(57)【要約】【課題】転がり軸受部品の内部欠陥を正確に検出することのできる転がり軸受部品の内部欠陥検査方法及び転がり軸受部品用内部欠陥検査装置を提供する。【解決手段】  もみ抜き保持器ｃの内部欠陥を検出するセンサとして電磁誘導センサ１２を用いて鋳造欠陥等の内部欠陥を検出するようにした。【選択図】図１
2008020434.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
転がり軸受部品の内部欠陥を検出する方法であって、前記内部欠陥を検出するセンサとして、前記転がり軸受部品に交流磁界を付与する励磁コイルと、該励磁コイルから前記転がり軸受部品に付与された交流磁界の磁束密度を検出するための誘導コイルとを有する電磁誘導センサを用い、前記誘導コイルに発生した誘導起電力の振幅と位相のうち少なくとも一方の変化量を測定して前記内部欠陥を検出することを特徴とする転がり軸受部品の内部欠陥検査方法。
【請求項２】
前記転がり軸受部品が内輪、外輪、転動体、保持器及び間座のいずれかであることを特徴とする請求項１記載の転がり軸受部品の内部欠陥検査方法。
【請求項３】
前記電磁誘導センサにより転がり軸受部品の内部欠陥を検出するに際して、転がり軸受の内輪と外輪との間に少なくとも転動体を配した状態で内部欠陥を検出するようにしたことを特徴とする請求項１記載の転がり軸受部品の内部欠陥検査方法。
【請求項４】
前記電磁誘導センサにより転がり軸受部品の内部欠陥を検出するに際して、転がり軸受の内輪と外輪との間に転動体及び保持器またはスペーサを配した状態で内部欠陥を検出するようにしたことを特徴とする請求項１記載の転がり軸受部品の内部欠陥検査方法。
【請求項５】
前記電磁誘導センサにより転がり軸受部品の内部欠陥を検出するに際して、内輪の外周側または外輪の内周側に転動体及び保持器を配した状態で内部欠陥を検出するようにしたことを特徴とする請求項１記載の転がり軸受部品の内部欠陥検査方法。
【請求項６】
前記転がり軸受部品により構成される転がり軸受が内輪と外輪を組み立てた状態で分離可能なころ軸受であることを特徴とする請求項３〜５のいずれか一項記載の転がり軸受部品の内部欠陥検査方法。
【請求項７】
前記転がり軸受部品が銅合金もみ抜き型保持器であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項記載の転がり軸受部品の内部欠陥検査方法。
【請求項８】
請求項７項記載の転がり軸受部品の内部欠陥検査方法において、前記保持器の表面または内部に存在する欠陥が所定の大きさ以下となるように閾値を設定することを特徴とする転がり軸受部品の内部欠陥検査方法。
【請求項９】
請求項７または８項記載の転がり軸受部品の内部欠陥検査方法において、前記保持器の表層部に存在する欠陥のうち、検査対象体積１．０×１０６ｍｍ３当りに存在する平方根長さが０．４ｍｍ以上の欠陥を１０．０個以下に管理すること特徴とする転がり軸受部品の内部欠陥検査方法。
【請求項１０】
転がり軸受部品の内部欠陥を検出する装置であって、前記転がり軸受部品に交流磁界を付与する励磁コイルと該励磁コイルから前記転がり軸受部品に付与された交流磁界の磁束密度を検出するための誘導コイルとを有する電磁誘導センサと、前記誘導コイルに発生した誘導起電力の振幅と位相のうち少なくとも一方の変化量を測定して０．５ｍｍ以上の内部欠陥を検出する検出手段とを具備し、管理すべき転がり軸受部品の内部欠陥が所定の大きさ以下となるように閾値を任意の値に設定可能であることを特徴とする転がり軸受部品用内部欠陥検査装置。
【請求項１１】
前記電磁誘導センサを揺動駆動するセンサ揺動機構と、前記電磁誘導センサを互いに直交する三つの軸方向のうち少なくとも一つの軸方向に送り駆動するセンサ送り機構とを具備したことを特徴とする請求項１０記載の転がり軸受部品用内部欠陥検査装置。
【請求項１２】
請求項１１記載の転がり軸受部品用内部欠陥検査装置において、前記転がり軸受部品はターンテーブル上方に載置されていることを特徴とする転がり軸受部品用内部欠陥検査装置。
【請求項１３】
