(57)【要約】【課題】エアギャップ中にて高磁束密度を維持でき、かつ円筒状コイルの領域を確保できる高性能な円筒型リニアモータ用電機子および円筒型リニアモータを提供する。【解決手段】磁性体からなる円筒状ヨーク１２ｂと円筒状ヨーク１２ｂの内側に軸方向に向かって複数個の円筒状コイル１２ａを並べて配置した円筒型リニアモータ用電機子１２において、位置検出ユニットとしてホールセンサユニット１２ｄを円筒状ヨーク１２ｂの軸方向端面に突き当てるようにした。そして、円筒型リニアモータ用電機子１２の中に長尺状の界磁極１１を貫通させて、固定子としての界磁極１１の上を円筒型リニアモータ用電機子１２が移動する円筒型リニアモータ用電機子１０を構成した。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁性体からなる円筒状ヨークと該円筒状ヨークの内側に軸方向に向かって複数個の円筒状コイルを並べて配置した円筒型リニアモータ用電機子において、
前記電機子の現在位置を示す位置検出ユニットを前記円筒状ヨークの軸方向の端部に配置したことを特徴とする円筒型リニアモータ用電機子。
【請求項２】
ホールＩＣと該ホールＩＣホールを取り付けたセンサキバンとから成るホールセンサユニットを前記位置検出ユニットとして用いたことを特徴とする請求項１記載の円筒型リニアモータ用電機子。
【請求項３】
前記ホールセンサキバンの端面を前記円筒状ヨークの軸方向端面に突き当てることにより、各相の円筒状コイルに誘起される電圧の位相と、各相ホールＩＣの出力電圧の位相差を一義的に決定できるようにしたことを特徴とする請求項２記載の円筒型リニアモータ用電機子。
【請求項４】
前記ホールセンサキバンの寸法と多相のホールＩＣの取付位置とを調整することにより、各相の前記円筒状コイルに誘起される電圧の位相と前記各相のホールＩＣの出力電圧の位相差を自由に調整できるようにしたことを特徴とする請求項３記載の円筒型リニアモータ用電機子。
【請求項５】
前記円筒状ヨークの外側にアルミフレームを取り付けたことを特徴とする請求項４記載の円筒型リニアモータ用電機子。
【請求項６】
軸方向に延びる中空内部に複数個の円筒状コイルが固定された円筒型リニアモータ用電機子と、前記円筒状コイルの内側に磁気的空隙を介して同軸上に対向配置されてかつ内部に複数個の円柱状マグネットが磁化方向が交互に異なるように配設すると共に、前記複数の円柱状マグネット間に磁性体からなる円柱状ポールピースを配設し、軸方向両端にエンドブロックを固定された長尺状固定子と、から成り、前記複数個の円筒状コイルを選択的に励磁することによって前記電機子が前記長尺状固定子に沿って軸方向に移動して成る円筒型リニアモータにおいて、
前記円筒型リニアモータ用電機子が請求項１〜５のいずれか１項記載の円筒型リニアモータ用電機子であることを特徴とする円筒型リニアモータ。
【請求項７】
磁性体からなる円筒状ヨークと該円筒状ヨークの内側に軸方向に向かって前記複数個の円筒状コイルを並べて配置した円筒型リニアモータ用電機子において、
前記円筒状ヨークにその円周方向に複数箇所でキリカキを半径方向に設けたことを特徴とする円筒型リニアモータ用電機子。
【請求項８】
前記キリカキは円周方向に約４５度間隔で設けたことを特徴とする請求項７記載の円筒型リニアモータ用電機子。
【請求項９】
軸方向に延びる中空内部に複数個の円筒状コイルが固定された円筒型リニアモータ用電機子と、前記円筒状コイルの内側に磁気的空隙を介して同軸上に対向配置されてかつ内部に複数個の円柱状マグネットが磁化方向が交互に異なるように配設すると共に、前記複数の円柱状マグネット間に磁性体からなる円柱状ポールピースを配設し、軸方向両端にエンドブロックを固定された長尺状固定子と、から成り、前記複数個の円筒状コイルを選択的に励磁することによって前記電機子が前記長尺状固定子に沿って軸方向に移動して成る円筒型リニアモータにおいて、
前記円筒型リニアモータ用電機子が請求項７又は８記載の円筒型リニアモータ用電機子であることを特徴とする円筒型リニアモータ。
【請求項１０】
磁性体からなる円筒状ヨークと該円筒状ヨークの内側に軸方向に向かって前記複数個の円筒状コイルを並べて配置した円筒型リニアモータ用電機子において、
