(57)【要約】【課題】生産性を向上させることができる縦型反応炉半導体製造システム及びそれを使用するロット単位ウェハ運送処理方法を提供する。【解決手段】工程条件を入力し、モニターウェハの使用有無をチェックし、ロット投入個数及びトラックイン命令を発生するオペレーターインターフェースサーバ１０と、オペレーターインターフェースサーバ１０から命令を受けて工程装置を制御し、前記工程装置から発生されるデータを収集しオペレーターインターフェースサーバ１０に提供し、オペレーターインターフェースサーバ１０からトラックイン命令が入力されるときに１バッチに該当するウェハキャリヤがすべて収納される前にロット単位でウェハキャリヤを移送するように制御するホストコンピューター１４と、ホストコンピューター１４の制御命令によりロット単位でウェハキャリヤを移送しウェハボートに前記ウェハが収納されるようにする工程装置１６と、を含む。【選択図】図１
2008270800.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロット単位ウェハ運送処理機能を有する縦型炉半導体製造システムにおいて、
各工程を行うための工程条件及びトラックインのためのバッチ情報を入力して該当工程を始め、モニターウェハの使用有無をチェックし、ロット投入個数及びウェハを入れるロット位置を指定するトラックイン命令を発生するオペレーターインターフェースサーバと、
前記オペレーターインターフェースサーバから各工程を始めるための命令及びトラックインのための前記バッチ情報を受けて工程装置を制御し、前記工程装置から製造工程中に発生されるデータを実時間に収集してオペレーターインターフェースサーバに提供し、前記オペレーターインターフェースサーバからトラックイン命令が入力されるときに１バッチに該当するウェハキャリヤがすべて収納される前にロット単位でウェハキャリヤを移送できるように制御するホストコンピューターと、
ウェハを投入させて半導体製造工程を進行し、前記ホストコンピューターの制御命令によりロット単位でウェハキャリヤを移送してウェハボートに前記ウェハが収納されるようにする工程装置と、を含むことを特徴とする縦型炉半導体製造システム。
【請求項２】
トラックインのための前記バッチ情報はロット数及びモニターウェハの使用有無をチェックする情報であることを特徴とする請求項１に記載の縦型炉半導体製造システム。
【請求項３】
請求項１または２記載の縦型炉半導体製造システムを使用するロット単位ウェハ運送処理方法において、
トラックインのためのバッチ情報を受けてアップデートする段階と、
バッチ情報をアップデートした後にＩ／ＯポートにウェハキャリヤＣが投入されるときに前記ウェハキャリヤをキャリヤ収納部に移送する段階と、
前記キャリヤ収納部に移送された前記ウェハキャリヤが１バッチに該当するウェハキャリヤがすべて収納される前に前記ウェハキャリヤＣをウェハ収受部に移送させる段階と、
前記ウェハ収受部に移送されたウェハキャリヤＣに装着されたウェハをウェハボートの該当ロットに移送する段階と、からなることを特徴とする縦型炉半導体製造システムを使用するロット単位ウェハ運送処理方法。
【請求項４】
前記ウェハボートにウェハを投入する途中にＩ／Ｏポートにウェハキャリヤが投入されるときに前記ウェハキャリヤをキャリヤ収納部に移送する段階をさらに含むことを特徴とする請求項３に記載の縦型炉半導体製造システムを使用するロット単位ウェハ運送処理方法。
【請求項５】
前記ウェハボートに１バッチに対応するロット数だけウェハの移送が完了したかどうかを検査する段階と、
１バッチに対応するロット数だけウェハの移送が完了されていないとき、ＥＰＩＤ別工程登録メニュー画面のロット追加ボタンが入力されたかどうかを検査する段階と、
前記ロット追加ボタンが入力されると、ロット追加バッチ情報を受けてアップデートした後に追加されたバッチ情報を用いて工程が進行されるように制御する段階と、をさらに含むことを特徴とする請求項４に記載の縦型炉半導体製造システムを使用するロット単位ウェハ運送処理方法。
【請求項６】
縦型炉半導体製造システムを使用するロット単位ウェハ運送処理方法において、
ウェハボートから工程の完了されたウェハをウェハカセットに移送する段階と、
