(57)【要約】【課題】一定の微量の流体を洩れなく、また逆流することなしに送る。【解決手段】マイクロバルブ及びこれを用いたマイクロポンプにおいて、弁体１はステンレス鋼その他の金属材料により、薄膜状の平面形状に形成され、当該平面内に略Ｃ字形の切り欠き１３Ｃを形成されて、リング形状の固定部１１と、フラップ形状の弁部１２とを備える。この場合、弁体１に金メッキなどにより表面処理を施すことが好ましい。【選択図】図１
2008106889.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体を流入する入口と流体を送流する流路との間、又は流体を送流する流路と流体を流出する出口との間に形成される弁座と、前記弁座に設置される弁体とを備え、前記流路を加圧又は減圧する作用により、前記弁体を開閉駆動し、一定の微量の流体を一方向に向けて送るマイクロバルブにおいて、
前記弁体は、前記弁座に固定される固定部と、前記固定部に連接され、前記流路を開閉する弁部とを備え、
前記弁体全体を金属材により薄膜状の平面形状に形成され、当該平面内に略Ｃ字形又は略コ字形又はこれらに類似する形状の切り欠きを形成されて、
前記固定部はリング状に形成され、
前記弁部は前記固定部の内側に、略Ｃ字形又は略コ字形又はこれらに類似する形状の開口により包囲された島状に形成されることを特徴とするマイクロバルブ。
【請求項２】
固定部と弁部とのつなぎ部分に固定部の内周に沿って切り込みが付けられる請求項１に記載のマイクロバルブ。
【請求項３】
弁体は金メッキにより表面処理される請求項１又は２に記載のマイクロバルブ。
【請求項４】
流体を流入する入口と、流体を送流する流路と、流体を流出する出口と、前記入口と前記流路との間、及び前記流路と前記出口との間で、前記流路を開閉するマイクロバルブとを備え、前記流路を加圧又は減圧する作用により、前記マイクロバルブを駆動し、一定の微量の流体を前記入口に流入して、前記流路に送流し、前記出口を通じて流出するマイクロポンプにおいて、
請求項１乃至３のいずれかに記載のマイクロバルブを備えることを特徴とするマイクロポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、医療機器、化学分析機器などに利用され、超微量の流体を供給するマイクロポンプなどマイクロマシニング技術に用いるマイクロバルブ及びこれを用いたマイクロポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、医療機器や化学分析機器などに利用されるマイクロマシニング技術として、マイクロポンプやマイクロバルブなどが実用化されている。マイクロポンプは、圧電方式、静電方式、モータ方式などがあり、その基本的な構造は概ね同じで、流体の入口、流路、及び出口を有するポンプ本体と、ポンプ本体の流路を加圧する振動部材、及びアクチュエータと、ポンプ本体の入口側を開閉する入口側のバルブ（マイクロバルブ）と、ポンプ本体の出口側を開閉する出口側のバルブ（マイクロバルブ）などにより構成される。
【０００３】
このマイクロポンプにおいては、一定の微量の流体を洩れなく、また逆流しないように送ることが要求され、バルブ（マイクロバルブ）に逆止弁構造を採ることが多い。この種のマイクロポンプが特許文献１に記載されている。このマイクロポンプは、ダイアフラム、流路及びバルブを形成したシリコン基板をガラス基板で挟んだ構造を有するもので、バルブ部に与圧を付与するために、ポリイミド、ポリアミド、ポリシリコンなどの耐熱高分子層が形成されて、バルブとガラス基板の接触面での不均一性を、その弾力性により吸収して、バルブの密閉性を改善し、マイクロポンプとしての品質の安定、歩留まりの向上を図ることができるものとなっている。
