(57)【要約】 【課題】  従来技術のものより焼成温度範囲を大きくするとともに、焼成品の強度を必要十分に満たし、製造コストの低減を図ることができる磁気エンコーダおよびそれを備えた車輪用軸受、磁気エンコーダ用磁石体を提供する。【解決手段】  円周方向に交互に磁極を形成した多極磁石１４と、この多極磁石１４を支持する芯金１１とを備えた磁気エンコーダ１０において、メッキ磁性粉と非メッキ磁性粉との混合磁性粉に、非磁性金属粉をさらに混合させた原料粉を焼結させて成る多極磁石１４を適用する。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
円周方向に交互に磁極を形成した多極磁石と、この多極磁石を支持する芯金とを備えた磁気エンコーダにおいて、
上記多極磁石が、
磁性粉とメッキ処理した磁性粉との混合磁性粉に、非磁性金属粉をさらに混合させた原料粉を焼結させた焼結体であることを特徴とする磁気エンコーダ。
【請求項２】
請求項１において、前記メッキ処理は、バインダ成分である非磁性金属粉に対して親和性を有するメッキを施す処理であることを特徴とする磁気エンコーダ。
【請求項３】
請求項１または２において、前記混合磁性粉のうちメッキ処理した磁性粉の割合は、１０ｗｔ％以上３０ｗｔ％以下であることを特徴とする磁気エンコーダ。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の磁気エンコーダを備えた車輪用軸受。
【請求項５】
円周方向に交互に磁極を形成した多極磁石を含む磁気エンコーダ用磁石体であって、
非磁性金属粉に対して親和性を有する表面処理を施した一の磁性粉と、前記表面処理を施さない他の磁性粉とを混合した混合磁性粉に、
非磁性金属粉をさらに混合させた原料粉を焼結させて成ることを特徴とする磁気エンコーダ用磁石体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、相対回転する軸受部の回転検出装置等に用いられる磁気エンコーダ、およびそれを備えた車輪用軸受、磁気エンコーダ用磁石体に関し、例えば自動車のアンチロックブレーキシステムにおける前後の車輪回転数を検出する回転検出装置に装着されるベアリングシールの構成部品とされる磁気エンコーダに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、自動車のスキッドを防止するためのアンチスキッド用回転検出装置として、次のような構造が多く用いられている。すなわち前記回転検出装置は歯付ローターと感知センサからなっており、その際、軸受を密封するシール装置よりそれぞれ離間させて配置し、一つの独立した回転検出装置を構成しているものが一般的である。このような従来例は、回転軸に嵌合された歯付ローターを、ナックルに取付られた回転検出センサで感知検出する構造を持ち、使われている軸受は、その側部に独立して設けられたシール装置によって、水分あるいは異物の侵入から守られる。
【０００３】
その他の例として、回転検出装置の装着スペースを削減せしめ感知性能を飛躍的に向上させることを目的として、車輪回転検出のための回転検出装置を有したベアリングシールにおいて、そこに使用するスリンガーの径方向に磁性粉の混入された弾性部材を周状に加硫成形接着し、そこに交互に磁極を配設した構造が示されている（特許文献１参照）。
【０００４】
また、軸方向の寸法を小さくし、回転部材と固定部材との間の密閉度を良好にし、容易に取り付け可能にすることを目的として、回転部材と固定部材との間がシールされ、この回転部材に回転ディスクが取り付けられ、その回転ディスクに多極化されたコーダが取り付けられたコーダ内蔵密閉構造としたものが示されている（特許文献２参照）。使用するコーダは、磁性粒子を添加したエラストマーからなるものが用いられ、このコーダの側面を固定部材の側面とほぼ同一平面としたシール手段とされている。
【０００５】
本件出願人は、円周方向に交互に磁極を形成した多極磁石と、この多極磁石を支持する芯金とを備えたメタルエンコーダを開発し実用化している（例えば特許文献３参照）。メタルエンコーダ焼成工程において、その焼成温度範囲は、２２３．５±３．５℃と狭い。これは次の理由による。焼成温度が２２７℃を超えると、バインダである錫が溶融して成形体から出てしまう。焼成温度が２２０℃より低いと、バインダである錫が溶融せず磁性粉を充分に結着できない。いずれの場合も、焼成品の強度が小さい焼結体となる。
【０００６】
【特許文献１】特許第２８１６７８３号公報
【特許文献２】特開平６−２８１０１８号公報
【特許文献３】特開２００４−３７４４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
前記従来技術では、焼成工程の焼成温度範囲が狭いので、次のような問題がある。
（１）焼成炉中の温度分布により、所望の焼成温度範囲を超える場合があり、焼成品の強度が予め定める値より小さい焼結体ができる不具合があった。
（２）この不具合対策として、焼成炉に充填するワーク数を減らして、ワークを焼成炉中の適正温度範囲領域にセットしなければならない。焼成炉で一度に焼成できるワーク数が減る分、量産時において焼成工程の工数が増大するので、磁気エンコーダ一個あたりの製造コストが高くなる。それ故、経済的に不利なものとなる。
【０００８】
本発明の目的は、従来技術のものより焼成温度範囲を大きくするとともに、焼成品の強度を必要十分に満たし、製造コストの低減を図ることができる磁気エンコーダおよびそれを備えた車輪用軸受、磁気エンコーダ用磁石体を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明の磁気エンコーダは、円周方向に交互に磁極を形成した多極磁石と、この多極磁石を支持する芯金とを備えた磁気エンコーダにおいて、上記多極磁石が、磁性粉とメッキ処理した磁性粉との混合磁性粉に、非磁性金属粉をさらに混合させた原料粉を焼結させた焼結体であることを特徴とする。
【００１０】
この構成によると、多極磁石は、磁性粉とメッキ処理した磁性粉との混合磁性粉に、非磁性金属粉をさらに混合させた原料粉を焼結させたので、焼成温度範囲を従来技術に係る焼成温度範囲よりも大きくするとともに、焼成品の強度を必要十分に満たす磁気エンコーダを得ることができる。メッキには、たとえば、黒色クロームメッキ、黒色ニッケルメッキ（黒ニッケル）、ニッケル−鉄、ニッケル−コバルト−タングステン、錫メッキ、亜鉛−鉄合金メッキ、銅−ニッケル、銅錫（ブロンズ）メッキ、鉄・カーボン合金メッキ、カニゼンメッキ（無電解ニッケルメッキ）、錫−ニッケルメッキ、錫−ニッケル−銅メッキ、錫−鉛メッキ、錫−亜鉛合金メッキ、鉛メッキ、亜鉛−ニッケル合金メッキ等があげられる。
