(57)【要約】【課題】  マスター担体を変形させず、転写の際に高い位置精度を保ち、良好な転写品位を実現する転写方法、転写装置、記録媒体、及び磁気記録装置を提供すること。【解決手段】  マスターディスク１０とスレーブディスク１４が保持されるホルダ２に備えられた吸着板８Ａ、８Ｂにより、マスターディスク１０またはシート１１Ａ、１１Ｂの変形を規制する。【選択図】図４
2008204569.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
微小な凹凸形状が形成されたマスター担体を流体の圧力により直接にまたは可撓性膜を介して押圧することによりスレーブ媒体へ密着させ、前記凹凸形状または前記凹凸形状により表される転写情報のいずれかを前記スレーブ媒体へ転写する転写方法において、
前記マスター担体と前記スレーブ媒体とが保持されるホルダ部材に備えられた変形規制手段により、前記マスター担体または前記可撓性膜の変形が規制されることを特徴とする転写方法。
【請求項２】
前記変形規制手段は、前記ホルダ部材に前記マスター部材または前記スレーブ媒体を供給する際または前記マスター部材から前記スレーブ媒体を剥離する際に、前記マスター担体または前記可撓性膜の変形を規制することを特徴とする請求項１に記載の転写方法。
【請求項３】
前記変形規制手段は、圧力差による吸引、静電力による吸引、または磁力による吸引により、前記マスター担体または前記可撓性膜を吸着して、該マスター担体または該可撓性膜の変形を規制することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の転写方法。
【請求項４】
前記変形規制手段は、多孔質セラミックにより形成されるポーラス板、吸着溝が形成された高平面板、または静電力や磁力を発生させることが可能な高平面板により構成されることを特徴とする請求項１、２、または３のいずれか１項に記載の転写方法。
【請求項５】
微小な凹凸形状が形成されたマスター担体と、
転写を受けるスレーブ媒体と、
前記マスター担体と前記スレーブ媒体が保持されるホルダ部材と、    
前記スレーブ媒体へ前記マスター担体を流体の圧力により密着させる加圧手段と、
前記ホルダ部材に設けられ、前記マスター担体または前記可撓性膜の変形を規制する変形規制手段と、を備えたことを特徴とする転写装置。
【請求項６】
前記変形規制手段は、前記ホルダ部材に前記マスター部材または前記スレーブ媒体を供給する際または前記マスター部材から前記スレーブ媒体を剥離する際に、前記マスター担体または前記可撓性膜の変形を規制することを特徴とする請求項５に記載の転写装置。
【請求項７】
前記変形規制手段は、圧力差による吸引、静電力により吸引、または磁力による吸引により、前記マスター担体または前記可撓性膜を吸着して、該マスター担体または該可撓性膜の変形を規制することを特徴とする請求項５または請求項６に記載の転写装置。
【請求項８】
前記変形規制手段は、多孔質セラミックにより形成されるポーラス板、吸着溝が形成された高平面板、または静電力や磁力を発生させることが可能な高平面板により構成されることを特徴とする請求項５、６、または７のいずれか１項に記載の転写装置。
【請求項９】
微小な凹凸形状が形成されたマスター担体を流体の圧力により直接にまたは可撓性膜を介して押圧することによりスレーブ媒体へ密着させ、前記凹凸形状または前記凹凸形状により表される転写情報のいずれかを前記スレーブ媒体へ転写する転写方法において、
前記マスター担体と前記スレーブ媒体とが保持されるホルダ部材に備えられた変形規制手段により、前記ホルダ部材に前記マスター部材または前記スレーブ媒体を供給する際または前記マスター部材から前記スレーブ媒体を剥離する際に、前記マスター担体または前記可撓性膜の変形が規制されて製造されたことを特徴とする記録媒体。
【請求項１０】
微小な凹凸形状が形成されたマスター担体を流体の圧力により直接にまたは可撓性膜を介して押圧することによりスレーブ媒体へ密着させ、前記凹凸形状または前記凹凸形状により表される転写情報のいずれかを前記スレーブ媒体へ転写する転写方法において、
