(57)【要約】      （修正有）【課題】静電気、分子間引力、湿気等の影響を受けずに微小粒を確実にとりあげる装置、あるいは所要位置に所要量の微小粒を定置する装置を提供する。【解決手段】ノズル２内に微小粒５を接着剤、液晶、薬液等の液体６と共に吸い上げ、次に所要位置で液体と共に吐出する。あるいはノズル内に微小粒５と接着剤、液晶、薬液等の液体を混在さし所要位置で液体と共に吐出する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル内に微小粒と接着剤、液晶、薬液等の液体を混在さし、液体定量吐出で該ノズル内の液を吐出する際、ノズルを加振機で振動さして液体と共に微小粒を定量吐出する装置。
【請求項２】
タンク３１と、該タンク下部にノズル３２を着脱自在に複数個装着し、タンク３１の上部にガス導通口３４を設置し、ガス圧力制御装置３５に連結し、壁面に加振機３６を設置した微小粒散布装置。
【請求項３】
下端に開口部を、上端外側にタンクとの連結部を形成し、内部に微小粒と液体を混在さして密閉したカートリッジ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０１】液晶パネルスペーサー、ハンダボール、半導体用微小金属粒、微細機構用金属粒等の比較的寸法の揃った球状の微小粒を所要位置に吐出或は所要位置から取上げる装置に関する。
【背景技術】
【０２】０．５ｍｍ程度以上の直径の粒は目視が可能で、真空ピンセットで取上げ、次に所要位置に移動して真空を開放して落下さす。又は微小穴を開口したスクリーン版上に微小粒を散布し刷毛でこすり微小穴より落下さす等の手段を講じている。【０３】しかしながら０．５ｍｍ以下の微小粒になると目視も困難で拡大鏡が必要となり、ピンセットやスクリーン版に静電気、分子間引力、湿気などで付着し落下してくれない。０．１ｍｍ以下の微小粒になると、この傾向が強まり、ますます落下してくれない。この場合超音波振動等を付加して落とすこともあるが、跳ね飛ばされて所要位置から外れてしまう。
【発明が解決しようとする課題】
【０４】静電気、湿気等の影響を避けて微小粒を確実にとりあげる装置、あるいは所要位置に所要量の微小粒を定置する装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０５】ノズル内に微小粒を接着剤、液晶、薬液等の液体と共に吸い上げ、次に所要位置で液体と共に吐出する。あるいはノズル内に微小粒と接着剤、液晶、薬液等の液体を混在さし所要位置で液体と共に吐出する。
【０６】微小粒がノズル内でせりあって詰まる様な場合は超音波振動等を付加しスムーズに流れるように計る。
【０７】微小粒とノズル内面との間に液を存在さすことにより、静電気、湿気、等による付着をやわらげ、超音波振動等による飛散を防止し、液の表面張力により微小粒をノズルの中央部に寄せて位置の精度を向上さす。
【実施例１】
【０８】液体定量吐出装置１の吐出口に連結したノズル２は下端に開口部３を設け、外周に超音波振動等の加振機４を装着する。ノズル２内に微小粒５を充填する。開口部３の直径はノズル内部に充填する微小粒５の直径より若干大きいか、あるいは吐出さす微小粒５の個数に合わせて選択する。
【作用】
【０９】ノズル２は内部に微小粒５を充填し、液体定量吐出装置１より液６をノズル２内に送り込む。液６が微小粒５の周りを流れて開口部３に達したら、加振機４でノズル２に振動を与えて微小粒５を液６内で浮遊状態にする。次に液体定量吐出装置１で液６を開口部３より定量吐出すると、液と共に微小粒５が吐出する。吐出量の加減にて微小粒５の個数を決定する。微小粒５は直径の揃った球状だから開口部３の寸法と振動条件を調整することにより絡まることなく開口部３から落下する。
【発明の効果】
【１０】微小粒５とノズル２内面との間に液６を介在さすことにより、静電気、湿気、等による微小粒５とノズル２内面の付着を防止し、吐出後の超音波振動等による飛散を防止し、液の表面張力により微小粒５をノズル２の中央部に寄せて位置の精度を向上さす。
【１１】液６を揮発性溶剤とすると微小粒５のみを吐出位置に定置できる。この方法はハンダボールの定置、半導体接着スペーサーの定置等に利用できる。
液６を接着剤例えばＵＶ光接着剤とし、その場でＵＶ光照射すると微小粒５を固定できる。液晶パネルのスペーサーの定置固定、微小機構の球体定置固定等に利用できる。
【実施例２】
【１２】実施例１に於いては微小粒５をノズル２内に充填しているが、実施例２は微小粒５を充填しないで、微小くぼみ等に定置してある微小粒５を取上げる方法である。ハンダボールの除去、あるいはハンダボールの定置等に適応する。【１３】液体定量吐出装置１１の吐出口に連結したノズル１２は下端に開口部１３を設け、外周に加振機１４を装着する。開口部１３の直径は取上げる微小粒１５の直径より若干大きいか、あるいは取上げる微小粒１５の個数に合わせて選択する
