(57)【要約】【課題】ＴＦＴ液晶ディスプレイの電荷保持特性を向上させて画質を向上させることができる薄膜トランジスタ及び薄膜トランジスタを用いた液晶表示装置を提供する。【解決手段】一対の電極肢を有するソース電極１３と、前記ソース電極の一対の電極肢間に、当該ソース電極の一対の電極肢に対し、電極肢が平行に対向配置されたドレーン電極１４と、前記ソース電極と前記ドレーン電極との間のチャンネル領域に形成する半導体層として、前記ソース電極の一対の電極肢と前記ドレーン電極の電極肢とが平行に対向配置されるチャンネル領域１２ｂにのみ形成した半導体層１２とを備える。【選択図】図１
2008004771.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の電極肢を有するソース電極と、
前記ソース電極の一対の電極肢間に、当該ソース電極の一対の電極肢に対し、電極肢が平行に対向配置されたドレーン電極と、
前記ソース電極と前記ドレーン電極との間のチャンネル領域に形成する半導体層として、前記ソース電極の一対の電極肢と前記ドレーン電極の電極肢とが平行に対向配置されるチャンネル領域にのみ形成した半導体層と
を備えた薄膜トランジスタ。
【請求項２】
請求項１に記載の薄膜トランジスタにおいて、
ソース電極とドレーン電極がゲート電極端部を横切る領域に、半導体層が設けられている
ことを特徴とする薄膜トランジスタ。
【請求項３】
請求項１または２に記載の薄膜トランジスタにおいて、
前記ソース電極は、Ｕ字状に形成された
ことを特徴とする薄膜トランジスタ。
【請求項４】
請求項１または２に記載の薄膜トランジスタにおいて、
前記ソース電極は、コ字状に形成された
ことを特徴とする薄膜トランジスタ。
【請求項５】
請求項１から４までのいずれか１項に記載の薄膜トランジスタを用いたことを特徴とする液晶表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示装置の画質を向上させるための薄膜トランジスタ及び液晶表示装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図５は、従来の薄膜トランジスタの構造を示す平面図である。図５に示す薄膜トランジスタは、ゲート電極１１と、ａ−Ｓｉ層でなる半導体層１２と、Ｕ字型のソース電極１３及び当該ソース電極１３の一対の電極肢の間に先端の電極肢が平行に対向配置されたドレーン電極１４とを備えたａ−Ｓｉ・ＴＦＴ構造を有し、ソース電極１３をドレーン電極１４の周りにＵ字型に構成することで、ドレーン電極１４とソース電極１３間に電荷が流れるチャンネルをさらに確保できる（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このようなａ−Ｓｉ・ＴＦＴは、ソース電極１３の内側がＵ字型を示すＵ字型ＴＦＴを形成し、ソース電極１３とドレーン電極１４との間の半導体層１２として、半円弧状の半導体領域１２ａと平行対向電極半導体領域１２ｂとを有し、Ｕ字型ＴＦＴの特性としては、２つの平行対向電極ＴＦＴと１つの半円弧状ＴＦＴからなる並列接続ＴＦＴ特性の合成と考えられる。
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−５７３４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このようなＴＦＴ構造においては、ドレーン電圧Ｖｄｓが印加されている状態で、Ｖｄｓ画像化すると、ゲート電圧Ｖｇｓのマイナスの領域でドレーン電流Ｉｄｓが激増することになり、このドレーン電流の激増によりＴＦＴ液晶ディスプレイの電荷保持特性が悪化し、画質が低下する。
【０００６】
これは、ゲート電圧Ｖｇｓのマイナスの領域でドレーン電圧Ｖｄｓが閾値を越えるとＵ字型ＴＦＴの半円弧状ＴＦＴ部分のドレーン電流が激増するためである。この現象は半円弧状半導体領域１２ａの外周電極に囲まれた部分の電位が外周電極の電位に誘導されて高くなり、半円弧状半導体領域１２ａにチャンネルが生じ漏洩電流が流れることにより電荷保持特性が悪化するものと解釈される。
【０００７】
