(57)【要約】【課題】狭ピッチ化が可能なマルチチャンネルヘッドを提供する。【解決手段】マルチチャンネルヘッド１は、基板１１と、その積層方向上方においてトラック幅方向に並べて配置された複数の書込素子５及び複数の読取素子７とを備える。複数の書込素子には、コイル１７が設けられている。トラック幅方向に隣り合う少なくとも一対の書込素子においては、コイルの位置が相互に積層方向にずらされている。【選択図】図２
2008004155.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、該基板の積層方向上方においてトラック幅方向に並べて配置された複数の書込素子及び複数の読取素子とを備えたマルチチャンネルヘッドであって、
前記複数の書込素子には、コイルが設けられており、
トラック幅方向に隣り合う少なくとも一対の前記書込素子においては、コイルの位置が相互に積層方向にずらされている、
マルチチャンネルヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の記録素子と複数の再生素子とを具備するマルチチャンネルヘッドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、コンピュータ分野においては、データのバックアップ装置としてリニアテープに対して磁気情報の記録・再生を行うデータストレージ装置がある。特許文献１には、そのようなデータストレージ装置に用いられているマルチチャンネルヘッドの一例が示されている。
【０００３】
かかるマルチチャンネルヘッドにおいては、リニアテープの走行方向と直交する方向に沿って複数の記録素子及び再生素子が並べて配置されている。より詳細には、一つの記録素子と一つの再生素子とからなる一組の素子対が、複数組設けられており、まず、この素子対自体がリニアテープの走行方向と直交する方向に沿って並んでいる。そして、各素子対の記録素子自体も、隣り合う素子対の記録素子との関係で、リニアテープの走行方向と直交する方向に沿って並んでいる。さらに、再生素子も同様であり、各素子対の再生素子自体が、隣り合う素子対の再生素子との関係で、リニアテープの走行方向と直交する方向に沿って並んでいる。
【特許文献１】特開２００５−２７６２６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年、磁気情報の記録・再生に対しては、大容量化、高速読み書き化が望まれており、マルチチャンネルヘッドにおいても、隣り合う素子間の間隔を狭ピッチ化できれば好ましい。
本発明は、狭ピッチ化が可能なマルチチャンネルヘッドを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上述した課題を解決するため、本発明に係るマルチチャンネルヘッドは、基板と、該基板の積層方向上方においてトラック幅方向に並べて配置された複数の書込素子及び複数の読取素子とを備えたマルチチャンネルヘッドであって、前記複数の書込素子には、コイルが設けられており、トラック幅方向に隣り合う少なくとも一対の前記書込素子においては、コイルの位置が相互に積層方向にずらされている。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、トラック幅方向に隣り合う書込素子において、コイルの位置が相互に積層方向にずらされているため、コイル相互間の干渉が回避され、書込素子の間隔をトラック幅方向に詰めることができ、すなわち、狭ピッチ化することができる。
【０００７】
なお、本発明の他の特徴及びそれによる作用効果は、添付図面を参照し、実施の形態によって更に詳しく説明する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明に係る実施の形態を、添付図面に基づいて説明する。なお、図中、同一符号は同一又は対応部分を示すものとする。また、本明細書及び特許請求の範囲における上下方向は積層方向に沿う方向であり、基板側など積層がより先行する側を下側、保護層など積層が後続される側を上側として表現している。
【０００９】
本実施の形態に係るマルチチャンネルヘッドは、コンピュータのデータのバックアップを行うＬＴＯ（Linear Tape-Open）規格などの磁気テープ記憶装置において、リニアテープに対して磁気情報の記録・再生を行う磁気ヘッドとして適用されうる。
【００１０】
図１に、本実施の形態に係るマルチチャンネルヘッドを示す。マルチチャンネルヘッド１は、２枚の帯状ヘッドチップ３を対称的に貼り合わせて構成されている。ヘッドチップ３のそれぞれには、複数の書込素子５と、複数の読取素子７とが設けられている。
【００１１】
より詳細には、まず、一つの書込素子５と、一つの読取素子７とをまとめて一つの素子対９とした場合、ヘッドチップ３のそれぞれには、本実施の形態では、１６個の素子対９が配置されている。素子対９は、トラック幅方向Ｘ、すなわち後述するマルチチャンネルヘッド１のシフト方向Ｓであって、リニアテープ１１の走行方向Ｔとほぼ直交する方向に並べて配置されている。
【００１２】
