(57)【要約】【課題】ガラス基板に反りを発生させずに浮上させ搬送させる浮上ユニットを得ることを課題とする。【解決手段】コンプレッサーでチャンバー３６の気密空間に空気を供給すると、天井壁に形成されたサークル溝部６６と格子溝部６８の溝底を貫通した通気孔７２，７４から空気が噴出する。天井壁には多孔質板７６が固定されているので、空気は溝部を伝いながら、多孔質板７６の下面に均等に行き渡り、多孔質板７６の空隙から噴出する。つまり、多孔質板７６の全面から空気が噴出して、多孔質板７６の全面がエアベアリング面となるため、ガラス基板Ｐに反りを発生させずに浮上させて、搬送することが可能となる。【選択図】図７
2008007319.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
気密空間を備えたチャンバーと、
前記チャンバーの天井壁に形成された溝部と、
前記溝部の溝底を貫通し前記気密空間と連通する通気孔と、
前記天井壁に固定された多孔質板と、
前記気密空間に気体を供給し前記通気孔を通じて前記多孔質板の空隙から気体を噴出させる気体供給手段と、
を有することを特徴とする浮上搬送ユニット。
【請求項２】
前記多孔質板に複数の貫通孔を形成し、前記チャンバーの気密空間を複数の部屋に区画して、所定の部屋の天井壁には、前記貫通孔と連通する吸気孔を形成すると共に、前記所定の部屋から気体を吸引することを特徴とする請求項１に記載の浮上搬送ユニット。
【請求項３】
前記溝部を同心円上に形成し、同心円の中心に前記吸気孔を配置し、前記溝部に前記通気孔を配置したことを特徴とする請求項２に記載の浮上搬送ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）、カラーフィルタ等のワークを浮上させ、非接触で搬送する浮上搬送ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＬＣＤやＰＤＰといったフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に用いられるガラス基板は、画面の大型化の要望に応じ、サイズが大型化する傾向にある。
【０００３】
従来のＦＰＤ製造工程では、ガラス基板をローラで搬送していたが、ガラス基板とローラとの間の摩擦、ガラス基板に与えるストレスの問題等により、ガラス基板を圧縮空気で浮上させて搬送することが考えられている。
【０００４】
しかし、特許文献１のような浮上ユニットは、図１２に示すように、浮上ブロック２００の天井壁２０２に形成したエア吹上げ孔２０４からエアを吹上げて、ガラス基板２０６を浮上させる方式を採用しているため、エア吹上げ孔２０４の間でガラス基板２０６に反りが発生する。
【特許文献１】特開２００４−３３１２６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は係る事実を考慮し、ガラス基板等のワークに反りを発生させずに浮上させて搬送できる浮上搬送ユニットを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載の発明は、気密空間を備えたチャンバーと、前記チャンバーの天井壁に形成された溝部と、前記溝部の溝底を貫通し前記気密空間と連通する通気孔と、前記天井壁に固定された多孔質板と、前記気密空間に気体を供給し前記通気孔を通じて前記多孔質板の空隙から気体を噴出させる気体供給手段と、を有することを特徴としている。
【０００７】
請求項１に記載の発明では、気体供給手段でチャンバーの気密空間に気体を供給すると、天井壁に形成された溝部の溝底を貫通した通気孔から気体が噴出する。天井壁には多孔質板が固定されているので、気体は溝部を伝いながら、多孔質板の下面に均等に行き渡り、多孔質板の空隙から噴出す。
【０００８】
