(57)【要約】【課題】複数の個別液室間のクロストークを確実に抑制することができ、しかも圧電素子の配線および駆動回路の簡素化が可能な液体吐出ヘッド、液体吐出装置、および液体吐出方法を提供すること。【解決手段】複数の個別液室３のそれぞれに第１圧電膜１０Ａを備えると共に、複数の個別液室３と共通液室１１との間の掘り込み部１のそれぞれに第２圧電膜１０Ｂを備えて、互いに対応する第１および第２圧電膜１，１０Ｂを関連的に駆動する。【選択図】図７
2008238469.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
共通液室に連通される複数の個別液室のそれぞれに第１圧電素子を備え、前記第１圧電素子の圧電効果によって前記個別液室内の液体を加圧することにより、前記個別液室に連通する吐出口から液体を吐出可能な液体吐出ヘッドにおいて、
前記共通液室と前記複数の個別液室のそれぞれとの連通部位に、前記複数の第１圧電素子のそれぞれに対応する複数の第２圧電素子を備え、
前記複数の第２圧電素子のそれぞれは、当該第２圧電素子に対応する前記第１圧電素子によって前記個別液室内の液体が加圧されたときに、圧電効果により前記連通部位を拡張可能である
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記第１圧電素子は、前記個別液室の少なくとも一部を形成する第１振動板上に位置し、
前記第２圧電素子は、前記連通部位の少なくとも一部を形成する第２振動板上に位置する
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記第１振動板と前記第２振動板は同一平面上に位置し、
前記第１圧電素子と前記第２圧電素子は同一平面上に位置する
ことを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記第１振動板と前記第２振動板は、同一平面上に一体的に形成され、
前記第１圧電素子と前記第２圧電素子は、同一平面上に一体的に形成される
ことを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記複数の第１圧電素子のそれぞれの一端が共通に接続される第１電極と、
前記複数の第２圧電素子のそれぞれの一端が共通に接続される第２電極と、
を備え、
前記第１共通電極は、前記複数の個別液室のそれぞれに対応する前記複数の第１振動板上に延在し、
前記第２共通電極は、前記複数の連通部位のそれぞれに対応する前記複数の第２振動板上に延在する
ことを特徴とする請求項２から４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
互いに対応する前記第１圧電素子と前記第２圧電素子のそれぞれの他端に接続される個別電極を備え、
互いに対応する前記第１圧電素子と前記第２圧電素子は、それぞれの一端と他端との間の分極方向が逆である
ことを特徴とする請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記第１共通電極と前記第２共通電極は、それらの間に所定の電位差を生じさせるためのバイアス回路との接続端子に接続され、
前記個別電極は、前記第１圧電素子に駆動電圧を印加するための駆動回路との接続端子に接続される
ことを特徴とする請求項６に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
請求項１から７のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを用い、前記第１および第２圧電素子を駆動することにより、前記吐出口から液体を吐出可能な液体吐出装置であって、
前記第１圧電素子の圧電効果により前記個別液室を収縮させて前記吐出口から液体を吐出させるときに、当該第１圧電素子に対応する前記第２圧電素子の圧電効果により前記連通部位を拡張させるように、前記第１圧電素子および前記第２圧電素子を駆動する駆動手段を備える
ことを特徴とする液体吐出装置。
【請求項９】
