(57)【要約】      （修正有）【課題】帯状のフィルムを一定方向に搬送する際に、めっき槽や洗浄槽の液中ローラとフィルムとのスリップを抑制し、フィルム表面に傷が発生することを抑制する装置の提供。【解決手段】めっき槽や洗浄槽に液中ローラ６２Ａが設けられる。液中ローラ６２Ａは、固定支持された軸体１５２と、軸体１５２が挿通される円筒体１５４と、円筒体１５４の両端部を塞ぐ側面体１５６とを備えている。側面体１５６は、軸受１５８を介して軸体１５２に支持されており、円筒体１５４には感光ウエブが巻き掛けられている。円筒体１５４の両端部には複数の開孔１６０が設けられ、円筒体１５４の感光ウエブと接触する周面には、スパイラル状の溝１６２が形成されている。この液中ローラ６２Ａを備えためっき槽や洗浄槽からなる被膜付きフィルムの製造装置。【選択図】図３
2008007797.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状のフィルムを一定方向に搬送する搬送装置であって、
液槽内の液中で、一定方向に搬送される前記フィルムと接触して送る液中ローラを備え、
前記液中ローラは、前記フィルムと接触する円筒体と、前記円筒体の両端部を塞ぐ側面体と、前記側面体を軸受を介して支持する軸体と、を有して構成されていることを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記円筒体の両端部に複数の開孔が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記フィルムと接触する前記円筒体の周面に、スパイラル状の溝が形成されていることを特徴する請求項１又は請求項２に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記軸体は前記円筒体を貫通していることを特徴とする請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項５】
前記軸受は、樹脂製の転がり軸受、又は滑り軸受であることを特徴とする請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項６】
前記液中ローラに巻き掛けられる前記フィルムの張力は、５Ｎ／ｍ以上、２００Ｎ／ｍ以下であることを特徴とする請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項７】
帯状のフィルムの導電面をカソード給電ローラに接触させ、前記導電面に電解めっき浴よりめっき被膜を形成する電解めっき浴槽と、
前記電解めっき浴槽の下流側で前記フィルムを洗浄する洗浄槽と、
前記電解めっき浴槽又は前記洗浄槽に請求項１から請求項６までのいずれか１項に記載の搬送装置と、
を有することを特徴とするめっき被膜付きフィルムの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、帯状長尺のフィルムを一定方向に搬送する搬送装置及びめっき被膜付きフィルムの製造装置に係り、特に、フィルムを搬送しながらフィルム導電面にめっき被膜を形成する電解めっき浴槽や、フィルムを洗浄する洗浄液槽などの液槽内に液中ローラを備えた搬送装置及びめっき被膜付きフィルムの製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、帯状長尺のフィルムに連続的にめっきを行う際には、フィルムを低張力で一定方向に搬送しながら連続的にめっき浴槽を通過させる。
【０００３】
このような装置では、めっき浴槽内に配置される液中ローラを外部から力を加えて回転させ、フィルムと液中ローラとのスリップを抑制することが行われている。例えば、特許文献１に記載の装置では、処理浴槽内の液中ローラのフィルムに接触しない部分に羽根を設け、この羽根に液を吹き当てて、液中ローラを回転させている。しかし、羽根に液を吹き当てる構成では、液中ローラの回転速度をフィルムの搬送速度に同期させることは非常に困難であり、また任意の搬送速度への変更に対応することはほとんど無理である。このため、フィルムと液中ローラとのスリップを抑えることができず、フィルム表面に擦り傷が発生してしまう。
【０００４】
また、特許文献２に記載の装置では、めっき浴槽の外部に設けた駆動装置と液中ローラの軸部とをチェーンで動作結合して液中ローラを回転させている。この装置では、チェーンはめっき浴槽内の処理液中と空中とを往復移動するため、チェーンに付着した処理液は、チェーンを回転させる空中の回転駆動部品類に転写付着し、水分が蒸発して析出物が発生する。このため、駆動装置の動きが安定しなくなると共に、駆動装置の腐食が進み、フィルム（被めっき製品）に析出物が付着したり、また、フィルム表面に傷を発生させる大きな要因となる。
