(57)【要約】【課題】本発明は、反転時のみならず搬送時においても製造の対象となる物品の位置ズレの防止や保護を図ることができる物品の搬送具、物品の反転装置、物品の反転方法、フラットパネルディスプレイの製造装置、及びフラットパネルディスプレイの製造方法を提供する。【解決手段】一対の搬送部材で物品を挟持する物品の搬送具であって、  前記物品を挟んで対峙する第１の搬送部材及び第２の搬送部材と、前記第１の搬送部材または前記第２の搬送部材の少なくとも一方の周縁部に設けられ、前記第１の搬送部材と、前記第２の搬送部材とを、前記物品を挟持しつつ接続する接続手段とを備えたこと、を特徴とする物品の搬送具が提供される。【選択図】図１
2008192747.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の搬送部材で物品を挟持する物品の搬送具であって、
前記物品を挟んで対峙する第１の搬送部材及び第２の搬送部材と、
前記第１の搬送部材または前記第２の搬送部材の少なくとも一方の周縁部に設けられ、前記第１の搬送部材と、前記第２の搬送部材と、を、前記物品を挟持しつつ接続する接続手段と、
を備えたこと、を特徴とする物品の搬送具。
【請求項２】
前記第１の搬送部材または前記第２の搬送部材の少なくとも一方の外径寸法は、前記物品の外径寸法よりも大きいこと、を特徴とする請求項１記載の物品の搬送具。
【請求項３】
前記第１の搬送部材または前記第２の搬送部材の少なくとも一方の前記物品が当接する面は、平坦であること、を特徴とする請求項１または２に記載の物品の搬送具。
【請求項４】
前記接続手段は、揺動可能な爪と、前記爪を付勢する付勢手段と、を有し、
前記爪には、前記第１の搬送部材または前記第２の搬送部材と当接する当接面が設けられていること、を特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の物品の搬送具。
【請求項５】
前記第１の搬送部材と、前記第２の搬送部材と、は、その一端をヒンジにより連結されていること、を特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の物品の搬送具。
【請求項６】
物品を挟持した搬送具を握持し、これを回転させて前記搬送具を反転させる物品の反転装置であって、
前記搬送具は、請求項１〜５のいずれか１つに記載の物品の搬送具であること、を特徴とする物品の反転装置。
【請求項７】
移動手段をさらに備え、
前記移動手段により前記物品の搬送具を移動する際に、前記物品の搬送具の反転を可能とすること、を特徴とする請求項６記載の物品の反転装置。
【請求項８】
物品を挟持した請求項１〜５のいずれか１つに記載の物品の搬送具を略水平に支持し、
支持された前記物品の搬送具を握持し、これを回転させて前記物品の搬送具を反転させること、を特徴とする物品の反転方法。
【請求項９】
移動手段により前記物品の搬送具を移動する際に、前記物品の搬送具の反転をすること、を特徴とする請求項８記載の物品の反転方法。
【請求項１０】
請求項６または７に記載の物品の反転装置を備えたこと、を特徴とするフラットパネルディスプレイの製造装置。
【請求項１１】
請求項８または９に記載の物品の反転方法を用いること、を特徴とするフラットパネルディスプレイの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物品の搬送具、物品の反転装置、物品の反転方法、フラットパネルディスプレイの製造装置、及びフラットパネルディスプレイの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
フラットパネルディスプレイの製造工程、回路基板上に電子部品などを実装する工程、パチンコ機などの遊技基板の加工工程、立体形状を有する物品への絵付けやマーキングを行うの工程などでは、製造の対象となる物品の表裏を加工または処理するために、物品を反転する必要がある（例えば、特許文献１、２を参照）。
【０００３】
ここで、特許文献１、２などに開示されている技術においては、反転時における物品の位置ズレが考慮されておらず、その後の加工や処理時に再度位置出しを行わなければならなかった。また、反転時における物品の保護が考慮されておらず、例えば、液晶表示装置などに用いられるガラス基板のように、破損しやすいものを搬送、反転させる場合においては、物品を破損させるおそれもあった。
【０００４】
そこで、製造の対象となる物品を一対の保持板で挟持して、これを反転させる技術が提案されている（例えば、特許文献３を参照）。
