(57)【要約】【課題】シリンダ本体の小型化を図りつつ、スライドテーブルに対する前記シリンダの組み付け方向を選択的に変更する。【解決手段】シリンダ本体１２は、第１ガイド溝３０及び第１膨出部３２からなる第１ガイド面２２を有し、前記第１ガイド面２２にガイド機構１８を介してスライドテーブル１４が変位自在に保持される。そして、ガイド機構１８を構成するガイドブロック１１８のガイド部１３６ａ、１３６ｂが前記第１ガイド溝３０に挿入されて固定される。また、シリンダ本体１２は、第１ガイド面２２と略同一形状に形成される第２ガイド面２４を備え、該第１ガイド面２２が上方となりスライドテーブル１４が装着されている場合に、前記第２ガイド面２４が取付面となり、前記第２ガイド面２４を上方としてスライドテーブル１４を装着した場合に、前記第１ガイド面２２が取付面となる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体出入ポートから圧力流体を導入することにより、シリンダ本体の軸線方向に沿ってスライドテーブルを往復動作させるリニアアクチュエータにおいて、
前記圧力流体が導入されるシリンダ室と、前記流体出入ポートが形成される軸線方向に沿った一方の側面と、前記シリンダ室内に配設されるピストンの変位量を検出する検出部を装着可能な装着溝が形成された他方の側面と、前記一方及び他方の側面と略直交した一対のガイド面とを有するシリンダ本体と、
前記ガイド面に臨み、前記シリンダ本体の軸線方向に沿って変位自在に設けられるスライドテーブルと、
前記シリンダ室に配設されたピストンの変位作用下に前記スライドテーブルを往復動作させるシリンダ機構と、
前記一対のガイド面のうちのいずれか一方に取り付けられ、複数の転動体の転動作用下に循環する通路が形成されたガイドブロックを有し、前記スライドテーブルを前記シリンダ本体の軸線方向に沿って案内するガイド機構と、
を備え、
前記ガイド機構は、前記ガイド面に対して着脱自在に装着されることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項２】
請求項１記載のリニアアクチュエータにおいて、
一方のガイド面には前記ガイド機構が装着され、他方のガイド面は、前記シリンダ本体が他部材に固定される際の取付面となることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項３】
請求項１又は２記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記ガイド面は、前記シリンダ本体の軸線と略平行且つ略同一平面上に形成される取付部と、
前記シリンダ本体の軸線に対して略対称に配置され、前記取付部に対して所定深さで窪んだ一組の溝部と、
を有し、
前記溝部に前記ガイドブロックのガイド部がそれぞれ挿入されて支持されると共に、前記取付部と前記ガイド面との間に所定間隔の間隙が設けられることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記ガイドブロックと前記シリンダ本体の間には、該ガイドブロックと前記シリンダ本体との相対的な位置決めを行う位置決め手段が配設されることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記スライドテーブルとガイドブロックには、該スライドテーブルとガイドブロックとを互いに連結する連結部材が装着されることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体出入ポートから圧力流体を導入することにより、シリンダ本体の軸線方向に沿ってスライドテーブルを往復させるリニアアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ワーク等の搬送手段として、例えば、流体圧シリンダ等のリニアアクチュエータが用いられている。このリニアアクチュエータは、シリンダ本体に沿ってスライドテーブルを往復変位させることにより、該スライドテーブルに載置されたワークを搬送している。
【０００３】
本出願人は、シリンダ本体の側面に、圧力エアを供給・排出するためのポートと、スライドテーブルの変位量を調整可能なアジャスタと、前記スライドテーブルの変位量を検出可能なセンサが装着されるセンサ溝とを有するリニアアクチュエータを提案している（特許文献１参照）。
【０００４】
このようなリニアアクチュエータでは、その使用環境や使用用途に応じてポート、アジャスタ等の配置を、シリンダ本体において対称となる側面へと変更して使用したいという要請がある。このような場合、元来のリニアアクチュエータとは反対側の側面にそれぞれポート、アジャスタ等を有する別のリニアアクチュエータを準備して交換することとなるが、２種類のリニアアクチュエータを準備する必要があるため設備コストが増大してしまうと共に、いずれか一方のリニアアクチュエータしか使用する必要がないため別のリニアアクチュエータを保管しておくスペースも必要となり、その管理が煩雑であるという問題がある。
