(57)【要約】【課題】  耐熱耐食性部材及びトリクロロシラン製造装置において、高温下でもより耐食性が高く長寿命が得られること。【解決手段】  耐熱耐食性部材が、テトラクロロシランと水素とを含む混合ガスが高温下で接触する環境に配される耐熱耐食性部材であって、少なくとも表面がダイヤモンド又はダイヤモンドライクカーボンで形成されている。また、トリクロロシラン製造装置が、テトラクロロシランと水素とを含む供給ガスが内部に供給されて高温下で転換反応によりトリクロロシランと塩化水素とを含む反応生成ガスが生成される反応容器１を備え、反応容器１が、上記耐熱耐食性部材を用いて構成されている。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
テトラクロロシランと水素とを含む混合ガスが高温下で接触する環境に配される耐熱耐食性部材であって、
少なくとも表面がダイヤモンド又はダイヤモンドライクカーボンで形成されていることを特徴とする耐熱耐食性部材。
【請求項２】
請求項１に記載の耐熱耐食性部材において、
カーボン材の表面にダイヤモンド又はダイヤモンドライクカーボンのコーティング膜が形成されて構成されていることを特徴とする耐熱耐食性部材。
【請求項３】
請求項１に記載の耐熱耐食性部材において、
炭化珪素材の表面にダイヤモンド又はダイヤモンドライクカーボンのコーティング膜が形成されて構成されていることを特徴とする耐熱耐食性部材。
【請求項４】
請求項１に記載の耐熱耐食性部材において、
カーボン材の表面に炭化珪素のコーティング膜が形成されており、さらにその表面にダイヤモンド又はダイヤモンドライクカーボンのコーティング膜が形成されて構成されていることを特徴とする耐熱耐食性部材。
【請求項５】
テトラクロロシランと水素とを含む供給ガスを高温下で転換反応させてトリクロロシランと塩化水素とを含む反応生成ガスを生成するトリクロロシラン製造装置であって、
請求項１から４のいずれか一項に記載の耐熱耐食性部材を用いて構成されていることを特徴とするトリクロロシラン製造装置。
【請求項６】
テトラクロロシランと水素とを含む供給ガスを高温下で転換反応させてトリクロロシランと塩化水素とを含む反応生成ガスを生成するトリクロロシラン製造装置であって、
前記供給ガスが内部に供給されて前記反応生成ガスが生成される反応容器を備え、
該反応容器が、請求項１から４のいずれか一項に記載の耐熱耐食性部材を用いて構成されていることを特徴とするトリクロロシラン製造装置。
【請求項７】
テトラクロロシランと水素とを含む供給ガスを高温下で転換反応させてトリクロロシランと塩化水素とを含む反応生成ガスを生成するトリクロロシラン製造装置であって、
前記供給ガスが内部に供給されて前記反応生成ガスが生成される反応容器を備えるとともに、該反応容器内に、前記供給ガス又は前記反応生成ガスの流れ方向を変化させるダイバータが設けられ、
前記ダイバータが、請求項１から４のいずれか一項に記載の耐熱耐食性部材で形成されていることを特徴とするトリクロロシラン製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、テトラクロロシランをトリクロロシランに転換する反応容器の構成部材に好適な耐熱耐食性部材及びこれを用いたトリクロロシラン製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
高純度のシリコン（Ｓｉ：珪素）を製造するための原料として使用されるトリクロロシラン（ＳｉＨＣｌ３）は、テトラクロロシラン（ＳｉＣｌ４：四塩化珪素）を水素により転換反応させて製造することができる。
【０００３】
すなわち、シリコンは、以下の反応式（１）（２）によるトリクロロシランの還元反応と熱分解反応で生成され、トリクロロシランは、以下の反応式（３）による転換反応で生成される。
【０００４】
ＳｉＨＣｌ３＋Ｈ２  → Ｓｉ＋３ＨＣｌ                  ・・・（１）
４ＳｉＨＣｌ３     → Ｓｉ＋３ＳｉＣｌ４＋２Ｈ２        ・・・（２）
ＳｉＣｌ４＋Ｈ２    → ＳｉＨＣｌ３＋ＨＣｌ             ・・・（３）