【０００５】
しかしながら、特許文献３に開示されている技術においては、反転装置の前後の搬送における物品の位置ズレや保持板自体の位置ズレが考慮されていなかった。そのため、保持板で挟まれた基板（製造の対象となる物品）が搬送中にズレて位置が変わってしまったり、破損したりするおそれがあった。また、搬送中にズレた保持板の位置を再度位置決めしなければ、正確な基板（製造の対象となる物品）の位置を出すことも困難であった。
【特許文献１】特開平１１−２８６３２５号公報
【特許文献２】特開２００５−２４６０９１号公報
【特許文献３】特開２００２−３０２２４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、反転時のみならず搬送時においても製造の対象となる物品の位置ズレの防止や保護を図ることができる物品の搬送具、物品の反転装置、物品の反転方法、フラットパネルディスプレイの製造装置、及びフラットパネルディスプレイの製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様によれば、一対の搬送部材で物品を挟持する物品の搬送具であって、  前記物品を挟んで対峙する第１の搬送部材及び第２の搬送部材と、前記第１の搬送部材または前記第２の搬送部材の少なくとも一方の周縁部に設けられ、前記第１の搬送部材と、前記第２の搬送部材とを、前記物品を挟持しつつ接続する接続手段とを備えたこと、を特徴とする物品の搬送具が提供される。
【０００８】
また、本発明の他の一態様によれば、物品を挟持した搬送具を握持し、これを回転させて前記搬送具を反転させる物品の反転装置であって、前記搬送具は、上記のいずれかの物品の搬送具であること、を特徴とする物品の反転装置が提供される。
【０００９】
また、本発明の他の一態様によれば、物品を挟持した上記のいずれかの物品の搬送具を略水平に支持し、支持された前記物品の搬送具を握持し、これを回転させて前記物品の搬送具を反転させること、を特徴とする物品の反転方法が提供される。
【００１０】
また、本発明の他の一態様によれば、上記の物品の反転装置を備えること、を特徴とするフラットパネルディスプレイの製造装置が提供される。
【００１１】
さらにまた、本発明の他の一態様によれば、上記の物品の反転方法を用いること、を特徴とするフラットパネルディスプレイの製造方法が提供される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、反転時のみならず搬送時においても製造の対象となる物品の位置ズレの防止や保護を図ることができる物品の搬送具、物品の反転装置、物品の反転方法、フラットパネルディスプレイの製造装置、及びフラットパネルディスプレイの製造方法が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明をする。    
図１は、本発明の実施の形態に係る搬送具１を説明するための模式図である。  
また、本図は、第１の搬送部材２と第２の搬送部材３とを備える搬送具１が、基板Ｇを挟持しつつ、互いに接続された状態を示している。  
尚、説明の便宜上、製造の対象となる物品を矩形形状を有する基板Ｇとして説明する。
【００１４】
搬送部材２、搬送部材３は、その平面形状が略矩形となっている。また、搬送部材２または搬送部材３の少なくとも一方の外径寸法は、基板Ｇの外径寸法よりも大きくなっている。そのため、搬送部材２と搬送部材３とが、基板Ｇを挟持しつつ接続されると、平面内においては、基板Ｇは搬送部材２または搬送部材３より外へは出ないので、外力などから保護されることになる。この場合、搬送部材２、搬送部材３の外径寸法は、基板Ｇの外径寸法と略同一とすることもできる。ただし、基板Ｇの保護を重視する観点からは、搬送部材２、搬送部材３の外径寸法を基板Ｇの外径寸法を超えるものとすることが好ましい。また、搬送部材２及び搬送部材３の外径寸法を、基板Ｇの外径寸法よりも大きくする方がより好ましい。
【００１５】
また、搬送部材２または搬送部材３の少なくとも一方の基板Ｇが当接する面は平坦であることが好ましい。少なくとも一方の面が平坦であれば、これに倣うようにして挟まれるので、基板Ｇを保護することができる。尚、搬送部材２及び搬送部材３の基板Ｇが当接する面が平坦であればなお好ましい。また、弾性部材などを介して当接させることで、基板Ｇの表面の保護を図ることもできる。この場合、弾性部材を部分的に設けるようにしてもよい。
【００１６】
