(57)【要約】【課題】回転方向の違いによる特性のアンバランスを確実に解消することができる駆動装置を提供する。【解決手段】駆動装置は、超音波モータ１の正転運動を被駆動部材（出力軸）の第１方向への動力に変換する第１伝達機構（クラッチ７）と、超音波モータ１の逆転運動を被駆動部材の第１方向への動力に変換する第２伝達機構（クラッチ７）とを備える。また、第１伝達機構と第２伝達機構とを切り替える切り替え手段（小型モータ）と、超音波モータ１の正転運動の特性と逆転運動の特性とを比較する比較手段（ＣＰＵ２２）とを備える。さらに、比較手段の比較結果に応じて、切り替え手段を介して第１伝達機構と第２伝達機構のいずれかを選択する選択手段（ＣＰＵ２２）を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気―機械エネルギ変換素子により振動が励起される振動体と、振動体に接触して振動体に励振される振動によって駆動されるロータとを有し、正逆方向に回転可能な超音波モータを動力源として被駆動部材を駆動する駆動装置において、
前記超音波モータの正転運動を前記被駆動部材の第１方向への動力に変換する第１伝達機構と、
前記超音波モータの逆転運動を前記被駆動部材の第１方向への動力に変換する第２伝達機構と、
前記第１伝達機構と第２伝達機構とを切り替える切り替え手段と、
前記超音波モータの正転運動の特性と逆転運動の特性とを比較する比較手段と、
前記比較手段の比較結果に応じて、前記切り替え手段を介して前記第１伝達機構と第２伝達機構のいずれかを選択する選択手段と、
を備えることを特徴とする駆動装置。
【請求項２】
前記第１伝達機構及び第２伝達機構は、単一のクラッチにより構成されることを特徴とする請求項１記載の駆動装置。
【請求項３】
前記比較手段は、前記超音波モータの駆動電圧を比較することを特徴とする請求項１記載の駆動装置。
【請求項４】
前記比較手段は、前記超音波モータの回転数のトルクを比較することを特徴とする請求項１記載の駆動装置。
【請求項５】
前記比較手段は、前記超音波モータの保持トルクを比較することを特徴とする請求項１記載の駆動装置。
【請求項６】
前記比較手段は、前記超音波モータの駆動音を比較することを特徴とする請求項１記載の駆動装置。
【請求項７】
前記比較手段は、前記超音波モータの回転数を比較することを特徴とする請求項１記載の駆動装置。
【請求項８】
前記比較手段は、前記超音波モータの駆動周波数を比較することを特徴とする請求項１記載の駆動装置。
【請求項９】
電気―機械エネルギ変換素子により振動が励起される振動体と、振動体に接触して振動体に励振される振動によって駆動されるロータとを有し、正逆方向に回転可能な超音波モータを動力源として被駆動部材を駆動する駆動装置の制御方法において、
前記超音波モータの正転運動を前記被駆動部材の第１方向への動力に変換する第１伝達ステップと、
前記超音波モータの逆転運動を前記被駆動部材の第１方向への動力に変換する第２伝達ステップと、
前記第１伝達ステップと第２伝達ステップとを切り替える切り替えステップと、
前記超音波モータの正転運動の特性と逆転運動の特性とを比較する比較ステップと、
前記比較ステップの比較結果に応じて、前記切り替えステップを介して前記第１伝達ステップと第２伝達ステップのいずれかを選択する選択ステップと、
を備えることを特徴とする駆動装置の制御方法。
【請求項１０】
前記比較ステップは、前記超音波モータの駆動電圧を比較することを特徴とする請求項９記載の駆動装置の制御方法。
【請求項１１】
前記比較ステップは、前記超音波モータの回転数のトルクを比較することを特徴とする請求項９記載の駆動装置の制御方法。
【請求項１２】
前記比較ステップは、前記超音波モータの保持トルクを比較することを特徴とする請求項９記載の駆動装置の制御方法。
【請求項１３】
前記比較ステップは、前記超音波モータの駆動音を比較することを特徴とする請求項９記載の駆動装置の制御方法。
【請求項１４】
前記比較ステップは、前記超音波モータの回転数を比較することを特徴とする請求項９記載の駆動装置の制御方法。
【請求項１５】
