(57)【要約】【課題】本発明は、簡便に正確な色特性を評価することができる、カラーフィルターの色特性評価方法を提供することを主目的とするものである。【解決手段】本発明は、基材と、上記基材上に形成され、複数の開口部を有する遮光部と、上記開口部内に形成された複数色の着色層とを有するカラーフィルターを配置するカラーフィルター配置工程と、上記カラーフィルターの着色層に可視光を照射する可視光照射工程と、上記着色層を透過した可視光を検出器で受光する可視光受光工程とにより、上記着色層の分光スペクトルを測定するカラーフィルターの色特性評価方法であって、上記可視光照射工程において可視光が単色の着色層のみに照射され、かつ、上記着色層に照射される可視光の面積が、上記可視光が照射される着色層が形成された開口部の面積よりも大きいことを特徴とする、カラーフィルターの色特性評価方法を提供することにより上記課題を解決するものである。【選択図】図１
2008107824.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材と、前記基材上に形成され、複数の開口部を有する遮光部と、前記開口部内に形成された複数色の着色層とを有するカラーフィルターを配置するカラーフィルター配置工程と、
前記カラーフィルターの着色層に可視光を照射する可視光照射工程と、
前記着色層を透過した可視光を検出器で受光する可視光受光工程とにより、前記着色層の分光スペクトルを測定するカラーフィルターの色特性評価方法であって、
前記可視光照射工程において可視光が単色の着色層のみに照射され、かつ、前記着色層に照射される可視光の面積が、前記可視光が照射される着色層が形成された開口部の面積よりも大きいことを特徴とする、カラーフィルターの色特性評価方法。
【請求項２】
前記可視光照射工程において前記着色層に照射する可視光が平行光であることを特徴とする、請求項１に記載のカラーフィルターの色特性評価方法。
【請求項３】
基材と、前記基材上に形成され、複数の開口部を備える遮光部とを有するカラーフィルター用基板を用い、インクジェット法により着色層形成用塗工液を塗布することによって前記開口部内に着色層を形成する着色層形成工程と、
前記着色層形成工程により形成された着色層の色特性を検査する色特性検査工程と、
前記色特性検査工程における色特性の検査結果に応じて、前記着色層形成工程における着色層形成用塗工液の塗布条件を調整する着色層形成条件調整工程と、を有するカラーフィルターの製造方法であって、
前記色特性検査工程が、請求項１に記載のカラーフィルターの色特性評価方法を用いて、前記着色層の色特性を検査するものであることを特徴とする、カラーフィルターの製造方法。
【請求項４】
検査用着色層を形成するための着色層形成用領域を有する検査用基板を形成する検査用基板形成工程と、
前記検査用基板の前記着色層形成用領域上に、インクジェット法により着色層形成用塗工液を塗布することによって検査用着色層を形成する検査用着色層形成工程と、
前記検査用着色層の色特性を検査する検査工程と、
前記検査工程により得られた検査データを利用して、前記着色層形成用塗工液の塗布条件を調整する調整工程と、を有する製造条件決定工程、および、
基材と、前記基材上に形成され、複数の開口部を備える遮光部とを有するカラーフィルター用基板を用い、前記製造条件決定工程により決定された製造条件に基いて、インクジェット法により前記開口部内に着色層形成用塗工液を塗布することによって着色層を形成する着色層形成工程と、を有するカラーフィルターの製造方法であって、
前記検査工程が、請求項１に記載のカラーフィルターの色特性評価方法を用いて、前記検査用着色層の色特性を検査するものであることを特徴とする、カラーフィルターの製造方法。
【請求項５】
カラーフィルターを保持するカラーフィルター保持部と、前記カラーフィルターの着色層に可視光を照射する光源と、貫通孔を有し、前記着色層に照射される可視光の面積を調整するスリットと、前記着色層を透過した可視光を受光する検出器と、を有するカラーフィルター用色特性評価装置であって、
前記検出器の可視光を受光する受光部の形状が、四角形であることを特徴とする、カラーフィルター用色特性評価装置。
【請求項６】
前記光源と、前記スリットとの間に前記光源から照射される可視光を平行光にするコリメーターレンズが配置されていることを特徴とする、請求項５に記載のカラーフィルター用色特性評価装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置等に用いられるカラーフィルターの色特性評価方法に関するものであり、より詳しくはインクジェット法により形成された着色層を有するカラーフィルターの色特性評価に好適に用いられるカラーフィルターの色特性評価方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、パーソナルコンピューターの発達、特に携帯用パーソナルコンピューターの発達に伴って、液晶ディスプレイの需要が増加している。また、最近においては家庭用の液晶テレビの普及率も高まっており、益々液晶ディスプレイの市場は拡大する状況にある。さらに近年普及している液晶ディスプレイは大画面化の傾向があり、特に家庭用の液晶テレビに関してはその傾向が強くなってきている。
このような状況において、液晶ディスプレイを構成する部材については、より低コストで高品質なものを製造することが望まれている。特に液晶ディスプレイをカラー表示化させる機能を有するカラーフィルターは、従来高コストであったことからこのような要望が高まっている。
【０００３】
図１１は、一般的な液晶ディスプレイに用いられるカラーフィルターの一例を示す害ら略図である。図１１に示すように、液晶ディスプレイに用いられるカラーフィルター１００は、通常、基材１０１と、上記基材１０１上に形成され、複数の開口部を備える遮光部１０２と、上記開口部内に形成されたＲ、Ｇ、Ｂ各色の着色層１０３とを有するものである。
そして、このようなカラーフィルターのＲ、Ｇ、Ｂの各色に対応する電極をＯＮ、ＯＦＦさせることで液晶がバックライトのシャッタとして作動し、Ｒ、Ｇ、Ｂのそれぞれの画素を光が通過してカラー表示が行われるものである。
【０００４】
このような、カラーフィルターを製造する方法としては、従来、染色法や顔料分散法等のＲ、Ｇ、Ｂの３色を着色するために同一の工程を３回繰り返す方法が用いられてきた。しかしながら、このような製造方法は、高精度なＲ、Ｇ、Ｂパターンが形成されたカラーフィルターを形成できるという点においては有用であったが、必ずしも生産性の高いものではなかった。この点、特許文献１にはインクジェット法を用いたカラーフィルターの製造方法が開示されている。インクジェット法は、大面積のカラーフィルターを高生産性で製造できる点において有効であり、低コストでカラーフィルターを製造できる方法として着目されている。
【０００５】
ところで、カラーフィルターは、その用途に応じて所定の色特性の規格を充足することが厳格に求められるところ、このようなカラーフィルターの色特性は、通常、カラーフィルターが備える着色層の分光スペクトルを測定することにより評価されている。
しかしながら、図１２に例示するように、上記インクジェット法により形成されたカラーフィルター１００’は、着色層１０３が画素内で膜厚分布を有するため、分光スペクトルを測定する部位によって測定値が異なってしまい、正確な色特性を評価することが困難であるという問題点があった。
【０００６】
このような問題点に対し、特許文献２には、画素の開口部面積の３０％〜１００％の面積を有する領域を測定することにより、着色濃度分布を包括して着色領域の分光スペクトルを測定するカラーフィルターの色特性評価方法が開示されている。このような方法は、上記分光スペクトルの測定領域を広くすることにより、測定値の位置依存性を小さくすることができる点において有用である。
しかしながら、上記のような画素内で膜厚分布を有する着色層の透過型分光スペクトルを正確に測定するには、上記着色層の遮光部付近の厚みが薄い部位のスペクトルを漏れなく測定することが必要とされるため、測定範囲が上記着色層が形成された開口部の面積よりも小さいと正確なスペクトルを測定することができないという問題点があった。
また、上記開口部の形状は単純な四角形ではなく、複雑な形状を有するものであること、および、上記開口部の形状はカラーフィルターが用いられるディスプレイ規格や画面サイズによって無数の種類が存在するものであることから、分光スペクトルの測定範囲と開口部の面積とを完全に同一にして測定するためには、その都度、評価系を変更しなければならないため、実用性に著しく欠けるという問題点があった。
【０００７】
【特許文献１】特開２０００−１８７１１１号公報
【特許文献２】特開２０００−３４６７４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明はこのような問題点に鑑みてなされてものであり、簡便に正確な色特性を評価することができる、カラーフィルターの色特性評価方法を提供することを主目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明は、基材と、上記基材上に形成され、複数の開口部を有する遮光部と、上記開口部内に形成された複数色の着色層とを有するカラーフィルターを配置するカラーフィルター配置工程と、上記カラーフィルターの着色層に可視光を照射する可視光照射工程と、上記着色層を透過した可視光を検出器で受光する可視光受光工程とにより、上記着色層の分光スペクトルを測定するカラーフィルターの色特性評価方法であって、上記可視光照射工程において可視光が単色の着色層のみに照射され、かつ、上記着色層に照射される可視光の面積が、上記可視光が照射される着色層が形成された開口部の面積よりも大きいことを特徴とするカラーフィルターの色特性評価方法を提供する。
【００１０】
本発明によれば、上記可視光照射工程において可視光が単色の着色層のみに照射され、かつ、上記着色層に照射される可視光の面積が、上記可視光が照射される着色層が形成された開口部の面積よりも大きいことにより、測定対象となる個々の着色層の全領域の分光スペクトルを測定することが可能になる。このため、本発明によれば上記着色層が画素内で膜厚分布を有するものであっても正確な透過型分光スペクトルを測定することができる。
また、本発明によれば、上記着色層に照射される可視光の面積が、上記可視光が照射される着色層が形成された開口部の面積よりも大きいことにより、例えば、上記開口部の形状が複雑である場合においても、上記着色層に照射する可視光の照射面の形状を、上記開口部の形状に合致させることなく正確な色特性の評価が可能になるため、簡便に色特性を評価することができる。
このようなことから、本発明によれば、簡便に正確な色特性を評価することができる。
【００１１】
