(57)【要約】【課題】ワークＷをセットする際の人為的なミスを極力、抑えることができ、しかも、該ワークＷを容易にセットすることができる液封入装置を提供する。【解決手段】略円柱状のワークＷの上面において中心軸線Ｃ周りの所定半径の円周上に開口するように液の封入口ｄ２を設ける。液封入装置には、ワークＷをその中心が概略回転中心と一致する正立状態で回転テーブル２上に保持する保持具３と、その上方に離間して封入孔ｄ２と同じ半径の円周上に位置するノズル８と、保持具３により保持されたワークＷ上面の封入口ｄ２の位置を検出するためのセンサ１０と、その信号を受けて、封入口ｄ２が上方のノズル８の真下に位置するように回転テーブル２を回転させた後、この回転テーブル２を上昇させて、その上のワークＷの封入孔ｄ２をノズル８に接続する移動機構４と、を備える。【選択図】    図４
2008025741.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マウントワークの液室内に液体を封入する液封マウント用の液封入装置であって、
前記マウントワークは略円柱状とされ、その一方の端面には中心軸線周りの所定半径の円周上に開口して、液室に連通する封入口が設けられており、
前記マウントワークを、前記一方の端面が上面となり且つその中心軸線が略回転中心となるようにして回転テーブル上に保持する保持具と、
前記回転テーブルの上方に離間して、その回転中心線周りの前記所定半径の円周上にて下向きに配置されたノズルと、
前記保持具により保持されたマウントワーク上面の封入口の位置を検出するためのセンサと、
前記センサからの信号を受けて、前記マウントワーク上面の封入口が上方のノズルと対峙するように前記回転テーブルを回転移動させる回転移動手段と、
前記ノズル及び回転テーブルの少なくとも一方を互いに近接するよう上下方向に移動させて、当該ノズルをマウントワークの封入口に接続する接続移動手段と、
を備えることを特徴とする液封マウント用の液封入装置。
【請求項２】
ワークの封入口の位置を検出するためのセンサは、回転テーブルの上方に離間してその回転中心線周りの所定半径の円周上に位置付けられ、下方に対峙する前記封入口の位置を検出するように設けられており、
回転移動手段は、前記センサが封入口の位置を検出するまで回転テーブルを回転移動させるように構成されている
ことを特徴とする請求項１に記載の液封入装置。
【請求項３】
マウントワークの一方の端面には、封入口を囲んでノズルの先端が当接する平面状のシール面が形成され、
前記一方の端面において半径方向に延びる前記シール面の側縁部が段差状に形成され、
前記封入口の位置を検出するためのセンサは、前記シール面の段差状の側縁部の位置を検出するように構成されていることを特徴とする請求項２に記載の液封入装置。
【請求項４】
マウントワークは、その中心軸線の一方の端側に向かって開口する中空部を有する本体部材と、この本体部材に前記一方の端側から取り付けられ、前記中空部を閉ざして液室を形成する閉止部材とを備え、この閉止部材上に封入口が開口しているものであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の液封入装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液封マウントの製造時にワーク内に液体を封入する装置に関し、特に封入口にノズルを接続するための構成に係る。
【背景技術】
【０００２】
従来より、自動車のエンジンマウントとしてゴム弾性体の内部に液体を封入した液封マウントが用いられている。この液封マウントを製造するときにはマウントワーク（液体が封入される前のもの）の液室内にエチレングリコール等の液体を封入するが、その際、エアの残留を防ぐために、まず、液室内の空気を真空ポンプ等により吸引して強制的に排気し、その後、液体を封入することが行われている。
【０００３】
例えば特許文献１に記載のものでは、マウントワークの上面に開口する液室への連通孔に液体充填管のノズルを上方から接続し、このノズルを介して、まず、真空ポンプにより液室内の空気を吸引する（真空引き）。そして、空気が十分に排出されたことを真空ゲージ等により確認した後に、液体充填管を給液管（給液ライン）に切替えて連通させ、そこから供給する液体を負圧により液室の隅々にまで充填するようにしている。
【特許文献１】特開平２−２５３０２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、前記のようにワークの液室内を真空引きするためには、その上面の開口（封入口）にノズルを気密に接続して、しっかりと押圧しなくてはならないが、一般的にノズルは装置側に取り付けられているので、作業者はワークを、その上面の封入口がノズルの真下に対峙するようにテーブル上に位置決めし、且つそれが動かないように保持しなくてはならない。
【０００５】
そこで、テーブル上には前記のようにワークを位置決めして保持するための保持具が設けられることになるが、このような保持具による位置決めを正確に行うためには、その保持具の寸法精度を高くしなくてはならないし、その上で、その保持具にワークをきっちりと嵌め込んでセットしなくてはならないから、このセット作業が面倒なものになってしまう。
【０００６】
しかも、仮にセットの仕方が悪くてワークの位置がずれると、その封入口とノズルとの接続状態が悪くなり、液室の真空引きが十分に行えなくなったり、封入液が漏れたりすることもあるから、そのような人為的なセットミスは極力、排除することが望ましい。
【０００７】
また、凹凸の少ない円柱状のワークの場合は、その中心軸線周りの（つまり周方向の）位置決めを保持具によって正確に行うのが難しく、前記のような人為的なセットミスを招きやすいから、保持具との位置決めのためだけに、ワークに或る程度以上の大きさの突起や切り欠きを設けざるを得ない。このことはマウントの設計において本来は無用の制約となってしまう。
【０００８】
斯かる諸点に鑑みて、本発明の目的とするところは、円柱状のマウントワークに液体を封入する場合でも、それに本来は不要な突起等を設けることなく、人為的なセットミスの発生を極力、抑えることができ、しかも、ワークを容易にセットすることができる液封入装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記の目的を達成するために、本発明の液封入装置では、マウントワークを回転テーブル上の保持具にセットすれば、その上面に開口する封入口の位置をセンサにより検出して、上方のノズルとの位置を自動的に合わせるように構成したものである。
