(57)【要約】【課題】総合的な性能検査を一度に行うことができる走査光学系の検査装置を提供する。【解決手段】被走査面１３におけるレーザービームＬをＣＣＤセンサ５１ａ〜５１ｃで撮像する。六つの偏向反射面３３毎にレーザービームＬが照射されるように、ＡＰＣ回路２８でレーザー光源２２の動作を制御する。各ＣＣＤセンサで得られた画像のデータを解析して、被走査面１３におけるレーザービームＬの照射位置を照射位置算出回路７０で算出する。パラメータ算出回路７１により、偏向反射面３３の面倒れ量およびジッター成分、並びに、移動ステージ５３でＣＣＤセンサ５１ｂをレーザービームＬの光軸方向に移動させる前と後の照射位置の算出結果から、被走査面１３とレーザービームＬの光軸とのなす角度のずれ量の各パラメータを算出する。判定回路７２は、算出した各パラメータと規格値とを比較して合否を判定し、モニタ５４に判定結果が表示される。【選択図】図４
2008158317.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源からの光ビームを被走査面に向けて偏向反射する複数の偏向反射面を有する偏向器を含む光学素子が、光学箱内に収納された走査光学系を検査するための装置であって、
回転駆動される前記偏向器に対して、前記複数の偏向反射面毎に前記光ビームが照射されるように、前記光源の動作を制御する光源制御手段と、
前記被走査面に配され、前記被走査面における前記光ビームを撮像する撮像手段と、
前記撮像手段を前記光ビームの光軸方向に移動させる移動手段と、
前記撮像手段で得られた画像のデータを解析して、前記被走査面における前記光ビームの照射位置を算出する照射位置算出手段と、
前記照射位置算出手段の算出結果から、前記複数の偏向反射面の面倒れ量およびジッター成分、並びに前記被走査面と前記光ビームの光軸とのなす角度のずれ量の各パラメータを算出するパラメータ算出手段と、
算出した各パラメータと規格値とを比較して、合否を判定する判定手段と、
前記判定手段の判定結果を表示する表示手段とを備えることを特徴とする走査光学系の検査装置。
【請求項２】
前記パラメータ算出手段は、前記光ビームが走査される主走査方向に対して直交する副走査方向に関する前記照射位置のずれ量から、前記面倒れ量を求めることを特徴とする請求項１に記載の走査光学系の検査装置。
【請求項３】
前記パラメータ算出手段は、前記光ビームが走査される主走査方向に関する前記照射位置のずれ量から、前記ジッター成分を求めることを特徴とする請求項１または２に記載の走査光学系の検査装置。
【請求項４】
前記パラメータ算出手段は、前記移動手段で移動される前と後に前記撮像手段で得られた前記画像のデータからそれぞれ算出された前記光ビームの、前記光ビームが走査される主走査方向に対して直交する副走査方向に関する照射位置と、前記移動手段による前記撮像手段の移動量とから、前記角度のずれ量を求めることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の走査光学系の検査装置。
【請求項５】
前記規格値を設定変更するための操作入力手段を備えることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の走査光学系の検査装置。
【請求項６】
前記照射位置算出手段は、前記画像のデータを構成する、前記撮像手段の各画素の輝度値を検出して、
縦横の画素配列毎に各画素の輝度値の分布を作成し、
輝度値がピークとなる画素の位置を前記光ビームの照射位置として算出することを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の走査光学系の検査装置。
【請求項７】
前記照射位置算出手段は、複数コマ分の前記画像のデータから算出した前記光ビームの照射位置を平均し、平均した値を最終的に出力することを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の走査光学系の検査装置。
【請求項８】
前記撮像手段は、前記光ビームの走査方向に沿って、等間隔で複数並べて配置されていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の走査光学系の検査装置。
