(57)【要約】【課題】反応管が単一の場合でも複数並列配置されている場合でも、また整合回路などのプラズマ発生用の回路にダメージを与えることなく、簡単かつコンパクトな構成にてプラズマを安定して点火することができる大気圧プラズマ発生装置を提供する。【解決手段】一端が吹き出し口５として開放された反応管１と、反応管１の周囲又はその近傍に配置されたアンテナ２又は電極と、反応管１内に他端からガス７を導入するガス供給手段と、アンテナ２又は電極に高周波電圧を印加する高周波電源４とを備えた大気圧プラズマ発生装置において、アンテナ２又は電極を間に挟んで反応管１の一端側と他端側に一対の点火用電極１２、１３を配置し、一方の点火用電極１２を電気的に接地し、他方の点火用電極１３を、所定時間高電圧を発生する点火装置１４に接続し、反応管１内のアンテナ２に対応したプラズマ発生部を縦貫して点火放電が生じるようにした。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端が吹き出し口として開放された反応管と、反応管の周囲又はその近傍に配置されたアンテナ又は電極と、反応管内に他端からガスを導入するガス供給手段と、アンテナ又は電極に高周波電圧を印加する高周波電源とを備えた大気圧プラズマ発生装置において、アンテナ又は電極を間に挟んで反応管の一端側と他端側に一対の点火用電極を配置し、一方の点火用電極を電気的に接地し、他方の点火用電極を、所定時間高電圧を発生する点火装置に接続したことを特徴とする大気圧プラズマ発生装置。
【請求項２】
前記一方の点火用電極を反応管の一端側に、前記他方の点火用電極を反応管の他端側に配設したことを特徴とする請求項１記載の大気圧プラズマ発生装置。
【請求項３】
点火装置は、交流又はパルス状の高電圧を発生することを特徴とする請求項１又は２記載の大気圧プラズマ発生装置。
【請求項４】
反応管が複数配置され、各反応管に設けられた前記他方の点火用電極毎に各別に点火装置を設け、各他方の点火用電極とそれに対応する点火装置をそれぞれ接続したことを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の大気圧プラズマ発生装置。
【請求項５】
前記一方の点火用電極を、反応管を覆うとともに電気的に接地された筐体に接続したことを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の大気圧プラズマ発生装置。
【請求項６】
一端が吹き出し口として開放された反応管の他端側からガスを導入し、反応管の周囲又はその近傍に配置されたアンテナ又は電極に高周波電圧を印加した状態で、アンテナ又は電極を間に挟んで反応管の一端側と他端側に配置された一対の点火用電極の一方の点火用電極を電気的に接地し、他方の点火用電極に所定時間高電圧を印加してプラズマを点火することを特徴とする大気圧プラズマ点火方法。
【請求項７】
反応管が複数配置されている場合に、各反応管毎に独立して所定時間高電圧を印加してプラズマを点火することを特徴とする請求項６記載の大気圧プラズマ点火方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、大気圧プラズマ発生装置において、簡単な構成で安定して大気圧プラズマを点火することができる大気圧プラズマ発生装置及び点火方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
大気圧プラズマ発生装置は、ガスを反応管の一端から導入し、反応管の周囲又は近傍に配設したアンテナや電極に高周波電圧を印加することで、反応管内でプラズマを発生させ、反応管の他端からプラズマを吹き出すように構成されている。このような大気圧プラズマ装置においては、大気圧プラズマが点火している状態で連続してプラズマを発生させるのに必要な所定の高周波電圧をアンテナや電極に印加し、反応管にガスを導入するだけでは、最初に大気圧プラズマが点火せず、点火するためにはアンテナや電極に高電圧を印加する必要がある。そこで、アンテナや電極に高周波電圧を印加する高周波電源から点火に必要な高電圧を印加することも考えられるが、高出力に耐える整合回路は、耐電圧耐電流が高くなり、使用する部品が大型になり、装置がコンパクトにならない。そこで低出力の高周波電源を用い、反応管内又はその近傍に高電圧を印加してプラズマを点火する点火装置が設けられている。
