(57)【要約】【課題】簡単な構成で、基板から支持層を良好且つ確実に剥離することができ、感光材料層の貼り付け精度を向上させることを可能にする。【解決手段】プレ剥離装置１４４は、ガラス基板２４間に露呈する残存部分３０ｂを押圧して、前記残存部分３０ｂを前記ガラス基板２４から剥離させる剥離部材１５０と、前記剥離部材１５０を矢印Ｃ方向に進退可能な移動機構１５２とを備える。剥離部材１５０は、受けローラ１６２と一体にケーシング１５８に収容されており、このケーシング１５８は、一軸ロボット１５６を介して矢印Ｃ方向に進退し、ガラス基板２４間の残存部分３０ｂに対応して配置される。剥離部材１５０は、残存部分３０ｂの幅方向に長尺な板状に構成されるとともに、前記残存部分３０ｂに接触する波形状先端部１７２ａ、１７２ｂを設ける。【選択図】図４
2008107728.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持層と少なくとも感光材料層とが積層された感光性ウエブを、前記感光材料層側が基板に向かうようにして前記基板に接着した後、前記支持層を前記基板間に露呈する前記感光性ウエブの一部と一体に前記基板から剥離する前に、前記感光性ウエブの一部を前記基板から予め剥離させる感光性ウエブのプレ剥離装置であって、
前記基板間に露呈する前記感光性ウエブの一部を押圧して前記感光性ウエブの一部を前記基板から剥離させる剥離部材と、
前記剥離部材を基板搬送方向に進退可能な移動機構と、
前記剥離部材による前記感光性ウエブの押圧位置を検出するための検出器と、
を備え、
前記剥離部材は、前記感光性ウエブの前記基板搬送方向に交差する幅方向に長尺な板状に構成されるとともに、前記感光性ウエブの一部に接する複数の押圧部を設けることを特徴とする感光性ウエブのプレ剥離装置。
【請求項２】
請求項１記載のプレ剥離装置において、前記剥離部材は、前記基板の前記感光性ウエブが設けられる一方の面とは反対の他方の面から７ｍｍ〜１５ｍｍの範囲内で前記感光性ウエブ側に進退することを特徴とする感光性ウエブのプレ剥離装置。
【請求項３】
請求項１又は２記載のプレ剥離装置において、前記剥離部材は、前記押圧部として波形状先端部を設けることを特徴とする感光性ウエブのプレ剥離装置。
【請求項４】
請求項３記載のプレ剥離装置において、前記波形状先端部は、前記感光性ウエブ側に突出する山部同士の距離が２０ｍｍ〜５０ｍｍの範囲内であるとともに、
前記山部と谷部との距離が３ｍｍ〜６ｍｍの範囲内であることを特徴とする感光性ウエブのプレ剥離装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載のプレ剥離装置において、前記剥離部材は、前記幅方向に分割されるとともに、
前記分割された部分には、前記剥離部材の移動範囲内に前記基板が存在するか否かを検出する基板検出器が配設されることを特徴とする感光性ウエブのプレ剥離装置。
【請求項６】
請求項５記載のプレ剥離装置において、前記基板検出器は、アクチュエータを介して進退可能であるとともに、
前記基板に接触することにより前記剥離部材が前記押圧位置からずれていることを検出可能な接触型センサを備えることを特徴とする感光性ウエブのプレ剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、支持層と少なくとも感光材料層とが積層された感光性ウエブを、前記感光材料層側が基板に向かうようにして前記基板に接着した後、前記支持層を前記基板間に露呈する前記感光性ウエブの一部と一体に前記基板から剥離する前に、前記感光性ウエブの一部を前記基板から予め剥離させる感光性ウエブのプレ剥離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、ＰＤＰパネル用基板では、感光材料（感光性樹脂）層を有する感光性シート体（感光性ウエブ）を基板表面に貼り付けて構成されている。感光性シート体は、可撓性プラスチック支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層されている。
【０００３】
そこで、この種の感光性シート体の貼り付けに使用される貼り付け装置（ラミネート装置）は、通常、ガラス基板や樹脂基板等の基板を所定の間隔ずつ離間させて搬送するとともに、前記基板に貼り付けられる感光材料層の範囲に対応して、前記感光性シート体から保護フイルムを剥離する方式が採用されている。
【０００４】
例えば、特許文献１に開示されている感光層転写装置が知られている。この感光層転写装置は、基板を一定間隔で供給する基板供給手段と、前記基板の転写領域に合わせて感光層及びカバーフイルムを切断し、この切断された前記転写領域のカバーフイルムのみを剥離させるフイルム前処理手段と、前記フイルム前処理手段によりカバーフイルムが剥離された積層体フイルムを、前記基板供給手段からの基板に、前記カバーフイルムが剥離された感光層領域と前記転写領域とを一致させて供給し、前記感光層領域を前記転写領域に熱圧着する熱圧着手段と、前記熱圧着手段により積層体フイルムが熱圧着された各基板の間で、積層体フイルムを基板から剥離する方向に押し出して、少なくともカバーフイルムと基板とを剥離する予備剥離手段と、前記積層体フイルムを構成する支持体を基板から剥離する剥離手段とを備えている。
【０００５】
これにより、各基板の間で、少なくともカバーフイルムと基板とが予め剥離されるため、前記カバーフイルムが安定して支持体と一緒に剥離され、工程内で落下して異物不良となったり、前記基板に残って該基板の搬送異常や品質異常になったりすることを防止することができる。
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−３３７４１１号公報（図６）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明はこの種のプレ剥離に関するものであり、簡単な構成で、基板から支持層（支持体）を良好且つ確実に剥離することができ、ラミネート精度を向上させることが可能な感光性ウエブのプレ剥離装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、支持層と少なくとも感光材料層とが積層された感光性ウエブを、前記感光材料層側が基板に向かうようにして前記基板に接着した後、前記支持層を前記基板間に露呈する前記感光性ウエブの一部と一体に前記基板から剥離する前に、前記感光性ウエブの一部を前記基板から予め剥離させる感光性ウエブのプレ剥離装置に関するものである。
【０００９】
このプレ剥離装置は、前記基板間に露呈する感光性ウエブの一部を押圧して前記感光性ウエブの一部を前記基板から剥離させる剥離部材と、前記剥離部材を基板搬送方向に進退可能な移動機構と、前記剥離部材による前記感光性ウエブの押圧位置を検出するための検出器とを備えている。
