(57)【要約】【課題】離型性に優れ、また所定の表面形状を得ることができる成型方法を提供する。【解決手段】所定形状の成形面１６を有する成形型１に成形材料Ｍを密着させて成形物を形成する成形工程と、成形物を成形型１から離型させる離型工程とを有する。成形工程前に、成形型１の成形面１６に剥離膜１８を成膜する成膜工程と、離型工程前に、成形型１に設けられ成形面１６に通じる導入路を介してエッチング液Ｅを導入し剥離膜１８を除去する除去工程とを有する。【選択図】図５
2008238634.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定形状の成形面を有する成形型に成形材料を密着させて成形物を形成する成形工程と、前記成形物を前記成形型から離型させる離型工程とを有する成型方法であって、
前記成形工程前に、前記成形型の前記成形面に剥離膜を成膜する成膜工程と、
前記離型工程前に、前記成形型に設けられ前記成形面に通じる導入路を介してエッチング液を導入し前記剥離膜を除去する除去工程と、
を有することを特徴とする成型方法。
【請求項２】
請求項１記載の成型方法において、
前記成形型を多孔質材で形成し、
前記エッチング液を前記成形型に浸透させて前記成形面に導入することを特徴とする成型方法。
【請求項３】
請求項２記載の成型方法において、
前記成形型を粉末焼結法で形成することを特徴とする成型方法。
【請求項４】
請求項２または３記載の成型方法において、
前記成膜工程は、前記成形面に平滑化膜を成膜する工程と、
前記平滑化膜上に前記剥離膜を成膜する工程とを有し、
前記除去工程では、前記平滑化膜及び前記剥離膜を除去することを特徴とする成型方法。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか一項に記載の成型方法において、
前記剥離膜は銅で形成され、
前記エッチング液は塩化第２鉄で形成されることを特徴とする成型方法。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか一項に記載の成型方法によりレンズ部を成形することを特徴とするマイクロレンズの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、成型方法及びマイクロレンズの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＣＤ−ＲＯＭ、その他の情報記録媒体、平板マイクロレンズ（多数の微小レンズを基板上に平行あるいは千鳥配列したレンズ列）、フレネルレンズ、回折格子素子、光導波路素子などの光学部品を製造するために用いられるゾルゲル法は、所定の基板上に一定厚みで塗布したゾルゲル材料に対して、所定の表面形状を有する成形型を一定時間押圧させながら加熱し、次いでゾルゲル材料から成形型を離型させてから再度ゾルゲル材料を焼結して溶媒を蒸発させ、これにより所望の表面形状および膜厚を有する物品を得るものである。
【０００３】
前述したゾルゲル法において、所定表面形状を有する物品の製造工程を高速化するとともに不良率を低下させ、かつ、所定表面形状を有する物品の寸法精度を向上させるためには、ゾルゲル材料に対して成形型が良好な離型性を有している事が必須となっている。このため、ゾルゲル法に用いられる成形型への離型膜の検討がされてきた。
ところが、膜厚みが１μｍ以上の厚膜のゲル化膜を製造する場合、成形型表面の離型膜が剥がれたり、ゲル化膜の一部が成形型に付着して残ったりして、十分な離型性が得られないことであるため、特許文献１には成形物に対する離型性が良好で機械的強度及び耐腐食性に優れたＡｕ（金）スパッタ膜を成形型の表面に成膜する技術が開示されている。
【特許文献１】特開２００１−２５２９２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述したような従来技術には、以下のような問題が存在する。
一般に、Ａｕ膜は、ゾルゲル材料や２Ｐ成形材料に対しては密着力が低く離型性に優れているが、成形材料によっては接着助剤等に改良が加えられ、離型性が低下することがある。また、Ａｕ膜の他に、フッ素樹脂等の離型性を高める材料を成形型の表面に成膜することも考えられるが、これらの材料は成形材料に対する濡れ性が低いため、成形材料が成形型に濡れ広がらずに未充填等の問題が生じる可能性もある。
【０００５】
本発明は、以上のような点を考慮してなされたもので、離型性に優れ、また所定の表面形状を得ることができる成型方法及びマイクロレンズの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するために本発明は、以下の構成を採用している。
