(57)【要約】【課題】スクリーン印刷によるシールパターン形成時のスクリーン版のメッシュパターンの転写による表示不良を防ぎ安定的に液晶パネルを製造することのできるスクリーン印刷装置を得る。【解決手段】この発明に係るスクリーン印刷装置は、基板１を保持するステージ２と、前記基板１を位置決めするアライメント部材３ａ、３ｂ、前記アライメント部材３ａ、３ｂを動作させる駆動部４ａ、４ｂと、スキージが前記基板上を走査する際の走査領域１４と干渉しない領域において、前記ステージ２上面に開口され、前記アライメント部材３ａ、３ｂを前記ステージ２内に収納する開口部６ａ、６ｂを有するものである。【選択図】 図３
2008094023.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スキージを走査することによりスクリーン版上のペーストを前記スクリーン版に設けられた開口パターンを介して前記スクリーン版の下部に配置された基板の主面に塗布するスクリーン印刷装置であって、前記基板を保持するステージと、前記基板の端部を押圧して前記ステージ上の所定の位置に前記基板を位置決めするアライメント部材、及び前記アライメント部材を動作させる駆動部と、前記スキージが前記基板上を走査する際の走査領域と干渉しない領域において、前記ステージ上面に開口され、前記アライメント部材を前記ステージ内に収納する開口部を有することを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項２】
開口部は長手方向がスキージの走査方向と略平行な方向に配置され、
アライメント部材は位置決め後、駆動部により前記スキージの走査方向と略平行に回転し、前記開口部よりステージ内に収納されることを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷装置。
【請求項３】
開口部は長手方向がスキージの走査方向と略垂直な方向に配置され、アライメント部材は位置決め後、駆動部により基板より離れる方向に後退し、前記開口部よりステージ内に収納されることを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷装置。
【請求項４】
ステージの上面に、基板を収容する溝部を備え、前記溝部は、前記基板が収容された際に、前記基板の主面が前記ステージ上面より低くなるように、その深さが設定されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のスクリーン印刷装置。
【請求項５】
基板の主面とステージ上面の高さの差が０.１〜０.２mmであることを特徴とする請求項４に記載のスクリーン印刷装置。
【請求項６】
請求項１〜請求項５のいずれかに記載のスクリーン印刷装置を用いて製造された液晶パネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルを製造する際のシールパターンを形成するスクリーン印刷装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
シールパターンによって額縁状に囲まれたセル構造をもった表示装置として一般的な液晶パネルの製造プロセスにおけるパネル組み立ての工程は、主にガラス基板を元に作成された液晶を駆動するスイッチング素子を載せたスイッチング素子基板とカラーフィルタの役割であるカラーフィルタ基板について、其々の基板表面に配向膜を塗布し、ラビング処理する工程と、間隔をあけて貼り合わせる工程と、所定のパネルサイズに切断する工程と、その間隔内に液晶を注入する工程がある。
【０００３】
基板を貼り合せる為には、スイッチング素子基板或いはカラーフィルタ基板上に、パネルの表示部分を囲むような形状にシールパターンを形成する。方法としては、スクリーン版に形成されたシールパターンの開口部からシール材を押し出すスクリーン印刷方式とノズル走査によってパターンを描くシールディスペンス方式の二つが一般的である。両者のうちスクリーン印刷方式は基板あたりのパネル数が多い場合においても生産性に優れるなどの点から広く採用されている。
【０００４】
この様なスクリーン印刷方式を用いたシールパターン形成工程においては、採用する印刷条件により、印刷の際にスクリーン版が基板に押し付けられ、基板表面の配向膜にスクリーン版表面のメッシュパターンが転写される場合がある。その結果、メッシュパターンの転写部分では、配向膜による液晶の所定の配向が得られず、ムラとして視認される等、液晶パネルとして画像の表示不良を招いていた。
【０００５】
