(57)【要約】【課題】簡単な構成及び工程で、高品質なラミネート処理を良好且つ効率的に遂行することを可能にする。【解決手段】貼り付け機構４６は、長尺状感光性ウエブ２２とガラス基板２４とを挟持してラミネートするラミネートローラ対８０を備える。ラミネートローラ対８０は、モータ８２に連結されて回転する駆動側ゴムローラ８０ａと、回転自在で且つ前記駆動側ゴムローラ８０ａに対して進退する従動側ゴムローラ８０ｂとを有する。従動側ゴムローラ８０ｂには、少なくとも前記従動側ゴムローラ８０ｂが進退する際に、該従動側ゴムローラ８０ｂの回転を規制するブレーキ機構１０６が設けられる。このブレーキ機構１０６は、従動側ゴムローラ８０ｂにベルト部材１１４を介して連結可能なパウダーブレーキ１１２を備える。【選択図】図５
2008238762.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持体上に少なくとも感光材料層が積層される感光性ウエブを、前記感光材料層側が基板に向かうようにして前記基板に貼り付ける感光性ウエブの貼り付け装置であって、
前記感光性ウエブと前記基板とを挟持してラミネートするラミネートローラ対を備え、
前記ラミネートローラ対は、回転駆動源に連結されて回転する駆動側ローラと、
回転自在で且つ前記駆動側ローラに対して進退する従動側ローラと、
を有し、
前記従動側ローラには、ブレーキ機構が設けられ、前記ブレーキ機構は、少なくとも該従動側ローラが進退する際に、前記従動側ローラの回転を規制することを特徴とする感光性ウエブの貼り付け装置。
【請求項２】
請求項１記載の貼り付け装置において、前記ブレーキ機構は、パウダーブレーキと、
前記パウダーブレーキと前記従動側ローラとに装着されるベルト部材と、
を備えることを特徴とする感光性ウエブの貼り付け装置。
【請求項３】
請求項２記載の貼り付け装置において、前記ブレーキ機構は、前記パウダーブレーキを進退可能に保持するスライド部と、
前記パウダーブレーキを前記スライド部に沿って移動させることにより、前記従動側ローラに付与される制動力を調整するアクチュエータと、
を備えることを特徴とする感光性ウエブの貼り付け装置。
【請求項４】
請求項３記載の貼り付け装置において、前記アクチュエータは、少なくともシリンダ又はスプリングのいずれかを備えることを特徴とする感光性ウエブの貼り付け装置。
【請求項５】
支持体上に少なくとも感光材料層が積層される感光性ウエブと、基板とをラミネートローラ対により挟持することにより、前記感光性ウエブを前記基板に貼り付ける感光性ウエブの貼り付け方法であって、
前記ラミネートローラ対を構成し、回転駆動源に連結されて回転する駆動側ローラと、回転自在で且つ前記駆動側ローラに対して進退する従動側ローラとにより、前記感光性ウエブ及び前記基板を挟持してラミネートする工程と、
前記従動側ローラの回転を規制した状態で、前記従動側ローラを前記駆動側ローラから離間する方向に移動させる工程と、
新たな基板が前記感光性ウエブに対応して配置されるとともに、回転規制されている前記従動側ローラを前記駆動側ローラに向かって移動させ、前記駆動側ローラと回転規制されている前記従動側ローラとにより前記新たな基板及び前記感光性ウエブを挟持する工程と、
前記従動側ローラの回転規制を解除した後、前記駆動側ローラの回転作用下に前記新たな基板及び前記感光性ウエブのラミネートを行う工程と、
を有することを特徴とする感光性ウエブの貼り付け方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、支持体上に少なくとも感光材料層が積層される感光性ウエブを、前記感光材料層側が基板に向かうようにして前記基板に貼り付ける感光性ウエブの貼り付け装置及び貼り付け方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、ＰＤＰパネル用基板では、感光材料（感光性樹脂）層を有する感光性シート体（感光性ウエブ）を基板表面に貼り付けて構成されている。感光性シート体は、可撓性プラスチック支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層されている。
【０００３】
そこで、この種の感光性シート体の貼り付けに使用される貼り付け装置は、通常、ガラス基板や樹脂基板等の基板を所定の間隔ずつ離間させて搬送するとともに、前記基板に貼り付けられる感光材料層の範囲に対応して、前記感光性シート体から保護フイルムを剥離する方式が採用されている。
【０００４】
例えば、特許文献１に開示されているフイルム張付方法及び装置では、図１０に示すように、フイルムロール１から繰り出される積層体フイルム（感光性シート体）１ａは、ガイドロール２ａ、２ｂに巻き付けられて水平のフイルム搬送面に沿って延在している。このガイドロール２ｂには、積層体フイルム１ａの送り量に応じた数のパルス信号を出力するロータリエンコーダ３が取り付けられている。
