(57)【要約】【課題】連続してパターン形状を形成する場合でも、精度よくパターン形状を形成することができるカラーフィルタの製造装置および製造方法を提供する。【解決手段】露光装置１１は露光ヘッド２１およびカメラ２５を有し、露光ヘッド２１およびカメラ２５には制御装置２３が接続されている。  露光ヘッド２１は図示しないアクチュエータを有し、このアクチュエータによりＣ１、Ｃ２方向に移動可能である。  露光時は、まず、カメラ２５がブラックマトリクスを撮像し、その画像を制御装置２３に送信する。  制御装置２３は、受信した画像から検出した基準位置をもとに、露光ヘッド２１の位置を決定する。  制御装置２３は、アクチュエータに露光ヘッド２１の位置座標を送信し、アクチュエータはその位置に露光ヘッド２１を移動する。  即ち、露光ヘッド２１はシート３の変形にリアルタイムで追従する。【選択図】図３
2008096654.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート上に感光材のパターンを連続して形成するカラーフィルタの製造装置であって、
前記シートを連続して搬送する搬送装置と、
前記搬送装置により搬送中の前記シートに前記感光材を塗布する塗布装置と、
前記搬送装置により搬送中の前記シート上の前記感光材を乾燥する乾燥装置と、
前記搬送装置により搬送中の前記シート上の前記感光材の所定の位置を露光する露光装置と、
前記搬送装置により搬送中の前記感光材を現像する現像装置と、
前記搬送装置により搬送中の前記シート上の前記感光材を焼成する焼成装置と、
を有することを特徴とするカラーフィルタの製造装置。
【請求項２】
前記シート上にはブラックマトリクスが設けられ、
前記露光装置は、
前記シートの表面と平行な面内を移動可能に設けられ、前記感光材を露光する露光手段と、
前記露光手段を移動する第１の移動手段と、
前記ブラックマトリクスを撮像する第１の撮像手段と、
前記第１の撮像手段および前記露光手段に接続され、前記露光手段の移動を制御する制御手段と、
を有し、
前記制御手段は、
前記第１の撮像手段が撮像した前記ブラックマトリクスの画像から、前記ブラックマトリクス上の予め設定された任意の位置である基準位置を検出する第１の検出手段と、
検出した前記基準位置を基準にして、前記所定の位置に前記露光手段が移動するように前記第１の移動手段に指示する第１の指示手段と、
を有することを特徴とする請求項１記載のカラーフィルタの製造装置。
【請求項３】
前記制御手段は、検出した前記基準位置を基準にして、前記所定の位置を露光するタイミングを前記露光手段に指示する第２の指示手段をさらに有することを特徴とする請求項２記載のカラーフィルタの製造装置。
【請求項４】
前記第１の指示手段は、前記所定の位置に前記露光手段が移動するようにリアルタイムで前記第１の移動手段に指示する手段であることを特徴とする請求項２記載のカラーフィルタの製造装置。
【請求項５】
前記シート上には、前記ブラックマトリクスよりも前記搬送方向の上流側に形成された位置決め用の印であるアライメントマークがさらに設けられ、
前記露光装置は、前記アライメントマークを撮像する第２の撮像手段をさらに有し、
前記制御手段は、
前記第２の撮像手段が撮像した前記アライメントマークの画像から、前記アライメントマークの位置を検出する第２の検出手段と、
検出した前記アライメントマークの位置を基準にして、前記所定の位置に前記露光手段が移動するように前記第１の移動手段に指示する第３の指示手段と、
をさらに有することを特徴とする請求項２記載のカラーフィルタの製造装置。
【請求項６】
前記シート上には、位置決め用の印であるアライメントマークが設けられ、
前記露光装置は、
前記シートの表面と平行な面内を移動可能に設けられ、前記シートを露光する露光手段と、
前記露光手段を移動する第２の移動手段と、
前記シート上のアライメントマークを撮像する第３の撮像手段と、
前記第３の撮像手段および前記露光手段に接続され、前記露光手段の移動を制御する制御手段と、
を有し、
前記制御手段は、
前記第３の撮像手段が撮像した前記アライメントマークの画像から、前記搬送装置上の前記アライメントマークの位置を検出する第３の検出手段と、
検出した前記アライメントマークの位置を基準にして、前記所定の位置に前記露光手段が移動するように前記第２の移動手段に指示する第４の指示手段と、
を有することを特徴とする請求項１記載のカラーフィルタの製造装置。
【請求項７】
前記制御手段は、検出した前記アライメントマークの位置を基準にして、前記所定の位置を露光するタイミングを前記露光手段に指示する第５の指示手段をさらに有することを特徴とする請求項６記載のカラーフィルタの製造装置。
【請求項８】
前記第２の撮像手段を移動する第３の移動手段と、
前記シート上のアライメントマークを撮像する第４の撮像手段と、
をさらに有し、
前記制御手段は、
前記第４の撮像手段が撮像した前記アライメントマークの画像から、前記搬送装置上の前記アライメントマークの位置を検出する第４の検出手段と、
前記第４の検出手段が検出した前記アライメントマークの位置に前記第２の撮像手段が移動するように前記第３の移動手段に指示する第６の指示手段と、
をさらに有することを特徴とする請求項５記載のカラーフィルタの製造装置。
【請求項９】
シート上に感光材のパターンを連続して形成するカラーフィルタの製造方法であって、
搬送装置により搬送中の前記シートに前記感光材を塗布する工程（ａ）と、
搬送装置により搬送中の前記シートの前記感光材を乾燥する工程（ｂ）と、
搬送装置により搬送中の前記シートの前記感光材の所定の位置を露光する工程（ｃ）と、
搬送装置により搬送中の前記シートの前記感光材を現像する工程（ｄ）と、
搬送装置により搬送中の前記シートの前記感光材を焼成する工程（ｅ）と、
を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項１０】
前記工程（ｃ）は、
第１の撮像手段を用いて前記シート上に設けられたブラックマトリクスを撮像する工程（ｆ）と、
撮像した前記ブラックマトリクスの画像から、前記ブラックマトリクス上の予め設定された任意の位置である基準位置を検出する工程（ｇ）と、
検出した前記基準位置を基準にして、前記所定の位置に露光手段が移動するよう指示する工程（ｈ）と、
を有することを特徴とする請求項９記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項１１】
前記工程（ｃ）は、前記工程（ｈ）の後に、検出した前記基準位置を基準にして、前記所定の位置を露光するタイミングを前記露光手段に指示する工程（ｉ）をさらに有することを特徴とする請求項１０記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項１２】
前記工程（ｃ）〜（ｈ）は、搬送中の前記シートに対してリアルタイムで繰り返し行われる工程であることを特徴とする請求項１０記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項１３】
前記工程（ｃ）は、
前記工程（ｆ）の前に、
第２の撮像手段を用いて前記シート上に設けられたアライメントマークを撮像する工程（ｊ）と、
撮像した前記アライメントマークの画像から、前記アライメントマークの位置を検出する工程（ｋ）と、
検出した前記アライメントマークの位置を基準にして、前記所定の位置に前記露光手段が移動するように指示する工程（ｌ）と、