【特許文献１】特開平１０−１４７８９７号公報
【特許文献２】特開２０００−６４０８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、低張力でフィルムを搬送させてもフィルム表面に傷が発生することを抑制できる搬送装置及びめっき被膜付きフィルムの製造装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明に係る搬送装置は、帯状のフィルムを一定方向に搬送する搬送装置であって、液槽内の液中で、一定方向に搬送される前記フィルムと接触して送る液中ローラを備え、前記液中ローラは、前記フィルムと接触する円筒体と、前記円筒体の両端部を塞ぐ側面体と、前記側面体を軸受を介して支持する軸体と、を有して構成されていることを特徴としている。
【０００７】
請求項１に記載の発明によれば、液槽内の液中に設けられた液中ローラは、フィルムと接触する円筒体の両端部が側面体で塞がれ、側面体が軸受を介して軸体に支持されている。一定方向に搬送されるフィルムが円筒体に接触すると、円筒体は、軸体に軸受を介して支持された側面体の回転により、フィルムの搬送方向に回転する。円筒体とすることで、重量を軽量化してより少ない力で回転させることができ、低張力でフィルムを搬送させても液中ローラが安定して回転する。これによって、液中ローラの回転速度をフィルムの搬送速度に同期させることが可能となり、フィルムと円筒体とのスリップが抑制され、フィルム表面の傷の発生が抑制される。また、液中ローラの回転速度を任意の搬送速度に変更することが可能であり、搬送速度を変更してもフィルムと円筒体とのスリップが抑制される。また、液中ローラを外部の駆動装置と接続しないので、駆動装置に液が付着して析出物が固着することがなく、液中ローラの回転を安定化させることが可能となる。
【０００８】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の搬送装置において、前記円筒体の両端部に複数の開孔が設けられていることを特徴としている。
【０００９】
請求項２に記載の発明によれば、円筒体の両端部に複数の開孔が設けられており、液槽内に液中ローラを浸漬したとき、液中ローラの内部の空気が開孔から液槽内に排出され、液中ローラの内部の空気が液槽内の液で置換される。これにより、軸受の隙間から液槽内の液が液中ローラの内部に浸入し、空気層と液層とができて液中ローラの回転が不安定になることが抑制される。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の搬送装置において、前記フィルムと接触する前記円筒体の周面に、スパイラル状の溝が形成されていることを特徴としている。
【００１１】
請求項３に記載の発明によれば、フィルムと接触する円筒体の周面にスパイラル状の溝が形成されているので、フィルムの搬送時に表面に同伴された（付着した）液をスパイラル状の溝に沿って円筒体の脇に逃がす流れができ、フィルムと円筒体とが接触する溝の肩部でフィルムの保持力が発生する。これにより、フィルムと液中ローラとのスリップがよりいっそう抑制され、フィルム表面の擦り傷の発生が抑制される。
【００１２】
請求項４に記載の発明は、請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の搬送装置において、前記軸体は前記円筒体を貫通していることを特徴としている。
【００１３】
請求項４に記載の発明によれば、軸体は円筒体を貫通しており、軸体に軸受を介して側面体が支持されている。これによって、液中ローラの構成を簡略化し、コストを低減できる。
【００１４】
請求項５に記載の発明は、請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載の搬送装置において、前記軸受は、樹脂製の転がり軸受、又は滑り軸受であることを特徴としている。
【００１５】
請求項５に記載の発明によれば、軸受が樹脂製の転がり軸受、又は滑り軸受であり、軸体に軸受を介して支持された側面体及び円筒体をスムーズに回転させることが可能となる。
【００１６】
請求項６に記載の発明は、請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載の搬送装置において、前記フィルムの引っ張り張力は、５Ｎ／ｍ以上、２００Ｎ／ｍ以下であることを特徴としている。
【００１７】
