(57)【要約】【課題】  はんだバンプのような略球状の検査点に接触させて電気的信号の授受を行う検査用接触子及び基板検査用治具の提供。【解決手段】  一端が被検査基板の配線上に設定される湾曲形状の検査点に圧接されるとともに他端が被検査基板の電気的特性を検査すべく所定の基板検査部へ検査信号を伝送するための検出信号伝送用の接点としての電極に圧接される検査用接触子であって、検査点に圧接される圧接部が形成されるとともに、可撓性及び導電性を有する長尺状の形状を有する芯部と、芯部と導通接続されるとともに、圧接部と所定間隔を有して圧接部を内部に収容するガイド部を有し、ガイド部は、圧接部が所定長さを有して突出するよう設けられていることを特徴とする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端が被検査基板の配線上に設定される湾曲形状の検査点に圧接されるとともに他端が前記被検査基板の電気的特性を検査すべく所定の基板検査部へ検査信号を伝送するための検出信号伝送用の接点としての電極に圧接される検査用接触子であって、
前記検査点に圧接される圧接部が形成されるとともに、可撓性及び導電性を有する長尺状の形状を有する芯部と、
前記芯部と導通接続されるとともに、前記圧接部と所定間隔を有して前記圧接部を内部に収容するガイド部を有し、
前記ガイド部は、前記圧接部が所定長さを有して突出するよう設けられていることを特徴とする検査用接触子。
【請求項２】
前記ガイド部が、筒状に形成されていることを特徴とする請求項１記載の検査用接触子。
【請求項３】
前記圧接部が、尖鋭形状に形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の検査用接触子。
【請求項４】
前記検査点が、はんだバンプであることを特徴とする請求項１乃至３いずれかに記載の検査用接触子。
【請求項５】
請求項１乃至４いずれかに記載される複数の検査用接触子と、
前記検査用接触子を保持する保持部とを有することを特徴とする基板検査用治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査用接触子及びこの検査用接触子を用いる基板検査用治具に関し、より詳しくは、プリント配線基板に設けられる配線の良不良を検査する際に、はんだバンプのような略球状の検査点に接触させて電気的信号の授受を行う検査用接触子及び基板検査用治具に関する。
尚、本発明は、プリント配線基板に限らず、例えば、フレキシブル基板、多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなど種々の基板における電気的配線の検査に適用でき、本明細書では、それら種々の配線基板を総称して「基板」という。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板に形成される配線の良不良を検査するために、基板上の配線に予め複数の検査点を設定し、これら検査点間の抵抗値を算出することによって、配線が正しく形成されているかどうかを検査する方法が行われている。
このような検査方法を行うためには、予め設定される検査点に対して、電気的導通を図るための検査用接触子（検査用プローブ）が用いられる。例えば、特許文献１に記載される検査用プローブは、電子部品や基板などの導通検査に用いられる針形状の検査用プローブが示されている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１１４３９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、検査対象がはんだバンプ付きのパッドである場合、特許文献１に開示されるような検査用プローブでは、半球状のバンプと接触状態になる際に、検査用プローブがはんだ表面上を滑走して、位置ずれを起こしてしまう問題点を有していた。
本発明は、このような実情に鑑みてなされたもので、はんだバンプのような球状の検査対象に対して、位置ずれを起こすことなく、安定的に接触させることを可能とする検査用接触子や検査用接触子を用いる基板検査用治具を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１記載の発明は、一端が被検査基板の配線上に設定される湾曲形状の検査点に圧接されるとともに他端が前記被検査基板の電気的特性を検査すべく所定の基板検査部へ検査信号を伝送するための検出信号伝送用の接点としての電極に圧接される検査用接触子であって、前記検査点に圧接される圧接部が形成されるとともに、可撓性及び導電性を有する長尺状の形状を有する芯部と、前記芯部と導通接続されるとともに、前記圧接部と所定間隔を有して前記圧接部を内部に収容するガイド部を有し、前記ガイド部は、前記圧接部が所定長さを有して突出するよう設けられていることを特徴とする検査用接触子を提供する。
