(57)【要約】【課題】緻密な印刷パターンを印刷するのに最適であるとともに、印刷精度及び印刷速度の向上を図ることができるプラズマ処理済み金属メッシュを用いたプラズマ処理済み転写基材への印刷方法及びその印刷装置を提供する。【解決手段】プラズマ処理済み金属メッシュ１に印刷パターンを形成してなる金属メッシュ製スクリーン１Ｂをロータリー印刷装置９の版胴９ａに装着する。版胴９ａと圧胴９ｂを、版胴９ａと圧胴９ｂの対向面間に対して帯状の転写基材８が送り込まれる方向へ回転する。版胴９ａ内部に供給される転写物７を、スキージ９ｄにより版胴９ａの各孔部９ａ１…と被膜６Ａの各開口部６…を介して押し出す。金属メッシュ製スクリーン１Ｂに形成した被膜６Ａの各開口部６…から押し出される転写物７を転写基材８の転写面へ転写して、所望する印刷パターンを連続してスクリーン印刷する。【選択図】図７
2008192977.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属メッシュの線材表面に、プラズマにより表面改質してなる濡れ性の高いプラズマ被膜を形成した後、該金属メッシュ上に乳剤を塗布して印刷パターンを形成したプラズマ処理済み金属メッシュを、
上記プラズマ処理済み金属メッシュが押し付けられる転写面全体に、プラズマにより表面改質してなる濡れ性の高いプラズマ被膜を形成したプラズマ処理済み転写基材の転写面に押し付けて、
上記プラズマ処理済み金属メッシュの反押し付け側に供給される転写物を、該反押し付け側に押し付けられたスキージにより上記印刷パターンの開口部から押し出して上記プラズマ処理済み転写基材の転写面へ転写する
プラズマ処理済み金属メッシュを用いたプラズマ処理済み転写基材への印刷方法。
【請求項２】
上記プラズマ処理済み金属メッシュを筒状に巻回して回転させながら、上記プラズマ処理済み金属メッシュ内部に供給される転写物を、該プラズマ処理済み金属メッシュの内周面に押し付けられたスキージにより上記印刷パターンの開口部から押し出して、該プラズマ処理済み金属メッシュに押し付けられるプラズマ処理済み転写基材の転写面へ転写する
請求項１に記載のプラズマ処理済み金属メッシュを用いたプラズマ処理済み転写基材への印刷方法。
【請求項３】
上記プラズマ処理済み金属メッシュを多数の各孔部が形成された筒状の版胴外周面に装着し、
上記プラズマ処理済み金属メッシュが装着された版胴を回転させながら、該プラズマ処理済み金属メッシュの外周面に上記プラズマ処理済み転写基材の転写面を押し付けて、
上記版胴内部に供給される転写物を、上記版胴内周面に押し付けられたスキージにより該版胴の各孔部と上記印刷パターンの開口部を介して押し出し、該プラズマ処理済み金属メッシュに押し付けられるプラズマ処理済み転写基材の転写面へ転写する
請求項１に記載のプラズマ処理済み金属メッシュを用いたプラズマ処理済み転写基材への印刷方法。
【請求項４】
上記金属メッシュの線材表面及び転写基材の転写面に、上記プラズマを衝突させて微細な凹凸を多数形成した
請求項１〜３のいずれか一つに記載のプラズマ処理済み金属メッシュを用いたプラズマ処理済み転写基材への印刷方法。
【請求項５】
金属メッシュの線材表面に、プラズマにより表面改質してなる濡れ性の高いプラズマ被膜を形成し、該金属メッシュ上に乳剤を塗布して印刷パターンを形成してなるプラズマ処理済み金属メッシュを、
上記プラズマ処理済み金属メッシュが押し付けられる転写面全体に、プラズマにより表面改質してなる濡れ性の高いプラズマ被膜を形成してなるプラズマ処理済み転写基材の転写面に対して押し付け可能に設け、
上記プラズマ処理済み金属メッシュの反押し付け側に、該反押し付け側に供給される転写物を上記印刷パターンの開口部から上記プラズマ処理済み転写基材の転写面へ押し出すためのスキージを設けた
プラズマ処理済み金属メッシュを用いたプラズマ処理済み転写基材への印刷装置。
【請求項６】
上記プラズマ処理済み金属メッシュを筒状に巻回して、上記プラズマ処理済み転写基材の転写面に沿って押し付けられる方向へ回転可能に設け、
上記スキージを上記反押し付け側であるプラズマ処理済み金属メッシュの内周面に押し付けるとともに、該プラズマ処理済み金属メッシュ内部に供給される転写物が上記印刷パターンの開口部から押し出される角度に傾斜した
請求項５に記載のプラズマ処理済み金属メッシュを用いたプラズマ処理済み転写基材への印刷装置。
【請求項７】