請求項６に記載の発明によれば、フィルムの引っ張り張力が、５Ｎ／ｍ以上、２００Ｎ／ｍ以下であるので、フィルムを安定して搬送することが可能となる。フィルムの引っ張り張力が５Ｎ／ｍ未満であると、フィルムが蛇行し始め、搬送経路の制御がうまくいかなくなる。また、フィルムの引っ張り張力が２００Ｎ／ｍを超えると、フィルムに形成されるめっき被膜などが内部歪みを持つために、製品にカールや折れシワが発生してしまう。
【００１８】
請求項７に記載の発明に係るめっき被膜付きフィルムの製造装置は、帯状のフィルムの導電面をカソード給電ローラに接触させ、前記導電面に電解めっき浴よりめっき被膜を形成する電解めっき浴槽と、前記電解めっき浴槽の下流側で前記フィルムを洗浄する洗浄槽と、前記電解めっき浴槽又は前記洗浄槽に請求項１から請求項６までのいずれか１項に記載の搬送装置と、を有することを特徴としている。
【００１９】
請求項７に記載の発明によれば、電解めっき浴槽又は洗浄槽に請求項１から請求項６までのいずれか１項に記載の搬送装置が設けられているので、電解めっき浴槽又は洗浄槽の液中に設けられた液中ローラの回転速度をフィルムの搬送速度に同期させることが可能となる。このため、フィルムと円筒体とのスリップが抑制され、フィルム表面の傷の発生が抑制される。また、液中ローラの回転速度を任意の搬送速度に変更することが可能であり、搬送速度を変更してもフィルムと円筒体とのスリップが抑制される。また、液中ローラを外部の駆動装置と接続しないので、駆動装置にめっき液などが付着して析出物が固着することがなく、液中ローラの回転を安定化させることが可能となる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明は、上記のように構成したので、帯状のフィルムを低張力で搬送しても、液槽内の液中ローラの回転を安定化させ、液中ローラとフィルムとのスリップを抑制することができ、フィルム表面の傷の発生を抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。なお、実質的に同一の機能を有する部材には全図面を通して同じ符号を付与し、重複する説明は省略する場合がある。
【００２２】
図１は、本発明の一実施形態に係る洗浄装置２００Ａが搭載されためっき被膜付きフィルムの製造装置１０を示す概略構成図である。
【００２３】
このめっき被膜付きフィルムの製造装置１０は、図１に示すように、露光装置１２、現像装置１４、電解めっき装置１６、後処理装置１７及び巻取装置１９から構成されている。
【００２４】
まず、露光装置１２について説明する。露光装置１２は、被めっき素材として、銀塩含有層が設けられた帯状の長尺幅広フィルムからなる光透過性感光ウエブ１８を搬送しながら、所望の細線状パターン（例えば、格子状、ハニカム状などのパターン）露光を行う装置である。このパターン露光により、感光ウエブ１８の銀塩含有層の露光部にはパターン化された細線状の金属銀部が形成される。
【００２５】
露光装置１２には、光透過性感光ウエブ１８の搬送路に沿って複数の搬送ローラ対２０が設けられており、これらの搬送ローラ対２０は、駆動ローラとニップローラとから構成される。
【００２６】
露光装置１２には、搬送方向の最上流部に供給部が設けられている。供給部には、ローラ状に巻かれた長尺幅広の光透過性感光ウエブ１８を収納するマガジン２２がセットされる。光透過性感光ウエブ１８には、光透過性感光ウエブ１８を引き出して下流側に向けて搬送するための引出ローラ２２Ａが設けられている。
【００２７】
そして、供給部からの搬送方向下流側は、露光ユニット２４が設けられている。この露光ユニット２４により、光透過性感光ウエブ１８に露光が行われる。露光ユニット２４は、フォトマスクを利用した連続面露光ユニットであってもよく、レーザービームによる走査露光ユニットあってもよい。この走査露光ユニットとしては、ガスレーザー、発光ダイオード、半導体レーザー、半導体レーザー又は半導体レーザーを励起光源に用いた固体レーザーと非線形光学結晶を組合わせた第二高調波発光光源（ＳＨＧ）等の単色高密度光を用いた走査露光方式を好ましく適用することができる。また走査露光ユニットとしては、さらにＫｒＦエキシマレーザー、ＡｒＦエキシマレーザー、Ｆ２レーザー等を用いた走査露光方式も適用することができる。
【００２８】
また、走査露光ユニットをコンパクトで、安価なものにするために、露光は、半導体レーザー、半導体レーザーあるいは固体レーザーと非線形光学結晶を組合わせた第二高調波発生光源（ＳＨＧ）を適用することがよい。特にコンパクトで、安価、さらに寿命が長く、安定性が高い装置を設計するためには、半導体レーザーを適用することがよい。
【００２９】
