(57)【要約】 【課題】  実装信頼性を確保しつつ、小型、低コストな圧電振動子および圧電振動ジャイロを提供すること。【解決手段】  圧電単結晶板１０の加工および主面への電極形成により、振動部とそれを支持する外周部とからなる振動子が形成され、その電極につながる端子電極が主面内の縁部に形成され、振動子全体がパッケージ２１内の回路基板上に接続固定される圧電振動子において、パッケージ上の電極２０と、圧電単結晶板１０の下側の駆動電極１３ｄとは導電接着剤２８で接続固定され、他方、圧電単結晶板１０の上側の駆動電極１３ｂは、圧電単結晶板１０の縁部の除去加工によって形成された面に塗布された導電接着剤１９などによってパッケージ上の電極２０に接続され、その除去加工で生じる側面凸形状の頂部を圧電単結晶板１０の板厚の１／２よりも下側の位置に形成することで、その頂部の下側に導電接着剤で形成するフィレット２２を小さくし、導電接着剤の過多による短絡を防止する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電単結晶板の形状加工およびその両主面への電極形成により、振動部とこの振動部を支持する外周部とからなる振動子が形成され、前記振動部には入出力用電極が形成され、この入出力用電極は前記外周部まで引き回され前記主面内の縁部に形成された端子に接続され、振動子全体が回路基板上に接続固定される圧電振動子において、
前記回路基板の反対側の主面内の端子と回路基板上の配線導体とを電気的に接続するための導電接着剤が塗布される切り欠き部が前記圧電単結晶板の側面に前記端子に接して形成され、
前記切り欠き部は、前記主面内で、三角形状、矩形状、多角形状または半円形状の切り欠き形状を持ち、回路基板側の主面内とその反対側の主面内とで前記切り欠き形状が異なることを特徴とする圧電振動子。
【請求項２】
請求項１記載の圧電単結晶振動子において、
前記回路基板に固定される側の主面内での前記切り欠き形状の占める面積が、反対側の主面内での前記切り欠き形状の占める面積よりも小さいことを特徴とする圧電振動子。
【請求項３】
請求項１または２記載の圧電振動子において、
前記切り欠き部は圧電単結晶板の側面部を除去する加工によって形成され、
前記切り欠き部での前記加工を施された内側の面は前記主面に平行な頂部を持つ凸形状を有し、
前記回路基板に接続固定される側の主面から前記頂部までの距離をｘ、前記圧電単結晶板の厚さをｔとするとき、０．１ｔ＜ｘ＜０．５ｔであることを特徴とする圧電振動子。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の圧電振動子と、駆動用および検出用の回路とをパッケージ内に収容してなることを特徴とする圧電振動ジャイロ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は圧電単結晶材料を使った圧電振動子およびそれを用いた圧電振動ジャイロに関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電振動子は、センサ、発振器、表面弾性波フィルタ、超音波モータ、音響素子、トランスなど、幅広い分野に用いられている。圧電振動子に用いられる圧電材料には様々な材料があるが、その中でも圧電単結晶材料は、一般にＱｍ（機械的品質係数）が高い、温度変化に対する特性変化が小さい、材料が均一で信頼性が高い、材料の量産性が良い、等の特徴があり、特にセンサ、発振器、表面弾性波フィルタなど、電子部品向けの振動子としてよく用いられている。圧電単結晶を用いた圧電振動子およびこれを用いた電子部品に係わる技術は、例えば特許文献１に開示されているが、この文献以外にも多数の文献に開示されている。また、本出願人は特願２００６−１５６８３９号によって圧電単結晶振動子および圧電振動ジャイロの特許を出願している。
【０００３】
これらの圧電単結晶材料を用いた圧電振動子を大量生産する場合の一例として、以下のような製法が用いられる。まず、圧電単結晶のウエハに電極となる金属薄膜をスパッタや真空蒸着等で成膜し、フォトリソグラフィーでレジストをパターニングした後、金属薄膜をエッチングして電極パターンを形成し、再びフォトリソグラフィーでレジストをパターニングして、圧電単結晶をエッチングしたり、サンドブラストで研削したりして所望の振動子形状に加工し、最後にダイシングソーで振動子を個片に切り分けることで、１枚のウエハから多数の圧電単結晶振動子を得ている。これらの圧電単結晶振動子を信号処理回路が配線されたパッケージに導電接着剤、ワイヤーボンディング、ＧＧＩ（Gold to Gold Interconnection）等の方法で実装配線し、最後に金属キャップにて気密封止して製品となる。
