(57)【要約】【課題】  基材に種々の層を多層にして形成した複合基板を多面付けして作製する際に、各面付けの境部の各層の塗膜を除去を、簡単に、且つ、品質面的にも問題なく行える塗膜除去方法と塗膜除去装置とを提供する。【解決手段】  ウエット状態の塗膜を除去する領域である除去領域内において、吸引部の吸い込み口を、塗膜配設基板に接触させながら、且つ、吸い込み口から吸引しながら、吸い込み口を、前記塗膜配設基板の一面に沿うように、該塗膜配設基板に対して相対的に移動させ、前記除去領域の前記塗膜を除去する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエット状態の塗膜がその一面側に配設された塗膜配設基板に対して、吸引部（吸引ヘッドとも言う）にて選択的にウエット状態の塗膜を吸引除去して、前記塗膜配設基板の一面側内部にわたり、前記ウエット状態の塗膜の除去を選択的行う、塗膜除去方法であって、前記ウエット状態の塗膜を除去する領域である除去領域内において、吸引部の吸い込み口を、前記塗膜配設基板に接触させながら、且つ、吸い込み口から吸引しながら、吸い込み口を、前記塗膜配設基板の一面に沿うように、該塗膜配設基板に対して相対的に移動させ、前記除去領域の前記塗膜を除去することを特徴とする塗膜除去方法。
【請求項２】
請求項１記載の塗膜除去方法であって、前記吸引部の吸い込み口は、スリット状の開口形状であることを特徴とする塗膜除去方法。
【請求項３】
請求項１ないし２のいずれか１項に記載の塗膜除去方法であって、前記塗膜配設基板は多面付け用で、各面付け間の塗膜を除去するものであることを特徴とする塗膜除去方法。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項に記載の塗膜除去方法であって、前記塗膜配設基板は、表示パネル形成用の多層からなる複合基板を形成するための基板であることを特徴とする塗膜除去方法。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか１項に記載の塗膜除去方法であって、吸引部の吸い込み口による塗膜の吸引に際し、予め、塗膜に所定の液によりウエット状態を促進しておくことを特徴とする塗膜除去方法。
【請求項６】
ウエット状態の塗膜がその一面側に配設された塗膜配設基板に対して、吸引部（吸引ヘッドとも言う）にて選択的にウエット状態の塗膜を吸引除去して、前記塗膜配設基板の一面側内部にわたり、前記ウエット状態の塗膜の除去を選択的に行う、塗膜除去装置であって、前記塗膜配設基板を水平に搭載して保持するステージと、その吸い込み口をステージ側にして、ステージ上側に配され、前記ウエット状態の塗膜を吸引除去する吸引部と、該吸引部に管にて接続して、その吸い込み口にて吸引した塗膜を、更に吸引して貯える低圧のタンクと、吸引部の吸い込み口の鉛直方向の位置を制御する、吸い込み口位置制御部を備えたもので、前記吸引部の吸い込み口は、前記ステージに対して相対的に移動できるもので、該吸い込み口の先端を、前記塗膜が配設された塗膜配設基板に接触させながら、且つ、該吸い込み口の先端から吸引しながら、該吸い込み口を、前記塗膜配設基板の一面に沿うように、該塗膜配設基板に対して相対的に移動させ、前記除去領域の前記塗膜を除去するものであることを特徴とする塗膜除去装置。
【請求項７】
請求項６に記載の塗膜除去装置であって、前記吸引部の吸い込み口は、スリット状の開口を有し、且つ、そのスリット状の開口の長手方向の中心を支点として、塗膜配設基板の面状態に沿い回転可能であることを特徴とする塗膜除去装置。
【請求項８】
請求項６ないし７のいずれか１項に記載の塗膜除去装置であって、前記吸引部の吸い込み口は樹脂からできていることを特徴とする塗膜除去装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエット状態の塗膜がその一面側に配設された塗膜配設基板に対して、吸引部にて選択的にウエット状態の塗膜を吸引除去して、前記塗膜配設基板の一面側内部にわたり、前記ウエット状態の塗膜の除去を選択的に行う、塗膜除去方法と、それを実施するための塗膜除去装置に関する。
