(57)【要約】【課題】薄厚ウエハ吸着時に薄厚ウエハは内周部が先に吸引されて外周部がたれ下がり反ったり曲がったりすることのない薄厚ウエハ搬送用吸着ハンドを提供。【解決手段】薄厚ウエハ搬送用吸着ハンド 1の吸着面11には、第１連通路12と連通する複数の幅広の外周吸着空気室周溝13、131〜136 と第２連通路14と連通する複数の幅狭の内周吸着空気室周溝15、151〜155 とが設けられ、第１連通路12は広い断面積を持つ第１絞り21を介して高い真空度の真空ポンプＨＶＰ30又は低圧空圧ポンプＬＰ40に選択的に接続され、第２連通路14は狭い断面積を持つ第２絞り22を介して低い真空度の真空ポンプＬＶＰ31に又は前記低圧空圧ポンプＬＰ40選択的に接続され、薄厚ウエハ 2を吸着面11に吸着し、所定位置に移載又は搬送し、高い真空度の真空及び低い真空度の真空を破壊し、かつ低圧空圧ポンプＬＰ40を作動させて薄厚ウエハ 2を前記所定位置に載置するようにした。【選択図】図１
2008270579.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄厚ウエハを吸着して前記薄厚ウエハを所定位置に移載又は搬送する薄厚ウエハ搬送用吸着ハンドにおいて、
前記薄厚ウエハの上面にほぼ対応する吸着面を有し、前記吸着面にはそれぞれ、第１連通路と連通する複数の幅広の外周吸着空気室周溝と第２連通路と連通する複数の幅狭の内周吸着空気室周溝とが設けられ、
前記第１連通路は広い断面積を持つ第１絞りを介して高い真空度の真空ポンプ又は空圧ポンプに選択的に接続され、
前記第２連通路は狭い断面積を持つ第２絞りを介して低い真空度の真空ポンプ又は前記低圧空圧ポンプに選択的に接続され、
前記薄厚ウエハの上面に前記薄厚ウエハ搬送用吸着ハンドの前記吸着面を近接して配置し、前記高い真空度の真空ポンプ及び低い真空度の真空ポンプを作動させて前記薄厚ウエハを前記吸着面に吸着し、
前記薄厚ウエハ搬送用吸着ハンドの前記吸着面を前記所定位置に移載又は搬送し、
前記高い真空度の真空及び低い真空度の真空を破壊し、かつ前記低圧空圧ポンプを作動させて前記薄厚ウエハを前記所定位置に載置するようにしたことを特徴とする薄厚ウエハ搬送用吸着ハンド。
【請求項２】
前記吸着面の複数の外周吸着空気室周溝及び内周吸着空気室周溝は前記吸着面外周から直径が漸減する同心の複数の円をなすことを特徴とする請求項１記載の薄厚ウエハ搬送用吸着ハンド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、非常に薄い薄厚ウエハを吸着して薄厚ウエハを所定位置に移載又は搬送する薄厚ウエハ搬送用吸着ハンドに関する。
【背景技術】
【０００２】
最近の半導体ウエハは、板厚が50μm 〜 150μm 程度となるように研削され非常に薄い薄厚ウエハが用いられるようになった。
従来の薄厚ウエハを吸着して薄厚ウエハを所定位置に移載又は搬送する薄厚ウエハ搬送用吸着ハンドとしては、例えば特許文献１に提案するような、ほぼ円盤状の多孔質部材の吸着パッドを使用して吸着パッド全面で薄厚ウエハを均等に吸引するものや、特許文献２に提案するような、円盤状の平坦な吸着面を有し、吸着面にはその外周に非吸着領域、内周に吸着領域がそれぞれ形成され、吸着時には薄厚ウエハを割らないように吸着し、吸着作用を解除するときに、外周の非吸着領域が吸着する水を切り薄厚ウエハを速やかに離脱させるとしたもの、又は特許文献３に提案するような、薄厚ウエハの上面にほぼ対応する吸着面を有し、吸着面にはそれぞれ、複数の外周吸着空気室周溝と、隣接した空気室周溝間を連通しかつ真空吸引口に連通する複数の通路とが設けられ、真空チャック部内において真空度の強さが周辺部より中心部に向けて徐々に大きくなるよう圧力勾配を持たせた構成にしたものがある。
