(57)【要約】【課題】本発明は、セラミックグリーンシートと導体パターンとを積層した場合における両者間のデラミネーションの発生を抑制できるセラミックグリーンシートの製造方法を提供することを目的とするものである。【解決手段】本発明のセラミックグリーンシートの製造方法は、支持基体１３上にセラミック材料を主成分としたスラリーを均一な厚さになるように塗布する工程と、この塗布されたスラリーを乾燥させる工程とからなるセラミックグリーンシートを成形する工程を備えたセラミックグリーンシートの製造方法において、前記支持基体１３上に塗布されたスラリーを５０〜８０％の湿度で加湿するようにしたものである。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持基体上にセラミック材料を主成分としたスラリーを均一な厚さになるように塗布する工程と、この塗布されたスラリーを乾燥させる工程とからなるセラミックグリーンシートを成形する工程を備えたセラミックグリーンシートの製造方法において、前記支持基体上に塗布されたスラリーを５０〜８０％の湿度で加湿するようにしたセラミックグリーンシートの製造方法。
【請求項２】
スラリーを乾燥させる工程において、支持基体を乾燥装置の出口に向かって引っ張りながらスラリーを乾燥装置の入口からその内部に挿入するとともに、前記乾燥装置の出口付近から加熱された空気を前記乾燥装置の内部に送り込み、かつ前記乾燥装置の入口付近から前記加熱された空気を排出させ、さらに、加湿する工程における加湿された空気を、前記加熱された空気の排出と同時に同じ箇所から排出させるようにした請求項１記載のセラミックグリーンシートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、デジタル機器やＡＶ機器、情報通信端末等の各種電子機器に使用される積層型電子部品に係るセラミックグリーンシートの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のこの種のセラミックグリーンシートの製造方法は、フェライトなどを主成分とする磁性体原料粉末に、ポリビニルブチラールなどを主成分とするバインダー、有機溶剤を混合してスラリーを作製し、そしてこのスラリーをドクターブレード法によってシート状に成型し、セラミックグリーンシートを得ていた。
【０００３】
なお、この出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
【特許文献１】特開平６−７７０７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記した従来のセラミックグリーンシートの製造方法により得られたセラミックグリーンシートを用いて積層型電子部品を作製すると、デラミネーションが発生し易いという課題を有していた。
【０００５】
すなわち、周囲の湿度が変動すると、スラリーに含まれる水分量も変化するもので、周囲の湿度が低い場合は、スラリー中の水分が少なくなるため、スラリーを乾燥させてセラミックグリーンシートを形成する際には水分があまり蒸発せず、これにより、セラミックグリーンシート中にはポア（空隙）がほとんどなくなるため、セラミックグリーンシートのシート密度も高くなる。このシート密度が高いセラミックグリーンシートは、（数１）からも分かるように、圧縮率が低いため、セラミックグリーンシートと導体パターンとを積層すると、導体パターンとセラミックグリーンシートとの間にデラミネーションが発生してしまうからである。
【０００６】
【数１】
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【０００７】
なお、（数１）において、積層体密度は、複数枚のセラミックグリーンシートを積層した積層体を治具で打ち抜き、その膜厚（体積）と重量を測定することによって求めている。
【０００８】
本発明は上記従来の課題を解決するもので、セラミックグリーンシートと導体パターンとを積層した場合における両者間のデラミネーションの発生を抑制できるセラミックグリーンシートの製造方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有するものである。
【００１０】
