(57)【要約】【課題】基板のエッジ部が欠けたり表面にゴミや汚れが付着することなく、基板を搬送したり反転させることが可能な基板及びその搬送方法を提供する。【解決手段】重心を通り端面を貫く直線が端面１ａ，１ｂと交わるそれぞれの部分に凹み部２をそれぞれ設けた基板１を搬送する際に、凹み部に挿入可能な爪部１１を有する基板保持手段１２を、凹み部と爪部とが向かい合うように凹み部それぞれに対応させて配置し、基板保持手段を移動させて爪部を凹み部にそれぞれ挿入し、爪部が凹み部にそれぞれ挿入された状態で基板保持手段をそれぞれ連携させて任意の方向に移動または反転させることにより、基板を任意の方向に移動または反転させる。【選択図】図１
2008033006.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
重心を通り端面を貫く直線が端面と交わるそれぞれの部分に、該端面からその内部に凹状とされた凹み部をそれぞれ設けたことを特徴とする基板。
【請求項２】
請求項１記載の基板を搬送するための搬送方法であって、
前記凹み部に挿入可能な爪部を有する基板保持手段を、前記凹み部と前記爪部とが向かい合うように、前記凹み部それぞれに対応させて配置し、
前記基板保持手段を移動させて、前記爪部を前記凹み部にそれぞれ挿入し、
前記爪部が前記凹み部にそれぞれ挿入された状態で、前記基板保持手段をそれぞれ連携させて任意の方向に移動または反転させることにより、前記基板を前記任意の方向に移動または反転させることを特徴とする基板の搬送方法。
【請求項３】
端面に該端面からその内部に凹状とされ外周に沿って連続して延在する溝部を備えたことを特徴とする基板。
【請求項４】
請求項３記載の基板を搬送するための搬送方法であって、
前記溝部に挿入可能な爪部を有する基板保持手段を、前記溝部と前記爪部とが向かい合うように、前記基板の重心を通る線上にそれぞれ対向させて配置し、
前記基板保持手段を移動させて前記爪部を前記溝部にそれぞれ当接させることによって前記基板を前記基板保持手段で挟持し、
前記基板が前記基板保持手段で挟持された状態で、前記基板保持手段をそれぞれ連携させて任意の方向に移動または反転させることにより、前記基板を前記任意の方向に移動または反転させることを特徴とする基板の搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板及びその搬送方法に係り、特に、液晶表示素子等に用いられるガラス基板等の基板及びその搬送方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示素子の製造過程において、液晶表示素子の構成部品であるガラス基板を搬送する際に、ガラス基板の外周部をメカニカルチャックによって挟持したり、ガラス基板の一面側を真空チャックによって吸着して保持する場合がある。
しかしながら、ガラス基板の外周部をメカニカルチャックによって挟持した際にガラス基板のエッジ部が欠けることがあり、この欠けたガラス片がガラス基板の表面例えば表示部に相当する領域に付着すると、液晶表示素子の製造歩留まりを低下させる原因となる。
また、ガラス基板の一面側を真空チャックによって吸着して保持した際、チャック部にゴミや汚れが付着していると、ガラス基板におけるチャック部が接触した範囲にこのゴミや汚れが転写され、液晶表示素子の製造歩留まりを低下させる原因となる。
【０００３】
そこで、上述したメカニカルチャックや真空チャックに代わるガラス基板の搬送手段の一例として、ガラス基板の下面を爪部材で支持して搬送する方法が特許文献１に記載されている。
【特許文献１】特開平１１−２２７９４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されている搬送方法では、ガラス基板の表裏が逆になるようにガラス基板を反転させる場合に、ガラス基板は爪部材上に載置されているだけなので、このままではガラス基板を反転させることが困難である。
そこで、ガラス基板を保持して反転させるための別の保持手段が必要になるが、ガラス基板を搬送するための搬送装置の構成が複雑になるため、その改善が望まれる。
また、特許文献１に記載されている搬送方法では、少なくとも爪部材がガラス基板の表面の一部を覆うため、この覆われた範囲に成膜やパターニング等の処理を施すことが困難でありその改善が望まれる。
【０００５】
そこで、本発明が解決しようとする課題は、ガラス基板等の基板のエッジ部が欠けたり表面にゴミや汚れが付着することなく、基板を搬送したり反転させることが可能な基板及びその搬送方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、本願各発明は次の手段を有する。
