(57)【要約】【課題】  動作時間が長く且つ速度測定により瞬時の制御が可能である有機蒸発器の提供。【解決手段】  コーティング速度で基板に有機蒸気を適用するための有機蒸発器は、少なくとも１つのノズル出口を有する分配管と、有機蒸気の少なくとも１つの特徴的性質について測定データを得るための測定デバイスと、を備えている。【選択図】  図３Ｂ
2008007858.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コーティング速度で有機蒸気を基板に適用するための有機蒸発器であって、
- 少なくとも１つのノズル出口（１１０）を有する分配管（１００）と、
- 該有機蒸気の少なくとも１つの特徴的性質についての測定データを得るための測定デバイス（１３０；１２０、２００）と、
を備えている前記有機蒸発器。
【請求項２】
-該コーティング速度を決定するために該測定データを分析するための該測定デバイスに結合された分析器（４００）、
を更に備えている、請求項１記載の有機蒸発器。
【請求項３】
該有機蒸気の該少なくとも１つの特徴的性質が該有機蒸気の該吸収速度を含んでいる、請求項１又は２記載の有機蒸発器。
【請求項４】
該有機蒸気の該少なくとも１つの特徴的性質が該有機蒸気の光ルミネセンス活性を含んでいる、請求項１〜３のいずれか１項に記載の有機蒸発器。
【請求項５】
該測定デバイスが光源（１３０）及び/又は検出器（１２０）を備えている、請求項１〜４のいずれか１項に記載の有機蒸発器。
【請求項６】
該測定デバイスが光感受性検出器（１２０）を備えている、請求項１〜５のいずれか１項に記載の有機蒸発器。
【請求項７】
該有機蒸気の吸収速度及び/又は光ルミネセンス活性によるデータを保存するためのメモリを更に備えている、請求項１〜６のいずれか１項に記載の有機蒸発器。
【請求項８】
該分配管が縦向きに配置されている、請求項１〜７のいずれか１項に記載の有機蒸発器。
【請求項９】
該測定デバイスが、該少なくとも１つの特徴的性質の非接触測定のために該分配管（１００）の外側に配置されている、請求項１〜８のいずれか１項に記載の有機蒸発器。
【請求項１０】
該測定デバイスが少なくとも１つのミラーユニット（２００）を備えている、請求項１〜９のいずれか１項に記載の有機蒸発器。
【請求項１１】
該蒸発器が閉鎖蒸発器である、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の有機蒸発器。
【請求項１２】
該少なくとも１つのノズル出口の直径が０.１ｍｍ〜５ｍｍである、請求項１〜１１のいずれか１項に記載の有機蒸発器。
【請求項１３】
るつぼ（３００）を更に備えている、請求項１〜１２のいずれか１項に記載の有機蒸発器。
【請求項１４】
制御可能なシートバルブ（３３０）を更に備えている、請求項１〜１３記載の有機蒸発器。
【請求項１５】
該制御可能なシートバルブ（３３０）が、該分析器（４００）に結合され、それによって制御されている、請求項１４記載の有機蒸発器。
【請求項１６】
請求項１〜１５のいずれか１項に記載の少なくとも１つの有機蒸発器で基板を被覆するためのコーティング装置。
【請求項１７】
該基板がインラインで処理される、請求項１６記載のコーティング装置。
【請求項１８】
基板に有機蒸気を適用する方法であって、
- 該有機蒸気を供給するステップと、
- 該有機蒸気を該基板に適用するステップと、
- 該有機蒸気の少なくとも１つの特徴的性質を測定するステップと、
を含む前記方法。
【請求項１９】
有機蒸発器のコーティング速度を測定する方法であって、
- 有機蒸気を中空体に送るステップと、
- 少なくとも１つの出口ノズルによって該中空体から該有機蒸気を排出させるステップと、
- 該有機蒸気の少なくとも１つの特徴的性質を測定するステップと、
を含む前記方法。
【請求項２０】
該有機蒸気が分配管内に供給され、該有機蒸気の該少なくとも１つの特徴的性質が該分配管内の該有機蒸気から測定される、請求項１８又は１９記載の方法。
