(57)【要約】【課題】製造工程において簡単に配置可能で、歩留まりを向上させることが可能なフラットパネルディスプレイのスペーサーと、そのスペーサーを採用して軽量化・薄型化を可能とするフラットパネルディスプレイを提供することである。【解決手段】フラットパネルディスプレイのアノード電極とゲート電極又はカソード電極の間に形成される空間に配設されるスペーサー１であって、複数のロッド２をこのロッド２の長さよりも短い幅の金属製ベルト４に固定したものである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フラットパネルディスプレイのアノード電極とゲート電極又はカソード電極の間に形成される空間に配設されるスペーサーであって、複数のロッドをこのロッドの長さよりも短い幅の金属製ベルトに固定したことを特徴とするスペーサー。
【請求項２】
前記金属製ベルトは、ガスを吸着して真空排気を行うゲッターを表面に形成することを特徴とする請求項１記載のスペーサー。
【請求項３】
前記金属製ベルトは、鉄、ニッケル、チタン又はこれらの金属を主とする合金であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のスペーサー。
【請求項４】
前記金属製ベルトに代えて、合成樹脂製ベルトを備えることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のスペーサー。
【請求項５】
前記金属製ベルトは、織物状に形成されたベルトであって、この織物状に形成された金属製ベルトに前記ロッドが織り込まれて固定されることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のスペーサー。
【請求項６】
前記金属製ベルトに代えて、織物状に形成された合成樹脂製ベルトを用い、この織物状に形成された合成樹脂製ベルトに前記ロッドが織り込まれて固定されることを特徴とする請求項１記載のスペーサー。
【請求項７】
カソード電極で発生させた電子を、ゲート電極を介してアノード電極に塗布した蛍光体層に衝突させて発光させるフラットパネルディスプレイであって、前記アノード電極とゲート電極又はカソード電極の間に形成される空間に、請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載のスペーサーを配設することを特徴とするフラットパネルディスプレイ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カソード電極から放出された電子をアノード電極上の蛍光体層に衝突させて発光させるフラットパネルディスプレイに用いられるスペーサーとそのスペーサーを用いたフラットパネルディスプレイに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来フィールドエミッションディスプレイなどのフラットパネルディスプレイでは、上下のガラス基板間に格納されたカソード電極によって発生する電子をゲート電極を介してアノード電極に塗布された蛍光体層に衝突させて発光させるように構成されるが、その上下のガラス基板間は、真空に維持されており、大気圧により常に圧縮力を受けている。具体的には、その圧力は１ｋｇ／平方センチメートルであり、３１センチ四方では約１トンの圧縮力がかかることになる。
そのため、ガラス基板を厚くすることが望ましいが、重量の増加やディスプレイ自体の厚型化などの原因となり、使い勝手が悪くなるため、ガラス基板の厚みを薄くしながら、それらの基板間にスペーサーと呼ばれる支持部材を配設して、圧力耐圧を増やしている。
【０００３】
例えば、特許文献１の「フラット・パネル・ディスプレイ内にスペーサを付着する方法」に開示されるように、第１表示プレート及び第２表示プレートの間に複数のロッド状のスペーサが設けられている。このように２つの表示プレートの間に排気された隙間領域を支持するようにスペーサを設けることで、大気圧と隙間領域の真空との差圧に耐えるように構成している。
【０００４】
また、このスペーサの形状としては、ロッド状のもののみならず、特許文献２に示される「フラット・パネル・ディスプレイ用スタンドアロン型スペーサ」のようにリブ（プレート）状のスペーサも採用されている。
