(57)【要約】      （修正有）【課題】ウエハ表面から保護テープを剥離する際に、非粘着性部材を使用することなくダイシングテープと剥離テープが接着しないようにすると共に、剥離開始端を正確に形成して剥離ミスをなくし、ウエハに曲げ応力が伝わらないよう保護テープを剥離することができる保護テープの剥離方法を提供する。【解決手段】剥離テープ３７より幅が短い貼付ローラ２７を利用して剥離テープ３７の両側部をウエハ３と離反する方向に傾斜させ、貼付ローラ２７より剥離開始端側の剥離テープ３７をウエハ３と離反する方向に傾斜させた状態でウエハ３外周端部付近に剥離テープ３７を貼り付ける工程と、剥離テープ３７の粘着面を剥離ローラ４１に巻き付けて、剥離テープ３７の張力及び移動量の制御により剥離ローラ４１とウエハ３の間で剥離テープ３７の略１８０°の剥離角度を維持しながら剥離テープ３７と共に保護テープ５を剥離してゆく工程とを有する。【選択図】図７
2008004712.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に保護テープが貼り付けられたウエハを裏面側でダイシングテープを介してダイシングフレームにマウントした状態で、ウエハの表面に剥離テープの粘着面を貼付ローラで押圧して貼り付けてから剥離テープを引き剥がすことで剥離テープと共に保護テープをウエハから剥離する保護テープの剥離方法において、
剥離テープより幅が短い貼付ローラを利用して剥離テープの両側部の貼付ローラが当接していない部分をウエハと離反する方向に傾斜させ、かつ貼付ローラより剥離開始端側の剥離テープをウエハと離反する方向に傾斜させた状態でウエハ外周端部付近に剥離テープを貼り付ける工程と、
ウエハの外周端部の剥離テープをヒータで圧着・加熱する工程と、
貼付ローラをウエハから退避すると共に、ウエハ外周端部より外側の剥離テープの粘着面を剥離ローラに巻き付けて、剥離ローラとウエハの外周端部との間で剥離テープを略１８０°の角度で折り返す工程と、
剥離ローラをウエハ全長にわたって相対移動させつつ剥離テープの張力及び移動量の制御により剥離ローラとウエハの間で剥離テープの略１８０°の剥離角度を維持しながら剥離テープ及び剥離テープに接着された保護テープをウエハから剥離してゆく工程とからなることを特徴とする保護テープの剥離方法。
【請求項２】
表面に保護テープが貼り付けられたウエハを裏面側でダイシングテープを介してダイシングフレームにマウントした状態で保持する吸着テーブルと、吸着テーブル上への剥離テープの供給と回収を行う剥離テープ送り機構と、ウエハの表面に剥離テープの粘着面を押圧する貼付ローラと、ウエハ表面に貼り付いた剥離テープを保護テープと共に引き剥がす剥離機構とを有する保護テープの剥離装置において、
剥離テープより幅が短く剥離テープの中央を押圧する貼付ローラと、
貼付ローラより剥離開始端側の剥離テープをウエハと離反する方向に傾斜させる剥離テープ送り機構と、
ウエハの外周端部に貼り付いた剥離テープを圧着・加熱するヒータと、
貼り付け済みの剥離テープのウエハ外周端部より外側の粘着面を巻き付けて、ウエハの外周端部との間で剥離テープを略１８０°の角度で折り返し、前記吸着テーブルとウエハ全長にわたって相対移動可能な剥離ローラと、
剥離テープの貼り付け時は、剥離テープの両側部の貼付ローラが当接していない部分をウエハと離反する方向に傾斜させ、剥離テープの剥離時は、剥離ローラとウエハの間で剥離テープの略１８０°の剥離角度を維持するように剥離テープの張力及び移動量を制御できる剥離テープ張力調整機構とを有することを特徴とする保護テープの剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ダイシングフレームにマウントされたウエハの表面に貼り付けられた保護テープを剥離する方法及び装置に関し、さらに詳しくは、剥離の際のウエハの破損等を防ぐことができる保護テープの剥離方法及び装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程としてパターンが形成されたウエハのパターン形成面に保護テープを貼り付けた状態で裏面研削を行ってウエハを薄型化し、その後、ダイシングフレームにダイシングテープを介してマウントした後、ダイシング工程によりチップ化することが行われている。
