(57)【要約】【課題】設備稼働率の低下、レチクル搬送能力の低下、およびレチクル交換頻度の増大を防止することができるマスク搬送制御方法およびマスク搬送制御装置を提供する。【解決手段】ロット到着予測装置１０２が、露光工程を含む製造工程にて並行して生産される複数のロットについて、各ロットが露光工程に到着するまでに要する時間をそれぞれ予測する。露光工程への到着予定時間は、ロット進捗管理装置１０１が保持するロット進捗管理表に基づいて算出される。露光工程への到着予定時間が、露光装置１０９へ同時に搬入可能なロット数と同数のレチクルを露光装置１０９に搬送するために要する時間以下になったとき、レチクルディスパッチャー１０５は、そのロットが露光工程で使用するレチクルをレチクル投入リストに記録する。搬送コントローラー１０４は、レチクル投入リストにしたがって、露光装置へのマスク搬送を制御する。【選択図】図１
2008186862.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
露光工程で使用されるマスクを、露光装置へ搬入出するマスク搬送制御方法において、
露光工程を含む製造工程にて並行して生産される複数の処理ロットについて、各処理ロットが露光工程に到着するまでに要する時間をそれぞれ予測するステップと、
前記予測された露光工程への到着時間が、露光装置へ同時に搬入可能な処理ロット数と同数のマスクを前記露光装置へ搬入するために要する時間以下になったとき、その処理ロットが露光工程で使用するマスクを投入リストに記録するステップと、
前記投入リストにしたがって、露光装置へのマスクの搬送を制御するステップと、
を有することを特徴とするマスク搬送制御方法。
【請求項２】
前記各処理ロットが露光工程に到着するまでに要する時間をそれぞれ予測するステップが、
各処理ロットの製造工程を構成する各工程について、次工程に到着するまでに要する時間をそれぞれ予測するステップと、
各処理ロットについて、現在の仕掛工程から前記仕掛工程以降で直近の露光工程の直前工程までの各工程に対して予測された次工程への到着時間の総和をそれぞれ算出するステップと、
を有する請求項１記載のマスク搬送制御方法。
【請求項３】
前記各処理ロットが露光工程に到着するまでに要する時間をそれぞれ予測するステップが、１枚のマスクを露光装置へ搬入するために要する時間よりも短い時間間隔で周期的に行われる請求項１または２記載のマスク搬送制御方法。
【請求項４】
前記投入リストに記録されたマスクの投入順序が、各処理ロットに設定された優先度が高い順にソートされる請求項１から３のいずれか１項に記載のマスク搬送制御方法。
【請求項５】
前記露光装置が備える、複数枚のマスクを収容可能に構成された格納部に収容されたマスク数と、前記投入リストに記録された、搬送中および搬送待のマスク数との合算値が、前記格納部の収容上限数を超えるか否かを判断するステップと、
前記合算値が前記収容上限数を超える場合、前記収容上限数と前記格納部に収容されたマスク数との差と同数のマスクを前記投入リストから抽出し、抽出したマスクのみを含む状態に前記投入リストを更新するステップと、
をさらに有する請求項１記載のマスク搬送制御方法。
【請求項６】
前記収容上限数と前記格納部に収容されたマスク数との差と同数のマスクは、設定された優先度の高い処理ロットが使用するマスクから順に抽出される請求項５記載のマスク搬送制御方法。
【請求項７】
前記格納部に収容されたマスク数と、前記投入リストに記録された、搬送中および搬送待のマスク数との合算値が、予め設定された回収基準値を超えるか否かを判断するステップと、
前記合算値が前記回収基準値を超える場合、前記格納部に収容されたマスクの中で、使用優先度の低いマスクを回収リストに記録するステップと、
前記回収リストにしたがって、前記格納部からのマスクの搬出を制御するステップと、
をさらに有する請求項５記載のマスク搬送制御方法。
【請求項８】
使用優先度の低いマスクを回収リストに記録するステップが、
マスクステータスがメンテナンス中であるマスクを回収リストに記録するステップと、
当該ステップにより回収リストに記録されたマスク数を、前記合算値から減算した値が前記回収基準値を超える場合、処理ロットが使用予定であるマスク以外のマスクを回収リストにさらに記録するステップと、
以上のステップにより回収リストに記録されたマスク数を、前記合算値から減算した値が前記回収基準値を超え、かつ、各処理ロットが使用予定であるマスクがある場合、前記合算値から回収リストに記録されたマスク数を減算した値が前記回収基準値以下になるまで、前記予測された露光工程への到着時間が遅い処理ロットが使用するマスクを順に、前記回収リストに記録するステップと、
を有する請求項７記載のマスク搬送制御方法。
【請求項９】
前記各処理ロットが露光工程に到着するまでに要する時間をそれぞれ予測するステップが、１枚のマスクを露光装置へ搬入するために要する時間よりも短い時間間隔で周期的に行われ、
前記合算値が前記格納部の収容上限数を超えるか否かを判断するステップ、および前記合算値が前記回収基準値を超えるか否かを判断するステップが、１枚のマスクを露光装置へ搬入するために要する時間よりも短く、かつ前記各処理ロットが露光工程に到着するまでに要する時間を予測する周期よりも長い時間間隔で周期的に行われる請求項７記載のマスク搬送制御方法。
【請求項１０】
露光工程で使用されるマスクを、露光装置へ搬入出するマスク搬送制御装置において、
露光工程を含む製造工程にて並行して生産される複数の処理ロットについて、各処理ロットの工程進捗状況を示す工程進捗情報を保持する手段と、
前記工程進捗情報に基づいて、各処理ロットが露光工程に到着するまでに要する時間をそれぞれ予測する手段と、
前記予測された露光工程への到着時間が、露光装置へ同時に搬入可能な処理ロット数と同数のマスクを前記露光装置に搬入するために要する時間以下になったとき、その処理ロットが露光工程で使用するマスクを投入リストに記録する手段と、
前記投入リストに記録されたマスクの投入順序を、各処理ロットに設定された優先度が高い順にソートする手段と、
前記露光装置が備える、複数枚のマスクを収容可能に構成された格納部に収容されたマスク数と、前記投入リストに記録された、搬送中および搬送待のマスク数との合算値が、前記格納部の収容上限数を超えるか否かを判断し、前記合算値が前記収容上限数を超える場合、前記収容上限数と前記格納部に収容されたマスク数との差と同数のマスクを前記投入リストから抽出して、抽出したマスクのみを含む状態に前記投入リストを更新する手段と、
前記格納部に収容されたマスク数と、前記投入リストに記録された、搬送中および搬送待のマスク数との合算値が、予め設定された回収基準値を超えるか否かを判断し、前記合算値が前記回収基準値を超える場合、前記格納部に収容されたマスクの中で、使用優先度の低いマスクを回収リストに記録する手段と、
前記投入リストおよび前記回収リストにしたがって、前記露光装置へのマスクの搬入出を制御する手段と、
