(57)【要約】【課題】偏向素子の最適な姿勢を正確に探索することができる光スイッチを提供する。【解決手段】探索設定部８１の測定部８１ａは、サンプリング時間間隔でミラー２３０のドリフト量を測定する。範囲設定部８１ｂは、そのドリフト量以上、すなわちドリフト量よりも広くなるように探索範囲を設定する。この探索範囲に基づいて、摂動部８２により摂動電圧が設定される。また、時間設定部８１ｃは、予め設定された出力光のパワーの損失量に対応するミラー２３０の傾動角度の範囲を、サンプリング時間当たりのドリフト量で除した値以下に探索時間を設定する。このように、探索範囲を設定することにより、ドリフトが生じた場合であっても、このドリフトよりも広い範囲で出力光の光強度のピークを探索することが可能となるので、ミラー２３０の最適な姿勢をより正確に探索することができる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力光を入力する少なくとも１つの入力ポートと、
出力光を出力する少なくとも１つの出力ポートと、
回動可能に支持されたミラーと、このミラーと対向配置された制御電極とを備え、前記制御電極に印加される電圧に応じて傾斜する前記ミラーにより前記入力ポートに入力された入力光を偏向させて任意の前記出力ポートに選択的に入射させるミラー装置と、
前記制御電極に所定の範囲内で変化する電圧を印加して前記ミラーを摂動させる摂動部と、
前記ミラーを摂動させたときに前記出力光のパワーが最適値になる前記ミラーの偏向角を検出する検出部と、
前記制御電極に電圧印加時の前記ミラーの傾動角の変化量を予め測定する測定部と、
前記変化量に基づいて前記所定の範囲を設定する範囲設定部と
を備えたことを特徴とする光スイッチ。
【請求項２】
前記範囲設定部は、前記所定の範囲を前記変化量を傾動させるために前記制御電極に印加される電圧の範囲以上に設定する
ことを特徴とする請求項１記載の光スイッチ。
【請求項３】
前記摂動部により前記所定の範囲内で変化する電圧を供給する時間を設定する時間設定部をさらに備え、
この時間設定部は、予め設定された前記出力光のパワーの損失の範囲に対応する前記ミラーの傾動角の範囲を単位時間当たりの前記変化量で除した値以下に、前記時間を設定する
ことを特徴とする請求項１または２記載の光スイッチ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ミラー等の偏向素子を有する光スイッチに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
光スイッチを実現するための技術の１つとして、マイクロミラーなどの偏向素子を用いたものが提案されている（例えば、非特許文献１参照。）。マイクロミラーを用いた従来の光スイッチを図４に示す。
【０００３】
図４に示す光スイッチは、入力ポート１ａと、出力ポート１ｂと、入力側マイクロミラーアレイ２ａと、出力側マイクロミラーアレイ２ｂとを備えている。入力ポート１ａと出力ポート１ｂは、それぞれ２次元的に配列された複数の光ファイバからなり、マイクロミラーアレイ２ａ，２ｂは、それぞれ２次元的に配列された複数のマイクロミラー装置３ａ，３ｂからなる。なお、図４における矢印は光ビームの進行方向を示している。
【０００４】
ある入力ポート１ａから出射した光信号は、この入力ポート１ａに対応する入力側マイクロミラーアレイ２ａのマイクロミラー装置３ａのミラーにより反射されて進行方向が変化させられる。後述するように、マイクロミラー装置３ａのミラーは２軸回りに回動可能に構成されており、マイクロミラー装置３ａの反射光を出力側マイクロミラーアレイ２ｂの任意のマイクロミラー装置３ｂに向けることができる。同様に、マイクロミラー装置３ｂのミラーも２軸回りに回動可能に構成されており、ミラーの傾斜角を適当に制御することにより、マイクロミラー装置３ｂの反射光を任意の出力ポート１ｂに向けることができる。したがって、入力側マイクロミラーアレイ２ａと出力側マイクロミラーアレイ２ｂのミラーの傾斜角を適当に制御することにより光路の切り替えを行い、２次元的に配列された任意の入力ポート１ａと出力ポート１ｂとの間を接続することができる。
【０００５】
このような光スイッチの構成要素として最も特徴的なものがミラーを有するマイクロミラー装置３ａ，３ｂである。従来より、マイクロミラー装置は、図５，図６に示すように、ミラーが形成されたミラー基板２００と、電極が形成された電極基板３００とが並行に配設された構造を有する（例えば、非特許文献１参照。）。
