(57)【要約】【課題】駆動信頼性の向上した電磁アクチュエータおよびこうした電磁アクチュエータを備えた光ピックアップ装置を提供する。【解決手段】電磁アクチュエータは、複数個のコイル２が所定間隔で配置された固定部１と、単極磁石４の磁極を有する面（たとえば、Ｎ極）がコイル２と対向するように設けられるとともに、コイル２の配列方向に沿って相対的に移動可能に保持された可動部５と、を備える。そして、この可動部５を、コイル２に電流を流すことで発生する磁界と単極磁石４の磁極との間に働く引力または斥力によりコイル２の配列方向に沿って移動させる際、単極磁石４の磁極を有する面と対面するコイル２との間で引力が作用した状態で移動させる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の電流線が所定間隔で形成された基板と、
磁極を有する面が前記電流線と対向するように設けられ、前記電流線の配列方向に沿って相対的に移動可能に保持された可動部と、
を備え、
前記可動部を、前記電流線に電流を流すことで発生する磁界と前記磁極との間に働く引力または斥力により前記配列方向に沿って移動させる際、前記磁極を有する面と対面する前記電流線との間で引力が作用した状態で移動するようにした、電磁アクチュエータ。
【請求項２】
前記電流線は、前記可動部に推力を生じさせる第１の電流線と、この第１の電流線とは異なり、前記可動部に引力を作用させる第２の電流線と、を含むことを特徴とする請求項１に記載の電磁アクチュエータ。
【請求項３】
前記第１の電流線と前記第２の電流線に同一の電流が流れるようにしたことを特徴とする請求項２に記載の電磁アクチュエータ。
【請求項４】
前記電流線は、前記可動部との間に引力が働く第１の電流線と、前記磁極を有する面と対面し、前記可動部との間に引力が働く第２の電流線と、前記可動部との間に斥力が働く第３の電流線と、を含み、
前記第２の電流線を前記第１の電流線と前記第３の電流線との間に配置し、前記第２の電流線により前記可動部に引力を作用させた状態で、前記第１の電流線または前記第３の電流線により前記可動部に推力を生じさせることを特徴とした請求項１に記載の電磁アクチュエータ。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の電磁アクチュエータを用いて駆動される光学部品を含む、光ピックアップ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電磁アクチュエータおよび電磁アクチュエータを備える光ピックアップ装置に関し、特に単極磁石を用いた電磁アクチュエータおよびこうした電磁アクチュエータを用いて駆動される光学部品を含む光ピックアップ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
複数のコイルを選択的に励磁して永久磁石を移動させるリニア電磁アクチュエータ（可動磁石型のリニアモータ装置）が注目されている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記特許文献１に記載のリニア電磁アクチュエータは、駆動方向に多極着磁された複数の永久磁石（多極磁石）が界磁として採用され、こうした界磁が取り付けられた可動部と、この可動部の界磁と所定の間隔で対向して設けられた固定部とを備えている。この固定部の表面には複数のコイルが駆動方向に沿って設けられ、選択されたコイルに電流を流すことで発生する磁界と、可動部の界磁（多極磁石）との間に働く引力または斥力とにより推力を生じさせ、可動部を駆動方向に移動させている。
【特許文献１】特開２００６−８７２３０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上記リニア電磁アクチュエータを光ピックアップなどの小型部品に搭載するためには磁力を落とさずに界磁の小型化・薄型化を図る必要がある。しかしながら、多極磁石を小型化・薄型化するには、多極着磁する永久磁石の個々を小型化・薄型化する必要があるため、個々の永久磁石の磁力が急激に減少し、コイルに生じる磁界との間に推力を生じさせる磁力を得ることが困難となる。このため、近年では、界磁として単極磁石（単体の永久磁石）を採用することが検討されている。
