(57)【要約】【課題】加熱接合の際に伝熱形態が不均一となった場合でも、集積回路素子の接続固着姿勢が崩れずに、集積回路素子と第２の基体との間の導通固着が良好となる構造の圧電発振器を提供する。【解決手段】第１の基体と圧電振動素子と第１の基体の他方の主面に設けられた第２の基体接続用電極端子とこの第２の基体接続用電極端子の内側に設けられた姿勢矯正部と第１の凹部を気密封止する蓋体とにより構成された圧電振動子部と、第２の基体と集積回路素子と第２の基体に設けられた外部接続用電極端子と第１の基体接続用電極端子とにより構成された集積回路素子部とを備え、集積回路素子部の上に圧電振動子部が重ねて配置され、第１の基体接続用電極端子と第２の基体接続用電極端子とが接続固着されており、且つ姿勢矯正部の表面が、集積回路素子の主面に接触又は前記集積回路素子の主面に近接している圧電発振器。【選択図】図１
2008278110.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の主面に開口部を有する第１の凹部が設けられている第１の基体と、前記第１の凹部内に載置された圧電振動素子と、前記第１の基体の他方の主面に設けられ前記圧電振動素子と一部が電気的に接続した第２の基体接続用電極端子と、前記第２の基体接続用電極端子の内側であって所定の厚みで外部に向かって凸状に設けられた姿勢矯正部と、前記第１の凹部を気密封止する蓋体とにより構成された圧電振動子部と、
一方の主面に開口部を有する第２の凹部が設けられた第２の基体と、前記第２の凹部内に搭載された集積回路素子と、前記第２の基体の他方の主面に設けられ、前記集積回路素子と電気的に接続した外部接続用電極端子と、前記第２の凹部を囲繞する側壁部頂面に設けられ、前記集積回路素子と電気的に接続した第１の基体接続用電極端子とにより構成された集積回路素子部とを備え、
前記集積回路素子部の上に前記圧電振動子部が重ねて配置され、前記第１の基体接続用電極端子と前記第２の基体接続用電極端子とが機械的且つ電気的に接続固着されており、且つ前記姿勢矯正部の前記集積回路素子に対向する表面が、前記集積回路素子の主面に接触又は前記集積回路素子の主面に近接していることを特徴とする圧電発振器。
【請求項２】
前記姿勢矯正部の集積回路素子と対向する面の形状が、環状、帯状又は幾何学形状のいずれかであり、且つ前記姿勢矯正部の集積回路素子と対向する面が、対向している前記集積回路素子の主面外周より内側に位置することを特徴とする請求項１記載の圧電発振器。
【請求項３】
前記姿勢矯正部の材質が弾性がない材質であることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の圧電発振器。
【請求項４】
前記姿勢矯正部の材質が酸化アルミニウムであることを特徴とする請求項３記載の圧電発振器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子機器内に搭載される電子部品の一つである圧電発振器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、携帯用通信機器等の電子機器内には、電子部品の一つとして圧電発振器が搭載され、基準信号発生源、或いはタイミングデバイスとして使用されている。
【０００３】
かかる従来の圧電発振器の一形態を図６に例示する。圧電発振器１００は大略的に圧電振動子部１１０と集積回路素子部１２０とから構成される。
【０００４】
まず圧電振動子部１１０について説明する。圧電振動子部１１０を構成する第１の基体１１１は、外形形状が概略平板形状でセラミック等の絶縁性素材から成る基板１１１ａと、基板１１１ａの一方の主面に接合した基板１１１ａと同素材の枠体１１１ｂにより構成されている。この基板１１１ａと枠体１１１ｂとを接合することにより、基板１１１ａの一方の主面と枠体１１１ｂの内側面で囲繞された第１の凹部１１２が形成されている。
【０００５】
