(57)【要約】【課題】カセットに付着して表示装置の異物の原因となる物質を効果的に除去することのできる洗浄機を提供する。また、表示パネルの洗浄工程で、表示パネルに付着する異物の数を減少させて、歩留まりを向上させることのできる表示装置の製造方法を提供する。【解決手段】洗浄機１１は、カセット１２が洗浄される洗浄部１３と、一端が洗浄部１３の下部に接続し、他端が洗浄部１３の上部に接続する空気流通路１８と、洗浄機１１内の空気を洗浄部１３と空気流通路１８との間で循環するブロアユニット１９と、空気流通路１８で空気の下流に設けられたＨＥＰＡフィルタ２０と、洗浄部１３の上部に設けられた空気吹出口１６と、洗浄部１３の上部に設けられたノズル１７と、洗浄部１３の下部に設けられた空気吸込口とを有する。【選択図】図３
2008033030.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示パネルを収納するためのカセットを洗浄する洗浄機であって、
前記カセットが洗浄される洗浄部と、
一端が前記洗浄部の下部に接続し、他端が前記洗浄部の上部に接続する空気流通路と、
前記洗浄機内の空気を前記洗浄部と前記空気流通路との間で循環する空気循環手段と、
前記空気流通路で空気の下流に設けられたフィルタと、
前記洗浄部の上部に設けられた空気吹出口と、
前記洗浄部の上部で前記空気吹出口とは異なる位置に設けられたノズルと、
前記洗浄部の下部に設けられた空気吸込口とを有し、
前記洗浄部では、前記空気流通路からの空気が前記フィルタを通じて前記空気吹出口から吹き出されるとともに、前記ノズルから圧縮空気が噴射され、
前記洗浄部内の空気は、前記空気吸込口から前記空気流通路に吸い込まれることを特徴とする洗浄機。
【請求項２】
前記空気循環手段はブロアユニットであることを特徴とする請求項１に記載の洗浄機。
【請求項３】
カセットをドライ洗浄する工程と、
前記ドライ洗浄を終えた後に、前記カセットに表示パネルを収納する工程と、
前記表示パネルを前記カセットごと洗浄液の中に浸漬して洗浄する工程と、
前記表示パネルを乾燥する工程と、
前記表示パネルに偏光板を貼り付ける工程とを有する表示装置の製造方法。
【請求項４】
カセットに表示パネルを収納する工程と、
前記表示パネルが収納された状態で前記カセットをドライ洗浄する工程と、
前記ドライ洗浄を終えた後に、前記表示パネルを前記カセットごと洗浄液の中に浸漬して洗浄する工程と、
前記表示パネルを乾燥する工程と、
前記表示パネルに偏光板を貼り付ける工程とを有する表示装置の製造方法。
【請求項５】
前記カセットは、ポリフェニレンスルフィド樹脂とガラス繊維とを含んでなる請求項３または４に記載の表示装置の製造方法。
【請求項６】
前記ドライ洗浄は、請求項１または２に記載の洗浄機を用いて行われる請求項３〜５のいずれか１項に記載の表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄機および表示装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置は、比較的単純な構造からなっており、また、構成部材の選択によって薄型化および軽量化が容易であり、さらに、低電圧での駆動も可能である。このため、近年では、コンピュータ、テレビ、ビデオカメラまたは車両のインストルメントパネルなどに盛んに利用されている。
【０００３】
例えば、透過型の液晶表示装置では、所定の方向に配向した数μｍ程度の極薄い液晶層と、この液晶層を挟持する透明な一対の薄い基板と、さらに、この基板を挟持して偏光子および検光子を構成する一対の偏光板とを有する。液晶層が設けられる側の基板面には、所定の形状にパターニングされた電極が形成されている。そして、この電極を介して液晶層に電圧を印加すると、液晶の配向が変化して、液晶表示装置を透過する光の量または波長が変わる。液晶表示装置では、これを利用して所望の表示を行っている。
【０００４】