【０００３】
点火装置を有する大気圧プラズマ発生装置としては、図７に示すように、反応管２１の外周に軸芯方向に適当間隔あけて一対のプラズマ生成用電極２２、２３を配置し、反応管２１にガスを供給しつつ、高周波電源２４から整合回路２５を介してプラズマ生成用電極２２、２３間に高周波電圧を印加することで、プラズマ生成用電極２２、２３間のプラズマ発生部２６でプラズマを発生させ、吹き出し口２７から吹き出すようにした大気圧プラズマ発生装置において、プラズマ点火時に、高電圧パルス発生装置２９に接続された点火用電極２８を、反応管２１の吹き出し口２７の下流近傍に位置させ、高電圧のパルス電圧を印加することによって、点火用電極２８と接地されたプラズマ生成用電極２３との間で放電させて予備電離プラズマを発生させ、この予備電離プラズマにてプラズマ発生部２６でのプラズマを点火するようにしたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、図８に示すように、反応管３１の外周に軸芯方向に適当間隔あけて一対のプラズマ生成用電極３２、３３を配置し、これらプラズマ生成用電極３２、３３間に高周波電源３４から整合回路３５を介して高周波電圧を印加するようにし、プラズマ生成用電極３２、３３間をプラズマ発生部３６とし、反応管３１の他端を発生したプラズマの吹き出し口３７とした大気圧プラズマ発生装置において、反応管３１の一端の第１ガス導入口３８とプラズマ生成用電極３２との間にガス導入管３９を接続し、かつ第１ガス導入口３８とガス導入管３９との間の範囲の反応管３１の外面に接して一対の予備放電電極４０、４１を対向配置し、これら予備放電電極４０、４１の間に予備放電電源４２から高電圧を印加し、反応管３１内のプラズマ発生部３６の上流側に予備放電空間４３を設けたものも知られている（例えば、特許文献２参照）。
【０００５】
図８の構成においては、プラズマの点火時には、第１ガス導入口３８から反応管３１内に電離し易く放電開始電圧の低いガス４４を導入し、プラズマ生成用電極３２、３３間に高周波電圧を印加した状態で、予備放電電極４０、４１の間に高電圧を印加することで、予備放電空間４３に予備放電プラズマ４５が発生し、そこで生成された荷電粒子がガス流れにそってプラズマ発生部３６に導入されることでプラズマ発生部３６でプラズマが点火される。その後、ガス導入管３９の第２ガス導入口４６から反応管３１内に反応性ガスなどのその他のガス４７を導入することで、プラズマ発生部３６で所要のプラズマが発生し、吹き出し口３７から吹き出される。
【特許文献１】特開２００１−１２６８９８号公報
【特許文献２】特開２００２−００８８９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、図７に示した特許文献１の構成では、点火装置をプラズマ点火後に吹き出し口２７の近傍から退避させる必要があり、点火装置の移動機構が必要になるため、装置構成が複雑になってコンパクトで安価な構成を実現することができないという問題あり、また吹き出し口２７の近傍で高電圧を印加することで点火するものであるため、複数の反応管２１を並列配置した大気圧プラズマ発生装置においては、１つの反応管２１で先にプラズマが発生すると、隣接する他の反応管２１ではその影響を受けて高電圧を適切に印加できず、点火が不可能になるという問題がある。
【０００７】
また、図８に示した特許文献２の構成では、点火し易いガス４４を第１のガス導入口３８から導入する必要があり、プラズマ処理には第１ガス導入口３８と第２ガス導入口４６から異なる種類のガスを別々の供給系統から供給する必要があり、複数のガス供給系統が必要であるため構成が複雑になり、コンパクトで安価な構成を実現することができないという問題があり、またプラズマ発生部３６の上流側で予備放電プラズマ４５を発生させて点火するものであるため、複数の反応管３１が並列配置されている大気圧プラズマ発生装置では、すべての反応管３１で安定してプラズマを点火するのが困難であるという問題がある。
【０００８】
