(57)【要約】【課題】量産時の加工品質の管理が容易な上に表面品質の経時変化を所望時に目視で確認することができるウエーハの加工結果管理方法を提供する。【解決手段】形成された切削溝を撮像手段に位置付けて撮像するカーフチェック毎（ステップＳ１０８）に生成される切削溝データを画像情報とともにその位置情報に関連して記憶手段に累積的に記憶させておき（ステップＳ１１０）、また、ウエーハの形状と分割予定ラインの模式図をウエーハマップとして表示するとともにカーフチェックの位置情報を示すマークもウエーハマップ上に併せて表示させ（ステップＳ１１１）、該マークを利用した所望のカーフチェック箇所の指定により切削溝データとともに画像情報を表示パネル上に再生するようにした。【選択図】        図８
2008004806.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを撮像する撮像手段と、該撮像手段が撮像した画像を表示する表示パネルと、前記チャックテーブルに保持されたウエーハを加工する加工手段と、該加工手段と前記チャックテーブルとを相対的にＸ軸方向に加工送りする加工送り手段と、前記加工手段と前記チャックテーブルとを相対的にＹ軸方向に割り出し送りする割り出し送り手段と、を備える加工装置におけるウエーハの加工結果管理方法であって、
前記加工送り手段および前記割り出し送り手段を作動して前記加工手段でウエーハの分割予定ラインに切削溝を形成する切削ステップと、
該切削ステップで切削された前記切削溝を定期的またはランダムに前記撮像手段に位置付けて該切削溝を撮像して画像情報を生成するとともに切削溝データを生成し、前記撮像手段とウエーハとの位置をＸＹ座標で示す位置情報に関連して前記画像情報と前記切削溝データとを記憶手段に記憶する記憶ステップと、
前記表示パネルにウエーハの形状と分割予定ラインの模式図をウエーハマップとして表示するとともに前記記憶ステップで記憶された前記位置情報を示すマークを表示する表示ステップと、
該表示ステップで表示された前記マークを指定して対応する前記画像情報と前記切削溝データとを前記表示パネルに再生する再生ステップと、
を備えることを特徴とするウエーハの加工結果管理方法。
【請求項２】
ウエーハを特定するＩＤ情報とともに、ウエーハ毎に前記ウエーハマップと前記画像情報と前記切削溝データとのウエーハ情報が前記記憶手段に記憶され、指定された前記ＩＤ情報に基づいて対応するウエーハの前記ウエーハ情報を前記記憶手段から前記表示パネルに出力することを特徴とする請求項１に記載のウエーハの加工結果管理方法。
【請求項３】
前記記憶ステップおよび前記表示ステップで記憶された情報が可搬性を有する記憶媒体に記憶されることを特徴とする請求項１または２に記載のウエーハの加工結果管理方法。
【請求項４】
前記切削溝データは、前記撮像手段の中心位置を示すヘアラインと切削溝中心とのずれ量であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載のウエーハの加工結果管理方法。
【請求項５】
前記切削溝データは、切削溝の幅、チッピングの大きさのいずれかを含むことを特徴とする請求項４に記載のウエーハの加工結果管理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削装置等の加工装置におけるウエーハの加工結果管理方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスが複数形成されたウエーハは裏面が研削されて所定の厚さに形成され、ダイシング装置等の加工装置によって個々のデバイスに分割されて携帯電話機、パソコン等の電子機器に利用される。ここで、ダイシング装置にてブレードでウエーハを切断する際、切断面に欠け（チッピング）が生じたり、スピンドルまたはブレードの熱変形の影響を受けて、切削溝（カーフ）の位置がヘアラインの中心からずれてしまうことがある。
【０００３】
このため、ダイシング装置では、予め設定されたタイミングでブレードのカーフチェックを行うようにしている。切削状況監視のためのカーフチェック機能は、ブレードで切削された切削溝（カーフ）を電子顕微鏡で撮像し、撮像された画像情報を画像処理してカーフ位置の計測値を割り出し、予め設定されている基準位置（ヘアライン）とずれている場合には、自動で補正する（ヘアライン合わせ）ようにしている。また、カーフ幅やチッピングの大きさも計測するようにしている。このようなカーフチェックの際には、オペレータが確認できるように、表示画面上にカーフ位置と基準値のずれ量（オフセンタ量）、カーフ幅、チッピングサイズ等の情報が表示される。
【０００４】