【特許文献１】特開平４−６３９７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、この種のマイクロポンプには、一般に非金属製のバルブが採用され、薬液その他の各種の流体の供給に利用されているが、流体の種類によっては非金属製のバルブでは、バルブの機能が低下し、安定した動作性能が得られないという問題がある。
【０００５】
本発明は、このような従来の問題を解決するもので、一定の微量の流体を洩れなく、また逆流することなしに送ることのできる信頼性の高いマイクロバルブ及びこれを用いたマイクロポンプを提供すること、を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明のマイクロバルブは、流体を流入する入口と流体を送流する流路との間、又は流体を送流する流路と流体を流出する出口との間に形成される弁座と、前記弁座に設置される弁体とを備え、前記流路を加圧又は減圧する作用により、前記弁体を開閉駆動し、一定の微量の流体を一方向に向けて送るマイクロバルブにおいて、前記弁体は、前記弁座に固定される固定部と、前記固定部に連接され、前記流路を開閉する弁部とを備え、前記弁体全体を金属材により薄膜状の平面形状に形成され、当該平面内に略Ｃ字形又は略コ字形又はこれらに類似する形状の切り欠きを形成されて、前記固定部はリング状に形成され、前記弁部は前記固定部の内側に、略Ｃ字形又は略コ字形又はこれらに類似する形状の開口により包囲された島状に形成されることを要旨とする。この場合、固定部と弁部とのつなぎ部分に固定部の内周に沿って切り込みが付けられてもよい。また、弁体は金メッキにより表面処理されることが好ましい。
【０００７】
また、本発明のマイクロポンプは、流体を流入する入口と、流体を送流する流路と、流体を流出する出口と、前記入口と前記流路との間、及び前記流路と前記出口との間で、前記流路を開閉するマイクロバルブとを備え、前記流路を加圧又は減圧する作用により、前記マイクロバルブを駆動し、一定の微量の流体を前記入口に流入して、前記流路に送流し、前記出口を通じて流出するマイクロポンプにおいて、上記構成のマイクロバルブを備えることを要旨とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明のマイクロバルブ及びこれを用いたマイクロポンプは、上記構成により、マイクロバルブの良好な開閉動作で、一定の微量の流体を洩れなく、また逆流することなしに送ることができる。したがって、信頼性の高いマイクロバルブ及びマイクロポンプを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の実施の形態について図を用いて説明する。図１乃至図７に、マイクロバルブの、特に弁体の第１乃至第７の実施の形態を示している。
【００１０】
図１は第１の実施の形態を示すもので、弁体１は、固定部１１と、弁部１２とを備える。この弁体１の場合、弁体１全体が金属材としてステンレス鋼により、円形の、薄膜状の平面形状に形成され、当該平面内に略Ｃ字形（この場合、外形状が円弧状で、内形状がＵ字形）の切り欠き１３Ｃを形成されて、固定部１１がリング状に形成され、弁部１２が固定部１１に連接し、固定部１１の内側に、略Ｃ字形の開口１３により包囲された島状に、この場合、固定部１１の内周縁部から固定部１１の内側中心を超えて延びる先端が半円形状のフラップ形状（舌片状）に形成される。なお、この場合、固定部１１のリング形状の中心と弁部１２の先端半円形状の中心は一致される。そして、弁体１はニッケルを介して金メッキの表面処理が施される。このようにして固定部１１は後述する（図８に示す）弁座８１０、８３０の座面８１１、８３１の外周に沿って固定され、弁部１２は固定部１１の一部から延び、特に先端半円形の中心を流体の通路となる、座面８１０、８３０中心の開口８１２、８３２に合せて、当該開口８１２、８３２上に配置され、この弁部１２の当該開口８１２、８３２に対接する一方の面が当該開口８１２、８３２の外周縁部に着接される。
