(57)【要約】【課題】  プラグパレットによって複数のプラグを同時に取り扱うとともに、所定の真空度を確保してケースにプラグを圧入させることが可能な圧入装置、圧電振動子の製造方法、並びに、圧電振動子を備えた発振器、電子機器、及び電波時計を提供する。【解決手段】  圧入装置１は、プラグ５４をパレット本体３１に着脱可能に固定する固定部３２を有するプラグパレット３０と、プラグパレット３０を収容する収容部１２ｂを有しステム５７を支持するプラグ整列プレート１２と、プラグ整列プレート１２と隙間を有し圧電振動片５２及びケース５３を収容可能に形成されたケース収容穴１３ｂを有するケースガイドプレート１３と、ケースガイドプレート１３及びケース５３をプラグ整列プレート１２に向かって移動させる圧入手段５とを備え、プラグ整列プレート１２は、プラグ５４の固定を解除させ、プラグパレット３０を収容部１２ｂから取り外し可能である。【選択図】  図４
2008154174.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
略円筒状で内部が気密に封着されたステム及び該ステムに挿通されたリードを有するプラグと、該プラグの前記ステムの一端面から突出する前記リードのインナーリード部に接続された圧電振動片と、開口部を有する有底略円筒状で、前記圧電振動片を内部に配設した状態で前記開口部が前記プラグによって気密に封止されたケースとを備える圧電振動子の製造工程で、前記ケースの前記開口部に前記プラグの前記ステムを圧入させる圧入装置であって、
略板状のパレット本体、及び、該パレット本体の一辺に沿って複数設けられ、該パレット本体から前記ステム、前記リードの前記インナーリード部、及び、該インナーリード部に接続された前記圧電振動片を突出させた状態で、前記リードの内の前記ステムの前記他端面から突出するアウターリード部を前記パレット本体に着脱可能に固定する固定部を有するプラグパレットと、
前記プラグが固定された状態の前記プラグパレットを収容する収容部を有するとともに、該収容部に前記プラグパレットが収容された状態で、該プラグパレットから突出する各前記プラグの前記ステムを支持するプラグ整列プレートと、
該プラグ整列プレートと隙間を有して配設され、支持された状態の前記プラグに接続された前記圧電振動片及び前記ケースを収容可能に形成されたケース収容穴を有するケースガイドプレートと、
該ケースガイドプレート、及び、該ケースガイドプレートの前記ケース収容穴に収容される前記ケースを、前記プラグ整列プレートに向かって移動させる圧入手段とを備え、
前記プラグ整列プレートは、前記プラグパレットが前記収容部に収容された状態で、前記プラグの前記アウターリード部の固定を解除させ、前記プラグパレットを前記収容部から取り外すことが可能であることを特徴とする圧入装置。
【請求項２】
請求項１に記載の圧入装置であって、
前記プラグパレットの前記固定部は、付勢力によって前記プラグの前記アウターリード部を挟持するとともに、押圧することで挟持した状態を解除することが可能な付勢手段を備え、
前記プラグ整列プレートの前記収容部には、前記プラグパレットが収容された状態で前記付勢手段を押圧する押圧部材が設けられていることを特徴とする圧入装置。
【請求項３】
請求項２に記載の圧入装置であって、
前記プラグパレットは、前記パレット本体から突出して設けられた脚部を備え、
前記プラグ整列プレートは、前記プラグパレットが前記収容部に収容された状態で、前記脚部を前記収容部から外部へ突出させる脚部挿通孔と、
該脚部挿通孔と対向して前記プラグパレットを前記収容部から取り出すことが可能な開口部とを備えることを特徴とする圧入装置。
【請求項４】
略円筒状で内部が気密に封着されたステム及び該ステムに挿通されたリードを有するプラグと、該プラグの前記ステムの一端面から突出する前記リードのインナーリード部に接続された圧電振動片と、開口部を有する有底略円筒状で、前記圧電振動片を内部に配設した状態で前記開口部に前記プラグが圧入され気密に封止されたケースとを備える圧電振動子の製造方法であって、
前記リードの内の前記ステムの前記一端面と反対側の前記他端面から突出するアウターリード部を固定することで、前記ステム及び前記リードの前記インナーリード部を突出させた状態で前記プラグを略板状のプラグパレットに複数固定するプラグ準備工程と、
前記プラグパレットに固定された各前記プラグの前記インナーリード部に前記圧電振動片を接合する振動片接合工程と、
前記プラグ準備工程及び前記振動片接合工程によって前記圧電振動片が接続された状態で前記プラグパレットに固定された各前記プラグの前記ステムを支持するプラグ整列工程と、
ケースガイドプレートに形成されたケース収容穴に前記ケースを挿入することで、該ケースを前記ケースガイドプレートと一体的に移動可能な状態とさせるケース準備工程と、
前記プラグ整列工程後に、前記プラグの前記アウターリード部と前記プラグパレットとの固定を解除し、該プラグパレットを取り外すプラグパレット離脱工程と、
該プラグパレット離脱工程後に、前記ケースガイドプレートを前記プラグ整列プレートに向かって移動させることで、前記ケース収容穴に収容された前記ケースの前記開口部に前記ステムを圧入する圧入工程とを備えることを特徴とする圧電振動子の製造方法。
【請求項５】
請求項４に記載の圧電振動子の製造方法で製造された圧電振動子が、発振子として集積回路に接続されていることを特徴とする発振器。
【請求項６】
請求項４に記載の圧電振動子の製造方法で製造された圧電振動子を備えることを特徴とする電子機器。
【請求項７】
請求項４に記載の圧電振動子の製造方法で製造された圧電振動子が、フィルタ部に電気的に接続されていることを特徴とする電波時計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリンダーパッケージタイプの圧電振動子において、ケースにプラグを圧入させるための圧入装置、及び、圧電振動子の製造方法、並びに、圧電振動子を備えた発振器、電子機器、及び電波時計に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話や携帯情報端末器には、時刻源や制御信号のタイミング源、リファレンス信号源などとして、水晶などを利用した圧電振動子が用いられている。この種の圧電振動子は、様々なものが提供されているが、その１つとして、略円筒状に形成されたシリンダーパッケージタイプの圧電振動子が知られている。
【０００３】
シリンダーパッケージタイプの圧電振動子の基本的な構成としては、圧電振動片と、開口部を有する有底筒状で圧電振動片の外周を覆うケースと、ケースの開口部を気密に封止するプラグとで構成される。プラグは、略円筒状のステムと、ステムに挿通されたリードと、ステムとリードとの間に気密に充填された充填材とで構成され、リードの内、ケースの内部に配設されるインナーリード部に圧電振動片が接続されていることで、リードを介して外部と圧電振動片との導通を可能としている。
【０００４】
このような圧電振動子は、以下のような手順で製造される。まず、プラグとなるステムと、リードと、充填材とを組立てる。そして、組み立てたプラグをプラグパレット上に複数配列して固定する。なお、プラグパレットは、固定された複数のプラグ同士、及び、各プラグとプラグパレット自体との絶縁を図るため、樹脂などで形成されている。次に、プラグパレット毎に、固定された各プラグのリードの内のインナーリード部に圧電振動片をマウントする。そして、圧電振動片が接続された状態のプラグを、プラグパレット単位で圧入装置に配置し、真空雰囲気で加熱して所定の温度に設定した状態でケースに圧入していく（例えば、特許文献１参照）。これにより、圧電振動片が配設されたケースの内部を、真空状態で気密に封止した圧電振動子が完成する。
