(57)【要約】【課題】  大型マスクケースを簡易にかつ短時間に梱包することができると共に、繰り返し使用することができ、しかも清浄度が十分に高いマスクケースの梱包材を提供する。【課題を解決するための手段】  上記課題を解決するため本発明に係るマスクケースの梱包材は、マスクケースを被覆するための梱包材であって、前記梱包材は、低い発塵性と高い防塵性を有する生地により構成されていることを特徴とする。低い発塵性と高い防塵性を有する生地は、具体的には、所定の防塵性を備えた不織布などが考えられ、例えばクリーンルームで使用される防塵衣と同一素材を用いることができる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
大型フォトマスクを収納したマスクケースを被覆するための梱包材であって、前記梱包材は、低い発塵性と高い防塵性を有する生地により構成されていることを特徴とするマスクケースの梱包材。
【請求項２】
前記梱包材は、全体が袋状に構成されていることを特徴とする請求項１記載のマスクケースの梱包材。
【請求項３】
前記梱包材は、底面部が開閉可能に設けられ、マスクケースを被覆して前記開口部が面接合手段により閉塞可能に構成されていることを特徴とする請求項１又は２記載のマスクケースの梱包材。
【請求項４】
前記マスクケースは自立手段により支持されていると共に、前記梱包材の底面部は該自立手段と干渉しない形状に構成されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のマスクケースの梱包材。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４記載のマスクケースの梱包材を用いてマスクケースを梱包する方法であって、クリーンルーム内において、フォトマスクを前記マスクケースに収納する第１のステップと、その後、前記マスクケースを前記梱包材で被覆する第２のステップとを備えたことを特徴とするマスクケースの梱包方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体集積回路等の製造工程で用いられるフォトマスク基板を保存又は運搬するための樹脂製のケース（以下、これを「マスクケース」という。）の梱包材に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
フォトマスクは基板表面の汚染を極端に嫌うため、その保存に際しては、クリーンルーム内においてマスクケースに収納されている。そして、完成したフォトマスクを出荷する際は、クリーンルーム内においてマスクケースを清浄な梱包材で梱包して、クリーンルームの外へ搬送される。なお、梱包材でマスクケースを梱包するのは、「マスクケース」ひいては「クリーンルーム」の汚染を防止するためである。
【０００３】
フォトマスクを収納したマスクケースは梱包材に梱包された状態でクリーンルームの外へ搬出される。それらは更に外箱に梱包され陸路或いは空路等を介して輸送され、再びクリーンルーム内に搬入されて梱包が解かれることになる。このため、マスクケースの梱包材としては、「清浄度の高い梱包材」が用いられる。尚、輸送に起因する衝撃や汚染からマスクケース及び梱包材を保護するため、輸送時にはこれらに対して段ボール等その他一般的な方法によりさらに梱包を施す場合があることはいうまでもない。
【０００４】
従来から、マスクケースの梱包には清浄度及び扱いやすさ等の理由から「袋状に加工された透明な樹脂製のフィルムシート」が用いられてきたが、近年はフォトマスクの大型化に伴って、マスクケースも大型化しており、１枚のフィルムシートにマスクケースを梱包することができなくなっている。
【０００５】
そこで、本発明がなされる以前は、大型のマスクケースを梱包する際には、クリーンルーム内においてマスクケースの梱包材として従来から用いられている「袋状に加工された透明な樹脂製のフィルムシート」を複数枚用意してそれらを裁断し、必要な大きさとなるように粘着テープで貼り合わせ、これによってマスクケースを梱包するといった作業が行われていた。このいわば梱包材の「継ぎ接ぎ」作業は製品出荷のたびごとに毎回手作業で行われるため、見た目も悪く、かつ作業効率も極めて悪かった。
【０００６】
近年の大型の液晶ディスプレイや電子デバイスなどに用いられる大面積のフォトマスクは、例えば第８世代とよばれるものではガラスサイズで2,160×2,400mm、マスクサイズで1,220×1,400mmにも達し、技術的必然性をもってマスクケースも大型化している。従来の梱包方法によると、例えば1,220mm×1,400mmサイズのフォトマスクを収納するケースの梱包作業は、作業に慣れた者であっても、６０分程度もの時間が必要であり、サイズが大きくなれば一層の作業時間が必要であった。
【０００７】
なお、ガラスメーカーで製作する「素板ガラス」（フォトマスクの原料となる大型のガラス板など）を高度な清浄度を保持しつつ複数枚重ねた状態で梱包する種々の梱包技術が知られているが（例えば、特許文献１，２参照。）、本発明に係る梱包材は「製品として完成したフォトマスク」を一枚ずつ、しかも「マスクケース」に収納した状態でさらにこれを梱包するものである。すなわち、梱包されるべき内容物（被梱包物）が「素板ガラス」ではなく最終製品「フォトマスク」（正確にはフォトマスクを梱包した「マスクケース」）であるため、要求される清浄度が格段に高く、かつその梱包手段も後述するとおり全く異なるものである。
