(57)【要約】【課題】カーボンナノチューブの導電体からの遊離が低減された電極体を提供する。【解決手段】導電体と、該導電体の表面に設けられたカーボンナノチューブ層とからなる電極体であって、前記カーボンナノチューブ層は、前記導電体の表面に立設された複数本の第１カーボンナノチューブと、少なくとも２本の第２カーボンナノチューブ間に架設された第２カーボンナノチューブとを含む。【選択図】図１
2008192695.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電体と、該導電体の表面に設けられたカーボンナノチューブ層とからなる電極体であって、
前記カーボンナノチューブ層は、前記導電体の表面に立設された複数本の第１カーボンナノチューブと、少なくとも２本の第２カーボンナノチューブ間に架設された第２カーボンナノチューブとを含む、電極体。
【請求項２】
第１カーボンナノチューブは、その一端が前記導電体の表面に接続されている、請求項１に記載の電極体。
【請求項３】
第１カーボンナノチューブは、第１触媒金属を介して前記導電体の表面に合成されたものである、請求項２に記載の電極体。
【請求項４】
第１触媒金属は、鉄、ニッケル、コバルト、白金、金、イットリウム、ロジウム、パラジウム、及びこれらの組み合わせを含む合金からなる群より選択される、請求項３に記載の電極体。
【請求項５】
第２カーボンナノチューブは、その一端が第１カーボンナノチューブの側面に接続され、他端が他の第１カーボンナノチューブの側面に接続されている、請求項１乃至４いずれかに記載の電極体。
【請求項６】
第２カーボンナノチューブは、第２触媒金属を介して第１カーボンナノチューブの側面上に合成されたものである、請求項５に記載の電極体。
【請求項７】
第２触媒金属は、鉄、ニッケル、コバルト、白金、金、イットリウム、ロジウム、パラジウム、及びこれらの組み合わせを含む合金からなる群より選択される、請求項６に記載の電極体。
【請求項８】
請求項１乃至７いずれかに記載の電極体を製造する方法であって、
前記導電体の表面に第１触媒金属からなる第１触媒金属粒子を設ける工程、
第１触媒金属粒子を介して第１カーボンナノチューブを合成する工程、
第１カーボンナノチューブの側面に第２触媒金属からなる第２触媒金属粒子を設ける工程、及び
第２触媒金属粒子を介して第２カーボンナノチューブを合成する工程、
を有する、製造方法。
【請求項９】
第１カーボンナノチューブおよび第２カーボンナノチューブは、気相化学蒸着法により合成される、請求項８に記載の製造方法。
【請求項１０】
請求項１乃至７いずれかに記載の電極体からなる一対の分極性電極を備え、
前記一対の分極性電極は、前記カーボンナノチューブ層が非接触で対向するように設けられている、電気二重層キャパシタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エネルギーデバイスに用いられる電極、その製造方法及び電気二重層キャパシタに関する。
【背景技術】
【０００２】
エネルギーデバイスは、エネルギー蓄積デバイスとエネルギー発電デバイスに大きく分けることができる。エネルギー蓄積デバイスとして代表的なものに、電気化学キャパシタ、及び電池があり、それぞれの特徴を生かした市場において既に使用されている。電気化学キャパシタとしては、活性炭を分極性電極として用い、活性炭細孔表面と電解液との界面に形成される電気二重層のみを利用した電気二重層キャパシタや、硝酸ルテニウムなど連続的に価数が変化する遷移金属酸化物やドーピング可能な導電性高分子を用いたレドックスキャパシタなどが挙げられる。電池は、活物質のインターカレーションや化学反応を利用し充放電が可能な二次電池と、基本的に１度放電してしまえば再充電不可能な一次電池に大別される。
【０００３】
このような種々のエネルギー蓄積デバイス全てに共通する最も基本的な構造は、その原理上エネルギーを放出可能な電極活物質であるが、電極活物質に蓄積されたエネルギーを外部に取り出すため、電子伝導性を持ち電極活物質と電気的に接続された集電体（導電体）がさらに必要となる。集電体は、電極活物質のエネルギーを高効率で伝播する必要があるため、一般的にアルミニウム、銅、ステンレスなど抵抗の低い金属材料が用いられるが、硫酸水溶液など金属腐食性を持つ電解液を使用する場合には、導電性を付与したゴム系材料などが用いられる場合がある。
