(57)【要約】【課題】高圧下への流体供給方法及び装置を提供する。【解決手段】高圧条件下へ流体を供給する往復動型ポンプを用いて、吐出流量を一定に制御して流体を供給する方法であって、ポンプの吐出側にキャピラリーチューブ又はオリフィスからなる圧力損失発生機構を設けて前後差圧を測定し、その圧力損失から流量を算出し、そのデータからポンプの吐出流量を一定に制御して、脈動を抑制し、安定的に流体を供給することを特徴とする流体供給方法、及びその装置。【効果】）１００ＭＰａを超過する高圧条件下に、脈動を抑制し、任意の流量に一定制御して、安定的に流体を供給するポンプシステムを提供できる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
高圧条件下へ流体を供給する往復動型ポンプを用いて、吐出流量を一定に制御して流体を供給する方法であって、ポンプの吐出側にキャピラリーチューブ又はオリフィスからなる圧力損失発生機構を設けて前後差圧を測定し、その圧力損失から流量を算出し、そのデータからポンプの吐出流量を一定に制御して、脈動を抑制し、安定的に流体を供給することを特徴とする流体供給方法。
【請求項２】
上記ポンプとして、油圧、空気圧又はサーボモーターを駆動源とする往復動型ポンプを用いる、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
上記圧力損失発生機構の前後に設けた、圧力センサー又は差圧発信機により、その前後差圧を測定する、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
１００ＭＰａを超過する高圧条件下へ流体を供給する、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前後差圧を測定する際に、同時的に温度を測定する、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
ポンプの吐出側に設けた、一定容積の流体を確保するためのアキュムレーター機構を用いて、圧力低下時に流体の補給を行う、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
高圧条件下へ流体を供給する往復動型ポンプを用いて、吐出流量を一定に制御して流体を供給する装置であって、ポンプが、油圧、空気圧又はサーボモーターを駆動源とする往復動型ポンプであり、当該ポンプの吐出側にキャピラリーチューブ又はオリフィスからなる圧力損失発生機構を設け、当該圧力損失発生機構の前後に圧力センサー又は差圧発信機を設け、その前後差圧から流量を算出し、そのデータからポンプの吐出量を制御する制御システムを有することを特徴とする流体供給装置。
【請求項８】
ポンプの吐出側に、流体の一定容積を確保するためのアキュムレーター機構を設けた、請求項７に記載の装置。
【請求項９】
１００ＭＰａを超過する高圧条件へ流体を供給する往復動型ポンプを用いる、請求項７に記載の装置。
【請求項１０】
流体を供給するプロセスが、超臨界又は亜臨界状態の高圧流体を用いる反応プロセスである、請求項７に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高圧下へ流体を安定して供給する方法及びその装置に関するものであり、更に詳しくは、１００ＭＰａを超過する高圧条件下に、脈動を抑制し、任意の流量に一定制御して、安定的に流体を供給する方法及びその装置に関するものである。本発明は、例えば、超臨界又は亜臨界状態の高圧流体を用いる反応プロセスにおいて、流体を任意の流量に一定制御して流体を供給することを可能とする流体供給方法及びその装置を提供するものである。
【背景技術】
【０００２】
通常、液体を高圧下へ供給するポンプとしては、例えば、プランジャーポンプ、ダイアフラムポンプ、シリンジポンプ、及びインテンシファイアー型ポンプなどが用いられている。この内、プランジャーポンプは、駆動部はギアを用いるのが一般的であり、１〜３基程度のピストンにより高圧下へ流体を供給している。
【０００３】
既存のプランジャーポンプについては、実験装置に多用される小型ポンプでは日本精密科学株式会社製（非特許文献１）、工業用ポンプでは日機装株式会社製（非特許文献２）、株式会社帝国電機製作所製（非特許文献３）のプランジャーポンプが挙げられる。このプランジャーポンプでは、ピストンが複数の方が供給流体の脈動を相互に干渉して低減することができる。