【特許文献１】特開平７−１３０８０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来にあっては、ヘアライン合わせを行うためにカーフチェック機能を実行させており、カーフチェック機能を実行する毎に詳細なカーフチェック計測データは更新され、数値データのみがログデータとして記録されているに過ぎない。よって、量産工程での品質確認等の生産管理にカーフチェック計測データを利用するには、ログデータからカーフチェック計測データを抽出して出力させるしかなく、手間がかかる。また、カーフチェック位置の画像情報はないため、管理する際に不可欠な表面品質の再確認を行うことができず、品質管理に使用する観点では、カーフチェック計測データを使用するには信頼性に問題がある。
【０００６】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、量産時の加工品質の管理が容易な上に表面品質の経時変化を所望時に目視で確認することができるウエーハの加工結果管理方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係るウエーハの加工結果管理方法は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを撮像する撮像手段と、該撮像手段が撮像した画像を表示する表示パネルと、前記チャックテーブルに保持されたウエーハを加工する加工手段と、該加工手段と前記チャックテーブルとを相対的にＸ軸方向に加工送りする加工送り手段と、前記加工手段と前記チャックテーブルとを相対的にＹ軸方向に割り出し送りする割り出し送り手段と、を備える加工装置におけるウエーハの加工結果管理方法であって、前記加工送り手段および前記割り出し送り手段を作動して前記加工手段でウエーハの分割予定ラインに切削溝を形成する切削ステップと、該切削ステップで切削された前記切削溝を定期的またはランダムに前記撮像手段に位置付けて該切削溝を撮像して画像情報を生成するとともに切削溝データを生成し、前記撮像手段とウエーハとの位置をＸＹ座標で示す位置情報に関連して前記画像情報と前記切削溝データとを記憶手段に記憶する記憶ステップと、前記表示パネルにウエーハの形状と分割予定ラインの模式図をウエーハマップとして表示するとともに前記記憶ステップで記憶された前記位置情報を示すマークを表示する表示ステップと、該表示ステップで表示された前記マークを指定して対応する前記画像情報と前記切削溝データとを前記表示パネルに再生する再生ステップと、を備えることを特徴とする。
【０００８】
本発明に係るウエーハの加工結果管理方法は、上記発明において、ウエーハを特定するＩＤ情報とともに、ウエーハ毎に前記ウエーハマップと前記画像情報と前記切削溝データとのウエーハ情報が前記記憶手段に記憶され、指定された前記ＩＤ情報に基づいて対応するウエーハの前記ウエーハ情報を前記記憶手段から前記表示パネルに出力することを特徴とする。
【０００９】
本発明に係るウエーハの加工結果管理方法は、上記発明において、前記記憶ステップおよび前記表示ステップで記憶された情報が可搬性を有する記憶媒体に記憶されることを特徴とする。
【００１０】
本発明に係るウエーハの加工結果管理方法は、上記発明において、前記切削溝データは、前記撮像手段の中心位置を示すヘアラインと切削溝中心とのずれ量であることを特徴とする。
【００１１】
本発明に係るウエーハの加工結果管理方法は、上記発明において、前記切削溝データは、切削溝の幅、チッピングの大きさのいずれかを含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係るウエーハの加工結果管理方法によれば、形成された切削溝を撮像手段に位置付けて撮像するカーフチェック毎に生成される切削溝データを画像情報とともにその位置情報に関連して記憶手段に累積的に記憶させておくので、複数枚のウエーハに対して連続的に加工処理する量産時の加工品質の管理がしやすくなり、また、カーフチェック毎に画像情報も記憶され、ウエーハの形状と分割予定ラインの模式図をウエーハマップとして表示するとともにカーフチェックの位置情報を示すマークもウエーハマップ上に併せて表示させ、該マークを利用した判りやすい所望のカーフチェック箇所の指定により切削溝データとともに画像情報を表示パネル上に再生するので、加工中或いは加工後の所望時において表面品質の経時変化を目視で確認することができ、後の加工に反映させる等の利用も可能になるという効果を奏する。
【００１３】
また、本発明に係るウエーハの加工結果管理方法によれば、例えば複数枚のウエーハをカセット単位で連続的に加工処理する上で、ウエーハを特定するＩＤ情報とともに、ウエーハ毎にウエーハマップと画像情報と切削溝データとのウエーハ情報が記憶手段に記憶され、指定されたＩＤ情報に基づいて対応するウエーハのウエーハ情報を記憶手段から表示パネルに出力することで、同一カセット内の加工済みの所望のウエーハに関して所望時に該ウエーハのＩＤ情報を指定すれば画像情報を含むカーフチェック結果を表示パネル上に再現することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明を実施するための最良の形態であるウエーハの加工結果管理方法について図面を参照して説明する。
【００１５】