【０００５】
水平のフイルム搬送面に沿って延在する積層体フイルム１ａは、サクションロール４に巻き掛けられるとともに、前記ガイドロール２ｂと前記サクションロール４との間には、ハーフカッタ５とカバーフイルム剥離装置６とが設けられている。
【０００６】
ハーフカッタ５は、一対のディスクカッタ５ａ、５ｂを備えている。ディスクカッタ５ａ、５ｂは、積層体フイルム１ａのフイルム幅方向に沿って移動することにより、前記積層体フイルム１ａのカバーフイルム（図示せず）をその裏側の感光性樹脂層（図示せず）と一体に切断する。
【０００７】
カバーフイルム剥離装置６は、粘着テープロール７から繰り出される粘着テープ７ａを押圧ロール８ａ、８ｂ間でカバーフイルムに強く圧着させた後、巻き取りロール９によって巻き取る。これにより、カバーフイルムは、感光性樹脂層から剥離されて粘着テープ７ａと共に巻き取りロール９に巻き取られる。
【０００８】
サクションロール４の下流には、基板搬送装置１０によって、順次、間欠的に搬送される複数の基板１１の上面に、積層体フイルム１ａを重ねて圧着するラミネーションロール１２ａ、１２ｂが配設されている。このラミネーションロール１２ａ、１２ｂの下流側には、支持フイルム巻き取りロール１３が配置されている。基板１１に貼り付けられている透光性支持フイルム（図示せず）は、支持フイルム巻き取りロール１３に巻き取られる。
【０００９】
【特許文献１】特開平１１−３４２８０号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ところで、上記の特許文献１では、例えば、ラミネーションロール１２ａを回転駆動するとともに、ラミネーションロール１２ｂを一定の圧力で従動させて、基板１１と積層体フイルム１ａとを加熱挟持してラミネートを行っている。
【００１１】
その際、基板１１は、互いの重なりによる破損等を防止するために、一定の間隔だけ離間して積層体フイルム１ａとラミネートされている。このため、基板１１間に対応して、例えば、ラミネーションロール１２ｂを下降させてラミネーションロール１２ａから離間させることにより、積層体フイルム１ａだけを一定間隔に対応して搬送することが行われている。
【００１２】
ここで、ラミネーションロール１２ｂでは、前記ラミネーションロール１２ｂ自体の加工精度や、該ラミネーションロール１２ｂに内装されているヒータ（図示せず）による熱変形及び該ヒータ自体の構成等によって、回転バランスが崩れている場合が多い。
【００１３】
従って、ラミネーションロール１２ｂを下降させる際に、このラミネーションロール１２ｂが回転（自転）してしまう。このため、次にラミネートされる基板１１がラミネート位置に搬送される一方、ラミネーションロール１２ｂが上昇されると、前記ラミネーションロール１２ｂの回転による摩擦力によって、前記基板１１の位置が不安定になるという問題がある。これにより、基板１１の所望の位置に対して積層体フイルム１ａを正確に貼り付けることができず、貼り付け不良が惹起するという問題がある。
【００１４】
また、ラミネーションロール１２ｂの下降時に発生する回転がなくなって、前記ラミネーションロール１２ｂが停止するまで待機し、次なる基板１１と積層体フイルム１ａとのラミネートを行うことも考えられる。しかしながら、これにより、製造タクトが相当に長くなるとともに、前記積層体フイルム１ａ自体の熱重合性能に多大な影響を及ぼす等の問題がある。
【００１５】
本発明はこの種の問題を解決するものであり、簡単な構成及び工程で、高品質なラミネート処理を良好且つ効率的に遂行することが可能な感光性ウエブの貼り付け装置及び貼り付け方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明は、支持体上に少なくとも感光材料層が積層される感光性ウエブを、前記感光材料層側が基板に向かうようにして前記基板に貼り付ける感光性ウエブの貼り付け装置に関するものである。
【００１７】
貼り付け装置は、感光性ウエブと基板とを挟持してラミネートするラミネートローラ対を備え、前記ラミネートローラ対は、回転駆動源に連結されて回転する駆動側ローラと、回転自在で且つ前記駆動側ローラに対して進退する従動側ローラとを有している。そして、従動側ローラには、ブレーキ機構が設けられ、前記ブレーキ機構は、少なくとも該従動側ローラが進退する際に、前記従動側ローラの回転を規制している。
【００１８】
また、ブレーキ機構は、パウダーブレーキと、前記パウダーブレーキと従動側ローラとに装着されるベルト部材とを備えることが好ましい。
【００１９】