前記１ロットに対するウェハがウェハキャリヤに充たされるときに前記充たされたキャリヤをキャリヤ収納部に移送する段階と、
前記キャリヤ収納部に移送された前記ウェハキャリヤが１バッチに該当するウェハキャリヤがすべて収納される前に前記ウェハキャリヤＣをＩ／Ｏボートに移送させる段階と、からなることを特徴とする縦型炉半導体製造システムを使用するロット単位ウェハ運送処理方法。
【請求項７】
前記キャリヤ収納部に収納されたウェハキャリヤを前記Ｉ／Ｏポートに移送させながら前記ウェハボートから工程の完了されたウェハをウェハカセットに移送する段階をさらに含むことを特徴とする請求項６に記載の縦型炉半導体製造システムを使用するロット単位ウェハ運送処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、縦型反応炉半導体製造システム関し、特に縦型反応炉バッチ型半導体製造設備において、ウェハボートに装着されるウェハを一バッチに該当するウェハキャリヤが全部投入されなくてもロット単位で運送処理することができる縦型反応炉半導体製造システム及びそれを使用するロット単位ウェハ運送処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
通常、半導体装置を製造するためのウェハは洗浄、拡散、フォトレジストコーティング、露光、現象、食刻、及びイオン注入などのような工程が反復して行われ、これらの過程別に該当工程を行うための装置が使用される。
このような工程を処理する装置は各単位工程を処理するように配置され、各該当単位工程の進行時にはほぼ２０から２５枚のウェハが一単位のロットをなして、最適の工程条件として選択された工程を進行する。各該当ステップ別単位工程が進行されるときに発生するパラメーターは、オンライン通信にて各ステップ別単位工程がなされる装置とホストコンピューターのデータベースとに保存される。このような通常の半導体装置の工程は該当ステップ別に工程が進行された後、計測工程において該当製品が不良かどうかを判断し、該当製品に不良が発生すると該当装置にインターロックをかける。
【０００３】
通常、半導体製造装置はインターロックがかけられると、その装置に設けられた警報装置に警報信号が発生し、作業者はこの警報を確認し該当装置にインターロックのかけられたことをエンジニアに伝達する。インターロックのかけられた状態を伝達されたエンジニアが該当装置に一連の措置をとって問題を解決した後、これを作業者に知らせると、作業者は該当装置のインターロックを解除して再度工程が進行されるようにする。
【０００４】
このようなバッチ型半導体製造設備においては枚葉式設備と異なって１バッチに１ロットから６ロットずつ一挙にプロセスを進行する。そして、バッチタイプ半導体製造の設備は、プロセス進行の際のモニターウェハの使用有無とＰＲＯＤＵＣＴ  ＲＵＮが何ロットも進行されるかを設定したテーブルと、どの様な方式にてボートの何ロットに入れるかを設定するテーブルとがシステム上に載せられることにより、進行可能になっている。
【０００５】
このようなバッチ型半導体製造設備が米国特許第5,942,012号に開示されている。米国特許第5,942,012号には図５及び図６に示したような熱処理装置が開示されている。この熱処理装置は装置本体の内側に図示しない反応チューブの外側にヒーターを巻き込んでなされた縦型熱処理炉２１と、多数の被処理基板、例えばウェハを上下に間隙を置いてそれぞれ水平に積層して搭載し、ボートエレベーター２２により縦処理炉２１に対しウェハＷをロード及びアンロードするためのウェハボート２３と、ウェハボート２３にウェハを脱着するための、例えば進退自在、昇降自在、回転自在のピンセットを備えたウェハ移送機２４と、を有する。
【０００６】
ウェハボート２３は、図５に示すように、例えば、石英材の４本の支柱２３ａがウェハの外周縁部を保持するように底板２３ｂに設けられ、各支柱２３ａにはウェハの外周縁部が挿入される保持溝を形成して構成される。また、ウェハ移送機２４は、例えば５枚のウェハを一括して搬送できるように５枚のピンセット２４ａを備えると共に、その中で１枚のピンセットが他の４枚とは独立して進退するように構成されて、１枚のウェハを搬送できるようになっている。また、図５において符号２５はウェハボート２３とキャリヤＣとの間でウェハの移送が行われる間に熱処理炉２１の下段開口部を旋回して閉塞するための蓋体である。
