(57)【要約】【課題】垂直転送パルスの供給源から垂直転送パルスの供給先までの各配線の抵抗値及び容量値の均一化を図り、コンプリメンタリー転送方式を採用した場合に、充分にクロストークノイズを除去することができるＣＣＤ型固体撮像装置を提供する。【解決手段】垂直転送部に垂直転送パルス供給する垂直転送パルス供給回路が、第１のアルミニウム配線７、タングステン配線８及び第２のアルミニウム配線９を備え、タングステン配線の幅及び長さが同一に構成され、スリットによって分割されたタングステン配線の第１の領域１１の長さに対する幅の比を同一に構成されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
信号電荷を蓄積する複数の電荷蓄積部を有し、該電荷蓄積部のポテンシャルを変化させることにより前記電荷蓄積部間で信号電荷を転送する電荷転送部に転送パルスを供給する転送パルス供給回路において、
転送パルスが供給されるＮ（Ｎ：２以上の整数）本の転送パルス供給配線と、
それぞれの前記転送パルス供給配線を対応する前記電荷転送部からの引き出し配線に接続する引き込み配線とを備え、
前記各引き込み配線は幅及び長さが略同一であり、
前記引き込み配線の少なくとも一部はスリットによって同引き込み配線が第１の領域と第２の領域とに分割されると共に、前記第１の領域は前記転送パルス供給配線及び前記引き出し配線と接続され、前記第２の領域は前記引き出し配線と接続されており、
前記各引き込み配線の前記転送パルス供給配線と接続された領域の長さに対する幅の比が略同一である
ことを特徴とする転送パルス供給回路。
【請求項２】
前記転送パルス供給配線及び前記引き出し配線を形成する材料は、前記引き込み配線を形成する材料よりも抵抗値が低い
ことを特徴とする請求項１に記載の転送パルス供給回路。
【請求項３】
前記引き込み配線の少なくとも一部は、同引き込み配線と前記引き出し配線との接続箇所を越えて前記転送パルス供給配線とは反対側に延在させた延在部が設けられた
ことを特徴とする請求項１に記載の転送パルス供給回路。
【請求項４】
マトリクス状に配列された受光部と、
該受光部の垂直列毎に設けられると共に同受光部から信号電荷が転送され、転送された信号電荷を垂直方向に転送する垂直転送部と、
該垂直転送部から信号電荷が転送され、転送された信号電荷を水平方向に転送する水平転送部と、
前記垂直転送部に同垂直転送部を駆動するための垂直転送パルスを供給する垂直転送パルス供給回路とを備える固体撮像装置において、
前記垂直転送パルス供給回路は、垂直転送パルスが供給されるＮ（Ｎ：２以上の整数）本の垂直転送パルス供給配線と、
それぞれの前記垂直転送パルス供給配線を対応する前記垂直電荷転送部からの引き出し配線に接続する引き込み配線とを備え、
前記各引き込み配線は幅及び長さが略同一であり、
前記引き込み配線の少なくとも一部はスリットによって同引き込み配線が第１の領域と第２の領域とに分割されると共に、前記第１の領域は前記垂直転送パルス供給配線及び前記引き出し配線と接続され、前記第２の領域は前記引き出し配線と接続されており、
前記各引き込み配線の前記垂直転送パルス供給配線と接続された領域の長さに対する幅の比が略同一である
ことを特徴とする固体撮像装置。
【請求項５】
前記垂直転送パルス供給配線及び前記引き出し配線を形成する材料は、前記引き込み配線を形成する材料よりも抵抗値が低い
ことを特徴とする請求項４に記載の固体撮像装置。
【請求項６】
前記引き込み配線の少なくとも一部は、同引き込み配線と前記引き出し配線との接続箇所を越えて前記垂直転送パルス供給配線とは反対側に延在させた延在部が設けられた
ことを特徴とする請求項４に記載の固体撮像装置。
【請求項７】
前記水平転送部による信号電荷の転送中に前記垂直転送部による信号電荷の転送を行なう