【請求項９】
光源からの光ビームを被走査面に向けて偏向反射する複数の偏向反射面を有する偏向器を含む光学素子が、光学箱内に収納された走査光学系を検査する方法であって、
回転駆動される前記偏向器に対して、前記複数の偏向反射面毎に前記光ビームを照射する工程と、
前記被走査面に配された撮像手段で、前記被走査面における前記光ビームを撮像する工程と、
前記撮像手段を前記光ビームの光軸方向に移動させる工程と、
前記撮像手段で得られた画像のデータを解析して、前記被走査面における前記光ビームの照射位置を算出する工程と、
前記照射位置の算出結果から、前記複数の偏向反射面の面倒れ量およびジッター成分、並びに前記被走査面と前記光ビームの光軸とのなす角度のずれ量の各パラメータを算出する工程と、
算出した各パラメータと規格値とを比較して、合否を判定する工程と、
前記判定結果を表示する工程とを備えることを特徴とする走査光学系の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、走査光学系の性能を確認するための走査光学系の検査装置、および走査光学系の検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
走査光学系は、レーザープリンタや複写機、ファクシミリなどの画像記録装置をはじめ、蓄積性蛍光体シート（イメージングプレート；ＩＰ）に記録された放射線（Ｘ線、α、β、γ線、電子線、紫外線など）画像を読み取り、読み取った画像をモニタやネガフイルムに出力するＣＲ（Computed Radiography）装置にも搭載されている。
【０００３】
走査光学系は、レーザー光源、コリメータレンズ、絞りやシリンドリカルレンズなどからなる結像光学系、ポリゴンミラー、ｆθレンズなどの種々の光学素子を有し、これらが光学箱に収納された一つのユニットとして構成されている。走査光学系においては、記録すべき画像のデータに応じてレーザー光源からレーザービームが発せられる。レーザービームは、コリメータレンズで平行光束に収束され、結像光学系で線状に集光される。そして、ポリゴンミラーの偏向反射面で反射され、ｆθレンズによって被走査面に結像される。
【０００４】
被走査面に結像されたレーザービームは、ポリゴンミラーが一定の角速度で回転されていることから、被走査面上を走査（主走査）される。レーザープリンタや複写機、ファクシミリなどの画像記録装置に用いた場合は、主走査方向に対して直交する方向（副走査方向）に記録材料、例えば、感光体を移動させることにより、感光体の記録面にレーザービームによる静電潜像を記録する。そして、感光体に記録された静電潜像をトナー像に顕像化し、記録紙などの記録媒体に転写する。
【０００５】
一方、ＣＲ装置に用いた場合は、放射線画像が記録された蓄積性蛍光体シートを副走査方向に搬送しながら、レーザービームで主走査する。そして、これにより生じた輝尽発光光をフォトマルチプライアなどの光電変換器で検出して、画像信号を得る。
【０００６】
ところで、走査光学系による記録画像または画像信号の劣化原因として、ポリゴンミラーの偏向反射面の面倒れ（回転軸に対する偏向反射面の傾き）やジッター（回転中心からの偏向反射面の突き出し、引っ込み）、立ち下げ角度（被走査面に対するレーザービームの照射角度）のずれなどにより、レーザービームが正規の照射位置から外れることが挙げられる。このため、従来から、被走査面におけるレーザービームをＣＣＤセンサで撮像し、撮像した画像をモニタして、レーザービームの照射位置のずれを測定する方法が提案されている（特許文献１、２参照）。
【０００７】
特許文献１には、被走査面に二つのラインセンサを各センサの画素が相互に副走査方向に１／２ピッチずれるように近接配置し、ポリゴンミラーの面毎にラインセンサ上に結像したビームの位置を求め、比較することにより面倒れ量を測定する旨が記載されている。また、特許文献２には、画素列を斜めに位置させてＣＣＤエリアセンサを被走査面の任意の位置に配置し、ポリゴンミラーの面毎にＣＣＤセンサでビームの形状を測定し、各面の面倒れ量を求める旨が記載されている。
【特許文献１】特開平１１−３０４６４２号公報
