(57)【要約】【課題】形成すべく導波路の断面積が小さく導波路の長さが大きい場合でも簡単に製造できる断熱性導波管の製造方法を提供すること。【解決手段】形成すべき導波路４００４の断面の輪郭と同一形状の断面を有する金属製の棒材５０を設ける。次に、導波効率の高い金属材料を棒材５０の外面に付着させ、棒材５０の外面を覆う薄膜体４０を形成する。次に、薄膜体４０の外面に、熱伝導率の低い金属材料により薄膜体４０の補強用の金属製筒体３０を形成する。次に、金属製筒体３０の外面に密着して金属製筒体３０を覆い、薄膜体４０および金属製筒体３０の形状を保持するに足る強度を有する合成樹脂製筒体２０を形成する。次に、互いに一体化された棒材５０、薄膜体４０、金属製筒体３０、合成樹脂製筒体２０を薬剤に浸漬し、棒材５０を溶解させて断熱性導波管１０を得る。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属材料からなり形成すべき導波路の断面の輪郭と同一形状の断面の輪郭を有する棒材を設け、
前記金属材料とは別の材料で導波効率の高い金属材料により前記棒材の外面に、該外面を覆う薄膜からなる薄膜体を形成し、
前記薄膜体を構成する金属材料よりも高い強度を有しかつ熱伝導率の低い金属材料により前記薄膜体の外面に、該外面を覆う金属製筒体を形成し、
前記金属製筒体の外面に、該外面に密着して該外面を覆い前記薄膜体の形状および前記金属製筒体の形状を保持するに足る強度を有し前記薄膜体を構成する金属材料よりも熱伝導率の小さい合成樹脂からなる合成樹脂製筒体を形成し、
互いに一体化された前記棒材、前記薄膜体、前記金属製筒体、前記合成樹脂製筒体を薬剤に浸漬して前記棒材を溶解させ、
前記薄膜体と前記金属製筒体と前記合成樹脂製筒体からなる導波管を得るようにした、
ことを特徴とする断熱性導波管の製造方法。
【請求項２】
金属材料からなり形成すべき導波路の断面の輪郭と同一形状の断面の輪郭を有する棒材を設け、
前記金属材料とは別の材料で導波効率の高い金属材料により前記棒材の外面に、該外面を覆う薄膜からなる薄膜体を形成し、
前記薄膜体を構成する金属材料よりも高い強度を有しかつ熱伝導率の低い金属材料により前記薄膜体の外面に、該外面を覆い前記薄膜体の形状を保持するに足る剛性を有する金属製筒体を形成し、
前記金属製筒体の外面に、該外面に密着して該外面を覆い前記薄膜体を構成する金属材料よりも熱伝導率の小さい合成樹脂からなる合成樹脂製筒体を形成し、
互いに一体化された前記棒材、前記薄膜体、前記金属製筒体、前記合成樹脂製筒体を薬剤に浸漬して前記棒材を溶解させ、
前記薄膜体と前記金属製筒体と前記合成樹脂製筒体からなる導波管を得るようにした、
ことを特徴とする断熱性導波管の製造方法。
【請求項３】
前記薄膜体はメッキまたは蒸着により前記棒材の外面に形成されることを特徴とする請求項１または2記載の断熱性導波管の製造方法。
【請求項４】
前記金属製筒体は、メッキまたは蒸着により前記薄膜体の外面に形成されることを特徴とする請求項１または2記載の断熱性導波管の製造方法。
【請求項５】
前記棒材は中空状を呈していることを特徴とする請求項１または2記載の断熱性導波管の製造方法。
【請求項６】
前記合成樹脂は繊維強化プラスチックであり、前記合成樹脂製筒体は、前記金属製筒体の外面に、ガラス繊維や炭素繊維などの強化繊維を巻き付けて積層し、その上から流動状態のプラスチックを塗り固め硬化させ、あるいは、流動状態のプラスチックを含浸させたガラス繊維や炭素繊維などの強化繊維を巻き付けて積層し前記プラスチックを硬化させることで形成されることを特徴とする請求項１または2記載の断熱性導波管の製造方法。
【請求項７】
前記薄膜体を構成する金属材料は、金または銀または銅の何れかであり、前記棒材を構成する金属材料はアルミであることを特徴とする請求項１または2記載の断熱性導波管の製造方法。
【請求項８】
前記薄膜体を構成する前記導波効率の高い金属材料は金であり、前記棒材は真鍮であることを特徴とする請求項１または2記載の断熱性導波管の製造方法。
【請求項９】