基板Ｇとしては、例えば、フラットパネルディスプレイを製造するためのガラス基板、電子部品を製造するための半導体や誘電体などのウェーハ、パチンコ機などの遊技基板をはじめとする各種の物品を挙げることができる。また、説明の便宜上、搬送部材２、搬送部材３の平面形状を略矩形としているが、これに限定されるわけではなく、任意の形状を選択することができる。また、図１では、搬送部材２、搬送部材３を板状体としているが、これに限定されるわけではなく、任意の形状を選択することができる。
【００１７】
図２は、搬送部材２と搬送部材３との接続を説明するための模式断面図である。  
図２に示すように、搬送部材２の周縁部には溝部２ｃが設けられ、溝部２ｃには爪４が設けられている。また、溝部２ｃ内に突出するようにピン５が設けられ、爪４はピン５を中心に揺動可能となっている。溝部２ｃ内には、爪４の一端を付勢する付勢手段６が設けられ、爪４の他端を搬送部材３側に付勢可能となっている。付勢手段６としては、図２に示す圧縮バネを例示することができるが、これに限定されるわけではなく、爪４の他端を搬送部材３側に付勢可能とできるものであればよい。そのようなものとしては、例えば、引張りバネやねじりコイルバネなどのバネ類、ゴムなどの弾性部材などを例示することができる。
【００１８】
爪４の搬送部材３側の端面近傍には、搬送部材３の主面と略平行な当接面４ａが設けられている。また、搬送部材３にもその主面と略平行な当接面３ｃが設けられている。そのため、当接面４ａと当接面３ｃとが互いに当接することで、搬送部材２と搬送部材３とが機械的に接続されるようになっている。
【００１９】
搬送部材２には、その主面に略垂直に位置決め用の孔７ａが設けられている。そして、搬送部材３の孔７ａに対向する位置には、位置決めピン７ｂが設けられている。そのため、孔７ａに位置決めピン７ｂが嵌め合わされることで、搬送部材２と搬送部材３との相対的な位置関係が出せるようになっている。尚、孔７ａ、位置決めピン７ｂは必ずしも必要ではないが、搬送時や反転時の振動などによる位置ズレなどを考慮すると設けられていた方が好ましい。
【００２０】
次に、搬送部材２と搬送部材３の接続、分離の手順について説明をする。    
搬送部材２と搬送部材３とが分離された状態から、接続をさせるために両者を接近させて行くと、位置決めピン７ｂが孔７ａに入り込むようにして嵌め合わされ、搬送部材２と搬送部材３との相対的な位置関係が決められる。一方、爪４の傾斜部４ｂには搬送部材３の角部３ｄが当接するので、爪４は付勢手段６の作用に抗して搬送部材３の外側方向に向けて揺動させられる。そして、当接している部分が傾斜部４ｂを過ぎると、爪４は付勢手段６の作用により搬送部材３の内側方向に向けて揺動するので、当接面４ａと当接面３ｃとが互いに当接し、搬送部材２と搬送部材３とが機械的に接続される。
【００２１】
搬送部材２と搬送部材３とが接続された状態で、爪４を図中の矢印Ｂの方向に押すと、当接面４ａと当接面３ｃとが離隔する方向に爪４が揺動する。その状態で、搬送部材２と搬送部材３とを離隔する方向に移動させれば、搬送部材２と搬送部材３とを分離することができる。尚、矢印Ｂの方向に加える力は、付勢手段６による付勢力よりも大きければよく、その手段としては、例えば、エアシリンダー、ソレノイド、板カムをモータで回転させるものなどを適宜選択することができる。
【００２２】
尚、図２で説明をした機械的な接続手段は、搬送部材２、搬送部材３の対向する辺に１組ずつ設ければよいが、搬送部材２、搬送部材３の大きさや、必要な接続強度などを考慮して、個数やその配置などを適宜選択することができる。
【００２３】
また、前述の爪４、付勢手段６、ピン５は、搬送部材２または搬送部材３の少なくとも一方の周縁部に設けるようにすればよい。ただし、前述の爪４、付勢手段６、ピン５を搬送部材２と搬送部材３とで勝手違いに設けるようにして、搬送部材２と搬送部材３の構造を同じにすることもできる。そのようにすれば、搬送具の共通化が図れるようになる。
【００２４】
また、搬送部材２、搬送部材３の接続は、図２で説明をしたものに限定されるわけではなく、例えば、位置決めピン７ｂに溝部を設けて、溝部にプランジャーの先端を当てるようにするなど適宜変更することができる。また、接続手段自体も機械的なものに限定されるわけではなく、例えば、磁力、電磁力、真空吸着力などを利用するものであってもよい。
【００２５】
本実施の形態においては、搬送部材２と搬送部材３とが基板Ｇを挟持しつつ接続されるので、搬送時や受け渡し時における基板Ｇの位置ズレを防止することができる。そのため、搬送後の再位置出しなどを省略することができ、生産性を向上させることができる。
【００２６】
