(57)【要約】【課題】微細な金属ガラスの成形品を高い精度で製造することができる金属ガラスの成形装置および金属ガラスの成形方法を提供する。【解決手段】金属ガラス成形用材料を溶融し、前記溶融された金属ガラス成形用材料を鋳型を用いて成形する金属ガラスの成形方法であって、前記金属ガラス成形用材料および前記鋳型を加熱し、前記金属ガラス成形用材料を溶融させ、前記溶融した金属ガラス成形用材料および前記鋳型を加熱しつつ、金属ガラス成形用材料に圧力を加えて前記鋳型に含浸させ、前記金属ガラス成形用材料が含浸された前記鋳型を冷却して、前記溶融した金属ガラス成形用材料を凝固させることを特徴とする金属ガラスの成形方法を用いる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属ガラス成形用材料を溶融し、前記溶融された金属ガラス成形用材料を鋳型を用いて成形する金属ガラスの成形方法であって、
前記金属ガラス成形用材料および前記鋳型を加熱し、前記金属ガラス成形用材料を溶融させ、
前記溶融した金属ガラス成形用材料および前記鋳型を加熱しつつ、前記溶融した金属ガラス成形用材料を加圧して前記鋳型に含浸させ、
前記金属ガラス成形用材料が含浸された前記鋳型を冷却して、前記溶融した金属ガラス成形用材料を凝固させることを特徴とする金属ガラスの成形方法。
【請求項２】
前記鋳型は、長尺の鋳型である請求項１に記載の金属ガラスの成形方法。
【請求項３】
前記鋳型は、微細化された長尺の外歯車、内歯車、パイプおよびネジのうちの少なくともいずれか１つを成形するものである請求項２に記載の金属ガラスの成形方法。
【請求項４】
前記鋳型は、微細な凹凸構造を有し、前記凹凸構造を転写して、転写された凹凸構造が担持する情報が記録された記録媒体を成形する請求項１に記載の金属ガラスの成形方法。
【請求項５】
金属ガラス成形用材料を溶融し、前記溶融された金属ガラス成形用材料を鋳型を用いて成形する金属ガラスの成形装置であって、
中空部が形成された坩堝と、
前記坩堝の前記中空部に配置され、前記金属ガラス成形用材料を成形するキャビティおよび前記溶融した前記金属ガラス成形用材料を前記キャビティに導入する流路を備える鋳型と、
前記坩堝の前記中空部における前記鋳型の前記流路側に配置された前記金属ガラス成形用材料および前記鋳型を加熱して、前記金属ガラス成形用材料を溶融させる加熱手段と、
溶融した前記金属ガラス成形用材料を前記鋳型の前記キャビティに含浸させる含浸手段と、
前記溶融した前記金属ガラス成形用材料が含浸された前記鋳型を冷却する冷却手段とを有し、
前記加熱手段で前記金属ガラス成形用材料および前記鋳型を加熱しつつ、前記含浸手段で前記金属ガラス成形用材料を含浸させることを特徴とする金属ガラスの成形装置。
【請求項６】
前記冷却手段が前記坩堝に並設され、
さらに、前記溶融した前記金属ガラス成形用材料が含浸された前記鋳型を、前記加熱手段による前記鋳型の加熱位置から、前記冷却手段による前記鋳型の冷却位置に移動させる移動手段を有する請求項５に記載の金属ガラスの成形装置。
【請求項７】
前記冷却手段は、冷却水を噴射する噴射ノズルを備え、前記坩堝に前記冷却水を噴射して、前記坩堝の前記中空部に配置されている前記溶融した前記金属ガラス成形用材料が含浸された前記鋳型を冷却する請求項５に記載の金属ガラスの成形装置。
【請求項８】
前記鋳型および前記坩堝は、長尺の形状である請求項５〜７のいずれかに記載の金属ガラスの成形装置。
【請求項９】
前記鋳型は、その延在方向と直行する方向における前記キャビティの断面形状が、前記延在方向において同一形状である請求項８に記載の金属ガラスの成形装置。
【請求項１０】
前記鋳型は、中空部を有する外部鋳型、前記外部鋳型の中空部に配置される内部鋳型、および内部鋳型を保持する保持部材を備える請求項８または９のいずれかに記載の金属ガラスの成形装置。
【請求項１１】
前記鋳型は、微細化された長尺の外歯車、内歯車、パイプおよびネジのうちの少なくともいずれか１つを成形するものである請求項１０に記載の金属ガラスの成形装置。
【請求項１２】
前記鋳型は、微細な凹凸構造を有し、前記凹凸構造を転写して、転写された凹凸構造が担持する情報が記録された記録媒体を成形する請求項５〜７のいずれかに記載の金属ガラスの成形装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属ガラス成形用材料を成形する金属ガラスの成形方法および金属ガラスの成形装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、１０４〜１０６Ｋ／ｓｅｃといった超急冷を必要とせずに得ることができる非晶質（アモルファス）金属として、金属ガラスが知られている。この金属ガラスは、結晶構造を有する通常の金属と比較して、機械強度、耐食性、表面平滑性、精密鋳造性などの点に優れた特性を示す。この金属ガラスは、２００〜３００℃に加熱することで容易に粘性流動変形が可能となり、ダイキャストや射出成形などの方法で成形することができる。
【０００３】
ここで、特許文献１には、上面が開放された溶解用容器で非晶質合金を生じ得る合金材料を溶解し、この合金溶湯を製品成形用キャビティを持つ強制冷却鋳型内に強制移動させると共に加圧し、上記強制冷却鋳型内で合金溶湯を急冷凝固して非晶質化させ、非晶質層を含む合金からなる成形品を得ることを特徴とする非晶質合金成形品の製造方法が記載されている。
【０００４】
また、特許文献２には、鉛直方向に延びるスリーブと、前記スリーブ内を鉛直方向上方に移動するプランジャーと、前記スリーブの上側に配置される金型と、前記プランジャー上に配置される金属材料を加熱して、前記金属材料を溶解させる金属材料加熱部とを備えることを特徴とするダイキャスト装置が記載されている。
【０００５】
