(57)【要約】【課題】内外圧力差によるシャッタ扉やそのガイド部への負荷を軽減することにより、長寿命化を図るとともにコンパクトにすることができるシャッタ装置を提供すること。【解決手段】開口部１にシャッタ扉２を開閉可能に配設するもので、シャッタ扉２に複数の通気口２１を形成するとともに、シャッタ扉２が閉じたときに通気口２１を閉塞し、かつシャッタ扉２の開閉動作時に通気口２１を開放する通気口開閉機構を設ける。【選択図】図１
2008150855.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口部にシャッタ扉を開閉可能に配設したシャッタ装置において、シャッタ扉に複数の通気口を形成するとともに、シャッタ扉が閉じたときに通気口を閉塞し、かつシャッタ扉の開閉動作時に通気口を開放する通気口開閉機構を設けたことを特徴とするシャッタ装置。
【請求項２】
通気口開閉機構が、シャッタ扉と略同位置に通気口を有し、かつシャッタ扉にスライド可能に重合されるスライド扉と、該スライド扉とシャッタ扉とを載置して開閉動作するとともに、スライド扉をシャッタ扉と通気口が合致する位置に付勢して支持する開閉支持台と、扉枠側に設けられ、シャッタ扉の閉じ位置でスライド扉に当接することにより、スライド扉をシャッタ扉の通気口を閉塞する位置にスライドさせる押し片とを備えたことを特徴とする請求項１記載のシャッタ装置。
【請求項３】
通気口が合致する位置でシャッタ扉との間に空隙を存し、かつ通気口を閉塞する位置でシャッタ扉に密着するようにスライド扉を案内するスライドレーンを開閉支持台に設けたことを特徴とする請求項２記載のシャッタ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シャッタ装置に関し、特に、内外圧力差によるシャッタ扉やそのガイド部への負荷を軽減することにより、長寿命化を図るとともにコンパクトにすることができるシャッタ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶等のガラス基板を収納するカセットは、その製造ラインにおいて、製造装置間で液晶ガラス基板を搬送したり、一時貯留する場合に使用される。
【０００３】
カセットは、内部を清浄に保つために、シャッタ扉で開口部を閉じることにより外部空気を遮断するとともに、窒素ガスや清浄化された空気を供給して内部を陽圧状態に保つようにしている。
【０００４】
ところで、このようなカセットのシャッタ装置では、カセットの大型化に伴い、シャッタ扉も大型化してきているが、シャッタ扉の面積が大きいと、それに比例して内外圧力差による力も大きくなる。
従来のシャッタ装置では、シャッタ扉８が気密性を有することから、図７（ａ）（ｂ）に示すように、内外の圧力差が大きいと、シャッタ扉８やそのガイド部に大きな負荷がかかることになり、そのため、シャッタ扉８の剛性を上げたり、ガイド部に特殊な受構造を要していた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記従来のシャッタ装置が有する問題点に鑑み、内外圧力差によるシャッタ扉やそのガイド部への負荷を軽減することにより、長寿命化を図るとともにコンパクトにすることができるシャッタ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明のシャッタ装置は、開口部にシャッタ扉を開閉可能に配設したシャッタ装置において、シャッタ扉に複数の通気口を形成するとともに、シャッタ扉が閉じたときに通気口を閉塞し、かつシャッタ扉の開閉動作時に通気口を開放する通気口開閉機構を設けたことを特徴とする。
【０００７】
この場合において、通気口開閉機構が、シャッタ扉と略同位置に通気口を有し、かつシャッタ扉にスライド可能に重合されるスライド扉と、該スライド扉とシャッタ扉とを載置して開閉動作するとともに、スライド扉をシャッタ扉と通気口が合致する位置に付勢して支持する開閉支持台と、扉枠側に設けられ、シャッタ扉の閉じ位置でスライド扉に当接することにより、スライド扉をシャッタ扉の通気口を閉塞する位置にスライドさせる押し片とを備えることができる。
【０００８】
また、通気口が合致する位置でシャッタ扉との間に空隙を存し、かつ通気口を閉塞する位置でシャッタ扉に密着するようにスライド扉を案内するスライドレーンを開閉支持台に設けることができる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明のシャッタ装置によれば、開口部にシャッタ扉を開閉可能に配設したシャッタ装置において、シャッタ扉に複数の通気口を形成するとともに、シャッタ扉が閉じたときに通気口を閉塞し、かつシャッタ扉の開閉動作時に通気口を開放する通気口開閉機構を設けることから、開閉動作時にシャッタ扉の通気口を開放することにより、内外圧力差によるシャッタ扉やそのガイド部への負荷を軽減することができ、これにより、シャッタ扉とガイド部の軽量コンパクト化と長寿命化を図るとともに、シャッタ扉の軽量化と開閉時の抵抗力減少に伴い、その駆動動力を小さくすることができる。
