(57)【要約】      （修正有）【課題】マルチプルレベルセル相変化メモリ装置の読み出し方法を提供する。【解決手段】メモリ装置は、複数のメモリセルを含み、各メモリセルは、プログラム動作時に印加されるプログラム電流に応答して決定された初期抵抗を有する。各メモリセルの前記抵抗は、前記プログラム動作時間の間に初期抵抗から変更する。各メモリセルは、プログラム動作時に前記対応するメモリセルの前記抵抗をプログラムするために、前記プログラム電流を印加するのに使用され、そして読み出し動作時に前記対応するメモリセルの前記抵抗を読み出すために読み出し電流を印加するのに使用される前記メモリセルの導電ラインに接続される。変更回路は、前記メモリセルの読み出し動作の前に前記初期抵抗の近くにメモリセルの抵抗を回復するように読み出し動作を行う間に前記複数のメモリセルのうち、選択されたメモリセルの前記抵抗を変更する。【選択図】図８Ｂ
2008276928.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
メモリ装置であって、
プログラム動作時に印加されたプログラム電流に応答して決定された初期抵抗を有するメモリセル物質と前記プログラム動作を行う時間の間に前記初期抵抗から可変するメモリセルの抵抗を有し、各メモリセルは、前記プログラム動作時に前記対応するメモリセルの前記抵抗をプログラムするための前記プログラム電流を印加するのに使用され、そして読み出し動作時に前記対応するメモリセルの前記抵抗を読み出すための読み出し電流を印加するのに使用される前記メモリ装置の導電ラインに接続する複数のメモリセルと、
前記メモリセルの読み出し動作の前にメモリセルの抵抗を前記初期抵抗の近くの抵抗に回復するための読み出し動作の間に前記複数のメモリセルの選択されたメモリセルの前記抵抗を可変する変更回路と、を備える半導体装置。
【請求項２】
前記メモリセル物質はカルコゲナイド物質から構成される請求項１に記載の半導体装置。
【請求項３】
各メモリセルは、複数の状態のうち、いずれか一つを占有するように、前記プログラム動作に応じてプログラムされ、各状態は、隣接する状態の抵抗範囲に隣接する抵抗範囲を含み、前記メモリセルは、２ケ以上の状態を占有するようにするために、前記プログラム動作に応じてプログラムされる請求項１に記載の半導体装置。
【請求項４】
前記複数の状態のうち低い状態は、抵抗の最も低い範囲を有する状態に対応し、前記複数の状態のうち高い状態は、最大範囲を有する状態に対応し、前記複数の状態のうち、少なくとも一つの中間状態は、前記低い状態の抵抗の前記最小範囲より大きく、前記高い状態の抵抗の最大範囲より低い抵抗の範囲を有する少なくとも一つの状態に対応する請求項３に記載の半導体装置。
【請求項５】
前記変更回路は、前記メモリセルの読み出し動作の前に前記導電ラインにエネルギーのパルスを印加することによって、前記メモリセルの前記抵抗を変更し、前記メモリセルが前記中間状態に前記プログラム動作によりプログラムされるか、又は前記メモリセルが前記プログラム動作によって前記低い状態又は前記高い状態にプログラムされる時にエネルギーの前記パルスを印加しないとき、前記変更回路は、エネルギーの前記パルスを印加する請求項４に記載の半導体装置。
【請求項６】
前記導電ラインは、ビットラインからなり、前記変更回路は、前記メモリセルの読み出し動作の前に前記ビットラインにエネルギーのパルスを印加することによって、前記メモリセルの前記抵抗を変更する請求項１に記載の半導体装置。
【請求項７】
エネルギーの前記パルスは、前記ビットラインに接続した感知増幅回路によって印加される請求項６に記載の半導体装置。
【請求項８】
エネルギーの前記パルスは、前記メモリ装置の制御回路により発生し、前記感知増幅回路のクランプトランジスタにより活性化される請求項７に記載の半導体装置。
【請求項９】
エネルギーの前記パルスは、前記ビットラインに接続した書き込みドライバー回路により印加される請求項８に記載の半導体装置。
【請求項１０】
エネルギーの前記パルスは、前記メモリ装置の制御回路により発生し、前記書き込みドライバー回路内のスイッチング回路により活性化される請求項６に記載の半導体装置。
【請求項１１】
エネルギーの前記パルスは、前記メモリセルのプリチャージ動作の間に前記ビットラインに印加され、前記ビットラインは、エネルギーの前記パルスの応用前にプリチャージされる請求項６に記載の半導体装置。
【請求項１２】
メモリ装置は、複数のメモリセルを含み、各々のメモリセルは、プログラム動作時に印加されたプログラム電流に応答して決定された初期抵抗を有するメモリセル物質、前記プログラム動作する時間の間に前記初期抵抗から変更する前記メモリセルの前記抵抗を含み、各メモリセルは、プログラム動作時に前記対応するメモリセルの前記抵抗をプログラムするように前記プログラム電流を印加するのに使用され、読み出し動作時に前記対応するメモリセルの前記抵抗を読み出すために、読み出し電流を印加するように使用される前記メモリ装置の導電ラインに接続され、前記メモリセルの読み出し動作の前に前記初期抵抗の近くにメモリセルの抵抗を復元するために、読み出し動作の間に選択されたメモリセルの前記抵抗を変更することと、前記メモリの読み出し動作を行うことを含むメモリ装置の読み出し方法 。
【請求項１３】
前記メモリセル物質はカルコゲナイド物質を含む請求項１２に記載のメモリ装置の読み出し方法。
【請求項１４】
各メモリセルは、複数の状態のうち、いずれか一つを占有するように前記プログラム動作によりプログラムされ、各状態は、隣接した状態の隣接した抵抗範囲に独立的な抵抗の範囲を有し、メモリセルの前記初期抵抗は、前記プログラム動作を行いつつ初期状態を占有し、前記メモリセルの読み出し動作の前に前記初期抵抗の近くにメモリセルの抵抗が回復するようにするための読み出し動作の間に選択されたメモリセルの前記抵抗を変更することは、前記メモリセルの前記抵抗を前記初期状態に対応する抵抗の範囲内の抵抗に回復する請求項１２に記載のメモリ装置の読み出し方法。
【請求項１５】
前記メモリセルは、２つの状態以上を占有するように前記プログラム動作によりプログラムされる請求項１４に記載のメモリ装置の読み出し方法。
【請求項１６】
前記複数の状態のうち低い状態は、抵抗の最も低い範囲を有する状態に対応し、前記複数の状態のうち高い状態は、最大範囲を有する状態に対応し、前記複数の状態のうち少なくとも一つの中間状態は、前記低い状態の抵抗の前記最小範囲より大きく、かつ前記高い状態の抵抗の最大範囲より低い抵抗の範囲を有する少なくとも一つの状態に対応する請求項１５に記載のメモリ装置の読み出し方法。
【請求項１７】
前記メモリセルの前記抵抗を変更することは、前記メモリセルが前記中間状態にプログラム動作によりプログラムされるときに行われ、前記メモリセルが前記低い状態又は前記高い状態に前記プログラム動作によりプログラムされるときに行われない請求項１６に記載のメモリ装置の読み出し方法。
【請求項１８】
前記抵抗を変更することは、前記メモリセルの読み出し動作の前に前記メモリセルに接続した前記メモリ装置のビットラインにエネルギーのパルスを印加することによって、前記メモリセルの前記抵抗を変更することを含む請求項１２に記載のメモリ装置の読み出し方法。
【請求項１９】
エネルギーの前記パルスは、前記メモリセルの前記読み出し動作を行う間に、前記読み出し電流を印加する前に約１００ｎｓで印加する請求項１８に記載のメモリ装置の読み出し方法。
【請求項２０】
エネルギーの前記パルスは、前記メモリセルのプリチャージ動作の間に前記ビットラインに印加され、前記ビットラインは、エネルギーの前記パルスの応用前にプリチャージされる請求項１８に記載のメモリ装置の読み出し方法。
【請求項２１】
前記メモリ装置は、複数のメモリセル、各々のメモリセルは、プログラム動作時に印加されたプログラム電流に応答して決定された初期欠陥状態を有するカルコゲナイド物質を含み、前記メモリセルの欠陥状態は、前記プログラム動作する時間の間に前記初期欠陥状態から変更し、各メモリセルは、プログラム動作時に前記対応するメモリセルの前記欠陥状態をプログラムするための前記プログラム電流を印加するのに使用され、読み出し動作時に前記対応するメモリセルの前記欠陥状態を読み出すための読み出し電流を印加するのに使用される前記メモリ装置の導電ラインに接続され、
前記メモリセルの読み出し動作の前に前記初期欠陥状態の近くにそれの欠陥状態を復元するために読み出し動作の間に選択されたメモリセルの前記欠陥状態を変更し、
前記メモリの読み出し動作を行うメモリ装置の読み出し方法。
【請求項２２】
メモリシステムを含む電子装置であって、
前記メモリシステムは、
データ信号が伝達されるデータバスに接続されるように配列するメモリ制御機と、
前記データ信号を格納し回復する前記メモリ制御機に接続したメモリ装置と、を備え、
前記メモリ装置は、
複数のメモリセル、各メモリセルは、プログラム動作時に印加されたプログラム電流に応答して決定された初期抵抗を有するメモリセル物質と前記プログラム動作時間の間に前記初期抵抗から可変する前記メモリセルの前記抵抗を含み、
各メモリセルは、前記プログラム動作時に前記対応するメモリセルの前記抵抗をプログラムするために、前記プログラム電流を印加するのに使用され、読み出し動作時に前記対応するメモリセルの前記抵抗を読み出すために読み出し電流を印加するのに使用される前記メモリ装置の導電ラインに接続され、