また、基板Ｇの両面を覆うようにして搬送させることができるので、基板に付くゴミを低減させることもできる。
【００２７】
次に、本発明の実施の形態にかかる物品の搬送反転装置について説明をする。          尚、説明の便宜上、液晶表示パネルの基板分断工程における搬送反転装置１０を例にとり説明をする。
【００２８】
図３は、本発明の実施の形態にかかる搬送反転装置１０について説明をするための模式図である。    
また、図４は、搬送装置１１のアーム部を説明するための模式図、図５は、反転装置１２について説明をするための模式図である。    
図３に示すように、搬送反転装置１０には搬送装置１１と反転装置１２とが設けられている。また、搬送装置１１の左側にはスクライブ装置１５が、右側にはブレーク装置１６が設けられている。スクライブ装置１５、ブレーク装置１６の搬送装置１１側の面には、搬送部材２または搬送部材３が載置可能なテーブル１５ａ、テーブル１６ａがそれぞれ設けられている。
【００２９】
スクライブ装置１５は、レーザやダイヤモンドカッタを用いて基板Ｇにハーフカットのスクラブラインを入れるための装置である。また、ブレーク装置１６は、スクラブラインを入れた面とは反対側の面から工具を押しつけて、基板Ｇを分断させるための装置である。また、テーブル１５ａ、テーブル１６ａ上の搬送部材２または搬送部材３に載置された基板Ｇを装置内に搬入し、装置内から基板Ｇを搬出して、搬送部材２または搬送部材３上に載置可能な搬送装置がそれぞれに設けられている。尚、スクライブ装置１５、ブレーク装置１６には既知の装置を適用させることができるので、その説明は省略する。    
搬送装置１１は、レール部１１ａ、支持部１１ｂ、アーム部１１ｃ（図４を参照）を備えている。図３に示すように、テーブル１５ａ、反転装置１２、テーブル１６ａは一直線上に設けられ、レール部１１ａはそれぞれの中心位置の上方を横切るようにして設けられている。また、レール部１１ａはその両端を支持部１１ｂで支持されている。
【００３０】
アーム部１１ｃは、レール部１１ａに移動可能に設けられ、図示しないボールネジとモータなどの駆動手段により、レール部１１ａの任意の位置に移動、停止ができるようになっている。また、図示しないガイド機構によりアーム部１１ｃの回転方向の姿勢が保持されたまま、レール部１１ａを移動可能となっている。図示しない駆動手段を備えたレール部１１ａとしては、例えば、１軸制御のロボットのようなものを例示することができる。
【００３１】
尚、搬送装置１１は、図示したものに限定されるわけではなく、搬送機能を有する装置（例えば、スカラ型ロボットなど）を適宜選択することができる。
【００３２】
図４に示すように、アーム部１１ｃの下端近傍には、握持手段１１ｄが設けられている。握持手段１１ｄは、搬送部材２、搬送部材３を単体で、または、基板Ｇを挟んだ搬送部材２、搬送部材３を握持可能となっている。図４（ａ）は、搬送部材２を単体で握持する場合（搬送部材３を単体で握持する場合も同様）、図４（ｂ）は、基板Ｇを挟んだ搬送部材２、搬送部材３を握持する場合を例示した模式図である。尚、後述する搬送部材２０、搬送部材３０の場合（図１０を参照）も同様である。
【００３３】
握持手段１１ｄとしては、搬送部材２、搬送部材３を握持可能であればよく、例えば、エアチャックのような機械的な握持手段、電磁石などを利用した握持手段などを例示することができる。また、握持する場所も搬送部材２、搬送部材３の周縁部分に限られるわけではなく、例えば、搬送部材２、搬送部材３に凸部や穴部などを設けてそこを握持するようにしてもよい。
【００３４】
アーム部１１ｃの上端部分には、基台部１１ｅが設けられ、この基台部１１ｅがレール部１１ａを移動可能となっている。また、基台部１１ｅには図示しない昇降手段が設けられアーム部１１ｃを昇降可能としている。そのため、搬送部材２と搬送部材３とを相対的に昇降動作させることができ、前述した搬送部材２と搬送部材３との接続、または、分離や、テーブル１５ａ、反転装置１２、テーブル１６ａにおける受け渡しなどができるようになっている。
【００３５】
図５に示すように、反転装置１２には、反転手段１３と支持手段１４とが設けられている。反転手段１３には、基板Ｇを挟んだ一対の搬送部材２、搬送部材３を握持可能な握持手段１３ａが設けられている。握持手段１３ａの爪部１３ｂは、例えば、エアシリンダ等で矢印Ｚ１の方向に開閉可能とされており、基板Ｇを挟んだ搬送部材２、搬送部材３を握持可能とされている。また、ボールネジ１３ｃをモータ１３ｄで回転させることにより、握持手段１３ａを矢印Ｘの方向に移動可能としている。そのため、後述するように搬送装置１１により、基板Ｇを挟んだ搬送部材２、搬送部材３を反転装置１２に搬入、搬出する際に、邪魔にならないように退避させることができる。そして、モータ１３ｅにより矢印Ｒ１の方向に回転させることで、基板Ｇを挟んだ搬送部材２、搬送部材３を反転可能としている。
