(57)【要約】【課題】  安定した膜質の金属酸化物膜を低コストで成膜させる金属酸化物成膜装置を提供することを目的とする。【解決手段】  金属酸化物成膜装置１０は、基材２の表面に金属酸化物を成膜させる原料ガスを発生する気化器４と、基材２を収容し、気化器４により発生した原料ガスを基材２の表面に蒸着させる反応容器６と、反応容器６へ原料ガスを搬送する空気を供給する空気吸込み口８と、空気の湿度を調整するエアドライヤ１２とを備える。【選択図】  図１
2008138244.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材の表面に金属酸化物膜を成膜させる原料ガスを発生する気化器と、
前記基材を収容し、前記気化器により発生した前記原料ガスを前記基材の表面に蒸着させる反応容器と、
該反応容器へ前記原料ガスを搬送する空気を供給する空気供給手段と、
前記空気の湿度を調整する湿度調整手段とを備える金属酸化物成膜装置。
【請求項２】
前記原料ガスを前記反応容器へ搬送するキャリアガスを供給するキャリアガス供給手段と、
前記空気供給手段により供給される空気と前記キャリアガス供給手段により供給されるキャリアガスとを切り替える切替手段とを備え、
前記キャリアガスが窒素ガスまたは不活性ガスを含む請求項１に記載の金属酸化物成膜装置。
【請求項３】
窒素ガスまたは不活性ガスを含むキャリアガスを供給するキャリアガス供給手段と、
前記空気供給手段により供給された空気と前記キャリアガス供給手段により供給されたキャリアガスとを混合する混合手段とを備え、
前記原料ガスが、前記空気と前記キャリアガスとの混合ガスにより、前記反応容器へ搬送される請求項１に記載の金属酸化物成膜装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかの金属酸化物成膜装置により成膜された金属酸化物膜を備える圧縮機。
【請求項５】
基材の表面に金属酸化物を成膜させる原料ガスを発生させる気化工程と、
該気化工程により発生した前記原料ガスを前記基材の表面に蒸着させる反応工程と、
該反応工程へ前記原料ガスを搬送する空気を供給する空気供給工程と、
前記空気の湿度を調整する湿度調整工程とを備える金属酸化物成膜方法。
【請求項６】
前記原料ガスを前記反応工程へ搬送するキャリアガスを供給するキャリアガス供給工程と、
前記空気供給工程と前記キャリアガス供給工程とを切り替える切替工程とを備え、
前記キャリアガスが窒素ガスまたは不活性ガスを含む請求項５に記載の金属酸化物成膜方法。
【請求項７】
窒素ガスまたは不活性ガスを含むキャリアガスを供給するキャリアガス供給工程と、
前記空気供給工程により供給された空気と前記キャリアガス供給工程により供給されたキャリアガスとを混合する混合工程とを備え、
前記原料ガスが、前記空気と前記キャリアガスとの混合ガスにより、前記反応工程へ搬送される請求項５に記載の金属酸化物成膜方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属酸化物蒸着皮膜形成方法に関し、特に圧縮機のケーシング等の腐食成分を含む気体に接し耐食性を求められる大型部品の耐食コーティングに用いられる場合等に適する金属酸化物蒸着皮膜を成膜させる金属酸化物成膜装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
圧縮機等回転機械は、腐食成分を含む気体が流通する環境で使用される場合があり、その場合、気体が直接接触するインペラ等の部品のみに限らずケーシング等の部品においても防食、耐食性のコーティングが求められる。そこで、大型機器部品の防食コーティングとして、特許文献１に示されるような大気開放型ＣＶＤ法による技術が知られている。特許文献１の技術を用いた装置によれば、気化させた酸化物膜の原料（有機金属錯体）を窒素や不活性ガス等のキャリアガスとともに高温に加熱して、基材表面に吹付けることにより、金属酸化物膜を基材表面に成膜させるようになっている。
