(57)【要約】      （修正有）【課題】頂面を同一面に配置して検査対象載置面を構成する複数の端子を有する端子テーブルを提供する。【解決手段】検査対象載置面は、載置すべき検査対象の端子接触側面よりも小さい面積であっても良く、複数の端子の頂面間に検査対象吸引穴が設けられていても良い。本端子テーブルは、検査対象の下面側から簡単に２端子で接触可能である。さらに検査対象と測定端子とがより確実に接触し、正確な測定を行うことが可能となる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
頂面を同一面に配置して検査対象載置面を構成する複数の端子を有する端子テーブル。
【請求項２】
検査対象載置面は、載置すべき検査対象の端子接触側面よりも小さい面積である請求項１に記載の端子テーブル。
【請求項３】
検査対象載置面には、複数の端子の頂面間に検査対象吸引穴が設けられている請求項１又は２に記載の端子テーブル。
【請求項４】
頂面は針の先端程度の曲率面である請求項１から３のいずれか一に記載の端子テーブル。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか一に記載の端子テーブルを有する検査装置。
【請求項６】
検査対象載置面上に載置された検査対象の上面側から接触する複数の端子である上面側端子を有する請求項５に記載の検査装置。
【請求項７】
端子テーブルを構成する端子と、上面側端子とによって検査対象を四端子測定する請求項６に記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、発光ダイオード（ＬＥＤ）・レーザーダイオード（ＬＤ）等の電気的検査及び発光検査などを行うための端子テーブル及び端子テーブルを有する測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
発光ダイオード・レーザダイオード等の電気的検査及び発光検査においては、検査対象の接続パッドにプローブ（測定端子）を押し付けることにより電気的な接触を図り、測定を行っている。例えば、発光ダイオードは図１４のような電気特性を持ち、小さい電圧をかけているときは電流が流れず発光もしないが、ある電圧値（Ａ）よりも大きい電圧をかけると流れる電流が急激に増加するという特徴がある。そのため、ある電圧値（Ａ）以上の電圧をかけた場合には、電圧値の微少な変化（ｄＶ）により、電流値が大きく変化（ｄＩ）する。ここで、発光ダイオードの輝度は電流値に比例する。発光ダイオードを平面上に並べて使用する場合には色のムラをなくすために輝度の揃った発光ダイオードを使用する必要がある。通常は発光ダイオードを並列に並べ、全ての発光ダイオードに一定の電圧をかけるので、発光ダイオードの各チップの抵抗値を揃える必要がある。実際には、チップは輝度等の光特性や順電圧等の電気特性によって１００種類ほどに分類される。これらの精密な検査において問題となるのは、プローブと検査対象の接続パッドとの接触部に発生する接触抵抗である。接触抵抗の原因となるものとしては、異種金属の接触による接触電位差、検査対象の接続パッド表面に付着した酸化膜や微小な凹凸部による抵抗などがある。接続パッドとして通常用いられている材質はアルミニウム（Al）、銅（Cu）、金（Au）などである。しかし、アルミニウム、銅は酸化されやすく、酸化されると強固な酸化膜（Al2O3、CuO、Cu2O）が形成される。また、金の場合には表面に酸化物や窒化物などの変質層が形成される。さらに、基板からの切り出し等のプロセスにおいて検査対象の表面に粘着テープの一部が残存してしまうといった問題があった。
【０００３】
そこで、精密な検査の場合には接触抵抗を無視するために四端子測定法が用いられる。四端子測定を行うためには検査対象に４つのプローブを独立に接触させる必要がある。例えば、四端子測定法を利用した測定方法として、チップ状電子部品に対して確実に四端子を電極に接触させて安定した抵抗値測定を可能とする方法の発明が開示されている。
