(57)【要約】      （修正有）【課題】ショートパルスフラッシュ光を用いたソーラシミュレータにおいて、太陽電池の出力特性を高精度に測定できる測定方法を提供する。【解決手段】各フラッシュ光において照度検出器３から出力される照度波形のピーク値を測定し、太陽電池４から出力される電流波形と電圧波形のいずれかのピーク値を測定することにより太陽電池の出力特性を測定する。  またその際に、各フラッシュ光の照度検出器から出力される照度波形が、その低部の時間幅Ｔに対して、照度波形のピーク値の９５％における時間幅が０．１Ｔ〜０．２Ｔとすることにより、照度検出器から出力される照度波形、被測定体の太陽電池から出力される電圧波形と電流波形のピーク値の測定が容易にまた確実に行うことが可能となる。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源からパルス状のフラッシュ光を発光させる工程と、該フラッシュ光を照度検出器で受光してその照度を検出し、該検出値に基づいて光源の照度を規定範囲内に制御する工程と、前記フラッシュ光を被測定体としての太陽電池に照射し、該太陽電池の負荷を制御して太陽電池から出力される電流と電圧を１点測定する測定工程と、複数回のフラッシュ光を発光させ、各フラッシュ光について、前記測定工程を行う太陽電池出力特性の測定方法において、
各フラッシュ光の照度検出器から出力される照度波形のピーク値を測定し、被測定体の太陽電池から出力される電圧波形と電流波形のいずれかのピーク値を測定することを特徴とする太陽電池出力特性の測定方法。
【請求項２】
各フラッシュ光の照度検出器から出力される照度波形が、その低部の時間幅Ｔに対して、照度波形のピーク値の９５％における時間幅が０．１Ｔ〜０．２Ｔであることを特徴とする請求項１記載の太陽電池出力特性の測定方法。
【請求項３】
各フラッシュ光の照度検出器から出力される照度波形をハード的なピークホールド回路を使用してそのピーク値を測定し、被測定体の太陽電池から出力される電圧波形と電流波形のいずれかをハード的なピークホールド回路を使用してそのピーク値を測定する請求項１又は請求項２記載の太陽電池出力特性の測定方法。
【請求項４】
各フラッシュ光の照度検出器から出力される照度波形をソフト的に高速サンプリングにてそのピーク値を測定し、被測定体の太陽電池から出力される電圧波形と電流波形のいずれかをソフト的に高速サンプリングしてそのピーク値を測定する請求項１又は請求項２記載の太陽電池出力特性の測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は太陽電池などの光電変換素子やそのパネル体の電流電圧特性（以下、単に特性ともいう）を高速・高精度に測定するためのソーラシミュレータによる測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
太陽電池、光起電力素子、光センサーなどの光電変換素子の光電変換特性は、光照射下において、前記光電変換素子の電流電圧特性を測定することによって測定される。太陽電池の特性測定では、横軸を電圧、縦軸を電流として、収集したデータをプロットすることにより出力特性曲線を得ている。この曲線は一般に、Ｉ−Ｖカーブという。図１にその１例を示す。図中縦軸のＩｓｃは、短絡電流を示す、また横軸のＶｏｃは開放電圧を示す。Ｐｍａｘは、最大出力を示す。
【０００３】
そして、その測定方法としては、照射光として太陽光を利用する方法と、人工光源を利用する方法とがある。このうち人工光源を利用する方法の中にパルス状のフラッシュ光（ショートパルスフラッシュ光）を用いる方法が、特許文献１により知られている。
【０００４】
従来より光電変換素子の実用化に伴い、特に受光面積の大きな太陽電池のような光電変換素子（以下、単に太陽電池という）の電流電圧特性は、太陽光の標準的な照度である１０００Ｗ／ｍ２程度の放射照度の下で測定されている。そして測定時の照度が１０００Ｗ／ｍ２を越えた分と・下廻った分は、照度補正の計算式で補正計算を行っていた。
【０００５】
