(57)【要約】【課題】微小な入射光であっても撮像を行うことができる撮像装置を提供することを目的とする。【解決手段】イメージインテンシファイア９ｃをＣＣＤ型固体撮像素子（ＣＣＤ）１の前段に配設し、入射光をイメージインテンシファイア９ｃが増倍させることで、微小な入射光であっても撮像を行うことができる。また、撮像素子駆動回路９ａによってＣＣＤ１の駆動が停止するのに同期して、イメージインテンシファイア９ｃの駆動をイメージインテンシファイア駆動回路９ｂが停止させることで、撮像を行わない間でも微小な光が増倍してノイズが重畳するという事態を回避することができ、ノイズが重畳せずに微小な入射光で撮像を行うことができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射光を電荷に変換することでその光の強度に応じた信号電荷を発生させる光電変換手段と、その光電変換手段から発生した信号電荷を蓄積して記憶する複数の電荷蓄積手段とを備えることで、前記光電変換手段によって信号電荷を発生させて、その信号電荷を前記電荷蓄積手段からそれに隣接する電荷蓄積手段に順次に蓄積しながら転送して撮像を行うように構成された撮像素子と、その撮像素子の駆動を制御する撮像素子制御手段とを備えた撮像装置であって、前記撮像素子の前段に配設されて、かつ入射光を増倍させる光電子増倍手段と、前記撮像素子制御手段によって撮像素子の駆動が停止するのに同期して、前記光電子増倍手段の駆動を停止させる光電子増倍制御手段とを備えることを特徴とする撮像装置。
【請求項２】
請求項１に記載の撮像装置において、前記光電子増倍手段の前段に配設されたメカニカルシャッタを備え、前記撮像素子制御手段によって前記撮像素子の駆動が停止するのに同期して、前記メカニカルシャッタを駆動させて入射光を遮蔽することを特徴とする撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、入射光を電荷に変換することでその光の強度に応じた信号電荷を発生させて撮像を行う撮像素子を備えた撮像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の撮像素子として、例えばＣＣＤ(Charge Coupled Device)型固体撮像素子がある。近年、かかるＣＣＤ型固体撮像素子（以下、『ＣＣＤ』と略記する）において、高速撮像を可能にするために、入射光を電荷に変換することでその光の強度に応じた信号電荷を発生させる光電変換部（例えばフォトダイオード）の傍らに、光電変換部から発生した信号電荷を蓄積して記憶する複数の電荷蓄積部（例えば蓄積用ＣＣＤ）を備える素子がある（例えば、特許文献１参照）。この撮像素子では光電変換部や電荷蓄積部をチップ上に配設している。
【０００３】
特許文献１では、『画素周辺記録型撮像素子』と呼ばれるＣＣＤを採用している。このＣＣＤについて、図２を参照して説明する。図２に示すように、ＣＣＤ１は、上述したフォトダイオード１１と蓄積用ＣＣＤ１２とを複数個備えるとともに、これら蓄積用ＣＣＤ１２内の信号電荷を図２に示す垂直方向に転送する垂直転送用ＣＣＤ１３とを備えている。そして、フォトダイオード１１からそれに隣接した蓄積用ＣＣＤ１２へ信号電荷を読み出す読み出しゲート１４を各フォトダイオード１１の傍らにそれぞれ配設している。その他に、垂直転送用ＣＣＤ１３から転送された信号電荷を図２に示す水平方向に転送する水平転送用ＣＣＤ１５を備えている。
【０００４】
この『画素周辺記録型撮像素子』では、ライン状の蓄積用ＣＣＤ１２は斜め方向に延びている。このように斜め方向にすることでチップ上に無駄な空地が生じないようにＣＣＤセルを詰め込むことができる。
【０００５】
このように、『画素周辺記録型撮像素子』では、複数の蓄積用ＣＣＤを備えることで、撮影速度が１．０×１０６フレーム／秒（１，０００，０００フレーム／秒）の高速撮像のように撮影周期が１μｓと短い場合であっても、短い撮影周期で蓄積用ＣＣＤからそれに隣接する蓄積用ＣＣＤに信号電荷を順次に蓄積しながら転送して撮像を行うことができる。この『画素周辺記録型撮像素子』は、上述した高速撮像の分野や、細胞の蛍光観察などのバイオ分野や、顕微鏡観察分野などのように短い撮影周期の分野に有用である。