【０００５】
しかしながら、電磁アクチュエータの界磁として単極磁石を採用する場合には、駆動中に界磁を有する可動部が固定部上の所定位置からずれてしまうことがあり、安定して駆動させることができないという問題がある。その理由は以下の通りである。
【０００６】
図７は単極磁石を採用した電磁アクチュエータの構成の一例である。図７（Ａ）は電磁アクチュエータの上面図であり、図７（Ｂ）は図７（Ａ）のＸ−Ｘ線に沿った概略断面図である。
【０００７】
単極磁石を採用した電磁アクチュエータは、固定部１１０と、単極磁石１４０が取り付けられた可動部１５０とを備える。固定部１１０の上面には複数個のコイル１２０が所定間隔で並べられ配置されている。また、こうした複数個のコイル１２０を覆うように保護膜１３０が形成されている。さらに、固定部１１０にはコイル１２０の配列方向に沿って可動部１５０の移動をガイドするガイド枠１１０ａが設けられている。可動部１５０にはその下面に単極磁石１４０が取り付けられている。この単極磁石１４０の磁極（磁石の両端に位置する部分の片方）を有する面（たとえば、Ｎ極）は固定部１１０上に配置されたコイル１２０と対向するように着磁して設けられている。そして、こうした単極磁石１４０が取り付けられた可動部１５０は、固定部１１０の保護膜１３０上をコイル１２０の配列方向（ガイド枠１１０ａ）に沿って固定部１１０と所定の間隔を介して相対移動できるように構成されている。
【０００８】
次に図７に示した電磁アクチュエータの動作について説明する。図８は電磁アクチュエ
ータの動作を説明するための概略断面図である。
【０００９】
図８（Ａ）に示すように、可動部１５０の駆動方向１６０の前方に位置するコイルＣに所定の電流を流すことで、コイルＣに磁界を発生させ、その表面（単極磁石１４０と対向する側）をＳ極とする。一方、これと同時にコイルＡに対しコイルＣとは反対方向に電流を流すことで、その表面をＮ極とする。この際、コイルＢおよびコイルＤには電流を流さない。これにより、可動部１５０に取り付けられた単極磁石１４０のＮ極とコイルＣに発生するＳ極との間で引力が作用するとともに、単極磁石１４０のＮ極とコイルＡに発生するＮ極との間に斥力が作用する。
【００１０】
まず、図８（Ａ）に示す状態では、単極磁石１４０とコイルＣとの間に生じる引力で可動部１５０がコイルＣに引き付けられることにより、可動部１５０が駆動方向１６０に推力を受けて駆動される。
【００１１】
次に、可動部１５０が少し移動した図８（Ｂ）に示す状態では、可動部１５０には、単極磁石１４０とコイルＣとの間に生じる引力に加え、単極磁石１４０とコイルＡとの間に生じる斥力が推力として働くようになる。これにより、可動部１５０はさらに駆動方向１６０に駆動される。
【００１２】
そして、可動部１５０がコイル１つ分移動したところで、コイルＡおよびコイルＣに流す電流を停止させ、駆動方向１６０にコイル１つ分ずれたコイルＢおよびコイルＤに対して同様に電流を流す。このようにして、可動部１５０は、コイル１２０と単極磁石１４０との間に働く引力または斥力により、固定部１１０上に並べられたコイル１２０の配列方向（ガイド枠１１０ａ）に沿って駆動する。
【００１３】
しかしながら、上記手法では、電流を流すコイルを切り替える際に、可動部１５０に対して、図９（Ａ）に示すような、単極磁石１４０の直下に位置するコイルＣとの間に生じる真下への引力が働く状態から、図９（Ｂ）に示すような、単極磁石１４０の直下に位置するコイルＢとの間に生じる真上への斥力が働く状態に切り替わる。このため、可動部１５０には電流を流すコイルを切り替えた際に上向きの力が作用し、電磁アクチュエータ駆動中のこうしたタイミングに何らかの外力が加わると可動部１５０が固定部１１０上の所定位置からずれてしまうことがあり、界磁として単極磁石を採用した電磁アクチュエータでは可動部１５０を安定して駆動させることが難しくなっている。
