(57)【要約】【課題】封止済基板１を切断して形成された個々のパッケージ（ワーク）４を効率良く搬送し得て製品（ワーク４）の生産性を効率良く向上させる。【解決手段】３種の直径の異なる同軸駆動プーリー１１・１２・１３を回転駆動機構１４にて所要の移動角度にて回転駆動させることにより、駆動プーリー１１・１２・１３と従動プーリー１６・１７・１８とに各別に平行掛けした走行ベルト１９・２０・２１を所要の移動距離にて移動させることにより、往路走行側ベルトに固着したパッケージの移動係着部材２４ａ・２５ａ・２６ａと復路走行側ベルトに固着したパッケージの移動係着部材２４ｂ・２５ｂ・２６ｂと移動させることにより、これらの移動係着部材の間に設けたパッケージの固定係着部材２３を中心として当該移動係着部材の間隔を広げてパッケージ４を搬送する。【選択図】図３
2008186981.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークの搬送装置を用いて、異なるワーク間隔を有するセット部の間で前記した搬送装置に設けた係着部材にてワークを搬送前セット部から各別に係着して搬送後セット部に搬送するワークの搬送方法であって、
前記した係着部材に係着したワークを搬送する時、前記したワークを係着した係着部材の搬送装置における位置を搬送後セット部のワーク間隔に対応した状態で、前記したワークを搬送することを特徴とするワークの搬送方法。
【請求項２】
ワークの搬送装置を用いて、搬送前の収容セット部のワーク間隔と搬送後の収容セット部のワーク間隔とが異なる収容セット部の間で、前記した搬送装置に設けた係着部材にてワークを搬送前セット部から各別に係着して搬送後セット部に搬送するワークの搬送方法であって、
前記したワークを係着する係着部材を設けたワークの搬送装置に、駆動プーリーと、前記した駆動プーリーに所要の軸間距離にて設けた従動プーリーと、前記した駆動プーリーと従動プーリーとに平行掛けする走行ベルトと、前記した駆動プーリーを回転駆動する回転駆動機構とを設ける工程と、
前記した係着部材を、前記した走行ベルトの往路走行側における従動プーリー側に、及び／又は、前記した走行ベルトの復路走行側における駆動プーリー側に、固着して設けて構成する工程と、
前記した搬送装置における係着部材に前記した搬送前の収容セット部のワークを係着する工程と、
前記した搬送装置における回転駆動機構にて駆動プーリーを所要の移動角度にて回転駆動して走行ベルトを所要の移動距離にて走行させる工程と、
前記した走行ベルトの走行時に、前記したワークを係着した係着部材の搬送装置における位置を搬送後の収容セット部のワーク間隔に対応して移動させる工程とを含むことを特徴とするワークの搬送方法。
【請求項３】
ワークを係着する係着部材を備えたワークの搬送装置であって、前記した係着部材を移動させる係着部材の移動手段として、前記した係着部材を固着する走行ベルトと、前記した走行ベルトを走行する駆動プーリーと、前記した駆動プーリーに所要の軸間距離にて設けた従動プーリーと、前記した駆動プーリーを回転駆動する回転駆動機構とを備え、且つ、前記した駆動プーリーと従動プーリーとに走行ベルトを平行掛けすると共に、前記した走行ベルトの往路走行側における従動プーリー側に前記した係着部材を設け、且つ、前記した走行ベルトの復路走行側における駆動プーリー側に前記した係着部材を設けて構成したことを特徴とするワークの搬送装置。
【請求項４】
係着部材の移動手段を所要複数組、設けて構成したことを特徴とする請求項３に記載のワークの搬送装置。
【請求項５】
走行ベルトの往路走行側における従動プーリー側に設けたワークの係着部材と、前記した走行ベルトの復路走行側における駆動プーリー側に設けたワークの係着部材との間に、前記したワークを係着する固定移動部材を設けて構成したことを特徴とする請求項３に記載のワークの搬送装置。
【請求項６】
移動する係着部材を案内する案内部材を設けたことを特徴とする請求項３に記載のワークの搬送装置。
【請求項７】
走行ベルトの所要個所に、往路走行側ベルトと復路走行側ベルトとを平行状態に規制する規制ローラを設けて構成したことを特徴とする請求項３に記載のワークの搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に装着した所要複数個の電子部品を一括して封止成形した封止済基板の所要個所を切断して形成したパッケージ（ワーク）を係着して搬送するワークの搬送方法及び搬送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、基板に装着した所要複数個の電子部品を一括して封止成形した封止済基板の所要個所を切断して形成されたパッケージを、パッケージの搬送機構（本発明に係るワークの搬送装置）にて係着して搬送することが行われているが、次のようにして行われている。
【０００３】
即ち、まず、基板の切断装置において、切断用回転テーブル（切断テーブル）に固定した封止済基板をブレードにて切断することによって個々のパッケージを形成し、次に、これらパッケージを洗浄乾燥して載置用回転テーブル（載置テーブル）に載置する。
従って、次に、搬送機構（搬送装置）を用いて、前記した載置テーブルから収容トレイにパッケージを一個ずつ各別に搬送して収容することが行われている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−１６８６９７号（第３頁第４欄第１５−１７行目及び図４を参照）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、前記した基板の切断装置において、前記した載置テーブル（パッケージ搬送前の収容セット部）上に載置されたパッケージについて、そのパッケージ配置による間隔（パッケージ間隔）は、基本的には、封止済基板のパッケージ配置による間隔（或いは、切断テーブル上のパッケージ配置による間隔）と同じであるのが通例である。
即ち、前記した載置テーブル上のパッケージ間隔（パッケージの中心位置から隣のパッケージの中心位置までの距離）は、封止済基板を切断した時と同じ間隔であって狭いパッケージ間隔となっている。
また、前記したパッケージを収容する収容トレイ（パッケージ搬送後の収容セット部）には仕切壁が形成されると共に、この仕切壁にてパッケージを収容するパッケージ収容部（ポケット）が形成されているため、前記した載置テーブルにおける狭いパッケージ間隔に比べて、この仕切壁の幅の大きさによって収容トレイにおけるパッケージ間隔（即ち、パッケージ収容部の間隔）が広い（大きい）のが通例である。
従って、前述したように、従来の搬送機構（搬送装置）を用いて、異なるパッケージ間隔を有する収容セット部の間に、即ち、狭いパッケージ間隔を有する載置テーブルから広いパッケージ間隔を有する収容トレイにパッケージを一個ずつ各別に搬送して収容することが行われている。
【０００６】
しかしながら、前述したように、前記した載置テーブルから収容トレイに搬送機構（搬送装置）を用いて一個ずつ各別に搬送して収容するために、前記した搬送機構（搬送装置）にてパッケージを効率良く搬送することができないと云う弊害がある。
また、前記した搬送機構（搬送装置）を用いて、パッケージを効率良く搬送することができないために、製品（パッケージ）を効率良く生産することができず、製品（ワーク）の生産性を効率良く向上させることができないと云う弊害がある。
【０００７】
従って、本発明は、ワーク（パッケージ）を効率良く搬送することができるワークの搬送方法及び搬送装置を提供することを目的とするものである。
また、本発明は、製品（ワーク）の生産性を効率良く向上させることができるワークの搬送方法及び搬送装置を提供することを目的とするものである。
【０００８】
また、本発明は、ワーク（パッケージ）を効率良く搬送することができる基板の切断方法及び切断装置を提供することを目的とするものである。
