(57)【要約】      （修正有）【課題】ワークの破損を防ぐためにワークとワークホルダとの接触部に配置する緩衝部材が使用中にワークホルダから外れる事のないワークホルダーを提供する。【解決手段】ワークホルダ本体０２０１とワーク収納領域との間に緩衝機能を有する緩衝部材０２０２を上記ワークホルダ本体０２０１に対して接着剤０２０３にて固着したワークホルダ０２００であって、上記緩衝部材０２０２とワークホルダ本体０２０１とを歯車噛み合わせ状の凹凸構造０２０２Ａとし、接着剤層０２０３を噛み合わせた凹凸構造０２０２Ａの隙間に設けたワークホルダとその製造方法。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークホルダ本体と、
ワーク収納領域とワークホルダ本体間に配置され、緩衝機能を有する緩衝部材と、
からなるワークホルダであって、
前記緩衝部材は、ワークホルダ本体に対して接着剤にて固着されるとともに、緩衝部材の接着剤塗布面は凹凸構造を有するワークホルダ。
【請求項２】
ワークホルダ本体と、緩衝部材との間に０．０５ミリメートルから０．３ミリメートルの接着剤層を有する請求項１に記載のワークホルダ。
【請求項３】
ワークホルダ本体と緩衝部材との噛み合わせは平面視で略歯車噛み合わせ状であり、前記接着剤層は、ワークホルダ本体の歯車凹部底面と緩衝部材の歯車凸部頂面間又は／及びワークホルダ本体の歯車凸部頂面と緩衝部材の歯車凹部底面間に設けられる請求項２に記載のワークホルダ。
【請求項４】
ワークホルダ本体及び緩衝部材は、収納を予定しているワークとほぼ同等の厚みである０．３ミリメートル厚から３．０ミリメートル厚であり、
前記緩衝部材の凹凸構造は凹凸段差が０．１ミリメートルから１．０ミリメートルである請求項１から３のいずれか一に記載のワークホルダ。
【請求項５】
緩衝部材の接着剤塗布面において、凹凸構造が設けられる深さが０．１ミリメートルから０．５ミリメートルである請求項１から４のいずれか一に記載のワークホルダ。
【請求項６】
ワークホルダ本体を加工するワークホルダ本体加工ステップと、
射出成形により緩衝部材を成形する緩衝部材成形ステップと、
ワークホルダ本体に緩衝部材を遊嵌挿する遊嵌挿ステップと、
接着剤を、ワークホルダ本体と緩衝部材との隙間に毛細管現象を利用して浸透させる接着剤浸透ステップと、
接着剤を固化する固化ステップと、
を有する請求項１から５のいずれか一に記載のワークホルダの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークホルダ本体とワークとの間に配置され、ワーク加工時にワークへ加わる力を緩和するための緩衝部材を、ワークホルダ本体に強固に固定するための技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、例えばウエハなどのワークの研磨加工処理や鏡面加工処理を行う工程においては、ワークを固定把持するためのワークホルダが用いられている。
【０００３】
しかし、ワークホルダとワークが直接接する構成であると、上記研磨加工処理や鏡面加工処理時の回転運動やその運動の振動などによってワークに力が加わり、ワークに微小クラックが生じたり、あるいは破損したりする。またその破片がワーク自身や研磨、鏡面化用の定盤を傷つけたりする、という問題が発生してしまう。
【０００４】
そこで、従来、ウエハなどの脆性薄板であるワークとワークホルダとの接触部に弾性を有するエラストマーなどを材料とする緩衝部材を配置することで、ワーク加工時のワークの破損等を回避する技術が提供されている。
【０００５】
また本件出願人は、このような緩衝部材をワークホルダへ固定するための方法として、特許文献１にて、ワークホルダ本体と緩衝部材との接合部を歯車形状とし、その歯車の噛み合わせで緩衝部材を外れにくくする技術を開示している。