を有することを特徴とする請求項１０記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項１４】
前記工程（ｃ）は、
第３の撮像手段を用いて前記シート上に設けられたアライメントマークを撮像する工程（ｍ）と、
撮像した前記アライメントマークの画像を用いて、前記アライメントマークの位置を検出する工程（ｎ）と、
検出した前記アライメントマークの位置を基準にして、前記所定の位置に前記露光手段が移動するように指示する工程（ｏ）と、
を有することを特徴とする請求項９記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項１５】
前記工程（ｃ）は、前記工程（ｏ）の後に、検出したアライメントマークの位置を基準にして、前記所定の位置を露光するタイミングを前記露光手段に指示する工程（ｐ）をさらに有することを特徴とする請求項１４記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項１６】
前記工程（ｃ）は、
前記工程（ｊ）の前に、
第４の撮像手段を用いて前記シート上に設けられたアライメントマークを撮像する工程（ｑ）と、
撮像した前記アライメントマークの画像から、前記アライメントマークの位置を検出する工程（ｒ）と、
検出した前記アライメントマークの位置に前記第２の撮像手段が移動するように指示する工程（ｓ）と、
を有することを特徴とする請求項１３記載のカラーフィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート上にカラーフィルタ形成用のパターン形状を形成するカラーフィルタの製造装置および製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
カラーフィルタは、基板と、基板上に設けられた黒色の枠状パターンであるブラックマトリクスと、枠内に設けられた赤、緑、青の３色の着色パターンであるカラーフィルタ層からなり、主に液晶ディスプレイの部品として用いられている。
【０００３】
カラーフィルタの基板としては、従来はガラスが用いられており、基板にブラックマトリクスとカラーフィルタ層を設ける場合は、基板１枚毎に感光材を塗布し、露光、現像によりパターン形状を形成していた。
【０００４】
一方、ガラスは重量があり、カラーフィルタの製造時に作業性が悪いことや、液晶ディスプレイの軽量化の妨げになることなどから、近年では基板にガラスではなく、プラスチックフィルムのようなシートを用いる場合がある。
【０００５】
この場合、製造時には、長尺状のシートに複数のカラーフィルタのパターン形状を連続して形成し、後でパターン形状ごとにシートを切断してカラーフィルタを製造する場合があり、以下のようなものが知られている（特許文献１）。
【特許文献１】特開２００４-１４４８６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、プラスチックフィルムのようなシートは、ガラスと比べて熱や応力の影響を受けて製造中に変形しやすいため、連続してパターンを形成しようとすると、途中で変形の影響によりパターン形状がずれてしまうことがある。
従って、高い寸法精度を要求されるカラーフィルタには不向きであった。
【０００７】
この場合、パターンを形成する際、即ち露光の際に一旦、シートを停止させることにより、比較的高い寸法精度を確保することが可能であるが、この場合は製造に時間がかかるという問題があった。
【０００８】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、その目的は連続してパターン形状を形成する場合であっても、精度よくパターン形状を形成することができるカラーフィルタの製造装置および製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前述した目的を達成するために、第１の発明は、シート上に感光材のパターンを連続して形成するカラーフィルタの製造装置であって、前記シートを連続して搬送する搬送装置と、前記搬送装置により搬送中の前記シートに前記感光材を塗布する塗布装置と、前記搬送装置により搬送中の前記シート上の前記感光材を乾燥する乾燥装置と、前記搬送装置により搬送中の前記シート上の前記感光材の所定の位置を露光する露光装置と、前記搬送装置により搬送中の前記感光材を現像する現像装置と、前記搬送装置により搬送中の前記シート上の前記感光材を焼成する焼成装置と、を有することを特徴とするカラーフィルタの製造装置である。
【００１０】
前記シート上にはブラックマトリクスが設けられ、前記露光装置は、前記シートの表面と平行な面内を移動可能に設けられ、前記感光材を露光する露光手段と、前記露光手段を移動する第１の移動手段と、前記ブラックマトリクスを撮像する第１の撮像手段と、前記第１の撮像手段および前記露光手段に接続され、前記露光手段の移動を制御する制御手段と、を有し、前記制御手段は、前記第１の撮像手段が撮像した前記ブラックマトリクスの画像から、前記ブラックマトリクス上の予め設定された任意の位置である基準位置を検出する第１の検出手段と、検出した前記基準位置を基準にして、前記所定の位置に前記露光手段が移動するように前記第１の移動手段に指示する第１の指示手段と、を有してもよい。
【００１１】
前記制御手段は、検出した前記基準位置を基準にして、前記所定の位置を露光するタイミングを前記露光手段に指示する第２の指示手段をさらに有してもよい。
前記第１の指示手段は、前記所定の位置に前記露光手段が移動するようにリアルタイムで前記第１の移動手段に指示する手段であってもよい。
【００１２】
また、前記シート上には、前記ブラックマトリクスよりも前記搬送方向の上流側に形成された位置決め用の印であるアライメントマークがさらに設けられ、前記露光装置は、前記アライメントマークを撮像する第２の撮像手段をさらに有し、前記制御手段は、
前記第２の撮像手段が撮像した前記アライメントマークの画像から、前記アライメントマークの位置を検出する第２の検出手段と、検出した前記アライメントマークの位置を基準にして、前記所定の位置に前記露光手段が移動するように前記第１の移動手段に指示する第３の指示手段と、をさらに有してもよい。
【００１３】
あるいは、前記シート上には、位置決め用の印であるアライメントマークが設けられ、前記露光装置は、前記シートの表面と平行な面内を移動可能に設けられ、前記シートを露光する露光手段と、前記露光手段を移動する第２の移動手段と、前記シート上のアライメントマークを撮像する第３の撮像手段と、前記第３の撮像手段および前記露光手段に接続され、前記露光手段の移動を制御する制御手段と、を有し、前記制御手段は、前記第３の撮像手段が撮像した前記アライメントマークの画像から、前記搬送装置上の前記アライメントマークの位置を検出する第３の検出手段と、検出した前記アライメントマークの位置を基準にして、前記所定の位置に前記露光手段が移動するように前記第２の移動手段に指示する第４の指示手段と、を有してもよい。
この場合、前記制御手段は、検出した前記アライメントマークの位置を基準にして、前記所定の位置を露光するタイミングを前記露光手段に指示する第５の指示手段をさらに有してもよい。
【００１４】
