(57)【要約】      （修正有）【課題】トレンチ金属酸化物半導体（ＭＯＳ）バリアショットキー（ＴＭＢＳ）デバイスでは、トレンチ内にポリシリコンが形成され、隣接するトレンチ間の表面とは、金属コンタクトで接続され、エッチングに起因するエッジリークを低減する方法及び／又は装置を提供する。【解決手段】（ＴＭＢＳ）部のポリシリコン領域に対するソース金属のコンタクトは、（ＴＭＢＳ）部の活性領域外へのポリシリコンの延長よって行なわれる。ポリシリコンは、隣接するメサに対してリセスされており、酸化物層によってコンタクト金属から絶縁されている。このようなデバイス構造の変化により、コンタクト工程の前に、ＴＭＢＳ部のポリシリコンおよびシリコンメサ領域の両方から酸化物をすべて除去する必要がなくなる。結果として、ＴＭＢＳデバイスまたはＳＫＹＦＥＴデバイス中のトレンチの側壁中へのコンタクト金属の侵入が回避される。【選択図】図１０
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
トレンチ金属酸化物半導体（ＭＯＳ）バリアショットキー（ＴＭＢＳ）デバイスを含む半導体装置であって、前記ＴＭＢＳデバイスは、
複数の第１のトレンチが形成され、前記第１のトレンチ内に導電性材料が堆積されている基板と、
ソース金属層と、を含み、
前記ＴＭＢＳデバイスは、活性領域を有し、当該活性領域内において、前記ソース金属層は、前記基板と電気的に接触するが、前記第１のトレンチ内に配置された前記導電性材料から絶縁されており、前記第１のトレンチ内の前記導電性材料は、前記ＴＭＢＳデバイスの前記活性領域外にあるコンタクトに電気的に結合されている、半導体装置。
【請求項２】
前記活性領域は、前記複数の第１のトレンチ間に形成された複数のメサを含み、前記メサは、第１の高さの側壁を有しており、前記導電性材料は、前記第１のトレンチを前記第１の高さ未満の第２の高さまで充填している、請求項１に記載の半導体装置。
【請求項３】
前記導電性材料は、前記基板内を、前記メサを越えてある距離だけ延出しており、前記導電性材料は、前記ＴＭＢＳデバイスの前記活性領域外で前記コンタクトまで延出している、請求項２に記載の半導体装置。
【請求項４】
前記基板および前記ソース金属層から前記導電性材料を分離する絶縁材料をさらに含む、請求項１の半導体装置。
【請求項５】
前記絶縁材料は、ゲート酸化物を含む、請求項４に記載の半導体装置。
【請求項６】
前記基板は、ｐ型シリコン基板を含み、前記導電性材料は、ポリシリコンを含む、請求項１に記載の半導体装置。
【請求項７】
前記ソース金属層は、窒化チタン、チタンおよびアルミニウムからなる群から選択される材料を含む、請求項１に記載の半導体装置。
【請求項８】
ＭＯＳＦＥＴをさらに含み、当該ＭＯＳＦＥＴおよび前記ＴＭＢＳデバイスは、組み合わさって、モノリシック集積構造を構成する、請求項１に記載の半導体装置。
【請求項９】
前記ＭＯＳＦＥＴは、
前記基板内に形成され、内部に前記導電性材料が配置された複数の第２のトレンチと、
各第２のトレンチに隣接するが、前記絶縁材料によって前記第２のトレンチ内の前記導電性材料から分離されたソース・インプラントと、を含み、
前記ＭＯＳＦＥＴは、活性領域を有し、当該活性領域では、前記ソース金属層が前記第２のトレンチを覆って配置されるとともに、前記第２のトレンチ間の前記基板中に形成されたｐボディ・インプラントと電気的に接触しており、
前記第２のトレンチ内の前記導電性材料とゲート金属との電気コンタクトは、前記ＭＯＳＦＥＴの前記活性領域外で行なわれる、請求項８に記載の半導体装置。
【請求項１０】
トレンチ金属酸化物半導体（ＭＯＳ）バリアショットキー（ＴＭＢＳ）デバイスを含む半導体装置を製造する方法であって、
メサによって分離されており、第１の高さの側壁を有する複数の第１のトレンチを形成する工程；
前記第１のトレンチ内に、前記第１の高さ未満の高さまで導電性材料を堆積する工程；
前記導電性材料を覆って絶縁材料からなる層を形成する工程；
前記第１のトレンチおよび前記メサを包含する第１の領域を覆ってソース金属層を形成する工程であって、前記第１の領域内では、前記ソース金属層は、前記絶縁材料によって前記導電性材料から分離されており；
前記ソース金属層と前記第１のトレンチ内の前記導電性材料との間の第１の電気コンタクトを形成する工程であって、前記第１の電気コンタクトは、前記第１の領域の外にある；
を含む方法。
【請求項１１】
前記ソース金属層を形成する工程の前に、
前記メサおよび前記第１のトレンチを覆って誘電体層を形成する工程；
前記ソース金属層がその後で形成された時に、当該ソース金属層が前記メサと接触するように、前記誘電体層の部分をエッチング除去し、前記メサを露出させる工程であって、前記エッチングが行われた後、前記絶縁材料は、前記導電性材料を覆って残っている；