ことを特徴とする請求項４に記載の固体撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は転送パルス供給回路及び固体撮像装置に関する。詳しくは、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）型固体撮像装置の垂直転送部の駆動に用いる垂直転送パルスを供給する転送パルス供給回路及びこうした回路を有するＣＣＤ型固体撮像装置に係るものである。
【背景技術】
【０００２】
ＣＣＤ型固体撮像装置では、受光部に設けた各受光素子で蓄積した信号電荷をそれぞれ垂直転送部に転送し、この垂直転送部に転送した信号電荷を水平転送部に転送し、この水平転送部に転送した信号電荷を出力回路に転送して出力している。この出力が画像情報となる。また、ディスプレイ、ＴＶ等の映像デバイスの１画面を構成する期間を１フレームといい、例えばインターレース方式だと２フィールドで１フレームを構成する。これら１フィールドまたは１フレームの画像情報が繰り返し出力され、静止画または動画として映像デバイスで画像を見ることができる。
【０００３】
ここで、水平転送部で信号電荷を転送する場合には、垂直転送部の動作を停止させた状態で水平転送部を駆動させることにより、１水平ライン分の信号電荷情報の取り出しを行なっている（例えば、特許文献１の図３参照。）。
水平ラインの本数分この１水平ライン分の信号電荷情報の取り出しを行なうと、基本的に１フレームの画素情報が転送されることとなる。
【０００４】
具体的には、図３で示すタイミングチャートの様に、有効画素期間（図中符合ａで示す期間）に図中符合Ｖφ（Ｖφ１〜Ｖφ６）で示す垂直転送パルスのスイッチングノイズが影響を及ぼさない様に、図中符合Ｈｃｋで示す水平転送パルスが一定レベル（図３で示すタイミングチャートではハイレベル）を保持している水平ブランキング期間（図中符合ｂで示す期間）に垂直転送部での垂直転送を行なっている。
即ち、垂直転送パルスが立ち下がるタイミング（図中符合Ｔ２、Ｔ４、Ｔ６、Ｔ８、Ｔ１０、Ｔ１２で示すタイミング）や垂直転送パルスが立ち上がるタイミング（図中符合Ｔ１、Ｔ３、Ｔ５、Ｔ７、Ｔ９、Ｔ１１で示すタイミング）で、ＣＣＤ型固体撮像装置が形成された基板の電位変動が生じるのであるが、こうした電位変動が出力回路からの出力に及ぼす影響を防止すべく水平ブランキング期間に垂直転送を行なっているのである。
【０００５】
ところで、近年、高画質化の市場ニーズによりＣＣＤ型固体撮像装置は高画素化が進んでいる。また、同時に短時間でより多くの画像を取得するニーズも高まっており、高画素のＣＣＤ型固体撮像装置で従来と同程度のフレームレートの実現が求められている。
【０００６】
ここで、高画素のＣＣＤ型固体撮像装置で従来と同程度のフレームレートを実現する方法としては、（１）ＣＣＤ型固体撮像装置を駆動する駆動周波数を上げる方法や、（２）有効画素期間内に垂直転送を行なう方法が考えられる。
【０００７】
しかし、ＣＣＤ型固体撮像装置を駆動する駆動周波数を上げることによって従来と同程度のフレームレートを実現しようとすると、駆動周波数を上げることに起因する発熱量の増大、消費電力の増加、ＣＣＤ型固体撮像装置が形成された基板の高価格化や周辺部品の増加等につながってしまうために、ＣＣＤ型固体撮像装置を駆動する駆動周波数を上げることで従来と同程度のフレームレートを実現するという方法は妥当であるとは言い難い。更に、近年のフレームレートの向上の要求に対して、駆動周波数を上げるという対策のみでは限界に達しつつある。
【０００８】
一方、有効画素期間内に垂直転送を行なうことによって従来と同程度のフレームレートを実現しようとすると、上記した様に、垂直転送パルスのスイッチングノイズの影響を受けてしまい、即ち、各垂直転送パルスの立ち上がりタイミング及び各垂直転送パルスの立ち下がりタイミングでＣＣＤ固体撮像装置が形成された基板の電位変動が生じてしまい、出力回路からの出力に影響し、固定パターンノイズ（ＦＰＮ：Ｆｉｘｅｄ  Ｐａｔｔｅｒｎ  Ｎｏｉｓｅ）が発生する原因となってしまう。
