(57)【要約】【課題】システム拡張性に優れ、ケーブルの本数を最小限に抑えることができ、かつ耐ノイズ性が高く、組み立ての際の手間が少なくなる顕微鏡構成ユニットを提供する。【解決手段】顕微鏡システムを構成し相互に接続可能な顕微鏡構成ユニットは、所定の通信方式により前記顕微鏡システムの制御装置との通信を可能とする通信インターフェースと、接続された他方の前記顕微鏡構成ユニットから、該他方の顕微鏡構成ユニットに関する情報である接続ユニット関連情報を取得する接続ユニット関連情報取得手段と、前記接続ユニット関連情報取得手段により取得された前記他方の顕微鏡構成ユニットの前記接続ユニット関連情報と、当該顕微鏡構成ユニット自身に関する情報である顕微鏡構成ユニット自身関連情報と、を前記通信インターフェースを介して前記顕微鏡の制御装置へ送信する制御手段と、を備えることにより、上記課題の解決を図る。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
顕微鏡システムを構成し相互に接続可能な顕微鏡構成ユニットであって、
所定の通信方式により前記顕微鏡システムの制御装置との通信を可能とする通信インターフェースと、
接続された他方の前記顕微鏡構成ユニットから、該他方の顕微鏡構成ユニットに関する情報である接続ユニット関連情報を取得する接続ユニット関連情報取得手段と、
前記接続ユニット関連情報取得手段により取得された前記他方の顕微鏡構成ユニットの前記接続ユニット関連情報と、当該顕微鏡構成ユニット自身に関する情報である顕微鏡構成ユニット自身関連情報とを、前記通信インターフェースを介して前記顕微鏡システムの制御装置へ送信する制御手段と、
を備えることを特徴とする顕微鏡構成ユニット。
【請求項２】
前記顕微鏡構成ユニットは、さらに、
当該顕微鏡構成ユニット自身を駆動させる電力が供給される電力供給インターフェース
を備えることを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡構成ユニット。
【請求項３】
前記接続ユニット関連情報取得手段は、
前記顕微鏡構成ユニット自身の種別に関する情報であるユニット種別情報を出力するユニット種別情報出力手段と、
前記他の顕微鏡構成ユニットから出力された前記ユニット種別情報を検出するユニット種別情報検出手段と、
を備えることを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡構成ユニット。
【請求項４】
前記接続ユニット関連情報取得手段は、当該顕微鏡構成ユニット自身の前段に接続された前記他の顕微鏡構成ユニットの前記ユニット種別情報を取得する
ことを特徴とする請求項３に記載の顕微鏡構成ユニット。
【請求項５】
前記顕微鏡構成ユニットは、さらに、
当該顕微鏡構成ユニット自身に、前記他の顕微鏡構成ユニットが接続されているか否かを検出する接続ユニット検出手段
を備えることを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡構成ユニット。
【請求項６】
前記制御手段は、前記接続ユニット検出手段による検出結果に基づいて、当該顕微鏡構成ユニット自身と前記他の顕微鏡構成ユニットとの間の接続状態の変化を前記顕微鏡システムの制御装置へ送信する
ことを特徴とする請求項５に記載の顕微鏡構成ユニット。
【請求項７】
前記制御手段は、当該顕微鏡構成ユニット自身と前記他の顕微鏡構成ユニットとの間の接続状態が解除された場合、その旨を前記顕微鏡システムの制御装置へ送信する
ことを特徴とする請求項６に記載の顕微鏡構成ユニット。
【請求項８】
前記他の顕微鏡構成ユニットは、当該顕微鏡構成ユニット自身の後段に接続されている
ことを特徴とする請求項７に記載の顕微鏡構成ユニット。
【請求項９】
前記通信方式は、ＣＡＮ通信方式である
ことを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡構成ユニット。
【請求項１０】
請求項１〜９のうち少なくともいずれか１項に記載の顕微鏡構成ユニットを組み合わせて構成される顕微鏡システム。
【請求項１１】
請求項７に記載の顕微鏡構成ユニットを組み合わせて構成される顕微鏡システムであって、
前記顕微鏡システムの制御装置は、前記顕微鏡構成ユニット間の接続が解除された旨の情報を受信した場合、該接続の解除により光源の光線が外部に漏れるときには、該光源からの光線を遮光または該光源を消灯させる制御を行う
ことを特徴とする顕微鏡システム。
【請求項１２】
顕微鏡システムを構成し相互に接続可能な顕微鏡構成ユニット同士を、所定の通信方式により前記顕微鏡システムの制御装置との通信を可能とする通信インターフェースを用いて複数接続し、
前記接続された他方の前記顕微鏡構成ユニットから、該他方の顕微鏡構成ユニットに関する情報である接続ユニット関連情報を取得し、
前記取得された他方の顕微鏡構成ユニットの前記接続ユニット関連情報と、当該顕微鏡構成ユニット自身に関する情報であるユニット自身関連情報とを、前記通信インターフェースを介して前記顕微鏡システムの制御装置へ送信し、
前記顕微鏡システムの制御装置により、前記各顕微鏡構成ユニットから送信された前記接続ユニット関連情報と前記ユニット自身関連情報とに基づいて、前記顕微鏡構成ユニット間の相対的な接続関係が取得される
ことを特徴とする顕微鏡システムを構築する顕微鏡構成ユニットの相対的接続関係取得方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種観察に必要な光学部材を電動で切り換え可能な顕微鏡装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
顕微鏡は、医学、生物学の分野及び工業系分野などにおいて、その用途に応じた種々複数の観察法が用いられている。すなわち、明視野、暗視野、微分干渉、蛍光等を使用する観察法に必要な光学素子を選択することで、種々の観察法の切り換えができる。
【０００３】
さらに、そのような観察法において対物レンズも複数用いられており、同時に必要とする対物レンズは、技術分野及びその用途により２種類から８種類、あるいは、さらに多くの種類と多岐に渡っている。
【０００４】
これらの多様な要求を効率よく満たすため、顕微鏡の光学素子切り換え手段である、レボルバ、キューブカセット、フィルターターレット等は、顕微鏡に装着可能なユニットとしてコンポーネント化が進んでいる。そして、用途に応じて選択したコンポーネントを顕微鏡に組み込み、必要な観察法の切り換え段数や対物レンズ数の顕微鏡を得ることのできる、いわゆるシステム顕微鏡が主流になりつつある（例えば、特許文献１）。
【０００５】
特許文献１には、ＣＡＮ（Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ  Ａｒｅａ  Ｎｅｔｗｏｒｋ）−ＢＵＳシステムを用いた顕微鏡が開示されている。