請求項２記載の発明は、前記ガイド部が、筒状に形成されていることを特徴とする請求項１記載の検査用接触子を提供する。
請求項３記載の発明は、前記圧接部が、尖鋭形状に形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の検査用接触子を提供する。
請求項４記載の発明は、前記検査点が、はんだバンプであることを特徴とする請求項１乃至３いずれかに記載の検査用接触子を提供する。
請求項５記載の発明は、請求項１乃至４いずれかに記載される複数の検査用接触子と、
前記検査用接触子を保持する保持部とを有することを特徴とする基板検査用治具を提供する。
これらの発明を提供することによって、上記課題を悉く解決する。
【発明の効果】
【０００６】
請求項１記載の発明によれば、検査用接触子が長尺状の芯部と、この芯部を内部に収容するガイド部を有し、このガイド部が圧接部を所定長さ突出させて配置されているので、湾曲形状の検査点に検査用接触子が圧接された場合に、芯部とガイド部が検査点に接触することになる。このため、湾曲形状の検査点に検査用接触子が接触し圧接される場合には、芯部とガイド部が検査点に接触することになり、検査用接触子が検査点から滑走して位置ずれすることを防止することができる。
請求項２記載の発明によれば、ガイド部が筒状に形成されることになるので、芯部を中心とする周縁から検査点と圧接されることになり、より安定して検査用接触子と検査点が接触することになる。
請求項３記載の発明によれば、圧接部が尖鋭形状に形成されるので、検査点に貫入されることになるが、検査用接触子がガイド部を有しているので、必要以上に圧接部が検査点に貫入することを防止することができる。
請求項４記載の発明によれば、検査点がはんだバンプであるので、はんだバンプに対して効果的に用いることができる検査用接触子を提供することができる。
請求項５記載の発明によれば、請求項１乃至４いずれかに記載の検査用接触子を用いた基板検査用治具を提供することができるので、湾曲形状を有する検査点に対して、位置ずれを防止して、接触させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
本発明を実施するための最良の形態を説明する。
図１は、本発明に係る検査用接触子を示す側面図であり、（ａ）はその側面図であり、（ｂ）は検査用接触子の芯部を示す側面図であり、（ｃ）は検査用接触子のガイド部を示す側面図であり、（ｄ）は芯部とガイド部を組み合わせた際の側面図である。
図２は、図１（ａ）で示される点線部を拡大した拡大図である。
【０００８】
本発明に係る検査用接触子１は、一端Ａが被検査基板の配線上に設定される湾曲形状の検査点に圧接されるとともに、他端Ｂが基板検査装置（図示せず）の電極に圧接される。
本検査用接触子１の一端Ａは、湾曲形状を有する検査点と接触される。この検査点は、例えば、はんだバンプやはんだボールと呼ばれる略球状に形成されるはんだを例示することができる。このはんだバンプは、ドーム型の球形状を有しており、その表面は湾曲に形成されている。
検査用接触子１の他端Ｂは、基板検査装置の電極と接続される。この電極は、基板検査装置から検査点へ電気的信号を送信したり、検査点から検出される電気的信号を基板検査装置へ送信したりする。
つまり、この電極を介して、検査用接触子１と基板検査装置が電気的に接続されることになる。
【０００９】
検査用接触子１は、芯部２、ガイド部３と絶縁部４を有してなる。
この芯部２は、図１（ｂ）で示される如く、長尺状の形状に形成されており、可撓性及び導電性を有している。この芯部２は、円柱に形成されることにより、検査点と電極から圧接された際に、均一に荷重が付加されることになる。
この芯部２は、検査点と接触する第一圧接部２１と、電極と接触する第二圧接部２２を有している。
この第一圧接部２１は、先細り形状を有していることが好ましく、例えば、図１（ｂ）で示される如き尖鋭形状を有していることが好ましい。
この芯部２が尖鋭形状に形成されることによって、検査点に芯部２が圧接される場合に、検査点にこの芯部２の先端が貫入されることになり、検査点の表面上に形成される酸化膜を容易に打ち破り、検査点と接触することができるからである。
第二圧接部２２は、電極と接触する。この第二圧接部２２は、先細り形状を有していることが好ましく、図１（ｂ）で示される如き尖鋭形状を有していてもよい。
【００１０】
この芯部２の長さは、20〜40ｍｍに形成されるが特に限定されるものではなく、検査点やこの基板検査治具の大きさに応じて適宜変更される。
