(57)【要約】      （修正有）【課題】ＯＶＤ法でのガラス微粒子堆積体の製造の際に、点火中のバーナーのいずれかで消火が発生しても、迅速かつ確実にこれを検知して、予期せぬ再点火の事故発生を未然に防止することができる安全性の高いガラス微粒子堆積体の製造方法を提供する。【解決手段】ＯＶＤ法により反応容器２内の中心棒３にガラス微粒子を堆積させてガラス微粒子堆積体を製造するガラス微粒子堆積体の製造方法であって、中心棒３を移動させながら主バーナー６で中心棒３にガラス微粒子を堆積させる際に、主バーナー６の両端に設けた補助バーナー７で中心棒３に堆積したスート表面のガラス微粒子を加熱させ、かつ、その補助バーナー７に対応して設けた補助検知器９で補助バーナー７の点火状態を検知する。【選択図】図１
2008094680.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
反応容器内で、ＯＶＤ法により、複数のバーナーを用いてガラス微粒子を生成して堆積させガラス微粒子堆積体を製造するガラス微粒子堆積体の製造方法であって、
前記ガラス微粒子堆積体の端部を加熱するバーナーの火炎の有無を、他のバーナーの火炎の有無を検知する検知器とは別の検知器を用い、前記他のバーナーの火炎の光学的影響を排除した状態において光学的に検知し、火炎の有無に異常がある場合は、それを表示することを特徴とするガラス微粒子堆積体の製造方法。
【請求項２】
前記ガラス微粒子堆積体を前記複数のバーナーに対し往復移動させるとともに、前記端部を加熱するバーナーと前記別の検知器とを前記ガラス微粒子堆積体に対し同じ位置となるように連動して移動させることを特徴とする請求項１記載のガラス微粒子堆積体の製造方法。
【請求項３】
前記別の検知器は、前記複数のバーナーに対し前記他のバーナー側に配置され、視野範囲が前記端部の移動範囲となるように前記別の検知器の検知方向が設定されていることを特徴とする請求項１記載のガラス微粒子堆積体の製造方法。
【請求項４】
前記反応容器内は、火炎から出射する紫外線の反射を低減させるか、若しくは紫外線の反射を分散させるための内面加工がなされていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のガラス微粒子堆積体の製造方法。
【請求項５】
前記別の検知器は、前記他のバーナーからの火炎の特定の範囲のみが視野範囲となるように、その位置及び方向が設定されていることを特徴とする請求項１に記載のガラス微粒子堆積体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＯＶＤ法によってガラス微粒子堆積体を製造するガラス微粒子堆積体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、光ファイバを形成するときの母材となるガラス微粒子堆積体を製造するため、例えば、（i）図７（Ａ）に示すように、２本バーナを用いてコアとクラッドのもととなるガラス微粒子５０を軸方向に成長させてガラス微粒子堆積体を形成するＶＡＤ法（Vapor-phase Axial Deposition：気相軸付け法）、（ii）同図（Ｂ）に示すように、ガラス棒のまわりにガラス微粒子６０を軸方向に成長させていくＶＡＤジャケット法、（iii）同図(Ｃ)に示すように複数のバーナを用いて棒状のターゲット部材７０を上下に往復運動させて、ターゲット部材７０のまわりにガラス微粒子を堆積させるＯＶＤ法などが知られている。
【０００３】
このうちＶＡＤ法では、例えば、図８に示すように、反応容器１００内において、バーナー１０１、１０２から送り込まれる原料ガスで光ファイバのコア部分及びクラッド部分を生成し、ガラス微粒子１０３として堆積させる。次に、このガラス微粒子堆積体１０３を図示外のヒータで加熱して透明ガラス化させることにより、光ファイバ母材を製造するものである。即ち、このＶＡＤ法では、一般に、酸水素バーナーを用いて、原料ガス、例えばＳｉＣｌ４、ＧｅＣｌ４などの気体を酸水素火炎中で加水分解させて、ＳｉＯ２、ＧｅＯ２などの微粒子を形成し、ターゲット部材となる棒状の石英(以下、これを「出発棒」とよぶ)に前述した微粒子を火炎として吹き付けて付着・堆積させるものであり、大径のガラス微粒子堆積体を製造するのに適している。
