(57)【要約】【課題】  本発明は上記の状況に鑑みてなされたもので、低誘電率ホウ素炭素窒素薄膜を成膜することができる成膜方法を提供することを日的とすること。【解決手段】前記課題を解決するための本発明の成膜方法は、成膜室内にプラズマを生成し、成膜室内で窒素原子をホウ素および炭素と反応させ、基板にホウ素炭素窒素膜を成膜した後、光照射を行う工程を有することを特徴とする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ホウ素炭素窒素原子を含む膜を成膜した後、光を照射して比誘電率を２．４以下に低下させることを特徴とする低誘電率膜の成膜方法。
【請求項２】
前記光の照射は照射光の光源として水銀ランプ、キセノンランプ、重水素ランプのいずれかを用いることを特徴とする請求項１に記載の低誘電率膜の成膜方法。
【請求項３】
前記光の照射は照射光の光源として赤外線ランプを用いることを特徴とする請求項１に記載の低誘電率膜の成膜方法。
【請求項４】
前記光の照射は大気中で照射を行うことを特徴とする請求項２又は３に記載の低誘電率膜の成膜方法。
【請求項５】
前記光の照射は３分間から１０分間照射を行うことを特徴とする請求項２ないし４のいずれか１項記載の低誘電率膜の成膜方法。
【請求項６】
前記光の照射は室温で照射を行うことを特徴とする請求項４に記載の低誘電率膜の成膜方法。
【請求項７】
前記光の照射は２５０〜５５０℃で保持して照射を行うことを特徴とする請求項２ないし５のいずれか１項記載の低誘電率膜の成膜方法。
【請求項８】
成膜室内で窒素原子をホウ素および炭素と反応させ前記成膜を行うことを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１項記載の低誘電率膜の成膜方法。
【請求項９】
成膜室内に窒素原子を主に励起した後、励起された窒素原子をホウ素および炭素と反応させ、基板にホウ素炭素窒素膜を成膜することを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１項記載の低誘電率膜の成膜方法。
【請求項１０】
成膜室内に窒素原子を主に励起した後、励起された窒素原子を、水素ガスをキャリャガスとした塩化ホウ素ガスおよび炭素と反応させ、基板にホウ素炭素窒素膜を成膜することを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１項記載の低誘電率膜の成膜方法。
【請求項１１】
炭素の供給として炭化水素ガスを用いることを特徴とする請求項１ないし１０のいずれか１項記載の低誘電率膜の成膜方法。
【請求項１２】
窒素ガスの流量と塩化ホウ素ガスの流量との比を０．１〜１０．０に設定したことを特徴とする請求項１０記載の低誘電率膜の成膜方法。
【請求項１３】
炭化水素ガスの流量と塩化ホウ素ガスの流量との比を０．０１〜５．０に設定したことを特徴とする請求項１０記載の低誘電率膜の成膜方法。
【請求項１４】
水素ガスの流量と塩化ホウ素ガスの流量との比を０．０５〜５．０に設定したことを特徴とする請求項１０記載の低誘電率膜の成膜方法。
【請求項１５】
請求項１ないし１４のいずれか１項記載の方法により作成した低誘電率膜。
【請求項１６】
比誘電率が２．４以下であることを特徴とする請求項１５記載の低誘電率膜。
【請求項１７】
比誘電率が２．２未満であることを特徴とする請求項１５記載の低誘電率膜。
【請求項１８】
請求項１ないし１４のいずれか１項記載の方法により作製した膜を配線層間膜とすることを特徴とする半導体装置。
【請求項１９】
請求項１ないし１２のいずれか１項記載の方法により作製した膜を保護膜とすることを特徴とする半導体装置。
【請求項２０】