【特許文献１】特開２００５−１５７３４０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このようなシステム顕微鏡では、ユニットを交換した場合、顕微鏡制御の自由度が変更になるため、その制御機能にも変更が必要になることが多い。そのため、穴数の異なるレボルバや切り換え段数の異なるキューブカセット等の光学素子切り換えユニットが装着され、対物レンズの切り換え個数や観察法の切り換え数が変更された場合、この変更に合わせて制御機能の変更や、構成の変更をユーザが改めて設定し直す必要があった。
【０００７】
また、自由度の高いシステム顕微鏡装置においては、間違ったユニットが取り付けられてしまうといった不具合もあった。
さらに、前記のシステム顕微鏡では、顕微鏡の筐体内に、マイクロコンピュータからの各駆動回路に多数の電気接続用のケーブルが接続されることになる。このため、その顕微鏡の筐体にそのケーブルを引き回すために大きなスペースをとらなければならない。このため、組み立てる際に手間が掛かるばかりでなく、電気的ノイズの影響を受け易い。また、システムの回路構成がほぼ固定となっているので、フレキシブルでないという欠点を有している。
【０００８】
また、特許文献１では、制御部と各ユニットとが個別に接続されて通信できるものの、ユニット間同士は接続されていないので、そのユニットがどのユニットと接続されているかという顕微鏡システム内での相対的な位置関係を得ることはできなかった。
【０００９】
上記の課題に鑑み、本発明では、システム拡張性に優れ、ケーブルの本数を最小限に抑えることができ、かつ耐ノイズ性が高く、組み立ての際の手間が少なくなる顕微鏡構成ユニット及びその顕微鏡構成ユニットよりなる顕微鏡システムを提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明にかかる顕微鏡システムを構成し相互に接続可能な顕微鏡構成ユニットは、所定の通信方式により前記顕微鏡システムの制御装置との通信を可能とする通信インターフェースと、接続された他方の前記顕微鏡構成ユニットから、該他方の顕微鏡構成ユニットに関する情報である接続ユニット関連情報を取得する接続ユニット関連情報取得手段と、前記接続ユニット関連情報取得手段により取得された前記他方の顕微鏡構成ユニットの前記接続ユニット関連情報と、当該顕微鏡構成ユニット自身に関する情報である顕微鏡構成ユニット自身関連情報とを、前記通信インターフェースを介して前記顕微鏡システムの制御装置へ送信する制御手段と、を備えることを特徴とする。
【００１１】
前記顕微鏡構成ユニットは、さらに、当該顕微鏡構成ユニット自身を駆動させる電力が供給される電力供給インターフェースを備えることを特徴とする。
前記顕微鏡構成ユニットにおいて、前記接続ユニット関連情報取得手段は、前記顕微鏡構成ユニット自身の種別に関する情報であるユニット種別情報を出力するユニット種別情報出力手段と、前記他の顕微鏡構成ユニットから出力された前記ユニット種別情報を検出するユニット種別情報検出手段と、を備えることを特徴とする。
【００１２】
前記顕微鏡構成ユニットにおいて、前記接続ユニット関連情報取得手段は、当該顕微鏡構成ユニット自身の前段に接続された前記他の顕微鏡構成ユニットの前記ユニット種別情報を取得することを特徴とする。
【００１３】
前記顕微鏡構成ユニットは、さらに、当該顕微鏡構成ユニット自身に、前記他の顕微鏡構成ユニットが接続されているか否かを検出する接続ユニット検出手段を備えることを特徴とする。
【００１４】
前記顕微鏡構成ユニットにおいて、前記制御手段は、前記接続ユニット検出手段による検出結果に基づいて、当該顕微鏡構成ユニット自身と前記他の顕微鏡構成ユニットとの間の接続状態の変化を前記顕微鏡システムの制御装置へ送信することを特徴とする。
【００１５】
前記顕微鏡構成ユニットにおいて、前記制御手段は、当該顕微鏡構成ユニット自身と前記他の顕微鏡構成ユニットとの間の接続状態が解除された場合、その旨を前記顕微鏡システムの制御装置へ送信することを特徴とする。
【００１６】
前記顕微鏡構成ユニットにおいて、前記他の顕微鏡構成ユニットは、当該顕微鏡構成ユニット自身の後段に接続されていることを特徴とする。
前記顕微鏡構成ユニットにおいて、前記通信方式は、ＣＡＮ通信方式であることを特徴とする。
【００１７】
本発明にかかる顕微鏡システムは、前記顕微鏡構成ユニットのいずれかを組み合わせて構成されることを特徴とする。
前記顕微鏡構成ユニットを組み合わせて構成される顕微鏡システムにおいて、前記顕微鏡システムの制御装置は、前記顕微鏡構成ユニット間の接続が解除された旨の情報を受信した場合、該接続の解除により光源の光線が外部に漏れるときには、該光源からの光線を遮光または該光源を消灯させる制御を行うことを特徴とする。
【００１８】
本発明にかかる顕微鏡システムを構築する顕微鏡構成ユニットの相対的接続関係取得方法は、顕微鏡システムを構成し相互に接続可能な顕微鏡構成ユニット同士を、所定の通信方式により前記顕微鏡システムの制御装置との通信を可能とする通信インターフェースを用いて複数接続し、前記接続された他方の前記顕微鏡構成ユニットから、該他方の顕微鏡構成ユニットに関する情報である接続ユニット関連情報を取得し、前記取得された他方の顕微鏡構成ユニットの前記接続ユニット関連情報と、当該顕微鏡構成ユニット自身に関する情報であるユニット自身関連情報とを、前記通信インターフェースを介して前記顕微鏡システムの制御装置へ送信し、前記顕微鏡システムの制御装置により、前記各顕微鏡構成ユニットから送信された前記接続ユニット関連情報と前記ユニット自身関連情報とに基づいて、前記顕微鏡構成ユニット間の相対的な接続関係が取得されることを特徴とする。
【００１９】
このように構成することにより、顕微鏡システムの制御装置は、各顕微鏡構成ユニットの相対的な接続関係を把握することができる。したがって、顕微鏡構成ユニットを交換しても、顕微鏡システムの制御装置は、その交換された顕微鏡構成ユニットとその位置を正しく認識することができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の顕微鏡システムは、ユニット接続面にＣＡＮ−ＢＵＳライン、電源ライン、ユニット認織コードを有することで、ケーブルの本数を最小限に抑える事ができると共に、ユニットの交換を容易にし、かつユニットの構成と取り付け位置が認識できるため、ユーザが改めて設定する事なく連動動作が可能となり、拡張性を高められると共にユーザの負担を大きく低減することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
＜第１の実施形態＞
本実施形態では、着脱可能な複数の電動ユニットにより構築され、そのユニット間の相対的な位置関係を取得することができる顕微鏡システムについて説明する。