【０００５】
このような問題を解決するために、シリンダ本体の両側面に対して予めポート、アジャスタ装着部及びセンサ溝をそれぞれ形成し、使用用途等に応じていずれか一方を選択的に使用可能なリニアアクチュエータが知られている（例えば、特許文献２参照）。
【０００６】
【特許文献１】特許第３７９５９６８号公報
【特許文献２】特許第３０６６３１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献２に係る従来技術では、シリンダ本体の両側面に対してそれぞれポート、センサを取付可能なセンサ溝、アジャスタの装着部を設けているため、前記両側面を大きく確保する必要が生じ、それに伴って、シリンダ本体の大型化を招くこととなる。その結果として、リニアアクチュエータ全体が大型化してしまうこととなる。
【０００８】
本発明は、前記の課題を考慮してなされたものであり、シリンダ本体を大型化させることなく、使用環境に応じて選択的にスライドテーブルに対する前記シリンダ本体の組み付け方向を変更することが可能なリニアアクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記の目的を達成するために、本発明は、流体出入ポートから圧力流体を導入することにより、シリンダ本体の軸線方向に沿ってスライドテーブルを往復動作させるリニアアクチュエータにおいて、
前記圧力流体が導入されるシリンダ室と、前記流体出入ポートが形成される軸線方向に沿った一方の側面と、前記シリンダ室内に配設されるピストンの変位量を検出する検出部を装着可能な装着溝が形成された他方の側面と、前記一方及び他方の側面と略直交した一対のガイド面とを有するシリンダ本体と、
前記ガイド面に臨み、前記シリンダ本体の軸線方向に沿って変位自在に設けられるスライドテーブルと、
前記シリンダ室に配設されたピストンの変位作用下に前記スライドテーブルを往復動作させるシリンダ機構と、
前記一対のガイド面のうちのいずれか一方に取り付けられ、複数の転動体の転動作用下に循環する通路が形成されたガイドブロックを有し、前記スライドテーブルを前記シリンダ本体の軸線方向に沿って案内するガイド機構と、
を備え、
前記ガイド機構は、前記ガイド面に対して着脱自在に装着されることを特徴とする。
【００１０】
本発明によれば、シリンダ本体には、流体出入ポートが形成される一方の側面と、検出部を装着可能な装着溝が形成された他方の側面に対してそれぞれ略直交する一対のガイド面を備え、該ガイド面の一方にガイド機構を介してスライドテーブルを変位自在に設けている。そして、シリンダ本体からガイド機構を含むスライドテーブルを一旦取り外し、前記ガイド機構が装着されていた一方のガイド面とは別のガイド面に対して再び前記スライドテーブルを装着することができる。
【００１１】
従って、ガイド機構を含むスライドテーブルをシリンダ本体から取り外して該シリンダ本体のガイド面を反転させて再び組み付けるという簡便な作業で前記スライドテーブルに対するシリンダ本体の相対的な組み付け方向を変更することができるため、使用環境等に応じて単一のリニアアクチュエータで流体出入ポート、装着溝の配置を反対方向へと変更して対応することが可能となる。
【００１２】
また、シリンダ本体における一方の側面に流体出入ポートを設け、他方の側面をそれぞれ設ける構成としているため、従来のシリンダ本体における両側面に対してそれぞれポート、センサ溝等を設けているリニアアクチュエータと比較し、シリンダ本体における両方の側面の大きさを抑制することができ、前記シリンダ本体の小型化を図ることにより、リニアアクチュエータの薄型化を促進させることができる。
【００１３】
さらに、一方のガイド面にガイド機構を装着し、他方のガイド面を、シリンダ本体が他部材に固定される際の取付面とすることにより、前記ガイド機構のガイド手段と前記シリンダ本体を固定する固定手段として一対のガイド面をそれぞれ使い分けることができ、前記シリンダ本体を一対のガイド面を介して取付方向を変更可能としている。
【００１４】
さらにまた、ガイド面は、シリンダ本体の軸線と略平行且つ略同一平面上に形成される取付部と、
前記シリンダ本体の軸線に対して略対称に配置され、前記取付部に対して所定深さで窪んだ一組の溝部と、
を有し、
前記溝部に前記ガイドブロックのガイド部をそれぞれ挿入て支持させると共に、前記取付部と前記ガイド面との間に所定間隔の間隙を設けるとよい。
【００１５】