上記転換反応は、高温状態の反応容器内にテトラクロロシランと水素との供給ガスが導入されて行われるが、反応容器の構成部材にカーボンを使用した場合、カーボンと高温状態の供給ガス及び反応生成ガス中の水素、クロロシラン及び塩化水素（ＨＣｌ）などが反応してメタン、メチルクロロシラン、炭化珪素等が生成されて不純物となる問題がある。
【０００５】
このため、例えば特許文献１には、カーボン表面にＳｉＣ（炭化珪素）コーティングしたものを反応容器を構成する内筒、外筒及びダイバータなどの部材に用いた装置が提案されている。
【特許文献１】特開２００４−２６２７５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記従来の技術には、以下の課題が残されている。
【０００７】
すなわち、反応容器を構成する部材に、ＳｉＣコーティングを施したものを使用すれば、供給ガス及び反応生成ガス中の各ガス成分とカーボンとの直接的な接触を防いで上記不純物の生成を防止することができるが、高温状態の供給ガス及び反応生成ガスによりＳｉＣのコーティング膜が徐々にエッチングされて劣化するという不都合があった。
【０００８】
本発明は、前述の課題に鑑みてなされたもので、高温下でもより耐食性が高く長寿命が得られる耐熱耐食性部材及びこれを用いたトリクロロシラン製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、前記課題を解決するために以下の構成を採用した。すなわち、本発明の耐熱耐食性部材は、テトラクロロシランと水素とを含む混合ガスが高温下で接触する環境に配される耐熱耐食性部材であって、少なくとも表面がダイヤモンド又はダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）で形成されていることを特徴とする。すなわち、この耐熱耐食性部材では、従来のＳｉＣよりもエッチングスピードが約一桁も遅く耐食性が高いダイヤモンド又はダイヤモンドライクカーボンで表面が形成されているので、より長寿命化を図ることができる。 
【００１０】
また、本発明の耐熱耐食性部材は、カーボン材の表面にダイヤモンド又はダイヤモンドライクカーボンのコーティング膜が形成されて構成されていることを特徴とする。すなわち、この耐熱耐食性部材では、カーボン材を基材としているため、様々な形状の部材を比較的安価に作製することができる。また、ダイヤモンド又はダイヤモンドライクカーボンのコーティング膜が表面に施されたカーボン材で構成されているので、高耐食性のダイヤモンド又はダイヤモンドライクカーボンのコーティング膜によって高温状態のテトラクロロシランと水素との混合ガス及びその反応生成ガスが直接カーボン材に接触することをさらに長期にわたって防ぐことができる。したがって、カーボンと混合ガス及び反応生成ガス中の水素、クロロシラン及び塩化水素とが反応してメタン、メチルクロロシラン、炭化珪素等が生成されて不純物となることを防ぐことができる。
【００１１】
また、本発明の耐熱耐食性部材は、炭化珪素材の表面にダイヤモンド又はダイヤモンドライクカーボンのコーティング膜が形成されて構成されていることを特徴とする。すなわち、この耐熱耐食性部材では、炭化珪素材を基材としているため、カーボン材を基材とした場合に比べ、より長寿命化を図ることができる。また、カーボン材を基材とした場合に比べ、基材とコーティング膜との間に強い密着性を得ることができ、より緻密なコーティング膜を形成することができる。
【００１２】
また、本発明の耐熱耐食性部材は、カーボン材の表面に炭化珪素のコーティング膜が形成されており、さらにその表面にダイヤモンド又はダイヤモンドライクカーボンのコーティング膜が形成されて構成されていることを特徴とする。すなわち、この耐熱耐食性部材では、カーボン材を基材としているため、様々な形状の部材を比較的安価に作製することができる。また、炭化珪素のコーティング膜が形成されており、さらにその表面にダイヤモンド又はダイヤモンドライクカーボンのコーティング膜が形成されているため、カーボン材を基材にダイヤモンド又はダイヤモンドライクカーボンのコーティング膜を形成した場合に比べ、基材とコーティング膜との間に強い密着性を得ることができ、より緻密なコーティング膜を形成することができる。
