(57)【要約】【課題】研磨パッドの端縁部にワークの端部が当たらないようにしてワークの損傷を防止する。【解決手段】研磨定盤面２０ａに一定厚の研磨パッド２３を貼り付けた研磨プレート２０において、研磨パッドを貼り付ける面の端縁部の内側に、端縁部側の高さをそれより内側の平面より低める段差Ｄを設け、その段差Ｄの上から研磨パッド２３を貼り付けることで、段差部分の研磨パッド２３の表面に曲面部または斜面部２３ｂを形成した。研磨定盤面２０ａに一定厚の下地材２１を貼り付け、その下地材の端縁部２１ａにより段差Ｄを形成した。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨定盤面に一定厚の研磨パッドを貼り付けた研磨プレートにおいて、
前記研磨パッドを貼り付ける面の端縁部の内側に、端縁部側の高さをそれより内側の平面より低める段差を設け、その段差の上から前記研磨パッドを貼り付けることで、前記段差部分の研磨パッドの表面に曲面部または斜面部を形成したことを特徴とする研磨プレート。
【請求項２】
前記研磨定盤面に一定厚の下地材を貼り付け、その下地材の端縁部により前記段差を形成し、該下地材の上から前記研磨パッドを前記研磨定盤面に貼り付けたことを特徴とする請求項１に記載の研磨プレート。
【請求項３】
前記研磨定盤面に前記段差を直接形成し、前記研磨パッドを前記研磨定盤面に貼り付けたことを特徴とする請求項１に記載の研磨プレート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、研磨定盤面に研磨パッドを貼り付けた研磨プレートに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
研磨プレートの研磨定盤面に一定厚の研磨パッドを貼り付け、研磨パッドをワーク（ガラス基板など）の表面に押圧させつつ、ワークの面内方向に研磨プレートを相対移動させることで、ワークの表面を研磨するようにした研磨機が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
ところで、この種の研磨機において、ワークを水平方向に搬送しながら上からまたは下から研磨を行おうとすると、次のような問題があることが分かった。即ち、研磨パッドは一定の厚みを有するものであるが、研磨パッドの表面に向けて水平にワークを搬送していくと、研磨パッドの端縁部にワークの端縁部が当たることがあり、そうなった場合、ワークの端縁部に損傷が生じるおそれがある。また、研磨中に研磨パッドの端縁部（角部）がワークの表面に当たっていると、ワークに研磨傷を付けてしまうことがある。
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−７７７０号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記事情に鑑み、研磨パッドの端縁部にワーク（ガラス基板など）の端部が当たらないようにしてワークの損傷を防止することができると共に、研磨パッドの端縁部がワークの表面に当たることによる研磨傷の発生を解消することのできる研磨プレートを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１の発明は、研磨定盤面に一定厚の研磨パッドを貼り付けた研磨プレートにおいて、前記研磨パッドを貼り付ける面の端縁部の内側に、端縁部側の高さをそれより内側の平面より低める段差を設け、その段差の上から前記研磨パッドを貼り付けることで、前記段差部分の研磨パッドの表面に曲面部または斜面部を形成したことを特徴としている。
【０００７】
請求項２の発明は、請求項１に記載の研磨プレートにおいて、前記研磨定盤面に一定厚の下地材を貼り付け、その下地材の端縁部により前記段差を形成し、該下地材の上から前記研磨パッドを前記研磨定盤面に貼り付けたことを特徴としている。
【０００８】
請求項３の発明は、請求項１に記載の研磨プレートにおいて、前記研磨定盤面に前記段差を直接形成し、前記研磨パッドを前記研磨定盤面に貼り付けたことを特徴としている。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１の発明によれば、研磨パッドの端縁部が研磨パッドの中央の研磨面よりも一段低くなっている上、その端縁部の内側の表面に曲面部または斜面部が形成されているので、ワークを研磨パッドの表面に向けて水平に搬送してきたときに、研磨パッドの端縁部にワークの端縁部が当たらないようにすることができる。つまり、ワークの端縁部は、研磨パッドに当たる場合でも、研磨パッドの端縁部を通過して、その先の曲面部または斜面部に当たることになるため、曲面部や斜面部の案内作用によりスムーズに中央の研磨面に移動していく。また、研磨中も、研磨パッドの端縁部はワークに当たることがなく、曲面部または斜面部が当たるだけであるから、曲面部または斜面部によるなだらかな接触により、研磨傷の発生が防止される。
【００１０】