本発明は、上記従来の問題に鑑み、反応管が単一の場合でも複数並列配置されている場合でも、また整合回路などのプラズマ発生用の回路にダメージを与えることなく、簡単かつコンパクトな構成にてプラズマを安定して点火することができる大気圧プラズマ発生装置及び点火方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の大気圧プラズマ発生装置は、一端が吹き出し口として開放された反応管と、反応管の周囲又はその近傍に配置されたアンテナ又は電極と、反応管内に他端からガスを導入するガス供給手段と、アンテナ又は電極に高周波電圧を印加する高周波電源とを備えた大気圧プラズマ発生装置において、アンテナ又は電極を間に挟んで反応管の一端側と他端側に一対の点火用電極を配置し、一方の点火用電極を電気的に接地し、他方の点火用電極を、所定時間高電圧を発生する点火装置に接続したものである。
【００１０】
この構成によれば、アンテナ又は電極を間に挟んでその両側に配置した一対の点火用電極の一方を接地して両点火用電極間に点火装置から高電圧を印加することで、反応管内のアンテナ又は電極に対応したプラズマ発生域を縦貫して点火用の放電が生じるため、反応管外の影響を受けずに確実かつ安定して点火することができ、かつ点火用電極の一方が接地されているので、整合回路などのプラズマ発生用の回路に放電電力が誤って入力してダメージを与える恐れもなく、また反応管に設けた一対の点火用電極に点火用電源を接続した構成であるため、簡単かつコンパクトに構成することができる。
【００１１】
また、前記一方の点火用電極を反応管の一端側に、前記他方の点火用電極を反応管の他端側に配設すると、反応管の吹き出し口側の点火用電極が接地されているので、高電圧が印加される点火時に、吹き出し口の近傍に配置された各種部材との間で異常放電が生じるのを防止することができて好適である。なお、従来、反応管の吹き出し口近傍を接地電位にすると、吹き出し口から適正にプラズマを吹き出すことができないものと想定されていたが、本発明者の研究過程でプラズマの吹き出しには全く影響を与えないことを見出したことに基づいて本発明は発明されたものである。
【００１２】
また、点火装置が、交流又はパルス状の高電圧を発生するものであると、交番電界によって効果的にかつ安定して点火することができて好適である。なお、点火装置が出力する高電圧は、プラズマ発生用の高周波電源の出力電圧の３倍以上、例えば数ｋＶ〜３０ｋＶ位までが好適である。
【００１３】
また、反応管が複数配置され、各反応管に設けられた前記他方の点火用電極毎に各別に点火装置を設け、各他方の点火用電極とそれに対応する点火装置をそれぞれ接続すると、各反応管に対してそれぞれ独立して上記のように確実にかつ安定して点火することができ、反応管が複数並列配置されていてもすべての反応管に対して確実にかつ安定して点火することができる。
【００１４】
また、前記一方の点火用電極を、反応管を覆うとともに電気的に接地された筐体に接続すると、簡単な構成にて前記一方の点火用電極を接地することができて、一層簡単かつコンパクトな構成とすることができる。
【００１５】
また、本発明の大気圧プラズマ点火方法は、一端が吹き出し口として開放された反応管の他端側からガスを導入し、反応管の周囲又はその近傍に配置されたアンテナ又は電極に高周波電圧を印加した状態で、アンテナ又は電極を間に挟んで反応管の一端側と他端側に配置された一対の点火用電極の一方の点火用電極を電気的に接地し、他方の点火用電極に所定時間高電圧を印加してプラズマを点火するものである。
【００１６】
この構成によると、上記のように反応管内のアンテナ又は電極に対応したプラズマ発生域を縦貫して点火用の放電が生じるため、反応管外の影響を受けずに確実かつ安定して点火することができ、かつ点火用電極の一方が接地されているので、整合回路などのプラズマ発生用の回路に放電電力が誤って入力してダメージを与える恐れもなく、また反応管に設けた一対の点火用電極に所定時間高電圧を印加だけであるため、簡単かつコンパクトに構成することができる。
【００１７】
