(57)【要約】【課題】  本発明は軸心方向の寸法を小さくできるとともに、ケーシング内に熱がこもるのを効率よく阻止し、使用目的に応じたモータを容易に設置することができ、内側出力軸と外側出力軸とを１個の駆動制御回路で同じ角度で回転させることができる同心２軸駆動装置を得るにある。【解決手段】  ベース部材と、このベース部材に下端部が回転可能に取付けられた上端部が、該ベース部材上へ突出する内側出力軸と、この内側出力軸の上部を除く上部寄りの部位に回転可能に取付けられた筒状の外側出力軸と、この外側出力軸に固定されたロータを備える前記ベース部材に取付けられたモータと、このモータが取付けられた部位よりも外側部位の前記ベース部材に駆動軸が、該ベース部材側に位置するように取付けられた外付けモータと、この外付けモータの駆動軸と前記内側出力軸の下部寄りの部位とに介装された前記外側出力軸と内側出力軸とを同じ角度で回転させることができる駆動伝達手段とで同心２軸駆動装置を構成している。【選択図】  図４
2008245383.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベース部材と、このベース部材に下端部が回転可能に取付けられた上端部が、該ベース部材上へ突出する内側出力軸と、この内側出力軸の上部を除く上部寄りの部位に回転可能に取付けられた筒状の外側出力軸と、この外側出力軸に固定されたロータを備える前記ベース部材に取付けられたモータと、このモータが取付けられた部位よりも外側部位の前記ベース部材に駆動軸が、該ベース部材側に位置するように取付けられた外付けモータと、この外付けモータの駆動軸と前記内側出力軸の下部寄りの部位とに介装された前記外側出力軸と内側出力軸とを同じ角度で回転させることができる駆動伝達手段とからなることを特徴とする同心２軸駆動装置。
【請求項２】
駆動伝達手段収納凹部が形成されたベース部材と、このベース部材の駆動伝達手段収納凹部に位置するように下端部が回転可能に取付けられた上端部が、該ベース部材上へ突出する内側出力軸と、この内側出力軸の上部を除く上部寄りの部位に回転可能に取付けられた筒状の外側出力軸と、この外側出力軸に固定されたロータを備える前記ベース部材に取付けられたモータと、このモータに取付けられた部位よりも外側部位で、駆動軸が前記駆動伝達手段収納凹部内に位置するように前記ベース部材に取付けられた外付けモータと、この外付けモータの駆動軸と前記内側出力軸の下部寄りの部位とに前記駆動伝達手段収納凹部内で介装された、前記外側出力軸と内側出力軸とを同じ角度で回転させることができる駆動伝達手段と、前記外側出力軸の下部位置の前記内側出力軸に取付けられた、前記ベース部材に支持された軸受けとからなることを特徴とする同心２軸駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体製造装置、一般産業用テーブル装置、繊維機械等の駆動源として用いられる同心２軸駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の同心２軸駆動装置は、同一軸心上に２個のモータを一体に並設し、いずれか一方のモータの主軸の中心部に軸通し孔を設けてパイプ状に形成し、この軸通し孔にもう一基のモータの中軸を前記主軸より突出させて挿通し、以下順次このようにして２個のモータを一体にして構成している。
【０００３】
このため、軸心方向の寸法が大きくなり、小型コンパクト化を図ることができないという欠点があった。
また、ケーシング内に２個のモータが並設されるため、コイルの発熱によりケーシング内に熱がこもり、２個のモータの駆動が制限されるという欠点があった。
【特許文献１】特開平６−７０５１８
【特許文献２】特開平１０−２５７７２８
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は以上のような従来の欠点に鑑み、軸心方向の寸法を小さくできるとともに、ケーシング内に熱がこもるのを効率よく阻止し、使用目的に応じたモータを容易に設置することができ、内側出力軸と外側出力軸とを１個の駆動制御回路で同じ角度で回転させることができる同心２軸駆動装置を提供することを目的としている。
【０００５】
本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は次の説明を添付図面と照らし合わせて読むと、より完全に明らかになるであろう。
ただし、図面はもっぱら解説のためのものであって、本発明の技術的範囲を限定するものではない。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明はベース部材と、このベース部材に下端部が回転可能に取付けられた上端部が、該ベース部材上へ突出する内側出力軸と、この内側出力軸の上部を除く上部寄りの部位に回転可能に取付けられた筒状の外側出力軸と、この外側出力軸に固定されたロータを備える前記ベース部材に取付けられたモータと、このモータが取付けられた部位よりも外側部位の前記ベース部材に駆動軸が、該ベース部材側に位置するように取付けられた外付けモータと、この外付けモータの駆動軸と前記内側出力軸の下部寄りの部位とに介装された前記外側出力軸と内側出力軸とを同じ角度で回転させることができる駆動伝達手段とで同心２軸駆動装置を構成している。