【０００５】
さらに、スペーサの表面上の帯電を低減するために、抵抗性コーティングとグランドに接続された導電性パッドを設けて、スペーサに入射した電子を抵抗性コーティングの領域から導電性パッドへブリードオフさせる技術が特許文献３に開示されており、スペーサに支持機能以外の機能を付加させる技術も開発されている。
【０００６】
また、フラットパネルディスプレイの薄型軽量化を図りつつ、パネル部材及びスペーサの運搬・搬送や取り扱いの容易化、フラットパネルディスプレイの組み立て作業の簡便化を図るために、真空間隙部を形成する２枚のパネル部材のいずれか一方又は双方を、内面にスペーサが立設されてなる単一の部品として形成する発明が特許文献４に開示されている。
【特許文献１】特開平１０−９２３１４号公報
【特許文献２】特開平９−１７９５０８号公報
【特許文献３】特開平１０−７４４７１号公報
【特許文献４】特開平２００４−１３４２６６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、この特許文献１乃至特許文献３に開示される技術においては、それぞれのロッド型あるいはプレート型の個々のスペーサを基板などに接着させるなどしなければならず、その配置方法が煩雑で、時間やコストがかかると同時に歩留まりも悪いという課題があった。
また、特許文献４に記載される発明においては、予めパネル部材にスペーサを立設させるため、スペーサの接着などの煩雑さはないものの、直径が０．１ｍｍ程度の微細なロッドをパネル部材に立設させる場合には、実施の形態に記載されるように、印刷処理、厚膜印刷処理あるいはエッチング処理などの工程が必要となり、製造工程全体が複雑化し、製造コストの増加や歩留まりが悪化する可能性があるという課題があった。
【０００８】
本発明はかかる従来の事情に対処してなされたものであり、フラットパネルディスプレイの製造工程において簡単に配置可能で、歩留まりを向上させることが可能なスペーサーと、そのスペーサーを採用して製造工程の簡素化、時間の短縮化、スペーサーの配置にかかるコスト削減に伴う経済性の向上、さらには軽量化・薄型化を可能とするフラットパネルディスプレイを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、請求項１記載の発明であるスペーサーは、フラットパネルディスプレイのアノード電極とゲート電極又はカソード電極の間に形成される空間に配設されるスペーサーであって、複数のロッドをこのロッドの長さよりも短い幅の金属製ベルトに固定したことを特徴とするスペーサーである。
上記構成のスペーサーでは、金属製ベルトが、複数のロッドを固定するという作用を有する。また、金属製ベルトに固定されたロッドは、アノード電極とゲート電極又はカソード電極間を支持するという作用を有する。
【００１０】
また、請求項２に記載の発明であるスペーサーは、請求項１に記載の発明において、前記金属製ベルトは、ガスを吸着して真空排気を行うゲッターを表面に形成するものである。
上記構成のスペーサーでは、ゲッターがフラットパネルディスプレイの電極間の空間に含まれるあるいは発生する不純物であるガスを吸着して除去するという作用を有する。
【００１１】
さらに、請求項３に記載の発明であるスペーサーは、請求項１又は請求項２に記載の発明において、前記金属製ベルトは、鉄、ニッケル、チタン又はこれらの金属を主とする合金であるものである。
上記構成のスペーサーでは、金属製ベルトに鉄、ニッケル、チタンのいずれかの金属又はこれらの金属を主とする合金を採用することで、真空に引かれるフラットパネルディスプレイの電極間の空間において、ガスを放出することがなく、しかも、真空封止や排気の際の４５０℃程度の高温にも耐えるように作用する。
【００１２】
請求項４に記載の発明であるスペーサーは、請求項１又は請求項２に記載の発明において、前記金属製ベルトに代えて、合成樹脂製ベルトを備えるものである。
上記構成のスペーサーにおいては、金属製ベルトに代えて合成樹脂製ベルトが、複数のロッドを固定する作用を有する。
【００１３】
請求項５に記載の発明であるスペーサーは、請求項１又は請求項２に記載の発明において、前記金属製ベルトは、織物状に形成されたベルトであって、この織物状に形成された金属製ベルトに前記ロッドが織り込まれて固定されるものである。
