(57)【要約】【課題】洗浄後の板状部材の乾燥に際し、確実に洗浄液を除去して乾燥斑の発生を抑制する。【解決手段】  孔ＳHを有する板状部材Ｓに気体を吹き付けて乾燥させる乾燥ユニット1であって、扁平空間20の一端が気体供給口12となされ他端がスリット状の気体吹出口23となされたフード22を有し、このフード22が前記板状部材Ｓの少なくとも一部を覆い、かつ前記気体吹出口23のスリット長さＬが前記板状部材Ｓの最大径Ｄよりも長く形成されているフード型ノズル10と、前記板状部材Ｓの孔ＳHに挿入して該板状部材Ｓを装架して吊下げ、前記フード型ノズル10に対して相対的に上下方向に移動可能となされた吊下げシャフト30とを備えることを特徴とする。【選択図】  図２Ａ
2008096024.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
孔を有する板状部材に気体を吹き付けて乾燥させる乾燥ユニットであって、
扁平空間の一端が気体供給口となされ他端がスリット状の気体吹出口となされたフードを有し、このフードが前記板状部材の少なくとも一部を覆い、かつ前記気体吹出口のスリット長さが前記板状部材の最大径よりも長く形成されているフード型ノズルと、
前記板状部材の孔に挿入して該板状部材を装架して吊下げ、前記フード型ノズルに対して相対的に上下方向に移動可能となされた吊下げシャフトとを備えることを特徴とする乾燥ユニット。
【請求項２】
前記フードは前記板状部材の最大径部分までを覆う長さに形成されている請求項１に記載の乾燥ユニット。
【請求項３】
前記フード内に前記板状部材の外周縁に当接する押さえローラーが取り付けられている請求項１または２に記載の乾燥ユニット。
【請求項４】
前記フードの扁平空間は気体供給口側から気体吹出口側に向かって広がる末広がり状に形成されている請求項１〜３のいずれかに記載の乾燥ユニット。
【請求項５】
前記フードの下端縁に前記吊下げシャフトを受け入れる受入凹部が形成されている請求項１〜４のいずれか１項に記載の乾燥ユニット。
【請求項６】
前記吊下げシャフトは内部に気体供給路を有する筒状体であり、該筒状体の外周面上側に前記板状部材を装架する溝を有するとともに、この溝の下側に前記気体供給路に連通する気体吹出口を有する請求項１〜５のいずれかに記載の乾燥ユニット。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかに記載された乾燥ユニットを用い、
吊下げシャフトに装架して吊り下げた板状部材をフード型ノズルのフードで覆い、前記乾燥ユニットに気体を供給して乾燥させることを特徴とする板状部材の乾燥方法。
【請求項８】
前記板状部材は中心に孔を有する円形の磁気ディスク基板である請求項７に記載の板状部材の乾燥法。
【請求項９】
請求項１〜６のいずれかに記載された乾燥ユニットと、
前記乾燥ユニットに気体を供給する気体供給部と、
前記乾燥ユニットのフード型ノズルに対して相対的に吊下げシャフトを上下方向に移動させる昇降ユニットと、
洗浄液を貯留して板状部材を浸漬する洗浄槽と、
前記乾燥ユニットを上下に移動させ、洗浄槽中の板状部材を吊下げシャフトに装架して吊り下げる乾燥ユニット移動装置とを備えることを特徴とする洗浄乾燥装置。
【請求項１０】
前記乾燥ユニットを下方から覆い、吹き飛ばした液滴を下方に吸引して除去する吸引ボックスを有する請求項９に記載の洗浄乾燥装置。
【請求項１１】
前記洗浄槽中で板状部材を移動させる板状部材移動装置を有する請求項９または１０に記載の洗浄乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、磁気ディスクや光ディスクの基板として用いられる板状部材、特に磁気ディスクや光ディスクの基板として用いられる板状部材を乾燥させる乾燥ユニット、およびこの乾燥ユニットを組み込んだ洗浄乾燥装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスクや光ディスクに用いられる基板は、研磨や成膜後に洗浄が行われ、洗浄後はディスクに付着した洗浄液を除去して乾燥させなければならない。ディスクの乾燥方法としては、ディスクをチャッキングして高速回転させ、遠心力で洗浄液を吹き飛ばして乾燥させるのが一般的である。
【０００３】
