(57)【要約】【課題】ワーク表面の開口部をマスキング部材にて閉塞し、前記開口部とは異なる箇所からのエアリークを検出するためのエアリークテストについて、前記マスキング部材によるマスキング不良を解決するための新規な技術を提案する。【解決手段】ワーク１の表面の開口部１１をマスキング部材２１にて閉塞し、前記ワーク１における前記開口部１１とは異なる箇所からのエアリークを検出するためのエアリークテスト装置であって、前記マスキング部材２１にかかる圧力分布を検出するための圧力センサ２１ｂと、前記圧力分布を表示するための手段（圧力分布演算部３２、表示部３１）と、を具備することとする。【選択図】図１
2008232928.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークの表面の開口部をマスキング部材にて閉塞し、前記ワークにおける前記開口部とは異なる箇所からのエアリークを検出するためのエアリークテスト装置であって、
前記マスキング部材にかかる圧力分布を検出するための圧力センサと、
前記圧力分布を表示するための手段と、
を具備するエアリークテスト装置。
【請求項２】
ワークの表面の開口部をマスキング部材にて閉塞し、前記ワークにおける前記開口部とは異なる箇所からのエアリークを検出するためのエアリークテスト方法であって、
前記マスキング部材には、該マスキング部材にかかる圧力分布を検出するための圧力センサが備えられ、
前記ワークに発生するエアリーク量の合否判定をする第一のステップ、
前記エアリーク量が不合格判定とされたときに、前記圧力センサで検出する前記マスキング部材の圧力分布の合否判定をする第二のステップ、
前記圧力分布が不合格判定とされたときに、前記圧力分布の異常部位を洗浄する第三のステップ、
前記洗浄後、前記ワークに発生するエアリーク量の合否判定をする第四のステップ、
を含む、エアリークテスト方法。
【請求項３】
前記圧力分布は、オペレータが前記異常部位を特定できるように表示する、
ことを特徴とする、請求項２に記載のエアリークテスト方法。
【請求項４】
前記第四のステップにおいて、前記エアリーク量が不合格判定とされたときに、前記マスキング部材における圧力分布の合否判定をする第五のステップ、
前記第五のステップにおいて、前記圧力分布が不合格判定とされたときに、前記マスキング部材を交換する第六のステップ、
前記マスキング部材の交換後、前記ワークに発生するエアリーク量の合否判定をする第七のステップ、
を含む、ことを特徴とする、請求項２又は請求項３に記載のエアリークテスト方法。
【請求項５】
ワークの表面の開口部をマスキング部材にて閉塞し、前記ワークにおける前記開口部とは異なる箇所からのエアリークを検出するためのエアリークテスト装置であって、
前記マスキング部材の温度分布を検出するための温度センサと、
前記温度分布を表示するための手段と、
を具備するエアリークテスト装置。
【請求項６】
ワークの表面の開口部をマスキング部材にて閉塞し、前記ワークにおける前記開口部とは異なる箇所からのエアリークを検出するためのエアリークテスト方法であって、
前記マスキング部材には、該マスキング部材の温度分布を検出するための温度センサが備えられ、
前記ワークに発生するエアリーク量の合否判定をする第一のステップ、
前記エアリーク量が不合格判定とされたときに、前記温度センサで検出する前記マスキング部材の温度分布の合否判定をする第二のステップ、
前記温度分布が不合格判定とされたときに、温度分布の異常部位を洗浄する第三のステップ、
前記洗浄後、前記ワークに発生するエアリーク量の合否判定をする第四のステップ、
を含む、エアリークテスト方法。
【請求項７】
前記温度分布は、オペレータが前記異常部位を特定できるように表示する、
ことを特徴とする、請求項６に記載のエアリークテスト方法。
【請求項８】
前記第四のステップにおいて、前記エアリーク量が不合格判定とされたときに、前記マスキング部材における温度分布の合否判定をする第五のステップ、
前記第五のステップにおいて、前記温度分布が不合格判定とされたときに、前記マスキング部材を交換する第六のステップ、
前記マスキング部材の交換後、前記ワークに発生するエアリーク量の合否判定をする第七のステップ、
