(57)【要約】      （修正有）【課題】欠陥の再同定、パネルや基板の再判定を行い、液晶基板における判定精度を向上させる。【解決手段】液晶基板管理装置１は、液晶検査装置４から取得される欠陥情報と、液晶リペア装置５から取得される画像情報及びリペア情報を記録するデータベース６ａを有するデータ管理手段６を備え、液晶検査装置で取得した欠陥情報と、液晶リペア装置で取得した画像データを共通の記録手段に記録してデータベース化することにより、欠陥の再同定、パネルや基板の再判定を可能とし、液晶基板における判定精度を向上させ、欠陥のトレンド情報を管理可能とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶検査装置から取得される欠陥情報と、液晶リペア装置から取得される画像情報及び欠陥を修復したリペア情報を記録するデータベースを有するデータ管理手段を備えるものにおいて、
前記液晶リペア装置は、欠陥修復に際して前記欠陥情報に誤りがあった場合には、前記欠陥情報を訂正して修復を行い、これら欠陥を修復した情報および前記欠陥情報を訂正した情報を前記リペア情報として取得し、
前記データ管理手段は、データベースに記録される欠陥情報、画像情報及びリペア情報に基づいて、欠陥の再同定、及び／又は、パネル及び／又は基板の再判定を行うことを特徴とする、液晶基板管理装置。
【請求項２】
前記データ管理手段は、データベースに基板及びパネルの仕様を定めるレシピ情報を保存し、当該レシピ情報を編集自在とすることを特徴とする請求項１に記載の液晶基板管理装置。
【請求項３】
前記データ管理手段は、接続する端末との間の情報交換により前記レシピ情報の編集を行うことを特徴とする請求項２に記載の液晶基板管理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスブレイなどに使われる液晶基板を管理する液晶基板管理装置に関し、特に液晶基板の生産ライン上における液晶基板の管理に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶基板は、各種工程を含む生産ライン上において、液晶検査装置により欠陥が検査され、液晶検査装置で見つけられた欠陥情報に基づいて液晶リペア装置で修復される。生産ラインにおいて、液晶基板は、ガラス基板上に通常複数のパネルが設けられ、各パネルに複数のＴＦＴアレイが形成される。
【０００３】
液晶検査装置は、例えば、この複数のＴＦＴアレイに設けられるゲートやソースについて、ゲート−ソース間の短絡、点欠陥、断線等を調べることにより、液晶基板の欠陥検査を行い、各パネルの判定や基板の判定を行っている。液晶リペア装置は、液晶検査装置で取得された欠陥情報に基づいて欠陥を修復している。
【０００４】
これら欠陥情報は、単に液晶検査装置と液晶リペア装置との間でのみやり取りされるだけであり、液晶検査装置で得られた欠陥情報が液晶リペア装置にどのように反映されているか、また、液晶基板の生産ライン上でどうような欠陥が発生しているかなどの液晶基板の管理はされていない。
【０００５】
また、液晶基板は、基板上に設定するパネルの個数や配置、各パネルにおけるピクセルのサイズ等のレシピが各液晶基板毎に設定されている。液晶検査装置や液晶リペア装置は、この液晶基板のレシピに基づいて検査や修復を行う必要がある。従来では、このレシピ情報についても、液晶検査装置や液晶リペア装置毎に管理がされており、レシピが異なる毎に各装置毎に設定を行う必要がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来から行われている液晶基板の管理では、検査工程及び修復工程を含む生産ライン上において、各工程装置で得られる情報やレシピ情報は個々の装置でのみ管理されているため、液晶管理装置において欠陥の同定や、基板，パネルの良否判定を複数回行う場合、前工程との判定比較による再判定が困難である。また、判定精度は各装置の判定精度に依存し、各装置の判定精度が向上しないかぎり、液晶管理装置の判定精度の向上は望めない。
【０００７】
また、レシピ情報等の各装置に共通する情報や欠陥情報は、液晶検査装置や液晶リペア装置等の各装置が個々に管理しているため、情報の管理効率が悪く、また、液晶管理全般にわたる欠陥のトレンド情報の管理も難しいという問題もある。
【０００８】