圧電振動部１１０は、この第１の基体１１１と、第１の凹部１１２内に載置され基板１１１ａの他方の主面に形成した第２の基体接続用電極端子１１４と電気的に接続する圧電振動素子１１３と、圧電振動素子１１３が内部に載置された第１の凹部１１２を囲繞する枠体１１１ｂの第１の凹部１１２開口側の頂面上に、第１の凹部１１２開口部を覆う形態で配置固着し第１の凹部１１２内を気密封止する蓋体１１５とにより構成されている。
【０００６】
つぎに集積回路素子部１２０について説明する。集積回路素子部１２０を構成する第２の基体１２１は、外形形状が概略直方体であり、その主面の大きさは基板１１１ａの主面の大きさと同程度である。又、第２の基体１２１には、第２の基体１２１の一方の主面に開口部を有する第２の凹部１２２が形成されている。
【０００７】
集積回路素子部１２０は、この第２の凹部１２２内に載置され、少なくとも圧電振動素子１１３を励振させるための発振回路が内蔵された集積回路素子１２３と、この集積回路素子１２３と電気的に接続された、第２の凹部１２２を囲繞する側壁部の第２の凹部１２２開口側頂面の四隅角部に形成された第１の基体接続電極端子１２４と、同じくこの集積回路素子１２３に電気的に接続された、第２の基体１２１の他方の主面の四隅に形成した外部接続用電極端子１２５とにより構成されている。尚、集積回路素子１２３は、集積回路素子１２３の第２の凹部１２２内底面に対向する主面に複数個設けられた基体接続用電極パッド１２６と、各基体接続用電極パッド１２６に対応する第２の凹部１２２内底面の所定の位置に設けられた集積回路素子接続用電極パッド１２７とを、導電性接着剤や半田などの導電性接合材１２８により機械的且つ電気的に接続することにより、第２の凹部１２２内に載置されている。
【０００８】
この集積回路素子部１２０の上に圧電振動子部１１０を、この圧電振動子部１１０を構成する第１の基体１１１に形成した第２の基体接続用電極端子１１４と、集積回路素子部１２０を構成する第２の基体１２１に形成した第１の基体接続用端子１２４とが、所定の端子同士の表面が対向するように重ねて配置し、導電性接着材や半田などの導電性接合材により、対向した所定の各電極端子間を機械的及び電気的に接続固着して一体とすることで圧電発振器１１０となる。このとき、圧電振動子部１１０を構成する第１の基体１の他方の主面と、集積回路素子１２３の主面との間には僅かながら隙間が生じている（例えば、特許文献１、特許文献２又は特許文献３を参照）。
【０００９】
【特許文献１】特開２０００−２４４２４４号公報
【特許文献２】特開２００１−３６３４３号公報
【特許文献３】特開２００４−１２９０９０号公報
【００１０】
尚、前記した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に関連する先行技術文献を、本件出願時までに発見するに至らなかった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
前記したような従来の圧電発振器は、例えば以下のような工程で製造される。前記した圧電振動子部が複数個マトリックス状に配列集合して一体のシート状となった構造の第１のシート基板と、各圧電振動子部の配列集合位置に対応した位置で、前記した集積回路素子部が複数個マトリックス状に配列集合して一体のシート状となった構造の第２のシート基板とを、所定の集積回路素子部の上に所定の圧電振動子部が配置されるように第２のシート基板上に第１のシート基板を重ねて配置する。その後、各集積回路素子部と圧電振動子部との接合箇所に設けられた導電性接合材を加熱することにより、第１のシート基板と第２のシート基板を接続固着すると同時に、各集積回路素子部内の第２の凹部内に載置された集積回路素子の複数個の基体接続用電極パッドと、第２の凹部内底面上に形成された複数個の集積回路素子接続用電極パッドとの間も、各基板接続用電極パッドと集積回路素子接続用電極パッドに設けられた導電性接合材が加熱されることで接続固着される。
【００１２】