液晶表示装置の製造工程においては、まず、一対の基板の表面に、それぞれ所定の電極および配向膜を形成する。次いで、これらの基板を貼り合わせた後、液晶を充填して、液晶表示パネルとする。次に、液晶表示パネルをカセットに収納した後、これを水などに浸漬して洗浄を行う。洗浄を終えた後は、液晶表示パネルを乾燥してから、基板に偏光板を貼り付ける。その後、外観検査および機能検査を行う。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の液晶表示パネルの洗浄工程では、洗浄を行っているにもかかわらず、液晶表示パネルに異物が付着するという問題があった。このため、基板と偏光板の間に異物が挟まるなどして、液晶表示装置の製造歩留まりを低下させる原因となっていた。
【０００６】
本発明は、こうした問題点に鑑みてなされたものである。即ち、本発明の目的は、カセットに付着して表示装置の異物の原因となる物質を効果的に除去することのできる洗浄機を提供することにある。
【０００７】
また、本発明の目的は、表示パネルの洗浄工程で、表示パネルに付着する異物の数を減少させて、歩留まりを向上させることのできる表示装置の製造方法を提供することにある。
【０００８】
本発明の他の目的および利点は、以下の記載から明らかとなるであろう。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の第１の態様は、表示パネルを収納するためのカセットを洗浄する洗浄機であって、
前記カセットが洗浄される洗浄部と、
一端が前記洗浄部の下部に接続し、他端が前記洗浄部の上部に接続する空気流通路と、
前記洗浄機内の空気を前記洗浄部と前記空気流通路との間で循環する空気循環手段と、
前記空気流通路で空気の下流に設けられたフィルタと、
前記洗浄部の上部に設けられた空気吹出口と、
前記洗浄部の上部で前記空気吹出口とは異なる位置に設けられたノズルと、
前記洗浄部の下部に設けられた空気吸込口とを有し、
前記洗浄部では、前記空気流通路からの空気が前記フィルタを通じて前記空気吹出口から吹き出されるとともに、前記ノズルから圧縮空気が噴射され、
前記洗浄部内の空気は、前記空気吸込口から前記空気流通路に吸い込まれることを特徴とするものである。
【００１０】
本発明の第１の態様において、前記空気循環手段はブロアユニットとすることができる。
【００１１】
本発明の第２の態様は、カセットをドライ洗浄する工程と、
前記ドライ洗浄を終えた後に、前記カセットに表示パネルを収納する工程と、
前記表示パネルを前記カセットごと洗浄液の中に浸漬して洗浄する工程と、
前記表示パネルを乾燥する工程と、
前記表示パネルに偏光板を貼り付ける工程とを有する表示装置の製造方法に関する。
【００１２】
本発明の第３の態様は、カセットに表示パネルを収納する工程と、
前記表示パネルが収納された状態で前記カセットをドライ洗浄する工程と、
前記ドライ洗浄を終えた後に、前記表示パネルを前記カセットごと洗浄液の中に浸漬して洗浄する工程と、
前記表示パネルを乾燥する工程と、
前記表示パネルに偏光板を貼り付ける工程とを有する表示装置の製造方法に関する。
【００１３】
本発明の第２の態様または第３の態様において、前記カセットは、ポリフェニレンスルフィド樹脂とガラス繊維とを含んでなるものとすることができる。
【００１４】
本発明の第２の態様または第３の態様において、前記ドライ洗浄は、本発明の第１の態様の洗浄機を用いて行うことができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の第１の態様によれば、カセットに付着して表示装置の異物の原因となる物質を効果的に除去できる。したがって、表示パネルの洗浄工程において、表示パネルに付着する異物の数を減少させることができる。
【００１６】
本発明の第２の態様によれば、表示パネルの洗浄工程で、表示パネルに付着する異物の数を減少させることができる。
【００１７】
本発明の第３の態様によれば、表示パネルの洗浄工程で、表示パネルに付着する異物の数を減少させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
