(57)【要約】【課題】成形密度の向上を図ることが可能な積層型電子部品の製造方法を提供すること。【解決手段】積層型電子部品の製造方法は、主面５０ａ，５０ｂを有する複数のグリーンチップ５０と、シート部材４１，４２とを有し、シート部材４１は複数のグリーンチップ５０の各主面５０ａに配置され、シート部材４２は複数のグリーンチップ５０の各主面５０ｂに配置されており、複数のグリーンチップ５０は互いに離間した状態でシート部材４１，４２によって保持されているグリーンチップ集合体４０を用意するグリーンチップ集合体用意工程と、シート部材４１，４２を介して複数のグリーンチップ５０をプレスするプレス工程とを備える。【選択図】図６
2008192696.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電パターンが形成されたグリーンシートが複数積層されてなる複数のグリーンチップと、第１シート部材及び第２シート部材とを有し、前記複数のグリーンチップが互いに離間するように前記第１シート部材と前記第２シート部材との間に位置しており、前記複数のグリーンチップの積層方向と前記第１シート部材及び前記第２シート部材の対向方向とが一致しているグリーンチップ集合体を用意するグリーンチップ集合体用意工程と、
前記第１シート部材及び前記第２シート部材を介して前記複数のグリーンチップをプレスするプレス工程とを備えることを特徴とする積層型電子部品の製造方法。
【請求項２】
前記グリーンチップ集合体用意工程は、
複数の導電パターンが形成されたグリーンシートが複数積層されてなり、互いに対向すると共に積層方向と交差する第１主面及び第２主面を有するグリーンシート積層体を用意する第１工程と、
前記グリーンシート積層体の前記第１主面に前記第１シート部材を配置する第２工程と、
前記グリーンシート積層体を前記複数のグリーンチップとなるように切断して、切断前の前記グリーンシート積層体の前記第１主面であった前記複数のグリーンチップの各第１主面に前記第１シート部材を配置した状態にする第３工程と、
切断前の前記グリーンシート積層体の前記第２主面であった前記複数のグリーンチップの各第２主面に前記第２シート部材を配置する第４工程とを有することを特徴とする請求項１に記載された積層型電子部品の製造方法。
【請求項３】
前記グリーンチップ集合体用意工程は、
複数の導電パターンが形成されたグリーンシートが複数積層されてなり、互いに対向すると共に積層方向と交差する第１主面及び第２主面を有するグリーンシート積層体を用意する第１工程と、
前記グリーンシート積層体の前記第１主面に第３シート部材を配置する第２工程と、
前記グリーンシート積層体を前記複数のグリーンチップとなるように切断して、切断前の前記グリーンシート積層体の前記第１主面であった前記複数のグリーンチップの各第１主面に前記第３シート部材を配置した状態にする第３工程と、
切断前の前記グリーンシート積層体の前記第２主面であった前記複数のグリーンチップの前記各第２主面に前記第２シート部材を配置する第４工程と、
前記複数のグリーンチップの前記各第１主面から前記第３シート部材を除去する第５工程と、
前記複数のグリーンチップの前記各第１主面に前記第１シート部材を配置する第６工程とを有することを特徴とする請求項１に記載された積層型電子部品の製造方法。
【請求項４】
前記第１シート部材及び／又は前記第２シート部材は弾性変形可能な材料からなることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載された積層型電子部品の製造方法。
【請求項５】
前記第１シート部材及び／又は前記第２シート部材は塑性変形可能な材料からなることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載された積層型電子部品の製造方法。
【請求項６】
前記プレス工程では、静水圧プレスによって前記複数のグリーンチップをプレスすることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載された積層型電子部品の製造方法。
【請求項７】
前記グリーンチップ集合体用意工程は、
複数の導電パターンが形成されたグリーンシートが複数積層されてなり、互いに対向すると共に積層方向と交差する第１主面及び第２主面を有するグリーンシート積層体を用意する第１工程と、
前記グリーンシート積層体の前記第１主面に前記第１シート部材を配置する第２工程と、
前記グリーンシート積層体を前記複数のグリーンチップとなるように切断して、切断前の前記グリーンシート積層体の前記第１主面であった前記複数のグリーンチップの各第１主面に前記第１シート部材を配置した状態にする第３工程と、
ラミネートフィルムによって前記複数のグリーンチップ及び前記第１シート部材を密封することで、切断前の前記グリーンシート積層体の前記第２主面であった前記複数のグリーンチップの各第２主面に前記ラミネートフィルムを配置する第４工程とを有し、
前記プレス工程では、静水圧プレスによって前記複数のグリーンチップをプレスすることを特徴とする請求項１に記載された積層型電子部品の製造方法。
【請求項８】
前記第１シート部材は弾性変形可能な材料からなることを特徴とする請求項７に記載された積層型電子部品の製造方法。
【請求項９】