また、大面積の太陽電池の電流電圧特性の測定では、１０００Ｗ／ｍ２程度の照度の光を、大面積の受光面に均一に照射する必要がある。このため人工光源を利用する場合には、例えば照射面積１ｍ２あたり数十ｋｗ程度の大電力の放電灯を必要とする。しかしながら、そのような大電力の放電灯によって定常光を発生させるには、大電力を定常的に供給せねばならない。このためには非常に大規模な設備が必要となって現実性に乏しい。
【０００６】
さらに定常光を用いたソーラシミュレータでは、照度を安定させるため連続点灯を維持しておく必要がある。このためランプ寿命が短くなる。さらに光源を収設した筐体内の温度上昇が著しくなり、筐体内の部品は、常時、光に曝されることになるため、光学部品（ミラー、光学フィルター）が劣化する。
【０００７】
このショートパルスフラッシュ光により太陽電池の電流電圧特性を測定する場合は、フラッシュ光を発生させる疑似太陽光の光源にはキセノンランプを使用し発光時間の短いフラッシュ光を複数回発光させる。
【０００８】
このようなショートパルスフラッシュ光を複数回照射する測定方法により太陽電池から出力される電流及び電圧のデータ収集を行うソーラシミュレータでは、発光時間が短くなるので、上述の定常光ソーラシミュレータのような光学部品（ミラー、光学フィルター）の劣化が緩和され、ランプ寿命も比較的長くなるという利点がある。
【０００９】
またフラッシュ点灯させるため光源ランプへの負荷が小さいことから、短い間隔で複数回フラッシュすることができる。また、発光時間が短いので、ランプ内部の状況（例えば、温度）が変化しにくいのでピーク照度が安定しやすくなる。その結果被測定体としての太陽電池が、受光する光パルスが短いので、被測定体の温度も上昇しにくくなるという利点もある。
【００１０】
しかしながら、このショートパルスフラッシュ光による測定は次のような問題がある。複数回照射される各フラッシュ光の波形は、図２のように頂部に平坦部を持たない山なり（山のすそ野の幅で、約１ｍsec）の形状である。そのため、１回のフラッシュ点灯においては、１組（照度、太陽電池の出力電流と電圧）のデータを収集する。その方法を図３に沿って説明する。
１回のフラッシュで太陽電池から出力される、電流波形あるいは電圧波形は、頂部に平坦部を持たない山なりの形状である。またフラッシュの照度を確認するために配備されている照度検出器からの照度波形も頂部に平坦部を持たない山なりの形状である。１回のフラッシュにおいて、照度波形の頂部に対して電流波形あるいは電圧波形の頂部は、図の通りずれている。尚本図では、照度波形と太陽電池から出力される電圧波形の頂部のずれについて示した。このずれは、図に示した通り短絡電流（Ｉｓｃ）測定の近傍でＴ１、最大出力（Ｐｍａｘ）測定の近傍でＴ２および開放電圧（Ｖｏｃ）測定の近傍でＴ３とそれぞれ異なる。
また太陽電池から出力される電流及び電圧は、照度検出器から出力される照度波形において、発光してから予め定めた波形の閾値に到達してからＴｍ時間経過後にて電流値・電圧値を測定しＩ−Ｖカーブの各ポイントの電流・電圧としていた。従ってこのような測定方法では、高精度に太陽電池の出力を測定することは困難である。
【特許文献１】特開２００３−３１８２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、従来のショートパルスフラッシュ光を用いたソーラシミュレータにおける上述した問題点に鑑み、ショートパルスフラッシュ光により太陽電池の出力特性を高精度に測定できるソーラシミュレータの測定方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決する本発明の太陽電池出力特性の測定方法は、光源からパルス状のフラッシュ光を発光させる工程と、該フラッシュ光を照度検出器で受光してその照度を検出し、該検出値に基づいて光源の照度を規定範囲内に制御する工程と、前記フラッシュ光を被測定体としての太陽電池に照射し、該太陽電池の負荷を制御して太陽電池から出力される電流と電圧を１点測定する測定工程と、複数回のフラッシュ光を発光させ、各フラッシュ光について、前記測定工程を行う太陽電池出力特性の測定方法において、各フラッシュ光の照度検出器から出力される照度波形のピーク値を測定し、被測定体の太陽電池から出力される電圧波形と電流波形のいずれかのピーク値を測定することを特徴とするものである。