【００１１】
焼成温度範囲を上記のように大きくすることができるので、量産用大型焼成炉等を用いて焼成品の強度を必要十分に満たすワークを得ることが可能となる。したがって焼成炉で一度に焼成できるワーク数を従来技術のものより増やすことができる。量産時において焼成工程の工数を低減することができるので、磁気エンコーダ一個あたりの製造コストを低減することが可能となる。
【００１２】
多極磁石が、混合磁性粉と非磁性金属粉とをさらに混合させた原料粉を焼結させた焼結体であるため、次の各利点が得られる。
（１）従来のエラストマー等に比べて、磁性粉比率を高くすることができ、そのため、単位体積あたりの磁力を大きくすることができる。これにより、検出感度の向上、薄肉化が可能になる。
（２）従来の焼結磁石である磁性粉のみを焼結したものに比べて、バインダとなる非磁性金属粉の存在のために割れ難い。
（３）従来のエラストマー等に比べて表面が硬いため、耐摩耗性に優れまた損傷し難い。
（４）従来のエラストマー等に比べて、生産性に優れる。
【００１３】
この発明において、上記メッキ処理は、バインダ成分である非磁性金属粉に対して親和性を有するメッキを施す処理であることが好ましい。この構成によると、非磁性金属粉とメッキ部分との結び付きが格段に高まり、焼成品の強度を必要十分に満たす多極磁石を得ることが可能となる。
【００１４】
この発明において、前記混合磁性粉のうちメッキ処理した磁性粉の割合は、１０ｗｔ％以上３０ｗｔ％以下であることが好ましい。この構成によると、焼成温度の下限温度を下げることが可能となるので、焼成炉中の温度分布が生じても、焼成炉に充填するワーク数を減らさずに済むために、量産時において磁気エンコーダ一個あたりの製造コストが高くなることはない。メッキ処理した磁性粉の割合の上限値は３０ｗｔ％以下で足りる。換言すれば、主にメッキ処理しない磁性粉に基づいて、メッキ処理した磁性粉を混合させて混合磁性粉を得ることができる。よって本構成によると、たとえば混合磁性粉の大部分にメッキ処理した磁性粉を適用する場合と比べて、製造コストの低減を図ることができる。
【００１５】
この発明の車輪用軸受は、この発明における上記いずれかの構成の磁気エンコーダを備えたものである。この構成によると、検出感度の向上および薄肉化が可能になり、非磁性金属粉の存在のため割れ難く、耐摩耗性に優れまた損傷し難い磁気エンコーダを含む車輪用軸受を実現することが可能となる。
【００１６】
この発明の磁気エンコーダ用磁石体は、円周方向に交互に磁極を形成した多極磁石を含む磁気エンコーダ用磁石体であって、非磁性金属粉に対して親和性を有する表面処理を施した一の磁性粉と、前記表面処理を施さない他の磁性粉とを混合した混合磁性粉に、非磁性金属粉をさらに混合させた原料粉を焼結させて成ることを特徴とする。
【００１７】
この構成によると、特に、非磁性金属粉に対して親和性を有する表面処理を施した一の磁性粉と、前記表面処理を施さない他の磁性粉とを混合した混合磁性粉に、非磁性金属粉をさらに混合させた原料粉を焼結させて多極磁石を得ることができるので、焼成温度範囲を従来技術の係る焼成温度範囲よりも大きくするとともに、焼成品の強度を必要十分に満たす多極磁石を得ることができる。このように焼成温度範囲を大きくすることができるので、量産用大型焼成炉を用いて焼成品の強度を必要十分に満たすワークを得ることが可能となる。したがって焼成炉で一度に焼成できるワーク数を従来技術のものより増やすことができる。量産時において焼成工程の工数を低減することができるので、多極磁石一個あたりの製造コストを低減することが可能となる。
【発明の効果】
【００１８】
この発明の磁気エンコーダは、多極磁石は、磁性粉とメッキ処理した磁性粉との混合磁性粉として、混合磁性粉に非磁性金属粉をさらに混合させた原料粉を焼結させたので、焼成温度範囲を従来技術に係る焼成温度範囲よりも大きくするとともに、焼成品の強度を必要十分に満たす磁気エンコーダを得ることができる。焼成温度範囲を上記のように大きくすることができるので、量産用大型焼成炉等を用いて焼成品の強度を必要十分に満たすワークを得ることが可能となる。したがって焼成炉で一度に焼成できるワーク数を従来技術のものより増やすことができる。量産時において焼成工程の工数を低減することができるので、磁気エンコーダ一個あたりの製造コストを低減することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、図面を参照しながら本発明を実施するための形態を、複数の形態について説明する。以下の説明においては、各形態で先行する形態で説明している事項に対応している部分には同一の参照符を付し、重複する説明を略する場合がある。構成の一部のみを説明している場合、構成の他の部分は、先行して説明している形態と同様とする。実施の各形態で具体的に説明している部分の組合せばかりではなく、特に組合せに支障が生じなければ、実施の形態同士を部分的に組合せることも可能である。
【００２０】
本実施形態に係る磁気エンコーダは、たとえば自動車用アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）における車輪回転数を検出する回転検出装置に装着されるベアリングシールの構成部品として適用される。ただし自動車用だけに必ずしも限定されるものではなく、二輪車、鉄道車両、搬送車両など種々の車両に適用可能であり、さらに各種の軸受や軸受の周辺部材に取り付け可能である。以下の説明は、磁気エンコーダの製造方法についての説明をも含む。
【００２１】
この発明の第１の実施形態を図１ないし図３と共に説明する。図１に示すように、この磁気エンコーダ１０は、金属製の環状の芯金１１と、この芯金１１の表面に周方向に沿って設けられた多極磁石１４とを備える。多極磁石１４は周方向に多極に磁化され、交互に磁極Ｎ，Ｓが形成された部材であり、多極に磁化された磁気ディスクからなる。磁極Ｎ，Ｓは、図２に示すように、ピッチ円直径（略称ＰＣＤ；Pitch Circle Diameter）において、所定のピッチｐとなるように形成されている。
【００２２】
この磁気エンコーダ１０は、回転部材（図示せず）に取付けられ、図３に示すように多極磁石１４に磁気センサ１５を対面させて回転検出に使用されるものであり、磁気エンコーダ１０と磁気センサ１５とで回転検出装置２０が構成される。同図は、磁気エンコーダ１０を軸受（図示せず）のシール装置５の構成要素とした応用例を示し、磁気エンコーダ１０は、軸受の回転側の軌道輪に取付けられる。シール装置５は、磁気エンコーダ１０と、固定側のシール部材９とで構成される。シール装置５の具体構成については後に説明する。
【００２３】