【０００９】
具体的には、図４で示すタイミングチャートの様に、有効画素期間（図中符合ａで示す期間）に垂直転送を行なうと、符号Ｖφ６で示す垂直転送パルスの立ち上がりタイミングであるＴ１、符合Ｖφ２で示す垂直転送パルスの立ち下がりタイミングであるＴ２、符合Ｖφ１で示す垂直転送パルスの立ち上がりタイミングであるＴ３、符合Ｖφ３で示す垂直転送パルスの立ち下がりタイミングであるＴ４、符合Ｖφ２で示す垂直転送パルスの立ち上がりタイミングであるＴ５、符合Ｖφ４で示す垂直転送パルスの立ち下がりタイミングであるＴ６、符合Ｖφ３で示す垂直転送パルスの立ち上がりタイミングであるＴ７、符合Ｖφ５で示す垂直転送パルスの立ち下がりタイミングであるＴ８、符合Ｖφ４で示す垂直転送パルスの立ち下がりタイミングであるＴ９、符合Ｖφ６で示す垂直転送パルスの立ち下がりタイミングであるＴ１０、符合Ｖφ５で示す垂直転送パルスの立ち上がりタイミングであるＴ１１及び符合Ｖφ１で示す垂直転送パルスの立ち下がりタイミングであるＴ１２でＣＣＤ型固体撮像装置が形成された基板の電位変動が生じ、こうした電位変動に起因して各変化時間Ｔ１〜Ｔ１２でＦＰＮが発生してしまう。
そして、各水平ラインの各変化時間Ｔ１〜Ｔ１２で生じたＦＰＮが縦方向に連結し、縦方向の線状の画像ノイズとして表れることとなる。
【００１０】
また、同様のメカニズムでフレーム間、フィールド間での画面上での１点のノイズに注目して考えると、上記フレーム間あるいはフィールド間で常に画像ノイズが同一箇所に発生するため、画面上常にある点はノイズ（暗い、または明るい）となる。これは縦方向の線状の画像ノイズの発生とは無関係に画面上に停留する点状ノイズとなる。
この２つは独立した現象であるが、発生メカニズムがＦＰＮとその連続性（線状ノイズは垂直転送期間での連続性、点状ノイズはフレームまたはフィールド間での連続性）と同じであるため、同時に発生すると線状のノイズは常に画面上に見えることとなる。
【００１１】
さて、上記の問題を解決する手段として、信号電荷の垂直転送を水平有効走査期間に行ない、垂直転送時の垂直転送部には駆動クロック波形の立ち上がり及び立ち下がりで発生するクロストークノイズを相関二重サンプリング回路で除去できるようなトランジェントスピードΔＶ／ΔＴとなる立ち上がり及び立ち下がりの傾きを有した駆動クロック波形を供給する駆動方法が提案されており（例えば、特許文献２参照。）、こうした駆動方法によって固体撮像装置の高フレームレート化が実現可能となる。
【００１２】
但し、特許文献２に記載の駆動方法のみでは、ＣＣＤ型固体撮像装置内のクロストークを充分には抑制できないために、このクロストークを更に抑制する方法として、垂直転送を行なう際に、逐次転送方式（図５Ａ参照。）を採用するのでは無く、一の垂直転送パルスがハイレベルとなると同時に他の垂直転送パルスがローレベルとなるといった具合に互いに逆相で同時に変化する垂直転送方式（コンプリメンタリー転送方式、図５Ｂ参照。）を採用することで、垂直転送パルスによる影響を打ち消すといった方法が採られている。
【００１３】
【特許文献１】特開２０００−１３８９４３号公報
【００１４】
【特許文献２】特開２００５−２６９０６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
