(57)【要約】【課題】高剛性根太からのアウトガスの発生を防止し、さらに好ましくは、施工性や工程管理についても改善することができる、クリーンルームにおける嫌振床の高剛性架構及びその施工方法を提供することを課題とする。【解決手段】クリーンルームにおける嫌振床の高剛性架構１の施工方法であって、大梁２及び小梁３の上面に複数の角パイプ１１を並設し、角パイプ１１の上面における相互に不連続な複数の位置に、充填口１３を形成する。そして、充填口１３を介してパイプ１１の内部にモルタル１２を充填することにより、角パイプ１１を高剛性化して高剛性根太１０を形成する。次いで、モルタル１２から発生するアルカリ性ガスが充填口１３を介して高剛性根太１０の外部に放出されることを防止するためのアウトガス防止塗膜３０を、充填口１３に対して施す。【選択図】図２
2008106559.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルームにおける嫌振床の高剛性架構の施工方法であって、
梁の上面に複数の中空鋼管を並設する敷設工程と、
前記敷設工程の前後の少なくともいずれかにおいて、前記中空鋼管の上面における相互に不連続な複数の位置に、充填口を形成する充填口形成工程と、
前記敷設工程及び前記充填口形成工程の後に、前記充填口を介して前記中空鋼管の内部にモルタルを充填することにより、前記中空鋼管を高剛性化して高剛性根太を形成する充填工程と、
前記充填工程の後に、前記モルタルから発生するアルカリ性ガスが前記充填口を介して前記高剛性根太の外部に放出されることを防止するためのアウトガス防止手段を、前記充填口に対して施すアウトガス防止工程と、
を含むことを特徴とするクリーンルームにおける嫌振床の高剛性架構の施工方法。
【請求項２】
前記充填工程において、前記モルタルを前記充填口の上縁近傍位置に至るように充填することにより、前記充填口を前記モルタルにて閉鎖し、
アウトガス防止工程において、前記充填口を閉鎖する前記モルタルの外面に、前記アウトガス防止手段としての塗料を塗布すること、
を特徴とする請求項１に記載のクリーンルームにおける嫌振床の高剛性架構の施工方法。
【請求項３】
前記充填口形成工程において、前記嫌振床を構成する複数の床パネルユニットを支持する支持脚の配置間隔の整数倍の間隔で、前記充填口を形成し、
前記アウトガス防止工程において、前記アウトガス防止手段としての前記支持脚を、前記高剛性根太の上面における前記充填口に対応する位置に配置することにより、前記支持脚にて前記充填口を塞ぐこと、
を特徴とする請求項１又は２に記載のクリーンルームにおける嫌振床の高剛性架構の施工方法。
【請求項４】
クリーンルームにおける嫌振床の高剛性架構であって、
梁の上面に並設された複数の高剛性根太であって、中空鋼管の上面における相互に不連続な複数の位置に形成された充填口を介して、当該中空鋼管の内部にモルタルを充填することにより構成された、複数の高剛性根太と、
前記充填口に施されたものであって、前記モルタルから発生するアルカリ性ガスが前記充填口を介して前記高剛性根太の外部に放出されることを防止するためのアウトガス防止手段と、
を備えることを特徴とするクリーンルームにおける嫌振床の高剛性架構。
【請求項５】
前記モルタルが前記充填口の上縁近傍位置に至るように充填されることにより、前記モルタルにて前記充填口が閉鎖されており、
前記充填口を閉鎖する前記モルタルの外面に、前記アウトガス防止手段としての塗料が塗布されていること、
を特徴とする請求項４に記載のクリーンルームにおける嫌振床の高剛性架構。
【請求項６】
前記充填口が、前記嫌振床を構成する複数の床パネルユニットを支持する支持脚の配置間隔の整数倍の間隔で形成されており、
前記高剛性根太の上面における前記充填口に対応する位置に、前記アウトガス防止手段としての前記支持脚が配置されることにより、当該支持脚にて前記充填口が塞がれていること、
を特徴とする請求項４又は５に記載のクリーンルームにおける嫌振床の高剛性架構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造工場等の各種のクリーンルームにおける嫌振床を構成する高剛性架構と、この高剛性架構を施工するための施工方法とに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置の如き精密機器を設置するためのクリーンルームでは、これら機器類の性能を維持するため、当該クリーンルームの外部や内部で発生した振動がこれら機器に伝達されないように、各種の振動が発生することを防止し、あるいは、振動が発生した場合でもこれを速やかに減衰させることが好ましい。このため、従来から、クリーンルームにおける制振を行うための嫌振床（防振床、減衰床）構造が提案されている。
