(57)【要約】【課題】より微小な圧力変化をも検知することができる光学式圧力センサを提供する。【解決手段】筒状部材５内は、区画部材７により第１空間Ｓ１と第２空間Ｓ２とに区画される。第１空間Ｓ１内には、光ファイバ３のＦＢＧ部３１が位置し、第２空間Ｓ２内には、ＦＢＧ部３１が位置しないように固定されている。第１空間Ｓ１は、密閉空間とされ、第２空間Ｓ２は、通気可能な開口孔８が設けられて、外部の流体（空気、水等）が導入されて外圧（外気圧、水圧等）と等しくなる。区画部材７は、光ファイバ３とともに筒状部材５の長手方向に揺動可能に構成され、外圧と密閉空間内の所定圧力との差が生じた際、区画部材７がいずれかの方向へ移動し、それに応じて光ファイバ３のＦＢＧ部３１が伸縮する。【選択図】図２
2008107295.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ファイバと、
長手方向に前記光ファイバが挿通される筒状部材と、
前記筒状部材の両端部を前記光ファイバとともに固定して密閉する固定部材と、
前記筒状部材の内部を第１空間と第２空間とに流体的に分離し、前記光ファイバとともに長手方向に揺動可能な区画部材とを具備し、
前記第１空間または第２空間のいずれか一方は、密閉空間とされ、前記第１空間または第２空間のいずれか他方には、少なくとも１つの通気可能な開口孔が設けられた開放空間とされ、
前記光ファイバは、前記密閉空間または開放空間の少なくともいずれか一方の内部にＦＢＧ部が設けられることを特徴とする光学式圧力センサ。
【請求項２】
前記ＦＢＧ部は、前記第1空間内に設けられ、
前記開口孔は、前記第２空間に設けられることを特徴とする請求項１記載の光学式圧力センサ。
【請求項３】
光ファイバと、
長手方向に前記光ファイバが挿通される筒状部材と、
前記筒状部材の両端部を前記光ファイバとともに固定して密閉する固定部材と、
前記筒状部材の内部を第１空間と第２空間とに流体的に分離し、前記光ファイバとともに長手方向に揺動可能な区画部材とを具備し、
前記光ファイバは、前記第1空間または第2空間の少なくともいずれか一方の内部にＦＢＧ部が設けられ、
前記第１空間および第２空間の双方に、少なくとも１つの通気可能な開口孔がそれぞれ設けられ、前記第１空間または第２空間のいずれか一方は、前記開口孔から通気パイプを通じて空間内が一定の基準圧に維持されることを特徴とする光学式圧力センサ。
【請求項４】
前記筒状部材は、前記光ファイバと略等しい膨張率を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の光学式圧力センサ。
【請求項５】
前記区画部材は、可撓性を有し、前記筒状部材に固着されることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の光学式圧力センサ。
【請求項６】
前記筒状部材は、
いずれか一方の端部に前記固定部材が固定され、いずれか他方の端部に前記区画部材が固定されて、前記固定部材および前記区画部材の間で前記第１空間または第２空間のいずれか一方を形成する第１筒状部材と、
いずれか一方の端部に前記固定部材が固定され、いずれか他方の端部が前記第１筒状部材の前記区画部材が固定された側の端部に固定されて、前記固定部材および前記区画部材の間で前記第１空間または第２空間のいずれか他方を形成する第２筒状部材とを有することを特徴とする請求項５記載の光学式圧力センサ。
【請求項７】
複数のＦＢＧ部を有する前記光ファイバに対して前記筒状部材が複数箇所設けられることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の光学式圧力センサ。
【請求項８】
前記筒状部材内の前記区画部材と前記筒状部材のいずれか一方の端部との間に、光ファイバを揺動不能に固定しつつ、前記区画部材側の空間と流体的に分離して、密閉空間となる第３空間を形成する固定区画部材を具備し、
前記光ファイバは、前記第３空間の内部にも、ＦＢＧ部を有することを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の光学式圧力センサ。
【請求項９】
長手方向に前記光ファイバが挿通され、内部に前記光ファイバのＦＢＧ部を有するように、両端部が固定部材で固定されて内部が密閉空間となった温度補償用筒状部材を具備し、
複数のＦＢＧ部を有する前記光ファイバに対して前記温度補償用筒状部材および前記筒状部材が少なくとも１箇所ずつ設けられることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の光学式圧力センサ。
【請求項１０】
前記光ファイバがシートフィルムに固着されていることを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載の光学式圧力センサ。
【請求項１１】
第１筒状部材または第２筒状部材のいずれか一方の側面に少なくとも１つの通気可能な開口孔を設ける工程と、
少なくとも１つのＦＢＧ部を有する光ファイバを前記第１筒状部材内に挿通する工程と、
前記ＦＢＧ部が前記第１筒状部材内に位置するように、前記第１筒状部材の一端部を固定部材を用いて光ファイバとともに固定して密閉する工程と、
前記第１筒状部材の他端部を前記光ファイバとともに長手方向に揺動可能な可撓性の区画部材で密閉することにより、前記固定部材と前記区画部材との間の第１筒状部材内に第１空間を形成する工程と、
前記第１筒状部材の他端部が前記第２筒状部材の一端部を向いた状態となるように前記第２筒状部材に前記光ファイバを挿通し、前記第１筒状部材の他端部と前記第２筒状部材の一端部とを固定する工程と、
前記第２筒状部材の他端部を固定部材を用いて光ファイバとともに固定して密閉することにより、前記固定部材と前記区画部材との間の第２筒状部材内に第２空間を形成する工程とを有することを特徴とする光学式圧力センサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ファイバにＦＢＧ（Fiber Bragg Grating）部を少なくとも１つ有する光学式圧力センサおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