【００１３】
また各フラッシュ光の照度検出器から出力される照度波形が、その低部の時間幅Ｔに対して、照度波形のピーク値の９５％における時間幅が０．１Ｔ〜０．２Ｔとすることにより、照度検出器から出力される照度波形、被測定体の太陽電池から出力される電圧波形と電流波形のピーク値の測定が容易にまた確実に行うことが可能となる。
【００１４】
ここにおいて、各フラッシュ光の照度検出器から出力される照度波形のピーク値は、ハード的なピークホールド回路を使用してそのピーク値を測定したり、ソフト的に高速サンプリングしてそのピーク値を測定することが望ましい。また更に被測定体の太陽電池から出力される電圧波形と電流波形のいずれかのピーク値は、ハード的なピークホールド回路を使用してそのピーク値を測定したり、ソフト的に高速サンプリングにてそのピーク値を測定することが望ましい。
【発明の効果】
【００１５】
太陽電池の出力特性の測定においてショートパルスフラッシュ光を使用する場合は、被測定体の太陽電池に照射し、太陽電池の負荷を制御して太陽電池から出力される電流と電圧を１組測定する。複数回フラシュさせ各フラッシュにて負荷を制御し、複数組の電流、電圧を測定しＩ−Ｖカーブを作成する。本発明では、各フラッシュにおいて、照度検出器から出力される照度波形のピーク値を検出して照度を規定範囲内に制御し、太陽電池から出力される電流波形のピーク値を測定したり、太陽電池から出力される電圧波形のピーク値を測定し、電流及び電圧の出力値として測定している。従って照度波形のピーク、太陽電池から出力される電流および電圧のピークに時間的なずれがあっても、太陽電池の出力特性を高精度に測定することが可能となる。
【００１６】
また、本発明の測定方法は、多結晶シリコン等を使用した応答の早い太陽電池ばかりでなく、単結晶シリコン等、応答の異なる太陽電池にも適用は可能である。太陽電池の応答性により、フラッシュ発光させ太陽電池から出力される電流及び電圧が出力されるまでの時間が異なる。異なる応答で出力された電流波形および電圧波形から、本発明の方法により電流と電圧のいずれかのピーク値を測定する。その後次のフラッシュ発光をすることにより、同じ動作を繰り返しＩ―Ｖカーブを作成することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
次に本発明の実施の形態例について、図に拠り説明する。本発明では、ショートパルスフラッシュ光を使用している。図４は本発明の測定方法を実施するソーラシミュレータの一例のブロック図。図５は、パルス幅制御回路の構成図。図６は本発明においてショートパルスフラッシュ光をフラッシュさせた場合に、照度検出器から出力される照度波形のピーク値を測定し、太陽電池から出力される電流波形と電圧波形のうち電圧波形のピーク値を測定して太陽電池の出力特性を測定する説明図である。図７は、照度波形の形状と太陽電池から出力される電圧波形の関係図。図８は、本発明で各フラッシュにて照度検出器から出力される照度波形の波形図。
【００１８】
本発明測定法を適用する図４のソーラシミュレータでは、その光源ランプ、例えば、キセノンランプ１の電源回路１Ａとパルス幅制御回路２を具備している。パルス幅制御回路２は、図５のような構成となっておりコイルＬとコンデンサＣにより所定時間発光する。図２の波形図に模式的に例示するように、ショートパルスフラッシュ光の頂部は、平坦部を持たない山なり（山のすそ野の幅で、約１ｍsec）の形状である。
【００１９】
上記の態様でフラッシュ点灯されるランプ１の照度は、図４に例示したように、ランプ１の光を受光可能な位置に固定した太陽電池による照度検出器３によって検出される。この検出器３としては、被測定体と同性能の太陽電池セルを使用することが望ましい。
【００２０】
本発明のソーラシミュレータでは、被測定体として光源のランプ１に対面配置した太陽電池４から出力される電流・電圧を可変にする。このため当該太陽電池４の出力端子に負荷回路５の電子負荷５Ａを接続する。なお、電子負荷５Ａを備えた負荷回路５において、５Ｂは直流電源、５Ｃはシャント抵抗である。
