(57)【要約】      （修正有）【課題】複数の処理室の相互の関係を考慮しながらメンテナンスを行うときに非常に利便性の高いメンテナンス画面を表示パネルに表示することが可能とすることが可能な基板処理装置、そのような基板処理装置を制御するための表示パネルの表示方法、そのような表示をコンピューターに実行させるプログラム及びそのようなプログラムが記録された媒体を提供する。【解決手段】第２の表示領域３１２でタスク・ボタンが各タスク・ボタンがクリックされた時間的な順番に応じた順番で左側から並べて表示される。つまり、タスク・ボタンの左側が常に最新の画面であり、第１の表示領域３１１に表示されている画面が配置される。その隣に次に時間的に近いタスク・ボタンが第２の表示領域３１２に表示され、以下の時間的な順番に応じてタスク・ボタンが第２の表示領域３１２に表示される。【選択図】図３
2008004702.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つの処理室を有する基板処理装置において、
表示パネルと、
前記表示パネルに少なくとも前記基板処理装置のメンテナンスに必要な画面及び所定の選択ボタンを表示するための制御を行う表示制御部と、
前記表示パネルに表示された選択ボタンをクリックするための選択部とを具備し、
前記表示制御部は、
少なくとも前記基板処理装置のメンテナンスに必要な複数の画面から１つの画面を選択する選択ボタンを、当該選択ボタンがクリックされた時間的な順番に応じた順番で並べて前記表示パネルの第１の表示領域に表示し、
前記選択ボタンにより選択された画面を前記表示パネルの第２の表示領域に表示する
ことを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板処理装置において、
前記表示制御部は、
前記第２の表示領域の一辺に沿って前記第１の表示領域を表示し、
前記第１の表示領域に表示される前記各選択ボタンが一定の長さとなるように表示し、
前記複数の選択ボタンの全体の長さが前記第１の表示領域の長さを超えた場合には、前記超えた選択ボタンを履歴として残しておき、表示可能になったときに再び前記第２の表示領域に残りの前記選択ボタンを表示する
ことを特徴とする基板処理装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の基板処理装置において、
前記表示制御部は、
前記第２の表示領域に表示された画面を閉じるための選択ボタンを前記表示パネルの第３の表示領域に表示し、
前記第２の表示領域に表示された画面を閉じるための選択ボタンが前記選択部によりクリックされた場合に、前記第２の表示領域の画面を閉じると共に前記第１の表示領域に表示された前記画面に対応する選択ボタンを閉じる
ことを特徴とする基板処理装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のうちいずれか１項に記載の基板処理装置において、
前記表示制御部は、
前記第２の表示領域に表示される処理室のメンテナンスに必要な画面として、当該メンテナンスの内容に応じた複数の画面のうち前記選択部により選択された一つの画面を、前記第２の表示領域に表示する
ことを特徴とする基板処理装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４のうちいずれか１項に記載の基板処理装置において、
前記表示制御部は、
前記第２の表示領域に前記各処理室の状態を表示する前記処理室毎の画面、前記基板処理装置の全体の状態を表示する画面を表示可能であり、
前記第１の表示領域に前記画面に対応する選択ボタンが表示可能である
ことを特徴とする基板処理装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５のうちいずれか１項に記載の基板処理装置において、
前記表示パネル及び前記選択部は、前記表示パネル上に前記選択部を設けたタッチパネルにより構成されることを特徴とする基板処理装置。
【請求項７】
少なくとも１つの処理室を有する基板処理装置を制御するための表示パネルの表示方法において、
少なくとも前記基板処理装置のメンテナンスに必要な複数の画面から１つの画面を選択する選択ボタンを、当該選択ボタンがクリックされた時間的な順番に応じた順番で並べて前記表示パネルの第１の表示領域に表示し
前記選択ボタンにより選択された画面を前記表示パネルの第２の表示領域に表示する
ことを特徴とする表示方法。
【請求項８】
請求項７に記載の表示方法において、
前記第２の表示領域の一辺に沿って前記第１の表示領域を表示し、
前記第１の表示領域に表示される前記各選択ボタンが一定の長さとなるように表示し、
前記複数の選択ボタンの全体の長さが前記第１の表示領域の長さを超えた場合には、前記超えた選択ボタンを履歴として残しておき、表示可能になったときに再び前記第２の表示領域に残りの前記選択ボタンを表示する
ことを特徴とする表示方法。
【請求項９】
請求項７又は請求項８に記載の表示方法において、
前記第２の表示領域に表示された画面を閉じるための選択ボタンを前記表示パネルの第３の表示領域に表示し、
前記第２の表示領域に表示された画面を閉じるための選択ボタンが選択された場合に、前記第２の表示領域の画面を閉じると共に前記第１の表示領域に表示された前記画面に対応する選択ボタンを閉じる
ことを特徴とする表示方法。
【請求項１０】
請求項７から請求項９のうちいずれか１項に記載の表示方法において、
前記第２の表示領域に表示される処理室のメンテナンスに必要な画面として、当該メンテナンスの内容に応じた複数の画面のうち選択された一つの画面を、前記第２の表示領域に表示する
ことを特徴とする表示方法。
【請求項１１】
少なくと１つの処理室を有する基板処理装置を制御するための表示パネルの表示をコンピュータに実行させるプログラムが記録された記録媒体において、
前記プログラムは、