つまり、多孔質板の全面から気体が噴出して、多孔質板の全面がエアベアリング面となるため、ワークに反りを発生させずに浮上させて、搬送することが可能となる。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、前記多孔質板に複数の貫通孔を形成し、前記チャンバーの気密空間を複数の部屋に区画して、所定の部屋の天井壁には、前記貫通孔と連通する吸気孔を形成すると共に、前記所定の部屋から気体を吸引することを特徴としている。
【００１０】
請求項２に記載の発明では、所定の部屋から気体を吸引することで、吸気孔を通じて貫通孔から気体が吸引される。従って、多孔質板の全面から噴出す気体によって浮上しているワークを部分的に吸引することで、ワークの浮上高さを安定させることができる。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、前記溝部を同心円上に形成し、同心円の中心に前記吸気孔を配置し、前記溝部に前記通気孔を配置したことを特徴としている。
【００１２】
請求項３に記載の発明では、ワークを浮上させる気体が多孔質板から円状に噴出し、その中心からワークの浮上高さを安定させる吸引力が生じる。このため、浮上力と吸引力のバランスがとれ、ワークに反りが生じにくい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明は上記構成としたので、ガラス基板等のワークに反りを与えずに浮上させて搬送できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
図１〜図３には、本実施形態に係る浮上搬送ユニットが組み込まれた露光装置１２が示されている。
【００１５】
この露光装置１２は、レール１４と横材１６で長枠状に構成された組付けフレーム１８を備えている。組付けフレーム１８は、ポスト２０で枠状のベースフレーム２２の上方に支持されている。ベースフレーム２２には、キャスタ２４とストッパ２６が取付けられており、露光装置１２が作業エリア内で移動設置可能となっている。
【００１６】
また、レール１４の間には梁材２８が架け渡されている。梁材２８の上には、第１コンプレッサー３２からチューブ３４を介して負圧と正圧の空気が供給されるエア供給ボックス３０が配置されている。このエア供給ボックス３０の上には、レール１４に沿って第１実施例に係る浮上搬送ユニット１０が３列セットされている。なお、コンプレッサーから供給するものは空気に限らず、窒素やアルゴン、ヘリウム等の不活性ガス、二酸化炭素等の気体でもよい。また、水等の液体でもよい。
【００１７】
浮上搬送ユニット１０のチャンバー３６の底板には、エア供給ボックス３０と接続され、負圧と正圧の空気が供給される３つの供給口（図示省略）が形成されている。
【００１８】
さらに、図１で示すレール１４の右方には、レール１４の間へ支持プレート３８が架け渡されている。この支持プレート３８には、第２実施例に係る浮上搬送ユニット４０がセットされている。支持プレート３８の下面には、エア供給ボックス４２が取付けられており、第２コンプレッサー４４からチューブ４６を介して負圧と正圧の空気が供給される。そして、浮上搬送ユニット４０のチャンバー４８の底板に形成された３つの供給口（図示省略）へ負圧と正圧の空気が供給される。
【００１９】
さらに、手前側のレール１４には、リニア式の搬送装置５０が搭載されている。この搬送装置５０には、バキューム式の吸盤５２を複数備えており、浮上したガラス基板Ｐの下面をチャックして、矢印方向に搬送する構成である。
【００２０】
浮上搬送ユニット１０の上方で浮上されたガラス基板Ｐは、搬送装置５０により浮上搬送ユニット４０方向へ浮上搬送される。浮上搬送されたガラス基板Ｐは、浮上搬送ユニット４０の上方で浮上状態が維持されたまま、図示しない露光手段により露光され、所定の回路パターンが形成される。
【００２１】
次に、第１実施形態に係る浮上搬送ユニット１０の具体的な構成を説明する。
【００２２】
図４〜図９に示すように、浮上搬送ユニット１０のチャンバー３６は、断面が長方形状の長い筒体であり、内側に設けられた２枚の隔壁５４で内部空間が、中央の略三角断面の吸引室５６、台形断面の噴出室５８，６０に区画されている。そして、チャンバー３６の端面に側板６２を接合することで、チャンバー３６の吸引室５６、噴出室５８，６０は気密空間となる。
