(57)【要約】【課題】壊れ難く、かつ、大きい加速度を測定できる加速度センサを提供すること。【解決手段】上面に第１の電極４４を有する基体３２と、基体３２の上面に接合された枠状部５４の内周面５４ａの全周に支持されると共に、第１の電極４４から所定の間隔Ｈを置くように枠状部５４よりも肉薄にされて、受ける圧力に応じて第１の電極側４４に変形する変形部４２を有し、かつ、この変形部の第１の電極４４との対向面に第２の電極４６を有するようにした可動体と４１、第１の電極４４と第２の電極４６の間に介在する誘電体膜２２とを備え、可動体４１の上面側には、変形部４２の第１の電極４４との対向面と反対側の面が露出するようにされた空間Ｓが設けられており、この空間Ｓは、その内側に液体６４が充填されて、ダイヤフラム６２により塞がれている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面に第１の電極を有する基体と、
前記基体の上面に接合された枠状部の内周面の全周に支持されると共に、前記第１の電極から所定の間隔を置くように前記枠状部よりも肉薄にされて、受ける圧力に応じて前記第１の電極側に変形する変形部を有し、かつ、この変形部の前記第１の電極との対向面に第２の電極を有するようにした可動体と、
前記第１の電極と第２の電極の間に介在する誘電体膜と
を備え、
前記可動体の上面側には、前記変形部の前記第１の電極との対向面と反対側の面が露出するようにされた空間が設けられており、この空間は、その内側に液体が充填されて、ダイヤフラムにより塞がれている
ことを特徴とする加速度センサ。
【請求項２】
前記液体はオイルであることを特徴とする請求項１に記載の加速度センサ。
【請求項３】
前記ダイヤフラムには、前記液体よりも比重が大きい錘が設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の加速度センサ。
【請求項４】
前記ダイヤフラムには、その変位する方向と直交する方向に重なるように波状部が形成されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の加速度センサ。
【請求項５】
前記第２の電極の一部が、加速度が加わっていない状態において、前記誘電体膜を介して、前記第１の電極と接続するようになっていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の加速度センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加速度センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
自動車の安定制御、ＧＰＳナビゲーション等の物や人の動きを計測する装置などに、加速度センサは広く用いられている。
図８は従来の加速度センサ１の概略斜視図である（例えば、特許文献１参照）。
この加速度センサ１は、全体が例えばシリコン結晶基板からなっており、固定体２に対して、梁部３により片持ち式に支持された可動体４を有している。
そして、この可動体４を片持ち式に支える梁部３にはゲージ抵抗５が設けられている。
【０００３】
これにより、加速度センサ１に、図８のＡの方向から加速度が加わると、可動体４が変位して、梁部３が撓むことになる。
そして、ゲージ抵抗５は、この梁部３の歪みに応じて抵抗値が変化するため、ブリッジ回路の出力値から加速度の大きさに応じた出力が得られ、加速度を測定することができる。
【０００４】
【特許文献１】特開平１−２５９２６４号公開特許公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、図８のような加速度センサ１であると、可動体４は梁部３により片持ち式に支持されているため様々な問題が生じる恐れがある。
例えば、加速度センサ１に大きな加速度が連続して加わった場合、可動体４は大きく揺れて、パッケージ等に衝突し、可動体４や梁部３が破損する恐れがある。
また、梁部３の歪みは加速度に対して反応がいいため、加速度に対する出力値の変化度合いは高いが、一方で、梁部３の歪みの限界は早くくるため、大きい加速度を測定することができないという問題もある。
【０００６】
