(57)【要約】【課題】複数のウエハダイを同時に正確に検査することができる半導体試験装置及び半導体試験方法を提供する。【解決手段】各試験装置とテストボードとの間の信号処理を行う通信信号変換回路とを備えたことにより、複数のウエハダイを同時に正確に検査することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハの複数のダイと接触するプローブカードと、該プローブカードを介して試験用信号を各ダイに印加するテストボードと、各ダイの試験開始信号を前記テストボードに送信し前記テストボードを介して試験終了信号を個別に受信する複数の試験装置と、各試験装置と前記テストボードとの間の信号処理を行う通信信号変換回路とを備えたことを特徴とする半導体試験装置。
【請求項２】
ウエハ中の複数のダイの電極に同時に接触するプローブを有するプローブカードと、該プローブカードに接続され試験用の信号を各ダイに印加するためのテストボードと、前記各ダイの試験開始信号を前記テストボードに送信し前記テストボードから試験終了信号を個別に受信するための複数の試験装置と、前記各試験装置と前記テストボードとの間に接続され前記ダイを同時に試験するため前記試験装置と前記テストボードとの間の信号処理を行う通信信号変換回路とを備えたことを特徴とする半導体試験装置。
【請求項３】
前記通信信号変換回路は、前記各試験装置からの試験開始信号をパラレルデータとして入力し、シリアルデータに変換して前記テストボードに出力すると共に、前記テストボードは、そのシリアルデータを再度パラレルデータに変換して同時に各ダイに前記試験用信号を印加することを特徴とする請求項１または２記載の半導体試験装置。
【請求項４】
前記通信信号変換回路は、最後に試験を終了した試験装置からの試験終了信号のみを有効信号として変換し、前記テストボードに試験終了信号として送信することを特徴とする請求項１から３の何れか一項記載の半導体試験装置。
【請求項５】
前記通信信号変換回路は、前記各試験装置で取得した各ダイの試験結果と各ダイのウエハでの位置との関係を表すウエハマップを作成することを特徴とする請求項１から４の何れか一項記載の半導体試験装置。
【請求項６】
前記通信信号変換回路は、前記ダイへの前記試験用の信号を印加する前に各プローブの位置アドレスを入手し試験を行うダイの位置情報を決定することを特徴とする請求項５記載の半導体試験装置。
【請求項７】
ウエハの複数のダイを複数の試験装置を用いて同時に試験を開始し、最後に試験を終了した試験装置からの試験終了信号を基準として所定の時間内に試験を終了したダイを良品とすることを特徴とする半導体試験方法。
【請求項８】
前記各試験装置で取得した各ダイの試験結果と各ダイのウエハでの位置との関係を表すウエハマップを作成することを特徴とする請求項７記載の半導体試験方法。
【請求項９】
前記ダイへの前記試験用の信号を印加する前に各プローブの位置アドレスを入手し試験を行うダイの位置情報を決定することを特徴とする請求項８記載の半導体試験方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体試験装置及び半導体試験方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
最近の半導体試験装置は、複数個測定と呼ばれる１台の試験装置により一度の測定で複数個のデバイスを同時に測定出来る測定機能を保有している。この測定機能を有する試験装置１台と外部に接続されるウエハープローバー１台では測定開始、測定終了と言った通信信号制御に付いても図８に示す様に、試験装置８００からウエハープローバー８０６へ１系統（同時に、もしくは信号をまとめたの意味）のみで安易に実現出きる。尚、８０１はテストボード、８０２はプローブカード、８０３はプローブ、８０４はウエハ、８０５はＸＹＺステージ、８０７はパーソナルコンピュータをそれぞれ示す。図８は、従来の半導体試験装置の一例を示すブロック図である。
【０００３】
例えば、複数個測定が出来ない半導体検査装置５台とウエハ移動装置であるウエハープローバー１台との接続を以下に説明する。
ウエハ状態でのダイ（ウエハダイ）を５個同時に測定する場合、ウエハダイの電極に電気的に接続されるプローブカードが必要とされることは周知である。
【０００４】
図９は、半導体試験装置におけるプローブカードとウエハとの関係を示す説明図である。