前記金属製筒体を構成する金属材料はニッケルであることを特徴とする請求項１または2記載の断熱性導波管の製造方法。
【請求項１０】
前記薄膜の厚さは、２〜３μｍであることを特徴とする請求項１または２記載の断熱性導波管の製造方法。
【請求項１１】
前記金属製筒体を形成した後で前記合成樹脂製筒体の形成前に、前記金属製筒体の長手方向の端部に導波管連結用のフランジが接合される、
ことを特徴とする請求項１または２記載の断熱性導波管の製造方法。
【請求項１２】
前記フランジは、前記金属製筒体を構成する金属材料と同じ材料で形成されている、
ことを特徴とする請求項１１記載の断熱性導波管の製造方法。
【請求項１３】
前記フランジは、円板状の本体と、前記本体の中央に貫通形成され前記金属製筒体の端部が挿入される孔と、前記本体の外周部に設けられた複数のボルト挿通孔とを有し、
前記フランジの前記金属製筒体への接合は、前記孔に前記金属性筒体の端部が挿入されてはんだ付けやロー付けが行なわれることでなされる、
ことを特徴とする請求項１１記載の断熱性導波管の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は断熱性導波管の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
天体などからミリ波、サブミリ波帯の微弱な信号を受信する受信機システムでは、前記信号を伝送して増幅可能な中間周波数に変換して出力する受信装置を含んでおり、このような受信装置では、低雑音の超伝導素子を用いることが好ましい。
そして、超伝導素子を用いた受信装置では、超伝導素子を超低音に冷却する必要があり、冷凍機を含んで構成されている。
一方、ミリ波、サブミリ波帯の微弱な信号は、一般に、前記受信装置の外部から内部へと導波管により導かれる。
したがって、冷凍機により超伝導素子を超低音に冷却しようとしても、受信装置外の大気の温度（熱）が導波管を伝わって受信装置内に導かれてしまい、導波管を用いた受信装置では超伝導素子を超低音に冷却する上で不利がある。
また、寒冷地で用いられる受信機システムでは、室内の暖かな温度（熱）が導波管を伝わって室外に導かれ、導波管の外端の周辺の雪や氷を溶かし、導波管の外端に凍り付かせ受信を困難とする不利がある。
このような不具合を解消するため、従来、合成樹脂や繊維強化プラスチックからなる管体の内面に、導波路を画成する薄膜を設け、導波管に断熱性を持たせたものが提案されている（例えば、特許文献１、特許文献２）。
【特許文献１】特開昭５９−２２６５０２
【特許文献２】特開平７−３２６９１０
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、このような従来の導波管では、合成樹脂や繊維強化プラスチックからなる管体の内面に、メッキや蒸着により薄膜を形成するため、形成すべく導波路の断面積が大きく導波路の長さが小さい場合には、管体の内面に薄膜が付着し易く、製造することができるが、形成すべく導波路の断面積が小さく導波路の長さが大きくなると、管体の内面に薄膜が付着し難く、製造することが困難となる。
本発明はこのような不具合を解決すべく案出されたものであって、本発明の目的は、形成すべく導波路の断面積が小さく導波路の長さが大きい場合でも簡単に製造できる断熱性導波管の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
前記目的を達成するため本発明の断熱性導波管の製造方法は、金属材料からなり形成すべき導波路の断面の輪郭と同一形状の断面の輪郭を有する棒材を設け、前記金属材料とは別の材料で導波効率の高い金属材料により前記棒材の外面に、該外面を覆う薄膜からなる薄膜体を形成し、前記薄膜体を構成する金属材料よりも高い強度を有しかつ熱伝導率の低い金属材料により前記薄膜体の外面に、該外面を覆う金属製筒体を形成し、前記金属製筒体の外面に、該外面に密着して該外面を覆い前記薄膜体の形状および前記金属製筒体の形状を保持するに足る強度を有し前記薄膜体を構成する金属材料よりも熱伝導率の小さい合成樹脂からなる合成樹脂製筒体を形成し、互いに一体化された前記棒材、前記薄膜体、前記金属製筒体、前記合成樹脂製筒体を薬剤に浸漬して前記棒材を溶解させ、前記薄膜体と前記金属製筒体と前記合成樹脂製筒体からなる導波管を得るようにしたことを特徴とする。
