(57)【要約】【課題】テスト用電源の供給される対象物を挿入方向へ移動する移動装置において、ユーザが誤ってテスト用電源供給中に対象物を抜去できないようにする。【解決手段】対象物移動装置は、壁面に取り付けられた、第１接続部であって、挿入された対象物の第２接続部と電気的に接続される、第１接続部と、爪部が設けられた挿入爪であって、前記爪部が前記対象物の第１当接部に当接して、前記対象物を挿入方向へ移動させることにより、前記対象物の前記第２接続部が前記第１接続部に接続される、挿入爪と、前記対象物にテスト用電源を供給して、前記対象物の導通テストを行う、導通テスト実行部と、を備えて構成されており、前記テスト用電源が前記対象物に供給されている間は、前記挿入爪の前記爪部は、前記対象物の前記第１当接部と当接する位置にあり、前記挿入方向と反対の方向である抜去方向への対象物の移動を制限している。【選択図】図６
2008107143.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
壁面に取り付けられた、第１接続部であって、挿入された対象物の第２接続部と電気的に接続される、第１接続部と、
爪部が設けられた挿入爪であって、前記爪部が前記対象物の第１当接部に当接して、前記対象物を挿入方向へ移動させることにより、前記対象物の前記第２接続部が前記第１接続部に接続される、挿入爪と、
前記対象物にテスト用電源を供給して、前記対象物の導通テストを行う、導通テスト実行部と、
を備えており、
前記テスト用電源が前記対象物に供給されている間は、前記挿入爪の前記爪部は、前記対象物の前記第１当接部と当接する位置にあり、前記挿入方向と反対の方向である抜去方向への対象物の移動を制限している、
ことを特徴とする対象物移動装置。
【請求項２】
前記テスト用電源の供給が停止した場合には、前記挿入爪の前記爪部は、前記対象物の前記第１当接部と当接する位置から外れた位置に移動する、ことを特徴とする請求項１に記載の対象物移動装置。
【請求項３】
前記対象物には、前記挿入爪の前記爪部が挿入される開口部が形成されており、
前記テスト用電源が前記対象物に供給されている間は、前記対象物の前記開口部に、前記挿入爪の前記爪部が挿入されており、
前記テスト用電源の供給が停止した場合には、前記挿入爪の前記爪部は、前記対象部の前記開口部から抜け出た位置に移動する、
ことを特徴とする請求項２に記載の対象物移動装置。
【請求項４】
前記対象物の第２当接部に当接して、前記対象物を前記抜去方向に移動する、抜去部を、さらに備えることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の対象物移動装置。
【請求項５】
前記挿入爪の前記爪部を、前記対象物の前記開口部に挿入する方向に移動し、又は、前記対象物の前記開口部から抜け出る方向に移動する、第１動機構を、さらに備えることを特徴とする請求項４に記載の対象物移動装置。
【請求項６】
前記抜去部を前記挿入爪とともに、前記挿入方向又は前記抜去方向に移動する、第２移動機構を、さらに備えることを特徴とする請求項５に記載の対象物移動装置。  
【請求項７】
前記対象物の前記開口部は、前記対象物の挿入方向の右側と左側にそれぞれ形成されており、
前記挿入爪は、前記対象物の前記開口部に対応して、右側と左側にそれぞれ配置されている、ことを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の対象物移動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、対象物移動装置に関し、特に、対象物の挿入方向への移動を自動的に行う対象物移動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品等の半導体装置の初期不良を顕在化し、初期故障品の除去を行うためのスクリーニング試験の一種であるバーンイン（Burn-In）試験を行う装置として、バーンイン装置が知られている。このバーンイン装置は半導体テスト装置の一種であり、被試験デバイス（Device Under Test）である半導体装置を複数装着したバーンインボードをバーンイン装置内に収容し、被試験デバイスに、電圧を印加して電気的ストレスを与えるとともに、恒温槽内部の空気を加熱して所定の温度の熱ストレスを与えることにより、初期不良を顕在化させる。また、このバーンイン試験においては、被試験デイバスに動作用の電源や信号を供給して、被試験デバイスの動作テストを行い、被試験デイバスが正常に動作しているかどうかを試す試験を行う。
【０００３】
このようなバーンイン装置では、数時間から数十時間に亘る長時間のバーンイン試験が行われることから、試験効率を向上させるために、複数の被試験デバイスを１枚のバーンインボードに挿入するとともに、このバーンインボードを複数毎、バーンイン装置に収納して、バーンイン試験を行うのが一般的である（例えば、特許文献１：特開平１１−９４９００号公報参照）。
