(57)【要約】【課題】ワークを正搬送方向および逆搬送方向のいずれの方向にも搬送可能で、検査や多層配線形成が容易な描画装置、および当該描画装置を用いた描画方法を提供すること。【解決手段】描画装置１には、巻出しリール８４から巻取りリール８５に至る搬送経路にテープ８０が掛け渡されている。描画装置１は、テープ８０を載置するステージ５０と、逆搬送方向のトルクが印加されたスプロケット７１と、正搬送方向のトルクが印加されたスプロケット７６と、正搬送方向および逆搬送方向のいずれにも回転可能なスプロケット７２と、ステージ５０に載置されたテープ８０に機能液を吐出する液滴吐出ヘッド９０とを備えている。【選択図】図１
2008018348.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状のワークにパターンを描画する描画装置であって、
前記ワークを載置するステージと、
前記ワークを搬送するための搬送ローラであって、
前記ワークの搬送経路において前記ステージの上流側に配置され、逆搬送方向のトルクが印加された第１の搬送ローラと、
前記ステージの下流側に配置され、正搬送方向および逆搬送方向のいずれにも回転可能な第２の搬送ローラと、
前記ステージに載置された前記ワークに、機能液を吐出する液滴吐出ヘッドと、
を備えることを特徴とする描画装置。
【請求項２】
請求項１に記載の描画装置であって、
前記ワークの搬送経路において前記第２の搬送ローラの下流側に配置され、正搬送方向のトルクが印加された第３の搬送ローラを備えることを特徴とする描画装置。
【請求項３】
帯状のワークにパターンを描画する描画装置であって、
前記ワークを載置するステージと、
前記ワークを搬送するための搬送ローラであって、
前記ワークの搬送経路において前記ステージの上流側に配置され、逆搬送方向のトルクが印加された第１の搬送ローラと、
前記ステージの下流側に配置され、正搬送方向および逆搬送方向のいずれにも回転可能な第２の搬送ローラと、
前記ステージに載置された前記ワークに、機能液を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記搬送経路において前記ステージの下流側に設けられた検査装置と、
前記第２の搬送ローラおよび前記液滴吐出ヘッドの動作を制御する制御部であって、
前記液滴吐出ヘッドが、前記ワーク上の検査用領域に前記機能液を吐出するステップと、
前記第２の搬送ローラを正搬送方向に回転させて、前記ワークを正搬送方向に搬送することにより、前記検査用領域を検査装置に位置させるステップと、
前記第２の搬送ローラを逆搬送方向に回転させて、前記ワークを逆搬送方向に搬送することにより、前記検査用領域と異なる前記ワーク上の作業領域を前記ステージ上に位置させるステップと、
前記液滴吐出ヘッドが、前記作業領域に前記機能液を吐出するステップと、
を少なくとも実行させる制御部と、
を備えることを特徴とする描画装置。
【請求項４】
帯状のワークにパターンを描画する描画装置であって、
前記ワークを載置するステージと、
前記ワークを搬送するための搬送ローラであって、
前記ワークの搬送経路において前記ステージの上流側に配置され、逆搬送方向のトルクが印加された第１の搬送ローラと、
前記ステージの下流側に配置され、正搬送方向および逆搬送方向のいずれにも回転可能な第２の搬送ローラと、
前記ステージに載置された前記ワークに、第１の機能液または第２の機能液を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記ステージの下流側に配置された乾燥装置と、
前記第２の搬送ローラおよび前記液滴吐出ヘッドの動作を制御する制御部であって、
前記液滴吐出ヘッドが、前記ワーク上の作業領域に前記第１の機能液を吐出するステップと、
前記第２の搬送ローラを正搬送方向に回転させて、前記ワークを正搬送方向に搬送することにより、前記作業領域を前記乾燥装置に位置させるステップと、
前記ワーク上に吐出された前記第１の機能液を前記乾燥装置によって乾燥させて、前記作業領域にパターンを形成するステップと、
前記第２の搬送ローラを逆搬送方向に回転させて、前記ワークを逆搬送方向に搬送することにより、前記作業領域を前記ステージ上に位置させるステップと、
前記液滴吐出ヘッドが、前記作業領域に前記第２の機能液を吐出するステップと、
を少なくとも実行させる制御部と、
を備えることを特徴とする描画装置。
【請求項５】
請求項４に記載の描画装置であって、
前記第１の機能液または前記第２の機能液のうちの一方は導電材料を含み、他方は絶縁材料を含むことを特徴とする描画装置。
【請求項６】
帯状のワークを載置するステージと、
前記ワークを搬送するための搬送ローラであって、
前記ワークの搬送経路において前記ステージの上流側に配置され、逆搬送方向のトルクが印加された第１の搬送ローラと、
前記ステージの下流側に配置され、正搬送方向および逆搬送方向のいずれにも回転可能な第２の搬送ローラと、
前記ステージに載置された前記ワークに、機能液を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記搬送経路において前記ステージの下流側に設けられた検査装置と、
を備えた描画装置を用いて前記ワークにパターンを描画する描画方法であって、
前記液滴吐出ヘッドが、前記ワーク上の検査用領域に前記機能液を吐出するステップと、
前記第２の搬送ローラを正搬送方向に回転させて、前記ワークを正搬送方向に搬送することにより、前記検査用領域を検査装置に位置させるステップと、
前記第２の搬送ローラを逆搬送方向に回転させて、前記ワークを逆搬送方向に搬送することにより、前記検査用領域と異なる前記ワーク上の作業領域を前記ステージ上に位置させるステップと、
前記液滴吐出ヘッドが、前記作業領域に前記機能液を吐出するステップと、
前記機能液を乾燥させてパターンを形成するステップと、
を有することを特徴とする描画方法。
【請求項７】
帯状のワークを載置するステージと、
前記ワークを搬送するための搬送ローラであって、
前記ワークの搬送経路において前記ステージの上流側に配置され、逆搬送方向のトルクが印加された第１の搬送ローラと、
前記ステージの下流側に配置され、正搬送方向および逆搬送方向のいずれにも回転可能な第２の搬送ローラと、
前記ステージに載置された前記ワークに、第１の機能液または第２の機能液を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記ステージの下流側に配置された乾燥装置と、
を備えた描画装置を用いて前記ワークにパターンを描画する描画方法であって、
前記液滴吐出ヘッドが、前記ワーク上の作業領域に前記第１の機能液を吐出するステップと、
前記第２の搬送ローラを正搬送方向に回転させて、前記ワークを正搬送方向に搬送することにより、前記作業領域を前記乾燥装置に位置させるステップと、
前記ワーク上に吐出された前記第１の機能液を前記乾燥装置によって乾燥させて、前記作業領域にパターンを形成するステップと、
前記第２の搬送ローラを逆搬送方向に回転させて、前記ワークを逆搬送方向に搬送することにより、前記作業領域を前記ステージ上に位置させるステップと、
前記液滴吐出ヘッドが、前記作業領域に前記第２の機能液を吐出するステップと、
を有することを特徴とする描画方法。
【請求項８】
請求項７に記載の描画方法であって、
前記第１の機能液または前記第２の機能液のうちの一方は導電材料を含み、他方は絶縁材料を含むことを特徴とする描画方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、帯状のワークにパターンを描画する描画装置および描画方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば液晶表示装置に用いられるＣＯＦ（Chip On Film）には、各種配線が形成されるが、近年ではこうしたフィルム状の基板に配線を形成する技術として、液滴吐出方式の利用が拡大する傾向にある。液滴吐出方式による塗布技術は、一般に、基板と液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させながら、液滴吐出ヘッドに設けられた複数のノズルから金属材料を含む機能液を液滴として吐出し、その液滴を基板上に繰り返し付着させて塗布膜を描画形成するものであり、機能液の消費に無駄が少なく、任意のパターンをフォトリソグラフィーなどの手段を用いず直接塗布することができるといった利点を有している。
【０００３】