自動車、船舶、航空機等の設計、解析分野において、安全性や高効率化の観点から様々な最適設計がなされている。特に、上記分野においては、物体表面に作用する空気圧や水圧等の流体物理量の把握が重要となっており、縮小モデルを用いた風洞装置による空気圧（風圧）測定や水槽による水圧測定により得られた結果をフィードバックすることにより最適設計を行っている。
【０００３】
上記のような空気圧や水圧を測定するための構成としては、圧電式、半導体式や歪みゲージ式による圧力センサが公知である。
【０００４】
しかし、上記の構成では、以下の問題が生じていた。圧電式、半導体式の圧力センサにおいては、縮小モデルに孔を開け、当該孔にチューブを挿通し、開口端と圧力センサ本体とを繋ぐ必要があるが、十数点から数十点までが多点測定における事実上の技術的限界があった。というのも、チューブ径が数ｍｍあるため、測定点が多くなると測定点の配置が困難となってしまうからである。また、歪みゲージ式による圧力センサにおいては、測定点ごとにアンプを設ける必要があり、多点の測定は事実上困難であった。さらに、圧電式、半導体式及び歪みゲージ式の双方とも、縮小モデル等の対象物体に孔を開ける必要があり、これを水圧測定に使用した場合、当該孔からの浸水により縮小モデルが破損するという問題があった。また、歪みゲージ式は電気式であるため浸水によりショートする危険性もあった。
【０００５】
上記のような、縮小モデルに孔を開けることなく表面の圧力を測定する圧力センサとして、例えば、光ファイバに感圧部としてＦＢＧ部が設けられた光学式圧力センサが公知である（例えば、特許文献１）。ここで、ＦＢＧ部は、入射する光の進行方向に所定の波長の光のみ反射するグレーティング（回折格子）が形成されたものであり、このＦＢＧ部がベースフィルム上に貼り付けられてセンサを構成する。したがって、ベースフィルムに圧力変化（歪み）が生じるとベースフィルムに取り付けられた光ファイバのＦＢＧ部にも圧力変化が生じる。そして、ＦＢＧ部に圧力変化が生じると、グレーティングの回折ピッチが変化して反射光のピーク波長が変位する。つまり、ＦＢＧ部に圧力が生じた際に反射光のピーク波長の変位を検知することにより、当該ＦＢＧ部に圧力がかかっている（歪みが生じている）ことを検知するものである。
【０００６】
しかしながら、より安全かつより高効率な最適設計を行うべく、特許文献１のような光学式圧力センサにおいてもより微小な圧力変化を検知することが要求されてきている。
【特許文献１】特開２００２−７１３２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明はかかる従来技術に鑑みなされたものであり、より微小な圧力変化をも検知することができる光学式圧力センサおよびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る光学式圧力センサの一の態様は、光ファイバと、長手方向に前記光ファイバが挿通される筒状部材と、前記筒状部材の両端部を前記光ファイバとともに固定して密閉する固定部材と、前記筒状部材の内部を第１空間と第２空間とに流体的に分離し、前記光ファイバとともに長手方向に揺動可能な区画部材とを具備し、前記第１空間または第２空間のいずれか一方は、密閉空間とされ、前記第１空間または第２空間のいずれか他方には、少なくとも１つの通気可能な開口孔が設けられた開放空間とされ、前記光ファイバは、前記密閉空間または開放空間の少なくともいずれか一方の内部にＦＢＧ部が設けられることを特徴とするものである。
【０００９】
上記構成の光学式圧力センサによれば、筒状部材の長手方向にＦＢＧ部を有する光ファイバが挿通される。この光ファイバが挿通された筒状部材の両端部を固定部材を用いて密閉しつつ、光ファイバを固定する。また、筒状部材内は、区画部材により第１空間と第２空間とに区画される。第１空間または第２空間のいずれか一方は、密閉空間とされ、いずれか他方は、通気可能な開口孔が設けられた開放空間とされて、外部の流体（気体、液体等）が導入されて外圧（外気圧、水圧等）と等しくなる。ここで、密閉空間または開放空間の少なくともいずれか一方の内部には、光ファイバのＦＢＧ部が位置される。区画部材は、光ファイバとともに筒状部材の長手方向に揺動可能に構成され、外圧と密閉空間内の所定圧力との差が生じた際、区画部材がいずれかの方向へ移動し、それに応じて光ファイバのＦＢＧ部が伸縮する。
【００１０】
このように、筒状部材内の一方を密閉空間とし、他方を外圧とすることにより、外圧の変化を光ファイバのＦＢＧ部の軸方向の伸縮として直接的に検知することができる。しかも、光ファイバのＦＢＧ部は、側方の変位（曲がりによる変位）よりも軸方向の変位（伸縮による変位）の方が感度が高いため、より高感度に測定することができる。さらに、従来のように、ベースフィルムを必要としないため、ベースフィルムによってＦＢＧ部の変位が阻害または減衰されることもない。以上より、ベースフィルムが撓むことを前提としていた従来の光学式圧力センサに比べてより微小な圧力変化をも検知することができる。
【００１１】
好ましくは、前記ＦＢＧ部は、前記第1空間内に設けられ、前記開口孔は、前記第２空間に設けられるように構成される。
【００１２】
この場合、開口孔が第２空間に設けられ、ＦＢＧ部のある第１空間は密閉空間とされる。したがって、密閉空間である第１空間内のＦＢＧ部に外乱となる風圧が直接的にかかることを防止することができる。
【００１３】
好ましくは、前記筒状部材は、前記光ファイバと略等しい膨張率を有するように構成される。
【００１４】
この場合、筒状部材と光ファイバとは、略等しい膨張率を有しており、筒状部材が膨張した際、光ファイバも同様に膨張する。これにより、筒状部材が膨張しても光ファイバのＦＢＧ部の伸縮に影響を与え難くすることができる。したがって、筒状部材が膨張するような環境においても外乱の影響を低減してより高精度に圧力測定することができる。
【００１５】
好ましくは、前記区画部材は、可撓性を有し、前記筒状部材に固着されるように構成される。
【００１６】
この場合、区画部材は、筒状部材に固着され、外圧と密閉空間内の所定圧力との差が生じた際、区画部材がいずれかの方向へ撓むことにより光ファイバのＦＢＧ部を伸縮させる。このように、筒状部材に可撓性を有する区画部材を固着させることにより、容易に筒状部材の内部を第１空間と第２空間とに流体的に分離させるとともに、圧力変化を光ファイバのＦＢＧ部の伸縮として確実に伝えることができる。
【００１７】