少なくとも前記基板処理装置のメンテナンスに必要な複数の画面から１つの画面を選択する選択ボタンを、当該選択ボタンがクリックされた時間的な順番に応じた順番で並べて前記表示パネルの第１の表示領域に表示させ、
前記選択ボタンにより選択された画面を前記表示パネルの第２の表示領域に表示させる
ことを特徴とする記録媒体。
【請求項１２】
請求項１１に記載の記録媒体において、
前記プログラムは、
前記第２の表示領域の一辺に沿って前記第１の表示領域を表示させ、
前記第１の表示領域に表示される前記各選択ボタンが一定の長さとなるように表示させ、
前記複数の選択ボタンの全体の長さが前記第１の表示領域の長さを超えた場合には、前記超えた選択ボタンを履歴として残しておき、表示可能になったときに再び前記第２の表示領域に残りの前記選択ボタンを表示させる
ことを特徴とする記録媒体。
【請求項１３】
請求項１１又は請求項１２に記載の記録媒体において、
前記プログラムは、
前記第２の表示領域に表示された画面を閉じるための選択ボタンを前記表示パネルの第３の表示領域に表示させ、
前記第２の表示領域に表示された画面を閉じるための選択ボタンが選択された場合に、前記第２の表示領域の画面を閉じさせると共に前記第１の表示領域に表示された前記画面に対応する選択ボタンを閉じさせる
ことを特徴とする記録媒体。
【請求項１４】
請求項１１から請求項１３のうちいずれか１項に記載の記録媒体において、
前記プログラムは、
前記第２の表示領域に表示される処理室のメンテナンスに必要な画面として、当該メンテナンスの内容に応じた複数の画面のうち選択された一つの画面を、前記第２の表示領域に表示させる
ことを特徴とする記録媒体。
【請求項１５】
少なくとも１つの処理室を有する基板処理装置を制御するための表示パネルの表示をコンピュータに実行させるプログラムにおいて、
少なくとも前記基板処理装置のメンテナンスに必要な複数の画面から１つの画面を選択する選択ボタンを、当該選択ボタンがクリックされた時間的な順番に応じた順番で並べて前記表示パネルの第１の表示領域に表示させ、
前記選択ボタンにより選択された画面を前記表示パネルの第２の表示領域に表示させる
ことを特徴とするプログラム。
【請求項１６】
請求項１５に記載のプログラムにおいて、
前記第２の表示領域の一辺に沿って前記第１の表示領域を表示させ、
前記第１の表示領域に表示される前記各選択ボタンが一定の長さとなるように表示させ、
前記複数の選択ボタンの全体の長さが前記第１の表示領域の長さを超えた場合には、前記超えた選択ボタンを履歴として残しておき、表示可能になったときに再び前記第２の表示領域に残りの前記選択ボタンを表示させる
ことを特徴とするプログラム。
【請求項１７】
請求項１５又は請求項１６に記載のプログラムにおいて、
前記第２の表示領域に表示された画面を閉じるための選択ボタンを前記表示パネルの第３の表示領域に表示させ、
前記第２の表示領域に表示された画面を閉じるための選択ボタンが選択された場合に、前記第２の表示領域の画面を閉じさせると共に前記第１の表示領域に表示された前記画面に対応する選択ボタンを閉じさせる
ことを特徴とするプログラム。
【請求項１８】
請求項１５から請求項１７のうちいずれか１項に記載のプログラムにおいて、
前記第２の表示領域に表示される処理室のメンテナンスに必要な画面として、当該メンテナンスの内容に応じた複数の画面のうち選択された一つの画面を、前記第２の表示領域に表示させる
ことを特徴とするプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば成膜処理（例えばプラズマＣＶＤ処理）やエッチング処理（例えばプラズマエッチング処理）等の半導体製造プロセスに用いられる基板処理装置、そのような基板処理装置を制御するための表示パネルの表示方法、そのような表示をコンピュータに実行させるプログラム及びそのようなプログラムが記録された記録媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年の半導体製造装置等の基板処理装置は、半導体ウエハなどの基板の搬送系の周囲に基板への処理を実行する処理室を複数配置し、集約的に処理を実行する技術が主流になってきている。このようにシステムが大型化すると、そのためのメンテナンスも大掛かりになり、更に複数の処理室の相互の関係を考慮しながらメンテナンスを行う必要もある。
【０００３】
このようなメンテナンスは、一般的にはＧＵＩ（Graphical User Interface）を使ったタッチパネルを用いて装置の情報（温度、圧力、ガス流量等）を入手し、その入手した情報に基づいて条件設定等を行っている。なお、このようなＧＵＩに関しては、ＳＥＭＩにおいてある程度規格化されている。
【０００４】
本発明者らは、ＳＥＭＩのＥ９５において規格化された程度のＧＵＩではますます複雑化した基板処理装置のメンテナンスには不十分であると認識したが、その種の分野で技術文献は発見できなかった。    
【非特許文献１】ＳＥＭＩのＥ９５規格の参照：http://downloads.semi.org/PUBS/SEMIPUBS.NSF/6cb6b23858b3cded882565f6000badda/e4f362b2ff872d9f882568410061dddf?OpenDocument
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従って、半導体製造装置などの基板処理装置の分野において、基板処理装置のメンテナンスのためのＧＵＩ画面の利便性を高めようとする課題自体が従来にない新規課題であり、本発明はその新規課題を解決しようとするものである。より具体的には、複数の処理室の相互の関係を考慮しながらメンテナンスを行うときに、現在のＳＥＭＩにおいて規格化された程度のＧＵＩを使った画面の表示では利便性の低い、という課題がある。
【０００６】
