(57)【要約】【課題】表示パネルを配置してフレキシブルコネクターと接続する作業を繰り返す際に、吸着テーブルが削れるなどの擦傷を防止し、劣化を極力抑えるとともに、表示パネルの種類に応じて取り付け直す場合にも、高速生産化を妨げず、製造コストを極力抑えたパネル吸着テーブル装置を提供すること。【解決手段】本発明に係る表示パネル吸着テーブル装置１０は、視認側の全面に複数の通気穴１１を有する吸着テーブル本体１と、吸着テーブル本体１の上に配置され、表示パネル５の大きさに対応して部分的に配設された通気穴２１を有する中部テーブル２と、中部テーブル２の上に配置され、視認側に表示パネル５を配置する、全面に複数の通気穴３１を有する上部テーブル３と、吸着テーブル本体１の通気穴１１に連通された吸引手段とを備え、吸着テーブル本体１と中部テーブル２と上部テーブル３の各通気穴の少なくとも一部は連通するように配置されている。【選択図】  図２
2008158397.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
視認側の全面に複数の通気穴を有する吸着テーブル本体と、
当該吸着テーブル本体の上に配置され、表示パネルの大きさに対応して部分的に配設された通気穴を有する中部テーブルと、
当該中部テーブルの上に配置され、視認側に前記表示パネルを配置する、全面に複数の通気穴を有する上部テーブルと、
当該吸着テーブル本体の通気穴に連通された吸引手段とを備え、
当該吸着テーブル本体と当該中部テーブルと当該上部テーブルの各通気穴の少なくとも一部は連通するように配置されていることを特徴とする表示パネル吸着装置。
【請求項２】
前記中部テーブルの通気穴の大きさが、前記吸着テーブル本体の通気穴と前記上部テーブルの通気穴の大きさ以上であることを特徴とする請求項１記載の表示パネル吸着テーブル装置。
【請求項３】
前記中部テーブルの通気穴の大きさが、前記吸着テーブル本体の複数の通気穴を跨ぎ、かつ、前記上部テーブルの複数の通気穴を跨ぐ大きさ以上であることを特徴とする請求項１記載の表示パネル吸着テーブル装置。
【請求項４】
前記吸着テーブル本体の通気穴と前記上部テーブルの通気穴は、同じ位置に配置され、かつ同じ大きさであることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の表示パネル吸着テーブル装置。
【請求項５】
前記吸着テーブル本体と、前記中部テーブルと、前記上部テーブルは、矩形状であって、同じ大きさであることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載の表示パネル吸着テーブル装置。
【請求項６】
前記上部テーブルの剛性が、前記中部テーブルの剛性よりも高いことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載の表示パネル吸着テーブル装置。
【請求項７】
前記中部テーブルの厚みが、前記上部テーブルの厚みよりも薄いことを特徴とする請求項１から請求項６のいずれかに記載の表示パネル吸着テーブル装置。
【請求項８】
前記吸着テーブル本体と、前記中部テーブルと、前記上部テーブルとが、ネジにより一体に固定されていることを特徴とする請求項１から請求項７のいずれかに記載の表示パネル吸着テーブル装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸着テーブル装置に関し、さらに詳しく言えば、表示パネルを吸着するパネル吸着テーブル装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話機、携帯情報端末、電子手帳、携帯型テレビ等の多くの電子機器に、表示パネルが組み込まれるようになった。これらの電子機器は、薄型化、小型化を目的としてフレキシブルコネクターが使用されている。フレキシブルコネクターは、表示パネルの一辺に異方性導電膜（ＡＣＦ：Anisotropic Conductive Film）によって、物理的かつ電気的に接続されている。
【０００３】
ここで、表示パネルとフレキシブルコネクターを接続する作業は、表示パネルをパネル吸着テーブル装置上に固定して行っている。このような作業を行う従来のパネル吸着テーブル装置１００の平面図を図５に示す。また図６は、図５のＩＶ−ＩＶ線における断面図である。
【０００４】
図５に示すように、従来のパネル吸着テーブル装置１００は、通気穴１１を有する吸着テーブル本体１と、吸着テーブル本体１上であって、通気穴７１を有する粘着テープ７と、図６に示すように、通気穴１１と通気穴７１に連通された吸引手段４を備えている。ここで、通気穴１１は、吸着テーブル本体１の全面に複数個形成され、通気穴７１は、表示パネルに合わせて適宜調整して形成されている。
