(57)【要約】【課題】合流処理しての搬出を、搬送による板状体の損傷や、搬送姿勢や搬送停止位置の乱れを減少して行え、高速搬送を容易に実現した板状体移載設備を提供する。【解決手段】複数並列した搬送装置１０Ａ，１０Ｂの端部外方間に、各搬送装置からの板状体５，６を受け入れて合流処理したのち搬出する合流処理装置２０を配設した。合流処理装置は、搬送装置に対向したそれぞれの縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂと、縦送りコンベア部間に位置した仮置き部３１と、縦送りコンベア部と仮置き部とに亘ってそれぞれ設けた横送り手段４１Ａ，４１Ｂからなる。横送り手段にはそれぞれ、昇降自在でかつ縦送りコンベア部と仮置き部とに亘って移動自在な板状体支持部７０Ａ，７０Ｂを設け、板状体支持部は昇降によって、縦送りコンベア部の搬送面２１ａ，２１ｂや仮置き部の仮置き支持面３１ａに対して出退動自在に構成した。少なくとも１つの縦送りコンベア部に、単数枚搬送装置１３０に対して板状体を搬出可能な板状体渡し域９０を形成した。【選択図】図１
2008094524.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状体を搬送する搬送装置が複数並列され、これら搬送装置の端部外方間に、各搬送装置で搬送されてきた板状体を受け入れて合流処理したのち搬出する合流処理装置が配設され、この合流処理装置は、各搬送装置に対向されたそれぞれの縦送りコンベア部と、隣接した縦送りコンベア部間に位置された仮置き部と、縦送りコンベア部と仮置き部とに亘ってそれぞれ設けられた横送り手段とからなり、各横送り手段にはそれぞれ、昇降自在でかつ縦送りコンベア部と仮置き部とに亘って移動自在な板状体支持部が設けられるとともに、板状体支持部は昇降によって、縦送りコンベア部の搬送面や仮置き部の仮置き支持面に対して出退動自在に構成され、少なくとも１つの縦送りコンベア部には、搬送装置群とは反対側の単数枚搬送装置に対して板状体を搬出可能な板状体渡し域が形成されていることを特徴とする板状体移載設備。
【請求項２】
板状体渡し域には、板状体を板状体支持部の移動方向で位置決めするセンタリング装置が設けられていることを特徴とする請求項１記載の板状体移載設備。
【請求項３】
各搬送装置は、複数列の板状体を各列毎に搬送可能に構成されていることを特徴とする請求項１または２記載の板状体移載設備。
【請求項４】
合流処理装置は、複数枚の板状体を同時に横送り可能に構成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の板状体移載設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、たとえば複数の搬送装置で搬送されてきたガラス基板（プラズマディスプレイパネル）などの板状体を受け入れて合流処理したのち搬出する板状体移載設備に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のものとしては、次のような構成が提供されている。すなわち、複数台の基板枚葉送り出し装置とプロセス装置との間に、基板枚葉送り出し装置と同数の基板直交搬送コンベアと、これら基板直交搬送コンベア間を接続する基板待機コンベアと、プロセス装置に基板を供給するプロセス側基板搬送コンベアとが配置されている。そして基板直交搬送コンベアは、ローラ形式の主基板搬送コンベアと、主基板搬送コンベアの搬送ローラの隙間から主基板搬送コンベアの搬送面に対して垂直に浮上、沈下する搬送面をもつローラ形式の副基板搬送コンベアと、副基板搬送コンベアを浮上、沈下させる浮上機構を備えている（たとえば、特許文献１参照。）。
【０００３】
この従来構成によると、次のように動作される。すなわち、プロセス装置に対向している基板枚葉送り出し装置から搬出された基板は、基板直交搬送コンベアとプロセス側基板搬送コンベアとを介して直線状に搬送される。また、対向していない基板枚葉送り出し装置から搬出された基板は、基板直交搬送コンベアの主基板搬送コンベア上を搬送され、次いで浮上させた副基板搬送コンベアにより持ち上げられたのち、この副基板搬送コンベアから基板待機コンベアへと直交状に搬送されて、この基板待機コンベア上で待機され、そして基板待機コンベアから、浮上させた副基板搬送コンベアへと搬送されたのち、副基板搬送コンベアの沈下により主基板搬送コンベア上に渡され、その後に主基板搬送コンベアからプロセス側基板搬送コンベアへと直交状に搬送される。
【特許文献１】特開２００４−２８４７７２号公報（第１０−１２頁、図１１−図１３）
【特許文献２】特開２００５−２１２９４３号公報
【特許文献３】特開２００６−１０３８６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし上記した従来構成によると、対向していない基板枚葉送り出し装置からプロセス装置への基板の搬送が、主基板搬送コンベア、副基板搬送コンベア、基板待機コンベア、副基板搬送コンベア、主基板搬送コンベア、プロセス側基板搬送コンベアへと、全てローラ形式のコンベア群により行われることから、基板に対するローラ群の摩擦回転や、送り開始時や送り停止時の摺接動などによって、ローラ群が接触する基板の面を損傷する恐れがあり、さらに搬送姿勢や搬送停止位置の乱れにより、プロセス側基板搬送コンベアでは不規則な姿勢で搬送されることになる。これらのことは、高速搬送のときに顕著に現れる。
【０００５】
そこで本発明の請求項１記載の発明は、合流処理しての搬出を、搬送による板状体の損傷や、搬送姿勢や搬送停止位置の乱れを減少して行えるとともに、高速搬送を容易に実現し得る板状体移載設備を提供することを目的としたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前述した目的を達成するために、本発明の請求項１記載の板状体移載設備は、板状体を搬送する搬送装置が複数並列され、これら搬送装置の端部外方間に、各搬送装置で搬送されてきた板状体を受け入れて合流処理したのち搬出する合流処理装置が配設され、この合流処理装置は、各搬送装置に対向されたそれぞれの縦送りコンベア部と、隣接した縦送りコンベア部間に位置された仮置き部と、縦送りコンベア部と仮置き部とに亘ってそれぞれ設けられた横送り手段とからなり、各横送り手段にはそれぞれ、昇降自在でかつ縦送りコンベア部と仮置き部とに亘って移動自在な板状体支持部が設けられるとともに、板状体支持部は昇降によって、縦送りコンベア部の搬送面や仮置き部の仮置き支持面に対して出退動自在に構成され、少なくとも１つの縦送りコンベア部には、搬送装置群とは反対側の単数枚搬送装置に対して板状体を搬出可能な板状体渡し域が形成されていることを特徴としたものである。
【０００７】
したがって請求項１の発明によると、各搬送装置で支持している板状体を、合流処理装置で合流処理したのち、単数枚搬送装置に搬出させるに際して、合流処理装置では、各横送り手段を下降させることによって、板状体支持部を、縦送りコンベア部の搬送面や仮置き部の仮置き支持面に対して退入動させている。このような状態において、或る搬送装置から切り出し供給した板状体を、縦送りコンベア部により支持搬送して板状体支持部の上方に位置させる。次いで、横送り手段を上昇させて、板状体支持部を搬送面に対して突出動させることにより、縦送りコンベア部上の板状体を板状体支持部によって持ち上げ支持し得る。この状態で、板状体支持部を仮置き部側に移動させることで、支持している板状体を横方向に搬送し得る。
【０００８】
そして、板状体を仮置き部の上方に位置させたのち、横送り手段を下降して板状体支持部を仮置き支持面に対して退入動させることにより、板状体を、仮置き支持面に支持させて仮置き部に仮置きし得る。次いで、別の横送り手段を上昇させて、板状体支持部を仮置き支持面に対して突出動させることにより、仮置き部上の板状体を板状体支持部によって持ち上げ支持し得る。この状態で、板状体支持部を仮置き部から離れる側に移動させることで、支持している板状体を横方向に搬送し得る。この板状体を板状体渡し域の上方に位置させたのち、横送り手段を下降して板状体支持部を搬送面に対して退入動させることにより、板状体を、縦送りコンベア部により支持し得る。そして、縦送りコンベア部による支持搬送によって、板状体を単数枚搬送装置へと送り出し、この単数枚搬送装置によって搬送し得る。
【０００９】
このような動作の繰り返しによって、或る搬送装置からの板状体を、複数の横送り手段と、単数または複数の仮置き部とを介して、単数枚搬送装置へと効率良く送り出し得る。また特定の搬送装置からの板状体は、横送り手段のみを介して単数枚搬送装置へと効率良く送り出し得る。
【００１０】
また本発明の請求項２記載の板状体移載設備は、上記した請求項１記載の構成において、板状体渡し域には、板状体を板状体支持部の移動方向で位置決めするセンタリング装置が設けられていることを特徴としたものである。
【００１１】
したがって請求項２の発明によると、板状体渡し域の縦送りコンベア部で支持した板状体を、センタリング装置によって板状体支持部の移動方向で位置決めしたのち、単数枚搬送装置へと送り出し得る。
【００１２】
そして本発明の請求項３記載の板状体移載設備は、上記した請求項１または２記載の構成において、各搬送装置は、複数列の板状体を各列毎に搬送可能に構成されていることを特徴としたものである。
【００１３】
したがって請求項３の発明によると、搬送装置から各列毎に搬送されてくる板状体を、順次、複数の横送り手段と、単数または複数の仮置き部とを介して、単数枚搬送装置へと効率良く送り出し得る。
【００１４】
さらに本発明の請求項４記載の板状体移載設備は、上記した請求項１〜３のいずれか１項に記載の構成において、合流処理装置は、複数枚の板状体を同時に横送り可能に構成されていることを特徴としたものである。
【００１５】
したがって請求項４の発明によると、搬送装置から切り出し供給した複数枚の板状体を、縦送りコンベア部により支持搬送して板状体支持部の上方に位置し得、次いで、横送り手段を上昇させて板状体支持部を搬送面に対して突出動させることにより、縦送りコンベア部上の複数枚の板状体を板状体支持部によって持ち上げ支持し得、この状態で板状体支持部を移動させることで、支持している複数枚の板状体を同時に横方向に搬送し得る。
【発明の効果】
【００１６】
上記した本発明の請求項１によると、各搬送装置で支持している板状体を、合流処理装置で合流処理したのち、単数枚搬送装置に搬出させるに際して、合流処理装置では、各横送り手段を下降させることによって、板状体支持部を、縦送りコンベア部の搬送面や仮置き部の仮置き支持面に対して退入動できる。このような状態において、或る搬送装置から切り出し供給した板状体を、縦送りコンベア部により支持搬送して板状体支持部の上方に位置でき、次いで、横送り手段を上昇させて、板状体支持部を搬送面に対して突出動させることにより、縦送りコンベア部上の板状体を板状体支持部によって持ち上げ支持できる。この状態で、板状体支持部を仮置き部側に移動させることで、支持している板状体を横方向に搬送できる。そして、板状体を仮置き部の上方に位置させたのち、横送り手段を下降して板状体支持部を仮置き支持面に対して退入動させることにより、板状体を、仮置き支持面に支持させて仮置き部に仮置きできる。
【００１７】