【００２２】
本実施形態にかかるコンポーネント化された顕微鏡構成ユニットを複数組み合わせて顕微鏡システムを構築することができる。
顕微鏡構成ユニットは、通信インターフェース、接続ユニット関連情報取得手段、及び制御手段を備える。
【００２３】
通信インターフェース（本実施形態で言えば、ＣＡＮ−ＢＵＳラインＬ１の端子Ｐ１ａ，Ｐ１ｂに対応する）は、所定の通信方式（本実施形態で言えば、ＣＡＮ−ＢＵＳシステム）により前記顕微鏡システムの制御装置との通信を可能とする。
【００２４】
接続ユニット関連情報取得手段は、接続された他方の前記顕微鏡構成ユニットから、該他方の顕微鏡構成ユニットに関する情報である接続ユニット関連情報を取得する。この接続ユニット関連情報取得手段は、ユニット種別情報出力手段とユニット種別情報検出手段から構成される。
【００２５】
ユニット種別情報出力手段（本実施形態で言えば、ユニット種別情報出力部４５に対応する）は、顕微鏡構成ユニット自身の種別に関する情報であるユニット種別情報を出力する。
【００２６】
ユニット種別情報検出手段（本実施形態で言えば、ユニット種別情報検出部４６に対応する）は、他の顕微鏡構成ユニットから出力されたユニット種別情報を検出する。
制御手段（本実施形態で言えば、ＣＰＵ回路３５に対応する）は、接続ユニット関連情報取得手段により取得された他方の顕微鏡構成ユニットの前記接続ユニット関連情報と、当該顕微鏡構成ユニット自身に関する情報である顕微鏡構成ユニット自身関連情報とを、通信インターフェースを介して、顕微鏡の制御装置へ送信することができる。
【００２７】
このように構成することにより、自身のユニット種別情報と接続相手のユニット種別情報を顕微鏡システムの制御装置へ通知することができる。また、このように構成することにより、接続相手のユニット種別情報を取得することができる。また、このように構成することにより、前段に接続された顕微鏡構成ユニットのユニット種別情報を取得することができる。また、このように構成することにより、ＣＡＮ通信方式を用いた顕微鏡システムに対応させることができる。
【００２８】
この顕微鏡構成ユニットは、さらに、電力供給インターフェースを備える。電力供給インターフェース（本実施形態で言えば、電源供給ラインＬ２の端子Ｐ２ａ，Ｐ２ｂに対応する）は、当該顕微鏡構成ユニット自身を駆動させる電力が供給される。
【００２９】
このように構成することにより、顕微鏡構成ユニットに電力を供給することができる。また、このように構成することにより、複数の顕微鏡構成ユニットを組み合わせて、顕微鏡システムを構築することができる。
【００３０】
また、本実施形態にかかる顕微鏡システムを構築する顕微鏡構成ユニットの相対的接続関係取得方法は、顕微鏡システムを構成し相互に接続可能な顕微鏡構成ユニット同士を、所定の通信方式により前記顕微鏡システムの制御装置との通信を可能とする通信インターフェースを用いて複数接続し、前記接続された他方の前記顕微鏡構成ユニットから、該他方の顕微鏡構成ユニットに関する情報である接続ユニット関連情報を取得し、前記取得された他方の顕微鏡構成ユニットの前記接続ユニット関連情報と、当該顕微鏡構成ユニット自身に関する情報であるユニット自身関連情報とを、前記通信インターフェースを介して前記顕微鏡の制御装置へ送信し、前記制御装置により、前記各顕微鏡構成ユニットから送信された前記接続ユニット関連情報と前記ユニット自身関連情報とに基づいて、前記顕微鏡構成ユニット間の相対的な接続関係を取得することができる。
【００３１】
このように構成することにより、顕微鏡システムの制御装置は、各顕微鏡構成ユニットの相対的な接続関係を把握することができる。したがって、顕微鏡構成ユニットを交換しても、顕微鏡システムの制御装置は、その交換された顕微鏡構成ユニットとその位置を正しく認識することができる。
【００３２】
それでは、以下で本実施形態について詳述する。
図１は、本実施形態における顕微鏡システムの構成を示す。顕微鏡装置１において、ランプハウス２ａ内の例えばＬＥＤからなる透過照明用光源３からの光は、コレクタレンズ４ａで集光されて透過視野絞り５を経て、顕微鏡本体に対し挿脱可能な透過用フィルターターレット６へ入射する。
【００３３】
この透過用フィルターターレット６には、例えば、ＮＤフィルター７ａ、補正フィルター７ｂ等の６種類のフィルターが６段切り換え可能に装着されている。ＮＤフィルター７ａは、透過照明用光源３の色温度を変えずに明るさの調光を行うためのものである。補正フィルター７ｂは色補正を行うためのものである。この透過用フィルターターレット６は、任意のフィルターを照明光学系に対して選択的に挿脱することができる。
【００３４】
透過用フィルターターレット６を透過した照明光は、コンデンサユニット８内の透過用開口絞り９、コンデンサ光学素子ユニット１０、コンデンサトップレンズユニット１１を介して、電動ステージ１２の下方から電動ステージ１２上の観察試料Ｓを照明する。
【００３５】
コンデンサ光学素子ユニット１０は、光路中に選択的に挿脱できる６種類のコンデンサ１０ａ〜１０ｆ（１０ｃ〜１０ｆは図示しない）から構成されている。コンデンサトップレンズユニット１１は、光路中に選択的に挿入できる複数のコンデンサトップレンズ１１ａ，１１ｂから構成されている。
【００３６】
電動ステージ１２は、観察試料Ｓを顕微鏡の光軸と直交する平面内で２次元移動させることができると共に、ピント合わせのため光軸方向へ上下移動可能である。
さらに、電動ステージ１２の上方には、６種類の対物レンズ１３ａ〜１３ｆ（１３ｃ〜１３ｆは図示しない）を装着できる６段切り換えの電動レボルバ１４が、顕微鏡のアーム先端部（図示しない）の下面に回転自在でかつ着脱可能に保持されている。この電動レボルバ１４を回転させることにより、観察光路内の光軸上に、任意の対物レンズ１３ａ〜１３ｆを挿脱することができる。
【００３７】
さらに、電動キューブカセット１５は、顕微鏡装置1のアーム先端部に設けられており、観察光路上の光軸上に交換可能に配設されている。この電動キューブカセット１５は、４種類のフィルターキューブ１６ａ〜１６ｄ（１６ｃ〜１６ｄは図示しない）が装着されている４段切り換えのターレット状のキューブカセットであり、各種観察法に応じて任意のフィルターキューブを選択的に光路に挿脱できるものである。
【００３８】
電動キューブカセット１５のキューブ１６ａ〜１６ｄのいずれかを透過した光を接眼ユニット１７内のビームスプリッター１８で２方向に分岐させて、一方の光を接眼レンズ１９へ導き、他方の光をビデオカメラ２０内の撮像素子２１へ導いている。
【００３９】
また、ランプハウスユニット２ｂ内のＬＥＤ、水銀ランプ、またはキセノンランプ等からなる落射照明用光源２１からの光はコレクタレンズ４ｂで集光されて、顕微鏡装置１に対して交換可能な落射フィルターターレット２３へ入射する。