また、その対策として基板を固定するチャックを基板表面より上部へ張り出した状態で印刷を行うことによって、張り出したチャックにスクリーン版を先に接触させることにより、スクリーン版が基板表面に押し付けられる圧力を緩和する方法が特許文献１に開示されている。
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−１４７５２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、近年スクリーン印刷処理される大きなガラス基板において、基板表面とスクリーン版の距離の制御、及び、スクリーン版を押し付けるスキージへの印加圧力は、メッシュパターン転写による不良の発生、シールパターン幅の安定性に敏感に影響する。これらの要因を大きな基板面の全ての位置において適正に制御する必要があり、特許文献１に記載されているような可動部分であるチャック、或いはチャックと独立に高さの決まるステージ部によってスクリーン版と基板間のギャップを制御することは、困難であり、量産時において安定的に行うことは不可能であった。
【０００８】
本発明は、このような問題点を解決するためになされたもので、本発明の目的は、スクリーン印刷によるシールパターン形成時のスクリーン版のメッシュパターンの転写による表示不良を防ぎ安定的に液晶パネルを製造することのできるスクリーン印刷装置及び液晶パネルの製造方法を得ることである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明に係るスクリーン印刷装置においては、スキージを走査することによりスクリーン版上のペーストを前記スクリーン版に設けられた開口部を介して前記スクリーン版の下部に配置された基板の主面に塗布するスクリーン印刷装置であって、前記基板を保持するステージと、前記基板の端部を押圧して前記ステージ上の所定の位置に前記基板を位置決めするアライメント部材、及び前記アライメント部材を動作させる駆動部と、前記スキージが前記基板上を走査する際の走査領域と干渉しない領域において、前記ステージ上面に開口され、前記アライメント部材を前記ステージ内に収納する開口部を有する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、スクリーン印刷によるシールパターン形成時における、スクリーン版のメッシュパターンの転写による表示不良を防ぐことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
実施の形態１． 
本実施の形態１のスクリーン印刷装置の構成について図１のステージ部の斜視図、図２のステージ部の断面図、及び図３の印刷処理部を含めた斜視図を用いて説明する。なお、図は、模式的なものであり、示された構成要素の正確な大きさなどを反映するものではない。また、図中、既出の図において説明したものと同一の構成には同一の符号を付し、その説明を省略する。以下、その他の図においても同様とする。
【００１２】
このスクリーン印刷装置は、図１に示される様に、基板１を保持するステージ２と、基板１を位置決めするアライメント部材３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、アライメント部材３ａを動作させる駆動部４ａ(ステージ内部に配置されている為、位置を点線により図示) 、同様にアライメント部材３ｂ〜３ｄを動作させる駆動部４ｂ〜４ｄ(図示せず)、アライメント部材３ａと駆動部４ａからなるアライメント機構５ａ、同様にアライメント部材３ｂ〜３ｄと駆動部４ｂ〜４ｄからなるアライメント機構５ｂ〜５ｄ(図示せず)、ステージ２上面には、アライメント部材３ａ〜３ｄをステージ２内に収納する開口部６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ、基板１を収容する溝部７、基板１のステージ２上への搬入及び搬出を行う搬送ローラ部８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ、溝部７内に設けられ、処理後の基板１を溝部７より搬出する搬送ローラ８ｅ(搬送ローラ部８ｂ、８ｃと同様の構造で図中基板１の下に配置、図示せず)から構成されている。
【００１３】
また、図２は、図１におけるアライメント部材３ａ付近のＸ―Ｘで示す箇所における断面図であり、これよりステージ２の基板１を収容する溝部７の深さｄ、基板１の厚さｔに対して、ステージ２の上面と基板１の印刷処理される主面即ち基板１の上側表面の高さの差Ｇは、Ｇ＝ｄ−ｔの関係となる。本実施の形態１では、ステージ２の上面より基板１の主面が低く、更にＧが０.１〜０.２ｍｍとなる様にステージ２の溝部７の深さｄを設計した。
