(57)【要約】【課題】軸受面に不要な変形や損傷を与えることなく電鋳部をマスターから分離可能とする軸受部材の製造方法を提供する。【解決手段】電鋳部４の周囲に配設したノズル８から、複数のショット９を電鋳部４の外周面４ｂ全体にわたって衝突させ、電鋳部４とマスター６との密着状態を緩和する。この後、電鋳部４をインサート部品として、電鋳部４を内側に保持する保持部５を樹脂で成形し、電鋳部４と保持部５との一体品からマスター６を引き抜くことで電鋳部４をマスター６から分離する。【選択図】図４
2008138279.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスター表面に析出形成され、内周に配設した軸を相対回転自在に支持する電鋳部と、電鋳部を保持する保持部とを備えた軸受部材の製造方法であって、
マスター表面に電鋳部を析出形成する工程と、
マスターと一体の電鋳部を保持部に固定する工程と、
電鋳部と保持部との一体品からマスターを分離する工程とを含むものにおいて、
電鋳部を保持部に固定する工程の前に、電鋳部に外力を付与して電鋳部とマスターとの密着状態を緩和する工程を設けたことを特徴とする軸受部材の製造方法。
【請求項２】
電鋳部をマスターに対して圧迫する向きに外力を付与して、マスターとの密着面を拡径させる請求項１記載の軸受部材の製造方法。
【請求項３】
外力を、電鋳部に対してランダムに作用させた請求項１又は２記載の軸受部材の製造方法。
【請求項４】
外力の作用位置を円周方向に連続的に変化させた請求項１又は２記載の軸受部材の製造方法。
【請求項５】
密着状態を緩和した後、電鋳部をインサートして保持部を成形することで、電鋳部を保持部に固定した請求項１記載の軸受部材の製造方法。
【請求項６】
マスター表面に析出形成され、内周に配設した軸を相対回転自在に支持する電鋳部を備えた軸受部材において、
外周からの外力の付与でもって内周面を塑性変形させたもので、これにより内周面が拡径していることを特徴とする軸受部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、軸を相対回転支持する軸受部材、特に電鋳部を有する軸受部材とその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の軸受部材およびこの軸受部材を備えた軸受装置は、電鋳部の成形母体となるマスター表面に析出した面がマスター表面の面精度に倣って高精度に形成可能であることを利用して、種々の産業分野で好適に用いられている。
【０００３】
例えば、特開２００３−５６５５２号公報（特許文献１）には、電鋳部をインサート部
品として一体に型成形した軸受部材が提案されている。この軸受部材は、電鋳部の成形母
体となるマスター軸の非導電性マスキング部以外の領域に電鋳殻である電鋳部を析出形成し、この電鋳部をインサート部品として軸受部材を樹脂で型成形した後、軸受部材の電鋳部をマスター軸から分離することで、分離面となる電鋳部の内周面をそのまま軸受面として使用可能としたことを特徴とするものである。
【特許文献１】特開２００３−５６５５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このように、マスター表面に高精度に転写形成される電鋳部（電鋳殻）をマスターから分離させる手段としては、例えば電鋳加工に伴い電鋳部内部に生じる残留応力を解放するためのきっかけ（加熱など）を電鋳部に与え、この残留応力を解放してマスターとの密着面を拡径させることで、マスターから分離する手段が考えられている。しかしながら実際には、残留応力の解放に伴う拡径量は微小であり、マスターの引き抜き（分離）を容易に行うには不十分である。
【０００５】
特に、形成すべき電鋳部を小径化あるいは薄肉化する場合、上述の拡径量はさらに微小となり、あるいは拡径現象自体が生じない可能性もある。これでは、マスターとの分離に多大な引き抜き力が必要となるため、電鋳部の不要な変形を引き起こす恐れがあり、場合によっては軸受面の損傷や変形も懸念される。