好ましくは、前記筒状部材は、いずれか一方の端部に前記固定部材が固定され、いずれか他方の端部に前記区画部材が固定されて、前記固定部材および前記区画部材の間で前記第１空間または第２空間のいずれか一方を形成する第１筒状部材と、いずれか一方の端部に前記固定部材が固定され、いずれか他方の端部が前記第１筒状部材の前記区画部材が固定された側の端部に固定されて、前記固定部材および前記区画部材の間で前記第１空間または第２空間のいずれか他方を形成する第２筒状部材とを有するように構成される。
【００１８】
この場合、筒状部材が第１筒状部材および第２筒状部材からなり、それぞれの筒状部材内に第１空間または第２空間のいずれかが形成される。この際、第１筒状部材の固定部材が固定される端部とは反対側の端部に区画部材が固定される一方、第２筒状部材の固定部材が固定される端部とは反対側の端部は、第１筒状部材の区画部材が固定される端部に固定される。したがって、筒状部材内に区画部材を容易に固定することができるので、光学式圧力センサを容易かつ低コストに製造することができ、製造効率を高めることができる。
【００１９】
好ましくは、複数のＦＢＧ部を有する前記光ファイバに対して前記筒状部材が複数箇所設けられるように構成される。
【００２０】
この場合、一本で複数のＦＢＧ部を有する光ファイバにおいて、当該ＦＢＧ部の複数箇所に筒状部材が設けられる。したがって、同時に複数箇所の測定を行うことができ、より広範囲かつ詳細な圧力変化を計測することができる。
【００２１】
好ましくは、前記筒状部材内の前記区画部材と前記筒状部材のいずれか一方の端部との間に、光ファイバを揺動不能に固定しつつ、前記区画部材側の空間と流体的に分離して、密閉空間となる第３空間を形成する固定区画部材を具備し、前記光ファイバは、前記第３空間の内部にも、ＦＢＧ部を有するように構成される。
【００２２】
この場合、筒状部材内に第１および第２空間とは別に、筒状部材の一端部の固定部材と筒状部材内の固定区画部材とで区画された第３空間が形成される。第３空間は、第１空間、第２空間および外部とは流体的に分離され、外圧の影響を受けない。この第３空間内に第１空間または第2空間内の感圧用のＦＢＧ部とは別のＦＢＧ部が配置される。したがって、第３空間内のＦＢＧ部は、外圧の影響を受けることなく、温度変化による変位を検知することができる。これにより、感圧用のＦＢＧ部で測定された変位から第３空間内のＦＢＧ部で測定された変位を差し引くことにより、温度変化による変位分を相殺することができるため、温度変化の影響を受けることなく、より高精度に圧力変化を測定することができる。
【００２３】
あるいは、長手方向に前記光ファイバが挿通され、内部に前記光ファイバのＦＢＧ部を有するように、両端部が固定部材で固定されて内部が密閉空間となった温度補償用筒状部材を具備し、複数のＦＢＧ部を有する前記光ファイバに対して前記温度補償用筒状部材および前記筒状部材が少なくとも１箇所ずつ設けられるように構成される。
【００２４】
この場合、あるＦＢＧ部に設けられた第１空間および第２空間を有する筒状部材において圧力変化（温度変化分を含む）による変位が計測される。そして、別途両端部が固定部材により固定されて内部が密閉空間となった温度補償用筒状部材が別のＦＢＧ部に設けられ、当該温度補償用筒状部材内のＦＢＧ部において外圧の影響を受けることなく、温度変化による変位が検知される。これにより、第１空間内のＦＢＧ部で測定された変位から温度補償用筒状部材の密閉空間内のＦＢＧ部で測定された変位を差し引くことにより、温度変化による変位分を相殺することができるため、温度変化の影響を受けることなく、より高精度に圧力変化を測定することができる。
【００２５】
好ましくは、前記光ファイバがシートフィルムに固着されているように構成される。
【００２６】
この場合、光ファイバがシートフィルムに固着されるため、光学式圧力センサをシート状にすることができ、計測対象に容易に取り付けることができる。
【００２７】
また、本発明に係る光学式圧力センサの他の態様は、光ファイバと、長手方向に前記光ファイバが挿通される筒状部材と、前記筒状部材の両端部を前記光ファイバとともに固定して密閉する固定部材と、前記筒状部材の内部を第１空間と第２空間とに流体的に分離し、前記光ファイバとともに長手方向に揺動可能な区画部材とを具備し、前記光ファイバは、前記第1空間または第2空間の少なくともいずれか一方の内部にＦＢＧ部が設けられ、前記第１空間および第２空間の双方に、少なくとも１つの通気可能な開口孔がそれぞれ設けられ、前記第１空間または第２空間のいずれか一方は、前記開口孔から通気パイプを通じて空間内が一定の基準圧に維持されることを特徴とするものである。
【００２８】
上記構成の光学式圧力センサによれば、筒状部材の長手方向にＦＢＧ部を有する光ファイバが挿通される。この光ファイバが挿通された筒状部材の両端部を固定部材を用いて密閉しつつ、光ファイバを固定する。また、筒状部材内は、区画部材により第１空間と第２空間とに区画される。第１空間または第2空間の少なくとも一方の内部には、光ファイバのＦＢＧ部が位置するように固定されている。第１空間および第２空間の双方に通気可能な開口孔が設けられる。このうち、第１空間または第２空間のいずれか一方に設けられた開口孔には、通気パイプを通じて空間内が一定の基準圧に維持されており、いずれか他方に設けられた開口孔には外部の流体が導入されて外圧と等しくなる。区画部材は、光ファイバとともに筒状部材の長手方向に揺動可能に構成され、外圧と基準圧との差が生じた際、区画部材がいずれかの方向へ移動し、それに応じて光ファイバのＦＢＧ部が伸縮する。
【００２９】
このように、筒状部材内の一方を基準圧に維持し、他方を外圧とすることにより、外圧の変化を光ファイバのＦＢＧ部の軸方向の伸縮として直接的に検知することができる。しかも、光ファイバのＦＢＧ部は、側方の変位（曲がりによる変位）よりも軸方向の変位（伸縮による変位）の方が感度が高いため、より高感度に測定することができる。さらに、従来のように、ベースフィルムを必要としないため、ベースフィルムによってＦＢＧ部の変位が阻害または減衰されることもない。以上より、ベースフィルムが撓むことを前提としていた従来の光学式圧力センサに比べてより微小な圧力変化をも検知することができる。
【００３０】
