(57)【要約】【課題】レーザ出力指令が変更された場合に、ガス圧の経時変動幅を小さくすることができるガスレーザ装置及びレーザガスの圧力制御方法を提供する。【解決手段】時刻Ｔ１においてレーザ出力指令値を増加させた後、所定の待機時間Ｔｗだけ目標ガス圧はＰ０のまま一定に保ち、待機時間Ｔｗが経過した時刻Ｔ１ａから所定の第１の移行時間Ｔｔ１に亘って目標ガス圧を徐々に目標値Ｐ０′まで増加させ、移行時間Ｔｔ１経過後の時刻Ｔ１ｂからは目標ガス圧をＰ０′に保っている。次に、時刻Ｔ２においてレーザ出力指令値を減少させた後は、所定の第２の移行時間Ｔｔ２に亘って目標ガス圧を徐々に目標値Ｐ０まで減少させ、移行時間Ｔｔ２経過後の時刻Ｔ２ｂからは再び目標ガス圧をＰ０に保っている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザガスを使用するレーザ発振器と、該レーザ発振器に電力を供給するレーザ電源と、前記レーザ発振器内のレーザガス圧力を調節するガス圧調節手段と、前記レーザ発振器内のレーザガス圧力を測定するガス圧測定器と、レーザ出力指令を受けて前記レーザ発振器、前記レーザ電源及び前記ガス圧調節手段を制御する制御装置とを備えたガスレーザ装置において、
前記制御装置は、
前記レーザ出力指令に応じて前記レーザガスの目標ガス圧を設定するとともに、前記レーザ出力指令の変更に応じて前記目標ガス圧を変更するガス圧設定部と、
前記ガス圧測定器により測定された測定ガス圧と前記目標ガス圧との関係に従って前記ガス圧調節手段を制御して前記レーザ発振器内のレーザガス圧力を調節するガス圧調節部と、を有し、
前記ガス圧設定部は、前記レーザ出力指令の変更後に、所定の移行時間に亘って目標ガス圧を徐々に変化させることを特徴とする、
ガスレーザ装置。
【請求項２】
前記ガス圧設定部は、前記レーザ出力指令が変更されたときから所定の待機時間が経過するまではレーザガスの目標ガス圧を一定に保持する、請求項１に記載のガスレーザ装置。
【請求項３】
前記ガス圧調節部は、前記レーザ出力指令が変更されたときから所定の移行時間が経過するまでの間と、前記目標ガス圧が一定である間とで異なるＰＩＤ定数に基づいて前記ガス圧調節手段を制御する、請求項１又は２に記載のガスレーザ装置。
【請求項４】
レーザガスを使用するレーザ発振器と、該レーザ発振器に電力を供給するレーザ電源と、前記レーザ発振器内のレーザガス圧力を調節するガス圧調節手段と、前記レーザ発振器内のレーザガス圧力を測定するガス圧測定器と、レーザ出力指令を受けて前記レーザ発振器、前記レーザ電源及び前記ガス圧調節手段を制御する制御装置とを備えたガスレーザ装置において、
前記制御装置は、
前記レーザ出力指令に応じて前記レーザガスの目標ガス圧を設定するとともに、前記レーザ出力指令の変更に応じて前記目標ガス圧を変更するガス圧設定部と、
前記ガス圧測定器により測定された測定ガス圧と前記目標ガス圧との関係に従って前記ガス圧調節手段を制御して前記レーザ発振器内のレーザガス圧力を調節するガス圧調節部と、
前記レーザ出力指令値が変更されたときから所定の待機時間が経過するまではレーザガスの圧力制御を中断する制御中断部と、を有することを特徴とする、ガスレーザ装置。
【請求項５】
レーザガスを使用するレーザ発振器と、該レーザ発振器に電力を供給するレーザ電源と、前記レーザ発振器内のレーザガス圧力を調節するガス圧調節手段と、前記レーザ発振器内のレーザガス圧力を測定するガス圧測定器と、レーザ出力指令を受けて前記レーザ発振器、前記レーザ電源及び前記ガス圧調節手段を制御する制御装置とを備えたガスレーザ装置におけるレーザガスの圧力制御方法であって、