さらに、ブレーキ機構は、パウダーブレーキを進退可能に保持するスライド部と、前記パウダーブレーキを前記スライド部に沿って移動させることにより、従動側ローラに付与される制動力を調整するアクチュエータとを備えることが好ましい。
【００２０】
さらにまた、アクチュエータは、少なくともシリンダ又はスプリングのいずれかを備えることが好ましい。
【００２１】
また、本発明は、支持体上に少なくとも感光材料層が積層される感光性ウエブと、基板とをラミネートローラ対により挟持することにより、前記感光性ウエブを前記基板に貼り付ける感光性ウエブの貼り付け方法に関するものである。
【００２２】
貼り付け方法は、ラミネートローラ対を構成し、回転駆動源に連結されて回転する駆動側ローラと、回転自在で且つ前記駆動側ローラに対して進退する従動側ローラとにより、感光性ウエブ及び基板を挟持してラミネートする工程と、前記従動側ローラの回転を規制した状態で、前記従動側ローラを前記駆動側ローラから離間する方向に移動させる工程と、新たな基板が前記感光性ウエブに対応して配置されるとともに、回転規制されている前記従動側ローラを前記駆動側ローラに向かって移動させ、前記駆動側ローラと回転規制されている前記従動側ローラとにより前記新たな基板及び前記感光性ウエブを挟持する工程と、前記従動側ローラの回転規制を解除した後、前記駆動側ローラの回転作用下に前記新たな基板及び前記感光性ウエブのラミネートを行う工程とを有している。
【発明の効果】
【００２３】
本発明では、従動側ローラが進退する際に、ブレーキ機構の作用下に前記従動側ローラの回転が規制されている。そして、駆動側ローラと従動側ローラとにより基板及び感光性ウエブが挟持された後、ブレーキ機構による前記従動側ローラの回転規制が解除されている。
【００２４】
このため、従動側ローラが不要に回転（自転）して基板の位置ずれが惹起することを阻止し、前記基板を所望の位置に正確に配置することができ、貼り付け精度が有効に向上する。しかも、製造タクトが短縮され、製造作業全体の効率化が容易に遂行可能になるとともに、感光性ウエブの熱重合性能に影響を及ぼすことを阻止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
図１は、本発明の第１の実施形態に係る感光性積層体の製造システム（貼り付け装置）２０の概略構成図である。この製造システム２０は、液晶又は有機ＥＬ用カラーフィルタ等の製作工程で、所定の幅寸法からなる長尺状感光性ウエブ２２の感光性樹脂層２８（後述する）をガラス基板２４に熱転写（ラミネート）する作業を行う。
【００２６】
図２は、製造システム２０に使用される長尺状感光性ウエブ２２の断面図である。この長尺状感光性ウエブ２２は、可撓性ベースフイルム（支持体）２６と、感光性樹脂層（感光材料層）２８と、保護フイルム３０とを積層して構成される。
【００２７】
図１に示すように、製造システム２０は、長尺状感光性ウエブ２２をロール状に巻回した感光性ウエブロール２３を収容し、前記感光性ウエブロール２３から前記長尺状感光性ウエブ２２を送り出し可能なウエブ送り出し機構３２と、送り出された前記長尺状感光性ウエブ２２に、保護フイルム３０及び感光性樹脂層２８の幅方向に切断可能な２個所の境界部分であるハーフカット部位３４ａ、３４ｂ（図２参照）を形成する加工機構３６と、一部に非接着部３８ａを有する接着ラベル３８（図３参照）を前記保護フイルム３０に接着させるラベル接着機構４０とを備える。
【００２８】
ラベル接着機構４０の下流には、長尺状感光性ウエブ２２をタクト送りから連続送りに変更するためのリザーバ機構４２と、前記長尺状感光性ウエブ２２から保護フイルム３０を所定の長さ間隔で剥離させる剥離機構４４とが配設される。
【００２９】
剥離機構４４の下流には、ガラス基板２４を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に供給する基板供給機構４５と、保護フイルム３０の剥離により露出した感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に一体的に貼り付ける貼り付け機構４６と、基板間ウエブ切断機構４８とが配設される。
【００３０】
ウエブ送り出し機構３２の下流近傍には、略使用済みの長尺状感光性ウエブ２２の後端と、新たに使用される長尺状感光性ウエブ２２の先端とを貼り付ける貼り付け台４９が配設される。貼り付け台４９の下流には、感光性ウエブロール２３の巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端末位置検出器５３が配設される。
【００３１】