【０００６】
以上の事情に鑑み、本発明では、軸受面に不要な変形や損傷を与えることなく電鋳部をマスターから分離可能とする軸受部材の製造方法を提供することを技術的課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するため、本発明は、マスター表面に析出形成され、内周に配設した軸を相対回転自在に支持する電鋳部と、電鋳部を保持する保持部とを備えた軸受部材の製造方法であって、マスター表面に電鋳部を析出形成する工程と、マスターと一体の電鋳部を保持部に固定する工程と、電鋳部と保持部との一体品からマスターを分離する工程を含むものにおいて、電鋳部を保持部に固定する工程の前に、電鋳部に外力を付与して電鋳部とマスターとの密着状態を緩和する工程を設けたことを特徴とする軸受部材の製造方法を提供する（請求項１）。ここで、本発明における電鋳部は、電解めっき加工に準じる方法により形成されたものの他、無電解めっき加工に準じる方法で形成されたものも含む。
【０００８】
このように、本発明は、電鋳加工時に電鋳部の内部に生じる、いわゆる内力の解放に頼って電鋳部をマスターから分離するのではなく、外力を付与することで、電鋳部を保持部に固定する工程の後に行われる電鋳部とマスターとの分離を容易に行うことを狙ってなされたものである。そのため、保持部との固定前に、予め外力を付与して電鋳部とマスターとの密着状態を緩和しておくことで、マスターの引き抜き時（分離時）、僅かな力で容易にマスターを電鋳部から引き抜く（分離する）ことができる。従い、マスターとの分離面（析出開始面）を傷付けることなく、また不要に変形させることなく得ることができ、これを軸受面として好適に使用することができる。
【０００９】
外力を電鋳部に付与するに当り、電鋳部とマスターとの密着状態を緩和し得る限りにおいて、その負荷態様は特に問わないが、好ましい手段として、例えば外力を、電鋳部に対してランダムに作用させる手段（請求項３）や、外力の作用位置を円周方向に連続的に変化させて行う手段（請求項４）などが考えられる。この場合、外力を電鋳部に対してランダムに作用させる手段の具体例としては、ブラスト加工に代表される、粒子の衝突により外力を付与する手段を挙げることができる。また、外力の作用位置を円周方向に連続的に変化させる手段の具体例としては、いわゆる転造の如く、電鋳部を一対の型で挟持しながら回転させることで外力を付与する手段を挙げることができる。
【００１０】
通常、ショットブラスト等の加工手段は、砥粒（鋼球など）が直接衝突する面のバリ取りやスケールの除去、面粗さの調整などに用いるのが一般的であるが、本発明では、電鋳部が比較的薄肉に形成され、かつ軟質の金属で形成される点に鑑み、直接衝突する面ではなく、その内側の面（マスターとの密着面）に物理的作用を及ぼすことを狙ったものである。従い、上述のように、粒子の衝突でもって外力をランダムに付与するようにすれば、電鋳部に対して万遍なく外力を付与することができるので、電鋳部とマスターとの密着状態を偏りなく緩和（あるいは解消）することができる。また、例えば転造に準じた手段で、外力を、その作用位置を電鋳部の円周方向に連続的に変化させるよう付与することで、マスターとの密着面全面にわたって漏れなく物理的な作用を及ぼすことができるため、分離面の精度も良好に保たれる。
【００１１】
このようにして密着状態を緩和しておけば、マスターとの分離を容易に行うことができるが、実際には、コストとの兼ね合いから、マスターの加工精度にも限界がある。そのため、必ずしも分離に適した形状（精度）にまで加工精度が高められていない場合（軸方向で径寸法が異なり、マスターの抜き方向によっては引っかかる場合など）もある。あるいは、軸受の用途によっては、動圧発生部を、電鋳部の内周に電鋳加工と同時に形成することも考えられる。そこで、本発明では、電鋳部をマスターに対して圧迫する向きに外力を付与して、マスターとの密着面を拡径させるようにした（請求項２）。また、この場合に得られる軸受部材は、外周からの外力の付与でもって内周面を塑性変形させたもので、これにより内周面が拡径していることを特徴とするものである（請求項６）。