【０００７】
また、ウェハボート２３の下降位置とウェハ移送機２４を媒介にして対向するようにウェハ収受部３１が配設される。ウェハ収受部３１は例えば、ウェハＷを収納するキャリヤＣが３段の上下に置かれるように構成される。
また、ウェハ収受部３１の上方にはキャリヤ収納部３２（いわば、キャリヤスタッカ）が設けられ、キャリヤ収納部３２は例えばキャリヤＣを４列、４段に最大数１６個を収納できるように構成される。キャリヤ収納部３２に収納されるキャリヤＣとしては被処理ウェハを収納したキャリヤ、ダミーウェハを収納したキャリヤ、補充用ウェハを収納したキャリヤ、及びモニターウェハを収納したキャリヤなどが含まれる。
【０００８】
さらに、ウェハ収受部３１及びキャリヤ収納部３２に面する位置にはキャリヤ移送機４の移動領域が確保され、この移動領域を介して装置本体近くにキャリヤステージ３３が設けられる。キャリヤステージ３３はウェハを収納したキャリヤＣが外部との間で搬入出される入出力ポートの役目をする場所である。キャリヤＣのウェハ取出口が上に向かった状態、即ち、ウェハが垂直の状態においてウェハＣが例えば４個で横に（Ｘ方向に）、示したように並んで置かれる。
【０００９】
また、キャリヤステージ３３は図５においては概念的に１枚のステージとして図示されたが、実際には４個のキャリヤＣに対しそれぞれキャリヤステージ３３が設けられる。キャリヤステージ３３には置かれたキャリヤＣを図６に示すように水平軸４ａの周りで内側に回動して横に倒れる機構が組み合せられている。キャリヤＣは横に倒れた状態においてキャリヤ移送機４により移送されるようになる。キャリヤ移送機４はX方向への移動自在の支柱４１にそって昇降する昇降台４２にキャリヤCを保持して移送するための、Z軸近くに回転自在のアーム４３を取り付けて構成される。図６においてFはエアフィルタ部である。そして、装置本体の正面パネルには図５及び図６に示すように、装置を運転するための操作用タッチパネル５が設けられ、タッチパネル５は操作部及び表示部を重ねている。
【００１０】
【特許文献１】米国特許第５９４２０１２号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
上記のような従来のバッチタイプの半導体製造設備は入出力ポートが２ロットからなり、通常の場合に２ロット−６ロットが１バッチを構成してプロセスを進行するため、移送関連装置のソフトウェアの基準が２ロット単位で移送されるようになっている。そこで、入出力ポート（Ｉ／Ｏポート）に二つのカセットキャリヤが安着されなければ、ウェハ移送機がキャリヤ収納部にカセットキャリヤを移送せず、また、カセット収納部に２−６ロットのキャリヤがすべて充填されるまでにボートにウェハを移送せずに待機しているため、不要な工程進行時間が所要されて生産性が劣るとの問題点があった。例えば、６ロットが１バッチとすると、進行する６ロットのキャリヤがキャリヤ収納部に充填されるまで待機しており、６ロットのキャリヤが充填されればウェハ収受部にあるウェハをボートに移送するため、６ロットになるまで待機する時間のロスが発生して生産性が劣るとの問題点があった。
【００１２】
そこで、本発明の目的は、入出力ポートに１ロットのキャリヤが投入されるとき、その投入されたキャリヤをウェハ収受部に移送してボートにウェハを移送することにより、１バッチ単位のウェハキャリヤが充填されるまでに待機する時間のロスを減らして生産性を向上させることができるロット単位運送処理機能を有する、縦型炉半導体製造システム及びそれを使用するロット単位ウェハ運送処理方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
このような目的を達成するため本発明による縦型炉半導体製造システムは、各工程を行うための工程条件を入力させて該当工程を始めるようにし、モニターウェハの使用有無をチェックし、ロット投入個数及びウェハを入れるロット位置を指定するトラックイン命令を発生するオペレーターインターフェースサーバと、
