(57)【要約】【課題】検出したデータを、データ処理部で処理し、検査結果を出力する検査システムにおいて、検出されたデータの信頼性を評価するとともに、エラー発生時原因箇所の切り分けを容易にする。【解決手段】データ検出部の動作状態情報を、検出データと合わせて、データ処理部へ送信し、データ検出時のデータ検出部の動作状態が、データ処理部で認識可能とする。これにより、検出時点、検出データ送信時点、データ処理内部など、初期のエラー原因箇所切り分けが容易になる。【選択図】図１
2008283488.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
データを検出する検出手段と、前記データを送信するデータ送信手段とを含むデータ検出部と、
検出された前記データを伝送するデータ伝送路と、
前記データ伝送路を介して送信されたデータを受信するデータ受信手段と、前記データ受信部からのデータを取得し所望の検査処理を行う処理手段とを含むデータ処理部とを備え、
前記データ検出部はさらに、データ検出時の動作状態を監視するデータ検出部動作状態監視手段と、前記データ検出部の動作状態情報を送信するデータ検出部動作状態送信手段とを、それぞれ少なくとも一つ有し、
前記データ処理部はさらに、前記データ伝送路とは別に設けられた動作状態伝送路を介して、前記データ検出部の動作状態を受信するデータ検出部動作状態受信手段と、前記データ処理部の動作状態を監視するデータ処理部動作状態監視手段とを、それぞれ少なくとも一つ有し、
前記処理手段において、前記データ検出部動作状態受信手段で受信されたデータ検出部の動作状態情報と、前記データ処理部の動作状態情報とを合わせて参照することにより、前記データ検出部で検出された時点における動作状態を確認しながら、前記データ受信部で受信された前記データの検査処理が行われることを特徴とする検査システム。
【請求項２】
請求項１において、
前記動作状態伝送路を設けることなく、前記データ検出部における動作状態情報を、前記データ伝送路を介して前記データ処理部のデータ検出部動作状態受信手段へ送信することを特徴とする検査システム。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記データ検出部は、画像データを検出する画像データ検出部であり、検出される前記データとして、画像データを用いることを特徴とする検査システム。
【請求項４】
請求項１または２において、
前記データ検出部の動作状態情報として、
データ検出時における前記データ検出部の温度環境、供給電源環境、電磁環境などの動作環境情報を用いることを特徴とする検査システム。
【請求項５】
データ入力部と、入力された前記データを処理するデータ処理部とを備え、前記データに対して、前記データ処理部で所望の検査処理を行う検査システム用データ処理装置において、
前記入力データがデータ生成装置により生成された時点での該データ生成装置の動作状態情報を受信する入力部を有し、
データ処理部において、前記入力部で受信された前記動作状態情報を認識しながら、前記入力データの検査処理を行うことを特徴とする検査システム用データ処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査システム、及び、検査システム用画像処理装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
データのエラー検出方法として、ある地点のデータを基準データとして、より下流のある地点のデータと比較する方法がある。これには、決まった手順でエラーチェックコード、例えばパリティコードを生成し、データに付加し、チェック時には、データの部分から同じ手順でエラーチェックコードを生成し、始めに付加したコードと比較する方法がある。特許文献１では、さらにエラー発生箇所の切り分けを容易にするために、エラーチェック領域の始めに生成したコードを共通して使用し、それぞれチェック時に生成したコードを比較している。
【０００３】
【特許文献１】特開平５−１２２２９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１には、基準データとなるエラーチェックコード生成元のデータのチェック方法に関しては記載がない。特許文献１のように、ある時点でのデータを基準データとして、基準データから生成したエラーチェックコードと、エラーチェック対象のデータから生成したエラーチェックコードを比較するエラーチェック方式では、基準データ自体の評価は行うことができない。