前記駆動手段は、互いに対応する前記第１圧電素子と前記第２圧電素子の一端同士の間に所定の電位差を生じさせるバイアス回路と、互いに対応する前記前記第１圧電素子と前記第２圧電素子のそれぞれの他端に前記第１圧電素子の駆動電圧を印加する駆動回路と、を含むことを特徴とする請求項８に記載の液体吐出装置。
【請求項１０】
共通液室に連通される複数の個別液室のそれぞれに備わる第１圧電素子と、前記共通液室と前記複数の個別液室のそれぞれとの連通部位に備わる複数の第２圧電素子と、を含む液体吐出ヘッドを駆動することにより、前記個別液室に連通する吐出口から液体を吐出させる液体吐出方法であって、
前記第１圧電素子の圧電効果により前記個別液室を収縮させて前記吐出口から液体を吐出させるときに、当該第１圧電素子に対応する前記第２圧電素子の圧電効果により前記連通部位を拡張させるように、互いに対応する前記第１圧電素子と前記第２圧電素子とを駆動する
ことを特徴とする液体吐出方法。
【請求項１１】
互いに対応する前記第１圧電素子と前記第２圧電素子の一端同士の間に所定の電位差を生じさせたまま、互いに対応する前記前記第１圧電素子と前記第２圧電素子のそれぞれの他端に前記第１圧電素子の駆動電圧を印加する
ことを特徴とする請求項１０に記載の液体吐出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子を用いて種々の液体を吐出可能な液体吐出ヘッド、液体吐出装置、および液体吐出方法に関するものである。本発明は、紙、布、革、不織布等に画像を記録するための装置、基板、板材、固体物等に液体を付着させるためのパターニング装置や塗装装置等に適用可能である。
【背景技術】
【０００２】
圧電膜（圧電素子）の圧電効果によって変形可能な振動板を用いて、吐出口からインクなどの液体を吐出する液体吐出ヘッドにおいては、その振動板によって、吐出口に連通する個別液室の一部が構成されている。吐出口から液体を吐出する際には、電気信号を投入して、振動板に時間と共に推移する変位を与えることによって、個別液室の容積を収縮および拡張させる。このような個別液室の容積制御により、その個別室内の液体は、まず、液柱状態となって吐出口の外に突き出る。その後、液体の表面張力によって、その液柱状態の液体から１つまたは複数の液滴が分離して、その液滴が吐出口から外部に吐出される。
【０００３】
液体吐出ヘッドがインクジェット記録装置に用いられるインクジェット記録ヘッドの場合には、吐出口から吐出された液滴が記録媒体に着弾することによって、記録媒体上に画像が記録されることになる。また、液体吐出ヘッドは、パターンニング装置などにも用いることができる。
【０００４】
このような種々の装置に用いられる液体吐出ヘッドにおいては、個別液室に連通する吐出口などによって形成されるノズルの高密度化が進められている。個々のノズルに対応する複数の個別液室に対しては、それらに共通する共通液室が連通されており、その共通液室内の液体が複数の個別液室内のそれぞれに供給される。しかしながら、このようなノズル配置の高密度化に伴い、複数の個別液室の圧力が共通液室を介して干渉しやすくなって、それぞれの吐出口に形成される液体のメニスカスの位置が変動するおそれがある。このようなノズル間における圧力の相互作用は、「クロストーク」と称される。
【０００５】
特許文献１には、このようなクロストークを抑制するために、共通液室に補正用圧電膜を備える構成が記載されている。その補正用圧電膜は、個別液室の加圧動作および減圧動作に応じて駆動される。すなわち補正用圧電膜は、インクを吐出するための個別液室の加圧動作に同期またはほぼ同期して、共通液室を拡大するように駆動され、また、インクを吸入するための個別液室の減圧動作に同期またはほぼ同期して、共通液室を収縮させるよう駆動される。
【０００６】
【特許文献１】特開平１０−１１９２６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１における補正用圧電膜は、共通液室に１つまたは２つ備えられているだけであるため、液体吐出ヘッドのオンデマンド駆動において、複数の個別液室間のクロストークを適確に抑制することが難しい。また特許文献１においては、補正用圧電膜と、複数の個別液室のそれぞれに備わる圧電膜と、それぞれ異なる電極を通して配線されている。そのため、仮に、補正用圧電膜を複数の個別液室のそれぞれに対応するように多数備えた場合には、それらの補正用圧電膜に対する配線が複雑化する。また、特許文献１においては、補正用圧電膜の駆動回路と、複数の個別液室のそれぞれに備わる圧電膜の駆動回路は、別々に構成されている。そのため、補正用圧電膜の配備数の増加に伴って、駆動回路の複雑化を招き、ひいては液体吐出装置の構成の複雑化および高価格化を招くおそれがある。