【０００４】
ところで、この出発棒に付着させる微粒子の量や分布は、バーナー１０２、１０３から吹き出される火炎の形状やガラス微粒子堆積体１０３の表面温度など、様々な要因で変化する。特に、火炎の揺らぎや火炎位置の微妙な変化などによって、最終的に製造される光ファイバの屈折率分布が変化したり、品質が低下することがある。そこで、図８に示すように、電界の変化などから火炎の位置及び形状などを検出させるために、火炎の近傍に火炎位置検出装置１１０を設置したものや（例えば、特許文献１参照）、図９に示すように、ＣＣＤカメラなどにより火炎の位置及び形状などを光学的に検出するために、火炎の近傍に火炎位置検出装置１２０を設置したものなどが提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【０００５】
一方、前述したＶＡＤ法のほかに、図７（Ｃ）にて説明した長尺状のガラス微粒子堆積体を製造するのに好適な、ＯＶＤ法も知られている。このＯＶＤ法でも、反応容器内において、ターゲット部材である細長い中心棒に付着・堆積させるガラス微粒子の量及びその付着分布は、バーナーから吹き付けられる火炎の形状及びガラス微粒子の流れの状態、中心棒の表面温度などの様々な要因で変化する。その結果、このＯＶＤ法でも、火炎の揺らぎ、火炎位置の微妙な変化によって、製造後の光ファイバの屈折率分布が変化するおそれがあるため、前述の方法と同様に、火炎位置検出装置を付設することで、多孔質ガラス母材（スートプリフォーム）の品質低下を防止することが可能である。
【０００６】
ところで、このＯＶＤ法では、例えば、回転している中心棒をバーナーに対して相対移動させ（中心棒とバーナーのいずれかを往復移動させる）ながら、バーナーから火炎の状態で噴出する原料ガスでガでガラス微粒子を生成して中心棒に堆積させ、多孔質ガラス母材を製造する。
【特許文献１】特開平７−４８１３６号公報（図１１）
【特許文献２】特開平７−１６７７８９号公報（図６）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
このＯＶＤ法でガラス微粒子堆積体を生成の際に、中心棒の軸方向中央部から離れた両端部付近に付着するスートは、表面温度が中央部よりも低下しやすく、スート表面の温度が低下すると、その表面にガラス微粒子がうまく堆積できないことがある。そこで、この両端部に加熱させるためにバーナーを設け、常時、堆積したスートを所定の温度以上に保持させておく、などの対策を講じることが重要となっている。
【０００８】
さらに、このＯＶＤ法でガラス微粒子堆積体を製造する際に、ガラス微粒子がバーナーに付着・堆積すると、反応容器内の気流が乱れるなどして、バーナーの火炎が消える(以下、これを「消火」とよぶ)ことがある。従って、中心棒の両端部付近にバーナーを設けてスート表面を加熱させるようにした構成であっても、このバーナーが消火すると、スート表面の温度が低下してガラス微粒子が堆積しなくなるなどのトラブルをもたらし、良好なガラス微粒子堆積体を製造できなくなる。
【０００９】
このような事情から、炎検出器を任意の箇所に設けてバーナーの消火の発生を検知することも検討されている。炎検出器の検出範囲によっては、一方のバーナーが消化した場合でも他方のバーナーが点火中であれば、炎検出器は点火中のバーナーの炎を検知してしまう虞がある。その結果、消化したことを検知できないまま消火したバーナーからＯ２ガス、Ｈ２ガスなどが噴出し続けた状態で、他のバーナーが点火した状態のままであると、消化したバーナが予期せずに再点火することが考えられる。
【００１０】
本発明の目的は、ＯＶＤ法でのガラス微粒子堆積体の製造の際に、点火中のバーナーのいずれかで消火が発生しても、確実にこれを検知して再点火による事故の発生を未然に防止できる安全性の高いガラス微粒子堆積体の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するため、本発明にかかるガラス微粒子堆積体の製造方法は、反応容器内で、ＯＶＤ法により、複数のバーナーを用いてガラス微粒子を生成して堆積させガラス微粒子堆積体を製造するガラス微粒子堆積体の製造方法であって、