【０００４】
携帯電話、携帯オーディオ、デジタルカメラなどの携帯機器の市場が益々大きくなっていく中で、それに使用される電子部品の小型、高機能、低コストが強く要求されている。圧電単結晶振動子を用いた電子部品の場合、圧電単結晶振動子の振動を阻害することなく圧電単結晶振動子をパッケージ上に固定し、かつ所望の機能を働かせるために圧電単結晶振動子とパッケージを電気的に接続する実装手段が必要となる。
【０００５】
例えばワイヤーボンディングを使用する場合、圧電単結晶振動子をパッケージに接着剤で固定してから、圧電単結晶振動子の電極とパッケージの電極とにワイヤーを引き回して電気的な接続を取ることになるが、ワイヤーを引き回すための空間が必要だったり、圧電単結晶振動子の電極とパッケージの電極との距離がある程度必要といった問題があり、小型化に不利である。また、実装が接着固定、配線と２段階の工程となるので製造コストの増加となる問題もある。
【０００６】
ＧＧＩを使用する場合、固定と電気的接続が同時にできるが、金を使用するために材料コストの増加となる問題がある。またＧＧＩだけでは接続強度が不足するため、補強のためのアンダーフィルが必要となるのが一般的であり、そのために材料コスト、製造コストが増加するという問題がある。
【０００７】
導電接着剤を使用する場合、固定と電気的接続が同時にできるので製造コストを抑えることができ、また金よりも安い銀が一般的に使用されるので材料コストも抑えることができ、接着強度を確保しながら接着剤塗布面積を小さくすれば製品の小型化にも対応できる。このように、ワイヤーボンディングやＧＧＩと比較して、導電接着剤を使用する方法はあらゆる面で有利な実装方法といえる。
【０００８】
【特許文献１】特開平１１−８８１０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
圧電単結晶振動子を効率よく振動させたり、圧電効果を電気的に検出する場合、両主面に電極を形成する手法が取られる。その場合、導電接着剤の塗布部の電極を、一方の主面ともう一方の主面とで同電位となるように電極を形成して、導電接着剤を圧電単結晶振動子の側面を介して、一方の主面の電極ともう一方の主面電極とパッケージの電極を接続するようにして、導電接着剤の塗布する場所数が少なく済むようにする。しかしながら、圧電単結晶振動子の側面にも導電接着剤を塗布する必要があるので、その分の作業スペースを確保するために圧電単結晶振動子とパッケージのクリアランスを取る必要があるために小型化に不利であったり、作業性が悪くなるという問題がある。
【００１０】
また、圧電単結晶振動子をサンドブラスト、ドライエッチングなどの手法で作製するとき、振動子の切削断面が主面に対して直角には加工できない。すなわち、振動子のバランス、マスク材の耐久性などの理由で両面から加工しなければならない場合は、振動子側面の厚さの１／２の位置に頂点（主面に平行に伸びる頂部）を持つ凸面形状になってしまう。その側面に導電接着剤を塗布する際に、回路基板に固定された主面側の側面は、振動子側面の頂点（頂部）の影となるので、この側面に沿って導電接着剤を塗布することは困難であった。そこで切り欠き部内部を導電接着剤で埋め込むように大量に塗布し、積み上げることで、側面頂部まで引き回すことができ、ここで上側主面の電極端子から下方に向かう導電接着剤と接続できるが、このとき、積み上げた導電性接着剤は高さ方向だけでなく横方向にも広がってしまうため、他の電極とショートしてしまう不具合が生じやすい問題点があった。
【００１１】