次いで、別の横送り手段を上昇させて、板状体支持部を仮置き支持面に対して突出動させることにより、仮置き部上の板状体を板状体支持部によって持ち上げ支持でき、この状態で、板状体支持部を仮置き部から離れる側に移動させることで、支持している板状体を横方向に搬送できる。この板状体を板状体渡し域の上方に位置させたのち、横送り手段を下降して板状体支持部を搬送面に対して退入動させることにより、板状体を、縦送りコンベア部により支持でき、そして縦送りコンベア部による支持搬送によって、板状体を単数枚搬送装置へと送り出し、この単数枚搬送装置によって搬送できる。
【００１８】
このような動作の繰り返しによって、或る搬送装置からの板状体を、複数の横送り手段と、単数または複数の仮置き部とを介して、単数枚搬送装置へと効率良く送り出すことができる。また特定の搬送装置からの板状体は、横送り手段のみを介して単数枚搬送装置へと効率良く送り出すことができる。その際に、横送り手段による搬送は、板状体に対する摩擦回転や、送り開始時や送り停止時に摺接動など生じない状態で、すなわち、板状体支持部により板状体を持ち上げ支持した持ち上げ姿勢を乱すことなく安定して行うことができる。これにより、合流処理しての搬出を、搬送による板状体の損傷や、搬送姿勢や搬送停止位置の乱れを減少して行うことができるとともに、高速搬送を容易に実現できることになる。
【００１９】
また上記した本発明の請求項２によると、板状体渡し域の縦送りコンベア部で支持した板状体を、センタリング装置によって板状体支持部の移動方向で位置決めしたのち、単数枚搬送装置へと送り出しでき、以て複数の搬送装置からの板状体を合流処理したのち、それぞれセンタリングした状態で単数枚搬送装置へと効率良く送り出すことができる。
【００２０】
そして上記した本発明の請求項３によると、搬送装置から各列毎に搬送されてくる板状体を、順次、複数の横送り手段と、単数または複数の仮置き部とを介して、単数枚搬送装置へと効率良く送り出すことができる。
【００２１】
さらに上記した本発明の請求項４によると、搬送装置から切り出し供給した複数枚の板状体を、縦送りコンベア部により支持搬送して板状体支持部の上方に位置でき、次いで、横送り手段を上昇させて板状体支持部を搬送面に対して突出動させることにより、縦送りコンベア部上の複数枚の板状体を板状体支持部によって持ち上げ支持でき、この状態で板状体支持部を移動させることで、支持している複数枚の板状体を同時に横方向に搬送でき、以て搬送装置からの板状体を効率良く合流処理できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
［実施の形態１］
以下に、本発明の実施の形態１を図に基づいて説明する。
図１において、板状体移載設備９は、並列された一対（複数）の搬送装置１０Ａ，１０Ｂと、これら搬送装置１０Ａ，１０Ｂで搬送されてきた板状体を受け入れて合流処理したのち、板状体渡し域（後述する。）から単数枚搬送装置１３０に搬出させる合流処理装置２０などにより構成されている。ここで板状体としては、長尺寸法Ｌかつ幅広寸法Ｍで長方形状の大型ガラス基板（板状体の一例）５と、短尺寸法ｌかつ幅狭寸法ｍで長方形状の小型ガラス基板（板状体の一例）６とが、一例として示されている。
【００２３】
図１、図２、図７において、前記搬送装置１０Ａ，１０Ｂは同様な構成であって、それぞれ複数列のガラス基板５，６を、各列毎に搬送可能に構成されている。すなわち、前記搬送装置１０Ａ，１０Ｂはローラコンベア形式であって、コンベアフレーム１１Ａ，１１Ｂと、搬送経路１５Ａ，１５Ｂの方向の複数箇所に、その回転軸心を横方向（コンベア幅方向）として配設された回転軸１２Ａ，１２Ｂと、各回転軸１２Ａ，１２Ｂの長さ方向の複数箇所に外嵌して設けられたローラ体１３Ａ，１３Ｂと、前記回転軸１２Ａ，１２Ｂ群に連動する駆動手段（後述する。）などにより構成されている。ここで回転軸１２Ａ，１２Ｂ群はコンベアフレーム１１Ａ，１１Ｂ側に回転自在に支持され、そしてローラ体１３Ａ，１３Ｂ群によって搬送装置１０Ａ，１０Ｂの搬送面１０ａ，１０ｂが形成されている。
【００２４】
ここで搬送装置１０Ａ，１０Ｂは、それぞれ横方向（コンベア幅方向）において４つ（複数）のゾーン、すなわち、右側ゾーン１６Ｓ１と、中央右側ゾーン１６Ｓ２  と、中央左側ゾーン１６Ｓ３  と、左側ゾーン１６Ｓ４  とにより形成されている。その際に、中央右側ゾーン１６Ｓ２や中央左側ゾーン１６Ｓ３  の幅は、右側ゾーン１６Ｓ１や左側ゾーン１６Ｓ４  の幅に対して狭く、かつ中央右側ゾーン１６Ｓ２と中央左側ゾーン１６Ｓ３  とを加算した幅は、右側ゾーン１６Ｓ１や左側ゾーン１６Ｓ４  の幅に対して少し広く形成されている。
【００２５】
さらに回転軸１２Ａ，１２Ｂは、各ゾーン１６Ｓ１  ，１６Ｓ２  ，１６Ｓ３  ，１６Ｓ４に対応して横方向で４分割され、そして各分割した回転軸１２Ａ，１２Ｂ群に連動する駆動手段、すなわち、右側ゾーン１６Ｓ１の右側駆動手段１４Ｍ１と、中央右側ゾーン１６Ｓ２の中央右側駆動手段１４Ｍ２と、中央左側ゾーン１６Ｓ３の中央左側駆動手段１４Ｍ３と、左側ゾーン１６Ｓ４  の左側駆動手段１４Ｍ４とが設けられ、以て各ゾーン１６Ｓ１  ，１６Ｓ２  ，１６Ｓ３  ，１６Ｓ４は各別に駆動可能に構成されている。ここで駆動手段１４Ｍ１  ，１４Ｍ２  ，１４Ｍ３  ，１４Ｍ４は、各回転軸１２Ａ，１２Ｂにそれぞれ連動するモータなどからなる。以上の１１Ａ，１１Ｂ〜１６Ｓ１  ，１６Ｓ２  ，１６Ｓ３  ，１６Ｓ４などにより、複数列のガラス基板５，６を、各列毎に搬送可能に構成された搬送装置１０Ａ，１０Ｂの一例が構成される。
【００２６】
なお、搬送装置１０Ａ，１０Ｂは、ボックス体（カセットケース）３内に収納されているガラス基板５，６を搬送（搬出）させるものである。ここでボックス体３は、ガラス基板５，６を上下方向に間隔を置いて複数段に収納可能に構成されている。その際にボックス体３は各段において、たとえば大型ガラス基板５を、図１の実線で示すように、その長尺寸法Ｌの方向を搬送装置１０Ａ，１０Ｂの搬送方向（前後方向）として前後２列かつ左右３列で支持し、また小型ガラス基板６を、図１の仮想線で示すように、その幅狭寸法ｍの方向を搬送装置１０Ａ，１０Ｂの搬送方向（前後方向）として前後４列かつ左右２列で支持するように構成されている。そして、ボックス体３を、床１上に配設した昇降装置（図示せず。）にセットした状態で、昇降装置により１段分ずつ下降させることで、下段のガラス基板５，６群から順に搬送装置１０Ａ，１０Ｂのローラ体１３Ａ，１３Ｂ群上に載置し得るように構成されている。
【００２７】
図１〜図９において、前記合流処理装置２０は搬送装置１０Ａ，１０Ｂの端部外方間に配設されるものであって、各搬送装置１０Ａ，１０Ｂに対向されたそれぞれの縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂと、隣接した縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂ間に位置された仮置き部３１と、縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂと仮置き部３１とに亘ってそれぞれ設けられた横送り手段４１Ａ，４１Ｂなどから構成されている。
【００２８】
両縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂは同様な構成であって、それぞれ複数列のガラス基板５，６を支持搬送可能に構成されている。すなわち、縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂはローラコンベア形式であって、コンベアフレーム２２Ａ，２２Ｂと、前記搬送経路１５Ａ，１５Ｂの延長線方向の複数箇所に、その回転軸心を横方向として配設された回転軸２３Ａ，２３Ｂと、各回転軸２３Ａ，２３Ｂの長さ方向の複数箇所に外嵌して設けられたローラ体２４Ａ，２４Ｂと、前記回転軸２３Ａ，２３Ｂに連動する駆動手段（モータなど）２５Ａ，２５Ｂなどにより構成されている。ここで回転軸２３Ａ，２３Ｂ群はコンベアフレーム２２Ａ，２２Ｂ側に回転自在に支持され、そしてローラ体２４Ａ，２４Ｂ群によって縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂの搬送面２１ａ，２１ｂが形成されている。
【００２９】
その際に両縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂは、それぞれ横方向（コンベア幅方向）において２つ（複数）のゾーン、すなわち、右側ゾーン２６Ｓ１と左側ゾーン２６Ｓ２  とにより形成され、そして回転軸２３Ａ，２３Ｂは、各ゾーン２６Ｓ１  ，２６Ｓ２に対応して横方向で２分割されている。各分割した回転軸２３Ａ，２３Ｂ群に連動する駆動手段、すなわち、右側ゾーン２６Ｓ１の各回転軸２３Ａ，２３Ｂにそれぞれ連動する駆動手段２５Ａ，２５Ｂと、左側ゾーン２６Ｓ２  の各回転軸２３Ａ，２３Ｂにそれぞれ連動する駆動手段２５Ａ，２５Ｂとが設けられ、以て両ゾーン２６Ｓ１  ，２６Ｓ２の各分割した回転軸２３Ａ，２３Ｂは各別に駆動可能に構成されている。したがって、かかる縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂによると、各駆動手段２５Ａ，２５Ｂによって各回転軸２３Ａ，２３Ｂを回動させることで、搬送面２１ａ，２１ｂを形成するローラ体２４Ａ，２４Ｂ群を回動し得、以てガラス基板５，６を搬送し得る。
【００３０】
以上の２２Ａ，２２Ｂ〜２６Ｓ１  ，２６Ｓ２などにより、前記搬送装置１０Ａ，１０Ｂと搬送方向を同一状とした縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂの一例が構成される。そして縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂは箱枠状の保持枠体２８Ａ，２８Ｂ上に配設され、また保持枠体２８Ａ，２８Ｂは、レベル調整自在な複数の脚部材２９Ａ，２９Ｂを介して床１上に設置される。
【００３１】
前記仮置き部３１は両縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂ間に位置されるものであって、前記搬送経路１５Ａ，１５Ｂの方向に沿った方向の複数箇所において前記保持枠体２８Ａ，２８Ｂの上部間に配設された連結部材３２と、これら連結部材３２上に立設されたプレート状部材３３と、各プレート状部材３３の上面に敷設された支持部材３４などにより、一例が構成される。その際に支持部材３４は、たとえばウレタン製からなり、そして支持部材３４群の上面によって、縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂの搬送面２１ａ，２１ｂと同レベル状の仮置き支持面３１ａが扁平状で形成される。なお仮置き支持面３１ａは、１枚の大型ガラス基板５、または２枚の小型ガラス基板６を支持可能な広さに設定されている。またプレート状部材３３などは、縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂの回転軸２３Ａ，２３Ｂ間に位置して配設されている。
【００３２】
両横送り手段４１Ａ，４１Ｂは同様な構成であって、それぞれの横送り搬送経路８９Ａ，８９Ｂは、対向される縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂから仮置き部３１に亘って形成されるように構成されている。すなわち横送り手段４１Ａ，４１Ｂは、昇降部材４２Ａ，４２Ｂと、この昇降部材４２Ａ，４２Ｂを昇降動させる昇降駆動部５０Ａ，５０Ｂと、横送り搬送経路８９Ａ，８９Ｂに沿った方向として前記昇降部材４２Ａ，４２Ｂ上に設けられたガイド部材６０Ａ，６０Ｂと、このガイド部材６０Ａ，６０Ｂに支持案内されて横送り搬送経路８９Ａ，８９Ｂに沿った方向に移動自在な板状体支持部７０Ａ，７０Ｂと、この板状体支持部７０Ａ，７０Ｂを横移動させる横移動駆動部８０Ａ，８０Ｂなどにより構成されている。