請求項１８または１９に記載の装置を有することを特徴とする情報処理・通信システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はホウ素炭素窒素を含む膜およびその成膜方法並びにそれを用いた電子装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
これまで半導体集積回路においては配線の層間絶縁体薄膜や保護膜としてプラズマＣＶＤ(Chemical Vapor Deposition)法によるＳｉＯ２やＳｉＮ膜が用いられていた。しかし、トランジスタの高集積化に伴い、配線間の容量による配線遅延が起こり、素子のスイッチング動作の高速化を阻害する要因として問題となってきた。また、液晶デイスプレーパネルにおける配線遅延の改善も望まれている。これを解決するためには配線層間絶縁体薄膜の低誘電率化が必要であり、新しい低誘電率を有する材料が層間絶縁膜として求められている。このような状況で有機系材料や多孔質材料が注目され、極めて低い誘電率（比誘電率κ〜２．５以下）を実現することが可能であるが、化学的、機械的耐性や熱伝導性の点で問題がある。また、近年、窒化ホウ素薄膜において２．２という極めて低い低誘電率が達成されているが、耐吸湿性に問題があることが知られている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような状況で耐熱性、耐吸湿性に優れ、極めて低い誘電率を持つホウ素炭素窒素薄膜が注目されるが、プラズマＣＶＤ法による成膜技術は確立されていないのが現状であり、更に低誘電率化が望まれている。本発明は上記の状況に鑑みてなされたもので、低誘電率ホウ素炭素窒素薄膜を成膜することができる成膜方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
前記課題を解決するための本発明の成膜方法は、成膜室内にプラズマを生成し、成膜室内で窒素原子をホウ素および炭素と反応させ、基板にホウ素炭素窒素膜を成膜した後、光照射を行う工程を有することを特徴とする。光照射工程は成膜室内で行っても、成膜後の作製工程のいずれかの部分で行っても同様の低誘電率化の効果が得られる。
【０００５】
また、上記目的を達成するための本発明の成膜方法は成膜後、水銀ランプを用いて紫外光の照射を数分間行うことを特徴とする。照射光強度と照射時間で最適条件が得られる。
【０００６】
また、光源として、キセノンランプ、重水素ランプのいずれかを用いることも可能である。
【０００７】
また、上記目的を達成するための本発明の成膜方法は成膜後、赤外線ランプを用いて赤外光の照射を行い、薄膜を昇温する。この保持温度を２５０℃〜５５０℃に設定することが好ましい。３５０℃〜４５０℃がより好ましく、４００℃〜４５０℃が更に好ましい。２５０℃未満では低誘電率化の効果が顕著に見られず、５５０℃を超えると誘電率の増加が起こる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下に、本発明の成膜方法および成膜装置について図面を用いて詳しく説明する。
【０００９】
（実施例１）
図１は本発明の第１実施例の成膜方法を実施する成膜装置を示す概略側面図である。円筒状容器１内に誘導結合プラズマ生成部２が設けられ、整合器３を介して高周波電源４に接続されている。高周波電源４は１ｋｗ〜１０ｋｗまでの高周波電力を供給することができる。窒素ガス導入部５より窒素ガスを供給し、プラズマ５０を生成する。基板保持部６に基板６０が置かれ、基板保持部６内にはヒータ７が装着されている。ヒータ７によって基板６０の温度は室温から６００℃の範囲で設定できるようになっている。円筒状容器１には、水素ガスをキャリアとした塩化ホウ素ガスを導入する導入部８が設けられている。