図９に示すようにプローブカード８０２を介して図示しない試験装置Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅとウエハ８０４のダイ（ウエハダイ）とが各電極９００を介して電気的に接続され複数個同時測定が出来、この状態でウエハテストをフルオートで試験を行うことが可能になる。
ここで、フルオート試験とは、ウエハ１ロット（例えば、２５枚）を連続で施される電気試験をいう。
【０００５】
この時、試験装置Ａ〜Ｅはそれぞれのダイに電気的に接続された状態になっているが、ウエハープローバー８０２には試験開始信号（スタート信号ともいう）や試験終了信号（エンド信号ともいう）等の通信制御信号は１系統のみしか存在しないのが一般的であり、試験装置Ａ〜Ｅはそれぞれ通信制御信号を行っている（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開２００１−３２６２６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、フルオートで試験可能な構成にするため、前記の通信制御信号について試験装置５系統（試験装置の出力信号）からウエハープローバーに接続可能な１系統（ウエハープローバーの半導体試験装置の出力信号を受信する信号）に信号変換する事が必要である。
これは、ウエハープローバーでは１−５のウエハダイに対して、１ダイと認識するが、半導体試験装置は各ダイに対して１台の試験装置として割り当てされるため、ウエハープローバーの受信信号は１半導体として認識されるためである。
【０００７】
図７は、本発明の前提となった半導体試験装置の一例を示すブロック図である。
このため、図７に示す様に通信信号変換回路７００を半導体試験装置８００とウエハープローバー８０６との中間に配置し、通信信号変換回路７００は半導体試験装置８００の通信制御用コネクタとケーブルとで後述する図１に示す様に複数台接続し、通信信号変換回路１０２から通信制御コネクタとケーブルとでウエハープローバー８０６に接続することが考えられる。
【０００８】
しかしながら、ウエハープローバー８０６の試験開始信号は１系統で半導体試験装置Ａ（１０１−１）〜Ｅ（１０１−５）へ接続され、半導体試験装置Ａ（１０１−１）〜Ｅ（１０１−５）の試験終了信号は、試験結果により発生するタイミングが個別になってしまう。
例えば、半導体試験装置での製品の試験時間が良品の場合１０秒とすると不良品の場合が１０秒以下になってしまう、半導体試験装置としては個別に試験終了信号をそれぞれ発生するので良品と不良品により試験終了時間が異なってしまう。
【０００９】
後述する図３に示すタイムチャートの様に試験装置Ｂ（１０１−２），Ｄ（１０１−４）では試験終了信号は良品より早いタイミングで発生するので通常ではウエハープローバーは早い試験終了信号を検出してしまい、ウエハダイの電極に電気的に接続されるプローブカードとの接続を解除してしまい、未だ測定が完了していない、半導体試験装置Ａ（１０１−１），Ｃ（１０１−３），Ｅ（１０１−５）のダイについても不良品とみなしてしまう。
【００１０】
そこで、本発明の目的は、複数のウエハダイを同時に正確に検査することができる半導体試験装置及び半導体試験方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために、請求項１記載の発明は、ウエハの複数のダイと接触するプローブカードと、該プローブカードを介して試験用信号を各ダイに印加するテストボードと、各ダイの試験開始信号を前記テストボードに送信し前記テストボードを介して試験終了信号を個別に受信する複数の試験装置と、各試験装置と前記テストボードとの間の信号処理を行う通信信号変換回路とを備えたことを特徴とする。
【００１２】
請求項１記載の発明によれば、各試験装置とテストボードとの間の信号処理を行う通信信号変換回路とを備えたことにより、複数のウエハダイを同時に正確に検査することができ、試験時間を短縮することができる。
【００１３】
請求項２記載の発明は、ウエハ中の複数のダイの電極に同時に接触するプローブを有するプローブカードと、該プローブカードに接続され試験用の信号を各ダイに印加するためのテストボードと、前記各ダイの試験開始信号を前記テストボードに送信し前記テストボードから試験終了信号を個別に受信するための複数の試験装置と、前記各試験装置と前記テストボードとの間に接続され前記ダイを同時に試験するため前記試験装置と前記テストボードとの間の信号処理を行う通信信号変換回路とを備えたことを特徴とする。