加工機構３６は、ウエブ送り出し機構３２に収容巻回されている感光性ウエブロール２３のロール径を算出するためのローラ対５０の下流に配置される。加工機構３６は、距離Ｍ（図２参照）だけ離間した一対の丸刃５２ａ、５２ｂを備える。丸刃５２ａ、５２ｂは、長尺状感光性ウエブ２２の幅方向に走行して、保護フイルム３０の残存部分Ｂを挟んだ所定の２個所の位置にハーフカット部位３４ａ、３４ｂを形成する（図２参照）。
【００３２】
ハーフカット部位３４ａ、３４ｂは、少なくとも保護フイルム３０及び感光性樹脂層２８を切断する必要があり、実際上、可撓性ベースフイルム２６まで切り込むように丸刃５２ａ、５２ｂの切り込み深さが設定される。丸刃５２ａ、５２ｂは、回転することなく固定された状態で、長尺状感光性ウエブ２２の幅方向に移動してハーフカット部位３４ａ、３４ｂを形成する方式や、前記長尺状感光性ウエブ２２上を滑ることなく回転しながら前記幅方向に移動して前記ハーフカット部位３４ａ、３４ｂを形成する方式が採用される。
【００３３】
ハーフカット部位３４ａ、３４ｂは、感光性樹脂層２８をガラス基板２４に貼り付けた際、例えば、前記ガラス基板２４の両端部からそれぞれ１０ｍｍずつ内側に入り込んだ位置となるように設定される。なお、ガラス基板２４間の保護フイルム３０の残存部分Ｂは、後述する貼り付け機構４６において感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。
【００３４】
ラベル接着機構４０は、ガラス基板２４間に対応して保護フイルム３０の残存部分Ｂを残すため、ハーフカット部位３４ｂ側の剥離部分Ａとハーフカット部位３４ａ側の剥離部分Ａとを連結する接着ラベル３８を供給する。
【００３５】
図３に示すように、接着ラベル３８は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム３０と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル３８は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部（微粘着を含む）３８ａを有するとともに、この非接着部３８ａの両側、すなわち、前記接着ラベル３８の長手方向両端部に、前方の剥離部分Ａに接着される第１接着部３８ｂと、後方の剥離部分Ａに接着される第２接着部３８ｃとを有する。
【００３６】
図１に示すように、ラベル接着機構４０は、最大７枚の接着ラベル３８を所定間隔ずつ離間して貼り付け可能な吸着パッド５４ａ〜５４ｇを備えるとともに、前記吸着パッド５４ａ〜５４ｇによる前記接着ラベル３８の貼り付け位置には、長尺状感光性ウエブ２２を下方から保持するための受け台５６が昇降自在に配置される。
【００３７】
リザーバ機構４２は、上流側の長尺状感光性ウエブ２２のタクト搬送と、下流側の前記長尺状感光性ウエブ２２の連続搬送との速度差を吸収するために、矢印方向に揺動自在なダンサーローラ６０を備える。
【００３８】
リザーバ機構４２の下流に配置される剥離機構４４は、長尺状感光性ウエブ２２の送り出し側のテンション変動を遮断し、ラミネート時のテンションを安定化させるためのサクションドラム６２を備える。サクションドラム６２の近傍には、剥離ローラ６３が配置されるとともに、この剥離ローラ６３を介して長尺状感光性ウエブ２２から鋭角の剥離角で剥離される保護フイルム３０は、残存部分Ｂを除いて保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる。
【００３９】
剥離機構４４の下流側には、長尺状感光性ウエブ２２にテンションを付与可能なテンション制御機構６６が配設される。テンション制御機構６６は、シリンダ６８の駆動作用下にテンションダンサー７０が揺動変位することにより、長尺状感光性ウエブ２２のテンションが調整可能である。なお、テンション制御機構６６は、必要に応じて使用すればよく、削除することもできる。
【００４０】
基板供給機構４５は、ガラス基板２４を挟持するように配設される基板加熱部（例えば、ヒータ）７４と、このガラス基板２４を矢印Ｙ方向に搬送する搬送部７６と、前記ガラス基板２４の後端部の停止位置を検出する停止位置検出センサ７８とを備える。基板加熱部７４では、ガラス基板２４の温度を常時監視し、異常時には、搬送部７６の停止や警報を発生するとともに、異常情報を発信して異常なガラス基板２４を後工程でＮＧ排出、品質管理又は生産管理等に活用することができる。搬送部７６には、図示しないエア浮上プレートが配設され、ガラス基板２４が浮上されて矢印Ｙ方向に搬送される。ガラス基板２４の搬送は、ローラコンベアでも行える。
【００４１】
ガラス基板２４の温度測定は、基板加熱部７４内又は貼り付け位置直前で行うことが好ましい。測定方法としては、接触式（例えば、熱電対）の他、非接触式であってもよい。
【００４２】
