(57)【要約】【課題】転送効率が１００％でないことに起因する画質劣化を適切に補正し高画質の撮像画像データを得る。【解決手段】半導体基板表面部に二次元アレイ状に形成され各々が受光量に応じた信号電荷を検出する複数の光電変換素子と、各光電変換素子が検出した信号電荷の転送を受け該信号電荷を出力部に転送する電荷転送路４と、各光電変換素子が検出した信号電荷の転送を受けて一時蓄積し制御信号に基づき該信号電荷を電荷転送路４に移す電荷一時蓄積部５とを備えるＣＣＤ型固体撮像素子の駆動方法において、転送対象となる電荷を電荷一時蓄積部５から電荷転送路４に移すとき該電荷を移したパケットの転送方向直後に対となる空パケットを電荷転送路４に形成し、該電荷の転送で生じる転送残り電荷を対となる空パケットで受けて転送し出力する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板表面部に二次元アレイ状に形成され各々が受光量に応じた信号電荷を検出する複数の光電変換素子と、各光電変換素子が検出した信号電荷の転送を受け該信号電荷を出力部に転送する電荷転送路と、各光電変換素子が検出した信号電荷の転送を受けて一時蓄積し制御信号に基づき該信号電荷を前記電荷転送路に移す電荷一時蓄積部とを備えるＣＣＤ型固体撮像素子の駆動方法において、転送対象となる電荷を前記電荷一時蓄積部から前記電荷転送路に移すとき該電荷を移したパケットの転送方向直後に対となる空パケットを前記電荷転送路に形成し、該電荷の転送で生じる転送残り電荷を対となる前記空パケットで受けて転送し出力することを特徴とするＣＣＤ型固体撮像素子の駆動方法。
【請求項２】
前記電荷転送路が複数並列に設けられ各電荷転送路に前記電荷と前記空パケットとの対が形成され転送されることを特徴とする請求項１に記載のＣＣＤ型固体撮像素子の駆動方法。
【請求項３】
前記出力部が分岐部を介して複数の分岐転送路に分岐され、いずれかの分岐転送路に前記空パケットが分岐されることを特徴とする請求項１に記載のＣＣＤ型固体撮像素子の駆動方法。
【請求項４】
前記出力部が分岐部を介して複数の分岐転送路に分岐され、各分岐転送路毎の転送効率検出用に前記対となる前記電荷を入れたパケット及び前記空パケットが各分岐転送路に交互に分岐されることを特徴とする請求項１に記載のＣＣＤ型固体撮像素子の駆動方法。
【請求項５】
予備駆動時または電源投入時に前記駆動方法が行われることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載のＣＣＤ型固体撮像素子の駆動方法。
【請求項６】
前記半導体基板表面部の一部領域に設けられている前記光電変換素子の検出電荷を読み出すときに前記駆動方法が行われることを特徴とする請求項２乃至請求項５のいずれかに記載のＣＣＤ型固体撮像素子の駆動方法。
【請求項７】
前記半導体基板表面部の有効画素領域の前記光電変換素子で静止画像を撮像したとき前記駆動方法が行われることを特徴とする請求項２に記載のＣＣＤ型固体撮像素子の駆動方法。
【請求項８】
半導体基板表面部に二次元アレイ状に形成され各々が受光量に応じた信号電荷を検出する複数の光電変換素子と、各光電変換素子が検出した信号電荷の転送を受け該信号電荷を出力部に転送する電荷転送路と、各光電変換素子が検出した信号電荷の転送を受けて一時蓄積し制御信号に基づき該信号電荷を前記電荷転送路に移す電荷一時蓄積部とを備えるＣＣＤ型固体撮像素子を搭載した撮像装置において、転送対象となる電荷を前記電荷一時蓄積部から前記電荷転送路に移すとき該電荷を移したパケットの転送方向直後に対となる空パケットを前記電荷転送路に形成し該電荷の転送で生じる転送残り電荷を対となる前記空パケットで受けて転送し出力する転送駆動制御を行う制御手段を備えることを特徴とする撮像装置。
【請求項９】
前記ＣＣＤ型固体撮像素子には、前記電荷と前記空パケットとの対が形成され転送される前記電荷転送路が複数並列に設けられていることを特徴とする請求項８に記載の撮像装置。
【請求項１０】
