(57)【要約】【課題】ガラス基板のブレイク時に発生したガラスカレットを確実に捕捉・除去することができるガラスカレットの除去装置、除去方法等を提供する。【解決手段】ガラス基板８０の表裏両側からスクライブラインＬに臨む一対のカレット除去ユニット１０から成り、カレット除去ユニット１０は、弱粘着シート１１と、弱粘着シート１１の粘着面をガラス基板８０に押し当てる押当て位置と退避位置との間で移動自在な押圧部材３１と、押圧部材３１を移動させる移動手段３５と、弱粘着シート１１を巻き取るシート巻取り手段４２と、制御する制御手段７と、を備え、制御手段７は、ブレイク前、押圧部材３１を押当て位置に移動させ、ブレイクの後、押圧部材３１を退避位置に移動させてから弱粘着シート１１を巻き取らせるようにしている。【選択図】図３
2008094692.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スクライブラインに沿ってガラス基板をブレイクするブレイク装置に設けられ、ブレイク時に発生するガラスカレットを除去するガラスカレットの除去装置において、
前記ガラス基板の表裏両側から前記スクライブラインに臨む一対のカレット除去ユニットから成り、
前記各カレット除去ユニットは、
前記スクライブラインのライン長に対応する幅を有する長尺の弱粘着シートと、
前記弱粘着シートの粘着面を、前記スクライブラインを跨ぐように前記ガラス基板に押し当てる押当て位置と前記押当て位置から退避する退避位置との間で移動自在に構成された押圧部材と、
前記押圧部材を、前記押当て位置と前記退避位置との間で移動させる移動手段と、
前記押圧部材を経由した前記弱粘着シートを巻き取るシート巻取り手段と、
前記移動手段および前記シート巻取り手段を制御する制御手段と、を備え、
前記制御手段は、前記ガラス基板のブレイクに先立って前記押圧部材を前記押当て位置に移動させ、ブレイクの後、前記押圧部材を前記退避位置に移動させてから前記弱粘着シートを巻き取らせることを特徴とするガラスカレットの除去装置。
【請求項２】
スクライブラインに沿ってガラス基板をブレイクするブレイク装置に設けられ、ブレイク時に発生するガラスカレットを除去するガラスカレットの除去装置において、
前記ガラス基板の表裏両側から前記スクライブラインに臨む一対のカレット除去ユニットから成り、
前記各カレット除去ユニットは、
前記スクライブラインのライン長に対応する幅を有する無端の弱粘着シートと、
前記弱粘着シートの吸着面の一部を、前記スクライブラインを跨ぐように前記ガラス基板に押し当てる押当て位置と前記押当て位置から退避する退避位置との間で移動自在に構成された押圧部材と、
前記押圧部材を、前記押当て位置と前記退避位置との間で移動させる移動手段と、
前記弱粘着シートを周回送りするシート送り手段と、
前記弱粘着シートを洗浄し、吸着したガラスカレットを除去するシート洗浄手段と、
前記移動手段および前記シート送り手段を制御する制御手段と、を備え、
前記制御手段は、前記ガラス基板のブレイクに先立って前記押圧部材を前記押当て位置に移動させ、ブレイクの後、前記押圧部材を前記退避位置に移動させてから前記弱粘着シートを前記シート洗浄手段に向かって送ることを特徴とするガラスカレットの除去装置。
【請求項３】
前記シート洗浄手段は、前記弱粘着シートを浸漬する洗浄液を貯留した洗浄液タンクと、前記洗浄液タンク内に配設され前記弱粘着シートに付着したガラスカレットを掻き落すブラッシング手段と、を有していることを特徴とする請求項２に記載のガラスカレットの除去装置。
【請求項４】
スクライブラインに沿ってガラス基板をブレイクするブレイク装置に設けられ、ブレイク時に発生するガラスカレットを除去するガラスカレットの除去装置において、
前記ガラス基板の表裏両側から前記スクライブラインに臨む一対のカレット除去ユニットから成り、
前記各カレット除去ユニットは、
前記スクライブラインのライン長に対応する幅を有する無端の静電吸着シートと、
前記静電吸着シートに帯電させる帯電手段と、
前記静電吸着シートの吸着面の一部を、前記スクライブラインを跨ぐように前記ガラス基板に押し当てる押当て位置と前記押当て位置から退避する退避位置との間で移動自在に構成された押圧部材と、
前記押圧部材を、前記押当て位置と前記退避位置との間で移動させる移動手段と、
前記静電吸着シートを周回送りするシート送り手段と、
前記静電吸着シートを除電し、吸着したガラスカレットを除去するクリーニング手段と、
前記移動手段および前記シート送り手段を制御する制御手段と、を備え、
前記制御手段は、前記ガラス基板のブレイクに先立って前記押圧部材を前記押当て位置に移動させ、ブレイクの後、前記押圧部材を前記退避位置に移動させてから前記静電吸着シートを前記クリーニング手段に向かって送ることを特徴とするガラスカレットの除去装置。
【請求項５】
前記クリーニング手段は、前記静電吸着シートを除電する除電手段と、前記静電着シートに付着したガラスカレットに対し、送風および吸引を行なうカレット回収手段と、を有していることを特徴とする請求項４に記載のガラスカレットの除去装置。
【請求項６】
前記押圧部材は、前記押圧部材本体と、前記押圧部材本体を前記ガラス基板に向かって付勢する弾性体と、を有していることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載のガラスカレットの除去装置。