前記マスター担体と前記スレーブ媒体とが保持されるホルダ部材に備えられた変形規制手段により、前記ホルダ部材に前記マスター部材または前記スレーブ媒体を供給する際または前記マスター部材から前記スレーブ媒体を剥離する際に、前記マスター担体または前記可撓性膜の変形が規制されて製造されたことを特徴とする記録媒体を備えた磁気記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微小な凹凸形状が形成されたマスター担体より、凹凸形状、または凹凸形状により表される転写情報のいずれかをスレーブ媒体へ転写する転写方法、転写装置、転写方法により製造される記録媒体、及び記録媒体を備えた磁気記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、磁気ディスク、光ディスク、光磁気ディスク等の各種情報記録媒体では、より小型かつ大容量化が求められている。また、電子デバイス、光デバイスなどにおいても、携帯端末の普及などにより小型化されるとともに、量産需要が高まっている。このような背景から、例えば記録媒体においては、記録されている記録信号ビットのトラック幅、線記録方向の磁化反転長等は数百、数十ｎｍにまで小さくなっている。
【０００３】
このような狭トラック化された記録媒体より正確に情報を取り出す為には、情報読み書きを行うヘッドを狭いトラック幅の中で正確に走査する必要があり、磁気ディスクには、所定の間隔でトラッキング用のサーボ信号やアドレス情報信号、及び再生クロック信号等が、磁気ヘッドのトラッキングサーボを行うためにプリフォーマットされて記録されている。
【０００４】
この記録は、磁気ヘッドにより行うこともできるが、フォーマット情報やアドレス情報が書き込まれたマスター担体としてのマスターディスクより一括転写する方法が効率的であり、好ましい。例えば、高密度磁気記録媒体となるスレーブ媒体としてのスレーブディスクに、転写すべき情報に対応した凹凸パターンの磁性層を有するマスターディスクを用意するとともに、スレーブディスクの磁性層を予めトラックの一方向に初期磁化し、その後、この初期磁化されたスレーブディスクとマスターディスクとを密着させた状態で初期磁化方向と略逆向きの転写用磁界を印加する磁気転写方法が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００５】
また、トラック密度の向上による、隣接トラック間のイレーズノイズ、クロストークノイズの発生、または線記録密度の向上により記録磁化の熱揺らぎによる減磁などについても問題となっており、これに対応するため、ディスクリートトラックメディア、パターンドメディアと呼ばれる形態の磁気記録媒体も提案されている。
【０００６】
ディスクリートトラックメディア、パターンドメディアと呼ばれる形態の磁気記録媒体では、磁気記録媒体の表面を所定の形状にパターンニングする必要がある。パターンニングにおいては、記録媒体全体を微細加工していくことは困難であるため、小型の電子デバイスや光デバイスを大量生産するのと同様に、所定の形状パターンが形成されたマスターディスク（スタンパ）をスレーブディスクに押圧することにより、マスターディスクの形状をスレーブディスクに転写するインプリント方法が用いられる。
【０００７】
上記記録媒体の転写方法では、いずれの場合もマスターディスクとスレーブディスクを全面に渡って均一な力で押圧し、密着させることが重要である。密着不良がある場合、転写された情報に信号抜けが生じ、信号品位が低下する。例えば、記録された信号がサーボ信号の場合、トラッキング機能が十分に得られず、信頼性が低下する問題が発生する。このような問題に対応するため、例えば、マスターディスクを保持するホルダに緩衝材を設けて密着性を向上させる磁気転写装置のホルダが提案されている（例えば、特許文献２。）。
【特許文献１】特開２００１−１４６６７号公報
