(57)【要約】【課題】ワンパスホーニング盤の運転に伴う振動を減衰する除振装置に関し、優れた減衰性能（除振性能）を有し、しかも、小型で安価に構成できる構造を実現する。【解決手段】ワンパスホーニング盤を載置する除振台を、空気ばね２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄにより支持する。これら各空気ばね２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄと圧力源３との間にそれぞれ、補助タンク１８、１８を設ける。又、上記圧力源３とこれら各補助タンク１８、１８との間にそれぞれ、逆止弁１９、１９を設ける。更に、上記各補助タンク１８、１８と上記各空気ばね２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄとの間にそれぞれ、メーターインのスピードコントローラである逆止弁付流量調整弁２０、２０を設ける。【選択図】図８
2008106804.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
工作機械を上面に載置する除振台と、この除振台を支持する空気ばねと、この空気ばねに所定圧に加圧した圧縮空気を導入する為の圧力源とを備え、上記除振台に伝達される振動を、上記空気ばねにより減衰させる除振装置に於いて、上記圧力源と上記空気ばねとの間に、上記圧縮空気を貯溜する為の補助タンクを、上記圧力源とこの補助タンクとの間に、この圧力源からこの補助タンクへの上記圧縮空気の導入を許容するが、この補助タンクからこの圧力源への上記圧縮空気の導入を阻止する逆止弁を、それぞれ設け、更に、上記補助タンクと上記空気ばねとの間に、この空気ばねからこの補助タンクへの上記圧縮空気の導入を許容するが、この補助タンクからこの空気ばねへの上記圧縮空気の導入を所定量に調整する逆止弁付流量調整弁を設けた事を特徴とする除振装置。
【請求項２】
工作機械を載置する除振台の上面を、この除振台を支持する空気ばねの上面よりも下方に位置させると共に、この除振台の底面を、この除振台が下方に変位した場合に設置面と当接する事によりこの除振台をそれ以上下方に変位するのを阻止する為の下限ストッパとした、請求項１に記載した除振装置。
【請求項３】
補助タンクと空気ばねとの間に、この補助タンクからこの空気ばねへの圧縮空気の導入を許容するが、この空気ばねからこの補助タンクへの上記圧縮空気の導入を所定量に調整する第二の逆止弁付流量調整弁を、逆止弁付流量調整弁と直列に設けた、請求項１〜２のうちの何れか１項に記載した除振装置。
【請求項４】
除振台を４個の空気ばねにより支持すると共に、これら各空気ばねに圧縮空気を、これら各空気ばねうちの２個の空気ばねに導入する為の第一圧力導入路と、残りの２個の空気ばねのうちの一方の空気ばねに導入する為の第二圧力導入路と、同じく他方の空気ばねに導入する為の第三圧力導入路とを介して、それぞれ導入自在とした、請求項１〜３のうちの何れか１項に記載した除振装置。
【請求項５】
工作機械が、ホーニングツールを振動させつつ被加工物の円孔に仕上げ加工を施すホーニング盤である、請求項１〜４のうちの何れか１項に記載した除振装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、各種工作機械（例えばホーニング盤等）の設置面とこの工作機械との間に設けられ、この工作機械の運転に伴う振動がこの設置面に伝達される事を防止すると共に、この設置面の振動が上記工作機械に伝達される事を防止する為に利用する、除振装置の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば特許文献１、２には、ホーニングツールを振動（オシレーション）させつつ被加工物（ワーク）の円孔に仕上げ加工を施すホーニング盤に関する発明が記載されている。この特許文献１、２に記載されたホーニング盤は、ホーニングツールの１往復の送り動作（ワンパス）で加工を完了させる、所謂ワンパスホーニング盤と呼ばれるものである。この様なホーニング盤や、プレス加工機、旋盤、研削盤等を含む各種工作機械を機械工場に設置する場合、この工作機械を設置面（フロア面）に直接設置（例えば高さ調節の為のレベリングブロック、ジャッキボルト等を介して支持した状態で、基礎ボルトにより直接固定）する事が、一般的に行なわれている。
【０００３】