その後、接合された第１のシート基板と第２のシート基板とを、各圧電振動子部と集積回路素子部とにより構成された所定の圧電発振器の外形輪郭に沿って切断することにより、複数個の圧電発振器を同時に得ることが行われている。
【００１３】
このような製造工程では、更なる製造時間の短縮や製造コストの低減などのために、１つのシート基板に設ける圧電振動子部や集積回路素子部の個数を多くする必要があり、各シート基板の大きさも大きくなる傾向にある。しかし、シート基板のうち、集積回路素子部を複数個配列集合してなる第２のシート基板が大きくなった場合、第２のシート基板内の各集積回路素子部内で、集積回路素子の接合のために加える熱のシート基板内での伝熱形態が不均一となってしまう。
【００１４】
そのため、各集積回路素子の基体接続用電極パッドと、各集積回路素子部内の第２の凹部内の底面の集積回路素子接続用電極パッドとの間で、各第２の凹部内のパッド位置により導電性接合材の溶融或いは固化状態に差異が生じてしまい、集積回路素子の姿勢バランスが崩れてしまう虞がある。例えば、導電性接合材として熱軟化性の半田を用いた場合、不均一な伝熱により、集積回路素子における先に軟化した半田に対応する部分が第２の凹部内底面方向に沈むため、集積回路素子における軟化が遅れた半田に対応する部分が逆に第２の凹部底面から離れるように持ち上がってしまう。そのため集積回路素子の持ち上がった部分に設けられている基体接続用電極パッドと、その基体接続用電極パッドに対応する集積回路素子接続用電極パッドと間隔が広がってしまい、パット間の導通が不完全、又は不導通になる虞がある。
【００１５】
尚、前記のような不具合は、シート基板状の複数個の圧電振動子部と集積回路素子部との同時加熱接合の際に生じるだけではなく、単品化された圧電振動子部と集積回路素子部との間での加熱接合の際にも生じる虞がある。
【００１６】
そこで本発明の目的は、加熱接合の際に集積回路素子部内で伝熱形態が不均一となった場合でも、集積回路素子の接続固着姿勢が崩れずに、集積回路素子と第２の基体との間の導通固着が良好となる構造の圧電発振器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明は前記課題を解決するために成されたものであり、一方の主面に開口部を有する第１の凹部が設けられている第１の基体と、この第１の凹部内に載置された圧電振動素子と、第１の基体の他方の主面に設けられ圧電振動素子と一部が電気的に接続した第２の基体接続用電極端子と、この第２の基体接続用電極端子の内側であって所定の厚みで外部に向かって凸状に設けられた姿勢矯正部と、第１の凹部を気密封止する蓋体とにより構成された圧電振動子部と、一方の主面に開口部を有する第２の凹部が設けられた第２の基体と、この第２の凹部内に搭載された集積回路素子と、第２の基体の他方の主面に設けられ集積回路素子と電気的に接続した外部接続用電極端子と、第２の凹部を囲繞する側壁部頂面に設けられ、前記集積回路素子と電気的に接続した第１の基体接続用電極端子とにより構成された集積回路素子部とを備え、集積回路素子部の上に圧電振動子部が重ねて配置され、第１の基体接続用電極端子と第２の基体接続用電極端子とが機械的且つ電気的に接続固着されており、且つ姿勢矯正部の集積回路素子に対向する表面が、集積回路素子の主面に接触又は前記集積回路素子の主面に近接していることを特徴とする圧電発振器である。
【００１８】
又、前記姿勢矯正部の集積回路素子と対向する面の形状が、環状、帯状又は幾何学形状のいずれかであり、且つこの姿勢矯正部の集積回路素子と対向する面が、対向している前記集積回路素子の主面外周より内側に位置することを特徴とする圧電発振器でもある。
【００１９】