よって、本発明の目的は、複数の処理室の相互の関係を考慮しながらメンテナンスを行うときに非常に利便性の高いメンテナンス画面を表示パネルに表示することが可能な基板処理装置、そのような基板処理装置を制御するための表示パネルの表示方法、そのような表示をコンピュータに実行させるプログラム及びそのようなプログラムが記録された記録媒体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（１）かかる課題を解決するために、本発明の基板処理装置は、少なくとも１つの処理室を有する基板処理装置において、表示パネルと、前記表示パネルに少なくとも前記基板処理装置のメンテナンスに必要な画面及び所定の選択ボタンを表示するための制御を行う表示制御部と、前記表示パネルに表示された選択ボタンをクリックするための選択部とを具備し、前記表示制御部は、少なくとも前記基板処理装置のメンテナンスに必要な複数の画面から１つの画面を選択する選択ボタンを、当該選択ボタンがクリックされた時間的な順番に応じた順番で並べて前記表示パネルの第１の表示領域に表示し、前記選択ボタンにより選択された画面を前記表示パネルの第２の表示領域に表示することを特徴とする。
本発明では、例えば各処理室のメンテナンスに必要な処理室毎の画面を選択する選択ボタンを、当該選択ボタンがクリックされた時間的な順番に応じた順番で並べて表示パネルに表示していので、複数の処理室の相互の関係を考慮しながらメンテナンスを行うときに非常に利便性の高いメンテナンス画面を表示パネルに表示することができる。
【０００８】
「選択ボタンがクリックされた時間的な順番に応じた順番で並べて表示パネルに表示」とは、例えば第２の表示領域に第１の処理室のメンテナンス画面を表示して第１の処理室のメンテンスを行い、次に第２の処理室のメンテナンス画面を表示して第２の処理室のメンテンスを行い、次に第３の処理室のメンテナンス画面を表示して第３の処理室のメンテンスを行った場合には、第１の表示領域には「第３の処理室のメンテナンス画面を選択するための選択ボタン」、「第２の処理室のメンテナンス画面を選択するための選択ボタン」、「第１の処理室のメンテナンス画面を選択するための選択ボタン」の順番で選択ボタンが表示される。
【０００９】
装置のメンテナンスを行う場合に、ランダムに様々な処理室等をメンテンスするといことはまずない。むしろ、各処理室等の相互の関係を考慮して処理室等間を前後しながら各処理室等をメンテナンスすることが圧倒的に多い。従って、例えば各処理室のメンテナンスに必要な処理室毎の画面を選択する選択ボタンを、当該選択ボタンがクリックされた時間的な順番に応じた順番で並べて表示パネルに表示することで、操作者にはより直感的にこれらの選択ボタンを使って画面の切り替えを行うことが可能となる。
【００１０】
前記表示制御部は、前記第２の表示領域の一辺に沿って前記第１の表示領域を表示し、前記第１の表示領域に表示される前記各選択ボタンが一定の長さとなるように表示し、前記複数の選択ボタンの全体の長さが前記第１の表示領域の長さを超えた場合には、前記超えた選択ボタンを履歴として残しておき、表示可能になったときに再び前記第２の表示領域に残りの前記選択ボタンを表示するようにしてもよい。
【００１１】
半導体製装置のメンテナンスにおいては、操作者がメンテンスをする処理室の数は原則的にはある程度限られる。従って、各選択ボタンが一定の長さとしても複数の選択ボタンの全体の長さが第１の表示領域の長さを超えることは非常に少ない。よって、本発明では、各選択ボタンが一定の長さとして操作の直感性を高めている。そして、複数の選択ボタンの全体の長さが第１の表示領域の長さを超えた場合には、第１の表示領域に表示された画面よりも１つ前に選択された画面に沿った第２の表示領域に残りの選択ボタンを表示することで、多数の選択ボタンを一つの画面から見つけ出すような手間を排除している。つまり、最初の画面で所望の選択ボタンがないときには、次の画面を表示させて所望の選択ボタンを見つけ出せばいいので、一つの画面に表示された多数の選択ボタンから所望の選択ボタンを見つけ出す場合に比べて、簡単に所望の選択ボタンを見つけ出すことができる。
【００１２】
前記表示制御部は、前記第２の表示領域に表示された画面を閉じるための選択ボタンを前記表示パネルの第３の表示領域に表示し、前記第２の表示領域に表示された画面を閉じるための選択ボタンが前記選択部によりクリックされた場合に、前記第２の表示領域の画面を閉じると共に前記第１の表示領域に表示された前記画面に対応する選択ボタンを閉じるようにしてもよい。
【００１３】
第２の表示領域において、その画面が閉じられたときにはもうほぼメンテンスに用いることはないみなしてよく、従ってこの画面に対応する選択ボタンが使われることもないとみなして、第１の表示領域に表示されたこの画面に対応する選択ボタンを閉じることで、第１の表示領域から無用な選択ボタンが増加することを防止している。
【００１４】
前記表示制御部は、前記第２の表示領域に表示される処理室のメンテナンスに必要な画面として、当該メンテナンスの内容に応じた複数の画面のうち前記選択部により選択された一つの画面を、前記第２の表示領域に表示するようにしてもよい。
【００１５】
「メンテナンスの内容に応じた複数の画面」とは、一つの処理室に対して、その処理室おける駆動系をメインとした画面、温度をメインとして画面、圧力をメインとした画面、ガスをメインとした画面などをいう。このように一つの処理室に対してメンテナンスの内容に応じた画面を表示することによってメンテナンスがより容易になる。
【００１６】
前記表示制御部は、前記第２の表示領域に前記各処理室の状態を表示する前記処理室毎の画面、前記基板処理装置の全体の状態を表示する画面を表示可能であり、前記第１の表示領域に前記画面に対応する選択ボタンが表示可能であるようにしてもよい。また、前記表示パネル及び前記選択部は、前記表示パネル上に前記選択部を設けたタッチパネルにより構成されるようにしてもよい。これにより操作性を高めることができる。