前記比較ステップは、前記超音波モータの駆動周波数を比較することを特徴とする請求項９記載の駆動装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超音波モータを用いた駆動装置及びその制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電セラミック等の圧電体、及び金属等の弾性基板により構成された振動体を交流電圧で駆動して励振し、この励振された振動体を駆動源とする超音波モータは小型で高トルク得られるため、従来の直流モータに代わるアクチュエータとして注目されている。
【０００３】
振動型アクチュエータ（超音波モータ）としては、棒状型振動波モータ、円環型振動波モータ等がある。ここで、棒状型振動波モータの一例（特許文献１を参照）について図１１を参照しながら説明する。図１１は従来の棒状型振動波モータの一例の構成を示す縦断面図である。
【０００４】
棒状型振動波モータは、図１１に示すように、弾性体１０１と、弾性体１０５と、積層圧電素子１０３と、ロータ１０２と、ギア１０９を備える。各弾性体１０１、１０５、積層圧電素子１０３、ロータ１０２及びギア１０９は、シャフト１０４に挿通されている。弾性部材１０１は、ステンレスにＮｉ−Ｐ−ステップＳｉＣ複合めっきが施されたものである。ロータ１０２には、接触ばね部１０２ｄが一体的に形成されている。ロータ１０２は、アルミ合金を旋削加工して接触ばね部１０２ｄを形成した後にアルマイト処理が施されたものである。弾性体１０１の一方の端面１０１ｂと接触ばね部１０２ｄとは、ばね１０８により、所定の押圧力で接触されている。
【０００５】
この振動波モータにおいては、圧電素子１０３に交流電圧が印加されると、弾性部材１０１が首振り振動し、接触ばね部１０２ｄと接触する端面１０１ｂには、楕円運動が生じる。これにより、ロータ１０２が相対的に摩擦駆動される。
【０００６】
上記振動波モータに対して、弾性体と接触する接触ばね部を別体とし、接触ばね部の加工を容易に実現するための構成が提案されている（例えば特許文献２または３を参照）。このような構成を有する棒状型振動波モータについて図１２を参照しながら説明する。図１２は従来の棒状型振動波モータの他の例の構成を示す縦断面図である。ここで、図中、図１１に示す部材と同一の部材には、同一の符号を付し、その説明は省略する。
【０００７】
このような棒状型振動波モータにおいては、図１２に示すように、弾性体１０１の一端面にセラミックからなる摩擦板１０１ａが設けられている。ロータ１０２には、マルテンサイト系ステンレス鋼板のプレス加工によって成型した接触ばね１０２ａが嵌合されて固着されている。弾性体１０１の摩擦板１０１ａと接触ばね１０２ａとは、ばね１０８により、所定の押圧力で接触されている。
【０００８】
次に、従来の円環型振動波モータについて図１３を参照しながら説明する。図１３は従来の円環型振動波モータの構成を示す縦断面図である。
【０００９】
円環型振動波モータは、図１３に示すように、リング状の弾性体１２０の一方の面に圧電素子１２１が接合された振動子を備え、この振動子は、弾性体１２０の内径側のフランジと支持部材１２８とをビス等の締結手段で締結することによって、支持される。支持部材１２８には、垂直に延びるシャフト１２６の下端が固定されている。シャフト１２６には、円板状のロータ１２２が挿通されており、ロータ１２２の一方の面は、弾性体１２０の他方の面に接触されている。ロータ１２２は、ギア１２３に係合可能に構成されている。ギア１２３は、シャフト１２６に挿通されている連結部材１２４と一体的に結合されている。連結部材１２４とロータ１２２との間には、ロータ１２２に加圧力を付与するための加圧ばね１２５が設けられ、この加圧ばね１２５のばね力により、ロータ１２２は、適正な加圧力で弾性体１２０に加圧接触する。 
【００１０】
しかしながら超音波モータは、振動子であるステータとロータの摩擦によって駆動するという構造であるため、モータを駆動させるとステータとロータの摺動面は磨耗してしまう。超音波モータの出力トルク等のモータ特性は、摺動面の接触状態に大きく影響されることから、摺動面が磨耗して接触状態が悪くなると、モータの特性が劣化してしまう。このため超音波モータは直流モータに比べ、寿命が短いことが問題とされてきた。
【００１１】
近年、耐久性のある摩擦材の検討や駆動法の研究により超音波モータの耐久は飛躍的に向上しており、従来は難しかった長時間の耐久性を有する駆動装置にも、超音波モータを搭載することが可能になってきた。
【００１２】
