(57)【要約】 【課題】  フイルム付シートのシートに損傷や変形を加えることなくフイルムを確実に剥離してフイルムを回収できるようにしたフイルム剥離方法を提供する。【解決手段】  フイルム付シート２の上方に粘着部を下側にした粘着テープ４を位置させ、粘着テープ４の中間部を押下げてシート２の剥離始端側隅角部上に接着させ、剥離始端側の粘着テープ４を剥離終端側方向へ第１剥離移動させてフイルム３の隅角部を剥がして折り返した後、粘着テープ４を同方向へ第２剥離移動させてフイルム３の全面を剥がし、フイルム３をフイルム保持手段１８によって保持させた状態で粘着テープ４を移動させて粘着テープ４とフイルム３の接着を剥がした後、フイルム３の保持を解除してフイルム回収箱１６内に回収する。【選択図】  図１
2008007309.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
載置台上に保持したフィルム付シートの上側のフイルムを粘着テープを用いてシートから剥離するようにしたフイルム剥離方法において、フイルム付シートの上方に剥離始端側隅角部側から剥離終端側隅角部側へ延びる粘着テープを粘着部を下側にして位置させ、その粘着テープの一部を押下げてフイルム付シートの剥離始端側隅角部上に接着させ、その接着部より剥離始端側の粘着テープをフイルム付シートに対して相対的に剥離終端側方向へ第１剥離移動させてフイルムの隅角部をシートから剥がして折り返し、その後、粘着テープをフイルム付シートに対して相対的に剥離終端側方向へ第２剥離移動させてフイルムの全面をシートから剥がすようにしたフイルム剥離方法。
【請求項２】
粘着テープの移動によりシートから剥がされたフイルムをフイルム保持手段によって保持させ、その保持状態で接着部より剥離終端側の粘着テープを第２剥離移動と同方向へ移動させて粘着テープとフイルムとの接着を剥がすようにした請求項１記載のフイルム剥離方法。
【請求項３】
粘着テープの移動によりシートから剥がされたフイルムをフイルム保持手段によって保持させ、その保持状態でフイルム保持手段を剥離始端側方向または下方へ移動させて粘着テープとフイルムとの接着を剥がすようにした請求項１記載のフイルム剥離方法。
【請求項４】
フイルムと粘着テープとの接着を剥がした後、フイルム保持手段によるフイルムの保持を解除してフイルムをフイルム回収箱内に回収するようにした請求項２または３記載のフイルム剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、積層チップコンデンサー等の積層電子部品を製造するセラミックグリーンシート等のフイルム付シートからフイルムを剥離するフイルム剥離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のこの種のフイルム剥離方法は、特許文献１〜４に記載のものが提案されている。
特許文献１には、グリーンセラミックス基板を保持する保持台の上方位置に水平方向に移動できる台車を設け、その台車にフイルムの耳を剥離する粘着ローラを備えたアームと、粘着ローラにより剥離されたフイルムの耳を開閉爪で把持して斜め上方へ引き上げる引上げ機構とを設け、粘着ローラをフイルム付基板の端部に接触させた状態で台車を移動させ、粘着ローラが回転することで基板端部のフイルムの耳を剥離し、そのフイルムの耳を引上げ機構の開閉爪で把持して引上げると共に台車を移動させてフイルムを剥離し、開閉爪がフイルムの把持を開放するようにしたフイルム剥離方法が記載されている。
特許文献２には、ドラムを回転させる回転駆動機構と、ドラムを周速と等速度で径方向に移動させるリニア駆動機構と、ドラムを上下させる上下動機構とを備え、ドラムの円周面の一部に設けた平坦な吸着面をセラミックグリーンシートの端縁部に当ててその端縁部を吸着し、その状態でドラムを他方の端縁部に向かって移動させると共に転がり回転させ、キャリアフイルムをドラムの周面で押えた状態でそのキャリアフイルムを剥離し、吸着面での吸着を解除してキャリアフイルムを廃棄するようにしたキャリアフイルム剥離方法が記載されている。
【０００３】