【特許文献１】特許第３４８２１３０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、ワークの研磨や鏡面化においては、現在さらなる薄厚化の要求、処理時間の短縮要求、平坦精度の向上要求など、その要求内容が厳しいものになってきている。そのため、ワークホルダとワークがセットされる研磨、鏡面化装置などにおいて研磨速度や保持圧力などが高く設定される傾向にある。すると、研磨等の際に緩衝部材とワークホルダとを接着する接着剤層の界面に従来以上の大きな応力などが生じてしまう。
【０００７】
そのため上記特許文献１で開示されている固定技術を利用しても、５００バッチほど使用すると緩衝部材がワークホルダから外れてしまうことがある。すると、その緩衝部材の交換や再固定のために時間的ロスが生じ、ワークの製造効率が悪化してしまう、という課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
ところで、剛性の高い金属や熱硬化性樹脂などを材料とするウエハホルダ本体と、弾性の高い熱可塑性樹脂などを材料とする緩衝部材と、を接着剤で接着すると、材質の差から緩衝部材の接着力のほうがウエハホルダ本体の接着力よりも弱くなる。すると上記のようにワーク加工時に界面に発生する大きな応力などで剥がれてしまうのは、主に緩衝部材側の接着面になる。
【０００９】
そこで本件発明は、以上の課題を解決するために、緩衝部材側の接着面を剥がれにくくするために、緩衝部材が、その接着剤塗布面に凹凸構造を備え、ワークホルダ本体に接着剤で固着されたワークホルダを提供する。
【００１０】
具体的には、ワークホルダ本体と、ワーク収納領域とワークホルダ本体間に配置され、緩衝機能を有する緩衝部材と、からなるワークホルダであって、前記緩衝部材は、ワークホルダに対して接着剤にて固着されるとともに、緩衝部材の接着剤塗布面は凹凸構造を有するワークホルダである。
【００１１】
また、ワークホルダ本体と、緩衝部材との間に０．０５ミリメートルから０．３ミリメートルの接着剤層を有する上記ワークホルダも提供する。
【００１２】
また、ワークホルダ本体と緩衝部材との噛み合わせは平面視で略歯車噛み合わせ状であり、前記接着剤層は、ワークホルダ本体の歯車凹部底面と緩衝部材の歯車凸部頂面間又は／及びワークホルダ本体の歯車凸部頂面と緩衝部材の歯車凹部底面間に設けられる上記ワークホルダも提供する。
【００１３】
また、ワークホルダ本体及び緩衝部材は、収納を予定しているワークとほぼ同等の厚みである０．３ミリメートル厚から３．０ミリメートル厚であり、前記緩衝部材の凹凸構造は凹凸段差が０．１ミリメートルから１．０ミリメートルである上記ワークホルダも提供する。
【００１４】
また、緩衝部材の接着剤塗布面において、凹凸構造が設けられる深さが０．１ミリメートルから０．５ミリメートルである上記ワークホルダも提供する。
【００１５】
また、このような構成のワークホルダを製造するための方法として、ワークホルダ本体を加工するワークホルダ本体加工ステップと、射出成形により緩衝部材を成形する緩衝部材成形ステップと、ワークホルダ本体に緩衝部材を遊嵌挿する遊嵌挿ステップと、接着剤を、ワークホルダ本体と緩衝部材との隙間に毛細管現象を利用して浸透させる接着剤浸透ステップと、接着剤を固化する固化ステップと、を有するワークホルダの製造方法も提供する。
【発明の効果】
【００１６】
以上のように緩衝部材の接着剤塗布面に所定サイズの凹凸構造を設けることで、接着力の弱い緩衝部材側の接着面を凹凸構造の分だけ広くし、その広さ分だけ接着力を向上することができる。また緩衝部材と接着剤層の界面に生じる所定方向の応力に対して凹凸構造が楔の役割を果たすことになる。また、この凹凸構造の段差の分、接着剤層の厚みを所定厚以上持たせることが確実にできる。
【００１７】