【００２３】
図６に示すように、チャンバー３６の端面には、ねじ穴１５０が形成された台座部１５２が設けられている。また、側板６２には、取付穴１５４が形成されている。このねじ穴１５０と取付穴１５４は、チャンバー３６の端面に側板６２を重ねたときに、ねじ穴１５０と取付穴１５４が対向する位置関係で形成されている。そして、ねじ穴１５０と取付穴１５４が対向した状態で、取付穴１５４とねじ穴１５０にねじ１５６が挿通されることにより、チャンバー３６と側板６２が螺号される。
【００２４】
なお、チャンバー３６と側板６２との接合には、ねじ１５６による螺合の他、接着剤などの他の手段によって行うことも可能である。
【００２５】
しかし、チャンバー３６と側板６２とを接着剤によって接合することとした場合には、接着剤の硬化時間が必要となるため製造効率の向上を図ることができないこと、および接合後に分解することが困難となるためメンテナンスや部品交換を行い難くなることから、チャンバー３６と側板６２との接合を前記のようにねじ１５６によって行うことが好ましい。
【００２６】
吸引室５６には、前述した供給口から負圧の空気が供給され、噴出室５８，６０には、正圧の空気が供給される。
【００２７】
また、チャンバー３６の側面には、軽量化を図るため長溝６４が長手方向に沿って形成されている。
【００２８】
一方、チャンバー３６の天井壁には、４つの区画に分けられ、それぞれ同心円状のサークル溝部６６と、サークル溝部６６の両側に格子状の格子溝部６８が形成されている。なお、区画に分けてサークル溝部６６、格子溝部６８をそれぞれ形成したのは、天井壁に接合される多孔質板７６へ、均一に空気を供給することが可能となるためである。ただし、本発明では、サークル溝部６６と格子溝部６８が形成される区画の数が限定されるものではなく、１つの区画によってチャンバー３６を構成してもよい。
【００２９】
格子溝部６８の溝底には通気孔７４が貫通し、直線上に複数並んでいる。この通気孔７４は、噴出室５８と連通している。また、サークル溝部６６の中心には吸気孔７０が形成され、吸引室５６に連通している。そして、吸気孔７０の同心円上には、半径方向に並んで溝底に通気孔７２が形成されている。この通気孔７２は、噴出室６０に連通している。
【００３０】
このように溝部が形成されたチャンバー３６の天井壁には、板状に加工された多孔質板７６が接合される。この多孔質板７６は、例えば多孔質カーボン、焼結金属、多孔質セラミックス、多孔質樹脂などを使用することが出来るが、多孔質カーボンを使用すると、軽量化の向上、機械的強度の向上、製造費の低廉化、表面の平坦度向上を図れるとともに、ガラス基板Ｐと接触してしまった場合に、ガラス基板Ｐの損傷を少なくすることができる。
【００３１】
チャンバー３６と多孔質板７６とが接合された状態で、チャンバー３６に形成された吸気孔７０と、多孔質板７６に形成された吸引孔７８とが互いに対向して連通する。
【００３２】
接合方法としては、定盤の上へ多孔質板７６のエアベアリング面となる面を下にして置き、チャンバー３６の天井壁に接着剤を塗布し多孔質板７６に重ね合わせ、錘を載せて固定する方法が一例として挙げられる。なお、接着剤は、サークル溝部６６、格子溝部６８に食み出さないように塗布することが望ましい。
【００３３】
ここで、サークル溝部６６と格子溝部６８とを多孔質板７６の裏面に形成せずに、チャンバー３６の天井壁に形成したのは、多孔質板７６の裏面に溝部を形成する場合と比較して、チャンバーの天井部に溝部を形成した方が、精度良く、容易に溝部を形成することができるからである。
【００３４】
特に、ガラス基板Ｐの浮上量のばらつきを少なくして安定して浮上させるためには、多孔質板７６のベアリング面の平坦度を小さく（より平坦に）する必要があるが、多孔質板７６の裏面に溝部を形成すると、多孔質板７６のベアリング面の平坦度を小さくすることが困難になる。
【００３５】
