(57)【要約】【課題】容器本体内の汚染防止を図ると共に、係合手段の点検、補修、洗浄の簡素化を図った基板収納容器を提供すること。【解決手段】蓋体４を容器本体２に係合させる係合手段６を、容器本体２の外面に露出させる。これにより、係合手段６を蓋体４に内蔵する必要性がないので、蓋体４内に汚染物が溜まることがなく、汚染物が容器本体２内に侵入する虞がなくなる。このため、容器本体２内の汚染を防止することができる。また、係合手段６が外面に露出しているので、係合手段６の点検、補修、洗浄が容易となる。また、蓋体４に係合手段６を内蔵する必要がないので、係合手段６を収容する空間を設ける必要がなく、蓋体４の薄型化を図ることがきる。【選択図】図１
2008150066.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口部を有し基板を収納する容器本体と、前記開口部を閉鎖する蓋体と、前記蓋体を前記容器本体に係合させる係合手段とを備える基板収納容器において、
前記係合手段は、前記容器本体の外面側に露出されていることを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
前記係合手段は、前記容器本体の側壁の外面に設置され、前記蓋体の周縁に形成された凹部に対して進退可能とされ前記凹部に係止される係止爪を備えることを特徴とする請求項１記載の基板収納容器。
【請求項３】
前記係合手段は、
前記係止爪を後退させて前記係止爪による係止を解除する付勢手段と、
前記側壁の外面に回転可能に支持され前記係止爪を前記凹部に向かって移動させるカム部材と、を備えることを特徴とする請求項２記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記係合手段は、
一方の端部に前記係止爪が設けられ前記側壁の外面に揺動可能に支持された揺動部材と、
前記揺動部材を付勢して前記揺動部材を揺動させる弾性部材と、を備えることを特徴とする請求項２記載の基板収納容器。
【請求項５】
前記容器本体は、前記開口部を囲繞し外方に突出するフランジ部を有し、
前記フランジ部には、貫通穴が形成され、
前記係合手段は、
前記蓋体から外方に突出し前記貫通穴に挿入される挿入部材と、
前記挿入部材の先端部に回転可能に支持され、前記貫通穴に挿入可能な第一の回転位置及び前記貫通穴の周縁に係止可能な第二の回転位置に変更可能とされた係止片とを備えることを特徴とする請求項１記載の基板収納容器。
【請求項６】
前記開口部は、前記容器本体の底部に形成され、
前記蓋体の外面には、前記蓋体の位置決めを行う位置決め部が設けられていることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェハ、マスクガラス等の精密基板などを収納し、輸送、搬送、保管などに使用される基板収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の基板収納容器は、精密基板を収納する容器本体と、容器本体の開口部を閉鎖する蓋体とを備えている。蓋体には、蓋体を容器本体に係止するためのラッチ機構が内蔵されている。容器本体の開口部は、基板収納容器の例えば底部に設けられている。また、精密基板は、精密基板を水平方向に配列させるための溝部が内部に形成されたカセットに収容されている。そして、カセットは、蓋体に載せられて容器本体内に収容される。このように、蓋体にカセットを載せていたので、精密基板の重量により蓋体が撓んでしまうことがあり、蓋体の撓みを防止することが可能な基板収納容器が提案されている（例えば、特許文献１参照）。また、容器本体の正面側に開口部を設け、精密基板を水平方向に配列するための溝部を容器本体の内面に形成して、カセットを不要とした基板収納容器が知られている（例えば、特許文献２）。
【特許文献１】特表平４−５０５２３４号公報
【特許文献２】特表２００２−５１４８２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、従来の基板収納容器では、蓋体を係止させるラッチ機構が、蓋体に内蔵されているため、ラッチ機構の部品同士の摺動や擦れ等によって発生したパーティクル等の汚染物が蓋体内にたまってしまうという問題があった。これにより、蓋体内の汚染物が容器本体内に侵入して、基板収納容器内を汚染する虞があった。また、従来の蓋体は、係止爪を出没させるための小さな開口部しかないため、蓋体内の洗浄が難しく、さらに、乾燥時間が長くなるという問題があった。また、蓋体に内蔵されたラッチ機構の点検、補修（例えば部品交換）等を行うには、複数のねじを取り外して蓋体を分解する必要があった。これにより、点検、補修作業を省略するために蓋体を交換することがあり、不経済であった。