【特許文献２】特開２０００−３０４６０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１、２に記載の発明は、面倒れ量の測定のみで、ジッター成分や立ち下げ角度のずれ量の測定を行っていないため、総合的な性能検査を行うことができないという問題があった。
【０００９】
本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであり、総合的な性能検査を一度に行うことができる走査光学系の検査装置、および走査光学系の検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明は、光源からの光ビームを被走査面に向けて偏向反射する複数の偏向反射面を有する偏向器を含む光学素子が、光学箱内に収納された走査光学系を検査するための装置であって、回転駆動される前記偏向器に対して、前記複数の偏向反射面毎に前記光ビームが照射されるように、前記光源の動作を制御する光源制御手段と、前記被走査面に配され、前記被走査面における前記光ビームを撮像する撮像手段と、前記撮像手段を前記光ビームの光軸方向に移動させる移動手段と、前記撮像手段で得られた画像のデータを解析して、前記被走査面における前記光ビームの照射位置を算出する照射位置算出手段と、前記照射位置算出手段の算出結果から、前記複数の偏向反射面の面倒れ量およびジッター成分、並びに前記被走査面と前記光ビームの光軸とのなす角度のずれ量の各パラメータを算出するパラメータ算出手段と、算出した各パラメータと規格値とを比較して、合否を判定する判定手段と、前記判定手段の判定結果を表示する表示手段とを備えることを特徴とする。
【００１１】
前記パラメータ算出手段は、前記光ビームが走査される主走査方向に対して直交する副走査方向に関する前記照射位置のずれ量から、前記面倒れ量を求めることが好ましい。
【００１２】
前記パラメータ算出手段は、前記光ビームが走査される主走査方向に関する前記照射位置のずれ量から、前記ジッター成分を求めることが好ましい。
【００１３】
前記パラメータ算出手段は、前記移動手段で移動される前と後に前記撮像手段で得られた前記画像のデータからそれぞれ算出された前記光ビームの、前記光ビームが走査される主走査方向に対して直交する副走査方向に関する照射位置と、前記移動手段による前記撮像手段の移動量とから、前記角度のずれ量を求めることが好ましい。
【００１４】
前記規格値を設定変更するための操作入力手段を備えることが好ましい。
【００１５】
前記照射位置算出手段は、前記画像のデータを構成する、前記撮像手段の各画素の輝度値を検出して、縦横の画素配列毎に各画素の輝度値の分布を作成し、輝度値がピークとなる画素の位置を前記光ビームの照射位置として算出することが好ましい。
【００１６】
前記照射位置算出手段は、複数コマ分の前記画像のデータから算出した前記光ビームの照射位置を平均し、平均した値を最終的に出力することが好ましい。
【００１７】
前記撮像手段は、前記光ビームの走査方向に沿って、等間隔で複数並べて配置されていることが好ましい。
【００１８】
請求項９に記載の発明は、光源からの光ビームを被走査面に向けて偏向反射する複数の偏向反射面を有する偏向器を含む光学素子が、光学箱内に収納された走査光学系を検査する方法であって、回転駆動される前記偏向器に対して、前記複数の偏向反射面毎に前記光ビームを照射する工程と、前記被走査面に配された撮像手段で、前記被走査面における前記光ビームを撮像する工程と、前記撮像手段を前記光ビームの光軸方向に移動させる工程と、前記撮像手段で得られた画像のデータを解析して、前記被走査面における前記光ビームの照射位置を算出する工程と、前記照射位置の算出結果から、前記複数の偏向反射面の面倒れ量およびジッター成分、並びに前記被走査面と前記光ビームの光軸とのなす角度のずれ量の各パラメータを算出する工程と、算出した各パラメータと規格値とを比較して、合否を判定する工程と、前記判定結果を表示する工程とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の走査光学系の検査装置、および走査光学系の検査方法によれば、回転駆動される偏向器の複数の偏向反射面毎に光ビームを照射し、被走査面における光ビームを撮像手段で撮像して、これにより得られた画像データから、被走査面における光ビームの照射位置を算出し、この算出結果から面倒れ量およびジッター成分を求め、撮像手段を光ビームの光軸方向に移動させて撮像した画像データから、立ち下げ角度のずれ量を求め、これらの各パラメータの合否を判定し、この判定結果を表示するので、総合的な性能検査を一度に行うことができる。したがって、検査時間を大幅に短縮することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