を備えたことを特徴とするマスク搬送制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リソグラフィ工程で使用される露光装置にマスクやレチクルを搬入出するマスク搬送制御方法およびマスク搬送制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置等の製造工程では、露光装置を使用して各種薄膜にパターンの転写が行われている。露光装置では、通常、並行して生産されている複数のロット（基板群）に対する露光が逐次行われる。露光の際には、転写するパターンに対応するレチクル等のマスク（以下、適宜レチクルという。）が露光装置の露光光路に配置される。露光装置内には複数のレチクルが保管されており、露光装置は、各レチクルを相互に交換して露光光路に配置して、各レチクルを使用した露光を行う。しかしながら、同一の露光装置で複数種の製品を生産する場合、露光装置内に収容可能なレチクルの上限数を超える数のレチクルを使用することも多い。この場合、使用するレチクルが露光装置内に存在しないときは、露光装置外に保管されているレチクルが露光装置へ搬送される。
【０００３】
このようなレチクルの搬送を効率的に行う手法は、例えば特許文献１が開示している。特許文献１は、各ロットの進捗率に基づいてレチクルを搬送する手法を開示する。図１８は、そのレチクル搬送制御方法の手順を示すフローチャートである。
【０００４】
図１８に示すように、本手法は、まず、生産中のロットが保管されている製品保管棚から、露光工程に仕掛っているロット（仕掛ロット）を検索する（ステップ５０１）。検索の結果、仕掛ロットが存在する場合、該当ロットの進捗率がそれぞれ計算される（ステップ５０３）。進捗率は、各ロットの納期、残工程、各工程の処理時間から算出される。
【０００５】
次いで、算出された各ロットの進捗率に基づいて、仕掛ロット中で進捗遅れロットの有無がチェックされる（ステップ５０４）。進捗遅れロットが存在する場合、進捗率をキーとして進捗遅れロットがソートされる（ステップ５０５）。ソート後、まず、進捗が最も遅れているロットが使用するレチクルの使用可否がチェックされる（ステップ５０６）。当該レチクルが使用可である場合、そのレチクルの所在が検索される（ステップ５０７）。所在確認の結果、該当レチクルが露光装置外のレチクル保管棚に存在する場合は、進捗が最も遅れているロットと該当レチクルとが露光装置に搬送される（ステップ５０８）。また、該当レチクルが露光装置内に存在する場合は、進捗が最も遅れているロットのみが露光装置に搬送される（ステップ５０９）。
【０００６】
一方、進捗が最も遅れているロットが使用するレチクルが他の露光装置で使用されている等により使用不可である場合は、進捗が次に遅れているロットが使用するレチクルの使用可否がチェックされる（ステップ５０６）。使用可である場合は、上述の処理（ステップ５０８または５０９）が行われる。
【０００７】
また、進捗遅れロットが使用するレチクルが全て使用不可である場合は、仕掛ロット中で進捗遅れでないロットの有無がチェックされる（ステップ５１０）。進捗遅れでないロットが存在する場合、まず、露光装置の露光光路に配置されているレチクルで露光可能なロットが検索される（ステップ５１１）。該当ロットが存在する場合には、そのロットが露光装置に搬送される（ステップ５１３）。また、露光装置の露光光路に配置されているレチクルで露光可能なロットが存在しない場合は、露光装置内に保管されているレチクルで露光可能なロットが検索される（ステップ５１２）。検索の結果、該当ロットが存在する場合は、そのロットが露光装置に搬送される（ステップ５１３）。なお、露光装置に搬送されたレチクルは、露光装置内に保管されているレチクルと交換され、交換されたレチクルは、レチクル保管棚に搬送されて保管される。
【０００８】
以上のレチクル搬送制御方法を適用することにより、露光装置でのロットの時間待ちや、レチクル待ちの発生がなくなるとされている。
【特許文献１】特開２０００−１８２９３９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上記従来のレチクル搬送制御方法では、露光工程の仕掛ロットが存在しない状況下では、各処理が実施されない。すなわち、仕掛ロットの発生をトリガとして、一連の処理が開始される。このため、仕掛ロットがない状況下で初めて仕掛ロットが発生した場合、露光装置の稼動率が低下する可能性がある。すなわち、露光装置に当該ロットが使用するレチクルが存在しないときは、レチクル待ちが発生することになる。
【００１０】
また、ロットとレチクルとを同時に搬送する上述の構成では、何らかの異常により、レチクルが露光装置に到着しなかった場合は、レチクル待ちが発生してしまう。加えて、露光装置のロードポートがレチクル待ちのロットによって占有されているため、他のロットの処理が行えないなどの問題も発生する。
【００１１】
さらに、上述のレチクル搬送制御方法では、進捗率、レチクルの使用可否、および所在情報のみで、レチクルを露光装置へ搬送している。このため、露光装置内に上限数のレチクルが収容されていた場合、露光装置にレチクルが搬送された時点で、露光装置が収容可能なレチクル上限数を超えることになる。この場合、搬送したレチクルを露光装置に収容することができない。
【００１２】
また、レチクル交換により、露光装置から搬出されたレチクルが、その後に使用予定のレチクルである可能性もある。この場合、搬出されたレチクルを、再度露光装置へ搬入する必要がある。すなわち、レチクルの無駄な搬送が発生したり、レチクル交換頻度が増大したりする可能性がある。これは、レチクル搬送能力を低下させるだけでなく、搬送中のレチクルへのゴミ付着の可能性を増大させる。
【００１３】
本発明は、前記従来技術の課題を解決するために提案されたものであって、設備稼働率の低下、マスク搬送能力の低下、およびマスク交換頻度の増大を防止することができるマスク搬送制御方法およびマスク搬送制御装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記目的を達成するために、本発明は、以下の技術的手段を採用している。まず、本発明は、露光工程で使用されるマスクを、露光装置へ搬入出するマスク搬送制御方法を前提としている。そして、本発明に係るマスク搬送制御方法は、まず、露光工程を含む製造工程にて並行して生産される複数の処理ロットについて、各処理ロットが露光工程に到着するまでに要する時間をそれぞれ予測する。予測された露光工程への到着時間が、露光装置へ同時に搬入可能な処理ロット数と同数のマスクを露光装置に搬入するために要する時間以下になったとき、その処理ロットが露光工程で使用するマスクが投入リストに記録される。そして、当該投入リストにしたがって、露光装置へのマスクの搬送が制御される。
【００１５】
本構成によれば、露光工程への到着予定時間が露光装置に搬入可能な処理ロット数と同数のマスク搬入に要する時間内である、処理ロットの使用マスクが投入リストに記録される。したがって、当該投入リストに基づいてマスク搬送を行うことにより、処理ロットが露光工程の仕掛ロットとなるまでに、当該処理ロットが使用するマスクを露光装置へ搬入することができる。
【００１６】