【００１１】
図２は第２の実施の形態を示すもので、弁体２は、固定部１１と、弁部１２とを備える。この弁体２は、第１の実施の形態と概ね同じ構成で、第１の実施の形態と異なるのは、固定部１１と弁部１２との連接部２４の両側に固定部１１の内周に沿って円弧状に切り込み２５が形成された点である。このようにして固定部１１は後述する（図８に示す）弁座８１０、８３０の座面８１１、８３１の外周に沿って固定され、弁部１２は固定部１１の一部から延び、特に先端半円形の中心を流体の通路となる、座面８１０、８３０中心の開口８１２、８３２に合せて、当該開口８１２、８３２上に配置され、この弁部１２の当該開口８１２、８３２に対接する一方の面が当該開口８１２、８３２の外周縁部に着接される。
【００１２】
図３は第３の実施の形態を示すもので、弁体３は、固定部１１と、弁部１２とを備える。この弁体３は、第１の実施の形態と概ね同じ構成で、第１の実施の形態と異なるのは、弁部１２の基端、つまり、固定部１１と弁部１２との連接部３４が（第１の実施の形態に比べて）少し幅狭で、弁部１２の両側が当該連接部３４側で内側へ湾曲され、くびれた形状になっている点にある。このようにして固定部１１は後述する（図８に示す）弁座８１０、８３０の座面８１１、８３１の外周に沿って固定され、弁部１２は固定部１１の一部から延び、特に先端半円形の中心を流体の通路となる、座面８１０、８３０中心の開口８１２、８３２に合せて、当該開口８１２、８３２上に配置され、この弁部１２の当該開口８１２、８３２に対接する一方の面が当該開口８１２、８３２の外周縁部に着接される。
【００１３】
図４は第４の実施の形態を示すもので、弁体４は、固定部４１と、弁部４２とを備える。この弁体４の場合、弁体４全体が金属材としてステンレス鋼により、円形の、薄膜状の平面形状に形成され、当該平面内に略Ｃ字形（この場合、外形状が円弧状で、内形状がコ字形）の切り欠き４３Ｃを形成されて、固定部４１がリング状に形成され、弁部４２が固定部４１に連接し、固定部４１の内側に、略Ｃ字形の開口４３により包囲された島状に、この場合、固定部４１の内周縁部から固定部４１の内側中心を超えて延びる矩形のフラップ形状（舌片状）に形成される。そして、弁体４はニッケルを介して金メッキの表面処理が施される。このようにして固定部４１は後述する（図８に示す）弁座８１０、８３０の座面８１１、８３１の外周に沿って固定され、弁部４２は固定部４１の一部から延び、先端側の中心を流体の通路となる、座面８１０、８３０中心の開口８１２、８３２に合せて、当該開口８１２、８３２上に配置され、この弁部４２の当該開口８１２、８３２に対接する一方の面が当該開口８１２、８３２の外周縁部に着接される。
【００１４】
図５は第５の実施の形態を示すもので、弁体５は、固定部４１と、弁部４２とを備える。この弁体５は、第４の実施の形態と概ね同じ構成で、第４の実施の形態と異なるのは、固定部４１と弁部４２との連接部４４の両側に固定部４１の内周に沿って円弧状に切り込み４５を形成された点である。このようにして固定部４１は後述する（図８に示す）弁座８１０、８３０の座面８１１、８３１の外周に沿って固定され、弁部４２は固定部４１の一部から延び、先端側の中心を流体の通路となる、座面８１０、８３０中心の開口８１２、８３２に合せて、当該開口８１２、８３２上に配置され、この弁部４２の当該開口８１２、８３２に対接する一方の面が当該開口８１２、８３２の外周縁部に着接される。