更に、前記姿勢矯正部の材質が弾性がない材質であり、例えばその材質が酸化アルミニウムであることを特徴とする圧電発振器でもある。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の圧電発振器によれば、製造の際に、集積回路素子部を構成する第２の基体に加わる熱の伝熱形態が、個々の第２の基体内で不均一となり、集積回路素子と第２の基体とを導通固着するため設けられた複数箇所の導電性接合材の溶融或いは固化状態に差異が生じてしまった場合でも、第２の基体により構成される集積回路素子部の上に圧電振動子部を重ねて配置したときに、圧電振動子部を構成する第１の基体の他方の主面に設けた姿勢矯正部が、第２の基体内の集積回路素子の主面に接触することで、接合加熱の際に集積回路素子の姿勢バランスが個々の導電性接合材の溶融或いは固化形態の差異で崩れてしまうことを抑え、集積回路素子の姿勢を所望の姿勢に保持できるので、集積回路素子に設けられている基体接続用電極パッドと、その基体接続用電極パッドに対応する集積回路素子接続用電極パッドとの間の導通が不完全、又は不導通になることを防止することができる。
【００２１】
又、本発明における圧電発振器の姿勢矯正部が、弾性が無い材質で形成されているので、集積回路素子の姿勢を所望の姿勢に精確に保持することが可能となる。更に、この弾性が無い材質として酸化アルミニウムを用いることで、他の弾性の無い材質で形成する場合と比べ、姿勢矯正部の形成に、簡易で且つ外形を精密に形成できるスクリーン印刷手段を使用できる利点がある。
【００２２】
因って、本発明は、加熱接合の際に集積回路素子部内で伝熱形態が不均一となった場合でも、集積回路素子の接続固着姿勢が崩れずに、集積回路素子と第２の基体との間の導通固着が良好となる構造の圧電発振器を提供できる効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明を添付した各図面に基づいて詳細に説明する。尚、各実施形態において、同一の構成要素には同一の符号を付す。又、各図では説明を明りょうにするため構造体の一部を図示せず、寸法も一部誇張して図示している。特に各構成要素の厚み方向寸法は誇張して図示している。
【００２４】
（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態に係る圧電発振器を、圧電発振器外部との実装側から見た分解斜視図である。図２は、図１記載の圧電発振器を組み立てた後、図１記載の仮想切断線Ａ−Ａ′で切断した概略断面図である。図１に示す圧電発振器１０は、大略的に圧電振動子部１１と集積回路素子部２０とから構成される。
【００２５】
圧電振動子１１について以下に説明する。図１及び図２に示すように、圧電振動子部１１を構成する第１の基体１２は、外形形状が平面視矩形状の平板形状である基板１２ａと、基板１２ａの一方の主面に接合した枠体１２ｂにより構成されている。この基板１２ａと枠体１２ｂとを接合することにより、基板１２ａの一方の主面と枠体１２ｂの内側面により囲繞された第１の凹部１３（図２参照）が形成されている。この第１の基体１２を構成する基板１２ａ及び枠体１２ｂは、例えば、ガラス−セラミック、アルミナセラミックス等のセラミック材料を焼成して構成されている。
【００２６】
図２に示すように、この第１の凹部１３内底面の一短辺近傍には、その短辺に沿って一対の圧電振動素子接続用電極パッド１４が設けられている。その圧電振動素子接続用電極パッド１４上には、圧電振動素子１５が配置され、圧電振動素子１５の表面に設けられた電極膜（不図示）と圧電振動素子接続用電極パッド１４とを導電性接着剤１６にて導通固着することにより、第１の凹部１３内に圧電振動素子１５が載置されている。又、圧電振動素子接続用電極パッド１４は、基板１２ａの他方の主面に形成した第２の基体接続用電極端子１７のうちの所定の端子と電気的に接続している。
【００２７】
第１の凹部１３内に載置される圧電振動素子１５は、圧電素材をベースに構成されているものである。例えば、圧電素材として水晶を用いた場合は、人工水晶体から所定のカットアングルで切り出し外形を平面視矩形状の平板形状に加工した水晶素板に、その両主面中央にそれぞれに振動用電極膜と、この振動用電極膜から引き出し電極膜を介して電気的に接続した基体接続用電極膜が被着形成することにより水晶振動素子が構成される。この水晶振動素子において、外部からの変動電圧が両主面の振動用電極を介して水晶素板に印加されると、水晶素板が所定の振動モードの周波数で振動を起こす。尚、水晶以外の圧電素材としては、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム又は圧電セラミックス等がある。