を含む、ことを特徴とする、請求項６又は請求項７に記載のエアリークテスト方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワーク表面の開口部を、マスキング部材にてマスキング（閉塞）して、前記ワークの導通部内に所定の圧力を加えた状態とするとともに、エアリークの問題がないマスタワークにも圧力を加え、両者間に生じる差圧の計測値に基づいて、ワークの機械加工時にできる欠陥や巣、また、ワーク同士の組付け不良などを検出するためのエアリークテスト装置、及び、エアリークテスト方法の技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ワーク内部に形成される導通部のワーク表面の開口部を、マスキング部材にてマスキング（閉塞）して、前記ワークの導通部内に所定の圧力を加えた状態とするとともに、エアリークの問題がないマスタワークにも圧力を加え、両者間に生じる差圧の計測値に基づいて、ワークの機械加工時にできる欠陥や巣、また、ワーク同士の組付け不良などを検出するためのエアリークテスト装置、及び、エアリークテスト方法に関する技術は公知となっている（例えば、特許文献１、２参照。）。
【０００３】
このようなエアリークテストにおいては、前記マスキング部材による前記開口部のマスキングを正確に行う必要が生じる。これは、例えば、図８に示すような構成において、ワーク７０の開口部７１・７２を閉塞するマスキング部材７３・７４にてエアリークが生じてしまうと、ワーク内部の導通部の圧力が低下してしまう。この場合、ワーク７０の加工時の欠陥や巣、また、ワーク同士の組付け不良など、前記開口部７１・７２とは異なる箇所において発生するエアリークを正確に判定できないことになる。つまりは、マスキング不良により計測誤差が生じてしまうのである。
【０００４】
この図８の例では、ワークの機械加工時に発生する切り粉７５が、洗浄工程を経た後にも前記開口部７１の周辺に残ってしまっており、この切り粉７５を挟み込むようにしてマスキング部材７３によるマスキングがされて、切り粉７５が挟まった箇所の近傍からエアリークが発生することとなっている。このような洗浄が不十分であることに起因するマスキング不良は、ラインの洗浄能力に関係するものであるが、一般的に、切り粉の残留は機械加工ラインにおいて発生しやすい問題の一つと考えられる。
【０００５】
そして、このようなマスキング不良によるエアリークが発生した場合では、エアリークのないマスタワークとの間で差圧が生じ、その差圧から求まるエアリーク量が閾値以上であるときには、エアリークテスト装置にて、マスキング不良を含めたエアリークの発生を判定することができる。そして、このような場合、作業員がエアリークの音を検知することでマスキング不良の発生箇所を特定し、切り粉を見つけることができる場合には、再洗浄を行うことで対応することができる。
【０００６】
しかし、マスキング不良によるエアリーク量が微小な場合、作業員の耳ではエアリークの音を聞き取れずに、マスキング不良の発生箇所を特定するのが困難となる。仮に特定できた場合には、その箇所のみを洗浄することで対応することができるが、特定できない場合には、全体を洗浄して、再度エアリークテストを実施する必要が生じることになる。このような洗浄の繰り返しは、煩雑な作業となり、また、時間も要するといった問題となる。
【０００７】
また、検査対象となるワークについて、許容されるエアリーク量が大きい場合には、マスキング不良による少量のエアリーク量については問題とならないが、許容されるエアリーク量が小さい場合には、マスキング不良による少量のエアリークによっても、エアリーク量が許容値を超過してしまい、本来はエアリークテストを合格と判定されるべきワークについても不合格と判定してしまう、すなわち、誤判定の問題が生じることになる。
【０００８】
また、作業員による定性的な判断となってしまうため、傾向管理が難しく、再発防止の手段を講じ難いという問題がある。
【０００９】
さらに、前記マスキング部材は、通常、テストの繰り返しによって摩耗するため、定期的な交換をすることとされているが、切り粉や開口部付近のバリ等によって破損する場合もあり、定期的な交換前に異常摩耗が発生することもある。エアリークテストにて不合格が連続した場合に、この異常摩耗の発生を疑ってマスキング部材の検査・交換等の対処をすることになるが、異常摩耗を検出するまでに不合格判定したワークを無駄にしてしまい、また、テスト時間を無駄にしてしまうという問題となる。
【特許文献１】特開２００４−１７７２７５号公報
【特許文献２】特開２００５−１２７８７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、以上の問題に鑑みたものであり、ワーク表面の開口部をマスキング部材にて閉塞し、前記開口部とは異なる箇所からのエアリークを検出するためのエアリークテストについて、前記マスキング部材によるマスキング不良を解決するための新規な技術を提案するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【００１２】
即ち、請求項１に記載のごとく、