【請求項２１】
該有機蒸気を供給するステップが、有機材料を加熱することによって該有機蒸気を得るステップを含み、該有機材料が造粒材料として又は材料ワイヤとして供給される、請求項１８〜２０のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２２】
シャドーマスクの援助により該基板を構成するステップを更に含む、請求項１８〜２１のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２３】
該測定するステップが非接触で行われる、請求項１８〜２２のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２４】
該測定するステップが、該有機蒸気に電磁放射線を送るステップと該有機蒸気の吸収速度を検出するステップとを含む、請求項１８〜２３のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２５】
該有機蒸気に光を送るステップと、該有機蒸気の該光ルミネセンス活性を検出するステップとを含む、請求項１８〜２４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２６】
該光を反射させるステップを更に含む、請求項２４又は２５記載の方法。
【請求項２７】
該基板に非有機カバーコーティングを適用するステップを更に含む、請求項１８〜２６のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２８】
該有機蒸気が分配管内に供給され、該分配管内の該有機蒸気の圧力が２×１０-２ミリバール〜４×１０-２ミリバールに調整される、請求項１８〜２７のいずれか１項に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【発明の技術分野】
【０００１】
本発明は、有機蒸発器、コーティング装置、及びその使用方法に関する。本発明は、特に、有機蒸発器のコーティング速度を測定するための測定手段を備えた有機蒸発器、このような有機蒸発器を持つコーティング装置及びその使用方法に関する。
【発明の背景】
【０００２】
有機蒸発器は、有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）のある一定の製造タイプに不可欠なツールである。ＯＬＥＤは、発光層がある種の有機化合物の薄膜を備えている発光ダイオードの特別なタイプである。このようなシステムは、テレビスクリーン、コンピュータディスプレイ、携帯用システムスクリーン等に用いることができる。ＯＬＥＤは、一般の空間イルミネーションにも用いることができる。色、明るさ、視角のＯＬＥＤディスプレイによる可能な範囲は、ＯＬＥＤピクセルが直接光を放出し、バックライトを必要としないことから、従来のＬＣＤディスプレイより大きい。それ故、ＯＬＥＤのディスプレイのエネルギー消費量は、従来のＬＣＤディスプレイよりかなり少なくなる。更に、ＯＬＥＤがフレキシブル基板に印刷することができる事実は、新しい応用、例えば、ロールアップディスプレイに又は布に埋め込まれたディスプレイさえにも扉が開かれている。
【０００３】
ＯＬＥＤの機能性は、有機材料のコーティング厚に左右される。この厚さは、所定の範囲以内でなければならない。それ故、ＯＬＥＤの製造では、有機材料によるコーティングが行われるコーティング速度は、所定の許容範囲にあることが重要である。換言すると、有機蒸発器のコーティング速度は、製造プロセスにおいて、全体的に制御されなければならない。
【０００４】
そうするために、当該技術において、コーティング速度の決定のためにいわゆる石英結晶微量天秤又は石英振動子を用いることが知られている。これらの振動結晶の実際の発振周波数の測定は、実際のコーティング速度の終結を可能にする。
【０００５】