液晶表示パネルの洗浄工程では、液晶表示パネルは、カセットに収納された状態で洗浄される。図１は、カセットの斜視図の一例である。この図に示すように、カセット１は、複数の溝２が設けられた側板３と、側板３を連結する連結板４と、連結板４を側板３に固定する金属製のネジ５とを有する。溝２に液晶表示パネル（図示せず）を嵌め込み、洗浄液の中にカセット１ごと浸漬することによって、複数の液晶表示パネルを同時に洗浄することができる。
【００１９】
カセット１を構成する側板３や連結板４は、一般に、ポリフェニレンスルフィド樹脂（ポリフェニレンサルファイト樹脂）を４０％〜９０％程度含み、さらに、ガラス繊維を１５％〜５０％程度含む材料を用いて構成される。ガラス繊維が添加されるのは、樹脂の機械的強度を向上させるためである。
【００２０】
しかし、上記の組成を有するカセットでは、カセット同士が互いに擦れたり、カセットが硬い物質に接触したりすると、樹脂が粉末状に削れたり、樹脂中からガラス繊維が飛び出したりする。そして、削れた樹脂や飛び出したガラス繊維は、洗浄液中を浮遊した後に液晶表示パネルに付着する。本発明者は、これが洗浄工程で液晶表示パネルに異物が付着する原因であることを見出した。そこで、液晶表示パネルを洗浄する前にカセットを洗浄すると、液晶表示パネルに付着する異物を低減できることが判明した。
【００２１】
以下、本発明による洗浄機および表示装置の製造方法について説明する。尚、本実施の形態では、表示装置として液晶表示装置を例にとるが、本発明はこれに限られるものではなく、有機ＬＥＤ表示装置などの他の表示装置に適用することも可能である。
【００２２】
まず、本実施の形態において、洗浄対象となる液晶表示パネルの一例について説明する。
【００２３】
液晶表示パネルは、例えば、ガラスからなる２枚の透明基板が、シール材を介して貼り合わされた構造を有する。そして、これらの基板の間には、液晶が充填されている。
【００２４】
２枚の透明基板のそれぞれ液晶と接する面には、電極と配向膜がこの順に形成されている。一方の透明基板に形成された電極は、例えば、横方向に延びる複数のストライプ形状となっている。また、他方の透明基板に形成された電極は、縦方向に延びる複数のストライプ形状となっている。そして、これらの電極が交差した部分に画素が形成される。
【００２５】
上記一方の透明基板は、上記他方の透明基板よりも大きく、重ね合わされた部分から張り出している。張り出し部には配線が設けられており、この配線の一方の端部は、２枚の透明基板に設けられた電極のそれぞれと電気的に接続している。
【００２６】
尚、液晶表示装置では、張り出し部に設けられた配線の他方の端部は、異方性導電膜を介してドライバＬＳＩに接続する。また、ドライバＬＳＩには、ＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｐｒｉｎｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）が接続する。そして、ＦＰＣを介して外部回路から制御信号や駆動信号を入力すると、２枚の透明基板のそれぞれに設けられた電極に電圧が印加される。これにより、各画素における液晶の配向状態が制御されるので、液晶表示パネルに所望の画像を表示することが可能となる。
【００２７】
次に、本実施の形態における表示装置の製造方法について説明する。
【００２８】
図２は、液晶表示装置の製造方法を示すフローチャートである。この図に示すように、本実施の形態においては、液晶表示パネルの洗浄を行う前にカセットの洗浄を行うことを特徴とする（ステップ１０１）。この理由について、以下に詳述する。
【００２９】
従来は、液晶表示パネルをカセットに収納した後、カセットごと洗浄液の中に浸漬することによって、液晶表示パネルの洗浄を行っていた。ここで、カセットは、前述の通り、ポリフェニレンスルフィド樹脂を主成分として構成されている。そして、これらの樹脂に含まれるガラス繊維は、直径が１０μｍ〜１５μｍであって、長さが３０μｍ〜５０μｍであるものが主である。
【００３０】
