(57)【要約】【課題】液滴吐出装置のステージ上、またはワーク上の異物の有無を検出することができる異物検出方法、異物検出装置、および液滴吐出装置を提供すること。【解決手段】異物検出方法は、光源１４から射出された光束２２が、面１１ａに対して垂直であるとともに互いに平行で、かつ対向する２つの反射面１２ａ，１３ａの間で反射を繰り返しながら、面１１ａにほぼ平行に伝播し、面１１ａの少なくとも一部を覆うステップＡと、光束２２を受光するステップＢと、受光された光束２２の強度に基づいて、面１１ａの少なくとも一部上での異物の有無を判定するステップＣと、を含んでいる。【選択図】図１
2008107217.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源から射出された光束が、対象面に対して垂直であるとともに互いに平行で、かつ対向する２つの反射面の間で反射を繰り返しながら、前記対象面にほぼ平行に前記対象面上の所定の高さを伝播し、前記対象面の少なくとも一部を覆うステップＡと、
前記光束を受光するステップＢと、
前記受光された前記光束の強度に基づいて、前記少なくとも一部上での異物の有無を判定するステップＣと、
を含むことを特徴とする異物検出方法。
【請求項２】
請求項１に記載の異物検出方法であって、
前記対象面のほぼ全域に対応する範囲が前記２つの反射面の間に位置しており、
前記ステップＡは、前記２つの反射面の間で前記光束が反射を繰り返して前記対象面のほぼ全域を覆うように、前記光束を前記２つの反射面の一方に入射させることを含む、
ことを特徴とする異物検出方法。
【請求項３】
請求項１または２のいずれか一項に記載の異物検出方法であって、
前記光束の中心のレベルは、前記対象面のレベルより高く、かつ、液滴吐出ヘッド下面のレベル以下である、
ことを特徴とする異物検出方法。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか一項に記載の異物検出方法であって、
前記ステップＡは、前記光束の光路と前記対象面との少なくとも一方を他方に対して前記対象面に水平な方向に相対移動させることにより、伝播する前記光束で前記対象面のほぼ全域を覆う、
ことを特徴とする異物検出方法。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか一項に記載の異物検出方法であって、
前記光源はレーザ光源を備えていて、
前記光束はレーザ光の光束である、
ことを特徴とする異物検出方法。
【請求項６】
対象面にほぼ平行に前記対象面上の所定の高さを伝播するように、光束を射出する光源と、
前記対象面に対して垂直であるとともに、互いに平行でかつ対向しており、前記対象面の少なくとも一部に対応する範囲が間に位置するように配置された２つの反射面と、
前記光束を受光する受光部と、
前記受光部で受光された前記光束の強度に基づいて、前記少なくとも一部上での異物の有無を判定する判定部と、を備え、
前記光源は、前記２つの反射面の間で前記光束が反射を繰り返して前記少なくとも一部を覆うように、前記光束を前記２つの反射面の一方に入射させるように配置されている、
ことを特徴とする異物検出装置。
【請求項７】
請求項６に記載の異物検出装置であって、
前記対象面のほぼ全域に対応する範囲が前記２つの反射面の間に位置しており、
前記光源は、前記２つの反射面の間で前記光束が反射を繰り返して前記対象面のほぼ全域を覆うように、前記光束を前記２つの反射面の一方に入射させるように配置されている、
ことを特徴とする異物検出装置。
【請求項８】
請求項６または７のいずれか一項に記載の異物検出装置であって、
前記光束の中心のレベルは、前記対象面のレベルより高く、かつ、液滴吐出ヘッド下面のレベル以下である、
ことを特徴とする異物検出装置。
【請求項９】
請求項６から８のいずれか一項に記載の異物検出装置であって、
前記光束の光路と前記対象面との少なくとも一方を他方に対して、前記対象面に水平な方向に相対移動させる機構をさらに備え、
前記機構により、伝播する前記光束で前記対象面のほぼ全域を覆う、
ことを特徴とする異物検出装置。
【請求項１０】
請求項６から９のいずれか一項に記載の異物検出装置であって、
前記光束の光路と前記対象面との少なくとも一方を他方に対して、前記対象面に垂直な方向に相対移動させる機構をさらに備えた、
ことを特徴とする異物検出装置。
【請求項１１】
請求項６から１０のいずれか一項に記載の異物検出装置であって、
前記光源はレーザ光源を備えていて、
前記光束はレーザ光の光束である、
ことを特徴とする異物検出装置。
【請求項１２】
ステージと、
液滴吐出ヘッドと、
前記ステージおよび前記液滴吐出ヘッドの少なくとも一方を他方に対して相対移動させる機構と、を含む液滴吐出装置であって、
前記ステージ上の対象面にほぼ平行に前記対象面上の所定の高さを伝播するように、光束を射出する光源と、
前記対象面に対して垂直であるとともに、互いに平行でかつ対向しており、前記対象面の少なくとも一部に対応する範囲が間に位置するように配置された２つの反射面と、
前記光束を受光する受光部と、
前記受光部で受光された前記光束の強度に基づいて、前記少なくとも一部上での異物の有無を判定する判定部と、を備え、
前記光源は、前記２つの反射面の間で前記光束が反射を繰り返して前記少なくとも一部を覆うように、前記光束を前記反射面の一方に入射させるように配置されており、
前記光束の中心のレベルは、前記対象面のレベルより高く、かつ、前記液滴吐出ヘッド下面のレベル以下であり、
前記判定部により異物があると判定された場合には所定の動作を行う、
ことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１３】
請求項１２に記載の液滴吐出装置であって、
前記対象面のほぼ全域に対応する範囲が前記２つの反射面の間に位置しており、
前記光源は、前記２つの反射面の間で前記光束が反射を繰り返して前記対象面のほぼ全域を覆うように、前記光束を前記反射面の一方に入射させるように配置されている、
ことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１４】
請求項１２または１３のいずれか一項に記載の液滴吐出装置であって、
前記光束の光路と前記対象面との少なくとも一方を他方に対して、前記対象面に水平な方向に相対移動させる機構をさらに備え、
前記機構により、伝播する前記光束で前記対象面のほぼ全域を覆う、
ことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１５】