本発明は、以上の課題を解決するためになされたもので、壊れ難く、かつ、大きい加速度を測定できる加速度センサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記第１の目的は、第１の発明にあっては、上面に第１の電極を有する基体と、前記基体の上面に接合された枠状部の内周面の全周に支持されると共に、前記第１の電極から所定の間隔を置くように前記枠状部よりも肉薄にされて、受ける圧力に応じて前記第１の電極側に変形する変形部を有し、かつ、この変形部の前記第１の電極との対向面に第２の電極を有するようにした可動体と、前記第１の電極と第２の電極の間に介在する誘電体膜とを備え、前記可動体の上面側には、前記変形部の前記第１の電極との対向面と反対側の面が露出するようにされた空間が設けられており、この空間は、その内側に液体が充填されて、ダイヤフラムにより塞がれている加速度センサにより達成される。
【０００８】
第１の発明の構成によれば、加速度センサは、第１の電極を有する基体と、受ける圧力に応じて第１の電極側に変形する変形部を有する可動体とを備えているため、変形部は、圧力を受けて第１の電極側に変形する。この際、変形部の第１の電極との対向面には第２の電極があり、また、第１の電極と第２の電極の間には誘電体膜が介在している。このため、圧力を受けた変形部が第１の電極側に変形し、第１の電極と第２の電極とが誘電体膜を介して接続すると、第１の電極と第２の電極との間の容量値が変化する。そこで、この変化した容量値を検出することで、変形部に加えられた圧力を検出できる。
【０００９】
ここで、可動体の上面側には、変形部の第１の電極との対向面と反対側の面が露出するようにされた空間が設けられており、この空間は、その内側に液体が充填されて、ダイヤフラムにより塞がれている。このため、加速度を受けてダイヤフラムに圧力がかかると、ダイヤフラムは変位して空間内に圧力が加えられ、この圧力が空間内の液体を通じて、変形部に伝達される。特に、圧力を加えられた際、液体は空気より体積変化が少ないので、変形部へ圧力を効率よく伝達できる。したがって、変形部は、加速度に応じて第１の電極側に変形することになり、第１の電極と第２の電極との間の容量値変化を検出することで、加速度を測定することができる。
そして、このような変形部は、枠状部の内周面の全周に支持される構造をとり、従来の片持ち式可動体のようにパッケージに衝突することもないため、破損を有効に防止できる。
また、変形部は、枠状部の内周面の全周に支持されると共に、第１の電極から所定の間隔を置くように枠状部よりも肉薄に形成されているので、枠状部の内側の中心部ほど第１の電極側に変形し易く、枠状部の内周面に近づくほど第１の電極側に変形し難くなる。このため、誘電体膜を介した第１の電極と第２の電極との接触面積は、加速度が大きくなる程、増加率が小さくなる。したがって、第１の電極と第２の電極の間の容量値は、加速度が大きくなる程、変化し難くなるため、従来のように容量値変化の限界が直ぐにくるようなことがなくなり、大きい加速度を測定できるようになる。
かくして、本発明によれば、壊れ難く、かつ、大きい加速度を測定できる加速度センサを提供することができる。
【００１０】
第２の発明は、第１の発明の構成において、前記液体はオイルであることを特徴とする。
第２の発明の構成によれば、液体はオイルであるため、液体に触れる部分の酸化を防止し、液体の固化も防止できる。また、オイルは、水に比べて圧力に対する体積変化も少ないため、圧力を変形部に効率よく伝達して、正確に加速度を測定できる。また、オイルは高分子で密度が高く、密閉された空間から漏れにくい。
【００１１】
第３の発明は、第１または第２の発明の構成において、前記ダイヤフラムには、前記液体よりも比重が大きい錘が設けられていることを特徴とする。
第３の発明の構成によれば、ダイヤフラムには、液体よりも比重が大きい錘が設けられているので、加速度が加わった場合に、より大きな圧力を変形部に与えることができ、分解能を高められる。
【００１２】
第４の発明は、第１ないし第３の発明のいずれかの構成において、前記ダイヤフラムには、その変位する方向と直交する方向に重なるように波状部が形成されていることを特徴とする。