【請求項７】
前記押圧部材本体は、前記スクライブラインを中心に線対称位置に配設した一対のローラで構成されていることを特徴とする請求項６に記載のガラスカレットの除去装置。
【請求項８】
前記押圧部材本体は、前記スクライブラインを跨ぐように配設した単一のローラで構成されていることを特徴とする請求項６に記載のガラスカレットの除去装置。
【請求項９】
スクライブラインに沿ってガラス基板をブレイクするブレイク装置に設けられ、ブレイク時に発生するガラスカレットを除去するガラスカレットの除去装置において、
前記ガラス基板の表裏両側から前記スクライブラインに臨む一対のカレット除去ユニットから成り、
前記各カレット除去ユニットは、
ブレイク前に、ガラスカレントを捕捉する捕捉シートを、前記スクライブラインを跨ぐように前記ガラス基板に押し当てるシート押当て手段と、
ブレイク後に、前記捕捉シートを前記ガラス基板から略垂直方向に引き離す引離し手段と、を備えたことを特徴とするガラスカレットの除去装置。
【請求項１０】
スクライブラインに沿ってガラス基板をブレイクする際に発生する、ガラスカレットの除去方法であって、
ガラスカレットを捕捉する一対の捕捉シートを、前記スクライブラインを跨ぐように前記ガラス基板の表裏両側に押し当てておいて、ブレイクを行なうと共に、
ブレイク後に、前記一対の捕捉シートをそれぞれ前記ガラス基板の表裏両面から略垂直方向に引き離すことを特徴とするガラスカレットの除去方法。
【請求項１１】
請求項１ないし９のいずれかに記載のガラスカレットの除去装置を、備えたことを特徴とするブレイク装置。
【請求項１２】
前記ガラス基板をブレイクすることにより、前記ガラス基板からＴＦＴ液晶パネルを複数枚取りすることを特徴とする請求項１１に記載のブレイク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクライブラインに沿ってガラス基板をブレイクするブレイク装置に設けられ、ブレイク時に発生するガラスカレットを除去するガラスカレットの除去装置、ガラスカレットの除去方法およびブレイク装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のガラスカレットの除去装置として、液晶パネルの端子部に付着したガラスカレットや塵埃を、粘着テープにより粘着して除去するものが知られている（例えば、特許文献１）。
この装置では、加圧ヘッドにより粘着テープを液晶パネルの端子部に押し付け、液晶パネルに付着しているガラスカレットを粘着する粘着動作と、ガラスカレットが粘着した粘着テープを巻き取る巻取り動作と、を繰り返して複数の液晶パネルに対するガラスカレットの除去を行なうようにしている。
【特許文献１】特開２００５−２０１９２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような、従来のガラスカレットの除去装置では、液晶パネルの端子部に付着しているガラスカレットは除去することができるものの、ブレイク時に飛び散ったガラスカレットを除去することはできない。このため、飛び散ったガラスカレットが液晶パネルのパネル部等に再付着し、後の工程等においてガラスカレットがパネル部等にすれて液晶パネルを傷つけてしまう問題があった。
【０００４】
本発明は、ガラス基板のブレイク時に発生したガラスカレットを確実に捕捉・除去することができるガラスカレットの除去装置、ガラスカレットの除去方法およびブレイク装置を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のガラスカレットの除去装置は、スクライブラインに沿ってガラス基板をブレイクするブレイク装置に設けられ、ブレイク時に発生するガラスカレットを除去するガラスカレットの除去装置において、ガラス基板の表裏両側からスクライブラインに臨む一対のカレット除去ユニットから成り、各カレット除去ユニットは、スクライブラインのライン長に対応する幅を有する長尺の弱粘着シートと、弱粘着シートの粘着面を、スクライブラインを跨ぐようにガラス基板に押し当てる押当て位置と押当て位置から退避する退避位置との間で移動自在に構成された押圧部材と、押圧部材を、押当て位置と退避位置との間で移動させる移動手段と、押圧部材を経由した弱粘着シートを巻き取るシート巻取り手段と、移動手段およびシート巻取り手段を制御する制御手段と、を備え、制御手段は、ガラス基板のブレイクに先立って押圧部材を押当て位置に移動させ、ブレイクの後、押圧部材を退避位置に移動させてから弱粘着シートを巻き取らせることを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、押圧部材を押当て位置に移動させ、２枚の弱粘着シートをガラス基板の表裏両側から押し当てておいて、ガラス基板をブレイクすると、発生したガラスカレットは、２枚の弱粘着シートにそれぞれ付着する。ガラスカレットが付着した各弱粘着シートは、移動手段により押圧部材が退避位置に移動し、且つシート巻取り手段が巻取り駆動することにより、ガラス基板から離れて巻き取られる。このように、ブレイクにより発生したガラスカレットを、２枚の弱粘着シートにより囲みこんで粘着・捕捉するようにしているため、ガラスカレットが飛散することがない。また、ガラスカレットが付着した各弱粘着シートを、ガラス基板から引き離して巻き取るようにしているため、ガラス基板がガラスカレットにより擦れて傷つくことがない。すなわち、ガラス基板のブレイク時に発生したガラスカレットを確実に捕捉・除去することができる。なお、巻き取った弱粘着シートは、そのまま廃棄することが、好ましい。