特に、表示パネル形成用の多層からなる、多面付け用の複合基板を形成するための塗膜除去方法と塗膜除去装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、表示パネル用として、基材に種々の層を多層にして形成した複合基板が表示パネル用基板として作製されているが、中でも、小型のものは、ほとんど、生産性の面から多面付けして作製されている。
従来、多面付けして形成する場合には、スピンコート等により基材の所定の面側に各層の塗膜を形成するが、該塗膜は各面付けの境部にも配設されていた。
しかし、各面付け毎に、封止材により封止を行う場合には、上記各面付けの境部の塗膜が、耐湿性を下げる一因となるとの理由などにより、各面付けの境部の塗膜の除去が望まれていた。
例えば、基板上に、少なくとも第１電極層、厚膜誘電体層、発光層、および第２電極層の各層を順に積層してＥＬ素子を形成しているＥＬ素子パネルを形成するための複合基板を多面付けで作製する場合には、封止の耐湿性の面から、各面付けの境部の塗膜の除去が望まれていた。
【０００３】
基材に配設された塗膜の外周部を除去する方法は、多く知られているが、内部の塗膜を除去する方法は少なくその使用も限定されている。
例えば、特開２００３−２３６４３８号公報（特許文献１）には、プラズマディスプレイパネル用の複合基板を対象として、シート状のワイパーにより除去を行う、塗布液除去装置、塗布液除去方法が記載されているげ、ここに記載のものは、ワイパーを消耗品として、機械的除去で、その使用が難しく、メンテナンスも手間がかかるものである。
また、例えば、特開２００３−２０３７６５号公報（特許文献２）には、ＥＬ表示パネル用の複合基板に対して、マイクロブラストと呼ばれるブラスト工法により塗膜を除去する方法が記載されている。
この方法は、細いノズルから砥粒を圧縮乾燥気体とともに吹き付け微細加工するものであるが、砥粒の材質、粒径、形状、ノズルの選択他の処理条件や装置の管理に手間がかかるという問題があり、その使用にも品質面で限界ある。
【特許文献１】特開２００３−２３６４３８号公報
【特許文献２】特開２００３−２０３７６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このように、近年、表示パネル用として、基材に種々の層を多層にして形成した複合基板が表示パネル用基板として作製され、生産性の面から多面付けして作製されているが、多面付けして作製する場合には、種々の理由により、各面付けの境部の各層の塗膜を除去を、簡単に、且つ、品質面的にも問題なく行える方法求められていた。
本発明はこれらに対応するもので、基材に種々の層を多層にして形成した複合基板を多面付けして作製する際に、各面付けの境部の各層の塗膜を除去を、簡単に、且つ、品質面的にも問題なく行える塗膜除去方法と塗膜除去装置とを提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の塗膜除去方法は、ウエット状態の塗膜がその一面側に配設された塗膜配設基板に対して、吸引部（吸引ヘッドとも言う）にて選択的にウエット状態の塗膜を吸引除去して、前記塗膜配設基板の一面側内部にわたり、前記ウエット状態の塗膜の除去を選択的に行う、塗膜除去方法であって、前記ウエット状態の塗膜を除去する領域である除去領域内において、吸引部の吸い込み口を、前記塗膜配設基板に接触させながら、且つ、吸い込み口から吸引しながら、吸い込み口を、前記塗膜配設基板の一面に沿うように、該塗膜配設基板に対して相対的に移動させ、前記除去領域の前記塗膜を除去することを特徴とするものである。
そして、上記の塗膜除去方法であって、前記吸引部の吸い込み口は、スリット状の開口形状であることを特徴とするものである。
そしてまた、上記いずれかの塗膜除去方法であって、前記塗膜配設基板は多面付け用で、各面付け間の塗膜を除去するものであることを特徴とするものである。
また、上記いずれかの塗膜除去方法であって、前記塗膜配設基板は、表示パネル形成用の多層からなる複合基板を形成するための基板であることを特徴とするものである。
また、上記いずれかの塗膜除去方法であって、吸引部の吸い込み口による塗膜の吸引に際し、予め、塗膜に所定の液によりウエット状態を促進しておくことを特徴とするものである。
【０００６】