また、この凹凸構造によってワークホルダの製造過程においてワークホルダ本体と緩衝部材との間に接着剤を滴入した際に、この凹凸構造によって生じる隙間で毛細管現象が発生し、接着剤をスムーズにかつ均一に浸透させることもできる。
【００１８】
したがって所定方向の力が加わっても緩衝部材がワークホルダ本体から剥がれにくくなる。そのため、例えばウエハなどのワーク製造において緩衝部材の交換、再固定頻度を低下させることができ、ワークの製造効率を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下に、図を用いて本発明の実施の形態を説明する。なお、本発明はこれら実施の形態に何ら限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において、種々なる態様で実施しうる。
【００２０】
なお、実施例１は、主に請求項１について説明する。
【００２１】
また、実施例２は、主に請求項２について説明する。
【００２２】
また、実施例３は、主に請求項３について説明する。
【００２３】
また、実施例４は、主に請求項４，５について説明する。
【００２４】
また、実施例５は、主に請求項６について説明する。
【００２５】
≪実施例１≫
【００２６】
<全体的な概要>
【００２７】
図１は、本実施例のワークホルダを用いてワークを研磨する研磨装置の一例を表す概略図である。この図にあるように、本実施例のワークホルダ（０１００）は、本体に空いた穴にワーク（０１１０）をセットした状態でこの研磨装置の上下定盤（０１２０ａ、０１２０ｂ）に挟みこまれる。そして、研磨用の砥粒などが流し込まれ、上又は／及び下の定盤が回転運動などをすることで、ワークホルダにセットされたワークの上面や下面が研磨される、という具合である。
【００２８】
なお、その定盤の回転運動などによってワークとワークホルダ本体とが直接ぶつかることを避けるため、ワークホルダの穴（ワーク収納領域）周辺には緩衝部材が固着されている。そして本実施例のワークホルダでは、その緩衝部材とワークホルダ本体とを強く固着するため、緩衝部材がその接着剤塗布面に凹凸構造を有していることを特徴とする。
【００２９】
以下、このような特徴点を含む本実施例のワークホルダの構成について、その詳細を説明する。
【００３０】
<ワークホルダの構成>
【００３１】
図２（ａ）は、本実施例のワークホルダの一例について、その全体像を示す斜視図である。図２（ａ）にあるように、本実施例の「ワークホルダ」（０２００）は、「ワークホルダ本体」（０２０１）と、「緩衝部材」（０２０２）と、で構成されている。
【００３２】
「ワークホルダ本体」（０２０１）は、ウエハなどのワークを加工処理に際して固定把持するための本体部分を構成する部材であり、通常、その内部にワークの形状に応じた穴がワーク収納領域として設けられ、その穴にワークを配置する構造となっている。そして、上記のように研磨装置や鏡面化装置の定盤の間にセットされ、ワークの研磨、鏡面化処理が実行される、という具合である。
【００３３】
また、ワークホルダ本体は、研磨や鏡面化などの加工処理に供されるため、ステンレス鋼などの金属材料や、ガラスエポキシなどの熱硬化性樹脂材料といった剛性の高い材料で形成されていると良い。
【００３４】
「緩衝部材」（０２０２）は、ワーク収納領域とワークホルダ本体間に配置され、緩衝機能を有する部材であって、緩衝性能に加え耐磨耗性やワークホルダ本体への接着性の観点から熱可塑性エンジニアリングプラスチック（熱可塑性樹脂材料）を素材とする部材が公的である。具体的には、例えばポリサルホンやポリアセタール、ポリスチレン、６ナイロン、６６ナイロンなどを素材とする部材が挙げられる。
【００３５】
また、このような熱可塑性樹脂材料などにガラス繊維などのフィラー系強化剤を添加しても良い。具体的には、樹脂に対しフィラーを１０体積重量％から５０体積重量％添加することで熱可塑性樹脂材料からなる緩衝部材を強化することができる。