【特許文献１】特開２００６−１５６７２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、検査対象の接続パッドの位置や形によっては上記の方法により検査対象の測定を行うことができない場合がある。例えば、図１５に示したように検査対象（１５０１）の接続パッド（１５０２）が上下の一面に設けられている場合には、４つのプローブを上から押し付けることにより四端子測定を行うことはできない。従来このような場合には、図１６のように接続パッド（１６０２）が上下一面に設けられている検査対象（１６０１）を検査台（１６０３）上において、上からプローブ（１６０４）を２本押し付け、検査台から端子を２つに分けて２端子（１６０５）として、擬似四端子測定を行っていた。しかし、この方法で測定した抵抗には検査対象と検査台との間の接触抵抗が誤差として含まれるという問題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本発明者は、以下の端子テーブル、端子テーブルを有する測定装置を提供する。
【０００６】
第一の発明は、頂面を同一面に配置して検査対象載置面を構成する複数の端子を有する端子テーブルを提供する。第二の発明は、検査対象載置面は、載置すべき検査対象の端子接触側面よりも小さい面積である第一の発明に記載の端子テーブルを提供する。第三の発明は、検査対象載置面には、複数の端子の頂面間に検査対象吸引穴が設けられている第一又は第二の発明に記載の端子テーブルを提供する。第四の発明は、頂面は針の先端程度の曲率面である第一から第三の発明のいずれか一に記載の端子テーブルを提供する。第五の発明は、第一から第四の発明のいずれか一に記載の端子テーブルを有する検査装置を提供する。第六の発明は、検査対象載置面上に載置された検査対象の上面側から接触する複数の端子である上面側端子を有する第五の発明に記載の検査装置を提供する。第七の発明は、端子テーブルを構成する端子と、上面側端子とによって検査対象を四端子測定する第六の発明に記載の検査装置を提供する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の端子テーブルによれば、検査対象の下面側から簡単に２端子で接触可能である。さらに検査対象と測定端子とがより確実に接触し、正確な測定を行うことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下に本発明を実施するための最良の形態を説明する。なお、本発明はこれら実施形態に何ら限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において、種々なる態様で実施しうる。
【０００９】
実施形態１は、主に請求項１などについて説明する。実施形態２は、主に請求項２、４などについて説明する。実施形態３は、主に請求項３などについて説明する。実施形態４は、主に請求項５、６、７などについて説明する。
<<実施形態１>>
【００１０】
<実施形態１：概要>本実施形態では、発光ダイオード（ＬＥＤ）・レーザーダイオード（ＬＤ）等の電気的検査及び発光検査などを行う際に、検査対象を載置するテーブルに関するものであり、そのテーブルが複数の端子を有することで検査対象の下面側から複数の端子が接触するように設計された端子テーブルについて説明する。
【００１１】
<実施形態１：構成>本実施形態に係る端子テーブルは、頂面を同一面に配置して検査対象載置面を構成する複数の端子を有する。
【００１２】
図１に本実施形態に係る端子テーブルの一例を示す。端子テーブルは端子Ａ（０１０２）と端子Ｂ（０１０３）から構成されており、その頂面が同一面に配置されている。ここで頂面とは各端子の上面を表す。このため、検査対象（０１０１）の接続パッドが端子Ａ及び端子Ｂに等しく接触した状態で検査対象を載置することが可能である。また、検査対象載置面とは、全ての端子及び絶縁体の頂面を含む最小の多角形もしくは円形のことである。さらに、端子Ａと端子Ｂ間は絶縁層（０１０４）によって電気的に絶縁されている。したがって、この端子テーブルに対して絶縁層を跨いで検査対象を載置すると、図１（ｂ）のように検査対象の接続パッドを複数の端子に接触させることができる。この図から容易に分かるように、絶縁層幅は面する接続パッド幅より小さい必要がある。また、検査対象を載置する観点から絶縁層は頂面より突出してはならない。しかし、反対に凹んでいる構造であれば問題ない。
【００１３】