【００４０】
この落射フィルターターレット２３は、６段切り換えが可能であり、例えば、ＮＤフィルター２４ａ、補正フィルター２４ｂ等の６種類のフィルター（２４ｃ〜２４ｆは図示しない）が装着されており、任意のフィルターを光路中に選択的に挿脱することができる。ＮＤフィルター２４ａは、落射照明用光源２１の色温度を変えずに明るさの調光を行うためのものである。補正フィルター２４ｂは、色補正を行うためのものである。
【００４１】
落射フィルターターレット２３の前段には、前記落射照明用光源２１からの光を遮断するためのシャッタ２２ａを有する電動シャッタユニット２２が配されている。
前記落射照明用光源２１からの光は、前記ＮＤフィルター２４ａ、落射絞りユニット２５の落射開口絞り２６ａ及び落射視野絞り２６ｂを経て、光路中に挿入されているフィルターキューブ１６ａにより下方へ屈折されて、対物レンズ１３ａを介して観察試料Ｓを落射照明する。
【００４２】
落射照明された観察試料Ｓからの蛍光または反射光である観察光は、再度、対物レンズ１３ａ、キューブカセット１６ａを経て、ビームスプリッター１８で分岐されて、観察光の一方は、接眼レンズ１９へ導かれ、他方の光をビデオカメラ２０内の撮像素子２１へ導いている。
【００４３】
また、電動キューブカセット１５の前後には、光路上に挿脱可能な微分干渉観察用のポラライザ２７、アナライザー２８を挿入可能となっている。
各ユニット（ランプハウスユニット２ａ，２ｂ、透過用フィルターターレット６、コンデンサユニット８、電動ステージ１２、電動レボルバ１４、電動キューブカセット１５、接眼ユニット１７、ビデオカメラ２０、電動シャッタユニット２２、落射用フィルターターレット２３、落射絞りユニット２５）はそれぞれ、顕微鏡装置１より挿脱可能な構成となっている。そして、顕微鏡装置１は、その他の例えば光学素子数、光学素子の制御速度が異なる別種別のユニットが取り付け可能となっている。
【００４４】
各ユニットを含めた全体の動作を管理している顕微鏡制御部２９は、ＣＡＮ−ＢＵＳラインＬ１を介して、ランプハウス制御部３０−２ａ，３０−２ｂ、透過絞り制御部３０−５、透過用フィルターターレット制御部３０−６、コンデンサユニット制御部３０−８、電動ステージ制御部３０−１２ａ，３０−１２ｂ、電動レボルバ制御部３０−１４、電動キューブカセット制御部３０−１５、接眼ユニット制御部３０−１７、ビデオカメラ制御部３０−２０、電動シャッタユニット制御部３０−２２、落射用フィルターターレット制御部３０−２３、落射絞り制御部３０−２５、ポラライザ制御部３０−２７、アナライザー制御部３０−２８とそれぞれ接続されており、コマンド通信による通信制御が可能な状態となっている。
【００４５】
ランプハウス制御部３０−２ａ，３０−２ｂはそれぞれ、顕微鏡制御部２９の通信制御により、透過照明用光源３、落射照明用光源２１の駆動制御を行う。透過絞り制御部３０−５は、モータライズさせた透過視野絞り５の駆動、制御を行う。
【００４６】
透過用フィルターターレット制御部３０−６、落射用フィルターターレット制御部３０−２３はそれぞれ、顕微鏡制御部２９の通信制御により、それぞれに内蔵させた透過フィルター７ａ〜７ｆ、落射フィルター２４ａ〜２４ｆの駆動及び制御を行う。
【００４７】
コンデンサユニット制御部３０−８は、コンデンサ光学素子ユニット１０ａ〜１０ｆ、コンデンサトップレンズユニット１１、透過用開口絞り９の駆動及び制御を行う。
電動ステージ制御部３０−１２ａは、電動ステージ１２のＸ−Ｙ方向の駆動制御及び座
標管理を行う。電動ステージ制御部３０−１２ｂは、電動ステージ１２のＺ方向（光軸方向）の駆動制御及び座標管理を行う。
【００４８】
さらに、電動ステージ制御部３０−１２ｂは、ビデオカメラ２０の情報をもとに顕微鏡制御部２９にて行われる、いわゆる観察試料Ｓの合焦動作を行うための電動ステージ１２の駆動制御の担当も行っている。
【００４９】
電動レボルバ制御部３０−１４、電動キューブカセット制御部３０−１５は、電動レボルバ１４、電動キューブカセット１５の駆動及び制御を行う。接眼ユニット制御部３０−１７はビームスプリッター１８の駆動制御を行うことで、２方向に分岐させている光量の割合を変化させるものである。
【００５０】
ビデオカメラ制御部３０−２０は、観察試料Ｓの静止画及び動画データの撮影を行うためのビデオカメラ２０の制御を行う。また、ビデオカメラ制御部３０−２０は、顕微鏡制御部２９を介して、撮影した観察試料Ｓの画像データをホストシステム３２へ転送する機能も有している。
【００５１】
電動シャッタユニット制御部３０−２２は光路の遮断を行うシャッタ２２ａの駆動制御を行う。落射絞り制御部３０−２５は、落射視野絞り２６ａ、落射開口絞り２６ｂの駆動及び制御を行う。
【００５２】
ポラライザ制御部３０−２７、アナライザー制御部３０−２８はそれぞれ、ポラライザ、アナライザーの光路への挿脱の駆動制御を行う。
さらに、顕微鏡装置1は、顕微鏡制御部２９を介して、ホストシステム３２に接続されている。ホストシステム３２は、制御プログラムの実行によって顕微鏡システム全体の動作制御を司るＣＰＵ（中央演算装置）、このＣＰＵが必要に応じてワークメモリとして使用するメインメモリ、マウスやキーボードなどといったユーザからの各種の指示を取得するための入力装置３４、及び各種のプログラムやデータを記憶しておく例えばハードディスク装置などの補助記憶装置を有している、ごく標準的な構成のコンピュータである。ホストシステム３２の表示装置３３には、顕微鏡装置１の各種制御情報の表示が可能となっている。
【００５３】
また、ホストシステム３２の入力装置３４から、顕微鏡装置１の制御に関する各種データの入力、設定が可能となっている。さらにＣＡＮ−ＢＵＳシステムに接続された顕微鏡操作部３１からも、顕微鏡装置１の制御に関する各種データの入力及び各種操作が可能となっている。
【００５４】
さらに、顕微鏡制御部２９は、電動ステージ１２のＸ−Ｙ方向の駆動制御部３０−１２
ａ及び光軸（ｚ）方向の駆動制御部３０−１２ｂにも接続されており、電動ステージ１２の制御も行う事が可能である。
【００５５】
顕微鏡操作部３１は、ホストシステム３２と共に顕微鏡装置１の動作指示を入力するための各種入力部を備えたハンドスイッチであり、このハンドスイッチに備えられたジョイスティツクやエンコーダ（表記せず）によって、電動ステージ１２の操作も行える。
【００５６】
すなわち、顕微鏡制御部２９は、顕微鏡装置１全体の動作を制御する機能を有するものであり、ホストシステム３２からの制御信号に応じ、各ユニットの通信制御を行う事で観察法の変更、透過照明用光源及び落射席明用光源の調光を行う機能を有している。
【００５７】
図２は、本実施形態における各電動ユニットの回路構成を示す。なお、本実施形態では、着目しているユニットに対して、前段にあるユニットに関する符号には、シングルクォーテーション（’）を付し、後段にあるユニットに関する符号には、ダブルクォーテーション（”）を付して説明する。
