(57)【要約】【課題】位置検知を確実に行え、装置の大型化を抑制可能な電磁アクチュエータを提供する。【解決手段】減光フィルタアクチュエータ１００は、支持部１１３の表面に設けた位置検知用のコイル１２０ａおよび１２０ｂと、コイル１２０ａとコイル１２０ｂとの間に設けた複数のコイル１１５ａ〜１１５ｃと、ネオジウムボロン磁石４８のＳ極面をコイル１１５ａ〜１１５ｃと対向するように設け、コイル１１５ａ〜１１５ｃの配列方向に沿って移動可能に保持した減光フィルタ４と、を備え、コイル１２０ａまたは１２０ｂとネオジウムボロン磁石４８のＳ極との間の電磁誘導を用いて減光フィルタ４の位置検知を行う。この位置検知では、減光フィルタ４をＰ２に隣接する位置に移動させる場合、反対側のＢ１方向（Ｐ１側）に移動するようにコイル１１５ａ〜１１５ｃに電流を流した後、Ｂ２方向（Ｐ２側）に移動するようにコイル１１５ａ〜１１５ｃに電流を流して行う。【選択図】図２
2008278609.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定部上の第１の位置と第２の位置に設けられた第１の電流線と、磁極を有する面が前記第１の電流線と対向するように設けられ、前記第１の位置と前記第２の位置との間を移動可能に保持された可動部と、前記可動部を移動させる移動手段と、を備え、前記第１の電流線と前記磁極との間の電磁誘導を用いて前記可動部の位置検知を行う電磁アクチュエータであって、
前記可動部を、前記第１の位置に移動させる際、一旦前記可動部に対し前記第２の位置へ変移する方向の力を加えることを特徴とした電磁アクチュエータ。
【請求項２】
前記第１の電流線間に設けられるとともに、前記可動部の前記磁極を有する面と対向するように設けられた複数の第２の電流線をさらに備え、
前記移動手段は、前記第２の電流線に電流を流すことで発生する磁界と前記磁極との間に働く引力または斥力により、前記第２の電流線の配列方向に沿って移動させることを特徴とした請求項１に記載の電磁アクチュエータ。
【請求項３】
前記移動手段は、前記可動部の前記第１の位置への移動を、前記可動部を前記第２の位置の側に移動するように前記第２の電流線に電流を流した後、前記第１の位置に移動するように前記第２の電流線に電流を流すことにより行うことを特徴とした請求項２に記載の電磁アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電磁アクチュエータに関し、特に光の光路上にある可動物を移動させる電磁アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、光の光路上にある可動物を移動させるアクチュエータを含むデバイスとしては、たとえば、光ピックアップが考えられる。光ピックアップには、対物レンズ、コリメータレンズ、減光フィルタ、及び光路スイッチングミラーなどのアクチュエータによる移動動作が必要な部品が搭載されている。近年、光ピックアップには、ＣＤ、ＤＶＤ、ＨＤ  Ｄｉｓｃ、ＢＤ  Ｄｉｓｃなどの多彩な光ディスクに記録・再生する必要性から、光ピックアップに含まれる部品の点数が多くなるので、光ピックアップの体積が大きくなるという不都合がある。一方、光ディスクドライブは、ポータブルＤＶＤプレーヤーやモバイルＰＣなどにも搭載されており、光ピックアップの小型化および薄型化が望まれている。
【０００３】
このような光ピックアップに搭載されているアクチュエータとしては、従来、エレクトレットを用いた静電気力によるアクチュエータが提案されている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００４】
上記特許文献１に記載の静電気力によるアクチュエータは、第１の光透過性部材と、第２の光透過性部材と、第３の光透過性部材とを備えており、第１の光透過性部材と第２の光透過性部材との間には、赤外光を遮断する特性を有する第１フィルムが配置され、第２の光透過性部材と第３の光透過性部材との間には、可視光の透過量を低減する特性を有する第２フィルムが配置されている。また、第１フィルムと第２フィルムとには、それぞれ、複数のエレクトレット部分が備えられている。また、第１の光透過性部材と第２の光透過性部材とには、それぞれ、第１フィルムと第２フィルムとに設けられた複数のエレクトレット部分に対向する面に複数の電極が設けられている。上記特許文献１に記載の静電気力によるアクチュエータでは、第１の光透過性部材と第２の光透過性部材とに設けられる複数の電極と、第１フィルムと第２フィルムとに設けられる複数のエレクトレット部位との間の静電気力によって、第１フィルムと第２フィルムとを移動することが可能となっている。