【０００６】
ミラー基板２００は、板状の枠部２１０と、枠部２１０の開口内に配設された可動枠２２０と、可動枠２２０の開口内に配設されたミラー２３０とを有する。枠部２１０、トーションバネ２１１ａ，２１１ｂ，２２１ａ，２２１ｂ、可動枠２２０およびミラー２３０は例えば単結晶シリコンで一体形成されている。ミラー２３０の表面には例えば３層のＴｉ／Ｐｔ／Ａｕ層が形成されている。一対のトーションバネ２１１ａ，２１１ｂは、枠部２１０と可動枠２２０とを連結している。可動枠２２０は、一対のトーションバネ２１１ａ，２１１ｂを通る図５の可動枠回転軸Ｘを軸として回動することができる。同様に、一対のトーションバネ２２１ａ，２２１ｂは、可動枠２２０とを連結している。ミラー２３０は、一対のトーションバネ２２１ａ，２２１ｂを通る図５のミラー回動軸Ｙを軸として回動することができる。可動枠回動軸Ｘとミラー回動軸Ｙとは、互いに直交している。結果として、ミラー２３０は、直交する２軸で回動する。
【０００７】
電極基板３００は、板状の基部３１０と、段丘状の突出部３２０とを有する。基部３１０と突出部３２０は例えば単結晶シリコンからなる。突出部３２０は、基部３１０の上面に形成された角錐台の形状を有する第２テラス３２２と、第２テラス３２２の上面に形成された角錐台の形状を有する第１テラス３２１と、第１テラス３２１の上面に形成された柱状の形状を有するピボット３３０とから構成される。突出部３２０の四隅とこの四隅に続く基部３１０の上面には、４つの電極３４０ａ〜３４０ｄが形成されている。また、基部３１０の上面には、突出部３２０を挟むように併設された一対の凸部３６０ａ，３６０ｂが形成されている。さらに、基部３１０の上面には、配線３７０が形成されており、この配線３７０には、引き出し線３４１ａ〜３４１ｄを介して電極３４０ａ〜３４０ｄが接続されている。なお、基部３１０の表面には酸化シリコン等からなる絶縁層３１１が形成されており、この絶縁層３１１の上に電極３４０ａ〜３４０ｄ、引き出し線３４１ａ〜３４１ｄ、配線３７０が形成されている。
【０００８】
以上のようなミラー基板２００と電極基板３００とは、ミラー２３０と電極３４０ａ〜３４０ｄとが対向配置されるように、枠部２１０の下面と凸部３６０ａ，３６０ｂの上面とを接合することにより、図６に示すようなマイクロミラー装置を構成する。このようなマイクロミラー装置においては、ミラー２３０を接地し、電極３４０ａ〜３４０ｄに正の駆動電圧を与えて、しかも電極３４０ａ〜３４０ｄ間に非対称な電位差を生じさせることにより、ミラー２３０を静電引力で吸引し、ミラー２３０を任意の方向へ傾動させることができる。
【０００９】
【非特許文献１】T.Yamamoto, et al., 「A three-dimensional MEMS optical switching module having 100 input and 100 output ports」, Photonics Technology Letters, IEEE, Volume 15, Issue:10, pp1360-1362
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上述したような光スイッチでは、周辺の温度や湿度といった環境の変化などにより、入出力ポートとミラー間の位置誤差やミラー傾動角の変化が発生し、最適なミラー傾動角からのずれが徐々に大きくなり、出力光のパワー損失が時間と共に変動するドリフトが発生する。
【００１１】
しかしながら、単位時間当たりのドリフトが大きい場合には、摂動を行っている間にも電極３４０ａ〜３４０ｄに印加する電圧と出力光の強度との関係が大きく変わってしまうため、誤った出力光の光強度の極大値を探索してしまうことがあった。
【００１２】
例えば、電極３４０ａ〜３４０ｄに印加する電圧と出力光の光強度の関係が図７（ａ）に示すような場合、電圧Ｖ1［Ｖ］から電圧Ｖ2［Ｖ］の範囲ΔＶにおける光強度の最大値は、電圧Ｖ2のときの光強度Ｉ2となる。しかしながら、単位時間当たりの最適なミラー傾動角からのずれ量に大きなドリフトが発生すると、例えば図７（ｂ）に示すように、サンプリング時間後の時刻ｔ＝２Δｔのときの光強度Ｉ4が最大値であるのに、時刻ｔ＝０のときの光強度Ｉ1を最大値であると判断してしまう。また、この場合には、範囲ΔＶが狭いため、光強度が極大となる駆動電圧を探索することもできない。