これにより、他部材に固定されるガイド面の取付部に変形等が生じた場合でも、前記間隙によって変形したガイド面を有するシリンダ本体とガイドブロックとが接触することを防止できる。その結果、変形したシリンダ本体の影響を受けることなくガイド機構を含むスライドテーブルを確実且つ好適に前記シリンダ本体に組み付けることが可能となる。
【００１６】
また、ガイドブロックとシリンダ本体の間に、該ガイドブロックと前記シリンダ本体との相対的な位置決めを行う位置決め手段を配設することにより、前記ガイドブロックを含むガイド機構とシリンダ本体とを取り外して再度組み付ける場合に相対的な位置決めを簡便且つ正確に行うことができる。換言すれば、シリンダ本体とガイドブロックを含むスライドテーブルを組み付ける際の相対的な組付位置の再現性を向上させることが可能となる。
【００１７】
さらに、スライドテーブルとガイドブロックに、該スライドテーブルとガイドブロックとを互いに連結する連結部材を装着することにより、シリンダ本体からガイド機構を含むスライドテーブルを取り外して再組付する際に、前記スライドテーブルとガイドブロックとを常に一体的に移動させることができるため、前記スライドテーブル及びガイドブロックを容易に組み付けることができると共に、その組付作業性を向上させることができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、以下の効果が得られる。
【００１９】
すなわち、ガイド機構を含むスライドテーブルをシリンダ本体から取り外して該シリンダ本体のガイド面を反転させて再び組み付けるという簡便な作業で前記スライドテーブルに対するシリンダ本体の組み付け方向を変更することができるため、単一のリニアアクチュエータで流体出入ポート、装着溝の配置を使用環境等に応じて所望の方向へと変更して対応することができる。また、シリンダ本体における一方の側面に流体出入ポートを設け、他方の側面に装着溝を設けているため、従来のシリンダ本体における両側面にそれぞれポート、センサ溝を有するリニアアクチュエータと比較し、一方及び他方の側面の大きさを抑制することができるため、前記シリンダ本体の小型化を図ることができ、リニアアクチュエータの小型化が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
本発明に係るリニアアクチュエータについて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【００２１】
図１において、参照符号１０は、本発明の実施の形態に係るリニアアクチュエータを示す。
【００２２】
リニアアクチュエータ１０は、図１〜図７に示されるように、断面略長方形状のシリンダ本体１２と、前記シリンダ本体１２の軸線方向に沿って往復変位するスライドテーブル１４と、前記シリンダ本体１２とスライドテーブル１４との間に介装され、一組のピン部材（位置決め手段）１６を介して該シリンダ本体１２に保持されるガイド機構１８とを含む。なお、ここでは、リニアアクチュエータ１０が、図４に示されるように、シリンダ本体１２の下部側となる第２ガイド面２４を図示しない他の装置の装着面２０に対して当接させるように固定された場合について説明する。
【００２３】
シリンダ本体１２は、略水平方向に延在して幅広状に形成され、ガイド機構１８を保持可能な第１及び第２ガイド面（ガイド面）２２、２４と、該第１及び第２ガイド面２２、２４に対して略直交して幅狭に形成される第１及び第２側面（側面）２６、２８とから構成される。
【００２４】
このシリンダ本体１２において上部側に配置された第１ガイド面２２には、軸線方向に沿って延在し、所定深さで窪んだ一対の第１ガイド溝（溝部）３０と、前記第１ガイド溝３０の間に設けられる第１膨出部３２と、前記第１ガイド溝３０の外側に設けられる一組の第１取付部３４とを有し、前記第１ガイド面２２は、該シリンダ本体１２の中央部に形成された第１膨出部３２を中心として対称となるように形成されている。
【００２５】
第１ガイド溝３０は、第１膨出部３２側に向かって徐々に拡幅するように傾斜したテーパ面３６を有し、前記テーパ面３６は、第１ガイド溝３０の底面に対して略同一角度となるようにそれぞれ形成される。なお、第１ガイド溝３０の底面が、ガイド機構１８のガイドブロック１１８を支持する支持面３８として機能する。
【００２６】
また、第１膨出部３２の端面は、前記第１取付部３４の端面と略同一平面上となるように形成される。すなわち、第１ガイド面２２は、第１膨出部３２を挟んで所定間隔離間して一対の第１ガイド溝３０が所定深さで窪み、再び、一組の第１取付部３４が前記第１膨出部３２と同一の高さとなるように膨出した凹凸状に形成される。
【００２７】
