構成されていてもよい。
【００２７】
バルブロッド１１は蛇腹部材２７により密閉され、これにより、真空領域が形成されたバルブボディ１の内部空間７からその外側に横変位方向１６および縦変位方向１７に案内されて変位することができる。蛇腹部材２７の端部２８および２９はバルブボディ１またはバルブロッド１１に密閉に連結されている。
【００２８】
縦変位調節ユニット１３を構成するため、たとえば、バルブプレート８がケース状に形成され、少なくともピストン３１が変位可能な内部空間３０を備えている。ピストン３１には、少なくともピストン３１の作用位置において（図２参照）、バルブプレート８の内部空間３０から開口部を通じて突出するタペット３２が取り付けられている。ピストン３１の当該作用位置において、タペット３２はバルブシート６に対向する壁部３の内側に当接し、バルブプレート８をバルブシート６に押し付ける。ピストン３１の待機位置において（図３および図４参照）、タペット３２は壁部３から離れる。
【００２９】
ピストン３１は、たとえば、バルブプレート８のシリンダホールの内壁に対向する周辺領域において、環状のシール部材により密閉されている。本実施形態では作用空間３３および３４のそれぞれを密閉するためにシールシート３５および３６のそれぞれが設けられている。シールシート３５および３６のそれぞれはバルブプレート８の内壁に密接する硬質中央領域と、ピストン３１に密閉されて取り付けられている弾性周辺領域とを備えている。高圧気体通路３７および３８を通じて作用空間３３および３４には高圧空気または加圧窒素等の高圧気体が導入される。高圧気体通路３７および３８はバルブロッド１１を通り、かつ、図２〜図４において細線で描かれているように延びている。
【００３０】
内部空間３０からのタペット３２の突出は好ましくはたとえばシート３９によって真空状態を維持したまま実現される。
【００３１】
シールシート３５および３６の中央領域はピン４２によって、バルブプレート８の内部空間３０を画定する壁部に押し付けられる。ピン４２はピストン３１の案内変位に際しても機能する。
【００３２】
さらに真空領域の外側に、横変位調節ユニット１２と連動する押圧要素４０が設けられている。本実施形態では図１〜図６（ｂ）に示されているように押圧要素４０がバネにより構成されている。ピストン３１の待機位置において（図３および図４参照）、押圧要素４０は横変位調節ユニット１２をバルブボディ１に対して固定されたストッパ４１に押し付ける。
【００３３】
バルブプレート８の開放位置にある状態から真空バルブが閉じられる場合、バルブプレート８は横変位調節ユニット１２によって開放位置（図４）から中間位置（図３）に横変位方向１６に動かされる。これにより、ピストン３１が待機位置にある状態で、横変位調節ユニット１２は少なくとも押圧要素４０によってストッパ４１に押し付けられている。その後、ピストン３１が作用位置に動かされ、タペット３２が壁部３の内側領域に対して動き、バルブプレート８がバルブロッド１１および横変位調節ユニット１２とともに縦変位方向１７に動く。これにより、横変位調節ユニット１２はストッパ４１から離れる。
【００３４】
真空バルブが開かれる場合、ピストン３１は待機位置に動かされ、横変位調節ユニット１２がストッパ４１に当接するまで、押圧要素４０が横変位調節ユニット１２とバルブロッド１１およびバルブプレート８とを縦変位方向１７の反対方向に動かされる。バルブプレート８が中間位置に到達することにより、横変位調節ユニット１２によってバルブプレート８が開放位置に動かされる。
【００３５】
横変位調節ユニット１２の位置を測定するための少なくとも１つのセンサ４３が設けられ、真空バルブの真空領域の外側に少なくとも１つのセンサ４３が配置され、好ましくは横変位調節ユニット１２と連動する。本実施形態ではセンサ４３が設けられ、これにより、バルブプレート８が閉塞位置にあるときにシリンダ１５のセンサ４３を基準とした変位距離が測定される。バルブプレート８の閉塞位置において横変位調節ユニット１２が変位しないように維持されている。
【００３６】
図６（ｃ）〜図６（ｊ）には板状に形成された案内部材１９が、第１軸２０および第２軸２１のまわりに揺動するまたは撓むことが可能な状態で横変位調節ユニット１２およびバルブボディ１に連結されている、異なる実施形態が示されている。図６（ｃ）および図６（ｄ）（揺動されていない状態かつ動かされている状態）に示されている実施形態によれば、プレート２２の両側面に溝状のくぼみが形成されている。図６（ｅ）および１１または図６（ｇ）および図６（ｈ）に示されている実施形態によれば、（プレートの一側面または両側面において）くぼみ２３および２４はＶ字形状に形成されている。図６（ｉ）および図６（ｊ）に示されている実施形態によれば、案内部材１９はくぼみがない柔軟性があるプレートにより構成されている。このように構成された２つの平行な案内部材１９がたわむことにより、案内部材１９がたわみ位置にあるときに平行な案内が実現される。