請求項１２から１４のいずれか一項に記載の液滴吐出装置であって、
前記光束の光路と前記対象面との少なくとも一方を他方に対して、前記対象面に垂直な方向に相対移動させる機構をさらに備えた、
ことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１６】
請求項１２から１５のいずれか一項に記載の液滴吐出装置であって、
前記光源はレーザ光源を備えていて、
前記光束はレーザ光の光束である、
ことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１７】
請求項１２から１６のいずれか一項に記載の液滴吐出装置であって、
前記所定の動作は、前記ステージと前記液滴吐出ヘッドとの間の相対位置関係を変化させないようにする動作を含む、
ことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１８】
請求項１２から１７のいずれか一項に記載の液滴吐出装置であって、
前記所定の動作は、異物がある旨通知する動作を含む、
ことを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、異物検出方法、異物検出装置、および液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液滴吐出装置を用いて、例えば液晶表示装置、有機ＥＬ表示装置などの各種の電気光学装置を製造することができるが、通常、そのワークの厚みは製造対象物によって様々である。そのため、液滴吐出ヘッドとワークとのギャップを適切に設定しないと、液滴吐出ヘッドがワークに接触して、液滴吐出ヘッドやワーク等を損傷するおそれがある。これに対して、ワークの厚み、種別等に対応して液滴吐出ヘッドとワークとのギャップを適切に設定し、液滴吐出ヘッドとワークとの接触を未然に回避することができる液滴吐出装置が提案されている（例えば特許文献１）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−２８３６３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、液滴吐出装置を用いて電気光学装置を製造する際、ワークの表面にゴミ等の異物がもともと付着していることや、ワークまたはワークを載置するステージ上に異物が付着してしまうことがある。これらの異物の厚みが液滴吐出ヘッドとワークとのギャップの設定値以上であると、液滴吐出ヘッドがワーク上の異物、またはステージ上の異物の上にワークが重なり盛り上がった部分に接触することにより、液滴吐出ヘッドやワークが損傷する場合がある。
【０００５】
本発明はこのような課題を鑑みてなされ、その目的の１つは、液滴吐出装置のステージ上、またはワーク上の異物の有無を検出することができる異物検出方法、異物検出装置、および液滴吐出装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る異物検出方法は、光源から射出された光束が、対象面に対して垂直であるとともに互いに平行で、かつ対向する２つの反射面の間で反射を繰り返しながら、前記対象面にほぼ平行に前記対象面上の所定の高さを伝播し、前記対象面の少なくとも一部を覆うステップＡと、前記光束を受光するステップＢと、前記受光された前記光束の強度に基づいて、前記少なくとも一部上での異物の有無を判定するステップＣと、を含むことを特徴とする。
【０００７】
これによれば、光源から射出された光束は、対象面の少なくとも一部を覆うように、２つの反射面の間で反射を繰り返して伝播する。したがって、光束は、射出された光束の幅よりも大きな領域を覆うことができる。このとき、対象面上の光束が覆う範囲内に所定の高さ以上の異物があると、その異物により対象面にほぼ平行に伝播する光束が遮られるため、光束は受光されない。また、対象面上の異物により光束の一部が遮られた場合も、受光された光束の強度は一部が遮られたことにより弱められる。したがって、受光された光束の強度に基づいて、対象面の少なくとも一部上における異物の有無を検出することができる。
【０００８】
この異物検出方法では、前記対象面のほぼ全域に対応する範囲が前記２つの反射面の間に位置しており、前記ステップＡは、前記２つの反射面の間で前記光束が反射を繰り返して前記対象面のほぼ全域を覆うように、前記光束を前記反射面の一方に入射させることを含んでいてもよい。
【０００９】
これによれば、光源から射出された光束は、対象面のほぼ全域を覆うように、２つの反射面の間で反射を繰り返して伝播する。したがって、光束の幅が対象面の幅より小さくても、光束は対象面のほぼ全域を覆うことができる。
【００１０】
この異物検出方法では、前記光束の中心のレベルは、前記対象面のレベルより高く、かつ、液滴吐出ヘッド下面のレベル以下であってもよい。
【００１１】
これによれば、光源から射出された光束は、その中心のレベルが、対象面のレベルより高く、かつ、液滴吐出ヘッド下面のレベル以下で伝播する。ここで、光束の中心を液滴吐出ヘッド下面の高さに設定すれば、液滴吐出ヘッド下面の高さ以上の厚みを有する異物を検出することができる。したがって、このような異物を検出することにより、液滴吐出ヘッドと異物との接触を未然に回避することができる。
【００１２】
この異物検出方法では、前記ステップＡは、前記光束の光路と前記対象面との少なくとも一方を他方に対して前記対象面に水平な方向に相対移動させることにより、伝播する前記光束で前記対象面のほぼ全域を覆ってもよい。
【００１３】
これによれば、光束の光路と対象面との少なくとも一方を他方に対して対象面に水平な方向に相対移動させることで、光束を対象面に対してほぼ平行な面内で水平な方向に走査することができる。したがって、光源から射出された光束の幅が対象面の幅より小さくても、光束を水平な方向に走査することにより、光束は対象面のほぼ全域を覆うことができる。
【００１４】
この異物検出方法では、前記光源はレーザ光源を備えていて、前記光束はレーザ光の光束であってもよい。
【００１５】
これによれば、レーザ光は指向性が強くほとんど拡散しないため、光源から射出された光束と受光された光束との強度はほぼ変わらない。一方、対象面上の異物により光束が遮られた場合、周囲の光束の回り込みがほとんどないため、受光される光束の強度は異物により遮られた分だけ弱められる。したがって、対象面上の異物の検出をより精度よく行うことができる。
【００１６】