特許文献３には、フイルム付シート体を固定支持する支持手段と、粘着部を有し、シート体のフイルム端部に接着した状態で振動しながら回転してフイルムを巻き取る剥しローラと、剥しローラをシート体に沿って移動させる走査スライダと、剥しローラを上下動させる上下スライダと、剥しローラからフイルムを回収する回収ローラを備え、シート体端部のフイルムに接着させた剥しローラを回転させてフイルムを巻き取り、剥しローラを逆転させてフイルムを巻戻して回収ローラに挟持させ、回収ローラの回転によってフイルムを剥しローラの粘着部から剥離して回収するようにしたフイルム剥離方法が記載されている。
特許文献４には、シートを固定するための保持部材と、粘着性の外周面を有してキャリアフイルムの一部をセラミックグリーンシートから剥離する剥がし代形成用粘着ロールと、粘着性の外周面を有してキャリアフイルムをセラミックグリーンシートから除去するための除去用粘着ロールから成るロール部と、ロール部のシートに対する相対的な位置を調整する位置調整機構とを備え、キャリアフイルムに押し当てた粘着ロールを転動させることでキャリアフイルムの一部を巻取って剥離する部分剥離工程と、粘着ロールを転動の逆向きに回転させてキャリアフイルムから離す工程とを含む剥がし代形成工程と、剥がし代の領域のうち端部を避けた位置に粘着ロールを押し当てて回転させてキャリアフイルムを引き剥がすキャリアフイルム除去工程と、セパレータにより粘着ロールの外周面からキャリアフイルムを剥ぎ取って回収筒に回収する工程を行うキャリアフイルム剥離方法が記載されている。
【０００４】
【特許文献１】特開平５−１６２２０号公報
【特許文献２】特開平６−２５５８８０号公報
【特許文献３】特開平９−２６７４２３号公報
【特許文献４】特開平２００４−１７６２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載のものでは、粘着ローラをグリーンセラミックス基板の端部に接触させた状態で台車を移動させることで粘着ローラを回転させてフイルムの耳を剥離しようとしているので、基板の粘着ローラ接着部に台車移動方向の力が作用して基板を損傷させたり変形させる問題がある上に、フイルムの耳を開閉爪で把持して引上げるので、装置の構造が複雑になったり誤作動を起こし易く、しかも、粘着ローラの粘着力の低下により誤作動を起こし易い問題がある。
特許文献２に記載のものでは、ドラムの吸着面でセラミックグリーンシートの端縁部を吸着した状態でドラムを他方の端縁部に向かって移動させると共に転がり回転させてキャリアフイルムを剥離するようにしているので、ドラムの移動と回転によってセラミックグリーンシートを損傷させ易い問題がある上に、ドラムの移動と回転を同期させるための装置が複雑になってコスト高になり、しかも、吸着面の当接具合で誤作動を生じ易い問題がある。
【０００６】
特許文献３に記載のものでは、特許文献２と同様に、フイルム付シート体の端部に接着させた剥しローラを回転させると共にシート体に沿って移動させてフイルムを巻き取るようにしているので、剥しローラの回転と移動によってシート体を損傷させ易い問題がある上に、剥しローラの移動と回転を同期させるための装置が複雑になってコスト高になり、しかも、剥しローラの粘着力の低下により誤作動を起こし易い問題がある。
特許文献４に記載のものでは、キャリアフイルムに押し当てた粘着ロールをセラミックグリーンシートの移動により転動させることでキャリアフイルムを巻取って剥離するようにしているので、特許文献１と同様に、セラミックグリーンシートの粘着ロール接着部にシート移動方向の力が作用してシートを損傷させたり変形させる問題があり、また、剥がし代形成用粘着ロールと除去用粘着ロールとでキャリアフイルムを剥離するようにしているので、工程が複雑になって処理時間が長くなったり機構が複雑になる問題があり、しかも、セパレータによって粘着ロールの外周面からキャリアフイルムを剥ぎ取るようにしているので、粘着ロールからのキャリアフイルムの剥ぎ取りが不安定で誤作動を起こし易く、また、粘着ロールの粘着力の低下により誤作動を起こし易い問題がある。
【０００７】