上記プラズマ処理済み金属メッシュが装着された外周面全体に多数の各孔部を形成した筒状の版胴と、該版胴に装着されたプラズマ処理済み金属メッシュに対して上記プラズマ処理済み転写基材を押し付ける圧胴を、上記プラズマ処理済み転写基材が挟持される状態に対峙して、
上記版胴と圧胴を、該版胴と圧胴の対向面間に対してプラズマ処理済み転写基材が送り込まれる方向へ回転可能に設け、
上記スキージを上記プラズマ処理済み金属メッシュの反押し付け側である版胴内周面に押し付けるとともに、該版胴内部に供給される転写物が各孔部から押し出される角度に傾斜した
請求項５に記載のプラズマ処理済み金属メッシュを用いたプラズマ処理済み転写基材への印刷装置。
【請求項８】
上記金属メッシュの線材表面及び転写基材の転写面に、上記プラズマを衝突させて微細な凹凸を多数形成した
請求項５〜７のいずれか一つに記載のプラズマ処理済み金属メッシュを用いたプラズマ処理済み転写基材への印刷装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えば精密機器に内蔵される回路基板等の転写基材に対して導電性の転写物をスクリーン印刷する際に用いられるプラズマ処理済み金属メッシュを用いたプラズマ処理済み転写基材への印刷方法及びその印刷装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、上述の印刷方法としては、例えばプラズマ処理装置の電極から噴出されるプラズマにより電極表面の汚れを除去するとともに、電極表面をわずかに粗面して、導電ペーストの付着力を大きくする特許文献１の導電ペーストの塗布方法がある。
【特許文献１】特開２００２−１１８３５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、上述のプラズマにより電極表面の汚れを除去し、電極表面を粗面する等しても、スクリーンマスクと導電ペースの濡れ性が悪いと、スクリーンマスクのパターン孔を通り抜ける際に付与される表面張力及び接触抵抗が大きく、導電ペーストが通り抜けにくいため、転写するのに時間が掛かる。また、印刷パターンの輪郭が滲んだ様に呆けてしまうので、緻密な印刷パターンを印刷することができないという問題点を有している。
【０００４】
また、スクリーンマスクの代わりに、例えばスクリーンメッシュ１Ａを用いた場合、線材２Ａ表面が平滑な状態であるため、線材２Ａと乳剤５Ａの濡れ性（親性）が悪く、乳剤５Ａに付与される表面張力が大きい。スクリーンメッシュ１Ａ上に塗布された乳剤５Ａと、乳剤５Ａを除去してなる開口部６Ａの輪郭（エッジ）が歪んでしまい、印刷パターンが不鮮明となる（図１２参照）。また、インク等の転写物を、乳剤５Ａの開口部６Ａを通り抜けさせて被転写物へ印刷した際に、印刷パターンの輪郭が滲んだ様に呆けてしまうので、緻密な印刷パターンを印刷することが難しい。また、線材２Ａと乳剤５Ａの濡れ性が悪いと、図１３に示すように、線材２Ａの交差部分へ乳剤５Ａが浸透しにくく、ボイド５Ａａが発生するため、転写物が開口部６Ａ以外の部分にも印刷されてしまい、パターン通りに印刷することができない。
【０００５】
この発明は上記問題に鑑み、緻密な印刷パターンを印刷するのに最適であるとともに、印刷精度及び印刷速度の向上を図ることができるプラズマ処理済み金属メッシュを用いたプラズマ処理済み転写基材への印刷方法及びその印刷装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載した発明のプラズマ処理済み金属メッシュを用いたプラズマ処理済み転写基材への印刷方法は、金属メッシュの線材表面に、プラズマにより表面改質してなる濡れ性の高いプラズマ被膜を形成した後、該金属メッシュ上に乳剤を塗布して印刷パターンを形成したプラズマ処理済み金属メッシュを、上記プラズマ処理済み金属メッシュが押し付けられる転写面全体に、プラズマにより表面改質してなる濡れ性の高いプラズマ被膜を形成したプラズマ処理済み転写基材の転写面に押し付けて、上記プラズマ処理済み金属メッシュの反押し付け側に供給される転写物を、該反押し付け側に押し付けられたスキージにより上記印刷パターンの開口部から押し出して上記プラズマ処理済み転写基材の転写面へ転写することを特徴とする。
【０００７】