また、本発明は、金属材料からなり形成すべき導波路の断面の輪郭と同一形状の断面の輪郭を有する棒材を設け、前記金属材料とは別の材料で導波効率の高い金属材料により前記棒材の外面に、該外面を覆う薄膜からなる薄膜体を形成し、前記薄膜体を構成する金属材料よりも高い強度を有しかつ熱伝導率の低い金属材料により前記薄膜体の外面に、該外面を覆い前記薄膜体の形状を保持するに足る剛性を有する金属製筒体を形成し、前記金属製筒体の外面に、該外面に密着して該外面を覆い前記薄膜体を構成する金属材料よりも熱伝導率の小さい合成樹脂からなる合成樹脂製筒体を形成し、互いに一体化された前記棒材、前記薄膜体、前記金属製筒体、前記合成樹脂製筒体を薬剤に浸漬して前記棒材を溶解させ、前記薄膜体と前記金属製筒体と前記合成樹脂製筒体からなる導波管を得るようにしたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００５】
本発明の断熱性導波管の製造方法によれば、まず、金属材料からなり形成すべき導波路の断面の輪郭と同一形状の断面の輪郭を有する棒材を用意し、この棒材の外面にメッキや蒸着などにより薄膜を形成して薄膜体を得る。
また、棒材の外面に薄膜体を形成し、この薄膜体の外面に金属製筒体および合成樹脂製筒体を形成するので、薄膜体の内部に棒材が位置していることから、薄膜体を変形させることなく金属製筒体および合成樹脂製筒体を薄膜体の外面にしっかりと強固に密着させて形成でき、薄膜体と一体化された金属製筒体および合成樹脂製筒体が簡単に得られる。
その後、棒材を溶解させることで、内側に薄膜体を有する金属製筒体および合成樹脂製筒体、すなわち、断熱性導波管を簡単に得ることができる。
請求項１記載の発明によれば、金属製筒体により薄膜体が補強され、合成樹脂製筒体により薄膜体の形状および金属製筒体の形状が保持され、金属製筒体と合成樹脂製筒体により断熱性が高められた断熱性導波管が得られ、請求項２記載の発明によれば、金属製筒体により薄膜体が補強されて薄膜体の形状が保持され、金属製筒体および合成樹脂製筒体により断熱性が高められた断熱性導波管が得られる。
したがって、棒材の断面積が小さく長さが大きくても棒材の内面ではなく外面に薄膜を形成するので、薄膜を簡単に形成でき、導波路を構成する薄膜体を簡単に得ることができる。
したがって、断熱性を有し、導波路の断面積が小さく導波路の長さが大きい導波管が簡単に確実に得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
以下、本発明方法を添付図面に従って説明する。
図１（Ａ）は本発明方法により製造された断熱性導波管の断面正面図、（Ｂ）は同断面側面図を示す。
断熱性導波管１０は、合成樹脂製筒体２０と、合成樹脂製筒体２０の内面に設けられた金属製筒体３０と、金属製筒体３０の内面に設けられた薄膜体４０とで構成されている。
【０００７】
薄膜体４０は、導波効率の高い金属材料の薄膜４００２からなり、その内側に断面矩形の導波路４００４が形成されており、したがって、薄膜体４０は断面が矩形の筒状を呈している。
薄膜体４０を構成する導波効率の高い金属材料として、例えば、金または銀または銅などが挙げられる。
薄膜４００２の厚さは薄いほど導波管の長手方向における熱の伝導を抑制する上で有利となるが、伝送特性や一定品質の薄膜体を確実に量産する観点からすると、薄膜４００２の厚さは２〜３μｍが好ましい。
【０００８】
金属製筒体３０は、薄膜体４０を構成する金属材料よりも高い強度を有しかつ薄膜体４０を構成する金属材料よりも熱伝導率の小さい金属材料で形成され、このような金属材料として、たとえば、ニッケルが挙げられる。
金属製筒体３０は、薄膜体４０の外面に密着してこの外面を覆っており、薄膜体４０の形状に対応して断面が矩形の筒状を呈している。