【０００４】
バーンインボードの挿入方向先端部には、エッジが設けられており、このエッジを、バーンイン装置に設けられているエッジコネクタに挿入することにより、バーンインボードとバーンイン装置とが電気的に接続され、バーンインボードに挿入された被試験デバイスに、試験動作用の電源や信号を供給することができるようになる。しかし、複数枚のバーンインボードをエッジコネクタに挿入したり、エッジコネクタから抜去したりするには、相当の力が必要となり、必ずしも容易ではない。特に、バーンインボードの枚数が多くなるに従って、バーンインボードの挿抜に必要な力も増大し、その作業効率性が著しく悪化するおそれがある。このため、バーンイン装置に対してバーンインボードを自動的に挿抜する自動挿抜装置が、バーンイン装置に設けられている場合がある。
【０００５】
このような自動挿抜装置が設けられているバーンイン装置においても、バーンインボードを挿入した後、バーンイン試験実行前に、電気的導通を確認するため、導通テストをする必要がある。すなわち、被試験デバイスとバーンイン装置との間で正常に電気的な導通が確保できているかをテストする必要がある。そして、この導通テストで電気的な導通に問題のある場合には、一旦、人手によりバーンインボードをバーンイン装置から抜去し、問題のある被試験デバイスのソケットに対する挿入状態をチェックし、必要であれば、ソケットに差し直したり、さらには被試験デバイスを交換したりする。その上で、再度、バーンインボードを人手によりバーンイン装置に挿入する。このため、バーンインボードを一括して自動でバーンイン装置に挿入した後でも、バーンインボードを個別にバーンイン装置から挿抜できるようにしなければならない。
【０００６】
バーンインボードの導通テストを行うためには、バーンインボードにバーンイン装置からテスト用電源を供給する必要がある。しかし、テスト用電源を供給している状態でバーンインボードをエッジコネクタから抜去すると、過電流により被試験デバイスが損傷してしまう恐れがある。このため、バーンインボードの抜き差しをする際には、バーンインボードへのテスト用電源の供給を一旦停止した上で、作業を行う必要がある。しかし、バーンイン装置からバーンインボードにテスト用電源を供給している状態でも、ユーザが誤ってバーンインボードを抜去してしまう可能性がある。
【０００７】
このような問題は、対象物がバーンインボードであるバーンイン装置に限らず、テスト用電源の供給される対象物を挿入方向へ移動する移動装置であっても、同様に生ずる。
【特許文献１】特開平１１−９４９００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
そこで本発明は、前記課題に鑑みてなされたものであり、テスト用電源の供給される対象物を挿入方向へ移動する移動装置において、ユーザが誤ってテスト用電源供給中に対象物を抜去できないようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するため、本発明に係る対象物移動装置は、
壁面に取り付けられた、第１接続部であって、挿入された対象物の第２接続部と電気的に接続される、第１接続部と、
爪部が設けられた挿入爪であって、前記爪部が前記対象物の第１当接部に当接して、前記対象物を挿入方向へ移動させることにより、前記対象物の前記第２接続部が前記第１接続部に接続される、挿入爪と、
前記対象物にテスト用電源を供給して、前記対象物の導通テストを行う、導通テスト実行部と、
を備えており、
前記テスト用電源が前記対象物に供給されている間は、前記挿入爪の前記爪部は、前記対象物の前記第１当接部と当接する位置にあり、前記挿入方向と反対の方向である抜去方向への対象物の移動を制限している、
ことを特徴とする。
【００１０】
この場合、前記テスト用電源の供給が停止した場合には、前記挿入爪の前記爪部は、前記対象物の前記第１当接部と当接する位置から外れた位置に移動するようにしてもよい。
【００１１】
この場合、前記対象物には、前記挿入爪の前記爪部が挿入される開口部が形成されており、
前記テスト用電源が前記対象物に供給されている間は、前記対象物の前記開口部に、前記挿入爪の前記爪部が挿入されており、
前記テスト用電源の供給が停止した場合には、前記挿入爪の前記爪部は、前記対象部の前記開口部から抜け出た位置に移動するようにしてもよい。
【００１２】
また、対象物移動装置は、前記対象物の第２当接部に当接して、前記対象物を前記抜去方向に移動する、抜去部を、さらに備えるようにしてもよい。
【００１３】
この場合、対象物移動装置は、前記挿入爪の前記爪部を、前記対象物の前記開口部に挿入する方向に移動し、又は、前記対象物の前記開口部から抜け出る方向に移動する、第１動機構を、さらに備えるようにしてもよい。
【００１４】
この場合、対象物移動装置は、前記抜去部を前記挿入爪とともに、前記挿入方向又は前記抜去方向に移動する、第２移動機構を、さらに備えるようにしてもよい。
【００１５】