本発明の請求項１に記載の発明は、支持基体上にセラミック材料を主成分としたスラリーを均一な厚さになるように塗布する工程と、この塗布されたスラリーを乾燥させる工程とからなるセラミックグリーンシートを成形する工程を備えたセラミックグリーンシートの製造方法において、前記支持基体上に塗布されたスラリーを５０〜８０％の湿度で加湿するようにしたもので、この製造方法によれば、支持基体上に塗布されたスラリーを５０〜８０％の湿度で加湿するようにしているため、スラリーを乾燥させる際に有機溶剤よりも遅く蒸発する水分をスラリー中に含ませた状態でセラミックグリーンシートを成形することができ、これにより、スラリー中の蒸発した水分が存在していた箇所に微細なポアを形成することができるため、セラミックグリーンシートの密度を低く抑えることができ、この結果、このセラミックグリーンシートと導体パターンとを積層した場合においては、セラミックグリーンシートと導体パターンとの間のデラミネーションの発生を抑制できるという作用効果が得られるものである。
【００１１】
本発明の請求項２に記載の発明は、特に、支持基体上に塗布されたスラリーを乾燥させる工程において、支持基体を乾燥装置の出口に向かって引っ張りながらスラリーを乾燥装置の入口からその内部に挿入するとともに、前記乾燥装置の出口付近から加熱された空気を前記乾燥装置の内部に送り込み、かつ前記乾燥装置の入口付近から前記加熱された空気を排出させ、さらに、加湿する工程における加湿された空気を、前記加熱された空気の排出と同時に同じ箇所から排出させるようにしたもので、この製造方法によれば、支持基体上に塗布されたスラリーを段階的に乾燥させることができるため、セラミックグリーンシートにクラックが発生するのを低減でき、また、長時間、水分をスラリー中に含ませた状態でセラミックグリーンシートを成形することができるため、このセラミックグリーンシートと導体パターンとを積層した場合においては、セラミックグリーンシートと導体パターンとの間のデラミネーションの発生を効果的に抑制できるという作用効果が得られるものである。
【発明の効果】
【００１２】
以上のように本発明のセラミックグリーンシートの製造方法は、支持基体上に塗布されたスラリーを５０〜８０％の湿度で加湿するようにしているため、スラリーを乾燥させる際に有機溶剤よりも遅く蒸発する水分をスラリー中に含ませた状態でセラミックグリーンシートを成形することができ、これにより、スラリー中の蒸発した水分が存在していた箇所に微細なポアを形成することができるため、セラミックグリーンシートの密度を低く抑えることができ、この結果、このセラミックグリーンシートと導体パターンとを積層した場合においては、セラミックグリーンシートと導体パターンとの間のデラミネーションの発生を抑制できるという優れた効果を奏するものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の一実施の形態におけるセラミックグリーンシートの製造方法により得られたセラミックグリーンシートを用いて構成した積層型電子部品について、図面を参照しながら説明する。
【００１４】
図１は本発明の一実施の形態におけるセラミックグリーンシートの製造方法により得られたセラミックグリーンシートを用いて構成した積層型電子部品の分解斜視図、図２は同積層型電子部品の斜視図である。
【００１５】
本発明の一実施の形態におけるセラミックグリーンシートの製造方法により得られたセラミックグリーンシートを用いて構成した積層型電子部品は、図１、図２に示すように、セラミックグリーンシートを加熱して得られた磁性材料からなる第１〜第５の絶縁層１ａ〜１ｅと、前記第１〜第４の絶縁層１ａ〜１ｄの上面にそれぞれ設けられた第１〜第４の導体パターン２〜５とを備え、そして第２の導体パターン３と第３の導体パターン４とを互いに対向させるとともに、これらを一体化して積層体７を構成し、さらにこの積層体７の両端部に第１〜第４の外部電極８ａ〜８ｄを形成している。なお、この場合、第２の絶縁層１ｂに第１のビア６ａを形成するとともに、第４の絶縁層１ｄに第２のビア６ｂを形成し、そして前記第１のビア６ａを介して第１の導体パターン２と第２の導体パターン３とを接続し、かつ第２のビア６ｂを介して第３の導体パターン４と第４の導体パターン５とを接続しているものである。
【００１６】
次に、本発明の一実施の形態におけるセラミックグリーンシートの製造方法について、図３を参照しながら説明する。
【００１７】
まず、セラミックを主成分とする原料粉末に、溶剤としてエステルとアルコールを加え、さらにバインダーを加え、ボールミルで混合してスラリーを作製する。そして、ボールミルより玉石分離したスラリーを圧送タンクに入れ、攪拌させながら脱泡し、圧送タンクから液ダム１１にスラリーの液面が一定になるように、液面センサーで制御しながらスラリーを送る。この液ダム１１は、内部の空気の湿度が５０〜８０％に保たれ、かつ密閉された塗工部１２内に位置している。これにより、スラリーを５０〜８０％の湿度で加湿することができる。
【００１８】