【００１４】
本発明はこうした課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、駆動信頼性の向上した電磁アクチュエータおよびこうした電磁アクチュエータを備える光ピックアップ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記目的を達成するために、本発明に係る電磁アクチュエータは、複数の電流線が所定間隔で形成された基板と、磁極を有する面が電流線と対向するように設けられ、電流線の配列方向に沿って相対的に移動可能に保持された可動部と、を備え、可動部を、電流線に電流を流すことで発生する磁界と磁極との間に働く引力または斥力により配列方向に沿って移動させる際、磁極を有する面と対面する電流線との間で引力が作用した状態で移動するようにしたことを特徴とする。
【００１６】
上記目的を達成するために、本発明に係る光ピックアップ装置は、上記の電磁アクチュエータを用いて駆動される光学部品を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、駆動信頼性の向上した電磁アクチュエータおよびこうした電磁アクチ
ュエータを備えた光ピックアップ装置が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明を具現化した実施形態について図面に基づいて説明する。なお、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００１９】
（電磁アクチュエータ）
図１は本発明に係る単極磁石を用いた電磁アクチュエータの構成の一例である。図１（Ａ）は電磁アクチュエータの上面図であり、図１（Ｂ）は図１（Ａ）のＸ−Ｘ線に沿った概略断面図である。
【００２０】
本実施形態の電磁アクチュエータは、固定部１と、永久磁石として単極磁石４が取り付けられた可動部５とを備える。
【００２１】
固定部１にはその上面に複数個のコイル２が所定間隔で連続して並べられている。そして、こうした複数個のコイル２を覆うように保護膜３が形成されている。また、固定部１の保護膜３上にはコイル２の配列方向に沿って可動部５の移動をガイドするガイド枠１ａが設けられている。そして、こうした固定部１は、たとえば、アクチュエータの筐体等に固定されている。各コイル２は、たとえば、銅（Ｃｕ）やアルミニウム（Ａｌ）などの金属材料からなる電流線で構成され、複数個のコイル２は、たとえば、所定方向に直線状に配列して設けられている。そして、選択されたコイル２への印加電流を制御し、コイル２に所定の磁界を発生させることで、単極磁石４に対して引力または斥力が作用するようになっている。
【００２２】
可動部５にはその下面に界磁として永久磁石である単極磁石４が取り付けられている。この単極磁石４の磁極を有する面（たとえば、Ｎ極）は固定部１上に配置されたコイル２と対向するように着磁して設けられている。ここでは、単極磁石４の大きさは、およそコイル２つ分の大きさに形成されている。可動部５は、たとえば、シリコン基板やエポキシ樹脂基板などからなり、単極磁石４は、たとえば、フェライトやネオジウム等の強磁性材料からなる。そして、こうした単極磁石４が取り付けられた可動部５は、固定部１の保護膜３上をコイル２の配列方向（ガイド枠１ａ）に沿って固定部１と所定の間隔を介して相対移動できるように構成されている。
【００２３】
なお、固定部１は本発明の「基板」、コイル２は本発明の「電流線」、及び単極磁石４が取り付けられた可動部５は本発明の「可動部」の一例である。
【００２４】
次に図１に示した電磁アクチュエータの動作について説明する。図２は本発明による動作を説明するための概略断面図である。
【００２５】