また、前記対象物の前記開口部は、前記対象物の挿入方向の右側と左側にそれぞれ形成されており、
前記挿入爪は、前記対象物の前記開口部に対応して、右側と左側にそれぞれ配置されているようにしてもよい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。なお、以下に説明する実施形態は、本発明の技術的範囲を限定するものではない。
【００１７】
図１は、本発明の一実施形態に係るバーンイン装置１０の全体的な正面レイアウト図であり、正面のドアを取り除いた状態を示している。図２は、図１に示したバーンイン装置１０の全体的な正面図であり、ドア２０を閉じた状態を示している。これら図１及び図２に示すバーンイン装置１０は、自動挿抜装置が設けられている本体装置の一例である。図３は、バーンインボードをエッジコネクタに挿入した状態を模式的に示す斜視図である。
【００１８】
図１及び図２に示すように、本実施形態に係るバーンイン装置１０の内部には、断熱壁３０で区画された空間により、チャンバ４０が形成されている。このチャンバ４０の内部には、図３にも示すように、１又は複数のバーンインボードＢＩＢが収納される。
【００１９】
図１及び図２に示すバーンイン装置１０の例では、バーンインボードＢＩＢを挿入するためのエッジコネクタ５０が、壁面５２に１５段×４組の配置で固定的に取り付けられており、合計６０枚のバーンインボードＢＩＢを、これらのエッジコネクタ５０に挿入することが可能である。但し、このチャンバ４０内に収納することの可能なバーンインボードＢＩＢの枚数や、チャンバ４０内におけるバーンインボードＢＩＢ及びエッジコネクタ５０の配置は、任意に変更可能である。
【００２０】
また、このバーンイン装置１０には、２枚のドア２０が設けられており、ドア２０を開状態にすることにより、バーンインボードＢＩＢをチャンバ４０から出し入れできるようになる。また、このドア２０にも断熱材が組み込まれており、ドア２０を閉状態にすることにより、周囲から熱的に遮断された空間であるチャンバ４０が構成される。
【００２１】
また、本実施形態においては、キャリアラックごと、バーンインボードＢＩＢがチャンバ４０に収納される。すなわち、１５枚のバーンインボードＢＩＢを格納したキャリアラックを、チャンバ４０に収納することにより、１５枚のバーンインボードＢＩＢがチャンバ４０に収納される。したがって、本実施形態に係るバーンイン装置１０には、４台のキャリアラックを収納することができることになる。
【００２２】
さらに、本実施形態に係るバーンイン装置１０においては、このチャンバ４０の左側、上側、右側と延びる空気循環ダクトＤＴが設けられている。空気循環ダクトＤＴの左上側には、ファン７０が設けられている。このファン７０が駆動すると、空気循環ダクトＤＴの左側から、バーンインボードＢＩＢのある領域の空気が吸引され、空気循環ダクトＤＴの上側及び右側を通って、再び、バーンインボードＢＩＢのある領域に送出される。つまり、ファン７０により、チャンバ４０内の空気の循環が形成され、チャンバ４０の内部の空気が攪拌されて、チャンバ４０の内部温度が場所によらずに均一になる。これにより、バーンインボードＢＩＢに装着された被試験デバイスである半導体装置の周囲の温度を、所望の温度にすることができるようになる。
【００２３】
また、バーンイン装置１０の左側には、冷却ユニット１００が設けられている。この冷却ユニット１００は、冷却コンプレッサ１０２と熱交換器１０４とにより、構成されている。本実施形態においては、この冷却ユニット１００は、水冷式の冷却方式を採用している。このため、冷却コンプレッサ１０２は、冷却水を循環するためのコンプレッサであり、熱交換器１０４は、冷却水の冷熱を、チャンバ４０の内部の空気と交換するための交換器である。熱交換器１０４は、空気循環ダクトＤＴ内に設けられている。このため、冷却ユニット１００が稼働している状態で、ファン７０により空気が循環すると、循環された空気が熱交換器１０４で冷却され、チャンバ４０の内部の温度を下げることができる。
【００２４】
また、熱交換器１０４の左側には、ヒーター１２０が設けられている。このヒーター１２０は、例えば電熱ヒーターにより構成されており、ヒーター１２０に電源が供給されると発熱するように構成されている。ヒーター１２０が発熱している状態で、空気循環ダクトＤＴ内の空気を循環させることにより、チャンバ４０内の空気の温度を上げることができる。
【００２５】
このことから分かるように、これら冷却ユニット１００とヒータ１２０とにより、このチャンバ４０内の温度を制御する温度制御ユニット１３０が構成されている。
【００２６】
図４は、バーンインボードＢＩＢの挿入方向先端部の裏側を拡大して示す図である。本実施形態においては、バーンインボードＢＩＢをエッジコネクタ５０に挿入する際にバーンインボードＢＩＢが移動する方向を挿入方向といい、反対に、バーンインボードＢＩＢをエッジコネクタ５０から抜去する際にバーンインボードＢＩＢが移動する方向を抜去方向ということとする。また、両方向を合わせて、挿抜方向ということとする。