ワークの表面の開口部をマスキング部材にて閉塞し、前記ワークにおける前記開口部とは異なる箇所からのエアリークを検出するためのエアリークテスト装置であって、
前記マスキング部材にかかる圧力分布を検出するための圧力センサと、
前記圧力分布を表示するための手段と、
を具備することとする。
【００１３】
また、請求項２に記載のごとく、
ワークの表面の開口部をマスキング部材にて閉塞し、前記ワークにおける前記開口部とは異なる箇所からのエアリークを検出するためのエアリークテスト方法であって、
前記マスキング部材には、該マスキング部材にかかる圧力分布を検出するための圧力センサが備えられ、
前記ワークに発生するエアリーク量の合否判定をする第一のステップ、
前記エアリーク量が不合格判定とされたときに、前記圧力センサで検出する前記マスキング部材の圧力分布の合否判定をする第二のステップ、
前記圧力分布が不合格判定とされたときに、前記圧力分布の異常部位を洗浄する第三のステップ、
前記洗浄後、前記ワークに発生するエアリーク量の合否判定をする第四のステップ、
を含む、エアリークテスト方法とするものである。
【００１４】
また、請求項３に記載のごとく、
前記圧力分布は、オペレータが前記異常部位を特定できるように表示する、こととするものである。
【００１５】
また、請求項４に記載のごとく、
前記第四のステップにおいて、前記エアリーク量が不合格判定とされたときに、前記マスキング部材における圧力分布の合否判定をする第五のステップ、
前記第五のステップにおいて、前記圧力分布が不合格判定とされたときに、前記マスキング部材を交換する第六のステップ、
前記マスキング部材の交換後、前記ワークに発生するエアリーク量の合否判定をする第七のステップ、
を含む、こととするものである。
【００１６】
また、請求項５に記載のごとく、
ワークの表面の開口部をマスキング部材にて閉塞し、前記ワークにおける前記開口部とは異なる箇所からのエアリークを検出するためのエアリークテスト装置であって、
前記マスキング部材の温度分布を検出するための温度センサと、
前記温度分布を表示するための手段と、
を具備することとする。
【００１７】
また、請求項６に記載のごとく、
ワークの表面の開口部をマスキング部材にて閉塞し、前記ワークにおける前記開口部とは異なる箇所からのエアリークを検出するためのエアリークテスト方法であって、
前記マスキング部材には、該マスキング部材の温度分布を検出するための温度センサが備えられ、
前記ワークに発生するエアリーク量の合否判定をする第一のステップ、
前記エアリーク量が不合格判定とされたときに、前記温度センサで検出する前記マスキング部材の温度分布の合否判定をする第二のステップ、
前記温度分布が不合格判定とされたときに、温度分布の異常部位を洗浄する第三のステップ、
前記洗浄後、前記ワークに発生するエアリーク量の合否判定をする第四のステップ、
を含む、エアリークテスト方法とするものである。
【００１８】
また、請求項７に記載のごとく、
前記温度分布は、オペレータが前記異常部位を特定できるように表示する、こととするものである。
【００１９】
また、請求項８に記載のごとく、
前記第四のステップにおいて、前記エアリーク量が不合格判定とされたときに、前記マスキング部材における温度分布の合否判定をする第五のステップ、
前記第五のステップにおいて、前記温度分布が不合格判定とされたときに、前記マスキング部材を交換する第六のステップ、
前記マスキング部材の交換後、前記ワークに発生するエアリーク量の合否判定をする第七のステップ、
を含む、こととするものである。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。
【００２１】
即ち、請求項１に記載の発明においては、圧力分布に基づいて、切り粉等の残存物に伴うマスキング不良を検出することができ、エアリークテストにおける誤判定を防止することができる。
【００２２】
また、請求項２に記載の発明においては、圧力分布の合否判定をすることにより、切り粉等の残存物に伴うマスキング不良を検出することができ、エアリークテストにおける誤判定を防止することができる。
【００２３】
また、請求項３に記載の発明においては、オペレータは容易に切り粉等の存在箇所を特定できるため、この特定に時間を要することなく、短時間で洗浄を完了することができる。また、このような残留物の存在箇所の傾向を管理することで、洗浄工程の改善等に役立てることが可能となり、ひいては、マスキング不良の再発防止を図ることができる。
【００２４】
また、請求項４に記載の発明においては、マスキング部材の異常摩耗の早期発見が可能となる。
【００２５】
また、請求項５に記載の発明においては、温度分布に基づいて、切り粉等の残存物に伴うマスキング不良を検出することができ、エアリークテストにおける誤判定を防止することができる。