前記ＣＣＤ型固体撮像素子には、前記電荷を入れたパケットが分岐される第１の分岐転送路と、前記空パケットが分岐される第２の分岐転送路とが分岐部を介して前記出力部に連設されていることを特徴とする請求項８に記載の撮像装置。
【請求項１１】
前記ＣＣＤ型固体撮像素子には、前記対となる前記電荷を入れたパケット及び前記空パケットが交互に分岐される複数の分岐転送路が分岐部を介して前記出力部に連設されていることを特徴とする請求項８に記載の撮像装置。
【請求項１２】
前記制御手段は、前記転送駆動制御を、予備駆動時または電源投入時に行うことを特徴とする請求項８乃至請求項１１のいずれかに記載の撮像装置。
【請求項１３】
前記制御手段は、前記転送駆動制御を、前記半導体基板表面部の一部領域に設けられている前記光電変換素子の検出電荷を読み出すときに行うことを特徴とする請求項９乃至請求項１２のいずれかに記載の撮像装置。
【請求項１４】
前記制御手段は、前記転送駆動制御を、前記半導体基板表面部の有効画素領域の前記光電変換素子で静止画像を撮像したとき行うことを特徴とする請求項９に記載の撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はＣＣＤ（Charge Coupled Device：電荷結合素子）型固体撮像素子の駆動方法及び撮像装置に係り、特に、出力用電荷転送路の転送劣化に基づく画質低下を回避することができる固体撮像素子の駆動方法及び撮像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＣＣＤ型固体撮像素子に設けられる電荷転送路は、転送効率を１００％にすることが物理的に不可能なため、若干の転送劣化が生じる。しかし、近年の固体撮像素子に搭載される画素数は数百万画素以上と膨大なため、転送段数も多くなり、転送効率の若干の劣化も問題になってしまう。
【０００３】
また、近年のＣＣＤ型固体撮像素子は、出力用電荷転送路である水平電荷転送路の高速駆動がネックになってきており、このため、出力用電荷転送路を複数チャネル備えるものが出てきている。例えば下記特許文献１記載の固体撮像素子は、固体撮像素子受光面に複数列設けられた垂直電荷伝送路の端部に沿って、２本の水平電荷転送路を並列に設け、受光面上の奇数行のフォトダイオードが検出した信号電荷を第１の水平電荷転送路で出力させ、受光面上の偶数行のフォトダイオードが検出した信号電荷を第２の水平電荷転送路で出力させる構成をとっている。
【０００４】
また、下記特許文献２記載の固体撮像素子は、水平電荷転送路は１本であるが、その出力端部を、電荷振分部によって並列な２本の出力用電荷転送路に分岐させる構造をとると共に、第１の分岐転送路の出力部に高効率アンプを設け、第２の分岐転送路の出力部に低効率アンプを設けている。
【０００５】
そして、被写体が低輝度の場合には、水平電荷転送路に沿って転送されてきた信号電荷を電荷振分部で第１の分岐転送路に振り分け、信号電荷量に応じた電圧値信号を高効率アンプで増幅して外部に出力し、被写体が高輝度の場合には信号電荷を電荷振分部で第２の分岐転送路に振り分け、低効率アンプで増幅し外部に出力している。
【０００６】
【特許文献１】特開平６―１１３２１２号公報
【特許文献２】特開平７―５０４０９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ＣＣＤ型固体撮像素子は、転送効率が問題になる。特に、出力チャネル数が複数ある固体撮像素子では、出力チャネル毎に転送効率が異なってしまう場合があり、高画質の被写体画像を撮像する上で、問題となる。
【０００８】
しかし、出力チャネルを複数備える従来のＣＣＤ型固体撮像素子は、水平電荷転送路を高速駆動するために複数設けたり、被写体の明るさに応じて出力アンプ特性を変えるために複数設けるのが目的であり、撮像画像の高画質化を図るための対策は講じていない。
【０００９】