金属製筒体３０は、薄膜体４０を補強しており、薄膜体４０と一体になって薄膜体４０の剛性を高めており、また、導波路４００４の断熱材としても機能している。
この場合、金属製筒体３０の厚さは、導波路４００４の断面積などにもよるが、５０〜１５０μｍ程度である。
【０００９】
合成樹脂製筒体２０は、薄膜体４０を構成する金属材料よりも熱伝導率の小さい合成樹脂材料で形成され、本実施の形態では、金属製筒体３０を構成する金属材料よりも熱伝導率の小さい合成樹脂材料で形成され、このような合成樹脂材料として、従来公知の様々な合成樹脂材料が使用可能であり、また、ガラス繊維や炭素繊維と合成樹脂材料とを組み合わせた繊維強化プラスチックなどが挙げられる。
合成樹脂製筒体２０は、金属製筒体３０の外面に密着して該外面を覆い薄膜体４０および金属製筒体３０の形状を保持するに足る強度を有しており、したがって、合成樹脂製筒体２０は、導波路４００４の断熱材として機能し、かつ、薄膜体４０および金属製筒体３０の補強材（導波路４００４の補強材）として機能する。
合成樹脂製筒体２０の断面は、薄膜体４０および金属製筒体３０の断面が矩形枠状であることから薄膜体４０および金属製筒体３０の形状に対応した矩形の筒状を呈している。
なお、導波路４００４の断面形状は例えば円形などであってもよく矩形に限定されず、また、導波路４００４は直線状に延在するものでもよく、曲線状に延在するものでもよく、導波路４００４に形状に伴って金属製筒体３０および合成樹脂製筒体２０の形状が決定される。
【００１０】
次に、図２（Ａ）乃至（Ｄ）を参照して断熱性導波管１０の製造方法について説明する。
まず、図２（Ａ）に示すように、金属材料からなり形成すべき導波路４００４の断面の輪郭と同一形状の断面の輪郭を有する棒材５０を設ける。
なお、棒材５０は、中空状であってもよく、中実状であってもよい。
棒材５０を構成する金属材料は、後述するように、一体化された棒材５０、薄膜体４０、金属製筒体３０、合成樹脂製筒体２０を薬剤に浸漬した際にこの棒材５０のみが溶解されものであるため、薄膜体４０や金属製筒体３０を構成する金属とは異種の金属が用いられる。例えば、薄膜体４０が金または銀または銅で形成される場合には、棒材５０としてアルミが用いられ、また、薄膜体４０が金で形成される場合には、棒材５０として真鍮が用いられる。なお、金属製筒体３０は、いずれの場合にもニッケルが採用可能である。
【００１１】
次に、図２（Ｂ）に示すように、棒材５０を構成する金属材料とは別の材料で導波効率の高い金属材料を、メッキまたは蒸着などにより棒材５０の外面に付着させ、棒材５０の外面を覆う薄膜４００２からなる薄膜体４０を形成する。
【００１２】
次に、図２（Ｃ）に示すように、薄膜体４０の外面に、薄膜体４０を構成する金属材料よりも高い強度を有しかつ薄膜体４０を構成する金属材料よりも熱伝導率の小さい金属材料を、メッキまたは蒸着などにより薄膜体４０の外面に付着させ、薄膜体４０の外面を覆う金属製筒体３０を形成する。
【００１３】
次に、図２（Ｄ）に示すように、金属製筒体３０の外面に薄膜体４０を構成する金属材料よりも熱伝導率の小さい材料であるプラスチックを密着し、本実施の形態では、金属製筒体３０を構成する金属材料よりも熱伝導率の小さい材料であるプラスチックを密着し、金属製筒体３０の外面を覆い薄膜体４０および金属製筒体３０の形状を保持するに足る強度を有する合成樹脂製筒体２０を形成する。
プラスチックとして繊維強化プラスチックを用いる場合には、金属製筒体３０の外面に、ガラス繊維や炭素繊維などの強化繊維を巻き付けて積層し、その上から流動状態のプラスチックを塗り固め硬化させ、あるいは、流動状態のプラスチックを含浸させたガラス繊維や炭素繊維などの強化繊維を巻き付けて積層し前記プラスチックを硬化させることが行なわれる。
次に、互いに一体化された棒材５０、薄膜体４０、金属製筒体３０、合成樹脂製筒体２０を薬剤に浸漬して棒材５０を溶解させ、図２（Ｅ）に示す薄膜体４０と金属製筒体３０と合成樹脂製筒体２０からなり薄膜体４０の内側に導波路４００４が形成された断熱性導波管１０を得る。
【００１４】