請求項１０〜１２のいずれか一項記載の転がり軸受部品用内部欠陥検査装置において、前記電磁誘導センサの出力をデータ処理するデータ処理部と、このデータ処理部のデータ処理値を閾値と比較して内部欠陥の有無を判定する判定部とを具備したことを特徴とする転がり軸受部品用内部欠陥検査装置。
【請求項１４】
前記判定部の判定結果を表示する表示手段と前記電磁誘導センサの出力を記憶する記憶手段のうち少なくとも一方を有することを特徴とする請求項１３記載の転がり軸受部品用内部欠陥検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、軌道輪、転動体、保持器などの転がり軸受部品の内部に欠陥があるか否かを検査する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、円筒ころ軸受に使用される保持器としては、プレス保持器と称されるものともみ抜き保持器と称されるものとがあり、このうち後者の保持器は、前者の保持器より摩擦熱の発生が少ないことから、高速回転が要求される仕様に適している。しかし、もみ抜き保持器は高力黄銅などの銅合金を鋳造成形して形成されているため、巣などの鋳造欠陥が保持器内部に発生することがある。
【０００３】
従来、鋳造欠陥の有無を検査する方法としては、超音波探傷（ＵＴ）、放射線検査（ＲＴ）、渦流探傷（ＥＴ）などがある。しかし、超音波探傷は被検体の表面に超音波プローブを押し当てて欠陥を探傷する検査方法であるため、被検体の表面形状がもみ抜き保持器のように複雑である場合には探傷精度にバラツキが発生し易くなるという難点がある（特許文献１及び２参照）。また、放射線検査はＸ線やγ線などの放射線を被検体に照射し、その透過像を撮影して欠陥の有無を検査する方法であるため、巣のような未開口欠陥の場合には検出が難しいという難点がある。
【０００４】
これに対し、渦流探傷は、渦流探傷プローブの励磁コイルに交流電流を通電して被検体に渦電流を励起させ、そのときのコイルのインピーダンス変化から欠陥を探傷する検査方法であるため、前記したＵＴやＲＴでは検出が困難な微小な欠陥でも検出することが可能である（例えば、特許文献３〜７参照）。しかしながら、従来の渦流探傷では、鋳造欠陥が被検体の表層部に存在する場合には良いが、被検体内の深部に存在する場合には巣などの鋳造欠陥を高精度に検出することが困難であった。
【０００５】
また、近年、軸受の使用環境がますます厳しくなってきており、保持器の強度向上が要求されている。保持器素材として用いられる銅合金の内部には、介在物や巣などの内部欠陥が存在しており、高強度の銅合金製保持器を得るためには、介在物や巣などの内部欠陥を定量的に評価する必要がある。しかし、銅合金内部の複数の種類の内部欠陥や、極めて低い確率で発生する内部欠陥を定量的に検出して評価する方法がなかった。
【特許文献１】特開２００６−１１３０４４号公報
【特許文献２】特開２００３−３２９６５３号公報
【特許文献３】特許第３７５８４３９号公報
【特許文献４】特開平５−２０８２号公報
【特許文献５】特開平５−１４９９２３号公報
【特許文献６】特開平８−５４３７５号公報
【特許文献７】特開２００１−３１８０８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は上述した問題点に着目してなされたものであり、その目的は、転がり軸受部品の内部欠陥を正確に検出することのできる転がり軸受部品の内部欠陥検査方法及び転がり軸受部品用内部欠陥検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１記載の発明に係る転がり軸受部品の内部欠陥検査方法は、転がり軸受部品の内部欠陥を検出する方法であって、前記内部欠陥を検出するセンサとして、前記転がり軸受部品に交流磁界を付与する励磁コイルと、該励磁コイルから前記転がり軸受部品に付与された交流磁界の磁束密度を検出するための誘導コイルとを有する電磁誘導センサを用い、前記誘導コイルに発生した誘導起電力の振幅と位相のうち少なくとも一方の変化量を測定して前記内部欠陥を検出することを特徴とする。