【００１３】
そこで、本願発明は上述したような課題を解決するためになされたものであり、偏向素子の最適な姿勢を正確に探索することができる光スイッチを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上述したような課題を解決するために、本発明に係る光スイッチは、入力光を入力する少なくとも１つの入力ポートと、出力光を出力する少なくとも１つの出力ポートと、回動可能に支持されたミラーと、このミラーと対向配置された制御電極とを備え、制御電極に印加される電圧に応じて傾斜するミラーにより入力ポートに入力された入力光を偏向させて任意の出力ポートに選択的に入射させるミラー装置と、制御電極に所定の範囲内で変化する電圧を印加してミラーを摂動させる摂動部と、ミラーを摂動させたときに出力光のパワーが最適値になるミラーの偏向角を検出する検出部と、制御電極に電圧印加時のミラーの傾動角の変化量を予め測定する測定部と、変化量に基づいて所定の範囲を設定する範囲設定部とを備えたことを特徴とする。なお、最適な出力光のパワー、すなわち光強度とは、光学的損失が最小になる光強度やシステムからの要求に基づく所望の光強度のことを意味する。このような光強度が得られるミラーの回動角を実現するときの駆動電圧を、最適な駆動電圧という。
【００１５】
上記光スイッチにおいて、範囲設定部は、所定の範囲を変化量を傾動させるために制御電極に印加される電圧の範囲以上に設定する。
【００１６】
また、上記光スイッチにおいて、摂動部により所定の範囲内で変化する電圧を供給する時間を設定する時間設定部をさらに備え、この時間設定部は、予め設定された出力光のパワーの損失の範囲に対応するミラーの傾動角の範囲を単位時間当たりの上記変化量で除した値以下に、時間を設定するようにしてもよい。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、単位時間値のミラーの傾動角の変化量に基づいて所定の範囲を設定することにより、ドリフトに影響されずに出力光のパワーの極大値の探索を行うことが可能となるので、結果として、ミラーの最適な偏向角を正確に探索することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。なお、本実施の形態において、図４〜図６を参照して背景技術の欄で説明した構成要素と同等の構成要素については同じ名称および符号を付し、適宜説明を省略する。
【００１９】
［光スイッチの構成］
図１に示すように、本実施の形態に係る光スイッチ１０は、入力ポート１ａと、出力ポート１ｂと、入力側マイクロミラー装置３ａと、出力側マイクロミラー装置３ｂと、出力光測定装置４と、制御装置５とを備える。
【００２０】
出力光測定装置４は、出力ポート１ｂから出射された出力光の強度を検出し、電気信号に変換する。このような出力光測定装置４の構成例としては、出力光の一部を切り出して、フォトダイオードなどの受光素子で出力光の強度を測定する構成が考えられる。
【００２１】
制御装置５は、駆動部６と、検出部７と、制御部８と、記憶部９とから構成される。
【００２２】
駆動部６は、制御部８の指示に基づいて、マイクロミラー装置３ａ，３ｂに駆動電圧を供給してミラー２３０を所定の角度に傾斜させたり、駆動電圧に微小な変動を与えてミラー２３０を摂動させたりする。
【００２３】
検出部７は、駆動部６によりマイクロミラー装置３ａ，３ｂを駆動させたときの出力光測定装置４による出力光の測定結果を検出する。この検出した測定結果は、制御部８に出力される。
【００２４】
制御部８は、光スイッチ１０の全体の動作を制御する機能部であって、探索設定部８１と、摂動部８２と、最適値検出部８３と、スイッチング部８４とを少なくとも備えている。
【００２５】