【０００４】
本発明は、このような課題を解決するために成されたものであり、容器本体内の汚染防止を図ると共に、係合手段の点検、補修、洗浄の簡素化を図った基板収納容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明による基板収納容器は、開口部を有し基板を収納する容器本体と、開口部を閉鎖する蓋体と、蓋体を容器本体に係合させる係合手段とを備える基板収納容器において、係合手段は、容器本体の外面側に露出されていることを特徴としている。
【０００６】
このような基板収納容器によれば、蓋体を容器本体に係合させる係合手段が、容器本体の外面に露出されている。これにより、従前のように係合手段が蓋体に内蔵されていないため、蓋体内に汚染物が溜まることがなくなり、容器本体内の汚染を防止することができる。また、係合手段が外面に露出されているので、蓋体を分解することなく係合手段の点検、補修、洗浄を行うことができる。また、蓋体に、係合手段を内蔵する必要がないので、蓋体内に係合手段を収容する空間を設ける必要がなく、蓋体の薄型化を図ることができる。
【０００７】
ここで、上記作用を奏する好ましい構成としては、具体的には、係合手段は、容器本体の側壁の外面に設置され、蓋体の周縁に形成された凹部に対して進退可能とされ凹部に係止される係止爪を備えること構成が挙げられる。これにより、蓋体の周縁に形成された凹部に係止爪を挿入させて係止させ、蓋体を容器本体に確実に係合させることができる。
【０００８】
また、係合手段は、係止爪を後退させて係止爪による係止を解除する付勢手段と、側壁の外面に回転可能に支持され係止爪を凹部に向かって移動させるカム部材と、を備えることが好ましい。これにより、付勢手段によって、係止爪を後退させて、係止状態を解除することができる。カム部材を回転させて係止爪を凹部に向かって移動させ、係止爪を蓋体に形成された凹部に係止させることができる。
【０００９】
また、係合手段は、一方の端部に係止爪が設けられ側壁の外面に揺動可能に支持された揺動部材と、揺動部材を付勢して揺動部材を揺動させる弾性部材と、を備えることが好ましい。これにより、容器本体の外面で揺動可能に支持された揺動部材を、弾性部材によって付勢することで、揺動部材が揺動し揺動部材に形成された係止爪が蓋体の凹部に挿入される。このため、係止爪を蓋体に係止することができる。
【００１０】
また、容器本体は、開口部を囲繞し外方に突出するフランジ部を有し、フランジ部には、貫通穴が形成され、係合手段は、蓋体から外方に突出し貫通穴に挿入される挿入部材と、挿入部材の先端部に回転可能に支持され、貫通穴に挿入可能な第一の回転位置及び貫通穴の周縁に係止可能な第二の回転位置に変更可能とされた係止片とを備えることが好ましい。これにより、係止片を貫通穴に挿入可能な第一の回転位置に設定して、挿入部材を貫通穴に挿入した後に、係止片を回転させて、係止片を貫通穴の周縁に係止可能な第二の回転位置に変更し、蓋体を容器本体に係合させることができる。
【００１１】
また、開口部は、容器本体の底部に形成され、蓋体の外面には、蓋体の位置決めを行う位置決め部が設けられていることが好ましい。これにより、位置決め部によって、蓋体を精度良く位置決めすることで、基板収納容器を相手側の装置（例えば基板を加工する加工装置など）に対して、精度良く配置することができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、容器本体内の汚染防止が図れると共に、係合手段の点検、補修、洗浄の簡素化が図られた基板収納容器を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明による基板収納容器の好適な実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、図面の説明において、同一または相当要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。図１は、本発明の第一実施形態に係る基板収納容器を示す分解斜視図、図２は、図１に示す基板収納容器の底面図、図３は、図１中のIII−III線に沿う断面図であり、基板収納容器が所定の装置に位置決めされた状態を示す断面図、図４は、図１中の係止機構の施錠状態を示す断面図、図５は、図１中の係止機構の施錠状態を側方から示す部分断面図、図６は、図１中の係止機構の開錠状態を示す断面図、図７は、図１中の係止機構の開錠状態を側方から示す部分断面図である。