【００１０】
そして、剥離部材は、感光性ウエブの基板搬送方向に交差する幅方向に長尺な板状に構成されるとともに、前記感光性ウエブの一部に接する複数の押圧部を設けている。
【００１１】
また、剥離部材は、基板の感光性ウエブが設けられる一方の面とは反対の他方の面から７ｍｍ〜１５ｍｍの範囲内で前記感光性ウエブ側に進退することが好ましい。
【００１２】
さらに、剥離部材は、押圧部として波形状先端部を設けることが好ましい。
【００１３】
さらにまた、波形状先端部は、感光性ウエブ側に突出する山部同士の距離が２０ｍｍ〜５０ｍｍの範囲内であるとともに、前記山部と谷部との距離が３ｍｍ〜６ｍｍの範囲内であることが好ましい。
【００１４】
また、剥離部材は、幅方向に分割されるとともに、前記分割された部分には、前記剥離部材の移動範囲内に基板が存在するか否かを検出する基板検出器が配設されることが好ましい。
【００１５】
さらに、基板検出器は、アクチュエータを介して進退可能であるとともに、基板に接触することにより剥離部材が押圧位置からずれていることを検出可能な接触型センサを備えることが好ましい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明では、検出器を介して剥離部材による感光性ウエブの押圧位置が検出されるとともに、前記押圧位置に対応して剥離部材を基板搬送方向に進退させることが可能になる。このため、剥離部材が基板に接触することがなく、前記剥離部材により基板間に露呈する感光性ウエブの一部を確実に押圧することができる。
【００１７】
その際、剥離部材の複数の押圧部が感光性ウエブに接するため、この感光性ウエブの幅方向に断続的に集中荷重を付与することができ、前記感光性ウエブの一部を基板から良好にプレ剥離させることが可能になる。これにより、特に基板の基板搬送方向後端から感光性ウエブの一部が予め剥離されるため、次段の剥離処理では、前記感光性ウエブの一部と共に支持層を前記基板から容易且つ確実に剥離することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
図１は、本発明の実施形態に係るプレ剥離装置を組み込む感光性積層体の製造装置２０の概略構成図である。
【００１９】
この製造装置２０は、液晶又は有機ＥＬ用カラーフィルタの製作工程で、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの各感光性樹脂層２８（後述する）を並列してガラス基板２４に熱転写する作業を行う。以下、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂがラミネートされたガラス基板２４を貼り付け基板２４ａともいう。感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、それぞれ所定の幅寸法に設定されており、例えば、前記感光性ウエブ２２ａが前記感光性ウエブ２２ｂよりも幅広に構成されている。
【００２０】
図２は、製造装置２０に使用される感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの断面図である。この感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、基本的には、可撓性ベースフイルム（支持体）２６と、感光性樹脂層（感光材料層）２８と、保護フイルム３０とを積層して構成される。
【００２１】
図１に示すように、製造装置２０は、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂをロール状に巻回した２本（２本以上であればよい）の感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂを収容し、各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂから前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを同期して送り出し可能な第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂと、送り出された各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの保護フイルム３０に幅方向に切断可能な境界位置であるハーフカット部位３４を形成する第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂと、一部に非接着部３８ａを有する接着ラベル３８（図３参照）を各保護フイルム３０に接着させる第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂとを備える。
【００２２】
第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂの下流には、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂをタクト送りから連続送りに変更するための第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂと、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから保護フイルム３０を所定の長さ間隔で剥離させる第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂと、ガラス基板２４を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に搬送する基板搬送機構４５と、前記保護フイルム３０の剥離により露出した感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に一体的且つ並列に貼り付ける貼り付け機構４６とが配設される。
【００２３】
貼り付け機構４６における貼り付け位置の上流近傍には、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの境界位置であるそれぞれのハーフカット部位３４を直接検出する第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂが配設される。
【００２４】