１）重心を通り端面を貫く直線が端面（１ａ，１ｂ）と交わるそれぞれの部分に、該端面からその内部に凹状とされた凹み部（２）をそれぞれ設けたことを特徴とする基板（１）である。
２）１）項記載の基板を搬送するための搬送方法であって、前記凹み部に挿入可能な爪部（１１）を有する基板保持手段（１２）を、前記凹み部と前記爪部とが向かい合うように、前記凹み部それぞれに対応させて配置し、前記基板保持手段を移動させて、前記爪部を前記凹み部にそれぞれ挿入し、前記爪部が前記凹み部にそれぞれ挿入された状態で、前記基板保持手段をそれぞれ連携させて任意の方向に移動または反転させることにより、前記基板を前記任意の方向に移動または反転させることを特徴とする基板の搬送方法である。
３）端面（２１ａ）に該端面からその内部に凹状とされ外周に沿って連続して延在する溝部（２２）を備えたことを特徴とする基板（２１）である。
４）３）項記載の基板を搬送するための搬送方法であって、前記溝部に挿入可能な爪部（３１）を有する基板保持手段（３２）を、前記溝部と前記爪部とが向かい合うように、前記基板の重心を通る線上にそれぞれ対向させて配置し、前記基板保持手段を移動させて前記爪部を前記溝部にそれぞれ当接させることによって前記基板を前記基板保持手段で挟持し、前記基板が前記基板保持手段で挟持された状態で、前記基板保持手段をそれぞれ連携させて任意の方向に移動または反転させることにより、前記基板を前記任意の方向に移動または反転させることを特徴とする基板の搬送方法である。
【発明の効果】
【０００７】
本発明に係る基板及びその搬送方法によれば、ガラス基板等の基板のエッジ部が欠けたり表面にゴミや汚れが付着することなく基板を搬送したり反転させることが可能になるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
本発明の実施の形態を、好ましい実施例である第１実施例〜第３実施例により図１〜図４を用いて説明する。
図１は本発明の基板及びその搬送方法の第１実施例を説明するための図である。
図２，図３は本発明の基板及びその搬送方法の第２実施例を説明するための図である。
図４は本発明の基板及びその搬送方法の第３実施例を説明するための図である。
【０００９】
＜第１実施例＞
本発明の基板及びその搬送方法の第１実施例を図１を用いて説明する。
図１において、（ａ）は第１実施例における基板を説明するための斜視図、（ｂ）及び（ｃ）は（ａ）に示す基板を保持して搬送する搬送方法を説明するための斜視図及び断面図である。
【００１０】
まず、図１（ａ）を用いて、第１実施例における基板について説明する。
基板１は、ガラス基板であり、長さＬ１が２０ｍｍ、幅Ｗ１が１０ｍｍ、厚さｔ１が１ｍｍである。なお、基板１の材質、長さＬ１、幅Ｗ１、及び厚さｔ１はこれに限定されるものではない。
基板１における長さ方向の両端面１ａ，１ｂには、この両端面１ａ，１ｂよりも基板１の内部側に凹んだ溝部２が、基板１の幅方向に延在するようにそれぞれ形成されている。
溝部２は、ダイサー等を用いた機械加工により形成することができる。
第１実施例では、溝部２の深さＤ２を１．５ｍｍ、幅Ｗ２を０．４ｍｍとした。
【００１１】
次に、図１（ｂ），（ｃ）を用いて、上述した基板１を搬送するための搬送方法について説明する。
図１（ｂ）に示すように、図示しない基板搬送装置に爪部１１を有する基板保持手段１２が、基板１を保持する際にこの基板１を爪部１１で両側から挟持できるように、基板１の両側にそれぞれ配置されている。
また、基板保持手段１２は、図示しない駆動手段によって、互いに接離する方向に移動できると共に、基板１を保持して基板１の面方向や面と直交する方向に移動したり基板１の表裏が反対になるように基板１を反転させることができる。
【００１２】
第１実施例では、爪部１１の長さＬ１１を２ｍｍ、幅Ｗ１１を１ｍｍ、厚さｔ１１を０．３ｍｍとし、爪部１１の間隔ｄ１１を５ｍｍとしたが、これに限定されるものではない。例えば、第１実施例では１つの基板保持手段１２に２つの爪部１１を設けた構成としたが、爪部１１が溝部２に挿入可能であり基板１を保持して移動したり反転させたりすることが可能な形状であれば、１つの基板保持手段１２に１つの爪部１１を設けた構成としてもよいし、１つの基板保持手段１２に３つ以上の爪部１１を設けた構成としてもよい。
【００１３】
そして、図１（ｃ）に示すように、この基板保持手段１２を互いに接近する方向に移動させて、爪部１１を基板１の溝部２に挿入しさらに溝部２の底面２ａに当接させる。