【００３３】
前記昇降部材４２Ａ，４２Ｂは型レール状であって、横送り搬送経路８９Ａ，８９Ｂに沿った方向として、前記回転軸２３Ａ，２３Ｂ間でかつ１つ置きの隙間の下方に位置して４箇所（複数箇所）に配設されている。その際に、一方の横送り手段４１Ａにおける昇降部材４２Ａ群の配設位置に対して、他方の横送り手段４１Ｂにおける昇降部材４２Ｂ群の配設位置は１つ置きの隙間分だけ位置をずらして配設されている。前記昇降部材４２Ａ，４２Ｂ群は、隣接した下面間が、前記搬送経路１５Ａ，１５Ｂの延長線に沿った方向の連結部材４３Ａ，４３Ｂ群により連結されることで、一体的に昇降自在に構成されている。そして昇降は、保持枠体２８Ａ，２８Ｂ側の受け部材４４Ａ，４４Ｂとの間に設けられた複数の昇降ガイド体４５Ａ，４５Ｂを介して安定して行われ、また連結部材４３Ａ，４３Ｂの下面側に設けられたストッパー体４６Ａ，４６Ｂが受け部材４４Ａ，４４Ｂの上面に当接されることで、その下降限が規制されるように構成されている。
【００３４】
前記昇降駆動部５０Ａ，５０Ｂは、搬送経路１５Ａ，１５Ｂの延長線に沿った方向に配設された回転軸５１Ａ，５１Ｂを横送り搬送経路８９Ａ，８９Ｂの方向の２箇所に有し、これら回転軸５１Ａ，５１Ｂは、軸受体５２Ａ，５２Ｂを介して保持枠体２８Ａ，２８Ｂ側で回転自在に支持されている。そして回転軸５１Ａ，５１Ｂの２箇所には、くの字状の折り曲げリンク体５３Ａ，５３Ｂの中間部が固定され、この折り曲げリンク体５３Ａ，５３Ｂの上部側遊端にはカムローラ５４Ａ，５４Ｂが遊転自在に設けられるとともに、これらカムローラ５４Ａ，５４Ｂは、連結部材４３Ａ，４３Ｂの下面側に設けられた水平状のカム体５５Ａ，５５Ｂに下方から当接されている。前記折り曲げリンク体５３Ａ，５３Ｂの下部側遊端間には押し引き体５６Ａ，５６Ｂが相対揺動自在に連結され、この押し引き体５６Ａ，５６Ｂは、保持枠体２８Ａ，２８Ｂ側に配設されたシリンダー装置５７Ａ，５７Ｂのピストンロッドに連結されている。
【００３５】
かかる構成によると、シリンダー装置５７Ａ，５７Ｂの伸縮動によって押し引き体５６Ａ，５６Ｂを押し引き動させることで、回転軸５１Ａ，５１Ｂの回転を伴いながら折り曲げリンク体５３Ａ，５３Ｂ群を揺動してカムローラ５４Ａ，５４Ｂを昇降させ、以てカム体５５Ａ，５５Ｂ、連結部材４３Ａ，４３Ｂを介して昇降部材４２Ａ，４２Ｂ群を昇降し得る。以上の５１Ａ，５１Ｂ〜５７Ａ，５７Ｂなどにより昇降駆動部５０Ａ，５０Ｂの一例が構成される。
【００３６】
前記ガイド部材６０Ａ，６０Ｂは、前記昇降部材４２Ａ，４２Ｂの上方に平行状で位置されるとともに、連結部材６４Ａ，６４Ｂを介して昇降部材４２Ａ，４２Ｂ側に連結されている。そしてガイド部材６０Ａ，６０Ｂは、前記昇降部材４２Ａ，４２Ｂに対して前記仮置き部３１側に突出され、その突出部分には、前記昇降部材４２Ａ，４２Ｂと同様なレベルとした短尺昇降部材４２ａ，４２ｂが連結部材６４Ａ，６４Ｂを介して連結されている。このガイド部材６０Ａ，６０Ｂには、上方開放の上部ガイド溝６１Ａ，６１Ｂと、搬送装置１０Ａ，１０Ｂ側の側方開放の側部ガイド溝６２Ａ，６２Ｂと、下方開放の下部ガイド溝６３Ａ，６３Ｂとが、長さ方向（横送り搬送経路８９Ａ，８９Ｂの方向）の全長に形成されている。なお、昇降部材４２Ａ，４２Ｂや短尺昇降部材４２ａ，４２ｂは下面開放で逆Ｕ字状の型レール状であって、その上位平板部を介して連結部材６４Ａ，６４Ｂが連結されている。
【００３７】
前記板状体支持部７０Ａ，７０Ｂの本体部分７４Ａ，７４Ｂには、前記ガイド部材６０Ａ，６０Ｂの上部ガイド溝６１Ａ，６１Ｂに嵌合案内される上部被ガイド体７１Ａ，７１Ｂと、側部ガイド溝６２Ａ，６２Ｂに嵌合案内される側部被ガイド体７２Ａ，７２Ｂと、下部ガイド溝６３Ａ，６３Ｂに嵌合案内される下部被ガイド体７３Ａ，７３Ｂとが設けられている。そして本体部分７４Ａ，７４Ｂの上面側には、ローラ体２４Ａ，２４Ｂ間に位置されるロッド状の支持部分７５Ａ，７５Ｂが、横送り搬送経路８９Ａ，８９Ｂの方向において所定間隔置きの６箇所（複数箇所）から立設状に設けられている。
【００３８】
これら支持部分７５Ａ，７５Ｂの上端面間に亘って、板状体支持部７０Ａ，７０Ｂの板状体支持面７０ａ，７０ｂが扁平状で形成され、その際に板状体支持面７０ａ，７０ｂは、両ガラス基板５，６を安定して支持可能な広さを確保するように設定されている。そして板状体支持面７０ａ，７０ｂは、昇降駆動部５０Ａ，５０Ｂによる昇降によって、縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂの搬送面２１ａ，２１ｂや仮置き部３１の仮置き支持面３１ａに対して出退動自在に構成されている。その際に前述したように、一方の横送り手段４１Ａにおける昇降部材４２Ａ群の配設位置に対して、他方の横送り手段４１Ｂにおける昇降部材４２Ｂ群の配設位置が１つ置きの隙間分だけ位置をずらしていることで、仮置き部３１の部分において板状体支持部７０Ａ，７０Ｂは、ずれた状態で互いに干渉することなく移動自在となる。
【００３９】
なお、各部の被ガイド体７１Ａ，７１Ｂ、７２Ａ，７２Ｂ、７３Ａ，７３Ｂとして、各部のガイド溝６１Ａ，６１Ｂ、６２Ａ，６２Ｂ、６３Ａ，６３Ｂに遊転自在に嵌合案内されるローラ形式が示されているが、これは摺動自在に嵌合案内される突起体形式などであってもよい。以上の７１Ａ，７１Ｂ〜７５Ａ，７５Ｂなどにより、板状体支持部７０Ａ，７０Ｂの一例が構成される。
【００４０】
前記横移動駆動部８０Ａ，８０Ｂは、その駆動源となる減速機付きのモータ８１Ａ，８１Ｂが、前記昇降部材４２Ａ，４２Ｂ群のうちの１本の昇降部材４２Ａ，４２Ｂの外端下面に設けられている。そして昇降部材４２Ａ，４２Ｂ群の外端下面間に亘って駆動軸８２Ａ，８２Ｂが回転自在に配設され、この駆動軸８２Ａ，８２Ｂは前記モータ８１Ａ，８１Ｂの出力軸に巻き掛け連動機構８３Ａ，８３Ｂを介して連動連結されるとともに、前記駆動軸８２Ａ，８２Ｂの前記昇降部材４２Ａ，４２Ｂに対向する部分には、それぞれ駆動輪体８４Ａ，８４Ｂが設けられている。
【００４１】
逆Ｕ字状の前記昇降部材４２Ａ，４２Ｂや短尺昇降部材４２ａ，４２ｂの内部で複数箇所には案内輪体８５Ａ，８５Ｂが遊転自在に設けられ、また昇降部材４２Ａ，４２Ｂの外端上面と短尺昇降部材４２ａ，４２ｂの上面には、それぞれ反転案内輪体８６Ａ，８６Ｂ、８７Ａ，８７Ｂが遊転自在に設けられている。そして、駆動輪体８４Ａ，８４Ｂに巻回された駆動ベルト８８Ａ，８８Ｂが、案内輪体８５Ａ，８５Ｂから反転案内輪体８６Ａ，８６Ｂ、８７Ａ，８７Ｂに亘って巻回されるとともに、駆動ベルト８８Ａ，８８Ｂの遊端が、前記板状体支持部７０Ａ，７０Ｂの本体部分７４Ａ，７４Ｂに連結されている。なお、案内輪体８５Ａ，８５Ｂの一部を位置調整自在として、駆動ベルト８８Ａ，８８Ｂの張力調整を可能としている。以上の８１Ａ，８１Ｂ〜８８Ａ，８８Ｂなどにより、板状体支持部７０Ａ，７０Ｂを縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂと仮置き部３１とに亘って移動させる横移動駆動部８０Ａ，８０Ｂの一例が構成される。
【００４２】
かかる構成によると、モータ８１Ａ，８１Ｂの正逆駆動により巻き掛け連動機構８３Ａ，８３Ｂを介して駆動軸８２Ａ，８２Ｂを正逆回転させることで、駆動ベルト８８Ａ，８８Ｂを回動させて板状体支持部７０Ａ，７０Ｂを横送り搬送経路８９Ａ，８９Ｂの方向に往復移動し得る。その際に板状体支持部７０Ａ，７０Ｂの往復移動は、各部の被ガイド体７１Ａ，７１Ｂ、７２Ａ，７２Ｂ、７３Ａ，７３Ｂが各部のガイド溝６１Ａ，６１Ｂ、６２Ａ，６２Ｂ、６３Ａ，６３Ｂに嵌合案内されることで、常に安定して行われる。
【００４３】
前記縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂのうちの他方（少なくとも１つ）の縦送りコンベア部２１Ｂには、搬送装置１０Ａ，１０Ｂ群とは反対側の単数枚搬送装置１３０に対してガラス基板５，６を搬出可能な板状体渡し域９０が形成されている。すなわち、縦送りコンベア部２１Ｂにおける横送り搬送経路８９Ｂの他方側半分部分が板状体渡し域９０に形成され、そして板状体渡し域９０には、ガラス基板５，６を板状体支持部７０Ａ，７０Ｂの移動方向で位置決めするセンタリング装置９１が設けられている。
【００４４】
このセンタリング装置９１は、縦送りコンベア部２１Ｂの下方で横送り搬送経路８９Ｂの方向の両端部分に配設される昇降体９２，９３と、これら昇降体９２，９３を昇降動させる昇降駆動部９４と、前記昇降体９２，９３の上方間に設けられた横送り搬送経路８９Ｂの方向のガイド部材９７と、このガイド部材９７に支持案内されて横方向に移動自在な一対の板状体把持体１０１，１０２と、これら板状体把持体１０１，１０２を互いに接近離間動させる接近離間駆動部１１０などにより構成されている。
【００４５】
前記昇降体９２，９３は型レール状であって、搬送経路１５Ｂの延長線に沿った方向（横送り搬送経路８９Ｂに対して直交方向）に配設されている。前記昇降駆動部９４はシリンダー装置形式であって、保持枠体２８Ｂの下部に設けられるとともに、その上向きのピストンロッドが昇降体９２，９３の下部に連結されている。そして昇降体９２，９３上には、前記回転軸２３Ｂ間でかつ１つ置きの隙間の下方に位置された４箇所（複数箇所）、すなわち、板状体支持部７０Ｂなどが対向していない１つ置きの隙間の下方に位置されて、それぞれ保持体９５が設けられている。前記ガイド部材９７群は、前記保持体９５の上方間に位置されるとともに、連結部材９６を介して保持体９５側に連結され、以て一体的に昇降自在に構成されている。このガイド部材９７には、上方開放の上部ガイド溝９８と、搬送装置１０Ｂ側の側方開放の側部ガイド溝９９と、下方開放の下部ガイド溝１００とが、長さ方向（横送り搬送経路８９Ｂの方向）の全長に形成されている。
【００４６】
前記板状体把持体１０１，１０２の本体部分１０３には、ガイド部材９７の上部ガイド溝９８に嵌合案内される上部被ガイド体１０５と、側部ガイド溝９９に嵌合案内される側部被ガイド体１０６と、下部ガイド溝１００に嵌合案内される下部被ガイド体１０７とが設けられている。そして本体部分１０３の上面側には、ローラ体２４Ｂ間に位置されるロッド状の把持用部分１０４が立設状に設けられている。これら把持用部分１０４の相対向面によって、板状体把持体１０１，１０２の板状体把持面１０１ａ，１０２ａが形成され、そして板状体把持体１０１，１０２の把持用部分１０４は、昇降駆動部９４による昇降によって、縦送りコンベア部２１Ｂの搬送面２１ｂに対して出退動自在に構成されている。なお、各部の被ガイド体１０５，１０６、１０７として、各部のガイド溝９８，９９、１００に遊転自在に嵌合案内されるローラ形式が示されているが、これは摺動自在に嵌合案内される突起体形式などであってもよい。以上の１０３〜１０７などにより、板状体把持体１０１，１０２の一例が構成される。
【００４７】