しかしながら、これらの結晶は、コーティングプロセスにおいて有機材料で被覆されている。それ故、結晶は、限られた量の材料コーティングのみを許容することから、周期的に取り替えなければならない。このことにより、特に使用寿命が非常に長い大規模生産プラントにおいて、それらの有用性が減少する。更にその上、振動結晶を取り替えるために、真空チャンバへの介入が必要である。真空の再生には、時間と費用がかかる。
【０００６】
或いは、当該技術において、コーティング速度を測定するために堆積が完了した後に堆積された層を分析することが知られている。この場合、堆積システムのフィードバック制御は、ある一定の遅延により可能なだけである。特に、この手順により、制御が修正措置をとることができる前に範囲外にある層で被覆されている１枚以上の基板が生じる。これらの基板は不良品である。
【０００７】
上記を考慮して、本発明の目的は、当該技術における問題の少なくとも一部を克服する、有機蒸発器、コーティング装置、及び基板を被覆する方法を提供することである。
【発明の概要】
【０００８】
当該技術における問題は、少なくとも一部分は、請求項１記載の有機蒸発器、請求項１６記載のコーティング装置、請求項１８記載の基板を被覆する方法によって克服される。より詳しくは、有機蒸発器及びコーティング装置は、動作時間が長く、速度測定により瞬時の制御が可能である。その他の態様、詳細、利点は、従属請求項、説明、添付の図面から明らかである。
【０００９】
上記を考慮して、本発明は、コーティング速度で基板に有機蒸気を適用するのための有機蒸発器を提供する。有機蒸発器は、少なくとも１つのノズル出口を持つ分配管と有機蒸気の少なくとも１つの特徴的性質についての測定データを得るための測定デバイスとを含んでいる。
【００１０】
本発明の態様によれば、更に、基板を被覆するためのコーティング装置が提供される。コーティング装置は、本発明による少なくとも１つの有機蒸発器を含んでいる。
【００１１】
本発明の他の態様によれば、有機蒸気を基板に適用するための方法は、有機蒸気を供給するステップと、有機蒸気を基板に適用するステップと、有機蒸気の少なくとも１つの特徴的性質を測定するステップと、を含んでいる。
【００１２】
本発明の更に他の態様によれば、有機蒸発器のコーティング速度を測定するための方法は、有機蒸気を中空体に送るステップと、少なくとも１つの出口ノズルによって中空体からの有機蒸気を排出させるステップと、有機蒸気の少なくとも１つの特徴的性質を測定するステップと、を含んでいる。
【００１３】
本発明の実施形態は、図面に示され、以下でより詳細に記載される。
【実施形態の詳細な説明】
【００１４】
ここで、本発明の種々の実施形態を詳細に言及し、１つ以上の例が図面に示されている。各実施例は本発明の説明によって示されるが、本発明の限定を意味しない。例えば、一実施形態の一部として図示又は記載されている特徴は、更に他の実施形態を得るように他の実施形態について又は他の実施形態とともに用いることができる。本発明は、このような修正や変更を含むことを意図している。
【００１５】
本発明は、コーティング速度で基板に蒸気を適用するための蒸発器を提供する。蒸発器は、少なくとも１つのノズル出口を持つ分配管と蒸気の少なくとも１つの特徴的性質についての測定データを得るための測定デバイスを有する。
【００１６】
蒸発器の速度は、分配管内で蒸発させなければならない材料の圧力に左右される。この圧力は、材料の蒸気圧に相当する。従って、蒸気の特徴的性質の有意な信号の測定を可能にするのに十分に高い圧力である。
【００１７】
本発明の典型的な実施形態においては、有機蒸気の吸収速度は有機蒸気の特徴的性質として測定される。有機材料は、個々の吸収バンドを有する。ランベルトベールの法則によると、吸収は濃度、よって分配管内で蒸発するための材料の圧力に左右される。つまり、分配管内のある一定の波長の吸収から分配管内の材料の圧力を推測することが可能である。レーザは、蒸気を照射するための照射源として用いることができる。典型的には、用いられる照射源の波長分布の強度は測定される有機材料の吸収波長の波長で高いか又はそれに近い。典型的な有機材料は、例えば、Ａｌｑ３、ＮＢＰ、ＴＮＡＴＡ等である。しばしばモノマー材料が用いられる。