【特許文献２】特開２００４−８６９９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
前述の通り、微小な凹凸形状が形成されたマスター担体より、凹凸形状、または凹凸形状により表される転写情報のいずれかをスレーブ媒体へ転写する際には、高い密着性でマスター担体とスレーブ媒体とを接触させると共に、均一に押圧することが重要となる。
【０００９】
ところが、マスター担体は、密着させる際、及び転写を行った後のスレーブ媒体からの剥離の際に強い力がかかるため、密着と剥離を繰り返すことによりマスター担体が湾曲するなど、マスター担体の平坦度が悪化していく。マスター担体の平坦度が悪化することにより、再び転写を行う際には、スレーブ媒体との接触位置にズレが生じ、所望の位置精度が安定して得られなくなるという問題が生じていた。
【００１０】
本発明はこのような問題に鑑みてなされたものであり、マスター担体とスレーブ媒体を密着、または剥離する際にマスター担体を変形させず、転写の際に高い位置精度を保ち、良好な転写品位を実現する転写方法、転写装置、転写方法により製造される記録媒体、及び記録媒体を備えた磁気記録装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は前記目的を達成するために、微小な凹凸形状が形成されたマスター担体を流体の圧力により直接にまたは可撓性膜を介して押圧することによりスレーブ媒体へ密着させ、前記凹凸形状または前記凹凸形状により表される転写情報のいずれかを前記スレーブ媒体へ転写する転写方法において、前記マスター担体と前記スレーブ媒体とが保持されるホルダ部材に備えられた変形規制手段により、前記マスター担体または前記可撓性膜の変形が規制されることを特徴としている。
【００１２】
また、本発明は前記発明において、前記変形規制手段は、前記ホルダ部材に前記マスター部材または前記スレーブ媒体を供給する際または前記マスター部材から前記スレーブ媒体を剥離する際に、前記マスター担体または前記可撓性膜の変形を規制することを特徴としている。
【００１３】
更に、本発明は前記発明において、前記変形規制手段は、圧力差による吸引、静電力による吸引、または磁力による吸引により、前記マスター担体または前記可撓性膜を吸着して、該マスター担体または該可撓性膜の変形を規制することを特徴としている。
【００１４】
更に、本発明は前記発明において、前記変形規制手段は、多孔質セラミックにより形成されるポーラス板、吸着溝が形成された高平面板、または静電力や磁力を発生させることが可能な高平面板により構成されることも特徴としている。
【００１５】
本発明によれば、微小な凹凸形状が形成されたマスター担体を流体の圧力により直接にまたは可撓性膜を介して押圧することによりスレーブ媒体へ密着させ、凹凸形状または凹凸形状により表される転写情報のいずれかをスレーブ媒体へ転写する際、マスター担体とスレーブ媒体とが保持されるホルダ部材には、マスター担体または可撓性膜の変形を規制する変形規制手段が備えられている。
【００１６】
変形規制手段は、多孔質セラミック等により形成されるポーラス板、吸着溝が形成された高平面板、または静電力や磁力を発生させることが可能な高平面板等により構成され、マスター部材またはスレーブ媒体を転写装置に供給する際、またはマスター部材からスレーブ媒体を剥離する際に、マスター担体または可撓性膜を吸着固定して変形を規制する。
【００１７】
これにより、繰り返し転写を行ってもマスター担体を変形させずにスレーブ媒体を供給することが可能となり、転写の際に高い位置精度が保たれ良好な転写品位を実現する。
【００１８】
また、本発明の転写装置では、微小な凹凸形状が形成されたマスター担体と、転写を受けるスレーブ媒体と、前記マスター担体と前記スレーブ媒体が保持されるホルダ部材と、前記スレーブ媒体へ前記マスター担体を流体の圧力により密着させる加圧手段と、前記ホルダ部材に設けられ、前記マスター担体または前記可撓性膜の変形を規制する変形規制手段と、を備えたことを特徴としている。