また、本発明は、製品（ワーク）の生産性を効率良く向上させることができるワークの切断方法及び切断装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記した技術的課題を解決するための本発明に係るワークの搬送方法は、ワークの搬送装置を用いて、異なるワーク間隔を有するセット部の間で前記した搬送装置に設けた係着部材にてワークを搬送前セット部から各別に係着して搬送後セット部に搬送するワークの搬送方法であって、前記した係着部材に係着したワークを搬送する時、前記したワークを係着した係着部材の搬送装置における位置を搬送後セット部のワーク間隔に対応した状態で、前記したワークを搬送することを特徴とする。
【００１０】
また、前記技術的課題を解決するための本発明に係るワークの搬送方法は、ワークの搬送装置を用いて、搬送前の収容セット部のワーク間隔と搬送後の収容セット部のワーク間隔とが異なる収容セット部の間で、前記した搬送装置に設けた係着部材にてワークを搬送前セット部から各別に係着して搬送後セット部に搬送するワークの搬送方法であって、前記したワークを係着する係着部材を設けたワークの搬送装置に、駆動プーリーと、前記した駆動プーリーに所要の軸間距離にて設けた従動プーリーと、前記した駆動プーリーと従動プーリーとに平行掛けする走行ベルトと、前記した駆動プーリーを回転駆動する回転駆動機構とを設ける工程と、前記した係着部材を、前記した走行ベルトの往路走行側における従動プーリー側に、及び／又は、前記した走行ベルトの復路走行側における駆動プーリー側に、固着して設けて構成する工程と、前記した搬送装置における係着部材に前記した搬送前の収容セット部のワークを係着する工程と、前記した搬送装置における回転駆動機構にて駆動プーリーを所要の移動角度にて回転駆動して走行ベルトを所要の移動距離にて走行させる工程と、前記した走行ベルトの走行時に、前記したワークを係着した係着部材の搬送装置における位置を搬送後の収容セット部のワーク間隔に対応して移動させる工程とを含むことを特徴とする。
【００１１】
また、前記した技術的課題を解決するための本発明に係るワークの搬送装置は、ワークを係着する係着部材を備えたワークの搬送装置であって、前記した係着部材を移動させる係着部材の移動手段として、前記した係着部材を固着する走行ベルトと、前記した走行ベルトを走行する駆動プーリーと、前記した駆動プーリーに所要の軸間距離にて設けた従動プーリーと、前記した駆動プーリーを回転駆動する回転駆動機構とを備え、且つ、前記した駆動プーリーと従動プーリーとに走行ベルトを平行掛けすると共に、前記した走行ベルトの往路走行側における従動プーリー側に前記した係着部材を設け、且つ、前記した走行ベルトの復路走行側における駆動プーリー側に前記した係着部材を設けて構成したことを特徴とする。
【００１２】
また、前記した技術的課題を解決するための本発明に係るワークの搬送装置は、前記した係着部材の移動手段を所要複数組、設けて構成したことを特徴とする。
【００１３】
また、前記した技術的課題を解決するための本発明に係るワークの搬送装置は、前記した走行ベルトの往路走行側における従動プーリー側に設けたワークの係着部材と、前記した走行ベルトの復路走行側における駆動プーリー側に設けたワークの係着部材との間に、前記したワークを係着する固定移動部材を設けて構成したことを特徴とする。
【００１４】
また、前記した技術的課題を解決するための本発明に係るワークの搬送装置は、前記した移動する係着部材を案内する案内部材を設けたことを特徴とする。
【００１５】
また、前記した技術的課題を解決するための本発明に係るワークの搬送装置は、前記した走行ベルトの所要個所に、往路走行側ベルトと復路走行側ベルトとを平行状態に規制する規制ローラを設けて構成したことを特徴とする。
【００１６】
また、前記した技術的課題を解決するための本発明に係る基板の切断方法は、基板の切断装置を用いて、封止済基板を切断して形成した個々のパッケージをパッケージの係着部材にてパッケージを各別に係着して搬送する基板の切断方法であって、前記した係着部材に係着したパッケージを搬送する時、前記したパッケージを係着した係着部材の搬送装置における位置を移動させた状態で、前記したパッケージを搬送することを特徴とする。
【００１７】
また、前記技術的課題を解決するための本発明に係る基板の切断方法は、基板の切断装置を用いて、封止済基板を切断して形成した個々のパッケージをパッケージの係着部材にてパッケージを各別に係着して搬送する基板の切断方法であって、前記したパッケージを係着する係着部材を設けたパッケージの搬送機構に、駆動プーリーと、前記した駆動プーリーに所要の軸間距離にて設けた従動プーリーと、前記した駆動プーリーと従動プーリーとに平行掛けする走行ベルトと、前記した駆動プーリーを回転駆動する回転駆動機構とを設ける工程と、前記した係着部材を、前記した走行ベルトの往路走行側における従動プーリー側に、及び／又は、前記した走行ベルトの復路走行側における駆動プーリー側に、固着して設けて構成する工程と、前記した搬送装置における係着部材にパッケージを係着する工程と、前記した搬送装置における回転駆動機構にて駆動プーリーを所要の移動角度にて回転駆動して走行ベルトを所要の移動距離にて走行させる工程と、前記した搬送装置における回転駆動機構にて駆動プーリーを所要の移動角度にて回転駆動して走行ベルトを所要の移動距離にて走行させる工程と、前記した走行ベルトの走行時に、前記した走行ベルトに固着した係着部材の搬送装置における位置を移動させる工程とを含むことを特徴とする。
【００１８】
また、前記した技術的課題を解決するための本発明に係る基板の切断装置は、封止済基板をパッケージに切断する切断部と、前記したパッケージを搬送する搬送機構と、前記した搬送機構に設けたパッケージを係着する係着部材と、前記した係着部材に係着されたパッケージを収容する収容トレイとを備えた基板の切断装置であって、前記した搬送機構に設けた係着部材を移動させる係着部材の移動手段として、前記した係着部材を固着する走行ベルトと、前記した走行ベルトを走行する駆動プーリーと、前記した駆動プーリーに所要の軸間距離にて設けた従動プーリーと、前記した駆動プーリーを回転駆動する回転駆動機構とを備え、且つ、前記した駆動プーリーと従動プーリーとに走行ベルトを平行掛けすると共に、前記した係着部材を、前記した走行ベルトの往路走行側における従動プーリー側に、及び／又は、前記した走行ベルトの復路走行側における駆動プーリー側に、設けて構成したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、ワーク（パッケージ）を効率良く搬送することができるワークの搬送方法及び搬送装置を提供することができると云う優れた効果を奏する。
また、本発明によれば、製品（ワーク）の生産性を効率良く向上させることができるワークの搬送方法及び搬送装置を提供することができると云う優れた効果を奏する。
【００２０】
また、本発明によれば、ワーク（パッケージ）を効率良く搬送することができる基板の切断方法及び切断装置を提供することができると云う優れた効果を奏する。
また、本発明によれば、製品（ワーク）の生産性を効率良く向上させることができるワークの切断方法及び切断装置を提供することができると云う優れた効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
（基板の切断装置に設けられた搬送機構の概要について）
即ち、図１に示す切断装置において、パッケージ間隔（パッケージの中心位置から隣のパッケージの中心位置までの距離）に関し、当該装置における載置用回転テーブル（或いは、切断用回転テーブル）と収容トレイとを比べると、載置用回転テーブル（パッケージ搬送前の収容セット部）に載置されたパッケージの間隔より収容トレイ（パッケージ搬送後の収容セット部）のパッケージ間隔の方が、その仕切壁のために、パッケージ間隔が大きいのが通例である。
