(57)【要約】【課題】映像信号周期に連動してレンズが常時動いているビデオ撮像中であっても、記録映像への影響を抑えて、制御応答に基づいた駆動周波数を制御することができる撮像装置を提供する。【解決手段】撮像装置は、レンズ１００を駆動するモータ１０１と、レンズ１００の位置制御ループの制御特性を測定する応答特性測定手段１１６とを備える。また、レンズ１００を含む撮像部の撮像状態に基づく特定の期間に応答特性測定手段１１６へ測定指示する測定タイミング制御手段を備える。また、応答特性測定手段１１６で測定された応答特性の結果によりモータ１０１の駆動周波数を制御する駆動周波数制御手段（ビデオカメラ制御部１１０）を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レンズを駆動するモータと、
前記レンズの位置制御ループの制御特性を測定する応答特性測定手段と、
撮像素子部の撮像状態に基づく特定の期間に前記応答特性測定手段へ測定指示する測定タイミング制御手段と、
前記応答特性測定手段で測定された応答特性の結果により前記モータの駆動周波数を制御する駆動周波数制御手段と、
を備えることを特徴とする撮像装置。
【請求項２】
温度検出手段を備え、前記温度検出手段で特定以上の温度変化が検出された場合、前記測定タイミング制御手段は、前記撮像素子部の撮像状態に基づく特定の期間に前記応答特性測定手段へ測定指示することを特徴とする請求項１記載の撮像装置。
【請求項３】
前記特定の期間とは、前記撮像素子部は起動しているが、映像を記録する記録部は記録停止状態にある期間であることを特徴とする請求項１または２記載の撮像装置。
【請求項４】
焦点検出手段を備え、前記特定の期間とは、前記焦点検出手段の焦点検出結果が特定以下の合焦状態にある期間であることを特徴とする請求項１または２記載の撮像装置。
【請求項５】
振動検出手段を備え、前記特定の期間とは、前記振動検出手段が特定速度以上のパンニング状態を検出した期間であることを特徴とする請求項１または２記載の撮像装置。
【請求項６】
シャッター手段を備え、前記特定の期間とは、映像信号の１フレーム時間よりシャッター速度が遅い状態の期間であることを特徴とする請求項１または２記載の撮像装置。
【請求項７】
前記応答特性測定手段は、前記撮像素子部の撮像状態に基づき応答特性測定に使用する印可信号を変更することを特徴とする請求項１または２記載の撮像装置。
【請求項８】
前記印可信号の振幅を変更することを特徴とする請求項７記載の撮像装置。
【請求項９】
前記印可信号の周波数を変更することを特徴とする請求項７記載の撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、撮像装置に関し、特にレンズ駆動用のモータ制御に特徴のある撮像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
弾性体に振動波を生じさせ、この振動体に接触する移動体を摩擦力により相対移動させる振動波モータがある。この振動波モータにおいて、圧電素子を共振点近傍より高い周波数で駆動してやれば安定に動作する。
【０００３】
しかし、共振点は温湿度や負荷等の環境条件によって絶えず変動するために、そのままでは最適な駆動周波数を常に得ることはできなかった。
【０００４】
そこで、予め温度と下限駆動周波数の関係を測定して、使用時には検出温度にあった下限駆動周波数を予め測定した関係から設定し、以後、下限周波数より高い周波数に駆動周波数を制御しながら速度制御をするものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
また、期待する振動周波数が得られるように、駆動回路の電圧増幅度、電流増幅度、或いはモータの回転数、トルク、消費電流、発振周波数、駆動電圧範囲を測定して、励振信号の位相ずれを補正するものがある（例えば、特許文献２参照）。
【０００６】
また、起動の度に前以て高速で駆動周波数サーチをして駆動電流を測定し、測定電流がピークになる駆動周波数を初期駆動周波数として本格起動させ、以後、停止するまで駆動電流を監視しながら駆動周波数制御するものがある（例えば、特許文献３参照）。
【特許文献１】特開平０６−２９６３７８号公報（第７頁、図３）
【特許文献２】特開平１１−０２７９６４号公報（第８頁、図１１）