この種の配線形成においては、まず帯状のワーク（例えばフィルムキャリアテープ）をリールトゥリール方式等によって搬送する。そして、ワークの位置を微調整してワークと液滴吐出ヘッドとの相対位置関係を調整するいわゆるアライメントを行った後に、ワーク上に液滴を吐出する。ここで、通常の作業領域への吐出に先立って、検査用領域に液滴を吐出し、当該検査用領域が検査装置内に位置するまでワークを搬送して、液滴の吐出位置や吐出量の検査をするのが一般的である。また、ワークへのパターンの描画を、液滴の種類を変えて繰り返すことで、多層配線を形成することもできる。ワークの搬送方法としては、例えば特許文献１に記載の方法が知られている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−２６７３７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、ワークを一定方向にのみ搬送可能な搬送系を用いると、検査用領域の検査をした後に通常の作業領域を液滴吐出ヘッドの位置まで戻すのに手間がかかるという問題点があった。また、多層配線を形成しようとする場合には、まずワークに一層目を形成した後に、ワークを架け替えて、二層目を形成するために同一の工程を繰り返す必要があった。
【０００６】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、ワークを正搬送方向および逆搬送方向のいずれの方向にも搬送可能で、検査や多層配線形成が容易な描画装置、および当該描画装置を用いた描画方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の描画装置は、帯状のワークにパターンを描画する描画装置であって、前記ワークを載置するステージと、前記ワークを搬送するための搬送ローラであって、前記ワークの搬送経路において前記ステージの上流側に配置され、逆搬送方向のトルクが印加された第１の搬送ローラと、前記ステージの下流側に配置され、正搬送方向および逆搬送方向のいずれにも回転可能な第２の搬送ローラと、前記ステージに載置された前記ワークに、機能液を吐出する液滴吐出ヘッドと、を備えることを特徴とする。
【０００８】
この構成によれば、第２の搬送ローラを正搬送方向に回転させることにより、第１の搬送ローラに抗してワークを正搬送方向に搬送することができる。また、第２の搬送ローラのトルクを第１の搬送ローラのトルクより小さくするか、または逆搬送方向のトルクを印加することにより、ワークを逆搬送方向に搬送することもできる。また、これらの過程において、ワークには常にテンションがかかっているので、第１の搬送ローラと第２の搬送ローラとの間において弛みが生じにくい。上記構成の描画装置は、こうした搬送系を用いてワークを搬送経路上で自由に搬送することができ、ワーク上の任意の位置にパターンを描画することができる。
【０００９】
上記描画装置においては、前記ワークの搬送経路において前記第２の搬送ローラの下流側に配置され、正搬送方向のトルクが印加された第３の搬送ローラを備えることが好ましい。この構成によれば、第３の搬送ローラは、第２の搬送ローラの下流側の搬送経路にあるワークの搬送を補助することができる。ここで、前記第３の搬送ローラに印加されたトルクは、前記第１の搬送ローラに印加されたトルクと大きさが略同一であることが好ましい。こうすれば、第１の搬送ローラと第３の搬送ローラとの間でワークに一定の張力を印加した状態で容易に静止させることができる。また、ワークの搬送のために第２の搬送ローラに印加するトルクをより小さくすることができる。
【００１０】
本発明の描画装置は、帯状のワークにパターンを描画する描画装置であって、前記ワークを載置するステージと、前記ワークを搬送するための搬送ローラであって、前記ワークの搬送経路において前記ステージの上流側に配置され、逆搬送方向のトルクが印加された第１の搬送ローラと、前記ステージの下流側に配置され、正搬送方向および逆搬送方向のいずれにも回転可能な第２の搬送ローラと、前記ステージに載置された前記ワークに、機能液を吐出する液滴吐出ヘッドと、前記搬送経路において前記ステージの下流側に設けられた検査装置と、前記第２の搬送ローラおよび前記液滴吐出ヘッドの動作を制御する制御部であって、前記液滴吐出ヘッドが、前記ワーク上の検査用領域に前記機能液を吐出するステップと、前記第２の搬送ローラを正搬送方向に回転させて、前記ワークを正搬送方向に搬送することにより、前記検査用領域を検査装置に位置させるステップと、前記第２の搬送ローラを逆搬送方向に回転させて、前記ワークを逆搬送方向に搬送することにより、前記検査用領域と異なる前記ワーク上の作業領域を前記ステージ上に位置させるステップと、前記液滴吐出ヘッドが、前記作業領域に前記機能液を吐出するステップと、を少なくとも実行させる制御部と、を備えることを特徴とする。
【００１１】
この構成によれば、第１の搬送ローラおよび第２の搬送ローラによって、ワークを正搬送方向にも逆搬送方向にも搬送することができる。このときワークには常にテンションがかかっているので、第１の搬送ローラと第２の搬送ローラとの間において弛みが生じにくい。また、こうした搬送によって、検査用領域に吐出された機能液の状態を検査装置を用いて検査した後にワークを逆搬送し、検査の結果に応じて上記作業領域にパターンを描画することができる。例えば、上記作業領域は、検査用領域に隣接する通常の作業領域とすることができる。
【００１２】
本発明の描画装置は、帯状のワークにパターンを描画する描画装置であって、前記ワークを載置するステージと、前記ワークを搬送するための搬送ローラであって、前記ワークの搬送経路において前記ステージの上流側に配置され、逆搬送方向のトルクが印加された第１の搬送ローラと、前記ステージの下流側に配置され、正搬送方向および逆搬送方向のいずれにも回転可能な第２の搬送ローラと、前記ステージに載置された前記ワークに、第１の機能液または第２の機能液を吐出する液滴吐出ヘッドと、前記ステージの下流側に配置された乾燥装置と、前記第２の搬送ローラおよび前記液滴吐出ヘッドの動作を制御する制御部であって、前記液滴吐出ヘッドが、前記ワーク上の作業領域に前記第１の機能液を吐出するステップと、前記第２の搬送ローラを正搬送方向に回転させて、前記ワークを正搬送方向に搬送することにより、前記作業領域を前記乾燥装置に位置させるステップと、前記ワーク上に吐出された前記第１の機能液を前記乾燥装置によって乾燥させて、前記作業領域にパターンを形成するステップと、前記第２の搬送ローラを逆搬送方向に回転させて、前記ワークを逆搬送方向に搬送することにより、前記作業領域を前記ステージ上に位置させるステップと、前記液滴吐出ヘッドが、前記作業領域に前記第２の機能液を吐出するステップと、を少なくとも実行させる制御部と、を備えることを特徴とする。
【００１３】
この構成によれば、第１の搬送ローラおよび第２の搬送ローラによって、ワークを正搬送方向にも逆搬送方向にも搬送することができる。このときワークには常にテンションがかかっているので、第１の搬送ローラと第２の搬送ローラとの間において弛みが生じにくい。また、こうした搬送によって、上記作業領域に吐出された第１の機能液を乾燥装置において乾燥させてパターンを形成した後にワークを逆搬送し、当該パターンと同一平面に、あるいは当該パターンに積層して、第２の機能液によるパターンを描画することができる。
【００１４】
上記描画装置においては、前記第１の機能液または前記第２の機能液のうちの一方は導電材料を含み、他方は絶縁材料を含むことが好ましい。この構成によれば、金属材料からなるパターンと絶縁材料からなるパターンを交互に積層させて多層配線を形成することができる。
【００１５】
本発明の描画方法は、帯状のワークを載置するステージと、前記ワークを搬送するための搬送ローラであって、前記ワークの搬送経路において前記ステージの上流側に配置され、逆搬送方向のトルクが印加された第１の搬送ローラと、前記ステージの下流側に配置され、正搬送方向および逆搬送方向のいずれにも回転可能な第２の搬送ローラと、前記ステージに載置された前記ワークに、機能液を吐出する液滴吐出ヘッドと、前記搬送経路において前記ステージの下流側に設けられた検査装置と、を備えた描画装置を用いて前記ワークにパターンを描画する描画方法であって、前記液滴吐出ヘッドが、前記ワーク上の検査用領域に前記機能液を吐出するステップと、前記第２の搬送ローラを正搬送方向に回転させて、前記ワークを正搬送方向に搬送することにより、前記検査用領域を検査装置に位置させるステップと、前記第２の搬送ローラを逆搬送方向に回転させて、前記ワークを逆搬送方向に搬送することにより、前記検査用領域と異なる前記ワーク上の作業領域を前記ステージ上に位置させるステップと、前記液滴吐出ヘッドが、前記作業領域に前記機能液を吐出するステップと、前記機能液を乾燥させてパターンを形成するステップと、を有することを特徴とする。