（２）本発明に係る方法は、少なくとも１つの処理室を有する基板処理装置を制御するための表示パネルの表示方法において、少なくとも前記基板処理装置のメンテナンスに必要な複数の画面から１つの画面を選択する選択ボタンを、当該選択ボタンがクリックされた時間的な順番に応じた順番で並べて前記表示パネルの第１の表示領域に表示し、前記選択ボタンにより選択された画面を前記表示パネルの第２の表示領域に表示することを特徴とする。
【００１７】
ここで、前記第２の表示領域の一辺に沿って前記第１の表示領域を表示し、前記第１の表示領域に表示される前記各選択ボタンが一定の長さとなるように表示し、前記複数の選択ボタンの全体の長さが前記第１の表示領域の長さを超えた場合には、前記超えた選択ボタンを履歴として残しておき、表示可能になったときに再び前記第２の表示領域に残りの前記選択ボタンを表示するようにしてもよい。
【００１８】
前記第２の表示領域に表示された画面を閉じるための選択ボタンを前記表示パネルの第３の表示領域に表示し、前記第２の表示領域に表示された画面を閉じるための選択ボタンが選択された場合に、前記第２の表示領域の画面を閉じると共に前記第１の表示領域に表示された前記画面に対応する選択ボタンを閉じるようにしてもよい。
【００１９】
前記第２の表示領域に表示される処理室のメンテナンスに必要な画面として、当該メンテナンスの内容に応じた複数の画面のうち選択された一つの画面を、前記第２の表示領域に表示するようにしてもよい。
（３）本発明に係る記録媒体は、少なくとも１つの処理室を有する基板処理装置を制御するための表示パネルの表示をコンピュータに実行させるプログラムが記録された記録媒体において、前記プログラムは、少なくとも前記基板処理装置のメンテナンスに必要な複数の画面から１つの画面を選択する選択ボタンを、当該選択ボタンがクリックされた時間的な順番に応じた順番で並べて前記表示パネルの第１の表示領域に表示させ、前記選択ボタンにより選択された画面を前記表示パネルの第２の表示領域に表示させることを特徴とする。
【００２０】
ここで、前記プログラムは、前記第２の表示領域の一辺に沿って前記第１の表示領域を表示させ、前記第１の表示領域に表示される前記各選択ボタンが一定の長さとなるように表示させ、前記複数の選択ボタンの全体の長さが前記第１の表示領域の長さを超えた場合には、前記超えた選択ボタンを履歴として残しておき、表示可能になったときに再び前記第２の表示領域に残りの前記選択ボタンを表示させるようにしてもよい。
【００２１】
前記プログラムは、前記第２の表示領域に表示された画面を閉じるための選択ボタンを前記表示パネルの第３の表示領域に表示させ、前記第２の表示領域に表示された画面を閉じるための選択ボタンが選択された場合に、前記第２の表示領域の画面を閉じさせると共に前記第１の表示領域に表示された前記画面に対応する選択ボタンを閉じさせるようにしてもよい。
【００２２】
前記プログラムは、前記第２の表示領域に表示される処理室のメンテナンスに必要な画面として、当該メンテナンスの内容に応じた複数の画面のうち選択された一つの画面を、前記第２の表示領域に表示させるようにしてもよい。
（４）本発明に係るプログラムは、少なくとも１つの処理室を有する基板処理装置を制御するための表示パネルの表示をコンピュータに実行させるプログラムにおいて、少なくとも前記基板処理装置のメンテナンスに必要な複数の画面から１つの画面を選択する選択ボタンを、当該選択ボタンがクリックされた時間的な順番に応じた順番で並べて前記表示パネルの第１の表示領域に表示させ、前記選択ボタンにより選択された画面を前記表示パネルの第２の表示領域に表示させることを特徴とする。
【００２３】
ここで、前記第２の表示領域の一辺に沿って前記第１の表示領域を表示させ、前記第１の表示領域に表示される前記各選択ボタンが一定の長さとなるように表示させ、前記複数の選択ボタンの全体の長さが前記第１の表示領域の長さを超えた場合には、前記超えた選択ボタンを履歴として残しておき、表示可能になったときに再び前記第２の表示領域に残りの前記選択ボタンを表示させるようにしてもよい。
【００２４】
前記第２の表示領域に表示された画面を閉じるための選択ボタンを前記表示パネルの第３の表示領域に表示させ、前記第２の表示領域に表示された画面を閉じるための選択ボタンが選択された場合に、前記第２の表示領域の画面を閉じさせると共に前記第１の表示領域に表示された前記画面に対応する選択ボタンを閉じさせるようにしてもよい。
【００２５】
前記第２の表示領域に表示される処理室のメンテナンスに必要な画面として、当該メンテナンスの内容に応じた複数の画面のうち選択された一つの画面を、前記第２の表示領域に表示させるようにしてもよい。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、複数の処理室の相互の関係を考慮しながらメンテナンスを行うときに非常に利便性の高いメンテナンス画面を表示パネルに表示することが可能な基板処理装置、そのような基板処理装置を制御するための表示パネルの表示方法、そのような表示をコンピュータに実行させるプログラム及びそのようなプログラムが記録された記録媒体を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
【００２８】
（基板処理装置の構成例）
先ず、本発明の実施形態にかかる基板処理装置について図面を参照しながら説明する。図１は本発明の実施形態にかかる基板処理装置の概略構成を示す図である。この基板処理装置１００は、被処理基板例えば半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」ともいう。）Ｗに対して成膜処理、エッチング処理等の各種の処理を行う複数の処理ユニット１１０と、この処理ユニット１１０に対してウエハＷを搬出入させる搬送ユニット１２０とを備える。
【００２９】
先ず、搬送ユニット１２０の構成例について説明する。搬送ユニット１２０は図１に示すように基板収納容器例えばカセット容器１３２（１３２Ａ〜１３２Ｃ）と処理