【０００５】
データ検出部、データ伝送路、データ処理部を備え、データ検出部で検出されたデータを、データ伝送路を介して、データ処理部へ送り、データ処理部で所望の検査処理を行う構成の検査システムにおいては、基準データは、データ検出部で検出直後のデータが望ましいが、このデータは前述の理由からデータ自体からは評価できず、正常に検出が行われたどうかはわからない。
【０００６】
検出が正常に行われたかどうかがわからない場合、検出中に異常が起こったデータに対して通常のデータ処理を行うと、処理結果は所望のものではなくなるが、結果だけを見て、その所望しない出力結果の原因が、データ処理部にあるのか、データ検出部にあるのかの切り分けは難しい。
【０００７】
また、検出が正常に行われたかどうかがわからない場合、データ処理部において、検出中に異常が起こったデータに対する通常のデータ処理を行うが、これは所望の結果を得られる見込みのない無駄な処理である。
【０００８】
本発明の目的は、検査装置において、基準データ自体を評価する情報を取得し、データ検出時のデータ検出部動作状態が原因のデータ処理部問題があった場合、原因が、データ検出部かデータ処理部かの切り分けを迅速にすること、またデータ処理部での無駄な処理を無くすことである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の目的は、検出データの評価に、検出データそのものの他に、データ検出時のデータ検出部の動作状態の情報を取得し、それをデータ処理部へ送信し、データ処理部でデータ検出部の動作状態を認識しながら、データ処理を行うことで達成できる。
【００１０】
すなわち、データを検出する検出手段と、前記データを送信するデータ送信手段とを含むデータ検出部と、検出された前記データを伝送するデータ伝送路と、前記データ伝送路を介して送信されたデータを受信するデータ受信手段と、前記データ受信部からのデータを取得し所望の検査処理を行う処理手段とを含むデータ処理部とを備え、前記データ検出部はさらに、データ検出時の動作状態を監視するデータ検出部動作状態監視手段と、前記データ検出部の動作状態情報を送信するデータ検出部動作状態送信手段とを、それぞれ少なくとも一つ有し、前記データ処理部はさらに、前記データ伝送路とは別に設けられた動作状態伝送路を介して、前記データ検出部の動作状態を受信するデータ検出部動作状態受信手段と、前記データ処理部の動作状態を監視するデータ処理部動作状態監視手段とを、それぞれ少なくとも一つ有し、前記処理手段において、前記データ検出部動作状態受信手段で受信されたデータ検出部の動作状態情報と、前記データ処理部の動作状態情報とを合わせて参照することにより、前記データ検出部で検出された時点における動作状態を確認しながら、前記データ受信部で受信された前記データの検査処理を行うことで達成できる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、検査装置において、基準データであるデータ検出部で検出されたデータが評価可能になり、その情報をデータ処理部で認識可能になるため、データ処理部での無駄な処理が無くなる。また、データ処理結果が所望の結果でなかった場合、その原因が、データ検出部かデータ処理部かの切り分けが迅速になる。また、検出時に異常の起こったデータに対して、通常のデータ処理を行うという所望の結果を得られる見込みのない無駄な処理を回避できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の実施例を、図面を用いて説明する。なお、本発明は、以下の実施例に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の範囲内において適時変更可能である。
【実施例１】
【００１３】
はじめに図１を用いて、構成例を説明する。
【００１４】
図１は、本発明を適用した検査システムの基本構成の一例を示した図である。データ検出部０００とデータ処理部１００は、データ伝送路０１０、動作状態伝送路０１１で接続されている。