しかし、モータ個々の摺動面の状態を微細な単位で均一に保つことは難しく、モータ個々によるばらつきで回転速度信号と回転速度の関係に個体差がでてしまうこともある。そこで特許文献４のように、回路上でモータのばらつきに対応する制御を行う提案がなされている。
【特許文献１】特開平５−２１１７８５号公報
【特許文献２】特開平８−１０３０８８号公報
【特許文献３】特開平１０−２８５９６１号公報
【特許文献４】特開平０８−０３３３６５公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
しかしながら、上記特許文献１記載の技術では、モータの個体差によるばらつきには対応しているが、同一のモータで回転方向の違いによるばらつきには対応していない。また、モータを逆転させるときに摺動面に発生するストレスが大きくなり、モータの寿命が短くなるという問題もあった。
【００１４】
本発明の目的は、回転方向の違いによる特性のアンバランスを確実に解消することができる駆動装置及びその制御方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記目的を達成するために、請求項１記載の駆動装置は、電気―機械エネルギ変換素子により振動が励起される振動体と、振動体に接触して振動体に励振される振動によって駆動されるロータとを有し、正逆方向に回転可能な超音波モータを動力源として被駆動部材を駆動する駆動装置において、前記超音波モータの正転運動を前記被駆動部材の第１方向への動力に変換する第１伝達機構と、前記超音波モータの逆転運動を前記被駆動部材の第１方向への動力に変換する第２伝達機構と、前記第１伝達機構と第２伝達機構とを切り替える切り替え手段と、前記超音波モータの正転運動の特性と逆転運動の特性とを比較する比較手段と、前記比較手段の比較結果に応じて、前記切り替え手段を介して前記第１伝達機構と第２伝達機構のいずれかを選択する選択手段とを備えることを特徴とする。
【００１６】
請求項９記載の駆動装置の制御方法は、電気―機械エネルギ変換素子により振動が励起される振動体と、振動体に接触して振動体に励振される振動によって駆動されるロータとを有し、正逆方向に回転可能な超音波モータを動力源として被駆動部材を駆動する駆動装置の制御方法において、前記超音波モータの正転運動を前記被駆動部材の第１方向への動力に変換する第１伝達ステップと、前記超音波モータの逆転運動を前記被駆動部材の第１方向への動力に変換する第２伝達ステップと、前記第１伝達ステップと第２伝達ステップとを切り替える切り替えステップと、前記超音波モータの正転運動の特性と逆転運動の特性とを比較する比較ステップと、前記比較ステップの比較結果に応じて、前記切り替えステップを介して前記第１伝達ステップと第２伝達ステップのいずれかを選択する選択ステップとを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の駆動装置は、超音波モータの正転運動を被駆動部材の第１方向への動力に変換する第１伝達機構と、超音波モータの逆転運動を被駆動部材の第１方向への動力に変換する第２伝達機構とを備える。また、第１伝達機構と第２伝達機構とを切り替える切り替え手段と、超音波モータの正転運動の特性と逆転運動の特性とを比較する比較手段とを備える。さらに、比較手段の比較結果に応じて、切り替え手段を介して第１伝達機構と第２伝達機構のいずれかを選択する選択手段を備える。
【００１８】
この構成により、回転方向の違いによる特性のアンバランスを確実に解消することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら詳細に説明する。
【００２０】
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る超音波モータを動力源とした駆動装置の機構部の構成図である。
【００２１】
本発明の超音波モータを用いた駆動装置は、正逆方向に回転可能な出力軸を必要とするものであれば適用可能である。超音波モータ１は、電気―機械エネルギ変換素子として機能する圧電体により振動が励起される振動体と、振動体に接触して振動体に励振される振動によって駆動される被駆動体としてのロータを備えている。
【００２２】
図１において、超音波モータ１にはモータ軸２が連結されており、超音波モータ１が駆動することによりモータ軸２は回転する。歯車４、歯車５はモータ軸２に、ベアリング４ｂ、５ｂにより回転自由に固定された傘歯車であり、歯車６は出力軸３に固定された傘歯車である。