【０００５】
このように、適宜調整して通気穴７１を形成したのは、通気穴１１と同様に、粘着テープ７１の全面に、通気穴１１に対応する位置に複数個形成すると、パネル５を配置する位置以外の通気穴７１から外気が吸引されるので、いくら吸引手段４の吸引力を強力にしても、表示パネル５を固定することが困難だからである。
【０００６】
しかしながら、吸着テーブル本体１上に粘着テープ７を貼り付けたパネル吸着テーブル装置１００において、硬いガラス基板から構成される表示パネル５を何度も配置してフレキシブルコネクターと接続する作業を繰り返していると、粘着テープ７が削れるなどの擦傷により、粘着テープ７が劣化し、粘着テープ７を貼り直す必要がある。また、吸着固定する表示パネル５の種類に応じて、通気穴７１を適宜調整して加工する必要があるので、粘着テープ７を貼り直す必要がある。
【０００７】
このように、通気穴７１を適宜加工し、通気穴７１を有する粘着テープ７を吸着テーブル本体１上に貼り直す作業は、施工時間がかかり高速生産化を妨げる要因となっている。また、剥がした後の粘着テープ７は、生産ライン上の表示パネル５に付着するなどのトラブルの原因となり、高速生産化を妨げる要因となっている。また、何度も粘着テープ７を吸着テーブル本体１上に貼り直す作業が必要であるため、粘着テープ７のコストがかかり、製造コストを引き上げる要因となっている。
【０００８】
ここで、特許文献１には、通気穴を加工する必要がない通気性の多孔質フィルムを、粘着テープの代わりに、吸着テーブル本体に貼り付ける技術が提案されている。しかし依然として、多孔質フィルムは、作業時に擦傷を受け劣化するので、貼り直す必要がある。さらに粘着テープより多孔質フィルムの方が、コストが高いので、製造コストを引き上げる要因となっている。
【特許文献１】特開２００１−８３４７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上述のように、吸着テーブル本体１上に粘着テープ７を貼り付けたパネル吸着テーブル装置１００において、粘着テープ７は、作業時に受ける擦傷による劣化や、吸着固定する表示パネル５の種類に応じて通気穴７１を適宜調整して加工するため、その都度、貼り直す必要があった。また、粘着テープの代わりに、多孔質フィルムを使用したとしても、作業時に受ける擦傷による劣化のため、貼り直す必要があった。さらに、剥がした後の粘着テープ７などが、生産ライン上の表示パネル５に付着するなどのトラブルの原因となり、高速生産化を妨げる要因となっていた。さらにまた、貼り直す粘着テープ７や多孔質フィルムのコストが、製造コストを引き上げる要因となっていた。
【００１０】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、硬いガラス基板から構成される表示パネルを何度も配置してフレキシブルコネクターと接続する作業を繰り返す際に、吸着テーブルが削れるなどの擦傷を防止し、劣化を極力抑えるとともに、吸着固定する表示パネルの種類に応じて、取り付け直す場合にも、高速生産化を妨げず、製造コストを極力抑えたパネル吸着テーブル装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に係る表示パネル吸着テーブル装置は、視認側の全面に複数の通気穴を有する吸着テーブル本体と、当該吸着テーブル本体の上に配置され、表示パネルの大きさに対応して部分的に配設された通気穴を有する中部テーブルと、当該中部テーブルの上に配置され、視認側に前記表示パネルを配置する、全面に複数の通気穴を有する上部テーブルと、当該吸着テーブル本体の通気穴に連通された吸引手段とを備え、当該吸着テーブル本体と当該中部テーブルと当該上部テーブルの各通気穴の少なくとも一部は連通するように配置されていることを特徴としている。
【００１２】
このような表示パネル吸着テーブル装置は、硬いガラス基板から構成される表示パネルを何度も配置してフレキシブルコネクターと接続する作業を繰り返しても、中部テーブルが上部テーブルにより保護されているので、擦傷されることがなく、中部テーブルが劣化するのを極力抑えることができる。よって製造コストを抑えながら高速生産が可能となる。また、中部テーブルは粘着性を有しないので、生産ライン上の表示パネルに付着するなどのトラブルも発生しない。
【００１３】
また、このような表示パネル吸着テーブル装置として、前記中部テーブルの通気穴の大きさが、前記吸着テーブル本体の通気穴と前記上部テーブルの通気穴の大きさ以上であるように構成されていてもよい。