【００１０】
すなわち、請求項１の発明は、マウントワークの液室内に液体を封入する液封マウント用の液封入装置を対象とし、前記マウントワークが略円柱状で、その一方の端面には中心軸線周りの所定半径の円周上に開口して、液室に連通する封入口が設けられている場合に、前記マウントワークを、前記一方の端面が上面となり且つその中心軸線が略回転中心となるようにして回転テーブル上に保持する保持具と、前記回転テーブルの上方に離間して、その回転中心線周りの前記所定半径の円周上にて下向きに配置されたノズルと、前記保持具により保持されたマウントワーク上面の封入口の位置を検出するためのセンサと、該センサからの信号を受けて、前記マウントワーク上面の封入口が上方のノズルと対峙するように前記回転テーブルを回転移動させる回転移動手段と、前記ノズル及び回転テーブルの少なくとも一方を互いに近接するよう上下方向に移動させて、当該ノズルをマウントワークの封入口に接続する接続移動手段と、を備えるものとする。
【００１１】
前記構成の液封入装置では、作業者がマウントワークを、一方の端面が上になるようにして回転テーブル上の保持具にセットすると、この保持具によってマウントワークはその中心軸線が回転テーブルの回転中心と概略一致するように保持される。この状態でマウントワーク上面の封入口の位置に関する信号がセンサから出力され、この信号を受けた回転移動手段により回転テーブルが回転移動されて、前記封入口がその上方のノズルと対峙するようになる。そして、接続移動手段によって前記ノズル及び回転テーブルの少なくとも一方が、互いに近接するように上下方向に移動されて、当該ノズルがマウントワークの封入口に接続される。
【００１２】
すなわち、前記の構成によれば、ワークの載置された回転テーブルがセンサからの信号に基づいて回転移動され、封入口の位置が自動的に上方のノズルに合わされるので、人為的なセットミスが起こり難い。また、作業者がワークを保持具にセットするときには、そのワークの中心を回転テーブルの回転中心に概略合わせるだけでよく、その作業が容易なものである上に、そうして作業が容易な分、ミスはさらに起き難いと言える。
【００１３】
また、セットの際には前記のようにワークの中心軸線を合わせるだけでよく、その中心軸線の周りの正確な位置決めは不要なので、凹凸の少ない円柱状のワークであっても、保持具との位置決めのための突起等を設ける必要はない。
【００１４】
好ましいのは、前記のセンサを、回転テーブルの上方に離間してその回転中心線周りの所定半径の円周上に位置付けて、下方に対峙する前記封入口の位置を検出するように設けるとともに、そのセンサが封入口の位置を検出するまで、回転移動手段によって回転テーブルを回転移動させることである（請求項２の発明）。こうすれば、回転テーブル上に保持されたワークの封入口が周方向について大きく位置ずれしていても、その位置をセンサにより検出することができる。
【００１５】
その場合に、より好ましいのは、前記ワークの一方の端面に、封入口を囲んでノズルの先端が当接する平面状のシール面を形成し、当該一方の端面において半径方向に延びるシール面の側縁部を段差状に形成して、この段差状の側縁部の位置をセンサにより検出することである（請求項３の発明）。
【００１６】
こうすれば、例えばワークが少し傾いて回転テーブル上にセットされていて、その上面の封入口が半径方向に位置ずれしていても、この封入口よりも広い範囲に亘って半径方向に延びるシール面の側縁部はセンサにより検出することが可能である。尚、シール面の側縁部から封入口の中心までの距離は予め定められているから、側縁部を検出することは実質的に封入口の位置を検出することと同義である。
【００１７】
前記構成の液封入装置を用いることが特に有効なのは、マウントワークが、その中心軸線の一方の端側に向かって開口する中空部を有する本体部材と、この本体部材に前記一方の端側から取り付けられ、前記中空部を閉ざして液室を形成する閉止部材とを備えており、この閉止部材上に封入口が開口している場合である（請求項４の発明）。
【００１８】
すなわち、マウントワークが本体部材（以下、ワーク本体ともいう）と閉止部材とに分割され、その閉止部材に封入口が開口している場合、仮にテーブル上の保持具にワーク本体を正確に位置決めして保持できたとしても、そのワーク本体に対して閉止部材の位置がずれていると、そこに開口する封入口はノズルと位置が合わないことになる。
【００１９】
よって、そのような構造のマウントワークの場合に、上述した本発明の作用が特に有効なものとなるのである。逆に言えば、本発明の液封入装置を用いるのであれば、前記のような構造のマウントワークにおいて本体部材と閉止部材との間の周方向の位置決めは不要とすることも可能であり、こうすれば、マウントの構造を簡略化して、製造コストを削減できる可能性がある。
【発明の効果】
【００２０】
以上、説明したように、本発明に係る液封マウント用の液封入装置によれば、回転テーブル上に載置したマウントワーク上面の封入口の位置をセンサにより検出し、これに応じて回転テーブルを回転移動させて、上方のノズルとの位置を自動的に合わせるようにしたから、人為的なセットミスの発生を極力、抑えることができる。また、作業者はワークを回転テーブルの回転中心に合わせてセットするだけでよく、その作業は非常に容易であり、凹凸の少ない円柱状のワークであっても位置決めのための突起等を設ける必要がないから、マウントの設計において無用の制約を生じることもない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の実施形態を図面に基いて説明する。尚、以下の好ましい実施形態の説明は、本質的に例示に過ぎず、本発明、その適用物或いはその用途を制限することを意図するものではない。
【００２２】
（液封入装置の構成）
図１〜８は、本発明に係る液封入装置の実施形態を示し、この液封入装置は、加硫一体化成形によって別途、作成されたエンジンマウントのワークＷ（マウントワーク）に液体を封入するためのものである。図１には正面から見た装置の構成を概略的に示しており、本体フレーム１の上下方向の略中央部にはワークＷの載置されるテーブル２が配設されている。このテーブル２は、円板状に形成された回転テーブルであり、図２に拡大して示すように、その上面の略中央部には、ワークＷを正立状態で保持するための保持具３が配設されている。
