(57)【要約】【課題】補助極を使用することなく、低コストで常温始動性を向上できるスタータモータを提供する。【解決手段】整流子５の表面（整流子面）には、凹凸形状が全周に形成されている。また、凹凸形状の両側壁１２ａは、ブラシスプリングの押圧方向に対し所定の角度Ｃで傾斜している。これにより、整流子５とブラシ６との摺動接触状態を大幅に安定させることができ、電圧整流の効果を大きく活用できるので、低電流域では、ブラシ６と整流子５との接触面における通電電流分布が、電機子４の回転方向に対するブラシ６の入口側へ偏り、ブラシ移動角を変更したのと同様の出力性能変化を得ることができる。その結果、従来公知の補助極を使用することなく、低電流域での回転速度向上効果を得ることができるため、補助極を使用する公知技術と比較した場合に、低コストで常温始動性を向上できる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気回路を形成するヨークと、
前記ヨークの内周に配置される永久磁石と、
前記永久磁石の径方向内周に回転自在に配置される電機子と、
前記電機子に設けられる整流子と、
前記整流子の表面（整流子面と呼ぶ）に配置され、ブラシスプリングによって前記整流子面に押圧されるブラシとを備えた直流電動機であって、
前記整流子面は、回転方向と直交する方向に凹凸形状を有し、この凹凸形状が前記整流子面の全周に形成され、且つ、前記整流子面を回転方向と垂直な断面で見た場合に、前記ブラシに対する前記ブラシスプリングの押圧方向に対し、前記凹凸形状の少なくとも一方の側壁が傾斜していることを特徴とする直流電動機。
【請求項２】
請求項１に記載した直流電動機において、
前記ブラシスプリングの押圧方向に対し、前記凹凸形状の両側の側壁が共に傾斜していることを特徴とする直流電動機。
【請求項３】
請求項１に記載した直流電動機において、
前記ブラシスプリングの押圧方向に対し、前記凹凸形状の少なくとも一方の側壁が傾斜する角度は、２０°〜７０°の範囲であることを特徴とする直流電動機。
【請求項４】
請求項２に記載した直流電動機において、
前記ブラシスプリングの押圧方向に対し、前記凹凸形状の両側の側壁が傾斜する角度は、それぞれ２０°〜７０°の範囲であることを特徴とする直流電動機。
【請求項５】
請求項１に記載した直流電動機において、
前記ブラシスプリングの押圧方向に対し、前記凹凸形状の少なくとも一方の側壁が傾斜する角度は、３０°〜５５°の範囲であることを特徴とする直流電動機。
【請求項６】
請求項２に記載した直流電動機において、
前記ブラシスプリングの押圧方向に対し、前記凹凸形状の両側の側壁が傾斜する角度は、それぞれ３０°〜５５°の範囲であることを特徴とする直流電動機。
【請求項７】
請求項１〜６に記載した何れかの直流電動機において、
前記整流子面に摺動する前記ブラシの摺動面をブラシ摺動面と呼び、前記整流子の回転方向と直交する方向の前記ブラシ摺動面の長さをブラシ摺動幅と呼ぶ時に、
前記ブラシ摺動幅の範囲内に設けられる前記整流子面の凹凸形状の頂上部の幅を全て合計した長さが、前記ブラシ摺動幅の１／２以下であり、
前記ブラシ摺動面は、前記ブラシが摩耗していない初期状態（新品）の時に、摺動方向の形状が前記整流子面の周方向の形状と略同等に形成されていることを特徴とする直流電動機。
【請求項８】
請求項７に記載した直流電動機において、
前記整流子面に設けられる凹凸形状の頂上部と側壁との境界部は、鋭角に形成されていることを特徴とする直流電動機。
【請求項９】
請求項１〜８に記載した何れかの直流電動機において、
前記整流子は、前記整流子面を形成する複数の整流子片を有し、この複数の整流子片が電機子軸の外周に円筒状に配置されていることを特徴とする直流電動機。
【請求項１０】
請求項１〜８に記載した何れかの直流電動機において、
前記整流子は、前記整流子面を形成する複数の整流子片を有し、この複数の整流子片が電機子軸と直交する向きに配置されていることを特徴とする直流電動機。
【請求項１１】