【００５８】
同図に示すように、各ユニットの取り付け面にはＣＡＮ−ＢＵＳラインＬ１の端子Ｐ１ａ、Ｐ１ｂ、電源供給ラインＬ２の接合端子Ｐ２ａ，Ｐ２ｂが配されている。そして、ユニット同士を接合することで、ＣＡＮ−ＢＵＳラインＬ１、電源供給ラインＬ２の電気的接合が行われる構成となっている。
【００５９】
各電動ユニットには、制御部３０と、モータ４０と、センサ４２と、ユニット種別情報出力部４５が内蔵されている。前記電動ユニットの各制御部３０は、図２に示す回路構成を備えている。即ち、各制御部３０は、ＣＰＵ回路３５と、駆動回路３９と、位置検出回路４１と、ＣＡＮ−ＢＵＳ用のＣＡＮトランシーバー４４と、ユニット種別情報検出部４６と、その他の図示しない周辺回路とを内蔵する。
【００６０】
駆動回路３９は、このＣＰＵ回路３５からの指令で制御対象のモータ４０に接続された光学ユニットを駆動させる。位置検出回路４１は、センサ４２により制御対象の光学ユニットの位置を検出して、ＣＰＵ回路３５へ知らせる。
【００６１】
ＣＰＵ回路３５には、ＣＰＵ３６、ＦｌａｓｈＲＯＭ３７、ＲＡＭ３８、ＣＡＮコントローラ４３が含まれる。ＣＰＵ３６、ＦｌａｓｈＲＯＭ３７、ＲＡＭ３８は、ＣＰＵバスを介して接続されている。ＦｌａｓｈＲＯＭ３７には種々の制御内容を記述したプログラムが記憶されている。ＲＡＭ３８には制御演算用のデータが格納されている。
【００６２】
また、ＣＰＵ３６は、ＣＡＮ−ＢＵＳ用のＣＡＮコントローラ４３、ＣＡＮトランシーバー４４より、ＣＡＮ−ＢＵＳラインＬ１を介して顕微鏡制御部２９と通信可能である。
よって、ＣＡＮ−ＢＵＳラインＬ１を介して顕微鏡制御部２９からコマンドによる制御指示が各制御部３０に送り込まれると、ＣＰＵ３６がＲＯＭ３７のプログラムに従って動作することにより各々受持ちの光学ユニット等の制御が行われる。
【００６３】
また、ユニットの１つであるランプハウス２ａ，２ｂは、モータを駆動する代わりに光源の駆動を行う。また、ユニットの１つであるビデオカメラ２０は、撮像素子の駆動制御を行う。
【００６４】
また、各ユニットの接合面において、顕微鏡制御部２９側の接合面Ａにはユニット種別情報検出部４６用の検出端子Ｐ３ａが配置されており、反対側の接合面Ｂ側にはユニット種別情報出力部４５用の端子Ｐ３ｂが配置されている。
【００６５】
ユニット種別情報出力部４５は、後段に接続されたユニットに対して、自分がどのユニットであるかを出力する。ユニット種別情報出力部４５は、例えば、一般的なデジタル信号における８ｂｉｔの信号のＨｉｇｈレベル、Ｌｏｗレベルの出力を行うデジタル出力部である（図６参照）。
【００６６】
ユニット種別情報検出部４６は、前段のユニット種別情報出力部４５’から出力されるユニット種別情報を検出するものである。したがって、ユニット同士が接合されると、Ｐ３ａ端子と前段ユニットのＰ３ｂ’端子が電気的に接合される。そうすると、ユニット種別情報検出部４６は、Ｐ３ａ、Ｐ３ｂ’端子を介して、前段のユニット種別情報出力部４５’からユニット種別情報を検出し、ＣＰＵ回路３５に送る。
【００６７】
さらに、ＣＰＵ回路３５は、顕微鏡制御部２９からのコマンド指令に基づいて、ＣＡＮ−ＢＵＳラインＬ１を介して、自分のユニット種別情報と、ユニット種別情報検出部４６により検出した前段のユニット種別情報とを送信する機能を有している。
【００６８】
図３は、本実施形態における電動ユニット間の物理的な接続を可能にするため接合部を示す。同図には、フィルターターレット２３の構成の例を示す。Ｐ１ａは、ユニット接合時に前段のユニット（前段ユニットのＰ１ｂ’端子）とのＣＡＮ−ＢＵＳラインＬ１の電気的接合を行うための端子である。Ｐ１ｂは、後段のユニット（後段ユニットのＰ１ａ”端子）とＣＡＮ−ＢＵＳラインＬ１の電気的接合を行うための端子である。
【００６９】
Ｐ２ａは、ユニット接合時に前段のユニット（前段ユニットのＰ２ｂ’端子）と電源ラインＬ２の電気的接合を行うための端子である。Ｐ２ｂは、後段のユニット（後段ユニットのＰ２ａ”端子）と電源ラインＬ２の電気的接合を行うための端子である。
【００７０】
さらに、Ｐ２ａ，Ｐ２ｂのＶ１，Ｖ２，Ｖ３は、それぞれＶ１がロジック回路用の電源ライン、Ｖ２がモータ用のライン、Ｖ３が光源用の電源ラインとなっている。
続いて、この顕微鏡システムの動作について説明する。
【００７１】
図４は、図１における落射光源ポートにおけるユニットの接続状態を示す。同図では、顕微鏡装置１の落射光源ポート側から、６連フィルターターレット２３、電動シャッタユニット２２、ＬＥＤランプハウスユニット２ｂが接続されている。
【００７２】
まず、顕微鏡制御部２９は、ＣＡＮ−ＢＵＳラインＬ１に接続されている全ての電動ユニットに対し接続状態を問い合わせるコマンド命令を送信する。そうすると、このコマンド指令を受けた６連フィルターターレット２３のＣＰＵ回路３５−２３は、顕微鏡装置１の落射光源ポート４５−１ａにおけるユニット種別情報出力部４５−１ａの情報（ユニット種別情報）をユニット種別情報検出部４６−２３により検出して、「自分と接続されているユニットは顕微鏡装置１の落射光源ポート４５−１ａである」ことを判断する。
【００７３】
ＣＰＵ回路３５−２３は、自分が接続している前段のユニットの検出が終わると、顕微鏡制御部２９に対して、「自分は６連フィルターターレット２３であり、顕微鏡装置１の落射光源ポート４５−１ａに接続されている」旨のコマンド返信を行う。
【００７４】
同様に、接続状態の問い合わせを受けた電動シャッタユニット２２は、自分が接続されている前段の６連フィルターターレット２３のユニット種別情報出力部４５−２３から出力されたユニット種別情報をユニット種別情報検出部４６−２２により検出して、「自分は電動シャッタユニット２２であり、６連フィルターターレット２３に接続されている」旨の返信を顕微鏡制御部２９に対して行う。
【００７５】
ＬＥＤランプハウスユニット２ｂも同様に、「自分はＬＥＤランプハウス２ｂであり、電動シャッタユニット２２に接続されている」旨の返信を顕微鏡制御部２９に対して行う。
【００７６】
これらの返信を受けた顕微鏡制御部２９は、落射光源ポート４５−１ａには、落射光源ポート４５−１ａ−６連フィルターターレット２３−電動シャッタユニット２２−ＬＥＤランプハウス２ｂの順番でユニットが接続されている事を認識することが可能となる。
【００７７】
続いて、図５に示すように、６連フィルターターレット２３を４連高速フィルターターレット２３ｂに変更した場合について説明する。
図５は、図４の６連フィルターターレット２３を４連高速フィルターターレット２３ｂに変更したユニット間の接続状態を示す。６連フィルターターレット２３が４連高速フィルターターレット２３ｂに交換されると、顕微鏡制御部２９は、ＣＡＮ−ＢＵＳラインＬ１に接続させている各電動ユニットに対しユニットに接続状態を問い合わせる命令を送信する。