第４の発明の構成によれば、ダイヤフラムには、その変位する方向と直交する方向に重なるように波状部が形成されている。したがって、加速度を受けて、ダイヤフラムが変位する際、ダイヤフラムの引っ張り応力が緩和されるため、加速度に容易に対応して空間内に圧力を加えることができる。
【００１３】
第５の発明は、第１ないし第４の発明のいずれかの構成において、前記第２の電極の一部が、加速度が加わっていない状態において、前記誘電体膜を介して、前記第１の電極と接続するようになっていることを特徴とする。
第５の発明の構成によれば、第２の電極の一部が、加速度が加わっていない状態において、誘電体膜を介して、第１の電極と接続するようになっている。このため、正の圧力だけではなく、負の圧力が変形部に加わった場合であっても、第２の電極と第１の電極との間の容量値は変化する。したがって、正負の加速度を測定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
図１は、本発明の実施形態に係る加速度センサの概略断面図である。
図において、加速度センサ１０は、比較的厚みのある板状の基体３２の上に可動体４１を接合した構造を備えている。
また、図２は可動体４１を示す図であり、図２（ａ）は概略平面図、図２（ｂ）は図２（ａ）のＢ−Ｂ線概略断面図、図２（ｃ）は概略底面図である。また、図３は基体３２を示す図であり、図３（ａ）は概略平面図、図３（ｂ）は図３（ａ）のＣ−Ｃ線概略断面図である。
これらの図を適宜参照しながら、加速度センサ１０の構成を説明する。
【００１５】
基体３２は、誘電体材料でなり、例えば、ガラス、セラミック板、硬質プラスチック、シリコンなどにより形成することができ、ガラスやシリコンを用いる場合、それらのウエハを加工する工程から作ることができる。
あるいは、基体３２をセラミックで形成する場合には、例えば、酸化アルミニウム質のセラミックグリーンシートを成形して、図示の形状とすることができる。基体３２の厚み寸法は例えば２００μｍ程度である。
【００１６】
この基体３２は、その上面に第１の電極４４が形成されている。第１の電極４４は、誘電体膜２２を間に挟んで、第２の電極４６に接続されることで、静電容量を発生させるようになっている。第１の電極４４は、下地層の上に金（Ａｕ）をスパッタリング・蒸着し、或いは、下地層を設けずにアルミニウム（Ａｌ）をスパッタリング・蒸着して形成されている。
そして、この第１の電極４４の上面に誘電体膜２２が設けられている。誘電体膜２２は、第１の電極４４と後述する第２の電極４６との短絡を防止するために設けられる絶縁膜であり、ＳｉＯ２やＡｌ２Ｏ３、Ｓｉ３Ｎ４等により形成することがきる。
具体的には、誘電体膜２２は、第１の電極４４の第２の電極４６と対向する面を覆っており、好ましくは、誘電体膜の膜厚を５０００オングストローム（Å）以下として、膜の引っ張り応力を制限して、基体３２に対する悪影響を抑制するようになっている。
【００１７】
可動体４１は、図１及び図２に示すように、基体３２の上面に接合された枠状部５４の内周面５４ａの全周に支持されると共に、第１の電極４４から所定の間隔Ｈを置くように枠状部５４よりも肉薄にされて、受ける圧力に応じて第１の電極４４側に変形する変形部４２を有している。
この変形部４２は、上面側から受ける圧力によって、図１の点線で示すように、誘電体膜２２側に撓む領域である。
【００１８】
本実施形態では、枠状部５４と変形部４２とは、同じ材料により一体に形成されている。具体的には、全体として正方形もしくは矩形状であって、厚みすべり振動モードもしくは厚み縦振動モードを有するＡＴカット水晶板でなる水晶ウエハを用いて、該水晶板のほぼ中央部分を、図１及び図２に示すように、矩形に薄板に形成する。つまり、例えば該水晶板の上面と下面から、それぞれ中央領域について、矩形にハーフエッチングして変形部４２が形成されている。
なお、この場合のエッチングは、例えばフッ酸溶液によるウエットエッチングが利用でき、例えば１００μｍ程度の可動体４１全体の厚み（即ち枠状部５４の厚み）に対して、上面をエッチングして形成された上面側凹部２６の深さを例えば８４μｍ程度、下面をエッチングして形成された下面側凹部２８の深さを例えば６μｍ程度とすることができる。