本発明の成型方法は、所定形状の成形面を有する成形型に成形材料を密着させて成形物を形成する成形工程と、前記成形物を前記成形型から離型させる離型工程とを有する成型方法であって、前記成形工程前に、前記成形型の前記成形面に剥離膜を成膜する成膜工程と、前記離型工程前に、前記成形型に設けられ前記成形面に通じる導入路を介してエッチング液を導入し前記剥離膜を除去する除去工程と、を有することを特徴とするものである。
従って、本発明の成型方法では、剥離膜は離型膜と異なり、成形材料の濡れ性に悪影響を与えない材料で成膜することにより、未充填を生じさせることなく成形型の成形面に応じた成形物を得ることができる。また、本発明では、成形物と成形型との間に介在する剥離層をエッチング液で溶解して除去するため、成形物と成形型との密着部がなくなり容易に成形物を成形型から離型させることが可能になるとともに、成形物に傷を付けることも回避でき、高品質の成形物を得ることが可能になる。
【０００７】
また、本発明では、前記成形型を多孔質材で形成し、前記エッチング液を前記成形型に浸透させて前記成形面に導入する手順も好適に採用できる。
これにより、本発明では、別途成形面に通じるエッチング液の導入路を形成する必要がなくなり、成形型の製造効率の向上及び製造コスト削減に寄与できる。さらに、本発明では、成形面の全面に亘ってエッチング液を導入できるため、剥離工程時間の短縮化に寄与できるとともに、部分的に剥離膜が残って成形物の離型性が低下することも防止できる。
なお、導入路を部分的に形成してエッチング液を導入しても、剥離膜を徐々に溶解して除去することが可能である。
【０００８】
また、本発明では、前記成形型を粉末焼結法で形成する構成も好適に採用できる。
これにより、本発明では、容易に１００μｍ以下の微細気孔径で平滑性を有し、且つエッチング液が浸透可能な成形型を製造することが可能になる。
【０００９】
前記成膜工程としては、前記成形面に平滑化膜を成膜する工程と、前記平滑化膜上に前記剥離膜を成膜する工程とを有し、前記除去工程では、前記平滑化膜及び前記剥離膜を除去する手順も好適に採用できる。
これにより、本発明では、成形面が多孔質材で形成されて平滑性に劣る場合でも、剥離膜は平滑化膜上に成膜されるため、当該平滑化膜及び剥離膜を介して成形面の形状が転写される成形物の表面を平滑化することが可能になる。
【００１０】
また、本発明では、前記剥離膜としては銅で形成され、前記エッチング液としては塩化第２鉄で形成される構成を好適に採用できる。
これにより、本発明では、スパッタ等により容易に剥離膜としての銅膜を成膜することができるとともに、当該銅膜を塩化第２鉄により溶解して、成形物を成形型から離型させることが可能になる。
【００１１】
そして、本発明のマイクロレンズの製造方法は、先に記載の成型方法によりレンズ部を成形することを特徴とするものである。
これにより、本発明では、容易に成形物を成形型から離型させることが可能になるとともに、成形物に傷を付けることも回避でき、所定形状を有する高品質のマイクロレンズを得ることが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の成型方法及びマイクロレンズの製造方法の実施の形態を、図１ないし図１２を参照して説明する。
なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
【００１３】
図１（ａ）は、本発明の成型方法に用いられるレンズアレイ用成形型の全体構成を示す平面図である。図１（ｂ）は、図１（ａ）に示すＩＢ−ＩＢ線断面図であって、図１（ｃ）は図１（ｂ）の要部を拡大した断面図である。レンズアレイ用成形型１の平面形状は、特に限定されず、円形であっても、矩形などの多角形であってもよい。
【００１４】
レンズアレイ用成形型（成形型）１には、型本体１０の一方の面側に、転写用形状１２と平坦面１４とが形成されている。転写用形状１２は、マイクロレンズアレイの複数のレンズ部を形成するためのもので、中央部（端部を避けた部分）に形成されている。この転写用形状１２は、型本体１０の厚さ方向に凹む半球形状の曲面部（成形面）１６を複数有してなり所定位置に配列されている。
【００１５】