走査露光ユニットのレーザー光源としては、具体的には、波長４３０〜４６０ｎｍの青色半導体レーザー（２００１年３月の第４８回応用物理学関係連合講演会で日亜化学発表）、半導体レーザー（発振波長約１０６０ｎｍ）を導波路状の反転ドメイン構造を有するＬｉＮｂＯ3のＳＨＧ結晶により波長変換して取り出した約５３０ｎｍの緑色レーザー、波長約６８５ｎｍの赤色半導体レーザー（日立タイプＮｏ．ＨＬ６７３８ＭＧ）、波長約６５０ｎｍの赤色半導体レーザー（日立タイプＮｏ．ＨＬ６５０１ＭＧ）などが好ましく適用でききる。
【００３０】
なお、露光装置１２は、上記構成に限られず、銀塩写真フィルムや印画紙、印刷製版用フィルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等に用いられる通常の露光装置を適用することができる。
【００３１】
次に、現像装置１４について説明する。現像装置１４は、露光装置１２の搬送方向の下流側に配置され、所望の細線状パターン露光が施された光透過性感光ウエブ１８を現像・定着・洗浄を行う装置である。
【００３２】
現像装置１４には、搬送方向の上流側から順に、現像槽２６、漂白定着槽２８、及び水洗槽３０が設けられており、水洗槽３０は、第１水洗槽３０Ａ、第２水洗槽３０Ｂ、第３水洗槽３０Ｃ、及び第４水洗槽３０Ｄからなる。現像槽２６には、例えば、現像液２６Ｌが所定量貯蔵され、漂白定着槽２８には、漂白定着液２８Ｌが所定量貯蔵され、第１水洗槽３０Ａ〜第４水洗槽３０Ｄには、洗浄液３０Ｌが所定量貯蔵されている。各処理槽２６〜３０内のローラとガイドによって感光ウエブ１８が各処理槽２６〜３０の液内を搬送されることで、現像・定着・洗浄の各処理が行われるようになっている。また、現像槽２６の最上流側には、駆動ローラ３２Ａと従動ローラ３２Ｂとを備えた搬入ローラ対３２が配置されており、この搬入ローラ対３２は、露光装置１２から搬出される感光ウエブ１８を現像液２６Ｌ内に案内している。
【００３３】
ここで、現像・定着・洗浄の各処理は、銀塩写真フィルム、印刷製版用フィルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等に用いられる通常の現像処理技術を適用することができる。現像液２６Ｌ、漂白定着液２８Ｌ、洗浄液３０Ｌもこれらに準じて適宜適用することができる。例えば、現像液２６Ｌとしては、特に限定しないが、ＰＱ現像液、ＭＱ現像液、ＭＡＡ現像液等を用いることもでき、例えば、富士フィルム社製のＣＮ−１６、ＣＲ−５６、ＣＰ４５Ｘ、ＦＤ−３、パピトール、ＫＯＤＡＫ社製のＣ−４１、Ｅ−６、ＲＡ−４、Ｄ−１９、Ｄ−７２などの現像液、又はそのキットに含まれる現像液、また、Ｄ−８５などのリス現像液を用いることができる。なお、定着処理は、未露光部分の銀塩を除去して安定化させる目的で行われる。
【００３４】
また、現像液２６Ｌには、画質を向上させる目的で、画質向上剤を含有することができる。画質向上剤としては、例えば、ベンゾトリアゾールなどの含窒素へテロ環化合物を挙げることができる。また、リス現像液を利用する場合特に、ポリエチレングリコールを使用することも好ましい。
【００３５】
なお、現像装置１４では、各処理槽２６〜３０の液内を通過した感光ウエブ１８は、乾燥させず現像装置１４から排出されるようになっている。
【００３６】
次に、電解めっき装置１６について説明する。電解めっき装置１６は、露光・現像を施され、細線状の金属銀部が形成された感光ウエブ１８に対し、電解めっき処理を施し、当該金属銀部に導電性微粒子を担持させめっき（導電性金属部）を形成する装置である。
【００３７】
電解めっき装置１６には、感光ウエブ１８の搬送方向上流側に、水洗槽３０を通過した後の感光ウエブ１８の水分を除去する水分除去装置４０Ａが配設されている。水分除去装置４０Ａには、感光ウエブ１８の両側にエアーナイフ装置４２、４４が配置されており、感光ウエブ１８の両側からエアーナイフを吹き付けることで、感光ウエブ１８に付着した水分を除去する。
【００３８】
図２に示すように、水分除去装置４０Ａを通過した感光ウエブ１８は、支持ローラ４６と支持ローラ４８によって案内され、感光ウエブ１８の金属銀部に接触しながら給電を行うカソード給電ローラ５０Ａに搬送される。感光ウエブ１８を挟んでカソード給電ローラ５０Ａと対向する位置には、感光ウエブ１８の金属銀部をカソード給電ローラ５０Ａに押圧して接触させる弾性ローラ５２Ａが配設されている。この弾性ローラ５２Ａは、回転可能に支持された芯金の外周面にゴムなどからなる弾性体層を備えるものである。弾性体層としてウレタンゴムなどが用いられる。弾性ローラ５２Ａを押圧することで、感光ウエブ１８とカソード給電ローラ５０Ａとを密着させることができる。
【００３９】