本発明に係る異物検出装置は、対象面にほぼ平行に前記対象面上の所定の高さを伝播するように、光束を射出する光源と、前記対象面に対して垂直であるとともに、互いに平行でかつ対向しており、前記対象面の少なくとも一部に対応する範囲が間に位置するように配置された２つの反射面と、前記光束を受光する受光部と、前記受光部で受光された前記光束の強度に基づいて、前記少なくとも一部上での異物の有無を判定する判定部と、を備え、前記光源は、前記２つの反射面の間で前記光束が反射を繰り返して前記少なくとも一部を覆うように、前記光束を前記２つの反射面の一方に入射させるように配置されている、ことを特徴とする。
【００１７】
これによれば、光源から射出された光束は、対象面の少なくとも一部を覆うように、２つの反射面の間で反射を繰り返して伝播する。したがって、光束は、射出された光束の幅よりも大きな領域を覆うことができる。このとき、対象面上の光束が覆う範囲内に所定の高さ以上の異物があると、その異物により対象面にほぼ平行に伝播する光束が遮られるため、光束は受光されない。また、対象面上の異物により光束の一部が遮られた場合も、受光された光束の強度は一部が遮られたことにより弱められる。したがって、受光された光束の強度に基づいて、対象面の少なくとも一部上における異物の有無を検出することができる。
【００１８】
この異物検出装置では、前記対象面のほぼ全域に対応する範囲が前記２つの反射面の間に位置しており、前記光源は、前記２つの反射面の間で前記光束が反射を繰り返して前記対象面のほぼ全域を覆うように、前記光束を前記反射面の一方に入射させるように配置されていてもよい。
【００１９】
これによれば、光源から射出された光束は、対象面のほぼ全域を覆うように、２つの反射面の間で反射を繰り返して伝播する。したがって、光束の幅が対象面の幅より小さくても、光束は対象面のほぼ全域を覆うことができる。
【００２０】
この異物検出装置では、前記光束の中心のレベルは、前記対象面のレベルより高く、かつ、液滴吐出ヘッド下面のレベル以下であってもよい。
【００２１】
これによれば、光源から射出された光束は、その中心のレベルが、対象面のレベルより高く、かつ、液滴吐出ヘッド下面のレベル以下で伝播する。ここで、光束の中心のレベルを液滴吐出ヘッド下面の高さに設定すれば、液滴吐出ヘッド下面の高さ以上の厚みを有する異物を検出することができる。したがって、このような異物を検出することにより、液滴吐出ヘッドと異物との接触を未然に回避することができる。
【００２２】
この異物検出装置では、前記光束の光路と前記対象面との少なくとも一方を他方に対して、前記対象面に水平な方向に相対移動させる機構をさらに備え、前記機構により、伝播する前記光束で前記対象面のほぼ全域を覆ってもよい。
【００２３】
これによれば、光束の光路と対象面との少なくとも一方を他方に対して対象面に水平な方向に相対移動させることで、光束を対象面に対してほぼ平行な面内で水平な方向に走査することができる。したがって、光源から射出された光束の幅が対象面の幅より小さくても、光束を水平な方向に走査することにより、光束は対象面のほぼ全域を覆うことができる。
【００２４】
この異物検出装置では、前記光束の光路と前記対象面との少なくとも一方を他方に対して、前記対象面に垂直な方向に相対移動させる機構をさらに備えていてもよい。
【００２５】
これによれば、光束の光路と対象面との少なくとも一方を他方に対して対象面に垂直な方向に相対移動させることで、光束を対象面に垂直な方向に沿った任意の高さで伝播させることができる。したがって、ステージの上面だけでなく、ステージ上に載置したワークの上面等の任意の高さにおける対象面上の異物の検出を行うことができる。
【００２６】
この異物検出装置では、前記光源はレーザ光源を備えていて、前記光束はレーザ光の光束であってもよい。
【００２７】
これによれば、レーザ光は指向性が強くほとんど拡散しないため、光源から射出された光束と受光部で受光された光束との強度はほぼ変わらない。一方、対象面上の異物により光束が遮られた場合、周囲の光束の回り込みがほとんどないため、受光部で受光される光束の強度は異物により遮られた分だけ弱められる。したがって、対象面上の異物の検出をより精度よく行うことができる。
【００２８】
本発明に係る液滴吐出装置は、ステージと、液滴吐出ヘッドと、前記ステージおよび前記液滴吐出ヘッドの少なくとも一方を他方に対して相対移動させる機構と、を含む液滴吐出装置であって、前記ステージ上の対象面にほぼ平行に前記対象面上の所定の高さを伝播するように、光束を射出する光源と、前記対象面に対して垂直であるとともに、互いに平行でかつ対向しており、前記対象面の少なくとも一部に対応する範囲が間に位置するように配置された２つの反射面と、前記光束を受光する受光部と、前記受光部で受光された前記光束の強度に基づいて、前記少なくとも一部上での異物の有無を判定する判定部と、を備え、前記光源は、前記２つの反射面の間で前記光束が反射を繰り返して前記少なくとも一部を覆うように、前記光束を前記反射面の一方に入射させるように配置されており、前記光束の中心のレベルは、前記対象面のレベルより高く、かつ、前記液滴吐出ヘッド下面のレベル以下であり、前記判定部により異物があると判定された場合には所定の動作を行う、ことを特徴とする。
【００２９】
これによれば、光源から射出された光束は、対象面の少なくとも一部を覆うように、２つの反射面の間で反射を繰り返して伝播する。したがって、光束は、射出された光束の幅よりも大きな領域を覆うことができる。このとき、対象面上の光束が覆う範囲内に所定の高さ以上の異物があると、その異物により対象面にほぼ平行に伝播する光束が遮られるため、光束は受光されない。また、対象面上の異物により光束の一部が遮られた場合も、受光された光束の強度は一部が遮られたことにより弱められる。したがって、受光された光束の強度に基づいて、対象面の少なくとも一部上における異物の有無を検出することができる。ここで、光源から射出された光束の中心を液滴吐出ヘッド下面の高さに設定すれば、液滴吐出ヘッド下面の高さ以上の厚みを有する異物を検出することができる。したがって、このような異物を検出することにより、液滴吐出ヘッドと異物との接触を未然に回避することができる。
【００３０】
この液滴吐出装置では、前記対象面のほぼ全域に対応する範囲が前記２つの反射面の間に位置しており、前記光源は、前記２つの反射面の間で前記光束が反射を繰り返して前記対象面のほぼ全域を覆うように、前記光束を前記反射面の一方に入射させるように配置されていてもよい。
【００３１】
これによれば、光源から射出された光束は、対象面のほぼ全域を覆うように、２つの反射面の間で反射を繰り返して伝播する。したがって、光束の幅が対象面の幅より小さくても、光束は対象面のほぼ全域を覆うことができる。