【００１４】
このように構成することにより、表示パネルの種類を変更する際、中部テーブルの通気穴と、吸着テーブル本体の通気穴と、上部テーブルの通気穴との位置あわせに時間がかかることがないので、高速生産が可能となる。
【００１５】
また、このような表示パネル吸着テーブル装置として、前記中部テーブルの通気穴の大きさが、前記吸着テーブル本体の複数の通気穴を跨ぎ、かつ、前記上部テーブルの複数の通気穴を跨ぐ大きさ以上であるように構成されていてもよい。
【００１６】
このように構成することにより、表示パネルの数種類に対応することが可能となるので、中部テーブルを変更する回数が減るため、更に高速生産が可能となる。
【００１７】
また、このような表示パネル吸着テーブル装置として、前記吸着テーブル本体の通気穴と前記上部テーブルの通気穴は、同じ位置に配置され、かつ同じ大きさであるように構成されていてもよい。
【００１８】
このように、吸着テーブル本体の通気穴と上部テーブルの通気穴を汎用性のあるレイアウトとすることにより、様々な表示パネルの態様に対応することができるので、表示パネルの態様毎に吸着テーブルと上部テーブルを取り替える必要がなく、製造コストを抑えながら高速生産が可能となる。
【００１９】
また、このような表示パネル吸着テーブル装置として、前記吸着テーブル本体と、前記中部テーブルと、前記上部テーブルは、矩形状であって、同じ大きさであるように構成されていてもよい。
【００２０】
このように矩形状という汎用性のある形状とすることにより、製造コストを抑えながら高速生産が可能となる。
【００２１】
また、このような表示パネル吸着テーブル装置として、前記上部テーブルの剛性が、前記中部テーブルの剛性よりも高いように構成されていてもよい。
【００２２】
このように構成することにより、上部テーブルにのみ耐擦傷性能のある材質を選び、中部テーブルについては、材質選択の余地が広がるため、コストダウンが可能となり、製造コストを抑えながら高速生産が可能となる。
【００２３】
また、このような表示パネル吸着テーブル装置として、前記中部テーブルの厚みが、前記上部テーブルの厚みよりも薄いように構成されていてもよい。
【００２４】
このように構成することにより、上部テーブルの厚みを可能な限り、薄くできるので、製造コストを抑えながら高速生産が可能となる。
【００２５】
また、このような表示パネル吸着テーブル装置として、前記吸着テーブル本体と、前記中部テーブルと、前記上部テーブルとが、ネジにより一体に固定されているように構成されていてもよい。
【００２６】
このように構成することにより、異なった表示パネルに切り替える際に、表示パネルの種類ごとに対応して形成された通気穴を有する中部テーブルのみを取替え、吸着テーブル本体と中部テーブルと上部テーブルを固定する作業が簡単であるため、高速生産が可能となる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明により、硬いガラス基板から構成される表示パネルを何度も配置してフレキシブルコネクターと接続する作業を繰り返す際に、吸着テーブルが削れるなどの擦傷を防止し、劣化を極力抑えるとともに、吸着固定する表示パネルの種類に応じて、取り付け直す場合にも、高速生産化を妨げず、製造コストを極力抑えたパネル吸着テーブル装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
発明の実施の形態１．
本発明の実施の形態１に係るパネル吸着テーブル装置１０の構成について、図に基づいて説明する。ここで、図１は、本発明の実施の形態１に係るパネル吸着テーブル装置１０の平面図である。また、図２は、図１のＩＩ−ＩＩ切断線における断面図である。
【００２９】
図１および図２に示されるように、本発明の実施の形態１に係るパネル吸着テーブル装置１０は、吸着テーブル本体１の平滑な載置面上に中部テーブル２と、中部テーブル２の平滑な載置面上であって、視認側に表示パネル５を配置する上部テーブル３と、吸着テーブル本体１と中部テーブル２と上部テーブル３を固定するネジ６と、表示パネルを吸引する真空ポンプ４を有する吸引手段を備えている。
【００３０】
表示パネル５は、液晶表示パネル、有機ＥＬディスプレイ、無機ＥＬディスプレイ、タッチパネル等であり、ガラス等からなる透明基板を有している。また、表示パネル５の形状は、矩形状、異形形状の何れでもよいが、本発明の実施の形態１においては、矩形状の表示パネル５を使用している。
【００３１】