【０００４】
近年、エネルギー蓄積デバイスの用途が大きく広がるに従い、より低抵抗で、大電流の放電が可能な優れた特性を持つものが要求されてきている。従来、電気二重層キャパシタにおいては、大比表面積を有する活性炭を電極活物質として用いるものが主であった。しかし、活性炭は一般的に電気伝導度が小さく、活性炭のみでは分極性電極の内部抵抗が大きくなって、大電流を取り出せないという問題があった。このため、分極性電極の内部抵抗を下げる目的で、分極性電極中にカーボンナノチューブを含有させて電気伝導度を上げることにより大容量化を図る試みが行われた（例えば特許文献１を参照）。また、電極の比表面積をさらに上げて容量を向上させる取り組みとして、導電体表面に複数のカーボンナノチューブをブラシ状に形成してなる電極体が開示されている（例えば特許文献２参照）。
【特許文献１】特開2000-124079号公報
【特許文献２】特開2004-30926号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、導電体の表面に複数のカーボンナノチューブがブラシ状に形成されてなる電極体においては、エネルギー蓄積デバイスの製造工程等においてカーボンナノチューブの導電体からの遊離（抜け落ち）が発生するという問題がある。エネルギー蓄積デバイスにおいて、電極上のカーボンナノチューブが導電体から遊離すると、電極間のショートの要因となり得る。
【０００６】
本発明は、上記問題を解決するもので、導電体の表面に複数のカーボンナノチューブが立設された構成の電極体において、カーボンナノチューブの導電体からの遊離が低減された電極体を提供することを目的とする。さらには、前記電極体を搭載した電気二重層キャパシタを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者らは、カーボンナノチューブが導電体から遊離するのは、カーボンナノチューブと導電体との接触部分が直径にしてナノメートルオーダーと小さいために導電体に対するカーボンナノチューブの接続力が小さく、したがって接続部分にかかる小さな負荷によってもカーボンナノチューブが剥離してしまうことによるものであると考え鋭意研究した結果、導電体表面に立設されたカーボンナノチューブ同士間に架設されるカーボンナノチューブを備えることにより、上記課題を解決できることを見出し、本発明に至った。
【０００８】
すなわち、第一の本発明は、導電体と、該導電体の表面に設けられたカーボンナノチューブ層とからなる電極体であって、前記カーボンナノチューブ層は、前記導電体の表面に立設された複数本の第１カーボンナノチューブと、少なくとも２本の第２カーボンナノチューブ間に架設された第２カーボンナノチューブとを含む。
【０００９】
前記電極体の一態様において、第１カーボンナノチューブは、その一端が前記導電体の表面に接続されている。第１カーボンナノチューブは、例えば、第１触媒金属を介して前記導電体の表面に合成することができる。第１触媒金属は、好適には、鉄、ニッケル、コバルト、白金、金、イットリウム、ロジウム、パラジウム、及びこれらの組み合わせを含む合金からなる群より選択される。
【００１０】
前記電極体の一態様において、第２カーボンナノチューブは、その一端が第１カーボンナノチューブの側面に接続され、他端が他の第１カーボンナノチューブの側面に接続されている。第２カーボンナノチューブは、例えば、第２触媒金属を介して第１カーボンナノチューブの側面上に合成することができる。第２触媒金属は、好適には、鉄、ニッケル、コバルト、白金、金、イットリウム、ロジウム、パラジウム、及びこれらの組み合わせを含む合金からなる群より選択される。
【００１１】
第二の本発明は、第一の本発明に係る電極体を製造する方法であって、前記導電体の表面に第１触媒金属からなる第１触媒金属粒子を設ける工程、第１触媒金属粒子を介して第１カーボンナノチューブを合成する工程、第１カーボンナノチューブの側面に第２触媒金属からなる第２触媒金属粒子を設ける工程、及び第２触媒金属粒子を介して第２カーボンナノチューブを合成する工程、を有する。
【００１２】