【０００８】
請求項２記載の発明に係る転がり軸受部品の内部欠陥検査方法は、請求項１記載の転がり軸受部品の内部欠陥検査方法において、前記転がり軸受部品が内輪、外輪、転動体、保持器及び間座のいずれかであることを特徴とする。
請求項３記載の発明に係る転がり軸受部品の内部欠陥検査方法は、請求項１記載の転がり軸受部品の内部欠陥検査方法において、前記電磁誘導センサにより転がり軸受部品の内部欠陥を検出するに際して、転がり軸受の内輪と外輪との間に少なくとも転動体を配した状態で内部欠陥を検出するようにしたことを特徴とする。
【０００９】
請求項４記載の発明に係る転がり軸受部品の内部欠陥検査方法は、請求項１記載の転がり軸受部品の内部欠陥検査方法において、前記電磁誘導センサにより転がり軸受部品の内部欠陥を検出するに際して、転がり軸受の内輪と外輪との間に転動体及び保持器またはスペーサを配した状態で内部欠陥を検出するようにしたことを特徴とする。
請求項５記載の発明に係る転がり軸受部品の内部欠陥検査方法は、請求項１記載の転がり軸受部品の内部欠陥検査方法において、前記電磁誘導センサにより転がり軸受部品の内部欠陥を検出するに際して、内輪の外周側または外輪の内周側に転動体及び保持器を配した状態で内部欠陥を検出するようにしたことを特徴とする。
【００１０】
請求項６記載の発明に係る転がり軸受部品の内部欠陥検査方法は、請求項３〜５のいずれか一項記載の転がり軸受部品の内部欠陥検査方法において、前記転がり軸受部品により構成される転がり軸受が内輪と外輪を組み立てた状態で分離可能なころ軸受であることを特徴とする。
請求項７記載の発明に係る転がり軸受部品の内部欠陥検査方法は、請求項１〜６のいずれか一項記載の転がり軸受部品の内部欠陥検査方法において、前記転がり軸受部品が銅合金もみ抜き型保持器であることを特徴とする。
【００１１】
請求項８記載の発明に係る転がり軸受部品の内部欠陥検査方法は、請求項７項記載の転がり軸受部品の内部欠陥検査方法において、前記保持器の表面または内部に存在する欠陥が所定の大きさ以下となるように閾値を設定することを特徴とする。
請求項９記載の発明に係る転がり軸受部品の内部欠陥検査方法は、請求項７または８項記載の転がり軸受部品の内部欠陥検査方法において、前記保持器の表層部に存在する欠陥のうち、検査対象体積１．０×１０６ｍｍ３当りに存在する平方根長さが０．４ｍｍ以上の欠陥を１０．０個以下に管理すること特徴とする。
【００１２】
請求項１０記載の発明に係る転がり軸受部品用内部欠陥検査装置は、転がり軸受部品の内部欠陥を検出する装置であって、前記転がり軸受部品に交流磁界を付与する励磁コイルと該励磁コイルから前記転がり軸受部品に付与された交流磁界の磁束密度を検出するための誘導コイルとを有する電磁誘導センサと、前記誘導コイルに発生した誘導起電力の振幅と位相のうち少なくとも一方の変化量を測定して０．５ｍｍ以上の内部欠陥を検出する検出手段とを具備し、管理すべき転がり軸受部品の内部欠陥が所定の大きさ以下となるように閾値を任意の値に設定可能であることを特徴とする。
【００１３】
請求項１１記載の発明に係る転がり軸受部品用内部欠陥検査装置は、請求項１０記載の転がり軸受部品用内部欠陥検査装置において、前記電磁誘導センサを揺動駆動するセンサ揺動機構と、前記電磁誘導センサを互いに直交する三つの軸方向のうち少なくとも一つの軸方向に送り駆動するセンサ送り機構とを具備したことを特徴とする。
請求項１２記載の発明に係る転がり軸受部品用内部欠陥検査装置は、請求項１１記載の転がり軸受部品用内部欠陥検査装置において、前記転がり軸受部品はターンテーブル上方に載置されていることを特徴とする。
【００１４】
請求項１３記載の発明に係る転がり軸受部品用内部欠陥検査装置は、請求項１０〜１２のいずれか一項記載の転がり軸受部品用内部欠陥検査装置において、前記電磁誘導センサの出力をデータ処理するデータ処理部と、このデータ処理部のデータ処理値を閾値と比較して内部欠陥の有無を判定する判定部とを具備したことを特徴とする。