【特許文献１】特開平８−３１６７６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１による製造方法及び圧入装置では、真空雰囲気、所定の温度でケースにプラグを圧入する工程において、各プラグがプラグパレットに固定された状態のままであるため、加熱することで、樹脂などで形成されたプラグパレットからはガスが発生してしまう。このため、プラグパレットの使用より、プラグをプラグパレット単位で取り扱うことができる一方、プラグによって気密に封止されたケースの内部の真空度が低下してしまい、圧電振動片の周波数が不安定になってしまう問題があった。特に、近年圧電振動子の小型化が要求されてケースの容量も小さくなり、ガス発生の影響よる周波数の不安定化が顕著となってきている。
【０００６】
この発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、プラグパレットによって複数のプラグを同時に取り扱うとともに、所定の真空度を確保してケースにプラグを圧入させることが可能な圧入装置、圧電振動子の製造方法、並びに、圧電振動子を備えた発振器、電子機器、及び電波時計を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、この発明は以下の手段を提案している。
本発明は、略円筒状で内部が気密に封着されたステム及び該ステムに挿通されたリードを有するプラグと、該プラグの前記ステムの一端面から突出する前記リードのインナーリード部に接続された圧電振動片と、開口部を有する有底略円筒状で、前記圧電振動片を内部に配設した状態で前記開口部が前記プラグによって気密に封止されたケースとを備える圧電振動子の製造工程で、前記ケースの前記開口部に前記プラグの前記ステムを圧入させる圧入装置であって、略板状のパレット本体、及び、該パレット本体の一辺に沿って複数設けられ、該パレット本体から前記ステム、前記リードの前記インナーリード部、及び、該インナーリード部に接続された前記圧電振動片を突出させた状態で、前記リードの内の前記ステムの前記他端面から突出するアウターリード部を前記パレット本体に着脱可能に固定する固定部を有するプラグパレットと、前記プラグが固定された状態の前記プラグパレットを収容する収容部を有するとともに、該収容部に前記プラグパレットが収容された状態で、該プラグパレットから突出する各前記プラグの前記ステムを支持するプラグ整列プレートと、該プラグ整列プレートと隙間を有して配設され、支持された状態の前記プラグに接続された前記圧電振動片及び前記ケースを収容可能に形成されたケース収容穴を有するケースガイドプレートと、該ケースガイドプレート、及び、該ケースガイドプレートの前記ケース収容穴に収容される前記ケースを、前記プラグ整列プレートに向かって移動させる圧入手段とを備え、前記プラグ整列プレートは、前記プラグパレットが前記収容部に収容された状態で、前記プラグの前記アウターリード部の固定を解除させ、前記プラグパレットを前記収容部から取り外すことが可能であることを特徴としている。
【０００８】
また、本発明は、略円筒状で内部が気密に封着されたステム及び該ステムに挿通されたリードを有するプラグと、該プラグの前記ステムの一端面から突出する前記リードのインナーリード部に接続された圧電振動片と、開口部を有する有底略円筒状で、前記圧電振動片を内部に配設した状態で前記開口部に前記プラグが圧入され気密に封止されたケースとを備える圧電振動子の製造方法であって、前記リードの内の前記ステムの前記一端面と反対側の前記他端面から突出するアウターリード部を固定することで、前記ステム及び前記リードの前記インナーリード部を突出させた状態で前記プラグを略板状のプラグパレットに複数固定するプラグ準備工程と、前記プラグパレットに固定された各前記プラグの前記インナーリード部に前記圧電振動片を接合する振動片接合工程と、前記プラグ準備工程及び前記振動片接合工程によって前記圧電振動片が接続された状態で前記プラグパレットに固定された各前記プラグの前記ステムを支持するプラグ整列工程と、ケースガイドプレートに形成されたケース収容穴に前記ケースを挿入することで、該ケースを前記ケースガイドプレートと一体的に移動可能な状態とさせるケース準備工程と、前記プラグ整列工程後に、前記プラグの前記アウターリード部と前記プラグパレットとの固定を解除し、該プラグパレットを取り外すプラグパレット離脱工程と、該プラグパレット離脱工程後に、前記ケースガイドプレートを前記プラグ整列プレートに向かって移動させることで、前記ケース収容穴に収容された前記ケースの前記開口部に前記ステムを圧入する圧入工程とを備えることを特徴としている。
【０００９】
この発明に係る圧入装置及び圧電振動子の製造方法によれば、プラグ準備工程及び振動片接合工程によって、複数のプラグは、プラグパレット本体からステム及びインナーリード部に接続された圧電振動片を突出させた状態で、固定部によってそれぞれプラグパレット本体に固定される。次に、プラグ整列工程として、プラグ整列プレートの収容部にプラグパレットを収容することで、プラグパレットに固定された各プラグのステムは、プラグ整列プレートに支持された状態となる。一方、ケース準備工程として、ケースガイドプレートのケース収容穴にケースを挿入することで、ケースをケースガイドプレートと一体的に移動可能とさせる。次に、プラグパレット離脱工程として、プラグ整列プレートに支持された状態であるプラグとプラグパレットとの固定を解除し、プラグパレットを取り外す。そして、圧入工程として、圧入手段によって、ケースガイドプレートをプラグ整列プレートに向かって移動させれば、ケースは、ケースガイドプレートとともにステムに向かって移動する。このため、ステムは、プラグ整列プレートからの反力によってケースの開口部に圧入されていくこととなる。この際、プラグパレットは取り外されていることから、圧入に伴って加熱してもプラグパレットからガスが発生し、ケースの内部の真空度が低下してしまうことが無い。
【００１０】
また、上記の圧入装置において、前記プラグパレットの前記固定部は、付勢力によって前記プラグの前記アウターリード部を挟持するとともに、押圧することで挟持した状態を解除することが可能な付勢手段を備え、前記プラグ整列プレートの前記収容部には、前記プラグパレットが収容された状態で前記付勢手段を押圧する押圧部材が設けられていることがより好ましいとされている。
【００１１】
この発明に係る圧入装置によれば、プラグは、アウターリード部が固定部の付勢手段による付勢力によって挟持されることで、プラグパレットに固定される。そして、プラグ整列プレートの収容部にプラグパレットを収容すれば、収容部に設けられた押圧部材が付勢手段を押圧し、これにより、プラグのアウターリード部が付勢手段によって挟持された状態を解除することができる。このため、プラグパレットを収容部に収容して、プラグがプラグ整列プレートに支持された状態とした後に、プラグパレットを収容部から容易に取り外すことができる。
【００１２】
さらに、上記の圧入装置において、前記プラグパレットは、前記パレット本体から突出して設けられた脚部を備え、前記プラグ整列プレートは、前記プラグパレットが前記収容部に収容された状態で、前記脚部を前記収容部から外部へ突出させる脚部挿通孔と、該脚部挿通孔と対向して前記プラグパレットを前記収容部から取り出すことが可能な開口部とを備えることがより好ましいとされている。
【００１３】
この発明に係る圧入装置によれば、プラグパレットをプラグ整列プレートの収容部に収容することで、プラグパレットの脚部は、プラグ整列プレートの脚部挿通孔から突出した状態となる。そして、プラグパレットを取り外す際は、プラグパレットの脚部を収容部側へ押し込むだけで、脚部挿通孔と対向する開口部から容易に取り外すことができる。
【００１４】
また、本発明の発振器は、上記の圧電振動子が発振子として集積回路に接続されていることを特徴としている。