図２（Ａ）に示すように、可動部５の駆動方向６の前方に位置するコイルＣに所定の電流を流すことで、コイルＣに磁界を発生させ、その表面（単極磁石４と対向する側）をＳ極とする。一方、コイルＡに対しコイルＣとは反対方向に電流を流すことで、その表面をＮ極とする。さらに、コイルＢに対しコイルＣと同じ方向の電流を流すことで、その表面をＳ極とする。これにより、可動部５に取付けられた単極磁石４のＮ極とコイルＢおよびコイルＣに発生するＳ極との間で引力が作用するとともに、単極磁石４のＮ極とコイルＡに発生するＮ極との間に斥力が作用するようになる。
【００２６】
まず、図２（Ａ）に示す状態では、単極磁石４とコイルＣとの間に生じる引力で可動部５がコイルＣに引き付けられることにより、可動部５が駆動方向６に推力を受けて駆動される。この際、単極磁石４の直下に位置するコイルＢ（単極磁石４の磁極を有する面と対面するコイルＢ）との間に生じる引力により、可動部５は固定部１に引き付けられた状態となっている。
【００２７】
次に、可動部５が少し移動した図２（Ｂ）に示す状態では、可動部５には、単極磁石４とコイルＣとの間に生じる引力に加え、単極磁石４とコイルＡとの間に生じる斥力が推力として働くようになる。これにより、可動部５は駆動方向６にさらに推力を受けて駆動される。この際、単極磁石４の直下に位置するコイルＢとの間に生じる引力に加え、単極磁石４の直下に位置するコイルＣの一部との間に生じる引力により、可動部５は固定部１に引き付けられた状態となっている。
【００２８】
そして、可動部５がコイル１つ分移動したところで、コイルＡ〜コイルＣに流す電流を停止させ、駆動方向６にコイル１つ分ずれたコイルＢ〜コイルＤに対して同様に電流を流す。各コイルへの電流を流すタイミング制御は、位置検出手段（図示せず）により可動部５がコイル１つ分移動したことを検出することにより行う。このようにして、可動部５はコイル２と単極磁石４との間に働く引力または斥力により固定部１上に並べられたコイル２の配列方向に沿って駆動する。
【００２９】
本実施形態では、電流を流すコイルを切り替える際、すなわち、可動部５に対して、図３（Ａ）に示すような、単極磁石４の直下に位置するコイルＢとの間に生じる引力が働く状態から、図３（Ｂ）に示すような、単極磁石４の直下に位置するコイルＢとの間に生じる斥力が働く状態に切り替わる際、上述した手法とは異なり、可動部５に単極磁石４の直下に位置するコイルＣとの間に生じる引力が働いたままの状態となっている。このため、電流を流すコイルを切り替える際においても、コイルＣにより可動部５を固定部１に引き付けた状態となるので、電磁アクチュエータ駆動中に何らかの外力が加わっても可動部５が固定部１の所定位置からずれたりすることが抑制される。したがって、本実施形態では、可動部５の駆動を行っている間、可動部５の単極磁石４の直下に常に引力を作用させるコイルが存在するので、可動部５を安定して駆動させることができ、単極磁石を用いた電磁アクチュエータの駆動信頼性を向上させることができる。
【００３０】
次に電磁アクチュエータの各コイル２に流す電流の制御方法について説明する。図４は各コイルへの電流制御を行う回路図である。
【００３１】
本実施形態における電流制御回路は、電源部７の電圧と抵抗部８の抵抗により電流を発生させ、接地部９に向かって電流が流れるように構成されている。各コイル２のノードには、たとえば、ＮＭＯＳトランジスタにより構成されたスイッチが配置されており、各ＮＭＯＳトランジスタのゲート電極には制御回路（図示せず）から出力される信号がそれぞれ入力される。各スイッチは、入力される信号が「Ｈ」の場合はＯＮ状態となり、「Ｌ」の場合にはＯＦＦ状態となる。そして、各スイッチの状態によって、（ａ）コイル２に電流が流れない、（ｂ）コイル２に上側から下側に電流（単極磁石４と作用する斥力として働く方向の電流）が流れる、（ｃ）コイル２に下側から上側に電流（単極磁石４と作用する引力として働く方向の電流）が流れる、の３つの状態に切り替えることができる。
【００３２】
まず、各コイル２の表面に図５（Ａ）に示す状態の磁界を発生するには、各スイッチの電圧として、破線で囲まれたスイッチＳＷ００，ＳＷ１０，ＳＷ２３，ＳＷ３１，ＳＷ４０，・・・ＳＷｎ０を「Ｈ」とし、残りのスイッチの電圧として「Ｌ」を制御回路により入力する。この場合、図５（Ａ）中の矢印で示す経路で電流が流れ、コイルＡに対しコイルＢとコイルＣには反対方向の電流が流れるようになる。したがって、コイルＡの表面をＮ極とする場合には、コイルＢおよびコイルＣの各表面はＳ極となる。なお、コイルＤを含む他のコイル２には電流は流れないので、それらの表面には磁極は発生しない。