【００１０】
また、円筒状容器１に炭化水素系ガスを導入する導入部９設けられている。基板保持部６より下方に排気部１０が装着されている。
【００１１】
各ガスの供給流量範囲については窒素ガスの流量と塩化ホウ素の流量比（窒素ガス／塩化ホウ素）が０．１〜１０．０、炭化水素ガスの流量と塩化ホウ素の流量比（炭化水素ガス／塩化ホウ素）が０．０１〜５．０、水素ガスの流量と塩化ホウ素の流量比（水素ガス／塩化ホウ素）が０．０５〜５．０となるように設定できるようになっている。
【００１２】
ｐ型シリコン基板６０を基板保持部６に置き、容器１内を１×１０-６Ｔｏｒｒまで排気する。基板温度を３００℃に設定する。その後、窒素ガスを導入部５から円筒状容器１内に導入する。高周波電力（１３．５６ＭＨｚ）を１ｋｗ供給することにより、プラズマ５０を生成する。続いて水素ガスをキャリアガスとして塩化ホウ素を容器１内に搬送する。また、メタンガスを容器１内に供給する。
容器１内のガス圧力を０．６Ｔｏｒｒに調整して窒化ホウ素炭素膜６１の合成を行う。塩化ホウ素およびメタンガスはプラズマにするのではなく窒素プラズマによって塩化ホウ素およびメタンガスを分解し、ホウ素原子および炭素原子を生成し、窒素原子と反応させ、窒化ホウ素炭素膜６１の合成を行う。塩素は水素原子と化合して塩化水素になり、塩素原子の膜内への取り込みが抑制される。成膜後、水銀ランプを用いて膜表面に光照射を行う。室温大気中で４分間の照射を行う。
【００１３】
ｐ型シリコン基板６０上に１００ｎｍの窒化ホウ素炭素膜６１を堆積させ、窒化ホウ素炭素膜６１上にＡｕを蒸着し、電極を形成した後、容量―電圧特性を測定し、金属／窒化ホウ素炭素膜／Ｐ型シリコン構造の蓄積領域の容量値と窒化ホウ素炭素膜６１の厚さを用いて比誘電率を評価した。光照射前に２．８〜３．０の比誘電率を有する膜において４分間の光照射後、比誘電率が２．２〜２．４の低い値が得られた。
【００１４】
また、光照射前後での膜の比誘電率の比と、照射時問との関係を調べ、図２に示す。水銀ランプ（８００ｍｍＷ／ｃｍ２、レンズとの距離１５ｃｍ、大気中）を用いて光照射を施した場合、３分間から６分間の照射時間で比誘電率の低下が認められた。
【００１５】
本実施例では材料ガスとして窒素ガス、塩化ホウ素、メタンガスを用いたが、窒素材料としてアンモニアガスを用いることもできる。また、塩化ホウ素の代わりにジボランガスを用いることができる。また、炭素の供給としてメタンガス以外のエ夕ンガスやアセチレンガス等の炭化水素ガスやトリメチルボロンをはじめホウ素や窒素の有機化合物も用いることができる。また、光照射のための光源として水銀ランプを用いたが、キセノンランプや重水素ランプも用いることができる。
【００１６】
（実施例２）
本発明の第２実施例は第１実施例と同様の成膜装置を用いる。円筒状容器１内に誘導結合プラズマ生成部２が設けられ、整合器３を介して高周波電源４に接続されている。高周波電源４は１ｋｗ〜１０ｋｗの高周波電力を供給することができる。窒素ガス導入部５より窒素ガスを供給し、プラズマ５０を生成する。基板保持部６に基板６０が置かれ、基板保持部６内にはヒータ７が装着されている。
ヒータ７によって基板６０の温度は室温から６００℃の範囲で設定できるようになっている。円筒状容器１には、水素ガスをキャリアとした塩化ホウ素ガスを導入する導入部８が設けられている。また、円筒状容器１に炭化水素系ガスを導入する導入部９設けられている。基板保持部６より下方に排気部１０が装着されている。
【００１７】
