(57)【要約】      （修正有）【課題】分散処理しての搬出を、搬送による板状体の損傷や、搬送姿勢や搬送停止位置の乱れを減少して行え、高速搬送を容易に実現し得る板状体移載設備を提供する。【解決手段】単数枚搬送装置９で搬送してきた板状体５，６を受け入れて横方向で分散処理したのち、搬送装置１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ群に搬出する分散処理装置２０は、各搬送装置に対向し、板状体受け入れ域１３０を形成した縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃと、縦送りコンベア部間に位置した仮置き部３１，３６と、縦送りコンベア部と仮置き部とに亘って設けた横送り手段４１Ａ，４１Ｂ，４１Ｃからなる。各横送り手段にはそれぞれ、昇降自在でかつ縦送りコンベア部と仮置き部とに亘って移動自在な板状体支持部７０Ａ，７０Ｂ，７０Ｃを設け、縦送りコンベア部の搬送面２１ａ，２１ｂ，２１ｃや仮置き部の仮置き支持面３１ａ，３６ａに対して出退動自在に構成した。【選択図】図１
2008094525.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状体を単数列で搬送する単数枚搬送装置の端部外方に、この単数枚搬送装置で搬送されてきた板状体を受け入れて横方向で分散処理したのち、単数枚搬送装置とは反対側の搬送装置群に搬出する分散処理装置が配設され、この分散処理装置は、各搬送装置に対向されたそれぞれの縦送りコンベア部と、隣接した縦送りコンベア部間に位置された仮置き部と、縦送りコンベア部と仮置き部とに亘ってそれぞれ設けられた横送り手段とからなり、各横送り手段にはそれぞれ、昇降自在でかつ縦送りコンベア部と仮置き部とに亘って移動自在な板状体支持部が設けられるとともに、板状体支持部は昇降によって、縦送りコンベア部の搬送面や仮置き部の仮置き支持面に対して出退動自在に構成され、少なくとも１つの縦送りコンベア部には、単数枚搬送装置からの板状体を受け入れ可能な板状体受け入れ域が形成されていることを特徴とする板状体移載設備。
【請求項２】
板状体受け入れ域には、板状体を板状体支持部の移動方向で位置決めするセンタリング装置が設けられていることを特徴とする請求項１記載の板状体移載設備。
【請求項３】
各搬送装置は、複数列の板状体を各列毎に搬送可能に構成されていることを特徴とする請求項１または２記載の板状体移載設備。
【請求項４】
各横送り手段は、縦送りコンベア部の搬送方向において複数のゾーンに分けられ、各ゾーン毎に横送り駆動可能に構成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の板状体移載設備。
【請求項５】
搬送装置群のうちの少なくとも１つの搬送装置に、板状体のうちの不良品を搬出可能に構成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の板状体移載設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、たとえば単数枚搬送装置で搬送されてきたガラス基板（プラズマディスプレイパネル）などの板状体を受け入れて分散処理したのち搬出する板状体移載設備に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のものとしては、次のような構成が提供されている。すなわち、複数台の基板枚葉送り出し装置とプロセス装置との間に、基板枚葉送り出し装置と同数の基板直交搬送コンベアと、これら基板直交搬送コンベア間を接続する基板待機コンベアと、プロセス装置に基板を供給するプロセス側基板搬送コンベアとが配置されている。そして基板直交搬送コンベアは、ローラ形式の主基板搬送コンベアと、主基板搬送コンベアの搬送ローラの隙間から主基板搬送コンベアの搬送面に対して垂直に浮上、沈下する搬送面をもつローラ形式の副基板搬送コンベアと、副基板搬送コンベアを浮上、沈下させる浮上機構を備えている（たとえば、特許文献１参照。）。
【０００３】
この従来構成によると、次のように動作される。すなわち、プロセス装置に対向している基板枚葉送り出し装置から搬出された基板は、基板直交搬送コンベアとプロセス側基板搬送コンベアとを介して直線状に搬送される。また、対向していない基板枚葉送り出し装置から搬出された基板は、基板直交搬送コンベアの主基板搬送コンベア上を搬送され、次いで浮上させた副基板搬送コンベアにより持ち上げられたのち、この副基板搬送コンベアから基板待機コンベアへと直交状に搬送されて、この基板待機コンベア上で待機され、そして基板待機コンベアから、浮上させた副基板搬送コンベアへと搬送されたのち、副基板搬送コンベアの沈下により主基板搬送コンベア上に渡され、その後に主基板搬送コンベアからプロセス側基板搬送コンベアへと直交状に搬送される。
【０００４】
このようにして、基板枚葉送り出し装置からの基板がプロセス装置に供給され、そして搬送方向を逆とすることで、プロセス装置からの基板が基板枚葉送り出し装置に供給されることになる。
【特許文献１】特開２００４−２８４７７２号公報（第１０−１２頁、図１１−図１３）
【特許文献２】特開２００５−２１２９４３号公報
【特許文献３】特開２００６−１０３８６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし上記した従来構成によると、プロセス装置から、対向していない基板枚葉送り出し装置への基板の搬送が、プロセス側基板搬送コンベア、主基板搬送コンベア、副基板搬送コンベア、基板待機コンベア、副基板搬送コンベア、主基板搬送コンベアへと、全てローラ形式のコンベア群により行われることから、基板に対するローラ群の摩擦回転や、送り開始時や送り停止時の摺接動などによって、ローラ群が接触する基板の面を損傷する恐れがあり、さらに搬送姿勢や搬送停止位置の乱れにより、プロセス側基板搬送コンベアでは不規則な姿勢で搬送されることになる。これらのことは、高速搬送のときに顕著に現れる。
【０００６】
そこで本発明の請求項１記載の発明は、分散処理しての搬出を、搬送による板状体の損傷や、搬送姿勢や搬送停止位置の乱れを減少して行えるとともに、高速搬送を容易に実現し得る板状体移載設備を提供することを目的としたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前述した目的を達成するために、本発明の請求項１記載の板状体移載設備は、板状体を単数列で搬送する単数枚搬送装置の端部外方に、この単数枚搬送装置で搬送されてきた板状体を受け入れて横方向で分散処理したのち、単数枚搬送装置とは反対側の搬送装置群に搬出する分散処理装置が配設され、この分散処理装置は、各搬送装置に対向されたそれぞれの縦送りコンベア部と、隣接した縦送りコンベア部間に位置された仮置き部と、縦送りコンベア部と仮置き部とに亘ってそれぞれ設けられた横送り手段とからなり、各横送り手段にはそれぞれ、昇降自在でかつ縦送りコンベア部と仮置き部とに亘って移動自在な板状体支持部が設けられるとともに、板状体支持部は昇降によって、縦送りコンベア部の搬送面や仮置き部の仮置き支持面に対して出退動自在に構成され、少なくとも１つの縦送りコンベア部には、単数枚搬送装置からの板状体を受け入れ可能な板状体受け入れ域が形成されていることを特徴としたものである。
【０００８】
したがって請求項１の発明によると、単数枚搬送装置で搬送されてきた板状体を、分散処理装置で分散処理したのち、搬送装置群に搬出させるに際して、分散処理装置では、各横送り手段を下降させることによって、板状体支持部を、縦送りコンベア部の搬送面や仮置き部の仮置き支持面に対して退入動させている。このような状態において、単数枚搬送装置から板状体受け入れ域に供給した板状体を、縦送りコンベア部により支持搬送して板状体支持部の上方に位置させる。次いで、横送り手段を上昇させて、板状体支持部を搬送面に対して突出動させることにより、縦送りコンベア部上の板状体を板状体支持部によって持ち上げ支持し得る。この状態で、板状体支持部を仮置き部側に移動させることで、支持している板状体を横方向に搬送し得る。そして、板状体を仮置き部の上方に位置させたのち、横送り手段を下降して板状体支持部を仮置き支持面に対して退入動させることにより、板状体を、仮置き支持面に支持させて仮置き部に仮置きし得る。
【０００９】
次いで、別の横送り手段を上昇させて、板状体支持部を仮置き支持面に対して突出動させることにより、仮置き部上の板状体を板状体支持部によって持ち上げ支持し得る。この状態で、板状体支持部を仮置き部から離れる側に移動させることで、支持している板状体を横方向に搬送し得る。この板状体を縦送りコンベア部の上方に位置させたのち、横送り手段を下降して板状体支持部を搬送面に対して退入動させることにより、板状体を、縦送りコンベア部により支持し得る。そして、縦送りコンベア部による支持搬送によって、板状体を搬送装置へと送り出し、この搬送装置によって搬送し得る。
【００１０】
このような動作の繰り返しによって、単数枚搬送装置からの板状体を、複数の横送り手段と、単数または複数の仮置き部とを介して分散処理して、目的とする搬送装置へと効率良く送り出し得る。また特定の搬送装置には、単数枚搬送装置からの板状体を、横送り手段のみを介して効率良く送り出し得る。
【００１１】
また本発明の請求項２記載の板状体移載設備は、上記した請求項１記載の構成において、板状体受け入れ域には、板状体を板状体支持部の移動方向で位置決めするセンタリング装置が設けられていることを特徴としたものである。
【００１２】
したがって請求項２の発明によると、板状体受け入れ域の縦送りコンベア部で支持した板状体を、センタリング装置によって板状体支持部の移動方向で位置決めし得、以て単数枚搬送装置からの板状体をセンタリングしたのち、分散処理して、目的とする搬送装置へと効率良く送り出し得る。
【００１３】
そして本発明の請求項３記載の板状体移載設備は、上記した請求項１または２記載の構成において、各搬送装置は、複数列の板状体を各列毎に搬送可能に構成されていることを特徴としたものである。
【００１４】
したがって請求項３の発明によると、単数枚搬送装置からの板状体を、順次、複数の横送り手段と、単数または複数の仮置き部とを介して、目的とする搬送装置の目的とする列へと効率良く送り出し得、そして列毎に搬送し得る。
【００１５】
さらに本発明の請求項４記載の板状体移載設備は、上記した請求項１〜３のいずれか１項に記載の構成において、各横送り手段は、縦送りコンベア部の搬送方向において複数のゾーンに分けられ、各ゾーン毎に横送り駆動可能に構成されていることを特徴としたものである。
【００１６】
したがって請求項４の発明によると、単数枚搬送装置からの板状体の形状（大きさ）や向きなどに応じて、各横送り手段における横送り駆動させるゾーンの場所や数を制御することで、単数枚搬送装置からの板状体を、目的とする搬送装置に無駄なく効率良く分散処理し得る。
【００１７】
しかも本発明の請求項５記載の板状体移載設備は、上記した請求項１〜４のいずれか１項に記載の構成において、搬送装置群のうちの少なくとも１つの搬送装置に、板状体のうちの不良品を搬出可能に構成されていることを特徴としたものである。
【００１８】
したがって請求項５の発明によると、単数枚搬送装置からの不良板状体を、複数の横送り手段と、単数または複数の仮置き部とを介しての分散処理により１つの搬送装置に送り出して、所期の搬送ラインから分離、除去し得る。
【発明の効果】
【００１９】