ユニット１１０との間でウエハを搬出入する搬送室１３０を有している。搬送室１３０は、断面略多角形（例えば断面矩形）の箱体状に形成されている。搬送室１３０の断面矩形の長辺を構成する一側面には、複数のカセット台１３１（１３１Ａ〜１３１Ｃ）が並設されている。これらカセット台１３１Ａ〜１３１Ｃはそれぞれ、基板収納容器例えばカセット容器１３２Ａ〜１３２Ｃを載置可能に構成されている。
【００３０】
各カセット容器１３２（１３２Ａ〜１３２Ｃ）には、例えば最大２５枚のウエハＷを等ピッチで多段に載置して収容できるようになっており、内部は例えばＮ２ガス雰囲気で満たされた密閉構造となっている。そして、搬送室１３０はその内部へゲートバルブ１３３（１３３Ａ〜１３３Ｃ）を介してウエハＷを搬出入可能に構成されている。なお、カセット台１３１とカセット容器１３２の数は、図１に示す場合に限られるものではない。
【００３１】
上記搬送室１３０の端部、すなわち断面矩形の短辺を構成する一測面には、内部に回転載置台１３８とウエハＷの周縁部を光学的に検出する光学センサ１３９とを備えた位置決め装置としてのオリエンタ（プリアライメントステージ）１３６が設けられている。このオリエンタ１３６では、例えばウエハＷのオリエンテーションフラットやノッチ等を検出して位置合せを行う。
【００３２】
上記搬送室１３０内には、カセット容器１３２Ａ〜１３２Ｃ、ロードロック室１６０Ｍ、１６０Ｎ、オリエンタ１３６の各室間でウエハＷを搬出入させるための搬送ユニット側搬送装置（大気搬送装置）１７０が設けられている。搬送ユニット側搬送装置１７０は、旋回動作機構によって旋回動作可能に支持台１７２に取付けられた搬送アームを備え、スライド動作機構によって搬送室１３０の長手方向に沿ってスライド動作可能に構成されている。搬送ユニット側搬送装置１７０の搬送アームは、例えば図１に示すように一対の多関節アームを備えるダブルアーム機構により構成されている。この図１に示す搬送アームは、伸縮動作可能な多関節アームよりなる第１アーム１７５Ａ、第２アーム１７５Ｂを上下に並設して構成される。
【００３３】
搬送ユニット側搬送装置１７０のスライド動作機構は、例えばリニアモータを利用して次のように構成される。具体的には搬送室１３０内に長手方向に沿って案内レール１７６が設けられ、搬送アームが取付けられた基台１７２はこの案内レール１７６に沿ってスライド動作可能に設けられている。基台１７２と案内レール１７６にはそれぞれ、リニアモータの可動子と固定子とが設けられており、案内レール１７６の端部にはこのリニアモータを駆動するためのリニアモータ駆動機構１７８が設けられている。リニアモータ駆動機構１７８には、制御部２００が接続されている。これにより、制御部２００からの制御信号に基づいてリニアモータ駆動機構１７８が駆動し、搬送ユニット側搬送装置１７０が基台１７２とともに案内レール１７６に沿って矢印方向へ移動するようになっている。
【００３４】
なお、搬送ユニット側搬送装置１７０のスライド動作機構は、処理ユニット側搬送装置１８０と同様に、案内レール１７６に沿って設けたボールスクリューに基台１７
２を螺合させて、ボールスクリューをスライド用モータで駆動することにより、基台１７２をスライド動作可能に構成してもよい。
【００３５】
搬送ユニット側搬送装置１７０の搬送アームである第１、第２アーム１７５Ａ、１７５Ｂはそれぞれ先端にピック１７４Ａ、１７４Ｂを備え、一度に２枚のウエハを取り扱うことができるようになっている。これにより、例えばカセット容器１３２、オリエンタ１３６、各ロードロック室１６０Ｍ、１６０Ｎに対してウエハを搬出入する際に、ウエハを交換するように搬出入することができる。なお、搬送ユニット側搬送装置１７０の搬送アームのアーム数は上記のものに限られず、例えば１つのみのアームを有するシングルアーム機構であってもよい。
【００３６】
また、搬送ユニット側搬送装置１７０は、搬送アームを旋回動作、伸縮動作させるための図示しない旋回動作用モータ、伸縮動作用モータを備える。搬送ユニット側搬送装置１７０を駆動するモータとしては、上記の他、搬送アームを昇降動作させる昇降動作用モータを設けるようにしてもよい。図示はしないが、各モータは上記制御部２００に接続され、制御部２００からの制御信号に基づいて搬送ユニット側搬送装置１７０の搬送アームの各動作制御を行うことができるようになっている。
【００３７】
次に、処理ユニット１１０の構成例について説明する。処理ユニット１１０は例えばクラスタツール型に構成される。処理ユニット１１０は図１に示すように一方向に長く形成された多角形状（例えば四角形状、五角形状、六角形状、八角形状など）の共通搬送室１５０の周囲に、ウエハＷに例えば成膜処理（例えばプラズマＣＶＤ処理）やエッチング処理（例えばプラズマエッチング処理）などの所定の処理を施す複数の処理室１４０（１４０Ａ〜１４０Ｆ）及びロードロック室１６０Ｍ、１６０Ｎが共通に接続されて構成される。
【００３８】
具体的には共通搬送室１５０はその対向する一対の一辺のみが、他の辺よりも長くなされて、多角形状（例えば扁平な六角形状）になっている。そして、この扁平六角形状の共通搬送室１５０の先端側の短い２辺にそれぞれ処理室１４０Ｃ、１４０Ｄが１つずつ接続され、基端側の短い２つの辺にそれぞれロードロック室１６０Ｍ、１６０Ｎが１つずつ接続される。また、共通搬送室１５０の一方の長い辺に２つの処理室１４０Ａ、１４０Ｂが並べて接続され、他方の長い辺に処理室１４０Ｅ、１４０Ｆが並べて接続される。
【００３９】
各処理室１４０Ａ〜１４０Ｆは、ウエハＷに対して例えば同種の処理または互いに異なる異種の処理を施すようになっている。各処理室１４０（１４０Ａ〜１４０Ｆ）内には、ウエハＷを載置するための載置台１４２（１４２Ａ〜１４２Ｅ）がそれぞれ設けられている。なお、処理室１４０の数は、図１に示す場合に限られるものではない。
【００４０】