【００２３】
すなわち、前記回転テーブル２は、詳しくは図４を参照して後述するが、移動機構４の電動サーボモータ４０の作動によりギヤ４１等を介して、上下方向の軸線Ｚ（回転中心線）の周りに回転移動されるようになっており、保持具３は、概略円柱状のワークＷをその中心軸線Ｃ（図３参照）が概略回転テーブル２の回転中心線Ｚと一致するようにして保持するものである。保持具３とワークＷとのクリアランスは比較的大きく設定され、ワークＷのセットは容易である。尚、この実施形態の保持具３には、ワークＷのハウジングＨのブラケット部ｈ１を周方向の両側から挟んで位置決めする樹脂製の突起部３ａ，３ａが設けられているが、これはなくてもよい。
【００２４】
前記移動機構４は、回転テーブル２を上下方向に移動させるためのエアシリンダ４５も備えている。このエアシリンダ４５は、液封入装置の基台５の内部に上向きに配置され、そのロッド４５ａの先端に回転自在に連結された３本のシャフト４６，４６，…が、各々前記ギヤ４１を上下方向に貫通して、回転テーブル２に連結されている。この回転テーブル２の上下動によりワークＷは、そのセットが容易な最下位置（作業者の腰くらいの高さ）からバルブユニット６によって液が封入される最上位置まで、移動するようになる。
【００２５】
前記バルブユニット６は、作業者の肩くらいの高さでフレーム１の前部に取り付けられた支持板７の上面に載置されており、詳しくは図６、７等を参照して後述するが、ワークＷの上部に開口する液封入孔ｄ２（図３を参照）に接続されるノズル８を備え、このノズル８をワークＷの封入孔ｄ２に気密に接続して、液室ｗ１からの排気、そこへの液体の供給、及びノズル８内の残液の回収を切替えて行うことができるようになっている。
【００２６】
そのような封入孔ｄ２へのノズル８の接続は、前記移動機構４の作動によって自動的に行われる。また、詳しくは図４、５を参照して後述するが、この実施形態では、回転テーブル２の保持具３にセットされたワークＷの封入孔ｄ２の位置を検出するためのセンサ１０が設けられている。
【００２７】
−マウントＭの構造−
ここで、図３に一例を示すように、ワークＷであるエンジンマウントＭは、図示しないブラケットにより車体側に連結される連結金具Ａと、この連結金具Ａの外周を離間して取り囲む円筒状のハウジングＨとを備え、連結金具ＡがハウジングＨの下端側（中心軸線Ｃの方向の他方の端側）から突出し、且つ両者が該軸線Ｚ方向に相対変位可能なようにゴム弾性体Ｒによって連結されている。一方、ハウジングＨの上端側（中心軸線Ｃ方向の一方の端側）の外周には、エンジン側に連結されるブラケット部ｈ１が突設されている。
【００２８】
図示の如くゴム弾性体Ｒは、下側に向かって窄んだ円錐状とされて、ハウジングＨの上部内周と連結金具Ａの上部外周とを連結しており、その上部にはハウジングＨとの接合部を補強するために円筒状の補強金具ｒ１が埋め込まれている。また、ゴム弾性体Ｒは上方に開口する中空部を有しており、このゴム弾性体ＲとハウジングＨとによってワークＷの本体部材（マウントワーク本体）が構成されている。
【００２９】
そして、そのゴム弾性体Ｒの中空部の開口を閉ざすようにして、ワークＷの本体部材に上方からオリフィス盤ＯとゴムダイヤフラムＤ（閉止部材）とが取り付けられている。このダイヤフラムＤの外周寄りの部位は相対的に厚肉に形成されてオリフィス盤Ｏの外周全体を覆っており、そこにも補強金具ｄ１が埋め込まれている。
【００３０】
そうしてダイヤフラムＤにより開口を閉ざされるゴム弾性体Ｒの中空部は、後述の如く液体が封入されて液室ｗ１とされ、この液室ｗ１がオリフィス盤Ｏによって下方の主液室と上方の副液室とに区画される。これら主液室及び副液室は、オリフィス盤Ｏの外周寄りの部位に螺旋状に形成されたオリフィスｏ１によって互いに連通されており、その内部を流通する液体の抵抗によって振動を減衰させるようになっている。
【００３１】
また、ダイヤフラムＤの外周寄りの部位には、図の例ではハウジングＨのブラケット部ｈ１と反対側にて半径方向内方への膨出部が形成され、そこを厚み方向（上下方向）に貫通して、下端がオリフィスｏ１を介して液室ｗ１内に連通する孔部ｄ２が形成されている。この孔部ｄ２は、液室ｗ１内への液体の封入孔であって、その略中央部には球状の拡径部が設けられており、後述の如くそこに鋼球Ｓが嵌め入れられることにより、閉止されるようになっている。
【００３２】
この実施形態では、前記封入孔ｄ２の上端開口（封入口）は、ワークＷの中心軸線Ｃ周りの円周上に位置している。この円周の直径は、ダイヤフラムＤ中央寄りの薄肉部の寸法やオリフィス盤Ｏの寸法等によって決められる。また、開口の周囲ではダイヤフラムＤの厚肉部が半径方向に延びる概略矩形状の範囲でさらに厚みを増して上方に突出しており、その上面がノズル８の先端と気密に当接する平面状のシール面ｄ３とされている。図７にのみ示すが、シール面ｄ３は、封入孔ｄ２の周方向両側に位置する一対の側縁部がそれぞれ半径方向に延びる段差状に形成されている。
【００３３】
−ノズルへの封入孔の接続−
前記のようなワークＷに液体を封入するときには、それを回転テーブル２上の保持具３に正立状態でセットし、その上部に開口する封入口ｄ２をバルブユニット６のノズル８に下方から接続する。すなわち、図２(b)に示すように、この実施形態では、支持板７の下面から下方に延びるようにノズル８と押さえ棒９，９とが設けられているが、それらは、回転テーブル２の回転中心線Ｚを中心とする前記封入孔ｄ２と同じ半径の円周上に位置付けられており、それぞれの下端がダイヤフラムＤの外周寄りの部位に当接するようになっている。
【００３４】
より詳しくは、液封入装置の側方から見て図４に示すように、ワークＷは、回転テーブル２上の保持具３に正立状態で、即ち封入孔ｄ２の開口する上面を上向きにし、且つ中心軸線Ｃが概略、回転テーブル２の回転中心線Ｚと一致するようにして、保持される。ここで、保持具３とのクリアランスは比較的大きく、ワークＷを嵌め込むことは容易である。そうして保持具３により保持されたワークＷの上部に開口する封入孔ｄ２は概略、回転テーブル２の回転中心線Ｚ周りの円周上に位置することになる。
【００３５】
一方、ノズル８は、前記したように上方の支持板７の下面において、回転テーブル２の回転中心線Ｚを中心とする封入孔ｄ２と同じ半径の円周上に配置されているから、そのノズル８の真下に封入孔ｄ２を位置付けるためには、ワークＷを回転テーブル２によって回転移動させればよい。そこで、この実施形態では、保持具３にセットされたワークＷの封入孔ｄ２の位置を検出するためのセンサ１０が設けられ、封入孔ｄ２の位置検出時には、ノズル８の真下に位置付けられるようになっている。