各メモリセルの読み出し動作の前に前記初期抵抗の近くにメモリセルの抵抗を回復するために読み出し動作を行う間に複数のメモリセルの中から選択されたメモリセルの前記抵抗を変更する変更回路を備えるメモリシステムを含む電子装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マルチプルレベルセル相変化メモリ装置、このような装置を搭載するメモリシステム及びメモリ装置の読み出し方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、相変化メモリ装置又は相変化ランダムアクセスメモリ（ＰＲＡＭ）は、オボニックユニファイドメモリ（ＯＵＭ）として知られている。ＯＵＭセルは、加熱された後に冷却されたカルコゲナイド合金ボリュームに基づき、安定しているがプログラム可能な結晶又は非晶質の２つの状態のうちの何れか１つの状態を採択する。論理１又は０に対する前記セルの前記状態のプログラミングは、前記プログラム可能なボリュームの前記状態に依存し、その抵抗を測定することにより決定される。前記結晶又は導電性状態は、一般に「セット」又は「０」状態で表現され、前記非晶質又は抵抗性非導電性状態は、一般に「リセット」又は「１」状態で表現される。
【０００３】
プログラム可能なボリューム非晶質を作るためには、抵抗性ヒーターにより溶融点以上に加熱される。前ログラム可能なボリューム結晶を作るためには、短い周期例えば５０ｎｓで、の溶融点温度以下に加熱されて、原子は、それらの結晶位置に列をなす。プログラム可能なボリュームは、ヒーターをオフするときに急速に安定な非晶質又は安定な結晶状態に冷却する。前記プログラムされたセルの読み出しは、プログラムされたセルの前記抵抗を測定する感知増幅器により行われる。
【０００４】
相変化メモリのキーは、カルコゲナイド物質にある。相変化メモリ装置は、歴史的に、一般にＧＳＴ合金と呼ばれる、ゲルマニウム（Ｇｅ）、アンチモン（Ｓｂ）及びテルル（Ｔｅ）の合金を含む。カルコゲナイド物質は、安定な非晶質及び結晶状態の間に加熱され冷却されるとき、特に急激にスイッチするための能力を有しているから、メモリ装置に結合するのに有用である。
【０００５】
カルコゲナイド物質が混合されたメモリセルは、典型的に上部電極、カルコゲナイド物質が形成された層又はボリューム、及び抵抗性ヒーティング素子として機能する下部電極を含む。図１は、プログラム可能なカルコゲナイド物質を使用するメモリセルの構造を示す。メモリセル１０は、プログラム可能な相変化カルコゲナイド物質１４の上に形成された導電性上部電極１２を含む。導電性下部電極コンタクトＢＥＣ１６は、プログラム可能な物質１４の下に形成される。下部電極コンタクトＢＥＣは、ＴｉＡｌＮ、ＴｉＮなどのような高導電性物質から形成され、電流がＢＥＣを介して流れるときに熱を発生することによって、導電性ヒーターとして動作する。アクセストランジスタ２０は、図２Ａ及び図２Ｂを参照すると、メモリセル１０を通過する電流の流れを制御するために、下部電極コンタクト１６に接続される。アクセストランジスタ２０は、一般にメモリセル１０を結合するメモリ装置のワードラインＷＬに接続される。
【０００６】
図２Ａ及び図２Ｂは、２つのプログラムされた状態のそれぞれに対するメモリセル１０の構造を示す。図２Ａに示すように、メモリセル１０は、導電性セット又は「０」状態を示している。この状態において、ＢＥＣに接触した前記プログラム可能な物質１４のいくつかの部分は、結晶状態にある。図２Ｂに示すように、メモリセル１０は、導電性リセット又は「１」状態を示している。この状態において、ＢＥＣと接触したプログラム可能な物質１４は、非晶質状態にある。
【０００７】
図３は、メモリセル１０の電気的構造を示す。ワードラインＷＬは、メモリセル１０を介して電流の流れを制御する。メモリセル１０を介して最終電流の流れ及びメモリセル１０の上部電極１２に接続したビットラインＢＬの活性化は、書き込み又はプログラム動作の間にメモリセル１０の前記状態をプログラムする機能を行い、読み出し又はセンシング動作時にメモリセル１０の常時状態を読み出すためのパラメーターとして機能する。
【０００８】
図４は、プログラム可能なカルコゲナイド物質のボリューム、例えば、図１〜図３に示され説明された前記種を含むメモリセルのプログラムを示すタイミング図である。図４のタイミング図は、セット（結晶）状態とそしてリセット（非晶質）状態とをプログラムするために、一般的な装置に使用されるヒーターのプログラムパルスを示す時間に対する温度のグラフである。レベルされたカーブ２２は、リセットパルス、例えば、温度パルスがカルコゲナイド物質をリセット（非晶質）状態でプログラムするのに使用される時間−温度の関係を示しており、レベルされたカーブ２４は、リセットパルス、例えば、温度パルスがカルコゲナイド物質をセット（結晶）状態でプログラムするのに使用される時間−温度の関係を示す。
【０００９】
図４においてレベルされたカーブ２２を参照すると、カルコゲナイド物質のプログラム可能なボリュームを非晶質パルス（リセット状態）に変更するために、カルコゲナイド合金は、相対的に短い周期、例えば、数ナノ秒の間に加熱される。ヒーティングパルスは、相対的に短い周期、例えば、数ナノ秒の間に印加される。カルコゲナイド合金は、ヒーターが前記プログラム可能なボリュームの結晶化温度Ｔｃ下の温度に、冷却周期として言及された周期Ｔ１以上ターンオフするときに、急激に冷却する。冷却周期の間に、カルコゲナイド物質の前記プログラム可能なボリュームは、安定かつ非晶質状態にある。
【００１０】
図４においてレベルされたカーブ２４を参照すると、結晶状態（セット状態）でプログラム可能なボリュームを変更するために、カルコゲナイド合金は、その溶融点温度Ｔｍ下の温度、例えば、物質の結晶化温度Ｔｃ及び溶融点温度Ｔｍの間の温度に導電性ヒーターにより加熱される。前記溶融点温度は、結晶化させる前記カルコゲナイド合金の部分を許容するように、すなわち、前記カルコゲナイド物質中の原子を結晶化構造に一列に配列させるために、前記周期Ｔ１より相対的に長い周期Ｔ２の間に維持される。前記結晶化に到達した後に、セットヒーティングパルスは除去され、そして前記カルコゲナイド物質は、安定な結晶状態に冷却する。
【００１１】
マルチプルのプログラム可能な状態を有するＰＲＡＭ装置の製造についての研究は進められている。例えば、上述した例が２つの状態、すなわち非晶質（リセット）及び結晶（セット）を有するＰＲＡＭセルを説明する間に、残りは、非晶質及び結晶「終了」状態間のマルチプルのいわゆる「ハイブリッド」又は「中間」状態を有するＰＲＡＭセルが実験されている。中間状態では、プログラム可能なボリュームが部分的に非晶質及び部分的に結晶であり、プログラム可能な物質の非晶質及び結晶の相対的なパーセントを制御することにより、メモリセルの最終抵抗が制御されうる。この方法により、各最終ＰＲＡＭセルは、それぞれ唯一の抵抗に対応し、マルチプルのプログラム可能な状態、又はマルチプルのレベルを有するように言及されることができる。マルチプルレベルＰＲＡＭ分野についての研究は、Ｉｔｒｙなどによって「Ａｎａｌｙｓｉｓ  ｏｆ  ｐｈａｓｅ−ｔｒａｎｓｆｏｒｍａｔｉｏｎ  ｄｙｎａｍｉｃｓ  ａｎｄ  ｅｓｔｉｍａｔｉｏｎ  ｏｆ  ａｍｏｒｐｈｏｕｓ−ｃｈａｌｃｏｇｅｎｉｄｅ  ｆｒａｃｔｉｏｎ  ｉｎ  ｐｈａｓｅ−ｃｈａｎｇｅ  ｍｅｍｏｒｉｅｓ，」（ＩＥＥＥ  ４２ｎｄ  Ａｎｎｕａｌ  Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ  Ｒｅｌｉａｂｉｌｉｔｙ  Ｐｈｙｓｉｃｓ  Ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ，Ｐｈｏｅｎｉｘ，２００４，ｐｐ  ２０９−２１５）という題目で発表され、内容は出願のレファレンスとして添付される。
【００１２】
他のものでは、プログラムされたカルコゲナイドボリュームの抵抗値が時間により可変できると決定された。例えば、Ｐｉｒｏｖａｎｏなどの「Ｌｏｗ−Ｆｉｅｌｄ  Ａｍｏｒｐｈｏｕｓ  Ｓｔａｔｅ  Ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ  ａｎｄ  Ｔｈｒｅｓｈｏｌｄ  Ｖｏｌｔａｇｅ  Ｄｒｉｆｔ  ｉｎ  Ｃｈａｌｃｏｇｅｎｉｄｅ  Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，」（ＩＥＥＥ  Ｔｒａｎｓａｃｔｉｏｎｓ  ｏｎ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｄｅｖｉｃｅｓ，Ｖｏｌ．５１，Ｎｏ．５，Ｍａｙ  ２００４，ｐｐ  ７１４−７１９）報告、この内容は、この出願のレファレンスとして含まれる。
【００１３】
抵抗移動を制御するための試みとして、他のものでは、抵抗移動ダイナミックの特性が研究されている。例えば、Ｉｅｌｍｉｎｉなどの「Ｒｅｃｏｖｅｒｙ  ａｎｄ  Ｄｒｉｆｔ  Ｄｙｎａｍｉｃｓ  ｏｆ  Ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ  ａｎｄ  Ｔｈｒｅｓｈｏｌｄ  Ｖｏｌｔａｇｅｓ  ｉｎ  Ｐｈａｓｅ−Ｃｈａｎｇｅ  Ｍｅｍｏｒｉｅｓ，」（ＩＥＥＥ  Ｔｒａｎｓａｃｔｉｏｎｓ  ｏｎ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｄｅｖｉｃｅｓ，Ｖｏｌ．５４，Ｎｏ．２，Ｆｅｂｒｕａｒｙ  ２００７，ｐｐ  ３０８−３１５）報告しており、この内容は、この出願のレファレンスとして添付される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