また、図１に示す切断装置において、多連ヘッド式の搬送機構（本発明に係る搬送装置）を用いて個々のパッケージ（ワーク）を載置用回転テーブルから収容トレイに収容する場合、この搬送機構（搬送装置）に設けられたパッケージを係着する係着部材（吸着ヘッド）の間隔（係着部材の中心位置から隣の係着部材の中心位置までの距離）を各別に広げることにより、当該係着部材に係着されたパッケージ間隔を各別に広げて、これらのパッケージを収容トレイに収容することができるように構成されている。
なお、通常、前記した係着部材の中心位置と前記したパッケージの中心位置とは一致して構成されている。
従って、本発明に係る搬送装置（基板における切断装置に設けられた搬送機構）にてパッケージ（ワーク）を効率良く搬送し得て、製品（ワーク）の生産性を効率良く向上させることができるように構成されている。
【００２２】
（パッケージの搬送装置における基本的な構成の概要について）
パッケージの搬送装置における機構の基本は、２個のプーリー（ベルト車）にベルトを平行掛けした巻掛け伝動ベルト方式を利用したものである。
即ち、パッケージ（ワーク）の搬送装置（搬送機構）には、基本的な構成として、駆動プーリーと、この駆動プーリーと所要の軸間距離にて設けられた従動プーリーと、駆動プーリーと従動プーリーとの間に所要の引張力にて平行掛けされたパッケージ移動用の走行ベルト（輪状の移動部材）と、駆動プーリーを回転駆動する回転駆動機構（サーボモータ等）と、パッケージを係着する係着部材（吸着ヘッド）とが設けられて構成されている。
また、前記した回転駆動機構にて駆動プーリーを正回転方向に回転駆動させることにより、前記した走行ベルトを駆動プーリー側から従動プーリー側を回って駆動プーリー側に走行回転することができるように構成されている。
即ち、前記した走行ベルトは、往路走行方向に、即ち、駆動プーリー側から従動プーリー側に走行させ、且つ、復路走行方向に、即ち、従動プーリー側から駆動プーリー側に走行させることにより、前記した駆動プーリーと従動プーリーの間を正方向（順方向）に走行して回るように構成されている。
また、一方の係着部材が走行ベルトの往路走行側における従動プーリー側に固着して設けられ、且つ、他方の係着部材が走行ベルトの復路走行側における駆動プーリー側に固着して設けられると共に、回転駆動機構にて駆動プーリーを正回転方向（順回転方向）に所要の移動角度にて回転させることにより、走行ベルトと係着部材とを一体にして所要の移動距離にて正方向に移動させることができるように構成されている。
即ち、一方の係着部材を従動プーリー側に、他方の係着部材を駆動プーリー側に、各別に移動させることができるように構成されている。
従って、この場合、一方の或いは他方の係着部材を正方向に所要の移動距離にて移動させることができるので、パッケージを係着した係着部材の間隔を広げる（拡開させる）ことができるように構成されている。
また、前記した搬送装置にパッケージを係着する係着部材を固定して設けると共に、この固定係着部材を前記した一方の移動係着部材と他方の移動係着部材との間に設けて構成し、この固定係着部材を中心にして、前記した両係着部材を移動させてその間隔（距離）を所要の間隔に広げる構成を採用することができる。
【００２３】
従って、前述したように、本発明に係る搬送装置のパッケージ（ワーク）搬送時に、パッケージを係着した係着部材の間を所要の間隔に広げることができるので、従来例のように、一個ずつ搬送していた場合に比べて、所要複数個のパッケージを効率良く搬送することができると共に、製品（パッケージ）の生産性を効率良く向上させることができる。
【００２４】
なお、駆動プーリー（回転駆動機構）を逆回転方向に回転させて走行ベルトを逆方向に走行させることにより、移動係着部材の間隔を狭める（縮閉する）ことができるので、係着部材の位置を元の位置に戻すことができる。
従って、駆動プーリー（回転駆動機構）を正逆回転方向に回転させて走行ベルトを正逆方向に走行させることにより、異なるパッケージ間隔を有するパッケージの収容セット部（載置テーブル、収容トレイ）に各別に対応して、即ち、パッケージ搬送前の収容セット部における及びパッケージ搬送後の収容セット部におけるパッケージ間隔に対応して、本発明に係る搬送装置における移動係着部材の位置を移動させることができる。
また、本発明においては、搬送装置の基準位置（固定係着部材の中心位置）Ａから両外側の夫々に、直径の小さな駆動プーリーに対応した（一方或いは他方の）移動係着部材が順に配設して構成されている。
また、本発明において、直径の異なる駆動プーリー（所要複数個）を用いる場合において、これらの駆動プーリーを同じ所要の移動角度で回転させることにより、係着部材（走行ベルト）を駆動プーリーの直径に各別に対応する所要の距離にて夫々移動させることができるように構成されている。
また、本発明によれば、所要複数個の駆動プーリーを一個の回転駆動機構（サーボモータ等）で回転駆動して走行ベルトを走行させることにより、簡素な装置構成にて、多数のパッケージ係着部材を移動させることができるので、多数のパッケージを同時に効率良く搬送することができるものである。
【実施例１】
【００２５】
以下、実施例図に基づいて本発明を詳細に説明する。
図１は、ワーク（パッケージ）の搬送機構（搬送装置）が設けられた基板の切断装置である。
図２（１）は封止済基板を示し、図２（１）はパッケージ（個片）を示し、図２（３）は収容トレイを示している。
図３、図４、図５、図６（１）、図６（２）、図６（３）、図７は、パッケージ（ワーク）の搬送装置（搬送機構）である。
なお、図６（１）、図６（２）、図６（３）は、搬送装置に設けられた駆動プーリーと走行ベルトと係着部材との関係を示している。
また、図５、図７は、走行ベルトと係着部材と係着手段（吸引口）との関係を示している。
【００２６】
（封止済基板とパッケージとについて）
まず、図２（１）〜（３）を用いて、本発明に用いられるパッケージ（ワーク）などについて説明する。
図２（１）には封止済基板１が示されると共に、この封止済基板１は、電子部品の樹脂成形用金型を用いて成形前基板２に装着した所要複数個の電子部品（ＩＣ等）を樹脂材料にて金型キャビティの形状に対応した樹脂成形体３内に一括して封止成形する（一括片面モールドする）ことによって形成されるものである。
また、図２（２）にはパッケージ４（個片）が示されると共に、このパッケージ４は、基板の切断装置を用いて、図２（１）に示す封止済基板１の所要の切断部位５（切断線）を切断することによって形成されるものであり、基板部（基板２）と樹脂部（樹脂成形体３）とから構成されている。
また、図２（３）には収容トレイ６（パッケージ搬送後の収容セット部）が示されると共に、この収容トレイ６には図２（２）に示すパッケージ４が収容されるように構成されている。
なお、この収容トレイ６には、パッケージ４を個別に一個ずつ収容するパッケージ収容部７（ポケット）と、この収容部７を形成するために仕切る仕切壁８とが設けられて構成されている。
【００２７】
（基板の切断装置）
次に、図１に示す基板の切断装置１０１を説明する。この切断装置は、図２（１）に示す封止済基板１を切断して図２（２）に示すパッケージ４を形成し、図２（３）に示す収容トレイ６に個々のパッケージ４を収容するものであり、例えば、次のように構成されている。
即ち、図１に示すように、この基板の切断装置１０１には、封止済基板１を装置本体に装填する基板装填部１０２と、この基板装填部１０２から移載された封止済基板１の所要切断部位５（切断線）を切断する切断部１０３と、この切断部１０３で切断された切断済基板となる個々のパッケージ４を一括して洗浄する洗浄部１０４と、これらの個々のパッケージ４を載置するパッケージ載置部１０５と、このパッケージ載置部１０５から個々のパッケージ４を収容する収容トレイ６を装填したトレイ装填部１０６と、この装置全体を制御する制御部１０７とから構成されている。
なお、図１に示す切断装置１０１においては、前述した基板装填部１０２と切断部１０３と洗浄部１０４とパッケージ載置部１０５とは当該装置１０１の前方側に一列に配置されている。
【００２８】