そこで、本発明は前記した従来の問題点を解決し、欠陥の再同定、パネルや基板の再判定を可能とすることを目的とし、また、液晶基板における判定精度を向上させることを目的とし、欠陥のトレンド情報を管理可能することを目的とし、また、レシピ情報を一元管理することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、液晶検査装置で取得した欠陥情報と、液晶リペア装置で取得した画像データを共通の記録手段に記録してデータベース化することにより、欠陥の再同定、パネルや基板の再判定を可能とし、液晶基板における判定精度を向上させ、欠陥のトレンド情報を管理可能とする。
【００１０】
このために、本発明の液晶基板管理装置は、液晶検査装置から取得される欠陥情報と、液晶リペア装置から取得される画像情報及びリペア情報を記録するデータベースを有するデータ管理手段を備える。
【００１１】
液晶検査装置は、取得した欠陥情報により欠陥を同定する他、この欠陥に基づいてパネルや基板の良否、リペアの可能性等を判定する。液晶リペア装置は、この欠陥情報に基づいて液晶基板を修復する。
【００１２】
データ管理手段は、データベースに、液晶検査装置で取得した欠陥情報と、液晶リペア装置で取得した画像情報及びリペア情報とを記録する。データベースに記録した欠陥情報、画像情報及びリペア情報を用いて、液晶検査時の欠陥同定及び判定に対して、欠陥を再同定し、パネルや基板を再判定する。再判定を行うことにより、同一の欠陥に対して複数の判定処理を行うことになり、液晶基板における判定精度を向上させることができる。
【００１３】
また、データベースは、複数の液晶基板について欠陥情報や画像情報やリペア情報を保存し、これらの情報を統計処理等の情報処理を施すことにより、欠陥のトレンド情報を取得することができる。
【００１４】
また、データ管理手段は、基板及びパネルの仕様を定めるレシピ情報を備え、編集自在とすることにより、レシピ情報を一元管理することができる。レシピ情報を一元管理することにより、各装置はレシピ情報を個々に保存管理する処理を省くことができる。
【００１５】
データ管理手段は接続する端末との間で情報交換を行い、端末においてレシピ情報を編集し、再度データベースに記録し保存することができる。
【発明の効果】
【００１６】
以上説明したように、本発明によれば、欠陥の再同定、パネルや基板の再判定を行うことができ、また、液晶基板における判定精度を向上させることができ、欠陥のトレンド情報を管理することができる。また、レシピ情報を一元管理することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態について、図を参照しながら詳細に説明する。
【００１８】
図１は本発明の液晶基板管理装置を説明するための概略図である。
【００１９】
液晶基板２の生産ライン上には、各製造工程に応じた種々の液晶基板製造装置３、形成された液晶基板２を欠陥検査を行う液晶検査装置４、欠陥の検査結果に基づいて液晶基板２を修復する液晶リペア装置５が設けられる。本発明の液晶基板管理装置１は管理手段６を備え、管理手段６が備えるデータベース６ａには、液晶検査装置４や液晶リペア装置５で取得される情報が入力され保存される。
【００２０】
液晶基板製造装置３は、ガラス基板等の基板２上のパネル２ｂにＴＦＴアレイを形成し、液晶基板２を製造する。
【００２１】
液晶検査装置４は、生産ライン上において液晶基板製造装置３で製造された液晶基板２の欠陥検査を行い、欠陥情報を取得する。欠陥情報としては、例えば、欠陥の位置、短絡や断線の欠陥状態や、ライン状、点状、ラスタ状等の欠陥形態、パネルや基板の良，不良，あるいは再生可等の判定結果等の各種情報が含まれる。液晶検査装置４による欠陥検査で取得された欠陥情報は、各液晶基板２の製造工程を特定するロットＩＤや各基板を特定する基板ＩＤ等のＩＤ情報、及び各液晶基板２の仕様を表すレシピ情報、及び波形データ（例えば、２０点データ）と共に管理手段６に送られ、データベース６ａに記録され保存される。
【００２２】
また、欠陥情報は、液晶検査装置４から上位システム８に送られる。上位システム８は、液晶基板に生産管理を行う上位のシステムであり、この上位システム８には生産ライン上に設置された種々の液晶基板製造装置３から各種情報が送られる。利用者はこの上位システム８にアクセスすることにより、各液晶基板の欠陥情報を参照することができる。
【００２３】
液晶リペア装置５は、液晶検査装置４で取得した欠陥情報や各種情報を上位システム８から受け取り、この欠陥情報に基づいて欠陥部分を修復する。このとき、欠陥情報に誤りがあり、欠陥情報で示される欠陥位置や欠陥の種類に誤りがある場合には、欠陥情報を訂正する。
【００２４】