第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂの下流近傍には、略使用済みの感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの後端と、新たに使用される感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの先端とを貼り付けるそれぞれの貼り付け台４９が配設される。貼り付け台４９の下流には、感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂの巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端末位置検出器５１が配設される。ここで、フイルム端末位置調整は、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂを幅方向に移動させて行うが、ローラを組み合わせた位置調整機構を付設して行ってもよい。なお、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂは、感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂを装填して感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを繰り出す繰り出し軸を、２軸又は３軸等の多軸に構成してもよい。
【００２５】
第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂに収容巻回されている各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂのロール径を算出するためのローラ対５０の下流に配置される。第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、それぞれ単一の丸刃５２を備え、この丸刃５２は、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に走行して前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの所定の位置にハーフカット部位３４を形成する。
【００２６】
図２に示すように、ハーフカット部位３４は、少なくとも保護フイルム３０を切断する必要があり、実際上、この保護フイルム３０を確実に切断するために感光性樹脂層２８乃至ベースフイルム２６まで切り込むように丸刃５２の切り込み深さが設定される。丸刃５２は、回転することなく固定された状態で、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に移動してハーフカット部位３４を形成する方式や、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂ上を滑ることなく回転しながら前記幅方向に移動して前記ハーフカット部位３４を形成する方式が採用される。このハーフカット部位３４は、丸刃５２に代替して、例えば、レーザ光や超音波を用いたカット方式の他、ナイフ刃、押し切り刃（トムソン刃）等で形成する方式を採用してもよい。
【００２７】
なお、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、それぞれ感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの搬送方向（矢印Ａ方向）に所定の距離だけ離間して２台配設し、残存部分３０ｂを挟んで２つのハーフカット部位３４を同時に形成してもよい。
【００２８】
ハーフカット部位３４は、例えば、両側のガラス基板２４にそれぞれ１０ｍｍずつ入り込んだ位置に設定される。ガラス基板２４間のハーフカット部位３４で挟まれた部分は、後述する貼り付け機構４６において感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。
【００２９】
第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂは、ガラス基板２４間に対応して保護フイルム３０の残存部分３０ｂを残すため、剥離側前方の剥離部分３０ａａと剥離側後方の剥離部分３０ａｂとを連結する接着ラベル３８を供給する。図２に示すように、保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを挟んで、先に剥離される部分を前方の剥離部分３０ａａとする一方、後に剥離される部分を後方の剥離部分３０ａｂとする。
【００３０】
図３に示すように、接着ラベル３８は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム３０と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル３８は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部（微粘着を含む）３８ａを有するとともに、この非接着部３８ａの両側、すなわち、前記接着ラベル３８の長手方向両端部に、前方の剥離部分３０ａａに接着される第１接着部３８ｂと、後方の剥離部分３０ａｂに接着される第２接着部３８ｃとを有する。
【００３１】
図１に示すように、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂは、それぞれ最大７枚の接着ラベル３８を所定間隔ずつ離間して貼り付け可能な吸着パッド５４ａ〜５４ｇを備えるとともに、前記吸着パッド５４ａ〜５４ｇによる前記接着ラベル３８の貼り付け位置には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを下方から保持するための受け台５６が昇降自在に配置される。
【００３２】
第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂは、上流側の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのタクト搬送と、下流側の前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの連続搬送との速度差を吸収するために、揺動自在なダンサーローラ６０を備える。第２リザーバ機構４２ｂには、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂから送り出される各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが貼り付け機構４６に至るまでの各搬送路長を同一に調整するためのダンサーローラ６１が配設される。
