(57)【要約】      （修正有）【課題】再利用する研磨材の回収効率を向上させると共に、稼働率を向上させることのできるプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法および隔壁形成装置を提供する。【解決手段】サンドブラスト法を用いてプラズマディスプレイパネルの隔壁を形成するプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法であって、サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を液体に分散させる分散槽１０を備える。【選択図】図３
2008018518.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
サンドブラスト法を用いてプラズマディスプレイパネルの隔壁を形成するプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法であって、
サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を液体に分散させることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。
【請求項２】
請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法において、
前記サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を液体に分散させたものを、湿式分級することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。
【請求項３】
請求項２に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法において、
前記湿式分級により分級した粗粉側を、連続乾燥炉で乾燥させて研磨材を再利用することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。
【請求項４】
請求項３に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法において、
前記サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を液体に分散させる処理、前記サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を液体に分散させたものを湿式分級する処理、および、前記湿式分級により分級した粗粉側を連続乾燥炉で乾燥させて研磨材を再利用する処理を、連続して行うことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。
【請求項５】
サンドブラスト法を用いてプラズマディスプレイパネルの隔壁を形成するプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置であって、
サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を液体に分散させる分散槽を備えることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、サンドブラスト法を用いてプラズマディスプレイパネルの隔壁を形成するプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法および隔壁形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、プラズマディスプレイパネルの隔壁（リブ）を形成するには、サンドブラスト法が用いられている。そして、サンドブラスト法を適用したプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置（ブラスト装置）は、一般に、研磨材と隔壁切削粉を気流式分級機（サイクロン）で分級し、その分級した研磨材を再利用するようになっている。
【０００３】
図１は従来のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置の一例を概略的に示す図であり、図２は図１に示すプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置における研磨剤の流れを説明するためのフローチャートである。
【０００４】
図１において、参照符号１は加工室、２はノズル、３は気流式サイクロン、４は研磨材回収タンク（研磨材回収室）、５は研磨材供給部、６は集塵機、７および８は異物除去部、そして、９は隔壁乾燥基板を示している。
【０００５】
図１および図２に示されるように、まず、ステップＳＴ１では、加工室１において、ノズル２から噴射された研磨材が隔壁乾燥基板９を研磨して基板（例えば、プラズマディスプレイパネルの背面基板）上に所定形状の隔壁（リブ）を形成する。
【０００６】
次に、ステップＳＴ２に進んで、加工室１からの研磨材と隔壁切削粉の混合物は、異物除去部（メッシュ）７によってドライフィルムレジスト等の大きな異物が除去される。ここで、異物除去部７において、例えば、メッシュを通り抜けられない大きな異物は、定期的に集塵機（図示しない）により集塵して廃棄される。
【０００７】
さらに、ステップＳＴ１０に進んで、異物除去部７により大きな異物が除去された研磨材と隔壁切削粉の混合物は、気流式サイクロン３によって大粒子と小粒子に分離される。
【０００８】
気流式サイクロン３により分離された小粒子は、ステップＳＴ６において、集塵機６により集塵され、さらに、ステップＳＴ７に進んで、隔壁切削粉および研磨剤が廃棄される。
【０００９】
一方、気流式サイクロン３により分離された大粒子は、ステップＳＴ３において、研磨材回収タンク４に供給され、さらに、ステップＳＴ４に進んで、研磨材供給部５に戻されて研磨剤として再利用される。ここで、研磨材供給部５には、外部から新たな研磨材も補充されている。
【００１０】
そして、研磨材供給部５からの研磨剤は、ステップＳＴ５において、異物除去部８による異物の除去が行われた後、ステップＳＴ１に戻って、加工室１におけるノズル２から噴射されて基板上に所定形状の隔壁を形成するために使用される。
【００１１】
なお、異物除去部８により除去された異物は、ステップＳＴ８において、例えば、定期的に集塵機による集塵が行われ、ステップＳＴ９に進んで、再利用できない研磨剤として廃棄される。
【００１２】