この発明によると、印刷パターンが形成されたプラズマ処理済み金属メッシュを、プラズマ処理理済み転写基材の転写面に押し付けるとともに、プラズマ処理済み金属メッシュの反押し付け側に供給される転写物を、スキージにより印刷パターンの開口部から押し出してプラズマ処理済み転写基材の転写面へ転写する。なお、反押し付け側は、プラズマ処理済み金属メッシュの内周面又は版胴内周面と対応する。
【０００８】
つまり、プラズマ処理された金属メッシュの線材表面に濡れ性の高いプラズマ被膜を形成し、該線材の表面全体に分子レベルで微細な凹凸を多数形成しているので、線材と乳剤の濡れ性（親性）が向上し、金属メッシュに形成される印刷パターンの輪郭（エッジ）が鮮鋭となり、緻密な印刷パターンを形成することができる。また、線材と転写物の濡れ性（親性）及び転写物の抜け性が向上するので、転写基材への転写時において、開口部に露出する金属メッシュの網目を通り抜ける際に付与される表面張力及び接触抵抗が小さく、転写物の押し出し及び転写に要する時間が短縮されるため、印刷精度及び印刷速度の向上を図ることができる。
【０００９】
一方、プラズマ処理された転写基材の転写面にも濡れ性の高いプラズマ被膜を形成し、該転写面全体に分子レベルで微細な凹凸を多数形成しているので、転写物と転写基材の濡れ性が向上し、転写基材に対する転写物の接着性や密着性が高くなるため、転写後の信頼性が向上する。また、転写基材に転写された転写物の輪郭が鮮鋭な状態に維持されるので、パターン通りに印刷することができる。
【００１０】
上記金属メッシュは、例えばステンレス、スチール等の金属製線材で構成することができる。また、金属メッシュの網目は、印刷パターンの緻密度に応じて所望する大きさ及び形状に変更することができる。また、転写基材は、例えば板状やフィルム状の回路基板で構成することができる。また、プラズマ処理の方法としては、例えばエアープラズマ照射装置、グロープラズマ照射装置等の装置により処理することができる。
【００１１】
請求項２に記載した発明のプラズマ処理済み金属メッシュを用いたプラズマ処理済み転写基材への印刷方法は、上記請求項１に記載の構成と併せて、上記プラズマ処理済み金属メッシュを筒状に巻回して回転させながら、上記プラズマ処理済み金属メッシュ内部に供給される転写物を、該プラズマ処理済み金属メッシュの内周面に押し付けられたスキージにより上記印刷パターンの開口部から押し出して、該プラズマ処理済み金属メッシュに押し付けられるプラズマ処理済み転写基材の転写面へ転写することを特徴とする。
【００１２】
この発明によると、筒状のプラズマ処理済み金属メッシュを回転させながら、プラズマ処理済み金属メッシュ内部に供給される転写物を、スキージにより印刷パターンの開口部から外部へ押し出し、プラズマ処理済み金属メッシュに押し付けられるプラズマ処理済み転写基材の転写面へ転写するので、所望する印刷パターンを連続してスクリーン印刷することができる。なお、筒状のプラズマ処理済み金属メッシュは、変形を防止するのに必要な剛性を有する金属等の材質で形成するか、肉厚に形成している。
【００１３】
請求項３に記載した発明のプラズマ処理済み金属メッシュを用いたプラズマ処理済み転写基材への印刷方法は、上記請求項１に記載の構成と併せて、上記プラズマ処理済み金属メッシュを多数の各孔部が形成された筒状の版胴外周面に装着し、上記プラズマ処理済み金属メッシュが装着された版胴を回転させながら、該プラズマ処理済み金属メッシュの外周面に上記プラズマ処理済み転写基材の転写面を押し付けて、上記版胴内部に供給される転写物を、上記版胴内周面に押し付けられたスキージにより該版胴の孔部と上記印刷パターンの開口部を介して押し出し、該プラズマ処理済み金属メッシュに押し付けられるプラズマ処理済み転写基材の転写面へ転写することを特徴とする。
【００１４】
この発明によると、プラズマ処理済み金属メッシュが装着された版胴を回転させながら、版胴内部に供給される転写物を、スキージにより版胴の孔部と印刷パターンの開口部を介して外部へ押し出し、該プラズマ処理済み金属メッシュに押し付けられるプラズマ処理済み転写基材の転写面へ転写するので、所望する印刷パターンを連続してスクリーン印刷することができる。また、プラズマ処理済み金属メッシュの肉厚が薄くても、剛性を有する版胴に装着すれば、プラズマ処理済み金属メッシュが転写時に付与される圧力により変形するのを防止することができる。
【００１５】
請求項４に記載した発明のプラズマ処理済み金属メッシュを用いたプラズマ処理済み転写基材への印刷方法は、上記請求項１〜３のいずれか一つに記載の構成と併せて、上記金属メッシュの線材表面及び転写基材の転写面に、上記プラズマを衝突させて微細な凹凸を多数形成したことを特徴とする。