また、特許文献３には、鉛直方向に延びるスリーブと、前記スリーブ内を鉛直方向上方に移動するプランジャーと、前記スリーブの上側に配置される金型と、少なくとも前記スリーブの下端を覆って、前記スリーブの下端を含む空間を平空間とするケース部材と、前記平空間の内側から前記閉空間の外側に連通する連通管と、前記プランジャー上に配置される金属材料を溶解させる高周波コイルとを備え、前記ケース部材は、非導電性の部材によって構成されることを特徴とするダイキャスト装置が記載されている。
【０００６】
【特許文献１】特開平１０−２９６４２４号公報
【特許文献２】特開２００６−３４１２８９号公報
【特許文献３】特開２００６−３４１２９０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１では、射出成形により非晶質合金を所望の形状に成形し、特許文献２および特許文献３では、ダイキャスト技術を用いて金属ガラス合金を所望の形状の成形する。上記文献ではいずれも、金属ガラス材料を溶融させた後に、金型（鋳型）に移動させることにより、金型に触れた金属ガラス材料が冷却されて凝固している。すなわち、金型に金属ガラス材料を圧入した時点で金属ガラス材料の凝固が開始するため、微細化された鋳型を用いる場合には、鋳型の内部に金属ガラス材料を十分にいきわたらせることができないという問題があった。
【０００８】
また、上述の特許文献１、特許文献２および特許文献３では、所望の形状を有する部品を製造するのに、その形状を有する型を用いて一つずつ製造している。例えば、歯車を形成する場合、溶融させた材料を所望の形状を有する型に圧入した後に冷却して、一つずつ個別に製造するという方法で行っていた。そのため、複数の成形品を製造するには、その度に、同一の工程を行う必要があり、生産性が悪いという問題があった。また、回転軸と直交する方向の断面形状が同一の歯車であっても、その回転軸方向の長さが違う場合は、別の成形品となるため、個別に鋳型を製造して成形する必要があった。
【０００９】
本発明の目的は、微細な構造を有する金属ガラス成形品を高い精度で成形することができる金属ガラスの成形方法および金属ガラスの成形装置を提供することにある。
また、本発明のその他の目的は、上記従来技術に基づく問題点を解消し、金属ガラスの成形品を高い生産性で製造することができ、特に、微細な金属ガラスの成形品を高い生産性で製造することができる金属ガラスの成形方法および金属ガラスの成形装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明の第１の態様は、金属ガラス成形用材料を溶融し、前記溶融された金属ガラス成形用材料を鋳型を用いて成形する金属ガラスの成形方法であって、前記金属ガラス成形用材料および前記鋳型を加熱し、前記金属ガラス成形用材料を溶融させ、前記溶融した金属ガラス成形用材料および前記鋳型を加熱しつつ、金属ガラス成形用材料を加圧して前記鋳型に含浸させ、前記金属ガラス成形用材料が含浸された前記鋳型を冷却して、前記溶融した金属ガラス成形用材料を凝固させることを特徴とする金属ガラスの成形方法を提供するものである。
【００１１】
本発明の第１の態様において、前記鋳型は、長尺の鋳型であることが好ましく、また、前記鋳型は、微細化された長尺の外歯車、内歯車、パイプおよびネジのうちの少なくともいずれか１つを成形することが好ましい。
あるいは、前記鋳型は、微細な凹凸構造を有し、前記凹凸構造を転写して、転写された凹凸構造が担持する情報が記録された記録媒体を成形することが好ましい。
【００１２】
また、本発明の第２の態様は、金属ガラス成形用材料を溶融し、前記溶融された金属ガラス成形用材料を鋳型を用いて成形する金属ガラスの成形装置であって、中空部が形成された坩堝と、前記坩堝の前記中空部に配置され、前記金属ガラス成形用材料を成形するキャビティおよび前記溶融した前記金属ガラス成形用材料を前記キャビティに導入する流路を備える鋳型と、前記坩堝の前記中空部における前記鋳型の前記流路側に配置された前記金属ガラス成形用材料および前記鋳型を加熱して、前記金属ガラス成形用材料を溶融させる加熱手段と、溶融した前記金属ガラス成形用材料を前記鋳型の前記キャビティに含浸させる含浸手段と、前記溶融した前記金属ガラス成形用材料が含浸された前記鋳型を冷却する冷却手段とを有し、前記加熱手段で前記金属ガラス成形用材料および前記鋳型を加熱しつつ、前記含浸手段で前記金属ガラス成形用材料を含浸させることを特徴とする金属ガラスの成形装置を提供するものである。
【００１３】
本発明の第２の態様において、前記冷却手段が前記坩堝に並設され、さらに、前記溶融した前記金属ガラス成形用材料が含浸された前記鋳型を、前記加熱手段による前記鋳型の加熱位置から、前記冷却手段による前記鋳型の冷却位置に移動させる移動手段を有することが好ましい。
または、前記冷却手段は、冷却水を噴射する噴射ノズルを備え、前記坩堝に前記冷却水を噴射して、前記坩堝の前記中空部に配置されている前記溶融した前記金属ガラス成形用材料が含浸された前記鋳型を冷却することが好ましい。
【００１４】
また、前記鋳型および前記坩堝は、長尺の形状であることが好ましく、また、前記鋳型は、その延在方向と直行する方向における前記キャビティの断面形状が、前記延在方向において同一形状であることが好ましい。
さらに、前記鋳型は、中空部を有する外部鋳型、前記外部鋳型の中空部に配置される内部鋳型、および内部鋳型を保持する保持部材を備えることが好ましい。
【００１５】
ここで、前記鋳型は、微細化された長尺の外歯車、内歯車、パイプおよびネジのうちの少なくともいずれか１つを成形するものであること好ましい。
また、前記鋳型は、微細な凹凸構造を有し、前記凹凸構造を転写して、転写された凹凸構造が担持する情報が記録された記録媒体を成形することが好ましい。
【００１６】