ところで、カセットを保管する際には、通常、複数を積層した状態とすることが多い。また、液晶表示パネルを洗浄する際にも、カセットを積層した状態で洗浄槽の中に入れることが多い。このとき、カセット同士が互いに擦れると、樹脂が粉末状に削れたり、樹脂中からガラス繊維が飛び出したりする。また、カセットが硬い物質に接触しても、同様のことが起こる。ここで、樹脂中から飛び出すガラス繊維は、長さが５μｍ〜３０μｍと短いものである。
【００３１】
上記のようなガラス繊維がカセットの表面に飛び出していたり、あるいは、樹脂の粉末がカセットの表面に付着していたりする場合において、カセットを洗浄液の中に浸漬すると、これらのガラス繊維や樹脂は、カセットから容易に離れて洗浄液中を浮遊するようになる。
【００３２】
ところで、洗浄液が入れられた洗浄槽には、一般に、洗浄液中に汚染物として含まれる物質を除去するための濾過装置が設けられている。しかし、洗浄槽の液面近くを浮遊する物質を濾過装置によって除去するのは困難である。そして、上記のような長さの短いガラス繊維は、洗浄槽の液面近くを浮遊するので、濾過装置によるガラス繊維の除去率は著しく低いものとなる。特に、洗浄槽の下部付近に超音波発信器が設置されている場合には、液面で浮遊するガラス繊維の数が増加する。それ故、洗浄液中からのガラス繊維の除去は一層困難である。
【００３３】
こうしたことは、粉末状の樹脂についても同様である。さらに、ポリフェニレンスルフィド樹脂に代えて、フッ素樹脂や塩化ビニルなどを用いて構成されたカセットであっても、カセット同士が互いに擦れたり、カセットが硬い物質に接触したりすると、樹脂が粉末状に削れて同様のことが起こる。
【００３４】
したがって、洗浄していないカセットに液晶表示パネルを収納した後、カセットごと洗浄槽に浸漬する従来の方法では、カセットに起因するガラス繊維や樹脂によって洗浄液を汚染する結果となる。そして、上述の通り、こうしたガラス繊維や樹脂は、洗浄液中から除去され難いので、洗浄液中を浮遊しているうちに、カセットの中に収納された液晶表示パネルに付着しやすい。この傾向は、浸漬されたカセットの数が増えるにしたがって強くなる。
【００３５】
尚、上記はバッチ式によって洗浄を行う場合であるが、枚葉式によって洗浄を行う場合にも同様のことが起こる。枚葉式の場合には、液晶表示パネルは１つずつ搬送されて洗浄される。すなわち、洗浄工程において、カセットは使用されない。しかしながら、洗浄前の液晶表示パネルは、カセットに収納された状態でおかれる。したがって、カセットに起因した粉末状の樹脂やガラス繊維が液晶表示パネルに付着すれば、洗浄工程でこれらの汚染物によって洗浄液が汚染される。このため、洗浄したにもかかわらず、液晶表示パネルに異物が付着する結果となる。
【００３６】
洗浄液中を浮遊するガラス繊維や樹脂の量を低減するには、カセットの表面から取れやすい状態にあるガラス繊維や樹脂の量を予め減らしておき、その後でカセットを洗浄液に浸漬するのが効果的である。具体的には、液晶表示パネルの洗浄を行う前に、カセットの洗浄を行うのがよい。これにより、洗浄液中へのカセットによるガラス繊維や樹脂の持ち込み量を低減できるので、液晶表示パネルに付着する異物の量を少なくすることが可能となる。
【００３７】
本実施の形態においては、カセットの洗浄にウェット洗浄ではなくドライ洗浄を適用する。これは、次の理由による。
【００３８】
例えば、純水が入れられた洗浄槽の中にカセットを浸漬して超音波洗浄を行った場合には、ポリフェニレンスルフィド樹脂の中からガラス繊維を引き出す結果となる。これは、カセットの表面から取れやすい状態にあるガラス繊維の数を増加させることになるので好ましくない。一方、純水に代えてエタノールなどの有機溶剤を用い、超音波をかけずに洗浄を行うことも考えられる。しかし、有機溶剤は可燃性であり、安全性の点から問題がある。以上より、カセットの洗浄は、ウェット洗浄ではなくドライ洗浄によって行うのがよい。
【００３９】
図３は、本実施の形態における洗浄機の模式図であり、（ａ）は正面から見た図、（ｂ）は側面から見た断面図である。この洗浄機は、カセットの洗浄を行うのに使用される。尚、（ｂ）において、矢印は空気の流れる方向を示している。
【００４０】