本発明の目的は、転送効率による画質劣化を回避でき、また、複数の出力チャネルを有する場合には出力チャネルを使い分けることで高画質な撮像画像データを出力させることができるＣＣＤ型固体撮像素子の駆動方法及び撮像装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明のＣＣＤ型固体撮像素子の駆動方法及び撮像装置は、半導体基板表面部に二次元アレイ状に形成され各々が受光量に応じた信号電荷を検出する複数の光電変換素子と、各光電変換素子が検出した信号電荷の転送を受け該信号電荷を出力部に転送する電荷転送路と、各光電変換素子が検出した信号電荷の転送を受けて一時蓄積し制御信号に基づき該信号電荷を前記電荷転送路に移す電荷一時蓄積部とを備えるＣＣＤ型固体撮像素子の駆動において、転送対象となる電荷を前記電荷一時蓄積部から前記電荷転送路に移すとき該電荷を移したパケットの転送方向直後に対となる空パケットを前記電荷転送路に形成し、該電荷の転送で生じる転送残り電荷を対となる前記空パケットで受けて転送し出力することを特徴とする。
【００１１】
本発明のＣＣＤ型固体撮像素子の駆動方法及び撮像装置は、前記電荷転送路が複数並列に設けられ各電荷転送路に前記電荷と前記空パケットとの対が形成され転送されることを特徴とする。
【００１２】
本発明のＣＣＤ型固体撮像素子の駆動方法及び撮像装置は、前記出力部が分岐部を介して複数の分岐転送路に分岐され、いずれかの分岐転送路に前記空パケットが分岐されることを特徴とする。
【００１３】
本発明のＣＣＤ型固体撮像素子の駆動方法及び撮像装置は、前記出力部が分岐部を介して複数の分岐転送路に分岐され、各分岐転送路毎の転送効率検出用に前記対となる前記電荷を入れたパケット及び前記空パケットが各分岐転送路に交互に分岐されることを特徴とする。
【００１４】
本発明のＣＣＤ型固体撮像素子の駆動方法及び撮像装置は、予備駆動時または電源投入時に前記駆動が行われることを特徴とする。
【００１５】
本発明のＣＣＤ型固体撮像素子の駆動方法及び撮像装置は、前記半導体基板表面部の一部領域に設けられている前記光電変換素子の検出電荷を読み出すときに前記駆動が行われることを特徴とする。
【００１６】
本発明のＣＣＤ型固体撮像素子の駆動方法及び撮像装置は、前記半導体基板表面部の有効画素領域の前記光電変換素子で静止画像を撮像したとき前記駆動が行われることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、対となる空パケットを電荷転送用パケットの直後に送るため、電荷の転送状態を確実に把握でき、空パケットで転送され出力されたデータを用いて撮像画像データを適切に補正することが可能となり、高品質の画像を撮像することができる。
【００１８】
また、出力用電荷転送路を複数に分岐されたＣＣＤ型固体撮像素子を用いる場合、各分岐転送路の良否を判断できるため、「良」と判断した分岐転送路を出力用電荷転送路として選択可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の一実施形態について、図面を参照して説明する。
【００２０】
図１は、本発明の第１の実施形態に係る出力２分岐型固体撮像素子の表面模式図である。この固体撮像素子１は、半導体基板の受光面上に複数の光電変換素子（フォトダイオード（ＰＤ））２が二次元アレイ状に配列形成されている。図示する例は正方格子配列であるが、奇数行のフォトダイオードが偶数行のフォトダイオードに対して１／２ピッチずらして配列された所謂ハニカム配列でも良い。
【００２１】
図示する例では、各フォトダイオード列に沿って垂直電荷転送路（ＶＣＣＤ）３が設けられており、フォトダイオード２が検出した信号電荷は、図の左側の垂直電荷転送路３に読み出され、水平電荷転送路（ＨＣＣＤ）４の方向に転送される様になっている。
【００２２】