上記した本発明の請求項１によると、単数枚搬送装置で搬送されてきた板状体を、分散処理装置で分散処理したのち、搬送装置群に搬出させるに際して、分散処理装置では、各横送り手段を下降させることによって、板状体支持部を、縦送りコンベア部の搬送面や仮置き部の仮置き支持面に対して退入動できる。このような状態において、単数枚搬送装置から板状体受け入れ域に供給した板状体を、縦送りコンベア部により支持搬送して板状体支持部の上方に位置でき、次いで、横送り手段を上昇させて、板状体支持部を搬送面に対して突出動させることにより、縦送りコンベア部上の板状体を板状体支持部によって持ち上げ支持できる。この状態で、板状体支持部を仮置き部側に移動させることで、支持している板状体を横方向に搬送できる。そして、板状体を仮置き部の上方に位置させたのち、横送り手段を下降して板状体支持部を仮置き支持面に対して退入動させることにより、板状体を、仮置き支持面に支持させて仮置き部に仮置きできる。
【００２０】
次いで、別の横送り手段を上昇させて、板状体支持部を仮置き支持面に対して突出動させることにより、仮置き部上の板状体を板状体支持部によって持ち上げ支持でき、この状態で、板状体支持部を仮置き部から離れる側に移動させることで、支持している板状体を横方向に搬送できる。この板状体を縦送りコンベア部の上方に位置させたのち、横送り手段を下降して板状体支持部を搬送面に対して退入動させることにより、板状体を、縦送りコンベア部により支持でき、そして、縦送りコンベア部による支持搬送によって、板状体を搬送装置へと送り出し、この搬送装置によって搬送できる。
【００２１】
このような動作の繰り返しによって、単数枚搬送装置からの板状体を、複数の横送り手段と、単数または複数の仮置き部とを介して分散処理して、目的とする搬送装置へと効率良く送り出すことができる。また特定の搬送装置には、単数枚搬送装置からの板状体を、横送り手段のみを介して効率良く送り出すことができる。その際に、横送り手段による搬送は、板状体に対する摩擦回転や、送り開始時や送り停止時に摺接動など生じない状態で、すなわち、板状体支持部により板状体を持ち上げ支持した持ち上げ姿勢を乱すことなく安定して行うことができる。これにより、分散処理しての搬出を、搬送による板状体の損傷や、搬送姿勢や搬送停止位置の乱れを減少して行うことができるとともに、高速搬送を容易に実現できることになる。
【００２２】
また上記した本発明の請求項２によると、板状体受け入れ域の縦送りコンベア部で支持した板状体を、センタリング装置によって板状体支持部の移動方向で位置決めでき、以て単数枚搬送装置からの板状体をセンタリングしたのち、分散処理して、目的とする搬送装置へと効率良く送り出すことができる。
【００２３】
そして上記した本発明の請求項３によると、単数枚搬送装置からの板状体を、順次、複数の横送り手段と、単数または複数の仮置き部とを介して、目的とする搬送装置の目的とする列へと効率良く送り出すことができ、そして列毎に搬送できる。
【００２４】
さらに上記した本発明の請求項４によると、単数枚搬送装置からの板状体の形状（大きさ）や向きなどに応じて、各横送り手段における横送り駆動させるゾーンの場所や数を制御することで、単数枚搬送装置からの板状体を、目的とする搬送装置に無駄なく効率良く分散処理できる。
【００２５】
しかも上記した本発明の請求項５によると、単数枚搬送装置からの不良板状体を、複数の横送り手段と、単数または複数の仮置き部とを介しての分散処理により１つの搬送装置に送り出して、所期の搬送ラインから分離、除去できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
［実施の形態１］
以下に、本発明の実施の形態１を図に基づいて説明する。
図１において、板状体移載設備８は、板状体を単数列で搬送する単数枚搬送装置９と、この単数枚搬送装置９で搬送されてきた板状体を板状体受け入れ域（後述する。）で受け入れて横方向で分散処理したのち、並列された３つ（複数）の搬送装置１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃに搬出させる分散処理装置２０などにより構成されている。すなわち、前記単数枚搬送装置９の端部外方に前記分散処理装置２０が配設され、そして単数枚搬送装置９とは反対側において、分散処理装置２０に始端を対向させた状態で搬送装置１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃが配設されている。ここで板状体としては、長尺寸法Ｌかつ幅広寸法Ｍで長方形状の大型ガラス基板（板状体の一例）５と、短尺寸法ｌかつ幅狭寸法ｍで長方形状の小型ガラス基板（板状体の一例）６とが、一例として示されている。
【００２７】
図１〜図１１において、前記単数枚搬送装置９は、たとえば製造工程（製造ライン）からのガラス基板５，６を１枚ずつ搬送（供給）するもので、ベルト形式やローラ形式などからなる。その際に単数枚搬送装置９は、たとえば大型ガラス基板５を、図１の実線で示すように、その長尺寸法Ｌの方向を搬送方向（前後方向）として１枚ずつ搬送（供給）し、また小型ガラス基板６を、図１の仮想線で示すように、その幅狭寸法ｍの方向を搬送方向（前後方向）として１枚ずつ搬送（供給）するように構成されている。
【００２８】
前記搬送装置１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃは同様な構成であって、それぞれ複数列のガラス基板５，６を、各列毎に搬送可能に構成されている。すなわち、前記搬送装置１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃはローラコンベア形式であって、コンベアフレーム１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃと、搬送経路１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃの方向の複数箇所に、その回転軸心を横方向（コンベア幅方向）として配設された回転軸１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃと、各回転軸１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃの長さ方向の複数箇所に外嵌固定して設けられたローラ体１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃと、前記回転軸１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ群に連動する駆動手段（後述する。）などにより構成されている。ここで回転軸１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ群はコンベアフレーム１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ側に回転自在に支持され、そしてローラ体１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃ群によって搬送装置１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃの搬送面１０ａ，１０ｂ，１０ｃが形成されている。
【００２９】
前記搬送装置１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃは、それぞれ横方向（コンベア幅方向）において４つ（複数）のゾーン、すなわち、右側ゾーン１６Ｓ１と、中央右側ゾーン１６Ｓ２  と、中央左側ゾーン１６Ｓ３  と、左側ゾーン１６Ｓ４  とにより形成されている。その際に、中央右側ゾーン１６Ｓ２や中央左側ゾーン１６Ｓ３  の幅は、右側ゾーン１６Ｓ１や左側ゾーン１６Ｓ４  の幅に対して狭く、かつ中央右側ゾーン１６Ｓ２と中央左側ゾーン１６Ｓ３  とを加算した幅は、右側ゾーン１６Ｓ１や左側ゾーン１６Ｓ４  の幅に対して少し広く形成されている。
【００３０】
さらに回転軸１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃは、各ゾーン１６Ｓ１  ，１６Ｓ２  ，１６Ｓ３  ，１６Ｓ４に対応して横方向で４分割され、そして各分割した回転軸１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ群に連動する駆動手段、すなわち、右側ゾーン１６Ｓ１の右側駆動手段１４Ｍ１と、中央右側ゾーン１６Ｓ２の中央右側駆動手段１４Ｍ２と、中央左側ゾーン１６Ｓ３の中央左側駆動手段１４Ｍ３と、左側ゾーン１６Ｓ４  の左側駆動手段１４Ｍ４とが設けられ、以て各ゾーン１６Ｓ１  ，１６Ｓ２  ，１６Ｓ３  ，１６Ｓ４は各別に駆動可能に構成されている。ここで駆動手段１４Ｍ１  ，１４Ｍ２  ，１４Ｍ３  ，１４Ｍ４は、各回転軸１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃにそれぞれ連動するモータなどからなる。以上の１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ〜１６Ｓ１  ，１６Ｓ２  ，１６Ｓ３  ，１６Ｓ４などにより、複数列のガラス基板５，６を、各列毎に搬送可能とした搬送装置１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃの一例が構成される。
【００３１】
なお、搬送装置１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃは、ボックス体（カセットケース）３内にガラス基板５，６を搬送（搬入）させるものである。ここでボックス体３は、ガラス基板５，６を上下方向に間隔を置いて複数段に収納可能に構成されている。その際にボックス体３は各段において、たとえば大型ガラス基板５を、その長尺寸法Ｌの方向を搬送装置１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃの搬送方向（前後方向）として前後２列かつ左右３列で支持し、また小型ガラス基板６を、その幅狭寸法ｍの方向を搬送装置１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃの搬送方向（前後方向）として前後４列かつ左右２列で支持するように構成されている。そして、ボックス体３を、床１上に配設した昇降装置（図示せず。）にセットした状態で、昇降装置により１段分ずつ上昇させることで、搬送装置１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃのローラ体１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃ群上に載置しているガラス基板５，６群を支持して、上段から下段へと順に収納するように構成されている。
【００３２】
前記分散処理装置２０は搬送装置１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃの端部外方間に配設されるものであって、各搬送装置１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃに対向されたそれぞれの縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃと、左側で隣接した縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂ間に位置された左仮置き部（仮置き部の一例）３１と、右側で隣接した縦送りコンベア部２１Ｂ，２１Ｃ間に位置された右仮置き部（仮置き部の一例）３６と、縦送りコンベア部２１Ａと左仮置き部３１とに亘って設けられた左部横送り手段（横送り手段の一例）４１Ａと、縦送りコンベア部２１Ｂと左右の仮置き部３１，３６とに亘って設けられた中央部横送り手段（横送り手段の一例）４１Ｂと、縦送りコンベア部２１Ｃと右仮置き部３６とに亘って設けられた右部横送り手段（横送り手段の一例）４１Ｃなどから構成されている。