このような製造方法で得られた断熱性導波管１０は、導波路４００４を構成する金属材料部分は極めて薄い薄膜４００２からなる薄膜体４０であり、したがって、断熱性導波管１０の長手方向において薄膜体４０を通しての熱伝導を極めて小さく抑えることが可能となる。
さらに、薄膜体４０の外面は、導波路４００４を構成する金属材料よりも熱伝導率の小さい材料の金属製筒体３０および合成樹脂製筒体２０により覆われており、したがって、断熱性導波管１０の長手方向において金属製筒体３０および合成樹脂製筒体２０を通しての熱伝導は極めて小さいことは無論のこと、薄膜体４０を通しての熱伝導もより一層小さく抑える上で有利となる。
また、薄膜体４０は極めて薄い薄膜４００２で形成されているので薄膜体４０のみでは導波路４００４の形状を保持し難いが、薄膜体４０の外面に密着する金属製筒体３０により薄膜体４０が補強され、かつ、金属製筒体３０の外面に密着する合成樹脂製筒体２０により導波路４００４の形状が保持されることから、導波路４００４における伝送が確実になされる。
したがって、天体などからのミリ波、サブミリ波帯の微弱な信号を断熱性導波管１０により受信装置へ導く上で極めて有利となる。
【００１５】
次に、作用、効果について説明する。
本発明の断熱性導波管の製造方法では、形成すべき導波路４００４の断面の輪郭と同一形状の断面の輪郭を有する棒材５０を用意し、この棒材５０の外面にメッキまたは蒸着などにより薄膜４００２を形成し、薄膜体４０を得るようにした。
したがって、形成すべく導波路４００４の断面積が小さく導波路４００４の長さが大きくても、すなわち、棒材５０の断面積が小さく長さが大きくても、棒材５０の内面ではなく外面に薄膜４００２を形成するので、薄膜４００２を簡単に確実に形成でき、薄膜体４０を簡単に得ることができる。
また、薄膜体４０が単体である場合、薄膜体４０を構成する薄膜４００２が極めて薄いため、薄膜体４０（導波路４００４）の形状を変形させることなく薄膜体２０の外面に他の材料を密着させて覆うことが極めて困難となるが、本実施の形態では、棒材５０の外面に薄膜体４０を形成し、この薄膜体４０の上に金属製筒体３０および合成樹脂製筒体２０を形成するので、薄膜体４０の内側に密着した棒材５０が位置しており、薄膜体４０を変形させることなく薄膜体４０の外面に確実に密着して該外面を覆う金属製筒体３０および合成樹脂製筒体２０を簡単に確実に得ることができる。
【００１６】
この場合、繊維強化プラスチックを用いると、薄膜体４０の内部に棒材５０が位置していることから、ガラス繊維や炭素繊維などの強化繊維を金属製筒体３０にしっかりと強固に巻き付けて積層できるので、金属製筒体３０の外面に確実に密着して薄膜体４０および金属製筒体３０と一体化し、薄膜体４０の形状を保持する合成樹脂製筒体２０が簡単に確実に得られる。
なお、合成樹脂製筒体２０は、薄膜体４０および金属製筒体３０が形成された棒材５０を型内にセットし、型内にプラスチックを流し込む型成形などによっても形成することができるが、上述の繊維強化プラスチックを用いて合成樹脂製筒体２０を得るようにすると、型が不要であるため低コスト化を図る上で有利となる。
そして、最後に棒材５０を溶解させることで、薄膜体４０、金属製筒体３０、合成樹脂製筒体２０からなる断熱性導波管１０を簡単に得ることができ、したがって、断熱性に優れ断面積が小さく長さが大きい導波路４００４を有する導波管を簡単に確実に得ることができる。
この場合、棒材５０として、断面が矩形の管体（あるいは導波路の断面が円形の場合には断面が環状の管体など）のような中空状のものを用いると、中実状の棒材５０と比べてより簡単に溶解でき、したがって、溶解に要する時間を短縮でき、また、形成すべき導波路の断面が極めて小さい場合でもより確実に溶解させることができ、生産効率を高める上で有利となる。
【００１７】
次に、第２の実施の形態について説明する。
図３（Ａ）は断熱性導波管のフランジ部分の正面図、（Ｂ）は断熱性導波管のフランジ部分の断面図である。
第２の実施の形態は、第１の実施の形態の断熱性導波管１０にフランジ６０を加えたものである。