【００１９】
本発明によれば、転写装置に備えられたホルダ部材に設けられ、圧力差、静電力、及び磁力によりマスター担体または可撓性膜を吸着する変形規制手段は、ホルダ部材にマスター部材またはスレーブ媒体を供給する時、またはマスター部材からスレーブ媒体を剥離する際にマスター担体、または可撓性膜を吸着固定して変形を規制する。
【００２０】
これにより、繰り返し転写を行ってもマスター担体を変形させずにスレーブ媒体を供給することが可能となり、転写の際に高い位置精度が保たれ良好な転写品位を実現する。
【発明の効果】
【００２１】
以上説明したように、本発明の転写方法、転写装置、記録媒体、及び磁気記録装置によれば、ホルダ部材にマスター部材、またはスレーブ媒体を供給する時、及びマスター部材からスレーブ媒体を剥離する際にマスター担体、または可撓性膜が吸着固定されるため、繰り返し転写を行ってもマスター担体を変形させずにスレーブ媒体を供給することが可能となり、転写の際に高い位置精度が保たれ良好な転写品位を実現する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下添付図面に従って本発明に係る転写装置、転写方法、記録媒体、及び磁気記録装置の好ましい実施の形態について詳説する。
【００２３】
始めに、本発明の転写装置、および転写方法が適用される、ハードディスク等の生産技術である磁気転写の方法について説明する。図１はスレーブ媒体としてのマスターディスク１０を使用して磁気転写を行うための磁気転写装置２０の要部斜視図である。
【００２４】
磁気転写時には図３（ａ）に示される後記する初期直流磁化を行った後のスレーブ媒体としてのスレーブディスク１４のスレーブ面（磁気記録面）を、マスター担体としてのマスターディスク１０の情報担持面１３に接触させ、所定の押圧力で密着させる。そして、このスレーブディスク１４とマスターディスク１０との密着状態で、磁界生成手段３０により転写用磁界を印加して、マスターディスク１０に形成されている転写情報としての凹凸パターンＰをスレーブディスク１４に磁気的に転写する。
【００２５】
スレーブディスク１４は、表面に磁気記録層が形成されたハードディスク、フレキシブルディスク等の円盤状記録媒体であり、マスターディスク１０に密着させる以前に、グライドヘッド、研磨体などにより表面の微小突起及び付着塵埃を除去するクリーニング処理（バーニッシィング等）が必要に応じて施される。
【００２６】
スレーブディスク１４の磁気記録層には、塗布型磁気記録層、メッキ型磁気記録層、又は金属薄膜型磁気記録層を採用できる。金属薄膜型磁気記録層の磁性材料としては、Ｃｏ、Ｃｏ合金（ＣｏＰｔＣｒ、ＣｏＣｒ、ＣｏＰｔＣｒＴａ、ＣｏＰｔＣｒＮｂＴａ、ＣｏＣｒＢ、ＣｏＮｉ等）、Ｆｅ、Ｆｅ合金（ＦｅＣｏ、ＦｅＰｔ、ＦｅＣｏＮｉ等）、Ｎｉ、Ｎｉ合金（ＮｉＦｅ等）、を用いることができる。これらは磁束密度が大きいこと、磁界印加方向と同じ方向（面内記録なら面内方向）の磁界異方性を有していることにより、明瞭な転写を行えるため好ましい。そして、磁性材料の下（支持体側）に必要な磁気異方性を付与するために、非磁性の下地層を設けることが好ましい。この下地層には、結晶構造と格子定数を磁性層１２に合わすことが必要である。その為には、Ｃｒ、ＣｒＴｉ、ＣｏＣｒ、ＣｒＴａ、ＣｒＭｏ、ＮｉＡｌ、Ｒｕ等を用いることが好ましい。
【００２７】
転写用磁界を印加する磁界生成手段３０は、密着保持されたスレーブディスク１４とマスターディスク１０の半径方向に延びるギャップ３１を有するコア３２にコイル３３が巻き付けられた電磁石装置３４、３４が上下両側に配設されており、上下で同じ方向にトラック方向と平行な磁力線Ｇ（図２参照）を有する転写用磁界を印加する。図２は、円周トラック４０Ａ、４０Ａ…と磁力線Ｇとの関係を示したものである。
【００２８】
磁界印加時には、スレーブディスク１４とマスターディスク１０とを一体的に回転させつつ磁界生成手段３０によって転写用磁界を印加させ、マスターディスク１０の凹凸パターンにより表される転写情報をスレーブディスク１４のスレーブ面に磁気的に転写する。尚、この構成以外に磁界生成手段の方を回転移動させるようにしてもよい。