【００１６】
この発明によると、微細な凹凸を、金属メッシュの線材表面及び転写基材の転写面に形成するので、転写物に付与される表面張力及び接触抵抗が小さくなり、線材及び転写面と転写物の濡れ性（親性）が向上するとともに、転写面に対する転写物の接着性や密着性が高くなる。
【００１７】
請求項５に記載した発明のプラズマ処理済み金属メッシュを用いたプラズマ処理済み転写基材への印刷装置は、金属メッシュの線材表面に、プラズマにより表面改質してなる濡れ性の高いプラズマ被膜を形成し、該金属メッシュ上に乳剤を塗布して印刷パターンを形成してなるプラズマ処理済み金属メッシュを、上記プラズマ処理済み金属メッシュが押し付けられる転写面全体に、プラズマにより表面改質してなる濡れ性の高いプラズマ被膜を形成してなるプラズマ処理済み転写基材の転写面に対して押し付け可能に設け、上記プラズマ処理済み金属メッシュの反押し付け側に、該反押し付け側に供給される転写物を上記印刷パターンの開口部から上記プラズマ処理済み転写基材の転写面へ押し出すためのスキージを設けたことを特徴とする。
【００１８】
この発明によると、印刷パターンが形成されたプラズマ処理済み金属メッシュを、プラズマ処理理済み転写基材の転写面に押し付けるとともに、プラズマ処理済み金属メッシュの反押し付け側に供給される転写物を、スキージにより印刷パターンの開口部から押し出してプラズマ処理済み転写基材の転写面へ転写するので、請求項１と同様に、プラズマ処理済み金属メッシュに形成される印刷パターンの輪郭（エッジ）が鮮鋭となり、緻密な印刷パターンをスクリーン印刷することができる。また、転写物の押し出し及び転写に要する時間が短縮されるため、印刷精度及び印刷速度の向上を図ることができる。また、転写基材に対する転写物の接着性や密着性が高く、転写後の信頼性が向上する。また、転写基材に転写された転写物の輪郭が鮮鋭な状態に維持されるので、パターン通りに印刷することができる。
【００１９】
請求項６に記載した発明のプラズマ処理済み金属メッシュを用いたプラズマ処理済み転写基材への印刷装置は、上記請求項５に記載の構成と併せて、上記プラズマ処理済み金属メッシュを筒状に巻回して、上記プラズマ処理済み転写基材の転写面に沿って押し付けられる方向へ回転可能に設け、上記スキージを上記反押し付け側であるプラズマ処理済み金属メッシュの内周面に押し付けるとともに、該プラズマ処理済み金属メッシュ内部に供給される転写物が上記印刷パターンの開口部から押し出される角度に傾斜したことを特徴とする。
【００２０】
この発明によると、筒状のプラズマ処理済み金属メッシュを回転させながら、プラズマ処理済み金属メッシュ内部に供給される転写物を、スキージにより印刷パターンの開口部から外部に向けて押し出し、プラズマ処理済み金属メッシュに押し付けられるプラズマ処理済み転写基材の転写面へ転写するので、所望する印刷パターンを連続してスクリーン印刷することができる。
【００２１】
請求項７に記載した発明のプラズマ処理済み金属メッシュを用いたプラズマ処理済み転写基材への印刷装置は、上記請求項５に記載の構成と併せて、上記プラズマ処理済み金属メッシュが装着された外周面全体に多数の各孔部を形成した筒状の版胴と、該版胴に装着されたプラズマ処理済み金属メッシュに対して上記プラズマ処理済み転写基材を押し付ける圧胴を、上記プラズマ処理済み転写基材が挟持される状態に対峙して、上記版胴と圧胴を、該版胴と圧胴の対向面間に対してプラズマ処理済み転写基材が送り込まれる方向へ回転可能に設け、上記スキージを上記プラズマ処理済み金属メッシュの反押し付け側である版胴内周面に押し付けるとともに、該版胴内部に供給される転写物が各孔部から押し出される角度に傾斜したことを特徴とする。
【００２２】
この発明によると、版胴と圧胴を、版胴と圧胴の対向面間に対してプラズマ処理済み転写基材が送り込まれる方向へ回転させながら、版胴内部に供給される転写物を、スキージにより版胴の孔部と印刷パターンの開口部を介して外部へ押し出し、プラズマ処理済み金属メッシュに押し付けられるプラズマ処理済み転写基材の転写面へ転写するので、所望する印刷パターンを連続してスクリーン印刷することができる。また、請求項３と同様に、プラズマ処理済み金属メッシュが転写時に付与される圧力により変形するのを防止することができる。なお、上記印刷装置は、例えばロータリー印刷装置等で構成することができる。