これに対して、本発明では、多孔質板の裏面に溝部が形成されていないことから、多孔質板のベアリング面の平坦度を小さくすることが可能となるため、ガラス基板Ｐの浮上量にばらつきを少なくして安定して浮上させることができる。
【００３６】
ここで、多孔質板７６の空隙から空気が噴出して全面をエアベアリング面とするメカニズムについて簡単に説明する。
【００３７】
多孔質板７６には、互いに連通する複数の微細な空隙が形成されている。サークル溝部６６と格子溝部６８とから噴出された空気は、サークル溝部６６と格子溝部６８と多孔質板７６の下面とで形成された空気通路を伝わりながら多孔質板７６の空隙を通過し、多孔質板７６のベアリング面から外部へ向けて噴出する。このとき、微細な空隙は互いに連通していることから、空気通路の上方だけでなく、ベアリング面の全面から噴出する。
【００３８】
次に、第１実施形態に係る浮上搬送ユニット１０の作用を説明する。
【００３９】
第１コンプレッサー３２から、正圧の空気（例えば５０〜４００ｋＰａ）を噴出室５８，６０へ供給し、負圧の空気（例えば０〜-５０ｋＰａ）を吸引室５６へ供給（吸引室５６から空気を吸引）する。
【００４０】
噴出室５８，６０へ供給された空気は、通気孔７２，７４から噴出し、多孔質板７６の下面とサークル溝６６又は格子溝部６８とで形成された空気通路を伝って、多孔質板７６の下面に均等に行き渡り、多孔質板７６の空隙から噴出する。
【００４１】
つまり、多孔質板７６の全面から空気が噴出して、多孔質板７６の全面がエアベアリング面となるため、ガラス基板Ｐに反りを発生させずに浮上させて、多孔質板７６と非接触で搬送することが可能となる。この浮上したガラス基板Ｐを吸盤５２がチャックして矢印方向に搬送装置５０が搬送する。
【００４２】
また、吸引室５６に供給された負圧の空気は吸気孔７０を介して多孔質板７６に形成された吸引孔７８にガラス基板Ｐを吸引する力を発生させる。この吸気孔７０によって発生した吸引力は、多孔質板７６から噴出した空気によって浮上したガラス基板Ｐの浮上量を規制するものである。従って、この吸引力を制御することによって、ガラス基板Ｐの浮上量を制御することが可能となる。
【００４３】
吸気孔７０の上方周囲では、吸気孔７０によって発生した吸引力によって浮上されたガラス基板Ｐが下方向（多孔質板７６方向）に撓む。
【００４４】
しかし、吸気孔７０に周囲には同心円状にサークル溝部６６が形成され、このサークル溝部６６から多孔質板７６へ正圧の空気が噴出するため、ガラス基板Ｐに生じた下方向への撓みは上方向（多孔質板７６と反対方向）へ押圧される。
【００４５】
従って、ガラス基板Ｐを平坦な状態で搬送することが可能となる。特に、ガラス基板Ｐのサイズが大型化すると、ガラス基板Ｐを撓みなく平坦に搬送することが困難となるが、本発明によれば、大型化したガラス基板Ｐであっても撓みを生じさせることなく搬送することが可能となる。
【００４６】
通気孔７２から噴出する空気の圧力Ｐ１は通気孔７４から噴出する空気の圧力Ｐ２よりも大きいこと（Ｐ１＞Ｐ２）が好ましく、Ｐ１をＰ２の２倍（Ｐ１＝２Ｐ２）とすることが、さらに好ましい。
【００４７】
Ｐ１とＰ２との関係をこのように構成すると、ガラス基板Ｐへの撓み発生を効果的に抑制することができるとともに、ガラス基板Ｐを安定して浮上させることが可能となる。
【００４８】
また、この吸気孔７０及び吸引孔７８は、ガラス基板Ｐを浮上させる円状の噴出空気の中心に位置しているため、浮上力と吸引力のバランスを取り易く、ガラス基板Ｐの浮上高さを規制し易くすることができる。
【００４９】
次に、第２実施形態に係る浮上搬送ユニット４０を説明する。
【００５０】
浮上搬送ユニット４０の基本構成は、第１実施形態の浮上搬送ユニット１０と同一であるので、図１０及び図１１に示すチャンバー８０の溝部の構成と、多孔質板８２の形状について説明する。
【００５１】
チャンバー８０の天井壁には、長手方向に４本の縦溝部９７と幅方向に複数の横溝部１０２が形成されており、縦溝部９７と横溝部１０２で複数の離島８６が所定の間隔で形成されている。横溝部１０２の溝底には通気孔９２が形成されている。この通気孔９２は、図示しない噴出室に連通している。また、離島８６には、吸引室と連通する吸気孔９０が形成されている。