【０００４】
ダイアフラムポンプは、上記プランジャーポンプのピストンが供給流体と直接接触して昇圧するのに対して、供給流体と昇圧流体がダイアフラムの膜を介して非接触となるポンプである。既存のダイアフラムポンプは、上記日機装、帝国電機製作所が保有している。１００ＭＰａを超過する高圧条件で使用する場合、金属ダイアフラムが使用される。しかし、この種のポンプは、プランジャーポンプ、ダイアフラムポンプに限らず、ストローク容積が数ｃｃと小さく、単位時間当たりのストローク回数は多い。
【０００５】
シリンジポンプは、プランジャーポンプ、ダイアフラムポンプと異なり、１００〜３００ｃｃ前後の内容積を有するシリンジを用いて流体を昇圧・供給し、ストローク容積は大きく、単位時間当たりのストローク時間は長くなる。シリンジポンプは、シリンダーに傷が入るため、スラリーなどの固形物を含む流体は供給できず、液体の供給のみとなる。
【０００６】
上記プランジャーポンプ、ダイアフラムポンプは、少量でも気体が混入すると、昇圧不良を起こすものの、このシリンジポンプは、シリンジ内の流体は気体、液体を問わず、一定ストロークで高圧下へ供給することができる。シリンジポンプの駆動方式には、一般的に、ギアモーターが用いられる。既存のシリンジポンプについては、日科機バイオス株式会社が輸入しているＩＳＣＯ社製シリンジポンプが挙げられる（非特許文献４）。
【０００７】
インテンシファイアー型ポンプは、駆動方式に、油圧、空気圧、若しくはサーボモーターを用いて、プランジャーポンプやダイアフラムポンプよりストローク容積は大きく、シリンジポンプよりは小さい。インテンシファイアーポンプは、片押し型と中間昇圧型、両押し型がある。片押し型は、インテンシファイアーピストンが片方向に動いたときだけ昇圧操作を行い、もう一方に動作した場合は、吸入動作となるため、流体供給が間欠的となる。
【０００８】
中間昇圧型は、気体を圧縮する際に多用され、片方は最終昇圧圧力の中間圧力に昇圧を行い、もう一方に動作した際に最終昇圧圧力に達する。両押し型は、液体を高圧下へ供給する場合に多用される。両押し型は、片方だけで最終昇圧圧力まで昇圧して供給し、片方の昇圧、供給が終了すると、インテンシファイアーピストンが逆方向に進み、もう一方を昇圧、供給を行う。油圧インテンシファイアーポンプは、ハイドロパック社製（非特許文献５）などが挙げられる。
【０００９】
インテンシファイアーポンプは、片押し型、中間昇圧型、両押し型の何れも、インテンシファイアーピストンの駆動方向が逆転する際に、一瞬ではあるが吐出が止まり、流量、圧力とも脈動を生じる特徴がある。プランジャーポンプやダイアフラムポンプは、ヘッド数を複数化することで脈動を防止することができる。
【００１０】
インテンシファイアー型ポンプの駆動方式として、一般的なものは、油圧である。特に、最終昇圧圧力が１００ＭＰａ以上の高圧となる場合、油圧による駆動方式が、昇圧の容易性、メンテナンス性、油圧技術の成熟性から多用される。また、空気圧力を利用するケースもある。
【００１１】
空気圧力の場合、安価に駆動空気圧力を得られる範囲は、１ＭＰａ以下であり、軽装用コンプレッサーを用いる場合が多い。油圧に対して、空気圧駆動の場合、駆動圧力の上限が低いため、吐出流体の最終昇圧圧力が、１００ＭＰａ以上となる場合、面積比を大きくする必要があり、現実的な製作可能なポンプサイズでは、空気圧駆動は、吐出流量が小さくなる。
【００１２】
油圧駆動方式に対して、サーボモーターを駆動源として利用するポンプもある。現在のサーボモーター駆動式インテンシファイアーポンプは、ウォータージェットに用いられている。このポンプの特徴は、吐出圧力を圧力センサーにより測定し、インテンシファイアーが、片方向に駆動して、逆方向に切り替わるときの吐出圧力の低下を抑制するため、サーボモーターで、逆方向への切り替え直後に加速している。これにより、インテンシファイアーピストンの切り替わり時の圧力低下を抑制している。
【００１３】
プランジャーポンプは、ストローク容積が小さいため、任意の一定流量を得るためには、単位時間当たりのストローク回数は多くなる。そのため、プランジャーポンプは、１００ＭＰａ以上の高圧条件下で使用する場合、プランジャーシールの耐久性に問題が生じ、シールの交換頻度が多くなる。ダイアフラムポンプについても、同様であり、ダイアフラム流体を昇圧するピストンのシールの耐久性に問題が生じる。
【００１４】