【００２３】
クラッチ７は、モータ軸２の溝２ａとクラッチ７に設けられたキーによってすべり対偶をなし、かつ歯車４の溝４ａ、歯車５の溝５ａとそれぞれ噛み合うように構成されている。クラッチ７を左右に移動するには手動でも良いが、本実施の形態では小型モータ８を用いている。小型モータ８が駆動すると、小型モータ軸８ａを中心にクラッチ軸８ｂが回転し、それによりクラッチ７は左右に移動する。
【００２４】
図２に示すように、モータ軸２が矢印Ａ方向に回転しているとき、クラッチ７を右に移動させ、溝５ａと噛み合わせると、超音波モータ１の動力は歯車５に伝達し、さらに歯車６に伝達し、歯車６に固定されている出力軸３は矢印Ｃの方向に回転する。
【００２５】
同様に、図３に示すように、モータ軸２が矢印Ａ方向と逆向きである矢印Ｂ方向に回転しているとき、クラッチ７を左に移動させ、溝４ａと噛み合わせると、超音波モータ１の動力は歯車４に伝達し、出力軸３はやはり矢印Ｃ方向に回転する。
【００２６】
図１に示すようにクラッチ７が中央にある場合は、超音波モータ１の動力はどちらの歯車にも伝達されず、出力軸３は回転しない。
【００２７】
図４は、図１の駆動装置の機構部の駆動制御装置の構成を示すブロック図である。
【００２８】
図４において、本駆動制御装置は、超音波モータ１の動作制御回路２１とＣＰＵ２２を備える。動作制御回路２１には、超音波モータ１の他、超音波モータ１の回転速度と回転方向を検出するロータリーエンコーダ２３が接続されている。また、ＣＰＵ２２には、クラッチ７を切り替えるための小型モータやソレノイド等のアクチュエータ２４が接続されている。
【００２９】
ＣＰＵ２２は、図示していない指令手段から送られる速度や位置に関する指令に従って、動作制御回路２１に動作指令を送信する。動作指令は、例えば、超音波モータ１の回転速度、回転方向を指令するものや、起動停止の動作を指令するもの、また回転動作時の制御ゲインや起動時の駆動周波数、駆動電圧といった制御設定情報を伝達するものである。
【００３０】
超音波モータ１は、対応の動作指令に基づいて動作制御回路２１によって制御される。
【００３１】
一方、動作指令によって動作制御回路２１に設定された制御情報や超音波モータ１の各動作状態に関する情報はＣＰＵ２２に送られる。アクチュエータ２４は、ＣＰＵ２２からの動作指令によってオン／オフ動作を行う。
【００３２】
次に、超音波モータ１の特性の検出方法について説明する。 
【００３３】
超音波モータ１を上記の駆動制御装置に装着したとき、ＣＰＵ２２は、超音波モータ１の時計方向と反時計方向で回転させたときの特性を検出する。
【００３４】
本実施の形態では、駆動電圧を変化させることで、超音波モータ１のトルク特性を検出する。尚、超音波モータ１は、駆動周波数を変化させることで回転速度を制御し、エンコーダ出力に基づいて駆動周波数を制御するフィードバック制御が行われている。
【００３５】
図５は、入力電圧を変化させたときの一般的な超音波モータの回転数とトルクの関係を示したものである。特性ａの超音波モータ１で入力電圧を小さくすると特性ｂに、入力電圧を大きくすると特性ｃにそれぞれ平行移動する。
【００３６】
このため、時計方向と反時計方向でトルク特性が異なる場合、同一のトルクを出力したときの時計方向、反時計方向の入力電圧を検出し、上記電圧を比較することで、どちらの方向が、トルク特性がよいのか比較することができる。
【００３７】
図６は、図１の駆動装置の駆動制御の手順を示すフローチャートである。
【００３８】
本制御は図４におけるＣＰＵ２２によって実行される。
【００３９】
６において、まず、超音波モータ１が決められた速度で駆動するフィードバック制御が行われる状態になるように目標速度を設定する（ステップＳ１０１）。次に、上記フィードバック制御がかかった状態で、入力電圧を徐々に大きくなるようにスイープさせ、超音波モータ１を時計方向、反時計方向に駆動させる（ステップＳ１０２）。
【００４０】
そして、速度制御が可能な最小入力電圧を時計方向、反時計方向で検出し、検出した上記最小入力電圧をそれぞれ記憶する（ステップＳ１０３）。次に、記憶した時計方向、反時計方向の入力電圧を比較する（ステップＳ１０４）。
【００４１】
このとき、時計方向の方が、最小入力電圧が低ければ、ＣＰＵ２２は、超音波モータ１の回転方向を時計方向にする指令信号を動作駆動回路２１に送信し（ステップＳ１０５）、本処理を終了する。反対に反時計方向の方が、最小入力電圧が低ければ、反時計方向にする指令信号を動作駆動回路２１に送信し（ステップＳ１０６）、本処理を終了する。