しかしながら、遠心力で吹き飛ばしてもディスクとチャック部材との当接部分に滞留した洗浄液を完全に除去することは困難であった。洗浄液が残留していると、ディスクを離した時にディスク表面に流れ出して乾燥斑を発生させ、ひいては記録媒体としての性能が低下する原因となる。このため、遠心力による除去に加えて、当接部分に滞留する洗浄液を除去する方法が提案されている（特許文献１、２参照）。
【０００４】
特許文献１に記載された乾燥装置は、ディスクの内周縁部を把持するチャック部材の把持面に通気孔を設け、スピンドルの高速回転によって通気孔から回転方向の後方にエアを流通させて洗浄液をディスク表面に流出させ、遠心力により吹き飛ばすというものである。また、特許文献２に記載された乾燥装置は、ディスクを把持するチャック部材においてディスクに接触しない非接触部を設けて空気流を発生させ、接触部分に滞留した洗浄液を負圧吸引して外部に飛散させるというものである。
【特許文献１】特許第２７８２８３８号公報
【特許文献２】特開２００３−２５７０１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述した乾燥装置よってもディスクとチャック部材の当接部分に滞留する洗浄液を完全に除去することができず、確実に洗浄液を除去できる乾燥装置が求められている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述した背景技術に鑑み、洗浄後の板状部材の乾燥に際し、確実に洗浄液を除去できる乾燥ユニット、およびこの乾燥ユニットを組み込んだ洗浄乾燥装置の提供を目的とする。
【０００７】
本発明の乾燥ユニットは下記［１］〜［６］に記載の各構成を有する。
【０００８】
［１］  孔を有する板状部材に気体を吹き付けて乾燥させる乾燥ユニットであって、
扁平空間の一端が気体供給口となされ他端がスリット状の気体吹出口となされたフードを有し、このフードが前記板状部材の少なくとも一部を覆い、かつ前記気体吹出口のスリット長さが前記板状部材の最大径よりも長く形成されているフード型ノズルと、
前記板状部材の孔に挿入して該板状部材を装架して吊下げ、前記フード型ノズルに対して相対的に上下方向に移動可能となされた吊下げシャフトとを備えることを特徴とする乾燥ユニット。
【０００９】
［２］  前記フードは前記板状部材の最大径部分までを覆う長さに形成されている前項１に記載の乾燥ユニット。
【００１０】
［３］
前記フード内に前記板状部材の外周縁に当接する押さえローラーが取り付けられている前項１または２に記載の乾燥ユニット。
【００１１】
［４］  前記フードの扁平空間は気体供給口側から気体吹出口側に向かって広がる末広がり状に形成されている前項１〜３のいずれかに記載の乾燥ユニット。
【００１２】
［５］  前記フードの下端縁に前記吊下げシャフトを受け入れる受入凹部が形成されている前項１〜４のいずれか１項に記載の乾燥ユニット。
【００１３】
［６］  前記吊下げシャフトは内部に気体供給路を有する筒状体であり、該筒状体の外周面上側に前記板状部材を装架する溝を有するとともに、この溝の下側に前記気体供給路に連通する気体吹出口を有する前項１〜５のいずれかに記載の乾燥ユニット。
【００１４】
本発明の板状部材の乾燥方法は下記［７］［８］に記載の各構成を有する。
【００１５】
［７］  前項１〜６のいずれかに記載された乾燥ユニットを用い、
吊下げシャフトに装架して吊り下げた板状部材をフード型ノズルのフードで覆い、前記乾燥ユニットに気体を供給して乾燥させることを特徴とする板状部材の乾燥方法。
【００１６】
［８］  前記板状部材は中心に孔を有する円形の磁気ディスク基板である前項７に記載の板状部材の乾燥法。
【００１７】
本発明の洗浄乾燥装置は、下記［９］〜［１１］に記載の各構成を有する。
【００１８】
［９］  前項１〜６のいずれかに記載された乾燥ユニットと、
前記乾燥ユニットに気体を供給する気体供給部と、
前記乾燥ユニットのフード型ノズルに対して相対的に吊下げシャフトを上下方向に移動させる昇降ユニットと、
洗浄液を貯留して板状部材を浸漬する洗浄槽と、
前記乾燥ユニットを上下に移動させ、洗浄槽中の板状部材を吊下げシャフトに装架して吊り下げる乾燥ユニット移動装置とを備えることを特徴とする洗浄乾燥装置。
【００１９】
［１０］  前記乾燥ユニットを下方から覆い、吹き飛ばした液滴を下方に吸引して除去する吸引ボックスを有する前項９に記載の洗浄乾燥装置。