【００１８】
或いは、又は有機蒸気の特徴的性質としての吸収の測定に加えて、有機蒸気の光ルミネセンスを測定することが可能である。有機材料の蒸気は、放射でそれを照射することによって励起される。典型的には、蒸気はある一定の波長で照射される。励起分子は基底状態に下がり、それにより発光放射する。特徴的な発光波長は、検出器として発光分光器を用いて検出することができる。発光強度は、分配管中で蒸発する材料の圧力に左右される。このように、発光強度は、分配管内の圧力を決定するとともにコーティング速度について結論するために分析することができる。
【００１９】
典型的な実施形態においては、測定デバイスは、１つ以上、例えば、２つの検出器と１つ以上、例えば、２つの光源を備えている。一般的に、本出願における“光”という用語は、すべての種類の電磁放射線を意味する。典型的な実施形態においては、放射された光は１０００ｎｍ未満の波長を有する。典型的な実施形態においては、放射された光は少なくとも３００ｎｍの波長を有する。４００ｎｍ〜７００ｎｍの可視光がしばしば用いられる。少なくとも１つの光源は、レーザ、白色光ランプ等であってもよい。少なくとも１つの検出器は、光ダイオード、ｐｉｎダイオード、分光器、光増倍管等であってもよい。検出器は倍増管に接続されてもよい。電磁スペクトルを分析するために分光器を備えることも可能である。
【００２０】
測定方法及び/又は測定された特徴的性質及び/又は用いられる有機蒸気によっては、赤外光又はＵＶ光又はより高い又は低い周波数を持つ電磁波を適用することは本発明の範囲内である。
【００２１】
典型的な実施形態においては、本発明による有機蒸発器は、更に、例えば、検出器又はその倍増管とのデータ接続によって、測定デバイスに結合されている分析器を備えている。分析器が照射及び吸収及び/又は光ルミネセンス発光データを比較するために光源に結合されることが可能である。分析器は、典型的には、測定デバイスによって供給された情報に基づいてコーティング速度を決定する。更に、典型的には、分析器はメモリにアクセスされている。有機蒸気の典型的な吸収速度及び/又は光ルミネセンス活性についてのデータはメモリに保存することができる。例えば、分析器はパーソナルコンピュータでもよく、メモリはパーソナルコンピュータ等のハードドライブであり得る。分析器は、オペレータが、分析器や制御可能なシートバルブのような分析器に接続されたユニットの作用に影響させられるキーボード又はマウスのような入力ユニットを有してもよい。更に、分析器は、検出器から得た値及び/又はこれらの値から算出された計算結果のようなオペレータ情報を示すためにスクリーン又はプロッターのような出力ユニットを有してもよい。測定されたデータ値とメモリに保存されたデータ値は、実際のコーティング速度を決定するために共に処理され、例えば、比較される。
【００２２】
典型的には、分配管は石英ガラス等で作られている。これにより広い波長範囲内でＯＬＥＤ蒸発器の分配管内部での吸収の測定が可能であり、測定は多くの異なった材料で行うことができる。或いは、分配管はステンレス鋼で作られてもよく、この場合、管は適当な窓を配置させる必要がある。
【００２３】
本発明の典型的な実施形態においては、測定は非接触法で行われる。光源や検出器のような測定デバイスの要素は、典型的には、分配管の外部に配置されている。
【００２４】
典型的には、計量ステップは、蒸気を基板に適用する前に本発明による方法で行われる。一般的には、堆積速度及び吸収及び/又は光ルミネセンスの関係は、コーティングの始めに計量される。計量ステップは、基板の堆積の間、例えば、個々の間隔で又は絶えず繰り返すことができる。計量は基板コーティングの間に行うことが可能である。例えば、コートされた基板のコーティング厚は、コーティングステップ直後に調べることができ、各々の基板を被覆する時間に測定された特徴的性質に相関することができる。
【００２５】