次に、図２及び図３に基づいて、ヘッドチップの要部について説明する。図２及び図３は、ヘッドチップにおける素子対を部分的（２つ分）に拡大し、媒体（リニアテープ）対向面側から示した図である。また、図２は、媒体対向面における端面図であり、図３は、コイルを含む断面で切断した断面図である。
【００１３】
ヘッドチップ３は、複数膜の積層態様によって構成されている。基板１１の積層方向Ｙの上方には、複数の書込素子５がトラック幅方向Ｘに並べて配置されている。さらに、複数の書込素子５の積層方向Ｙの上方には、複数の読取素子７がトラック幅方向Ｘに並べて配置されている。
【００１４】
図２に示されるように、書込素子５は、下部ポール部１３ａを含む下部ヨーク１３と、上部ポール部１５ａを含む上部ヨーク１５と、コイル１７と、ギャップ膜１９とを有している。読取素子７は、磁気抵抗効果膜であり、例えばＧＭＲやＴＭＲなどとして構成されている。読取素子７の積層方向Ｙの上下には、上部磁気シールド２１及び下部磁気シールド２３が設けられている。
【００１５】
図３に示されるように、トラック幅方向Ｘに隣り合う一対の書込素子５の間においては、コイル１７の位置が相互に積層方向にずらされている。具体的に説明すると、本実施の形態では、コイル１７はそれぞれ上下２層構成を採用しており、図３の図示左側のコイル１７は、上部コイル層１７ａ及び下部コイル層１７ｂを有しており、図示右側のコイル１７は、上部コイル層１７ｃ及び下部コイル層１７ｄを有している。そして、図示左側のコイル１７の上部コイル層１７ａ及び下部コイル層１７ｂと、図示右側のコイル１７の上部コイル層１７ｃ及び下部コイル層１７ｄとは、相互に積層方向にずらされている。すなわち、図示右側の下部コイル層１７ｄは、図示左側の下部コイル層１７ｂよりも一段、積層方向上方に位置しており、図示左側の上部コイル層１７ａは、図示右側の下部コイル層１７ｄよりも一段、積層方向上方に位置しており、図示右側の上部コイル層１７ｃは、図示左側の上部コイル層１７ａよりも一段、積層方向上方に位置している。
【００１６】
このような相互の積層方向のずれに基づいて、図示左側の上部コイル層１７ａ及び下部コイル層１７ｂの右側端部と、図示右側の上部コイル層１７ｃ及び下部コイル層１７ｄの左側端部とは、積層方向Ｙから投影的にみて、トラック幅方向Ｘに重なる領域を有する。
【００１７】
また、上記の構成に起因し、図示右側のコイル１７において、図示左側の下部コイル層１７ｂと積層方向同層の位置には、第１の絶縁層１９ｂが形成されている。図示左側のコイル１７において、図示右側の下部コイル層１７ｄと積層方向同層の位置には、第２の絶縁層１９ｄが形成されている。図示右側のコイル１７において、図示左側の上部コイル層１７ａと積層方向同層の位置には、第３の絶縁層１９ａが形成されている。図示左側のコイル１７において、図示右側の上部コイル層１７ｃと積層方向同層の位置には、第４の絶縁層１９ｃが形成されている。
【００１８】
なお、図３の図示左側のコイルのコイル層１７ａ及び１７ｂの左側端部には、参照符号１７ｃ、１７ｄで示されるコイル層の一部が図示されているが、これは、さらに図示左側に位置するコイルのコイル層の右側端部が部分的に図示されているものである。また、図３の紙面最も右側において参照符号１７ａ、１７ｂで示されたコイル層の一部も同様であり、より右側に位置するコイルのコイル層の左側端部が部分的に図示されているに過ぎない。これより諒解されるように、本実施の形態では、下段配置をとるコイル層１７ａ、１７ｂからなるコイルと、上段配置をとるコイル層１７ｃ、１７ｄからなるコイルとが、トラック幅方向に交互に繰り返されるように配置されている。また、積層方向において同層に位置する層に対しては、共通のアルファベット小文字ａ，ｂ，ｃ，ｄを割り当てた参照符号を付している。
【００１９】
図３に示した態様はあくまでも例示であり、本発明に係るマルチチャンネルヘッドにおいては、書込素子のコイルは必ずしも２層コイルとして構成されている必要はなく、３層以上のコイル層を備えていてもよいし、逆に１層のコイル層だけで構成されているものであってもよい。また、トラック幅方向に隣り合う全ての対の書込素子においてコイルの位置が積層方向にずらされていることを要するものではなく、複数の書込素子のうち、トラック幅方向に隣り合う少なくとも一対の書込素子においてコイルの位置が積層方向にずらされていれば、本発明に包含されるものである。さらに、本発明は、トラック幅方向に隣り合う全てのコイルのコイル層同士が積層方向Ｙから投影的にみて重なっていない態様も包含するものである。
【００２０】
また、図３に示した態様では、下段配置をとるコイル層１７ａ、１７ｂからなるコイルと、上段配置をとるコイル層１７ｃ、１７ｄからなるコイルとが繰り返される２段配置態様として例示したが、本発明では、これに限定されるものではなく、下段配置、中段配置、上段配置をとる３段配置態様の構成でもよく、さらに、４段以上の配置で実施することも可能である。
【００２１】
上記のように、コイルの位置は積層方向にずらされている一方、トラック幅方向に並んだ書込素子間において、媒体対向面に現れる下部ポール部１３ａと上部ポール部１５ａとの位置は、図２に示されるように、積層方向に揃って一直線に整列している。
【００２２】