【００１４】
次に、このスクリーン印刷装置の印刷処理に関する部分を図３を用いて説明する。印刷処理に関する部分は、スクリーン版９と、スクリーン版９上のペースト１０を、スクリーン版９上を走査しながら、スクリーン版９に設けられた開口パターン１１より、スクリーン版９の下部に配置された基板１の主面上に転写塗布するスキージ１２とから構成されている。印刷時には、図中矢印で方向を示した様にステージ２は上昇し、スクリーン版９と基板１が接触する間際まで近接される。また、スキージ１２の走査方向については、図中矢印で方向を示したとおり基板１の長手方向としている。
【００１５】
続いて、本実施の形態１のスクリーン印刷装置のステージ２の動作について図４及び図５を用いて説明する。
【００１６】
まず、図１で説明した搬送ローラ８ａ、８ｂによって、ステージ２上に基板１が搬入される。次に、図４(ａ)の様に、ステージ２の上面と略平行方向に延在したアライメント部材３ａ、３ｂが回転動作を行い先端を基板１の方向へ向ける(向けた後の状態のアライメント部材３ａ、３ｂの位置を点線で図示している)。続いて、図４(ｂ)の様にアライメント部材３ａ〜３ｄが基板１を挟み込む動作をすることによって基板１の端部を押圧して位置決めを行う(挟み込んだ状態のアライメント部材３ａ、３ｂの位置を点線で図示している)。この様な位置決め動作を行うことにより、ステージ２上面に設けられた溝部７内に基板１が収容される。また、本実施の形態１の場合には、アライメント部材３ａ、３ｂの動作を回転と位置決め動作を二段階に分けた動作とした、これは、位置決め動作の精度を上げる為であり、回転動作によって直接位置決めを行う動作としても構わない。
【００１７】
位置決め完了後、図５の様にアライメント部材３ａ、３ｂについては、スキージ１２の走査方向と略平行に回転した後、アライメント部材３ｃ、３ｄについては、位置決め位置から退避した後、其々、開口部６ａ〜６ｄよりステージ２上面から張り出さない位置まで下降しステージ２内に収納される(収納状態については図３中に点線により図示)。動作は、図１で説明した駆動部４ａ〜４ｄによって行われる。
【００１８】
続いて、本実施の形態１のスクリーン印刷装置の印刷動作について図６及び図７を用いて説明する。図３で説明したとおり、位置決め動作の後、ステージ２は上昇しスクリーン版９と基板１が接触する間際まで近接される。この状態で、図６の様に、スキージ１２がスクリーン版９上を走査されペースト１０をスクリーン版９に設けられた開口パターン１１を介してスクリーン版９の下部に配置された基板１の主面に塗布する。
【００１９】
また、図７に示す様に、スキージ１２は、刷り始め位置１３から走査を開始し、走査領域１４の範囲を走査し、刷り終り位置１５で走査を終了する。ステージ２においては、走査領域１４と干渉しない領域に、開口部６ａ、６ｂが設けられている。また、開口部６ａ、６ｂは、長手方向がスキージ１２の走査方向と略平行な方向に配置されている。
【００２０】
以上の様にして基板１への印刷が完了すると、ステージ２は、図３で示す矢印と逆向きに、搬出可能な位置まで下降し、図１により説明した搬送ローラ８ｃ、８ｄ、８ｅによって、ステージ２上から基板１が搬出される。
【００２１】
続いて、比較例を用いながら、本実施の形態１の作用について説明する。図８は比較例のスクリーン印刷装置のステージ１０２を示しており、基板１０１を位置決めするアライメント部材１０３ａ、１０３ｂ、１０３ｃ、１０３ｄ、アライメント部材１０３ａ〜１０３ｄをステージ１０２内に収納する開口部１０６ａ、１０６ｂ、１０６ｃ、１０６ｄ、及び基板１０１を収容する溝部１０７、などから構成されている。特に、実施の形態１とは、スキージ１１２の走査方向と垂直な方向の位置決めを行うアライメント部材１０３ａ、１０３ｂ、開口部１０６ａ、１０６ｂの配置が大きく異なる。図中では、アライメント部材１０３ａ〜１０３ｄとスキージ１１２を双方とも図示しているが、印刷時には、アライメント部材１０３ａ〜１０３ｄは図中点線で位置を示している様にステージ１０２内に収納されており、直接スキージ１１２と干渉することは無い。
【００２２】
この比較例のスクリーン印刷装置を液晶パネルのシールパターン形成工程に用いた場合、完成した液晶パネルにおいて表示不良１１６が発生する。その表示不良１１６の発生位置を図８の基板１０１上に網掛けにより示している。表示不良１１６は、従来より問題となっているスクリーン版のメッシュパターンの転写によるものであり、発生位置は、開口部１０６ａ、１０６ｂの位置の近傍であった。しかし、比較例においても、開口部１０６ａ、１０６ｂ近傍以外の部分では、全く表示不良が発生せず画像表示は良好であった。