【特許文献１】特開２００４−１６１６６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、特許文献１の技術によれば、原料ガスを含む混合ガスをノズルから噴射して基材表面に吹付けることとしているため、例えば、直径１メートルを超えるような大型品へ成膜するのには適さない。また、複雑な形状の基材にも対応し難く、膜厚の制御も難しいほか、原料ガスの歩留まりが悪いという問題がある。さらに、窒素ガスや例えばＡｒ等の不活性ガスをキャリアガスとして採用すると、コストがかかるとともに、経験的に成膜速度が遅いという問題がある。
【０００４】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、安定した膜質の金属酸化物（セラミックス）膜を低コストで成膜させる金属酸化物成膜装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本発明の金属酸化物成膜装置は以下の手段を採用する。
すなわち、本発明に係る金属酸化物成膜装置は、基材の表面に金属酸化物膜を成膜させる原料ガスを発生する気化器と、前記基材を収容し、前記気化器により発生した前記原料ガスを前記基材の表面に蒸着させる反応容器と、該反応容器へ前記原料ガスを搬送する空気を供給する空気供給手段と、前記空気の湿度を調整する湿度調整手段とを備えることを特徴とする。
【０００６】
本発明によれば、気化器により、基材の表面に蒸着される原料ガスが発生され、空気供給手段により供給された空気によって、原料ガスが反応容器へ搬送される。そして、反応容器へ搬送された原料ガスが、反応容器に収容されている基材の周囲で酸化分解されて、蒸着反応を起こすことにより、基材表面に金属酸化物膜が成膜される。この場合に、湿度調整手段により、原料ガスを搬送する空気の湿度が調整されるので、原料ガスとともに反応容器へ搬入される水蒸気量を制御することができる。これにより、反応容器内の混合ガス中の水分変動が生じるのを防ぎ、基材表面に成膜される金属酸化物膜の膜質を安定させることができる。また、原料ガスの搬送に空気を用いることで、コストの低減を図ることができるとともに、空気に含まれる水蒸気によって原料ガスの酸化分解・蒸着反応が促進されるので、成膜速度を早めることができる。したがって、成膜速度が速く、安定した膜質の金属酸化物膜を低コストで成膜させることが可能となる。
【０００７】
上記発明においては、前記原料ガスを前記反応容器へ搬送するキャリアガスを供給するキャリアガス供給手段と、前記空気供給手段により供給される空気と前記キャリアガス供給手段により供給されるキャリアガスとを切り替える切替手段とを備え、前記キャリアガスが窒素ガスまたは不活性ガスを含むこととしてもよい。
【０００８】
このような構成によれば、切替手段の作動により、原料ガスを反応容器へ搬送するための空気とキャリアガスとを切り替えることができる。これにより、原料ガスが空気によって搬送されると、原料ガスが湿度を調整された空気との混合ガスとなって酸化分解され、基材表面に金属酸化物が蒸着される。この場合、コストを抑えて、成膜速度が速く安定した膜質の金属酸化物膜を成膜させることができる。
また、原料ガスがキャリアガスによって搬送されると、原料ガスが、窒素ガスとの混合ガスまたは不活性ガスとの混合ガスとなって酸化分解され、基材表面に金属酸化物が蒸着される。この場合、気孔が小さく膜質が密とされた金属酸化物膜を成膜させることができる。
したがって、基材表面に成膜させる金属酸化物膜の成膜速度と膜質をコントロールすることができる。その結果、例えば、先に原料ガスをキャリアガスによって搬送して、基材表面に質の良い密な金属酸化物膜を成膜させた後、原料ガスを空気によって搬送して、その上から低コストで安定した膜質の金属酸化物膜を成膜させることにより、耐摩耗性を付与しつつ、成膜速度の向上およびコストの低減を図ることが可能となる。
【０００９】
また、上記発明においては、窒素ガスまたは不活性ガスを含むキャリアガスを供給するキャリアガス供給手段と、前記空気供給手段により供給された空気と前記キャリアガス供給手段により供給されたキャリアガスとを混合する混合手段とを備え、前記原料ガスが、前記空気と前記キャリアガスとの混合ガスにより、前記反応容器へ搬送されることとしてもよい。
【００１０】