【００１２】
このように、電鋳部のマスターとの密着面を拡径させることができれば、マスターの若干の精度の狂いも許容して分離を容易に行うことができる。また、軸受面となる電鋳部の内周面を傷付けることなくマスターを抜き取ることができる。また、動圧発生部を電鋳加工時に同時に成形した場合であっても、マスターに倣って高精度に形成した動圧発生部を傷付けることなく得ることができる。特に、電鋳部が円筒状に形成される場合には、その形状的な特徴から、全周にわたって圧迫力を付与することで比較的容易にマスターとの密着面を拡径させることが可能である。
【００１３】
また、上述のように密着面を拡径させる場合であれば、外力を電鋳部に対してランダムに作用させる手段、具体的にはショットブラスト等のブラスト加工（ショットブラスト、サンドブラスト、ショットピーニング等を含む）のように、粒子の衝突により外力を付与する手段が好適である。例えばブラスト加工であれば、そのショット径（粒径）やその形状、噴射速度等を調整することにより、任意材料、任意厚みの電鋳部に対しても容易に適正な外力（衝撃力）を付与することができる。
【００１４】
また、上述のようにしてマスターとの密着状態を緩和した電鋳部であれば、例えば更なる加工時間の短縮と材料コストの低減を狙って、密着状態を緩和した後、電鋳部を保持する保持部を、電鋳部をインサートした状態で成形することもできる（請求項５）。
【００１５】
以上の方法で製造された軸受部材は、例えばこの軸受部材と、軸受部材の内周に挿入した軸とを備えた軸受装置として提供することができる。特に、この軸受部材であれば、高精度に形成された電鋳部の内周面を軸受面として使用することができるので、軸の相対回転に伴い、電鋳部の内周面と、これに対向する軸の外周面との間に流体の膜を形成し、この膜で軸を回転自在に支持する流体軸受装置として好適に提供することもできる。
【発明の効果】
【００１６】
以上のように、本発明によれば、軸受面に不要な変形や損傷を与えることなく電鋳部をマスターから分離することができ、これにより高精度の軸受面を有する軸受部材を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の一実施形態を図１〜図４に基づき説明する。
【００１８】
図１は、本発明の一実施形態に係る軸受装置１の断面図を示す。同図において、軸受装置１は、軸部材２と、軸部材２を内周に挿入可能な軸受部材３とを備える。このうち軸受部材３は、電鋳部４と、電鋳部４を内側に保持する保持部５とからなり、この実施形態では、電鋳部４をインサート部品として樹脂材料で一体に成形される。
【００１９】
軸受部材３の内周面は、この実施形態では電鋳部４の内周面４ａで構成される。この内周面は、内周に挿入される軸部材２を回転支持するための軸受面として機能する。
【００２０】
以下、軸受部材３の製造工程の一例を説明する。
【００２１】
軸受部材３は、例えばマスター６の外表面に電鋳部４を析出形成する工程（Ａ）、電鋳部４に外力を付与することで電鋳部４とマスター６との密着状態を緩和する工程（Ｂ）、電鋳部４を一体に有するマスター６をインサート部品として軸受部材３の型成形を行う工程（Ｃ）、電鋳部４とマスター６とを分離する工程（Ｄ）とを経て製造される。
【００２２】
（Ａ）電鋳加工工程
電鋳部４の成形母体となるマスター６は、例えば焼入処理をしたステンレス鋼で形成される。この場合、特に電鋳加工面６ａとなる非マスキング領域の加工性やその加工精度等を考慮して材料やその表面処理を定めるのがよい。例えばクロム系合金やニッケル系合金などは、マスキング性、導電性、耐薬品性を有するため使用可能である。
【００２３】
マスター６の外表面のうち、電鋳加工面６ａを除く領域には予めマスキング加工が施される。この実施形態では、図２（ａ）に示すように、電鋳加工面６ａの軸方向両側に非導電性のマスキング部７、７が形成される。なお、マスキング部７、７の形成材料には、非導電性をはじめ、電解質溶液に対する耐食性を有する材料が選択使用される。