【００３６】
支持手段１４には、先端に設けられた支持部材８を矢印Ｚ２の方向に移動可能な移動手段が設けられている。移動手段は、例えば、エアシリンダを用いたものとすることができる。ただし、これに限定されるわけではなく、例えば、モータを用いたもの、油圧シリンダを用いたものなどを適宜選択することができる。支持部材８を所定の位置まで上昇させることで、支持手段１４側に位置している搬送部材２または搬送部材３を支持することができる。そのため、基板Ｇを挟んだ搬送部材２、搬送部材３を水平に支持可能となっている。
【００３７】
また、基板Ｇを挟んだ搬送部材２、搬送部材３を略水平に支持可能であればよく、支持する位置は搬送部材２、搬送部材３の中央部分に限定されるわけではない。その場合は、支持手段１４の先端に、支持する位置に適合した形態を有する支持部材８を設けるようにすればよい。
【００３８】
また、基板Ｇを挟んだ搬送部材２、搬送部材３を略水平に支持可能であれば、支持手段１４を別途設ける必要はない。例えば、握持手段１３ａの爪部１３ｂのうち、下方の爪部で基板Ｇを挟んだ搬送部材２、搬送部材３を略水平に支持するようにしてもよい。その場合は、握持手段１３ａの爪部１３ｂのうち上方の爪部を解放し、基板Ｇを挟んだ搬送部材２、搬送部材３を上方に搬出可能としたり、また、基板Ｇを挟んだ搬送部材２、搬送部材３を水平方向に搬出したりすればよい。
【００３９】
次に、本実施の形態にかかる搬送具１を用いた液晶表示パネルの基板分断工程を説明する。      
図６は、液晶表示パネルの集合体である基板を説明するための模式断面図である。      図６に示すように、基板Ｇは、アレイ１７とカラーフィルタ１８とを貼り合わせることにより形成されている。アレイ１７は、清浄な無アルカリガラスからなるガラス基板の表面に、複数の画素を備えた画素配列を形成させたものである。また、カラーフィルタ１８は、ＲＧＢ（赤・緑・青）の３原色の微細な画素をガラス基板上に形成させたものである。
【００４０】
図７は、基板分断工程を説明するためのフロー図面である。    
生産効率の観点から、単個の液晶パネルの集合体である基板Ｇを作成し、それを分断することで、単個の液晶パネルを製造することが行われている。  
例えば、まず、図７の左側の図のように、スクライブ装置１５で所定の位置にスクライブラインＬを入れる。その後、図７の中央の図のように、スクライブラインＬに沿って、ブレーク装置１６で基板Ｇを短冊状に分断する。以後同様にして、図７の右側の図のように、短冊状の基板を単個の液晶パネルに分断する。この際、ブレーク装置１６においては、スクライブラインＬが入った面とは反対側の面から工具を押しつけて基板を分断させている。ここで、通常、スクライブ装置１５、ブレーク装置１６とも基板Ｇの上側から加工を行うので、スクライブ装置１５とブレーク装置１６との間の搬送途中で基板Ｇを反転させる必要がある。
【００４１】
尚、説明の便宜上、一回のスクライブ加工とブレーク加工とで基板Ｇが分断されることにしているが、実際は、２枚のガラス基板（アレイ１７、カラーフィルタ１８）が貼り合わされているため、分断には計２回のスクライブ加工とブレーク加工とが必要となる。
【００４２】
図８は、基板Ｇを短冊状に分断する手順を説明するためのフロー図である。      
図８に示すように、まず、スクライブ装置１５に搬入された基板Ｇのアレイ１７側の面にスクライブ加工がされる。そして、ブレーク加工を行うブレーク装置１６に搬送される間に前述の反転装置１２により反転がされる。ブレーク加工によりアレイ１７が分断された基板Ｇは、スクライブ装置１５に搬送され、今度はカラーフィルタ１８側の面にスクライブ加工がされる。そして、ブレーク加工を行うブレーク装置１６に搬送される間に前述の反転装置１２により反転がされる。その後、ブレーク装置１６でブレーク加工を行い基板Ｇが短冊状に分断される。
【００４３】
図９は、搬送部材２、搬送部材３による搬送を説明するための模式図である。    
まず、図９（ａ）に示すように、スクライブ加工が終了した基板Ｇが、スクライブ装置１５から搬出され、テーブル１５ａに置かれた搬送部材３上に載置される。
【００４４】