請求項１〜１０に記載した何れかの直流電動機は、内燃機関を始動するためのスタータモータであることを特徴とする直流電動機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、界磁に永久磁石を用いた直流電動機に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、永久磁石式の直流モータでは、常温始動性の向上を図るために、高電流域でのトルクを低下させることなく、低電流域での回転速度を向上させる手段として、特許文献１に開示された従来技術がある。この特許文献１には、主極である永久磁石に対し電機子反作用の増磁側に磁性材料から成る補助極を配置することにより、補助極から電機子コイルに鎖交する有効磁束量を増加させて、高出力化を図る技術が示されている。
【特許文献１】特公平５−１０９０３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところが、上記の公知技術では、電機子コイルへの通電時に補助極が磁化されて、電機子との間に吸引力が発生するため、この吸引力に対抗して補助極をヨークに固定する必要がある。このため、補助極を溶接により固定する、あるいは補助極の内周側にスリーブを配置する等の複雑な構造が必要である。
また、補助極を有しないモータと比較すると、部品点数も増加するため、コストアップを招くという問題があった。
本発明は、上記事情に基づいて成されたもので、その目的は、補助極を使用することなく、低コストで常温始動性を向上できる直流電動機を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
（請求項１の発明）
本発明は、磁気回路を形成するヨークと、ヨークの内周に配置される永久磁石と、永久磁石の径方向内周に回転自在に配置される電機子と、電機子に設けられる整流子と、整流子の表面（整流子面と呼ぶ）に配置され、ブラシスプリングによって整流子面に押圧されるブラシとを備えた直流電動機であって、整流子面は、回転方向と直交する方向に凹凸形状を有し、この凹凸形状が整流子面の全周に形成され、且つ、整流子面を回転方向と垂直な断面で見た場合に、ブラシに対するブラシスプリングの押圧方向に対し、凹凸形状の少なくとも一方の側壁が傾斜していることを特徴とする。
【０００５】
従来の平滑面で構成される整流子、つまり整流子の表面に凹凸形状を有していない整流子では、整流子とブラシとの摺動接触状態が不安定であるため、整流を受ける直前のコイル起電力を利用して整流中のリアクタンス電圧を打ち消す整流改善（電圧整流と呼ぶ）の効果を少ししか活用できていなかった。これに対し、本発明では、整流子の表面（整流子面）に凹凸形状を設けているので、整流子とブラシとの摺動接触状態を大幅に安定させることができ、電圧整流の効果を大きく活用できる。これにより、低電流域では、ブラシと整流子との接触面における通電電流分布が電機子の回転方向に対するブラシの入口側へ偏り、ブラシ移動角を変更したのと同様の出力性能変化を得ることができる。
【０００６】
一方、高電流域では、ブラシ中の電流密度が大きく増加するため、電圧整流による整流改善効果が低下して、従来と略同等の出力性能となる。その結果、補助極を使用することなく、低電流域での回転速度向上効果を得ることができるため、補助極を使用する公知技術と比較した場合に、低コストで常温始動性を向上できる。
また、整流子面に設けられた凹凸形状の少なくとも一方の側壁が傾斜しているため、その傾斜している側壁へ積極的にブラシスプリングの荷重を与えることができる。その結果、傾斜している側壁に対するブラシの摺動接触状態が安定するため、低電流域において、より高い回転速度向上効果を得ることができる。
【０００７】
（請求項２の発明）
請求項１に記載した直流電動機において、ブラシスプリングの押圧方向に対し、凹凸形状の両側の側壁が共に傾斜していることを特徴とする。
この場合、凹凸形状の両側の側壁に対してブラシの摺動接触状態が安定するため、更に高い回転速度向上効果を得ることができる。
【０００８】
（請求項３の発明）
請求項１に記載した直流電動機において、ブラシスプリングの押圧方向に対し、凹凸形状の少なくとも一方の側壁が傾斜する角度は、２０°〜７０°の範囲であることを特徴とする。