そこで、本発明は、前記各特許文献の課題に鑑み、フイルム付シートのシートに損傷や変形を加えることなくフイルムを確実に接着してシートの剥離始端側隅角部から剥離終端側隅角部へ円滑に剥離できるようにした簡易な構成のフイルム剥離装置を提供することを課題とする。また、本発明は、シートから剥離したフイルムのみを確実に回収できるようにしたフイルム剥離方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本願の請求項１の発明は、前記課題を達成するため、載置台上に保持したフィルム付シートの上側のフイルムを粘着テープを用いてシートから剥離するようにしたフイルム剥離方法において、フイルム付シートの上方に剥離始端側隅角部側から剥離終端側隅角部側へ延びる粘着テープを粘着部を下側にして位置させ、その粘着テープの一部を押下げてフイルム付シートの剥離始端側隅角部上に接着させ、その接着部より剥離始端側の粘着テープをフイルム付シートに対して相対的に剥離終端側方向へ第１剥離移動させてフイルムの隅角部をシートから剥がして折り返し、その後、粘着テープをフイルム付シートに対して相対的に剥離終端側方向へ第２剥離移動させてフイルムの全面をシートから剥がすようにしたフイルム剥離方法を特徴とする。
また、請求項２の発明は、粘着テープの移動によりシートから剥がされたフイルムをフイルム保持手段によって保持させ、その保持状態で接着部より剥離終端側の粘着テープを第２剥離移動と同方向へ移動させて粘着テープとフイルムとの接着を剥がすようにしたフイルム剥離方法を特徴とする。
【０００９】
また、請求項３の発明は、粘着テープの移動によりシートから剥がされたフイルムをフイルム保持手段によって保持させ、その保持状態でフイルム保持手段を剥離始端側方向または下方へ移動させて粘着テープとフイルムとの接着を剥がすようにしたフイルム剥離方法を特徴とする。
また、請求項４の発明は、フイルムと粘着テープとの接着を剥がした後、フイルム保持手段によるフイルムの保持を解除してフイルムをフイルム回収箱内に回収するようにしたフイルム剥離方法を特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本願の請求項１の発明は、フイルム付シートの上方に剥離始端側隅角部側から剥離終端側隅角部側へ延びる粘着テープを粘着部を下側にして位置させ、その粘着テープの一部を押下げてフイルム付シートの剥離始端側隅角部上に接着させ、その接着部より剥離始端側の粘着テープをフイルム付シートに対して相対的に剥離終端側方向へ第１剥離移動させてフイルムの隅角部をシートから剥がして折り返し、その後、粘着テープをフイルム付シートに対して相対的に剥離終端側方向へ第２剥離移動させてフイルムの全面をシートから剥がすようにしたので、粘着テープがフイルム付シートに無理な力を加えることなくフイルムを確実に剥離でき、シートの品質を高く維持できる。また、粘着テープの一部をフイルム付シートの剥離始端側隅角部上に接着した状態で粘着テープを移動させてフイルムを折り返すようにしたので、フイルム剥離の接着部として粘着テープを有効に利用でき、粘着テープの粘着力を長時間に亘って維持でき、フイルム剥離ミスを防止できる。また、粘着テープの一部を押下げてフイルム付シートの剥離始端側隅角部上に接着し、粘着テープの移動によってフイルム付シートのフイルムを折り返して剥離するようにしたので、フイルム剥離の装置を簡易な構成にでき、安価に提供できる。
【００１１】
本願の請求項２の発明は、粘着テープの移動によりシートから剥がされたフイルムをフイルム保持手段によって保持させ、その保持状態で接着部より剥離終端側の粘着テープを第２剥離移動と同方向へ移動させて粘着テープとフイルムとの接着を剥がすようにしたので、粘着テープとフイルムの接着を容易に剥離することができ、剥離したフイルムのみ（粘着テープが付着していない）を回収できてフイルムの後処理を容易にできる。
本願の請求項３の発明は、粘着テープの移動によりシートから剥がされたフイルムをフイルム保持手段によって保持させ、その保持状態でフイルム保持手段を剥離始端側方向または下方へ移動させて粘着テープとフイルムとの接着を剥がすようにしたので、請求項３の発明と同様に、粘着テープとフイルムの接着を容易に剥離することができ、剥離したフイルムのみ（粘着テープが付着していない）を回収できてフイルムの後処理を容易にできる。
【００１２】
本願の請求項４の発明は、フイルムと粘着テープとの接着を剥がした後、フイルム保持手段によるフイルムの保持を解除してフイルムをフイルム回収箱内に回収するようにしたので、粘着テープとフイルムの接着を確実に剥離することができると共に剥離したフイルムのみをフイルム回収容器に容易に回収できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