図１Ａは、本発明による蒸発器の第１実施形態を示す図である。蒸発器の分配管１００は多くのノズル１１０を備えている。本発明による典型的な分配管の直径は、１ｃｍ〜１０ｃｍ、より典型的には４ｃｍ〜６ｃｍである。有機材料で基板を蒸発させる場合、外圧より大きい分配管内の圧力が有機蒸気を分配管から基板（図示せず）に向かって流れさせる。図１に示される図には、基板は紙の平面の上に位置している。基板を被覆する典型的な方法においては、有機蒸気は真空雰囲気中で基板に適用される。真空という用語は、１０-２ミリバール以下の圧力を意味する。典型的には、ノズル出口は、１つのノズル出口の蒸気フローが基板表面上の次の隣のノズル出口の蒸気フローと重なるような形状であり配置されている。
【００２６】
コーティング速度を制御するために、図１Ａに示される実施形態による有機蒸発器は、分配管１００内の有機蒸気の特徴的性質について測定データを得るための測定デバイスを備えている。測定デバイスは、典型的には、分配管内の有機蒸気の特徴的性質について測定データを得るように適合されている。測定デバイスは、例えば、個々のスペクトル分布を持つレーザ又は、従来の白色又は有色の光源であり得る光源１３０を備えている。光源は、広い分布を持つ発光ユニットと特定範囲の波長だけを通すことを可能にする前方のフィルタを備えることも可能である。Ｎｏ.１３０と呼ばれる光源は、光ファイバケーブルの末端であることが可能である。言い換えれば、本発明の実施形態においては、分配管に光を透過するように配置された光ファイバであるのがよい。検出器もまた、光ファイバによって接続されてもよい。これにより、特定の環境では適切に機能しないある種の検出器の使用が可能である。
【００２７】
測定デバイスは検出器１２０を備えている。検出器１２０は分配管から到達する放射を測定する。検出器の典型的な実施例は、ｐｉｎダイオード、分光器、光ダイオード、光倍増管等である。検出器は、また、光ファイバによって接続されてもよい。このことにより、特定の環境で適切に機能しないある種の検出器の使用が可能である。また、問題の波長を有する光子だけを通過させるために検出器の前にフィルタを配置させることが可能である。この波長は、例えば、分配管内の個々の有機材料の特徴的光ルミネセンス発光波長であり得る。
【００２８】
本発明の一実施形態によれば、分配管内の吸収速度が有機蒸気の特徴的性質として測定される。本発明の他の実施形態によれば、分配管内の有機蒸気のルミネセンス活性が特徴的性質として測定される。図１Ａにおける検出器１２０は、分配管内の吸収速度の測定を可能にし、光ルミネセンスの測定にも用いることができる。光ルミネセンスが測定された場合、信号の品質を強化するために検出器により光源の光が直接の発生する点で孔（又はナムスポット）を設けることは有利であるが、必要ではない。直接光通路の外部の領域に検出器を配置することも可能である。
【００２９】
吸収速度を測定した場合、分配管内のある一定の波長の吸収から分配管内の材料の圧力を推定することが可能である。前に説明したように、コーティング速度は吸収速度から推定することができる。この情報は、コーティング速度を制御のために用いることもできる。
【００３０】
一般的には、本発明の分配管は少なくとも１つのノズル出口を持つ中空体でもよい。分配管は、典型的には、分配管に有機蒸気を送るためのるつぼのような供給ユニットに接続されている。典型的には、分配管は１５〜１００、典型的には２０〜３０のノズル出口を備えている。ノズル出口の直径は、典型的には０.１ｍｍ〜５ｍｍ、より詳しくは１ｍｍ〜２ｍｍである。分配管は、チューブ等の形状をし得る。他の実施形態においては、分配管はシャワーヘッドである。
【００３１】
ノズルの数と開口部のそれぞれの領域が分配チューブの全サイズ/容積と比較して小さい場合には、チューブは閉じられているとみなされる。チューブ内の圧力がより安定であり、より良好なコーティングプロセスと圧力測定が得られる。
【００３２】