【０００８】
本発明の目的は、複数の個別液室間のクロストークを確実に抑制することができ、しかも圧電素子の配線および駆動回路の簡素化が可能な液体吐出ヘッド、液体吐出装置、および液体吐出方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の液体吐出ヘッドは、共通液室に連通される複数の個別液室のそれぞれに第１圧電素子を備え、前記第１圧電素子の圧電効果によって前記個別液室内の液体を加圧することにより、前記個別液室に連通する吐出口から液体を吐出可能な液体吐出ヘッドにおいて、前記共通液室と前記複数の個別液室のそれぞれとの連通部位に、前記複数の第１圧電素子のそれぞれに対応する複数の第２圧電素子を備え、前記複数の第２圧電素子のそれぞれは、当該第２圧電素子に対応する前記第１圧電素子によって前記個別液室内の液体が加圧されたときに、圧電効果により前記連通部位を拡張可能であることを特徴とする。
【００１０】
本発明の液体吐出装置は、上記の液体吐出ヘッドを用い、前記第１および第２圧電素子を駆動することにより、前記吐出口から液体を吐出可能な液体吐出装置であって、前記第１圧電素子の圧電効果により前記個別液室を収縮させて前記吐出口から液体を吐出させるときに、当該第１圧電素子に対応する前記第２圧電素子の圧電効果により前記連通部位を拡張させるように、前記第１圧電素子および前記第２圧電素子を駆動する駆動手段を備えることを特徴とする。
【００１１】
本発明の液体吐出方法は、共通液室に連通される複数の個別液室のそれぞれに備わる第１圧電素子と、前記共通液室と前記複数の個別液室のそれぞれとの連通部位に備わる複数の第２圧電素子と、を含む液体吐出ヘッドを駆動することにより、前記個別液室に連通する吐出口から液体を吐出させる液体吐出方法であって、前記第１圧電素子の圧電効果により前記個別液室を収縮させて前記吐出口から液体を吐出させるときに、当該第１圧電素子に対応する前記第２圧電素子の圧電効果により前記連通部位を拡張させるように、互いに対応する前記第１圧電素子と前記第２圧電素子とを駆動することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、複数の個別液室側のそれぞれに備わる第１圧電素子と、それぞれの第１圧電素子に対応するように個別液室と共通液室との間に備わる第２圧電素子と、を関連的に駆動することにより、個別液室間のクロストークを確実に抑制することができる。また、互いに対応する第１および第２圧電素子の分極方向を逆にすることにより、それらの電極の一部を共通化して、それらの圧電素子の配線および駆動回路の簡素化を図ることができる。
【００１３】
また本発明は、種々の液体を吐出するための液体吐出ヘッド、液体吐出装置、および液体吐出方法として広く適用することができ、例えば、インクジェット記録装置、パターニング装置、および塗装装置などに適用することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１０は、本発明を適用可能なインクジェット記録装置の要部の斜視図である。記録装置内に挿入された記録媒体Ｐは、送りローラ１０９，１１０によって搬送され、インクジェットヘッドユニット１００によって画像が記録される記録領域へ搬送される。インクジェットヘッドユニット１００に備わるキャリッジ１１１は、２つのガイド軸１０７，１０２によって、それらの延在方向（主走査方向）に沿って移動可能にガイドされている。キャリッジ１１１には、複数色のインク液滴を吐出するためのインクジェット記録ヘッドと、それぞれのインクジェット記録ヘッドにインクを供給するためのインクタンクと、が着脱自在に搭載される。キャリッジ１１１の矢印Ｘの移動方向が主走査方向であり、記録媒体Ｐの矢印Ｙの搬送方向が副走査方向である。