前記第１シート部材は塑性変形可能な材料からなることを特徴とする請求項７に記載された積層型電子部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層型電子部品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、複数の導電パターンが形成されたグリーンシートが複数積層されてなり、互いに対向すると共に積層方向と交差する第１主面及び第２主面を有するグリーンシート積層体を用意する工程と、グリーンシート積層体をラミネートフィルムで真空パックする工程と、真空パックされたグリーンシート積層体に対して静水圧プレスを行うことでグリーンシート同士を圧着する工程と、圧着されたグリーンシート積層体を複数のグリーンチップとなるように切断する工程とを備える積層型電子部品の製造方法が知られている。
【特許文献１】特開平８−１９５３２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、従来の積層型電子部品の製造方法では、グリーンシート積層体をそのまま静水圧プレスしてグリーンシート同士を圧着していたので、グリーンシート積層体全体に対して圧力が付与されていた。そのため、積層方向から見て導電パターンが多数重なっている部分（例えば、コンデンサの電極部分）については十分プレス（加圧）することができるものの、積層方向から見て導電パターンが存在していない部分（いわゆる余白部分）や積層方向から見て導電パターンが重なっている数が少ない部分（例えば、引き出し導体部分）についてはプレス（加圧）が不十分となっていた。その結果、余白部分等におけるグリーンシート積層体の成形密度が低くなってしまうという問題があった。そして、このようなグリーンシート積層体の成形密度の低下は、機械的性質の低下に伴う割れや欠けの発生を招いていた。
【０００４】
本発明は、成形密度の向上を図ることが可能な積層型電子部品の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明に係る積層型電子部品の製造方法は、導電パターンが形成されたグリーンシートが複数積層されてなる複数のグリーンチップと、第１シート部材及び第２シート部材とを有し、複数のグリーンチップが互いに離間するように第１シート部材と第２シート部材との間に位置しており、複数のグリーンチップの積層方向と第１シート部材及び第２シート部材の対向方向とが一致しているグリーンチップ集合体を用意するグリーンチップ集合体用意工程と、第１シート部材及び第２シート部材を介して複数のグリーンチップをプレスするプレス工程とを備えることを特徴とする。
【０００６】
本発明に係る積層型電子部品の製造方法では、複数のグリーンチップが互いに離間させた状態で第１シート部材及び第２シート部材の間に位置している。また、本発明に係る積層型電子部品の製造方法では、複数のグリーンチップの積層方向と第１シート部材及び第２シート部材の対向方向とを一致させている。そのため、プレス工程で第１シート部材及び第２シート部材を介してグリーンチップをプレスすると、グリーンチップとグリーンチップとの隙間に第１シート部材及び第２シート部材が入り込むこととなる。その結果、余白部分が多くなりがちなグリーンチップの第１主面及び第２主面の外縁部分についても十分に加圧されるので、成形密度の向上を図ることが可能となる。
【０００７】
また、グリーンチップ集合体用意工程は、複数の導電パターンが形成されたグリーンシートが複数積層されてなり、互いに対向すると共に積層方向と交差する第１主面及び第２主面を有するグリーンシート積層体を用意する第１工程と、グリーンシート積層体の第１主面に第１シート部材を配置する第２工程と、グリーンシート積層体を複数のグリーンチップとなるように切断して、切断前のグリーンシート積層体の第１主面であった複数のグリーンチップの各第１主面に第１シート部材を配置した状態にする第３工程と、切断前のグリーンシート積層体の第２主面であった複数のグリーンチップの各第２主面に第２シート部材を配置する第４工程とを有することが好ましい。このようにすると、グリーンシート積層体を切断するだけで、互いに離間した状態の複数のグリーンチップを形成することが可能となる。
【０００８】
また、グリーンチップ集合体用意工程は、複数の導電パターンが形成されたグリーンシートが複数積層されてなり、互いに対向すると共に積層方向と交差する第１主面及び第２主面を有するグリーンシート積層体を用意する第１工程と、グリーンシート積層体の第１主面に第３シート部材を配置する第２工程と、グリーンシート積層体を複数のグリーンチップとなるように切断して、切断前のグリーンシート積層体の第１主面であった複数のグリーンチップの各第１主面に第３シート部材を配置した状態にする第３工程と、切断前のグリーンシート積層体の第２主面であった複数のグリーンチップの各第２主面に第２シート部材を配置する第４工程と、複数のグリーンチップの各第１主面から第３シート部材を除去する第５工程と、複数のグリーンチップの各第１主面に第１シート部材を配置する第６工程とを有することが好ましい。グリーンシート積層体の切断の際に、グリーンシート積層体が配置されている第３シート部材が削られてしまうことがある。この状態でグリーンシート積層体の第２主面に第２シート部材を配置して複数のグリーンチップをプレスした場合には、第３シート部材側からグリーンチップの第１主面及び第２主面の外縁部分にかかる圧力と、第２シート部材側からグリーンチップの第１主面及び第２主面の外縁部分にかかる圧力とが大きく異なり、グリーンチップを均一に加圧することができないことがある。しかしながら、グリーンシート積層体の切断の際に削られる可能性のある第３シート部材を複数のグリーンチップの各第１主面から除去して、新たに第１シート部材を複数のグリーンチップの各第１主面に配置しているので、グリーンチップを均一に加圧することが可能となる。また、グリーンシート積層体を切断することで、互いに離間した状態の複数のグリーンチップを形成することが可能となる。