【００３６】
なお、上記例は一例であり、ワークホルダ本体、緩衝部材ともに、その材料などは上記例に限定されるものではない。
【００３７】
そして本実施例のワークホルダでは、図２（ａ）に示すように、この緩衝部材がワークホルダ本体に対して接着剤（０２０３）にて固着されるとともに、前述のように緩衝部材の接着剤塗布面が凹凸構造を有することを特徴とする。以下、図２（ｂ）を用いて本件発明の特徴点である凹凸構造について詳細に説明する。
【００３８】
なお、図２（ａ）では、ワークホルダ本体と緩衝部材とがそれぞれ歯車形状を備え、その歯車の歯を噛み合わせて接着剤にて両者を固着している。しかしこの歯車形状の歯は、本件発明の特徴点である凹凸構造とは別の構造である。なぜならば、この歯車形状の歯自体が緩衝部材の接着剤塗布面そのものであり、本件発明の特徴点である凹凸構造は接着剤塗布面に設けられるものであるからである。
【００３９】
図２（ｂ）は、図２（ａ）に示す本実施例のワークホルダにおいて斜線円αの部分（ワークホルダ本体と緩衝部材の固着部分）を拡大し、ワークホルダ本体に接着されている緩衝部材の一部を矢印β方向に引き剥がした際の斜視図である。
【００４０】
この図にあるように、「緩衝部材」（０２０２）は、ワークホルダ本体に対して「接着剤」（０２０３）にて固着されるとともに、破線で囲んだ「接着剤塗布面」（０２０４）に「凹凸構造」（０２０２Ａ）を有している。
【００４１】
そして、緩衝部材がこのような凹凸構造を有することで、以下のような効果を奏する。すなわち、第一に金属や熱硬化性樹脂などのワークホルダ本体よりも接着力の弱い熱可塑性樹脂などの緩衝部材の接着面積が広くなり、その接着力が向上することになる。また、第二にワーク加工時に緩衝部材と接着剤層との界面に生じる応力に対して楔として役割を果たすの緩衝部材が接着面から乖離することをさらに防ぐことができる。
【００４２】
図３は、この凹凸構造による接着力向上や楔機能について説明するための概念的な断面図である。
【００４３】
ここで、まず、凹凸構造が無い場合の力の加わり方について説明する。この図３（ａ）の（１）にあるように、ワークホルダ本体（０３０１）と、緩衝部材（０３０２）と、が接着剤（０３０３）にて固着されている。ここで、緩衝部材に対して斜め方向などの外力が加わると、細矢印Ｆで示すように、接着剤と緩衝部材との界面に応力が生じる。
そして、接着剤面の接着力よりも強い応力が発生すると、図３（ａ）（２）に示すように、緩衝部材が接着剤の界面から剥離していく。そしてさらに強い応力が加わる、あるいは継続的に応力が加わることで、図３（ａ）（３）に示すように、緩衝部材がワークホルダ本体から完全に乖離してしまうことになる。
【００４４】
一方、緩衝部材が凹凸構造を備えている場合は、以下のようになる。
【００４５】
この図３（ｂ）の（１）にあるように、ワークホルダ本体（０３０１）と、接着剤塗布面に凹凸構造（０３０２Ａ）を有する緩衝部材（０３０２）と、が接着剤（０３０３）にて固着されている。ここで、緩衝部材にワークが衝突など緩衝部材に斜め方向の外力が加わる。すると細矢印Ｆで示すように、接着剤と緩衝部材との界面に応力が生じる。
しかし、図３（ｂ）（２）に示すように、緩衝部材は図中×印で示す分、凹凸構造が無い場合に比べてその接着面積が広くなっている。そのため界面全体での接着力が向上しているので、緩衝部材が接着剤塗布面から上下方向などに剥離してしまうことを防止することができる。
また、図３（ｂ）（３）に示すように、緩衝部材は凹凸構造を有しているため、この凹凸構造が「楔」となって界面に発生した応力への抵抗力が接着剤層に生じることになる。したがって、緩衝部材が接着剤塗布面から上下方向に剥離してしまうことを防止することができる、という具合である。
【００４６】