次に、液ダム１１に入れられたスラリーを、ドクターブレード法により、帯状のＰＥＴフィルムからなる支持基体１３の上面に均一な厚さになるように塗布する。このとき、塗工部１２内の加湿された空気１４をスラリー内に取り込む。
【００１９】
次に、スラリーおよび支持基体１３を乾燥装置１５の出口１５ａに向かって一定速度で引っ張りながら乾燥装置１５の入口１５ｂから乾燥装置１５内に挿入する。
【００２０】
そして、この状態で乾燥装置１５の出口１５ａ付近から乾燥装置１５内に約７５℃に加熱された温風（加熱された空気）１６を送り込み、乾燥装置１５の入口１５ｂ付近に設けられた排出部１７から温風１６を排出させる。この場合、温風１６は乾燥装置１５の出口１５ａ付近のみから送り込まれるため、温風１６の温度は排出部１７に向かって徐々に低下していくもので、これにより、段階的にスラリーを乾燥させることができるため、セラミックグリーンシートにクラックが発生するのを低減させることができる。
【００２１】
また、塗工部１２内の加湿された空気１４も乾燥装置１５の入口１５ｂから乾燥装置１５内に入れ、そして排出部１７から前記温風１６とともに排出する。これにより、スラリーを水分を含んだ空気１４に長時間曝すことができるため、長時間にわたって水分をセラミックグリーンシート中に含ませることができ、これにより、セラミックグリーンシートと導体パターンとの間のデラミネーションの発生を効果的に抑制できる。
【００２２】
最後に、乾燥装置１５の出口１５ａからスラリーおよび支持基体１３をシート巻取機１８で巻き取りながら導出することにより、乾燥された均一なスラリーからなるセラミックグリーンシートを成形する。
【００２３】
そして、上記のようにして得られたセラミックグリーンシートと、所定の導体パターンとを積層し、加熱、加圧することにより、図１、図２に示すような積層型電子部品を得ることができるものである。
【００２４】
図４は本発明の一実施の形態におけるセラミックグリーンシートの製造方法により得られたセラミックグリーンシートのシート密度と塗工部内の湿度との関係を示す図である。
【００２５】
ここで、セラミックグリーンシートのシート密度の算出方法は、スラリーの乾燥後、シート巻取機１８の直前で乾燥したスラリーを支持基体１３よりはがし、それを所定の大きさに切り取り、膜厚（体積）と重量を測定することにより行う。
【００２６】
図４からも明らかなように、塗工部１２内の湿度が５０％以上になると、セラミックグリーンシートのシート密度が低くなるため、（数１）から、塗工部１２内の湿度が５０％以上の場合は、圧縮率が高いことが分かる。
【００２７】
また、湿度が８０％を越えるような非常に高い湿度環境下では、乾燥時にクラックが起こり易いことが分かっている。
【００２８】
これらの結果から、支持基体１３に塗布されたスラリーを５０〜８０％の湿度で加湿するようにすれば、スラリーを乾燥させる際に有機溶剤よりも遅く蒸発する水分をスラリー中に含ませた状態でセラミックグリーンシートを成形することができ、これにより、スラリー中の蒸発した水分が存在していた箇所に微細なポアを形成することができるため、セラミックグリーンシートの密度を低く抑えることができ、この結果、このセラミックグリーンシートと導体パターンとを積層した場合においては、セラミックグリーンシートと導体パターンとの間のデラミネーションの発生を抑制できるという効果が得られるものである。
【産業上の利用可能性】
【００２９】
本発明に係るセラミックグリーンシートの製造方法は、セラミックグリーンシートと導体パターンとを積層した場合における両者間のデラミネーションの発生を抑制できるという効果を有するものであり、特にデジタル機器やＡＶ機器、情報通信端末等の各種電子機器に使用される積層型電子部品等において有用となるものである。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の一実施の形態におけるセラミックグリーンシートの製造方法により得られたセラミックグリーンシートを用いて構成した積層型電子部品の分解斜視図
【図２】同積層型電子部品の斜視図
【図３】本発明の一実施の形態におけるセラミックグリーンシートの製造方法を示す模式図
【図４】同セラミックグリーンシートの製造方法により得られたセラミックグリーンシートの密度と塗工部内の湿度との関係を示す図
【符号の説明】
【００３１】
１３  支持基体
１４  加湿された空気
１５  乾燥装置
１５ａ  乾燥装置の出口
１５ｂ  乾燥装置の入口
１６  加熱された空気
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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