【特許文献１】特開２００５−９９２０８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記のようなアクチュエータでは、第1フィルムや第２フィルムが所定の位置に移動したことを保障するためにその位置検知を確実に行う必要がある。しかしながら、こうした第１フィルムや第２フィルムの位置検知を行うセンサとしては、第１フィルムや第２フィルムの移動を受けて検知するスイッチのような機械部品で構成されたものが多く、アクチュエータの部品点数の増加およびそれに伴うアクチュエータの大型化が問題となっている。
【０００６】
本発明はこうした課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、位置検知を確実に行うことができ、装置が大型化するのを抑制することが可能な電磁アクチュエータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明に係る電磁アクチュエータは、固定部上の第１の位
置と第２の位置に設けられた第１の電流線と、磁極を有する面が第１の電流線と対向するように設けられ、第１の位置と第２の位置との間を移動可能に保持された可動部と、可動部を移動させる移動手段と、を備え、第１の電流線と磁極との間の電磁誘導を用いて可動部の位置検知を行う電磁アクチュエータであって、可動部を、第１の位置に移動させる際、一旦可動部に対し第２の位置へ変移する方向の力を加えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、位置検知を確実に行うことができ、装置が大型化するのを抑制することが可能な電磁アクチュエータが提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明を具現化した実施形態について図面に基づいて説明する。なお、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００１０】
図１は本実施形態による光ピックアップ装置の構成を示した概略図である。まず、図１を参照して本実施形態による光ピックアップ装置１の構成について説明する。
【００１１】
本実施形態による光ピックアップ装置１は、図１に示すように、半導体レーザ２および３と、減光フィルタ４と、光路切替部５と、ダイクロイックビームスプリッタ６と、偏光ビームスプリッタ７および８と、コリメータレンズ９および１０と、１／４波長板１１および１２と、対物レンズ１３および１４と、受光レンズ１５および１６と、受光センサ１７および１８とを備えている。この光ピックアップ装置１は、ＢＤ（ブルーレイディスク）規格の光ディスク３０ａと、ＨＤ  ＤＶＤ規格（ＣＤ規格およびＤＶＤ規格）の光ディスク３０ｂ（３０ｃおよび３０ｄ）とに対して書き込みおよび読み出しを行うことが可能なように構成されている。
【００１２】
半導体レーザ２は約４０５ｎｍの波長を有する青紫色のレーザ光を出射するために設けられている。この半導体レーザ２は、ＢＤ規格の光ディスク３０ａおよびＨＤ  ＤＶＤ規格の光ディスク３０ｂに対して書き込みおよび読み出しが行われる際にレーザ光を出射するように構成されている。
【００１３】
半導体レーザ３は約６５０ｎｍの波長を有する赤色のレーザ光および約７８５ｎｍの波長を有する近赤外領域のレーザ光の２波長のレーザ光を出射するために設けられている。この半導体レーザ３は、ＣＤ規格の光ディスク３０ｃに対して書き込みおよび読み出しが行われる際に、約７８５ｎｍの波長を有するレーザ光を出射するとともに、ＤＶＤ規格のディスク３０ｄに対して書き込みおよび読み出しが行われる際に、約６５０ｎｍの波長を有するレーザ光を出射するように構成されている。