【００３２】
この液滴吐出装置では、前記光束の光路と前記対象面との少なくとも一方を他方に対して、前記対象面に水平な方向に相対移動させる機構をさらに備え、前記機構により、伝播する前記光束で前記対象面のほぼ全域を覆ってもよい。
【００３３】
これによれば、光束の光路と対象面との少なくとも一方を他方に対して対象面に水平な方向に相対移動させることで、光束を対象面に対してほぼ平行な面内で水平な方向に走査することができる。したがって、光源から射出された光束の幅が対象面の幅より小さくても、光束を水平な方向に走査することにより、光束は対象面のほぼ全域を覆うことができる。
【００３４】
この液滴吐出装置では、前記光束の光路と前記対象面との少なくとも一方を他方に対して、前記対象面に垂直な方向に相対移動させる機構をさらに備えていてもよい。
【００３５】
これによれば、光束の光路と対象面との少なくとも一方を他方に対して対象面に垂直な方向に相対移動させることで、光束を対象面に垂直な方向に沿った任意の高さで伝播させることができる。したがって、ステージの上面だけでなく、ステージ上に載置したワークの上面等の任意の高さにおける対象面上の異物の検出を行うことができる。
【００３６】
この液滴吐出装置では、前記光源はレーザ光源を備えていて、前記光束はレーザ光の光束であってもよい。
【００３７】
これによれば、レーザ光は指向性が強くほとんど拡散しないため、光源から射出された光束と受光部で受光された光束との強度はほぼ変わらない。一方、対象面上の異物により光束が遮られた場合、周囲の光束の回り込みがほとんどないため、受光部で受光される光束の強度は異物により遮られた分だけ弱められる。したがって、対象面上の異物の検出をより精度よく行うことができる。
【００３８】
この液滴吐出装置では、前記所定の動作は、前記ステージと前記液滴吐出ヘッドとの間の相対位置関係を変化させないようにする動作を含んでいてもよい。
【００３９】
これによれば、対象面上に異物があると判定された場合にはステージと液滴吐出ヘッドとの間の相対位置関係は変化しない。すなわち、液滴吐出ヘッドとステージとはオーバーラップする位置にならない。したがって、液滴吐出ヘッドと対象面上の異物との接触を未然に回避することができる。
【００４０】
この液滴吐出装置では、前記所定の動作は、異物がある旨通知する動作を含んでいてもよい。
【００４１】
これによれば、対象面上に異物があると判定された場合には異物がある旨通知する。したがって、対象面上に異物があることをオペレータに通知し、オペレータに異物の除去を要請することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４２】
以下に、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。なお、参照する各図面において、構成をわかりやすく示すため、説明の主題となる要部を誇張して図示している場合がある。
【００４３】
（異物検出装置）
まず、本実施形態に係る異物検出装置の構成について図を参照して説明する。図１は、本実施形態に係る異物検出装置の概略構成を模式的に示す斜視図である。図２は、図１のIIの側から見た平面図である。図３および図４は、図１のIIIの側から見た部分断面図である。
【００４４】
異物検出装置１０は、図１および図２に示すように、ステージ１１と、２つの反射部１２，１３と、光源１４と、受光部１６と、判定部１８と、を備えている。
【００４５】
ステージ１１は、ほぼ平坦な面１１ａを有しており、その面１１ａ上にワーク２０を着脱可能に載置、または保持できるように構成されている。ワーク２０は、ほぼ平坦な面２０ａを有している。面１１ａと面２０ａとはほぼ平行である。本実施形態では、ステージ１１の面１１ａとワーク２０の面２０ａとのそれぞれが本発明の「対象面」である。以下では、面１１ａを対象面として説明を進めるが、その説明は面２０ａに対しても同様にあてはまる。ワーク２０は、例えば、ガラス、プラスチック等の材料からなる透明な基板である。ワーク２０の材料は、金属、セラミックス等であってもよい。
【００４６】
２つの反射部１２，１３は、光を反射する反射面１２ａ，１３ａをそれぞれ有している。そして、２つの反射部１２，１３は、ステージ１１およびワーク２０を挟むように配置されている。具体的には２つの反射部１２，１３は、面１１ａが２つの反射面１２ａ，１３ａの間に位置するように設けられている。ここで、反射部１２の反射面１２ａと反射部１３の反射面１３ａとは、面１１ａに垂直であるとともに互いに平行であり、かつ互いに対面している。これら２つの反射部１２，１３により、ほぼ平坦な面１１ａに対してほぼ平行な面内に光路が規定される。
【００４７】
光源１４は、面１１ａの反射部１２の側の一角の近傍に配置されている。光源１４は、面１１ａに平行な光束２２を射出する。光源１４は、射出された光束２２が反射部１２に遮られることなく反射部１３の反射面１３ａに入射するように位置している。また、光源１４は、射出された光束２２が反射面１３ａに入射する角度を調整できるように構成されている。ここで、光源１４は好適にはレーザ光源を備えていて、光束２２は好適にはレーザ光の光束である。なお、図１および図２に示す破線は、光束２２のビームの中心を表している。
【００４８】
受光部１６は、光源１４に対し面１１ａの対角の近傍に配置されている。受光部１６は、反射面１２ａで反射され光路から射出された光束２２を反射部１３に遮られることなく受光するように位置している。受光部１６は、受光した光束２２を電気信号に変換して出力する。受光部１６は、例えば、フォトダイオードを用いて構成されている。
【００４９】
判定部１８は、受光部１６に電気的に接続されている。判定部１８は、受光部１６の出力値を基準値と比較して、出力値が基準値より小さいときに異物があると判断することにより、異物の有無の判定を行う。
【００５０】
さて、光源１４を射出した光束２２は、本実施形態では反射面１３ａに入射して、反射面１３ａによって反射される。そして、反射面１３ａによって反射された光束２２は、反射面１２ａに入射して、反射面１２ａによって反射される。このように、光束２２は、反射面１２ａと反射面１３ａとの間で反射を繰り返しながら、Ｘ軸方向に伝播し、最終的に受光部１６に入射する。ここで、Ｘ軸方向とＹ軸方向とは、互いに垂直である。また、Ｘ軸方向とＹ軸方向とによって決まる平面は、対象面にほぼ平行である。そして、反射面１２ａ，１３ａの法線方向は、Ｙ軸方向に平行である。
【００５１】