本発明に係る光学式圧力センサの製造方法は、第１筒状部材または第２筒状部材のいずれか一方の側面に少なくとも１つの通気可能な開口孔を設ける工程と、少なくとも１つのＦＢＧ部を有する光ファイバを前記第１筒状部材内に挿通する工程と、前記ＦＢＧ部が前記第１筒状部材内に位置するように、前記第１筒状部材の一端部を固定部材を用いて光ファイバとともに固定して密閉する工程と、前記第１筒状部材の他端部を前記光ファイバとともに長手方向に揺動可能な可撓性の区画部材で密閉することにより、前記固定部材と前記区画部材との間の第１筒状部材内に第１空間を形成する工程と、前記第１筒状部材の他端部が前記第２筒状部材の一端部を向いた状態となるように前記第２筒状部材に前記光ファイバを挿通し、前記第１筒状部材の他端部と前記第２筒状部材の一端部とを固定する工程と、前記第２筒状部材の他端部を固定部材を用いて光ファイバとともに固定して密閉することにより、前記固定部材と前記区画部材との間の第２筒状部材内に第２空間を形成する工程とを有することを特徴とするものである。
【００３１】
上記のような光学式圧力センサの製造方法によれば、まず、第１筒状部材または第２筒状部材のいずれか一方の側面に少なくとも１つの通気可能な開口孔が設けられ、少なくとも１つのＦＢＧ部を有する光ファイバが前記第１筒状部材内に挿通される。そして、ＦＢＧ部が前記第１筒状部材内に位置するように、前記第１筒状部材の一端部が固定部材を用いて光ファイバとともに固定され、密閉される。この後、前記第１筒状部材の他端部が前記光ファイバとともに長手方向に揺動可能な可撓性の区画部材で密閉されることにより、前記固定部材と前記区画部材との間の第１筒状部材内に第１空間が形成される。続いて、前記第１筒状部材の他端部が前記第２筒状部材の一端部を向いた状態となるように前記第２筒状部材に前記光ファイバが挿通され、前記第１筒状部材の他端部と前記第２筒状部材の一端部とが固定される。さらに、前記第２筒状部材の他端部が固定部材を用いて光ファイバとともに固定されて密閉されることにより、前記固定部材と前記区画部材との間の第２筒状部材内に第２空間が形成される。
【００３２】
このように、第１空間を形成した後に、第２空間を形成することにより、筒状部材の内部に形成する区画部材の固定を容易に行うことができる。したがって、光学式圧力センサを容易かつ低コストに製造することができ、製造効率を高めることができる。
【発明の効果】
【００３３】
本発明に係る光学式圧力センサおよびその製造方法によれば、筒状部材内の一方を密閉空間または基準圧に維持することとし、他方を外圧とすることにより、外圧の圧力変化を光ファイバのＦＢＧ部の軸方向の伸縮として直接的に検知することができる。しかも、光ファイバのＦＢＧ部は、側方の変位（曲がりによる変位）よりも軸方向の変位（伸縮による変位）の方が感度が高いため、より高感度に測定することができる。さらに、従来のように、ベースフィルムを必要としないため、ベースフィルムによってＦＢＧ部の変位が阻害または減衰されることもない。以上より、ベースフィルムが撓むことを前提としていた従来の光学式圧力センサに比べてより微小な圧力変化をも検知することができる。また、第１空間または第２空間のいずれか一方を形成した後に、第１空間または第２空間のいずれか他方を形成することにより、筒状部材の内部に形成する区画部材の固定を容易に行うことができる。したがって、光学式圧力センサを容易かつ低コストに製造することができ、製造効率を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
以下、本発明に係る光学式圧力センサの好ましい実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。図１は本発明に係る第１実施形態における光学式圧力センサの概略平面図である。図２は図１の光学式圧力センサの感圧部の１つを示す図である。図２（ａ）は上面図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【００３５】
本実施形態においては、図１に示すように、光学式センサ１は、複数（６つ）の感圧部２を有する光ファイバ３により構成される。感圧部２は、光ファイバ３に設けられたＦＢＧ部３１に後述する筒状部材５を長手方向から挿通して構成される。ＦＢＧ部３１は、光ファイバ３のコア部の屈折率を周期的に変化させた回折格子構造からなり、入射光がＦＢＧ部３１を通過すると、所定の波長（ブラッグ波長）成分のみが反射されるものである。光ファイバ３の先端にはプローブ４が取り付けられ、光源及び受光器（ともに図示せず）が取り付けられ、光源からの入射光に対して反射して戻ってきた光の波長を受光器にて測定する。
【００３６】
ここで、外部圧力の変化によりＦＢＧ部３１に伸縮や歪みが生じると、ＦＢＧ部３１の回折格子の格子ピッチが伸縮し、反射されるブラッグ波長が変位する。この変位量を測定することにより、ＦＢＧ部３１の歪み量、つまりＦＢＧ部３１にかかる圧力を測定することができる。
【００３７】
なお、光ファイバ３のプローブ４が取り付けられた側の端部とは反対側の端部にもプローブを取り付けて、一方に光源、他方に受光器を取り付けることとしてもよい。この際には、受光器において入射光のうち透過して来ない波長を測定することとなる。
【００３８】
本実施形態において、前記光ファイバ３には、ＦＢＧ部３１が長手方向に沿って複数（６つ）設けられている。なお、ＦＢＧ部３１は、１つのみ用いてもよいし、６つより多くても少なくても同様に適用できる。
【００３９】
６つのＦＢＧ部３１は、反射特性（ブラッグ波長）が異なる。例えば、ある１つのＦＢＧ部３１の圧力変化がない状態（初期状態）におけるブラッグ波長が１５２０ｎｍである場合に、他のＦＢＧ部３１のブラッグ波長として、順に１ｎｍずつ増やした波長（１５２１ｎｍ，１５２２ｎｍ，…）を適用することができる。この場合、光源からの入射光の波長は、上記ブラッグ波長を含む波長でなければならない。つまり、例えば、１５２０ｎｍ−１５７０ｎｍの波長領域を有する入射光を使用する。このようにして、予め定められた各ブラッグ波長の変位をそれぞれ測定することにより、従来の圧電式、半導体式の圧力センサのようにチューブを使用することなく容易に複数（多数）点での計測が可能となる。これにより、より広範囲かつ詳細な圧力変化を計測することができる。なお、本実施形態において、感圧部２は、それぞれシート状のフィルム２００に取り付けられ、フィルム２００を計測対象の表面に貼り付けることにより、圧力測定を行うが、直接計測対象に貼り付けたり、別の治具を用いて取り付けることとしてもよい。
【００４０】