【０００３】
従来、裏面研削を行った後、ウエハをダイシングフレームにマウントする前に保護テープを剥がしていたが、最近はウエハの更なる薄厚化により、先に保護テープを剥がしてウエハをハンドリングするとウエハの強度不足により割れてしまうので、薄いウエハでは保護テープの付いた状態でダイシングフレーム上にダイシングテープを介してマウントし、ダイシング工程前にダイシングフレームにマウントされた状態のウエハから保護テープを剥離することが行われている。
【０００４】
このダイシングフレームにマウントされたウエハから保護テープを剥離する方法は、通常、保護テープ上に剥離テープを貼り付けて保護テープと剥離テープを一体に巻き取ることによって行われているが、剥離テープをウエハ上の保護テープに貼り付ける際には、ウエハ外周部分のダイシングテープの粘着面と剥離テープの粘着面が接することによりダイシングテープと剥離テープが貼り付き、この状態で剥離動作を続けると接着したダイシングテープと共にウエハが持ち上がって破損することがあった。
【０００５】
そこで、ダイシングフレームとウエハ外周部分の間に位置するダイシングテープの粘着面が剥離テープに接しないように、ダイシングテープ上に非粘着性の板状部材を貼り付けたり、非粘着性の板バネを退避位置からダイシングテープの近傍上方位置に変位させたりすることが行われている（例えば特許文献１）。
【０００６】
また、剥離テープがダイシングテープの粘着面と接しないようにウエハ外形に沿った形状の非粘着性マスク部材でダイシングテープの粘着面を覆うと共に、剥離テープで保護テープを剥離する際にウエハの吸着が負けてウエハが持ち上がるのを防止すべく、マスク部材の先端縁部でウエハ外周部分のダイシングテープを押さえるようにすることも行われている（例えば特許文献２）。
【０００７】
また、剥離テープで保護テープの表面に剥離ヘッド内の第１ロール（剥離ローラに相当）で剥離テープを貼り付け、第２のロールで初期剥離角度を形成し、続いて初期剥離角度で初期剥離した後、剥離ヘッドを上昇させることで第１のロール、第２のロールを一体にウエハ表面から上昇させ、上昇位置で第１のロールで次期剥離角度を保ったまま剥離テープを巻き取ってウエハ表面の保護テープを剥離する方法が開示されている（例えば特許文献３）。
【特許文献１】特許第３７３７１１８号公報
【特許文献２】特開２００１−３１９９０６号公報
【特許文献３】特開２００６−４１１６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記特許文献１乃至３での保護テープの剥離方法によっても、以下に挙げる問題点が生じていた。
【０００９】
まず、特許文献１のように、ダイシングテープ上に非粘着性板状部材を貼り付けたり、非粘着性板バネを退避位置からダイシングテープの近傍上方位置に変位する方法によれば、最近のウエハ自体の薄厚化（１００μｍ以下）により、非粘着性の板状部材や板バネの厚みがウエハより厚くなっていると、貼付ローラで剥離テープを貼り付ける際に板状部材や板バネの段差に貼付ローラが乗り上げ、ウエハの外周端部分の保護テープに剥離テープを粘着させることができないため、剥離時にウエハ外周端部に無理な力がかかりウエハがチッピングする問題がある。
【００１０】
また、剥離テープ及び貼付ローラの幅が板状部材や板バネより大きいと、これらが板状部材や板バネからはみ出した部分がダイシングテープと接着したり（特許文献１の図２、６参照）、板状部材や板バネ部材がウエハ外周の形状に沿っておらず矩形状であるために剥離テープの幅方向に長くした場合にウエハの円弧に沿わず、板状部材や板バネで覆われない隙間が生じてこの部分で剥離テープやダイシングテープと接着してしまったりして、ウエハ外周部分でウエハが剥離テープに持ち上げられて破損を起こす問題があった。
【００１１】
これらウエハ外周部分で剥離テープ等がダイシングテープの露出面と接触するという問題は、ウエハの薄厚化に伴う板状部材や板バネの厚みの薄厚化により、板状部材や板バネとダイシングテープとの段差が少なくなることでより顕著となり、特に板バネを薄くした場合は板バネの反発力がなくなって板バネが変形することで板バネからはみ出した貼付ローラや剥離テープがダイシングテープに貼り付きやすくなる。
【００１２】