多極磁石１４は、非磁性金属粉に対して親和性を有するメッキ処理を施した一の磁性粉と、前記めっき処理を施さない他の磁性粉とを混合した混合磁性粉に、非磁性金属粉をさらに混合させた原料粉を焼結させて成る。多極磁石１４に混入する磁性粉としては、バリウム系およびストロンチウム系などの等方性または異方性フェライト粉であっても良い。これらのフェライト粉は顆粒状粉体であっても、湿式異方性フェライトコアからなる粉砕粉であっても良い。この湿式異方性フェライトコアからなる粉砕粉を磁性粉とした場合、非磁性金属粉との混合粉を磁場中で成形された異方性のグリーン体とする必要がある。
【００２４】
また、磁性粉は希土類系磁性材料であっても良い。例えば希土類系磁性材料であるサマリウム鉄（ＳｍＦｅＮ）系磁性粉やネオジウム鉄（ＮｄＦｅＢ）系磁性粉のそれぞれ単独磁性粉であっても良い。磁性粉はマンガンアルミ（ＭｎＡｌ）ガスアトマイズ粉であっても良い。磁性粉は、サマリウム鉄（ＳｍＦｅＮ）系磁性粉、ネオジウム鉄（ＮｄＦｅＢ）系磁性粉、およびマンガンアルミ（ＭｎＡｌ）ガスアトマイズ粉のいずれか２種以上を混合させたものであっても良い。例えば、磁性粉はサマリウム鉄（ＳｍＦｅＮ）系磁性粉とネオジウム鉄（ＮｄＦｅＢ）系磁性粉とを混合させたもの、マンガンアルミガスアトマイズ粉とサマリウム鉄系磁性粉とを混合させたもの、およびサマリウム鉄系磁性粉とネオジウム鉄系磁性粉とマンガンアルミガスアトマイズ粉とを混合させたもの、のいずれかであっても良い。また、例えば、フェライト分だけでは磁力が足りない場合に、フェライト粉に希土類系磁性材料であるサマリウム鉄（ＳｍＦｅＮ）系磁性粉やネオジウム鉄（ＮｄＦｅＢ）系磁性粉を必要量だけ混合し、磁力向上を図りつつ安価に製作することもできる。
【００２５】
メッキには、たとえば、黒色クロームメッキ、黒色ニッケルメッキ（黒ニッケル）、ニッケル−鉄、ニッケル−コバルト−タングステン、錫メッキ、亜鉛−鉄合金メッキ、銅−ニッケル、銅錫（ブロンズ）メッキ、鉄・カーボン合金メッキ、カニゼンメッキ（無電解ニッケルメッキ）、錫−ニッケルメッキ、錫−ニッケル−銅メッキ、錫−鉛メッキ、錫−亜鉛合金メッキ、鉛メッキ、亜鉛−ニッケル合金メッキ等があげられる。ただし後述する非磁性金属粉に対して親和性が良好なメッキを選択する。たとえば金属バインダである錫との親和性から、錫メッキ、錫−ニッケルメッキが好適である。
【００２６】
磁性粉末の表面にメッキ処理を施した磁性粉と、「メッキ磁性粉」と称す。メッキ処理を施していない磁性粉を、「非メッキ磁性粉」と称す。メッキ磁性粉と非メッキ磁性粉との混合磁性粉において、メッキ磁性粉の割合は１０ｗｔ％以上３０ｗｔ％以下に設定されている。メッキ磁性粉を上記割合に設定することで、焼成温度の下限温度を下げることが可能となる。これによって、バインダ成分である非磁性金属粉が溶融して成形体から流出することを極力防止できるうえ、焼成炉中の温度分布が生じても、焼成炉に充填するワーク数を減らさずに済むために、量産時において磁気エンコーダ一個あたりの製造コストが高くなることはない。メッキ磁性粉の割合の上限値は３０ｗｔ％以下で足りる。換言すれば、主にメッキ処理しない磁性粉に基づいて、メッキ処理した磁性粉を混合させて混合磁性粉を得ることができる。よって本構成によると、たとえば混合磁性粉の大部分にメッキ処理した磁性粉を適用する場合と比べて、製造コストの低減を図ることができる。
【００２７】
多極磁石１４を形成する非磁性金属粉には、スズ、銅、アルミ、ニッケル、亜鉛、タングステン、マンガンなどの粉体、または非磁性のステンレス系金属粉のいずれか単独（１種）の粉体、もしくは２種以上からなる混合した粉体、もしくは２種以上からなる合金粉末を使用することができる。
【００２８】
磁性粉および非磁性金属粉はいずれも平均粒径で１０μｍ以上１５０μｍ以下が良く、好ましくは２０μｍ以上１３０μｍ以下が好適である。これら粉体のいずれか一方または両方の平均粒径が１０μｍより小さいと、混合粉にして常温下、金型内で加圧成形して圧粉体を得ようとしても、金型内にうまく混合粉が流れ込まないことがあり、所定形状の圧粉体を形成できない。また、これら粉体のいずれか一方または両方の平均粒径が１５０μｍより大きいと、混合粉にして常温下、金型内で加圧成形して圧粉体を得ようとしても、圧粉体強度が出ないために、金型から脱型できず成形できない。上述した平均粒径範囲の磁性粉と非磁性金属粉を予め決められた配合比で粉体混合機を用いて混合し、この混合粉を常温下、金型内で加圧成形することにより圧粉体を得る。
【００２９】
多極磁石１４を形成する原料粉であって、混合磁性粉に非磁性金属粉をさらに混合させた原料粉中の割合において、磁性粉でない非磁性金属粉の体積配合率は、１ｖｏｌ％以上で９０ｖｏｌ％以下が良いが、望ましくは５ｖｏｌ％以上８５ｖｏｌ％以下、さらに望ましくは１０ｖｏｌ％以上８０ｖｏｌ％以下が良い。磁性粉でない非磁性金属粉の体積含有率が１ｖｏｌ％よりも少ないと、金属バインダとして非磁性金属粉が少ないため、焼結後得られた多極磁石１４は、硬いが脆い。このため、後述するように、多極磁石１４とする焼結体を芯金１１上に加締加工や圧入加工などで機械的に固定しようとしても、割れてしまう。また、金属バインダとして少なすぎるために、圧粉体が成形できない場合がある。
【００３０】
本実施形態では、非磁性金属粉の体積配合率を１ｖｏｌ％以上にしたので、焼結後得られる多極磁石１４が脆くなることを未然に防止することができる。したがって多極磁石１４とする焼結体を、割れることなく、芯金１１上に加締加工や圧入加工などで機械的に固定することができる。また圧粉体を確実に成形することができる。それ故、磁気エンコーダ１０を製造する際の歩留まりを上げることが可能となる。
【００３１】
磁性粉でない非磁性金属粉の体積含有率が９０ｖｏｌ％より多いと、相対的に磁性成分が少ないため、焼結後、得られた多極磁石１４の着磁強度を大きくできず、磁気エンコーダ１０に所望される安定したセンシングの得られる磁力を確保することができない。本実施形態では、非磁性金属粉の体積配合率を９０ｖｏｌ％以下にしたので、焼結後、得られる多極磁石１４の着磁強度を大きくすることができる。したがって、安定したセンシングの得られる磁力を確保し得る磁気エンコーダ１０を実現することが可能となる。
【００３２】
圧粉体作製にあたり、磁性粉と非磁性金属粉との配合時に、例えば、ステアリン酸亜鉛などのような潤滑剤を添加して圧粉体成形性を改善することもできる。これらの圧粉体（グリーン体）は、５ｖｏｌ％以上３０ｖｏｌ％以下の空孔が形成されていることが望ましい。好ましくは１２ｖｏｌ％以上２２ｖｏｌ％以下、さらに好ましくは１４ｖｏｌ％以上１９ｖｏｌ％以下である。空孔率が５ｖｏｌ％より少ない場合、成形圧力を除圧する際に原料粉の弾性変形の回復により生じるスプリングバックにより、圧粉体（グリーン体）が破損する可能性がある。また、空孔が３０ｖｏｌ％よりも多い場合、焼結体の機械的強度が弱くなるため、後述するように、芯金１１上に加締加工や圧入加工などで機械的に固定しようとしても割れてしまう。また、粒子間の密着不足により、圧粉体（グリーン体）が成形できない場合がある。