【００１４】
図１に示す基板収納容器１は、例えば口径が４５０ｍｍの半導体ウェハ等の基板（不図示）を１又は複数枚（例えば６，１３，２５枚）収容し、輸送、搬送、保管などに使用される収納容器である。この基板収納容器１は、基板を収納する透明なコンテナ部材（容器本体）２、このコンテナ部材２に設けられた開口部３（図２参照）を閉鎖するドア部材（蓋体）４、コンテナ部材２とドア部材４との間をシールするガスケット５、ドア部材４をコンテナ部材２に係止させる係止機構（係合手段）６を備えている。
【００１５】
この基板収納容器１は、例えば、熱可塑性樹脂やこれらのアロイによって形成され、熱可塑性樹脂としては、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルフォン、ポリエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマー等が挙げられる。また、熱可塑性樹脂に、導電剤や各種帯電防止剤を添加しても良い。導電剤としては、カーボンブラック、炭素繊維、カーボンナノチューブ、金属繊維、金属酸化物、導電性ポリマー等が挙げられる。帯電防止剤としては、アニオン系、カチオン系、非イオン系等の帯電防止剤が挙げられる。
【００１６】
また、熱可塑性樹脂に紫外線吸収剤を添加しても良く、紫外線吸収剤としては、ベンゾトリアゾール系、サリシレート系、シアノアクリレート系、オキザリックアシッドアニリド系、ビンダードアミン系等の紫外線吸収剤が挙げられる。また、剛性を高めるための添加剤を熱可塑性樹脂に添加しても良く、例えば、ガラス繊維、炭素繊維等が挙げられる。
【００１７】
また、基板収納容器１は、セラミックや、例えばジュラルミン、チタン合金等の金属材料によって形成することができる。このようにして、基板収納容器１の軽量化を図っても良い。
【００１８】
さらに、基板収納容器１の内面及び外面、係止機構６の作動部分、コンテナ部材２及びドア部材４のシール面等の特定部位に、酸素及び水分の透過させない気体バリアー性フィルムを貼り付けても良い。また、上記特定部位に、金属コーティング、ダイヤモンドライクコーティング、ＰＥＥＫ樹脂コーティング、ふっ素樹脂コーティングを施工しても良く、二酸化チタンなどの光触媒材料をコーティングしても良い。また、上記特定部位に導電塗料などのコーティングを施工することにより、コンテナ部材２の透明性を維持して導電性を付与しても良い。
【００１９】
基板収納容器１は箱型を成し、コンテナ部材２の底部に、基板の出し入れに利用される開口部３が形成されたボトムオープンタイプの基板収納容器である。開口部３の形状は、例えば矩形とされている。コンテナ部材２の底部には、開口部３を囲繞して外方に張り出す補強用のリム部７が形成されている。
【００２０】
ドア部材４は、開口部３に対応して矩形とされ、コンテナ部材２のリム部７内側に着脱自在に装着される。ドア部材４には、ガスケット５に対応する形状の溝部８が形成され、この溝部８にガスケット５が装着されている。また、ドア部材４の内面４ａには、溝部８の内側で上方に突出するリブ９が全周にわたって形成されている。リブ９は、ドア部材４がコンテナ部材２に装着された状態において、図３及び図４に示すように、開口部３を形成するコンテナ部材２の側壁１７の内面に沿って配置され、外部からのエアーが侵入したときに、邪魔板となって、パーティクルがコンテナ部材２内へ簡単に侵入してしまうことを防止している。さらに、このリブ９の表面や、リブ９周辺のコンテナ部材２の側壁１７の内面にシボ加工を施すなどして粗面に形成したり、微小凹凸面を形成して、ここでパーティクルを捕獲するようにしても良いし、開口部３を形成する壁体１７の部分に多孔質のシートや焼結部材を枠状に配置して、パーティクルの侵入を防止しても良い。
【００２１】
また、ドア部材４の内面４ａには、図１及び図３に示すように、基板を支持する棒状の基板支持部材１０が複数本（本実施形態では４本）設置されている。基板支持部材１０は、上下方向に延在し、その側面に基板を水平方向に支持するための溝１０ａが上下方向に複数箇所形成されている。複数の基板支持部材１０は所定の位置に配置され、基板は一方の方向から出し入れ可能とされている。これらの基板支持部材１０は、ドア部材４とは、別部材によって形成され、ネジ止め、摩擦係合、超音波溶着、熱溶着等によって、ドア部材４の内面４ａの所定の位置に固定されている。
【００２２】
また、図２及び図３に示すように、ドア部材４の外面４ｂには、所定の装置（例えば基板を加工する加工装置等）１１に対して位置決めを行うための位置決め部１２が形成されている。位置決め部１２は、３箇所に設置され、Ｙ字状（図２参照）に配置されている。また、位置決め部１２には、図３に示すようにＶ字溝（凹部）１２ａが形成されている。