次に、図９（ｂ）に示すように、搬送装置１１により搬送部材２を基板Ｇ上に移動させ、搬送部材２を下降させることで、搬送部材２と搬送部材３とを接続させる。そして、搬送部材２を放させた後、基板Ｇを挟んだ搬送部材２、搬送部材３を握持させる。その後、搬送装置１１により、基板Ｇを挟んだ搬送部材２、搬送部材３を上昇させ、反転装置１２の上方に移動させる。
【００４５】
次に、図８（ｃ）、（ｄ）に示すように、基板Ｇを挟んだ搬送部材２、搬送部材３を下降させて、支持手段１４に受け渡す。受け渡された基板Ｇを挟んだ搬送部材２、搬送部材３は反転装置１２により一体的に１８０°回転（反転）させられる。
【００４６】
反転装置１２における反転動作に関しては、図４に戻ってさらに説明をする。    
基板Ｇを挟んだ搬送部材２、搬送部材３を反転装置１２に搬入する際には、邪魔にならないように握持手段１３ａはモータ１３ｅ側に位置している。また、支持手段１４の支持部材８の位置は、上昇端（握持手段１３ａに受け渡し可能な位置）にある。
【００４７】
このような状態で、基板Ｇを挟んだ搬送部材２、搬送部材３を下降させ、支持部材８に受け渡す。  
次に、搬送装置１１のアーム部１１ｃが反転装置１２の回転（反転）半径外に退避する。また、握持手段１３ａを搬送部材２、３側に移動させ、爪部１３ｂを閉じることで、基板Ｇを挟んだ搬送部材２、３を握持する。    
次に、支持手段１４の支持部材８と搬送具１ｂとが離隔し、支持部材８が反転装置１２の回転（反転）半径外に退避する。    
次に、モータ１３ｅを動作させて、基板Ｇを挟んだ搬送部材２、３を１８０°回転（反転）させる。    
次に、支持手段１４の支持部材８が上昇し、基板Ｇを挟んだ搬送部材２、３を支持する。その後、爪部１３ｂを開き、握持手段１３ａをモータ１３ｅ側に移動させる。  
次に、搬送装置１１のアーム部１１ｃを下降させ、基板Ｇを挟んだ搬送部材２、３を握持手段１１ｄで握持する。
【００４８】
次に、アーム部１１ｃを上昇させ、基板Ｇを挟んだ搬送部材２、３をテーブル１６ａ上に移動させる。    
次に、図８（ｅ）、（ｆ）に示すように、アーム部１１ｃを下降させ、基板Ｇを挟んだ搬送部材２、３をテーブル１６ａ上に載置させる。そして、爪４を図２の矢印Ｂの方向に押しつつ搬送部材３をアーム部１１ｃで上昇させる。搬送部材２上の基板Ｇは、ブレーク装置１６内に搬入され、ブレーク加工が行われる。これにより、アレイ１７側の面の分断が終了する。
【００４９】
次に、ブレーク加工が終了した基板Ｇをテーブル１６ａに置かれた搬送部材２上に載置する。そして、搬送部材２を下降させることで、搬送部材２と搬送部材３とを接続させる。そして、搬送部材２を放させた後、基板Ｇを挟んだ搬送部材２、搬送部材３を握持させる。
【００５０】
次に、基板Ｇを挟んだ搬送部材２、３をテーブル１５ａ上に移動、載置する。その後、前述の手順によりカラーフィルタ１８側の面の分断が行われ基板Ｇが分断される。
【００５１】
以後必要があればこれを繰り返すことにより、所望の大きさの液晶表示パネルを得ることができる。
【００５２】
このように、液晶表示パネルの基板分断工程においては、スクライブ加工がされたもの、または、一方のガラス基板が分断されたものが搬送や反転されることになる。そのため、破損が起こりやすく搬送中、反転中の基板Ｇの保護が重要となる。
【００５３】
以上説明したように、本実施の形態によれば、基板Ｇを搬送部材２、３で挟んだ状態で搬送、反転することができるので、外力が基板Ｇに加わり基板Ｇが破損したり、位置がずれたりすることを防止することができる。特に、基板Ｇを挟むことにより、平坦度を保ったまま搬送と反転をさせることができれば、破損と位置ズレの防止効果を大幅に向上させることができる。その結果、生産効率や製品の歩留まりを大幅に改善することもできる。
【００５４】
また、基板Ｇの両面を覆うようにして搬送させることができるので、基板Ｇに付くゴミを低減させることもできる。
【００５５】
また、基板Ｇを挟持した状態で搬送、反転を行うことができるので基板Ｇの位置ズレ自体も少なくすることができる。
【００５６】
次に、本発明の実施の形態に係るフラットパネルディスプレイの製造方法について説明をする。    
尚、説明の便宜上、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）カラー液晶表示パネルの製造工程について説明をする。
【００５７】
ＴＦＴカラー液晶表示パネルの製造工程は、ＴＦＴアレイ形成工程、カラーフィルター形成工程、配向膜形成工程、基板貼り合わせ工程、液晶注入工程、基板分断工程からなる。
【００５８】