このように構成されるスペーサーにおいては、織物状に形成された金属製ベルトにロッドを織り込むようにして固定するように作用する。
【００１４】
請求項６に記載の発明であるスペーサーは、請求項１に記載の発明において、前記金属製ベルトに代えて、織物状に形成された合成樹脂製ベルトを用い、この織物状に形成された合成樹脂製ベルトに前記ロッドが織り込まれて固定されるものである。
このように形成されるスペーサーにおいては、織物状に形成された合成樹脂製ベルトにロッドを織り込むようにして固定するように作用する。
【００１５】
請求項７に記載の発明であるフラットパネルディスプレイは、カソード電極で発生させた電子を、ゲート電極を介してアノード電極に塗布した蛍光体層に衝突させて発光させるフラットパネルディスプレイであって、前記アノード電極とゲート電極又はカソード電極の間に形成される空間に、請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載のスペーサーを配設するものである。
このように構成されるフラットパネルディスプレイにおいては、請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載されるスペーサーが、アノード電極とゲート電極又はカソード電極の間に形成される空間に配設されて、これらの電極を支持することで、大気圧と空間内部の真空との差圧に耐えるように作用する。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の請求項１記載のスペーサーでは、ロッドが金属製ベルトに複数固定されているので、個々のすべてのロッドをゲート電極又はカソード電極の表面に接着させて自立させなくとも、金属製ベルトで複数のロッドを固定することで、全数を接着させる必要がなく、また、金属製ベルトを曲げるなど成形することで隣接するロッドの自立を促し、接着剤を用いなくともゲート電極又はカソード電極の表面に自立させることが可能である。金属製ベルトの幅をロッドの長さよりも短くすることで、金属製ベルトが電極に接触することがなく、電界に影響を与えることがない。
【００１７】
また、本発明の請求項２に記載のスペーサーでは、請求項１記載の発明の効果に加えて、真空に対して不純物となるガスを吸着除去するので、高真空を維持することができるという効果を有する。
【００１８】
本発明の請求項３に記載のスペーサーにおいては、請求項１又は請求項２に記載の発明の効果に加えて、真空に引かれるフラットパネルディスプレイの電極間の空間において、ガスを放出することがなく、真空封止や排気の処理に伴う高温にも耐えうるという効果を有する。
【００１９】
本発明の請求項４に記載のスペーサーでは、請求項１又は請求項２に記載の発明の効果に加えて、合成樹脂製ベルトであるため、加工が容易でより軽量化することも可能である。
【００２０】
本発明の請求項５に記載のスペーサーにおいては、請求項１又は請求項２に記載の発明の効果に加えて、金属製ベルトを織物状に形成するため、ロッドを金属製ベルトに固定する際に、ロッドと金属製ベルトの摩擦力を利用でき、接着剤などを使用する必要なく固定することができる。
【００２１】
本発明の請求項６に記載のスペーサーにおいても、請求項５に記載の発明と同様に、織物状に形成された合成樹脂製ベルトにロッドを織り込むようにして固定することができるので、ロッドと金属製ベルトの摩擦力を利用でき、接着剤などを使用することなく容易に固定することが可能である。
【００２２】
本発明の請求項７に記載のフラットパネルディスプレイにおいては、請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載されるスペーサーが発揮し得る効果を備えて、軽量化及び薄型化を実現しながら、より簡単で安価に、しかも歩留まりの向上を図ることができるフラットパネルディスプレイを提供することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下に、本発明の最良の実施の形態に係るスペーサーの実施例１について図１及び図２を参照しながら説明する。