【００３３】
その後、可動部５がコイル１つ分移動して図５（Ｂ）の状態となった場合には、各スイッチへの信号を切り替え、各スイッチの電圧として、破線で囲まれたスイッチＳＷ００，ＳＷ１０，ＳＷ２０，ＳＷ３３，ＳＷ４１，・・・ＳＷｎ０を「Ｈ」とし、残りのスイッチの電圧として「Ｌ」を制御回路により入力する。これにより、図５（Ｂ）中の矢印で示
す経路で電流が流れるようになり、コイルＡには電流が流れなくなるとともに、コイルＢには先のコイルＡと同じ方向の電流が流れるようになる。さらに、このコイルＢに対しコイルＣとコイルＤには反対方向の電流が流れるようになる。したがって、コイルＡの表面に磁極がなくなるとともに、コイルＢの表面がＮ極となり、コイルＣおよびコイルＤの各表面がＳ極となる。
【００３４】
このように各スイッチの切り替えを進めることで、可動部５に取り付けられた単極磁石４と、固定部１に取り付けられたコイル２との間で作用する引力または斥力により可動部５がコイル２の配列方向に沿って駆動される。
【００３５】
本実施形態の電磁アクチュエータによれば、以下の効果を得ることができる。
【００３６】
（１）単極磁石４を取り付けた可動部５を、コイル２に電流を流すことで発生する磁界と単極磁石４の磁極との間に働く引力または斥力によりコイル２の配列方向（ガイド枠１ａ）に沿って移動させる際、単極磁石４の直下のコイル２との間に働く引力により可動部５を固定部１に引き付けているので、可動部５を駆動方向６の経路から外れることなく安定して駆動させることができる。これにより、電磁アクチュエータの駆動信頼性を向上させることができる。
【００３７】
（２）磁界を発生させるコイル２を切り替える際、その前後で可動部５に単極磁石４の直下に位置するコイル２との間に引力が働くようにしたことで、駆動中における可動部５の位置ずれが抑制される。このため、可動部５が駆動方向６の経路に沿って安定して駆動するので、電磁アクチュエータの駆動信頼性を向上させることができる。
【００３８】
（３）可動部５に推力を生じさせるコイル（たとえば、コイルＡ＆Ｃ）と、可動部５を吸引し固定部１へ引き付けるコイル（たとえば、コイルＢ）とを独立して設けたことにより、駆動中に可動部５を引き付けるコイルに電流が流れるように回路変更を行うだけで、従来手法と同様の駆動制御を行うことができる。このため、電磁アクチュエータに位置ずれ防止機構を別途設ける場合に比べて、電磁アクチュエータの低コスト化を図ることができる。
【００３９】
（４）駆動中に可動部５を引き付けるコイル（たとえば、コイルＢ）を単極磁石４の直下に位置するようにしたことで、こうしたコイルと単極磁石４との対向面積が、可動部５の位置（あるいは可動部５の移動量）に関係なく一定となるので、可動部５を安定した引力で固定部１に引き付けることができる。このため、上記（１）および（２）に記載の効果をより確実に享受することができる。
【００４０】
（５）各コイル２（可動部５に推力を生じさせるコイルと可動部５を吸引し固定部１へ引き付けるコイル）への印加電流を１つの電流のみで構成することが可能となるため、従来のように３つの位相の異なる電流により切り替えを行う場合に比べて、電流回路の簡素化が可能となる。このため、駆動信頼性の向上した電磁アクチュエータの小型化を図ることができる。
【００４１】
（光ピックアップ装置）
次に本発明の電磁アクチュエータを用いて駆動される光学部品を含む光ピックアップ装置について説明する。図６は本発明の実施形態に係る電磁アクチュエータを備えた光ピックアップ装置の構成を示した概略図である。
【００４２】
本発明の光ピックアップ装置は、図６に示すように、半導体レーザ１２および１３と、上述の電磁アクチュエータを用いて駆動される減光フィルタ１４と、光路切替部１５と、ダイクロイックビームスプリッタ１６と、偏光ビームスプリッタ１７および１８と、コリ