【特許文献３】特開２００２−３５９９８２号公報（第７頁、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら特許文献１では、測定温度を幾つか変えて、予め温度と下限駆動周波数の関係を測定しておかなければならないので手間がかかるという問題がある。また、予め測定した関係が経年変化していった場合の対策が無い。
【０００８】
特許文献２では、駆動回路の特性、モータ特性を測定するために、振幅、電圧、電流等の検出回路を設けなければならない。また、モータを駆動して特性測定時を行っているが、動画撮像の場合、カメラ映像を連続記録しているため、無闇に駆動すると、そのまま記録映像へ影響が出るという問題がある。
【０００９】
特許文献３では、駆動電流測定回路が必要である。また、ビデオ撮像では映像信号周期に連動してレンズが常時小刻みに動いているので、その起動の度に周波数サーチしていては、映像信号周期に連動できなくなる恐れがある。
【００１０】
本発明の目的は、映像信号周期に連動してレンズが常時動いているビデオ撮像中であっても、記録映像への影響を抑えて、制御応答に基づいた駆動周波数を制御することができる撮像装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するために、請求項１記載の撮像装置は、レンズを駆動するモータと、前記レンズの位置制御ループの制御特性を測定する応答特性測定手段と、撮像素子部の撮像状態に基づく特定の期間に前記応答特性測定手段へ測定指示する測定タイミング制御手段と、前記応答特性測定手段で測定された応答特性の結果により前記モータの駆動周波数を制御する駆動周波数制御手段とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の撮像装置は、レンズを駆動するモータと、レンズの位置制御ループの制御特性を測定する応答特性測定手段と、撮像素子部の撮像状態に基づく特定の期間に応答特性測定手段へ測定指示する測定タイミング制御手段とを備える。また、応答特性測定手段で測定された応答特性の結果によりモータの駆動周波数を制御する駆動周波数制御手段を備える。
【００１３】
この構成により、映像信号周期に連動してレンズが常時動いているビデオ撮像中であっても、記録映像への影響を抑えて、制御応答に基づいた駆動周波数を制御することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１５】
図１は、本発明の実施の形態に係る撮像装置のブロック構成図である。
【００１６】
図１において、本撮像装置（ビデオカメラ）は以下の構成要素を備える。
【００１７】
超音波モータ１０１は、２つの電極を有し、ドライバ部１０８から出力された２相の駆動電圧が印加されることで振動し、レンズ１００を移動させる。位置センサ（焦点検出手段構成要素）１０２は、レンズ１００の位置を検出する。
【００１８】
位置目標発生器（焦点検出手段構成要素）１０３は、レンズ１００の制御位置目標を発生する。位置エラー算出部１０４は、位置目標発生器１０３から出力された位置目標と位置センサ１０２で検出されたレンズ位置から位置エラーを算出する。
【００１９】
信号切替部１０５は、位置エラー算出部１０４からの信号と応答特性測定部１１６で外乱信号が加算された信号を切り替える。位置サーボ補償器１０６は、信号切替部１０５から出力された位置エラーに応じて駆動信号の位相差を決定する。
【００２０】
２相信号発振器１０７は、ビデオカメラ制御部１１０で決定された周波数で、位置サーボ補償器１０６で決定された位相差を持った２相のパルス信号を発生する。ドライバ部１０８は、２相のパルス信号でモータ電源（不図示）をスイッチして駆動電圧を発生させ、超音波モータ１０１を励振させ駆動する。
【００２１】
以上のように位置制御ループが形成されている。
【００２２】
温度センサ（温度検出手段）１０９はレンズ付近の温度を検出する。ビデオカメラ制御部（測定タイミング制御手段、駆動周波数制御手段）１１０は、キー入力やセンサ入力や映像信号によりビデオカメラ（撮像装置）全体を制御する。撮像素子部１１１は、ＣＣＤセンサ、ＣＭＯＳセンサ等で構成され、光電変換してカメラ信号を出力する。
【００２３】