【００１４】
減光フィルタ４は、後述する減光フィルタアクチュエータ１００（図２参照）に支持されることにより、レーザ光の光軸方向と垂直な方向（矢印Ｂ１およびＢ２方向）に２つの位置（光路上の位置および光路から外れた位置）間を移動可能に構成されている。また、減光フィルタ４は、読み出し時に光路上の位置に配置されるとともに、書き込み時に光路から外れた位置に配置されるように構成されている。すなわち、減光フィルタ４は読み出し時にのみ半導体レーザ２から出射されたレーザ光の強度を小さくするために設けられている。なお、光路上の位置とは、減光フィルタ４がＢ２方向に寄った状態（Ｐ２側）の位置に相当し、光路から外れた位置とは、減光フィルタ４がＢ１方向に寄った状態（Ｐ１側）の位置に相当する（図５および図８参照）。
【００１５】
光路切替部５は、内部の可動鏡（図示せず）を移動させることにより、半導体レーザ２から出射されたレーザ光を対物レンズ１３または１４のいずれか一方に選択的に入射させるために設けられている。
【００１６】
ダイクロイックビームスプリッタ６は、半導体レーザ２から出射されたレーザ光を透過するとともに、半導体レーザ３から出射されたレーザ光を反射するために設けられている。これにより、半導体レーザ２から出射したレーザ光を対物レンズ１４に入射させることが可能であるとともに、半導体レーザ３から出射したレーザ光を対物レンズ１４に入射させることが可能である。
【００１７】
偏光ビームスプリッタ７および８は、それぞれ光ディスク３０ａおよび３０ｂ（３０ｃおよび３０ｄ）に向かう矢印Ｂ１方向のレーザ光を透過するとともに、光ディスク３０ａおよび３０ｂ（３０ｃおよび３０ｄ）から戻ってくる矢印Ｂ２方向のレーザ光を反射するために設けられている。
【００１８】
コリメータレンズ９および１０は光軸方向（矢印Ｂ１およびＢ２方向）に移動可能に構成されている。また、コリメータレンズ９および１０は、レーザ光を所定のビーム径を有する平行光とするとともに、レーザ光の焦点位置を調整するために設けられている。
【００１９】
１／４波長板１１および１２は、光ディスク３０ａおよび３０ｂ（３０ｃおよび３０ｄ）に向かう矢印Ｂ１方向のレーザ光を直線偏光から円偏光に変換するとともに、光ディスク３０ａおよび３０ｂ（３０ｃおよび３０ｄ）から戻ってくる矢印Ｂ２方向のレーザ光を、円偏光から光ディスク３０ａおよび３０ｂ（３０ｃおよび３０ｄ）に向かう矢印Ｂ１方向のレーザ光とは直交する直線偏光に変換するために設けられている。
【００２０】
対物レンズ１３および１４は光軸方向（矢印Ｂ１およびＢ２方向）および光軸方向と垂直な方向（矢印Ａ１およびＡ２方向）に移動可能に構成されている。また、対物レンズ１３および１４はレーザ光の焦点位置を調整するために設けられている。
【００２１】
受光レンズ１５および１６は、それぞれ偏光ビームスプリッタ７および８により反射されたレーザ光を受光センサ１７および１８に集光するために設けられている。
【００２２】
図２は本実施形態による半導体レーザと減光フィルタアクチュエータとの配置を示す図である。図３は本実施形態による減光フィルタアクチュエータの構造を示した斜視図である。図４は図３の７００−７００線に沿った断面図である。次に、図２〜図４を参照して本実施形態による減光フィルタアクチュエータ１００の構造について説明する。
【００２３】
本実施形態による減光フィルタアクチュエータ１００は、図２に示すように、半導体レーザ２から出射されるレーザ光の光軸方向（Ａ１方向）に対して、減光フィルタ４が垂直な方向（Ｂ１およびＢ２方向）に移動するように取り付けられている。なお、減光フィルタ４はレーザ光の光軸方向（Ａ１方向）に対して垂直な方向（Ｂ１およびＢ２方向）からずれていてもよい。これにより、減光フィルタ４から反射されるレーザ光が光源に入射するのを抑制することが可能となる。
【００２４】
減光フィルタアクチュエータ１００は、図２および図３に示すように、開口部（図示せず）を有する樹脂からなる板状の支持部１１１と、板状の支持部１１１の周囲を囲むように形成される樹脂からなる壁部１１２と、支持部１１１に対して所定の間隔を隔てて配置され、支持部１１１の開口部と対向する位置に開口部１１３ａを有するプリント基板からなる板状の支持部１１３と、支持部１１１および支持部１１３に挟まれる空間に配置される減光フィルタ４（図４参照）とを備えている。