吸着テーブル本体１は、アルミニウムやステンレス鋼などの金属または合成樹脂から形成されている。尚、高さ方向の精度、視認側の平面の平滑性の観点から、金属の方が望ましい。また、吸着テーブル本体１の形状は視認側が矩形状である。また、この通気穴１１は、表示パネル５の形状により変更する必要がないように、汎用性が高いレイアウトとするために、その視認側の全面に複数の円状の通気穴１１を有し、全ての通気穴１１が真空ポンプ４に連通されている。また、矩形状の四隅近傍には、ネジ止め穴１２を有している。
【００３２】
中部テーブル２は、アルミニウムなどの金属や、ポリカーボネート樹脂、ポリエチレン樹脂、ＡＢＳ樹脂などの樹脂材料などにより形成されている。また、中部テーブル２の形状は視認側が矩形状であり、吸着テーブル本体１と同じ大きさである。また、表示パネル５の四隅近傍に位置する部位に円状の通気穴２１を有している。ここで、図３に示すように、通気穴２１の位置は、吸着テーブル本体１の通気穴１１の一部の穴と、後で述べる上部テーブル３の通気穴３１の一部の穴と連通する必要があるため、中部テーブル２の通気穴２１の位置合わせする時間がかからないように、中部テーブル２の通気穴２１の大きさは、吸着テーブル本体１の通気穴１１と、後で述べる上部テーブル３の通気穴３１以上の大きさで加工されている。また、中部テーブル２の矩形状の四隅近傍には、吸着テーブル本体１のネジ止め穴１２に対応する位置にネジ止め穴２２を有している。
【００３３】
上部テーブル３は、表示パネル５の構成材料である硬いガラス基板と接触しても削れるなどの擦傷を受けないように、耐擦傷性能の高いステンレス鋼等の金属から形成されている。ここで、表示パネル５を配置する載置面の表面は、表示パネル５を載置面上で円滑に滑らせることができるように、表面粗さを小さくし、平滑に形成されている。また、上部テーブル３の形状は、視認側が矩形状であり、吸着テーブル本体１と同じ大きさである。また、視認側の全面に、吸着テーブル本体１の通気穴１１と同じ位置であって、かつ同じ大きさに複数の円状の通気穴３１が加工されている。また、矩形状の四隅近傍には、吸着テーブル本体１のネジ止め穴１２と、中部テーブル２ネジ止め穴２２に対応する位置にネジ止め穴３２を有している。
【００３４】
次に、図２に示すように、吸着テーブル本体１と、中部テーブル２と、上部テーブル３は、それぞれのネジ止め穴１２、２２、３２にネジ６を通すことにより、一体的に固定されている。ここで、中部テーブル２の剛性が、吸着テーブル本体１と上部テーブル３の剛性よりも低い金属を選択し、テーブルとしての高さ方向の精度および視認側の平面の平滑性が維持できる限度まで、厚みを薄くすることにより、中部テーブル２の材料費を抑えることができる。また、中部テーブル２の材質として、樹脂材料を選択すれば、吸着テーブル本体１と中部テーブル２と上部テーブル３との層間にシリコングリースを使用することなく密着性を向上させることができる。よって、コストアップを防止することができる。
【００３５】
吸引手段は、連通している吸着テーブル本体１の通気穴１１と、中部テーブル２の通気穴２１と、上部テーブル３の通気穴３１の一部の穴を、空気通路４１を通して真空ポンプ４により吸引し、表示パネル５を上部テーブル３の視認側の面に、吸着固定する。
【００３６】
本発明の実施の形態１に係るパネル吸着テーブル装置１０によれば、表示パネル５の形状に対応する通気穴２１を有する中部テーブル２が、吸着テーブル本体１と上部テーブル３との間に挟まれた構造となっている。よって、耐擦傷性能の高い上部テーブル３により、中部テーブル２が、保護され、表示パネル５の構成材料である硬いガラス基板と接触することがない。そのため、表示パネル５を配置してフレキシブルコネクターと接続する作業を繰り返し行っても、中部テーブル２が、削れるなどの擦傷を受けることなく、劣化が極力抑えられる。
【００３７】
また、表示パネル５の大きさや形状が変わった場合には、その変わった種類ごとに対応して中部テーブル２の通気穴２１を加工する必要がある。しかし、前述の通り、中部テーブル２は、ステンレス鋼等の金属から形成された上部テーブル３により保護され、表示パネル５と接触することがないため、作業時に受ける擦傷による劣化を極力抑えられるため、何度も使用することが可能である。また、耐擦傷性能の高い上部テーブル３は、何度も繰り返し使用が可能である。よって、長期的に見れば、表示パネル５の種類が変わる度に粘着テープを張り直す場合に比べ、コストダウンが実現できる。
【００３８】