前記第２の撮像手段を移動する第３の移動手段と、前記シート上のアライメントマークを撮像する第４の撮像手段と、をさらに有し、前記制御手段は、前記第４の撮像手段が撮像した前記アライメントマークの画像から、前記搬送装置上の前記アライメントマークの位置を検出する第４の検出手段と、前記第４の検出手段が検出した前記アライメントマークの位置に前記第２の撮像手段が移動するように前記第３の移動手段に指示する第６の指示手段と、をさらに有してもよい。
【００１５】
第２の発明は、シート上に感光材のパターンを連続して形成するカラーフィルタの製造方法であって、搬送装置により搬送中の前記シートに前記感光材を塗布する工程（ａ）と、搬送装置により搬送中の前記シートの前記感光材を乾燥する工程（ｂ）と、搬送装置により搬送中の前記シートの前記感光材の所定の位置を露光する工程（ｃ）と、搬送装置により搬送中の前記シートの前記感光材を現像する工程（ｄ）と、搬送装置により搬送中の前記シートの前記感光材を焼成する工程（ｅ）と、を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。
【００１６】
前記工程（ｃ）は、第１の撮像手段を用いて前記シート上に設けられたブラックマトリクスを撮像する工程（ｆ）と、撮像した前記ブラックマトリクスの画像から、前記ブラックマトリクス上の予め設定された任意の位置である基準位置を検出する工程（ｇ）と、検出した前記基準位置を基準にして、前記所定の位置に露光手段が移動するよう指示する工程（ｈ）と、を有してもよい。
前記工程（ｃ）は、前記工程（ｈ）の後に、検出した前記基準位置を基準にして、前記所定の位置を露光するタイミングを前記露光手段に指示する工程（ｉ）をさらに有してもよい。
前記工程（ｃ）〜（ｈ）は、搬送中の前記シートに対してリアルタイムで繰り返し行われる工程であってもよい。
【００１７】
前記工程（ｃ）は、前記工程（ｆ）の前に、第２の撮像手段を用いて前記シート上に設けられたアライメントマークを撮像する工程（ｊ）と、撮像した前記アライメントマークの画像から、前記アライメントマークの位置を検出する工程（ｋ）と、検出した前記アライメントマークの位置を基準にして、前記所定の位置に前記露光手段が移動するように指示する工程（ｌ）と、を有してもよい。
【００１８】
前記工程（ｃ）は、第３の撮像手段を用いて前記シート上に設けられたアライメントマークを撮像する工程（ｍ）と、撮像した前記アライメントマークの画像を用いて、前記アライメントマークの位置を検出する工程（ｎ）と、検出した前記アライメントマークの位置を基準にして、前記所定の位置に前記露光手段が移動するように指示する工程（ｏ）と、を有してもよい。
この場合、前記工程（ｃ）は、前記工程（ｏ）の後に、検出したアライメントマークの位置を基準にして、前記所定の位置を露光するタイミングを前記露光手段に指示する工程（ｐ）をさらに有してもよい。
【００１９】
あるいは、前記工程（ｃ）は、前記工程（ｊ）の前に、第４の撮像手段を用いて前記シート上に設けられたアライメントマークを撮像する工程（ｑ）と、撮像した前記アライメントマークの画像から、前記アライメントマークの位置を検出する工程（ｒ）と、検出した前記アライメントマークの位置に前記第２の撮像手段が移動するように指示する工程（ｓ）と、を有してもよい。
【００２０】
本発明では、カラーフィルタの製造装置の一部である露光装置が撮像手段、制御手段および露光手段を備えており、制御手段は、撮像手段が撮像したブラックマトリクスやアライメントマークの画像から、シート上の基準位置を検出し、検出した位置に基づいて露光手段を移動させる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明では、カラーフィルタの製造装置の一部である露光装置が撮像手段、制御手段および露光手段を備えており、露光手段が随時、シートの変形に追従して移動するため、連続してパターン形状を形成する場合であっても、精度よくパターン形状を形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、図面に基づいて本発明に好適な実施形態を詳細に説明する。図１は、第１の実施形態に係るカラーフィルタ製造装置１を示す概略図であって、図２は図１のシート３の斜視図である。
【００２３】
図１に示すように、カラーフィルタ製造装置１は円筒状のローラ５ａ、５ｂを有し、ローラ５ａ、５ｂには基板としてのフィルム状のシート３が巻きつけられている。
そして、ローラ５ａ、５ｂがＢ１、Ｂ２方向に回転することによって、シート３はＡ方向に移動する。
【００２４】
図２に示すように、シート３は長尺状の形状を有しており、シート３上には、黒色の感光材により形成されたパターン形状であるブラックマトリクス１７ａ、１７ｂ、１７ｃが設けられている。
【００２５】
ブラックマトリクス１７ａ、１７ｂ、１７ｃは各々が１枚のカラーフィルタに対応しており、後述する着色層を形成した後に、シート３を裁断することにより、個々のカラーフィルタとして形成される。
【００２６】
なお、第１の実施形態においては、シート３はブラックマトリクス１７ａ、１７ｂ、１７ｃは枠内に横線１８のみを有しており、２本の横線１８の間に着色層が形成される。
【００２７】
また、シート３のブラックマトリクスの数は３つしか記載されていないが、実際にはブラックマトリクスの数はシートの全長やブラックマトリクス自体の大きさによって異なり、もっと多い場合がある。
【００２８】
図１に示すように、ローラ５ａとローラ５ｂの間で、かつシート３の周囲には、ローラ５ｂ側からローラ５ａ側に向けて順番に、塗布装置７、乾燥装置９、露光装置１１、現像装置１３、焼成装置１５が設けられている。
【００２９】
塗布装置７は、シート３の表面に感光材を塗布する装置であり、図示しないダイコータ等によりシート３の表面に感光材を塗布する。
乾燥装置９は、シート３の表面に塗布された感光材を乾燥させる装置である。
【００３０】
露光装置１１は、感光材を選択的に露光する装置であり、詳細は後述する。
現像装置１３は、感光材を現像する装置である。
焼成装置１５は、感光材を焼成して硬化させる装置である。
【００３１】
即ち、塗布装置７で塗布された感光材は、露光装置１１で露光によって表面の物性が選択的に変化し、現像装置１３で現像により不要な部分が除去され、所定のパターン形状が形成される。
なお、感光材には、露光された箇所が現像にて除去される、いわゆるポジ型と、露光領域が残るネガ型があるが、第１の実施形態では、どちらを用いてもよい。
【００３２】
また、これらの装置はシート３が図１のＡ方向に移動している間に各処理を行う。
即ち、カラーフィルタ製造装置１は、シート３を常に移動させながら連続してパターン形状を形成する。
なお、カラーフィルタは、基板上に赤、緑、青の３色の着色パターンが形成されているため、カラーフィルタ製造装置１は、各色ごとに１台ずつ必要となる。
【００３３】
次に、露光装置１１の構成および動作について、詳細に説明する。
まず、露光装置１１の構成について説明する。
図３は図２の露光装置１１を示す斜視図であって、図４は図３の側面図である。
なお、図４においては、露光ヘッド２１は断面図を表示してある。
【００３４】
図３および図４に示すように、露光装置１１はシート３の上方に露光手段としての露光ヘッド２１を有している。
また、シート３の下方で、かつ露光ヘッド２１よりもＡ方向の上流側には、第１の撮像手段としてのカメラ２５が設けられ、露光ヘッド２１およびカメラ２５には制御手段としての制御装置２３が接続されている。
【００３５】
露光ヘッド２１は、露光に必要な光をシート３上の感光材に照射する装置であり、内部には紫外線等の光源２７が設けられ、シート３と対向する面にはフォトマスク２９が設けられている。