【００２０】
［１１］  前記洗浄槽中で板状部材を移動させる板状部材移動装置を有する前項９または１０に記載の洗浄乾燥装置。
【発明の効果】
【００２１】
［１］に記載の発明にかかる乾燥ユニットによれば、板状部材の少なくとも一部がフードに覆われ、かつ板状部材の最大径よりもスリット長さの長い気体吹出口から噴出される気体が吹き付けられるから、磁気ディスク基板の両面の全域に気体が均一に吹き付けられて乾燥がなされる。このため、洗浄液の滞留がなく均一に乾燥させることができ、乾燥斑の発生を抑制することができる。
【００２２】
［２］に記載の発明にかかる乾燥ユニットによれば、気体の均一な吹き付けをより確実に行うことができる。
【００２３】
［３］に記載の発明にかかる乾燥ユニットによれば、板状部材を拘束して気流による磁気ディスク基板の揺れを防止することができる。
【００２４】
［４］に記載の発明にかかる乾燥ユニットによれば、扁平空間内で気体が整流されて均一な吹き付けをより確実に行うことができる。
【００２５】
［５］に記載の発明にかかる乾燥ユニットによれば、フードで板状部材をより深く覆うことができる。
【００２６】
［６］に記載の発明にかかる乾燥ユニットによれば、吊下げシャフトに遮られてフード型ノズルから噴出した気体が行き渡りにくい部分にも確実に吹き付けられ、より均一な吹き付けを行うことができる。
【００２７】
［７］に記載の発明にかかる板状部材の乾燥方法によれば、板状部材の両面に気体を均一に吹き付けることができ、洗浄液を滞留させることなく均一に乾燥させることができる。
【００２８】
［８］に記載の発明にかかる板状部材の乾燥方法によれば、磁気ディスク基板を均一に乾燥させることができる。
【００２９】
［９］に記載の発明にかかる洗浄乾燥装置によれば、洗浄槽で洗浄した板状部材に対し、乾燥ユニットで均一に乾燥させることができる。
【００３０】
［１０］に記載の発明にかかる洗浄乾燥装置によれば、吸引ボックスにおいて乾燥ユニットで吹き飛ばされた液滴を下方に吸引して除去し、液滴の再付着を防止することができる。
【００３１】
［１１］に記載の発明にかかる洗浄乾燥装置によれば、乾燥ユニットで乾燥を行っている間に、洗浄槽において次の板状部材の洗浄を行えるので作業効率が良い。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
［乾燥ユニット］
図１〜図３に、本発明の乾燥ユニットの一実施形態を示す。
【００３３】
乾燥ユニット(1)は、フード型ノズル(10)と吊下げシャフト(30)とを備え、円環状板体である磁気ディスク基板（Ｓ）の乾燥を行うものである。前記磁気ディスク基板（Ｓ）は中心に円形孔(ＳH)を有する。
【００３４】
フード型ノズル(10)は、板状の第１部材(11)と第２部材(21)とを閉じ合わせてこれらの間に扁平空間(20)を形成し、下端に気体吹出口(23)を有するフード(22)を形成したものである。
【００３５】
前記第１部材(11)は、上部側に２つの気体供給口(12)(12)が穿設され、チューブに接続するためプラグ(13)(13)が取り付けられている。一方、下部側の第２部材(21)との対向面には、第２部材(21)の板厚分が減肉されて合わせ部(14)が形成され、さらにこの合わせ部(14)の幅方向の一部がさらに減肉されて凹部(15)が形成されている。前記凹部(15)は、気体供給口(12)に連通する上端側で幅が狭く、気体吹出口(23)となる下端側に向かって広がる末広がり状に形成され、下端近くでは再び幅が僅かに縮小されている。換言すれば、凹部(15)の側壁(15a)は、上端から下端近くまでは外向きに傾斜し、下端近くから下端までがやや内向きに傾斜している。また、前記凹部(15)の下端縁には半円形の溝(16)が形成されている。
【００３６】
さらに、前記凹部(15)の幅方向の中央上部と左右側壁(15a)の下端近くの合計３箇所に、外周面に断面Ｖ字形の溝を有する押さえローラー(17a)(17b)がピン(18)で留め付けられている。前記凹部(15)は、中央の押さえローラ(17a)から下端までの高さ（Ｈ）が磁気ディスク基板（Ｓ）の半径（Ｄ／２）と等しく、下端幅（Ｌ）は磁気ディスク基板（Ｓ）の直径（Ｄ）よりもやや大きく形成され、凹部(15)内に磁気ディスク基板（Ｓ）の上半部が収まるように設定されている。(19)は第２部材(21)を組み付けるネジを挿入するためのネジ孔である。