【０００９】
また、第１シート部材及び／又は第２シート部材は弾性変形可能な材料からなることが好ましい。プレス工程で第１シート部材及び第２シート部材を介して複数のグリーンチップが加圧され、第１シート部材及び／又は第２シート部材が変形しても、元の形状に復元するので、第１シート部材及び／又は第２シート部材を再利用することが可能となる。
【００１０】
また、第１シート部材及び／又は第２シート部材は塑性変形可能な材料からなることが好ましい。プレス工程で第１シート部材及び第２シート部材を介して複数のグリーンチップが加圧されたとき、他の材質のシートと比較してグリーンチップとグリーンチップとの隙間に第１シート部材及び／又は第２シート部材が入り込み易いものであるので、グリーンチップの第１主面及び第２主面の外縁部分をより十分に加圧することが可能となる。
【００１１】
また、プレス工程では、静水圧プレスによって複数のグリーンチップをプレスすることが好ましい。このようにすると、複数のグリーンチップを均一に加圧することが可能となる。
【００１２】
また、グリーンチップ集合体用意工程は、複数の導電パターンが形成されたグリーンシートが複数積層されてなり、互いに対向すると共に積層方向と交差する第１主面及び第２主面を有するグリーンシート積層体を用意する第１工程と、グリーンシート積層体の第１主面に第１シート部材を配置する第２工程と、グリーンシート積層体を複数のグリーンチップとなるように切断して、切断前のグリーンシート積層体の第１主面であった複数のグリーンチップの各第１主面に第１シート部材を配置した状態にする第３工程と、ラミネートフィルムによって複数のグリーンチップ及び第１シート部材を密封することで、切断前のグリーンシート積層体の第２主面であった複数のグリーンチップの各第２主面にラミネートフィルムを配置する第４工程とを有し、プレス工程では、静水圧プレスによって複数のグリーンチップをプレスすることが好ましい。このようにすると、ラミネートフィルムによって複数のグリーンチップ及び第１シート部材を密封するのと同時に、複数のグリーンチップの第２主面に第２シート部材としてのラミネートフィルムが配置されるので、工程数を少なくすることが可能となる。また、グリーンシート積層体を切断することで、互いに離間した状態の複数のグリーンチップを形成することが可能となる。
【００１３】
また、第１シート部材は弾性変形可能な材料からなることが好ましい。プレス工程で第１シート部材及びラミネートフィルムを介して複数のグリーンチップが加圧され、第１シート部材が変形しても、元の形状に復元するので、第１シート部材を再利用することが可能となる。
【００１４】
また、第１シート部材は塑性変形可能な材料からなることが好ましい。プレス工程で第１シート部材及びラミネートフィルムを介して複数のグリーンチップが加圧されたときに、グリーンチップとグリーンチップとの隙間に第１シート部材が入り込み易くなっているので、グリーンチップの第１主面及び第２主面の外縁部分をより十分に加圧することが可能となる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、成形密度の向上を図ることが可能な積層型電子部品の製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明の好適な実施形態について、図面を参照して説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。
【００１７】
（第１実施形態）
まず、図１〜図３を参照して、第１実施形態に係る積層型電子部品の製造方法によって製造される積層型電子部品１の構造について説明する。図１は、第１〜第４実施形態に係る積層型電子部品の製造方法によって製造される積層型電子部品の斜視図である。図２は、図１のＩＩ−ＩＩ線断面図である。図３は、素体を構成している一の誘電体層を示す正面図である。積層型電子部品１は、本発明を積層型コンデンサに適用したものである。
【００１８】
積層型電子部品１は、図１に示されるように、略直方体形状の素体２と、素体２の長手方向の両側面にそれぞれ形成された一対の外部電極３とを備える。
【００１９】
素体２は、図２に示されるように、誘電体層４と内部電極５とが交互に積層されて構成されている。具体的には、素体２は、内部電極５が形成された誘電体層４と、内部電極５が形成されていない誘電体層４とが積層されて構成されている。内部電極５が形成されていない誘電体層４は、素体２の積層方向における両端部に配置されている。実際の積層型電子部品１では、各誘電体層４の境界が視認できない程度に一体化されている。
【００２０】
素体２は、互いに対向すると共に積層方向と交差する一対の主面２ａ，２ｂを有している。素体２の主面２ａ，２ｂの外縁部分２ｃ，２ｄは、素体２の外方に向けて凸となるように湾曲しており、丸みを帯びた形状となっている。
【００２１】