【００２５】
支持部１１３には、開口部１１３ａが設けられており、支持部１１１の開口部と法線方向（Ａ１およびＡ２方向）に対して重なり合っている。なお、支持部１１１の開口部および開口部１１３ａの大きさは、減光フィルタ４が通り抜けることができない程度に小さく
形成されるとともに、レーザ光のビーム径よりも大きくなるように形成されている。
【００２６】
支持部１１３には、開口部１１３ａを挟んで左右に、減光フィルタ４を駆動するための３つのコイル１１５ａ〜１１５ｃと、減光フィルタ４の位置を検知するための２つのコイル１２０ａおよび１２０ｂとがそれぞれ設けられている。左右それぞれのコイル１１５ａ〜１１５ｃとコイル１２０ａおよび１２０ｂは直線状に配置され、コイル１２０ａおよび１２０ｂはこうした直線状に並んだコイルの両端に位置している。なお、減光フィルタ４を駆動するためのコイルは２つ以上であればよい。また、コイル１１５ａ〜１１５ｃとコイル１２０ａおよび１２０ｂを支持部１１１にも別途配置してもよい。
【００２７】
コイル１１５ａ〜１１５ｃは、約２０μｍの厚みを有する銅からなる平面コイルにより構成されており、コイル１１５ａ〜１１５ｃを構成する銅線の幅Ｗ１と、銅線と隣接する銅線との間隔Ｗ２は、それぞれ約２５μｍである。また、コイル１１５ｂは、図４に示すように、２層の平面コイルが支持部１１３の上面上と下面上とに配置され、この２層の平面コイルが電気的に接続されて構成されている。コイル１１５ａおよびコイル１１５ｃについても同様に、２層の平面コイルが支持部１１３の上面上と下面上とに配置されて構成されている。なお、平面コイルを用いることにより、コイル１１５ａ〜１１５ｃの薄型化を高めることが可能となる。また、平面コイルを２層重ねることにより、低電流または小面積でも所定の駆動力を得ることが可能となる。
【００２８】
コイル１２０ａおよび１２０ｂはコイル１１５ａ〜１１５ｃと同様の２層の平面コイルで構成されている。コイル１２０ａおよび１２０ｂは、磁石との電磁誘導作用により誘導起電力を生じさせることができればよく、本実施形態では、その占有面積を小さくするためにコイル１１５ａ〜１１５ｃよりもコイルの巻き数を減らして形成されている。
【００２９】
支持部１１１の減光フィルタ４と接する面には、図３および図４に示すように、微細な凹凸が形成されている。これにより、減光フィルタ４と支持部１１１との間の接触面積が少なくなり、減光フィルタ４と支持部１１１との間の摩擦係数を低減することができるので、減光フィルタ４を移動させるために必要な電力を低減することが可能となる。また、支持部１１１には、図２に示すように、磁性体１１４が埋め込まれている。これにより、後述するネオジウムボロン磁石４８との間の磁力により減光フィルタ４の位置を固定する機能を有する。なお、磁性体１１４は、支持部１１１の表面に露出していてもよいし、支持部１１１の裏面に配置してもよい。また、磁性体１１４を壁部１１２または支持部１１３に配置してもよい。
【００３０】
支持部１１３の上面上には、図３に示すように、コイル１１５ａ〜１１５ｃに流れる電流を制御するとともに、コイル１２０ａおよび１２０ｂに生じる誘導起電力を検出するためのＩＣ部１１６が設けられている。ＩＣ部１１６を支持部１１３の上に設けたことにより、コイル１１５ａ〜１１５ｃとＩＣ部１１６との間の配線を短くすることが可能になるので、減光フィルタアクチュエータ１００の消費電力が大きくなるのを抑制することができる。
【００３１】
減光フィルタ４は、図４に示すように、レーザ光の光路となる部分に開口部４１ｂが設けられたシリコン基板４１の表面上に、シリコン酸化膜４２、シリコン窒化膜４３、ポリシリコン膜４４、シリコン窒化膜４５、及びシリコン酸化膜４６により構成されるレーザ光吸収部４７を有している。このレーザ光吸収部４７のうち、シリコン酸化膜４２、ポリシリコン膜４４、及びシリコン酸化膜４６が光吸収層としてレーザ光を吸収する。なお、レーザ光吸収部４７として、ガラスにカリウム、すず、鉄、アルミニウム、ナトリウム、及び炭素などの吸光材を混ぜたものを用いてもよい。そして、シリコン酸化膜４６の表面上には矩形状（長方形状）を有する２つのネオジウムボロン磁石４８が形成されている。