【００２７】
この図４に示すように、バーンインボードＢＩＢの挿入方向先端部には、エッジ２００が設けられている。このエッジ２００には複数の電気接続ピンが形成されており、このバーンインボードＢＩＢに設けられているプリント配線基板に接続されている。このプリント配線基板には複数のソケットが設けられており、このソケットに被試験デバイスである半導体装置が挿入される。このため、エッジ２００をエッジコネクタ５０に挿入することにより、バーンインボードＢＩＢがエッジコネクタ２００と電気的に接続され、結果として、プリント基板上のソケットに挿入された被試験デバイスが、エッジコネクタ５０と電気的に接続される。
【００２８】
また、このバーンインボードＢＩＢは、矩形の枠部材２１０を備えている。この枠部材２１０は、バーンインボードＢＩＢの強度を補うために設けられており、プリント配線基板を補強する。枠部材２１０の裏面は、下板２２０で全体的に覆われているが、この下板２２０には、挿入方向の２つの角部に、それぞれ、切り欠き部２３０が形成されている。この切り欠き部２３０と枠部材２１０とにより、開口部２４０が形成される。詳しくは後述するが、この開口部２４０は、バーンイン装置１０に設けられた自動挿抜装置により、このバーンインボードＢＩＢを挿入する際に使用される。
【００２９】
図５乃至図８は、本実施形態に係るバーンイン装置１０が備える自動挿抜装置３００の構成を説明するための図である。これらの図のうち、図５は、バーンイン装置１０の一部を切り欠いて自動挿抜装置３００の構成を説明するための図であり、図６は、自動挿抜装置３００だけを抜き出して構成を説明するための正面図であり、図７は、自動挿抜装置３００の左側面図である。図８は、自動挿抜装置３００の上側部分を拡大して示す斜視図である。
【００３０】
これら図５乃至図８に示すように、自動挿抜装置３００は、エッジコネクタ５０の左右両側に設けられた挿入爪連結板３１０と、この挿入爪連結板３１０を上下方向に移動させる爪駆動用シリンダ３２０と、この爪駆動用シリンダ３２０と挿入爪連結板３１０との間を機械的に接続する挿入爪駆動ロッド３３０とを備えている。
【００３１】
また、自動挿抜装置３００は、挿入爪連結板３１０の外周側に設けられた挿抜プレート３４０と、この挿抜プレート３４０を挿抜方向に移動させるための挿抜用シリンダ３５０と、この挿抜用シリンダ３５０の上下の動きを伝達する挿抜ロッド３６０と、挿抜ロッド３６０の上下の動きを挿抜方向の動き（前後の動き）に変えて挿抜プレート３４０に伝達する挿抜カムプレート３７０とを備えている。なお、図５及び図７においては、チャンバ４０の右側に配置されたエッジコネクタ５０用の左右の挿入カムプレート３７０は、他の部分の構成を明らかにするために省略してある。
【００３２】
挿入爪連絡板３１０は、縦方向に延びる板状の部材であり、詳しくは後述するが、挿入爪連絡板３１０が上方向及び下方向に移動することにより、挿入爪４００が上下に揺動するように構成されている。これら図５乃至図８では、簡略化のため、一部の挿入爪４００のみを図示しているが、実際には、すべてのエッジコネクタ５０に対応して、一対の挿入爪４００が設けられている。すなわち、１つのエッジコネクタに対して、右側に１つの挿入爪４００が設けられており、左側にも１つの挿入爪４００が設けられている。
【００３３】
図９は、挿入方向右側に配置されている挿入爪４００の斜視図であり、図１０は、図９の挿入爪４００を矢印Ａ方向から見た側面図である。なお、挿入方向左側に配置される挿入爪４００の構成は、これら図９及び図１０に示した挿入爪４００と左右が対称となるだけであるので、図示及び説明は省略する。
【００３４】
これら図９及び図１０に示すように、挿入爪４００の抜去方向先端部には、爪部４１０が形成されている。この爪部４１０の内側当接部４１２は、バーンインボードＢＩＢを挿入する際に、図４に示した開口部２４０に挿入されて、枠部材２１０の第１当接部２１２に当接する。
【００３５】
挿入爪４００の爪部４１０と反対側の挿入方向の部位は、取付部４２０を構成している。爪部４１０と取付部４２０との間は、クランク状に屈曲したクランク部４３０が形成されており、このクランク部４３０により、爪部４１０が取付部４２０よりも、バーンインボードＢＩＢの幅方向内側に入り込んで位置するようになる。すなわち、クランク部４３０のクランク形状により、爪部４１０が、取り付け部４２０より、バーンインボードＢＩＢの幅方向の寸法の内側に位置するようになる。
【００３６】
取付部４２０には、支点貫通孔４４０と力点貫通孔４５０とが形成されている。支点貫通孔４４０には、ピンやロッドなどの連結具が挿入され、揺動可能に挿抜プレート３４０に取り付けられる。力点貫通孔４５０にも、ピンやロッドなどの連結具が挿入され、この連結具が、挿入爪連絡板３１０に形成された切り欠き部３１２（図８参照）に挿入される。このため、挿入爪連絡板３１０が上下方向に移動すると、爪部４１０は支点貫通孔４４０を中心に揺動する。
【００３７】