上記構成において、各処理ロットの露光工程への到着時間は、以下のようにして予測することができる。すなわち、まず、各処理ロットの製造工程を構成する各工程について、次工程に到着するまでに要する時間がそれぞれ予測される。そして、各処理ロットについて、現在の仕掛工程から当該仕掛工程以降で直近の露光工程の直前工程までの各工程に対して予測された次工程への到着時間の総和がそれぞれ算出される。
【００１７】
なお、各処理ロットの露光工程への到着時間は、１枚のマスクを露光装置へ搬入するために要する時間よりも短い時間間隔で周期的に行われることが好ましい。また、投入リストに記録されたマスクの投入順序は、各処理ロットに設定された優先度が高い順にソートしてもよい。
【００１８】
また、投入リストを以下のようにして更新してもよい。すなわち、まず、露光装置が備える、複数枚のマスクを収容可能に構成された格納部に収容されたマスク数と、投入リストに記録された、搬送中および搬送待のマスク数との合算値が、格納部の収容上限数を超えるか否かが判断される。合算値が収容上限数を超える場合、収容上限数と格納部に収容されたマスク数との差と同数のマスクが投入リストから抽出され、抽出されたマスクのみを含む状態に投入リストが更新される。
【００１９】
これにより、投入リストには、露光装置の格納部の収容上限数を超えるマスクは記録されない。したがって、当該投入リストに基づいてマスク搬送を行うことにより、露光装置に格納部の収容上限数を超えるマスクが搬入されることを確実に防止することができる。
なお、収容上限数と格納部に収容されたマスク数との差と同数のマスクは、設定された優先度の高い処理ロットが使用するマスクから順に抽出してもよい。
【００２０】
さらに、上記構成において、以下のようにして、作成された回収リストにしたがって、格納部からのマスク搬出を制御してもよい。回収リストを作成する場合、まず、格納部に収容されたマスク数と、投入リストに記録された、搬送中および搬送待のマスク数との合算値が、予め設定された回収基準値を超えるか否かが判断される。そして、当該合算値が回収基準値を超える場合、格納部に収容されたマスクの中で、使用優先度の低いマスクが回収リストに記録される。
【００２１】
上記回収リストにしたがって、マスクを搬送することにより、不要なマスクを露光装置から搬出することができる。
【００２２】
この場合、露光工程への各処理ロットの到着時間の予測が、１枚のマスクを露光装置へ搬入するために要する時間よりも短い時間間隔で周期的に行われるとともに、上記合算値が格納部の収容上限数を超えるか否かの判断、および上記合算値が回収基準値を超えるか否かの判断が、１枚のマスクを露光装置へ搬入するために要する時間よりも短く、かつ露光工程への各処理ロットの到着時間の予測周期よりも長い時間間隔で周期的に行われることが好ましい。
【００２３】
なお、使用優先度の低いマスクは、以下のようにして回収リストに記録することができる。まず、マスクステータスがメンテナンス中であるマスクが回収リストに記録される。上記合算値から回収リストに記録されたマスク数を減算した値が回収基準値を超える場合、処理ロットが使用予定であるマスク以外のマスクが回収リストにさらに記録される。これにより回収リストに記録されたマスク数を上記合算値から減算した値が、未だ回収基準値を超え、かつ、処理ロットが使用予定であるマスクがある場合、上記合算値から回収リストに記録されたマスク数を減算した値が回収基準値以下になるまで、予測された露光工程への到着時間が遅い処理ロットが使用するマスクが、回収リストに順に記録される。
【００２４】
一方、他の観点では、本発明は、露光工程で使用されるマスクを、露光装置へ搬入出するマスク搬送制御装置を提供することができる。本発明に係るマスク搬送制御装置は、例えば、ロット進捗管理装置、ロット到着予測装置、搬送コントローラー、基本情報管理装置およびレチクルディスパッチャーを含む。ロット進捗管理装置は、露光工程を含む製造工程にて並行して生産される複数の処理ロットについて、各処理ロットの工程進捗状況を示す工程進捗情報を保持する。ロット到着予測装置は、ロット進捗管理装置が保持する工程進捗情報に基づいて、各処理ロットが露光工程に到着するまでに要する時間をそれぞれ予測する。ロット到着予測装置により予測された露光工程への到着時間が、露光装置へ同時に搬入可能な処理ロット数と同数のマスクを露光装置に搬入するために要する時間以下になったとき、レチクルディスパッチャーは、その処理ロットが露光工程で使用するマスクを投入リストに記録する。このとき、レチクルディスパッチャーは、投入リストに記録したマスクの投入順序を、基本情報管理装置に保持された各処理ロットの優先度に基づいて、優先度が高い順にソートする。また、レチクルディスパッチャーは、露光装置が備える、複数枚のマスクを収容可能に構成された格納部に収容されたマスク数と、投入リストに記録された、搬送中および搬送待のマスク数との合算値が、格納部の収容上限数を超えるか否かを判断し、合算値が収容上限数を超える場合、収容上限数と格納部に収容されたマスク数との差と同数のマスクを投入リストから抽出して、抽出したマスクのみを含む状態に投入リストを更新する。さらに、レチクルディスパッチャーは、露光装置の格納部に収容されたマスク数と、投入リストに記録された、搬送中および搬送待のマスク数との合算値が、予め設定された回収基準値を超えるか否かを判断し、合算値が回収基準値を超える場合、格納部に収容されたマスクの中で、使用優先度の低いマスクを回収リストに記録する。搬送コントローラーは、上記投入リストおよび回収リストにしたがって、露光装置へのマスクの搬入出を制御する。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、処理ロットが露光工程の仕掛ロットとなる前に、当該処理ロットの使用マスクが投入リストに記録される。また、投入リストに使用マスクが記録されるタイミングは、露光工程への到着予定時間が、露光装置に搬入可能な処理ロット数と同数のマスク搬送に要する時間内になったときである。したがって、処理ロットが、露光工程の仕掛ロットとなったときには、露光装置へのマスクの搬送が完了している。また、処理ロットに進捗前倒しや進捗遅れが発生した場合であっても、処理ロットの進捗状況に応じて露光装置にマスクを搬送することができる。さらに、露光装置への処理ロットの搬送は、マスクが露光装置に収容されている場合に実行される。このため、マスク待ちがなくなり、従来に比べて露光装置の稼働率を向上させることができる。
【００２６】
また、本発明では、露光装置に収容されているマスク数と投入リストに記録されるマスク数との和が常に、露光装置に収容可能なマスクの上限数以下に制限される。すなわち、露光装置に収容可能なマスクの上限数を超える数のマスクの搬送が防止される。加えて、露光装置に収容されているマスク数と投入リストに記録されるマスク数との和が、回収基準値を超えると、使用優先度の低いマスクから順に回収リストに記録され、露光装置から搬出される。このため、無駄なマスク交換が発生せず、搬送能力の低下を抑制することができる。また、マスクへのゴミ付着の可能性を最小限にすることができる。
【００２７】