【００４２】
超音波モータ１の時計方向、反時計方向の回転でどちらの特性が良いかを判断する方法は、上記の入力電圧を比較するだけでなく、他にもいくつか考えられる。
【００４３】
超音波モータ１の特性は、主にトルクと回転数が挙げられるが、入力電圧が等しい場合、一般的にトルクと回転数の関係は、ロータとステータとを押し付ける加圧力によって決まり、図７に示されるようになる。
【００４４】
図７において、特性ａの超音波モータ１で加圧力を小さくすると特性ｃに、加圧力を大きくすると特性ｂにそれぞれ移動する。つまりトルクが小さい超音波モータ１は回転数が高く、トルクの大きい超音波モータ１は回転数が低くなる。
【００４５】
従って、使用する機器が高回転低トルクを必要としているのか、低回転高トルクを必要としているのかによって、有利と判断される特性が異なってくる。
【００４６】
本実施の形態では、低回転高トルクを必要としているため、トルク特性を検出する手段を用いて、時計方向、反時計方向を比較した。その他にトルクを比較する手段としては、トルク検出手段を内蔵して、同一回転数での時計方向、反時計方向のトルクを直接比較して判断することも考えられる。
【００４７】
さらに、超音波モータ１の保持トルクは起動トルクとほぼ同等になるため、外部からモータ軸２を回転することができるようにし、保持トルクを比較するという方法も考えられる。
【００４８】
高回転低トルクを必要としている場合には、超音波モータ１の最高回転数で比較する必要がある。最高回転数を比較する一例としては、以下のものがある。
【００４９】
図１のように、クラッチ７は中央に位置し、歯車４、歯車５のどちらとも噛み合わない状態で超音波モータ１を時計方向、反時計方向にそれぞれ駆動させる。このとき、超音波モータ１にかかる入力電圧は、時計方向、半時計方向で同一に設定し、超音波モータ１にかかる電圧の駆動周波数をスイープさせ、時計方向、半時計方向の最高回転数を比較する。
【００５０】
また超音波モータ１は静音であることも特徴の一つであるため、駆動音というのも重要な特性になってくる。そこで図４の駆動制御装置に図示していないが、マイク等、音の測定手段を設け、時計方向、反時計方向に回転させたときの駆動音を比較して、音の静かな方に回転方向を固定するということも考えられる。
【００５１】
図８は、本発明の第２の実施の形態に係る超音波モータを用いた駆動装置の機構部の構成図である。
【００５２】
図８において、超音波モータ１１にはモータ軸１２が連結されており、超音波モータ１１が駆動することによりモータ軸１２は回転する。歯車１４は、モータ軸１２にベアリング１４ｂによって回転自由に固定された傘歯車であり、歯車１５は出力軸１３に固定された傘歯車である。
【００５３】
クラッチ１６は、モータ軸１２の溝１２ａとクラッチ１６に設けられたキーによってすべり対偶をなし、かつ歯車１４の溝１４ａと噛み合うよう構成されている。クラッチ１６を左右に移動するには手動でも良いが、本実施の形態では小型モータ１７を用いている。小型モータ１７が駆動すると、小型モータ軸１７ａを中心にクラッチ軸１７ｂが回転し、それによりクラッチ１６は左右に移動する。
【００５４】
図８に示すように、クラッチ１６が溝１４ａと噛み合っていない場合、超音波モータ１１が回転しても超音波モータ１１の動力は伝達されず、出力軸１３は回転しない。
【００５５】
図９に示すように、超音波モータ１１が回転し、モータ軸１２が回転しているときに、クラッチ１６を右に移動させ、溝１４ａと噛み合わせる。すると、超音波モータ１１の動力は歯車１４に伝達され、さらに歯車１５に伝達され、歯車１５に固定されている出力軸１３は回転する。
【００５６】
第２の実施形態の駆動制御装置の構成を示すブロック図は、基本的に第１の実施形態である図２と同じであるため、説明を省略する。
【００５７】
図１０は、図８の駆動装置の駆動制御の手順を示すフローチャートである。
【００５８】
本制御は図４におけるＣＰＵ２２によって実行される。
【００５９】
図１０において、超音波モータ１１が指令された速度で回転しているとき、ＣＰＵ２２は所定時間毎に超音波モータ１１の駆動状態を検出する（ステップＳ２０１）。ここでは駆動周波数を変化させることで、超音波モータ１１の回転数を制御するものとし、前記動作状態として駆動周波数が検出される。超音波モータ１１は目標速度となるように、エンコーダ出力に基づいて駆動周波数を制御するフィードバック制御が行われているものとする。