なお、第１の実施形態においては、光源２７は露光装置１１の動作中は常時点灯している。
【００３６】
フォトマスク２９にはパターン開口部３１が設けられており、光源２７からＣ方向に照射された光のうち、パターン開口部３１を通過した光が、シート３上の感光材を選択的に露光する。
【００３７】
また、露光ヘッド２１は第１の移動手段としての図示しないアクチュエータを有しており、露光ヘッド２１はシート３の表面と平行な面内を、図示しないアクチュエータによって、図３のＣ１方向およびＣ２方向に移動可能である。
【００３８】
カメラ２５はシート３上のブラックマトリクス１７ａを撮像する装置であり、例えばＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラである。
制御装置２３は露光ヘッド２１の移動を制御するコンピュータであり、具体的には、図示しないアクチュエータに露光ヘッド２１の位置座標を送信することにより、移動を制御する。
【００３９】
次に、露光時の露光装置１１の動作について説明する。
図５は露光時の露光装置１１の動作を示すフローチャートであって、図６は露光時のシート３を示す図である。
【００４０】
なお、図５および図６は、ブラックマトリクスの横線１８の間に塗布した着色感光材を露光する工程であり、光源２７が常時点灯して露光を行っている。
また、図５および図６ではシート３は常に図３のＡ方向に移動している。
【００４１】
まず、カメラ２５は上方を通過するシート３上のブラックマトリクスを撮像して（ステップ１０１）撮像したブラックマトリクスの画像を制御装置２３に送信する（ステップ１０２）。
制御装置２３はブラックマトリクスの画像を受信する（ステップ１０３）。
【００４２】
制御装置２３は、ブラックマトリクスの画像からシート３上の基準位置を検出する（ステップ１０４）。
ここで基準位置とは、ブラックマトリクス上の予め設定された任意の位置であり、例えば図６に示す基準位置βのような、横線１８の１つの位置座標である。
【００４３】
制御装置２３は、基準位置をもとにして露光ヘッド２１の位置座標を決定する（ステップ１０５）。
例えば、シート３が熱や応力で変形し、図６に示すように、前回検出した基準位置αと、今回検出した基準位置βがずれている場合は、ずれγの分だけ前回の露光ヘッド２１の位置座標から移動した位置座標を、露光ヘッド２１の位置座標とする。
【００４４】
制御装置２３は、露光ヘッド２１の図示しないアクチュエータに露光ヘッド２１の位置座標を送信し、露光ヘッド２１の移動を指示する（ステップ１０６）。
露光ヘッド２１の図示しないアクチュエータは露光ヘッド２１の位置座標を受信し（ステップ１０７）、その位置座標が示す位置に露光ヘッド２１を移動する（ステップ１０８）。
【００４５】
以後は、シート３の移動に応じてリアルタイムでステップ１０１〜ステップ１０８が繰り返される。
即ち、露光ヘッド２１はシート３の変形にリアルタイムで追従して移動するため、連続してパターン形状を形成する場合であっても精度良くパターン形状を形成することができる。
なお、パターン形状の精度は、カメラ２５によるブラックマトリクスの撮像の間隔を短くすればするほど高精度になる。
【００４６】
このように、第１の実施形態によれば、カラーフィルタ製造装置１は露光装置１１を有し、露光装置１１の露光ヘッド２１は、カメラ２５が撮像したブラックマトリクスの画像をもとに制御装置２３が検出した基準位置に基づいて、シート３の変形にリアルタイムで追従して移動する。
【００４７】
従って、シート３上に連続してパターン形状を形成する場合であっても、精度よくパターン形状を形成することができる。
【００４８】
次に、第２の実施形態について説明する。
図７は第２の実施形態に係るカラーフィルタ製造装置１ａでパターン形状が形成されるシート３ａを示す斜視図であって、図８はカラーフィルタ製造装置１ａの露光装置１１ａを示す斜視図である。
【００４９】
なお、第１の実施形態に係るカラーフィルタ製造装置１および露光装置１１と同様の機能を果たす要素には同一の番号を付し、説明を省略する。
また、カラーフィルタ製造装置１ａの構成は第１の実施形態に係るカラーフィルタ製造装置１と同様であるため、説明を省略する。
【００５０】
第２の実施形態は、第１の実施形態において、露光ヘッド２１ａの光源２７ａが、断続的に露光可能なフラッシュ光源であり、露光のタイミングを制御装置２３が制御する。
【００５１】
図７に示すように、シート３ａはブラックマトリクス１８ａ、１８ｂ、１８ｃを有しているが、ブラックマトリクス１８ａ、１８ｂ、１８ｃは複数の横線１８および縦線４１を有する格子状となっている。
【００５２】
図８に示すように、露光装置１１ａの構造は露光装置１１と同様であるが、光源２７ａは断続的に露光が可能なフラッシュ光源である。
また、詳細は後述するが、光源２７ａの露光のタイミングは制御装置２３によって制御される。
【００５３】
露光の際には、横線１８と縦線４１に囲まれた矩形の領域に、フォトマスク２９ａのパターン開口部３１ａの形状が露光部４３として形成される。
【００５４】
次に、露光装置１１ａの動作について説明する。
図９は露光時の露光装置１１ａの動作を示すフローチャートである。
【００５５】
まず、カメラ２５は上方を通過するブラックマトリクスを撮像して（ステップ２０１）撮像したブラックマトリクスの画像を制御装置２３に送信する（ステップ２０２）。
制御装置２３はブラックマトリクスの画像を受信する（ステップ２０３）。
【００５６】
制御装置２３は、ブラックマトリクスの画像から基準位置を検出する（ステップ２０４）。
ここで基準位置とは、例えば図７の横線１８と縦線４１の交点の１つの位置である。
【００５７】
制御装置２３は、基準位置をもとにして露光ヘッド２１ａの位置座標を決定する（ステップ２０５）。
【００５８】
制御装置２３は、露光ヘッド２１ａの図示しないアクチュエータに露光ヘッド２１ａの位置座標を送信し、その位置への露光ヘッド２１ａの移動を指示する（ステップ２０６）。
【００５９】
露光ヘッド２１ａの図示しないアクチュエータは、露光ヘッド２１ａの位置座標を受信し（ステップ２０７）、その位置座標が示す位置に露光ヘッド２１ａを移動する（ステップ２０８）。
【００６０】
制御装置２３は、基準位置をもとにして、露光の指示（光源２７ａを点灯させる指示）を露光ヘッド２１ａに送信する（ステップ２０９）。
具体的には、制御装置２３は基準位置をもとに、ブラックマトリクス上の横線１８と縦線４１に囲まれた矩形の領域の位置を検出し、この領域が露光ヘッド２１ａの直下に来たときに露光の指示を行う。
露光ヘッド２１ａは露光の指示を受信すると、光源２７ａを点灯させ、露光を行う（ステップ２１０）。
【００６１】
以後は、シート３ａの移動に応じてリアルタイムでステップ２０１〜ステップ２１０が繰り返される。
即ち、露光ヘッド２１ａはシート３ａの変形にリアルタイムで追従して移動するため、露光の度にシート３ａを停止する必要がなく、連続してパターン形状を形成する場合であっても精度良くパターン形状を形成することができる。
【００６２】
このように、第２の実施形態によれば、カラーフィルタ製造装置１ａは露光装置１１ａを有し、露光装置１１ａの露光ヘッド２１ａは、カメラ２５が撮像したブラックマトリクスの画像をもとに制御装置２３が検出した基準位置に基づいて、シート３ａの変形にリアルタイムで追従する。
【００６３】