カソード給電ローラ５０Ａより感光ウエブ１８の搬送方向下流側には、めっき液６１で満たされためっき槽６０Ａが配置されている。めっき槽６０Ａのめっき液６１中には液中ローラ６２Ａが設けられており、液中ローラ６２Ａの周面に感光ウエブ１８が巻き掛けられている。この工程では、カソード給電ローラ５０Ａに接触させた感光ウエブ１８の金属銀部をめっき槽６０Ａのめっき液６１中で液中ローラ６２Ａにより搬送する。銅ボールを積層充填したケース６４Ａをアノード電極にして、カソード電極をカソード給電ローラ５０Ａとして、直流電源（整流器）６６Ａにより給電し、感光ウエブ１８に層状のめっき被膜を形成する。本実施形態では、直流電源６６Ａにより、カソード給電ローラ５０Ａからアノード電極であるケース６４Ａへ給電し、感光ウエブ１８に、０．２〜１０Ａ／ｄｍ2の電流密度となるようにしてめっき被膜を形成する。
【００４０】
ここで、電解めっき処理として、例えば、プリント配線板などで用いられている電解めっき技術を適用することができ、電解めっきは電解銅めっきであることが好ましい。本実施形態では、めっき液６１として、電解銅めっき浴液が適用されている。電解銅めっき浴としては、硫酸銅浴、ピロリン酸銅浴、ホウフッ化銅浴等が挙げられる。電解銅めっき液に含まれる化学種としては、硫酸銅や塩化銅、めっき液の安定性、導電性を高め、均一電着性の増加を図る硫酸、アノードの溶解促進及び添加剤の補助効果作用の塩素、浴の安定化やめっき緻密性を向上させるための添加剤としてポリエチレンオキサイド、ビピリジン等が挙げられる。
【００４１】
なお、めっき槽６０Ａの下部には循環パイプ（図示省略）が連結されており、めっき槽６０Ａ内のめっき液６１が循環パイプに供給され、フィルター（図示省略）を通すことでめっき液６１中の異物が除去され、めっき槽６０Ａ内に戻される構成となっている。
【００４２】
図２に示すように、めっき槽６０Ａより感光ウエブ１８の搬送方向下流側には、感光ウエブ１８を洗浄する洗浄水７１で満たされた洗浄槽７０Ａが配設されている。めっき槽６０Ａの上部と洗浄槽７０Ａの上方には、感光ウエブ１８を空中搬送する２つのローラ７４、７６が略水平に設けられている。ローラ７４、７６は、感光ウエブ１８の移動に伴って従動回転する。また、洗浄槽７０Ａ内の洗浄水７１中には液中ローラ７２Ａが設けられており、液中ローラ７２Ａの周面に感光ウエブ１８が巻き掛けられている。これにより、感光ウエブ１８は、めっき槽６０Ａのめっき液６１内を通過した後、２つのローラ７４、７６によって案内され、洗浄槽７０Ａの洗浄水７１内に搬送される。洗浄槽７０Ａを通過した感光ウエブ１８は、液中ローラ７２Ａと上部に配置された支持ローラ８０に案内されて搬送される。
【００４３】
また、めっき槽６０Ａの上部であってローラ７４より搬送方向上流側には、感光ウエブ１８の表裏に圧接される１対の液絞りローラ８２が配設されている。また、洗浄槽７０Ａの上部であって支持ローラ８０より搬送方向上流側には、感光ウエブ１８の表裏に圧接される１対の液絞りローラ８４が配設されている。液絞りローラ８２、８４は、感光ウエブ１８の移動に伴って従動回転する。液絞りローラ８２の周面はめっき液６１と接触し、液絞りローラ８４の周面は洗浄水７１と接触しており、液絞りローラ８２、８４は常に濡れた状態で使用される。
【００４４】
ローラ７４とローラ７６の下部には、ローラ７４、７６をそれぞれ洗浄する洗浄装置２００Ａ、２０２Ａが設けられている。洗浄装置２００Ａ、２０２Ａは、洗浄水２０５で満たされた樋状の洗浄液受け槽２０４を備えており、ローラ７４、７６の下部が洗浄水２０５に浸漬されている。洗浄液受け槽２０４の側部のオーバーフロー堰２０６で洗浄水２０５をオーバーフローさせることで、洗浄水２０５の量を一定に保っている。洗浄液受け槽２０４からオーバーフローした洗浄水２０５は排出管２１０を通って排出される。洗浄液受け槽２０４には、洗浄水２０５を供給する供給管２１６が接続されている。洗浄液受け槽２０４の上方部には、洗浄水管理槽２２０が配設されており、洗浄水管理槽２２０内の洗浄水２０５が複数の供給管２１６に分岐されて各洗浄液受け槽２０４に供給される。
【００４５】
上記構成の電解めっき装置１６では、まず、帯状長尺幅広の感光ウエブ１８が矢印方向に搬送され、エアーナイフ装置４２、４４によって感光ウエブ１８に付着した水分が除去される。その後、カソード給電ローラ５０Ａと弾性ローラ５２Ａとのニップ部で感光ウエブ１８の金属銀部をカソード給電ローラ５０Ａに接触させた後、めっき槽６０Ａに搬送する。その際、銅ボールを積層、充填したケース６４Ａをアノード電極とし、カソード給電ローラ５０Ａをカソード電極として、直流電源６６Ａにより給電し、感光ウエブ１８の金属銀部の電解めっきにより銅めっき被膜を形成する。さらに、感光ウエブ１８は、めっき槽６０Ａを通過した後、ローラ７４、７６によって案内されて洗浄槽７０Ａに搬送され、感光ウエブ１８に付着しためっき液が洗浄水７１によって洗浄される。
【００４６】