【００３６】
すなわち、センサ１０は、ノズルユニット６を支持する支持板７の下方にて、ガイドシリンダ１１，１１により液封入装置の前後方向（図の左右方向）に移動可能に支持されており、エアシリンダ１２により進退駆動されるようになっている。図には１つのみ示すが、ガイドシリンダ１１，１１は液封入装置の左右に並んで２つ設けられており、その外筒１１ａ，１１ａは、エアシリンダ１２の前端部と共に装置フレーム１側の縦壁部材１３に固定されている。
【００３７】
一方、各ガイドシリンダ１１，１１の内筒１１ｂ，１１ｂの前端部は、エアシリンダ１２のロッド１２ａの前端部と共に連結板１４に固定されるとともに、この連結板１４を介してセンサ１０にも連結されており、エアシリンダ１２の作動によって、連結板１４及びセンサ１０が左右のガイドシリンダ１１，１１に案内されて前後に並行移動するようになる。尚、センサ１０の上方にはガイドシリンダ１１，１１の前部までを覆うように、カバー部材１５が設けられている。
【００３８】
そうして前後に進退移動されるセンサ１０は、回転テーブル２の上昇に伴いワークＷと干渉することがないよう、通常は図に実線で示す後退位置に位置付けられるが、回転テーブル２が最下位置にあって、その上のワークＷの封入孔ｄ２を検出するときには、図に仮想線で示す前進位置まで前進して、ノズル８の真下に位置付けられる。このセンサ１０は図５に模式的に示すように、レーザ光Ｌを下方のワークＷの上面（ダイヤフラムＤの外周寄りの部位の上面）に向けて投射し、その反射光を受光して距離を測定する測長センサである。
【００３９】
そして、図５のようにセンサ１０によって下方のワークＷ上面までの距離を計測しつつ、図に矢印で示すように回転テーブル２を回転移動させると、シール面ｄ３の段差状側縁部にて測定距離が急変することから、センサ１０の出力がステップ状に変化し、このことに基づいて側縁部が検出される。ここで、シール面ｄ３の側縁部から封入孔ｄ２の中心までの距離は予め定められているから、前記のように側縁部を検出することは実質的に封入孔ｄ２の位置を検出することと同義である。
【００４０】
そうしてシール面ｄ３の側縁部を検出した後に、そこから封入孔ｄ２の中心までの距離の分、回転テーブル２を回転移動させれば、封入孔ｄ２はセンサ１０の真下に位置し、その上方のノズル８と上下方向に対峙するようになる。そこで、エアシリンダ１２の作動によりセンサ１０を後退させるとともに、回転テーブル２を上昇させれば、その上に保持したワークＷの封入孔ｄ２の周縁部（シール面ｄ３）が下方からノズル８の先端に押し当てられて、封入孔ｄ２とノズル８とが気密に接続されることになる。
【００４１】
そのような回転テーブル２の回転や昇降作動は、基台５の内部に設けられた移動機構４によって行われる。この移動機構４は、電動サーボモータ４０により回転テーブル２を回転させる機構と、その回転テーブル２をエアシリンダ４５によって上昇、下降させる機構とが一体的に設けられたものである。電動サーボモータ４０は、図４には示さないが、液封入装置の基台５の天板５ａの下部に取り付けられており、その出力軸に固設されたピニオン４２（図１参照）を介してギヤ４１を回転させる。このギヤ４１の軸部４１ａは、天板５ａにそれを貫通する軸受部４３を介して回転自在に取り付けられている。
【００４２】
一方、昇降用のエアシリンダ４５は、基台５の底板５ｂに上向きに配設されており、図１を参照して上述したように、その上端から延びるロッド４５ａの先端（上端）には、ジョイント部４７により回転自在に３本のシャフト４６，４６，…が連結されている。この３本のシャフト４６，４６，…は、それぞれ、前記ギヤ４１の軸部４１ａに形成された上下の貫通孔に摺動自在に挿入されて、その上端が各々回転テーブル２の下部に固定されている。
【００４３】
よって、前記電動サーボモータ４０の作動によりギヤ４１が回転されると、これと一体に３本のシャフト４６，４６，…が回転し、これにより回転テーブル２が回転される。また、エアシリンダ４５のロッド４５ａが進退作動すると、前記３本のシャフト４６，４６，…はその軸方向、即ち上下方向に移動し、これにより回転テーブル２が上昇又は下降すされる。尚、図示しないが、エアシリンダ４５には、高圧エアの供給方向を切換えるための電磁開閉バルブが付設されている。
【００４４】
そのような電動サーボモータ４０やエアシリンダ４５の作動制御、即ち移動機構４の作動制御は、図示しないコントローラによって行われる。このコントローラ及び移動機構４の電動サーボモータ４０やギヤ４１等によって、ワークＷの封入口ｄ２が上方のノズル８と対峙するように回転テーブル２を回転移動させる回転移動手段が構成され、また、コントローラ及び移動機構４のエアシリンダ４５やシャフト４６，４６，…等によって、前記回転テーブル２を上下方向に移動させて、その上のワークＷの封入孔ｄ２をノズル８に接続する接続移動手段が構成されている。
【００４５】
−バルブユニット−
前記のようにしてワークＷの封入孔ｄ２が下端に接続されるノズル８の上端は、図６に示すように支持板７を上下に貫通していて、その上に配置されたバルブユニット６の本体部材２０に接続されている。このバルブユニット本体２０は、金属製ブロックからなり、図７のように上方から見た断面では４つの開閉バルブ２１ａ，２１ｂ，２２，２３がＴ字状に配置され、それぞれにエアシリンダ７１ａ，７１ｂ，７２，７３が一体的に連結されて、これによりスプールが開閉されるようになっている。
【００４６】
また、バルブユニット本体２０には、４つの開閉バルブ２１ａ，２１ｂ，２２，２３に囲まれるように、略中央を上下に延びる共通通路２０ａが形成されている。すなわち、本体部材２０は分割可能な円柱状の部材を有し、共通通路２０ａは、前記の部材を上下に貫通するとともに、当該部材に形成された分岐路（図示せず）によって各開閉バルブ２１ａ，２１ｂ，２２，２３に連通している。この共通通路２０ａの下端がバルブユニット本体２０の下面に開口して、ノズル８内の通路に連通している。
【００４７】
一方、バルブユニット本体２０の上面に開口する共通通路２０ａの上端は、その上面に重ねて配置された通路形成部材２４内の通路２４ａに連通している。この通路２４ａは、バルブユニット本体２０の共通通路２０ａへ鋼球Ｓを供給するためのもの（以下、供給通路２４ａともいう）であるが、これについては後述する。
【００４８】