【００２３】
請求項８に記載した発明のプラズマ処理済み金属メッシュを用いたプラズマ処理済み転写基材への印刷装置は、上記請求項５〜７のいずれか一つに記載の構成と併せて、上記金属メッシュの線材表面及び転写基材の転写面に、上記プラズマを衝突させて微細な凹凸を多数形成したことを特徴とする。
【００２４】
この発明によると、微細な凹凸を、金属メッシュの線材表面及び転写基材の転写面に形成しているので、転写物に付与される表面張力及び接触抵抗が小さく、線材及び転写面と転写物の濡れ性（親性）が向上するとともに、転写面に対する転写物の接着性や密着性が高くなる。
【発明の効果】
【００２５】
この発明によれば、金属メッシュの線材表面と転写基材の転写面に濡れ性の高いプラズマ被膜を形成し、該線材表面及び転写面の全体に分子レベルで微細な凹凸を多数形成しているので、金属メッシュ上に印刷パターンを形成する際に、線材と乳剤の濡れ性（親性）が向上し、印刷パターンの輪郭（エッジ）が鮮鋭となるため、緻密な印刷パターンを形成することができる。また、転写物と転写基材の濡れ性が向上し、転写基材に対する転写物の接着性や密着性が高くなるため、転写後の信頼性が向上する。また、転写基材に転写された転写物の輪郭が鮮鋭な状態に維持されるので、パターン通りに印刷することができる。
【００２６】
また、印刷パターンの開口部に露出する線材と転写物の濡れ性（親性）及び転写物の抜け性が向上するので、印刷パターンが形成されたプラズマ処理済み金属メッシュを用いて、プラズマ処理済み転写基材の転写面へ転写物を転写する際に、開口部に露出する金属メッシュの網目を通り抜ける際に付与される表面張力及び接触抵抗が小さく、転写物の押し出し及び転写に要する時間が短縮されるため、印刷精度及び印刷速度の向上を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
この発明は、緻密な印刷パターンを印刷するのに最適であるとともに、印刷精度及び印刷速度の向上を図ることができるという目的を、印刷パターンが形成されたプラズマ処理済みの金属メッシュを用いて、プラズマ処理済みの転写基材に転写物を転写することで達成した。
【実施例】
【００２８】
この発明の一実施例を以下図面に基づいて詳述する。
【００２９】
図面は、プラズマ処理済み金属メッシュを用いた印刷方法及びその印刷装置を示し、図１〜図８に於いて、このプラズマ処理済み金属メッシュを用いたスクリーン印刷方法は、金属メッシュ製スクリーン１Ｂを構成する金属メッシュ１の線材２表面と後述する転写基材８の転写面を後述するプラズマ処理装置４によりプラズマ処理した後、プラズマ処理済みの金属メッシュ１上に印刷パターンを形成してなる金属メッシュ製スクリーン１Ｂを後述するロータリー印刷装置９の版胴９ａ外周面に装着する。
【００３０】
プラズマ処理された金属メッシュ製スクリーン１Ｂに、プラズマ処理された転写基材８の転写面を押し付けながら、金属メッシュ製スクリーン１Ｂの反押し付け側である版胴９ａ内部に供給されるペースト状の転写物７を、版胴９ａ内周面に押し付けられたスキージ９ｄにより、版胴９ａに形成した各孔部９ａ１…と金属メッシュ製スクリーン１Ｂに形成した印刷パターンの各開口部６…を介して押し出し、金属メッシュ製スクリーン１Ｂに押し付けられる転写基材８の転写面へ転写するスクリーン印刷方法である。
【００３１】
金属メッシュ１は、図１に示すように、ステンレス製の線材２を縦糸と横糸に用いて、平織り方法によりメッシュ状に織ったものであり、張り付け工程において、定型の金属体およびそれに準ずる製版用の枠体３に張り付けられる。
【００３２】
実施例では、金属メッシュ１を枠体３に張り付けてから後述するプラズマ照射装置４によりプラズマ処理するが、例えば金属メッシュ１の線材２をプラズマ処理してから平織りするか、金属メッシュ１をプラズマ処理してから枠体３に張り付ける等してもよい。また、平織り方法に代えて、例えば綾織、朱子織、捩り織等の織り方法により金属メッシュ１を織ってもよい。また、金属メッシュ１の網目を、印刷パターンの緻密度に応じて所望する大きさ及び形状に変更するか、線材２の線径や断面形状を、印刷パターンの緻密度に応じて所望する線径及び断面形状に変更する等してもよい。
【００３３】