本実施形態の感圧部２は、図２に示すように、前記筒状部材５の両端部５１，５２を前記光ファイバ３とともに固定して密閉する固定部材６と、前記筒状部材５の内部を前記ＦＢＧ部３１を有する第１空間Ｓ１と前記ＦＢＧ部３１を有しない第２空間Ｓ２とに流体的に分離し、前記光ファイバ３とともに長手方向に揺動可能な可撓性の区画部材７とをさらに具備する。そして、前記第１空間Ｓ１は、密閉空間とされ、前記第２空間Ｓ２には、少なくとも１つ（図示は１つ）の通気可能な開口孔８が設けられた開放空間とされることを特徴とするものである。
【００４１】
上記構成の光学式圧力センサ１によれば、光ファイバ３が挿通された筒状部材５の両端部５１，５２を固定部材６を用いて密閉しつつ、光ファイバ３を固定する。これにより、感圧部２の外方から光ファイバ３を引っ張っても固定部材６の内部に位置するＦＢＧ部３１には負荷がかからないため、光ファイバ３の張力変化による外乱の影響を効果的に防止することができる。また、筒状部材５内は、区画部材７により第１空間Ｓ１と第２空間Ｓ２とに区画される。第１空間Ｓ１内には、光ファイバ３のＦＢＧ部３１が位置し、第２空間Ｓ２内には、ＦＢＧ部３１が位置しないように固定されている。第１空間Ｓ１は、密閉空間とされる一方、第２空間Ｓ２は、通気可能な開口孔８が設けられた開放空間とされ、外部の流体（空気、水等）が導入されて外圧（外気圧、水圧等）と等しくなる。なお、本実施形態においては、筒状部材５の長手方向略中央に区画部材７が設けられるが、これに限定されることなく、位置の設定は、種々可能である。
【００４２】
区画部材７は、光ファイバ３とともに筒状部材５の長手方向に揺動可能に構成され、外圧と密閉空間内の所定圧力との差が生じた際、区画部材７がいずれかの方向へ移動し、それに応じて光ファイバ３のＦＢＧ部３１が伸縮する。図３は図２（ｂ）において外圧変化が生じた際の様子を示す断面図である。図３（ａ）は正圧が生じた際の様子を示す図であり、図３（ｂ）は負圧が生じた際の様子を示す図である。図３（ａ）に示すように、正圧（外圧＞密閉空間内圧力）が生じると区画部材７が第２空間Ｓ２側に移動し、それに伴ってＦＢＧ部３１が収縮する。一方、図３（ｂ）に示すように、負圧（外圧＜密閉空間内圧力）が生じると区画部材７が第１空間Ｓ１側に移動し、それに伴ってＦＢＧ部３１が延伸する。
【００４３】
このように、筒状部材５内の一方（第１空間Ｓ１）を密閉空間とし、他方（第２空間Ｓ２）を開放空間（外圧）とすることにより、外圧の変化を光ファイバ３のＦＢＧ部３１の軸方向の伸縮として直接的に検知することができる。しかも、光ファイバ３のＦＢＧ部３１は、側方の変位（曲がりによる変位）よりも軸方向の変位（伸縮による変位）の方が感度が高いため、より高感度に測定することができる。さらに、従来のように、ベースフィルムを必要としないため、ベースフィルムによってＦＢＧ部３１の変位が阻害または減衰されることもない。以上より、ベースフィルムが撓むことを前提としていた従来の光学式圧力センサに比べてより微小な圧力変化をも検知することができる。
【００４４】
また、開口孔８がＦＢＧ部３１のない第２空間Ｓ２に設けられ、ＦＢＧ部３１のある第１空間Ｓ１が密閉空間とされる。したがって、密閉空間である第１空間Ｓ１内のＦＢＧ部３１に外乱となる風圧が直接的にかかることを防止することができる。
【００４５】
ここで、筒状部材５は、金属管やガラス管等の剛性を有する種々の筒状（円筒、角筒等は問わない）の部材が用いられるが、好ましくは、光ファイバ３（を構成するガラス素材）と膨張率が略同等のガラス管を用いることが好ましい。光ファイバ３と同等の膨張率とすることにより、温度変化により筒状部材５が膨張・収縮することに起因する光ファイバ３のＦＢＧ部の伸縮作用（外乱となる）を低減させることができる。
【００４６】
また、区画部材７は、例えば、Ｓｉ系樹脂等の薄膜フィルムを貼り付けたり、筒状部材５内に薄くゴム材料を充填すること等によりダイヤフラム機構を有するべく形成される。筒状部材５に可撓性を有する区画部材７を固着させることにより、容易に筒状部材５の内部を第１空間Ｓ１と第２空間Ｓ２とに流体的に分離させるとともに、圧力変化を光ファイバ３のＦＢＧ部３１の伸縮として確実に伝えることができる。
【００４７】
なお、筒状部材５の材質、全長および直径、区画部材７の材質および厚み、開口孔８の開口径等は、計測する圧力の大きさ、圧力の種類（水圧、空気圧等）に応じて種々変更される。例えば、筒状部材５の全長約２０ｍｍ、直径約０．５〜１ｍｍ、開口孔の開口径０．２〜０．３ｍｍ程度の寸法が採用可能である（図示は見易いように縮尺を変えてある）。
【００４８】
ただし、開口孔８は、可及的に小径であることが好ましい。流体は、波状に圧力変化するため、局所的に圧力が大きくなったり小さくなったりする。これに対し、開口孔８の開口径があまり大きいと液体の圧力が平均化されてしまい、局所的な圧力変位を計測することができない。したがって、開口孔８の開口径を可及的に小径とすることにより、圧力計測の分解能を高めることができる。また、開口孔８は、円形の他、長円（楕円）、角形等、形状は種々適用可能であり、その個数、位置も適宜採用可能である。
【００４９】
また、光ファイバ３は、ＦＢＧ部３１に長手方向への引張力が付加された状態で、該ＦＢＧ部３１の両側が前記固定部材５により固定されることがより好ましい。これは、ＦＢＧ部３１において、ＦＢＧ部３１への引張力と反射するブラッグ波長とは線形的な特性を有するため、ＦＢＧ部３１の両端部に予め所定の引張力を付加しておくことにより、基準となる（圧力変化を生じていないときの）ブラッグ波長を安定化させることができる。
【００５０】
なお、本実施形態においては、ＦＢＧ部３１のない第２空間Ｓ２に開口孔８を設けることとしたが、これに限られず、ＦＢＧ部３１のある第１空間Ｓ１に開口孔８を設けることとしてもよい。また、ＦＢＧ部３１は、第２空間Ｓ２内にも設けられることとしてもよい。
【００５１】
また、前記固定部材６は、前記筒状部材５と略等しい膨張率を有することが好ましい。より具体的には、例えば、筒状部材５がガラス管である場合、ガラスと膨張率が略等しいエポキシ系の接着剤を充填する等により固定部材６が構成される。これにより、筒状部材が膨張しても光ファイバのＦＢＧ部の伸縮に影響を与え難くすることができる。したがって、筒状部材が膨張するような環境においても外乱の影響を低減してより高精度に圧力測定することができる。
【００５２】