また、枠状部５４の内周面５４ａは、エッチングする際、水晶の異方性から、上下面それぞれについて、中央に向かうに従って厚みが薄くなるように傾斜している。
【００１９】
また、可動体４１は、変形部４２の第１の電極４４との対向面に、第１の電極４４と所定の間隔を置いて第２の電極４６を有する。
第２の電極４６は、上述のように、誘電体膜２２および第１の電極４４と協働して静電容量を発生させるものであり、変形部４２に圧力が加えられると誘電体膜２２に押し付けられて、受ける圧力に応じて、誘電体膜２２との接触面積が変わるようになっている。
本実施形態の場合、第２の電極４６は、第１の電極４４と同様の材料で形成され、例えば２０００オングストローム（Å）程度の膜厚となっている。そして、変形部４２に圧力が加わっていない状態において、誘電体膜２２との間に所定の隙間Ｈが形成されている。
【００２０】
なお、変形部４２に近接したその側方に貫通孔４５が穿設されている。この貫通孔４５には導電材料が充填されるなどして、導電スルーホールとされており、可動電極である第２の電極４６から延びる引出し電極４６ａと接続され、さらに該導電材料により、図２（ａ）に示すように貫通孔４５の上面側の孔周辺に形成した電極パッド４６ｂと接続されている。この電極パット４６ｂには駆動用の電圧を供給するためのボンディングワイヤ（図示せず）が接続されている。
【００２１】
また、図２（ｃ）に示すように、可動体４１の裏面５１の外周に沿ってその縁部には、導電部３７が形成されている。この導電部３７は基体３２と可動体４１を接合する役割を果たすと同時に、図１に示すように、固定電極である第１の電極４４から一体に延びる引出し電極４４ａと接続されて、第１の電極４４と電気的に接続されている。なお、図２（ａ）では図示していないが、導電部３７は可動体４１の上面５２側に引き回されて駆動電圧を供給するためのボンディングワイヤ（図示せず）が接続されている。
また、可動体４１の側面には、図２（ａ）や図２（ｃ）に示すように、電極パッド４８ａ，４６ｂが形成されており、これら電極パッド４８ａ，４６ｂは、可動体４１の変形による容量変化を検出できる実装端子として利用できるようになっている。
【００２２】
ここで、図１に示すように、可動体４１の上面側には、変形部４２の第１の電極４４との対向面と反対側の面（図１の上面）が露出するようにされた空間Ｓが設けられており、この空間Ｓは、その内側に液体６４が充填されて、変形部４２側に変位可能なダイヤフラム６２により塞がる構造となっている。
図４は、この空間Ｓを塞ぐダイヤフラム６２の概略平面図であり、この図４と図１を参照しながら、空間Ｓ、空間Ｓを塞ぐダイヤフラム６２、及び空間Ｓに充填された液体６４について説明する。
【００２３】
本実施形態の場合、空間Ｓは、図１に示すように、可動体４１の枠状部５４の上面に、変形部４２の形状に対応した貫通孔６６ａを有する環状部材６６を接合することで、可動体４１の上面側に、変形部４２を覆うように形成されている。
すなわち、空間Ｓは、可動体４１の上面をハーフエッチングして形成された上面側凹部２６の内側の空間のみを利用してもよいが、本実施形態の場合、密閉された空間Ｓに充填する液体６４の量を確保できるように、環状部材６６を接合して密閉された空間Ｓの容積を調整できるようにしている。
また、変形部４２の上面が空間Ｓに露出する面積は、変形部４２の上面全体であることが好ましく、このため、本実施形態では、貫通孔６６ａの内径と上面側凹部２６の開口部内径を一致させて、枠状部５４と環状部材６６とを接合させている。
なお、本実施形態の環状部材６６は例えばガラスでできており、この環状部材６６と水晶でなる枠状部５４とは、上述の可動体４１の上面５２側に引き回された導電部３７を利用して陽極接合されている。
【００２４】
ダイヤフラム６２は、液体６４が漏れないように空間Ｓを塞ぐと共に、加速度が加わった際に変位して、空間Ｓの圧力を上昇及び／又は下降させる役割を有している。
すなわち、本実施形態のダイヤフラム６２は、環状部材６６の上面に接続されて空間Ｓを密封する薄膜であって、全体が変形部４２の上面と対向する位置に設けられて、図１の矢印Ｇの方向に加速度が加わった場合、変形部４２側に変位可能となっている。
【００２５】