【００１３】
本発明のトリクロロシラン製造装置は、テトラクロロシランと水素とを含む供給ガスを高温下で転換反応させてトリクロロシランと塩化水素とを含む反応生成ガスを生成するトリクロロシラン製造装置であって、上記本発明の耐熱耐食性部材を用いて構成されていることを特徴とする。すなわち、このトリクロロシラン製造装置では、上記本発明の耐熱耐食性部材を用いて構成されているので、装置構成部材である反応容器、断熱材、シール材、絶縁材等の長寿命化を図ることができると共に、不純物の生成を長期にわたって防ぐことができる。
【００１４】
また、本発明のトリクロロシラン製造装置は、テトラクロロシランと水素とを含む供給ガスが内部に供給されて高温下で転換反応によりトリクロロシランと塩化水素とを含む反応生成ガスが生成される反応容器を備え、前記反応容器が、前記耐熱耐食性部材を用いて構成されていることを特徴とする。すなわち、このトリクロロシラン製造装置では、装置構成部材の中でも特に内部で転換反応が行われて耐熱耐食性が要求される反応容器が、耐熱耐食性部材を用いて構成されているので、反応容器内壁面の劣化を抑制し、長期にわたって安定した転換反応を得ることができる。
【００１５】
さらに、本発明のトリクロロシラン製造装置は、前記反応容器が、前記供給ガス又は前記反応生成ガスの流れ方向を変化させるダイバータを備え、前記ダイバータが、前記耐熱耐食性部材で形成されていることを特徴とする。すなわち、このトリクロロシラン製造装置では、ダイバータが、耐熱耐食性部材で形成されているので、特に供給ガス及び反応生成ガスの流れ方向を転換させエッチングされやすいダイバータの流路劣化を抑制することができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、以下の効果を奏する。
【００１７】
すなわち、本発明に係る耐熱耐食性部材によれば、従来のＳｉＣよりも耐食性が高いダイヤモンド又はダイヤモンドライクカーボンで表面が形成されているので、より長寿命化を図ることができる。したがって、本発明の耐熱耐食性部材を反応容器等の構成部材に用いたトリクロロシラン製造装置によれば、反応容器等の長寿命化を図ることができると共に、不純物の生成を長期にわたって防ぎ、純度の高いトリクロロシランを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明に係る耐熱耐食性部材及びトリクロロシラン製造装置の一実施形態を、図面を参照しながら説明する。
【００１９】
この実施形態のトリクロロシラン製造装置は、図１に示すように、テトラクロロシランと水素との供給ガスが内部に供給されて転換反応によりトリクロロシランと塩化水素との反応生成ガスが生成される反応容器１と、反応容器１の周囲に配され該反応容器１を加熱する加熱機構２と、反応容器１内に供給ガスを供給するガス供給管３と、反応容器１から反応生成ガスを外部に排出する複数のガス導出管４と、反応容器１及び加熱機構２の周囲を覆うように配された断熱材５と、反応容器１、加熱機構２及び断熱材５を収納する収納容器６と、収納容器６内にアルゴン（Ａｒ）を供給するアルゴン供給機構７とを備えている。
【００２０】
上記反応容器１は、図１及び図２に示すように、その内部空間を複数の小空間８ａ〜８ｄに区画するための内径の異なる円筒状の第１〜第４反応筒壁９ａ〜９ｄを備えている。すなわち、反応容器１内の空間（最も外側の第４反応筒壁９ｄより内側の空間）は、３つの第１〜第３反応内壁９ａ〜９ｃにより、中央に１つの円柱状の小空間８ａと、その外側に３つの円筒状の小空間８ｂ〜８ｄとに仕切られている。また、最も内側の第１反応筒壁９ａの内側空間である円柱状の小区間８ａの下部にガス供給管３が連通されていると共に、最も外側の小空間８ｄにガス導出管４が接続されている。
【００２１】
上記第１〜第４反応筒壁９ａ〜９ｄは、下部が下部支持円板１１の上面のリング状溝２１にはめ込まれて支持されていると共に、上部が上部支持円板１２の下面のリング状溝２２にはめ込まれて支持されている。該上部支持円板１２の上部は、反応容器１上部の断熱
材５に固定されている。
【００２２】