本発明の目的は、マルチプルレベルセル相変化メモリ装置、そのメモリ装置を使用するメモリシステム及びメモリ装置の読み出し方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
ここで読み出しのために選択された装置の抵抗移動は、読み出し動作の前にメモリセルの初期抵抗の近くにそれの前記抵抗を回復するために、その読み出し動作の前にメモリセルの前記抵抗を変更するように制御される。本実施形態において、エネルギーのヒーティングパルスは、前記読み出し動作の前に約１００ｎｓ内で前記セルに印加される。読み出し動作の前にこのようなメモリセルのヒーティングは、そのプリ移動抵抗値の近くにメモリセルの抵抗レベルを回復する。他の実施形態において、メモリセルは、マルチプルレベルメモリセルである。
【００１６】
また、メモリ装置は、複数のメモリセルを含むものの、各メモリセルは、プログラム動作時に印加されたプログラム電流に応答して決定された初期抵抗、プログラム動作時間の間に初期抵抗から可変されるメモリセルの抵抗を含み、そして各メモリセルは、プログラム動作時に対応するメモリセルの抵抗をプログラムするために、プログラム電流を印加するのに使用され、そして読み出し動作時に前記対応するメモリセルの前記抵抗を読み出すために読み出し電流を印加するのに使用されるメモリ装置の導電ラインに接続されている。変更回路は、メモリセルの読み出し動作の前にメモリセルの抵抗を初期抵抗の近くに回復するための読み出し動作の間に、複数のメモリセルのうち、選択されたメモリセルの抵抗を変更する。
【００１７】
実施形態において、メモリセル物質はカルコゲナイド物質である。
また、他の実施形態において、各メモリセルは、メモリセルの前記対応するメモリセル物質と熱的通信を行うためのヒーティング素子をさらに含むものの、ヒーティング素子は、メモリセル物質が初期抵抗を有するようにするために、対応するメモリセルを加熱するためのプログラム電流を伝達する。
【００１８】
さらに他の実施形態において、ヒーティング素子は、対応するメモリセルに接触された電極を含むものの、ヒーティング素子は、電流がヒーティング素子を介して流れるときに熱を発生する抵抗性物質を含む。
さらに他の実施形態において、各メモリセルは、複数の状態のうち、何れか一つを占有するために、プログラム動作によりプログラムされるものの、各状態は、隣接する状態の隣接する抵抗範囲に独立的な抵抗の範囲を含む。ここで、メモリセルは、２つ以上の状態を占有するために、プログラム動作によりプログラムされる。
【００１９】
さらに他の実施形態において、複数の状態の低い状態は、抵抗の最小範囲を含む状態に対応し、複数の状態の高い状態は、抵抗の最大範囲を含む状態に対応し、そして複数の状態の少なくとも一つの中間状態は、低い状態の抵抗より最小範囲より大きく、高い状態の抵抗の最大範囲より小さな抵抗の範囲を有する少なくとも一つの状態に対応する。
【００２０】
さらに他の実施形態において、変更回路は、メモリセルの読み出し動作の前に導電ラインにエネルギーのパルスを印加することによって、メモリセルの抵抗を変更し、ここで、変更回路は、メモリセルが中間状態にプログラム動作によりプログラムされるときにエネルギーのパルスが印加され、そして変更回路は、メモリセルが低い状態又は高い状態にプログラム動作によりプログラムされるときにエネルギーのパルスを印加しない。
【００２１】
さらに他の実施形態において、導電ラインは、ビットラインを含み、ここで変更回路は、メモリセルの読み出し動作の前にビットラインにエネルギーのパルスを印加することによって、メモリセルの抵抗を変更する。
さらに他の実施形態において、エネルギーのパルスは、ビットラインに接続した感知増幅回路によって印加される。
【００２２】
さらに他の実施形態において、エネルギーのパルスは、メモリ装置の制御回路により発生し、感知増幅回路のクランプトランジスタによって活性化される。
さらに他の実施形態において、エネルギーのパルスは、ビットラインに接続した書き込みドライバー回路により印加される。
さらに他の実施形態において、エネルギーのパルスは、メモリ装置の制御回路により発生し、書き込みドライバー回路のスイッチング回路により活性化される。
【００２３】
さらに他の実施形態において、エネルギーのパルスは、メモリセルのプリチャージ動作の間にビットラインに印加され、ここでビットラインは、エネルギーのパルスの応用前にプリチャージされる。
また、上記の目的を達成すべく、メモリ装置の読み出し方法は、メモリ装置は、複数のメモリセルを含むものの、各メモリセルは、プログラム動作時に印加されたプログラム電流に応答して決定された初期抵抗を有するメモリセル物質を含むが、メモリセルの抵抗は、プログラム動作時間の間に初期抵抗から可変し、各メモリセルは、プログラム動作時に対応するメモリセルの抵抗をプログラムするために、プログラム電流を印加するのに使用され、そして読み出し動作時に対応するメモリセルが抵抗を読み出すために、読み出し電流を印加するのに使用されるメモリ装置の導電ラインに接続されるものの、メモリセルの読み出し動作の前にメモリセルの抵抗を初期抵抗の近くに回復するための読み出し動作の間に選択されたメモリセルの抵抗を変更することと、メモリセルの読み出し動作を行うことを含む。
【００２４】
一つの実施形態において、メモリセル物質はカルコゲナイド物質を含む。
また、他の実施形態において、各メモリセルは、メモリセルの対応するメモリセルと熱的に通信するためのヒーティング素子をさらに含むものの、前記方法は、メモリセル物質が初期抵抗を有するようにするために、対応するメモリセルを加熱するためのヒーティング素子にプログラム電流を印加することをさらに含む。
【００２５】
さらに他の実施形態において、各メモリセルは、複数の状態のうち、何れか一つを占有するようにプログラム動作によりプログラムされるものの、各状態は、隣接する状態の隣接する抵抗の範囲に独立的な抵抗の範囲を含み、ここで、メモリセルの初期抵抗は、プログラム動作によって初期状態を占有し、ここで、メモリセルの初期抵抗は、プログラム動作に応じて初期状態を占有し、ここで、メモリセルの読み出し動作の前にメモリセルの抵抗を初期抵抗の近くに回復するための読み出し動作の間に選択されたメモリセルの抵抗を変更することは、メモリセルの抵抗を初期状態に対応する抵抗の範囲内の抵抗に回復することである。
【００２６】
さらに他の実施形態において、メモリセルは、２つ以上の状態を占有するためのプログラム動作によりプログラムされる。
さらに他の実施形態において、複数の状態の低い状態は、抵抗の最小範囲を有する状態に対応し、複数の状態の高い状態は、抵抗の最大範囲を有する状態に対応し、そして複数の状態の少なくとも一つの中間状態は、低い状態の最小範囲より大きく、高い状態の最大範囲より小さな抵抗の範囲を有する少なくとも一つの状態に対応する。
【００２７】
さらに他の実施形態において、メモリセルの抵抗を変更することは、メモリセルが中間状態にプログラム動作によりプログラムされるときに行われ、そしてメモリセルが低い状態又は高い状態にプログラム動作によりプログラムされるときに行われない。
さらに他の実施形態において、抵抗を変更することは、メモリセルの読み出し動作の前にメモリセルに接続したメモリ装置のビットラインにエネルギーのパルスを印加することによって、メモリセルの抵抗を変更することを含む。
【００２８】
さらに他の実施形態において、エネルギーのパルスは、メモリセルの読み出し動作を行う間に、読み出し電流を印加する前に約１００ｎｓ内で印加される。
さらに他の実施形態において、エネルギーのパルスは、メモリセルのプリチャージ動作の間にビットラインに印加されるものの、ここで、ビットラインは、エネルギーのパルスの応用前にプリチャージされる。
【００２９】
また、上記の目的を達成すべく、メモリ装置の読み出し方法は、メモリ装置は、複数のメモリセルを含むものの、各メモリセルは、プログラム動作時に印加されたプログラム電流に応答して決定された初期欠陥状態を有するカルコゲナイド物質を含むものの、メモリセルの欠陥状態は、プログラム動作時間の間に初期欠陥状態から可変し、各メモリセルは、プログラム動作時に対応するメモリセルの欠陥状態をプログラムさせるためのプログラム電流を印加するのに使用され、そして読み出し動作時に対応するメモリセルの欠陥状態を読み出すために、読み出し電流を印加するのに使用されるメモリ装置の導電ラインに接続され、メモリセルの読み出し動作の前にメモリセルの欠陥状態を初期欠陥状態に回復するための読み出し動作の間に選択されたメモリセルの欠陥状態を変更することと、メモリセルの読み出し動作を行うことを含む。
【００３０】
また、上記の目的を達成すべく、電子装置は、メモリシステムを含むものの、メモリシステムは、データ信号が伝達されるデータバスに接続されるように配列されたメモリ制御機、及びメモリ制御機に接続され、データ信号を格納するか、又は検索するメモリ装置を備える。メモリ装置は、複数のメモリセルを含むものの、各メモリセルは、プログラム動作時に印加されたプログラム電流に応答して決定された初期抵抗を有するメモリセル物質を含むものの、メモリセルの抵抗は、プログラム動作時間の間に初期抵抗から可変し、そして各メモリセルは、プログラム動作時に対応するメモリセルの抵抗をプログラムするためのプログラム電流を印加するのに使用され、そして読み出し動作時に対応するメモリセルの抵抗を読み出すための読み出し電流を印加するのに使用されるメモリ装置の導電ラインに接続される。変更回路は、メモリセルの読み出し動作の前にメモリセルの抵抗を初期抵抗の近くに回復するための読み出し動作の間に、複数のメモリセルの中から選択されたメモリセルの抵抗を変更する。