前記電機子の現在位置を示す電気的位相を特定するためのホールセンサキバンとホールＩＣとから成るホールセンサユニットを前記円筒状ヨークの軸方向の端部に配置し、かつ前記円筒状ヨークに円周方向にキリカキを設けたことを特徴とする円筒型リニアモータ用電機子。
【請求項１１】
軸方向に延びる中空内部に複数個の円筒状コイルが固定された円筒型リニアモータ用電機子と、前記円筒状コイルの内側に磁気的空隙を介して同軸上に対向配置されてかつ内部に複数個の円柱状マグネットが磁化方向が交互に異なるように配設すると共に、前記複数の円柱状マグネット間に磁性体からなる円柱状ポールピースを配設し、軸方向両端にエンドブロックを固定された長尺状固定子と、から成り、前記複数個の円筒状コイルを選択的に励磁することによって前記電機子が前記長尺状固定子に沿って軸方向に移動して成る円筒型リニアモータにおいて、
前記円筒型リニアモータ用電機子が請求項１０記載の円筒型リニアモータ用電機子であることを特徴とする円筒型リニアモータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、円筒型リニアモータに関するもので、特に、高特性が得られる円筒型リニアモータの電機子に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
円筒型リニアモータは既に知られており、これは磁性体からなる円筒状ヨークとこの円筒状ヨークの内側に軸方向に向かって複数個の円筒状コイルを並べて配置した円筒型リニアモータ用電機子と、この円筒状コイルの内側に磁気的空隙を介して同軸上に対向配置されてかつ内部に複数個の円柱状マグネットが磁化方向が交互に異なるように配設した長尺状固定子と、で構成し、複数個の円筒状コイルを選択的に励磁することによって電機子が長尺状固定子に沿って軸方向に移動するようにしている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平５−１５１３９号公報
【０００３】
図５は従来技術による円筒型リニアモータの側断面図を示している。
図５において、４０は従来技術による円筒型リニアモータで、４１の界磁極（長尺状固定子）と４２の電機子（可動子）とから成る。
界磁極４１は、軸方向に磁化された複数の円柱状のマグネット４１ａと、磁性体からなる円柱状のポールピース４１ｂと、ステンレスパイプ４１ｃと、ステンレスパイプ４１ｃの軸方向両端に備えたエンドブロック４１ｄとから構成される。マグネット４１ａは極性が交互に異なるように配置しており、また、各マグネット４１ａ間には磁性体からなる円柱状のポールピース４１ｂが備えられ、更に、各マグネット４１ａ間に生じる反発力を抑えるため、ステンレスパイプ４１ｃの両端部にエンドブロック４１ｄを取り付けた構造としている。
一方、電機子４２は、円筒状コイル４２ａと、磁性体からなる円筒状ヨーク４２ｂ、アルミフレーム４２ｃ、ホールセンサキバン４２ｅとＵ相用ホールＩＣ４２ｇ、−Ｗ相用ホールＩＣ４２ｈ、Ｖ相用ホールＩＣ４２ｉとから構成されている。円筒状コイル４２ａを複数個軸方向に並べ、この円筒状コイル４２ａの外側にホールセンサキバン４２ｅとホールＩＣ４２ｇ、４２ｈ、４２ｉとから成るホールセンサユニット４２ｄを備えている。
これらを円筒状ヨーク４２ｂの内側に配し、更に、円筒状ヨーク４２ｂの外側にアルミフレーム４２ｃを取り付けた構造となっている。
界磁極４１と電機子４２とが磁気ギャップを介してそれぞれが同軸上に配置され、界磁極４１を固定子に、電機子４２を可動子として、相対的に走行するようにして円筒型リニアモータ４０が構成される。
ところが、このように円筒型リニアモータ４０においては、ホールセンサユニット４２ｄを円筒状コイル４２ａと円筒状ヨーク４２ｂの間に配設していたので、エアギャップ中の磁束密度が低下し、更に、円筒状コイル４２ａの領域が犠牲になるため、結果としてモータ性能が低下してしまうことが判明した。
【０００４】
さらに、従来の円筒型リニアモータ４０には、次のような問題があることが判明した。図６は従来技術による円筒型リニアモータを説明する図で、（ａ）は側断面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ矢視図を示している。