【００１５】
図６は第６の実施の形態を示すもので、弁体６は、固定部４１と、弁部４２とを備える。この弁体６は、第４の実施の形態と概ね同じ構成で、第４の実施の形態と異なるのは、弁部４２の基端、つまり、固定部４１と弁部４２との連接部６４が（第４の実施の形態に比べて）少し幅狭で、弁部４２の両側が当該連接部６４側で幅狭に形成され、くびれた形状になっている点にある。なお、この場合、弁部４２の先端側の形状は四角形、五角形、六角形などの多角形状でもよく、また円形や楕円形であってもよい。このようにして固定部４１は後述する（図８に示す）弁座８１０、８３０の座面８１１、８３１の外周に沿って固定され、弁部４２は固定部４１の一部から延び、特に先端側の中心を流体の通路となる、座面８１０、８３０中心の開口８１２、８３２に合せて、当該開口８１２、８３２上に配置され、この弁部１２の当該開口８１２、８３２に対接する一方の面が当該開口８１２、８３２の外周縁部に着接される。
【００１６】
図７は第７の実施の形態を示すもので、弁体７は、固定部７１と、弁部７２とを備える。この弁体７の場合、弁体７全体が金属材としてステンレス鋼により、円形の、薄膜状の平面形状に形成され、当該平面内に複数の略Ｃ字形の切り欠き７３Ｃ、この場合、当該平面の中心から半径方向に所定の距離だけ離れた位置から当該平面の中心と同心上の円周を４分割された４つの円弧状の切り欠き７３Ｃ（隣り合う２つの円弧状の切り欠き７３Ｃは略Ｃ字形）を２重に形成されて、固定部７１がリング状に形成され、弁部７２が固定部７１に複数のつなぎ部７６を介して連接されて、固定部７１の内側に、複数の円弧状の開口７３（隣り合う２つの円弧状の開口７３は略Ｃ字形）により包囲された島状に、この場合、固定部７１の中心に円形状に形成され、昇降式の栓構造に構成される。そして、弁体７はニッケルを介して金メッキの表面処理が施される。このようにして固定部７１は後述する（図８に示す）弁座８１０、８３０の座面８１１、８３１の外周に沿って固定され、弁部７２は固定部７１の内側に複数のつなぎ部７６を介して連結されて、この弁部７２の中心を流体の通路となる、座面８１０、８３０中心の開口８１２、８３２に合せて、当該開口８１２、８３２上に配置され、この弁部１２の当該開口８１２、８３２に対接する一方の面が当該開口８１２、８３２の外周縁部に着接される。なお、この弁体７の場合、弁部７２の密着性を高めるために、図７（Ｂ）に示すように、（開口８１２、８３２に対接する一方の面に対して）他方の面をドーム状に膨出する形状に形成してあるが、この面はフラット状でもかまわない。
【００１７】
以上、これらの弁体１〜７は、流体を流入する入口と流体を送流する流路との間、又は流体を送流する流路と流体を流出する出口との間に形成される弁座に設置されて、マイクロバルブとして構成され、流路を加圧又は減圧する作用により、弁体を開閉駆動し、一定の微量の流体を一方向に向けて送るようになっている。各弁体１〜７は既述のとおり、ステンレス鋼その他の金属材料により、薄膜状の平面形状に形成されたこと、そして当該平面内に略Ｃ字形の切り欠き１３Ｃ、４３Ｃ、７３Ｃが形成されて、リング形状の固定部１１、４１、７１と、フラップ形状の弁部１２、４２、又は円形の栓構造の弁部７２とを備えたこと、さらに弁体表面に金メッキの表面処理を施したことの複合的効果から、弁体７全体に弁座（座面）に対する高度の密着性及び撓り変形性（弾性、予圧力）が生じ、この弁体１〜７の気密性又は水密性、及び弁部１２、４２、７２の良好な開閉動作により、流体の洩れをなくし、流体の逆流を確実に防止する。
【００１８】