上記共通搬送室１５０は、上述したような各処理室１４０Ａ〜１４０Ｆの間、又は各処理室１４０Ａ〜１４０Ｆと各第１、第２ロードロック室１６０Ｍ、１６０Ｎとの間でウエハＷを搬出入する機能を有する。共通搬送室１５０の周りには、上記各処理室１４０（１４０Ａ〜１４０Ｆ）がそれぞれゲートバルブ１４４（１４４Ａ〜１４４Ｅ）を介して接続されているとともに、第１、第２ロードロック室１６０Ｍ、１６０Ｎの先端がそれぞれゲートバルブ（真空側ゲートバルブ）１５４Ｍ、１５４Ｎを介して接続されている。第１、第２ロードロック室１６０Ｍ、１６０Ｎの基端は、それぞれゲートバルブ（大気側ゲートバルブ）１６２Ｍ、１６２Ｎを介して搬送室１３０における断面略矩形の長辺を構成する他側面に接続されている。
【００４１】
第１、第２ロードロック室１６０Ｍ、１６０Ｎは、ウエハＷを一時的に保持して圧力調整後に、次段へパスさせる機能を有している。各第１、第２ロードロック室１６０Ｍ、１６０Ｎの内部にはそれぞれ、ウエハＷを載置可能な受渡台１６４Ｍ、１６４Ｎが設けられている。
【００４２】
第１、第２ロードロック室１６０Ｍ、１６０Ｎは、残留物などのパーティクルのパージ及び真空排気可能に構成されている。具体的には第１、第２ロードロック室１６０Ｍ、１６０Ｎはそれぞれ、例えば排気バルブ（排気制御バルブ）を有する排気管にドライポンプなどの真空ポンプを接続した排気系及びパージバルブ（パージガス制御バルブ）を有するガス導入管にガス導入源を接続したガス導入系が設けられている。このようなパージバルブ、排気バルブなどを制御することによって、パージガス導入による真空引きと大気開放を繰返すクリーニング処理や排気処理が行われる。
【００４３】
なお、上記共通搬送室１５０及び各処理室１４０Ａ〜１４０Ｆも、残留物などのパーティクルのパージ及び真空排気可能に構成されている。例えば上記共通搬送室１５０には上述したようなパージガスを導入するガス導入系及び真空引き可能な排気系が配設されており、各処理室１４０Ａ〜１４０Ｆには上述したようなパージガスの他、処理ガスも導入可能なガス導入系及び真空引き可能な排気系が配設されている。
【００４４】
このような処理ユニット１１０では、上述したように共通搬送室１５０と各処理室１４０Ａ〜１４０Ｆとの間及び共通搬送室１５０と上記各ロードロック室１６０Ｍ、１６０Ｎとの間はそれぞれ気密に開閉可能に構成され、クラスタツール化されており、必要に応じて共通搬送室１５０内と連通可能になっている。また、上記第１及び第２の各ロードロック室１６０Ｍ、１６０Ｎと上記搬送室１３０との間も、それぞれ気密に開閉可能に構成されている。
【００４５】
共通搬送室１５０内には、ロードロック室１６０Ｍ、１６０Ｎ、各処理室１４０Ａ〜１４０Ｆの各室間でウエハＷを搬出入させるための処理ユニット側搬送装置（真空搬送装置）１８０が設けられている。処理ユニット側搬送装置１８０は、旋回動作機構によって旋回動作可能に基台１８２に取付けられた搬送アームを備え、スライド動作機構によって共通搬送室１５０の長手方向に沿ってスライド動作可能に構成されている。処理ユニット側搬送装置１８０の搬送アームは、例えば図１に示すようなダブルアーム機構より構成されている。この搬送アームは具体的には伸縮動作可能な多関節アームからなる第１アーム１８５Ａ、第２アーム１８５Ｂを左右に並設して構成される。
【００４６】
このように構成された基板処理装置１００は制御部によって動作の制御が行われるようになっている。図２はこの制御部２００の構成を示すブロック図である。
【００４７】
通常、制御部はコンピュータによって構成されるので、ＣＰＵ、必要なメモリ、インターフェース部、表示部、入力部等により構成されるのであるが、図２では制御部２００の構成を分かりやすくするために、所定のプログラムを実行するコンピュータを前提として制御部２００を機能毎に区画する。
【００４８】
ここでは、図２に示すように、制御部２００は、図１の各部（処理ユニット１１０を構成する各部、搬送ユニット１２０を構成する各部）の動作を制御するプロセスコントロール部２１０と、タッチパネル３００との間でデータのやり取りを行う入出力制御部２２０とを備える。タッチパネル３００は、制御部２００と同様に基板処理装置１００の構成に含まれるものである。タッチパネル３００は、表示パネル３０１と、表示パネル３０１の表面に設けられた選択部３０２とを備える。選択部３０２は、表示パネル３０２に表示された後述する選択ボタンをクリックするためのものである。なお、通常のコンピュータと同様にタッチパネル３００の代わりに、液晶表示パネルなどの表示パネルとキーボードやマウス、トラックボールなどにより構成しても当然良いが、タッチパネル３００を用いることでクリーンルーム内のように作業性が非常に悪い環境においても入力操作を支障なくして行うことができ、また特別な操作台なども不要になる。
【００４９】
入出力制御部２２０は、タッチパネル３００上に画面を表示するための制御を行う表示制御部２２１と、タッチパネル３００から入力されたデータを制御部２００内に取り込むための入力制御部２２２とを備える。
【００５０】
図３に示すように、表示制御部２２１はタッチパネル３００上に以下の表示領域を有する画面を表示させる。
（１）ほぼ中央に横長の長方形のメイン画面を表示する第１の表示領域３１１（インフォメーション・パネル）
（２）第１の表示領域の下方の辺に沿って帯状に設けられた第２の表示領域３１２（サブインフォメーション・パネル）
（３）第１の表示領域の右辺に沿って帯状に設けられた第３の表示領域３１３（コマンド・パネル）
（４）第２の表示領域３１２の下方に沿って帯状に設けられた第４の表示領域３１４（ナビゲーション・パネル）
（５）第１の表示領域の上方の辺に沿って帯状に設けられた第５の表示領域３１５（タイトル・パネル）
（６）画面の右上角部に横長の長方形状に設けられた第６の表示領域３１６（タイトル・パネル）
１．第１の表示領域３１１について
第１の表示領域３１１には、１つまたは複数の情報・グラフィックを機能領域毎に表示するもので、少なくとも以下の画面が選択的に表示される。
（１）基板処理装置の全体の状態を示す画面（図４参照）