このように、緩衝部材が凹凸構造を有することで楔効果が生まれ、また凹凸構造に面積拡大によって接着力も強化されることになる。したがって、接着剤層と緩衝部材との界面で生じる応力による緩衝部材の剥離を防止することができる。
【００４７】
また、第三に、この凹凸構造の段差の分、接着剤層の厚みを所定厚以上持たせることが確実にできるため、やはりその接着力を高めることができる。また第四に、この凹凸構造によってワークホルダ本体と緩衝部材との間に隙間ができるので、接着剤滴入の際に毛細管現象が発生し、ワークホルダ本体と緩衝部材との間に接着剤をスムーズにかつ均一に浸透させる効果も奏する。
【００４８】
なお、本実施例の凹凸構造は、もちろん上記図に示すような形状、構成の凹凸構造には限定されない。例えば、以下のような様々な形状、構成の凹凸構造であって構わない。
【００４９】
図４は、緩衝部材（０４０２）の接着剤塗布面に設けられた凹凸構造の形状、構成の一例について説明するための断面図である。この図４（ａ）にあるように、凹凸構造の別の例としては、緩衝部材の略中央部分がへこんでいる凹部（０４０２Ａ）を有する構造が挙げられる。
【００５０】
また、図４（ｂ）に示すように、緩衝部材の接着剤塗布面には、２つ、あるいは２以上の突起（あるいはへこみ）構造（０４０２Ａ）が設けられていても構わないし、また図３（ｃ）に示すように、その突起（あるいはへこみ）構造（０４０２Ａ）の形状も、頂部が丸められた形状や円筒形状などさまざまな形状であって構わない。
【００５１】
もちろん上記図示した凹凸構造は一例であって、例えば断面視で略Ｌ字や略Ｔ字形状の突起（凸）あるいはへこみ（凹）であっても良い。
【００５２】
そして、いずれの構造であっても、接着力の弱い緩衝部材側の接着面が広くなり、また緩衝部材の所定方向への動きに対して凹凸構造が楔の役割を果たすことができる。
【００５３】
なお、ワークホルダ本体と緩衝部材を固着するための接着剤は、当然双方と親和性の高い接着剤が好適であり、例えばエポキシ系接着剤やアクリル系接着剤、ポリイソシアネート系接着剤、フェノールポリビニルアセタール接着剤などが挙げられる。
【００５４】
また、本実施例のワークホルダは、図２（ａ）にあるように、その本体と緩衝部材が略歯車形状を噛み合わせることでその固定力をアップさせていることが望ましいが、もちろんそのような形状には限定されない。
【００５５】
<効果の簡単な説明>
【００５６】
以上のように、本実施例のワークホルダにおいて、緩衝部材がワークホルダ本体に対して接着剤にて固着されるとともに、緩衝部材の接着剤塗布面が凹凸構造を有するよう構成することで、第一に金属や熱硬化性樹脂などのワークホルダ本体よりも接着力の弱い熱可塑性樹脂などの緩衝部材の接着面積が広くなり、その接着力が向上することになる。
【００５７】
また第二にワーク加工時に緩衝部材と接着剤層との界面に生じる所定方向への応力に対して楔として役割を果たし抵抗力を生じさせることができるので、緩衝部材が接着面から乖離することをさらに防ぐことができる。
【００５８】
また第三に、この凹凸構造の段差の分、接着剤層の厚みを所定厚以上持たせることが確実にできるため、やはりその接着力を高めることができる。
【００５９】
また第四に、ワークホルダの製造過程において接着剤を滴入する際に、この凹凸構造によって生じる隙間で毛細管現象が発生し、接着剤をスムーズにかつ均一に浸透させることもできる。
【００６０】
そして、本実施例の上記構造や、下記その他の実施例で記載する構造を組み合わせて緩衝部材の接着面から乖離を従来よりも抑えることで、出願人による実験の結果、従来の耐用バッチ数が５００バッチ前後であったところを、例えば８００から１０００バッチまで延ばす効果が生じることが確認された。
【００６１】
≪実施例２≫
【００６２】
<概要>
【００６３】