低電流域での無負荷回転速度を実験により測定した結果、上記の角度範囲（２０°〜７０°）で回転速度向上効果が高くなる結果が得られた。
【０００９】
（請求項４の発明）
請求項２に記載した直流電動機において、ブラシスプリングの押圧方向に対し、凹凸形状の両側の側壁が傾斜する角度は、それぞれ２０°〜７０°の範囲であることを特徴とする。
低電流域での無負荷回転速度を実験により測定した結果、上記の角度範囲（２０°〜７０°）で回転速度向上効果が高くなる結果が得られた。
【００１０】
（請求項５の発明）
請求項１に記載した直流電動機において、
ブラシスプリングの押圧方向に対し、凹凸形状の少なくとも一方の側壁が傾斜する角度は、３０°〜５５°の範囲であることを特徴とする。
実験によれば、上記の角度範囲（３０°〜５５°）で最も回転速度向上効果が高くなる結果が得られた。
【００１１】
（請求項６の発明）
請求項２に記載した直流電動機において、ブラシスプリングの押圧方向に対し、凹凸形状の両側の側壁が傾斜する角度は、それぞれ３０°〜５５°の範囲であることを特徴とする。
実験によれば、上記の角度範囲（３０°〜５５°）で最も回転速度向上効果が高くなる結果が得られた。
【００１２】
（請求項７の発明）
請求項１〜６に記載した何れかの直流電動機において、整流子面に摺動するブラシの摺動面をブラシ摺動面と呼び、整流子の回転方向と直交する方向のブラシ摺動面の長さをブラシ摺動幅と呼ぶ時に、ブラシ摺動幅の範囲内に設けられる整流子面の凹凸形状の頂上部の幅を全て合計した長さが、ブラシ摺動幅の１／２以下であり、ブラシ摺動面は、ブラシが摩耗していない初期状態（新品）の時に、摺動方向の形状が整流子面の周方向の形状と略同等に形成されていることを特徴とする。
【００１３】
上記の構成によれば、ブラシの初期状態においても、整流子面に対しブラシ摺動面の摺動方向の接触長さを長くでき、且つ、ブラシ摺動面に凹凸形状が無い新品なブラシでも、ブラシ摺動面に対する初期の面圧が２倍以上になることで、整流子とブラシとの摺動接触状態が安定する。その結果、ブラシが整流子面の凹凸形状に馴染む前から高い回転速度向上効果を得ることができる。
【００１４】
（請求項８の発明）
請求項７に記載した直流電動機において、整流子面に設けられる凹凸形状の頂上部と側壁との境界部は、鋭角に形成されていることを特徴とする。
なお、この場合の「鋭角」とは、直角より小さい角度のことではなく、境界部の曲率が大きい（曲率半径が小さい…例えば、Ｒ０．１以下）ことを言う。
これにより、ブラシ摺動面に凹凸形状が無い新品なブラシでも、整流子面の凹凸形状の頂上部がブラシ摺動面に食い込みやすくなるため、より短時間で安定した摺動接触状態となり、さらに早期に回転速度向上効果を得ることができる。
【００１５】
（請求項９の発明）
請求項１〜８に記載した何れかの直流電動機において、整流子は、整流子面を形成する複数の整流子片を有し、この複数の整流子片が電機子軸の外周に円筒状に配置されていることを特徴とする。
この場合、電機子が回転している状態で、電機子軸に対して直角方向から刃具を当てることにより、円筒状の整流子に対し、複数本の凹凸形状を整流子の軸方向に所定の間隔（例えば等間隔）を保って容易に形成できる。
【００１６】
（請求項１０の発明）
請求項１〜８に記載した何れかの直流電動機において、整流子は、整流子面を形成する複数の整流子片を有し、この複数の整流子片が電機子軸と直交する向きに配置されていることを特徴とする。
この場合、電機子が回転している状態で、電機子軸と平行方向から刃具を当てることにより、電機子軸と直交する整流子に対し、複数本の凹凸形状を整流子の同心円状に所定の間隔（例えば等間隔）を保って容易に形成できる。
【００１７】
（請求項１１の発明）
請求項１〜１０に記載した何れかの直流電動機は、内燃機関を始動するためのスタータモータであることを特徴とする。
スタータモータは、内燃機関のクランキング中に発生する振動が整流子及びブラシに伝わるため、整流子とブラシとの摺動接触状態が不安定になりやすい。これに対し、本発明では、整流子の表面に凹凸形状を設けているので、整流子とブラシの摺動接触状態を大幅に安定させることができ、電圧整流の効果を大きく活用できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
