(57)【要約】【課題】ディスク状の物体を、その物体の端部形状にかかわりなく信頼性の高い方法で、物体を安全に傷つけることなく保持する装置を提供する。【解決手段】ディスク状の物体をその外周端部領域２２で支持及び／又は固定するための３つ以上の接触要素１８を持つ、ディスク状の物体、特に半導体ウエハ１２の保持装置である。１以上の接触要素１８は可動であるように配設される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスク状の物体、特に半導体ウエハ（１２）の保持装置であって、
該ディスク状の物体をその外周端部領域（２２）で支持及び／又は固定する３以上の接触要素（１８）を有し、１以上の該接触要素（１８）は移動可能であり、該３以上の接触要素（１８）は共通のフレーム（１４）上に配置されており、
該ディスク状の物体とある間隔で離れた状態で該ディスク状の物体の端部の下部まで到達できる、１以上の移動可能な確保要素（３２）が該フレーム（１４）に配置されていることを特徴とする、装置。
【請求項２】
前記３以上の接触要素（１８）は、前記ディスク状の物体の円周領域の１８０°を超える範囲に分布していることを特徴とする、請求項１記載の装置。
【請求項３】
前記ディスク状の物体は、１以上の前記移動可能な接触要素（１８）によって固定可能ないしはクランプ可能であることを特徴とする、請求項１又は２記載の装置。
【請求項４】
前記共通のフレーム（１４）は、片側だけに開口部を有する、ないしＵ字形の形状であることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一に記載の装置。
【請求項５】
２以上の前記移動可能な確保要素（３２）を備え、そのそれぞれが前記ディスク状の物体に対してある間隔で離れた状態で前記ディスク状の物体の端部の下部に到達可能である、ことを特徴とする、請求項４に記載の装置。
【請求項６】
前記移動可能な確保要素（３２）は、前記接触要素（１８）に空間的に関連付けられているか、又は前記接触要素のすぐ近傍に配置されていることを特徴とする、請求項４又は５に記載の装置。
【請求項７】
１以上の前記移動可能な接触要素（１８）及び／又は１以上の前記移動可能な確保要素（３２）は、電動モータで、又は液体圧力、空気圧力、又は他のいずれの方法で機械的に駆動可能であることを特徴とする、請求項１〜６のいずれか一に記載の装置。
【請求項８】
２以上の前記移動可能な確保要素（３２）が、連結要素を介して互いに連結されており、共通のアクチュエータにより駆動できることを特徴とする、請求項７に記載の装置。
【請求項９】
２以上の前記移動可能な確保要素（３２）は、連結ロッド（４２、４６）及び／又はケーブル（５０、５２、５４）を介して連結されており、共通のアクチュエータにより駆動できることを特徴とする、請求項７に記載の装置。
【請求項１０】
光学的検出手段の光学的特性を校正するための１以上の参照表面（６０）が前記フレーム（１４）上に配置されていることを特徴とする、請求項１〜９のいずれか一に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
（関連出願の記載）
本願は２００７年２月２８日出願のドイツ特許出願第１０２００７０１０２２４．２号の優先権を主張するものであり、同出願の全開示内容は本書に引用をもって繰込み記載されているものとする。
本発明はディスク状の物体、特に半導体ウエハの保持装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ドイツ出願公開文献ＤＥ１９６０１７０８Ａ１には、物体（測定対象）表面上の位置測定システムが開示されている。物体は例えば半導体ウエハであり、表面に実質的に直交する格子状の線が規則的に配置されており、複数の方向的な特徴がある。これらの格子状の線の、参照座標システムの方向に対する方向がこのシステムにより測定できる。複数の方向的な特徴の方向的な変化に関連する格子の変化もまた測定可能である。方向変化の位置は、参照座標システムによって与えられる。この装置により、方向的特徴を参照し、表面の幾何学的中心からの特徴の距離を測定することも可能である。
【特許文献１】ＤＥ１９６０１７０８Ａ１
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明の課題は、ディスク状の物体（測定対象）を、その物体の（縁）端部形状にかかわりなく信頼性の高い方法で、物体を安全に傷つけることなく保持する装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