また、この切断装置１０１には、前記した基板装填部１０２から切断部１０３に封止済基板１を移載する移載機構１０８と、前記した切断部１０３で切断された個々のパッケージ４を一括して係止した状態で洗浄部１０４にて洗浄した後に当該洗浄済パッケージ４をパッケージ載置部１０５に移動させる移動機構１０９と、前記したパッケージ載置部１０５に載置された個々のパッケージ４を収容トレイ６に搬送する搬送機構９（本発明に係るワークの搬送装置であって、図例では当該搬送機構９が２個（９ａ・９ｂ）示されている）とが設けられて構成されている。
また、前記切断部１０３には、切断用の回転テーブル１０３ａ（切断テーブル）と、２個のブレード１０３ｂ（回転切断刃）とが設けられて構成されると共に、まず、切断テーブル１０３ａに移載機構１０８にて移載された封止済基板１は切断テーブル１０３ａに固定されて切断部１０３における装置前方の載置位置１０３ｃから後方の切断位置１０３ｄに移動し、次に、その所要の切断部位５を２個のブレード１０３ｂにて切断するように構成されている。
また、前記したパッケージ載置部１０５には、載置用の回転テーブル（載置テーブル）１１０が２個、設けられ構成されると共に、まず、前記した洗浄部１０４において、前記した移動機構１０９にて切断テーブル１０３ａから個々のパッケージ４を一括して係止した状態で洗浄し、次に、２個の載置テーブル１１０（１１０ａ・１１０ｂ）に個々のパッケージ４を適宜な載置パターンにて分別して載置させることができるように構成されている。
また、２個の搬送機構（搬送装置）９ａ・９ｂが互いに独立した状態で２個の載置テーブル１１０ａ・１１０ｂ（パッケージ搬送前の収容セット部）から収容トレイ６（パッケージ搬送後の収容セット部）にパッケージ４を各別に搬送することができるように構成されている。
【００２９】
なお、前記した載置テーブル１１０（１１０ａ・１１０ｂ）はＸ方向に移動自在に構成されると共に、搬送機構（搬送装置）９（９ａ・９ｂ）はＹ方向に移動自在に構成され、且つ、収容トレイ６はＸ方向に移動自在に構成されている。
従って、例えば、搬送機構（搬送装置）９にて載置テーブル１１０からパッケージを係着する場合、載置テーブル１１０をＸ方向に移動させてパッケージ４を係着することができるように構成されている。
また、例えば、パッケージの搬送機構（搬送装置）９にて収容トレイ６にパッケージ４を収容する場合、収容トレイ６をＸ方向に移動させてパッケージ４を収容することができるように構成されている。
更に、前記したパッケージの搬送機構（搬送装置）９と、封止済基板１の移載機構１０８と、パッケージ４の移動機構１０９とは各別に上下動自在に構成されている。
従って、例えば、パッケージの搬送機構（搬送装置）９にて載置テーブル１１０からパッケージ４を係着する場合、パッケージ搬送機構（搬送装置）９を下動させてパッケージ４を係着することができるように構成されると共に、この搬送機構（搬送装置）９を上動させてパッケージ４を収容トレイ６側に搬送することができるように構成されている。
また、パッケージの搬送機構（搬送装置）９にてパッケージ４を収容トレイ６に収容する場合には、搬送機構（搬送装置）９を下動してパッケージ４の係着を解くことにより、
パッケージ４を離脱して収容トレイ６に収容させ、再び、搬送機構（搬送装置）９を上動させることができるように構成されている。
なお、図例に示す２個の搬送機構（搬送装置）９においては、搬送機構９（９ａ・９ｂ）の夫々におけるパッケージ４の係着部は、互いに隣設した搬送機構（搬送装置）９（９ａ・９ｂ）側に、即ち、両搬送機構（搬送装置）９（９ａ・９ｂ）間側に設けられて構成されている。
【００３０】
（基板の切断方法）
即ち、図１に示す装置１０１において、まず、前記した封止済基板１を移載機構１０８にて基板装填部１０２から切断テーブル１０３ａに移載して固定すると共に、前記した封止済基板１をブレード１０３ｂにて切断する。
このとき、前記した封止済基板１は個々のパッケージに４（分割して）形成されることになる。
次に、前記した切断テーブル１０３ａ上の個々のパッケージ４を移動機構１０９に一括して係着すると共に、前記した洗浄部１０４において、前記した移動機構１０９に個々のパッケージ４を係止した状態で、個々のパッケージ４を洗浄・乾燥してパッケージ載置部１０５に移動して載置する。
このとき、図例に示すように、前記したパッケージ載置部１０５には２個の載置テーブル１１０（１１０ａ・１１０ｂ）が設けられているため、前記した載置テーブル１１０（１１０ａ・１１０ｂ）に個々のパッケージ４を適宜に分別して（振り分けて）載置することができる。
また、次に、前記したパッケージ４を載置した状態にある載置テーブル１１０（１１０ａ・１１０ｂ）をＹ方向に装置後方側に移動させると共に、この移動した載置テーブル１１０（１１０ａ・１１０ｂ）から所要数のパッケージ４を搬送機構（本発明に係る搬送装置）９にて係着して収容トレイ６に個々のパッケージ４を収容することになる。
このとき、前述したように、載置テーブル１１０（１１０ａ・１１０ｂ）はＸ方向に、搬送機構（搬送装置）９はＹ方向に、収容トレイ６はＸ方向に、各別に且つ互いに独立して移動させることができる。
従って、図１に示す切断装置１０１において、封止済基板１を切断して形成された個々のパッケージ４を搬送機構（搬送装置）９にて収容トレイ６に収容することができるように構成されている。
【００３１】
（パッケージの搬送装置の構成について）
即ち、図３、図４に示すように、パッケージ（ワーク）の搬送装置（搬送機構）９には、装置フレーム（装置本体）１０が設けられて構成されている。
また、前記搬送装置（装置本体１０）には、異なる直径を有し且つ同じ回転軸を有する所要数個（図例では３個）の駆動プーリー１１・１２・１３がその回転軸における長軸方向（図例では上下方向）に所要の間隔で固着した状態で配置されて構成されている。
また、この３個（直径で云えば３種類）の駆動プーリー１１・１２・１３は同じ回転方向に同じ回転速度（同じ角速度）にて同期して回転することができるように構成されている。
なお、図例に示す駆動プーリーの符号１１・１２・１３は直径の小さいものから順に付すものである。
また、図例においては、例えば、前記した駆動プーリー１１・１２・１３の回転軸の長軸方向は垂直方向に設けて構成されると共に、前記した駆動プーリー１１・１２・１３の回転面は水平面となるように構成されている。
【００３２】
また、前記した搬送装置（装置本体１０）には、前記した駆動プーリー１１・１２・１３を回転させるサーボモータ等の回転駆動機構１４が設けられると共に、この回転駆動機構１４の回転軸と駆動プーリー１１・１２・１３の回転軸とは連結具１５にて連結されて構成されている。
また、前記した３個の同軸駆動プーリー１１・１２・１３に対して同じ所要の軸間距離を有し且つ同じ直径を有する所要数個（図例では３個）の従動プーリー１６・１７・１８が各別に対応して設けられて構成されると共に、これらの従動プーリー１６・１７・１８は互いに独立して回転することができるように構成されている。
また、前述した駆動プーリー１１・１２・１３と従動プーリー１６・１７・１８との組み合わせにおいて、前記した駆動プーリーとこれに対応する従動プーリー１６・１７・１８との間には各別に平行掛けにて巻掛けされる所要数個（図例では３個）の走行ベルト（輪状の移動部材）１９・２０・２１が所要の引張力にて各別に設けられて構成されている。
従って、前記した回転駆動機構１４（１５）にて３個の駆動プーリー１１・１２・１３を回転駆動することにより、前記した３個の走行ベルト１９・２０・２１を各別に走行させて従動プーリー１６・１７・１８を各別に独立して回転させることができるように構成されている。
また、前記した駆動回転部材１４を正回転方向４１（順回転方向）に、即ち、当該搬送装置９を上方から見て右回り（時計回り）に回転させることによって駆動プーリー１１・１２・１３を回転駆動することができるので、前記した走行ベルト１９・２０・２１を正方向４２（順方向）に、即ち、前記した駆動プーリー１１・１２・１３から従動プーリー１６・１７・１８を回って駆動プーリー１１・１２・１３側に戻ると云う回転走行することができるように構成されている。