前記レーザ出力指令に応じて前記レーザガスの目標ガス圧を設定するとともに、前記レーザ出力指令の変更に応じて前記目標ガス圧を変更するステップと、
前記ガス圧測定器により測定された測定ガス圧と前記目標ガス圧との関係に従って前記ガス圧調節手段を制御して前記レーザ発振器内のレーザガス圧力を調節するステップと、
前記レーザ出力指令の変更後に、所定の移行時間に亘って目標ガス圧を徐々に変化させるステップとを含むことを特徴とする、
レーザガスの圧力制御方法。
【請求項６】
前記レーザ出力指令が変更されたときから所定の待機時間が経過するまではレーザガスの目標ガス圧を一定に保持するステップをさらに含む、請求項５に記載のレーザガスの圧力制御方法。
【請求項７】
前記ガス圧調節手段を、前記レーザ出力指令が変更されたときから所定の移行時間が経過するまでの間と、前記目標ガス圧が一定である間とで異なるＰＩＤ定数に基づいて制御するステップをさらに含む、請求項５又は６に記載のレーザガスの圧力制御方法。
【請求項８】
レーザガスを使用するレーザ発振器と、該レーザ発振器に電力を供給するレーザ電源と、前記レーザ発振器内のレーザガス圧力を調節するガス圧調節手段と、前記レーザ発振器内のレーザガス圧力を測定するガス圧測定器と、レーザ出力指令を受けて前記レーザ発振器、前記レーザ電源及び前記ガス圧調節手段を制御する制御装置とを備えたガスレーザ装置におけるレーザガスの圧力制御方法であって、
前記レーザ出力指令に応じて前記レーザガスの目標ガス圧を設定するとともに、前記レーザ出力指令の変更に応じて前記目標ガス圧を変更するステップと、
前記ガス圧測定器により測定された測定ガス圧と前記目標ガス圧との関係に従って前記ガス圧調節手段を制御して前記レーザ発振器内のレーザガス圧力を調節するステップと、
前記レーザ出力指令値が変更されたときから所定の待機時間が経過するまではレーザガスの圧力制御を中断するステップとを含むことを特徴とする、
レーザガスの圧力制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガスを励起媒体として使用するガスレーザ装置、及び該ガスレーザ装置におけるレーザガスの圧力制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のガスレーザ装置においては、一般的に装置内のレーザガスはレーザ出力の大小に関係なく一定に制御される。ここで、例えばレーザガスを循環させて使用するガスレーザ発振器においてレーザ出力指令値を増加又は減少させると、レーザ電源からの供給電力の増減によってレーザガスの熱膨張又は熱収縮が発生する。この熱膨張又は熱収縮による圧力変動を緩和すべく、一般に、ガスレーザ装置に設けられたレーザガスの供給装置及び排出装置によってレーザガスの圧力制御が行われる。
【０００３】
図４は、従来のガスレーザ装置において、目標ガス圧（破線）が一定値Ｐ０である場合に、レーザ出力の増加及び減少を指令したときのレーザ発振器内の実際のガス圧（実線）の典型的な経時変化を示す図である。同図に示すように、時刻Ｔ１においてレーザ出力指令値を増加させた直後から、レーザガスの熱膨張により発振器内のガス圧は圧力Ｐ１まで増加するが、上記圧力制御により、時間の経過に伴い一定値の目標ガス圧に近づいていく。また、時刻Ｔ２においてレーザ出力指令値を減少させた直後から、レーザガスの熱収縮により発振器内ガス圧は圧力Ｐ２まで減少するが、上記圧力制御により同様に、時間の経過に伴い一定値の目標ガス圧に近づいていく。いずれの指令が出された場合も、所定時間経過後は、発振器内ガス圧は一定の目標ガス圧Ｐ０に等しくなる。
【０００４】