図８乃至図１１に、このマイクロバルブを採用するマイクロポンプの一実施の形態を示している。図８において、マイクロポンプ９は、流体を流入する入口９１、流体を送流する流路９２、流体を流出する出口９３を有するポンプケース９４と、流路９２を加圧又は減圧する圧電駆動方式のダイアフラム９５と、入口９１と流路９２との間に設けられて、流路９２を開閉する入口９１側のマイクロバルブ８１と、流路９２と出口９３との間に設けられて、流路９２を開閉する出口９３側のマイクロバルブ８３とを備える。
【００１９】
このマイクロポンプ９の場合、図９に示すように、円柱形のポンプケース９４が採用される。このポンプケース９４の片側一方の円形の平面に、流体の流路９２が形成されて、ダイアフラム９５が設置される。また、片側他方の円形の平面に、２つのブッシュ９０１、９０３を挿着するための２つの円筒状の凹部９１０、９３０が形成され、その底面中心部に流体を通す小径の流通孔９１１、９３１が形成されて、各流通孔９１１、９３１が流路９２に連通される。この場合、一方の凹部９１０の底面には、流通孔９１１の周囲に円形の溝９１２が併せて形成される。この溝９１２は流通孔９１１の径よりも大きく、凹部９１０の径よりも小さい、弁体１〜７の挙動を許容する最小限の空間として形成される。これに対して、他方の凹部９３０の底面は平面状（平坦面）で、弁体１〜７の座面８３１として形成される。これらの凹部９１０、９３０に挿着されるブッシュ９０１、９０３は、図１０及び図１１に示すように、流体を流入又は流出する流体通路９０２、９０４を有し、各凹部９１０、９３０に圧入される円筒構造をなす。この場合、図１０に示すように、一方のブッシュ９０１の外側底面は平面状（平坦面）で、弁体１〜７の座面８１１として形成される。これに対して、図１１に示すように、他方のブッシュ９０３の外側底面には、流体通路９０４の周囲に円形の溝９０５が併せて形成される。この溝９０５はポンプケース９４の流通孔９３１の径よりも大きく、凹部９３０の径よりも小さい、弁体１〜７の挙動を許容する最小限の空間として形成される。このようにして、図８に示すように、一方の凹部９１０に一方のブッシュ９０１が圧入されることにより、これら凹部９１０（の底面）とブッシュ９０１（の底面）との間に空隙が形成され、これがブッシュ９０１の外側底面を座面８１１とする弁座８１０として構成される。そしてこの凹部９１０に弁体１〜７を介し、ブッシュ９０１が圧入固定されて、入口９１が構成され、この入口９１と流路９２との間に入口９１側のマイクロバルブ８１が介装される。また、他方の凹部９３０に他方のブッシュ９０３が圧入されることにより、これら凹部９３０（の底面）とブッシュ９０３（の底面）との間に空隙が形成され、これが凹部９３０の底面を座面８３１とする弁座８３０として構成される。そしてこの凹部９３０に弁体１〜７を介し、ブッシュ９０３が圧入固定されて、出口９３が構成され、流路９２とこの出口９３との間に出口９３側のマイクロバルブ８３が介装される。なお、入口９１（ブッシュ９０１）、出口９３（ブッシュ９０３）にはそれぞれ、パイプＰ１、Ｐ２が接続される。
【００２０】
このマイクロポンプ９の動作形式についてみると、マイクロポンプ９が停止している状態では、入口９１側及び出口９３側の各マイクロバルブ８１、８３は、弁体１〜７がステンレス鋼その他の金属材料により、薄膜状の平面形状に形成されたこと、そして当該平面内に略Ｃ字形の切り欠き１３Ｃ、４３Ｃ、７３Ｃが形成されて、リング形状の固定部１１、４１、７１と、フラップ形状の弁部１２、４２、又は円形の栓構造の弁部７２とを備えたこと、さらに弁体１〜７に金メッキにより表面処理を施したことの複合的効果から、弁体全体に弁座８１０、８３０（座面８１１、９３１）に対する高度の密着性及び撓り変形性（弾性、予圧力）を生じ、これら弁体１〜７の気密性又は水密性により、入口９１及び出口９３を完全に密閉する。
【００２１】