【実施例１】
【００２４】
図１は、本発明の実施の形態に係るスペーサー１の概念図である。また、図２（ａ）は本実施の形態に係るスペーサー１の上面図であり、（ｂ）は（ａ）に示されるＡ−Ａ線矢視断面図である。
図１において、本実施の形態に係るスペーサー１は、ガラス製のロッド２を金属製のベルト４に所望の間隔をあけつつ、一方の面に接着剤３で固定されている。
フィールドエミッションディスプレイ等の真空フラットパネルディスプレイでは、その厚さを抑制するため内部に支持部材であるスペーサー１を入れて圧力耐圧を増加させている。
ロッド２の直径は、２０μｍから２００μｍ程度で、ベルト４上のピッチは、２ｍｍから１０ｍｍ程度となる。
また、ベルト４の幅は、ロッド２の長さよりも狭く、１ｍｍから４ｍｍ程度である。
ベルト４は、フラットパネルディスプレイの内部で真空度を下げるガスを放出しないことが必要であると同時に、真空封止や排気の際の約４５０℃という高温に耐える材料でなければならない。従って、ロッド２の材料であるガラスとの膨張係数を考慮して、鉄、ニッケル、チタンなどの金属やこれらの中から２又は３の金属を選択した合金であることが望ましい。
ロッド２をベルト４に接着する場合には、フリットガラスなどの接着剤３を用いる。もちろん、真空封止や排気の際の高温に耐えてロッド２をベルト４に接着可能な材料であれば、接着剤としてフリットガラスに限定するものではない。
【００２５】
本実施の形態においては、ロッド２にガラス製のものを用いたが、必ずしもガラス製である必要はなく、例えばセラミックス製のロッドを用いてもよい。その際には、接着剤３としては、フリットガラスや、アロンセラミック（東亜合成株式会社の商品名）などの耐熱性無機接着剤が用いられる。
また、ベルト４としては、金属製の他にもポリイミドテープなど合成樹脂を利用することも可能である。この場合のロッドとベルトの接着には、ワニスタイプのポリイミドを接着剤３として用いることが妥当である。
ロッド２を接着剤３によって接着したベルト４は、ミアンダー状に折り曲げられ、フラットパネルディスプレイの下部ガラス基板５上に配置される。
このようにベルト４を曲げることで、スペーサー１は、ロッド２の下端を下部ガラス基板５の上面に接着しなくとも容易に自立することができる。
【００２６】
図２（ａ），（ｂ）に示されるように、フラットパネルディスプレイの外周は、外周枠スペーサー６ａ，６ｂによって囲まれるが、その内部空間７は、真空に引かれ、その内部にスペーサー１が配置される。
ベルト４は、ロッド２よりも幅を狭く構成されるので、ベルト４の下端は下部ガラス基板５に接触することがなく、下部ガラス基板５の上面側に形成されるゲート電極（図示せず）やカソード電極（図示せず）あるいは上部ガラス基板（図示せず）の下面側に形成されるアノード電極（図示せず）との導通を防止できると同時に、内部空間７における電界に与える影響も極力小さくすることができる。
ベルト４の端部は側面を形成する外周枠スペーサー６ａ，６ｂに接触することなく形成されている。これは、ベルト４は予め接着剤３を用いてロッド２を接着しておき、それを図示しないリールに巻き取っておき、このリールから必要な長さだけ引き出して、図２（ａ）に示されるようなミアンダー状に成形して下部ガラス基板５の上に置くように配置するだけで自立させることができ、端部を外周枠スペーサー６ａ，６ｂに固定したり、あるいは下部ガラス基板５や上部ガラス基板（図示せず）などに固定する必要がないためである。また、ロッド２の下端部も下部ガラス基板５に対して接着されていない。接着する場合の接着剤としては、ロッド２とベルト４の接着に用いられる接着剤３と同じく、フリットガラスのインクを少量用いるが、工程の複雑化や接着剤からのガス発生などの観点から望ましくない。
但し、フラットパネルディスプレイの製造工程において、スペーサー１の移動が問題となる場合には、ベルト４の端部を外周枠スペーサー６ａ，６ｂ、下部ガラス基板５あるいは図示しない上部ガラス基板などに固定するようにするか、あるいはスペーサー１のロッド２の下端部あるいは上端部のいずれかを下部ガラス基板５あるいは上部ガラス基板などに接着剤を用いて固定するようにしてもよい。