本発明を実施するための最良の形態を以下の実施例により詳細に説明する。
【実施例１】
【００１９】
この実施例１は、内燃機関を始動するためのスタータモータに本発明の直流電動機を適用した一例であり、図１はスタータモータ１の半断面図である。
スタータモータ１は、図１に示す様に、磁気回路を形成するヨーク２と、このヨーク２の内周に固定される複数の永久磁石３と、この磁石３の内周に所定のギャップを有して回転自在に配置される電機子４と、整流作用を行う整流子５とブラシ６等より構成される。  電機子４は、回転力を出力する電機子軸７と、この電機子軸７の外周に圧入状態でセレーション嵌合する電機子コア８と、この電機子コア８に形成されるスロット（図示せず）に挿入される電機子コイル９とを備える。
【００２０】
整流子５は、複数の整流子片１０と、この複数の整流子片１０をモールド成形する成形樹脂１１とで構成され、この成形樹脂１１を電機子軸７の一端側外周に圧入して固定される。複数の整流子片１０は、周方向等ピッチに配置されて、成形樹脂１１により互いに絶縁されている。個々の整流子片１０には、電機子コア８のスロットから軸方向に取り出された電機子コイル９の端部が機械的且つ電気的に接続されている。
ブラシ６は、例えば、主体であるカーボンに銅粉を混合して焼結したカーボンブラシであり、整流子５の表面（整流子面と呼ぶ）に配置され、図示しないブラシスプリングによって整流子面に押圧されている。
【００２１】
次に、本実施例の特徴を説明する。
整流子面には、図２に示す様に、周方向（回転方向）に複数本の溝１２が形成されている。この複数本の溝１２は、回転方向と直交する軸方向（図示左右方向）に略等ピッチに形成されている。言い換えると、整流子面には、軸方向に凹凸形状が連続して形成され、この凹凸形状が整流子面の全周に形成されている。
また、凹凸形状の両側壁１２ａ、つまり、溝１２の両側の壁面は、ブラシ６を押圧するブラシスプリングの押圧方向（図中矢印で示す方向）に対して、それぞれ所定の角度Ｃで傾斜している。この傾斜角度Ｃは、２０°〜７０°の範囲が望ましく、より好適には、３０°〜５５°の範囲が良い。
【００２２】
（実施例１の作用及び効果）
本実施例のスタータモータ１は、整流子面に凹凸形状を設けているので、整流子５とブラシ６との摺動接触状態を大幅に安定させることができ、整流を受ける直前のコイル起電力を利用して整流中のリアクタンス電圧を打ち消す電圧整流の効果を大きく活用できる。これにより、低電流域では、ブラシ６と整流子５との接触面における通電電流分布が、電機子４の回転方向に対するブラシ６の入口側へ偏り、ブラシ移動角を変更したのと同様の出力性能変化を得ることができる。
【００２３】
一方、高電流域では、ブラシ中の電流密度が大きく増加するため、電圧整流による整流改善効果が低下して、従来と略同等の出力性能となる。その結果、従来公知の補助極を使用することなく、低電流域での回転速度向上効果を得ることができるため、補助極を使用する公知技術と比較した場合に、低コストで常温始動性を向上できる。
また、整流子面に設けられた凹凸形状の両側壁１２ａがブラシスプリングの押圧方向に対して傾斜しているため、凹凸形状の両側壁１２ａに対し積極的にブラシスプリングの荷重を与えることができる。その結果、整流子５とブラシ６との摺動接触状態が安定するため、図３に示す様に、低電流域での回転速度向上効果を得ることができる。
【００２４】
上記の図３は、ブラシスプリングの押圧方向に対する凹凸形状の両側壁１２ａの傾斜角度Ｃを適宜に選択して、低電流域での無負荷回転速度を実験により測定し、その回転速度向上効果をグラフ化したものであり、凹凸形状の両側壁１２ａの傾斜角度Ｃが２０°〜７０°の範囲内で高い回転速度向上効果が得られた。特に、傾斜角度Ｃが３０°〜５５°の範囲内では、回転速度向上効果が最大となる結果が得られた。
なお、実施例１に示す整流子５は、ブラシスプリングの押圧方向に対して凹凸形状の両側壁１２ａがそれぞれ傾斜しているが、凹凸形状の何方か一方の側壁１２ａだけを傾斜させて、その傾斜角度Ｃを上記の範囲（２０°〜７０°、より望ましくは３０°〜５５°）内に設定しても良い。この場合も、回転速度向上効果のレベルは異なるが、傾斜角度Ｃが３０°〜５５°の範囲内で最大の回転速度向上効果を得ることができる。