ここで、本発明の第１の態様の一形態として、金属ガラス成形用材料を溶融し、前記溶融された金属ガラス成形用材料を鋳型を用いて成形する金属ガラスの成形装置であって、中空部が形成され、前記中空部の両端が開口する筒状の坩堝と、前記中空部に配置され、前記金属ガラス成形用材料を成形するキャビティおよび前記中空部の延在方向における一端の少なくとも一方に前記キャビティの開口部が形成され、前記中空部の前記開口部が形成された側に前記金属ガラス成形用材料が配置される鋳型と、前記中空部内の前記金属ガラス成形用材料を加熱して溶融させる加熱手段と、前記中空部の延在方向において前記鋳型の前記金属ガラス成形用材料が配置された側と反対側に配置され、前記中空部に挿通されて前記鋳型を支持するダイスと、前記ダイスを前記延在方向に移動させるダイス移動手段と、前記坩堝の延在方向において、前記中空部の前記ダイスが配置された側と反対側に配置され、前記坩堝に挿通されるパンチと、前記パンチを前記延在方向に移動させるパンチ移動手段と、前記延在方向に前記坩堝に並設された前記冷却手段とを有し、前記加熱手段によって加熱され溶融された前記金属ガラス成形用材料を前記パンチで延在方向に前記鋳型に向かって押圧して圧入し、前記溶融した前記金属材料を前記キャビティに含浸させ、前記金属ガラス成形用材料が含浸された前記鋳型を前記パンチおよび前記ダイスで挟持して前記冷却手段による冷却位置へ移動させ、前記金属ガラス成形用材料を冷却して金属ガラスを成形することを特徴とする金属ガラスの成形装置を挙げられる。
【００１７】
また、本発明の第２の態様の他の形態として、金属ガラス成形用材料を溶融し、前記溶融された金属ガラス成形用材料を鋳型を用いて成形する金属ガラスの成形装置であって、中空部が形成された筒状の坩堝と、前記中空部に配置され、前記金属ガラス成形用材料を成形するキャビティおよび前記中空部の延在方向における一端の少なくとも一方に前記キャビティの開口部が形成され、前記中空部の前記開口部が形成された側に前記金属ガラス成形用材料が配置される鋳型と、前記中空部内の前記金属ガラス成形用材料を加熱して溶融させる加熱手段と、前記加熱手段に加熱されて溶融した金属ガラス成形用材料に圧力を付与して、前記鋳型の前記開口から前記キャビティに前記溶融した金属ガラス成形用材料を圧入し、前記キャビティに前記溶融した金属ガラス成形用材料を含浸させる加圧手段と、前記坩堝に冷却水を噴射して、前記キャビティに圧入された前記金属ガラス成形用材料を冷却する冷却手段とを有することを特徴とする金属ガラスの成形装置を挙げられる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、金属ガラス成形用材料を溶融させた状態で鋳型に含浸させることができ、高い精度で金属ガラスの成形品を製造することができる。また、長尺の鋳型であっても金属ガラス成形用材料を溶融させた状態で鋳型に含浸させることができ、これにより長尺な金属ガラスの成形品を高い生産性で製造することができる。また、微細な金属ガラスの成形品を高い生産性で製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
図１は、本発明に係る金属ガラスの成形装置の一実施例の概略構成を示す。
図１に示すように、金属ガラスの成形装置（以下、成形装置とする）１０は、成形装置本体１１と、真空チャンバ１２と、排気手段１４と、不活性ガス導入手段１６とを有する。また、図示しないが、成形装置１０は、温度制御部、圧力制御部および装置全体の動作を制御する制御手段等を有する。
【００２０】
真空チャンバ１２は、その内部に成形装置本体１１を配置する。真空チャンバ１２は、排気手段１４および不活性ガス導入手段１６が接続される。
排気手段１４が、真空チャンバ１２内部の空気を排気した後に、不活性ガス導入手段１６が、真空チャンバ１２内にアルゴン等の不活性ガスを導入する。これにより、真空チャンバ１２内は、不活性ガス雰囲気とされる。
なお、排気手段１４としては、ロータリポンプ、ディフュージョンポンプおよびターボポンプ等の各種のポンプを利用できる。
【００２１】
成形装置本体１１は、坩堝２０、鋳型ユニット２２、パンチ３６、ダイス３８、加熱部４２および冷却部５０を有する。
この成形装置本体１１は、坩堝２０の内部で、金属ガラス成形用材料（以下、単に成形用材料ともいう）８を加熱部４２で加熱・溶融させて成形用材料８の溶湯とし、この溶湯を鋳型ユニット２２の中空部であるキャビティに圧入し、キャビティの細部にまで含浸させた後に、成形用材料８を冷却し、所望の形状に成形する。
【００２２】
坩堝２０は、円柱状の中空部を有し、その延在方向の両端が開口する円筒形状の筐体である。坩堝２０は図示しない保持部材により、その延在方向を鉛直方向（図１中の上下方向）に一致されて真空チャンバ１２内に配設される。
坩堝２０の中空部には、鋳型ユニット２２が配置され、さらに、その鋳型ユニット２２の上方に非晶質金属材料８が配置される。すなわち、坩堝２０の中空部における鋳型ユニット２２の配置位置の上方は、成形用材料８の配置位置となる。
本実施形態において、坩堝２０は、黒鉛によって構成される。これにより、坩堝２０が、坩堝２０の内部で加熱され溶融した成形用材料８の溶湯と反応することを防止できる。
【００２３】
加熱部４２は、コイル４４と高周波電源４６とを有する。
コイル４４は、坩堝２０の延在方向の略全長にわたって、坩堝２０の周囲を囲むように巻設される。すなわち、鋳型ユニット２２の配置位置および成形用材料８の配置位置を囲むように配設される。また、コイル４４は、高周波電源４６と接続される。加熱部４２は、高周波電源４６からコイル４４に高周波電流を流して、坩堝２０内部に配置されている成形用材料８を高周波誘導加熱で加熱し、溶融させる。
なお、本実施形態では、加熱部４２に、コイル４４と高周波電源４６を用いた高周波誘導加熱手段を用いたが、これに限らず、抵抗過熱等の加熱手段を用いて成形用材料を溶融させてもよい。
【００２４】
冷却部５０は、銅筐体５２と冷却装置５４とを有し、坩堝２０の下方に並設され、加熱部４２で加熱された成形用材料８を冷却する。
銅筐体５２は、円柱状の中空部を有する、銅製の円筒部材である。銅筐体５２は、その円柱状の中空部の内周面が、坩堝２０の円柱状の中空部の内周面と同一径となるように設けられる。また、銅筐体５２は、その円柱状の中空部の中心軸と、坩堝２０の円柱状の中空部の中心軸とを一致させた状態で、坩堝２０の下面に密着して設けられる。従って、銅筐体５２は、その内周面と坩堝２０の内周面とが滑らかに接続された状態で、坩堝２０の下方に配置される。