液晶リペア装置５は、この欠陥修復の情報や訂正した欠陥情報等をリペア情報としてデータ管理手段６に送る他、液晶基板２の画像情報を取得しデータ管理手段６に送る。データ管理手段６は、液晶リペア装置５から送られた欠陥修復の情報や訂正欠陥情報等のリペア情報、及び画像情報を受け取り、データベース６ａに記録し保存する。なお、液晶リペア装置５は、欠陥修復の情報や訂正欠陥情報等のリペア情報を上位システム８にも送る。
【００２５】
したがって、データ管理手段６は、液晶検査装置４から送られた欠陥情報やレシピ情報や波形データの他に、液晶リペア装置５から送られたリペア情報や画像情報をデータベース６ａ内に記録し保存する。
【００２６】
データ管理手段６は、データベース６ａに各種情報やデータの保存の他に、欠陥の再同定、パネルや基板の再判定、及び情報やデータの修正や編集を行う。
【００２７】
欠陥の再同定は、液晶検査装置から取得した欠陥情報と液晶リペア装置から取得したリペア情報との比較により、欠陥の位置及び欠陥種類を再度同定する。再同定により、リペア情報に訂正位置データや訂正欠陥種類の情報が含まれている場合には、はじめの欠陥情報を訂正して更新する。
【００２８】
また、基板やパネルの再判定は、液晶リペア装置から取得したリペア情報に基づいて、基板及びパネルの良否を再判定する。この再判定結果と液晶検査装置から取得した判定結果の２つの判定結果により、欠陥判定の精度を向上させることができる。
【００２９】
データの修正は、液晶リペア装置５から送られた訂正欠陥情報に基づいて、液晶検査装置４から送られて保存されている欠陥情報を修正する。例えば、液晶検査装置４から送られた欠陥情報に基づいて保存されている、欠陥の位置や、短絡や断線等の欠陥の状態、欠陥部分がライン状、点状、ラスク状等の欠陥の態様が、液晶リペア装置５から送られたリペア情報により、異なる欠陥位置、欠陥状態、欠陥態様である場合には、データ管理手段６は保存されている欠陥情報をこのリペア情報に基づいて修正し、データベース６ａに保存する。なお、この修正された欠陥情報は、上位システム８にも送られる。
【００３０】
また、データの編集は、液晶リペア装置５から送られた欠陥修復の情報や訂正した欠陥情報、画像情報等に基づいて、液晶検査装置４から送られて保存されている欠陥情報を編集する。なお、この編集において、液晶リペア装置から送られた欠陥修復の情報や訂正した欠陥情報や画像情報を端末７に表示し、端末７上で欠陥の種類や、判定結果等の欠陥情報を編集することもできる。
【００３１】
データ管理手段６は、液晶検査装置４から送られ保存している液晶基板のレシピ情報を液晶リペア装置５に送り、液晶リペア装置５はこのレシピ情報に基づいて液晶基板の修復処理を行う。
【００３２】
また、データ管理手段６は、このレシピ情報を編集することもできる。レシピ情報の編集は端末７に編集画面を表示させることで行うことができ、編集したレシピ情報はデータベース６ａに保存することができる。
【００３３】
次に、図２を用いて、液晶検査装置で取得する欠陥情報、及び液晶リペア装置で取得するリペア情報について説明する。なお、図２に示す液晶基板２は、基板２ａに４つのパネル２ｂ１〜２ｂ４が設けられた例を示しているが、パネル数は４つに限らず任意に設定することができる。
【００３４】
図２（ａ）は液晶検査装置で取得する欠陥情報を説明するための図である。パネル２ｂ１〜２ｂ４において、例えば、パネル２ｂ１の欠陥１０Ａは、パネル上においてゲート線やソース線に沿って表れるライン状欠陥の例であり、パネル２ｂ３の欠陥１０Ｂは各ピクセルに応じて表れる点状欠陥の例であり、パネル２ｂ４の欠陥１０Ｃは、複数のピクセルの固まりとして表れるラスタ状欠陥の例である。
【００３５】
液晶検査装置はこれらの各欠陥１０Ａ〜１０Ｃを検出し、その欠陥位置、欠陥種類、及び検査結果を取得する。欠陥種類としては、例えば、短絡や断線等の欠陥状態、ライン状、点状、ラスク状の欠陥部分の形態とすることができる。また、検査結果は、欠陥の程度や個数等による、パネルあるいは基板の良（ＯＫ）不良（ＮＧ）や、修復が可能か否か等の判定を含む。例えば、パネルについては、欠陥の程度が液晶リペア装置での修復が可能であればそのパネルを修復可と判定し、基板については、不良のパネル数が良のパネル数よりも多いような場合には、その基板は不良と判定する。なお、パネル及び基板の判定基準は、利用者により任意に定めることができる。
【００３６】