【００３３】
第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂの下流に配置される第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂは、それぞれ感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの送り出し側のテンション変動を遮断し、ラミネート時のテンションを安定化させるためのサクションドラム６２を備える。各サクションドラム６２の近傍には、剥離ローラ６３が配置されるとともに、この剥離ローラ６３を介して感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから剥離される保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを除いてそれぞれ保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる。
【００３４】
第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂの下流側には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂにテンションを付与可能な第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂが配設される。第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂは、それぞれシリンダ６８を備え、前記シリンダ６８の駆動作用下に、それぞれテンションダンサー７０が揺動変位することにより、各テンションダンサー７０が摺接する感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのテンションが調整可能である。
【００３５】
第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂは、レーザセンサやフォトセンサ等の光電センサ７２ａ、７２ｂを備えており、前記光電センサ７２ａ、７２ｂは、ハーフカット部位３４の楔状の溝形状部や、保護フイルム３０の厚さによる段差、あるいは、これらの組み合わせによる変化を直接検出し、この検出信号を境界位置信号とする。光電センサ７２ａ、７２ｂは、バックアップローラ７３ａ、７３ｂに対向して配置される。なお、光電センサ７２ａ、７２ｂに代えて、非接触変位計やＣＣＤカメラ等の画像検査手段等を用いてもよい。また、ＣＣＤカメラは、バックアップローラ７３ａ、７３ｂに対向しない位置に配置してもよい。
【００３６】
基板搬送機構４５は、ガラス基板２４を挟持するように配設される複数組の基板加熱部（例えば、ヒータ）７４と、このガラス基板２４を矢印Ｃ方向に搬送する搬送部７６とを備える。基板加熱部７４では、ガラス基板２４の温度を常時監視し、異常時には、搬送部７６の停止や警報を発生するとともに、異常情報を発信して異常なガラス基板２４を後工程でＮＧ排出、品質管理又は生産管理等に活用することができる。搬送部７６には、図示しないエア浮上プレートが配設され、ガラス基板２４が浮上されて矢印Ｃ方向に搬送される。ガラス基板２４の搬送は、ローラコンベアでも行える。
【００３７】
ガラス基板２４の温度測定は、基板加熱部７４内又は貼り付け位置直前で行うことが好ましい。測定方法としては、接触式（例えば、熱電対）の他、非接触式であってもよい。
【００３８】
基板加熱部７４の上流には、複数のガラス基板２４が収容される基板ストッカー７１が設けられる。この基板ストッカー７１に収容されている各ガラス基板２４は、ロボット７５のハンド部７５ａに設けられた吸着パッド７９に吸着されて取り出され、基板加熱部７４に挿入される。
【００３９】
基板加熱部７４の下流には、ガラス基板２４の先端に当接してこのガラス基板２４を保持するストッパ７７と、前記ガラス基板２４の先端位置を検出する位置センサ７８とが配設される。位置センサ７８は、ガラス基板２４が貼り付け位置に向かう途中でガラス基板先端を検出し、そこから定量送ることで、ラミネート用ゴムローラ８０ａ、８０ｂ間の所定の位置に位置決めするためにある。ここで、位置センサ７８は、複数個配設して各位置におけるガラス基板２４の到着タイミングを監視し、基板搬送開始時のスリップ等による遅れをチェックするのが好ましい。なお、ガラス基板２４の加熱は、上記のような搬送加熱の他、バッチ式のオーブンを使用してロボット搬送してもよい。
【００４０】
貼り付け機構４６は、上下に配設されるとともに、所定温度に加熱されるゴムローラ８０ａ、８０ｂを備える。ゴムローラ８０ａ、８０ｂには、バックアップローラ８２ａ、８２ｂが摺接するとともに、前記バックアップローラ８２ｂは、ローラクランプ部８３を構成する加圧シリンダ８４ａ、８４ｂによりゴムローラ８０ｂ側に押圧される。
【００４１】
ゴムローラ８０ａの近傍には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが前記ゴムローラ８０ａに接触することを防止するための接触防止ローラ８６が移動可能に配設される。貼り付け機構４６の上流近傍には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを予め所定温度に予備加熱するための予備加熱部８７が配設される。この予備加熱部８７は、例えば、赤外線バーヒータ等の加熱手段を備える。
【００４２】
ガラス基板２４は、貼り付け機構４６から搬送路８８を介して矢印Ｃ方向に搬送される。この搬送路８８には、フイルム搬送ローラ９０ａ、９０ｂと基板搬送ローラ９２とが配設される。ゴムローラ８０ａ、８０ｂと基板搬送ローラ９２との間隔は、ガラス基板２４の一枚分の長さ以下に設定されることが好ましい。
【００４３】
貼り付け機構４６の下流に、冷却機構１２２とベース自動剥離機構１４２とが本実施形態に係るプレ剥離装置１４４を挟んで設けられる。ベース自動剥離機構１４２は、各ガラス基板２４が所定間隔ずつ離間して貼り付けられている長尺なベースフイルム２６を連続して剥離するものであり、剥離ローラ１４６と巻き取り軸１４８とを備えている。巻き取り軸１４８は、駆動時にトルク制御してベースフイルム２６に張力を付与する一方、例えば、剥離ローラ１４６に張力検出器（図示せず）を設けることにより、張力のフィードバック制御を行うことが好ましい。
【００４４】
ベース自動剥離機構１４２は、図示しないアクチュエータを介して矢印Ｃ方向に進退可能である。剥離ローラ１４６又はその直前でフイルム面を３０℃〜１２０℃程度まで再加熱することにより、剥離時の色材層の剥がれが阻止されて、高品質なラミネート面を得ることができる。