この状態から、図示されない圧電素子に通電し、ダイアフラム９５を振動することにより、流路９２内が減圧又は加圧され、マイクロバルブ８１、８３が駆動される。この場合、流路９２内が減圧されると、（流路９２側と入口９１側との圧力差により）入口９１側のマイクロバルブ８１が開く。この場合、弁部１２、４２、７２の弁座８１０（座面８１１）に対する高度の密着性及び撓り変形性（弾性、予圧力）により、弁部１２、４２、７２がブッシュ９０１の底面から流路９２側へ良好に撓り変形（弾性変形）して、弁座８１０（座面８１１）の流体の通路となる開口８１２を開放する。一方、出口９３側のマイクロバルブ８３は閉じられる。この場合、弁部１２、４２、７２が凹部９３０の底面に押圧状態に当接され、弁座８３０（座面８３１）の流体の通路となる開口８３２を閉塞する。このような各マイクロバルブ８１、８３の挙動により、一定の微量の流体が入口９１の流体通路９０２に流入し、入口９１側のマイクロバルブ８１を通して、流路９２に流れ込む。流体が流路９２に入ると、流路９２内の圧力が増加し、（流路９２側と入口９１側との圧力差が徐々に減少し）この圧力差が小さくなると、入口９１側のマイクロバルブ８１が閉じる（ブッシュ９０１の底面から流路９２側へ撓り変形（弾性変形）された弁部１２、４２、７２はブッシュ９０１の底面へ弾性復帰して、弁座８１０（座面８１１）の開口８１２を閉塞し、座面８１１に予圧状態で当接する）。反対に、流路９２内が加圧されると、（流路９２側と出口９３側との圧力差により）出口９３側のマイクロバルブ８３が開く。この場合、弁部１２、４２、７２の弁座８３０（座面８３１）に対する高度の密着性及び撓り変形性（弾性、予圧力）により、弁部１２、４２、７２が凹部９３０の底面から出口９３側へ良好に撓り変形（弾性変形）して、弁座８３０（座面８３１）の流体の通路となる開口８３２を開放する。一方、入口９１側のマイクロバルブ８１は閉じられる。この場合、弁部１２、４２、７２がブッシュ９０１の底面に押圧状態に当接され、弁座８１０（座面８１１）の開口８１２を閉塞する。このような各マイクロバルブ８１、８３の挙動により、流路９２内の一定の微量の流体が出口９３側のマイクロバルブ８３を通り、出口９３の流体通路９０４を通じて流出する。流体が出口９３から流出すると、流路９２内の圧力が減少し、（流路９２側と出口９３側との圧力差が徐々に減少し）この圧力差が小さくなると、出口９３側のマイクロバルブ８３が閉じる（凹部９３０の底面から出口９３側へ撓り変形（弾性変形）された弁部１２、４２、７２が凹部９３０の底面へ弾性復帰して、弁座８３０（座面８３１）の開口８３２を閉塞し、座面８３１に予圧状態で当接する）。そして、これらマイクロバルブ８１、８３の動作の繰り返しにより、一定の微量の流体を入口９１に流入して、流路９２に送流し、出口９３を通じて流出する。
【００２２】
以上説明したように、このマイクロバルブ８１、８３及びこれを用いたマイクロポンプ９によれば、特に、弁体１〜７をステンレス鋼その他の金属材料により、薄膜状の平面形状に形成したこと、そして当該平面内に略Ｃ字形の切り欠き１３Ｃ、４３Ｃ、７３Ｃを形成して、リング形状の固定部１１、４１、７１と、フラップ形状の弁部１２、４２、又は円形の栓構造の弁部７２とを設けたこと、さらにこれら弁体１〜７を金メッキにより表面処理したこと、の複合的効果から、弁体全体に弁座８１０、８３０（座面８１１、８３１）に対する高度の密着性及び撓り変形性（弾性、予圧力）を生じせしめ、これら弁体１〜７の気密性又は水密性、及び弁部１２、４２、７２の良好な開閉動作により、流体の洩れを確実になくし、流体の逆流を確実に防止することができ、このマイクロバルブ８１、８３の良好な挙動により、一定の微量の流体を洩れなく、また逆流することなしに送ることができる。したがって、信頼性の高いマイクロバルブ８１、８３及びマイクロポンプ９を提供することができる。