図１は、本発明の実施の形態のウエーハの加工結果管理方法を実施する加工装置の構成例を示す概略斜視図であり、図２は、本実施の形態に適用されるウエーハの構成例を示す平面図であり、図３は、加工手段等の構成例を示す概略正面図である。本実施の形態の加工装置１０は、ウエーハＷを分割予定ラインに沿って切削するデュアルカット方式の切削装置に適用したものであり、基本的な構成として、ウエーハＷを保持するチャックテーブル１１、撮像手段１２、表示パネル１３、加工手段１４、加工送り手段１５（図４参照）、割り出し送り手段１６（図３参照）、搬出入手段１７、搬送手段１８、洗浄手段１９、および搬送手段２０を備える。
【００１６】
まず、ウエーハＷは、図２に示すように、環状のフレームＦに装着された粘着テープＴの表面に貼着されており、粘着テープＴを介して環状のフレームＦに支持された状態でカセット２１に収容される。ここで、１つのカセット２１は、例えば２５枚のウエーハＷが収容可能であり、２つのカセット２１を２段重ねにすることで、最大５０枚のウエーハＷのセットが可能とされている。ウエーハＷは、図２に示すように、表面Ｗａに格子状に形成された複数の分割予定ラインＳによって複数の領域が区画され、この区画された領域にＩＣ，ＬＳＩ等の半導体チップ２２が形成されている。このように構成されたウエーハＷは、環状のフレームＦに装着された粘着テープＴに表面Ｗａを上側にして裏面が貼着される。
【００１７】
搬出入手段１７は、カセット２１に収納されたウエーハＷを搬送手段１８が搬送可能な載置領域に搬出するとともに、切削処理済みのウエーハＷをカセット２１に搬入する。搬送手段１８は、搬出入手段１７によって載置領域に搬出されたウエーハＷをチャックテーブル１１上に搬送する。また、洗浄手段１９は、加工手段１４による処理済みのウエーハＷを洗浄する。搬送手段２０は、加工手段１４による処理済みのウエーハＷをチャックテーブル１１上から洗浄手段１９へ搬送する。
【００１８】
チャックテーブル１１は、図示しない駆動源に連結されて回転可能である。また、チャックテーブル１１は、ボールネジ、ナット、パルスモータ等による周知構成の加工送り手段１５によってＸ軸方向に移動可能に設けられ、搭載されたウエーハＷを加工手段１４に対して相対的にＸ軸方向に加工送りする。
【００１９】
撮像手段１２は、チャックテーブル１１に保持されたウエーハＷの表面Ｗａを撮像するＣＣＤカメラ等を搭載した電子顕微鏡であり、アライメント用およびカーフチェック用に共用される。ここで、アライメント用の場合であれば、撮像手段１２によって取得した画像情報を基に切削すべき領域部分を検出し、加工手段１４による加工動作の位置付けに供する。また、カーフチェック用の場合であれば、切削された切削溝を撮像手段１２の撮像位置に位置付けることで該切削溝を撮像して画像情報を生成するとともに、画像処理による切削溝データの生成に供する。
【００２０】
加工手段１４は、図３に示すように、チャックテーブル１１に保持されたウエーハＷを回転するリング形状の極薄の切削ブレード２２ａ，２２ｂによって同時にまたは単独で分割予定ラインＳに沿って切削するデュアルカット構成のもので、切削ブレード２２ａ，２２ｂが先端に装着された一対のスピンドル２３ａ，２３ｂを備える。一対のスピンドル２３ａ，２３ｂは、切削ブレード２２ａ，２２ｂが平行に対峙するように略同一直線上に配設され、それぞれボールネジ、ナット、パルスモータ等による切り込み送り手段２４ａ，２４ｂによって独立してＺ軸方向に移動可能に設けられている。また、チャックテーブル１１に対して加工手段１４を相対的にＹ軸方向に割り出し送りする割り出し送り手段１６は、ボールネジ、ナット、パルスモータ等からなり切削ブレード２２ａ，２２ｂを個別にＹ軸方向に割り出し送りする個別割り出し送り機構１６ａ，１６ｂと、加工手段１４全体をＹ軸方向に割り出し送りする全体割り出し送り機構１６ｃとからなる。
【００２１】
表示パネル１３は、加工装置１０において見やすくて操作しやすい箇所に配設されて、撮像手段１２が撮像した画像の他、加工処理等に伴う必要な各種情報を表示するとともに、加工処理等に必要な入力操作を行うためのキー表示も行い操作パネルを兼用するタッチパネル構成のものである。
【００２２】
このような構成の加工装置１０は、高速回転させた切削ブレード２２ａ，２２ｂをウエーハＷに所定の切り込み深さで切り込ませながら、加工手段１４に対してチャックテーブル１１を加工送り手段１５でＸ軸方向に相対的に加工送りさせることで、ウエーハＷ上の２本の分割予定ラインＳを同時に切削加工して切削溝（カーフ）を形成することができる。そこで、例えば切削ブレード２２ａ，２２ｂをウエーハＷの外周側から内周側に向けて（あるいは、逆に内周側から外周側に向けて）分割予定ラインＳの間隔で順次割り出し送り手段１６でＹ軸方向に相対的に割り出し送りさせることで、同一方向の全ての分割予定ラインＳ（チャンネル１）について切削溝を形成することができる。この後、チャックテーブル１１の回転によりウエーハＷを９０°回転させ、新たにＸ軸方向に配された全ての分割予定ラインＳ（チャンネル２）について加工手段１４で同様の切削加工を繰り返すことにより、個々の半導体チップ２２に分割することができる。