本発明においては、上記可視光照射工程において上記着色層に照射する可視光が平行光であることが好ましい。これにより、上記可視光照射工程において上記着色層に可視光を照射した際に、可視光がカラーフィルターを構成する基材等において多重反射することを防止することができるため、より正確な色特性を評価することができるからである。また、上記可視光を平行光としない場合は、本発明のカラーフィルターの色特性評価方法によってさらに正確な色特性を評価するために、検出器とカラーフィルターとの間にスリットを設けることが望ましい場合があるが、上記可視光を平行光とすることによりこのようなスリットを設けなくても正確な色特性評価することが可能になる。このため、上記可視光を平行光とすることにより、本発明のカラーフィルターの色特性評価方法を実施する装置を簡略化することができるという利点もあるからである。
【００１２】
また本発明は、基材と、上記基材上に形成され、複数の開口部を備える遮光部とを有するカラーフィルター用基板を用い、インクジェット法により着色層形成用塗工液を塗布することによって上記開口部内に着色層を形成する着色層形成工程と、上記着色層形成工程により形成された着色層の色特性を検査する色特性検査工程と、上記色特性検査工程における色特性の検査結果に応じて、上記着色層形成工程における着色層形成用塗工液の塗布条件を調整する着色層形成条件調整工程と、を有するカラーフィルターの製造方法であって、上記色特性検査工程が、上記本発明のカラーフィルターの色特性評価方法を用いて、上記着色層の色特性を検査するものであることを特徴とする、カラーフィルターの製造方法を提供する。
【００１３】
本発明によれば、上記色特性検査工程が、上記本発明のカラーフィルターの色特性評価方法を用いて上記着色層の色特性を検査するものであることにより、画素内で膜厚分布を有する着色層に対しても正確な分光スペクトルを評価することが可能であるため、インクジェット法により色ムラの少ないカラーフィルターを製造することができる。
【００１４】
また本発明は、検査用着色層を形成するための着色層形成用領域を有する検査用基板を形成する検査用基板形成工程と、上記検査用基板の上記着色層形成用領域上に、インクジェット法により着色層形成用塗工液を塗布することによって検査用着色層を形成する検査用着色層形成工程と、上記検査用着色層の色特性を検査する検査工程と、上記検査工程により得られた検査データを利用して、上記着色層形成用塗工液の塗布条件を調整する調整工程と、を有する製造条件決定工程、および、基材と、上記基材上に形成され、複数の開口部を備える遮光部とを有するカラーフィルター用基板を用い、上記製造条件決定工程により決定された塗布条件に基いて、インクジェット法により上記開口部内に着色層形成用塗工液を塗布することによって着色層を形成する着色層形成工程と、を有するカラーフィルターの製造方法であって、上記検査工程が、上記本発明のカラーフィルターの色特性評価方法を用いて、上記検査用着色層の色特性を検査するものであることを特徴とする、カラーフィルターの製造方法を提供する。
【００１５】
本発明によれば、上記検査工程が、上記本発明のカラーフィルターの色特性評価方法を用いて上記検査用着色層の色特性を検査するものであることにより、上記製造条件決定工程において、上記着色層形成工程で色ムラの少ない着色層を形成できる塗布条件を高精度で決定できる。このため、本発明によれば色ムラの少ないカラーフィルターを製造することができる。
【００１６】
また本発明は、カラーフィルターを保持する、カラーフィルター保持部と、上記カラーフィルターの着色層に可視光を照射する光源と、上記着色層に照射される可視光の面積を調整するスリットと、上記着色層を透過した可視光を受光する検出器と、を有するカラーフィルター用色特性評価装置であって、上記検出器の可視光を受光する受光部の形状が、四角形であることを特徴とする、カラーフィルター用色特性評価装置を提供する。
【００１７】
本発明によれば、上記検出器の可視光を受光する受光部の形状が四角形であることにより、上記検出器で上記着色層を透過した可視光を効率よく受光することができるため、短時間で簡便にカラーフィルターの色特性を評価することができる。
【００１８】
本発明においては、上記光源と、上記スリットとの間に上記光源から照射される可視光を平行光にするコリメーターレンズが配置されていることが好ましい。これにより上記光源から、上記カラーフィルターに照射される可視光を平行光にすることができるため、上記カラーフィルターに照射された可視光が、上記カラーフィルターを構成する基材等において多重反射することを防止することができる。このため、本発明のカラーフィルター用色特性評価装置を用いて、より正確な色特性を評価することができるからである。また、上記コリメーターレンズを用いない場合は、本発明のカラーフィルターの色特性評価装置を用いてさらに正確な色特性を評価するために、検出器とカラーフィルターとの間にスリットを設けることが望ましい場合があるが、上記コリメーターレンズを用いることにより、カラーフィルターの着色層に照射される可視光を平行光とすることができるため、そのようなスリットを設けなくても正確な色特性評価することが可能になる。このため、上記コリメーターレンズを用いることにより、本発明のカラーフィルターの色特性評価装置を簡略化することができるという利点もあるからである。
【発明の効果】
【００１９】
本発明のカラーフィルターの色特性評価方法は、簡便に正確な色特性を評価することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明のカラーフィルターの色特性評価方法、カラーフィルターの製造方法、および、カラーフィルター用色特性評価装置について詳細に説明する。
【００２１】
Ａ．カラーフィルターの色特性評価方法
まず、本発明のカラーフィルターの色特性評価方法について説明する。本発明のカラーフィルターの色特性評価方法は、基材と、上記基材上に形成され、複数の開口部を有する遮光部と、上記開口部内に形成された複数色の着色層とを有するカラーフィルターを配置するカラーフィルター配置工程と、上記カラーフィルターの着色層に可視光を照射する可視光照射工程と、上記着色層を透過した可視光を検出器で受光する可視光受光工程とにより、上記着色層の分光スペクトルを測定するものであって、上記可視光照射工程において可視光が単色の着色層のみに照射され、かつ、上記着色層に照射される可視光の面積が、上記可視光が照射される着色層が形成された開口部の面積よりも大きいことを特徴とするものである。
【００２２】
このような本発明のカラーフィルターの色特性評価方法について図を参照しながら説明する。図１は本発明のカラーフィルターの色特性評価方法の一例を示す概略図である。図１に例示するように、本発明のカラーフィルターの色特性評価方法は、基材１と、上記基材１上に形成され、複数の開口部を有する遮光部２と、上記開口部内に形成された複数色の着色層３とを有するカラーフィルター１０を所定の位置に配置するカラーフィルター配置工程（図１（ａ））と、上記カラーフィルター１０の着色層３に、スリットＳおよびレンズＬ１を通して、光源３０から発振される可視光を照射する可視光照射工程（図１（ｂ））と、上記着色層３を透過した可視光をレンズＬ２を通じて、検出器２０で受光する可視光受光工程（図１（ｃ））とにより、上記着色層の分光スペクトルを測定するものである。
【００２３】
図２は本発明における可視光照射工程の一例を示す概略図である。図２に例示するように、本発明のカラーフィルターの色特性評価方法は、上記可視光照射工程において、カラーフィルター１０の着色層３に照射される可視光が、単色の着色層のみに照射され、かつ、その照射面積Ａが、上記可視光が入射される着色層３が形成された開口部の面積Ｂよりも大きいことを特徴とするものである。
【００２４】
本発明によれば、上記可視光照射工程において、可視光が単色の着色層のみに照射され、かつ、上記着色層に照射される可視光の面積が、上記可視光が照射される着色層が形成された開口部の面積よりも大きいことにより、測定対象となる個々の着色層の全領域の分光スペクトルを測定することが可能になる。このため、本発明によれば上記着色層が画素内で膜厚分布を有するものであっても正確な透過型分光スペクトルを測定することができる。
また、上記着色層に照射される可視光の面積が、上記可視光が照射される着色層が形成された開口部の面積よりも大きいことにより、例えば、上記開口部の形状が複雑である場合においても、上記着色層に照射する可視光の照射面の形状を、上記開口部の形状に合致させることなく正確な色特性の評価が可能になるため、簡便に色特性を評価することができる。
このようなことから、本発明によれば、簡便に正確な色特性を評価することができる。
【００２５】
本発明のカラーフィルターの色特性評価方法は、少なくともカラーフィルター配置工程と、可視光照射工程と、可視光受光工程とを有するものである。
以下、本発明に用いられる各工程について順に説明する。
【００２６】
１．可視光照射工程
まず、本発明のカラーフィルターの色特性評価方法における可視光照射工程について説明する。本工程は、後述するカラーフィルター配置工程により、所望の位置に配置されたカラーフィルターの着色層に可視光を照射する工程であり、上記着色層に照射される可視光が単色の着色層のみに照射され、かつ、その照射面積が上記可視光が照射される着色層が形成された開口部の面積よりも大きいことを特徴とするものである。本発明は、本工程がこのような方法で可視光を照射するものであることにより、測定対象となる個々の着色層の全領域の分光スペクトルを測定することが可能になるため、上記着色層が画素内で膜厚分布を有するものであっても正確な透過型分光スペクトルを測定することができるのである。
以下、このような可視光照射工程について説明する。
【００２７】
本工程は、上記着色層に照射される可視光が、単色の着色層のみに照射され、かつ、その照射面積が上記可視光が照射される着色層が形成された開口部の面積よりも大きいことを特徴とするものである。ここで、上記「着色層に照射される可視光の面積」とは、上記カラーフィルターに照射される可視光の照射面積と同意である。また、上記「可視光が照射される着色層が形成された開口部の面積」とは、上記カラーフィルターが有する開口部のうち、上記可視光が照射された範囲内に存在する着色層が形成された開口部の面積を意味するものである。したがって、例えば、上記可視光が照射された範囲内に着色層が形成された開口部が複数存在する場合は、すべての開口部の面積の和を意味するものである。（以下、上記「着色層に照射される可視光の面積」を単に「照射面積」と称する場合がある。また、上記「可視光が照射される着色層が形成された開口部の面積」を単に「被照射開口部面積」と称する場合がある。）
また、上記「単色の着色層のみ」とは、本工程により可視光が照射される着色層はすべて同一色のものであり、例えば、隣接する複数色の着色層に可視光が照射されることが無いことを意味するものである。
【００２８】