また、ダイヤフラム６２は、液体よりも比重が大きい錘６８が設けられている。この錘６８は、空間Ｓ内の圧力を加速度に対応させて容易に高められるようにするための質量を有する部材である。具体的には、錘６８は、変形部４２の中央部と対向する位置に配置され、また、ダイヤフラム６２の空間Ｓに露出した下面に設けられている。
【００２６】
また、ダイヤフラム６２は、加速度Ｇに素早く対応できるように、耐久性を有する程度に、できるだけ剛性が低いことが好ましい。
そして、加速度Ｇが加わった場合、ダイヤフラム６２の引っ張り応力を緩和することができるように、図１および図４に示すように、波板状としている。すなわち、加速度によってダイヤフラム６２が第１の電極４４側に容易に変位できるように、その変位方向と直交する方向に重なるように波状部６９が形成されている。なお、波状部６９は、錘６８を囲むように設けられており、錘６８が設けられている中央部がいち早く加速度に対応して変位するようになっている。
【００２７】
液体６４は、空間Ｓ内に隙間なく充填されており、本実施形態の場合、酸化・固化・漏れ防止に鑑みて、オイルが用いられている。また、オイルは、体積変化が空気よりも少ないため、空間Ｓ内が加圧された場合、その圧力を効率よく伝達できるため好ましく、より好ましくは粘度の低いオイルを用いるとよい。
【００２８】
本実施形態の加速度センサ１０は以上のように構成されており、次に、図１ないし図４、及び加速度に対する容量値の変化を表した図５を参照しながら、加速度センサ１０の動作を説明する。
加速度センサ１０を例えば大気中に配置する。この状態は、気密空間Ｓ内は、可動体４１の変形部４２が第１の電極４４側に変形するほどの気圧を有していない状態である。
【００２９】
そして、図１に示すように矢印Ｇ方向に加速度か加わると、ダイヤフラム６２には矢印Ｐの方向に圧力がかかり、ダイヤフラム６２は変形部４２側に撓んで、空間Ｓ内の圧力を高める。そうすると、この高められた圧力は、空間Ｓ内に充填された液体６４を通じて、可動体４１の変形部４２に伝達するため、変形部４２は、基体３２の第１の電極４４側（図１の下方）に凸となるように変形する。
この際、変形部４２の第１の電極４４と対向する面に設けられた第２の電極４６が誘電体膜２２に接触すると、その接触面積に応じて、第１の電極４４と第２の電極４６の間の静電容量が増大・減少するため、この容量値変化を検出することにより、加速度を測定できる。
【００３０】
ここで、図１及び図２に示すように、変形部４２は、枠状部５４の内周面５４ａの全周に支持され、第１の電極４４から所定の間隔Ｈを置くように枠状部５４より肉薄に形成されている。すなわち、本実施形態の場合、水晶でなる基材の誘電体膜２２側の面に下面側凹部２８を形成し、この凹部２８の底面が変形部４２となっている。このため、変形部４２が変形する際は、図１に示すように、まず中央部Ｃが変形し、そして、変形部４２に設けられた第２の電極膜４６は、加速度に応じて除々に誘電体膜２２に接触するため、図５に示すように、一定の加速度ａまでは、直線的に容量値が変化する。
【００３１】
ところが、変形部４２は、枠状部５４の内周面５４ａに近づくほど変形し難くなるため、加速度が一定の値ａより大きくなると、変形度合いが小さくなってくる。このため、図５に示すように、加速度が上昇する程、基体３２側との接触面積が増加する割合は小さくなるため、静電容量値の上昇の変化度合いは小さくなる。したがって、分解能は高くはないが、大きい加速度を測定することができるようになる。
そして、このような変形部４２は、枠状部５４の内周面５４ａの全周に支持され、また、基体３２側に接触することを前提とする構造であるため、従来の片持ち式の可動体のようにパッケージに衝突するようなことがなく、破損することもない。
【００３２】
図６は、本発明の上述した実施形態の変形例に係る加速度センサ１２であって、図１に対応した概略断面図である。
この図において、図１ないし図５の加速度センサ１０と同一の構成には、共通する符号を付して重複する説明は省略し、相違点を中心に説明する。
【００３３】
この加速度センサ１２が、図１ないし図５の加速度センサ１０と異なるのは、変形部４２の構造についてである。
すなわち、加速度が加わっていない状態において、変形部４２は、基体３２側に撓んで、この変形部４２の下面に設けられた第２の電極４６の一部が、誘電体膜２２を介して、第１の電極４４と接続するようになっている。