ネオジウムボロン磁石４８の着磁の方向は、ネオジウムボロン磁石４８の表面に対して法線方向（Ａ１方向）となっており、上面側がＳ極となるように形成されている。また、コイル１１５ｂとネオジウムボロン磁石４８とは対向する位置に所定の隙間を介して配置されている。コイル１１５ａおよびコイル１１５ｃも同様にネオジウムボロン磁石４８と対向する位置に配置されている。そして、コイル１２０ａおよび１２０ｂもまたネオジウムボロン磁石４８と対向するように配置されている。また、減光フィルタ４のネオジウムボロン磁石４８の長手方向（Ｂ１およびＢ２方向）の長さはコイル１１５ａ〜１１５ｃのＢ１およびＢ２方向の幅Ｗ３の約２．２倍になるように形成されている（図２参照）。上述のシリコン基板４１と、レーザ光吸収部４７と、ネオジウムボロン磁石４８とにより、減光フィルタ４が構成されている。
【００３２】
なお、支持部１１３は本発明の「固定部」、減光フィルタ４は本発明の「可動部」、コイル１２０ａおよび１２０ｂは本発明の「第１の電流線」、コイル１２０ｂの位置（Ｐ２側）は本発明の「第１の位置」、コイル１２０ａの位置（Ｐ１側）は本発明の「第２の位置」、及びコイル１１５ａ〜１１５ｃは本発明の「第２の電流線」の一例である。
【００３３】
図５〜図８は本実施形態による減光フィルタアクチュエータの動作を説明するための断面図である。次に、図５〜図８を用いて本実施形態による減光フィルタアクチュエータ１００の動作について説明する。
【００３４】
図５に示すように、減光フィルタ４が減光フィルタアクチュエータ１００のＢ１方向に寄った状態（Ｐ１に隣接する状態）において、コイル１１５ｂおよびコイル１１５ｃには時計方向の電流を流すとともに、コイル１１５ａには電流を流さない。この状態では、コイル１１５ｂおよびコイル１１５ｃにはＡ１方向にＮ極からＳ極への磁界が発生するとともに、コイル１１５ａには磁界が発生しない。これにより、ネオジウムボロン磁石４８のＳ極とコイル１１５ｂに発生するＮ極との間で引力が働く。また、ネオジウムボロン磁石４８のＳ極とコイル１１５ｃに発生するＮ極との間で引力が働く。これにより、減光フィルタ４はＢ２方向に移動する。
【００３５】
次に、図６に示すように、減光フィルタ４が減光フィルタアクチュエータ１００のコイル１２０ａ部分から移動した状態において、コイル１１５ａには反時計方向の電流を流すとともに、コイル１１５ｂには電流を流さない。また、コイル１１５ｃには時計方向の電流を流す。この状態では、コイル１１５ａにはＡ２方向にＮ極からＳ極への磁界が発生するとともに、コイル１１５ｂには磁界が発生しない。また、コイル１１５ｃにはＡ１方向にＮ極からＳ極への磁界が発生する。これにより、ネオジウムボロン磁石４８のＳ極とコイル１１５ｃに発生するＳ極との間で斥力が働くとともに、ネオジウムボロン磁石４８に発生するＳ極とコイル１１５ｃのＮ極との間で引力が働く。これにより、減光フィルタ４はＢ２方向にさらに移動する。
【００３６】
次に、図７に示すように、減光フィルタ４がコイル１２０ｂに差し掛かる位置にまで移動した状態において、コイル１１５ａには反時計方向の電流を流すとともに、コイル１１５ｂには反時計方向の電流を流す。また、コイル１１５ｃには電流を流さない。この状態では、コイル１１５ａにはＡ２方向にＮ極からＳ極への磁界が発生するとともに、コイル１１５ｂにもＡ２方向にＮ極からＳ極への磁界が発生する。また、コイル１１５ｃには磁界が発生しない。これにより、ネオジウムボロン磁石４８のＳ極とコイル１１５ａに発生するＳ極との間には斥力が働くとともに、ネオジウムボロン磁石４８のＳ極とコイル１１５ｂのＳ極との間にも斥力が働く。これにより、減光フィルタ４はＢ２方向にさらに移動し、最終的には、図８に示すように、減光フィルタ４は減光フィルタアクチュエータ１００のＢ２方向に寄った状態（Ｐ２に隣接する状態）となる。
【００３７】