【００３７】
前記第２部材(21)は厚さが一定の平板であり、下端縁に半円形の溝(26)が形成され、前記第１部材(11)のピン(18)およびネジ孔(19)に対応するピン孔(28)およびネジ孔(29)が設けられている。
【００３８】
図２Ａおよび図２Ｂに示すように、前記第１部材(11)の合わせ部(14)に第２部材(21)を閉じ合わせてネジ孔(19)(29)位置でネジ止めすると、第１部材(11)のピン(18)が第２部材のピン孔(28)に嵌合するとともに、第１部材(11)の凹部(15)が閉塞されて上下方向に連通する扁平空間(20)を有するフード(22)が形成され、フード(22)の下端にスリット状の気体吹出口(23)が開口形成される。前記気体吹出口(23)のスリット長さ（Ｌ）は前記凹部(15)の下端幅であり、スリット幅（Ｗ）は凹部(15)の側壁(15a)の高さである。また、前記フード(22)の下端縁には半円形の溝(16)(26)により吊下げシャフト(30)の受入凹部(24)が形成される。
【００３９】
図１および図３に示すように、吊下げシャフト(30)は、内部に気体供給路(31)を有し先端部が閉塞する筒状体であり、外周面上側に磁気ディスク基板（Ｓ）の円形孔(ＳH)の縁部を支持するＶ字溝(32)が設けられている。前記Ｖ字溝(32)の下側には前記気体供給路(31)に連通する気体吹出口(33)が設けられ、気体供給路(31)の基端部から供給される気体が吊下げシャフト(30)の下側に吹き出すように構成されている。
【００４０】
図２Ａおよび図２Ｂに示すように、上述した乾燥ユニット(1)において、吊下げシャフト(30)に装架した磁気ディスク基板（Ｓ）に上方から前記フード型ノズル(10)のフード(22)を被せる。フード型ノズル(10)の受入凹部(24)が吊下げシャフト(30)に被さるまで両者を近接させ、フード(22)の下端と磁気ディスク基板（Ｓ）の中心が同じ高さになると、磁気ディスク基板（Ｓ）の直径部分までがフード(22)に覆われる。また、フード(22)内においては、磁気ディスク基板（Ｓ）の外周縁を３つの押さえローラー(17a)(17b)に当接させることで磁気ディスク基板（Ｓ）が所定位置に位置決めされ、かつ押さえローラー(17a)(17b)と吊下げシャフト(30)との間に拘束される。磁気ディスク基板（Ｓ）を拘束することにより、気流による磁気ディスク基板（Ｓ）の揺れを抑制し、フード(22)との接触や接触による傷の発生を防止することができる。
【００４１】
そして、前記フード型ノズル(10)の気体供給口(12)および吊下げシャフト(30)の気体供給路(31)に気体（Ｇ）を同時に供給し、上から下に流れる気体流を磁気ディスク基板（Ｓ）に吹き付け、磁気ディスク基板（Ｓ）に付着している洗浄液を吹き飛ばして乾燥させる。即ち、前記フード型ノズル(10)において気体供給口(12)から扁平空間(20)内に噴出した気体（Ｇ）は、凹部(15)の末広がり状の側壁(15a)で整流されて扁平空間(20)の全幅に広がりながら磁気ディスク基板（Ｓ）の上半部の両面に沿って吹き下ろし、さらに気体吹出口(23)から噴出して磁気ディスク基板（Ｓ）の下半部の両面に沿って吹き下ろす。前記気体吹出口(23)のスリット長さ（Ｌ）は磁気ディスク基板（Ｓ）の直径（Ｄ）より大きく形成されているために、磁気ディスク基板（Ｓ）の全幅に同時に気体（Ｇ）が吹き付けられる。しかも、凹部(15)の側壁(15a)は下端近くから下端までがやや内向きに傾斜しているために、気体（Ｇ）は気体吹出口(23)から外方に広がることなくほぼ直下に噴出し、無駄なく磁気ディスク基板（Ｓ）に吹き付けられる。一方、前記吊下げシャフト(30)の気体吹出口(33)から噴出した気体（Ｇ）は吊下げシャフト(30)の下方に吹き下ろし、吊下げシャフト(30)に遮られてフード型ノズル(10)から噴出した気体（Ｇ）が行き渡りにくい部分にも吹き付けられる。これらにより、フード(22)に覆われている磁気ディスク基板（Ｓ）の上半部とフード(22)に覆われていない下半部はもとより、吊下げシャフト(30)に遮られている部分にも同時に気体（Ｇ）が行き渡り、磁気ディスク基板（Ｓ）両面の全域に付着している洗浄液が吹き飛ばされて乾燥する。
【００４２】