本発明の塗膜除去装置は、ウエット状態の塗膜がその一面側に配設された塗膜配設基板に対して、吸引部（吸引ヘッドとも言う）にて選択的にウエット状態の塗膜を吸引除去して、前記塗膜配設基板の一面側内部にわたり、前記ウエット状態の塗膜の除去を選択的に行う、塗膜除去装置であって、前記塗膜配設基板を水平に搭載して保持するステージと、その吸い込み口をステージ側にして、ステージ上側に配され、前記ウエット状態の塗膜を吸引除去する吸引部と、該吸引部に管にて接続して、その吸い込み口にて吸引した塗膜を、更に吸引して貯える低圧のタンクと、吸引部の吸い込み口の鉛直方向の位置を制御する、吸い込み口位置制御部を備えたもので、前記吸引部の吸い込み口は、前記ステージに対して相対的に移動できるもので、該吸い込み口の先端を、前記塗膜が配設された塗膜配設基板に接触させながら、且つ、該吸い込み口の先端から吸引しながら、該吸い込み口を、前記塗膜配設基板の一面に沿うように、該塗膜配設基板に対して相対的に移動させ、前記除去領域の前記塗膜を除去するものであることを特徴とするものである。
そして、上記の塗膜除去装置であって、前記吸引部の吸い込み口は、スリット状の開口を有し、且つ、そのスリット状の開口の長手方向の中心を支点として、塗膜配設基板の面状態に沿い回転可能であることを特徴とするものである。
そしてまた、上記いずれかの塗膜除去装置であって、前記吸引部の吸い込み口は樹脂からできていることを特徴とするものである。
【０００７】
（作用）
本発明の塗膜除去方法は、このような構成にすることにより、基材に種々の層を多層にして形成した複合基板を多面付けして作製する際に、各面付けの境部の各層の塗膜を除去を、簡単に、且つ、品質面的にも問題なく行える塗膜除去方法の提供を可能としている。  具体的には、ウエット状態の塗膜を除去する領域である除去領域内において、吸引部の吸い込み口を、塗膜配設基板に接触させながら、且つ、吸い込み口から吸引しながら、吸い込み口を、前記塗膜配設基板の一面に沿うように、該塗膜配設基板に対して相対的に移動させ、前記除去領域の前記塗膜を除去することより、これを達成している。
前記吸引部の吸い込み口としては、スリット状の開口形状が挙げられるが、これに限定はされない。
特に、塗膜配設基板は多面付け用で、各面付け間の塗膜を除去するものである場合には、有効である。
また、塗膜配設基板としては、表示パネル形成用の多層からなる複合基板を形成するための基板が挙げられる。
また、引部の吸い込み口による塗膜の吸引に際し、予め、塗膜に所定の液によりウエット状態を促進しておく、請求項５の発明の形態とすることにより、確実に塗膜の除去を可能とする。
【０００８】
本発明の塗膜除去装置は、このような構成にすることにより、基材に種々の層を多層にして形成した複合基板を多面付けして作製する際に、各面付けの境部の各層の塗膜を除去を、簡単に、且つ、品質面的にも問題なく行える塗膜除去装置の提供を可能としている。  特に、吸引部の吸い込み口は、スリット状の開口を有し、且つ、そのスリット状の開口の長手方向の中心を支点として、塗膜配設基板の面状態に沿い回転可能である、請求項７の発明の形態とすることにより、スリット状の開口の長手方向全体にわたり、容易に、塗膜配設基板と吸い込み口とを接触できるようにしている。
また、吸引部の吸い込み口は樹脂からできている、請求項８の発明の形態とすることにより、除去する塗膜以外の吸い込み口が接する部分の損傷をないものとしている。
【発明の効果】
【０００９】
本発明は、上記のように、基材に種々の層を多層にして形成した複合基板を多面付けして作製する際に、各面付けの境部の各層の塗膜を除去を、簡単に、且つ、品質面的にも問題なく行える塗膜除去方法と、それを実施するための塗膜除去装置の提供を可能とした。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明の塗膜除去方法の実施の形態の１例を図に基づいて説明する。
図１（ａ）は本発明の塗膜除去方法の実施の形態の１例を示した概略図で、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ１側から見た吸引部の吸引状態を示した図で、図２（ａ）は吸引部の回転を説明するための概略図で、図２（ｂ）は図２（ａ）のＢ１側からみた図で、図３はウェット状態促進方法を説明するための図、図４（ａ）は多面付け用の基板における塗膜除去処理前の状態を示した図で、図４（ｂ）は塗膜除去処理後の状態を示した図である。