前記接近離間駆動部１１０は、その駆動源となる減速機付きのモータ１１１が外側の昇降体９２に設けられている。そして外側の保持体９５の上部間に亘って、搬送経路１５Ｂの延長線に沿った方向（横送り搬送経路８９Ｂに対して直交方向）の駆動軸１１２が回転自在に配設され、この駆動軸１１２は前記モータ１１１の出力軸に巻き掛け連動機構１１３を介して連動連結されている。前記駆動軸１１２の前記ガイド部材９７に対向する部分には、それぞれ駆動輪体１１４が設けられるとともに、内側の各保持体９５には、前記ガイド部材９７に対向する反転案内輪体１１５がそれぞれ遊転自在に設けられている。また、内側、外側の各保持体９５の内部で複数箇所には案内輪体１１６が遊転自在に設けられている。
【００４８】
そして、駆動輪体１１４に有端の駆動ベルト１１７が巻回され、この駆動ベルト１１７の一端が、外側の板状体把持体１０１の本体部分１０３に連結具１１８を介して連結されている。また駆動ベルト１１７の他端側は、外側の案内輪体１１６に案内され、外側の板状体把持体１０１の下方を通過したのち、その中間部分が内側の板状体把持体１０２の本体部分１０３に連結具１１９を介して連結されている。さらに駆動ベルト１１７の他端側は、内側の案内輪体１１６から反転案内輪体１１５に亘って巻回され、そして内側の板状体把持体１０２の部分を通過したのち、外側の板状体把持体１０１の本体部分１０３に連結具１２０を介して連結されている。なお、案内輪体１１６の一部を位置調整自在として、駆動ベルト１１７の張力調整を可能としている。以上の１１１〜１２０などにより、接近離間駆動部１１０の一例が構成される。
【００４９】
かかる構成によると、昇降駆動部９４により昇降体９２，９３を昇降させることによって、保持体９５、連結部材９６、ガイド部材９７を介して板状体把持体１０１，１０２を昇降し得、以て板状体把持体１０１，１０２の把持用部分１０４を縦送りコンベア部２１Ｂの搬送面２１ｂに対して出退し得る。そして、モータ１１１の正逆駆動により巻き掛け連動機構１１３を介して駆動軸１１２を正逆回転させることで、駆動ベルト１１７を回動させて板状体把持体１０１，１０２を、横送り搬送経路８９Ａ，８９Ｂの方向で互いに接近離間移動し得る。その際に板状体把持体１０１，１０２の接近離間移動は、各部の被ガイド体１０５，１０６、１０７が各部のガイド溝９８，９９、１００に嵌合案内されることで、常に安定して行われる。
【００５０】
以上の９２〜１２０などにより、板状体渡し域９０においてガラス基板５，６を板状体支持部７０Ａ，７０Ｂの移動方向で位置決めするセンタリング装置９１の一例が構成される。そして２１Ａ，２１Ｂ〜１２０などにより、合流処理装置２０の一例が構成される。
【００５１】
前記単数枚搬送装置１３０は、たとえば製造工程（製造ライン）にガラス基板５，６を１枚ずつ搬送（供給）するもので、ベルト形式やローラ形式などからなる。
以下に、上記した実施の形態１において、大型ガラス基板５を取り扱う作用を、図１〜図１５に基づいて説明する。
【００５２】
図１の実線では、ボックス体３内に収納されている大型ガラス基板５のうち、その長尺寸法Ｌの方向を搬送装置１０Ａ，１０Ｂの搬送方向（前後方向）として前後２列かつ左右３列とした最下段の６枚の大型ガラス基板５群を、搬送装置１０Ａ，１０Ｂのローラ体１３Ａ，１３Ｂ群により支持している。すなわち大型ガラス基板５を、右側ゾーン１６Ｓ１と、中央右側ゾーン１６Ｓ２と中央左側ゾーン１６Ｓ３とを加算した幅の中央ゾーン（１６Ｓ２＋１６Ｓ３）と、左側ゾーン１６Ｓ４  とに対応して、搬送経路１５Ａ，１５Ｂ上において左右３列、前後２列で支持し得、その際に大型ガラス基板５を、それぞれローラ体１３Ａ，１３Ｂ群を介して搬送面１０ａ，１０ｂ上に支持している。
【００５３】
そして右側ゾーン１６Ｓ１の右側駆動手段１４Ｍ１と、中央ゾーン（１６Ｓ２＋１６Ｓ３）の中央右側駆動手段１４Ｍ２ならびに中央左側駆動手段１４Ｍ３と、左側ゾーン１６Ｓ４の左側駆動手段１４Ｍ４とを各別に駆動することで、大型ガラス基板５を、右側ゾーン１６Ｓ１と中央ゾーン（１６Ｓ２＋１６Ｓ３）と左側ゾーン１６Ｓ４  とにおいて、３列（３つのゾーン）で各別に搬送し得る。このとき、中央右側駆動手段１４Ｓ２と中央左側駆動手段１４Ｓ３とは同期駆動するように制御している。
【００５４】
上述したように大型ガラス基板５群を、搬送装置１０Ａ，１０Ｂの搬送経路１５Ａ，１５Ｂ上で支持して、３列（３つのゾーン）でストレージしている状態から、これら大型ガラス基板５を、合流処理装置２０で合流処理したのち、単数枚搬送装置１３０に搬出させるに、たとえば次のように動作される。なお、以下の説明においては、図１０（ａ）に示すように、一方の搬送装置１０Ａにおける右側ゾーン１６Ｓ１からの大型ガラス基板は５ａ、中央ゾーン（１６Ｓ２＋１６Ｓ３）からの大型ガラス基板は５ｂ、左側ゾーン１６Ｓ４からの大型ガラス基板は５ｃで示し、また他方の搬送装置１０Ｂにおける右側ゾーン１６Ｓ１からの大型ガラス基板は５ｄ、中央ゾーン（１６Ｓ２＋１６Ｓ３）からの大型ガラス基板は５ｅ、左側ゾーン１６Ｓ４  からの大型ガラス基板は５ｆで示す。
【００５５】
合流処理を行うに際して合流処理装置２０では、横送り手段４１Ａ，４１Ｂの昇降部材４２Ａ，４２Ｂ群を昇降駆動部５０Ａ，５０Ｂにより下降させることによって、板状体支持部７０Ａ，７０Ｂの板状体支持面７０ａ，７０ｂを、縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂの搬送面２１ａ，２１ｂや仮置き部３１の仮置き支持面３１ａに対して退入動させている。そして図４の実線に示すように、一方の板状体支持部７０Ａを右側ゾーン１６Ｓ１の外方に位置させるとともに、他方の板状体支持部７０Ｂを仮置き部３１に位置させている。また、センタリング装置９１における板状体把持体１０１，１０２の把持用部分１０４を、昇降駆動部９４により昇降体９２，９３を上昇させることで、図６の仮想線や図７の仮想線に示すように、縦送りコンベア部２１Ｂの搬送面２１ｂに対して突出動させるとともに、板状体把持体１０１，１０２を接近離間駆動部１１０によって互いに離間動させている。
【００５６】
このような状態において、まず一方側の搬送装置１０Ａにおける右側駆動手段１４Ｍ１と、右側ゾーン２６Ｓ１の駆動手段２５Ａとを駆動して、右側ゾーン１６Ｓ１  から大型ガラス基板５ａを切り出し供給するとともに、この大型ガラス基板５ａを、駆動させた縦送りコンベア部２１Ａのローラ体２４Ａ群によって支持搬送する。そして、大型ガラス基板５ａが縦送りコンベア部２１Ａ上に完全に乗り移ったことを検出するなどして、右側駆動手段１４Ｍ１と駆動手段２５Ａとの駆動を停止させることで、図４の実線や図１０（ａ）に示すように、大型ガラス基板５ａを板状体支持部７０Ａの上方に位置し得る。
【００５７】
次いで、昇降駆動部５０Ａにより横送り手段４１Ａを上昇させることによって、図４の仮想線イに示すように、板状体支持部７０Ａにおける扁平状の板状体支持面７０ａを縦送りコンベア部２１Ａの搬送面２１ａに対して突出動させ得、以て縦送りコンベア部２１Ａ上の大型ガラス基板５ａを支持部分７５Ａ群によって持ち上げ支持し得る。この状態で、モータ８１Ａにより駆動ベルト８８Ａを回動させて板状体支持部７０Ａを仮置き部３１側に移動させることで、支持部分７５Ａ群によって支持している大型ガラス基板５ａを、横送り搬送経路８９Ａ上で幅広寸法Ｍの方向（横方向）に、持ち上げ姿勢を乱すことなく安定して搬送し得る。
【００５８】
そして図４の仮想線ロに示すように、大型ガラス基板５ａが仮置き部３１の上方に位置したことを検出するなどして、モータ８１Ａを停止して横方向への搬送を停止させるとともに、横送り手段４１Ａを昇降駆動部５０Ａにより下降させることによって、板状体支持部７０Ａの板状体支持面７０ａを仮置き部３１の仮置き支持面３１ａに対して退入動し得る。これにより図５の実線や図１０（ｂ）に示すように、大型ガラス基板５ａを、支持部材３４扁平状の仮置き支持面３１ａ群によって支持して仮置き部３１に仮置きし得る。この直後に、前述と同様にして、中央右側駆動手段１４Ｍ２ならびに中央左側駆動手段１４Ｍ３と、左右のゾーン２６Ｓ１  ，２６Ｓ２の各駆動手段２５Ａとを駆動して、中央ゾーン（１６Ｓ２  ，１６Ｓ３）から大型ガラス基板５ｂを切り出し供給するとともに、駆動させた縦送りコンベア部２１Ａのローラ体２４Ａ群によって支持搬送する。
【００５９】
次いで、大型ガラス基板５ｂが縦送りコンベア部２１Ａ上に完全に乗り移ったことを検出するなどして、中央右側駆動手段１４Ｍ２ならびに中央左側駆動手段１４Ｍ３と、両駆動手段２５Ａとの駆動を停止させる。この状態で、モータ８１Ａにより駆動ベルト８８Ａを逆回動させることで、図１０（ｃ）に示すように、仮置き部３１に位置していた板状体支持部７０Ａを移動させ、その支持部分７５Ａ群を、縦送りコンベア部２１Ａにより支持している大型ガラス基板５ｂの下方に位置し得る。
【００６０】
これと同時に、他方の昇降駆動部５０Ｂにより横送り手段４１Ｂを上昇させることによって、板状体支持部７０Ｂの扁平状の板状体支持面７０ｂを仮置き部３１の仮置き支持面３１ａに対して突出動させ得、以て図５の仮想線イに示すように、支持部材３４群上の大型ガラス基板５ａを支持部分７５Ｂ群によって持ち上げ支持し得る。この状態で、モータ８１Ｂにより駆動ベルト８８Ｂを回動させることで、支持部分７５Ｂ群によって支持している大型ガラス基板５ａを、横送り搬送経路８９Ｂ上で幅広寸法Ｍの方向に、持ち上げ姿勢を乱すことなく安定して搬送し得る。その際に大型ガラス基板５ａは、搬送面２１ｂに対して突出動している把持用部分１０４の少し上方を移動する。
【００６１】
そして図１０（ｃ）に示すように、大型ガラス基板５ａが板状体渡し域９０の上方に位置したことを検出するなどして、モータ８１Ｂを停止して横方向への搬送を停止させるとともに、昇降駆動部５０Ｂにより横送り手段４１Ｂを下降させることによって、板状体支持部７０Ｂの板状体支持面７０ｂを縦送りコンベア部２１Ｂの搬送面２１ｂに対して退入動させる。これにより図５の仮想線ロや図６や図７に示すように、大型ガラス基板５ａを縦送りコンベア部２１Ｂによって支持し得る。その際に大型ガラス基板５ａを、互いに離間動している板状体把持体１０１，１０２の把持用部分１０４間に位置し得る。
【００６２】
次いで図１１（ａ）に示すように、センタリング装置９１の接近離間駆動部１１０により板状体把持体１０１，１０２を互いに接近動させることで、板状体把持面１０１ａ，１０２ａにより大型ガラス基板５ａを幅広寸法Ｍの方向から把持し得、以て大型ガラス基板５ａをセンタリング（位置決め）し得る。これに相前後して、一方側の横送り手段４１Ａによって次の大型ガラス基板５ｂを仮置き部３１に仮置きし得るとともに、他方側の横送り手段４１Ｂのモータ８１Ｂにより駆動ベルト８８Ｂを逆回動させることで、下降している支持部分７５Ｂ群を仮置き部３１における仮置き支持面３１ａの下方に位置させる。この直後に、前述と同様にして、左側駆動手段１４Ｍ４と、左側ゾーン２６Ｓ２の駆動手段２５Ａとを駆動して、左側ゾーン１６Ｓ４から大型ガラス基板５ｃを切り出し供給するとともに、駆動させた縦送りコンベア部２１Ａのローラ体２４Ａ群によって支持搬送する。
【００６３】
そして図１１（ｂ）に示すように、センタリング装置９１の接近離間駆動部１１０により板状体把持体１０１，１０２を互いに離間動させて、センタリング済みの大型ガラス基板５ａに対する把持を開放したのち、縦送りコンベア部２１Ｂを駆動して、そのローラ体２４Ｂ群による支持搬送によって、センタリング済みの大型ガラス基板５ａを単数枚搬送装置１３０へと送り出し、この単数枚搬送装置１３０によって搬送し得る。この前後に、下降している支持部分７５Ａ群を縦送りコンベア部２１Ａ上に送り出されている大型ガラス基板５ｃの下方に位置させる。この状態で、横送り手段４１Ａを上昇させることにより、縦送りコンベア部２１Ａ上の大型ガラス基板５ｃを支持部分７５Ａ群による扁平状の板状体支持面７０ａによって持ち上げ支持し得るとともに、横送り手段４１Ｂを上昇させることにより、仮置き部３１の支持部材３４群により支持していた大型ガラス基板５ｂを支持部分７５Ｂ群による扁平状の板状体支持面７０ｂによって持ち上げ支持し得る。