前記図７の左側にて上下に並んだ２つの開閉バルブ２１ａ，２１ｂの一方が、液室ｗ１に液体を供給するための給液ライン３０に接続されている。この例では他方は予備であり、ラインには接続されていない。これは、開閉バルブ２１ａ，２１ｂに目詰まり等の故障を生じた場合でも、液封入装置の停止時間を最小化するためである（以下の説明では、２つの開閉バルブ２１ａ，２１ｂを区別することなく、単に開閉バルブ２１と呼ぶ）。
【００４９】
また、同図の上側に位置する開閉バルブ２２は、ワークＷの液室ｗ１から空気を排出するための排気ライン５０に接続され、下側に位置する開閉バルブ２３は、ノズル８内の通路やバルブユニット６の共通通路２４ａ等に残留する液体を回収するための回収ライン６０に接続されている。言い換えると、バルブユニット６は、ノズル８を給液ライン３０、排気ライン５０又は回収ライン６０のいずれか１つに切替えて接続する切替バルブを構成している。
【００５０】
−液体供給系統−
次に図８を参照して、ワークＷへの液体の供給系統について説明する。この実施形態では、液体を脱気しながら貯留する２つの貯留タンク３１ａ，３１ｂを備え、各貯留タンク３１ａ，３１ｂの下部には、それぞれ、給液ライン３０の上流側で分岐した２つの分岐ライン３０ａ，３０ｂが接続されるとともに、この分岐ライン３０ａ，３０ｂをそれぞれ開閉する電磁開閉バルブ３２ａ，３２ｂが配設されている。また、各貯留タンク３１ａ，３１ｂの下部には、ドレンバルブ３３ａ，３３ｂも配設され、さらに、図外の液体補給装置から液体を補給するための補給ライン３４が電磁開閉バルブ３５ａ，３５ｂを介して接続されている。
【００５１】
すなわち、各貯留タンク３１ａ，３１ｂの内部には、それぞれ、貯留する液面の上限及び下限を決めるためのフロートスイッチＳＷ，ＳＷ，…が配設され、液面が下限のフロートスイッチＳＷを下回れば、前記電磁開閉バルブ３５ａ，３５ｂが開かれて、補給ライン３４から液体が補給される一方、液面が上限のフロートスイッチＳＷを上回れば、電磁開閉バルブ３５ａ，３５ｂは閉じられて、液体の補給が停止されるようになっている。
【００５２】
一方、各貯留タンク３１ａ，３１ｂの上部には、貯留している液体を脱気するための脱気ライン３６が接続されている。この実施形態の脱気ライン３６は、後述する回収ライン６０の途中に接続されていて、その接続部位から貯留タンク３１ａ，３１ｂまでの間に、真空レギュレータ３７と真空計（図示せず）とが介設され、さらに貯留タンク３１ａ，３１ｂの直前で分岐したライン３６ａ，３６ｂ上にそれぞれ電磁開閉バルブ３８ａ，３８ｂが介設されている。
【００５３】
また、前記脱気ライン３６の分岐ライン３６ａ，３６ｂには、それぞれの電磁開閉バルブ３８ａ，３８ｂと貯留タンク３１ａ，３１ｂとの間にさらに分岐路が接続されていて、この分岐路の各々に電磁開閉バルブ３９ａ，３９ｂが介設されている。この電磁開閉バルブ３９ａ，３９ｂを閉じて前記の電磁開閉バルブ３８ａ，３８ｂを開けば、回収ライン６０の負圧により脱気ライン３６を介して貯留タンク３１ａ，３１ｂ内の空気を吸引し、その内部に貯留した液体を脱気することができる。一方、各分岐路の電磁開閉バルブ３９ａ，３９ｂを開けば、貯留タンク３１ａ，３１ｂ内を大気開放することができる。
【００５４】
さらに、この実施形態では、前記給液ライン３０にワークＷへの給液量を予め計量するための計量シリンダ８０が介設されている。計量シリンダ８０の上流側及び下流側には、それぞれ開閉バルブ８１，８２が配設されていて、各々一体的に連結されたエアシリンダ７４，７５によって弁体が開閉されるようになっている。この計量シリンダ８０は、その電動サーボシリンダ８３によって駆動されるもので、その作動ストロークの制御は液体供給系統における電磁開閉バルブや真空ポンプ、或いは前記移動機構４のサーボモータ４０等と同様にコントローラによって行われる。
【００５５】
また、排気ライン５０には高圧真空ポンプ５１が接続されており、そこからバルブユニット６までの間に気液を分離するための分離タンク５２が介設されている。分離タンク５２の上部には開放バルブ５３が、下部にはドレンバルブ５４が、それぞれ取り付けられている。この排気ライン５０は、前記給液ライン３０によって液体を供給する前にワークＷの液室ｗ１から空気を吸引（真空引き）するためのものであり、そうして真空引きする液室ｗ１内の圧力をモニタするため真空圧力計５５が接続されている。
【００５６】
さらに、回収ライン６０は、給液後にノズル８やバルブユニット６の内部に残留する液体を吸引して回収するためのものであり、そうして液体を吸引するための真空ポンプ６１に接続されるとともに、吸引される液体を回収して貯留する回収タンク６２が介設されている。この回収タンク６２は、前記分離タンク５２と同様の構成であり、その上部には開放バルブ６３が、その下部にはドレンバルブ６４が、それぞれ取り付けられている。バルブユニット６から回収タンク６２までの間で回収ライン６０には前記脱気ライン３６が接続されている。
【００５７】
そして、前記給液ライン３０、排気ライン５０、及び回収ライン６０の３つのラインのいずれかがバルブユニット６によって選択的にノズル８に接続されるようになっている。すなわち、バルブユニット６の開閉バルブ２１が開かれれば、給液ライン３０がノズル８に接続され、開閉バルブ２２が開かれれば排気ライン５０が、また、開閉バルブ２３が開かれれば回収ライン６０が、それぞれノズル８に接続される。
【００５８】
尚、前記バルブユニット６の各開閉バルブ２１〜２３をそれぞれ駆動するエアシリンダ７１ａ，７１ｂ，７２，７３、並びに、前記計量シリンダ８０の開閉バルブ８１，８２をそれぞれ駆動するエアシリンダ７４，７５は、図示しないが、電磁切替バルブを介して工場の設備である高圧エア供給ラインに接続されている。
【００５９】
−鋼球の供給及び嵌入機構−
次に、再び前記図６を参照して、ワークＷの封入孔ｄ２に鋼球Ｓを嵌め入れるための構造について説明する。まず、図示の如くバルブユニット６の本体部材２０上に重ねられた通路形成部材２４には、上下に延びる供給通路２４ａ途中から分岐して、装置後方（同図の右方）に向かって直線的に延びるように分岐路２４ｂが形成され、さらに、その分岐路２４ｂの途中から分岐して上方に向かい、通路形成部材２４の上面に開口する分岐孔２４ｃが形成されている。
【００６０】