【０００３】
このような嫌振床の具体的構造としては、梁の上面に高剛性根太を敷設することにより床剛性を向上させた高剛性架構が提案されている。例えば、クリーンルームの床に、コンクリート充填鋼製角パイプからなる高剛性根太を敷設することが開示されている（例えば、特許文献１の段落０００３）。あるいは、Ｈ型鋼の上下フランジ間にコンクリートを充填することによって構成したＳＣ根太を敷設する例が開示されている（例えば、特許文献２の段落０００３）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−６４８１９号公報
【特許文献２】特開２００６−３７４５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の高剛性根太は、スリット状の長尺の充填口やＨ型鋼の側面全体が外部に露出する構造となっていたので、コンクリートに含まれる揮発性有機化合物（アミン等）がアルカリ性ガス（アンモニア等）になり、高剛性根太の外部に放出されていわゆるアウトガスとなり易い。このようなアウトガスがクリーンルームに放出されると、汚染物質として半導体材料の物性等に悪影響を与える可能性があった。
【０００６】
また、従来の高剛性根太は、鋼製角パイプのみならずコンクリートの重量が加わるために全体として重くなり、これを敷設するためにはクレーン等の大型重機が必要であった。あるいは、特許文献２に開示されている如き高剛性根太を形成するためには、Ｈ型鋼を箱状の根太型枠にて囲繞する必要があったので、根太の形成に手間やコストが掛かっていた。
【０００７】
さらには、コンクリートの固化を待ってから高剛性根太の搬送や固定を行う必要があり、クリーンルーム施工におけるクリティカルパス上の作業である高剛性根太の設置作業が完了するまでに長時間を要していたので、クリーンルーム施工の工期が全体として延びたり、工程管理が難しくなっていた。
【０００８】
本発明は、上述した課題を解決するためになされたものであり、高剛性根太からのアウトガスの発生を防止し、さらに好ましくは、施工性や工程管理についても改善することができる、クリーンルームにおける嫌振床の高剛性架構及びその施工方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、請求項１に記載の施工方法は、クリーンルームにおける嫌振床の高剛性架構の施工方法であって、梁の上面に複数の中空鋼管を並設する敷設工程と、前記敷設工程の前後の少なくともいずれかにおいて、前記中空鋼管の上面における相互に不連続な複数の位置に、充填口を形成する充填口形成工程と、前記敷設工程及び前記充填口形成工程の後に、前記充填口を介して前記中空鋼管の内部にモルタルを充填することにより、前記中空鋼管を高剛性化して高剛性根太を形成する充填工程と、前記充填工程の後に、前記モルタルから発生するアルカリ性ガスが前記充填口を介して前記高剛性根太の外部に放出されることを防止するためのアウトガス防止手段を、前記充填口に対して施すアウトガス防止工程と、を含むことを特徴とする。
【００１０】
また、請求項２に記載の施工方法は、請求項１に記載の施工方法において、前記充填工程において、前記モルタルを前記充填口の上縁近傍位置に至るように充填することにより、前記充填口を前記モルタルにて閉鎖し、アウトガス防止工程において、前記充填口を閉鎖する前記モルタルの外面に、前記アウトガス防止手段としての塗料を塗布すること、を特徴とする。
【００１１】
また、請求項３に記載の施工方法は、請求項１又は２に記載の施工方法において、前記充填口形成工程において、前記嫌振床を構成する複数の床パネルユニットを支持する支持脚の配置間隔の整数倍の間隔で、前記充填口を形成し、前記アウトガス防止工程において、前記アウトガス防止手段としての前記支持脚を、前記高剛性根太の上面における前記充填口に対応する位置に配置することにより、前記支持脚にて前記充填口を塞ぐこと、を特徴とする。
【００１２】
また、請求項４に記載の高剛性架構は、クリーンルームにおける嫌振床の高剛性架構であって、梁の上面に並設された複数の高剛性根太であって、中空鋼管の上面における相互に不連続な複数の位置に形成された充填口を介して、当該中空鋼管の内部にモルタルを充填することにより構成された、複数の高剛性根太と、前記充填口に施されたものであって、前記モルタルから発生するアルカリ性ガスが前記充填口を介して前記高剛性根太の外部に放出されることを防止するためのアウトガス防止手段と、を備えることを特徴とする。
【００１３】
また、請求項５に記載の高剛性架構は、請求項４に記載の高剛性架構において、前記モルタルが前記充填口の上縁近傍位置に至るように充填されることにより、前記モルタルにて前記充填口が閉鎖されており、前記充填口を閉鎖する前記モルタルの外面に、前記アウトガス防止手段としての塗料が塗布されていること、を特徴とする。