【０００８】
【特許文献１】特開２００５−７５４８２号公報
【特許文献２】特開２００５−７５３６６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、大型フォトマスク（長辺の長さが例えば１．４ｍを超えるようなもの）を梱包するほどの大きさで、かつ、それ自体の清浄度が高い材料を製作することは技術的に極めて困難であった。これは、「大型のマスクケースを梱包する」という特殊な用途に最適な材料が知られていなかったために他ならない。
【００１０】
さらに、従来のように「粘着性テープ」などで「継ぎ接ぎ」された梱包材は一旦梱包を解いた後、繰り返し使用することはできなかった。これは、マスクケースが通常「樹脂製」であり、梱包材も「樹脂製（フィルムシートなど）」で構成されるために、両者が擦れあうことで梱包材が帯電する結果、集塵して梱包材の清浄度が低下するという問題があったことがその理由の一つである。
【００１１】
なお、上述した「帯電」の問題を別にしても、そもそも、梱包材というものはその性質上、一回ごとの使い捨てであることが物流の観点からみれば常識であり、まして内容物（被梱包物）がクリーンルーム内で取り扱われる「マスクケース」のような高い清浄度が要求されるものであれば一層のこと、「使い捨て」が常識であって、梱包材を繰り返し使用するという着想乃至課題は全く存在しなかったともいえる。
【００１２】
また、継ぎ接ぎする際に使用される「粘着テープ」はパーティクルの発生源となる紙芯を取り除いたクリーンルーム仕様の低粘着タイプのものを使用することが好ましいが、そもそも清浄度を確保する観点からは、パーティクルを放出してクリーンルームを汚染する可能性のある「粘着性テープ」自体、一切使用しない方が好ましい。
【００１３】
本発明は、上記に鑑みなされたものであり、大型のマスクケースを簡易にかつ短時間に梱包することができると共に、繰り返し使用することができ、しかも清浄度が十分に高いマスクケースの梱包材を提供することを技術的課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記課題を解決するため本発明に係るマスクケースの梱包材は、大型フォトマスクを収納したマスクケースを被覆するための梱包材であって、前記梱包材は、低い発塵性と高い防塵性を有する生地により構成されていることを特徴とする。
【００１５】
低い発塵性と高い防塵性を有する生地は、具体的には、所定の防塵性を備えた不織布などが考えられ、例えばクリーンルームで使用される防塵衣と同一素材を用いることができる。
【００１６】
本発明に係る梱包材は、全体が袋状に構成されていることが好ましい。一般に、「梱包」とは、「紙などで包み、紐をかけて荷造りすること。また、その荷物。（三省堂提供「大辞林 第二版」より）」とあることから、「梱包材」は、薄い包装部材で内容物（被梱包物）を包むことができれば足り、「袋状」である技術的必然性はないが、「袋状」に構成することで、梱包の作業効率が飛躍的に向上する。
【００１７】
なお、本発明において「袋状」とは、底面部のみが開口していると状態を指し、マスクケースを直立させた状態で上方からすっぽりと被せることができるようになっていることをいうが、その技術的意義については後述する実施例を参照して合目的的に解釈されるものである。
【００１８】
さらに、この梱包材は、底面部が開閉可能に設けられ、マスクケースを被覆して前記開口部が面接合手段（例えば面ファスナーなど）により閉塞可能に構成されていてもよい。袋の「口」にあたる底面部が面接合手段により閉塞可能に構成されていれば、防塵性を一層高めることができるからである。なお、面ファスナーは防塵機能を備えた面接合手段の一例に過ぎないので、その均等物も含まれるが、底面が面接号手段により閉塞される場合、必ずしも気密性までは要求されない。
【００１９】
大型フォトマスクを収納したマスクケースは通常直立状態で搬送させるため、キャスター等の自立手段に載置されることが通常であるので、その場合は、前記梱包材の底面部は該自立手段と干渉しない形状に構成されていることが好ましい。
【００２０】
本発明に係るマスクケースの梱包方法は、上述した本発明に係るマスクケースの梱包材を用いてマスクケースを梱包する方法であって、クリーンルーム内において、フォトマスクを前記マスクケースに収納する第１のステップと、その後、前記マスクケースを前記梱包材で被覆する第２のステップとを備えたことを特徴とする。この方法によれば、大型のフォトマスクを収納するマスクケースの梱包に要する作業効率が大幅に改善する。
【発明の効果】
【００２１】
本発明に係るマスクケースの梱包材によると大型フォトマスクのマスクケースを簡易かつ短時間に被覆することができる。また、この梱包材は洗浄可能であり、使用により塵が付着して清浄度が低下してきても、洗浄すれば清浄度が上がり、繰り返し使用することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