本工程における上記照射面積は、上記被照射開口部面積よりも大きければ特に限定されるものではない。なかでも本工程においては、上記被照射開口部面積を１００とした場合に、上記照射面積が１０１〜１４０の範囲内であることが好ましく、特に１０３〜１３０の範囲内であることが好ましく、さらには１０５〜１２０の範囲内であることが好ましい。
【００２９】
本工程において可視光が照射される着色層の数としては、本発明によって所望の強度を有する分光スペクトルを測定できる範囲であれば特に限定されるものではない。なかでも本工程においては、１〜１０の範囲内であることが好ましく、特に１〜５の範囲内であることが好ましく、なかでも１〜３の範囲内であることが好ましい。
【００３０】
本工程において複数の着色層に可視光を照射する場合、その照射態様としては単色の着色層が形成された所望の数の開口部に可視光を照射できる態様であれば特に限定されるものではない。このような態様としては、例えば、互いに隣接する複数の同一色の着色層に照射する態様であってもよく、または、互いに隔離された複数の同一色の着色層に照射する態様であってもよく、さらには、上記互いに隣接する複数の着色層に照射する態様と上記互いに隔離された複数の着色層に照射する態様とを組み合わせた態様であってもよい。
【００３１】
本工程において上記着色層に照射される可視光は、色特性の評価対象となるカラーフィルターが備える開口部の形状に応じて照射面積を変化させることが必要となるが、上記照射面積を変化させる方法としては、上記被照射開口部面積に対する上記照射面積の比率を所望の範囲内とすることができる方法であれば特に限定されるものではない。なかでも本工程においては、所望の形状、かつ、所望の面積の貫通孔を有するスリットを用い、上記スリットに可視光を通過させる方法が好適に用いられる。このような方法によれば上記貫通孔の形状または面積を変更することにより、上記照射面積を容易に変化させることができるからである。
【００３２】
本工程に用いられるスリットとしては、上記貫通孔の形状および面積が可変であるものが好ましい。一般的に液晶表示装置等に用いられるカラーフィルターは、使用されるディスプレイ規格や画面サイズによって上記開口部の大きさが異なる種類のものが多数存在するが、上記スリットとして上記貫通孔の形状および面積が可変であるものを用いることにより、開口部の大きさ等が異なる複数種のカラーフィルターの評価に対応することが可能になるからである。
【００３３】
上記貫通孔の形状および面積が可変であるスリットしては、本発明により色特性を評価するカラーフィルターの開口部の形状および面積等に応じて上記貫通孔の形状を任意に変化させることができるものであれば特に限定されない。このようなスリットとしては、例えば、上記貫通孔の形状が四角形である場合は、２組の対向する２辺のうち少なくとも１組の２辺の長さが可変であるものや、４辺すべての長さが可変であるもの等を例示することができる。
【００３４】
本工程に用いられる光源としては、本発明により分光スペクトルを測定する着色層の最大吸収波長の可視光を照射することができるものであれば特に限定されるものではない。このような光源としては、例えば、白熱電球、蛍光ランプ、ハロゲンランプ、ＬＥＤ、有機ＥＬ、無機ＥＬ、メタルハライドランプ、および、水銀ランプ等を用いることができる。
【００３５】
また、本工程において上記着色層に可視光を照射する際には、レンズを通じて照射することが好ましい。レンズを通じて照射することにより、レンズとカラーフィルターとの距離を調整して上記照射面積を任意に変更することが可能になるため、上記被照射開口部面積に対する上記照射面積の比率を所望の範囲内とすることが容易になるからである。
【００３６】
さらに本工程においては、上記着色層に照射する可視光が平行光であることが好ましい。これにより、本工程において上記着色層に可視光を照射した際に、可視光がカラーフィルターを構成する基材等において多重反射することを防止することができるため、より正確な色特性を評価することができるからである。また、上記可視光を平行光としない場合は、本発明のカラーフィルターの色特性評価方法によってさらに正確な色特性を評価するために、検出器とカラーフィルターとの間にスリットを設けることが望ましい場合があるが、上記可視光を平行光とすることによりこのようなスリットを設けなくても正確な色特性評価することが可能になる。すなわち、本発明のカラーフィルターの色特性評価方法を用いて評価を行う際に、例えば、後述する図５（ａ）に例示するように、光源３０から入射された可視光が基板１において多重反射すると、評価対象である着色層のみではなく隣接する画素にまで可視光が照射され、隣接する画素を透過した可視光Ｘが検出器２０に入射してしまい、正確な評価が困難となる虞がある。そして、これを防止するためには、後述する図５（ｂ）に例示するように、カラーフィルターと検出器との間にスリットＳを配置することが有効になる。この点、上記可視光を平行光とすることにより、基板における可視光の多重反射を防止することができるため、このようなスリットを設ける必要が無くなるため、上記可視光を平行光とすることにより、本発明のカラーフィルターの色特性評価方法を実施する装置を簡略化することができるという利点がある。
【００３７】
ここで、本工程において上記着色層に照射される可視光を平行光にする方法としては、特に限定されるものではなく、一般的に公知の方法を用いることができる。なかでも本工程においては、上記光源と上記スリットとの間にコリメーターレンズを配置する方法を好適に用いることができる。
このような方法で平行光を照射する方法について図を参照しながら説明する。図３は、本工程において、上記着色層に平行光を照射する場合の一例を示す概略図である。図３に例示するように、本工程において着色層３に平行光を照射する方法としては、光源３０とスリットＳとの間にコリメーターレンズＬ３を配置する方法が用いられることが好ましい。
【００３８】
本工程において、上記着色層に照射させる光源を平行光にする場合、上記光源としてはより強度の可視光を照射できるものが用いられることが好ましい。特に光源から照射された可視光を集光するレンズを用いない場合は、上記着色層に照射される可視光の強度が低くなり、評価精度が低下する虞があるため特に強度の高い可視光を照射できる光源が用いられることが好ましい。このような光源として好適なものの例としては、例えばメタルハライドランプを挙げることができる。
【００３９】
なお、本工程において上記着色層に可視光を照射する際に、当該可視光が照射される面としては、評価対象となるカラーフィルターの基材側であってもよく、または、着色層が形成された側であってもよい。
【００４０】
２．可視光受光工程
次に、本発明における可視光受光工程について説明する。本工程は、上記可視光照射工程によって、上記カラーフィルターの着色層に照射され、上記着色層を透過した可視光を検出器で受光する工程である。
【００４１】
本工程に用いられる検出器は、上記着色層の最大吸収波長の可視光を受光し、その強度を測定できるものであれば特に限定されるものではない。なかでも本工程においては、上記着色層を透過した可視光を受光する受光部の形状が四角形である検出器を用いることが好ましい。その理由は次の通りである。すなわち、本発明によって色特性が評価されるカラーフィルターは、通常、上記開口部の形状が四角形であることから、上記着色層を透過した可視光は、四角形の照射形状を有した状態で検出器によって受光されることになる。この際、例えば、図４（ａ）に示すように、本工程に用いられる検出器２０の上記受光部２１の形状が円形であると、上記受光部２１内に上記可視光Ｌを受光しない部位ができてしまうことから検出器の実質的な感度が低下してしまい、本発明のカラーフィルターの色特性評価方法を用いて色特性を評価するのに時間がかかってしまう懸念がある。
しかしながら、例えば、図４（ｂ）に例示するように、上記受光部２１の形状が四角形であることにより、上記受光部２１内の上記可視光Ｌを受光しない部位を少なくすることができるため、上記検出器の実質的な感度を向上させることができ、これにより本発明のカラーフィルターの色特性評価方法を用いて短時間で色特性を評価することができるようになるからである。
【００４２】
さらに、上記可視光照射工程において上記スリットが用いられる場合は、本工程に用いられる検出器は、上記受光部の形状が、上記スリットが備える貫通孔の形状の相似形であるものが好ましい。本工程において検出器で受光する可視光の形状は、通常、上記スリットの貫通孔の形状に相似したものになるため、上記検出器として上記受光部の形状が、上記スリットが備える貫通孔の形状の相似形であるものを用いることにより、上記受光部内の上記可視光を受光しない部位をさらに少なくすることができるからである。
【００４３】
また、本工程において検出器で可視光を受光する際には、レンズを通じて受光することが好ましい。レンズを通じて受光することにより、レンズと検出器との距離を調整することにより上記検出器の受光部に受光される可視光の面積を任意に変更することが可能となることから、上記受光部内の上記可視光を受光しない部位を少なくすることが容易になるからである。
【００４４】
また本工程においては、カラーフィルターと、上記検出器との間にスリットを配置することが好ましい。これにより、本発明によってさらに高精度で色特性を評価することが可能になるからである。
ここで、上記スリットを用いることによりさらに高精度で色特性を評価することが可能になる理由は次の通りであると考えられる。すなわち、本発明のカラーフィルターの色特性評価方法を用いて評価を行う際に、例えば、図５（ａ）に例示するように、光源３０から入射された可視光が基板１において多重反射すると、評価対象である着色層のみではなく、隣接する画素にまで可視光が照射されてしまう場合がある。このようなことが生じると、評価対象である着色層を透過した可視光のみならず、隣接する画素を透過した可視光Ｘが検出器２０に入射してしまうため、正確な評価が困難となってしまうという問題点がある。
しかしながら、図５（ｂ）に例示するように、カラーフィルターと検出器との間にスリットＳを配置することにより、仮に、上記多重反射が生じたとしても、評価対象の着色層に隣接する画素を透過した可視光Ｘが、検出器２０に入射することを防止できるため、高精度で色特性を評価することができるのである。
【００４５】
本工程において上記スリットが配置される位置としては、カラーフィルターが備える着色層と検出器との間であれば特に限定されるものではないが、本工程において上記レンズを用いる場合には、通常、上記レンズと上記着色層との間に配置される。
【００４６】
本工程に用いられるスリットが備える貫通孔の大きさは、上記多重反射に伴う測定精度の低下を防止できる範囲内であれば特に限定されるものではない。なかでも本工程においては、可視光が照射される着色層が形成された開口部を囲う遮光部の幅をＭ、上記遮光部と上記スリットが備える貫通孔とが重なり合う幅をＮとした場合に、Ｎ／Ｍで表される比が０．０２〜１の範囲内であることが好ましく、なかでも０．０２５〜０．５の範囲内であることが好ましく、特に０．０３〜０．３の範囲内であることが好ましい。上記Ｎ／Ｍが上記範囲内であることにより、上記多重反射に伴って隣接する画素を透過した可視光を上記スリットにより効果的に遮蔽することができるからである。