前記分岐路２４ｂは、通路形成部材２４の後面まで延びてそこに開口しており、その開口には後方からロッド９１が気密状態で挿入されている。このロッド９１は、エアシリンダ９２によって長手方向（装置の前後方向）に進退駆動されるようになっており、最も後退した位置では先端が分岐孔２４ｃのやや後方に位置する一方、エアシリンダ９２により駆動されて前進すれば、分岐路２４ｂを通して鋼球Ｓを供給通路２４ａまで移動させるようになっている。
【００６１】
一方、前記通路形成部材２４の上面に開口する分岐孔２４ｃは、その上方に対峙する大径のロッド９３の上下動によって開閉されるようになっている。このロッド９３もエアシリンダ９４によって長手方向（上下方向）に進退駆動されるようになっており、最も前進（下降）した位置では下端部に配設されたＯリング（図示せず）が分岐孔２４ｃの開口周縁に密着して、それを気密に封止する一方、そこから所定量、後退（上昇）すれば分岐孔２４ｃの開口を開放し、そこへの鋼球Ｓの進入を妨げないようになる。
【００６２】
また、前記通路形成部材２４の上面には、前後にスライド移動するようにスライド板９５が配置されていて、その前部には鋼球Ｓを１つだけ収容可能な丸穴９５ａが厚み方向に貫通して形成されている一方、スライド板９５の後端部はエアシリンダ９６に連結されており、これにより前後方向に進退駆動されるようになっている。丸穴９５ａは、スライド板９５が最も前進した位置にあるときに、下方の通路形成部材２４上面に開口する分岐孔２４ｃと連通する一方、スライド板９５が最も後退すれば、以下に述べるように上方から供給される鋼球Ｓを受け入れる。
【００６３】
すなわち、前記スライド板９５の上には固定板９７が重ねられて、スライド板９５の左右両側で通路形成部材２４に取り付けられており、この固定板９７には、スライド板９５の最後退位置でその丸穴９５ａに上方から連通するように、コネクタ９８を介して可撓性チューブ９９が取り付けられている。このチューブ９９内には鋼球Ｓが数珠繋ぎになって収容されており、前記最後退位置にあるスライド板９５の丸穴９５ａに、コネクタ９８内の通路を介して鋼球Ｓを１つずつ供給するようになっている。
【００６４】
そうして供給された鋼球Ｓを１つ丸穴９５ａ内に収容した状態で、エアシリンダ９６の作動によりスライド板９５がその最前進位置にまで移動すれば、丸穴９５ａ内の鋼球Ｓは下方に開口する分岐孔２４ｃ内に落下して分岐路２４ｂに至り、その後、前記したようにロッド９１によって供給通路２４ａまで送られることになる。こうして送られた鋼球Ｓは供給通路２４ａ内を落下して、連通するバルブユニット本体２０の共通通路２０ａからノズル８内に到達し、図示の如くワークＷの封入孔ｄ２付近に停留するのである。
【００６５】
斯くの如く、ロッド９１，９３、スライド板９５、エアシリンダ９２，９４，９６、及びチューブ９９等によって、通路形成部材２４内の供給通路２４ａを介してノズル８へ鋼球Ｓを１つずつ供給する機構９０（以下、供給機構という）が構成されている。そして、供給機構９０によって供給された鋼球Ｓは、その後、嵌入機構１００の作動によって、ワークＷの封入孔ｄ２に嵌め入れられるようになっている。
【００６６】
すなわち、前記した通路形成部材２４の共通通路２４ａは、上述したように下端がバルブユニット本体２０の共通通路２０ａに連通する一方、その上端は、通路形成部材２４の上部に付設された筒状部材２５の内部に連通しており、この筒状部材２５を介して、上方から気密状態でロッド１０１が挿入されている。このロッド１０１は、その下端側が共通通路２０ａを経てノズル８内の通路に亘って、進退するように設けられる一方、上端部はエアシリンダ１０２に連結されており、このエアシリンダ１０２の作動より長手方向（上下方向）に進退駆動されるようになっている。
【００６７】
そして、前記ロッド１０１が最も後退（上昇）した位置では、その先端が筒状部材２５内に留まり、通路形成部材２４内で分岐路２４ｂから供給通路２４ａへの鋼球Ｓの進入を妨げないようになる。一方、最も前進（下降）した位置ではロッド１０１の先端は、ノズル８の下端よりも下方に突出し、鋼球ＳをワークＷの封入孔ｄ２に押し込むようになる。つまり、前記ロッド１０１及びエアシリンダ１０２により、ノズル８を介してワークＷの封入孔ｄ２に鋼球Ｓを嵌め入れる嵌入機構１００（嵌入手段）が構成されている。
【００６８】
（液封マウントの製造手順）
次に、液封マウントの製造手順について説明する。まず、ワークＷ自体の製造について簡単に説明すると、この実施形態の液封マウントＭの場合、連結金具Ａ及び補強金具ｒ１を金型にセットするとともに、ゴム弾性体Ｒ及びゴム層となる所定量の未加硫ゴム組成物も金型にセットし、それらを加熱及び加圧して加硫一体化成形する。この際、連結金具Ａ及び補強金具ｒ１にはゴムとの接触部位に加硫接着剤を塗布しておく。
【００６９】
そうして得られた一体化形成物をハウジングＨ内に上方から嵌め入れて、ゴム弾性体Ｒの上端外周から突出する補強金具ｒ１をハウジングＨの上端内周に形成された段部に重ね合わせるとともに、その上方からハウジングＨ内にオリフィス盤ＯとダイヤフラムＤとを嵌め入れて、該ダイヤフラムＤの下端外周から突出する補強金具ｄ１を前記ゴム弾性体Ｒの補強金具ｒ１の上から重ね合わせる。そして、ハウジングＨの上端外周の立壁部を内周側に折り曲げて、段部上に重ね合わされている補強金具ｒ１，ｄ１を上方からかしめれば、液体未封入のワークＷが得られる。
【００７０】
前記のように得られたワークＷに液体を封入する方法は、上述した液封入装置を用いて液体を脱気する工程と、ワークＷの封入孔ｄ２にノズル８を接続する工程と、そのノズル８を介して液室ｗ１内の空気を排気する工程と、排気後の液室ｗ１に液体を供給する工程と、液体を満たした後に液室ｗ１を密封する工程と、その後、ノズル８等に残留する液体を回収する工程と、を備えている。
【００７１】
−脱気工程−
最初に液体を脱気する工程について説明する。この脱気工程は、貯留タンク３１内の液体を脱気する工程であり、前記排気工程、給液工程、密封工程及び回収工程と並行して、２つの貯留タンク３１ａ，３１ｂで交互に行われるものである。以下の説明では、２つの貯留タンク３１ａ，３１ｂを区別することなく、単に貯留タンク３１と呼び、これに倣って電磁開閉バルブ３８，３９等も特に必要がなければ区別せずに説明する。尚、貯留タンク３１には、既に液体が貯留されているものとする。
【００７２】
貯留タンク３１内の液体を脱気するときには、まず、脱気ライン３６上に介設された電磁開閉バルブ３８を開いて、真空レギュレータ３７により調整しながら回収ライン６０の負圧を貯留タンク３１内へ導入する。尚、貯留タンク３１に設けられた他のバルブは全て閉じておく。