また、反応管が複数配置されている場合に、各反応管毎に独立して所定時間高電圧を印加してプラズマを点火すると、上記のように反応管が複数並列配置されていてもすべての反応管に対して確実にかつ安定して点火することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の大気圧プラズマ発生装置及び点火方法によれば、アンテナ又は電極を間に挟んでその両側に配置した一対の点火用電極の一方を接地して両点火用電極間に点火装置から高電圧を印加することで、反応管内のアンテナ又は電極に対応したプラズマ発生域を縦貫して点火用の放電が生じるため、反応管外の影響を受けずに確実かつ安定して点火することができ、かつ点火用電極の一方が接地されているので、整合回路などのプラズマ発生用の回路に放電電力が誤って入力してダメージを与える恐れもなく、また反応管に設けた一対の点火用電極に点火装置を接続した構成であるため、簡単かつコンパクトに構成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の大気圧プラズマ発生装置の各実施形態について、図１〜図６を参照しながら説明する。
【００２０】
（第１の実施形態）
まず、本発明の大気圧プラズマ発生装置の第１の実施形態について、図１〜図３を参照して説明する。
【００２１】
図１において、１は誘電体から成る反応管で、その外周にコイル状のアンテナ２が巻回されて配置されている。アンテナ２の両端は整合回路３を介して高周波電源４に接続されている。高周波電源４としては、周波数帯が１３．５６ＭＨｚに代表されるＲＦ周波数帯や、１００ＭＨｚに代表されるＶＨＦ周波数帯のものが好適に用いられ、その場合反射波を抑えるために整合回路３は必須である。
【００２２】
反応管１は、その一端開口がプラズマの吹き出し口５であり、他端開口６に対して、図２に示すように、ガス供給部８から流量制御手段９を介してガス７を供給するように構成されている。なお、図２における大気圧プラズマ発生部１０は、反応管１とコイル２と整合回路３をシールド用の筐体（図示せず）内に収容してユニット化したものである。
【００２３】
ガス７は、不活性ガスと反応性ガスの混合ガスであり、ガス供給部８から供給されるガスを流量制御手段９にて組成及び流量が精度良く同一になるように制御して反応管１に供給するように構成されている。不活性ガスは、アルゴン、ネオン、キセノン、ヘリウム、窒素から選択された単独ガス又は複数の混合ガスが適用される。また、反応性ガスは、プラズマ処理の種類に応じて、酸素、空気、ＣＯ２ 、Ｎ２ Ｏなどの酸化性ガス、水素、アンモニアなどの還元性ガス、ＣＦ４ などのフロン系ガスなどが適用される。
【００２４】
反応管１の外面には、アンテナ２を間に挟んで一端側と他端側に点火用電極１２、１３が配設されている。反応管１の吹き出し口５近傍の一端側の点火用電極１２は電気的に接地され、他端側の点火用電極１３は、所定時間高電圧を発生する点火装置１４に接続されている。点火用電極１３は先細で先端が尖突状になるように形成し、点火装置１４から供給された電荷が先端に集中して放電が起こり易いようにするのが好適である。点火装置１４は、数ｋＶ〜３０ｋＶの交流又はパルス状の高電圧を発生するものであれば良い。また、点火用電極１２の接地のとり方としては、反応管１やコイル２を覆うシールド用の筐体（図示せず）に接続し、点火装置１４の出力電圧の基準側端子（０Ｖと図示）もこの筐体に接続するのが好適であり、その筐体を接地するとさらに好適である。
【００２５】
上記高周波電源４と流量制御手段９、及び点火装置１４は、図２に示すように、制御部１５にて以下の動作を行うように制御される。
【００２６】
以上の構成によれば、反応管１内にその他端開口６からガス７を供給しつつ、アンテナ２に整合回路３を介して高周波電源４にて高周波電圧を印加した状態で、点火装置１４を動作させて、所定時間だけ交流又はパルス状の高電圧を点火用電極１３に印加すると、図３に示すように、点火用電極１３と接地された点火用電極１２との間で、反応管１内を縦貫して放電１６が生じ、アンテナ２から誘導電界が印加されているプラズマ発生域のガス７が一気に励起されてプラズマ１１が点火する。一旦プラズマ１１が点火すると、アンテナ２からの誘導電界で継続してプラズマ１１が発生し、発生したプラズマ１１が反応管１の一端の吹き出し口５から大気中の開放空間に吹き出す。このプラズマ１１を対象物の表面に照射することでプラズマ処理することができる。