【００１４】
また、請求項６に記載の高剛性架構は、請求項４又は５に記載の高剛性架構において、前記充填口が、前記嫌振床を構成する複数の床パネルユニットを支持する支持脚の配置間隔の整数倍の間隔で形成されており、前記高剛性根太の上面における前記充填口に対応する位置に、前記アウトガス防止手段としての前記支持脚が配置されることにより、当該支持脚にて前記充填口が塞がれていること、を特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１、４に記載の本発明によれば、高剛性根太にアウトガス防止手段を施しているので、モルタルから発生するアルカリ性ガスが充填口を介して高剛性根太の外部に放出されることを防止でき、クリーンルームに要求される高度な清浄度を維持又は向上させることができる。また、中空鋼管の設置後にモルタルの充填を行うので、中空鋼管を容易に設置することができる。またこのことにより、高剛性化していない中空鋼管については、後日の任意の時点で、追加的に同様の方法にて高剛性化できるので、嫌振エリアの範囲を容易に拡張することができる。特に、モルタルを充填しているので、従来のようにコンクリートを打設する場合に比べて、比較的小径の充填口からでもスムーズかつ迅速に充填を行うことができる。また、このことから、充填口の小径化を図ることが可能になり、充填口からのアウトガスの発生を一層効果的に防止できる。さらには、比較的小径の充填口からモルタルを充填することで、充填されたモルタルの全量の乾燥を待つことなく次工程の作業を開始できるので、施工上のクリティカルパス上の作業である高剛性根太の設置工期を実質的に短縮化でき、工程管理が容易になると共に、全体の工期を短縮することができる。
【００１６】
また、請求項２、５に記載の本発明によれば、充填口を閉鎖するモルタルの外面に塗料を塗布しているので、モルタルから発生するアルカリ性ガスが充填口を介して高剛性根太の外部に放出されることを防止でき、クリーンルームに要求される高度な清浄度を維持又は向上させることができる。また、モルタルが充填口の上縁近傍位置に至るように充填されているので、充填口をモルタルによって略閉鎖でき、アルカリ性ガスが充填口とモルタルとの相互の隙間から中空鋼管の外部に流出してアウトガスになることを防止でき、かつ、モルタルが中空鋼管の上側部と相互に略面一状になるので、塗料を塗布することが容易になる。
【００１７】
また、請求項３、６に記載の本発明によれば、支持脚のベースプレートで充填口を塞ぐことができるので、モルタルから発生するアルカリ性ガスが充填口を介して高剛性根太の外部に放出されることを一層確実に防止でき、クリーンルームに要求される高度な清浄度を維持又は向上させることができる。特に、床パネルユニットの支持脚をアウトガス防止手段として利用できるので、特殊な材料等を追加することなくアウトガスが防止でき、施工コストを従来レベルに維持できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下に添付図面を参照して、この発明に係る高剛性架構及びその施工方法の各実施の形態を詳細に説明する。まず、〔Ｉ〕各実施の形態に共通の基本的概念を説明した後、〔II〕各実施の形態の具体的内容について説明し、〔III〕最後に、各実施の形態に対する変形例について説明する。ただし、各実施の形態によって本発明が限定されるものではない。
【００１９】
〔Ｉ〕各実施の形態に共通の基本的概念
まず、各実施の形態の基本的概念について説明する。各実施の形態に係る高剛性架構及びその施工方法は、クリーンルームにおける嫌振床に関するものである。ここで、クリーンルームとは、いわゆるコンタミネーションコントロールが行われている空間であって、外界から区画されており、空気中における浮遊微小粒子や浮遊微生物が限定された清浄度レベル以下に管理されている空間である。ここでは、その使用目的及び清浄度に関わらず、全てのクリーンルームを対象とするが、特に、コンクリートやモルタルから発生し得るアウトガスを防止又は低減する必要性があるクリーンルーム、例えば、半導体製造工場において半導体露光装置が設置される室内を対象とする。
【００２０】
このような前提において、各実施形態に係る高剛性架構及びその施工方法の特徴の一つは、アウトガスの発生を防止すること（以下、アウトガスの発生量を低減することを含む）にある。概略的には、梁の上面に複数の中空鋼管を並設し、この中空鋼管の内部にモルタルを充填することで当該中空鋼管を高剛性化して高剛性根太を形成し、この充填口に対してアウトガス防止手段を施工する。このようにアウトガス防止手段を施工することで、中空鋼管からのアウトガスの発生が防止され、クリーンルームの清浄度を維持・向上させることができる。このアウトガス防止手段の具体的な形態は複数あるが、各形態の内容については後述する。また、各形態においては、アウトガスの発生を防止するための具体的構造や手順を工夫することで、その施工性や工程管理の改善を図っている。これら構造や手順の具体的内容についても後述する。