【実施例２】
【００２５】
図４は整流子５とブラシ６との接触状態を示す断面図である。
この実施例２に示す整流子５は、実施例１の構成（ブラシスプリングの押圧方向に対して凹凸形状の両側壁１２ａがそれぞれ傾斜している）に加えて、以下の特徴を有している。
整流子面に摺動するブラシ６の摺動面（ブラシ摺動面と呼ぶ）の軸方向（図４の左右方向）の長さをブラシ摺動幅Ｂとし、このブラシ摺動幅Ｂの範囲内に設けられる整流子面の凹凸形状の頂上部１２ｂの幅Ａを全て合計した長さをＬとすると、ＢとＬとの間に下記（１）の関係が成立している。図４に示す例では、ブラシ摺動幅Ｂの範囲内に凹凸形状の頂上部１２ｂが６カ所設けられているので、Ｌ＝６×Ａとなる。
Ｌ／Ｂ≦１／２……………………（１）
【００２６】
また、ブラシ摺動面は、ブラシ６が摩耗していない初期状態（新品）の時に、摺動方向の形状が整流子面の周方向の形状と略同等に形成されている。つまり、ブラシ摺動面は、摺動方向の形状が平坦面ではなく、図５に示す様に、整流子面の外周形状に沿った円弧状にＲ面取りが施されている。
さらに、整流子面に設けられる凹凸形状の頂上部１２ｂと側壁１２ａとの境界部１２ｃ（角部）は、例えば、Ｒ０．１以下の鋭角に形成されている。但し、前記の「鋭角」とは、直角より小さい角度のことではなく、境界部１２ｃの曲率が大きい（曲率半径が小さい）ことを言う。
【００２７】
この実施例２に示す構成によれば、ブラシ６が摩耗していない初期状態においても、整流子面に対しブラシ摺動面の摺動方向の接触長さを長くできる。また、ブラシ摺動面に凹凸形状が無い新品なブラシ６でも、上記（１）の関係が満たされることで、ブラシ摺動面に対する初期の面圧が２倍以上になるため、整流子５とブラシ６との摺動接触状態が安定する。その結果、図６に示す様に、ブラシ６が整流子面の凹凸形状に馴染む前から高い回転速度向上効果を得ることができる。なお、図６は、ブラシ摺動幅Ｂに対する凹凸形状の頂上部１２ｂの合計長さＬの値を適宜に選択して、低電流域での無負荷回転速度を実験により測定し、その回転速度向上効果をグラフ化したものであり、前記Ｌが前記Ｂの１／２以下では、高い回転速度向上効果が得られた。
さらに、整流子面に設けられる凹凸形状の頂上部１２ｂと側壁１２ａとの境界部１２ｃが鋭角に形成されているので、ブラシ摺動面に凹凸形状が無い新品なブラシ６でも、整流子面の凹凸形状の頂上部１２ｂがブラシ摺動面に食い込みやすくなる。その結果、より短時間で安定した摺動接触状態となる。
【実施例３】
【００２８】
図７はスタータモータ１の半断面図である。
この実施例３に示す整流子５は、電機子コイル９の一部を整流子片１０として利用し、その整流子片１０が電機子軸７と直交する向きに配置されている。
電機子コイル９は、電機子コア８に形成されるスロットの数と同数の下層コイル体９０と上層コイル体９１とを有し、下層コイル体９０の直線部と上層コイル体９１の直線部とを二層状態でスロットに挿入して電機子コア８に組み立てた後、互いに異なるスロットから取り出された下層コイル体９０の端部と上層コイル体９１の端部とを接合して形成される。
【００２９】
上層コイル体９１は、スロットに挿入される直線部の一端から電機子コア８の端面と略平行に径方向内側へ延びるコイル端部９１ａが設けられ、そのコイル端部９１ａが整流子片１０として利用されている。
この整流子片１０の表面（整流子面）、つまりコイル端部９１ａの軸方向外側面には、軸方向からブラシ６が当接して、図示しないブラシスプリングにより整流子面に押圧されている。また、整流子面（コイル端部９１ａの軸方向外側面）には、電機子軸７を中心とする同心円状に複数本の溝１２が形成され、少なくともブラシ６が摺動する範囲内でブラシ６との接触面が凹凸形状に設けられている。
【００３０】
さらに、図８に示す様に、整流子面に設けられる凹凸形状の両側壁１２ａは、ブラシ６を押圧するブラシスプリングの押圧方向（図示矢印で示す方向）に対して、それぞれ所定の角度Ｃで傾斜している。この傾斜角度Ｃは、２０°〜７０°の範囲が望ましく、より好適には、３０°〜５５°の範囲が良い。