型本体１０は、粉末金属を焼結させる粉末焼結法により多孔質に形成されている。この粉末金属としては、ニッケル、ステンレス、チタン及びチタン合金、銅及び銅合金、アルミニウム等を粉末にしたものを用いることができる。そして、この金属粉末を、気孔形成材としての例えば微細径の樹脂、およびワックスなどからなるバインダと混合・混練して、金型内に射出成形し、バインダを脱脂したあと焼結することにより、気孔形成材が抜けた多孔質金属体を形成することができる。
この気孔径としては、マイクロレンズアレイにおけるレンズ部の平滑性を確保するためには、１００μｍ以下の微細径とすることが好ましく、また、後述するエッチング液が円滑に浸透して曲面部１６に到達可能とするために気孔率は４０％以上（強度上８０％以下）とすることが好ましい。
【００１６】
各曲面部１６は、マイクロレンズアレイの個々のレンズの形状に対応した形状をなしている。レンズアレイ用成形型１から直接マイクロレンズアレイを形成するときには、曲面部１６はレンズの反転形状である。すなわち、凸レンズを形成するときには曲面部１６は、凹部である。また、レンズアレイ用成形型１の形状を転写して複製型を製造し、複製型の形状を転写してマイクロレンズアレイを製造するときには、レンズアレイ用成形型１の曲面部１６の少なくとも一部の形状がレンズの形状に等しい。
【００１７】
複数の曲面部１６は、図１（ａ）に示すように複数のグループに区画されており、例えば平坦面１４の一部によって複  数の領域（例えば、略矩形の領域）に区画され、各領域に複数の曲面部１６が配列されている。区画されたそれぞれの領域に形成された複数の曲面部１６によって、個々のマイクロレンズアレイのチップ（以下、単にマイクロレンズアレイと呼ぶことがある）が形成される。すなわち、図１（ａ）に示すレンズアレイ用成形型１は、複数のチップが一体的に集合したマイクロレンズアレイ基板を製造するためのものであり、このマイクロレンズアレイ基板を切断して、個々のチップが得られる。
【００１８】
なお、本実施形態においては、平面視において複数の曲面部１６が隣りあう曲面部１６との中心を一致させた状態で配列されているが、必ずしも一致していなくてもよい。例えば、隣り合う列の曲面部１６に対して所定ピッチずれた配列としてもよい。
また、区画する曲面部１６の個数や配置間隔はマイクロレンズアレイの用途に応じて適宜設定されるものとする。
【００１９】
［マイクロレンズアレイの製造方法］
続いて、上述したレンズアレイ用成形型１を使用して、複数のレンズを有するマイクロレンズアレイを成型する方法について、図２乃至図７を参照して説明する。
まず、図２に示すように、上述した多孔質材で形成された型本体１０に対して、切削加工を施して曲面部１６を形成する。
【００２０】
次に、型本体１０の曲面部１６を含む表面に対してスパッタにより、図３に示すように、例えば厚さ５００ｎｍの銅膜からなる剥離膜１８を成膜する（成膜工程）。
続いて、図４に示すように、型本体１０に対して液状の成形材料Ｍを注入した後、ガラス転写基板Ｐを載せ、当該ガラス転写基板Ｐを介してＵＶ光（紫外光）Ｌを照射することにより硬化させる（成形工程）。
【００２１】
成形材料Ｍとしては、光、熱等のエネルギを付与することで硬化するエネルギー硬化性樹脂を好適に用いることができる。熱や光により硬化する樹脂を用いることにより、汎用の露光装置、ベイク炉やヒーター等の加熱装置を利用することができるので、設備コストの低減を図ることができる。エネルギー硬化性樹脂としては、ゾルゲル材、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂等が挙げられ、本実施形態では、光硬化性樹脂を用いている。
【００２２】
続いて、図５に示すように、型本体１０の曲面部１６と逆側の裏面からエッチング液Ｅを浸透させ、型本体１０の気孔を介して曲面部１６に導入する。エッチング液Ｅとしては、型本体１０を溶解・腐食させず、且つ剥離膜１８を溶解させるものであり、ここでは塩化第２鉄を用いている。
【００２３】
そして、図６に示すように、曲面部１６に導入されたエッチング液Ｅにより剥離膜１８が溶解して除去されることにより（除去工程）、硬化した成形材料Ｍと型本体１０（アレイ用成形型１）とが分離される。そのため、図７に示すように、硬化した成形材料Ｍを傷つけることなく型本体１０から容易に離型させることができ（離型工程）、曲面部１６の形状が転写されたレンズ部を有するマイクロレンズ（成形物）ＭＬが得られる。
【００２４】