また、本発明の電子機器は、上記の圧電振動子を備えることを特徴としている。
また、本発明の電波時計は、上記の圧電振動子が、フィルタ部に電気的に接続されていることを特徴としている。
【００１５】
この発明に係る発振器、電子機器、電波時計によれば、ケースの内部を所定の真空度として気密に封止された圧電振動子を備えている。このため、信頼性の高い発振器、電子機器、電波時計を提供することができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の圧入装置によれば、プラグパレット及びプラグ整列プレートを備えていることで、プラグパレットによって複数のプラグを同時に取り扱うとともに、所定の真空度を確保してケースにプラグを圧入させることができる。このため、所定の周波数で安定的に圧電振動片を振動させることが可能な信頼性の高い圧電振動子を製造することができる。
本発明の圧電振動子の製造方法によれば、プラグ準備工程、プラグ整列工程、及び、プラグパレット離脱工程を備えていることで、プラグパレットによって複数のプラグを同時に取り扱うとともに、所定の真空度を確保してケースにプラグを圧入させることができる。このため、所定の周波数で安定的に圧電振動片を振動させることが可能な信頼性の高い圧電振動子を製造することができる。
また、本発明の発振器、電子機器、及び、電波時計によれば、上記の圧電振動子を備えることで、信頼性の向上を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
（第１の実施形態）
図１から図１８は、この発明に係る第１の実施形態を示している。図１は、本実施形態の圧入装置の全体図を示している。図２及び図３は、本実施形態の圧入装置によって製造される圧電振動子の一例を示している。
【００１８】
図２及び図３に示すように、本実施形態の圧入装置１で製造される圧電振動子５１は、シリンダーパッケージタイプの圧電振動子であり、圧電振動片５２と、圧電振動片５２を内部に配設させて外周を覆う有底略円筒状のケース５３と、ケース５３の開口部５３ａを気密に封止するプラグ５４とを備える。圧電振動片５２は、本実施形態の場合、音叉型の振動片であり、隣接した状態で互いに平行に配設された一対の振動腕部５５、５６を備えた略板状の水晶片５２ａで形成されている。また、水晶片５２ａの両面には、それぞれ、導電性膜が所定のパターンに形成された励振電極が設けられている。両面の励振電極は、互いに電気的に切り離されてパターニングされている。そして、励振電極に電圧を印加することによって、振動腕部５５、５６を互いに接近または離間する方向に所定の共振周波数で振動させることが可能である。
【００１９】
プラグ５４は、ケース５３の開口部５３ａに圧入された略円筒状のステム５７と、ステム５７に挿通された２本のリード５８と、ステム５７の内部においてステム５７とリード５８との間に充填されて気密に封着する充填材５９とを備える。充填材５９は、絶縁性を有する材質で形成されていて、例えば、ホウ珪酸ガラスで形成されている。また、ステム５７は、外径がケース５３の内径よりも僅かに大きく設定されている。そして、ステム５７がケース５３の開口部５３ａに圧入されていることで、ステム５７及び充填材５９によってケース５３の内部を所定の真空度として気密に封止している。また、リード５８は、ステム５７の一端面５７ａからケース５３の内部側に突出するインナーリード部５８ａと、ステム５７の一端面５７ａと反対側の他端面５７ｂからケース５３の外部側に突出するアウターリード部５８ｂとを有している。リード５８のインナーリード部５８ａには、圧電振動片５２の励振電極が接合されていて、これにより、外部からリード５８を介して圧電振動片５２の励振電極に電気的に接続することが可能である。なお、リード５８は、全体としてケース５３の中心軸Ｌ５３と略平行に配設されているとともに、インナーリード部５８ａのみ僅かに折り曲げられて形成されていて、インナーリード部５８ａに接合された圧電振動片５２の先端部５２ｂがケース５３の中心軸Ｌ５３に位置するように設定されている。
【００２０】
次に、圧入装置１について説明する。圧入装置１は、上記の圧電振動子５１において、インナーリード部５８ａに圧電振動片５２が接続されたプラグ５４をケース５３の開口部５３ａに圧入させる装置である。図１に示すように、圧入装置１は、圧電振動片５２が接続されたプラグ５４及び対応するケース５３が装填された複数の圧入型２と、圧入型２を加熱する複数のヒータブロック３と、載置面４ａに交互に積み上げられた圧入型２とヒータブロック３とを収容する気密室４と、圧入型２を加圧する圧入手段５とを備える。ヒータブロック３は、複数内蔵された埋め込みシースヒータ３ａにより加熱することが可能であり、これによりヒータブロック３の間に介装された各圧入型２を所定温度まで加熱することが可能である。また、気密室４は、図示しない排気手段によって内部を真空状態に排気することが可能である。ヒータブロック３には、介装された圧入型２の側方となる位置に、一対の貫通孔が形成されていて、載置面４ａから立設されたシャフト６が挿通されている。また、ヒータブロック３同士の間には、シャフト６に外装されたバネ６ａが介装されていて、圧入型２を挿脱可能な間隔を保持している。また、シャフト６の上端部にはストッパー７が固定されていて、圧入型２及びヒータブロック３は、ストッパー７と載置面４ａとによって挟み込まれている。また、圧入装置１は、ヒータブロック３の内、最下部のヒータブロック３ｂを上方に押し上げる油圧シリンダ８と、油圧シリンダ８を制御する油圧ユニット９とを備える。そして、油圧ユニット９による制御のもと、油圧シリンダ８によってヒータブロック３ｂを押し上げることで、ヒータブロック３と圧入型２とは油圧シリンダ９とストッパー７との間で挟み込まれて、これにより圧入型２を加圧することが可能であり、すなわち、ストッパー７、油圧シリンダ８、及び、油圧ユニット９によって、圧入型２を加圧し、ケース５３にプラグ５４を圧入する圧入手段５を構成している。
【００２１】
次に、圧入型２について説明する。図４に示すように、各圧入型２は、下部から上部へ向かって順に、ベース板１１と、複数のプラグ整列プレート１２と、ケースガイドプレート１３と、上プレート１４とを備える。以下に、圧入型２の各構成の詳細について説明する。
【００２２】
図４に示すように、圧入型２において、略板状のベース板１１上には、複数のプラグ整列プレート１２が一列に配列されている。ここで、各プラグ整列プレート１２は、隣接して配置された二枚のセパレータ１６、１６によって構成されている。図５から図８に示すように、セパレータ１６は、略板状のセパレータ本体１７と、セパレータ本体１７の上縁部１７ａから両側にそれぞれ突出する第一の天板１８及び第二の天板１９と、セパレータ本体１７の両側縁部１７ｂから両側にそれぞれ突出する第一のフランジ１７ｃ及び第二のフランジ１７ｄとを備える。第一の天板１８及び第一のフランジ１７ｃのセパレータ本体１７から突出する幅は、第二の天板１９及び第二のフランジ１７ｄのセパレータ本体１７から突出する幅に比べて、後述するプラグパレット３０のパレット本体３１の厚さと略等しい分だけ大きく形成されている。また、第二の天板１９の縁端部１９ａには、複数の略矩形の溝１９ｂが、縁端部１９ａに沿って等間隔に配列して、厚さ方向に貫通するように形成されている。さらに、第二の天板１９の上面には、溝１９ｂのそれぞれの内部において、縁端部１９ａ側に開口する凹部１９ｃが形成されている。凹部１９ｃは、側方視して断面が上面から下方に向かって縮径する台形状に形成されているとともに、上方視して略半円状に形成されている。また、第一の天板１８の上面には、第二の天板１９の凹部１９ｃと対向して、縁端部１８ａ側に開口する凹部１８ｃが形成されている。凹部１８ｃも同様に、側方視して断面が上面から下方に向かって縮径する台形状に形成されているとともに、上方視して略半円状に形成されている。なお、凹部１８ｃ、１９ｃの半径は略等しく設定されていて、後述するように、隣り合うセパレータ１６の凹部１８ｃ、１９ｃを組み合わせることで、上方視略円形のすり鉢上に形成された支持部１２ｃが形成される。また、本実施形態では、各セパレータ１６において、凹部１８ｃ、１９ｃ及び溝１９ｂは、２２箇所設けられている。また、第一の天板１８及び第二の天板１９の縁端部１８ａ、１９ａにおいて、複数配列された凹部１８ｃ、１９ｃの両側には、それぞれ一対の略矩形状の溝１８ｄ、１９ｄが形成されている。さらに、セパレータ本体１７の第一の天板１８側の側面１７ｅには、一対の押圧部材２０、２０が、凹部１８ｃと対応する位置で複数組突出して設けられている。押圧部材２０は、後述するプラグパレット３０の固定部３２の固定状態を解除するものであるが、その詳細については後述する。