【００３３】
各縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃは同様な構成であって、それぞれガラス基板５，６を支持搬送可能に構成されている。すなわち、縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃはローラコンベア形式であって、コンベアフレーム２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃと、前記搬送経路１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃの延長線方向の複数箇所に、その回転軸心を横方向として配設された回転軸２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃと、各回転軸２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃの長さ方向の複数箇所に外嵌固定して設けられたローラ体２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃと、前記回転軸２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃに連動する駆動手段（モータなど）２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃなどにより構成されている。ここで回転軸２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃ群はコンベアフレーム２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ側に回転自在に支持され、そしてローラ体２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃ群によって縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃの搬送面２１ａ，２１ｂ，２１ｃが形成されている。
【００３４】
その際に両縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃは、それぞれ横方向（コンベア幅方向）において２つ（複数）のゾーン、すなわち、右側ゾーン２６Ｓ１と左側ゾーン２６Ｓ２  とにより形成され、そして回転軸２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃは、各ゾーン２６Ｓ１  ，２６Ｓ２に対応して横方向で２分割されている。各分割した回転軸２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃ群に連動する駆動手段、すなわち、右側ゾーン２６Ｓ１の各回転軸２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃにそれぞれ連動する駆動手段２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃと、左側ゾーン２６Ｓ２  の各回転軸２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃにそれぞれ連動する駆動手段２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃとが設けられ、以て両ゾーン２６Ｓ１  ，２６Ｓ２の各分割した回転軸２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃは各別に駆動可能に構成されている。したがって、かかる縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃによると、各駆動手段２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃによって各回転軸２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃを回動させることで、搬送面２１ａ，２１ｂ，２１ｃを形成するローラ体２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃ群を回動し得、以てガラス基板５，６を搬送し得る。
【００３５】
以上の２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ〜２６Ｓ１  ，２６Ｓ２などにより、前記搬送装置１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃと搬送方向を同一状とした縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃの一例が構成される。そして縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃは箱枠状の保持枠体２８Ａ，２８Ｂ，２８Ｃ上に配設され、また保持枠体２８Ａ，２８Ｂ，２８Ｃは、レベル調整自在な複数の脚部材２９Ａ，２９Ｂ，２９Ｃを介して床１上に設置される。
【００３６】
前記仮置き部３１，３６は、両縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂ間や両縦送りコンベア部２１Ｂ，２１Ｃ間に位置されるものであって、前記搬送経路１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃの方向に沿った方向の複数箇所において前記保持枠体２８Ａ，２８Ｂ，２８Ｃの上部間に配設された連結部材３２，３７と、これら連結部材３２，３７上に立設されたプレート状部材３３，３８と、各プレート状部材３３，３８の上面に敷設された支持部材３４，３９などにより、一例が構成される。その際に支持部材３４，３９は、たとえばウレタン製からなり、そして支持部材３４，３９群の上面によって、縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃの搬送面２１ａ，２１ｂ，２１ｃと同レベル状の仮置き支持面３１ａ，３６ａが扁平状で形成される。なお仮置き支持面３１ａ，３６ａは、大型ガラス基板５や小型ガラス基板６を支持可能な広さに設定されている。またプレート状部材３３，３８などは、縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃにおける回転軸２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃの端部間に位置して配設されている。
【００３７】
各横送り手段４１Ａ，４１Ｂ，４１Ｃは同様な構成であって、それぞれの横送り搬送経路８９Ａ，８９Ｂ，８９Ｃは、対向される縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃから仮置き部３１，３６に亘って形成されるように構成されている。すなわち横送り手段４１Ａ，４１Ｂ，４１Ｃは、昇降部材４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃと、この昇降部材４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃを昇降動させる昇降駆動部５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃと、横送り搬送経路８９Ａ，８９Ｂ，８９Ｃに沿った方向として前記昇降部材４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃ上に設けられたガイド部材６０Ａ，６０Ｂ，６０Ｃと、このガイド部材６０Ａ，６０Ｂ，６０Ｃに支持案内されて横送り搬送経路８９Ａ，８９Ｂ，８９Ｃに沿った方向に移動自在な板状体支持部７０Ａ，７０Ｂ，７０Ｃと、この板状体支持部７０Ａ，７０Ｂ，７０Ｃを横移動させる横移動駆動部８０Ａ，８０Ｂ，８０Ｃなどにより構成されている。
【００３８】
前記昇降部材４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃは型レール状であって、横送り搬送経路８９Ａ，８９Ｂ，８９Ｃに沿った方向として、前記回転軸２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃ間でかつ１つ置きの隙間の下方に位置して４箇所（複数箇所）に配設されている。その際に、左部横送り手段４１Ａや右部横送り手段４１Ｃにおける昇降部材４２Ａ，４２Ｃ群の配設位置に対して、中央部横送り手段４１Ｂにおける昇降部材４２Ｂ群の配設位置は１つ置きの隙間分だけ位置をずらして配設されている。前記昇降部材４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃ群は、隣接した下面間が、前記搬送経路１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃの延長線に沿った方向の連結部材４３Ａ，４３Ｂ，４３Ｃ群により連結されることで、各群毎に一体的に昇降自在に構成されている。そして昇降は、保持枠体２８Ａ，２８Ｂ，２８Ｃ側の受け部材４４Ａ，４４Ｂ，４４Ｃとの間に設けられた複数の昇降ガイド体４５Ａ，４５Ｂ，４５Ｃを介して安定して行われ、また連結部材４３Ａ，４３Ｂ，４３Ｃの下面側に設けられたストッパー体４６Ａ，４６Ｂ，４６Ｃが受け部材４４Ａ，４４Ｂ，４４Ｃの上面に当接されることで、その下降限が規制されるように構成されている。
【００３９】
前記昇降駆動部５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃは、搬送経路１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃの延長線に沿った方向に配設された回転軸５１Ａ，５１Ｂ，５１Ｃを横送り搬送経路８９Ａ，８９Ｂ，８９Ｃの方向の２箇所に有し、これら回転軸５１Ａ，５１Ｂ，５１Ｃは、軸受体５２Ａ，５２Ｂ，５２Ｃを介して保持枠体２８Ａ，２８Ｂ，２８Ｃ側で回転自在に支持されている。そして回転軸５１Ａ，５１Ｂ，５１Ｃの２箇所には、くの字状の折り曲げリンク体５３Ａ，５３Ｂ，５３Ｃの中間部が固定され、この折り曲げリンク体５３Ａ，５３Ｂ，５３Ｃの上部側遊端にはカムローラ５４Ａ，５４Ｂ，５４Ｃが遊転自在に設けられるとともに、これらカムローラ５４Ａ，５４Ｂ，５４Ｃは、連結部材４３Ａ，４３Ｂ，４３Ｃの下面側に設けられた水平状のカム体５５Ａ，５５Ｂ，５５Ｃに下方から当接されている。前記折り曲げリンク体５３Ａ，５３Ｂ，５３Ｃの下部側遊端間には押し引き体５６Ａ，５６Ｂ，５６Ｃが相対揺動自在に連結され、この押し引き体５６Ａ，５６Ｂ，５６Ｃは、保持枠体２８Ａ，２８Ｂ，２８Ｃ側に配設されたシリンダー装置５７Ａ，５７Ｂ，５７Ｃのピストンロッドに連結されている。
【００４０】
かかる構成によると、シリンダー装置５７Ａ，５７Ｂ，５７Ｃの伸縮動によって押し引き体５６Ａ，５６Ｂ，５６Ｃを押し引き動させることで、回転軸５１Ａ，５１Ｂ，５２Ｃの回転を伴いながら折り曲げリンク体５３Ａ，５３Ｂ，５３Ｃ群を揺動してカムローラ５４Ａ，５４Ｂ，５４Ｃを昇降させ、以てカム体５５Ａ，５５Ｂ，５５Ｃ、連結部材４３Ａ，４３Ｂ，４３Ｃを介して昇降部材４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃ群を昇降し得る。以上の５１Ａ，５１Ｂ，５１Ｃ〜５７Ａ，５７Ｂ，５７Ｃなどにより昇降駆動部５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃの一例が構成される。