【００２１】
〔II〕各実施の形態の具体的内容
次に、本発明に係る各実施の形態の具体的内容について説明する。
【００２２】
〔実施の形態１〕
まず実施の形態１について説明する。この実施の形態１は、充填口を閉鎖するモルタルの外面に、アウトガス防止手段としての塗料を塗布する形態である。
【００２３】
（高剛性架構の構造）
最初に、高剛性架構の構造について説明し、次に、高剛性架構の施工方法について説明する。図１は、本実施の形態１に係る高剛性架構の外観を示す斜視図、図２は、図１の高剛性架構の要部側断面図、図３は、図２の高剛性架構の要部拡大図である。これら各図に示すように、高剛性架構１は、概略的に、複数の大梁２及び小梁３と、これら大梁２及び小梁３の上面に敷設された複数の高剛性根太１０と、この高剛性根太１０の上面に設けられた複数の床パネルユニット２０とを備えて構成されている。
【００２４】
（高剛性架構の構造−大梁及び小梁）
複数の大梁２及び小梁３はそれぞれＨ型鋼にて構成され、各小梁３は大梁２に接合されると共に、各大梁２はＲＣ柱４に接合されている。これら複数の大梁２及び小梁３は、所定間隔を隔てて略水平状に並設されており、その上面は相互に略面一状とされている。
【００２５】
（高剛性架構の構造−高剛性根太）
複数の高剛性根太１０は、複数の大梁２及び小梁３の上面に一定間隔で配置され、これら大梁２及び小梁３に対して接合されている。これら複数の高剛性根太１０の各々は、概略的には、図２、３に示すように、鋼鉄製の中空の角パイプ（中空鋼管）１１に、モルタル１２を充填して構成されている。角パイプ１１は、その長手方向の両端部の各々が鋼製のプレートにて塞がれており、角パイプ１１に充填したモルタル１２が当該両端部から外部に漏れ出すことが防止されている。なお、角パイプ１１の具体的形状は任意であるが、例えば、端面形状が２５０ｍｍ×１５０ｍｍや２５０ｍｍ×１２５ｍｍの角パイプ１１を用いることができる。
【００２６】
この角パイプ１１の上辺部には複数の充填口１３が穿設されており、この充填口１３から充填されたモルタル１２によって角パイプ１１の内部が充満されている。この充填口１３の具体的な形状及び大きさは任意であるが、この充填口１３からのアウトガスの発生を効果的に防止するためには当該充填口１３が極力小径であることが好ましく、さらに、モルタル圧送用のモルタルポンプホースの先端が挿入できる内径を有することが好ましい。例えば、平面略円形状の直径約４０ｍｍの充填口１３を形成する。また、モルタル１２の具体的種類は、高剛性根太１０の剛性が十分得られる限りにおいて任意であるが、例えば、無収縮モルタルや膨張モルタルを用いることができる。
【００２７】
ここで、モルタル１２は充填口１３の近傍位置に至るように充填されており、このことによって当該充填口１３がモルタル１２によって略閉鎖されている。従って、モルタル１２から発生したアルカリ性ガスが、この充填口１３とモルタル１２との相互の隙間から角パイプ１１の外部に流出することが防止されている。
【００２８】
また、モルタル１２は充填口１３の上縁近傍位置に至るように充填されており、より詳細には、モルタル１２の上面と角パイプ１１の上面とが相互に略面一状になっている。従って、角パイプ１１の上面に、滑らかに連続する均一な平面を形成でき、後述するアウトガス防止塗膜３０を施工することが容易になる。
【００２９】
（高剛性架構の構造−床パネルユニット）
複数の床パネルユニット２０は、高剛性架構１の床面を形成するためのもので、特にここでは、いわゆるアクセスフリーフロアを形成するものである。具体的には、各床パネルユニット２０は、アルミニウム合金や繊維強化セメント板からなる略方形状のパネル体として形成されており、その四隅には取付け孔２０ａが穿設されている。
【００３０】
ここで、各高剛性根太１０の上面（詳細には、後述するアウトガス防止塗膜３０の上面）には複数の鋼製の支持脚（ペデスタル）２１が固定されており、これら各支持脚２１の上面には上方に突出する４本の支持ボルト２１ａが設けられている。そして、隣合う４枚の床パネルユニット２０の各隅部に設けた取付け孔２０ａに、１台の支持脚２１の４本の支持ボルト２１ａをそれぞれ挿通させるように、各床パネルユニット２０を支持脚２１に載置させることで、各床パネルユニット２０を支持脚２１にて支持させている。
【００３１】
（高剛性架構の構造−アウトガス防止塗膜）