なお、支持部１１１の端部には、磁性体１１４が埋め込まれており、図５および図８に示す減光フィルタ４がＢ１方向あるいはＢ２方向に寄った状態（Ｐ１あるいはＰ２に隣接する状態）において、コイル１１５ａ〜１１５ｃに電流を流さない状態でも、磁性体１１４とネオジウムボロン磁石４８との間の引力によって減光フィルタ４が固定された状態となることが可能となる。
【００３８】
次に、本実施形態による減光フィルタ４を駆動するための電流を制御する方法について説明する。
【００３９】
本実施形態では、位置検知用コイル（コイル１２０ａおよび１２０ｂ）を直線状に並んだ駆動用コイル（コイル１１５ａ〜１１５ｃ）の両端に配置している。そして、減光フィルタ４が駆動してコイル１２０ａあるいはコイル１２０ｂの直下に移動する場合には、ネオジウムボロン磁石４８のＳ極との電磁誘導作用（ファラデーの電磁誘導の法則）によりコイル１２０ａあるいはコイル１２０ｂに誘導起電力が発生する。これをＩＣ部１１６で検出することで、減光フィルタ４の位置がコイル１２０ａの直下あるいはコイル１２０ｂの直下に位置しているかどうかを検知することができる。また、減光フィルタ４が駆動してコイル１２０ａあるいはコイル１２０ｂの直下から離れるように移動する場合には、上記誘導起電力とは反対の誘導起電力が発生するので、これを検出することで減光フィルタ４がコイル１２０ａあるいはコイル１２０ｂの直下から移動したかどうかを検知することができる。このような駆動用コイル（コイル１１５ａ〜１１５ｃ）の両端に位置するコイル１２０ａあるいはコイル１２０ｂに発生する誘導起電力を検知することにより、図５〜図８に示す、コイル１１５ａ〜コイル１１５ｃに流す電流の方向を減光フィルタ４の位置に合わせて切り替えることが可能となる。
【００４０】
ところで、上述の動作説明では、減光フィルタ４が減光フィルタアクチュエータ１００のＢ１方向に寄った状態（Ｐ１に隣接する状態）からＢ２方向（Ｐ２側）への移動を示したが、光ピックアップ装置に著しく大きな外力が作用した場合には、減光フィルタ４が所定の位置から移動してしまい、減光フィルタ４の位置が分からなくなってしまうことがある。また、減光フィルタ４が減光フィルタアクチュエータ１００のＢ２方向に寄った状態（Ｐ２に隣接する状態）で、Ｂ２方向に移動させるように電流を流した場合には、減光フィルタ４がすでにＰ２に隣接して存在するためコイル１２０ｂによる位置検知ができず、減光フィルタ４がＢ２方向に寄った状態（Ｐ２に隣接する状態）で存在しているのか、動作不良等で移動していないかを区別することができなくなる。このため、本実施形態では、減光フィルタ４をＢ２方向（Ｐ２側）に移動させる場合、減光フィルタ４の初期位置に関係なく、一旦減光フィルタ４をＢ１方向（Ｐ１側）に移動させるように電流を流した後、Ｂ２方向（Ｐ２側）へ移動させる電流を流すように電流制御している。
【００４１】
具体的には、減光フィルタ４を減光フィルタアクチュエータ１００のＢ１方向に寄った状態（Ｐ１に隣接する状態）からＢ２方向（Ｐ２側）へ移動させるための電流を流す前に、以下のステップで駆動用コイル（コイル１１５ａ〜１１５ｃ）に電流を流している。
【００４２】
まず、ステップ１として、コイル１１５ａおよびコイル１１５ｂに時計方向の電流を流すとともに、コイル１１５ｃには電流を流さない。この状態では、コイル１１５ａおよびコイル１１５ｂにはＡ１方向にＮ極からＳ極への磁界が発生するとともに、コイル１１５ｃには磁界が発生しない。これにより、ネオジウムボロン磁石４８のＳ極とコイル１１５ａおよびコイル１１５ｂに発生するＮ極との間で引力が働く。これにより、減光フィルタ４の初期位置に関係なく、コイル１１５ａおよびコイル１１５ｂの直下に減光フィルタ４を移動させることができる。
【００４３】
次に、ステップ２として、コイル１１５ｂおよびコイル１１５ｃに反時計方向の電流を流すとともに、コイル１１５ａには電流を流さない。この状態では、コイル１１５ｂおよ
びコイル１１５ａにはＡ２方向にＮ極からＳ極への磁界が発生するとともに、コイル１１５ａには磁界が発生しない。これにより、ネオジウムボロン磁石４８のＳ極とコイル１１５ｂおよびコイル１１５ｃに発生するＳ極との間には斥力が働く。これにより、減光フィルタ４を減光フィルタアクチュエータ１００のＢ１方向に寄った状態（Ｐ１に隣接する状態）に確実にすることができる。
【００４４】