次に、本発明の最良の実施形態について、図に基づいて詳細に説明する。
図１は、フイルム付シートであるセラミックグリーンシート２（シート２とも記す）の上側のフイルム３を粘着面が下側になっている粘着部が片面の粘着テープ４を用いてシート２から剥離するようにしてあるフイルム剥離装置１の正面図、図２は、図１のフイルム剥離装置１の平面図、図３は、図１のフイルム剥離装置１の作動状態を示す正面図である。
フイルム剥離装置１は、床に設置されているフレーム６と、フレーム６上に設置されている載置台８と、フレーム６上に設置されている支持体１０によって載置台上のフイルム３付のシート２（フイルム付シート２と記す）の剥離始端側隅角部２ａ上方からフイルム付シート２の相対向する剥離終端側隅角部２ｂ上方の方向へほぼ水平に支持されている移動手段１２と、移動手段１２によって載置台上のフイルム付シート２の剥離始端側隅角部２ａに対応する接着ステーションＡとフイルム付シート２の相対向する剥離終端側隅角部２ｂに対応する剥離回収ステーションＢとに往復移動可能にしてある剥離ヘッド１４を備えている。また、フイルム剥離装置１は、剥離ヘッド１４の剥離回収ステーションＢ付近のフレーム６上に載置されて剥離後のフイルムを収容可能なフイルム回収容器１６と、剥離ヘッド１４の剥離回収ステーションＢへの移動によってシート２から剥がされたフイルム３を保持可能なフイルム保持手段１８と、そのフイルム保持手段１８をフイルム回収容器１６の上方へ移動可能な移動手段２０とを備えている。
【００１４】
載置台８は、フレーム６上に固着されている支持台８ａと、支持台８ａ上に固着されてフイルム３付シート２を水平に支持すると共に吸着保持可能なシート保持板８ｂと、図示しない空気吸引装置を備え、シート保持板８ｂの上面の全面にまたは剥離始端側隅角部２ａに対応する部分を含む適当な部分に小さな多数の吸引孔が形成されている。なお、シート保持板８ｂは、全体を多孔質材料で構成してシート２を載置する面の全面でシート２を吸着保持するようにしても良い。また、図では、載置台８がフレーム６上に固定的に設置されている例を示しているが、載置台８またはシート保持板８ｂが図示しない搬送手段によって搬送されてきて位置決め停止され、その停止位置でシート剥離された後、再び搬送手段によって図示しないシート処理ステーションに搬送されるようにしても良い。
移動手段１２は、モータ駆動の長いアクチュエータ１３によって構成されている。アクチュエータ１３は、長いアクチュエータ本体１３ａと、アクチュエータ本体１３ａ内に回転自在に支承されているねじ軸１３ｂと、アクチュエータ本体１３ａの端部に固着されてねじ軸１３ｂを回転駆動するサーボモータ１３ｃと、アクチュエータ本体１３ａに固着された図示しない案内レールに案内されてねじ軸１３ｂの回転によって長手方向へ移動されるスライダ１３ｄを備えている。なお、移動手段１２は、モータによって移動されるベルトによってスライダ１３ｄを移動させるように構成した他の手段でも良い。
【００１５】
剥離ヘッド１４は、図４〜６に示すように、移動手段１２のスライダ１３ｄに固着されて接着ステーションＡと剥離回収ステーションＢとに往復移動可能なヘッド本体２２と，ヘッド本体２２に固着されたエアシリンダ２３によってヘッド本体２２に対してヘッド本体２２の移動方向と同方向へ所定量往復移動可能な移動体２４を備えている。エアシリンダ２３は、ヘッド本体２２に軸線がヘッド本体２２の移動方向へ向くように固着されているシリンダ本体２３ａと、シリンダ本体２３ａに設けた案内レール２３ｂに案内されて図示しないピストンロッドによってヘッド本体２２の移動方向へ移動可能な摺動体２３ｃを備え、その摺動体２３ｃに移動体２４が固着されている。シリンダ本体２３ａには、摺動体２３ｃに設けられた当接片２７を受け止めるストッパ２６ａと摺動体２３ｃの端面を受け止めるストッパ２６ｂが装着され、摺動体２３ｃに設けた移動体２４を図４に示す初期剥離開始位置と図８に示す初期剥離終了位置とに移動させて保持するようになっている。
【００１６】