図１において、放射線画像読取装置２は、走査光学系１０、読取部１１、蓄積性蛍光体シート１２を搬送するための搬送系、および各種信号処理回路からなる制御部などが筐体内に一体的に搭載された構成を有する。放射線画像読取装置２には、放射線画像が記録された蓄積性蛍光体シート１２が収容されたカセッテが挿入される挿入口が設けられている。カセッテが挿入口に挿入されると、蓄積性蛍光体シート１２がカセッテから自動的に取り出され、搬送系によって走査光学系１０の被走査面１３に向けて搬送される。
【００２１】
走査光学系１０は、被走査面１３を搬送される蓄積性蛍光体シート１２に対して、その搬送方向（以下、副走査方向と表記する。）Ｓに直交する、紙面に垂直な方向（以下、主走査方向と表記する。）ＭにレーザービームＬを走査する。このレーザービームＬの照射により、蓄積性蛍光体シート１２から輝尽発光光が生じる。
【００２２】
被走査面１３の近傍には、アクリル板などからなる透明な集光ガイド１４の入射面が配されている。また、集光ガイド１４の出射面には、フォトマルチプライアなどの光電変換器１５が取り付けられている。輝尽発光光は、集光ガイド１４に入射し、集光ガイド１４内を導光されて光電変換器１５に入射して、光電変換器１５で電気信号に変換される。光電変換器１５から出力された電気信号は、制御部で各種信号処理を施され、これにより蓄積性蛍光体シート１２に記録された放射線画像を表す画像信号が出力される。放射線画像の読み取りが終了した蓄積性蛍光体シート１２は、消去ユニットに搬送されて放射線画像を消去された後、再びカセッテに戻される。
【００２３】
図２および図３において、走査光学系１０は、光源部２０をはじめとする各種光学素子が、合成樹脂によって一体成形された光学箱２１内に収納された構成を有する。なお、図示は省略しているが、光学箱２１の上部には、上蓋が取り付けられ、上蓋によって内部が密閉されて放射線画像読取装置２に組み込まれる。
【００２４】
光源部２０は、レーザー光源２２が内蔵されたフィン２３と、コリメータレンズ２４が内蔵されたハウジング２５とからなる。レーザー光源２２は、半導体レーザーなどからなり、レーザービームＬを発する。コリメータレンズ２４は、レーザービームＬを平行光束に収束する。
【００２５】
光源部２０の前方には、ビームスプリッタ２６が設けられている。レーザービームＬは、ビームスプリッタ２６を透過して受光センサ２７に入射する一方、ビームスプリッタ２６で反射される。受光センサ２７は、レーザービームＬの透過光の強度を検出し、検出結果をＡＰＣ（Auto Power Control）回路２８に出力する。レーザー光源２２は、このＡＰＣ回路２８によって、受光センサ２７の検出結果に基づいて動作制御され、これによりレーザービームＬが一定光量に制御される。
【００２６】
ビームスプリッタ２６で反射されたレーザービームＬの反射光は、結像光学系２９に入射される。結像光学系２９には、絞り３０やシリンドリカルレンズ３１が設けられている。絞り３０は、レーザービームＬの光量を設定する。シリンドリカルレンズ３１は、レーザービームＬを副走査方向Ｓに集光する。
【００２７】
結像光学系２９を透過したレーザービームＬは、正六角形状に成形されたポリゴンミラー３２の偏向反射面３３に入射する。偏向反射面３３は、例えば、３ｍｍの幅を有する。また、偏向反射面３３に到達したレーザービームＬは、例えば、φ１００〜φ１５０μｍの径を有する。ポリゴンミラー３２には、モータ３４の回転軸が接続されており、一定の角速度で矢印方向に高速回転される。これにより、偏向反射面３３に入射したレーザービームＬが、主走査方向Ｍに偏向して出力される。
【００２８】