また、１枚のマスクを搬送中に、少なくとも１回は、投入リストおよび回収リストの更新が実施されため、優先度の高い処理ロットが後続する場合でも、優先度を反映して、マスクの搬送順を決定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明の一実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。以下の実施形態では、縮小投影露光装置にレチクルを搬送する事例により本発明を具体化している。
【００２９】
図１は本発明のマスク搬送制御装置１００の一実施形態を示す概略構成図である。本実施形態のマスク搬送制御装置１００は、露光装置１０９、ロット保管棚１０７、レチクル保管棚１１０を有する製造ライン１０６と一体に使用される。上述のように、ロット保管棚１０７には生産中の処理待ち処理ロット（以下、ロットという。）が保管され、レチクル保管棚１１０には露光装置１０９で使用されるレチクルが保管される。露光装置１０９が使用するレチクルの一部は、露光装置１０９が備えるレチクル格納部１０８にも保管される。また、ロット保管棚１０７は、ロット保管棚１０７と露光装置１０９との間でロットを搬送する搬送手段１１２を備えている。同様に、レチクル保管棚１１０は、レチクル保管棚１１０と露光装置１０９との間でレチクルを搬送する搬送手段１１３を備えている。なお、図１では、露光装置１０９を１台としているが、複数台であってもよい。
【００３０】
また、マスク搬送制御装置１００は、ロット進捗管理装置１０１、ロット到着予測装置１０２、基本情報管理装置１０３、搬送コントローラー１０４、およびレチクルディスパッチャー１０５を含む。ロット進捗管理装置１０１、ロット到着予測装置１０２、基本情報管理装置１０３、搬送コントローラー１０４、レチクルディスパッチャー１０５、ロット保管棚１０７、露光装置１０９、およびレチクル保管棚１１０はネットワーク回線１１１を介して相互に接続されており、データや動作指示の送受信を相互に行うことが可能に構成されている。
【００３１】
ロット進捗管理装置１０１は、生産中の各ロットの進捗を管理する。ロット到着予測装置１０２は、生産中の各ロットが直近の露光工程に到達する到着予定時間を算出する。露光工程への到着予定時間は、ロット進捗管理装置１０１が管理するデータに基づいて算出される。基本情報管理装置１０３は、後述の生産基本条件を管理する。レチクルディスパッチャー１０５は、露光装置１０９へ投入すべきレチクル、あるいは露光装置１０９から回収すべきレチクルのリストを管理する。そして、搬送コントローラー１０４は、露光装置１０９に対するロットの搬送、および露光装置１０９に対するレチクルの搬送を制御する。ロットの搬送は、ロット進捗管理装置１０１が管理するデータに基づいて搬送手段１１２を制御することにより実現される。レチクルの搬送は、レチクルディスパッチャー１０５が管理するデータに基づいて搬送手段１１２を制御することにより実現される。
【００３２】
図２は、ロット進捗管理装置１０１が保持するロット進捗予定表の一例を示す図である。ロット進捗予定表は、技術時間Ａn、工程間平均搬送時間Ｂn、および平均待ち時間Ｃnを、ロットに対して実施される工程ごとに関連づけて記録するテーブルである。図２では、技術時間Ａn、工程間平均搬送時間Ｂn、および平均待ち時間Ｃnが、工程順を特定する工程ＩＤ「ｎ」と関連づけられている。例えば、工程ＩＤが「２」である「工程２」には、技術時間Ａ2、工程間平均搬送時間Ｂ2、および平均待ち時間Ｃ2が関連づけて記録されている。なお、ロット進捗予定表は、生産中のロットごとに作成される。
【００３３】
技術時間Ａnは、各工程での処理に要する時間を示している。技術時間Ａnは、ウエハ枚数に応じてロット進捗管理装置１０１に予め定義されている。ロット進捗管理手段１０１は、生産中の各ロットに属するウエハの枚数を別途管理おり、各ロットにおいて、１つの工程が完了する都度、そのロットのウエハ枚数に応じて技術時間Ａnを更新する。なお、図１では、図示を省略しているが、ロット進捗管理装置１０１は、露光装置１０９だけでなく、他の工程を実施する処理装置にもネットワーク回線１１１を介して接続されている
また、工程間平均搬送時間Ｂnは、各工程において使用される処理装置へのロットの搬入、および当該処理装置からのロットの搬出に要する平均時間である。平均待ち時間Ｃnは、各工程に対応する処理装置からの搬出が完了したロットが、次工程の処理装置への搬入が開始されるまでの平均時間である。ここで、平均時間とは、生産中の全ロットについての搬送時間もしくは、待ち時間の平均値を意味する。工程間平均搬送時間Ｂnおよび平均待ち時間Ｃnも、技術時間Ａnと同様に、１つの工程が完了する都度、ロット進捗管理手段１０１によって更新される。
【００３４】
さらに、ロット進捗管理手段１０１は、ロット進捗予定表が更新される都度、次工程到着予測時間Ｄnを、Ｄn＝Ａn＋Ｂn＋Ｃnの計算式により算出し、各工程と関連づけて記録する。なお、次工程到着予測時間Ｄnは、工程ＩＤ「ｎ」の工程が実施される処理装置へのロットの搬送が開始されてから、次工程である工程ＩＤ「ｎ＋１」の工程が実施される処理装置への搬送が開始されるまでの時間の予測値になる。また、本実施形態では、図２に示すように、ロット進捗予定表の露光工程に、その露光工程で使用するレチクルを特定するレチクルＩＤが工程ＩＤと関連づけて記録されている。
【００３５】
図３は、ロット到着予測装置１０２が保持する到着予定ロットリストの一例を示す図である。到着予定ロットリストは、ロットを特定するためのロットＩＤと、露光工程到着予定時間とを関連づけて記録するテーブルである。露光工程到着予定時間は、ロット進捗予定表に記録されている次工程到着予測時間Ｄnに基づいて、ロット到着予測装置１０２により算出される。ロット到着予測装置１０２は、露光工程到着予定時間の算出を生産中の全ロットについて一定の時間間隔Ｐで実行し、到着予定ロットリストを更新する。図４は、到着予定ロットリストの更新手順を示すフローチャートである。
【００３６】
ロット到着予測装置１０２は、まず、ロット進捗管理装置１０１からロット進捗予定表を取得する（Ｓ４０１）。ロット到着予測装置１０２は、取得したロット進捗管理表から、現在の仕掛工程ｘと、当該仕掛工程以降で直近の露光工程ｙを特定し、以下の式（１）により、露光工程到着予定時間Ｔyを算出する（Ｓ４０２）。
【００３７】
【数１】
2008186862.tif 000003
【００３８】
例えば、図２のロット進捗予定表で管理されるロットが、工程５に仕掛っている場合、直近の露光工程である工程８の露光工程到着予定時間Ｔ8は、以下の式（２）により算出される。
【００３９】
【数２】
2008186862.tif 000004
【００４０】
特に限定されないが、本実施形態では、各ロットの仕掛工程がどの工程であるかは、ロット進捗管理装置１０１がロット進捗予定表にフラグを記録することで管理している。ここでは、ロット進捗予定表を更新する際に、ロット進捗管理装置１０１が、処理が完了した工程の次工程到着予測時間を「０」に更新している。この場合、次工程到着予測時間Ｄnが「０」ではない最小の工程ＩＤにより特定される工程が仕掛工程ｘになる。なお、この場合、式（１）において、ｘ＝１としても、露光工程到着予定時間Ｔyは同一値になる。このため、露光工程到着予定時間Ｔyは、工程「１」から工程「ｙ−１」までの次工程到着予定時間Ｄnの総和により求めることも可能である。また、直近の露光工程ｙは、仕掛工程以降の工程で、レチクルＩＤが記録されている最小の工程ＩＤを検索することにより特定できる。