本発明は、前述の課題を解決すべくなされたもので、圧電振動子の実装信頼性を確保しつつ、小型、低コストな圧電振動子および圧電振動ジャイロを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するため、本発明では、検出用および駆動用の回路基板との電気的接続のための導電接着剤が塗布される切り欠き部が圧電単結晶板を加工してなる振動子外周部に形成され、この切り欠き部の形状が振動子の一方の主面内ともう一方の主面内で異なり、回路基板に固定される主面の切り欠き部が小さくもう一方の主面の切り欠き部が大きいことを特徴とする振動子を用いる。また、振動子側面の切り欠き部の内側の面に形成された頂点（主面と平行方向に伸びる頂部）が回路基板に固定される主面からその頂点までの距離をｘ、圧電単結晶板の厚さｔとするとき、０．１ｔ＜ｘ＜０．５ｔとなる振動子を用いて圧電振動ジャイロを作製する。
【００１３】
すなわち、本発明の圧電振動子は、圧電単結晶板の形状加工およびその両主面への電極形成により、振動部とこの振動部を支持する外周部とからなる振動子が形成され、前記振動部には入出力用電極が形成され、この入出力用電極は前記外周部まで引き回され前記主面内の縁部に形成された端子に接続され、振動子全体が回路基板上に接続固定される圧電振動子において、前記回路基板の反対側の主面内の端子と回路基板上の配線導体とを電気的に接続するための導電接着剤が塗布される切り欠き部が前記圧電単結晶板の側面に前記端子に接して形成され、前記切り欠き部は、前記主面内で、三角形状、矩形状、多角形状または半円形状の切り欠き形状を持ち、回路基板側の主面内とその反対側の主面内とで前記切り欠き形状が異なることを特徴とする。
【００１４】
また、前記回路基板に固定される側の主面内での前記切り欠き形状の占める面積が、反対側の主面内での前記切り欠き形状の占める面積よりも小さいとよい。
【００１５】
前記切り欠き部は圧電単結晶板の側面部を除去する加工によって形成され、前記切り欠き部での前記加工を施された内側の面は前記主面に平行な頂部を持つ凸形状を有し、前記回路基板に接続固定される側の主面から前記頂部までの距離をｘ、前記圧電単結晶板の厚さをｔとするとき、０．１ｔ＜ｘ＜０．５ｔであるとよい。
【００１６】
そして、本発明の圧電振動ジャイロは、前記圧電振動子と、駆動用および検出用の回路とをパッケージ内に収容してなることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、圧電振動子の実装信頼性を確保しつつ、小型、低コストな圧電振動子およびこれを用いた圧電振動ジャイロを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
始めに、本発明の実施の形態での圧電振動子および圧電振動ジャイロ全体の概略を図面を用いて説明する。
【００１９】
図３は本発明の一実施の形態での圧電振動子の外形を示す平面図であり、図４はその上面の電極配置図、図５はその下面の電極配置図である。なお、切り欠き部の位置は図４と図５では左右を逆転して表示している。図３において、１０は圧電単結晶板、１１ａ〜１１ｌは圧電単結晶板の側面部に形成された切り欠き部、１２ａ〜１２ｄは付加質量部であり、図４および図５において黒く塗られた部分が電極またはその引き回し部の導体を示し、１３ａ〜１３ｄは駆動電極（端子）、１４ａ，１４ｂも駆動電極（端子）、１５ａ，１５ｂも駆動電極（端子）、１６ａ〜１６ｄは検出電極（端子）、１７ａ〜１７ｄも検出電極、１８ａ〜１８ｄは基準電位電極である。この構造により、２軸の角速度が検出可能な圧電振動ジャイロ用の圧電振動子を形成するが、その動作原理などの詳細は後述の実施例で説明する。
【００２０】
図４および図５の圧電単結晶振動子１を駆動用および検出用の回路基板を備えるパッケージ内に導電接着剤により電気的かつ機械的に接続固定し封止することで圧電振動ジャイロを作製する。
【００２１】
次に本発明に特徴的な、導電接着剤を用いた接続固定の方法について説明する。一例として、導電接着剤が塗布される切り欠き部１１ｈに接して形成された駆動電極１３ｂ，１３ｄを挙げる。図２は本発明の一実施の形態での圧電振動子の導電接着剤の塗布部を拡大して示す概略の平面図、すなわち、切り欠き部１１ｈの近傍を示す平面図であるが、圧電単結晶板１０の側面の出っ張りは表示しなかった。図１は図２のＡ−Ａ線に沿った切り口のみを示す断面図であり、図８は参考例での対応する切り欠き部の断面図である。
【００２２】