【００６４】
次いで図１１（ｃ）に示すように、横送り手段４１Ａを横送り作動させることで、支持部分７５Ａ群によって支持している大型ガラス基板５ｃを、横送り搬送経路８９Ａ上で持ち上げ姿勢を乱すことなく安定して搬送して仮置き部３１の上方に位置し得、これと同時またはほぼ同時に横送り手段４１Ｂを横送り作動させることで、支持部分７５Ｂ群によって支持している大型ガラス基板５ｂを、横送り搬送経路８９Ｂ上で持ち上げ姿勢を乱すことなく安定して搬送して板状体渡し域９０の上方に位置し得る。そして、両昇降駆動部５０Ａ，５０Ｂにより両横送り手段４１Ａ，４１Ｂを下降させることにより、大型ガラス基板５ｃを仮置き部３１に仮置きし得るとともに、大型ガラス基板５ｂを、縦送りコンベア部２１Ｂにより支持させて、互いに離間動している板状体把持体１０１，１０２の把持用部分１０４間に位置し得る。このような動作中において、搬送装置１０Ａにおいては、次の（後列の）大型ガラス基板５ａ，５ｂ，５ｃ群を搬送して、搬送経路１５Ａの終端で停止させている。
【００６５】
そして図１２（ａ）に示すように、センタリング装置９１により大型ガラス基板５ｂをセンタリング（位置決め）し得る。これに相前後して、一方側の横送り手段４１Ａの下降している支持部分７５Ａ群を右側ゾーン１６Ｓ１に対向して位置させるとともに、他方側の横送り手段４１Ｂの下降している支持部分７５Ｂ群を仮置き部３１における仮置き支持面３１ａの下方に位置させる。この直後に、前述と同様にして、右側ゾーン１６Ｓ１から大型ガラス基板５ａを切り出し供給するとともに、駆動させた縦送りコンベア部２１Ａのローラ体２４Ａ群によって支持搬送する。
【００６６】
次いで図１２（ｂ）に示すように、センタリング装置９１の板状体把持体１０１，１０２を互いに離間動させて、センタリング済みの大型ガラス基板５ｂに対する把持を開放したのち、縦送りコンベア部２１Ｂを駆動して大型ガラス基板５ｂを単数枚搬送装置１３０へと送り出す。この前後に、横送り手段４１Ｂを上昇させることにより、仮置き部３１で支持していた大型ガラス基板５ｃを支持部分７５Ｂ群によって持ち上げ支持し得る。
【００６７】
そして図１２（ｃ）に示すように、横送り手段４１Ａを上昇させることにより、縦送りコンベア部２１Ａ上の大型ガラス基板５ａを支持部分７５Ａ群によって持ち上げ支持し得るとともに、これと同時またはほぼ同時に横送り手段４１Ｂを横送り作動させることで、支持部分７５Ｂ群によって支持している大型ガラス基板５ｃを、横送り搬送経路８９Ｂ上で持ち上げ姿勢を乱すことなく安定して搬送して板状体渡し域９０の上方に位置し得る。そして、横送り手段４１Ｂを下降させることにより、大型ガラス基板５ｃを、縦送りコンベア部２１Ｂにより支持させて、互いに離間動している板状体把持体１０１，１０２の把持用部分１０４間に位置し得る。
【００６８】
これにより、大型ガラス基板５ｃに対して図１０（ｃ）に示す状態において、次の大型ガラス基板５ａに対して図１０（ａ）に示す状態となり、以下において同様に繰り返し動作し得る。このようにして、一方側の搬送装置１０Ａからの大型ガラス基板５ａ，５ｂ，５ｃ群を、それぞれセンタリングした状態で単数枚搬送装置１３０へと効率良く送り出し得る。そして適宜に、他方側の搬送装置１０Ｂからの大型ガラス基板５ｄ，５ｅ，５ｆ群を合流処理して単数枚搬送装置１３０へと送り出すように切り換えられる。
【００６９】
すなわち、切り換え時に一方の横送り手段４１Ａは、その板状体支持部７０Ａを一方側の搬送装置１０Ａにおける右側ゾーン１６Ｓ１の外方に位置させるとともに、板状体支持面７０ａを縦送りコンベア部２１Ａの搬送面２１ａに対して退入動させた状態で、非使用（待機）となっている。また他方の横送り手段４１Ｂは、その板状体支持部７０Ｂを他方側の搬送装置１０Ｂにおける右側ゾーン１６Ｓ１の外方に位置させるとともに、板状体支持面７０ｂを、縦送りコンベア部２１Ｂの搬送面２１ｂに対して退入動させている。そして図６の実線や図７の実線に示すように、センタリング装置９１における板状体把持体１０１，１０２の把持用部分１０４を、昇降駆動部９４により昇降体９２，９３を下降させることで、縦送りコンベア部２１Ｂの搬送面２１ｂに対して退入動させるとともに、板状体把持体１０１，１０２を接近離間駆動部１１０によって互いに離間動させている。
【００７０】
このような状態において、まず他方側の搬送装置１０Ｂにおける右側駆動手段１４Ｍ１と、右側ゾーン２６Ｓ１の駆動手段２５Ｂとを駆動して、右側ゾーン１６Ｓ１  から大型ガラス基板５ｄを切り出し供給するとともに、この大型ガラス基板５ｄを、駆動させた縦送りコンベア部２１Ｂのローラ体２４Ｂ群によって支持搬送する。そして、大型ガラス基板５ｄが縦送りコンベア部２１Ｂ上に完全に乗り移ったことを検出するなどして、右側駆動手段１４Ｍ１と駆動手段２５Ｂとの駆動を停止させることで、図１３（ａ）に示すように、大型ガラス基板５ｄを板状体支持部７０Ｂの上方に位置し得る。
【００７１】
次いで、昇降駆動部５０Ｂにより横送り手段４１Ｂを上昇させることによって、板状体支持部７０Ｂにおける扁平状の板状体支持面７０ｂを縦送りコンベア部２１Ｂの搬送面２１ｂに対して突出動させ得、以て図８の仮想線に示すように、縦送りコンベア部２１Ｂ上の大型ガラス基板５ｄを支持部分７５Ｂ群によって持ち上げ支持し得る。この状態で、モータ８１Ｂにより駆動ベルト８８Ｂを回動させて板状体支持部７０Ｂを仮置き部３１側に移動させることで、支持部分７５Ｂ群によって支持している大型ガラス基板５ｄを、横送り搬送経路８９Ｂ上で幅広寸法Ｍの方向（横方向）に持ち上げ姿勢を乱すことなく安定して搬送し得る。
【００７２】
そして図１３（ｂ）に示すように、大型ガラス基板５ｄが板状体渡し域９０の上方に位置したことを検出するなどして、モータ８１Ｂを停止して横方向への搬送を停止させるとともに、横送り手段４１Ｂを昇降駆動部５０Ｂにより下降させることによって、板状体支持部７０Ｂの板状体支持面７０ｂを縦送りコンベア部２１Ｂの搬送面２１ｂに対して退入動し得る。これにより図９に示すように、大型ガラス基板５ｄをローラ体２４Ｂ群によって支持し得、その際に大型ガラス基板５ｄを、互いに離間動している板状体把持体１０１，１０２の把持用部分１０４の上方間に位置し得る。したがって図９の仮想線に示すように、昇降駆動部９４により昇降体９２，９３を上昇させて、板状体把持体１０１，１０２の把持用部分１０４を搬送面２１ｂに対して突出動させることで、互いに離間動している把持用部分１０４間に大型ガラス基板５ｄを位置し得る。
【００７３】
次いで図１３（ｃ）に示すように、センタリング装置９１の接近離間駆動部１１０により板状体把持体１０１，１０２を互いに接近動させることで、板状体把持面１０１ａ，１０２ａにより大型ガラス基板５ｄを幅広寸法Ｍの方向から把持し得、以て大型ガラス基板５ｄをセンタリング（位置決め）し得る。これに相前後して、他方側の横送り手段４１Ｂのモータ８１Ｂにより駆動ベルト８８Ｂを逆回動させることで、下降している支持部分７５Ｂ群を中央ゾーン（１６Ｓ２  ，１６Ｓ３）の外方に位置させる。
【００７４】
そして図１４（ａ）に示すように、センタリング装置９１の接近離間駆動部１１０により板状体把持体１０１，１０２を互いに離間動させて、センタリング済みの大型ガラス基板５ｄに対する把持を開放したのちに、昇降駆動部９４により昇降体９２，９３を下降させて、板状体把持体１０１，１０２の把持用部分１０４を搬送面２１ｂに対して退入動させる。この退入動に相前後して、縦送りコンベア部２１Ｂを駆動することで、そのローラ体２４Ｂ群による支持搬送によって、センタリング済みの大型ガラス基板５ｄを単数枚搬送装置１３０へと送り出す。このとき、前述と同様にして、中央ゾーン（１６Ｓ２  ，１６Ｓ３）から大型ガラス基板５ｅを切り出し供給するとともに、駆動させた縦送りコンベア部２１Ｂのローラ体２４Ｂ群によって支持搬送する。
【００７５】
次いで図１４（ｂ）に示すように、大型ガラス基板５ｅが縦送りコンベア部２１Ｂ上に完全に乗り移ったことを検出するなどして、中央右側駆動手段１４Ｍ２ならびに中央左側駆動手段１４Ｍ３と、両駆動手段２５Ｂとの駆動を停止させる。この状態で、昇降駆動部５０Ｂにより横送り手段４１Ｂを上昇させることによって、板状体支持部７０Ｂにおける扁平状の板状体支持面７０ｂを縦送りコンベア部２１Ｂの搬送面２１ｂに対して突出動させ得、以て縦送りコンベア部２１Ｂ上の大型ガラス基板５ｅを支持部分７５Ｂ群によって持ち上げ支持し得る。そして、昇降駆動部９４により昇降体９２，９３を上昇させて、板状体把持体１０１，１０２の互いに離間動している把持用部分１０４を搬送面２１ｂに対して突出動させる。
【００７６】
この状態で、モータ８１Ｂにより駆動ベルト８８Ｂを逆回動させることで、中央ゾーン（１６Ｓ２  ，１６Ｓ３）の外方に位置していた板状体支持部７０Ｂを移動させ、その支持部分７５Ｂ群によって支持している大型ガラス基板５ｅを、横送り搬送経路８９Ｂ上で幅広寸法Ｍの方向に持ち上げ姿勢を乱すことなく安定して搬送し得る。そして図１４（ｃ）に示すように、大型ガラス基板５ｅが板状体渡し域９０の上方に位置したことを検出するなどして、モータ８１Ｂを停止して横方向への搬送を停止させるとともに、横送り手段４１Ｂを昇降駆動部５０Ｂにより下降させることによって、板状体支持部７０Ｂの板状体支持面７０ｂを縦送りコンベア部２１Ｂの搬送面２１ｂに対して退入動し得る。これにより、大型ガラス基板５ｅをローラ体２４Ｂ群によって支持し得、その際に大型ガラス基板５ｅを、互いに離間動している板状体把持体１０１，１０２の把持用部分１０４間に位置し得る。
【００７７】
次いで図１５（ａ）に示すように、センタリング装置９１の接近離間駆動部１１０により板状体把持体１０１，１０２を互いに接近動させることで、板状体把持面１０１ａ，１０２ａにより大型ガラス基板５ｅを幅広寸法Ｍの方向から把持し得、以て大型ガラス基板５ｅをセンタリング（位置決め）し得る。これに相前後して、他方側の横送り手段４１Ｂのモータ８１Ｂにより駆動ベルト８８Ｂを逆回動させることで、下降している支持部分７５Ｂ群を左側ゾーン１６Ｓ４の外方に位置させる。
【００７８】
そして図１５（ｂ）に示すように、センタリング装置９１の接近離間駆動部１１０により板状体把持体１０１，１０２を互いに離間動させて、センタリング済みの大型ガラス基板５ｅに対する把持を開放したのちに、昇降駆動部９４により昇降体９２，９３を下降させて、板状体把持体１０１，１０２の把持用部分１０４を搬送面２１ｂに対して退入動させる。この退入動に相前後して、縦送りコンベア部２１Ｂを駆動することで、そのローラ体２４Ｂ群による支持搬送によって、センタリング済みの大型ガラス基板５ｅを単数枚搬送装置１３０へと送り出す。このとき、前述と同様にして、左側ゾーン１６Ｓ４から大型ガラス基板５ｆを切り出し供給するとともに、駆動させた縦送りコンベア部２１Ｂのローラ体２４Ｂ群によって支持搬送する。
【００７９】