【００１４】
請求項２記載の発明によれば、各試験装置とテストボードとの間の信号処理を行う通信信号変換回路とを備えたことにより、複数のウエハダイを同時に正確に検査することができ、試験時間を短縮することができる。
【００１５】
請求項３記載の発明は、請求項１または２記載の発明において、前記通信信号変換回路は、前記各試験装置からの試験開始信号をパラレルデータとして入力し、シリアルデータに変換して前記テストボードに出力すると共に、前記テストボードは、そのシリアルデータを再度パラレルデータに変換して同時に各ダイに前記試験用信号を印加することを特徴とする。
【００１６】
請求項３記載の発明によれば、通信信号変換回路は、各試験装置からの試験開始信号をパラレルデータとして入力し、シリアルデータに変換してテストボードに出力すると共に、テストボードは、そのシリアルデータを再度パラレルデータに変換して同時に各ダイに試験用信号を印加することにより、複数のウエハダイを同時に正確に検査することができ、複数個測定をフルオートで試験することができる。
【００１７】
請求項４記載の発明は、請求項１から３の何れか一項記載の発明において、前記通信信号変換回路は、最後に試験を終了した試験装置からの試験終了信号のみを有効信号として変換し、前記テストボードに試験終了信号として送信することを特徴とする。
【００１８】
請求項４記載の発明によれば、通信信号変換回路は、最後に試験を終了した試験装置からの試験終了信号のみを有効信号として変換し、テストボードに試験終了信号として送信することにより、試験装置毎に異なる良品、不良品発生時の試験終了タイミングによる違いを正しくした試験終了信号を送信するので、複数のウエハダイを同時に正確に検査することができる。
【００１９】
請求項５記載の発明は、請求項１から４の何れか一項記載の発明において、前記通信信号変換回路は、前記各試験装置で取得した各ダイの試験結果と各ダイのウエハでの位置との関係を表すウエハマップを作成することを特徴とする。
【００２０】
請求項５記載の発明によれば、通信信号変換回路は、各試験装置で取得した各ダイの試験結果と各ダイのウエハでの位置との関係を表すウエハマップを作成することにより、各ダイのウエハでの位置と、良不良との関係、すなわちウエハープローバーのＸ／Ｙ座標を正しく取得できる。
【００２１】
請求項６記載の発明は、請求項５記載の発明において、前記通信信号変換回路は、前記ダイへの前記試験用の信号を印加する前に各プローブの位置アドレスを入手し試験を行うダイの位置情報を決定することを特徴とする。
【００２２】
請求項６記載の発明によれば、通信信号変換回路は、ダイへの試験用の信号を印加する前に各プローブの位置アドレスを入手し試験を行うダイの位置情報を決定することにより、複数のウエハダイを同時に正確に検査することができる。
【００２３】
請求項７記載の発明は、ウエハの複数のダイを複数の試験装置を用いて同時に試験を開始し、最後に試験を終了した試験装置からの試験終了信号を基準として所定の時間内に試験を終了したダイを良品とすることを特徴とする。
【００２４】
請求項７記載の発明によれば、ウエハの複数のダイを複数の試験装置を用いて同時に試験を開始し、最後に試験を終了した試験装置からの試験終了信号を基準として所定の時間内に試験を終了したダイを良品とすることにより、試験装置毎に異なる良品、不良品発生時の試験終了タイミングによる違いを正しくした試験終了信号を送信するので、複数のウエハダイを同時に正確に検査することができる。
【００２５】
請求項８記載の発明は、請求項７記載の発明において、各試験装置で取得した各ダイの試験結果と各ダイのウエハでの位置との関係を表すウエハマップを作成することを特徴とする。
【００２６】
請求項８記載の発明によれば、各試験装置で取得した各ダイの試験結果と各ダイのウエハでの位置との関係を表すウエハマップを作成することにより、各ダイのウエハでの位置と、良不良との関係、すなわちウエハープローバーのＸ／Ｙ座標を正しく取得できる。
【００２７】
請求項９記載の発明は、請求項８記載の発明において、前記ダイへの前記試験用の信号を印加する前に各プローブの位置アドレスを入手し試験を行うダイの位置情報を決定することを特徴とする。