【００２９】
転写用磁界は、最適転写磁界強度範囲（スレーブディスク１４の保磁力Ｈｃの０．６〜１．３倍）の最大値を超える磁界強度がトラック方向のいずれにも存在せず、最適転写磁界強度範囲内の磁界強度となる部分が１つのトラック方向で少なくとも１カ所以上存在し、これと逆向きのトラック方向の磁界強度が何れのトラック方向位置においても最適転写磁界強度範囲内の最小値未満である磁界強度分布の磁界をトラック方向の一部分で発生させている。
【００３０】
図３は、面内記録による磁気転写方法の基本工程を説明する説明図である。
【００３１】
先ず、図３（ａ）に示すように、予めスレーブディスク１４に初期磁界Ｈi をトラック方向の一方向に印加して初期磁化（直流消磁)を施しておく。次に、図３（ｂ)に示すように、このスレーブディスク１４の記録面（磁気記録部）とマスターディスク１０の凹凸パターンＰが形成された情報担持面１３とを密着させ、スレーブディスク１４のトラック方向に初期磁界Ｈｉとは逆方向に転写用磁界Ｈｄ を印加して磁気転写を行う。転写用磁界Ｈd が凹凸パターンＰの凸部の磁性層１２に吸い込まれてこの部分の磁化は反転せず、その他の部分の磁界が反転する結果、図３（ｃ）に示すように、スレーブディスク１４の磁気記録面にはマスターディスク１０の凹凸パターンＰにより表される転写情報が磁気的に転写記録される。
【００３２】
次に、本発明に係わる転写装置、転写方法、記録媒体、及び磁気記録装置について説明する。図４は本発明に係わる転写装置を示した斜視図、図５は転写を行っている際の転写装置の断面図である。
【００３３】
転写装置１は、図４に示すように、マスターディスク１０とスレーブディスク１４を保持するホルダ２、ホルダ２を移動させるホルダ移動手段としてのガイド軸５、マスターディスク１０又はスレーブディスク１４をホルダ２へ供給する供給手段としてのロボットアーム４が備えられている。
【００３４】
ホルダ２は、マスターディスク１０とスレーブディスク１４を接触した状態で内部に保持することが可能な密閉容器であって、ケース２Ａとケース２Ｂの２つに別れ、ケース２Ａ、２Ｂはそれぞれテーブル７Ａ、７Ｂ上に設けられたホルダベース３Ａ、３Ｂに設けられている。
【００３５】
ケース２Ａ、２Ｂの内部には、マスターディスク１０、又はスレーブディスク１４を保持する為の吸着部１５がそれぞれ設けられ、吸着部１５の周囲にはステンレス材、ペット樹脂等により形成される可撓性膜としてのシート１１Ａ、１１Ｂが固定されている。シート１１Ａ、１１Ｂは、マスターディスク１０と接触している側とは裏面側の面へ空気や水等の流体を不図示の加圧手段で供給されることにより、マスターディスク１０を押圧する。
【００３６】
シート１１Ａ、１１Ｂの下には、図５に示されるように、それぞれ変形規制手段としての吸着板８Ａ、８Ｂが設けられている。吸着板８Ａ、８Ｂは、多孔質セラミック等により形成されるポーラス板、吸着溝が形成された高平面板、または静電力や磁力を発生させることが可能な高平面板等により構成される。
【００３７】
吸着板８Ａ、８Ｂは、マスターディスク１０またはスレーブディスク１４を転写装置１へ供給する際、またはマスターディスク１０からスレーブディスク１４を剥離する際に、マスターディスク１０またはシート１１Ａ、１１Ｂを吸着固定して、マスターディスク１０またはシート１１Ａ、１１Ｂの変形を規制する。
【００３８】
ガイド軸５は、ガイド５Ａ、５Ｂの間にホルダベース３Ａ、３Ｂが設けられたテーブル７Ａ、７Ｂを備えており、モーター、エアシリンダ等の駆動手段６によりテーブル７Ａ、７Ｂを接離可能に移動させる。これにより、ケース２Ａ、２Ｂは、接触して密閉状態とされることと、離れてマスターディスク１０、又はスレーブディスク１４の供給、位置合わせ、及び搬出が行われることが可能となる。
【００３９】