データ検出部０００は、データ検出部０００を制御するデータ検出部制御機能００１、データ検出部０００の動作状態を監視するデータ検出部動作状態監視機能００２、データを検出するデータ検出機能００３、データ検出部動作状態監視機能００２で得たデータ検出部０００の動作状態情報を送信するデータ検出部状態情報送信機能００４、データ検出機能００３で検出したデータを送信する検出データ送信機能００５からなる。
なお、データ検出部から検出されるデータとしては、例えば、画像データなどがある。
【００１５】
データ処理部１００は、データ処理部１００を制御するデータ処理部制御機能１０１、データ処理部１００の動作状態を監視するデータ処理部動作状態監視機能１０２、データに対して所望の処理を行うデータ処理機能１０３、データ検出部０００から送られるデータ検出部動作状態情報を受信するデータ検出部状態情報受信機能１０４、データ検出部０００から送られる検出データを受信する検出データ受信機能１０５、データ処理機能１０３の結果を出力するデータ処理結果出力機能１０６からなる。
【００１６】
検出データ伝送路０１０は、検出データ送信機能００５と検出データ受信機能１０５を接続する。状態情報伝送路０１１は、動作情報送信機能００４と状態情報受信機能１０４を接続する。また、データ検出部状態情報受信機能１０４、検出データ受信機能１０５は伝送路からデータが送られてこない場合、データ受信エラーを検出する。
【００１７】
次に動作について説明する。
データ検出機能００３で得られた検出データは、検出データ送信機能００５、検出データ伝送路０１０を介して、検出データ受信機能１０５に送られる。データ検出部動作状態監視機能００２により取得された動作状態情報は、データ検出部制御機能００１で認識されると共に、データ検出部状態情報送信機能００４、データ検出部状態情報伝送路０１１を介して、データ検出部状態情報受信機能１０４へ送信される。
ここで、上記の動作状態情報としては、データ検出部の内部において、データの取得対象となる試料を載せるステージの動き、あるいは、データ通信回路、あるいは送信回路の動作が正常動作しているか確認するのに必要な情報を示す。状態情報受信機能１０４で受信したデータ検出部０００の動作状態情報は、動作状態監視機能１０２で取得されたデータ処理部１００の動作状態情報と合わせてデータ処理部制御機能１０１で認識されると共に、データ処理機能１０３でも認識される。
【００１８】
データ処理部制御機能１０１では、データ検出部状態情報受信機能１０４からの、データ検出部０００の動作状態情報とデータ処理部動作状態監視機能１０２からのデータ処理部０００の動作状態情報を合わせて参照することによって、検出データ取得時のデータ検出部０００の動作状態情報を参照しながら、データ処理部１００の制御を行うことができる。
【００１９】
また、データ処理機能１０３では、データ検出部状態情報受信部１０４からのデータ検出部０００の動作状態情報を参照することによって、データ受信部１０５からのデータが、データ検出時にデータ検出部０００が正常に動作していたものであるかどうかを認識しながら、データ処理を行うことができる。データ処理結果出力機能１０６によって結果を出力する際に、データ検出部動作状態情報を合わせて出力することで、出力されたデータ処理結果が所望のものでなかった場合、または、データ処理部動作状態監視機能１０２においてデータ処理部の動作異常が検出された場合に、その原因が、データ処理部１００に起因するものか、データ検出部０００に起因するものかの切り分けが早期に行える。
【実施例２】
【００２０】
上記実施例１では、データ検出部動作状態監視機能００１で得られたデータ検出部０００の動作状態情報は、データ検出部動作状態伝送路０１１によって、データ検出部動作状態情報受信機能１０４へ送られ、データ検出機能００３で得られた検出データは、検出データ伝送路０１０によって検出データ受信機能１０５送られるが、データ検出部０００からデータ処理部１００への伝送路として、データ伝送路０１０しかない検査システムに本発明を導入する場合、新たに、データ検出部状態情報伝送路０１１を追加する必要がある。本実施例２では、状態情報伝送路０１１を追加することなく、図２のように、既存の検出データ伝送路０１０を検出データ、データ検出部状態情報共通伝送路０２０として用いる場合の例を示す。
【００２１】