このように、瞬時に磁気ディスク基板（Ｓ）の両面全域に均一に気体（Ｇ）を吹き付けることにより、洗浄液が滞留することなく均一に乾燥させることができ、乾燥斑の発生を抑制することができる。また、磁気ディスク基板（Ｓ）は吊下げシャフト(30)に装架されているに過ぎず、磁気ディスク基板を高速回転させる従来の乾燥装置のように磁気ディスク基板を強く把持する必要がないから、磁気ディスク基板（Ｓ）と吊下げシャフト(30)の当接部分に洗浄液が滞留しにくい構造である。
【００４３】
乾燥に用いる気体（Ｇ）は限定されず、空気以外の気体でも用いることができる。また、乾燥速度を高めるために加熱させた圧縮気体を用いることが好ましい。気体（Ｇ）の種類、温度、圧力、吹き付け量は乾燥させる板状部材の材質や大きさ、あるいは洗浄液の種類に応じて適宜設定すれば良い。アルミニウム製の磁気ディスク基板（Ｓ）を水で洗浄した後の乾燥であれば空気を用いることが好ましく、気体（Ｇ）の好ましい温度は１８０〜２００℃である。また、前記磁気ディスク基板（Ｓ）が直径２５．４ｍｍ（１インチ）の場合に、好ましい気体圧力は、フード型ノズル(10)および吊下げシャフト(30)ともに０．７〜０．７５ＭＰａで、１枚当たりの好ましい吹き付け量は、フード型ノズル(10)では２００〜２６０リットル／ｍｉｎ、吊下げシャフト(30)では５０〜６０リットル／ｍｉｎである。
【００４４】
また、洗浄液も板状部材の材質や洗浄液の種類に応じて加熱しておくことが好ましい。例えば磁気ディスク基板（Ｓ）の洗浄の最終工程で使用するリンス液（純水）であれば６０〜８０℃の温水を用いることが好ましい。６０℃未満ではバクテリアが発生し易く、８０℃を超えると洗浄液から磁気ディスク基板（Ｓ）を引き上げたと同時に蒸散して乾燥が始まり、フード(22)を被せて気体（Ｇ）を吹き付ける前に部分的に乾燥するため却って乾燥斑が生じるおそれがある。
【００４５】
また、磁気ディスク基板（Ｓ）は吊下げシャフト(30)に装架されてフード型ノズル(10)の扁平空間(30)に挿入されるが、扁平空間(20)への出入りはフード型ノズル(10)と吊下げシャフト(30)とを相対的に上下移動させれば良い。このとき、どちらか一方を固定して他方のみを上下移動させても良いし、両者を移動させても良い。
【００４６】
本発明の乾燥ユニットおよびこの乾燥ユニットで乾燥させる板状部材は、上記実施形態に限定されない。
【００４７】
板状部材（Ｓ）は、孔（ＳH）を有し吊下げシャフト(30)を挿入して装架できるものであれば形状は限定されず、任意形状の板状部材（Ｓ）の乾燥を行うことができる。孔（ＳH）の位置も中心に限定されない。孔（ＳH）の位置が中心から偏位した板状部材（Ｓ）やであっても、フード(22)の下端縁に受入凹部(24)を設けることによって板状部材（Ｓ）を深く覆うことができ、最大径部分までフード(22)で覆うことができる。同様に、装架状態において最大径部分が吊下げシャフト(30)よりも下方に位置する板状部材（Ｓ）についても、最大径部分まで覆うことができる。
【００４８】
フード型ノズル(10)は、気体吹出口(22)のスリット長さ（Ｌ）が板状部材（Ｓ）の直径（Ｄ）よりも大きく形成されていれば良く、フード(22)が板状部材（Ｓ）の最大径部分までを被覆する長さに形成されていることは必須の構成要件ではない。しかし、板状部材（Ｓ）の最大径部分までを被覆することによって、気体（Ｇ）を均一かつ効率良く吹き付けることができ、ひいては乾燥斑の発生抑制効果が大きくなる。また、前記扁平空間(20)を末広がり状に形成することも必須の構成要件ではないが、末広がり状に形成することで扁平空間(20)に噴出される気体（Ｇ）を整流し、幅方向において板状部材（Ｓ）に吹き付ける気体（Ｇ）を均一にし、乾燥効果を高めることができる。
【００４９】
また、吊下げシャフト(30)は気体供給路(31)および気体吹出口(33)の無いものも本発明に含まれるが、乾燥時間を少しでも短縮したいときには気体供給路(31)および気体吹出口(33)のある吊下げシャフト(30)を選択し、気体吹出口(33)から気体（Ｇ）を吹き付ける方が有利である。
［磁気ディスク基板の洗浄乾燥装置］
図４は、上述した乾燥ユニット(1)を組み込み、磁気ディスク基板（Ｓ）の洗浄液による浸漬洗浄と乾燥とを連続して行う洗浄乾燥装置(2)である。
【００５０】