図３に示すように、洗浄機１１は、カセット１２の洗浄が行われる洗浄部１３と、洗浄機１３内の空気が流通する空気流通路１８とを有する。空気流通路１８は、一端が洗浄部１３の下部に接続しており、他端が洗浄部１３の上部に接続している。洗浄部１３は、シャッター１４により、外部に対して開閉可能である。また、洗浄部１３でカセット１２が載置されるテーブル１５は、洗浄部１３の外部に向かって延出している。
【００４１】
テーブル１５には、カセット移送手段（図示せず）が設けられており、カセット移送手段を操作することによって、洗浄する予定のカセット１２を洗浄部１３の内部に移送したり、また、洗浄を終えたカセット１２を洗浄部１３の外部に移送したりすることができる。例えば、駆動装置に接続したレールをテーブル１５に埋め込み、このレール上にカセット１２を載置する。そして、駆動装置を通じてレールを動かすことにより、カセット１２が移送されるようにすることができる。
【００４２】
洗浄部１３の上部には、空気吹出口１６と複数のノズル１７が設けられている。これらからは、いずれも空気が吹き出す。特に、ノズル１７からは、高圧の空気が吹き出すようになっている。空気吹出口１６とノズル１７からの空気の吹き出しによって、テーブル１５の上に載置されたカセット１２がドライ洗浄されて、異物の原因となるガラス繊維や粉末状の樹脂がカセット１２の表面から除去される。また、このとき、カセットに使用されている金属性のネジから発生する金属粉なども除去される。
【００４３】
空気流通路１８で空気の上流には、ブロアユニット１９が設けられている。ブロアユニット１９は、本発明における空気循環手段であり、洗浄機１１内の空気を洗浄部１３と空気流通路１８との間で循環させる役割を果たす。具体的には、ブロアユニット１９は、送風機（図示せず）を備えており、送風機によって空気流通路１８内には送風が発生する。これにより、洗浄部１３内の空気は、洗浄部１３の下部に設けられた空気吸込口（図示せず）を通じて、空気流通路１８内に吸い込まれる。したがって、空気は、洗浄部１３内でダウンフローとなる。
【００４４】
空気吸込口から吸い込まれた空気は、空気流通路１８内を通り、下流に設けられた防塵用のＨＥＰＡフィルタ（Ｈｉｇｈ  Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ  Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ  Ａｉｒ  Ｆｉｌｔｅ）２０を介して、再び空気吹出口１６から洗浄部１３に吹き出される。ＨＥＰＡフィルタ２０によって、空気中のガラス繊維や樹脂などは除去されるので、洗浄部１３内にはクリーンな空気が送り込まれる。
【００４５】
一方、ノズル１７は、配管２４を通じて、洗浄機１１の外部に設けられた圧縮された乾燥空気のボンベ２１に接続している。配管２４の途中に設けられた弁２２を開くことによって、ノズル１７から高圧の空気が噴出する。
【００４６】
次に、洗浄機１１の動作の一例について述べる。
【００４７】
例えば、テーブル１５の洗浄部１３より外部に延出した部分において、カセット１２をカセット移送手段にセットする。次いで、洗浄機１１の前面に設けられた制御盤２３を操作して、カセット移送手段を駆動する。これにより、洗浄部１３内にカセット１２が移送される。次に、シャッター１４を閉じて、ブロアユニット１９を駆動する。ブロアユニット１９によって作り出される洗浄機１１内の空気の風速は、例えば、１．０ｍ／秒〜１．５ｍ／秒とすることができる。ブロアユニット１９の駆動によって、洗浄部１３の上部に設けられた空気吹出口１６からエアーシャワーが出る。また、ボンベ２１を通じて、ノズル１７からは、高圧の空気が吹き出される。
【００４８】
エアーシャワーを行う時間や、ノズル１７から噴射される空気の圧力および噴射時間については、制御盤２３を通じて所定の値に設定できるようにしておくのがよい。例えば、エアーシャワーの時間を３０秒〜４０秒とすることができる。また、ノズル１７から吹き出す空気の圧力を０．４ＭＰａ〜０．７ＭＰａとし、噴射時間を１０秒〜２０秒とすることができる。尚、エアーシャワーは、ブロアユニット１９の起動によって直ちに作動するが、ノズル１７からの空気の噴射は、エアーシャワーが作動した後に起こる。
【００４９】