【００２１】
上記の太陽電池４から出力される電流と電圧、及び、照度検出器３から検出される照度のデータは、本発明ソーラシミュレータにおけるデータ収集システムにより収集する。このデータ収集システムとしては、図４に例示したように、データ収集ボード６ａとアナログ出力ボード６ｂを備えたパソコン６に、アナログ出力信号をデータ収集ボード６ａで収集可能な信号に変換するデータ処理ボード７を接続して構成したものである。なお、８はパソコン６からのデータを電子負荷５Ａに付与するために接続された電子負荷指令回路である。
【００２２】
太陽電池の出力特性の測定は、次のような手順にて行われる。
まずキセノンランプの照度の設定を以下の通り行う。測定対象となる太陽電池４が配置される位置に、太陽電池４に代えて基準となる太陽電池を配置し、照度検出器３を所定の位置に配置する。基準太陽電池には、規定照度（１０００Ｗ／ｍ２）での短絡電流Ｉsc又は最大出力Ｐmaxの校正データを有している。この校正データを、データ収集ボード６ａに設定しておく。そしてキセノンランプ１を発光させ、そのときの基準太陽電池の出力と、照度検出器３の出力を測定する。基準太陽電池の出力の測定結果が、校正データと合致するように、ランプ電圧又はランプ電流を逐次変更して、測定を繰り返す。基準太陽電池の出力の測定結果が、校正データと合致するように至った際の照度検出器の出力を記憶させる。これで、照度設定は完了となる。
【００２３】
照度設定後は、基準太陽電池を外し、次に被測定体となる太陽電池を載せて接続する。照度検出器で検出される照度が、前記記憶させた照度になるようにランプ電圧又はランプ電流が制御され、規定照度近傍（規定範囲内）での測定が行われる。
【００２４】
以上の準備が完了したらＩ−Ｖカーブ作成のためのフラッシュ発光を行う。１フラッシュ点灯で電子負荷を制御し、Ｉ−Ｖカーブの１ポイントの電流および電圧のデータを得る。ランプ休止の間に、次の１フラッシュ点灯のために、ランプ電圧の制御を行う。予め定めた休止時間が経過した後、次の１フラッシュ点灯を行い、電子負荷を制御し１ポイントの電流および電圧のデータを得る。このような動作を約１００回程度繰り返し、測定対象である太陽電池のＩ−Ｖカーブを測定する。
【００２５】
本発明の測定方法は、各フラッシュにおいて照度検出器から出力される照度波形のピーク値を測定し、被測定体である太陽電池から出力される電流波形と電圧波形のいずれかのピーク値を測定し、Ｉ−Ｖカーブの１ポイントの電流および電圧のデータとするものである。
【００２６】
本発明の測定方法を図６に沿って説明する。図６は、各フラッシュ発光にて、照度検出器から出力される照度波形のピークを測定し、被測定体の太陽電池から出力される電圧波形のピーク値を測定し太陽電池出力測定を行う場合の方法を示したものである。まず各フラッシュ発光後の照度波形についてＴｏの時間幅を設定する。照度のピーク値の測定は、出力された照度波形をピークホールド回路によりハード的にピーク値を測定する方法や、照度波形をＡ／Ｄ変換して高速サンプリングしソフト的に行う。これにより各フラッシュの照度を規定範囲（図では±１％以内）に制御して太陽電池の出力の測定を行うことができる。これにより各フラッシュ光の照度のばらつきが無くなり安定する。
【００２７】
図６の場合は、各フラッシュにおいて電子負荷は定電流モードを使用して制御し、各フラッシュにおいて太陽電池から出力される電圧波形のピーク値を測定している。被測定体の太陽電池から出力される電圧波形のピーク値の測定は、先ほど照度波形にて設定したＴｏの時間幅の中で、出力された電圧波形をピークホールド回路によりハード的にピーク値を測定する方法や、電圧波形をＡ／Ｄ変換して高速サンプリングしソフト的に行う。また電流ついては、定電流モードを使用しているので設定したＴｏの時間幅で任意の時間で測定することが可能である。
【００２８】