この課題は、本発明の第一の視点において、請求項１の特徴を有する装置で達成される。
即ち、ディスク状の物体、特に半導体ウエハの保持装置は、該ディスク状の物体をその外周端部領域で支持及び／又は固定する３以上の接触要素を有する。１以上の該接触要素は移動可能であり、該３以上の接触要素は共通のフレーム上に配置されている。そして、該ディスク状の物体とある間隔で離れた状態で該ディスク状の物体の端部の下部まで到達できる、１以上の移動可能な確保要素が該フレームに配置されている。（形態１＝基本形態）
本発明の従属請求項は、さらなる展開形態を示す。以下に各形態を示す。
前記３以上の接触要素は、前記ディスク状の物体の円周領域の１８０°を超える範囲に分布していることが好ましい。（形態２）
前記ディスク状の物体は、１以上の前記移動可能な接触要素によって固定可能ないしはクランプ可能であるが好ましい。（形態３）
前記共通のフレームは、片側だけに開口部を有する、ないしＵ字形の形状であることが好ましい。（形態４）
２以上の前記移動可能な確保要素を備え、そのそれぞれが前記ディスク状の物体に対してある間隔で離れた状態で前記ディスク状の物体の端部の下部に到達可能である、ことが好ましい。（形態５）
前記移動可能な確保要素は、前記接触要素に空間的に関連付けられているか、又は前記接触要素のすぐ近傍に配置されていることが好ましい。（形態６）
１以上の前記移動可能な接触要素及び／又は１以上の前記移動可能な確保要素は、電動モータで、又は液体圧力、空気圧力、又は他のいずれの方法で機械的に駆動可能であることが好ましい。（形態７）
２以上の前記移動可能な確保要素が、連結要素を介して互いに連結されており、共通のアクチュエータにより駆動できることが好ましい。（形態８）
２以上の前記移動可能な確保要素は、連結ロッド及び／又はケーブルを介して連結されており、共通のアクチュエータにより駆動できることが好ましい。（形態９）
光学的検出手段の光学的特性を校正するための１以上の参照表面が前記フレーム上に配置されていることが好ましい。（形態１０）
【発明の効果】
【０００５】
本発明によれば、ディスク状の物体（測定対象）を、その物体の（縁）端部形状にかかわりなく信頼性の高い方法で、物体を安全に傷つけることなく保持することができる。本発明のさらなる効果は、以下の具体的記載から明らかとなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
本発明は、ディスク状の物体（測定対象）、特に半導体ウエハを保持する装置であり、ディスク状の物体をその外周（円周）端部領域で保持及び／又は固定するための３以上の支持要素を有する。１以上の支持要素は可動であり、それは保持すべき物体の寸法に支持要素の位置を正確に調節できるという利点がある。
【０００７】
このような装置を利用する一般的な分野は、スキャナ上でウエハを受容及び保持するウエハ受容プレートとしての実施形態にある。ウエハの裏側をスキャナのためにできるだけ完全に開放しておくために、ウエハを載せる支持表面は（縁）端部領域を最小限に覆うようにしなければならない。そのため、本発明に係る装置の支持（載置）要素は比較的小さく、しかしそのため受容する物体又はウエハを非常に正確に誘導しなければならない。外寸法の許容精度が補償され、及び／又は物体が小さな圧力でクランプされ保持されるように、３つ以上の支持要素のうちの少なくとも１つが移動可能に構成されている。
【０００８】
好ましい実施形態として、３つ以上の支持要素がディスク状の物体の外周（円周）端部（ないし縁端部）付近に１８０°を超える範囲で分布するように配置されている。こうすることにより、物体が２方向からのみしか保持されないために望ましくない条件で傾いたり保持手段から落下するといったようなことを阻止できる。３つの支持要素がある場合、１つの支持要素から隣の支持要素までは１２０°の距離となる。
【０００９】
支持（載置）要素は、ディスク状の物体をフレキシブルな方法で取り扱うためにも用いる、例えば共通のフレームに配置することができる。このフレームは、例えば馬蹄形ないしＵ字形の外形のような、片側が開いた形状でありうる。本発明の実施形態では、ディスク状の物体は１以上の可動式（移動可能な）支持要素によってフレームに固定又はクランプできる。支持要素は例えば３つの支持ピンからなり、そのうち２つは固定されており、残りの１つは可動式である。可動式ピンは、例えば空気圧駆動方式の移動ユニットの上に搭載できる。もちろん他のさまざまな実施形態が考えられる。例えば電動モータ駆動の可動支持要素、液体圧駆動の直線又は回転可動要素等である。開放状態では保持ウエハないし物体は３つのピンの上に載置されており、シリンダを閉じることによりそれらによってクランプされる。