【００２６】
また、請求項６に記載の発明においては、温度分布の合否判定をすることにより、切り粉等の残存物に伴うマスキング不良を検出することができ、エアリークテストにおける誤判定を防止することができる。
【００２７】
また、請求項７に記載の発明においては、オペレータは容易に切り粉等の存在箇所を特定できるため、この特定に時間を要することなく、短時間で洗浄を完了することができる。また、このような残留物の存在箇所の傾向を管理することで、洗浄工程の改善等に役立てることが可能となり、ひいては、マスキング不良の再発防止を図ることができる。
【００２８】
また、請求項８に記載の発明においては、マスキング部材の異常摩耗の早期発見が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
次に、発明の実施の形態を説明する。
【実施例１】
【００３０】
本実施例において行うエアリークテストは、図１に示すごとく、検査対象となるワーク１の表面の開口部１１・１２・・・を、マスキング部材２１・２２・・・にて閉塞することで、ワーク１において、前記開口部１１・１２・・・と異なる箇所からのエアリークを検出するものである。
【００３１】
また、図２（ａ）（ｂ）（ｃ）に示すごとく、マスキング部材２１は、ワーク１の開口部１１を覆うシート状の可撓性部材２１ａに、同じくシート状の圧力センサ２１ｂを設ける構成とするものである。シート状の可撓性部材２１ａは、例えば、ゴムにて構成することができる。また、シート状の圧力センサ２１ｂは、ワーク１の表面１ａに接触される側に設けられるものであって、その表面上に複数の感圧部２５ａ・２５ｂ・・・が形成され、各感圧部２５ａ・２５ｂ・・・において、それぞれ、個別に圧力を検知可能とするものである。尚、図１における他のマスキング部材２２・２３・・・についても、同様にシート状の圧力センサを具備する構成とする。
【００３２】
また、図１に示すごとく、各マスキング部材２１・２２・・・は、図示せぬロボットアームに取付けられるなどして、順次搬送される各ワーク１の開口部１１・１２・・・を閉塞するように構成されている。即ち、あるワーク１が搬送されてくると、そのワーク１の開口部１１・１２・・・を各マスキング部材２１・２２・・・にて閉塞し、エアリークテスト終了後は、移動して前記開口部１１・１２・・・を開放するとともに、次に搬送されてくるワーク１の開口部１１・１２・・・を閉塞すべく、規定の位置で待機するものである。
【００３３】
また、図１に示すごとく、各マスキング部材２１・２２・・・は、解析装置３０と接続され、各マスキング部材２１・２２・・・の各感圧部２５ａ・２５ｂ・・・において検知される圧力は、解析装置３０に入力されるようになっている。
【００３４】
また、この解析装置３０には、表示部３１が設けられており、この表示部３１では、前記各マスキング部材２１・２２・・・のシート状の圧力センサで検知される圧力が、それぞれ、圧力分布表示２１ｃ・２２ｃ・・・として表示されるようになっている。また、「ＣＨ１」、「ＣＨ２」といったように、各圧力分布表示２１ｃ・２２ｃ・・・が、どのマスキング部材２１・２２・・・についてのものであるかを、オペレータが識別できるようになっている。
【００３５】
図３は、図１に示すマスキング部材２１の圧力センサ２１ｂ（図２（ａ）参照）において検知される圧力についての、圧力分布表示２１ｃを示すものである。この圧力分布表示２１ｃにおいては、前記各感圧部２５ａ・２５ｂ・・・において検知される圧力の高低をオペレータが視覚認識できるような表示がなされるようになっており、本実施例においては、圧力が高いほど表示ドットｄ・ｄ・・・の密度を高くすることで、圧力分布が表現されるようになっている。解析装置３０には、このような圧力分布表示２１ｃを形成するための、圧力分布演算部３２が設けられている。尚、圧力分布の高低の表示の形態は、色分けによるもの等であってもよく、多様な形態を適用することができる。
【００３６】
図３に示す例では、図１に示すごとく、ワーク１の表面に切り粉４が残存し、この切り粉４の上に被るようにしてマスキング部材２１がセットされた場合における圧力分布の例を示している。この切り粉４が存在する箇所については、密閉性が低下してエアリークが発生するものであり、このエアリークの発生によって、切り粉４が存在する箇所に該当する、圧力分布の異常部位Ａにおいて、高い圧力分布となるものである。尚、ここでの説明の例のように、ワーク１の表面の残存物の挟み込みを検出する目的とするものであれば、前記圧力センサ２１ｂについては、開口部１１に対応する部位を切り抜いたドーナツ形状のものとしてもよい。
【００３７】