をさらに含む、請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記誘電体層は、テトラエチルオルトシリケート（ＴＥＯＳ）の層およびボロンリンシリケートガラス（ＢＰＳＧ）の層を含む誘電体スタックを含む、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記絶縁材料は、ゲート酸化物を含み、前記基板は、ｐ型シリコン基板を含み、前記導電性材料は、ポリシリコンを含み、前記ソース金属層は、窒化チタン、チタンおよびアルミニウムからなる群から選択される材料を含む、請求項１０に記載の方法。
【請求項１４】
前記半導体装置は、前記基板上に形成されたＭＯＳＦＥＴをさらに含み、当該ＭＯＳＦＥＴおよび前記ＴＭＢＳは、組み合わさって、モノリシック集積構造を構成する、請求項１０に記載の方法。
【請求項１５】
前記基板内に複数の第２のトレンチを形成する工程であって、前記導電性材料は前記第２のトレンチ内に堆積されており；
前記第２のトレンチ間にｐボディ・インプラントを形成する工程であって、前記ソース金属層は、前記第２のトレンチおよび前記ｐボディ・インプラントを含む第２の領域を覆って配置されており；
各第２のトレンチに隣接するが、前記絶縁材料によって前記第２のトレンチ内の前記導電性材料からは分離されているソース・インプラントを形成する工程；
前記第２のトレンチ内の前記導電性材料とゲート金属との間の第２の電気コンタクトを形成する工程であって、前記第２の電気コンタクトは、前記第２の領域外にある；
をさらに含む、請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
トレンチ金属酸化物半導体（ＭＯＳ）バリアショットキー（ＴＭＢＳ）デバイスを含む半導体装置であって、前記ＴＭＢＳデバイスは、
第１の高さの側壁を有する複数のメサが形成された基板と、
前記メサ間に位置する複数の第１のトレンチ内に配置され、前記第１のトレンチを前記第１の高さ未満の第２の高さまで充填する導電性材料と、
前記基板から、および前記メサおよび前記第１のトレンチを覆って配置されたソース金属層から、前記導電性材料を分離する絶縁材料と、を含み、
前記ＴＭＢＳデバイスの活性領域内では、前記ソース金属層は、前記メサと電気接触しており、前記第１のトレンチ内の前記導電性材料と前記ソース金属層との電気コンタクトは、前記ＴＭＢＳデバイスの前記活性領域外で行なわれる、半導体装置。
【請求項１７】
前記絶縁材料は、ゲート酸化物を含み、前記基板は、ｐ型シリコン基板を含み、前記導電性材料は、ポリシリコンを含み、前記ソース金属層は、窒化チタン、チタンおよびアルミニウムからなる群から選択される材料を含む、請求項１６に記載の半導体装置。
【請求項１８】
ＭＯＳＦＥＴをさらに含み、当該ＭＯＳＦＥＴおよび前記ＴＭＢＳデバイスは、組み合わさって、モノリシック集積構造を構成する、請求項１６に記載の半導体装置。
【請求項１９】
前記ＭＯＳＦＥＴは、前記基板内に形成され、内部に前記導電性材料が配置された前記導電性材料を有する複数の第２のトレンチを含み、
前記ＭＯＳＦＥＴの活性領域内では、前記ソース金属層は、前記第２のトレンチを覆って、および前記第２のトレンチ間の前記基板中に形成されたｐボディ・インプラントを覆って配置されており、前記第２のトレンチ内の前記導電性材料と、ゲート金属との電気コンタクトは、前記ＭＯＳＦＥＴの前記活性領域外で行なわれ、前記ソース金属層は、前記ｐボディ・インプラントと電気接触するが、前記第２のトレンチ内の前記導電性材料と電気接触しない、請求項１８に記載の半導体装置。
【請求項２０】
前記各第２のトレンチに隣接するが、前記絶縁材料によって、前記第２のトレンチ内の前記導電性材料から分離されているソース・インプラントをさらに含む、請求項１９に記載の半導体装置。
【請求項２１】
前記第２のトレンチを覆って配置されるが、ギャップによって分離されており、前記ソース金属層と前記ｐボディ・インプラントとの前記電気コンタクトを許容する誘電体層をさらに含む、請求項１９に記載の半導体装置。
【請求項２２】
前記誘電体層は、テトラエチルオルトシリケート（ＴＥＯＳ）の層およびボロンリンシリケートガラス（ＢＰＳＧ）の層を含む誘電体スタックを含む、請求項２１に記載の半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【関連米国出願】
【０００１】