【００４１】
前記ガイド部材６０Ａ，６０Ｂ，６０Ｃは、前記昇降部材４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃの上方に平行状で位置されるとともに、連結部材６４Ａ，６４Ｂ，６４Ｃを介して昇降部材４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃ側に連結されている。そしてガイド部材６０Ａ，６０Ｂ，６０Ｃは、前記昇降部材４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃに対して前記仮置き部３１，３６側に突出され、その突出部分には、前記昇降部材４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃと同様なレベルとした短尺昇降部材４２ａ，４２ｂ，４２ｃが連結部材６４Ａ，６４Ｂ，６４Ｃを介して連結されている。このガイド部材６０Ａ，６０Ｂ，６０Ｃには、上方開放の上部ガイド溝６１Ａ，６１Ｂ，６１Ｃと、搬送装置１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ側の側方開放の側部ガイド溝６２Ａ，６２Ｂ，６２Ｃと、下方開放の下部ガイド溝６３Ａ，６３Ｂ，６３Ｃとが、長さ方向（横送り搬送経路８９Ａ，８９Ｂ，８９Ｃの方向）の全長に形成されている。なお、昇降部材４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃや短尺昇降部材４２ａ，４２ｂ，４２ｃは下面開放で逆Ｕ字状の型レール状であって、その上位平板部を介して連結部材６４Ａ，６４Ｂ，６４Ｃが連結されている。
【００４２】
前記板状体支持部７０Ａ，７０Ｂ，７０Ｃの本体部分７４Ａ，７４Ｂ，７４Ｃには、前記ガイド部材６０Ａ，６０Ｂ，６０Ｃの上部ガイド溝６１Ａ，６１Ｂ，６１Ｃに嵌合案内される上部被ガイド体７１Ａ，７１Ｂ，７１Ｃと、側部ガイド溝６２Ａ，６２Ｂ，６２Ｃに嵌合案内される側部被ガイド体７２Ａ，７２Ｂ，７２Ｃと、下部ガイド溝６３Ａ，６３Ｂ，６３Ｃに嵌合案内される下部被ガイド体７３Ａ，７３Ｂ，７３Ｃとが設けられている。そして本体部分７４Ａ，７４Ｂ，７４Ｃの上面側には、ローラ体２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃ間に位置されるロッド状の支持部分７５Ａ，７５Ｂ，７５Ｃが、横送り搬送経路８９Ａ，８９Ｂ，８９Ｃの方向において所定間隔置きの６箇所（複数箇所）から立設状に設けられている。
【００４３】
これら支持部分７５Ａ，７５Ｂ，７５Ｃの上端面間に亘って、板状体支持部７０Ａ，７０Ｂ，７０Ｃの板状体支持面７０ａ，７０ｂ，７０ｃが扁平状で形成され、その際に板状体支持面７０ａ，７０ｂ，７０ｃは、両ガラス基板５，６を安定して支持可能な広さを確保するように設定されている。そして板状体支持面７０ａ，７０ｂ，７０ｃは、昇降駆動部５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃによる昇降によって、縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃの搬送面２１ａ，２１ｂ，２１ｃや仮置き部３１，３６の仮置き支持面３１ａ，３１ｂに対して出退動自在に構成されている。その際に前述したように、左部横送り手段４１Ａや右部横送り手段４１Ｃにおける昇降部材４２Ａ，４２Ｃ群の配設位置に対して、中央部横送り手段４１Ｂにおける昇降部材４２Ｂ群の配設位置が１つ置きの隙間分だけ位置をずらしていることで、仮置き部３１，３６の部分において板状体支持部７０Ａ，７０Ｂ，７０Ｃは、ずれた状態で互いに干渉することなく移動自在となる。
【００４４】
なお、各部の被ガイド体７１Ａ，７１Ｂ，７１Ｃ、７２Ａ，７２Ｂ，７２Ｃ、７３Ａ，７３Ｂ，７３Ｃとして、各部のガイド溝６１Ａ，６１Ｂ，６１Ｃ、６２Ａ，６２Ｂ，６２Ｃ、６３Ａ，６３Ｂ，６３Ｃに遊転自在に嵌合案内されるローラ形式が示されているが、これは摺動自在に嵌合案内される突起体形式などであってもよい。以上の７１Ａ，７１Ｂ，７１Ｃ〜７５Ａ，７５Ｂ，７５Ｃなどにより、板状体支持部７０Ａ，７０Ｂ，７０Ｃの一例が構成される。
【００４５】
前記横移動駆動部８０Ａ，８０Ｂ，８０Ｃは、その駆動源となる減速機付きのモータ８１Ａ，８１Ｂ，８１Ｃが、前記昇降部材４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃ群のうちの１本の昇降部材４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃの外端下面に設けられている。そして昇降部材４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃ群の外端下面間に亘って駆動軸８２Ａ，８２Ｂ，８２Ｃが回転自在に配設され、この駆動軸８２Ａ，８２Ｂ，８２Ｃは前記モータ８１Ａ，８１Ｂ，８１Ｃの出力軸に巻き掛け連動機構８３Ａ，８３Ｂ，８３Ｃを介して連動連結されるとともに、前記駆動軸８２Ａ，８２Ｂ，８２Ｃの前記昇降部材４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃに対向する部分には、それぞれ駆動輪体８４Ａ，８４Ｂ，８４Ｃが設けられている。
【００４６】
逆Ｕ字状の前記昇降部材４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃや短尺昇降部材４２ａ，４２ｂ，４２ｃの内部で複数箇所には案内輪体８５Ａ，８５Ｂ，８５Ｃが遊転自在に設けられ、また昇降部材４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃの外端上面と短尺昇降部材４２ａ，４２ｂ，４２ｃの上面には、それぞれ反転案内輪体８６Ａ，８６Ｂ，８６Ｃ、８７Ａ，８７Ｂ，８７Ｃが遊転自在に設けられている。そして、駆動輪体８４Ａ，８４Ｂ，８４Ｃに巻回された駆動ベルト８８Ａ，８８Ｂ，８８Ｃが、案内輪体８５Ａ，８５Ｂ，８５Ｃから反転案内輪体８６Ａ，８６Ｂ，８６Ｃ、８７Ａ，８７Ｂ，８７Ｃに亘って巻回されるとともに、駆動ベルト８８Ａ，８８Ｂ，８８Ｃの遊端が、前記板状体支持部７０Ａ，７０Ｂ，７０Ｃの本体部分７４Ａ，７４Ｂ，７４Ｃに連結されている。なお、案内輪体８５Ａ，８５Ｂ，８５Ｃの一部を位置調整自在として、駆動ベルト８８Ａ，８８Ｂ，８８Ｃの張力調整を可能としている。以上の８１Ａ，８１Ｂ，８１Ｃ〜８８Ａ，８８Ｂ，８８Ｃなどにより、板状体支持部７０Ａ，７０Ｂ，７０Ｃを縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃと仮置き部３１とに亘って移動させる横移動駆動部８０Ａ，８０Ｂ，８０Ｃの一例が構成される。
【００４７】
かかる構成によると、モータ８１Ａ，８１Ｂ，８１Ｃの正逆駆動により巻き掛け連動機構８３Ａ，８３Ｂ，８３Ｃを介して駆動軸８２Ａ，８２Ｂ，８２Ｃを正逆回転させることで、駆動ベルト８８Ａ，８８Ｂ，８８Ｃを回動させて板状体支持部７０Ａ，７０Ｂ，７０Ｃを横送り搬送経路８９Ａ，８９Ｂ，８９Ｃの方向に往復移動し得る。その際に板状体支持部７０Ａ，７０Ｂ，７０Ｃの往復移動は、各部の被ガイド体７１Ａ，７１Ｂ，７１Ｃ、７２Ａ，７２Ｂ，７２Ｃ、７３Ａ，７３Ｂ，７３Ｃが各部のガイド溝６１Ａ，６１Ｂ，６１Ｃ、６２Ａ，６２Ｂ，６２Ｃ、６３Ａ，６３Ｂ，６３Ｃに嵌合案内されることで、常に安定して行われる。
【００４８】
その際に横移動駆動部８０Ａ，８０Ｂ，８０Ｃは、駆動軸８２Ａ，８２Ｂ，８２Ｃの中間部分が分断されるとともに、モータ８１Ａ，８１Ｂ，８１Ｃなどが前後に振り分けて配設されている。これにより各横送り手段４１Ａ，４１Ｂ，４１Ｃは、単数枚搬送装置９側の前部ゾーン９０Ｓ１と、搬送装置１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ側の後部ゾーン９０Ｓ２とに、縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃの搬送方向において２つ（複数）のゾーンに分けられ、各ゾーン９０Ｓ１  ，９０Ｓ２毎に横送り駆動可能に構成されている。
【００４９】
前記縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃのうちの中央部（少なくとも１つ）の縦送りコンベア部２１Ｂには、前記単数枚搬送装置９からのガラス基板５，６を受け入れ可能な板状体受け入れ域１３０が形成されている。すなわち、縦送りコンベア部２１Ｂにおける横送り搬送経路８９Ｂの中央部分が板状体受け入れ域１３０に形成され、そして板状体受け入れ域１３０には、ガラス基板５，６を板状体支持部７０Ａ，７０Ｂ，７０Ｃの移動方向で位置決めするセンタリング装置９１が設けられている。
【００５０】
このセンタリング装置９１は、縦送りコンベア部２１Ｂの下方で横送り搬送経路８９Ｂの方向の両端部分に配設される昇降体９２，９３と、これら昇降体９２，９３を昇降動させる昇降駆動部９４と、前記昇降体９２，９３の上方間に設けられた横送り搬送経路８９Ｂの方向のガイド部材９７と、このガイド部材９７に支持案内されて横方向に移動自在な一対の板状体把持体１０１，１０２と、これら板状体把持体１０１，１０２を互いに接近離間動させる接近離間駆動部１１０などにより構成されている。
【００５１】
前記昇降体９２，９３は型レール状であって、搬送経路１５Ｂの延長線に沿った方向（横送り搬送経路８９Ｂに対して直交方向）に配設されている。前記昇降駆動部９４はシリンダー装置形式であって、保持枠体２８Ｂの下部に設けられるとともに、その上向きのピストンロッドが昇降体９２，９３の下部に連結されている。そして昇降体９２，９３上には、前記回転軸２３Ｂ間でかつ１つ置きの隙間の下方に位置された４箇所（複数箇所）、すなわち、板状体支持部７０Ｂなどが対向していない１つ置きの隙間の下方に位置されて、それぞれ保持体９５が設けられている。前記ガイド部材９７群は、前記保持体９５の上方間に位置されるとともに、連結部材９６を介して保持体９５側に連結され、以て一体的に昇降自在に構成されている。このガイド部材９７には、上方開放の上部ガイド溝９８と、搬送装置１０Ｂ側の側方開放の側部ガイド溝９９と、下方開放の下部ガイド溝１００とが、長さ方向（横送り搬送経路８９Ｂの方向）の全長に形成されている。
【００５２】
前記板状体把持体１０１，１０２の本体部分１０３には、ガイド部材９７の上部ガイド溝９８に嵌合案内される上部被ガイド体１０５と、側部ガイド溝９９に嵌合案内される側部被ガイド体１０６と、下部ガイド溝１００に嵌合案内される下部被ガイド体１０７とが設けられている。そして本体部分１０３の上面側には、ローラ体２４Ｂ間に位置されるロッド状の把持用部分１０４が立設状に設けられている。これら把持用部分１０４の相対向面によって、板状体把持体１０１，１０２の板状体把持面１０１ａ，１０２ａが形成され、そして板状体把持体１０１，１０２の把持用部分１０４は、昇降駆動部９４による昇降によって、縦送りコンベア部２１Ｂの搬送面２１ｂに対して出退動自在に構成されている。なお、各部の被ガイド体１０５，１０６、１０７として、各部のガイド溝９８，９９、１００に遊転自在に嵌合案内されるローラ形式が示されているが、これは摺動自在に嵌合案内される突起体形式などであってもよい。以上の１０３〜１０７などにより、板状体把持体１０１，１０２の一例が構成される。
【００５３】