図１Ｂに示されている実施形態は、図１Ａに示されている実施形態と同じであるが、検出器１２０が光源１３０として有機蒸発器の同じ側に位置しているという違いがある。示された実施形態においては、測定デバイス１２０、１３０は有機蒸気の光ルミネセンスを測定するように配置されている。或いは、検出器は分配管の側に配置されてもよい。このために、光は分配管内に送られ、それにより有機材料を励起する。典型的には、光はある一定の波長を有する。励起された分子は基底状態に戻り、それにより発光放射する。特徴的な発光波長は、発光分光器のような検出器１２０によって検出される。発光の強度は蒸発する材料の圧力に直接左右されるので、圧力と発光強度の相関が確立し、速度を制御するために使用し得る。
【００３３】
図２Ａは、更に、本発明による有機蒸発器の実施形態を示す図である。図１Ｂに関して既に示された要素に、更に、図２Ａの実施形態はミラー２００を備えている。ミラーは、検出器１２０に向かって光源１３０によって出された光を反射されるように配置されている。吸収と光ルミネセンス双方をこの実施形態で測定することができる。例えば、吸収が測定される場合には、光が有機蒸気を進まなければならない距離は分配管の高さの２倍である。適用と有機材料によっては、分配管内の吸収速度は、光が進まなければならない距離が分配管の高さだけである図１Ａに示されるような実施形態より正確に測定することができる。
【００３４】
光の進む距離は、図２Ｂで示されている実施形態に従って更に増加する。その中で、更に、図２Ａで既に示された要素に、ミラー２１０が更に配置されている。光源１３０によって出された光の光路は、分配管内を通る光の進行距離が分配管１００の高さの４倍であるように調整される。
【００３５】
図３Ａは、図２Ａに断面透視図で示された実施形態と同様の本発明による有機蒸発器の実施形態を示す図である。前のように、光源１３０と検出器１２０は分配管１００の上に位置している。ミラー２００は分配管１００の下に配置されている。適用によっては、逆に光源、検出器、ミラーを配置させることができる。即ち、光源が分配管の下に位置し、ミラーが分配管の上に配置できる。有機蒸発器は、更に、るつぼ３００と１つ以上の供給チューブ３１０を備えている。るつぼ３００は、固体又は液体の形態の有機材料で充填することができる。その後、るつぼは、材料が集合状態を蒸気に部分的に変わる温度に加熱される。
【００３６】
光源、検出器及び/又はミラーの種々の幾何学的配置は、供給チューブ３１０に関してなされる。この場合、蒸気の特徴的性質、例えば、圧力は供給チューブ３１０（図示せず）内で測定される。一般に、分配管の測定はより正確である。
【００３７】
典型的には、蒸発器は閉鎖した形を有する。即ち、穴１１０は有機蒸発器から出る蒸気の唯一の開口部である。周囲の雰囲気における圧力と比較して有機蒸発器内の圧力が高いために、蒸気は分配管から基板３２０に流れる。典型的には、有機蒸発器の密閉した形状内の圧力は、有機材料の蒸気圧に相当する。この圧力は、典型的には１０-２ミリバールの範囲、例えば、２-４×１０-２ミリバールである。それに対照的に、有機蒸発器の外部の圧力は、典型的には１０-４ミリバール〜１０-７ミリバールである。
【００３８】
るつぼと分配管の間のどこかにシートバルブを配置することが更に可能である。このことは、図３Ｂの実施形態に例示的に示され、バルブ３３０は供給チューブ３１０の垂直部分と水平部分の間に位置している。示された実施形態においては、るつぼはシートバルブを通って分配管に接続されている。シートバルブ３３０は、手動で又は自動で制御可能である。例えば、有機材料の堆積が一時的に停止される場合には、シートバルブは完全に閉鎖することができる。一般に、有機蒸発器内で有機材料の密度を制御するために制御することができる。即ち、シートバルブは有機蒸発器のコーティング速度を制御するために用いることができる。典型的には、シートバルブは分析器に結合され制御されることができる。本発明による有機蒸発器に取付けられた１を超えるシートバルブがあることも可能である。例えば、１つのシートバルブは手動で制御され、他のシートバルブは分析器によって制御されてもよい。