図示を省略するが、電解めっき装置１６では、水分除去装置４０Ａと、カソード給電ローラ５０Ａと、めっき槽６０Ａと、洗浄槽７０Ａとを備えたユニットが複数配置されており（本実施形態では８ユニット）、上記のような工程が複数回繰り返されることで、感光ウエブ１８に所定の厚みの銅めっきが形成される。
【００４７】
さらに、感光ウエブ１８の搬送方向下流側には、ニッケルめっきを施すための水分除去装置４０Ｂと、カソード給電ローラ５０Ｂと、めっき槽６０Ｂと、洗浄槽７０Ｂとを備えたユニットが複数配置されており（本実施形態では８ユニット）、上記と同様の工程が複数回繰り返されることで、感光ウエブ１８に所定の厚みのニッケルめっきが形成される。
【００４８】
このような電解めっき装置１６では、めっき槽６０Ａ、６０Ｂと洗浄槽７０Ａ、７０Ｂに、それぞれ液中ローラ６２Ａ、６２Ｂ、７２Ａ、７２Ｂが設けられている。これらの液中ローラ６２Ａ、６２Ｂ、７２Ａ、７２Ｂの構成は同じであるので、ここでは、液中ローラ６２Ａの例を図３から図５に基づき説明する。
【００４９】
図３および図４に示すように、液中ローラ６２Ａは、フレーム１６６に固定支持された円柱状の軸体１５２と、この軸体１５２が挿通される円筒体１５４を備えている。円筒体１５４の両端部はそれぞれ側面体１５６で塞がれており、側面体１５６は軸受１５８を介して軸体１５２に支持されている。すなわち、軸体１５２が軸受１５８を介して側面体１５６を貫通する構成となっている。
【００５０】
円筒体１５４の周面の両端部には、複数の円形状の開孔１６０が所定の間隔で形成されている。また、開孔１６０より中央部側の感光ウエブ１８と接触する円筒体１５４の周面には、スパイラル状の溝１６２が形成されている。また、軸体１５２の軸受１５８の両端部には、側面体１５６の軸方向の移動（ウォーク）を規制する規制板１６４が、軸受１５８のボールと接触可能に設けられている。
【００５１】
円筒体１５４は、樹脂で形成されており、例えば、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレン、フッ素樹脂（例えばＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）など）が用いられている。樹脂は、使用するめっき液６１等の耐薬品性から適宜に選定される。
【００５２】
軸受１５８は、樹脂製の転がり軸受、滑り軸受などが用いられる。耐薬品性から転がり軸受の材質として、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）、ポリプロピレンが望ましく、滑り軸受としては、耐薬品性、耐塵埃、及び、耐析出物付着性（析出物が付着しにくい）からＮＴＮ社製ベアリングＦＬ３７００などが望ましい。また、軸受１５８の材質として耐薬品性の樹脂を用いることで、めっき液６１中に液中ローラ６２Ａを配設しても液中ローラ６２Ａの回転を安定化させることが可能となる。
【００５３】
図５に示すように、円筒体１５４の周面に形成されるスパイラル状の溝１６２の寸法形状は、ピッチが１〜１０ｍｍ望ましくは２〜３ｍｍ、溝巾が１〜５ｍｍ望ましくは１．１〜２ｍｍ、溝１６２の深さが０．１〜３ｍｍ望ましくは０．２〜０．５ｍｍに設定されている。また、円筒体１５４の外周面と溝１６２上部の肩部円弧Ｒ１の半径、溝１６２の底部円弧Ｒ２の半径は、０．２〜１ｍｍ望ましくは０．３〜０．６ｍｍに設定されている。
【００５４】
このような液中ローラ６２Ａでは、固定支持された軸体１５２に軸受１５８を介して側面体１５６が支持されており、両端部の側面体１５６とこれらに支持された円筒体１５４が回転する。これにより、一定方向に搬送される感光ウエブ１８が円筒体１５４の周面に接触すると、円筒体１５４が感光ウエブ１８に従動してその搬送方向にスムーズに回転する。円筒体１５４を用いることで、重量を軽量化してより少ない力で回転させることができ、低張力で感光ウエブ１８を搬送させても液中ローラ６２Ａが安定して回転し、感光ウエブ１８を送ることができる。
【００５５】
これにより、液中ローラ６２Ａの回転速度を感光ウエブ１８の搬送速度に同期させることができ、感光ウエブ１８と円筒体１５４とのスリップを抑制し、感光ウエブ１８表面の傷の発生を抑制することができる。また、液中ローラ６２Ａの回転速度を任意の搬送速度に変更することが可能であり、搬送速度を変更しても感光ウエブ１８と円筒体１５４とのスリップによる感光ウエブ１８表面の傷の発生を抑制することができる。また、液中ローラ６２Ａを外部の駆動装置と接続しないので、駆動装置の部品などにめっき液６１が付着して析出物が固着することを抑制できる。このため、液中ローラ６２Ａの回転が安定化し、感光ウエブ１８とのスリップを抑制することができる。
【００５６】