以上のように、本実施の形態では、曲面部１６に剥離膜１８を成膜し、成形材料Ｍで成形後に剥離膜１８を溶解して除去するため、マイクロレンズＭＬと型本体１０との密着部がなくなり、マイクロレンズＭＬを容易に離型させることが可能になるとともに、マイクロレンズＭＬに傷を付けることも回避でき、高品質のマイクロレンズＭＬを得ることが可能になる。また、本実施形態では、成形材料Ｍに対して離型性を考慮して剥離膜１８を選択する必要がないことから、成形材料Ｍに対する濡れ性に優れた剥離膜１８を選択することにより、成形材料Ｍを曲面部１６に沿って濡れ広がらせることが可能となり、未充填を生じさせることなく、曲面部１６の形状を高精度に転写成形することができる。
【００２５】
また、本実施形態では、型本体１０（レンズアレイ用成形型１）を多孔質材としているため、エッチング液Ｅを容易に曲面部１６に導入して剥離膜１８を溶解・除去することが可能になるとともに、剥離膜１８に対して全面的に溶解することが可能であり、型本体１０からのマイクロレンズＭＬの離型性をより高めることができる。
さらに、本実施形態では、上記型本体１０を粉末焼結法により多孔質に形成しているため、気孔を微細化することが可能であり、平滑なレンズ部を有するマイクロレンズＭＬを容易に成形することができる。
【００２６】
［表示装置］
図８は、本発明に係る成型方法で製造荒されたマイクロレンズアレイを適用した表示装置の一例として、液晶プロジェクタの一部を示す図である。
この液晶プロジェクタ４０は、上述した各実施形態に係る成型方法により製造されたマイクロレンズアレイ（成形物）１１を組み込んだライトバルブ２０と、光源としてのランプ３０とを有する。
【００２７】
マイクロレンズアレイ１１は、レンズ６ｂをランプ３０から見て凹状になるように配置されている。マイクロレンズアレイ１１上には、光透過層２２、保護層２３，ブラックマトリクス２４，電極２５，配向膜２６がこの順で形成されている。また、配向膜２６からギャップをあけて、ＴＦＴ基板３２が設けられている。ＴＦＴ基板３２には、透明な個別電極３４および薄膜トランジスタ３６が設けられており、これらの上に配向膜３８が形成されている。また、ＴＦＴ基板３２は、配向膜３８を配向膜２６に対向させて配置されている。
【００２８】
配向膜２６，３８間には、液晶３１が封入されており、薄膜トランジスタ３６によって制御される電圧によって、液晶３１が駆動されるようになっている。
この液晶プロジェクタ４０によれば、ランプ３０から照射された光３３が、各画素毎にレンズ６ｂにて集光するので、明るい画面を生じさせることができる。
【００２９】
なお、その前提として、光透過層２２の光屈折率ｎａと、マイクロレンズアレイ１１の光屈折率ｎｂとは、ｎａ＜ｎｂの関係にあることが必要である。この条件を満たすことで、屈折率の大きい媒質から屈折率の小さい媒質に光が入射することになり、光３３は両媒質の界面の法線から離れるように屈折して集光する。そして、画面を明るくすることができる。
【００３０】
本実施形態では、上述した成型方法により成型時に傷が付かず、またレンズ形状が高精度に転写されたマイクロレンズアレイ１１を有しているため、高品質の液晶プロジェクタ４０を得ることができる。
なお、本発明の製造方法で製造されたマイクロレンズアレイ１１は、表示装置以外の光学装置にも応用することができ、例えば、撮像装置に応用することができる。撮像装置は、撮像素子（イメージセンサ）を有する。マイクロレンズアレイによって集光した光が撮像素子に入射する。撮像素子として、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）型が挙げられる。
【００３１】
［表示装置の実施形態］
以上詳述した表示装置の実施形態として、複板式カラープロジェクタについてその全体構成、特に光学的な構成について説明する。図９は、複板式カラープロジェクタの図式的断面図である。
【００３２】
図９において、本実施形態における複板式カラープロジェクタの一例である、液晶プロジェクタ１１００は、駆動回路がＴＦＴアレイ基板上に搭載された電気光学装置を含む上記ライトバルブを３個用意し、夫々ＲＧＢ用のライトバルブ１００Ｒ、１００Ｇおよび１００Ｂとして用いたプロジェクタとして構成されている。液晶プロジェクタ１１００では、メタルハライドランプ等の白色光源のランプユニット１１０２から投射光が発せられると、３枚のミラー１１０６および２枚のダイクロイックミラー１１０８によって、ＲＧＢの３原色に対応する光成分Ｒ、Ｇ、Ｂに分けられ、各色に対応するライトバルブ１００Ｒ、１００Ｇおよび１００Ｂに夫々導かれる。この際特にＢ光は、長い光路による光損失を防ぐために、入射レンズ１１２２、リレーレンズ１１２３および出射レンズ１１２４からなるリレーレンズ系１１２１を介して導かれる。そして、ライトバルブ１００Ｒ、１００Ｇおよび１００Ｂにより夫々変調された３原色に対応する光成分は、ダイクロイックプリズム１１１２により再度合成された後、投射レンズ１１１４を介してスクリーン１１２０にカラー画像として投射される。