【００４１】
上述のように、露光工程到着予定時間Ｔyは、生産中の全ロットについて算出される。露光工程到着予測時間Ｔyを算出する都度、ロット到着予測装置１０２は、到着予定ロットリストを更新する（Ｓ４０３）。また、ロット到着予測装置１０２は、一定の時間間隔Ｐで、到着予定ロットリストを更新する（Ｓ４０４）。
【００４２】
図５は、レチクルディスパッチャー１０５が保持するレチクル投入リストの一例を示す図である。また、図６は、レチクルディスパッチャー１０５が保持するレチクル回収リストの一例を示す図である。レチクル投入リストは、露光装置１０９への投入順序、レチクルを特定するレチクルＩＤ、および搬送状態（完了、搬送中、搬送待）を関連づけて記録するテーブルである。また、レチクル回収リストは、露光装置１０９からの回収順序、レチクルＩＤ、および搬送状態（完了、搬送中、搬送待）を関連づけて記録するテーブルである。レチクル投入リスト、およびレチクル回収リストの更新手順は後述する。なお、製造ライン１０６に複数台の露光装置１０９が含まれる場合は、レチクル投入リストおよびレチクル回収リストは、露光装置ごとに作成される。
【００４３】
基本情報管理装置１０３は、生産基本条件として、レチクル所在リスト、使用中予約中レチクルリスト、ロット優先度リスト、レチクル上限数リスト、およびレチクルステータスリストを保持している。
【００４４】
図７はレチクル所在リストを示す図である。レチクル所在リストは、露光装置１０９のレチクル格納部１０８に保管されているレチクルのレチクルＩＤと、レチクル格納部１０８における収容位置を特定するスロット番号とを関連づけて記録するテーブルである。レチクル所在リストは、露光装置１０９に対してレチクルが搬入出される都度、更新される。ここでは、基本情報管理装置１０３が、レチクルディスパッチャー１０５から露光装置１０９に対して搬入出されたレチクルのレチクルＩＤおよび搬入出されたレチクル格納部１０８のスロットＩＤを取得し、レチクル所在リストを更新している。なお、製造ライン１０６に複数台の露光装置１０９が含まれる場合は、レチクル所在リストは、露光装置ごとに作成される。
【００４５】
図８は使用中予約中レチクルリストを示す図である。使用中予約中レチクルリストは、露光対象のロットが設置される露光装置１０９のロードポートを特定するポート番号と、各ロードポートに搬送されたロットのロットＩＤと、当該ロットが使用するレチクルＩＤとを関連づけて記録するテーブルである。図８では、露光装置１０９が複数（４つ）のロードポートを備えている場合を示している。使用中予約中レチクルリストは、ロットが露光装置１０９のいずれかのロードポートにセットされたときに更新される。ここでは、基本情報管理装置１０３が、セットされたロットが使用するレチクルＩＤをロット進捗管理装置１０１のロット進捗予定表から取得し、使用中予約中レチクルリストに記録している。
【００４６】
図９はロット優先度リストを示す図である。ロット優先度リストは、生産中の全ロットのロットＩＤとその優先度とを関連づけて記録するテーブルである。ロット優先度リストは、各ロットの納期等に応じて、基本情報管理装置１０３が適宜更新する。
【００４７】
図１０はレチクル上限数リストを示す図である。レチクル上限数リストは、露光装置１０９を特定する露光装置ＩＤと、レチクル格納部１０８が収容可能なレチクルの上限数とを関連づけて記録するテーブルである。なお、図１０では、露光工程で複数台の露光装置１０９が使用される例を示している。
【００４８】
図１１はレチクルステータスリストを示す図である。レチクルステータスリストは、レチクルＩＤとレチクル状態とを関連づけて記録するテーブルである。ここで、レチクル状態の「ａｃｔｉｖｅ」は、レチクルが使用可能である状態を示している。また、レチクル状態の「Ｍａｉｎｔｅｎａｎｃｅ」は、レチクルが検査中などの理由により使用できない状態を示している。
【００４９】
さて、上記構成のマスク搬送制御装置１００は、以下の手順でレチクルを搬送する。図１２は、本実施形態のレチクル搬送制御処理を示すフローチャートである。図１２に示す一連の処理は、レチクルディスパッチャー１０５において、上述の到着予定ロットリストを更新する時間周期と異なる時間間隔Ｑ（Ｐ＜Ｑ）で繰り返し実施される。時間間隔Ｑは、搬送手段１１３がレチクル保管棚１１０から露光装置１０９に連続してレチクルを搬送する際に、１枚のレチクル搬送に要する時間Ｒよりも短い時間に設定される。
【００５０】
図１２に示すように、まず、レチクル投入判断処理が実施される（Ｓ１２０１）。レチクル投入判断処理は、露光装置１０９に搬送すべきレチクルが存在するか否かを判断する処理であり、図１３のフローチャートに示す手順で実施される。
【００５１】
レチクル投入判断処理が開始すると、まず、レチクルディスパッチャー１０５は、基本情報管理装置１０３からレチクル所在リスト（図７）を取得する。そして、レチクル投入リスト（図５）から、レチクル所在リストに記録されているレチクルＩＤと同一のレチクルＩＤに関連づけられた一連のデータを削除する（Ｓ１３０１）。これにより、搬送済（投入済）のレチクルのレチクルＩＤが、レチクル投入リストから削除される。このとき、後続のレチクルＩＤと関連づけられた一連のデータの投入順序が繰り上げられる。例えば、図５および図７に示す例では、該当するレチクルＩＤが存在しない。このため、更新前後のレチクル投入リストは同一である。
【００５２】
次に、レチクルディスパッチャー１０５は、ロット到着予測装置１０２から到着予定ロットリスト（図３）を取得する（Ｓ１３０２）。レチクルディスパッチャー１０５は、取得した到着予定ロットリストからｍ分以内に露光工程に到達するロットを検索する（Ｓ１３０３）。ここで、ｍ分とは、露光装置１０９に同時に搬入可能なロット数分のレチクルをレチクル保管棚１１０から露光装置１０９のレチクル格納部１０８に搬送するのに要する時間である。例えば、ロードポート数が４個の露光装置に４枚のレチクルを搬入するのに要する時間が２０分である場合、ｍ＝２０となる。
【００５３】
検索の結果、該当するロットが存在する場合、レチクルディスパッチャー１０５は、該当ロットのロット進捗管理表（図２）からそのロットが使用するレチクルＩＤを読み出す。次いで、レチクルディスパッチャー１０５は、読み出したレチクルＩＤ（以下、追加候補のレチクルＩＤ）とレチクル投入リストに記録されているレチクルＩＤとを比較する（Ｓ１３０４）。追加候補のレチクルＩＤの中に、レチクル投入リストに記録されているレチクルＩＤが含まれていない場合は、次処理に進む（Ｓ１３０４Ｎｏ→Ｓ１３０６）。また、追加候補のレチクルＩＤの中に、レチクル投入リストに記録されているレチクルＩＤが含まれている場合は、該当するレチクルＩＤを破棄し、次処理に進む（Ｓ１３０４Ｙｅｓ→Ｓ１３０５→Ｓ１３０６）。これにより、追加候補のレチクルＩＤは、レチクル投入リストに記録されていないレチクルＩＤのみになる。
【００５４】