さらに、表示パネル５の種類が変わり、中部テーブル２だけを交換する場合には、吸着テーブル本体１と、中部テーブル２と、上部テーブル３は、それぞれのネジ止め穴１２、２２、３２において、ネジ６により、一体的に固定されているだけなので、簡単に交換することができ、取替え時間がかからない。よって、高速生産化を妨げることがないので、製造コストを抑えることができる。
【００３９】
さらにまた、中部テーブル２は、粘着材を使用していないので、例えば、粘着テープを使用した場合のように、剥がした後の粘着テープが、生産ライン上の表示パネル５に付着するなどのトラブルの原因を極力抑えることができる。よって、高速生産化が実現できる。
【００４０】
発明の実施の形態２．
次に本発明の実施の形態２に係るパネル吸着テーブル装置１０について、図３を参照して説明する。尚、この発明の実施の形態２に係るパネル吸着テーブル装置１０の全体構成は図１、２に示す構成と同様であり、説明を省略する。この発明の実施の形態２では、使用される中部テーブル２の通気穴２３の形状が異なる点に特徴を有する。
【００４１】
使用される中部テーブル２は、表示パネル５の端部近傍に位置する部位に矩形状の通気穴２３を有している。表示パネル５の種類ごとに対応して中部テーブル２の通気穴２３を加工する場合、円状の通気穴２１を加工するよりも簡単に加工でき、加工適正を向上するため、矩形状の通気穴２３を形成している。特に、中部テーブル２の材質について、金属を選択した場合の加工適正に有効である。ここで、図４に示すように、通気穴２３の位置は、吸着テーブル本体１の通気穴１１の一部の複数の穴と、上部テーブル３の通気穴３１の一部の複数の穴と連通する必要がある。しかし、中部テーブル２の通気穴２３と吸着テーブル本体１の通気穴１１の一部の複数の穴と、上部テーブル３の通気穴３１の一部の複数の穴の位置合わせする時間がかからないように、通気穴２３の一方の幅は、吸着テーブル本体１の円状の通気穴１１と、上部テーブル３の円状の通気穴３１の直径以上の幅で加工されている。また、中部テーブル２の通気穴２３の大きさは、吸着テーブル本体１の複数の通気穴１１を跨ぐ大きさ以上に形成されているとともに、上部テーブル３の複数の通気穴３１を跨ぐ大きさ以上に形成されている。
【００４２】
本発明の実施の形態２によれば、中部テーブル２の通気穴２３の面積が広いため、連通している吸着テーブル本体１の通気穴１１の一部の複数の穴と、中部テーブル２の通気穴２３と、上部テーブル３の通気穴３１の一部の複数の穴を、空気通路４１を通して真空ポンプ４により吸引し、表示パネル５を上部テーブル３の視認側の面に、吸着固定する際、表示パネル５の種類に幅広く対応できる。よって、表示パネル５の種類ごとに中部テーブル２を交換する回数を減らすことができるので、さらに高速生産化とコストダウンを実現できる。
【００４３】
本発明の実施の形態１、２は、表示パネル５を配置してフレキシブルコネクターと接続する作業を行うパネル吸着テーブル装置であるが、偏光膜貼り付け機の液晶表示パネルの位置決め装置、フォトリソグラフィ法等でパターンニングする工程における露光装置に使用してもよい。また、配向膜を転写するための転写装置で使用してもよい。また、配向膜をラビングするためのラビング装置で使用してもよい。また、液晶表示素子のガラス製基板を切断する分断装置として使用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明に係る表示パネル吸着テーブル装置１０の一例を示す平面図である。
【図２】本発明に係る表示パネル吸着テーブル装置１０の一例を示す断面図である。
【図３】本発明に係る表示パネル吸着テーブル装置１０に使用する吸着テーブル本体と、中部テーブルと、上部テーブルの一例を示す平面図である。
【図４】本発明に係る表示パネル吸着テーブル装置１０に使用する吸着テーブル本体と、中部テーブルと、上部テーブルの一例を示す平面図である。
【図５】従来の表示パネル吸着テーブル装置１００の一例を示す平面図である。
【図６】従来の表示パネル吸着テーブル装置１００の一例を示す断面図である。
【符号の説明】
【００４５】
１      吸着テーブル本体
２      中部テーブル
３      上部テーブル
４      真空ポンプ
５      表示パネル
６      ネジ
７      粘着テープ
１１、２１、２３、３１、７１      通気穴
１２、２２、３２      ネジ留め穴
４１      空気通路
【図１】
2008158397.tif 000003
【図２】
2008158397.tif 000004
【図３】
2008158397.tif 000005
【図４】
2008158397.tif 000006
【図５】
2008158397.tif 000007
【図６】
2008158397.tif 000008