【００３３】
［スクリーン］
次に、上述したスクリーンの詳細について説明する。
図１０は、本発明のマイクロレンズアレイをレンチキュラ板として適用したスクリーンの構成を示す図である。
このスクリーン７０は、図１０（ａ）に示すように、入射した光の角度を変換するフレネル板７１と、光透過性を有するレンチキュラ板７３と、フレネル板７１とレンチキュラ板７３との間に配置され、入射した光を拡散させる拡散板７２（光拡散板）とを備えている。また、スクリーン７０は、図１０（ｂ）に示すように、拡散板７２を振動させる振動供給部７４を備えている。また、筐体の前面には、開口部７７ａが形成されており、この開口部７７ａにスクリーン７０が嵌め込まれている。
【００３４】
レンチキュラ板７３は、入射面７３ａに複数の蒲鉾状のマイクロレンズ素子７３ｃが光の入射側に設けられている。この複数のマイクロレンズ素子７３ｃは、光軸Ｏに垂直な平面（ｘｙ平面）において、ｙ方向（スクリーン７０を設置した状態における垂直方向に長手方向）を有し、ｘ方向に並列に配置されている。
このレンチキュラ板７３は、入射面７３ａから入射した光を所定の角度範囲に拡散させ、射出面７３ｂから射出させるものであり、画像の視野角を広くし、スクリーン７０を正面から水平方向にずれた位置で観察しても良好な画像を視察可能にするものである。
本実施形態では、上述した成型方法により成型時に傷が付かず、またレンズ形状が高精度に転写されたフレネル板７１とレンチキュラ板７３を有しているため、高品質のスクリーン７０を得ることができる。
【００３５】
［ラインヘッド］
図１１は、本発明に係るマイクロレンズアレイを適用した画像形成装置用ラインヘッド（露光手段）を示す図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。このラインヘッド８１は感光体ドラム３２０に対向配置されている。
【００３６】
ラインヘッド８１は、長細い矩形状の素子基板８２上に、複数の有機ＥＬ素子８３を配列してなる発光素子列８３Ａと、有機ＥＬ素子８３を駆動させる駆動素子８４からなる駆動素子群と、これら駆動素子８４（駆動素子群）の駆動を制御する制御回路群８５とを一体形成したものである。なお、図１１（ａ）では、有機ＥＬ素子８３が１列に配列されているが、２列に配置して千鳥状（隣り合う列の有機ＥＬ素子８３に対して所定ピッチずれた状態）にしてもよい。この場合には、ラインヘッド８１の長手方向における有機ＥＬ素子８３のピッチを小さくすることが可能になり、画像形成装置の解像度を向上させることができる。
【００３７】
図１１（ｂ）に示すように、ラインヘッド８１の底部には、複数のレンズ８６を有したマイクロレンズアレイ８７が設けられている。マイクロレンズアレイ８７は、有機ＥＬ素子と同数のレンズ８６を備えており、有機ＥＬ素子からの光を集光してＳＬ素子に入射させるため、レンズ８６の各々は有機ＥＬ素子夫々と１対１に対応している。マイクロレンズアレイ８７（レンズ８６）の配置位置は、有機ＥＬ素子の光出射側であればよく、素子基板８２の下面に限られない。特に、有機ＥＬ素子からできるだけ多くの光をマイクロレンズに入射させるには、有機ＥＬ素子とマイクロレンズアレイ８７（レンズ８６）との距離をできるだけ小さくすることが望ましい。
【００３８】
本実施形態では、上述した成型方法により成型時に傷が付かず、またレンズ形状が高精度に転写されたマイクロレンズアレイ８７を有しているため、高品質のラインヘッド８１を得ることができる。
【００３９】
[画像形成装置]
次に、上記ラインヘッドを備えた画像形成装置について説明する。
図１２は、上記ラインヘッドを備えた画像形成装置を示す図であり、図１２中、符号８０は画像形成装置である。この画像形成装置８０は、上記したラインヘッドの一例となる有機ＥＬアレイラインヘッド１０１Ｋ、１０１Ｃ、１０１Ｍ、１０１Ｙを、対応する同様な構成である４個の感光体ドラム（像担持体）４１Ｋ、４１Ｃ、４１Ｍ、４１Ｙの露光装置にそれぞれ配置したもので、タンデム方式のものとして構成されたものである。
【００４０】
この画像形成装置８０は、駆動ローラ９１と従動ローラ９２とテンションローラ９３とを備え、これら各ローラに中間転写ベルト９０を、図１２中矢印方向（反時計方向）に循環駆動するよう張架したものである。この中間転写ベルト９０に対して、感光体ドラム４１Ｋ、４１Ｃ、４１Ｍ、４１Ｙが所定間隔で配置されている。これら感光体ドラム４１Ｋ、４１Ｃ、４１Ｍ、４１Ｙは、その外周面が像担持体としての感光層となっている。