但し、この様に工作機械を設置面に直接設置する場合、この工作機械（例えばホーニング盤）の運転に伴う振動（例えばホーニングツールの振動）が、上記設置面を介して、この設置面に設置された他の機器（工作機械や測定機器等）に伝達される可能性がある。又、これとは逆に、この他の機器（例えばプレス加工機、旋盤、研削盤等）の運転に伴う振動（例えばプレス振動、切削、研削に伴う振動等）が、やはり上記設置面を介して当該工作機械（例えばホーニング盤）に伝達される可能性もある。何れにしても、この様に工作機械の振動が他の機器に伝達される事、並びに、この工作機械に他の機器の振動が伝達される事は、被加工物（ワーク）の加工精度を低下させる可能性がある等、好ましくない。
【０００４】
この様な振動の伝達を防止する為に従来は、例えば設置位置を考慮したり、設置面の基礎工事を行なう事により対応していた。具体的には、振動の影響の少ない場所に工作機械を設置したり、設置面の材質を振動が伝達しにくいものにする事により、上記振動の伝達防止を図っていた。但し、この様な対策では、敷地の確保や基礎工事にコストが大きく嵩む為、好ましくない。
【０００５】
一方、特許文献３には、顕微鏡に振動が伝わるのを防止する為の空気除振装置に関する発明が記載されている。この空気除振装置は、顕微鏡を上面に載置する除振台を、空気ばねにより支持する事により構成している。そして、この空気ばねを加圧（空気ばねの空洞に圧縮空気を導入）する事により、上記顕微鏡に振動が伝達されるのを防止して（顕微鏡が振動するのを防止して）、高倍率による観察を行ない易くしている。但し、この様な顕微鏡を載置する為の空気除振装置を、上述した様な工作機械の除振装置として、そのまま流用する事は難しい。
【０００６】
即ち、そのままでは、工作機械を載置しても、十分な減衰性能（除振性能）を得る（固有振動数を十分に小さくする）事ができず、設置面に振動が伝達する事を十分に抑える事ができない他、この工作機械の加工精度を十分に確保できない可能性がある。又、十分な減衰性能を得る為に、例えばアクティブ制御を行なう構成を採用すれば、複雑な制御装置を必要とし、コストが嵩む他、装置が大型化する可能性がある。そして、この様に除振装置が大型化した場合には、設置面と、この除振装置に載置する工作機械との位置関係が、この除振装置を用いない場合と大きく異なる（例えば１００mm程度上方にずれる）事になる。この様な場合には、工作機械を運転する作業員の作業効率が低下する他、この作業員が例えば踏み台（スノコ）等を用いた場合には、この作業者のつまずき事故を防止する為の対策を施す必要等も生じ、好ましくない。
【０００７】
【特許文献１】特公昭５６−３０１４９号公報
【特許文献２】特開２００４−２５４１６号公報
【特許文献３】特許第３８１０１２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の除振装置は、上述の様な事情に鑑みて、優れた減衰性能（除振性能）を有し、しかも、小型で安価に構成できる構造を実現すべく発明したものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の除振装置は、被加工物（ワーク）に加工を施す工作機械（例えば、ホーニング盤や、プレス加工機、旋盤、研削盤等の各種工作機械）を上面に載置する除振台（ベースプレート）と、この除振台を支持する（浮上させる）空気ばねと、この空気ばねに所定圧に加圧した圧縮空気を導入する為の圧力源とを備える。そして、上記除振台に伝達される振動を、上記空気ばねにより減衰させる（除振する）。
特に、本発明の除振装置に於いては、上記圧力源と上記空気ばねとの間に、上記圧縮空気を貯溜する為の補助タンクを、上記圧力源とこの補助タンクとの間に、この圧力源からこの補助タンクへの上記圧縮空気の導入を許容するが、この補助タンクからこの圧力源への上記圧縮空気の導入を阻止する逆止弁（チェック弁）を、それぞれ設ける。更に、上記補助タンクと上記空気ばねとの間に、この空気ばねからこの補助タンクへの上記圧縮空気の導入を許容するが、この補助タンクからこの空気ばねへの上記圧縮空気の導入を所定量に調整する（メーターインの）逆止弁付流量調整弁（スピードコントローラ）を設ける。
【００１０】
又、この様な本発明の除振装置を実施する場合に好ましくは、請求項２に記載した様に、上記工作機械を載置する除振台の上面を、この除振台を支持する空気ばねの上面よりも下方に位置させる。又、これと共に、この除振台の底面を、この除振台が下方に変位した場合に、設置面と当接する事によりこの除振台をそれ以上下方に変位するのを阻止する為の、下限ストッパとする。
又、請求項３に記載した様に、上記補助タンクと上記空気ばねとの間に、必要に応じて、この補助タンクからこの空気ばねへの圧縮空気の導入を許容するが、この空気ばねからこの補助タンクへの上記圧縮空気の導入を所定量に調整する（メーターアウトの）、第二の逆止弁付流量調整弁（スピードコントローラ）を、上記逆止弁付流量調整弁と直列に設ける。
【００１１】