さらに、第１膨出部３２には、ピン部材１６が挿入される一組の第１ピン挿入孔４０が所定間隔離間して形成されると共に、前記第１ピン挿入孔４０に近接する部位には、ガイド機構１８をシリンダ本体１２に取り付けるための連結ねじ４２が挿通される一組の取付孔４４ａが貫通して形成される。
【００２８】
シリンダ本体１２の第１側面２６には、軸線方向に沿って一組のセンサ取付溝（装着溝）４６が形成され、第２側面２８には、スライドテーブル１４の変位量を規制するアジャスタ４８が装着される第１凹部５０が形成され、前記第１凹部５０にねじ５２によって前記アジャスタ４８が装着される（図６参照）。このセンサ取付溝４６には、シリンダ本体１２の内部に配設されるピストン５４の位置を検出可能なセンサ（図示せず）が装着される。
【００２９】
このアジャスタ４８は、ブロック体５６と、該ブロック体５６の孔部に螺合され、ナット５８を介して前記ブロック体５６に固定される調整ねじ６０と、前記調整ねじ６０の一端部に装着されるダンパ６２とからなり、前記ブロック体５６に対して調整ねじ６０を螺回させて該ブロック体５６からの突出量を調整することにより、スライドテーブル１４の軸線方向に沿った変位量を任意に調整することができる。
【００３０】
一方、シリンダ本体１２の内部には、軸線方向に沿って略平行に設けられた一組の貫通孔６４ａ、６４ｂが形成され、該貫通孔６４ａ、６４ｂの内部には、ピストンパッキン６６及び磁性体６８が外周面に装着されたピストン５４と、前記ピストン５４に連結されたピストンロッド７０とが変位自在にそれぞれ設けられる。なお、ピストンロッド７０の一端部には、ねじ部材７２を介してフローティングブッシュ７３がそれぞれ連結され、他端部には前記ピストン５４がそれぞれ連結されている。
【００３１】
貫通孔６４ａ、６４ｂの一端部は、係止リング７４を介して装着されたエンドキャップ７６によって閉塞され、前記貫通孔６４の他端部は、係止リング７４を介して保持されるリング体７８、ロッドパッキン８０及びカラー８２によって閉塞される。なお、カラー８２の外周面には、環状溝を介してＯリング８４が嵌着される。これにより、貫通孔６４ａ、６４ｂの内部の気密が、エンドキャップ７６及びカラー８２によってそれぞれ保持される。
【００３２】
また、一組の貫通孔６４ａ、６４ｂの内部には、エンドキャップ７６及びカラー８２によって閉塞された第１シリンダ室８６及び第２シリンダ室８８がそれぞれ画成され、前記第１及び第２シリンダ室８６、８８は、一組の貫通孔６４ａ、６４ｂの間に形成された一組の連通路９０ａ、９０ｂを介して互いに連通している。また、シリンダ本体１２における第２側面２８には、一組の流体出入ポート９２ａ、９２ｂが所定間隔離間して形成され、該流体出入ポート９２ａ、９２ｂは、ピストン５４を挟んで第２シリンダ室８８の両端部側にそれぞれ連通するように形成される（図６参照）。
【００３３】
一方、シリンダ本体１２の下部側となる第２ガイド面２４は、第１ガイド面２２と同一形状に形成され、軸線方向に沿って延在し、所定深さで窪んだ一対の第２ガイド溝（溝部）９４と、前記第２ガイド溝９４の間に設けられる第２膨出部９６と、前記第２ガイド溝９４の外側に設けられる一組の第２取付部９８とを有し、前記第２ガイド面２４は、該シリンダ本体１２の中央部に形成された第２膨出部９６を中心として対称となるように形成されている。
【００３４】
また、第２膨出部９６の端面は、前記第２取付部９８の端面と略同一平面上となるように形成される。すなわち、第２ガイド面２４は、第２膨出部９６を挟んで所定間隔離間した一対の第２ガイド溝９４が所定深さで窪み、再び、一組の第２取付部９８が前記第２膨出部９６と同一の高さとなるように膨出した凹凸状に形成される。
【００３５】
さらに、第２膨出部９６には、ピン部材１６が挿入可能な一組の第２ピン挿入孔１００が所定間隔離間して形成され、前記第２ピン挿入孔１００に近接する部位に一組の取付孔４４ａが貫通している。
【００３６】
スライドテーブル１４は、断面略Ｌ字状に形成され、シリンダ本体１２の第１ガイド面２２に配設されたテーブル本体１０２と、一組のボルト１０４を介して前記テーブル本体１０２に直交して連結されるエンドプレート１０６とからなる。なお、エンドプレート１０６には、半円形状の孔部を介してフローティングブッシュ７３が保持される。これにより、シリンダ本体１２に内装された一組のピストン５４とスライドテーブル１４とがピストンロッド７０及びフローティングブッシュ７３を介して連結される（図６参照）。
【００３７】
このテーブル本体１０２は、断面略Ｕ字状に形成され、例えば、ワーク（図示せず）の載置される上面には、所定間隔離間して第１孔部１０２ａが形成される。この第１孔部１０２ａには、スライドテーブル１４と後述するガイドブロック１１８とを位置決め可能なキャップ（連結部材）１０７が挿入される（図８参照）。キャップ１０７は、例えば、ゴム等の弾性材料から有底筒状に形成され、開口した端部側から第１孔部１０２ａに対して挿入され、底部１０７ａによって前記第１孔部１０２ａが閉塞される。