【００５２】
一方、多孔質板８２の表面には、チャンバー８０の天井壁と重ね合わせたとき、吸気孔９０と対応する位置に吸気孔９６が形成されている。また、多孔質板８２の両側には、貫通孔１０１が形成されており、チャンバー８０に形成された取付孔９４へビスを挿入して、多孔質板８２をチャンバー８０に固定できるようになっている。
【００５３】
以上の構成の浮上搬送ユニット４０では、多孔質板８２の表面に貫通孔１０１を形成することでビス止めが可能となる。また、多孔質板８２に溝加工しないので、多孔質板８２の平坦度が維持できる。さらに、吸気孔を等間隔に配置することで、ガラス基板Ｐの浮上量をバランスよく規制することができる。
【００５４】
なお、図１〜図９に示す実施形態では、浮上搬送ユニット１０がチャンバー３６の天井壁に４枚の多孔質板７６が接合されて構成されている。また、図１０及び図１１に示す実施形態では、浮上搬送ユニット４０が、チャンバー８０の天井壁に１枚の多孔質板８２が接合されている。しかし、本発明は、多孔質板の数が限定されるものではない。
【００５５】
また、図１〜図１１に示す実施形態では、本発明の浮上搬送ユニット１０、４０が露光装置に組み込まれたものであるが、本発明はこれに限定されるものではなく、露光装置以外に、ガラス基板を搬送するための装置に使用できるものである。
【００５６】
さらに、図１〜図１１に示す実施形態では、浮上搬送ユニット１０、４０により搬送される被搬送体としてガラス基板を例にして説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、樹脂板や金属板等、ガラス基板以外の被搬送体を搬送するものであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】第１実施形態に係る浮上搬送ユニットと第２実施形態に係る浮上搬送ユニットが組付けられた露光装置を示す斜視図である。
【図２】第１実施形態に係る浮上搬送ユニットと第２実施形態に係る浮上搬送ユニットが組付けられた露光装置を示す側面図である。
【図３】第１実施形態に係る浮上搬送ユニットと第２実施形態に係る浮上搬送ユニットが組付けられた露光装置を示す平面図である。
【図４】第１実施形態に係る浮上搬送ユニットの斜視図である。
【図５】第１実施形態に係る浮上搬送ユニットの分解斜視図である。
【図６】第１実施形態に係る浮上搬送ユニットの側板の取付構造を示す斜視図である。
【図７】第１実施形態に係る浮上搬送ユニットの拡大平面図である。
【図８】第１実施形態に係る浮上搬送ユニットの側断面図である。
【図９】第１実施形態に係る浮上搬送ユニットの側断面図である。
【図１０】第２実施形態に係る浮上搬送ユニットのチャンバーの平面図である。
【図１１】第２実施形態に係る浮上搬送ユニットの多孔質板の平面図である。
【図１２】従来の浮上搬送ユニットを示す斜視図である。
【符号の説明】
【００５８】
３２  第１コンプレッサー（空気供給手段）
３６  チャンバー
６６  サークル溝部（溝部）
６８  格子溝部（溝部）
７０  吸気孔
７２  通気孔
７４  通気孔
７６  多孔質板
【図１】
2008007319.tif 000003
【図２】
2008007319.tif 000004
【図３】
2008007319.tif 000005
【図４】
2008007319.tif 000006
【図５】
2008007319.tif 000007
【図６】
2008007319.tif 000008
【図７】
2008007319.tif 000009
【図８】
2008007319.tif 000010
【図９】
2008007319.tif 000011
【図１０】
2008007319.tif 000012
【図１１】
2008007319.tif 000013
【図１２】
2008007319.tif 000014