移動体２４には、粘着部が下側の片面粘着テープ４の一端側に繋がる粘着テープ巻付体２９を回転可能に支持するテープ支持装置３０と、粘着テープ４の中間部を案内するガイドローラ３１と、粘着テープ巻付体２９を巻戻し回転を阻止する為の回転阻止装置３２と、粘着テープ４の一部を押下げてフイルム付シート２の剥離始端側隅角部２ａ上のフイルム３に接着可能な押圧手段３３と、移動体２４が剥離終端側へ移動する際に粘着テープ４をガイドローラ３１の下端部近くに保持可能なテープ保持片３４とが装着されている。また、ヘッド本体２２には、粘着テープ４の他端側に繋がる粘着テープ巻取体３５を巻取り回転可能な巻取り装置３６と、粘着テープ４の中間部を案内するガイドローラ３７と、粘着テープ４の中間部の押圧手段３３による押下げ位置より剥離終端側部分が下側へ弛むのを防止する弛み防止手段３８が装着されている。弛み防止手段３８は、粘着テープ４の中間部が弛んで粘着テープ４のフイルム４に接着するのを防止するためのもので、粘着テープ４のフイルム４への接着の恐れがないときは省略しても良い。ガイドローラ３１とガイドローラ３７は、載置台８のシート保持板８ｂの上方に僅かな間隔をあけてほぼ同じ高さに配置され、ガイドローラ３１とガイドローラ３７間の粘着テープ４をシート保持板８ｂの上方でほぼ水平に支持するようになっている。ガイドローラ３１は回転自在でも固定的でも何れでも良い。
【００１７】
テープ支持装置３０は、図５に示すように、移動体２４に一端部が枢軸４０により揺動自在に枢着されている揺動アーム４１と、その揺動アーム４１の他端部に図示しない支軸を介して回転自在に支承されている回転体４２を備えている。回転体４２には、粘着テープ巻付体２９の側面を受け止める側板４２aと粘着テープ巻付体２９の中心孔を着脱自在に嵌着可能な嵌合体４２ｂが回転中心と同芯になるように設けられ、嵌合体４２ｂに粘着テープ４の一端側に繋がる粘着テープ巻付体２９が嵌着され、その粘着テープ巻付体２９がガイドローラ３１に自重で当接されている。回転阻止装置３２は、粘着テープ巻付体２９をガイドローラ３１に押付け可能なエアシリンダ４４によって構成され、エアシリンダ４４のシリンダ本体４４aが移動体２４に固着された支持プレート４５に固着され、エアシリンダ４４のピストンロッド４４bに弾性部材から成る押当具４４cが固着されている。
押圧手段３３は、粘着テープ４の一部を押下げ可能なエアシリンダ４６によって構成され、エアシリンダ４６のシリンダ本体４６aが移動体２４に固着された支持プレート４４に固着され、エアシリンダ４６のピストンロッド４６bに弾性部材から成る押圧具４６cがフイルム付シート２の剥離始端側隅角部２ａに対向するように固着されている。ピストンロッド４６bは移動体２４に固着された案内具４７によって摺動自在に案内されている。
【００１８】
巻取り装置３６は、図６に示すように、ヘッド本体２２に固着されている支承体５０の支軸５０aに回転自在に支承されている回転体５１と、回転体５１を巻取り方向へ所定量ずつ間欠回転可能な回転駆動装置５３を備えている。回転体５１には、ラチェット歯車５１ａと、粘着テープ巻取体３５の側面を受け止める一対の側板５１ｂ、５１cと、粘着テープ巻取体３５の中心孔を着脱自在に嵌着可能な嵌合体５１dが回転中心と同芯になるように設けられている。回転体５１の自由端側の側板５１cは、嵌合体５１dに取付ねじ５５によって着脱可能に取着され、側板５１cを取外した状態で粘着テープ巻取体３５の中心孔を嵌合体５１dに着脱できるようになっている。ラチェット歯車５１aは、ヘッド本体２２に枢着されて自重によって垂下している逆止爪５８に係合され、巻取り方向と逆方向への回転を阻止し、巻取り方向への回転を許すようになっている。回転駆動装置５３は、ラチェット歯車５１aに係合する可動逆止爪６０を所定量往復移動可能なエアシリンダ６２によって構成され、エアシリンダ６２のシリンダ本体６２aがヘッド本体２２に固着されている取付板６３に固着され、エアシリンダ６２のピストンロッド６２bに可動逆止爪６０が枢着されている。可動逆止爪６０は、自重によってラチェット歯車５１aに当接し、往復移動されることでラチェット歯車５１aを爪ピッチ分回動させて回転体５１を巻取り方向へ所定量回転させるようになっている。回転体５１が巻取り方向へ所定量回転すると、嵌合体５１dに嵌着された粘着テープ巻取体３５が粘着テープ４を所定長さ分巻取ると共に、テープ支持装置３０の粘着テープ巻付体２９を巻戻し回転させて粘着テープ４を引き出し、その結果、押圧手段３３によって押下げる粘着テープ４の中間部の接着部が新しい部分に変更されるようになっている。
【００１９】