【００２８】
又、図２に図示したように、第１の基体１２を構成する基板１２ａの他方の主面の、第２の基体接続用電極端子１７の内側には、姿勢矯正部１８ａが設けられている。この姿勢矯正部１８ａは、後述する集積回路素子部２０の上に圧電振動子部１１が重ねて配置されたとき、集積回路素子部２０内に載置された集積回路素子２３に対向する姿勢矯正部１８ａの表面が集積回路素子２３の主面に接触する寸法の厚みを有している。又、姿勢矯正部１８ａの主面平面視形状は、外周及び内周の輪郭形状が四角形であり且つ外周と内周との間に所定の幅寸法を有する環形状であり、この姿勢矯正部１８ａの集積回路素子対向面の外周サイズは、対向する集積回路素子の２３の主面外周サイズと等しい大きさとなっている。更に、この姿勢矯正部１８ａの材質は酸化アルミニウムであり、そのため姿勢矯正部１８ａは弾性を有さない構造となっている。
【００２９】
更に、圧電振動素子１５が内部に載置された第１の凹部１３は、第１の凹部１３を囲繞する枠体１２ｂの第１の凹部１３開口側の頂面上に、第１の凹部１３開口部を覆う形態で配置固着した蓋体１９により気密封止されている。尚、蓋体１９は、４２アロイ，コバール又はリン青銅等の金属で構成されている。このように前記した各構成要素により圧電振動子部１１は構成されている。
【００３０】
つぎに集積回路素子部２０について以下に説明する。図１及び図２に示すように、集積回路素子部２０を構成する第２の基体２１は、外形形状が概略直方体であり、その主面の大きさは圧電振動子部１１の第１の基体１２を構成する基板１２ａの主面の大きさと同程度である。又、第２の基体２１には、第２の基体２１の一方の主面に開口部を有する第２の凹部２２（図２参照）が設けられている。尚、第２の基体２１は、ガラス−セラミック又はアルミナセラミックス等のセラミック材料や、ガラス布基材エポキシ樹脂、ポリカーボネイト、エポキシ樹脂又はポリイミド樹脂等の樹脂系材料等の素材により構成されている。
【００３１】
集積回路素子部２０は、この第２の凹部２２内に載置された集積回路素子２３と、この集積回路素子２３と電気的に接続された、第２の凹部２２を囲繞する側壁部の第２の凹部２２開口側頂面の四隅角部に形成された第１の基体接続電極端子２４と、同じくこの集積回路素子２３に電気的に接続された、第２の基体２１の他方の主面の四隅にそれぞれ形成した外部接続用電極端子２５とにより構成されている。
【００３２】
尚、集積回路素子２３には、例えば、周囲の温度状態を検知するサーミスタといった感温素子、圧電振動素子１５の温度特性を補償する温度補償データを格納するメモリ、メモリ内の温度補償データに基づいて圧電振動素子５の振動特性を温度変化に応じて補正する温度補償回路が内蔵されており、先の温度補償回路からの補償信号と、圧電振動素子１５からの出力信号を受けて所定の発振出力を生成する発振回路が設けられており、この発振回路で生成された発振出力は、外部接続用電極端子２５から圧電発振器１０外部に出力された後、例えば、圧電発振器１０が搭載された電子機器のクロック信号等の基準信号として利用される。
【００３３】
又、外部接続用電極端子２５はそれぞれ電源電圧端子、グランド端子、発振出力端子、発振制御端子となっており、圧電発振器１０をマザーボード等の実装回路基板に接続するための端子として機能するものであり、圧電発振器１０を実装回路基板上に搭載する際、実装回路基板の回路配線と半田等の導電性接合材を介して電気的に接続される。
【００３４】