尚、図１（ａ）において、点線矢印は塗膜の吸引方向を示し、実線矢印は減圧排気の方向を示しており、図１（ｂ）において、矢印はステージの移動方向を示している。
また、図２において、太点線両矢印は回転方向を示しており、図３における太点線矢印はウェット状態促進のための液供給を示しており、図４（ｂ）における点線は、各面付けの境部を示している。
図１〜図４において、１０、１０ａは吸引部、１５、１５ａは吸い込み口、１６はスリット状の開口、２０はＸＹステージ、３０はタンク、３１、３２は管、３５は制御弁、４０はシリンダー、４１は排気配管、４１Ａは制御弁、４２は圧縮空気供給配管、４２Ａは制御弁、４５はシリンダー軸、４７は支持部、５０は支持部、５１は（シリンダーの）固定部、７０はノズル、７５はウェット状態促進液、８０は塗膜配設基板、８０ａは（塗膜除去後の）処理済基板、８５は（ウェット状態の）塗膜、８６は単位の面付け、８７は（面付けの）境部である。
【００１１】
はじめに、本発明の塗膜除去方法の実施の形態の１例を、図１に基づいて説明する。
本例の塗膜除去方法は、ウエット状態の塗膜８５がその一面側に配設された塗膜配設基板８０に対して、吸引部（吸引ヘッドとも言う）１０にて選択的にウエット状態の塗膜８５を吸引除去して、前記塗膜配設基板８０の一面側内部にわたり、前記ウエット状態の塗膜８５の除去を選択的に行う、塗膜除去方法であり、図１（ａ）に示すように、ステージ２０に塗膜配設基板８０を水平に搭載して保持した状態で、塗膜８５を除去する領域である除去領域内において、吸引部１０の吸い込み口１５を、塗膜８５が配設された塗膜配設基板８０に接触させながら、且つ、吸い込み口１５から吸引しながら、吸い込み口１５を、塗膜配設基板８０の一面に沿うように、該塗膜配設基板８０に対して相対的に移動させ、前記除去領域の塗膜８５を除去するものである。
本例は、図１（ａ）に示す、ＸＹステージ２０、吸引部１０、シリンダー４０等を備えた塗膜除去装置にて、塗膜の除去を行うものである。
【００１２】
図１（ａ）に示す塗膜除去装置は、塗膜配設基板８０を水平に搭載して保持するＸＹステージ２０と、その吸い込み口１５をステージ２０側にして、ステージ２０上側に配され、前記ウエット状態の塗膜を吸引除去する吸引部１０と、該吸引部１０に管にて接続して、その吸い込み口１５にて吸引した塗膜を、更に吸引して貯える低圧のタンク３０と、吸引部１０の吸い込み口１５の鉛直方向の位置を制御する、シリンダー４０を吸い込み口位置制御部として備えたものであり、吸引部１０の吸い込み口１５は、ＸＹステージ２０のＸＹ移動により該ＸＹステージ２０に対して相対的に移動できるもので、該吸い込み口１５の先端を、前記塗膜が配設された塗膜配設基板に接触させながら、且つ、該吸い込み口１５の先端から吸引しながら、該吸い込み口１５を、塗膜配設基板８０の一面に沿うように、塗膜配設基板８０に対して相対的に移動させ、除去領域の塗膜８５を除去するものである。
ここでは、吸引部１０に管３２にて接続して、その吸い込み口１５にて吸引した塗膜８５を、更に吸引して減圧されて低圧のタンク３０に貯える。
吸引部１０はここでは、シリンダー４０の駆動により、そのシリンダー軸４５の移動位置で位置制御されており、シリンダー４０が、吸引部１０の吸い込み口１５の鉛直方向の位置を制御する、吸い込み口位置制御部に相当する。
尚、図１には明示していないが、ここでは、制御弁４１Ａ、４２Ａの開閉は、制御されて行われて、シリンダー軸４５の移動が制御される。
また、吸引用の管３１を介しての吸引動作は、制御弁３５にて制御されて行われる。
【００１３】
吸引部１０としては、除去する幅やウェット状態の塗膜８５の特性や、吸引の仕方に応じて、種々のサイズ、形状のものが用いられる。
図１に示す、吸引部１０の吸い込み口１５は、ノズル状であるが、これに限定はされない。
例えば、図２に示す、吸引部１０ａは、除去する幅が広い場合で、図２（ｂ）に示すように、ここでは、吸引部１０の吸い込み口１５ａは、スリット状の開口１６を有している。
そして、除去を行う際、スリット状の開口１６の長手方向全体が、塗膜配設基板（図１の８０に相当）に容易に均一に接するように、図２（ａ）に示すように、吸引部１０ａの吸い込み口１５ａは、そのスリット状の開口１６の長手方向の中心を支点として、塗膜配設基板８０の面状態に沿い回転可能としている。