図２に本実施形態に係る端子テーブルの他の一例を示す。端子テーブル内の各端子（０２０１）は絶縁層（０２０２）によって電気的に独立している。端子の数は図１で示したように２つに限定される必要はなく、図２（ａ）のように四端子であっても良い。また、端子テーブルは円形であっても良い（図２（ｂ））。さらに、図２（ｃ）のように端子の周りは絶縁体によって囲まれていても良い。端子テーブルは検査対象を安定して載置できるテーブルであり、検査対象の接続パッドが載置される面内に２端子以上の頂面を有しているものであれば、どのようなものでも良い。
【００１４】
<実施形態１：効果>このような端子テーブルを用いれば、検査対象の下面側から２端子以上で検査対象に電気的に接続することができる。さらに、上面側から２端子で測定することにより、四端子測定が可能である。
【００１５】
<実施形態１：具体例>検査対象としては発光ダイオード素子などがあげられる。標準的な発光ダイオード素子の大きさは２００ミクロン角程度であり、絶縁層の幅は２０〜５０ミクロン程度であることが好ましい。なお、検査対象の形や接続パッドの大きさに応じてテーブルの形や、絶縁層の幅、位置等を決定することができる。
<<実施形態２>>
【００１６】
<実施形態２：概要>実施形態１に記載の端子テーブルを基本とし、より確実に端子と検査対象とを接触させることを目的とした端子テーブルについて説明する。
【００１７】
<実施形態２：構成>本実施形態に係る端子テーブルの検査対象載置面は、載置すべき検査対象の端子接触側面よりも小さい面積であることを特徴とする。又は、頂面は針の先端程度の曲率面であることを特徴とする。
【００１８】
本実施形態に係る端子テーブルの一例を図３に示す。図３（ａ）は端子テーブルの先端の斜視図であり、端子テーブル（０３０２）の検査対象載置面が検査対象（０３０１）の端子接触側面よりも小さくなるように設計されている。図３の（ｂ）は（ａ）の矢印の方向から見た図（側面図）である。
【００１９】
次に図４にて本実施形態に係る端子テーブルの検査対象載置面の他の一例を説明する。図４（ａ）は検査対象の下面側を下から見た図であり、一面に接続パッド（０４０１）が設けられている。また、図４（ｂ）から（ｆ）は端子テーブルの検査対象載置面を上から見た図であり、外の点線枠は図４（ａ）の検査対象下面側の接続パッドの大きさを表している。どの検査対象載置面も検査対象の下面側の接続パッドの面積よりも小さい。また、図中の実線で囲まれた白色部分は端子の頂面（０４０２）を表し、灰色部分は絶縁層（０４０３）を表す。図４（ｂ）は図３に示した端子テーブルである。また、図４（ｃ）のように端子の外側が絶縁体に覆われているものでもよい。さらに、図４（ｄ）のように中央に２端子の間に絶縁層を挟んだ構造を持ち、外側に支えとして絶縁体部を有していても良い。また、図４（ｅ）のように四端子を有していてもよく、図４（ｆ）のように円形でも構わない。他にも検査対象を安定に載置できる構造であれば良く、様々な形で実施しうる。また、図４（ｅ）のように四端子を有しているときには、異なる二端子を選択して同じ測定を二度繰り返し、測定精度を上げることも考えられる。
【００２０】
端子テーブルの検査対象載置面が検査対象の端子接触側面よりも小さい場合には、大きい場合と比べて次のような利点がある。図５は検査対象載置面の大きさと接触状態の違いを表したものである。例えば、図５（ａ）のように検査対象（０５０１）が湾曲している場合には、端子テーブル（０５０２）の検査対象載置面が検査対象の端子接触側面に比べて大きいと、検査対象と端子との接触面が検査対象端のみとなり、確実な測定を行うことができない。しかし、図５（ｂ）に示したように、検査対象載置面が検査対象の端子接触側面に比べて小さいときには、検査対象が湾曲していたとしても接触パッドと接触させることができる。また、測定を繰り返すうちに端子の先端や、端子テーブルの載置箇所が削れていくことが頻繁に起こりうるが、このような場合にも検査対象載置面が検査対象の端子接触側面に比べて大きいと、検査対象と端子との接触面が検査対象端のみとなり、確実な測定を行うことができない（図５（ｃ））。しかし、図５（ｄ）に示したように、検査対象載置面が検査対象の端子接触側面に比べて小さいときには、端子テーブルが削れていったとしても接触パッドと接触させることができる。実際には、検査対象載置面が検査対象の端子接触側面に比べて小さいときは、図５（ｄ）のように削れることは考えにくく、載置面が均等にすり減る、もしくは載置面の外側からすり減っていくことが予想されるが、この場合でも確実に接触させることが可能である。また、この構造によると検査対象の表面に付着している粘着テープの残存物を押しのけて端子テーブルが検査対象に接触し、より確実に測定することが可能となる。