【００４１】
ここで、符号中のＫ、Ｃ、Ｍ、Ｙは、それぞれ黒、シアン、マゼンタ、イエローを意味し、それぞれ黒、シアン、マゼンタ、イエロー用の感光体であることを示している。
なお、これら符号（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）の意味は、他の部材についても同様である。感光体ドラム４１Ｋ、４１Ｃ、４１Ｍ、４１Ｙは、中間転写ベルト９０の駆動と同期して、図１２中、矢印方向（時計方向）に回転駆動するようになっている。
【００４２】
各感光体ドラム４１（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）の周囲には、それぞれ感光体ドラム４１（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）の外周面を一様に帯電させる帯電手段（コロナ帯電器）４２（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）と、この帯電手段４２（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）によって一様に帯電させられた外周面を感光体ドラム４１（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）の回転に同期して順次ライン走査する本発明の有機ＥＬアレイラインヘッド１０１（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）とが設けられている。
【００４３】
また、この有機ＥＬアレイラインヘッド１０１（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）で形成された静電潜像に現像剤であるトナーを付与して可視像（トナー像）とする現像装置４４（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）と、この現像装置４４（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）で現像されたトナー像を一次転写対象である中間転写ベルト９０に順次転写する転写手段としての一次転写ローラ４５（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）と、転写された後に感光体ドラム４１（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）の表面に残留しているトナーを除去するクリーニング手段としてのクリーニング装置４６（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）とが設けられている。
【００４４】
ここで、各有機ＥＬアレイラインヘッド１０１（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）は、それぞれのアレイ方向が感光体ドラム４１（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）の母線に沿うように設置されている。そして、各有機ＥＬアレイラインヘッド１０１（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）の発光エネルギーピーク波長と、感光体ドラム４１（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）の感度ピーク波長とが略一致するように設定されている。
【００４５】
現像装置４４（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）は、例えば、現像剤として非磁性一成分トナーを用いるもので、その一成分現像剤を例えば供給ローラで現像ローラへ搬送し、現像ローラ表面に付着した現像剤の膜厚を規制ブレードで規制し、その現像ローラを感光体ドラム４１（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）に接触させあるいは押圧せしめることにより、感光体ドラム４１（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）の電位レベルに応じて現像剤を付着させ、トナー像として現像するものである。