【００１０】
この場合、通気口開閉機構が、シャッタ扉と略同位置に通気口を有し、かつシャッタ扉にスライド可能に重合されるスライド扉と、該スライド扉とシャッタ扉とを載置して開閉動作するとともに、スライド扉をシャッタ扉と通気口が合致する位置に付勢して支持する開閉支持台と、扉枠側に設けられ、シャッタ扉の閉じ位置でスライド扉に当接することにより、スライド扉をシャッタ扉の通気口を閉塞する位置にスライドさせる押し片とを備えることにより、通気口開閉機構を、専用の動力を必要とすることもなく簡単に設けることができる。
【００１１】
また、通気口が合致する位置でシャッタ扉との間に空隙を存し、かつ通気口を閉塞する位置でシャッタ扉に密着するようにスライド扉を案内するスライドレーンを開閉支持台に設けることにより、閉塞時の通気口の隙間を極力小さくするとともに、スライド扉がスライドする際の擦れを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明のシャッタ装置の実施の形態を、図面に基づいて説明する。
【実施例１】
【００１３】
図１〜図５に、本発明のシャッタ装置の一実施例を示す。
このシャッタ装置は、クリーンルームやカセットの開口部１にシャッタ扉２を開閉可能に配設するもので、シャッタ扉２に複数の通気口２１を形成するとともに、シャッタ扉２が閉じたときに通気口２１を閉塞し、かつシャッタ扉２の開閉動作時に通気口２１を開放する通気口開閉機構を設けている。
【００１４】
通気口開閉機構は、シャッタ扉２と同位置に通気口３１を有し、かつシャッタ扉２にスライド可能に重合されるスライド扉３と、該スライド扉３とシャッタ扉２とを載置して開閉動作するとともに、スライド扉３をシャッタ扉２と通気口２１、３１が合致する位置に付勢して支持する開閉支持台４と、扉枠側に設けられ、シャッタ扉２の閉じ位置でスライド扉３に当接することにより、スライド扉３をシャッタ扉２の通気口２１を閉塞する位置にスライドさせる押し片５とを備えている。
【００１５】
シャッタ扉２は、本実施例では、上下２列でシャッタ扉２全体に均等に配設された縦スリット状の通気口２１を有している。
シャッタ扉２は、開閉支持台４の上に固定されており、開閉支持台４がモータ（図示省略）で左右に移動することにより、開口部１を開閉する。
【００１６】
スライド扉３は、シャッタ扉２と同じ外形で、かつシャッタ扉２と同位置に同形状の通気口３１を有しており、開口部１の陽圧側でシャッタ扉２に重合するように開閉支持台４の上に支持されている。
スライド扉３は、開閉支持台４上でスライド可能に配設されており、通常は、シャッタ扉２と通気口３１が合致する同じ並び位置になるように、開閉支持台４後端部との間に介設したばね６により閉じ方向に付勢され、開閉支持台４前端部のストッパ４１に当接することにより位置決めされている。
【００１７】
開閉支持台４は、シャッタ扉２とスライド扉３とを載置する横長板状のものからなり、シャッタ扉２を前端部のストッパ４１と当接する位置で固定している。
また、この開閉支持台４は、その後端部とスライド扉３との間に介設したばね６により、スライド扉３をストッパ４１と当接するように付勢するとともに、開き方向にスライド可能に支持している。
この開閉支持台４は、モータ（図示省略）により、シャッタ扉２とスライド扉３を載置した状態で開口部１と戸袋との間を移動し、開口部１の開閉を行う。
【００１８】
押し片５は、本実施例では、扉枠の支柱７に設けられた突起からなり、図３に示すように、シャッタ扉２の閉じ位置でスライド扉３に当接することにより、スライド扉３を開き方向に押し戻し、スライド扉３をシャッタ扉２の通気口２１を閉塞する位置にスライドさせる。
スライド扉３は、このようにシャッタ扉２の閉じ位置では押し片５に当接し、シャッタ扉２の通気口２１を閉塞する位置にスライドするが、図１〜図２又は図４〜図５に示すように、シャッタ扉２の開閉動作時には、押し片５から開放されることから、ばね６により元の位置に復帰してシャッタ扉２の通気口２１を開放する。
【００１９】
ところで、本実施例では、スライド扉３をシャッタ扉２の陽圧側に配設することにより、スライド扉３とシャッタ扉２を密着させ、閉止時における通気口２１の隙間を極力小さくしている。
この場合、スライド扉３を薄く形成すれば、その変形によりさらに隙間を小さくすることができるが、スライド扉３がスライドするときに擦れが生じる。