また、別途非粘着性板状部材と板状部材の貼り付け装置や板バネと板バネの変位装置が必要となり、板状部材の場合はダイシングテープに貼り付いているままでは次工程のダイシング工程の妨げとなるため板状部材を除去する必要があり、板バネの場合は非粘着処理が繰り返しの剥離により脱落したり板バネの変形により定期的な交換が必要になったりする等、部材・装置や工程の増加によってコストが高くなるという問題があった。
【００１３】
また、ウエハのマウント位置の精度によっては板状部材や板バネがウエハと干渉し、板状部材の貼り付け時や板バネの変位時にウエハと干渉しウエハを破損する場合があった。
【００１４】
さらに、引用文献１の方法は、剥離テープを巻き取りながら保護テープを剥離する際の剥離テープの巻き取り角度が鈍角であるため、ウエハ外周端部分でウエハの表面に対して垂直方向に力が働き、ウエハが剥離テープに持ち上げられてチッピング等の破損を起こす問題があった。
【００１５】
次に、特許文献２の方法によると、マスク部材でウエハ外周部のダイシングテープ面を押さえるため、ウエハのマウント位置がずれた場合、マスク部材でウエハを挟み、ウエハを破損する場合があった。
【００１６】
また、マスク部材を用意したりマスク部材の回動機構を設ける必要があり、ウエハサイズの変更に伴いマスクを交換する必要があったり、マスク面の非粘着処理が剥離テープの粘着力で徐々に剥がれて非粘着性が弱まった場合、マスク部材に剥離テープが貼り付いてテープ巻き取り不良が発生したり、マスク部材が持ち上がる際にウエハ外周端部が持ち上がりウエハが破損する場合があるために、定期的にマスク部材を交換する必要があるなどコストが高くなる問題があった。
【００１７】
また、マスク部材の形状がウエハ外周に沿った円形状で厚みがあるために貼付ローラがマスク部材の両端部に乗り上げ、ウエハ外周端まで剥離テープを貼り付けることができない問題があり、上記のマスク部材への貼付ローラの乗り上げにより、剥離開始端が密着しない状態で熱圧着するため、精度良く剥離端を形成することが困難であり、剥離初期にウエハがチッピングする場合があった。
【００１８】
さらに、マスク部材でウエハ外周外側のダイシングテープを押さえるために、ダイシングテープに型残りが発生し、ダイシング工程後のチップをピックアップする際のダイシングテープ突き上げにより、ダイシングテープがその部分から破れる場合があった。
【００１９】
次に、特許文献３の方法によれば、特許文献３の図５（Ａ）のように、剥離開始端に第１ローラを下降させる場合、剥離テープがダイシングフレームとウエハの間のダイシングテープの粘着面に貼り付いてしまい、ウエハに曲げ応力が働いてウエハが割れる問題があり、上記の問題を回避するために、剥離テープ貼り付け位置をウエハ内周よりに設定すると、剥離用テープの引き上げ時にウエハの剥離開始端部分が持ち上げられウエハがチッピングする場合があった。
【００２０】
また、最近の１００μｍ以下に薄厚化されたウエハの場合、次期剥離角度α２（ウエハ表面に対して鈍角となる方向）で剥離を行なうと、ウエハ表面の垂直方向に力がかかり、ウエハが持ち上げられて破損する問題がある。
【００２１】
また、第２ローラを剥しヘッドの上昇と共に上昇させているため、薄厚化されたウエハから保護テープを剥離する際に、ウエハ表面に垂直方向の力があまりかからない初期剥離角度α１を保って剥離させることができない問題がある。
【００２２】
また、特許文献３の中図５（Ｅ）のように保護テープを剥離させている間に剥離ヘッドを上昇させると、保護テープにテンションが掛かった状態で保護テープが上方に引っ張られるため、ウエハのパターン面にダメージを及ぼしたり、薄厚化されたウエハの場合、ウエハ自体が破損するという問題がある。
【００２３】
また、第１ローラに剥離テープの貼り付け機能と保護テープの剥離機能の両方を持たせているために、剥離テープの幅に合わせて第１ローラの幅方向の長さも長くする必要があり、剥離開始端形成時にウエハ外周端からはみ出した剥離テープがダイシングテープの粘着面に接着するという問題がある。
【００２４】
さらに、剥しヘッドを上昇させて第１ローラにて剥離を行うので、ウエハ後端部分の保護テープを剥離する際、保護テープが上方に跳ね上がり、ウエハ後端部分がチッピングする場合があった。
【００２５】