【００４７】
ここで、上記ＭおよびＮについて図を参照しながら具体的に説明する。図６は、上記ＭおよびＮについて説明する概略図である。図６に例示するように、上記Ｍは、本発明において分光スペクトルの測定対象となる着色層３’が形成された開口部を囲う遮光部の幅である。また、上記Ｎは、本工程おいて用いられるスリットの貫通孔と、上記着色層３’が形成された開口部を囲う遮光部とが重なり合う幅である。
ここで、図６におけるＣは本工程に用いられるスリットの貫通孔の大きさを表すものである。
【００４８】
なお、本工程に用いられるスリットが備える貫通孔の大きさは、当該貫通孔のすべての辺において上記Ｎ／Ｍで表される比が上記範囲内であるような大きさであることが好ましい。
【００４９】
また、本工程に用いられるスリットが備える貫通孔の大きさは、当該貫通孔のすべての辺において、上記Ｎが０．５μｍ〜１５μｍの範囲内、より好ましくは１μｍ〜１０μｍの範囲内、さらに好ましくは３μｍ〜７μｍの範囲内となるような大きさであることが好ましい。上記貫通孔の大きさがこのような範囲内であることにより、本工程において上記スリットを用いる場合に、スリットを配置する位置合わせが容易になるからである。
【００５０】
本工程に用いられるスリットとしては、上記貫通孔の形状および面積が可変であるものが好ましい。一般的に液晶表示装置等に用いられるカラーフィルターは、使用されるディスプレイ規格や画面サイズによって上記開口部の大きさが異なる種類のものが多数存在するが、上記スリットとして上記貫通孔の形状および面積が可変であるものを用いることにより、開口部の大きさ等が異なる複数種のカラーフィルターの評価に対応することが可能になるからである。
【００５１】
上記貫通孔の形状および面積が可変であるスリットしては、本発明により色特性を評価するカラーフィルターの開口部の形状および面積等に応じて上記貫通孔のサイズを、上記貫通孔の形状を任意に変化させることができるものであれば特に限定されない。このようなスリットとしては、例えば、上記貫通孔の形状が四角形である場合は、２組の対向する２辺のうち少なくとも１組の２辺の長さが可変であるものや、４辺すべての長さが可変であるもの等を例示することができる。
【００５２】
なお、上述した可視光照射工程において着色層に平行光を照射する場合は、上述した多重反射が生じることがないため、当該多重反射を防止することを目的として上記スリットを用いる必要は無くなる。
【００５３】
３．カラーフィルター配置工程
次に、本発明におけるカラーフィルター配置工程について説明する。本工程は、本発明によって色特性を評価するカラーフィルターを所定の位置に配置する工程である。
【００５４】
本工程に用いられるカラーフィルターは、基材と、上記基材上に形成され、複数の開口部を有する遮光部と、上記開口部内に形成された複数色の着色層とを有するものであり、本発明により上記着色層の分光スペクトルが評価されるものである。
【００５５】
このような本工程に用いられるカラーフィルターについて図を参照しながら説明する。図７は、本工程に用いられるカラーフィルターの一例を示す概略図である。図７に例示するように、本工程に用いられるカラーフィルター１０は、基材１と、上記基材１上に形成され、複数の開口部を有する遮光部２と、上記開口部内に形成された複数色の着色層３とを有するものである。
【００５６】
本工程に用いられるからフィルターは上記構成を有するものであれば特に限定されるものではなく、一般的に公知のカラーフィルターを用いることができる。
【００５７】
本工程において、カラーフィルターを配置する方法としては、上記可視光照射工程において、本発明により分光スペクトルを測定する着色層に、可視光を照射できる位置に配置できる方法であれば特に限定されるものではない。
【００５８】
Ｂ．カラーフィルターの製造方法
次に、本発明の製造方法について説明する。本発明の製造方法は、その構成により２つの態様に分けることができる。したがって、以下、各態様に分けて本発明のカラーフィルターの製造方法について説明する。
【００５９】
Ｂ−１：第１態様のカラーフィルターの製造方法
まず、本発明の第１態様のカラーフィルターの製造方法について説明する。本態様のカラーフィルターの製造方法は、基材と、上記基材上に形成され、複数の開口部を備える遮光部とを有するカラーフィルター用基板を用い、インクジェット法により着色層形成用塗工液を塗布することによって上記開口部内に着色層を形成する着色層形成工程と、上記着色層形成工程により形成された着色層の色特性を検査する色特性検査工程と、上記色特性検査工程における色特性の検査結果に応じて、上記着色層形成工程における着色層形成用塗工液の塗布条件を調整する着色層形成条件調整工程と、を有するものであって、上記色特性検査工程が、上記「Ａ．カラーフィルターの色特性評価方法」の項に記載した方法により、上記着色層の色特性を検査するものであることを特徴とするものである。
【００６０】
本態様のカラーフィルターの製造方法によれば、上記色特性検査工程が、上記本発明のカラーフィルターの色特性評価方法を用いて上記着色層の色特性を検査するものであることにより、画素内で膜厚分布を有する着色層に対しても正確な分光スペクトルを評価することが可能であるため、インクジェット法により色ムラの少ないカラーフィルターを製造することができる。
【００６１】
本態様のカラーフィルターの製造方法は、上記着色層形成工程と、上記色特性検査工程と、上記着色層形成条件調整工程と、を有するものである。以下、これらの各工程について詳細に説明する。
【００６２】
１．色特性検査工程
まず、本態様に用いられる色特性検査工程について説明する。本工程は後述する着色層形成工程において形成される着色層の色特性を検査する工程であり、上記「Ａ．カラーフィルターの色特性評価方法」の項に記載した方法により、上記着色層の色特性を検査することを特徴とするものである。本態様のカラーフィルターの製造方法は、本工程が、上記「Ａ．カラーフィルターの色特性評価方法」の項に記載した方法により、上記着色層の色特性を検査するものであることにより、色ムラの少ないカラーフィルターを製造することができるのである。
なお、本工程における具体的な色特性評価方法としては、上記「Ａ．カラーフィルターの色特性評価方法」の項に記載した方法と同様であるため、ここでの説明は省略する。
【００６３】
２．着色層形成工程
次に、本態様に用いられる着色層形成工程について説明する。本工程は、基材と、上記基材上に形成され、複数の開口部を備える遮光部とを有するカラーフィルター用基板を用い、インクジェット法により着色層形成用塗工液を塗布することによって上記開口部内に着色層を形成する工程である。本態様においては、上記色特性検査工程における検査結果が、後述する着色層形成条件調整工程を通じて本工程にフィードバックされるため、本工程において色ムラの少ない着色層を形成することができる。
以下、このような着色層形成工程について詳細に説明する。
【００６４】
（１）インクジェットヘッド
まず、本工程に用いられるインクジェットヘッドについて説明する。本工程に用いられるインクジェットヘッドは、後述する着色層形成用塗工液を吐出するための複数のノズルを有するものである。
【００６５】
本工程に用いられるインクジェットヘッドとしては、本態様により製造されるカラーフィルターの面積や画素数等に応じて、所望のノズル数を有するものであれば特に限定されず、一般的にインクジェット法に用いられるインクジェットヘッドを用いることができる。
【００６６】
なお、本工程に用いられるインクジェットヘッドのノズル数は、本態様により製造されるカラーフィルターの面積や、本工程において用いられるカラーフィルター用基板に形成された遮光部が備える開口部のピッチ等に応じて適宜決定すればよい。
【００６７】
また、上記インクジェットヘッドが備えるノズルのピッチについても、本態様により製造されるカラーフィルターの面積や、本工程において用いられるカラーフィルター用基板に形成された遮光部が備える開口部のピッチ等に応じて適宜決定すればよい。また、上記ノズルのピッチは、上記開口部のピッチと同一であってもよく、または、異なっていてもよいが、
上記ノズルのピッチが上記開口部のピッチと異なる場合においては、上記ノズルのピッチが、上記開口部のピッチの整数倍または整数分の１倍に相当するピッチであることが好ましい。このようなピッチであれば、例えば、着色層形成用塗工液を吐出させるノズルを適宜選択したり、上記インクジェットヘッドの移動距離を制御することにより、着色層形成用塗工液が吐出されるピッチを、上記開口部のピッチと同一にすることが容易だからである。
なお、上記ノズルのピッチが上記開口部のピッチと異なる場合において、上記ノズルのピッチが、上記開口部のピッチの整数倍または整数分の１倍に相当するピッチでない場合は、例えば、上記ノズルのピッチが上記開口部のピッチと同一、整数倍、または、整数分の１倍となるように上記インクジェットヘッドを回転させて用いればよい。
【００６８】
また、上記ノズルの配置態様としては、隣り合うノズルの間隔が常に一定となるような配置態様であれば特に限定されるものではなく、例えば、すべてのノズルが一直線上に配置された態様であってもよく、または、千鳥状に配置された態様であってもよい。
【００６９】
また、上記ノズルの径としては、上記開口部の短辺長さやノズルから吐出される着色層形成用塗工液の吐出量等に応じて、上記ノズルから吐出される着色層形成用塗工液の液滴の径を、上記開口部の短辺長さよりも小さくできる範囲内であれば特に限定されるものではなく、本工程に用いるカラーフィルター用基板の種類等に応じて適宜調整すればよい。
【００７０】
本工程に用いられるインクジェットヘッドが着色層形成用塗工液を吐出する吐出方式としては、所定量の着色層形成用塗工液を吐出できる方式であれば特に限定されるものではない。このような吐出方式としては、例えば、帯電した着色層形成用塗工液を連続的に吐出し磁場によって吐出量を制御する方式、圧電素子を用いて間欠的に着色層形成用塗工液を吐出する方式、着色層形成用塗工液を加熱しその発泡現象を利用して間欠的に吐出する方式等を挙げることができる。なかでも本工程においては、上記吐出方式として圧電素子を用いて間欠的に着色層形成用塗工液を吐出する方式を用いることが好ましい。このような吐出方式は微量な吐出量を比較的精度よく制御することができるからである。
【００７１】
なお、本工程に用いられる着色層形成用塗工液としては、一般的にインクジェット法により着色層を形成する際に用いられるものと同様とすることができるので、ここでの詳しい説明は省略する。
【００７２】
（２）カラーフィルター用基板
次に、本態様に用いられるカラーフィルター用基板について説明する。本態様に用いられるカラーフィルター用基板は基材と、上記基材上に複数の開口部を備える遮光部とを有するものである。