内部電極５は、図３に示されるように、誘電体層４の表面に略矩形状に形成されている。内部電極５の一端は、誘電体層４の短辺側の縁に引き出され、誘電体層４の端面に露出している。内部電極５の他端は、誘電体層４のいずれの端面にも露出していない。このため、内部電極５は、図２に示されるように、一対の外部電極３の一方と電気的に接続される。具体的には、内部電極５は、積層方向に隣り合う内部電極５が接続されている外部電極３とは異なる外部電極３と、電気的に接続される。積層方向に隣り合う内部電極５同士が積層方向から見て重なり合っている部分の対向面積と、積層方向に隣り合う内部電極５同士の間隔（誘電体層４の厚み）とによって、積層型電子部品１のコンデンサとしての静電容量が規定される。
【００２２】
続いて、図４〜図８を参照して、積層型電子部品１の製造方法について説明する。図４は、第１実施形態に係る面実装型電子部品の製造方法の各工程を説明するためのフローチャートである。図５は、グリーンシート積層体の分解斜視図である。図６は、第１実施形態に係る面実装型電子部品の製造方法における、グリーンチップの加圧工程を示す図である。図７は、グリーンシート積層体の切断の様子を模式的に示す図である。図８は、グリーンチップの加圧の様子を模式的に示す図である。なお、図４に示されるフローチャートでは、ステップをＳと略記している。
【００２３】
まず、ステップ１０１では、図５に示されるように、複数枚の誘電体グリーンシート７を形成する。具体的には、誘電体グリーンシート７は、例えばＢａＴｉＯ３に微量のＣｕＯ、ＮｉＯ、Ｍｎを添加した混合紛を原料としたスラリーをドクターブレード法によってフィルム上に塗布すること形成される。各誘電体グリーンシート７の厚みは、例えば１０μｍである。
【００２４】
続いて、ステップ１０２では、各誘電体グリーンシート７の表面に、複数の略矩形状の導電パターン６をマトリクス状に形成する（図４参照）。導電パターン６は、例えばＮｉを主成分とする導電ペーストを誘電体グリーンシート７にスクリーン印刷することにより形成される。
【００２５】
続いて、ステップ１０３では、グリーンシート積層体３０を形成する（図５参照）。具体的には、複数の導電パターン６が形成された誘電体グリーンシート７と、導電パターン６が形成されていない誘電体グリーンシート７とを所定枚数ずつ積層する。複数の導電パターン６が形成された各誘電体グリーンシート７は、導電パターン６が形成されていない誘電体グリーンシート７の間に配置されている。このとき、グリーンシート積層体３０として一体的に取り扱うことが可能な程度の圧力をグリーンシート積層体３０に作用させ、グリーンシート積層体３０の仮圧着（仮プレス）を行う。このようにして形成されたグリーンシート積層体３０は、互いに略平行となるように対向すると共に積層方向と交差する一対の主面３０ａ，３０ｂを有している。
【００２６】
続いて、ステップ１０４では、グリーンシート積層体３０の本圧着（本プレス）を行う。具体的には、グリーンシート積層体３０は、所定温度（例えば、３０℃〜１２０℃程度）にて、所定の圧力（例えば、５０ＭＰａ〜２００ＭＰａ程度）で圧着される。このグリーンシート積層体３０の本圧着は、金型プレス成形法や、温間静水圧プレス（ＷＩＰ：Warm Isostatic Press）、冷間静水圧プレス（ＣＩＰ：Cold Isostatic Press）、熱間静水圧プレス（ＨＩＰ：Hot Isostatic Press）といった静水圧プレス成形法によって行うことができる。
【００２７】
続いて、ステップ１０５では、グリーンチップ集合体４０を用意する。具体的には、まず、本圧着が行われたグリーンシート積層体３０をシート部材４１に貼り付ける（図６（ａ）参照）。このとき、シート部材４１はグリーンシート積層体３０の主面３０ａに配置される。第１実施形態では、シート部材４１として、熱を加えることで粘着力が弱くなる性質を有する熱剥離性粘着シート（例えば、日東電工株式会社製リバアルファ）を用いている。そのため、グリーンシート積層体３０とシート部材４１とは粘着しており、グリーンシート積層体３０はシート部材４１によって保持されている。
【００２８】
続いて、グリーンシート積層体３０がシート部材４１に保持された状態で、グリーンシート積層体３０を複数のグリーンチップ５０となるように切断する（図６（ｂ）参照）。具体的には、図７に示されるように、ダイシングブレード６０がグリーンシート積層体３０の主面３０ｂから主面３０ａに抜けるようにして、グリーンシート積層体３０を切断する。これにより、導電パターン６が形成されたグリーンシート７が複数積層されてなるグリーンチップ５０が、複数形成されることとなる。
【００２９】
形成されたグリーンチップ５０は、互いに対向すると共に積層方向と交差する一対の主面５０ａ，５０ｂを有している。グリーンチップ５０の主面５０ａは、切断前のグリーンシート積層体３０の主面５０ａに対応しており、グリーンチップ５０の主面５０ｂは、切断前のグリーンシート積層体３０の主面５０ｂに対応している。そのため、グリーンシート積層体３０の切断後においては、シート部材４１はグリーンチップ５０の主面５０ａに配置されることとなる。
【００３０】
グリーンシート積層体３０の切断の際には、図７に示されるように、ダイシングブレード６０の厚みの分だけ複数のグリーンチップ５０が離間されるので、複数のグリーンチップ５０が互いに離間した状態となる。また、グリーンシート積層体３０の切断の際には、グリーンシート積層体３０が保持されているシート部材４１の表面部分についてもダイシングブレード６０によって削り取られるので、シート部材４１の表面には複数の凹部４１ａが形成される。