なお、ベルト４が金属製ではなくポリイミドなどの合成樹脂製であれば、下部ガラス基板５の上面に形成されるゲート電極やカソード電極、あるいは図示されない上部ガラス基板の下面に形成されるアノード電極に固定するようにしてもよい。
【００２７】
ミアンダー状への成形は、自動折り曲げ機や治具を利用することで可能である。従って、予め自動折り曲げ機や治具を用いて曲げておき、切断した後に下部ガラス基板５上に移載させてもよい。成形はミアンダー状に限定するものではなく、例えばＣ字状、Ｈ字状、コ字状、ロ字状などに成形したものを複数配置してもよいし、波型状でもよい。
また、ベルト４の少なくとも１の表面にゲッター材料となるジルコニウムとアルミニウムによる組成物、ジルコニウムとアルミニウムとチタンによる組成物、あるいはジルコニウムとバナジウムと鉄による組成物などの金属粉末を予め焼結しておくと、このベルト４はガスを吸着する非蒸発型ゲッターとしても機能する。フラットパネルディスプレイは、上下のパネル間隔が狭いため、管内の排気コンダクタンスが小さく管内真空度を高く維持することが困難であるが、狭い内部空間において、ミアンダー状に配置されるベルト４がゲッターとして機能することによって、より空間効率の高いゲッターを備えることが可能である。また、このようにゲッターとして機能するベルト４を備えることで、フラットパネルディスプレイの内部空間７の真空度を高く維持することができる。このベルト４に焼結形成されるゲッターが吸着するのは、酸素、窒素、ネオン、水素、アルゴンあるいは炭酸ガスなどである。これらのゲッターは、種類によって４００℃から９００℃程度まで真空中で加熱して一定時間維持することによって活性化し機能するものである。
ゲッターとしては、非蒸発型のゲッターを用いるが、これは高電圧を要するフラットパネルディスプレイの場合には、蒸発型の金属膜による絶縁低下が問題となるためである。
なお、本実施例１においては、ロッド２はベルト４の一方の面にのみ接着剤３によって接着されているが、両面に接着してもよい。その場合、接着する際には複雑な作業となることが考えられるものの、接着面における歪みが片面に集中することを回避でき、また、ロッド２間のピッチが狭い場合には、両面に交互にロッド２を接着することで、接着時の作業を容易にすることも可能である。
このような実施例１に係るスペーサー１を用いることで、フラットパネルディスプレイの製造工程において、簡単に配置することが可能となり、工程時間の短縮やコストの低減はもちろんのこと、歩留まりの向上が期待できる。
さらに、非蒸発型のゲッターを用いることで、狭い空間を効率的に利用しながら、フラットパネルディスプレイの管内の真空度を高く維持することができる。
【実施例２】
【００２８】
次に、図３を参照しながら、本実施の形態に係るスペーサーの実施例２について説明する。（特に、請求項５及び請求項６に対応）
図３は、本発明の実施例２に係るスペーサーの概念図である。図３において、実施例２に係るスペーサー８は、ベルト４に代えて、ポリイミドなどの合成樹脂製の織物状ベルト９を採用するものである。織物状ベルト９であるため、この織物状ベルト９の中にロッド２を織り込むことができる。織物状ベルト９は、縦横に繊維が織り込まれているため、横の繊維でロッド２の周囲を囲むように織り込むことで、複数の横糸繊維９ａによって織物状ベルト９に固定することが可能である。
本実施例２においては、実施例１のように接着剤３を用いることなく織物状ベルト９にロッド２を固定することができる。従って、接着剤３から発生するガスがなく、フラットパネルディスプレイ内の真空度を高く維持することが可能である。
なお、本実施例２においては、織物状ベルト９としてポリイミドなどの合成樹脂製を考えたが、変形例として、金属製の織物状ベルト９としてもよい。この場合にも同様にロッド２を織り込むことが可能であるため、接着剤３を用いることなく、ロッド２を織物状ベルト９に固定することができる。さらに、樹脂製や金属製の織物ベルトはガラスロッドを挟み込むだけでなく、ガラス製のロッド２と他のガラス製のロッド２の中間に、ゲッター材料を焼結したベルト幅の長さを持ち、ガラスロッドと略同等の直径を持つ金属製のロッドを適当な個数だけ織り込むことで、ベルトにゲッター機能を付加することができる。もちろん、この金属製ロッドの長さは、ベルト幅と常に同一である必要はなく、金属製あるいは合成樹脂製の織物状ベルト９のベルト幅よりも短い場合でもよい。また、ベルト幅よりも長くともよいが、電極などへの接触を防止するためにスペーサを構成するガラス製のロッド２よりも短いことが望ましい。