【００２８】
請求項９記載の発明によれば、ダイへの試験用の信号を印加する前に各プローブの位置アドレスを入手し試験を行うダイの位置情報を決定することにより、複数のウエハダイを同時に正確に検査することができる。
【発明の効果】
【００２９】
本発明によれば、各試験装置とテストボードとの間の信号処理を行う通信信号変換回路とを備えたことにより、複数のウエハダイを同時に正確に検査することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
最近はウエハ上のチップサイズ（ダイサイズともいう）の縮小化加速している状況にある、この事に伴いウエハ単位でのテスト時間の増加とテストコストの低減が求められているのが実状である。テストコストの低減を行う手段として複数個測定が一般的である。ただ、複数個測定機能を搭載しない半導体試験装置ではシステム上の制約があり実現出来なかった。
【００３１】
本発明は前記の複数個測定機能が無い試験装置を複数台とウエハープローバー１台を接続し且つ、各試験装置とウエハープローバーとの試験開始、終了等の信号をウエハープローバーの通信信号規定に従った信号へと変換し複数個測定を実現するものである。また、試験装置を複数台接続して試験を実施するため、それぞれの試験装置で測定したウエハダイの結果を複数個測定機能を有する試験装置と同じウエハダイの試験結果（ウエハマップ）へと測定結果を変換出来る事が可能な半導体検査装置を構成出来、テストコストの低減が可能である。
【００３２】
図１は、本発明に係る半導体試験方法を適用した半導体試験装置の一実施の形態を示すブロック図である。
同図に示す半導体試験装置１００は、試験装置Ａ（１０１−１）〜Ｅ（１０１−５）と、ウエハ１０５の各ダイの電気試験を行うと共にシリアル／パラレル変換を行うテストボード１０３と、ウエハ１０５の各ダイの電極に接触する複数のプローブを有するプローブカード１０４と、ウエハ１０５を載置すると共に、ウエハ１０５をＸ軸、Ｙ軸、及びＺ軸方向に移動させるＸＹＺステージ１０６と、ＸＹＺステージ１０６をＸ軸、Ｙ軸、及びＺ軸方向に移動させるウエハープローバー１０７と、試験装置Ａ（１０１−１）〜Ｅ（１０１−５）とウエハープローバー１０７との間に挿入接続され、試験装置Ａ（１０１−１）〜Ｅ（１０１−５）からの検査開始、検査終了信号（パラレルデータ）をシリアルデータに変換してウエハープローバー１０７に送り、ウエハープローバー１０７からのシリアルデータをパラレルデータに変換して試験装置Ａ（１０１−１）〜Ｅ（１０１−５）に送る通信信号変換回路１０２と、装置全体と統括制御するパーソナルコンピュータ１０８とを備えている。
【００３３】
通信信号変換回路１０２は、試験装置Ａ（１０１−１）〜Ｅ（１０１−５）の試験終了信号で一番遅い信号を本半導体試験装置の試験終了信号として選択することでウエハープローバー１０７に試験終了信号を送信し、複数台接続した場合でも１系統で信号を発生することを特徴とする。
【００３４】
ウエハープローバー１０７は、ＸＹＺステージ１０６を移動させる公知の移動機構の他、検査結果が不良のウエハダイに印字する公知の印字機構を備えている（いずれも図示せず。）。
【００３５】
図２は、図１に示した半導体試験装置の通信信号変換回路１０２の一例を示す回路図である。
図２において、カソードにＶｃｃが接続されアノードに入力端子Ｐ１が接続されたダイオードＤ１と、カソードがダイオードＤ１のアノードに接続され、アノードが接地されたダイオードＤ２とで保護回路が形成されている。同様にダイオードＤ３とダイオードＤ４、ダイオードＤ５とダイオードＤ６、ダイオードＤ７とダイオードＤ８、ダイオードＤ９とダイオードＤ１０、ダイオードＤ１１とダイオードＤ１２とで保護回路が形成されている。入力端子Ｐ１はプローバ側の入力端子であり、端子Ｐ１と共通となっている。入力端子Ｐ１は図１に示したパーソナルコンピュータ１０８に接続される。
【００３６】
ダイオードＤ１のアノードは、抵抗Ｒ１によりプルアップされ各フリップフロップＦＦ１〜ＦＦ５のＳ端子（スタート信号の入力端子）に接続されている。各フリップフロップＦＦ１〜ＦＦ５のＲ端子（リセット端子）は抵抗Ｒ２によりプルアップされている。
入力端子Ｐ２は、ダイオードＤ３〜Ｄ１２で形成される保護回路に接続されると共に抵抗Ｒ３によりプルダウンされている。