従って、第１の実施形態と同様の効果を奏する。
【００６４】
また、第２の実施形態によれば、露光ヘッド２１ａの光源２７ａはフラッシュ光源であり、露光のタイミングは、制御装置２３が基準位置をもとにして露光ヘッド２１ａに指示する。
【００６５】
従って、ブラックマトリクス１８ａ、１８ｂ、１８ｃが格子状であってもパターン形状を形成できる。
【００６６】
次に、第３の実施形態について説明する。
図１０は第３の実施形態に係るカラーフィルタ製造装置１ｂでパターン形状が形成されるシート３ｂを示す斜視図であって、図１１はカラーフィルタ製造装置１ｂの露光装置１１ｂを示す斜視図である。
【００６７】
なお、第２の実施形態に係るカラーフィルタ製造装置１ａおよび露光装置１１ａと同様の機能を果たす要素には同一の番号を付し、説明を省略する。
また、カラーフィルタ製造装置１ｂの構成は第２の実施形態に係るカラーフィルタ製造装置１ａと同様であるため、説明を省略する。
【００６８】
第３の実施形態は、第２の実施形態において、シート３ｂ上にアライメントマークをさらに設け、アライメントマークの画像から検出されたアライメントマークの位置に基づく露光ヘッドの移動と、ブラックマトリクスの画像から検出された基準位置に基づく露光ヘッドの移動を組み合わせたものである。
【００６９】
図１０に示すように、シート３ｂは格子状のブラックマトリクス１７ｄ、１７ｅ、１７ｆ、１７ｇ、１７ｈ、１７ｉを有している。
【００７０】
また、ブラックマトリクス１７ｄとブラックマトリクス１７ｅの間にはアライメントマーク４７ｃが設けられており、ブラックマトリクス１７ｅとブラックマトリクス１７ｆの間にはアライメントマーク４７ａが設けられている。
【００７１】
同様に、ブラックマトリクス１７ｇとブラックマトリクス１７ｈの間にはアライメントマーク４７ｄが設けられており、ブラックマトリクス１７ｈとブラックマトリクス１７ｉの間にはアライメントマーク４７ｂが設けられている。
【００７２】
アライメントマーク４７ａ、４７ｂ、４７ｃ、４７ｄは十字型のマークであり、詳細は後述するが、アライメントマークの位置の検出に用いられる。
【００７３】
図１１に示すように、露光装置１１ｂは、露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃを有しており、露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃは制御装置２３に接続されている。
露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃはシート３ｂと平行な平面内を図１１のＣ１、Ｃ２方向に移動可能である。
【００７４】
露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃの構造は第２の実施形態に係る露光ヘッド２１ａと同様であり、各々がシート３ｂの特定の領域の露光を担当している。
従って、露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃは３つでシート３ｂの全体を露光することができる。
【００７５】
また、露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃよりもＡ方向の上流側には、第２の撮像手段としてのカメラ５１ａ、５１ｂが設けられている。カメラ５１ａ、５１ｂの構造はカメラ２５と同様である。
カメラ５１ａ、５１ｂはアライメントマークを撮像するカメラである。
【００７６】
次に、露光装置１１ｂの動作について説明する。
図１２は露光時の露光装置１１ｂの動作を示すフローチャートであって、図１３は図１２のステップ３０１の詳細なフローチャートである。
【００７７】
最初に、露光装置１１ｂの動作の概略について図１２を用いて説明する。
まず、カメラ５１ａ、５１ｂは下方を通過するアライメントマークを撮像し、制御装置２３は、アライメントマークの画像からアライメントマークの位置を検出する。
制御装置２３は、アライメントマークの位置をもとにして、露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃの図示しないアクチュエータに露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃの位置座標を送信する。
露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃの図示しないアクチュエータは位置座標の示す位置に露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃを移動する（ステップ３０１）。
【００７８】
次に、カメラ２５は上方を通過するブラックマトリクスを撮像し、制御装置２３は、ブラックマトリクスの画像から基準位置を検出する。
制御装置２３は、基準位置をもとにして、露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃの図示しないアクチュエータに露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃの位置座標を送信する。
露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃの図示しないアクチュエータは位置座標の示す位置に露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃを移動する
そして、制御装置２３は、基準位置を基準にして、露光の指示を露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃに送信し、露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃは露光を行う（ステップ３０２）。
【００７９】
このように、アライメントマークの画像から検出したアライメントマークの位置を基にした露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃの移動と、ブラックマトリクスの画像から検出した基準位置を基にした露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃの移動を組み合わせることにより、露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃの位置の補正を２度行うことになるため、さらに精度よくパターン形状を形成することができる。
【００８０】
次に、ステップ３０１の詳細について図１３を用いて説明する。
まず、カメラ５１ａ、５１ｂは下方にあるアライメントマーク（図１１ではアライメントマーク４７ａ、４７ｂ）を撮像して（ステップ４０１）、撮像したアライメントマークの画像を制御装置２３に送信する（ステップ４０２）。
制御装置２３はアライメントマークの画像を受信する（ステップ４０３）。
【００８１】
制御装置２３は、アライメントマークの画像からアライメントマークの位置を検出する（ステップ４０４）。
ここでアライメントマークの位置とは、例えばアライメントマークの十字の交差点の位置座標である。
【００８２】
制御装置２３は、アライメントマークの位置をもとにして露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃの位置座標を決定する（ステップ４０５）。