【特許文献１】特開２００１−３４５４４１号公報（第２，５−９頁、図２−４，１０−１２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、短い撮影周期で撮像を行うと、１フレーム当たりの露光時間が短くなってしまうので、取り込まれる入射光も微小となる。したがって、撮影速度が１．０×１０６フレーム／秒のような高速撮像では、露光時間も短く微小な光では撮像を行うのが困難である。なお、取り込まれる入射光を大きくするために開口部を拡げてフォトダイオードに代表される光電変換部を大きくすることも考えられるが、光電変換部や蓄積用ＣＣＤに代表される電荷蓄積部を同一チップ上に配設している関係で、光電変換部を大きくすることができない。
【０００７】
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、微小な入射光であっても撮像を行うことができる撮像装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
発明者は、上記の問題を解決するために鋭意研究した結果、次のような知見を得た。
【０００９】
すなわち、微小な入射光でも撮像を行うために、撮像素子の前段に光電子増倍機構（例えばイメージインテンシファイア）を配設することついて着目してみた。ただし、イメージインテンシファイアを単純に配設すると、撮像を行わない間でも微小な光を増倍させてしまって、ノイズが重畳するという問題がある。そこで、メカニカルシャッタを取り付けて、撮像を行わない間はメカニカルシャッタを駆動させて入射光を遮蔽（すなわち遮光）することも考えられる。しかし、メカニカルシャッタがない場合でもノイズが重畳せずに、微小な入射光で撮像を行うことが望まれる。
【００１０】
そこで、撮影周期に同期してイメージインテンシファイアを駆動させることも考えられるが、イメージインテンシファイアの駆動周波数は１００Ｈｚ〜１ｋＨｚ（すなわち、撮影速度が１００フレーム／秒〜１，０００フレーム／秒）程度である。したがって、撮影速度が１．０×１０６フレーム／秒のような高速撮像の場合には、撮影周期に同期してイメージインテンシファイアを駆動させることができない。そこで、撮影周期に同期せずに別のタイミングに同期してイメージインテンシファイアを駆動させることに発想を変えてみた。
【００１１】
具体的には、撮像を行わない間にイメージインテンシファイアの駆動を停止させる。つまり、撮像素子の駆動が停止するのに同期して、イメージインテンシファイアの駆動を停止させれば、撮影周期に同期しなくとも、上述したノイズが重畳せずに微小な入射光で撮像を行うことができるという知見を得た。
【００１２】
このような知見に基づくこの発明は、次のような構成をとる。
すなわち、請求項１に記載の発明は、入射光を電荷に変換することでその光の強度に応じた信号電荷を発生させる光電変換手段と、その光電変換手段から発生した信号電荷を蓄積して記憶する複数の電荷蓄積手段とを備えることで、前記光電変換手段によって信号電荷を発生させて、その信号電荷を前記電荷蓄積手段からそれに隣接する電荷蓄積手段に順次に蓄積しながら転送して撮像を行うように構成された撮像素子と、その撮像素子の駆動を制御する撮像素子制御手段とを備えた撮像装置であって、前記撮像素子の前段に配設されて、かつ入射光を増倍させる光電子増倍手段と、前記撮像素子制御手段によって撮像素子の駆動が停止するのに同期して、前記光電子増倍手段の駆動を停止させる光電子増倍制御手段とを備えることを特徴とするものである。
【００１３】