ところで、垂直転送部に供給される垂直転送パルスは、図６で示す様に、パッド部１０１に印加されることで垂直転送部に供給されることとなるのであるが、各パッド部（垂直転送パルスの供給源）から各垂直転送パルスの供給先までを電気的に接続する各配線の抵抗値（Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３・・・）及び容量値（Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３・・・）が異なるために、垂直転送パルス間で充分な補完を実現することができず、コンプリメンタリー転送方式を採用した場合であっても、クロストークノイズを充分には抑制することができていない。
【００１６】
具体的には、図７で示す様に、アルミニウムから成るパッド部１０１（１０１ａ、１０１ｂ）に供給された各垂直転送パルスは、パッド部と連設されているアルミニウムから成る第１のアルミニウム配線１０２（１０２ａ、１０２ｂ）、第１のアルミニウム配線と接続されたタングステンから成るタングステン配線１０３（１０３ａ、１０３ｂ）、タングステン配線と接続されたアルミニウムから成る第２のアルミニウム配線１０４（１０４ａ、１０４ｂ）を経て垂直転送部に達することになる。ここで、図７では、符合１０１ａで示すパッド部に供給された垂直転送パルスは符号１０２ａで示す第１のアルミニウム配線、符号１０３ａで示すタングステン配線を経て符合１０４ａで示す第２のアルミニウム配線に供給され、符合１０１ｂで示すパッド部に供給された垂直転送パルスは符号１０２ｂで示す第１のアルミニウム配線、符号１０３ｂで示すタングステン配線を経て符合１０４ｂで示す第２のアルミニウム配線に供給される場合を図示している。
【００１７】
ところで、各タングステン配線の長さが異なるために、タングステン配線の長さに対する幅の比（Ｗ／Ｌ）が異なることとなり、タングステン配線によって抵抗値が異なることとなる。また、タングステン配線によって面積が異なるために各タングステン配線の容量値が異なることとなる。即ち、各タングステン配線の抵抗値と容量値が異なるために、各パッドから各垂直転送パルスの供給先までを電気的に接続する各配線の抵抗値及び容量値が異なってしまうのである。
【００１８】
本発明は以上の点に鑑みて創案されたものであって、転送パルスの供給源から転送パルスの供給先までの各配線の抵抗値及び容量値の均一化を図り、コンプリメンタリー転送方式を採用した場合に、充分にクロストークノイズを除去することができる転送パルス供給回路及び固体撮像装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
上記の目的を達成するために、本発明に係る転送パルス供給回路は、信号電荷を蓄積する複数の電荷蓄積部を有し、該電荷蓄積部のポテンシャルを変化させることにより前記電荷蓄積部間で信号電荷を転送する電荷転送部に転送パルスを供給する転送パルス供給回路において、転送パルスが供給されるＮ（Ｎ：２以上の整数）本の転送パルス供給配線と、それぞれの前記転送パルス供給配線を対応する前記電荷転送部からの引き出し配線に接続する引き込み配線とを備え、前記各引き込み配線は幅及び長さが略同一であり、前記引き込み配線の少なくとも一部はスリットによって同引き込み配線が第１の領域と第２の領域とに分割されると共に、前記第１の領域は前記転送パルス供給配線及び前記引き出し配線と接続され、前記第２の領域は前記引き出し配線と接続されており、前記各引き込み配線の前記転送パルス供給配線と接続された領域の長さに対する幅の比が略同一である。
【００２０】
ここで、各引き込み配線は幅及び長さが略同一であることによって、引き込み配線の容量の均一化を図ることができる。
また、各引き込み配線の転送パルス供給配線と接続された領域、即ち、スリットによって第１の領域と第２の領域に分割された引き込み配線については第１の領域、スリットによって第１の領域と第２の領域に分割されていない引き込み配線については引き込み配線全体領域の長さに対する幅の比が略同一であることによって、各引き込み配線の転送パルス供給配線と接続された領域の抵抗値の均一化を図ることができる。