前記接近離間駆動部１１０は、その駆動源となる減速機付きのモータ１１１が外側の昇降体９２に設けられている。そして外側の保持体９５の上部間に亘って、搬送経路１５Ｂの延長線に沿った方向（横送り搬送経路８９Ｂに対して直交方向）の駆動軸１１２が回転自在に配設され、この駆動軸１１２は前記モータ１１１の出力軸に巻き掛け連動機構１１３を介して連動連結されている。前記駆動軸１１２の前記ガイド部材９７に対向する部分には、それぞれ駆動輪体１１４が設けられるとともに、内側の各保持体９５には、前記ガイド部材９７に対向する反転案内輪体１１５がそれぞれ遊転自在に設けられている。また、内側、外側の各保持体９５の内部で複数箇所には案内輪体１１６が遊転自在に設けられている。
【００５４】
そして、駆動輪体１１４に有端の駆動ベルト１１７が巻回され、この駆動ベルト１１７の一端が、外側の板状体把持体１０１の本体部分１０３に連結具１１８を介して連結されている。また駆動ベルト１１７の他端側は、外側の案内輪体１１６に案内され、外側の板状体把持体１０１の下方を通過したのち、その中間部分が内側の板状体把持体１０２の本体部分１０３に連結具１１９を介して連結されている。さらに駆動ベルト１１７の他端側は、内側の案内輪体１１６から反転案内輪体１１５に亘って巻回され、そして内側の板状体把持体１０２の部分を通過したのち、外側の板状体把持体１０１の本体部分１０３に連結具１２０を介して連結されている。なお、案内輪体１１６の一部を位置調整自在として、駆動ベルト１１７の張力調整を可能としている。以上の１１１〜１２０などにより、接近離間駆動部１１０の一例が構成される。
【００５５】
かかる構成によると、昇降駆動部９４により昇降体９２，９３を昇降させることによって、保持体９５、連結部材９６、ガイド部材９７を介して板状体把持体１０１，１０２を昇降し得、以て板状体把持体１０１，１０２の把持用部分１０４を縦送りコンベア部２１Ｂの搬送面２１ｂに対して出退し得る。そして、モータ１１１の正逆駆動により巻き掛け連動機構１１３を介して駆動軸１１２を正逆回転させることで、駆動ベルト１１７を回動させて板状体把持体１０１，１０２を、横送り搬送経路８９Ａ，８９Ｂの方向で互いに接近離間移動し得る。その際に板状体把持体１０１，１０２の接近離間移動は、各部の被ガイド体１０５，１０６、１０７が各部のガイド溝９８，９９、１００に嵌合案内されることで、常に安定して行われる。
【００５６】
以上の９２〜１２０などにより、板状体渡し域９０においてガラス基板５，６を板状体支持部７０Ａ，７０Ｂ，７０Ｃの移動方向で位置決めするセンタリング装置９１の一例が構成される。その際にセンタリング装置９１は、駆動軸１１２の中間部分が分断されるとともに、モータ１１１などが前後に振り分けて配設されている。これによりセンタリング装置９１は、前述した横送り手段４１Ａ，４１Ｂ，４１Ｃと同様に、単数枚搬送装置９側の前部ゾーン９０Ｓ１  と、搬送装置１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ側の後部ゾーン９０Ｓ２とに分けられ、各ゾーン９０Ｓ１  ，９０Ｓ２毎にセンタリング可能に構成されている。
【００５７】
以上の２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ〜１２０などにより、分散処理装置２０の一例が構成される。なお、３箇所の搬送装置１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃのうち右側の搬送装置１０Ｃが、適宜の箇所での検出などによって不良とされた不良大型ガラス基板５ＮＧや不良小型ガラス基板６ＮＧの回収用として設定されている。
【００５８】
以下に、上記した実施の形態１において、大型ガラス基板５を取り扱う作用を、図１〜図１３に基づいて説明する。
各搬送装置１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃには空のボックス体３がセットされている。そして各搬送装置１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃは、大型ガラス基板５を、右側ゾーン１６Ｓ１と、中央右側ゾーン１６Ｓ２と中央左側ゾーン１６Ｓ３とを加算した幅の中央ゾーン（１６Ｓ２＋１６Ｓ３）と、左側ゾーン１６Ｓ４  とにおいて、搬送経路１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ上において左右３列（３つのゾーン）で各別に搬送し得るように、右側ゾーン１６Ｓ１の右側駆動手段１４Ｍ１と、中央ゾーン（１６Ｓ２＋１６Ｓ３）の中央右側駆動手段１４Ｍ２ならびに中央左側駆動手段１４Ｍ３と、左側ゾーン１６Ｓ４の左側駆動手段１４Ｍ４とを各別に駆動するように制御される。また、各横送り手段４１Ａ，４１Ｂ，４１Ｃは、前部ゾーン９０Ｓ１  と後部ゾーン９０Ｓ２とが同時に作動するように制御される。そして前記単数枚搬送装置９は大型ガラス基板５を、その長尺寸法Ｌの方向を搬送方向として搬送するように設定されている。この単数枚搬送装置９からの大型ガラス基板５群を、分散処理装置２０で分散処理したのち、搬送装置１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃに搬出させるに、たとえば次のように動作される。
【００５９】
すなわち、分散処理を行うに際して分散処理装置２０では、各横送り手段４１Ａ，４１Ｂ，４１Ｃの昇降部材４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃ群を昇降駆動部５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃにより下降させることによって、板状体支持部７０Ａ，７０Ｂ，７０Ｃの板状体支持面７０ａ，７０ｂ，７０ｃを、縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃの搬送面２１ａ，２１ｂ，２１ｃや仮置き部３１，３６の仮置き支持面３１ａ，３６ａに対して退入動させている。そして図５〜図８の実線や点線に示すように、両側の板状体支持部７０Ａ，７０Ｃをそれぞれ仮置き部３１，３６に位置させるとともに、中央の板状体支持部７０Ｂを板状体受け渡し域１３０に位置させている。また、センタリング装置９１における板状体把持体１０１，１０２の把持用部分１０４を、昇降駆動部９４により昇降体９２，９３を上昇させることで、図７の仮想線や図９の仮想線に示すように、縦送りコンベア部２１Ｂの搬送面２１ｂに対して突出動させるとともに、板状体把持体１０１，１０２を接近離間駆動部１１０によって互いに離間動させている。
【００６０】
このような状態で、まず中央の縦送りコンベア部２１Ｂにおける両ゾーン１６Ｓ１  ，１６Ｓ２の駆動手段２５Ｂを駆動するとともに、単数枚搬送装置９から板状体受け入れ域１３０に大型ガラス基板５を送り出し供給し、以て大型ガラス基板５を、駆動させた縦送りコンベア部２１Ｂのローラ体２４Ｂ群によって支持搬送する。そして、大型ガラス基板５が縦送りコンベア部２１Ｂ上に完全に乗り移ったことを検出するなどして、駆動手段２５Ｂの駆動を停止させることで、図６、図７、図１０の実線、図１２（ａ）に示すように、大型ガラス基板５を、板状体支持部７０Ｂの上方で、かつ互いに離間動している板状体把持体１０１，１０２の把持用部分１０４間に位置し得る。次いで、センタリング装置９１の接近離間駆動部１１０により板状体把持体１０１，１０２を互いに接近動させることで、板状体把持面１０１ａ，１０２ａにより大型ガラス基板５を幅広寸法Ｍの方向から把持し得、以て大型ガラス基板５をセンタリング（位置決め）し得る。
【００６１】
そして図１２（ｂ）に示すように、センタリング装置９１の接近離間駆動部１１０により板状体把持体１０１，１０２を互いに離間動させて、センタリング済みの大型ガラス基板５に対する把持を開放したのち、中央部横送り手段４１Ｂを上昇させることにより、図１０の仮想線に示すように、縦送りコンベア部２１Ｂ上の大型ガラス基板５を支持部分７５Ｂ群による扁平状の板状体支持面７０ｂによって持ち上げ支持し得る。この状態で、両ゾーン９０Ｓ１  ，９０Ｓ２のモータ８１Ｂにより駆動ベルト８８Ｂを回動させて板状体支持部７０Ｂを左仮置き部３１側に移動させることで、支持部分７５Ｂ群により支持している大型ガラス基板５を横送り搬送経路８９Ｂ上において、持ち上げ姿勢を乱すことなく安定して幅広寸法Ｍの方向（横方向）に搬送し得る。次いで、大型ガラス基板５が左仮置き部３１の上方に位置したことを検出するなどして、モータ８１Ｂを停止して横方向への搬送を停止させることで、大型ガラス基板５を左仮置き部３１の上方に位置し得る。
【００６２】
そして前述と同様にして、単数枚搬送装置９から板状体受け入れ域１３０に次の大型ガラス基板、すなわち不良大型ガラス基板５ＮＧを送り出し供給し、以て不良大型ガラス基板５ＮＧを、互いに離間動している板状体把持体１０１，１０２の把持用部分１０４間に位置させたのち、図１２（ｃ）に示すように、センタリング装置９１によりセンタリング（位置決め）する。この前後に、中央部横送り手段４１Ｂを昇降駆動部５０Ｂにより下降させることによって、板状体支持部７０Ｂの板状体支持面７０ｂを左仮置き部３１の仮置き支持面３１ａに対して退入動し得る。これにより大型ガラス基板５を、支持部材３４群によって支持して左仮置き部３１に仮置きし得る。この直後に、モータ８１Ｂにより駆動ベルト８８Ｂを逆回動させて板状体支持部７０Ｂを左仮置き部３１から離れる側に移動させることで、板状体支持部７０Ｂを板状体受け入れ域１３０に位置させる。
【００６３】
次いで図１３（ａ）に示すように、センタリング装置９１の板状体把持体１０１，１０２を互いに離間動させて、センタリング済みの不良大型ガラス基板５ＮＧに対する把持を開放したのち、中央部横送り手段４１Ｂを上昇させることにより不良大型ガラス基板５ＮＧを、支持部分７５Ｂ群による扁平状の板状体支持面７０ｂによって持ち上げ支持し得る。この状態で、モータ８１Ｂにより駆動ベルト８８Ｂを逆回動させて板状体支持部７０Ｂを右仮置き部３６側に移動させることで、支持部分７５Ｂ群によって支持している不良大型ガラス基板５ＮＧを、横送り搬送経路８９Ｂ上で持ち上げ姿勢を乱すことなく安定して搬送し得、以て右仮置き部３６の上方に位置し得る。
【００６４】
これと相前後して、昇降駆動部５０Ａにより左部横送り手段４１Ａを上昇させることによって、板状体支持部７０Ａの板状体支持面７０ａを仮置き部３１の仮置き支持面３１ａに対して突出動させ得、以て図５の仮想線イに示すように、支持部材３４群上の大型ガラス基板５を支持部分７５Ａ群による扁平状の板状体支持面７０ａによって持ち上げ支持し得る。この状態で、モータ８１Ａにより駆動ベルト８８Ａを回動させることで、支持部分７５Ａ群によって支持している大型ガラス基板５を、横送り搬送経路８９Ａ上で持ち上げ姿勢を乱すことなく安定して幅広寸法Ｍの方向に搬送し得る。そして、大型ガラス基板５が搬送装置１０Ａの左側ゾーン１６Ｓ４に対向したことを検出するなどしてモータ８１Ａを停止することで、横方向への搬送を停止し得る。
【００６５】
次いで前述と同様にして、単数枚搬送装置９から板状体受け入れ域１３０に次の大型ガラス基板５を送り出し供給し、以て大型ガラス基板５を、互いに離間動している板状体把持体１０１，１０２の把持用部分１０４間に位置させたのち、図１３（ｂ）に示すように、センタリング装置９１によりセンタリング（位置決め）し得る。この前後に、中央部横送り手段４１Ｂを昇降駆動部５０Ｂにより下降させて、板状体支持部７０Ｂの板状体支持面７０ｂを右仮置き部３６の仮置き支持面３６ａに対して退入動させることにより、不良大型ガラス基板５ＮＧを支持部材３９群によって支持して右仮置き部３６に仮置きし得る。そしてモータ８１Ｂにより駆動ベルト８８Ｂを逆回動させて板状体支持部７０Ｂを左仮置き部３１から離れる側に移動させることで、板状体支持部７０Ｂを板状体受け入れ域１３０に位置し得る。