前記ガラス微粒子堆積体の端部を加熱するバーナーの火炎の有無を、他のバーナーの火炎の有無を検知する検知器とは別の検知器を用い、前記他のバーナーの火炎の光学的影響を排除した状態において光学的に検知し、火炎の有無に異常がある場合は、それを表示することを特徴とする。
【００１２】
また、本発明にかかるガラス微粒子堆積体の製造方法は、前記ガラス微粒子堆積体を前記複数のバーナーに対し往復移動させるとともに、前記端部を加熱するバーナーと前記別の検知器とを前記ガラス微粒子堆積体に対し同じ位置となるように連動して移動させることが望ましい。
【００１３】
また、本発明に係るガラス微粒子堆積体の製造方法は、前記別の検知器は、前記複数のバーナーに対し前記他のバーナー側に配置され、視野範囲が前記端部の移動範囲となるように前記別の検知器の検知方向が設定されていることが望ましい。
【００１４】
また、本発明に係るガラス微粒子堆積体の製造方法は、前記反応容器内は、火炎から出射する紫外線の反射を低減させるか、若しくは紫外線の反射を分散させるための内面加工がなされていることが望ましい。低減とは、ＡＲ（無反射）、コーティングなどで反射自体を抑制することをいう。
【００１５】
また、本発明に係るガラス微粒子堆積体の製造方法は、前記別の検知器は、前記他のバーナーからの火炎の特定の範囲のみが視野範囲となるように、その位置及び方向が設定されていることが望ましい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、ＯＶＤ法でのガラス微粒子堆積体の製造の際に、点火中のバーナーのいずれかで消火が発生しても、確実にこれを検知して予期せぬ再点火による事故等の発生を未然に防止できる安全性の高いガラス微粒子堆積体の製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態について、添付図面を参照しながら詳細に説明する。
(第１実施形態)
図１は、本発明の第１実施形態に係る、ＯＶＤ法でガラス微粒子堆積体を製造するためのＯＶＤ装置１Ａを示すものであり、このＯＶＤ装置１Ａは、反応容器２の内部に中心棒３の上端部を取付けて吊り下げた往復移動機構４と、中心棒３の下端部に取付けた回転機構５と、反応容器２に固定して取付けた主バーナー６と、主バーナー６の上下両端側に設けた補助バーナー７と、主バーナー６の点火状態を検知する主検知器８と、補助バーナー７の点火状態を検知する補助検知器９と、制御部１０とを備えている。
【００１８】
反応容器２は、上下方向に長く伸長した長尺状に形成されており、上部に中心棒３を挿入する開閉口を設けているとともに、側部に図示外の排気管と連結された図示しない排気口を設けている。また、この反応容器２には、内部に中心棒３が回転自在に、かつ、上下方向に移動可能に収容されている。
【００１９】
中心棒３は、スート状のガラス微粒子が表面に付着して堆積するときのターゲットとなる長尺棒状の石英材からなるものであって、回転しながらスート状のガラス微粒子が徐々に付着・堆積してガラス微粒子堆積体２０が生成されるようになっている。
【００２０】
往復移動機構４は、中心棒３の長手方向の一定長（例えば、略全長）にわたり主バーナー６から後述する原料ガスを吹き付けるようにするため、その中心棒３を主バーナー６に対して相対移動させる。本実施形態の往復移動機構４は、モータ及びボールねじ(これらはいずれも図示しない)と、このボールねじに螺合しながら上下に移動する吊下部材４１と、この吊下部材４１に上端部が一体に固着されているとともに下端部が後述する軸受け部材４３に固着された支持部材４２などで構成されており、中心棒３を一定範囲Ｓ１（図２参照）で上下方向に往復移動（トラバース）させることができる。吊下部材４１には、上述したボールねじが螺合する雌ねじが切られており、図示外の適宜の部材によって回転動作が阻止されて上下方向にスライド動作を行う。また、この吊下部材４１には、中心棒３の上端を着脱自在に把持するため、図では示されていないが、チャックを一体に取付けている。支持部材４２は、主要部分が反応容器２の内部に収容されており、スライド部材４１と一体になって上下方向に移動しながら中心棒３を上下方向に移動させる。