また、これら第１〜第３反応筒壁９ａ〜９ｃには、内側から順に上部と下部とに交互に切欠部１０が形成されている。すなわち、第１反応筒壁９ａには、上部に複数の切欠部１０が周方向に間隔をおいて形成され、第２反応筒壁９ｂには、下部に複数の切欠部１０が周方向に間隔をおいて形成されている。また、第３反応筒壁９ｃには、上部に複数の切欠部１０が形成されている。これら切欠部１０は、反応筒壁９ａ〜９ｃがはめ込まれる上下の両支持円板１１，１２のリング状溝２１，２２の深さよりも十分に大きく形成されており、両支持円板１１，１２のリング状溝２１，２２に反応筒壁９ａ〜９ｃをはめ込んだ状態で図１に示すように切欠部１０がリング状溝２１，２２から露出し、各反応筒壁９ａ〜９ｃの表裏を貫通する流路とされるようになっている。そして、これら切欠部１０によって各小空間８ａ〜８ｄを内側から順次連通状態とした反応流路２０が構成される。
【００２３】
下部支持円板１１には、中心孔１１ｂが形成され、該中心孔１１ｂを介して第１反応筒壁９ａの内側の小空間８ａとガス供給管３とが連通されている。
【００２４】
上記ガス供給管３及びガス導出管４は、収納容器６下部に上端が固定されて収納容器６下部に形成された供給孔６ａ及び排気孔６ｂにそれぞれ連通されている。この反応容器１の下部には断熱材５を貫通して中央部に供給用連結管１３が設けられるとともに、図１及び図３に示すように、この供給用連結管１３と同心状に二つの筒体１４Ａ，１４Ｂが断熱材５を貫通して設けられており、これら筒体１４Ａ，１４Ｂの間に排気用連結流路２３が筒状に形成されている。そして、上記供給孔６ａ及び排気孔６ｂの上端開口部は、供給用連結管１３及び排気用連結流路２３の下端開口部にそれぞれ連通されている。排気用連結流路２３を構成している筒体１４Ａ，１４Ｂの上端は、下部支持円板１１の下部に固定され、排気用連結流路２３は、下部支持円板１１の外側貫通孔１１ａを介して最も外側の小空間８ｄ（最も外側の第４反応筒壁９ｄの内側）に接続されている。また、供給用連結管１３の上端開口部は、下部支持円板１１の下部中央に固定され、下部支持円板１１の中央貫通孔１１ｂを介して第１反応筒壁９ａの内側の小空間８ａに接続されている。
【００２５】
したがって、ガス供給管３から第１反応筒壁９ａの内側の小空間８ａに供給された供給ガスが加熱されながら複数の切欠部１０を介して外側の小空間８ｂ〜８ｄに順次流れつつ反応して反応生成ガスとなるように設定されている。そして、この場合に、ガスは、各小空間８ａ〜８ｄで上部支持円板１２と下部支持円板１１とに交互に衝突しながら切欠部１０を半径方向に通過することにより、小空間８ａ〜８ｄを内側から順に流れるとともに、各小空間８ａ〜８ｄ毎に上方向と下方向とに流れ方向が繰り返し変わるように設定されている。すなわち、これら上部支持円板１２と下部支持円板１１とがガスの流れ方向を転換するタイバータとされている。なお、図中において、ガスの流れ方向を矢印で示している。
【００２６】
上記ガス導出管４は、図３に示すように、排気用連結流路２３の周方向に等間隔に８本配置されている。
【００２７】
ガス供給管３には、供給ガスの供給源（図示略）が接続されている。ガス導出管４においては、管内の圧力差によって反応生成ガスが外部に排出されるが、排気用ポンプを接続してもよい。
【００２８】
反応容器１の各構成部材、この実施形態の場合は第１〜第４反応筒壁９ａ〜９ｄ及びダイバータとしての下部支持円板１１及び上部支持円板１２は、カーボン材の表面にダイヤモンド又はダイヤモンドライクカーボンのコーティング膜が形成されて構成されている耐熱耐食性部材である。なお、ダイヤモンドライクカーボンは、主に非晶質（アモルファス）の炭素あるいは炭素の同素体から成る硬質膜である。このダイヤモンド又はダイヤモンドライクカーボンのコーティング膜は、例えばＣＶＤ法やＰＶＤ法等により成膜される。
【００２９】
上記収納容器６は、筒状壁３１とその両端を閉塞する底板部３２及び天板部３３とから構成され、ステンレス製である。
【００３０】