【０００７】
本発明の他のガラスカレットの除去装置は、スクライブラインに沿ってガラス基板をブレイクするブレイク装置に設けられ、ブレイク時に発生するガラスカレットを除去するガラスカレットの除去装置において、ガラス基板の表裏両側からスクライブラインに臨む一対のカレット除去ユニットから成り、各カレット除去ユニットは、スクライブラインのライン長に対応する幅を有する無端の弱粘着シートと、弱粘着シートの吸着面の一部を、スクライブラインを跨ぐようにガラス基板に押し当てる押当て位置と押当て位置から退避する退避位置との間で移動自在に構成された押圧部材と、押圧部材を、押当て位置と退避位置との間で移動させる移動手段と、弱粘着シートを周回送りするシート送り手段と、弱粘着シートを洗浄し、吸着したガラスカレットを除去するシート洗浄手段と、移動手段およびシート送り手段を制御する制御手段と、を備え、制御手段は、ガラス基板のブレイクに先立って押圧部材を押当て位置に移動させ、ブレイクの後、押圧部材を退避位置に移動させてから弱粘着シートをシート洗浄手段に向かって送ることを特徴とする。
【０００８】
この構成によれば、押圧部材を押当て位置に移動させ、２枚の弱粘着シートをガラス基板の表裏両側から押し当てておいて、ガラス基板をブレイクすると、発生したガラスカレットは、２枚の弱粘着シートにそれぞれ付着する。ガラスカレットが付着した各弱粘着シートは、移動手段により押圧部材が退避位置に移動し、且つシート送り手段の周回送りにより、ガラス基板から離れてシート洗浄手段に送られる。また、ガラスカレットが付着した各弱粘着シートは、シート洗浄手段により洗浄され再生される。このように、ブレイクにより発生したガラスカレットを、２枚の弱粘着シートにより囲みこんで粘着・捕捉するようにしているため、ガラスカレットが飛散することがない。また、ガラスカレットが付着した各弱粘着シートを、ガラス基板から引き離して送るようにしているため、ガラス基板がガラスカレットにより擦れて傷つくことがない。すなわち、ガラス基板のブレイク時に発生したガラスカレットを確実に捕捉・除去することができる。しかも、各弱粘着シートは、シート洗浄手段により再生されるため、省資源化を達成することができる。
【０００９】
この場合、シート洗浄手段は、弱粘着シートを浸漬する洗浄液を貯留した洗浄液タンクと、洗浄液タンク内に配設され弱粘着シートに付着したガラスカレットを掻き落すブラッシング手段と、を有していることが好ましい。
【００１０】
この構成によれば、弱粘着シートを洗浄液タンクに浸漬した状態で、ブラッシングを行なうようにしているため、弱粘着シートに付着したガラスカレットを確実に除去することができる。
【００１１】
本発明の他のガラスカレットの除去装置は、スクライブラインに沿ってガラス基板をブレイクするブレイク装置に設けられ、ブレイク時に発生するガラスカレットを除去するガラスカレットの除去装置において、ガラス基板の表裏両側からスクライブラインに臨む一対のカレット除去ユニットから成り、各カレット除去ユニットは、スクライブラインのライン長に対応する幅を有する無端の静電吸着シートと、静電吸着シートに帯電させる帯電手段と、静電吸着シートの吸着面の一部を、スクライブラインを跨ぐようにガラス基板に押し当てる押当て位置と押当て位置から退避する退避位置との間で移動自在に構成された押圧部材と、押圧部材を、押当て位置と退避位置との間で移動させる移動手段と、静電吸着シートを周回送りするシート送り手段と、静電吸着シートを除電し、吸着したガラスカレットを除去するクリーニング手段と、移動手段およびシート送り手段を制御する制御手段と、を備え、制御手段は、ガラス基板のブレイクに先立って押圧部材を押当て位置に移動させ、ブレイクの後、押圧部材を退避位置に移動させてから静電吸着シートをクリーニング手段に向かって送ることを特徴とする。
【００１２】
この構成によれば、押圧部材を押当て位置に移動させ、２枚の静電吸着シートをガラス基板の表裏両側から押し当てておいて、ガラス基板をブレイクすると、発生したガラスカレットは、２枚の静電吸着シートにそれぞれ吸着される。ガラスカレットが吸着した各静電吸着シートは、移動手段により押圧部材が退避位置に移動し、且つシート送り手段の周回送りにより、ガラス基板から離れてクリーニング手段に送られる。また、ガラスカレットが付着した各静電吸着シートは、クリーニング手段により除電され且つガラスカレットが除去され再生される。このように、ブレイクにより発生したガラスカレットを、帯電した２枚の静電吸着シートにより囲みこんで吸着・捕捉するようにしているため、ガラスカレットが飛散することがない。また、ガラスカレットが付着した各静電吸着シートを、ガラス基板から引き離して送るようにしているため、ガラス基板がガラスカレットにより擦れて傷つくことがない。すなわち、ガラス基板のブレイク時に発生したガラスカレットを確実に捕捉・除去することができる。しかも、各静電吸着シートは、クリーニング手段により再生されるため、省資源化を達成することができる。
【００１３】
この場合、クリーニング手段は、静電吸着シートを除電する除電手段と、静電吸着シートに付着したガラスカレットに対し、送風および吸引を行なうカレット回収手段と、を有していることが好ましい。