【００２４】
電鋳加工は、ＮｉやＣｕ等の金属イオンを含んだ電解質溶液（電鋳浴）にマスター６を浸漬し、電解質溶液に通電して目的の金属をマスター６の表面のうち、マスキング部７、７を除く領域（電鋳加工面６ａ）に電解析出させることにより行われる。電解質溶液には、カーボンなどの摺動材、あるいはサッカリン等の応力緩和材を必要に応じて含有させることも可能である。析出金属の種類は、軸受の軸受面に求められる硬度、あるいは潤滑油に対する耐性（耐油性）など、必要とされる特性に応じて適宜選択される。
【００２５】
以上のようにしてマスター６に電鋳加工を施すことで、図２（ｂ）に示すように、マスター６表面の電鋳加工面６ａに電鋳部４が析出形成される。この段階で、電鋳部４の内周面４ａは、マスター６の電鋳加工面６ａに倣った形状、ここでは断面真円形状に形成されており、マスター６の電鋳加工面６ａに密着した状態にある。
【００２６】
（Ｂ）密着状態緩和工程
次に、マスター６表面に形成された電鋳部４に対して外力を付与することで、電鋳部４とマスター６との間の密着状態を一部あるいは全体にわたって緩和する。この実施形態では、ショットブラスト加工に準じた方法により電鋳部４に外力（衝撃力）を付与することで、電鋳部４とマスター６との密着状態を緩和する。
【００２７】
詳細には、図３に示すように、電鋳部４を形成したマスター６の周囲に配置したノズル８からショット９を電鋳部４に向けて、ここでは電鋳部４の半径方向内側に向けて吹き付ける。これにより、電鋳部４がその外周から吹き付けられた複数のショット９により内向きの外力（衝撃力）を受ける。
【００２８】
ここで、図４は、ショット９の衝突による電鋳部４の変形態様を描いたもので、図４（ａ）に示すように、電鋳部４のうちショット９が衝突した部分は当該衝撃力に応じて凹み、図４（ａ）中１点鎖線で示すように、その分の肉が周囲に逃げる。その後、ショット９の衝突により大きく凹んだ箇所は元に戻ろうとするが、塑性流れにより周囲に逃げた肉は戻ってこないため、結果的に、衝突箇所の肉厚が小さく（薄く）なる。これにより、衝突箇所における電鋳部４の内周面４ａがマスター６から離れる向きに復元力を受け、内周面４ａと電鋳加工面６ａとの間の密着状態が緩和される。ここでは、図４（ｂ）に示すように、ショット９との衝突箇所における電鋳部４の内周面４ａが拡径する向きに変形し、電鋳加工面６ａとの間に半径方向の隙間が生じる。
【００２９】
上述の現象を、ショット９のノズル８に対してマスター６（電鋳部４）を相対回転させることで、電鋳部の全周にわたって行い、また電鋳部４の軸方向全長にわたって行うことで、電鋳部４の内周面４ａ全体にわたってマスター６との密着状態が緩和あるいは解消される。
【００３０】
なお、上記はあくまでも電鋳部４の一変形態様であり、電鋳部４の厚みによっては、ショット９の衝突に伴い衝突箇所がマスター６に押し付けられることで、内周面４ａ側での肉の周囲への逃げを伴う場合もあり得る。特に、この実施形態のように、内周面４ａをある程度拡径させるのであれば、内周面４ａの側を塑性変形させて圧し延ばす程度に外力（衝撃力）を与えることが肝要となる。このことは、後述する他の実施形態においても同様にいえる。
【００３１】
ここで、ショット９の材質や形状、大きさ等は、衝突させる電鋳部４の材質、厚み等に合わせて設定するのが望ましい。もちろん、電鋳部４に付与される外力（衝撃力）の大きさは、ノズル８からのショット９の投射速度にも左右されるので、この点を踏まえて適正な速度に調整することが望ましい。
【００３２】
（Ｃ）インサート成形工程
次に、電鋳部４をマスター６と共に、軸受部材３をインサート成形する成形型内に供給配置し、当該成形型内にて保持部５を電鋳部４と一体に樹脂で成形する。これにより、樹脂製の保持部５が電鋳部４と一体に形成される。この状態では、マスター６は、電鋳部４の内周に保持されている。
【００３３】