前記製造方法において、第１カーボンナノチューブおよび第２カーボンナノチューブは、好適には気相化学蒸着法により合成される。
【００１３】
第三の本発明は、第一の本発明に係る電極体からなる一対の分極性電極を備え、前記一対の分極性電極は、前記カーボンナノチューブ層が非接触で対向するように設けられている、電気二重層キャパシタである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の電極体によると、樹脂等からなる結着剤を使用せずにカーボンナノチューブが導電体から遊離することを防ぐことができる。したがって、本発明を用いた電気二重層キャパシタ等のエネルギーデバイスにおいては、高い容量を得ると同時に不良発生率を低減させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。
【００１６】
（第１の実施形態）
１．電極の構成
第１の実施形態は、本発明に係る電極体である。図１は、第１の実施形態の電極体を概念的に示す模式図である。電極体１０は、導電性基板１１と導電性基板１１の表面に設けられたカーボンナノチューブ層１５とからなる。カーボンナノチューブ層１５は、導電性基板１１の表面に立設された複数本のカーボンナノチューブ（第１カーボンナノチューブ）１２と、少なくとも２本のカーボンナノチューブ１２間に架設されたカーボンナノチューブ（第２カーボンナノチューブ）１３とからなる。
【００１７】
カーボンナノチューブ１２，１３は、カーボン原子が網目状に結合してできた穴径がナノメートルサイズの極微細な筒（チューブ）状の物質である。各カーボンナノチューブ１２，１３の構造は、単層すなわち単一のチューブであってもよいし、多層すなわち同心状の複数の異径チューブからなるものであってもよい。本発明における「カーボンナノチューブ」として、一般的に「カーボンナノファイバー」と呼称される直径の大きい多層カーボンナノチューブを用いてもよい。カーボンナノチューブ１２，１３の直径は限定されることはなく、例えば０．４nm〜１０μmの範囲の値を取りうるが、イオン半径０．０７４ｎｍのリチウムイオンや、イオン半径約０．５ｎｍ程度の電解質溶媒和がその内部に進入することを考えると、内径は０．４ｎｍ〜１００ｎｍの範囲が好ましい。
【００１８】
第１カーボンナノチューブ１２は、導電性基板１１の表面に立設されている。第１カーボンナノチューブ１２の一端が導電性基板１１の表面に接続されており、他端や側面は導電性基板１１から実質的に遊離するように立設されていることが好ましい。１本のカーボンナノチューブにより形成される電解液との界面を最大とすることができるからである。
【００１９】
第２カーボンナノチューブ１３は、少なくとも２本の第１カーボンナノチューブ１２間に架設されている。ここで「架設」とは、第２カーボンナノチューブ１３が少なくとも２本の第１カーボンナノチューブ１２と接続している状態を意味する。なお、第１カーボンナノチューブ１２における第１カーボンナノチューブ１２との接続部位は特に限定されないが、例えば、一端が第１カーボンナノチューブ１２の側面に接続しており、他端が他の第１カーボンナノチューブ１２の側面に接続している形態があり得る。
【００２０】
上述のように第１カーボンナノチューブ１２が複数の接続部分を有することにより、カーボンナノチューブ１２全体にかかる負荷が分散され、導電性基板１１との接続部分にかかる負荷が低減されることが期待される。すなわち、第１カーボンナノチューブ１２の導電性基板１１からの剥離発生の可能性が低減されることになる。また、第１カーボンナノチューブ１２において導電性基板１１との接続部分に剥離が生じたとしても、第２カーボンナノチューブ１３との接続部分における接続状態が維持される限り第１カーボンナノチューブ１２が完全な遊離状態とはならない。したがって、第１カーボンナノチューブ１２が導電性基板１１から遊離する（抜け落ちる）可能性が低減される。このような構成の電極体を用いることにより、エネルギーデバイスにおける電極間のショート発生の可能性が低減される。
【００２１】