次いで図１５（ｃ）に示すように、大型ガラス基板５ｆが縦送りコンベア部２１Ｂ上に完全に乗り移ったことを検出するなどして、左側駆動手段１４Ｍ４と、駆動手段２５Ｂとの駆動を停止させる。この状態で、昇降駆動部９４により昇降体９２，９３を上昇させて、板状体把持体１０１，１０２の互いに離間動している把持用部分１０４を搬送面２１ｂに対して突出動させる。このとき、昇降駆動部５０Ｂにより横送り手段４１Ｂを上昇させることによって、板状体支持部７０Ｂにおける扁平状の板状体支持面７０ｂを縦送りコンベア部２１Ｂの搬送面２１ｂに対して突出動させ得、以て縦送りコンベア部２１Ｂ上の大型ガラス基板５ｆを支持部分７５Ｂ群によって持ち上げ支持し得る。このような動作中において、搬送装置１０Ｂにおいては、次の大型ガラス基板５ｄ，５ｅ，５ｆ群を搬送して、搬送経路１５Ｂの終端で停止させている。
【００８０】
これにより、大型ガラス基板５ｆに対して図１４（ｂ）に示す状態において、次の大型ガラス基板５ｄに対して図１４（ｃ）に示す状態となり、以下において同様に繰り返し動作し得る。このようにして、他方側の搬送装置１０Ｂからの大型ガラス基板５ｄ，５ｅ，５ｆ群を、それぞれセンタリングした状態で単数枚搬送装置１３０へと効率良く送り出し得る。
【００８１】
次に、上記した実施の形態１において、小型ガラス基板６を取り扱う作用を、図１、図１６〜図２１に基づいて説明する。
図１の仮想線では、ボックス体３内に収納されている小型ガラス基板６のうち、その幅狭寸法ｍの方向を搬送装置１０Ａ，１０Ｂの搬送方向（前後方向）として前後４列かつ左右２列とした最下段の８枚の小型ガラス基板６群を、搬送装置１０Ａ，１０Ｂのローラ体１３Ａ，１３Ｂ群により支持している。すなわち、小型ガラス基板６を、右側ゾーン１６Ｓ１と中央右側ゾーン１６Ｓ２とを加算した幅の右ゾーン（１６Ｓ１＋１６Ｓ２）と、中央左側ゾーン１６Ｓ３と左側ゾーン１６Ｓ４  とを加算した幅の左ゾーン（１６Ｓ３＋１６Ｓ４）とに対応して、搬送経路１５Ａ，１５Ｂ上において左右２列、前後６列で支持し得、その際に小型ガラス基板６を、それぞれローラ体１３Ａ，１３Ｂ群を介して搬送面１０ａ，１０ｂ上に支持している。
【００８２】
そして、右ゾーン（１６Ｓ１＋１６Ｓ２）の右側駆動手段１４Ｍ１と中央右側駆動手段１４Ｍ２とを同期駆動させ、左ゾーン（１６Ｓ３＋１６Ｓ４）の中央左側駆動手段１４Ｍ３と左側駆動手段１４Ｍ４とを同期駆動させるように制御することで、小型ガラス基板６を、右ゾーン（１６Ｓ１＋１６Ｓ２）と左ゾーン（１６Ｓ３＋１６Ｓ４）とにおいて、２列（２つのゾーン）で各別に搬送し得る。
【００８３】
上述したように小型ガラス基板６群を、搬送装置１０Ａ，１０Ｂの搬送経路１５Ａ，１５Ｂ上で搬送して、２列（２つのゾーン）でストレージしている状態から、これら小型ガラス基板６を、合流処理装置２０で合流処理したのち、単数枚搬送装置１３０に搬出させるに、たとえば次のように動作される。なお、以下の説明においては、図１６（ａ）に示すように、一方の搬送装置１０Ａにおける右ゾーン（１６Ｓ１＋１６Ｓ２）からの小型ガラス基板は６ａ、左ゾーン（１６Ｓ３＋１６Ｓ４）からの小型ガラス基板は６ｂで示し、また他方の搬送装置１０Ｂにおける右ゾーン（１６Ｓ１＋１６Ｓ２）からの小型ガラス基板は６ｃ、左ゾーン（１６Ｓ３＋１６Ｓ４）からの小型ガラス基板は６ｄで示す。
【００８４】
合流処理を行うに際して合流処理装置２０では、横送り手段４１Ａ，４１Ｂの昇降部材４２Ａ，４２Ｂ群を昇降駆動部５０Ａ，５０Ｂにより下降させることによって、板状体支持部７０Ａ，７０Ｂの板状体支持面７０ａ，７０ｂを、縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂの搬送面２１ａ，２１ｂや仮置き部３１の仮置き支持面３１ａに対して退入動させている。そして、一方の板状体支持部７０Ａを右ゾーン（１６Ｓ１＋１６Ｓ２）の外方に位置させるとともに、他方の板状体支持部７０Ｂを仮置き部３１に位置させている。また、センタリング装置９１における板状体把持体１０１，１０２の把持用部分１０４を、昇降駆動部９４により昇降体９２，９３を上昇させることで、縦送りコンベア部２１Ｂの搬送面２１ｂに対して突出動させるとともに、板状体把持体１０１，１０２を接近離間駆動部１１０によって互いに離間動させている。
【００８５】
このような状態において、まず一方側の搬送装置１０Ａにおける右側駆動手段１４Ｍ１ならびに中央右側駆動手段１４Ｍ２と、右側ゾーン２６Ｓ１の駆動手段２５Ａとを駆動して、右ゾーン（１６Ｓ１＋１６Ｓ２）から２枚の小型ガラス基板６ａを連続して切り出し供給するとともに、これら小型ガラス基板６ａを、駆動させた縦送りコンベア部２１Ａのローラ体２４Ａ群によって支持搬送する。そして、２枚の小型ガラス基板６ａが縦送りコンベア部２１Ａ上に完全に乗り移ったことを検出するなどして、右側駆動手段１４Ｍ１ならびに中央右側駆動手段１４Ｍ２と駆動手段２５Ａとの駆動を停止させることで、図１６（ａ）に示すように、２枚の小型ガラス基板６ａを板状体支持部７０Ａの上方に位置し得る。
【００８６】
次いで、昇降駆動部５０Ａにより横送り手段４１Ａを上昇させることによって、板状体支持部７０Ａにおける扁平状の板状体支持面７０ａを縦送りコンベア部２１Ａの搬送面２１ａに対して突出動させ得、以て縦送りコンベア部２１Ａ上の両小型ガラス基板６ａを支持部分７５Ａ群によって持ち上げ支持し得る。この状態で、モータ８１Ａにより駆動ベルト８８Ａを回動させて板状体支持部７０Ａを仮置き部３１側に移動させることで、支持部分７５Ａ群によって支持している両小型ガラス基板６ａを、横送り搬送経路８９Ａ上で短尺寸法ｌの方向（横方向）に持ち上げ姿勢を乱すことなく安定して搬送し得る。
【００８７】
そして、両小型ガラス基板６ａが仮置き部３１の上方に位置したことを検出するなどして、モータ８１Ａを停止して横方向への搬送を停止させるとともに、横送り手段４１Ａを昇降駆動部５０Ａにより下降させることによって、板状体支持部７０Ａの板状体支持面７０ａを仮置き部３１の仮置き支持面３１ａに対して退入動し得る。これにより図１６（ｂ）に示すように、両小型ガラス基板６ａを、支持部材３４群の扁平状の仮置き支持面３１ａによって支持して仮置き部３１に仮置きし得る。この直後に、前述と同様にして、中央左側駆動手段１４Ｍ３ならびに左側駆動手段１４Ｍ４と、左側ゾーン２６Ｓ２の駆動手段２５Ａとを駆動して、左ゾーン（１６Ｓ３＋１６Ｓ４）から２枚の小型ガラス基板６ｂを連続して切り出し供給するとともに、駆動させた縦送りコンベア部２１Ａのローラ体２４Ａ群によって支持搬送する。
【００８８】
次いで、２枚の小型ガラス基板６ｂが縦送りコンベア部２１Ａ上に完全に乗り移ったことを検出するなどして、中央左側駆動手段１４Ｍ３ならびに左側駆動手段１４Ｍ４と、左側ゾーン２６Ｓ２の駆動手段２５Ａとの駆動を停止させる。この状態で、モータ８１Ａにより駆動ベルト８８Ａを逆回動させることで、図１６（ｃ）に示すように、仮置き部３１に位置していた板状体支持部７０Ａを移動させ、その支持部分７５Ａ群を、縦送りコンベア部２１Ａにより支持している両小型ガラス基板６ｂの下方に位置し得る。
【００８９】
これと同時に、他方の昇降駆動部５０Ｂにより横送り手段４１Ｂを上昇させることによって、板状体支持部７０Ｂの扁平状の板状体支持面７０ｂを仮置き部３１の仮置き支持面３１ａに対して突出動させ得、以て支持部材３４群上の両小型ガラス基板６ａを支持部分７５Ｂ群によって持ち上げ支持し得る。この状態で、モータ８１Ｂにより駆動ベルト８８Ｂを回動させることで、支持部分７５Ｂ群によって支持している両小型ガラス基板６ａを、横送り搬送経路８９Ｂ上で短尺寸法ｌの方向に、持ち上げ姿勢を乱すことなく安定して搬送し得る。その際に両小型ガラス基板６ａは、搬送面２１ｂに対して突出動している把持用部分１０４の少し上方を移動する。
【００９０】
そして、両小型ガラス基板６ａが板状体渡し域９０の上方に位置したことを検出するなどして、モータ８１Ｂを停止して横方向への搬送を停止させるとともに、昇降駆動部５０Ｂにより横送り手段４１Ｂを下降させることによって、板状体支持部７０Ｂの板状体支持面７０ｂを縦送りコンベア部２１Ｂの搬送面２１ｂに対して退入動させる。これにより両小型ガラス基板６ａを縦送りコンベア部２１Ｂによって支持し得る。その際に両小型ガラス基板６ａを、互いに離間動している板状体把持体１０１，１０２の把持用部分１０４間に位置し得る。
【００９１】
次いで図１７（ａ）に示すように、センタリング装置９１の接近離間駆動部１１０により板状体把持体１０１，１０２を互いに接近動させることで、板状体把持面１０１ａ，１０２ａにより両小型ガラス基板６ａを短尺寸法ｌの方向から把持し得、以て両小型ガラス基板６ａをセンタリング（位置決め）し得る。これに相前後して、横送り手段４１Ａを上昇させることで、縦送りコンベア部２１Ａ上の両小型ガラス基板６ｂを支持部分７５Ａ群によって持ち上げ支持し得るとともに、他方側の横送り手段４１Ｂのモータ８１Ｂにより駆動ベルト８８Ｂを逆回動させることで、下降している支持部分７５Ｂ群を仮置き部３１における仮置き支持面３１ａの下方に位置させる。このような動作中において、搬送装置１０Ａにおいては、次の（後列の）小型ガラス基板６ａ，６ｂ群を搬送して、搬送経路１５Ａの終端で停止させている。
【００９２】
そして図１７（ｂ）に示すように、センタリング装置９１の接近離間駆動部１１０により板状体把持体１０１，１０２を互いに離間動させて、センタリング済みの両小型ガラス基板６ａに対する把持を開放したのち、縦送りコンベア部２１Ｂを駆動して、そのローラ体２４Ｂ群による支持搬送によって、センタリング済みの両小型ガラス基板６ａを単数枚搬送装置１３０へと送り出す。その際に、１枚目の送り出しが行われている間に、横送り手段４１Ａを横送り作動させることで、支持部分７５Ａ群によって支持している両小型ガラス基板６ｂを横送り搬送経路８９Ａ上で、持ち上げ姿勢を乱すことなく安定して搬送して仮置き部３１の上方に位置し得る。そして、両昇降駆動部５０Ａにより横送り手段４１Ａを下降させることにより、両小型ガラス基板６ｂを仮置き部３１に仮置きし得る。
【００９３】
また、２枚目の送り出しが行われている前後には、図１７（ｃ）に示すように、下降している一方の支持部分７５Ａ群を右ゾーン（１６Ｓ１＋１６Ｓ２）の外方に位置させるとともに、横送り手段４１Ｂを上昇させることにより、仮置き部３１の支持部材３４群により支持していた両小型ガラス基板６ｂを支持部分７５Ｂ群によって持ち上げ支持し得る。さらに、右ゾーン（１６Ｓ１＋１６Ｓ２）から２枚の小型ガラス基板６ａを連続して切り出し供給するとともに、これら小型ガラス基板６ａを、駆動させた縦送りコンベア部２１Ａのローラ体２４Ａ群によって支持搬送する。そして、両小型ガラス基板６ａが縦送りコンベア部２１Ａ上に完全に乗り移ったことを検出するなどして、右側駆動手段１４Ｍ１ならびに中央右側駆動手段１４Ｍ２と駆動手段２５Ａとの駆動を停止させることで、２枚の小型ガラス基板６ａを板状体支持部７０Ａの上方に位置し得る。
【００９４】
次いで図１８（ａ）に示すように、一方側の昇降駆動部５０Ａにより横送り手段４１Ａを上昇させることによって、縦送りコンベア部２１Ａ上の両小型ガラス基板６ａを支持部分７５Ａ群の扁平状の板状体支持面７０ａによって持ち上げ支持し得る。これに相前後して、他方側の横送り手段４１Ｂの支持部分７５Ｂ群によって支持している両小型ガラス基板６ｂを、横送り搬送経路８９Ｂ上で短尺寸法ｌの方向に、持ち上げ姿勢を乱すことなく安定して搬送させる。そして、両小型ガラス基板６ｂが板状体渡し域９０の上方に位置したことを検出するなどして横方向への搬送を停止させるとともに、昇降駆動部５０Ｂにより横送り手段４１Ｂを下降させることによって、両小型ガラス基板６ｂを縦送りコンベア部２１Ｂにより支持させる。その際に両小型ガラス基板６ｂを、互いに離間動している板状体把持体１０１，１０２の把持用部分１０４間に位置し得る。
【００９５】