洗浄乾燥装置(2)において、洗浄液を入れる洗浄槽(40)と、この洗浄槽(40)に隣接して乾燥を行う吸引ボックス(41)が設置されている。磁気ディスク基板（Ｓ）はカセットケース（Ｃ１）に複数枚が収納され、カセットケース単位で洗浄槽(40)の手前に搬送され、洗浄と乾燥を連続して行い、乾燥後は移載装置(80)により吸引ボックス(41)前方のカセットケース（Ｃ２）に収納される。
【００５１】
前記洗浄槽(40)に供給される洗浄液は、図外の加温タンクで一定温度に調整され、加温タンク−洗浄槽(40)間を循環する温水であり、循環路上に設置されたフィルターによって不純物を除去した清浄温水である。
【００５２】
前記洗浄槽(40)および吸引ボックス(41)の両側に、洗浄槽(40)内で磁気ディスク基板（Ｓ）を水平方向に移動させるディスク移動装置(50)と、乾燥ユニット(1)を水平方向および垂直方向に移動させる乾燥ユニット移動装置(60)とが設置されている。
【００５３】
前記ディスク移動装置(50)は、洗浄槽(40)の側面と平行に設置されたラック(51)とこのラック(51)にかみ合わされるピニオンによってラック(51)上をスライドするスライダー(52)で構成されている。スライダー(52)の動作は図外の駆動制御装置によって行われる。また、このスライダー(52)に固定された屈曲アーム(53)の先端に、磁気ディスク基板（Ｓ）を垂直に立てた状態で保持するディスクホルダー(54)が２個取り付けられている。前記ディスクホルダー(54)の取付位置は磁気ディスク基板（Ｓ）が洗浄液中に浸かる深さに設定され、磁気ディスク基板（Ｓ）が洗浄液中に浸漬され、あるいはさらに前記スライダー(52)を移動させて洗浄液中を移動させることにより洗浄が行われる。
【００５４】
一方、乾燥ユニット移動装置(60)は、洗浄槽(40)の側面と平行に設置され水平移動を行う第１移動部(61)と、第１移動部(61)上に設置され垂直移動を行う第２移動部(62)とを有している。これらの移動部(61)(62)はそれぞれラックとピニオンの組合せによるものであり、第１移動部(61)の水平ラック(63)上を第２移動部(62)の垂直ラック(64)が水平方向にスライドする。そして、垂直ラック(64)上を上下方向に移動するスライダー(65)に、板状アーム(66)が洗浄槽(40)上方に突き出した状態で取り付けられている。前記第１移動部(61)および第２移動部(62)のスライド動作は図外の駆動制御装置により制御されている。
【００５５】
前記板状アーム(66)の前面側（吸引ボックス側）には、フード型ノズル(10)が昇降ユニット(67)を介して上下移動可能に取り付けられている。前記昇降ユニット(67)は、板状アーム(66)に固定したレール(68)と、このレール(68)上を図外のシリンダーへのエアの給排によって上下に移動するスライダー(69)とを組み合わせたものである。そして、前記スライダー(69)に取付用板(70)を介して２個のフード型ノズル(10)が固定されている。一方、前記板状アーム(66)の裏面側には、下方に突出する取付用シャフト(71)を介して吊下げシャフト(30)がフード型ノズル(10)側に突出するように固定されている。従って、前記吊下げシャフト(30)に装架された磁気ディスク基板（Ｓ）はフード型ノズル(10)を下降させることによってフード(22)に覆われる。
【００５６】
また、前記フード型ノズル(10)のプラグ(13)および吊下げシャフト(30)の開口端部はエアチューブ(72)(73)に連結され、図外の気体供給装置から所定の温度および圧力に設定された気体（Ｇ）が供給される。前記気体供給装置は、エアタンク、増圧器、ヒーター、塵除去フィルター、バルブ等により構成され、所定の温度および圧力に調整され、かつ清浄な気体（Ｇ）を乾燥ユニット(1)に供給することができる。
【００５７】
前記移載装置(80)は、図５に示すように、カセットケース（Ｃ２）を載置する載置テーブル(81)と、磁気ディスク基板（Ｓ）を保持して上下に移動可能なディスクホルダー(82)とを組み合わせた構成である。カセットケース（Ｃ２）の底部には長方形の孔(83)が穿設され、前記載置テーブル(81)にも前記孔(83)と同形の孔(84)が穿設されている。また、前記載置テーブル(81)は孔(84)の長手方向に移動可能となされている。一方、ディスクホルダー(82)は前記孔(83)(84)の幅よりも小さいものであり、支持柱(85)によって載置テーブル(81)およびカセットケース（Ｃ２）を貫通して上下に移動するものとなされている。