貼り付け機構４６は、長尺状感光性ウエブ２２とガラス基板２４とを挟持してラミネートするラミネートローラ対８０を備える。ラミネートローラ対８０は、図４及び図５に示すように、回転駆動源であるモータ８２に連結されて回転する駆動側ゴムローラ８０ａと、回転自在で且つ前記駆動側ゴムローラ８０ａに対して進退する従動側ゴムローラ８０ｂとを有する。
【００４３】
駆動側ゴムローラ８０ａ及び従動側ゴムローラ８０ｂには、バックアップローラ８４ａ、８４ｂが摺接するとともに、前記バックアップローラ８４ｂは、ローラクランプ部８６を介して従動側ゴムローラ８０ｂに押圧される。
【００４４】
図４に示すように、ローラクランプ部８６は、駆動モータ８８を備え、この駆動モータ８８の駆動軸に連結された減速機９０の駆動軸９０ａにボールねじ９２が軸着される。ボールねじ９２には、ナット部材９４が螺合するとともに、このナット部材９４は、スライドベース９６に固定される。スライドベース９６のウエブ幅方向（矢印Ｚ方向）両端には、テーパカム９７ａ、９７ｂが固着される。テーパカム９７ａ、９７ｂの高さは、矢印Ｚ１方向に向かって高くなるように設定される。テーパカム９７ａ、９７ｂ上には、ローラ９８ａ、９８ｂが載置されており、このローラ９８ａ、９８ｂは、加圧シリンダ１００ａ、１００ｂの下部に保持される。
【００４５】
加圧シリンダ１００ａ、１００ｂから上方に延在するロッド１０２ａ、１０２ｂには、支持板１０４ａ、１０４ｂが当接支持される。支持板１０４ａ、１０４ｂには、従動側ゴムローラ８０ｂ及びバックアップローラ８４ｂの両端軸がベアリング（図示せず）等により回転自在に支持される。
【００４６】
図５に示すように、従動側ゴムローラ８０ｂには、少なくとも前記従動側ゴムローラ８０ｂが上下方向に進退する際に、前記従動側ゴムローラ８０ｂの回転を規制するブレーキ機構１０６が設けられる。ブレーキ機構１０６は、基台１０８上に配置され、スライド部１１０を介して矢印Ｃ方向に進退自在なパウダーブレーキ１１２を備える。パウダーブレーキ１１２と従動側ゴムローラ８０ｂとは、ベルト部材１１４を介して連結されており、前記パウダーブレーキ１１２は、前記従動側ゴムローラ８０ｂに制動力が付与可能である。
【００４７】
基台１０８には、シリンダ（アクチュエータ）１１８が装着され、このシリンダ１１８から矢印Ｃ方向に延在するロッド１１８ａは、パウダーブレーキ１１２に連結される。シリンダ１１８は、ロッド１１８ａを矢印Ｃ１方向に付勢することにより、従動側ゴムローラ８０ｂが昇降する際にも、パウダーブレーキ１１２と前記従動側ゴムローラ８０ｂとに張り渡されているベルト部材１１４に一定のテンションを付与することができる。なお、スライド部１１０は、従動側ゴムローラ８０ｂが上下方向に進退する際の軸間距離を調整する機能を有する。
【００４８】
図１に示すように、ガラス基板２４は、貼り付け機構４６から矢印Ｙ方向に延在する搬送路１２０を介して搬送される。この搬送路１２０には、フイルム搬送ローラ１２２ａ、１２２ｂ及び基板搬送ローラ１２４が配設される。駆動側ゴムローラ８０ａ及び従動側ゴムローラ８０ｂと基板搬送ローラ１２４との間隔は、ガラス基板２４の一枚分の長さ以下に設定されることが好ましい。
【００４９】
製造システム２０では、ウエブ送り出し機構３２、加工機構３６、ラベル接着機構４０、リザーバ機構４２、剥離機構４４及びテンション制御機構６６が、貼り付け機構４６の上方に配置されているが、これとは逆に、前記ウエブ送り出し機構３２から前記テンション制御機構６６までを前記貼り付け機構４６の下方に配置し、長尺状感光性ウエブ２２の上下が逆になって感光性樹脂層２８をガラス基板２４の下側に貼り付ける構成であってもよく、また、長尺状感光性ウエブ２２の搬送路を直線状に構成してもよい。
【００５０】
製造システム２０内は、仕切り壁１６０を介して第１クリーンルーム１６２ａと第２クリーンルーム１６２ｂとに仕切られる。第１クリーンルーム１６２ａと第２クリーンルーム１６２ｂとは、貫通部１６４を介して連通する。製造システム２０は、制御部１６６を介して制御される。
【００５１】
このように構成される製造システム２０の動作について、本実施形態に係る貼り付け方法との関連で説明する。
【００５２】
先ず、ウエブ送り出し機構３２に取り付けられている感光性ウエブロール２３から長尺状感光性ウエブ２２が送り出される。長尺状感光性ウエブ２２は、加工機構３６に搬送される。
【００５３】
加工機構３６では、丸刃５２ａ、５２ｂが長尺状感光性ウエブ２２の幅方向に移動して、前記長尺状感光性ウエブ２２を保護フイルム３０から感光性樹脂層２８乃至可撓性ベースフイルム２６まで切り込む。これにより、保護フイルム３０の残存部分Ｂの幅Ｍだけ離間するハーフカット部位３４ａ、３４ｂが形成され、長尺状感光性ウエブ２２には、前記残存部分Ｂを挟んで前方の剥離部分Ａと後方の剥離部分Ａとが設けられる（図２参照）。