次いで図１８（ｂ）に示すように、センタリング装置９１により両小型ガラス基板６ｂをセンタリング（位置決め）し得る。これに相前後して、支持部分７５Ａ群によって支持している両小型ガラス基板６ａを、横送り搬送経路８９Ａ上で短尺寸法ｌの方向に、持ち上げ姿勢を乱すことなく安定して搬送して、仮置き部３１の上方に位置させたのち、横送り手段４１Ａの下降により両小型ガラス基板６ａを、支持部材３４群に支持させて仮置き部３１に仮置きし得る。さらに、他方側の下降している支持部分７５Ｂ群を仮置き部３１における仮置き支持面３１ａの下方に位置させる。このような動作中において、前述と同様にして、左ゾーン（１６Ｓ３＋１６Ｓ４）から２枚の小型ガラス基板６ｂを連続して切り出し供給するとともに、駆動させた縦送りコンベア部２１Ａのローラ体２４Ａ群によって支持搬送する。
【００９６】
そして図１８（ｃ）に示すように、センタリング装置９１の板状体把持体１０１，１０２を互いに離間動させて、センタリング済みの両小型ガラス基板６ｂに対する把持を開放したのち、縦送りコンベア部２１Ｂを駆動して両小型ガラス基板６ｂを単数枚搬送装置１３０へと送り出す。その際に、１枚目の送り出しが行われている間に、下降している一方の支持部分７５Ａ群を左ゾーン（１６Ｓ３＋１６Ｓ４）の外方に位置させるとともに、横送り手段４１Ｂを上昇させることにより、仮置き部３１の支持部材３４群により支持していた両小型ガラス基板６ａを支持部分７５Ｂ群によって持ち上げ支持し得る。さらに、左ゾーン（１６Ｓ３＋１６Ｓ４）からの両小型ガラス基板６ｂが縦送りコンベア部２１Ａ上に完全に乗り移ることで、両小型ガラス基板６ｂを板状体支持部７０Ａの上方に位置し得る。
【００９７】
これにより、両小型ガラス基板６ｂに対して図１７（ｂ）に示す状態において、次の両小型ガラス基板６ｂに対して図１７（ｃ）に示す状態となり、以下において同様に繰り返し動作し得る。このようにして、一方側の搬送装置１０Ａからの小型ガラス基板６ａ，６ｂ群を、それぞれセンタリングした状態で単数枚搬送装置１３０へと効率良く送り出し得る。そして適宜に、他方側の搬送装置１０Ｂからの小型ガラス基板６ｃ，６ｄ群を合流処理して単数枚搬送装置１３０へと送り出すように切り換えられる。
【００９８】
すなわち、切り換え時に一方の横送り手段４１Ａは、その板状体支持部７０Ａを一方側の搬送装置１０Ａにおける右ゾーン（１６Ｓ１＋１６Ｓ２）の外方に位置させるとともに、板状体支持面７０ａを縦送りコンベア部２１Ａの搬送面２１ａに対して退入動させた状態で、非使用（待機）となっている。また他方の横送り手段４１Ｂは、その板状体支持部７０Ｂを他方側の搬送装置１０Ｂにおける右ゾーン（１６Ｓ１＋１６Ｓ２）の外方に位置させるとともに、板状体支持面７０ｂを、縦送りコンベア部２１Ｂの搬送面２１ｂに対して退入動させている。そして、センタリング装置９１における板状体把持体１０１，１０２の把持用部分１０４を、昇降駆動部９４により昇降体９２，９３を下降させることで、縦送りコンベア部２１Ｂの搬送面２１ｂに対して退入動させるとともに、板状体把持体１０１，１０２を接近離間駆動部１１０によって互いに離間動させている。
【００９９】
このような状態において、まず他方側の搬送装置１０Ｂにおける右側駆動手段１４Ｍ１ならびに中央右側駆動手段１４Ｍ２と、右側ゾーン２６Ｓ１の駆動手段２５Ｂとを駆動して、右ゾーン（１６Ｓ１＋１６Ｓ２）から２枚の小型ガラス基板６ｃを連続して切り出し供給するとともに、両小型ガラス基板６ｃを、駆動させた縦送りコンベア部２１Ｂのローラ体２４Ｂ群によって支持搬送する。そして、両小型ガラス基板６ｃが縦送りコンベア部２１Ｂ上に完全に乗り移ったことを検出するなどして、右側駆動手段１４Ｍ１ならびに中央右側駆動手段１４Ｍ２と駆動手段２５Ｂとの駆動を停止させることで、図１９（ａ）に示すように、両小型ガラス基板６ｃを板状体支持部７０Ｂの上方に位置し得る。
【０１００】
次いで、昇降駆動部５０Ｂにより横送り手段４１Ｂを上昇させることによって、板状体支持部７０Ｂにおける扁平状の板状体支持面７０ｂを縦送りコンベア部２１Ｂの搬送面２１ｂに対して突出動させ得、以て縦送りコンベア部２１Ｂ上の両小型ガラス基板６ｃを支持部分７５Ｂ群によって持ち上げ支持し得る。この状態で、モータ８１Ｂにより駆動ベルト８８Ｂを回動させて板状体支持部７０Ｂを仮置き部３１側に移動させることで、支持部分７５Ｂ群によって支持している両小型ガラス基板６ｃを、横送り搬送経路８９Ｂ上で幅広寸法Ｍの方向（横方向）に、持ち上げ姿勢を乱すことなく安定して搬送し得る。
【０１０１】
そして、両小型ガラス基板６ｃが板状体渡し域９０の上方に位置したことを検出するなどして、モータ８１Ｂを停止して横方向への搬送を停止させるとともに、横送り手段４１Ｂを昇降駆動部５０Ｂにより下降させることによって、板状体支持部７０Ｂの板状体支持面７０ｂを縦送りコンベア部２１Ｂの搬送面２１ｂに対して退入動し得る。これにより図１９（ｂ）に示すように、両小型ガラス基板６ｃをローラ体２４Ｂ群によって支持し得、その際に両小型ガラス基板６ｃを、互いに離間動している板状体把持体１０１，１０２の把持用部分１０４の上方間に位置し得る。したがって、昇降駆動部９４により昇降体９２，９３を上昇させて、板状体把持体１０１，１０２の把持用部分１０４を搬送面２１ｂに対して突出動させることで、互いに離間動している把持用部分１０４間に両小型ガラス基板６ｃを位置し得る。
【０１０２】
次いで図１９（ｃ）に示すように、センタリング装置９１の接近離間駆動部１１０により板状体把持体１０１，１０２を互いに接近動させることで、板状体把持面１０１ａ，１０２ａにより両小型ガラス基板６ｃを幅広寸法Ｍの方向から把持し得、以て両小型ガラス基板６ｃをセンタリング（位置決め）し得る。これに相前後して、他方側の横送り手段４１Ｂのモータ８１Ｂにより駆動ベルト８８Ｂを逆回動させることで、下降している支持部分７５Ｂ群を左ゾーン（１６Ｓ３＋１６Ｓ４）の外方に位置させる。
【０１０３】
そして図２０（ａ）に示すように、センタリング装置９１の接近離間駆動部１１０により板状体把持体１０１，１０２を互いに離間動させて、センタリング済みの両小型ガラス基板６ｃに対する把持を開放したのちに、昇降駆動部９４により昇降体９２，９３を下降させて、板状体把持体１０１，１０２の把持用部分１０４を搬送面２１ｂに対して退入動させる。この退入動に相前後して、縦送りコンベア部２１Ｂを駆動することで、そのローラ体２４Ｂ群による支持搬送によって、センタリング済みの１枚目の両小型ガラス基板６ｃを単数枚搬送装置１３０へと送り出す。
【０１０４】
また、センタリング済みの２枚目の送り出しが行われている前後には、図２０（ｂ）に示すように、前述と同様にして、左ゾーン（１６Ｓ３＋１６Ｓ４）から両小型ガラス基板６ｄを切り出し供給するとともに、駆動させた縦送りコンベア部２１Ｂのローラ体２４Ｂ群によって支持搬送する。
【０１０５】
次いで図２０（ｃ）に示すように、両小型ガラス基板６ｄが縦送りコンベア部２１Ｂ上に完全に乗り移ったことを検出するなどして、中央左側駆動手段１４Ｍ３ならびに左側駆動手段１４Ｍ４と、両駆動手段２５Ｂとの駆動を停止させる。この状態で、昇降駆動部５０Ｂにより横送り手段４１Ｂを上昇させることによって、縦送りコンベア部２１Ｂ上の両小型ガラス基板６ｄを支持部分７５Ｂ群によって持ち上げ支持し得る。そして、昇降駆動部９４により昇降体９２，９３を上昇させて、板状体把持体１０１，１０２の互いに離間動している把持用部分１０４を搬送面２１ｂに対して突出動させる。このような動作中において、搬送装置１０Ｂにおいては、次の（後列の）小型ガラス基板６ｃ，６ｄ群を搬送して、搬送経路１５Ｂの終端で停止させている。
【０１０６】
この状態で、左ゾーン（１６Ｓ３＋１６Ｓ４）の外方に位置していた板状体支持部７０Ｂを移動させ、その支持部分７５Ｂ群によって支持している両小型ガラス基板６ｄを横送り搬送経路８９Ｂ上で短尺寸法ｌの方向に、持ち上げ姿勢を乱すことなく安定して搬送し得る。そして図２１（ａ）に示すように、両小型ガラス基板６ｄが板状体渡し域９０の上方に位置したことを検出するなどして、横方向への搬送を停止させるとともに横送り手段４１Ｂを下降させることにより、両小型ガラス基板６ｄをローラ体２４Ｂ群によって支持し得、その際に両小型ガラス基板６ｄを、互いに離間動している板状体把持体１０１，１０２の把持用部分１０４間に位置し得る。
【０１０７】
次いで図２１（ｂ）に示すように、センタリング装置９１の接近離間駆動部１１０により板状体把持体１０１，１０２を互いに接近動させることで、板状体把持面１０１ａ，１０２ａにより両小型ガラス基板６ｄを把持してセンタリング（位置決め）し得る。そして図２１（ｃ）に示すように、センタリング装置９１の板状体把持体１０１，１０２を互いに離間動させて、センタリング済みの両小型ガラス基板６ｄに対する把持を開放したのちに、昇降駆動部９４により昇降体９２，９３を下降させて、板状体把持体１０１，１０２の把持用部分１０４を搬送面２１ｂに対して退入動させる。この退入動に相前後して、縦送りコンベア部２１Ｂを駆動することで、そのローラ体２４Ｂ群による支持搬送によって、センタリング済みの両小型ガラス基板６ｄを単数枚搬送装置１３０へと送り出す。
【０１０８】
これにより、両小型ガラス基板６ｄに対して図１８（ｃ）に示す状態において、次の両小型ガラス基板６ｃに対して図１９（ａ）に示す状態となり、以下において同様に繰り返し動作し得る。このようにして、他方側の搬送装置１０Ｂからの小型ガラス基板６ｃ，６ｄ群を、それぞれセンタリングした状態で単数枚搬送装置１３０へと効率良く送り出し得る。
【０１０９】
上記した実施の形態１によると、一対の搬送装置１０Ａ，１０Ｂで支持しているガラス基板５，６を、合流処理装置２０で合流処理したのち、単数枚搬送装置１３０に搬出させるに際して、合流処理装置２０では、両横送り手段４１Ａ，４１Ｂを下降させることによって、板状体支持部７０Ａ，７０Ｂを、縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂの搬送面２１ａ，２１ｂや仮置き部３１の仮置き支持面３１ａに対して退入動させている。このような状態において、一方の搬送装置１０Ａから切り出し供給したガラス基板５，６を、縦送りコンベア部２１Ａにより支持搬送して板状体支持部７０Ａの上方に位置させる。次いで、一方の横送り手段４１Ａを上昇させて、板状体支持部７０Ａを搬送面２１ａに対して突出動させることにより、縦送りコンベア部２１Ａ上のガラス基板５，６を板状体支持部７０Ａによって持ち上げ支持し得る。この状態で、板状体支持部７０Ａを仮置き部３１側に移動させることで、支持しているガラス基板５，６を横方向に搬送できる。
【０１１０】
そして、ガラス基板５，６を仮置き部３１の上方に位置させたのち、横送り手段４１Ａを下降して板状体支持部７０Ａを仮置き支持面３１ａに対して退入動させることにより、ガラス基板５，６を、仮置き支持面３１ａに支持させて仮置き部３１に仮置きできる。次いで、他方の横送り手段４１Ｂを上昇させて、板状体支持部７０Ｂを仮置き支持面３１ａに対して突出動させることにより、仮置き部３１上のガラス基板５，６を板状体支持部７０Ｂによって持ち上げ支持できる。この状態で、板状体支持部７０Ｂを仮置き部３１から離れる側に移動させることで、支持しているガラス基板５，６を横方向に搬送できる。このガラス基板５，６を板状体渡し域９０の上方に位置させたのち、横送り手段４１Ｂを下降して板状体支持部７０Ｂを仮置き支持面３１ａに対して退入動させることにより、ガラス基板５，６を、縦送りコンベア部２１Ｂにより支持できる。そして、縦送りコンベア部２１Ｂによる支持搬送によって、ガラス基板５，６を単数枚搬送装置１３０へと送り出し、この単数枚搬送装置１３０によって搬送できる。