この芯部２の太さは、40〜100μｍに形成されるが特に限定されるものではなく、検査点やこの基板検査治具の大きさに応じて適宜変更される。
この芯部２は、上記の如き条件で製造されるが、この芯部２の素材としては、タングステン（W）、ベリリウム銅（BeCu）やステンレス鋼を用いることができるが、特に限定されるものではない。
【００１１】
ガイド部３は、芯部２と導通接続されるとともに、所定間隔を有して第一圧接部２１を内部に収容し、その第一圧接部２１の先端一部を突出するように配置されている。
このガイド部３は、第一圧接部２１をその内部に収容して、第一圧接部２１の先端がこのガイド部３から突出するように設けられることによって、検査点に接触する場合に、第一圧接部２１とガイド部３の2箇所で検査点に接触することになり、検査点の湾曲表面から滑走して位置ずれすることを防止することになる。
【００１２】
このガイド部３は、図１（ｃ）で示す如く、芯部２を内部に収容することのできる可撓性及び導電性を有する筒状部材を用いることができる。
このガイド部３は、芯部２と導通状態となるように接続されており、芯部２の第一圧接部２１と第二圧接部２２が、筒状部材から夫々突出されるように設けられている（図１（ｄ）参照）。このガイド部３の筒状部材は、その開口端が第一圧接部２１の位置に重なる位置に配置されるように設けられることが好ましい。
このようにガイド部３の開口端が、第一圧接部２１が尖鋭形状に形成される場合には、第一圧接部２１の尖鋭形状の傾斜の位置とこの開口端が重なるように設けられる（図１参照）ことによって、検査用接触子１が検査点に接触される場合に、芯部２の第一圧接部２１とガイド部３が同時に検査点に接触することができる。
【００１３】
ガイド部３は、上記の如く、第一圧接部２１の一部を突出させているが、この突出量ｔは、適宜に設定されることになる。
この突出量ｔが、検査点に貫入される第一圧接部２１の貫入量（長さ）と略等しくなるため、この突出量ｔを調整することによって、検査点に貫入する第一圧接部２１の量を調整することができる。
つまり、このガイド部３により、第一圧接部２１の検査点に貫入する貫入量を調整することができ、必要以上に検査点に第一圧接部２１が貫入することを防止することができる。
【００１４】
このガイド部３は、上記の如く、芯部２を内部に収容するとともに、芯部２と同時に検査点に接触することが必要となるため、ガイド部３の内径ｗ１は、芯部２の外径ｗ２よりも大きく、且つ検査点の最大直径よりも小さく形成されることになる。
このガイド部３の内径ｗ１は、上記の大きさの範囲にあれば特に限定されないが、芯部２の外径ｗ２よりも僅かに大きく形成されることが好ましい。ガイド部３の内径ｗ１が芯部２の外径ｗ２よりも僅かに大きい長さに形成されることによって、検査用接触子１が撓むことにより両端へ応力がかかる際に、芯部２とガイド部３のずれを低減させることができるからである。
尚、このガイド部３は、芯部２と導通して接続されるが、検査用接触子１は長軸方向に対して略直角方向に撓むことによって、検査用接触子１の長軸方向の外側方向に向かって働く応力が生じることになる。
【００１５】
ガイド部３は、金属製の筒状部材が用いられることになるが、例えば、電解めっき又は無電解めっきが施されたパイプを用いることができる。このパイプは、ニッケル（Ni）を用いて製造することができるが、特に限定されるものではない。
【００１６】
絶縁部４は、ガイド部３の外側表面を覆う絶縁素材で形成される。この絶縁部４は、複数の検査用接触子１が設けられて、基板検査用治具が形成されて使用される場合に、検査用接触子１が隣接する検査用接触子と接触しても短絡することを防止することができる。
この絶縁部４は、ポリウレタン樹脂を用いることができるが、特に限定されるものではなく、絶縁性の素材であれば構わない。
以上が本発明にかかる検査用接触子１の構成の説明である。
【００１７】
次に、本発明の検査用接触子１を用いた場合の検査点との接触状態を説明する。図３は、検査用接触子を用いた場合の検査点との接触状態を示す側面図であり、（ａ）は検査点の略中央に接触する状態を示し、（ｂ）は中央から外れた位置で接触する状態を示している。
図３（ａ）で示される如く、検査用接触子１が、略球状を有する検査点Ｔの略中央（平面視において検査点Ｔの略中心）に接触する場合には、芯部２の第一圧接部２１が検査点Ｔ内に所定長さ量（ガイド部３により設定される長さ量）分貫入されることになる。
このとき、第一圧接部２１が検査点Ｔに貫入されることになるので、検査点Ｔの表面に酸化膜が形成されている場合であっても、その酸化膜を第一圧接部２１が破り検査点Ｔに接触することになる。
【００１８】