このシールの問題は、供給流量が大きくなると、シールの漏れ量の影響が小さくなるため、１００ＭＰａ以上の高圧条件に供給できるプランジャーポンプは、数１００Ｌ／ｈ以上などの大型ポンプのみが実用化されており、主にウォータージェット用として利用されている。すなわち、数Ｌ／ｈ程度の小流量にて高圧条件で使用できるプランジャーポンプの実用化例は多くない。
【００１５】
シリンジポンプは、８０ＭＰａ程度までの条件では、ＩＳＣＯ社製が実用化されている。これでは、シリンジポンプを２基接続して制御することにより、安定した連続供給が可能となる。ＩＳＣＯ社製のシリンジポンプは、０．１ｃｃ／ｍｉｎ程度の小流量から、１００ｃｃ／ｍｉｎまでの流量を精密に制御でき、かつ供給待機中のシリンジは、供給中のシリンジの供給圧力まで昇圧した上で、切り替えまで待機する制御を特徴としている。
【００１６】
これにより、切り替わり時の圧力、流量低下は抑制され、安定した供給が可能となる。ただし、８０ａＭＰａ以上の圧力においては、実用化されておらず、同様のシステムを新たに開発し、製作するほかにない。シリンジポンプは、プランジャーポンプと異なり、ストローク容積が１００〜３００ｃｃと比較的大きいため、単位時間当たりのストローク数は多くない。従って、ピストンシールは、プランジャーポンプに比べて、比較的耐久性に優れている。
【００１７】
インテンシファイアー型ポンプは、プランジャーポンプと異なり、小流量から大流量まで高圧条件下で吐出が可能である。また、ストローク容積も比較的大きいため、シール材の耐久性もシリンジポンプと同等である。ただし、インテンシファイアーポンプでは、両方向押し出しの場合であっても、インテンシファイアーピストンの切り替わり時に吐出圧力が瞬間的に低下するため、実質流量も瞬間的に停止する。シリンジポンプと異なり、昇圧して切り替わりまで待機する方式ではないため、一定流量供給が困難である。
【００１８】
【非特許文献１】http://www.nihon-exa-sci.com/
【非特許文献２】http://www.nikkiso.co.jp/c_seihin/ryutai/index.html
【非特許文献３】http://www.teikokudenki.co.jp/ca32.html
【非特許文献４】http://www.nikkaki-bios.jp/INS/ISCO/syringe_pump.htm
【非特許文献５】http://www.nihon-hydropac.com/hpi/hpusa.htm
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
このような状況の中で、本発明者らは、上記従来技術に鑑みて、１００ＭＰａを超過する高圧条件下に、脈動を抑制し、任意の流量に一定制御して、安定的に流体を供給することができる流体供給方法及びその装置を開発することを目標として鋭意研究を重ねた結果、ポンプの吐出側に設けた圧力損失発生機構を利用することで、インテンシファイアーポンプのピストン切替え時の吐出圧力と流量の低下を抑制し、安定した一定流量制御が可能となることを見出し、更に研究を重ねて、本発明を完成するに至った。本発明は、１００ＭＰａを超過する高圧条件下に、脈動を抑制し、任意の流量に一定制御して、安定に流体を供給することが可能な流体供給方法及びその装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
上記課題を解決するための本発明は、以下のような技術的手段から構成される。
（１）高圧条件下へ流体を供給する往復動型ポンプを用いて、吐出流量を一定に制御して流体を供給する方法であって、ポンプの吐出側にキャピラリーチューブ又はオリフィスからなる圧力損失発生機構を設けて前後差圧を測定し、その圧力損失から流量を算出し、そのデータからポンプの吐出流量を一定に制御して、脈動を抑制し、安定的に流体を供給することを特徴とする流体供給方法。
（２）上記ポンプとして、油圧、空気圧又はサーボモーターを駆動源とする往復動型ポンプを用いる、前記（１）に記載の方法。
（３）上記圧力損失発生機構の前後に設けた、圧力センサー又は差圧発信機により、その前後差圧を測定する、前記（１）に記載の方法。
（４）１００ＭＰａを超過する高圧条件下へ流体を供給する、前記（１）に記載の方法。
（５）前後差圧を測定する際に、同時的に温度を測定する、前記（１）に記載の方法。