【００１４】
この構成によれば、静電吸着シートを除電した状態で、静電吸着シートに送風および吸引を行なうようにしているため、静電吸着シートに付着したガラスカレットを確実に除去することができる。
【００１５】
これらの場合、押圧部材は、押圧部材本体と、押圧部材本体をガラス基板に向かって付勢する弾性体と、を有していることが好ましい。
【００１６】
この構成によれば、ガラス基板のブレイク時にガラス基板が変形しても、この変形を弾性体が吸収するため、静電吸着シートがガラス基板から離れてしまうことがない。なお、弾性体として、バネやゴムやスポンジ等を用いることが好ましい。
【００１７】
この場合、押圧部材本体は、スクライブラインを中心に線対称位置に配設した一対のローラで構成されていることが、好ましい。
【００１８】
同様に、押圧部材本体は、スクライブラインを跨ぐように配設した単一のローラで構成されていることが、好ましい。
【００１９】
これらの構成によれば、静電吸着シートがガラス基板から離れないように押さえておくことができる。なお、前者のローラは細径でもよいが、後者のローラはブレイク後のガラス基板を跨ぐように太径に形成されていることが、好ましい。
【００２０】
本発明の他のガラスカレットの除去装置は、スクライブラインに沿ってガラス基板をブレイクするブレイク装置に設けられ、ブレイク時に発生するガラスカレットを除去するガラスカレットの除去装置において、ガラス基板の表裏両側からスクライブラインに臨む一対のカレット除去ユニットから成り、各カレット除去ユニットは、ブレイク前に、ガラスカレントを捕捉する捕捉シートを、スクライブラインを跨ぐようにガラス基板に押し当てるシート押当て手段と、ブレイク後に、捕捉シートをガラス基板から略垂直方向に引き離す引離し手段と、を備えたことを特徴とする。
【００２１】
また、本発明の他のガラスカレットの除去方法は、スクライブラインに沿ってガラス基板をブレイクする際に発生する、ガラスカレットの除去方法であって、ガラスカレットを捕捉する一対の捕捉シートを、スクライブラインを跨ぐようにガラス基板の表裏両側に押し当てておいて、ブレイクを行なうと共に、ブレイク後に、一対の捕捉シートをそれぞれガラス基板の表裏両面から略垂直方向に引き離すことを特徴とする。
【００２２】
これらの構成によれば、ブレイクにより発生したガラスカレットを、スクライブラインを跨ぐようにガラス基板の表裏両側に押し当てた２枚の捕捉シートにより囲みこんで捕捉するようにしているため、ガラスカレットを飛散させることなく、これを捕捉することができる。また、ガラスカレットが付着した各捕捉シートを、ガラス基板から略垂直方向に引き離して送るようにしているため、ガラス基板が、捕捉シートのガラスカレットに擦れて傷つくのを防止することができる。したがって、ガラス基板のブレイク時に発生したガラスカレットを確実に捕捉・除去することができる。
【００２３】
本発明のブレイク装置は、上記したガラスカレットの除去装置を、備えたことを特徴とする。
【００２４】
この構成によれば、ブレイク時に、発生したガラスカレットを確実に捕捉・除去することができるため、ガラスカレットによるガラス基板の損傷を防止することができる。
【００２５】
この場合、ガラス基板をブレイクすることにより、ガラス基板からＴＦＴ液晶パネルを複数枚取りすることが、好ましい。
【００２６】
この構成によれば、ガラス基板のブレイク時にガラスカレットを確実に除去することができるため、ガラスカレットによりＴＦＴ（Thin Film Transistor）液晶パネルが傷つくことがなく、ＴＦＴ液晶パネルの歩留りを向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、添付の図面を参照しながら、本発明の一実施形態に係るガラスカレットの除去装置を適用した、ガラス基板のブレイク装置について説明する。このブレイク装置は、ガラス基板である円板状のＯＤＦ（One Drop Filling）マザー基板を、スクライブラインに沿ってマトリクス状に分割（ブレイク）し、小型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）液晶パネルを複数枚取りするものである。
【００２８】
図１に示すように、ＯＤＦマザー基板８０は、液晶を滴下したシール材８３を介して、複数のＴＦＴを半導体技術によりマトリクス状に作りこんだ石英ガラス製の円形のＴＦＴマザー基板８１と、石英ガラス製の円形の対向マザー基板８２と、を貼り合わせて構成されている。一方、スクライブラインＬに沿ってＯＤＦマザー基板８０から分割されたＴＦＴ液晶パネル９０は、シール材８３を介して、ＴＦＴ基板８５と対向基板８６とを貼り合わせた構成を有し、全体として方形に形成されている。そして、ＴＦＴ液晶パネル９０の構成した端子部８７にＦＰＣが接続されるようになっている。
【００２９】
図２に示すように、ブレイク装置１は、４本の支持脚２と、４本の支持脚２上に固定されたメインテーブル３と、メインテーブル３の端部に回動自在に取り付けられたサブテーブル４と、メインテーブル３に対しサブテーブル４を下方に回動させるエアーシリンダ５と、を備えると共に、メインテーブル３とサブテーブル４との境界部分の直上部に配設したガラスカレットの除去装置（以下、「カレット除去装置６」）６と、これら構成装置を統括制御する制御手段７（図３参照）と、を備えている。そして、ＯＤＦマザー基板８０は、スクライブラインＬを上記の境界部分に位置合せして、その被ブレイク側をメインテーブル３上に、ブレイク側をサブテーブル４上にセットされるようになっている。