そこで、本発明は上述した点に鑑みてなされたもので、ＴＦＴ液晶ディスプレイの電荷保持特性を向上させて画質を向上させることができる薄膜トランジスタ及び薄膜トランジスタを用いた液晶表示装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明に係る薄膜トランジスタは、一対の電極肢を有するソース電極と、前記ソース電極の一対の電極肢間に、当該ソース電極の一対の電極肢に対し、電極肢が平行に対向配置されたドレーン電極と、前記ソース電極と前記ドレーン電極との間のチャンネル領域に形成する半導体層として、前記ソース電極の一対の電極肢と前記ドレーン電極の電極肢とが平行に対向配置されるチャンネル領域にのみ形成した半導体層とを備えたものである。
【０００９】
また、本発明に係る液晶表示装置は、前記記載の薄膜トランジスタを用いたことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、ソース電極とドレーン電極との間のチャンネル領域に形成する半導体層として、ソース電極の一対の電極肢とドレーン電極の電極肢とが平行に対向配置されるチャンネル領域にのみ形成した半導体層を備えることで、ゲート電圧Ｖｇｓのマイナス領域でのドレーン電流Ｉｄｓを激減させることができ、ＴＦＴ液晶ディスプレイの電荷保持特性を向上させて画質を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１に係る薄膜トランジスタのチャンネル領域部分を示すものであり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ’線断面図、（ｃ）は（ａ）のＢ−Ｂ’線断面図である。
【００１２】
図１に示す薄膜トランジスタは、ガラス基板１０上に形成されたゲート電極１１と、ガラス基板１０及びゲート電極１１を覆う絶縁層１５と、絶縁層１５の上に形成されたｉ・ａ−Ｓｉ層でなる半導体層１２と、半導体層１２上にｎ＋ａ−Ｓｉ層１６を介して形成されたソース電極１３／ドレーン電極１４とを備える。
【００１３】
図１に示す薄膜トランジスタは、ソース電極１３の内側がＵ字型を示すＵ字型ＴＦＴを形成し、ドレーン電極１４の電極肢は、Ｕ字型のソース電極１３の一対の電極肢の間に平行に対向配置されてなり、ソース電極１３とドレーン電極１４との間の半導体層１２は、円弧状のソース電極１３とドレーン電極１４とに挟まれた半円弧状の領域にはａ−Ｓｉ層が除去されて半導体層１２は形成されなく、Ｕ字型のソース電極１３の一対の電極肢と、これら電極肢の間に平行に対向配置されたドレーン電極１４の電極肢との間の平行対向電極半導体領域１２ｂのみ半導体層１２が形成されている。
【００１４】
すなわち、図１に示す薄膜トランジスタは、円弧状のソース電極１３とドレーン電極１４とに挟まれた半円弧状の領域には半導体層１２が形成されてない。
【００１５】
また、図１に示す薄膜トランジスタには、ゲート電極１１の端部とソース電極１３とドレーン電極１４の段差領域（横切る領域）にも半導体層１２を残すことが歩留りの観点から望ましい。
【００１６】
図２は、上記構成に係る薄膜トランジスタのゲート電圧Ｖｇｓのマイナス領域でのドレーン電流Ｉｄｓの激減効果を説明する特性図であり、ドレーン電圧Ｖｄｓ＝１５Ｖ印加時におけるゲート電圧Ｖｇｓ：ドレーン電流Ｉｄｓの特性を示している。
【００１７】
図２に示すように、図５に示す構成を備える従来例の特性Ｂに対して、図１に示す構成を備える本発明の特性Ａは、ゲート電圧Ｖｇｓのマイナス領域でのドレーン電流Ｉｄｓを激減することができる。例えば、ゲート電圧Ｖｇｓ＝−１０Ｖの場合、従来例の特性Ｂはドレーン電流Ｉｄｓ＝１×１０−１１Ａの電流値が流れるのに対し、本発明の特性Ａはドレーン電流Ｉｄｓ＝２×１０−１５Ａの電流値であり、点線で示す範囲Ｃのドレーン電流Ｉｄｓの激減効果を得ることができる。
【００１８】
これは、図５に示す従来例の構成の場合、ソース電極１３とドレーン電極１４との間の半導体層１２として、半円弧状の半導体領域１２ａと平行対向電極半導体領域１２ｂとが存在するが、図１に示す本発明の構成の場合は、半円弧状の半導体領域１２ａは存在しなく、平行対向電極半導体領域１２ｂのみが存在することに起因するもので、半円弧状半導体領域に流れる漏洩電流を無くするものである。
【００１９】