各ガスの供給流量範囲については窒素ガスの流量と塩化ホウ素の流量比（窒素ガス／塩化ホウ素）が０．１〜１０．０、炭化水素ガスの流量と塩化ホウ素の流量比（炭化水素ガス／塩化ホウ素）が０．０１〜５．０、水素ガスの流量と塩化ホウ素の流量比（水素ガス／塩化ホウ素）が０．０５〜５．０となるように設定できるようになっている。
【００１８】
ｐ型シリコン基板６０を基板保持部６に置き、容器１内を１×１０−６Ｔｏｒｒまで排気する。基板温度を３００℃に設定する。その後、窒素ガスを導入部５から円筒状容器１内に導入する。高周波電力（１３．５６ＭＨｚ）を１ｋｗ供給することにより、プラズマ５０を生成する。続いて水素ガスをキャリアガスとして塩化ホウ素を容器１内に搬送する。また、メタンガスを容器１内に供給する。
容器１内のガス圧力を０．６Ｔｏｒｒに調整して窒化ホウ素炭素膜６１の合成を行う。塩化ホウ素およびメタンガスはプラズマにするのではなく窒素プラズマによって塩化ホウ素およびメタンガスを分解し、ホウ素原子および炭素原子を生成し、窒素原子と反応させ、窒化ホウ素炭素膜６１の合成を行う。
【００１９】
塩素は水素原子と化合して塩化水素になり、塩素原子の膜内への取り込みが抑制される。成膜後、赤外線ランプ加熱により成膜した試料を昇温し、４００℃で１０分間保持する。
【００２０】
ｐ型シリコン基板６０上に１００ｎｍの窒化ホウ素炭素膜６１を堆積させ、窒化ホウ素炭素膜６１上にＡｕを蒸着し、電極を形成した後、容量―電圧特性を測定し、金属／窒化ホウ素炭素膜／p型シリコン構造の蓄積領域の容量値と窒化ホウ素炭素膜６１の厚さを用いて比誘電率を評価した。昇温前に２．８〜３．０の比誘電率を有する膜において４００℃の保持温度で熱処理後、比誘電率が２．２〜２．４の低い値が得られた。また、温度を変化させ熱処理を施した膜の比誘電率と、同様に作製した膜を昇温せずに評価した比誘電率との比を調べ、熱処理温度の関数として図３に示す。保持時間は１０分間とした。２５０℃〜５５０℃での保持温度で昇温保持後比誘電率の低下が認められた。
【００２１】
本発明の成膜方法で成膜した窒化ホウ素炭素膜の集積回路への適用例を、図６を用いて説明する。トランジスタ５０１の高集積化によって配線５０２を多層構造にするためには配線間には低誘電率を有する層間絶縁体薄膜５０３を用いることが必要であり、本成膜方法で成膜した窒化ホウ素炭素膜を用いることができる。
【００２２】
また、層間絶縁体薄膜５０３として有機薄膜や多孔質膜を用いた場合、機械的強度や吸湿性などが問題となるが、図７に示すように本発明の成膜方法で成膜した窒化ホウ素炭素膜を有機薄膜や多孔質膜の保護膜５０４として用いることができる。このような有機薄膜や多孔質膜と窒化ホウ素炭素膜との合体により窒化ホウ素炭素膜単層での比誘電率より低い誘電率が達成され、１．９程度の実効的な比誘電率が得られた。
【００２３】
（実施例３）
図４は本発明の第３実施例の成膜方法を実施する成膜装置を示す概略側面図である。円筒状容器工内に誘導結合プラズマ生成部２が設けられ、整合器３を介して高周波電源４に接続されている。高周波電源４は１ｋｗ〜１０ｋｗまでの高周波電力を供給することができる。窒素ガス導入部５より窒素ガスを供給し、プラズマ５０を生成する。基板保持部６に基板６０が置かれ、基板保持部６内にはヒータ７が装着されている。ヒータ７によって基板６０の温度は室温から６００℃の範囲で設定できるようになっている。更に成膜室の基板保持部上方に窓が設けられ、試料表面への水銀ランプによる光照射ができるようになっている。水銀ランプによる光照射の際には基板保持部６が窓の方ヘ移動できるようになっている。円筒状容器１には、水素ガスをキャリアとした塩化ホウ素ガスを導入する導入部８が設けられている。また、円筒状容器１に炭化水素系ガスを導入する導入部