そこで、この発明の課題は、上記のような特許文献１乃至３が有する問題点を解決し、ウエハ表面から保護テープを剥離する際に、非粘着性部材を使用することなくダイシングテープと剥離テープが接着しないようにすると共に、剥離開始端を正確に形成して剥離ミスをなくし、さらにウエハに曲げ応力が伝わらないよう保護テープを剥離することができる保護テープの剥離方法及び装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２６】
上記のような課題を解決するため、請求項１の発明は、表面に保護テープが貼り付けられたウエハを裏面側でダイシングテープを介してダイシングフレームにマウントした状態で、ウエハの表面に剥離テープの粘着面を貼付ローラで押圧して貼り付けてから剥離テープを引き剥がすことで剥離テープと共に保護テープをウエハから剥離する保護テープの剥離方法において、剥離テープより幅が短い貼付ローラを利用して剥離テープの両側部の貼付ローラが当接していない部分をウエハと離反する方向に傾斜させ、かつ貼付ローラより剥離開始端側の剥離テープをウエハと離反する方向に傾斜させた状態でウエハ外周端部付近に剥離テープを貼り付ける工程と、ウエハの外周端部の剥離テープをヒータで圧着・加熱する工程と、貼付ローラをウエハから退避すると共に、ウエハ外周端部より外側の剥離テープの粘着面を剥離ローラに巻き付けて、剥離ローラとウエハの外周端部との間で剥離テープを略１８０°の角度で折り返す工程と、剥離ローラをウエハ全長にわたって相対移動させつつ剥離テープの張力及び移動量の制御により剥離ローラとウエハの間で剥離テープの略１８０°の剥離角度を維持しながら剥離テープ及び剥離テープに接着された保護テープをウエハから剥離してゆく工程とからなる構成を採用したものである。
【００２７】
また、請求項２の発明は、表面に保護テープが貼り付けられたウエハを裏面側でダイシングテープを介してダイシングフレームにマウントした状態で保持する吸着テーブルと、吸着テーブル上への剥離テープの供給と回収を行う剥離テープ送り機構と、ウエハの表面に剥離テープの粘着面を押圧する貼付ローラと、ウエハ表面に貼り付いた剥離テープを保護テープと共に引き剥がす剥離機構とを有する保護テープの剥離装置において、剥離テープより幅が短く剥離テープの中央を押圧する貼付ローラと、貼付ローラより剥離開始端側の剥離テープをウエハと離反する方向に傾斜させる剥離テープ送り機構と、ウエハの外周端部に貼り付いた剥離テープを圧着・加熱するヒータと、貼り付け済みの剥離テープのウエハ外周端部より外側の粘着面を巻き付けて、ウエハの外周端部との間で剥離テープを略１８０°の角度で折り返し、前記吸着テーブルとウエハ全長にわたって相対移動可能な剥離ローラと、剥離テープの貼り付け時は、剥離テープの両側部の貼付ローラが当接していない部分をウエハと離反する方向に傾斜させ、剥離テープの剥離時は、剥離ローラとウエハの間で剥離テープの略１８０°の剥離角度を維持するように剥離テープの張力及び移動量を制御できる剥離テープ張力調整機構とを有する構成を採用したものである。
【００２８】
上記請求項１または２の発明で、剥離テープより幅が短い貼付ローラにて剥離テープの中央付近を押圧しつつ、剥離テープの張力を調整することで、剥離テープの両側部の貼付ローラが当接していない部分をウエハと離反する側に傾斜させることと、この貼付ローラより剥離開始端側の剥離テープを別途ローラ等で誘導してウエハと離反する方向に傾斜させることで、貼付ローラの側方及び前方の剥離テープは貼付ロール側へ反り返り、貼付ローラがウエハの円弧状の外周端部で剥離テープを押圧した際も、この外周端部の外側や両側部に存在するダイシングテープに剥離テープが接触することがなくなる。
【００２９】
なお、貼付ローラは幅が剥離テープより短いことに加え、その径も比較的小型とするのが好ましく、小径の貼付ローラであれば巻回された剥離テープの立ち上がりが急になり、剥離テープとウエハの外周端部の外側にあるダイシングテープとの接触を防ぐのにより好適となる。
【００３０】
また、剥離ローラにウエハの外周端部より外側の剥離テープの粘着面を巻き付けて、剥離ローラとウエハ外周端部との間で剥離テープを略１８０°の角度を形成するように折り返し、この状態を保って保護テープを剥離するので、保護テープの剥離方向がウエハ表面と平行となり、ウエハ表面に対して垂直方向の剥離力が加わることによるウエハのチッピング等の破損が防げる。