まず、ＴＦＴアレイ形成工程において、清浄な無アルカリガラスからなるガラス基板の表面に、複数の画素を備えた画素配列を形成させる。この画素配列を構成する画素は、ＴＦＴトランジスタ、表示電極、蓄積容量を有し、リソグラフィー技術を用いて形成させることができる。尚、ＴＦＴトランジスタ、表示電極、蓄積容量などの形成については、既知の技術を適用することができるので、その説明は省略する。
【００５９】
次に、カラーフィルター形成工程において、前述の画素が形成されたガラス基板と対を成すガラス基板の表面にカラーフィルターを形成させる。尚、カラーフィルターの形成法には、印刷法、電着法、パターニング法等があるが、これらの方法には既知の技術を適用することができるので、その説明は省略する。
【００６０】
次に、配向膜形成工程において、前述の画素とカラーフィルターの上にＣＶＤ (Chemical Vapor Deposition)法などを用いてポリイミド膜（透明電極）を積層させ、ラビングローラなどを用いてポリイミド膜を所定の方向に配向させて配向膜を形成させる。尚、薄膜形成やラビングなどに用いられる技術については、既知の技術を適用することができるので、その説明は省略する。
【００６１】
次に、基板貼り合わせ工程において、前述の配向膜上にシール剤を塗布して、画素が形成されたガラスとカラーフィルターが形成されたガラス基板とを貼り合わせる。このとき配向膜の配向方向が平行になるように貼り合わせ、ノーマリホワイトとなるようにする。尚、この基板貼り合わせに用いられる技術については、既知の技術を適用することができるので、その説明は省略する。
【００６２】
次に、液晶注入工程において、前述の基板貼り合わせ工程において形成された２枚のガラス基板の間隙に液晶を注入する。尚、液晶の注入法には真空注入法などがあるが、既知の技術を適用することができるので、その説明は省略する。
【００６３】
以上の工程により、画素とカラーフィルターとが液晶を挟んで対向した液晶表示パネルの集合体が形成される。これが図６で説明をした基板Ｇとなる。
【００６４】
次に、前述した基板分断工程において、液晶表示パネルの集合体を所望の大きさの液晶表示パネルに分断する。
【００６５】
以上によりＴＦＴカラー液晶表示パネルの製造が終了する。  
本実施の形態によれば、前述したように基板分断工程における基板Ｇの破損と位置ズレを大幅に抑制することができる。その結果、生産効率や製品の歩留まりを大幅に改善することができる。
【００６６】
また、基板Ｇの両面を覆うようにして搬送させることができるので、基板Ｇに付くゴミを低減させることもできる。
【００６７】
尚、説明の便宜上、ＴＦＴカラー液晶表示パネルの製造方法について説明をしたが、本実施の形態に係る発明はこれに限定されるわけではなく、他のフラットパネルディスプレイ（例えば、プラズマディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイなど）の製造方法にも適用させることができる。
【００６８】
また、本実施の形態に係る発明はウェーハの製造工程（例えば、露光工程やエッチング工程など）において、ウェーハの両面にマスクを形成させたりや加工をする場合などにも適用させることができる。
【００６９】
また、回路基板の両面に電子部品などを実装する工程、パチンコ機などの遊技基板の両面に絵付けをする工程、立体形状を有する物品の表面と裏面へ絵付けやマーキングをするの工程など、種々の物品の製造にも広く適用させることができる。
【００７０】
図１０は、本発明の他の実施の形態に係る搬送具４０を説明するための模式図である。  また、図１０（ａ）は、搬送具４０が開いた状態、図１０（ｂ）は、搬送具４０が閉じた状態（基板Ｇが挟まれた状態）を示している。
【００７１】
図１で説明をした、搬送部材２、搬送部材３とは、両者がヒンジで連結されている点が異なる。すなわち、搬送部材２０と搬送部材３０とは、その一端がヒンジ２５によって回動可能に連結されている。そのため、図１０（ａ）、（ｂ）に示すように基板Ｇを載置した状態でその開閉ができるようになっている。
【００７２】
尚、図１０（ａ）では、搬送部材３０に基板Ｇを載置しているが、搬送部材２０に載置するようにしてもよい。    
また、ヒンジ２５が設けられた面と対向する側の面に、図２で説明をした爪４等を適宜設けるようにすることもできる。
【００７３】
尚、このようなヒンジを備える搬送具４０の開閉をするためには、例えば、先端部に吸着手段を設けた回動アームのようなものを別途設けるようにすればよい。
図１１は、本発明の他の実施の形態にかかる搬送反転装置１１０について説明をするための模式図である。    