このような構成によれば、混合手段の作動により、空気とキャリアガス、すなわち、湿度を調整された空気と窒素ガス、または、湿度を調整された空気と不活性ガスが予め混合される。そして、この混合ガスによって、原料ガスが反応容器へ搬送されて、基材の周囲で酸化分解されることにより、基材の表面に金属酸化物が蒸着されて、金属酸化物膜が成膜される。この場合に、混合手段により混合される空気量と窒素ガス量、または、空気量と不活性ガス量を調整することにより、耐摩耗性を確保しつつ、窒素ガスまたは不活性ガスの量を節約して、コストの低減を図ることが可能となる。また、空気と不活性ガスとを予め混合した混合ガスによって原料ガスを搬送し、金属酸化物を蒸着させることで、一様な層の金属酸化物膜を成膜させて、応力割れを防ぐことができる。
【００１１】
また、上記発明においては、上記金属酸化物成膜装置により成膜された金属酸化物膜が圧縮機に備えられていてもよい。
このような構成によれば、圧縮機が、成膜速度が早く、低コストで膜質のよい金属酸化物膜によってコーティングされる。したがって、腐食環境で使用される圧縮機の耐食性を低コストで向上させることができる。
【００１２】
本発明に係る金属酸化物成膜方法は、基材の表面に金属酸化物を成膜させる原料ガスを発生させる気化工程と、該気化工程により発生した前記原料ガスを前記基材の表面に蒸着させる反応工程と、該反応工程へ前記原料ガスを搬送する空気を供給する空気供給工程と、前記空気の湿度を調整する湿度調整工程とを備えることを特徴とする。
【００１３】
本発明によれば、気化工程により、基材の表面に蒸着される原料ガスが発生され、空気供給工程により供給された空気によって、原料ガスが反応工程へ搬送される。そして、反応工程へ搬送された原料ガスが、基材の周囲で酸化分解されて、蒸着反応を起こすことにより、基材表面に金属酸化物膜が成膜される。この場合に、湿度調整工程により、原料ガスを搬送する空気の湿度が調整されるので、原料ガスとともに反応工程へ搬入される水蒸気量を制御することができる。これにより、反応工程において混合ガス中の水分変動が生じるのを防ぎ、基材表面に成膜される金属酸化物の膜質を安定させることができる。また、原料ガスの搬送に空気を用いることで、コストの低減を図ることができるとともに、空気に含まれる水蒸気によって原料ガスの酸化分解・蒸着反応が促進されるので、成膜速度を早めることができる。したがって、成膜速度が速く、安定した膜質の金属酸化物膜を低コストで成膜させることが可能となる。
【００１４】
上記発明においては、前記原料ガスを前記反応工程へ搬送するキャリアガスを供給するキャリアガス供給工程と、前記空気供給工程と前記キャリアガス供給工程とを切り替える切替工程とを備え、前記キャリアガスが窒素ガスまたは不活性ガスを含むこととしてもよい。
【００１５】
このような構成によれば、切替工程により、原料ガスを反応工程へ搬送するための空気とキャリアガスとを切り替えることができる。これにより、原料ガスが空気によって搬送されると、原料ガスが湿度を調整された空気との混合ガスとなって酸化分解され、基材表面に金属酸化物が蒸着される。この場合、コストを抑えて、成膜速度が速く安定した膜質の金属酸化物膜を成膜させることができる。また、原料ガスがキャリアガスによって搬送されると、原料ガスが、窒素ガスとの混合ガスまたは不活性ガスとの混合ガスとなって酸化分解され、基材表面に金属酸化物が蒸着される。この場合、気孔が小さく膜質が密の金属酸化物膜を成膜させることができる。したがって、基材表面に成膜させる金属酸化物の成膜速度と膜質をコントロールすることができる。その結果、例えば、先に原料ガスをキャリアガスによって搬送して、基材表面に質の良い金属酸化物膜を成膜させた後、原料ガスを空気によって搬送して、その上から安定した膜質の金属酸化物膜を成膜させることにより、耐摩耗性を付与しつつ、成膜速度の向上およびコストの低減を図ることが可能となる。
【００１６】
また、上記発明においては、窒素ガスまたは不活性ガスを含むキャリアガスを供給するキャリアガス供給工程と、前記空気供給工程により供給された空気と前記キャリアガス供給工程により供給されたキャリアガスとを混合する混合工程とを備え、前記原料ガスが、前記空気と前記キャリアガスとの混合ガスにより、前記反応工程へ搬送されることとしてもよい。
【００１７】