【００３１】
一つの実施形態において、メモリセル物質はカルコゲナイド物質を含む。
また、他の実施形態において、各メモリセルは、メモリセルの対応するメモリセルと熱的に通信するためのヒーティング素子をさらに含むものの、ヒーティング素子は、メモリセル物質が初期抵抗を有するようにするために、対応するメモリセルを加熱するためのプログラム電流を伝達される。
【００３２】
さらに他の実施形態において、ヒーティング素子は、対応するメモリセル物質と接触する電極を含むものの、ヒーティング素子は、電流がヒーティング素子を介して流れるときに熱を発生する抵抗性物質を含む。
さらに他の実施形態において、各メモリセルは、複数の状態のうち、いずれか一つを占有するようにするためのプログラム動作によりプログラムされるものの、各状態は、隣接する状態の隣接する抵抗範囲と独立的な抵抗の範囲とを含む。ここで、メモリセルは、２つ以上の状態を占有するためのプログラム動作によりプログラムされる。
【００３３】
さらに他の実施形態において、複数の状態の低い状態は、抵抗の最小範囲を有する状態に対応し、複数の状態の高い状態は、抵抗の最大範囲を有する状態に対応し、複数の状態の少なくとも一つの中間状態は、低い状態の抵抗の最小範囲より大きく、高い状態の抵抗の最大範囲より低い抵抗の範囲を有する少なくとも一つの状態に対応する。
【００３４】
さらに他の実施形態において、変更回路は、メモリセルの読み出し動作の前に導電ラインにエネルギーのパルスを印加することによって、メモリセルが抵抗を変更し、そしてここで変更回路は、中間状態にプログラム動作によりプログラムされるとき、エネルギーのパルスを印加し、そして変更回路は、低い状態又は高い状態にプログラム動作によりプログラムされるとき、エネルギーのパルスを印加しない。
【００３５】
さらに他の実施形態において、導電ラインは、ビットラインを含み、そしてここで変更回路は、メモリセルの読み出し動作の前にビットラインにエネルギーのパルスを印加することによって、メモリセルの抵抗を変更する。
さらに他の実施形態において、エネルギーのパルスは、ビットラインに接続した感知増幅器回路により印加される。
【００３６】
さらに他の実施形態において、エネルギーのパルスは、メモリ装置の制御回路により発生し、そして感知増幅器回路のクランプトランジスタにより活性化される。
さらに他の実施形態において、エネルギーのパルスは、ビットラインに接続した書き込みドライバー回路により印加される。
【００３７】
さらに他の実施形態において、エネルギーのパルスは、メモリ装置の制御回路により発生し、そして書き込みドライバー回路のスイッチング回路により活性化される。
さらに他の実施形態において、エネルギーのパルスは、メモリセルのプリチャージ動作の間にビットラインに印加されるものの、ビットラインは、エネルギーのパルスの応用前にプリチャージされる。
【発明の効果】
【００３８】
本発明によると、プリ読み出し動作抵抗移動回復を有するマルチプルレベルセル相変化メモリ装置、そのメモリ装置を搭載したメモリシステム、メモリ装置を読み出す方法を具現することができるという効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３９】
本発明の実施形態は、添付された図面によってさらに詳細に説明される。このような発明は、互いに異なる形態に具現されるか、又はここに記載された実施形態に制限されることによって構造化されない。詳細な説明では、同じ番号は、同じ構成要素を表す。
多様な構成要素を説明するために、ここでは、第１、第２、第３用語が使用されていても、このような素子は、このような用語に制限されるものではない。このような用語は、いずれか一つの構成要素を他のものから区別するために使用される。例えば、本発明の範囲から逸脱しない範囲内で、第１構成要素は、第２構成要素と呼ぶことができ、同様に、第２構成要素は、第１構成要素と呼ぶことができる。ここで使用されたように、「そして／又は」は、関連した目録化された項目の一つ又はそれ以上の組み合わせから何れか一つ又はすべてを含む。
【００４０】
一つの構成要素が他の構成要素の「中に」、「結合された」、又は「接続された」と言及されたとき、それは、他の構成要素に直接的に存在するか、又は結合されうるということであるか、又は媒介する構成要素が存在できると理解すべきである。反対に、構成要素が他の構成要素に「直接的に中に」、「直接的に結合された」「直接的に接続した」と言及されたとき、媒介する構成要素は、存在しない。構成要素の間に関係を説明するのに使用される残りの用語は、同様に解析されるべきである（例えば、「間」対「直接的に間」、「隣接した」対「直接的に隣接した」など）。一つの構成要素が他の構成要素の「上に」と言及されたとき、これは、他の構成要素の上又は下であり得、そして他の構成要素に直接的に接続されるか、又は媒介する構成要素が存在するか、又は構成要素の除去又は間隔により分離された空間が存在するはずである。
【００４１】
ここに使用された技術は、特別な実施形態を説明するためのものであり、そして本発明を制限するものではない。ここで使用された唯一の形態は、文脈が明確に異なるものを指示しない限り、一つの形態または複数の形態を含むと意図される。ここで使用された「構成する」、「構成している」、「含む」、そして／又は「含む」という用語は、上述の特徴、数字、ステップ、動作、構成要素、そして／又は構成を説明するが、本発明又は一つ又はそれ以上の他の特徴、数字、ステップ、構成要素、構成、そして／又はそれのグループの追加を排除しない。
【００４２】
図５Ａは、ツーレベル相変化メモリセルのための抵抗値を２つの区別された状態に区分することに対する概念的チャートである。図５Ｂは、マルチプルレベル相変化メモリセルのための抵抗値を多重の区別された状態に区分することに対する概念的チャートである。そして、図５Ｃは、抵抗移動の効果を説明する、図５Ｂのマルチプルレベル相変化メモリセルのための抵抗値を多重の区別された状態に区分することに対する概念的チャートである。
【００４３】
図５Ａに示すように、標準、ツーレベル、相変化メモリセルの状態が記述される。このような２つのレベルセルは、従来の「単一レベル」セルとして言及されたものである。セルのプログラムによると、最終的な抵抗値の分布は、２つの状態「０」及び「１」のうちの何れか一つに区分されうる。第１分布カーブ３２Ａの範囲で区分されるプログラムされたセルのすべての抵抗値は、「０」状態と決定され、そして第２分布カーブ３２Ｂの範囲で区分されるプログラムされたセルのすべての抵抗値は、「１」状態と決定される。この場合において、第１及び第２カーブ３２Ａ、３２Ｂに対応する抵抗値は、境界の抵抗値３４により容易に分離されうる。すなわち、万一、決定された抵抗値が境界の抵抗値３４より小さいならば、それは、「０」状態に対応するものと見なされ、そして、万一決定された抵抗値が境界の抵抗値３４より大きいならば、それは、「１」状態に対応するものと見なされる。
【００４４】
図５Ｂに示すように、フォーレベル相変化メモリセルの状態が記述される。セルのプログラムによると、最終的な抵抗値は、４つの状態「００」、「０１」、「１０」、及び「１１」に区分されうる。「００」及び「１１」状態は、それらが抵抗値の範囲より低くより高い終わり部分での抵抗値に対応するから、ここで「終了状態」として言及される。「００」終了状態は、セルの結晶状態に対応し、「１１」状態は、セルの非晶質状態に対応する。「０１」及び「１０」状態は、セルの中間、部分的に非晶質状態に対応するものの、セルの対応する「１０」状態は、相対的に非晶質物質をさらに含むように対応する。マルチプルレベルセルは、システム集積化において利点となるが、それは、２つ以上の状態が単一セルでプログラムされるためである。「００」及び「１１」状態は、ここではそれぞれ「結晶」及び「非晶質」に対応するように言及され、装置のこのような終了状態は、「完全に結晶」及び「完全に非晶質」状態に対応する。これに対し、このような終了状態は、「００」終了状態が初歩の結晶状態にある、すなわち他の状態より結晶物質をより多く含む、そして「１１」終了状態が初歩の非晶質状態にある、すなわち他の状態より非晶質物質をさらに多く含む中間状態のように、部分的に結晶及び部分的に非晶質状態に同等に対応できる。
【００４５】
第１分布カーブ３６Ａに区分されるプログラムされたセルのすべての抵抗値は「００」状態と決定され、第２分布カーブ３６Ｂに区分されるプログラムされたセルのすべての抵抗値が「０１」状態に区分され、第３分布カーブ３６Ｃに区分されるプログラムされたセルのすべての抵抗値が「１０」状態に区分され、第４分布カーブ３６Ｄに区分されるプログラムされたセルのすべての抵抗値が「１１」に区分される。この場合において、終了状態「００」及び「１１」に属する第１及び第４分布カーブ３６Ａ、３６Ｄに対応する抵抗値は、境界の抵抗値３８Ａ、３８Ｃに対応するから、隣接する分布カーブ３６Ｂ、３６Ｄから容易に分離される。例えば、万一、決定された抵抗が境界の値３８Ａより小さい場合に、それは、「００」状態に対応するものと見なされ、そして、万一決定された抵抗値が境界の値３８Ｃより大きい場合には、「１１」状態に対応するものと見なされる。しかしながら、中間状態「０１」及び「１０」に属する第２及び３分布カーブ３６Ｂ、３６Ｃの抵抗値は、抵抗移動現象により、より影響されやすい。このような増加した影響力は、図５Ｃに示されている。