探索設定部８１は、摂動部８２によりミラー２３０を摂動させる際の範囲や時間を、出力光のパワー損失のドリフト量に応じて設定する機能部である。このような探索設定部８１は、所定の単位時間（以下、「サンプリング時間」という）間隔に出力光のパワー損失のドリフト量を測定する測定部８１ａと、この測定部８１ａの測定結果に基づいてミラー２３０を摂動させる所定の範囲（以下、「探索範囲」という）を設定する範囲設定部８１ｂと、測定部８１ａの測定結果に基づいてミラー２３０を摂動させる所定の時間（以下、「探索時間」という）を設定する時間設定部８１ｃとを備える。ここで、探索範囲とは、ミラー２３０を摂動させるためにマイクロミラー装置３ａ，３ｂに供給する周期的に変化させる駆動電圧（以下、「摂動電圧」という）の範囲のことを意味する。また、探索時間とは、探索範囲内に設定された摂動電圧でミラー２３０を摂動させる際、全ての摂動電圧で一通りミラー２３０を摂動させるのに要する時間のことを意味する。また、摂動とは、マイクロミラー装置３ａ，３ｂの各電極に摂動電圧を供給することにより、ミラー２３０を振動させることを意味する。例えば、図５，図６に示すように４つの電極３４０ａ〜３４０ｄがある場合、それぞれの電極に摂動電圧を供給することにより、ミラー２３０を摂動させる。なお、探索設定部８１により設定された探索範囲および探索時間は、記憶部９に記憶される。
【００２６】
摂動部８２は、任意のマイクロミラー装置３ａと任意のマイクロミラー装置３ｂとの間で光路を接続する際、範囲設定部８１ｂにより設定された探索範囲に基づいて、それぞれのミラー２３０を摂動させるための摂動電圧を設定し、この摂動電圧を駆動部６を介してマイクロミラー装置３ａ，３ｂに供給する。この摂動電圧の供給は、時間設定部８１ｃにより設定された探索時間内でミラー２３０を各摂動電圧で摂動させるように行われる。
【００２７】
最適値検出部８３は、摂動部８２によりミラー２３０を摂動させたときの検出部７による出力光の光強度の検出結果から、任意のマイクロミラー装置３ａと任意のマイクロミラー装置３ｂとの光路を接続する際のそれぞれのミラー２３０の最適な偏向角、すなわち傾斜角を実現する駆動電圧（以下、「動作電圧」という）を検出する。
【００２８】
スイッチング部８４は、任意のマイクロミラー装置３ａと任意のマイクロミラー装置３ｂとの光路を接続する際、記憶部９に記憶された動作電圧に基づき、駆動部６を介して対応するマイクロミラー装置３ａ，３ｂに動作電圧を供給する。
【００２９】
記憶部９は、探索設定部８１により設定された探索範囲および探索時間、摂動部８２により設定される摂動電圧、並びに、光スイッチ１０の動作を実現するためのプログラム等を記憶する。
【００３０】
このような制御装置５は、ＣＰＵ等の演算装置、メモリ、ＨＤＤ（Hard Disc Drive）等の記憶装置、キーボード、マウス、ポインティングデバイス、ボタン、タッチパネル等の外部から情報の入力を検出する入力装置、インターネット、ＬＡＮ(Local Area Network)、ＷＡＮ(Wide Area Network)等の通信回線を介して各種情報の送受信を行うＩ／Ｆ装置、および、ＣＲＴ(Cathode Ray Tube)、ＬＣＤ(Liquid Crystal Display)またはＦＥＤ(Field Emission Display)等の表示装置等を備えたコンピュータと、このコンピュータにインストールされたプログラムとから構成される。すなわちハードウェア装置とソフトウェアとが協働することによって、上記のハードウェア資源がプログラムによって制御され、上述した駆動部６、検出部７、制御部８、記憶部９が実現される。なお、上記プログラムは、フレキシブルディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、メモリカードなどの記録媒体に記録された状態で提供されるようにしてもよい。
【００３１】
［探索設定動作］
次に、探索設定部８１による探索範囲および探索時間の設定動作について説明する。
【００３２】
まず、探索設定部８１の測定部８１ａは、サンプリング時間間隔で出力光のパワー損失のドリフト量を測定する。この測定は、ドリフト量を測定する任意のマイクロミラー装置３ａ，３ｂに所定の動作電圧を供給してミラー２３０を所定の角度に傾動させ、それらの間で光路を接続した状態とし、外部より入力ポート１ａからマイクロミラー装置３ａに向けて所定の光強度分布を有する光信号を入力させたときの出力光測定装置４の測定結果に基づいて行われる。すなわち、サンプリング時間間隔で出力光の光強度を検出し、サンプリング時間毎の値を比較することにより、ドリフト量を測定する。
【００３３】
ドリフト量が測定されると、探索設定部８１の範囲設定部８１ｂは、そのドリフト量以上、すなわちドリフトに相当するミラーの角度ずれ量を傾動させするために電極３４０ａ〜３４０ｄに印加する電圧の範囲よりも広くなるように探索範囲を設定する。この探索範囲は、サンプリング時間毎に設定される。このような探索範囲に基づいて、摂動部８２により摂動電圧が設定される。また、探索設定部８１の時間設定部８１ｃは、予め設定された出力光のパワーの損失量に対応するミラー２３０の傾動角度の範囲を、サンプリング時間当たりのドリフト量で除した値以下に探索時間を設定する。