【００４５】
プレ剥離装置１４４は、図４に示すように、ガラス基板２４間に露呈する保護フイルム３０の残存部分３０ｂを押圧して前記残存部分３０ｂをハーフカット部位３４に対応する感光性樹脂層２８と一体に前記ガラス基板２４から剥離させる剥離部材１５０と、前記剥離部材１５０の矢印Ｃ方向（基板搬送方向）に進退可能な移動機構１５２と、前記剥離部材１５０による前記残存部分３０ｂの押圧位置を検出するための検出器、例えば、ＣＣＤカメラ１５４（図１参照）とを備える。
【００４６】
移動機構１５２は、図４に示すように、矢印Ｃ方向に進退可能な一軸ロボット１５６を備え、この一軸ロボット１５６に連結されるケーシング１５８は、ガイドレール（例えば、ＬＭガイド）１６０を介して矢印Ｃ方向に進退可能に配置される。
【００４７】
ケーシング１５８には、複数の受けローラ１６２が回転自在に装着されており、前記受けローラ１６２間には、図４及び図５に示すように、左右一対の昇降シリンダ１６４ａ、１６４ｂが配置される。
【００４８】
各昇降シリンダ１６４ａ、１６４ｂから上方に延在するロッド１６６ａ、１６６ｂには、フレーム１６８ａ、１６８ｂが揺動自在に支持され、各フレーム１６８ａ、１６８ｂは、連結部１６９を介して互いに連結される。フレーム１６８ａ、１６８ｂには、剥離部材１５０を構成する剥離板１７０ａ、１７０ｂが固着されるとともに、各剥離板１７０ａ、１７０ｂは、残存部分３０ｂに接する複数の押圧部である波形状先端部１７２ａ、１７２ｂを設ける。剥離板１７０ａ、１７０ｂ間、すなわち、剥離部材１５０の幅方向（矢印Ｄ方向）に分割された部分には、ガラス基板２４が存在するか否かを検出する基板検出器１７４が配設される。
【００４９】
基板検出器１７４は、シリンダ（アクチュエータ）１７６を備え、このシリンダ１７６から上方に延在するロッド１７６ａに接触型センサ１７８ａ、１７８ｂが設けられる（図５参照）。接触型センサ１７８ａ、１７８ｂは、上昇端位置において、ガラス基板２４に接触する高さ以上の位置に設定される。
【００５０】
剥離部材１５０がガラス基板２４間の押圧位置に配置される際には、接触型センサ１７８ａ、１７８ｂは、前記ガラス基板２４及び残存部分３０ｂのいずれにも接触することがない。一方、ガラス基板２４間の押圧位置に対して剥離部材１５０の位置がずれている際には、接触型センサ１７８ａが上流側ガラス基板２４の後端部に、又は、前記接触型センサ１７８ｂが下流側ガラス基板２４の先端部に接触する。
【００５１】
図４に示すように、剥離部材１５０は、昇降シリンダ１６４ａ、１６４ｂを介してガラス基板２４の残存部分３０ｂが設けられる一方の面とは反対の他方の面１７９から高さＨ（７ｍｍ〜１５ｍｍ）の範囲内で前記残存部分３０ｂ側に進退可能である。受けローラ１６２とガラス基板２４の他方の面１７９までの深さＤは、１ｍｍ〜５ｍｍの範囲内に設定される。
【００５２】
図５に示すように、各剥離板１７０ａ、１７０ｂの波形状先端部１７２ａ、１７２ｂは、残存部分３０ｂ側に突出する山部同士の距離Ｌ１が２０ｍｍ〜５０ｍｍの範囲内に設定されるとともに、前記山部と谷部との距離Ｌ２が３ｍｍ〜６ｍｍの範囲内に設定される。
【００５３】
図４に示すように、ケーシング１５８には、剥離ローラ１４６側からベースフイルム２６に接触可能な基板持ち上がり防止用押さえ部材１７７が装着される。この押さえ部材１７７は、剥離部材１５０による残存部分３０ｂの押し上げ時に、ガラス基板２４が必要以上に押し上げられることを阻止する機能を有している。なお、押さえ部材１７７は、図示しないが、例えば、シリンダを介して昇降自在に構成し、剥離部材１５０の押し上げ時に前記押さえ部材１７７をベースフイルム２６に接触させてガラス基板２４の変位を可及的に抑制することもできる。
【００５４】
図１に示すように、ベース自動剥離機構１４２の下流には、ガラス基板２４に実際に貼り付けられた感光性樹脂層２８のエリア位置を測定する測定器１８０が配設される。この測定器１８０は、例えば、ＣＣＤ等のカメラ１８２を備え、感光性樹脂層２８が貼り付けられたガラス基板２４を撮影するために前記カメラ１８２が配設される。
【００５５】
ベース剥離機構１２４の下流には、複数の感光性積層体２０８が収容される感光性積層体ストッカー１９０が設けられる。ベース自動剥離機構１４２で貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６及び残存部分３０ｂが剥離された感光性積層体２０８は、ロボット１９２のハンド部１９２ａに設けられた吸着パッド１９４に吸着されて取り出され、感光性積層体ストッカー１９０に収容される。
【００５６】
製造装置２０では、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂ、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂ、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂ、第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂ、第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂ、第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂ並びに第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂが、貼り付け機構４６の上方に配置されているが、これとは逆に、前記第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂから前記第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂまでを前記貼り付け機構４６の下方に配置し、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの上下が逆になって感光性樹脂層２８がガラス基板２４の下側に貼り付けてもよく、また、前記製造装置２０全体を直線上に構成してもよい。
【００５７】
製造装置２０は、ラミネート工程制御部２００を介して全体制御されており、この製造装置２０の各機能部毎に、例えば、ラミネート制御部２０２、基板加熱制御部２０４及びベース剥離制御部２０６等が設けられ、これらが工程内ネットワークにより繋がっている。ラミネート工程制御部２００は、工場ネットワークに繋がっており、図示しない工場ＣＰＵからの指示情報（条件設定や生産情報）の生産管理や稼動管理等、生産のための情報処理を行う。
【００５８】
