(57)【要約】【課題】  本願発明は、ＡＩＰ法、ＭＳ法で用いるターゲット材であって、機械的強度が改善されるとともに、ドロップレットの生成が抑制され、品質の高い皮膜を形成するのために好適なターゲット材を提供することである。【解決手段】  本願発明は、ＡｌとＭ成分、但し、Ｍ成分は４ａ、５ａ、６ａ族金属、Ｓｉ、Ｂ、Ｓから選択される１種以上の元素を有するターゲット材において、該ターゲット材は、ＡｌとＭ成分及びＡｌの窒化物を有していることを特徴とする窒化物含有ターゲット材である。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＡｌとＭ成分、但し、Ｍ成分は４ａ、５ａ、６ａ族金属、Ｓｉ、Ｂ、Ｓから選択される１種以上の元素を有するターゲット材において、該ターゲット材は、ＡｌとＭ成分及びＡｌの窒化物を有していることを特徴とする窒化物含有ターゲット材。
【請求項２】
請求項１に記載の窒化物含有ターゲット材において、該Ａｌの窒化物の含有量はモル％で、５％以上、３０％以下であることを特徴とする窒化物含有ターゲット材。
【請求項３】
請求項１、２に記載の窒化物含有ターゲット材において、該Ａｌの窒化物と該Ａｌとの含有量の比（Ａｌの窒化物）／（Ａｌ）をＱとしたとき、０．３≦Ｑ≦２、であることを特徴とする窒化物含有ターゲット材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、切削工具や金属部品の表面に皮膜を形成させるための窒化物含有ターゲット材に関するものであり、特に、アークイオンプレーティング（以下、ＡＩＰと記す。）法、マグネトロンスパッタ（以下、ＭＳと記す。）の蒸発源としてのターゲット材に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
蒸発源にＡｌ成分を含む合金ターゲット材を使用した被覆では、Ａｌ成分に起因するドロップレットの発生が問題となっており、このドロップレットの発生を減らすための技術が、以下の特許文献１から６に開示されている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−９９９６６号公報
【特許文献２】特開平１０−６０６３６号公報
【特許文献３】特開平８−１２０４４５号公報
【特許文献４】特開平８−１３４６３５号公報
【特許文献５】特開２００３−２８６５６６号公報
【特許文献６】特開２００３−２８６５６４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本願発明が解決しようとする課題は、ＡＩＰ法、ＭＳ法に用いるターゲット材であって、機械的強度が改善されるとともに、ドロップレットの生成が抑制され、品質の高い皮膜を形成するのために好適なターゲット材を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本願発明は、ＡｌとＭ成分、但し、Ｍ成分は４ａ、５ａ、６ａ族金属、Ｓｉ、Ｂ、Ｓから選択される１種以上の元素を有するターゲット材において、該ターゲット材は、ＡｌとＭ成分及びＡｌの窒化物を有していることを特徴とする窒化物含有ターゲット材である。上記の構成を採用することによって、ＡＩＰ法、ＭＳ法で被覆をしたとき、機械的強度が改善され、ドロップレットの生成が抑制され、品質の高い皮膜を形成するのために好適なターゲット材を提供することができる。
また、本願発明の窒化物含有ターゲット材においては、Ａｌの窒化物の含有量がモル％で、５％以上、３０％以下であることが好ましい。更に、窒化物含有ターゲット材において、Ａｌの窒化物とＡｌとの含有量の比（Ａｌの窒化物）／（Ａｌ）をＱとしたとき、０．３≦Ｑ≦２、であることが好ましい。
【発明の効果】
【０００６】