【００２１】
また、上記の目的を達成するために、本発明に係る固体撮像装置は、マトリクス状に配列された受光部と、該受光部の垂直列毎に設けられると共に同受光部から信号電荷が転送され、転送された信号電荷を垂直方向に転送する垂直転送部と、該垂直転送部から信号電荷が転送され、転送された信号電荷を水平方向に転送する水平転送部と、前記垂直転送部に同垂直転送部を駆動するための垂直転送パルスを供給する垂直転送パルス供給回路とを備える固体撮像装置において、前記垂直転送パルス供給回路は、垂直転送パルスが供給されるＮ（Ｎ：２以上の整数）本の垂直転送パルス供給配線と、それぞれの前記垂直転送パルス供給配線を対応する前記垂直電荷転送部からの引き出し配線に接続する引き込み配線とを備え、前記各引き込み配線は幅及び長さが略同一であり、前記引き込み配線の少なくとも一部はスリットによって同引き込み配線が第１の領域と第２の領域とに分割されると共に、前記第１の領域は前記垂直転送パルス供給配線及び前記引き出し配線と接続され、前記第２の領域は前記引き出し配線と接続されており、前記各引き込み配線の前記垂直転送パルス供給配線と接続された領域の長さに対する幅の比が略同一である。
【００２２】
ここで、各引き込み配線は幅及び長さが略同一であることによって、引き込み配線の容量の均一化を図ることができる。
また、各引き込み配線の垂直転送パルス供給配線と接続された領域、即ち、スリットによって第１の領域と第２の領域に分割された引き込み配線については第１の領域、スリットによって第１の領域と第２の領域に分割されていない引き込み配線については引き込み配線全体領域の長さに対する幅の比が略同一であることによって、各引き込み配線の垂直転送パルス供給配線と接続された領域の抵抗値の均一化を図ることができる。
【発明の効果】
【００２３】
上記した本発明を適用した転送パルス供給回路及びこうした回路を有する固体撮像装置では、転送パルスの供給源から転送パルスの供給先までの各配線の抵抗値及び容量値の均一化を図ることができ、コンプリメンタリー転送方式を採用した場合においては、充分にクロストークノイズを除去することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明し、本発明の理解に供する。
図１は本発明を適用した固体撮像装置の一例であるＣＣＤ型固体撮像装置を説明するための模式図であり、ここで示すＣＣＤ型固体撮像装置は、マトリクス状に配列された複数の受光部１、この受光部に隣接して設けられ、受光部で取り込んだ信号電荷を読み出す読み出しゲート２、読み出しゲートに隣接して設けられ、読み出しゲートによって読み出された信号電荷を垂直方向に転送する垂直転送部３、垂直転送部により転送された信号電荷を水平方向に転送する水平転送部４及び受光部の読み出しゲートとは逆側に設けられ、混色を抑制するチャネルストップ領域５が形成されている。
【００２５】
さて、垂直転送部は垂直転送パルスが供給されることで、信号電荷を垂直方向に転送するのであるが、垂直転送部に供給される垂直転送パルスは、上述の従来のＣＣＤ型固体撮像装置と同様に、パッド部に垂直転送パルスが印加されることで垂直転送部に供給されることとなる（図６参照。）。
【００２６】