そして、上昇させたディスクホルダー(82)で乾燥ユニット(1)の吊下げシャフト(30)から乾燥済みの磁気ディスク基板（Ｓ）を受け取り、ディスクホルダー(82)を下降させると磁気ディスク基板（Ｓ）がカセットケース（Ｃ２）内に残り、空になったディスクホルダー(82)のみが載置テーブル(81)よりも下降する。次いで、前記載置テーブル(81)を磁気ディスク基板（Ｓ）の一枚分の距離を移動させ、次の磁気ディスク基板（Ｓ）の受け取りに備える。以上の動作を繰り返し、カセットケース（Ｃ２）に磁気ディスク基板（Ｓ）が満載されたら、載置テーブル(81)からカセットケース（Ｃ２）を取り除き、空のカセットケース（Ｃ２）を載置して初期位置に戻す。
【００５８】
なお、図４において、未洗浄カセットケース（Ｃ１）内の磁気ディスク基板（Ｓ）も前記移載テーブル(81)とディスクホルダー(82)と同様の装置により上方に持ち上げ、順次洗浄槽(40)のディスクホルダー(54)に移載する。また、ディスクホルダー(82)から洗浄槽(40)のディスクホルダー(54)への移載は、洗浄後の移動と同様の動作をする図外の吊下げシャフにより行う。
【００５９】
上述した洗浄乾燥装置(2)において、磁気ディスク基板（Ｓ）の洗浄と乾燥を連続して行う工程について説明する。
【００６０】
(i)初期状態として、乾燥ユニット移動装置(60)の第２移動部(62)のスライダー(65)は上昇位置にあり、乾燥ユニット(1)は洗浄槽(40)の上方で待機している。また、ディスク移動装置(50)のスライダー(52)は未洗浄カセットケース（Ｃ１）側で待機している。
【００６１】
(ii)洗浄槽(40)手前の未洗浄カセットケース（Ｃ１）から図外の移載装置によって磁気ディスク基板（Ｓ）を取り出し、ディスク移動装置(50)のディスクホルダー(54)に装填する。これにより、磁気ディスク基板（Ｓ）は洗浄槽(40)の洗浄液中に浸漬される。
【００６２】
(iii)洗浄は洗浄液中に浸漬するだけでも良いし、ディスク移動装置(50)のスライダー(52)をスライドさせて洗浄液に水流を起こさせて洗浄しても良い。いずれの場合も、洗浄後にはスライダー(52)を吸引ボックス側(41)に移動させておく。
【００６３】
(iv)乾燥ユニット移動装置(60)の垂直ラック(64)を洗浄液中の磁気ディスク基板（Ｓ）の後方（未洗浄カセットケース側）に移動させ、昇降ユニット(67)のスライダー(69)を上昇させてフード型ノズル(10)を吊下げシャフト(30)から離した状態で、乾燥ユニット移動装置(60)の板状アーム(66)を下降させる。板状アーム(66)は、吊下げシャフト(30)が洗浄液中の磁気ディスク基板（Ｓ）の円形孔（ＳH）の位置にくるまで下降させる。このとき、フード型ノズル(10)は水面よりも上にあって洗浄液には浸からない。
【００６４】
(v)垂直ラック(64)を吸引ボックス(41)側に前進させて、吊下げシャフト(30)を磁気ディスク基板（Ｓ）の円形孔（ＳH）に挿入し、Ｖ字溝(32)を円形孔（ＳH）の位置に合わせる。
【００６５】
(vi)乾燥ユニット移動装置(60)の板状アーム(66)を上昇させ、吊下げシャフト(30)に磁気ディスク基板（Ｓ）を装架し、水面上に引き上げる。
【００６６】
(vii)昇降ユニット(67)のスライダー(69)を下降させて、磁気ディスク基板（Ｓ）にフード型ノズル(10)を被せ、押さえローラー(17a)(17b)と吊下げシャフト(30)とで磁気ディスク基板（Ｓ）を拘束する（図２Ａおよび図２Ｂ参照）。
【００６７】
(viii)乾燥ユニット移動装置(60)の垂直ラック(64)を吸引ボックス(41)側に前進させた後に板状アーム(66)を下降させ、乾燥ユニット(1)を吸引ボックス内に入れる。
【００６８】
(ix)エアチューブ(72)(73)を介してフード型ボックス(10)および吊下げシャフト(30)に図外の気体供給部から圧縮温風（Ｇ）を供給し、温風（Ｇ）を磁気ディスク基板（Ｓ）に吹き付けて乾燥させる。吹き飛ばされた微細な液滴は吸引ボックス(41)の底部のダクト(42)から吸引されて除去され、吹き飛ばされた液滴が磁気ディスク基板（Ｓ）に再付着することなく、乾燥が行われる。
【００６９】
(x)乾燥ユニット移動装置(60)の板状アーム(66)を上昇させるとともに垂直ラック(64)を前進させ、さらに昇降ユニット(67)のスライダー(69)を上昇させて磁気ディスク基板（Ｓ）からフード型ノズル(10)を外す。図５の移載装置(80)により磁気ディスク基板（Ｓ）を乾燥済みカセットケース（Ｃ２）に収納する。