【００２１】
回転機構５は、中心棒３の軸方向の一定長にわたりスート状のガラス微粒子を付着・堆積させ、ガラス微粒子堆積体２０を形成する際に、外周方向の全面にわたりガラス微粒子を堆積させるため、中心棒３を主バーナー６に対して回転させる。本実施形態の回転機構５は、支持部材４２の下端部に取付けた軸受け部材４３と一体に固着されたモータ５１と、中心棒３の下端と一体に取付けた（モータ５１の）回転軸５２とを備えている。
【００２２】
主バーナー６は、反応容器２の内部で往復移動する中心棒３に対して加熱させながら気相酸化反応でシリカ及びドーパントをガラス微粒子として生成させて堆積させるため、原料ガスを火炎状に噴出させ供給させる。本実施形態では、中心棒３のほうを移動させることで中心棒３の一定長（略全長）にガラス微粒子を堆積させるため、主バーナー６は、複数本のものを反応容器２の長手方向の中央部付近に固設させている。
【００２３】
補助バーナー７では、中心棒３の両端部に堆積するスートの表面温度が低くなりやすいといった事情を考慮し、中心棒３の両端部近傍に堆積するスート表面を常時加熱させる。本実施形態では、この補助バーナー７を、常時、中心棒３の両端部近傍に対向配置させるように構成している。具体的には、ノズルが中心棒３の中心部寄りに指向するように傾斜させた状態で、支持部材４２の所定位置２箇所に固設させた、補助バーナー７Ａ、７Ｂで構成している。これにより、中心棒３の両端部近傍のスート表面にも、主バーナー６から供給される原料ガスで生成されるシリカの微粒子を効率的に付着させることができる。なお、中心棒３のスートを積層させるべき所定領域の各端部まで主バーナー６で原料ガスを噴出させるようになっているため、補助バーナー７は、原料ガスを噴出させる必要がない。従って、燃料ガスであるＨ２ガスだけを火炎状態で噴出させるようになっている。従って、燃料ガス（水素や都市ガス等）・燃焼補助ガス（酸素）を火炎状態で噴出させるようになっている。
【００２４】
主検知器８は、複数本からなる主バーナー６の全ての点火状態を検知するものであり、その検知範囲の一例が図１では点線で示されており、略三角形状である。主検知器８では、消火状態のときには出射することがないが、点火状態のときに火炎とともに出射する紫外線を検知することで、点火状態を検知する。即ち、本実施形態では、バーナー６から火炎とともに出射する光線のうち、赤外光や可視光よりも短波長でエネルギー的に高い紫外線に着目し、これを検知することで火炎の有無、つまり点火状態を確実に検知させる。
なお、主検知器８は、本実施形態の場合、反応容器２中央部分に膨出させて設けた検知器設置部２１において、それぞれの主バーナー６のノズルの先端近傍を含むエリアが検知範囲となるように検知方向を調整した状態で設置されている。即ち、中心棒３の外周面にスート状のガラス微粒子を付着・堆積することによって徐々にその外径寸法が増大しても、ノズルの先が隠れることがないような向きで設置されている。また、この主検知器８は、出力が制御部１０の入力に接続されており、主検知器８から出力された検知信号が制御部１０に入力する。
【００２５】
補助検知器９は、上下にある各補助バーナー７の点火状態を検知するものであり、主検知器８と同様、各補助バーナー７の火炎とともに出射する紫外線を検知できるものが用いられている。この補助検知器９は、本実施形態の場合、検知器設置部２１において、各補助バーナー７のノズルの先端近傍を含むエリアが検知範囲となるように検知方向を調整した状態で２箇所に設置されており、補助検知器９Ａ、９Ｂで構成している。補助検知器９Ａ、９Ｂの検知範囲の一例が図１の点線で示されており、略三角形状となっている。補助検知器９も、中心棒３の外周面にスート状のガラス微粒子を付着・堆積することによって徐々にその外径寸法が増大しても、ノズルの先が隠れることがないような向きで設置されている。