ポリゴンミラー３２によって偏向されたレーザービームＬは、ｆθレンズを構成する球面レンズ３５およびトーリックレンズ３６を透過し、これらによって走査速度が等速化され、ひずみが補正されるｆθ補正が施される。ｆθ補正されたレーザービームＬは、二つのシリンドリカルミラー３７、３８によって、被走査面１３に対向する光学箱２１の側面に設けられた開口３９に向けて反射され、開口３９を介して被走査面１３に照射される。被走査面１３におけるレーザービームＬの径は、例えば、φ９０〜φ１００μｍとなっている。
【００２９】
図４において、本発明の走査光学系１０の検査装置５０は、走査光学系１０の出荷前に総合的な性能検査をするためのものである。検査装置５０は、出荷前の走査光学系１０が着脱自在にセットされるステージ（図示せず）を有する。ステージには、多数の位置決め部材や係止部材、例えばクランプ機構やロック機構が設けられており、走査光学系１０が所定の位置に固定されるようになっている。
【００３０】
被走査面１３には、被走査面１３に結像されたレーザービームＬを撮像するための三台のＣＣＤセンサ５１ａ〜５１ｃ（例えば、４８０×６４０画素、画素サイズ７．４μｍ）が設けられている。ＣＣＤセンサ５１ａ〜５１ｃは、主走査方向Ｍに等間隔で並べられ、且つ撮像面が被走査面１３に平行になるように配置されている。
【００３１】
ＣＣＤセンサ５１ａ〜５１ｃは、マイクロステージ５２ａ〜５２ｃに載置されている。マイクロステージ５２ａ〜５２ｃを操作することで、ＣＣＤセンサ５１ａ〜５１ｃの位置を微調整することが可能となっている。また、図示は省略しているが、マイクロステージ５２ａ〜５２ｃには、これらを纏めて主走査方向Ｍにスライドさせる機構が接続されている。ＣＣＤセンサ５１ａ〜５１ｃは、これらの位置決め機構によって、被走査面１３に結像されたレーザービームＬに焦点が合うように、且つ撮像面の中心がレーザービームＬの目標照射位置と一致するように位置決めされる。さらに、図５に示すように、中央のＣＣＤセンサ５１ｂは、マイクロステージ５２ｂを介して、これらをレーザービームＬの光軸方向に平行な矢印方向に移動させる移動ステージ５３に取り付けられている。
【００３２】
図４に戻って、ＡＰＣ回路２８、モータ３４、ＣＣＤセンサ５１ａ〜５１ｃ、および移動ステージ５３は、パーソナルコンピュータ（以下、ＰＣと表記する。）５４に接続されている。検査時、ＰＣ５４は、一定の角速度でポリゴンミラー３２が回転されるように、モータ３４に駆動制御信号を送信するとともに、六つの偏向反射面３３毎にレーザービームＬが照射されるように、ＡＰＣ回路２８に駆動制御信号を送信する。また、ポリゴンミラー３２の回転と同期して六つの偏向反射面３３毎に反射されたレーザービームＬをそれぞれ撮像するように、ＣＣＤセンサ５１ａ〜５１ｃに駆動制御信号を送信する。さらに、ＣＣＤセンサ５１ｂがレーザービームＬの光軸方向に規定量、例えば１０ｍｍ移動するように、移動ステージ５３に駆動制御信号を送信する。ＣＣＤセンサ５１ａ〜５１ｃの出力、すなわちレーザービームＬを撮像して得られた画像データは、ＰＣ５４に逐次入力される。
【００３３】
ＰＣ５４は、モニタ５５と、キーボードおよびマウスからなる操作入力部５６とを備えている。図６において、ＣＰＵ６０は、ＰＣ５４の全体の動作を統括的に制御する。ＣＰＵ６０には、バス６１を介して、前述の操作入力部５６とともに、通信Ｉ／Ｆ６２、メモリ６３、ＨＤＤ６４、およびモニタ５５の表示を制御する表示制御部６５が接続されている。
【００３４】
通信Ｉ／Ｆ６２は、ＡＰＣ回路２８、モータ３４、ＰＣ５４に接続された各部とのデータの遣り取りを媒介する。ＨＤＤ６４には、検査装置５０用のプログラムがインストールされており、ＣＣＤセンサ５１ａ〜５１ｃで得られた画像データなどが記録される。ＣＰＵ６０は、ＨＤＤ６４からプログラムを読み出してメモリ６３に展開し、読み出したプログラムを逐次処理する。また、ＣＰＵ６０は、操作入力部５６から入力される操作入力信号に応じて、ＰＣ５４の各部を動作させる。
【００３５】
検査装置５０用のプログラムを起動すると、図７に示すように、照射位置算出回路７０、パラメータ算出回路７１、および判定回路７２がＣＰＵ６０に構築される。
【００３６】