さらに、光源１４と、反射面１２ａ，１３ａと、受光部１６とは、光源１４から受光部１６までの光路を伝播する光束２２によって対象面の全域が覆われるように、配置されている。本実施形態では、対象面は、反射面１２ａ，１３ａとの間で反射を繰り返しながら受光部１６へ伝播する光束２２によって覆われる。このような構成によれば、光束２２の幅２２ｗ（図２参照）が対象面の幅より小さくても、光束２２が反射面１２ａ，１３ａの間で反射を繰り返すので、光束２２は、対象面の全域を覆うことができる。なお、「光束２２の幅」とは、ここでは、光束２２の伝播方向に垂直な断面上での幅であって、かつＸ軸方向とＹ軸方向とで決まる平面上での幅を意味している。
【００５２】
なお、２つの反射部１２，１３と、光源１４と、受光部１６と、判定部１８とは、ステージ１１の面１１ａに平行な支持体（図示しない）により、図１のIIの側から支持されていてもよい。このような構成によれば、支持体をステージ１１に対して図のＺ軸方向に移動させることにより、２つの反射部１２，１３に規定される光路を面１１ａに対して、面１１ａに垂直な方向に相対移動させることができる。また、支持体をステージ１１に対して図のＸ軸方向またはＹ軸方向に移動させることにより、光路を面１１ａに対して、面１１ａに水平な方向に相対移動させることができる。
【００５３】
次に、本実施形態に係る異物検出方法について説明する。まず、図１および図２を参照して、異物検出ステップを順に説明する。
【００５４】
（異物検出ステップＡ）
光源１４から射出された光束２２を反射面１３ａに入射させる。入射した光束２２は、ステージ１１の面１１ａに対してほぼ平行であるとともに面１１ａから所定の高さにある仮想的な面内を、２つの反射面１２ａ，１３ａの間で反射を繰り返して面１１ａのほぼ全域を覆うように伝播する。これにより、光源１４から射出された光束２２の幅２２ｗ（図２参照）が面１１ａの幅より小さくても、光束２２は面１１ａのほぼ全域を覆うことができる。
【００５５】
光源１４から射出された光束２２の反射面１３ａに対する入射角θ（図２参照）は特に限定されないが、入射角θが小さいほど２つの反射面１２ａ，１３ａの間で光束２２が反射する回数を多くすることができる。なお、光源１４から射出されるレーザ光の光束２２は、ビームエキスパンダを用いてビーム径を拡大して反射面１３ａに入射させてもよい。また、光源１４から射出されるレーザ光の光束２２は、ビームスプリッタを用いてビームを分岐して反射面１３ａに入射させてもよい。
【００５６】
このとき、光束２２の光路と対象面との少なくとも一方を他方に対して対象面に垂直な方向に相対移動させることができるので、光束２２の光路を対象面に垂直な方向に沿った任意の高さに設けることができる。したがって、ステージ１１の面１１ａだけでなく、ステージ１１に載置したワーク２０の面２０ａ等の任意の高さにおける異物の検出を行うことができる。
【００５７】
（異物検出ステップＢ）
光路から射出された光束２２は、受光部１６で受光される。受光部１６は、受光した光束２２をその強度に応じて電気信号に変換し判定部１８に出力する。このとき、対象面、すなわち面１１ａ上に異物があると、その異物により光路を伝播する光束２２が遮られるため、光束２２は光路から射出されず受光部１６で受光されない。また、対象面上の異物により光束２２の一部が遮られた場合は、光路を射出し受光部１６で受光された光束２２の強度は、一部が遮られたことにより弱められる。
【００５８】
ここで、レーザ光は指向性が強くほとんど拡散しないため、光源１４から射出された光束２２と受光部１６で受光される光束２２との強度はほぼ変わらない。一方、対象面上の異物により光束２２が遮られた場合、周囲の光束の回り込みがほとんどないため、受光部１６で受光される光束２２の強度は異物により遮られた分だけ弱められる。これにより、受光部１６の出力は光束２２の強度が弱められた分だけ小さくなる。したがって、対象面上の異物の検出をより精度よく行うことができる。
【００５９】
（異物検出ステップＣ）
判定部１８は、受光部１６の出力値を基準値と比較して、出力値が基準値より小さいときに異物があると判断する。基準値は、検出すべき異物の大きさ、量等を考慮して適宜設定する。なお、基準値は、光束２２がワーク２０を透過するように光路が設けられる場合は、ワーク２０を透過することによる光束２２の強度の減衰を考慮して設定してもよい。
【００６０】
以上により、異物検出装置１０は、対象面上における異物の有無の判定を行うことができる。また、受光部１６の出力値と基準値との差の大小により、異物の大きさまたは量の推定を行うことも可能である。
【００６１】
（異なる対象面上の異物の検出方法）
次に、異なる対象面上の異物を検出する方法について、図３を参照して説明する。図３（ａ）は、ステージ１１の面１１ａ上に異物２４がある場合を示す。光源１４（図示しない）から射出された光束２２を、図３（ａ）に示すように、面１１ａの近傍で面１１ａに対してほぼ平行な面内に設けられた光路に導入する。このとき、面１１ａに対する光束２２の中心の高さが異物２４の厚みを超えない範囲であれば、光束２２は面１１ａ上の異物２４によって遮られる。これにより、異物２４を検出することができる。ここでは、面１１ａが「対象面」である。
【００６２】
図３（ｂ）は、ステージ１１の面１１ａ上に載置されたワーク２０の面２０ａ上に異物２４がある場合を示す。光源１４から射出された光束２２を、図３（ｂ）に示すように、面２０ａの近傍で面２０ａに対してほぼ平行な面内に設けられた光路に導入する。このとき、面２０ａに対する光束２２の中心の高さが異物２４の厚みを超えない範囲であれば、光束２２は面２０ａ上の異物２４によって遮られる。これにより、異物２４を検出することができる。ここでは、面２０ａが「対象面」である。
【００６３】
図３（ｃ）は、ステージ１１の面１１ａ上に異物２４があり、ステージ１１の面１１ａと異物２４との上にワーク２０が載置されている場合を示す。ワーク２０は、ステージ１１とワーク２０との間に異物２４があるため、異物２４に重なる部分が盛り上がっている。光源１４から射出された光束２２を、図３（ｃ）に示すように、光束２２の中心が面１１ａと面２０ａとの間の高さとなるように面１１ａに対してほぼ平行な面内に設けられた光路に導入する。すなわち、光束２２を、ワーク２０の光源１４側の端面からワーク２０に入射させる。
【００６４】