しかし、レーザガスの圧力変動はビーム性能に少なからず依存するので、図４に示すような圧力変動はレーザ性能を不安定にする要因となり得る。そこでレーザガス圧力の変動を狭い範囲内に維持するために、例えば特許文献１は、レーザ出力調節装置をレーザガス圧力の制御装置に作用連結したガスレーザ装置を開示している。このガスレーザ装置は、所定のレーザ出力のときに経験によって予想されるガス圧力実際値を目標値又は目標値範囲とし、ガス圧制御を行うことにより、一定のレーザ運転を保証できるとされている。
【０００５】
【特許文献１】特開平７−１４７４４０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし特許文献１にはガス圧の目標値に対する具体的制御方法が記載されておらず、故に単純にレーザガスの出力指令の変化に合わせて目標値を変化させると、ガス圧が制御目標値を大きく超えてしまう現象が発生する場合がある。すなわち、例えば図５に示すように、レーザガスの出力指令が時刻Ｔ１及びＴ２において変更される場合に、目標ガス圧も同じく時刻Ｔ１及びＴ２に設定変更した場合の目標ガス圧は、破線で示すような矩形状となり、具体的にはレーザ出力指令値が高い時刻Ｔ１からＴ２の間は目標ガス圧もＰ０より高いＰ０′に設定される。
【０００７】
一般に、レーザ電源からの供給電力増によるレーザガス熱膨張の影響を圧力センサ等が感知するまでには一定の時間（遅延時間）がかかる。従って図５において、時刻Ｔ１においてレーザ出力指令値を増加させた瞬間から目標ガス圧をＰ０からＰ０′に高めた場合、時刻Ｔ１′においてガス圧が目標値Ｐ０′に達した以降も、ガス圧を増加させる制御が続けられることになる。このような望ましくない制御が行われる結果、時刻Ｔ１′以降一時的に実際のガス圧が目標ガス圧を大きく超える時間帯が生じる。具体的には、図５において発振器内ガス圧の最高値は、図４のＰ１をさらに超えてＰ１′まで達するいわゆるオーバーシュートが生じる。
【０００８】
またレーザ出力指令値が減少する時刻Ｔ２以降も同様のことが言え、時刻Ｔ２′においてガス圧が目標値Ｐ０に達した以降も、ガス圧を減少させる制御が続けられる。従って時刻Ｔ２′以降一時的に実際のガス圧が目標ガス圧を下回る時間帯が生じる。具体的には、図５において発振器内ガス圧の最低値は、図４のＰ２よりは高い値であるものの、目標値Ｐ０よりは低いＰ２′まで低下するいわゆるアンダーシュートが生じる。
【０００９】
一般に、レーザビームの出力やビーム形状、ビーム品質等のビーム性能は、ガス圧に依存するので、ガス圧の経時変動が大きいほど、ビーム性能の経時変動は大きくなり、例えばレーザ加工性能の悪化に繋がる。従って図５においてガス圧がＰ１′やＰ２′になることは好ましくない。
【００１０】
そこで本発明は、レーザ出力指令が変更された場合に、ガス圧の経時変動幅をより小さくすることができるガスレーザ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、レーザガスを使用するレーザ発振器と、該レーザ発振器に電力を供給するレーザ電源と、前記レーザ発振器内のレーザガス圧力を調節するガス圧調節手段と、前記レーザ発振器内のレーザガス圧力を測定するガス圧測定器と、レーザ出力指令を受けて前記レーザ発振器、前記レーザ電源及び前記ガス圧調節手段を制御する制御装置とを備えたガスレーザ装置において、前記制御装置は、前記レーザ出力指令に応じて前記レーザガスの目標ガス圧を設定するとともに、前記レーザ出力指令の変更に応じて前記目標ガス圧を変更するガス圧設定部と、前記ガス圧測定器により測定された測定ガス圧と前記目標ガス圧との関係に従って前記ガス圧調節手段を制御して前記レーザ発振器内のレーザガス圧力を調節するガス圧調節部と、を有し、前記ガス圧設定部は、前記レーザ出力指令の変更後に、所定の移行時間に亘って目標ガス圧を徐々に変化させることを特徴とする、ガスレーザ装置を提供する。