【００１０】
本発明の他の実施形態として、１以上の可動式確保要素（Sicherungselement）がフレームに配置され、その可動式確保要素はある小さな間隔だけ離れてディスク状の物体の端部を下部から投影面が重なる（ないし受けることができる）ように届く（到達する：untergreifen）。選択的に、２以上の可動式確保要素を配置することができ、そのそれぞれがある小さな間隔だけ離れてディスク状の物体の端部の下部に到達する（届く）。これらの確保要素は保護手段を形成し、保持する物体又はウエハ等を落下しないようにする。ホルダに載置したときに支持要素からはずれてホルダを通って落ちることがないように、許容範囲最下限の寸法のウエハ又は物体の場合は、支持ピンに加えて１つ、２つ、３つ又はそれ以上の付加的な支持点（支持体）が確保要素として旋回して導入される。支持体が旋回して入ってきた状態においては、それらはウエハの中心により近くに位置する。これらの支持体はウエハ底部表面よりも１０分の数ミリメートルだけ低い位置にあり、通常時はウエハに接触しないように調整されている。可動確保要素は空間的に支持要素と関連しているか、又はそれらの近くに配置されることが好ましい。
【００１１】
本発明のさらに好ましい実施形態として、可動式確保要素は、ディスク状の物体が挿入された場合にはその端部の下方に旋回して入ることができ、物体が支持要素に載置されている場合には物体の係合領域から旋回して外れることができる。たとえディスク状の物体又はウエハがこれらの点のどこに置かれようとも、可動ピンを閉じることにより、ピンの端部形状によって物体は３つの支持ピンの上に移動する。ウエハをクランプすることが完了した後、３つの旋回支持体はスキャナの検査領域から外れた位置にもたらされる。
【００１２】
本発明の代替的実施形態として、１以上の可動式支持要素及び／又は１以上の可動式確保要素は、軸の周りを移動及び／又は旋回できる。この１以上の可動式支持要素及び／又は１以上の可動式確保要素は、例えば電動モータで、液体圧力で、空気圧力で又は他のいずれの方法ででも機械的に駆動できる。
【００１３】
本発明のさらに好ましい実施形態として、２以上の可動式確保要素は連結要素を介して互いに連結されており、共通のアクチュエータを用いて駆動できる。２以上の可動式確保要素は例えば連結ロッドを介し、及び／又はケーブルを介して結合でき、共通のアクチュエータを用いて駆動できる。連結要素は、選択的にディスク状の物体の表面レベルよりも上又は下にありうる。アクチュエータの１例として２方向(double acting)空気シリンダが挙げられる。個々の爪又は連結リンクへの動きの伝達は、ウエハ上部では連結リンクを、下部ではケーブルを介して行うことができる。ケーブルの変形例の利点は、ウエハレベルより上に可動部分がないことである。結果として、空気が適切に小さな周辺環境範囲に誘導されたならば、ウエハ表面を汚染することがない。
【００１４】
本発明は、ウエハ又はウエハ状のディスク状の物体を高信頼度で保持するためばかりでなく、ウエハ端部形状にかかわらずウエハの中心点を測定するためにも有利に使用することができる。この目的のため、ウエハは最初にウエハホルダに載置される。ここでウエハ端部が３つ以上の機械的接触要素に対して押圧・当接される。この接触要素によって規定される幾何学的形状内にウエハの中心点が入るように、３つ以上の接触要素が分散配置されている。そしてそれぞれの接触要素の各位置が測定され、その接触要素の位置からウエハの幾何学的変数が計算される。ウエハの幾何学的変数は、例えばその中心点、又は半径もしくは直径、又はウエハの丸さでありうる。各接触要素は、目印又は貫通孔のあるピンとして形成される。各接触要素の位置は、明視野又は暗視野画像から標識（目印ないしマーキング）又は貫通孔により測定できる。ここで、１以上の接触要素が、各接触要素の位置を測定できる位置エンコーダを備えていると特に有利である。３つ以上の接触要素に加え、ウエハの丸さを測定する１以上の機械的センサを備えることができる。
【００１５】