【００２３】
続いて、図９を使って、この様な表示不良１１６が発生する理由について説明する。図９(ａ)は、図８のＡ―Ａの位置をスキージ１１２が走査している時の進行方向と垂直な面における断面図である。これより、ステージ１０２の上面より基板１０１の主面は段差Ｇだけ低い位置にある。また、スキージ１１２によってスクリーン版１０９がステージ１０２の上面に押し付けられ、更にスクリーン版１０９は、基板１０１の主面に接触または接触間際まで押し下げられる。
【００２４】
更に、スキージ１１２からの押圧は、スキージ１１２の両端がスクリーン版１０９を介して接触するステージ１０２の幅Ｗ１ａ及びＷ１ｂの部分によって支えられる。上述のスクリーン版１０９が基板１０１の主面に接触するか否か、更に接触した場合の押し付け圧は、このスキージ１１２からの押圧及びステージ１０２の接触する部分の幅Ｗ１ａ及びＷ１ｂの大小によって決まる。これは、スキージ１１２からの押圧を支える部分となる幅Ｗ１ａ及びＷ１ｂの大小により、押圧によるスキージ１１２の変形量、言い換えればスキージ１１２がステージ１０２の上面よりも下側に入り込む程度が変わることになるからである。
【００２５】
一方、図９(ｂ)は、図８においてＢ―Ｂで示す箇所、即ち開口部１０６ａ、１０６ｂ上をスキージ１１２が走査している時における進行方向と垂直な面での断面図である。これより、スキージ１１２からの押圧を支えるステージ１０２と接触する部分の幅Ｗ２ａ及びＷ２ｂが上記説明の幅Ｗ１ａ及びＷ１ｂと比較して開口部１０６ａ、１０６ｂの分だけ小さくなることが解る。この様にステージ１０２の接触する部分の幅が小さくなるとスクリーン版１０９が基板１０１の主面に接触する様になり、更にスクリーン版１０９の基板１０１主面への押し付け圧は大きくなる。
【００２６】
従って、開口部１０６ａ、１０６ｂの位置近傍では、スクリーン版１０９が基板１０１の主面に相対的に強く押し付けられることとなり、基板１０１主面の配向膜にスクリーン版１０９表面のメッシュパターンが強く転写され、表示不良１１６が発生する。
【００２７】
また、スキージ１１２の押圧を小さくすることによって、表示不良１１６を軽減する方向に調整することは可能であったが、スキージ１１２の押圧を減らすことによりシールパターンの基板１０１への転写自体に不具合を起しシールパターン幅のバラツキが大きくなった。この様に、比較例の場合においては、実用上適当な条件の範囲で表示不良１１６を無くすことは不可能であった。
【００２８】
以上、説明した様に、比較例の場合には、基板１０１の位置合わせに必要な開口部１０６ａ、１０６ｂの影響で表示不良１１６が発生する。これと比較して、図７で説明した本実施の形態１におけるスクリーン印刷装置では、スキージ１２が基板１上を走査する際の走査領域１４と干渉しない領域に開口部６ａ、６ｂを有することにより、基板１上を走査する間の全ての位置において比較例での図９(ａ)の状態を続けることができる。つまり、スクリーン版９を基板１の主面に接触させ無い状態を保つこと、或いはスクリーン版９の基板１主面への押し付け圧を均一に保つことが可能となり、比較例の様な表示不良１１６を発生させることが無い。
【００２９】
また、本実施の形態１では、基板１の主面がステージ２上面より低く、高さの差Ｇを０.１〜０.２mmとした。これは、印刷シール幅の安定化の為には、スキージ１２が通り過ぎた後、スクリーン版９に作用する張力が基板１の主面から引き離す方向に安定してかかることが必要であることから決定した。例えばスクリーン印刷によって液晶パネルを製造する場合として標準的なスクリーン版９の大きさである一辺１０００mm程度、基板サイズが基板幅５００mm程度の場合、高さの差Ｇが０.１mmよりも小さいと張力が小さくなりスクリーン版９が一定の速度で剥がれなくなる。また、０.２mmよりも大きいと基板１の主面とスクリーン版９の距離が離れ過ぎてペースト１０の滲みが発生したり、無理にスキージ１２への印加圧力を増やすとスクリーン版９の伸びが発生する。いずれの場合にも結果として安定した印刷ができなくなる。
【００３０】
以上の説明の様に、印刷としてシール幅を安定化するには高さの差Ｇを０.１〜０.２mmとすることが最適であり、比較例の様な表示不良１１６を防止する点からは、高さの差Ｇが大きい程防止効果が高くなり望ましい。しかしながら、本実施の形態１の表示不良１１６の防止効果は、基板１の主面がステージ２の上面と同じ高さ、更に基板１の主面の方が高い場合についても効果がある。これらの場合には、基板１の主面にスクリーン版９が強く押し付けられることになるが、押し付け圧を均一に保つことができることからスクリーン版９によるメッシュパターンの転写についても均一に転写されることになる。表示不良となるムラは、面内で変化が発生した場合に人間の目に見えやすくなる性質があり、全面に均一に変化する場合には視認され難い。