次に、爪部１１が基板１の溝部２の底面２ａに当接した状態で、基板保持手段１２を任意の方向に移動したり反転させることにより、基板１のエッジ部や表面にこの爪部１１を接触させずに基板１を搬送したり反転させることができる。
【００１４】
＜第２実施例＞
本発明の基板及びその搬送方法の第２実施例を図２及び図３を用いて説明する。
図２は第２実施例における基板を説明するための平面図及び断面図であり、図３は図２に示す基板を保持して搬送する搬送方法を説明するための平面図及び断面図である。
【００１５】
まず、図２を用いて第２実施例における基板について説明する。
基板２１は、円板状のガラス基板であり、直径Ｒ２１が８インチ（約２０ｃｍに相当する）、厚さｔ２１が１ｍｍである。なお、基板２１の材質、直径Ｒ２１、及び厚さｔ２１はこれに限定されるものではない。
基板２１の端面２１ａには、この端面２１ａよりも基板２１の内部側に凹んだ溝部２２が、基板２１の外周に沿って一体に形成されている。
溝部２２は、ダイサー等を用いた機械加工により形成することができる。
第２実施例では、溝部２２の深さＤ２２を１．５ｍｍ、幅Ｗ２２を０．４ｍｍとした。
【００１６】
次に、図３（ａ），（ｂ）を用いて、上述した基板２１を搬送するための搬送方法について説明する。
図３（ａ）に示すように、図示しない基板搬送装置に爪部３１を有する基板保持手段３２が、基板２１を保持する際にこの基板２１を爪部３１で両側から挟持できるように、基板２１の両側にそれぞれ配置されている。
また、基板保持手段３２は、図示しない駆動手段によって、互いに接離する方向に移動できると共に、基板２１を保持して基板２１の面方向や面と直交する方向に移動したり基板２１の表裏が反対になるように基板２１を反転させることができる。
爪部３１は、その端面３１ａが基板２１の外周に沿う円弧状であるため、この爪部３１を基板２１の溝部２２に当接させた際に、爪部３１の端面３１ａと溝部２２の底面２２ａとが面で接触するため、基板２１を安定して保持することができる。
【００１７】
第２実施例では、爪部３１の長さＬ３１を１０ｍｍ、幅Ｗ３１を２ｃｍ、厚さｔ３１を０．３ｍｍとし、爪部３１の間隔ｄ３１を４ｃｍとしたが、これに限定されるものではない。例えば、第２実施例では１つの基板保持手段３２に２つの爪部３１を設けた構成としたが、爪部３１が溝部２２に挿入可能であり基板２１を保持して移動したり反転させたりすることが可能な形状であれば、１つの基板保持手段３２に１つの爪部３１を設けた構成としてもよいし、１つの基板保持手段３２に３つ以上の爪部３１を設けた構成としてもよい。
【００１８】
そして、図３（ｂ）に示すように、この基板保持手段３２を互いに接近する方向に移動させて、爪部３１の端面３１ａを基板２１の溝部２２の底面２２ａに当接させる。
次に、爪部３１の底面２２ａが基板２１の溝部２２の底面２２ａに当接した状態で、基板保持手段３２を任意の方向に移動したり反転させることにより、基板２１のエッジ部や表面にこの爪部３１を接触させずに基板２１を搬送したり反転させることができる。
【００１９】
＜第３実施例＞
本発明の基板及びその搬送方法の第３実施例を図４を用いて説明する。
図４において、（ａ）は第３実施例における基板を説明するための斜視図、（ｂ）及び（ｃ）は（ａ）に示す基板を保持して搬送する搬送方法を説明するための斜視図及び断面図である。
【００２０】
まず、図４（ａ）を用いて、第３実施例における基板について説明する。
基板４１は、ガラス基板であり、長さＬ４１が２０ｍｍ、幅Ｗ４１が１０ｍｍ、厚さｔ４１が１ｍｍである。なお、基板４１の材質、長さＬ４１、幅Ｗ４１、及び厚さｔ４１はこれに限定されるものではない。
基板４１における長さ方向の両端面４１ａ，４１ｂの各２箇所に、この両端面４１ａ，４１ｂよりも基板４１の内部側に凹んだ穴部４２が形成されている。
第３実施例では、穴部４２の長さＬ４２を１．２ｍｍ、幅Ｗ４２を０．４ｍｍ、深さＤ４２を１．５ｍｍとし、穴部４２の間隔ｄ４２を４．８ｍｍとした。
【００２１】
次に、図３（ｂ），（ｃ）を用いて、上述した基板４１を搬送するための搬送方法について説明する。
第３実施例では、第１実施例で用いた基板保持手段１２を用いることとする。
即ち、基板保持手段１２は、基板４１を保持する際にこの基板４１を爪部１１で両側から挟持できるように基板４１の両側にそれぞれ配置されており、その爪部１１は、長さＬ１１が２ｍｍ、幅Ｗ１１が１ｍｍ、厚さｔ１１が０．３ｍｍであり、爪部１１の間隔ｄ１１が５ｍｍである。
【００２２】
そして、この基板保持手段１２を互いに接近する方向に移動させて、爪部１１を基板４１の穴部４２に挿入させてさらにその底面４２ａにそれぞれ当接させる。