【００１２】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のガスレーザ装置において、前記ガス圧設定部は、前記レーザ出力指令が変更されたときから所定の待機時間が経過するまではレーザガスの目標ガス圧を一定に保持する、ガスレーザ装置を提供する。
【００１３】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載のガスレーザ装置において、前記制御装置は、前記レーザ出力指令値の変更後から所定の待機時間が経過するまではレーザガスの圧力制御を中断する制御中断部をさらに有する、ガスレーザ装置を提供する。
【００１４】
請求項４に記載の発明は、レーザガスを使用するレーザ発振器と、該レーザ発振器に電力を供給するレーザ電源と、前記レーザ発振器内のレーザガス圧力を調節するガス圧調節手段と、前記レーザ発振器内のレーザガス圧力を測定するガス圧測定器と、レーザ出力指令を受けて前記レーザ発振器、前記レーザ電源及び前記ガス圧調節手段を制御する制御装置とを備えたガスレーザ装置において、前記制御装置は、前記レーザ出力指令に応じて前記レーザガスの目標ガス圧を設定するとともに、前記レーザ出力指令の変更に応じて前記目標ガス圧を変更するガス圧設定部と、前記ガス圧測定器により測定された測定ガス圧と前記目標ガス圧との関係に従って前記ガス圧調節手段を制御して前記レーザ発振器内のレーザガス圧力を調節するガス圧調節部と、前記レーザ出力指令値が変更されたときから所定の待機時間が経過するまではレーザガスの圧力制御を中断する制御中断部と、を有することを特徴とする、ガスレーザ装置を提供する。
【００１５】
請求項５に記載の発明は、レーザガスを使用するレーザ発振器と、該レーザ発振器に電力を供給するレーザ電源と、前記レーザ発振器内のレーザガス圧力を調節するガス圧調節手段と、前記レーザ発振器内のレーザガス圧力を測定するガス圧測定器と、レーザ出力指令を受けて前記レーザ発振器、前記レーザ電源及び前記ガス圧調節手段を制御する制御装置とを備えたガスレーザ装置におけるレーザガスの圧力制御方法であって、前記レーザ出力指令に応じて前記レーザガスの目標ガス圧を設定するとともに、前記レーザ出力指令の変更に応じて前記目標ガス圧を変更するステップと、前記ガス圧測定器により測定された測定ガス圧と前記目標ガス圧との関係に従って前記ガス圧調節手段を制御して前記レーザ発振器内のレーザガス圧力を調節するステップと、前記レーザ出力指令の変更後に、所定の移行時間に亘って目標ガス圧を徐々に変化させるステップとを含むことを特徴とする、レーザガスの圧力制御方法を提供する。
【００１６】
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載のレーザガスの圧力制御方法において、前記レーザ出力指令が変更されたときから所定の待機時間が経過するまではレーザガスの目標ガス圧を一定に保持するステップをさらに含む、レーザガスの圧力制御方法を提供する。
【００１７】
請求項７に記載の発明は、請求項５又は６に記載のレーザガスの圧力制御方法において、前記ガス圧調節手段を、前記レーザ出力指令が変更されたときから所定の移行時間が経過するまでの間と、前記目標ガス圧が一定である間とで異なるＰＩＤ定数に基づいて制御するステップをさらに含む、レーザガスの圧力制御方法を提供する。