図１に示すように、パッケージ２１内の電極２０（駆動回路につながる電極）に、圧電単結晶板１０の下側の主面に形成された駆動電極１３ｄが導電接着剤２８により接続され、他方、圧電単結晶板１０の上側の主面に形成された駆動電極１３ｂは、導電接着剤１９および導電接着剤からなるフィレット２２を介して電極２０に接続されている。このとき、切り欠き部の内側の面形状（圧電単結晶板１０の右側面）は、主面に対して垂直ではなく、中間に頂部を持つ凸形状に形成され、さらに、その頂部が圧電単結晶板１０の厚さの１／２よりも下側の位置に形成されている。この理由を示すために、その形成方法を次に説明する。
【００２３】
図６は、本発明の一実施の形態に係るマスク開口を２つの主面で互いに異なる寸法にて作製しブラスト加工したときの断面図である。図６において、２５ａ，２５ｂはマスク、２６は圧電単結晶のウエハであり、２４ａ，２４ｂはブラスト加工穴であるが、マスク２５ａと２５ｂを異なる大きさにすることにより、ウエハ２６の縦断面内の頂部が、ウエハ２６の厚さの１／２より低い位置に形成できると共にその頂部の下側で凹凸の差を小さくすることができる。その結果、図１のように導電接着剤からなるフィレット２２を小さく形成できるので、過剰な導電接着剤が他部に侵入して短絡不良を起こすことなどを防止できる。なお、図１で、圧電単結晶板１０の左側の凸面形状は、電極１３ｂの形成された外周部と、付加質量部１２ｃ，１２ｄを支えるアーム（桟）との間の貫通穴に面する側面を示しており、こちらは頂部が圧電単結晶板１０の厚さの１／２の位置にある。
【００２４】
切り欠き部の主面上での形状について説明を加える。図７は本発明の実施の形態に係る切り欠き部を示す平面図であり、図７（ａ）は矩形状の切り欠き部の平面図、図７（ｂ）は台形状の切り欠き部の平面図である。同図において、１３ｂは駆動電極、３１は上側主面での切り欠き縁部、３２は頂部、３３は下側主面での切り欠き縁部である。このように、本発明の実施の形態では、回路基板側の主面内での切り欠き形状の占める面積が、反対側の主面内での切り欠き形状の占める面積よりも小さくなっている。また、主面内での切り欠き形状は、三角形上、矩形状、多角形状、半円状など、いずれも可能である。
【００２５】
参考例についても説明する。図９はマスク開口を２つの主面で同一寸法にて作製しブラスト加工したときの模式的な断面図である。この例では頂部がウエハ２６の厚さの１／２の高さに形成される。そうなると、図８のように多量の導電接着剤を用い大きなフィレット２２を形成する必要があり、最適量を僅かに超えるだけで導電接着剤が過剰となり他部に侵入し短絡不良を起こすことがある。
【実施例】
【００２６】
この実施例の圧電単結晶振動子および圧電振動ジャイロは、２軸の角速度を検出する例である。その構造は、すでに実施の形態で示した、図３、図４、図５の構造と同様である。以下説明の便宜上、圧電単結晶振動子の厚み方向をＸ軸、図面上の縦方向をＹ軸、図面上の横方向をＺ軸とする。図３〜５に示した圧電単結晶振動子１は矩形板に貫通加工をして内部に振動部である４つの付加質量部１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄと付加質量部を外周部で保持する構造体が一体で形成されている。
【００２７】
また、圧電単結晶振動子１は圧電振動ジャイロとして機能させるための電極が形成されており、また振動効率および検出効率を向上させるために両面に電極が形成されている。図４に示した上面には、駆動電極１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂ、検出電極１６ａ，１６ｂ，１７ａ，１７ｂ、基準電位電極１８ａ，１８ｂが形成されている。図５に示した下面には、駆動電極１３ｃ，１３ｄ，１５ａ，１５ｂ、検出電極１６ｃ，１６ｄ，１７ｃ、１７ｄ、基準電位電極１８ｃ，１８ｄが形成されている。各電極は圧電単結晶振動子１の外縁部まで引き回して配線されて、信号処理回路が形成されているパッケージ上の電極との接続部には切り欠き部１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ，１１ｅ，１１ｆ，１１ｇ，１１ｈ，１１ｉ，１１ｊ，１１ｋ，１１ｌが形成されている。
【００２８】
（ジャイロの原理）