次に、爪部１１が基板４１の穴部４２の底面４２ａに当接した状態で、基板保持手段１２を任意の方向に移動したり反転させることにより、基板４１のエッジ部や表面にこの爪部１１を接触させずに基板１を搬送したり反転させることができる。
【００２３】
第３実施例では、基板４１に基板保持手段１２の爪部１１が挿入可能な穴部４２を形成することにより、爪部１１が穴部４２に挿入された際にこの爪部１１によって、第１実施例よりもさらに基板４１がその幅方向にずれることを抑制できる。
【００２４】
次に、第１実施例〜第３実施例の変形例を第１変形例及び第２変形例として、図５を用いて説明する。
図５は、第１実施例〜第３実施例の第１変形例及び第２変形例を説明するための断面図である。
【００２５】
＜第１変形例＞
第１実施例〜第３実施例では、図５（ａ）に示すように、溝部２，２２及び穴部４２の断面形状を矩形とし、基板保持手段１２，３２の爪部１１，３１の断面形状を矩形としたが、第１変形例では、図５（ｂ）に示すように、溝部２，２２及び穴部４２の底面２ａ，２２ａ，４２ａの断面形状を凹状のＲ形状とし、基板保持手段１２，３２の爪部１１，３１の先端部の断面形状を凸状のＲ形状とする。
溝部２，２２及び穴部４２の底面２ａ，２２ａ，４２ａ、並びに、爪部１１，３１の先端部をＲ形状とすることにより、第１実施例〜第３実施例よりもさらに基板１，２１，４１がその厚さ方向にずれることを抑制できる。
【００２６】
＜第２変形例＞
第２変形例では、図５（ｃ）に示すように、溝部２，２２及び穴部４２の底面２ａ，２２ａ，４２ａの断面形状を凹状のＶ字形状とし、基板保持手段１２，３２の爪部１１，３１の先端部の断面形状を凸状のＶ字形状とする。
溝部２，２２及び穴部４２の底面２ａ，２２ａ，４２ａ、並びに、爪部１１，３１の先端部をＶ字形状とすることにより、第１変形例よりもさらに基板１，２１，４１がその厚さ方向にずれることを抑制できる。
【００２７】
本発明の実施例は、上述した構成及び手順に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において変形例としてもよいのは言うまでもない。
【００２８】
例えば、第１実施例〜第３実施例，第１変形例，及び第２変形例において、溝部２，２２及び穴部４２、並びに、基板保持手段１２，３２の爪部１１，３１の形状及び寸法に限定されるものではない。
基板の端面において、基板の重心を通る線上に位置しこの重心を跨いで凹み部（溝部や穴部を称す）をそれぞれ設けた構成、または、基板の端面に沿って凹み部を一体に設けた構成とし、この凹み部に挿入可能な爪部を有する基板保持手段を前述の基板の重心を通る線上に基板を跨いでそれぞれ配置し、基板保持手段を互いに接近する方向に移動させて爪部を凹み部にそれぞれ挿入して基板を保持することにより、基板のエッジ部が欠けたり表面にゴミや汚れが付着させずに基板を搬送したり反転させることが可能となる。
また、凹状部の内部への爪部の挿入深さを基板の厚さの１~２倍とすることが望ましい。これにより、基板をより安定して搬送することができる。
【００２９】
また、第１実施例〜第３実施例，第１変形例，及び第２変形例では、搬送される基板としてガラス基板を用いたがこれに限定されるものではなく、半導体ウエハ等にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の基板及びその搬送方法の第１実施例を説明するための図である。
【図２】本発明の基板及びその搬送方法の第２実施例を説明するための図である。
【図３】本発明の基板及びその搬送方法の第２実施例を説明するための図である。
【図４】本発明の基板及びその搬送方法の第３実施例を説明するための図である。
【図５】第１実施例〜第３実施例の第１変形例及び第２変形例を説明するための断面図である。
【符号の説明】
【００３１】
１，２１，４１  基板、  １ａ，１ｂ，２１ａ，３１ａ，４１ａ，４１ｂ  端面、  ２，２２  溝部、  ２ａ，２２ａ，４２ａ  底面、  １１，３１  爪部、  １２，３２  基板保持手段、  ４２  穴部、  Ｌ１，Ｌ１１，Ｌ３１，Ｌ４１，Ｌ４２  長さ、  Ｗ１，Ｗ２，Ｗ１１，Ｗ２２，Ｗ３１，Ｗ４１，Ｗ４２  幅、  ｔ１，ｔ１１，ｔ２１，ｔ３１，ｔ４１  厚さ、  Ｄ２，Ｄ２２，Ｄ４２  深さ、  ｄ１１，ｄ３１，ｄ４２  間隔、  Ｒ２１  直径、  
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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