また、円筒体１５４の周面の両端部に複数の開孔１６０が設けられており、めっき槽６０Ａ内に液中ローラ６２Ａを浸漬したとき、円筒体１５４の内部の空気が開孔１６０からめっき槽６０Ａ内に排出され、円筒体１５４の内部の空気がめっき液６１で置換される。これにより、軸受１５８の隙間からめっき液６１が液中ローラ６２Ａの内部に浸入し、空気層と処理液層とができて液中ローラ６２Ａの回転が不安定になることが抑制される。
【００５７】
さらに、円筒体１５４の周面にスパイラル状の溝１６２が形成されているので、感光ウエブ１８の搬送時に表面に同伴された（付着した）めっき液６１をスパイラル状の溝１６２に沿って脇に逃がす流れが生じる。これにより、感光ウエブ１８と円筒体１５４とが接触する溝１６２の肩部で感光ウエブ１８の保持力が発生し、感光ウエブ１８を液中ローラ６２Ａとスリップさせずに搬送することができ、感光ウエブ１８表面の擦り傷の発生を抑制することができる。
【００５８】
なお、図３から図５に基づいて液中ローラ６２Ａの構成及び作用について説明したが、液中ローラ６２Ｂ、７２Ａ、７２Ｂも液中ローラ６２Ａと同じ構成であり、同様の作用が得られる。
【００５９】
次いで、図１に示すように、めっきが施された感光ウエブ１８は、フィルム張力を検出できるローラ１２５を介して、めっき液を除去する洗浄液１１５（水）の入った水洗部１１４、めっき被膜を保護する防錆処理液１１７の入った防錆処理部１１６を経て、過剰な防錆処理液を除去する洗浄液１１９（水）の入った水洗部１１８に搬送される。さらに、めっきが施された感光ウエブ１８は、水分を除去する乾燥炉をもつ乾燥工程部１２０を経て、速度調整部１２１を経て、バランスローラ部１２２を経て、張力調整された後、アキュムレータ１２３を通してロール状フィルム１２４Ａとする。こうしてめっき被膜付きフィルムが得られる。
【００６０】
実質的なフィルム搬送張力は、５Ｎ／ｍ以上２００Ｎ／ｍ以下とすることが好ましい。実際に張力を５Ｎ／ｍ未満にすると、フィルムが蛇行し始め、搬送経路の制御がうまくいかなかった。また２００Ｎ／ｍを超えると、フィルムの形成されるめっき被膜金属が内部歪みを持つために、製品にカールが発生するなどの問題があった。
【００６１】
このようにして、感光ウエブ１８の細線状金属銀部にめっき（導電性金属部）が形成される。このような工程により、めっき被膜付きフィルムを得ることができる。
【００６２】
なお、電解めっき装置１６のめっき槽の数は、所望のめっき膜厚（導電性金属部の厚み）に応じて８セット以上増設してもよい。この数に応じて、所望のめっき膜厚（導電性金属部の厚み）を容易に得ることができる。
【００６３】
次に、感光ウエブ１８について説明する。被めっき素材としての感光ウエブ１８は、例えば、光透過性支持体上に銀塩（例えばハロゲン化銀）が含有した銀塩含有層を設けた、感光材料からなる長尺幅広フレキシブル基材である。また、銀塩含有層上には保護層が設けられていてもよく、この保護層とは例えばゼラチンや高分子ポリマーといったバインダーからなる層を意味し、擦り傷防止や力学特性を改良する効果を発現するために銀塩含有層上に形成される。保護層の厚みは０．０２〜２０μｍであることが好ましく、より好ましくは０．１〜１０μｍであり、さらに好ましくは０．３〜３μｍである。
【００６４】
これらの銀塩含有層や保護層の組成などは、銀塩写真フィルム、印画紙、印刷製版用フィルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等に適用されるハロゲン化銀乳剤層（銀塩含有層）や保護層を適宜適用することができる。
【００６５】
特に、感光ウエブ１８（感光材料）としては、銀塩写真フィルム（銀塩感光材料）が好ましく、白黒銀塩写真フィルム（白黒銀塩感光材料）が最もよい。また、銀塩含有層に適用する銀塩としては、特にハロゲン化銀が最も好適である。
【００６６】
一方、光透過性支持体としては、単層のプラスチックフィルムや、これを２層以上組み合わせた多層フィルムを適用することができる。プラスチックフィルムの原料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、及びポリエチレンナフタレートなどのポリエステル類；ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリスチレン、ＥＶＡなどのポリオレフィン類；ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデンなどのビニル系樹脂；その他、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリサルホン（ＰＳＦ）、ポリエーテルサルホン（ＰＥＳ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリアミド、ポリイミド、アクリル樹脂、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）などを用いることができる。