ロボットアーム４は、多関節のアーム型ロボットであって、先端にマスターディスク１０、又はスレーブディスク１４を吸着、または把持することにより保持する保持ハンド４Ａが設けられている。ロボットアーム４は、不図示のディスク供給部に貯留されたマスターディスク１０、又はスレーブディスク１４を、保持ハンド４Ａで保持してホルダ２へ供給するとともに位置合わせを行い、転写終了後は、ホルダ２よりマスターディスク１０、又はスレーブディスク１４をディスク供給部へ搬出する。
【００４０】
なお、本実施の形態では供給手段を多関節のアーム型ロボットとしているが、本発明はそれに限らず、ガイド軸、モーター、シリンダ等を組み合わせた搬送機構であっても、マスターディスク１０、又はスレーブディスク１４の供給、位置合わせ、搬出が行えるものであれば、いずれの形態であってもよい。
【００４１】
このような構成の転写装置１において、本発明の転写方法では、ケース２Ａ、２Ｂに夫々固定されたシート１１Ａ、１１Ｂの中央部に、それぞれマスターディスク１０が位置決めされて保持され、マスターディスク１０上に、ロボットアーム４によりスレーブディスク１４が供給される。
【００４２】
供給されたスレーブディスク１４は、マスターディスク１０に形成される凹凸形状の位置に合わせてロボットアーム４により位置決めされ、吸着部１５によりマスターディスク１０上に保持される。
【００４３】
このとき、シート１１Ａ、１１Ｂは、吸着板８Ａ、８Ｂへ吸着固定されている。吸着板８Ａ、８Ｂでのシート１１Ａ、１１Ｂの吸着は、流路２１Ａ、２１Ｂから不図示の減圧手段によりエアを排出する、または吸着板８Ａ、８Ｂへ不図示の電源装置により静電力や磁力を発生させることにより行われる。
【００４４】
これにより、図７に示される、吸着板８Ａ、８Ｂが設けられていないホルダ４０ように、長期の使用によりシート１１Ａ、１１Ｂが膨らみ、スレーブディスク１４をマスターディスク１０へ供給する際にマスターディスク１０が湾曲する、またはシート１１Ａ、１１Ｂが撓んでマスターディスク１０の位置がズレることが無くなり、高い位置精度が保たれ良好な転写品位を確保する。
【００４５】
スレーブディスク１４が保持された後は、テーブル７Ａ、７Ｂが駆動手段６により接近し、ケース２Ａ、２Ｂは、ニトリルゴム等により形成されるシール材１８を間に挟んで密着することにより、内部が密閉状態となる。密閉状態となったホルダ２は、流路２２Ａ、２２Ｂより不図示の減圧手段でエアを排出することにより、外部からの大気圧で押圧され確実に閉じられる。
【００４６】
続いて、不図示の加圧手段により、流路２１Ａ、２１Ｂから吸着板８Ａ、８Ｂを通して空気や水等の流体が供給され、スレーブディスク１４の両面に接触するマスターディスク１０がシート１１Ａ、１１Ｂにより押圧される。
【００４７】
シート１１Ａ、１１Ｂにより押圧されたマスターディスク１０は、スレーブディスク１４の両面へそれぞれ押圧される。押圧されるマスターディスク１０は、流体による押圧のため全面に渡り均一に押圧され、スレーブディスク１４に精度よく密着する。
【００４８】
この状態で、記録媒体を製造する場合には、先に述べた磁気転写の手順により磁気転写を行い、スレーブディスク１４へマスターディスク１０に形成された凹凸形状により表される転写情報を磁気的に転写する。
【００４９】
製造された磁気記録媒体は、磁気的な情報の読み書きを行う磁気ヘッド、磁気記録媒体を高速回転させるスピンドル等の装置とともに組み立てられ、磁気記録装置となる。
【００５０】
転写を行った後は、テーブル７Ａ、７Ｂが駆動手段６により離れ、ケース２Ａ、２Ｂが開放されてマスターディスク１０からスレーブディスク１４が剥離される。
【００５１】
このとき、シート１１Ａ、１１Ｂは、吸着板８Ａ、８Ｂへ吸着固定され、剥離の際にかかる力により、マスターディスク１０が湾曲することを防止する。
【００５２】
これにより、繰り返し転写を行ってもマスターディスク１０を変形させず、転写の際に高い位置精度が保たれ良好な転写品位が実現される。
【００５３】