【００３１】
また、スキージ１２が基板１上を走査する際の走査領域１４と干渉しない領域に、開口部６ａ、６ｂを有することによって、基板１の主面とステージ２上面がどの様な関係においても、表示不良の防止効果が得られる。また、基板１の主面の方が高い場合、特に基板１を収容する溝部７自体が無い場合においても、スキージ１２への印加圧力によってはステージ２上面と干渉することが考えられる為、同様に防止効果が得られる。
【００３２】
但し、基板１の主面がステージ２上面より低い場合、直接スキージ１２の押圧をステージ２の上面が支えることになることからメッシュパターンの転写の発生を低減できること、スキージ１２の走査領域１４と干渉しない領域に、開口部６ａ、６ｂを設けたことによる効果が特に顕著となることから、基板１を収容する溝部７があり基板１の主面がステージ２上面より低くなることが望ましい。
【００３３】
また、本実施の形態１では、ステージ２の上面に備えられた溝部７の深さｄはステージ２に直接掘り込まれた構造として一体成形されていることから処理中などにおいて容易に変動することが無く、基板の厚さtも固定されているので、シール幅、表示不良の発生に敏感に影響を与える基板１の主面とステージ２上面の高さの差Ｇが変動することが無い。この為、多数の基板１を処理した場合にも、シール幅のバラツキや表示不良の発生を安定して防ぐことが可能である。
【００３４】
更に、本実施の形態１では、開口部６ａ、６ｂは長手方向がスキージ１２の走査方向と略平行な方向に配置され、アライメント部材３ａ、３ｂは位置決め後、駆動部４ａ、４ｂによりスキージ１２走査方向と略平行に回転し、開口部６ａ、６ｂよりステージ２内に収納される構造をとっている。この構造により、比較的長いアライメント部材３ａ、３ｂを収納する開口部６ａ、６ｂの長手方向を基板１のアライメント動作時のアライメント部材３ａ、３ｂの長手方向と９０度回転した方向とすることができ、結果としてステージ２の大きさをコンパクトにすることが可能である。
【００３５】
以上説明した実施の形態１では、スクリーン印刷装置において、スキージが前記基板上を走査する際の走査領域と干渉しない領域にアライメント部材を収納する開口部を配置したことにより、液晶パネルの製造工程に用いた場合に、スクリーン版のメッシュパターンの転写による表示不良を発生することが無いスクリーン印刷装置を得ることができる。また、基板を収容する溝がステージに直接掘り込まれ一体成形されていることから基板の主面とステージ上面の高さの差が変動することがなく、シール幅のバラツキや表示不良の発生を安定して防ぐことが可能である。更に、開口部を長手方向がスキージの走査方向と略平行な方向に配置することにより、スクリーン印刷装置のステージの大きさをコンパクトにすることが可能である。
【００３６】
実施の形態２．
実施の形態１では、アライメント部材３ａ、３ｂを収納する開口部６ａ、６ｂを長手方向がスキージ１２の走査方向と略平行となる様に配置した。開口部６ａ、６ｂの配置を変更した変形例である実施の形態２について説明する。
【００３７】
本実施の形態２では、開口部６ａ、６ｂの配置及びアライメント機構５ｂ〜５ｄの機構及び動作のみが実施の形態１と異なるが、この変更以外については、印刷動作、その他構造などは実施の形態１と同様である為、詳細な説明は省略する。
【００３８】
先ず、本実施の形態２のスクリーン印刷装置の構成について図１０のステージ部の斜視図を用いて説明する。
【００３９】
実施の形態１と同様に、基板１を保持するステージ２と、基板１を位置決めするアライメント部材３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、アライメント部材３ａを動作させる駆動部４ａ 、同様にアライメント部材３ｂ〜３ｄを動作させる駆動部４ｂ〜４ｄ(図示せず)、アライメント部材３ａと駆動部４ａからなるアライメント機構５ａ、同様にアライメント部材３ｂ〜３ｄと駆動部４ｂ〜４ｄからなるアライメント機構５ｂ〜５ｄ(図示せず)、ステージ２上面には、アライメント部材３ａ〜３ｄをステージ２内に収納する開口部６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ、基板１を収容する溝部７、基板１のステージ２上への搬入及び搬出を行う搬送ローラ部８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ、溝部７内に設けられ、処理後の基板１を溝部７より搬出する搬送ローラ８ｅ(搬送ローラ部８ｂ、８ｃと同様の構造で図中基板１の下に配置、図示せず)から構成されている。