請求項２の発明によれば、研磨定盤面に下地材を貼り付けることで段差を形成しているので、研磨定盤面をフラットなままの状態で、余計な追加工をしないで使用することができる。
【００１１】
請求項３の発明によれば、研磨定盤面に直接段差を設けたので、下地材などの余計な部材を使用しないで、研磨パッドの表面に曲面部または斜面部を形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は研磨プレートとワークであるガラス基板との関係を示す側面図、図２は第１実施形態の研磨プレートの要部構成を示す図で、図１のＸ部に相当する拡大図、図３は第２実施形態の研磨プレートの要部構成を示す図で、Ｘ部に相当する拡大図である。
【００１３】
図１に示すように、矢印Ａ方向に水平搬送されるワークＷの上側に位置するように研磨プレート２０が配置されており、研磨プレート２０の下端の研磨定盤面２０ａには一定厚の研磨パッド２３が貼り付けられている。研磨プレート２０は、ワークＷが自身の下側に搬送されてくると、ワークＷの表面に押圧しつつ、面内移動することにより、ワークＷの表面を研磨パッド２３で研磨する。
【００１４】
ここで、ワークＷが水平搬送されてきた際に、ワークＷの先端縁部が研磨パッド２３の端縁部に当たる可能性がある。そこで、図２に示す第１実施形態および第２実施形態の研磨プレートでは、研磨パッド２３を貼り付ける面の端縁部の内側に、端縁部側の高さをそれより内側の平面より低める段差Ｄを設け、その段差Ｄの上から研磨パッド２３を貼り付けることで、段差Ｄ部分の研磨パッド２３の表面に曲面部または斜面部２３ｂを形成している。つまり、曲面部または斜面部２３ｂより端縁側の部分（端縁部）２３ａは、研磨パッド２３の研磨面２３ｃよりも低くなっている。
【００１５】
この場合、図２に示す第１実施形態の研磨プレートにおいては、研磨定盤面２０ａに一定厚の下地材２１を貼り付け、その下地材２１の端縁部２１ａにより段差Ｄを形成しており、その下地材２１の上から研磨パッド２３を研磨定盤面２０ａに貼り付けることで、段差Ｄ部分の研磨パッド２３の表面に曲面部または斜面部２３ｂを形成している。この場合の下地材２１としては、研磨パッド２３より面積の小さいシートを利用すればよい。
【００１６】
また、図３に示す第２実施形態の研磨プレートにおいては、研磨定盤面２０ａの端縁部側に敢えて低い部分２０ｂを加工することで、段差Ｄを直接形成しており、その段差Ｄの上から研磨パッド２３を研磨定盤面２０ａに貼り付けることで、段差Ｄ部分の研磨パッド２３の表面に曲面部または斜面部２３ｂを形成している。
【００１７】
このように構成した場合、研磨パッド２３の端縁部２３ａが研磨パッド２３の中央の研磨面２３ｃよりも一段低くなっている上、その端縁部２３ａの内側の表面に曲面部または斜面部２３ｂが形成されているので、ワークＷを研磨パッド２３の表面に向けて水平に搬送してきたときに、研磨パッド２３の端縁部２３ａにワークＷの端縁部が当たらないようにすることができる。つまり、ワークＷの端縁部は、研磨パッド２３に当たる場合でも、研磨パッド２３の端縁部２３ａを通過して、その先の曲面部または斜面部２３ｂに当たることになるため、曲面部や斜面部２３ｂの案内作用によりスムーズに中央の研磨面２３ｃに移動していく。また、研磨中も、研磨パッド２３の端縁部２３ａはワークＷの表面に当たることがなく、曲面部または斜面部２３ｂが当たるだけであるから、曲面部または斜面部２３ｂによるなだらかな接触により、研磨傷の発生が防止される。
【００１８】
特に、図２の第１実施形態のように構成した場合は、研磨定盤面２０ａに下地材２１を貼り付けることで段差Ｄを形成しているので、研磨定盤面２０ａをフラットなままの状態で、余計な追加工をしないで使用することができる利点がある。
【００１９】
また、図３の第２実施形態のように構成した場合は、研磨定盤面２０ａに直接段差Ｄを設けたので、第１実施形態のように下地材などの余計な部材を使用しないで、研磨パッド２３の表面に曲面部または斜面部２３ｂを形成することができる利点がある。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】研磨プレートとワークであるガラス基板との関係を示す側面図である。
【図２】本発明の第１実施形態の研磨プレートの要部構成を示す図で、図１のＸ部に相当する拡大図である。
【図３】本発明の第２実施形態の研磨プレートの要部構成を示す図で、Ｘ部に相当する拡大図である。
【符号の説明】
【００２１】
２０  研磨プレート
２０ａ  研磨定盤面
２１  下地材
２１ａ  端縁部
２３  研磨パッド
２３ａ  端縁部
２３ｂ  曲面部または斜面部
２３ｃ  研磨面
Ｄ  段差
【図１】
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【図２】
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【図３】
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