【００３４】
具体的には、可動体４１については、図１ないし図５の加速度センサ１０と同様に形成するようにしているが、密閉された空間Ｓ内の圧力を上げることで、加速度が加わっていない状態においても、変形部４２を撓ませて基体３２側に接触させている。
なお、空間Ｓ内の圧力を高める方法として例をあげれば、変形部４２とダイヤフラム６２が変形・変位しない状態における空間Ｓの容積よりも大きな量を有する液体６４を空間Ｓに充填し、変形部４２の剛性に比べてダイヤフラム６２の剛性を高めることで、液体６４の量を増やした分だけ、変形部４２を撓ませるようにしている。
【００３５】
本発明の実施形態の変形例に係る加速度センサ１２は以上のように構成されており、次に、図６、及び本変形例に係る加速度に対する容量値の変化を表した図７を参照しながら、加速度センサ１２の動作を説明する。
加速度が加わっていない状態において、第２の電極４６に一部は、誘電体膜２２を介して第１の電極４４と接続するようになっているため、図７に示すように、加速度が０の位置で一定の容量値を有している。
【００３６】
そして、正の加速度が加わると、すなわち図６の＋Ｇの方向に加速すると、図６の＋Ｐの方向に圧力がかかるため、図１ないし図５の加速度センサ１０と同様にして、第１の電極４４と第２の電極４６の間の容量値変化に基づいて加速度を測定できる。また、図７に示すように、加速度が一定の値ａより大きくなると、容量値変化の度合いが小さくなるため、大きい加速度も測定することができるようになる。
【００３７】
一方、負の加速度が加わると、すなわち図６の−Ｇ方向（第１の電極４４と第２の電極４６とが離間する方向）に加速すると、ダイヤフラム６２及び液体６４は、図６のマイナスＰ方向に引っ張られて、変形部４２は−Ｐ方向に変形する。このため、誘電体膜２２を介した第１の電極４４と第２の電極４６との接続面積は減少する方向に働く。したがって、図７に示すように、容量値が減少するように変化するため、この減少した容量値を検出することで、負の加速度も測定できる。
【００３８】
本発明は上述の実施形態に限定されない。実施形態や変形例の各構成はこれらを適宜組み合わせたり、省略し、図示しない他の構成と組み合わせることができる。
例えば、加速度センサ１０，１２は、図示しない収容容器としてのパッケージ等に気密に収容するようにしてもよい。
また、本実施形態のダイヤフラム６２は、変形部４２に容易に圧力を加えることができるように、全体を変形部４２の上面と対向する位置に設けて、変形部４２側に変位可能としているが、変形部４２に圧力を加えられれば、本発明はこれに限られるものではない。
また、可動体４１や変形部４２は矩形のものとして説明されているが、正方形でも円形などでも勿論よい。
また、基体３２を構成する基板は、単層のものとして説明されているが、複数層設けてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の実施形態に係る加速度センサの概略断面図。
【図２】本発明の実施形態に係る加速度センサの可動体を示す図であり、図２（ａ）は概略平面図、図２（ｂ）は図２（ａ）のＢ−Ｂ線概略断面図、図２（ｃ）は概略底面図。
【図３】本発明の実施形態に係る加速度センサの基体を示す図であり、図３（ａ）は概略平面図、図３（ｂ）は図３（ａ）のＣ−Ｃ線概略断面図。
【図４】本発明の実施形態に係る加速度センサのダイヤフラムの概略平面図。
【図５】本発明の実施形態に係る加速度センサの加速度に対する容量値の変化を表した図。
【図６】本発明の実施形態の変形例に係る加速度センサの概略断面図。
【図７】本発明の実施形態の変形例に係る加速度センサの加速度に対する容量値の変化を表した図。
【図８】従来の加速度センサの概略斜視図。
【符号の説明】
【００４０】
２１・・・接着補助層、２２・・・誘電体膜、３０・・・（容量変化型）圧力センサ、
３２・・・基体、４１・・・検出体、４２・・・変形部、４４・・・第１の電極、４６
・・・第２の電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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