この出願は、２００７年４月１９日に出願され、本出願の出願人に譲渡された「Ｔｒｅｎｃｈ  Ｍｅｔａｌ  Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  ｗｉｔｈ  Ｒｅｃｅｓｓｅｄ  Ｔｒｅｎｃｈ  Ｍａｔｅｒｉａｌ  ａｎｄ  Ｒｅｍｏｔｅ  Ｃｏｎｔａｃｔｓ（リセス状トレンチ材料およびリモートコンタクトを備えたトレンチ金属酸化物半導体）」と題する、代理人事件整理番号ＶＩＳＨ−８７５３．ＰＲＯの同時係属仮特許出願第６０／９２５，２３７号に対する優先権を主張し、参照によって全体を本明細書に組み込むものとする。
【技術分野】
【０００２】
この技術による実施形態は、概して半導体装置に関する。より具体的には、それらの実施形態は、リセス状トレンチ材料およびリモートコンタクトを備えた金属酸化物半導体に関する。
【背景技術】
【０００３】
トレンチ金属酸化物半導体（ＭＯＳ）バリアショットキー（ＴＭＢＳ）デバイスでは、ポリシリコンがシリコン基板中に形成されたトレンチ内部に収容されている。トレンチ内部のポリシリコンとシリコンメサ（隣接するトレンチ間の表面）とは、金属コンタクトを用いて局所的に接続されている。
【０００４】
モノリシック集積ＴＭＢＳおよびＭＯＳ電界効果トランジスタ（ＭＯＳＦＥＴ）デバイス、本明細書ではＳＫＹＦＥＴデバイスとも言う、においては、ポリシリコンが、シリコン基板中に形成されたトレンチ内に収容されている。ＭＯＳＦＥＴ部のソースとＴＭＢＳ部とは、同じコンタクト金属によって接続されている。
【０００５】
これらのタイプのデバイスの両方において、ポリシリコンは、酸化物層によってトレンチの側壁から分離されている。製造中に、酸化物層の一部およびポリシリコンの一部は、コンタクト金属の堆積前にエッチング除去される。残念ながら、エッチング工程は、トレンチの側壁中（メサ中）への金属の侵入をもたらす可能性があり、ショットキーダイオード技術においてエッジリークにしばしば起因する過度の電流漏れをもたらす。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ＴＭＢＳデバイスおよびＳＫＹＦＥＴデバイスにおいて、エッジリークを排除あるいは低減する方法および／または装置は有利である。本発明による実施形態は、この利点および他の利点を付与する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明による実施形態は、ＳＫＹＦＥＴデバイスのＭＯＳＦＥＴ部およびＴＭＢＳ部のポリシリコン領域のみならず、ＴＭＢＳデバイスのポリシリコン領域にリモートコンタクトを使用することにより、エッジリークの問題を解決する。
【０００８】
ＴＭＢＳ部のポリシリコン領域に対するソース金属のコンタクトは、ＴＭＢＳ部の外部へのポリシリコンの延長を介して行なわれる。ポリシリコンは、隣接するメサに対してリセスされており、酸化物層によってコンタクト金属から絶縁されている。このようなデバイス構造における変化は、コンタクト金属の堆積前に、ＴＭＢＳ部のポリシリコンおよびシリコンメサ領域の両方から酸化物をすべて除去する必要性を取り除く。結果として、ＴＭＢＳデバイスないしＳＫＹＦＥＴデバイスにおいてトレンチの側壁へのコンタクト金属の侵入が回避される。
【０００９】
本発明のこれらおよび他の目的および利点は、当業者が以下に述べる、様々な図面で説明された詳細な説明を読むことで認識される。
【００１０】
添付図面は、この明細書の一部に組み込まれるとともにその一部を形成し、本発明の実施形態を示し、詳細な説明とともに発明の原理を説明する役割を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明の詳細な説明では、本発明の完全な理解を付与するために、多くの具体的な詳細が記載される。しかし、これらの具体的な詳細なしで、またはその均等物で、本発明を実施することができることが当業者によって認識される。他の例では、周知の方法、手順、部品および回路は、本発明の態様を不必要に分かりにくくしないように、詳細に記載されていない。
【００１２】
続く詳細な説明のいくつかの部分は、半導体装置を製造するための操作の手順、論理ブロック、処理および他の記号表示の点から示される。これらの記載および表示は、最も効率的に、他の当業者にそれらの研究の趣旨を伝えるために、半導体装置を製造する当業者によって用いられる手段である。本出願では、手順、論理ブロック、工程などは、所望の結果をもたらす段階または指示の首尾一貫した順序であると考えられる。段階は、物理量の物理的処置を要求するものである。しかし、これらおよび同様の用語は、すべて適切な物理量に関係しており、これらの量に適用される単に便利なラベルであることを覚えておくべきである。特に言明しない限り、以下の議論から明らかなように、本出願の全体にわたって、「ｆｏｒｍｉｎｇ（形成する）」、「ｐｅｒｆｏｒｍｉｎｇ（行う）」、「ｐｒｏｄｕｃｉｎｇ（製造する）」、「ｄｅｐｏｓｉｔｉｎｇ（堆積する）」、「ｅｔｃｈｉｎｇ（エッチングする）」等の用語を用いた議論は、半導体装置の製造の実行および工程（例えば、図１のフローチャート１００）に言及するものであることは当然である。