【００６０】
本実施の形態では、動作状態として、駆動周波数を示しているが、この他に、動作状態を示すものとして、駆動電圧の振幅や位相差、制御ゲイン等も考えられる。
【００６１】
次に、検出された駆動周波数が予め設定されている周波数の範囲内に収まっているか否かを判定する（ステップＳ２０２）。このとき、上記周波数内に上記駆動周波数が収まっていればステップＳ２０１に戻り、外れていればクラッチ用ソレノイドがオンになり、クラッチ１６が外れる（ステップＳ２０３）。
【００６２】
クラッチ１６が外れ、負荷がかからない状態で、再び超音波モータ１１を駆動させ、そのときの駆動状態を検出する（ステップＳ２０４）。次に、検出された駆動周波数が予め設定されている周波数の範囲内に収まっているか否かを判定する（ステップＳ２０５）。
【００６３】
ここで、周波数が設定範囲内に収まっていれば、駆動周波数が設定範囲内外になった原因は異常負荷がかかっていたとみなし、エラー信号を発信する（ステップＳ２０６）。
【００６４】
周波数が設定範囲外になった場合は、超音波モータ１１の出力トルクの低下とみなし、クリーニングを行う（ステップＳ２０７）。クリーニングは、予め設定していたある程度高速な一定速の回転数で、一定時間行われる。クリーニングが終了したら、クラッチ用ソレノイドがオフとなり、クラッチ１６が入る（ステップＳ２０８）。
【００６５】
超音波モータ１１の動力が機構系に伝達された状態で、再び動作状態の検出を行う（ステップＳ２０９）。そして駆動周波数が設定範囲内か否かを判定する（ステップＳ２１０）。
【００６６】
ここで、駆動周波数が予め設定されている周波数範囲に収まれば、再びステップＳ２０１に戻る。駆動周波数が設定周波数範囲外ならば、クリーニング作業で復活しない超音波モータ１１の出力低下であるとみなし、エラー信号を発信する（ステップＳ２１１）。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る超音波モータを用いた駆動装置の機構部の構成図である。
【図２】図１の駆動装置において、クラッチを右に移動させた状態を示す図である。
【図３】図１の駆動装置において、クラッチを左に移動させた状態を示す図である。
【図４】図１の駆動装置の機構部の駆動制御装置の構成を示すブロック図である。
【図５】図１における超音波モータの特性図である（１）。
【図６】図１の駆動装置の駆動制御の手順を示すフローチャートである。
【図７】図１における超音波モータの特性図である（２）。
【図８】本発明の第２の実施の形態に係る超音波モータを用いた駆動装置の機構部の構成図である。
【図９】図８の駆動装置において、クラッチを右に移動させた状態を示す図である。
【図１０】図８の駆動装置の駆動制御の手順を示すフローチャートである。
【図１１】従来例に係る超音波モータの構成図である（１）。
【図１２】従来例に係る超音波モータの構成図である（２）。
【図１３】従来例に係る超音波モータの構成図である（３）。
【符号の説明】
【００６８】
１  超音波モータ
２  モータ軸
３  出力軸（被駆動部材）
４  歯車
４ａ  溝
４ｂ  ベアリング
５  歯車
５ａ  溝
５ｂ  ベアリング
６：歯車
７  クラッチ（第１、第２伝達機構）
８  小型モータ（切り替え手段）
８ａ  小型モータ回転軸
８ｂ  クラッチ軸
２１  動作制御回路
２２  ＣＰＵ（比較手段、選択手段）
２３  エンコーダ
２４  アクチュエータ
【図１】
2008187859.tif 000003
【図２】
2008187859.tif 000004
【図３】
2008187859.tif 000005
【図４】
2008187859.tif 000006
【図５】
2008187859.tif 000007
【図６】
2008187859.tif 000008
【図７】
2008187859.tif 000009
【図８】
2008187859.tif 000010
【図９】
2008187859.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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