【００２３】
また、位置決め部１２は、ドア部材４の外面４ｂに形成された凹部に配置され、この凹部から外部に突出しないように形成されることが好ましい。こうすることで、搬送中に位置決め部１２を他の物体にぶつけて破損する虞れが低減され、所定の装置１１以外に基板収納容器１を載置する場合であっても基板収納容器１の水平性を保つことができ、さらに、基板収納容器１をポリエチレン（ＰＥ）、アルミなどの袋に入れて梱包するときに、基板収納容器１の最大外形よりも位置決め部１２が突出しないため、袋を破る虞がない。
【００２４】
ドア部材４の外面４ｂに形成された凹部の周囲には、枠状（図２参照）を成す平坦面４ｄが形成され、この平坦面４ｄは所定の装置１１に対するシール面を構成している。これにより、ドア部材４を開閉操作の際に、ドア部材４の外面に付着したパーティクルが所定の装置１１内のよりクリーンな環境中へ移動することを防止している。
【００２５】
一方、所定の装置１１には、Ｖ字溝１２ａに対応する位置に、球面形状を有する凸部１３が設けられている。そして、ドア部材４の位置決め部１２を所定の装置１１の凸部１３に合わせることで、基板収納容器１を位置決めすることができる。なお、所定の装置１１には、基板収納容器１を案内する斜面であるガイド面１４ａが形成されたガイド部材１４が互いに対向して配置されている。
【００２６】
このようなガイド部材１４を設けることにより、天井搬送した基板収納容器１を、高所から所定の装置１１に高速で搭載させるときや、作業員が手動で基板収納容器１を所定の装置１１へ搭載するときに、位置決め部１２が噛み合わなくなってしまうような位置ずれを防止して、精度良く載置することが可能となる。
【００２７】
なお、基板収納容器１のリム部７のコーナー部７ａ（図３参照）において、ガイド部材１４のガイド面１４ａに対応する位置に、ガイド面１４ａと平行な傾斜面を形成してもよい。このような傾斜面を基板収納容器１に形成することで、基板収納容器１とガイド部材１４との摩擦抵抗を低減してスムーズにより位置精度を向上させて基板収納容器１を所定の装置１１に搭載することができるとともに、基板収納容器１を所定の装置１１に搭載する際の基板収納容器１の傾斜を防止することができる。
【００２８】
ここで、ドア部材４の対向する一対の側壁（周縁）４ｃには、係止凹部１６が複数（本実施形態では、２個所ずつ、計４個所）形成されている。この係止凹部１６は、図４に示すように、係止機構６の後述する係止爪（係止凸部）１５を係止させるものである。
【００２９】
係止機構６は、コンテナ部材２の対向する一対の側壁１７に複数（本実施形態では、２個所ずつ、計４個所）設置されている。すなわち、係止機構６は、コンテナ部材２の外面側に露出されている。係止機構６は、側壁１７に固定され外方に突出する支持ピン１８と、この支持ピン１８によって回転可能に軸止された回転カム部材１９と、係止爪１５を有する係止部材２０と、この係止部材２０を外方に付勢するスプリング（付勢手段）２１とを備えている。
【００３０】
また、コンテナ部材２のリム部７には、回転カム部材１９の一部が挿入される切欠き部７ａ、この切欠き部７ａと連通し係止部材２０及びスプリング２１を収容する収容空間７ｂが形成されている。切欠き部７ａは、リム部７の上面から上下方向に形成され、収容空間７ｂは、切欠き部７ａの下部からリム部７の内面側に向かって図示左右方向に形成されている。係止凹部１６に対向する位置には、係止爪１５を出没させる開口７ｃが設けられている。
【００３１】
回転カム部材１９は、図５及び図７に示すように円盤状を成し、その中心に支持ピン１８を挿通させる貫通穴１９ａが形成されている。この貫通穴１９ａを挟んで両側には、回転カム部材１９を回転操作する場合に利用される操作ピン（不図示）が挿通される一対の操作穴１９ｂが形成されている。
【００３２】
また、回転カム部材１９の背面１９ｃ（コンテナ部材２の側壁１７に対向する面）には、係止部材２０を係止凹部１６に向けて押圧する突出部（カム面、図４参照）１９ｄが設けられている。この突出部１９ｄは、回転カム部材１９の外周の近傍に配置されている。回転カム部材１９が回転して、突出部１９ｄが係止部材２０に対応する位置（第一の停止位置）に移動すると、突出部１９ｄが係止部材２０と当接し、係止部材２０が係止凹部１６側へ摺動する。
【００３３】