【００６６】
また、昇降駆動部５０Ａにより左部横送り手段４１Ａを下降させることによって、板状体支持部７０Ａの板状体支持面７０ａを縦送りコンベア部２１Ａの搬送面２１ａに対して退入動させる。これにより図５の仮想線ロや図１１に示すように、搬送装置１０Ａの左側ゾーン１６Ｓ４に対向している大型ガラス基板５を縦送りコンベア部２１Ａによって支持し得る。その後に、モータ８１Ａにより駆動ベルト８８Ａを逆回動させて板状体支持部７０Ａを左仮置き部３１側に移動させることで、板状体支持部７０Ａを左仮置き部３１に位置し得る。
【００６７】
そして、センタリング装置９１の接近離間駆動部１１０により板状体把持体１０１，１０２を互いに離間動させて、センタリング済みの大型ガラス基板５に対する把持を開放したのち、中央部横送り手段４１Ｂを上昇させることにより、縦送りコンベア部２１Ｂ上の大型ガラス基板５を支持部分７５Ｂ群による扁平状の板状体支持面７０ｂによって持ち上げ支持し得る。この状態で、駆動ベルト８８Ｂを回動させて板状体支持部７０Ｂを左仮置き部３１側に移動させることで、支持部分７５Ｂ群により支持している大型ガラス基板５を横送り搬送経路８９Ｂ上において、持ち上げ姿勢を乱すことなく安定して幅広寸法Ｍの方向（横方向）に搬送し得る。そして図１３（ｃ）に示すように、大型ガラス基板５が左仮置き部３１の上方に位置したことを検出するなどして、モータ８１Ｂを停止して横方向への搬送を停止させることで、大型ガラス基板５を左仮置き部３１の上方に位置し得る。
【００６８】
この前後に、縦送りコンベア部２１Ａにおける左側ゾーン２６Ｓ２の駆動手段２５Ａと、搬送装置１０Ａにおける左側ゾーン１６Ｓ４の左側駆動手段１４Ｍ４とを駆動制御することで、センタリングされたのち搬送されてきた大型ガラス基板５を、縦送りコンベア部２１Ａのローラ体２４Ａ群による支持搬送によって供給し得る。さらに、右側駆動手段１４Ｍ１と、右側ゾーン２６Ｓ１の駆動手段２５Ａとを駆動して、右側ゾーン１６Ｓ１から大型ガラス基板５を切り出し供給するとともに、この大型ガラス基板５を、駆動させた搬送装置１０Ａのローラ体１３Ａ群により受け取って支持搬送する。そして、大型ガラス基板５が搬送装置１０Ａ上に完全に乗り移ったことを検出するなどして、駆動手段２５Ａと左側駆動手段１４Ｍ４との駆動を停止させることで、大型ガラス基板５をボックス体３内に格納（位置）し得る。
【００６９】
また、昇降駆動部５０Ｃにより右部横送り手段４１Ｃを上昇させることによって、板状体支持部７０Ｃの板状体支持面７０ｃを仮置き部３６の仮置き支持面３６ａに対して突出動させ得、以て支持部材３９群上の不良大型ガラス基板５ＮＧを、支持部分７５Ｃ群による扁平状の板状体支持面７０ｃによって持ち上げ支持し得る。この状態で、モータ８１Ｃにより駆動ベルト８８Ｃを回動させることで、支持部分７５Ｃ群により支持している不良大型ガラス基板５ＮＧを横送り搬送経路８９Ｃ上において、持ち上げ姿勢を乱すことなく安定して幅広寸法Ｍの方向に搬送し得る。そして、図８の仮想線に示すように、不良大型ガラス基板５ＮＧが搬送装置１０Ｃの右側ゾーン１６Ｓ１に対向したことを検出するなどしてモータ８１Ｃを停止することで、横方向への搬送を停止し得る。その後に右部横送り手段４１Ｃを上昇させることによって、図９に示すように、不良大型ガラス基板５ＮＧを、縦送りコンベア部２１Ｃのローラ体２４Ｃ群によって支持し得る。
【００７０】
以下において同様の動作が繰り返し行われる。すなわち、単数枚搬送装置９から板状体受け入れ域１３０に送り出し供給した大型ガラス基板５を、センタリング装置９１によりセンタリング（位置決め）したのち、中央部横送り手段４１Ｂにより左仮置き部３１に搬送して一旦仮置きし、そして左部横送り手段４１Ａにより支持搬送して、搬送装置１０Ａにおける右側ゾーン１６Ｓ１  、中央ゾーン（１６Ｓ２＋１６Ｓ３）、左側ゾーン１６Ｓ４のいずれかに対向して停止させる。次いで、縦送りコンベア部２１Ａの駆動と、対向したゾーンにおける駆動手段１４Ｍ１  、１４Ｍ２  、１４Ｍ３  、１４Ｍ４の各別駆動とによって大型ガラス基板５を支持搬送することで、図１３（ｃ）の実線や仮想線に示すように、大型ガラス基板５を搬送装置１０Ａによって前後２列かつ左右３列に支持し得るとともに、かかる大型ガラス基板５群を上下複数段としてボックス体３内に格納（位置）し得る。
【００７１】
また左側の搬送装置１０Ａを使用してのボックス体３への格納が満杯状態になったとき、中央の搬送装置１０Ｂを使用してのボックス体３への格納に切り換える。この場合に、単数枚搬送装置９から板状体受け入れ域１３０に送り出し供給した大型ガラス基板５を、センタリング装置９１によりセンタリング（位置決め）したのち、中央部横送り手段４１Ｂにより支持搬送して搬送装置１０Ｂにおける右側ゾーン１６Ｓ１、中央ゾーン（１６Ｓ２＋１６Ｓ３）、左側ゾーン１６Ｓ４のいずれかに対向して停止させる。次いで、縦送りコンベア部２１Ｂの駆動と、対向したゾーンにおける駆動手段１４Ｍ１  、１４Ｍ２  、１４Ｍ３  、１４Ｍ４の各別駆動とによって大型ガラス基板５を支持搬送することで、図１３（ｃ）の仮想線に示すように、大型ガラス基板５を搬送装置１０Ｂによって前後２列かつ左右３列に支持し得るとともに、かかる大型ガラス基板５群を上下複数段としてボックス体３内に格納（位置）し得る。このように中央の搬送装置１０Ｂを対象としたときは、左仮置き部３１は使用せず、また左部横送り手段４１Ａは作動しない。
【００７２】
このようにして、単数枚搬送装置９からの大型ガラス基板５を、センタリングしたのち分散して、複数の搬送装置１０Ａ，１０Ｂへと効率良く送り出し得る。なお、左側の搬送装置１０Ａや中央の搬送装置１０Ｂを使用してのボックス体３への格納時において、不良大型ガラス基板５ＮＧは、中央部横送り手段４１Ｂ、右仮置き部３６、右部横送り手段４１Ｃを介しての同様の作用によって、図１３（ｃ）の仮想線に示すように、右側の搬送装置１０Ｃのボックス体３内に格納（位置）し得、以て所期の搬送ラインから分離、除去し得る。
【００７３】
次に、上記した実施の形態１において、小型ガラス基板６を取り扱う作用を、図１、図１４、図１５に基づいて説明する。
各搬送装置１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃには空のボックス体３がセットされている。そして各搬送装置１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃは小型ガラス基板６を、右側ゾーン１６Ｓ１と中央右側ゾーン１６Ｓ２とを加算した幅の右ゾーン（１６Ｓ１＋１６Ｓ２）と、中央左側ゾーン１６Ｓ３と左側ゾーン１６Ｓ４  とを加算した幅の左ゾーン（１６Ｓ３＋１６Ｓ４）とにおいて、搬送経路１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ上において左右２列（２つのゾーン）で各別に搬送し得るように、右ゾーン（１６Ｓ１＋１６Ｓ２）の右側駆動手段１４Ｍ１と中央右側駆動手段１４Ｍ２とを同期駆動させ、左ゾーン（１６Ｓ３＋１６Ｓ４）の中央左側駆動手段１４Ｍ３と左側駆動手段１４Ｍ４とを同期駆動させるように制御される。
【００７４】
また横送り手段４１Ａ，４１Ｂ，４１Ｃやセンタリング装置９１は、単数枚搬送装置９側の前部ゾーン９０Ｓ１が駆動可能とされ、搬送装置１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ側の後部ゾーン９０Ｓ２が非駆動とされている。そして単数枚搬送装置９は小型ガラス基板６を、その幅狭寸法ｍの方向を搬送方向として搬送するように設定されている。この単数枚搬送装置９からの小型ガラス基板６群を、分散処理装置２０で分散処理したのち、搬送装置１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃに搬出させるに、たとえば次のように動作される。
【００７５】
分散処理を行うに際して分散処理装置２０では、各横送り手段４１Ａ，４１Ｂ，４１Ｃの昇降部材４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃ群を昇降駆動部５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃにより下降させることによって、板状体支持部７０Ａ，７０Ｂ，７０Ｃの板状体支持面７０ａ，７０ｂ，７０ｃを、縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃの搬送面２１ａ，２１ｂ，２１ｃや仮置き部３１，３６の仮置き支持面３１ａ，３６ａに対して退入動させている。そして、両側の板状体支持部７０Ａ，７０Ｃをそれぞれ仮置き部３１，３６に位置させるとともに、中央の板状体支持部７０Ｂを板状体受け渡し域１３０に位置させている。また、センタリング装置９１における板状体把持体１０１，１０２の把持用部分１０４を、昇降駆動部９４により昇降体９２，９３を上昇させることで、縦送りコンベア部２１Ｂの搬送面２１ｂに対して突出動させるとともに、板状体把持体１０１，１０２を接近離間駆動部１１０によって互いに離間動させている。
【００７６】
このような状態で、まず中央の縦送りコンベア部２１Ｂにおける両ゾーン１６Ｓ１  ，１６Ｓ２の駆動手段２５Ｂを駆動するとともに、単数枚搬送装置９から板状体受け入れ域１３０に小型ガラス基板６を送り出し供給し、以て小型ガラス基板６を、駆動させた縦送りコンベア部２１Ｂのローラ体２４Ｂ群によって支持搬送する。そして、小型ガラス基板６が縦送りコンベア部２１Ｂ上で前部ゾーン９０Ｓ１に完全に乗り移ったことを検出するなどして、駆動手段２５Ｂの駆動を停止させることで、図１４（ａ）に示すように、小型ガラス基板６を、板状体支持部７０Ｂの上方で、かつ互いに離間動している板状体把持体１０１，１０２の把持用部分１０４間に位置し得る。次いで、センタリング装置９１の接近離間駆動部１１０により板状体把持体１０１，１０２を互いに接近動させることで、板状体把持面１０１ａ，１０２ａにより小型ガラス基板６を短尺寸法ｌの方向から把持し得、以て小型ガラス基板６をセンタリング（位置決め）し得る。
【００７７】
そして図１４（ｂ）に示すように、センタリング装置９１の接近離間駆動部１１０により板状体把持体１０１，１０２を互いに離間動させて、センタリング済みの小型ガラス基板６に対する把持を開放したのち、中央部横送り手段４１Ｂを上昇させることにより、縦送りコンベア部２１Ｂ上の小型ガラス基板６を支持部分７５Ｂ群による扁平状の板状体支持面７０ｂによって持ち上げ支持し得る。この状態で、前部ゾーン９０Ｓ１  のモータ８１Ｂにより駆動ベルト８８Ｂを回動させて板状体支持部７０Ｂを左仮置き部３１側に移動させることで、支持部分７５Ｂ群により支持している小型ガラス基板６を横送り搬送経路８９Ｂ上において、持ち上げ姿勢を乱すことなく安定して短尺寸法ｌの方向（横方向）に搬送し得る。
【００７８】
この搬送により、小型ガラス基板６が左仮置き部３１の上方に位置したことを検出するなどして、モータ８１Ｂを停止して搬送を停止させることで、小型ガラス基板６を左仮置き部３１の上方に位置し得る。この後に、中央部横送り手段４１Ｂを下降させることによって、板状体支持部７０Ｂの板状体支持面７０ｂを左仮置き部３１の仮置き支持面３１ａに対して退入動し得、これにより小型ガラス基板６を、支持部材３４群によって支持して左仮置き部３１に仮置きし得る。
【００７９】
次いで前述と同様にして、単数枚搬送装置９から板状体受け入れ域１３０に次の小型ガラス基板、すなわち不良小型ガラス基板６ＮＧを送り出し供給し、以て不良小型ガラス基板６ＮＧを、互いに離間動している板状体把持体１０１，１０２の把持用部分１０４間に位置させたのち、図１４（ｃ）に示すように、センタリング装置９１によりセンタリング（位置決め）し得る。この前後に、モータ８１Ｂにより駆動ベルト８８Ｂを逆回動させて板状体支持部７０Ｂを左仮置き部３１から離れる側に移動させることで、板状体支持部７０Ｂを板状体受け入れ域１３０に位置させる。