【０１１１】
このような動作の繰り返しによって、一方の搬送装置１０Ａからのガラス基板５，６を、一対の横送り手段４１Ａ，４１Ｂと、一つの仮置き部３１とを介して、単数枚搬送装置１３０へと効率良く送り出しできる。また他方の搬送装置１０Ｂからのガラス基板５，６は、横送り手段４１Ｂのみを介して単数枚搬送装置１３０へと効率良く送り出しできる。その際に、横送り手段４１Ａ，４１Ｂによる搬送は、ガラス基板５，６に対する摩擦回転や、送り開始時や送り停止時に摺接動など生じない状態で、すなわち、板状体支持部７０Ａ，７０Ｂの扁平状の板状体支持面７０ａ，７０ｂによりガラス基板５，６を持ち上げ支持した持ち上げ姿勢を乱すことなく安定して行える。これにより、合流処理しての搬出を、搬送によるガラス基板５，６の損傷や、搬送姿勢や搬送停止位置の乱れを減少して行えるとともに、高速搬送を容易に実現できることになる。
【０１１２】
上記した実施の形態１によると、板状体渡し域９０の縦送りコンベア部２１Ｂで支持したガラス基板５，６を、センタリング装置９１によって板状体支持部７０Ａ，７０Ｂの移動方向で位置決めしたのち、単数枚搬送装置１３０へと送り出しでき、以て一対の搬送装置１０Ａ，１０Ｂからのガラス基板５，６を合流処理したのち、それぞれセンタリングした状態で単数枚搬送装置１３０へと効率良く送り出しできる。
【０１１３】
上記した実施の形態１によると、両搬送装置１０Ａ，１０Ｂから各列毎（複数のゾーン毎）に搬送されてくるガラス基板５，６を、順次、一対の横送り手段４１Ａ，４１Ｂと、一つの仮置き部３１とを介して、単数枚搬送装置１３０へと効率良く送り出しできる。
【０１１４】
上記した実施の形態１によると、搬送装置１０Ａ，１０Ｂから切り出し供給した２枚のガラス基板６を、縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂにより支持搬送して板状体支持部７０Ａ，７０Ｂの上方に位置でき、次いで、横送り手段４１Ａ，４１Ｂを上昇させて板状体支持部７０Ａ，７０Ｂを搬送面２１ａ，２１ｂに対して突出動させることにより、縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂ上の２枚のガラス基板６を板状体支持部７０Ａ，７０Ｂによって持ち上げ支持でき、この状態で板状体支持部７０Ａ，７０Ｂを移動させることで、支持している２枚のガラス基板６を同時に横方向に搬送でき、以て搬送装置１０Ａ，１０Ｂからのガラス基板６を効率良く合流処理できる。
【０１１５】
上記した実施の形態１では、一対の搬送装置１０Ａ，１０Ｂからのガラス基板５，６を、合流処理装置２０で合流処理したのち、単数枚搬送装置１３０に搬出させる形式が示されているが、これは３以上（複数）の搬送装置からのガラス基板を、合流処理装置２０で合流処理したのち、単数枚搬送装置１３０に搬出させる形式などであってもよく、この場合に、縦送りコンベア部や横送り手段は３以上（複数）に設けられ、そして仮置き部は２以上（複数）に設けられる。
【０１１６】
上記した実施の形態１では、単数枚搬送装置１３０が１箇所に設けられた形式が示されているが、これは単数枚搬送装置１３０が複数箇所に設けられた形式などであってもよい。
【０１１７】
上記した実施の形態１では、板状体渡し域９０に、ガラス基板５，６を板状体支持部７０Ａ，７０Ｂの移動方向で位置決めするセンタリング装置９１が設けられた形式が示されているが、これはセンタリング装置９１が省略された形式などであってもよい。
【０１１８】
上記した実施の形態１では、両搬送装置１０Ａ，１０Ｂは、３列または２列（複数列）のガラス基板５，６を各列毎に搬送可能に構成された形式が示されているが、これは１列（単数列）のガラス基板５，６を搬送可能に構成された形式や、さらに多数列（複数列）のガラス基板５，６を各列毎に搬送可能に構成された形式などであってもよい。
【０１１９】
上記した実施の形態１では、合流処理装置２０として、２枚（複数枚）のガラス基板６を同時に横送り可能に構成された形式が示されているが、これは１枚（単数枚）のガラス基板６を横送り可能に構成された形式、２枚以上（複数枚）のガラス基板６を同時に横送り可能に構成された形式などであってもよい。
【０１２０】
上記した実施の形態１では、板状体としてガラス基板５，６が示されているが、これは金属板や樹脂板などであってもよい。
上記した実施の形態１では、板状体として大型ガラス基板５と小型ガラス基板６との２種類が示されているが、これは１種類、または２種類以上であってもよい。
【０１２１】
上記した実施の形態１では、搬送装置１０Ａ，１０Ｂや縦送りコンベア部２１Ａ，２１Ｂの駆動として、各回転軸１２Ａ，１２Ｂ、２３Ａ，２３Ｂにそれぞれ駆動手段１４Ｍ１，１４Ｍ２  ，１４Ｍ３  ，１４Ｍ４、２５Ａ，２５Ｂを連動した形式が示されているが、これは回転軸間がベルト連動された形式などであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１２２】
【図１】本発明の実施の形態１を示し、板状体移載設備の平面図である。
【図２】同板状体移載設備の拡大平面図である。
【図３】同板状体移載設備における合流処理装置の側面図である。
【図４】同板状体移載設備の合流処理装置であって、図２におけるＡ−Ａ矢視面図である。
【図５】同板状体移載設備の合流処理装置であって、図２におけるＢ−Ｂ矢視面図である。
【図６】同板状体移載設備の合流処理装置であって、図２におけるＣ−Ｃ矢視面図である。
【図７】同板状体移載設備における合流処理装置の正面図である。
【図８】同板状体移載設備の合流処理装置であって、図３におけるＤ−Ｄ矢視面図である。
【図９】同板状体移載設備の合流処理装置であって、図３におけるＥ−Ｅ矢視面図である。
【図１０】同板状体移載設備における大型ガラス基板の取り扱いを示し、一方の搬送装置に対応した前段取り扱い時の概略平面図である。
【図１１】同板状体移載設備における大型ガラス基板の取り扱いを示し、一方の搬送装置に対応した中間段取り扱い時の概略平面図である。
【図１２】同板状体移載設備における大型ガラス基板の取り扱いを示し、一方の搬送装置に対応した後段取り扱い時の概略平面図である。
【図１３】同板状体移載設備における大型ガラス基板の取り扱いを示し、他方の搬送装置に対応した前段取り扱い時の概略平面図である。
【図１４】同板状体移載設備における大型ガラス基板の取り扱いを示し、他方の搬送装置に対応した中間段取り扱い時の概略平面図である。
【図１５】同板状体移載設備における大型ガラス基板の取り扱いを示し、他方の搬送装置に対応した後段取り扱い時の概略平面図である。
【図１６】同板状体移載設備における小型ガラス基板の取り扱いを示し、一方の搬送装置に対応した前段取り扱い時の概略平面図である。
【図１７】同板状体移載設備における小型ガラス基板の取り扱いを示し、一方の搬送装置に対応した中間段取り扱い時の概略平面図である。
【図１８】同板状体移載設備における小型ガラス基板の取り扱いを示し、一方の搬送装置に対応した後段取り扱い時の概略平面図である。
【図１９】同板状体移載設備における小型ガラス基板の取り扱いを示し、他方の搬送装置に対応した前段取り扱い時の概略平面図である。
【図２０】同板状体移載設備における小型ガラス基板の取り扱いを示し、他方の搬送装置に対応した中間段取り扱い時の概略平面図である。
【図２１】同板状体移載設備における小型ガラス基板の取り扱いを示し、他方の搬送装置に対応した後段取り扱い時の概略平面図である。
【符号の説明】
【０１２３】
３        ボックス体
５        大型ガラス基板（板状体）
５ａ      大型ガラス基板（板状体）
５ｂ      大型ガラス基板（板状体）
５ｃ      大型ガラス基板（板状体）
５ｄ      大型ガラス基板（板状体）
５ｅ      大型ガラス基板（板状体）
５ｆ      大型ガラス基板（板状体）
６        小型ガラス基板（板状体）
６ａ      小型ガラス基板（板状体）
６ｂ      小型ガラス基板（板状体）
６ｃ      小型ガラス基板（板状体）
６ｄ      小型ガラス基板（板状体）
９        板状体移載設備
１０Ａ    搬送装置
１０ａ    搬送面
１０Ｂ    搬送装置
１０ｂ    搬送面
１３Ａ    ローラ体
１３Ｂ    ローラ体
１４Ｍ１    右側駆動手段
１４Ｍ２    中央右側駆動手段
１４Ｍ３    中央左側駆動手段
１４Ｍ４    左側駆動手段
１５Ａ    搬送経路
１５Ｂ    搬送経路
１６Ｓ１    右側ゾーン
１６Ｓ２    中央右側ゾーン
１６Ｓ３    中央左側ゾーン
１６Ｓ４    左側ゾーン
２０      合流処理装置
２１Ａ    縦送りコンベア部
２１ａ    搬送面
２１Ｂ    縦送りコンベア部
２１ｂ    搬送面
２４Ａ    ローラ体
２４Ｂ    ローラ体
２５Ａ    駆動手段
２５Ｂ    駆動手段
２６Ｓ１    右側ゾーン
２６Ｓ２    左側ゾーン
３１      仮置き部
３１ａ    仮置き支持面
４１Ａ    横送り手段
４１Ｂ    横送り手段
５０Ａ    昇降駆動部
５０Ｂ    昇降駆動部
６０Ａ    ガイド部材
６０Ｂ    ガイド部材
７０Ａ    板状体支持部
７０ａ    板状体支持面
７０Ｂ    板状体支持部
７０ｂ    板状体支持面
８０Ａ    横移動駆動部
８０Ｂ    横移動駆動部
８８Ａ    駆動ベルト
８８Ｂ    駆動ベルト
８９Ａ    横送り搬送経路
８９Ｂ    横送り搬送経路
９０      板状体渡し域
９１      センタリング装置
９７      ガイド部材
１０１    板状体把持体
１０１ａ  板状体把持面
１０２    板状体把持体
１０２ａ  板状体把持面
１１０    接近離間駆動部
１１７    駆動ベルト
１３０    単数枚搬送装置
Ｌ        長尺寸法
Ｍ        幅広寸法
ｌ        短尺寸法
ｍ        幅狭寸法
【図１】
2008094524.tif 000003
【図２】
2008094524.tif 000004
【図３】
2008094524.tif 000005
【図４】
2008094524.tif 000006
【図５】
2008094524.tif 000007
【図６】
2008094524.tif 000008
【図７】
2008094524.tif 000009
【図８】
2008094524.tif 000010
【図９】
2008094524.tif 000011
【図１０】
2008094524.tif 000012
【図１１】
2008094524.tif 000013
【図１２】
2008094524.tif 000014
【図１３】
2008094524.tif 000015
【図１４】
2008094524.tif 000016
【図１５】
2008094524.tif 000017
【図１６】
2008094524.tif 000018
【図１７】
2008094524.tif 000019
【図１８】
2008094524.tif 000020
【図１９】
2008094524.tif 000021
【図２０】
2008094524.tif 000022
【図２１】
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