【発明の効果】
【０００７】
以上の説明から明らかなように、本発明にあっては次に列挙する効果が得られる。
【０００８】
(１)  ベース部材と、このベース部材に下端部が回転可能に取付けられた上端部が、該ベース部材上へ突出する内側出力軸と、この内側出力軸の上部を除く上部寄りの部位に回転可能に取付けられた筒状の外側出力軸と、この外側出力軸に固定されたロータを備える前記ベース部材に取付けられたモータと、このモータが取付けられた部位よりも外側部位の前記ベース部材に駆動軸が、該ベース部材側に位置するように取付けられた外付けモータと、この外付けモータの駆動軸と前記内側出力軸の下部寄りの部位とに介装された前記外側出力軸と内側出力軸とを同じ角度で回転させることができる駆動伝達手段とで構成されているので、軸心方向の寸法を小さくすることができる。
したがって、軸心方向に大きなスペースのない部分にでも容易に設置して使用することができる。
【０００９】
(２)  前記（１）によって、従来のようにケーシング内に２個のモータを配置していないので、ケーシング内に必要以上に熱がこもることなく、モータ、外付けモータを発熱による制限を受けることなく、効率よく駆動させることができる。
【００１０】
(３)  前記（１）によって、外付けモータを用いているので、該外付けモータを性能の異なるものに容易に差し替えて使用することができる。
したがって、設計変更が容易に、短期間に行なうことができる。
【００１１】
(４)  前記（１） によって、駆動伝達手段によって内側出力軸と外側出力軸とを同じ角度で回転させることができる。
したがって、同一の駆動制御回路で同期回転が可能となる。
また、駆動制御回路が２つになった場合でも、駆動周波数が同一であるため、プログラムが簡単になる。
【００１２】
（５）請求項２も前記（１）〜（４）と同様な効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面に示す本発明を実施するための最良の形態により、本発明を詳細に説明する。
【００１４】
図１ないし図６に示す本発明を実施するための最良の第１の形態において、１は本発明の同心２軸駆動装置で、この同心２軸駆動装置１は駆動伝達手段収納凹部２が形成されたベース部材３と、このベース部材３の駆動伝達手段収納凹部２に位置するように下端部が回転可能に取付けられた上端部が、該ベース部材３上へ突出する内側出力軸４と、必要に応じて前記内側出力軸４のほぼ中央部を回転可能に支持する、前記ベース部材３に固定された軸受け取付具５に取付けられた軸受け６と、前記内側出力軸４の上部を除く上部寄りの部位に回転可能に取付けられた筒状の外側出力軸７と、この外側出力軸７に固定された前記軸受け６の外周部を覆うロータ８、このロータ８の外周部に配置された前記ベース部材３に固定されたカバー体９にコイルホルダー１０を介して取付けられたコイル１１、コイルホルダー１０に取付けられた外部と接続される接続端子１２、前記ロータ８に形成された一部に切り欠部１３を有する位置決めリング１４、この位置決めリング１４の切り欠部１３を検出するセンサー１５とで構成される位置検出センサー１６とからなるモータ１７と、このモータ１７が取付けられた部位よりも外側部位で、駆動軸１８が前記駆動伝達手段収納凹部２内に位置するように、前記ベース部材３にビス１９、１９で固定された外部と接続される接続端子２０を備える外付けモータ２１と、この外付けモータ２１の駆動軸１８に固定されたピニオン２２、このピニオン２２と噛み合う中間歯車２３、この中間歯車２３と噛み合う内側出力軸４に固定された、位置決めリング２４が形成された大歯車２５とからなる前記外側出力軸７と内側出力軸４とを同じ角度で回転させることができる駆動伝達手段２６と、前記位置決めリング２４の切り欠部２７を検出するセンサー２8とで構成される位置検出センサー２９と、前記ベース部材３の底面に取付けられた外部と接続される接続端子３０を備える基板３１とで構成されている。
【００１５】
このように構成された同心２軸駆動装置１は、外付けモータ２１およびモータ１７の接続端子２０、１２は図６に示すように駆動制御回路３２に接続されて使用される。
外付けモータ２１の駆動軸１８が駆動されると、駆動伝達手段２６のピニオン２２、中間歯車２３、大歯車２５を介して内側出力軸４が位置検出センサー２９によって位置決め状態で駆動される。
モータ１７が駆動されるとロータ８が回転して、外側出力軸７が位置検出センサー１６によって、位置決め状態で駆動される。