弛み防止手段３８は、ヘッド本体２２に固着されている枢軸６６に回動自在に装着されて図示しない付勢ばねまたはウエイトによって図４において時計回り方向へ付勢されている引張りレバー７０によって構成され、引張りレバー７０の先端部が押圧手段３３による押下げ位置より剥離終端側部分の粘着テープ４を引っ掛けて側方へ引っ張り移動させるようになっている。なお、弛み防止手段３８は、エアシリンダ等の弱いエア圧によって移動する移動部材によって粘着テープ４を引っ張り移動させるように構成しても良い。
【００２０】
フイルム保持手段１８は、図１〜３に示すように、フレーム６上に設置されている支柱７３に固着された取付板７４に回転シリンダ７５が装着され、回転シリンダ７５の回転軸７５aに固着された支持体７６に吸引管７７が固着され、その吸引管７７の先端部に吸引パッド７８が装着され、吸引管７７に吸引力を作用させて吸引パッド７８で吸着するように構成されている。吸引パッド７８は、剥離ヘッド１４の剥離回収ステーションＢの下方で接着ステーションＡの方向に向けられた位置に移動可能になっており、剥離ヘッド１４の剥離回収ステーションＢへの移動によってシート２から剥がされて垂れ下がるフイルム３の前面に対向させてフイルム３を確実に吸着保持できるようになっている。また、フイルム保持手段１８は、次に示すフイルム回収容器１６の上方の保持開放位置Ｄに移動可能になっており、この保持開放位置Ｄで吸引パッド７８からの空気吸引を停止、または、空気吐出してフイルム３の吸着保持を開放できるようになっている。フイルム保持手段１８の吸引パッド７８を移動させる移動手段２０は、前記取付板７４に装着された回転シリンダ７５によって構成され、回転シリンダ７５の回転軸７５aを回転させることで吸引管７６を介して吸引パッド７８を図２に実線で示す吸着保持位置Ｃとフイルム回収容器１６の上方の仮想線で示す保持開放位置Ｄに移動させるようになっている。
【００２１】
移動手段１２のアクチュエータ本体１３ａの端部には、取付部材８０が固着され、その取付部材８０に図８に示すようにシート２のフイルム３の隅角部３aがシート２から剥がれて折り返されたことを検出可能な検出器８４が取着されている。検出器８２は、例えば押圧手段３３による押下げ位置より剥離始端側の粘着テープ４を剥離終端側方向へ所定量移動させた時点におけるフイルム３迄の距離を光学的または電波的に測定することでシート２の隅角部２aの剥離を検出できるようになっている。
【００２２】
次に、前記装置１の作動について説明すると共に前記装置を用いたフイルム剥離方法について説明する。
前記装置１を作動させてフイルム付シート２のフイルム３を剥離する場合、先ず、載置台８のシート保持板８ｂ上にフイルム付シート２を載せて吸着保持させる。剥離ヘッド１４においては、エアシリンダ２３を作動させて摺動体２３ｃを図４に示す剥離始端側の移動端に移動させ、移動体２４を初期剥離開始位置に停止保持させる。また、押圧手段３３のエアシリンダ４６を作動させて押圧具４６cを図４に示すように上昇位置に保持させると共に、回転阻止装置３２のエアシリンダ４４を作動させて押当具４４cを上昇位置に保持させ、この状態で、揺動アーム４１を上側へ揺動させて嵌合体４２ｂに片面粘着テープ４を巻付けて成る例えば市販のセロテープ（登録商標）等の粘着テープ巻付体２９をガイドローラ３１に案内させる片面粘着テープ４の下側が粘着部になるように嵌着させる。また、粘着テープ巻付体２９の粘着テープ４を巻戻して引き出し、ガイドローラ３１とガイドローラ３７の下側に案内させ、その粘着テープ４の先端部を巻取り装置３６の嵌合体５１dに嵌着されている粘着テープ巻取体３５に接着させ、ガイドローラ３１とガイドローラ３７間に粘着面が下側となっている粘着テープ４をほぼ水平に配置する。この場合、弛み防止手段３８の引張りレバー７０が粘着テープ４を引っ掛けて側方へ引っ張り移動させ、ガイドローラ３１とガイドローラ３７間の粘着テープ４が弛まないようにする。なお、粘着テープ４の弛み量が大きいときは、巻取り装置３６の回転体５１を巻取り方向へ回転させて粘着テープ４を巻取ったり、テープ支持装置３０の回転体４２を巻取り方向へ回転させて粘着テープ４を巻取ることで粘着テープ４の弛みを無くする。
なお、巻取り装置３６の嵌合体５１dに粘着テープ巻取体３５を着脱する場合は、取付ねじ５５を操作して側板５１cを取外し、その状態で粘着テープ巻取体３５の中心孔を嵌合体５１dに着脱する。