ところで、従来、サンドブラストを用いるプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法として、基板表面における表示領域とその外側とを覆う層状の隔壁材を設ける工程、表示領域とその外側とに跨るパターニング用のマスクを設け、その際にマスクにおける表示領域の外側に配置される部分のパターンを格子状パターンとする工程、マスクによって部分的に覆われた前記隔壁材をサンドブラストによってパターニングする工程、および、パターニングされた隔壁材を焼成する工程を備えるものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【００１３】
さらに、従来、ブラスト装置とは異なる処理として行うものではあるが、フラットパネルディスプレイの隔壁および電極をサンドブラストにより形成する際に生じるサンドブラスト屑を再利可能にするために、研磨材をステンレスに固定し、サンドブラスト屑を溶媒中に分散させた分散液から磁気分離によって研磨材屑を回収し、分散液中の固形分に研磨材の溶解剤を添加して磁気分離によって回収されなかった研磨材微細粉を溶解除去し、溶解しない固形分残分である隔壁形成材料および／または電極形成材料を回収する技術も提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【００１４】
【特許文献１】国際公開第０２／０８４６８９号パンフレット
【特許文献２】特開２００２−１２７０１４
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
図１および図２を参照して説明したように、従来のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置（方法）は、気流式サイクロン３により大粒子と小粒子を分離（ステップＳＴ１０）することにより研磨剤の再利用を行っていた。
【００１６】
しかしながら、このような気流式分級機では分散が不十分なため、隔壁切削粉もしくは研磨材と隔壁切削粉が凝集し、分級後の研磨材に隔壁切削粉が混入してサンブラレートの低下や隔壁のダメージを生じる恐れがあった。そのため、従来のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置（ブラスト装置）では、例えば、一定間時間毎（一定処理数毎）に空運転を行って隔壁切削粉の増加を抑制するため、装置の稼働率が低下することになっていた。
【００１７】
さらに、例えば、隔壁切削粉の増加を抑制するためにカットポイントの変更を行うと、研磨材の回収率が低下することになり、また、近年の高精細パネルをブラスト処理するためには研磨材の小粒径化は必須であるが、上述した理由等により研磨材の変更は容易に行うことができなかった。
【００１８】
本発明は、上述した従来技術が有する課題に鑑み、再利用する研磨材の回収効率を向上させると共に、プラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置の稼働率を向上させることを目的とする。さらに、本発明は、プラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置に使用する研磨材の変更を容易に行うことも目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明の第１の形態によれば、サンドブラスト法を用いてプラズマディスプレイパネルの隔壁を形成するプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法であって、サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を液体に分散させることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法が提供される。
【００２０】
本発明の第２の形態によれば、サンドブラスト法を用いてプラズマディスプレイパネルの隔壁を形成するプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置であって、サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を液体に分散させる分散槽を備えることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置が提供される。
【００２１】
ここで、サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を分散させる液体は、有機溶剤、水、或いは、水および分散剤であることが好ましい。また、サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を液体に分散させたものは、湿式分級するのが好ましい。
【００２２】
さらに、湿式分級により分級した粗粉側は、連続乾燥炉で乾燥させて研磨材を再利用することができ、サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を液体に分散させる処理、サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を液体に分散させたものを湿式分級する処理、および、湿式分級により分級した粗粉側を連続乾燥炉で乾燥させて研磨材を再利用する処理は、連続して行うのが好ましい。なお、乾燥させた研磨材の含水率は５％以下とし、また、湿式分級により分級した微粉側は、脱水処理して固形分を廃棄すると共に、液体を再利用することができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、再利用する研磨材の回収効率を向上させると共に、プラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置の稼働率を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明に係るプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法および隔壁形成装置の一実施例を、添付図面を参照して詳述する。
【実施例】
【００２５】
図３は本発明に係るプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置の一実施例を概略的に示す図であり、図４は図３に示すプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置を模式的に示す図であり、そして、図５は図３および図４に示すプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置における研磨剤の流れを説明するためのフローチャートである。
【００２６】