メータレンズ１９および２０と、１／４波長板２１および２２と、対物レンズ２３および２４と、受光レンズ２５および２６と、受光センサ２７および２８と、を備えている。この光ピックアップ装置は、ＢＤ（ブルーレイディスク）規格の光ディスク３０ａと、ＨＤ
ＤＶＤ規格（ＣＤ規格およびＤＶＤ規格）の光ディスク３０ｂ（３０ｃおよび３０ｄ）とに対して書き込みおよび読み出しを行うことが可能なように構成されている。
【００４３】
半導体レーザ１２は、約４０５ｎｍの波長を有する青紫色のレーザ光を出射するために設けられている。この半導体レーザ１２は、ＢＤ規格の光ディスク３０ａおよびＨＤ  ＤＶＤ規格の光ディスク３０ｂに対して書き込みおよび読み出しが行われる際にレーザ光を出射するように構成されている。
【００４４】
半導体レーザ１３は、約６５０ｎｍの波長を有する赤色のレーザ光および約７８５ｎｍの波長を有する近赤外領域のレーザ光の２波長のレーザ光を出射するために設けられている。この半導体レーザ１３は、ＣＤ規格の光ディスク３０ｃに対して書き込みおよび読み出しが行われる際に、約７８５ｎｍの波長を有するレーザ光を出射するとともに、ＤＶＤ規格のディスク３０ｄに対して書き込みおよび読み出しが行われる際に、約６５０ｎｍの波長を有するレーザ光を出射するように構成されている。
【００４５】
減光フィルタ１４は、上述した本発明の電磁アクチュエータが採用された減光フィルタアクチュエータに支持されることにより、レーザ光の光軸方向（Ａ１方向）と垂直な方向（矢印Ｂ１およびＢ２方向）に２つの位置（光路上の位置および光路から外れた位置）間を移動可能に構成されている。また、減光フィルタ１４は、読み出し時に光路上の位置に配置されるとともに、書き込み時に光路から外れた位置に配置されるように構成されている。すなわち、減光フィルタ１４は、読み出し時にのみ半導体レーザ１２から出射されたレーザ光の強度を小さくするために設けられている。なお、減光フィルタ１４は本発明の「光学部品」の一例である。
【００４６】
光路切替部１５は、内部の可動鏡（図示せず）を移動させることにより、半導体レーザ１２から出射されたレーザ光を対物レンズ２３または２４のいずれか一方に選択的に入射させるために設けられている。
【００４７】
ダイクロイックビームスプリッタ１６は、半導体レーザ１２から出射されたレーザ光を透過するとともに、半導体レーザ１３から出射されたレーザ光を反射するために設けられている。これにより、半導体レーザ１２から出射したレーザ光を対物レンズ２４に入射させることが可能であるとともに、半導体レーザ１３から出射したレーザ光を対物レンズ２４に入射させることが可能である。
【００４８】
偏光ビームスプリッタ１７および１８は、それぞれ、光ディスク３０ａおよび３０ｂ（３０ｃおよび３０ｄ）に向かう矢印Ｂ１方向のレーザ光を透過するとともに、光ディスク３０ａおよび３０ｂ（３０ｃおよび３０ｄ）から戻ってくる矢印Ｂ２方向のレーザ光を反射するために設けられている。
【００４９】
コリメータレンズ１９および２０は、レーザ光を所定のビーム径を有する平行光とするとともに、レーザ光の焦点位置を調整するために設けられている。
【００５０】
１／４波長板２１および２２は、光ディスク３０ａおよび３０ｂ（３０ｃおよび３０ｄ）に向かう矢印Ｂ１方向のレーザ光を直線偏光から円偏光に変換するとともに、光ディスク３０ａおよび３０ｂ（３０ｃおよび３０ｄ）から戻ってくる矢印Ｂ２方向のレーザ光を、円偏光から光ディスク３０ａおよび３０ｂ（３０ｃおよび３０ｄ）に向かう矢印Ｂ１方向のレーザ光とは直交する直線偏光に変換するために設けられている。
【００５１】
対物レンズ２３および２４は、光軸方向（矢印Ｂ１およびＢ２方向）および光軸方向と垂直な方向（矢印Ａ１およびＡ２方向）に移動可能に構成されている。また、対物レンズ２３および２４は、レーザ光の焦点位置を調整するために設けられている。
【００５２】
受光レンズ２５および２６は、それぞれ、偏光ビームスプリッタ１７および１８により反射されたレーザ光を受光センサ２７および２８に集光するために設けられている。