更に、集積回路素子２３は、集積回路素子２３の第２の凹部２２内底面に対向する主面に複数個設けられた基体接続用電極パッド２６と、各基体接続用電極パッド２６に対応する第２の凹部２２内底面の所定の位置に設けられた集積回路素子接続用電極パッド２７とを、導電性接着剤や半田などの導電性接合材２８により機械的且つ電気的に接続することにより、第２の凹部２２内に載置されている。このように前記した各構成要素により集積回路素子部２０は構成されている。
【００３５】
本発明に係る第１の実施形態の圧電発振器１０は、この圧電振動子部１１を構成する第１の基体１２に形成した第２の基体接続用電極端子１７と、集積回路素子部２０を構成する第２の基体２１に形成した第１の基体接続用端子２４とが、所定の端子同士の表面が対向するように、集積回路素子部２０の上に圧電振動子部１１を重ねて配置し、導電性接着材や半田などの導電性接合材（不図示）により、対向した所定の各電極端子間を機械的及び電気的に接続固着して、圧電振動素子１５と、集積回路素子２３内の発振回路を含む電子回路網とを、電気的に接続しつつ、圧電振動子部１１と集積回路部２０とを一体とすることで構成されている。
【００３６】
このように構成される本発明の第１の実施形態に係る圧電発振器１０は、図１及び図２に示すように、集積回路素子部２０の上に圧電振動子部１１を重ねて配置した際に、圧電振動子部１１を構成する基板１２ａの他方の主面に設けた姿勢矯正部１８ａの集積回路素子２３に対向する環状平面が、集積回路素子２３の主面に接触、又は集積回路素子２３の主面に限りなく接近した構造となっている。この姿勢矯正部１８ａは、集積回路素子２３の接合不良による不導通等の不具合の発生を防止するために設けられており、加熱接合の工程で、集積回路素子２３の姿勢が斜めになり、集積回路素子２３の一部が圧電振動部１１方向に持ち上がらないよう抑止することができる。これにより、接合時の集積回路素子２３の不要な動きを最低限に抑制している。
【００３７】
例えば、複数個の集積回路素子部を集合配列して一体シート状の第２のシート基板（不図示）内の一集積回路素子部を集積化回路素子部２０とした場合においても、その集積回路素子部２０内に配置した集積回路素子２３の加熱接合の際に、不均一な加熱状態による導電性接合材２８の溶融或いは固化のタイミングの差異で、集積回路素子２３が軟化状態の導電性接合材２８側に沈み、集積回路素子２３の姿勢が斜めとなりバランスが崩れてしまうことを、この姿勢矯正部１８ａにより抑え、導通不完全又は不導通などの不具合を防止することが可能となる。
【００３８】
ここで姿勢矯正部１８ａを形成する材質として酸化アルミニウムが使用される。この酸化アルミニウムによる史跡矯正部１８ａは、第１の基体１２のセラミック材料を積層し焼成した後に、基板１２ａの他方の主面にスクリーン印刷により形成される。また、酸化アルミニウムの厚み寸法の比率は、基板の他方の主面と集積回路素子の主面との間の寸法の６０％以上であることが望ましい。例えば、本発明に係る第１の実施形態の圧電発振器１０においては、基板１２ａの他方の主面と集積回路素子２３の主面との間の寸法が５０μｍであり、姿勢矯正部１６の厚み寸法は３０〜５０μｍの寸法とするのが適当である。
【００３９】
（第２の実施形態）
図３は、本発明の第２の実施形態に係る圧電発振器における、圧電振動子部１１の第１の基体を構成する基板１２ａの他方の主面を示した平面図である。この本発明の第２の実施形態に係る圧電発振器は、第１の実施形態に係る圧電発振器１０の姿勢矯正部１８ａが、４つのブロックから構成され、平面視形状がＬ字型の帯状平面を有している姿勢矯正部１８ｂで構成される点で第１の実施形態と異なる。この姿勢矯正部１８ｂはそれぞれ、基板１２ａの他方の主面における集積回路素子の主面と対向する領域外周の角部に、姿勢矯正部１８ｂの折り曲がり部の外側角部が合い、且つ各姿勢矯正部１８ｂの平面が集積回路素子の主面と接触又は集積回路素子の主面と近接するように配置されている。このような形態の姿勢矯正部１８ｂにおいても、第１の実施形態で示した姿勢矯正部１８ａと同じ作用効果を奏する。
【００４０】
（第３の実施形態）