【００８０】
さらに、昇降駆動部５０Ａにより左部横送り手段４１Ａを上昇させることによって、板状体支持部７０Ａの板状体支持面７０ａを仮置き部３１の仮置き支持面３１ａに対して突出動させ得、以て支持部材３４群上の小型ガラス基板６を支持部分７５Ａ群による扁平状の板状体支持面７０ａによって持ち上げ支持し得る。この状態で、モータ８１Ａにより駆動ベルト８８Ａを回動させることで、支持部分７５Ａ群によって支持している小型ガラス基板６を、横送り搬送経路８９Ａ上で持ち上げ姿勢を乱すことなく安定して短尺寸法ｌの方向に搬送し得る。そして、小型ガラス基板６が搬送装置１０Ａの左ゾーン（１６Ｓ３＋１６Ｓ４）に対向したことを検出するなどしてモータ８１Ａを停止することで、横方向への搬送を停止し得る。
【００８１】
そして図１５（ａ）に示すように、センタリング装置９１の板状体把持体１０１，１０２を互いに離間動させて、センタリング済みの不良小型ガラス基板６ＮＧに対する把持を開放したのち、中央部横送り手段４１Ｂを上昇させることにより、不良小型ガラス基板６ＮＧを支持部分７５Ｂ群による扁平状の板状体支持面７０ｂによって持ち上げ支持し得る。この状態で、モータ８１Ｂにより駆動ベルト８８Ｂを逆回動させて板状体支持部７０Ｂを右仮置き部３６側に移動させることで、支持部分７５Ｂ群によって支持している不良小型ガラス基板６ＮＧを、横送り搬送経路８９Ｂ上で持ち上げ姿勢を乱すことなく安定して搬送し得、以て右仮置き部３６の上方に位置し得る。次いで、中央部横送り手段４１Ｂを昇降駆動部５０Ｂにより下降させて、板状体支持部７０Ｂの板状体支持面７０ｂを右仮置き部３６の仮置き支持面３６ａに対して退入動させることにより、不良小型ガラス基板６ＮＧを支持部材３９群によって支持して右仮置き部３６に仮置きし得る。
【００８２】
また、昇降駆動部５０Ａにより左部横送り手段４１Ａを下降させることによって、板状体支持部７０Ａの板状体支持面７０ａを縦送りコンベア部２１Ａの搬送面２１ａに対して退入動させる。これにより、搬送装置１０Ａの左ゾーン（１６Ｓ３＋１６Ｓ４）に対向している小型ガラス基板６を縦送りコンベア部２１Ａによって支持し得る。そしてモータ８１Ａにより駆動ベルト８８Ａを逆回動させて板状体支持部７０Ａを左仮置き部３１側に移動させることで、板状体支持部７０Ａを左仮置き部３１に位置し得る。
【００８３】
この後に、縦送りコンベア部２１Ａにおける左側ゾーン２６Ｓ２の駆動手段２５Ａを駆動制御することで、センタリングされたのち搬送されてきた小型ガラス基板６を、縦送りコンベア部２１Ａのローラ体２４Ａ群により支持搬送し得る。そして、小型ガラス基板６が、後部ゾーン９０Ｓ２  に完全に移ったことを検出するなどして、駆動手段２５Ａの駆動を停止させることで、小型ガラス基板６を搬送装置１０Ａの左ゾーン（１６Ｓ３＋１６Ｓ４）に接近し得る。
【００８４】
次いで前述と同様にして、単数枚搬送装置９から板状体受け入れ域１３０に次の小型ガラス基板６を送り出し供給し、以て小型ガラス基板６を、互いに離間動している板状体把持体１０１，１０２の把持用部分１０４間に位置させたのち、図１５（ｂ）に示すように、センタリング装置９１によりセンタリング（位置決め）し得る。この前後に、中央部横送り手段４１Ｂにおいては、モータ８１Ｂにより駆動ベルト８８Ｂを逆回動させて板状体支持部７０Ｂを左仮置き部３１から離れる側に移動させることで、板状体支持部７０Ｂを板状体受け入れ域１３０に位置し得る。
【００８５】
また、昇降駆動部５０Ｃにより右部横送り手段４１Ｃを上昇させることによって、板状体支持部７０Ｃの板状体支持面７０ｃを仮置き部３６の仮置き支持面３６ａに対して突出動させ得、以て支持部材３９群上の不良小型ガラス基板６ＮＧを支持部分７５Ｃ群による扁平状の板状体支持面７０ｃによって持ち上げ支持し得る。この状態で、モータ８１Ｃにより駆動ベルト８８Ｃを回動させることで、支持部分７５Ｃ群により支持している不良小型ガラス基板６ＮＧを横送り搬送経路８９Ｃ上において、持ち上げ姿勢を乱すことなく安定して短尺寸法ｌの方向に搬送し得る。そして、不良小型ガラス基板６ＮＧが搬送装置１０Ｃの右ゾーン（１６Ｓ１＋１６Ｓ２）に対向したことを検出するなどしてモータ８１Ｃを停止することで、横方向への搬送を停止し得る。
【００８６】
そして図１５（ｃ）に示すように、センタリング装置９１の接近離間駆動部１１０により板状体把持体１０１，１０２を互いに離間動させて、センタリング済みの小型ガラス基板６に対する把持を開放したのち、中央部横送り手段４１Ｂを上昇させることにより、縦送りコンベア部２１Ｂ上の小型ガラス基板６を支持部分７５Ｂ群による扁平状の板状体支持面７０ｂによって持ち上げ支持し得る。この状態で、前部ゾーン９０Ｓ１  のモータ８１Ｂにより駆動ベルト８８Ｂを回動させて板状体支持部７０Ｂを左仮置き部３１側に移動させることで、支持部分７５Ｂ群によって支持している小型ガラス基板６を、横送り搬送経路８９Ｂ上で持ち上げ姿勢を乱すことなく安定して短尺寸法ｌの方向（横方向）に搬送し得る。
【００８７】
この搬送により、小型ガラス基板６が左仮置き部３１の上方に位置したことを検出するなどして、モータ８１Ｂを停止して搬送を停止させることで、小型ガラス基板６を左仮置き部３１の上方に位置し得る。この後に、中央部横送り手段４１Ｂを下降させることによって、板状体支持部７０Ｂの板状体支持面７０ｂを左仮置き部３１の仮置き支持面３１ａに対して退入動し得、これにより小型ガラス基板６を、支持部材３４群によって支持して左仮置き部３１に仮置きし得る。
【００８８】
また、昇降駆動部５０Ｃにより右部横送り手段４１Ｃを下降させることによって、板状体支持部７０Ｃの板状体支持面７０ｃを縦送りコンベア部２１Ｃの搬送面２１ｃに対して退入動させる。これにより、搬送装置１０Ｃの右ゾーン（１６Ｓ１＋１６Ｓ２）に対向している不良小型ガラス基板６ＮＧを縦送りコンベア部２１Ｃによって支持し得る。そしてモータ８１Ｃにより駆動ベルト８８Ｃを逆回動させて板状体支持部７０Ｃを右仮置き部３６側に移動させることで、板状体支持部７０Ｃを右仮置き部３６に位置し得る。
【００８９】
この後に、縦送りコンベア部２１Ｃにおける右側ゾーン２６Ｓ１の駆動手段２５Ｃを駆動制御することで、センタリングされたのち搬送されてきた不良小型ガラス基板６ＮＧを、縦送りコンベア部２１Ｃのローラ体２４Ｃ群により支持搬送し得、そして、不良小型ガラス基板６ＮＧが、後部ゾーン９０Ｓ２  に完全に移ったことを検出するなどして、駆動手段２５Ｃの駆動を停止させることで、不良小型ガラス基板６ＮＧを搬送装置１０Ｃの右ゾーン（１６Ｓ１＋１６Ｓ２）に接近し得る。
【００９０】
また、左仮置き部３１に仮置きしている小型ガラス基板６を左部横送り手段４１Ａにより搬送して、図１５（ｃ）の仮想線に示すように、後部ゾーン９０Ｓ２の小型ガラス基板６の前方に位置させ、これにより小型ガラス基板６を前後２枚に並べた状態とする。そして、縦送りコンベア部２１Ａにおける左側ゾーン２６Ｓ２の駆動手段２５Ａと、搬送装置１０Ａにおける左ゾーン（１６Ｓ３＋１６Ｓ４）の駆動手段１４Ｍ３  ，１４Ｍ４とを駆動制御することで、センタリングされたのち搬送されてきた前後一対（２枚）の小型ガラス基板６を、縦送りコンベア部２１Ａのローラ体２４Ａ群による支持搬送によって供給し得るとともに、この前後一対の小型ガラス基板６を、搬送装置１０Ａのローラ体１３Ａ群により受け取って支持搬送する。そして、前後一対の小型ガラス基板６が搬送装置１０Ａ上に完全に乗り移ったことを検出するなどして、駆動手段２５Ａと駆動手段１４Ｍ３  ，１４Ｍ４との駆動を停止させることで、図１５（ｃ）の仮想線に示すように、前後一対の小型ガラス基板６をボックス体３内に格納（位置）し得る。
【００９１】
以下において同様の動作が繰り返し行われる。すなわち、単数枚搬送装置９から板状体受け入れ域１３０に送り出し供給した小型ガラス基板６を、センタリング装置９１によりセンタリング（位置決め）したのち、中央部横送り手段４１Ｂにより左仮置き部３１に搬送して一旦仮置きし、そして左部横送り手段４１Ａにより支持搬送して、搬送装置１０Ａにおける右ゾーン（１６Ｓ１＋１６Ｓ２）か左ゾーン（１６Ｓ３＋１６Ｓ４）のいずれかに対向して停止させる。次いで、縦送りコンベア部２１Ａの駆動と、対向したゾーンにおける駆動手段１４Ｍ１  、１４Ｍ２  、１４Ｍ３  、１４Ｍ４の各別駆動とによって一対の小型ガラス基板６を支持搬送することで、図１５（ｃ）の仮想線に示すように、小型ガラス基板６を搬送装置１０Ａによって前後４列かつ左右２列に支持し得るとともに、かかる小型ガラス基板６群を上下複数段としてボックス体３内に格納（位置）し得る。
【００９２】
また左側の搬送装置１０Ａを使用してのボックス体３への格納が満杯状態になったとき、中央の搬送装置１０Ｂを使用してのボックス体３への格納に切り換える。この場合に、単数枚搬送装置９から板状体受け入れ域１３０に送り出し供給した小型ガラス基板６を、センタリング装置９１によりセンタリング（位置決め）したのち、中央部横送り手段４１Ｂにより支持搬送して搬送装置１０Ｂにおける右ゾーン（１６Ｓ１＋１６Ｓ２）か左ゾーン（１６Ｓ３＋１６Ｓ４）のいずれかに対向して停止させる。次いで、縦送りコンベア部２１Ｂの駆動と、対向したゾーンにおける駆動手段１４Ｍ１  、１４Ｍ２  、１４Ｍ３  、１４Ｍ４の各別駆動とによって一対の小型ガラス基板６を支持搬送することで、図１５（ｃ）の仮想線に示すように、小型ガラス基板６を搬送装置１０Ｂによって前後４列かつ左右２列に支持し得るとともに、かかる小型ガラス基板６群を上下複数段としてボックス体３内に格納（位置）し得る。このように中央の搬送装置１０Ｂを対象としたときは、左仮置き部３１は使用せず、また左部横送り手段４１Ａは作動しない。
【００９３】
このようにして、単数枚搬送装置９からの小型ガラス基板６を、センタリングしたのち分散して、複数の搬送装置１０Ａ，１０Ｂへと効率良く送り出し得る。なお、左側の搬送装置１０Ａや中央の搬送装置１０Ｂを使用してのボックス体３への格納時において、不良小型ガラス基板６ＮＧは、中央部横送り手段４１Ｂ、右仮置き部３６、右部横送り手段４１Ｃを介しての同様の作用によって、図１５（ｃ）の仮想線に示すように、右側の搬送装置１０Ｃのボックス体３内に格納（位置）し得、以て所期の搬送ラインから分離、除去し得る。
【００９４】
上記した実施の形態１によると、単数枚搬送装置９で搬送されてきたガラス基板５，６を、分散処理装置２０で分散処理したのち、搬送装置１０Ａ，１０Ｂ群に搬出させるに際して、分散処理装置２０では、各横送り手段４１Ａ，４１Ｂを下降させることによって、板状体支持部７０Ａ，７０Ｂを、縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂの搬送面２１ａ，２１ｂや左仮置き部３１の仮置き支持面３１ａに対して退入動させている。
【００９５】
このような状態において、単数枚搬送装置９から板状体受け入れ域１３０に供給したガラス基板５，６を、縦送りコンベア部２１Ｂにより支持搬送して板状体支持部７０Ｂの上方に位置させる。次いで、中央部横送り手段４１Ｂを上昇させて、板状体支持部７０Ｂを搬送面２１ｂに対して突出動させることにより、縦送りコンベア部２１Ｂ上のガラス基板５，６を板状体支持部７０Ｂによって持ち上げ支持し得る。この状態で、板状体支持部７０Ｂを左仮置き部３１側に移動させることで、支持しているガラス基板５，６を横方向に搬送できる。そして、ガラス基板５，６を左仮置き部３１の上方に位置させたのち、横送り手段４１Ｂを下降して板状体支持部７０Ｂを仮置き支持面３１ａに対して退入動させることにより、ガラス基板５，６を、仮置き支持面３１ａに支持させて左仮置き部３１に仮置きできる。