【００１６】
この方法によれば、第１の搬送ローラおよび第２の搬送ローラによって、ワークを正搬送方向にも逆搬送方向にも搬送することができる。このときワークには常にテンションがかかっているので、第１の搬送ローラと第２の搬送ローラとの間において弛みが生じにくい。また、こうした搬送によって、検査用領域に吐出された機能液の状態を検査装置を用いて検査した後にワークを逆搬送し、検査の結果に応じて上記作業領域にパターンを描画することができる。例えば、上記作業領域は、検査用領域に隣接する通常の作業領域とすることができる。
【００１７】
本発明の描画方法は、帯状のワークを載置するステージと、前記ワークを搬送するための搬送ローラであって、前記ワークの搬送経路において前記ステージの上流側に配置され、逆搬送方向のトルクが印加された第１の搬送ローラと、前記ステージの下流側に配置され、正搬送方向および逆搬送方向のいずれにも回転可能な第２の搬送ローラと、前記ステージに載置された前記ワークに、第１の機能液または第２の機能液を吐出する液滴吐出ヘッドと、前記ステージの下流側に配置された乾燥装置と、を備えた描画装置を用いて前記ワークにパターンを描画する描画方法であって、前記液滴吐出ヘッドが、前記ワーク上の作業領域に前記第１の機能液を吐出するステップと、前記第２の搬送ローラを正搬送方向に回転させて、前記ワークを正搬送方向に搬送することにより、前記作業領域を前記乾燥装置に位置させるステップと、前記ワーク上に吐出された前記第１の機能液を前記乾燥装置によって乾燥させて、前記作業領域にパターンを形成するステップと、前記第２の搬送ローラを逆搬送方向に回転させて、前記ワークを逆搬送方向に搬送することにより、前記作業領域を前記ステージ上に位置させるステップと、前記液滴吐出ヘッドが、前記作業領域に前記第２の機能液を吐出するステップと、を有することを特徴とする。
【００１８】
この方法によれば、第１の搬送ローラおよび第２の搬送ローラによって、ワークを正搬送方向にも逆搬送方向にも搬送することができる。このときワークには常にテンションがかかっているので、第１の搬送ローラと第２の搬送ローラとの間において弛みが生じにくい。また、こうした搬送によって、上記作業領域に吐出された第１の機能液を乾燥装置において乾燥させてパターンを形成した後にワークを逆搬送し、当該パターンと同一平面に、あるいは当該パターンに積層して、第２の機能液によるパターンを描画することができる。
【００１９】
上記描画方法においては、前記第１の機能液または前記第２の機能液のうちの一方は導電材料を含み、他方は絶縁材料を含むことが好ましい。この方法によれば、金属材料からなるパターンと絶縁材料からなるパターンを交互に積層させて多層配線を形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、図面を参照し、本発明の実施形態について説明する。なお、以下に示す各図においては、各構成要素を図面上で認識され得る程度の大きさとするため、各構成要素の寸法や比率を実際のものとは適宜に異ならせてある。
【００２１】
＜第１の実施形態＞
（Ａ．描画装置）
図１は、本発明の実施形態に係る描画装置１の模式側面図である。描画装置１は、基台１１と、基台１１の上に配置された巻出しリール８４、巻取りリール８５、ステージ５０、液滴吐出ヘッド９０、検査装置３、乾燥装置５等を有している。描画装置１は、巻出しリール８４から巻取りリール８５に至る搬送経路に掛け渡されたテープ８０に、液滴吐出ヘッド９０から液滴を吐出して、パターンを描画する装置である。テープ８０は、本発明における帯状のワークに対応する。本稿では、搬送経路上の２点を比較する場合、巻出しリール８４に近い側を上流側、巻取りリール８５に近い側を下流側と呼ぶ。
【００２２】
ここで、テープ８０について説明する。図２は、本発明における帯状のワークの一態様である様々なテープ（ＴＡＢテープ；ワーク）８１〜８３の部分平面図である。上記したテープ８０は、これらのテープ８１〜８３のいずれであってもよく、また帯状のワークであればこれ以外の態様とすることもできる。
【００２３】
テープ８１の幅方向両端部には、テープの搬送や巻取りのためのスプロケット孔８６が連続形成され、テープ８１の幅方向中央部には、半導体装置を実装したり配線を形成したりするための作業領域８８が連続形成されている。この作業領域８８は、例えばデバイス毎に設定されるものである。そして、上記の描画装置１は、この作業領域８８に配線パターンを描画形成するものである。
【００２４】
上述した作業領域８８の大きさに対応して、また幅方向における作業領域８８の配列数に応じて、幅寸法の異なる複数種類のテープ８１，８２，８３が存在する。ここで、幅寸法は、例えば４８ｍｍ、７０ｍｍ、１５０ｍｍ等とすることができる。
【００２５】
各テープ８１〜８３における各作業領域８８には、テープ８１〜８３を位置決めする際に観察されるアライメントマークＡＭが、例えばそれぞれ３個ずつ形成されている。なお、アライメントマークＡＭの形状は、計測方法等によって各種存在するが、ここでは円形のマークとし、矩形の作業領域８８の３つのコーナー部に配置されるものとして図示している。
【００２６】
図１に戻り、描画装置１の構成について詳述する。巻出しリール８４は、テープ８０の搬送に合わせて回転してテープ８０を順次巻出すリールである。一方、巻取りリール８５は、テープ８０の搬送に合わせて回転してテープ８０を巻取るリールである。テープ８０は、巻出しリール８４から巻取りリール８５に至る搬送経路に掛け渡されており、その進行方向（正搬送方向）は図中Ｙ軸の正方向である。言い換えれば、上流から下流へ向かう向きが正搬送方向である。本稿において「正搬送方向」は、Ｙ軸の正方向を指すとともに、テープ８０をＹ軸の正方向に搬送させるようなスプロケット（またはローラ）の回転方向を指す。また、「逆搬送方向」は、Ｙ軸の負方向を指すとともに、テープ８０をＹ軸の負方向に搬送させるようなスプロケット（またはローラ）の回転方向を指す。
【００２７】
上記搬送経路には、巻出しリール８４に近い方から、補助ローラ７５、クランプ７７、スプロケット７１および対向ローラ７３、ステージ５０および液滴吐出ヘッド９０、スプロケット７２および対向ローラ７４、クランプ７８、検査装置３、乾燥装置５、スプロケット７６が配置されている。これらの構成要素は、直接または間接的に基台１１に取り付けられている。
【００２８】
スプロケット７１，７２，７６は、その歯をテープ８０のスプロケット孔８６にかけた状態で回転することにより、テープ８０を搬送することができる（図４参照）。あるいは、テープ８０が固定されている場合には、歯をテープ８０のスプロケット孔８６にかけた状態でトルクをかけることにより、テープ８０に張力を印加することができる。スプロケット７１，７２，７６は、図示しないサーボモータによって駆動される。スプロケット７１，７２，７６は、それぞれ本発明における第１の搬送ローラ、第２の搬送ローラ、第３の搬送ローラに対応する。スプロケット７１，７２にそれぞれ対向する位置には、対向ローラ７３，７４が配置されている。対向ローラ７３，７４は、スプロケット７１，７２との間でテープ８０を挟むことで、テープ８０がスプロケット７１，７２から外れるのを防ぐ役割を果たす。
【００２９】
上記複数のスプロケットのうち、スプロケット７６には、常に正搬送方向の一定の大きさのトルクがかかっており、スプロケット７１には、これと略同じ大きさの逆搬送方向のトルクが常にかかっている。こうした機構は、スプロケット７６，７１に接続されたサーボモータの駆動力を電磁クラッチ（不図示）によって調整することによって実現される。上記構成により、その他の構成要素の作用を考えない場合、テープ８０はスプロケット７６とスプロケット７１との間に一定のテンション（張力）を有した状態で静止する。この状態でスプロケット７２を正搬送方向に回転させると、テープ８０に、スプロケット７１，７２，７６から印加される力の合力は、正搬送方向に向かう力となる。このため、テープ８０を正搬送方向に搬送することができる。同様に、スプロケット７２を逆搬送方向に回転させれば、テープ８０には、全体として逆搬送方向に向かう力が加わる。このため、テープ８０を逆搬送方向に搬送することができる。
【００３０】