【００１３】
図は、縮尺どおりではなく、これらの構造を形成する様々な層と同様に、構造の部分のみを示している可能性がある。さらに、他の製造手順や工程は、本明細書で議論される手順や工程と共に行なわれてもよい。すなわち、本明細書に示され記載される工程の前、間、および／または後に、多くの処理工程があってもよい。重要なことには、本発明による実施形態は、手順や工程を著しく混乱させることなく、これらの他の（恐らく、従来の）工程および段階とともに実行することができる。一般的に言えば、本発明による実施形態は、周辺の手順や工程に著しく影響することなく、従来の工程の一部を交換することができる。
【００１４】
図１は、半導体装置、特に、モノリシック集積されたＴＭＢＳ−ＭＯＳＦＥＴデバイス、すなわちＳＫＹＦＦＴの製造に用いられる工程の１つの実施形態のフローチャート１００である。フローチャート１００の工程は、図１０に示すようなＳＫＹＦＥＴの文脈で記載されているが、工程の一部は、図１１に示すようなＴＭＢＳデバイスのみを形成するために利用することができる（すなわち、ＳＫＹＦＥＴのＴＭＢＳ部を形成するために使用される工程のみ実施され、その場合、ＭＯＳＦＥＴ部の形成に用いられる工程は、必ずしも実施されない）。
【００１５】
具体的な工程が、図１に開示されているが、そのような工程は例示である。すなわち、本発明は、様々な他の工程または図１に列挙された工程の変形を実施することにも適合している。図１は、本発明の実施形態による半導体装置の製造において選択された段階を示す断面図である図２〜図９と関連して議論され、また、フローチャート１００の工程を使用して製造される半導体装置の実施形態の一部の平面図である図１０および図１１と関連して、議論される。
【００１６】
図１のブロック１０５では、図２を参照すると、第１のマスク２２０（例えば、フォトレジスト）が、トレンチ２１０、２１１、２１２、２１３、２１４および２１５などのトレンチを画定するために、基板２０５（例えば、ｐ型シリコン基板）上にパターン形成される。トレンチ２１０〜２１５は、マスク２２０によって被覆されない領域で、基板２０５をエッチングすることにより形成される。トレンチ２１５は、チャネルストッパ（例えば、その内容物は、後に、ｎ型不純物でドープされてもよい）として使用されてもよく、任意である。トレンチを形成した後、マスク２２０を取り除き、結果として得られた構造を洗浄する。エッチングおよび犠牲酸化を洗浄後に行って、トレンチ側壁の質を向上させてもよい。
【００１７】
図１のブロック１１０では、図３を参照すると、ゲート酸化物層３１０を各トレンチ２１０〜２１５中に成長させ、ポリシリコン３２０を各トレンチ２１０〜２１５中に堆積する。これらの段階後に、ドーピング、ブランケット・エッチバックおよびポリシリコン再酸化を行ってもよい。重要なことには、ポリシリコン３２０の領域の上面はトレンチ２１０〜２１５の上端に対してリセスされている。より詳細には、トレンチの側壁（すなわち、対応して、メサの側壁）は、高さＨ１を有し、一方、ポリシリコン３２０は高さＨ２までトレンチ内に堆積されており、ここで、Ｈ２はＨ１未満である。
【００１８】
図１のブロック１１５では、図４を参照すると、第２のマスク４１０を適用して領域が画定され、当該領域には、続いて、ボディ・インプラント４２０（例えば、ｐボディ・インプラント）が導入される。次いで、マスク４１０を取り、結果として得られた構造を洗浄することができ、ボディ・インプラント４２０をアニールし、所望の接合深さに拡散させることができる。
【００１９】
図１のブロック１２０では、図５を参照すると、第３のマスク５１０を適用して領域が画定され、当該領域には、続いて、ソース・インプラント５２０（例えば、ｎ＋ソース・インプラント）が導入される。重要なことには、ソース・インプラント５２０は、ＳＫＹＦＦＴのＴＭＢＳ部の活性領域に対応する領域である、トレンチ２１２および２１４の周りの終端領域及びトレンチ２１２〜２１４間の領域には導入されない。ソース・インプラント５２０は、任意のチャネルストッパ（トレンチ２１５）に対しては許容される。次いで、マスク５１０を取り除き、結果として得られた構造を洗浄することができる。
【００２０】
図１のブロック１２５では、図６を参照すると、構造の全表面にわたって誘電性スタックを堆積し、高密度化する。１つの実施形態では、誘電性スタックは、テトラエチルオルトシリケート（ＴＥＯＳ）の層６１０およびボロンリンシリケートガラス（ＢＰＳＧ）の層６２０を含む。
【００２１】