前記オペレーターインターフェースサーバから各工程を始めるための命令を受けて工程装置を制御し、前記工程装置から製造工程中に発生されるデータを実時間に収集してオペレーターインターフェースサーバに提供し、前記オペレーターインターフェースサーバからトラックイン命令が入力されるときに１バッチに該当するウェハキャリヤがすべて収納される前にロット単位でウェハキャリヤを移送できるように制御するホストコンピューターと、ウェハを投入させて半導体製造工程を進行し、前記ホストコンピューターの制御命令によりロット単位でウェハキャリヤを移送してウェハボートに前記ウェハが収納されるようにする工程装置と、を含むことを特徴とする。
トラックインのためのバッチ情報はロット数及びモニターウェハの使用有無をチェックする情報であることを特徴とする。
【００１４】
本発明の他の態様による縦型炉半導体製造システムを使用するロット単位ウェハ運送処理方法は、縦型炉半導体製造システムにおいて、トラックインのためのバッチ情報を受けてアップデートする段階と、バッチ情報をアップデートした後にＩ／ＯポートにウェハキャリヤＣが投入されるときに前記ウェハキャリヤをキャリヤ収納部に移送する段階と、前記キャリヤ収納部に移送された前記ウェハキャリヤが１バッチに該当するウェハキャリヤの全部が収納される前に前記ウェハキャリヤＣをウェハ収受部に移送させる段階と、前記ウェハ収受部に移送されたウェハキャリヤＣに装着されたウェハをウェハボートの該当ロットに移送する段階と、からなることを特徴とする。
【００１５】
前記ウェハボートにウェハを投入する途中にＩ／Ｏポートにウェハキャリヤが投入されるときに前記ウェハキャリヤをキャリヤ収納部に移送する段階をさらに含むことを特徴とする。
前記ウェハボートに１バッチに対応するロット数だけのウェハの移送が完了されたかどうかを検査する段階と、前記１バッチに対応するロット数だけのウェハの移送が完了されていないときにＥＰＩＤ別工程登録メニュー画面のロット追加ボタンが入力されたかを検査する段階と、前記ロット追加ボタンが入力されるとロット追加バッチ情報を受けてアップデートした後、バッチ情報を用いて工程が進行されるように制御する段階と、をさらに含むことを特徴とする。
【００１６】
本発明のまた他の態様による縦型炉半導体製造システムを使用するロット単位ウェハ運送処理方法は、縦型炉の半導体製造システムにおいて、ウェハボートから工程の完了したウェハをウェハカセットに移送する段階と、前記１ロットに対するウェハがウェハキャリヤに満たされるときに前記満たされたキャリヤをキャリヤ収納部に移送する段階と、前記キャリヤ収納部に移送された前記ウェハキャリヤが１バッチに該当するウェハキャリヤがすべて収納される前に前記ウェハキャリヤＣをＩ／Ｏポートに移送させる段階と、からなることを特徴とする。
【００１７】
前記キャリヤ収納部に収納されたウェハキャリヤを前記Ｉ／Ｏポートに移送させながら、前記ウェハボートから工程の完了したウェハをウェハカセットに移送する段階をさらに含むことを特徴とする。
【００１８】
（発明の効果）
本発明は、バッチタイプを有する縦型炉半導体製造システムにおいて１バッチが２−６ロットで構成される場合、１バッチに該当するロット数だけウェハキャリヤが満たされる前にロット単位でウェハキャリヤを移送してウェハをチャージ／ディスチャージすることにより、ウェハキャリヤがキャリヤ収納部に１バッチに対応するロット数だけ満たされるときまでに待機する時間ロスを減らして生産性を向上させることができるとの効果がある。
【００１９】
また、トラックインの進行後にロットの追加があるときにロット追加ボタンが入力されると、ロット追加バッチ情報を工程装置に送って工程を進行することにより、生産性を向上させることができるとの効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の好ましい実施例を添付図を参照して詳しく説明する。本発明を説明するにあたって、関連の公知機能或いは構成に対する具体的な説明が本発明の要旨を不要に濁し得ると判断される場合、その詳細な説明を省略する。
本発明の実施例による縦型炉半導体製造システムの構成を図１に示す。
【００２１】