【特許文献１】特開2005− 50855号公報
【特許文献２】特開平10−209247号公報
【特許文献３】特開平05−251544号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、板厚が50μm 〜 150μm 程度の非常に薄い薄厚ウエハの外周エッジは大きく拡大して見ると、丸鋸刃のように欠けた部分を有するので、かかる薄厚ウエハを従来の薄厚ウエハ搬送用吸着ハンドで吸着して薄厚ウエハを所定位置に移載又は搬送すると、吸着時に非常に薄い薄厚ウエハは内周部が先に吸引されて外周部がたれ下がり反ったり曲がったりする形になり、所定位置に載置時に吸着作用を解除するときに、かかるたれ下がり反ったり曲がったりする外周部分の丸鋸刃のような欠けた部分に応力集中が発生し、所定位置に載置時に吸着作用を解除するときに割れてしまうことが避けられなかった。薄厚ウエハを反らせる要因としては、この他に薄厚ウエハの外周を薄厚ウエハ保持フイルムに接着するＢＧ樹脂テープの、洗浄時の熱収縮も考えられる。
【０００４】
本発明の課題は、非常に薄い薄厚ウエハを吸着して薄厚ウエハを所定位置に移載又は搬送するとき、吸着時の非常に薄い薄厚ウエハは内周部が先に吸引されて外周部がたれ下がり反ったり曲がったりする形になり所定位置に載置時に吸着作用を解除するときにかかるたれ下がり反ったり曲がったりする外周部分の丸鋸刃のような欠けた部分に応力集中が発生し所定位置に載置時に吸着作用を解除するときに割れてしまうことが起きない薄厚ウエハ搬送用吸着ハンドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
このため本発明は、薄厚ウエハを吸着して前記薄厚ウエハを所定位置に移載又は搬送する薄厚ウエハ搬送用吸着ハンドにおいて、
前記薄厚ウエハの上面にほぼ対応する吸着面を有し、前記吸着面にはそれぞれ、第１連通路と連通する複数の幅広の外周吸着空気室周溝と第２連通路と連通する複数の幅狭の内周吸着空気室周溝とが設けられ、
前記第１連通路は広い断面積を持つ第１絞りを介して高い真空度の真空ポンプ又は低圧空圧ポンプに選択的に接続され、
前記第２連通路は狭い断面積を持つ第２絞りを介して低い真空度の真空ポンプ又は前記低圧空圧ポンプに選択的に接続され、
前記薄厚ウエハの上面に前記薄厚ウエハ搬送用吸着ハンドの前記吸着面を近接して配置し、前記高い真空度の真空ポンプ及び低い真空度の真空ポンプを作動させて前記薄厚ウエハを前記吸着面に吸着し、
前記薄厚ウエハ搬送用吸着ハンドの前記吸着面を前記所定位置に移載又は搬送し、
前記高い真空度の真空及び低い真空度の真空を破壊し、かつ前記低圧空圧ポンプを作動させて前記薄厚ウエハを前記所定位置に載置するようにしたことを特徴とする薄厚ウエハ搬送用吸着ハンドを提供することによって上記した従来製品の課題を解決した。
【発明の効果】
【０００６】
本発明ではかかる構成により、薄厚ウエハの上面にほぼ対応する吸着面を有し、前記吸着面にはそれぞれ、第１連通路と連通する複数の幅広の外周吸着空気室周溝と第２連通路と連通する複数の幅狭の内周吸着空気室周溝とが設けられ、
前記第１連通路は広い断面積を持つ第１絞りを介して高い真空度の真空ポンプ又は低圧空圧ポンプに選択的に接続され、
前記第２連通路は狭い断面積を持つ第２絞りを介して低い真空度の真空ポンプ又は前記低圧空圧ポンプに選択的に接続され、