【００４０】
本実施の形態２では、開口部６ａ、６ｂは長手方向が基板１の長手方向と略垂直な方向に配置されている点が実施の形態１と異なっている。
【００４１】
続いて、本実施の形態２のスクリーン印刷装置のステージ２の動作について図１１及び図１２を用いて説明する。
【００４２】
図１１は本発明の実施の形態２におけるスクリーン印刷装置のステージ部の動作状態を示す説明図である。また、図１２は、図１１においてＣ−Ｃで示す箇所の断面図であり、アライメント部材３ａ、３ｂの動作状況を示すものである。まず、図１１に示すように、ステージ２の上面と略平行方向に延在したアライメント部材３ａ、３ｂが基板１に近づくように移動して、基板１を挟み込む動作をすることによって基板１部の端部を押圧して位置決めを行う。位置決めされた基板１は、断面図１２（ａ）に示すように、溝部７内に収容される。なお、位置決めを行った際のアライメント部材３ａ、３ｂの位置については、断面図である図１２（ａ）だけでなく、図１１においても対応する位置を点線で示している。
【００４３】
また、位置決めが完了すると、駆動部４ａ、４ｂによりアライメント部材３ａ、３ｂは、基板１から離れる方向に後退し、図１２(ｂ)の様に開口部６ａ、６ｂよりステージ２上面から張り出さない位置まで下降し、ステージ２内に収納される。
【００４４】
以上の様に、アライメント部材の動作は位置決めから収納まで、平行移動及び上下動作のみであり、駆動部には、回転動作、平行移動、上下動作を組み合わせた様な複雑な動作機構が必要無く、比較的簡単な駆動機構を用いることができる。
【００４５】
続いて、本実施の形態２のスクリーン印刷装置の印刷動作について図１３を用いて説明する。図１３から判る様にスキージ１２は、刷り始め位置１３から走査を開始し、走査領域１４の範囲を走査し、刷り終り位置１５で走査を終了する。ステージ２に設けられた開口部６ａ、６ｂについては、実施の形態１と同様に走査領域１４と干渉しない領域に開口されている。
【００４６】
以上説明した実施の形態２では、実施の形態１と同様にスクリーン印刷装置において、スキージが前記基板上を走査する際の走査領域と干渉しない領域にアライメント部材を収納する開口部を配置したことにより、液晶パネルの製造工程に用いた場合に、スクリーン版のメッシュパターンの転写による表示不良を発生することが無いスクリーン印刷装置を得ることができる。また、基板を収容し基板の主面とステージの上面の高さの差を決定する溝の深さが、溝がステージに直接掘り込まれ一体成形されていることから、シール幅のバラツキや表示不良の発生を安定して防ぐことが可能である。
【００４７】
更に、本実施の形態２では、開口部を長手方向がスキージの走査方向と略垂直な方向に配置され、アライメント部材は位置決め後、駆動部により基板から離れる方向に後退し、開口部からステージ内に収納される構造をとっていることから、駆動部には、比較的簡単な駆動機構を用いることができる。
【００４８】
実施の形態３．
続いて、図１４を用いて、本実施の形態３により製造される液晶パネルの構成について説明する。尚、ここでは、一例としてＴＦＴ（Thin Film Transistor）方式の液晶パネルについて説明する。この液晶パネル２００は、図に示される様に、スイッチング素子基板２１０、カラーフィルタ基板２２０、及びスイッチング素子基板２１０とカラーフィルタ基板２２０との間に充填された液晶２３０から構成されている。
【００４９】
上述のスイッチング素子基板２１０は、ガラス基板２１１の一方の面に液晶２３０を配向させる配向膜２１２、配向膜２１２の下部に設けられ液晶２３０を駆動する電圧を印加する画素電極２１３、画素電極２１３に電圧を供給するＴＦＴなどのスイッチング素子２１４、スイッチング素子２１４を覆う絶縁膜２１５、スイッチング素子２１４に供給される信号を外部から受け入れる端子２１６、端子２１６から入力された信号を対向電極へ伝達する為のトランスファ電極２１７等を有している。また、ガラス基板２１１の他方の面には偏光板２３１を有している。
【００５０】