例えば、シート３ｂが熱や応力で変形し、前回検出したアライメントマークの位置と、今回検出したアライメントマークの位置がずれている場合は、ずれの分だけ前回の露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃの位置座標から移動した位置座標を、露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃの位置座標とする。
【００８３】
制御装置２３は、露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃの図示しないアクチュエータに露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃの位置座標を送信し、その位置への露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃの移動を指示する（ステップ４０６）
【００８４】
露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃの図示しないアクチュエータは露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃの位置座標を受信し（ステップ４０７）、位置座標の示す位置に露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃを移動する（ステップ４０８）。
【００８５】
なお、ステップ３０２は、第２の実施形態におけるステップ２０１〜２１０と同様である。
【００８６】
このように、第３の実施形態によれば、カラーフィルタ製造装置１ｂは露光装置１１ｂを有し、露光装置１１ｂの露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃは、カメラ２５が撮像したブラックマトリクスをもとに制御装置２３が検出した基準位置に基づいて、シート３ｂの変形にリアルタイムで追従して移動する。
【００８７】
従って、第２の実施形態と同様の効果を奏する。
【００８８】
また、第３の実施形態によれば、露光装置１１ｂがカメラ５１ａ、５１ｂをさらに有し、露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃは、カメラ５１ａ、５１ｂが撮像したアライメントマークをもとに制御装置２３が検出したアライメントマークの位置位置に基づいて、シート３ｂの変形にリアルタイムで追従して移動する。
【００８９】
従って、露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃの露光位置の補正を２度行うことになるため、第２の実施形態よりも、さらに精度よくパターン形状を形成することができる。
【００９０】
次に、第４の実施形態について説明する。
図１４は第４の実施形態に係るカラーフィルタ製造装置１ｃでパターン形状が形成されるシート３ｃを示す斜視図であって、図１５はカラーフィルタ製造装置１ｃの露光装置１１ｃを示す斜視図である。
【００９１】
また、図１６は露光ヘッド６７ａのフォトマスク７５の形状を示す図であって、図１７は露光ヘッド６９のフォトマスク７７の形状を示す図、図１８は露光ヘッド７１のフォトマスク８１の形状を示す図である。
【００９２】
さらに、図１９は露光ヘッド６７ａ、６７ｂ、６７ｃ、６９、７１によりシート３ｃ上に形成されるパターン形状９１ａを示す図である。
なお、カラーフィルタ製造装置１ｃの構成は第１の実施形態に係るカラーフィルタ製造装置１と同様であるため、説明を省略する。
【００９３】
第４の実施形態におけるカラーフィルタ製造装置１ｃは、これまでの実施形態と異なり、アライメントマークのみが形成されたシート３ｃ上に、ブラックマトリクスのパターン形状を形成するための装置である。
【００９４】
図１４に示すように、シート３ｃ上にはブラックマトリクスは形成されておらず、アライメントマーク４７ａ、４７ｂ、４７ｃ、４７ｄのみが形成されている。
【００９５】
図１５に示すように、露光装置１１ｃは、第３の撮像手段としてのカメラ６１ａ、６１ｂを有し、カメラ６１ａ、６１ｂのＡ方向の下流側には第３の撮像手段としてのカメラ６３ａ、６３ｂが設けられている。
さらに、カメラ６３ａ、６３ｂのＡ方向の下流側には第３の撮像手段としてのカメラ６５ａ、６５ｂが設けられている。
【００９６】
カメラ６１ａ、６１ｂとカメラ６３ａ、６３ｂの間には露光手段としての露光ヘッド６７ａ、６７ｂ、６７ｃが設けられており、カメラ６３ａ、６３ｂとカメラ６５ａ、６５ｂの間には露光手段としての露光ヘッド６９が設けられている。
さらに、カメラ６５ａ、６５ｂのＡ方向の下流側には露光手段としての露光ヘッド７１が設けられている。
【００９７】
カメラ６１ａ、６１ｂ、６３ａ、６３ｂ、６５ａ、６５ｂはアライメントマークを撮像するカメラであり、構造は第２の実施形態にかかるカメラ５１ａ、５１ｂと同様である。
なお、カメラ６１ａ、６１ｂ、６３ａ、６３ｂ、６５ａ、６５ｂは制御装置２３に接続されている。
【００９８】
露光ヘッド６７ａ、６７ｂ、６７ｃはブラックマトリクスの格子形状を露光する露光ヘッドであり、構造は第３の実施形態にかかる露光ヘッド５３ａと同様である。
露光ヘッド６７ａのフォトマスク７５のパターン開口部７３は、図１６に示す形状となっている。露光ヘッド６７ｂ、６７ｃも同様である。
【００９９】
露光ヘッド６９はブラックマトリクスの横枠の形状を露光する露光ヘッドであり、構造は第３の実施形態にかかる露光ヘッド５３ａと同様である。
露光ヘッド６９のフォトマスク７７のパターン開口部７９ａ、７９ｂ、７９ｃ、７９ｄは、図１７に示す形状となっている。
【０１００】
露光ヘッド７１はブラックマトリクスの縦枠の形状を露光する露光ヘッドであり、構造は第３の実施形態にかかる露光ヘッド５３ａと同様である。
露光ヘッド７１のフォトマスク８１のパターン開口部８３ａ、８３ｂは、図１８に示す形状となっている。
【０１０１】
即ち、これらの露光ヘッドのパターン開口部の形状を組み合わせると図１９に示すパターン形状９１ａのようなブラックマトリクスの形状となる。
従って、図１５のＡ方向に搬送されるシート３ｃは、これらの露光ヘッドによる露光により、図１８に示すパターン形状９１ａを転写され、表面にブラックマトリクスが形成される。
【０１０２】
なお、露光ヘッド６７ａ、６７ｂ、６７ｃ、６９、７１には、第２の移動手段としてのアクチュエータが設けられており、シート３ｃと平行な面内を図１５のＣ１、Ｃ２方向に移動可能である。
また、露光ヘッド６７ａ、６７ｂ、６７ｃ、６９、７１は制御手段としての制御装置２３に接続されている。
制御装置２３は第２の実施形態の制御装置２３と同様のコンピュータであり、露光ヘッド６７ａ、６７ｂ、６７ｃ、６９、７１の移動および露光を制御する。
【０１０３】
次に、露光装置１１ｃの動作について説明する。
図２０は露光時の露光装置１１ｃの動作を示すフローチャートであって、図２１は図２０のステップ５０１の詳細なフローチャートである。
【０１０４】
最初に、動作の概略について図２０を用いて説明する。
まず、カメラ６１ａ、６１ｂは下方を通過するアライメントマークを撮像し、制御装置２３は、アライメントマークの画像からアライメントマークの位置を検出する。
制御装置２３は、アライメントマークの位置をもとにして、露光ヘッド６７ａ、６７ｂ、６７ｃの図示しないアクチュエータに露光ヘッド６７ａ、６７ｂ、６７ｃの位置座標を送信する。