また、図１に示すごとく、解析装置３０には、各マスキング部材２１・２２・・・において、圧力分布について合否判定をするための圧力分布合否判定部３３（図４）が設けられている。図１、及び、図３では、マスキング部材２１の圧力分布表示２１ｃについて、前記圧力分布合否判定部３３（図４）にて不合格判定が行われ、その結果が「ＮＧ」として表示部３１に表示される例が示されている。尚、合格判定の場合には、マスキング部材２２の圧力分布表示２２ｃについての表示のように、「ＯＫ」が表示部３１に表示される。
【００３８】
また、この圧力分布合否判定部３３（図４）における、圧力分布についての合否判定は、例えば、圧力分布における圧力値の最小値から最大値までの幅が、予め規定される閾値以下である場合には合格判定とし、圧力分布における圧力値の最小値から最大値までの幅が、予め規定される閾値よりも大きい場合には不合格判定とすることで、実施することができる。尚、圧力分布合否判定部３３によれば、圧力分布についての合否判定を自動に実施することができるが、この判定は、前記圧力分布演算部３２にて表示部３１に表示される圧力分布表示２１ｃ（図３参照）に基づいて、オペレータが目視によって、人的に実施することとしてもよい。
【００３９】
また、エアリークテストを行うためのエア回路構成については、図５に示すごとく、差圧センサ３によって、前記ワーク１とマスタワーク２の内部の圧力の差、即ち、差圧を検知する構成とするものである。また、前記マスタワーク２は、そのエアリーク量が規定量よりも少なく構成されるもの、つまりは、エアリークテストにおいて合格判定がなされるものである。このマスタワーク２を比較対照として設定し、前記差圧を差圧センサ３にて検出し、該差圧に基づいてエアリーク量を演算にて求めることにより、検査対象のワーク１の合否判定を行うものである。
【００４０】
また、図５の回路構成において、４２は、ワーク１、及び、マスタワーク２内に高圧エアを供給するためのエア供給源である。４３、４４、４５は、それぞれ、バルブであり、４６は、エア供給源４２からのエアの圧力を表示するためのゲージである。また、ワーク１内、及び、マスタワーク２内へは、それぞれ、エア供給管４７・４８を介してエア供給源４２からのエアが供給される。また、エア供給管４７・４８は、それぞれ差圧センサ３に連通され、該差圧センサ３にて両エア供給管４７・４８の間の差圧が測定されるようになっている。
【００４１】
また、図５の回路構成において、エア供給管４７・４８は、ワーク１、及び、マスタワーク２のそれぞれにおいて、いずれか一つ、又は、複数の開口部に接続され、ワーク１内部、及び、マスタワーク２内部にそれぞれ形成される導通部に、高圧エアが供給されるようになっている。このエア供給管４７・４８は、前記マスキング部材２１・２２・・・と同様に、図示せぬロボットアームに取付けられるなどして、マスキング部材２１・２２・・・にて閉塞しない開口部に接続され、その開口部との間でのシール性を保った状態にて、ワーク１内部、及び、マスタワーク２内部にそれぞれ形成される導通部に、高圧エアを供給することとしている。尚、このエア供給管４７・４８が接続される開口部と、前記マスキング部材２１・２２・・・にて閉塞される開口部１１・１２・・・は、ワーク１内部、及び、マスタワーク２内部にそれぞれ形成される導通部を介して連通されるものである。
【００４２】
また、図１に示すごとく、前記差圧センサ３は、解析装置３０と接続されており、差圧センサ３にて検知される差圧は、解析装置３０に入力されるようになっている。
【００４３】
また、この解析装置３０には、前記差圧センサ３から入力される差圧から、前記ワーク１に発生しているエアリーク量を演算にて求めるためのエアリーク量演算部３４（図４）が設けられている。この演算のための計算式については、周知のものを採用することができる。
【００４４】
また、解析装置３０の表示部３１には、エアリーク量演算部３４（図４）にて求めたエアリーク量が表示されるようになっており、オペレータがエアリーク量を認識できるようになっている。
【００４５】
また、解析装置３０には、前記エアリーク量演算部３４にて求めたエアリーク量が、予め規定される閾値よりも大きい場合には、エアリーク量について合否判定をするためのエアリーク量合否判定部３５（図４）が設けられている。図１では、エアリーク量について、前記エアリーク量合否判定部３５（図４）にて不合格判定が行われ、その結果が「エアリーク量判定ＮＧ」として表示部３１に表示される例が示されている。尚、合格判定の場合には、その結果が「エアリーク量判定ＯＫ」として表示部３１に表示される。
【００４６】