プラズマ処理装置４は、図２に示すように、ガス充填室４ａの中央底部に、筒状の電極４ｂを下方に向けて垂設し、該電極４ｂの内部中心に、棒状の電極４ｃを下方に向けて垂直に挿入している。ガス充填室４ａの上部に、酸素、水素等のプラズマ発生用ガスを供給するガス供給部４ｄを接続し、棒状の電極４ｃ上端に、高周波の高電圧を印加する電極４ｅを接続している。
【００３４】
金属メッシュ１を、プラズマ処理装置４によりプラズマ処理する場合、大気圧の環境下において、ガス供給部４ｄから供給されるプラズマ発生用ガスを電極４ｂ内部に送り込み、電源４ｅから供給される高周波の高電圧を電極４ｃに印加して、電極４ｃの下端付近にプラズマＰを発生させる。プラズマ処理すべき金属メッシュ１を、ノズル状に形成した電極４ｂ下端に供給しながら図中矢印で示す方向へ移動させ、電極４ｂ下端から噴出されるプラズマＰを金属メッシュ１に照射するので、金属メッシュ１全体を略均一にプラズマ処理することができる。おな、プラズマ発生時の環境は、例えば真空圧（０ｍｍＨｇ）〜大気圧（７６０ｍｍＨｇ）の範囲に含まれる環境である。
【００３５】
一方、転写基材８を、上記プラズマ処理装置４によりプラズマ処理する場合、図６に示すように、プラズマ処理すべき転写基材８の転写面を電極４ｂ下端と対向させて、転写基材８を、電極４ｂ下端に供給しながら図中矢印で示す方向へ移動させ、電極４ｂから噴出されるプラズマＰを転写基材８の転写面に照射するので、上記金属メッシュ１と同様に、転写基材８の転写面全体を略均一にプラズマ処理することができる。
【００３６】
プラズマ照射時において、プラズマＰが照射された線材２表面と転写基材８表面の分子結合を濡れ性が高くなる状態に表面改質するとともに、プラズマＰにより表面改質してなる濡れ性の高いプラズマ被膜Ｐａを線材２の表面全体及び転写基材８の転写面全体に対して略均一に形成（図３の拡大断面図参照）するので、線材２及び転写基材８の表面全体が活性化し、スクリーン印刷に適した良好な状態に表面改質することができる。
【００３７】
また、線材２面及び転写基材８の表面に付着する有機物や無機物等の異物ＥをプラズマＰの分子と結合させるか、線材２及び転写基材８の表面に付着する異物ＥにプラズマＰを衝突させる等して、線材２及び転写基材８の表面から異物Ｅを確実に洗浄除去することができる（図３参照）。
【００３８】
プラズマ処理済み金属メッシュ１に印刷パターンを形成する場合、図４に示すように、緻密な印刷パターンを形成するのに必要な粘性を有する感光性乳剤５を金属メッシュ１に塗布するか、金属メッシュ１に塗布された乳剤５を部分的に除去する等して、金属メッシュ１上に形成した膜状（又はレジスト状）の被膜６Ａに、印刷パターンである開口部６（又は孔部）を複数形成するので、スクリーン印刷用の金属メッシュ製スクリーン１Ｂを製作することができる。なお、金属メッシュ１に塗布された乳剤５を除去する他の方法としては、例えば溶剤で腐食するか、切削具で切削する等の方法がある。
【００３９】
未プラズマ処理の線材２表面及び転写基材８表面は平滑な状態であり、線材２と乳剤５及び転写基材８と転写物７の濡れ性（親性）が悪く、乳剤５及び転写物７に付与される表面張力が大きいため、乳剤５により印刷パターンを形成した際に、開口部６の輪郭（エッジ）が歪んでしまい、印刷パターンが不鮮明となる。また、後述する転写物７を、輪郭が歪んだ開口部６を通り抜けさせて転写基材８へ転写した際に、転写物７の輪郭が滲んだ様に呆けてしまうので、緻密な印刷パターンを形成する作業には適さない。
【００４０】
一方、金属メッシュ１をプラズマ処理した際に、プラズマＰの分子が衝突することにより線材２の表面全体が分子レベルで荒らされ、線材２の表面全体に分子レベルで微細な凹凸が多数形成されるため、塗布時において乳剤５に付与される表面張力が小さくなり、線材２と乳剤５の濡れ性が向上する。この結果、図５に示すように、乳剤５により印刷パターンを形成する際に、乳剤５と開口部６の境界がストレート（直線性）に形成され、開口部６の輪郭（エッジ）が鮮鋭となるので、印刷パターンの精度が向上する。また、単位面積当たりの金属メッシュ１の表面積が大きくなっても、乳剤５と開口部６の境界をストレート（直線性）に形成することができる。
【００４１】
また、開口部６の輪郭がストレートであるため、ペースト状の転写物７を、金属メッシュ１に形成された被膜６Ａの開口部６を通り抜けさせて転写基材８へ転写した際に、転写物７の輪郭（エッジ）が鮮鋭となり、緻密な印刷パターンを正確且つ確実に形成することができる。且つ、印刷パターンの輪郭が鮮鋭となり、隣接する転写物７…の間が略均等な間隔に隔てられるため、電気的影響が少なくなり、電気的特性が向上する。