一方、上述のカラーフィルタ基板２２０は、ガラス基板２２１の一方の面に液晶２３０を配向させる配向膜２２２、配向膜２２２の下部に配置され、スイッチング素子基板２１０上の画素電極２１３との間に電界を生じ液晶２３０を駆動する共通電極２２３、共通電極２２３下部に設けられるカラーフィルタ２２４及び遮光層２２５等を有している。また、ガラス基板２２１の他方の面には偏光板２３２を有している。
【００５１】
また、スイッチング素子基板２１０とカラーフィルタ基板２２０はシール材２３３を介して貼り合わされている。更にトランスファ電極２１７と共通電極２２３は、トランスファ材２３４により電気的に接続されており、端子２１６から入力された信号が共通電極２２３に伝達される。この他に、液晶パネル２００は駆動信号を発生する制御基板２３５、制御基板２３５を端子２１６に電気的に接続するＦＦＣ(Flexible Flat Cable)２３６、光源となるバックライトユニット(図示せず)等を備えている。
【００５２】
この液晶パネル２００は次の様に動作する。例えば、制御基板２３５から電気信号が入力されると、画素電極２１３及び共通電極２２３に駆動電圧が加わり、駆動電圧に合わせて液晶２３０の分子の方向が変わる。そして、バックライトユニットの発する光がスイッチング素子基板２１０、液晶２３０及びカラーフィルタ基板２２０を介して外部へ透過あるいは遮断されることにより、液晶パネル２００に映像等が表示される。
【００５３】
尚、この液晶パネル２００は、一例であり他の構成でもよい。液晶パネル２００の動作モードは、ＴＮ（Twisted Nematic）モードや、ＳＴＮ（Supper Twisted Nematic）モード、強誘電性液晶モード等でもよく、駆動方法は、単純マトリックスやアクティブマトリックス等でもよく、カラーフィルタ基板２２０に設けた共通電極２２３をスイッチング素子基板２１０側に設置して、画素電極２１３との間に横方向に液晶２３０に対して電界をかける横電界方式を用いた液晶パネルでもよい。
【００５４】
次に、本実施の形態３にかかる液晶パネルの製造方法について説明する。スイッチング素子基板２１０及びカラーフィルタ基板２２０の製造方法については一般的な方法を用いる為、簡単に説明する。スイッチング素子基板２１０は、ガラス基板２１１の一方の面に、成膜、フォトリソグラフィー法によるパターンニング、エッチング等のパターン形成工程を繰り返し用いてスイッチング素子２１４や画素電極２１３、端子２１６、トランスファ電極２１７を形成することにより製造される。また、カラーフィルタ基板２２０は、同様に、ガラス基板２２１の一方の面に、カラーフィルタ２２４や共通電極２２３を形成することにより製造される。
【００５５】
続いて、本実施の形態３において特徴的な組み立て工程について図１５に示すフローチャートにしたがって説明する。まず、基板洗浄工程において、画素電極２１３が形成されているスイッチング素子基板２１０を洗浄する（S１）。次に、配向膜形成工程において、スイッチング素子基板２１０の一方の面に、配向膜２１２を形成する（S２）。この工程は、例えば、印刷法により有機膜からなる配向膜２１２(例えばJSR社製AL３０４６)を塗布し、ホットプレートなどにより焼成処理し乾燥させる。その後、ラビング工程において配向膜２１２にラビングを行い、配向膜２１２を配向させる（S３）。
【００５６】
また、Ｓ１からＳ３と同様に、共通電極２２３が形成されているカラーフィルタ基板２２０についても、洗浄、配向膜２２２の形成、ラビングを行う。
【００５７】
続いて、シール塗布工程において、実施の形態１で説明したシール印刷装置によりスイッチング素子基板２１０あるいはカラーフィルタ基板２２０の一方の面にシール材２３３の塗布処理を行う（S４）。この印刷装置を用いたことによって、配向膜２１２或いは配向膜２２２表面へのシール版の押圧が均一となる様に印刷をすることができる。シール材２３３には、例えばエポキシ系接着剤等の熱硬化型樹脂や紫外線硬化型樹脂を用いた。
【００５８】
次に、トランスファ材塗布工程において、スイッチング素子基板２１０あるいはカラーフィルタ基板２２０の一方の面にトランスファ材２３４の塗布処理を行う（S５）。そして、スペーサ散布工程において、スイッチング素子基板２１０あるいはカラーフィルタ基板２２０の一方の面にスペーサを散布する（S６）。この工程は、例えば、湿式法や乾式法によりスペーサを分散させることにより行われる。
【００５９】