なお、樹脂材料としては、例えばＬＣＰ、ＰＰＳ、ＰＥＥＫ、ＰＯＭ、ＰＡ等の結晶性樹脂、あるいは、ＰＰＳＵ、ＰＥＳ、ＰＥＩ、ＰＡＩ等の非晶性樹脂が好適に使用可能である。もちろんこれらは一例にすぎず、軸受の用途や使用環境に適合した樹脂材料が任意に選択可能である。必要に応じて、上記あるいは上記以外の樹脂を複数混合したものを使用することもできる。あるいは、強化材（繊維状、粉末状等の形態は問わない）や潤滑剤、導電化剤等の各種充填材を加えることで、特性の改善を図ることもできる。
【００３４】
型開き後、成形品を成形型から離型する。この成形品は、この後の分離工程で電鋳部４および保持部５との一体品と、マスター６とに分離される。
【００３５】
（Ｄ）分離工程
分離工程では、例えば電鋳部４と保持部５との一体品を保持した状態で、マスター６に引き抜き力を付与することで、電鋳部４の内周面４ａをマスター６の外周面（電鋳加工面６ａ）から完全に分離させ、マスター６を軸受部材３（電鋳部４）から引き抜く。
【００３６】
この際、上述のように、電鋳部４はショット９の衝突により、マスター６との密着状態を緩和あるいは解消した状態にあるので、マスター６の引き抜き時、比較的小さい負荷でマスター６を電鋳部４から引き抜くことができる。また、多大な引き抜き力を要しないので、分離時（マスター６の引き抜き時）、電鋳部４の内周面４ａを傷付けたり、不要な変形を生じることもない。そのため、分離により得られた高精度な分離面（内周面４ａ）を、軸部材２に対する軸受面として好適に使用することができる。
【００３７】
また、この実施形態では、ショットブラスト加工に準じた方法で、複数のショット９を電鋳部４の外周面４ｂ全体にわたって極力万遍なく衝突させるようにしたので、ばらつきやムラを極力抑えて電鋳部４とマスター６との密着状態を緩和することができ、マスター６との分離（引き抜き）を容易かつ確実に行うことができる。
【００３８】
さらに、この実施形態のように、ショットブラスト加工に準じた方法により、複数のショット９を電鋳部４の外周面４ｂに衝突させることで、外周面４ｂに複数の凹凸が生じる場合がある。従い、この実施形態のように、密着状態を緩和した後、電鋳部４をインサート部品として保持部５を樹脂で成形する場合であれば、外周面４ｂに形成された凹凸が電鋳部４と保持部５との抜止めとして作用するため有効である。
【００３９】
また、この実施形態のように、密着状態を緩和した後、保持部５をインサート成形する場合、樹脂の成形収縮で電鋳部４がマスター６に食い付く向きに押し付けられるため、そのまま分離するには多大な力が必要となるが、今回のように、予め密着状態を緩和しておけば、インサート成形後のマスター６との分離を容易に行うことができる。そのため、本発明に係る密着状態の緩和手段は、保持部５のインサート成形を伴う場合に、特に有効である。
【００４０】
なお、電鋳部４とマスター６との分離手段としては、上記手段とは逆に、マスター６を軸方向に拘束した状態で、電鋳部４と保持部５との一体品に軸方向の負荷を与えることで、両者４、６を分離することも可能である。
【００４１】
上述の如く形成された軸受部材３の内周に、引抜いたマスター６とは別に作成した軸部材２を挿入することで、図１に示す軸受装置１が完成する。もちろん、十分な拡径量が確保できるのであれば、電鋳部４から分離した後、引き抜かずにマスター６をそのまま軸部材２として使用することも可能である
【００４２】
以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明は上記実施形態に限られることなく、本発明の範囲内において種々の変形が可能である。以下、その例を説明する。
【００４３】
例えば、上記実施形態では、ショット９の衝突により電鋳部４に外力を付与した場合を説明したが、電鋳部４とマスター６との間の密着状態を緩和可能である限り、上記以外の方法で外力を付与することも可能である。
【００４４】