しかも、補助検知器９は、図２（Ａ）から(Ｃ)に示すように、補助バーナー７が中心棒３の上下移動動作とともに連動しても、その補助バーナー７の移動範囲の全てを検知エリアがカバーされるような配置状態で設置されている。このときに、補助検知器９と主検知器８とが、その検知範囲や検知方向が重複しないように、それぞれの範囲や方向が特定されている。従って、バーナーの火炎の有無を検知する際には、補助検知器９と主検知器８とは互いに光学的影響が排除されているので、誤検知することがないようになされている。また、補助検知器９も、出力が制御部１０の入力に接続されており、補助検知器９から出力された検知信号が制御部１０に入力する。
【００２６】
なお、これらの補助検知器９は、図１のような状態で配置されるのではなく、図３（Ａ）に示すように、補助バーナー７を固定している支持部材４２の所定位置２箇所に固設させておき、補助バーナー７との相対位置に変動がないように構成してもよい。また、このような構成とした場合には、同図（Ｂ）及び(Ｃ)に示すように、支持部材４２の移動とともに補助検知器９が移動する際に、主バーナー６と接触することないようにするため、中心棒３の周方向における設置位置を主バーナー６の設置方向からずらした向きで設置する。
【００２７】
制御部１０は、主検知器８及び補助検知器９からの検知信号に基づき、この主検知器８及び補助検知器９にそれぞれ対応する主バーナー６及び補助バーナー７の点火状態を確認する。また、制御部１０は、これらのいずれかのバーナーに火炎が消える消火状態が発生すると、直ちにその消えたバーナーを再点火させるようになっている。なお、この消火状態が発生すると、同時に、これを外部に音声で警告したり、ランプによる点滅や表示板を用いた表示等により警告表示して作業者などに知らせるような構成にしてもよい。
【００２８】
ＯＶＤ装置１Ａが始動し、往復移動機構４が作動する一方、回転機構５を作動しながら、主バーナー６及び補助主バーナー７が点火を開始する。これにより、軸を中心に回転を開始する中心棒３の長手(上下)方向に対して、主バーナー６が、例えば図２（Ａ）から(Ｃ)に示すように一定範囲内で上昇移動(トラバース)していくので、主バーナー６からの原料ガスが、中心棒３の軸方向の一定長にわたって吹き付けられていく。
【００２９】
また、各補助バーナー７は中心棒３の各端部に対して相対的な位置が常時不変の状態で対向しているので、各補助バーナー７からの火炎が中心棒３の軸方向の両端部側に常時吹き付けられ、一定の温度に加熱される。従って、主バーナー６からの原料ガスが中心棒３の略中央部付近のスート表面に吹き付けられているときにも、中心棒３の両端部付近のスート表面は、補助バーナー７で加熱され続けているので、温度が低下することがない。その後、主バーナー６が中心棒３の両端部付近に近づいたときには、それまでこの両端部付近のスートの表面が補助バーナー７で加熱されていたことから、主バーナー６からの原料ガスで生成されるシリカなどの微粒子がそこに効果的に付着されていく。
【００３０】
しかも、本実施形態では、主バーナー６及び補助バーナー７のそれぞれの点火状態を確認するために、それぞれのバーナーに対応して主検知器８及び補助検知器９を設けている。従って、例えば、図２（Ａ）に示すように、主バーナー６が最下降した位置では、主バーナー６及び補助バーナー７に対応したエリアでの紫外線の通過を、それぞれ、主検知器８及び補助検知器９で検知できる。同様に、図２（Ｂ）に示すように、主バーナー６が中央に位置する場合でも、主バーナー６及び補助バーナー７に対応したエリアでの紫外線の通過を、それぞれ、主検知器８及び補助検知器９で検知できる。また、図２（Ｃ）に示すように、主バーナー６が最上昇した位置でも、主バーナー６及び補助バーナー７に対応したエリアでの紫外線の通過を、それぞれ、主検知器８及び補助検知器９で検知できる。
【００３１】
次に、本発明の第２実施形態について、図４、図５を参照しながら説明する。なお、本実施形態において、第１実施形態と同一部材には同一符号を付して重複説明を避ける。