【００７０】
上記(vi)〜(x)の工程において、ディスク移動装置(50)は待機状態となっているので、この間に、次に洗浄する磁気ディスク基板（Ｓ）をディスク移動装置(50)のディスクホルダー(54)に装填して洗浄することができる（(ii)(iii)の工程）。待機時間を利用して次の磁気ディスク基板（Ｓ）を洗浄液に浸漬しておけば、乾燥ユニットが(1)が空き次第乾燥工程に供することができるので作業効率が良い。
【００７１】
なお、本発明の洗浄乾燥装置において、気体供給部、フード型ノズルに対して相対的に吊下げユニットを上下方向に移動させる昇降ユニット、乾燥ユニット移動装置、吸引ボックス、板状部材移動装置（ディスク移動装置）、移載装置の構成は上記実施形態に示したものに限定されず、周知の装置を適宜組み合わせて用いることができる。
【実施例】
【００７２】
試験用の板状部材（Ｓ）として、両面にＮｉ−Ｐめっき皮膜を有する直径２５．４ｍｍ（１インチ）のアルミニウム板を用いて、洗浄乾燥試験を行った。このアルミニウムめっき板は磁気ディスク基板として用いられるものである。また、洗浄液として７０℃の純水を用い、乾燥用の気体（Ｇ）として２００℃の圧縮空気を用いた。
【００７３】
〔試験例１〕
図１に示したフード型ノズルおよび吊下げシャフト(30)を備える乾燥ユニット(1)を組み込んだ洗浄乾燥装置(2)により、浸漬洗浄と乾燥を連続して行った。磁気ディスク基板（Ｓ）は最大径部分までフード型ノズル(10)で覆うものとし、気体吹出口(23)から０．７ＭＰａの圧力で１枚当たり２５０リットル／ｍｉｎの空気（Ｇ）を吹き付けた。吊下げシャフト(30)には気体（Ｇ）を供給せず、フード型ノズル(10)にのみにより乾燥させた。
【００７４】
〔試験例２〕
試験例１のフード型ノズル(10)による乾燥に加え、同時に吊下げシャフト(30)にも気体（Ｇ）を供給して乾燥を行った。吊下げシャフト(30)の気体吹出口(33)から０．７ＭＰａの圧力で１枚当たり５０リットル／ｍｉｎの空気（Ｇ）を吹き付けた。
【００７５】
〔比較例〕
試験例１、２と同じ条件で浸漬洗浄した後、磁気ディスク基板（Ｓ）にフードを被せることなく１枚当たり５秒間空気（Ｇ）を吹き付けて乾燥させた。
【００７６】
各例について１万枚の磁気ディスク基板（Ｓ）の洗浄乾燥試験を行ったところ、比較例ではほぼ全数に乾燥斑が発生した。それに対し、試験例１の乾燥斑発生率は５％、試験２の乾燥斑発生率は３％であった。
【産業上の利用可能性】
【００７７】
本発明の乾燥ユニットは、板状部材に気体を均一に吹き付けて乾燥させることができるから、洗浄液の滞留による乾燥斑の発生を抑制することができる。このため、乾燥斑がその後の製品品質に影響を与える磁気ディスク基板の乾燥に好適である。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】本発明の乾燥ユニットの一例を示す分解斜視図である。
【図２Ａ】図１の乾燥ユニットの使用状態を示す斜視図である。
【図２Ｂ】図２Ａの２Ｂ−２Ｂ線断面図である。
【図３】図１の吊下げシャフトの３−３線断面である。
【図４】乾燥装置の構成を示す斜視図である。
【図５】移載装置の構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００７９】
1…乾燥ユニット
2…洗浄乾燥装置
10…フード型ノズル
11…第１部材  
12…気体供給口
17a、17b…押さえローラー
20…扁平空間
22…フード
23…気体吹出口（長さＬ、幅Ｗ）
24…受入凹部
30…吊下げシャフト
31…気体供給路
32…Ｖ字溝（溝）
33…気体吹出口
２…洗浄乾燥装置
40…洗浄槽
41…吸引ボックス
50…ディスク移動装置
60…乾燥ユニット移動装置
67…昇降ユニット
Ｓ…磁気ディスク基板（板状部材）
ＳH…円形孔（孔）
Ｇ…気体
【図１】
2008096024.tif 000003
【図２Ａ】
2008096024.tif 000004
【図２Ｂ】
2008096024.tif 000005
【図３】
2008096024.tif 000006
【図４】
2008096024.tif 000007
【図５】
2008096024.tif 000008