また、以上の説明のごとく、解析装置３０は、図４に示すごとく、各マスキング部材２１・２２・・・の圧力センサにて検知される圧力の圧力分布表示２１ｃを作成するための圧力分布演算部３２と、ワーク１に発生しているエアリーク量を演算にて求めるためのエアリーク量演算部３４と、圧力分布についての合否判定をするための圧力分布合否判定部３３と、エアリーク量についての合否判定をするためのエアリーク量合否判定部３５と、前記圧力分布表示２１ｃ、エアリーク量、圧力分布についての合否判定、エアリーク量についての合否判定を表示するための表示部３１を具備している。また、各マスキング部材２１・２２・・・、及び、差圧センサ３１と接続されるインタフェース３６を具備している。
【００４７】
また、前記解析装置３０は、専用の回路基板と表示装置にて構成する他、市販のコンピュータと、ソフトウェアの構成によって実現することも可能である。
【００４８】
以上のように、本実施例においては、図１乃至図５に示すごとく、
ワーク１の表面の開口部１１をマスキング部材２１にて閉塞し、前記ワーク１における前記開口部１１とは異なる箇所からのエアリークを検出するためのエアリークテスト装置であって、
前記マスキング部材２１にかかる圧力分布を検出するための圧力センサ２１ｂと、
前記圧力分布を表示するための手段（本実施例では、圧力分布演算部３２、表示部３１）と、
を具備するものである。
【００４９】
この構成により、圧力分布に基づいて、切り粉等の残存物に伴うマスキング不良を検出することができ、エアリークテストにおける誤判定を防止することができる。
【００５０】
そして、以上のような装置構成とし、以下に説明するようにしてエアリークテストを実施することができる。
このエアリークテストの流れについて、図６に示すフローチャートを用いて説明する。
まず、検査対象となるワーク１について、図１に示すように、各開口部１１・１２・・・を各マスキング部材２１・２２・・・にて閉塞し、図５に示すごとくのエア回路構成をセッティングし、エア供給源４２からのエア供給を開始する（ステップＳ１）。
【００５１】
次に、解析装置３０では、エアリーク量演算部３４にて、前記差圧センサ３１からの出力に基づいて、ワーク１に発生しているエアリーク量を求める（ステップＳ２）。このエアリーク量が製品基準内、即ち、予め規定された閾値よりも小さい場合には、マスタワーク２と比較してもエアリークが問題ないものとして、エアリーク量合否判定部３５にてエアリークについての合格判定がなされる（ステップＳ３）。このエアリーク量、及び、合格判定の結果は、前記表示部３１に表示される（図１参照）。
【００５２】
一方、エアリーク量が予め規定された閾値以上である場合には、エアリーク量合否判定部３５にてエアリーク量についての不合格判定がなされる。この不合格判定がなされた場合、圧力分布合否判定部３３による圧力分布についての合否判定のステップに移行する（ステップＳ４）。
【００５３】
この圧力分布合否判定部３３による圧力分布の合否判定のステップにおいて、圧力分布における圧力値の最小値から最大値までの幅が、予め規定される閾値以下である場合には、圧力分布について合格判定がなされることになる。この場合、圧力分布については合格であるにもかかわらず（閉塞は問題ないにもかかわらず）、前のステップＳ２においてエアリーク量について不合格であることから、前記開口部１１・１２・・・とは異なる位置にて発生しているエアリーク量が大きいものとして、エアリーク量合否判定部３５にてエアリークについて不合格判定がなされる（ステップＳ５）。
【００５４】
一方、圧力分布合否判定部３３にて圧力分布についての不合格判定がなされた場合、即ち、圧力分布において、圧力値の最小値から最大値までの幅が、予め規定される閾値よりも大きい場合には、切り粉４等の洗浄後の残存物の挟み込みを疑い、再洗浄が実施される（ステップＳ６）。ここでの再洗浄においては、前記圧力分布演算部３２にて表示部３１に表示される圧力分布表示２１ｃ（図３参照）に基づいて、オペレータは容易に切り粉４等の存在箇所を特定できるため、この特定に時間を要することなく、短時間で洗浄を完了することができる。つまり、圧力分布表示２１ｃにおける圧力分布の異常部位Ａのみの洗浄を実施するものである。
【００５５】
尚、以上の説明では、圧力分布合否判定部３３にて自動的に合格／不合格の判定を行うこととしたが、前記圧力分布演算部３２にて表示部３１に表示される圧力分布表示２１ｃ（図３参照）に基づいて、オペレータが目視によって、人的に判定することとしてもよい。
【００５６】
再洗浄後は、再度エアリークテストが実施される（ステップＳ７）。
即ち、図１に示すように、各開口部１１・１２・・・を各マスキング部材２１・２２・・・にて閉塞し、図５に示すごとくのエア回路構成をセッティングし、エア供給源４２からのエア供給を開始する。
【００５７】
