(57)【要約】【課題】排気方向の変換を自動で行うことができる半導体テスタ装置を実現する。【解決手段】側面にファンが取り付けられたテストヘッドを有する半導体テスタ装置において、前記側面に一端側が回動自由に支持された少なくとも１個のルーバー本体と、このルーバー本体の他端側の一端を回動自由に連結するリンクバーと、このリンクバーに連結されこのリンクバーに鉛直方向の加重を印加する鉛直方向加重印加手段とを具備したことを特徴とする半導体テスタ装置である。【選択図】図１
2008187078.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
側面にファンが取り付けられたテストヘッドを有する半導体テスタ装置において、
前記側面に一端側が回動自由に支持された少なくとも１個のルーバー本体と、
このルーバー本体の他端側の一端を回動自由に連結するリンクバーと、
このリンクバーに連結されこのリンクバーに鉛直方向の加重を印加する鉛直方向加重印加手段と
を具備したことを特徴とする半導体テスタ装置。
【請求項２】
前記リンクバーは対向して２個設けられ、
前記鉛直方向加重印加手段は、一方のリンクバーの一端に一端が接続され他方のリンクバーの一端に他端が接続された棒状のウェイトを有すること
を特徴とする請求項１記載の半導体テスタ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、手間が掛かる排気方向の変換を自動で行うことができる半導体テスタ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体テスタに関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−１３７０５８号公報
【０００４】
図４は従来より一般に使用されている従来例の構成説明図で、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は平面図である。
図５はテストヘッド１に、排気ダクト６を取付けた図である。
【０００５】
図において、１は半導体検査装置のテストヘッド、２はテストヘッドに取付けられた上部カバー、３は検査半導体取付部、４は計測用回路モジュール基板で、テストヘッド１内に複数枚内蔵されている。
５はテストヘッド１の側面に取付けられ、計測用回路モジュール基板４を強制空冷するためのファンである。
【０００６】
ファン５は複数取付けられ、計測用回路モジュール基板４を冷却する空気はＡ方向に流れている。
図５はテストヘッド１に、排気ダクト６を取付けた図で、（ａ）はテストヘッド１の通常位置状態図、（ｂ）は１８０度回転させてプローバにドッキングさせた位置状態図である。
排気ダクト６によりファン５からの排気がＢまたはＣ方向に曲げられ排出される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
このような装置においては、以下の間題点がある。
半導体テスタ装置はクリーンルーム内で使用されるため、テストヘッド１を冷却したファン５からの排気を、クリーンルームの床方向に排出する必要がある。
クリーンルーム全体のダウンフローに合せるためである。
【０００８】
そのため通常は、図４のＡ方向の排気を、図５の排気ダクト６を取付けＢ方向に曲げて排出している。
ここで問題は、テストヘッド１を半導体ウェハの検査に使用する場合は、テストヘッド１を１８０度回転させてプローバにドッキングさせて検査を行うため、排気ダクト６からの排出方向が天井方向を向いてしまう。
【０００９】
よって、排気ダクト６を１８０度回転させて取付け直して、Ｃ方向に排出する必要がある。
このようにテストヘッド１の使用方向に合せて、排気ダクト６を取付け直す必要があり、非常に手間が掛かっている。
即ち、プローバのテストヘッド旋回装置により、テストヘッド１を回転させる都度行う必要がある。
【００１０】
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、手間が掛かる排気方向の変換を自動で行うことができる半導体テスタ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
このような課題を達成するために、本発明では、請求項１の半導体テスタ装置においては、
側面にファンが取り付けられたテストヘッドを有する半導体テスタ装置において、前記側面に一端側が回動自由に支持された少なくとも１個のルーバー本体と、このルーバー本体の他端側の一端を回動自由に連結するリンクバーと、このリンクバーに連結されこのリンクバーに鉛直方向の加重を印加する鉛直方向加重印加手段とを具備したことを特徴とする。
【００１２】
本発明の請求項２の半導体テスタ装置においては、請求項１記載の半導体テスタ装置において、
前記リンクバーは対向して２個設けられ、前記鉛直方向加重印加手段は、一方のリンクバーの一端に一端が接続され他方のリンクバーの一端に他端が接続された棒状のウェイトを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の請求項１によれば、次のような効果がある。
テストヘッドの回転により自動的にルーバーの方向が変わることで、テストヘッドの状態によらず、いつでも排気方向を床方向に保てる半導体テスタ装置が得られる。
機構が簡単でローコストで実現できる半導体テスタ装置が得られる。
手間が掛かる排気ダクトの付け替えが不要となる半導体テスタ装置が得られる。
【００１４】
鉛直方向加重印加手段の重さによりルーバーの方向を変えるため、動力源を必要としない半導体テスタ装置が得られる。
鉛直方向加重印加手段により風圧に負けてルーバーが動くことはなく、またルーバー位置のロック機構も不要な半導体テスタ装置が得られる。