【００２３】
そして、図４に示すように、これらのセパレータ１６は、上記のようにベース板１１上で一列に密着して配列されていて、配列する方向に対向配置された押さえブロック２１及びストッパー２２、並びに、配列する方向と直交する方向に対向配置された一対の側面ブロック２３、２３によって、挟み込まれて一体となっている。なお、本実施形態では、２７枚のセパレータ１６が配列している。また、押さえブロック２１は、セパレータ１６と対向する位置に溝２４ａが形成された断面略コの字形の押さえ取り付けプレート２４と、押さえ取り付けプレート２４の溝２４ａに挿入された押さえ板２５とを備える。そして、押さえブロック２１の押さえ取り付けプレート２４と側面ブロック２３とは、固定ボルト２４ｂで締め付けられて一体となっている。同様に、ストッパー２２と側面ブロック２３とも、図示しない固定ボルトで締め付けられて一体となっている。また、押えブロック２１において、押さえ取り付けプレート２４の外面２４ｃから溝２４ａには、めねじが形成されたボルト挿通孔が貫通して形成されていて、締付ボルト２４ｄが螺合されている。そして、締付ボルト２４ｄの先端を溝２４ａ側に突出させることで、押さえ板２５を押圧して押さえ板２５とストッパー２２との間でセパレータ１６を配列方向に締め付けることが可能である。そして、締め付けた状態においては、図６に示すように、隣り合う一対のセパレータ１６において、一方の第一の天板１８及びセパレータ本体１７と、他方の第二の天板１９とセパレータ本体１７とで、一つのプラグ整列プレート１２を構成する。本実施形態では、上記のように２７枚のセパレータ１６が配列しているので、プラグ整列プレート１２は２６組構成されることとなる。一方、締付ボルト２４ｄを緩めて押さえ板２５を引き抜けば、セパレータ１６同士の間に隙間を形成することが可能となる。なお、ベース板１１は、図示しないが、セパレータ１６が配置される範囲が中抜きされた枠状の部材であり、ストッパー２２及び側面ブロック２３のみが載置された状態となっている。
【００２４】
ここで、図６に示すように、締付ボルト２４ｄを締め付けた状態で、一対のセパレータ１６で構成されるプラグ整列プレート１２は、一対のセパレータ本体１７、１７、第一の天板１８、及び、第二の天板１９によって構成される本体部１２ａと、本体部１２ａによって形成される収容部１２ｂと、凹部１８ｃ、１９ｃによって構成され、第一の天板１８及び第二の天板１９の上面においてすり鉢状の凹部として形成される支持部１２ｃとを備える。収容部１２ｂは、本体部１２ａによって形成される空間であり、すなわち、本体部１２ａを構成する第一の天板１８及び第二の天板１９と対向する位置に開口部１２ｄが形成されている。
【００２５】
また、本実施形態では、上記のように各セパレータ１６には、凹部１８ｃ、１９ｃがそれぞれ２２個形成されているので、計２２組の支持部１２ｃが構成される。さらに、本実施形態では、２６組のプラグ整列プレート１２が配列しているので、配列したプラグ整列プレート１２によって、計５７２組（＝２６×２２）の支持部１２ｃが形成されることとなる。また、支持部１２ｃには、溝１９ｂによって形成され収容部１２ｂと外部とを連通する貫通孔１２ｅが形成されている。さらに、等間隔で配列した支持部１２ｃの両側には、隣り合うセパレータ１６の溝１８ｄ、１９ｄによって、略矩形の脚部挿通孔１２ｆが形成されることになる。そして、図６に示すように、この各プラグ整列プレート１２の収容部１２ｂに、複数のプラグ５４が搭載されたプラグパレット３０を収容することで、複数のプラグ５４は対応する支持部１２ｃに支持された状態となる。以下に、このプラグパレット３０の構成及びプラグパレット３０がプラグ整列プレート１２に収容された状態の詳細について説明する。
【００２６】
図９及び図１０に示すように、プラグパレット３０は、略板状のパレット本体３１と、パレット本体３１にプラグ５４を着脱可能に固定する複数の固定部３２と、パレット本体３１の両側縁部３１ａに設けられ、上縁部３１ｂから突出する脚部３３とを備える。脚部３３の断面形状は、プラグ整列プレート１２の脚部挿通孔１２ｆに対応する略矩形に形成されていて、脚部挿通孔１２ｆに挿通させることが可能である。また、固定部３２は、パレット本体３１の一面３１ｃにおいて、上縁部３１ｂに沿って、プラグ整列プレート１２の支持部１２ｃと略等しい間隔で設けられている。ここで、各固定部３２は、対応するプラグ５４の二本のアウターリード部５８ｂを固定する一対の付勢手段である板バネ３４、３４で構成されている。
【００２７】
より詳しくは、図１０に示すように、パレット本体３１には、各固定部３２と対応して一対の貫通孔３１ｄが形成されている。そして、固定部３２の各板バネ３４は、対応する貫通孔３１ｄ内で、パレット本体３１の一面３１ｃから反対側の他面３１ｅへ配設されている。板バネ３４は、略コの字状に形成された本体部３４ａと、本体部３４ａの両端３４ｂから外側へ折り返された当接部３４ｃとを備える。そして、当接部３４ｃがパレット本体３１の他面３１ｅに当接した状態で、本体部３４ａは貫通孔３１ｄから一面３１ｃ側に突出している。さらに、本体部３４ａにおいて、対向する側板の幅方向の一部は、係止部３４ｄとして、外側に拡げられている。係止部３４ｄの長さは、当接部３４ｃと係止部３４ｄの先端との間隔がパレット本体３１の厚さよりも小さくなるように設定されている。このため、板バネ３４は、自身の付勢力によって当接部３４ｃと係止部３４ｄとによってパレット本体３１を挟持し、貫通孔３１ｄに配設された状態を保っている。
【００２８】
そして、係止部３４ｄとパレット本体３１の一面３１ｃとの間にプラグ５４のアウターリード部５８ｂを挿入すれば、アウターリード部５８ｂは、板バネ３４の付勢力によってパレット本体３１の一面３１ｃと係止部３４ｄとの間に挟持された状態となる。すなわち、プラグ５４は、二本のアウターリード部５８ｂが固定部３２の一対の板バネ３４によってそれぞれ挟持されることで、上縁部３１ｂからステム５７及びインナーリード部５８ａに接続された圧電振動片５２を上方に突出させた状態でプラグパレット３０に固定される。そして、複数の固定部３２によって、パレット本体３１の上縁部３１ｂに沿って等間隔に複数のプラグ５４を配列することが可能であり、本実施形態では、２２組の固定部３２が設けられ、これにより２２個のプラグ５４を固定することが可能となっている。一方、パレット本体３１の他面３１ｅ側から板バネ３４の本体部３４ａの両端３４ｂを押圧すれば、係止部３４ｄをアウターリード部５８ｂから離隔させることができる。このため、各固定部３２において、板バネ３４の本体部３４ａの両端３４ｂを押圧することで、各プラグ５４がプラグパレット３０に固定された状態を解除することができる。
【００２９】