【００５３】
本発明の光ピックアップ装置によれば、以下の効果を得ることができる。
【００５４】
（６）電磁アクチュエータ（減光フィルタ１４）の動作時における位置ずれ不良が抑制され、その駆動信頼性が向上するので、こうした電磁アクチュエータを搭載した光ピックアップ装置の信頼性が向上する。
【００５５】
なお、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて各種の設計変更等の変形を加えることも可能であり、そのような変形が加えられた実施形態も本発明の範囲に含まれうるものである。
【００５６】
上記実施形態では、コイル２と対向する単極磁石４の磁極を有する面をＮ極とした例を示したが、本発明はこれに限らない。たとえば、単極磁石４の磁極を有する面をＳ極とし、コイル２にはこれに対応する磁界が発生するように電流を流すようにしてもよい。この場合にも上記効果を享受することができる。
【００５７】
上記実施形態では、可動部５がコイル２の配列方向（ガイド枠１ａ）に沿って駆動方向６に移動する例を示したが、本発明はこれに限らない。たとえば、コイル２に流す電流を逆方向にして駆動方向６とは反対方向に可動部５が移動するようにしてもよい。また、コイル２に流す電流を制御することで、可動部５を配列方向（ガイド枠１ａ）に沿って往復するようにしてもよい。これらの場合にも上記効果を享受することができる。
【００５８】
上記実施形態では、複数個のコイルを所定間隔で直線状に並べた例を示したが、本発明はこれに限らない。たとえば、各コイルを曲線状に配置してもよいし、直線状と曲線状とを適宜組み合わせて配置してもよい。この場合にも上記効果を享受することができる。特にコイルを曲線状に配置する部分では、可動部の駆動中に遠心力などにより位置ずれを生じやすいので、上記効果をより顕著に享受することができる。
【００５９】
上記光ピックアップ装置では、減光フィルタ１４に本発明の電磁アクチュエータを適用した例を示したが、本発明はこれに限らない。たとえば、光路切替部１５に設けられる光路スイッチミラーアクチュエータ（可動鏡を駆動するためのアクチュエータ）に適用してもよい。この場合、光路切替部１５の動作時における位置ずれ不良が抑制され、その駆動信頼性が向上するので、こうした光路切替部１５を搭載する光ピックアップ装置の信頼性が向上する。
【００６０】
また、本発明の電磁アクチュエータは、光ピックアップ装置に限らず、駆動信頼性の向上が要求される半導体製造装置、液晶製造装置、工作機械などの精密装置の駆動機構に適用することで、装置自身の高精度化と高機能化を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】（Ａ），（Ｂ）本実施形態に係る電磁アクチュエータの上面図および概略断面図。
【図２】（Ａ），（Ｂ）本実施形態に係る電磁アクチュエータの動作を説明するための概略断面図。
【図３】（Ａ），（Ｂ）本実施形態に係る電磁アクチュエータの動作を説明するための概略断面図。
【図４】本実施形態に係る電磁アクチュエータの各コイルへの電流制御するための回路図。
【図５】（Ａ），（Ｂ）本実施形態に係る電磁アクチュエータの電流の流れ方向を説明するための概略断面図。
【図６】本実施形態に係る電磁アクチュエータを備えた光ピックアップ装置の構成を示した概略図。
【図７】（Ａ），（Ｂ）従来の電磁アクチュエータの構造を説明するための上面図および概略断面図。
【図８】（Ａ），（Ｂ）従来手法による電磁アクチュエータの動作を説明するための概略断面図。
【図９】（Ａ），（Ｂ）従来手法による電磁アクチュエータの動作を説明するための概略断面図。
【符号の説明】
【００６２】
１  固定部、２  コイル、３  保護膜、４  単極磁石、５  可動部、６  駆動方向。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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