図３において、参照符号１は加工室、２はノズル、３は気流式サイクロン、４は研磨材回収タンク、５は研磨材供給部、６は集塵機、７および８は異物除去部、そして、９は隔壁乾燥基板を示している。さらに、参照符号１０は分散槽、１１はモーター、１２は液送ポンプ、１３はハイドロサイクロン、１４は連続式乾燥炉、そして、１５は遠心式脱水機を示している。なお、図３〜図５、並びに、図１および図２において、同じ参照符号の構成および処理は、同様のものを示している。
【００２７】
すなわち、図３〜図５に示されるように、まず、ステップＳＴ１では、加工室１において、ノズル２から噴射された研磨材が隔壁乾燥基板９を研磨して基板上に所定形状の隔壁を形成する。
【００２８】
次に、ステップＳＴ２に進んで、加工室１からの研磨材と隔壁切削粉の混合物は、異物除去部７によってドライフィルムレジスト等の大きな異物が除去される。ここで、異物除去部７において、例えば、メッシュを通り抜けられない大きな異物は、定期的に集塵機（図示しない）により集塵して廃棄される。
【００２９】
そして、ステップＳＴ１０に進んで、異物除去部７により大きな異物が除去された研磨材と隔壁切削粉の混合物は、気流式サイクロン３によって大粒子と小粒子に分離される。
【００３０】
気流式サイクロン３により分離された小粒子は、ステップＳＴ６において、集塵機（６）により集塵され、さらに、ステップＳＴ７に進んで、隔壁切削粉および研磨剤が廃棄される。ここで、気流式サイクロン３により分離された小粒子中に固形分は存在しない。
【００３１】
一方、気流式サイクロン３により分離された大粒子は、ステップＳＴ２１において、分散槽１０の液体中に分散される。ここで、研磨材および隔壁切削粉は比重が比較的重いため、例えば、モーター１１により回転駆動される攪拌羽根１６によって絶えず攪拌される。なお、攪拌機は、分散槽１０、モーター１１および攪拌羽根１６等で構成される。また、分散槽１０における液体としては、例えば、エタノール等の有機溶剤、水、或いは、水および分散剤を使用することができる。
【００３２】
分散槽１０において大粒子が攪拌された混合液は、液送ポンプ１２によりハイドロサイクロン１３に供給され、ステップＳＴ２２において、湿式分級される。
【００３３】
ハイドロサイクロン１３により湿式分級された粗粉側は、ステップ２３において、連続式乾燥炉１４で乾燥され、ステップＳＴ３に進んで、研磨材回収タンク４に供給される。さらに、ステップＳＴ４に進んで、研磨材供給部５に戻されて研磨剤として再利用される。ここで、研磨材供給部５には、外部から新たな研磨材も補充されている。
【００３４】
そして、研磨材供給部５からの研磨剤は、ステップＳＴ５において、異物除去部８による異物の除去が行われた後、ステップＳＴ１に戻って、加工室１におけるノズル２から噴射されて基板上に所定形状の隔壁を形成するために使用される。
【００３５】
なお、異物除去部８により除去された異物は、ステップＳＴ８において、例えば、定期的に集塵機による集塵が行われ、ステップＳＴ９に進んで、再利用できない研磨剤として廃棄される。
【００３６】
また、ハイドロサイクロン１３により湿式分級された微粉側は、ステップ２４において、遠心式脱水機１５で液体と固形物（隔壁切削粉）に分離され、液体は分散槽１０に戻され、固形物は廃棄される。
【００３７】
なお、本実施例では、一連の処理（例えば、サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を液体に分散させる処理、サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を液体に分散させたものを湿式分級する処理、および、湿式分級により分級した粗粉側を連続乾燥炉で乾燥させて研磨材を再利用する処理）を連続的に行うことにより、研磨材と隔壁切削粉の分散および分級を、高精度で且つインライン処理することができ、さらに、研磨材の回収効率および装置の稼働率も向上させることができる。
【００３８】
上述した実施例では、気流式サイクロン３により分離された大粒子を分散槽１０の液体中に分散および攪拌し、ハイドロサイクロン１３により湿式分級するようになっているが、本発明の特徴は、サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を液体に分散させることであり、例えば、気流式サイクロン３は必ずしも設けなくてもよい。
【００３９】
以上、詳述したように、本発明によれば、湿式分級機（ハイドロサイクロン）を使用することによって、隔壁切削粉や研磨剤の分散度を向上させることができる。また、ハイドロサイクロンの剪断力によっても分散が向上するため、より一層分級精度を向上させることができる。さらに、プラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置に使用する研磨材の変更も容易に行うことができる。
【００４０】
（付記１）
サンドブラスト法を用いてプラズマディスプレイパネルの隔壁を形成するプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法であって、
サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を液体に分散させることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。
【００４１】
（付記２）
付記１に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法において、前記液体は、有機溶剤、水、或いは、水および分散剤であることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。
【００４２】
（付記３）
付記１に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法において、
前記サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を液体に分散させたものを、湿式分級することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。
【００４３】
（付記４）
付記３に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法において、
前記湿式分級により分級した粗粉側を、連続乾燥炉で乾燥させて研磨材を再利用することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。
【００４４】
（付記５）
付記４に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法において、