このため、内側出力軸４、外側出力軸７のいずれか一方を駆動させたり、同時に同じ角度で駆動させることができる。
なお、外側出力軸７と内側出力軸４とを同じ角度で回転させるために、例えば、外側出力軸７を駆動するモータのステップ角度を３度とし、内側出力軸４を駆動するモータのステップ角度を１８度とした場合、内側出力軸４の回転角が、外側出力軸７の回転角と等しくなるように、内側出力軸駆動モータと内側出力軸４との間にギヤ比が１／６の駆動伝達手段２６(ピニオン２２、中間歯車２３、大歯車２５、)を設けることにより、内側出力軸４の回転角度を３度／ステップにしている。(１８度×１／６＝３度)
これを式で表すと，次のようになる
(外側出力軸駆動モータのステップ角)＝(内側出力軸駆動モータのステップ角)×(駆動伝達手段２６のギヤ比)
すなわち、(駆動伝達手段２６のギヤ比) ＝(外側出力軸駆動モータのステップ角)／ (内側出力軸駆動モータのステップ角)
となる。
[発明を実施するための異なる形態]
【００１６】
次に、図７ないし図９に示す本発明を実施するための異なる形態につき説明する。なお、この本発明を実施するための異なる形態の説明に当って、前記本発明を実施するための最良の第１の形態と同一構成部分には同一符号を付して重複する説明を省略する。
【００１７】
図７ないし図９に示す本発明を実施するための第２の形態において、前記本発明を実施するための最良の第１の形態と主に異なる点は、モータ１７と外付けモータ２１を駆動制御回路３２、３３に接続した点で、このような駆動制御回路３２、３３にしても、駆動伝達手段２６によって、駆動周波数が同一であるためプログラムが簡単になるという効果が得られる。
【産業上の利用可能性】
【００１８】
本発明は同心２軸駆動装置を製造する産業で利用される。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明を実施するための最良の第１の形態の平面図。
【図２】本発明を実施するための最良の第１の形態の正面図。
【図３】本発明を実施するための最良の第１の形態の底面図。
【図４】図１の４−４線に沿う断面図。
【図５】図２の５−５線に沿う断面図。
【図６】本発明を実施するための最良の第１の形態の駆動制御回路に接続した状態の説明図。
【図７】本発明を実施するための第２の形態の平面図。
【図８】図７の８−８線に沿う断面図。
【図９】本発明を実施するための第２の形態の駆動制御回路に接続した状態の説明図。
【符号の説明】
【００２０】
１、１Ａ：同心２軸駆動装置、    ２：駆動伝達手段収納凹部、
３：ベース部材、                            ４：内側出力軸、
５：軸受け取付具、                                    ６：軸受け、
７：外側出力軸、                            ８：ロータ、
９：カバー体、                                １０：コイルホルダー、
１１：コイル、                                １２：接続端子、
１３：切り欠部、                            １４：位置決めリング、
１５：センサー、                            １６：位置検出センサー、
１７：モータ、                                １８：駆動軸、
１９：ビス、                                                ２０：接続端子、
２１：外付けモータ、                    ２２：ピニオン、
２３：中間歯車、                            ２４：位置決めリング、
２５：大歯車、                                ２６：駆動伝達手段、
２７：切り欠部、                            ２８：センサー、
２９：位置検出センサー、                        ３０：接続端子、
３１：基板、                                                ３２：駆動制御回路、
３３：駆動制御回路。
【図１】
2008245383.tif 000003
【図２】
2008245383.tif 000004
【図３】
2008245383.tif 000005
【図４】
2008245383.tif 000006
【図５】
2008245383.tif 000007
【図６】
2008245383.tif 000008
【図７】
2008245383.tif 000009
【図８】
2008245383.tif 000010
【図９】
2008245383.tif 000011