図３（ｂ）で示される如く、検査用接触子１が検査点Ｔの略中央よりずれた位置（平面視において検査点Ｔの中心と外れた位置）に接触する場合であっても、ガイド部３が検査点Ｔの表面に接触することによって、第一圧接部２１が検査点Ｔの湾曲表面を滑走することが無く、検査点Ｔの湾曲側表面に貫入されることになり、安定して検査点Ｔに接触することになる。
【００１９】
この検査用接触子１は、ガイド部３が検査点Ｔに対して接触し、検査点Ｔの湾曲表面と接触することになるので、ガイド部３が検査点Ｔ表面を擦るように接触することになる。このため、ガイド部３の表面が擦られることになり、ガイド部３の表面が検査点Ｔと接触する毎に擦られて、ガイド部３に付着するゴミくず（例えば、はんだ）を取り除くことができるようになる。
【００２０】
本検査用接触子１の製造方法を説明する。
この検査用接触子１を製造する場合には、導電性（例えば、タングステン）の長尺状部材を製造する。このとき、長尺状部材の両先端は、尖鋭形状となるように形成される（図１（ｂ）参照）。
また、この長尺状部材の外径よりも僅かに大きい内径を有する導電性（例えば、ニッケル）のパイプを製造する。
次に、パイプの内部に長尺状部材を挿入し、検査点に接触する一端側から所定の長さ分だけ突出する位置に配置して導通可能に接続固定する（図１（ｃ）参照）。
次いで、パイプの周縁に絶縁部となるポリウレタンによりコーティングを行う。
なお、このコーティングを施す工程は、長尺状部材をパイプに挿入した後に行ってもよいし、長尺状部材をパイプに挿入する前にパイプに絶縁部をコーティングしてもよい。
【００２１】
次に、本発明の検査用接触子を用いる基板検査用治具について説明する。
図４は、本発明に係る検査用接触子を用いた場合の基板検査用治具を示す一実施形態を示し、（ａ）はその側面図を示し、（ｂ）はその治具ヘッドを示している。
図４（ａ）で示される基板検査用治具１００では、複数の本発明に係る検査用接触子１０１、これら検査用接触子１０１を多針状に保持する保持体１０２、この保持体１０２を支持するとともに検査用接触子１０１と接触して導通となる接続電極部を有する接続電極体１０３、検出される電気信号を処理する検査信号処理部である検査信号処理部１０４、及び検査用接触子１０１と検査信号処理部１０４を接続するワイヤーケーブル１０５を示している。
この検査用接触子１０１は、被検査基板に形成される配線パターンの各検査点に接触する端子であり、接続電極体１０３は接触子１０１と検査信号処理部１０４のピッチ変換を行って電気的に接続する。
接続電極体１０３は、保持体１０２の配置側に検査用接触子１０１と電気的に接続する接続電極部１０６を有している。
【００２２】
この基板検査用治具１００では、この検査用接触子１０１が可撓性を有しているため、中空形状の保持体１０２が有する空間で、検査用接触子１０１が長軸方向に対して直角方向に撓む（バックリングする）ことになる。このため、この接触子２が使用される場合には、被検査基板の検査点や接続電極部からの荷重を受けて撓み、この撓みにより各接触部に対して押圧力を生じることになる。
【００２３】
図４（ｂ）は、本発明に係る検査用接触子を用いる場合の治具ヘッドの拡大図である。この場合、検査用接触子１０１はガイド部３が芯部２と導電接続されているため、接続電極体１０３が有する電極を筒状に形成することによって、検査用接触子１０１の他端を内部に収容して、ガイド部３の他端と筒状電極１０３１の内部が接触するように形成することもできる。
このように形成することによって、筒状に形成される電極と検査用接触子１０１の接触抵抗を低減させて導電接続させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明に係る検査用接触子を示す側面図であり、（ａ）はその側面図であり、（ｂ）は検査用接触子の芯部を示す側面図であり、（ｃ）は検査用接触子のガイド部を示す側面図であり、（ｄ）は芯部とガイド部を組み合わせた際の側面図である。
【図２】図１（ａ）で示される点線部を拡大した拡大図である。
【図３】検査用接触子を用いた場合の検査点との接触状態を示す側面図であり、（ａ）は検査点の略中央に接触する状態を示し、（ｂ）は中央から外れた位置で接触する状態を示している。
【図４】本発明に係る検査用接触子を用いた場合の基板検査用治具を示す一実施形態を示し、（ａ）はその側面図を示し、（ｂ）はその治具ヘッドを示している。
【符号の説明】
【００２５】
１・・・・・検査用接触子
１０１・・・検査用接触子
２・・・・・芯部
３・・・・・ガイド部
Ａ・・・・・一端
Ｂ・・・・・他端
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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