本願発明により、ＡＩＰ法、ＭＳ法で用いるターゲット材であって、機械的強度が改善されるとともに、ドロップレットの生成が抑制された品質の高い皮膜を形成するために好適なターゲット材を提供することができた。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
本願発明の窒化物含有ターゲット材は、ＡｌとＭ成分を有する窒化物などの皮膜を得るために用いられる。ＡＩＰ法は、減圧した反応ガス雰囲気中において、皮膜の原料となるターゲット材をアーク放電にて瞬時に溶解、イオン化し、負に印加した被覆基材に付着させ皮膜を形成させる。このとき、溶解されたターゲット材は、被覆基材とターゲット材の間で発生するプラズマ中で、反応ガスとともにイオン化される。例えば、反応ガスとして窒素を用いて窒化された皮膜としてＴｉＡｌ系、ＣｒＡｌ系の硬質皮膜が用いられる。ＴｉＡｌ系やＣｒＡｌ系のターゲット材を用い、ＡＩＰ法によって硬質皮膜を被覆する場合、アーク放電の際のアークスポットが、ターゲット表面上に電子を放出させる部位として形成される。アークスポットは、１点または、同時に複数点が放電中に存在し、ターゲット表面上を高速かつ均一に移動することが必要である。しかし、アークスポットの移動が滞留すると、その滞留部分に大きな溶解部が生じ、その溶解液滴が基材表面に付着する。この付着した溶解液滴は、ドロップレット又はパーティクル、マクロパーティクル、などと呼ばれ、硬質皮膜の表面を荒らす原因になる。例えば、被覆工具にドロップレットが多数付着すると、工具性能を劣化させる。ターゲット材が単一金属、または単一組織といった均質な場合は、アークスポットは、ターゲット材表面上を均一に移動する傾向にある。しかし、ターゲット材が複数元素から構成されることによって不均質となる場合や、複数の相を含む場合には、アークスポットが均一に移動し難く、皮膜表面にドロップレットを含みやすい。
特に、ＡＩＰ法で使用するターゲットが低融点のＡｌを含む場合、Ａｌがバインダーとして他の構成元素であるＭ成分元素の周りを取り囲み、その界面では有化合物を形成する。この化合物は、ＡｌＭ系の金属間化合物となる。Ｍ成分元素が２種以上の元素で構成される場合は、この化合物は、ＡｌＭｙ１Ｍｙ２系の化合物（但し、ｙ１≠ｙ２）を形成する。また、ＡＩＰ法では、使用するターゲットが低融点のＡｌを含む場合、特にＡｌ単独相の部分にアーク放電が集中する傾向がある。その結果として、硬質皮膜表面にドロップレットが多く含まれ、表面粗度の悪化や組成の不均一が発生する。巨大なドロップレットを含有した硬質皮膜は、ドロップレット部がマクロ的な欠陥となり、硬度、耐熱性また耐欠損性が低下する欠点がある。
【０００８】
本願発明の窒化物含有ターゲット材を用いることにより機械的強度が改善され、ドロップレット発生量の極めて少ない皮膜を得ることができる。この理由は、ＡｌＮを含有させることによって、ターゲット全体におけるＡｌ成分量を減らすことなく、ドロップレットの発生源になりやすいＡｌ単独相を減らすことができるからである。また、蒸発面においてＡｌ単独相の極近傍に、Ａｌの窒化物が存在することによって、ＡｌとＡｌの窒化物の親和性が高いために、機械的強度が改善されるとともに、Ａｌの選択溶解を防ぎ、アーク放電の集中を回避し、ドロップレット量を減少させることができる。これは、Ａｌの窒化物が、Ａｌ単独相よりも高融点材料であることによる。その結果、巨大なドロップレットの発生が抑制される。また、Ａｌの窒化物は熱伝導率が高く、焼結時において、ターゲット構成元素同士の拡散を促進させる効果があることから機械的強度が改善され、低融点であるＡｌ単独相を減少させ、アークスポットの集中を防ぐ効果がある。