各垂直電荷転送路３の端部と、水平電荷転送路４との間には、特開２００２―１１２１１９号公報に記載されている様なラインメモリ５が設けられている。このラインメモリ（電荷一時蓄積部）５は、各垂直電荷転送路３に対応するバッファ領域５ａを備え、垂直電荷転送路３により転送されてきた信号電荷をバッファ領域５ａに一時的に蓄え、ラインメモリ５に与えられる駆動パルスに従って、ラインメモリ５上の信号電荷を水平電荷転送路４に移す動作を行う。これにより、例えば、一列置きの垂直電荷転送路３の信号電荷を水平電荷転送路４に移し、１つ置きの信号電荷を水平電荷転送路４に沿って転送させることが可能となる。
【００２３】
水平電荷転送路４の出力端部には、２本の出力用電荷分岐転送部７，８が並列に設けられ、水平電荷転送路４と分岐転送路７，８との間に電荷振分部（分岐部）９が設けられている。また、各分岐転送路７，８の出力端部には信号電荷量に応じた電圧値信号を出力するアンプ部７ａ，８ａが設けられている。
【００２４】
水平電荷転送路４は、埋め込みチャネルと、２相駆動される２層転送電極膜とを備え、各分岐転送路７，８も夫々、埋め込みチャネルと、２相駆動される２層転送電極膜とを備え、周知の水平電荷転送路の電荷転送方法と同様に転送パルスに従って出力側に移動する電位井戸（電位パケット）が形成される。
【００２５】
本実施形態の固体撮像素子１では、水平電荷転送路４で形成される電荷転送用電位井戸の深さに対して、分岐転送路７，８で形成される電荷転送用電位井戸の深さが深くなるように各埋め込みチャネル等の濃度が調整されている。更に、分岐部９には固定バイアス電圧が印加されて該分岐部９におけるポテンシャル井戸の深さは、水平電荷転送路４の電位井戸と分岐転送路７，８の電位井戸の中間の深さに固定され、水平電荷転送路４に沿って転送されてきた信号電荷は、分岐部９に流れ込み、分岐転送路７，８のいずれかの方向に流れ落ちる構成になっている。
【００２６】
各分岐転送路７，８の駆動パルスは位相が１８０度ずれており、分岐部９に流れ込んだ信号電荷は、分岐部９の電位井戸と同じ深さとなっている分岐転送路には流れ落ちず、分岐部９の電位井戸より深い電位井戸が形成されている分岐転送路側に流れ落ちる様になっている。
【００２７】
尚、「垂直」「水平」という用語を用いて説明しているが、これは、半導体基板表面に沿う１方向とこれに略垂直な方向という意味に過ぎない。
【００２８】
図２は、図１で説明した出力２分岐型固体撮像素子１を搭載した撮像装置の機能ブロック構成図である。この撮像装置は、撮像装置全体を統括制御する演算処理装置（ＣＰＵ）１１と、ＣＰＵ１１からの指示よって各種駆動タイミング信号を生成するタイミングジェネレータ（ＴＧ）１２と、タイミングジェネレータ１２からのタイミング信号によって駆動パルスを生成し出力する各種ドライバ回路１３，１４，１５，１６，１７，１８と、図１で説明したアンプ７ａ，７ｂから出力されるアナログの撮像画像信号を処理するアナログフロントエンド（相関二重サンプリング処理部ＣＤＳやアナログデジタル変換部ＡＤＣを備える）回路２１ａ，２１ｂと、デジタルに変換された撮像画像信号を一時的に保存するメインメモリ２２とを備える。
【００２９】
ＯＦＤパルスドライバ１３はオーバーフロードレイン（ＯＦＤ）パルスを生成して固体撮像素子１に印加し、Ｖ（垂直）ドライバ１４は、垂直電荷転送路３に対して読出パルスや転送パルスを印加し、ＬＭドライバ１５はラインメモリ５に対して駆動パルスを印加し、ＨＳドライバ１６は水平電荷転送路４に転送パルスを印加し、ＨＰドライバ１７は分岐転送路７，８に転送パルスを印加し、ＲＳドライバ１８はアンプ７ａ，８ａに対してリセットパルスを印加する。
【００３０】
図示する撮像装置は更に、デジタルシグナルプロセッサ（ＤＳＰ）で構成される信号処理部２３と、撮像画像信号をＪＰＥＧ形式等の画像データに圧縮したり逆に伸長したりする圧縮伸長回路２４と、撮像画像信号を記録メディア２５に書き込んだり読み出したりするメディアインタフェース部２６と、これら及びメモリ２２，ＣＰＵ１１を相互に接続するバス２７と、ＣＰＵ１１に対してユーザが指示入力を行う操作部２８とを備える。また、アンプ７ａ，８ａに対して電源電圧を供給するアンプ電源部２９と、分岐部９にバイアス電圧を供給するバイアス供給部３０とが設けられ、これらは信号処理部２３によって制御される。