【００３７】
図７は押圧要素４０の他の実施形態を示している。当該実施形態において、押圧要素４０はピストンシリンダユニットにより構成され、これにより、横変位調節ユニット１２がストッパ４１に押し付けられうる。好ましくは、ピストン４４は高圧気体によって変位または作動する。ピストン４４は一方向に作用するピストンとして機能する。
【００３８】
図８（ａ）〜図８（ｃ）は真空バルブの真空領域からその外側にバルブロッド１１を案内する他の実施形態が開示されている。バルブロッド１１と蛇腹部材２７の端部２８との隙間は真空状態が維持されるように塞がれている。蛇腹部材２７の他方の端部２９は固定部材４５によって横変位調節ユニット１２に対して動かないように維持されている。たとえば、固定部材４５は鞘状に形成されている。端部２９およびバルブボディ１の間に、上下両端部の外側周囲にシールビード４７および４８を備えている円錐台形状の傾倒要素４６が設けられている。傾倒要素４６は端部２９およびバルブボディ１のシール面に当接している。横変位調節ユニット１２がバルブボディ１に対して縦変位方向１７に動くことにより、傾倒要素４６が縦変位方向１７に垂直かつ横変位方向１６に垂直な軸まわりに傾倒される。
【００３９】
図１０（ａ）〜図１０（ｃ）に示されているバルブロッド１１の案内は、図８（ａ）〜図８（ｃ）に示されている実施形態に対して、スライドシール要素４９がバルブロッド１１のための蛇腹部材２７の代わりを果たす。バルブロッド１１はバルブロッド１１の周囲に設けられたシール部材５０によってスライドシール要素４９との隙間が塞がれた状態でスライドシール要素４９に対して軸方向に変位することができる。スライドシール要素４９は固定部材４５を通じて横変位調節ユニット１２に連結され、傾倒要素４６によりバルブボディ１に対して縦変位方向１７に変位することができる。真空バルブの真空領域は傾倒要素４６によってスライドシール要素４９まで広がっている。
【００４０】
図１１〜図１３に示されている実施形態によれば、縦変位調節ユニット１３が真空バルブの真空領域の完全に外側に配置されている。縦変位調節ユニット１３は、横変位調節ユニット１２をバルブボディ１に対して縦変位方向１７およびその反対方向に変位させるために、この横変位調節ユニット１２に直接的に作用する。また、バルブロッド１１およびバルブプレート８が縦変位方向１７に動かされる。
【００４１】
前記実施形態では縦変位調節ユニット１３はピストンシリンダユニットにより構成されうる。バルブプレート８が横変位調節ユニット１２により中間位置に動かされたとき、バルブプレート８は縦変位調節ユニット１３のピストンシリンダユニットによって縦変位方向１７に動かされかつ閉塞位置に動かされる。同様に閉塞位置から中間位置への戻し変位が当該ピストンシリンダユニットにより実現される。ピストンシリンダユニットのピストン５１はたとえば前述のように、縦変位方向１７に作用する、バネ５２によって反対方向へ変位しうる、一方向に作用するピストン５１として構成されていてもよい。二方向に作用するピストンが用いられてもよい。好ましくは、ピストンは高圧気体によって駆動される。
【００４２】
その他の実施形態においてバルブプレート８に差圧が作用し、この差圧がバルブプレート８をバルブシート６に押し付ける。バルブプレート８の閉塞位置において過剰に強い閉塞力が作用することなく、この差圧によってバルブプレート８がバルブシート６に押し付けられる。差圧が一方向にのみ作用する真空バルブは「ドア」として知られている。このドアはたとえば真空室の壁に設けられた開口部を密閉するために用いられる。差圧が一方向にのみ作用する場合、管路を密閉するためにドアが用いられうる。具体的な使用に応じて、バルブボディ１はケース状に形成され、特に壁部３およびバルブロッド１１の真空状態を維持したままの外部への案内が省略される。
【００４３】
図１４〜図１７にはさらに他の実施形態が示されている。当該実施形態では、バルブボディ１に向かって横変位調節ユニット１２を案内するための案内装置１８がベアリング案内装置として形成されている。案内装置１８はすべり案内装置として構成されてもよい。
【００４４】