オペレーターインターフェースサーバ１０は各工程を行うための工程条件を入力させて該当工程を始めるようにし、モニターウェハの使用有無をチェックし、ロット投入個数及びウェハが入れるロット位置を指定する命令を発生する。ユーザーインターフェースサーバ１２はエンジニアが遠隔地で工程装置１６の状態を照会する。ホストコンピューター１４はオペレーターインターフェースサーバ１０から各工程を始めるための命令を受けて多数の工程装置１６を制御し、工程装置１６から製造工程中に発生されるデータを実時間に収集してオペレーターインターフェースサーバ１０に提供し、オペレーターインターフェースサーバ１０からトラックイン命令が入力されるときにロット単位でウェハキャリヤを移送できるように制御する。
【００２２】
多数の工程装置１６はウェハを投入させて半導体製造工程を進行し、ホストコンピューター１４の制御命令に応じてロット単位でウェハキャリヤを移送してボートにウェハが収納されるようにする。
ホストコンピューター１４は各種工程を進行するための工程条件データ（ＳＰＣ；Statistic process control）を保存するデータベースを備える。
【００２３】
ロット単位でウェハキャリヤを移送するための工程装置１６の構成を図２に示す。
反応チューブの外側にヒーターを取巻いてなされた縦型熱処理炉２１と、多数の被処理基板、例えばウェハを上下に間隔を置いてそれぞれ水平に積層して搭載し、ボートエレベーター２２により縦型熱処理炉２１に対しウェハＷをロード及びアンロードするためのウェハボート２３と、ウェハボート２３にウェハを脱着するための、例えば進退自在、昇降自在、回転自在のピンセットを備えたウェハ移送機２４と、を有する。
【００２４】
ウェハボート２３は、例えば、石英材質で形成され、ウェハを装着するための４個の支柱にウェハの外周縁部を挿入する保持溝を備える。また、ウェハ移送機２４は例えば５枚のウェハを一括して搬送できるように５枚のピンセットを備えると共に、そのうち１枚のピンセットが他の４枚とは独立して進退できるように構成されて、１枚のウェハを搬送できるようになっている。
【００２５】
また、ウェハボート２３の下降位置とウェハ移送機２４を媒介に対向するようにウェハ収受部３１が配設される。ウェハ収受部３１は例えばウェハWを収納するキャリヤCが上下に３段として置かれるように構成される。
また、ウェハ収受部３１の上方の領域にはキャリヤ収納部３２（いわばキャリヤスタッカ）が設けられる。キャリヤ収納部３２に収納されるキャリヤCとしては被処理ウェハを収納したキャリヤ、ダミーウェハを収納したキャリヤ、補充用ウェハを収納したキャリヤ、及びモニターウェハを収納したキャリヤなどが含まれる。
【００２６】
さらに、ウェハ収受部３１及びキャリヤ収納部３２に面する位置にはキャリヤ移送機４の移動領域が確保される。
キャリヤＣは横に倒れた状態においてキャリヤ移送機４により移送されるようになる。キャリヤ移送機４はＸ方向への移動資材にそって昇降する昇降台４２にキャリヤＣを保持して移送するためにZ軸近くに回転自在のアーム４３を取り付けて構成される。
【００２７】
本発明の一実施例によるトラックインのためのバッチ情報とロット追加バッチ情報を入力するための画面表示状態例示を図３に示す。
本発明の実施例によるロット単位でウェハを移送するための制御フローチャートを図４に示す。
図１から図４を参照して本発明の好ましい実施例の動作を詳しく説明する。
【００２８】
オペレーターインターフェースサーバ１０は図３のようなトラックイン画面で該当装置に入るように指定されたロット数を自動チェックし、モニターウェハの使用有無に対するバッチ情報をホストコンピューター１４に送る。ホストコンピューター１４は１−６ロットまでロット数別にそれぞれ指定されると、モニターウェハの使用有無が分離されたレシピを作る。工程装置１６はホストコンピューター１４とＬＡＮケーブルで連結される。
従って、ホストコンピューター１４はオペレーターインターフェースサーバ１０から受けたバッチ情報に基づき条件に合う特定名のレシピを工程装置２０にセッティングする。このとき、工程装置２０がＩＤＬＥの状態であるときにこのレシピをセッティングするようになる。この場合以下のように分岐される。工程装置１６のモードがスタンバイ状態に変わると、直ちに工程装置１６のメモリ上に変えられた情報にてプロセスレシピをセッティングし、プロセス動作を実行する。