ここで圧電振動ジャイロの動作原理の一例を図４および図５を使用して説明する。駆動電極１３ａ（１３ｃ）および１３ｂ（１３ｄ）と駆動電極１４ａおよび１４ｂ間に交流電圧を印加し、かつ前記駆動電極とは逆位相で駆動電極１３ａ（１３ｃ）および１３ｂ（１３ｄ）と駆動電極１５ａおよび１５ｂ間に交流電圧を印加すると、付加質量部１２ａおよび１２ｃと１２ｂおよび１２ｄがＸ軸方向に逆位相で振動する。この振動状態でＹ軸回りに回転角速度が印加されるとコリオリ力により、Ｚ軸方向の振動が励振されるので、検出電極１６ａ（１６ｃ）、１６ｂ（１６ｄ）から電気的に検出することができる。Ｚ軸回りに回転角速度が印加されるとＹ軸方向の振動が励振されるので、検出電極１７ａ（１７ｃ）、１７ｂ（１７ｄ）から電気的に検出することができる。これらの検出信号を信号処理して出力することで、２軸の角速度が検出できる圧電振動ジャイロを得る。
【００２９】
例えば、圧電単結晶材料としてニオブ酸リチウムを用い、外形寸法が４ｍｍ×４ｍｍ×厚み０．２５ｍｍ、各付加質量部大きさを０．７５ｍｍ×１ｍｍとなる図３の形状の圧電振動子を作製した場合、Ｘ軸方向の振動の共振周波数はおよそ２０ｋＨｚとなる。この圧電振動子に１．５Ｖｐｐで駆動した場合の圧電振動ジャイロとしての感度は、信号処理回路の増幅率が２００倍のときでＹ軸回りの回転角速度およびＺ軸回りの回転角速度共におよそ０．３ｍＶ／゜／秒が得られ、１つの圧電振動子で、２軸の角速度が検出可能となっている。
【００３０】
（振動子作製方法）
この圧電単結晶振動子の製造プロセスの一例を簡単に説明する。圧電単結晶材料としては、水晶、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、ランガサイト、酸化亜鉛のいずれかが用いられる。これらのウエハに電極としてＣｒを下地としてＡｕをスパッタもしくは真空蒸着で成膜する。次にフォトリソグラフィーによりレジストを所望のパターンに形成し、エッチングによりＡｕおよびＣｒを除去し、さらにレジストを除去して、電極を形成する。反対面も同様の工程により、両面に電極が形成される。次にフォトリソグラフィーによりレジストを所望のパターンに形成し、サンドブラストによって貫通加工を行い、レジストを除去して圧電単結晶振動子が得られる。貫通加工は、ドライエッチング、ウェットエッチングによって行ってもかまわない。
【００３１】
サンドブラストにて、圧電単結晶振動子の貫通加工を行うとき、振動バランスを良好に保つために対称な形状に作製することが望ましい。また、ウエハの両面にドライフィルムレジストにてマスクを形成し、両面から加工する必要がある。図９に示すように、ウエハ両面のレジストの開口が同じ寸法のとき、ウエハに形成されるブラスト加工穴２３ａ、２３ｂは、幅、深さについて同じ寸法に加工される。サンドブラスト加工は、垂直な加工が困難なので、ウエハの断面は、厚さ方向の中間点で頂点（頂部）を持つ形状となっている。言い換えると、サンドブラスト加工による穴は楕円面のように形成されるからである。このように両主面から同じ寸法の開口を用いて、サンドブラスト加工を行うのは、付加質量部、アーム部あるいはビーム部の周辺の貫通加工において対称性をよくするために必要である。
【００３２】
それに対し、実装基板に近い方のウエハ主面のマスク開口を小さくし、もう一方の主面のマスク開口を大きくすると、側面の頂点は図６に示すように深いブラスト加工穴２４ａが得られ、マスク開口を小さくするとブラスト加工穴２４ｂは垂直に近く、浅い加工穴となる。その結果、頂点の位置を実装面に近くなるような加工ができる。なお、この頂点は下側主面からほぼ一定の高さに形成されている。
【００３３】
加工の一例を挙げると、実装基板に近い方のウエハ主面のマスク開口を１００μｍとし、もう一方の主面のマスク開口を３００μｍとすると、ウエハの厚さをｔとするとき、実装基板から０．３ｔのところに側面の頂点（主面に平行な頂部）が得られる。
【００３４】
この特徴を振動子の切り欠き部の作製に適用したときの模式的な断面図が図６である。ウエハ主面のマスク開口を小さくし、もう一方の主面のマスク開口を大きくして加工したときの模式的な断面図である。それに対して、参考例の図９は、ウエハ両面に同じ開口のマスクを形成し加工したときの断面図である。
【００３５】
図１では、実装基板に近い主面側に断面の頂点位置が偏っていて、フィレット２２は、図８と比べると小さくなる。導電接着剤の積み上げる量が少なくなるため、制御しやすく、他部との導通などの不具合を防ぐことができる。
【００３６】