本実施形態のＯＶＤ装置１Ｂでは、複数のバーナー１１、１２が反応容器２に固設された状態で中心棒３の軸方向の一定長(例えば、略全長)にわたって並設されている。また、本実施形態でも、中心軸３の方を移動させるため、往復移動機構４と回転機構５は、第１実施形態と同一構成のものが用いられているが、図４及び図５では、説明の都合上、往復移動機構４の支持部材４２及び制御部１０などを省略している。
【００３２】
バーナー１１は、火炎とともに原料ガスを噴出させるものであり、第１実施形態の主バーナー６と同一構成を有するものを、中心棒３の軸方向に沿ってスートを形成すべき長さよりも若干短い一定長さに亙り複数並設させている。このような構成を有する本実施形態では、図５に示すように、中心棒３が往復する移動量がＳ２となるので、第１実施形態の移動距離（Ｓ１）に比べて移動距離が少なくて済む。
【００３３】
また、前述したように、中心軸３は往復移動させる距離が短いので、端部の温度が低下することがない。従って、バーナー１１の最も外側(両端部)に設置するバーナー（以下、これを「両端バーナー」とよぶ）１２（１２Ａ，１２Ｂ）は、中心棒３の端部寄りにあっても温度の低下が大きくないので、第１実施形態のような加熱専用とせず、スートの表面を加熱させるのと同時に原料ガスも噴出させ、シリカなどの微粒子をその端部寄りのスート表面に付着させる。これにより、バーナー１１から供給される原料ガスで生成されるシリカの微粒子は、中心棒３の両端部寄りに堆積するスート表面にも、効果的に付着させることができる。
このように、両端バーナー１２（１２Ａ，１２Ｂ）は、第１実施形態の補助バーナー７とは異なり、中心棒３の両端部近傍に向けて火炎と原料ガスを吹き付けるようになっているため、両端バーナー１２（１２Ａ，１２Ｂ）と、この両端バーナー１２（１２Ａ，１２Ｂ）以外の残りの全てのバーナー１１とは、第１実施形態の主バーナー６と同一構成を有する。
【００３４】
さらに、本実施形態の反応容器２には、各バーナー１１、１２と対向する位置に、それぞれのバーナー１１、１２の点火状態を検知する検知器１３、１４を取付けている。なお、この検知器１３、１４は、それぞれ、第1実施形態の主検知器８及び補助検知器９と同様の構成のものが用いられており、バーナー１１、１２から火炎が噴出するときにこれとともに出射する紫外線を検出する。
【００３５】
従って、本実施形態によれば、往復移動機構４と回転機構５を作動させながら、両端バーナー１２とバーナー１１を点火させ、火炎状の原料ガスを中心棒３の軸方向に沿った一定長に亙り短い時間周期で繰り返し吹き付けることができる。
【００３６】
即ち、例えば図５（Ａ）から(Ｃ)に示すように、中心棒３が回転しながら昇降（又は降下）していく動作を繰り返すので、バーナー１１、１２の方は、相対的に、中心棒３の長手(上下)方向に沿って一定の範囲Ｓ２で昇降（又は上昇）することとなる。これにより、各バーナー１１、１２からの原料ガスを、中心棒３の下部側から上部側まで軸方向の一定長にわたって吹き付けることができる。特に両端バーナー１２は原料ガスとともに火炎を中心棒３の長手(上下)方向の両端部付近に吹き付け加熱させるので、両端部付近の温度が低下することがなくなる。
【００３７】
即ち、中心棒３が例えば図５（Ａ）に示す最上昇位置のところでは、両端バーナー１２のうち下端部に設けたバーナー１２Ｂで中心棒３の下端部を加熱させることができる。また、中心棒３が図５（Ｃ）に示す最降下位置でも、両端バーナー１２のうち上端部に設けたバーナー１２Ｂで中心棒３の上端部を加熱させることができる。
従って、中心棒３に堆積するスート表面の上端部から下端部まで、スート表面にシリカの微粒子を効率的に付着できる。
【００３８】
しかも、本実施形態では、バーナー１１及び両端バーナー１２のそれぞれの点火状態を確認するために、それぞれのバーナーに対応して検知器１３及び検知器１４を設けている。従って、例えば、中心棒３が、図５（Ａ）に示す最上位置、図２（Ｂ）に示す中央位置、図２（Ｃ）に示す最下位置のいずれであっても、それぞれのバーナーに対応して設けた検知器１３及び検知器１４が、それぞれのバーナーに対応したエリアで、それぞれのバーナーから出射される紫外線の通過を確実に検知できる。