前記薄厚ウエハの上面に前記薄厚ウエハ搬送用吸着ハンドの前記吸着面を近接して配置し、前記高い真空度の真空ポンプ及び低い真空度の真空ポンプを作動させて前記薄厚ウエハを前記吸着面に吸着し、
前記薄厚ウエハ搬送用吸着ハンドの前記吸着面を前記所定位置に移載又は搬送し、
前記高い真空度の真空及び低い真空度の真空を破壊し、かつ前記低圧空圧ポンプを作動させて前記薄厚ウエハを前記所定位置に載置するようにしたので、
非常に薄い薄厚ウエハを吸着して薄厚ウエハを所定位置に移載又は搬送するとき、薄厚ウエハを吸着するときは薄厚ウエハの外周の吸着を積極的に行い薄厚ウエハの内周の吸着を弱くしたので、吸着時の非常に薄い薄厚ウエハの内周部が先に吸引されて外周部がたれ下がり反ったり曲がったりする形になることなく水平を保ち、真空がリークしても広い断面積を持つ第１絞りを通り排気し易くすることで薄厚ウエハを曲りなく保ち、所定位置に載置時に吸着作用を解除するときに、薄厚ウエハと吸着面との間に入りこむ研削水による表面張力を打ち消すため、低圧空圧ポンプを作動させて薄厚ウエハが吸着面から離れるように内周吸着空気室溝からも真空破壊の低圧正圧エアを作動させたので、薄厚ウエハは真空破壊時に水平を保ち、従来技術のような、吸着時にたれ下がり反ったり曲がったりする外周部分の丸鋸刃のような欠けた部分に応力集中が発生し、所定位置に載置時に吸着作用を解除するときに割れてしまうことが起きない薄厚ウエハ搬送用吸着ハンドを提供するものとなった。
【０００７】
好ましくは、前記吸着面の複数の幅広の外周吸着空気室周溝及び幅狭の外周吸着空気室周溝は前記吸着面外周から直径が漸減する同心の複数の円をなすことにより、薄厚ウエハの吸着と真空破壊の低圧正圧エアの作動とを均一に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
本発明の実施形態を図面を参照して説明する。図１は本発明の実施形態の薄厚ウエハ搬送用吸着ハンドの低圧空圧ポンプを示す概略側面ブロック図、図２は図１の薄厚ウエハ搬送用吸着ハンドの概略下面図である。
【０００９】
図１、図２に示す本発明の実施形態の薄厚ウエハ搬送用吸着ハンド 1は、薄厚ウエハ 2を吸着して薄厚ウエハ 2を図示しない所定位置に移載又は搬送する薄厚ウエハ搬送用吸着ハンド 1において、
薄厚ウエハ 2の上面20にほぼ対応する吸着面11を有し、吸着面11にはそれぞれ、第１連通路12と連通する複数の幅広の外周吸着空気室周溝13と第２連通路14と連通する複数の幅狭の内周吸着空気室周溝15とが設けられ、
第１連通路12は広い断面積を持つ第１絞り21を介して高い真空度の真空ポンプＨＶＰ30又は低圧空圧ポンプＬＰ40にそれぞれ切替弁 4を介して選択的に接続され、
第２連通路14は狭い断面積を持つ第２絞り22を介して低い真空度の真空ポンプＬＶＰ31又は前記低圧空圧ポンプＬＰ40にそれぞれ切替弁 4を介して選択的に接続され、
薄厚ウエハ 2の上面20に薄厚ウエハ搬送用吸着ハンド 1の吸着面11を近接して配置し、高い真空度の真空ポンプＨＶＰ30及び低い真空度の真空ポンプＬＶＰ31を作動させて薄厚ウエハ 2を吸着面11に吸着し、
薄厚ウエハ搬送用吸着ハンド 1の吸着面11を図示しない所定位置に移載又は搬送し、
高い真空度の真空及び低い真空度の真空を破壊し、かつ低圧空圧ポンプＬＰ40を作動させて薄厚ウエハ 2を前記所定位置に載置するようにしたものである。2aは薄厚ウエハ 2に貼られた薄厚ウエハ保持フイルムである。
【００１０】