ここで、偏向反射面３３におけるレーザービームＬの径がφ１００〜φ１５０μｍ、被走査面１３におけるレーザービームＬの径がφ９０〜φ１００μｍであるのに対して、ＣＣＤセンサ５１ａ〜５１ｃの画素サイズが７．４μｍであることから、図８（Ａ）に示すように、レーザービームＬ（斜線で示す。）は、ＣＣＤセンサ５１ａ〜５１ｃの複数の画素７３に跨がって撮像される。このとき、画素配列の縦（Ｙ）横（Ｘ）方向に関する各画素７３の出力、つまり輝度値の分布は、中央の画素配列（実線で囲む部分）を例にとると、（Ｂ）および（Ｃ）に示すグラフ（以下、それぞれＹプロファイル、Ｘプロファイルと表記する。）のようになる。すなわち、レーザービームＬの中心部分を撮像した画素７３の輝度値がピークとなり、レーザービームＬの外周部分を撮像した画素７３につれて輝度値が低下する山形状の特性となる。
【００３７】
照射位置算出回路７０は、ＣＣＤセンサ５１ａ〜５１ｃからの画像データを構成する各画素７３の輝度値を検出して、画素配列毎にＸ、Ｙプロファイルを作成する。そして、輝度値がピークとなる画素７３のＸＹ座標をレーザービームＬの照射位置として算出する。
【００３８】
照射位置算出回路７０は、偏向反射面３３毎に、画像データの連続する複数コマについて上記の処理を実行し、これにより算出された複数コマ毎のレーザービームＬの照射位置を平均して、この平均値を最終的なレーザービームＬの照射位置として採用する。なお、ＸＹ座標は、レーザービームＬの目標照射位置である撮像面の中心の画素７３を原点とする。
【００３９】
図９（Ａ）に示すように、偏向反射面３３がポリゴンミラー３２の回転軸Ｒに対して傾いて（面倒れして）いた場合、被走査面１３におけるレーザービームＬの照射位置は、副走査方向Ｓ、つまりＹ方向にずれる。このため、パラメータ算出回路７１は、六つの偏向反射面３３からのレーザービームＬの照射位置のＹ座標の最大値と最小値との差分を求め、これを偏向反射面３３の面倒れ量（単位；μｍ）とする。
【００４０】
また、（Ｂ）に示すように、偏向反射面３３がポリゴンミラー３２の回転中心Ｏに対して、正規の寸法よりも外側に突き出していた場合、あるいは内側に引っ込んでいた場合、レーザービームＬが被走査面１３に到達する時間が早く、あるいは遅くなるので、被走査面１３におけるレーザービームＬの照射位置は、主走査方向Ｍ、つまりＸ方向にずれる。このため、パラメータ算出回路７１は、六つの偏向反射面３３のうちの任意の一面からのレーザービームＬの照射位置のＸ座標と、他の面からのレーザービームＬの照射位置のＸ座標とのずれ量から、ジッター成分を求める（単位；％）。
【００４１】
さらに、（Ｃ）に示すように、被走査面１３とレーザービームＬとのなす角度（立ち下げ角度）がずれた場合、移動ステージ５３で移動される前と後のレーザービームＬの照射位置は、Ｙ方向にずれる。このため、パラメータ算出回路７１は、右側の直角三角形を考慮して、移動ステージ５３で移動される前と後のレーザービームＬの照射位置のＹ方向のずれ量ΔＹと、移動ステージ５３によるＣＣＤセンサ５１ｂの移動量１０ｍｍとから、
θ＝ｔａｎ―１（ΔＹ／１０）・・・（１）
を求め、これを立ち下げ角度のずれ量（単位；ｄｅｇ）とする。
【００４２】
判定回路７２は、パラメータ算出回路７１で算出された面倒れ量、ジッター成分、および立ち下げ角度のずれ量の各パラメータと規格値とを比較する。そして、パラメータが規格値よりも小さい場合は検査合格と判定し、逆の場合は不合格と判定する。
【００４３】
検査装置５０用のプログラムを起動すると、モニタ５５には、図１０に示すウィンドウ８０が表示される。ウィンドウ８０は、画像枠８１と、データ枠８２と、ユーザーインターフェイス枠８３とから構成される。画像枠８１には、ＣＣＤセンサ５１ａ〜５１ｃで得られた画像がライブで表示される。データ枠８２には、レーザービームＬの照射位置のＸＹ座標とＸＹ方向の径（例えば、輝度値がピークとなる画素を含むＸ、Ｙプロファイルの輝度値がピークの１／ｅ２、または１３．５％のときの幅）の平均値の情報８４、８５、並びに輝度値のピークの情報８６が表示される。
【００４４】
ユーザーインターフェイス枠８３には、測定開始ボタン８７などが配置されている。測定開始ボタン８７が選択されると、ＰＣ５４から各部に駆動制御信号が送信され、これによりレーザー光源２２やモータ３４が駆動されて、ＣＣＤセンサ５１ａ〜５１ｃによる撮像が開始される。