【００７３】
そして、貯留タンク３１内が所定の真空圧力に到達すれば、前記電磁開閉バルブ３８を閉じて、貯留タンク３１内を密閉空間にする。こうして、密閉された貯留タンク３１内で液体の脱気を所定時間、行い、それに溶け込んでいる空気を除去することで、マウントＭに封入した後に液中で気泡が生成することを防止でき、防振性能を安定的に確保する上で有利になる。
【００７４】
これに対し、接続工程、排気行程、給液工程、密封工程及び回収工程は、この順番の一連のシーケンスとして行われる。まず、作業者は、図１、２、４のように回転テーブル２が最下位置にある状態で、ワークＷを回転テーブル２上の保持具３にセットする。この際、ワークＷのハウジングＨのブラケット部ｈ１を手前にして、保持具３の突起部３ａ，３ａに合わてセットすれば、当該ワークＷはその中心軸線Ｃが概略、回転テーブル２の回転中心線Ｚと一致するようになる。それからフレーム１の最上部に配設されている操作盤１６（図１参照）のスイッチを押して、液封入装置を作動させる。
【００７５】
−接続工程−
液封入装置が作動すると、まず、センサ１０が前進してノズル８の真下に位置付けられ、図５に示すように下方のワークＷ上面までの距離を測定する。これとともに移動機構４のサーボモータ４０が作動して、回転テーブル２上のワークＷがその中心軸線Ｃの周りに回転される。これによりセンサ１０による測距位置がダイヤフラムＤ上面の外周寄りの部位において周方向に移動し、シール面ｄ３の段差状側縁部を通過すると、センサ１０の出力がステップ状に変化することになる。
【００７６】
ここで、前記シール面ｄ３の側縁部は封入孔ｄ２よりも長くワークＷの半径方向に延びているので、仮にワークＷが少し傾いてセットされていて、封入孔ｄ２がワークＷの半径方向に位置ずれしており、それ自体はセンサ１０による検出が難しい状態であっても、該センサ１０によりシール面ｄ３の側縁部は検出可能であり、間接的に封入孔ｄ２の位置を検出することができる。
【００７７】
そうして検出したシール面ｄ３の側縁部から封入孔ｄ２の中心までの距離の分、回転テーブル２が回転移動されて、封入孔ｄ２がセンサ１０の真下に、即ちノズル８の真下に位置するようになれば、エアシリンダ１２の作動によってセンサ１０が後退するとともに、移動機構４のエアシリンダ４５の作動によって回転テーブル２が上昇し、その上のワークＷの上面外周寄りの部位が上方のノズル８及び押さえ棒９，９の下端に押し付けられる。こうしてワークＷの封入孔ｄ２とノズル８とが気密に接続される。
【００７８】
−排気工程−
前記のようにワークＷの封入孔ｄ２とノズル８とが接続されるのと並行して、供給機構９０のスライド板９５が前進し、通路形成部材２４の分岐孔２４ｃに鋼球Ｓが１つだけ落下する。それからロッド９３が下降して、分岐孔２４ｃの開口を気密に封止する。
【００７９】
そうして分岐孔２４ｃの開口が気密に封止され、ワークＷの液室ｗ１に連通する通路形成部材２４の通路２４ａ〜２４ｃとバルブユニット本体２０の共通通路２０ａとが、全て外部から気密に遮断された状態で、当該バルブユニット６における排気ライン５０の開閉バルブ２２が開かれるとともに、該排気ライン５０の高圧真空ポンプ５１が作動する。
【００８０】
この高圧真空ポンプ５１の作動によって、真空圧力スイッチ５５をモニタしながらワークＷの液室ｗ１内の空気が吸引（真空引き）されて、強制的に排気される。この際、ノズル８や通路形成部材２４、さらにはバルブユニット６内からも空気が排出される。そして、例えば液室ｗ１内が所定の高真空圧状態になれば、高圧真空ポンプ５１が停止するともに、バルブユニット６では排気ライン５０の開閉バルブ２２が閉じられる。
【００８１】
−給液工程−
前記のようにワークＷの液室ｗ１から空気が排出されれば、今度はバルブユニット６において給液ライン３０の開閉バルブ２１が開かれるとともに、該給液ライン３０上の計量シリンダ８０において下流側の開閉バルブ８２が開かれ、且つサーボシリンダ８３の作動によって吐出側にストロークされる。尚、上流側の開閉バルブ８２は閉じられる。
【００８２】
そうして計量シリンダ８０のストロークによって開閉バルブ８２から下流側の給液ライン３０へ吐出された液体は、この給液ライン３０を流通してバルブユニット６へ送給され、ノズル８を介してワークＷの液室ｗ１内に供給される。この際、液室ｗ１内が負圧になっているので、液体はスムーズに供給されて液室ｗ１の隅々にまで充填される。
【００８３】
また、液室ｗ１に充填される液体の分量は、前記のように計量シリンダ８０によって予め計量されているから、ワークＷのハウジングＨやゴム弾性体Ｒの大きさのばらつきやそれらを組み付ける際の誤差によって、液室ｗ１の容積にばらつきがあっても、そのことによって液の封入量がばらつくことはない。
【００８４】
−密封工程−
そうして液室ｗ１内に液体が満たされれば、バルブユニット６では給液ライン３０の開閉バルブ２１が閉じられる。また、通路形成部材２４の分岐路２４ｂでは、そこに挿入されているロッド９１が一旦、最後退位置まで後退した後に前進して、鋼球Ｓを供給通路２４ａに送り、続いてロッド１０１が下降して鋼球Ｓを、ノズル８内の通路を介してワークＷの封入孔ｄ２に嵌め入れる。
【００８５】
その際、鋼球Ｓの送られる分岐路２４ｂや供給通路２４ａ内が液によって満たされているため、そこを通って鋼球Ｓが封入孔ｄ２に嵌入されるときに、空気が混入する虞れはない。また、封入孔ｄ２から押し出された液体はノズル８内に留まり、外部にこぼれる心配はない。勿論、空気中の異物が封入液に混入する虞れもない。
【００８６】
−回収工程−
前記のように鋼球Ｓにより封入孔ｄ２が閉止され、液室ｗ１が密封されて、液封マウントＭが完成すれば、バルブユニット６では回収ライン６０の開閉バルブ２３のみが開かれる。そうすると、該回収ライン６０の真空ポンプ６１は常時、作動しているので、回収タンク６２内が負圧とされ、この負圧によってバルブユニット６や通路形成部材２４、さらにはノズル８内に残留している液体が吸引されて、回収タンク６２に回収される。
【００８７】
そして、予め設定されている時間が経過すれば、バルブユニット６では回収ライン６０の開閉バルブ２３が閉じられる。また、その間、給液ライン３０においては既に脱気の完了している貯留タンク３１の電磁開閉バルブ３２が開かれ、計量シリンダ８０においては下流側の開閉バルブ８２が閉じられ、上流側の開閉バルブ８１が開かれるとともに、サーボシリンダ８３の作動によって吸入側へのストロークが行われて、そのストローク分の液体が吸入される。