映像処理部１１２は、カメラ信号に特定の信号処理を施して規格化された映像信号に変換し、映像信号をＤＶＤレコーダ等へ記録するのに適した信号へ変換し符号圧縮化を施し、映像データを作成する。
【００２４】
更に、映像処理部１１２は、カメラ信号をフィルタリングして特定の高周波成分のみを抽出し、ピークホールドや積分等の処理を行うことでコントラストＡＦ（山登り）方式のＡＦ制御のためのＡＦ評価値を生成出力する。
【００２５】
記録部１１３は、記録媒体に映像ファイル、管理ファイルを記録する。振動センサ（振動検出手段）１１４は、手ぶれ補正用の角速度センサ、加速度センサ等であり、振動センサ１１４の出力からビデオカメラ制御部（測定タイミング制御手段、駆動周波数制御手段）１１０は振動を検出してパンニングを検出する。
【００２６】
応答特性測定部（応答特性測定手段）１１６は、位置制御ループの制御特性を測定する。応答特性測定部１１６は、以下の構成要素を有する。
【００２７】
正弦波出力部１１７は、応答特性測定部１１６内の周波数応答特性を測定するために特定の外乱を出力する。外乱加算部１１８は、位置エラー算出部１０４の出力に正弦波出力部１１７の出力を加算する。
【００２８】
応答特性算出部１１９は、位置サーボ補償器１０６への入力と、位置エラー算出部１０４の出力から位置制御ループの応答特性を算出する。応答特性算出部１１９で算出された結果によりビデオカメラ制御部１１０は駆動周波数を制御する。
【００２９】
図２は、図１の撮像装置によって実行される測定フラグオン処理の手順を示すフローチャートである。
【００３０】
本処理は、図１におけるビデオカメラ制御部１１０によって周期的に実行される。
【００３１】
図２において、まず、ステップＳ２０１では、ビデオカメラ制御部１１０は既に精特性測定フラグまたは粗特性測定フラグがオンになっているか否かを判断し、オンならばフロー処理を終了し、オフならばステップＳ２０２へ処理を移す。
【００３２】
精特性測定フラグとは、大振幅の外乱信号を加算する特性測定実行用の判別フラグである。粗特性測定フラグとは、小振幅の外乱信号を加算する特性測定実行用の判別フラグである。
【００３３】
ステップＳ２０２において、ビデオカメラの主電源起動後で映像出力前であるか判断し、映像出力前であるならばステップＳ２０５へ処理を移し、映像出力後ならばステップＳ２０３へ処理を移す。
【００３４】
ステップＳ２０３において、現在の駆動周波数に決定した時の記憶温度値と現在の温度値を比較し、特定値以上変化しているか否かを判断し、特定値以上変化であるならばステップＳ２０４へ処理を移し、そうでないならフローを終了する。
【００３５】
温度が変化している場合は、共振周波数が変化している可能性がある。よって、想定の駆動ゲインを発生する駆動周波数も変化している可能性がある。
【００３６】
ステップＳ２０４において、ビデオカメラの記録一時停止（記録ポーズ）中であるか否かを判断し、記録ポーズ中であるならばステップＳ２０５へ処理を移し、そうでないならステップＳ２０６へ処理を移す。
【００３７】
ステップＳ２０５において、精特性測定フラグを立てて処理をステップＳ２１０へ移す。主電源起動後の映像出力前と記録ポーズ中は、撮像映像が記録に使われない状態なので、レンズを大きく動かしても記録映像に全く影響がない。
【００３８】
ステップＳ２０６において、ＡＦ制御のためのＡＦ評価値が大きく焦点がぼけている値に相当するか否かを判断し、大きくぼけているならばステップＳ２０９へ処理を移し、そうでないならステップＳ２０７へ処理を移す。
【００３９】
ステップＳ２０７において、シャッター速度が特定速以下のスローシャッター状態であるか否かを判断し、特定速以下ならばステップＳ２０９へ処理を移し、そうでないならステップＳ２０８へ処理を移す。
【００４０】
ステップＳ２０８においてパンニング検出値が特定値以上か判断し、特定値以上ならステップＳ２０９へ処理を移し、そうでないならフローを終了する。
【００４１】
ステップＳ２０９において、粗特性測定フラグを立てて処理をステップＳ２１０へ移す。ＡＦが大きくぼけている状態では、撮像映像がぼけて記録されており、フォーカス或いはズームレンズを動かしてもコントラスト変化が見えないので記録映像に対する影響が少ない。
【００４２】
シャッター速度が映像同期信号より遅い状態では、数枚の動画像が蓄積平均化されて記録されている状態なので、レンズ１００を動かした瞬間映像も平均化されてしまい見えないので記録映像に対する影響が少ない。