図６においては図５のホールセンサユニットの図示は省略している。
界磁極４１は図５と同じ構成であるので、重複説明は省略する。
電機子４２は、円筒状コイル４２ａと、磁性体からなる円筒状ヨーク４２ｂ、アルミフレーム４２ｃから構成される。円筒状コイル４２ａを複数個軸方向に並べ、これらを円筒状ヨーク４２ｂの内側に配し、更に、円筒状ヨーク４２ｂの外側にアルミフレーム４２ｃを取り付けた構造となっている。アルミフレーム４２ｃについては、電機子４１の機械剛性を確保しつつ、かつ電機子４１の軽量化を図るためにアルミ材にて構成している。
図６（ｂ）から判るように、界磁極４１と電機子４２とが磁気ギャップＧを介してそれぞれが同軸上に配置され、界磁極４１を固定子に、電機子４２を可動子として、相対的に走行するようにしてリニアモータ４０が構成される。
ここで、円筒状ヨーク４２ｂを用いることによって、ギャップ磁束密度が向上し、モータの高性能化を実現するとともに、界磁極４１から発生する磁束を円筒状ヨーク４２ｂ内に誘導することで、アルミフレーム４２ｃへの漏れ磁束が低減され、粘性制動力を抑制することができる。
しかしながら、円筒状ヨーク４２ｂの内部において、その円周方向に渦電流ｉが流れ、その結果、渦電流ｉによる粘性制動力が円筒状ヨーク４２ｂに発生してしまうことが判明した。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
以上のように、従来の円筒型リニアモータ４０には、ホールセンサユニット４２ｄを円筒状コイル４２ａと円筒状ヨーク４２ｂの間に配すことにより、エアギャップ中の磁束密度が低下し、更に、円筒状コイル４２ａの領域が犠牲になるため、結果としてモータ性能が低下してしまうという欠点（第１の欠点）、そして円筒状ヨーク４２ｂの内部において、その円周方向に渦電流が流れ、結果として粘性制動力が発生してしまうという欠点（第２の欠点）があった。
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、エアギャップ中の磁束密度の低下を防止すると共に、粘性制動力を低減し、推力特性を改善できる円筒型リニアモータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記問題を解決するため、請求項１記載の円筒型リニアモータ用電機子の発明は、磁性体からなる円筒状ヨークと該円筒状ヨークの内側に軸方向に向かって複数個の円筒状コイルを並べて配置した円筒型リニアモータ用電機子において、
前記電機子の現在位置を示す位置検出ユニットを前記円筒状ヨークの軸方向の端部に配置したことを特徴としている。
請求項２記載の発明は、請求項１記載の円筒型リニアモータ用電機子において、ホールＩＣと該ホールＩＣホールを取り付けたセンサキバンとから成るホールセンサユニットを前記位置検出ユニットとして用いたことを特徴としている。
請求項３記載の発明は、請求項２記載の円筒型リニアモータ用電機子において、前記ホールセンサキバンの端面を前記円筒状ヨークの軸方向端面に突き当てることにより、各相の円筒状コイルに誘起される電圧の位相と、各相ホールＩＣの出力電圧の位相差を一義的に決定できるようにしたことを特徴としている。
請求項４記載の発明は、請求項３記載の円筒型リニアモータ用電機子において、前記ホールセンサキバンの寸法と多相のホールＩＣの取付位置とを調整することにより、各相の前記円筒状コイルに誘起される電圧の位相と前記各相のホールＩＣの出力電圧の位相差を自由に調整できるようにしたことを特徴としている。
請求項５記載の発明は、請求項４記載の円筒型リニアモータ用電機子において、前記円筒状ヨークの外側にアルミフレームを取り付けたことを特徴としている。
【０００７】
請求項６記載の円筒型リニアモータの発明は、軸方向に延びる中空内部に複数個の円筒状コイルが固定された円筒型リニアモータ用電機子と、前記円筒状コイルの内側に磁気的空隙を介して同軸上に対向配置されてかつ内部に複数個の円柱状マグネットが磁化方向が交互に異なるように配設すると共に、前記複数の円柱状マグネット間に磁性体からなる円柱状ポールピースを配設し、軸方向両端にエンドブロックを固定された長尺状固定子と、から成り、前記複数個の円筒状コイルを選択的に励磁することによって前記電機子が前記長尺状固定子に沿って軸方向に移動して成る円筒型リニアモータにおいて、前記円筒型リニアモータ用電機子が請求項１〜５のいずれか１項記載の円筒型リニアモータ用電機子であることを特徴としている。