【００２３】
一方、剥離ヘッド１４を図１、２に示す接着ステーションＡに移動させる。この状態では、図２、４に示すように、ガイドローラ３１とガイドローラ３７間の粘着テープ４がシート保持板８ｂ上に吸着保持されているシート２の上方において剥離始端側隅角部２ａ側から剥離終端側隅角部２ｂ側へ延びるように位置され、また、押圧手段３３の押圧具４６cがシート２の剥離始端側隅角部２ａの上方に粘着テープ４を挟んで位置される。
次に、剥離ヘッド１４が接着ステーションＡに位置されている状態で、押圧手段３３のエアシリンダ４６が作動されて押圧具４６cが下降され、この押圧具４６cがガイドローラ３１とガイドローラ３７間に延びている粘着テープ４の中間部を図７に示すように押下げ、粘着テープ４の接着部をシート２のフイルム３の離始端側隅角部２ａ上に接着させる。押圧具４６cがガイドローラ３１とガイドローラ３７間の粘着テープ４を押下げるとき、ガイドローラ３１とガイドローラ３７間の粘着テープ４が僅かに引き延ばされることになるが、この粘着テープ４の延び分は、弛み防止手段３８の引張りレバー７０が引き戻されることで与えられる。粘着テープ４の接着部をフイルム３の剥離始端側隅角部３aに接着させた後は、押圧手段３３のエアシリンダ４６を作動させて押圧具４６cを上昇位置に保持させる。その後、粘着テープ巻付体２９をガイドローラ３１上に当てた後、回転阻止装置３２のエアシリンダ４４を作動させて押当具４４cを粘着テープ巻付体２９に当接させ、粘着テープ巻付体２９をガイドローラ３１に押圧させて粘着テープ巻付体２９の自由回転を阻止する。なお、回転阻止装置３２による粘着テープ巻付体２９の押圧は、押圧手段３３による粘着テープ４の押下げより前に行っても良い。
【００２４】
次に、図８に示すように、エアシリンダ２３を作動させて摺動体２３ｃを剥離終端側の移動端に移動させ、摺動体２３ｃに固着されている移動体２４を初期剥離終了位置に移動させる。この移動体２４の剥離終端側方向への移動により、テープ支持装置３０やガイドローラ３１やテープ保持片３４が図８に示すように同方向へ移動され、フイルム３の剥離始端側隅角部３ａに接着された粘着テープ４の接着部より剥離始端側の粘着テープ４の端部がテープ保持片３４によってシート２に近い位置に保持されたまま剥離終端側方向へ引張り移動（第１剥離移動）され、その結果、フイルム３の剥離始端側隅角部３ａが急激に折り返されてフイルム３の剥離始端側隅角部３ａがシート２から剥離され、折り返されたフイルム３の隅角部３ａを剥離終端側方向へ引張り移動させてフイルム３をシート２から剥がしていく。この場合、ヘッド本体２２は剥離終端側方向へ移動されることなく位置保持されているので、フイルム３の剥離始端側隅角部３ａに接着された粘着テープ４の接着部より剥離終端側の粘着テープ４の端部が剥離終端側方向へ移動することがなく、フイルム３の剥離始端側隅角部３ａに接着されている粘着テープ４の接着部に剥離終端側方向への引張力が作用することがない。従って、フイルム３がシート２を変形させたり破損させるトラブルが防止される。
【００２５】
次に、移動手段１２のアクチュエータ１３を作動させてスライダ１３ｄを剥離終端側方向へ移動させ、スライダ１３ｄに固着された剥離ヘッド１４を図３に示す剥離回収ステーションＢへ移動させる。この剥離ヘッド１４の剥離終端側方向への移動により、図８に示す状態の剥離ヘッド１４のテープ支持装置３０やガイドローラ３１や巻取り装置３６やガイドローラ３７が剥離終端側方向へ移動され、その結果、フイルム３の剥離始端側隅角部３ａに接着された粘着テープ４の接着部より剥離始端側の粘着テープ４の端部がテープ保持片３４によってシート２に近い位置に保持されたまま剥離終端側方向へ引き続き引張り移動され、シート２から剥離されて折り返されたフイルム３の剥離始端側隅角部３ａが更に剥離終端側方向へ移動されてフイルム３をシート２から剥離していく。即ち、図８において、剥離ヘッド１４とシート２の位置関係を相対的に考えれば、図８のシート２を右に移動させてフイルム３をシート２から剥離する状態となり、剥離ヘッド１４とフイルム３の剥離始端側隅角部３ａに接着された粘着テープ４との関係はほぼ図８に示す状態が維持される。なお、この場合、粘着テープ４は、フイルム３の剥離始端側隅角部３ａに接着された粘着テープ４の接着部より剥離終端側の粘着テープ４が弛みそうな状態になっても、弛み防止手段３８の引張りレバー７０が粘着テープ４を引っ掛けて側方へ引っ張っているので、ガイドローラ３１とガイドローラ３７間の粘着テープ４が弛むことがなく、粘着テープ４の下側の粘着面がシート２のフイルム３に接着してフイルム３を引っ張り移動させるトラブルを防止できる。