データがフレーム化されて伝送されるプロトコルを採用している場合、フレーム一部に動作状態情報領域を設け、動作情報を添付する。フレームの空き領域がある場合、その領域を動作状態情報領域とすれば、動作状態情報をフレームへ添付する、というフレーム化シーケンスの機能追加のみで本発明を実現できる。
【実施例３】
【００２２】
上記実施例１では、データ検出部状態情報送信機能００４、データ検出部状態情報伝送路０１１、データ検出部状態情報受信機能１０４の状態情報伝送系が1組、データ送信機能００５、データ伝送路０１０、データ受信機能１０５からなる検出データ伝送系が１組の構成である。この構成の場合それぞれの伝送系の３つの機能のうち１つに異常が起こると、伝送は正しく行われない。
【００２３】
データ処理部１００内にある、データ検出部状態情報受信機能１０４か検出データ受信機能１０５で動作エラーが発生した場合は、データ処理部動作監視機能１０２において、そのエラーを認識できる。また、データ検出部状態情報伝送路０１１か検出データ伝送路０１０で動作エラーが起こった場合、エラーの種類により、データ処理部１００内にある、データ検出部状態情報受信機能１０４か検出データ受信機能１０５で認識され、データ処理部動作監視機能１０２において、そのエラーを認識できる。また、検出データ送信機能００５で動作エラーが起こった場合、データ検出部動作状態監視機能００２によって認識され、データ検出部状態情報送信機能００４、データ検出部状態情報伝送路０１１、データ検出部状態情報受信機能１０４を介して、データ処理部動作監視機能１０２において、そのエラーを認識できる。しかし、データ検出部状態情報送信部００４にエラーが起こった場合は、そのエラーが起こったという情報が正しくデータ処理部側へ送られなくなるため、本発明が機能しなくなる。
【００２４】
本実施例３では、図３のように、伝送系を並列に用いた構成によって、前述のような本発明が機能しなくなる場合の回避例を示す。構成は、図1に加えて、データ検出部状態情報送信機能２  ２０４とデータ検出部状態情報受信機能２  ３０４、その間を接続するデータ検出部動作状態情報伝送路２  ０３１、検出データ送信機能２  ２０５と検出データ受信機能２  ３０５、その間を接続する検出データ伝送路２  ０３０の伝送系1組の追加、同様に、データ検出部状態情報送信機能３  ４０４とデータ検出部状態情報受信機能３  ５０４、その間を接続するデータ検出部動作状態情報伝送路３  ０４１、検出データ送信機能３  ４０５と検出データ受信機能３  ５０５、その間を接続する検出データ伝送路３  ０４０の伝送系1組を追加したものである。本実施例３では2組の追加であるが、追加する伝送系の数は任意に変更可能である。
【００２５】
次に動作について説明する。
データ検出部動作状態監視機能１０２で監視するデータ検出部動作状態情報には、データ検出部状態情報送信機能００４、２０４、４０４、動作状態も含まれる。例えば、図3のような構成時、データ検出部状態情報伝送路０１１を解してデータ検出部状態情報受信機能１０４へ送られるデータ検出部動作状態情報は、データ検出部状態情報送信機能００４で動作エラーが発生したとき、データ検出部状態情報受信部１０４まで正常に伝送されない。この場合、データ検出部状態情報受信機能１０４では、データが来なければデータ受信エラーを検出し、正常であっても異常であってもデータが来れば、通常と同様に動作する。よって、データ検出部状態情報受信機能１０４で、何らかのデータを受信している場合、それが、正常であるか異常であるかの判断は不可能である。また、データ検出部状態情報受信機能１０４でデータ受信エラーを検出したとき、その原因が、データ検出部状態情報送信機能００４にあるのか、データ検出部状態情報伝送路０１１にあるのか、データ検出部状態情報受信機能１０４にあるのかの切り分けが難しい。
【００２６】
これを回避するために、自身の動作状態情報は、自身の送信機能を介さず、隣接の送信機能を介してデータ処理部１００へ伝送するようにする。つまり、データ検出部状態情報送信部００４の状態情報は、データ検出部状態情報送信部２  ２０４、データ検出部状態情報送信部２  ２０４の状態情報は、データ検出部状態情報送信部３  ４０４、データ検出部状態情報送信部３  ４０４の状態情報は、データ検出部状態情報送信部００４から送信するようにする。これによって、例えば、データ検出部状態情報送信機能００４の状態情報は、データ検出部状態情報送信機能００４自身を使って送信しないため、データ検出部状態情報送信機能００４に動作エラーが起こった場合でも、正しく動作情報がデータ処理部へ伝送される。