【００４５】
各パラメータが算出されて判定が行われた後、モニタ５５には、図１１に示すウィンドウ９０が表示される。ウィンドウ９０は、結果表示枠９１と、データ表示枠９２とから構成される。結果表示枠９１には、各パラメータについて、パラメータ算出回路７１による算出結果と判定回路７２による判定結果（検査合格の場合は「ＯＫ」、不合格の場合は「ＮＧ」と表記される。）とが一覧表示される。
【００４６】
データ表示枠９２には、ジッター成分、および面倒れ量を算出する元となった照射位置算出回路７０の算出結果が、偏向反射面３３毎に一覧表示される。また、立ち下げ角度のずれ量を算出する元となった、移動ステージ５３で移動される前の通常位置における照射位置算出回路７０の算出結果と、１０ｍｍ移動後の位置における算出結果とが表示される。
【００４７】
また、モニタ５５には、操作入力部５６を操作することにより、図１２に示すウィンドウ１００が表示される。ウィンドウ１００には、各パラメータの規格値、照射位置の測定回数、レーザー光源２２の各種駆動条件、ＣＣＤセンサ５１ａ〜５１ｃのシャッタ間隔などが一覧表示される。これらの値は、操作入力部５６を操作することにより、設定変更することが可能となっている。
【００４８】
次に、上記のように構成された検査装置５０による検査手順について説明する。まず、各部品がネジなどで締結固定された走査光学系１０をステージにセットする。次いで、検査用プログラムを立ち上げて、モニタ５５にウィンドウ８０を表示させ、測定開始ボタン８７を選択する。これにより、ＰＣ５４から各部に駆動制御信号が送信され、レーザー光源２２からレーザービームＬが所定の間隔で発せられる。同時に、モータ３４が駆動されてポリゴンミラー３２が一定の角速度で回転される。また、ＣＣＤセンサ５１ａ〜５１ｃによる撮像が開始される。
【００４９】
レーザー光源２２から発せられたレーザービームＬは、コリメータレンズ２４により平行光束に収束され、ビームスプリッタ２６を透過して受光センサ２７に入射する一方、ビームスプリッタ２６で反射されて結像光学系２９に入射される。結像光学系２９に入射されたレーザービームＬは、絞り３０で光量が設定され、シリンドリカルレンズ３１で副走査方向に集光される。
【００５０】
結像光学系２９を透過したレーザービームＬは、偏向反射面３３で反射され、球面レンズ３５およびトーリックレンズ３６を透過して、これによりｆθ補正が施された後、シリンドリカルミラー３７、３８で反射され、開口３９から被走査面１３に照射される。
【００５１】
被走査面１３に照射されたレーザービームＬは、ＣＣＤセンサ５１ａ〜５１ｃで撮像される。ＣＣＤセンサ５１ａ〜５１ｃで得られた画像データは、ＰＣ５４に逐次入力される。ＰＣ５４では、偏向反射面３３毎に、照射位置算出回路７０でＣＣＤセンサ５１ａ〜５１ｃからの画像データを構成する各画素７３の輝度値が検出され、この検出結果に基づいて、画素配列毎にＸ、Ｙプロファイルが作成される。そして、連続する複数コマの画像データについて、輝度値がピークとなる画素７３のＸＹ座標が算出され、算出されたＸＹ座標が複数コマ毎に平均される。
【００５２】
上記の測定が通常位置にて一通り実行された後、ＰＣ５４から移動ステージ５３に駆動制御信号が送信される。これにより移動ステージ５３が駆動され、ＣＣＤセンサ５１ｂがレーザービームＬの光軸方向に１０ｍｍ移動される。そして、この状態で再び上記の測定が実行される。これにより得られた照射位置算出回路７０の算出結果は、データ表示枠９２に一覧表示される。
【００５３】
一連の測定が終了すると、パラメータ算出回路７１にて、偏向反射面３３の面倒れ量として、偏向反射面３３からのレーザービームＬの照射位置のＹ座標の最大値と最小値との差分が求められる。また、偏向反射面３３のうちの任意の一面からのレーザービームＬの照射位置のＸ座標と、他の面からのレーザービームＬの照射位置のＸ座標とのずれ量から、ジッター成分が求められる。さらに、式（１）が計算され、立ち下げ角度のずれ量が求められる。このようにして求められた各パラメータの算出結果は、結果表示枠９１に一覧表示される。
【００５４】