ワーク２０が透明な基板である場合、光束２２はワーク２０を透過するが面１１ａ上の異物２４によって遮られる。これにより、異物２４を検出することができる。ここで、面１１ａ上に異物２４がない場合には、光束２２はワーク２０を透過した後、ワーク２０から射出され受光部で受光される。ワーク２０を透過して受光された光束２２の強度は、ワーク２０を透過したことにより、ワーク２０を透過しない場合に比べて減衰している。この減衰した光束２２の強度を異物２４がない場合の光束２２の強度として適宜設定した基準値に基づいて判定すれば、ワーク２０を載置した状態であっても、ステージ１１の面１１ａ上の異物２４を検出することができる。ここでは、面１１ａが「対象面」である。
【００６５】
図３（ｄ）は、図３（ｃ）と同様の場合であって光束２２の中心の高さが異なる場合を示す。光束２２を、図３（ｄ）に示すように、光束２２の中心の高さが面２０ａに対してワーク２０の厚みを超えない範囲の高さのほぼ平行な面内に設けられた光路に導入する。光束２２はワーク２０が異物２４に重なり盛り上がった部分の斜面Ｓでワーク２０に入射する。
【００６６】
このとき、ワーク２０の斜面Ｓで光束２２の一部（図の反射光２２ｒ）が反射されることにより、ワーク２０に入射する光束２２の強度は減衰する。このワーク２０に入射した光束２２は、面１１ａに対する光束２２の中心の高さが異物２４の厚みを超えていなければ、異物２４によって遮られる。また、面１１ａに対する光束２２の中心の高さが異物２４の厚みを超えている場合は、光束２２はワーク２０の異物２４に重なり盛り上がった部分を透過した後、ワーク２０から射出され受光部で受光される。ワーク２０を透過して受光された光束２２の強度は、ワーク２０を透過したことによりさらに減衰している。このときの光束２２の強度を異物２４がある場合の光束２２の強度として適宜設定した基準値に基づいて判定すれば、ワーク２０を載置した状態であっても、ステージ１１の面１１ａ上の異物２４を検出することができる。ここでは、面１１ａが「対象面」である。
【００６７】
以上のことから、光束２２の中心の高さを対象面に対して図３（ｄ）に示すように設定すれば、図３（ｂ）および図３（ｄ）の両方の場合における対象面上の異物２４の有無、すなわち、面１１ａ上の異物２４の有無と面２０ａ上の異物２４の有無とを同時に判定することができる。したがって、ステージ１１の面１１ａ上にワーク２０を載置した後に異物検出を一度行うことで、以下のすべての場合について異物を検出することができる。１．ワーク２０を載置する前に、面１１ａ上に異物２４が付着した場合。２．ワーク２０を載置する前に、ワーク２０の面１１ａの対向面に異物２４が付着した場合。３．ワーク２０を載置する前に、ワーク２０の面２０ａ上に異物２４が付着した場合。４．ワーク２０を載置した後に、面２０ａ上に異物２４が付着した場合。
【００６８】
（異物検出方法の応用例）
本実施形態の異物検出方法は、ワークの対象面上にブラックマトリックス、隔壁、等が形成されている場合にも適用することができる。その一例として、カラーフィルタ基板を形成するために用いるワークの対象面上の異物を検出する方法について、図４を参照して説明する。なお、前述の説明と共通する事項については省略する。
【００６９】
図４（ａ）に示すように、ワーク３０は、ステージ１１の面１１ａ上に載置されている。ワーク３０は、基板３２と隔壁３４を含んでいる。基板３２は、ほぼ平坦な面３２ａを有している。基板３２は、例えば、ガラス、プラスチック等の材料からなる透明な基板である。基板３２の厚みは、例えば、０．５ｍｍである。
【００７０】
隔壁３４は、基板３２の面３２ａ上に形成されている。隔壁３４は、ブラックマトリックスを含んでいてもよい。隔壁３４は、例えば、公知のスクリーン印刷法またはパターニング法を用いて形成されている。隔壁３４は、面３２ａを複数の領域に区画している。隔壁３４に区画された面３２ａの複数の領域のそれぞれは、例えば、カラーフィルタの複数の色要素のいずれかの色の機能液を配置するためのものである。隔壁３４の断面形状は、例えば、台形である。隔壁３４の厚みは、例えば、３μｍである。
【００７１】
基板３２の面３２ａ上に付着している異物の有無を検出する。光源１４から射出された光束２２を、光束２２の中心の高さが隔壁３４を越える高さであって検出すべき異物の厚みを超えない範囲の高さのほぼ平行な面内に設けられた光路に導入する。ここでは、異物２４の厚みは、例えば、１ｍｍとする。光束２２の中心を、例えば、面３２ａに対して図のＺ方向に１０μｍの高さに設定する。このとき、光束２２は隔壁３４には遮られないが異物２４によって遮られる。これにより、面３２ａ上の異物２４を検出することができる。ここでは面３２ａが「対象面」である。
【００７２】
また、図示しないが、異物２４が隔壁３４上に付着している場合に、光束２２の中心を上記と同様にＺ方向に１０μｍの高さに設定すれば、光束２２は異物２４によって遮られる。これにより、隔壁３４上の異物２４を検出することも可能である。ここでは隔壁３４の上面が「対象面」である。以上のように、本実施形態の異物検出方法によれば、対象面上に隔壁が形成されている場合においても、隔壁の厚みを超える異物の有無を検出することができる。
【００７３】
次に、図４（ｂ）は、図４（ａ）と同様の場合であって光束２２の中心の高さが異なる場合を示す。なお、図４（ｂ）には、液滴吐出ヘッド３６の下面の高さＨを示しているが、液滴吐出ヘッド３６は、異物検出ステップにおいては、ステージ１１とオーバーラップしないように、ステージ１１と液滴吐出ヘッド３６とのそれぞれの位置が制御されている。ここでは、液滴吐出ヘッド３６下面の面３２ａに対する高さＨは、例えば、１ｍｍとする。すなわち、異物２４の厚みは液滴吐出ヘッド３６下面の高さＨと同じである。
【００７４】
光束２２の中心を、隔壁３４より高く、かつ、液滴吐出ヘッド３６下面の高さＨ以下の高さに設定する。ここでは、光束２２の中心を、例えば、面３２ａに対して図のＺ方向に０．８ｍｍの高さに設定する。このとき、光束２２は面３２ａ上の異物２４によって遮られる。このように、光束２２の中心の高さを適宜設定することにより、隔壁３４と液滴吐出ヘッド３６下面との間の高さＨの厚みを有する異物２４を検出することができる。また、異物２４の厚みが液滴吐出ヘッド３６下面の高さＨを超える場合は、光束２２の中心を液滴吐出ヘッド３６下面の高さＨと同じ高さに設定すれば、異物２４を検出することができる。したがって、このような異物２４を検出することにより、液滴吐出ヘッド３６と異物２４との接触を未然に回避することができる。
【００７５】
（液滴吐出装置）
次に、本実施形態に係る液滴吐出装置の構成について図を参照して説明する。本実施形態では、液滴吐出装置の一例として、インクジェット装置を例にとり説明する。図５は、本実施形態に係る液滴吐出装置の概略構成を模式的に示す斜視図である。