そして、解析装置３０では、エアリーク量演算部３４にて、前記差圧センサ３１からの出力に基づいて、ワーク１に発生しているエアリーク量を求める（ステップＳ８）。このエアリーク量が製品基準内、即ち、予め規定された閾値よりも小さい場合には、マスタワーク２と比較してもエアリークが問題ないものとして、エアリーク量合否判定部３５にてエアリークについての合格判定がなされる（ステップＳ３）。このエアリーク量、及び、合格判定の結果は、前記表示部３１に表示される（図１参照）。
【００５８】
一方、エアリーク量が予め規定された閾値以上である場合には、エアリーク量合否判定部３５にてエアリーク量についての不合格判定がなされる。この不合格判定がなされた場合、圧力分布合否判定部３３による圧力分布についての合否判定のステップに移行する（ステップＳ９）。
【００５９】
この圧力分布合否判定部３３による圧力分布の合否判定のステップにおいて、圧力分布における圧力値の最小値から最大値までの幅が、予め規定される閾値以下である場合には、圧力分布について合格判定がなされる。しかし、圧力分布については合格であるにもかかわらず（閉塞は問題ないにもかかわらず）、前のステップＳ８において、エアリーク量について不合格判定がされていることから、前記開口部１１・１２・・・とは異なる位置にて発生しているエアリーク量が大きいものとして、前記エアリーク量合否判定部３５にてエアリークについて不合格判定がなされる（ステップＳ１０）。
【００６０】
一方、ステップＳ９において、圧力分布合否判定部３３にて圧力分布についての不合格判定がなされた場合、即ち、圧力分布において、圧力値の最小値から最大値までの幅が、予め規定される閾値よりも大きい場合には、マスキング部材２１の異常摩耗（圧力センサ２１ｂの損傷）や、ワーク１の保持位置の適否（試験機において規定の位置にワーク１がセットされているか否か）、マスキング部材２１・２２・・・のワーク１に対する設置角度の適否、等の確認を行う（ステップＳ１１）。ここでは、前記ステップＳ６において再洗浄を行ったのにも関わらず、ステップＳ９において、圧力分布について異常が確認されるものであるから、マスキング部材２１・２２・・・の損傷などの発生を疑い、適切なエアリークテストが実施できる状態であるか否かを再確認するものである。これにより、例えば、マスキング部材２１の異常摩耗の早期発見が可能となる。
【００６１】
ステップＳ１１における確認作業、交換作業等の終了後は、再度エアリークテストが実施される（ステップＳ１２）。
即ち、図１に示すように、各開口部１１・１２・・・を各マスキング部材２１・２２・・・にて閉塞し、図５に示すごとくのエア回路構成をセッティングし、エア供給源４２からのエア供給を開始する。
【００６２】
そして、解析装置３０では、エアリーク量演算部３４にて、前記差圧センサ３１からの出力に基づいて、ワーク１に発生しているエアリーク量を求める（ステップＳ１３）。このエアリーク量が製品基準内、即ち、予め規定された閾値よりも小さい場合には、マスタワーク２と比較してもエアリークが問題ないものとして、エアリーク量合否判定部３５にてエアリークについての合格判定がなされる（ステップＳ３）。このエアリーク量、及び、合格判定の結果は、前記表示部３１に表示される（図１参照）。
【００６３】
一方、エアリーク量が予め規定された閾値以上である場合には、エアリーク量合否判定部３５にてエアリークについて不合格判定がなされる。ここでは、マスキング部材２１・２２・・・に異常はなく、かつ、テスト状況が適切であるにもかかわらず、エアリーク量について不合格であることから、前記開口部１１・１２・・・とは異なる位置にて発生しているエアリーク量が大きいものと判断するものである（ステップＳ１４）。
【００６４】
以上のようにして、エアリークテストを実施するものである。
即ち、以上をまとめると、
ワーク１の表面の開口部１１をマスキング部材２１にて閉塞し、前記ワーク１における前記開口部１１とは異なる箇所からのエアリークを検出するためのエアリークテスト方法であって、
前記マスキング部材２１には、該マスキング部材２１にかかる圧力分布を検出するための圧力センサが備えられ、
ワーク１に発生するエアリーク量の合否判定をする第一のステップ（ステップＳ２）、
前記エアリーク量が不合格判定とされたときに、前記圧力センサで検出する前記マスキング部材２１の圧力分布の合否判定をする第二のステップ（ステップＳ４）、
前記圧力分布が不合格判定とされたときに、前記圧力分布の異常部位を洗浄する第三のステップ（ステップＳ６）、
前記洗浄後、ワーク１に発生するエアリーク量の合否判定をする第四のステップ（ステップＳ８）、
を含む、エアリークテスト方法とするものである。
【００６５】
圧力分布の合否判定をすることにより、切り粉等の残存物に伴うマスキング不良を検出することができ、エアリークテストにおける誤判定を防止することができる。