【００４６】
このような４色の単色トナー像形成ステーションにより形成された黒、シアン、マゼンタ、イエローの各トナー像は、一次転写ローラ４５（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）に印加される一次転写バイアスによって中間転写ベルト９０上に順次一次転写される。そして、中間転写ベルト９０上で順次重ね合わされてフルカラーとなったトナー像は、二次転写ローラ５６において用紙等の記録媒体Ｐに二次転写され、さらに定着部である定着ローラ対５１を通ることで記録媒体Ｐ上に定着され、その後、排紙ローラ対５２によって装置上部に形成された排紙トレイ５８上に排出される。
【００４７】
なお、図１２中の符号５３は多数枚の記録媒体Ｐが積層保持されている給紙カセット、５４は給紙カセット５３から記録媒体Ｐを一枚ずつ給送するピックアップローラ、５５は二次転写ローラ５６の二次転写部への記録媒体Ｐの供給タイミングを規定するゲートローラ対、５６は中間転写ベルト９０との間で二次転写部を形成する二次転写手段としての二次転写ローラ、５７は二次転写後に中間転写ベルト９０の表面に残留しているトナーを除去するクリーニング手段としてのクリーニングブレードである。
【００４８】
本実施形態では、上述した成型方法により成型時に傷が付かず、またレンズ形状が高精度に転写されたマイクロレンズアレイを有する高品質のラインヘッドを備えているため、高品質の画像形成装置８０を得ることができる。
【００４９】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
【００５０】
例えば、上記実施形態では、型本体１０を多孔質材で形成し、多孔質材の気孔をエッチング液Ｅの導入路とする構成としたが、これに限定されるものではなく、型本体１０の開閉可能な貫通孔を導入路として形成しておき、成形材料Ｍを供給して曲面部１６の形状を転写する際には貫通孔を閉塞しておき、エッチング液Ｅを導入する際には貫通孔を開いて曲面部１６に供給し剥離膜１８を溶解する構成としてもよい。
【００５１】
また、上記実施形態では、粉末焼結法でレンズアレイ用成形型１（型本体１０）を製造する構成として説明したが、これ以外にも、例えば発泡剤を混合した溶融金属を射出成形する発泡成形で製造する構成としてもよい。
【００５２】
また、上記実施形態では、曲面部１６上に剥離膜１８を成膜した後に、成形材料Ｍを型本体１０に密着させる手順としたが、より高い平滑性が求められるマイクロレンズ１１を成形する場合には、曲面部１６にスパッタ等により平滑化膜を成膜し、この平滑化膜上に剥離膜１８を成膜する構成としてもよい。
この場合、曲面部１６の表面が平滑化膜により平滑化されるため、剥離膜１８の平滑性も向上する。従って、この剥離膜１８に密着する成形材料Ｍの平滑性も向上させることが可能になる。平滑化膜を用いる場合には、上記除去工程において、まず平滑化膜を溶解させるエッチング液を型本体１０に浸透させて平坦化膜を除去し、次いで剥離膜１８を溶解させるエッチング液を型本体１０に浸透させて剥離膜１８を除去すればよい。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】レンズアレイ用成形型を示す図である。
【図２】マイクロレンズアレイの製造方法を示す工程図である。
【図３】マイクロレンズアレイの製造方法を示す工程図である。
【図４】マイクロレンズアレイの製造方法を示す工程図である。
【図５】マイクロレンズアレイの製造方法を示す工程図である。
【図６】マイクロレンズアレイの製造方法を示す工程図である。
【図７】マイクロレンズアレイの製造方法を示す工程図である。
【図８】マイクロレンズアレイを有する表示装置を示す概略構成図である。
【図９】図８の表示装置の実施形態を示す概略構成図である。
【図１０】マイクロレンズアレイを有するスクリーンを示す概略構成図である。
【図１１】マイクロレンズアレイを有するラインヘッドを示す概略構成図である。
【図１２】図１１のラインヘッドを有する画像形成装置を示す概略構成図である。
【符号の説明】
【００５４】
Ｍ…成形材料、  ＭＬ、１１…マイクロレンズ（マイクロレンズアレイ、成形物）、  １…レンズアレイ用成形型（成形型）、  １６…曲面部（成形面）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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