【００３１】
続いて、グリーンチップ５０に対してシート部材４２を貼り付ける（図６（ｃ）参照）。このとき、シート部材４２はグリーンチップ５０の主面５０ｂに配置される。第１実施形態では、シート部材４２として、熱を加えることで粘着力が弱くなる性質を有する熱剥離性粘着シート（例えば、日東電工株式会社製リバアルファ）を用いている。そのため、グリーンチップ５０とシート部材４２とは粘着しており、グリーンチップ５０は互いに離間した状態でシート部材４１，４２によって保持されている。こうして、グリーンチップ集合体４０が用意されることとなる。
【００３２】
続いて、ステップ１０６では、シート部材４１，４２を介してグリーンチップ５０を静水圧プレス成形法によって加圧（プレス）する（図６（ｄ）参照）。具体的には、まず、グリーンチップ集合体４０を挟むように、一対の金属板７１，７２を配置する。続いて、ラミネートフィルム７３によって、グリーンチップ集合体４０及び一対の金属板７１，７２の全体を覆い、グリーンチップ集合体４０及び一対の金属板７１，７２を密封（真空パック）する。
【００３３】
続いて、密封されたグリーンチップ集合体４０及び一対の金属板７１，７２を図示しない静水圧プレス装置にセットし、水や油等の液体によって所定の圧力（例えば、５０ＭＰａ〜２００ＭＰａ程度）でグリーンチップ５０を加圧する。このとき、図８に示されるように、グリーンチップ５０同士が互いに離間しているので、グリーンチップ５０とグリーンチップ５０との隙間にシート部材４１，４２が入り込んで、グリーンチップ５０の主面５０ａ，５０ｂの外縁部分５０ｃ，５０ｄについても十分に加圧される。なお、互いに離間されている複数のグリーンチップ５０は、加圧（プレス）されたときに、グリーンチップ５０同士が接触しない程度に離間された状態となっていると好ましい。
【００３４】
続いて、ステップ１０７では、グリーンチップ５０を保持していたシート部材４１，４２を除去する（図６（ｅ）参照）。具体的には、シート部材４１，４２は熱剥離性粘着シートであるので、グリーンチップ集合体４０の全体を所定温度（例えば、１５０℃〜１８０℃）で加熱して、グリーンチップ５０の主面５０ａ，５０ｂからシート部材４１，４２を剥離する。
【００３５】
続いて、ステップ１０８では、グリーンチップ５０の焼成を行う。具体的には、グリーンチップ５０を所定温度（例えば、１２００℃〜１３００℃程度）にて焼成を行い、素体２を形成する。グリーンチップ５０が焼成されて素体２となることにより、誘電体グリーンシート７が誘電体層４となり、導電パターン６が内部電極５となる。素体１０は、例えば、焼成後における長手方向の長さが１．０ｍｍ、幅が０．５ｍｍ、高さが０．５ｍｍとなるようにする。
【００３６】
続いて、ステップ１０９では、外部電極３を形成する。これにより、積層型電子部品１が形成されることとなる。外部電極３は、素体２の長手方向の両端面にそれぞれ銀、ニッケル又は銅を主成分とする電極ペースト塗布して、所定温度（例えば、６００℃〜１２００℃程度）で焼き付けを行い、さらに電気めっきを施すことにより形成される。この電気めっきとしては、Ｃｕ、Ｎｉ及びＳｎ等を用いることができる。
【００３７】
以上のように、第１実施形態においては、シート部材４１，４２によって、グリーンチップ５０を互いに離間させた状態で保持している。そのため、シート部材４１，４２を介して静水圧プレス成形法によりグリーンチップ５０を加圧すると、グリーンチップ５０とグリーンチップ５０との隙間にシート部材４１，４２が入り込むこととなる（図８参照）。その結果、余白部分が多くなりがちなグリーンチップ５０の主面５０ａ，５０ｂの外縁部分５０ｃ，５０ｄについても十分に加圧されるので、グリーンチップ５０の成形密度の向上を図ることが可能となる。そして、このような成形密度の向上に伴い、導電パターン６とグリーンシート７との間に隙間が生じにくくなるので、外部電極３の形成の際にめっき液の侵入が防がれる。その結果、製造された積層型電子部品１について良好な電気的特性を得ることが可能となる。
【００３８】
また、第１実施形態においては、グリーンシート積層体３０がシート部材４１に保持された状態で、グリーンシート積層体３０を複数のグリーンチップ５０となるように切断している。そのため、グリーンシート積層体３０を切断することにより、互いに離間した複数のグリーンチップ５０がシート部材４１に配置されることとなる。
【００３９】
また、第１実施形態においては、グリーンチップ５０を静水圧プレス成形法によって加圧（プレス）しているので、複数のグリーンチップ５０を均一に加圧することが可能となる。
【００４０】
（第２実施形態）
続いて、図４及び図９を参照して、第２実施形態に係る積層型電子部品の製造方法について説明する。図９は、第２実施形態に係る面実装型電子部品の製造方法における、グリーンチップの加圧工程を示す図である。以下では、第１実施形態に係る積層型電子部品の製造方法との相違点を中心に説明し、重複する説明は省略する。第２実施形態では、特に、図４におけるステップ１０５の工程が第１実施形態と異なる。
【００４１】