【００３３】
本実施形態では、圧粉体に、５ｖｏｌ％以上３０ｖｏｌ％以下の空孔を形成したので、成形圧力を除圧する際に前記スプリングバックにより、圧粉体（グリーン体）が破損することを確実に防止することができる。しかも、焼結体の機械的強度が弱くなることを防止し、芯金１１上に多極磁石１４を割れることなく加締加工や圧入加工などで機械的に固定することができる。また粒子間の密着不足を解消することで、圧粉体（グリーン体）を確実に成形することができる。
【００３４】
磁性粉および非磁性金属粉は高価であることから、板厚は薄い方が好ましい。圧縮成形性およびハンドリングから、好ましい板厚は０．３ｍｍ以上５ｍｍ以下、さらに好ましくは０．６ｍｍ以上３ｍｍ以下である。板厚が０．３ｍｍよりも薄い場合、金型内への充填が困難であり、グリーン成形体が得難い。また、得られたグリーン成形体もハンドリング時に破損してしまう可能性があるので好ましくない。一方、グリーン成形体の板厚が１０ｍｍよりも厚い場合、成形性やハンドリングは向上するが、コスト面では不利となる。また、板厚が厚すぎるとグリーン成形体の密度むらが発生しやすくなり、焼成後の変形が生じやすくなるという問題がある。これらの点から、板厚は０．３ｍｍ以上５ｍｍ以下が好ましい。
【００３５】
本実施形態では、上記板厚を０．３ｍｍ以上５ｍｍ以下にしたことにより、金型内への磁性粉および非磁性金属粉の充填を容易にし、グリーン成形体を確実に得ることができる。また得られたグリーン成形体もハンドリング時に破損するおそれがなく好ましい。また板厚が１０ｍｍよりも厚いグリーン成形体に比べて、材料費の低減を図りコスト面で有利となるうえ、グリーン成形体の密度むらを抑制することができ、焼成後の変形を極力抑えることが可能となる。
【００３６】
得られたグリーン成形体は、図４のように炉内で加熱焼結することで、ディスク形状の焼結体とされる。この炉内での加熱焼結は、大気中、電気炉で行っても良く、また真空炉により、または不活性ガスを流入しながらプッシャー炉、もしくはイナート炉で行っても良い。
【００３７】
磁気エンコーダ１０を形成する焼結体は、防錆処理のために、例えば図５のように防錆被膜２２を施しても良い。この防錆被膜２２は換言すれば防食被膜である。この防錆被膜２２には、クリヤー系の高防食性塗料を用いることができる。この塗料は芯金１１と焼結体間の接着剤としての効果も期待でき、また焼結多孔質体表層の空孔内部に浸入し、クリヤー塗膜成分のアンカー効果により表面で好適に保持され、長期間の使用においても防錆被膜層として良好な密着性を維持することができる。
【００３８】
クリヤー系の高防食性塗料としては、変性エポキシ塗料、変性エポキシフェノール硬化タイプ塗料、エポキシメラミン系塗料、アクリル系塗料などが挙げられる。これらの中で、とくに変性エポキシフェノール硬化系およびエポキシメラミン系のクリヤー系塗料が好適である。また、脂肪または洗浄した焼結体にクリヤーを真空含浸、デッピング（浸漬）、吹付け（スプレー）塗装、静電塗装等の方法によって塗布し、自然または強制的に風乾して焼結体に付着したクリヤー中の溶剤成分を除去し、所定の焼付条件（温度・時間）でクリヤー層を焼結体上に焼付けることで、図５のように、多極磁石１４の表面に防錆被膜２２を形成しても良い。この防錆被膜２２は、磁気エンコーダ１０全体の表面に形成しても良い。この磁気エンコーダ１０を例えば車輪用軸受に取付ける場合、上記のように形成された防錆（食）被膜の膜厚は、車輪用軸受として要求される耐食性能を満足できる厚みであれば特に制限されないが、望ましくは０．５μｍ以上が良い。
【００３９】
車輪用軸受として使用されるとき、上記磁気センサ１５と磁気エンコーダ１０表面の間隙に砂粒などを噛み込むと、磁気エンコーダ１０表面に傷を付けることがある。被膜の厚みが０．５μｍより薄いと、その傷は基材である焼結体まで到達してしまい、そこからの錆の発生が防止できないことがある。本実施形態では、防錆（食）被膜の膜厚を０．５μｍ以上にしたので、磁気センサ１５と磁気エンコーダ１０表面の間隙に砂粒などを噛み込んだとしても、焼結体まで傷が到達することがなく、そこからの錆の発生を未然に防止することができる。このように、車輪用軸受として要求される耐食性能を満足できる。
【００４０】
芯金１１の材質となる金属は、磁性体、特に強磁性体となる金属が好ましく、例えば磁性体でかつ防錆性を有する鋼板が用いられる。このような鋼板として、フェライト系のステンレス鋼板（ＪＩＳ規格のＳＵＳ４３０系等）や、防錆処理された圧延鋼板等を用いることができる。
【００４１】
芯金１１の形状は、種々の円環状の形状とできるが、多極磁石１４を固定できる形状が好ましい。特に、加締固定や嵌合固定等の機械的な固定が行える形状が好ましい。加締固定の場合、芯金１１は、例えば図１（Ｂ）に示すように、嵌合側となる内径側の円筒部１１ａと、その一端から外径側へ延びる立板部１１ｂと、外径縁の他筒部１１ｃとでなる断面概ね逆Ｚ字状の円環状とする。
【００４２】
円筒部１１ａ、立板部１１ｂ、および他筒部１１ｃは、鋼板等の金属板から一体にプレス成形されたものである。立板部１１ｂは平坦に形成されており、その平坦な立板部１１ｂの表面に重ねて多極磁石１４の未着磁の焼結体を組み込み、外周縁の他筒部１１ｃを加締めることで、芯金１１の立板部１１ｂに重なり状態に多極磁石１４が固定される。上記他筒部１１ｃは、その断面における先端側部分または略全体が、加締部となる。この加締部は、芯金１１の円周方向の全周にわたって延び、したがって円環状となっている。
【００４３】
多極磁石１４の加締部である他筒部１１ｃにより固定される部分は、多極磁石１４の被検出面となる表面よりも凹む凹み部１４ａとなっていて、芯金１１の加締部である他筒部１１ｃが、多極磁石１４の被検出面となる表面から突出しないようにされている。上記凹み部１４ａは、多極磁石１４の被検出面となる表面よりも若干背面側に後退した段差部として形成されている。多極磁石１４の外周縁における凹み部１４ａよりも裏面側の部分は、断面が円弧状の曲面とされ、この曲面部分に沿うように、他筒部１１ｃの加締部分が形成される。加締固定は、図５に断面図で示すように、多極磁石１４の外周部を全周にわたって加締固定してもよい。
【００４４】