本実施例のワークホルダは、上記実施例を基本として、そのワークホルダ本体と緩衝部材との接着剤による固着において、ワークホルダ本体と緩衝部材との間に所定長の遊びを設ける。そして、その遊びの部分に接着剤を流し込み所定長の接着剤層を構成することで、緩衝部材がより剥がれにくい構造としたことを特徴とするワークホルダである。
【００６４】
<構成>
【００６５】
図５は、上記接着剤層の一例を表す平面図、および断面図である。この図にあるように、本実施例のワークホルダは、「ワークホルダ本体」（０５０１）と、「凹凸構造」（０５０２Ａ）を備える「緩衝部材」（０５０２）との間に「接着剤層」（０５０３）を有し、その接着剤層が０．０５ミリメートルから０．３ミリメートルの幅であることを特徴とする。
【００６６】
ここで接着剤層の幅が「０．０５ミリメートル以下」である場合、狭すぎるため接着剤を均一に充填することが難しく、かつ接着剤の充填量が少ないため十分な接着強度を得ることができない。
【００６７】
また、接着剤層の幅が「０．３ミリメートル以上」である場合、接着剤の硬化過程において緩衝部材を固定保持することが難しくなるため、最終的に緩衝部材とワークホルダ本体とを水平に保つことが困難になる。
【００６８】
<効果の簡単な説明>
【００６９】
以上のように本実施例のワークホルダによって、上記のように接着強度を高めることができるので、さらにワークホルダ本体から緩衝部材を剥がれにくくすることができる。
【００７０】
≪実施例３≫
【００７１】
<概要>
【００７２】
本実施例は、上記実施例２を基本として、ワークホルダ本体と緩衝部材との接合面の形状に特徴を有し、また、接合面に設けられる前記接着剤層にも特徴を有するワークホルダである。
【００７３】
<構成>
【００７４】
図６は、本実施例のワークホルダにおいて、ワークホルダ本体と緩衝部材との接合面の一例を示す平面図である。この図にあるように、「ワークホルダ本体」（０６０１）と「緩衝部材」（０６０２）との噛み合わせは平面視で略歯車噛み合わせ状になっていることを特徴とする。
【００７５】
また、それに加えて、実施例２で記載した「接着剤層」（０６０３α）が、ワークホルダ本体の歯車凹部底面と緩衝部材の歯車凸部頂面間に設けられ、又は／及び別の「接着剤層」（０６０３β）が、ワークホルダ本体の歯車凸部頂面と緩衝部材の歯車凹部底面間に設けられる点も特徴とする。
【００７６】
このように、略歯車状の噛み合わせとすることで、ワークホルダ本体と緩衝部材と接合部分での（図６中での）左右方向の動きが制限されることになる。したがって、さらに緩衝部材が剥がれにくくなる、という効果を奏する。
【００７７】
また、接着剤層を、ワークホルダ本体の歯車凹部底面と緩衝部材の歯車凸部頂面間、又は／及びワークホルダ本体の歯車凸部頂面と緩衝部材の歯車凹部底面間に設けることで以下のような効果も期待できる。
【００７８】
図７は、このように歯車凹部底面と歯車凸部頂面間に接着剤層を設けた場合の、ワークホルダ本体と緩衝部材との噛み合わせ部分の一例を示す平面図である。この図７（ａ）にあるように、ワークホルダ本体（０７０１）の歯車凹部底面と、緩衝部材（０７０２）の歯車凸部頂面間などに接着剤層が設けられ×ａで示す面で接着している。
【００７９】
また、その一方で歯車の歯の側面には十分な接着剤が充填されていないので側面部の接着力は十分なものではない。
【００８０】
したがって図７（ｂ）にあるように、このような状態で緩衝部材に矢印Ｆ（large）が加わると、緩衝部材は矢印ｍの方向に大きく動くことができ、それによって力の影響を逃がすことができる。一方、矢印Ｆと直角方向に設けられている接着剤層は矢印Ｆによっても接着面に影響が及ばないので、その接着力を維持することができる、という具合である。
【００８１】
<効果の簡単な説明>
【００８２】