従って、前記した走行ベルト１９・２０・２１を、往路走行方向に、即ち、前記した駆動プーリー１１・１２・１３側から従動プーリー１６・１７・１８側に走行させ、且つ、復路走行方向に、即ち、前記した従動プーリー１６・１７・１８側から駆動プーリー１１・１２・１３側に走行させることにより、前記した駆動プーリー１１・１２・１３と従動プーリー１６・１７・１８の間を正方向４２（順方向）に走行して回転することができるように構成されている。
なお、前記した搬送装置９に設けた駆動回転部材１４（駆動プーリー１１・１２・１３）を逆回転方向に、即ち、当該搬送装置９を上方から見て左回り（時計回りとは逆回り）に回転させた場合、前記した走行ベルト１９・２０・２１を前述した正方向のベルト走行とは反対方向に走行させることになるので、前記した走行ベルト１９・２０・２１を逆方向に走行させて回転することができるように構成されている。
【００３３】
また、前記した３種の駆動プーリー１１・１２・１３の直径は各別に適宜な長さ（距離）に構成されると共に、前記した従動プーリー１６・１７・１８の直径は同じ所要の長さ（距離）に構成されている。
即ち、前記した３種の駆動プーリー１１・１２・１３の直径を、例えば、φＬ、φ２Ｌ、φ３Ｌ（具体例としては、φ１５ｍｍ、φ３０ｍｍ、φ４５ｍｍ）に設定して構成すると共に、前記した従動プーリー１６・１７・１８の直径を、例えば、φＬに設定して構成することができる。
また、図例においては、前記した駆動プーリーと走行ベルトと従動プーリーとの組み合わせが、上方から下方に向けて３組配置して構成され、前記した駆動プーリーで説明すると、上方から下方に向けて、直径φ２Ｌの駆動プーリーの組１２・１７・２０、直径φＬの駆動プーリーの組１１・１６・１９、直径φ３Ｌの駆動プーリー１３・１８・２１の組の順に配設されて構成されている。
従って、前述したように、前記した回転駆動機構１４にて３種の駆動プーリー１１・１２・１３を同軸且つ同じ回転速度（同じ角速度）にて回転させることにより、前記した各駆動プーリー１１・１２・１３と各従動プーリー１６・１７・１８との間を各走行ベルト１９・２０・２１が所要の速度にて往復走行する（往路方向と復路方向とに走行する）ことができるように構成されている。
また、後述するように、前記した回転駆動機構１４にて３種の駆動プーリー１１・１２・１３を同軸且つ同じ移動角度にて回転移動させることにより、前記した各駆動プーリー１１・１２・１３と各従動プーリー１６・１７・１８との間において、前記した各走行ベルト１９・２０・２１を駆動プーリー１１・１２・１３の直径と移動角度とに対応した所要の移動距離にて移動させることができるように構成されている。
【００３４】
また、前記した走行ベルト１９・２０・２１における往路走行側の走行ベルトと復路走行側の走行ベルトとは、必要に応じて、前記した駆動プーリー側に設けられる規制ローラ２２にて、所要の間隔（例えば、従動プーリーの直径Ｌに相当する距離）にて平行状態になるように構成されている。
即ち、図例に示すように、前記した３個の駆動プーリーの組において、直径φ２Ｌの駆動プーリー１２と、直径φ３Ｌの駆動プーリー１３の場合については、前記した走行ベルト２０・２１を規制して各ベルト２０・２１を平行状態で走行させる規制ローラ２２各別に設けられて構成され、前記した規制ローラ２２から従動プーリー１７・１８との間に平行ベルト部が各別に形成されるように構成されている。
また、当然ではあるが、直径φＬの駆動プーリー１１の場合において、前述した所要の間隔距離Ｌで平行状態に保持された平行ベルト部が存在することになる。
従って、前記した平行ベルト部においては、３個の駆動プーリー１１・１２・１３が回転することによるその移動距離を同じ直線方向に各別に反映させることができるように構成されている。
【００３５】
また、図例に示すように、前記した搬送装置９の装置本体（装置フレーム１０）にはパッケージを係着する係着部材（以下、固定係着部材２３）が固着して形成されると共に、このパッケージの固定係着部材２３（図例では１個）は前記した駆動プーリー１１・１２・１３と従動プーリー１６・１７・１８との間における走行ベルト１９・２０・２１の中間位置（図例では中央近傍の所要位置）に設けられて構成されている。
従って、この固定係着部材２３は装置本体１０に対しては不動状態で構成され、この固定係着部材２３の中心位置（固定係着部材２３に係着されるパッケージ４の中心位置）を基準位置Ａで示している。
【００３６】
また、図３に示すように、前記した３個のベルト１９・２０・２１の夫々において、前記した固定係着部材２３の両側位置に係着部材２４・２５・２６が各別に固着具２７にて固着されて構成されている。
例えば、図６（２）に示すように、駆動プーリー（φＬ）１１と従動プーリー（φＬ）１６と走行ベルト１９とにおいて、一方の係着部材２４ａが走行ベルト１９の往路走行側ベルト１９ａにおける従動プーリー１６側の所要位置に固着具２７にて固着されて構成されると共に、他方の係着部材２４ｂが走行ベルト１９の往路走行側ベルト１９ｂにおける駆動プーリー１１側の所要位置に固着具２７にて固着されて構成されている。
なお、図６（２）に示すＢは、前記した固定係着部材と移動係着部材との間隔〔前記した固定係着部材２３の中心位置Ａと前記した移動係着部材２４（２４ａ・２４ｂ）の中心位置との距離〕であり、或いは、このＢは、隣設する移動係着部材（２４・２５・２６）間の間隔（前記した移動係着部材の中心位置とその隣の移動係着部材の中心位置との距離）を示し、且つ、このＢは、搬送前のパッケージ間隔を示すものである。
従って、前記した駆動プーリー１１を正回転方向に回転駆動させて所要の移動距離にて走行ベルトを正方向に走行させることにより、前記した固定係着部材２３の両側に設けられた一方の或いは他方の移動係着部材２４（２４ａ・２４ｂ）を両ベルト走行方向に、即ち、前記した固定係着部材２３の中心位置Ａから離間する方向に各別に所要の移動距離にて移動させて広げる（拡開する）ことができるように構成されている。
即ち、前記した往路走行側のベルト１９ａに設けた一方の移動係着部材２４ａを従動プーリー１６側に所要の移動距離にて移動させることができるように構成されると共に、前記した復路走行側のベルト１９ｂに設けた他方の移動係着部材２４ｂを駆動プーリー１１側に所要の移動距離にて移動させることができるように構成されている。
また、前記した駆動プーリー１１を逆回転方向に回転駆動することによって所要の移動距離にて走行ベルト１９を逆方向に走行させることにより、前記した一方の或いは他方の移動係着部材２４（２４ａ・２４ｂ）の間隔を所要の移動距離にて移動させて狭めることにより、即ち、前記した両移動係着部材２４（２４ａ・２４ｂ）の位置を前記した固定移動部材２３側に近接するように移動させることにより、前記した両係着部材２４（２４ａ・２４ｂ）を元の位置に戻すことができるように構成されている。
なお、前記した各移動係着部材２４（２４ａ・２４ｂ）・２５（２５ａ・２５ｂ）・２６（２６ａ・２６ｂ）はその走行移動時に、互いに衝突しないように構成されている。
【００３７】
また、図６（１）においては、図６（２）と同様に、駆動プーリー（φ２Ｌ）１２と従動プーリー１７と走行ベルト２０とにおいて、一方の係着部材２５ａが走行ベルト２０の往路走行側ベルト２０ａにおける従動プーリー１６側の所要位置に固着具２７にて固着されて構成されると共に、他方の係着部材２５ｂが走行ベルト２０の往路走行側ベルト２０ｂにおける駆動プーリー１２側の所要位置に固着具２７にて固着されて構成されている。
また、図６（３）においては、図６（２）と同様に、駆動プーリー（φ３Ｌ）１３と従動プーリー１８と走行ベルト２１とにおいて、一方の係着部材２６ａが走行ベルト２１の往路走行側ベルト２１ａにおける従動プーリー１８側の所要位置に固着具２７にて固着されて構成されると共に、他方の係着部材２６ｂが走行ベルト２１の往路走行側ベルト２１ｂにおける駆動プーリー１３側の所要位置に固着具２７にて固着されて構成されている。