また、加締固定は、図６，図７に断面図および正面図で示すように行っても良い。この例では、芯金１１を図１の例と同じく、内径側の円筒部１１ａと、その一端から外径側へ延びる立板部１１ｂと、その外径縁の円筒状の他筒部１１ｃとでなる断面概ね逆Ｚ字状の円環状としている。その他筒部１１ｃにおける周方向の複数箇所に、ステーキング等によって、内径側へ突出状態に塑性変形させた塑性変形部１１ｃａを設け、その塑性変形部１１ｃａにより多極磁石１４を芯金１１の立板部１１ｂに固定している。この例においても、多極磁石１４の塑性変形部１１ｃａにより固定される部分は、多極磁石１４の被検出面となる表面よりも凹む凹み部１４ｂとなっていて、これにより塑性変形部１１ｃａが多極磁石１４の被検出面となる表面に突出しないように形成されている。凹み部１４ｂは、外径側に至に従って表面から背面側へ近づく傾斜面１４ｂとされている。
【００４５】
図１および図６に示す各例において、芯金１１は、図８のように、立板部１１ｂが、内周側部分１１ｂａと外周側部分１１ｂｂとで互いに軸方向にずれた段付き形状を成すものとしても良い。図８において、図示は省略するが、多極磁石１４は、図１などの例と同様に立板部１１ｂにおける他筒部１１ｃの突出側の面に配置される。
【００４６】
さらに、図９に示すように、上記各例と同様に断面概ね逆Ｚ字状とされた芯金１１において、その他筒部１１ｃの端縁における円周方向複数箇所に舌片状の爪部１１ｃｂを設け、この舌片状爪部１１ｃｂを矢印のように内径側へ塑性変形させることにより、つまり加締ることにより、多極磁石１４を芯金１１に固定しても良い。多極磁石１４は、図１などの例と同様に立板部１１ｂにおける他筒部１１ｃの突出側の面に配置される。この例においても、図８の例と同様に、立板部１１ｂを段付き形状としている。立板部１１ｂを段付きとした場合、多極磁石１４の立板部１１ｂ側の側面形状は、図９（Ｂ）に示すように、立板部１１ｂの段付き形状に沿った側面形状としてもよい。
【００４７】
なお、圧入固定の場合、例えば図１０に示すように、芯金１１を、内径側の円筒部１１ａと、その一端から外径側へ延びる立板部１１ｂ”とでなる断面Ｌ字状の円環状とする。円筒部１１ａと立板部１１ｂ”とは、鋼板等の金属板から一体にプレス成形されたものである。立板部１１ｂ”は平坦に形成されており、その平坦な立板部１１ｂ”まで、多極磁石１４となるディスク状の焼結体を円筒部１１ａの外周に圧入して固定する。立板部１１ｂ”の高さは、多極磁石１４の内周部付近が当たる高さとされる。
【００４８】
また、上記各例では芯金１１を鋼板プレス成形品製としたが、図１１に示すように、芯金１１は、鋼材等の削り出し品からなるものとしても良い。同図の例の芯金１１は立板部１１ｂの溝部１１ｂａを切削加工溝としている。
【００４９】
上記のように、金属環状部材である芯金１１に周方向に沿って設けられた混合磁性粉焼結磁石ディスクは、周方向に多極に着磁することにより多極磁石１４となり、この多極磁石１４と芯金１１とで磁気エンコーダ１０が構成される。この場合に、非磁性金属粉をバインダとして、磁性粉とメッキ処理した磁性粉との混合磁性粉を、混入した混合磁性粉焼結磁石ディスク（焼結体）は、その非磁性金属粉と上記混合磁性粉の組成比を調整しながら粉体混合機で分散させることで粉体同士のドライブレンドとすることができる。そのため焼結体中の上記混合磁性粉の相対的な含有率（体積分率）を上げられる。したがって、磁気センサ１５（図３）に安定してセンシングされる磁力が容易に得られ、多極磁石１４を厚くする必要がない。したがって、材料費の低減を図りコスト面で有利となる。また磁気エンコーダ１０の軽量化を図ることができる。
【００５０】
この構成の磁気エンコーダ１０は、図３と共に前述したように、多極磁石１４に磁気センサ１５を対面させて回転検出に使用される。磁気エンコーダ１０を回転させると、多極磁石１４の多極に磁化された各磁極Ｎ，Ｓの通過が磁気センサ１５で検出され、パルスのかたちで回転が検出される。磁極Ｎ，Ｓのピッチｐ（図２）は細かく設定でき、例えばピッチｐが１．５ｍｍ、ピッチ相互差±３％という精度を得ることもでき、これにより精度の高い回転検出が行える。ピッチ相互差は、磁気エンコーダ１０から所定距離だけ離れた位置で検出される各磁極間の距離の差を目標ピッチに対する割合で示した値である。磁気エンコーダ１０が図３のように軸受のシール装置５に応用されたものである場合、磁気エンコーダ１０の取付けられた軸受の回転が検出されることになる。
【００５１】
多極磁石１４は、磁性粉の混入した焼結体（混合磁性粉焼結ディスク）からなるため、次に示すように、安定したセンシングの得られる磁力を確保しながら薄肉化できて、磁気エンコーダ１０のコンパクト化が図れるうえ、耐摩耗性に優れ、また生産性にも優れたものとなる。
【００５２】
さらに、多極磁石１４の表面硬度は、従来の磁性粉や磁性粒子の含有する弾性部材やエラストマー製のコーダに比べて硬い。そのため、車輪回転検出のための回転検出装置２０に応用した場合に、車両走行中に回転側の多極磁石１４の表面と固定側の磁気センサ１５の表面の間隙に、砂粒などの粒子が噛み込まれても、多極磁石１４の摩耗損傷が生じ難く、従来の弾性体製としたものに比べて、摩耗の大幅な低減効果がある。
【００５３】
なお、金属環状部材である芯金１１に周方向に沿って設けられた多極磁石１４となる混合磁性粉焼結磁石ディスク表面の平坦度は、２００μｍ以下が良いが、望ましくは１００μｍ以下が良い。ディスク表面の平坦度が２００μｍより上である場合、磁気センサ１５とディスク面の間隙（エアギャップ）が、磁気エンコーダ１０の回転中に変化することで、センシング精度を悪化させてしまう。同様の理由で、磁気エンコーダ１０の回転中における、混合磁性粉焼結磁石ディスク表面の面振れも、２００μｍ以下が良く、望ましくは１００μｍ以下が良い。
【００５４】
＜実施例１＞
金属磁気エンコーダに用いる希土類磁性材料のサマリウム鉄（ＳｍＦｅＮ）の表面に、金属バインダである錫に対して親和性が良好な錫メッキを施した。希土類磁性粉は、ＳｍＦｅＮ磁性粉である株式会社ネオマックス製ＨＳＢ−Ｂを用いた。
希土類磁性粉への錫メッキは、
水１Lに対して塩化スズ50g、リン酸 100g、およびグリセリン5cc入れて、常温下で0.01Ａ/m2の電流密度で、5分間おこなった。メッキ処理粉の断面を調べたところ、磁性粉表面に３μmの厚みでスズのメッキ層が均一に付いていた。この処理磁性粉と未処理の磁性粉を２０：８０の比率で混合して混合磁性粉とした。
【００５５】
この混合磁性粉とスズ粉（福田金属箔粉工業株式会社製Ｓｎ−Ａｔ−Ｗ２５０）を重量比５５：４５でＶブレンダーで混合し、その後、圧粉成形して焼成前の成形体（外径25mm、内径10mm、厚み1.5mm）を得た。この成形体を216℃から236°の範囲で2℃毎に焼成温度を設定して小型試験炉（炉内温度分布0.5℃以下）で大気雰囲気で１時間焼成して圧壊試験用のテストピースを製作した。