また、係止機構６は、回転カム部材１９の停止位置を第一の停止位置及び第二の停止位置に規定する停止位置規定手段２２を備えている。第一の停止位置は、突出部１９ｄが係止部材２０に対応する場所(最下部)に配置される位置であり、第二の停止位置は、第一の停止位置から時計回りに９０度回転した位置（図７参照）である。停止位置規定手段２２は、回転カム部材１９の背面１９ｃから突出する位置規定部２２ａと、コンテナ部材２の側壁１７から回転カム部材１９に向かって突出する位置規定ピン（円柱突起）２２ｂ，２２ｃとを備えている（なお、図４及び図６では、図の簡略化のため停止位置規定手段２２の図示を省略している。）。位置規定ピン２２ｂ，２２ｃは、図５及び図７に示すように、同心円上に配置され、位置規定部２２ａは、回転カム部材１９の回転に伴って位置規定ピン２２ｂ，２２ｃ間を移動する。位置規定部２２ａが位置規定ピン２２ｂに当接すると、回転カム部材１９が第一の停止位置で停止され、位置規定部２２ａが位置規定ピン２２ｃに当接すると、回転カム部材１９が第二の停止位置で停止される。
【００３４】
図４及び図６に示すように、係止部材２０の先端（図示左側）には、係止爪１５が形成され、係止部材２０の後端には、スプリング２１と当接するつば部２０ａが形成されている。スプリング２１は、係止部材２０の外側に挿通され、一方の端部がリム部７の開口７ｃの周縁部に当接し、他方の端部が係止部材２０のつば部２０ａに当接している。そして、スプリング２１は、係止部材２０を外方（係止凹部１６と反対方向）に付勢している。係止部材２０は、回転カム部材１９の回転に応じて、係止凹部１６に対して進退可能とされ、係止凹部１６に係止される。
【００３５】
次に、このように構成された基板収納容器１の動作に関し、係止機構６の施錠（係止）状態、係止機構６の開錠（非係止）状態について、図面を参照して説明する。
【００３６】
図６及び図７において、回転カム部材１９は第二の停止位置で停止され、係止機構６は開錠状態となっている。回転カム部材１９が第二の停止位置で停止している状態で、図示されていない一対の操作ピンを回転カム部材１９の一対の操作穴１９ｂに挿入し、回転カム部材１９を、図７における半時計回りに回転させる。位置規定部２２ａが移動し、位置規定部２２ａが位置規定ピン２２ｂに当接すると、回転カム部材１９の回転が停止され、回転カム部材１９は、図４及び図５に示すように、第一の停止位置に配置されて、係止機構６は施錠状態となる。
【００３７】
このとき、回転カム部材１９の突出部１９ｄは、係止部材２０を押圧している。これにより、係止部材２０は、スプリング２１の付勢力に抗して、係止凹部１６に向かって移動する。係止爪１５は、係止凹部１６内に挿入されて係止され、ドア部材４はコンテナ部材２に確実に係止される。
【００３８】
次に、図４及び図５において、回転カム部材１９の一対の操作穴１９ｂに挿入された一対の操作ピンを操作して、回転カム部材１９を図５における時計回りに回転させる。位置規定部２２ａが移動し、位置規定部２２ａが位置規定ピン２２ｃに当接すると、回転カム部材１９の回転が停止され、回転カム部材１９は、図６及び図７に示すように、第二の停止位置に配置されて、係止機構６は開錠状態となる。
【００３９】
このとき、回転カム部材１９の突出部１９ｄは、係止部材２０を押圧していない状態となる。これにより、係止部材２０は、スプリング２１によって付勢され、係止凹部１６とは反対方向に移動する。係止爪１５は係止凹部１６内から後退し、ドア部材４はコンテナ部材２から取外し可能な状態となる。
【００４０】
以上のように、第一実施形態に係る基板収納容器１によれば、ドア部材４をコンテナ部材２に係止させる係止機構６がコンテナ部材２の側壁１７の外面に設置されている。このため、係止機構６は、コンテナ部材２の外面側に露出されている。これにより、従前のように係止機構６がドア部材４に内蔵されていないため、ドア部材４内に汚染物が溜まることがなくなり、コンテナ部材２内の汚染を防止することができる。また、係止機構６が外面に露出されているので、ドア部材４を分解することなく係止機構６の点検、補修、洗浄を行うことができる。その結果、点検、補修、洗浄等の各種作業を簡素化することができる。なお、係止機構６の側方に、回転カム部材１９の貫通穴１９ａへの操作ピンの挿通を可能とする開口部が形成された着脱自在な保護カバー（不図示）を設けても良い。この保護カバーとしては、シート成形品、プラスチック成形品が挙げられる。また、ドア部材４に、係合手段を内蔵する必要がないので、ドア部材４の薄型化が図られている。
【００４１】
また、ドア部材４の底面（外面）４ｂには、位置決め部１２が設けられているので、ドア部材４を位置決めすることで、基板収納容器１を精度良く配置することができる。
【００４２】