【００１５】
本例の場合には、ブラック（Ｂｋ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）のインクを収容するインクタンク１０１Ｂ，１０１Ｃ，１０１Ｍ，１０１Ｙが全て独立的に交換可能に搭載されている。記録ヘッドは、ブラック（Ｂｋ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）のそれぞれのインクを吐出するための記録ヘッド群を構成しており、これらの記録ヘッド群に対して、インクタンクから対応するインクが供給される。記録ヘッドとインクタンクの構成は任意であり、複数のインクタンクを一体的に構成してもよく、また記録ヘッドとインクタンクとを一体的に構成してもよい。
【００１６】
図４において、インクジェットヘッドユニット１００が移動可能な領域の右端の下方位置には、回復系ユニット１１２が配備されている。その回復系ユニット１１２は、記録装置の非記録動作時に、記録ヘッドの吐出口部に対して、記録ヘッドからのインクの吐出状態を良好に維持するための回復処理などをする。その回復処理としては、画像の記録に寄与しないインクを吐出口から吸引排出（吸引回復処理）させる処理、および、画像の記録に寄与しないインクを吐出口から吐出（予備吐出）させる処理を含むことができる。
【００１７】
図１は、本例の記録ヘッドの個別液室部分の縦断面図、図２は、その記録ヘッドの隔壁部分の縦断面図である。図３は、図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う横断面図、図４は、図１のＩＶ−ＩＶ線に沿う横断面図、図５は、図１のＶ矢視図である。また図１は、図５のＩ−Ｉ線に沿う断面図に相当し、図２は、図５のＩＩ−ＩＩ線に沿う断面図に相当する。本例の記録ヘッドは、圧電膜の面内方向の歪を利用してインクを吐出する所謂ベンダー型のインクジェット記録ヘッドである。
【００１８】
記録ヘッドの基体６には、図３中の左右方向に延在する複数の個別液室３が形成されており、それぞれの個別液室３は、その図３中の左端が吐出口２に連通され、その図３中の右端が掘り込み部（連通部位）１を通して共通液室１１に連通されている。したがって、複数の個別液室３は、それらに対応する彫り込み部１を通して１つの共通液室１１に連通されており、共通液室１１内のインクが複数の個別液室３内に供給される。
【００１９】
振動板４および圧電膜（圧電素子）１０は、個別液室３から掘り込み部１に至る範囲に形成されている。以下、個別液室３の位置に対応する振動板４の部分を第１振動板４Ａ、掘り込み部１の位置に対応する振動板４の部分を第２振動板４Ｂという。また、個別液室３の位置に対応する圧電膜１０の部分を第１圧電膜（第１圧電素子）１０Ａ、掘り込み部１の位置に対応する圧電膜１０の部分を第２圧電膜（第２圧電素子）１０Ｂという。記録情報に対応する電圧を第１圧電膜１０Ａに印加して、個別液室３を収縮させる方向に第１振動板４Ａを変形させることにより、吐出口２からインクを吐出させることができる。また、後述する電極を通して第２圧電膜１０Ｂに電圧を印加して、第２振動板４Ｂを変形させることにより掘り込み部１を拡張、収縮させることができる。
【００２０】
圧電膜１０に電圧を印加するための電極として、第１下電極（第１共通電極）８、第２下電極（第２共通電極）９、および上電極（個別電極）７が形成されている。第１下電極８は、複数の個別液室３の上に位置する第１振動板４Ａ上に形成されていて、図４中において斜線を付して表すように、複数の個別液室３の長手方向（図４中の左右方向）に対して交差する方向（図４中の上下方向）に延在している。本例の場合、第１下電極８は、個別液室３の長手方向と直交する方向、つまり複数の個別液室３の並び方向に延在している。第２下電極９は、掘り込み部１の上に位置する第２振動板４Ｂ上に形成されていて、図４中において斜線を付して表すように、複数の個別液室３の長手方向（図４中の左右方向）に対して交差する方向（図４中の上下方向）に延在している。本例の場合、第２下電極９は、第１下電極８と同様に、個別液室３の長手方向と直交する方向に延在している。
【００２１】