【００４３】
パンニング中は、映像アングルが縦または横方向に目まぐるしく変化して記録されている状態なので、レンズ１００を動かした映像変化は映像アングルの変化に埋もれて見えないので記録映像に対する影響が少ない。
【００４４】
ステップＳ２１０において、温度を記憶してフローを終了する。
【００４５】
以上のように、記録映像への影響が目立たない特定の動作で、動作に応じて制御応答の測定を指示する。
【００４６】
図３は、図１の撮像装置によって実行される駆動周波数制御処理の手順を示すフローチャートである。
【００４７】
本処理は、図１におけるビデオカメラ制御部１１０によって周期的に実行される。
【００４８】
図３において、まず、ステップＳ３０１では、ビデオカメラ制御部１１０は、精特性測定フラグまたは粗特性測定フラグが立っているか否かを判断し、立っていればステップＳ３０２へ処理を移し、そうでなければフローを終了する。
【００４９】
ステップＳ３０２において、上記特性測定フラグが立ってから初回であるか否かを判断し、初回であればステップＳ３０３へ処理を移し、そうでなければステップＳ３０８へ処理を移す。
【００５０】
ステップＳ３０３において、位置目標発生器１０３の目標位置設定を現在値で固定してステップＳ３０４へ処理を移す。
【００５１】
ステップＳ３０４において、立っているフラグは精特性測定フラグであるか否かを判断し、精特性測定フラグであるならばステップＳ３０５へ処理を移し、そうでないならステップＳ３０６へ処理を移す。
【００５２】
ステップＳ３０５において、正弦波出力部１１７の信号設定を特定の大振幅外乱信号に設定して、ステップＳ３０７へ処理を移す。
【００５３】
ステップＳ３０６において、正弦波出力部１１７の信号設定を特定の小振幅外乱信号に設定して、ステップＳ３０７へ処理を移す。
【００５４】
大振幅外乱信号で測定した場合、精度が高くなるが、レンズ１００の動きも大きくなるため、精特性測定は映像が記録されていない時に行われる。小振幅外乱信号で測定した場合、レンズ１００の動きが小さくなるが、精度が低くなるため、粗特性測定は映像が記録中だがレンズ１００の動きが目立たない特定動作中に行われる。
【００５５】
ステップＳ３０７において、信号切替部１０５を測定側に切り替えてフローを終了する。
【００５６】
これによって位置エラー算出部１０４へ外乱信号が重畳された信号が位置サーボ補償器１０６に供給されるようになる。
【００５７】
ステップＳ３０８において、ビデオカメラ制御部１１０の周期カウンタを１カウントアップしてステップＳ３０９へ処理を移す。
【００５８】
ステップＳ３０９において、周期カウンタが外乱信号の１周期相当より大きくなっているか否かを判断し、１周期相当以上であればステップＳ３１０へ処理を移し、そうでなければフローを終了する。
【００５９】
ステップＳ３１０において、測定した応答ゲインは特定応答ゲイン１より小さいか否かを判断し、小さければステップＳ３１１へ処理を移し、そうでなければステップＳ３１３へ処理を移す。
【００６０】
ステップＳ３１１において、２相信号発振器１０７の駆動周波数を０．５ｋＨｚ下げる設定に変えてステップＳ３１２へ処理を移す。
【００６１】
ステップＳ３１２において、周期カウンタをクリアしてフローを終了する。
【００６２】
ステップＳ３１３において、測定した応答ゲインは特定応答ゲイン２より大きいか否かを判断し、大きければステップＳ３１４へ処理を移し、そうでなければステップＳ３１６へ処理を移す。
【００６３】
ステップＳ３１４において、２相信号発振器１０７の駆動周波数を０．５ｋＨｚ上げる設定に変えてステップＳ３１５へ処理を移す。
【００６４】
ステップＳ３１５において、周期カウンタをクリアしてフローを終了する。
【００６５】
ステップＳ３１６において、精特性測定フラグ、粗特性測定フラグともクリアしてステップＳ３１７へ処理を移す。
【００６６】
ステップＳ３１７において、位置目標発生器１０３の目標位置設定固定を解除して、通常のカメラ情報由来の位置制御に戻してステップＳ３１８へ処理を移す。
【００６７】
ステップＳ３１８において、信号切替部１０５を通常側に切り替えてステップＳ３１９へ処理を移す。
【００６８】
ステップＳ３１９において、周期カウンタをクリアしてフローを終了する。
【００６９】