以上のように、本実施例のワークホルダでは、ワークホルダ本体と緩衝部材と接合部分での（図での）左右方向の動きが制限され、また力が加わる方向へ逃げる作用も生じるので、さらに緩衝部材を剥がれにくくすることができる。
【００８３】
≪実施例４≫
【００８４】
<概要>
【００８５】
本実施例のワークホルダは、上記実施例のいずれかを基本として、緩衝部材の凹凸構造においてサイズを規定することで、緩衝部材がより剥がれにくい構造としたことを特徴とするワークホルダである。
【００８６】
<構成>
【００８７】
図８は、上記緩衝部材の凹凸構造のサイズの一例を説明するための断面図である。この図８（ａ）にあるように、本実施例のワークホルダにおいて、「ワークホルダ本体」（０８０１）及び「緩衝部材」（０８０２）は、収納を予定しているワークとほぼ同等の厚みである０．３ミリメートル厚から３．０ミリメートル厚である。
【００８８】
そして、その「緩衝部材」（０８０２）の「凹凸構造」（０８０２Ａ）における凹凸段差が０．１ミリメートルから１．０ミリメートルであることを特徴とする。
【００８９】
ここで凹凸構造の凹凸段差が「０．１ミリメートル以下」である場合、接着剤の充填量が少なくなるため十分な接着強度を得ることが難しくなる。
【００９０】
また、凹凸段差が「１．０ミリメートル以上」である場合、充填した接着剤が硬化乾燥する過程で、いわゆる「肉痩せ」と呼ばれる硬化収縮が発生してしまい、接着剤を均一に充填することができなくなる可能性が高くなる。
【００９１】
したがって、緩衝部材のサイズおよび緩衝部材の段差のサイズを上記のように定めることで、ワークホルダ本体の緩衝部材と接着強度をさらに高めることができる。
【００９２】
また本実施例のワークホルダの凹凸構造は、凹凸段差のサイズ以外にも、例えば接着剤塗布面における設置の深さ規定することで、さらに緩衝部材の剥がれにくさを向上させることができる。
【００９３】
この図８（ｂ）にあるように、緩衝部材の接着剤塗布面において、凹凸構造が設けられる深さが０．１ミリメートルから０．５ミリメートルとすると良い。もちろん、その設置深さは緩衝部材そのものの厚みよりも薄い必要があることは言うまでも無い。例えば緩衝部材の幅の２０〜３５％程度の深さであることが望ましい。
【００９４】
そして、この設置深さが「０．１ミリメートル以下」である場合、その部分の接着剤の充填量が少なくなり、凹凸構造を設けない場合との接着力の差異がほとんど無くなるため、やはり十分な接着強度を得ることが難しくなる。
【００９５】
また、設置深さが「０．５ミリメートル以上」である場合、充填した接着剤が硬化乾燥する過程で、前述の「肉痩せ」が発生してしまい、やはり接着剤を均一に充填することができない可能性が高い。
【００９６】
そして、接着剤が均一に充填されなければ、接合部に空隙が生じ、研磨等の際にかかる圧力で接着剤層のクラックが生じやすくなってしまう。その結果、緩衝部材が剥がれやすくなり、ワークホルダの耐用期間が短くなってしまう。
【００９７】
そこで、本実施例では、緩衝部材の凹凸構造のサイズについて上記のような規定を設けることで、接着剤を均一に充填することを可能とし、その接着強度を向上させることができる、という具合である。
【００９８】
<効果の簡単な説明>
【００９９】
以上のように本実施例のワークホルダによって、さらにワークホルダ本体から緩衝部材を剥がれにくくすることができる。
【０１００】
≪実施例５≫
【０１０１】
<概要>
【０１０２】
本実施例は、上記説明したような緩衝部材の接着剤塗布面に凹凸構造を有するワークホルダを効率的に製造するための製造方法について説明する。具体的には、射出成形によって緩衝部材を成形し、ワークホルダ本体に遊嵌挿する。そして、毛細管現象を利用して接着剤を浸透させることで上記ワークホルダを製造する製造方法である。
【０１０３】
<製造方法の流れ>
【０１０４】