従って、実施の形態１によれば、ソース電極１３とドレーン電極１４との間のチャンネル領域に形成する半導体層１２として、ソース電極１３の一対の電極肢とドレーン電極１４の電極肢とが平行に対向配置されるチャンネル領域にのみ形成した半導体層を設けることにより、ゲート電圧Ｖｇｓのマイナス領域でのドレーン電流Ｉｄｓを激減させることができ、これによって、ＴＦＴ液晶ディスプレイの電荷保持特性を向上させて画質を向上させることができる。
【００２０】
実施の形態２．
図３は、本発明の実施の形態２に係る薄膜トランジスタのチャンネル領域部分を示すものである。上述した実施の形態１では、ソース電極１３として、Ｕ字状に形成された場合を示しているが、この実施の形態２では、コ字状に形成された場合を示している。
【００２１】
図３（ａ）に示すように、コ字状に形成されたソース電極１３’の胴体部分にドレーン電極１４の電極肢先端が対向する長方形の領域にはａ−Ｓｉ層が除去されて半導体層は形成されてなく、コ字型のソース電極１３’の一対の電極肢と、これら電極肢の間に平行に対向配置されたドレーン電極１４の電極肢との間の平行対向電極半導体領域１２ｂのみ半導体層１２が形成されている。
【００２２】
図３（ａ）に示す構成では、ドレーン電極１４の電極肢先端までが平行対向電極半導体領域１２ｂ内に収容されているが、図３（ｂ）に示す場合のように、ドレーン電極１４の電極肢先端の一部が平行対向電極半導体領域１２ｂ内からはみだし、半導体層は形成されてない長方形の領域に及んでも効果上差異はなく、図３（ａ）、（ｂ）に示す実施の形態２においても実施の形態１と同様の効果を得ることができる。
【００２３】
実施の形態３．
図４は、図１に示す実施の形態１に係る薄膜トランジスタの製造工程を説明する図である。以下、図４（ａ）乃至（ｄ）に従って工程順に説明する。まず、基板上にゲート電極１１を形成する（図４（ａ）参照）。次に、ゲート電極１１を覆うようにしてＰ−ＥＣＶＤ法により図示しない絶縁層を形成した後、絶縁層の上にＰ−ＥＣＶＤ法によりｉ・ａ−Ｓｉ層を形成し、連続してｎ＋ａ−Ｓｉ層を形成し、フォトリソグラフィとドライエッチング法を用いて半導体層１２のａ−Ｓｉアイランドを形成する（図４（ｂ）参照）。
【００２４】
次に、スパッタリング法によりソース・ドレーン電極材料を成膜し、フォトリソグラフィとウエットエッチング法を用いてソース電極１３／ドレーン電極１４を形成する（図４（ｃ）参照）。その後、ソース・ドレーン間のｎ＋ａ−Ｓｉ層をドライエッチング法によりエッチングして完了する（図４（ｄ）参照）。
【００２５】
なお、図４（ｄ）においては、斜線で示すソース電極１３／ドレーン電極１４の周囲にも半導体層１２が形成されているが、必ずしもこの斜線部分の半導体層１２は必要なく、少なくとも平行対向電極半導体領域１２ｂにのみ半導体層１２を形成すればよい。
【００２６】
また、上述した実施の形態による薄膜トランジスタは、液晶表示装置の基板上のゲート配線とデータ配線が交差する地点にマトリクス状に配置してスイッチング素子として用いられる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の実施の形態１に係る薄膜トランジスタのチャンネル領域部分を示すものであり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ’線断面図、（ｃ）は（ａ）のＢ−Ｂ’線断面図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係る薄膜トランジスタのゲート電圧Ｖｇｓのマイナス領域でのドレーン電流Ｉｄｓの激減効果を説明する特性図である。
【図３】本発明の実施の形態２に係る薄膜トランジスタのチャンネル領域部分を示す平面図である。
【図４】図１に示す実施の形態１に係る薄膜トランジスタの製造工程を説明する図である。
【図５】従来の薄膜トランジスタの構造を示す平面図である。
【符号の説明】
【００２８】
１０・・・ガラス基板、１１・・・ゲート電極、１５・・・ゲート絶縁層、１２・・・半導体層、１３，１３’・・・ソース電極、１４・・・ドレーン電極、１２ａ・・・半円弧状半導体領域１２ｂ・・・平行対向電極半導体領域。
【図１】
2008004771.tif 000003
【図２】
2008004771.tif 000004
【図３】
2008004771.tif 000005
【図４】
2008004771.tif 000006
【図５】
2008004771.tif 000007