請求項７記載の円筒型リニアモータ用電機子の発明は、磁性体からなる円筒状ヨークと該円筒状ヨークの内側に軸方向に向かって前記複数個の円筒状コイルを並べて配置した円筒型リニアモータ用電機子において、前記円筒状ヨークにその円周方向に複数箇所でキリカキを半径方向に設けたことを特徴としている。
請求項８記載の発明は、請求項７記載の円筒型リニアモータ用電機子において、  前記キリカキは円周方向に約４５度間隔で設けたことを特徴としている。
請求項９記載の円筒型リニアモータの発明は、軸方向に延びる中空内部に複数個の円筒状コイルが固定された円筒型リニアモータ用電機子と、前記円筒状コイルの内側に磁気的空隙を介して同軸上に対向配置されてかつ内部に複数個の円柱状マグネットが磁化方向が交互に異なるように配設すると共に、前記複数の円柱状マグネット間に磁性体からなる円柱状ポールピースを配設し、軸方向両端にエンドブロックを固定された長尺状固定子と、から成り、前記複数個の円筒状コイルを選択的に励磁することによって前記電機子が前記長尺状固定子に沿って軸方向に移動して成る円筒型リニアモータにおいて、前記円筒型リニアモータ用電機子が請求項７又は８記載の円筒型リニアモータ用電機子であることを特徴としている。
【０００８】
請求項１０記載の円筒型リニアモータ用電機子の発明は、磁性体からなる円筒状ヨークと該円筒状ヨークの内側に軸方向に向かって前記複数個の円筒状コイルを並べて配置した円筒型リニアモータ用電機子において、前記電機子の現在位置を示す電気的位相を特定するためのホールセンサキバンとホールＩＣとから成るホールセンサユニットを前記円筒状ヨークの軸方向の端部に配置し、かつ前記円筒状ヨークに円周方向にキリカキを設けたことを特徴としている。
請求項１１記載の円筒型リニアモータの発明は、軸方向に延びる中空内部に複数個の円筒状コイルが固定された円筒型リニアモータ用電機子と、前記円筒状コイルの内側に磁気的空隙を介して同軸上に対向配置されてかつ内部に複数個の円柱状マグネットが磁化方向が交互に異なるように配設すると共に、前記複数の円柱状マグネット間に磁性体からなる円柱状ポールピースを配設し、軸方向両端にエンドブロックを固定された長尺状固定子と、から成り、前記複数個の円筒状コイルを選択的に励磁することによって前記電機子が前記長尺状固定子に沿って軸方向に移動して成る円筒型リニアモータにおいて、前記円筒型リニアモータ用電機子が請求項１０記載の円筒型リニアモータ用電機子であることを特徴としている。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１記載の発明によると、検出ユニットを円筒状ヨークの軸方向の端部に配置したことにより、エアギャップ中にて高磁束密度を維持でき、また、円筒状コイルの領域を確保できるため、高性能な円筒型リニアモータ用の電機子が得られる。
請求項２記載の発明によると、検出ユニットをホールセンサユニットで実現したので、位置検出が正確にかつ安価に行うことができる。
また、請求項３記載の発明によると、ホールセンサユニットのホールセンサキバンの端面を円筒状ヨークの端面に突き当てることにより、各相の円筒状コイルに誘起される電圧の位相と、各相ホールＩＣの出力電圧の位相差を一義的に決めることが可能となる。また、本モータの断面において、軸を中心とした点対称モデルであることから、ホールセンサユニットを円筒状ヨークの円周上どの位置に配置しても機能上問題が無い。
更に、請求項４記載の発明によると、ホールセンサキバンの寸法と、ホールＩＣ（Ｕ）、ホールＩＣ（−Ｗ）、ホールＩＣ（Ｖ）の取付位置を調整することにより、各相の円筒状コイルに誘起される電圧の位相と、各相ホールＩＣの出力電圧の位相差を自由に調整し、電機子（可動子）の長さを短くすることが可能となる。
請求項５記載の発明によると、電機子の機械剛性を確保しつつ、かつ電機子の軽量化を図ることができる。
請求項６記載の発明によると、エアギャップ中にて高磁束密度を維持でき、また、円筒状コイルの領域を確保できる電機子を用いるので、高性能な円筒型リニアモータを得ることができる。