このような構成によれば、混合工程において、空気とキャリアガス、すなわち、湿度を調整された空気と窒素ガス、または、湿度を調整された空気と不活性ガスが予め混合される。そして、この混合ガスによって、原料ガスが反応工程へ搬送されて、基材の周囲で酸化分解されることにより、基材の表面に金属酸化物が蒸着されて、金属酸化物が成膜される。この場合に、混合工程において混合される空気量と窒素ガス量、または、空気量と不活性ガス量を調整することにより、耐摩耗性を確保しつつ、窒素ガスまたは不活性ガスの量を節約して、コストの低減を図ることが可能となる。また、空気と不活性ガスとを予め混合した混合ガスによって原料ガスを搬送し、金属酸化物を蒸着させることで、一様な層の金属酸化物膜を成膜させて、応力割れを防ぐことができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、湿度調整手段により、原料ガスを搬送する空気の湿度を調整することとしたので、低コストで、成膜速度が速く安定した膜質の金属酸化物膜を成膜させることができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
［第一実施形態］
以下、本発明の第一実施形態に係る金属酸化物成膜装置１０について、図１を参照して説明する。
金属酸化物成膜装置１０は、基材２の表面に金属酸化物膜を成膜させる原料ガスを発生する気化器４と、基材２を収納し、前記気化器４により発生した原料ガスを基材２の表面に蒸着させる反応容器６と、該反応容器６へ気化器４から発生した原料ガスを搬送する空気を供給する空気吸込み口（空気供給手段）８と、該空気吸込み口８から供給された空気の湿度を調整するエアドライヤ（湿度調整手段）１２とを備えている。
【００２０】
気化器４は、図示しないヒータによって、金属酸化物膜の原料となる、例えば、アルキル金属やアルコキシド等の有機金属錯体等を気化温度まで加熱して蒸発させ、原料ガスを発生させるようになっている。
【００２１】
反応容器６は、例えば、ガスフィールド向けの圧縮機のインペラやケーシング等の基材２を収容するようになっている。この反応容器６には、複数の多孔板を備えた吸込み口１４が設けられており、反応容器６へ搬送された原料ガスは、吸込み口１４から容器内へ送り込まれるようになっている。また、反応容器６には、図示しない誘導加熱ヒータが設けられており、この誘導加熱ヒータにより基材２が加熱されるようになっている。これにより、加熱された基材２の表面上で集中的に原料ガスの酸化分解・蒸着反応を起きやすくすることができる。
なお、反応容器６は、反応後のガスが放出可能な開口部（図示せず）を有するように構成されている。
【００２２】
空気吸込み口８は、気化器４によって発生された原料ガスを反応容器６へ搬送するための空気を外部から吸い込んで、例えば、２０〜５０（ｌ／ｍｉｎ）の空気を気化器４へ供給するようになっている。
エアドライヤ１２は、空気吸込み口８と気化器４との間に設けられており、空気吸込み口８から送られた空気を通過させる際に、空気中の水分を適宜除去し、空気の湿度を調整するようになっている。これにより、原料ガスを反応容器６へ搬送する空気の湿度が適宜調整され、原料ガスと共に反応容器６へ搬入される空気中の水蒸気量が制御されるようになっている。このようにして、原料ガスが湿度を調整された空気によって反応容器６へ送られ、基材２の周囲で酸化分解されることにより、基材２の表面に金属酸化物が蒸着されて、金属酸化物膜が成膜されるようになっている。
【００２３】
このように構成された本実施形態に係る金属酸化物成膜装置１０の作用について説明する。
空気吸込み口８により、外部から吸い込まれた空気は、エアドライヤ１２を通過することにより、空気中の水分が除去されて、適宜湿度を調整された後、気化器４へと供給される。気化器４へ供給された空気は、気化器４において有機金属錯体等が蒸発されることにより発生した原料ガスと混合し、原料ガスと空気との混合ガスとなって反応容器６の吸込み口１４から反応容器６の中へ送り込まれる。
【００２４】
反応容器６では、基板２が誘導加熱ヒータによって加熱されており、反応容器６へ送り込まれた混合ガスは、基材２の周囲で集中的に酸化分解される。そして、基材２の表面上で原料ガスに含まれる金属成分の蒸着反応が起き、基材２の表面に金属酸化物膜が成膜される。
【００２５】