【００３９】
次に、本発明の第３実施形態について、図６を参照しながら説明する。なお、本実施形態において、第１実施形態と同一部材には同一符号を付して重複説明を避ける。
本実施形態のＯＶＤ装置１Ｃでは、反応容器１５が光沢のあるニッケル合金製のもので形成してあるが、第１実施形態の反応容器２とは異なり、その内壁面全体に紫外線の反射を低減させたり、或いは、紫外線の反射を分散させる紫外線反射抑制手段１６を設けてある。
【００４０】
この紫外線反射抑制手段１６は、例えば反応容器１５内壁面の光沢を除去するために、つや消しコーティングを施したものでもよいし、反応容器１５内壁面をサンドペーパーで研磨して微細な凹凸を付与し紫外線の反射を防止又は抑制してもよい。さらに、この紫外線反射抑制手段１６としては、主検知器８及び補助検知器９での検出対象とする紫外線の固有波長に対応して、その波長の紫外線を吸収させる誘電体多層膜などを成膜し、より確実に紫外線の反射を防止してもよい。
【００４１】
これにより、主バーナー６及び補助バーナー７から出射する紫外線は、反応容器１５内壁面の紫外線反射抑制手段１６で反射するのが防止される。従って、主検知器８及び補助検知器９では、対向する主バーナー６及び補助バーナー７から出射する紫外線のみを確実に検知することができ、他のバーナーからの紫外線が誤って入射して誤検知することが防止できる。
【００４２】
なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の形態で実施し得るものである。即ち、第１、第２実施形態のように、中心棒を重力の作用する鉛直方向に沿って縦向きに配置させるのではなく、水平方向に横向きに配置させるような構成であってもよい。また、第１、第２実施形態では、中心棒とバーナーとの間で相対移動を行わせるため中心棒のほうを往復移動させたが、逆に、バーナー（補助バーナーを除く）の方を中心棒の軸方向に沿ってトラバースさせるような構成であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の第１実施形態に係るＯＶＤ法でガラス微粒子堆積体を製造するためのＯＶＤ装置を示す概略構成図である。
【図２】（Ａ）から（Ｃ）は図１に示すＯＶＤ装置の作用を示す説明図である。
【図３】図１に示すＯＶＤ装置の変形例を示す概略構成図である。
【図４】本発明の第２実施形態に係るＯＶＤ法でガラス微粒子堆積体を製造するためのＯＶＤ装置を示す概略構成図である。
【図５】（Ａ）から（Ｃ）は図４に示すＯＶＤ装置の作用を示す説明図である。
【図６】本発明の第３実施形態に係るＯＶＤ法でガラス微粒子堆積体を製造するためのＯＶＤ装置を示す概略構成図である。
【図７】各種のガラス微粒子堆積体の製造方法を示すものであり、それぞれ、（Ａ）はＶＡＤ法、（Ｂ）はジャケット法、（Ｃ）はＯＶＤ法を示す模式図である。
【図８】ＶＡＤ法を用いた従来のＶＡＤ装置を示す概略構成図である。
【図９】ＶＡＤ法を用いた従来の他のＶＡＤ装置を示す概略構成図である。
【符号の説明】
【００４４】
１Ａ、１Ｂ、１Ｃ  ＯＶＤ装置
２、１５  反応容器 
３  中心棒
４  往復移動機構
５  回転機構
６  主バーナー
７  補助バーナー
８  主検知器
９  補助検知器
１０  制御部
１１  バーナー
１２（１２Ａ，１２Ｂ）  両端バーナー
１３、１４  検知器
１６  紫外線反射抑制手段
２０  ガラス微粒子堆積体
【図１】
2008094680.tif 000003
【図２】
2008094680.tif 000004
【図３】
2008094680.tif 000005
【図４】
2008094680.tif 000006
【図５】
2008094680.tif 000007
【図６】
2008094680.tif 000008
【図７】
2008094680.tif 000009
【図８】
2008094680.tif 000010
【図９】
2008094680.tif 000011