【００１８】
請求項８に記載の発明は、レーザガスを使用するレーザ発振器と、該レーザ発振器に電力を供給するレーザ電源と、前記レーザ発振器内のレーザガス圧力を調節するガス圧調節手段と、前記レーザ発振器内のレーザガス圧力を測定するガス圧測定器と、レーザ出力指令を受けて前記レーザ発振器、前記レーザ電源及び前記ガス圧調節手段を制御する制御装置とを備えたガスレーザ装置におけるレーザガスの圧力制御方法であって、前記レーザ出力指令に応じて前記レーザガスの目標ガス圧を設定するとともに、前記レーザ出力指令の変更に応じて前記目標ガス圧を変更するステップと、前記ガス圧測定器により測定された測定ガス圧と前記目標ガス圧との関係に従って前記ガス圧調節手段を制御して前記レーザ発振器内のレーザガス圧力を調節するステップと、前記レーザ出力指令値が変更されたときから所定の待機時間が経過するまではレーザガスの圧力制御を中断するステップとを含むことを特徴とする、レーザガスの圧力制御方法を提供する。
【発明の効果】
【００１９】
本発明に係るガスレーザ装置及びレーザガスの圧力制御方法によれば、レーザ出力指令が変更された後に目標ガス圧を不連続に変更せずに徐々に増減させることにより、望ましくない過剰制御の発生を抑え、ガス圧の経時変動幅を小さくすることができる。一般に、レーザビームの出力やビーム形状、ビーム品質等のビーム性能はガス圧に依存するので、ガス圧の経時変動が小さくなると、前記ビーム性能の経時変動も小さくなる。従ってレーザ加工等の種々の用途に対して、安定した性能のレーザを提供することができる。
【００２０】
さらに、レーザ出力指令の変更後から所定の待機時間が経過するまではレーザガスの目標ガス圧を一定に保持することにより、レーザ出力指令変更後の経時変動をさらに抑制することができる。
【００２１】
レーザ発振器内のレーザガス圧力を制御するＰＩＤ定数を、レーザ出力指令が変更されたときから所定の移行時間が経過するまでの間と、目標ガス圧が一定である間とで使い分けることにより、それぞれの時間帯に適したガス圧制御がなされ、より経時変動の少ない制御が可能となる。
【００２２】
また、レーザ出力指令が変更された後に目標ガス圧を徐々に増減させる代わりに、レーザ出力指令が変更されてから所定の待機時間が経過するまではレーザガスの圧力制御を中断することによっても、レーザ出力指令変更後の経時変動を抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
図１は、本発明に係るガスレーザ装置（以降、単にレーザ装置と称する）１０の基本構成を機能ブロック図である。なお、図示例ではレーザ装置１０はガス循環式のガスレーザ装置であるが、ガスを循環させないガス密封式のガスレーザにも本発明は適用可能である。
【００２４】
レーザ装置１０は、出力鏡１２、リア鏡１４及び出力鏡１２とリア鏡１４との間に挟まれて配置される放電管１６を含むレーザ発振器１８と、放電管１６に連通するガス流路２０と、放電管１６に電力供給するレーザ電源２２とを有する。炭酸ガス、窒素ガス、アルゴンガス等のレーザ媒体を含んだレーザ発振用の媒質ガス（以下、レーザガスと称する）は、レーザガス供給装置２４によりガス流路２０内に供給され、レーザガス排出装置２６により機外に排出される。レーザガス供給装置２４及び排出装置２６は協働してレーザ発振器内のガス圧調節手段として機能する。ガス流路２０内のレーザガスは、流路２０内に設けられた送風機２８より送出され、第１熱交換器３０により冷却される。ここで、第１熱交換器３０及び後述する第２熱交換器３２は、例えば、レーザガスと冷却水との間で熱交換を行う熱交換器である。ガス流路２０内のレーザガスは、放電管１６内に導かれる。この放電管１６を通過中に、レーザガスは励起されてレーザ活性状態となる。レーザ電源２２より電力供給された放電管１６はレーザガスに放電する励起部として作用するが、あるいは光又は化学反応による励起方式のものであってもよい。