【００２９】
しかし、工程装置１６のモードがスタンバイ状態に変わらずにアイドル状態を保持すると、工程装置１６のメモリ上に情報が変えられていないので、ホストコンピューター１４は継続して該当サブレシピを工程装置１６にセッティングする。このような動作を数度試みると、工程装置１６が持っているバッチ情報が失われながら工程装置１６のメモリ情報がリセットされる現象が発生する。すると、工程装置１６のモードがスタンバイ状態に変更され、工程装置１６のメモリ上に現在バッチ情報をアップデートした後にプロセスレシピをセッティングしプロセス動作を実行する。
【００３０】
このような半導体製造システムにおいてロット単位でウェハキャリヤを運送する動作を説明する。
まず、オペレーターインターフェースサーバ１０は工程に必要な多様なトラックインのためのバッチ情報を入力させてスタートをすると、この入力されたバッチ情報がバスを通じてホストコンピューター１４に印加される。例えば、オペレーターインターフェースサーバ１０の画面においてＥＰＩＤ別工程登録を選択すると、図３のようなＥＰＩＤ別工程登録メニュー画面が表示される。
【００３１】
前記メニュー画面においてＥＰＩＤとＥＱＰＴＹＰＥを選択しＬＯＴ  ＩＤを入力させた後、ＲＥＣＩＰＥの条件を入力し登録ボタンをクリックする。すると、入力されたバッチ情報がバスを通じてホストコンピューター１４に印加される。このとき、ホストコンピューター１４はトラックインのためのバッチ情報を受けてアップデートする。トラックインのためのバッチ情報はロット数、モニターウェハの使用有無を指定する情報となる。
【００３２】
すると、ホストコンピューター１４は工程装置１６の制御を開始し、ロット単位でウェハキャリヤを移送できるように制御する。このとき、２−６ロットを１バッチに構成できるし、例えば、４ロットを１バッチに構成した状態においてトラックインをした後に図４のようなＥＰＩＤ別工程登録メニュー画面のロット追加ボタンをクリックすると、オペレーターインターフェースサーバ１０はホストコンピューター１４にロット追加バッチ情報を送り、ホストコンピューター１４は追加ロットをバッチ情報に追加して６ロットを１バッチに構成した工程を進行するように制御する。
【００３３】
図４に示すように、段階１０１においてオペレーターインターフェースサーバ１０でトラックインのためのバッチ情報を入力してスタートすると、ホストコンピューター１４はトラックインのためのバッチ情報を受けてアップデートし段階１０２に進行する。段階１０２においてＩ／ＯポートにウェハキャリヤＣを投入する。ウェハキャリヤＣは作業者により手動で投入されるかまたはウェハキャリヤ自動搬送車により自動で投入される。
【００３４】
Ｉ／ＯポートウェハキャリヤＣが一つまたは二つ投入されると、段階１０３においてキャリヤ移送機４０を駆動させてキャリヤ収納部３２にすべて移送させる。その後、段階１０４においてキャリヤ収納部３２に移送されたウェハキャリヤＣをウェハ収受部３１に移送させる。段階１０５においてウェハ収受部３１に移送されたウェハキャリヤＣに装着されたウェハをウェハ移送機２４の駆動によりボート２３の該当ロットに移送する。そして、段階１０６においてＩ／Ｏポートにウェハキャリヤが投入されたかどうかを検査し、Ｉ／Ｏポートにウェハが投入されていると段階１０３に戻って前述の動作を反復進行する。前記Ｉ／ＯポートにウェハキャリヤＣが投入されていないと段階１０７に進行して１バッチに対応するロット数だけ移送が完了されたかを検査し、１バッチに対応するロット数だけ移送が完了されていないと段階１０８に進行する。
【００３５】
段階１０８において図３のようなＥＰＩＤ別工程登録メニュー画面のロット追加ボタンが入力されたかを検査する。前記ロット追加ボタンが入力されると段階１０９に進行し、ホストコンピューター１４はオペレーターインターフェースサーバ１０からロット追加バッチ情報を受けてアップデータした後、追加されたバッチ情報を用いて工程が進行されるように制御し段階１０６に戻って１バッチに対応するロット数だけウェハキャリヤＣの投入が可能かを検査し、Ｉ／ＯポートにウェハキャリヤＣが投入されると段階１０３から再度反復する。このようにして段階１０７において１バッチに対応するロット数だけウェハキャリヤＣの移送が完了されると、段階１１０においてホストコンピューター１４は工程装置１６を制御してボートエレベーター２２が上昇されるようにし、ボート２３が熱処理炉２１の内部に上昇されるようにした後に該当工程を進行する。