この場合に、原料ガスを搬送する空気の湿度をエアドライヤ１２によって調整することにより、原料ガスとともに反応容器６へ搬入される水蒸気量を制御することができる。これにより、反応容器６内の混合ガス中の水分変動が生じるのを防ぎ、基材２の表面に成膜される金属酸化物膜の膜質を安定させることができる。
【００２６】
また、気化器４により発生した原料ガスを空気によって反応容器６へ搬送することにより、コストの低減を図ることができる。そして、空気中に含まれる水蒸気によって原料ガスの酸化分解・蒸着反応が促進されることにより、基材２の表面に成膜される金属酸化物膜の成膜速度を速めることができる。
【００２７】
以上、本実施形態に係る金属酸化物成膜装置１０によれば、原料ガスを湿度を調整した空気によって反応容器６へ搬送し、原料ガスとともに反応容器６へ搬入される水蒸気量を制御することにより、成膜速度が速く、安定した膜質の金属酸化物膜を低コストで成膜させることが可能となる。
【００２８】
［第二実施形態］
次に、本発明の第二実施形態に係る金属酸化物成膜装置２０について、図２を用いて説明する。
本実施形態の説明において、上述した第一実施形態に係る金属酸化物成膜装置１０と構成を共通する箇所には、同一符号を付して説明を省略する。
本実施形態に係る金属酸化物成膜装置２０は、原料ガスを反応容器６へ搬送するためのキャリアガスを供給するキャリアガス供給手段２２と、空気吸込み口８から供給される空気と前記キャリアガス供給手段２２により供給されるキャリアガスとを切り替える切り替え弁（切替手段）２４とを備えている。
【００２９】
キャリアガス供給手段２２は、例えば、窒素ガス、または、Ａｒ等の不活性ガスを気化器４へ供給するようになっている。
切り替え弁２４は、気化器４の上流側に設けられており、空気吸込み口８から送られてエアドライヤ１２を通過する空気と、キャリアガス供給手段２２から送られるキャリアガスとを切替えて、空気またはキャリアガスを気化器４へ供給するようになっている。
【００３０】
このように構成された本実施形態に係る金属酸化物成膜装置２０の作用について説明する。
切り替え弁２４が空気吸込み口８から送られる空気を気化器４へ供給するように設定されている場合には、空気吸込み口８から送られた空気が、エアドライヤ１２を通過して気化器４へ供給される。そして、原料ガスと湿度を調整された空気との混合ガスが、反応容器６の吸込み口１４から反応容器６の中へ送り込まれ、誘導加熱ヒータによって加熱された基材２の周囲で酸化分解されて、基材２の表面に原料ガスに含まれる金属酸化物が蒸着される。この場合、コストを抑えて、成膜速度が速く安定した膜質の金属酸化物膜を成膜させることができる。
【００３１】
一方、切り替え弁２４がキャリアガス供給手段２２から送られるキャリアガスを気化器４へ供給するように設定されている場合には、キャリアガス供給手段２２から送られた窒素ガスまたは不活性ガス等のキャリアガスが気化器４へ供給される。そして、原料ガスとキャリアガスとの混合ガスが、反応容器６の吸込み口１４から反応容器６の中へ送り込まれ、誘導加熱ヒータによって加熱された基材２の周囲で酸化分解されて、基材２の表面に原料ガスに含まれる金属酸化物が蒸着される。この場合、気孔が小さく膜質が密の金属酸化物膜を成膜させることができる。
【００３２】
なお、切り替え弁２４を作動させることにより、一の基板２に対して、空気によって搬送された原料ガスにより成膜された金属酸化物膜と、キャリアガスによって搬送された原料ガスにより成膜された金属酸化物膜を重ね合わせることとしてもよい。具体的には、先にキャリアガスを気化器４へ供給し、原料ガスとキャリアガスとの混合ガスによって、基材２の表面に質の良い膜質が密の金属酸化物膜を成膜させた後、切り替え弁２４を作動させて、空気を気化器４へ供給し、原料ガスと空気との混合ガスによって、その上に低コストで安定した膜質の金属酸化物膜を成膜させることとしてもよい。この場合、耐摩耗性を付与しつつ、成膜速度の向上およびコストの低減を図ることができる。
【００３３】
以上、本実施形態に係る金属酸化物成膜装置２０によれば、原料ガスを搬送する空気とキャリアガスとを切り替え弁２４によって切り替えることにより、基材２の表面に成膜させる金属酸化物膜の成膜速度と膜質をコントロールすることが可能となる。
【００３４】
［第三実施形態］