［作用・効果］請求項１に記載の発明によれば、複数の電荷蓄積手段を備えた撮像素子で撮像を行う場合には、短い撮影周期で撮像を行うことが可能であるが、取り込まれる入射光が微小になってしまう。そこで、光電子増倍手段を撮像素子の前段に配設し、入射光を光電子増倍手段が増倍させることで、微小な入射光であっても撮像を行うことができる。また、撮像素子制御手段によって撮像素子の駆動が停止するのに同期して、光電子増倍手段の駆動を光電子増倍制御手段が停止させることで、撮像素子の駆動の停止後は、光電子増倍手段がシャッタと同様に機能することになる。したがって、撮像を行わない間でも微小な光が増倍してノイズが重畳するという事態を回避することができ、ノイズが重畳せずに微小な入射光で撮像を行うことができる。
【００１４】
なお、予期しない光が入射することで光電子増倍手段が焼き付くのを防止することを考慮すれば、光電子増倍手段の前段に配設されたメカニカルシャッタを備え、撮像素子制御手段によって撮像素子の駆動が停止するのに同期して、メカニカルシャッタを駆動させて入射光を遮蔽（すなわち遮光）するのが好ましい（請求項２に記載の発明）。メカニカルシャッタを備え、撮像素子の駆動が停止するのに同期して、メカニカルシャッタを駆動させて入射光を遮蔽することで、撮像を行わない間では光を完全に遮蔽することができる。
【発明の効果】
【００１５】
この発明に係る撮像装置によれば、光電子増倍手段を撮像素子の前段に配設し、入射光を光電子増倍手段が増倍させることで、微小な入射光であっても撮像を行うことができる。また、撮像素子制御手段によって撮像素子の駆動が停止するのに同期して、光電子増倍手段の駆動を光電子増倍制御手段が停止させることで、撮像を行わない間でも微小な光が増倍してノイズが重畳するという事態を回避することができ、ノイズが重畳せずに微小な入射光で撮像を行うことができる。
【実施例】
【００１６】
以下、図面を参照してこの発明の実施例を説明する。
図１は、実施例に係るＣＣＤ型固体撮像素子（ＣＣＤ）を用いた撮像装置の概略を示すブロック図であり、図２は、ＣＣＤの構成を示すブロック図である。
【００１７】
実施例に係る撮像装置は、被写体の光学像を取り込み、取り込まれた光学像を信号電荷に変換するとともに電気信号に変換して被写体を撮像するように構成されている。すなわち、撮像装置は、図１に示すように、固体撮像素子（ＣＣＤ）１を備えるとともに、レンズ２と相関二重サンプリング部３とＡＤコンバータ４と画像処理演算部５とモニタ６と操作部７と制御部８とを備えている。さらに、撮像装置は、撮像素子駆動回路９ａとイメージインテンシファイア駆動回路９ｂとイメージインテンシファイア９ｃとメカニカルシャッタ９ｄとを備えている。この撮像装置は、撮影速度が１．０×１０６フレーム／秒（１，０００，０００フレーム／秒）の高速撮像として用いられる。固体撮像素子（ＣＣＤ）１は、この発明における撮像素子に相当し、撮像素子駆動回路９ａは、この発明における撮像素子制御手段に相当し、イメージインテンシファイア駆動回路９ｂは、この発明における光電子増倍制御手段に相当し、イメージインテンシファイア９ｃは、この発明における光電子増倍手段に相当し、メカニカルシャッタ９ｄは、この発明におけるメカニカルシャッタに相当する。
【００１８】
レンズ２は、被写体の光学像を取り込む。相関二重サンプリング部３は、ＣＣＤ１からの信号電荷を低雑音に増幅して電気信号に変換して取り出す。ＡＤコンバータ４は、その電気信号をディジタル信号に変換する。画像処理演算部５は、ＡＤコンバータ４でディジタル化された電気信号に基づいて被写体の２次元画像を作成するために各種の演算処理を行う。モニタ６は、その２次元画像を画面に出力する。操作部７は、撮像の実行に必要な種々の操作を行う。制御部８は、操作部７により設定された撮影条件などの操作にしたがって装置全体を統括制御する。
【００１９】
撮像素子駆動回路９ａは、ＣＣＤ１の駆動を制御するために、後述する読み出しゲート１４（図２を参照）や、ＣＣＤ１内の信号電荷を転送する転送電極に電圧を印加して、電圧の印加のタイミングや撮像のタイミングやクロックなどを生成する。イメージインテンシファイア駆動回路９ｂは、撮像素子駆動回路９ａから生成された電圧の印加のタイミングや撮像のタイミングやクロックなどに同期して、後述するイメージインテンシファイア９ｃの駆動を制御する。特に、本実施例では、後述する図３のタイミングチャートに示すように、撮像素子駆動回路９ａによってＣＣＤ１の駆動が停止するのに同期して、イメージインテンシファイア９ｃの駆動をイメージインテンシファイア駆動回路９ｂが停止させるように構成されている。