【００３８】
また、テーブル本体１０２は、該テーブル本体１０２の両側部からシリンダ本体１２側に向かって略直角に突出した一組の保持部１０８を有する。互いに対向する保持部１０８の内壁面には、軸線方向に沿ってボール転動溝１１０が形成される（図７参照）。
【００３９】
また、テーブル本体１０２の軸線方向に沿った両側面には、それぞれ所定深さで窪んだ第２凹部１１２が形成され、その一方の第２凹部１１２に直方体状のストッパブロック１１４がねじ１１６によって固定されてスライドテーブル１４と一体的に変位する。そして、ストッパブロック１１４がシリンダ本体１２に装着されたアジャスタ４８に当接することにより、スライドテーブル１４の軸線方向に沿った変位量が規制される。
【００４０】
ガイド機構１８は、扁平状のガイドブロック１１８と、該ガイドブロック１１８の軸線方向に沿った両端部にそれぞれ装着される一組のボールリターン部材１２０、カバー部材１２２及びスクレーパ１２４と、前記ガイドブロック１１８をシリンダ本体１２に保持する一組のピン部材１６とを有する。なお、カバー部材１２２には、ボールリターン部材１２０との共働作用下にボールベアリング１２６を循環させる半円状のボールリターン溝１２８が形成される。
【００４１】
ガイドブロック１１８には、スライドテーブル１４におけるテーブル本体１０２の第１孔部１０２ａに臨むように第２孔部１２９が貫通して形成される。すなわち、ガイドブロック１１８の上方にテーブル本体１０２が配置され、第１孔部１０２ａを介して第２孔部１２９へとキャップ１０７が挿入されることにより、該キャップ１０７が弾性力によって第１及び第２孔部１０２ａ、１２９に保持され、前記テーブル本体１０２を含むスライドテーブル１４と前記ガイドブロック１１８とが一体的に連結されることとなる。
【００４２】
また、ガイドブロック１１８の両側面には、軸線方向に沿ってボール転動溝１３０（図５参照）が形成され、前記ボール転動溝１３０に近接する部位には、軸線方向に沿って貫通する一組のボール循環穴１３２が所定間隔離間して形成される。すなわち、テーブル本体１０２の保持部１０８に形成されたボール転動溝１１１０、ガイドブロック１１８のボール転動溝１３０、ボール循環穴１３２及びカバー部材１２２のボールリターン溝１２８によって連続するボール循環通路が構成され、複数のボールベアリング１２６が前記ボール循環通路に沿って転動することにより、ガイド機構１８の上部に配設されるスライドテーブル１４を円滑に往復動作させることができる。なお、ガイドブロック１１８の両端部には、断面略矩形状に突出した突部１３４が形成され、前記突部１３４にカバー部材１２２が係合される（図１０参照）。
【００４３】
さらに、ガイドブロック１１８の底面１１８ａには、一組のガイド部１３６ａ、１３６ｂが所定間隔離間して軸線方向に沿って延在し、前記ガイド部１３６ａ、１３６ｂは前記底面１１８ａから所定高さで膨出すると共に、その断面形状は前記底面１１８ａから離間する方向に向かって徐々に幅狭状となるように形成される。換言すれば、ガイド部１３６ａ、１３６ｂは、該ガイド部１３６ａ、１３６ｂの互いに対向する内側面１３６ｃがガイドブロック１１８の底面１１８ａを基点として徐々に幅狭となるようにそれぞれ所定角度で傾斜した断面略台形状に形成される。
【００４４】
そして、ガイドブロック１１８は、シリンダ本体１２の第１ガイド面２２に装着された際に、一組のガイド部１３６ａ、１３６ｂがそれぞれ第１ガイド溝３０へと挿入され、前記ガイド部１３６ａ、１３６ｂの端面が第１ガイド溝３０の支持面３８に対して当接する。これにより、ガイドブロック１１８がシリンダ本体１２に支持され、該ガイドブロック１１８に連結されたスライドテーブル１４が、シリンダ本体１２に対して変位自在に保持される。
【００４５】
一方、ガイドブロック１１８の底面１１８ａとシリンダ本体１２の第１膨出部３２との間には所定間隔の間隙Ｃ１が設けられると共に、ガイド部１３６ａ、１３６ｂの内側面１３６ｃと第１ガイド溝３０のテーパ面３６との間にも同様に所定間隔の間隙Ｃ２が設けられる（図９）。すなわち、ガイドブロック１１８は、ガイド部１３６ａ、１３６ｂの端面のみが第１ガイド溝３０を介してシリンダ本体１２に当接し、該ガイド部１３６ａ、１３６ｂの端面以外の部位は、前記シリンダ本体１２に対して所定間隔離間して非接触となるように配設される。
【００４６】
さらに、ガイドブロック１１８の底面１１８ａには、一組のピン部材１６を挿入するためのピン挿入孔（図示せず）が所定間隔離間して形成され、前記ピン挿入孔に近接する部位には、ねじが刻設された一組の取付孔４４ｂが貫通して形成される。これにより、シリンダ本体１２に装着されたピン部材１６がガイドブロック１１８の底面に挿入されることにより、該ガイドブロック１１８が前記シリンダ本体１２に対して位置決めされ、且つ、取付孔４４ｂに連結ねじ４２を螺合させることによってガイドブロック１１８を含むガイド機構１８がシリンダ本体１２の上部に取り付けられる。