【００５４】
次いで、長尺状感光性ウエブ２２は、ラベル接着機構４０に搬送されて、保護フイルム３０の所定の貼り付け部位が受け台５６上に配置される。ラベル接着機構４０では、所定枚数の接着ラベル３８が吸着パッド５４ｂ〜５４ｇにより吸着保持される。そして、各接着ラベル３８は、保護フイルム３０の残存部分Ｂを跨いで、前方の剥離部分Ａと後方の剥離部分Ａとに一体的に接着される（図３参照）。
【００５５】
例えば、７枚の接着ラベル３８が接着された長尺状感光性ウエブ２２は、図１に示すように、リザーバ機構４２を介して送り出し側のテンション変動を防いだ後、剥離機構４４に連続的に搬送される。剥離機構４４では、長尺状感光性ウエブ２２の可撓性ベースフイルム２６がサクションドラム６２に吸着保持されるとともに、保護フイルム３０が残存部分Ｂを残して前記長尺状感光性ウエブ２２から剥離される。この保護フイルム３０は、剥離ローラ６３を介して剥離されて保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる（図１参照）。
【００５６】
剥離機構４４の作用下に、保護フイルム３０が残存部分Ｂを残して可撓性ベースフイルム２６から剥離された後、長尺状感光性ウエブ２２は、テンション制御機構６６によってテンション調整が行われる。
【００５７】
次いで、長尺状感光性ウエブ２２は、貼り付け機構４６に搬送されることで、ガラス基板２４に対する感光性樹脂層２８の熱転写処理（ラミネート）が行われる。貼り付け機構４６では、予め駆動側ゴムローラ８０ａ及び従動側ゴムローラ８０ｂが離間した状態に設定されている。そして、駆動側ゴムローラ８０ａ及び従動側ゴムローラ８０ｂ間の所定位置に、長尺状感光性ウエブ２２のハーフカット部位３４ａが位置決めされた状態で、前記長尺状感光性ウエブ２２の搬送が一旦停止される。
【００５８】
この状態で、図４に示すように、駆動モータ８８に連結された減速機９０の作用下にボールねじ９２が所定方向に回転すると、このボールねじ９２に螺合するナット部材９４と一体的にスライドベース９６が矢印Ｚ２方向に移動する。このため、テーパカム９７ａ、９７ｂは、ローラ９８ａ、９８ｂとの接触面が高くなり、前記ローラ９８ａ、９８ｂを上方に変位させる。従って、加圧シリンダ１００ａ、１００ｂが上昇し、バックアップローラ８４ｂ及び従動側ゴムローラ８０ｂを上昇させる。
【００５９】
これにより、駆動側ゴムローラ８０ａ及び従動側ゴムローラ８０ｂ間には、ガラス基板２４が所定のプレス圧力で挟み込まれる。その際、プレス圧力は、加圧シリンダ１００ａ、１００ｂのエア圧力により調整される。さらに、モータ８２を介して駆動側ゴムローラ８０ａが回転することにより、ガラス基板２４には、感光性樹脂層２８が加熱溶融により熱転写（ラミネート）される。
【００６０】
なお、ラミネート条件としては、速度が１．０ｍ／ｍｉｎ〜１０．０ｍ／ｍｉｎ、駆動側ゴムローラ８０ａ及び従動側ゴムローラ８０ｂの温度が８０℃〜１４０℃、前記駆動側ゴムローラ８０ａ及び前記従動側ゴムローラ８０ｂのゴム硬度が４０度〜９０度、該駆動側ゴムローラ８０ａ及び該従動側ゴムローラ８０ｂのプレス圧（線圧）が５０Ｎ／ｃｍ〜４００Ｎ／ｃｍである。
【００６１】
ガラス基板２４に対して長尺状感光性ウエブ２２の一枚分のラミネートが終了すると、駆動側ゴムローラ８０ａ及び従動側ゴムローラ８０ｂの回転が停止される。一方、図１に示すように、長尺状感光性ウエブ２２がラミネートされたガラス基板２４である感光性積層体１７０の先端部は、基板搬送ローラ１２４によりクランプされる。このとき、駆動側ゴムローラ８０ａ及び従動側ゴムローラ８０ｂ間の所定位置には、ハーフカット部位３４ｂが配置される。
【００６２】
そして、従動側ゴムローラ８０ｂは、駆動側ゴムローラ８０ａから離間する方向に退避してクランプが解除される。具体的には、図４に示すように、駆動モータ８８に連結された減速機９０が前記とは逆方向に回転駆動され、ボールねじ９２及びナット部材９４を介してスライドベース９６が矢印Ｚ１方向に移動する。このため、テーパカム９７ａ、９７ｂは、ローラ９８ａ、９８ｂに接触する面の高さが低くなり、加圧シリンダ１００ａ、１００ｂが下降する。これにより、バックアップローラ８４ｂ及び従動側ゴムローラ８０ｂが下降してクランプの解除が行われる。
【００６３】
次いで、図１に示すように、基板搬送ローラ１２４の回転が低速で再び開始される。感光性積層体１７０は、矢印Ｙ方向に保護フイルム３０の残存部分Ｂの幅Ｍに対応する距離だけ搬送され、次のハーフカット部位３４ａが駆動側ゴムローラ８０ａの下方付近の所定位置に搬送された後、駆動側ゴムローラ８０ａの回転が停止される。
【００６４】