上記加熱機構２は、反応容器１の周囲に反応容器１を囲うように配された発熱体であるヒータ部１５と、該ヒータ部１５の下部に接続されヒータ部１５に電流を流すための電極部１６とを備えている。この電極部１６は、図示しない電源に接続されている。上記ヒータ部１５は、カーボンで形成されているが、上記耐熱耐食性部材で構成しても構わない。また、加熱機構２は、反応容器１内が８００℃〜１４００℃の範囲内の温度になるように加熱制御を行う。なお、反応容器１内を１２００℃以上に設定すれば、転換率が向上する。また、ジシラン類を導入し、シラン類を取り出してもよい。
【００３１】
上記断熱材５は、例えばカーボンで形成され、収納容器６に内貼りされるように、その筒状壁３１の内壁面、底板部３２の上面、天板部３３の下面にそれぞれ取り付けられている。この断熱材５も上記耐熱耐食性部材で構成してもよい。
【００３２】
また、上記反応容器１の下部支持円板１１は、その下方に配置されている断熱材（収納容器６の底板部３２上の断熱材）５から浮かされた状態に設置されており、その間が断熱空間とされている。
【００３３】
なお、上記上部支持円板１２の下面には、反応流路２０の最も外側の小空間８内に突出した温度センサＳが固定されている。この温度センサＳで温度を測定しながら、加熱機構
２により温度制御を行う。
【００３４】
上記アルゴン供給機構７は、収納容器６の下部及び断熱材５を貫通して収納容器６内に先端が突出したアルゴン供給管１７と、アルゴン供給管１７に接続されたアルゴン供給源１８とを備えている。なお、このアルゴン供給機構７は、収納容器６内が所定の加圧状態となるようにアルゴンの供給制御を行っている。なお、収納容器６の上部には、内部雰囲気の置換やアルゴンの排気を行うための容器用ポンプ（図示略）が接続されている。
【００３５】
このように本実施形態では、第１〜第３反応筒壁９ａ〜９ｃに、内側から順に上部と下部とに交互に流通用貫通孔１０が形成されているので、ガスは反応流路２０の外側に移動する度に上部から下部へ、下部から上部へと交互に流れ方向を変える。したがって、反応容器１内に長い反応流路２０が確保されると共に複数枚の第１〜第４反応筒壁９ａ〜９ｄで伝熱面積が増大されることで、供給ガスが反応するために必要な十分な保持時間及び加熱を確保することができ、転換率をより向上させることができる。
【００３６】
そして、本実施形態では、各反応筒壁９ａ〜９ｄ及びダイバータとしての下部支持円板１１及び上部支持円板１２が、ダイヤモンド又はダイヤモンドライクカーボンのコーティング膜が表面に施されたカーボン材で構成されているので、従来のＳｉＣよりもエッチングスピードが約一桁も遅く耐食性が高いダイヤモンド又はダイヤモンドライクカーボンのコーティング膜によって高温状態のテトラクロロシランと水素との混合ガス及びその反応生成ガスが直接カーボン材に接触することをより長期にわたって防ぐことができる。これにより、反応流路２０壁面の劣化を抑制し、カーボンと混合ガス及び反応生成ガス中の水素、クロロシラン及び塩化水素とが反応してメタン、メチルクロロシラン、炭化珪素等が生成されて不純物となることを防ぐことができる。また、カーボン材を基材としているため、配置や流路形状に応じて様々な形状を有する各反応筒壁９ａ〜９ｄや両支持円板１１，１２を比較的安価に作製することができる。
【００３７】
したがって、このトリクロロシラン製造装置では、上記耐熱耐食性部材を用いて構成されているので、装置構成部材である反応筒壁９ａ〜９ｄや両支持円板１１，１２の長寿命化を図ることができると共に、不純物の生成を長期にわたって防ぐことができる。特に、装置構成部材の中でも特に高温化されて反応性が最も高い状態の供給ガス及び反応生成ガスが接触する反応筒壁９ａ〜９ｄや両支持円板１１，１２が、上記耐熱耐食性部材を用いて構成されているので、これらの壁面の劣化を抑制し、長期にわたって安定した転換反応が得られると共に、不純物の生成を長期にわたって防ぎ、純度の高いトリクロロシランを得ることができる。
【００３８】
なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【００３９】