【００４７】
なお、上述したリニアアクチュエータ１０は、図１に示されるように、スライドテーブル１４のエンドプレート１０６側から見て左側に流体出入ポート９２ａ、９２ｂ、アジャスタ４８及びストッパブロック１１４が配置され、右側にセンサ取付溝４６が配置されている。
【００４８】
本発明の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１０は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。
【００４９】
先ず、図示しない圧力流体供給源から圧力流体を一方の流体出入ポート９２ａに導入する。この場合、他方の流体出入ポート９２ｂは、図示しない切換弁による切換作用下に大気開放状態としておく。
【００５０】
これにより、圧力流体が、流体出入ポート９２ａに連通する第２シリンダ室８８から連通路９０ａを通じて第１シリンダ室８６へと供給され、前記第１及び第２シリンダ室８６、８８に導入された圧力流体によってピストン５４が矢印Ａ方向（図６参照）へと押圧される。そして、ピストン５４の押圧作用下にピストンロッド７０に係合するフローティングブッシュ７３が矢印Ａ方向へと変位し、ボールベアリング１２６の転動作用下に前記エンドプレート１０６と一体的にスライドテーブル１４が変位する。
【００５１】
これにより、スライドテーブル１４が、ガイド機構１８のガイド作用下にエンドプレート１０６がシリンダ本体１２から離間する方向（矢印Ａ方向）に向かって変位し、該スライドテーブル１４と共に変位するストッパブロック１１４がダンパ６２に当接することにより前記スライドテーブル１４の変位が規制されて変位終端位置に至る。この場合、ナット５８を緩めてブロック体５６に対して調整ねじ６０を螺回させることにより、スライドテーブル１４の変位量を任意に調整することが可能である。
【００５２】
一方、スライドテーブル１４を前記とは反対方向（矢印Ｂ方向）に変位させる場合には、他方の流体出入ポート９２ｂに圧力流体を供給すると共に、一方の流体出入ポート９２ａを切換弁（図示せず）の切換作用下に大気開放状態とする。そして、圧力流体が、第２シリンダ室８８から連通路９０ｂを通じて第１シリンダ室８６に導入され、前記第１及び第２シリンダ室８６、８８に導入された圧力流体によってピストン５４が矢印Ｂ方向に向かって押圧される。これにより、ピストンロッド７０に係合するフローティングブッシュ７３を介してエンドプレート１０６がシリンダ本体１２側に接近するようにスライドテーブル１４が矢印Ｂ方向に変位して図１に示す初期位置へと復帰する。
【００５３】
次に、上述したリニアアクチュエータ１０において、第１ガイド面２２を下方として図示しない他の装置の装着面２０に固定すると共に、第２ガイド面２４を上方としてスライドテーブル１４を装着するようにシリンダ本体１２の組み付け方向を変更する場合について説明する。
【００５４】
先ず、第２ガイド面２４を介して装着面２０に固定されたシリンダ本体１２を前記装着面２０から離脱させ、複数の連結ねじ４２を螺回させてガイドブロック１１８をシリンダ本体１２から取り外すことにより前記シリンダ本体１２からガイドブロック１１８を含むスライドテーブル１４を取り外す。また、テーブル本体１０２における一方の側面に連結されたストッパブロック１１４をねじ１１６を螺回させて離脱させると共に、シリンダ本体１２の第２側面２８に装着されたアジャスタ４８を同様にねじ５２を螺回させることによって離脱させる。この場合、スライドテーブル１４を構成するテーブル本体１０２とガイド機構１８を構成するガイドブロック１１８とがキャップ１０７を介して一体的に連結されているため、前記テーブル本体１０２とガイドブロック１１８とが分離することがない。これにより、ボールベアリング１２６が前記ガイドブロック１１８とスライドテーブル１４との間に確実に保持され脱落することが阻止される。
【００５５】
次に、図４に示されるように、第１ガイド面２２が上方となるように載置されているシリンダ本体１２を、該第１ガイド面２２が下方となるように反転させることにより（図１２参照）、他の装置の装着面２０に当接していたシリンダ本体１２の第２ガイド面２４が上方となるように配置され、第１ガイド面２２を構成する第１膨出部３２及び第１取付部３４の端面が前記装着面２０に対して当接する。
【００５６】