次に、図１のような本実施の形態に係るマルチチャンネルヘッド１の製造プロセスについて説明する。マルチチャンネルヘッド１は、２枚の帯状ヘッドチップ３を対称的に貼り合わせて構成されるが、各ヘッドチップ３は次のようにして製造される。なお、成膜プロセスやパターン形成プロセスそれ自体は、周知の態様で行うことができ、その詳細な説明は省略する。
【００２３】
まず、基板１１を層状に構成する。続いて、基板１１の上方に、所定のスペーサ層２５ａを介して下部ヨーク１３を形成する。その上に、コイル１７、ギャップ膜１９、上部ヨーク１５の上部ポール部１５ａを形成した後、上部ヨーク１５のポール部以外のヨーク部を形成する。
【００２４】
ここで、図４を参照しながら、コイルの形成について詳細に説明する。まず、（ａ）に示されるように、図３図示の一対に関し、図示左側の下部ヨーク１３の上方に、下部コイル層１７ｂを形成すると共に、その同層において、図示右側の下部ヨーク１３の上方に、第１の絶縁層１９ｂを形成する。次に、（ｂ）に示されるように、図示右側の第１の絶縁層１９ｂの上方に、下部コイル層１７ｄを形成すると共に、その同層において、図示左側の下部コイル層１７ｂの上方に、第２の絶縁層１９ｄを形成する。図示右側の下部コイル層１７ｄの形成においては、下部コイル層１７ｄの左側端部が、図示左側の下部コイル層１７ｂの右側端部の上に重なるように配置される。
【００２５】
次に、（ｃ）に示されるように、図示左側の第２の絶縁層１９ｄの上方に、上部コイル層１７ａを形成すると共に、その同層において、図示右側の下部コイル層１７ｄの上方に、第３の絶縁層１９ａを形成する。図示左側の上部コイル層１７ａの形成においては、上部コイル層１７ａの右側端部が、図示右側の下部コイル層１７ｄの左側端部の上に重なるように配置される。さらに、（ｄ）に示されるように、図示右側の第３の絶縁層１９ａの上方に、上部コイル層１７ｃを形成すると共に、その同層において、図示左側の上部コイル層１７ａの上方に、第４の絶縁層１９ｃを形成する。図示右側の上部コイル層１７ｃの形成においては、上部コイル層１７ｃの左側端部が、図示左側の上部コイル層１７ａの右側端部の上に重なるように配置される。
【００２６】
コイル１７を含め書込素子５の形成が終了したならば、続いて、図２に示されるように、書込素子５の上方にスペーサ層２５ｂを形成する。さらに、その上方に、下部磁気シールド２３、読取素子７、上部磁気シールド２１及び保護層２５ｅ等を形成する。
【００２７】
以上のようなマルチチャンネルヘッド１によれば、トラック幅方向に隣り合う書込素子において、コイルの位置が相互に積層方向にずらされている。このため、ずらされたコイル１７間では、各コイル層１７ａ、１７ｂ、１７ｃ、１７ｄが平面的にみてオーバーラップする位置関係にありながら、実際には相互に当接することはなく、その分、書込素子５の間隔をトラック幅方向Ｘに詰めることができ、すなわち、狭ピッチ化することができる。具体的には、図５に示されるように、トラック幅方向Ｘの寸法Ｄ＝２．５［ｍｍ］の中に、１６個の素子対９、すなわち１６個ずつの書込素子５及び読取素子７を配置することが可能となった。
【００２８】
また、上記のように、コイルの位置は積層方向にずらされている一方、トラック幅方向に並んだ書込素子間においては、下部ポール部１３ａと上部ポール部１５ａとの位置が、積層方向に揃って一直線に整列している。このため、トラック幅方向Ｘに整列する書込素子５のポール部を２層分の成膜工程で形成することができ、プロセスの複雑化を回避することができる。さらに、トラック幅方向Ｘに整列する書込素子５の下部ポール部及び上部ポール部のそれぞれが、トラック幅方向Ｘに直線的に整列するので、書き込み精度を高精度に維持することができる。すなわち、上記のように狭ピッチ化を進めるべくコイル１７を積層方向にずらして構成しておりながら、プロセスの複雑化を回避し、且つ、書き込み精度を高精度に維持することができる。
【００２９】
以上、好ましい実施の形態を参照して本発明の内容を具体的に説明したが、本発明の基本的技術思想及び教示に基づいて、当業者であれば、種々の改変態様を採り得ることは自明である。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明に係るマルチチャンネルヘッドを示す図である。
【図２】ヘッドチップにおける素子対の部分拡大図であって、媒体対向面における端面図である。
【図３】ヘッドチップにおける素子対の部分拡大図であって、コイルを含む断面で切断した断面図である。
【図４】トラック幅方向に隣り合う書込素子に関し、コイル層の製造手順を示す図である。
【図５】本実施の形態に係るマルチチャンネルヘッドに関し、トラック幅方向の所定寸法内に含まれる書込素子及び読取素子の数を示す図である。
【符号の説明】
【００３１】
１                      マルチチャンネルヘッド
５                      書込素子
７                      読取素子
１１                    基板
１７                    コイル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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