又、本発明の除振装置を実施する場合に好ましくは、請求項４に記載した様に、上記除振台を４個の空気ばねにより支持する。そして、これら各空気ばねに圧縮空気を、これら各空気ばねうちの２個の空気ばねに導入する為の第一圧力導入路と、残りの２個の空気ばねのうちの一方の空気ばねに導入する為の第二圧力導入路と、同じく他方の空気ばねに導入する為の第三圧力導入路とを介して、それぞれ導入自在とする。この場合に、必要な減衰性能（除振性能）を得るべく（必要な固有振動数を得るべく）、上記第一〜第三各圧力導入路に導入する圧縮空気の圧力を、それぞれの導入路毎に異なる値にできる様にする。
又、更に好ましくは、請求項５に記載した様に、上記工作機械を、ホーニングツールを振動させつつ被加工物（ワーク）の円孔に仕上げ加工を施すホーニング盤、より具体的には、ホーニングツールの１往復の送り動作（ワンパス）で加工を完了させるワンパスホーニング盤とする。
【発明の効果】
【００１２】
上述の様に構成する本発明の除振装置によれば、減衰性能（除振性能）を十分に確保しつつ、小型、安価に構成できる。
即ち、補助タンクと空気ばねとの間に設けた（メーターインの）逆止弁付流量調整弁（スピードコントローラ）により、上記空気ばねから上記補助タンクに圧縮空気を迅速に逃がす一方、この空気ばねに徐々に圧縮空気を補給する（戻す）事ができる。この為、工作機械の運転等に伴う振動並びに衝撃を十分に減衰（除振）させる事ができる。しかも、例えば従来構造の様にオリフィス（絞り弁）のみを設置した構造に比べ、更なる対数減衰率の向上（固有振動数の低減）を図れる（固有振動数を従来技術では実現できなかったレベルの低周波数にする事が可能になる）。この為、上記工作機械近傍に設置された機器（工作機械、測定機等）への振動の影響を十分に低減できると共に、設置面を介して上記工作機械に伝達される振動の低減も図れ、この工作機械の加工精度を十分に確保できる。
【００１３】
又、上述の様な減衰性能を得る為に、複雑な制御装置（例えばアクティブ制御装置等）を必要としない為、安価に構成できるだけでなく、小型、簡素に構成できる。そして、この様に小型に構成できる分、除振装置に載置した工作機械の重心並びに設置面との位置関係を、この除振装置を使用しない場合と略同様にでき、重心が高くなる事に起因するハンチング等の防止を図れる。又、これと共に、例えば後付けで除振装置を設置する場合等でも、上記工作機械の作業テーブルの高さを略そのままに（除振装置を用いない場合と略同じ高さに）維持できる。この為、作業者が踏み台（スノコ）等を使用する必要もなく（バリアフリー化を図れ）、作業効率の確保を図れる。
【００１４】
又、上記補助タンクと圧力源との間に逆止弁（チェック弁）を設けている為、上記空気ばねから上記補助タンクに圧縮空気を逃がす場合等にも、この圧縮空気をこの逆止弁よりも上流側に逃がさない様にできる。この為、上記逆止弁よりも下流側（上記補助タンク部分）に、上記空気ばねに補給すべき空気を無駄なく溜め込む事ができ、圧力源を徒に大きなものとしなくても、十分な減衰性能を確保できる。又、工作機械を設置するに当たり、振動の伝達を防止する為の基礎工事や敷地の確保等の必要もない為、この面からも、安価に構成できる。
【００１５】
又、請求項２に記載した構成を採用した場合には、上記工作機械を除振台に載置した状態で、この工作機械の位置をより下方に位置させる事ができる。即ち、この工作機械が上方に位置する程度を、上記除振台の厚さ（上面と底面との間隔）とこの除振台の底面と設置面との距離（工作機械の振動を許容する隙間）との和の分だけに抑えられる。この為、上述したハンチングの防止、バリアフリー化、作業効率の確保をより高次元で図れる。又、上記空気ばねに導入される圧縮空気が低下した場合でも、上記除振台の底面と設置面とが当接する事により、上記工作機械が不安定になる程度を小さく抑えられる。
【００１６】
又、請求項３に記載した構成を採用した場合には、（メーターアウトの）第二の逆止弁付流量調整弁（スピードコントローラ）により、上記空気ばねから上記補助タンクに逃がす圧縮空気の流量を調節する事ができる。この為、減衰性能の調節をより微細に行なえる。又、請求項４に記載した構成を採用した場合にも、各空気ばねに導入する圧縮空気の圧力を、第一〜第三各圧力導入路毎に異ならせる事で、減衰性能の調節を更に微細に行なえる。
【００１７】
又、請求項５に記載した様に、工作機械をホーニング盤、より具体的にはワンパスホーニング盤とした場合には、本発明の効果をより顕著に得られる。即ち、従来の様に、ワンパスホーニング盤を直接設置面に設置した状態で運転を行なうと、このワンパスホーニング盤の近傍に設置された機器、測定機等も、このワンパスホーニング盤と共に振動し、これら機器、測定機等の使用ができなくなる場合があった。これに対して、上記ワンパスホーニング盤を本発明の除振装置に載置した状態で運転した場合には、このワンパスホーニング盤の振動による影響を、上記機器、測定機等の使用に問題ない程度に抑える事ができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