【００４６】
図５Ｃに示すように、４つの状態「００」、「０１」、「１０」、「１１」に対応する分布カーブ３６Ａ、３６Ｂから抵抗移動の影響を確認することができる。時間周期後に、ポスト移動分布カーブ３６Ａ´に移動するようにカーブを引き起こす、プログラム可能なボリュームの化学的格子での不安定な欠陥がさらに安定な欠陥に遷移することのため、プリ移動分布カーブ３６Ａに対応する抵抗値が移動する。同様に、ポスト移動分布カーブ３６Ｂ´に移動するようにカーブを引き起こす、プリ移動分布カーブ３６Ｂに対応する抵抗値が移動する。ポスト移動分布カーブ３６Ｃ´に移動するようにカーブを引き起こす、プリ移動分布カーブ３６Ｃに対応する抵抗値が移動する。そしてポスト移動分布カーブ３６Ｄ´に移動するようにカーブを引き起こす、プリ移動分布カーブ３６Ｄに対応する抵抗値が移動する。
【００４７】
図５Ｃにおいて、ポスト移動分布カーブ３６Ａ´は、相対的に少ない量だけ、それのプリ移動分布カーブ３６Ａと比較して、移動したことが分かる。これは、第１分布カーブ３６Ａに関連した抵抗値が相対的にさらに又は完壁に結晶化された物質を含むプログラム可能なボリュームの結果のためである。結晶化された物質の格子は、非晶質物質の対応する格子より相対的に少ない不安定な欠陥を含むために、結晶化された物質は、抵抗移動が相対的に少なくなる。また、図５Ｃでは、第２、３、及び４ポスト移動分布カーブ３６Ｂ´、３６Ｃ´、３６Ｄ´は、相対的に大きな量だけ、それらのプリ移動分布カーブ３６Ｂ、３６Ｃ、３６Ｄと比較して、移動していることが分かる。抵抗移動の量は、一般に物質のプログラムされたボリュームの増加した非晶質の内容物に応じて増加する。
【００４８】
ツーレベルセル（図５Ａ）の場合において、抵抗移動は、容易に管理されうるが、これは、２つの状態「０」及び「１」に対応する抵抗値が適した境界の抵抗値３４の選択に応じて、互いに異なるものから実質的に区分されるように作られることができるためである。それで、長い時間の間に実質的な抵抗移動が発生した以後にも、非晶質状態「１」の最終的なポスト移動抵抗値は、依然として境界の抵抗値３４上にあるようになり、そして結晶状態「０」の最終的なポスト移動抵抗は、依然として境界の抵抗値３４の下にあるようになる。但し、２つの状態が必要なため、抵抗移動は、標準、ツーレベルセルにおいて初期関係ではない。
【００４９】
図５Ｂ及び図５Ｃにおいて記述されたそれらのように、複数の状態を有するマルチプルレベルセルの場合において、抵抗移動の管理は重要である。「００」及び「１１」状態において、抵抗移動は、適した境界の値３８Ａ、３８Ｃをセッティングすることによって容易に管理される。例えば、万一、抵抗移動の影響を少し受けるものと知られた、境界の値３８Ａが第１分布カーブ３６Ａに対応する抵抗値で容易に定義するように選択されるとき、終了状態「００」のためな抵抗移動管理は容易に管理されうる。同様に、万一、第３分布カーブ３６Ｃ´に対応する予測された最終的なポスト移動抵抗値の最大値を大きく超過するように選択されるとき、このような境界の値３８Ｃより高いすべての最終的な抵抗値は、終了状態「１１」に対応するように決定され得、抵抗値により決定される抵抗の量に無関係に第４ポスト移動分布カーブ３６Ｄ´に附属される。
【００５０】
しかしながら、「０１」及び「１０」の中間状態の場合に、このような例では、抵抗移動の管理が要求される。例えば、第２プリ移動分布カーブ３６Ｂの抵抗移動は、第２及び３、中間状態「０１」及び「１０」を区分する事前に決定された境界の値３８Ｂをすぎて、第２ポスト移動分布カーブ３６Ｂ´を引き起こす。同様に、第３プリ移動分布カーブ３６Ｃの抵抗移動は、第３状態、すなわち、中間状態「０１」及び第４状態、すなわち終了状態「１１」に区分する事前に決定された境界の値３８Ｃをすぎて、第３ポスト移動分布カーブ３６Ｃ´を引き起こす。抵抗移動現象の適切な管理がないと、適合しない状態の結果は、メモリセルの最終的な読み出し動作の間に発生できるということが確認される。
【００５１】
抵抗移動現象後のメカニズムは、上述したＰｉｒｏｖａｎｏの論文に詳細に記載されている。抵抗移動は、自然にプログラムの間にカルコゲナイドプログラム可能なボリュームの化学マトリクスにおいて所定の欠陥構造の存在により発生する。時間が経過すると、初期の不安定な状態（例えば、不安定なＣ３０構造、ここで、Ｃは、カルコゲナイド原子を表す）の欠陥は、化学的関係によって、さらに安定な構造（相対的に安定なＣ３＋及びＣ１−構造）に遷移する。
（化１）
【００５２】
２Ｃ３０→Ｃ３＋＋Ｃ１−            （１）
【００５３】
不安定な欠陥の密度は、プログラム可能なボリュームの抵抗に直接的な影響を有する。したがって、物質のプログラム可能なボリュームの最終的な抵抗は可変する。このような不安定な欠陥は、一般的でない。すなわち、それらは、結晶化された状態で、さらに低い密度である。これは、非晶質物質のパーセントを有するようにプログラムされた装置のためのものより、抵抗移動が結晶化された状態にプログラムされた装置に対して少し重要なためである。
【００５４】
マルチプルレベルセル相変化メモリ装置及びこのような装置を搭載したメモリシステム、並びにメモリ装置の読み出し方法を含む本発明の実施形態は、セルの抵抗をセルの初期抵抗の近く、すなわち、読み出し動作の前にそれの初期プログラムされた抵抗の近くに回復するために、読み出し動作の前にセルの抵抗を変更することによって、読み出し動作の間に選択されたメモリセルの抵抗移動を管理する。これは、ポスト−プログラムの近くに物質中に不安定な欠陥の密度を復元するように動作する。一つの実施形態において、エネルギーのパルスは、抵抗値のこのような回復を完了するために、セルを加熱するために、読み出し動作の前に約１００ｎｓ内でセルに印加される。
【００５５】
このような方法により抵抗移動の管理の影響は、図５Ｂ及び図５Ｃにおいて説明したように、フォーレベルセルに対応する図６Ａ〜図６Ｃに示される。図６Ａに示すように、セルの可能な状態は、セルのプログラムに応じて即刻に示される。４つの状態は、「００」、「０１」、「１０」及び「１１」が可能であり、それぞれの４つの状態は、上述したように、第１〜第４のそれぞれが分布カーブ３８Ａ、３８Ｂ、３８Ｃに対応する。このような時間において、プログラムに応じて即刻に、プログラム可能なボリュームの化学格子は、不安定な欠陥の相対的に高い密度を含む。このような理由により、プログラム可能なボリュームは、第１準安定な状態を占有すると見なされる。
【００５６】
図６Ｂに示すように、上述したように、時間内に自然的な抵抗移動は、不安定な欠陥がより安定な欠陥に遷移することは、結果として発生できる。これにより、第２、３及び４プリ移動分布カーブ３６Ｂ、３６Ｃ、３６Ｄは、上述した問題を引き起こす第２、３及び４ポスト移動分布カーブ３６Ｂ´、３６Ｃ´、３６Ｄ´に移動することができる。このような時間の間に、プログラム可能なボリュームは、安定な状態を占有すると見なされる。
【００５７】
図６Ｃに示すように、抵抗移動を補正するために、読み出し動作の前にのみ、電気的パルスは、セルのプログラム可能な物質のボリュームにエネルギーを印加するために、セルに印加される。最終的なパルスは、それの初期抵抗値をほぼ回復するように動作する。例えば、第２、第３及び第４ポスト移動抵抗分布カーブ３６Ｂ´、３６Ｃ´、３６Ｄ´は、即刻に第２、第３、及び第４抵抗分布カーブ４０Ｂ、４０Ｃ、４０Ｄに対応する抵抗より低く移動する。同様に、第１プリ移動抵抗分布カーブ３６Ａは、抵抗移動に従属するまで、それも、それの初期値の近くに第１抵抗分布カーブ４０Ａが回復するようにかえすことができる。最終的な第１、第２、第３、及び第４分布カーブ４０Ａ、４０Ｂ、４０Ｃ、４０Ｄは、本来の通りに定義された抵抗境界値３８Ａ、３８Ｂ、３８Ｃの間によく定義される。これにより、セルの読み出し動作は、信頼するに値する結果に到達するようになる。パルスは、欠陥の大部分又はすべてをそれらの本来のポスト−プログラム状態にかえすようにすることによって、安定な欠陥の個数を減らすように動作するようになる。これにより、安定な欠陥の密度は減少し、不安定な欠陥の密度は増加する。このとき、読み出し動作の前にのみ、プログラム可能なボリュームは、第２準安定状態を占有すると見なすことができる。
【００５８】
一つの実施形態において、抵抗回復を引き起こすように、マルチプルレベルメモリセルに電気的パルスを伝達することは、セルのビットラインに接続した回路により行われる。一つの実施形態において、このような動作は、メモリセルのビットラインに接続した、読み出し回路、又は感知増幅器により行われる。さらに他の実施形態において、動作は、メモリセルのビットラインに接続した書き込みドライバー回路により行われる。読み出し動作にのみメモリセルの電気的パルスを伝達するための他の構造は、本発明の実施形態の原理により同様に応用可能である。
【００５９】
図７は、本発明の実施形態による複数のマルチプルレベル相変化プログラム可能なメモリセルを有するＰＲＡＭセルアレイ２１０を含むメモリ装置２００のブロック図である。ＰＲＡＭセルアレイは、標準メモリ装置構造を有するＸ−選択器回路２２０及びＹ−選択器回路２３０を含む。Ｘ−選択器回路２２０は、またロウデコーダと言及され、ロウアドレスＲＡ信号を受信し、Ｙ−選択器回路２３０は、またカラムデコーダと言及され、カラムアドレスＣＡ信号を受信する。
【００６０】