そして、上方に配置されたシリンダ本体１２の第２ガイド面２４に対してガイド機構１８を配設し、ガイドブロック１１８のガイド部１３６ａ、１３６ｂが第２膨出部９６を挟んで第２ガイド溝９４に当接するように装着する。そして、ピン部材１６によってシリンダ本体１２とガイドブロック１１８の相対的な位置決めがなされた後に、シリンダ本体１２の取付孔４４ａに挿通させた連結ねじ４２をガイドブロック１１８の取付孔４４ｂにそれぞれ螺合させることにより、前記ガイド機構１８が前記シリンダ本体１２に対して固定される。詳細には、ガイド機構１８を構成するガイドブロック１１８が、そのガイド部１３６ａ、１３６ｂを第２ガイド溝９４の支持面３８に当接させた状態で固定される。
【００５７】
この際、第２ガイド溝９４及び第２膨出部９６を有する第２ガイド面２４は、先にガイド機構１８が設けられていた第１ガイド面２２と同一形状に形成されているため、ガイドブロック１１８の底面１１８ａと第２膨出部９６との間に間隙Ｃ１が形成され、且つ、ガイド部１３６ａ、１３６ｂの内側面１３６ｃと第２ガイド溝９４のテーパ面３６との間にも間隙Ｃ２が形成される。
【００５８】
また、シリンダ本体１２に対してガイド機構１８を装着した後に、図１０に示されるように、テーブル本体１０２の第２凹部１１２にストッパブロック１１４を装着してねじ１１６で固定すると共に、前記ストッパブロック１１４に臨むようにシリンダ本体１２の第２側面２８にアジャスタ４８をねじ５２を介して固定する（図１１参照）。
【００５９】
最後に、シリンダ本体１２の第１ガイド面２２を装着面２０に載置することにより、該シリンダ本体１２が略平面状に形成された第１膨出部３２及び第１取付部３４を介して前記装着面２０に当接し、前記シリンダ本体１２を前記装着面２０に固定することにより、スライドテーブル１４に対するシリンダ本体１２の組み付け方向が変更された状態でリニアアクチュエータ１０が他の装置に装着される。
【００６０】
すなわち、図１１に示されるように、シリンダ本体１２は、スライドテーブル１４のエンドプレート１０６側から見て左側にセンサ取付溝４６が配置され、右側に流体出入ポート９２ａ、９２ｂ、アジャスタ４８及びストッパブロック１１４が配置されるようにスライドテーブル１４に対して組み付け方向が変更される。
【００６１】
なお、リニアアクチュエータ１０において、第１ガイド面２２が上方となるように再びシリンダ本体１２とスライドテーブル１４との組み付けを変更する場合は、上述したシリンダ本体１２の第２ガイド面２４が上方となるように組み付け方向を変更する場合と同様である。
【００６２】
以上のように、本実施の形態では、シリンダ本体１２における第１及び第２ガイド面２２、２４を同一形状とし、スライドテーブル１４をガイド可能な一組の第１及び第２ガイド溝３０、９４と、前記第１及び第２ガイド溝３０、９４の間に設けられる第１及び第２膨出部３２、９６をそれぞれ設けると共に、前記第１及び第２ガイド溝３０、９４に沿ってガイドされるガイドブロック１１８に一組のガイド部１３６ａ、１３６ｂを設けている。これにより、シリンダ本体１２からガイド機構１８を含むスライドテーブル１４、アジャスタ４８を一旦取り外し、前記シリンダ本体１２における第１及び第２ガイド面２２、２４のいずれか一方が装着面２０側となるように選択した後に、前記スライドテーブル１４、アジャスタ４８を再度シリンダ本体１２の上方となる第１ガイド面２２及び第２ガイド面２４のいずれかに装着することができる。このように、簡便な作業でスライドテーブル１４とシリンダ本体１２との相対的な組み付け方向を変更することにより、単一のリニアアクチュエータ１０で流体出入ポート９２ａ、９２ｂ、アジャスタ４８及びセンサ取付溝４６の配置の変更に対応することが可能となる。
【００６３】
その結果、リニアアクチュエータ１０の使用環境や使用用途に応じて、該リニアアクチュエータ１０とは反対側となる側面にそれぞれポート、センサ溝等を有する別のリニアアクチュエータを準備するという必要がなく、リニアアクチュエータ１０に要する設備コストを抑制することができると共に、その管理コストを低減することが可能となる。
【００６４】
また、シリンダ本体１２における一方の第１側面２６にセンサ取付溝４６を設け、他方となる第２側面２８に対して流体出入ポート９２ａ、９２ｂ、アジャスタ４８を装着可能な第１凹部５０をそれぞれ設ける構成としているため、従来のシリンダ本体における両側面に対してそれぞれポート、センサ溝等を設けているリニアアクチュエータと比較し、シリンダ本体１２の両側面となる第１及び第２側面２６、２８を最小限の大きさ（面積）とすることができる。そのため、第１及び第２側面２６、２８の面積を小さく抑制することにより、シリンダ本体１２の小型化を図ることができ、それに伴って、リニアアクチュエータ１０のさらなる薄型化を図ることができる。
【００６５】