【００３４】
このように探索範囲を設定することにより、ドリフトが生じた場合であっても、このドリフトよりも広い範囲で出力光の光強度のピークを探索することが可能となるので、ミラー２３０の最適な姿勢を探索することができる。また、上述のように探索時間を設定することにより、出力光の光強度が所定の値以上損失するよりも短い間隔で探索を行うことが可能なり、出力光の光強度のピーク近傍で探索できるので、結果として、ミラー２３０の最適な姿勢を探索することができる。
【００３５】
次に、図２を参照して、探索範囲および探索時間の設定動作の一例について説明する。図２は、回動角誤差がミラー回動軸や可動枠回動軸等に沿った１方向に増加していく１次元モデルにおいて、出力光の損失のドリフトを時間の関数で表し、かつ、出力光の損失とミラー２３０の傾動角との関係を示すグラフである。この図２では、３点を比較することにより出力光の光強度の最大値を決定する場合を例に説明する。したがって、図２において、曲線ｙ１〜ｙ３は１回目の探索、ｙ４は２回目の探索を意味している。図２における各記号の意味は以下の通りである。
【００３６】
Δθ：探索範囲
Δｔ：サンプリング時間
ΔＬ：目標損失変動幅に対応する角度
ＴL：探索１周期時間
α：単位時間当たりのドリフト時間換算係数（角度／単位時間）、単位時間当たりの損失ドリフトをドリフト角度に換算した係数
αΔｔ：１摂動時間当たりのドリフト角度量
αＴL：探索１周期当たりのドリフト角度量
【００３７】
曲線ｙ1〜ｙ4で表される各サンプリング時間における角度−損失分布は２次関数モデルとする。ドリフト角度量が時間ｔでα1だけ発生するので、損失分布関数は以下に示す通りとなる。
【００３８】
ｔ＝０，θ＝０の場合：ｙ1（θ，ｔ）＝０  （図中符号ａの位置）
ｔ＝Δｔ，θ＝Δθの場合：ｙ2（θ，ｔ）＝−Δθ2＋２αΔθΔｔ−α2Δｔ2
ｔ＝２Δｔ，θ＝Δθの場合：ｙ3（θ，ｔ）＝−Δθ2＋４αΔθΔｔ−４α2Δｔ2
【００３９】
このような１次元モデルにおいて、探索範囲および探索時間は、以下に示す［１］，［２］の条件を満たすように設定する。
【００４０】
［１］ドリフトありで３点比較でピーク値を見つけられる条件
【００４１】
ｙ3＞ｙ2となるので、２Δｔ時間後に探索した値の方が大きくなる。したがって、下式（１）に示すように、探索範囲はサンプリング時間あたりのドリフト角度量以上に設定する。
【００４２】
Δθ＞αΔｔ  ・・・（１）
【００４３】
［２］ドリフトがあっても損失変動規定値に入る条件
【００４４】
下式（２）に示すように、損失変動規定値に対する角度が探索１周期に要する時間でドリフトする角度量よりも小さくなるように設定する。
【００４５】
ΔＬ  ＞  αＴL  ・・・（２）
【００４６】
ΔＬは、記憶部９に記憶されている動作電圧に基づいて設定される。例えば、損失変動幅が０．５ｄＢに規定されている場合は、ピーク位置の角度から０．５ｄＢ下がったときの角度幅の値となる。また、探索１周期に要する時間は、損失変動規定値で決まる角度幅をドリフト係数で割った値以下とする。
【００４７】
探索設定部８１の範囲設定部８１ｂおよび時間設定部８１ｃは、上述したような条件を満たすように探索範囲および探索時間を設定する。これにより、ドリフトが発生する場合であっても、出力光の光強度のピークを探索することが可能となるので、ミラー２３０の最適な姿勢をより正確に探索することができる。
【００４８】
なお、光スイッチが用いられるシステム環境によっては、探索時の摂動による損失変動がある規定値を超えないようにする必要がある場合がある。このような場合には、ある規定値を「摂動幅規定値」とすると、探索範囲Δθにおける損失の最大値と最小値の差が損失幅規定値以下になるように探索範囲Δθを設定すればよい。
【００４９】
［摂動動作］
次に、摂動部８２による摂動動作について説明する。
【００５０】