露光ヘッド６７ａ、６７ｂ、６７ｃの図示しないアクチュエータは位置座標の示す位置に露光ヘッド６７ａ、６７ｂ、６７ｃを移動する。
そして、制御装置２３は、アライメントマークの位置を基準にして、露光の指示を露光ヘッド６７ａ、６７ｂ、６７ｃに送信し、露光ヘッド６７ａ、６７ｂ、６７ｃは露光を行う（ステップ５０１）。
【０１０５】
次に、カメラ６３ａ、６３ｂは下方を通過するアライメントマークを撮像し、制御装置２３は、アライメントマークの画像からアライメントマークの位置を検出する。
制御装置２３は、アライメントマークの位置をもとにして、露光ヘッド６９の図示しないアクチュエータに露光ヘッド６９の位置座標を送信する。
露光ヘッド６９の図示しないアクチュエータは位置座標の示す位置に露光ヘッド６９を移動する。
そして、制御装置２３は、アライメントマークの位置を基準にして、露光の指示を露光ヘッド６９に送信し、露光ヘッド６９は露光を行う（ステップ５０２）。
【０１０６】
次に、カメラ６５ａ、６５ｂは下方を通過するアライメントマークを撮像し、制御装置２３は、アライメントマークの画像からアライメントマークの位置を検出する。
制御装置２３は、アライメントマークの位置をもとにして、露光ヘッド７１の図示しないアクチュエータに露光ヘッド７１の位置座標を送信する。
露光ヘッド７１の図示しないアクチュエータは位置座標の示す位置に露光ヘッド７１を移動する。
そして、制御装置２３は、アライメントマークの位置を基準にして、露光の指示を露光ヘッド７１に送信し、露光ヘッド７１は露光を行う（ステップ５０３）。
【０１０７】
次に、ステップ５０１の詳細について図２１を用いて説明する。
まず、カメラ６１ａ、６１ｂは下方を通過するアライメントマークを撮像して（ステップ６０１）、撮像したアライメントマークの画像を制御装置２３に送信する（ステップ６０２）。
制御装置２３はアライメントマークの画像を受信する（ステップ６０３）。
【０１０８】
制御装置２３は、アライメントマークの画像からアライメントマークの位置を検出する（ステップ６０４）。
制御装置２３は、アライメントマークの位置をもとにして露光ヘッド６７ａ、６７ｂ、６７ｃの位置座標を決定する（ステップ６０５）。
【０１０９】
制御装置２３は、露光ヘッド６７ａ、６７ｂ、６７ｃの図示しないアクチュエータに露光ヘッド６７ａ、６７ｂ、６７ｃの位置座標を送信し、その位置への露光ヘッド６７ａ、６７ｂ、６７ｃの移動を指示する（ステップ６０６）。
【０１１０】
露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃの図示しないアクチュエータは露光ヘッド６７ａ、６７ｂ、６７ｃの位置座標を受信し（ステップ６０７）、位置座標の示す位置に露光ヘッド６７ａ、６７ｂ、６７ｃを移動する（ステップ６０８）。
【０１１１】
制御装置２３は、アライメントマークの位置を基準にして、露光の指示を露光ヘッド７１に送信し（ステップ６０９）、露光ヘッド６７ａ、６７ｂ、６７ｃは露光を行う（ステップ６１０）
【０１１２】
なお、ステップ５０２およびステップ５０３は、ステップ５０１と同様であるため、説明を省略する。
【０１１３】
このように、アライメントマークの画像から検出したアライメントマークの位置を基にして露光ヘッド６７ａ、６７ｂ、６７ｃ、６９、７１を移動させることにより、精度よくパターン形状を形成することができる。
【０１１４】
このように、第４の実施形態によれば、カラーフィルタ製造装置１ｃは露光装置１１ｃを有し、露光装置１１ｃの露光ヘッド６７ａ、６７ｂ、６７ｃ、６９、７１は、カメラ６１ａ、６１ｂ、６３ａ、６３ｂ、６５ａ、６５ｂが撮像したアライメントマークをもとに制御装置２３が検出したアライメントマークの位置に基づいて、シート３ｃの変形にリアルタイムで追従する。
【０１１５】
従って、連続してブラックマトリクスのパターン形状を形成する場合であっても、精度よくパターン形状を形成することができる。
【０１１６】
次に、第５の実施形態について説明する。
図２２は第５の実施形態に係るカラーフィルタ製造装置１ｄの露光装置１１ｄを示す斜視図である。
【０１１７】
なお、第３の実施形態に係るカラーフィルタ製造装置１ｂおよび露光装置１１ｂと同様の機能を果たす要素には同一の番号を付し、説明を省略する。
また、カラーフィルタ製造装置１ｄの構成は第１の実施形態に係るカラーフィルタ製造装置１と同様であるため、説明を省略する。
【０１１８】
第５の実施形態におけるカラーフィルタ製造装置１ｄは、第３の実施形態において、カメラ９７ａ、９７ｂを移動可能とし、さらにカメラ９５ａ、９５ｂを設けたものである。
【０１１９】
図２２に示すように、露光装置１１ｄは第２の撮像手段としてのカメラ９７ａ、９７ｂを有し、カメラ９７ａ、９７ｂの上流側には第４の撮像手段としてのカメラ９５ａ、９５ｂが設けられている。
【０１２０】
カメラ９７ａ、９７ｂには第３の移動手段としての図示しないアクチュエータが設けられている。
従って、カメラ９７ａ、９７ｂは、シート３ｂの表面と平行な面内を、図示しないアクチュエータによって、図２２のＣ１方向およびＣ２方向に移動可能である。
【０１２１】
カメラ９７ａ、９７ｂ、９５ａ、９５ｂの構造は第３の実施形態に係るカメラ５１ａ、５１ｂの構造と同様であるが、カメラ９７ａ、９７ｂはカメラ９５ａ、９５ｂよりも高倍率、狭視野のカメラである。
逆にいえば、カメラ９５ａ、９５ｂはカメラ９７ａ、９７ｂよりも低倍率、広視野のカメラである。
【０１２２】
カメラ９５ａ、９５ｂの倍率および視野は、例えば倍率はＣＣＤ画素が１０〜２０μｍ、視野は２５〜１００ｍｍ２である。
また、カメラ９７ａ、９７ｂの倍率および視野は、例えば倍率はＣＣＤ画素が１〜２μｍ、視野は０．２５〜１ｍｍ２である。
【０１２３】
次に、露光装置１１ｄの動作について説明する。
図２３は露光時の露光装置１１ｄの動作を示すフローチャートであって、図２４は図２３のステップ７０１の詳細なフローチャートである。
【０１２４】
最初に、動作の概略について図２３を用いて説明する。
まず、カメラ９５ａ、９５ｂは下方を通過するアライメントマークを撮像し、制御装置２３は、アライメントマークの画像からアライメントマークの位置を検出する。
制御装置２３は、アライメントマークの位置をもとにして、カメラ９７ａ、９７ｂの図示しないアクチュエータにアライメントマークの位置座標を送信する。
カメラ９７ａ、９７ｂの図示しないアクチュエータは位置座標の示す位置にカメラ９７ａ、９７ｂを移動する（ステップ７０１）。
【０１２５】
次に、カメラ９７ａ、９７ｂは下方を通過するアライメントマークを撮像し、制御装置２３は、アライメントマークの画像からアライメントマークの位置を検出する。
制御装置２３は、アライメントマークの位置をもとにして、露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃの図示しないアクチュエータに露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃの位置座標を送信する。
露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃの図示しないアクチュエータは位置座標の示す位置に露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃを移動する。