【発明の効果】
【００３１】
以上のように、請求項１又は２の発明によると、剥離テープより幅が短い貼付ローラを使用しているので、ウエハの外周端まで剥離テープを接着しても剥離テープがウエハの外側のダイシングテープと接触することがなく、ウエハ外周端部に剥離テープを正確かつ確実に接着することができ、その後に行う加熱ヒータでの熱圧着により剥離開始端を安定に形成できるので、剥離テープの貼付不良による剥離ミスを低減することができる。
【００３２】
また、ウエハの外周端部からからはみ出る剥離テープとダイシングテープが貼り付くことがないので、剥離テープ巻き上げ時のウエハの持ち上がりによるチッピング等の破損を防止することができる。
【００３３】
さらに、マスク部材等の剥離テープとダイシングテープの接着を防止する部材が必要なく、コスト低減を図ることができる。
【００３４】
また、剥離テープと保護テープの剥離時は、剥離テープの張力及び移動量の制御により、保護テープの剥離を絶えず略１８０°方向に鋭角的に保って行なうので、ウエハ表面に対して垂直方向へ働く力がなくなり、薄厚化したウエハであっても持ち上がりによる破損を防止できると共に、剥離開始時から剥離終了時まで剥離テープが弛んで落下することが無く、落下した剥離テープがダイシングテープと接着することによるウエハの持ち上がりによる破損も防止できる。
【００３５】
また、剥離テープの貼付ローラと剥離ローラを別々にして機能を分離させているので、貼付ローラを上昇させても剥離ローラにて剥し角度を１８０°方向に保って行なうことができると共に、剥離後端部分は貼付ローラをウエハ表面から退避させているので、剥離後端部分でダイシングテープと剥離テープが貼り付くことによる引き剥がし時の力がウエハに加わることによる破損が生じない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
以下、この発明の実施の形態を図１乃至図１０に基づいて説明する。
【００３７】
図１乃至図６は、この発明を適用したウエハ表面に貼り付けられた保護テープの剥離装置の一実施形態を示すものであり、ダイシングフレーム１にダイシングテープ２を介して貼り付けられたウエハ３のパターン４を有する上面に貼り付けられた保護テープ５をウエハ３から剥離する装置を例にして説明する。
【００３８】
機台６上に平行な２本のレール７、７が水平方向に設けられ、それぞれのレール７に摺動自在に嵌合された一対のスライダ８上には吸着テーブル９が固定されており、この吸着テーブル９は図示しない適宜な駆動手段にてレール７に沿った移動が自在となっている。
【００３９】
該吸着テーブル９上には、図示しないが多数の吸引孔が設けられており、前工程にて保護テープ５の貼付されたウエハ３がダイシングテープ２を介してダイシングフレーム１にマウントされた状態で適宜手段にて位置決めを行った後に載置され、吸引孔からの吸引作用によりダイシングフレーム１およびウエハ３をダイシングテープ２の側から吸着・固定するようになっている。
【００４０】
機台６に隣り合って２本の支柱１０、１０が立設され、この支柱１０、１０にはそれぞれ垂直方向に延びるレール１１が設けられ、この各レール１１に昇降動自在に嵌合された両スライダ１２と一体となった昇降枠１３が設けられており、支柱１０、１０の上端部を繋ぐ桟上に設けられた昇降シリンダ１４のシリンダ軸は昇降枠１３の後方に突設された固定枠１５に接続されており、昇降枠１３は昇降シリンダ１４の作用により、図２中の実線で示す位置から二点鎖線で示す位置までレール１１に沿った昇降動が自在となっている。
【００４１】
昇降枠１３の背面下部付近には垂直方向に延びるレール１６が設けられ、このレール１６に昇降動自在に嵌合されたスライダ１７と一体に昇降ユニット１８が設けられ、この昇降ユニット１８は前記昇降枠１３の背面に設けられた昇降シリンダ１９のシリンダ軸に接続されており、昇降枠１３がレール１１に沿った昇降動をする際にはそれに従って昇降動すると共に、昇降シリンダ１９が作動した際は昇降枠１３に対してレール１６に沿った昇降動を行えるようになっている。
【００４２】