またドロップレットを低減した皮膜は、結晶の成長が分断されないため、高密度の皮膜を形成し、機械的強度が優れる。ターゲット内では、Ａｌの窒化物相の周囲に窒化物含有相が存在することが好ましい。更に、ターゲット中に含まれるＡｌの窒化物は、Ｍ成分に拡散することで、ターゲット自身の機械的強度を高める働きがある。
【０００９】
本願発明の窒化物含有ターゲット材は、Ａｌの窒化物を含有するが、その含有量はモル％で、５％以上、３０％以下であることが好ましい。Ａｌの窒化物の含有量が５％未満の場合、アークスポットの移動速度を速める効果を得ることが出来ないため、ドロップレット量を低減できない。また、機械的強度を高める効果が少ない。一方、３０％を超える場合、ターゲット作製時に脱窒現象が発生しやすくなり、ターゲット内部に空孔を形成させる。その空孔部には、酸素が多く取り込まれ、不純物である酸素を多く取り込んでしまい、機械的強度が劣化してしまう。その結果、放電時に局所放電や放電停止などの不安定性要素が増大するだけでなく、アーク放電による衝撃で割れが発生する不都合がある。
本願発明の窒化物含有ターゲット材は、Ｑ値が０．３≦Ｑ≦２、であることが好ましい。上記の範囲に設定することによってターゲット材の機械的強度を維持しつつ、アークスポットの移動速度を速める効果を得ることが出来る。Ｑ値が２を超えて大きい場合には、ターゲットの組織の分散状態が悪くなり、高品質な皮膜が得られない。０．３未満の場合は、ターゲット材の機械的強度の改善効果を得難いためである。
【００１０】
本願発明の窒化物含有ターゲット材におけるＡｌの窒化物の粒子は、平均粒径で５μｍ以上、１００μｍ以下が好ましい。平均粒径が５μｍ未満の場合、粒子に含まれる不純物の量が増大する。これが、ターゲット材の機械的強度を劣化させ、アーク放電などの衝撃により、割れが発生する欠点がある。また、１００μｍを超えると、ターゲットの組織の分散状態が悪くなり、高品質な皮膜が得られない。Ａｌの窒化物粒子の結晶配向は、基本的に（１００）面配向であることが好ましいが、その他の配向を示す粒子でも構わない。
【００１１】
また、本願発明のＡｌの窒化物含有ターゲット材における酸素含有量は、質量％で０．７％以下が好ましい。０．７％を超えて多く含有すると、ターゲット材の機械的強度が劣るだけでなく、放電時に発生する酸素イオンがターゲット表面を酸化させるため、電気的な絶縁材を形成する。その結果、放電が不安定になり、ターゲットの異常溶解部が形成しやすくなる。
【００１２】
ホットプレス方式を用いて、ＴｉＡｌ系、ＣｒＡｌ系等のＡｌを含むターゲット材を製造する場合、ＴｉやＣｒよりも低融点金属であるＡｌが、他の金属元素を結びつけるバインダーの役割をする。例えば、ＴｉＡｌ系合金の場合、Ｔｉ相、ＴｉＡｌ相、Ｔｉ３Ａｌ相、Ａｌ３Ｔｉ相などを始めとする金属間化合物の他にＡｌ単独相の組織が生成する。このＡｌ単独相ではアークスポットが停滞してしまい、１μｍ長さを超えるような巨大なドロップレットが生じる。このドロップレットが多量に発生してしまうと、形成される硬質皮膜の優れた機能を低下させる原因となることから、Ａｌ単独相の低減を図る必要がある。そのためホットプレス法による粉末冶金法では、減圧中のＡｒもしくはＮ２を含む雰囲気でＡｌを融解させない６００℃以下での作製することが好ましい。６００℃を超えるとＡｌ単独相が増大し、Ａｌがバインダーとしての働きをしなくなる。また、Ａｌの窒化物の脱窒現象が発生する。この他、Ａｌの炭化物や酸化物が生成すると、ターゲットの電気抵抗が高くなり、放電が困難となる欠点を有する。本願発明のターゲット材は、粉末冶金法によるホットプレス法だけでなく、ＨＩＰ法でも作製可能である。ＨＩＰ法を適用する場合は、Ａｒもしくは、Ｎ２を含む雰囲気で、１００ＭＰａ〜３００ＭＰａの範囲で加圧を行うことが好ましい。また、Ａｌの窒化物と併せて炭窒化物が存在してもよい。即ち、ターゲット中のＡｌの窒化物は、Ａｌの窒化物粒子を炭化処理したＡｌの炭窒化物、Ａｌの炭化物を窒化処理したＡｌの炭窒化物が存在してもよい。