【００３１】
信号処理部２３は、周知のデジタル信号処理機能を備える。例えば、ＡＦ演算部、ゲイン制御部、ＡＥ演算部、電源制御部、ＡＷＢ演算部、画素並び替え部などを備える。
【００３２】
図３は、本発明の第１実施形態に係る転送駆動方法を説明する図である。カラーフィルタを搭載した固体撮像素子から各信号電荷を各垂直電荷転送路３に読み出し転送することで、ラインメモリ５内には、１行分の信号電荷が蓄積される。
【００３３】
ここで、赤色フィルタを搭載したフォトダイオードの検出電荷を「Ｒ」、緑色フィルタを搭載したフォトダイオードの検出電荷を「Ｇ」、青色フィルタを搭載したフォトダイオードの検出電荷を「Ｂ」とする。カラーフィルタ配列が例えばベイヤー配列の場合には、一行分の信号電荷は、図３（ａ）のラインメモリ５内に示す様に、ＧＲＧＢＧＲＧＢ…と並ぶことになる。
【００３４】
そこで、本実施形態では、先ず、Ｇ信号電荷だけ、ラインメモリ５から水平電荷転送路４に移す。ラインメモリ５から１つ置きの信号電荷が水平電荷転送路４に移されるため、水平電荷転送路４上には、夫々バリアを挟んで「Ｇ空Ｇ空Ｇ空…」と各パケットが並ぶことになる。これを水平方向に転送するとき、水平電荷転送路の転送パルスと分岐転送路７，８の転送パルスの同期制御を行うことで、図３（ｂ）に示す様に、Ｇ信号電荷だけ分岐転送路７に転送させ、空パケットは、分岐転送路８に転送させることができる。
【００３５】
これにより、アンプ７ａからはＧ信号電荷量に応じた電圧値信号がアナログフロントエンド回路２１ａに出力され、アンプ８ａからは空パケットの電圧値信号がアナログフロントエンド回路２１ｂに出力され、アナログ信号処理後のデータがメモリ２２に蓄積される。
【００３６】
次に、図３（ｂ）に示す、残りのＲ，Ｂ，Ｒ，…の信号電荷を、上記と同様に空パケットを挟んで一緒に転送し、Ｒ，Ｂ，…の信号電荷は分岐転送路７に転送し、空パケットは分岐転送路８に転送する。各アンプ７ａ，８ａからの出力信号は、アナログフロントエンド回路２１ａ，２１ｂにより信号処理され、処理後のデータがメモリ２２に蓄積される。
【００３７】
信号処理部２３は、メモリ２２に保存されている回路２１ａからの出力データを、回路２１ｂから出力されたデータに基づいて補正し、高画質な撮像画像データを生成し、ＪＰＥＧ画像等に圧縮して記録メディア２５に保存する。
【００３８】
ＣＣＤ型固体撮像素子では、電荷転送路に沿って信号電荷を転送するが、近年の固体撮像素子は搭載画素数が数百万画素以上と増えてきているため、１画素が検出できる信号電荷量は小さくなっている。また、転送段数も多段に渡るようになってきているため、転送効率が劣化して各転送段における転送残りが発生すると、撮像画像の劣化に繋がってしまう。
【００３９】
そこで、本実施形態では、信号電荷Ｒ，Ｇ，Ｂの転送後段に空パケットを挿入して転送し、転送残りが生じた場合でも後段の空パケット内に転送残り電荷を集めて転送する様にしている。即ち、アンプ７ａから出力されたＲ信号と、このＲ信号と対となるアンプ８ａから出力された空パケット信号とを加算することで、真のＲ信号を得ることができ、転送劣化分を補正した高画質の撮像画像データを得ることが可能となる。
【００４０】
尚、上述した実施形態では、被写体画像を撮像して得た信号電荷を出力するときに、Ｒ，Ｇ，Ｂの各信号電荷の転送後段に空パケットを挿入して転送残り電荷を空パケットに集める構成としたが、本発明はこれに限るものではない。
【００４１】
例えば、図４に示す様に、有効画素領域の水平電荷転送路４側にオプティカルブラック（ＯＢ）部が設けられており、有効画像領域で撮像された信号電荷を読み出す前にこのＯＢ部の電荷を転送し読み出すことになるが、このＯＢ部の読み出し時に上述した様に空パケットを挿入して水平電荷転送路４の転送効率を算出し、有効画像領域から読み出した撮像画像データを、この転送効率を用いて補正する構成とすることも可能である。
【００４２】