集電体となる導電性基板１１としては、例えば、銅、アルミニウム、シリコン、チタン、ステンレス鋼、タンタル、グラファイトからなる平板を使用することができる。集電効率を上げるために、パンチングメタル、エキスパンドメタル、金属網、アルミニウムのエッチング箔なども好ましく用いることができる。また、異種材料を貼り合わせた導電性基板を用いることもできる。電極体の用途に応じて適宜選択することができる。
【００２２】
２．カーボンナノチューブ層の形成方法
導電性基板１１の表面にカーボンナノチューブ層１５を形成する方法を説明する。導電性基板１１の表面にカーボンナノチューブ層１５を形成する方法としては、導電性基板１１の表面に直接カーボンナノチューブ層１５を形成する直接法であっても、他の基板上にカーボンナノチューブ層１５を形成しそれを導電性基板１１上に転写する転写法であってもよい。以下、直接法による場合について説明する。まず、導電性基板１１上に触媒金属粒子（第１触媒金属粒子）を設け、触媒金属粒子を介して導電性基板１１上に第１カーボンナノチューブ１２を合成する。その後、第１カーボンナノチューブ１２の側面に触媒金属粒子（第２触媒金属粒子）を設け、かかる触媒金属粒子を介して第１カーボンナノチューブ１２の側面上に第２カーボンナノチューブを合成し、さらに他の第１カーボンナノチューブ１２に接続するように成長させる。
【００２３】
第１カーボンナノチューブ１２および第２カーボンナノチューブ１３を合成する方法としては、気相化学蒸着（ＣＶＤ）法、レーザーアブレーション法、アーク放電、溶液中電解合成法等がある。好ましくはＣＶＤ法による。第１カーボンナノチューブ１２および第２カーボンナノチューブ１３の合成に用いる触媒金属としては、鉄、ニッケル、コバルト、白金、金、イットリウム、ロジウム、パラジウム、またはこれらの組み合わせを含む合金が挙げられるが、この材料選択は所望のカーボンナノチューブ径とその合成方法によって決定される。カーボンナノチューブ合成時の加熱もしくは予備加熱により触媒金属粒子が肥大化する。その際の触媒金属粒子径と合成されるカーボンナノチューブ径には相関関係があると一般的に言われている。カーボンナノチューブ径として０．４ｎｍ〜１００ｎｍを所望する場合は、触媒金属粒子径は０．４ｎｍ〜１００ｎｍであることが望ましい。触媒金属粒子は、まずは例えば触媒金属層を真空蒸着してから形成することができるが、この場合触媒金属層の層厚は０．１ｎｍ〜１０ｎｍにすることが望ましい。
【００２４】
第１カーボンナノチューブ１２の長さは特に限定されないが、重量当たりのエネルギー密度を増大させるためには、長いほど望ましい。また、第２カーボンナノチューブ１３は少なくとも２本のカーボンナノチューブ間を架橋するものであればその長さは特に限定されない。
【００２５】
本発明に係る電極体は、電気二重層キャパシタ、電気化学キャパシタ、リチウムイオンキャパシタ、リチウムイオン二次電池、有機電池等を含むエネルギー蓄積デバイス全般において適用可能である。
【００２６】
電気二重層キャパシタまたは電気化学キャパシタでは、正負極ともに本発明に係る電極体を用いることができる。
【００２７】
リチウムイオン二次電池では、従来、正極としてコバルト酸リチウム等のリチウム酸化金属、シリコン化合物、またはリチウム金属等が担持された電極体が用いられ、負極としてグラファイト等が担持された電極体が用いられている構成のものがあるが、ここで、負極として本発明にかかる電極体を用いることができる。
【００２８】
リチウムイオンキャパシタでは、正極として活性炭が担持された電極体、負極としてグラファイトが担持された電極体を用いることが提案されているが、ここで、正負極ともに、本発明にかかる電極体を用いることができる。
【００２９】
（第２の実施形態）
以下では、第１の実施形態の電極体を用いたエネルギーデバイスについて説明する。このようなエネルギーデバイスの一例として、まずは、図２を用いて第２の実施形態の電気二重層キャパシタについて説明する。
【００３０】
図２は、第２の実施形態のコイン型の電気二重層キャパシタを模式的に示す垂直断面図である。電気二重層キャパシタ２０は、分極性電極である正極１０ａと負極１０ｂとを備え、正極１０ａおよび負極１０ｂは、第１の実施形態の電極体１０と同様の構成である。すなわち、それぞれ導電性基板１１ａ，１１ｂと、カーボンナノチューブ層１５ａ，１５ｂとからなる。電気二重層キャパシタ２０は、ケース２５と蓋２７とが対向して配置され、ケース２５の上面に固定されている正極１０ａと、蓋２７の下面に固定されている負極１０ｂとがそれぞれのカーボンナノチューブ層１５ａ，１５ｂがセパレータ２３を介して対向するように配置されている。ケース２５と蓋２７とは、ガスケット２６を用いてかしめ封口されている。ケース２５と蓋２７とによって形成される空間は、電解液２４で満たされている。