このようにすることで、減光フィルタ４をＢ２方向（Ｐ２側）に移動させる場合、減光フィルタ４の初期位置（たとえば、減光フィルタ４が減光フィルタアクチュエータ１００のＰ２に隣接した状態）に関係なく、コイル１２０ｂに誘導起電力を生じさせることができ、Ｂ２方向に寄った状態（Ｐ２に隣接する状態）に移動した際の減光フィルタ４の位置検知を確実に行うことができる。この結果、（ａ）確実に駆動が行われたことの保証、（ｂ）万一電流を流しても駆動しなかった場合にリトライを行う制御、（ｃ）リトライしても駆動されなかった場合にエラーを出力して処理を停止させる制御、などを容易に行うことが可能となる。
【００４５】
本実施形態の電磁アクチュエータ（減光フィルタアクチュエータ１００）およびこの電磁アクチュエータを搭載する光ピックアップ装置によれば、以下の効果を得ることができる。
【００４６】
（１）コイル１２０ａあるいはコイル１２０ｂで発生する誘導起電力を検知することにより、減光フィルタアクチュエータ１００のＰ１側（コイル１２０ａの直下）あるいはＰ２側（コイル１２０ｂの直下）における減光フィルタ４の位置検知を行うようにしたことで、減光フィルタ４の位置検知のための機械部品を別途設ける必要がないので、減光フィルタアクチュエータ１００が大型化することを抑制することができる。
【００４７】
（２）減光フィルタ４をＰ２に隣接する位置に移動させる場合、一旦減光フィルタ４をＢ１方向（Ｐ１側）に移動させるように電流を流した後、Ｂ２方向（Ｐ２側）へ移動させる電流を流すように電流制御したことで、減光フィルタ４の初期位置に関わらず、コイル１２０ｂに誘導起電力を生じさせることができ、Ｐ２に隣接する位置に移動した際の減光フィルタ４の位置検知を確実に行うことができる。この結果、装置の大型化が抑制された減光フィルタアクチュエータ１００の駆動信頼性を向上させることができる。
【００４８】
（３）減光フィルタ４が減光フィルタアクチュエータ１００のＢ２方向に寄った状態（Ｐ２に隣接する状態）でも、上記電流制御を行うことで減光フィルタ４がＰ２に隣接して位置していることを確実に検知することができる。このため、装置の大型化が抑制された減光フィルタアクチュエータ１００の駆動信頼性を向上させることができる。
【００４９】
（４）複数のコイル１１５ａ〜１１５ｃに電流を流すことで発生する磁界とネオジウムボロン磁石４８との間に働く引力または斥力により、減光フィルタ４をコイル１１５ａ〜１１５ｃの配列方向に沿って移動させるように構成したことで、コイル１１５ａ〜１１５ｃに流す電流の方向を変化させるだけで、コイル１１５ａ〜１１５ｃに発生する磁界の方向を変化させることができ、減光フィルタ４の移動する方向を容易に変化させることができる。
【００５０】
（５）支持部１１３の減光フィルタ４と対向する表面に電磁石として機能する複数のコイル１１５ａ〜１１５ｃを形成し、減光フィルタ４の支持部１１３と対向する表面にネオジウムボロン磁石４８を配置したことによって、複数のコイル１１５ａ〜１１５ｃに電流を流すことで発生する磁界とネオジウムボロン磁石４８との間に引力または斥力を引き起こすことができるので、減光フィルタ４を移動させることができる。こうした駆動では、従来の静電気力を用いて減光フィルタ４を移動する場合と異なり、コイル１１５ａ〜１１
５ｃに流す電圧を昇圧する必要がないので、昇圧回路を別途設ける必要がない。これにより、減光フィルタアクチュエータ１００が大型化するのを抑制することができる。
【００５１】
（６）減光フィルタアクチュエータ１００において減光フィルタ４の位置検知を確実に行うことができるので、こうしたアクチュエータを用いた光ピックアップ装置１の駆動信頼性を向上させることができる。
【００５２】
（７）減光フィルタ４の位置検知を確実に行うことができる減光フィルタアクチュエータ１００が大型化するのを抑制することができるので、こうしたアクチュエータを用いた光ピックアップ装置１が大型化することを抑制することができる。
【００５３】
なお、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて各種の設計変更等の変形を加えることも可能であり、そのような変形が加えられた実施形態も本発明の範囲に含まれうるものである。