圧電膜１０は、図５のように、第１および第２下電極８，９上において、個別液室３毎に個別に形成されている。それぞれの圧電膜１０において、第１圧電膜１０Ａは第１下電極８上に位置し、第２圧電膜１０Ｂは第２下電極９上に位置する。したがって第１下電極８は、複数の第１圧電膜１０Ａに対して共通に形成され、また第２下電極９は、複数の第２圧電膜１０Ｂに対して共通に形成されている。
【００２２】
上電極７は、図５中において斜線を付して表すように、圧電膜１０上において、個別液室３毎に個別に形成されている。上電極７は、圧電膜１０の長さ方向（図５中の左右方向）のほぼ全長に渡って長く形成されている。以下、第１圧電膜１０Ａ上に位置する上電極７の部分を第１上電極部７Ａ、また第２圧電膜１０Ｂ上に位置する上電極７の部分を第２上電極部７Ｂという。第１下電極８と第２下電極９は、後述するバイアス回路との接続端子に接続されており、また上電極７は、後述する駆動回路との接続端子に接続されている。
【００２３】
例えば、圧電膜の膜厚は３μm、電極８、９、および７の膜厚は０．３μm、第１および第２振動板４Ａ、４Ｂの厚さは３μmとすることができる。電極８、９、および７には、電力を供給するための電極配線が接続されている。その電極配線によって、例えば、図４のような電力供給回路を形成することができる。また本例においては、吐出口２は直径１０μmの丸穴とし、その吐出口２から吐出するインクとして、密度が１×１０3ｋｇ／ｍ3、粘度が４０ｃＰ、表面張力が４．０×１０-2Ｎ／ｍのインクを用いた。
【００２４】
本例における上電極７は、前述したように、個別液室３側の第１圧電膜１０Ａから、掘り込み部１側の第２圧電膜部１０Ｂに至るまで一体に形成されている。したがって、上電極７に電圧を印加した場合には、第１圧電膜１０Ａおよび第２圧電膜１０Ｂの上端（他端）はいずれも同電位となる。
【００２５】
このように構成された記録ヘッドにおける圧電膜１０に対しては、以下のような分極処理を行う。
【００２６】
まず、図６（ａ）のように、第１下電極８と第２下電極９を接地して基準電位の０Ｖとし、全ノズルに対応する全ての上電極７を４０Ｖに固定する。このようにして、個別液室３側の第１圧電膜部１０Ａに対して分極処理を施した。その第１圧電膜１０Ａの分極方向は、第１上電極部７Ａから第１下電極８に向かう矢印Ａ方向となる。次に、図６（ｂ）のように、第１下電極８と、全ノズルに対応する全ての上電極７と、を接地して基準電位の０Ｖとし、第２下電極９を４０Ｖに固定する。このようにして、掘り込み部１側の第２圧電膜１０Ｂの分極処理を施した。その第２圧電膜１０Ｂの分極方向は、第２下電極９から第２上電極部７Ｂに向かう矢印Ｂ方向となる。
【００２７】
このような分極処理の結果、図６（ｃ）のように、第１圧電膜１０Ａと第２圧電膜１０Ｂは、互いに逆方向に分極される。
【００２８】
このように圧電膜１０を分極処理した記録ヘッドの使用時には、図７のように、バイアス回路によって第２下電極９に４０Ｖのバイアス電圧を印加し、第１下電極８と第２下電極９との間に電位差を生じさせる。つまり、第１および第２圧電膜１０Ａ，１０Ｂの下端同士（一端同士）の間に所定の電位差を生じさせる。そして、インクを吐出する駆動ノズルの上電極７に、駆動回路によって図８中の駆動電圧Ｖｉｎを印加する。駆動ノズル以外の非駆動ノズルの上電極７に対しては全て基準電位の０Ｖとする。駆動電圧Ｖｉｎは第１圧電膜１０Ａの分極方向に印加されるため、その駆動電圧Ｖｉｎに応じて第１圧電膜１０Ａが厚み方向に伸長する。そして、その第１圧電膜１０Ａに伸長により第１振動板４Ａが個別液室３を収縮させるように変形され、その結果、駆動ノズルからインクが吐出される。
【００２９】
駆動ノズルからインクが吐出される際に、その駆動ノズルに隣接する非駆動ノズルにおけるインクのメニスカスの中央部分の変位をレーザー・トップラー方式によって測定した。その結果、図９中の曲線Ｌ１のように、隣接するノズルのメニスカスの変位量の幅が小さく抑えられることが分かった。
【００３０】
これは、駆動電圧Ｖｉｎの入力に伴って、第２圧電膜１０Ｂに効果的な歪が生じたからである。
【００３１】