すなわち、第２の実施の形態の断熱性導波管１０は、第１の実施の形態と同様に、合成樹脂製筒体２０、金属製筒体３０、薄膜体４０とで構成されており、フランジ６０は、それら合成樹脂製筒体２０、金属製筒体３０、薄膜体４０の長手方向の端部で金属製筒体３０に一体に形成されている。
フランジ６０は、断熱性導波管１０の端部において断熱性導波管１０の延在方向と直交する平面上を延在するように設けられている。
【００１８】
このようなフランジ６０を有する断熱性導波管１０は次のように製造される。
まず、フランジ６０が予め形成される。
フランジ６０は、図４（Ａ）に正面図で、（Ｂ）に断面図で示すように、円板状の本体６００２と、本体６００２の中心部に貫通形成され金属製筒体３０が挿入される角孔６００４と、本体６００２の外周部に周方向に等間隔をおいて形成された複数のボルト挿通孔６００６を有している。
そして、金属製筒体３０を形成した後で合成樹脂製筒体２０の形成前に、金属製筒体３０の端部を、フランジ６０の角孔６００４に挿入し、はんだ付けやロー付けによりフランジ６０を金属製筒体３０に接合することなどで製造される。この接合時、フランジ６０は薄膜体４０に直接接合されず金属製筒体３０に接合され、この金属製筒体３０は薄膜体４０を補強するものであり薄膜体４０に比べて強固なものであるため、薄膜体４０が熱の影響により変形するなどの不具合が阻止される。
なお、合成樹脂製筒体２０の形成時に、フランジ６０の背面や外周面を、すなわち、フランジ６０の合わせ面以外の箇所を合成樹脂で覆うなど任意である。
また、フランジ６０を構成する金属材料は、薄膜体４０を構成する金属材料よりも高い強度を有しかつ薄膜体４０を構成する金属材料よりも熱伝導率の小さい金属材料が用いられ、したがって、金属製筒体３０を構成する金属材料と同一のものが使用可能であり、例えば、ニッケルが使用される。
第２の実施の形態では、極めて薄い薄膜４００２からなる導波路４００４を有する断熱性導波管１０であるにもかかわらず、それらをフランジ６０により連結して用いることが可能となる。
【００１９】
なお、第１、第２の実施の形態では、合成樹脂製筒体２０が、金属製筒体３０の外面を覆い薄膜体４０および金属製筒体３０の形状を保持するに足る強度を有している場合について説明したが、金属製筒体３０を、薄膜体４０の形状を保持するに足る剛性を有するように形成してもよい。
この場合、金属製筒体３０の厚さは、導波路４００４の断面積などにもよるが、１５０〜５００μｍ程度となる。
また、この場合には、第１、第２の実施の形態では、合成樹脂製筒体２０が導波路４００４の断熱材として機能し、かつ、薄膜体４０および金属製筒体３０の補強材として機能していたのに対し、合成樹脂製筒体２０は主として断熱材として機能することになる。
また、金属製筒体３０を、薄膜体４０の形状を保持するに足る剛性を有するように形成し、合成樹脂製筒体２０を、導波路４００４の断熱材として機能させ、かつ、薄膜体４０および金属製筒体３０の補強材として機能させるようにしてもよい。
また、導波路４００４の形状や大きさは目的、用途などに応じて適宜変更される。
また、本発明の製造方法の対象となる断熱性導波管１０は、リジットなもの、フレキシブルなものの双方を含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】（Ａ）は本発明方法により製造された断熱性導波管の断面正面図、（Ｂ）は同断面側面図である。
【図２】本発明の断熱性導波管の製造方法の説明図である。
【図３】（Ａ）フランジを有する断熱性導波管の正面図、（Ｂ）は同断面図である。
【図４】（Ａ）フランジの正面図、（Ｂ）は同断面図である。
【符号の説明】
【００２１】
１０……断熱性導波管、２０……合成樹脂製筒体、３０……金属製筒体、４０……薄膜体、４００２……薄膜、４００４……導波路、５０……棒材、６０……フランジ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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