【００７３】
ａ．遮光部
まず、上記遮光部について説明する。上記遮光部は後述する基材上に形成され、開口部を有するものである。
【００７４】
本工程に用いられる遮光部としては、通常、同一の形状を有する開口部が等間隔で規則的に形成されたものが用いられる。ここで、上記開口部の具体的な大きさや配置態様は特に限定されるものではなく、本態様により製造されるカラーフィルターの用途等に応じて任意に決定することができる。
【００７５】
このような上記遮光部としては、所望の遮光性を有する材料からなるものであれば特に限定されるものではないが、通常、遮光材料および樹脂から構成されるもの、または、金属材料からなるものが用いられる。
【００７６】
上記遮光部が遮光材料および樹脂から構成されるものである場合、上記遮光材料としては、一般的なカラーフィルターの樹脂製遮光部に用いられる材料を用いることができる。このような遮光材料としては、例えば、カーボン微粒子、金属酸化物、無機顔料、有機顔料等の遮光性粒子等を挙げることができる。
【００７７】
また、上記樹脂としては、例えば、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−塩化ビニル共重合体、エチレン−ビニル共重合体、ポリスチレン、アクリロニトリル−スチレン共重合体、ＡＢＳ樹脂、ポリメタクリル酸樹脂、エチレン−メタクリル酸樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、塩素化塩化ビニル、ポリビニルアルコール、セルロースアセテートプロピオネート、セルロースアセテートブチレート、ナイロン６、ナイロン６６、ナイロン１２、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリビニルアセタール、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンサルファイド、ポリアリレート、ポリビニルブチラール、エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリアミック酸樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、フェノール樹脂、ユリア樹脂等を用いることができる。
【００７８】
一方、上記遮光部が金属材料からなるものである場合、上記金属材料としては、所望の遮光性を有する金属であれば特に限定されないが、一般的にはクロム材料が用いられる。
【００７９】
上記遮光部を形成する方法としては、上記開口部が所望の態様で配置された遮光部を形成できる方法であれば特に限定されるものではない。このような方法としては、例えば、クロム等の金属を用いたスパッタ法により形成する方法、遮光性粒子を含有させた樹脂組成物を用いたフォトリソグラフィー法、および、上記樹脂組成物を用いた熱転写法等を挙げることができる。このような遮光部を形成する具体的な方法としては、一般的にカラーフィルターに用いられる遮光部を形成する方法と同様であるため、ここでの詳しい説明は省略する。
【００８０】
ｂ．基材
上記基材としては、上記遮光部および着色層を形成できるものであれば特に限定されるものではなく、従来よりカラーフィルターに用いられているものを用いることができる。このような基材としては、例えば、石英ガラス、パイレックス（登録商標）ガラス、合成石英板等の可撓性のない透明な無機基材、および、透明樹脂フィルム、光学用樹脂板等の可撓性を有する透明な樹脂基材等を挙げることができる。なかでも本工程において無機基材を用いることが好ましく、無機材料のなかでもガラス基材を用いることが好ましい。さらには、上記ガラス基材のなかでも無アルカリタイプのガラス基材を用いることが好ましい。上記無アルカリタイプのガラス基材は寸度安定性および高温加熱処理における作業性に優れ、かつ、ガラス中にアルカリ成分を含まないことから、アクティブマトリックス方式によるカラー液晶表示装置用のカラーフィルターに好適に用いることができるからである。
【００８１】
上記基材は、透明な基材であってもよく、または、反射性の基材や白色に着色したものであってもよいが、本工程においては通常透明なものが用いられる。
【００８２】
また、上記基材は、必要に応じてアルカリ溶出防止やガスバリア性付与その他の目的の表面処理を施されたものであってもよい。このような表面処理としては例えば表面を親液性とするために、酸素ガスを導入ガスとしたプラズマ照射を挙げることができる。
【００８３】
ｃ．その他
本工程に用いられるカラーフィルター用基板は、上記遮光部の撥液性が、上記基材表面の撥液性よりも高いものであることが好ましい。このような遮光部の撥液性が高いカラーフィルター用基板を用いることにより、本工程において上記遮光部の開口部内に塗布される着色層形成用塗工液が、上記遮光部を超えて他の開口部へ濡れ拡がることを防止できるため、本態様によって製造されるカラーフィルターの着色層に混色が生じることを防止できるからである。
ここで、上記「撥液性」とは、本工程に用いられる着色層形成用塗工液に対する親液性を意味するものである。
【００８４】
上記遮光部の撥液性の程度としては、相対的に上記基材表面よりも撥液性が高ければ特に限定されるものではない。なかでも本工程おいては上記撥液性が４０ｍＮ／ｍの液体との接触角が、１０°以上となる程度であることが好ましく、特に表面張力３０ｍＮ／ｍの液体との接触角が１０°以上となる程度であることが好ましく、さらには表面張力２０ｍＮ／ｍの液体との接触角が１０°以上となる程度であることが好ましい。また、純水との接触角が１１°以上となる程度であることが好ましい。
【００８５】
一方、上記基材表面の親液性としては、上記遮光部の親液性よりも低くければ特に限定されるものではない。なかでも本工程において上記親液性が４０ｍＮ／ｍの液体との接触角が９°未満となる程度であることが好ましく、特に表面張力５０ｍＮ／ｍの液体との接触角が１０°以下となる程度であることが好ましく、さらには表面張力６０ｍＮ／ｍの液体との接触角が１０°以下となる程度であることが好ましい。
【００８６】
このような基材表面よりも遮光部の撥液性が高いカラーフィルター用基板を製造する方法としては、例えば、上記遮光部を構成する材料として、上記基材表面よりも撥液性の高い材料を用い、上述した方法により遮光部を形成する方法や、上述した方法によって基材上に遮光部を形成した後、事後的に上記遮光部の撥液性を上記基材の撥液性よりも高いものとする方法等を挙げることができる。なかでも本工程においては、上記基材として無機材料からなる基材を用い、かつ、上記遮光部として樹脂および遮光性材料から構成されるものを用い、上述した方法によって基材上に遮光部を形成した後、上記遮光部にフッ素化合物を導入ガスとしたプラズマ照射を行う方法を用いることが好ましい。このような方法によれば、樹脂を含有する上記遮光部のみに選択的にフッ素を導入することができるため、上記基材表面よりも撥液性の高い遮光部を有するカラーフィルター用基板を容易に形成することができるからである。ここで、上記遮光部にフッ素含有化合物の存在下でプラズマ照射する方法については、後述する「４．その他の工程」において詳述するため、ここでの説明は省略する。
【００８７】
３．着色層形成条件調整工程
次に、本態様に用いられる着色層形成条件調整工程について説明する。本工程は、上記色特性検査工程における色特性の検査結果に応じて、上記着色層形成工程における着色層形成用塗工液の塗布条件を調整する工程である。
【００８８】
本工程において、上記色特性検査工程における色特性の検査結果に応じて、上記着色層形成工程における着色層形成用塗工液の塗布条件を調整する方法としては、上記着色層形成工程により形成される着色層の色特性を所望の範囲内にすることができる方法であれば特に限定されるものではない。このような調整方法としては、例えば、上記色特性検査工程において測定される着色層の分光スペクトル強度に応じて、着色層形成工程においてインクジェットヘッドの吐出ノズルから吐出される着色層形成用塗工液の吐出量を変化させる方法、上記着色層形成用塗工液の固形分濃度を変化させる方法、または、上記着色層形成工程において、各開口部に吐出される着色層形成用塗工液の液滴の数を変化させる方法等を例示することができる。
【００８９】
４．その他の工程
本態様のカラーフィルターの製造方法は、上記着色層形成工程、色特性評価工程、および、着色層形成条件調整工程以外に他の工程を有するものであってもよい。このような他の工程としては、一般的にカラーフィルターの製造に用いられる工程を用いることができるが、なかでも本態様に好適に用いられる他の工程としては、上記着色層形成工程前に上記カラーフィルター用基板の遮光部を撥液化する撥液化処理工程、および、上記着色層形成工程前に、上記カラーフィルター用基板の上記遮光部が形成された面にプラズマを照射するプラズマ前処理工程を挙げることができる。
【００９０】
（１)撥液化処理工程
まず、上記撥液化処理工程について説明する。上述したように本工程は、上記着色層形成工程前に上記カラーフィルター用基板の遮光部の上記着色層形成用塗工液に対する撥液性を高める工程である。このような撥液化処理工程を用いることにより、上記着色層形成工程において上記遮光部の開口部内に滴下される着色層形成用塗工液が、上記遮光部を超えて他の開口部へ濡れ拡がることを防止できるため、本態様によって製造されるカラーフィルターの着色層に混色が生じることを防止できる。
なお、上記撥液性とは、上記着色層形成用塗工液に対する撥液性を意味するものである。
【００９１】
本態様に用いられる撥液化処理工程において上記遮光部を撥液化する方法としては、上記遮光部の撥液性を相対的に上記カラーフィルター用基板に用いられる基材表面の撥液性よりも高くできる方法であれば特に限定されるものではない。なかでも本態様においては、上記遮光部を構成する材料として樹脂材料を用い、かつ、上記基材を構成する材料として無機材料が用いられたカラーフィルター用基板を用い、上記遮光部にフッ素化合物を導入ガスとしたプラズマを照射する方法を用いることが好ましい。このような方法は有機物にのみ上記フッ素化合物を導入することができるため、上記遮光部のみに選択的にフッ素を導入できる結果、上記遮光部の撥液性を上記基材表面のそれよりも容易に高くすることができるからである。
【００９２】
ここで、上記プラズマ照射を行った際の、上記遮光部におけるフッ素の存在は、Ｘ線光電子分光分析装置（ＸＰＳ：ＥＳＣＡＬＡＢ  ２２０ｉ−ＸＬ）による分析において、遮光部の表面より検出される全元素中のフッ素元素の割合を測定することにより確認することができる。
【００９３】
上記導入ガスに用いられるフッ素化合物としては、例えば、ＣＦ４、ＳＦ６、ＣＨＦ３、Ｃ２Ｆ６、Ｃ３Ｈ８、Ｃ５Ｆ８等を挙げることができる。
【００９４】