【００７８】
この指令を受けた４連高速フィルターターレット２３ｂのＣＰＵ回路３５−２３ｂは、顕微鏡装置１の落射光源ポートＡにおけるユニット種別情報出力部４５−１ａの情報（ユニット種別情報）をユニット種別情報検出部４６−２３ｂにより検出し、ＣＰＵ回路３５−２３ｂは「自分が接続しているユニットは、顕微鏡装置１の落射光源ポート４５−１ａである」旨を検出する。
【００７９】
ＣＰＵ回路３５−２３ｂは、自分が接続しているユニットの検出が終わると、顕微鏡制御部２９に対して、「自分は４連高速フィルターターレット２３ｂであり、顕微鏡装置１の落射光源ポート４５−１ａに接続されている」との返信を行う。
【００８０】
同様に、接続状態の問い合わせを受けた電動シャッタユニット２２のＣＰＵ回路３５−２２は、自分が接続されている前段の４連高速フィルターターレット２３ｂのユニット種別情報出力部４５−２３ｂから出力されたユニット種別情報をユニット種別情報検出部４６−２２により検出して、「自分は電動シャッタユニット２２であり、４連高速フィルターターレット２３ｂに接続されている」旨の返信を顕微鏡制御部２９に対して行う。
【００８１】
ＬＥＤランプハウスユニット２ｂも同様に、「自分はＬＥＤランプハウス２ｂであり、電動シャッタユニット２２に接続されている」旨の返信を顕微鏡制御部２９に対して行う。
【００８２】
これらの返信をうけた顕微鏡制御部２９は、落射光源ポート４５−１ａには、落射光源ポート４５−１ａ−４連高速フィルターターレット２３ｂ−電動シャッタユニット２２−ＬＥＤランプハウス２ｂの順番でユニットが接続されている事を認識する事が可能となる。
【００８３】
これより、ユーザが改めて入力する事なく、交換させたユニットとその位置を正しく認識し、前記情報に基づいた連動制御が可能となる。
次に、ユニット種別情報出力部４５及びユニット種別情報検出部４６の実現例のバリエーションについて、図６〜図８を用いて説明する。
【００８４】
図６は、本実施形態におけるＰ３ａ−Ｐ３ｂ’端子間の電気的な接続状態の一例（その１）を示す。ユニット種別情報出力部４５’は、同図に示すように、例えば、一般的なデジタル信号における８ｂｉｔの信号のＨｉｇｈレベル、Ｌｏｗレベルの出力を行うデジタル出力部であってもよい。
【００８５】
ユニット種別情報出力部４５’は、ＣＰＵ３５’の制御によりユニットＩＤ（ユニット種別情報）をＰ３ａ−Ｐ３ｂ’端子を介して、ユニット種別情報検出部４６に出力することができる。
【００８６】
図７は、本実施形態におけるＰ３ａ−Ｐ３ｂ’端子間の電気的な接続状態の一例（その２）を示す。図６では、ユニットの判別を８ｂｉｔの電気信号として説明したが、これに限定されるものでなく、たとえば図７に示すように、ユーザがＤＩＰスイッチで設定したＯＮ、ＯＦＦを検出するものであってもよい。
【００８７】
図８は、本実施形態におけるＰ３ａ−Ｐ３ｂ’端子間の電気的な接続状態の一例（その３）を示す。また、同図に示すようにユニットが接触した時のスイッチのＯＮ，ＯＦＦで、ユニット情報を判別するものであってもよい。
【００８８】
また、図６〜図８に限定されず、例えば、ユニット種別情報出力部４５としてＲＯＭを用い、ユニット種別情報検出部としてそのＲＯＭ用のリーダーを用い、ユニット接合時にそのＲＯＭから読み出すようにしてもよい。また、例えば、ＤＩＰスイッチを用いる代わりに、ＦＰＧＡ（Ｆｉｅｌｄ  Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ  Ｇａｔｅ  Ａｒｒａｙ）を用いて、予めＯＮ／ＯＦＦを設定しておいてもよい。
【００８９】
このように、ユニット種別情報出力部４５及びユニット種別情報検出部４６に関しては、ユニットが接合された時、接合されたユニットの情報を取得するという観点では、数々の応用が可能である。
【００９０】
さらに、本実施形態では、ＣＡＮ−ＢＵＳライン及び電源ライン、ユニット種別検出が、ユニット接合面に設けられている場合について説明したが、もちろんある一部のユニットが外部ケーブル接合されていてもよい。
【００９１】
以上のように、本実施形態における顕微鏡システムでは、ユニット接続面にＣＡＮ−ＢＵＳライン、電源ライン、ユニット認識コードを有することで、ユニットの交換を容易にし、システム拡張性を高められると共に、ユニットの構成と取り付け位置が認識できるため、ユーザが改めて設定する事なく連動動作の制御が可能となり、ユーザの負担を大きく低減することが可能となる。
【００９２】
＜第２の実施形態＞
本実施形態では、第１の実施形態に加えて、さらに、各ユニットについて自身の後段に他のユニットがセットされているか否かについての情報を顕微鏡制御部２９に送信可能な顕微鏡システムについて説明する。なお、本実施形態において、第１の実施形態と同一のものは符号を付加して説明を省略する。
【００９３】
本実施形態では、顕微鏡構成ユニットは、さらに、接続ユニット検出手段を備える。接続ユニット検出手段（本実施形態でいえば、ユニット有無情報出力部４７、ユニット有無情報検出部４８に対応する）は、当該顕微鏡構成ユニット自身に、前記他の顕微鏡構成ユニットが接続されているか否かを検出する。制御手段（本実施形態でいえば、ＣＰＵ回路３５に対応する）は、接続ユニット検出手段による検出結果に基づいて、当該顕微鏡構成ユニット自身と前記他の顕微鏡構成ユニットとの間の接続状態の変化を顕微鏡システムの制御装置へ送信することができる。
【００９４】
このように構成することにより、当該顕微鏡構成ユニット自身に、前記他の顕微鏡構成ユニットが接続されているか否かを検出することができる。また、このように構成することにより、ユニット間の接続状態に変化が生じた場合、顕微鏡システムの制御装置へその旨を通知することができる。また、このように構成することにより、ユニット間の接続状態に変化が生じた場合、顕微鏡システムの制御装置へその旨を通知することができる。また、このように構成することにより、後段に接続されたユニットが取り外された場合、その旨を顕微鏡システムの制御装置へ通知することができる。
【００９５】
前記顕微鏡構成ユニットを組み合わせて構成される顕微鏡システムにおいて、前記顕微鏡システムの前記制御装置は、前記顕微鏡構成ユニット間の接続が解除された旨の情報を受信した場合、該接続の解除により光源の光線が外部に漏れるときには、該光源からの光線を遮光または該光源を消灯させる制御を行うことができる。
【００９６】
このように構成することにより、光源からの照射光に対してユーザが被曝することを防止することができる。
それでは、以下で本実施形態について詳述する。
【００９７】
図９は、本実施形態における各電動ユニットの回路構成を示す。なお、本実施形態では、着目しているユニットに対して、前段にあるユニットに関する符号には、シングルクォーテーション（’）を付し、後段にあるユニットに関する符号には、ダブルクォーテーション（”）を付して説明する。