【００７６】
液滴吐出装置１００は、図５に示すように、ベース１０１と、ステージ１０２と、キャリッジ１０４と、液滴吐出ヘッド１０５と、ステージ１０２および液滴吐出ヘッド１０５の少なくとも一方を他方に対して相対移動させる機構としての第１位置制御機構１０６および第２位置制御機構１０８と、２つの反射部１１２，１１３と、光源１１４と、受光部１１６と、判定部１１８と、を備えている。
【００７７】
ステージ１０２は、ベース１０１の面１０１ａ上に配置されている。ステージ１０２は、ほぼ平坦な面１０２ａを有しており、その面１０２ａ上にワーク１２０を着脱可能に載置、または保持できるように構成されている。面１０２ａは面１０１ａとほぼ平行である。ステージ１０２は、ベース１０１上に設けられた第１位置制御機構１０６に制御され、図のＸ軸方向に相対移動する。面１０１ａと面１０２ａとはＸ軸方向およびＹ軸方向とほぼ平行である。
【００７８】
ワーク１２０は、ほぼ平坦な面１２０ａを有している。面１０２ａと面１２０ａとはほぼ平行である。本実施形態では、ステージ１０２の面１０２ａとワーク１２０の面１２０ａとのそれぞれが「対象面」である。以下では、面１０２ａを対象面として説明を進めるが、その説明は面１２０ａに対しても同様にあてはまる。ワーク１２０は、例えば、ガラス、プラスチック等の材料からなる透明な基板である。ワーク１２０の材料は、金属、セラミックス等であってもよい。ワーク１２０の面１２０ａには、面１２０ａを複数の領域に区画する隔壁が形成されていてもよい。
【００７９】
２つの反射部１１２，１１３は、ステージ１０２およびワーク１２０を挟むように、ベース１０１の面１０１ａ上に配置されている。反射部１１２の反射面１１２ａと反射部１１３の反射面１１３ａとは、面１０２ａに垂直であるとともに互いに平行であり、かつ互いに対面している。すなわち、２つの反射部１１２，１１３は、面１０２ａが２つの反射面１１２ａ，１１３ａの間に位置するように設けられている。これら２つの反射部１１２，１１３により、ほぼ平坦な面１０２ａに対してほぼ平行な面内に光路が規定される。
【００８０】
光源１１４は、面１０２ａの反射部１１２の側の一角の近傍に配置されている。光源１１４は、面１０２ａに平行な光束１２２を射出する。光源１１４は、射出された光束１２２が反射部１１２に遮られることなく反射部１１３の反射面１１３ａに入射するように位置している。また、光源１１４は、射出された光束１２２が反射面１１３ａに入射する角度を調整できるように構成されている。ここで、光源１１４は好適にはレーザ光源であり、光束１２２は好適にはレーザ光の光束である。
【００８１】
受光部１１６は、光源１１４に対し面１０２ａの対角の近傍に配置されている。受光部１１６は、反射面１１２ａで反射され光路から射出された光束１２２を反射部１１３に遮られることなく受光するように位置している。受光部１１６は、受光した光束１２２を電気信号に変換して出力する。受光部１１６は、例えば、フォトダイオードを用いて構成されている。
【００８２】
判定部１１８は、受光部１１６に電気的に接続されている。判定部１１８は、受光部１１６の出力値を基準値と比較して、出力値が基準値より小さいときに異物があると判断することにより、異物の有無の判定を行う。
【００８３】
キャリッジ１０４は、ベース１０１上に設けられた第２位置制御機構１０８に支持されている。キャリッジ１０４は、第２位置制御機構１０８に制御され、図のＹ軸方向に相対移動する。キャリッジ１０４は、面１０１ａに対向する側の面に複数の液滴吐出ヘッド１０５を保持している。複数の液滴吐出ヘッド１０５は、インクジェット方式によりワーク１２０の面１２０ａに機能液の液滴を選択的に吐出することで描画を行い、面１２０ａ上に所望の成膜部を形成する。
【００８４】
液滴吐出装置１００は、上述の他に、図示しないが、複数の液滴吐出ヘッド１０５に機能液を供給する機能液供給部と、複数の液滴吐出ヘッド１０５の保全処理を行うメンテナンス部と、メンテナンス部で排出された機能液を回収する排液部と、これら各部・機構を統括制御する制御部と、を備えている。
【００８５】
（液滴吐出装置の異物検出ステップ）
続いて、本実施形態の液滴吐出装置の異物検出ステップについて説明する。液滴吐出装置１００は、異物検出ステップにおいては、ステージ１０２とキャリッジ１０４とがオーバーラップしないように、ステージ１０２とキャリッジ１０４とのそれぞれの位置が制御されている。
【００８６】
図５に示すように、光源１１４から射出された光束１２２を反射面１１３ａに入射させる。入射した光束１２２は、ステージ１０２の面１０２ａに対してほぼ平行で２つの反射部１１２，１１３に規定される光路を、２つの反射面１１２ａ，１１３ａの間で反射を繰り返して面１０２ａのほぼ全域を覆うように伝播する。これにより、光源１１４から射出された光束１２２の幅（図示しない）が面１０２ａの幅より小さくても、光束１２２は面１０２ａのほぼ全域を覆うことができる。
【００８７】
光源１１４から射出された光束１２２の反射面１１３ａに対する入射角（図示しない）は特に限定されないが、入射角が小さいほど２つの反射面１１２ａ，１１３ａの間で光束１２２が反射する回数を多くすることができる。なお、光源１１４から射出されるレーザ光の光束１２２は、ビームエキスパンダを用いてビーム径を拡大して反射面１１３ａに入射させてもよい。また、光源１１４から射出されるレーザ光の光束１２２は、ビームスプリッタを用いてビームを分岐して反射面１１３ａに入射させてもよい。
【００８８】
反射面１１２ａで反射し光路から射出された光束１２２は、受光部１１６で受光される。受光部１１６は、受光した光束１２２をその強度に応じて電気信号に変換して判定部１１８に出力する。このとき、対象面、すなわち面１０２ａ上に異物があると、その異物により光路を伝播する光束１２２が遮られるため、光束１２２は光路から射出されず受光部１１６で受光されない。また、対象面上の異物により光束１２２の一部が遮られた場合は、光路を射出し受光部１１６で受光された光束１２２の強度は、一部が遮られたことにより弱められる。判定部１１８は、受光部１１６の出力値を基準値と比較して、出力値が基準値より小さいときに異物があると判断することにより、異物の有無の判定を行う。
【００８９】
ここで、光束１２２の中心を液滴吐出ヘッド１０５下面の高さと同じ高さに設定すれば、液滴吐出ヘッド１０５下面の高さ以上の厚みを有する異物を検出することができる。したがって、このような異物を検出することにより、液滴吐出ヘッド１０５と異物との接触を未然に回避することができる。
【００９０】