また、上記導入は、上記フッ素ガスと他のガスとが混合されたものであってもよい。他のガスとしては、例えば、窒素、酸素、アルゴン、ヘリウム等を上げることができるが、なかでも窒素を用いることが好ましい。さらに上記他のガスとして窒素を用いる場合、窒素の混合比率は６０％以上であることが好ましい。
【００９５】
また、上記プラズマ照射を行う方法としては、上記遮光部を撥液化することが可能な方法であれば特に限定されるものではなく、例えば、減圧下でプラズマ照射する方法であってもよく、または、大気圧下でプラズマ照射する方法であってもよい。なかでも、本態様においては特に大気圧下でプラズマ照射を行う方法が好ましい。
【００９６】
（２)プラズマ前処理工程
次に、上記プラズマ前処理工程について説明する。上述したように本工程は、上記着色層形成工程前に上記カラーフィルター用基板の上記遮光部が形成された面にプラズマを照射する工程である。このようなプラズマ前処理工程を有することにより、上記着色層形成工程前に上記画素表面に存在する残渣をドライエッチングにより除去することができるため、本態様によって上記残渣に起因する表示欠陥が少ないカラーフィルターを製造することができる。
【００９７】
本工程において上記カラーフィルター用基板の上記遮光部が形成された面にプラズマを照射する方法としては、上記遮光部の開口部内に存在する残渣をドライエッチングにより除去できる方法であれば特に限定されるものではなく、一般的に有機物をドライエッチングにより除去するために用いられるプラズマ照射方法を用いることができる。なかでも本工程においては、上記プラズマ照射方法として、酸素と、窒素、ヘリウム、または、アルゴンからなる群から選択される少なくとも１種のガスとの存在下においてプラズマを照射する方法を用いることが好ましい。
【００９８】
（３)その他
上記撥液化処理工程および上記プラズマ前処理工程以外に、本態様に用いることができる他の工程としては、例えば、上記着色層形成工程により形成される着色層上にオーバーコート層を形成するオーバーコート層形成工程、上記着色層上にＩＴＯ、ＩＺＯ等の透明電極を形成する透明電極形成工程、対向基板とのセルギャップを均一にするためのスペーサー材を所定の位置に形成するスペーサー形成工程、および、液晶の配向を制御するための構造物を形成する配向制御構造物形成工程等を挙げることができる。
【００９９】
Ｂ−２：第２態様のカラーフィルターの製造方法
次に、本発明の第２態様のカラーフィルターの製造方法について説明する。本態様のカラーフィルターの製造方法は、検査用着色層を形成するための着色層形成用領域を有する検査用基板を形成する検査用基板形成工程と、上記検査用基板の上記着色層形成用領域上に、インクジェット法により着色層形成用塗工液を塗布することによって検査用着色層を形成する検査用着色層形成工程と、上記検査用着色層の色特性を検査する検査工程と、
上記検査工程により得られた検査データを利用して、上記着色層形成用塗工液の塗布条件を調整する調整工程と、を有する製造条件決定工程、および、基材と、上記基材上に形成され、複数の開口部を備える遮光部とを有するカラーフィルター用基板を用い、上記製造条件決定工程により決定された塗布条件に基いて、インクジェット法により上記開口部内に着色層形成用塗工液を塗布することによって着色層を形成する着色層形成工程と、を有するものであって、上記検査工程が、上記「Ａ．カラーフィルターの色特性評価方法」の項に記載したカラーフィルターの色特性評価方法を用いて、上記検査用着色層の色特性を検査するものであることを特徴とするものである。
【０１００】
本態様によれば、上記検査工程が、上記本発明のカラーフィルターの色特性評価方法を用いて、上記検査用着色層の色特性を検査するものであることにより、上記製造条件決定工程において、上記着色層形成工程で色ムラの少ない着色層を形成できる塗布条件を精度よく決定できる。このため、本発明によれば色ムラの少ないカラーフィルターを製造することができる。
【０１０１】
本態様のカラーフィルターの製造方法は、上記製造条件決定工程と、上記着色層形成工程とを有するものである。以下、これらの各工程について詳細に説明する。
【０１０２】
１．製造条件決定工程
まず、本態様に用いられる製造条件決定工程について説明する。本工程は、着色層を形成するための着色層形成用領域を有する検査用基板を形成する検査用基板形成工程と、上記検査用基板の上記着色層形成用領域上に、インクジェット法により着色層形成用塗工液を塗布することによって検査用着色層を形成する検査用着色層形成工程と、上記検査用着色層形成工程の色特性を検査する検査工程と、上記検査工程による検査データを利用して、上記着色層形成用塗工液の塗布条件を調整する調整工程とを有するものであり、後述する着色層形成工程における着色層形成用塗工液の塗布条件を決定する工程である。
本態様のカラーフィルターの製造方法は、本工程における上記検査工程が、上記「Ａ．カラーフィルターの色特性評価方法」の項に記載した方法により、上記検査用着色層の色特性を検査するものであることにより、色ムラの少ないカラーフィルターを製造することができるのである。
以下、このような製造条件決定工程について詳細に説明する。
【０１０３】
（１）検査用基板形成工程
まず、本工程における検査用基板形成工程について説明する。本発明における検査用基板形成工程は、検査用着色層を形成するための着色層形成用領域を有する検査用基板を形成する工程である。
【０１０４】
本工程において形成される検査用基板は、１種類である必要はない。すなわち、本工程は、適宜着色層形成用領域のパターンを変更して検査用基板を形成する工程であってもよい。
【０１０５】
上記着色層形成用領域のパターンとしては、後述する検査工程において着色層形成用塗工液のムラを検査可能なパターンであればよく、本態様により製造するカラーフィルターの着色層パターンの形状等に合わせて適宜選択される。例えば、実際に製造するカラーフィルターの着色層パターンと同じパターンであってもよく、または、円形状や矩形状等、検査工程において検査しやすいテストパターン等であってもよい。
【０１０６】
また、上記着色層形成用領域としては、後述する着色層形成用塗工液を塗布することにより検査用着色層を形成可能な領域であればよく、通常、実際にカラーフィルターを製造する際に、基板上に設けられる着色層形成用領域と同一の性状や形状を有するものとされる。このような着色層形成用領域を有する検査用基板としては、例えば着色層形成用領域の周囲に、着色層形成用塗工液を留めるための土手がパターン状に形成されたものや、上記着色層形成用領域が親液性領域であり、かつそれ以外の領域が撥液性領域とされているもの等とすることができる。
【０１０７】
ここで、本工程においては、上記着色層形成用領域が親液性領域であり、それ以外の領域が撥液性領域である検査用基板を形成することが好ましい。このような検査用基板を形成することにより、検査用着色層形成工程において着色層形成用塗工液が塗布された際に、撥液性領域には着色層形成用塗工液が付着せず、親液性である着色層形成用領域のみに高精細に着色層形成用塗工液を付着させることが可能となるからである。また実際にカラーフィルターを製造する際にも、この手法が用いられることが、製造効率や、高精細な着色層を形成可能である等の面から好ましいからである。
なお、本工程でいう撥液性領域とは、隣接する領域より、液体との接触角が１°以上高い領域をいうこととする。本工程においては特に、上記撥液性領域の表面張力４０ｍＮ／ｍの液体との接触角が、５０°以上、中でも７０°以上であることが好ましい。また撥液性領域の純水との接触角は９０°以上、中でも１００°以上であることが好ましい。一方、上記親液性領域の表面張力４０ｍＮ／ｍの液体との接触角は、９°以下、特に表面張力６０ｍＮ／ｍの液体との接触角が１０°以下とされることが好ましい。また、純水との接触角は２０°以下、中でも１０°以下とされることが好ましい。これにより、上記親液性領域のみに、高精細に着色層形成用塗工液を塗布することが可能となるからである。なお、上記液体との接触角は、上記表面張力を有する液体との接触角を接触角測定器（協和界面科学（株）製ＣＡ−Ｚ型）を用いて測定（マイクロシリンジから液滴を滴下して３０秒後）し、その結果から、もしくはその結果をグラフにして得られるものである。
【０１０８】
本工程において、上記着色層形成用領域が親液性領域であり、それ以外の領域が撥液性領域である検査用基板を形成する方法としては、例えばエネルギー照射に伴う光触媒の作用により濡れ性が変化する濡れ性変化層を基板表面に形成し、この濡れ性変化層の濡れ性をパターン状（着色層形成用領域のパターン状）に変化させる方法等とすることができる。このような濡れ性変化層を利用して、親液性のパターンを形成する方法としては、例えば特開２００２−４０２３０公報や、特開２００３−１０５０２９公報等に記載された方法を用いることができる。
【０１０９】
また、例えば上記着色層形成用領域のみに、親液性を有する材料を用いて層を形成する方法や、上記着色層形成用領域以外の領域のみに、撥液性を有する材料を用いて層を形成する方法等であってもよく、またこれらを組合わせた方法であってもよい。またさらに、着色層形成用領域以外の領域に、有機材料からなる層を形成し、この層に対してフッ素化合物を導入ガスとしてプラズマ照射することにより、着色層形成用領域以外の領域を、撥液性とする方法等であってもよい。なおプラズマ照射を行うことにより、検査用基板を形成する場合、上記着色層形成用領域の表面は、無機材料が露出、または無機材料によって覆われていることが好ましい。これにより、基板全面にプラズマ照射をした場合であっても、上記着色層形成用領域にはフッ素が導入されず、着色層形成用領域以外の領域のみにフッ素が導入されるものとすることができるからである。上記プラズマの照射方法は、例えば特開２０００−１８７１１１号公報に記載されている方法と同様とすることができる。
【０１１０】
（２）検査用着色層形成工程
次に、本工程に用いられる検査用着色層形成工程について説明する。本工程は、上記検査用基板の着色層形成用領域上に、インクジェット法により着色層形成用塗工液を塗布することによって検査用着色層を形成する工程である。
【０１１１】
ここで、本工程が、初めて行われる場合には、本工程は通常の塗布条件により、着色層形成用塗工液を吐出する工程とされる。一方、本工程が、検査用基板形成工程、検査用着色層形成工程、検査工程、および、調整工程等の各工程が行われた後、２順目以降に行われる場合は、後述する調整工程によって調整された塗布条件に基づいて着色層形成用塗工液の吐出が行われることとなる。これにより、先に行われた調整工程における調整によって塗布条件が最適化されたかを検査することができ、また本工程後に行われる調整工程において、さらに微調整を行うことも可能となる。
【０１１２】
なお、本工程において検査用着色層を形成する方法としては、上記「Ｂ−１：第１態様のカラーフィルターの製造方法  ２．着色層形成工程」の項に記載した方法と同様であるため、ここでの説明は省略する。
【０１１３】