【００２５】
冷却装置５４は、銅筐体５２を覆って銅筐体５２を支持する支持部と、その支持部の内部に銅筐体５２の周囲を囲むように配設される冷却水配管５６を有する。冷却装置５４は、図示しない冷却水供給手段から供給された冷却水を冷却水配管５６に循環させて銅筐体５２を冷却することにより、加熱部４２で加熱された成形用材料を所定の冷却速度で冷却する。
銅筐体５４は、熱交換器としての機能を有するものであり、本実施系形態では銅を用いて構成したが、熱伝導率の高い材料を用いて構成されることが好ましい。なお、冷却装置５４は、冷却媒として冷却ガスを用いるものでもよい。
【００２６】
パンチ３４は、円柱状の部材であり、その円柱の中心軸が坩堝２０の中心軸と一致するように配置される。また、パンチ３４は、その中心軸と直行する方向、すなわち水平方向の断面の形状が、坩堝２０の中空部の断面形状と略一致するように設けられる。また、パンチ３４は、坩堝２０とは反対側の端部、すなわち上方の端部が移動手段３６に接続されており、鉛直方向に移動可能に構成されている。つまり、パンチ３４は、その円筒の外周面が坩堝２０の内周面に滑らか接触した状態で坩堝２０の中空部に挿通され、移動手段３６により鉛直方向に移動可能に構成される。
移動手段３６としては、油圧シリンダ、空気圧シリダ等を用いることができる。
なお、パンチ３４は、先端部に坩堝２０の延在方向と直交方向の断面と略同形状の押圧部材と、この押圧部材と移動手段３６とを接続して押圧部材を坩堝２０の延在方向に移動させるロッドとを備え、押圧部材が坩堝２０内周面に滑らかに接触した常態で移動可能に構成されるものでもよい。
【００２７】
ダイス３８は、円柱状の部材であり、その円柱の中心軸が銅筐体３８および坩堝２０の中心軸と一致するように配置される。また、ダイス３８は、その中心軸と直行する方向、すなわち水平方向の断面の形状が、銅筐体３８および坩堝２０の中空部の断面形状と略一致するように設けられる。また、ダイス３８は、坩堝２０とは反対側の端部、すなわち下方の端部が移動手段４０に接続されており、鉛直方向に移動可能に構成されている。つまり、ダイス３８は、その円筒の外周面が坩堝２０（および／または銅筐体３８）の内周面に滑らか接触した状態で坩堝２０（および／または銅筐体３８）の中空部に挿通され、移動手段４０により鉛直方向に移動可能に構成される。
なお、ダイス３８は、先端部に坩堝２０の延在方向と直交方向の断面と略同形状の押圧部材と、この押圧部材と移動手段３６とを接続して押圧部材を坩堝２０の延在方向に移動させるロッドとを備え、押圧部材が坩堝２０内周面に滑らかに接触した常態で移動可能に構成されるものでもよい。
【００２８】
ここで、ダイス３８は、その上方の先端を坩堝２０の中空部に挿入した状態で、鋳型ユニット２２を下から支持し、坩堝２０中空部における鋳型ユニット２２の鉛直方向の位置を固定する。
また、パンチ３６は、ダイス３８に支持された鋳型ユニット２２の上方に配置され、加熱部により加熱されて溶融された、非晶質金属材料８の溶湯を上方から所定の圧力で加圧して、鋳型ユニット２２の内部に圧入し、後述する鋳型ユニット２２のキャビティの細部にわたって含浸させる。
また、パンチ３６およびダイス３８は、鋳型ユニット２２を挟持した状態で、坩堝２０および銅筐体５２の内部を鉛直方向に移動させる。パンチ３６およびダイス３８は、鋳型ユニット２２を銅筐体５２の中空部に移動させることができるように構成される。
【００２９】
図２に鋳型ユニット２２の概略構造を示す。図２（Ａ）は、鋳型ユニット２２の概略構造を示す上面図であり、図２（Ｂ）は、鋳型ユニット２２の概略構造を示す鉛直方向の断面図である。鋳型ユニット２２は、キャビティに成形用材料８の溶湯を含浸されて、所望の形状に成形するものであり、外部鋳型２２ａおよび内部鋳型２２ｂからなる鋳型と、ホルダ２６と、支持台２８と、支持蓋３０とを有する。
【００３０】
外部鋳型２２ａは、内部に中空部を有する円柱状の部材であり、その内周面の形状を、成形用材料８に転写させることにより成形用材料８の外周面形状を成形する型である。
本実施形態において、外部鋳型２２ａの内周面が歯車形状である。また、外部鋳型２２ａは、断面における所定の角度（本実施形態では９０°）毎に分割可能に構成され、いわゆる、割り型となっている。なお、本実施形態では、４分割としているがこれに限定されず、２分割のものであってもよい。
内部鋳型２２ｂは、外部鋳型２２ａの中心軸上に配置され、成形材料８の水平方向の断面における内周面形状を成形する型である。本実施形態では、内部鋳型２２ｂは、円柱形状を有する。
外部鋳型２２ａおよび内部鋳型２２ｂは、窒化ホウ素や、石英材料や各種のセラミック材料等で、成形用材料８よりも高融点の耐熱性を有する材料を用いて形成することができるが、本実施形態では、後述する高周波誘導加熱による加熱手段により加熱されるセラミック材料を用いるのが好ましい。これにより、後述する加熱手段により鋳型を加熱することができる。なお、高周波誘導加熱により加熱可能なカーボン等のサセプターを用いて外部鋳型２２ａおよび内部鋳型２２ｂを加熱するように構成してもよい。例えば、サセプターは、外部鋳型２２ａの周囲に配置すればよい。
【００３１】
支持台２８は、円柱形状の部材であり、その円形の断面が、外部鋳型２２ｂの延在方向と直行する方向の断面と同一となるように形成されている。この支持台２８は、その中心軸が、外部鋳型２２ａの中心軸と一致するように鋳型の下方に配置され、鋳型を支持する。
また、支持台２８の中心には、貫通穴が形成されている。この貫通穴は、内部鋳型２２ｂを挿通させ、内部鋳型２２ｂの下側の一端を保持する。なお、貫通穴の断面形状は、内部鋳型２２ｂの断面形状に応じて決定すればよく、これにより内部鋳型２２ｂの下側の一端を確実に保持することができる。
なお、本実施形態では、支持台２８を貫通する穴としたが、貫通しない凹部であってもよく、内部鋳型２２ｂの下側の一端を保持することができればよい。
【００３２】