また、図６（１）に示す直径φ２Ｌの駆動プーリー１２場合と、図６（３）に示す直径φ３Ｌの駆動プーリー１３の場合とにおいて、前述したように、規制ローラ２２を用いることによって、走行ベルト２０・２１における往路走行ベルト２０ａ・２１ａと復路走行ベルト２０ｂ・２１ｂとの間を所要の間隔Ｌ（従動プーリーの直径）に保持することができるように構成されると共に、これらの走行ベルト２０・２１に所要範囲の平行ベルト部を形成することができるように構成されている。
従って、図６（１）、図６（３）において、前記した各駆動プーリー１２・１３を正回転方向に回転駆動することによって所要の移動距離にて走行ベルト２０・２１を正方向に走行させることにより、前記した固定係着部材２３の両側に設けられた一方の或いは他方の移動係着部材２５（２５ａ・２５ｂ）・２６（２６ａ・２６ｂ）を両ベルト走行方向に、即ち、前記した固定係着部材２３の中心位置Ａから離間する方向に各別に所要の移動距離にて移動させて広げる（拡開する）ことができるように構成されている。
なお、実施例１では、前記した各移動係着部材の配設位置は、前記した固定係着部材２３からその両外側の夫々に、直径φＬの駆動プーリー１１の移動係着部材２４（２４ａ・２４ｂ）、直径φ２Ｌの駆動プーリー１２の移動係着部材２５（２５ａ・２５ｂ）、直径φ３Ｌの駆動プーリー１３の移動係着部材２６（２６ａ・２６ｂ）の順に配置されて構成されている。
即ち、前記した各移動係着部材の配設位置は、前記した固定係着部材からその両外側の夫々に、直径の小さい駆動プーリーから順に配置されて構成されている。
【００３８】
また、図３に示す図例（係着部材が広がる前の状態）では、前記した各係着部材（中心位置間の距離）の間隔はＢで示されると共に、図４に示す図例（係着部材が広がった後の状態）では、この間隔はＣで示されている。
なお、本発明においては、前記した固定或いは移動を含む係着部材の中心位置と前記した係着部材に係着したパッケージの中心位置とは必ずしも一致する必要はないが、実施例１においては、両中心位置を一致させた状態で構成されている。
即ち、前記した載置テーブル１１０上のパッケージ４の間隔は図３に示す間隔Ｂと一致すると共に、前記した収容トレイ６の収容部７の間隔は図４に示す間隔Ｃと一致することになる。
従って、図３に示す係着部材を移動させて広げて形成した係着部材（図４に示す）で、前記した収容トレイ６の収容部７にパッケージ４を収容することができるように構成されている。
【００３９】
また、前記した移動係着部材２４（２４ａ・２４ｂ）・２５（２５ａ・２５ｂ）・２６（２６ａ・２６ｂ）をベルト走行方向に案内する案内部材２８が設けられて構成されている。
従って、前記した回転駆動機構１４（駆動プーリー１１・１２・１３）が回転して走行ベルト１９・２０・２１を走行させることにより、前記した走行ベルト９・２０・２１に固着した移動係着部材２４（２４ａ・２４ｂ）・２５（２５ａ・２５ｂ）・２６（２６ａ・２６ｂ）をベルト走行方向に案内することができるように構成されている。
【００４０】
また、前記した固定係着部材２３と移動係着部材２４（２４ａ・２４ｂ）・２５（２５ａ・２５ｂ）・２６（２６ａ・２６ｂ）にはパッケージ４を係着する係着手段が設けられて構成されている。
例えば、この係着手段として、吸引口（係着部）２９が設けられて構成されると共に、この吸引口２９から真空引き機構にて空気を強制的に吸引排出することにより、この吸引口２９にパッケージを吸着固定してパッケージ４を係着することができるように構成され、且つ、この強制的な吸引排出を解除することにより、前記した吸引口２９からパッケージ４を離脱させて収容トレイ６（収容部７）に収容させることができるように構成されている。
従って、前記した係着部材２３・２４（２４ａ・２４ｂ）・２５（２５ａ・２５ｂ）・２６（２６ａ・２６ｂ）にてパッケージ４を係着すると共に、前記した係着部材２３・２４（２４ａ・２４ｂ）・２５（２５ａ・２５ｂ）・２６（２６ａ・２６ｂ）に係着されたパッケージ４を収容トレイ６に収容することができるように構成されている。
なお、実施例１では、図例に示すように、１個の固定係着部材２３と６個の移動係着部材２４（２４ａ・２４ｂ）・２５（２５ａ・２５ｂ）・２６（２６ａ・２６ｂ）が用いられ、これらの係着部材が合計７個（奇数個）となっている。
また、前記した係着部材の吸引口２９（図例では、７個）は、例えば、図５に示すように、Ｆで示す矢印の方向に、即ち、前記した走行ベルト１９・２０・２１の走行方向（正方向４２）に沿って一列に配置されて設けられ、更に、図１に示す切断装置においては、Ｙ方向に一列に配置されて構成されている。
【００４１】
また、次に、図６（１）、図６（２）、図６（３）を例に挙げて、本発明における係着部材の移動作用に関する一例を説明する。
例えば、図６（２）に示す直径φＬの駆動プーリー１１の場合に、前記した移動係着部材２４（２４ａ・２４ｂ）は固定係着部材２３の両側における所要の位置（所要の距離Ｂの間隔にて）に設けられて構成されている。
また、例えば、この直径φＬの駆動プーリー１１を所要の移動角度、例えば、移動角度θ（ラジアン）だけ回転駆動したとき、走行ベルト１９は所要の移動距離（１／２）Ｌθだけ移動することになる。
このとき、直径φＬの駆動プーリー１１にて駆動される移動係着部材２４（２４ａ・２４ｂ）は距離（１／２）Ｌθだけ移動して固定係着部材２３から両ベルト走行方向（往路走行方向及び復路走行方向）に広がることになる。
また、図６（１）に示す直径φ２Ｌの駆動プーリー１２の場合に、及び、図６（３）に示す直径φ３Ｌの駆動プーリー１３の場合に、夫々、駆動プーリー１２・１３をθ（ラジアン）だけ回転駆動したとき、該当する係着部材２５（２５ａ・２５ｂ）・２６（２６ａ・２６ｂ）が移動する距離は、夫々、Ｌθ、（３／２）Ｌθだけ移動して固定係着部材２３から両ベルト走行方向に広がることになる。
従って、前述したように、駆動プーリー１１・１２・１３の直径と走行ベルト１９・２０・２１の走行距離（移動係着部材の移動距離）との間には相関関係があり、駆動プーリーの直径が、２倍、３倍になると、その駆動プーリーによる移動係着部材の移動距離は２倍、３倍になるものである。
なお、前述した直径φＬの駆動プーリー１１は、本発明に係る基本直径φＬの駆動プーリー（基本直径プーリー）となるものである。
【００４２】
（パッケージの搬送方法）
まず、図３に示すように、前記した搬送装置９おける係着部材２３・２４（２４ａ・２４ｂ）・２５（２５ａ・２５ｂ）・２６（２６ａ・２６ｂ）で（基板の切断装置１０１に設けた）載置テーブル１１０に載置された個々のパッケージ（ワーク）４を係着し、次に、前記した搬送装置９を収容トレイ６側に移動させる。
このとき、これらの移動係着部材２４（２４ａ・２４ｂ）・２５（２５ａ・２５ｂ）・２６（２６ａ・２６ｂ）を固定移動部材２３から離間する方向に移動させて広げさせることにより、（基板の切断装置１０１に設けた）収容トレイ６におけるパッケージ収容位置（収容部７の位置）に、前記した各係着部材２３・２４（２４ａ・２４ｂ）・２５（２５ａ・２５ｂ）・２６（２６ａ・２６ｂ）に係着されたパッケージ４の位置（実施例１では係着部材の位置）を一致させる。
即ち、まず、図４に示すように、前記した搬送装置９において、回転駆動機構１４を正回転方向に回転駆動することにより、直径の異なる３個の駆動プーリー１１・１２・１３を所要の移動角度θに（同じ角速度で）回転駆動させる。
このとき、３個の駆動プーリー１１・１２・１３に対応した走行ベルト１９・２０・２１の夫々はこの所要の移動角度θに対応した所要の移動距離（１／２）Ｌθ、Ｌθ、（３／２）Ｌθにて各別に正方向に走行することになるため、往路走行側ベルトと復路走行側ベルトとは各別にこの所要の移動距離にて移動することになるので、これらの移動係着部材２４（２４ａ・２４ｂ）・２５（２５ａ・２５ｂ）・２６（２６ａ・２６ｂ）は固定係着部材２３からこの所要の移動距離にて離間するように広がることになる。
従って、これらの係着部材２３・２４（２４ａ・２４ｂ）・２５（２５ａ・２５ｂ）・２６（２６ａ・２６ｂ）に係着したパッケージ４の位置は収容トレイ６におけるパッケージ収容位置（収容部７の位置）に一致させることができるので、前記した搬送機構９にて収容トレイ６にパッケージ４（図例では７個）を収容することができる。