本実施形態においては、図１に示すように、６つのＦＢＧ部３１を有する前記光ファイバ３に対して、６つのうちの５つのＦＢＧ部３１が感圧部２として構成されるべく、圧力計測用の筒状部材５が取り付けられる一方、残りの１つは、温度補償部２１として、温度補償用筒状部材９が取り付けられるように構成される。図４は図１の光学式圧力センサの温度補償部を示す図である。図４（ａ）は上面図であり、図４（ｂ）は図４（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。この温度補償用筒状部材９は、図４に示すように、長手方向に前記光ファイバ３が挿通され、内部に前記光ファイバ３のＦＢＧ部３１を有するように、両端部９１，９２が固定部材６で固定されて内部が密閉空間となったものである。
【００５３】
この場合、第１空間Ｓ１および第２空間Ｓ２を有する筒状部材５が挿通された５つのＦＢＧ部３１において圧力変化（温度変化分を含む）による変位が計測される。そして、別途両端部９１，９２が固定部材６により固定されて内部が密閉空間となった温度補償用筒状部材９が残り１つのＦＢＧ部３１に設けられ、当該温度補償用筒状部材９内のＦＢＧ部３１において外圧の影響を受けることなく、温度変化による変位が検知される。これにより、筒状部材５の第１空間Ｓ１内のＦＢＧ部３１で測定された変位から温度補償用筒状部材９の密閉空間内のＦＢＧ部３１で測定された変位を差し引くことにより、温度変化による変位分を相殺することができるため、温度変化の影響を受けることなく、より高精度に圧力変化を測定することができる。なお、本実施形態においては、一連の（複数のＦＢＧ部３１が直列接続された）光学式圧力センサ１において１つ設ける構成であるが、複数設けてもよい。また、温度補償部２１の配置は特に限定されないが、同じ温度条件となる程度に感圧部２に近接して設けられることが好ましい。
【００５４】
なお、本実施形態における光学式圧力センサ１を複数直列接続して圧力計測を行うことも可能である。光ファイバ３内においては入射光の減衰が少ないため、このような接続を行っても測定誤差が低下することなく測定可能である。したがって、このように光学式圧力センサ１をユニット化し、複数の光学式圧力センサ１を接続することにより、１つのチャンネルで同時に数多くの箇所の圧力を測定することもできる。
【００５５】
本実施形態において、図１のような個々のフィルム２０上のそれぞれに筒状部材５および温度補償用筒状部材９を設置する代わりに、複数のＦＢＧ部３１が１枚のシートフィルム２２上に設置されてもよい。つまり、光ファイバ３がシートフィルム２２に固着されているように構成される。図５は本実施形態の光学式圧力センサを１枚のシートフィルム上に設置した状態を示す図である。また、図６は図５の光学式圧力センサの組み付け図である。
【００５６】
図６に示すように、シートフィルム２２は、ベースフィルム２２１およびカバーフィルム２２２からなり、光ファイバ３が両者に挟み込まれた状態で固着される。また、筒状部材５の開口孔８上のカバーフィルム２２２には、開口孔８に相当する位置に通気孔２２３が設けられ、筒状部材５内に外部の流体を導入する。以上のように、光ファイバ３およびＦＢＧ部３１がシートフィルム２２に固着されるため、光学式圧力センサをシート状にすることができ、計測対象に容易に取り付けることができる。
【００５７】
なお、光ファイバ３の配設態様は図６に特に限定されず、渦巻き状に配設する等、種々採用可能である。
【００５８】
シートフィルム２２（ベースフィルム２２１およびカバーフィルム２２２）は、可撓性のフィルム、例えば、ポリエステルフィルムや可撓性の衝撃吸収材からなる。このため、対象物体の表面が平面でない場合であっても対象物体に密着させて高精度の圧力測定が可能である。さらに衝撃吸収材を用いた場合、外部からの衝撃を吸収し、光ファイバ３の破損を防止することができる。また、シートフィルム２２を無理な形状に変形させた場合においても光ファイバ３への応力集中を緩和することができる。なお、本実施形態の光学式圧力センサ１は、シートフィルム２２のフィルム膜厚や硬さに直接的に影響を与えるものではないため、対象物体への装着に影響を与えない程度に厚くする（例えば、０．５−１．０ｍｍ程度）ことにより、光学式圧力センサ１の耐久性を向上させることができる。なお、図１のフィルム２００についても同様である。
【００５９】
ここで、本発明に係る第２実施形態について説明する。図７は本発明に係る第２実施形態における光学式圧力フィルムの感圧部の１つを示す図である。図７（ａ）は上面図であり、図７（ｂ）は図７（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。第１実施形態と同様の構成については同じ符号を付し、説明を省略する。
【００６０】
本実施形態において、第１実施形態と異なる点は、筒状部材５が区画部材７の取り付け位置を境に別体に構成されることである。つまり、前記筒状部材５は、一方の端部５１に前記固定部材６が固定され、他方の端部５３に前記区画部材７が固定されて、前記固定部材６および前記区画部材７の間で前記第１空間Ｓ１を形成する第１筒状部材５ａと、一方の端部５２に前記固定部材６が固定され、他方の端部５４が前記第１筒状部材５ａの前記区画部材７が固定された側の端部５３に固定されて、前記固定部材６および前記区画部材７の間で前記第２空間Ｓ２を形成する第２筒状部材５ｂとを有するように構成される。
【００６１】
この場合、筒状部材５が第１筒状部材５ａおよび第２筒状部材５ｂからなり、それぞれの筒状部材５内に第１空間Ｓ１または第２空間Ｓ２が形成される。この際、第１筒状部材５ａの固定部材６が固定される端部５１とは反対側の端部５３に区画部材７が固定される一方、第２筒状部材５ｂの固定部材６が固定される端部５２とは反対側の端部５４は、第１筒状部材５ａの区画部材７が固定される端部５３に固定される。
【００６２】