【００２７】
その際に、点火用電極１２、１３がアンテナ２の両側に配置されていても、高電圧が印加される点火用電極１３と対の点火用電極１２が接地されているので、点火用電極１２、１３間で確実に放電１６を生じ、放電電力が整合回路３に入力する恐れがないため、放電１６を反応管１内のプラズマ発生域を縦貫させて発生させながら、整合回路３などのプラズマ発生用の回路にダメージを与える恐れがない。また、反応管１の吹き出し口５の近傍の点火用電極１２が接地されているので、高電圧を印加する点火時に、吹き出し口５の近傍に高電圧が印加され、その近傍に配置された各種部材との間で異常放電が生じるというようなこともない。
【００２８】
なお、点火装置１４による点火用電極１３に対する高電圧の印加時間は、必ずしも一定の所定時間にする必要はなく、吹き出し口５から吹き出したプラズマ１１をその近傍に配置したセンサ（図示せず）にて検出し、その検出信号に基づいて制御部１５にて点火装置１４の動作を停止させるようにしても良い。
【００２９】
（第２の実施形態）
次に、本発明の大気圧プラズマ発生装置の第２の実施形態について、図４、５を参照して説明する。なお、以下の実施形態の説明では、先行する実施形態と同一の構成要素については、同じ参照符号を付して説明を省略し、主として相違点についてのみ説明する。
【００３０】
上記第１の実施形態では、大気圧プラズマ発生部１０に単一の反応管１が設けられている例を示したが、本実施形態では、広い範囲を一度にプラズマ処理できるように、大気圧プラズマ発生部１０に一対の反応管１ａ、１ｂが並列して配設され、それぞれにアンテナ２ａ、２ｂが巻回して配設されている。これらアンテナ２ａ、２ｂは、巻き方向を互いに逆向きに構成して、両反応管１ａ、１ｂの間で、反応管１ａ、１ｂから吹き出したプラズマ１１に発生する高周波ノイズが相互に打ち消し合って外部に漏れる高周波ノイズが低減されるようになされている。図示例では、アンテナ２ａと２ｂを並列接続して整合回路３に接続した例を示したが、直列接続して整合回路３に接続しても良い。
【００３１】
反応管１ａ、１ｂの一端側に設けられた点火用電極１２ａ、１２ｂは相互に接続されて接地され、他端側に設けられた点火用電極１３ａ、１３ｂは、それぞれ各別に設けられた点火装置１４ａ、１４ｂに接続され、それぞれに独立して高電圧を印加するように構成されている。
【００３２】
また、反応管１ａ、１ｂ、アンテナ２ａ、２ｂ、及び整合回路３は、発生した高周波ノイズが外部に漏れ出すのを防止するため、シールド用の筐体１７内に収容配置されている。反応管１ａ、１ｂの一端の吹き出し口５は筐体１７に設けられた開口を通して外部に開放されており、吹き出し口５から吹き出したプラズマ１１が外部の開放空間に吹き出し、対象物の表面に照射してプラズマ処理するように構成されている。
【００３３】
本実施形態によれば、複数の反応管１ａ、１ｂを並列配置しているので、各反応管１ａ、１ｂから吹き出したプラズマ１１にて広い領域を一度にプラズマ処理することができる。しかも、従来は複数の反応管を並列配置した場合、１つの反応管が点火すると、他の反応管で点火出来なかったり、点火が不安定になるのに対して、本発明では上記のように点火時に外部の影響を受けずに反応管１内のプラズマ発生域を縦貫する放電１６が発生して確実に点火することができ、かつ本実施形態では各反応管１ａ、１ｂの点火用電極１３ａ、１３ｂに対してそれぞれ各別に点火装置１４ａ、１４ｂを設けて各反応管１ａ、１ｂに対してそれぞれ独立して点火するようにしているので、反応管１ａ、１ｂが複数並列配置されていても両反応管１ａ、１ｂに対して確実にかつ安定して点火することができる。
【００３４】
図５を参照して説明すると、アンテナ２ａ、２ｂに高周波電源４から高周波電圧を印加し、反応管１ａ、１ｂにガス７を供給した状態で、点火装置１４ａ、１４ｂを動作させて点火用電極１２ａ、１２ｂと点火用電極１３ａ、１３ｂ間にパルス状の高電圧を印加すると、点火装置１４ａ、１４ｂの動作時間内に、反応管１ａ、１ｂでそれぞれ独立してプラズマが点火し、高周波電圧の印加とガス７の供給を継続している間、両反応管１ａ、１ｂからプラズマ１１が連続して吹き出される。