（６）ポンプの吐出側に設けた、一定容積の流体を確保するためのアキュムレーター機構を用いて、圧力低下時に流体の補給を行う、前記（１）に記載の方法。
（７）高圧条件下へ流体を供給する往復動型ポンプを用いて、吐出流量を一定に制御して流体を供給する装置であって、ポンプが、油圧、空気圧又はサーボモーターを駆動源とする往復動型ポンプであり、当該ポンプの吐出側にキャピラリーチューブ又はオリフィスからなる圧力損失発生機構を設け、当該圧力損失発生機構の前後に圧力センサー又は差圧発信機を設け、その前後差圧から流量を算出し、そのデータからポンプの吐出量を制御する制御システムを有することを特徴とする流体供給装置。
（８）ポンプの吐出側に、流体の一定容積を確保するためのアキュムレーター機構を設けた、前記（７）に記載の装置。
（９）１００ＭＰａを超過する高圧条件へ流体を供給する往復動型ポンプを用いる、前記（７）に記載の装置。
（１０）流体を供給するプロセスが、超臨界又は亜臨界状態の高圧流体を用いる反応プロセスである、前記（７）に記載の装置。
【００２１】
次に、本発明について更に詳細に説明する。
本発明は、高圧条件下へ流体を供給する往復動型ポンプを用いて、吐出流量を一定に制御して流体を供給する方法であって、ポンプの吐出側にキャピラリーチューブ又はオリフィスからなる圧力損失発生機構を設けて前後差圧を測定し、その圧力損失から流量を算出し、そのデータからポンプの吐出流量を一定に制御して、脈動を抑制し、安定的に流体を供給することを特徴とするものである。
【００２２】
また、本発明は、高圧条件下へ流体を供給する往復動型ポンプを用いて、吐出流量を一定に制御して流体を供給する装置であって、ポンプが、油圧、空気圧又はサーボモーターを駆動源とする往復動型ポンプであり、当該ポンプの吐出側にキャピラリーチューブ又はオリフィスからなる圧力損失発生機構を設け、当該圧力損失発生機構の前後に圧力センサー又は差圧発信機を設け、その前後差圧から流量を算出し、そのデータからポンプの吐出量を制御する制御システムを有することを特徴とするものである。
【００２３】
本発明は、高圧条件下へ流体を供給するポンプにおいて、ポンプが油圧、空気圧、若しくはサーボモーターを駆動源とする往復動型ポンプであり、供給する圧力が１００ＭＰａを超過する場合において、ポンプ吐出側にキャピラリーチューブ、若しくはオリフィスなど圧力損失を生じる圧力損失発生機構を有しており、その圧力損失発生機構の前後に圧力センサー、若しくは差圧発信機を設けて圧力損失を、また、好ましくは、熱電対等の温度測定手段により温度を測定し、測定データから流量を算出し、その流量が一定となるように駆動源となる油圧、空気圧、若しくはサーボモーターを制御するシステムを有することを特徴とする高圧下への流体供給方法及びその装置である。
【００２４】
本発明は、例えば、高圧条件下へ小流量から大流量までを供給できるインテンシファイアー型ポンプにおいて、インテンシファイアーピストンの駆動方向切り替わりの際に生じていた、圧力低下、流量低下を抑制するための制御手段を付加するものである。既存のウォータージェットポンプは、吐出圧力を一定に保つために、サーボモーターの駆動を変化させて、切り替わり時に加速制御を行っていた。この方法では、吐出圧力は一定制御できても、任意の流量を得ることができない。
【００２５】
そこで、本発明では、吐出側にキャピラリーチューブやオリフィスなど、前後差圧から流量を検知する差圧発生手段を設けて、その差圧を一定に制御するように、インテンシファイアーポンプの駆動源を制御する手法を用いる。差圧発生手段の方式は、限定されるものではなく、差圧を発生させる方法であれば適宜の手段を使用することができる。本発明では、上記前後差圧と、好ましくは、温度を測定し、圧力損失から流量を算出し、インテンシファイアーポンプの吐出流量を一定制御する。
【００２６】
この方式は、高圧プロセスの圧力を制御する機構を別途備えていることが前提である。これは、通常の圧力調節弁を１台、好ましくは複数台を直列に設置して圧力制御を行う方法であれば、その手法は問わない。この差圧測定方法により得られた流量を一定となるように、インテンシファイアーポンプの駆動源を制御する。駆動源は、油圧、空気圧、及びサーボモーターのいずれでもよい。
【００２７】
本発明の方法では、上記ポンプとして、油圧、空気圧又はサーボモーターを駆動源とする往復動型ポンプを用いること、上記圧力損失発生機構の前後に設けた、圧力センサー又は差圧発信機により、その前後差圧を測定すること、１００ＭＰａを超過する高圧条件下へ流体を供給すること、前後差圧を測定する際に、同時的に温度を測定すること、ポンプの吐出側に設けた、一定容積の流体を確保するためのアキュムレーター機構を用いて、圧力低下時に流体の補給を行うこと、を好ましい実施の態様としている。