この場合、有効画像領域の信号電荷の読み出しは、空パケットを挿入せずに、図３（ａ）のラインメモリ５内のＧＲＧＢＧＲ…の信号電荷をそのまま水平電荷転送路４に移し、Ｇ信号電荷は分岐部９で分岐転送路７に振り分け、ＲＢ信号電荷は分岐部９で分岐転送路８の振り分ける様にすることができる。これにより、水平電荷転送路４を高速駆動しても、分岐転送路７，８は水平電荷転送路４の１／２の低速駆動が可能となる。
【００４３】
この様に、一部領域からの電荷読み出しについてのみ空パケットを挿入して転送効率を求める駆動方法を採用すると、フレームレートや消費電力的に有利となる。
【００４４】
図５は、本発明の別実施形態に係る駆動方法の説明図である。本実施形態では、水平電荷転送路４に、Ｇ１，Ｇ２（Ｇ１，Ｇ２に区別はなく、単に説明の都合に過ぎない。）の信号電荷を、間に空パケットを挿入してラインメモリ５から移し、図５（ａ）に示す様に、Ｇ１空Ｇ２空Ｇ１空Ｇ２空…とする。そして、水平電荷転送路４に沿って転送し、図５（ｂ）に示す様に、Ｇ１信号と後段空パケットとを分岐転送路７に転送させ、Ｇ２信号と後段空パケットとを分岐転送路８に転送させる。
【００４５】
本実施形態によれば、分岐転送路７の転送効率と、分岐転送路８の転送効率を検出することが可能となる。この駆動方法を、図４で説明したＯＢ部の信号読み出しに適用することで、有効画素領域の信号電荷の読み出し前に、分岐転送路７と分岐転送路８のうち転送効率が高い分岐転送路を知ることができる。従って、有効画素領域の信号電荷の読み出しを、転送効率の高い分岐転送路で行うことができ、高画質の撮像画像を得ることが可能となる。
【００４６】
尚、上述した各実施形態を併用したり、また、静止画像を撮像する前のＡＦ／ＡＥ検出動作時やモニタ出力モード時などの予備動作時に常に、あるいは電源投入直後に、出力チャネル毎の転送効率を検出しておき、感度設定や撮影状況に応じて固体撮像素子の駆動方法を切り替え、適宜、出力チャネルを切り替えたり、出力チャネル数を制限したりすることで、如何なる撮影状況でも常に良好な画質の撮像画像を得ることが可能となる。
【００４７】
尚、上述した実施形態では、出力２分岐型の固体撮像素子を例に説明したが、信号電荷の後段に空パケットを挿入する実施形態は出力チャネルが１つの場合にも適用可能である。また、出力チャネルが複数必要な実施形態は、出力チャネルが３つ以上のある場合にも適用可能である。また、図６に示す様に、水平電荷転送路４ａ，４ｂを並列に備え、間にラインメモリ５つまり信号電荷の後段に空パケットを挿入する手段を備える固体撮像素子であれば適用可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
本発明に係るＣＣＤ型固体撮像素子は、複数の出力チャネルを備えるＣＣＤ固体撮像素子の各出力チャネル毎の転送効率を検出できるため、良好な品質の撮像画像データを得ることが可能となり、デジタルカメラ等に適用すると有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の一実施形態に係る出力２分岐型固体撮像素子の説明図である。
【図２】図１に示す固体撮像素子を用いた撮像装置の機能ブロック構成図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る固体撮像素子の駆動方法の説明図である。
【図４】本発明の別実施形態の駆動方法を適用する固体撮像素子の説明図である。
【図５】本発明の更に別実施形態に係る駆動方法の説明図である。
【図６】本発明の更に別実施形態に係る固体撮像素子の説明図である。
【符号の説明】
【００５０】
１  出力２分岐型固体撮像素子
２  フォトダイオード
３  垂直電荷転送路（ＶＣＣＤ）
４  水平電荷転送路（ＨＣＣＤ）
５  ラインメモリ
７，８  分岐転送路
９  電荷振分部（分岐部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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