【００２０】
ＣＣＤ１の前段にはイメージインテンシファイア９ｃを配設している。イメージインテンシファイア９ｃは、レンズ２で取り込まれた光学像を電子像に変換して、電子的なシャッタおよび増幅を行った後に、光学像に変換する。このような変換を行うことで、イメージインテンシファイア９ｃは、レンズ２を介して取り込まれた入射光（すなわち被写体の光学像）を増倍させる。
【００２１】
本実施例では、イメージインテンシファイア９ｃとレンズ２との間（すなわちイメージインテンシファイア９ｃの前段）にメカニカルシャッタ９ｄを配設している。メカニカルシャッタ９ｄが駆動している間は、レンズ２から取り込まれた入射光（被写体の光学像）をメカニカルシャッタ９ｄが遮蔽（すなわち遮光）するように構成されている。特に、本実施例では、後述する図３のタイミングチャートに示すように、撮像素子駆動回路９ａによってＣＣＤ１の駆動が停止するのに同期して、イメージインテンシファイア駆動回路９ｂがメカニカルシャッタ９ｄを駆動させて入射光を遮蔽する。
【００２２】
次に、ＣＣＤ１は、図２に示すように、入射光（被写体の光学像）を電荷に変換することでその光の強度に応じた信号電荷を発生させるフォトダイオード１１と、そのフォトダイオード１１から発生した信号電荷を蓄積して記憶する複数の蓄積用ＣＣＤ１２と、これら蓄積用ＣＣＤ１２内の信号電荷を図２に示す垂直方向に転送する垂直転送用ＣＣＤ１３とを備えている。フォトダイオード１１は、この発明における光電変換手段に相当し、蓄積用ＣＣＤ１２は、この発明における電荷蓄積手段に相当する。
【００２３】
各フォトダイオード１１の傍らには読み出しゲート１４をそれぞれ配設しており、このフォトダイオード１１からそれに隣接した蓄積用ＣＣＤ１２へ各読み出しゲート１４は信号電荷を読み出す。
【００２４】
各蓄積用ＣＣＤ１２についてはそれぞれをライン状に接続して構成しており、ライン状の蓄積用ＣＣＤ１２を複数本分配設している。フォトダイオード１１から発生した信号電荷を、隣接する蓄積用ＣＣＤ１２に順次に転送しながら各蓄積用ＣＣＤ１２に蓄積する。そして、蓄積用ＣＣＤ１２から順次に転送された信号電荷を垂直転送用ＣＣＤ１３に合流させる。垂直転送用ＣＣＤ１３から転送されたこの信号電荷を水平転送用ＣＣＤ１５に転送する。
【００２５】
フォトダイオード１１を２次元状に配置しており、水平および垂直方向に平行して各フォトダイオード１１を並べて配設する関係上、ライン状の蓄積用ＣＣＤ１２は斜め方向に延びている。本実施例に係るＣＣＤ１は、いわゆる『画素周辺記録型撮像素子』と呼ばれているものである。なお、ＣＣＤ１の全体構成については従来と同じである。
【００２６】
なお、このように複数の蓄積用ＣＣＤ１２を備えることで、蓄積用ＣＣＤ１２からそれに隣接する蓄積用ＣＣＤ１２に信号電荷を順次に蓄積しながら転送して撮像を行う。したがって、撮影速度が１．０×１０６フレーム／秒（１，０００，０００フレーム／秒）の高速撮像のように撮影周期が１μｓと短い場合であっても、短い撮影周期で撮像を行うことができる。
【００２７】
続いて、ＣＣＤ１やイメージインテンシファイア９ｃやメカニカルシャッタ９ｄの具体的な駆動制御について、図３を参照して説明する。図３は、本実施例に係るＣＣＤやイメージインテンシファイアやメカニカルシャッタの駆動に関するタイミングチャートである。本実施例では、撮影周期Ｔ（図３を参照）を１．０μｓ／フレーム（すなわち撮影速度が１．０×１０６フレーム／秒）として、１００フレーム分の撮影枚数を行う撮像を例に採って説明する。
【００２８】
図３に示すように、撮像を行わない間、すなわち撮像素子駆動回路９ａ（図１を参照）によってＣＣＤ１の駆動が停止している間では、イメージインテンシファイア駆動回路９ｂ（図１を参照）は、イメージインテンシファイア９ｃをＯＦＦにして、イメージインテンシファイア９ｃの駆動を停止させる。この間では、イメージインテンシファイア駆動回路９ｂは、メカニカルシャッタ９ｄを「Ｈｉｇｈ」状態にして駆動を停止させる。