【００３５】
（第３の実施形態）
次に、本発明の大気圧プラズマ発生装置の第３の実施形態について、図６を参照して説明する。
【００３６】
上記実施形態では、一対の反応管１ａ、１ｂを並列配置した構成例を示したが、本実施形態では、４本の反応管１ａ〜１ｄを並列配置し、それぞれの外周にアンテナ２ａ〜２ｄが巻回されて配置されている。アンテナ２ａ〜２ｄは、隣り合うもの同士の巻き方向が互いに逆になるように構成されるとともに、順次直列接続されてその一端は整合回路３及び高周波電源４の一方の端子に接続され、直列接続されたアンテナ２ａ〜２ｄの他端、及び整合回路３及び高周波電源４の他方の端子は筐体１７に接続されている。筐体１７は表面に銅板を配置して抵抗を小さくして接地に接続されている。また、反応管１ａ〜１ｄの一端側に配設された点火用電極１２ａ〜１２ｄは筐体１７に接続され、反応管１ａ〜１ｄの他端側に配設された点火用電極１３ａ〜１３ｄはそれぞれ各別に設けられた点火装置１４ａ〜１４ｄに接続されている。なお、本実施形態では、反応管１ａ〜１ｄとアンテナ２ａ〜２ｄを筐体１７にて覆い、整合回路３は筐体１７外に配設している。
【００３７】
本実施形態のように４本の反応管１ａ〜１ｄを並列配置し、もしくはそれ以上の複数本の反応管を並列配置した場合でも、上記実施形態と同様にすべての反応管１ａ〜１ｄに対して確実に安定して点火することができ、大きな領域に対するプラズマ処理を効率的に行うことができる。また、直列接続されたアンテナ２ａ〜２ｄの他端、及び接地側の点火用電極１２ａ〜１２ｄを接地した筐体１７に接続しているので、接地に対する接続構成が簡単になり、一層簡単かつコンパクトな構成とすることができる。
【００３８】
なお、反応管１ａ〜１ｄでの点火タイミングが多少ずれても良い場合には、点火用電極１３ａ〜１３ｄを切り替え装置を介して単一の点火装置１４に接続して順次点火するようにしても良い。
【００３９】
以上の実施形態では、反応管１（１ａ〜１ｄ）の外周にコイル状のアンテナ２（２ａ〜２ｄ）を巻回配置した例を示したが、反応管１（１ａ〜１ｄ）の外周近傍に波形状のアンテナを配置した構成でも、さらに種々の形態の電極を配置した構成でも、本発明の点火用電極１２（１２ａ〜１２ｄ）、１３（１３ａ〜１３ｄ）及び点火装置１４（１４ａ〜１４ｄ）を適用することで同様の効果を奏することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
本発明の大気圧プラズマ発生装置及び点火方法によれば、反応管内のアンテナ又は電極に対応したプラズマ発生域を縦貫させて点火用の放電を生じさせることができて、反応管外の影響を受けずに確実かつ安定して点火することができ、かつ整合回路などのプラズマ発生用の回路に放電電力が誤って入力してダメージを与える恐れもなく、また簡単かつコンパクトに構成することができるので、大気圧プラズマ処理装置に効果的に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の第１の実施形態の大気圧プラズマ発生装置の構成図。
【図２】同実施形態の制御構成を示すブロック図。
【図３】同実施形態における点火作用を示す断面図。
【図４】本発明の第２の実施形態の大気圧プラズマ発生装置の構成図。
【図５】同実施形態の動作タイミング図。
【図６】本発明の第３の実施形態の大気圧プラズマ発生装置の構成図。
【図７】従来例の大気圧プラズマ発生装置の構成図。
【図８】他の従来例の大気圧プラズマ発生装置の構成を示す断面図。
【符号の説明】
【００４２】
１、１ａ、１ｂ、１ａ〜１ｄ  反応管
２、２ａ、２ｂ、２ａ〜２ｄ  アンテナ
４  高周波電源
５  吹き出し口
６  他端開口
７  ガス
８  ガス供給部
１１  プラズマ
１２、１２ａ、１２ｂ、１２ａ〜１２ｄ  一方の点火用電極
１３、１３ａ、１３ｂ、１３ａ〜１３ｄ  他方の点火用電極
１４、１４ａ、１４ｂ、１４ａ〜１４ｄ  点火装置
１７  筐体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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