前記昇降枠１３には剥離テープ供給リール２０、ガイドローラ２１、ピンチローラ２２、ガイドローラ２３、及び剥離テープ巻取リール２４が軸支され、前記昇降ユニット１８に接続固定されて昇降枠１３の切欠部を通じて前方に突出している支持枠２５（図４、図５参照）には、貼付ユニット固定枠２６が設けられており、この貼付ユニット固定枠２６には貼付ローラ２７の貼付ローラ軸２８が軸支されており、その右側の若干上方には、テンションローラＡ２９とテンションローラＢ３０がテンションアーム３１の両端部に軸支され、テンションローラＢ３０の軸は前記貼付ユニット固定枠２６に軸支され、テンションアーム３１は貼付ユニット固定枠２６に対してテンションローラＢ３０を中心に揺動自在となっている。
【００４３】
このテンションアーム３１の揺動は、支持枠２５に接続されたシリンダ固定枠３２に設けられた軸３３に一方端を回動自在に軸支されたテンションシリンダ３４のシリンダ軸先端を、テンションアーム３１と一体に接続されている連結杆３５に軸支することで、テンションシリンダ３４の伸縮作動によりテンションアーム３１はテンションローラＢ３０を中心に旋回する。
【００４４】
なお、張力の制御は、テンションシリンダ３４でテンションアーム３１に一定の付勢力を付与しておき、テンションローラＡ２９の上昇位置、下降位置をセンサ等で検知しながら、剥離テープ３７の巻き取りや吸着テーブル９の移動量を制御することで行える。
【００４５】
また、貼付ユニット固定枠２６の上方には、前記昇降ユニット１８に軸支され、昇降枠１３の切欠部や窓孔を通じて昇降枠１３の前面に突出した１対のガイドローラ３６が設けられている。
【００４６】
剥離テープ供給リール２０から供給される剥離テープ３７は、ガイドローラ２１、貼付ローラ２７、テンションローラＢ３０、テンションローラＡ２９、ガイドローラ３６、ピンチローラ２２及びガイドローラ２３に順次巻回され、昇降枠１３の裏側にある巻取モータ３８（図２参照）により駆動される剥離テープ巻取リール２４に巻き取られて行くが、剥離テープ３７の巻き取り量や巻き取り速度の制御は、巻取モータ３８とそれと連動する剥離テープ３７を挟んで回転するピンチローラ２２が図示しない適宜駆動手段で駆動されることにより行い、剥離テープ供給リール２０側ではモータ等適宜手段にて一定の張力で引っ張り抵抗を付勢しておく。
【００４７】
なお、ウエハ３から剥離され剥離テープ３７と共に巻き取られていく剥離済み保護テープ５′は（図２参照）、剥離テープ３７の両側部からはみ出た部分が反って曲がったりしているので、一対のガイドローラ３６に隙間を取っておくことで、ここを通過する剥離済み保護テープ５′の曲がった両側部を広げ、他の部分に巻き込んだりしないようにしてある。
【００４８】
昇降枠１３の下端部には水平方向に延びるレール３９が設けられ、このレール３９に摺動自在に嵌合されたスライダ４０が剥離ローラ４１の剥離ローラ軸４２を軸支しており、この剥離ローラ４１は、昇降枠１３に固定されたシリンダ４３の作用により、昇降枠１３に対して左右に進退自在となっている。
【００４９】
この剥離ローラ４１は、剥離テープ３７の剥離作業の際、その粘着面に接するので、表面に離型処理を行うと共に、図４で示すように等間隔に突条を設けて剥離テープ３７と線接触状態となるようにすることで、剥離テープ３７が接着しないようにしてある。
【００５０】
前記支持枠２５には、ヒータ昇降シリンダ４４を介してヒータ４５が設けられ、このヒータ４５はウエハ３の外周縁の形状に合致する略円弧状をしており、ヒータ昇降シリンダ４４の作用により上昇した待機位置から、下降してウエハ３の外周縁部まで下降するようになっている。
【００５１】
次に、ダイシングフレーム１にマウントされたウエハ３の表面の保護テープ５の剥離方法を、図７乃至図１０の（ａ）〜（ｊ）に示す工程図を中心にして説明する。
【００５２】
まず、先の工程にて位置決めされたウエハ３をマウント済みダイシングフレーム１が吸着テーブル９上に移し替えられ、吸着テーブル９はその上面にダイシングフレーム１を吸着したまま、図７（ａ）に示した昇降枠１３の前方の所定位置まで移動した後、昇降枠１３が二点鎖線で示す位置から実線で示す下降位置まで下降し、同時に剥離テープ３７も昇降枠１３と一体に下降し、貼付ローラ２７に押圧され最下端にある剥離テープ３７はウエハ３の右側外周部付近に当接する。
【００５３】