【００３０】
メインテーブル３はいわゆる吸着テーブルであり、その表面には、真空吸引手段に連なる多数の吸引孔（いずれも図示省略）が形成されている。同様に、サブテーブル４は吸着テーブルであり、その表面には、真空吸引手段に連なる多数の吸引孔（いずれも図示省略）が形成されている。ＯＤＦマザー基板８０は、そのスクライブラインＬを両テーブル３，４の境界線に位置合せして吸着セットされ、この状態でエアーシリンダ５により、サブテーブル４を所定の角度下方に回動させることにより、ブレイクされる。実際のブレイク作業では、縦横の一方のスクライブラインＬに沿って、ＯＤＦマザー基板８０を短冊状にブレイクし、この短冊状の各ＯＤＦマザー基板８０からＴＦＴ液晶パネル９０を１つずつブレイクする。
【００３１】
このように、ＯＤＦマザー基板８０を吸着した状態でブレイクするようにしているため、液晶ギャップが狂うことが無く且つＯＤＦマザー基板８０の表裏両面が傷つくことがない。なお、スクライブラインＬは、フェムト秒レーザによるＯＤＦマザー基板（ＴＦＴマザー基板８１および対向マザー基板８２）８０の改質や、物理的な溝形成により、形成されることが好ましい。
【００３２】
図２および図３に示すように、カレット除去装置６は、ＯＤＦマザー基板８０のブレイクにより生ずるガラスカレットＣを捕捉するものであり、ＯＤＦマザー基板８０のスクライブラインＬに沿って、その上側空間および下側空間に配設された一対のカレット除去ユニット１０，１０により構成されている。すなわち、カレット除去装置６は、ＯＤＦマザー基板８０の表裏両側からスクライブラインＬにその全長に亘って臨むように配設した上カレット除去ユニット１０Ａおよび下カレット除去ユニット１０Ｂにより、構成されている。この場合、上カレット除去ユニット１０Ａおよび下カレット除去ユニット１０Ｂは、基本的に同一構造となるため、以下、上カレット除去ユニット１０Ａを例に説明を進めることとする。
【００３３】
上カレット除去ユニット１０Ａは、最大のスクライブラインＬのライン長に対応する幅を有する長尺の弱粘着シート１１と、弱粘着シート１１の粘着面側を、スクライブラインＬを跨ぐようにＯＤＦマザー基板８０に押し当てる押当て位置と押当て位置から上方に退避する退避位置との間で移動自在に構成された押圧部材１２と、押圧部材１２を、押当て位置と退避位置との間で移動させる移動機構（移動手段）１３と、押圧部材１２を経由するように弱粘着シート１１を繰り出すと共にこれを巻き取るシート送り機構（シート巻取り手段）１４と、を備えている。
【００３４】
図４に示すように、弱粘着シート１１は、表面の基材層２１と、中間の弾性材層２２と、裏面の弱粘着層２３とを積層して成り、弱粘着層２３は弱い粘着剤で構成されている。弾性材層２２は、例えば低反発素材（低反発ウレタン）やスポンジ素材で構成されている。弱粘着シート２３に接触したガラスカレットＣは、弾性材層２２の窪み変形と弱粘着層２３の弱い粘着力とにより、弱粘着シート１１に捕捉（粘着）される。基材層２１には、弱粘着シート１１の送り時に滑り止めとなる多数の横断溝２１ａが形成されていることが、好ましい。
【００３５】
図３に示すように、押圧部材１２は、弱粘着シート１１をスクライブラインＬを跨ぐようにＯＤＦマザー基板８０に押し当てる一対の押圧ローラ３１，３１と、各押圧ローラ３１を上下方向にスライド自在に支持するローラ支持フレーム３２と、ローラ支持フレーム３２を受けとして各押圧ローラ３１を押当て方向に付勢する一対のローラバネ（弾性体）３３，３３と、を有している。一方、移動機構１３は、例えばソレノイド３５とこれを支持するソレノイドフレーム（図示省略）とで構成されており、ソレノイド３５のプランジャ３５ａの先端に上記のローラ支持フレームが連結されている。
【００３６】
一対の押圧ローラ３１，３１は、ソレノイド３５を励磁することにより、ローラ支持フレーム３２を介して押当て位置に移動し、消磁することにより、ローラ支持フレーム３２を介してＯＤＦマザー基板８０から離れる退避位置に移動する。また、ＯＤＦマザー基板８０をブレイクしたときに、ＯＤＦマザー基板８０の変形に倣って、一対の押圧ローラ３１，３１が上下に適宜微小移動するが、この移動は一対のローラバネ３３，３３により吸収される。したがって、ＯＤＦマザー基板８０をブレイクしたときにブレイク側が曲がり、且つこれが戻ったときにＯＤＦマザー基板８０の被ブレイク側とブレイク側との間に間隙が生ずるが、一対の押圧ローラ３１，３１は、常に弱粘着シート１１を被ブレイク側とブレイク側とに跨ぐように押し付けている。
【００３７】
シート送り機構１４は、巻回した弱粘着シート１１を繰り出すシート繰出しリール４１と、一対の押圧ローラ３１，３１を経由した弱粘着シート１１を巻き取るシート巻取りリール４２と、シート巻取りリール４２を巻き取り駆動する送りモータ４３と、を有している。シート繰出しリール４１およびシート巻取りリール４２には、弱粘着層２３が外側になるように弱粘着シート１１が巻回されており、繰り出された弱粘着シート１１の弱粘着層２３がＯＤＦマザー基板８０に対面するようになっている。シート繰出しリール４１は、その従動支軸に対しスリップ回転し、同様にシート巻取りリール４２は、その駆動支軸に対しスリップ回転するように構成されている。これにより、弱粘着シート１１を張った状態で、ＯＤＦマザー基板８０に押し付け且つ送ることができる。また、ブレイク時のショックで、一対の押圧ローラ３１，３１が微小移動しても、これに合わせて弱粘着シート１１を微少量、送り出せるようになっている。そして、この送りモータ４３と上記のソレノイド３５とは制御手段７に接続され、制御手段７により制御される。