さらに、シリンダ本体１２における第１ガイド面２２又は第２ガイド面２４にガイド機構１８を装着した際、第１及び第２膨出部３２、９６とガイドブロック１１８の底面１１８ａとの間に間隙Ｃ１を設け、且つ、第１及び第２ガイド溝３０、９４のテーパ面３６とガイド部１３６ａ、１３６ｂの内側面１３６ｃとの間に間隙Ｃ２を設けているため、例えば、装着面２０に取り付けられる第１及び第２膨出部３２、９６、第１及び第２取付部３４、９８が何らかの原因で変形した場合でも、その変形を前記間隙Ｃ１、Ｃ２で吸収することが可能となり、変形したシリンダ本体１２が前記ガイドブロック１１８に対して接触することが防止される。その結果、シリンダ本体１２の変形の影響を受けることなくガイド機構１８を含むスライドテーブル１４を確実且つ好適に前記シリンダ本体１２に組み付けることができる。
【００６６】
さらにまた、シリンダ本体１２の第１及び第２ガイド面２２、２４にそれぞれ第１及び第２ピン挿入孔４０、１００を設け、前記第１及び第２ピン挿入孔４０、１００に挿入された一組のピン部材１６をガイドブロック１１８のピン挿入孔に挿入させることにより、前記シリンダ本体１２とガイドブロック１１８との位置決めを確実且つ簡便に行うことができる。換言すれば、シリンダ本体１２とガイドブロック１１８を含むスライドテーブル１４を組み付ける際の相対的な組付位置の再現性を高めることができる。
【００６７】
また、スライドテーブル１４の第１孔部１０２ａと、ガイド機構１８を構成するガイドブロック１１８の第２孔部１２９に対してキャップ１０７を着脱自在に設けることにより、前記キャップ１０７を介して簡便且つ確実に前記スライドテーブル１４とガイドブロック１１８とを連結することができるため、前記スライドテーブル１４の再組付を行う際の作業性を向上させることが可能となる。
【００６８】
本発明に係るリニアアクチュエータは、上述の実施の形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明の実施の形態に係るリニアアクチュエータを示す外観斜視図である。
【図２】図１に示すリニアアクチュエータの分解斜視図である。
【図３】図１に示すリニアアクチュエータの平面図である。
【図４】図１のリニアアクチュエータが装着面に固定された状態を示す側面図である。
【図５】図１に示すリニアアクチュエータにおけるシリンダ本体及びガイド機構を分解した分解斜視図である。
【図６】図１に示すリニアアクチュエータの軸線方向に沿った一部横断面図である。
【図７】図１のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿った断面図である。
【図８】図３のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線に沿った断面図である。
【図９】図７のシリンダ本体の第１ガイド面とガイドブロック近傍を示す拡大断面図である。
【図１０】図１に示すリニアアクチュエータにおいて、シリンダ本体を反転させてスライドテーブルに対する組み付け方向を変更した場合の分解斜視図である。
【図１１】図１０のリニアアクチュエータが組み付けられた状態を示す外観斜視図である。
【図１２】図１１に示すリニアアクチュエータの側面図である。
【符号の説明】
【００７０】
１０…リニアアクチュエータ          １２…シリンダ本体
１４…スライドテーブル              １６…ピン部材
１８…ガイド機構                    ２０…装着面
２２…第１ガイド面                  ２４…第２ガイド面
２６…第１側面                      ２８…第２側面
３０…第１ガイド溝                  ３２…第１膨出部
３４…第１取付部                    ３６…テーパ面
３８…支持面                        ４６…センサ取付溝
４８…アジャスタ                    ５４…ピストン
８６…第１シリンダ室                ８８…第２シリンダ室
９０ａ、９０ｂ…連通路              ９２ａ、９２ｂ…流体出入ポート
９４…第２ガイド溝                  ９６…第２膨出部
９８…第２取付部                    １０２…テーブル本体
１０６…エンドプレート              １０７…キャップ
１０８…保持部                      １１４…ストッパブロック
１１８…ガイドブロック              １３６ａ、１３６ｂ…ガイド部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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