また、レーザ光は指向性が強くほとんど拡散しないため、光源１１４から射出された光束１２２と受光部１１６で受光された光束１２２との強度はほぼ変わらない。一方、対象面上の異物により光束１２２が遮られた場合、周囲の光束の回り込みがほとんどないため、受光部１１６で受光される光束１２２の強度は異物により遮られた分だけ弱められる。これにより、受光部１１６の出力は光束１２２の強度が弱められた分だけ小さくなる。したがって、対象面上の異物の検出をより精度よく行うことができる。
【００９１】
前述したように、液滴吐出装置１００では、異物検出ステップにおいては、ステージ１０２とキャリッジ１０４とがオーバーラップしないように、ステージ１０２とキャリッジ１０４とのそれぞれの位置が制御されている。そして、面１０２ａまたは面１２０ａ上に異物があると判定された場合には、ステージ１０２とキャリッジ１０４との間の相対位置関係は変化しない。すなわち、複数の液滴吐出ヘッド１０５を備えたキャリッジ１０４とステージ１０２とはオーバーラップする位置にならない。したがって、複数の液滴吐出ヘッド１０５と面１２０ａ上の異物、または異物により盛り上がった面１２０ａとの接触を未然に回避することができる。
【００９２】
また、液滴吐出装置１００は、異物検出ステップにおいて面１０２ａまたは面１２０ａ上に異物があると判定された場合には、異物がある旨通知する。したがって、面１０２ａまたは面１２０ａ上に異物があることをオペレータに通知し、オペレータに異物の除去を要請することができる。
【００９３】
（異物検出装置の変形例）
異物検出装置の構成は前述の構成に限定されない。図６および図７は、本実施形態に係る異物検出装置の変形例を示す図である。図６（ａ）に示すように、異物検出装置４０では、光源１４と受光部１６とは、面１１ａに対して反射部１２の側に、反射面１２ａを図のＸ軸方向に挟んで相対する位置に配置されていてもよい。
【００９４】
また、図６（ｂ）に示すように、異物検出装置５０では、２つの反射部１２，１３と、光源１４と、受光部１６と、判定部１８と、がステージ５１の面５１ａ上に配置されている。この場合、面２０ａと、面２０ａに対応する面５１ａの領域５１ｂと、が「対象面」である。
【００９５】
さらに、図７に示すように、異物検出装置６０では、光源１４と、反射面１２ａ，１３ａと、受光部１６とは、光源１４から受光部１６までの光路を伝播する光束２２によって対象面の少なくとも一部が覆われるように、配置されていてもよい。光源から射出された光束２２は、対象面の少なくとも一部に対応する範囲で規定される光路を、２つの反射面１２ａ，１３ａの間で反射を繰り返して伝播する。これにより、光束２２は、光束２２の幅よりも大きな領域を覆うことができるが、対象面の全域を覆わない。
【００９６】
ここで、ステージ１１の機能によって、光束２２の光路と対象面との少なくとも一方を他方に対して対象面に水平な方向に相対移動させることができるので、光束２２を対象面に対してほぼ平行な面内で水平な方向（ここではＸ軸方向）に走査することができる。したがって、光源１４から射出された光束２２だけでは面１１ａのほぼ全域を覆うことができない場合でも、光束２２を水平な方向に走査することにより面１１ａのほぼ全域を覆うことができる。異物検出装置がこのような構成であれば、「ｒｏｌｌ−ｔｏ−ｒｏｌｌ方式」における対象面上の異物検出にも適用することができる。
【００９７】
（液滴吐出装置の変形例）
液滴吐出装置の構成は上述の構成に限定されない。図８は、本実施形態に係る液滴吐出装置の変形例を示す図である。図８に示すように、本実施形態の液滴吐出装置１３０では、２つの反射部１１２，１１３と、光源１１４と、受光部１１６と、判定部１１８とが、ステージ１０２の面１０２ａに平行な支持体１３２に支持され、面１０２ａに対向するよう配置されている。このような構成によれば、支持体１３２をステージ１０２に対してＺ軸方向に移動させることにより、２つの反射部１１２，１１３に規定される光路を面１０２ａに対して、面１０２ａに垂直な方向に相対移動させることができる。これにより、光束（不図示）の光路を面１０２ａに垂直な方向に沿った任意の位置に設けることができる。したがって、ステージ１０２の面１０２ａだけでなく、ステージ１０２上に載置したワーク１２０の面１２０ａ等の任意の位置における異物の検出を行うことができる。
【００９８】
また、支持体１３２をステージ１０２に対して図のＸ軸方向またはＹ軸方向に移動させることにより、光路を面１０２ａに対して、面１０２ａに水平な方向に相対移動させることができる。これにより、光束を対象面に対してほぼ平行な面内で水平な方向に走査することができる。したがって、光源１１４から射出された光束だけでは対象面のほぼ全域を覆うことができない場合でも、光束を水平な方向に走査することにより対象面のほぼ全域を覆うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００９９】
【図１】本実施形態に係る異物検出装置の概略構成を模式的に示す斜視図。
【図２】図１のIIの側から見た平面図。
【図３】図１のIIIの側から見た部分断面図。
【図４】図１のIIIの側から見た部分断面図。
【図５】本実施形態に係る液滴吐出装置の概略構成を模式的に示す斜視図。
【図６】本実施形態に係る異物検出装置の変形例を示す図。
【図７】本実施形態に係る異物検出装置の変形例を示す図。
【図８】本実施形態に係る液滴吐出装置の変形例を示す図。
【符号の説明】
【０１００】
１０…異物検出装置、１１…ステージ、１１ａ…面、１２…反射部、１２ａ…反射面、１３…反射部、１３ａ…反射面、１４…光源、１６…受光部、１８…判定部、２０…ワーク、２０ａ…面、２２…光束、２２ｒ…反射光、２２ｗ…幅、２４…異物、３０…ワーク、３２…基板、３２ａ…面、３４…隔壁、３６…液滴吐出ヘッド、４０…異物検出装置、５０…異物検出装置、５１…ステージ、５１ａ…面、５１ｂ…領域、６０…異物検出装置、１００…液滴吐出装置、１０１…ベース、１０１ａ…面、１０２…ステージ、１０２ａ…面、１０４…キャリッジ、１０５…液滴吐出ヘッド、１０６…第１位置制御機構、１０８…第２位置制御機構、１１２…反射部、１１２ａ…反射面、１１３…反射部、１１３ａ…反射面、１１４…光源、１１６…受光部、１１８…判定部、１２０…ワーク、１２０ａ…面、１２２…光束、１３０…液滴吐出装置、１３２…支持体。
【図１】
2008107217.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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