本発明の他の実施形態においてバルブプレートを縦変位方向に変位させることができるケース状のドライブボディがバルブロッド１１に配置されていてもよい。このドライブボディは縦変位調節ユニットを構成するピストンシリンダユニットを備え、バルブプレートはこのピストンシリンダユニットのピストンロッドまたはピストンに取り付けられたタペットに固定されている。たとえば、ドライブボディの構成は図２〜図４に示されているバルブプレートの構成と基本的には類似であってもよく、バルブプレートがタペット３２に固定されていてもよい。バルブ開口部はバルブボディ１の壁部３に開設され、バルブシート６は壁部３の内側にバルブ開口部の周囲領域に設けられている。バルブプレートがバルブシートに向かって縦変位方向に変位するとき、ドライブボディがバルブボディ１から反力を受けることができるまで、ドライブボディがバルブロッド１１および横変位調節ユニット１２と一緒に当該変位方向と反対方向に変位してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】バルブプレートが閉塞位置にあるときの本発明の第１実施形態としての真空バルブの説明図
【図２】図１のＡ−Ａ線における断面図
【図３】バルブプレートが中間位置にあるときの図２の対応断面図
【図４】バルブプレートが開放位置にあるときの図２の対応断面図
【図５】横変位調節ユニットの案内のための案内部材の斜視図
【図６】（ａ）図５の案内部材の基本位置における横断面図        （ｂ）図５の案内部材の運転位置における横断面図        （ｃ）案内部材の第２実施形態としての図６（ａ）の対応横断面図        （ｄ）案内部材の第２実施形態としての図６（ｂ）の対応横断面図        （ｅ）案内部材の第３実施形態としての図６（ａ）の対応横断面図        （ｆ）案内部材の第３実施形態としての図６（ｂ）の対応横断面図        （ｇ）案内部材の第４実施形態としての図６（ａ）の対応横断面図        （ｈ）案内部材の第４実施形態としての図６（ｂ）の対応横断面図        （ｉ）案内部材の第５実施形態としての図６（ａ）の対応横断面図        （ｊ）案内部材の第５実施形態としての図６（ｂ）の対応横断面図
【図７】他の押圧要素を有する横変位調節ユニットのための案内装置の斜視図
【図８】（ａ）バルブプレートが開放位置にあって、バルブロッドがバルブボディの真空領域から外側に案内（＝貫通案内）される様子の説明図        （ｂ）バルブプレートが中間位置にあって、バルブロッドがバルブボディの真空領域から外側に案内される様子の説明図        （ｃ）バルブプレートが閉塞位置にあって、バルブロッドがバルブボディの真空領域から外側に案内される様子の説明図
【図９】貫通案内の傾倒要素の拡大説明図
【図１０】（ａ）他の貫通案内の様子を示す図８（ａ）の対応説明図          （ｂ）他の貫通案内の様子を示す図８（ｂ）の対応説明図          （ｃ）他の貫通案内の様子を示す図８（ｃ）の対応説明図
【図１１】バルブプレートが開放位置にあるときの本発明の第２実施形態としての真空バルブの説明図
【図１２】バルブプレートが中間位置にあるときの本発明の第２実施形態としての真空バルブの説明図
【図１３】バルブプレートが閉塞位置にあるときの本発明の第２実施形態としての真空バルブの説明図
【図１４】バルブプレートが閉塞位置にあるときの本発明の第３実施形態としての真空バルブの（図１７のＢ−Ｂ線における）説明図
【図１５】バルブプレートが中間位置にあるときの本発明の第３実施形態としての真空バルブの（図１７のＢ−Ｂ線における）説明図
【図１６】横変位調節ユニットのための案内装置の領域における真空バルブの拡大説明図
【図１７】前記実施形態における真空バルブの説明図
【符号の説明】
【００４６】
１‥バルブボディ、２‥壁部、３‥壁部、４‥バルブ開口部、５‥出口開口部、６‥バルブシート、７‥内部空間、８‥バルブプレート、９‥シール部材、１０‥縦軸、１１‥バルブロッド、１２‥横変位調節ユニット、１３‥縦変位調節ユニット、１４‥ピストン、１５‥シリンダ、１６‥横変位方向、１７‥縦変位方向、１８‥案内装置、１９‥案内部、２０‥第１軸、２１‥第２軸、２２‥プレート、２３‥くぼみ、２４‥くぼみ、２５‥固定フランジ、２６‥固定フランジ、２７‥蛇腹部材、２８‥端部、２９‥端部、３０‥内部空間、３１‥ピストン、３２‥タペット、３３‥駆動アーム、３４‥駆動アーム、３５‥シールシート、３６‥シールシート、３７‥高圧気体通路、３８‥高圧気体通路、３９‥シート、４０‥押圧要素、４１‥ストッパ、４２‥ピン、４３‥センサ、４４‥シリンダ、４５‥固定部分、４６‥傾倒要素、４７‥シールビード、４８‥シールビード、４９・・スライドシール要素、５０‥シール部材、５１‥ピストン、５２‥バネ、５３‥高圧空気連結部、５４‥高圧空気連結部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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