【００８８】
尚、前記のように脱気の完了した貯留タンク３１から計量シリンダ８０へ液を供給する際には、電磁開閉バルブ３２の開作動に先立って大気連通用の電磁開閉バルブ３９が開かれ、貯留タンク３１内が大気開放されている。
【００８９】
以上のように液封マウントＭが完成すれば、移動機構４のエアシリンダ４５の作動によって回転テーブル２が最下位置まで下降し、作業者は、完成したマウントＭを回転テーブル２上の保持具３から容易に取り外せるようになる。この際、前記したようにノズル８内から既に液体が除去されているので、上方のノズル８から液体が垂れる心配がなく、それを拭き取る手間も要らない。作業者は、完成したマウントＭを取り外した後に、次のワークＷを保持具３にセットして操作盤１６のスイッチを押し、前記の各工程を実行すればよい。
【００９０】
（作用効果）
したがって、この実施形態の液封入装置によると、作業者は、回転テーブル２上の保持具３にワークＷをセットして、操作盤１６のスイッチを押すだけで、そのワークＷの封入孔ｄ２にノズル８が接続され、該ノズル８を介して液室ｗ１が真空引きされた後に、液が充填されて密封され、さらに残液の回収までもが一連のシーケンスとして自動的に行われる。
【００９１】
つまり、作業者は、回転テーブル２上の保持具３にワークＷの中心を合わせてセットするだけでよく、その後、センサ１０によりワークＷの封入孔２の位置が検出され、これに応じて回転テーブル２が回転されて、上方のノズル８との位置合わせから接続までが自動で行われるため、人為的なセットミスによってノズル８と封入孔ｄ２との接続不良が生じることを防止できる。
【００９２】
特にこの実施形態では、センサ１０によりワークＷの封入孔ｄ２を直接、検出するのではなく、それを囲むシール面ｄ３の側縁部を検出するようにしており、仮にワークＷが少し傾いてセットされていても、間接的に封入孔ｄ２を検出することができるから、人為的なセットミスをより確実に防止できる。
【００９３】
また、この実施形態のワークＷは、ハウジングＨ及びゴム弾性体Ｒからなる本体部材にオリフィス盤Ｏ及びダイヤフラムＤをかしめて固定するようにしており、そのダイヤフラムＤに封入孔ｄ２が設けられていることから、そのダイヤフラムＤの組み付け位置がずれていると、封入孔ｄ２の位置が上方のノズル８に対して周方向に大きくずれる可能性がある。
【００９４】
この点、前記液封入装置ではセンサ１０をノズル８の真下に位置付けて、そのセンサ１０により封入口ｄ２の位置を検出するまで、回転テーブル２を回転させるようにしているので、前記のように封入孔ｄ２の位置が周方向に大きくずれていても、その位置を確実に検出することができる。
【００９５】
逆に言えば、本発明に係る液封入装置を用いるのであれば、ワークＷの本体部材にオリフィス盤ＯやダイヤフラムＤを組み付ける際の周方向の位置決めは不要とすることも可能であり、こうすれば、マウントＭの構造を簡略化して、製造コストを削減することもできる。
【００９６】
尚、本発明は、前記実施形態の構成に限定されるものではなく、その他の種々の構成をも包含する。すなわち、前記の実施形態では、ワークＷのハウジングＨの外周から突出するようにブラケット部ｈ１が設けられているが、このような突出部を有しない（つまり凹凸の少ない）円柱状のワークを用いることもできる。この場合でもワークの中心を回転テーブル２の回転中心に合わせてセットすれば、センサ１０により封入孔ｄ２の位置を検出して、それをノズル８に自動で接続することができる。
【００９７】
言い換えると、そのような円柱状のワークを用いる場合でも、液封入装置への位置決めのためだけに突起等を設ける必要がないから、マウントＭの設計において無用の制約を生じることがない、と言うことができる。
【００９８】
また、前記の実施形態ではワークＷの本体部材に組み付けられるダイヤフラムＤに液の封入孔ｄ２を設けているが、これに限るものではないし、前記実施形態のような縦型の液封マウントＭに限らず、その他の液封マウントにも、本発明の封入装置を適用できる。
【００９９】
また、前記実施形態の液封入装置では、センサ１０をノズル８の真下に位置付けて、その真下において封入孔ｄ２の位置を検出するようにしているが、これに限らず、回転テーブル２の回転中心線Ｚを中心とする円周上の任意の位置で封入孔ｄ２を検出し、そこからノズル８の真下に封入孔ｄ２が移動するように、回転テーブル２を回転させるようにしてもよい。
【０１００】
さらに、前記実施形態の液封入装置では、封入孔ｄ２を囲むシール面ｄ３の側縁部の位置をセンサ１０により検出するようにしているが、これに限らず、封入孔ｄ２の位置を直接、検出するようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【０１０１】
以上、説明したように、本発明は、液封マウントへの液封入装置において、ワークを容易にセットすることができるにも拘わらず、人為的なセットミスの発生を極力、抑えることができるので、有用である。
【図面の簡単な説明】
【０１０２】
【図１】実施形態の液封入装置の概略構成を示す正面図である。
【図２】(a)は、ワークをセットしたテーブルとその上方のバルブユニットとを示す斜視図であり、(b)は、特にノズルの位置を示す下方からの斜視図である。
【図３】液封マウントの構造の一例を示す縦断面図である。
【図４】回転テーブルの移動機構とセンサの構成とを示す側面図である。
【図５】ワークの封入孔の位置をセンサにより検出する様子を示す斜視図である。
【図６】バルブユニットや鋼球の供給及び嵌入機構の構成を示す断面図である。
【図７】バルブユニットの構成を示す図６のVII-VII線断面図である。
【図８】液体供給系統の回路構成を示すシステム図である。
【符号の説明】
【０１０３】
Ｍ    液封マウント
Ｗ    ワーク（マウントワーク）
ｗ１  液室
Ｃ    ワークの中心軸線
Ｄ    ダイヤフラム（閉止部材）
ｄ２  封入孔（封入口）
ｄ３  シール面
Ｈ    ハウジング（マウントワーク本体）
Ｒ    ゴム弾性体（マウントワーク本体）
Ｚ    回転テーブルの回転中心線
２    回転テーブル
３    保持具
４    移動機構（回転移動手段、接続移動手段）
８    ノズル
１０  センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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