本発明の別の実施形態として、光学的センサ手段の光学特性を校正するための１以上の参照表面をフレーム上又はウエハホルダ上に配置することができる。このような参照表面を複数備えることができる。例えばこれらの参照表面は、撮像を改善するのに適した、ウエハホルダに形成されたくぼみとして構成できる。参照表面は、シリコン又は適切なプラスチック材のような異なる材料が好ましい。これらによって照明の質及び種々の照明モード（明視野、暗視野）のためのカメラ機能に関するいろいろな情報を得ることができる。参照表面は画像中の複数の位置に配置することができる。これらの表面の位置を固定配置することは、対象ウエハの種々の特性による妨害の影響を受けることなく、照明又は撮像の長期的な影響を評価及び修正することができるという点で特に有利である。参照表面により校正することができる光学的検査手段（図示せず）が、ウエハの光学的検査のために通常用いられる。これに関連して、検査すべきウエハの中心点が、本発明に係る装置によって、接触要素を用いて特に正確かつ迅速に、通常測定（決定）される。
【実施例】
【００１６】
本発明を添付図面を参照して実施例として以下に説明する。本発明の更なる特徴、目的及び利点は添付図面により明らかになるであろう。
【００１７】
図面において、同一の符号は同一又は基本的に同等の要素又は機能グループを示す。
【００１８】
図１は、本発明に係る、半導体ウエハ１２に関するディスク状の物体の保持装置１０の１実施例の概略図である。ウエハ１２の中心点又は他の幾何学的変数の測定又は他の処理ステップを行うため、ウエハ１２はウエハホルダ１４に挿入される。ウエハホルダ１４は、ウエハ１２自身よりわずかに大きな円形開口１６を持つ。図示の実施例では、ウエハホルダ１４は３つの接触要素（コンタクトエレメント）１８を備える。当業者にとって、ここに示す接触（支持）要素１８の数は、その数に本発明を限定解釈すべきではないことは明らかである。４つ以上の接触要素を用いることも可能である。ウエハ１２は、ウエハホルダ１４の開口１６に挿入され、接触要素１８の支持要素２０（図２参照）上に支持される。ウエハ１２の端部２２を接触要素１８又はそれらの当接面（ないしストッパ面）２４（図２参照）に物理的に接触させるため、１以上の接触要素が可動に構成される。接触要素１８は１つの横断的方向２６に沿って移動可能である。ウエハ１２の端部２２は、可動の接触要素１８によって他の接触要素１８に物理的に接触する。このようにしてウエハ１２の端部２２から可動の接触要素１８までの確定された距離、即ちウエハ１２の中心点から該接触要素１８までの確定された距離が、該接触要素１８の位置によって得られる。
【００１９】
図２は、ウエハ１２の（縁）端部２２の概略図である。ウエハ１２の端部２２は丸くなっている。ウエハ端部の鋭い角部は考慮されていない。ウエハ１２が機械的に保持、接触される接触要素１８も示されている。接触要素１８は支持部２０及び当接面２４を含む。ウエハ１２は、その端部２２で接触要素１８の当接面２４と物理的に接触する。ウエハ１２は、接触要素１８の支持要素２０がウエハ１２の平坦面部２８と接触することにより安定して支持される。
【００２０】
図３〜１１は、本発明に係る半導体ウエハ１２の保持装置１０の２つの実施例の種々の図及び使用状態を示す概略図である。このような装置は、ウエハ１２の光学検査、欠陥検査その他に用いられ、一方においては、例えばたとえ装置が旋回又は回転してもウエハ１２は常にしっかりと固定されるという点で重要である。他方においては、光学検査を妨害しないように、ウエハ裏側の最小限の表面領域しか占有（カバー）しないようにすべきである。そのため、ウエハはできるだけ少ない数で、できるだけ小さい支持表面で支持すべきである。
【００２１】
図３〜１１に示す保持装置１０は、ウエハ１２を受容するための、Ｕ字形ないし馬蹄形のフレーム状の片方が開いたウエハホルダ１４を備える。ウエハホルダ１４は、ウエハ１２自身よりわずかに大きく構成された円弧状の開口１６を有する。開口１６の内側に、３つの接触要素１８を備え、それらはウエハ１２を高信頼度で保持するために実質的に１８０°を超える角度範囲で分散されている。ウエハ１２はウエハホルダ１４の開口１６に挿入され、各接触要素１８の支持要素２０（図２参照）に支持されている。２つの終端位置の間を旋回することができる、旋回ブラケット３２の形態の３つの付加的な確保要素が、ウエハ１２の詰まり、傾き、又は最悪の場合の落下を防止するために備えられている。第１の終端位置ではそれらは開口１６に出ていないが、旋回角度６０°〜９０°で旋回した後の第２の終端位置では、それらは端部から開口１６に半径方向に向かって延在する。この第２の終端位置では、各旋回ブラケット３２は挿入されたウエハ１２の下部まで到達するが、それに接触することはなく、ウエハ１２に対してある間隔を有していて、接触要素１８のみが接触結合している。その間隔は典型的には非常に小さく、例えば１００分の数ミリメートルから１０分の数ミリメートルの範囲でありうる。