次に、図７（ｂ）のように、吸着テーブル９が二点鎖線の位置から実線位置へと左方向に若干移動することにより、貼付ローラ２７が吸着テーブル９に対して相対的に右に移動しながらウエハ３の最外周端部まで剥離テープ３７の粘着面を保護テープ５表面に押圧してゆくことになり、このとき、剥離テープ３７の貼り付きによる剥離テープ３７に加わる張力は、テンションアーム３１の揺動によりテンションローラＡ２９が若干上方に移動することにより吸収される。
【００５４】
この際、テンションアーム３１の先端のテンションローラＡ２９が剥離テープ３７を押圧してテンションを調整しているので、剥離テープ３７は図３で示すように、貼付ローラ２７で押圧されていない両側部が上方に引っ張られて浮き上がり、また、テンションローラＢ３０が貼付ローラ２７より剥離テープ３７の送り方向で若干上の位置にあるので、貼付ローラ２７の位置から上方向に傾斜し、剥離テープ３７の下面粘着面がダイシングフレーム１のダイシングテープ２に接触して貼り付くといったことが防がれる。
【００５５】
次に、図７（ｃ）のように、吸着テーブル９が図中二点鎖線の位置から実線位置で示す貼付ローラ２７の貼付初期位置まで右方向へ戻り、生じた剥離テープ３７の弛みは、テンションアーム３１の旋回によりテンションローラＡ２９が図中二点鎖線の位置から実線位置まで移動することで剥離テープ３７を押し出して吸収する。
【００５６】
次に図８（ｄ）のように、ヒータ４５が下降してウエハ３の外周端部に当接し、ヒータ４５の加熱作用により剥離テープ３７の粘着面を溶融又は粘着剤を柔軟化させて、保護テープ５の端部との接着を確実にする。
【００５７】
ヒータ４５を上昇させて定位置に戻すと共に、図８（ｅ）に示すように、剥離テープ巻取リール２４の巻き取り動作及びピンチローラ２２の回転により、剥離テープ３７を回収側に巻き上げながらテンションアーム３１を図示二点鎖線の位置から実線で示す位置まで起立させて、後述の剥離ローラ４１の進入の際にテンションローラＡ２９と干渉するのを防いでおく。
【００５８】
テンションアーム３１を起立させた後、図８（ｆ）のように、シリンダ４３を作用させて剥離ローラ４１を図示二点鎖線の位置から実線で示す位置まで移動させてウエハ３側に接近させる。
【００５９】
その後、図９（ｇ）で示すように、吸着テーブル９を右側に移動させていくことで、貼付ローラ２７が剥離テープ３７をウエハ３の内側に向かって貼り付けていくと共に、剥離テープ３７の回収側では剥離テープ３７がテンションローラＢ３０から離れ、剥離ローラ４１にその粘着面が当接することになり、図示のように剥離ローラ４１がウエハ３の外周端部の上に達した時点で、ウエハ３の最外周端から外側へ出ている剥離テープ３７は、剥離ローラ４１に押されてウエハ３と剥離ローラ４１との隙間で１８０°折り曲げられた状態となる。
【００６０】
次に、図９（ｈ）のように、昇降枠１３はそのままに昇降ユニット１８を上昇させることで、この昇降ユニット１８に取り付けられている貼付ローラ２７、テンションローラＡ２９、テンションローラＢ３０、テンションアーム３１、一対のガイドローラ３６、及びヒータ４５が図中二点鎖線の位置から実線で示す位置まで上昇する。
【００６１】
その後、図１０（ｉ）で示すように、吸着テーブル９を右方向に移動させながら、テンションシリンダ３４の制御によりテンションアーム３１の揺動角度や剥離テープ３７に加える張力を適宜調整しつつ、ピンチローラ２２の回転制御により剥離テープ３７を適宜制御された速度で回収方向に移動させてゆくことで、剥離ローラ４１は剥離テープ３７の回収に沿って図示右回転しながら剥離テープ３７と共に保護テープ５を巻き上げると共に、ウエハ３と剥離ローラ４１との隙間で、略１８０°の剥離角度を維持するようにする。
【００６２】
この際、保護テープ５の剥離方向は、略１８０°の角度で折り返しているので、ウエハ３の表面と平行な方向に力が加わることになり、ウエハ３の表面に垂直方向の上向きの力が殆ど加わることがなく、ウエハ３の浮き上がりによるチッピング等の破損が生じない。
【００６３】
さらに、図１０（ｊ）で示すように、吸着テーブル９を移動させてゆくと、ウエハ３の左側では貼付ローラ２７は剥離テープ３７を押圧しておらず、また、適宜の引っ張り力が剥離テープ供給リール２０で付与されているので、剥離テープ３７はウエハ３から外れ、剥離ローラ４１は保護テープ５のみを１８０°の折り返し角度を保ってウエハ３の表面から剥離してゆく。