テストピースの圧壊試験は、テンシロン（オリエンテック株式会社製Ｕ５Ｔ）を用いて、テストピース支点間隔16mmとして先端R 2mmのくさび形ヘッドをヘッドスピード1mm/minで下降させた。この時の圧壊荷重で1.6ｋｇ以上を合格とした。焼成温度で218℃から230℃の間では、圧壊荷重値は合格した。
【００５６】
＜実施例２＞
金属磁気エンコーダに用いる希土類磁性材料のサマリウム鉄（ＳｍＦｅＮ）の表面に、金属バインダである錫に対して親和性が良好な錫−ニッケルメッキを施した。評価は、焼成したテストピースの圧壊荷重でおこなった。希土類磁性粉は、ＳｍＦｅＮ磁性粉である株式会社ネオマックス製ＨＳＢ−Ｂを用いた。
希土類磁性粉への錫−ニッケルメッキは、
水1Lに対して塩化スズ30g、塩化ニッケル 300g、およびフッ化水素アンモニウム60gを入れてその後アンモニア水を添加してｐＨ2.5とし、65℃に加熱した後0.01〜0.04Ａ/m2の電流密度範囲で、5分間メッキ処理をおこなった。メッキ処理粉の断面を調べたところ、磁性粉表面に３μmの厚みでスズのメッキ層が均一に付いていた。この処理磁性粉と未処理の磁性粉を２０：８０の比率で混合して混合磁性粉とした。
【００５７】
この混合磁性粉とスズ粉（福田金属箔粉工業株式会社製Ｓｎ−Ａｔ−Ｗ２５０）を重量比５５：４５でＶブレンダーで混合し、その後、圧粉成形して焼成前の成形体（外径25mm、内径10mm、厚み1.5mm）を得た。この成形体を216℃から236°の範囲で2℃毎に焼成温度を設定して小型試験炉（炉内温度分布0.5℃以下）で大気雰囲気で１時間焼成して圧壊試験用のテストピースを製作した。
テストピースの圧壊試験は、テンシロン（オリエンテック株式会社製Ｕ５Ｔ）を用いて、テストピース支点間隔16mmとして先端R 2mmのくさび形ヘッドをヘッドスピード1mm/minで下降させた。この時の圧壊荷重で1.6ｋｇ以上を合格とした。焼成温度で216℃から232℃の間では、圧壊荷重値は合格した。
【００５８】
以上説明した磁気エンコーダ１０によると、多極磁石１４は、メッキ磁性粉と非メッキ磁性粉との混合磁性粉に、非磁性金属粉をさらに混合させた原料粉を焼結させたので、焼成温度範囲を従来技術に係る焼成温度範囲よりも大きくするとともに、焼成品の強度を必要十分に満たす磁気エンコーダ１０を得ることができる。焼成温度範囲を上記のように大きくすることができるので、量産用大型焼成炉等を用いて焼成品の強度を必要十分に満たすワークを得ることが可能となる。したがって焼成炉で一度に焼成できるワーク数を従来技術のものより増やすことができる。量産時において焼成工程の工数を低減することができるので、磁気エンコーダまたは多極磁石一個あたりの製造コストを低減することが可能となる。
【００５９】
上記メッキ磁性粉のメッキ処理は、バインダ成分である非磁性金属粉に対して親和性を有するメッキを施す処理であることが好ましい。この構成によると、非磁性金属粉とメッキ部分との結び付きが格段に高まり、焼成品の強度を必要十分に満たす多極磁石を得ることが可能となる。たとえば金属バインダに錫を採用した場合、錫との親和性から、錫メッキ、錫−ニッケルメッキ等を適用することが好ましい。この場合、金属バインダである錫が溶融して混合磁性粉を充分に結着させることができる。従来の焼成炉の焼成温度範囲の上限値を超えた場合であっても、錫が溶融して成形体から流出することを防止できるとともに、焼成品の強度を必要十分に満たすことができる。
【００６０】
メッキ磁性粉と非メッキ磁性粉との混合磁性粉のうち、メッキ磁性粉の割合は、１０ｗｔ％以上３０ｗｔ％以下であることが好ましい。この構成によると、焼成温度の下限温度を下げることが可能となるので、バインダ成分である非磁性金属粉が溶融して成形体から流出することを防止できるうえ、焼成炉中の温度分布が生じても、焼成炉に充填するワーク数を減らさずに済むために、量産時において磁気エンコーダ一個あたりの製造コストが高くなることはない。メッキ処理した磁性粉の割合の上限値は３０ｗｔ％以下で足りる。換言すれば、主に非メッキ磁性粉に基づいて、メッキ磁性粉を混合させて混合磁性粉を得ることができる。よって本構成によると、たとえば混合磁性粉の大部分にメッキ磁性粉を適用する場合と比べて、製造コストの低減を図ることができる。
【００６１】
次に、この磁気エンコーダ１０を備えた車輪用軸受の一例、およびそのシール装置５の例を、図１２，図１３と共に説明する。図１２に示すように、この車輪用軸受は、内方部材１および外方部材２と、これら内外の部材１，２間に収容される複数の転動体３と、内外の部材１，２間の端部環状空間を密封するシール装置５，１３とを備える。一端のシール装置５は、磁気エンコーダ１０付きのものである。内方部材１および外方部材２は、転動体３の軌道面１ａ，２ａを有しており、各軌道面１ａ，２ａは溝状に形成されている。内方部材１および外方部材２は、各々転動体３を介して互いに回転自在となった内周側の部材および外周側の部材のことであり、軸受内輪および軸受外輪の単独であっても、これら軸受内輪や軸受外輪と別の部品とが組合わさった組立部材であっても良い。また、内方部材１は、軸であっても良い。転動体３は、ボールまたはころからなり、この例ではボールが用いられている。
【００６２】
この車輪用軸受は、複列の転がり軸受、詳しくは複列のアンギュラ玉軸受とされていて、その軸受内輪は、各転動体列の軌道面１ａ，１ａがそれぞれ形成された一対の分割型の内輪１８，１９からなる。これら内輪１８，１９は、ハブ輪６の軸部の外周に嵌合し、ハブ輪６と共に上記内方部材１を構成する。なお、内方部材１は、上記のようにハブ輪６および一対の分割型の内輪１８，１９からなる３部品の組立部品とする代わりに、ハブ輪６および片方の内輪１８が一体化された軌道面付きのハブ輪と、もう片方の内輪１９とで構成される２部品からなるものとしても良い。
【００６３】
ハブ輪６には、等速自在継手７の一端（例えば外輪）が連結され、ハブ輪６のフランジ部６ａに車輪（図示せず）がボルト８で取付けられる。等速自在継手７は、その他端（例えば内輪）が駆動軸に連結される。外方部材２は、軸受外輪からなり、懸架装置におけるナックル等からなるハウジング（図示せず）に取付けられる。転動体３は各列毎に保持器４で保持されている。
【００６４】
図１３は、磁気エンコーダ付きのシール装置５を拡大して示す。このシール装置５は、図３に示したものと同じであり、その一部を前述したが、図１３において、詳細を説明する。このシール装置５は、磁気エンコーダ１０またはその芯金１１がスリンガとなり、内方部材１および外方部材２のうちの回転側の部材に取付けられる。この例では、回転側の部材は内方部材１であるため、磁気エンコーダ１０は内方部材１に取付けられる。