このように、測定中は外乱信号を加算された信号で位置制御を行うことで応答ゲインを算出し、特定の応答ゲイン１から応答ゲイン２の範囲に入るまで駆動周波数制御と測定を繰り返すことになる。
【００７０】
図４は、図１の撮像装置によって実行される測定フラグオフ処理の手順を示すフローチャートである。
【００７１】
本処理は、図１におけるビデオカメラ制御部１１０によって周期的に実行され、測定中に特定のビデオカメラ動作条件から抜けた場合にフラグを下げて測定を中止するためのフローチャートである。
【００７２】
図４において、まず、ステップＳ４０１では、ビデオカメラ制御部１１０は、精特性測定フラグが立っているか否かを判断し、立っていればステップＳ４０２へ処理を移し、そうでなければステップＳ４０４へ処理を移す。
【００７３】
ステップＳ４０４において、ビデオカメラ制御部１１０は、粗特性測定フラグが立っているか否かを判断し、立っていればステップＳ４０５へ処理を移し、そうでなければフローを終了する。
【００７４】
ステップＳ４０２において、ビデオカメラの記録一時停止（記録ポーズ）を解除されたか否かを判断し、記録ポーズが解除されたならばステップＳ４０３へ処理を移し、そうでないならフローを終了する。
【００７５】
ステップＳ４０３において、精特性測定フラグをクリアしてステップＳ４０９へ処理を移す。
【００７６】
ステップＳ４０５において、ＡＦ制御のためのＡＦ評価値が大きく焦点がぼけていない値に相当するか否かを判断し、大きくぼけていないならばステップＳ４０６へ処理を移し、そうでないならフローを終了する。
【００７７】
ステップＳ４０６において、シャッター速度が特定速以上の非スローシャッター状態であるか否かを判断し、特定速以上ならばステップＳ４０７へ処理を移し、そうでないならフローを終了する。
【００７８】
ステップＳ４０７において、パンニング検出値が特定値以下か否かを判断し、特定値以下ならステップＳ４０８へ処理を移し、そうでないならフローを終了する。
【００７９】
ステップＳ４０８において、粗特性測定フラグをクリアしてステップＳ４０９へ処理を移す。
【００８０】
ステップＳ４０９において、信号切替部１０５を通常側に切り替えてステップＳ４１０へ処理を移す。
【００８１】
ステップＳ４１０において、今回温度の記憶値を消し、測定前の前回温度値を記憶してフローを終了する。
【００８２】
以上のように、記録映像への影響が目立つ動作へ戻った場合、制御応答の測定を中止指示する。
【００８３】
図５は、図１の撮像装置における位置エラーから位置出力までの位置制御システムのブロック線図である。
【００８４】
図５において、位置エラー信号５０１は、位置目標信号５００と位置出力信号５０７の差分で求められる。位置サーボ補償器ブロック５０２は、特定の周波数応答特性で設計される。
【００８５】
位置エラー信号５０１は、位置サーボ補償器ブロック５０２によって、位相差信号５０３に変換される。
【００８６】
超音波モータブロック５０４は特定の位相差対速度特性を有する。位相差信号５０３に応じて超音波モータブロック５０４は速度５０５で動作する。速度５０５は積分要素５０６によって積分され、位置出力信号５０７に変換される。
【００８７】
所望の制御性能を満たすように、図５の一巡ループの周波数応答特性は決定される。上記一巡ループの周波数応答特性になるように、既知の位相差対速度特性を有する超音波モータブロック５０４の特性を前提として、位置サーボ補償器ブロック５０２の周波数応答特性は設計される。
【００８８】
図６は、図１における超音波モータの駆動周波数と速度の関係、速度と２相位相差の関係、２相信号位相差を説明する図である。
【００８９】
（ａ）の横軸は駆動周波数で縦軸は速度である。（ｂ）の横軸は２相位相差で縦軸は速度である。（ｃ）は２相のパルス信号である。
【００９０】
位相差とは、パルス１周期を３６０度とした時の（ｃ）のＡ相に対する（ｃ）のＢ相の位相差であり、+９０度とは１／４周期進行している状態、−９０度とは１／４周期後退している状態を示す。
【００９１】
（ａ）の駆動周波数による速度は、（ｂ）の位相差９０度での速度を示しており、共振点に近い駆動周波数ＦＢの速度ＶＢのほうが、周波数ＦＡの速度ＶＡより速い。
【００９２】
また、（ｂ）のように、速度は＋９０度位相差で順方向最高速度、０度で停止、−９０度位相差で逆方向最高速度と、位相差でも速度制御することが可能である。