【００２１】
さらに、検査対象と端子テーブルを確実に接触させる方法として、頂面を針の先端程度の曲率面にすることが考えられる。例えば、図６（ａ）において端子テーブル（０６０２）は針の先端程度の曲率面を持ち、さらにその先端に平らな面を設けている。この構造により、検査対象（０６０１）を安定して保持することが可能である。また、図６（ｂ）のように検査対象が湾曲している場合であっても確実に接触させることが可能である。他にも端子テーブルとして図６（ｃ）のように針の先端程度の曲率を持った端子を絶縁層を挟んで複数本合わせたものが考えられる。この場合、検査対象を安定して載置するために端子は３本以上必要である。さらに、図６（ｄ）に示すように、検査対象が湾曲している場合であっても確実に接触させることが可能である。
【００２２】
<実施形態２：効果>本実施形態に係る端子テーブルのように、検査対象載置面が検査対象の端子接触側面よりも小さい場合には、端子を接続パッドにより確実に接触させることが可能である。また、針の先端程度の曲率面を持つ端子テーブルを用いても同様に、接触の確実性が増す。さらに、先の細い端子テーブルを用いることにより、検査対象の表面に付着している粘着テープの残存物を押しのけて接触させることが可能となる。
<<実施形態３>>
【００２３】
<実施形態３：概要>実施形態１及び２に記載の端子テーブルを基本とし、検査対象載置面内に検査対象吸引穴が設けられており、その穴から検査対象を吸引することにより測定時に安定して検査対象を固定できる端子テーブルについて説明する。
【００２４】
<実施形態３：構成>本実施形態に係る端子テーブルの検査対象載置面には、複数の端子の頂面間に検査対象吸引穴が設けられていることを特徴とする。
【００２５】
本実施形態に係る端子テーブルの一例を図７に示す。ここで、検査対象吸引穴（０７０３）は、端子テーブル（０７０２）の複数の端子の頂面間に設置されており、測定時には負の圧力をかけて検査対象（０７０１）を吸引することで検査対象を固定し、また、測定後に検査対象を端子テーブルから引き離すときには正の圧力を加え、検査対象を確実に引き離すことを可能とする。これより、検査対象の表面に粘着テープの残存物が付着しているために端子テーブルと検査対象がくっついてしまった場合でも簡単に検査対象物を引き離すことが可能となる。
【００２６】
<実施形態３：処理の流れ>次にこの端子テーブルを使用するときの処理の流れについて、図８及び図９を用いて説明する。この処理は、通常は自動化した装置を用いてなされる。まず、図８（ａ）にあるように、検査対象（０８０１）をピンセット（０８０２）のようなもので端子テーブル（０８０３）直上まで運ぶ。次に図８（ｂ）のように、ピンセットを下に移動し検査対象を端子テーブル上に置く。このとき、検査対象吸引穴（０８０４）からの負の圧力をかけて引き、検査対象を固定する（図８（ｃ））。その後、負の圧力をかけたまま測定をする。さらに、測定終了後は図９（ａ）のように、まず、ピンセット（０９０２）で検査対象（０９０１）をつかむ。その後、図９（ｂ）のようにピンセットを上に移動すると同時に検査対象吸引穴（０９０４）に正の圧力をかけて検査対象を端子テーブル（０９０３）から引き離す。これより、検査対象及び端子テーブルに粘着テープの残存物等の粘着物が付着していた場合でもスムーズに引き離すことが可能である。そして、検査の済んだ検査対象を仕分けし、分類先へ運ぶ（図９（ｃ））。
【００２７】
また、検査対象を移動する手段はピンセットのようなものではさんで移動する以外に、検査対象上面からの吸引によって検査対象をつかみ、移動させても良い。
【００２８】
<実施形態３：効果>測定時により安定して検査対象を固定することが可能である。さらに、粘着物などが付着していた場合でもスムーズに引き離すことが可能である。
【００２９】
<実施形態３：具体例>実際には＋−５００ｍｍＨｇの圧力をかけ、検査対象を吸引したり、離脱したりすることが好ましい。
<<実施形態４>>
【００３０】
<実施形態４：概要>実施形態１から３に記載の端子テーブルを有し、検査対象の上面側から接触する複数の端子をさらに有する、四端子測定が可能な検査装置について説明する。