請求項１４記載の発明に係る転がり軸受部品用内部欠陥検査装置は、請求項１３記載の転がり軸受部品用内部欠陥検査装置において、前記判定部の判定結果を表示する表示手段と前記電磁誘導センサの出力を記憶する記憶手段のうち少なくとも一方を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、転がり軸受部品の内部欠陥を検出するセンサとして電磁誘導センサを用いたことで、巣などの内部欠陥が転がり軸受部品の内部に存在するか否かを正確に検査することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
本発明に係る転がり軸受部品の内部欠陥検査方法に使用される内部欠陥検査装置の一例を図１に示す。同図に示される内部欠陥検査装置１０Ａは、被検体である転がり軸受部品を部品単体又は転がり軸受として組立てた状態あるいは半組立て状態として載置するターンテーブル１１と、このターンテーブル１１の上方に配置された電磁誘導センサ１２と、この電磁誘導センサ１２をＸ軸回り（図中矢印θx方向）に揺動駆動するセンサ揺動機構１３と、このセンサ揺動機構１３を介して電磁誘導センサ１２を図中Ｚ軸方向に昇降駆動するセンサ昇降機構１４と、電磁誘導センサ１２を図中Ｘ軸方向及びＹ軸方向に動かしてセンサを位置決めするセンサ位置決め機構１６とを備えており、ターンテーブル１１は転がり軸受部品の位置決め機構１５により図中Ｘ軸方向に移動可能となっている。
【００１７】
図２は電磁誘導センサ１２の概略構成を示す図であり、同図に示されるように、電磁誘導センサ１２は被検査対象物である転がり軸受部品に交流磁界を付与する励磁コイル１２２と、この励磁コイル１２２から転がり軸受部品に付与された交流磁界の磁束密度を検出するための誘導コイル１２１とから構成されている。この電磁誘導センサ１２の励磁コイル１２２は、その一部を誘導コイル１２１に接触させて誘導コイル１２１と同軸に巻回されている。そして、電磁誘導センサ１２の誘導コイル１２１には、励磁コイル１２２の励磁によって発生した交流磁場の変化を誘導コイル１２１に発生した誘導起電力から検出する検出回路（図示せず）が接続されている。
【００１８】
なお、図１はターンテーブル１１上に転がり軸受部品の外輪ともみ抜き保持器で保持された転動体を半組立ての状態で載置した場合で、転がり軸受は組立てた状態で内輪と外輪が分離可能な円筒ころ軸受であり、符号ａは円筒ころ軸受の外輪、ｂは円筒ころ、ｃはもみ抜き保持器を示している。
このような内部欠陥検査装置１０Ａを使用してもみ抜き保持器ｃの内部に巣などの鋳造欠陥が存在するか否かを検査する場合は、先ず、図１に示すように、内輪（図示せず）が取り除かれたもみ抜き保持器付き円筒ころ軸受をターンテーブル１１上に載置する。次に、ターンテーブル１１、センサ揺動機構１３、センサ昇降機構１４、センサ位置決め機構１６及び被検体である転がり軸受部品の位置決め機構１５を駆動して電磁誘導センサ１２をもみ抜き保持器ｃの端面に近づけた後、電磁誘導センサ１２の励磁コイル１２２に交流電圧を印加する。そうすると、電磁誘導センサ１２の励磁コイル１２２が励磁状態となり、励磁コイル１２２からもみ抜き保持器ｃに交流磁界１８（図３参照）が付与される。そして、ターンテーブル１１上のもみ抜き保持器ｃに交流磁界１８が付与されると、電磁誘導センサ１２の誘導コイル１２１に誘導起電力が発生する。このとき、誘導コイル１２１に発生した誘導起電力は交流磁界の磁束密度に応じて変化し、交流磁界の磁束密度はもみ抜き保持器ｃの内部に存在する内部欠陥の大きさに応じて変化する。したがって、誘導コイル１２１に発生した誘導起電力の変化を誘導コイル１２１に接続された検出回路で検出することにより、もみ抜き保持器ｃの内部に巣などの鋳造欠陥があるか否かを正確に検出することができる。
【００１９】