図１１は、挿入爪４００の揺動の様子を模式的に説明する概念図である。この図１１に示すように、挿入爪連絡板３１０が上側に移動した位置にある場合には、力点貫通孔４５０は支点貫通孔４４０よりも上側に位置している。このため、挿入爪４００の爪部４１０は支点貫通孔４４０よりも下側の位置にある。換言すれば、爪駆動用シリンダ３２０が、挿入爪駆動ロッド３３０を上側に移動するように駆動されると、挿入爪４００の爪部４１０は、支点貫通孔４４０よりも下側の位置に移動する。
【００３８】
一方、挿入爪連絡板３１０が下側に移動した位置にある場合には、力点貫通孔４５０は支点貫通孔４４０と同じ高さに位置している。このため、爪部４００の爪部４１０も、支点貫通孔４４０と同じ高さに位置する。換言すれば、爪駆動用シリンダ３２０が、挿入爪駆動ロッド３３０を下側に移動するように駆動されると、挿入爪４００の爪部４１０は、支点貫通孔４４０と同じ高さに移動する。
【００３９】
挿入爪４００は、このような揺動動作をするとともに、バーンインボードＢＩＢの挿抜方向にも移動する。この挿抜方向の移動、すなわち、前後方向への移動は、挿抜プレート３４０の前後方向の移動により実現される。
【００４０】
すなわち、図５乃至図８に示すように、挿入爪４００の支点貫通孔４４０に挿入された連結具により、挿入爪４００は挿抜プレート３４０に取り付けられている。この挿入プレート３４０は、挿抜用シリンダ３５０が駆動すると挿抜方向に移動する。
【００４１】
具体的には、挿抜用シリンダ３５０が挿抜ロッド３６０を上方向に移動すると、この挿抜ロッド３６０に連結されている挿抜カムプレート３７０も上方向に移動する。挿抜カムプレート３７０には、長穴３７２が形成されている。この長穴３７２は、図７に示すように、斜めに形成されている。すなわち、長穴３７２は、上側に行くほど抜去方向側に位置するように、逆に、下側に行くほど挿入方向側に位置するように、挿抜カムプレート３７０に斜めに形成されている。本実施形態では、この長穴３７２は、１枚の挿抜カムプレート３７０に、都合４カ所、形成されている。つまり、上側のキャリアラックに対応する位置に、２個の長穴３７２が形成されており、下側のキャリアラックに対応する位置に、２個の長穴３７２が形成されている。
【００４２】
この図７は、左側の挿抜カムプレート３７０を示しているが、図１２に示すように、右側の挿抜カムプレート３７０も同様に、上側に行くほど抜去方向側に位置するように、逆に、下側に行くほど挿入方向側に位置するように、挿抜カムプレート３７０に斜めに長穴３７２が形成されている。この挿抜カムプレート３７０の長穴３７２には、挿抜プレート３４０に固定的に取り付けられたシャフト３４２が挿入されている。
【００４３】
さらに、挿抜カムプレート３７０には、垂直方向に延びるように形成された長穴３７４が形成されている。本実施形態では、この長穴３７４は、１枚の挿抜カムプレート３７０に、都合２カ所、形成されている。具体的には、上側のキャリアラックに対応する位置で、２つの長穴３７２の間に１つ形成されており、下側のキャリアラックに対応する位置で、２つの長穴３７２の間にもう１つ形成されている。この長穴３７４は、斜めに形成されている長穴３７２と異なり、垂直に同じ幅で形成されている。この長穴３７４には、挿抜プレート３４０に固定的に取り付けられたシャフト３４３が挿入されている。つまり、この長穴３７４とシャフト３４３との連結により、挿抜カムプレート３７０が、上下方向へ移動できるようにしつつ、挿抜方向へは移動しないようにしている。
【００４４】
このため、挿抜カムプレート３７０が上方向に移動すると、長穴３７２がシャフト３４２を挿入方向へ移動させ、これにより、挿抜プレート３４０も挿入方向に移動する。図７は、この状態を示しており、以下では、この図７の状態を挿入状態ということとする。
【００４５】
これに対して、挿抜用シリンダ３５０が挿抜ロッド３６０を下方向に移動すると、この挿抜ロッド３６０に連結されている挿抜カムプレート３７０も下方向に移動する。このため、長穴３７２がシャフト３４２を抜去方向へ移動させ、これにより、挿抜プレート３４０も抜去方向に移動する。図１２は、この状態を示しており、以下では、この図１２の状態を抜去状態ということとする。
【００４６】
本実施形態に係る自動挿抜装置３００は、以上のような機構を、爪駆動用シリンダ３２０と挿抜用シリンダ３５０とで適宜駆動することにより、バーンインボードＢＩＢの自動挿抜を実現する。
【００４７】
図１３は、バーンインテストを行う際のバーンイン装置１０の動作を説明するフローチャートを示す図である。この図１３に基づいて、ユーザがバーンインテストを行う際の手順とバーンイン装置１０の動作とを説明する。
【００４８】
図１３に示すように、ユーザは、まず、このバーンイン装置１０のドア２０を開状態にして、キャリアラックごとバーンインボードＢＩＢをチャンバ４０内に収納する。上述したように、本実施形態に係るバーンイン装置１０には、４台のキャリアラックが収納可能であり、１台のキャリアラックにつき、１５枚のバーンインボードＢＩＢが収納可能である。