この実施例３においても、実施例１と同等の効果を得ることができる。すなわち、整流子面に凹凸形状を設けたことにより、整流子５とブラシ６との摺動接触状態を大幅に安定させることができ、電圧整流の効果を大きく活用できるので、従来公知の補助極を使用することなく、低電流域での回転速度向上効果を得ることができる。
【００３１】
一方、高電流域では、ブラシ中の電流密度が大きく増加するため、電圧整流による整流改善効果が低下して、従来と略同等の出力性能となる。
また、整流子面に設けられた凹凸形状の両側壁１２ａがブラシスプリングの押圧方向に対して傾斜しているため、凹凸形状の両側壁１２ａに対し積極的にブラシスプリングの荷重を与えることができる。その結果、整流子５とブラシ６との摺動接触状態が安定するため、低電流域での回転速度向上効果を得ることができる。
【００３２】
この実施例３に示す構成に実施例２と同様の特徴を加えることもできる。
つまり、ブラシ摺動幅Ｂと、このブラシ摺動幅Ｂの範囲内に設けられる整流子面の凹凸形状の頂上部１２ｂの幅Ａを全て合計した長さＬとの関係を上記（１）式によって規定する。
また、ブラシ摺動面は、図９（図７のＺ方向視図）に示す様に、ブラシ６が摩耗していない初期状態（新品）の時に、摺動方向の形状が整流子面の周方向の形状と略同等に形成されている。つまり、ブラシ摺動面は、摺動方向の形状が平坦面である。
さらに、整流子面に設けられる凹凸形状の頂上部１２ｂと側壁１２ａとの境界部１２ｃ（角部）は、例えば、Ｒ０．１以下の鋭角に形成されている。
これにより、実施例２と同様の効果を得ることができる。すなわち、ブラシ６が摩耗していない初期状態においても、整流子５とブラシ６との摺動接触状態が安定するので、ブラシ６が整流子面の凹凸形状に馴染む前から高い回転速度向上効果を得ることができる。  
【００３３】
（変形例）
実施例１では、本発明の直流電動機をスタータモータ１に適用した一例を説明したが、スタータモータ１に限定されるものではなく、永久磁石３を界磁として使用する直流電動機に広く適用できる。
実施例３に記載した直流電動機は、電機子コイル９の一部（上層コイル体９１のコイル端部９１ａ）を整流子片１０として利用しているが、電機子コイル９とは別部材によって整流子片１０を構成することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】スタータモータの半断面図である（実施例１）。
【図２】整流子とブラシとの接触状態を示す断面図である（実施例１）。
【図３】回転速度向上効果を示すグラフである（実施例１）。
【図４】整流子とブラシとの接触状態を示す断面図である（実施例２）。
【図５】ブラシの初期状態の形状を示す軸方向平面図である（実施例２）。
【図６】回転速度向上効果を示すグラフである（実施例２）。
【図７】スタータモータの半断面図である（実施例３）。
【図８】整流子とブラシとの接触状態を示す断面図である（実施例３）。
【図９】ブラシの初期状態の形状を示す軸方向平面図である（実施例３）。
【符号の説明】
【００３５】
１    スタータモータ（直流電動機）
２    ヨーク
３    永久磁石
４    電機子
５    整流子
６    ブラシ
７    電機子軸
１０    整流子片
１２ａ  凹凸形状の側壁
１２ｂ  凹凸形状の頂上部
１２ｃ  凹凸形状の頂上部と側壁との境界部
【図１】
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【図２】
2008131823.tif 000004
【図３】
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【図４】
2008131823.tif 000006
【図５】
2008131823.tif 000007
【図６】
2008131823.tif 000008
【図７】
2008131823.tif 000009
【図８】
2008131823.tif 000010
【図９】
2008131823.tif 000011