【００２３】
次に、本実施の形態の加工装置１０が内蔵する制御系の構成について説明する。図４は、本実施の形態の加工装置１０が内蔵する制御部３０の構成例を示す概略ブロック図である。制御部３０は、例えばＣＰＵ等で構成された演算処理装置やＲＯＭ、ＲＡＭ等を備え加工装置１０全体の制御を司るマイクロプロセッサ３１と記憶手段３２とを主体に構成されている。加工手段１４、加工送り手段１５、割り出し送り手段１６および切り込み送り手段２４ａ，２４ｂはマイクロプロセッサ３１に接続されてマイクロプロセッサ３１により加工動作等の動作が制御される。また、マイクロプロセッサ３１は、表示パネル１３に対して必要な表示情報を記憶手段３２やパネル表示パターン記憶部３３から読み出して表示制御部３４を介して表示内容を制御するとともに、表示パネル１３上で指示操作された入力情報を解析し、各部の動作制御、表示制御等に供する。
【００２４】
また、マイクロプロセッサ３１は、撮像手段１２に対してアライメント時やカーフチェック時の撮像動作を制御するとともに、撮像手段１２が撮像した画像情報の処理制御を行う。この画像情報の処理制御として、撮像手段１２が撮像した画像情報をそのまま記憶手段３２に記憶させる制御や、画像情報を画像処理部３５で画像処理させて切削溝データ等を生成させ、生成された該切削溝データ等を記憶手段３２に記憶させる制御を行う。ここで、画像処理部３５の画像処理に伴い生成される切削溝データとして、本実施の形態では、撮像手段１２の中心位置を示すヘアラインと形成された切削溝中心とのずれ量を意味するヘアラインズレ量［ｍｍ］、形成された切削溝の幅［ｍｍ］、チッピングの大きさを意味するチッピング最大値［ｍｍ］、およびその領域［ｐｉｘ］が含まれている。また、外部接続ポート３６には、記憶手段３２に記憶されたデータのダウンロードが可能な可搬性を有する記憶媒体３７が接続自在に設けられている。本実施の形態では、記憶媒体３７として例えばＵＳＢメモリが用いられている。
【００２５】
また、記憶手段３２は、データメモリ部３２ａと画像メモリ部３２ｂとウエーハマップメモリ部３２ｃとを備える。画像メモリ部３２ｂは、情報量の多い画像情報を記憶するためのものであり、本実施の形態では、カーフチェック毎に撮像手段１２で撮像された画像情報を順次記憶する。ウエーハマップメモリ部３２ｃは、ワークイメージ上で切削ブレード２２ａ（Ｚ１軸），２２ｂ（Ｚ２軸）による切削の進行状況を確認するために予め生成された各ウエーハＷの輪郭形状（円形状）と分割予定ラインＳの模式図をウエーハマップのデータとして各ウエーハＷのチャンネル毎に記憶する。
【００２６】
データメモリ部３２ａは、主にカーフチェックに伴う切削溝データなる数値データを記憶するためのものである。本実施の形態では、カーフチェック毎に撮像手段１２が撮像した画像情報を画像処理部３５で画像処理して得られた計測結果から算出された切削溝データとして、前述のヘアラインズレ量［ｍｍ］、切削溝幅［ｍｍ］、チッピング最大値［ｍｍ］、およびその領域［ｐｉｘ］をデータメモリ部３２ａに記憶する。
【００２７】
ここで、本実施の形態では、２カセット分の最大５０枚のウエーハに対応するため、データメモリ部３２ａには、図５に示すように、カセット欄ａ，ウエーハＩＤ欄ｂ、チャンネル欄ｃ、カーフチェック座標（Ｘ，Ｙ）欄ｄ、ヘアラインズレ量欄ｅ、切削溝幅欄ｆ、チッピング最大値欄ｇ、チッピングエリア欄ｈ、カーフチェック画像ポインタ欄ｉ、およびウエーハマップポインタ欄ｊが設定され、カーフチェック毎に各欄に対応するデータを記憶させるように設定されている。すなわち、カーフチェックを行ったＸＹ座標（Ｘ，Ｙ座標は、いずれもチャックテーブル１１の中心を０とした相対座標）で示す位置情報をカーフチェック座標（Ｘ，Ｙ）欄ｄに記憶させ、該位置情報に関連して各切削データを対応する各欄ｅ，ｆ，ｇ，ｈに記憶させ、さらに、対応する画像情報を特定するためにカーフチェック画像ポインタ欄ｉに図６に示すような画像メモリ部３２ｂ上に記憶されている画像情報の格納箇所を示すポインタを記憶させ、さらに、対応するウエーハマップを特定するためにウエーハマップポインタ欄ｊに図７に示すようなウエーハマップメモリ部３２ｃ上に記憶されているウエーハマップデータの格納箇所を示すポインタを記憶させるものである。
【００２８】
さらに、最大５０枚分のウエーハに関して、切削溝データの対応をとるために、各ウエーハを特定するＩＤ情報であるウエーハＩＤ情報、カセットの違い、チャンネルの違いに関するデータもそれぞれ対応する欄ａ，ｂ，ｃに記憶させるように設定されている。ここで、ウエーハＩＤ情報としては、例えば２つのカセット２１に収容されて上方から下方に向けて（逆順でもよい）順に番号付けされたウエーハ番号が用いられている。カセット２１は、上段が１、下段が２とされている（逆でもよい）。
【００２９】