図４は、本発明の第３の実施形態に係る圧電発振器における、圧電振動子部１１の第１の基体を構成する基板１２ａの他方の主面を示した平面図である。この本発明の第３の実施形態に係る圧電発振器は、第１の実施形態に係る圧電発振器１０の姿勢矯正部１８ａが、２つのブロックで構成され、平面視形状が一文字型の帯状平面を有している姿勢矯正部１８ｃで構成される点で第１の実施形態と異なる。この姿勢矯正部１８ｃの長さ方向の寸法は、集積回路素子主面の長さ方向寸法とほぼ等しい長さ寸法となっている。この姿勢矯正部１８ｃはそれぞれ、基板１２ａの他方の主面における集積回路素子の主面と対向する領域外周の長さ方向の２つの辺に沿い、且つ各姿勢矯正部４３の平面が集積回路素子の主面と接触又は集積回路素子の主面と近接するように配置されている。このような形態の姿勢矯正部１８ｃにおいても、第１の実施形態で示した姿勢矯正部１８ａと同じ作用効果を奏する。
【００４１】
（第４の実施形態）
図５は、本発明の第４の実施形態に係る圧電発振器における、圧電振動子部１１の第１の基体を構成する基板１２ａの他方の主面を示した平面図である。この本発明の第４の実施形態に係る圧電発振器は、第１の実施形態に係る圧電発振器１０の姿勢矯正部１８ａが、平面視形状がエックス字型の幾何学的形状の平面を有しており、２つの交叉平面の各長さ方向寸法が集積回路素子主面の対角線寸法とほぼ等しい長さ寸法の姿勢矯正部１８ｄで構成される点で第１の実施形態と異なる。この姿勢矯正部１８ｄは、姿勢矯正部１８ｄの交叉中心点が、基板１２ａの他方の主面における集積回路素子の主面と対向する領域の中心点と合い、且つ各姿勢矯正部１８ｄの平面が集積回路素子の主面と接触又は集積回路素子の主面と近接するように、基板１２ａの他方の主面に設けられている。このような形態の姿勢矯正部１８ｄにおいても、第１の実施形態で示した姿勢矯正部１８ａと同じ作用効果を奏する。
【００４２】
尚、本発明は上述の各実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。例えば、前記各実施形態では、姿勢矯正部の材質として酸化アルミニウムを用いた形態を示したが、姿勢矯正部として形成した際に弾性を有しておらず、且つ第１の基体を構成する基板の他方の主面に所望の形態で形成が可能であれば、他の材質の姿勢矯正部でも構わない。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る圧電発振器を、圧電発振器外部との実装側から見た分解斜視図である。
【図２】図１記載の圧電発振器を組み立てた後、図１記載の仮想切断線Ａ−Ａ′で切断した概略断面図である。
【図３】本発明の第２の実施形態に係る圧電発振器における、第１の基体を構成する基板の他方の主面を示した平面図である。
【図４】本発明の第３の実施形態に係る圧電発振器における、第１の基体を構成する基板の他方の主面を示した平面図である。
【図５】本発明の第４の実施形態に係る圧電発振器における、第１の基体を構成する基板の他方の主面を示した平面図である。
【図６】従来の圧電発振器の一実施形態を示した概略断面図である。
【符号の説明】
【００４４】
１０・・・圧電発振器
１１・・・圧電振動子部
１２・・・第１の基体
１２ａ・・・基板
１２ｂ・・・枠体
１３・・・第１の凹部
１４・・・圧電振動素子接続用電極パッド
１５・・・圧電振動素子
１６，２８・・・導電性接合材
１７・・・第２の基体接続用電極端子
１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄ・・・姿勢矯正部
１９・・・蓋体
２０・・・集積回路素子部
２１・・・第２の基体
２２・・・第２の凹部
２３・・・集積回路素子
２４・・・第１の基体接続用電極端子
２５・・・外部接続用電極端子
２６・・・基体接続用電極パッド
２７・・・集積回路素子接続用パッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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