【００２９】
次に、撮像素子駆動回路９ａは、ＣＣＤ１の読み出しゲート１４や転送電極（図示省略）に電圧を印加して、ＣＣＤ１の駆動を開始する。そして、撮影周期Ｔ（本実施例では１．０μｓ／フレーム）で１００フレーム分の撮影枚数を行う間は、ＣＣＤ１の駆動が行われる。本実施例では、撮影周期Ｔが１．０μｓ／フレームで、１００フレーム分の撮影枚数を行っているので、ＣＣＤ１の駆動中である１００μｓ（＝１．０μｓ／フレーム×１００フレーム）の間は、ＣＣＤ１の駆動が行われる。撮像素子駆動回路９ａによってＣＣＤ１の駆動を開始するのに同期して、イメージインテンシファイア駆動回路９ｂはイメージインテンシファイア９ｃをＯＮにして、イメージインテンシファイア９ｃの駆動を開始する。本実施例では、イメージインテンシファイア駆動回路９ｂは、メカニカルシャッタ９ｄを引き続き「Ｈｉｇｈ」状態にして駆動を停止させている。なお、ＣＣＤ１の駆動の間（すなわち撮像中の間）は、各撮影周期Ｔに同期させずにイメージインテンシファイア９ｃを常にＯＮにしている。
【００３０】
上述したように、イメージインテンシファイア駆動回路９ｂによってメカニカルシャッタ９ｄは「Ｈｉｇｈ」状態のままになっており、レンズ２から取り込まれた入射光がメカニカルシャッタ９ｄによって遮蔽されることなくイメージインテンシファイア９ｃに入射されて増倍して、増倍した状態でＣＣＤ１のフォトダイオード１１に入射される。したがって、微小な入射光であっても撮像を行うことができる。
【００３１】
ＣＣＤ１の駆動の開始から１００μｓの時間が経過したら、撮像素子駆動回路９ａは、ＣＣＤ１の読み出しゲート１４や転送電極（図示省略）への電圧の印加を停止させて、ＣＣＤ１の駆動を停止させる。撮像素子駆動回路９ａによってＣＣＤ１の駆動が停止するのに同期して、イメージインテンシファイア駆動回路９ｂは、イメージインテンシファイア９ｃをＯＦＦにして、イメージインテンシファイア９ｃの駆動を停止させる。また、撮像素子駆動回路９ａによってＣＣＤ１の駆動が停止するのに同期して、イメージインテンシファイア駆動回路９は、メカニカルシャッタ９ｄを「Ｌｏｗ」状態にして、メカニカルシャッタ９ｄを駆動させて入射光を遮蔽する。
【００３２】
このように、撮像素子駆動回路９ａによってＣＣＤ１の駆動が停止するのに同期して、イメージインテンシファイア９ｃの駆動をイメージインテンシファイア駆動回路９ｂが停止させることで、ＣＣＤ１の駆動の停止後は、イメージインテンシファイア９ｃがシャッタと同様に機能することになる。さらに、撮像素子駆動回路９ａによってＣＣＤ１の駆動が停止するのに同期して、メカニカルシャッタ９ｄをイメージインテンシファイア駆動回路９ｂが駆動させて入射光を遮蔽することで、例えば予期しない光がレンズ２を介して取り込まれたとしても、その光が入射することでイメージインテンシファイア９ｃが焼き付くのを防止することができる。
【００３３】
上述した撮像装置によれば、複数の蓄積用ＣＣＤ１２を備えたＣＣＤ１で撮像を行う場合には、短い撮影周期で撮像を行うことが可能であるが、光学像として取り込まれる入射光が微小になってしまう。そこで、イメージインテンシファイア９ｃをＣＣＤ１の前段に配設し、入射光をイメージインテンシファイア９ｃが増倍させることで、微小な入射光であっても撮像を行うことができる。また、撮像素子駆動回路９ａによってＣＣＤ１の駆動が停止するのに同期して、イメージインテンシファイア９ｃの駆動をイメージインテンシファイア駆動回路９ｂが停止させることで、ＣＣＤ１の駆動の停止後は、イメージインテンシファイア９ｃがシャッタと同様に機能することになる。したがって、撮像を行わない間でも微小な光が増倍してノイズが重畳するという事態を回避することができ、ノイズが重畳せずに微小な入射光で撮像を行うことができる。
【００３４】