次に、マイクロプロセッサ３１により実行されるウエーハＷの分割予定ラインに沿った切削加工動作に伴うウエーハの加工結果管理方法について図８〜図１２を参照して説明する。図８は、切削加工動作に伴うウエーハの加工結果管理方法を示す概略フローチャートであり、図９は、図８の処理に対して割り込み可能なカーフ情報表示割り込み処理例を示す概略フローチャートであり、図１０は、加工処理中における表示パネル１３の表示例を示す概略正面図であり、図１１は、カーフチェックデータ表示中の表示パネル１３の表示例を示す概略正面図であり、図１２は、カーフチェック結果選択用の表示パネル１３の表示例を示す概略正面図である。
【００３０】
まず、加工処理に先立ち、各ウエーハＷ毎にデバイスデータを作成するものであり、デバイスデータ作成のための条件設定が終了しているか否かを判断する（ステップＳ１０１）。この際、入力すべきデータ類としては、ウエーハＷに対する加工条件やオートアライメント用データの他に、カーフチェックデータの設定が含まれる。カーフチェックデータの設定としては、分割予定ラインＳの何ライン置きにカーフチェックを行うか、チャンネル１／２毎に何回ずつカーフチェックを行うか等の設定が含まれる。本実施の形態では、例えば、各チャンネル１／２毎、並びに各ウエーハＷ毎にウエーハＷの外周側から３ライン目の２箇所で定期的にカーフチェックを行うように設定されているものとする。
【００３１】
条件設定が終了している場合には（ステップＳ１０１，Ｙｅｓ）、表示パネル１３の初期画面上に表示されているフルオートボタンが押下されたか否かを判断し（ステップＳ１０２）、押下されていれば（ステップＳ１０２，Ｙｅｓ）、分割予定ラインＳに沿って切削加工を自動的に行うフルオート動作に移行する。
【００３２】
まず、切削加工の対象となるウエーハＷをカセット２１からチャックテーブル１１上に搬入する（ステップＳ１０３）。そして、搬入されたウエーハＷを撮像手段１２に位置付けて撮像し、撮像手段１２によって取得した画像情報を基に切削すべき分割予定ラインＳを検出し、割り出し送り手段１６を作動させるオートアライメント（加工位置認識）処理を実行させる（ステップＳ１０４）。この処理は、チャンネル１，２について行う。次いで、切り込み送り手段２４ａ，２４ｂおよび加工送り手段１５を作動させて対象となる分割予定ラインＳに切削ブレード２２ａ，２２ｂで切削溝を生成する切削処理を実行させる（ステップＳ１０５；切削ステップ）。
【００３３】
このような加工処理中は、ウエーハマップ−ラインモードに設定され、表示パネル１３上に、ウエーハマップを表示する（ステップＳ１０６）。加工処理中の表示例を示す図１０を参照すれば、表示パネル１３のメインエリア４１内の周辺部に配設表示されたカーフイメージボタン４１ａ，チェックポイントボタン４１ｂ，ウエーハマップボタン４１ｃ，ＸＩＳ（Extended Interface System）ボタン４１ｄ，ワークモード用ボタン４１ｅ，ラインモード用ボタン４１ｆ，上スクロールボタン４１ｇ，下スクロールボタン４１ｈ、カット一時停止ボタン４１ｉ、カーフチェックデータ表示ボタン４１ｊ等のうち、チェックポイントボタン４１ｂ，ウエーハマップボタン４１ｃ，ラインモード用ボタン４１ｆおよびカーフチェックデータ表示ボタン４１ｊが表示されるウエーハマップ−ラインモードとなっており、該メインエリア４１内の中央にはウエーハマップ−ラインモードのウエーハマップ４２が表示される。ウエーハマップ４２は、ウエーハＷの形状（円形状）と分割予定ライン（複数本の横線）の模式図を示すものであって、ウエーハイメージ上での切削ブレード２２ａ，２２ｂの切削の進行状況を目視可能に示すものである。図示例では、ウエーハマップ４２上、斜線を施して示す領域４２ａが切削ブレード２２ａ（Ｚ１軸）による分割予定ラインＳの切削完了済み領域を示し、異なる斜線を施して示す領域４２ｂが切削ブレード２２ｂ（Ｚ２軸）による分割予定ラインＳの切削完了済み領域を示している（実際には、例えば領域４２ａが青色表示で示され、領域４２ｂが緑色表示で示され、切削されていない分割予定ラインＳは灰色表示で示される）。
【００３４】
なお、図１０において、カーフイメージボタン４１ａは、カット動作停止中においてメインエリア４１の背景に撮像手段１２の撮像画像を表示するかしないかを選択するボタンである。チェックポイントボタン４１ｂは、メインエリア４１に表示されているウエーハマップ４２のライン上に表示すべきイベントを選択するボタンであり、本実施の形態では、カーフチェックが実行されたライン（分割予定ライン）上に位置情報を示すマークとして、例えば星印を表示させるように設定されているものとする。ウエーハマップボタン４１ｃは、ウエーハマップを表示させるモードに切り換えるボタンであり、ＸＩＳボタン４１ｄは、カット動作停止中において撮像手段１２に関して光量調整、フォーカス調整等を行うためのＸＩＳモード表示に切り換えるボタンである。ワークモード用ボタン４１ｅは、ウエーハマップモード中で、オートアライメント用のティーチ時にターゲットを探す等のためのモード設定用ボタンであり、ラインモード用ボタン４１ｆは、図１０に示すようなウエーハマップ４２を表示させるモード設定用ボタンである。上スクロールボタン４１ｇは、カット動作停止中においてウエーハマップ４２上の選択ラインを１ライン上に移動させるためのボタンであり、下スクロールボタン４１ｈは、カット動作停止中においてウエーハマップ４２上の選択ラインを１ライン下に移動させるためのボタンである。カーフチェックデータ表示ボタン４１ｊは、ウエーハマップ４２上で選択されたラインに関する詳細情報を表示させるためのボタンである。