例えば、反応筒壁の枚数は両実施形態の場合に限らず、適宜の枚数設ければよい。ただし、反応筒壁の枚数が多いと、伝熱面積が増えてエネルギー効率が高くなる反面、加熱機構２による輻射熱が内側に伝わり難くなって加熱効果が低下するため、反応筒壁は、ガス流量及び装置全体の大きさに応じて適切な枚数に設定される。また、上記実施形態では、反応筒壁に切欠部１０を形成し、ダイバータとしての上下の両支持円板１１，１２は平坦として、該支持円板１１，１２に衝突させながら切欠部１０にガスを挿通させることにより、ガスの流れが折り返されるように構成したが、反応筒壁に切欠部を設けずに、両支持円板に、反応筒壁の厚さよりも幅広の溝を反応筒壁と同じ直径の円環状に形成して、その溝を経由して折り返すように構成してもよい。
【００４０】
また、収納容器の壁内部に水等の冷媒を流通させる冷媒路を形成し、冷却機構を付加しても構わない。
【００４１】
また、上記実施形態の反応筒壁は、カーボン材の表面にダイヤモンドのコーティング膜を形成した耐熱耐食性部材で形成しているが、少なくとも表面がダイヤモンド又はダイヤモンドライクカーボンで形成されているものであれば、他の耐熱耐食性部材で形成しても構わない。この他の耐熱耐食性部材としては、ダイヤモンドの無垢材からなる耐熱耐食性部材、ダイヤモンドの無垢材の表面にダイヤモンド又はダイヤモンドライクカーボンのコーティング膜が形成されて構成されている耐熱耐食性部材（１）、炭化珪素材の表面にダイヤモンド又はダイヤモンドライクカーボンのコーティング膜が形成されて構成されている耐熱耐食性部材（２）、カーボン材の表面に炭化珪素のコーティング膜が形成されており、さらにその表面にダイヤモンド又はダイヤモンドライクカーボンのコーティング膜が形成されて構成されている耐熱耐食性部材（３）のいずれかが採用される。これらの他の上記耐熱耐食性部材を採用しても、上記実施形態と同様に、部材劣化を抑制し、長期にわたって安定した転換反応が得られると共に、不純物の生成を長期にわたって防ぎ、純度の高いトリクロロシランを得ることができる。
【００４２】
なお、上記耐熱耐食性部材（１）では、表面が無垢材ではなく、ダイヤモンド又はダイヤモンドライクカーボンのコーティング膜で形成されているので、表面をより不純物が少ない緻密な構造とすることができる。よって、表面供給ガスおよび反応生成ガスをより清浄に保つことができ、かつ、より長寿化を図ることができる。
【００４３】
また、上記耐熱耐食性部材（２）では、炭化珪素材を基材としているため、カーボン材を基材とした場合に比べ、より長寿命化を図ることができる。また、カーボン材を基材と 
した場合に比べ、基材とコーティング膜との間に強い密着性を得ることができ、より緻密なコーティング膜を形成することができる。
【００４４】
また、上記耐熱耐食性部材（３）では、カーボン材を基材としているため、様々な形状の部材を比較的安価に作製することができる。また、炭化珪素のコーティング膜が形成されており、さらにその表面にダイヤモンド又はダイヤモンドライクカーボンのコーティング膜が形成されているため、カーボン材を基材にダイヤモンド又はダイヤモンドライクカーボンのコーティング膜を形成した場合に比べ、基材とコーティング膜との間に強い密着性を得ることができ、より緻密なコーティング膜を形成することができる。
【００４５】
また、上記各耐熱耐食性部材は、反応容器の壁材（反応筒壁など）や両支持円板（ダイバータ）１１，１２に限らず、絶縁部材、シール材、加熱機構２、反応容器内に設置する熱媒、断熱材５といったものに用いても構わない。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明に係るトリクロロシラン製造装置の第１実施形態を示す簡略的な断面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線に沿う矢視断面図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ線に沿う矢視断面図である。
【符号の説明】
【００４７】
１…反応容器、２…加熱機構、３…ガス供給管、４…ガス導出管、５…断熱材、６…収納容器、８ａ〜８ｄ…小空間、９ａ〜９ｄ…反応筒壁、１０…切欠、１１…下部支持円板（ダイバータ）、１２…上部支持円板（ダイバータ）、２０…反応流路
【図１】
2008150277.tif 000003
【図２】
2008150277.tif 000004
【図３】
2008150277.tif 000005