次に、本発明に係わる別の実施の形態による転写装置、転写方法、記録媒体、及び磁気記録装置について説明する。図６は別の実施の形態による転写装置の転写を行っている際の断面図である。
【００５４】
別の実施の形態では、図６に示すように、ホルダ２に備えられたケース２Ａ、２Ｂの内部に、スレーブディスク１４を保持する為の吸着部１５がそれぞれ設けられ、吸着部１５の周囲にはシート状のマスターディスク１０Ａ、１０Ｂが固定されている。マスターディスク１０Ａ、１０Ｂは、空気や水等の流体を不図示の加圧手段で流路２１Ａ、２１Ｂより供給されることにより押圧され、スレーブディスク１４へ密着される。
【００５５】
マスターディスク１０Ａ、１０Ｂの下には、それぞれ変形規制手段としての吸着板８Ａ、８Ｂが設けられている。吸着板８Ａ、８Ｂは、マスターディスク１０Ａ、１０Ｂへスレーブディスク１４を供給する際、またはマスターディスク１０Ａ、１０Ｂからスレーブディスク１４を剥離する際に、マスターディスク１０Ａ、１０Ｂを吸着固定して、マスターディスク１０Ａ、１０Ｂの変形を規制する。
【００５６】
本発明の別の実施の形態の転写方法では、ケース２Ａ、２Ｂに夫々固定されたマスターディスク１０Ａ、１０Ｂの中央部に、スレーブディスク１４がロボットアーム４により位置決めされて供給され、吸着部１５により保持される。
【００５７】
このとき、マスターディスク１０Ａ、１０Ｂは、吸着板８Ａ、８Ｂへ吸着固定されている。吸着板８Ａ、８Ｂでのマスターディスク１０Ａ、１０Ｂの吸着は、流路２１Ａ、２１Ｂから不図示の減圧手段によりエアを排出する、または吸着板８Ａ、８Ｂへ不図示の電源装置により静電力や磁力を発生させることにより行われる。
【００５８】
これにより、マスターディスク１０Ａ、１０Ｂが湾曲する、または撓むなどせず、マスターディスク１０Ａ、１０Ｂとスレーブディスク１４との位置がズレることが無くなり、高い位置精度が保たれ良好な転写品位を確保する。
【００５９】
スレーブディスク１４が保持された後は、テーブル７Ａ、７Ｂが駆動手段６により接近し、ケース２Ａ、２Ｂは、ニトリルゴム等により形成されるシール材１８を間に挟んで密着することにより、内部が密閉状態となる。密閉状態となったホルダ２は、流路２２Ａ、２２Ｂより不図示の減圧手段でエアを排出することにより、外部からの大気圧で押圧され確実に閉じられる。
【００６０】
続いて、不図示の加圧手段により、流路２１Ａ、２１Ｂから吸着板８Ａ、８Ｂを通して空気や水等の流体が供給され、スレーブディスク１４の両面に接触するマスターディスク１０Ａ、１０Ｂがスレーブディスク１４へ押圧される。押圧されるマスターディスク１０Ａ、１０Ｂは、流体による押圧のため全面に渡り均一に押圧され、スレーブディスク１４に精度よく密着する。
【００６１】
この状態で、記録媒体を製造する場合には、先に述べた磁気転写の手順により磁気転写を行い、スレーブディスク１４へマスターディスク１０Ａ、１０Ｂに形成された凹凸形状により表される転写情報を磁気的に転写する。
【００６２】
製造された磁気記録媒体は、磁気的な情報の読み書きを行う磁気ヘッド、磁気記録媒体を高速回転させるスピンドル等の装置とともに組み立てられ、磁気記録装置となる。
【００６３】
転写を行った後は、テーブル７Ａ、７Ｂが駆動手段６により離れ、ケース２Ａ、２Ｂが開放されてマスターディスク１０Ａ、１０Ｂからスレーブディスク１４が剥離される。
【００６４】
このとき、マスターディスク１０Ａ、１０Ｂは、吸着板８Ａ、８Ｂへ吸着固定され、剥離の際にかかる力により、マスターディスク１０Ａ、１０Ｂが湾曲することを防止する。
【００６５】
これにより、繰り返し転写を行ってもマスターディスク１０Ａ、１０Ｂを変形させず、転写の際に高い位置精度が保たれ良好な転写品位が実現される。
【実施例】
【００６６】
次に本発明に係わる転写方法の具体的な実施例を説明する。以下、指示番号は図４、５、６に示されるものを使用する。
【００６７】
実施例では、図５に示されるホルダ２を使用する。マスターディスク１０とシート１１Ａ、１１Ｂとの固定には両面粘着シートを使用する。マスターディスク１０とシート１１Ａ、１１Ｂとを固定した後の平坦度は５０μｍとなる。