【００３５】
また、図１０において、表示パネル１３の下欄領域は、例えば４つの機能切り換えボタン４３の操作に従いキー機能がソフトウエアによって切り換えられる機能キーＦ１〜Ｆ１０を備えるソフトウエアキーボード領域４４とされている。
【００３６】
その後、所定の分割予定ラインＳについて切削加工後に該分割予定ラインＳが予め設定されているカーフチェックラインであれば（ステップＳ１０７，Ｙｅｓ）、チャックテーブル１１の位置を移動させることで当該分割予定ラインＳに形成された切削溝を撮像手段１２に位置付けて撮像手段１２で切削溝を撮像し、カーフチェック処理を行う（ステップＳ１０８）。すなわち、撮像手段１２で切削溝を撮像して画像情報を生成し、さらに該画像情報を画像処理部３５で画像処理して切削溝データ（ヘアラインズレ量、切削溝幅、チッビング最大値およびチッピングエリア）を生成するとともに、該カーフチェックを行った撮像手段１２とウエーハＷとの位置関係をＸＹ座標で示す位置情報を生成する。このように生成された該カーフチェック位置の画像情報、並びに切削溝データ等を、表示パネル１３のメインエリア４１に表示させる（ステップＳ１０９）。この場合の表示は、後述の図１１の場合と同様である。
【００３７】
さらに、カーフチェックを行った今回の画像情報、切削溝データをＸＹ座標で示す位置情報に関連して記憶手段３２に記憶させる（ステップＳ１１０；記憶ステップ）。この際、当該切削溝の切削加工中のウエーハＷに関する情報として、供給されたカセット２１の種別、ウエーハＩＤ、チャンネル情報を取得し、図５に示すように、ウエーハＩＤに対応付けて今回の画像情報、切削溝データ、さらにはウエーハマップ情報を記憶手段３２に記憶させる。このような情報の記憶において、情報量の多い画像情報やウエーハマップ情報は、それぞれ図６、図７に示すように、画像メモリ部３２ｂやウエーハマップメモリ部３２ｃに格納され、データメモリ部３２ａ上では画像メモリ部３２ｂやウエーハマップメモリ部３２ｃ上の格納位置を示すポインタ情報を格納させることで、位置情報に関連付けられる。
【００３８】
また、表示パネル１３に表示されているウエーハマップ４２のカーフチェックを行った分割予定ライン（切削溝）上のカーフチェック位置に星印のカーフチェックマーク４５をアイコン表示させる（ステップＳ１１１；表示ステップ）。
【００３９】
この後、または、カーフチェックラインでなかった場合（ステップＳ１０７，Ｎｏ）、チャンネル１用の全ての分割予定ラインＳに関する切削溝の形成が終了しているか否かを判断し（ステップＳ１１２）、終了していない場合には（ステップＳ１１２，Ｎｏ）、後続の分割予定ラインＳに対する切削加工処理に戻る（ステップＳ１０５）。
【００４０】
チャンネル１分の処理が終了したら（ステップＳ１１２，Ｙｅｓ）、チャンネル２分の処理が終了しているか否かを判断し（ステップＳ１１３）、終了していない場合には（ステップＳ１１３，Ｎｏ）、該ウエーハＷに関して９０°回転済みであるか否かを判断する（ステップＳ１１４）。９０°回転済みでない場合には（ステップＳ１１４，Ｎｏ）、チャンネル１用の対応するウエーハマップ情報をウエーハマップメモリ部３２ｃに更新記録するとともに（ステップＳ１１５）、チャックテーブル１１を９０°回転させてウエーハＷを９０°回転させる（ステップＳ１１６）。ステップＳ１１５では、全ライン切削完了済みでカーフチェック箇所にマーク４５が付与されたウエーハマップ４２のデータとしてウエーハマップメモリ部３２ｃに更新格納される。ウエーハＷが９０°回転済みの場合や９０°回転させた後は（ステップＳ１１４，Ｙｅｓ、ステップＳ１１６）、チャンネル２用の切削処理に戻る（ステップＳ１０５）。
【００４１】
チャンネル２分の処理が終了したら（ステップＳ１１３，Ｙｅｓ）、チャンネル２用の対応するウエーハマップ情報をウエーハマップメモリ部３２ｃに更新記録する（ステップＳ１１７）。すなわち、全ライン切削完了済みでカーフチェック箇所にマーク４５が付与されたウエーハマップ４２のデータとしてウエーハマップメモリ部３２ｃに更新格納される。
【００４２】
この後、切削処理が完了したウエーハＷは、チャックテーブル１１上から搬出して洗浄工程等を経てカセット２１内に搬入される（ステップＳ１１８）。ついで、カセット２１内に未処理のウエーハＷが残っているか否かを判断し（ステップＳ１１９）、残っている場合には（ステップＳ１１９，Ｙｅｓ）、上述のステップＳ１０３〜Ｓ１１８の処理を同様に繰り返す。そして、カセット２１内の全てのウエーハＷについて切削加工が終了し、カセット２１内に未処理のウエーハＷが残っていない場合には（ステップＳ１１９，Ｎｏ）、一連のフルオート処理を終了する。
【００４３】