【００２３】
なお、第１乃至第７の実施の形態として例示する弁体１〜７では、弁体全体をステンレス鋼その他の金属材料により、円形の、薄膜状の平面形状に形成したが、四角形その他の多角形の、薄膜状の平面形状に変えて、固定部１１、４１、７１を、四角形その他の多角形の、リング形状に変えてもよい。また、特に第１乃至第６の実施の形態では、弁体１〜６の、金属材の平面形状に略Ｃ字形の切り欠き１３Ｃ、４３Ｃを形成して、リング形状の固定部１１、４１と、フラップ形状の弁部１２、４２を設けたが、略Ｃ字形の切り欠き１３Ｃ、４３Ｃに代えて、略コ字形又は略Ｃ字形若しくは略コ字形に類似する形状の切り欠きを形成して、リング形状の固定部と、フラップ形状の弁部を設けてもよい。さらに、第７の実施の形態では、弁体７の、金属材の平面形状に複数の略Ｃ字形の切り欠き７３Ｃを形成して、リング形状の固定部７１と、円形の栓構造の弁部７２を設けたが、略Ｃ字形の切り欠き７３Ｃに代えて、略コ字形又は略Ｃ字形若しくは略コ字形に類似する形状の切り欠きを形成することにより、リング形状の固定部と、円形又は四角形その他の多角形の弁部を設けてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】（Ａ）本発明の第１の実施の形態におけるマイクロバルブの、特に弁体の構成を示す平面図（Ｂ）同弁体の側面断面図
【図２】本発明の第２の実施の形態におけるマイクロバルブの、特に弁体の構成を示す平面図
【図３】本発明の第３の実施の形態におけるマイクロバルブの、特に弁体の構成を示す平面図
【図４】（Ａ）本発明の第４の実施の形態におけるマイクロバルブの、特に弁体の構成を示す平面図（Ｂ）同弁体の側面断面図
【図５】本発明の第５の実施の形態におけるマイクロバルブの、特に弁体の構成を示す平面図
【図６】本発明の第６の実施の形態におけるマイクロバルブの、特に弁体の構成を示す平面図
【図７】（Ａ）本発明の第７の実施の形態におけるマイクロバルブの、特に弁体の構成を示す平面図（Ｂ）同弁体の側面図
【図８】本発明の第１乃至第７実施の形態におけるマイクロバルブを採用されたマイクロポンプの構成を示す側面断面図
【図９】（Ａ）同マイクロポンプの側面図（上方から見た側面図）（Ｂ）同マイクロポンプの平面図（Ｃ）同マイクロポンプの側面図（側方から見た側面図）
【図１０】（Ａ）同マイクロポンプに入口を構成するブッシュの側面図（上方から見た側面図）（Ｂ）同ブッシュの平面図（Ｃ）同ブッシュの側面図（側方から見た側面図）
【図１１】（Ａ）同マイクロポンプに出口を構成するブッシュの側面図（上方から見た側面図）（Ｂ）同ブッシュの平面図（Ｃ）同ブッシュの側面図（側方から見た側面図）
【符号の説明】
【００２５】
１〜７  弁体
１１、４１、７１  固定部
１２、４２、７２  弁部
１３、４３、７３  開口
１３Ｃ、４３Ｃ、７３Ｃ  切り欠き
２４、３４、５４、６４  連接部
２５、４５  切り込み
７６  つなぎ部
８１、８３  マイクロバルブ
８１０、８３０  弁座
８１１、８３１  座面
８１２、８３２  開口
９  マイクロポンプ
９１  入口
９１０  凹部
９１１  流通孔
９１２  溝
９２  流路
９３  出口
９３０  凹部
９３１  流通孔
９４  ポンプケース
９５  ダイアフラム
９０１  ブッシュ
９０２  流体通路
９０３  ブッシュ
９０４  流体通路
９０５  溝
Ｐ１、Ｐ２  パイプ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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