図１のブロック１３０では、図７を参照すると、第４のマスク７１０を適用して、ＳＫＹＦＥＴのＭＯＳＦＥＴ部の活性領域にコンタクト開口７２０、７２１および７２２を画定する。エッチング前に、構造の上面は比較的平面であるので、より薄いレジストマスクを使用することができる。マスク７１０下の領域を除いて、ソース・インプラント層５２０、ＴＥＯＳ層６１０、ＢＰＳＧ層６２０をエッチングして、コンタクト開口７２０〜７２２を形成する。重要なことには、ＴＭＢＳ部の活性領域をマスク７１０によって覆う。
【００２２】
次の工程（ブロック１４０）でコンタクト金属を堆積する時、コンタクト開口７２０〜７２２は、ｎ型インプラント（層５２０）とコンタクト金属との接触を可能にする。しかし、コンタクト金属は、ポリシリコン３２０の領域と接触しない。すなわち、同じ金属は、ソース・インプラント５２０とポリシリコン３２０の両方には接触しない。
【００２３】
重要なことには、トレンチ２１０〜２１５の側壁は、コンタクト開口７２０〜７２２を形成するために使用されるエッチングをうけず、そのために、トレンチ２１０〜２１５の側壁にコンタクト金属（ブロック１４０で堆積された）が侵入する問題を回避し、したがって、このような金属の侵入にしばしば起因するエッジリークが排除ないし低減される。
【００２４】
図１０および図１１も参照すると、ポリシリコン３２０の領域と接触するために、第４のマスク７１０は、また、ゲートピックアップ領域（例えば、コンタクト１０１０および１０１１）、およびＴＭＢＳ部のポリシリコンピックアップ領域（例えば、コンタクト１０２０）にコンタクト開口を画定する。図７から見て、例えば、ポリシリコン領域３２０は、図１０および図１１に示すように、そのページの中に向かってある距離だけ延出している。コンタクト１０１０および１０１１は、ＭＯＳＦＥＴ部にあるポリシリコン３２０と接触し、コンタクト１０２０は、ＴＭＢＳ部にあるポリシリコン３２０と接触する。
【００２５】
コンタクト酸化物エッチングおよびシリコンエッチング後、コンタクト・クランプ・インプラントおよび浅いコンタクト・インプラントが実施され、第４のマスク７１０を取り除くことができる。コンタクト・クランプ・インプラントおよび浅いコンタクト・インプラントは、ボディへのコンタクト抵抗を向上し、また、トレンチから各メサの中心にアバランシェ降伏をシフトする。
【００２６】
マスク７１０を取り除いた後、結果として得られる構造は、次いで、コンタクト・インプラントを活性化するため、ソース・インプラントが活性化されていない場合にはそれを活性化するため、ソース・インプラントをその目標接合深さまで追いやるため、必要ならば誘電性スタックの密度を高めるため、構造のトポグラフィを軟化させるために必要ならば誘電性スタックを輪郭付けるために、高温リフローを受ける。
【００２７】
図１のブロック１３５では、図８を参照すると、第５のマスク８１０が、バリアおよびコンタクト金属の堆積前に、誘電性スタック（例えば、ＴＥＯＳ層６１０およびＢＰＳＧ層６２０）の部分をエッチング除去するために、ＴＭＢＳ部の活性領域のみをパターン形成するために使用される。１つの実施形態では、誘電体スタックのエッチング後、ＴＭＢＳ部（例えば、メサ８２０および８２１）におけるメサの表面上に層を成した任意の残留酸化物を、当該表面から洗浄する。１つの実施形態では、ＴＭＢＳメサ表面上の酸化物を、およそ１０００オングストロームの厚みにドライエッチングし、次に、緩衝酸化物エッチング（ＢＯＥ）（例えば、９：１のＢＯＥウェットディップ）を、任意の残留酸化物を取り除くために適用し、その結果、メサ表面とコンタクト金属（ブロック１４０で堆積された）との間で良好なコンタクトが得られる。ウェットオーバーエッチの目的は、ＴＭＢＳメサ表面から酸化物を洗浄することであるが、必ずしもトレンチ２１２〜２１４内部から洗浄することではない。重要なことには、トレンチ２１２〜２１４中のポリシリコン３２０の上面は、メサ表面８２０、８２１に対してリセスされたままであり、依然として残っているゲート酸化物層３１０の厚みによって被覆されている。
【００２８】
図１のブロック１４０では、図９を参照すると、ソース金属層９１０が形成される。より具体的には、バリア及びコンタクト金属（例えば、窒化チタン、チタン、アルミニウム）を堆積して、ソース金属層９１０を形成する。次いで、堆積した金属を第６のマスク（図示せず）を使用してパターン形成することができる。ソース金属層９１０は、ＴＭＢＳメサ８２０〜８２１と接触するが、ポリシリコン３２０の領域とは接触しない。すなわち、ソース金属層９１０は、酸化物３１０によってポリシリコン３２０から隔離されている。
【００２９】
図１のブロック１４５では、パッシベーション層を使用する場合、第７のマスク（図示せず）を使用して、堆積、パターン形成することができる。次いで、その構造を研削し、裏面金属を適用することができる。
【００３０】