なお、これら一連の処理中において、オペレータが所望のタイミングで外付けの記憶媒体３７へのデータセーブを指示すると、記憶手段３２に格納された記憶データは外付けの記憶媒体３７にセーブされる。
【００４４】
このような処理が終了すると、データメモリ部３２ａや画像メモリ部３２ｂやウエーハマップメモリ部３２ｃには、図５〜図７に示すように、全てのカーフチェック箇所に関するカーフチェック結果であるウエーハ情報が格納された状態となる。加工途中であれば、その段階までの全てのカーフチェック箇所に関するカーフチェック結果であるウエーハ情報が格納された状態となる。
【００４５】
次に、図８で示したような加工処理中あるいは加工処理後の任意の時点で割り込み可能なカーフ情報表示割り込み処理例について図９を参照して説明する。例えば、図１０に示すようなウエーハマップ４２の表示中において、ウエーハマップ４２外でメインエリア４１内に指４６が触れた場合、指４６が触れた位置のＸ方向の延長線上のラインが選択されたことになる。このように分割予定ラインＳ（切削溝）の選択が可能であり、マーク４５がアイコン表示された分割予定ラインＳ（切削溝）を選択した場合には、カーフチェックラインが選択指示されたこととなる。ライン選択は、上スクロールボタン４１ｇや下スクロールボタン４１ｈの操作であってもよい。選択されたラインは、例えば赤色表示で明示される。
【００４６】
そこで、カーフチェックラインの選択指示があったか否かを監視し（ステップＳ２０１）、マーク４５がアイコン表示された分割予定ラインＳ（切削溝）の選択指示があった場合には（ステップＳ２０１，Ｙｅｓ）、マーク４５がアイコン表示されているカーフチェック位置の位置情報（Ｘ，Ｙ）を基に記憶手段４２内のデータを検索し、対応する画像情報を画像メモリ部３２ｂから読み出してメインエリア４１上に再生表示させる（ステップＳ２０２；再生ステップ）。さらに、詳細表示用のカーフチェックデータ表示ボタン４１ｊが押下されたか否かを判断し（ステップＳ２０３）、押下された場合には（ステップＳ２０３，Ｙｅｓ）、選択指示されたカーフチェック位置情報に対応する切削溝データを記憶手段３２中のデータメモリ部３２ａから読み出してメインエリア４１上に再生表示させる（ステップＳ２０４；再生ステップ）。
【００４７】
カーフチェックデータ表示中の表示パネル１３の表示例を示す図１１を参照すれば、メインエリア４１に撮像手段１２で撮像されたカーフチェック結果の画像情報５１が表示される。画像情報５１中、５１ａは、半導体チップ部分を示し、５１ｂは、分割予定ラインを切削して生成された切削溝を示し、５１ｃは、撮像手段１２の中心位置を示すヘアラインであり、５１ｄは、切削溝中心を示している。また、切削溝データは、切削溝部分を避けた画像情報５１の一部を利用して表示される。また、画像情報５１の右側は、例えば何ライン目のカットであるか、Ｘ軸上のカット開始位置、Ｘ軸上のカット終了位置、カット時のＹ座標、ブレード高さ、送り速度等のカット結果を表示する結果表示欄５２とされている。また、結果表示欄５２の上部には、現在表示中の情報が切削ブレード２２ａ（Ｚ１軸）による結果であるか、切削ブレード２２ｂ（Ｚ２軸）による結果であるかを示すＺ１軸／Ｚ２軸表示欄５３とされている。
【００４８】
そして、カーフチェックデータ表示ボタン４１ｊが再び押下された場合には（ステップＳ２０５，Ｙｅｓ）、図１０に示すような元のウエーハマップ表示状態に復帰する（ステップＳ２０６）。
【００４９】
一方、例えば、図１０に示すようなウエーハマップ４２の表示中において、ソフトウエアキーボード領域４４の機能キーＦ１〜Ｆ１０中の、例えば機能キーＦ１に割り当てられたカーフチェック結果ボタンが押下された否かを監視し（ステップＳ２０７）、カーフチェック結果ボタンが押下された場合には（ステップＳ２０７，Ｙｅｓ）、図１２に示すようなカーフチェック結果選択画面を表示パネル１３に表示させる（ステップＳ２０８）。すなわち、カーフチェック結果の表示を所望するカセット２１やウエーハＷやチャンネルを選択するために、カセット選択操作欄６１ａ、ウエーハＩＤ選択操作欄６１ｂ、チャンネル選択操作欄６１ｃを表示させる。６１ｄは、表示処理を指示するための表示ボタンであり、６１ｅは、図１０のような通常表示に戻すためのイクジットボタンである。
【００５０】
そして、カセット選択操作欄６１ａ、ウエーハＩＤ選択操作欄６１ｂ、チャンネル選択操作欄６１ｃに関する操作で、所望のカセット２１、ウエーハＩＤ、チャンネルの選択指示があり（ステップＳ２０９，Ｙｅｓ）、表示ボタン６１ｄが押下されると（ステップＳ２１０，Ｙｅｓ）、選択指示されたカセット２１、ウエーハＩＤ、チャンネルに対応するウエーハＷのウエーハマップ情報を記憶手段３２から読み出してメインエリア４１にウエーハマップ４２を表示させる（ステップＳ２１１）。図１２に示すウエーハマップ４２は、既に全体が加工処理済みのウエーハＷに対応する表示例を示し、領域４２ａ，４２ｂで二分されている。また、カーフチェック位置を示すマーク４５も再生表示される。
【００５１】