図１〜１１は、本発明の実施の形態の１例を示している。本例の除振装置は、除振台１と、複数個（本例の場合は４個）の空気ばね２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄと、圧力源３（図７参照）とを備える。このうちの除振台１は、底板部（ベースプレート）４と、この底板部４の上面の四辺部に設けられた矩形枠状のフレーム５と、このフレーム５の四隅にそれぞれ設けられたばね支持板部６、６とを有する。そして、上記底板部４の上面で、上記フレーム５に囲まれた部分に、被加工物（ワーク）の加工を行なう工作機械７を載置自在としている。この様な工作機械７としては、例えば、ホーニング盤、プレス加工機、旋盤、研削盤等の各種工作機械を挙げられる。本例の場合は、上記除振台１の底板部４の上面に載置する工作機械７を、ホーニングツールを振動させつつ被加工物（ワーク）の円孔に仕上げ加工を施すホーニング盤、より具体的には、ホーニングツールの１往復の送り動作（ワンパス）で加工を完了させるワンパスホーニング盤８としている。
【００１９】
このワンパスホーニング盤８は、主軸頭９にチャック２４を介して支持する図示しないホーニングツールに（上下方向の）振動（オシレーション）を付与しつつ、このホーニングツールを昇降させる。この為に、上記主軸頭９を鉛直方向に移動させる為の送り機構にリニアモータ１０を使用し、このリニアモータ１０により、上記主軸頭９に振動を付与しつつ、この主軸頭９を上下方向に送り自在としている。そして、この様に振動を付与しつつ、上記主軸頭９に支持した上記ホーニングツールを上下方向に１往復（ワンパス）させる間に、図示しない被加工物（ワーク）の円孔に仕上げ加工を施す。尚、この様なワンパスホーニング盤８に就いては、前記特許文献２に記載されており、本発明の要旨でもない為、詳しい説明は省略する。
【００２０】
又、上記除振装置を構成する上記各空気ばね２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄは、上記除振台１を支持する（浮上させる）もので、この除振台１を構成する各ばね支持板部６、６の下面と設置面（フロア面）１１との間にそれぞれ設けられている。又、上記圧力源３は、上記各空気ばね２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄにそれぞれ所定圧に加圧した圧縮空気を導入する為のもので、図８に示す様に、コンプレッサ１２と、フィルタレギュレータ１３と、３個の精密レギュレータ１４、１４とにより構成している。このうちのフィルタレギュレータ１３並びに各精密レギュレータ１４、１４は、上記除振台１の底板部４の幅方向両端部に設けた１対の支持板部２６、２６に、それぞれ固定している。又、本例の場合、図８に示す様に、上記各空気ばね２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄに上記圧縮空気を、第一〜第三各圧力導入路１５〜１７を介して導入自在としている。
【００２１】
即ち、上記各空気ばね２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄうちの２個の空気ばね２ａ、２ｂに導入する為の第一圧力導入路１５と、残りの２個の空気ばね２ｃ、２ｄのうちの一方の空気ばね２ｃに導入する為の第二圧力導入路１６と、同じく他方の空気ばね２ｄに導入する為の第三圧力導入路１７とを介して、上記各空気ばね２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄに圧縮空気を、それぞれ導入自在としている。そして、この様に各空気ばね２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄに所定圧に調整した圧縮空気をそれぞれ導入する事により、上記除振台１に伝達される振動を、上記各空気ばね２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄにより減衰させる（除振する）。尚、本例の場合は、上記第一〜第三各圧力導入路１５〜１７に導入する圧縮空気の圧力を、上記各精密レギュレータ１４、１４の開弁圧を調節する事により、それぞれの導入路１５〜１７毎に、互いに異ならせられる様にしている。従って、ワンパスホーニング盤８の重心位置等に基づく、上記各空気ばね２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄに加わる荷重の相違に拘らず、上記除振台１を水平にできる。又、除振装置を示す図１〜７では、上記各第一〜第三各圧力導入路１５〜１７を省略して示しているが、実際には、これら各第一〜第三各圧力導入路１５〜１７に対応する耐圧ホースを、上記各空気ばね２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ、各補助タンク１８、１８、各レギュレータ１３、１４同士の間に接続する。