【００３８】
ここで、上記の制御手段７によるブレイク装置１の制御方法を簡単に説明する。予め上カレット除去ユニット１０Ａおよび下カレット除去ユニット１０Ｂにおいて、弱粘着シート１１を一対の押圧ローラ３１，３１にそれぞれ巻き掛けておく。先ず、ＯＤＦマザー基板８０をメインテーブル３およびサブテーブル４に吸着セットした状態で、上下の両ソレノイド３５，３５を励磁し、一対の押圧ローラ３１，３１を押当て位置に移動させて、上下の弱粘着シート１１，１１を、それぞれスクライブラインＬを跨ぐようにＯＤＦマザー基板８０に表裏両側から押し当てる。
【００３９】
続いて、エアーシリンダ５を駆動しサブテーブル４を回動させて、ＯＤＦマザー基板８０をブレイクする。ブレイクの瞬間に、ＯＤＦマザー基板８０のブレイク端面からガラスカレットＣが発生するが、このブレイク部分（被ブレイク側とブレイク側との間隙）は、表裏両側から弱粘着シート１１，１１に覆われているため、ガラスカレットＣは、弱粘着シート１１に付着（粘着）することになる。ここで、上記の間隙に舞ったガラスカレットＣの自由落下を待って、両ソレノイド３５，３５を消磁し、一対の押圧ローラ３１，３１を退避位置に移動させて、弱粘着シート１１の押当て状態を解く。次に、各送りモータ４３を駆動し、各シート巻取りリール４２による両弱粘着シート１１，１１の巻き取りを開始する。
【００４０】
各弱粘着シート１１の巻き取りが開始されると、各弱粘着シート１１は、いったんＯＤＦマザー基板８０から剥がれた後、退避した一対の押圧ローラ３１，３１に巻き掛けられるようにして、送られてゆく。この送りは、ガラスカレットＣが付着していない弱粘着シート１１の新たな部分が、ＯＤＦマザー基板８０に臨む位置に達するまで行なわれる。このようにして、ブレイク時の弱粘着シート１１によるガラスカレットＣの捕捉と、弱粘着シート１１の送りとが繰り返し行なわれ、シート繰出しリール４１の弱粘着シート１１が消費されたら、ガラスカレットＣが付着した弱粘着シート１１を廃棄し、新たな弱粘着シート１１をシート繰出しリール４１およびシート巻取りリール４２に導入（シート交換）するようにする。
【００４１】
このように、ブレイクによって生じたＯＤＦマザー基板８０の被ブレイク側とブレイク側との間隙を、上下両側から弱粘着シート１１で覆うようにしているため、ブレイクによって生じたガラスカレットＣが、上記の間隙に封じ込められ弱粘着シート１１に粘着することになる。したがって、ガラスカレットＣを弱粘着シート１１に確実に捕捉することができる。また、ガラスカレットＣが粘着した弱粘着シート１１を、ＯＤＦマザー基板８０から引き剥がしてから送るようにしているため、弱粘着シート１１のガラスカレットＣにより、ＯＤＦマザー基板８０が傷つくことがない。なお、一対の押圧ローラ３１，３１に代えて、ＯＤＦマザー基板８０の被ブレイク側とブレイク側との間隙を跨ぐような太径の単一の押圧ローラを用いてもよい。また、移動機構１３のソレノイド３５に代えて、モータやエアーシリンダを用いるようにしてもよい。
【００４２】
次に、図５を参照して、第２実施形態に係る各カレット除去ユニット（上カレット除去ユニット１０Ａ）１０につき、第１実施形態と異なる部分について説明する。この実施形態では、第１実施形態と同様に弱粘着シート１１を用いるが、付着したガラスカレットＣを洗浄により除去して弱粘着テープ１１を再利用するようにしている。すなわち、弱粘着シート１１は、最大のスクライブラインＬのライン長に対応する幅を有する無端のもので構成されている。また、シート送り機構（シート送り手段）１４は、第１実施形態のシート繰出しリール４１およびシート巻取りリール４２に代えて、シート送りローラ５１とシート送りローラ５１に対応するガイドローラ５２と、４つの経路変更ローラ５３，５３，５３，５３と、一対のテンションローラ５４，５４と、を有している。さらに、弱粘着テープ１１に付着したガラスカレットＣを除去するシート洗浄機構（シート洗浄手段）１６を備えている。
【００４３】
シート洗浄機構１６は、洗浄液を満たした洗浄タンク５６と、洗浄タンク５６内に配設され弱粘着テープ（の弱粘着層２３）１１をブラッシングする洗浄ブラシ５７とを有しており、シート送りローラ５１により送られてゆく弱粘着テープ１１を洗浄液に浸漬し且つブラッシングすることで、ガラスカレットＣを除去する。なお、洗浄ブラシ５７は、単純に弱粘着テープ１１に突き当てる固定ものもでもよいし、回転や揺動する駆動機構付きのものでもよい。
【００４４】