このような場合は、図６に示すように、開閉支持台４に、スライド扉３が通気口２１を閉塞する位置でシャッタ扉２側に変位するようなスライドレーン４２を設けるようにする。
このスライドレーン４２は、通気口２１、３１が合致する位置ではスライド扉３とシャッタ扉２との間に空隙を存し、かつ通気口２１を閉塞する位置ではシャッタ扉２に密着するようにスライド扉３を案内するもので、後部がシャッタ扉２側に湾曲している。
このようなスライドレーン４２を設けることにより、閉塞時の通気口２１の隙間を極力小さくするとともに、スライド扉３がスライドする際の擦れを防止することができる。
【００２０】
かくして、本実施例のシャッタ装置は、開口部１にシャッタ扉２を開閉可能に配設したシャッタ装置において、シャッタ扉２に複数の通気口２１を形成するとともに、シャッタ扉２が閉じたときに通気口２１を閉塞し、かつシャッタ扉２の開閉動作時に通気口２１を開放する通気口開閉機構を設けることから、図７（ｃ）（ｄ）に示すように、開閉動作時にシャッタ扉２の通気口２１を開放することにより、内外圧力差によるシャッタ扉２やそのガイド部への負荷を軽減することができ、これにより、シャッタ扉２とガイド部の軽量コンパクト化と長寿命化を図るとともに、シャッタ扉２の軽量化と開閉時の抵抗力減少に伴い、その駆動動力を小さくすることができる。
【００２１】
この場合、通気口開閉機構が、シャッタ扉２と略同位置に通気口３１を有し、かつシャッタ扉２にスライド可能に重合されるスライド扉３と、該スライド扉３とシャッタ扉２とを載置して開閉動作するとともに、スライド扉３をシャッタ扉２と通気口２１、３１が合致する位置に付勢して支持する開閉支持台４と、扉枠側に設けられ、シャッタ扉２の閉じ位置でスライド扉３に当接することにより、スライド扉３をシャッタ扉２の通気口２１を閉塞する位置にスライドさせる押し片５とを備えることにより、通気口開閉機構を、専用の動力を必要とすることもなく簡単に設けることができる。
【００２２】
また、通気口２１、３１が合致する位置でシャッタ扉２との間に空隙を存し、かつ通気口２１を閉塞する位置でシャッタ扉２に密着するようにスライド扉３を案内するスライドレーン４２を開閉支持台４に設けることにより、閉塞時の通気口２１の隙間を極力小さくするとともに、スライド扉３がスライドする際の擦れを防止することができる。
【００２３】
以上、本発明のシャッタ装置について、その実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、例えば、シャッタ扉の通気口をフラップ等で開閉するなど、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができる。
【産業上の利用可能性】
【００２４】
本発明のシャッタ装置は、内外圧力差によるシャッタ扉やそのガイド部への負荷を軽減することにより、長寿命化を図るとともにコンパクトにすることができるという特性を有していることから、例えば、クリーンルームやカセットのシャッタ装置の用途に好適に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明のシャッタ装置の一実施例を示し、（ａ）はシャッタ扉が開いた状態を示す正面図、（ｂ）は同水平断面図である。
【図２】同実施例のシャッタ装置を示し、（ａ）はシャッタ扉の閉じ動作時の状態を示す正面図、（ｂ）は同水平断面図である。
【図３】同シャッタ装置を示し、（ａ）はシャッタ扉が閉じた状態を示す正面図、（ｂ）は同水平断面図である。
【図４】同シャッタ装置を示し、（ａ）はシャッタ扉の開き動作時の状態を示す正面図、（ｂ）は同水平断面図である。
【図５】同シャッタ装置を示し、（ａ）はシャッタ扉が開いた状態を示す正面図、（ｂ）は同水平断面図である。
【図６】同シャッタ装置のスライドレーンを示す平面図である。
【図７】従来のシャッタ装置と本発明のシャッタ装置を示し、（ａ）は従来のシャッタ扉の開閉動作時の状態を示す正面図、（ｂ）は同水平断面図、（ｃ）は本発明のシャッタ扉の開閉動作時の状態を示す正面図、（ｄ）は同水平断面図である。
【符号の説明】
【００２６】
１    開口部
２    シャッタ扉
２１  通気口
３    スライド扉
３１  通気口
４    開閉支持台
４１  ストッパ
４２  スライドレーン
５    押し片
６    ばね
７    扉枠の支柱
【図１】
2008150855.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2008150855.tif 000007
【図６】
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【図７】
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