【００４２】
乳剤５と線材２の界面が活性化し、濡れ性が向上するので、金属メッシュ１の線材２が交差する部分にも乳剤５が浸透しやすくなり、ボイド５ａが発生することがないので、転写物７が開口部６以外の部分に転写されるのを防止することができる。また、スクリーン製作時に必要とする洗浄工程、特殊な溶剤での洗浄処理等が不要となり、水洗浄のみで洗浄除去することができる。
【００４３】
また、転写基材８をプラズマ処理した際に、前記金属メッシュ１と同様に、転写基材８の転写面全体が分子レベルで荒らされ、転写面全体に分子レベルで微細な凹凸が多数形成されるため、転写物７と転写基材８の濡れ性が向上し、転写基材８に対する転写物７の接着性や密着性が高くなるため、転写後の信頼性が向上する。
【００４４】
前記印刷方法に用いられるロータリー印刷装置９は、図７、図８に示すように、前記金属メッシュ製スクリーン１Ｂが装着される筒状の版胴９ａと、該版胴９ａ外面に押し付けられるロール状の圧胴９ｂを軸方向に平行して軸架するとともに、転写基材８が厚み方向に挟持される状態に対峙している。
【００４５】
版胴９ａの外面全体には、転写物７の通り抜けが許容される多数の各孔部９ａ１…を面方向に対して所定等間隔に隔てて配列しており、版胴９ａの外周面上には、前記金属メッシュ製スクリーン１Ｂを図中矢印で示す方向に向けて巻き付けるように装着している。また、版胴９ａ中心部に設けた回転軸９ｃには、転写物７が押し出される状態に変形可能な弾性を有するスキージ９ｄを版胴９ａ内周面と対向する方向に向けて取り付けている。スキージ９ｄは、版胴９ａ内部に供給される転写物７が各孔部９ａ１…から押し出される角度に傾斜するとともに、版胴９ａ内周面に対して押し付けられる方向に常時付勢している。
【００４６】
なお、金属メッシュ製スクリーン１Ｂの肉厚が薄くても、剛性を有する金属製の版胴９ａ外周面に装着して使用すれば、転写時に付与される圧力により変形するのを防止することができる。また、金属メッシュ１又は金属メッシュ製スクリーン１Ｂを、変形を防止するのに必要な剛性を有する金属で形成するか、肉厚に形成してもよく、版胴９ａが不要となる。
【００４７】
前記金属メッシュ製スクリーン１Ｂを用いて、ロータリー印刷装置９によりスクリーン印刷する場合、大気圧の環境下にて、版胴９ａと圧胴９ｂを、版胴９ａと圧胴９ｂの対向面間に対して帯状の転写基材８が送り込まれる方向へ、図示しないモータの駆動力により図中矢印で示す方向へ回転させる。反押し付け側と対応する版胴９ａの内周面上に、所望する厚み及び形状を維持するのに必要な粘性を有するペースト状の転写物７を供給しながら、版胴９ａと圧胴９ｂの対向面間に対して帯状の転写基材８を連続して送り込む。また、減圧した環境下にて、ロータリー印刷装置９によりスクリーン印刷してもよい。
【００４８】
金属メッシュ製スクリーン１Ｂの被膜６Ａに対して転写基材８の転写面を押し付けながら、版胴９ａ内部に供給される転写物７を、スキージ９ｄにより版胴９ａの各孔部９ａ１…を介して被膜６Ａの各開口部６…へ押し込む。金属メッシュ製スクリーン１Ｂの被膜６Ａから転写基材８の転写面を離間させる際に、各開口部６…から押し出される転写物７を転写基材８の転写面へ転写（図８参照）するので、所望する印刷パターンを連続してスクリーン印刷することができる。
【００４９】
転写後において、転写基材８に転写された転写物７を加熱して硬化させ、転写物７からバインダー成分を除去し、無機フィラーを焼結する等の後処理を行うので、印刷作業が完了する。
【００５０】
また、開口部６に露出する線材２と、開口部６を通り抜ける転写物７の濡れ性（親性）及び転写物７の抜け性が向上するので、転写基材８への転写時において、開口部６に露出する金属メッシュ１の網目を通り抜けさせる際に付与される表面張力及び接触抵抗が小さく、転写物７の押し出し及び転写に要する時間が短縮されるため、印刷精度及び印刷速度、印刷能力の向上を図ることができ、精密機器の電子回路等を製造する作業に適用することができる。
【００５１】
また、金属メッシュ１の網目を通り抜けさせる際に付与する圧力が小さくて済むので、転写時において転写物７の輪郭が歪んだり、不鮮明となることがなく、転写物７の輪郭が鮮鋭な状態に維持されるため、所望する厚み及び形状に転写することができる。また、転写基材８に対する転写物７の接着性や密着性が高くなるので、転写後の信頼性が向上する。また、大きな圧力を付与するための大型の装置や機器等を設置する必要がなく、装置及び機器への負荷が低減されるので、装置全体の構成を簡素化することができる。