補助ローラ７５は、駆動力が与えられておらず、自由に回転してテープ８０を支持するローラである。また、巻出しリール８４と補助ローラ７５との間、およびスプロケット７６と巻取りリール８５との間に位置するテープ８０は、弛ませてある。これにより、上記したようにテープ８０が搬送されるときに、テープに過剰な張力がかかって変形、損傷するのを防ぐことができる。
【００３１】
クランプ７７，７８は、テープ８０の両端部を保持することができる。ここで、テープ８０の両端部とは、スプロケット孔８６が配置された、幅方向に見た場合における端部であって、作業領域８８を含まない部位である。クランプ７７（７８）は、テープ８０を下から支持する支持部７７ｂ（７８ｂ）と、Ｚ軸方向に可動な押圧部７７ａ（７８ａ）とを有しており、支持部７７ｂ（７８ｂ）と押圧部７７ａ（７８ａ）との間にテープ８０を挟むことによってテープ８０を保持する。クランプ７７，７８は、基台１１に設けられたクランプスライダ１３に取り付けられており、このクランプスライダ１３によってＹ軸方向に移動することができる。
【００３２】
クランプ７８の下流側には、検査装置３および乾燥装置５がこの順に配置されている。検査装置３は、テープ８０に吐出された機能液９（図７（ｂ）等を参照）やテープ８０に描画されたパターンを検査する装置である。検査装置３は、例えば実体顕微鏡などから構成されて、人の目によって検査するものや、ＣＣＤカメラ等から構成されて、テープ８０を撮影して画像処理により検査するもの等とすることができる。
【００３３】
乾燥装置５は、テープ８０に吐出された機能液９に含まれる溶媒を蒸発させて機能液９を乾燥させるための装置である。乾燥装置５は、機能液９の特性に応じて構成が選択され、例えば恒温槽を含んで構成されるものや、ＵＶ照射装置を含んで構成されるもの等とすることができる。
【００３４】
次に、ステージ５０の周辺に配置された構成要素について説明する。図３は、ステージ５０と、その周辺に配置された各種ユニットを示す平面図である。ステージ５０は、吸着機構を備えており、テープ８０を載置するとともに、テープ８０を吸着保持することができる。テープ８０のうちステージ５０に載置された部位に対して、パターンの描画が行われる。ステージ５０の上方には、Ｘ軸方向に延びた一対のフレーム２０が配置されている。フレーム２０には、リニアモータ等の駆動装置によりＸ軸方向に独立して駆動される描画ユニット２２、アライメントユニット２４が架設されている。描画ユニット２２には液滴吐出ヘッド９０が、アライメントユニット２４にはカメラ３２，３３が、それぞれ搭載されている。
【００３５】
図４は、ステージ５０およびアライメントユニット２４の外観斜視図である。ステージ５０は、定盤６０の表面に多孔質板５１を配置（埋設）して構成され、その多孔質板５１の表面に上述したテープ８０を吸着しうるようになっている。テープ８０の吸着位置は、多孔質板５１の幅方向中央部であり、テープ８０の中心線が多孔質板５１の中心線と一致する位置に設定されている。これにより、テープ８０のサイズの変更にともなう描画装置１の段取り換えを最小限にとどめることができるようになっている。
【００３６】
この多孔質板５１は、樹脂材料を焼結成形した樹脂焼結材で構成されている。焼結成形は、原料粉末を金型内に充填して加熱し、原料粉末の表層同士を融着（焼結）させることにより、粉末間の空間を残したまま成形する手法である。その原料粉末として、ポリエチレン（ＰＥ）やポリプロピレン（ＰＰ）、ポリスチレン（ＰＳ）、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリアミド（ＰＡ）、アクリル樹脂（ＰＭＭＡ）、フッ素樹脂（ＰＶＤＦ、ＰＴＦＥ）等の熱可塑性樹脂材料を採用することが可能である。このように多孔質板５１を樹脂材料で構成することにより、多孔質板５１の表面に吸着されるテープ８０の損傷を防止することができる。
【００３７】
多孔質板５１には負圧吸引装置（不図示）が接続されており、多孔質板５１の表面全体にわたってほぼ均一に負圧が供給される。したがって、幅の異なる複数種のテープ８０に対しても、一様に吸着保持可能な構成となっている。
【００３８】
また、ステージ５０は、その下方に配置された可動プレート１８に固定されている。この可動プレート１８は、モータ１６によりθｚ方向（Ｚ軸周りの回転方向）に回動しうるようになっている。そのモータ１６はスライダ１４に固定されている。このスライダ１４は、ベースプレート１２の表面をＹ軸方向に移動しうるようになっている。これによりステージ５０は、ベースプレート１２に対してθｚ方向およびＹ軸方向に移動しうるようになっている。ここで、ベースプレート１２は、基台１１（図１）に固定されている。
【００３９】
また、可動プレート１８には、スプロケット７１，７２、およびこれらに対向配置された対向ローラ７３，７４も取り付けられている。そうすると、ステージ５０、スプロケット７１，７２、対向ローラ７３，７４は、いずれも可動プレート１８に取り付けられているので、可動プレート１８が移動した際には、互いの相対位置関係を保ったまま移動する。このとき、テープ８０がステージ５０に吸着され、スプロケット７１，７２の回転が止まっていれば、テープ８０のうちステージ５０、スプロケット７１，７２に固定された部分は、可動プレート１８とともに移動することとなる。
【００４０】
アライメントユニット２４は、上述したフレーム２０に沿って移動する移動フレーム３１、移動フレーム３１に搭載されたカメラ３２，３３および押さえ機構３４等から構成されている。カメラ３２，３３は、ＣＣＤカメラ等で構成されるものであり、テープ８０に形成されたアライメントマークＡＭ（図２参照）を計測し、制御部９９に出力する。制御部９９は、カメラ３２，３３の計測結果に基づいて、モータ１６、スライダ１４を駆動して可動ステージ１８（ステージ５０）の動作を制御するとともに、押さえ機構３４の動作を制御する。また、制御部９９は、巻出しリール８４、巻取りリール８５、スプロケット７１，７２，７６、クランプ７７，７８、および液滴吐出ヘッド９０（図１）の駆動を制御する。
【００４１】
カメラ３２は、移動フレーム３１に一体的に固定されているが、カメラ３３は、移動フレーム３１に対してＹ軸方向に移動自在に設けられたスライダ３５に搭載されることにより、制御部９９の制御下でカメラ３２に対してＹ軸方向に移動可能となっている。
【００４２】
押さえ機構３４は、Ｙ軸方向に延在する一対の押さえ部材３６を有しており、全体がガイドフレーム４１に沿ってＺ軸方向に移動可能な構成となっている。ここで、ガイドフレームは、移動フレーム３１にＺ軸方向に延びて設けられたものである。また、一対（−Ｘ側、＋Ｘ側）の押さえ部材３６のうち、＋Ｘ側の押さえ部材３６は、ガイドフレーム４１に対してＸ軸方向に移動可能な構成となっている。すなわち、一対の押さえ部材３６は、その幅を適宜変更することができる。
【００４３】
上記したカメラ３３のＹ軸方向の移動、押さえ機構３４全体のＺ軸方向の移動、および＋Ｘ側の押さえ部材３６のＸ軸方向の移動は、制御部９９の制御により駆動する直動モータ等の駆動装置によって行われる。
【００４４】
図３に戻り、描画ユニット２２には、液滴吐出ヘッド９０が搭載されている。液滴吐出ヘッド９０は、主走査方向に移動しながらステージ５０に載置されたテープ８０へ液滴を吐出することができる。ここで、主走査方向はＸ軸方向に略平行であり、テープ８０の長さ方向に直交する方向である。図５は、液滴吐出ヘッド９０の側面断面図である。液滴吐出ヘッド９０は、ヘッド本体９０Ａと、ヘッド本体９０Ａの一方面に装着されたノズルプレート９２と、ヘッド本体９０Ａの他方面に装着されたピエゾ素子９８とを主として構成されている。
【００４５】
液滴吐出面を構成するノズルプレート９２には、液滴を吐出するための複数のノズル９１が整列配置されている。また、ヘッド本体９０Ａには、各ノズル９１と連通する複数の圧力室９３が形成されている。各圧力室９３はリザーバ９５に接続され、リザーバ９５は機能液導入口９６に接続されている。そして、機能液９は、機能液導入口９６からリザーバ９５を通って各圧力室９３に供給されるようになっている。一方、ヘッド本体９０Ａの上端面には、可撓性を有する振動板９４が装着されている。その振動板９４を挟んで各圧力室９３の反対側には、それぞれピエゾ素子９８が設けられている。ピエゾ素子９８は、ＰＺＴ（登録商標）等の圧電材料を電極で挟持したものである。その電極は、制御部９９に接続されている。
【００４６】
そして制御部９９からピエゾ素子９８に駆動電圧を印加すると、ピエゾ素子９８が膨張変形または収縮変形する。ピエゾ素子９８が収縮変形すると、圧力室９３内の圧力が低下して、リザーバ９５から圧力室９３に機能液９が流入する。またピエゾ素子９８が膨張変形すると、圧力室９３内の圧力が増加して、ノズル９１から機能液９の液滴が吐出される。なお、ピエゾ素子９８に印加する駆動電圧を制御することにより、液滴の吐出条件を制御しうるようになっている。