９が設けられている。基板保持部６より下方に排気部１０が装着されている。
【００２４】
各ガスの供給流量範囲については窒素ガスの流量と塩化ホウ素の流量比（窒素ガス／塩化ホウ素）が０．１〜１０．０、炭化水素ガスの流量と塩化ホウ素の流量比（炭化水素ガス／塩化ホウ素）が０．０１〜５．０、水素ガスの流量と塩化ホウ素の流量比（水素ガス／塩化ホウ素）が０．０５〜５．０となるように設定できるようになっている。
【００２５】
ｐ型シリコン基板６０を基板保持部６に置き、容器１内を１×１０−６Ｔｏｒｒまで排気する。基板温度を３００℃に設定する。その後、窒素ガスを導入部５から円筒状容器１内に導入する。高周波電力（１３．５６ＭＨｚ）を１ｋｗ供給することにより、プラズマ５０を生成する。続いて水素ガスをキャリアガスとして塩化ホウ素を容器１内に搬送する。また、メタンガスを容器１内に供給する。
容器１内のガス圧力を０．６Ｔｏｒｒに調整して窒化ホウ素炭素膜６１の合成を行う。塩化ホウ素およびメタンガスはブラズマにするのではなく窒素プラズマによって塩化ホウ素およびメタンガスを分解し、ホウ素原子および炭素原子を生成し、窒素原子と反応させ、窒化ホウ素炭素膜６１の合成を行う。
【００２６】
塩素は水素原子と化合して塩化水素になり、塩素原子の膜内への取り込みが抑制される。成膜後、基板保持部６に水銀ランプ（８００ｍｍＷ／ｃｍ２、レンズとの距離１５ｃｍ、大気中）を用いて光照射を３分間から６分間施した。
【００２７】
ｐ型シリコン基板６０上に１００ｎｍの窒化ホウ素炭素膜６１を堆積させ、窒化ホウ素炭素膜６１上にＡｕを蒸着し、電極を形成した後、容量−電圧特性を測定し、金属／窒化ホウ素炭素膜／ｐ型シリコン構造の蓄積領域の容量値と窒化ホウ素炭素膜６１の厚さを用いて比誘電率を評価したところ、比誘電率の低い好適な値が得られた。
【００２８】
（実施例４）
図５は本発明の第４実施例の成膜方法を実施する成膜装置を示す概略側面図である。円筒状容器１内に誘導結合プラズマ生成部２が設けられ、整合器３を介して高周波電源４に接続されている。高周波電源４は１ｋｗ〜１０ｋｗまでの高周波電力を供給することができる。窒素ガス導入部５より窒素ガスを供給し、プラズマ５０を生成する。基板保持部６に基板６０が置かれ、基板保持部６内にはヒータ７が装着されている。ヒータ７によって基板６０の温度は室温から６００℃の範囲で設定できるようになっている。円筒状容器１には、水素ガスをキャリアとした塩化ホウ素ガスを導入する導入部８が設けられている。また、円筒状容器１に炭化水素系ガスを導入する導入部９が設けられている。基板保持部６より下方に排気部１０が装着されている。成膜室とゲートバルブを介して膜の昇温保持のためにアニールチェンバーが装着され、水銀ランプにより光照射できるように
なっている。
【００２９】
各ガスの供給流量範囲については窒素ガスの流量と塩化ホウ素の流量比（窒素ガス／塩化ホウ素）が０．１〜１０．０、炭化水素ガスの流量と塩化ホウ素の流量比（炭化水素ガス／塩化ホウ素）が０．０１〜５．０、水素ガスの流量と塩化ホウ素の流量比（水素ガス／塩化ホウ素）が０．０５〜５．０となるように設定できるようになっている。
【００３０】
ｐ型シリコン基板６０を基板保持部６に置き、容器１内を１×１０−６Ｔｏｒｒまで排気する。基板温度を３００℃に設定する。その後、窒素ガスを導入部５から円筒状容器１内に導入する。高周波電力（１３．５６ＭＨｚ）を１ｋｗ供給することにより、プラズマ５０を生成する。続いて水素ガスをキャリアガスとして塩化ホウ素を容器１内に搬送する。また、メタンガスを容器１内に供給する。
容器１内のガス圧力を０．６Ｔｏｒｒに調整して窒化ホウ素炭素膜６１の合成を行う。塩化ホウ素およびメタンガスはプラズマにするのではなく窒素プラズマによって塩化ホウ素およびメタンガスを分解し、ホウ素原子および炭素原子を生成し、窒素原子と反応させ、窒化ホウ素炭素膜６１の合成を行う。