装置全体の概略的平面図、モジュール圧力、各処理室などの詳細情報が表示可能とれている。
【００５１】
平面図上で処理室をクリックすると、これ対応する処理室のメンテナンスに必要な画面等に切り替わるようになっている。
（２）各処理室のメンテナンスに必要な画面（図５〜図７参照）
各処理室の正面図、これらの詳細情報が表示可能にされている。
【００５２】
画面上のタブ「モジュール」「ガス」「圧力」「温度」「駆動系」をそれぞれクリックすると、処理室の正面図と共にそれぞれの情報が詳細に表示された画面が表示されるようになっている。
【００５３】
図５はモジュールタブをクリックしたときの画面である。
【００５４】
図６はガスタブをクリックしたときの画面である。
【００５５】
図７は駆動系タブをクリックしたときの画面である。
（３）各処理室の状態を示す画面
（４）アラーム画面
（５）パラメータ管理画面
（６）ログイン画面
（７）ユニット同期画面
２．第２の表示領域３１２について
第２の表示領域３１２には、選択ボタン（以下、タスク・ボタンと呼ぶ。）が８つ配置される。ボタンは常に有効状態であり、画面名が表示されたボタンを選択すると、選択した画面が第１の表示領域３１１上に表示される。それ以外のボタンはグレーアウト状態ではないが、押すことはできない。第４の表示領域３１４、ブックマーク、その他様々な手段によりオープンされた画面は、全てタスク・ボタンに表示される。図８に示すように、第２の表示領域３１２では、タスク・ボタンは、各タスク・ボタンがクリックされた時間的な順番に応じた順番で左側から並べて表示される。つまり、タスク・ボタンの左側が常に最新の画面であり、第１の表示領域３１１に表示されている画面が配置される。その隣に次に時間的に近いタスク・ボタンが第２の表示領域３１２に表示され、以下の時間的な順番に応じてタスク・ボタンが第２の表示領域３１２に表示される。図９はこのような動作を説明するためのフローチャートである。
【００５６】
以下では、ユーザの運用に沿った形式でタスクの挙動を説明する。
（１）画面Ａをオープン（図１０（ａ））
第４の表示領域３１４から「画面Ａ」をオープンする。タスクの左側に「画面Ａ」のテキストが表示される。（ステップ９０１、９０２、９０３）
（２）画面Ｂをオープン（図１０（ｂ））
「画面Ａをオープン」の後に、第４の表示領域３１４から「画面Ｂ」をオープンする。タスクの左側に「画面Ｂ」のテキストが表示される。既に開かれていた「画面Ａ」はその右側に移動する。（ステップ９０１、９０２、９０３）
（３）画面Ｂをクローズ（図１０（ｃ））
「画面Ｂをオープン」の後に、第３の表示領域３１３から「画面Ｂ」をクローズする。タスクの左側から「画面Ｂ」が削除され、既に開かれていた「画面Ａ」は一番左側に移動する。（ステップ９０４、９０５、９０６）
（４）画面を８つオープン（図１１（ｄ））
画面を１つも開いていない状態（実際は、１つ目は常にホーム画面）から、８つの画面をオープンする。全てのタスク・ボタンが埋まった状態になる。
（５）画面を９つ以上オープン（図１１（ｅ））
「画面を８つオープン」の状態でさらに画面をオープンする。すると、一番初めに開かれた「画面Ａ」は、コマンド・ボタンに表示しきれないので、ボタン上からは消去される。しかし、画面の表示履歴には残っている。（ステップ９０７、９０８）
（６）画面のオープン数を８つに戻す（図１１（ｆ））
「画面を９つ以上オープン」の状態で「画面Ｉ」をクローズする。すると、コマンド・ボタンに表示されていなかった画面履歴の９番目の画面（ここでは「画面Ａ」）が、コマンド・ボタンの一番右側に表示される。（ステップ９０９、９１０）
（７）タスク・ボタンの選択（図１２（ｇ）、図１２（ｈ））
画面を１つも開いていない状態（実際は、1つ目は常にホーム画面）から、８つの画面をオープンする。全てのタスク・ボタンが埋まった状態になる（図１２（ｇ））。（「画面を８つオープン」と同状態）
この状態で、タスク・ボタンの「画面Ｆ」を選択すると、以下のように「画面Ｆ」が表示され、タスク・ボタンの一番左側に移動する（図１２（ｈ））。（ステップ９１１、９０２、９０３）
（８）その他
ステップ９０４で画面をクローズして残りの画面がない場合には（ステップ９１２）、装置がオフ等されないかぎり（ステップ９１３）、ステップ９０１に戻る。
３．第３の表示領域３１３について
第３の表示領域３１３は、現在表示している第１の表示領域３１１に対して使用するコマンド・ボタンを配置する領域である。コマンドとしては、例えば「閉じる」、「モジュール変更」、［初期化］、「大気開放」などがある。
【００５７】
つまり、プロセスコントロール部２１０に使用しているＯＳ（Operating System）のコマンドを画面上より実行する。通常ＯＳコマンドの実行は、ＯＳのコンソール画面を起動し、キーボードを使用する必要がある。しかし本画面を使用することによりＯＳのコンソール画面を起動する必要なく、ＯＳコマンドの実行を可能にする。
【００５８】
頻繁に使用されると思われるＯＳコマンドはテキストファイルに登録し、登録されたＯＳコマンドは画面から選択し実行する。またシステムから提供するソフトウェアキーボードからコマンドを直接入力し実行することも可能にする。実行結果は画面上に表示する。また実行結果をログとしてテキストファイルに保存する。そして、ユーザの操作により画面が切り替わると、その第１の表示領域３１１の画面に対応したコマンド・ボタン群を表示する。
【００５９】
１番目上部のコマンド・ボタンは、第１の表示領域３１１の画面を「閉じる」機能が必要な場合、必ずこの位置に「閉じる」ボタンを配置する。
４．第４の表示領域３１４
システムが持つ機能領域から第１の表示領域３１１に表示する画面を選択するパネルである。第４の表示領域３１４内にある下記の選択ボタン（ナビゲーション・ボタン）を押すとその機能領域の画面を第１の表示領域３１１に表示する。ただし、例外として右側に配置された「Helpボタン」を押した場合、第１の表示領域３１１上に「画面操作ヘルプ・ダイアログ・ボックス」を表示する。