ステップ１０５では、グリーンチップ集合体４０を用意する。具体的には、まず、本圧着が行われたグリーンシート積層体３０をシート部材４３に貼り付ける（図９（ａ）参照）。このとき、シート部材４１はグリーンシート積層体３０の主面３０ａに配置される。第２実施形態では、シート部材４３として、熱を加えることで粘着力が弱くなる性質を有する熱剥離性粘着シート（例えば、日東電工株式会社製リバアルファ）を用いている。そのため、グリーンシート積層体３０とシート部材４３とは粘着しており、グリーンシート積層体３０はシート部材４３によって保持されている。
【００４２】
続いて、グリーンシート積層体３０がシート部材４３に保持された状態で、グリーンシート積層体３０を複数のグリーンチップ５０となるように切断する（図９（ｂ）参照）。これにより、導電パターン６が形成されたグリーンシート７が複数積層されてなるグリーンチップ５０が、複数形成されることとなる。グリーンシート積層体３０の切断後においては、シート部材４３はグリーンチップ５０の主面５０ａに配置されることとなる。なお、グリーンシート積層体３０の切断の際には、グリーンシート積層体３０が保持されているシート部材４３の表面部分についてもダイシングブレード６０によって削り取られるので、シート部材４３の表面には複数の凹部４３ａが形成される。
【００４３】
続いて、グリーンチップ５０に対してシート部材４２を貼り付ける（図９（ｃ）参照）。このとき、シート部材４２はグリーンチップ５０の主面５０ｂに配置される。続いて、グリーンチップ５０を保持していたシート部材４３を除去する（図９（ｄ）参照）。具体的には、シート部材４３は熱剥離性粘着シートであるので、シート部材４３を所定温度（例えば、８０℃〜１２０℃）で加熱して、グリーンチップ５０の主面５０ａからシート部材４３を剥離する。続いて、グリーンチップ５０に対してシート部材４１を貼り付ける（図９（ｅ）参照）。このとき、シート部材４１はグリーンチップ５０の主面５０ａに配置される。そのため、グリーンチップ５０とシート部材４１とは粘着しており、グリーンチップ５０は互いに離間した状態でシート部材４１，４２によって保持されている。こうして、グリーンチップ集合体４０が用意されることとなる。
【００４４】
続いて、ステップ１０６では、第１実施形態と同様に、シート部材４１，４２を介してグリーンチップ５０を静水圧プレス成形法によって加圧する（図９（ｆ）参照）。続いて、ステップ１０７では、第１実施形態と同様に、グリーンチップ５０を保持していたシート部材４１，４２を除去する（図９（ｇ）参照）。
【００４５】
以上のように、第２実施形態においては、シート部材４１，４２によって、グリーンチップ５０を互いに離間させた状態で保持している。そのため、シート部材４１，４２を介して静水圧プレス成形法によりグリーンチップ５０を加圧すると、グリーンチップ５０とグリーンチップ５０との隙間にシート部材４１，４２が入り込むこととなる。その結果、余白部分が多くなりがちなグリーンチップ５０の主面５０ａ，５０ｂの外縁部分５０ｃ，５０ｄについても十分に加圧されるので、グリーンチップ５０の成形密度の向上を図ることが可能となる。そして、このような成形密度の向上に伴い、導電パターン６とグリーンシート７との間に隙間が生じにくくなるので、外部電極３の形成の際にめっき液の侵入が防がれる。その結果、製造された積層型電子部品１について良好な電気的特性を得ることが可能となる。
【００４６】
また、第２実施形態においては、グリーンシート積層体３０がシート部材４１に保持された状態で、グリーンシート積層体３０を複数のグリーンチップ５０となるように切断している。そのため、グリーンシート積層体３０を切断することにより、互いに離間した複数のグリーンチップ５０がシート部材４１に配置されることとなる。
【００４７】
また、第２実施形態においては、グリーンシート積層体３０の切断の際に、ダイシングブレード６０によって削り取られ、複数の凹部４３ａが形成されたシート部材４３をグリーンチップ５０の主面５０ａから除去した後に、新たにシート部材４１をグリーンチップ５０の主面５０ａに配置している。そのため、シート部材４１側からグリーンチップ５０の主面５０ａ，５０ｂの外縁部分５０ｃ，５０ｄにかかる圧力と、シート部材４２側からグリーンチップの主面５０ａ，５０ｂの外縁部分５０ｃ，５０ｄにかかる圧力とが略等しくなる。その結果、グリーンチップ５０を均一に加圧することが可能となる。
【００４８】
また、第２実施形態においては、グリーンチップ５０を静水圧プレス成形法によって加圧しているので、複数のグリーンチップ５０を均一に加圧することが可能となる。
【００４９】
（第３実施形態）
続いて、図４及び図１０を参照して、第３実施形態に係る積層型電子部品の製造方法について説明する。図１０は、第３実施形態に係る面実装型電子部品の製造方法における、グリーンチップの加圧工程を示す図である。以下では、第１実施形態に係る積層型電子部品の製造方法との相違点を中心に説明し、重複する説明は省略する。第３実施形態では、特に、図４におけるステップ１０５の工程が第１実施形態と異なる。
【００５０】
ステップ１０５では、グリーンチップ集合体４０を用意する。具体的には、まず、本圧着が行われたグリーンシート積層体３０をシート部材４１に貼り付ける（図１０（ａ）参照）。このとき、シート部材４１はグリーンシート積層体３０の主面３０ａに配置される。
【００５１】