洗浄部１３内でカセット１２が載置される位置は、ノズル１７から噴射される空気が直接あたる位置とすることが好ましい。これにより、カセットの表面にある樹脂やガラス繊維、カセットに使用されている金属ネジから発生する金属粉などを効果的に除去することができる。また、ノズル１７の向きは、図３（ａ）および（ｂ）に示すように、鉛直方向に向かって空気が噴射されるようにするのがよい。空気吹出口１６より吹き出した空気は、ブロアユニット１９の働きによって、空気吸込口から空気流通路１８に吸い込まれる。ノズル１７からの空気を鉛直方向に噴射すれば、洗浄部１３内の空気の流れを一様にダウンフローとすることができる。
【００５０】
エアーシャワーと、ノズル１７からの空気の噴射とを所定時間行った後は、シャッター１４を開き、カセット移送手段によってカセット１２を洗浄部１３の外に移送する。これにより、カセット１２に対するドライ洗浄が終了する。尚、ドライ洗浄に要するタクトは、この例では６０秒程度とすることができる。
【００５１】
以上述べたようにして、カセットの洗浄を終えたあとは、図２に示すように、液晶表示パネルをカセットに収納する（ステップ１０２）。尚、収納される液晶表示パネルは、例えば、複数のパネルが短冊状に連なったパネルの集合体を切断して、単品のパネルとしたものである。
【００５２】
次いで、カセットごと液晶表示パネルを洗浄液の中に浸漬し、液晶表示パネルの洗浄を行う（ステップ１０３）。これにより、液晶表示パネルに付着している液晶や、切断の際に付着したガラス片などを除去することができる。
【００５３】
ステップ１０３における洗浄は、例えば、純水を用いた超音波洗浄によって行うことができる。具体的には、純水を入れた洗浄槽の中に液晶表示パネルをカセットごと入れ、超音波をかけて洗浄する。尚、このとき、カセットを構成する樹脂の中からガラス繊維が引き出されるが、カセットを予めドライ洗浄しているので、洗浄液中を浮遊するガラス繊維の数は従来より大幅に低減する。
【００５４】
洗浄を終えた後は、液晶表示パネルを乾燥する（ステップ１０４）。
【００５５】
次に、液晶表示パネルを構成する２枚の透明基板のそれぞれに、偏光板を貼り付ける（ステップ１０５）。
【００５６】
その後、液晶表示パネルの外観検査および機能検査を行う（ステップ１０６）。
【００５７】
このように、本実施の形態によれば、液晶表示パネルを洗浄する前にカセットの洗浄を行うので、カセットから液晶表示パネルの洗浄液中に持ち込まれる樹脂やガラス繊維などの量を低減することができる。これにより、液晶表示パネルに付着する異物の量を低減できるので、偏光板の貼り付け工程で異物が挟まれることによって不良となる製品の数を少なくして、歩留まりを向上させることが可能となる。
【００５８】
図４に、カセット洗浄の有無によって、洗浄液中の異物の数を比較した結果を示す。この図において、実施例は、図３（ａ）および（ｂ）に示す洗浄機１１を用いてカセットを洗浄し、その後、このカセットに液晶表示パネルを入れて洗浄液に浸漬した場合である。また、比較例１は、洗浄していないカセットに液晶表示パネルを入れて洗浄液に浸漬した場合であり、従来法に対応する。さらに、比較例２は、カセットおよび液晶表示パネルを入れる前の洗浄液である。尚、洗浄液としては純水を用いた。また、実施例においては、洗浄機１１におけるエアーシャワーの時間を３５秒とし、ノズル１７から吹き出す空気の噴射時間を１５秒とした。
【００５９】
液晶表示パネルを不良に至らしめるのは、粒径が２０μｍ以上の異物である。図４の結果から、本発明によれば、従来法に比較して、洗浄液中における異物の数を少なくすることが分かる。特に、本発明によれば、粒径が２０μｍ以上の異物の数を従来法に比較して１／６程度まで減らすことができる。したがって、異物に起因した歩留まりの低下を抑制することが可能となる。
【００６０】
尚、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で種々変形して実施することができる。
【００６１】