【００２５】
放電管１６より生じた光は出力鏡１２とリア鏡１４との間で増幅され、レーザ発振し、レーザ光が発生する。出力鏡１２は部分透過鏡であり、出力鏡１２を透過したレーザ光は出力レーザ光３４となって出力される。放電管１６を通過したレーザガスは、第２熱交換器３２で冷却され、送風機２８に戻る。
【００２６】
レーザ発振器１８内のガス圧は、ガス圧測定器３６により測定される。ガス圧測定器３６、上述のレーザ電源２２、レーザガス供給装置２４及び排出装置２６は、制御装置３８により制御される。制御装置３８は、ガス圧測定器３６等の各種センサの情報を収集し、プログラムによってレーザ電源２２の動作を制御する機能を有する。また制御装置３８は、後述するガス圧目標値設定を行うガス圧設定部４０と、ガス圧測定器３６による測定値とガス圧設定部４０による目標値との関係に従ってレーザガス圧を調節するガス圧調節部４２と、所定の間ガス圧制御を中断する制御中断部４４とを有する。具体的にはガス圧調節部４２は、レーザガス供給装置２４及び排出装置２６を制御してガス圧の調節を行う。
【００２７】
ここまで説明したガスレーザ発振装置の基本的構成は、従来と同様でよい。また、送風機及び熱交換器は必須の要素ではない。
【００２８】
図２は、レーザ装置１０のレーザ発振器１８内の実際のガス圧及び目標ガス圧の経時変化を示すグラフである。図２の例では、時刻Ｔ１以前及びＴ２以降は低めのレーザ出力とし、時刻Ｔ１からＴ２の間は高めのレーザ出力とするレーザ出力指令が出されるものとし、また時刻Ｔ１以前及びＴ２以降はガス圧を低めの値Ｐ０に維持し、時刻Ｔ１からＴ２の間はガス圧を高めの値Ｐ０′に維持する制御を行うものとする。
【００２９】
目標ガス圧の設定について説明する。先ず時刻Ｔ１においてレーザ出力指令値を増加させた後、所定の待機時間Ｔｗだけ目標ガス圧（破線）はＰ０のまま一定に保ち、待機時間Ｔｗが経過した時刻Ｔ１ａから所定の第１の移行時間Ｔｔ１に亘って目標ガス圧を徐々に目標値Ｐ０′まで増加させ、移行時間Ｔｔ１経過後の時刻Ｔ１ｂからは目標ガス圧をＰ０′に保っている。次に、時刻Ｔ２においてレーザ出力指令値を減少させた後は、所定の第２の移行時間Ｔｔ２に亘って目標ガス圧を徐々に目標値Ｐ０まで減少させ、移行時間Ｔｔ２経過後の時刻Ｔ２ｂからは再び目標ガス圧をＰ０に保っている。なお図示例では第１の移行時間Ｔｔ１の間は直線（一次関数）的に目標ガス圧を変化させているが、実際のガス圧変化に応じて二次以上の関数等に基づいて変化させることも可能である。
【００３０】
時刻Ｔ１からＴ２の間の目標ガス圧Ｐ０′は、時刻Ｔ１以降のガス圧変動と、時刻Ｔ２以降のガス圧変動との双方を考慮した最適値に設定される。レーザ出力指令値が一定である間はガス圧も一定であることが理想的であるので、時刻Ｔ１付近にのみ着目すれば、Ｐ０′はレーザ出力電力供給による熱膨張によって一時的に達し得るＰｂ１に等しくすることも考えられる。しかしＰ０′をＰ０に対して高くし過ぎると、レーザ出力指令値が下げられた場合において図５にて説明したようなアンダーシュートが生じる虞があり、また一般にガスレーザにおいては低ガス圧でのガス圧変動の方が好ましくない。従ってＰ０での変動（アンダーシュート）を確実に防止できるとともに、オーバーシュートをレーザ性能等の観点から許容できる範囲内に抑制できるような値にＰ０′は設定されることが好ましい。
【００３１】