【００４９】
このキャリアラックを収納する際は、図１４に示すように、挿入爪４００の爪部４１０は、下がった状態にある。つまり、挿入爪連結板３１０は、最も上側に上がった位置にある。また、挿抜プレート３４０は抜去状態にあり、挿抜カムプレート３７０は、最も下側に下がった位置にある。
【００５０】
キャリアラックを所定の位置にセットした後、ユーザは、コントロール装置ＣＴＬに設けられている自動挿入ボタンを押下する。自動挿入ボタンが押下されると、バーンイン装置１０は、自動挿抜装置３００を用いたバーンインボードＢＩＢの自動挿入を行う（ステップＳ１０）。
【００５１】
具体的には、図１５に示すように、挿入爪４００の爪部４１０を上げて、バーンインボードＢＩＢの開口部２４０に爪部４１０を挿入する。具体的には、バーンイン装置１０は、爪駆動用シリンダ３２０を駆動して、挿入爪連絡板３１０を下方に移動し、挿入爪連絡板３１０を最も下側に下がった位置に移動させる。
【００５２】
続いて、図１６に示すように、バーンイン装置１０は、挿抜用シリンダ３５０を駆動して、挿抜プレート３４０を挿入方向に移動する。具体的には、バーンイン装置１０は、挿抜用シリンダ３５０を駆動して、挿抜カムプレート３７０を上方向に移動し、挿抜カムプレート３７０を最も下がった位置から最も上がった位置に移動する。これにより、挿入爪４００の爪部４１０の内側当接部４１２が、バーンインボードＢＩＢの枠部材２１０の第１当接部２１２に当接し、この当接した状態で、挿抜プレート３４０が挿入爪４００とともに挿入方向へ移動するので、バーンインボードＢＩＢが挿入方向へ移動する。このため、挿抜プレート３４０が抜去状態から挿入状態になり、バーンインボードＢＩＢの挿入方向先端部にあるエッジ２００が、バーンイン装置１０の壁面５２にあるエッジコネクタ５０に挿入される。
【００５３】
続いて、図１７に示すように、バーンインボードＢＩＢの挿入が完了すると、バーンイン装置１０は、挿抜用シリンダ３５０を駆動して、挿抜プレート３４０を僅かに抜去方向へ移動する。具体的には、バーンイン装置１０は、挿抜用シリンダ３５０を駆動して、挿抜カムプレート３７０を僅かに下方向に移動し、挿抜カムプレート３７０を最も上がった位置から僅かに下がった位置に移動する。
【００５４】
バーンインボードＢＩＢの挿入が完了したかどうかの判断は、例えば、挿抜用シリンダ３５０に所定値より大きなトルクが発生したかどうかで判断すればよい。図１７から分かるように、この時点では、挿入爪４００の爪部４１０は、バーンインボードＢＩＢの開口部２４０に挿入されたままである。このため、挿入爪４００の爪部４１０は、バーンインボードＢＩＢの抜去方向への移動を制限する位置にある。従って、ユーザがバーンインボードＢＩＢを抜こうとしても、バーンインボードＢＩＢを抜くことはできない。
【００５５】
次に、図１３に示すように、ユーザは、コントロール装置ＣＴＬのイニシャルテストボタンを押下する。イニシャルテストボタンが押下されると、バーンイン装置１０はイニシャルテストを開始する（ステップＳ２０）。すなわち、バーンイン装置１０は、エッジコネクタ５０に接続されたバーンインボードＢＩＢにテスト用電源を供給し、バーンインボードＢＩＢが正常にエッジコネクタ５０に挿入されて、電気的に接続されているかどうかの導通テストを行う。この導通テストの結果は、図示しない制御用のディスプレイに表示される。このため、ユーザは、このディスプレイの表示を確認して、すべてのバーンインボードＢＩＢが電気的に正常にバーンイン装置１０に接続されているかどうかを確かめる。また、ユーザは、バーンインボードＢＩＢ上の被試験デバイスが、正常にバーンインボードＢＩＢに接続されているかどうかを確かめる。
【００５６】
電気的に正常に接続されていないバーンインボードＢＩＢや被試験デバイスがある場合は、これを直す必要があるので、ユーザは、コントロール装置ＣＴＬのテスト用電源オフボタンを押下して、テスト用電源の供給を停止する。バーンイン装置１０は、テスト用電源の供給が停止したことを検出した場合（ステップＳ３０）には、挿入爪４００の爪部４１０を下げる（ステップＳ４０）。具体的には、バーンイン装置１０は、爪駆動用シリンダ３２０を駆動して、挿入爪連絡板３１０を上方に移動し、挿入爪連絡板３１０を最も上側に上がった位置に移動させる。
【００５７】
これにより、図１８に示すように、挿入爪４００の爪部４１０が、バーンインボードＢＩＢの開口部２４０から抜け出た状態となり、ユーザがバーンインボードＢＩＢを個別に抜去できる状態となる。換言すれば、テスト用電源の供給が停止するまでは、挿入爪４００の爪部４１０が、バーンインボードＢＩＢの開口部２４０に挿入された状態になっているので、ユーザはバーンインボードＢＩＢを抜去しようとしても、抜去できない状態になっている。
【００５８】