なお、第一実施形態の基板収納容器１では、係止爪１５を後退させる付勢手段をスプリング２１としているが、例えば板ばね等、その他の付勢手段を用いてもよい。なお、付勢手段を金属材料によって構成する場合には、表面に樹脂層やその他のコーティング層を設けておくことができる。
【００４３】
次に、本発明の第二実施形態の基板収納容器について、図８〜図１０を参照しながら説明する。図８は、本発明の第二実施形態に係る基板収納容器を示す分解斜視図、図９は、図８中の係止機構の施錠状態を示す断面図、図１０は、図８中の係止機構の開錠状態を示す断面図である。この第二実施形態の基板収納容器３１が第一実施形態の基板収納容器１と違う点は、基板を出し入れする開口部３，３３の位置が異なる点、係止機構６，３６の構成が異なる点である。
【００４４】
基板収納容器３１は、開口部３３が正面側に形成されたコンテナ部材３２を有するフロントオープンタイプの基板収納容器である。基板収納容器３１は、コンテナ部材３２、コンテナ部材３２の開口部３３を閉鎖するドア部材３４、コンテナ部材３２とドア部材３４との間をシールするガスケット５、ドア部材３４をコンテナ部材３２に係止させる係止機構３６を備えている。
【００４５】
コンテナ部材３２及びドア部材３４の内面には、複数枚の基板を水平方向に支持するための基板支持部（不図示）が設けられている。コンテナ部材３２の正面には、開口部３３を囲繞して外方に張り出す補強用のリム部３７が形成されている。また、ドア部材３４の内面３４ａには、ガスケット５が装着される溝部８が形成され、この溝部８にガスケット５が装着されている。
【００４６】
ここで、ドア部材３４の対向する一対の側壁（周縁）３４ｃには、係止機構３６の後述する係止爪（係止凸部）３５が係止される係止凹部１６が形成されている。
【００４７】
係止機構３６は、コンテナ部材３２の対向する一対の側壁３９に複数（本実施形態では、２個所ずつ、計４個所）設置され、係止機構３６は、コンテナ部材３２の外面側に露出されている。係止機構３６は、側壁３９に固定され外方に突出し上下方向に離間して互いに対向する一対の支持板４０と、一対の支持板４０によって両端が支持され上下方向に延在する支持ピン４１と、一方の端部に係止爪３５が設けられ支持ピン４１に軸止されて揺動可能とされた揺動部材４２と、この揺動部材４２を付勢して揺動させる板ばね（弾性部材）４３とを備えている。
【００４８】
また、コンテナ部材３２のリム部３７には、揺動部材４２に対応する切欠き部３７ａが形成されている。この切欠き部３７ａは、リム部３７を内外に貫通し、係止爪３５を係止凹部１６に対して出没可能とするものである。
【００４９】
揺動部材４２は、細長い板状部材であり、一対の支持板４０間で水平方向に延在し、長手方向の略中央に貫通穴が形成され、この貫通穴に支持ピン４１が挿通されている。揺動部材４２の一方の端部４２ａは、係止凹部１６に向かって屈曲されている。屈曲された係止凹部１６側の端部に係止爪３５が設けられている。揺動部材４２の他方の端部４２ｂは、係止機構３６を操作するための操作棒によって押圧される被操作部として機能する。
【００５０】
板ばね４３はＵ字状に湾曲し、揺動部材４２を付勢して係止爪３５を係止凹部１６に向けて移動させるものである。板ばね４３の一方の端部４３ａは、コンテナ部材３２の側壁３９に固定された支持部４４によって支持され、板ばね４３の他方の端部４３ｂは、揺動部材４２に固定された支持部４５によって支持されている。支持部４４，４５には、板ばね４３の端部４３ａ，４３ｂを挿入するための溝が形成され、この溝に板ばね４３の端部４３ａ，４３ｂが挿入されている。
【００５１】
次に、このように構成された基板収納容器３１の動作に関し、係止機構３６の施錠状態及び開錠状態について、図面を参照して説明する。
【００５２】
図９において、ドア部材３４は、係止機構３６によってコンテナ部材３２に係止され、コンテナ部材３２内は、密閉状態となっている。具体的には、揺動部材４２は板ばね４３によって付勢され、係止爪３５はドア部材３４の係止凹部１６に係止されている（施錠状態）。
【００５３】
係止機構３６を開錠するには、揺動部材４２の他方の端部４２ｂを、操作棒４５によって側方から押圧し、図１０示すように、揺動部材４２を図示半時計回りに揺動させる。係止爪３５は、係止凹部１６と反対方向に移動する。係止機構３６による係止が解除され、ドア部材３４をコンテナ部材３２から取外すことができる。
【００５４】
図１９において、揺動部材４２の他端部４２ｂを押圧している操作棒４５を、他端部４２ｂと反対方向に移動させると、揺動部材４２は、板ばね４３によって付勢されて図示時計回りに揺動する。係止爪３５は係止凹部１６に向かって移動し、図９に示すように、係止凹部１６に挿入されて係止される。これにより、係止機構３６によって、ドア部材３４をコンテナ部材３２に係止することができる。