ホルダ２６は、円柱状の中空部を有する管状部材であり、延在方向の両端が開口している。このホルダ２６は、その内周面が、外部鋳型２２ａおよび支持台２８の外周面と略一致するように形成され、一体に配置された外部鋳型２２ａおよび支持台２８を保持する。すなわち、ホルダは、鋳型を保持する筐体であり、これにより、割り型である外部鋳型２２ａにずれが生じることを防止できる。
【００３３】
保持蓋３０は、支持台２８が配置された方とは反対側のホルダ２６の端部、すなわち上側の端部に配置され、内部鋳型２２ｂの上側の端部を保持するものである。
保持蓋３０は、外周面の断面形状が円形であり、円柱状の外形をし、その中心軸上には、内部鋳型２２ｂの一端を保持する穴が形成されている。保持蓋３０は、この穴に内部鋳型２２ａの一端を挿通させて内部鋳型２２ａを保持する。
また、保持蓋３０は、その中心軸に平行に、開口３０ａが形成されている。この開口３０ａは、成形用材料８の溶湯を鋳型ユニット２２の内部（キャビティ）に圧入（含浸）させるための溶湯の流路である。
【００３４】
このように、鋳型ユニット２２は、外部鋳型２２ａ、支持台２８および保持蓋３０がホルダ２６によって一体に支持される。さらに、内部鋳型２２ｂが支持台２８および保持蓋３０によって保持されて外部鋳型の中心軸上に配置される。このように構成された鋳型ユニット２２において、外部鋳型２２ａと内部鋳型２２ｂとの間には、成形品を製造するためのキャビティ２３が形成される。本実施形態では、キャビティ２３は、長尺の外歯車の形状を有する。
成形装置１０は、このキャビティ２３に成形用材料８の溶湯を圧入し、含浸させて、キャビティ２３の構造を転写させることにより、成形用材料８を成形する。これについては後に説明する。
本実施形態の成形装置１０は、基本的に以上のように構成される。
【００３５】
以下、この成形装置１０の作用を説明すると共に、本発明に係る金属ガラスの成形方法について説明する。
なお、図３（Ａ）〜（Ｃ）は、本実施形態における金属ガラスの成形工程を説明するための工程図である。
【００３６】
本発明において、金属ガラスの成形品を製造するための、金属ガラス成形用材料８としては、予め形成された各種の金属ガラス合金を用いることができる。金属ガラス合金としては、例えば、Ｚｒ基、Ｔｉ基、Ｎｉ基、Ｆｅ基、Ｃｕ基などの金属ガラス合金やＴｉ−Ｓｎ系金属ガラスを用いることができる。
なお、本実施形態では、Ｚｒ５５Ｃｕ３０Ｎｉ５Ａｌ１０であらわされる合金を用いる。この金属ガラス合金は、臨界冷却速度が低く、ガラス成形能が高いため、容易にかつ安定して金属ガラスバルクを形成できる。また、溶融状態での鋳型材料との反応性も小さく、鋳型を用いて金属ガラス合金を成形するための成形用材料として好適に用いることができる。
【００３７】
まず、ダイス５２の鉛直方向の位置を調整して、鋳型ユニット２２を坩堝２０の中空部に配置し、さらに、成形用材料８を鋳型ユニット２２の上方の配置位置（図１参照）に配置する。
このとき、鋳型ユニット２２は、図３（Ａ）に示すように、内部鋳型２２ｂが外部鋳型２２ａの中心軸上に配置された状態である。
本発明の装置では、鋳型ユニット２２として、外部鋳型２２ｂの直径が０．１〜６．０ｍｍのものを用いることができる。本実施形態では一例として、直径が３００μｍのものを使用する。また、本実施形態では、鋳型ユニット２２として、外部鋳型２２ａの長手方向の長さが１５０ｍｍの長尺のものを用いる。
【００３８】
次に、真空チャンバ１２内部を排気手段１４で真空に排気した後に、アルゴン等の不活性ガスを導入してチャンバ内部を不活性ガス雰囲気とする。
【００３９】
次に、加熱部４２の高周波電源４６に電源を印加してコイル４４に高周波電流を供給し、高周波誘導加熱により坩堝２０の中空部内に配置された成形用材料８を加熱し、溶融させる。
【００４０】
次に、上方からパンチ２２で溶融した成形材料８（以下、溶湯８ともいう）を押圧し、鋳型ユニット２２の上端の開口３０ａ（図２参照）を介してキャビティ２３内へ溶湯を圧入する。本実施形態では、一例として、パンチ３４は、１５ＭＰａ程度の圧力を溶湯に付与しつつ、２〜３００ｍｍ／ｍｉｎで移動して、溶湯を圧入する。
このように、加熱部４２で成形用材料８を加熱しながら、パンチ３４で鋳型ユニット２２のキャビティ２３内に圧入させることにより、図３（ｂ）示すように、キャビティ２３内の細部にわたるまで、溶湯を十分に含浸させることができる。
【００４１】
溶湯８をキャビティ２３内に十分に含浸させた後、次いで、パンチ３４およびダイス３６で鋳型ユニット２２を挟持した状態で、鋳型ユニット２２を銅筐体５２の中空部に収まる位置（すなわち、冷却位置）まで移動させる。鋳型ユニット２２は、銅筐体５２と接触して所定の冷却速度で冷却（急冷）され、これにより、溶融していた成形用材料８が凝固し、キャビティ２３の形状（本実施形態では、歯車）に金属ガラスが成形される。
【００４２】
次に、鋳型ユニット２２を成形装置１０から取り出して、図３（Ｃ）に示すように、所望の形状に成形された金属ガラス成形品９から、外部鋳型２２ａを外して、内部鋳型２２ｂを除去し、金属ガラス成形品９を得る。
なお、本実施形態では、ショットピーニングや機械加工等の方法を用いて内部鋳型２２ｂを除去する。
【００４３】
本実施形態の成形装置１０を金属ガラスの成形方法によると、加熱しながら鋳型に圧入（含浸）させることにより、含浸時に、成形材料８を溶融させた状態に維持することができ、キャビティ２３の内部に溶湯を確実に含浸させることができる。
【００４４】
ここで、下記の数式１は、溶融させた金属ガラス合金を隙間に圧入（含浸）させるときの、含浸深さｈ、隙間の直径Ｄ、溶融金属（液体）の粘性η、充填時間ｔ、含浸させる溶融金属（液体）へＰｔおよび液体・気体間の表面エネルギγＬＶの関係を示す。
【数１】
2008238214.tif 000003
【００４５】
上記数式１から、溶融した金属ガラス合金を１μｍの隙間にも充填できることがわかる。すなわち、１μｍ程度の隙間を有する鋳型であっても、そのキャビティに溶融した金属ガラス合金を含浸させることができる。したがって、本実施形態のように、外径が３００μｍの微細な歯車形状を有する鋳型であっても、その内部（キャビティ２３）に溶湯を確実に含浸させることができる。すなわち、微細化した金属ガラス成形品を製造することができる。