【００５２】
図９は、導電性の転写物７を転写して転写基材８に形成した導電部８ａと、該転写基材８に実装した電子部品８ｂの表面全体を前記プラズマ処理装置４によりプラズマ処理した他の例を示し、前記実施例と同様に、プラズマ被膜Ｐａが形成された導電部８ａ及び電子部品８ｂと、これらを接続する線状の導電体８ｃの濡れ性が向上するため、導電体８ｃにより導電部８ａと電子部品８ｂを確実に接続することができ、接続強度が大幅に向上し、接続不良の発生率が小さくなる。また、導電部８ａと、電子部品８ｂと、導電体８ｃの全体を絶縁材８ｄによりモールドした場合、絶縁材８ｄの接着性や密着性、界面剪断強度が高くなるため、信頼性が向上する。なお、転写基材８は、板状やフィルム状の基板で構成される。
【００５３】
図１０は、金属メッシュ製スクリーン１Ｂを構成する金属メッシュ１を、密閉型のプラズマ照射装置１０Ａにより減圧した環境下にてプラズマ処理する他の方法を示し、金属メッシュ１を密閉可能な減圧室１０内へ収容し、減圧室１０内に設けた下部電極１０ａと上部電極１０ｂの間に配置する。減圧手段の一例である減圧装置１１により減圧室１０内を減圧して、空気や異物等が分子レベルで存在しない状態に減圧する。減圧装置１１を停止した後、減圧室１０内にガス供給部１２から供給される酸素、水素等のプラズマ発生用ガスを放出し、電源１３から供給される高圧の電力により上部電極１０ｂに高周波電圧を印加することにより、下部電極１０ａと上部電極１０ｂの間にプラズマＰを発生させる。
【００５４】
減圧した環境下において、金属メッシュ１を、下部電極１０ａと上部電極１０ｂの間に発生するプラズマＰによりプラズマ処理して、線材２の表面全体にプラズマ被膜Ｐａを略均一に形成するので、前記実施例と略同等の作用及び効果を奏することができる。また、線材２表面から分離された異物Ｅは減圧室１０内の空気と一緒に吸引除去されるので、分離除去した異物Ｅが金属メッシュ１の線材２表面に再付着するのを防止することもできる。
【００５５】
また、図１１に示すように、転写基材８を、上記プラズマ照射装置１０Ａにより減圧した環境下にてプラズマ処理して、転写基材８の転写面全体にプラズマ被膜Ｐａを略均一に形成してもよく、前記実施例と略同等の作用及び効果を奏することができる。
【００５６】
なお、本発明は、上述の実施例の構成のみに限定されるものではなく、請求項に示される技術思想に基づいて応用することができ、多くの実施の形態を得ることができる。
【００５７】
例えばプラズマ処理された金属メッシュ製スクリーン１Ｂを、プラズマ処理された転写基材８の転写面に押し付けて１枚ずつ間欠的に印刷してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】金属メッシュの張り付け状態を示す正面図。
【図２】大気圧における金属メッシュのプラズマ処理を示す側面図。
【図３】プラズマ処理済み金属メッシュを示す部分拡大図及び線材に形成したプラズマ被膜を示す拡大断面図。
【図４】乳剤の塗布状態及び印刷パターンの形成状態を示す正面図。
【図５】被膜と開口部の境界部分を示す拡大図。
【図６】大気圧下における転写基材のプラズマ処理を示す側面図。
【図７】ロータリー印刷機による印刷状態を示す斜視図。
【図８】転写物の転写状態を示す拡大断面図。
【図９】部品実装済み転写基材をプラズマ処理した他の例を示す側面図。
【図１０】減圧下における金属メッシュのプラズマ処理を示す側面図。
【図１１】減圧下における転写基材のプラズマ処理を示す側面図。
【図１２】従来例の線材と乳剤の濡れ性を示す正面図及び部分拡大図。
【図１３】スクリーンメッシュに異物が付着した状態を示す正面図。
【符号の説明】
【００５９】
Ｐ…プラズマ
Ｐａ…プラズマ被膜
１Ｂ…金属メッシュ製スクリーン
１…金属メッシュ
２…線材
３…枠体
４…プラズマ処理装置
５…乳剤
６Ａ…被膜
６…開口部
７…転写物
８…転写基材
８ａ…導電部
８ｂ…電子部品
８ｃ…導電体
８ｄ…絶縁材
９…ロータリー印刷装置
１０Ａ…プラズマ照射装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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