続いて、レチクルディスパッチャー１０５は、使用中予約中レチクルリスト（図８）に記録されているレチクルＩＤを取得し、追加候補のレチクルＩＤと、使用中予約中リストに記録されているレチクルＩＤとを比較する（Ｓ１３０６）。追加候補のレチクルＩＤの中に、使用中予約中レチクルリストに記録されているレチクルＩＤが含まれていない場合、追加候補のレチクルＩＤをレチクル投入リストに追加する（Ｓ１３０６Ｎｏ→Ｓ１３０８）。また、追加候補のレチクルＩＤの中に、使用中予約中レチクルリストに記録されているレチクルＩＤが含まれている場合、該当するレチクルＩＤを破棄した後、残存したレチクルＩＤをレチクル投入リストに追加する（Ｓ１３０６Ｙｅｓ→Ｓ１３０７→Ｓ１３０８）。これにより、ｍ分以内に露光工程に到着する予定のロットが使用するレチクルのうち、レチクル投入リストおよび使用中予約中レチクルリストに記録されていなかったレチクルＩＤが、レチクル投入リストに追加される。
【００５５】
例えば、図３、図５、および図８の例において、ｍ＝２０である場合、レチクルディスパッチャー１０５は、上記検索により、「ＬＯＴ−Ｈ」、「ＬＯＴ−Ａ］、および「ＬＯＴ−Ｇ」を特定する。ロット進捗管理表から特定されたこれらのロットの使用レチクルが、それぞれ「Ｒｅｔｉｃｌｅ−Ｚ」、「Ｒｅｔｉｃｌｅ−Ｂ」、「Ｒｅｔｉｃｌｅ−Ｋ」であるとする。この場合、「Ｒｅｔｉｋｌｅ−Ｚ」、「Ｒｅｔｉｃｌｅ−Ｂ」は、レチクル投入リストに記録されているため、追加候補から除外される。また、残存している「Ｒｅｔｉｃｌｅ−Ｋ」は、使用中予約中レチクルリストにも記録されていない。したがって、図１４（ａ）に示すように、「Ｒｅｔｉｃｌｅ−Ｋ」のみがレチクル投入リストに追加される。
【００５６】
次に、レチクルディスパッチャー１０５は、基本情報管理装置１０３が保持しているロット優先度リスト（図９）より、優先度の高い順（ここでは、１が最高）にレチクル投入リストをソートする（Ｓ１３０９）。このソート処理により、新たにレチクル投入リストに追加されたレチクルを含めた状態で、レチクル投入リストに記録されている搬送待のレチクルＩＤの投入順序がソートされる。なお、レチクル投入リストに既に記録されているレチクルＩＤは、以前に実施されたレチクル投入判断処理にて登録されたレチクルＩＤである。すなわち、レチクル投入リストに記録されているレチクルは、ｍ分以内に露光工程に到着するロットが使用するレチクルの内、露光装置に収容されていないレチクルになる。また、上記ソート処理により、後続のロットであっても、優先度の高いロットが使用するレチクルが優先的に露光装置１０９に搬入されることになる。例えば、図１４（ａ）の例では、「ＬＯＴ−Ｇ」の優先度が「１」であるため、図１４（ｂ）に示すように、「Ｒｅｔｉｃｌｅ−Ｋ」が最上位の投入順序にソートされる。ソート処理が完了すると、レチクル投入リストが確定される（Ｓ１３１０）。
【００５７】
以上説明したレチクル投入判断処理により、露光工程への到着予定時間が、露光装置に搬入可能なロット数と同数のレチクル搬送に要する時間内であるロットが使用するレチクルをロットの優先度順でレチクル投入リストに記録することができる。したがって、レチクル投入判断処理を実施したレチクル投入リストに基づいてレチクル搬送を行うことにより、露光工程の仕掛ロットとなるまでに、レチクルの準備を完了することができる。
【００５８】
以上のようにして、レチクル投入判断処理が完了すると、レチクルディスパッチャー１０５は、次いで、レチクル投入リストに対して、レチクル上限数考慮処理を実施する（図１２  Ｓ１２０２）。当該処理は、レチクル格納部１０８に、レチクル上限数を超えるレチクルが搬入されることを防止する処理である。図１５は、レチクル上限数考慮処理の手順を示すフローチャートである。
【００５９】
レチクル上限数考慮処理が開始すると、レチクルディスパッチャー１０５は、基本情報管理装置１０３からレチクル所在リスト（図７）を取得する。そして、レチクル投入リスト（図１４（ｂ））から、レチクル所在リストに記録されているレチクルＩＤと同一のレチクルＩＤに関連づけられた一連のデータを削除する（Ｓ１５０１）。このとき、後続のレチクルＩＤと関連づけられた一連のデータの投入順序が繰り上げられる。例えば、図１４（ｂ）において、搬送中であった「Ｒｅｔｉｃｌｅ−Ｚ」の搬送が完了したとすると、「Ｒｅｔｉｃｌｅ−Ｚ」に関連づけられた一連のデータがレチクル投入リストから削除される。この結果、図１４（ｃ）に示すように、「Ｒｅｔｉｃｌｅ−Ｋ」、「Ｒｅｔｉｃｌｅ−Ｂ」の投入順序が繰り上がる。このとき、レチクル所在リストには、図１６に示すように、「Ｒｅｔｉｃｌｅ−Ｚ」が追加されている。
【００６０】
次に、レチクルディスパッチャー１０５は、基本情報管理装置１０３からレチクル上限数リスト（図１０）を取得する。そして、レチクル上限数リストから、レチクル投入リストおよびレチクル所在リストに対応する露光装置ＩＤのレチクル上限数を読み出す。例えば、図１４（ｃ）のレチクル投入リストおよび図１６のレチクル所在リストの露光装置ＩＤが「１」である場合、レチクル上限数リストから「１０」が読み出される。
【００６１】
次いで、レチクルディスパッチャー１０５は、露光装置１０９のレチクル格納部１０８に収容されているレチクル数と、露光装置１０９に搬入予定のレチクル数との和が、読み出したレチクル上限数を超えるか否かを判断する（Ｓ１５０２）。本実施形態では、レチクルディスパッチャー１０５は、まず、読み出したレチクル上限数とレチクル所在リストに記録されているレチクルＩＤ数との差分を算出する。そして、当該差分とレチクル投入リストに記録されているレチクルＩＤ数を比較することで上述の判断を行う。比較の結果、投入リストのレチクルＩＤ数＞差分、すなわち、レチクル投入リストに記録されているレチクル全てを露光装置１０９に搬入するとレチクル上限数を超える場合、前記差分と同数のレチクルＩＤがレチクル投入リストから抽出される。本実施形態では、投入順序が早いものから順に、レチクルＩＤが抽出される（Ｓ１５０２Ｎｏ→Ｓ１５０３）。そして、レチクルディスパッチャー１０５は、抽出したレチクルＩＤと関連づけられたデータのみにレチクル投入リストを更新し、レチクル投入リストを確定する（Ｓ１５０４）。一方、投入リストのレチクルＩＤ数≦差分である場合、レチクル投入リストを変更することなく確定する（Ｓ１５０２Ｙｅｓ→Ｓ１５０４）。このように、レチクル上限数考慮処理を経て確定されたレチクル投入リストには、露光装置１０９のレチクル格納部１０８の収容上限数を超えるレチクルＩＤは記録されない。したがって、レチクル上限数考慮処理を実施したレチクル投入リストに基づいてレチクル搬送を行うことにより、露光装置１０９にレチクル格納部１０８の上限数を超えるレチクルが搬入されることを確実に防止することができる。
【００６２】
以上のようにして、レチクル上限数考慮処理が完了すると、レチクルディスパッチャー１０５は、レチクル回収判断処理を実施する（図１２  Ｓ１２０３）。当該処理は、必要に応じてレチクル格納部１０８からレチクルを回収するレチクルを決定する処理である。図１７は、レチクル回収判断処理の手順を示すフローチャートである。
【００６３】