基板加熱制御部２０４は、上流工程からガラス基板２４を受け入れ、このガラス基板２４を所望の温度まで加熱して貼り付け機構４６に供給する動作及び該ガラス基板２４の情報のハンドリング等を制御する。
【００５９】
ラミネート制御部２０２は、工程全体のマスターとして、各機能部の制御を行うものであり、第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂにより検出された感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのハーフカット部位３４の位置情報に基づいて、貼り付け位置における各境界位置とガラス基板２４との相対位置及び各境界位置同士の相対位置を制御可能な制御機構を構成している。
【００６０】
ベース剥離制御部２０６は、貼り付け機構４６から供給される貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６を剥離し、さらに下流工程に感光性積層体２０８を排出する動作の制御を行うとともに、前記貼り付け基板２４ａ及び前記感光性積層体２０８の情報をハンドリング制御する。
【００６１】
ベース剥離制御部２０６は、さらにＣＣＤカメラ１５４により撮像された貼り付け基板２４ａの画像情報に基づいてガラス基板２４間の押圧位置を測定し、前記ガラス基板２４が停止する際の前記押圧位置を演算する。この演算結果に基づいて、剥離部材１５０のプレ剥離用停止位置が得られ、移動機構１５２が制御される。
【００６２】
製造装置２０内は、仕切り壁２１０を介して第１クリーンルーム２１２ａと第２クリーンルーム２１２ｂとに仕切られる。第１クリーンルーム２１２ａには、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂから第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂまでが収容されるとともに、第２クリーンルーム２１２ｂには、第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂ以降が収容される。第１クリーンルーム２１２ａと第２クリーンルーム２１２ｂとは、貫通部２１４を介して連通する。
【００６３】
このように構成される製造装置２０の動作について、以下に説明する。
【００６４】
先ず、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂに取り付けられている各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂから感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが送り出される。感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂに搬送される。
【００６５】
第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂでは、丸刃５２が感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に移動して、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを保護フイルム３０から感光性樹脂層２８乃至ベースフイルム２６まで切り込んでハーフカット部位３４を形成する（図２参照）。さらに、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、図１に示すように、保護フイルム３０の残存部分３０ｂの寸法に対応して矢印Ａ方向に搬送された後に停止され、丸刃５２の走行作用下にハーフカット部位３４が形成される。これにより、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂには、残存部分３０ｂを挟んで前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとが設けられる（図２参照）。
【００６６】
次いで、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂに搬送されて、保護フイルム３０の所定の貼り付け部位が受け台５６上に配置される。第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂでは、所定枚数の接着ラベル３８が吸着パッド５４ａ〜５４ｇにより吸着保持され、各接着ラベル３８が保護フイルム３０の残存部分３０ｂを跨いで、前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとに一体的に接着される（図３参照）。
【００６７】
例えば、７本の接着ラベル３８が接着された感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、図１に示すように、第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂを介して送り出し側のテンション変動を防いだ後、第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂに連続的に搬送される。第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂでは、図６に示すように、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのベースフイルム２６がサクションドラム６２に吸着保持されるとともに、保護フイルム３０が残存部分３０ｂを残して前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから剥離される。この保護フイルム３０は、剥離ローラ６３を介して剥離されて保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる（図１参照）。
【００６８】
第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂの作用下に、保護フイルム３０が残存部分３０ｂを残してベースフイルム２６から剥離された後、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂによってテンション調整が行われ、さらに第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂで光電センサ７２ａ、７２ｂによりハーフカット部位３４の検出が行われる。
【００６９】