【００４６】
また、本実施形態によれば、成形用材料８の配置位置と鋳型ユニット２２の配置位置にある成形用材料８を同時に加熱する、すなわち、成形用材料８および鋳型を同時に加熱することにより、含浸時に、金属ガラス合金の成形材料８を溶融させた状態に維持することができるので、キャビティ２３に溶融した金属ガラス合金を確実に含浸させることができる。また、長尺の鋳型を用いても、確実に溶湯を含浸することができ、長尺の金属ガラス成形品（本実施形態の装置では、長尺の歯車）を製造ことができ、この成形品を長手方向と直交する方向に裁断することにより、同一の断面形状の部材を複数得ることができる。すなわち、同一の断面形状を有する微細化した金属ガラス成形品を高い生産性で製造することができる。
【００４７】
また、加熱しながらキャビティ２３内部に溶湯を確実に含浸させた後に、溶湯を含浸させた鋳型ユニット２２と溶融した成形用材料８を同時に冷却（急冷）することができるため、非晶質率が非常に高く、高品質な金属ガラス成形品を製造することができる。特に本発明の装置では、加熱位置と冷却位置が並設されており、加熱位置で溶湯が含浸された鋳型ユニットを下方の冷却位置に容易に移動させることができ、高品質の微細な金属ガラス成形品を容易に製造することができる。
【００４８】
また、金属ガラス合金を材料としてい用いることにより、上述のように、微細な鋳型であってもよく含浸させることができる。さらに、金属ガラスは、高い転写性をもち、通常の金属よりも熱膨張・収縮が小さい。したがって、微細化された鋳型を用いても、非常に高い寸法精度で金属ガラス成形品を製造することができる。また、鋳型を高精度に製作することにより、鋳造後の金属ガラス成形品に表面研磨等の加工を別に行う必要がなく、金属ガラス成形品の製造工程を短縮することができる。すなわち、本発明は、微細化された金属ガラス成形品を量産するのに好適に用いることができる。
【００４９】
本発明では、上述のように、成形用材料である金属ガラス合金と鋳型を同時に加熱しながら溶融した金属ガラス合金を鋳型に含浸させた後に、この鋳型と溶融した金属ガラス合金を同時に急冷することにより、微細化された鋳型であってもその細部にまで溶融した金属ガラス合金を含浸させることができ、高い精度で鋳型（キャビティ）形状を転写させることができるので、微細な金属ガラス成形品を高い寸法精度で得ることができる。
【００５０】
ここで、上記実施形態では、長尺の外歯車を成形するための鋳型を用いて金属ガラスの成形を行うとしたが、本発明はこれに限定されない。
例えば、図４に示すように、長尺の内歯車の金属ガラス成形品を得るための鋳型を用いてもよい。この場合、図４（Ａ）に示すように、外部鋳型２２ａのかわりに、円柱状の中空部を有する円筒状の外部鋳型６２ａを、内部鋳型２２ｂのかわりに、長尺の外歯車形状の内部鋳型６２ｂを用いて、キャビティ６３を形成する。このキャビティ６３に溶融した成形用材料８を含浸させ、含浸された成形用材料８を冷却して長尺の内歯車６４を成形した後に（図４（Ｂ）参照）、成形された長尺の内歯車６４を取り出す（図４（Ｃ）参照）。
【００５１】
また、図５に示すように、長尺のネジの金属ガラス成形品を得るための鋳型を用いてもよい。この場合、図５（Ａ）に示すように、外部鋳型２２ａのかわりに、ネジ成形用の凹凸を有する外部鋳型７２ａを用いてキャビティ７３を形成する。このキャビティ７３に溶融した成形用材料８を含浸させ（図５（Ｂ）参照）、含浸された成形用材料８を冷却して長尺のネジ形状に成形した後に、成形された長尺のネジ７４を取り出す。
【００５２】
このように、本発明によれば、種々の断面形状を有する長尺の金属ガラス成形品を、高品質かつ高い生産性で製造することができる。なお、本発明は、上記以外にも、パイプ、ワイヤ、ラックおよび棒等の形状を有する長尺の金属ガラス成形品の製造にも好適に適用することができる。
【００５３】
ここで、上述の装置において、溶融させた金属ガラス成形用材料（溶湯）を圧入、含浸させる際に、坩堝の外部に溶湯が漏れる現象、すなわち湯漏れが発生すると、溶湯に圧力を十分に付与できなかったり、坩堝から漏れ出た金属ガラスが凝固してパンチが固定されたりする場合ある。
【００５４】
これに対して、図６（Ａ）に示すように、パンチ３４と成形用材料８との間に、坩堝２０の中空部に一致するスペーサ８０を配置する。このスペーサ８０は、炭素製のテーパ形状を有するバネ（例えば、炭素製のシートをテーパ状に巻いた形状を有するもの）であり、テーパの中心軸方向から上下に押圧されて中心軸と直交する方向に広がり、これにより坩堝２０の内周面に密着して湯漏れを防止する。なお、スペーサ８０は、成形用材料よりも高融点であり、溶融した成形用材料との反応性が低い炭素等の材料で形成されるのが好ましい。
また、図６（Ｂ）に示すように、スペーサ８０のかわりに炭素粉末８２を配置してもよく、同様に、坩堝２０からの湯漏れを防止することができる。
また、図６（Ｃ）に示すように、湯漏れした金属ガラスを凝固させることで、パンチ３４と坩堝２０との隙間をシールすることもできる。
【００５５】
なお、図６（Ｄ）に示すように、坩堝２０の内周面にリング８４を配置して、坩堝２０とパンチ３４との隙間をシールして、さらに、コンプレッサ８６で坩堝２０の中空部に不活性ガスを供給して成形用材料８を加圧し、金属材料８をキャビティ内に含浸させるようにしてもよい。
また、図６（Ｅ）に示すように、坩堝２０の上部をリング等のシール部材を有するウィルソンシール等の密閉部材８８で密閉し、鋳型２２の下方から排気手段９０で坩堝２０の中空部内を吸引して、成形用材料８を含浸させるようにしてもよい。
これにより、湯漏れを防止することができる上に、さらに、含浸させる際にパンチと成形用材料が接触することがなく、成形用材料８とパンチとが反応して不純物が発生したりすることがなく、また、パンチの材料の選択性を向上させることもできる。
【００５６】