次に、本発明に係る転がり軸受部品の内部欠陥検査方法に使用される内部欠陥検査装置の他の例を図４に示す。同図に示される内部欠陥検査装置１０Ｂは、被検体である転がり軸受部品を部品単体又は転がり軸受として組立てた状態あるいは半組立て状態として載置するターンテーブル１１と、このターンテーブル１１の上方に配置された電磁誘導センサ１２と、この電磁誘導センサ１２を図中Ｚ軸回り（図中矢印θz方向）に揺動駆動するセンサ揺動機構１９と、このセンサ揺動機構１９を介して電磁誘導センサ１２を図中Ｚ軸方向に昇降駆動するセンサ昇降機構１４と、電磁誘導センサ１２を図中Ｘ軸方向及びＹ軸方向に動かしてセンサを位置決めするセンサ位置決め機構１６とを備えており、ターンテーブル１１は転がり軸受部品の位置決め機構１５により図中Ｘ軸方向に移動可能となっている。
【００２０】
電磁誘導センサ１２は、図２に示すように、誘導コイル１２１と、この誘導コイル１２１に一部を接触させて誘導コイル１２１と同軸に巻回された励磁コイル１２２とからなり、誘導コイル１２１には、励磁コイル１２２の励磁によって発生した交流磁場の変化を誘導コイル１２１に発生した誘導起電力から検出する検出回路（図示せず）が接続されている。
【００２１】
このような内部欠陥検査装置１０Ｂを使用してもみ抜き保持器ｃの柱部内に巣などの鋳造欠陥が存在するか否かを検査する場合は、先ず、図４に示すように、内輪（図示せず）が取り除かれたもみ抜き保持器付き円筒ころ軸受をターンテーブル１１上に載置する。次に、ターンテーブル１１、センサ揺動機構１９、センサ昇降機構１４、センサ位置決め機構１６及び被検体である転がり軸受部品の位置決め機構１５を駆動して電磁誘導センサ１２をもみ抜き保持器ｃの柱部に近づけた後、電磁誘導センサ１２の励磁コイル１２２に交流電圧を印加すると、図３に示すような交流磁界１８が電磁誘導センサ１２に発生する。このとき、もみ抜き保持器ｃの柱部内に巣などの鋳造欠陥がある場合は、電磁誘導センサ１２に発生した交流磁界１８が変化することによって誘導コイル１２１に発生する誘導起電力も変化するため、誘導コイル１２１に発生した誘導起電力の変化を誘導コイル１２１に接続された検出回路で検出することにより、もみ抜き保持器ｃの柱部内に巣などの鋳造欠陥があるか否かを正確に検出することができる。
【００２２】
上述した実施形態では、内輪が取り除かれたもみ抜き保持器付き円筒ころ軸受をターンテーブル１１上に載置して巣などの鋳造欠陥がもみ抜き保持器ｃの内部にあるか否かを検査したが、図５に示すように、もみ抜き保持器単体をターンテーブル１１上に載置して巣などの鋳造欠陥がもみ抜き保持器ｃの内部にあるか否かを検査するようにしてもよい。
また、上述した実施形態では、転がり軸受部品としてもみ抜き保持器を例示したが、これに限られるものではない。たとえば、図６に示すように、転がり軸受部品として外輪ａをターンテーブル１１上に載置して外輪ａの内部欠陥を電磁誘導センサ１２で検出するようにしてもよい。同様に、内輪の内部欠陥の検出にも適用できる。
【００２３】
なお、組立てた状態で内輪と外輪が分離可能なころ軸受としては、実施例の円筒ころ軸受に限らず、円錐ころ軸受や自動調心ころ軸受でも手で分解・組立てが可能であり、分解・組立ての繰り返しにより性能に影響する傷等が発生しなければ適用可能である。
次に、本発明に係る転がり軸受部品用内部欠陥検査装置の概略構成を図７に示す。同図に示される転がり軸受部品用内部欠陥検査装置は、検査対象物である転がり軸受部品（被検査物２７）に交流磁界を付与する励磁コイル１２２と、この励磁コイル１２２から転がり軸受部品に付与された交流磁界の磁束密度を検出するための誘導コイル１２１とを備えており、これらの両コイル１２２，１２１は一つの筐体内に収容されて電磁誘導センサ１２を構成している。
【００２４】
また、図７に示される転がり軸受部品用内部欠陥検査装置は、誘導コイル１２１のインダクタンス変化（誘導コイル１２１に発生した誘導起電力の大きさ）を検出するインダクタンス変化検出回路（データ処理部）２２と、このインダクタンス変化検出回路２２で検出されたインダクタンス変化を予め設定された閾値と比較して内部欠陥の有無を判定する判定部としての比較判定回路２３とを備えており、比較判定回路２３の判定結果は表示装置２４に表示されるとともに、記録装置２５により記録用紙等の記録媒体に記録されるようになっている。