そして、図６に示すように、各プラグ整列プレート１２の収容部１２ｂにプラグパレット３０を収容すれば、脚部３３は脚部挿通孔１２ｆに挿通されて上方へ突出した状態となり、これによりプラグパレット３０は、収容部１２ｂ内で位置決めされた状態となる。また、プラグパレット３０は、このように位置決めされた状態において、各固定部３２がプラグ整列プレート１２の各支持部１２ｃと対向配置するように、固定部３２と脚部３３との位置関係が設定されている。このため、プラグパレット３０に固定された各プラグ５４は、アウターリード部５８ｂが各支持部１２ｃの貫通孔１２ｅに挿通されるとともに、ステム５７の他端面５７ｂに支持部１２ｃが当接し、圧電振動片５２を上方に突出させた状態で支持部１２ｃによって支持された状態となる。
【００３０】
また、図４及び図１１に示すように、プラグ整列プレート１２の上側に配設されるケースガイドプレート１３は、略板状の部材である。また、ケースガイドプレート１３には、プラグ整列プレート１２の支持部１２ｃと対応して貫通する複数のケース収容穴１３ａが形成されていて、本実施形態では５７２箇所（＝２６×２２）形成されている。また、ケース収容穴１３ａは、ケース５３の外径と略等しい内径に形成され、ケース５３を収容することが可能である。より詳しくは、図１１に示すように、ケース収容穴１３ａの内径は、ケース５３を収容し、ケース収容穴１３ａの中心軸Ｌ１３方向と直交する半径方向にケース５３を正確に位置決め可能に設定されている。そして、ケースガイドプレート１３の上面に上プレート１４を載置することで、ケース収容穴１３ａの上部を封じて、ケース５３の開口部５３ａ側を突出させた状態で、ケース収容穴１３ａに収容されたケース５３と、ケースガイドプレート１３とを一体的に下方へ移動させることができる。なお、上プレート１４は、略板状の部材で、ケースガイドプレート１３と対応する大きさに形成されている。
【００３１】
また、側面ブロック２３には、ガイドピン２６を軸方向に進退可能に支持するボールガイド２３ａが上面２３ｂに開口して設けられている。また、ケースガイドプレート１３には、ボールガイド２３ａと対応して、ガイドピン２６を挿通可能なガイド挿通孔１３ｂが形成されている。そして、側面ブロック２３の各ボールガイド２３ａにガイドピン２６を挿入して上方に突出させた状態で、このガイドピン２６をケースガイドプレート１３のガイド挿通孔１３ｂに挿通させれば、ケースガイドプレート１３のケース収容穴１３ａと、プラグ整列プレート１２の支持部１２ｃとは、同軸上に配置されることとなる。また、ガイドピン２６の上端部にネジ穴２６ａが形成されているとともに、上プレート１４において、ケースガイドプレート１３のガイド挿通孔１３ｂと対応する位置にはボルト挿通孔１４ａが形成されている。そして、ボルト１４ｂをボルト挿通孔１４ａに挿通させてガイドピン２６のネジ穴２６ａに螺合させることで、上プレート１４とガイドピン２６とは一体となる。
【００３２】
ここで、側面ブロック２３の上面２３ｂには、第一のバネ２３ｃ及び第二のバネ２３ｄとで構成されたバネが立設されている。より詳しくは、各側面ブロック２３の上面２３ｂには、略中央に第一のバネ２３ｃが一基設けられているとともに、その両側に第一のバネ２３ｃよりも弾性係数が大きい第二のバネ２３ｄが一基ずつ設けられていて、一対の側面ブロック２３において計六基のバネが立設されている。そして、図１１に示すように、プラグ整列プレート１２上に、ガイドピン２６を突出させて、ケースガイドプレート１３、及び上プレート１４を組み立てれば、これらは、ガイドピン２６とボールガイド２３ａの案内によって降下する。そして、ケースガイドプレート１３及び上プレート１４は、これらの自重と、第一のバネ２３ｃ及び第二のバネ２３ｄとの反力が釣り合うところで静止し、ケースガイドプレート１３は、プラグ整列プレート１２の本体部１２ａと所定の間隔を有して配設される。ここで、第一のバネ２３ｃ及び第二のバネ２３ｄの合成した弾性係数は、ケースガイドプレート１３及び上プレート１４の自重と釣り合って静止した状態で、ケースガイドプレート１３のケース収容穴１３ａに収容されたケース５３の開口部５３ａの位置が、プラグ整列プレート１２の支持部１２ｃに支持されたステム５７の一端面５７ａの位置と高さ方向に略等しくなるように設定されている。
【００３３】
さらに、側面ブロック２３の上面２３ｂには、第一のバネ２３ｃ及び第二のバネ２３ｄ、並びに、ボールガイド２３ａが設けられた範囲を除いて、調整板２３ｅが載置されている。調整板２３ｅの上面２３ｆは、平坦度及び高さ方向の位置が正確となるように加工、調整されていて、圧入手段５によって上プレート１４から荷重を負荷して、ケースガイドプレート１３の下面１３ｃが調整板２３ｅの上面２３ｆと当接した状態で、ケース５３の開口部５３ａが圧入完了位置まで降下するように設定されている。
以上、圧入型２の構成の詳細について説明したが、圧入型２の各構成を形成する材質としては時効硬化型合金鋼が好適に用いられる。時効硬化型合金鋼は、加工性に優れ、使用時の歪みも少なく、本発明の圧入装置１における圧入型２などの精密型に適した材質である。
【００３４】
次に、この圧入装置１を使用してケース５３のプラグ５４のステム５７を圧入して、圧電振動子５１を製造する方法の詳細について説明する。図１２及び図１３に圧電振動子５１の製造工程のフロー図を示す。図１２は、圧電振動子の製造工程全体を、図１３は、封止工程の詳細を示している。
【００３５】
まず、図１２に示すように、プラグ準備工程Ｓ１及び振動片接合工程Ｓ２を行って、図９に示すように、プラグパレット３０上に、圧電振動片５２が接続されたプラグ５４を整列させる。すなわち、プラグ準備工程Ｓ１として、プラグパレット３０の各固定部３２に、プラグ５４のアウターリード部５８ｂを固定し、パレット本体３１の上縁部３１ｂに沿ってプラグ５４を整列させる。これにより、各プラグ５４は、プラグパレット３０上において、パレット本体３１の上縁部３１ｂからステム５７及びインナーリード部５８ａを突出させた状態となる。なお、ステム５７をパレット本体３１の上縁部３１ｂから突出させる量は、後述するプラグ整列工程Ｓ５１において、プラグパレット３０をプラグ整列プレート１２の収容部１２ｂに収容した状態で支持部１２ｃによってステム５７を支持可能な量とし、配列する各プラグ５４で略等しくなるようにする。
【００３６】
そして、振動片接合工程Ｓ２として、整列された各プラグ５４のインナーリード部５８ａにそれぞれ圧電振動片５２を接合することで、図９に示すような状態となる。次に、図１２に示すように、ベーキング工程Ｓ３として、プラグパレット３０に固定された状態のまま圧電振動片５２を加熱炉に配置させて、真空雰囲気中で、所定温度で、所定時間ベーキングを行い、歪みの除去を行う。次に、微調工程Ｓ４として、圧電振動片５２の図示しない微調部として形成された金属膜を、例えば、レーザ光で蒸発させて、共振周波数の微調整を行う。なお、振動片接合工程Ｓ２から微調工程Ｓ４までの工程をプラグ準備工程Ｓ１の後に行うことにより、これらの工程においては、複数のプラグ５４をプラグパレット３０の単位で一体的に取り扱うことができる。このため、各工程を効率的に行うことができる。
【００３７】
次に、封止工程Ｓ５として、プラグパレット３０上で圧電振動片５２が接合されたプラグ５４を、ケース５３に圧入して、プラグ５４とケース５３とを組立てる。まず、図１３に示すように、プラグ整列工程Ｓ５１として、プラグ整列プレート１２に、プラグ５４を、プラグパレット３０に固定された状態のまま整列させる。すなわち、ベース板１１上において、複数のセパレータ１６を配列し、押さえブロック２１、ストッパー２２、一対の側面ブロック２３によって挟み込んで一体の状態とすることで、プラグ整列プレート１２が配列した状態にする（Ｓ５１ａ）。
【００３８】