また、図６（Ｆ）で示すように、坩堝２０の上部にネジを切り、またネジシャフト９２を回転させながら成形用材料８を圧入するように構成してもよい。このように構成すると、ネジシャフト９２を回転させることにより、湯漏れが生じてもネジシャフト９２が固定されることを防止することができる。
【００５７】
以下、本発明の成形装置の他の実施形態について説明する。
図７に、本発明の他の実施形態に係る成形装置１１０の主要部である成形装置本体１１１を示す。
成形装置本体１１１は、坩堝２０と、鋳型ユニット２２と、加熱部のコイル４４と、冷却水噴射ノズル１１４と、冷却水回収手段１１６を有し、上述の成形装置本体１１と同様に、排気手段および不活性ガス導入手段を有する真空チャンバ内に配設される。
なお、成形装置１０と同一の部材については同一の符号を付してその詳細な説明は省略する。
【００５８】
坩堝２０は、その中心軸が鉛直方向に一致するように配置される。坩堝２０の中空部の下端には鋳型ユニット２２（および鋳型ユニット２２の上方に配置される成形用材料８）を支持する支持部材１１２が配設されている。この坩堝２０の周囲に、坩堝２０を囲むように加熱手段のコイル４４が巻設される。このコイル４４は、図示しない高周波電源に接続されている。
【００５９】
本実施形態では、溶融した成形用材料８をガス加圧を用いて鋳型ユニット２２のキャビティに圧入する、図示しない加圧手段を有する。この加圧手段は、坩堝２０の上方か不活性ガスを供給するガス供給配管、加圧するコンプレッサおよびガス供給源等を備え、所定の圧力を溶湯に付与し、キャビティに溶湯を含浸させる。
【００６０】
また、本実施形態では、冷却水噴霧ノズル（以下、ノズルとする）１１４が配設される。ノズル１１４は、坩堝２０の側方に、坩堝２０を挟んで対を成して配設され、図７の点線で示すように坩堝２０の略全面に向かって、図示しない冷却水の供給手段から供給される冷却水を噴霧して、坩堝２０を冷却（急冷）する冷却手段である。
坩堝２０の下方には、冷却水回収手段（以下、回収手段とする）１１６が配設されている。回収手段１１６は、ノズル１１４から噴霧され、坩堝２０やコイル４４に沿って落ちてくる冷却水を回収する。回収手段１１６は図示しない冷却水経路を備え、回収した冷却水を冷却手段の冷却水供給手段に送って、冷却水を再利用するように構成してもよい。
【００６１】
このように構成された本実施形態の成形装置１１０は、まず、鋳型ユニット２２を坩堝２０の中空部に配置し、さらに、成形用材料８を鋳型ユニット２２の上方に配置する。
次に、図示しない真空チャンバ内部を排気手段で真空に排気した後に、アルゴン等の不活性ガスを導入してチャンバ内部を不活性ガス雰囲気とする。
次に、加熱手段の高周波電源（不図示）に電源を印加してコイル４４に高周波電流を供給し、高周波誘導加熱により坩堝２０の中空部内に配置された成形用材料８を加熱し、溶融させる。
【００６２】
次に、加圧手段で、坩堝２０の上方か不活性ガスを供給し、所定の圧力を溶湯に付与し、キャビティに溶湯を圧入する。本実施形態においても、加熱手段で成形用材料８を加熱しながら、溶湯をキャビティ内に圧入させることにより、十分にキャビティ内に溶湯を含浸させることができる。
溶湯をキャビティ内に十分に含浸させた後、加熱手段を停止させるとともに、ノズル１１４から冷却水を噴射して坩堝２０、鋳型ユニット２２および溶湯を冷却する。このとき、溶融した成形用材料が所定の冷却速度で冷却されるように、冷却水の温度や冷却水の噴射量等を適宜設定すればよい。所定の冷却速度で冷却（急冷）され、これにより、溶融していた成形用材料８が凝固し、キャビティの形状が転写され、金属ガラスが成形される。
次に、鋳型ユニット２２を成形装置１１０から取り出して、成形された金属ガラス成形品から鋳型を外して、金属ガラス成形品を得る。
【００６３】
本実施形態の装置においても、同様に、高品質な微細化した金属ガラス成形品を高い生産性で製造することができる。
なお、本実施形態の装置では、ガス加圧による加圧手段を用いることにより、溶融した成形材料８を非接触で圧入させることができる。また、圧入の際に、上述の湯漏れが生じることを防止できる。
【００６４】
また、本実施形態の装置では、加熱と冷却を同じ位置で行うことができる。すなわち、加熱位置と冷却位置を別に設定する必要がないため、装置サイズを小型化することができる。さらに、加熱位置と冷却位置を別に設定する必要がなく、鋳型ユニットを加熱位置から冷却位置に移動させる移動手段を設ける必要が無く装置構成を簡略化することができ、装置コストを抑えることができる。
【００６５】
なお、本実施形態では、坩堝２０の上方から不活性ガスを供給して所定の圧力を溶湯に付与し、圧入する加圧手段を設けたが、これに代えて、坩堝２０の上部を密閉し、坩堝２０の下方から坩堝２０の内部を排気して溶融した成形用材料を吸引してキャビティ２２内に含浸させる排気手段を設けるように構成してもよい。なお、この場合、鋳型ユニット２２の支持台２８に貫通穴を形成してキャビティ２３内を下方から吸引・排気できるように構成してもよい。
【００６６】
なお、上述のように、金属ガラス合金および鋳型を加熱しつつ、溶融した金属ガラス合金をキャビティに含浸させるため、微細化された鋳型であってもその細部にまで溶融した金属ガラス合金を含浸させることができ、高い精度で鋳型（キャビティ）形状を転写させることができるので、微細な金属ガラス成形品を高い寸法精度で得ることができる。本発明では、上述の形状のキャビティに限定されず、高い精度で形成された各種の形状のキャビティを有する微細な鋳型を作製し、これを用いることにより、各種形状を有する微細な金属ガラス成形品を得ることができる。
【００６７】
一例として、図８には、一方の面に微細な凹凸構造を有する円盤状の鋳型と、この鋳型を収める坩堝を示す。図８（Ａ）は、坩堝の側面から見た図であり、図８（Ｂ）は、図８（Ａ）に示す坩堝の断面図であり、図８（Ｃ）は鋳型に金属ガラス合金が含浸している状態を示す断面図である。本実施例は、この微細な凹凸構造を転写することにより、デジタルデータを担持する微細な凹凸構造がその表面に形成された金属ガラスの成形品を製造する場合について説明する。