【００３９】
図４は、更に、本発明の実施形態を示す図である。図３に関して既に示された要素に、更に、図４の実施形態は分析器４００を備えている。分析器は接続部４２０によって検出器１２０に接続されている。更に、分析器は接続部４１０によって有機蒸発器のコーティング速度を制御する手段に接続されている。例えば、このような手段は、図３Ｂの実施形態に関して記載されているシートバルブ、又は有機材料で充填されたるつぼの温度を制御する熱制御等であり得る。有機蒸発器を作動させる場合、コーティング速度は光源１３０、ミラー２００、検出器１２０を備えた測定デバイスによって測定される。検出器１２０によって検出された情報は情報を分析するために分析器４００に送られる。分析器は、基板がこの情報の評価することよって被覆される実際のコーティング速度を決定する。コーティング速度が高すぎた場合には、コーティング速度を制御する手段はコーティング速度を低下させるように指示される。既に示されたように、このことはシートバルブ開口部を小さくすることによってなされる（図４に図示せず）。基板上の実際のコーティング速度を低下させる他の手段もまた、本発明の範囲内である。例えば、基板の有機コーティングの前後のプロセスステップによっては、ノズル出口１１０を通る基板３２０の速度は、実際のコーティング速度が高すぎるか又は低すぎるかによって増加又は低下され得る。
【００４０】
図５は、本発明によるコーティング装置の実施形態の断面図である。図５は、典型的には、動作の間、１つ以上の真空ポンプによって排気されるコーティングチャンバ５００内の本発明による有機蒸発器を示す図である。
【００４１】
典型的には、本発明によるコーティング装置は、更に、有機蒸発器の前及び/又は後に位置するプロセスチャンバを備えている。本発明の有機蒸発器は、典型的には、垂直線形有機蒸発器として用いられている。典型的には、基板はインライン処理される。即ち、有機材料は垂直に向けられている基板に水平に蒸発する。基板は、典型的には、異なるプロセスチャンバが列で位置しているアセンブリラインによって連続して搬送される。典型的な実施形態においては、コーティングに必要とされる時間間隔は１つの基板に対して１０秒〜４分間、より典型的には３０秒〜９０秒間である。コーティング頻度は、指定された時間に被覆される基板の数を意味する。
【００４２】
本発明のコーティング装置は、本発明によるいくつかの有機蒸発器を備えてもよい。幾つかのプロセスチャンバは、異なるレベルの真空を有してもよい。典型的には、被覆される基板は、有機蒸発のためにチャンバに入る前に１つ以上の洗浄プロセスステップを受ける。更に典型的には、基板は、１つ以上の有機層を堆積した後に無機層で被覆される。このことは、有機材料が酸素に感受性であるという点による。それ故、キャップ層は多くの実施形態において有機材料層を保護する。
【００４３】
更に、有機材料が湿式化学エッチングプロセスにおいてエッチングされ得ることは難しいので、典型的には、基板はコーティングの間、シャドーマスクの援助で構成されている。シャドーマスクは、典型的には、基板と整列されている。典型的には、局所的な正確さの高い金属マスクは基板に相対して整列されている。その後、基板が被覆される。
【００４４】
図３Ａ〜図５に示される実施形態においては、測定デバイスは１つのミラー２００を備え、光源１３０と検出器１２０双方は分配管１００の上に位置している。しかしながら、図１Ａ〜図２Ｂに示されている実施形態もまた、図３Ａ〜図５の実施形態に適用可能であることが強調される。詳細には、図３Ａ〜図５に示されている実施形態は同様に、０、１、２以上のミラーを備えているのがよく、光源と検出器は分配管の異なる側に配置されているのがよい。本発明によれば、検出器と光源双方は分配管の下に位置することも可能である。
【００４５】