シート送りローラ５１は、洗浄タンク５６の先方近傍に配設されており、これを回転駆動する送りモータ５８に連結されている。ガイドローラ５２は、シート送りローラ５１と同一水平面内において洗浄タンク５６の手前近傍に配設した自由回転ローラで構成されている。４つの経路変更ローラ５３は、上記の水平面内において洗浄タンク５６の上部に配設した一対の第１ローラ５３ａ，５３ａと、洗浄タンク５６の中間部に配設されテフロン（登録商標）等で構成した一対の第２ローラ５３ｂ，５３ｂとにより構成されている。洗浄タンク５６廻りにおいて、弱粘着シート１１は、ガイドローラ５２の位置から送り方向上流側の第１ローラ５３ａおよび第２ローラ５３ｂを経由して、洗浄タンク５６内を水平に送られ且つ上側からブラッシングを受け、続いて送り方向下流側の第２ローラ５３ｂおよび第１ローラ５３ａを経由して、シート送りローラ５１に至る。
【００４５】
一対のテンションローラ５４は、一方がシート送りローラ５１からＯＤＦマザー基板８０に至るシート送り経路の途中に配設され、他方がＯＤＦマザー基板８０からガイドローラ５２に至るシート送り経路の途中に配設されている。各テンションローラ５４は、フリーローラ５４ａと、弱粘着シート１１を張る方向にフリーローラ５４ａを付勢するバネ５４ｂとを有しており、常に弱粘着シート１１に張りを与えている。上述のように、ブレイク時のショックで、一対の押圧ローラ３１，３１が微小移動しても、一対のテンションローラ５４，５４により弱粘着シート１１の微少量の移動を吸収できるようになっている。そして、上記の送りモータ（シート送りローラ）５８は制御手段７に接続され、制御手段７により制御される。
【００４６】
ここで、上記の制御手段７によるブレイク装置１の制御方法を簡単に説明する。第１実施形態と同様に、先ずＯＤＦマザー基板８０を吸着セットした状態で、上下の両ソレノイド３５，３５を励磁し、一対の押圧ローラ３１，３１を押当て位置に移動させて、上下の弱粘着シート１１，１１を、それぞれスクライブラインＬを跨ぐようにＯＤＦマザー基板８０に表裏両側から押し当てる。
【００４７】
続いて、エアーシリンダ５を駆動させＯＤＦマザー基板８０をブレイクする。ブレイクの瞬間に、ＯＤＦマザー基板８０のブレイク端面からガラスカレットＣが発生するが、このブレイク部分（被ブレイク側とブレイク側との間隙）は、表裏両側から弱粘着シート１１に覆われているため、ガラスカレットＣは、弱粘着シート１１に付着（粘着）することになる。ここで、上記の間隙に舞ったガラスカレットＣの自由落下を待って、両ソレノイド３５，３５を消磁し、一対の押圧ローラ３１，３１を退避位置に移動させ、弱粘着シート１１の押当て状態を解く。次に、両シート送りローラ（送りモータ５８）５１，５１を駆動し、両弱粘着シート１１，１１の送りを開始する。
【００４８】
各弱粘着シート１１の巻き取りが開始されると、各弱粘着シート１１は、いったんＯＤＦマザー基板８０から剥がれた後、退避した一対の押圧ローラ３１，３１に巻き掛けられるようにして、送られてゆく。この送りは、ガラスカレットＣが付着していない弱粘着シート１１の新たな部分が、ＯＤＦマザー基板８０に臨む位置に達するまで行なわれる。このようにして、ブレイク時の弱粘着シート１１によるガラスカレットＣの捕捉と、弱粘着シート１１の送りとが繰り返し行なわれる。一方、各洗浄タンク５６では、弱粘着シート１１の送りを利用した洗浄が行なわれ、弱粘着シート１１が再生される。このように、各弱粘着シート１１を間欠周回送りすることにより、ガラスカレットＣの捕捉と除去とが行なわれる。
【００４９】
この実施形態でも、ブレイクによって生じたＯＤＦマザー基板８０の被ブレイク側とブレイク側との間隙を、上下両側から弱粘着シート１１で覆うようにしているため、ブレイクによって生じたガラスカレットＣが、上記の間隙に封じ込められ弱粘着シート１１に粘着することになる。したがって、ガラスカレットＣを弱粘着シート１１に確実に捕捉することができる。また、ガラスカレットＣが粘着した弱粘着シート１１を、ＯＤＦマザー基板８０から引き剥がしてから送るようにしているため、弱粘着シート１１のガラスカレットＣにより、ＯＤＦマザー基板８０が傷つくことがない。しかも、弱粘着シート１１を繰り返し使用するようにしているため、省資源化を達成することができる。
【００５０】
次に、図６を参照して、第３実施形態に係る各カレット除去ユニット（上カレット除去ユニット１０Ａ）１０につき、第１実施形態と異なる部分について説明する。この実施形態では、第１実施形態および第２実施形態と異なり静電吸着シート１８を用い、静電吸着シート１８によりガラスカレットＣを静電吸着するようにしている。静電吸着シート１８は、第２実施形態と同様に最大のスクライブラインＬのライン長に対応する幅を有する無端のもので構成されている。また、静電吸着シート１８の使用に伴って、イオナイザ（帯電イオナイザ）６１で構成した帯電手段と、第２実施形態のシート洗浄機構１６に代えてイオナイザ（除電イオナイザ）６２で構成した除電手段を含むクリーニング機構（クリーニング手段）６０とが設けられている。さらに、シート送りローラ６５、シート送りローラ６５に対応するガイドローラ６６および一対のテンションローラ６７，６７から成る、シート送り機構１４が設けられている。
【００５１】
図７に示すように、静電吸着シート１８は、表面の基材層７１と、中間の弾性材層７２と、裏面の帯電層７３とを積層して成り、帯電層７３は樹脂等で構成されている。弾性材層７２は、例えば低反発素材（低反発ウレタン）やスポンジ素材で構成されている。帯電層７３に接触したガラスカレットＣは、弾性材層７２の窪み変形と静電吸着により、静電吸着シート１８に捕捉される。基材層７１には、静電吸着シート１８の送り時に滑り止めとなる多数の横断溝７１ａが形成されていることが、好ましい。
【００５２】