例えば図５は電鋳部４に外力を付与する他の方法を概念的に示すもので、共に平坦な面を有する一対の型１０、１１で電鋳部４を挟持しながら、一方の型１１を他方の型１０に対して相対的にスライドさせることで、電鋳部４に対してその全周にわたって挟持力を付与するものである。この場合、図６（ａ）に示すように、電鋳部４の、最も半径方向に圧迫される箇所では、塑性流れによりその周囲に肉が逃げる（図６（ａ）中、１点鎖線で示す位置から実線で示す位置に向けて逃げが生じる）。そのため、図６（ｂ）に示すように、双方の型１０、１１間のスライドに伴い、最も半径方向に圧迫力を受ける箇所が電鋳部４の回転方向後方に移動することで、電鋳部４のうち、直前に挟持力を受けていた箇所がマスター６から離れる向きに復元力を受け、当該箇所における内周面４ａと電鋳加工面６ａとの間の密着状態が緩和される。
【００４５】
従って、この手段によっても、電鋳部４とマスター６との密着状態を緩和することができ、マスター６との分離（引き抜き）を比較的小さい負荷で容易に行うことができる。また、この実施形態では、いわゆる転造に準じた方法で、電鋳部４の外周面４ｂに挟持力（外力）を、円周方向に連続的して付与するようにしたので、外周面４ｂ全面にわたって挟持力を付与することができ、これによりマスター６との分離（引き抜き）を容易かつ確実に行うことができる。
【００４６】
この場合、電鋳部４を挟持する双方の型１０、１１間の対向間隔を適当に設定することで、電鋳部４に付与すべき挟持力（外力）を調整することができる。
【００４７】
なお、上記何れの実施形態においても、外力の付与により電鋳部４の内周面４ａが拡径し、マスター６の外周面（電鋳加工面６ａ）との間に半径方向の隙間が生じた場合を例示しているが、隙間の発生は必須ではない。すなわち、外力の付与によって電鋳部４とマスター６との間の密着状態が緩和する限りにおいて、外力（衝撃力や挟持力）の大きさやその付与態様は任意である。従い、上述の外力付与後、見かけ上は電鋳部４の内周面４ａとマスター６の電鋳加工面６ａとが接触している場合であっても、電鋳加工時の密着状態が緩和あるいは解消されていれば問題はない。
【００４８】
また、以上の実施形態では、マスター６の電鋳部４からの引き抜きを、保持部５のインサート成形後で、かつ成形金型から成形品を離型した後に行う場合を説明したが、インサート成形後で、成形金型からの離型と同時にマスター６の引き抜きを行うようにしても構わない。具体的には、成形後に型開きを行った際、成形品が残る側（通常、マスター６を保持する可動型の側）に設けたイジェクト用の押し出しピンを作動させることで、保持部５を型外へと押し出す。この際、マスター６の軸方向への移動を拘束した状態で電鋳部４と保持部５との一体品を金型から押し出すことで、保持部５のインサート成形工程とマスター６との分離工程とを一工程で行うことができ、非常に効率的かつ経済的である。
【００４９】
また、以上の実施形態では、保持部５を樹脂で形成した場合を説明したが、溶融金属等他の液状材料を型内で固化させることで、あるいは、別体としての保持部５を電鋳部４の外側に固定することで一体化しても構わない。
【００５０】
以上の説明に係る軸受装置１は、例えば軸受面となる電鋳部４の内周面４ａとこの面に対向する軸部材２の外周面２ａとの間に、後述する軸受隙間としての微小隙間を形成する構成を採ることもできる。すなわち、この微小隙間を含む軸受内部空間に潤滑油を満たすことで、軸受装置１を、軸部材２の相対回転時、軸受隙間に形成される潤滑油の油膜で軸部材２を相対回転自在に支持する流体軸受装置として使用することもできる。この場合、マスター６の電鋳加工面６ａに倣って高精度に形成された内周面４ａを軸受面として使用できることから、非常に回転精度に優れた軸受として使用することができ、好適である。
【００５１】
また、更なる回転精度の向上を図るのであれば、例えば電鋳部４の内周面４ａと軸部材２の外周面２ａの少なくとも何れか一方に、軸受隙間に潤滑油の動圧作用を発生させるための動圧発生部を設けることも可能である。例えば電鋳部４の内周面４ａに設ける場合、マスター６の電鋳加工面６ａを予め動圧発生部に対応する形状に加工したものを使用して電鋳部４を形成することで、電鋳部４と共に動圧発生部を形成することができる。この場合、例えばショット９を、電鋳部４に対して半径方向に圧迫する向きに衝突させ、電鋳部４の内周面４ａを拡径させるようにすれば、軸受面や動圧発生部をあまり傷付けることなくマスター６を引き抜くことができる。