図７に示すように、本発明の実施形態によって相変化メモリ装置２００は、Ｎビットデータ（ここで、Ｎは、２又はそれ以上）を格納するメモリセルアレイ２１００を含む。複数のメモリセルは、ロウ（例えばワードライン）及びカラム（例えば、ビットライン）中にメモリセルアレイ２１０内に配列される。各メモリセルは、スイッチング素子及び抵抗素子で構成される。スイッチング素子は、ＭＯＳトランジスタ、ダイオード、及びそれと類似した多様な素子で具現される。抵抗素子は、上述したＧＳＴ物質を含む相変化フィルムを含む。各メモリセルは、書き込み可能なメモリセルである。典型的な抵抗素子は、米国特許６，９２８，０２２、米国特許６，９６７，８６５及び米国特許６，９８２，９１３に記載されている。それぞれの内容は、それらの全体を含んでここにレファレンスとして結合される。
【００６１】
図７をまた説明すると、ロウ選択器回路２２０は、ロウアドレスＲＡ信号に応答して、ロウ（又はワードライン）のうちの何れか一つを選択するように具現され、そしてカラム選択器回路２３０は、カラムアドレスＣＡ信号に応答して、所定のカラム（又はビットライン）を選択するように具現される。制御ロジック２４０は、回路の読み出し／書き込み命令に応答して、マルチプルレベル相変化メモリ装置２００の全体動作を制御するように具現される。高電圧発生器回路２５０は、制御ロジック２４０により制御され、そしてロウ及びカラム選択器回路２２０及び２３０、感知増幅器回路２６０、及び書き込みドライバー回路２８０に使用される高電圧を発生するように具現される。例えば、高電圧発生器回路２５０は、チャージポンプを使用することによって具現される。高電圧発生器回路２５０の具現がここに上述した実施形態に制限されないことは明らかである。
【００６２】
感知増幅器回路２６０は、制御ロジック２４０により制御され、カラム選択器回路２３０により選択されたカラム（又はビットライン）を介してセルデータを感知するように具現される。感知されたデータＳＡＯＵＴは、外部にデータ入／出力バッファ回路２７０を介して出力される。感知増幅器回路２６０は、データバスＤＬに接続され、読み出し動作にデータバスＤＬにセンシング電流Ｉ＿ＳＥＮＳＥを提供するように具現される。書き込みドライバー回路２８０は、制御ロジック２４０により制御され、入出力バッファ回路２７０を介して提供されたデータに応じて、データラインＤＬに書き込み電流を提供するように具現される。バイアス電圧発生器回路２９０は、制御ロジック２４０により制御され、感知増幅器回路２６０及び書き込みドライバー回路２８０に提供されるバイアス電圧を発生するように具現される。
【００６３】
本発明によるマルチプルレベル相変化メモリ装置の実施形態によると、特に、制御ロジック２４０は、抵抗移動による読み出しエラーを防止するために、感知動作の前に選択されたメモリセルに回復電流パルスを提供するようにするために、感知増幅器回路２６０、及び／又は書き込みドライバー回路２６００を制御する。例示的な実施形態において、回復電流の量は、回復電流パルスを提供した後に、各々のデータ状態の初期抵抗値を回復させるために決定される。選択されたメモリセル各々において抵抗素子の抵抗値は、セル等の読み出し動作の前にのみ、選択されたメモリセルの回復電流を提供することによって、それの初期抵抗値（例えば、セルがプログラムされる時に初期的に決定された抵抗値又は抵抗移動前の抵抗値）に回復される。このような動作は、ここで、「回復動作」と言及される。このような回復動作によると、選択されたメモリセルにセンシング電流を提供することによって、選択されたメモリセルからマルチレベルデータを正確に感知することが可能になる。
【００６４】
図８Ａは、本発明の実施形態による、図７のメモリ装置の感知増幅器ＳＡ  ２６０の実施形態の構造的回路図である。図８Ａに示すように、ＰＲＡＭセルアレイ２１０のカラムに各メモリセルが共通のビットラインＢＬに接続されたこと、言い換えれば、Ｙ−選択器回路２３０によりメモリ装置のデータラインＤＬに選択的に接続されたことが確認できる。
【００６５】
ＮＭＯＳトランジスタで具現されたクランプトランジスタ２６３は、データラインＤＬの間に接続され、そして感知増幅器２６４のセンシングノードＮＳＡを感知する。クランプトランジスタ２６３のゲートは、クランプ制御信号ＶＣＬＰを受信する。クランプトランジスタ２６３は、ビットラインＢＬに接続したデータラインＤＬがメモリセルの読み出し動作の間に適した電圧レベルを有するように動作する。
【００６６】
感知増幅器２６４は、データバッファ２７０に出力信号ＳＡＯＵＴを提供するために、センシングノードＮＡＳの電圧を基準電圧Ｖｒｅｆと比較する。
【００６７】
ＰＭＯＳトランジスタで具現されたプリチャージトランジスタ２６５は、プリチャージ電圧レベルＶＰＲＥ及びセンシングノードＮＡＳの間に接続される。プリチャージトランジスタ２６５のゲートは、プリチャージモードの間にセンシングノードＮＳＡをプリチャージ電圧レベルＶＰＲＥにプリチャージするためのプリチャージ制御信号ｎＰＲＥに接続される。
【００６８】
図８Ａでは、単に一つのビットラインに対応する一つの感知増幅器回路について説明していても、装置のビットライン構造に対応するように追加的な感知増幅器回路が提供されうるということは明らかである。例えば、×８を有する装置に対するビットライン構造の場合において、８個の感知増幅器回路が搭載されうる。×１６を有する装置に対するビットライン構造の場合において、１６個の感知増幅器回路が搭載されうる。しかしながら、要求された感知増幅器回路の個数は、装置のビットライン構造の個数と等しい必要はない。
【００６９】
図８Ａに示すように、本発明による増幅器回路２６０は、ＰＭＯＳトランジスタ２６１、２６２及び２６５、ＮＭＯＳトランジスタ２６２、２６６及び２６７、及び感知増幅器２６４を含む。ＰＭＯＳトランジスタ２６１及び２６２は、電源端子２６８及び感知増幅器２６４の入力端子であるセンシングノードＮＳＡの間に直列に接続される。電源供給電圧ＶＣＣ又はＶＣＣより大きな電圧ＶＳＡは、電源端子２６８から印加される。ここで、ＶＳＡ電圧は、ダイオードのしきい電圧による電源供給電圧より大きな電圧になるが、この方法においてＶＳＡ電圧が制限される必要がないということは明らかである。ＰＭＯＳトランジスタ２６１は、感知期間を指示する制御信号ｎＰＢＡＩＳに応答してターンオン／オフし、ＰＭＯＳトランジスタ２６２は、バイアスＶＢＩＡＳｉ（ｉ＝１〜３）に応答してターンオン／オフする。制御信号ｎＰＢＡＩＳは、図７の制御ロジック２４０から提供されることができ、バイアス電圧ＶＢＩＡＳｉは、図７のバイアス電圧発生器回路２９０から提供されうる。
【００７０】
ＮＭＯＳクランプトランジスタ２６３は、センシングノードＮＡＳ及びカラム選択器回路２３０（又はデータラインＤＬ）の間に接続され、ビットラインＢＬの電圧を制限するか、又はビットラインＢＬに印加される電流を制限するためのクランプ制御信号又はクランプ電圧ＶＣＬＰにより制御される。クランプ電圧ＶＣＬＰは、対応する相変化物質ボリュームのリセット状態が変化できるように、しきい電圧下のレベルにビットラインの電圧を維持するように、そして回復期間の間にビットラインに回復電流パルスを、例えばセンシング電流より大きなものを提供するように動作する。感知増幅器２６４は、ビットラインＢＬの現在電圧が基準電圧ＶＲＥＦより低いか、又は高いかをカラム選択器回路２３０を介して感知し、そして感知された結果をデータ入／出力バッファ回路２７０に出力する。
【００７１】
一つの実施形態において、感知増幅器２６４は、メモリセルが２つの状態のうち、何れか一つを占有するようにプログラムされているかを感知するように具現される。選択的に、感知増幅器２６４は、メモリセルが多重状態のうち、いずれか一つにプログラムされているかを感知するように具現されることができる。感知増幅器２６４の構造は、マルチプルレベルＰＲＡＭ構造においてプログラム可能な状態の個数に応じて好適に感知するように具現されうるということは明らかである。
【００７２】
ＰＭＯＳプリチャージトランジスタ２６５は、プリチャージ電圧ＶＰＲＥ及び感知ノードＮＡＳの間に接続され、図７の制御ロジック２４０により発生したプリチャージ制御信号ｎＰＲＥに応答して制御される。ＮＭＯＳトランジスタ２６６は、カラム選択器回路２３０、例えばデータラインＤＬ及び接地電圧の間に接続され、例えば図７の制御ロジック２４０により発生した制御信号ＰＤＩＳに応答して制御される。ＮＭＯＳトランジスタ２６７は、センシングノード及び接地電圧の間に接続され、制御信号ＰＤＩＳに応答して制御される。ＰＭＯＳトランジスタ２６１及び２６２は、センシングノードＮＳＡ、すなわち、ビットラインＢＬにバイアス電圧により決定された電流の量だけ印加するセンシング電流部を構成する。センシング電流Ｉ＿ＳＥＮＳＥは、センシング区間の間にビットラインを介してメモリセルに提供される。ＰＭＯＳトランジスタ２６５は、プリチャージ区間の間に信号ラインＮＳＡにプリチャージ電流を提供するプリチャージ電流提供部を構成する。ＮＭＯＳクランプトランジスタ２６３に印加されるクランプ制御信号ＶＣＬＰは、センシング動作の前にビットラインにプリチャージ電流及び回復電流を提供するための第１及び第２クランプ電圧を構成する。第１クランプ電圧は、第２クランプ電圧より低く、かつ接地電圧より大きい。以下、さらに詳細に説明する。
【００７３】
クランプ制御信号ＶＣＬＰにおいて回復パルスの応用は、略１０ｎｓ〜１０μｓの範囲の区間を有するようにセットされ、約Ｖｔｈ−０．３Ｖから約Ｖｔｈ＋０．１Ｖの範囲の大きさになるように決定される。ここで、Ｖｔｈは、上述の図６において、終了状態「１１」のしきい電圧と決定される。一般に、ＧＮＤ＜Ｖ１＜Ｖ２＜Ｖｔｈである。また、抵抗移動の回復する間に、メモリセルを効果的に読み出すために、回復パルスの応用は、１００ｎｓ以上に読み出し動作を行うように決定される。