本実施形態の光学式圧力センサの製造方法について説明する。図８は図７の光学式圧力センサの感圧部の製造方法を示す図である。本実施形態の光学式圧力センサの製造方法は、図８に示すように、ＦＢＧ部３１を有する光ファイバ３を前記第１筒状部材５ａ内に挿通する工程（図８（ａ））と、前記ＦＢＧ部３１が前記第１筒状部材５ａ内に位置するように、前記第１筒状部材５ａの一端部５１を固定部材６を用いて光ファイバ３とともに固定して密閉する工程（図８（ｂ））と、前記第１筒状部材５ａの他端部５３を前記光ファイバ３とともに長手方向に揺動可能な可撓性の区画部材７で密閉することにより、前記固定部材６と前記区画部材７との間の第１筒状部材５ａ内に第１空間Ｓ１を形成する工程（図８（ｃ））と、第２筒状部材５ｂの側面に通気可能な開口孔８を設け、前記第１筒状部材５ａの他端部５３が前記第２筒状部材５ｂの一端部５４を向いた状態となるように前記第２筒状部材５ｂに前記光ファイバ３を挿通し、前記第１筒状部材５ａの他端部５３と前記第２筒状部材５ｂの一端部５４とを固定する工程（図８（ｄ））と、前記第２筒状部材５ｂの他端部５２を固定部材６を用いて光ファイバ３とともに固定して密閉することにより、前記固定部材６と前記区画部材７との間の第２筒状部材５ｂ内に第２空間Ｓ２を形成する工程（図８（ｅ））とを有することを特徴とするものである。
【００６３】
上記のような光学式圧力センサの製造方法によれば、まず、ＦＢＧ部３１を有する光ファイバ３が前記第１筒状部材５ａ内に挿通される（図８（ａ））。そして、ＦＢＧ部３１が前記第１筒状部材５ａ内に位置するように、前記第１筒状部材５ａの一端部５１が固定部材６を用いて光ファイバ３とともに固定され、密閉される（図８（ｂ））。この後、前記第１筒状部材５ａの他端部５３が前記光ファイバ３とともに長手方向に揺動可能な可撓性の区画部材７で密閉されることにより、前記固定部材６と前記区画部材７との間の第１筒状部材５ａ内に第１空間Ｓ１が形成される（図８（ｃ））。
【００６４】
続いて、第２筒状部材５ｂの側面に通気可能な開口孔８が設けられ、前記第１筒状部材５ａの他端部５３が前記第２筒状部材５ｂの一端部５４を向いた状態となるように前記第２筒状部材５ｂに前記光ファイバ３が挿通され、前記第１筒状部材５ａの他端部５３と前記第２筒状部材５ｂの一端部５４とが固定される（図８（ｄ））。なお、本実施形態においては、第１筒状部材５ａの外径が第２筒状部材５ｂの内径と一致するように構成され、第１筒状部材５ａの他端部５３の外周と第２筒状部材５ｂの一端部５４の内周を接着剤（例えば、エポキシ系接着剤）により固着することにより固定している。ただし、これに限られず、同径の筒状部材の端部同士を接着したり、その上で接着部分近傍をシールもしくは、わずかに大径の補強パイプ等で覆う等種々適用可能である。もちろん、第１筒状部材５ａの方を第２筒状部材５ｂより大径としてもよい。
【００６５】
さらに、前記第２筒状部材５ｂの他端部５２が固定部材６を用いて光ファイバ３とともに固定されて密閉されることにより、前記固定部材６と前記区画部材７との間の第２筒状部材５ｂ内に第２空間Ｓ２が形成される。
【００６６】
このように、第１空間Ｓ１を形成した後に、第２空間Ｓ２を形成することにより、筒状部材５の内部に形成する区画部材７の固定を容易に行うことができる。したがって、光学式圧力センサを容易かつ低コストに製造することができ、製造効率を高めることができる。
【００６７】
なお、第１空間Ｓ１に開口孔８を設ける構成においては、第１筒状部材５ａを光ファイバ３に挿通する前に開口孔８を設ける工程を組み込めばよい。
【００６８】
続いて、本発明の第３実施形態について説明する。図９は本発明に係る第３実施形態における光学式圧力センサの感圧部の１つを示す図である。図９（ａ）は上面図であり、図９（ｂ）は図９（ａ）のＤ−Ｄ断面図である。第１実施形態と同様の構成については同じ符号を付し、説明を省略する。
【００６９】
本実施形態について、第１実施形態と異なる点は、筒状部材５内に温度補償用の第３空間Ｓ３を形成することである。すなわち、前記筒状部材５内の前記区画部材７と前記筒状部材５のいずれか一方の端部５２との間に、光ファイバ３を揺動不能に固定しつつ、前記区画部材７側の第１空間Ｓ２と流体的に分離して、密閉空間となる第３空間Ｓ３を形成する固定区画部材６０を具備し、前記第３空間Ｓ３内に、第１空間Ｓ１内の前記ＦＢＧ部３１とは別のＦＢＧ部３１’を有するように構成される。
【００７０】
この場合、筒状部材５内に第１および第２空間Ｓ１，Ｓ２とは別に、筒状部材５の一端部５２の固定部材６と筒状部材５内の固定区画部材６０とで区画された第３空間Ｓ３が形成される。固定区画部材６０は、固定部材６と同様の材料で形成可能である。第３空間Ｓ３は、第１空間Ｓ１、第２空間Ｓ２および外部とは流体的に分離され、外圧の影響を受けない。この第３空間Ｓ３内に第１空間Ｓ１内のＦＢＧ部３１とは別のＦＢＧ部３１’が配置される。なお、本実施形態においても第２実施形態と同様に筒状部材を２つまたは３つの部分に分けて所定の空間（例えば第１空間Ｓ１および第３空間Ｓ３）を形成した後、各部分を結合固定することにより残りの空間（例えば第２空間Ｓ２）を形成することとしてもよい。
【００７１】
以上のように、第３空間Ｓ３内のＦＢＧ部３１’は、外圧の影響を受けることなく、温度変化による変位を検知することができる。これにより、第１空間Ｓ１内のＦＢＧ部３１で測定された変位から第３空間Ｓ３内のＦＢＧ部３１’で測定された変位を差し引くことにより、温度変化による変位分を相殺することができるため、温度変化の影響を受けることなく、より高精度に圧力変化を測定することができる。
【００７２】
次に、本発明の第４実施形態について説明する。図１０は本発明に係る第４実施形態における光学式圧力センサの概略平面図である。また、図１１は図１０の光学式圧力センサの感圧部の１つを示す図である。図１１（ａ）は上面図であり、図１１（ｂ）は図１１（ａ）のＥ−Ｅ断面図である。本実施形態について、第１実施形態と異なる点は、第２空間Ｓ２だけでなく第１空間Ｓ１にも開口孔８’が設けられ、当該開口孔８’を通じて第１空間Ｓ１内が所定の基準圧に保持されることにより、差圧計測を行うものである。すなわち、前記第１空間Ｓ１および第２空間Ｓ２の双方に、１つずつ通気可能な開口孔８’，８がそれぞれ設けられ、前記第１空間Ｓ１は、前記開口孔８’から通気パイプ８０を通じて第１空間Ｓ１内が一定の基準圧に維持されることを特徴とするものである。
【００７３】
上記構成の光学式圧力センサ１によれば、筒状部材５の長手方向にＦＢＧ部３１を有する光ファイバ３が挿通される。この光ファイバ３が挿通された筒状部材５の両端部５１，５２を固定部材６を用いて密閉しつつ、光ファイバ３を固定する。また、筒状部材５内は、区画部材７により第１空間Ｓ１と第２空間Ｓ２とに区画される。第１空間Ｓ１内には、光ファイバ３のＦＢＧ部３１が位置し、第２空間Ｓ２内には、ＦＢＧ部３１が位置しないように固定されている。第１空間Ｓ１に通気可能な開口孔８’が設けられるとともに第２空間Ｓ２にも通気可能な開口孔８が設けられる。
【００７４】