ＴＭＢＳ部のみを含むデバイスは、例えば、ブロック１１５、１２０および１３０に記載された工程を省略することにより形成することができる。
【００３１】
図１０および図１１を参照すると、本発明の実施形態によるＳＫＹＦＥＴデバイス（ＭＯＳＦＥＴ部およびＴＭＢＳ部を含む）の部分平面図およびＴＭＢＳデバイスの同様の図がそれぞれ示してある。図１０の例では、各ＭＯＳＦＥＴ部のトレンチ内のポリシリコン３２０の別々の領域は、互いに接続され、そして、ＭＯＳＦＥＴ部の活性領域外のコンタクト１０１０および１０１１に接触している。図１０の配置において、ポリシリコン３２０は、コンタクト１０１０および１０１１まで延出しており、コンタクト１０１０および１０１１は、それぞれ、ポリシリコン３２０を含むＭＯＳＦＥＴ部におけるトレンチ２１０〜２１１および２１５（図２）を覆って配置されたソース金属層９１０の端部を越えて位置している。したがって、ＭＯＳＦＥＴポリシリコン３２０とゲート金属との電気コンタクトは、コンタクト１０１０および１０１１を介してなされる。しかし、コンタクト１０１０および１０１１は、図１０に示すように、ＭＯＳＦＥＴ部の活性領域外にある。すなわち、コンタクト１０１０および１０１１は、ポリシリコン３２０を含むＭＯＳＦＥＴ部のトレンチを覆って位置するソース金属層９１０の領域の外側にある。
【００３２】
同様に、各ＴＭＢＳ部のトレンチ内のポリシリコン３２０の別々の領域は、互いに接続され、そして、コンタクト１０２０に接続されており、コンタクト１０２０は、図１０および図１１に示す活性ＴＭＢＳ部外にある。図１０および図１１の配置において、ポリシリコン３２０は、メサ８２０〜８２１（図８）よりさらに、横方向に延出している。ソース金属層９１０は、ＴＭＢＳ部内のトレンチ２１２〜２１４（図２）を覆って配置されており、当該ＴＭＢＳ部は、ポリシリコン３２０およびトレンチ間のメサを含んでいる。
【００３３】
上述するように、ソース金属層９１０は、メサと電気接触するが、トレンチ内のポリシリコン３２０から絶縁されている。コンタクト１０４０は、図１０のＴＭＢＳ部におけるショトキーコンタクト金属（ソース金属層９１０）とメサ８２０〜８２１（図８）との接続を表わす。ポリシリコン３２０とソース金属層９１０との間の電気コンタクトは、コンタクト１０２０を介して行なわれる。しかし、コンタクト１０２０は、図１０、図１１に示されるＴＭＢＳ部の活性領域外にある。すなわち、コンタクト１０２０は、ポリシリコン３２０を含むＴＭＢＳ部の複数のトレンチを覆って位置し、かつ、これらのトレンチ間のメサを覆って位置するソース金属層９１０の領域の外側にある。
【００３４】
また、ソース・インプラント５２０（図７）に電気コンタクトを提供するＭＯＳＦＥＴソースコンタクト１０３０が示されている。
【００３５】
要約すれば、本発明による実施形態は、ＳＫＹＦＦＴデバイスのＴＭＢＳ部およびＭＯＳＦＥＴ部のポリシリコン領域のみならず、ＴＭＢＳデバイスのポリシリコン領域にリモートコンタクト（例えば、コンタクト１０２０）を使用することにより、過度の漏電の問題を解決する。ポリシリコン３２０は、隣接するメサに対してリセスされている。ＴＥＯＳ６１０およびＢＰＳＧ６２０（図６）の積層を使用して、ＴＭＢＳ部（例えば、メサ８２０〜８２１）のメサ表面がコンタクト金属に対して開放されているが、トレンチ側壁がエッチングにさらされないようにして、選択的にポリシリコン３２０上に酸化物の薄層を残す。
【００３６】
デバイス構造のこれらの変化は、コンタクト工程前に、ＴＭＢＳ部のポリシリコンおよびシリコンメサ領域の両方から酸化物をすべて除去する必要性を取り除く。酸化物は、ＴＭＢＳ部におけるシリコンメサからのみ完全にエッチングされる。ＴＭＢＳ部のポリシリコン領域に対するソース金属のコンタクトは、ＴＭＢＳ部外へのポリシリコンの伸長を介して行なわれる。これらの特徴を作るために使用される方法と同様に、これらの特徴の結果として、ＴＭＢＳデバイスまたはＳＫＹＦＥＴデバイス中のトレンチの側壁へのコンタクト金属の侵入が回避される。
【００３７】
本発明の概念
要約すると、本明細書は、少なくとも以下に記載する広い概念を開示している。
【００３８】
概念１：トレンチ金属酸化物半導体（ＭＯＳ）バリアショットキー（ＴＭＢＳ）デバイスを含む半導体装置であって、前記ＴＭＢＳデバイスは、
複数の第１のトレンチが形成され、前記第１のトレンチ内に導電性材料が堆積されている基板と、
ソース金属層と、を含み、
前記ＴＭＢＳデバイスは、活性領域を有し、当該活性領域内において、前記ソース金属層は、前記基板と電気的に接触するが、前記第１のトレンチ内に配置された前記導電性材料から絶縁されており、前記第１のトレンチ内の前記導電性材料は、前記ＴＭＢＳデバイスの前記活性領域外にあるコンタクトに電気的に結合されている、半導体装置。