【００２２】
又、本例の場合、上記圧力源３を構成する上記各精密レギュレータ１４、１４と上記各空気ばね２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄとの間に、上記圧縮空気を貯溜する為の補助タンク１８、１８を設けている。又、上記各精密レギュレータ１４、１４とこれら各補助タンク１８、１８との間に、上記圧力源３側からこれら各補助タンク１８、１８への上記圧縮空気の導入を許容するが、これら各補助タンク１８、１８側からこの圧力源３側への上記圧縮空気の逆流を阻止する逆止弁（チェック弁）１９、１９（図８参照）を、それぞれ設けている。更に、上記各補助タンク１８、１８と上記各空気ばね２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄとの間に、これら各空気ばね２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄから上記各補助タンク１８、１８への上記圧縮空気の導入を許容する（自由流とする）が、これら各補助タンク１８、１８からこれら各空気ばね２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄへの上記圧縮空気の導入を所定量に調整する（制御流とする）逆止弁付流量調整弁（メーターインのスピードコントローラ）２０、２０を、それぞれ設けている。
【００２３】
又、本例の場合は、上記各補助タンク１８、１８と上記各空気ばね２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄとの間で、上記各逆止弁付流量調整弁２０、２０よりも上流側に、これら各補助タンク１８、１８からこれら各空気ばね２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄへの圧縮空気の導入を許容する（自由流とする）が、これら各空気ばね２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄからこれら各補助タンク１８、１８への上記圧縮空気の導入を所定量に調整する（制御流とする）第二の逆止弁付流量調整弁（メーターアウトのスピードコントローラ）２１、２１を設けている。これら各第二の逆止弁付流量調整弁２１、２１は、上記各逆止弁付流量調整弁２０、２０と直列であれば、これら各逆止弁付流量調整弁２０、２０の下流側に設ける事もできる。又、上記各補助タンク１８、１８には止め弁（コック）２２、２２をそれぞれ設けると共に、前記フィルタレギュレータ１３の下流側にレバー式切換弁２３を設ける事により、手動操作で圧縮空気を大気に逃がせる様にしている。
【００２４】
上述の様に構成する本例の場合には、前記ワンパスホーニング盤８を運転する際に、上記各空気ばね２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄに所定圧の圧縮空気を導入する。即ち、コンプレッサ１２により加圧され、フィルタレギュレータ１３並びに各精密レギュレータ１４、１４によりそれぞれ所定圧に調節された圧縮空気を、上記第一〜第三各圧力導入路１５〜１７を介して、上記各空気ばね２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄに導入する。そして、上記ワンパスホーニング盤８の運転に伴う振動を、これら各空気ばね２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄにより減衰する（除振する）。具体的には、上記各空気ばね２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄと上記各補助タンク１８、１８との間に設けた上記各逆止弁付流量調整弁２０、２０により、上記各空気ばね２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄから上記各補助タンク１８、１８に圧縮空気を迅速に逃がす一方、これら各空気ばね２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄに徐々に圧縮空気を補給する（戻す）事により、上記振動を減衰する（除振する）。尚、上記各逆止弁付流量調整弁２０、２０並びに各第二の逆止弁付流量調整弁２１、２１の流量は、所定の減衰性能を得られる様に、工作機械７の種類、この工作機械７である上記ワンパスホーニング盤８の諸元、振動周波数、運転状況等に応じて設定する。