すなわち、第２圧電膜１０Ｂ側の第２下電極９には、図７のようにバイアス電圧が掛けられているため、上電極７に駆動電圧Ｖｉｎを印加したときに、第２圧電膜１０Ｂに印加される電圧は図８中のＶａのように変化する。つまり、駆動電圧Ｖｉｎが印加されていないときには、第２圧電膜１０Ｂの分極方向に印加される所定のバイアス電圧によって、その第２圧電膜１０Ｂが厚み方向に伸長して、第２振動板４Ｂが掘り込み部１を収縮させる方向に変形されている。そして駆動電圧Ｖｉｎが印加されたとき、その駆動電圧Ｖｉｎは、第２圧電膜１０Ｂの分極方向と逆の方向に加えられる。そのため、その第２圧電膜１０Ｂは、厚み方向に伸長している状態から初期の状態に戻るように、厚み方向に収縮する。そのときに生じる第２振動板４Ｂの変形により、収縮されていた掘り込み部１は、初期の状態に戻るように拡張する。
【００３２】
このように、駆動電圧Ｖｉｎの入力に伴って掘り込み部１を拡張させることにより、インクの吐出時に駆動ノズルから共通液室１１内に流入するインクを吸収することができる。この結果、図９中の曲線Ｌ１のように、隣接するノズルのメニスカスの変位量の幅が小さく抑えて、クロストーク、つまりノズル間における圧力の相互作用を低減することができた。このようなクロストークの低減により、駆動ノズルに隣接するノズルからのインクの吐出タイミングによって、そのノズルから吐出されるインクの吐出量および吐出速度の変動を抑えることができる。
【００３３】
また、全てのノズルに対して共通する第２下電極９を通して、全ての第２圧電膜部１０Ｂに単一のバイアス電圧を加える簡単な構成によって、記録ヘッドの駆動回路を複雑にすることなく、オンデマンド駆動されるノズル間のクロストークを抑制することができる。
【００３４】
（比較例）
図１１から図１２は、上述した本発明の実施形態に対する比較例を説明するための図である。
【００３５】
この比較例においては、前述した図５との対比からも明らかなように、上電極７として、第１圧電膜１０Ａ上に位置する第１上電極部７Ａのみが形成されている。したがって、第２圧電膜部１０Ｂ上には、前述した本発明の実施形態における第２上電極部７Ｂは形成されていない。
【００３６】
このように構成された記録ヘッドにおける圧電膜１０に対しては、図１２のように分極処理を行った。すなわち、第１下電極８と第２下電極９を接地して基準電位の０Ｖとし、全ノズルに対応する全ての上電極７を４０Ｖに固定する。この分極処理により、第１圧電膜１０Ａは、上電極部７から第１下電極８に向かう矢印Ａ方向に分極される。
【００３７】
このように第１圧電膜１０Ａを分極処理した記録ヘッドの使用時には、図１３のように、第１下電極８および第２下電極９を接地して基準電位の０Ｖとする。そして、前述した本発明の実施形態と同様に、インクを吐出する駆動ノズルの上電極７に図８中の駆動電圧Ｖｉｎを入力する。駆動ノズル以外の非駆動ノズルの上電極７に対しては全て基準電位の０Ｖとする。駆動電圧Ｖｉｎは第１圧電膜１０Ａの分極方向に印加されるため、その駆動電圧Ｖｉｎに応じて第１圧電膜１０Ａが厚み方向に伸長する。そして、その第１圧電膜１０Ａに伸長により第１振動板４Ａが個別液室３を収縮させるように変形され、その結果、駆動ノズルからインクが吐出される。
【００３８】
駆動ノズルからインクが吐出される際に、前述した本発明の実施形態と同様に、その駆動ノズルに隣接する非駆動ノズルにおけるインクのメニスカスの中央部分の変位をレーザー・トップラー方式によって測定した。その結果、図９中の曲線Ｌ２のように、クロストークの影響によって隣接ノズルのメニスカスが大きく変位することが分かった。図９中の曲線Ｌ２の場合には、クロストークの影響により、駆動ノズルの駆動開始直後から７μs経過した後から、隣接ノズルのメニスカスの変位が発生し始めている。このように隣接ノズルのメニスカスが変位するため、その隣接ノズルがインクを吐出する吐出タイミングによって、その隣接ノズルのインク吐出開始時における初期状態が異なってしまう。この結果、駆動ノズルに隣接するノズルからのインクの吐出タイミングによって、そのノズルから吐出されるインクの吐出量および吐出速度が変動するおそれがある。
【００３９】
（他の実施形態）