【００３９】
概念２：前記活性領域は、前記複数の第１のトレンチ間に形成された複数のメサを含み、前記メサは、第１の高さの側壁を有しており、前記導電性材料は、前記第１のトレンチを前記第１の高さ未満の第２の高さまで充填している、概念１に記載の半導体装置。
【００４０】
概念３：前記導電性材料は、前記基板内を、前記メサを越えてある距離だけ延出しており、前記導電性材料は、前記ＴＭＢＳデバイスの前記活性領域外で前記コンタクトまで延出している、概念３に記載の半導体装置。
【００４１】
概念４：前記基板および前記ソース金属層から前記導電性材料を分離する絶縁材料をさらに含む、概念１の半導体装置。
【００４２】
概念５：前記絶縁材料は、ゲート酸化物を含む、概念４に記載の半導体装置。
【００４３】
概念６：前記基板は、ｐ型シリコン基板を含み、前記導電性材料は、ポリシリコンを含む、概念１に記載の半導体装置。
【００４４】
概念７：前記ソース金属層は、窒化チタン、チタンおよびアルミニウムからなる群から選択される材料を含む、概念１に記載の半導体装置。
【００４５】
概念８：ＭＯＳＦＥＴをさらに含み、当該ＭＯＳＦＥＴおよび前記ＴＭＢＳデバイスは、組み合わさって、モノリシック集積構造を構成する、概念１に記載の半導体装置。
【００４６】
概念９：前記ＭＯＳＦＥＴは、
前記基板内に形成され、内部に前記導電性材料が配置された複数の第２のトレンチと、
各第２のトレンチに隣接するが、前記絶縁材料によって前記第２のトレンチ内の前記導電性材料から分離されたソース・インプラントと、を含み、
前記ＭＯＳＦＥＴは、活性領域を有し、当該活性領域では、前記ソース金属層が前記第２のトレンチを覆って配置されるとともに、前記第２のトレンチ間の前記基板中に形成されたｐボディ・インプラントと電気的に接触しており、
前記第２のトレンチ内の前記導電性材料とゲート金属との電気コンタクトは、前記ＭＯＳＦＥＴの前記活性領域外で行なわれる、概念８に記載の半導体装置。
【００４７】
概念１０：トレンチ金属酸化物半導体（ＭＯＳ）バリアショットキー（ＴＭＢＳ）デバイスを含む半導体装置を製造する方法であって、
メサによって分離されており、第１の高さの側壁を有する複数の第１のトレンチを形成する工程；
前記第１のトレンチ内に、前記第１の高さ未満の高さまで導電性材料を堆積する工程；
前記導電性材料を覆って絶縁材料からなる層を形成する工程；
前記第１のトレンチおよび前記メサを包含する第１の領域を覆ってソース金属層を形成する工程であって、前記第１の領域内では、前記ソース金属層は、前記絶縁材料によって前記導電性材料から分離されており；
前記ソース金属層と前記第１のトレンチ内の前記導電性材料との間の第１の電気コンタクトを形成する工程であって、前記第１の電気コンタクトは、前記第１の領域の外にある；
を含む方法。
【００４８】
概念１１：前記ソース金属層を形成する工程の前に、
前記メサおよび前記第１のトレンチを覆って誘電体層を形成する工程；
前記ソース金属層がその後で形成された時に、当該ソース金属層が前記メサと接触するように、前記誘電体層の部分をエッチング除去し、前記メサを露出させる工程であって、前記エッチングが行われた後、前記絶縁材料は、前記導電性材料を覆って残っている；
をさらに含む、概念１０に記載の方法。
【００４９】
概念１２：前記誘電体層は、テトラエチルオルトシリケート（ＴＥＯＳ）の層およびボロンリンシリケートガラス（ＢＰＳＧ）の層を含む誘電体スタックを含む、概念１１に記載の方法。
【００５０】
概念１３：前記絶縁材料は、ゲート酸化物を含み、前記基板は、ｐ型シリコン基板を含み、前記導電性材料は、ポリシリコンを含み、前記ソース金属層は、窒化チタン、チタンおよびアルミニウムからなる群から選択される材料を含む、概念１０に記載の方法。
【００５１】
概念１４：前記半導体装置は、前記基板上に形成されたＭＯＳＦＥＴをさらに含み、当該ＭＯＳＦＥＴおよび前記ＴＭＢＳは、組み合わさって、モノリシック集積構造を構成する、概念１０に記載の方法。
【００５２】
概念１５：前記基板内に複数の第２のトレンチを形成する工程であって、前記導電性材料は前記第２のトレンチ内に堆積されており；
前記第２のトレンチ間にｐボディ・インプラントを形成する工程であって、前記ソース金属層は、前記第２のトレンチおよび前記ｐボディ・インプラントを含む第２の領域を覆って配置されており；
各第２のトレンチに隣接するが、前記絶縁材料によって前記第２のトレンチ内の前記導電性材料からは分離されているソース・インプラントを形成する工程；
前記第２のトレンチ内の前記導電性材料とゲート金属との間の第２の電気コンタクトを形成する工程であって、前記第２の電気コンタクトは、前記第２の領域外にある；
をさらに含む、概念１４に記載の方法。
【００５３】