【００３１】
<実施形態４：構成>本実施形態に係る検査装置は、実施形態１から３に記載の端子テーブルを有する。さらに、検査対象載置面上に載置された検査対象の上面側から接触する複数の端子である上面側端子を有し、端子テーブルを構成する端子と、上面側端子とによって検査対象を四端子測定することが可能である。
【００３２】
ここで、上面側端子とは上面側から検査対象に接触する端子のことであり、２端子以上が独立に検査対象に接触するものであれば、どのようなものでも良い。本実施形態に係る検査装置の一例を図１０に示した。図１０（ａ）及び（ｂ）は実施形態２に示した端子テーブル（１００２）の上に検査対象（１００１）を載置して、上から針状プローブ（１００３）を２つ接触させることで四端子測定が可能である。図１０（ｂ）の２本の針状プローブは根元では一体になっており、絶縁体（１００４）によって電気的に絶縁されている。さらに、上面側端子は図１０（ｃ）及び図１０（ｄ）に示したように端子テーブルと同じ構造のものを上面側からあてても良い。
【００３３】
<実施形態４：効果>検査対象の上面側と下面側に接触パッドが設置されている場合に、検査対象の載置テーブル側に複数の端子を有し、検査対象の上面側から接触する複数の端子をさらに有する検査装置を用いれば、四端子測定を行うことが可能となり、接触抵抗を無視した検査対象の抵抗値を測定することができる。このように抵抗値を精度良く測定することで、光特性や電気特性による発光素子の厳密な分類が可能となる。
<<具体的な実施例>>
【００３４】
本発明による端子テーブルの製造工程について以下に図を用いて簡単に説明する。本実施例においては図４（ｅ）に示したように４端子を有し、さらに、図７に示したように、端子テーブルの中央付近に検査対象吸引穴の持つ端子テーブルの製造工程について説明する。
【００３５】
図１１は本実施例における端子テーブルの製造工程の処理の流れの一例を示したものである。以下に本実施例の製造工程を図１１及び１２を用いて各工程ごとに説明する。
【００３６】
第一基板準備工程（Ｓ１１０１）は第一の基板を準備する工程である。第一の基板の材質は主に導電性の材料により構成される。この導電性材料は、検査対象と接触した際に酸化膜等を除去できるようにできるだけ硬い材質が好ましい。具体的にはタングステン、タングステン合金、タングステンカーバイド、ベリリウム銅などが導電性材料として好ましい。端子テーブルは一種類の材質のみから構成されるものでなく、複数種類の材質により構成されていても良い。
【００３７】
フィルム状絶縁膜配置工程（Ｓ１１０２）は、前記第一基板準備工程にて準備された第一基板面上にフィルム状絶縁膜を配置する工程である。フィルム状絶縁膜は端子テーブルを構成する絶縁層の元の材料となるため、材質は少なくとも最終的に絶縁層となりうるものである。ただし、この配置工程作業時に絶縁性を有していることは必ずしも必要でなく、後の工程で加熱などのプロセスを介して絶縁性を有するようになれば十分である。
【００３８】
第二基板配置工程（Ｓ１１０３）は、前記フィルム状絶縁膜配置工程にて配置されたフィルム状絶縁膜を挟むように第二の基板を配置する工程である。第二の基板の材質は第一の基板の材質と同様である。
【００３９】
第一ブロック作成工程（Ｓ１１０４）は、前記第二基板配置工程にて前記フィルム状絶縁膜を狭持して配置された前記第一基板と、前記第二基板とを加熱しながら押圧して、フィルム状絶縁膜により一体化してブロックとする工程である。押圧は、図１２（ａ）のように第一基板（１２０１）と、第二基板（１２０２）間にフィルム状絶縁膜（１２０３）を配置し、ローラー（１２０４）で第一基板と第二基板とを密着方向に加圧することによって一体化する。
【００４０】
切断加工工程（Ｓ１１０５）は、前記ブロックをワイヤ放電加工、スライシング、ワイヤソー切断等により、前記第一基板と、第二基板とが絶縁された状態でそれぞれ測定端子となるよう切断加工する工程である。切り出された各ブロックは図１２（ｂ）のようになる。ここでワイヤ放電加工とは、金属ワイヤと加工目的物とを電極としてそれらの間の放電により加工を行う方法である。ワイヤ放電加工を用いれば、タングステンのような硬い金属でも加工することができる。ワイヤ放電加工は導電性のある材料であれば加工できるが、絶縁体の加工はできない。したがって前記フィルム状絶縁膜は加工できないようにも思えるが、前記ブロックは主に導電性材料により構成されており、フィルム状絶縁膜の厚さは十分薄いため、導電性材料とともに加工することができる。なお、本実施例におけるブロックの切出幅は、０．５〜２．５ミリ程度である。ここで切出幅とは切断されたブロックの切断面と垂直な方向の長さをいう。