そして、制御装置２３は、アライメントマークの位置を基準にして、露光の指示を露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃに送信し、露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃは露光を行う（ステップ７０２）。
【０１２６】
次に、カメラ２５は上方を通過するブラックマトリクスを撮像し、制御装置２３は、ブラックマトリクスの画像から基準位置を検出する。
制御装置２３は、基準位置をもとにして、露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃの図示しないアクチュエータに露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃの位置座標を送信する。
露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃの図示しないアクチュエータは位置座標の示す位置に露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃを移動する。
そして、制御装置２３は、基準位置を基準にして、露光の指示を露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃに送信し、露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃは露光を行う（ステップ７０３）。
【０１２７】
このように、第５の実施形態では、低倍率、広視野のカメラ９５ａ、９５ｂがアライメントマークを撮像し、検出したアライメントマークの位置座標にカメラ９７ａ、９７を移動する。
従って、アライメントマークがカメラ９７ａ、９７ｂの視野から外れることを防ぐことができる。
また、第３の実施形態と比べて、カメラ９７ａ、９７ｂの倍率を高くできるので、アライメントマークの位置座標の検出精度を上げることができる。
【０１２８】
次に、ステップ７０１の詳細について図２４を用いて説明する。
まず、カメラ９５ａ、９５ｂは下方を通過するアライメントマークを撮像して（ステップ８０１）、撮像したアライメントマークの画像を制御装置２３に送信する（ステップ８０２）。
【０１２９】
制御装置２３はアライメントマークの画像を受信する（ステップ８０３）。
制御装置２３は、アライメントマークの画像からアライメントマークの位置を検出する（ステップ８０４）。
【０１３０】
制御装置２３は、カメラ９７ａ、９７ｂの図示しないアクチュエータにアライメントマークの位置座標を送信し、その位置へのカメラ９７ａ、９７ｂの移動を指示する（ステップ８０５）。
【０１３１】
カメラ９７ａ、９７ｂの図示しないアクチュエータはアライメントマークの位置座標を受信し（ステップ８０６）、位置座標の示す位置にカメラ９７ａ、９７ｂを移動する（ステップ８０７）。
【０１３２】
なお、ステップ７０２およびステップ７０３は、第３の実施形態のステップ３０１およびステップ３０２と同様であるため、説明を省略する。
【０１３３】
このように、第５の実施形態によれば、カラーフィルタ製造装置１ｄは露光装置１１ｄを有し、露光装置１１ｄがカメラ９７ａ、９７ｂを有し、露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃは、カメラ９７ａ、９７ｂが撮像したアライメントマークをもとに制御装置２３が検出したアライメントマークの位置に基づいて、シート３ｂの変形にリアルタイムで追従して移動する。
また、露光装置１１ｄの露光ヘッド５３ａ、５３ｂ、５３ｃは、カメラ２５が撮像したブラックマトリクスをもとに制御装置２３が検出した基準位置に基づいて、シートの変形にリアルタイムで追従して移動する。
【０１３４】
従って、第３の実施形態と同様の効果を奏する。
【０１３５】
また、第５の実施形態によれば、露光装置１１ｄがカメラ９５ａ、９５ｂをさらに有し、カメラ９７ａ、９７ｂは、カメラ９５ａ、９５ｂが撮像したアライメントマークをもとに制御装置２３が検出したアライメントマークの位置に基づいて、シートの変形にリアルタイムで追従して移動する。
【０１３６】
従って、アライメントマークがカメラ９７ａ、９７ｂの視野から外れることを防ぐことができる。
また、第３の実施形態と比べて、カメラ９７ａ、９７ｂの倍率を高くできるので、アライメントマークの位置座標の検出精度を上げることができる。
【０１３７】
以上、添付図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明したが、本発明の技術的範囲は、前述した実施の形態に左右されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【０１３８】
例えば、第１の実施形態では露光ヘッド２１をシートの上方に設け、カメラ２５をシートの下方に設けているが、露光ヘッド２１をシートの下方に設けてもよいし、カメラ２５をシートの上方に設けてもよい。
【０１３９】
また、第２の実施形態、第３の実施形態および第５の実施形態では、ブラックマトリクスの形状は格子形状となっているが、図２５に示すブラックマトリクス形状９８ａのような「く」の字形状でもよく、あるいは図２６に示すブラックマトリクス形状９８ｂのようなデルタ形状であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１４０】
【図１】カラーフィルタ製造装置１を示す概略図
【図２】図１のシート３の斜視図
【図３】図２の露光装置１１を示す斜視図
【図４】図３の側面図
【図５】露光時の露光装置１１の動作を示すフローチャート
【図６】露光時のシート３を示す図
【図７】シート３ａを示す斜視図
【図８】露光装置１１ａを示す斜視図
【図９】露光時の露光装置１１ａの動作を示すフローチャート
【図１０】シート３ｂを示す斜視図
【図１１】露光装置１１ｂを示す斜視図
【図１２】露光装置１１ｂの動作を示すフローチャート
【図１３】図１２のステップ３０１の詳細なフローチャート
【図１４】シート３ｃを示す斜視図
【図１５】露光装置１１ｃを示す斜視図
【図１６】露光ヘッド６７ａのフォトマスク７５の形状を示す図
【図１７】露光ヘッド６９のフォトマスク７７の形状を示す図
【図１８】露光ヘッド７１のフォトマスク８１の形状を示す図
【図１９】露光ヘッド６７ａ、６７ｂ、６７ｃ、６９、７１によりシート３ｃ上に形成されるパターン形状９１ａを示す図
【図２０】露光時の露光装置１１ｃの動作を示すフローチャート
【図２１】図２０のステップ５０１の詳細なフローチャート
【図２２】露光装置１１ｄを示す斜視図
【図２３】露光装置１１ｄの動作を示すフローチャート
【図２４】図２３のステップ７０１の詳細なフローチャート
【図２５】ブラックマトリクスの形状を示す図
【図２６】ブラックマトリクスの形状を示す図
【符号の説明】
【０１４１】
１…………カラーフィルタ製造装置
３…………シート
５ａ………ローラ
７…………塗布装置
９…………乾燥装置
１１………露光装置
１７ａ……ブラックマトリクス
２１………露光ヘッド
２３………制御装置
２５………カメラ
２７………光源
２９………フォトマスク
３１………パターン開口部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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