次に、アウトガス防止塗膜３０について説明する。各高剛性根太１０の上面の略全面には、アウトガス防止塗膜３０が施されている。このアウトガス防止塗膜３０は、モルタル１２から発生するアルカリ性ガスが充填口１３を介して高剛性根太１０の外部に放出されることを防止するためのもので、特許請求の範囲におけるアウトガス防止手段に対応する。このアウトガス防止塗膜３０は、具体的には、高剛性根太１０の上面に塗料を塗布することによって形成された塗膜である。
【００３２】
この塗料の具体的な材質や塗膜の膜厚は、少なくともモルタル１２からのアルカリ性ガスを透過させないように決定され、さらに好ましくは、当該塗料自体からも汚染ガスが発生しないように決定される。例えば、アウトガス防止塗膜３０は、ガス遮断性の高い非多孔質（ノンピンホール）の塗料（例えば無溶剤タイプの塗料）を塗布することで形成される。あるいは、多孔質の塗料（例えば合成樹脂性塗料（ＳＯＰ））であっても、他の塗料と組み合わせて多層塗りしたり、あるいは、厚塗りすることによって使用することが可能である。さらに、ここでは、アウトガス防止塗膜３０は、高剛性根太１０の防錆にも有効であることが好ましく、防錆性の高い塗料を用いることが一層好ましい。
【００３３】
（高剛性架構の施工方法）
次に、高剛性架構１の施工方法について説明する。図４〜８は、高剛性架構１の各施工手順を示す要部側断面図である。まず、図４に示すように、ＰＣ（プレキャスト）等にて作製したＲＣ柱４を所定位置に据付けた後、各小梁３を大梁２に接合すると共に、各大梁２をＲＣ柱４に接合する。
【００３４】
そして、これら大梁２及び小梁３の上面に、高剛性根太１０を形成するための複数の角パイプ１１を所定間隔で並設し、各角パイプ１１を溶接等にて大梁２及び小梁３に固定する（特許請求の範囲における敷設工程に対応する）。この時点では、角パイプ１１にはモルタル１２を充填していないため、角パイプ１１の重量は鋼材の自重のみとなり、容易に設置することができる。従って、重機を用いて角パイプ１１を概略位置に仮設置した後は、重機を用いることなく、角パイプ１１を人力で微調整して正規の位置に動かすことが可能になるので、重機が必要な期間を短縮化できると共に、工期を短縮することができる。
【００３５】
また、このように角パイプ１１を並設する前の任意のタイミング（例えば、鉄工場における角パイプ１１の製造時）、あるいは、角パイプ１１を並設した後に、各角パイプ１１の長手方向の両端部の各々にプレート１４を溶接等にて固定することで、各角パイプ１１の両端部を閉鎖すると共に、各角パイプ１１の上側部に複数の充填口１３を所定間隔で断続的に穿設する（特許請求の範囲における充填口形成工程に対応する）。
【００３６】
そして、図５に示すように、各角パイプ１１の周囲に必要に応じて養生を施した後、各角パイプ１１の充填口１３にモルタルポンプホース１５の先端を差込み、図示しない圧送ポンプを起動させて、モルタル１２を充填口１３から角パイプ１１の内部に打設することにより、角パイプ１１を高剛性化して高剛性根太１０を形成する（特許請求の範囲における充填工程に対応する）。モルタル１２の打設後の状態を図６に示す。ここで、充填口１３の穿設やモルタル１２の打設は、高剛性化したい角パイプ１１に対してのみ行えばよく、例えば同一フロアに敷設された複数の角パイプ１１の一部のみにモルタル１２を打設することで、当該一部の角パイプ１１のみを高剛性化して嫌振床を構成してもよい。また、高剛性化していない残りの角パイプ１１については、制振床ではない通常の床の基礎として使用したり、あるいは、通常の床を構成した後、任意の時点で、この残りの角パイプ１１にモルタル１２を打設することで、追加的に高剛性化してもよい。従って、嫌振エリアの範囲を容易に調整や拡張することができる。
【００３７】
なお、充填口１３からモルタル１２を充填する際には、好ましくは、図５に示すように、各角パイプ１１の長手方向の一端部に位置する充填口１３から充填を開始し、この充填口１３からの充填を終えた後、この充填口１３に隣接する次の充填口１３から充填を行い、以降、順次充填口１３を一つずつ移動して、最後に他端部に位置する充填口１３から充填を行なう。このことにより、角パイプ１１の一端部から他端部に至るようにモルタル１２を充填でき、内部の気体を確実に押し出しながら充填できるので、スムーズで気体残存が少ない打設作業を行うことができる。
【００３８】
特に、ここではモルタル１２を充填しているので、従来のようにコンクリートを打設する場合に比べて骨材がない分だけ高い流動性を確保でき、比較的小径の充填口１３からでもスムーズかつ迅速に充填を行うことができる。換言すれば、コンクリートではなくモルタル１２を充填することにより、充填口１３の小径化を図ることが可能になり、充填口１３からのアウトガスの発生を一層効果的に防止できる。