請求項７記載の発明によると、ヨーク内で発生する渦電流を小さくすることで、ヨーク部で生じる粘性制動力を抑制し、極めて高性能な円筒型リニアモータ用電機子が得られる。
請求項８記載の発明によると、ヨーク部で生じる粘性制動力を抑制できる電機子を用いるので、高性能な円筒型リニアモータを得ることができる。
請求項９記載の発明によると、キリカキが周方向の適所適所に設けられるのでヨーク部で生じる粘性制動力を効果的に抑制できるので、高性能な円筒型リニアモータを得ることができる。
請求項１０記載の発明によると、エアギャップ中にて高磁束密度を維持でき、また、円筒状コイルの領域を確保でき、かつヨーク部で生じる粘性制動力を抑制できる電機子が得られる。
請求項１１記載の発明によると、エアギャップ中にて高磁束密度を維持でき、また、円筒状コイルの領域を確保でき、かつヨーク部で生じる粘性制動力を抑制できる電機子を用いるので、極めて高性能な円筒型リニアモータを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
なお、本発明の構成要素が従来のそれと同じものについては同一符号を付して重複説明を省略する。
【実施例１】
【００１１】
図１は実施例１による円筒型リニアモータの側断面図、図２は図１の点線部の拡大図、さらに、図３は図１における円筒状コイルと各相ホールＩＣの位置関係を説明する図をそれぞれ示している。
図１において、１０は実施例１による円筒型リニアモータで、１１の界磁極（長尺状固定子）と１２の電機子（可動子）とから成る。
界磁極１１は、軸方向に磁化された複数の円柱状のマグネット１１ａと、磁性体からなる円柱状のポールピース１１ｂとをステンレスパイプ１１ｃの中に交互に収納し、ステンレスパイプ１１ｃの軸方向両端をエンドブロック１１ｄで押させて構成される。このように、マグネット１１ａは極性が交互に異なるように配置しており、また、各マグネット１１ａ間にはポールピース１ｂが介在し、更に各マグネット１１ａ間に生じる反発力を抑えるため、ステンレスパイプ１１ｃの両端部にエンドブロック１１ｄを取り付けている。
一方、電機子１２は、複数の円筒状コイル１２ａと、磁性体からなる円筒状ヨーク１２ｂ、アルミフレーム１２ｃ、ホールセンサキバン１２ｅとホールＩＣ１２ｆ（Ｕ相用ホールＩＣ１２ｇ、−Ｗ相用ホールＩＣ１２ｈ、Ｖ相用ホールＩＣ１２ｉ）とから構成されている。このようにホールセンサユニット１２ｄは円筒状コイル１２ａの外側にホールセンサキバン１２ｅを設け、これにホールＩＣ１２ｇ、１２ｈ、１２ｉを取り付けている。そして、円筒状ヨーク１２ｂの外側にアルミフレーム１２ｃを取り付けた構造となっている。
界磁極１１と電機子１２とが磁気ギャップＧを介してそれぞれが同軸上に配置され、界磁極１１を固定子に、電機子１２を可動子として、相対的に走行するようにして円筒型リニアモータ１０が構成されている。
【００１２】
ホールセンサユニット１２ｄは図２に示すように、円筒状コイル１２ａ並びに円筒状ヨーク１２ｂに対して、ストローク方向の前方又は後方に配置した構造にすることにより、図５の従来装置と比べて円筒状コイル１２ａと円筒状ヨーク１２ｂとの間隔を狭めることができるので、エアギャップＧ中の磁束密度を低下させること無く、また、円筒状コイル１２ａの領域を大きく確保できることから、高性能なモータを提供することが可能となる。
ただし、この場合、電機子（可動子）の長さは、主に、電磁部の長さ＋ホールセンサユニットの長さとなり、若干長くなってしまうという懸念があるが、しかし、図３に示すように、円筒状コイルと各相ホールＩＣの位置関係において、
ΔＸθ  ＝  α
として、距離αを保ったまま、電機子の長さ方向の前方又は後方に自由に平行移動することができるので、ホールセンサ信号の立ち上がり時点を制御しやすい誘起電圧の立ち上がりの０度の位置まで移動させてもよいし、できるだけ電機子側に近づけて小型化することも可能である。後者の場合、制御側で位相差を補正することになる。
例えば、α  ＝  ２τｐとした場合、図３（ｂ）に示すように、誘起電圧の立上りに対し、ホールセンサ信号の立上りは２７０°遅れとなるので、制御側で２７０°位相差の補正をすればよいことになる。