【００６４】
ウエハ３の左側の剥離最終端においては、前述の昇降ユニット１８が上昇位置にあるので、剥離ローラ２６等がウエハ３の表面より上の位置になっており、剥離テープ３７は保護テープ５の剥離最終端においてもダイシングテープ２に接触して貼り付いたりしない。
【００６５】
また、剥離ローラ４１で保護テープ５を１８０°の折り返し角度を保って剥離するので、ウエハ３の剥離最終端においてもウエハ３の表面に垂直方向の上向きの力が加わることがなく、ウエハ３の浮き上がりによるチッピング等の破損が生じない。
【００６６】
保護テープ５の剥離工程を終了したウエハ３のマウント済みダイシングフレーム１は、適宜手段にて吸着テーブル９から次工程のダイシング装置等に移送され、吸着テーブル９には表面に保護テープ５が貼り付いた状態でダイシングフレーム１にマウントされた別のウエハ３が渡され、図７（ａ）の位置に戻って、次の剥離作業を行うことになる。
【００６７】
この発明の実施形態は以上のようなものであるが、この発明は上記実施形態のものに限定されること無く、この発明の目的の範囲内で適宜変更して実施することができる。
【００６８】
なお、本実施形態においては貼付ローラ２７の後端の剥離テープ３７はガイドローラ２１に直接導いたが、貼付ローラ２７とガイドローラ２１の間で、剥離テープ粘着面側に離型処理を行ったガイドローラ若しくはカイド板等を介在させれば、剥離テープ３７に弛みが生じた場合でも剥離テープ３７と保護テープ５の接着を防止できる。
【００６９】
また、図１０（ｉ）の状態で、貼付ローラ２７と剥離テープ３７の保護テープ５との接着部との間に離型処理したガイドローラ若しくはガイド板等を介在させるようにすれば、効果的に剥離テープ３７の保護テープ５への二度付きを防止でき、剥離終端部分でダイシングテープ２へ剥離テープ３７が接着するのを防止できる。
【００７０】
また、保護テープ５の剥離は剥離ローラ４１をそのままの位置で、ウエハ３等を吸着して保持している吸着テーブル９を移動させることにより行っていたが、吸着テーブルと剥離ローラが相対的に移動すれば良く、剥離ローラ側のみ、又は、吸着テーブルと剥離ローラの両者を移動させて保護テープを剥離することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】本発明装置を表す正面図
【図２】図１のII−II方向矢視側面図
【図３】図２の要部拡大図
【図４】図１のIV−IV方向矢視図
【図５】本発明装置のテンション機構の動作説明図
【図６】本発明装置の貼付ユニットの動作説明図
【図７】（ａ）（ｂ）（ｃ）は本発明装置の保護テープ剥離動作説明図
【図８】（ｄ）（ｅ）（ｆ）は本発明装置の保護テープ剥離動作説明図
【図９】（ｇ）（ｈ）は本発明装置の保護テープ剥離動作説明図
【図１０】（ｉ）（ｊ）は本発明装置の保護テープ剥離動作説明図
【符号の説明】
【００７２】
１    ダイシングフレーム
２    ダイシングテープ
３    ウエハ
４    パターン
５    保護テープ
５′  剥離済み保護テープ
６    機台
７    レール
８    スライダ
９    吸着テーブル
１０  支柱
１１  レール
１２  スライダ
１３  昇降枠
１４  昇降シリンダ
１５  固定枠
１６  レール
１７  スライダ
１８  昇降ユニット
１９  昇降シリンダ
２０  剥離テープ供給リール
２１  ガイドローラ
２２  ピンチローラ
２３  ガイドローラ
２４  剥離テープ巻取リール
２５  支持枠
２６  貼付ユニット固定枠
２７  貼付ローラ
２８  貼付ローラ軸
２９  テンションローラＡ
３０  テンションローラＢ
３１  テンションアーム
３２  シリンダ固定枠
３３  軸
３４  テンションシリンダ
３５  連結杆
３６  ガイドローラ
３７  剥離テープ
３８  巻取モータ
３９  レール
４０  スライダ
４１  剥離ローラ
４２  剥離ローラ軸
４３  シリンダ
４４  ヒータ昇降シリンダ
４５  ヒータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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