【００３９】
また、角パイプ１１にモルタル１２を打設することで高剛性根太１０を形成できるので、従来のようにＨ鋼を型枠で覆うような必要性がなく、簡易にローコストで高剛性根太１０を形成できる。また、角パイプ１１を高剛性化できることから、同一剛性を維持したまま、角パイプ１１をより小径の高剛性根太１０に置換することができ、施工費用をローコスト化することができる。
【００４０】
このように充填口１３からモルタル１２を充填する際には、充填口１３からモルタル１２が溢れ出る程度に充填を行い、溢れ出たモルタル１２を拭き取ることで、モルタル１２の上面と角パイプ１１の上面とを相互に略面一状とすることができる。
【００４１】
このモルタル１２の打設が完了した後、充填口１３から露出しているモルタル１２の表面が乾燥するまで待ち、この表面の乾燥後に、図７に示すように、各高剛性根太１０の上面に塗料を塗布することによって、アウトガス防止塗膜３０を施す（特許請求の範囲におけるアウトガス防止工程に対応する）。ここでは、高剛性根太１０の上側部の表面、及び、充填口１３から露出しているモルタル１２の表面を、同様に塗装する。このことにより、充填口１３から露出しているモルタル１２を介して行われるアルカリ性ガスの放出をアウトガス防止塗膜３０にて防止することができる。なお、塗料の塗布方法は任意であるが、例えば、スプレーダストを発生しない刷毛やローラーを用いることが好ましい。
【００４２】
特に、充填口１３から露出しているモルタル１２の表面が乾燥すれば、アウトガス防止塗膜３０や次工程の施工を開始でき、充填されたモルタル１２の全量の乾燥を待つ必要がないので、施工上のクリティカルパス上の作業である高剛性根太１０の設置工期を実質的に短縮化でき、工程管理が容易になると共に、全体の工期を短縮することができる。
【００４３】
その後、図８に示すように、各高剛性根太１０の上面の所定位置（支持ボルト２１ａが床パネルユニット２０の各隅部の取付け孔２０ａに対応する位置）に支持脚２１を固定する。例えば、支持脚２１のベースプレート２１ｂを、施工アンカーやクリーンルーム用のエポキシ接着剤２２を用いて高剛性根太１０に固定する（エポキシ接着剤２２による固定例を図３に示す）。そして、水糸等により支持脚２１の支持ボルト２１ａの高さを揃えた後、床パネルユニット２０の取付け孔２０ａに支持脚２１の支持ボルト２１ａを挿通させるように、各床パネルユニット２０を支持脚２１に載置させることで、床パネルユニット２０を敷設する。これにて図１、２に示す高剛性架構１の施工が完了する。
【００４４】
（実施の形態１の効果）
このように実施の形態１によれば、各高剛性根太１０の上面にアウトガス防止塗膜３０を施しているので、モルタル１２から発生するアルカリ性ガスが充填口１３を介して高剛性根太１０の外部に放出されることを防止でき、クリーンルームに要求される高度な清浄度を維持又は向上させることができる。また、モルタル１２が充填口１３の上縁近傍位置に至るように充填されているので、充填口１３をモルタル１２によって略閉鎖でき、アルカリ性ガスが充填口１３とモルタル１２との相互の隙間から角パイプ１１の外部に流出してアウトガスになることを防止でき、かつ、モルタル１２が角パイプ１１の上側部と相互に略面一状になるので、アウトガス防止塗膜３０を施工することが容易になる。
【００４５】
また、実施の形態１によれば、角パイプ１１の設置後にモルタル１２の充填を行うので、角パイプ１１を容易に設置することができ、その工期を短縮することができる。またこのことにより、高剛性化していない角パイプ１１については、後日の任意の時点で、追加的に同様の方法にて高剛性化できるので、嫌振エリアの範囲を容易に拡張することができる。特に、モルタル１２を充填しているので、従来のようにコンクリートを打設する場合に比べて、比較的小径の充填口１３からでもスムーズかつ迅速に充填を行うことができる。また、このことから、充填口１３の小径化を図ることが可能になり、充填口１３からのアウトガスの発生を一層効果的に防止できる。さらには、比較的小径の充填口１３からモルタル１２を充填することで、この充填口１３から露出しているモルタル１２の表面が乾燥すれば、アウトガス防止塗膜３０やその後工程の施工を開始でき、充填されたモルタル１２の全量の乾燥を待つ必要がないので、施工上のクリティカルパス上の作業である高剛性根太１０の設置工期を実質的に短縮化でき、工程管理が容易になると共に、全体の工期を短縮することができる。
【００４６】
〔実施の形態２〕
次に、実施の形態２について説明する。実施の形態２は、アウトガス防止手段としての支持脚２１にて充填口１３を塞いだ形態である。なお、実施の形態２の構成は、特記する場合を除いて実施の形態１の構成と略同一であり、実施の形態１の構成と略同一の構成についてはこの実施の形態１で用いたのと同一の名称又は符号を必要に応じて付して、その説明を省略する。