本願発明のターゲットを使用した場合、得られる硬質皮膜の硬度、密度、靭性等の機械的強度が高まるため、耐欠損性、耐摩耗性が要求される用途への被覆に用いることが効果的である。６μｍを超えるような厚膜を形成させる際に使用すれば、ドロップレットの少ない、高密度な硬質皮膜の形成が可能となる。更に、ドリル、エンドミルまたは微小部品のように、使用したい部分にドロップレットの付着が好まれない用途に好適である。以下、本願発明を実施例に基づいて説明する。
【実施例】
【００１３】
（実施例１）
粉末冶金法にて、ＡＩＰ用ターゲット材を作製した。作製にあたっては、硬質皮膜を作製したときに、耐摩耗、耐熱特性が優れた硬質皮膜を得るために、Ａｌと４ａ、５ａ、６ａ族金属、Ｓｉ、Ｂ、Ｓから選択される１種以上の原料粉末とＡｌの窒化物とを、密閉容器としてボールミルを用いて、Ａｒ雰囲気にて４時間混合した。Ｓを含有させる場合は、Ｓ単独の粉末を取り扱うことは難しいので、硫化物を使用した。粉末の混合性を考慮し、組成の偏りや、機械的強度の低下を回避する為、９９．９９９％以上のＡｌ２Ｏ３ボールを使用した。混合した粉末をグラファイト製の金型に所定量装入し、ホットプレス機を用いて焼結を行った。焼結時にＡｌが溶解するのを回避するため、焼結温度は、４５０〜５５０℃に設定した。また、減圧下での焼結では、焼結装置内に残留する微量酸素によるターゲット中への酸素取り込みの影響を避けるために、Ａｒまたは、Ｎ雰囲気での焼結を行った。プレス荷重は５０ＭＰａ〜２００ＭＰａの範囲に設定した。焼結時間は、１〜３時間の間で行った。焼結後完成したターゲット材は、抗折力試験片とＡＩＰ装置に適した形状に加工を行った。
【００１４】
組織内の窒化物含有相とＡｌの窒化物の存在状態を、電解放射走査型電子顕微鏡（日立製作所製Ｓ−４２００、以下、ＳＥＭと記す。）を用いて倍率２０００倍で観察した。ＳＥＭに装備されているＥＤＸ分析装置によって、各相の成分分析を行った。その後、フッ酸系の腐食液を用いてターゲット材の表面を処理し、同一視野を同じ条件で観察した。Ａｌの窒化物とＡｌ相を確認するために、作製したターゲットの組織を、透過電子顕微鏡（以下、ＴＥＭと記す。）で観察した。ターゲット材料の強度を調べるために、抗折力試験片の３点曲げによる測定を行った。また、Ａｌの窒化物のＸ線回折を、Ｃｕ−ｋα、２θ−θ法、管電圧５０ｋＶ、管電流１６０ｍＡの条件で行った。
【００１５】
ターゲット材をＡＩＰ装置に取り付け、ミーリング用インサートに被覆を行った。被覆処理温度は６００℃、反応圧力を５Ｐａとし、バイアス電圧を５０Ｖ、アーク電流値を１５０Ａに設定した。基体表面に膜厚３μｍの被覆を行った。硬質皮膜に付着したドロップレット量は、ＳＥＭを用い、倍率を３０００倍で測定した。粒径が０．５μｍ以上のドロップレットを測定対象にして、１ｍｍ四方中に含まれる総量を計測した。
表１に本発明例１〜１０、比較例１１、１２及び従来例１３〜１５のターゲット組成および抗折力、並びに得られた皮膜のマイクロパーティクル量および切削寿命を示す。
【００１６】
【表１】
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【００１７】
本発明例のターゲット材表面における組織をＳＥＭによって観察した結果、Ａｌの窒化物がＭ成分に拡散した窒化物含有相が存在していることを確認できた。本発明例４の組織を、ＴＥＭ観察し、Ａｌの窒化物とＭ成分であるＴｉとの境界部を確認したところ、Ｔｉ粒子内部にＡｌの窒化物が拡散した相を形成していることが確認された。