そして、判定回路７２にて、パラメータ算出回路７１で算出された面倒れ量、ジッター成分、および立ち下げ角度のずれ量の各パラメータと、操作入力部５５を操作することにより設定された規格値とが比較され、合否が判定される。この判定結果は、パラメータ算出回路７１による算出結果とともに、結果表示枠９１に一覧表示される。
【００５５】
結果表示枠９１に検査不合格を示す「ＮＧ」が表示された場合、ポリゴンミラー３２やレーザー光源２２などの部品の組み直し、位置調整を行った後、再び検査を実行する、あるいは、ポリゴンミラー３２を不良品として廃棄するなどの処置が講じられる。結果表示枠９１に全て「ＯＫ」が表示された場合は、走査光学系１０をステージから脱して、放射線画像読取装置２に組み込み、製品として出荷する。
【００５６】
以上説明したように、偏向反射面３３毎にレーザービームＬを照射して、被走査面１３の位置でＣＣＤセンサ５１ａ〜５１ｃによりレーザービームＬを撮像し、これにより得られた画像データから、被走査面１３におけるレーザービームＬの照射位置を算出し、算出した照射位置から偏向反射面３３の面倒れ量、ジッター成分、および立ち下げ角度のずれ量を算出して、これらのパラメータの合否を判定し、その判定結果をモニタ５５に表示するので、ポリゴンミラー３２を含めた走査光学系１０の性能検査を総合的に行うことができる。また、走査光学系１０を放射線画像読取装置２に組み込む前に調整を完結することができ、調整時間の大幅な短縮化を図ることができる。
【００５７】
また、複数コマ毎のレーザービームＬの照射位置、および径を平均して、この平均値を最終的なレーザービームＬの照射位置、および径として採用するので、測定誤差を抑えることができる。
【００５８】
上記実施形態では、ＰＣ５４のＨＤＤ６４に検査装置５０用のプログラムがインストールされ、これを起動させることで、ＣＰＵ６０に照射位置算出回路７０などが構築される例を挙げて説明したが、本発明はこれに限定されず、照射位置算出回路７０などをディスクリート回路やＦＰＧＡなどのハードウェアの形で搭載したＰＣを用いてもよい。
【００５９】
なお、上記実施形態の走査光学系１０の構成は一例であり、本発明を特に限定するものではない。また、放射線画像読取装置２に組み込まれる走査光学系１０を例示して説明したが、レーザープリンタや複写機、ファクシミリなどの画像記録装置に搭載される走査光学系に本発明を適用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】放射線画像読取装置の走査光学系周辺部を示す概略図である。
【図２】走査光学系の構成を示す概略図である。
【図３】走査光学系の構成を示す概略図である。
【図４】検査装置の構成を示す概略図である。
【図５】移動ステージの構成を示す概略図である。
【図６】パーソナルコンピュータの構成を示すブロック図である。
【図７】ＣＰＵに構築される各回路の構成を示すブロック図である。
【図８】レーザービームの照射位置、および径を算出するための概念を示す図であり、（Ａ）は、ＣＣＤセンサの画素とレーザービームとの位置関係、（Ｂ）、（Ｃ）は、縦横のある画素配列における各画素の輝度値の分布をそれぞれ示す。
【図９】各パラメータの概要を模式的に説明するための図であり、（Ａ）は面倒れ量、（Ｂ）はジッター成分、（Ｃ）は立ち下げ角度のずれ量をそれぞれ示す。
【図１０】モニタに表示されるウィンドウを示す説明図である。
【図１１】モニタに表示されるウィンドウを示す説明図である。
【図１２】モニタに表示されるウィンドウを示す説明図である。
【符号の説明】
【００６１】
２  放射線画像読取装置
１０  走査光学系
１３  被走査面
２１  光学箱
２２  レーザー光源
２８  ＡＰＣ回路
３２  ポリゴンミラー
３３  偏向反射面
３４  モータ
５０  検査装置
５１ａ〜５１ｃ  ＣＣＤセンサ
５３  移動ステージ
５４  パーソナルコンピュータ（ＰＣ）
５５  モニタ
５６  操作入力部
６０  ＣＰＵ
７０  照射位置算出回路
７１  パラメータ算出回路
７２  判定回路
７３  画素
９１  結果表示枠
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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