【００２８】
また、本発明の装置では、ポンプの吐出側に、流体の一定容積を確保するためのアキュムレーター機構を設けたこと、１００ＭＰａを超過する高圧条件へ流体を供給する往復動型ポンプを用いること、流体を供給するプロセスが、超臨界又は亜臨界状態の高圧流体を用いる反応プロセスであること、を好ましい実施の態様としている。
【発明の効果】
【００２９】
本発明により、次のような効果が奏される。
（１）高圧下へ流体を供給するインテンシファイアー型ポンプの問題点であった、インテンシファイアーピストンの切り替え時の吐出圧力と流量の低下を抑制し、安定した一定流量制御が可能となる。
（２）１００ＭＰａを超過する高圧条件下に、脈動を抑制し、任意の流量に一定制御して、安定的に流体を供給するポンプシステムを提供できる。
（３）超臨界又は亜臨界状態の高圧流体を用いる反応プロセスにおいて、流体を任意の流量に一定制御して供給することができる流体供給方法及びその装置を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
次に、比較例及び実施例に基づいて本発明を具体的に説明するが、本発明は、以下の実施例によって何ら限定されるものではない。
【００３１】
（比較例）
図１に、既存のインテンシファイアー型ポンプ示す。図１（ａ）は、左側シリンダーの吐出を示し、（ｂ）は、逆の右側シリンダーの吐出を示している。吐出したい流体は、吐出流体吸込ライン１、２より、シリンダー内部に交互に流入する。必要に応じて、吸込側ラインは、加圧供給を行う。
【００３２】
図１（ａ）の場合、左側シリンダーは、吐出操作中であるため、右側シリンダーに、次の吐出に備えて、供給流体が吸込まれる。インテンシファイアーピストンは、油圧ライン３、４に、交互に供給される油圧流体により、油圧用ピストン７が左右に動いて、高圧流体を交互に供給する。
【００３３】
図１（ａ）においては、油圧ライン３に、高圧の油圧を供給し、油圧ライン４は、駆動油を排出している。それにより、左側のインテンシファイアーピストン６が、左側の吐出流体を昇圧して、プロセスへ供給している。その場合、左側出口逆止弁１１、右側入口逆止弁８が開いており、左側入口逆止弁１０、右側出口逆止弁９は閉じている。
【００３４】
図１に示したインテンシファイアー型ポンプは、左右にピストンが動くため、切り替わり時に吐出圧力、吐出流量が瞬間的に低下する。これが脈動となって、高圧プロセスへ悪影響を及ぼしていた。
【００３５】
図２に、既存のサーボモーターを駆動源とするインテンシファイアーポンプを示す。本ポンプは、株式会社スギノマシンの製品を参照している（http://www.sugino.com/products/db/yotoprod_b.asp?seq_no=100）。
【００３６】
図２より、サーボモーター駆動のインテンシファイアーポンプは、吐出側に設置された圧力センサーの測定値を一定にするように、ピストン切り替わり直後に、駆動を加速するシステムになっている。その結果、切り替わり時の圧力、流量低下を抑制している。ただし、吐出圧力は一定になっても、吐出流量は、任意の流量に設定することができない。
【実施例１】
【００３７】
本実施例では、本発明の実施形態を説明する。図３に、好適な実施例を示す。
【００３８】
図３に示したように、ポンプ吐出に差圧発生機構１６を設けた。図３には、キャピラリーを使用しているが、これがオリフィスや背圧弁であっても構わない。ただし、キャピラリーは、内径が変化しない場合、長さに比例して差圧が変化するため、急激な圧力変化を生じない。
【００３９】
従って、高圧プロセスにおいて、大きな差圧変化を生じる部分で問題となるキャビテーションエロージョンが発生しない。その点でも、キャピラリーは好適である。差圧発生機構の前後に圧力測定手段として、圧力センサー１３、１４を設けている。これが、高圧差圧計であっても構わない。また、熱電対等の温度測定手段１５を用いて、流体温度を測定することが好ましい。
【００４０】
これにより、式（１）に記載の圧力損失の計算式より、流量を算出する。
【００４１】
【数１】
2008138563.tif 000003
【００４２】
式（１）の記号は、以下の通りである。