Ａｌの窒化物を含有させた本発明例１〜１５は、従来例１６〜１９に対して抗折強度が高く、４８０ＭＰａ以上の抗折強度を有した。本発明例中で最も高い抗折強度を示した本発明例４は、従来例１６に対し、１．５倍の値であった。本発明例９も、従来例１７に比較して、１．４倍以上の値であった。これは、ターゲット中に含有されるＡｌの窒化物がＭ成分と隣接する部分で拡散が生じ、ターゲットを構成する元素の接合強度が高まったためと考えられる。本発明例１から１５のターゲットにおいて、特に、Ａｌの窒化物の含有量が５．０％以上、３０．０％以下の範囲内にあるものは、高い抗折力を示した。
【００１８】
本発明例、従来例のターゲット材をＡＩＰ装置に設置し、全て同一成膜条件を用いて成膜を行った。表１より、本発明例であるＡｌの窒化物をターゲット中に含有させて得られる硬質皮膜の表面に付着するドロップレット数は、従来例のターゲットから得られる硬質皮膜のドロップレット数よりも少なかった。本発明例１〜１５のＡｌＮを含有させたターゲットから得られた硬質皮膜では、ＡｌＮ含有量が多くなるほど、ドロップレット数が減少した。本発明例１〜４のＴｉＡｌのターゲットにＡｌＮを添加したものでは、皮膜に存在するドロップレットは、最も少ない量で８ｋ個／ｍｍ２であった。従来例１６のＴｉＡｌターゲットから得られる硬質皮膜は２５ｋ個／ｍｍ２であり、７０％以上もドロップレット量が減少した。この傾向は、本発明例６〜１０のＣｒＡｌターゲットにＡｌＮを含有させた場合、本発明例１１〜１５のＡｌ、Ｃｒ、Ｓｉ、Ｂ、Ｓ系ターゲットにＡｌＮを含有させた場合も同様であった。
【００１９】
（実施例２）
実施例１で作製したターゲット材を使用して被覆したミーリング用インサートを、以下の条件で切削評価を行い、硬質皮膜の耐摩耗性の優劣を確認した。評価方法は、切削長さ１ｍ時に発生する硬質皮膜の剥離や破壊の有無を、光学顕微鏡を用いて切刃逃げ面部を５０倍に拡大して観察し、摩耗幅を測定した後、更に切削を継続し、１０μｍ以上の微小チッピンク゛を含む欠損が発生した時点を工具寿命とし、その時点までの切削加工距離（ｍ）を比較することによって性能を評価した。
（切削諸元）
工具：特殊正面フライス
インサート形状：ＳＤＥ５３タイプ特殊形状
切削方法：センターカット方式
被削材形状：幅１２５ｍｍ×長さ３００ｍｍ
被削材：プレス金型用鋼ＳＫＤ１１、ＨＲＣ２９
軸方向切込み量：１．０ｍｍ
切削速度：１３０ｍ／ｍｉｎ
１刃あたりの送り量：０．５ｍｍ／刃
切削油：なし
表１に示したように、ターゲット中のＡｌ含有量は、皮膜表面のドロップレット数量と工具寿命に影響を及ぼした。本発明例１〜５の工具寿命は、夫々、１７ｍ、１９ｍ、２５ｍ、３５ｍ、２２ｍであり、従来例１６では１６ｍであった。硬質皮膜を構成する元素は同じであるものの、その硬質皮膜の被覆に使用するターゲットの形態が異なることによって、工具寿命は大きく変化した。特に、Ａｌの窒化物の含有量が５％以上、３０％以下の範囲内にあるものは、切削寿命が長かった。最も工具寿命が優れる本発明例４では、従来例１６の工具寿命に比較して、２倍優れた。切削距離１ｍ時の刃先の損傷状態を確認した結果、本発明例１〜５の逃げ面最大摩耗幅は、それぞれ０．０７８ｍ、０．０７４ｍｍ、０．０６１ｍｍ、０．０５６ｍｍ、０．０７０であったのに対し、従来例１６は、０．１３０ｍｍであった。何れの試料とも剥離は認められず、正常摩耗をしており、最終的には、逃げ面最大摩耗幅が０．５００ｍｍを越えたところで欠損した。これらの傾向は、本発明例６〜１０のＣｒＡｌターゲットにＡｌＮを含有させた場合、本発明例１１〜１５のＡｌ、Ｃｒ、Ｓｉ、Ｂ、Ｓ系のターゲットにＡｌＮを含有させた場合も同様であった。以上の結果は、ドロップレットが少なくなることにより、得られた硬質皮膜の硬度、密度、靭性等の機械的強度が高まり、その結果、優れた工具寿命を示したためと考えられる。