また、本工程に用いられる着色層形成用塗工液としては、通常、実際にカラーフィルターを製造する際に用いられる着色層形成用塗工液と同一のものとされるが、例えば必要に応じてテスト用の着色層形成用塗工液等が用いられてもよい。このような着色層形成用塗工液としては、インクジェット法を用いてカラーフィルターを製造する際に一般的に用いられるものと同様とすることができる。
【０１１４】
（３）検査工程
次に、本態様に用いられる検査工程について説明する。本工程は、上記検査用着色層形成工程によって形成された検査用着色層の色特性を、上記「Ａ．カラーフィルターの色特性評価方法」の項に記載した方法により測定する工程である。
ここで、本工程において上記検査用着色層の色特性を評価する方法としては、上記「Ａ．カラーフィルターの色特性評価方法」の項に記載した方法と同様であるため、ここでの説明は省略する。
【０１１５】
（４）調整工程
次に、本態様に用いられる調整工程について説明する。本工程は、上述した検査工程により得られた検査データを利用して、上記検査用着色層形成工程における着色層形成用塗工液の塗布条件を調整する工程である。本工程において上記検査用着色層形成工程における着色層形成用塗工液の塗布条件を調整する方法としては、上記検査用着色層形成工程において色ムラの少ない検査用着色層を形成できる方法であれば特に限定されるものではない。このような方法としては、例えば、上記「Ｂ−１：第１態様のカラーフィルターの製造方法  ３．着色層形成条件調整工程」の項に記載した方法を用いることができる。
【０１１６】
（５）その他
本態様における製造条件決定工程は、上記各工程が１回のみ行われるものであってもよいが、通常、上記各工程を、例えば上記順序で繰り返し行うことにより、着色層形成用塗工液の塗布条件が決定される。なお本態様における製造条件決定工程は、上記各工程以外にも必要に応じた工程を有していてもよい。このような工程としては、例えばプリベイク工程やポストベイク工程等を挙げることができる。また、本態様における製造条件決定工程に用いられる検査用基板は、一種類である必要はなく、例えば円形状や矩形状等、任意のパターン状に形成された着色層形成用領域を有する第１の検査用基板を用いて、着色層形成用塗工液の塗布条件の概略を設定した後、実際に製造するカラーフィルターの着色層パターンと同様の着色層形成用領域を有する第２の検査用基板を用いて、より厳密に着色層形成用塗工液の塗布条件を設定してもよい。また、さらに複数の検査用基板を用いて上記着色層形成用塗工液の塗布条件を設定してもよい。
【０１１７】
２．着色層形成工程
次に、本態様に用いられる着色層形成工程について説明する。本工程は、基材と、上記基材上に形成され、複数の開口部を備える遮光部とを有するカラーフィルター用基板を用い、上記製造条件決定工程により決定された塗布条件に基いて、インクジェット法により上記開口部内に着色層形成用塗工液を塗布することによって着色層を形成する工程である。
本工程においては、上記製造条件決定工程により決定された塗布条件に基いて着色層を形成することにより、色ムラの少ない着色層を形成することができる。
【０１１８】
ここで、本工程に用いられるカラーフィルター用基板、および、本工程において着色層を形成する方法としては、上記「Ｂ−１：第１態様のカラーフィルターの製造方法  ２．着色層形成工程」の項に記載したものと同様であるため、ここでの説明は省略する。
【０１１９】
３．その他の工程
本態様のカラーフィルターの製造方法は、上記製造条件決定工程および上記着色層形成工程以外に他の工程を有するものであってもよい。このような他の工程としては、本発明により製造されるカラーフィルターの用途等に応じて任意に決定することができる。
ここで、本態様に用いられる他の工程としては、上記「Ｂ−１：第１態様のカラーフィルターの製造方法」の項に記載したものと同様であるため、ここでの説明は省略する。
【０１２０】
Ｃ．カラーフィルター用色特性評価装置
次に、本発明のカラーフィルター用色特性評価装置について説明する。本発明のカラーフィルター用色特性評価装置は、カラーフィルターを保持するカラーフィルター保持部と、上記カラーフィルターの着色層に可視光を照射する光源と、貫通孔を有し、上記着色層に照射される可視光の面積を調整するスリットと、上記着色層を透過した可視光を受光する検出器と、を有するものであって、上記検出器の可視光を受光する受光部の形状が、四角形であることを特徴とするものである。
【０１２１】
このような本発明のカラーフィルター用色特性評価装置について図を参照しながら説明する。図８は、本発明のカラーフィルター用色特性評価装置の一例を示す概略図である。図８に例示するように、本発明のカラーフィルター用色特性評価装置５０は、カラーフィルター１０を保持する、カラーフィルター保持部４０と、上記カラーフィルター１０の着色層３に可視光を照射する光源３０と、上記カラーフィルター１０に照射される可視光の面積を調整するスリットＳと、上記着色層３を透過した可視光を受光する検出器２０と、を有するものである。このような例において、本発明のカラーフィルター用色特性評価装置５０は、上記検出器の可視光を受光する受光部の形状が、四角形であることを特徴とするものである。
なお、図８に例示するように、本発明のカラーフィルター用色特性評価装置は、レンズＬ１、Ｌ２が用いられていてもよい。
【０１２２】
本発明によれば、上記検出器の可視光を受光する受光部の形状が四角形であることにより、上記検出器で上記着色層を透過した可視光を効率よく受光することができるため、短時間で簡便にカラーフィルターの色特性を評価することができる。
【０１２３】
本発明によって色特性が評価されるカラーフィルターは、通常、上記開口部の形状が四角形であることから、上記着色層を透過した可視光は、四角形の照射形状を有した状態で検出器によって受光されることになる。この際、例えば、本工程に用いられる検出器の上記受光部の形状が円形であると、上記受光部内に上記可視光を受光しない部位ができる結果、検出器の実質的な感度が低下し、本発明のカラーフィルター用色特性評価装置を用いて色特性を評価するのに時間がかかってしまうという問題点があった。
この点、本発明によれば、上記受光部の形状が四角形であることにより、上記受光部内の上記可視光を受光しない部位を少なくすることができるため、上記検出器の実質的な感度を向上させることができ、これにより本発明のカラーフィルター用色特性評価装置を用いて短時間で簡便に色特性を評価することができるようになるのである。
【０１２４】
本発明のカラーフィルター用色特性評価装置は、上記カラーフィルター保持部と、光源と、スリットと、検出器とを有するものである。以下、これらの各構成について詳細に説明する。
なお、本発明に用いられる上記光源、スリットについては、上記「Ａ．カラーフィルターの色特性評価方法」の項に記載したものと同様であるため、ここでの説明は省略する。
【０１２５】
本発明に用いられる検出器は、カラーフィルターの着色層を透過した可視光を受光する受光部の形状が四角形であることを特徴とするものである。
本発明に用いられる検出器は、受光部の形状が四角形であるものであれば特に限定されるものではなく、本発明に用いられるスリットが有する貫通孔の形状等に応じて、任意の形状の受光部を有する検出器を用いることができる。なかでも本発明に用いられる検出器は、上記受光部の形状が、本発明に用いられるスリットが備える貫通孔の形状の相似形であるものが好ましい。本発明において検出器で受光される可視光の形状は、通常、上記スリットの貫通孔の形状に相似したものになるため、上記受光部の形状が、上記スリットが備える貫通孔の形状の相似形であるものを用いることにより、上記受光部内の上記可視光を受光しない部位をさらに少なくすることができるからである。
【０１２６】
本発明に用いられるカラーフィルター保持部としては、本発明のカラーフィルター用色特性評価装置により、評価されるカラーフィルターを、所定の部位に上記光源から発振される可視光が照射されるように保持できるものであれば特に限定されるものではない。
【０１２７】
また、本発明に用いられるカラーフィルター保持部は、上記カラーフィルターを保持する機能以外に、他の機能を有するものであってもよい。このような他の機能としては、例えば、上記保持されたカラーフィルターに可視光が照射される位置を変化させる位置移動機能等を挙げることができる。
【０１２８】
本発明のカラーフィルター用色特性評価装置には、上記カラーフィルター保持部、光源、スリット、検出器以外に他の構成を有していてもよい。このような他の構成としては、例えば、上記光源から照射される可視光、および、上記カラーフィルターを透過した可視光を集光または拡散する光学レンズや、上記スリットまたは上記検出器を回転させる回転機構を有することが好ましい。
また本発明においては、上記光源と、上記スリットとの間に上記光源から照射される可視光を平行光にするコリメーターレンズが配置されていることが好ましい。これにより上記光源から、上記カラーフィルターに照射される可視光を平行光にすることができるため、上記カラーフィルターに照射された可視光が、上記カラーフィルターを構成する基材等において多重反射することを防止することができる。このため、本発明のカラーフィルター用色特性評価装置を用いて、より正確な色特性を評価することができるからである。また、上記コリメーターレンズを用いない場合は、本発明のカラーフィルターの色特性評価装置を用いてさらに正確な色特性を評価するために、検出器とカラーフィルターとの間にスリットを設けることが望ましい場合があるが、上記コリメーターレンズを用いることにより、カラーフィルターの着色層に照射される可視光を平行光とすることができるため、そのようなスリットを設けなくても正確な色特性評価することが可能になる。このため、上記コリメーターレンズを用いることにより、本発明のカラーフィルターの色特性評価装置を簡略化することができるという利点もあるからである。
【０１２９】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【実施例】
【０１３０】
以下、実施例を挙げて本発明を具体的に説明する。
【０１３１】
１．実施例１
（１）製造条件決定工程
（検査用基板形成工程）
カラーフィルター用ガラス材として用いられている厚み０．７ｍｍ、横３７０ｍｍ、縦４７０ｍｍのＣｏｒｎｉｎｇ社製ＥＡＧＬＥ２０００を用意し、このガラス基材上にフォトリソグラフィー法にて樹脂製の遮光部を形成した。遮光部は開口部が１５０μｍ×４９０μｍ、遮光部分の線幅が２０μｍとなるように形成し、横方向に１７０μｍピッチ、縦方向に５１０μｍピッチにて縦４８０画素、横１３２０画素ずつ配置されるものとした。またこの際、遮光部分の膜厚は平均１．５μｍとした。
【０１３２】
上記遮光部が形成されたガラス基材に対し、フッ素化合物を導入ガスとしたプラズマ処理を加えることにより、遮光部の表面を撥液性に、それ以外の領域（着色層形成領域）を親液性とした。このとき表面張力４０ｍＮ／ｍの液体との接触角を接触角測定器（協和界面化学(株)製ＣＡ−Ｚ型）を用いて測定した結果、ブラックマトリクス上で６５°、着色層形成領域で１０°であった。