また、進行方向の前方にホールセンサユニットを配置したくない場合は、後方に配置することも可能である。
以上のように、ホールセンサキバンの端面を円筒状ヨークの軸方向端面に突き当てることにより、各相の円筒状コイルに誘起される電圧の位相と各相ホールＩＣの出力電圧の位相差を一義的に決定できるようになる。
また、ホールセンサキバンの寸法と多相のホールＩＣの取付位置とを調整することにより、各相の円筒状コイルに誘起される電圧の位相と各相のホールＩＣの出力電圧の位相差を自由に調整できるようになる。
【実施例２】
【００１３】
図４は実施例２による円筒型リニアモータを説明する図で、（ａ）は側断面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ矢視図を示している。
図４において、電機子１２は、円筒状コイル１２ａと、磁性体からなる円筒状ヨーク１２ｂ、アルミフレーム１２ｃから構成される。円筒状コイル１２ａを複数個軸方向に並べ、これらを円筒状ヨーク１２ｂの内側に配し、更に、円筒状ヨーク１２ｂの外側にアルミフレーム１２ｃを取り付けた構造となっている。アルミフレーム１２ｃについては、電機子１１の機械剛性を確保しつつ、かつ電機子１１の軽量化を図るためにアルミ材にて構成している。
図４（ｂ）から判るように、界磁極１１と電機子１２とが磁気ギャップＧを介してそれぞれが同軸上に配置され、界磁極１１を固定子に、電機子１２を可動子として、相対的に走行するようにしてリニアモータ１０が構成される。
ここで、円筒状ヨーク１２ｂを用いることによって、ギャップ磁束密度が向上し、モータの高性能化を実現するとともに、界磁極１１から発生する磁束を円筒状ヨーク１２ｂ内に誘導することで、アルミフレーム１２ｃへの漏れ磁束が低減され、粘性制動力を抑制することができる。
さらに、実施例２によって、円筒状ヨーク１２ｂに、その円周方向に複数箇所（図では、４５度間隔で）キリカキ１２ｋを半径方向に設けているのが特徴である。このようにすることで、渦電流ｉが発生してもキリカキ１２ｋを通過できなくなり、周方向に流れることがなく、その結果、渦電流ｉによる粘性制動力が円筒状ヨーク１２ｂに発生しなくなる。
【産業上の利用可能性】
【００１４】
以上述べたように、ホールセンサユニットを円筒状コイル並びに円筒状ヨークに対して、ストローク方向前方又は後方に配置した構造にすることにより、エアギャップ中の磁束密度を低下させること無く、また、円筒状コイルの領域を確保したまま、高性能なリニアモータを液晶・半導体をはじめとしたあらゆる市場の搬送装置等への適用が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施例１による円筒型リニアモータの側断面図である。
【図２】図１の点線部の拡大図である。
【図３】図３は図１における円筒状コイルと各相ホールＩＣの位置関係を説明する図である。
【図４】実施例２による円筒型リニアモータを説明する図で、（ａ）は側断面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ矢視図を示している。
【図５】従来技術による円筒型リニアモータの側断面図を示している。
【図６】従来技術による円筒型リニアモータを説明する図で、（ａ）は側断面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ矢視図を示している。
【符号の説明】
【００１６】
１０  実施例１による円筒型リニアモータ
１１  界磁極（長尺状固定子）
１１ａ  円柱状マグネット
１１ｂ  円柱状ポールピース
１１ｃ  ステンレスパイプ
１１ｄ  エンドブロック
１２  電機子（可動子）
１２ａ  円筒状コイル
１２ｂ  円筒状ヨーク
１２ｃ  アルミフレーム
１２ｄ  ホールセンサユニット
１２ｅ  ホールセンサキバン
１２ｇ  Ｕ相用ホールＩＣ
１２ｈ  −Ｗ相用ホールＩＣ
１２ｉ  Ｖ相用ホールＩＣ
１２ｋ  キリカキ
Ｇ  磁気ギャップ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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