次に、図１４に示すように、押さえブロック２１において、締付ボルト２４ｄを緩めて押さえ板２５を引き抜くことで、セパレータ１６間には隙間が形成される。そして、この形成された隙間を利用して、隣り合うセパレータ１６同士で構成される各プラグ整列プレート１２の収容部１２ｂに、微調工程Ｓ４まで完了したプラグ５４が搭載されたプラグパレット３０を挿入していく（Ｓ５１ｂ）。この際、プラグパレット３０において、パレット本体３１の上縁部３１ｂから突出したステム５７の他端面５７ｂを、支持部１２ｃとなる凹部１８ｃ、１９ｃに当接させた状態にする。そして、全てのプラグ整列プレート１２の収容部１２ｂにプラグパレット３０を挿入した後に、押さえ取り付けプレート２４の溝２４ａに押さえ板２５を挿入し、締付ボルト２４ｄを締め付ける。これにより、セパレータ１６が互いに密着して配列してプラグ整列プレート１２が構成されることとなる。そして、各プラグ整列プレート１２において、収容部１２ｂにプラグパレット３０が収容されるとともに、支持部１２ｃがステム５７の他端面５７ｂに当接することで、各プラグパレット３０のパレット本体３１の上縁部３１ｂから突出するプラグ５４は、プラグ整列プレート１２に支持された状態となる。
【００３９】
なお、図１５に示すように、締付ボルト２４ｄを締め付けることで、隣り合うセパレータ１６同士は密着した状態となり、セパレータ本体１７に設けられた押圧部材２０が固定部３２において各板バネ３４の本体部３４ａの両端３４ｂを押圧することなる。このため、締付ボルト２４ｄを締め付けてセパレータ１６同士が密着した状態では、プラグ５４は、支持部１２ｃによって支持される一方、プラグパレット３０に固定された状態が解除されることとなる。
【００４０】
次に、図１３に示すように、プラグパレット離脱工程Ｓ５２として、プラグ整列プレート１２の収容部１２ｂに収容された状態のプラグパレット３０を各プラグ５４から離脱させて取り除く。すなわち、図１６に示すように、一体となったベース板１１、プラグ整列プレート１２、押さえブロック２１、ストッパー２２、及び、側面ブロック２３を、プレス装置６０にセットする。そして、ハンドル６１を操作して、上方からプレス板６２を降下させれば、各プラグ整列プレート１２の脚部挿通孔１２ｆから突出する各プラグパレット３０の脚部３３は、下方へ押し下げられる。ここで、図１７に示すように、プラグパレット３０の固定部３２によるプラグ５４の固定はプラグ整列工程Ｓ５１において解除されていることから、プラグパレット３０のみが押し下げられて、プラグ５４は支持部１２ｃに支持されたままの状態となる。一方、プラグ整列プレート１２の押圧部材２０とプラグパレット３０の固定部３２の板バネ３４とが接触しない状態までプラグパレット３０が押し下げられることで、プラグパレット３０は、プラグ整列プレート１２との拘束が解除される。このため、プラグパレット３０は、脚部挿通孔１２ｅが設けられた第一の天板１８及び第二の天板１９と対向する開口部１２ｄから、ベース板１１を抜けて落下し、取り外された状態となる。
【００４１】
次に、図１３に示すように、ケースガイドプレート装着工程Ｓ５３として、プラグ整列プレート１２上にケースガイドプレート１３を配置させる。すなわち、図４において、ガイドピン２６を側面ブロック２３のボールガイド２３ａに挿入する。この状態でケースガイドプレート１３のガイド挿通孔１３ｂにガイドピン２６を挿通させることで、ケースガイドプレート１３は、側面ブロック２３に立設された第一のバネ２３ｃ及び第二のバネ２３ｄ上に載置され、プラグ整列プレート１２と間隔を有して配設される。ここで、各側面ブロック２３には、第一のバネ２３ｃが略中央に設けられている一方、その両側に第一のバネ２３ｃよりも弾性係数が大きい第二のバネ２３ｄが設けられていることで、ケースガイドプレート１３を、側面ブロック２３の上面２３ｂに対して正確に平行に配設することができる。また、ケースガイドプレート１３はガイドピン２６によって位置決めされ、上記のようにプラグ整列プレート１２の各支持部１２ｃとケースガイドプレート１３の各ケース収容穴１３ａとが同軸上に配置されることとなり、各プラグ５４のインナーリード部５８ａに接続された圧電振動片５２はケース収容穴１３ａに収容された状態となる。
【００４２】
ここで、以上の工程のように、プラグ整列プレート１２、ケースガイドプレート１３を組立ててプラグ５４を整列させる一方、別工程においてケース５３の準備を行う。すなわち、図１３に示すように、まず、予め所定の形状に加工されたケース５３を用意する（ステップＳ６１）。そして、ケース５３の脱ガス処理を行った（ステップＳ６２）後に、各ケース５３を図示しないケース整列予備プレートの予備収容穴に装填していく（ステップＳ６３）。ここで、ケース整列予備プレートの各予備収容孔は、ケースガイドプレート１３のケース収容穴１３ａと対応して配列している。また、ケース収容穴１３ａの下部には、着脱可能な底板が設けられていて、ケース５３を予備収容穴に保持している。
【００４３】
次に、図１３に示すように、ケース準備工程Ｓ５４として、図示しないケース整列予備プレートに整列されたケース５３を、ケースガイドプレート１３のケース収容穴１３ａに装填させる。すなわち、ケース５３が収容されたケース整列予備プレートをケースガイドプレート１３の上面に載置して、ケース整列予備プレートの底板を取り外すことで、ケース５３は、各予備収容穴から対応するケース収容穴１３ａに装填されていく。ここで、図１１に示すように、ケースガイドプレート１３のケース収容穴１３ａは、プラグ整列プレート１２の支持部１２ｃと同軸上となるように形成されている。また、ケース５３の内径は、ステム５７の外径よりも僅かに小さく設定されている。このため、ケースガイドプレート１３のケース収容穴１３ａに収容されたケース５３は、中心軸Ｌ５３が対応するステム５７の中心軸Ｌ５７と同軸上となるようにして、ステム５７上に配置された状態となる。そして、この状態で、ケースガイドプレート１３上に上プレート１４を載置し、ボルト１４ｂを上プレート１４のボルト挿通孔１４ａに挿通してガイドピン２６のネジ穴２６ａに螺合すれば、圧入型２が組立てられる。
【００４４】
次に、図１３に示すように、圧入工程Ｓ５５として、圧入手段５によって圧入型２に装填された状態のケース５３にプラグ５４のステム５７を圧入する。すなわち、図１に示すように、バネ６ａで保持された各ヒータブロック３の間に、上記のように組立てられた複数の圧入型２を挿入していく。（ステップＳ５５ａ）。そして、この状態で図示しない排気手段によって気密室４を排気して真空状態にするとともに、図示しない加熱手段によってヒータブロック３を加熱して圧入型２全体を所定の温度に調整する。ここで、図１１に示すように、ケース５３の開口部５３ａは、ステム５７の一端面５７ａに軽く接触した状態にある。このため、ケース５３の内部の空気（残留気体）は、接触した部分の隙間から真空引きされることとなる。そして、図１に示すように、気密室４の内部の真空度及び圧入型２の温度を一定に保った状態で、油圧シリンダ８によって圧入型２に加圧することで、圧入型２に装填された各プラグ５４は対応するケース５３に圧入され、ケース５３は真空封止された状態となる（ステップＳ５５ｂ）。
【００４５】
すなわち、図１８に示すように、各圧入型２において、ケースガイドプレート１３は、プレス整列プレート１２に対してガイドピン２６をガイドにして降下し、これにより、ケース５３は、ケースガイドプレート１３とともに、支持部１２ｃに支持されたステム５７に向かって降下していく。これにより、ステム５７は、ケース５３と同軸上で、プラグ整列プレート１２の支持部１２ｃからの反力によってケース５３の開口部５３ａに圧入されていくこととなる。そして、ケースガイドプレート１３の下面１３ｃと調整板２３ｅの上面２３ｆが当接するまで圧入することで、ケース５３の内部を真空状態として、プラグ５４のステム５７は圧入完了位置までケース５３に圧入されることとなり、圧電振動子５１が組み立てられる。ここで、圧入工程Ｓ５５の際には、プラグパレット３０は、プラグパレット離脱工程Ｓ５２によって各プラグ５４から取り外されて圧入型２の内部に無い状態となっている。このため、圧入工程Ｓ５５において、プラグパレット３０からのガス発生の影響を受けることがなく、ケース５３の内部をより真空状態として気密に封止することができる。