こうして得られた圧電単結晶振動子１は、パッケージに導電接着剤で固定かつ電気的接続を取って実装される。このとき、駆動電極１３ａと１３ｃ、駆動電極１３ｂと１３ｄ、検出電極１６ａと１６ｃ、検出電極１６ｂと１６ｄ、検出電極１７ａと１７ｃ、検出電極１７ｂと１７ｄ、基準電位電極１８ａと１８ｃ、基準電位電極１８ｂと１８ｄは各々導電接着剤で電気的に接続される。
【００３７】
導電接着剤１９は切り欠き部１１ｈを埋めるように塗布することができるので、両面に形成した電極を確実に接続することができ信頼性を向上させることができる。また、塗布が容易なので導電接着剤の塗布作業性を損なうことなく圧電単結晶振動子１とパッケージ２１とのクリアランスを小さくすることができ、製品の小型化が図れる。また、回路基板側で切り欠き部の主面内の切り欠き形状を小さくすることができ、回路基板との接着面積が増加するので、接着強度も向上させることができる。
【００３８】
また、切り欠き部はエッチングまたはサンドブラストの貫通加工時に、レジストのパターニングによって形成することができるので、切り欠き部を２つの主面で異形にすることによる製造コストの発生は僅かである。
【００３９】
ところで、頂部の高さｘは、圧電単結晶板の厚さをｔとするとき、ｔ／２未満で、効果が認められる。ただし、０．１ｔ以下では、フィレット（側面下部の導電接着剤）の形成には問題がないが、振動子の加工上のバランスの点で好ましくない。また、ｘが０．３５以上、０．５未満の範囲では、フィレット形成の容易性が小さくなり、０．１ｔ＜ｘ＜０．３５ｔが特に好ましい範囲である。
【００４０】
以上の説明での切り欠き部は、圧電単結晶板の両主面の対応位置に電極が形成された場合であったが、回路基板の反対側にのみ端子電極が形成された場合（回路基板側に端子電極がない場合）にも、同様の技術により、回路基板面上の配線導体と  回路基板の反対側の端子電極を切り欠き部に塗布した導電接着剤によって接続することができる。例えば、図３の駆動電極１４ａの場合などである。
【００４１】
本実施例の圧電振動子を、その駆動回路および検出回路と共にパッケージ内に収容することで、本発明の圧電振動ジャイロが得られる。
【００４２】
以上説明したとおり、本発明によれば、圧電振動子の実装信頼性を確保しつつ、小型、低コストな圧電振動子およびそれを用いた圧電振動ジャイロを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の一実施の形態での切り欠き部のＡ−Ａ断面図。
【図２】本発明の一実施の形態での圧電振動子の導電接着剤の塗布部を拡大して示す平面図。
【図３】本発明の一実施の形態での圧電振動子の外形を示す平面図。
【図４】本発明の一実施の形態での圧電振動子の上面の電極配置図。
【図５】本発明の一実施の形態での圧電振動子の下面の電極配置図。
【図６】本発明の一実施の形態でのブラスト加工穴の模式的な断面図。
【図７】本発明の実施の形態に係る切り欠き部を示し、図７（ａ）は矩形状の切り欠き部の平面図、図７（ｂ）は台形状の切り欠き部の平面図。
【図８】参考例での切り欠き部の断面図。
【図９】参考例でのブラスト加工穴の模式的な断面図。
【符号の説明】
【００４４】
１    圧電単結晶振動子
１０  圧電単結晶板
１１ａ〜１１ｌ  切り欠き部
１２ａ〜１２ｄ  付加質量部
１３ａ〜１３ｄ，１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂ  駆動電極
１６ａ〜１６ｄ，１７ａ〜１７ｄ  検出電極
１８ａ〜１８ｄ  基準電位電極
１９，２８  導電接着剤
２０  電極
２１  パッケージ  
２２  フィレット
２３ａ，２３ｂ，２４ａ，２４ｂ  ブラスト加工穴
２５ａ，２５ｂ  マスク
２６  ウエハ
３１  上側主面での切り欠き縁部
３２  頂部
３３  下側主面での切り欠き縁部
【図１】
2008283243.tif 000003
【図２】
2008283243.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2008283243.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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