レチクル回収判断処理が開始すると、レチクルディスパッチャー１０５は、基本情報管理装置１０３からレチクル所在リスト（図１６）を取得する。そして、レチクル回収リスト（図６）に、レチクル所在リストに記録されていないレチクルＩＤが記載されていた場合、同一のレチクルＩＤに関連づけられた一連のデータを削除する（Ｓ１７０１）。これにより、露光装置１０９から回収が完了したレチクルが、レチクル回収リストから削除される。
【００６４】
次に、レチクルディスパッチャー１０５は、基本情報管理装置１０３のレチクル上限数リスト（図１０）から、レチクル回収リストおよびレチクル所在リストに対応する露光装置ＩＤのレチクル上限数を読み出す。例えば、図６のレチクル回収リストおよび図１６のレチクル所在リストの露光装置ＩＤが「１」である場合、レチクル上限数リストから「１０」が読み出される。
【００６５】
次いで、レチクルディスパッチャー１０５は、露光装置１０９のレチクル格納部１０８に収容されているレチクル数と、露光装置１０９に搬入予定のレチクル数との和が、回収基準値を超えるか否かを判断する（Ｓ１７０２）。ここで、回収基準値とは、レチクル上限数から、予め設定されている値（例えば、「１」）を差し引いた値である。本実施形態では、レチクルディスパッチャー１０５は、まず、読み出したレチクル上限数から設定値を差し引き、回収基準値を算出する。レチクル所在リストに記録されているレチクルＩＤ数とレチクル投入リスト（図１４（ｃ））に記録されているレチクルＩＤ数との和と、回収基準値とを比較することで上述の判断を行う。比較の結果、レチクル所在リストのレチクルＩＤ数とレチクル投入リストのレチクルＩＤ数との和が回収基準値以下である場合、回収リストを変更することなくレチクル回収リストを確定する（Ｓ１７０２Ｎｏ→Ｓ１７１２）。一方、比較の結果、レチクル所在リストのレチクルＩＤ数とレチクル投入リストのレチクルＩＤ数との和が回収基準値を超える場合、以下の手順によりレチクル回収リストを更新する（Ｓ１７０２Ｙｅｓ）。
【００６６】
まず、レチクルディスパッチャー１０５は、基本情報管理装置１０３のレチクルステータスリスト（図１１）から、レチクル状態が、「Ｍａｉｎｔｅｎａｎｃｅ」であるレチクルを検索する（Ｓ１７０３）。検索の結果、該当するレチクルが存在する場合は、そのレチクルＩＤをレチクル回収リストに追加する（Ｓ１７０３Ｙｅｓ→Ｓ１７０４）。このとき、レチクルディスパッチャー１０５は、レチクル所在リストのレチクルＩＤ数とレチクル投入リストのレチクルＩＤ数との和から、レチクル回収リストに追加したレチクルＩＤ数を差し引いた値が回収基準値を超えるか否かを判断する（Ｓ１７０５）。判断の結果、回収基準値以下である場合、その状態でレチクル回収リストを確定する（Ｓ１７０５Ｎｏ→Ｓ１７１２）。一方、判断の結果、回収基準値を超える場合、およびステップＳ１７０３において、該当するレチクルが存在しない場合、使用中予約中レチクルリストに基づいて、レチクル所在リスト中の使用中および使用予約中のレチクルを検索し、レチクル所在リストから使用中および使用予約中を除くレチクルのレチクルＩＤを取得する（Ｓ１７０６）。
【００６７】
続いて、レチクルディスパッチャー１０５は、取得したレチクルＩＤから、ロット進捗予定表に基づいて生産中のロットで使用するレチクルのレチクルＩＤを検索する（Ｓ１７０７）。検索の結果、生産中のロットで使用するレチクルＩＤが存在しない場合、レチクルディスパッチャー１０５は、取得した全てのレチクルＩＤをレチクル回収リストに追加し、レチクル回収リストを確定する（Ｓ１７０７Ｎｏ→Ｓ１７０８→Ｓ１７１２）。また、検索の結果、生産中のロットで使用するレチクルが存在する場合、レチクルディスパッチャー１０５は、まず、生産中ロットで使用するレチクルを除くレチクルＩＤをレチクル回収リストに追加する（Ｓ１７０９）。このとき、レチクルディスパッチャー１０５は、レチクル所在リストのレチクルＩＤ数とレチクル投入リストのレチクルＩＤ数との和から、レチクル回収リストに追加した総レチクルＩＤ数を差し引いた値が回収基準値を超えるか否かを判断する（Ｓ１７１０）。
【００６８】
判断の結果、回収基準値以下である場合、その状態でレチクル回収リストを確定する（Ｓ１７１０Ｎｏ→Ｓ１７１２）。一方、判断の結果、回収基準値を超える場合、レチクルディスパッチャー１０５は、ロット進捗予定表に基づいて、取得したレチクルＩＤ中で最も遅く必要となるレチクルＩＤを特定する。レチクルディスパッチャー１０５は、特定したレチクルＩＤを追加する（Ｓ１７１０Ｙｅｓ→Ｓ１７１１）。そして、レチクル所在リストのレチクルＩＤ数とレチクル投入リストのレチクルＩＤ数との和から、レチクル回収リストに追加した総レチクルＩＤ数を差し引いた値が回収基準値を超えるか否かを判断する（Ｓ１７１０）。レチクル回収リストへの最遅使用レチクルの追加は、レチクル所在リストのレチクルＩＤ数とレチクル投入リストのレチクルＩＤ数との和から、レチクル回収リストに追加した総レチクルＩＤ数を差し引いた値が回収基準値以下になるまで、繰り返される。そして、回収基準値以下となったとき、レチクルディスパッチャー１０５は、レチクル回収リストを確定する（Ｓ１７１０Ｎｏ→Ｓ１７１２）。
【００６９】
以上説明したレチクル回収判断処理により、優先度の低いレチクルから順にレチクル回収リストに記録することができる。したがって、レチクル回収判断処理を実施したレチクル回収リストに基づいてレチクル搬送を行うことにより、不要なレチクルを露光装置から搬出することができる。
【００７０】
レチクル回収判断処理が完了すると、レチクルディスパッチャー１０５は、搬送コントローラー１０４に搬送指示を送信する（図１２  Ｓ１２０４）。搬送手段１１２がレチクルの搬送を行っていない場合、搬送コントローラー１０４は当該搬送指示に応じてレチクルの搬送を開始する。また、上述のように搬送手段１１２がレチクルの搬送を行っている場合には、搬送コントローラー１０４はレチクルの搬送を継続する。搬送コントローラー１０４は、レチクルディスパッチャー１０５のレチクル投入リストに基づいて露光装置１０９へのレチクルの搬入を実施し、レチクル回収リストに基づいて露光装置１０９からレチクルの搬出を実施する。例えば、搬送手段１１３が露光装置１０９にレチクルを搬入したときに、そのレチクルと交換でレチクルを搬出する構成である場合、レチクル投入リストの投入順序「１」に記録されているレチクルが露光装置１０９に搬送される。当該レチクルと交換で、レチクル回収リストの回収順序「１」に記録されているレチクルが露光装置１０９から搬出される。なお、搬送手段１１３によるレチクル搬送は、レチクル投入リスト、およびレチクル回収リストに記録されたレチクルＩＤが存在する間は、継続的に実施される。
【００７１】
また、搬送コントローラー１０４は、露光装置１０９から所定ロットの露光処理が完了した旨の通知を受信すると、露光済のロットの搬出を指示する。搬出によりロードポートに空きが発生した露光装置１０９は、搬送コントローラー１０４にロット搬入要求を送信する。このとき、搬送コントローラー１０４は、基本情報管理装置１０３のロット優先度リストを参照し、露光工程の仕掛ロットの中から優先度が最上位のロットを特定する。そして、基本情報管理装置１０３のレチクル所在リストを参照し、当該ロットが使用するレチクルが露光装置１０９に存在すれば、露光装置１０９への当該ロットの搬送を実施する。また、当該ロットが使用するレチクルが露光装置１０９に存在しない場合、レチクル所在リストに記録されているレチクルを使用する露光工程仕掛ロットの中で、優先度が最上位のロットの搬送を実施する。