【００４６】
そして、圧入が完了したら、圧入手段５による荷重を除荷して、各圧入型２を取り出す（ステップＳ５６）。次に、各圧入型２において、上プレート１４及びケースガイドプレート１３を順に取り外し、プラグ整列プレート１２から圧電振動子５１を取り出して（ステップＳ５７）、封止工程Ｓ５が完了となる。
【００４７】
次に、図１２に示すように、取り出した圧電振動子５１について、周波数の安定化のために、真空中または大気中で所定の温度でスクリーニングを行う（ステップＳ６）。その後、共振周波数及び共振抵抗値等の電気特性を検査する（ステップＳ７）。そして、合格品について、圧電振動子５１は製品として梱包される（ステップＳ８）。
【００４８】
以上のように、本実施形態の圧入装置１では、
プラグパレット３０及びプラグ整列プレート１２を備えていることで、上記のプラグ準備工程Ｓ１、プラグ整列工程Ｓ５１、プラグパレット離脱工程Ｓ５２、及び、圧入工程Ｓ５５によって、プラグパレット３０によって複数のプラグ５４を同時に取り扱うとともに、所定の真空度を確保してケース５３にプラグ５４を圧入させることができる。このため、所定の周波数で安定的に圧電振動片５２を振動させることが可能な信頼性の高い圧電振動子５１を製造することができる。
【００４９】
なお、本実施形態の圧入型２において、ケースガイドプレート１３は貫通したケース収容穴１３ａを有するものとし、圧入工程Ｓ５５時は上プレート１４を載置して加圧するものとしたが、これに限るものでは無い。ケース収容穴１３ａをケースガイドプレート１３の下面にのみ開口するものとし、上プレート１４の無い構成としても良い。
【００５０】
また、上記の圧入装置１を用いた圧電振動子の製造工程においては、シリンダーパッケージタイプの圧電振動子５１について説明したが、さらに、ケース５３を樹脂封止する樹脂封止工程を備え、表面実施型パッケージタイプの圧電振動子としても良い。
【００５１】
（第２の実施形態）
図１９は、この発明に係る第２の実施形態を示している。この実施形態において、前述した実施形態で用いた部材と共通の部材には同一の符号を付して、その説明を省略する。
【００５２】
図１９は、本発明に係る音叉型水晶発振器の構成を示す概略図であり、上述した圧電振動子を利用した表面実装型圧電発振器の平面図を示している。図１９に示すように、この実施形態の発振器１００は、シリンダーパッケージ型の圧電振動子５１を、集積回路１０１に電気的に接続された発振子として構成したものである。なお、圧電振動子５１については、第１の実施形態のものと同様であるので、その説明を省略する。この発振器１００は、コンデンサ等の電子部品１０２が実装された基板１０３を備えている。基板１０３には、発振器用の集積回路１０１が実装されていて、この集積回路１０１の近傍に、圧電振動子５１が実装されている。これら電子部品１０２、集積回路１０１及び圧電振動子５１は、図示しない配線パターンによってそれぞれ電気的に接続されている。なお、各構成部品は、図示しない樹脂によりモールドされている。
【００５３】
このように構成された発振器１００において、圧電振動子５１に電圧を印加すると、圧電振動子５１内の圧電振動片５２が振動し、この振動が水晶の圧電特性により電気信号に変換されて、集積回路１０１に電気信号として入力される。入力された電気信号は、集積回路１０１によって各種処理がなされ、周波数信号として出力される。これにより、圧電振動子５１が発振子として機能する。また、集積回路１０１の構成を、例えば、ＲＴＣ（リアルタイムクロック）モジュール等を要求に応じて選択的に設定することで、時計用単機能発振器等の他、当該機器や外部機器の動作日や時刻を制御したり、時刻やカレンダー等を提供したりする機能を付加することができる。
【００５４】
以上のように、本実施形態の発振器１００によれば、上記のようなケース５３の内部が所定の真空度として気密に封止され、所定の周波数で安定的に圧電振動片５２を振動させることが可能な圧電振動子５１を備えることで、信頼性の高い発振器を提供することができる。
なお、上記の発振器１００は、シリンダーパッケージタイプの圧電振動子５１を備えるものとして説明したが、これに限るものでは無く、樹脂封止した表面実装型パッケージタイプの圧電振動子としても良い。
【００５５】
（第３の実施形態）
図２０は、この発明に係る第３の実施形態を示している。この実施形態において、前述した実施形態で用いた部材と共通の部材には同一の符号を付して、その説明を省略する。
【００５６】
この実施形態においては、電子機器として、上述した圧電振動子５１を有する携帯情報機器を例にして説明する。図２０は、この電子機器の構成を示すブロック図である。図２０に示すように、この実施形態の携帯情報機器１１０は、圧電振動子５１と、電力を供給するための電源部１１１とを備えている。電源部１１１は、例えば、リチウム二次電池で構成されている。この電源部１１１には、各種制御を行う制御部１１２と、時刻等のカウントを行う計時部１１３と、外部との通信を行う通信部１１４と、各種情報を表示する表示部１１５と、それぞれの機能部の電圧を検出する電圧検出部１１６とが並列に接続されている。そして、電源部１１１によって、各機能部に電力が供給されるようになっている。
【００５７】
制御部１１２は、各機能部を制御して音声データの送信及び受信、現在時刻の計測や表示等、システム全体の動作制御を行う。また、制御部１１２は、予めプログラムが書き込まれたＲＯＭと、ＲＯＭに書き込まれたプログラムを読み出して実行するＣＰＵと、ＣＰＵのワークエリアとして使用されるＲＡＭ等とを備えている。
【００５８】
計時部１１３は、発振回路、レジスタ回路、カウンタ回路及びインターフェース回路等を内蔵する集積回路と、圧電振動子５１とを備えている。圧電振動子５１に電圧を印加すると圧電振動片５２が振動し、この振動が水晶の有する圧電特性により電気信号に変換されて、発振回路に電気信号として入力される。発振回路の出力は二値化され、レジスタ回路とカウンタ回路とにより計数される。そして、インターフェース回路を介して、制御部１１２と信号の送受信が行われ、表示部１１５に、現在時刻や現在日付或いはカレンダー情報等が表示される。
【００５９】
通信部１１４は、従来の携帯電話と同様の機能を有し、無線部１１７、音声処理部１１８、切替部１１９、増幅部１２０、音声入出力部１２１、電話番号入力部１２２、着信音発生部１２３及び呼制御メモリ部１２４を備えている。無線部１１７は、音声データ等の各種データを、アンテナ１２５を介して基地局と送受信のやりとりを行う。音声処理部１１８は、無線部１１７又は増幅部１２０から入力された音声信号を符号化及び複号化する。増幅部１２０は、音声処理部１１８又は音声入出力部１２１から入力された信号を、所定のレベルまで増幅する。音声入出力部１２１は、スピーカやマイクロフォン等から構成され、着信音や受話音声を拡声したり、音声を集音したりする。
【００６０】
また、着信音発生部１２３は、基地局からの呼び出しに応じて着信音を生成する。切替部１１９は、着信時に限って、音声処理部１１８に接続されている増幅部１２０を着信音発生部１２３に切り替えることによって、着信音発生部１２３において生成された着信音が増幅部１２０を介して音声入出力部１２１に出力される。なお、呼制御メモリ部１２４は、通信の発着呼制御に係るプログラムを格納する。また、電話番号入力部１２２は、例えば、０から９の番号キー及びその他のキーを備えていて、これら番号キー等を押下することにより、通話先の電話番号等が入力される。
【００６１】