【００４１】
第二のブロック作成（再ブロック化）工程（Ｓ１１０６）は、前記切断加工工程によって切り出されたブロックから２つを取り出し、図１２（ｃ）のように、その切断面の片方にフィルム状絶縁膜を配置し、さらに中心に針金（１２０５）を挟持してローラーで密着方向に加圧することによって一体化する工程である（図１２（ｄ））。ここで挟持される針金は、端子テーブル中心の検査対象吸引穴を作成するためのものであり、全工程の最終段階で取り除く必要がある。そこで、針金の周りを水溶性物質でコーティングしたものを用いる。
【００４２】
外形加工工程（Ｓ１１０７）は、前記再ブロック化工程によって一体化されたブロックにさらにワイヤ放電加工を施し、外形を整える工程である。針金の長手方向を上下としてブロックを載置したとき、ブロック上端部の面積が検査対象の端子接触側面よりも小さい面積になるように加工する。このとき、ブロック上端部に向かって幅狭の形状となる。さらに、ブロック上端面は検査対象載置面となるので精度良く平らである必要がある。なお、本実施例におけるブロック上面の大きさは、１５０〜２００ミクロン角程度である。
【００４３】
さらに、ここで導電性のダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）の薄膜を端子テーブル上端面に蒸着させることにより、より強固な接触面を持つ端子テーブルを製造することも可能である。このとき、絶縁層の部分にレジストを塗布する必要がある。これにより、端子を構成する導電性材料は先に挙げた硬い材質のもの以外でも実施しうる。
【００４４】
針金取除工程（Ｓ１１０８）は、検査対象吸引穴を作成するために挟持されていた針金を取り除く工程である。上記外形加工工程により外形の整ったブロックを水に浸すことにより針金の周りにコーティングしていた水溶性物質を溶かし、針金を取り除く。なお、本実施例における検査対象吸引穴の直径は５０ミクロン程度である。このようにして加工された端子テーブルは図１３のようになり、４つの端子（１３０１）が田の字状に配置され、それぞれの端子間には絶縁層（１３０２）が挟まれた構造であり、中心に検査対象吸引穴（１３０３）を持つ。
【００４５】
以上の工程及びこれを応用することにより、本発明に係る端子テーブルを製造することが可能である。なお、本実施例は一例に過ぎず、検査対象の大きさや検査設備等の様々な状況によって形や大きさを決定しうる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】実施形態１に係る端子テーブルの一例
【図２】実施形態１に係る端子テーブルの一例
【図３】実施形態２に係る端子テーブルの一例
【図４】実施形態２に係る端子テーブルの一例
【図５】検査対象載置面の大きさと接触状態の違い
【図６】実施形態２に係る端子テーブルの一例
【図７】実施形態３に係る端子テーブルの一例
【図８】実施形態３における処理の流れ
【図９】実施形態３における処理の流れ
【図１０】実施形態４に係る検査装置の一例
【図１１】実施例における端子テーブルの製造工程の処理の流れの一例
【図１２】実施例における端子テーブルの製造工程の概念図
【図１３】実施例における端子テーブルの概念図
【図１４】発光ダイオードの電気特性
【図１５】検査対象
【図１６】従来の検査装置
【符号の説明】
【００４７】
０１０１  検査対象
０１０２  端子Ａ
０１０３  端子Ｂ
０１０４  絶縁層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2008107117.tif 000011
【図１０】
2008107117.tif 000012
【図１１】
2008107117.tif 000013
【図１２】
2008107117.tif 000014
【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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