その後、貼り合わせ工程において、スイッチング素子基板２１０とカラーフィルタ基板２２０を貼り合わせる（S７）。続いて、シール硬化工程において、スイッチング素子基板２１０とカラーフィルタ基板２２０を貼り合わせた状態で、シール材２３３を完全に硬化させる（S８）。この工程は、例えば、シール材２３３の材質に合わせて熱を加えることや、紫外線を照射することにより行われる。次に、セル分断工程において、貼り合わせた基板を個別セルに分解する（S９）。そして、液晶注入工程において、液晶注入口から液晶を注入する（S１０）。この工程は、例えば、液晶２３０(例えばMerck社製ZNL-４７９２)を液晶注入口から真空注入により充填することにより行われる。更に、封止工程において、液晶注入口を封止する（S１１）。この工程は、例えば、光硬化型樹脂で封じ、光を照射することにより行われる。
【００６０】
以上のS７〜S１３の貼り合わせから液晶封止までの工程については、通常の注入口からの液晶注入方法を一例として説明した。しかし、別の液晶注入方法として、注入口の無いシール材２３３の形状とし、液晶２３０をスイッチング素子基板２１０或いはカラーフィルタ基板２２０の上に液滴状態で滴下して形成し、この滴下した液晶２３０を挟む様にスイッチング素子基板２１０とカラーフィルタ基板２２０を貼り合わせた後にシール材２３３を硬化させる方法、所謂、滴下注入方式を用いてもかまわない。
【００６１】
最後に、偏光板貼付工程において、セルに偏光板２３１、２３２を貼り付け（S１２）、制御基板実装工程において、制御基板２３５を実装する（S１３）ことによって、液晶パネル２００が完成する。
【００６２】
以上説明した実施の形態３の液晶パネルにおいては、上述の通り、シール材の塗布処理工程において、スキージが前記基板上を走査する際の走査領域と干渉しない領域にアライメント部材を収納する開口部を配置したシール印刷装置を用いたことにより、配向膜へのシール版の押圧が均一となる様に印刷をするができる。その結果としてスクリーン版のメッシュパターンの転写による表示不良の発生の無い表示品質の高い液晶パネルを得ることができる。
【００６３】
更に、本実施の形態３では、基板を収容する溝がステージに直接掘り込まれ一体成形されているシール印刷装置を用いたことにより、シール幅のバラツキや表示不良の発生の無い安定した製造をすることができ製造コストがかからず信頼性の高い液晶パネルを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷装置のステージ部の斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷装置のステージ部の断面図である。
【図３】本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷装置の斜視図である。
【図４】本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷装置のステージ部の動作状態を示す説明図である。
【図５】本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷装置のステージ部の動作状態を示す説明図である。
【図６】本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷装置の印刷動作状態を示す説明図である。
【図７】本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷装置の印刷動作状態を示す説明図である。
【図８】比較例におけるスクリーン印刷装置の印刷動作状態を示す説明図である。
【図９】比較例におけるスクリーン印刷装置の印刷動作状態を示す断面図である。
【図１０】本発明の実施の形態２におけるスクリーン印刷装置のステージ部の斜視図である。
【図１１】本発明の実施の形態２におけるスクリーン印刷装置のステージ部の動作状態を示す説明図である。
【図１２】本発明の実施の形態２におけるスクリーン印刷装置のステージ部の動作状態を示す断面図である。
【図１３】本発明の実施の形態２におけるスクリーン印刷装置の印刷動作状態を示す説明図である。
【図１４】本発明の実施の形態３における液晶パネルの構成図である。
【図１５】本発明の実施の形態３における液晶パネルの製造方法における組み立て工程を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００６５】
１ 基板、２ ステージ、３ａ、３ｂ アライメント部材、４ａ、４ｂ 駆動部、６ａ、６ｂ 開口部、７ 溝部、９ スクリーン版、１０ ペースト、１１ 開口パターン、１２ スキージ、１４ 走査領域、２００ 液晶パネル。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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