なお、この後、駆動プーリー（回転駆動機構１４）を逆回転させることにより、移動係着部材２４（２４ａ・２４ｂ）・２５（２５ａ・２５ｂ）・２６（２６ａ・２６ｂ）を固定係着部材２３に近接する方向に移動させて縮閉させ、これらの移動係着部材２４（２４ａ・２４ｂ）・２５（２５ａ・２５ｂ）・２６（２６ａ・２６ｂ）を元の所定位置に戻すことになる。
【００４３】
本発明に係る搬送装置９にてパッケージ（ワーク）４を係着した移動係着部材２４（２４ａ・２４ｂ）・２５（２５ａ・２５ｂ）・２６（２６ａ・２６ｂ）の間隔を所要の移動距離（θＬ、θＬ、３θＬ）にて広げることができるので、狭いパッケージ間隔を有する載置テーブル１１０に載置されたパッケージ４（封止済基板を切断したままの間隔を有するパッケージ）を係着した係着部材（固定及び移動係着部材）の間隔を、広いパッケージ間隔を有する収容トレイ６の間隔に一致させることができる。
即ち、本発明に係る搬送装置９にて所要複数個（図例では７個）のパッケージ４を係着して同時に搬送することができるので、本発明に係る搬送装置９にてパッケージ４を効率良く搬送することができる。
従って、個々のパッケージ（ワーク）４を一個ずつ各別に搬送して収容していた従来例に比べて、本発明に係る搬送装置９にて所要複数個のパッケージ４を同時に効率良く搬送することができるので、製品（パッケージ４）の生産性を効率良く向上させることができる。
【００４４】
また、基板の切断装置１０１に設けた搬送機構（搬送装置）９にてパッケージ（ワーク）４を係着した係着部材２４（２４ａ・２４ｂ）・２５（２５ａ・２５ｂ）・２６（２６ａ・２６ｂ）の間隔を所要の移動距離（１／２）Ｌθ、Ｌθ、（３／２）Ｌθにて移動させて広げることができるので、狭いパッケージ間隔Ｂを有する載置テーブルに載置されたパッケージを広いパッケージ間隔Ｃを有する収容トレイ６に所要複数個のパッケージ４を同時に搬送することができる。
即ち、基板の切断装置１０１において、当該切断装置の搬送機構（搬送装置）９にて所要複数個のパッケージ（ワーク）４を係着して載置テーブル１１０から収容トレイ６に同時に搬送することができるので、当該切断装置１０１の搬送機構（搬送装置）９にてパッケージ４を効率良く搬送することができる。
従って、個々のパッケージ（ワーク）４を一個ずつ各別に搬送して収容していた従来例に比べて、当該切断装置の搬送機構（搬送装置）９にて所要複数個（図例では７個）のパッケージ４を同時に搬送することができるので、製品（パッケージ４）の生産性を効率良く向上させることができる。
【００４５】
また、実施例１においては、係着部材は７個（奇数個）で駆動プーリーは３個である。
また、実施例１に示すように、３個の駆動プーリー１１・１２・１３の直径は夫々が同じ移動角度θで回転した場合、３個の駆動プーリーの直径は基本プーリーφＬを基準にして、φＬ、φ２Ｌ、φ３Ｌであり、その比は、１：２：３である。
例えば、実施例１の搬送機構１に設けられた駆動プーリー１１（φＬ）・１２（φ２Ｌ）・１３（φ３Ｌ）について、パッケージ間隔Ｂの載置テーブル１１０（搬送前におけるワークの収容セット部）からパッケージ（ワーク）４を搬送してパッケージ間隔Ｃの収容トレイ６（搬送後におけるワークの収容セット部）に搬送するときの移動角度θ（ラジアン）の算出について説明する。
即ち、次に、基準位置をＡ位置としてこのＡ位置と各移動係着部材の移動した後の位置との距離を式に表す。
（ア）直径φＬの駆動プーリー１１の場合〔図６（２）を参照〕
Ｃ＝Ｂ＋（１／２）Ｌθ  となる。
パッケージ間隔の差Ｈ（Ｃ−Ｂ）は次の式で示される。
Ｈ＝Ｃ−Ｂ＝（１／２）Ｌθ
（イ）直径φ２Ｌの駆動プーリー１２の場合〔図６（１）を参照〕
２Ｃ＝２Ｂ＋Ｌθ  となる。
∴２Ｈ＝２（Ｃ−Ｂ）＝２（１／２）Ｌθ
（ウ）直径φ３Ｌの駆動プーリー１３の場合〔図６（１）を参照〕
３Ｃ＝３Ｂ＋（３／２）Ｌθ  となる。
∴３Ｈ＝３（Ｃ−Ｂ）＝３（１／２）Ｌθ
また、移動角度θ（ラジアン）は次のとおりになる。
θ＝２（Ｃ−Ｂ）／Ｌ
従って、実施例１において、前記した同軸に固着した駆動プーリー１１・１２・１３を同じ移動角度〔θ＝２（Ｃ−Ｂ）／Ｌ〕で回転駆動することにより、実施例１に示す搬送装置９にてパッケージ間隔Ｂの載置テーブル１１０からパッケージ（ワーク）４を搬送してパッケージ間隔Ｃの収容トレイ６に収容することができる。
【００４６】
次に、前述した係着部材と駆動プーリーの数とその直径の関係についてまとめると、係着部材の数がｎ（奇数且つ自然数：ｎ＝１を除く）の場合、必要な駆動プーリーの数ｍは次の式となる。
ｍ＝（ｎ−１）／２
また、直径の長さが小さいものから順番にｍ番目の駆動プーリーの直径ＰはＰ＝ｍＬ＝（ｎ−１）Ｌ／２である。
即ち、直径の長さが小さいものから順番に、（ｍ＝１）番目から〔ｍ＝（ｎ−１）／２〕番目までの駆動プーリーの直径Ｐは次のとおりである。
（順番）                      （直径φ）
ｍ＝１                        Ｐ＝１Ｌ（ｎ＝３）
ｍ＝２                        Ｐ＝２Ｌ（ｎ＝５）
ｍ＝３                        Ｐ＝３Ｌ（ｎ＝７）
↓                            ↓
ｍ＝（ｎ−１）／２            Ｐ＝ｍＬ＝〔（ｎ−１）Ｌ／２〕
また、実施例１においては、前記した固定係着部材２３（基準位置Ａ）からその両外側の夫々に、直径の小さな駆動プーリーから順に、即ち、（ｍ＝１）に対応する係着部材からｍ＝〔（ｎ−１）Ｌ／２〕に対応する係着部材まで順次に配設されて構成されている。
また、前述したように、駆動プーリーの移動角度θ（ラジアン）は次の通りである。
θ＝２（Ｃ−Ｂ）／Ｌ
従って、奇数個（ｎ個）の係着部材（固定係着部材及び移動係着部材）を用いる構成において、駆動プーリーの数ｍは〔ｍ＝（ｎ−１）／２〕であり、前記した駆動プーリーにおける直径の長さが小さいものからｍ番目の駆動プーリーの直径Ｐは〔Ｐ＝（ｎ−１）Ｌ／２〕であり、前記した駆動プーリーが回転する移動角度θは〔θ＝２（Ｃ−Ｂ）／Ｌ〕である。
【実施例２】
【００４７】
次に、実施例２において、図８（１）、図８（２）に示す搬送装置（搬送機構）５１を用いて、所要数個の移動係着部材５２を用いる構成（偶数個の係着部材の構成）を説明する。
なお、実施例２は、前記した実施例１に示す固定係着部材２３を省略した構成であると共に、図８（１）、図８（２）に示す搬送装置５１の基本的な構成は、実施例１の基本的な構成と同じである。
即ち、図８（１）、図８（２）に示す図例では、６個（偶数個）の移動係着部材５２・５３・５４が設けられると共に、これらの移動係着部材５２・５３・５４にはパッケージ（ワーク）の係着部５５が設けられて構成されている。
また、図示はしていないが、前記した６個の移動係着部材５２・５３・５４は、実施例１と同様に、３個の走行ベルトの夫々に各別に固着具にて固着されて構成されている。
即ち、一方の移動係着部材５２ａ・５３ａ・５４ａを往路走行側の走行ベルトの夫々に、また、他方の係着部材５２ｂ・５３ｂ・５４ｂを復路走行側の走行ベルトの夫々に、各別に固着して構成されている。
従って、図示はしていないが、回転駆動機構にて駆動プーリーを正回転方向に回転駆動することにより、３個の走行ベルトを各別に正方向に走行させることにより、走行ベルトに固着した一方の係着部材５２ａ・５３ａ・５４ａと他方の係着部材５２ｂ・５３ｂ・５４ｂとが互いに所要の移動距離にて広がる方向に移動させることができるように構成されている。
即ち、図８（１）に示す係着部材の係着部５５（吸引口２９）の間隔（係着部の中心から隣の係着部の中心までの距離）Ｄ（Ｂ）を、図７（２）に示す係着部材の係着部５５の間隔（係着部の中心から隣の係着部の中心までの距離）Ｅ（Ｃ）にまで広げることができるように構成されている。