【００２５】
この様な本例の除振装置によれば、減衰性能（除振性能）を十分に確保しつつ、小型、安価に構成できる。
即ち、上述の様に空気ばね２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄと各補助タンク１８、１８との間で、圧縮空気の流れを各逆止弁付流量調整弁２０、２０（並びに必要に応じて各第二の逆止弁付流量調整弁２１、２１）により規制する為、ワンパスホーニング盤８の運転等に伴う振動並びに衝撃を十分に減衰（除振）させる事ができる。しかも、例えば従来構造の様にオリフィス（絞り弁）のみを設置した構造に比べ、更なる対数減衰率の向上（固有振動数の低減）を図れる（固有振動数を従来技術では実現できなかったレベルの低周波数にする事が可能になる）。この為、上記ワンパスホーニング盤８の近傍に設置された機器（工作機械、測定機等）への振動の影響を十分に低減できると共に、設置面１１を介して上記ワンパスホーニング盤８に伝達される振動の低減も図れ、このワンパスホーニング盤８の加工精度の向上も図れる。
【００２６】
又、上述の様な減衰性能を得る為に、複雑な制御装置（例えばアクティブ制御装置等）を必要としない為、安価に構成できるだけでなく、小型、簡素に構成できる。そして、この様に小型に構成できる分、除振装置に載置したワンパスホーニング盤８の重心並びに位置関係を、この除振装置を使用しない場合と略同様にでき、重心が高くなる事に起因するハンチング等の防止を図れる。又、これと共に、例えば後付けで除振装置を設置する場合でも、上記ワンパスホーニング盤８の作業テーブルの高さを略そのままに（除振装置を用いない場合と略同じ高さに）維持できる。この為、作業者が踏み台（スノコ）等を使用する必要もなくなり（バリアフリー化を図れ）、作業効率の確保を図れる。
【００２７】
又、前述の様に各補助タンク１８、１８の上流側に逆止弁１９、１９を設けている為、上記各空気ばね２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄから上記補助タンク１８、１８に圧縮空気を逃がす場合等にも、この圧縮空気をこれら各逆止弁１９、１９よりも上流側に逃がさない様にできる。この為、これら各逆止弁１９、１９よりも下流側に、上記各空気ばね２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄに補給すべき空気を無駄なく溜め込む事ができ、圧力源３を構成するコンプレッサ１２を徒に大きなものとしなくても（上記各空気ばね２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ内を所定圧に上昇させ、且つ、漏れによる減少分を補充できる能力があれば）、十分な減衰性能を確保できる。又、ワンパスホーニング盤８を設置するに当たり、振動の伝達を防止する為の基礎工事や敷地の確保等の必要もない為、この面からも、安価に構成できる。
【００２８】
又、本例の場合は、ワンパスホーニング盤８を載置する除振台１の上面、即ち、この除振台を構成する底板部４の上面を、この除振台１を支持する各空気ばね２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄの上面よりも下方に位置させている。又、これと共に、この除振台１の底面（底板部４の底面）に、この除振台１が下方に変位した場合に、設置面１１と当接する事によりこの除振台１をそれ以上下方に変位するのを阻止する為の、下限ストッパとしての役割を持たせている。この為、上記ワンパスホーニング盤８を除振台１に載置した状態で、このワンパスホーニング盤８の位置をより下方に位置させる事ができる。即ち、このワンパスホーニング盤８が上方に位置する程度を、上記除振台１の底板部４の厚さとこの底板部４の底面と設置面１１との距離（ワンパスホーニング盤８の振動を許容する隙間）との和の分だけに抑えられる。
【００２９】