図６に示すように、クリーニング機構６０は、静電吸着シート（およびガラスカレットＣ）１８を除電するための除電イオナイザ６２と、除電により静電吸着シート１８の拘束から解かれたガラスカレットＣを静電吸着シート１８から吹き払う送風ノズル６８と、吹き払らわれたガラスカレットＣを吸引する吸引ノズル６９と、を有している。送風ノズル６８は、図外の圧縮エアー供給手段やブロワー（送風機）に接続され、吸引ノズル６９は、図外の真空吸引手段に接続されている。また、送風ノズル６８および吸引ノズル６９は、対向配置され且つ静電吸着シート１８に平行に配設されている。なお、送風ノズル６８および吸引ノズル６９により、請求項に言うカレット回収手段が構成されている。
【００５３】
ここで、上記の制御手段７によるブレイク装置１の制御方法を簡単に説明する。第２実施形態と同様に、先ずＯＤＦマザー基板８０を吸着セットした状態で、上下の両ソレノイド３５，３５を励磁し、一対の押圧ローラ３１，３１を押当て位置に移動させて、帯電イオナイザ６１により帯電した上下の静電吸着シート１８，１８を、それぞれスクライブラインＬを跨ぐようにＯＤＦマザー基板８０に表裏両側から押し当てる。
【００５４】
続いて、エアーシリンダ５を駆動させＯＤＦマザー基板８０をブレイクする。ブレイクの瞬間に、ＯＤＦマザー基板８０のブレイク端面からガラスカレットＣが発生するが、このブレイク部分（被ブレイク側とブレイク側との間隙）は、表裏両側から静電吸着シート１８，１８に覆われているため、ガラスカレットＣは、静電吸着シート１８に静電吸着されることになる。ここで、上記の間隙に舞ったガラスカレットＣの自由落下を待って、両ソレノイド３５，３５を消磁し、一対の押圧ローラ３１，３１を退避位置に移動させて、静電吸着シート１８の押当て状態を解く。押圧ローラ３１を退避位置に移動させと、一対のテンションローラ６７，６７のテンションにより、静電吸着シート１８は一対の押圧ローラ３１，３１に伴って浮き上がる。次に、両シート送りローラ（送りモータ７０）６５を駆動し、両静電吸着シートの送りを開始する。
【００５５】
この送りは、ガラスカレットＣが吸着されていない静電吸着シート１８の新たな部分が、ＯＤＦマザー基板８０に臨む位置に達するまで行なわれる。このようにして、ブレイク時の静電吸着シート１８によるガラスカレットＣの捕捉と、静電吸着シート１８の送りとが繰り返し行なわれる。一方、クリーニング機構６０では、静電吸着シート１８が除電されると同時に、送風ノズル６８および吸引ノズル６９によりガラスカレットＣが回収される。これにより、静電吸着シート１８の再生が行なわれる。このように、各静電吸着シート１８を間欠周回送りすることにより、ガラスカレットＣの捕捉と除去とが行なわれる。
【００５６】
この実施形態でも、ブレイクによって生じたＯＤＦマザー基板８０の被ブレイク側とブレイク側との間隙を、上下両側から静電吸着シート１８，１８で覆うようにしているため、ブレイクによって生じたガラスカレットＣが、上記の間隙に封じ込められ静電吸着シート１８に静電吸着されることになる。したがって、ガラスカレットＣを静電吸着シート１８に確実に捕捉することができる。また、ガラスカレットＣが粘着した静電吸着シート１８を、ＯＤＦマザー基板８０から引き離してから送るようにしているため、静電吸着シート１８のガラスカレットＣにより、ＯＤＦマザー基板８０が傷つくことがない。しかも、静電吸着シート１８を繰り返し使用するようにしているため、省資源化を達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】ＯＤＦマザー基板（ａ）およびＴＦＴ液晶パネル（ｂ）の斜視図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係るブレイク装置の全体斜視図である。
【図３】第１実施形態に係るカレット除去装置の模式図である。
【図４】弱粘着シートの断面図である。
【図５】第２実施形態に係るカレット除去装置の模式図である。
【図６】第３実施形態の変形例に係るカレット除去装置の模式図である。
【図７】静電吸着シートの断面図である。
【符号の説明】
【００５８】
１  ブレイク装置、３  メインテーブル、４  サブテーブル、５  エアーシリンダ、６  カレット除去装置、７  制御手段、１０  カレット除去ユニット、１０Ａ  上カレット除去ユニット、１０Ｂ  下カレット除去ユニット、１１  弱粘着シート、１２  押圧部材、１３  移動機構、１４  シート送り機構、１６  シート洗浄機構、１８  静電吸着シート、３１  押圧ローラ、３３  ローラバネ、３５  ソレノイド、４１  シート繰出しリール、４２  シート巻取りリール、４３  送りモータ、５１  シート送りローラ、５４  テンションローラ、５６  洗浄タンク、５７  洗浄ブラシ、５８  送りモータ、６０  クリーニング機構、６１  帯電イオナイザ、６２  除電イオナイザ、６５  シート送りローラ、６７  テンションローラ、６８  送風ノズル、６９  吸引ノズル、７０  送りモータ、８０  ＯＤＦマザー基板、Ｃ  ガラスカレット、Ｌ  スクライブライン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2008094692.tif 000008
【図７】
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