ΔＰ：圧力損失［ＭＰａ］
λ：管摩擦係数［−］
層流の場合：λ＝６４／Ｒｅ      Ｒｅ：レイノルズ数
乱流の場合：λ＝０．３１６４・Ｒｅ（−１／４）
ｌ：管長さ［ｍ］
ｄ：管内径［ｍ］
ｖ：管内流速［ｍ／ｓ］
ｇ：重力加速度［ｍ／ｓ２］
【００４３】
式（１）より測定した差圧から、流速を算出し、管断面積を掛けて、体積流量を算出する。更には、温度と圧力における供給流体の密度を用いて、質量流量を得ることができる。すなわち、温度が一定であれば、差圧を制御することで、流量を制御することができる。本発明は、この差圧を一定制御するように、インテンシファイアーの駆動源（油圧、空気圧、サーボモーター）を制御することを特徴としている。
【実施例２】
【００４４】
図４に、他の実施例を示す。すなわち、図４に、図３に示した実施例１に比べて、アキュムレーターとして、配管１７と空気抜きバルブ１８を加えた例を示す。アキュムレーターを設けることにより、図３に示した実施例１に比べて、脈動の幅は著しく低減する。圧力低下時に、アキュムレーター内部の流体が補給され、加えて、キャピラリー上流の圧力変動が下流側に伝播しにくいため、実質的に安定制御が可能となる。
【実施例３】
【００４５】
本実施例では、上述の実施例に示した装置を用いて、供給試験を実施した結果を示す。図５〜８に、ポンプ吐出圧力とキャピラリー下流の圧力の経時変化を示す。
【００４６】
図５は、初期状態で、ポンプ吐出圧力とプロセス圧力（キャピラリー下流圧力）は、何れもポンプピストンの切り替わり時に大きな脈動を生じている。図６は、キャピラリーを加えた場合であるが、差圧が発生する分、ポンプ吐出圧力は、プロセス圧力に比べて高くなる。上記の実施例では、差圧測定値を駆動部（油圧）へフィードバックして流量安定化の制御を行っていないため、脈動は増幅されることが分かった。
【００４７】
図７は、キャピラリーは加えずに、２５０ｍｌのアキュムレーターのみを加えた場合であるが、プロセス圧力の変動幅は、図５に比べて、半減している。図８に示すキャピラリー＋アキュムレーターにおいては、プロセス圧力が安定していることが分かる。ポンプ吐出圧力の脈動幅は、増幅されるものの、本来の目的は、プロセス圧力の安定化であるため、大幅な効果が見られる。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
以上詳述したように、本発明は、高圧下への流体供給方法及び装置に係るものであり、本発明により、高圧プロセスにおいて多用されるインテンシファイアー型ポンプの問題点であった、ピストン切り替わり時の圧力、流量低下を、反応プロセス側へ伝播させず、安定した圧力、流量制御ができるようになった。また、本発明により、１００ＭＰａを超過する高圧条件下に、脈動を抑制し、任意の流量に一定制御して、安定的に流体を供給するポンプシステムを提供できる。また、超臨界又は亜臨界状態の高圧流体を用いる反応プロセスにおいて、流体を任意の流量に一定制御して供給することができる流体供給方法及びその装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】既存のインテンシファイアー型ポンプ（油圧駆動）を示す。
【図２】既存のインテンシファイアー型ポンプ（サーボモーター駆動）を示す。
【図３】実施例１の流体供給装置を示す。
【図４】実施例２の流体供給装置を示す。
【図５】ポンプ吐出圧力とプロセス圧力の経時変化の関係（キャピラリーなし、ＡＣなし）を示す。
【図６】ポンプ吐出圧力とプロセス圧力の経時変化の関係（キャピラリー２ｍ、ＡＣなし）を示す。
【図７】ポンプ吐出圧力とプロセス圧力の経時変化の関係（キャピラリーなし、ＡＣ２５０ｍｌ）を示す。
【図８】ポンプ吐出圧力とプロセス圧力の経時変化の関係（キャピラリー２ｍ、ＡＣ２５０ｍｌ）を示す。
【図１】
2008138563.tif 000004
【図２】
2008138563.tif 000005
【図３】
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【図４】
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【図５】
2008138563.tif 000008
【図６】
2008138563.tif 000009
【図７】
2008138563.tif 000010
【図８】
2008138563.tif 000011