【００５２】
動圧発生部としては種々の形態が考えられる。例えば軸方向に延びる溝を円周方向まわりに複数配列してなるステップ状や、複数の円弧面を円周方向まわりに配列してなる多円弧状、あるいは互いに傾斜角の異なる傾斜溝を軸方向で対称的にかつ円周方向まわりに複数配列してなるへリングボーン状の動圧発生部が形成可能である。軸部材２の外周面２aに動圧発生部を設けるのであれば、電鋳部４の内周面４ａに設ける場合と比べて、採り得る形態の自由度が高まるため好ましい。
【００５３】
また、以上の実施形態では、両端開口の形態をなす軸受部材１について説明したが、本発明は、一端を開口し他端を閉塞した形態の軸受部材に対しても適用可能である。その場合、電鋳部を有底筒状に形成し、その内底面で軸を支持することもできる。また、軸と軸受部材（あるいは電鋳部）とが軸方向に対向する面の少なくとも何れか一方に、既述の動圧発生部を設けることも可能である。また、この場合、他端閉塞側で対向する面の間に動圧軸受を構成することもでき、ラジアル軸受部より半径方向外側に位置し、かつ軸受部材の一端開口側で対向する面の間に動圧軸受を構成することもできる。
【００５４】
また、以上の実施形態では、軸受部材３の一端開口側に特段のシール手段を設けない場合を例示したが、これに限ることなく任意のシール手段が配設可能である。例えば、電鋳加工面６ａの軸方向一端側にテーパ面を設けたマスター６を用いて電鋳部４を形成し、電鋳部４の内周面に形成されたテーパ面でもって軸部材２の外周面２ａとの間にシール空間を形成することもできる。あるいは、成形金型（で形成されるキャビティ）の形状等を工夫して、保持部５の内周面と軸部材２の外周面２ａとの間にシール空間を形成することもできる。
【００５５】
また、以上の実施形態では、軸受隙間を含む軸受装置１の内部を満たす流体として、潤滑油を例示したが、それ以外にも、例えば空気等の気体や、磁性流体等の流動性を有する潤滑剤、あるいは潤滑グリース等を使用することもできる。
【００５６】
本発明に係る軸受部材３は、駆動機構の回転軸支持用に広く適用可能である。また、その中でも、この軸受部材３を備えた軸受装置１は、上記のとおり、高精度の軸受面を有することから、例えば上記ＨＤＤ等の磁気ディスク駆動用のスピンドルモータをはじめ、光ディスクの光磁気ディスク駆動用のスピンドルモータ等、高速回転下であっても高い回転精度が要求される情報機器用の小型モータとして、あるいはファンモータなど、高い静粛性が要求される用途に好適に使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の一実施形態に係る軸受部材を備えた軸受装置の断面図である。
【図２】（ａ）マスキングを施したマスターの斜視図、および（ｂ）外周に電鋳部を形成したマスターの斜視図である。
【図３】ショットブラスト加工に準じる方法で、電鋳部に衝撃力を付与する工程を概念的に示す図である。
【図４】（ａ）は衝撃力を受けた際の電鋳部の変形挙動、（ｂ）は衝撃力を受けた後の電鋳部の変形挙動をそれぞれ模式的に示す拡大断面図である。
【図５】転造加工に準じる方法で、電鋳部に外力を付与する工程を概念的に示す図である。
【図６】（ａ）は挟持力を受けた際の電鋳部の変形挙動、（ｂ）は挟持力を受けた後の電鋳部の変形挙動をそれぞれ模式的に示す拡大断面図である。
【符号の説明】
【００５８】
１      軸受装置
２      軸部材
３      軸受部材
４      電鋳部
４ａ    内周面
４ｂ    外周面
６      マスター
６ａ    電鋳加工面
７      マスキング部
９      ショット
１０、１１  （挟持用の）型
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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