そこで、イクジットボタン６１ｅを押下しなければ（ステップＳ２１２，Ｎｏ）、ステップＳ２０１の判定処理に戻り、メインエリア４１に表示されているウエーハマップ４２に対するカーフチェックラインの選択指示がマーク４５の位置を目安に可能となる。すなわち、前述したようなステップＳ２０１〜Ｓ２０４の処理が可能となる。これにより、所望時に、カセット２１内に搬入された既に加工処理済みのウエーハＷに関するカーフチェック結果をその画像を含めて再生させることができる。
【００５２】
このように、本実施の形態によれば、形成された切削溝を撮像手段１２に位置付けて撮像するカーフチェック毎に生成される切削溝データを画像情報とともにその位置情報に関連して記憶手段３２に累積的に記憶させておくので、複数枚のウエーハＷに対して連続的に加工処理する量産時の加工品質の管理がしやすくなる。また、カーフチェック毎に画像情報も記憶され、ウエーハの形状と分割予定ラインの模式図をウエーハマップ４２として表示するとともにカーフチェックの位置情報を示すマーク４５もウエーハマップ４２上に併せて表示させ、マーク４５を利用した判りやすい所望のカーフチェック箇所の指定により切削溝データとともに画像情報を表示パネル１３上に再生するので、加工中或いは加工後の所望時において表面品質の経時変化を目視で確認することができ、後の加工に反映させる等の利用も可能になる。特に、複数枚のウエーハＷをカセット２１単位で連続的に加工処理する上で、ウエーハＷを特定するＩＤ情報とともに、ウエーハＷ毎にウエーハマップと画像情報と切削溝データとのウエーハ情報が記憶手段３２に記憶され、指定されたＩＤ情報に基づいて対応するウエーハＷのウエーハ情報を記憶手段３２から表示パネル１３に出力することで、同一カセット２１内の加工済みの所望のウエーハに関して所望時に該ウエーハのＩＤ情報を指定すれば画像情報を含むカーフチェック結果を表示パネル１３上に再現することができる。
【００５３】
また、本実施の形態によれば、記憶手段３２に記憶された画像情報を含むカーフチェックに関する各種情報は、ＵＳＢメモリ等の記憶媒体３７にも記憶されるので、当該加工装置１０以外の所望のパソコン等において任意の時点で、画像情報を含むカーフチェック結果を再現することができる。
【００５４】
なお、本実施の形態では、デュアルカット方式の加工装置への適用例として説明したが、２つの切削ブレードを用いて同一の分割予定ラインを２段階に切削処理するステップカット方式の加工装置や、１つの切削ブレードを用いるシングルカット方式の加工装置の場合であっても同様に適用できる。
【００５５】
また、カーフチェック処理を定期的に行う場合に限らず、ランダムに行う方式の場合にも同様に適用することができる。また、チャンネル毎やウエーハ毎にカーフチェック処理のタイミング、回数を変えるようにしてもよい。さらには、カセット２１は２段重ねの場合に限らず、１個のカセット２１のみを使用する場合であってもよい。また、記憶媒体３７としても、ＵＳＢメモリに限らず、ＣＤ−Ｒ、ＤＶＤ−Ｒその他の各種記憶媒体を用いることができ、対応するドライブ装置を使用するようにすればよい。さらには、記憶媒体３７は、有線／無線ＬＡＮで記憶手段３２のデータを外部パソコン等に転送して記憶管理するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の実施の形態のウエーハの加工結果管理方法を実施する加工装置の構成例を示す概略斜視図である。
【図２】本実施の形態に適用されるウエーハの構成例を示す平面図である。
【図３】加工手段等の構成例を示す概略正面図である。
【図４】本実施の形態の加工装置が内蔵する制御部の構成例を示す概略ブロック図である。
【図５】データメモリ部のデータ格納例を模式的に示す説明図である。
【図６】画像メモリ部のデータ格納例を模式的に示す説明図である。
【図７】ウエーハマップモリ部のデータ格納例を模式的に示す説明図である。
【図８】切削加工動作に伴うウエーハの加工結果管理方法を示す概略フローチャートである。
【図９】図８の処理に対して割り込み可能なカーフ情報表示割り込み処理例を示す概略フローチャートである。
【図１０】加工処理中における表示パネルの表示例を示す概略正面図である。
【図１１】カーフチェックデータ表示中の表示パネルの表示例を示す概略正面図である。
【図１２】カーフチェック結果選択用の表示パネルの表示例を示す概略正面図である。
【符号の説明】
【００５７】
１０  加工装置
１１  チャックテーブル
１２  撮像手段
１３  表示パネル
１４  加工手段
１５  加工送り手段
１６  割り出し送り手段
３２  記憶手段
３７  記憶媒体
４２  ウエーハマップ
４５  マーク
Ｓ１０５  切削ステップ
Ｓ１１０  記憶ステップ
Ｓ１１１  表示ステップ
Ｓ２０２，Ｓ２０４  再生ステップ
Ｓ  分割予定ライン
Ｗ  ウエーハ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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