【０１３３】
（検査用着色層形成工程）
次に、上記検査用基板に対し、インクジェットヘッドを用いて着色層形成用塗工液を塗布した。着色層形成用塗工液は、カラーフィルター用顔料と熱硬化型樹脂等からなるＲＧＢ各色の顔料分散型インクを用い、1つの開口部（着色層形成用領域）あたり５０滴にて所望のカラーフィルターの色が表現できるように濃度を設計したものを用いた。また、このときのインクジェットヘッドへの印加電圧は７５Ｖ、パルス幅は６μｓであった。さらに、インクジェットヘッドは１ヘッドにつき１００ノズルを有するものを用い、1色につき１ヘッド、すなわちＲＧＢ３色にて３ヘッドを用いた。
塗布は、各着色層形成用領域（1画素）あたり１ノズルが配置されるように位置決めして行い、ノズルから吐出された着色層形成用塗工液の各液滴が、上記着色層形成用領域内に着弾するように行った。また着色層形成用塗工液横方向にＲＧＢの順に繰り返し配置し、縦方向には同色が並ぶように配置した。この際、各色の着色層形成用塗工液は開口部全域に濡れ広がり、かつ異なる色同士が混色することは無かった。
【０１３４】
上記基板をホットプレート上で１２０℃、１０分間ホットプレート上で加熱した。加熱後の着色層形成用塗工液は、先端の直径が１２μｍの針で５ｍｇの圧力にて表面を触針しても傷が入らない程度に固化し、混色しない状態であった。なお、各着色層形成用領域にそれぞれ４５滴ずつ、５０滴ずつ、５５滴ずつ着色層形成用塗工液を塗布した３種類の着色層形成条件調整用カラーフィルターを作製した。
【０１３５】
（検査工程・調整工程）
次に、上記着色層形成条件調整用カラーフィルターの着色層の分光スペクトルを測定することにより各着色層の色度を求めた。測定は、図９に示すようなカラーフィルター用色特性評価装置を用いて行った。図９に示すように、本実施例に用いたカラーフィルター色特性評価装置６０は顕微分光装置を利用したものであり、上記色層形成条件調整用カラーフィルターを保持するカラーフィルター保持部６５と、上記色層形成条件調整用カラーフィルターに可視光を照射する光源７０と、上記色層形成条件調整用カラーフィルターを透過した可視光を受光し、受光部の形状が四角形である検出器６１とを有するものである。
また、図９に示すように、本実施例に用いたカラーフィルター色特性評価装置６０は、上記以外に、受光用ファイバー６２、ＣＣＤカメラ６３、レンズ６４、観察用ファイバー６６、フィルター６８、デフューザー６９、および、Ｘ−Ｙステージ７１を備えるものである。
また、さらに本実施例に用いたカラーフィルター色特性評価装置６０は、上記光源７０と、上記カラーフィルター保持部６５との間に可視光の照射面積を制御するスリット６７を備えるものである。
【０１３６】
図１０は、本実施例に用いられる上記スリット６７を示す概略図である。図１０に示すように、上記スリット６７は、相対する２つのナイフエッジ６７ｂと、押し込み部６７ａとからなるユニットが２つ用いられているものであり、各ユニットが直行するように配置されているものである（図１０（ａ））。このようなスリット６７は、押し込み部６７ａを前後へ移動させることにより、相対するナイフエッジ６７ｂの間隔を調整することが可能であり、これにより任意の面積を有する貫通孔Ｘを形成できるようになっている（図１０（ｂ））。
【０１３７】
このようなカラーフィルター用色特性評価装置を用い、上記スリットの貫通孔の面積を５倍のレンズ使用時に１６０μｍ×５００μｍとなるように調整した。
【０１３８】
次に、上記３種類の着色層形成条件調整用カラーフィルターを、上記カラーフィルター保持部に保持させた後、各着色層形成用領域の着色層を形成した画素の開口部、スリットの貫通孔、および、受光部の検出部のそれぞれの中心位置が一致するように位置決めを行った。その後、スリット、および、レンズを通して光源から可視光を着色層形成条件調整用カラーフィルターの着色層に入射し、当該着色層を透過した可視光を、レンズを通して検出器で受光させることにより、各着色層の分光スペクトルを測定した。
【０１３９】
次いで、上記分光スペクトルの測定値から色度Ｒｘ、Ｇｙ、Ｂｙを算出し、インクジェットヘッドの各ノズルから吐出される吐出液滴数と色度の関係を求め、
Ｒ：ｘ＝０．６６０、ｙ＝０．３２３
Ｇ：ｘ＝０．２９３、ｙ＝０．５９８
Ｂ：ｘ＝０．１３５、ｙ＝０．１１８
を満たす液滴数条件を導出し、着色層形成条件とした。
【０１４０】
（２）着色層形成工程
上述したカラーフィルター用基板を用い、上記カラーフィルター用基板の各着色層形成用領域上に着色層形成条件決定工程にて決定した液滴数ずつ、着色層形成用塗工液を着弾させ、着色層形成用塗工液を塗布した。その後、１２０℃のホットプレート上にて１０分間加熱、さらに２００℃のクリーンオーブン内にて３０分間ポストベイクを行うことにより、カラーフィルターを作製した。
【０１４１】
（３）評価
作製したカラーフィルターに対して各着色層の分光スペクトルを評価した。分光スペクトルの測定は、スリットの貫通孔の面積を前述した着色層形成条件決定工程における面積と同様にして、前記着色層形成条件決定工程で用いた方法と同様の方法により行った。なお、評価は位置決めと測定を５回繰り返し実施することによって行った。次いで、測定値から各着色層の色度を求めた。
その結果、着色層色度の平均値はＲ、Ｇ、Ｂともに目標どおりの値を得た。また、５回測定内での測定値の変動は５／１００００以下であった。
【０１４２】
２．実施例２
実施例１で作製したカラーフィルターを対象として、実施例１で用いたカラーフィルター色特性評価装置に、さらに検出器側にスリットを追加した装置を用いて各着色層の分光スペクトルを評価した。このとき、検出側のスリットサイズは１６０μｍ×５００μｍとした。その結果、着色層色度の平均値は以下の結果となった。
Ｒ：ｘ＝０．６６１、ｙ＝０．３２２
Ｇ：ｘ＝０．２９２、ｙ＝０．５９９
Ｂ：ｘ＝０．１３５、ｙ＝０．１１８
このように、ＲｘおよびＧｙの値が大きくなっているため、検出器側スリットを追加することにより、より高精度で各着色層の色度を評価することができることが示された。
【０１４３】
３．実施例３
実施例１で作製したカラーフィルターを対象として、実施例１で用いたカラーフィルター色特性評価装置構成に、コリメーターレンズを配置した装置を用いて各着色層の分光スペクトルを評価した。その結果、着色層色度の平均値は以下の結果となった。
Ｒ：ｘ＝０．６６１、ｙ＝０．３２２
Ｇ：ｘ＝０．２９２、ｙ＝０．５９９
Ｂ：ｘ＝０．１３５、ｙ＝０．１１８
このように、ＲｘおよびＧｙの値が大きくなっているため、検出器側スリットを追加することにより、より高精度で各着色層の色度を評価することができることが示された。
【０１４４】
４．比較例１
（カラーフィルターの作製）
実施例１と同様の方法によりカラーフィルターを作製した。
【０１４５】
（評価）
作製したカラーフィルターに対して、スリットの貫通孔の面積を１５０μｍ×４９０μｍに調整したこと以外は、実施例１と同様の方法により各着色層の色度を求めた。
その結果、位置決めおよび測定を５回繰り返した場合の標準Ｃ光源下におけるｘｙ色度の平均値は、実施例１と同様の値であったが、測定値の変動は１０／１００００となり、再現よく測定することが難しかった。
【０１４６】
５．比較例２
（カラーフィルターの作製）
実施例１と同様の方法によりカラーフィルターを作製した。
【０１４７】
（評価）
作製したカラーフィルターに対し、スリットの貫通孔の面積を１９１μｍ×５００μｍに調整したこと以外は、実施例１と同様の方法により、各着色層の色度を求めた。
その結果、位置決めおよび測定を５回繰り返した場合の標準Ｃ光源下におけるｘｙ色度の平均値は、
Ｒ：ｘ＝０．６５７、ｙ＝０．３２５
Ｇ：ｘ＝０．２９７、ｙ＝０．５９５
Ｂ：ｘ＝０．１３８、ｙ＝０．１２２
となった。このように本比較例では、隣接画素からの漏れ光の影響により、実施例１および比較例１での測定値と比較し、ＲＧＢともにｘｙ色度が変化しており、正しい値を得ることができなかった。
【図面の簡単な説明】
【０１４８】
【図１】本発明のカラーフィルターの色特性評価方法の一例を示す概略図である。
【図２】本発明のカラーフィルターの色特性評価方法における可視光照射工程の一例を示す概略図である。
【図３】本発明のカラーフィルターの色特性評価方法における可視光照射工程の他の例を示す概略図である。
【図４】本発明のカラーフィルターの色特性評価方法に用いられる検出器の一例を示す概略図である。
【図５】本発明における可視光受光工程の一例を示す概略図である。
【図６】本発明における可視光受光工程に用いられるスリットの貫通孔の大きさについて説明する概略図である。
【図７】本発明のカラーフィルターの色特性評価方法による評価対象となるカラーフィルターの一例を示す概略図である。
【図８】本発明のカラーフィルター用色特性評価装置の一例を示す概略図である。
【図９】本発明のカラーフィルター用色特性評価装置の具体例を示す概略図である。
【図１０】本発明のカラーフィルター用色特性評価装置に用いられるスリットの具体例を示す概略図である。
【図１１】一般的なカラーフィルターの構成を示す概略図である。
【図１２】インクジェット法により作製したカラーフィルターの一例を示す概略図である。
【符号の説明】
【０１４９】
１，１０１  …  基材
２，１０２  …  遮光部
３，３’，１０３  …  着色層
１０，１００  …  カラーフィルター
２０  …  検出器
３０  …  光源
４０  …  カラーフィルター保持部
５０，６０  …  カラーフィルター用色特性評価装置
６１  …  検出器（分光ユニット）
６２  …  受光用ファイバー
６３  …  ＣＣＤカメラ
６４  …  レンズ
６５  …  カラーフィルター保持部
６６  …  観察用ファイバー
６７  …  スリット
６８  …  フィルター
６９  …  デフューザー
７０  …  光源
７１  …  Ｘ−Ｙステージ
Ｓ  …  スリット
Ｌ１，Ｌ２  …  レンズ
Ｌ３  …  コリメーターレンズ
【図１】
2008107824.tif 000003
【図２】
2008107824.tif 000004
【図３】
2008107824.tif 000005
【図４】
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【図５】
2008107824.tif 000007
【図６】
2008107824.tif 000008
【図７】
2008107824.tif 000009
【図８】
2008107824.tif 000010
【図９】
2008107824.tif 000011
【図１０】
2008107824.tif 000012
【図１１】
2008107824.tif 000013
【図１２】
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