なお、予期しない光が入射することでイメージインテンシファイア９ｃが焼き付くのを防止することを考慮して、本実施例では、イメージインテンシファイア９ｃの前段に配設されたメカニカルシャッタ９ｄを備え、撮像素子駆動回路９ａによってＣＣＤ１の駆動が停止するのに同期して、メカニカルシャッタ９ｄをイメージインテンシファイア駆動回路９ｂが駆動させて入射光を遮蔽している。メカニカルシャッタ９ｄを備え、ＣＣＤ１の駆動が停止するのに同期して、メカニカルシャッタ９ｄを駆動させて入射光を遮蔽することで、撮像を行わない間では光を完全に遮蔽することができる。
【００３５】
この発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。
【００３６】
（１）上述した実施例では、撮影速度が１００，０００フレーム／秒以上の高速撮像に適しているが、撮影速度が１００，０００フレーム／秒未満の通常の撮像に適用してもよい。
【００３７】
（２）上述した実施例では、光電変換手段としてフォトダイオードを例に採って説明したが、フォトゲートを替わりに用いてもよい。
【００３８】
（３）上述した実施例では、斜行ＣＣＤによる『画素周辺記録型撮像素子』を例に採って説明したが、ライン状の蓄積用ＣＣＤを垂直方向に延在するように構成した撮像素子、またはマトリクス状の蓄積用ＣＣＤで構成した蓄積素子にもこの発明は適用することができる。
【００３９】
（４）上述した実施例では、メカニカルシャッタを備えたが、予期しない光が入射することでイメージインテンシファイアが焼き付くのを防止することを考慮する必要がない場合には、必ずしもメカニカルシャッタを備える必要はない。
【００４０】
（５）上述した実施例では、撮影速度が１００，０００フレーム／秒以上の高速撮像において、図３のタイミングチャートに示すように、撮影中では、各撮影周期Ｔに同期させずに光電子増倍手段（実施例ではイメージインテンシファイア）を常にＯＮにしていたが、撮影速度が１００，０００フレーム／秒未満の通常の撮像（例えば、１００Ｈｚ〜１ｋＨｚ（すなわち、撮影速度が１００フレーム／秒〜１，０００フレーム／秒））を行う場合、あるいは撮影速度が１００，０００フレーム／秒以上（すなわち撮影周期が１．０μｓ）で駆動できる光電子増倍手段が存在する場合には、撮影中において撮影周期に同期して光電子増倍手段を駆動させてもよい。したがって、各々の撮影周期ごとに光電子増倍手段がＯＮ／ＯＦＦを繰り返して行うことになる。
【００４１】
（６）上述した実施例では、図３のタイミングチャートに示すように、ＣＣＤの駆動開始前であるＣＣＤ１の駆動が停止している間でも、光電子増倍手段（実施例ではイメージインテンシファイア）の駆動を停止させていたが、撮像素子の駆動が停止するのに同期して、光電子増倍手段の駆動を停止させるのであれば、ＣＣＤの駆動開始前であるＣＣＤ１の駆動が停止している間でも、光電子増倍手段の駆動を必ずしも停止させる必要はない。ただ、ＣＣＤの駆動開始前の撮像を行わない間でも微小な光が増倍する可能性があるので、実施例のように、ＣＣＤの駆動開始前であるＣＣＤ１の駆動が停止している間でも、光電子増倍手段の駆動を停止させる方がより好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】実施例に係るＣＣＤ型固体撮像素子（ＣＣＤ）を用いた撮像装置の概略を示すブロック図である。
【図２】実施例に係るＣＣＤの構成を示すブロック図である。
【図３】実施例に係るＣＣＤやイメージインテンシファイアやメカニカルシャッタの駆動に関するタイミングチャートである。
【符号の説明】
【００４３】
１  …  ＣＣＤ型固体撮像素子（ＣＣＤ）
９ａ  …  撮像素子駆動回路
９ｂ  …  イメージインテンシファイア駆動回路
９ｃ  …  イメージインテンシファイア
９ｄ  …  メカニカルシャッタ
１１  …  フォトダイオード
１２  …  蓄積用ＣＣＤ
【図１】
2008278310.tif 000003
【図２】
2008278310.tif 000004
【図３】
2008278310.tif 000005