各入力端子Ｐ２〜Ｐ６は、インバータＩＮＶ１〜ＩＮＶ５の入力端と、５入力ナンドＮＡＮＤ１の入力端に接続されている。各インバータＩＮＶ１〜ＩＮＶ５の出力端はフロップＦＦ１〜ＦＦ５のＣＬＫ端に接続され、５入力ナンドＮＡＮＤ１の出力端はインバータＩＮＶ６の入力端に接続されている。
【００３７】
フリップフロップＦＦ１〜ＦＦ５は、ＤＡＴ端子が抵抗Ｒ４でプルダウンされており、各Ｑ端子（図ではＱのオーバーバーとなっているが、本明細書ではＱと表記する）は５入力ナンドＮＡＮＤ２の入力端に接続されている。５入力ナンドＮＡＮＤ２の出力端はインバータＩＮＶ７の入力端に接続されている。インバータＩＮＶ３、４の出力端は２入力アンドＡＮＤ１の入力端に接続され、２入力ＡＮＤの出力端は抵抗Ｒ５を介して、エミッタが接地されたＮＰＮバイポーラトランジスタＴｒ１のベースに接続されている。ＮＰＮバイポーラトランジスタはコレクタに負荷抵抗Ｒ６が接続されると共に出力端子Ｐ７が接続されている。Ｐ８はプローバからの信号を入力する端子であり、入力Ｐ１と共通となっている。
【００３８】
端子Ｐ２〜Ｐ６は、それぞれ試験装置Ａ（１０１−１）〜Ｅ（１０１−５）の出力端に接続され、端子Ｐ７はウエハープローバー１０７の入力端に接続され、各フリップフロップＦＦ１〜ＦＦ５によりパラレルデータがシリアルデータに変換される。
【００３９】
図３は、図１に示した半導体試験装置の通信信号変換回路のタイムチャートである。
図１に示したパーソナルコンピュータ１０８から試験開始信号Ｓ３００が発生すると、各試験装置Ａ（１０１−１）〜Ｅ（１０１−５）から一斉に（実際には数ｍ秒の差はある）電気試験信号が通信信号変換回路１０２に印加される。通信信号変換回路１０２では各試験装置Ａ（１０１−１）〜Ｅ（１０１−５）からの電気試験信号（パラレルデータ）をシリアルデータに変換してウエハープローバー１０７側のテストボード１０３に送る。テストボード１０３はシリアルデータをパラレルデータに変換して得られた電気試験信号をウエハ１０５の各ウエハダイに印加する。
各ウエハダイの電気試験が終了すると、各試験装置Ａ（１０１−１）〜Ｅ（１０１−５）から試験終了信号Ｓ３０１〜Ｓ３０５が発生される。
【００４０】
通信信号変換回路１０２は、最後に試験を終了した試験装置からの試験終了信号（この場合装置Ｃ試験終了信号Ｓ３０３）のみを有効信号として変換し、テストボード１０３に試験終了信号として信号Ｓ３０６を送信する。
パーソナルコンピュータ１０８は、ウエハの複数のダイを複数の試験装置を用いて同時に試験を開始し、最後に試験を終了した試験装置からの試験終了信号を基準として所定の時間内に試験を終了したダイを良品とし、各試験装置で取得した各ダイの試験結果と各ダイのウエハでの位置との関係を表すウエハマップを作成する。
【００４１】
図３において、波線内は良品を示すが、通信信号変換回路１０２では良不良の判定は行わない。また、「有効信号」はウエハダイの５個について試験装置が全ての試験を終了した信号であり、試験装置を５台接続して試験を行うため、４台分の終了信号は不要であり、５台目のみの信号が必要である。但し、試験されるウエハダイの最大数は試験数に装置の接続台数で決まる。
パーソナルコンピュータ１０８は、ダイへの試験用の信号を印加する前に各プローブの位置アドレスを入手し試験を行うダイの位置情報を決定する。
尚、試験終了信号は、通信信号変換回路１０２を介してウエハープローバー１０７の通信様回路に入力される。
【００４２】
図４は、図１に示した半導体試験装置の動作を示すフローチャートである。
図１に示した半導体試験装置が作動すると、パーソナルコンピュータ１０８はプローバ座標のＸ軸を選択してＸ座標を読み込む（ステップＳ１）。
次にパーソナルコンピュータ１０８はプローバ座標のＹ軸を選択してＹ座標を読み込む（ステップＳ２）。
各試験装置Ａ（１０１−１）〜Ｅ（１０１−５）は、製品試験プログラムを実行し（ステップＳ３）、実行完了後試験が終了する。
【００４３】
すなわち、ウエハ試験は良品と不良品との選別を実施する必要性があることから、不良品ダイに付いて後工程である組み立て工程に良品及び不良品の情報を伝達する手段として不良品にインクを打つ事が一般的であり、このために測定したウエハダイの情報を入手する手段として、ウエハープローバーより送信されるＸ／Ｙアドレス信号と各試験装置の試験結果であるカテゴリーデータにより決定する。
【００４４】