【００６８】
このマスターディスク１０に対し、ロボットアーム４と不図示の画像認識装置により、スレーブディスク１４を５μｍ以下の精度で位置決めして供給し、図１に示される方法により磁気転写を実施する。
【００６９】
磁気転写では、初期直流磁化された内経２０ｍｍ、外径６５ｍｍ、厚み０．６３５ｍｍのスレーブディスク１４を使用し、シート１１Ａ、１１Ｂへ流路２１Ａ、２１Ｂより０．２ＭＰａの圧縮空気を送り、マスターディスク１０を押圧してスレーブディスク１４へ密着させる。
【００７０】
シート１１Ａ、１１Ｂの厚みは０．１ｍｍの物を使用し、マスターディスク１０は厚さ０．３ｍｍの物を使用する。
【００７１】
以上のような条件により、図７に示されるシート１１Ａ、１１Ｂを吸着固定することなくスレーブディスク１４の供給、剥離を繰り返したホルダ４０へ、シート１１Ａ、１１Ｂを吸着固定することなくスレーブディスク１４を供給して転写を行った場合、スレーブディスク１４に転写された転写情報の芯ズレ量が１０〜４０μｍと広い範囲でバラついた。
【００７２】
しかし、平坦度２μｍのポーラス構造の高平面板である吸着板８Ａ、８Ｂにシート１１Ａ、１１Ｂを吸着させてスレーブディスク１４を供給した所、芯ズレ量が７〜１２μｍと大幅に安定性が向上する結果が得られた。
【００７３】
続いて、シート１１Ａ、１１Ｂを使用せず、図６に示されるように、シート状のマスターディスク１０Ａ、１０Ｂを使用した場合。マスターディスク１０Ａ、１０Ｂを押圧して磁気転写を行い、スレーブディスク１４から剥離する工程を繰り返し行った結果、平坦度が悪化し、１００μｍ以上の値となった。この状態でスレーブディスク１４へ磁気転写をおこなったところ、転写された転写情報の芯ズレ量が１０〜６０μｍと広い範囲でバラついた。
【００７４】
しかし、平坦度２μｍのポーラス構造の高平面板である吸着板８Ａ、８Ｂにマスターディスク１０Ａ、１０Ｂを吸着させてスレーブディスク１４を供給した所、芯ズレ量が７〜１２μｍと大幅に安定性が向上する結果が得られた。
【００７５】
これらの結果より、本発明の転写方法により、高い位置精度が保たれ良好な転写品位が実現されることが確認された。
【００７６】
以上説明したように、本発明に係る転写方法、転写装置、記録媒体、及び磁気記録媒体によれば、ホルダ部材にマスター部材、またはスレーブ媒体を供給する時、及びマスター部材からスレーブ媒体を剥離する際にマスター担体、または可撓性膜が吸着固定されるため、繰り返し転写を行ってもマスター担体を変形させずにスレーブ媒体を供給することが可能となり、転写の際に高い位置精度が保たれ良好な転写品位を実現する。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】磁気転写を実施する磁気転写装置の要部斜視図。
【図２】転写用磁界の印加方法を示す平面図。
【図３】磁気転写方法の基本工程を示す工程図。
【図４】本発明に係わる転写装置を示した斜視図。
【図５】転写を行っている際の本発明に係わる転写装置の断面図。
【図６】本発明に係わる別の実施の形態による転写装置を示した斜視図。
【図７】転写を行っている際の従来の転写装置の断面図。
【符号の説明】
【００７８】
１…転写装置，２、４０…ホルダ，２Ａ、２Ｂ…ケース，３Ａ、３Ｂ…ホルダベース，４…ロボットアーム（供給手段），５…ガイド軸（ホルダ移動手段），６…駆動手段，７Ａ、７Ｂ…テーブル，８Ａ、８Ｂ…吸着板（変形規制手段），１０、１０Ａ…マスターディスク（マスター担体），１１Ａ、１１Ｂ…シート（可撓性膜），１２…磁性層，１４…スレーブディスク（スレーブ媒体），１５…保持部，２０…磁気転写装置，３０…磁界生成手段，３１…ギャップ，３２…コア，３３…コイル，３４…電磁石装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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