【００２２】
図３の概略図には、第１の終端位置、即ち開口１６に突き出ていない非作動位置にある旋回ブラケット３２を示している。ウエハ１２が挿入される時のみ旋回ブラケット３２はその第２の終端位置（図４参照）に出てきてウエハ１２が落下するのを防止する。その後ウエハ１２は、ウエハホルダ１４に挿入され、接触要素１８を用いて固定（確保）される（図５参照）。理想的な場合、確保ブラケット（かけ金具ないし係止爪）３２はウエハ１２に接触せず、ある間隔をもって離れている。確保ブラケット３２は、第２の終端位置にあるときはその寸法によってウエハの裏側の光学検査に悪影響を与えるので、ウエハ１２がうまく挿入されたあとは確保ブラケット３２は円周領域から第１の終端位置（開口外）に引き戻される（図６参照）。そしてウエハ１２は所定の光学検査ステーションを通過することができる。
【００２３】
図示の典型的な実施形態においては、旋回ブラケット３２は常に接触要素１８の近傍に配置されているか、又はそれらと空間的に関連して（割り当てられて）いる（zugeordnet）。これは基本的に適切であるが、必ずしも必要ではない。繰り返すと、本質的なことは、ウエハが正確に接触要素の上に載置されず、傾きや落下の危険性がある場合に備えて、ウエハ１２が１８０°を超える角度範囲で支持されることである。旋回ブラケット３２は、ウエハホルダ１４のフレームの中に、例えば図に示すように適切な窪みの中に配置された共通の空気圧シリンダ３４によってそれぞれが駆動され、動かされる。
【００２４】
図７〜１１は、旋回ブラケット３２を各終端位置の間で旋回移動させる駆動運転モードを図示したものであり、図３〜９は、旋回ブラケットが連結（コネクティング）ロッドと付加的な結合リンクによって機械的に駆動される第１の実施形態を示し、図１０、１１は第２の実施形態であり、調節が方向変換ケーブルで行われるものを示す。いずれの変形例においても駆動は空気圧シリンダ３４によって行われ、空気圧シリンダ３４は、第１の実施形態では連結（コネクティング）ロッドと協働し、第２の実施形態ではケーブルを駆動するピストンロッド又は押し出しロッドを備える。連結（コネクティング）ロッドはウエハの上の平面内にあり、ケーブルはウエハの下に延在する。ケーブルを用いる実施形態の利点は、ウエハレベルの上部には可動部材がないことである。これが、空気が適切に小さな周辺環境内に導入されればウエハの汚染がなくなる理由である。
【００２５】
第１の実施形態（図３〜９）において、フレーム１４に支持された空気圧シリンダ３４は押し出しロッド３６を介して旋回可能に支持された連結ディスク（リンク部材）３８と協働する。連結ディスク３８は中間の旋回ブラケット３２と固定連結されており、旋回ブラケット３２がウエハホルダ１４に支持された軸４０の周りを旋回するときの旋回運動を規定している。２つの連結ロッド４２は連結ディスク３８の両側に連結されており、いずれも開口１６の周辺部付近のウエハホルダ１４に支持された別の連結ディスク４４（複数）に連結されている。これらの別の連結ディスク４４は別の連結ロッド４６にも連結されて最終的に２つの他の旋回ブラケット３２に効果的に連結している。これにより、空気圧シリンダ３４が駆動された場合、３つすべての旋回ブラケット３２が同じ旋回角度で同期した旋回運動を行うことが確保される。連結ロッド４２、４６及び連結ディスク３８、４４を介してコントロールされる２つの他の旋回ブラケット３２は、図７及び８に示すように対応する連結ディスク４８に固定（回転しないように）されている。
【００２６】
概略図７において、空気圧シリンダ３４の押し出しロッド３６と協働する中央の連結ディスク３８は、押し出しロッド３６が左に伸びたときは左側に旋回し、それに連結された連結ロッド４２、４６及び後者に連結された連結ディスク４４、４８は同じ方向に旋回する。旋回ブラケット３２はウエハとの結合領域外の第１の作動停止位置にある。
【００２７】
概略図８において、押し出しロッド３６が右側に引き込まれると中央の連結ディスク３８は右側（時計回り）に旋回し、それに結合された連結ロッド４２、４６及び後者に結合された連結ディスク４４、４８は同じ方向に旋回する。旋回ブラケット３２は、ウエハが挿入された場合ウエハとの結合領域内又はウエハ外周端部の下方である第２の終端位置にある。
【００２８】