各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、ハーフカット部位３４の検出情報に基づいて、フイルム搬送ローラ９０ａ、９０ｂの回転作用下に、それぞれ貼り付け機構４６に定量搬送される。一方、ガラス基板２４は、基板搬送機構４５の作用下に、予め加熱された状態で貼り付け位置に搬送される。このガラス基板２４は、並列されている感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの感光性樹脂層２８の貼り付け部分に対応してゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に一旦配置される。
【００７０】
この状態で、バックアップローラ８２ｂ及びゴムローラ８０ｂを上昇させることにより、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ間にガラス基板２４が所定のプレス圧力で挟み込まれる。さらに、ゴムローラ８０ａの回転作用下に、このガラス基板２４には、並列されている各感光性樹脂層２８が転写（ラミネート）される。
【００７１】
ここで、ラミネート条件としては、速度が１．０ｍ／ｍｉｎ〜１０．０ｍ／ｍｉｎ、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの温度が９０℃〜１４０℃、前記ゴムローラ８０ａ、８０ｂのゴム硬度が４０度〜９０度、該ゴムローラ８０ａ、８０ｂのプレス圧（線圧）が５０Ｎ／ｃｍ〜４００Ｎ／ｃｍである。
【００７２】
ゴムローラ８０ａ、８０ｂを介してガラス基板２４に感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの一枚分のラミネートが終了すると、前記ゴムローラ８０ａの回転が停止される一方、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂがラミネートされた前記ガラス基板２４、すなわち、貼り付け基板２４ａが基板搬送ローラ９２によりクランプされる。
【００７３】
そして、ゴムローラ８０ｂが、ゴムローラ８０ａから離間する方向に退避してクランプが解除されるとともに、基板搬送ローラ９２の回転が開始されて、貼り付け基板２４ａが矢印Ｃ方向に定量搬送され、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの基板間位置がゴムローラ８０ａの下方付近の所定位置に移動する。一方、基板搬送機構４５を介して次なるガラス基板２４が貼り付け位置に向かって搬送される。
【００７４】
この次なるガラス基板２４の先端がゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に配置されると、前記ゴムローラ８０ｂが上昇して、前記ゴムローラ８０ａ、８０ｂにより前記次なるガラス基板２４と感光性ウエブ２２ａ、２２ｂとがクランプされる。そして、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ及び基板搬送ローラ９２の回転作用下にラミネートが開始されるとともに、貼り付け基板２４ａが矢印Ｃ方向に搬送される。
【００７５】
その際、貼り付け基板２４ａは、図４に示すように、それぞれの端部同士が残存部分３０ｂによって覆われている。従って、感光性樹脂層２８がガラス基板２４に転写される際、ゴムローラ８０ａ、８０ｂが前記感光性樹脂層２８により汚れることがない。
【００７６】
一方、ラミネート時の熱によって、感光性樹脂層２８のハーフカット部位３４に液だれが惹起し、前記感光性樹脂層２８がガラス基板２４に接着されるおそれがある。これにより、貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６を剥離する際に、ハーフカット部位３４に対応してガラス基板２４に接着する感光性樹脂層２８及び残存部分３０ｂが前記ガラス基板２４から剥離されない場合がある。
【００７７】
ここで、本実施形態では、貼り付け機構４６でラミネートされた貼り付け基板２４ａは、冷却機構１２２を通って冷却された後、プレ剥離装置１４４に移送される。このプレ剥離装置１４４では、貼り付け基板２４ａが一旦停止すると、先ず、図５に示すように、基板検出器１７４を構成するシリンダ１７６が駆動され、ロッド１７６ａと一体に接触型センサ１７８ａ、１７８ｂが所定の上昇端位置まで上昇する。
【００７８】
接触型センサ１７８ａ、１７８ｂの上昇端位置は、ガラス基板２４の底面（他方の面１７９）以上の位置に設定されている。従って、接触型センサ１７８ａ、１７８ｂのいずれもがガラス基板２４に接触しない場合には、前記ガラス基板２４間の押圧位置が、剥離部材１５０の昇降範囲（移動範囲）内に対応して配置されていると判断される。
【００７９】
そこで、シリンダ１７６を介して基板検出器１７４が退避位置まで下降する一方、昇降シリンダ１６４ａ、１６４ｂが駆動される。このため、ロッド１６６ａ、１６６ｂと一体的にフレーム１６８ａ、１６８ｂが上昇し、前記フレーム１６８ａ、１６８ｂに固定されている剥離板１７０ａ、１７０ｂは、ガラス基板２４間に挿入されて残存部分３０ｂを鉛直上方向に押圧する（図７参照）。
【００８０】
このため、ガラス基板２４間に露呈する残存部分３０ｂは、ハーフカット部位３４に対応して前記ガラス基板２４に接着し易い感光性樹脂層２８と一体に前記ガラス基板２４から剥離される。その際、剥離部材１５０は、残存部分３０ｂを挟んで上流側のガラス基板２４の後端部分に近接して配置されており、特にこの上流側のガラス基板２４の後端部に接着され易い感光性樹脂層２８を確実に剥離することができる。
【００８１】
なお、上記のように、剥離部材１５０が上昇して残存部分３０ｂを両ガラス基板２４から剥離する際、ベース自動剥離機構１４２では、剥離ローラ１４６が矢印Ｃ方向とは逆方向（矢印Ｃ１方向）に移動している（図７参照）。そして、プレ剥離終了後に、巻き取り軸１４８の回転作用下に、貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６が連続して巻き取られる（図１参照）。
【００８２】
この場合、本実施形態では、ＣＣＤカメラ１５４を介して、貼り付け基板２４ａの画像情報、すなわち、ガラス基板２４間の画像情報が得られ、この画像情報はベース剥離制御部２０６に送られる。
【００８３】
ベース剥離制御部２０６では、上記の画像情報に基づいて、ガラス基板２４間の押圧位置を測定し、プレ剥離装置１４４において前記ガラス基板２４が停止する際の前記押圧位置が演算される。この演算結果に基づいて、一軸ロボット１５６が矢印Ｃ方向、あるいは、矢印Ｃ方向とは反対方向に位置調整され、剥離部材１５０は、プレ剥離用停止位置に配置されている。