ここでは、支持部４７により、吸引部１０ａが、回転可能にして、シリンダー軸４５に接合されている。
【００１４】
簡単に、本例の塗膜除去方法の処理フローの１例を説明しておく。
先ず、予め、ウエット状態の塗膜がその一面側に配設された塗膜配設基板を用意しておき、該塗膜配設基板をステージ２０上に載置して保持させる。
例えば、透明な基板の一面側上に、液状物質を塗工して、ウエット状態の塗膜を配設して塗膜配設基板を用意しておく。
次いで、ＸＹステージ２０を移動して、吸引部１０の吸い込み口１５を塗膜８５を除去する領域である除去領域内の所定位置とする。
次いで、シリンダー４０を駆動して、そのシリンダー軸４５の先端に接続した吸引部１０を位置移動して、吸引部１０の吸い込み口１５を、塗膜８５が配設された塗膜配設基板８０に接触させた状態とする。
この状態で吸い込み口１５から吸引するようになっている。
そして、吸い込み口１５を、塗膜配設基板８０の一面に沿うように、除去領域内を、塗膜配設基板８０に対して相対的に移動させる。
このようにして、所望の領域全体の塗膜８５を選択的に除去する。
例えば、図４（ａ）に示す、塗膜除去処理前の塗膜配設基板８０ａは、塗膜除去処理後には、図４（ｂ）のように、各面付けの間の塗膜は除去される。
【００１５】
本例の変形例としては、図３に示すように、吸引部１０の吸い込み口１５による塗膜８５の吸引に際し、予め、ノズル７０により、塗膜８５に所定のウェット状態促進液７５をかけて、ウエット状態を促進しておく方法も挙げられる。
塗膜配設基板８０としては、特に限定されない。
透明基板面に直接ウェット状態の塗膜を配設したものの他、透明基板面に設けられた固化した層の上にウェット状態の塗膜を配設したものでも良い。
具体的には、塗膜配設基板８０として、表示パネル形成用の多層からなる複合基板が挙げられる。
また、別の形態としては、ステージを固定のものとして、吸引部を制御してＸＹ移動させることにより、相対的に、吸引部を除去領域内において移動させる形態も挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１（ａ）は本発明の塗膜除去方法の実施の形態の１例を示した概略図で、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ１側から見た吸引部の吸引状態を示した図である。
【図２】図２（ａ）は吸引部の回転を説明するための概略図で、図２（ｂ）は図２（ａ）のＢ１側からみた図である。
【図３】ウェット状態促進方法を説明するための図である。
【図４】図４（ａ）は多面付け用の基板における塗膜除去処理前の状態を示した図で、図４（ｂ）は塗膜除去処理後の状態を示した図である。
【符号の説明】
【００１７】
１０、１０ａ        吸引部
１５、１５ａ        吸い込み口
１６                スリット状の開口
２０                ＸＹステージ
３０                タンク
３１、３２          管
３５                制御弁
４０                シリンダー
４１                排気配管
４１Ａ              制御弁
４２                圧縮空気供給配管
４２Ａ              制御弁
４５                シリンダー軸
４７                支持部
５０                支持部
５１              （シリンダーの）固定部
７０                ノズル
７５                ウェット状態促進液
８０                塗膜配設基板
８０ａ            （塗膜除去後の）処理済基板
８５              （ウェット状態の）塗膜
８６                単位の面付け
８７              （面付けの）境部
【図１】
2008018301.tif 000003
【図２】
2008018301.tif 000004
【図３】
2008018301.tif 000005
【図４】
2008018301.tif 000006