まず、摂動部８２は、上述した方法により探索範囲が設定されると、この探索範囲に基づいて摂動電圧を設定する。この摂動電圧は、サンプリング時間単位に設定される。最初の摂動電圧は、記憶部９に予め記憶されている動作電圧を中心とした探索範囲から設定される。次の摂動電圧は、最初の摂動電圧の印加からサンプリング時間経過後から印加されるものであり、その時のドリフト量に応じて設定される探索範囲に基づいて設定される。したがって、このときの探索範囲は、最初の探索範囲から所定の方向にずれたり、最初の探索範囲よりも範囲が広がったりしている。また、摂動電圧は、設定された探索範囲を所定間隔で分割した値から構成される。具体例について、以下に示す。
【００５１】
例えば、マイクロミラー装置３ａのＸ方向の探索範囲がＸ１、Ｙ方向がＹ１と設定された場合において、摂動電圧を渦巻き状に設定すると、図３に示すように、Ｘ１とＹ１とからなる範囲内において、渦巻きの巻き数を勘案してその範囲を所定間隔で分割することにより、摂動電圧を設定する。マイクロミラー装置３ｂについても、同様に摂動電圧が設定される。なお、図３においては、２５点の摂動電圧を設定するようにしたが、設定する摂動電圧の数量は適宜自由に設定することができる。また、摂動電圧の設定の仕方についても、渦巻き状に限定されず、例えば、略Ｎ字型や格子状など適宜自由に設定することができる。
【００５２】
外部より入力ポート１ａから所定の光強度分布を有する光信号が入力されているマイクロミラー装置３ａとマイクロミラー装置３ｂとの光路を接続する際に、摂動電圧が設定されると、摂動部８２は、伝播する光信号の接続損失が小さい最適な動作電圧を探索するために、外部より入力ポート１ａからマイクロミラー装置３ａに向けて所定の光強度分布を有する光信号が入力させる。また、マイクロミラー装置３ｂの摂動電圧を最外殻点に固定し、かつ、マイクロミラー装置３ａの摂動電圧を設定された各点を順次移動しながらミラー２３０を摂動させる。この各点を移動させながら摂動は、探索時間内に行われる。すなわち、設定された摂動電圧を一通り網羅して摂動を行う１周期の探索が、探索時間内に行われる。このとき、検出部７を介して出力光測定装置４により測定される光信号の光強度は、記憶部９に記憶される。
【００５３】
マイクロミラー装置３ａの摂動電圧を設定された各点について順次移動させると、マイクロミラー装置３ｂの摂動電圧を次の点に移動させ、マイクロミラー装置３ａの摂動電圧を設定された各点を順次移動させながら、それぞれのミラー２３０を摂動させる。マイクロミラー装置３ｂの摂動電圧の最後の値まで移動させると、各点の光強度が記憶部９に記憶される。最適値検出部８４は、記憶部９に記憶された各点の光強度の中から光強度が最大となるときの摂動電圧を、マイクロミラー装置３ａとマイクロミラー装置３ｂとの光路を接続する際の最適な動作電圧として設定する。このような動作電圧の探索は、探索時間内に行われる。
【００５４】
このように、本実施の形態によれば、探索範囲をサンプリング時間におけるドリフト量以上にすることにより、ドリフトに影響されずに出力光のピークの探索を行うことが可能となるので、結果として、ミラー２３０の最適な姿勢をより正確に探索することができる。
【産業上の利用可能性】
【００５５】
本発明は、周期的に変化する駆動電圧を印加することによりミラー等の変更素子を摂動させる光スイッチなどの光学素子に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】（ａ）は本発明の光スイッチの構成を示すブロック図、（ｂ）は制御装置の構成を示すブロック図である。
【図２】探索設定動作を説明するための図である。
【図３】摂動電圧の一例を示す図である。
【図４】光スイッチの構成を模式的に示す斜視図である。
【図５】ミラー装置の構成を模式的に示す斜視図である。
【図６】ミラー装置の構成を模式的に示す断面図である。
【図７】（ａ）は出力光の光強度と駆動電圧との関係を示す模式図、（ｂ）はドリフトが発生したときの出力光の光強度と駆動電圧との関係を示す模式図である。
【符号の説明】
【００５７】
１ａ…入力ポート、１ｂ…出力ポート、３ａ…入力側マイクロミラー装置、３ｂ…出力側マイクロミラー装置、４…出力光測定装置、５…制御装置、６…駆動部、７…検出部、８…制御部、９…記憶部、８１…探索設定部、８１ａ…測定部、８１ｂ…範囲設定部、８１ｃ…時間設定部、８２…摂動部、８３…最適値検出部、８４…スイッチング部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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