【００９３】
位相差に対する速度特性は９０度での速度が速いＦＢの特性ＬＦＢのほうがＦＡの特性ＬＦＡより立っている。
【００９４】
図５の超音波モータブロック５０４が図６（ｂ）のＬＦＡ特性という前提で位置サーボ補償器ブロック５０２を設計したにもかかわらず、温度変化により駆動周波数ＦＡなのにＬＦＢ特性になってしまったとする。
【００９５】
その場合、モータは予定より速く動くために、図３のフローチャートによれば一巡ループの周波数応答特性の測定結果は高応答となり、駆動周波数を上げるという動作をする。
【００９６】
このように、ＬＦＡ特性より特定の範囲外の特性になっても駆動周波数を変えて、ＬＦＡ特性近傍の特定範囲内に引き込むことができる。
【００９７】
本実施の形態において、ビデオカメラ制御部１１０は、撮像素子部１１１の撮像状態に基づく特定の期間に応答特性測定部１１６へ測定指示する測定タイミング制御手段として機能する。また、ビデオカメラ制御部１１０は、応答特性測定部１１６で測定された応答特性の結果により超音波モータ１０１の駆動周波数を制御する駆動周波数制御手段として機能する。
【００９８】
また、測定タイミング制御手段としてのビデオカメラ制御部１１０は、温度検出手段としての温度センサ１０９で特定以上の温度変化が検出された場合、撮像素子部１１１の撮像状態に基づく特定の期間に応答特性測定部１１６へ測定指示する。
【００９９】
ここで、特定の期間とは、撮像素子部１１１は起動しているが、映像を記録する記録部１１３は記録停止状態にある期間である。
【０１００】
また、特定の期間とは、焦点検出手段の焦点検出結果が特定以下の合焦状態にある期間である。
【０１０１】
また、特定の期間とは、振動検出手段としての振動センサ１１４が特定速度以上のパンニング状態を検出した期間である。
【０１０２】
また、特定の期間とは、映像信号の１フレーム時間よりシャッター速度が遅い状態の期間である。
【０１０３】
また、応答特性測定部１１６は、撮像素子部の撮像状態に基づき応答特性測定に使用する印可信号を変更する。
【０１０４】
また、本実施の形態の撮像装置においては、上記印可信号の振幅を変更するとともに、印可信号の周波数を変更する。
【０１０５】
本実施の形態によれば、温度を監視しつつ、記録映像へ影響が目立たない特定の動作時にのみ、モータを駆動して特性測定を行い、駆動周波数を制御できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【０１０６】
【図１】本発明の実施の形態に係る撮像装置のブロック構成図である。
【図２】図１の撮像装置によって実行される測定フラグオン処理の手順を示すフローチャートである。
【図３】図１の撮像装置によって実行される駆動周波数制御処理の手順を示すフローチャートである。
【図４】図１の撮像装置によって実行される測定フラグオフ処理の手順を示すフローチャートである。
【図５】図１の撮像装置における位置エラーから位置出力までの位置制御システムのブロック線図である。
【図６】図１における超音波モータの駆動周波数と速度の関係、速度と２相位相差の関係、２相信号位相差を説明する図である。
【符号の説明】
【０１０７】
１００  レンズ
１０１  超音波モータ
１０２  位置センサ
１０３  位置目標発生器
１０４  位置エラー算出部
１０５  信号切替部
１０６  位置サーボ補償器
１０７  ２相信号発振器
１０８  ドライバ部
１０９  温度センサ
１１０  ビデオカメラ制御部
１１１  撮像素子部
１１２  映像処理部
１１３  記録部
１１４  振動センサ（振動検出手段）
１１６  応答特性測定部（応答特性測定手段）
１１７  正弦波出力部
１１８  外乱加算部
１１９  応答特性算出部
【図１】
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【図２】
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【図３】
2008270886.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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