以上の測定方法により、各フラッシュにおける照度のばらつきを少なくし、太陽電池から出力される電流および電圧を測定しているので、太陽電池の出力特性を高精度に行うことが可能となった。また、上述の時間幅Ｔｏを、測定する太陽電池に応じて、適宜変更することで、多結晶シリコン等を使用した応答の早い太陽電池、あるいは、単結晶シリコン等、応答の異なる太陽電池にも本発明の測定方法の適用が可能となる。
【００２９】
図に示していないが、フラッシュ発光にて、照度検出器から出力される照度波形のピークを測定し、被測定体の太陽電池から出力される電流波形のピーク値を測定し太陽電池の出力測定を行うことも可能である。
この場合は、各フラッシュにおける照度のピーク値は、図６で説明した手段と同様に測定する。各フラッシュにおいて電子負荷は定電圧モードを使用して制御し、各フラッシュにおいて太陽電池から出力される電流波形のピーク値を測定している。被測定体の太陽電池から出力される電流波形のピーク値の測定は、先ほど照度波形にて設定したＴｏの時間幅の中で、出力された電流波形をピークホールド回路によりハード的にピーク値を測定する方法や、電流波形をＡ／Ｄ変換して高速サンプリングしソフト的に行う。また電圧ついては、定電圧モードを使用しているので設定したＴｏの時間幅で任意の時間で測定することが可能である。
【００３０】
この測定方法でも、各フラッシュにおける照度のばらつきを少なくし、太陽電池から出力される電流および電圧を測定しているので、図６による測定方法と同様、太陽電池の出力特性を高精度に行うことが可能である。
【００３１】
図６により説明した太陽電池の出力特性の測定方法を行うに当たり、その測定精度を更に向上させる方法について説明する。
各フラッシュにてキセノンランプから発光するフラッシュ光は、図５のパルス幅制御回路のコイルＬとコンデンサＣにより所定時間発光する。このフラッシュ光により照度検出器より出力される照度波形は、パルス幅制御回路内のＬやＣの容量を変更することにより波形が変わる。その様子を図７に沿って説明する。
本図は、Ｌが小さい場合と大きい場合について、照度検出器から出力される照度波形と太陽電池から出力される電圧波形を、発光開始を同一時間として表示したものである。
Ｌ（インダクタンス）の容量を小さくすると照度波形は、ピーク値Ｉの９５％における時間幅はＴａ１となって尖り状の波形となる。またその時、太陽電池から出力される電圧波形は、そのピークが照度波形のピークに対してＴ１時間遅れ、ピーク値Ｖｐ１の９５％における時間幅はＴｄ１となっている。
一方Ｌの容量を大きくすると照度波形は、ピーク値Ｉの９５％における時間幅はＴａ２となってなだらかな山なりの波形となる。またその時、太陽電池から出力される電圧波形は、そのピークが照度波形のピークに対してＴ２時間遅れ、ピーク値Ｖｐ２の９５％における時間幅はＴｄ２となっている。
また両者にて、Ｔ１、Ｔ２、Ｖｐ１、Ｖｐ２の関係は、次の通りである。照度波形がなだらかな山なりの波形の方が、照度波形のピークに対して、太陽電池から出力される電圧波形のピークの遅れ時間は少なく、電圧波形のピーク値も高くなる。
【００３２】
各フラッシュにて照度検出器から出力される照度波形のピーク値の測定、太陽電池から出力される電流波形および電圧波形のピーク値の測定を正確に行うためには、その照度波形は図７におけるなだらかな山なりの波形が好ましい。
照度波形の好ましい形状を図８に示す。Ｉは、照度波形のピーク値、Ｔは、照度波形の底部の時間幅である。波形は、非対称な形状となっている。
【００３３】
照度波形の底部の時間幅Ｔに対して、ピーク値Ｉの９５％の時間幅Ｔｐが０．１Ｔ〜０．２Ｔが好ましい。
Ｔｐが０．１Ｔ未満の場合は、照度波形をピークホールド回路によりハード的にピーク値を測定したり、照度波形をＡ／Ｄ変換して高速サンプリングしソフト的にピーク値を測定することが困難となる虞がある。
Ｔｐが０．２Ｔを越えると、Ｌ（インダクタンス）を必要以上に発光回路に搭載するので、コスト、及びスペースが増大する。また、照度波形が必要以上に広くなるので、フラッシュ間隔を長くする必要がある。よって、測定時間が長くなる虞がある。
【００３４】