次に、本発明の第三実施形態に係る金属酸化物成膜装置３０について、図３を用いて説明する。
本実施形態の説明において、上述した第一実施形態に係る金属酸化物成膜装置１０と構成を共通する箇所には、同一符号を付して説明を省略する。
本実施形態に係る金属酸化物成膜装置３０は、キャリアガスを供給するキャリアガス供給手段２２と、空気供給手段８から供給された空気と前記キャリアガス供給手段２２から供給されたキャリアガスとを混合する混合槽（混合手段）３２とを備えている。
【００３５】
キャリアガス供給手段２２は、例えば、窒素ガス、または、Ａｒ等の不活性ガスを気化器  へ供給するようになっている。
混合槽３２は、気化器４の上流側に設けられており、空気吸込み口８から送られてエアドライヤ１２を通過した空気と、キャリアガス供給手段２２から送られたキャリアガスとを混合するようになっている。これにより混合槽３２において混合された混合ガスが、気化器４へ送られて、原料ガスを反応容器６へ搬送するようになっている。
【００３６】
また、例えば、空気吸込み口８と混合槽３２との間、および、キャリアガス供給手段２２と混合槽３２との間には、それぞれ流量計３４設けられており、空気量とキャリアガス量が計測されるようになっている。これにより、混合槽３２へ送られる空気量とキャリアガス量を計測値に基づいて制御し、混合槽３２において混合される混合ガス中の空気量とキャリアガス量の配分を調整することができるようになっている。
【００３７】
このように構成された本実施形態に係る金属酸化物成膜装置３０の作用について説明する。
空気吸込み口８から送られて、エアドライヤ１２を通過した空気と、キャリアガス供給手段２２から送られたキャリアガスは、それぞれ流量計３４を通過した後、混合槽３２において混合され、混合ガスとなって気化器４へ供給される。そして、この混合ガスにより、原料ガスが反応容器６の吸込み口１４から反応容器６の中へ送り込まれ、誘導加熱ヒータにより加熱された基材２の周囲で酸化分解されて、基材２の表面に原料ガスに含まれる金属酸化物が蒸着される。これにより、空気吸込み口８から送られる空気量とキャリアガス供給手段から送られるキャリアガス量を制御して、混合ガス中の空気量とキャリアガス量を調整することにより、耐摩耗性を確保しつつ、窒素ガスまたは不活性ガスの量を節約し、コストの低減を図ることができる。また、空気と不活性ガスとを予め混合した混合ガスによって原料ガスを搬送し、金属酸化物を蒸着させることで、一様な層の金属酸化物膜を成膜させることができ、応力割れを防ぐことが可能となる。
【００３８】
以上、本発明の各実施形態について図面を参照して説明してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではない。
例えば、上記各実施形態においては、空気吸込み口８の下流側にエアドライヤ１２を設けることとしたが、これに代えて、エアドライヤ１２を空気吸込み口８の上流側に設けて、エアドライヤ１２によって予め湿度を調整した空気を空気吸込み口８から供給することとしてもよい。
【００３９】
また、上記各実施形態においては、誘導加熱ヒータにより基板２を加熱することとしたが、これに代えて、反応容器６の外で適宜な加熱手段で基材２を加熱した後に、加熱した基材２を反応容器６の内に移動させて金属酸化物の蒸着操作を行うこととしてもよい。
また、反応容器６に収容される基材２を回転テーブル（図示せず）上に載置する構造としもよい。このようにすることで、金属酸化物の蒸着操作時に基材２を回転させることにより、基材２の表面に金属酸化物膜をより均一に成膜させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の第一実施形態に係る金属酸化物成膜装置の概略構成図である。
【図２】本発明の第二実施形態に係る金属酸化物成膜装置の概略構成図である。
【図３】本発明の第三実施形態に係る金属酸化物成膜装置の概略構成図である。
【符号の説明】
【００４１】
２  基材
４  気化器
６  反応容器
８  空気吸込み口（空気吸込み手段）
１０  金属酸化物成膜装置
【図１】
2008138244.tif 000003
【図２】
2008138244.tif 000004
【図３】
2008138244.tif 000005