一方、前記の状態において、基板供給機構４５を介して次なるガラス基板２４が貼り付け位置に向かって搬送される。以上の動作が繰り返されることにより、感光性積層体１７０が連続的に製造される。
【００６５】
貼り付け機構４６でラミネートされた感光性積層体１７０は、切断機構４８によってガラス基板２４間の長尺状感光性ウエブ２２が切断されることで分離される。分離された感光性積層体１７０には、可撓性ベースフイルム２６が装着されており、この可撓性ベースフイルム２６がガラス基板２４間の保護フイルム３０とともに剥離された後、次の処理工程に供給される。
【００６６】
この場合、上記のラミネート処理工程では、図６に示すように、各ガラス基板２４と長尺状感光性ウエブ２２との貼り付け位置精度が予め設定されている。すなわち、ハーフカット部位３４ａは、各ガラス基板２４の搬送方向先端部から距離Ｓ１だけ内方に離間した位置に設定されるとともに、ハーフカット部位３４ｂは、各ガラス基板２４の搬送方向後端部から内方に距離Ｓ２だけ離間した位置に設定される。さらに、長尺状感光性ウエブ２２の幅方向両端部から各ガラス基板２４の幅方向両端部までの距離Ｓ３が設定される。
【００６７】
従って、各距離Ｓ１〜Ｓ３が、予め設定された範囲内に維持されるように、ラミネート処理を行うことが必要である。ハーフカット部位３４ａ、３４ｂがガラス基板２４ｂからはみ出すと、長尺状感光性ウエブ２２を前記ガラス基板２４から剥離する際、前記長尺状感光性ウエブ２２に塗布された材料が前記ガラス基板２４の端面に付着するおそれがある。これにより、例えば、ガラス基板２４の端面から糊がはみ出した状態になり、下流の露光工程や現像工程で塵埃等の付着による品質低下が惹起される。
【００６８】
そこで、第１の実施形態では、図５に示すように、回転自在で且つローラクランプ部８６を介して駆動側ゴムローラ８０ａに対し進退可能な従動側ゴムローラ８０ｂに、ブレーキ機構１０６が装着されている。
【００６９】
このため、図７に示すように、従動側ゴムローラ８０ｂが、バックアップローラ８４ｂと一体にローラクランプ部８６を介して下降する際、この従動側ゴムローラ８０ｂとパウダーブレーキ１１２とが、ベルト部材１１４を介して連結されており、前記パウダーブレーキ１１２の作用下に、前記従動側ゴムローラ８０ｂの回転が規制されている。
【００７０】
次いで、モータ８２の作用下に、駆動側ゴムローラ８０ａが回転して長尺状感光性ウエブ２２が矢印Ｙ方向に送られるとともに、ガラス基板２４が矢印Ｙ方向に搬送される。そして、ガラス基板２４の先端が従動側ゴムローラ８０ｂに対応する位置に配置されると、前記従動側ゴムローラ８０ｂが上昇する。
【００７１】
従動側ゴムローラ８０ｂには、パウダーブレーキ１１２による回転規制力（制動力）が作用しており、前記従動側ゴムローラ８０ｂは、回転（自転）が抑制された状態で上昇し、ガラス基板２４に押圧される（図５参照）。
【００７２】
次に、図８に示すように、パウダーブレーキ１１２は、従動側ゴムローラ８０ｂの回転規制を解除する。そこで、モータ８２の駆動作用下に、駆動側ゴムローラ８０ａが回転駆動されることにより、前記駆動側ゴムローラ８０ａと従動側ゴムローラ８０ｂとを介してガラス基板２４に長尺状感光性ウエブ２２がラミネート処理される。
【００７３】
これにより、第１の実施形態では、従動側ゴムローラ８０ｂが進退動作する際に、この従動側ゴムローラ８０ｂ自体の偏心力によって回転することを確実に阻止することができる。従って、例えば、回転している従動側ゴムローラ８０ｂが上昇してガラス基板２４に接触することがなく、前記ガラス基板２４の位置ずれを可及的に阻止して、前記ガラス基板２４を所望の位置に正確に配置することが可能になる。このため、ガラス基板２４と長尺状感光性ウエブ２２との貼り付け精度が有効に向上するという効果が得られる。
【００７４】
しかも、従動側ゴムローラ８０ｂを迅速に昇降動作させることができ、感光性積層体１７０の製造タクトが大幅に短縮される。従って、製造作業全体の効率化が容易に遂行可能になるとともに、長尺状感光性ウエブ２２の熱重合性能を維持することができ、品質の低下を良好に阻止することが可能になるという利点がある。
【００７５】
さらに、ブレーキ機構１０６は、パウダーブレーキ１１２を用いている。このため、ガラス基板２４と従動側ローラ８０ｂとの接触摩擦に応じて、ラミネート時に前記従動側ゴムローラ８０ｂに適度な制動を与えることができる。これにより、長尺状感光性ウエブ２２の貼り付け時の伸びや貼り付け面状を良好に制御することが可能になる。
【００７６】
なお、第１の実施形態では、従動側ゴムローラ８０ｂとパウダーブレーキ１１２とをベルト部材１１４により連結するとともに、このパウダーブレーキ１１２は、ばね１１６の弾発力によって前記従動側ゴムローラ８０ｂから離間する方向に、すなわち、回転を規制する方向に押圧されているが、これに限定されるものではない。