【００７２】
以上説明したレチクル搬送制御処理（図１２）は、時間間隔Ｑで繰返し実行される（図１２  Ｓ１２０５）。上述のように、時間間隔Ｑは、レチクルの搬送時間Ｒよりも短い。したがって、１枚のレチクル搬送中に、少なくとも１回は、レチクル投入リストおよびレチクル回収リストの更新が実施される。このため、生産中の各ロットの進捗状況の変化に速やかに対応することができる。
【００７３】
なお、上記実施形態では、ロット進捗管理装置１０１、ロット到着予測装置１０２、基本情報管理装置１０３、およびレチクルディスパッチャー１０５を別体の装置として説明したが、その一部または全部が１つの装置として構成されてもよい。また、ロット進捗管理装置１０１、ロット到着予測装置１０２、基本情報管理装置１０３、およびレチクルディスパッチャー１０５は、例えば、専用の演算回路や、プロセッサとＲＡＭやＲＯＭ等のメモリとを備えたハードウエア、および当該メモリに格納され、プロセッサ上で動作するソフトウエア等として実現することもできる。
【００７４】
以上説明したように、本発明では、露光工程の仕掛ロットとなる前に、使用レチクルがレチクル投入リストに記録される。また、レチクル投入リストに使用レチクルが登録されるタイミングは、露光工程へのロットの到着予定時間が、露光装置に搬入可能なロット数と同数のレチクル搬送に要する時間内になったときである。したがって、露光工程の仕掛ロットとなったときには、レチクルの準備が完了している。また、進捗前倒しや進捗遅れが発生した場合であっても、ロットの進捗状況に応じて露光装置にレチクルを搬送することができさらに、露光装置へのロットの搬送は、レチクルが露光装置に収容されている場合に実行される。このため、レチクル待ちがなくなり、従来に比べて露光装置の稼働率を向上させることができる。
【００７５】
また、本発明では、露光装置に収容されているレチクル数とレチクル投入リストに記録されるレチクル数との和が常に、露光装置に収容可能なレチクルの上限数以下に制限される。すなわち、露光装置に収容可能なレチクルの上限数を超える数のレチクルの搬送が防止される。加えて、露光装置に収容されているレチクル数とレチクル投入リストに記録されるレチクル数との和が、回収基準値を超えると、優先度の低いレチクルから順にレチクル回収リストに記録され、露光装置から搬出される。このため、レチクルの無駄な交換が発生せず、搬送能力の低下を抑制することができる。また、レチクルへのゴミ付着の可能性を最小限にすることができる。
【００７６】
また、１枚のレチクル搬送中に、少なくとも１回は、レチクル投入リストおよびレチクル回収リストの更新が実施されため、優先度の高いロットが後続する場合でも、優先度を反映して、レチクルの投入順を決定することができる。
【００７７】
なお、本発明は、以上で説明した実施形態に限定されるものではなく、本発明の効果を奏する範囲において、種々の変形及び応用が可能である。例えば、上記実施形態では、特に好適な事例として、ロット投入判断処理、レチクル上限数考慮処理、およびロット回収判断処理を実施する構成を説明した。しかしながら、レチクル待ちの発生を防止する観点では、ロット投入判断処理のみを実施する構成とすることができる。さらに、露光装置に上限数を超えるレチクルの搬送を防止する観点では、ロット投入判断処理とレチクル上限数考慮処理とを実施する構成とすることができる。なお、これらの構成を採用する場合には、公知の他の手法により、露光装置からレチクルを搬出すればよい。
【００７８】
また、上記実施形態では、ロットの優先度に基づいてレチクル投入リストをソートする構成としたが、ロットの到着予定時間順等に基づいてレチクル投入リストをソートする構成であってもよい。また、レチクル投入リストのソートを行わない構成であってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００７９】
本発明は、設備稼働率の低下、レチクル搬送能力の低下、およびレチクル交換頻度の増大を防止することができるという効果を有し、マスク搬送制御方法およびマスク搬送制御装置として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】本発明の一実施形態におけるレチクル搬送制御装置を示す概略構成図
【図２】本発明の一実施形態におけるロット進捗予定表を示す図
【図３】本発明の一実施形態における到着予定ロットリストを示す図
【図４】本発明の一実施形態における到着予定ロットリスト更新処理を示すフローチャート
【図５】本発明の一実施形態におけるレチクル投入リストを示す図
【図６】本発明の一実施形態におけるレチクル回収リストを示す図
【図７】本発明の一実施形態におけるレチクル所在リストを示す図
【図８】本発明の一実施形態における使用中予約中レチクルリストを示す図
【図９】本発明の一実施形態におけるロット優先度リストを示す図
【図１０】本発明の一実施形態におけるレチクル上限数リストを示す図
【図１１】本発明の一実施形態におけるレチクルステータスリストを示す図
【図１２】本発明の一実施形態におけるレチクル搬送制御処理を示すフローチャート
【図１３】本発明の一実施形態におけるレチクル投入判断処理を示すフローチャート
【図１４】本発明の一実施形態におけるレチクル投入リストを示す図
【図１５】本発明の一実施形態におけるレチクル上限数考慮処理を示すフローチャート
【図１６】本発明の一実施形態におけるレチクル所在リストを示す図
【図１７】本発明の一実施形態におけるレチクル回収判断処理を示すフローチャート
【図１８】従来のレチクル搬送制御処理を示すフローチャート
【符号の説明】
【００８１】
１００  マスク搬送制御装置
１０１  ロット進捗管理装置
１０２  ロット到着予測装置
１０３  基本情報管理装置
１０４  搬送コントローラー
１０５  レチクルディスパッチャー
１０６  製造ライン
１０７  露光装置
１０８  レチクル格納部
１０９  ロット保管棚
１１０  レチクル保管棚
１１１  ネットワーク回線
１１２、１１３  搬送手段
【図１】
2008186862.tif 000005
【図２】
2008186862.tif 000006
【図３】
2008186862.tif 000007
【図４】
2008186862.tif 000008
【図５】
2008186862.tif 000009
【図６】
2008186862.tif 000010
【図７】
2008186862.tif 000011
【図８】
2008186862.tif 000012
【図９】
2008186862.tif 000013
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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