具体的には、図２で示す様に、アルミニウムから成るパッド部６（６ａ、６ｂ）に供給された各垂直転送パルスは、パッド部と連設されているアルミニウムから成る第１のアルミニウム配線７（７ａ、７ｂ）、第１のアルミニウム配線と接続されたタングステンから成るタングステン配線８（８ａ、８ｂ）、タングステン配線と接続されたアルミニウムから成る第２のアルミニウム配線９（９ａ、９ｂ）を経て垂直転送部に達することになる。ここで、図２では、符合６ａで示すパッド部（以下、説明の便宜上「パッド部Ａ」と称する。）に供給された垂直転送パルスは符号７ａで示す第１のアルミニウム配線（以下、説明の便宜上「第１のアルミニウム配線Ａ」と称する。）、符合８ａで示すタングステン配線（以下、説明の便宜上「タングステン配線Ａ」と称する。）を経て符合９ａで示す第２のアルミニウム配線（以下、説明の便宜上「第２のアルミニウム配線Ａ」と称する。）に供給され、符合６ｂで示すパッド部（以下、説明の便宜上「パッド部Ｂ」と称する。）に供給された垂直転送パルスは符号７ｂで示す第１のアルミニウム配線（以下、説明の便宜上「第１のアルミニウム配線Ｂ」と称する。）、符合８ｂで示すタングステン配線（以下、説明の便宜上「タングステン配線Ｂ」と称する。）を経て符合９ｂで示す第２のアルミニウム配線（以下、説明の便宜上「第２のアルミニウム配線Ｂ」と称する。）に供給される場合を図示している。
【００２７】
なお、第１のアルミニウム配線は転送パルス供給配線及び垂直転送パルス供給配線の一例であり、タングステン配線は引き込み配線の一例であり、第２のアルミニウム配線は引き出し配線の一例である。
【００２８】
ここで、各タングステン配線の幅と長さは同一となる様に構成され、即ち、タングステン配線Ａとタングステン配線Ｂの幅と長さは同一となる様に構成され、タングステン配線Ａ及びタングステン配線Ｂは共に全ての第２のアルミニウム配線と重なる様に構成されている。具体的には、タングステン配線Ｂについては、第２のアルミニウム配線との接続箇所（後述する第４のビア）を越える領域についてもタングステン配線が形成されている。
なお、各タングステン配線の幅と長さが同一であるために、各タングステン配線の面積は同一ということとなる。
【００２９】
また、各タングステン配線はスリットが設けられて第１の領域と第２の領域とに分割がなされており、具体的には、タングステン配線ＡはスリットＡ１０ａが設けられることで第１の領域（Ａ）１１ａと第２の領域（Ａ）１２ａとに分割され、タングステン配線ＢはスリットＢ１０ｂが設けられることで第１の領域（Ｂ）１１ｂと第２の領域（Ｂ）１２ｂとに分割されており、タングステン配線Ａの第１の領域（Ａ）の長さ（図中符合Ｌで示す距離）に対する幅（図中符合Ｗで示す距離）の比（Ｗ／Ｌ）とタングステン配線Ｂの第１の領域（Ｂ）の長さ（図中符合Ｌ'で示す距離）に対する幅（図中符合Ｗ'で示す距離）の比（Ｗ'／Ｌ'）は等しくなる様に構成されている。
【００３０】
更に、タングステン配線Ａの第１の領域（Ａ）は、第１のビア１３ａによって第１のアルミニウム配線Ａと接続され、第２のビア１４ａによって第２のアルミニウム配線Ａと接続されると共に、タングステン配線Ａの第２の領域（Ａ）は、第２のビア１４ａによって第２のアルミニウム配線Ａと接続されている。同様に、タングステン配線Ｂの第１の領域（Ｂ）は、第３のビア１３ｂによって第１のアルミニウム配線Ｂと接続され、第４のビア１４ｂによって第２のアルミニウム配線Ｂと接続されると共に、タングステン配線Ｂの第２の領域（Ｂ）は、第４のビア１４ｂによって第２のアルミニウム配線Ｂと接続されている。
【００３１】
ここで、本実施例では、タングステン配線Ａ及びタングステン配線Ｂの双方にスリットを形成して、それぞれのタングステン配線を第１の領域と第２の領域とに分割を行っているが、各タングステン配線の幅と長さが等しくなると共に、第１のアルミニウム配線及び第２のアルミニウム配線と接続されている領域の長さに対する幅の比が同一であれば充分であり、必ずしも全てのタングステン配線がスリットによって第１の領域と第２の領域とに分割されている必要は無い。例えば、図２で示すタングステン配線Ａの第１の領域が配線の全体サイズとなる様に各タングステン配線を形成した場合には、タングステン配線Ａについてはスリットを形成する必要は無く、タングステン配線Ｂのみにスリットを形成することとなる。
【００３２】