【００４７】
ここで、機能液９について説明する。配線パターン形成に用いられる機能液９は、本発明の導電材料としての導電性微粒子を分散媒に分散した分散液からなるものである。本実施形態では、導電性微粒子として、例えば、金、銀、銅、アルミニウム、パラジウム、及びニッケルのうちの少なくともいずれか１つを含有する金属微粒子の他、これらの酸化物、並びに導電性ポリマーや超電導体の微粒子などが用いられる。これらの導電性微粒子は分散性を向上させるために表面に有機物などをコーティングして使うこともできる。導電性微粒子の粒径は１ｎｍ以上１．０μｍ以下であることが好ましい。１．０μｍより大きいと液滴吐出ヘッド９０のノズル９１に目詰まりが生じるおそれがある。また、１ｎｍより小さいと導電性微粒子に対するコーテイング剤の体積比が大きくなり、得られる膜中の有機物の割合が過多となる。
【００４８】
分散媒としては、上記の導電性微粒子を分散できるもので凝集を起こさないものであれば特に限定されない。例えば、水の他に、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノールなどのアルコール類、ｎ−ヘプタン、ｎ−オクタン、デカン、ドデカン、テトラデカン、トルエン、キシレン、シメン、デュレン、インデン、ジペンテン、テトラヒドロナフタレン、デカヒドロナフタレン、シクロヘキシルベンゼンなどの炭化水素系化合物、またエチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、１，２−ジメトキシエタン、ビス（２−メトキシエチル）エーテル、ｐ−ジオキサンなどのエーテル系化合物、さらにプロピレンカーボネート、γ−ブチロラクトン、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、シクロヘキサノンなどの極性化合物を例示できる。これらのうち、微粒子の分散性と分散液の安定性、また液滴吐出法への適用の容易さの点で、水、アルコール類、炭化水素系化合物、エーテル系化合物が好ましく、より好ましい分散媒としては、水、炭化水素系化合物を挙げることができる。
【００４９】
上記導電性微粒子の分散液の表面張力は、０．０２Ｎ／ｍ以上０．０７Ｎ／ｍ以下の範囲内であることが好ましい。液滴吐出法により機能液９を吐出する際、表面張力が０．０２Ｎ／ｍ未満であると、機能液９のノズル面に対する濡れ性が増大するため飛行曲りが生じやすくなり、０．０７Ｎ／ｍを超えるとノズル９１の先端でのメニスカスの形状が安定しないため吐出量や吐出タイミングの制御が困難になる。表面張力を調整するため、上記分散液には、被吐出面との接触角を大きく低下させない範囲で、フッ素系、シリコーン系、ノニオン系などの表面張力調節剤を微量添加するとよい。ノニオン系表面張力調節剤は、機能液９の被吐出面への濡れ性を向上させ、膜のレベリング性を改良し、膜の微細な凹凸の発生などの防止に役立つものである。上記表面張力調節剤は、必要に応じて、アルコール、エーテル、エステル、ケトン等の有機化合物を含んでもよい。
【００５０】
上記分散液の粘度は１ｍＰａ・ｓ以上５０ｍＰａ・ｓ以下であることが好ましい。液滴吐出法を用いて機能液９を液滴として吐出する際、粘度が１ｍＰａ・ｓより小さい場合にはノズル９１の周辺部が機能液９の流出により汚染されやすく、また粘度が５０ｍＰａ・ｓより大きい場合は、ノズル９１の目詰まり頻度が高くなり円滑な機能液９の吐出が困難となる。
【００５１】
なお液滴吐出方式として、ピエゾ素子の変形により圧力室内の圧力を変化させる上記ピエゾ方式の他に、機能液を加熱して気泡（バブル）を発生させることにより圧力室内の圧力を変化させる方式など、公知の種々の技術を適用することができる。このうちピエゾ方式は、機能液を加熱しないので材料の組成に悪影響を与えないなどの点で優れている。
【００５２】
本実施形態の描画装置１は、以上のように構成されている。
【００５３】
（Ｂ．描画方法）
次に、上述した描画装置１を用いた描画方法について図６および図７を用いて説明する。図６は、本実施形態に係る描画方法の工程図である。また、図７は、本実施形態に係る描画方法の各ステップ（工程）における描画装置１およびテープ８０の断面図である。ここで、図７における符号８８ｂは、テープ８０の作業領域８８のうち、機能液９の吐出状態の検査に用いる検査用領域８８ｂを表している。また、符号８８ａは、検査用領域８８ｂに隣接する通常の作業領域８８ａを表している。これらの検査用領域８８ｂ、作業領域８８ａは、説明の便宜上、他の領域に対して厚さが異なるように描かれているが、実際は他の領域と同一の厚さである。以下、図６に示す工程図に沿って説明する。
【００５４】
まず、ステップＰ１では、スプロケット７１，７２，７６の動作によって、テープ８０のうち検査用領域８８ｂがステージ５０上に位置するように、テープ８０を搬送する（図７（ａ））。このステップは、上述したように、スプロケット７１，７６に大きさ一定で逆方向のトルクをかけてテープ８０が一定のテンションを有する状態に維持しながら、スプロケット７２を正搬送方向に回転させることによって行う。同時に、テープ８０の搬送量に応じて巻出しリール８４および巻取りリール８５を適宜回転させて、巻出しリール８４からテープ８０を必要量だけ繰り出すとともに、巻取りリール８５でテープ８０を巻取る。このステップにおいては、クランプ７７，７８は開放されている。また、このステップが終了してテープ８０が所定位置に移動した後は、スプロケット７１，７２が固定され、スプロケット７１，７２の間にあるテープ８０は、その状態に維持される。
【００５５】
次に、ステップＰ２では、テープ８０をステージ５０（多孔質板５１）の表面に吸着させて、ステージ５０上にテープ８０を載置する。このステップは、例えば以下のようにして行われる。
【００５６】
まず、アライメントユニット２４をフレーム２０に沿って移動させ（図３参照）、アライメントユニット２４に含まれる押さえ機構３４をステージ５０に対向する位置に配置する。次に、支持フレーム４０をガイドフレーム４１に沿って下降させることにより、押さえ機構３４の押さえ部材３６をテープ８０の両端部に当接させ（図４参照）、ステージ５０に向かって押圧する。このとき、押さえ部材３６は、あらかじめテープ８０の幅方向の両端部に当接するように位置が調整されている。このように押さえ機構３４がテープ８０の両端部を押圧することによって、テープ８０に反りがある場合であっても、反りが矯正された状態でステージ５０に密着する。また、こうした方法によれば、テープ８０のうち両端部のみを押圧し、作業領域８８には押さえ部材３６が当接しないため、作業領域８８上の機能液９を吐出すべき領域に、傷や打痕等を生じさせることがない。
【００５７】
この状態で、ステージ５０がテープ８０を吸着する。すなわち、ステージ５０の負圧吸引装置を作動させて、テープ８０を多孔質板５１の表面に吸着保持させることにより、テープ８０がステージ５０に吸着される。次に、支持フレーム４０をガイドフレーム４１に沿って上昇させることにより、押さえ機構３４によるテープ８０に対する押圧を解除する。ここで、押さえ機構３４による押圧を解除した際には、テープ８０はステージ５０に吸着されているので、テープ８０に再び反りが生ずることはない。
【００５８】
次に、ステップＰ３では、テープ８０を可動ステージ１８とともに移動させて、液滴吐出ヘッド９０に対して所定の相対位置関係を満たすように位置させる、いわゆるアライメントを行う。本実施形態では、このステップは以下のようにして行われる。
【００５９】
まず、クランプ７７，７８がテープ８０を保持する（図７（ｂ））。このステップは、クランプ７７（７８）の押圧部７７ａ（７８ａ）を、テープ８０を介して支持部７７ｂ（７８ｂ）に押圧することによって行う。このとき、テープ８０のうちクランプ７７，７８が当接する部位は、作業領域８８を含まない両端部である。これにより、検査用領域８８ｂのうち機能液９を吐出すべき領域に、傷や打痕等が生じるのを防ぐことができる。
【００６０】
次に、クランプ７７，７８を、互いの距離を縮める方向に移動させて、クランプ７７とスプロケット７１との間、およびスプロケット７２とクランプ７８との間のテープ８０に弛みを生じさせる（図７（ｂ））。このステップは、クランプ７７をクランプスライダ１３に沿って正搬送方向に移動させるとともに、クランプ７８をクランプスライダ１３に沿って逆搬送方向に移動させて行う。このとき、クランプ７７，７８はテープ８０を保持した状態であるので、テープ８０もクランプ７７，７８の移動とともに変形する。一方で、テープ８０は、スプロケット７１，７２の位置においてはスプロケット７１，７２によって固定されているので、クランプ７７，７８の移動によって上記のような弛みを生じさせることができる。