従って、図７（１）、図７（２）に示す実施例２においては、実施例１に示す作用効果と同様の作用効果を示すものである。
なお、実施例２において、実施例１と同様に、前記した吸引口２９は前記した走行ベルトの走行方向に沿って一列に配列して設けられて構成されている。
【００４８】
また、実施例２に示す偶数個（ｎ＝６）の係着部材（吸着ヘッド）５２（５２ａ・５２ｂ）・５３（５３ａ・５３ｂ）・５４（５４ａ・・５４ｂ）の間隔（パッケージ間隔）においても、実施例１（奇数個）に示す駆動プーリーの直径や移動角度及びその数、また、走行ベルトの移動距離などと同様の関係が成立する。
【００４９】
本発明は、前述した実施例のものに限定されるものでなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、必要に応じて、任意且つ適宜に変更・選択して採用できるものである。
【００５０】
また、前記した各実施例において、前記した移動係着部材を、走行ベルトの往路走行側或いは復路走行側のいずれか一方に固着する構成を採用することができる。
【００５１】
また、前記した各実施例において、走行ベルトを用いる構成を例示したが、この走行ベルトとして、タイミングベルト、平ベルト、Ｖベルト、チェーン、ロープなど、輪状の走行部材を用いることができる。
【００５２】
また、前記した各実施例において、駆動プーリー（従動プーリー）を用いる構成を例示したが、これに代えて、歯付プーリー、歯車などを用いても良い。
【００５３】
また、前記した各実施例において、基本プーリーの直径Ｌは任意であり、基本プーリーの直径Ｌと、パッケージ搬送前の収容セット部のワーク間隔Ｂ（Ｄ）と、パッケージ搬送前の収容セット部のワーク間隔Ｃ（Ｅ）とが定められれば、駆動プーリーの移動角度θは決定されるものである。
【００５４】
また、前記した各実施例において、係着手段となる吸引口２９をベルト走行方向（４２）に沿った方向に一列に配設した構成を例示したが、当該一列配置でなく、この吸引口２９を適宜に位置に配設して構成しても良い。
【００５５】
また、前記した各実施例では、主として、狭いパッケージ配置の間隔を有するテーブルから広いパッケージ配置の間隔を有するパッケージ（ワーク）の収容セット部にパッケージを搬送する場合を例示したが、例えば、逆に、広いパッケージ配置の間隔を有する収容セット部から狭いパッケージ配置の間隔を有する収容セット部まで搬送する場合にも本発明を適用することができるものである。
従って、本発明に係る搬送装置（基板の切断装置に設けた搬送機構）にてパッケージを
係着部材の間隔を広げたり狭めたりする（拡開したり縮閉したり）ことができるので、本発明は異なるパッケージ配置の間隔を有する収容セット部の間にパッケージを搬送する場合に適用することができるものである。
【００５６】
また、前記した各実施例において、設計上可能であれば、水直線を基準として所要の角度を有する斜軸であっても良い。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】図１は、本発明に係るワーク（パッケージ）の搬送装置（搬送機構）が設けられた基板の切断装置を概略的に示す概略平面図である。
【図２】図２（１）は封止済基板を概略的に示す概略斜視図であり、図２（２）は個々のパッケージ（ワーク）を概略的に示す概略斜視図であり、図２（３）は個々のパッケージを収容する収容トレイを概略的に示す概略斜視図である。
【図３】図３は、本発明に係るワーク（パッケージ）の搬送装置を概略的に示す概略正面図であって、個々のパッケージを搬送する係着部材が縮閉した状態を示している。
【図４】図４は、図３に対応する搬送装置を概略的に示す概略正面図であって、個々のパッケージを搬送する係着部材が拡大した状態を示している。
【図５】図５は、図３に対応する搬送装置を概略的に示す概略底面図である。
【図６】図６（１）、図６（２）、図６（３）は、図３に示す搬送装置を概略的に示す概略平面図である。
【図７】図７は、図３に示す搬送装置を概略的に示す概略側面図である。
【図８】図８（１）、図８（２）は、他の搬送装置を概略的に示す概略平面図であって、図８（１）は前記下装置に設けた係着部材が狭まった状態を示し、図８（２）は前記した装置に設けた係着部材が広がった状態を示している。
【符号の説明】
【００５８】
１    封止済基板
２    成形前基板（基板）
３    樹脂成形体
４    パッケージ（個片）
５    切断部位（切断線）
６    収容トレイ
７    収容部
８    仕切壁
９    搬送装置（搬送機構）
９ａ  搬送装置（搬送機構）
９ｂ  搬送装置（搬送機構）
１０    装置フレーム（装置本体）
１１    駆動プーリー（直径φＬ）
１２    駆動プーリー（直径φ２Ｌ）
１３    駆動プーリー（直径φ３Ｌ）
１４    回転駆動機構
１５    連結具
１６    従動プーリー（直径φＬの駆動プーリーに対応）
１７    従動プーリー（直径φ２Ｌの駆動プーリーに対応）
１８    従動プーリー（直径φ３Ｌの駆動プーリーに対応）
１９    走行ベルト（直径φＬの駆動プーリーに対応）
１９ａ  往路走行側の走行ベルト
１９ｂ  復路走行側の走行ベルト
２０    走行ベルト（直径φ２Ｌの駆動プーリーに対応）
２０ａ  往路走行側の走行ベルト
２０ｂ  復路走行側の走行ベルト
２１    走行ベルト（直径φ３Ｌの駆動プーリーに対応）
２１ａ  往路走行側の走行ベルト
２１ｂ  復路走行側の走行ベルト
２２    規制ローラ
２３    固定係着部材（係着部材）
２４    移動係着部材（直径φＬの駆動プーリーに対応した係着部材）
２４ａ  移動係着部材（直径φＬの駆動プーリーに対応した係着部材）
２４ｂ  移動係着部材（直径φＬの駆動プーリーに対応した係着部材）
２５    移動係着部材（直径φ２Ｌの駆動プーリーに対応した係着部材）
２５ａ  移動係着部材（係着部直径φ２Ｌの駆動プーリーに対応した係着部材）
２５ｂ  移動係着部材（直径φ２Ｌの駆動プーリーに対応した係着部材）
２６    移動係着部材（直径φ３Ｌの駆動プーリーに対応した係着部材）
２６ａ  移動係着部材（直径φ３Ｌの駆動プーリーに対応した係着部材）
２６ｂ  移動係着部材（直径φ３Ｌの駆動プーリーに対応した係着部材）
２７    固定具
２８    案内部材
２９    吸引口（係着部）
４１    正回転方向
４２    正方向
５１    搬送装置（搬送機構）
５２    移動係着部材（係着部材）
５２ａ  移動係着部材（係着部材）
５２ｂ  移動係着部材（係着部材）
５３    移動係着部材（係着部材）
５３ａ  移動係着部材（係着部材）
５３ｂ  移動係着部材（係着部材）
５４    移動係着部材（係着部材）
５４ａ  移動係着部材（係着部材）
５４ｂ  移動係着部材（係着部材）
５５    係着部
１０１    基板の切断装置
１０２    基板装填部
１０３    切断部
１０３ａ  切断用回転テーブル（切断テーブル）
１０３ｂ  ブレード
１０３ｃ  装置前方位置
１０３ｄ  装置後方位置
１０４    洗浄部
１０５    パッケージ載置部
１０６    トレイ装填部
１０７    制御部
１０８    移載機構
１０９    移動機構
１１０    載置用回転テーブル（載置テーブル）
１１０ａ  載置用回転テーブル（載置テーブル）
１１０ｂ  載置用回転テーブル（載置テーブル）
Ａ    基準位置（パッケージの或いは係着部材の中心位置）
Ｂ    パッケージ間隔（係着部材の間隔）
Ｃ    パッケージ間隔（係着部材の間隔）
Ｄ    パッケージ間隔（係着部材の間隔）
Ｅ    パッケージ間隔（係着部材の間隔）
Ｆ    吸引口（パッケージ）の一列方向
Ｇ    吸引口（パッケージ）の一列方向
θ    移動角度
【図１】
2008186981.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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