前記乾燥させた研磨材の含水率は、５％以下であることを特徴としたプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。
【００４５】
（付記６）
付記４に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法において、
前記サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を液体に分散させる処理、前記サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を液体に分散させたものを湿式分級する処理、および、前記湿式分級により分級した粗粉側を連続乾燥炉で乾燥させて研磨材を再利用する処理を、連続して行うことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。
【００４６】
（付記７）
付記３に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法において、
前記湿式分級により分級した微粉側を、脱水処理して固形分を廃棄すると共に、液体を再利用することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。
【００４７】
（付記８）
サンドブラスト法を用いてプラズマディスプレイパネルの隔壁を形成するプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置であって、
サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を液体に分散させる分散槽を備えることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置。
【００４８】
（付記９）
付記８に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置において、前記液体は、有機溶剤、水、或いは、水および分散剤であることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置。
【００４９】
（付記１０）
付記８に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置において、さらに、
前記サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を液体に分散させたものを、湿式分級するハイドロサイクロンを備えることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置。
【００５０】
（付記１１）
付記１０に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置において、さらに、
前記湿式分級により分級した粗粉側を、乾燥させて研磨材を再利用するための連続式乾燥炉を備えることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置。
【００５１】
（付記１２）
付記１１に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置において、
前記連続式乾燥炉は、前記再利用される研磨剤を含水率が５％以下となるように乾燥させることを特徴としたプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置。
【００５２】
（付記１３）
付記１１に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置において、
前記サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を液体に分散させる分散槽、前記サンドブラスト後の研磨材と隔壁切削粉を液体に分散させたものを湿式分級するハイドロサイクロン、および、前記湿式分級により分級した粗粉側を乾燥させて研磨材を再利用するための連続式乾燥炉は、連続処理するように配置されることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置。
【００５３】
（付記１４）
付記１０に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置において、さらに、
前記湿式分級により分級した微粉側を、脱水処理して固形分を廃棄すると共に、液体を再利用するための脱水機を備えることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
本発明は、プラズマディスプレイパネルにおける様々な形状の隔壁を、サンドブラスト法を用いて形成するプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置に対して幅広く適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】従来のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置の一例を概略的に示す図である。
【図２】図１に示すプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置における研磨剤の流れを説明するためのフローチャートである。
【図３】本発明に係るプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置の一実施例を概略的に示す図である。
【図４】図３に示すプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置を模式的に示す図である。
【図５】図３および図４に示すプラズマディスプレイパネルの隔壁形成装置における研磨剤の流れを説明するためのフローチャートである。
【符号の説明】
【００５６】
１    加工室
２    ノズル
３    気流式サイクロン
４    研磨材回収タンク
５    研磨材供給部
６    集塵機
７，８    異物除去部
９    隔壁乾燥基板
１０    分散槽
１１    モーター
１２    液送ポンプ
１３    ハイドロサイクロン
１４    連続式乾燥炉
１５    遠心式脱水機
１６    攪拌羽根
【図１】
2008018518.tif 000003
【図２】
2008018518.tif 000004
【図３】
2008018518.tif 000005
【図４】
2008018518.tif 000006
【図５】
2008018518.tif 000007