【００６１】
次に、カメラ３２，３３によりテープ８０上のアライメントマークＡＭを撮影する。例えば、テープ８０が図２に示すテープ８１のような形状を有するものであれば、カメラ３２によりアライメントマークＡＭ１を撮影、計測し、カメラ３３によりアライメントマークＡＭ２を撮影、計測する。このとき、テープ８０は、ステップＰ２を経て反りを矯正された状態でステージ５０に吸着されているので、アライメントマークＡＭの正確な撮影、計測を行うことができる。
【００６２】
上記のように２つのカメラ３２，３３によって同時にアライメントマークＡＭの撮影を行うために、カメラ３２，３３をあらかじめ以下のように移動させておく。すなわち、カメラ３２の計測範囲にアライメントマークＡＭ１が位置するように、移動フレーム３１のＸ軸方向の位置を調整し、アライメントマークＡＭ１、ＡＭ２の相対位置関係に応じた距離だけ、スライダ３５を介してカメラ３３をＹ軸方向に移動させておく。
【００６３】
これらの撮影結果から、制御部９９はテープ８０の検査用領域８８ｂの現在位置を算出し、さらに所定位置からのオフセット量を算出する。
【００６４】
次に、上記算出結果に基づいて、可動ステージ１８（ステージ５０）を移動させてテープ８０のアライメントを行う。より詳しくは、制御部９９が、上記算出結果に基づいて、スライダ１４およびモータ１６を駆動して可動ステージ１８をＹ軸方向およびθｚ方向に移動させ（図４参照）、ステージ５０の表面に吸着されたテープ８０を液滴吐出ヘッド９０に対して相対移動させて位置合わせをする。この位置合わせは、例えばアライメントマークＡＭ１とアライメントマークＡＭ２とを結んだ直線が、液滴吐出ヘッド９０の主走査方向と直交する状態となるように行う。なお、テープ８０のＸ軸方向についての位置合わせは、描画ユニット２２の移動量を調整することによって行われる。
【００６５】
上記アライメントの際には、可動ステージ１８に固定されたステージ５０、スプロケット７１，７２、対向ローラ７３，７４も、可動ステージ１８とともに移動する。そして、テープ８０も、ステージ５０に吸着され、かつスプロケット７１，７２によって固定されているので、スプロケット７１からスプロケット７２に至るまでの部分は、可動プレート１８とともに移動することとなる。
【００６６】
このとき、クランプ７７，７８の移動によってテープ８０に弛みが生成されているため、テープ８０が可動ステージ１８とともに移動しても、上記弛みがその移動による変形を吸収する。このため、テープ８０に過度な張力やねじれ、撓み等が生じるのを防ぐことができ、テープ８０およびテープ８０に形成された配線に対して変形、損傷などを与えることなくアライメントを行うことができる。
【００６７】
こうして、ステップＰ３におけるアライメントが完了する。
【００６８】
次に、ステップＰ４では、液滴吐出ヘッド９０からテープ８０へ機能液９を吐出する（図７（ｂ））。より詳しくは、まず、ステップＰ３におけるテープ８０のアライメントが完了すると、フレーム２０に沿ってアライメントユニット２４を移動させて、ステージ５０（すなわちテープ８０）との対向位置から退避させるとともに、描画ユニット２２をＸ軸方向に移動させてステージ５０との対向位置に配置する。そして、液滴吐出ヘッド９０から機能液９を吐出することにより、テープ８０の検査用領域８８ｂのうち、配線パターンを形成すべき位置に機能液９が配置される。
【００６９】
次に、ステップＰ５では、テープ８０を正搬送方向（＋Ｙ方向）に搬送して、検査用領域８８ｂを検査装置３に位置させる（図７（ｃ））。このステップは、描画装置１の各構成要素を上記ステップＰ１と同様に動作させることによって行われる。なお、このステップに先立って、クランプ７７，７８によるテープ８０の保持は解除される。
【００７０】
次に、ステップＰ６では、検査装置３を用いて、テープ８０の検査用領域８８ｂに吐出された機能液９の状態を検査する。検査装置３が実体顕微鏡などから構成されている場合には、例えば実体顕微鏡を用いた人の目視によって機能液９の吐出量や吐出位置が適正であるか否かの検査をする。また、検査装置３がＣＣＤカメラ等から構成されている場合には、例えばテープ８０の検査領域８８ｂを撮影し、画像処理をすることにより機能液９の吐出量や吐出位置が適正であるか否かの検査をする。検査装置３の構成や検査方法はこれに限られず、検査対象や検査目的に応じて種々の方式とすることができる。
【００７１】
ここで、次のステップＰ７において、ステップＰ６までの工程で作業が行われてきたテープ８０上の領域が検査用領域８８ｂか否かを判断する。検査用領域８８ｂである場合にはステップＰ１０に進み、それ以外の、作業領域８８ａを含む通常の作業領域８８である場合にはステップＰ８へ進む。今、検査用領域８８ｂに対して作業を行ってきたので、ここではステップＰ１０に進む。
【００７２】
ステップＰ１０では、スプロケット７１，７２，７６の動作によって、検査用領域８８ｂに隣接する通常の作業領域８８ａがステージ５０上に位置するように、テープ８０を逆搬送方向に（すなわち−Ｙ方向に）搬送する（図７（ｄ））。このステップは、スプロケット７１，７６に大きさ一定で逆方向のトルクをかけてテープ８０が一定のテンションを有する状態に維持しながら、スプロケット７２を逆搬送方向に回転させることによって行う。このステップが終了してテープ８０が所定位置に移動した後は、スプロケット７１，７２が固定され、スプロケット７１，７２の間にあるテープ８０は、その状態に維持される。
【００７３】
続いてステップＰ２に進み、以下、ステップＰ２からステップＰ６までを、作業領域８８ａに対して行う。すなわち、ステップＰ２において、作業領域８８ａが液滴吐出ヘッド９０に対向した状態でテープ８０をステージ５０に吸着載置する。次に、ステップＰ３においてアライメントを行い、ステップＰ４において作業領域８８ａに対して機能液９を吐出する。その後、ステップＰ５において、作業領域８８ａが検査装置３に位置するようにテープ８０を搬送し、ステップＰ６において検査を行う。なお、作業領域８８ａに対しては、ステップＰ６における検査は省略してもよい。
【００７４】
次に、ステップＰ７において、ステップＰ６までの工程で作業が行われてきた領域が検査用領域８８ｂか否かを再び判断する。今、作業領域８８ａに対して作業を行ってきたので、ここではステップＰ８に進む。
【００７５】
次に、ステップＰ８では、テープ８０を正搬送方向（＋Ｙ方向）に搬送して、作業領域８８ａを乾燥装置５に位置させる（図７（ｅ））。このステップは、描画装置１の各構成要素を上記ステップＰ１と同様に動作させることによって行われる。
【００７６】
次に、ステップＰ９では、乾燥装置５によって、作業領域８８ａ上に吐出された機能液９に含まれる溶媒を蒸発させ、機能液９を乾燥させる。これにより、機能液９中に含まれる粒子や溶質が作業領域８８ａ上に残ってパターンが形成される。機能液９に導電材料を含む場合は、当該導電材料による配線パターンが形成されることとなる。このステップは、乾燥装置５の機能に応じて行われ、例えば恒温槽内における高温環境放置や、ＵＶ照射によって行われる。
【００７７】
上記したステップＰ１からステップＰ１０における、スプロケット７１，７２，７６、クランプ７７，７８、押さえ機構３４、支持フレーム４０、可動ステージ１８、ステージ５０、カメラ３２，３３、液滴吐出ヘッド９０等の、描画装置１に含まれる各種構成要素の動作は、制御部９９による制御のもとに行われる。
【００７８】
以上のステップを経て、描画装置１によってテープ８０上に配線パターンが形成される。
【００７９】
この後、他の作業領域８８に対して順次ステップＰ１からステップＰ９を行うことによって、テープ８０上の連続した作業領域８８に次々に配線パターンを形成していくことができる。また、テープ８０の全ての作業領域８８に対する描画処理が終了したら、巻出しリール８４および巻取りリール８５とともにテープ８０を交換する。
【００８０】
以上説明したように、本実施形態の描画装置１を用いた描画方法では、第１の搬送ローラとしてのスプロケット７１と第２の搬送ローラとしてのスプロケット７２によって、テープ８０を正搬送方向にも逆搬送方向にも搬送することができる。このときテープ８０には常にテンションがかかっているので、スプロケット７１，７２の間において弛みが生じにくい。また、こうした搬送によって、検査用領域８８ｂに吐出された機能液９の状態を検査装置５を用いて検査した後にテープ８０を逆搬送し、検査の結果に応じて作業領域８８ａにパターンを描画することができる。これにより、検査用領域８８ｂへの機能液９の吐出および検査から、通常の作業領域８８ａへの機能液９の吐出までのステップを短時間で行うことができる。