続いて、グリーンシート積層体３０がシート部材４１に保持された状態で、グリーンシート積層体３０を複数のグリーンチップ５０となるように切断する（図１０（ｂ）参照）。これにより、導電パターン６が形成されたグリーンシート７が複数積層されてなるグリーンチップ５０が、複数形成されることとなる。グリーンシート積層体３０の切断後においては、シート部材４１はグリーンチップ５０の主面５０ａに配置されることとなる。
【００５２】
続いて、シート部材４１のグリーンチップ５０を保持している面とは反対側の面に、金属板７１を配置する。続いて、ラミネートフィルム７３によって、グリーンチップ５０、シート部材４１及び金属板７１の全体を覆い、グリーンチップ５０、シート部材４１及び金属板７１を密封（真空パック）する（図１０（ｃ）参照）。そのため、シート部材が配置されていないグリーンチップ５０の主面５０ｂには、ラミネートフィルム７３が配置される。そのため、グリーンチップ５０は互いに離間した状態でシート部材４１及びラミネートフィルム７３によって保持される。こうして、グリーンチップ集合体４０が用意されることとなる。
【００５３】
続いて、ステップ１０６では、第１実施形態と同様に、シート部材４１及びラミネートフィルム７３を介してグリーンチップ５０を静水圧プレス成形法によって加圧する。続いて、ステップ１０７では、第１実施形態と同様に、グリーンチップ５０を保持していたシート部材４１を除去する（図１０（ｄ）参照）。
【００５４】
以上のように、第３実施形態においては、シート部材４１によって、グリーンチップ５０を互いに離間させた状態で保持している。そのため、シート部材４１を介して静水圧プレス成形法によりグリーンチップ５０を加圧すると、グリーンチップ５０とグリーンチップ５０との隙間にシート部材４１が入り込むこととなる。その結果、余白部分が多くなりがちなグリーンチップ５０の主面５０ａ，５０ｂの外縁部分５０ｃ，５０ｄについても十分に加圧されるので、グリーンチップ５０の成形密度の向上を図ることが可能となる。そして、このような成形密度の向上に伴い、導電パターン６とグリーンシート７との間に隙間が生じにくくなるので、外部電極３の形成の際にめっき液の侵入が防がれる。その結果、製造された積層型電子部品１について良好な電気的特性を得ることが可能となる。
【００５５】
また、第３実施形態においては、グリーンシート積層体３０がシート部材４１に保持された状態で、グリーンシート積層体３０を複数のグリーンチップ５０となるように切断している。そのため、グリーンシート積層体３０を切断することにより、互いに離間した複数のグリーンチップ５０がシート部材４１に配置されることとなる。
【００５６】
また、第３実施形態においては、ラミネートフィルム７３によってグリーンチップ５０、シート部材４１及び金属板７１を密封するのと同時に、グリーンチップ５０の主面５０ｂにシート部材としてのラミネートフィルム７３が配置されることとなるので、工程数を低減することが可能となる。
【００５７】
また、第３実施形態においては、グリーンチップ５０を静水圧プレス成形法によって加圧しているので、複数のグリーンチップ５０を均一に加圧することが可能となる。
【００５８】
（第４実施形態）
続いて、図４及び図１１を参照して、第４実施形態に係る積層型電子部品の製造方法について説明する。図１１は、第４実施形態に係る面実装型電子部品の製造方法における、グリーンチップの加圧工程を示す図である。以下では、第１実施形態に係る積層型電子部品の製造方法との相違点を中心に説明し、重複する説明は省略する。第４実施形態では、特に、図４におけるステップ１０５の工程が第１実施形態と異なる。
【００５９】
ステップ１０５では、グリーンチップ集合体４０を用意する。具体的には、まず、本圧着が行われたグリーンシート積層体３０を複数のグリーンチップ５０となるように切断し、各グリーンチップ５０を個別にシート部材４１に配置する（図１１（ａ）参照）。具体的には、グリーンチップ５０が互いに離間した状態となるようにして、グリーンチップ５０の主面５０ａをシート部材４１に粘着し、グリーンチップ５０をシート部材４１によって保持する（図１１（ｂ）参照）。
【００６０】
続いて、グリーンチップ５０に対してシート部材４２を貼り付ける（図１１（ｃ）参照）。このとき、シート部材４２はグリーンチップ５０の主面５０ｂに配置される。そのため、グリーンチップ５０は、互いに離間した状態でシート部材４１，４２によって保持される。こうして、グリーンチップ集合体４０が用意されることとなる。
【００６１】
続いて、ステップ１０６では、第１実施形態と同様に、シート部材４１，４２を介してグリーンチップ５０を静水圧プレス成形法によって加圧する（図１１（ｄ）参照）。続いて、ステップ１０７では、第１実施形態と同様に、グリーンチップ５０を保持していたシート部材４１，４２を除去する（図１１（ｅ）参照）。
【００６２】
以上のように、第４実施形態においては、シート部材４１，４２によって、グリーンチップ５０を互いに離間させた状態で保持している。そのため、シート部材４１，４２を介して静水圧プレス成形法によりグリーンチップ５０を加圧すると、グリーンチップ５０とグリーンチップ５０との隙間にシート部材４１，４２が入り込むこととなる（図８参照）。その結果、余白部分が多くなりがちなグリーンチップ５０の主面５０ａ，５０ｂの外縁部分５０ｃ，５０ｄについても十分に加圧されるので、グリーンチップ５０の成形密度の向上を図ることが可能となる。そして、このような成形密度の向上に伴い、導電パターン６とグリーンシート７との間に隙間が生じにくくなるので、外部電極３の形成の際にめっき液の侵入が防がれる。その結果、製造された積層型電子部品１について良好な電気的特性を得ることが可能となる。