【００７４】
図９は、本発明の実施形態によるクランプ電圧発生回路２４１を含む上述した図７の制御ロジック回路２４０の詳細なブロック図である。図９に示すように、クランプ電圧発生回路２４１は、パルス発生器２４１ａ及びレベルシフタ２４１ｂを含むことができる。パルス発生器２４１ａは、ワードライン活性化信号に応答してパルス信号を発生するように具現される。レベルシフタ２４１ｂは、パルス発生器２４１ａの出力に応答して動作し、第１クランプ電圧レベルＶ１及び第２クランプ電圧レベルＶ２を提供する。一つの実施形態において、レベルシフタ２４１ｂは、パルス発生器２４１ａの出力が低いレベルを有するとき、第１クランプ電圧レベルＶ１を有するクランプ制御信号ＶＣＬＰ電圧を出力し、パルス発生器２４１ａの出力が高いレベルを有するときには、第２クランプ電圧レベルＶ２を有するクランプ制御信号ＶＣＬＰを出力する。クランプ制御信号ＶＣＬＰは、図８Ｂに示す動作に応じて、図８Ａの感知増幅器回路２６０のＮＭＯＳクランプトランジスタ２６３のゲートに印加されうる。このような例は、感知増幅器２６０のＮＭＯＳクランプトランジスタ２６３に適したパルス信号を印加するための構造で示されるだけである。残りの適した構造は、本発明の記載した原理に等価的に適用可能である。
【００７５】
図８Ｂは、本発明の実施形態による読み出し動作の間に、図８Ａの感知増幅器２６０の動作を示すタイミング図である。
【００７６】
読み出し動作を説明する前に、以下に説明されたセンシング動作が、多重の状態のコーディング方法に従って、単一時間、又はそれ以上の時間で行われうるということを公知する。本発明の実施形態によると、回復動作は、行われるセンシング動作の個数に無関係に、第１センシング動作の前に単一時間に行われうる。選択的に、回復動作は、各センシング動作の前に行われうる。説明の便宜上、マルチプルレベル相変化メモリ装置の読み出し動作は、単一センシング動作の前に単一回復動作を含むように説明される。
【００７７】
本発明の実施形態によるマルチプルレベル相変化メモリ装置の読み出し動作は、プリチャージ区間及びセンシング区間を含むことができる。ビットライン／センシングノードＢＬ／ＮＳＡがプリチャージされる前に、すなわち、プリチャージ区間の前に、制御信号ＰＤＩＳ及びｎＰＢＩＡＳはハイレバルであり、制御信号ｎＰＲＥはロウレベルである。このとき、クランプ電圧ＶＣＬＰは、第１クランプ電圧Ｖ１（例えば、２．２Ｖ）を有する。このバイアス条件により、感知増幅器２６０のトランジスタ２６１、２６３及び２６５はターンオフし、同時に感知増幅器２６０のトランジスタ２５３、２６６及び２６７はターンオンする。これは、データラインＤＬ及びセンシングノードＮＳＡが接地電圧にディスチャージされたことを意味する。
【００７８】
装置のメモリセルの読み出し動作の初期化において、プリチャージ区間は、読み出し動作の間にビットラインＢＬ、データラインＤＬ及び感知ノードＮＳＡに適した電圧レベルをプリチャージすることによって初期化される。これは、プリチャージ制御信号ｎＰＲＥを活性化（例えば、「Ｈ」を「Ｌ」に遷移）することによって初期化される。プリチャージ区間の間に、制御信号ｎＰＲＥ及びＰＤＩＳは、ロウレベルであり、そして制御信号ｎＰＢＩＡＳは、ハイレバルである。ビットラインＢＬは、スイッチ２３０によりデータラインＤＬに接続され、これによりカラム選択信号ＹＡは活性化される。このとき、クランプ制御信号ＶＣＬＰは、接地電圧レベルより大きな第１クランプ電圧レベルＶ１（例えば、２．２Ｖ）である。これにより、クランプトランジスタ２６３は活性化される。このようなバイアス条件下で、ビットラインＢＬに接続したデータラインＤＬ及びセンシングノードＮＳＡは、プリチャージ区間の間に適した電圧レベルにプリチャージされる。このような例として、それらは、感知増幅器に印加された基準電圧ＶＲＥＦと等価であるプリチャージ電圧ＶＰＲＥにプリチャージされうる。
【００７９】
プリチャージ区間の間に、ワードラインＷＬは活性化され、回復区間は、メモリセルの抵抗移動のための補償を行うために、対応するメモリセルのプログラム可能なボリュームに抵抗レベルを回復するために初期化される。この回復区間の間に、クランプ制御信号ＶＣＬＰは、時間区間の間に第２クランプ電圧レベルＶ２（例えば、３．０Ｖ）にパルスされる。このようなクランプ信号ＶＣＬＰのパルスは、ここで「回復区間」と言及される。一つの実施形態において、第２クランプ電圧レベルＶ２は、第１クランプ電圧レベルＶ１より大きく、セルの抵抗レベルをそれのプリ移動レベルに回復するようにするための十分な電流がＮＭＯＳクランプトランジスタ２６３を介してメモリセルを通過して流れるように、十分な電圧及び時間期間を有する。同じ時間において、第２クランプ電圧レベルＶ２は、大きさ及びそれの期間が十分ではなく、そしてメモリセルのプログラム可能なボリュームに相変化を引き起こすための十分な電流を引き起こすのに十分ではない。プリチャージ制御信号ｎＰＲＥは、回復区間の間に活性化されるように維持される。
【００８０】
回復区間におうじてセンシング区間は初期化される。図８Ｂに示すように、クランプ電圧ＶＣＬＰが第２クランプ電圧Ｖ２から第１クランプ電圧Ｖ１に低くなると、制御信号ｎＰＲＥは、ロウレベルからハイレバルに遷移し、制御信号ｎＰＢＩＡＳは、ハイレバルからロウレベルに遷移する。このとき、適したバイアス電圧ＶＢＩＡＳｉは、ＰＭＯＳトランジスタ２６２に提供される。このような条件下で、ＰＭＯＳトランジスタ２６１及び２６２に流れるセンシング電流は、ＮＭＯＳクランプトランジスタ２６３及びカラム選択器回路２３０を介してビットラインＢＬに提供される。このとき、図８Ｂに示すように、ビットライン／センシングノードＮＳＡの電圧は、メモリセルのプログラム可能な状態に応じて、基準電圧ＶＲＥＦより大きいか、又は小さくなるように変更される。センシングノードＮＡＳの電圧変化は、感知増幅器２６４を介して感知される。感知されたデータＳＡＯＵＴは、完壁なセンシング動作に対してデータの入／出力バッファ回路２７０に提供される。
【００８１】
さらに他の例として、抵抗移動回復動作は、メモリセルのビットラインに接続した書き込みドライバー回路により行われる。図７のレファレンスと共に図１０を参照すると、感知増幅器ＳＡ  ２６０及び書き込みドライバーＷＤ  ２８０は、標準メモリ装置構造に従ってメモリ装置２００のデータラインＤＬに接続される。図８Ａ、図８Ｂ及び図９と共に上述された実施形態において、感知増幅器回路２６０及び関連したクランプ電圧発生回路２４１は、抵抗移動から回復するのに影響を与えるための回復パルス信号を発生することを担当する機能を果たす。図１０の本発明の実施形態において、感知増幅器回路２６０は、動作において一般的であり、書き込みドライバーＷＤは、回復パルス信号を発生すること担当する機能を果たす。書き込みドライバー回路２８０は、このような追加的な機能に適するように変更される。
【００８２】
図１１Ａは、本発明のさらに他の実施形態による図７のメモリ装置の書き込みドライバー回路ＷＤ  ２８０´の実施形態に対する構造的な回路図である。図１０及び図１１Ａを参照すると、ＰＲＡＭセルアレイ２１０の一つのカラムにおいて各メモリセルは、共通ビットラインに接続され、言い換えれば、Ｙ選択器回路２３０によるメモリ装置２００のデータラインＤＬに接続されると見なすことができる。
【００８３】
図１１Ａに示すように、書き込みドライバー回路２８０´は、ドライバー制御機２８１、選択部２８２、プルアップドライバーとして動作するＰＭＯＳトランジスタ２８３、プルダウンドライバーとして動作するＮＭＯＳトランジスタ２８４、及びＮＭＯＳトランジスタ２８５を含むことができる。ドライバー制御機２８１の好ましい実施形態は、米国特許番号７，０１２，８３４に記載されており、その内容は、この発明のレファレンスとして結合され、したがって、その詳細な説明は省略する。特に、本発明の実施形態において、読み出し動作の間に、プルアップドライバー２８３は、書き込み動作の間にの場合になりうるドライバー制御機２８１からの駆動信号によるものではなく、選択部２８２を介して伝達された駆動信号によって制御される。選択部２８２は、回復制御信号ｎＲＣＶを受信し、回復制御信号ｎＲＣＶを動作モードに応じて選択的にＮＭＯＳトランジスタ２８５を介してプルアップ及びプルダウントランジスタ２８３及び２８４に出力する。ここで、回復制御信号ｎＲＣＶは、抵抗移動回復動作に応じて具現されたパルス信号であり、例えば、図５に示す制御ロジック２４０により提供されうる。
【００８４】
また、図１１Ａに示すように、選択部２８２は、ドライバー２８２ａ及びスイッチ２８２ｂを含む。スイッチ２８２ｂは、動作モード信号ＲＭに応答してドライバー２８２ａの出力をプルアップ及びプルダウントランジスタ２８３及び２８４のゲートに接続される。この場合において、スイッチ２８２ｂは、動作モード信号ＲＭが読み出し動作を指示するときに活性化され、動作モード信号ＲＭが書き込み動作を指示するときに非活性化される。ドライバー２８２ａは、回復制御信号ｎＲＣＶに応答して、スイッチ２８２ｂを介してプルアップ及びプルダウントランジスタ２８３及び２８４を駆動する。例えば、回復制御信号ｎＲＣＶがロウレベルであるとき、プルアップトランジスタ２８３はターンオフし、プルダウントランジスタ２８４はターンオンする。これに対し、回復制御信号ｎＲＣＶがハイレバルであるとき、プルアップトランジスタはターンオンし、プルダウントランジスタ２８４はターンオフする。ここで、ドライバー２８２ａのプルアップ／プルダウン駆動能力は、ＰＭＯＳトランジスタ及びドライバー制御機２８１のインバータＩＮＶ１のそれより大きく設定される。