概念１６：トレンチ金属酸化物半導体（ＭＯＳ）バリアショットキー（ＴＭＢＳ）デバイスを含む半導体装置であって、前記ＴＭＢＳデバイスは、
第１の高さの側壁を有する複数のメサが形成された基板と、
前記メサ間に位置する複数の第１のトレンチ内に配置され、前記第１のトレンチを前記第１の高さ未満の第２の高さまで充填する導電性材料と、
前記基板から、および前記メサおよび前記第１のトレンチを覆って配置されたソース金属層から、前記導電性材料を分離する絶縁材料と、を含み、
前記ＴＭＢＳデバイスの活性領域内では、前記ソース金属層は、前記メサと電気接触しており、前記第１のトレンチ内の前記導電性材料と前記ソース金属層との電気コンタクトは、前記ＴＭＢＳデバイスの前記活性領域外で行なわれる、半導体装置。
【００５４】
概念１７：前記絶縁材料は、ゲート酸化物を含み、前記基板は、ｐ型シリコン基板を含み、前記導電性材料は、ポリシリコンを含み、前記ソース金属層は、窒化チタン、チタンおよびアルミニウムからなる群から選択される材料を含む、概念１６に記載の半導体装置。
【００５５】
概念１８：ＭＯＳＦＥＴをさらに含み、当該ＭＯＳＦＥＴおよび前記ＴＭＢＳデバイスは、組み合わさって、モノリシック集積構造を構成する、概念１６に記載の半導体装置。
【００５６】
概念１９：前記ＭＯＳＦＥＴは、前記基板内に形成され、内部に前記導電性材料が配置された前記導電性材料を有する複数の第２のトレンチを含み、
前記ＭＯＳＦＥＴの活性領域内では、前記ソース金属層は、前記第２のトレンチを覆って、および前記第２のトレンチ間の前記基板中に形成されたｐボディ・インプラントを覆って配置されており、前記第２のトレンチ内の前記導電性材料と、ゲート金属との電気コンタクトは、前記ＭＯＳＦＥＴの前記活性領域外で行なわれ、前記ソース金属層は、前記ｐボディ・インプラントと電気接触するが、前記第２のトレンチ内の前記導電性材料と電気接触しない、概念１８に記載の半導体装置。
【００５７】
概念２０：前記各第２のトレンチに隣接するが、前記絶縁材料によって、前記第２のトレンチ内の前記導電性材料から分離されているソース・インプラントをさらに含む、概念１９に記載の半導体装置。
【００５８】
概念２１：前記第２のトレンチを覆って配置されるが、ギャップによって分離されており、前記ソース金属層と前記ｐボディ・インプラントとの前記電気コンタクトを許容する誘電体層をさらに含む、概念１９に記載の半導体装置。
【００５９】
概念２２：前記誘電体層は、テトラエチルオルトシリケート（ＴＥＯＳ）の層およびボロンリンシリケートガラス（ＢＰＳＧ）の層を含む誘電体スタックを含む、概念２１に記載の半導体装置。
【００６０】
上述の本発明における具体的な実施形態は、本発明を図示したり説明したりするためのものである。発明を包括したり、開示される形態通りに本発明を限定したりする目的のものではない。よって上述の教示を鑑みて、多くの変形例や修正例が可能であることは言うまでもない。発明の原理とその実際的な適用を最良に説明するために、それによって当業者が本発明および、考慮される特定の使用に適した種々の変形例を備える種々の実施形態を最適に用いることができるように実施形態が選択され、記載されている。本発明の範囲はここに添付された特許請求の範囲およびこれらの均等事項によって定義される。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明の１つの実施形態による半導体装置の製造で使用される工程のフローチャートである。
【図２】本発明の実施形態による半導体装置の製造における選択された段階を示す断面図である。
【図３】本発明の実施形態による半導体装置の製造における選択された段階を示す断面図である。
【図４】本発明の実施形態による半導体装置の製造における選択された段階を示す断面図である。
【図５】本発明の実施形態による半導体装置の製造における選択された段階を示す断面図である。
【図６】本発明の実施形態による半導体装置の製造における選択された段階を示す断面図である。
【図７】本発明の実施形態による半導体装置の製造における選択された段階を示す断面図である。
【図８】本発明の実施形態による半導体装置の製造における選択された段階を示す断面図である。
【図９】本発明の実施形態による半導体装置の製造における選択された段階を示す断面図である。
【図１０】本発明の１つの実施形態によるＭＯＳＦＥＴ部およびＴＭＢＳ部を含む半導体装置の要素を示す平面図である。
【図１１】本発明の１つの実施形態によるＴＭＢＳ部を含む半導体装置の要素を示す平面図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【外国語明細書】
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