【００６６】
また、前記圧力分布は、オペレータが前記異常部位を特定できるように表示する、こととするものである。
【００６７】
これにより、オペレータは容易に切り粉等の存在箇所を特定できるため、この特定に時間を要することなく、短時間で洗浄を完了することができる。また、このような残留物の存在箇所の傾向を管理することで、洗浄工程の改善等に役立てることが可能となり、ひいては、マスキング不良の再発防止を図ることができる。
【００６８】
また、前記第四のステップにおいて、前記エアリーク量が不合格判定とされたときに、前記マスキング部材２１における圧力分布の合否判定をする第五のステップ（ステップＳ９）、
前記第五のステップにおいて、前記圧力分布が不合格判定とされたときに、前記マスキング部材を交換する第六のステップ（ステップＳ１１）、
前記マスキング部材の交換後、ワーク１に発生するエアリーク量の合否判定をする第七のステップ（ステップＳ１３）、
を含む、こととするものである。
【００６９】
これにより、マスキング部材２１の異常摩耗の早期発見が可能となる。
【実施例２】
【００７０】
本実施例は、図７（ａ）に示すごとく、ワーク５０の開口部５１への挿入部位を有する筒状のマスキング部材５２について、本発明を適用したものであり、開口部５１の内部（導通部５１ａ）における切り粉５３の挟み込みの検出を想定したものである。尚、この例では、マスキング部材５２の挿入先端が先細りとなるようになっており、側面視においてテーパー形状をなすこととしている。
【００７１】
図７（ｂ）に示すごとく、筒状のマスキング部材５２において、その筒軸方向において異なる複数箇所に、それぞれ輪状に圧力センサ５４・５５を設ける構成とし、各圧力センサ５４・５５における圧力分布を、圧力分布表示５４ｃ・５５ｃのように表示することとするものである。この例では、圧力分布表示５４ｃにおいて、切り粉５３が挟み込まれたことを、規定圧力分布５６から外れた異常部位５７が検出されることを示している。尚、ここでの圧力分布表示は、円の中心から近いほど圧力が高いことをあらわすこととしており、切り粉５３の挟み込みにより、圧力が高くなって異常部位５７として表示されているものである。
【００７２】
以上のようにして、筒状のマスキング部材５２においても、切り粉５３等の挟み込みに伴うマスキング不良を検出することが可能となるものである。
【実施例３】
【００７３】
さらに、以上の実施例では、圧力分布に基づいてマスキング不良を検出することとしたが、マスキング部材が切り粉等の挟み込むことによって、その挟み込んだ部位においてエアリークが発生する場合には、エアが通過することによって、マスキング部材における当該エアリークの箇所の温度が、マスキング部材における他の箇所の温度とは異なることになる。特に、ワーク内に高圧のエアを供給してエアリークテストを行う場合には、マスキング部材におけるエアリーク箇所の温度と、他の箇所の温度の違いは顕著になる。
【００７４】
そこで、以上の実施例において圧力分布に基づいてマスキング不良を検出する代わりに、温度分布に基づいてマスキング不良を検出することとすることもできる。この場合、上記実施例において判断の基準となる「圧力」を、「温度」とすることにより説明が足りるものである。例えば、圧力センサの変わりに、温度センサを適用することで対応できるものであり、説明を省略する。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】実施例１のエアリークテスト装置の構成について示す図。
【図２】（ａ）は、マスキング部材の側面断面図。（ｂ）は、マスキング部材の底面断面図。（ｃ）は、開口部を閉塞した状態でのマスキング部材の側面断面図。
【図３】圧力分布表示の例について示す図。
【図４】解析装置の構成要素について示す図。
【図５】エアリークテストの際のエア回路構成について示す図。
【図６】エアリークテストを実施する際の手順について示す図。
【図７】（ａ）は、実施例２のマスキング部材の構成について示す図。（ｂ）は、実施例２における圧力分布表示の例について示す図。
【図８】従来のエアリークテストの流れについて示す図。
【符号の説明】
【００７６】
１      ワーク
２      マスタワーク
３      差圧センサ
４      切り粉
１１    開口部
２１    マスキング部材
２１ｂ  圧力センサ
２１ｃ  圧力分布表示
３０    解析装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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