また、本実施例２の変形例においても、織物状ベルト９の表面に金属製ベルトを備える実施例１と同様にゲッター材料となるジルコニウムとアルミニウムによる組成物、ジルコニウムとアルミニウムとチタンによる組成物、あるいはジルコニウムとバナジウムと鉄による組成物などの金属粉末を予め焼結形成してゲッターとして機能させるようにしてもよい。この金属製の織物状ベルト９は、実施例１の金属製のベルト４と同様に、ガスを吸着する非蒸発型ゲッターとしても機能し、空間効率の高いゲッターによって、フラットパネルディスプレイの内部空間７の真空度を高く維持することができる。
このような実施例２に係るスペーサー８を用いることで、スペーサー８にロッド２を織り込む際には接着剤を用いる必要がなく、実施例１に係るスペーサー１に比較してスペーサー８の製造時に時間の短縮や工程の簡素化を図ることができる可能性がある。また、接着剤を用いないことから、真空度を下げるガスの発生がないので、フラットパネルディスプレイの管内の真空度をより高く維持することが可能である。さらに、フラットパネルディスプレイの製造工程においては、実施例１のスペーサー１と同様に、簡単に配置することが可能となり、工程時間の短縮やコストの低減はもちろんのこと、歩留まりの向上が期待できる。
【実施例３】
【００２９】
次に、本実施の形態に係るフラットパネルディスプレイについて実施例３として、図４を参照しながら説明する。（特に請求項７に対応）
図４は、本発明の実施例３に係るフラットパネルディスプレイの断面図である。
図４において、フラットパネルディスプレイ２０は、上下面を上部ガラス基板１７ａと下部ガラス基板１７ｂで、側面を外周枠スペーサー６ｂで囲まれるもので、その内部にカソード電極１０、エミッタ１３、ゲート電極１４、蛍光体層１５及びアノード電極１６を備えている。
下部ガラス基板１７ｂの上側にカソード電極１０が形成され、このカソード電極１０の上部には、抵抗層１１を介してエミッタ１３が設けられているが、これはカーボンナノチューブ繊維の塊でもよい。このエミッタ１３は、ミクロンサイズの円錐形状のエミッタティップにより構成されている。また、抵抗層１１から絶縁体１２を介して、その上部に設けられるゲート電極１４が、このエミッタ１３を囲むように構成されており、エミッタ１３からの電子を発生させるために数Ｖ／μｍの引き出し電圧がゲート電圧電源１８によって印加されている。
このエミッタ１３とゲート電極１４が、冷陰極としての電界放出陰極を形成している。電子を放出させる際には、ゲート電極１４に正電位、エミッタ１３に負電位を印加する。エミッタ１３の先端は直径５ｎｍ程度のコーン状あるいは直径が１ｎｍから数１０ｎｍのカーボンナノチューブ繊維が尖状に形成されているため、強い電界集中が生じ、その結果エミッタ１３内の電子が、表面の仕事関数障壁をトンネル効果により透過して真空中に放出されるのである。
放出された電子は、内部空間７を進みアノード電極１６の下部に設けられた蛍光体層１５に衝突して、蛍光体層１５を発光させる。発生した光は、アノード電極１６越しに上部ガラス基板１７ａを介して見ることになる。
アノード電極１６は、アノード電圧電源１９によって正電位が印加されており、電子を加速して蛍光体層１５に衝突させるものである。
【００３０】
このように構成されるフラットパネルディスプレイ２０のゲート電極１４とアノード電極１６の蛍光体層１５間に、ベルト４にロッド２を接着剤３で固定したスペーサー１が配置されている。このように構成されるフラットパネルディスプレイ２０においては、ロッド２がアノード電極１６の蛍光体層１５とゲート電極１４の間に設けられることで、真空に引かれる内部空間７と大気圧との差圧がかかる上部ガラス基板１７ａと下部ガラス基板１７ｂに発生する圧縮力に抗するように支持することができる。また、ベルト４によって複数のロッド２が固定されているため、個々のロッド２をゲート電極１４上に接着剤によって植設する必要がなく、予め接着剤３を用いて固定したロッド２を備えるベルト４をリールなどに巻いておき、これを引き出しながら、フラットパネルディスプレイ２０の内部の大きさに沿って、例えばミアンダー状に曲げ、必要な長さだけ切断して、ゲート電極１４の上面に載置するだけでよい。もちろん、いくつかのロッド２の下端あるいは上端に接着剤をつけてゲート電極１４あるいはアノード電極１６の蛍光体層１５の下面に接着して固定するようにしてもよい。スペーサー１の設置方法は、スペーサー１の実施例１の説明時に説明したとおりである。