照度波形の立ち上がりからピークまでの時間幅Ｔｓが０．３Ｔ〜０．７Ｔが好ましい。Ｔｓが０．３Ｔ未満であると測定対象である太陽電池からの出力応答が、照度波形に十分に追随できなくなる虞があり、Ｔｓが０．７Ｔを越えると急激に照度が低下するので、ピークを検出中に、太陽電池出力が低下してしまう虞がある。
照度波形の０．４Ｉ〜０．６Ｉにおける時間幅Ｔｒは、０．３Ｔ〜０．７Ｔが好ましい。Ｔｒが０．３Ｔ未満であると照度波形中腹が細く、太陽電池出力応答が、照度波形に十分に追随できなくなる虞があり、Ｔｒが０．７Ｔを超えると照度波形が必要以上に太くなり、ランプ寿命の低下を招く虞がある。
照度波形の波形の立ち上がり側において照度が０．４Ｉ〜０．６Ｉにおけるピークまでの時間幅Ｔｑは、０．１５Ｔ〜０．３５Ｔが好ましい。この時間幅が０．１５Ｔ未満であると照度波形中腹から立ち上がりが急激すぎて、太陽電池出力応答が、照度波形に十分に追随できなくなる虞があり、Ｔｑが０．３５Ｔを超えると照度が、ピークを過ぎてから急激に低下するので、ピークを検出中に、太陽電池出力が低下してしまうの虞がある。
【００３５】
上記の照度波形を使用することにより太陽電池から出力される電流波形および電圧波形も、その波形の底部の時間幅をＴｗとした場合、ピーク値の９５％における時間幅Ｔｄとして０.０５Ｔｗ〜０.５Ｔｗを確保することができる。
【００３６】
上記の具体的な実施例について説明する。キセノンランプから発光するフラッシュ光の照度検出器より出力される照度波形の底部の時間幅Ｔを１ｍｓｅｃとした場合は、照度波形のピーク値の９５％における時間幅Ｔｐを１００μｓｅｃ〜２００μｓｅｃとすることができる。
上記の照度波形を使用することにより太陽電池から出力される電流波形および電圧波形も、その波形の底部の時間幅Ｔｗが０.１〜１.５ｍｓｅｃとなり、ピーク値の９５％における時間幅Ｔｄを１０μｓｅｃ〜２００μｓｅｃとすることができる。
【００３７】
本発明における太陽電池の出力特性の測定において、照度検出器から出力される照度波形の形状を図８の通りとすることにより、太陽電池の出力特性の測定を更に高精度に行うことが可能となった。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
本発明は以上の通りであるから、以下に述べる効果が得られ産業上きわめて有用である。
（１）太陽電池の出力測定においてショートパルスフラッシュ光を使用する場合、各フラッシュにおける太陽電池から出力される電流波形と電圧波形のいずれかのピーク値を測定しＩ−Ｖカーブを作成するので、太陽電池の出力特性を高精度に測定することが可能となる。
【００３９】
（２）単結晶シリコン等を使用した応答の異なる太陽電池にも本発明の測定方法は適用可能であり、応答の異なる太陽電池の出力特性を高精度に測定することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】太陽電池の出力特性を示すＩ−Ｖカーブの説明図。
【図２】本発明方法に用いるショートパルスフラッシュ光の照度波形の一例を模式的に示した波形図。
【図３】照度波形、太陽電池から出力される電圧波形のピークの時間的なずれの説明図。
【図４】本発明の測定方法を実施するソーラシミュレータの一例のブロック図。
【図５】パルス幅制御回路の構成図。
【図６】本発明において照度波形のピーク値と太陽電池から出力される電圧波形からピーク値を測定する実施形態の説明図。
【図７】照度波形の形状と太陽電池から出力される電圧波形の関係図。
【図８】本発明で各フラッシュにて照度検出器から出力される照度波形の波形図。
【符号の説明】
【００４１】
１      キセノンランプ
２      パルス幅制御回路
３      照度検出器
４      太陽電池
５Ａ    電子負荷
６      パソコン
６ａ    データ収集ボード
６ｂ    アナログ出力ボード
７      データ処理ボード
Ｌ      コイル
Ｃ      コンデンサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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