【００３１】
セパレータは、エネルギーデバイスの種類には原理的に依存しないが、特にリフロー対応が必要とされる場合には、耐熱性が要求される。耐熱性が要求されない場合にはポリプロピレン等を、耐熱性が必要な場合にはセルロース系のものを用いることができる。
【００３２】
電解液は、エネルギーデバイスの種類によって異なる材料を選ぶ必要がある。溶媒としては、使用電圧範囲によって電気化学的分解が起こらないよう、適切な電位窓を持ったものを選択する。一般的なプロピレンカーボネート、エチレンカーボネート、エチルメチルカーボネート、ヘキサン、純水、エチレン、エチレングリコール、あるいはそれらの混合溶媒を用いることができるが、リフロー対応が必要となる場合には、リフロー時に電解液が沸騰しないよう、スルフォランなどの高沸点溶媒を用いる。
【００３３】
電解質としては、様々な公知の材料、例えば電気二重層キャパシタ用途としてはテトラエチルアンモニウムテトラフルオロボレート、リチウムイオン二次電池用途としてはリチウムペンタフルオロフォスフェート等を用いることができる。これらイオン性電解質のイオン直径に対応する大きさの直径を有するカーボンナノチューブを合成することにより、単位重量あたりのエネルギー密度が最大に近くなるエネルギー蓄積デバイスを作製することが可能になる。
【実施例】
【００３４】
以下、本発明について実施例をもって説明する。
【００３５】
（実施例１）
１．実施例１の電極体の作製
１）第１カーボンナノチューブの合成
実施例１として、第１の実施形態に係る電極体を作製する。図１を参照しながら、実施例１の電極体の作製工程を説明する。まず、導電性基板１１上に触媒金属層を形成する。導電性基板１１として、Ｃｕよりなる厚さ０．０５ｍｍの基板を用い、触媒金属としてＦｅを用いる。電子ビーム（ＥＢ）蒸着装置を用い、クリスタル振動子型膜厚計の指示が１．２mmとなるように室温で導電性基板１１上にＦｅを供給し、Ｆｅからなる触媒金属層を形成する。
【００３６】
次に、触媒金属層が形成された導電性基板１１を熱ＣＶＤ装置に導入し、５００℃で３分間加熱する。この工程によりＦｅが凝集してナノメートル径の触媒金属粒子が形成される。
【００３７】
次に、そのまま６００℃に昇温し、エチレンをアルゴンで５倍に希釈したガスを１リットル／分の流量で導電性基板１１上に５分間供給する。この工程により、導電性基板１１表面に長さ約１μｍの複数本のカーボンナノチューブ１２が立設される。
２）第２カーボンナノチューブの合成
その後、導電性基板１１を取り出して再びＥＢ蒸着装置に装着して、クリスタル振動子型膜厚計の指示が１．２nmとなるように室温でＦｅを供給する。ここで、カーボンナノチューブ１２の側面にＦｅが供給されるように、導電性基板１１は蒸着源に対して６０度の角度に装着する。
【００３８】
次に、再び熱ＣＶＤ装置に導入し、５００℃で３分間加熱する。この工程により、側面に付着されたＦｅが凝集してナノメートル径の触媒金属粒子が形成される。
【００３９】
最後に、カーボンナノチューブ１２の合成工程と同じ条件、すなわち６００℃に昇温し、エチレンをアルゴンで５倍に希釈したガスを１リットル／分の流量で導電性基板１１上に５分間供給する。この工程により、カーボンナノチューブ１２はさらに長く成長し、最終的に長さ約２μｍとなる。また、カーボンナノチューブ１２の側面に付着したＦｅ粒子を種として横方向にも新たにカーボンナノチューブが合成され、その一部は導電性基板１１表面から成長している別のカーボンナノチューブ１２に接触し、カーボンナノチューブ１３を形成する。なお、Ｆｅは一方向のみから供給ではあるが、カーボンナノチューブ１２の側面からのカーボンナノチューブの成長方向は多方向にわたる。これは、Ｆｅの凝集工程を経ることによりＦｅ粒子の位置が一方向に限定されないことによると考えることができる。
【００４０】