【００５５】
このように構成しても第一実施形態の基板収納容器１と同様な作用、効果を奏する。また、揺動部材４２の上下方向における両側には、固定板４０が設置され、上下方向からの揺動部材４２への接触を防止して、揺動部材４２の誤作動を防止することができる。
【００５６】
なお、第二実施形態の基板収納容器３１では、揺動部材４２を付勢して揺動させる弾性部材を板ばね４３としているが、例えばスプリング等、その他の弾性部材を用いてもよい。
【００５７】
次に、本発明の第三実施形態の基板収納容器について、図１１及び図１２を参照しながら説明する。図１１は、本発明の第三実施形態に係る基板収納容器の係止機構の施錠状態を示す断面図、図１２は、図１１中の係止機構の開錠状態を示す断面図、図１３は、図１１中の係止機構の拡大図である。この第三実施形態の基板収納容器５１が第一実施形態の基板収納容器１と違う点は、ドア部材４，５４をコンテナ部材２，５２に係止させる係止機構６，５６の構成が異なる点である。
【００５８】
基板収納容器５１は、開口部３が底部に形成されたコンテナ部材５２を有するボトムオープンタイプの基板収納容器である。基板収納容器５１は、コンテナ部材５２、コンテナ部材５２の開口部３を閉鎖するドア部材５４、コンテナ部材５２とドア部材５４との間をシールするガスケット５、ドア部材５４をコンテナ部材５２に係止させる係止機構５６を備えている。
【００５９】
コンテナ部材５２の底部には、開口部３を囲繞して外方に張り出す補強用のリム部（フランジ部）５７が形成されている。また、ドア部材５４の内面５４ａには、ガスケット５が装着される溝部８が形成され、この溝部８にガスケット５が装着されている。
【００６０】
ここで、コンテナ部材５２のリム部５７には、上下方向に貫通する係止穴（貫通穴）５８が形成されている。この係止穴５８には、係止機構５６の後述する挿入部材５９及び係止片６０が挿入される。
【００６１】
係止機構５６は、ドア部材５４の周縁に複数箇所設置されている。係止機構５６は、ドア部材５４から突出しリム部５７の係止穴５８に挿入される挿入部材５９と、この挿入部材５９の先端で回転可能に支持され係止穴５８の周縁に係止可能とされた係止片６０とを備えている。そして、係止機構５６は、ドア部材５４をコンテナ部材５２に装着した状態において、コンテナ部材５２の外面側に露出されている。
【００６２】
挿入部材５９は、細長い棒状部材であり、上下方向に延在している。挿入部材５９は、ドア部材５４の内面５４ａに固定されている。挿入部材５９の先端部５９ａ（図１２参照）には、係止片６０を回転可能に支持するピン６１が設置されている。ピン６１は、水平方向（図１１及び図１２において紙面垂直方向）に延在し、係止片６０を上下方向に回転可能とするものである。
【００６３】
係止片６０は、係止穴５８に挿入可能な第一の回転位置（図１１参照）と、係止穴５８の周縁に係止可能な第二の回転位置（図１２参照）に変更可能な構成とされている。図１３に示すように、第一の回転位置において、係止片６０の水平方向の長さである第一の径Ｄ１は、係止穴５８の径Ｄ３より短く、係止片６０の上下方向の長さである第二の径Ｄ２は、係止穴５８Ｄ３より長くなっている。
【００６４】
これにより、係止片６０を第一の回転位置にすることで、ドア部材５４はコンテナ部材５２に対して着脱可能となる。係止片６０を第一の回転位置に配置してドア部材５４をコンテナ部材５２に装着し、係止片６０が係止穴５８から外側に出たところで、係止片６０を図１１において時計回りに回転させて、図１２に示すように第二の回転位置に配置することで、係止片６０を係止穴５８の周縁に係止させることができ、ドア部材５４は、係止機構５６によってコンテナ部材５４に係止される。
【００６５】
このように構成しても、ドア部材５４をコンテナ部材５２に装着した状態において、係止機構５６がコンテナ部材５２の外側に配置されて外部に露出されているので、第一実施形態の基板収納容器１と同様な作用、効果を奏する。
【００６６】
以上、本発明をその実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態において、本発明の基板収納容器を、半導体ウェハを収納するものとして説明しているが、収納物される基板は、半導体ウェハに限定されず、マスクガラスを始めとしたその他の精密基板でもよい。また、収容される基板の大きさは、４５０ｍｍに限定されず、例えば３００ｍｍ等その他の大きさでもよい。また、収納枚数も１〜２５枚に限らず２６枚以上であっても良い。