【００４７】
（高剛性架構の構造）
最初に、高剛性架構の構造について説明し、次に、高剛性架構の施工方法について説明する。図９は、本実施の形態２に係る高剛性架構の要部側断面図、図１０は、図９の高剛性架構の平面図、図１１は、図９の高剛性架構の要部拡大図である。これら各図に示すように、高剛性架構５は、実施の形態１と同様に、複数の大梁２及び小梁３（小梁３は図示せず）、複数の高剛性根太１０、床パネルユニット２０、及び、アウトガス防止塗膜３０、を備えて構成されている。
【００４８】
ここで、高剛性根太１０に穿設した充填口１３の上方には、床パネルユニット２０を支持する支持脚２１のベースプレート２１ｂが配置されており、このベースプレート２１ｂによって充填口１３が略完全に塞がれている。すなわち、床パネルユニット２０及び支持脚２１として既存の仕様のものを使用する場合、支持脚２１の配置ピッチ（割り付け位置）やベースプレート２１ｂの幅は決まっているので、これに適合するように、充填口１３の位置及び形状が決定されている。
【００４９】
具体的には、充填口１３の位置は、支持脚２１の相互間隔の整数倍の間隔に対応するように決定されている。すなわち、図９、１０に示すように、隣接する支持脚２１の相互の間隔をＸとし、隣接する充填口１３の相互の間隔をＹとすると、Ｙ＝ｎＸとなるように、充填口１３の位置が決定されている（ここで、ｎは正の整数。例えば、Ｘ＝６００ｍｍ、ｎ＝２、Ｙ＝１，２００ｍｍ）。従って、常に、支持脚２１の配置位置と、全ての充填口１３の配置位置とを対応させることが可能になる。
【００５０】
また、充填口１３の平面形状は、ベースプレート２１ｂにて略完全に閉鎖することが可能なように決定されている。例えば、ベースプレート２１ｂが１００ｍｍ幅の方形板の場合、充填口１３は４０ｍｍの径の平面円形状に決定されている。従って、ベースプレート２１ｂを充填口１３の上に載置するだけで、この充填口１３をベースプレート２１ｂにて略完全に閉鎖することができる。従って、充填口１３を介してアウトガスが発生することを防止できる。すなわち、本実施の形態２における支持脚２１（及びそのベースプレート２１ｂ）は、特許請求の範囲におけるアウトガス防止手段に対応する。
【００５１】
特に、図１１に示すように、ベースプレート２１ｂと充填口１３との相互間（詳細には、ベースプレート２１ｂとアウトガス防止塗膜３０との相互間）に、ベースプレート２１ｂを固定するためのエポキシ接着剤２２を塗布しているので、このエポキシ接着剤２２がベースプレート２１ｂと充填口１３との相互の隙間を塞ぎ、アウトガスの発生を一層効果的に防止することができる。
【００５２】
（高剛性架構の施工方法）
次に、高剛性架構の施工方法について説明する。まず、実施の形態１と同様に、大梁２及び小梁３の上面に、高剛性根太１０を形成するための複数の角パイプ１１を所定間隔で並設し、各角パイプ１１を溶接等にて大梁２及び小梁３に固定する（特許請求の範囲における敷設工程に対応する）。そして、このように角パイプ１１を並設する前の任意のタイミングで、各角パイプ１１の上側部に複数の充填口１３を所定間隔で断続的に穿設する（特許請求の範囲における充填口形成工程に対応する）。
【００５３】
この際、上述したように、支持脚２１の相互間隔の整数倍の間隔に対応する位置で、かつ、ベースプレート２１ｂにて略完全に閉鎖することが可能な形状で、充填口１３を形成する。そして、この充填口１３を介して、各角パイプ１１にモルタル１２を充填する（特許請求の範囲における充填工程に対応する）。
【００５４】
モルタル１２の打設後、充填口１３から露出しているモルタル１２の表面が乾燥するまで待つ。そして、この表面の乾燥後、図１２の要部の側断面図に示すように、各高剛性根太１０の充填口１３に対応する位置(及び、必要に応じてさらにその他の位置）に、支持脚２１を固定する（特許請求の範囲におけるアウトガス防止工程に対応する）。そして、実施の形態１と同様に、支持脚２１の上部の高さを揃えた後、各床パネルユニット２０を支持脚２１に載置させることで、床パネルユニット２０を敷設する。これにて図９、１０に示す高剛性架構５の施工が完了する。
【００５５】
（実施の形態２の効果）
このように実施の形態２によれば、実施の形態１と同様の効果に加えて、支持脚２１のベースプレート２１ｂで充填口１３を塞ぐことができるので、モルタル１２から発生するアルカリ性ガスが充填口１３を介して高剛性根太１０の外部に放出されることを一層確実に防止でき、クリーンルームに要求される高度な清浄度を維持又は向上させることができる。特に、床パネルユニット２０の支持脚２１をアウトガス防止手段として利用できるので、特殊な材料等を追加することなくアウトガスが防止でき、施工コストを従来レベルに維持できる。