【００８１】
＜第２の実施形態＞
続いて、本発明の第２の実施形態について説明する。本実施形態は、第１の実施形態と同様の描画装置１を用いて、テープ８０の作業領域８８ａに多層配線を形成するものである。以下の説明においては、第１の実施形態と重複するステップ、および同一の符号が付された構成要素については説明を省略する。
【００８２】
本実施形態の描画方法について、図８および図９を用いて説明する。図８は、本実施形態に係る描画方法の工程図である。また、図９は、本実施形態に係る描画方法の各ステップ（工程）における描画装置１およびテープ８０の断面図である。以下、図８に示す工程図に沿って説明する。
【００８３】
まず、ステップＳ１では、スプロケット７１，７２，７６の動作によって、テープ８０のうち作業領域８８ａがステージ５０上に位置するように、テープ８０を搬送する（図９（ａ））。このステップは、上述したように、スプロケット７１，７６に大きさ一定で逆方向のトルクをかけてテープ８０が一定のテンションを有する状態に維持しながら、スプロケット７２を正搬送方向に回転させることによって行う。
【００８４】
次に、ステップＳ２では、テープ８０をステージ５０（多孔質板５１）の表面に吸着させて、ステージ５０上にテープ８０を載置する。
【００８５】
次に、ステップＳ３では、テープ８０を可動ステージ１８とともに移動させて、液滴吐出ヘッド９０に対して所定の相対位置関係を満たすように位置させる、いわゆるアライメントを行う。
【００８６】
次に、ステップＳ４では、液滴吐出ヘッド９０からテープ８０へ、本発明の第１の機能液に対応する機能液９を吐出する（図９（ｂ））。このステップにおいては、導電材料を含んだ機能液９を使用する。
【００８７】
次に、ステップＳ５では、テープ８０を正搬送方向（＋Ｙ方向）に搬送して、作業領域８８ａを検査装置３に位置させる（図９（ｃ））。
【００８８】
次に、ステップＳ６では、検査装置３を用いて、テープ８０の作業領域８８ａに吐出された機能液９の状態を検査する。
【００８９】
次に、ステップＳ７では、テープ８０を正搬送方向（＋Ｙ方向）に搬送して、作業領域８８ａを乾燥装置５に位置させる（図９（ｄ））。
【００９０】
次に、ステップＳ８では、乾燥装置５によって、作業領域８８ａ上に吐出された機能液９に含まれる溶媒を蒸発させ、機能液９を乾燥させる。ここでは、機能液９に導電材料が含まれているので、当該導電材料による配線パターンが形成されることとなる。
【００９１】
ここで、次のステップＳ９において、多層配線を形成するために更に積層描画を行うか否かを判断する。更に積層描画を行う場合にはステップＳ１０に進み、多層配線の形成が完了している場合には工程を終了する。今、作業領域８８ａに対しては一層の配線パターンが形成されたのみの状態であるので、ここではステップＳ１０に進む。
【００９２】
ステップＳ１０では、スプロケット７１，７２，７６の動作によって、作業領域８８ａがステージ５０上に位置するように、テープ８０を逆搬送方向に（すなわち−Ｙ方向に）搬送する（図９（ｅ））。このステップは、スプロケット７１，７６に大きさ一定で逆方向のトルクをかけてテープ８０が一定のテンションを有する状態に維持しながら、スプロケット７２を逆搬送方向に回転させることによって行う。
【００９３】
続いてステップＳ２に進み、以下、ステップＳ２からステップＳ８までを、同一の作業領域８８ａに対して行う。すなわち、まずステップＳ２において、作業領域８８ａが液滴吐出ヘッド９０に対向した状態でテープ８０をステージ５０に吸着載置する。次に、ステップＳ３においてアライメントを行い、ステップＳ４において作業領域８８ａに対して、本発明の第２の機能液に対応する機能液９を吐出する。このとき、既に形成された一層目の配線パターンに重なるように吐出する。また、ここでは、機能液９には、絶縁材料を含むものを用いる。このために、１つの描画ユニット２２に異なる機能液９を吐出する複数の液滴吐出ヘッド９０を搭載してもよいし、異なる機能液９を吐出する液滴吐出ヘッド９０を備えた複数の描画ユニット２２を設けてもよい。その後、ステップＳ５において、作業領域８８ａが検査装置３に位置するようにテープ８０を搬送し、ステップＳ６において検査を行う。次に、ステップＳ７において、テープ８０を正搬送方向（＋Ｙ方向）に搬送して、作業領域８８ａを乾燥装置５に位置させる。そして、ステップＳ８において、乾燥装置５によって作業領域８８ａ上に吐出された機能液９を乾燥させ、一層目の配線パターン上に絶縁パターンを形成する。
【００９４】
こうしたステップを経て、作業領域８８ａ上には、一層目の配線パターンと、これに積層された絶縁パターンが形成される。
【００９５】
次に、ステップＳ９において、更に積層描画を行うか否かを再び判断する。ここでステップＳ１０に進み、上記絶縁パターン上に二層目の配線パターンを形成するためにステップＳ２からステップＳ８を実施する。必要があれば更にステップＳ９からステップＳ１０へ進むことで、絶縁パターン、配線パターンを繰り返し積層していくことができる。
【００９６】
こうして、描画装置１によってテープ８０上に多層配線パターンが形成される。
【００９７】
この後、他の作業領域８８に対して順次同様のステップを行うことによって、テープ８０上の連続した作業領域８８に次々に多層配線パターンを形成していくことができる。また、テープ８０の全ての作業領域８８に対する描画処理が終了したら、巻出しリール８４および巻取りリール８５とともにテープ８０を交換する。
【００９８】
上記したステップＳ１からステップＳ１０における、スプロケット７１，７２，７６、クランプ７７，７８、押さえ機構３４、支持フレーム４０、可動ステージ１８、ステージ５０、カメラ３２，３３、液滴吐出ヘッド９０等の、描画装置１に含まれる各種構成要素の動作は、制御部９９による制御のもとに行われる。
【００９９】
以上説明したように、本実施形態の描画装置１を用いた描画方法では、第１の搬送ローラとしてのスプロケット７１と第２の搬送ローラとしてのスプロケット７２によって、テープ８０を正搬送方向にも逆搬送方向にも搬送することができる。このときテープ８０には常にテンションがかかっているので、スプロケット７１，７２の間において弛みが生じにくい。また、こうした逆搬送を利用することによって、作業領域８８ａに多層配線パターンを描画することができる。従来、多層配線の形成のためには、まず全ての作業領域８８に一層目の配線パターンを形成し、その後パターンを積層する際にはテープ８０の架け替え作業を行って改めて全作業領域にパターンを積層していた。したがって、本実施形態の描画方法によれば、テープ８０を架け替えることなく短時間で多層配線パターンを形成することができる。
【０１００】
なお、上記実施形態においては、検査に係るステップ、すなわちステップＳ５およびステップＳ６は適宜省略することができる。一度検査を行った後は、一定期間はその状態で安定した吐出が行われるためである。
【０１０１】
＜液晶表示装置＞
続いて、図１０を用いて、上記描画装置１により配線パターン１１２が形成された回路基板１０３を有する液晶表示装置１０１について説明する。
【０１０２】
図１０は、電気光学装置である液晶表示装置１０１の分解斜視図である。液晶表示装置１０１は、大別するとカラー表示が可能な液晶パネル１０２と、液晶パネル１０２に接続される回路基板１０３とを備えている。また、必要に応じて、バックライト等の照明装置、その他の付帯機器が液晶パネル１０２に付設される。
【０１０３】
液晶パネル１０２は、シール材１０４によって接着された一対の基板１０５ａおよび基板１０５ｂを有し、これらの基板１０５ａと基板１０５ｂとの間に形成される間隙、いわゆるセルギャップには液晶が封入されている。これらの基板１０５ａおよび基板１０５ｂは、一般には透光性材料、例えばガラス、合成樹脂等によって形成されている。基板１０５ａおよび基板１０５ｂの外側表面には偏光板１０６ａおよび偏光板１０６ｂが貼り付けられている。なお、図１０においては、偏光板１０６ｂの図示を省略している。
【０１０４】
また、基板１０５ａの内側表面には電極１０７ａが形成され、基板１０５ｂの内側表面には電極１０７ｂが形成されている。これらの電極１０７ａ、１０７ｂはストライプ状または文字、数字、その他の適宜のパターン状に形成されている。また、これらの電極１０７ａ、１０７ｂは、例えばＩＴＯ（Indium Tin Oxide：インジウムスズ酸化物）等の透光性材料によって形成されている。