概略鳥瞰図９は、連結ディスク３８、４４、４８及びそれらに連結した連結ロッド４２、４６の協働関係の詳細図である。部材同士又は部材とウエハホルダ１４との連結及び互いに連結された部材同士の連結関係を見ることができる。
【００２９】
図１０及び１１は、連結ロッドではなく、方向転換ケーブル５０、５２、５４を介して旋回ブラケット３２を駆動する代替駆動方式を示す。ケーブルを用いるこの実施形態では、全体のケーブル構造を非常にフラットな平面内に配置することができるので、全体としてよりコンパクトな構造が可能である。空気圧シリンダ３４は３つの同時駆動ケーブル５０、５２、５４に連結され、この場合はそれぞれが１つの旋回ブラケット３２に連結されている。１以上のプーリー５６を用いて適切にケーブルを方向変換することにより、確保ブラケット３２の旋回が行われ、ウエハ１２の傾き又は落下を防止する。中間の確保ブラケット３２は、旋回すべき確保ブラケット３２の近傍のプーリー５６により１回だけ方向転換され、比較的全体が短い第１のケーブル５０で駆動される。外側の２つの確保ブラケット３２は、それぞれが全部で３つを超えるプーリー５６で誘導されるより長いケーブル５２及び５４で駆動される。旋回確保ブラケット３２は、空気圧シリンダ３４がケーブル５０、５２、５４に張力を及ぼさなくなったらすぐに戻りの旋回運動を行うために、戻りスプリング（図示せず）を適切に備える。これらの戻りスプリングは、例えばそれぞれがブラケット３２の旋回軸領域に設けられたらせん張力スプリングとして形成できる。
【００３０】
図３〜６及び１０には、撮像に必要な、ウエハホルダ１４上に形成された窪みの形態での参照（基準）表面６０が見える。これらの参照表面６０は、シリコン又は適切なプラスチック材のように異なる材料であることが好ましい。これらによって照明の質及び種々の照明モード（明視野、暗視野）のために必要なカメラ機能に関する情報を得ることができる。参照表面６０は、図面に典型例として示されるように、例えばウエハホルダ１４の上部右角部のように画像のいろいろな位置に配置することができる。これらの表面６０の位置を固定して配置することは、ウエハの種々の特性によって付随する妨害の影響を受けることなく、照明又は撮像の長期的な影響を評価及び修正することができるという点で特に有利である。参照表面６０により校正することができる光学的検査手段（図示せず）が、ウエハの光学的検査のために通常用いられる。これに関連して、検査すべきウエハの中心点が、本発明に係る装置によって、接触要素１８を用いて特に正確かつ迅速に、通常測定（決定）される。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明に係る半導体ウエハ保持装置の１実施例の概略図である。
【図２】ウエハ端部の一例の拡大図である。
【図３】接触要素及び付加的な確保要素を持つ本発明に係るウエハホルダの１実施例の概略平面図である。
【図４】図３のウエハホルダの別の状態を示す図である。
【図５】図３のウエハホルダにウエハを挿入した場合の一例を示す図である。
【図６】図５のウエハホルダの別の状態を示す図である。
【図７】図３のウエハホルダの裏側表面の平面図である。
【図８】図７のウエハホルダの別の状態を示す図である。
【図９】本発明に係るウエハホルダの部分の概略鳥瞰図（斜視図）である。
【図１０】本発明に係るウエハホルダの他の実施例の裏側表面の平面図である。
【図１１】図１０のウエハホルダの概略鳥瞰図である。
【符号の説明】
【００３２】
１０  保持装置
１２  ウエハ
１４  ウエハホルダ
１６  円形開口
１８  接触要素
２０  （接触要素の）支持要素（支持部）
２２  （ウエハの）端部
２４  当接（ストッパ）面
２６  横断的方向
２８  平坦面部
３２  旋回（確保）ブラケット
３４  空気圧シリンダ
３６  押し出しロッド
３８、４４、４８  連結ディスク
４０  軸
４２、４６  連結ロッド
５０、５２、５４  方向転換ケーブル
５６  プーリー
６０  参照（基準）表面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2008219013.tif 000006
【図５】
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【図６】
2008219013.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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