【００６７】
これらの中でも、透明性、耐熱性、取り扱いやすさ及び価格の点から、支持体としてのプラスチックフィルムは、銀塩写真フィルム（銀塩感光材料）に通常適用されるポリエチレンテレフタレートフィルムやセルロールトリアセテートフィルム、また、その他、ポリイミドフィルムであることが好ましい。特に、ポリエチレンテレフタレートフィルムであることが最も好ましい。
【００６８】
また、ディスプレイ用の電磁波遮蔽材では透明性が要求されるため、支持体の透明性は高いことが望ましい。この場合における光透過性支持体の全可視光透過率は７０〜１００％が好ましく、さらに好ましくは８５〜１００％であり、特に好ましくは９０〜１００％である。
【００６９】
感光ウエブ１８の幅は、例えば、５０ｃｍ以上とし、厚みは５０〜２００μｍとすることがよい。
【００７０】
また、感光ウエブ１８には、露光・現像後、その露光部に金属銀部が形成されるが、この金属銀部に含まれる金属銀の質量が、露光前の露光部に含まれていた銀の質量に対して５０質量％以上の含有率であることが好ましく、８０質量％以上であることがさらに好ましい。露光部に含まれる銀の質量が露光前の露光部に含まれていた銀の質量に対して５０質量％以上であれば、その後の電解めっき処理で高い導電性を得ることができるため好ましい。
【００７１】
露光及び現像処理により形成された金属銀部に導電性を付与するために、上述の電解めっき装置１６によって、金属銀部に導電性金属粒子を担持させる電解メッキ処理を行う。すなわち、めっき被膜付きフィルムの製造装置１０では、被めっき素材として、銀塩含有層が設けられた光透過性感光ウエブ１８を用い、これの銀塩含有層に露光・現像を行って被めっき部として所望の細線状金属銀部を形成する。この細線状金属銀部は、銀塩含有層に露光・現像して形成されるため、非常に細い細線でパターン化された細線状金属銀部となる。このような光透過性感光ウエブ１８に対し、電解めっき処理を施すと、細線状金属銀部上に導電性粒子が担持され、これが導電性金属部となる。このため、得られる電磁波遮蔽材料は、非常に細い細線でパターン化された細線状金属部と大面積の光透過部とを有することとなる。
【００７２】
以上のような構成のめっき被膜付きフィルムの製造装置１０では、感光ウエブ１８を搬送する液中ローラ６２Ａ、７２Ａ、６２Ｂ、７２Ｂが設けられているので、感光ウエブ１８をめっき液６１または洗浄水７１中で液中ローラ６２Ａ、７２Ａ、６２Ｂ、７２Ｂとスリップさせずに搬送することができ、感光ウエブ１８表面の傷の発生を抑制できる。このため、帯状長尺で幅広の感光ウエブ１８を低張力で搬送しながら、感光ウエブ１８の表面に傷の少ない高品質のめっき被膜を連続的に形成できる。このため、安価な設備で高い生産性を有するめっき被膜付きフィルムの製造装置１０を実現できる。
【００７３】
なお、上記実施形態では、めっき槽６０Ａ、６０Ｂ、洗浄槽７０Ａ、７０Ｂに液中ローラ６２Ａ、６２Ｂ、７２Ａ、７２Ｂが配設されているが、この構成に限定するものではない。例えば、汎用の処理液や洗浄液などが入った液槽中に配設される液中ローラにも本発明を適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】本発明の一実施形態におけるめっき被膜付きフィルムの製造装置を示す概略縦断面図である。
【図２】図１に示す製造装置で用いられる電解めっき装置に配設されるめっき槽及び洗浄槽付近を示す概略構成図である。
【図３】図２に示すめっき槽内に設けられる液中ローラを示す斜視図である。
【図４】図２に示すめっき槽内に設けられる液中ローラを示す断面図である。
【図５】液中ローラの円筒体の周面を示す拡大断面図である。
【符号の説明】
【００７５】
１０   めっき被膜付きフィルム製造装置
１６   電解めっき装置
１８   感光ウエブ（フィルム）
６０Ａ めっき槽（液槽）
６０Ｂ めっき槽（液槽）
６２Ａ 液中ローラ
６２Ｂ 液中ローラ
６１   めっき液（液）
７０Ａ 洗浄槽（液槽）
７０Ｂ 洗浄槽（液槽）
７１   洗浄水（液）
７２Ａ 液中ローラ
７２Ｂ 液中ローラ
１５２ 軸体
１５４ 円筒体
１５６ 側面体
１５８ 軸受
１６０ 開孔
１６２ 溝
【図１】
2008007797.tif 000003
【図２】
2008007797.tif 000004
【図３】
2008007797.tif 000005
【図４】
2008007797.tif 000006
【図５】
2008007797.tif 000007