ユーザは、イニシャルテストで問題のあったバーンインボードＢＩＢを個別に抜去して、バーンインボードＢＩＢのエッジ２００と、エッジコネクタ５０との間の電気的接続状態を確認したり、バーンインボードＢＩＢのエッジコネクタ５０への挿入をやり直したりする。また、導通状態の悪い被試験デバイスのバーンインボードＢＩＢ上のソケットへの挿入状態を確認したり、ソケットへの挿入をやり直したりする。無論、ユーザは、必要に応じて、ソケットに挿入されている被試験デバイスを抜いて、別の被試験デバイスをそのソケットに差し換えることも行う。
【００５９】
これらの作業の後、ユーザは、バーンインボードＢＩＢを再びエッジコネクタ５０に挿入し、再テストを行う。すなわち、ユーザは、コントロール装置ＣＴＬのイニシャルテストボタンを再び押下する。イニシャルテストボタンが押下された場合、バーンイン装置１０は、再び、テスト用電源をバーンインボードＢＩＢに供給して、導通テストを行う（ステップＳ５０）。
【００６０】
この再テストにあたっては、バーンイン装置１０は、挿入爪４００の爪部４１０を再び、図１７に示すように、バーンインボードＢＩＢの開口部２４０に挿入し、バーンインボードＢＩＢの抜去方向への移動を制限する。具体的には、バーンイン装置１０は、爪駆動用シリンダ３２０を駆動して、挿入爪連絡板３１０を下方に移動し、挿入爪連絡板３１０を最も下側に下がった位置に移動させる。このため、再テスト終了後に、ユーザがバーンインボードＢＩＢを抜去しようとしても、テスト用電源をオフにしてからでないと、抜去できないようになっている。
【００６１】
この再テストの結果、まだ、問題がある場合には、再度、ユーザは、コントロール装置ＣＴＬのテスト用電源オフボタンを押下して、バーンインボードＢＩＢを個別に抜去できる状態にして、バーンインボードＢＩＢ及び被試験デバイスの導通状態の確認を行う。一方、再テストの結果、問題が解決された場合には、ユーザは、コントロール装置ＣＴＬのバーンインテスト開始ボタンを押下する。バーンインテスト開始ボタンが押下されると、バーンイン装置１０は、バーンインテストを開始する（ステップＳ６０）。すなわち、予め定められた温度条件を生成したり、予め定められたテスト信号を被試験デバイスに印加したりして、被試験デバイスのバーンインテストを行う。
【００６２】
本実施形態では、このバーンインテストが開始されると、バーンイン装置１０は、図１８に示すように、挿入爪４００の爪部４１０が、バーンインボードＢＩＢの開口部２４０から抜け出た状態にする。具体的には、バーンイン装置１０は、爪駆動用シリンダ３２０を駆動して、挿入爪連絡板３１０を上方に移動し、挿入爪連絡板３１０を最も上側に上がった位置に移動させる。これは、本実施形態に係るバーンイン装置１０では、ドア２０が閉状態にならないと、バーンインテストが開始されず、また、チャンバ４０内の温度が所定の温度以下にならないと、ドア２０を閉状態から開状態にすることができないことから、ユーザが誤ってバーンインボードＢＩＢを抜去することがないためである。但し、このバーンインテストの間も、図１７に示すように、挿入爪４００の爪部４１０が、バーンインボードＢＩＢの開口部２４０に挿入されているようにしてもよい。
【００６３】
このバーンインテストが終了した後、バーンイン装置１０は、バーンイン装置１０の自動抜去を行う（ステップＳ７０）。本実施形態では、バーンイン装置１０は、ステップＳ１０の自動挿入の際の動作と逆の動作を順番にすることにより、バーンインボードＢＩＢを抜去する。
【００６４】
具体的には、図１７に示すように、挿入爪４００の爪部４１０をバーンインボードＢＩＢの開口部２４０に挿入し、挿抜プレート３４０を僅かに挿入方向へ移動して、図１６に示す状態にする。そして、この図１６の状態から、挿抜プレート３４０を抜去方向へ移動する。すなわち、バーンイン装置１０は、挿抜用シリンダ３５０を駆動して、挿抜カムプレート３７０を下方向に移動することにより、挿抜カムプレート３７０を最も上がった位置から最も下がった位置に移動する。
【００６５】
これにより、挿抜プレート３４０が抜去方向へ移動し、挿入状態から抜去状態にする。すなわち、挿抜プレート３４０の当接部３４４が、バーンインボードＢＩＢの枠部材２１０の第２当接部２１４に当接し、バーンインボードＢＩＢを枠部材２１０ごと、抜去方向へ押し出す。これにより、バーンインボードＢＩＢの挿入方向先端部にあるエッジ２００が、バーンイン装置１０側にあるエッジコネクタ５０から抜去される。
【００６６】
以上のようなユーザの手順及びバーンイン装置１０の動作により、バーンインテストが終了する。
【００６７】
以上のように、本実施形態に係る自動挿抜装置によれば、テスト用電源がバーンイン装置１０からバーンインボードＢＩＢに供給されている間は、挿入爪４００の爪部４１０が、バーンインボードＢＩＢの開口部２４０に挿入された状態が維持されるようにした。このため、テスト用電源がバーンインボードＢＩＢに供給されているにも拘わらず、ユーザが誤ってバーンインボードＢＩＢを抜去してしまうことがない。すなわち、ユーザがバーンインボードＢＩＢを抜こうとしても、挿入爪４００における爪部４１０の内側当接部４１２が、バーンインボードＢＩＢにおける枠部材２１０の第１当接部２１２に当接して、バーンインボードＢＩＢの抜去方向への移動を制限するので、バーンインボードＢＩＢを抜こうとしても抜くことができない。このため、テスト用電源がバーンインボードＢＩＢに供給されているにも拘わらず、ユーザが誤ってバーンインボードＢＩＢを抜去してしまい、バーンインボードＢＩＢに挿入された被試験デバイスが過電流により損傷してしまうのを回避することができる。