【００１５】
本発明の請求項２によれば、次のような効果がある。
リンクバーは対向して２個設けられ、鉛直方向加重印加手段は、一方のリンクバーの一端に一端が接続され他方のリンクバーの一端に他端が接続された棒状のウェイトを有するので、機構が簡単でローコストで実現できる半導体テスタ装置が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図１は本発明の一実施例の要部構成説明図で、（ａ）はテストヘッド１の通常位置状態図、（ｂ）は１８０度回転させてプローバにドッキングさせた位置状態図、（ｃ）は平面図で、上部カバー２、検査半導体取付部３を取外し内部の計測用回路モジュール基板４が見える様にした図である。
【００１７】
図２は図１の要部構成説明図で、（ａ）はテストヘッド１の通常位置状態図、（ｂ）は１８０度回転させてプローバにドッキングさせた位置状態図である。
図３は図２（ａ）の要部構成説明図である。
図において、図４と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図４との相違部分のみ説明する。
【００１８】
図１において、ルーバボックス１１は、ファン５が取り付けられたテストヘッド１の側面に取り付けられている。
ルーバボックス１１には、ルーバ本体１２が複数取付けられている。
各ルーバ本体１２の一端側には突出部１２１が設けられていて、ルーバボックス１１に設けられた取付穴１１１に回転自由に保持されている。
【００１９】
各ルーバ本体１２の他端側には突出部１２２が設けられている。
リンクバー１３は、リンクバー１３に設けられた取付穴１３１に突出部１２２が回転自由に保持されて、各ルーバ本体１２の他端側を連結する。
【００２０】
リンクバー１３は、ルーバボックス１１の両側面に設けられている。
鉛直方向加重印加手段１４は、リンクバー１３に連結され、リンクバー１３に鉛直方向の加重を印加する。
この場合は、鉛直方向加重印加手段１４は、一方のリンクバー１３の一端に一端が接続され、他方のリンクバー１３の一端に他端が接続された棒状のウェイトを有する。
【００２１】
以上の構成において、図２（ａ）に示す如く、テストヘッド１の通常位置状態では、ウェイト１４の重さＷ１によりリンクバー１３が床方向に押され、リンクバー１３によりリンクされた各ルーバ本体１２は、図１（ａ）に示す如く、Ｄ方向を向く。
【００２２】
テストヘッド１が１８０回転した状態では、図２（ｂ）に示す如く、ウェイトの重さＷ２によりリンクバー１３が床方向に引張られ、各ルーバ本体１２は、図１（ｂ）に示す如く、Ｅ方向を向く。
【００２３】
リンクバー１３の移動範囲は、リンクバー１３の上下端がそれぞれルーバボックス１１の内面に突き当たることで制限されている。
結局、ルーバ本体１２はテストヘッド１の回転に伴い移動し、ファン５からの排気はルルーバ本体１２により排出方向が、テストヘッド１が正常時、１８０度回転時どちらの場合でも鉛直斜め床方向となる。
【００２４】
この結果、
テストヘッド１の回転により自動的にルーバー１２の方向が変わることで、テストヘッド１の状態によらず、いつでも排気方向を床方向に保てる半導体テスタ装置が得られる。
即ち、テストヘッド１の姿勢により自動的にルーバー１２の方向を変え冷却空気の排出方向を一定に保てる半導体テスタ装置が得られる。
機構が簡単でローコストで実現できる半導体テスタ装置が得られる。
手間が掛かる排気ダクト６の付け替えが不要となる半導体テスタ装置が得られる。
【００２５】
鉛直方向加重印加手段１４の重さによりルーバー１２の方向を変えるため、動力源を必要としない半導体テスタ装置が得られる。
鉛直方向加重印加手段１４により風圧に負けてルーバー１２が動くことはなく、またルーバー１２の位置のロック機構も不要な半導体テスタ装置が得られる。
【００２６】
リンクバー１３は対向して２個設けられ、鉛直方向加重印加手段１６は、一方のリンクバー１３の一端に一端が接続され他方のリンクバー１３の一端に他端が接続された棒状のウェイト１４を有するので、機構が簡単でローコストで実現できる半導体テスタ装置が得られる。
【００２７】
要するに、ルーバー１２の保持を突出部１２１，１２２と取付穴１１１，１３１のみで構成し、保持と回転の機能を簡単なローコスト機構で実現できる半導体テスタ装置が得られる。
【００２８】
なお、前述の実施例においては、ウェイト１４に付いて、テストヘッド１の上面側に設けられていると説明したが、これに限ることはなく、例えば、テストヘッド１の下面側に設けられても良く、要するに、リンクバー１３に鉛直方向の加重を印加するものであれば良い。
【００２９】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図１の要部構成説明図である。
【図３】図２の要部構成説明図である。
【図４】従来より一般に使用されている従来例の構成説明図である。
【図５】図４に排気ダクトを取付けた図である。
【符号の説明】
【００３１】
１      テストヘッド
２      上部カバー
３      検査半導体取付部
４      計測用回路モジュール基板
５      ファン
６      排気ダクト
１１    ルーバボックス
１１１  取付穴
１２    ルーバ本体
１２１  突出部
１２２  突出部
１３    リンクバー
１３１  取付穴
１４    ウェイト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2008187078.tif 000006
【図５】
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