【００５６】
〔III〕各実施の形態に対する変形例
以上、本発明に係る各実施の形態について説明したが、本発明の具体的な構成及び手段は、特許請求の範囲に記載した各発明の技術的思想の範囲内において、任意に改変及び改良することができる。以下、このような変形例について説明する。
【００５７】
（解決しようとする課題や発明の効果について）
まず、発明が解決しようとする課題や発明の効果は、前記した内容に限定されるものではなく、本発明によって、前記に記載されていない課題を解決したり、前記に記載されていない効果を奏することもでき、また、記載されている課題の一部のみを解決したり、記載されている効果の一部のみを奏することがある。例えば、アルカリ性ガスの発生を完全には防止できない場合であっても、従来に比べてその発生量が若干でも低減できている限りにおいて、本発明の課題が解決されている。
【００５８】
（アウトガス防止塗膜３０とベースプレート２１ｂとの関連について）
上述した実施の形態２においては、アウトガス防止塗膜３０とベースプレート２１ｂとの両方を用いてアウトガスの発生を防止しているが、ベースプレート２１ｂのみによってアウトガスの発生を所望レベルに低減できる場合には、アウトガス防止塗膜３０を省略してもよい。この場合、高剛性根太１０の上面と充填口１３から露出しているモルタル１２とを相互に面一状にする必要は必ずしもないので、モルタル１２の充填位置を下げることができる。例えば、図１３の要部拡大側断面図に示すように、角パイプ１１の半分程度の高さにモルタル１２を充填することで、所望の剛性を得ることができる場合には、それ以上のモルタル１２の充填は不要になる。従って、施工費用を一層ローコスト化できる。この場合、充填口１３から露出しているモルタル１２の表面が乾燥するまで待つことなく支持脚２１を設置できるので、工期を一層短縮することができる。
【００５９】
また、複数の高剛性根太１０の一部にアウトガス防止塗膜３０のみを施し、他の高剛性根太１０にはベースプレート２１ｂのみを施す等、複数種類のアウトガス防止手段を１つの嫌振床において混在させてもよい。あるいは、１本の高剛性根太１０において、複数種類のアウトガス防止を混在させてもよい。例えば、１本の高剛性根太１０に設けた複数の充填口１３のうち、支持脚２１のベースプレート２１ｂに対応する位置の充填口１３はベースプレート２１ｂで塞ぎ、他の位置の充填口１３（例えば、ベースプレート２１ｂが設置されない最端部の充填口１３）についてのみアウトガス防止塗膜３０を施してもよい。
【００６０】
（構成又は制御処理について）
前記文書中や図面中で示した各部の構成、数値、又は、手順は、あくまで例示であり、特記する場合を除いて任意に変更することができる。
【産業上の利用可能性】
【００６１】
この発明に係る高剛性架構及びその施工方法は、半導体製造工場等に設けられるクリーンルームの嫌振床に適用することができ、特に、モルタルから発生するアウトガスを低減することや、施工工期を短縮することに有用である。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の実施の形態１に係る高剛性架構の外観を示す斜視図である。
【図２】図１の高剛性架構の要部側断面図である。
【図３】図２の高剛性架構の要部拡大図である。
【図４】高剛性架構の施工手順を示す要部側断面図である。
【図５】図４に続く、高剛性架構の施工手順を示す要部側断面図である。
【図６】図５に続く、高剛性架構の施工手順を示す要部側断面図である。
【図７】図６に続く、高剛性架構の施工手順を示す要部側断面図である。
【図８】図７に続く、高剛性架構の施工手順を示す要部側断面図である。
【図９】本発明の実施の形態２に係る高剛性架構の要部側断面図である。
【図１０】図９の高剛性架構の平面図である。
【図１１】図９の高剛性架構の要部拡大図である。
【図１２】高剛性架構の施工手順を示す要部側断面図である。
【図１３】変形例に係る高剛性架構の要部拡大図である。
【符号の説明】
【００６３】
１、５  高剛性架構
２  大梁
３  小梁
４  ＲＣ柱
１０  高剛性根太
１１  角パイプ
１２  モルタル
１３  充填口
１４  プレート
１５  モルタルポンプホース
２０  床パネルユニット
２０ａ  取付け孔
２１    支持脚
２１ａ  支持ボルト
２１ｂ  ベースプレート
２２  エポキシ接着剤
３０  アウトガス防止塗膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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