【００６８】
なお、本発明は上記実施形態に限定されず種々に変形可能である。例えば、上述した実施形態では、壁面５２に設けられたエッジコネクタ５０がメス型の接続部を構成し、バーンインボードＢＩＢの先端部であるエッジ２００がオス型の接続部を構成するようにしたが、オス型とメス型の関係は入れ替わっていてもよい。また、バーンインボードＢＩＢの接続部もコネクタにより構成し、バーンインボードＢＩＢのコネクタが、壁面５２のエッジコネクタ５０と接続されるようにしてもよい。
【００６９】
また、上述した実施形態では、自動挿抜装置により挿抜される対象物がバーンインボードＢＩＢである場合を例に、本発明を説明したが、自動挿抜される対象物はバーンインボードＢＩＢに限られるものではなく、様々な種類の対象物を自動挿抜する自動挿抜装置に対して本発明を適用することができる。
【００７０】
また、上述した実施形態では、対象物を自動的に挿入し、且つ、自動的に抜去する自動挿抜装置に本発明を適用した例を説明したが、本発明は、対象物を挿入方向に移動する自動移動装置であれば適用することができる。すなわち、対象物を抜去方向に移動する機能は、任意的な機能である。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】図１は、本実施形態に係るバーンイン装置のレイアウトを説明するための正面図である。
【図２】図２は、本実施形態に係るバーンイン装置の正面図である。
【図３】図３は、本実施形態に係るバーンイン装置のエッジコネクタと、このエッジコネクタに挿入されているバーンインボードとを示す斜視図である。
【図４】図４は、本実施形態に係るバーンイン装置に挿入されるバーンインボードの先端部を、裏側から見た斜視図である。
【図５】図５は、本実施形態に係るバーンイン装置の一部を切り欠いて、自動挿抜装置の構成を説明するための斜視図である。
【図６】図６は、本実施形態に係る自動挿抜装置の構成を説明するための正面図である。
【図７】図７は、図６に示した自動挿抜装置の左側面図である。
【図８】図８は、本実施形態に係る自動挿抜装置の上側部分を拡大した斜視図である。
【図９】図９は、エッジコネクタに対して挿入方向右側の挿抜プレートに設けられている挿入爪の構成を説明するための斜視図である。
【図１０】図１０は、図９に示した挿入爪を挿入方向左側から見た側面図である。
【図１１】図１１は、挿入爪の揺動の様子と、バーンインボードの移動の様子とを、模式的に説明するための要部側面図である。
【図１２】図１２は、図６に示した自動挿抜装置の右側面図である。
【図１３】図１３は、バーンインテストの際にバーンイン装置で実行される処理動作を説明するためのフローチャートを示す図である。
【図１４】図１４は、挿入爪の爪部とバーンインボードの先端部との位置関係を説明するための要部側面図であり、バーンインボードが抜去状態にある場合に、挿入爪の爪部がバーンインボードの開口部から抜け出た位置にある状態を示す図である。
【図１５】図１５は、挿入爪の爪部とバーンインボードの先端部との位置関係を説明するための要部側面図であり、挿入爪の爪部がバーンインボードの開口部に挿入された状態を示す図である。
【図１６】図１６は、挿入爪の爪部とバーンインボードの先端部との位置関係を説明するための要部側面図であり、爪部の内側当接部がバーンインボードの枠部材に当接して、バーンインボードを挿入方向へ移動している状態を示す図である。
【図１７】図１７は、挿入爪の爪部とバーンインボードの先端部との位置関係を説明するための要部側面図であり、挿入爪の爪部がバーンインボードの枠部材から僅かに離れた位置にある状態を示す図である。
【図１８】図１８は、挿入爪の爪部とバーンインボードの先端部との位置関係を説明するための要部側面図であり、バーンインボードが挿入状態にある場合に、挿入爪の爪部がバーンインボードの開口部から抜け出た位置にある状態を示す図である。
【符号の説明】
【００７２】
１０  バーンイン装置
２０  ドア
３０  断熱壁
４０  チャンバ
５０  エッジコネクタ
７０  ファン
３００  自動挿抜装置
３１０  挿入爪連結板
３２０  爪駆動用シリンダ
３３０  挿入爪駆動ロッド
３４０  挿入プレート
３５０  挿抜用シリンダ
３６０  挿抜ロッド
３７０  挿抜カムプレート
４００  挿入爪
４１０  爪部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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