【００８４】
このため、剥離部材１５０は、ガラス基板２４に接触することがなく、前記ガラス基板２４間に露呈する残存部分３０ｂを確実に押圧することができ、ハーフカット部位３４に対応して前記残存部分３０ｂに積層されている感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４から良好に剥離することが可能になる。これにより、特に上流側のガラス基板２４の後端部から残存部分３０ｂ及びハーフカット部位３４に対応する感光性樹脂層２８をプレ剥離することができ、ベース自動剥離機構１４２によりベースフイルム２６をガラス基板２４から剥離する際に、前記残存部分３０ｂ及びハーフカット部位３４に対応する感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４から容易且つ確実に剥離することが可能になるという効果が得られる。
【００８５】
さらに、剥離部材１５０は、図５に示すように、２つの剥離板１７０ａ、１７０ｂに分割されるとともに、前記剥離板１７０ａ、１７０ｂは、波形状先端部１７２ａ、１７２ｂを設けている。その際、波形状先端部１７２ａ、１７２ｂは山部同士の距離Ｌ１が２０ｍｍ〜５０ｍｍの範囲内で設定されるとともに、前記山部と谷部との距離Ｌ２が３ｍｍ〜６ｍｍの間に設定されている。
【００８６】
従って、波形状先端部１７２ａ、１７２ｂが、残存部分３０ｂに接触する際、この残存部分３０ｂに対して幅方向に沿って大きな荷重を断続的に且つ集中して付与することができ、前記残存部分３０ｂ及びハーフカット部位３４に対応する感光性樹脂層２８を一層確実に剥離することが可能になる。その際、剥離部材１５０は、ガラス基板２４の底面（他方の面１７９）から上方に高さＨ（７ｍｍ〜１５ｍｍ）の範囲内で進退しており、残存部分３０ｂの剥離が良好に遂行される。
【００８７】
ここで、各剥離板１７０ａ、１７０ｂは、それぞれ個別の昇降シリンダ１６４ａ、１６４ｂを介して昇降自在である。このため、昇降シリンダ１６４ａ、１６４ｂを駆動制御することにより、例えば、図８に示すように、剥離板１７０ａ、１７０ｂを傾斜させた状態で上昇させることも可能である。
【００８８】
さらにまた、本実施形態では、剥離板１７０ａ、１７０ｂ間に基板検出器１７４が配設されている。そして、剥離部材１５０の上昇に先立って、先ず、シリンダ１７６の駆動作用下に、接触型センサ１７８ａ、１７８ｂが上昇し、前記剥離部材１５０の上昇範囲内にガラス基板２４が存在するか否かが検査されている。
【００８９】
従って、接触型センサ１７８ａ、１７８ｂによりガラス基板２４が存在しないことが検出された後、剥離部材１５０を上昇させれば、この剥離部材１５０がガラス基板２４に接触することを可及的に阻止することができる。これにより、ガラス基板２４の割れや前記ガラス基板２４のがたつき等を阻止し、ベースフイルム２６及び残存部分３０ｂの連続剥離が安定して遂行され、稼働率の向上が図られるという利点がある。
【００９０】
ところで、ベースフイルム２６が剥離されたガラス基板２４は、測定器１８０に対応する検査ステーションに配置される。この検査ステーションでは、ガラス基板２４が位置決め固定された状態で、カメラ１８２によりガラス基板２４と感光性樹脂層２８の画像を取り込む。そして、画像処理が施されることにより、貼り付け位置が演算されるとともに、貼り付け状態が検査される。その後、感光性積層体２０８は、ロボット１９２を介して感光性積層体ストッカー１９０に収容される。
【００９１】
なお、本実施形態では、２本の感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂを用いているが、これに限定されるものではなく、１本の感光性ウエブロールや、３本以上の感光性ウエブロールを採用してもよい。
【００９２】
また、本実施形態では、各剥離板１７０ａ、１７０ｂが、複数の押圧部として波形状先端部１７２ａ、１７２ｂを設けているが、これに限定されるものではない。例えば、複数の押圧部として、図９に示すように、端部にＲを有する鋸刃状の三角形先端部２２０を採用してもよく、また、図１０に示すように、端部にＲを有する櫛歯状の先端部２２２を採用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００９３】
【図１】本発明の実施形態に係るプレ剥離装置を組み込む感光性積層体の製造装置の概略構成図である。
【図２】前記製造装置に使用される長尺状感光性ウエブの断面図である。
【図３】前記長尺状感光性ウエブに接着ラベルが接着された状態の説明図である。
【図４】前記プレ剥離装置の構成説明図である。
【図５】前記プレ剥離装置の側面説明図である。
【図６】前記長尺状感光性ウエブから保護フイルムを剥離する際の説明図である。
【図７】前記プレ剥離装置の動作説明図である。
【図８】剥離部材の動作の一例を説明する図である。
【図９】押圧部の別の形状の説明図である。
【図１０】押圧部のさらに別の形状の説明図である。
【符号の説明】
【００９４】
２０…製造装置                    ２２ａ、２２ｂ…感光性ウエブ
２３ａ、２３ｂ…感光性ウエブロール
２４…ガラス基板                  ２６…ベースフイルム
２８…感光性樹脂層                ３０…保護フイルム
３２ａ、３２ｂ…ウエブ送り出し機構
４０ａ、４０ｂ…ラベル接着機構    ４４ａ、４４ｂ…剥離機構
４５…基板搬送機構                ４６…貼り付け機構
６３、１４６…剥離ローラ          ８０ａ、８０ｂ…ゴムローラ
１４２…ベース自動剥離機構        １４４…プレ剥離装置
１５０…剥離部材                  １５２…移動機構
１５４…ＣＣＤカメラ              １６２…受けローラ
１６４ａ、１６４ｂ…昇降シリンダ  １７０ａ、１７０ｂ…剥離板
１７２ａ、１７２ｂ…波形状先端部  １７４…基板検出器
１７６…シリンダ                  １７８ａ、１７８ｂ…接触型センサ
【図１】
2008107728.tif 000003
【図２】
2008107728.tif 000004
【図３】
2008107728.tif 000005
【図４】
2008107728.tif 000006
【図５】
2008107728.tif 000007
【図６】
2008107728.tif 000008
【図７】
2008107728.tif 000009
【図８】
2008107728.tif 000010
【図９】
2008107728.tif 000011
【図１０】
2008107728.tif 000012