【０１０５】
基板１０５ａは、基板１０５ｂに対して張り出した張り出し部を有し、この張り出し部に複数の端子１０８が形成されている。これらの端子１０８は、基板１０５ａ上に電極１０７ａを形成するときに電極１０７ａと同時に形成される。したがって、これらの端子１０８は、例えばＩＴＯによって形成されている。これらの端子１０８には、電極１０７ａから一体に延びるもの、および導電材（不図示）を介して電極１０７ｂに接続されるものが含まれる。
【０１０６】
なお、実際の電極１０７ａ，１０７ｂおよび端子１０８は、極めて狭い間隔をもって多数本が基板１０５ａおよび基板１０５ｂ上にそれぞれ形成されているが、図１０においては、液晶パネル１０２の構造の理解を容易にするために、それらの間隔を拡大して模式的に示すとともに、それらの内の数本のみを図示することにして他の部分を省略してある。また、端子１０８と電極１０７ａとの接続状態および端子１０８と電極１０７ｂとの接続状態も図１０においては図示を省略している。
【０１０７】
回路基板１０３には、配線基板１０９上の所定位置に液晶駆動用ＩＣとしての半導体素子１００が実装されている。配線基板１０９は、例えばポリイミド等の可撓性を有するベース基板１１１の上に形成されたＣｕ等の金属膜をパターニングして配線パターン１１２を形成することによって製造されている。
【０１０８】
なお、実際の配線パターン１１２は、極めて狭い間隔をもって多数本がベース基板１１１上に形成されているが、図１０においては、構造の理解を容易にするために、それらの間隔を拡大して模式的に示すとともに、構造を簡略化して図示してある。また、図示は省略しているが、半導体素子１００が実装される部位以外の部位の所定位置には抵抗、コンデンサ、その他のチップ部品が実装されていてもよい。
【０１０９】
本実施形態では、この回路基板１０３が、上述した描画装置１により配線パターン１１２が形成されたテープ８０をデバイス毎に切断することにより製造される。
【０１１０】
本実施形態に係る液晶表示装置１０１においては、これに含まれる回路基板１０３が上述した描画装置１を用いて製造されているため、高精度に配線パターン１１２が形成された高品質の液晶表示装置１０１を得ることができる。
【０１１１】
以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態に対しては、本発明の趣旨から逸脱しない範囲で様々な変形を加えることができる。変形例としては、例えば以下のようなものが考えられる。
【０１１２】
（変形例１）
上記実施形態の描画方法においては、テープ８０を搬送するステップＰ１（またはステップＳ１）と、テープ８０をステージ５０に吸着させるステップＰ２（またはステップＳ２）との間に、ステージ５０を、テープ８０が載置されている側に平行移動させるステップがさらに含まれていてもよい。
【０１１３】
図１１は、このステップについて説明するための、描画装置１およびテープ８０の断面図である。この図に示すように、テープ８０は、スプロケット７１，７２の位置において固定されているとともに、ステージ５０が＋Ｚ方向に平行移動することによって、より大きな張力のかかる状態に張られることとなる。これにより、テープ８０が上に凸や下に凸の反りを有している場合であっても、ステージ５０上におけるテープ８０の反りを矯正または軽減することができる。
【０１１４】
上記したステージ５０の平行移動だけでは反りが完全に矯正できない場合であっても、その後、押さえ機構３４によってテープ８０を押圧することによって矯正することができる。あらかじめステージ５０の平行移動によって反りを小さくしておくことによって、より容易にテープ８０の反りの矯正を行うことができる。
【０１１５】
（変形例２）
上記実施形態においては、図１２（ａ）に示すように、テープ８０の搬送経路に適宜テープガイド７０を配置してもよい。本変形例では、スプロケット７１の上流側およびスプロケット７２の下流側にそれぞれテープガイド７０が配置されている。
【０１１６】
図１２（ａ）のテープガイド７０のＸＺ平面における断面図を図１３（ａ）に示す。この図に示すように、テープガイド７０は、テープ８０の両側に１つずつ配置され、それぞれは、上側ブロック７０ａと下側ブロック７０ｂとを有して構成される。テープガイド７０は、上側ブロック７０ａと下側ブロック７０ｂとの間に設けられた空間にテープ８０をガイドすることにより、テープ８０の姿勢を所望の状態に維持するための部材である。
【０１１７】
なお、図１３（ｂ）は、従来知られているテープガイド１７０の断面図である。このテープガイド１７０も、上側ブロック１７０ａと下側ブロック１７０ｂとを有して構成される。このテープガイド１７０は、テープ８０が位置すべき空間のほぼ延長線上に上側ブロック１７０ａと下側ブロック１７０ｂとの境界が存在しているため、この境界、すなわち上側ブロック１７０ａと下側ブロック１７０ｂとの隙間にテープ８０が入り込んで挟まってしまうことがあった。
【０１１８】
これに対し、本実施形態のテープガイド７０は、テープ８０が位置すべき空間に対して直角な方向に上側ブロック７０ａと下側ブロック７０ｂとの境界が存在するため、この境界にテープ８０が入り込むことがないという利点を有する。
【０１１９】
図１２（ａ）のようにテープガイド７０を配置すると、アライメントの前にテープ８０に弛みが生成された場合は、図１２（ｂ）に示すように、クランプ７７とテープガイド７０との間、およびテープガイド７０とクランプ７８との間に弛みが生成される。この状態でアライメントを行う場合でも、アライメントに伴うテープ８０の変形を、上記弛みによって吸収することができる。この場合は、テープガイド７０を可動ステージ１８に固定し、アライメント時にはテープガイド７０も可動ステージ１８等とともに移動する構成とするのが好ましい。
【０１２０】
（変形例３）
上記実施形態では、本発明における第１の搬送ローラおよび第２の搬送ローラとしてスプロケット７１，７２を用いているが、この構成に限定する趣旨ではない。
【０１２１】
例えば、スプロケット７６を正搬送方向および逆搬送方向のいずれにも回転可能にし、第２の搬送ローラとして用いることもできる。この場合は、スプロケット７２には駆動力を印加せず、自由に回転する状態とする。
【０１２２】
あるいは、補助ローラ７５に逆搬送方向の一定のトルクを印加し、第１の搬送ローラとして用いることもできる。この場合は、スプロケット７１には駆動力を印加せず、自由に回転する状態とする。
【０１２３】
こうした構成によっても、テープ８０を正搬送方向および逆搬送方向のいずれの方向にも搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１２４】
【図１】本発明の実施形態に係る描画装置の模式側面図。
【図２】本発明における帯状のワークの一態様である様々なテープの部分平面図。
【図３】ステージと、その周辺に配置された各種ユニットを示す平面図。
【図４】ステージおよびアライメントユニットの外観斜視図。
【図５】液滴吐出ヘッドの側面断面図。
【図６】第１の実施形態に係る描画方法の工程図。
【図７】（ａ）から（ｅ）は、第１の実施形態に係る描画方法の各ステップ（工程）における描画装置およびテープの断面図。
【図８】第２の実施形態に係る描画方法の工程図。
【図９】（ａ）から（ｅ）は、第２の実施形態に係る描画方法の各ステップ（工程）における描画装置およびテープの断面図。
【図１０】液晶表示装置の分解斜視図。
【図１１】本発明の変形例における描画装置およびテープの断面図。
【図１２】（ａ）および（ｂ）は、本発明の変形例における描画装置およびテープの断面図。
【図１３】（ａ）および（ｂ）は、本発明の変形例に係るテープガイドの断面図。
【符号の説明】
【０１２５】
１…描画装置、３…検査装置、５…乾燥装置、９…機能液、１１…基台、１８…可動プレート、２２…描画ユニット、２４…アライメントユニット、３２，３３…カメラ、３４…押さえ機構、３６…押さえ部材、５０…ステージ、７０…テープガイド、７１，７２，７６…搬送ローラとしてのスプロケット、７３，７４…対向ローラ、７５…補助ローラ、７７，７８…クランプ、８０…帯状のワークとしてのテープ、８４…巻出しリール、８５…巻取りリール、９０…液滴吐出ヘッド、９９…制御部、１０１…液晶表示装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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