【００６３】
また、第４実施形態においては、グリーンシート積層体３０を予め切断してグリーンチップ５０とした後に、それらのグリーンチップ５０をシート部材４１に配置しているので、第１実施形態と異なり、シート部材４１に凹部４１ａが形成されていない。そのため、シート部材４１側からグリーンチップ５０の主面５０ａ，５０ｂの外縁部分５０ｃ，５０ｄにかかる圧力と、シート部材４２側からグリーンチップの主面５０ａ，５０ｂの外縁部分５０ｃ，５０ｄにかかる圧力とが略等しくなる。その結果、グリーンチップ５０を均一に加圧することが可能となる。
【００６４】
また、第４実施形態においては、グリーンチップ５０を静水圧プレス成形法によって加圧しているので、複数のグリーンチップ５０を均一に加圧することが可能となる。
【００６５】
以上、本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明は上記した実施形態に限定されるものではない。例えば、第１〜第４実施形態ではシート部材４１，４２として熱剥離性粘着シートを用いていたがこれに限られない。具体的には、シート部材４１，４２として、例えばゴム等の弾性変形可能な材料からなるシートを用いることができる。シート部材４１，４２に弾性変形可能な材料からなるシートを用いた場合には、グリーンチップ５０の加圧の際にシート部材４１，４２が変形しても、元の形状に復元するので、シート部材４１，４２を再利用することが可能となる。また、シート部材４１，４２として、例えばゲルシート、合成樹脂、金属箔等の塑性変形可能な材料からなるシートを用いることができる。シート部材４１，４２に塑性変形可能な材料からなるシートを用いた場合には、グリーンチップ５０の加圧に伴ってシート部材４１，４２が加圧されたときに、他の材質のシートと比較してグリーンチップ５０とグリーンチップ５０との隙間にシート部材４１，４２が入り込みやすいものであるので、グリーンチップ５０の主面５０ａ，５０ｂの外縁部分５０ｃ，５０ｄをより十分に加圧することが可能となる。
【００６６】
また、第１〜第４実施形態ではグリーンシート積層体３０をダイシングブレード６０によって切断したが、これに限られない。具体的には、押し切り刃（切断刃）を用いてグリーンシート積層体３０に複数回切れ込みを入れることで、グリーンチップ５０同士を互いに離間させるようにしてもよい。また、ウォータージェットやレーザを用いてグリーンシート積層体３０を切断することで、グリーンチップ５０同士を互いに離間させるようにしてもよい。
【００６７】
また、第１〜第４実施形態では本発明を積層型電子部品１としての積層型コンデンサに適用したが、これに限られず、積層型インダクタ、積層型ＬＣ部品、積層型バリスタ等の種々の積層型電子部品に本発明を適用することができる。
【００６８】
また、第１〜第４実施形態では、シート部材４１，４２又はラミネートフィルム７３はグリーンチップ５０の主面５０ａ，５０ｂと直接接触していたが、グリーンチップ５０の加圧（プレス）の際にグリーンチップ５０に与えられる圧力に影響を与えなければ、シート部材４１，４２又はラミネートフィルム７３とグリーンチップ５０の主面５０ａ，５０ｂとの間に他の部材が介在していてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】第１〜第４実施形態に係る積層型電子部品の製造方法によって製造される積層型電子部品の斜視図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線断面図である。
【図３】素体を構成している一の誘電体層を示す正面図である。
【図４】第１実施形態に係る面実装型電子部品の製造方法の各工程を説明するためのフローチャートである。
【図５】グリーンシート積層体の分解斜視図である。
【図６】第１実施形態に係る面実装型電子部品の製造方法における、グリーンチップの加圧工程を示す図である。
【図７】グリーンシート積層体の切断の様子を模式的に示す図である。
【図８】グリーンチップの加圧の様子を模式的に示す図である。
【図９】第２実施形態に係る面実装型電子部品の製造方法における、グリーンチップの加圧工程を示す図である。
【図１０】第３実施形態に係る面実装型電子部品の製造方法における、グリーンチップの加圧工程を示す図である。
【図１１】第４実施形態に係る面実装型電子部品の製造方法における、グリーンチップの加圧工程を示す図である。
【符号の説明】
【００７０】
１…積層型電子部品、２…素体、２ａ，２ｂ…主面、３…外部電極、４…誘電体層、５…内部電極、６…導電パターン、７…誘電体グリーンシート、３０…グリーンシート積層体、３０ａ，３０ｂ…主面、４０…グリーンチップ集合体、４１〜４３…シート部材、５０…グリーンチップ、５０ａ，５０ｂ…主面、７３…ラミネートフィルム。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2008192696.tif 000009
【図８】
2008192696.tif 000010
【図９】
2008192696.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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