図９は、本実施例における上記構造を有するワークホルダ製造方法の流れの一例を表すフローチャートである。この図にあるように、上記構造を有するワークホルダの製造方法においては、まず、ワークホルダ本体を加工する（ステップＳ０９０１）。また、射出成形により緩衝部材を成形する（ステップＳ０９０２）。もちろん、このワークホルダの加工ステップと緩衝部材の射出成形ステップとの順番は逆であっても良いし、同時に行われても良い。
【０１０５】
続いて、ワークホルダ本体に緩衝部材を遊嵌挿する（ステップＳ０９０３）。そして、接着剤を、ワークホルダ本体と緩衝部材との隙間に毛細管現象を利用して浸透させ（ステップＳ０９０４）、浸透した接着剤を固化させる（ステップＳ０９０５）、という具合である。
【０１０６】
以下、この製造方法における各ステップについて詳細に説明する。
【０１０７】
まず、Ｓ０９０１のワークホルダ本体の加工ステップでは、剛性を有する素材に応じた加工方法を用いて実行されると良い。例えばワークホルダ本体が熱硬化性樹脂を材料としているならば、ワークホルダ本体の金型に、加熱処理で液状化させた熱硬化性樹脂を流し込み冷却することで加工する方法が挙げられる。
【０１０８】
また、このワークホルダ本体の金型は、実施例３で記載したように緩衝部材との接合面が歯車形状となるよう鋳造されていても良い。
【０１０９】
そしてステップＳ０９０２の緩衝部材の射出成形ステップでは、凹凸構造が設けられた金型に、例えば軟化した熱可塑性樹脂を高圧で押し込み成形する方法が挙げられる。
【０１１０】
そして、ステップＳ０９０３の遊嵌挿ステップでは、上記作られたウエハホルダ本体と緩衝部材とを、例えば実施例２で記載したような幅の接着剤層を設けるための遊びを持たせて嵌挿する。
【０１１１】
そして、ステップＳ０９０４の接着剤浸透ステップでは、その遊び部分に接着剤を上から滴入して、凹凸構造で生じる隙間での毛細管現象を利用して接着剤を浸透させる。このように毛細管現象を利用することで、接着剤をスムーズに、かつ均一に浸透させることができる。
【０１１２】
そして、ステップＳ０９０５では、場合によっては冷却などの手段によってその浸透させた接着剤を固着させる、という具合である。
【０１１３】
<効果の簡単な説明>
【０１１４】
以上のような製造方法によって、上記緩衝部材の接着剤塗布面に凹凸構造を有するワークホルダを効率的に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１１５】
【図１】実施例１のワークホルダを用いてワークを研磨する研磨装置の一例を表す概略図
【図２】実施例１のワークホルダの一例について、その全体像と一部の拡大像を示す斜視図
【図３】実施例１のワークホルダの凹凸構造による効果について説明するための概念的な断面図
【図４】実施例１のワークホルダの緩衝部材の接着剤塗布面に設けられた凹凸構造の形状、構成の一例について説明するための断面図
【図５】実施例２のワークホルダの接着剤層の一例を表す平面図、および断面図
【図６】実施例３のワークホルダのワークホルダ本体と緩衝部材との接合面の一例を示す平面図
【図７】実施例３のワークホルダのワークホルダ本体と緩衝部材との噛み合わせ部分の一例を示す平面図
【図８】実施例４のワークホルダの緩衝部材の凹凸構造におけるサイズの一例を説明するための断面図
【図９】実施例５における上記構造を有するワークホルダ製造方法の流れの一例を表すフローチャート
【符号の説明】
【０１１６】
０２００    ワークホルダ
０２０１    ワークホルダ本体
０２０２    緩衝部材
０２０２Ａ  凹凸構造
０２０３    接着剤（層）
０２０４    接着剤塗布面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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