前述した実施形態においては、掘り込み部によって、共通液室と個別液室とを連通する連通部位が形成されている。しかし、連通部位は掘り込み部の形態に特定されず、例えば、共通液室側に位置して、個別液室が連通される部位であってもよい。要は、共通液室と個別液室とを連通する部位であればよい。
【００４０】
また、掘り込み部側の第２圧電膜（第２圧電素子）は、それに対応する個別液室側の第１圧電膜（第１圧電素子）によって個別液室内の液体が加圧されたときに、圧電効果により掘り込み部を拡張可能であればよい。また、それらの圧電膜は、前述したように必ずしも振動板上に一体的に形成する必要はなく、別々に形成しいてもよい。また、それらの圧電膜は、前述したように必ずしも同一平面上に形成する必要はない。
【００４１】
また、第１および第２振動板は、前述したように必ずしも一体的に形成する必要はなく、別々に形成しいてもよい。また、それらの第１および第２振動板は、前述したように必ずしも同一平面上に形成する必要はない。第１振動板は、個別液室の少なくとも一部を形成するものであればよく、また第２振動板は、掘り込み部（連通部位）１の少なくとも一部を形成するものであればよい。
【００４２】
また本発明は、前述したように、第１および第２圧電膜における一端と他端との間の分極方向を互いに逆にすることにより、それらの電極の一部を共通化して、それらの圧電膜の配線および駆動回路の簡素化を図ることができる。したがって、前述したように複数の第１圧電膜のそれぞれに対応する数だけ第２圧電膜を備えるか否かに拘わらず、第１および第２圧電膜の電極の一部を共通化して、それらの圧電膜の配線および駆動回路の簡素化を図ることができる。つまり、このような作用効果は、第２圧電膜の配備数に拘わらず得ることができる。例えば、共通液室と個別液室との連通部位の少なくとも１つ第２圧電膜を備える構成、あるいは共通液室内に少なくとも１つの圧電膜を備える構成においても、このような作用効果を得ることができる。
【００４３】
また本発明は、種々の液体を吐出可能な液体吐出ヘッド、液体吐出装置、および液体吐出方法として広く適用することができ、例えば、インクジェット記録装置、パターニング装置、および塗装装置などに適用することができる。本発明をインクジェット記録装置の場合、それは、前述したようなシリアルスキャンタイプの記録装置のみならず、いわゆるフルラインタイプの記録装置であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の実施形態のインクジェット記録ヘッドにおける個別液室部分の縦断面図である。
【図２】図１の記録ヘッドの隔壁部分の縦断面図である。
【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う断面図である。
【図４】図１のＩＶ−ＩＶ線に沿う断面図である。
【図５】図１のＶ矢視図である。
【図６】（ａ），（ｂ），および（ｃ）は、図１の記録ヘッドにおける圧電膜の分極処理を説明するための模式図である。
【図７】図１の記録ヘッドの駆動方法を説明するための模式図である。
【図８】図１の記録ヘッドにおける圧電膜に加えられる電圧の説明図である。
【図９】図１の記録ヘッドにおけるインクのメニスカスの変位量の説明図である。
【図１０】本発明のインクジェット記録ヘッドを適用可能な記録装置の概略斜視図である。
【図１１】図１の記録ヘッドに対する比較例としての記録ヘッドの平面図である。
【図１２】図１１の記録ヘッドにおける圧電膜の分極処理を説明するための模式図である。
【図１３】図１１の記録ヘッドの駆動方法を説明するための模式図である。
【符号の説明】
【００４５】
２    吐出口
３    個別液室
４    振動板
４Ａ    第１振動板
４Ｂ    第２振動板
７    上電極（個別電極）
７Ａ    第１上電極部
７Ｂ    第２上電極部
８    第１下電極（第１共通電極）
９    第２下電極（第２共通電極）
１０    圧電膜（圧電素子）
１０Ａ    第１圧電膜（第１圧電素子）
１０Ｂ    第２圧電膜（第２圧電素子）
１１    共通液室
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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