【作用】
【１４】液体定量吐出装置１１より液１６をノズル１２に微量送り込み、開口部１３より若干凸状態になる液の凸部１７を形成する。平面上に定置した微小粒１５上にノズル１２を位置決めし徐々に下げ、液の凸部１７と微小粒１５を接触さし、凸部１７内に微小粒１５を取り込む。次に液体定量吐出装置１１を制御し液１６を若干吸入すると微小粒１５はノズル１２内に吸入される。次にノズル１２を所要位置に移動さし、液を定量吐出すると液１６と共に微小粒１５が吐出する。
【１５】ノズル１２内に取り込んだ微小粒１５を吐出する際、微小粒１５がノズル１２に付着するようであれば、加振機１４でノズル１２に振動を与えて微小粒１５がノズル１２に付着するのを防止する。
【発明の効果】
【１６】この方法は比較的大径の微小粒を一個または数個程度をとりあげるのに良好である。またノズル１２の開口部１３の直径を微小粒１５の直径より若干大きくし、一個ずつ吸入しながら所要個数吸い上げることができ、所用位置に所要個数吐出し定置できる。
【実施例３】
【１７】実施例３は液晶パネルのスペーサーの散布装置３０を提供する。【１８】タンク３１は下部にノズル３２を着脱自在に装着し、装着時はタンク３１とノズル３２は内部導通する。ノズル３２は所要位置に複数個設置する。ノズル３２の開口部３３の直径はスペーサー３８の直径の数倍から１０倍程度としている。【１９】タンク３１は上部にガス導通口３４を設置し、ガス圧力制御装置３５に連結し、外壁に加振機３６を設置する。【２０】タンク３１内に接着剤３７を充填し、ノズル３２内に各ノズル共に同量のスペーサー３８を充填する。
【作用】
【２１】液晶パネルガラス基板上方に、ノズル３２が所要位置になるように散布装置３０を配置し、加振機３６でタンク３１に振動を与えながら、加圧時間、圧力をガス圧力制御装置３５で制御してタンク３１内を加圧すると、開口部３３よりスペーサー３８と接着剤３７の混合体が定量吐出し液晶パネルガラス基板上に塗布される。
【２２】液晶パネルガラス基板面とノズル３２との隙間、ノズル３２との位置決めは仕様に応じて装置が設置される。
【発明の効果】
【２３】吐出量は一箇所あたり数ピコリットルと微小量であるから、ノズル３２に充填するスペーサー３８の量は僅かで済み、ノズルも小さな寸法で形成が可能。
【２４】従来液中にスペーサーを分散して、沈殿しないように液を攪拌しながら循環さす方法が提案されているが、本発明では循環さす装置が不要であり、循環装置からのゴミの影響を受けない。
【２５】ノズル３２内に接着剤３７とスペーサー３８を同時に充填してカートリッジにしておき、タンク３１はガスの導入と加振機３６の設置のみの構成とすることも容易で、この場合は装置側で接液部の配慮をまったく要しないし、ゴミの混入することも無い。またノズル間の寸法変更にもタンク３１の変更のみで対応できる。接着剤を不要とするときはノズル３２内にスペーサーのみを充填しても適応が可能。
【２５】タンク３１を移動しながら圧力と振動を付加して線状のスペーサー散布も可能。
【２６】ノズル詰まりにも不良箇所のノズルのみの交換で済む。
【２７】タンク３１の大きさを液晶パネル画面の単位大きさ、例えば携帯電話の一画面、ＴＶ画面の数分の１、等の大きさに設定し、ガラス基板の大きさが変わっても、タンク３１の移動量の設定変更で対応可能。
【実施例４】
【２８】カートリッジ４０は下端にノズル４１を、上端外側にタンク４５との連結部４２を形成する。ノズル４１は着脱自在なキャップ４３で密閉する。カートリッジ４０の上端内側は封止栓４４で密閉する。封止栓４４はタンク４５に設置したパイプ状の穿孔針４６で貫通できる材質としている。タンク４５に加振機４７を設置する。タンク４５下面にはカートリッジ４０の連結部４２に対応する結合部４８を所要個数設置する。
【作用】
【２９】カートリッジ４０内に微小粒４９と液５０を充填し、封止栓４４で密閉する。
【３０】タンク４５の結合部４８にカートリッジ４０を連結し、タンク４５内に圧力、時間を制御したガスを供給し、加振機４７で加振さすと、カートリッジ４０内の微小粒４９と液５０の混合体がノズル４１より所要量吐出する。
【発明の効果】
【３１】前記実施例３と同様の効果がある。
【３２】カートリッジ４０をタンク４５に連結するのみで内部が導通するので、ゴミ等の異物が混入しない。
【図面の簡単な説明】
【３３】
【図１】  実施例１の断面図
【図２】  実施例２の断面図
【図３】  実施例３の断面図
【図４】  実施例４の断面図
【符号の説明】
【２９】１：液体定量吐出装置    ２：ノズル    ３：開口部    ４：加振機    ５：微小粒    ６：液
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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