電圧検出部１１６は、電源部１１１によって制御部１１２等の各機能部に対して加えられている電圧が、所定の値を下回った場合に、その電圧降下を検出して制御部１１２に通知する。このときの所定の電圧値は、通信部１１４を安定して動作させるために必要な最低限の電圧として予め設定されている値であり、例えば、３Ｖ程度となる。電圧検出部１１６から電圧降下の通知を受けた制御部１１２は、無線部１１７、音声処理部１１８、切替部１１９及び着信音発生部１２３の動作を禁止する。特に、消費電力の大きな無線部１１７の動作停止は、必須となる。更に、表示部１１５に、通信部１１４が電池残量の不足により使用不能になった旨が表示される。
【００６２】
すなわち、電圧検出部１１６と制御部１１２とによって、通信部１１４の動作を禁止し、その旨を表示部１１５に表示することができる。この表示は、文字メッセージであっても良いが、より直感的な表示として、表示部１１５の表示面の上部に表示された電話アイコンに、×（バツ）印を付けるようにしても良い。なお、携帯情報機器１１０は、通信部１１４の機能に係る部分の電源を、選択的に遮断することができる電源遮断部１２６を備えており、この電源遮断部１２６によって、通信部１１４の機能が確実に停止される。
【００６３】
この実施形態の携帯情報機器１１０によれば、上記のようなケース５３の内部が所定の真空度として気密に封止され、所定の周波数で安定的に圧電振動片５２を振動させることが可能な圧電振動子５１を備えることで、信頼性の高い携帯情報機器を提供することができる。
なお、上記の携帯情報機器１１０は、シリンダーパッケージタイプの圧電振動子５１を備えるものとして説明したが、これに限るものでは無く、これに限るものでは無く、樹脂封止した表面実装型パッケージタイプの圧電振動子としても良い。このような表面実装型パッケージタイプの圧電振動子を実装するものとすれば、他の電子部品と同時にプリント基板上にリフロー半田にて接続できるためより好適である。
【００６４】
（第４の実施形態）
図２１は、この発明に係る第４の実施形態を示している。この実施形態において、前述した実施形態で用いた部材と共通の部材には同一の符号を付して、その説明を省略する。
【００６５】
この実施形態においては、電波時計の一実施形態として、上述した圧電振動子５１を有する電波時計について説明する。図２１は、この電波時計の構成を示すブロック図である。図２１に示すように、この実施形態の電波時計１３０は、フィルタ部１３１に電気的に接続された圧電振動子５１を備えたものであり、時計情報を含む標準の電波を受信して、正確な時刻に自動修正して表示する機能を備えた時計である。日本国内には、福島県（４０ｋＨｚ）と佐賀県（６０ｋＨｚ）とに、標準の電波を送信する送信所（送信局）があり、それぞれ標準電波を送信している。４０ｋＨｚ若しくは６０ｋＨｚのような長波は、地表を伝播する性質と、電離層と地表とを反射しながら伝播する性質とを併せもつため、伝播範囲が広く、上述した２つの送信所で日本国内を全て網羅している。
【００６６】
アンテナ１３２は、４０ｋＨｚ若しくは６０ｋＨｚの長波の標準電波を受信する。長波の標準電波は、タイムコードと呼ばれる時刻情報を、４０ｋＨｚ若しくは６０ｋＨｚの搬送波にＡＭ変調をかけたものである。受信された長波の標準電波は、アンプ１３３によって増幅され、複数の圧電振動子５１を有するフィルタ部１３１によって濾波、同調される。なお、圧電振動子５１として、上記搬送周波数と同一の４０ｋＨｚ及び６０ｋＨｚの共振周波数を有する圧電振動子部１３４、１３５をそれぞれ備えている。
【００６７】
さらに、濾波された所定周波数の信号は、検波、整流回路１３６により検波復調される。そして、波形整形回路１３７を介してタイムコードが取り出され、ＣＰＵ１３８でカウントされる。ＣＰＵ１３８では、現在の年、積算日、曜日、時刻等の情報を読み取る。読み取られた情報は、ＲＴＣ１３９に反映され、正確な時刻情報が表示される。搬送波は４０ｋＨｚ若しくは６０ｋＨｚであるから、圧電振動子部１３４、１３５は、上述した音叉型の構造を持つ圧電振動子が好適である。６０ｋＨｚを例にとれば、音叉型振動子片の寸法例として、全長が約２．８ｍｍ、基部の幅寸法が約０．５ｍｍの寸法で構成することが可能である。
【００６８】
この実施形態の電波時計１３０によれば、上記のようなケース５３の内部が所定の真空度として気密に封止され、所定の周波数で安定的に圧電振動片５２を振動させることが可能な圧電振動子５１を備えることで、信頼性の高い電波時計を提供することができる。
なお、上記の電波時計１３０は、シリンダーパッケージタイプの圧電振動子５１を備えるものとして説明したが、これに限るものでは無く、樹脂封止した表面実装型パッケージタイプの圧電振動子としても良い。
【００６９】
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】この発明の第１の実施形態の圧入装置の概要を示す全体図である。
【図２】この発明の第１の実施形態の圧電振動子の一部を破断した上面図である。
【図３】この発明の第１の実施形態の圧電振動子の一部を破断した側面図である。
【図４】この発明の第１の実施形態の圧入装置の圧入型の分解図である。
【図５】この発明の第１の実施形態の圧入装置のプラグ整列プレートの上面図である。
【図６】この発明の第１の実施形態の圧入装置のプラグ整列プレートにおいて、図５の切断線Ａ−Ａでの断面図である。
【図７】この発明の第１の実施形態の圧入装置のセパレータの正面図である。
【図８】この発明の第１の実施形態の圧入装置のセパレータの背面図である。
【図９】この発明の第１の実施形態の圧入装置において使用されるプラグパレットの正面図である。
【図１０】この発明の第１の実施形態の圧入装置において使用されるプラグパレットの断面図である。
【図１１】この発明の第１の実施形態の圧入装置の圧入型の断面図である。
【図１２】この発明の第１の実施形態の圧電振動子の製造工程の全体を示すフロー図である。
【図１３】この発明の第１の実施形態の圧電振動子の製造工程において、封止工程の詳細を示すフロー図である。
【図１４】この発明の第１の実施形態の圧電振動子の製造工程において、プラグ整列工程を示す説明図である。
【図１５】この発明の第１の実施形態の圧電振動子の製造工程において、プラグ整列工程でのプラグパレットによるプラグ固定の解除状態を示す説明図である。
【図１６】この発明の第１の実施形態の圧電振動子の製造工程において、プラグパレット離脱工程を示す説明図である。
【図１７】この発明の第１の実施形態の圧電振動子の製造工程において、プラグパレット離脱工程でのプラグパレットが離脱する状態を示す説明図である。
【図１８】この発明の第１の実施形態の圧電振動子の製造工程において、圧入工程を示す説明図である。
【図１９】この発明の第２の実施形態の発振器の概要図である。
【図２０】この発明の第３の実施形態の電子機器のブロック図である。
【図２１】この発明の第４の実施形態の電波時計のブロック図である。
【符号の説明】
【００７１】
１  圧入装置
５  圧入手段
１２  プラグ整列プレート
１２ａ  本体部
１２ｂ  収容部
１２ｄ  開口部
１２ｅ  脚部挿通孔
１３  ケースガイドプレート
１３ａ  ケース収容穴
２０  押圧部材
３０  プラグパレット
３１  パレット本体
３２  固定部
３３  脚部
３４  板バネ（付勢手段）
５１  圧電振動子
５２  圧電振動片
５３  ケース
５３ａ  開口部
５４  プラグ
５７  ステム
５８  リード
５８ａ  インナーリード部
５８ｂ  アウターリード部
１００  発振器
１１０  携帯情報機器（電子機器）
１３０  電波時計
Ｌ１３  ケース収容穴の中心軸
Ｌ５３  ケースの中心軸
Ｌ５７  ステムの中心軸
Ｓ１  プラグ準備工程
Ｓ２  振動片接合工程
Ｓ５１  プラグ整列工程
Ｓ５２  プラグパレット離脱工程
Ｓ５４  ケース準備工程
Ｓ５５  圧入工程
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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