【００３６】
上述した図４に示す一実施例においては工程を進行するためにウェハを投入するチャージの動作を説明したが、工程を進行した後にウェハをウェハボート２３から取り出してウェハキャリヤＣに収納し、そのウェハが収納されたウェハキャリヤＣをウェハ収受部３１からキャリヤ収納部３２に移送し、そのキャリヤ収納部３２に移送されたウェハキャリヤＣを再度Ｉ／Ｏポートに移送するディスチャージの動作もロット単位でウェハキャリヤＣを移送して、６ロットのウェハキャリヤＣがキャリヤ収納部３２に充たされるまでに待機するロス時間を減らすことができる。工程の完了されたウェハが収納されたウェハキャリヤＣをウェハ収受部３１でキャリヤ収納部３２に移送すると、６ロットのウェハキャリヤＣが集まらなくても直ちにキャリヤ移送機４によりＩ／Ｏポートに移送してウェハ移送時間を減らすことができる。
【００３７】
従来には６ロットが１バッチ工程であれば、進行する６ロットのウェハキャリヤＣがウェハ収納部３２に移送の完了された後にウェハキャリヤＣをウェハ収受部３１に移送してボート２３にウェハを移送するようにしているため、６ロットのウェハキャリヤＣがウェハ収納部３２に集まるまでに待機する時間のロスがあった。
【００３８】
しかし、本発明の実施例では、Ｉ／Ｏポートに１ロットのウェハキャリヤＣが投入されても直ちにその投入されたウェハキャリヤＣをキャリヤ収納部３２に移送し、キャリヤ収納部３２に移送したウェハキャリヤＣを再度ウェハ収受部３１に移送してウェハボート２３に投入するようにすると共に、再度Ｉ／ＯポートにウェハキャリヤＣが投入されると、ウェハキャリヤＣをキャリヤ収納部３２に移送しながら、ウェハ収納部３１に移送されたウェハキャリヤＣに装着されたウェハをウェハボート２３に投入する作業を同時に進行する。
【００３９】
従って、１ロット当たりウェハをチャージ／ディスチャージするにかかる時間がそれぞれ平均２分３０秒と仮定し、６ロットが１バッチ工程であればチャージで１２分３０秒、ディスチャージで１２分３０秒、デリバリング（delivering；Ｉ／Ｏポートを通じて外部にウェハキャリヤＣを送る作業）で約７分３０秒程度が所要されるので、全体３２分３０秒のロスタイムを減らすことができる。
【００４０】
チャージはＩ／Ｏポートに投入されたウェハキャリヤＣからウェハ収納部３１に移送されたウェハキャリヤＣに装着されたウェハをウェハボート２３に投入する作業を示し、ディスチャージはウェハボート２３で作業の完了したウェハをウェハ収納部３１からＩ／Ｏポートを通じて外部に送る作業を示す。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の実施例による縦型炉半導体製造システムの構成を示す説明図である。
【図２】本発明の実施例による縦型炉半導体製造システムにおけるロット単位でウェハキャリヤを移送するための工程装置の構成を示す断面図である。
【図３】本発明の一実施例による縦型炉半導体製造システムにおけるトラックインのためのバッチ情報とロット追加バッチ情報を入力するための画面表示状態例を示す説明図である。
【図４】本発明の実施例による縦型炉半導体製造システムにおけるロット単位のウェハ移送の制御を示すフローチャートである。
【図５】従来の熱処理装置を示す斜視図である。
【図６】図５に示した熱処理装置を示す断面図である。
【符号の説明】
【００４２】
１０：オペレーターインターフェースサーバ、１２：ユーザーインターフェースサーバ、１４：ホストコンピューター、１６：工程装置
【図１】
2008270800.tif 000003
【図２】
2008270800.tif 000004
【図３】
2008270800.tif 000005
【図４】
2008270800.tif 000006
【図５】
2008270800.tif 000007
【図６】
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