【００６５】
このシール装置５は、内方部材１と外方部材２に各々取付けられた第１および第２の金属板製の環状のシール板（１１），１２を有する。第１のシール板（１１）は、上記磁気エンコーダ１０における芯金１１のことであり、以下、芯金１１として説明する。磁気エンコーダ１０は、図１ないし図３と共に前述した第１の実施形態にかかるものであり、その重複する説明を省略する。この磁気エンコーダ１０における多極磁石１４に対面して、同図のように磁気センサ１５を配置することにより、車輪回転速度の検出用の回転検出装置２０が構成される。
【００６６】
第２のシール板１２は、上記シール部材９（図３）を構成する部材であり、第１のシール板である芯金１１の立板部１１ｂに摺接するサイドリップ１６ａと円筒部１１ａに摺接するラジアルリップ１６ｂ，１６ｃとを一体に有する。これらリップ１６ａ〜１６ｃは、第２のシール板１２に加硫接着された弾性部材１６の一部として設けられている。これらリップ１６ａ〜１６ｃの枚数は任意で良いが、図１３の例では、１枚のサイドリップ１６ａと、軸方向の内外に位置する２枚のラジアルリップ１６ｃ，１６ｂとを設けている。第２のシール板１２は、固定側部材である外方部材２との嵌合部に弾性部材１６を抱持したものとしてある。すなわち、弾性部材１６は、円筒部１２ａの内径面から先端部外径までを覆う先端覆い部１６ｄを有するものとし、この先端覆い部１６ｄが、第２のシール板１２と外方部材２との嵌合部に介在する。第２のシール板１２の円筒部１２ａと第１のシール板である芯金１１の他筒部１１ｃとは僅かな径方向隙間をもって対峙させ、その隙間でラビリンスシール１７を構成している。
【００６７】
この構成の車輪用軸受によると、車輪と共に回転する内方部材１の回転が、この内方部材１に取付けられた磁気エンコーダ１０を介して、磁気センサ１５で検出され、車輪回転速度が検出される。磁気エンコーダ１０は、シール装置５の構成要素としたため、部品点数を増やすことなく、車輪の回転を検出することができる。車輪用軸受は、一般に路面の環境下にさらされた状態となり、磁気エンコーダ１０とこれに対面させる磁気センサ１５との間に砂粒等の粒子が噛み込むことがあるが、上記のように磁気エンコーダ１０の多極磁石１４は焼結体からなるものであって硬質であるため、多極磁石１４の表面の摩耗損傷は従来の弾性体製のものに比べて大幅に低減される。
【００６８】
また車輪用軸受５における軸受端部の空間は、周辺に等速ジョイント７や軸受支持部材（図示せず）があって限られた狭い空間となるが、磁気エンコーダ１０の多極磁石１４が上記のように薄肉化できるため、回転検出装置２０の配置が容易になる。内外の部材１，２間のシールについては、第２のシール板１２に設けられた各シールリップ１６ａ〜１６ｃの摺接と、第２のシール板１２の円筒部１２ａに第１のシール板である芯金１１の他筒部１１ｃが僅かな径方向隙間で対峙することで構成されるラビリンスシール１７とで得られる。
【００６９】
図１２および図１３に示す車輪用軸受では、磁気エンコーダ１０の芯金１１を、図１の形状のものとした場合について示しているが、磁気エンコーダ１０として図６〜図１１に示した各例のものを用いても良い。また、磁気エンコーダ１０を軸受のシール装置５の構成要素とする場合等において、多極磁石１４を、上記各実施形態とは逆に軸受に対して内向きに設けても良い。すなわち、多極磁石１４を芯金１１の軸受内側の面に設けても良い。その場合、芯金１１は非磁性体製のものとすることが好ましい。
【００７０】
さらに、磁気エンコーダ１０は、上記各実施形態のように多極磁石１４を軸方向に向けたものに限らず、例えば図１４に示すように、径方向に向けて設けても良い。同図の例は、シール装置５のスリンガとなるシール板である芯金１１Ａに、その立板部１１ｂから軸方向の外側へ延びる第２の円筒部１１ｄを設け、第２の円筒部１１ｄの外周に多極磁石１４を固定している。すなわち、第２の円筒部１１ｄの先端には外径側へ延びる加締板部１１ｅを一体に設け、この加締板部１１ｅを加締ることで、多極磁石１４に第２の円筒部１１ｄの外周面に固定している。立板部１１ｂは円筒部１１ａから外径側に延びている。すなわち、この例の芯金１１Ａは、円筒部１１ａ、立板部１１ｂ、および第２の円筒部１１ｄが順次続く断面概ね逆Ｚ字状の部分に、その第２の円筒部１１ｄの先端から加締板部１１ｅが外径側へ一体に延びた形状のものとされている。磁気センサ１５は、多極磁石１４に対して径方向に対面配置する。
【００７１】
図１５は、磁気エンコーダ１０の多極磁石１４を径方向に向けて設けた他の実施形態を示す。図１６は、図１５の磁気エンコーダ１０を同図の矢印Ａ方向から見た半部を示す。この実施形態では、シール装置５のスリンガとなる第１のシール板である芯金１１Ｂが、内方部材１の外径面に嵌合する円筒部１１ａと、その一端から外径側へ延びて内径側へ折り重ねられた二重の立板部１１ｂｂと、その立板部１１ｂｂから軸方向に延びる第２の円筒部１１ｄとを有し、その円筒部１１ｄの一端に周方向に分散形成した複数の下片状の爪部１１ｆが設けられている。多極磁石１４は、第２の円筒部１１ｄの外径面に重なって配置され、上記爪部１１ｆを加締めることで、第２の円筒部１１ｄに固定されている。
【００７２】
また、この実施形態では、内方部材１の一端部外径面に、芯金１１Ｂの円筒部１１ａを嵌合させる小径部１ｂが段差を持って形成され、この小径部１ｂに円筒部１１ａが嵌合させてある。これにより、内方部材１における小径部１ｂの段差面に円筒部１１ａの一端が当接して、磁気エンコーダ１０が軸方向に位置決めされる。芯金１１Ｂの第２の円筒部１１ｄには、多極磁石１４の配置を妨げない範囲で除肉部１１ｄａが形成され、磁気エンコーダ１０の軽量化が図られている。除肉部１１ｄａは、円周方向の複数箇所に設けた開口からなる。多極磁石１４の爪部１１ｆで抑えられる面が傾斜面の凹み部１４ｂとされていることは、図６の例と同様である。この実施形態におけるその他の構成は、図１２，図１３に示した実施形態と同じである。
【００７３】
図１７は、磁気エンコーダ１０の多極磁石１４を径方向に向けて設けたさらに他の実施形態を示す。この実施形態では、図１５の実施形態において、芯金１１Ｂの爪部１１ｄと多極磁石１４との間に緩衝部材２１を介在させている。緩衝部材２１は、ゴム材または合成樹脂材からなり、例えばリング状のものとされている。その他の構成は図１５の実施形態と同じである。
【００７４】