このうち、第１空間Ｓ１に設けられた開口孔８’には、通気パイプ８０が取り付けられる。本実施形態においては、開口孔８’上に分岐管８１が形成されており、分岐管８１の外周面に通気パイプ８０を被せるようにして接着剤または拘束具等により固定される。本実施形態においては、さらに複数の感圧部２にそれぞれ設けられた開口孔８’からの通気パイプ８０が１つにまとめられて、プローブ８２を介してエアポンプ等の気圧制御装置（図示せず）に接続される。このようにして、通気バイプ８０を通じて第１空間Ｓ１内が一定の基準圧に維持されており、第２空間Ｓ２に設けられた開口孔８には外部の流体が導入されて外圧と等しくなる。区画部材７は、光ファイバ３とともに筒状部材５の長手方向に揺動可能に構成され、外圧と基準圧との差が生じた際、区画部材７がいずれかの方向へ移動し、それに応じて光ファイバ３のＦＢＧ部３１が伸縮する。
【００７５】
このように、筒状部材５内の一方を基準圧に維持し、他方を外圧とすることにより、外圧の変化を光ファイバ３のＦＢＧ部３１の軸方向の伸縮として直接的に検知することができる。しかも、光ファイバ３のＦＢＧ部３１は、側方の変位（曲がりによる変位）よりも軸方向の変位（伸縮による変位）の方が感度が高いため、より高感度に測定することができる。さらに、従来のように、ベースフィルムを必要としないため、ベースフィルムによってＦＢＧ部３１の変位が阻害または減衰されることもない。以上より、ベースフィルムが撓むことを前提としていた従来の光学式圧力センサに比べてより微小な圧力変化をも検知することができる。
【００７６】
なお、本実施形態において温度補償部２１を設ける際は、図１０に示すように、感圧部２の第１空間Ｓ１と同様に、筒状部材９に開口孔８’を設けて他の感圧部２と同じ基準圧とすることが好ましいが、計測環境によっては開口孔８’を設けなくてもよい。また、本実施形態においては、ＦＢＧ部３１のある第１空間Ｓ１内を所定の基準圧に維持することとしたが、これに限られず、ＦＢＧ部３１のない第２空間Ｓ２に通気パイプを取り付け、第２空間Ｓ２内を所定の基準圧に維持することとしてもよい。
【００７７】
以上、本発明に係る実施の形態を説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲内で種々の改良、変更、修正が可能である。
【００７８】
例えば、上記実施形態においては、可撓性を有する区画部材７が筒状部材５に固着される構成（ダイヤフラム機構）について説明しているが、筒状部材５を第１空間Ｓ１と第２空間Ｓ２とに流体的に分離し、かつ、光ファイバ３とともに長手方向に揺動可能であれば、これに限られない。例えば、区画部材７がスライダ機構を有することとしてもよい。具体的には、図１２（ａ）に示すように、区画部材７が、光ファイバ３に固着された剛性の区画部材本体７１（例えば、金属板等）と、区画部材本体７１と筒状部材５の内周面との間を滑動可能に密閉された滑動性の高いシーリング部材７２とを有することとしてもよい。この場合、剛性の区画部材本体７１と筒状部材５との間に滑動性の高いシーリング部材７２を挟み込むことにより、第１空間Ｓ１と第２空間Ｓ２とを流体的に確実に分離することができ、しかも、微弱な圧力変化に対しても滑らかに揺動して測定精度を向上させることができる。なお、図１２（ｂ）に示すように、シーリング部材７２を用いずに、剛性の区画部材本体７１の外周円の径と筒状部材５の内周円の径とを高精度に略一致させることにより、区画部材７を筒状部材５に固定させることなく、長手方向に揺動可能に構成することとしてもよい。また、オイル等で潤滑することとしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】本発明に係る第１実施形態における光学式圧力センサの概略平面図である。
【図２】図１の光学式圧力センサの感圧部の１つを示す図である。
【図３】図２（ｂ）において外圧変化が生じた際の様子を示す断面図である。
【図４】図１の光学式圧力センサの温度補償部を示す図である。
【図５】本実施形態の光学式圧力センサを１枚のシートフィルム上に設置した状態を示す図である。
【図６】図５の光学式圧力センサの組み付け図である。
【図７】本発明に係る第２実施形態における光学式圧力フィルムの感圧部の１つを示す図である。
【図８】図７の光学式圧力センサの感圧部の製造方法を示す図である。
【図９】本発明に係る第３実施形態における光学式圧力センサの感圧部の１つを示す図である。
【図１０】本発明に係る第４実施形態における光学式圧力センサの概略平面図である。
【図１１】図１０の光学式圧力センサの感圧部の１つを示す図である。
【図１２】本発明に係る他の例における光学式圧力センサの感圧部の１つを示す断面図である。
【符号の説明】
【００８０】
１                光学式圧力センサ
３                光ファイバ
３１              ＦＢＧ部
４                プローブ
５                筒状部材
５ａ              第１筒状部材
５ｂ              第２筒状部材
６                固定部材
７                区画部材
８，８’          開口孔
９                温度補償用筒状部材
２２              シートフィルム
５１，５２        筒状部材の端部
６０              固定区画部材
８０              通気パイプ
９１，９２        温度補償用筒状部材の端部
Ｓ１              第１空間
Ｓ２              第２空間
Ｓ３              第３空間
【図１】
2008107295.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2008107295.tif 000007
【図６】
2008107295.tif 000008
【図７】
2008107295.tif 000009
【図８】
2008107295.tif 000010
【図９】
2008107295.tif 000011
【図１０】
2008107295.tif 000012
【図１１】
2008107295.tif 000013
【図１２】
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