またオーバーシュートを低減するという点のみから言えば、上記待機時間Ｔｗや第１の移行時間Ｔｔ１は長い方が好ましいが、上述のようにレーザ出力指令が一定の間はガス圧も一定であることが望まれる。従ってＴｗ及びＴｔ１にはそれぞれ最適な範囲があり、例えば許容できる変動幅（オーバーシュート量）とガス圧が一定となる時間との兼ね合いから設定される。
【００３２】
上述のようなガス圧制御により、時刻Ｔ１以降のオーバーシュートを図５に示すＰ１′よりも低いＰａ１に抑制できるとともに、時刻Ｔ２以降のアンダーシュートを実質排除することができる。なお必要であれば、時刻Ｔ１付近と同様に、時刻Ｔ２から直ちに移行時間Ｔｔ２を設けず、所定の待機時間を設定してもよい。
【００３３】
図２に示すようなガス圧調節は、通常はＰＩＤ制御によって行われる。ここでＰＩＤ定数を、時間帯によって異なる値に設定することにより、より好ましい制御を行うことができる。具体的には、レーザ出力指令値を増加させた直後から第１の移行時間が経過するまで（時刻Ｔ１〜Ｔ１ｂ）と、目標ガス圧がＰ０′に一定である間（時刻Ｔ１ｂ〜Ｔ２）と、レーザ出力指令値を減少させた直後から第２の移行時間が経過するまで（時刻Ｔ２〜Ｔ２ｂ）とで、それぞれの時間帯に適したＰＩＤ定数を使い分けることにより、ガス圧の変動幅をさらに低減することができる。
【００３４】
図３は、本発明の第２の実施形態に係るレーザ装置１０のレーザ発振器１８内の実際のガス圧及び目標ガス圧の経時変化を示すグラフである。ここでは、時間Ｔ１からＴｂ１の間と、Ｔ２からＴｂ２までの間では、ガス圧制御が中断される。この場合、制御を行っていない間のガス圧は成り行きとなるが、図５のように積極的にガス圧を上昇させる制御は行われないので、図５と比較すれば時刻Ｔ１後のオーバーシュートをＰ１′より低いＰｂ１に抑制可能であり、また同様に、時刻Ｔ２後のアンダーシュートも抑制することができる。この場合も、制御を行わない時間の長さをどの程度に設定するかは、図２の場合と同様に許容できる変動幅とガス圧が一定となる時間との兼ね合いから設定可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明に係るレーザ発振装置の基本構成を示す機能ブロック図である。
【図２】本発明の第１の実施例に係るレーザ装置のレーザ発振器内の実際のガス圧及び目標ガス圧の経時変化を示すグラフである。
【図３】本発明の第２の実施例に係るレーザ装置のレーザ発振器内の実際のガス圧及び目標ガス圧の経時変化を示すグラフである。
【図４】従来技術に基づいて目標ガス圧が一定の場合にレーザ発振器内のガス圧制御を行った場合の実際のガス圧の経時変化を示すグラフである。
【図５】従来技術に基づいて目標ガス圧をレーザ出力指令値の変更と同時に変化させた場合の実際のガス圧の経時変化を示すグラフである。
【符号の説明】
【００３６】
１０    ガスレーザ装置
１２    出力鏡
１４    リア鏡
１６    放電管
１８    レーザ発振器
２０    ガス流路
２２    レーザ電源
２４    レーザガス供給装置
２６    レーザガス排出装置
２８    送風機
３０、３２    熱交換器
３４    レーザ光
３６    ガス圧測定器
３８    制御装置
４０    ガス圧設定部
４２    ガス圧調節部
４４    制御中断部
【図１】
2008270291.tif 000003
【図２】
2008270291.tif 000004
【図３】
2008270291.tif 000005
【図４】
2008270291.tif 000006
【図５】
2008270291.tif 000007