この為、上述したハンチングの防止、バリアフリー化、作業効率の確保を、より高次元で図れる。又、これと共に、上記各空気ばね２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄに導入される圧縮空気の圧力が低下した場合でも、上記除振台１の低板部４の底面と設置面１１とが当接する為、上記ワンパスホーニング盤８が不安定になる程度を小さく抑える事ができる。尚、このワンパスホーニング盤８の上方に位置する程度が本例の場合よりも若干大きくなるが、例えば図１０に示す構成を採用する事もできる。即ち、各ばね支持板部６、６を１枚の基板２５により構成すると共に、このばね支持板部６、６を兼ねたこの基板２５を、フレーム５の上面に固定する事により構成する事もできる。この場合には、上記ワンパスホーニング盤８が上方に位置する程度が、上記基板２５の上面と底板部４の底面との距離と、この底面と設置面１１との距離（ワンパスホーニング盤８の振動を許容する隙間）との和の分となる。
【００３０】
又、本例の場合は、第二の逆止弁付流量調整弁２１、２１により、上記各空気ばね２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄから上記各補助タンク１８、１８に逃がす圧縮空気の流量の調節も行なえる。この為、減衰性能の調節をより微細に行なえる。又、上記各空気ばね２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄに導入する圧縮空気の圧力を、第一〜第三各圧力導入路１５〜１７で異ならせる事もでき、この面からも、減衰性能の調節を更に微細に行なえる。
【００３１】
この様な本例の除振装置によれば、振動伝達防止の効果を十分に得られる。即ち、実際に、図９に模式的に示す様に、ワンパスホーニング盤８を除振装置に載置した状態で、このワンパスホーニング盤８の運転を行なった。諸元は下記の通りである。
ワンパスホーニング盤８の重量：２０００ｋｇ
振動重量（主軸頭９の重量）：１００ｋｇ
振動周波数：最大５０Ｈｚ
振幅：最大１ｍｍ
除振台の重量：５００ｋｇ
コンプレッサの容量：１．５kW（使用時に漏れ分の補充ができる程度で十分）
第一圧力導入路の圧力：０．５ＭPaに調整
第二圧力導入路の圧力：０．５ＭPaに調整
第三圧力導入路の圧力：０．５ＭPaに調整
逆止弁付流用調整弁（メーターインのスピードコントローラ）の設定値：全閉より４５度「開」に調整
第二逆止弁付流用調整弁（メーターアウトのスピードコントローラ）の設定値：全閉より４５度「開」に調整
空気ばねの諸元：倉敷化工株式会社製空気ばねＰＳＢ形（PSB-1-100 、有効受圧面積９６ｃｍ2 、標準高さ６２ｍｍ、ストローク３７ｍｍ）
【００３２】
従来の様に、上記ワンパスホーニング盤８を直接設置面１１に設置した状態で、このワンパスホーニング盤８の運転を行なった場合には、このワンパスホーニング盤８の近傍に設置された機器、測定機等も、このワンパスホーニング盤８と共に振動し、これら機器、測定機等の使用ができなかった。これに対して、本例の除振装置に上記ワンパスホーニング盤８を載置した状態で運転した場合には、このワンパスホーニング盤８の振動による影響を、上記機器、測定機等の使用に問題ない程度に抑える事ができた。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の実施の形態の１例を示す正面図。
【図２】同じく平面図。
【図３】ワンパスホーニング盤を省略して示す、図２と同様の図。
【図４】図１の下半部に相当する図。
【図５】図４の後方から見た図。
【図６】同右方から見た図。
【図７】同左方から見た図。
【図８】圧縮空気の導入経路を示す回路図。
【図９】空気ばねにより振動を減衰する状態を示す模式図。
【図１０】除振台の別例を示す、図４の下半部に相当する図。
【図１１】逆止弁付流星調整弁を取り付けた状態で示す、図３のＡ部拡大図。
【符号の説明】
【００３４】
１    除振台
２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ  空気ばね
３    圧力源
４    底板部
５    フレーム
６    ばね支持板部
７    工作機械
８    ワンパスホーニング盤
９    主軸頭
１０    リニアモータ
１１    設置面
１２    コンプレッサ
１３    フィルタレギュレータ
１４    精密レギュレータ
１５    第一の圧力導入路
１６    第二の圧力導入路
１７    第三の圧力導入路
１８    補助タンク
１９    逆止弁
２０    逆止弁付流量調整弁
２１    第二の逆止弁付流量調整弁
２２    止め弁
２３    レバー式切換弁
２４    チャック
２５    基板
２６    支持板部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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