【００６７】
また、上記第一実施形態及び第三実施形態において、係止機構６，５６をボトムオープンタイプの基板収納容器に適用しているが、フロントオープンタイプの基板収納容器に適用してもよく、開口部がコンテナ部材の天板に形成されたトップオープンタイプの基板収納容器に係止機構６，５６を適用しても良い。また、係止機構の係止爪を付勢する付勢手段としては、磁力や真空力を利用して係止爪を付勢するものであっても良い。さらに、係止爪を形状記憶合金や形状記憶樹脂から形成して形状を変化させることでドア部材の開閉を行ってもよい。
【００６８】
また、上記第二実施形態において、係止機構３６をフロントオープンタイプの基板収納容器に適用しているが、ボトムオープンタイプやトップオープンタイプの基板収納容器に、係止機構３６を適用してもよい。
【００６９】
また、上記実施形態において、基板収納容器１，３１，５１は、基板を水平に配置して収納する構成としているが、基板を収納する方向は、水平に限定されず、垂直やその他の方向に基板を配置して収容してもよい。
【００７０】
また、開口部３，３３の形状は、矩形でもよく、円形でもよい、開口部を円形とした場合には、シール面における締め付け圧が均一となり、矩形の開口部に比してシール性能を向上させることができる。
【００７１】
また、上記実施形態では、基板収納容器に設けられた位置決め部１２を凹部とし、相手側を凸部としているが、図１４に示すように、基板収納容器に凸部である位置決め部７３を形成し、相手側に凹部である位置決め部７２を形成してもよい。なお、位置決め部１２，７３は、基板収納容器１，３１，５１と同材質又は別材質から形成して、基板収納容器にネジ止めや摩擦係合させて取り付けても良いし、成形時に一体化しても良い。位置決め部１２，７３の配置は、Ｙ字状（三角状）に３ヶ所に設けることに限らず、凸状または凹状の半球状部材を基板収納容器の底部に１箇所設けるなど、位置決め部１２，７３の個数、配置は自由に設定することができる。
【００７２】
なお、上記コンテナ部材２，３２，５２又はドア部材４，３４，５４に、フィルタ部材を有するバルブ装置（不図示）を設けることで、基板収納容器１，３１，５１の内外の圧力差を解消することができる。フィルタ部材としては、例えば、分子ろ過フィルタや、ケミカルフィルタ、ブリージングフィルタ等のフィルタ、高分子、金属、セラミック等の多孔質体を保持したフィルタ部材が挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】本発明の第一実施形態に係る基板収納容器を示す分解斜視図である。
【図２】図１に示す基板収納容器の底面図である。
【図３】図１中のIII−III線に沿う断面図であり、基板収納容器が所定の装置に位置決めされた状態を示す断面図である。
【図４】図１中の係止機構の施錠状態を示す断面図である。
【図５】図１中の係止機構の施錠状態を側方から示す部分断面図である。
【図６】図１中の係止機構の開錠状態を示す断面図である。
【図７】図１中の係止機構の開錠状態を側方から示す部分断面図である。
【図８】本発明の第二実施形態に係る基板収納容器を示す分解斜視図である。
【図９】図８中の係止機構の施錠状態を示す断面図である。
【図１０】図８中の係止機構の開錠状態を示す断面図である。
【図１１】本発明の第三実施形態に係る基板収納容器の係止機構の施錠状態を示す断面図である。
【図１２】図１１中の係止機構の開錠状態を示す断面図である。
【図１３】図１１中の係止機構の拡大図である。
【図１４】位置決め部の他の形態を示す断面図である。
【符号の説明】
【００７４】
１，３１，５１…基板収納容器、２，３２，５２…コンテナ部材（容器本体）、３，３３…開口部、４，３４，５４…ドア部材（蓋体）、４ｃ，３４ｃ…ドア部材の側壁（蓋体の周縁）、６，３６，５６…係止機構（係合手段）、１２，７３…位置決め部、１５，３５…係止爪、１６…係止凹部、１７，３９…コンテナ部材の側壁、１９…回転カム部材、２１…スプリング（付勢手段）、４２…揺動部材、４３…板ばね（弾性部材）、５７…リム部（フランジ部）、５８…係止穴（貫通穴）、５９…挿入部材、５９ａ…挿入部材の先端部、６０…係止片。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2008150066.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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