【００９８】
第１の実施形態と同様に、各電動ユニットには、制御部３０と、モータ４０と、センサ４２と、ユニット種別情報出力部４５と、ユニット有無情報出力部４７とが内蔵されている。
【００９９】
各ユニットの制御部３０は、ＣＰＵ回路３５と、駆動回路３９と、位置検出回路４１と、ＣＡＮ−ＢＵＳ用のＣＡＮトランシーバー４４と、ユニット種別情報検出部４６と、ユニット有無検出部４８と、その他の図示しない周辺回路とを内蔵する。
【０１００】
駆動回路３９は、ＣＰＵ回路３５からの指令で制御対象のモータ４０に接続された光学ユニットを駆動する。位置検出回路４１は、センサ４２から制御対象の光学ユニットの位置を検出してＣＰＵ回路３５へ知らせる。
【０１０１】
ＣＰＵ３６は、ＣＡＮ−ＢＵＳ用のＣＡＮコントローラ４３、ＣＡＮトランシーバー４４より、ＣＡＮ−ＢＵＳラインＬ１を介して顕微鏡制御部２９と通信可能である。顕微鏡制御部２９からＣＡＮ−ＢＵＳラインＬ１を介して各制御部３０に制御指示が送り込まれると、ＣＰＵ３６がＲＯＭ３７のプログラムに従って動作することにより各々受け持ちの光学ユニット等の制御が行われる。
【０１０２】
各ユニットの接合面において、第１の実施形態と同様に、顕微鏡制御部２９側の接合面Ａにはユニット種別情報検出部４６用の検出端子Ｐ３ａ、反対側の接合面Ｂ側にはユニット種別情報出力部４５用の端子Ｐ３ｂが配置されている。
【０１０３】
ユニット種別情報出力部４５は、後段に接続されるユニットに対し、自分がどのユニットであるかを示す情報（ユニット種別情報）を出力する。ユニット同士が接合されると、Ｐ３ａ端子と前段ユニットのＰ３ｂ’端子が電気的に接合され、ユニット種別情報検出部４６は、Ｐ３ａ，Ｐ３ｂ’端子を介して、前段のユニット種別情報出力部４５’から出力されたユニット種別情報をＣＰＵ回路３５に送る。
【０１０４】
さらに、各ユニットの接合面において、顕微鏡制御部２９側の接合面Ａには前段のユニットに対し自身が接合されている情報を出力するユニット有無情報出力部４７用の端子Ｐ４ａ、反対側の接合面Ｂ側には後段にユニットが接合されているかを検出するユニット有無情報検出部４８用の端子Ｐ４ｂが配置されている。
【０１０５】
ユニット有無情報出力部４７は、前段に接続されるユニットに対して、自分が接合されている事を示す情報を出力するものである。例えば、ユニット有無情報出力部４７は、図１０に示すように、ユニットが接合されている場合はデジタル信号におけるＧＮＤレベルを出力する。
【０１０６】
ユニット有無情報検出部４８は、後段のユニット有無情報出力部４７”の出力から後段のユニット有無情報を検出するものである。したがって、ユニットが接合されると、Ｐ４ｂ端子と後段ユニットのＰ４ａ”端子が電気的に接合される。そうすると、Ｐ４ａ”、Ｐ４ｂ端子を介して、ユニット有無情報検出部４８は、前記ユニット有無情報出力部４７”から出力されたユニット有無情報を検出し、ＣＰＵ回路３５に送る。
【０１０７】
さらに、ＣＰＵ回路３５は、ＣＡＮ−ＢＵＳラインＬ１を介して、顕微鏡制御都２９に対して、後段にユニットが接続されているかの情報を送信する機能を有している。
図１０は、本実施形態におけるＰ４ａ−Ｐ４ｂ”端子間の電気的な接続状態の一例を示す。同図に示すように、ユニット有無情報出力部４７”は、ユニットが接合されている場合はデジタル信号におけるＧＮＤレベルをユニット有無情報検出部４８に出力する。そして、ユニットが取り外されると、ユニット有無情報検出部４８では、Ｈｉｇｈレベルのデジタル信号が検出される。これにより、後段にユニットが接続されているか否かを判別できる。
【０１０８】
続いて、この顕微鏡システムの動作について説明する。
図１１は、本実施形態における、図１における電動キューブカセット１５を含めた、前面落射光源ポートへのユニットの接続状態を示す。同図では、顕微鏡装置１の前面落射光源ポート側から、落射絞りユニット２５、電動キューブカセット１５が接続されている。
【０１０９】
顕微鏡制御部２９は、ＣＡＮ−ＢＵＳラインＬ１に接続されている電動ユニットに対して、接続状態を問い合わせるコマンド命令を送信する。この指令を受けた落射絞りユニット２５は、ユニット種別情報検出部４６−２５により顕微鏡装置１の前面落射光源ポート４５−１ｂからユニット種別情報を検出し、「自分が接続しているユニットは、顕微鏡装置１の前面落射光源ポート４５−１ｂである」旨を検出する。ＣＰＵ回路３５−２５は、自分が接続しているユニットの検出が終わると、顕微鏡制御部２９に対して、「自分は落射絞りユニット２５であり、顕微鏡装置１の前面落射光源ポート４５−１ｂに接続されている」との返信を行う。
【０１１０】
さらに、落射絞りユニット２５は後段に電動キューブカセット１５が接続されているために、ユニット有無情報検出部４８−２５より後段にユニットが接続されている旨の検出も行う。
【０１１１】
同様に、接続状態の問い合わせを受けた電動キューブカセット１５は、自分が接続されている前段の落射絞りユニット２５のユニット種別情報出力部４５−２５の出力より、「自分は電動キューブカセット１５であり、落射絞りユニット２５に接続されている」と顕微鏡制御部２９に対して返信を行う。
【０１１２】
これらの返信をうけた顕微鏡制御部２９は、前面落射光源ポート４５−１ｂには、前面落射光源ポート４５−１ｂ−落射絞りユニット２５−電動キューブカセット１５の順番でユニットが接続されている事を認識する事が可能となる。
【０１１３】
続いて、図１１から、電動キューブカセット１５が取り外された場合について説明する。
図１２は、図１１から電動キューブカセット１５が取り外された状態を示す。電動キューブカセット１５が取り外された場合、落射絞りユニット２５のユニット有無情報検出部４８−２５によって後段のユニットが取り外させた事が検出される。落射絞りユニット２５のＣＰＵ回路３５−２５は直ちに顕微鏡制御部２９に、落射絞りユニット１５の後段のユニットが取り外させた情報をＣＡＮ−ＢＵＳ経由で送信する。
【０１１４】
その情報を受けた顕微鏡制御部２９は、ユーザが危険な状態にならないような光学素子の駆動制御を各ユニットに対して直ちに行う。すなわち、顕微鏡制御部２９は、電動シャッタユニット２２に対して、落射光源を遮断するようにシャッタ２２ａを閉じる指示を送信し、落射光源の光が外部に出ないように遮断を行う。電動シャッタユニット２２が存在しない場合は、顕微鏡制御部２９は、落射光源２ｂに対して、光源をＯＦＦする制御を行う。
【０１１５】
同様に、他のユニットが取り外された場合でも、顕微鏡制御部２９は、取り外されたユニットの位置に対応したユーザが安全になる状態となるようなユニットの駆動制御を直ちに行う。
【０１１６】