【００３１】
本実施例３では、既に説明した実施例１に係るスペーサー１を用いた例で説明したが、ロッド２の材質としては、ガラス製でもセラミック製でもよいし、ベルト４の材質も鉄、ニッケル、チタンやこれらの合金などの金属製でもよいし、ポリイミドなどの合成樹脂製でもよい。さらに、ベルト４の形状としても図１，２，４中に示されるようなテープ状のものの他、図３に示されるような実施例２の織物状のベルトを採用してもよい。
さらに、ベルトにゲッターを備えるように構成することで、上部ガラス基板１７ａと下部ガラス基板１７ｂの間隔が狭いフラットパネルディスプレイ２０の内部空間７において、より効果的にガスを吸収、除去することができ、高い真空度を維持することができる。
ゲッター材料としては、実施例１で述べたとおり、ジルコニウムとアルミニウムによる組成物、ジルコニウムとアルミニウムとチタンによる組成物、あるいはジルコニウムとバナジウムと鉄による組成物などを用い、それらの金属粉末を予めベルト４に焼結しておくことでガスを吸着する非蒸発型ゲッターとして機能させるものである。吸着されるガスも実施例１に記載されるとおりである。
また、ゲッターを備える点は、金属製の織物状ベルトを採用する場合においても同様である。
【００３２】
なお、本実施例３では、スペーサー１のロッド２が、アノード電極１６の蛍光体層１５とゲート電極１４間に配置されているものの、アノード電極１６の蛍光体層１５を避けて、アノード電極１６であって蛍光体層１５が配されていない部分に直接当接させるようにしてもよいし、ゲート電極１４の他にカソード電極１０上にロッド２が当接するように配置されてもよい。すなわち、上部ガラス基板１７ａと下部ガラス基板１７ｂにかかる圧縮力に抗するように支持するのであれば、ロッド２の端部がどの部分に当接するように配置されるかについては、特に限定するものではない。本願明細書では、蛍光体層１５はアノード電極１６の一部として記載している。
以上説明したように、実施例１や実施例２で説明したスペーサーを用いることで、フラットパネルディスプレイ２０の製造が容易となり、工程の簡素化、時間の短縮化、経済性の向上など様々な効果を発揮することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
以上説明したように、本発明の請求項１乃至請求項７に記載された発明は、フィールドエミッションディスプレイなどのフラットパネルディスプレイをはじめ、フラットパネルバックライト光源としても利用可能であり、幅広く表示装置の発光デバイスに利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の実施の形態に係るスペーサー１の概念図である。
【図２】（ａ）は本実施の形態に係るスペーサー１の上面図であり、（ｂ）は（ａ）に示されるＡ−Ａ線矢視断面図である。
【図３】本発明の実施例２に係るスペーサーの概念図である。
【図４】本発明の実施例３に係るフラットパネルディスプレイの断面図である。
【符号の説明】
【００３５】
１…スペーサー  ２…ロッド  ３…接着剤  ４…ベルト  ５…下部ガラス基板  ６ａ，６ｂ…外周枠スペーサー  ７…内部空間  ８…スペーサー  ９…織物状ベルト  ９ａ…横糸繊維  １０…カソード電極  １１…抵抗層  １２…絶縁体  １３…エミッタ  １４…ゲート電極  １５…蛍光体層  １６…アノード電極  １７ａ…上部ガラス基板  １７ｂ…下部ガラス基板  １８…ゲート電圧電源  １９…アノード電圧電源  ２０…フラットパネルディスプレイ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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