【００２５】
また、図７に示される転がり軸受部品用内部欠陥検査装置は記憶装置２６を備えており、電磁誘導センサ１２の出力は記憶装置２６に記憶されるようになっている。なお、誘導コイル１２１は励磁コイル１２２に一部を接触させて励磁コイル１２２と同軸に巻回されている。また、図７中２１は電磁誘導センサ１２の励磁コイル１２２に交流電流を供給する交流電源を示している。
【００２６】
図７に示した転がり軸受部品用内部欠陥検査装置を用いて転がり軸受部品に内部欠陥があるか否かを検査する場合は、被検査物２７の表面に電磁誘導センサ１２を近づける。そして、この状態で電磁誘導センサ１２の励磁コイル１２１に交流電流を供給して被検査物２７に交流磁界を付与すると、電磁誘導センサ１２の誘導コイル１２２に誘導起電力が発生する。このとき、電磁誘導センサ１２の誘導コイル１２２に発生した誘導起電力は被検査物２７に付与された交流磁界の磁束密度に応じて変化し、交流磁界の磁束密度は被検査物２７の内部に存在する内部欠陥の大きさに応じて変化する。
【００２７】
したがって、電磁誘導センサ１２の誘導コイル１２２に発生した誘導起電力の振幅と位相のうち少なくとも一方の変化量をインダクタンス変化検出回路２２で検出し、インダクタンス変化検出回路２２によって検出された変化量を予め設定された閾値と比較することで、巣などの内部欠陥が転がり軸受部品の内部に存在するか否かを精度よく検査することができる。
【００２８】
また、介在物や巣などの内部欠陥が転がり軸受部品の内部にあるか否かを検出するセンサとして電磁誘導センサ１２を用いたことで、銅合金からなる保持器の内部に存在する内部欠陥の存在確率を推定することができるとともに、検査対象体積１．０×１０６ｍｍ３当りに存在する平方根長さ０．４ｍｍ以上の内部欠陥の数が１０．０個以下であるか否かを推定して、内部欠陥の数を１０．０個以下に管理することができる。
【００２９】
図７に示した本発明の一実施形態では、比較判定回路２３の判定結果を表示する表示装置２４と、比較判定回路２３の判定結果を記録する記録装置２５と、電磁誘導センサ１２の出力を記憶する記憶装置２６とを備えたものを例示したが、本発明は図７に示した一実施形態に限定されるものではない。たとえば、表示装置２４、記録装置２５及び記憶装置２６のうち少なくとも一方を備えたものでもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明に係る転がり軸受部品の内部欠陥検査方法に使用される内部欠陥検査装置の一例を示す図である。
【図２】図１に示される電磁誘導センサの基本的構成を示す図である。
【図３】電磁誘導センサに発生する交流磁場を模式的に示す図である。
【図４】本発明に係る転がり軸受部品の内部欠陥検査方法に使用される内部欠陥検査装置の他の例を示す図である。
【図５】図４に示される内部欠陥検査装置のターンテーブル上にもみ抜き保持器単体を載置した状態を示す図である。
【図６】図４に示される内部欠陥検査装置のターンテーブル上に転がり軸受の軌道輪を載置した状態を示す図である。
【図７】本発明に係る転がり軸受部品用内部欠陥検査装置の概略構成を示す図である。
【符号の説明】
【００３１】
１１  ターンテーブル
１２  電磁誘導センサ
１２１  誘導コイル
１２２  励磁コイル
１３，１９  センサ揺動機構
１４  センサ送り機構
１５  軸受部品の位置決め機構
１６  センサ位置決め機構
２１  交流電源
２２  インダクタンス変化検出回路（データ処理部）
２３  比較判定回路（判定部）
２４  表示装置
２５  記録装置
２６  記憶装置
ａ  外輪
ｂ  円筒ころ
ｃ  もみ抜き保持器
【図１】
2008020434.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
2008020434.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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