【００７７】
例えば、パウダーブレーキ１１２を、ばね（図示せず）を介して、常時、矢印Ｃ１方向に付勢するように構成してもよい。また、従動側ゴムローラ８０ｂの軸部に、直接、ブレーキ機構（図示せず）を取り付け、前記従動側ゴムローラ８０ｂが昇降する際には、回転を規制する一方、ラミネート処理をする際には、回転規制を解除するように構成してもよい。
【００７８】
図９は、本発明の第２の実施形態に係る感光性積層体の製造システム（貼り付け装置）１８０の概略構成図である。なお、第１の実施形態に係る製造システム２０と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明は省略する。
【００７９】
製造システム１８０は、貼り付け機構４６の下流に冷却機構１８２と、この冷却機構１８２の下流側に配置されるベース自動剥離機構１８４とを備える。冷却機構１８２は、ラミネートされた感光性積層体１７０に冷風を供給して冷却処理を施す。
【００８０】
ベース自動剥離機構１８４は、各ガラス基板２４が所定間隔ずつ離間して貼り付けられている長尺な可撓性ベースフイルム２６を連続して剥離するものであり、プレ剥離部１８６と、比較的小径な剥離ローラ１８８と、巻き取り軸１９０と、自動貼り付け機１９２とを備えている。
【００８１】
巻き取り軸１９０は、駆動時にトルク制御して可撓性ベースフイルム２６に張力を付与する一方、例えば、剥離ローラ１８８に張力検出器（図示せず）を設けることにより、張力のフィードバック制御を行うことが好ましい。プレ剥離部１８６は、ガラス基板２４間で昇降可能な剥離バー１９４を備える。
【００８２】
このように構成される第２の実施形態では、貼り付け機構４６でラミネートされた感光性積層体１７０は、冷却機構１８２を通って冷却された後、プレ剥離部１８６に移送される。このプレ剥離部１８６では、剥離バー１９４が上昇することにより、保護フイルム３０を隣接するガラス基板２４の後端及び先端から剥離することができる。
【００８３】
次いで、ベース自動剥離機構１８４では、巻き取り軸１９０の回転作用下に、感光性積層体１７０から可撓性ベースフイルム２６が連続して巻き取られる。さらに、トラブル停止での切り離しや、不良品分離時の切断の後、新たにラミネート処理が開始された感光性積層体１７０の可撓性ベースフイルム２６の先端と、巻き取り軸１９０に巻き取られている可撓性ベースフイルム２６の後端とは、自動貼り付け機１９２を介して自動的に貼り付けられる。
【図面の簡単な説明】
【００８４】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る感光性積層体の製造システムの概略構成図である。
【図２】前記製造システムに使用される長尺状感光性ウエブの断面図である。
【図３】前記長尺状感光性ウエブに接着ラベルが接着された状態の説明図である。
【図４】前記製造システムを構成する貼り付け機構の説明図である。
【図５】前記貼り付け機構の側面説明図である。
【図６】ガラス基板に長尺状感光性ウエブが貼り付けられた状態の平面図である。
【図７】前記貼り付け機構を構成する従動側ゴムローラがガラス基板から離間した状態の動作説明図である。
【図８】前記従動側ゴムローラが前記ガラス基板に接した状態の動作説明図である。
【図９】本発明の第２の実施形態に係る感光性積層体の製造システムの概略構成図である。
【図１０】特許文献１のフイルム張付装置の概略構成図である。
【符号の説明】
【００８５】
２０、１８０…製造システム            ２２…感光性ウエブ
２３…感光性ウエブロール              ２４…ガラス基板
２６…可撓性ベースフイルム            ２８…感光性樹脂層
３０…保護フイルム                    ３２…ウエブ送り出し機構
３４ａ、３４ｂ…ハーフカット部位      ３６…加工機構
４４…剥離機構                        ４５…基板供給機構
４６…貼り付け機構                    ８０…ラミネートローラ対
８０ａ、８０ｂ…ゴムローラ            ８４ａ、８４ｂ…バックアップローラ
８６…ローラクランプ部                ８８…駆動モータ
１００ａ、１００ｂ…加圧シリンダ      １０６…ブレーキ機構
１１０…スライド部                    １１２…パウダーブレーキ
１１４…ベルト部材                    １１８…シリンダ
１２０…搬送路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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