例えば、上記実施の形態では、カセットの洗浄を終えた後に、液晶表示パネルをカセットの中に収納して液晶表示パネルの洗浄を行った。しかし、本発明においては、液晶表示パネルをカセットの中に収納した状態でカセットの洗浄を行い、続いて、これを洗浄液の中に浸漬して液晶表示パネルの洗浄を行うこともできる。
【００６２】
図５は、本実施の形態における他の液晶表示装置の製造方法を示すフローチャートである。この方法では、まず、液晶表示パネルをカセットに収納する（ステップ２０１）。次いで、液晶表示パネルをカセットの中に入れた状態でカセットを洗浄する（ステップ２０２）。
【００６３】
ステップ２０２では、図３（ａ）および（ｂ）に示す洗浄機１１を用いることができる。この場合、ノズル１７から噴射される空気の圧力が高すぎると、液晶表示パネルが動いて破損するおそれがある。したがって、空気の圧力は、樹脂やガラス繊維を除去できる程度には高いが、液晶表示パネルに破損などが生じない程度の圧力となるように調整する。
【００６４】
カセットの洗浄を終えた後は、液晶表示パネルを入れたままカセットを洗浄液に浸漬し、液晶表示パネルの洗浄を行う（ステップ２０３）。次に、液晶表示パネルを乾燥した後（ステップ２０４）、液晶表示パネルを構成する２枚の透明基板のそれぞれに、偏光板を貼り付ける（ステップ２０５）。その後、液晶表示パネルの外観検査および機能検査を行う（ステップ２０６）。
【００６５】
上記の方法においても、カセットを洗浄してから液晶表示パネルの洗浄を行うので、洗浄液中に持ち込まれる樹脂やガラス繊維の量を大幅に低減することができる。これにより、液晶表示パネルに付着する異物の量を低減できるので、偏光板の貼り付け工程で異物が挟まれることによって不良となる製品の数を少なくして、歩留まりを向上させることが可能となる。
【００６６】
以上述べたように、本発明によれば、表示パネルの洗浄前にカセットの洗浄を行うことによって、表示パネルに付着する異物の数を低減することができる。したがって、偏光板を貼り付ける際に、基板と偏光板に異物が入り込むことによって、不良品となる数を低減することができる。
【００６７】
また、本発明によれば、カセットに起因する樹脂やガラス繊維が洗浄液の中に混入するのを抑制できるので、洗浄液が汚染されるのを防ぐことができる。したがって、洗浄槽に設けられる濾過装置のフィルターの交換頻度を少なくすることができる。
【００６８】
また、本発明によれば、カセットを構成する樹脂やガラス繊維のみならず、カセットに使用されるネジの金属粉が洗浄液に混入するのを防ぐこともできる。
【００６９】
さらに、本発明による洗浄機によって洗浄したカセットは、枚葉式で洗浄される液晶表示パネルの保管に適している。すなわち、洗浄されたカセットの表面からは、樹脂やガラス繊維などが殆ど除去されているので、液晶表示パネルにこれらが付着するおそれを低減することができる。したがって、洗浄工程で、樹脂やガラス繊維が洗浄液中に持ち込まれるのを防げるので、液晶表示パネルに異物が付着することによる歩留まりの低下を抑制することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】本実施の形態におけるカセットの斜視図である。
【図２】本実施の形態における表示装置の製造方法を示すフローチャートである。
【図３】本実施の形態における洗浄機の（ａ）は正面図であり、（ｂ）は側面から見た断面図である。
【図４】本実施の形態において、洗浄液中の異物の量を調べた結果である。
【図５】本実施の形態における表示装置の製造方法を示す他のフローチャートである。
【符号の説明】
【００７１】
１，１２  カセット
２  溝
３  側板
４  連結板
５  ネジ
１１  洗浄機
１３  洗浄部
１４  シャッター
１５  テーブル
１６  空気吹出口
１７  ノズル
１８  空気流通路
１９  ブロアユニット
２０  ＨＥＰＡフィルタ
２１  ボンベ
２２  弁
２３  制御盤
【図１】
2008033030.tif 000003
【図２】
2008033030.tif 000004
【図３】
2008033030.tif 000005
【図４】
2008033030.tif 000006
【図５】
2008033030.tif 000007