パーソナルコンピュータ１０８のソフトウェアによる試験結果変換は、各試験装置にＸ／Ｙアドレス信号とウエハダイ（試験ダイともいう）に付いてのカテゴリーデータをロットＮｏ、ウエハＮｏ、および試験装置Ｎｏより決定されたファイルにウエハダイ毎に記憶する。１ロット分のウエハの処理が終了すれば、５台の試験装置に記憶されている試験結果ファイルをあらかじめ決められた本来のウエハマップへと変換する。その変換された結果により不良品についてインク打ち（印字）を実施する。
【００４５】
図５は、図１に示した半導体試験装置によるウエハマップの説明図である。
ここで、ウエハマップは、パーソナルコンピュータ１０８により、図５に示すように各試験装置Ａ（１０１−１）〜Ｅ（１０１−５）のＸ／Ｙ座標のサマリーデータに基づいて太矢印の右側のようなウエハダイごとに試験装置によるサマリーデータを矢印で結んで表示した図である。
【００４６】
図６は、図１に示した半導体試験装置によるウエハマップレポートの一例を示す図である。
図６において、ＤＥＶＩＣＥ  ＮＡＭＥはウエハの番号とロットの番号を示す。ＴＥＳＴ  ＳＴＡＲＴは試験開始日時を示し、ＴＥＳＴ  ＥＮＤは試験終了日時を示し、ＴＥＳＴＥＲは試験装置の番号を示し、ＰＲＯＧ  ＲＥＶはテストプログラムの種類を示し、ＰＲＯＢ  Ｎｏはプローブカードの番号を示す。図の下側の上側の数字はウエハダイの横座標を示し、右側の数字はウエハダイの縦座標を示す。ほぼ円形状に配置されたドットや符号はウエハダイの試験結果を示しており、ドットは良品、符号は不良の種類を示している。
【００４７】
また、Ｘ／Ｙアドレス信号（Ｘ／Ｙ座標の信号）は試験装置側でＸまたはＹアドレスのデータをセレクトし収集する方式が採用されているため、良品と不良品とでの試験装置間で試験終了タイミングが異なってしまうため、正しくＸ／Ｙアドレスを収集出来ない場合が発生してしまう、これを解決するために各試験装置上で実行される試験プログラムの開始時（ダイ試験を開始していない、初期設定中）にウエハープローバーのＸ／Ｙアドレスを入手し現在試験しているダイの位置情報を決定することで、試験終了タイミングが異なっても正しくウエハダイ位置情報を入手出きる事が可能となる。
【００４８】
なお、上述した実施の形態は、本発明の好適な実施の形態の一例を示すものであり、本発明はそれに限定されることなく、その要旨を逸脱しない範囲内において、種々変形実施が可能である。例えば、上述の説明では、試験装置が５台の場合について説明したが、本発明ではこれに限定されず、試験装置が１台でも数百台であっても適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明に係る半導体試験方法を適用した半導体試験装置の一実施の形態を示すブロック図である。
【図２】図１に示した半導体試験装置の通信信号変換回路１０２の一例を示す回路図である。
【図３】図１に示した半導体試験装置の通信信号変換回路のタイムチャートである。
【図４】図１に示した半導体試験装置の動作を示すフローチャートである。
【図５】図１に示した半導体試験装置によるウエハマップの説明図である。
【図６】図１に示した半導体試験装置によるウエハマップレポートの一例を示す図である。
【図７】本発明の前提となった半導体試験装置の一例を示すブロック図である。
【図８】従来の半導体試験装置の一例を示すブロック図である。
【図９】半導体試験装置におけるプローブカードとウエハとの関係を示す説明図である。
【符号の説明】
【００５０】
１００    半導体試験装置
１０１−１〜１０１−５    試験装置Ａ〜試験装置Ｅ
１０２    通信信号変換回路
１０３    テストボード
１０４    プローブカード
１０５    ウエハ
１０６    ＸＹＺステージ
１０７    ウエハープローバー
１０８    パーソナルコンピュータ
１０９    プローバ
【図１】
2008066604.tif 000003
【図２】
2008066604.tif 000004
【図３】
2008066604.tif 000005
【図４】
2008066604.tif 000006
【図５】
2008066604.tif 000007
【図６】
2008066604.tif 000008
【図７】
2008066604.tif 000009
【図８】
2008066604.tif 000010
【図９】
2008066604.tif 000011