【００３１】
塩素は水素原子と化合して塩化水素になり、塩素原子の膜内への取り込みが抑制される。成膜後、基板保持部６内に装着されているヒータ７によって基板温度を４００℃に設定し、１０分間保持する。
【００３２】
ｐ型シリコン基板６０上に１００ｎｍの窒化ホウ素炭素膜６１を堆積させ、窒化ホウ素炭素膜６１上にＡｕを蒸着し、電極を形成した後、容量−電圧特性を測定し、金属／窒化ホウ素炭素膜／ｐ型シリコン構造の蓄積領域の容量値と窒化ホウ素炭素膜６１の厚さを用いて比誘電率を評価したところ、比誘電率の低い好適な値が得られた。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
本発明の成膜方法はプラズマ気相合成法によって作製された窒化ホウ素炭素膜に光を照射することにより機械的化学的に安定で耐吸湿性、高熱伝導性を有し、低誘電率を持った窒化ホウ素炭素膜が成膜できるようになる。プラズマ気相合成を行う成膜装置は円筒状容器内に窒素ガス導入手段、プラズマ生成手段とその下方に基板の保持手段を設け、窒素導入手段と基板保持手段の間に塩化ホウ素および炭素供給源としての炭化水素や有機材料の導入手段を設けたもので、窒素プラズマとホウ素および炭素原子を反応させ、基板に窒化ホウ素炭素膜が成膜し、その後、成膜試料に光照射工程を設けることにより、耐吸湿性、高熱伝導性を有し、低誘電率を持った窒化ホウ素炭素膜が高速に成膜できる。
【００３４】
本発明による窒化ホウ素炭素膜は集積回路の配線層間絶縁体薄膜または保護膜として用いることができる。
【００３５】
本発明による窒化ホウ素炭素膜は集積回路の配線層間絶縁体薄膜または保護膜として用いることができる。この膜を化合物半導体（ＧａＡｓ系、ＩｎＰ系、ＧａＮ系など）で作製される高周波動作を目指した電界効果トランジスタ（ＦＥＴ）やバイポーラトランジスタのソース−ゲート間やゲート−ドレイン間の半導体表面に保護膜として用いることにより浮遊容量が低下でき、周波数特性を改善することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の実施例１による成膜装置を示す断面図である。
【図２】光照射時間に対する光照射前後の比誘電率の比を示すグラフ。
【図３】熱処理温度に対する熱処理前後の比誘電率の比を示すグラフ。
【図４】本発明の実施例３による成膜装置を示す断面図である。
【図５】本発明の実施例４による成膜装置を示す断面図である。
【図６】本発明の実施例に係る成膜方法で成膜した窒化ホウ素炭素膜を用いた集積回路の断面概略図。
【図７】本発明の実施例に係る成膜方法で成膜した窒化ホウ素炭素膜を用いた集積回路の断面概略図。
【符号の説明】
【００３７】
１・・円筒状容器
２・・誘導結合プラズマ生成部
３・・整合器
４・・高周波電源
５・・窒素ガス導入部
６・・基板保持部
７・・ヒータ
８、９・・導入部
１０・・排気部
５０・・プラズマ
６０・・基板
６１・・窒化ホウ素炭素膜
５０１・・トランジスタ
５０２・・配線
５０３・・層間絶縁体薄膜
５０４・・保護膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2008187187.tif 000006
【図５】
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【図６】
2008187187.tif 000008
【図７】
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