図２（ｂ）は液晶リペア装置で取得する画像情報、及びリペア情報を説明するための図である。ここで、液晶リペア装置は、図２（ａ）に示す液晶基板２を修復するものとし、パネル２ｂ３の欠陥１０Ｂの位置が相違していたと仮定する。液晶リペア装置は、液晶検査装置で取得された欠陥情報に基づいて、パネル２ｂ１の欠陥１０Ａ、パネル２ｂ３の欠陥１０Ｂ、パネル２ｂ４の欠陥１０Ｃの各欠陥は修復する。図２（ｂ）では、修復した欠陥を破線で示している。この修復時に、欠陥位置や欠陥種類が欠陥情報のものと相違して場合がある。この場合には、欠陥位置や欠陥種類を訂正して訂正欠陥情報を形成する。
【００３７】
液晶リペア装置は、欠陥を修復した後の液晶基板の画像情報を取得し、欠陥修復の情報、及び訂正欠陥情報と共にデータ管理手段に送る。
【００３８】
図３は、データ管理手段に保存される欠陥情報や画像情報の表示例である。端末７は、データ管理手段６のデータベース６ａ中に保存される欠陥情報や画像情報を読み出して表示画面上に表示する。図３に示す表示例では、欠陥情報に基づいて、基板判定やパネル判定の結果やその欠陥の種類、欠陥内容とその位置を表示したり、液晶リペア装置で取得した画像情報や、液晶検査装置で取得して２０点波形データを表示したりする他、欠陥情報に基づいて欠陥の分布状態をマップで表示することもできる。なお、図３の表示例は一例であり、データ管理手段において欠陥情報を用いた種々の統計処理の結果を表示するようにしてもよい。
【００３９】
なお、２０点波形データは、液晶検査装置で取得される測定信号の波形データであり、データ点数は２０点に限らず任意の点数とすることができる。
【００４０】
データ管理手段６は、上記したように、データベース６ａに保存される欠陥情報や画像情報を表示したり、欠陥情報に基づいて種々の統計処理を行って処理結果を表示する他に、液晶基板のレシピ情報の設定あるいは更新を行うこともできる。欠陥情報に基づいて統計処理を行う場合には、各基板に設定されたロットＩＤや基板ＩＤを参照することができ、液晶基板の生産工程中のロットや各生産工程における、欠陥の発生頻度や欠陥種類など、欠陥のトレンド情報を取得することができる。
【００４１】
次ぎに、図４を用いて液晶基板のレシピ情報の設定，更新について説明する。レシピ情報は、基板のサイズ、基板上に設定する中心位置及びアライメント位置、基板に設定するパネルの個数及び配置、各パネルのピクセル数及びピクセルピッチ等を定める情報であり、各液晶基板毎に定めることができる。
【００４２】
図４（ａ）は、基板のサイズ及び基板上に設定する中心位置及びアライメント位置を示している。基板２ａのサイズはＸ方向のサイズとＹ方向のサイズを設定する。また、Ｃは基板の中心位置を定め、Ａ１〜Ａ４はアライメント位置であり、基板の位置決めに用いることができる。
【００４３】
図４（ｂ）は、基板２ａ上に形成するパネルの配列を示し、横方向のパネル数と縦方向のパネル数を設定することで、全パネル数及びパネルの配置を定めることができる。
【００４４】
また、図４（ｃ）は、各パネル２ｂが備えるピクセルの配列を示し、縦横のピクセル数及び各ピッチを設定することで、全ピクセル数及びピクセルの配置を定めることができる。
【００４５】
データ管理手段６は、端末７の画面上で編集を行うことにより、レシピ情報の設定、更新を行う。なお、レシピ情報を更新する場合には、基板ＩＤに基づいて特定することができる。
【００４６】
これにより、レシピ情報はデータ管理手段６により一元管理される。このレシピ情報の一元管理により、液晶基板の生産ライン上の各装置は、データ管理手段６からＩＤに基づいて同一基板に設定されるレシピ情報を取り込むことができ、各装置はレシピ情報をそれぞれ記録することなくレシピ情報に基づく操作を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の液晶基板管理装置を説明するための概略図である。
【図２】液晶検査装置で取得する欠陥情報、及び液晶リペア装置で取得するリペア情報を説明するための図である。
【図３】データ管理手段に保存される欠陥情報や画像情報の表示例である。
【図４】液晶基板のレシピ情報の設定，更新を説明するための図である。
【符号の説明】
【００４８】
１...液晶管理装置、２...液晶基板、２ａ...基板、２ｂ，２ｂ１〜２ｂ４...パネル、３...液晶基板製造装置、４...液晶検査装置、５...液晶リペア装置、６...データ管理手段、６ａ...データベース、７...端末、８...上位システム、８ａ...ステージ側コネクタ、１０Ａ...ライン欠陥、１０Ｂ...点欠陥、１０ｃ...ラスク欠陥、Ａ１〜Ａ４...アライメント位置、Ｃ...中心位置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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