【００５４】
上記実施形態では、支持部に駆動用コイルを形成した例を示したが、本発明はこれに限らない。たとえば、駆動用コイルの代わりに電流線を形成してもよい。この場合にも上記効果を享受することができる。
【００５５】
上記実施形態では、ネオジウムボロン磁石を採用した例を示したが、本発明はこれに限らない。たとえば、ネオジウムボロン磁石の代わりに磁性材料または電流線を採用してもよい。この場合にも上記効果を享受することができる。
【００５６】
上記実施形態では、２層の平面コイルからなる駆動用コイルを採用した例を示したが、本発明はこれに限らない。たとえば、１層または３層以上の平面コイルからなる駆動用コイルを採用してもよい。この場合にも上記効果を享受することができる。
【００５７】
上記実施形態では、レーザ光が、減光フィルタの表面の法線方向に入射する例を示したが、本発明はこれに限らない。たとえば、減光フィルタの表面の法線方向に対してずらして入射させてもよい。これにより、減光フィルタによって反射されたレーザ光により、光源の光の強度が揺らぐことを低減することができる。
【００５８】
上記実施形態では、駆動用コイルと対向するネオジウムボロン磁石の磁極を有する面をＳ極とした例を示したが、本発明はこれに限らない。たとえば、ネオジウムボロン磁石の磁極を有する面をＮ極とし、駆動用コイルにはこれに対応する磁界が発生するように電流を流すようにしてもよい。この場合にも上記効果を享受することができる。
【００５９】
上記光ピックアップ装置では、位置検知を確実に行え、装置が大型化することを抑制可能な電磁アクチュエータとして減光フィルタアクチュエータを採用した例を示したが、本発明はこれに限らない。たとえば、光路切替部に設けられる光路スイッチミラーアクチュエータ（可動鏡を駆動するためのアクチュエータ）に適用してもよい。この場合、可動鏡の位置検知が確実に行われ、その駆動信頼性が向上するとともに、光路切替部が大型化することが抑制される。このため、こうした光路切替部を搭載した光ピックアップ装置の駆動信頼性を向上させることができるとともに、その大型化を抑制することができる。
【００６０】
本発明の電磁アクチュエータは、光ピックアップ装置に限らず、半導体製造装置、液晶製造装置、工作機械などの精密装置の駆動機構に適用することで、位置検知を確実に行え、大型化が抑制された精密装置を容易に実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本実施形態による光ピックアップ装置の構成を示した概略図。
【図２】本実施形態による半導体レーザと減光フィルタアクチュエータとの配置を示す図。
【図３】本実施形態による減光フィルタアクチュエータの構造を示した斜視図。
【図４】図３の７００−７００線に沿った断面図。
【図５】本実施形態による減光フィルタアクチュエータの動作を説明するための断面図。
【図６】本実施形態による減光フィルタアクチュエータの動作を説明するための断面図。
【図７】本実施形態による減光フィルタアクチュエータの動作を説明するための断面図。
【図８】本実施形態による減光フィルタアクチュエータの動作を説明するための断面図。
【符号の説明】
【００６２】
２  半導体レーザ、４  減光フィルタ、４１  シリコン基板、４２、４６  シリコン酸化膜（光吸収層）、４３、４５  シリコン窒化膜、４４  ポリシリコン膜（光吸収層）、４７  レーザ光吸収部、４８  ネオジウムボロン磁石、１１１  支持部、１１２  樹脂からなる壁部、１１３  支持部、１１４  磁性体、１１５ａ、１１５ｂ、１１５ｃ  コイル（駆動用電流線）、１２０ａ、１２０ｂ  コイル（位置検知用電流線）。
【図１】
2008278609.tif 000003
【図２】
2008278609.tif 000004
【図３】
2008278609.tif 000005
【図４】
2008278609.tif 000006
【図５】
2008278609.tif 000007
【図６】
2008278609.tif 000008
【図７】
2008278609.tif 000009
【図８】
2008278609.tif 000010