クリーンルーム内での作業着である「防塵衣（クリーンスーツ）」の素材は、所定の防塵性を備えた不織布など、元来低い発塵性と高い防塵性を有する生地で構成され、それ自体はほとんど帯電しないという特徴がある。また、裁断・縫製によって被服に加工できるので、この縫製技術を応用すれば、マスクケースの梱包用に、例えば「袋状に加工すること」も可能である。以下、図面を参照して本発明に係るマスクケースの梱包材及びこれを用いたマスクケースの梱包方法について説明する。
【００２３】
（第１の実施形態）
図１（ａ）及び（ｂ）は、本発明に係るマスクケースの梱包材の一実施例を示す概念図を示している。これらの図に示すように、マスクケースの梱包材１は、大型のマスクケース専用の梱包材であって、マスクケースを被覆するように幅の薄い略直方体状であり、底面部２が開口しており、全体が袋状に構成されていると共に、低い発塵性と高い防塵性を有する生地により構成されている。
【００２４】
なお、図１（ａ）はマスクケースを梱包する前の状態を示し、（ｂ）はマスクケースを梱包した後の状態を示している。底面部２は開口しているが、梱包後にマスクケースから離脱しないように底面部も一部閉塞することができるように構成されている。
【００２５】
図２は、試作したマスクケースの梱包材１を撮影したの図面代用写真である。外周部の大きさは、マスクケースの大きさよりわずかに大きいサイズとすることが好ましいが、試作品のサイズはW1,425mm×D280mm×H1,075mm とした。
【００２６】
なお、このマスクケースの梱包材１の生地は、透明ではないがマスクケースを梱包した状態で内部のマスクケースに貼り付けられたラベル等の文字は透けて見えるようになっている。よって識別性を損なうことはない。
【００２７】
本発明に係るマスクケースの梱包材の使用方法は、極めて簡単である。まず、クリーンルーム内において、製品として完成したフォトマスクをマスクケースに収納する。その後、クリーンルーム内において、前記マスクケースを前記梱包材で上方から被覆する。
【００２８】
ここで、本発明に係るマスクケースの梱包材で、樹脂製のマスクケースを擦過して、その耐電量をシムコジャパン株式会社製のハンディタイプの静電気測定器により測定したところ、ケースは擦過した部分において１〜２［ｋＶ］であったが、マスクケースの梱包材は０［Ｖ］であり、高い導電性能を示していた。これはマスクケースが高い防塵性を備えていることを示している。
【００２９】
このように、低い発塵性と高い防塵性を有する生地で専用のマスク梱包材を製造すれば、梱包作業が従来よりも飛躍的に効率化することができるだけでなく、従来は一回ごとに使い捨てていた梱包材であるが、本発明に係る梱包材は繰り返し使用することができるため、ゴミの削減にも寄与するものである。
【００３０】
なお、本発明に係るマスクケース梱包材を実施する場合、初期費用が必要であるが、繰り返し利用することができるので長期的視野にたてば必要経費は抑えられ、かつ、簡便な方法で作業効率の増大などの大きな効果が得られる。
【００３１】
（第２の実施形態）
図３は、第１の実施形態において説明したマスクケースの梱包材の変形例を示す概念図である。また、底面部は開口しているが、マスクケースを被覆した後は面ファスナー１２（１２ａ，１２ｂ）により閉塞できるように構成されている。
【００３２】
底面部には２箇所の開口部が設けられているが、これはマスクケースを搬送する自立手段（キャスターの脚部など）と干渉しないようにするための処理である。
【００３３】
上述の通り、マスクケースに貼り付けられたラベルの文字は透けて見えるが、袋の外側にラベルを挿入するためのラベルポケット１３を設けて識別性を一層高めてもよい。ラベルポケットは例えば透明フィルムで構成することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
本発明は、フォトマスクの近年の急速な大型化によって物流の側面で引き起こされた深刻な技術的課題を、比較的身近な素材を用いて極めて巧妙かつ簡便な手段によって抜本的に解決することができるものであり、産業上の利用可能性は極めて大きい。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】図１は本発明に係る梱包材の一実施例を示す概念図である。
【図２】図２は本発明に係る梱包材の図面代用写真である。
【図３】図３は本発明に係る梱包材の他の実施例を示す概念図である。
【符号の説明】
【００３６】
１、１０  マスクケースの梱包材
２、１１  底面部
１２  面接合手段（面ファスナー）  
１３  透明窓
【図１】
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【図２】
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【図３】
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