上記した本発明を適用したＣＣＤ型固体撮像装置では、タングステン配線の幅と長さが同一となる様に構成されると共に、第１の領域及び第２の領域の双方が第２のアルミニウム配線と接続されているために、各タングステン配線の容量値が均一化されている。
また、第１のアルミニウム配線と第２のアルミニウム配線とを接続しているタングステン配線の第１の領域の長さに対する幅の比が等しくなる様に構成されているために、各第１の領域の抵抗値が均一化されている。このことは、パッドＡに供給された垂直転送パルスが第２のアルミニウム配線Ａに到達するための経路（配線）の抵抗値及び容量値と、パッドＢに供給された垂直転送パルスが第２のアルミニウム配線Ｂに到達するための経路（配線）の抵抗値及び容量値とが等しいこととなり、結果として、垂直転送パルスの供給源であるパッド部から垂直転送パルスの供給先までの各配線の抵抗値及び容量値の均一化を図ることができる。
【００３３】
なお、本実施例では、タングステン配線の抵抗値及び容量値の均一化を図るべく、タングステン配線長さや幅について制限を行っており、第１のアルミニウム配線や第２のアルミニウム配線については何らの制限を行っていない。しかし、タングステン配線と比較するとアルミニウム配線は極めて低抵抗であり、その抵抗値が垂直転送パルスに及ぼす影響は極めて小さいと考えられるところ、タングステン配線の抵抗値及び容量値の均一化を図ることで、垂直転送パルスの供給源であるパッド部から垂直転送パルスの供給先までの各配線の抵抗値及び容量値の均一化を図ることができると考えられるのである。
【００３４】
また、上記した様に、垂直転送パルスの供給源であるパッド部から垂直転送パルスの供給先までの各配線の抵抗値及び容量値の均一化を図ることができるために、コンプリメンタリー転送方式を採用することによって、充分にクロストークノイズを除去することができ、信号電荷の垂直転送を水平有効走査期間に行なったとしてもクロストークノイズが出力信号への影響を充分に抑制することができ、高フレームレート化が実現できることとなる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明を適用した固体撮像装置の一例であるＣＣＤ型固体撮像装置を説明するための模式図である。
【図２】本発明を適用したＣＣＤ型固体撮像装置のタングステン配線を説明するための模式図である。
【図３】有効画素期間に垂直転送を行なわない駆動方法のタイミングチャートの一例である。
【図４】有効画素期間に垂直転送を行なう駆動方法のタイミングチャートの一例である。
【図５Ａ】逐次転送方式を説明するためのタイミングチャートである。
【図５Ｂ】コンプリメンタリー転送方式を説明するためのタイミングチャートである。
【図６】垂直転送パルスの供給ルートを説明するための模式図である。
【図７】従来のタングステン配線を説明するための模式図である。
【符号の説明】
【００３６】
１    受光部
２    読み出しゲート
３    垂直転送部
４    水平転送部
５    チャネルストップ領域
６    パッド部
７    第１のアルミニウム配線
８    タングステン配線
９    第２のアルミニウム配線
１０ａ  スリットＡ
１０ｂ  スリットＢ
１１ａ  第１の領域（Ａ）
１１ｂ  第１の領域（Ｂ）
１２ａ  第２の領域（Ａ）
１２ｂ  第２の領域（Ｂ）
１３ａ  第１のビア
１３ｂ  第３のビア
１４ａ  第２のビア
１４ｂ  第４のビア
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６】
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【図７】
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