【００２７】
これによって、例えば、データ処理部１００の情報しか取得できない状態で、データ検出部状態情報受信機能１０４でデータが来ないというデータ受信エラーを検出した場合、データ検出部状態情報送信機能００４とデータ検出部状態情報受信機能１０４の正常動作が確認できれば、データ検出部状態情報伝送路０１１のエラーであるとわかる。 
【実施例４】
【００２８】
上記実施例３は、実施例１に対して、伝送系を並列にした場合の例であるが、本実施例４では、図４に示すように、実施例２に対して伝送系を並列にした場合の例を示す。
構成は、図３におけるデータ検出部状態情報伝送路０１１と検出データ伝送路０１０を検出データデータ検出部状態情報共通伝送路０２０とし、データ検出部状態情報伝送路２  ０３１と検出データ伝送路２  ０３０を検出データデータ検出部状態情報共通伝送路２  ０５０とし、データ検出部状態情報伝送路３  ０４１と検出データ伝送路３  ０４０を検出データデータ検出部状態情報共通伝送路３  ０６０としたものである。
【００２９】
本実施例４では、データ検出部状態情報と検出データを一緒に送信するため、データ検出部状態情報送信機能の動作状態に加え、検出データ送信機能の動作状態情報も、自身の送信機能を介さずにデータ処理部１００へ伝送する必要がある。
実地例３と同様に、データ検出部状態情報送信機能００４と検出データ送信部００５の動作情報は、データ検出部状態情報送信機能２  ２０４と検出データ送信部２  ２０５と検出データデータ検出部状態情報共通伝送路０５０を介して、データ処理部１００へ送られ、データ検出部状態情報送信機能２  ２０４と検出データ送信部２  ２０５の動作情報は、データ検出部状態情報送信機能３  ４０４と検出データ送信部３  ４０５と検出データデータ検出部状態情報共通伝送路０６０を介して、データ処理部１００へ送られ、データ検出部状態情報送信機能３  ４０４と検出データ送信部３  ４０５の動作情報は、データ検出部状態情報送信機能００４と検出データ送信部００５と検出データデータ検出部状態情報共通伝送路０２０を介して、データ処理部１００へ送られる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の実施例の一つを示した説明図である（実施例１）。
【図２】本発明の実施例の一つを示した説明図である（実施例２）。
【図３】本発明の実施例の一つを示した説明図である（実施例３）。
【図４】本発明の実施例の一つを示した説明図である（実施例４）。
【符号の説明】
【００３１】
０００…データ検出部、
００１…データ検出部制御機能、
００２…データ検出部動作状態監視機能、
００３…データ検出機能、
００４…データ検出部状態情報送信機能、
００５…検出データ送信機能、
０１０…検出データ伝送路、
０１１…データ検出部状態情報伝送路、
０２０…検出データ、データ検出部状態情報共通伝送路、
０３０…検出データ伝送路２、
０３１…データ検出部状態情報伝送路２、
０４０…検出データ伝送路３、
０４１…データ検出部状態情報伝送路３、
０５０…検出データ、データ検出部状態情報共通伝送路２、
０６０…検出データ、データ検出部状態情報共通伝送路３、
１００…データ処理部、
１０１…データ処理部制御機能、
１０２…データ検出部動作状態監視機能、
１０３…データ処理機能、
１０４…データ検出部状態情報受信機能、
１０５…検出データ受信機能、
１０６…データ処理結果出力機能、
２０４…データ検出部状態情報送信機能２、
２０５…検出データ送信機能２、
３０４…データ検出部状態情報受信機能２、
３０５…データ受信機能２、
４０４…データ検出部状態情報送信機能３、
４０５…データ送信機能３、
５０４…データ検出部状態情報受信機能３、
５０５…データ受信機能。
【図１】
2008283488.tif 000003
【図２】
2008283488.tif 000004
【図３】
2008283488.tif 000005
【図４】
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