【００８５】
上述した実施形態において、回復制御信号ｎＲＣＶの活性化パルスは、概略１０ｎｓ〜１０μｓの範囲の期間の間に、そして約Ｖｔｈ−０．３ＶからＶｔｈ＋０．１Ｖの大きさに設定される。ここで、Ｖｔｈは、上述の図６の例において、終了状態「１１」に対した最大抵抗に対応する終了状態を有するマルチプルレベルメモリセルのしきい電圧として決定される。
【００８６】
このような方法において、書き込みドライバー回路２８０´は、書き込み動作の間に正常な記入ドライビングユーティリティを行うようにデータラインＤＬに接続されるが、読み出し動作の間に回復制御信号ｎＲＣＶとして提供するための目的のためデータラインＤＬに接続されないように具現される。これは、データライン及び書き込みドライバー間の電気的媒介は、上述した構造に制限されず、そしてプログラム可能なボリュームの抵抗移動を格納するためのパルス信号として回復制御信号ｎＲＣＶに提供する上記の目的のための読み出し動作の間にデータラインＤＬに書き込みドライバー２８０´を接続する残りの構造が本発明に言及された実施形態に同等に適用されるという技術で具現された一つであることは明らかである。
【００８７】
図１１Ｂは、読み出し動作の間に感知増幅器２６０、図１０及び図１１Ａの記入加入ドライバーの動作を示すタイミング図である。上述したように、装置のメモリセルの読み出し動作の初期化において、プリチャージ区間は、読み出し動作の間にセンシングノードＮＳＡを適した電圧レベルにプリチャージするよう初期化される。これは、プリチャージ制御信号ｎＰＲＥを活性化することによって初期化される。このとき、クランプ制御信号ＶＣＬＰは、接地電圧レベルより大きい第１クランプ電圧レベルＶ１になり、これにより、クランプトランジスタ２６３は、活性化される。クランプ制御信号ＶＣＬＰは、読み出し動作の間にこのような第１クランプ電圧レベルＶ１を維持する。その結果、ビットラインに接続したデータラインＤＬは、プリチャージ区間の間に適した電圧レベルにプリチャージされる。
【００８８】
プリチャージ区間によると、ワードラインＷＬは活性化され、回復区間は、メモリセルで抵抗移動を補償するために、対応するメモリセルのプログラム可能なボリューム中に抵抗レベルを回復するように初期化される。この回復区間の間に、回復制御信号ｎＲＣＶは、時間区間の間に低い電圧レベルにパルスされる。回復制御信号ｎＲＣＶのこのようなパルスは、書き込みドライバー回路２８０´の選択部２８２を介して図１１Ａのプルアップドライバー２８３に印加される。すなわち、回復電流パルスは、プルアップドライバー２８３を介して選択されたビットラインＢＬに提供され、メモリセルの対応する抵抗素子の抵抗レベルは、初期化抵抗値に回復する。回復電流パルスは、与えられた時間の間に選択されたビットラインに提供された後に、制御信号ｎＲＣＶは、ロウレベルをハイレバルに変更して、プルアップドライバー２８３はターンオフし、回復動作は完了する。
【００８９】
回復区間によると、センシング区間は初期化し、感知増幅器の正常動作は、メモリセルのプログラム可能なボリュームの抵抗及びメモリセルの状態を決定するように行われる。
【００９０】
図１２は、本発明の実施形態によるマルチプルレベル相変化プログラム可能な複数のメモリセルを有する半導体装置ＰＲＡＭセルアレイを含む電子装置１００のブロック図である。多様な例において、電子装置１００は、無線通信装置、例えば、ＰＤＡ、ラップトップコンピュータ、モバイルコンピュータ、ウェブタブレット、モバイルフォン、デジタルミュージックプレーヤー、又は無線環境において送／受信するための如何なる種類の装置に使用されうる。電子装置１００は、バス１５０を介して通信する入／出力装置１２０、メモリ１２０、無線インタフェース１４０及び制御機１１０を備える。
【００９１】
制御機１１０は、例えば、少なくとも一つのプロセッサ、デジタル信号プロセッサ、又はマイクロコントローラを備える。入／出力装置１２０は、例えば、キーボード及びディスプレイユニットを備える。メモリ１３０は、制御機１１０により実行される命令を格納するのに使用されるか、又はユーザデータを格納するために使用される。メモリ１３０には、多様な種類のメモリがさらに含まれる。電子装置１００は、無線通信ネットワークからデータを受信するか、又はネットワークでデータを、例えばＲＦ信号を送信するために無線インタフェース１４０を使用する。
【００９２】
好ましい実施形態において、メモリセルのプログラム可能なボリュームは、例えばＴｅ、Ｓｅ、Ｓを含み、それらの組み合わせ又は合金からなるカルコゲナイド物質を含む。選択的に、カルコゲナイド物質は、Ｔｅ、Ｓｅ、Ｓの組み合わせ又はそれらの合金であって、不純物（例えば、Ｂｉ、Ｓｒ、Ｓｉ、Ｃ、Ｎ、Ｏ）を追加することによって得られる物質から構成されうる。
【００９３】
本発明が言及されたそれらの実施形態を参照することによって、特に示されるか、又は説明されたとしても、これは、形態と詳細な部分に対して多様な変化が添付された請求項により定義された発明の前記思想及び範囲を逸脱しない限り、本発明の範囲に属する。
【００９４】
例えば、前記上述した実施形態がメモリセルの当たり、２つ又は４つの状態で動作可能なマルチプルレベルセルを説明していても、前記以外の状態の数も存在することができ、これも、ここに記載の前記発明の前記原理に同等に適用可能である。例えば、セルは、２の倍数、例えば４、８、１６、３２などの数のマルチプルレベル状態を含むことができる。また、セルは、２の倍数ではない、例えば３、５、６、７などの数のマルチプルレベル状態を含むことができる。
【図面の簡単な説明】
【００９５】
【図１】プログラム可能なカルコゲナイド物質を使用する一般的なメモリセルを示す模式図である。
【図２Ａ】プログラムされた状態の一般的なメモリセルを示す模式的構造図である。
【図２Ｂ】プログラムされた状態の一般的なメモリセルを示す模式的構造図である。
【図３】図１、図２Ａ及び図２Ｂの一般的なメモリセルの等価回路図である。
【図４】プログラム可能なカルコゲナイド物質を含むメモリセルのプログラムを示すタイミング図である。
【図５Ａ】ツーレベルセルのための抵抗値を２つの区別された状態に区分することに対する概念的チャートである。
【図５Ｂ】マルチプルレベルセルにおけるフォーレベルセルのための抵抗値をマルチプルの区別された状態に区分することに対する概念的チャートである。
【図５Ｃ】抵抗移動の前記効果を示す図５Ｂの前記マルチプルレベルセルのための抵抗値をマルチプルの区別された状態に区分することに対する概念的チャートである。
【図６Ａ】本発明の実施形態による読み出し動作の前に抵抗移動の前記管理の前記効果を説明する図である。
【図６Ｂ】本発明の実施形態による読み出し動作の前に抵抗移動の前記管理の前記効果を説明する図である。
【図６Ｃ】本発明の実施形態による読み出し動作の前に抵抗移動の前記管理の前記効果を説明する図である。
【図７】本発明の実施形態によるＰＲＡＭセルアレイを含むメモリ装置のブロック図である。
【図８Ａ】本発明の実施形態による図７の前記メモリ装置の前記感知増幅器の実施形態の構造的な回路図である。
【図８Ｂ】本発明の実施形態による図８Ａの前記感知増幅器の前記動作を示すタイミング図である。
【図９】本発明の実施形態による図７の前記メモリ装置の前記制御ロジック回路の実施形態のブロック図である。
【図１０】前記メモリ装置の前記データラインで前記感知増幅器及び前記書き込みドライバー間の前記接続を示すブロック図である。
【図１１Ａ】本発明の他の実施形態による図７の前記メモリ装置の前記書き込みドライバーの実施形態の構造的回路図である。
【図１１Ｂ】本発明の実施形態による図１０及び図１１Ａの前記書き込みドライバー回路及び感知増幅器の前記動作を示すタイミング図である。
【図１２】本発明の実施形態によるマルチプルレベル相変化プログラム可能なメモリセルを有するＰＲＡＭセルアレイを含む電子装置のブロック図である。
【符号の説明】
【００９６】
１１０      制御機
１２０      入／出力装置
１３０      メモリ
１４０      無線インタフェース
【図１】
2008276928.tif 000003
【図２Ａ】
2008276928.tif 000004
【図２Ｂ】
2008276928.tif 000005
【図３】
2008276928.tif 000006
【図４】
2008276928.tif 000007
【図５Ａ】
2008276928.tif 000008
【図５Ｂ】
2008276928.tif 000009
【図５Ｃ】
2008276928.tif 000010
【図６Ａ】
2008276928.tif 000011
【図６Ｂ】
2008276928.tif 000012
【図６Ｃ】
2008276928.tif 000013
【図７】
2008276928.tif 000014
【図８Ａ】
2008276928.tif 000015
【図８Ｂ】
2008276928.tif 000016
【図９】
2008276928.tif 000017
【図１０】
2008276928.tif 000018
【図１１Ａ】
2008276928.tif 000019
【図１１Ｂ】
2008276928.tif 000020
【図１２】
2008276928.tif 000021