なお、上記各実施形態の磁気エンコーダ１０は、いずれも軸受のシール装置５の構成部品とした場合につき説明したが、これら各実施形態の磁気エンコーダ１０は、シール装置５の構成部品とするものに限らず、単独で回転検出に利用することができる。例えば、図１の実施形態における磁気エンコーダ１０を、シール装置５とは別に軸受に設けても良い。また、図１８に示すように、磁気エンコーダ１０Ａは、多極磁石１４が径方向に向くように、円筒状の芯金１１Ｃの外径面に多極磁石１４を設けた構成のものとしても良い。その場合に、磁気エンコーダ１０を、車輪用軸受における外方部材２Ａの外径面に嵌合させて設けても良い。同図の車輪用軸受は、内方部材１Ａおよび外方部材２Ａのうちの外方部材２Ａを回転側の部材とし、外方部材２Ａに車輪取付フランジ２６を設けたものである。シール装置５Ａは、磁気エンコーダ１０Ａとは別に軸受に設けられる。外方部材２Ａは一対の分割内輪１８Ａ，１９Ａからなる。
【００７５】
さらに、この発明の磁気エンコーダは、多極磁石の芯金への固定構造等として次のいずれかる構造（１）〜（８）を採用したものとしても良い。これらの構造（１）〜（８）は上記の各説明とは別の観点でまとめ直したものである。
（１）．芯金は、回転側部材（例えば転がり軸受の回転輪）へ圧入する圧入部と、多極磁石を取付ける部分とが、相互に離間している。（例えば図１の実施形態）
（２）．上記（１）において、多極磁石の芯金への固定を、芯金を加締めた加締部によって行う。この場合に、多極磁石は芯金の一部に重ね、断面における多極磁石の一端を、芯金の加締により行う。（例えば図１，図１８の各実施形態）
【００７６】
（３）．上記（２）において、芯金の加締部が円周方向の複数箇所に別れている。（例えば図１６の実施形態）
（４）．上記（２）において、多極磁石の芯金の加締部で固定される部分が、多極磁石の被検出面となる表面よりも凹む凹み部となっていて、芯金の加締部が上記多極磁石の被検出面となる表面から突出しないものとする。上記凹み部は、例えば、上記被検出面となる表面に対して傾斜した傾斜面または段差面からなる。（例えば図１、図１６の各実施形態）
【００７７】
（５）．上記（２）において、芯金の多極磁石と接する面に、除肉部分を有する。（例えば図１７の実施形態）
（６）．上記（２）において、芯金の加締部が円周方向に延びる円弧状または円環状の部分である。（例えば図１、図１５の各実施形態）
（７）．上記（２）において、多極磁石の上記加締部で固定される部分と反対側の端部を当接される当接部が芯金に設けられている。この当接部は、芯金を回転側部材（例えば転がり軸受の回転輪）に対して軸方向に位置決めする位置決め手段を兼ねている。（例えば図１５の実施形態。その立板部１１ｂｂと円筒部１１ａとを併せた部分が、上記当接部となる。）。
（８）．上記（２）において、加締部で押えられる芯金表面部分と上記加締部との間に緩衝材が挿入されている。（例えば図１７の実施形態）
【００７８】
この磁気エンコーダは、上記（１）〜（８）などの新規の特徴を有する種々の多極磁石取付構成を可能とすることができ、そのため、応用範囲が広く、かつ高い信頼性を付与でき、非常に優れていると言える。本実施形態では、多極磁石と芯金とを有する磁気エンコーダが構成されるが、必ずしもこの構成に限定されるものではない。たとえば、軸受や軸受の周辺部材に、多極磁石を固着するための支持部品を予め準備しておき、該支持部品に、多極磁石を着脱可能に設ける構成にしてもよい。この場合には、多極磁石を種々のサイズの軸受に取付けることが可能となるので、多極磁石の汎用性を高めることができる。したがって多極磁石一個あたりの製造コストを低減することができる。
【００７９】
本実施形態では、バインダ成分である非磁性金属粉に対して親和性を有するメッキ処理を施しているが、メッキ処理の代替手段を用いることも可能である。メッキ処理の代替手段としては、たとえば、機械的方法として「メカノケミカル現象」を利用する表面改質法がある。このメカノケミカル現象とは、攪拌式の混合ではなく、改質用粉体および被改質用粉体を破砕しない程度に粉体表面に衝撃力、せん断力を加え、粒子界面での粉体粒子の埋設、部分溶解、架橋化が生じ改質用粉体が被改質用粉体表面に均一かつ強固に付着した複合化粒子を形成するものである。機械装置には、たとえば奈良機械製作所の「ハイブリダイザーＮＨＳ−０」などがある。本件では、子粒子を錫分として、母粒子を磁性粉とすれば磁性粒子の周囲に錫が均一に付着・膜化した複合粒子を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】（Ａ）はこの発明の第１の実施形態にかかる磁気エンコーダの部分斜視図、（Ｂ）は同磁気エンコーダの組立過程を示す部分斜視図である。
【図２】同磁気エンコーダを正面から示す磁極の説明図である。
【図３】同磁気エンコーダを備えたシール装置と磁気センサの一部とを、軸線を含む仮想平面で切断して視た断面図である。
【図４】グリーン体を焼結体とする工程図である。
【図５】この発明の他に実施形態にかかる磁気エンコーダの部分斜視図である。
【図６】この発明のさらに他に実施形態にかかる磁気エンコーダの部分斜視図である。
【図７】同磁気エンコーダの正面図である。
【図８】芯金の変形例の部分断面図である。
【図９】（Ａ）、（Ｂ）は、それぞれ芯金の他の変形例、およびその芯金を用いた磁気エンコーダの部分斜視図である。
【図１０】この発明のさらに他の実施形態にかかる磁気エンコーダの部分斜視図である。
【図１１】この発明のさらに他の実施形態にかかる磁気エンコーダの部分斜視図である。
【図１２】第１の実施形態にかかる磁気エンコーダを備えた車輪用軸受の全体の断面図である。
【図１３】同車輪用軸受の部分断面図である。
【図１４】この発明のさらに他の実施形態にかかる車輪用軸受の磁気エンコーダ部分の断面図である。
【図１５】この発明のさらに他の実施形態にかかる車輪用軸受の磁気エンコーダ部分の断面図である。
【図１６】同磁気エンコーダの部分正面図である。
【図１７】この発明のさらに他の実施形態にかかる車輪用軸受の磁気エンコーダ部分の断面図である。
【図１８】この発明のさらに他の実施形態にかかる車輪用軸受の断面図である。
【符号の説明】
【００８１】
１０    磁気エンコーダ
１１，１１Ａ，１１Ｂ    芯金
１４    多極磁石
１５    磁気センサ
２０    回転検出装置
【図１】
2008107187.tif 000003
【図２】
2008107187.tif 000004
【図３】
2008107187.tif 000005
【図４】
2008107187.tif 000006
【図５】
2008107187.tif 000007
【図６】
2008107187.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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