【００９６】
次いで、左部横送り手段４１Ａを上昇させて、板状体支持部７０Ａを仮置き支持面３１ａに対して突出動させることにより、左仮置き部３１上のガラス基板５，６を板状体支持部７０Ａによって持ち上げ支持できる。この状態で、板状体支持部７０Ａを左仮置き部３１から離れる側に移動させることで、支持しているガラス基板５，６を横方向に搬送できる。このガラス基板５，６を縦送りコンベア部２１Ａの上方に位置させたのち、左部横送り手段４１Ａを下降して板状体支持部７０Ａを搬送面２１ａに対して退入動させることにより、ガラス基板５，６を、縦送りコンベア部２１Ａにより支持できる。そして、縦送りコンベア部２１Ａによる支持搬送によって、ガラス基板５，６を搬送装置１０Ａへと送り出し、この搬送装置１０Ａによって搬送できる。
【００９７】
このような動作の繰り返しによって、単数枚搬送装置９からのガラス基板５，６を、一対の横送り手段４１Ａ，４１Ｂと、左仮置き部３１とを介して分散処理して、目的とする搬送装置１０Ａへと効率良く送り出しできる。また特定の搬送装置１０Ｂには、単数枚搬送装置９からのガラス基板５，６を、中央部横送り手段４１Ｂのみを介して効率良く送り出すことができる。その際に、横送り手段４１Ａ，４１Ｂによる搬送は、ガラス基板５，６に対する摩擦回転や、送り開始時や送り停止時に摺接動など生じない状態で、すなわち、板状体支持部７０Ａ，７０Ｂの扁平状の板状体支持面７０ａ，７０ｂによりガラス基板５，６を持ち上げ支持した持ち上げ姿勢を乱すことなく安定して行える。これにより、分散処理しての搬出を、搬送によるガラス基板５，６の損傷や、搬送姿勢や搬送停止位置の乱れを減少して行えるとともに、高速搬送を容易に実現できることになる。
【００９８】
上記した実施の形態１によると、板状体受け入れ域１３０の縦送りコンベア部２１Ｂで支持したガラス基板５，６を、センタリング装置９１によって板状体支持部７０Ａ，７０Ｂの移動方向で位置決めしたのち、一対の搬送装置１０Ａ，１０Ｂへと送り出しでき、以て単数枚搬送装置９からのガラス基板５，６をそれぞれセンタリングしたのち、分散処理して、一対の搬送装置１０Ａ，１０Ｂへと効率良く送り出すことができる。
【００９９】
上記した実施の形態１によると、単数枚搬送装置１３０から一枚ずつ搬送されてくるガラス基板５，６を、一対の横送り手段４１Ａ，４１Ｂと左仮置き部３１とを介して、目的とする搬送装置１０Ａ，１０Ｂの目的とする列へと効率良く送り出すことができるとともに、各搬送装置１０Ａ，１０Ｂでは各列毎（複数のゾーン毎）に効率良く搬送できる。
【０１００】
上記した実施の形態１によると、単数枚搬送装置９からのガラス基板５，６の形状（大きさ）や向きなどに応じて、一対の横送り手段４１Ａ，４１Ｂにおける横送り駆動させるゾーン９０Ｓ１  ，９０Ｓ２の場所や数を制御することで、単数枚搬送装置９からのガラス基板５，６を、目的とする搬送装置１０Ａ，１０Ｂに無駄なく効率良く分散処理できる。
【０１０１】
上記した実施の形態１によると、単数枚搬送装置９からの不良ガラス基板５ＮＧ，６ＮＧを、一対の横送り手段４１Ｂ，４１Ｃと右仮置き部３６とを介しての分散処理により１つの搬送装置１０Ｃに送り出して、所期の搬送ラインから分離、除去できる。
【０１０２】
上記した実施の形態１では、単数枚搬送装置９からのガラス基板５，６を、分散処理装置２０で分散処理したのち、一対の搬送装置１０Ａ，１０Ｂに搬出させる形式が示されているが、これは、ガラス基板５，６を分散処理装置２０で分散処理したのち、３以上（複数）の搬送装置に搬出させる形式などであってもよく、この場合に、縦送りコンベア部や横送り手段は３以上（複数）に設けられ、そして仮置き部は２以上（複数）に設けられる。
【０１０３】
上記した実施の形態１では、単数枚搬送装置９が１箇所に設けられた形式が示されているが、これは単数枚搬送装置９が複数箇所に設けられた形式などであってもよい。
上記した実施の形態１では、板状体受け入れ域１３０に、ガラス基板５，６を板状体支持部７０Ａ，７０Ｂの移動方向で位置決めするセンタリング装置９１が設けられた形式が示されているが、これはセンタリング装置９１が省略された形式などであってもよい。
【０１０４】
上記した実施の形態１では、両搬送装置１０Ａ，１０Ｂは、３列または２列（複数列）のガラス基板５，６を各列毎に搬送可能に構成された形式が示されているが、これは１列（単数列）のガラス基板５，６を搬送可能に構成された形式や、さらに多数列（複数列）のガラス基板５，６を各列毎に搬送可能に構成された形式などであってもよい。
【０１０５】
上記した実施の形態１では、横送り手段４１Ａ，４１Ｂとして、縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂの搬送方向において前後部のゾーン９０Ｓ１  ，９０Ｓ２に分けられ、各ゾーン９０Ｓ１  ，９０Ｓ２毎に横送り駆動可能とした形式が示されているが、これは３以上（複数）のゾーンに分けられた形式や、１つのゾーンで分けられていない形式などであってもよい。
【０１０６】
上記した実施の形態１では、搬送装置１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ群のうちの少なくとも１つの搬送装置１０Ｃに、ガラス基板５，６のうちの不良ガラス基板５ＮＧ，６ＮＧを搬出可能とした形式が示されているが、これは不良品を分散処理しない形式などであってもよい。
【０１０７】
上記した実施の形態１では、分散処理装置２０として、搬送装置１０Ａ，１０Ｂに対して２枚（複数枚）の小型ガラス基板６を同時に搬送可能とした形式が示されているが、これは１枚（単数枚）の小型ガラス基板６を搬送可能とした形式、２枚以上（複数枚）の小型ガラス基板６を同時に搬送可能とした形式などであってもよい。
【０１０８】
上記した実施の形態１では、板状体としてガラス基板５，６が示されているが、これは金属板や樹脂板などであってもよい。
上記した実施の形態１では、板状体として大型ガラス基板５と小型ガラス基板６との２種類が示されているが、これは１種類、または２種類以上であってもよい。
【０１０９】
上記した実施の形態１では、搬送装置１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃや縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃの駆動として、各回転軸１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ、２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃにそれぞれ駆動手段１４Ｍ１，１４Ｍ２  ，１４Ｍ３  ，１４Ｍ４、２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃを連動した形式が示されているが、これは回転軸間がベルト連動された形式などであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１１０】
【図１】本発明の実施の形態１を示し、板状体移載設備の平面図である。
【図２】同板状体移載設備の左側部分の拡大平面図である。
【図３】同板状体移載設備の右側部分の拡大平面図である。
【図４】同板状体移載設備における合流処理装置の側面図である。
【図５】同板状体移載設備の合流処理装置であって、図２におけるＡ−Ａ矢視面図である。
【図６】同板状体移載設備の合流処理装置であって、図２におけるＢ−Ｂ矢視面図である。
【図７】同板状体移載設備の合流処理装置であって、図２におけるＣ−Ｃ矢視面図である。
【図８】同板状体移載設備の合流処理装置であって、図３におけるＤ−Ｄ矢視面図である。
【図９】同板状体移載設備の合流処理装置であって、図４におけるＥ矢視面図である。
【図１０】同板状体移載設備の合流処理装置であって、図４におけるＦ−Ｆ矢視面図である。
【図１１】同板状体移載設備の合流処理装置であって、図４におけるＧ−Ｇ矢視面図である。
【図１２】同板状体移載設備における大型ガラス基板の取り扱いを示し、前段取り扱い時の概略平面図である。
【図１３】同板状体移載設備における大型ガラス基板の取り扱いを示し、後段取り扱い時の概略平面図である。
【図１４】同板状体移載設備における小型ガラス基板の取り扱いを示し、前段取り扱い時の概略平面図である。
【図１５】同板状体移載設備における小型ガラス基板の取り扱いを示し、後段取り扱い時の概略平面図である。
【符号の説明】
【０１１１】
３        ボックス体
５        大型ガラス基板（板状体）
５ＮＧ    不良大型ガラス基板（板状体）
６        小型ガラス基板（板状体）
６ＮＧ    不良小型ガラス基板（板状体）
８        板状体移載設備
９        単数枚搬送装置
１０Ａ    搬送装置
１０ａ    搬送面
１０Ｂ    搬送装置
１０ｂ    搬送面
１０Ｃ    搬送装置
１０ｃ    搬送面
１３Ａ    ローラ体
１３Ｂ    ローラ体
１３Ｃ    ローラ体
１４Ｍ１    右側駆動手段
１４Ｍ２    中央右側駆動手段
１４Ｍ３    中央左側駆動手段
１４Ｍ４    左側駆動手段
１５Ａ    搬送経路
１５Ｂ    搬送経路
１５Ｃ    搬送経路
１６Ｓ１    右側ゾーン
１６Ｓ２    中央右側ゾーン
１６Ｓ３    中央左側ゾーン
１６Ｓ４    左側ゾーン
２０      分散処理装置
２１Ａ    縦送りコンベア部
２１ａ    搬送面
２１Ｂ    縦送りコンベア部
２１ｂ    搬送面
２１Ｃ    縦送りコンベア部
２１ｃ    搬送面
２４Ａ    ローラ体
２４Ｂ    ローラ体
２４Ｃ    ローラ体
２５Ａ    駆動手段
２５Ｂ    駆動手段
２５Ｃ    駆動手段
３１      左仮置き部（仮置き部）
３１ａ    仮置き支持面
３６      右仮置き部（仮置き部）
３６ａ    仮置き支持面
４１Ａ    左部横送り手段（横送り手段）
４１Ｂ    中央部横送り手段（横送り手段）
４１Ｃ    右部横送り手段（横送り手段）
４２Ａ    昇降部材
４２ａ    短尺昇降部材
４２Ｂ    昇降部材
４２ｂ    短尺昇降部材
４２Ｃ    昇降部材
４２ｃ    短尺昇降部材
５０Ａ    昇降駆動部
５０Ｂ    昇降駆動部
５０Ｃ    昇降駆動部
６０Ａ    ガイド部材
６０Ｂ    ガイド部材
６０Ｃ    ガイド部材
７０Ａ    板状体支持部
７０ａ    板状体支持面
７０Ｂ    板状体支持部
７０ｂ    板状体支持面
７０Ｃ    板状体支持部
７０ｃ    板状体支持面
８０Ａ    横移動駆動部
８０Ｂ    横移動駆動部
８０Ｃ    横移動駆動部
８８Ａ    駆動ベルト
８８Ｂ    駆動ベルト
８８Ｃ    駆動ベルト
８９Ａ    横送り搬送経路
８９Ｂ    横送り搬送経路
８９Ｃ    横送り搬送経路
９０Ｓ１    前部ゾーン
９０Ｓ２    後部ゾーン
９１      センタリング装置
９２      昇降体
９３      昇降体
９４      昇降駆動部
９７      ガイド部材
１０１    板状体把持体
１０１ａ  板状体把持面
１０２    板状体把持体
１０２ａ  板状体把持面
１１０    接近離間駆動部
１１７    駆動ベルト
１３０    板状体受け入れ域
Ｌ        長尺寸法
Ｍ        幅広寸法
ｌ        短尺寸法
ｍ        幅狭寸法
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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