更に、検出器、光源、恐らくミラーは、分配管のそばに位置させてもよい。このことは、図６Ａと図６Ｂの実施形態に示されている。本発明の実施形態においては１を超えるミラーが配置されることも可能である。このことは、図６Ｃに例示的に示されている。
【００４６】
この記述された説明は、最良の形態を含む本発明を開示するために、また、あらゆる当業者が本発明を作成し用いることを可能にするために実施例を用いている。本発明は種々の個々の実施形態によって記載されてきたが、特許請求の範囲の精神及び範囲内で変更して実施され得ることを当業者は認識する。特に、上述の実施形態の相互に独占的でない特徴は、相互に組み合わせることができる。本発明の特許可能な範囲は、特許請求の範囲で定義され、当業者に見出される他の実施例を含むことができる。このような他の例は、それらが特許請求の範囲の文字言語と異ならない構造要素を持つ場合には、又はそれらが特許請求の範囲の文字言語とほとんど差がない等価な構造要素を含む場合には、特許請求の範囲の範囲内であることが意図される。
【００４７】
この記述された説明は、最良の形態を含む本発明を開示するために、また、あらゆる当業者が本発明を作成し用いることを可能にするために実施例を用いている。本発明は種々の個々の実施形態によって記載されてきたが、特許請求の範囲の精神及び範囲内で変更して実施できることを当業者は認識する。特に、上述の実施形態の相互に独占的でない特徴は、相互に組合わせることができる。本発明の特許可能な範囲は、特許請求の範囲で定義され、当業者に見出される他の例を含むことができる。このような他の実施例は、それらが特許請求の範囲の文字言語と異ならない構造要素を持つ場合には、又はそれらが特許請求の範囲の文字言語とほとんど差がない等価な構造要素を含む場合には、特許請求の範囲の範囲内であることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１Ａ】図１Ａは、被覆される基板から見た本発明による有機蒸発器の種々の実施形態を示す図である。
【図１Ｂ】図１Ｂは、被覆される基板から見た本発明による有機蒸発器の種々の実施形態を示す図である。
【図２Ａ】図２Ａは、被覆される基板から見た本発明による有機蒸発器の種々の実施形態を示す図である。
【図２Ｂ】図２Ｂは、被覆される基板からみた本発明による有機蒸発器の種々の実施形態を示す図である。
【図３Ａ】図３Ａは、本発明の有機蒸発器の種々の実施形態を側面透視図で示す図である。
【図３Ｂ】図３Ｂは、本発明の有機蒸発器の種々の実施形態を側面透視図で示す図である。
【図４】図４は、本発明の有機蒸発器の種々の実施形態を側面透視図で示す図である。
【図５】図５は、本発明によるコーティング装置の実施形態を示す図である。
【図６Ａ】図６Ａは、本発明による有機蒸発器の種々の実施形態を側面透視図で示す図である。
【図６Ｂ】図６Ｂは、本発明による有機蒸発器の種々の実施形態を側面透視図で示す図である。
【図６Ｃ】図６Ｃは、本発明による有機蒸発器の種々の実施形態を側面透視図で示す図である。
【符号の説明】
【００４９】
１００…分配管、１１０…ノズル出口、１２０…検出器、１３０…光源、２１０…ミラー、３００…るつぼ、３１０…供給チューブ、３２０…基板、３３０…シートバルブ、４００…分析器、４１０…接続部、４２０…接続部、５００…コーティングチャンバ、５１０…真空ポンプ。
【図１Ａ】
2008007858.tif 000003
【図１Ｂ】
2008007858.tif 000004
【図２Ａ】
2008007858.tif 000005
【図２Ｂ】
2008007858.tif 000006
【図３Ａ】
2008007858.tif 000007
【図３Ｂ】
2008007858.tif 000008
【図４】
2008007858.tif 000009
【図５】
2008007858.tif 000010
【図６Ａ】
2008007858.tif 000011
【図６Ｂ】
2008007858.tif 000012
【図６Ｃ】
2008007858.tif 000013
【外国語明細書】
2008007858000001.pdf