また、図１２は、搬送反転装置１１０のアーム部を説明するための模式図である。  
尚、図３、図４で説明をしたものと同様の部分には、同じ符号を付しその説明は省略する。    
搬送反転装置１１０は、搬送装置に反転機能を備えているので、図３で説明をした搬送反転装置１０のように、反転装置１２を別途設ける必要がない。そのため、スクライブ装置１５とブレーク装置１６の間の寸法を小さくすることができ、全体の設置スペースを少なくすることができる。
【００７４】
図１２に示すように、アーム部１１０ｃの下端近傍には、反転機能を有する握持手段１１０ｄが設けられている。握持手段１１０ｄは、搬送部材２、搬送部材３を単体で、または、基板Ｇを挟んだ搬送部材２、搬送部材３を握持可能となっている。図１２（ａ）は、搬送部材２を単体で握持する場合（搬送部材３を単体で握持する場合も同様）、図１２（ｂ）は、基板Ｇを挟んだ搬送部材２、搬送部材３を握持する場合を例示した模式図である。尚、搬送部材２０、搬送部材３０の場合も同様である。
【００７５】
握持手段１１０ｄとしては、搬送部材２、搬送部材３を握持可能であればよく、例えば、エアチャックのような機械的な握持手段、電磁石などを利用した握持手段などを例示することができる。また、握持する場所も搬送部材２０、搬送部材３０の周縁部分に限られるわけではなく、例えば、搬送部材２０、搬送部材３０に凸部や穴部などを設けてそこを握持するようにしてもよい。
【００７６】
握持手段１１０ｄが有する反転機能としては、例えば、サーボモータのような制御モータを利用したものを例示することができる。ただし、少なくても１８０°反転ができればよく、エアシリンダやソレノイドなどを利用したものを用いることもできる。
【００７７】
尚、搬送反転装置１１０の作用は、搬送反転装置１０の場合とほぼ同じであるため、その説明は省略する。
【００７８】
以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明をした。しかし、本発明はこれらの具体例に限定されるものではない。
【００７９】
前述の具体例に関して、当業者が適宜設計変更を加えたものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。
【００８０】
例えば、搬送部材２、３、搬送反転装置１０などが備える各要素の形状、寸法、材質、配置などは、例示したものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。
【００８１】
また、基板Ｇの搬送は、略一直線であることを図示したが、これに限定されるものではなく、Ｕ字状やクランク状など適宜変更することができる。
【００８２】
また、前述した各具体例が備える各要素は、可能な限りにおいて組み合わせることができ、これらを組み合わせたものも本発明の要旨を含む限り本発明の範囲に包含される。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】本発明の実施の形態に係る搬送具を説明するための模式図である。
【図２】搬送具の接続を説明するための模式断面図である。
【図３】本発明の実施の形態にかかる搬送反転装置について説明をするための模式図である。
【図４】搬送装置のアーム部を説明するための模式図である。
【図５】反転装置について説明をするための模式図である。
【図６】液晶表示パネルの集合体である基板を説明するための模式断面図である。
【図７】基板分断工程を説明するためのフロー図面である。
【図８】基板を短冊状に分断する手順を説明するためのフロー図である。
【図９】搬送具による搬送を説明するための模式図である。
【図１０】本発明の他の実施の形態に係る搬送具を説明するための模式図である。
【図１１】本発明の他の実施の形態にかかる搬送反転装置について説明をするための模式図である。
【図１２】搬送反転装置のアーム部を説明するための模式図である。
【符号の説明】
【００８４】
１  搬送具、２  搬送部材、２ｃ  溝部、３  搬送部材、４  爪、５  ピン、６  付勢手段、１０  搬送反転装置、１１  搬送装置、１２  反転装置、１５  スクライブ装置、１６  ブレーク装置、１７  アレイ、１８  カラーフィルタ、２０  搬送部材、３０  搬送部材、４０  搬送具、１１０  搬送反転装置、Ｇ  基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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