本発明の実施形態の薄厚ウエハ搬送用吸着ハンドは、薄厚ウエハの上面にほぼ対応する吸着面を有し、前記吸着面にはそれぞれ、第１連通路と連通する複数の幅広の外周吸着空気室周溝と第２連通路14と連通する複数の幅狭の内周吸着空気室周溝とが設けられ、
前記第１連通路は広い断面積を持つ第１絞りを介して高い真空度の真空ポンプ又は低圧空圧ポンプに選択的に接続され、
前記第２連通路は狭い断面積を持つ第２絞りを介して低い真空度の真空ポンプ又は前記低圧空圧ポンプに選択的に接続され、
前記薄厚ウエハの上面に前記薄厚ウエハ搬送用吸着ハンドの前記吸着面を近接して配置し、前記高い真空度の真空ポンプ及び低い真空度の真空ポンプを作動させて前記薄厚ウエハを前記吸着面に吸着し、
前記薄厚ウエハ搬送用吸着ハンドの前記吸着面を前記所定位置に移載又は搬送し、
前記高い真空度の真空及び低い真空度の真空を破壊し、かつ前記低圧空圧ポンプを作動させて前記薄厚ウエハを前記所定位置に載置するようにしたので、
非常に薄い薄厚ウエハを吸着して薄厚ウエハを所定位置に移載又は搬送するとき、薄厚ウエハを吸着するときは薄厚ウエハの外周の吸着を積極的に行い薄厚ウエハの内周の吸着を弱くしたので、吸着時の非常に薄い薄厚ウエハの内周部が先に吸引されて外周部がたれ下がり反ったり曲がったりする形になることなく水平を保ち、真空がリークしても広い断面積を持つ第１絞りを通り排気し易くすることで薄厚ウエハを曲りなく保ち、所定位置に載置時に吸着作用を解除するときに、薄厚ウエハと吸着面との間に入りこむ研削水による表面張力を打ち消すため、低圧空圧ポンプを作動させて薄厚ウエハが吸着面から離れるように内周吸着空気室溝からも真空破壊の低圧正圧エアを作動させたので、薄厚ウエハは真空破壊時に水平を保ち、従来技術のような、吸着時にたれ下がり反ったり曲がったりする外周部分の丸鋸刃のような欠けた部分に応力集中が発生し、所定位置に載置時に吸着作用を解除するときに割れてしまうことが起きない薄厚ウエハ搬送用吸着ハンドを提供するものとなった。
【００１１】
図２示すように、薄厚ウエハ搬送用吸着ハンド 1の吸着面11の複数の幅広の外周吸着空気室周溝13及び幅狭の内周吸着空気室周溝15は吸着面外周16から直径が漸減する同心の複数の円 131〜155 をなすことにより、薄厚ウエハ 2の吸着と真空破壊の低圧正圧エアの作動とを均一に行うことができる。外周吸着空気室周溝13は 131〜136 の６本、内周吸着空気室周溝15は 151〜155 の５本で、外周吸着空気室周溝 131〜136 は２本の第１連通路12で基体 6の図示しない別の連通路と連通する。内周吸着空気室周溝 151〜155 は２本の第２連通路14で基体 6の図示しないさらに別の別の連通路と連通する。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施形態の薄厚ウエハ搬送用吸着ハンドの低圧空圧ポンプを示す概略側面ブロック図。
【図２】図１の薄厚ウエハ搬送用吸着ハンドの概略下面図である。
【符号の説明】
【００１３】
1 ：薄厚ウエハ搬送用吸着ハンド、2 ：薄厚ウエハ、 4：切替弁、11：吸着面
12：第１連通路、13、131 〜136 ：幅広の外周吸着空気室周溝、14：第２連通路
15、151〜155 ：幅狭の内周吸着空気室周溝、20：薄厚ウエハの上面、21：第１絞り
22：第２絞り、30：高い真空度の真空ポンプＨＶＰ
31：低い真空度の真空ポンプＨＶＰ、40：低圧空圧ポンプＬＰ
【図１】
2008270579.tif 000003
【図２】
2008270579.tif 000004