以上のように、本実施形態に係る顕微鏡システムでは、ユニット接続面にユニット有無情報検出部を有することで、ユニットが不用意に取り外された場合でも、顕微鏡制御部２９は直ちにその旨の情報を取得することができるので、取り外されたユニットに応じた駆動制御が可能となり、よりユーザの安全をより確保することが可能となる。
【０１１７】
なお、本実施形態では、ユニット有無情報の検出を信号のグランドレベルの検出として説明したが、これに限定されるものでなく、ユニットが接合された時、接合されたユニットの有無情報を取得するという観点では、例えば、ホール素子と磁石といった組み合わせや、スイッチの接点検出といった周知の方式でもよい。
【０１１８】
シリアル通信手段をＣＡＮ−ＢＵＳである場合について説明したが、その他周知の通信形態であってもよい。
また、上述した各実施例に係る顕微鏡システムにおいては、顕微鏡装置１として正立顕微鏡装置を採用していたが、その代わりに、倒立顕微鏡装置を採用することももちろん可能であり、また、顕微鏡装置を組み込んだ半導体検査装置といった各種システムに本実施例を適応することも可能である。
【０１１９】
また、第1及び第２の実施形態では、ある着目しているユニットは、自身のユニット種別情報と共に、検出した前段ユニットのユニット種別情報を顕微鏡制御部に送信したが、これに限定されず、後段ユニットのユニット種別情報を検出して、自身のユニット種別情報と共に、その検出した後段ユニットのユニット種別情報を顕微鏡制御部に送信してもよい。また、自身のユニット種別情報と共に、前段及び後段ユニットのユニット種別情報を顕微鏡制御部に送信してもよい。
【０１２０】
また、第1及び第２の実施形態では、１つのユニットに対して、その前段及び後段にユニットを接合する（すなわち、１つのユニットに対して２つのユニットを接合する）ようにしたが、これに限定されず、例えば、１つのユニットに対して３つ以上のユニットを接合するようにしてもよい。この場合、自身のユニット種別情報と共に、その複数接合されたユニットのユニット種別情報を顕微鏡制御部に送信するようにしてもよい。
【０１２１】
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明は、上述した各実施形態に限定されることなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良・変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１２２】
【図１】第１の実施形態における顕微鏡システムの構成を示す。
【図２】第１の実施形態における各電動ユニットの回路構成を示す。
【図３】第１の実施形態における電動ユニット間の物理的な接続状態を示す。
【図４】図１における落射光源ポートにおけるユニットの接続状態を示す。
【図５】図４の６連フィルターターレット２３を４連高速フィルターターレット２３ｂに変更したユニット間の接続状態を示す。
【図６】第１の実施形態におけるＰ３ａ−Ｐ３ｂ’端子間の電気的な接続状態の一例（その１）を示す。
【図７】第１の実施形態におけるＰ３ａ−Ｐ３ｂ’端子間の電気的な接続状態の一例（その２）を示す。
【図８】第１の実施形態におけるＰ３ａ−Ｐ３ｂ’端子間の電気的な接続状態の一例（その３）を示す。
【図９】第２の実施形態における各電動ユニットの回路構成を示す。
【図１０】第２の実施形態におけるＰ４ａ−Ｐ４ｂ”端子間の電気的な接続状態の一例を示す。
【図１１】第２の実施形態における、図１における電動キューブカセット１５を含めた、前面落射光源ポートへのユニットの接続状態を示す。
【図１２】図１１から電動キューブカセット１５が取り外された状態を示す。
【符号の説明】
【０１２３】
１      顕微鏡装置
２（２ａ，２ｂ）      ランプハウスユニット
３      透過照明用光源
４ａ，４ｂ  コレクタレンズ
５      透過視野絞り
６      透過用フィルターターレット
７ａ    ＮＤフィルター
７ｂ    補正フィルター
８      コンデンサユニット
９      透過開口絞り
１０    コンデンサ光学素子ユニット
１０ａ，１０ｂ  コンデンサ
１１    コンデンサトップレンズユニット
１１ａ，１１ｂ  コンデンサトップレンズ
１２    電動ステージ
１３ａ，１３ｂ  対物レンズ
１４    電動レボルバ
１５    電動キューブカセット
１６ａ，１６ｂ  フィルターキューブ
１７    接眼ユニット
１８    ビームスプリッター
１９    接眼レンズ
２０    ビデオカメラ
２１    落射照明用光源
２２    電動シャッタユニット
２３    落射フィルターターレット
２４ａ  ＮＤフィルター
２４ｂ  補正フィルター
２５    落射絞りユニット
２６ａ  落射開口絞り
２６ｂ  落射視野絞り
２７    ポラライザ
２８    アナライザー
２９    顕微鏡制御部
３０    制御部
３０−２ａ，３０−２ｂ  ランプハウス制御部
３０−５  透過絞り制御部
３０−６  透過用フィルターターレット制御部
３０−８  コンデンサユニット制御部
３０−１２ａ，３０−１２ｂ  電動ステージ制御部
３０−１４  電動レボルバ制御部
３０−１５  電動キューブカセット制御部
３０−１７  接眼ユニット制御部
３０−２０  ビデオカメラ制御部
３０−２２  電動シャッタユニット制御部
３０−２３  落射用フィルターターレット制御部
３０−２５  落射絞り制御部
３０−２７  ポラライザ制御部
３０−２８  アナライザー制御部
３１    顕微鏡操作部
３２    ホストシステム
３３    表示装置
３４    入力装置
３５    ＣＰＵ回路
３６    ＣＰＵ
３７    ＦｌａｓｈＲＯＭ
３８    ＲＡＭ
３９    駆動回路
４０    モータ
４１    位置検出回路
４２    センサ
４３    ＣＡＮコントローラ
４４    ＣＡＮトランシーバー
４５    ユニット種別情報出力部
４６    ユニット種別情報検出部
４７    ユニット有無情報出力部
４８    ユニット有無情報検出部
Ｌ１    ＣＡＮ−ＢＵＳライン
Ｌ２    電源供給ライン
Ｐ１ａ，Ｐ１ｂ，Ｐ２ａ，Ｐ２ｂ，Ｐ３ａ，Ｐ３ｂ，Ｐ４ａ，Ｐ４ｂ  端子
【図４】
2008003467.tif 000003
【図５】
2008003467.tif 000004
【図８】
2008003467.tif 000005
【図１１】
2008003467.tif 000006
【図１２】
2008003467.tif 000007
【図１】
2008003467.tif 000008
【図２】
2008003467.tif 000009
【図３】
2008003467.tif 000010
【図６】
2008003467.tif 000011
【図７】
2008003467.tif 000012
【図９】
2008003467.tif 000013
【図１０】
2008003467.tif 000014