【００６８】
図示例では、直方体状の外形を有する坩堝１２０の内部に円盤形状の鋳型ユニット１２２が配置されている。坩堝１２０の上方には、開口が形成され、成形用材料が配置される中空部１２４が設けられる。この配置位置１２４から、鋳型ユニット１２２に向かって幅が漸減するように、成形用材料８の溶湯の流路１２６が形成されている。本実施形態では、坩堝１２０は、第１部材１２０ａと第２部材１２０ｂの二つの部材から構成され、円盤形状の鋳型ユニット１２２の円盤の軸方向に分解可能に構成される。
【００６９】
鋳型ユニット１２２は、円盤形状の一方の面を形成する第１鋳型１２２ａと、第１鋳型１２２ａに対向する第２鋳型１２２ｂを有する。図示例では、第１鋳型１２２ａおよび第２鋳型１２２ｂが、円盤形状のキャビティ１２３を形成する。
第１鋳型１２２ａは、微細な凹凸形状が形成され、この凹凸構造を成形用材料に転写することによりデジタルデータを担持する凹凸構造を金属ガラス合金に形成する型である。
第２鋳型は、第１鋳型と対向して配置され、その中心部に円柱形状の突出部と、円盤形状のキャビティ１２３の側面を形成する側壁を有する。
【００７０】
このような坩堝１２０と鋳型ユニット１２２を、例えば、図７に示す成形装置１１０に配置して、上述の方法と同様にして金属ガラス合金を含浸させ（図８（Ｃ）参照）、微細な凹凸構造が形成された、すなわち、デジタルデータが記録された記録媒体である円盤状の金属ガラス合金の成形品を製造することができる。
【００７１】
本発明によれば、金属ガラス合金材料の高い転写性を利用して、金属ガラス合金を記録媒体の材料として用いることができる。すなわち、高い精度で微細な凹凸構造を形成することができるため、大容量のデジタルデータに対応する凹凸パターンが形成された記録媒体を形成することができる。
また、金属ガラスは、強靭性と耐食性の点でも優れており、記録されたデジタルデータの劣化を防止することができるという点でも好ましい。
【００７２】
なお、坩堝１２０および鋳型ユニット１２２を、成形装置１１０に配置する場合について説明したが、これに限定されず、成形装置１０に配置して金属ガラスの成形をおこなってもよい。この場合、鋳型ユニット１２２は、第１鋳型１２２ａおよび第２鋳型１２２ｂを保持する保持部材を更に備え、坩堝１２０内部を鉛直方向に滑らかに移動可能に構成し、鋳型ユニット１２２のみを冷却部に移動させてもよく、また、坩堝１２０ごと冷却部に移動可能に構成してもよい。
【００７３】
ここで、本発明の成形装置において、複数の鋳型ユニット２２を坩堝２０に鉛直方向に配置することにより、さらに生産性を向上させることができる。また、この複数の鋳型ユニット２２を互いに異なる形状のキャビティを有するものとすることもでき、これにより複数の部品を同時に製造することができる。
なお、複数の鋳型ユニット２２を鉛直方向に配列する場合は、配列された複数の鋳型ユニット２２のうち、少なくとも最も下に配置されもの以外には、支持台２８に溶融した成形用材料を圧入させるための流路を形成する。
【００７４】
また、上記各実施形態において、真空チャンバ内を不活性ガス雰囲気として、金属ガラスの成形を行ったが、これに限定されず、真空状態（例えば、１０−４Ｔｏｒｒ以下）として行ってもよい。
【００７５】
以上、本発明に係る金属ガラスの成形装置および金属ガラスの成形方法について詳細に説明したが、本発明は、以上の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変更を行ってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】本発明の金属ガラスの成形装置の概略構成を示す断面図である。
【図２】（Ａ）は、鋳型ユニットの概略構成を示す上面図であり、（Ｂ）は、鋳型ユニットの断面図である。
【図３】本発明の金属ガラスの成形方法の一例を示す工程図である。
【図４】本発明の金属ガラスの成形方法の他の一例を示す工程図である。
【図５】本発明の金属ガラスの成形方法の他の一例を示す工程図である。
【図６】溶融した金属ガラス成形用材料の圧入方法の他の例を示す概略図である。
【図７】本発明の金属ガラスの成形装置の他の例の概略構成を示す断面図である。
【図８】（Ａ）は、本発明に係る金属ガラスの成形装置に用いる坩堝および鋳型の一例を示す側面図であり、（Ｂ）は、その断面図であり、（Ｃ）は、鋳型に金属ガラス成形用材料が含浸する状態を示す断面図である。
【符号の説明】
【００７７】
１０、１１０  金属ガラス成形装置
１１、１１１成形装置本体
１２  真空チャンバ
１４  排気手段
１６  ガス導入手段
２０、１２０  坩堝
２２、１２２  鋳型ユニット
２２ａ、６２ａ、７２ａ  外部鋳型
２２ｂ、６２ｂ、７２ｂ  内部鋳型
２３、６３、７３  キャビティ
２６  筐体
２８  支持台
３０  支持蓋
３０ａ  開口
３４  パンチ
３６  移動手段
３８  ダイス
４０  移動手段
４２  加熱部
４４  コイル
４６  高周波電源
５０  冷却部
５２  銅筐体
５４  冷却装置
５６  冷却水配管
６４  内歯車（金属ガラス成形品）
７４  ネジ（金属ガラス成形品）
８０  スペーサ
８２  炭素粉末
８４  リング
８６  コンプレッサ
８８  密閉部材
９０  排気手段
９２  ネジシャフト
１１２  支持部材
１１４  冷却水噴霧ノズル
１１６  回収手段
１２２ａ  第１鋳型
１２２ｂ  第２鋳型
１２４  中空部
１２６  流路
【図１】
2008238214.tif 000004
【図２】
2008238214.tif 000005
【図５】
2008238214.tif 000006
【図６】
2008238214.tif 000007
【図７】
2008238214.tif 000008
【図８】
2008238214.tif 000009
【図３】
2008238214.tif 000010
【図４】
2008238214.tif 000011