ここで、カーボンナノチューブ同士の接合のメカニズムは詳細にはわかっていないが、例えば、成長中のカーボンナノチューブ１３の先端にＦｅが存在し、カーボンナノチューブ１３の先端が別のカーボンナノチューブ１２に接触したときに、先端のＦｅを介して化学的結合が形成される可能性が考えられる。
【００４１】
２．比較例１の電極体の作製
比較例１の電極体を、実施例１の電極体の作製工程とは、１）の第１カーボンナノチューブの合成工程において、エチレンをアルゴンで５倍に希釈したガスを５分間ではなく１０分間供給した点、および２）の第２カーボンナノチューブの合成工程を行わない点を除いて、実施例１の電極体と同様の方法で作製する。
【００４２】
３．電極体の特性確認
実施例１の電極体の特性を以下のように確認することができる。実施例１及び比較例１の電極体をエタノールで１０分間超音波洗浄後、洗浄液を濃縮して抜け落ちたカーボンナノチューブの数を測定する。実施例１と比較例１の測定結果を比較することにより、第２カーボンナノチューブを備える実施例１の電極体が、第２カーボンナノチューブを備えていない比較例１の電極体と比較して、カーボンナノチューブの抜け落ち量が少ないことを確認することができる。
【００４３】
（実施例２）
１．実施例２の電気二重層キャパシタの作製
実施例２として、第２の実施形態の電気二重層キャパシタを実施例１の電極体を用いて作製する。図１および図２を参照しながら実施例２の電気二重層キャパシタの作製工程を説明する。実施例１の電極体１０を二つ用意し、それぞれ分極性電極である正極１０ａおよび負極１０ｂとする。正極１０ａの導電性基板１１ａのカーボンナノチューブ層１５ａが形成されていない側の面をステンレス製容器のケース２５の上面に導電性接着剤を用いて接着する。負極１０ｂの導電性基板１１ｂのカーボンナノチューブ層１５ｂが形成されていない側の面をステンレス製容器の蓋２７の下面に導電性接着剤を用いて接着する。
【００４４】
ケース２５を正極１０ａとともに、蓋２７を負極１０ｂとともに乾燥させた後、正極１０ａおよび負極１０ｂに電解液を含浸させる。電解液には１ｍｏｌ／ｌのテトラエチルアンモニウムテトラフルオロボレートのプロピレンカーボネート溶液を用いた。電解液を含浸させた正極１０ａおよび負極１０ｂをセルロース系の不織布かなるセパレータ２３を介して対向させ、ケース２５と蓋２７とをガスケット２６を用いてかしめ封口する。こうして、コイン型の電気二重層キャパシタ２０を作製する。
【００４５】
２．比較例２の電気二重層キャパシタの作製
比較例２の電気二重層キャパシタは、実施例１の電極体に代えて、比較例１の電極体を用いる点を除いて、実施例２の電気二重層キャパシタと同様の方法で作製する。
【００４６】
３．電気二重層キャパシタの不良率確認
電気二重層キャパシタの不良率を、同一構成の電気二重層キャパシタを複数作製し、各電気二重層キャパシタの容量を測定し、その容量の平均値の５０％以下の容量を有するものの発生確率にて評価することができる。実施例２と比較例２とにおける前述の発生確率を比較することにより、実施例２の電気二重層キャパシタが比較例１の電気二重層キャパシタと比較して、不良率が低いことを確認することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明に係る電極体は、大きな比表面積を持つ電極体としての利用形態を有し、エネルギー蓄電デバイス用途のほか、ガスセンサ等にも有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】第１の実施形態の電極体の概念的に示す模式図。
【図２】第２の実施形態のコイン型の電気二重層キャパシタを模式的に示す垂直断面図。
【符号の説明】
【００４９】
１０    電極体
１０ａ  正極
１０ｂ  負極
１１，１１ａ，１１ｂ    導電性基板
１２    第１カーボンナノチューブ
１３    第２カーボンナノチューブ
１５，１５ａ，１５ｂ    カーボンナノチューブ層
２０    電気二重層キャパシタ
２３    セパレータ
２４    電解液
２５    ケース
２６    ガスケット
２７    蓋
【図１】
2008192695.tif 000003
【図２】
2008192695.tif 000004