（１）Jobs(ジョブ)
処理開始関連の操作、材料処理の進捗を表示、処理中の材料状態を表示する。
（２）Status（ステータス）
装置通常稼動状態での参照・操作を行う。装置全体、または装置を構成するデバイス等のステータスを表示する。
（３）Recipes（レシピ）
レシピに関連する操作、レシピ生成、レシピ編集、レシピ管理（保存、コピー等）を行う。
（４）Logs（ログ）
ログの表示やログの管理を行う。
（５）Setup（セットアップ）
装置運用の準備・設定・管理、装置運用に関連する項目、ユーザアカウント管理、ハードウェアコンフィグレーション、パラメータの設定、ホスト通信コントロールに関する設定を行う。
（６）Mainte.（メンテナンス）
装置保守関連の操作、メンテナンス操作、マニュアル移動操作、マクロ操作、エンジニアリングレベルの操作を行う。
（７）System（システム） 
装置運用にあまり使用されず、かつ影響のない操作を行う。システム稼動に関連する項目、M/Cステータス、装置立ち下げ、バージョン情報の表示を行う。
（８）(予備)
何も記載のないコマンド・ボタンであり、予備として設けられている。
（９）Help（ヘルプ）
インターフェースに関するヘルプ、オペレーションに関するヘルプ、装置マニュアルを表示する。
５．第５の表示領域３１５
第５の表示領域３１５は、画面最上部に位置し、全ての画面で共通に使用できる機能を持つ領域である。第５の表示領域３１５は、例えばユーザに対して情報の提示を行う目的であるダイアログ・ボックスが表示中であったとしても、常時ユーザが操作できるようにしなくてはならない。例えば、以下の画面を表示する。
（１）日付／時刻表示エリア
「日付／時刻」を表示する。
（２）  画面名称表示エリア
現在表示している画面名を表示する。
（３）ホスト通信状態表示エリア
現在のホスト通信ステータスを表示する。
（４）ログイン／ログアウト・ボタン
ログイン／ログアウト・ボタンを表示する。
（５）ロゴ表示エリア
本装置のメーカーのロゴを表示表示し、メーカー名をユーザに識別させる。
（６）アラーム・メッセージ・ボタン
最新の警告／アラームを表示する。ただし、複数の警告／アラームが発生している場合、最新のものよりも、重要度が高いものを優先して表示する。つまり、重要度が高いアラームが発生している状態の時に、重要度が低いアラームが新たに発生した場合、表示は低いアラームに切り替わらず、重要度が高いアラームが表示し続けていることになる。重要度が同じであるアラームが発生した場合、最新のものを表示する。
（７）ホーム画面遷移ボタン
本ボタンを押すことにより、ユーザ毎に登録されたホーム画面を表示する。
６．第６の表示領域３１６
装置全体状態表示を表示する。例えば図１に示したような平面図として装置全体を表示する。第１の表示領域３１１において特定の処理室のメンテナンス画面が選択されているときには、その選択された処理室を強調して表示する。これにより、ユーザは全体中からメンテナンスしている処理室を特定することができる。
【００６０】
以上説明したように、この実施形態によれば、第２の表示領域３１２でタスク・ボタンが各タスク・ボタンがクリックされた時間的な順番に応じた順番で左側から並べて表示されるので、メンテナンスを行うときに非常に利便性の高いメンテナンス画面をタッチパネル３００に表示することができる。
なお、本発明は、上記の実施形態に限定されるものではない。
例えば、上記の基板処理装置では、処理室が複数であることを前提にして説明したが、処理室が１つの基板処理装置に本発明を適用でき、また複数の処理室が搭載可能であっても１つの処理室のみを搭載した基板処理装置にも当然本発明を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明の一実施形態に係る基板処理装置の平面図である。
【図２】図１に示した基板処理装置の制御部の構成を示すブロック図である。
【図３】図１に示した基板処理装置のタッチパネルの画面における各表示領域を示す図である。
【図４】基板処理装置の全体の状態を示す画面である。
【図５】各処理室のメンテナンスに必要な画面（その１）である。
【図６】各処理室のメンテナンスに必要な画面（その２）である。
【図７】各処理室のメンテナンスに必要な画面（その３）である。
【図８】第２の表示領域におけるタスク・ボタンの配置を概念的に示した図である。
【図９】第２の表示領域におけるタスク・ボタンを配置するための動作を説明するためのフローチャートである。
【図１０】第２の表示領域におけるタスク・ボタンの配置動作を説明するための図である（その１）。
【図１１】第２の表示領域におけるタスク・ボタンの配置動作を説明するための図である（その２）。
【図１２】第２の表示領域におけるタスク・ボタンの配置動作を説明するための図である（その３）。
【符号の説明】
【００６２】
１００  基板処理装置
２００  制御部
２１０  プロセルコントロール部
２２０  入出力制御部
２２１  表示制御部
２２２  入力制御部
３００  タッチパネル
３１１  第１の表示領域
３１２  第２の表示領域
３１３  第３の表示領域
【図１】
2008004702.tif 000003
【図２】
2008004702.tif 000004
【図３】
2008004702.tif 000005
【図４】
2008004702.tif 000006
【図５】
2008004702.tif 000007
【図６】
2008004702.tif 000008
【図７】
2008004702.tif 000009
【図８】
2008004702.tif 000010
【図９】
2008004702.tif 000011
【図１０】
2008004702.tif 000012
【図１１】
2008004702.tif 000013
【図１２】
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