【００２６】
前記のように、接着部より剥離始端側と剥離終端側の粘着テープ４の両端部が剥離終端側方向へ移動（第２剥離移動）され、剥離ヘッド１４が剥離回収ステーションＢへ移動されると、図３に示すようにフイルム３の全面がシート２から剥がされ、剥離されたフイルム３の剥離始端側隅角部３ａが粘着テープ４に接着された状態で垂れ下がる。この場合、フイルム接着部より剥離終端側の粘着テープ４は、弛み防止手段３８の引張りレバー７０が粘着テープ４を引っ掛けて側方へ引っ張り移動することで弛みが吸収され、ガイドローラ３１とガイドローラ３７間の粘着テープ４は略水平に維持される。次に、剥離ヘッド１４のエアシリンダ２３を作動させて移動体２４を剥離始端側へ移動させる。その結果、ガイドローラ３１、３７間の粘着テープ４を剥離始端側へ引張って弛み防止手段３８の引張りレバー７０を引き戻し、図４に示す初期の状態になり、粘着テープ４に接着されて垂れ下がっているフイルム３が図３に示すように剥離始端側へ移動される。
次に、フイルム保持手段１８を移動させる移動手段２０の回転シリンダ７５が作動し、フイルム保持手段１８の吸引パッド７８をフイルム回収容器１６上方の保持開放位置Ｄから剥離ヘッド１４の剥離回収ステーションＢ下方の吸着保持位置Ｃに移動させる。その結果、フイルム保持手段１８の吸引パッド７８は、粘着テープ４から垂れ下がっているフイルム３の後面に対向し、この状態で吸引を開始して剥離ヘッド１４から垂れ下がっている剥離後のフイルム４を吸着保持する。即ち、粘着テープ４の移動によりシート２から剥がされて略水平状態の粘着テープ４の中間部分から垂れ下がっているフイルム３をフイルム保持手段１８によって保持する。
【００２７】
その後、移動手段１２のアクチュエータ１３を再び作動させてスライダ１３ｄを剥離終端側方向と同方向へ更に僅かに移動させ、スライダ１３ｄに固着された剥離ヘッド１４を図９に示すフイルム分離位置へ移動させる。剥離ヘッド１４のフイルム分離位置への移動により、粘着テープ４の剥離終端側の端部が第２剥離移動と同方向（フイルム４から遠去かる方向）へ移動され、その結果、粘着テープ４がフイルム４を折り返した状態で引き離され、粘着テープ４の接着部がフイルム４からスムーズに剥離され、フイルム４が粘着テープ４から分離される。この場合、粘着テープ４の剥離始端側の端部はフイルム保持手段１８の吸引パッド７８に対して接近する関係になるので、フイルム４を引っ張ることがなく、前記粘着テープ４の移動によるフイルム４の分離を確実にできる。
なお、前記説明では、シート２から剥がされたフイルム３をフイルム保持手段１８によって保持させた状態で、剥離ヘッド１４を第２剥離移動と同方向へ移動させて接着部より剥離終端側の粘着テープ４をフイルム３から遠去けることで粘着テープ４とフイルム３の接着を剥がしているが、フイルム保持手段１８を図示しない移動手段により剥離始端側方向または下方へ移動させてフイルム３を粘着テープ４から剥がすようにしても良い。
【００２８】
次に、フイルム保持手段１８の吸引パッド７８が移動手段２０によって図２に実線で示す吸着保持位置Ｃからフイルム回収容器１６上方の仮想線で示す保持開放位置Ｄに移動される。吸引パッド７８がフイルム回収容器１６の上方に移動されると、吸引パッド７８の吸引力が解除され、吸引パッド７８が吸着保持していたフイルム４はフイルム回収容器１６内に落下されて回収される。この場合、吸引パッド７８から空気を吐出して吸引パッド７８からフイルム４を積極的に分離するようにすると、フイルム４の回収動作を速くすることができる。吸引パッド７８は、フイルム４の吸着保持を解除した後、移動手段２０によって再び吸着保持位置Ｃに移動され、次に剥離されてくるフイルム４の保持に備える。また、剥離ヘッド１４は、移動手段１２によって再び接着ステーションＡへ移動され、次のシート２のフイルム剥離に備える。
【００２９】
次に、必要に応じて、回転阻止装置３２のエアシリンダ４４を作動させて押当具４４ｃを上昇位置に保持させ、この状態で、巻取り装置３６のエアシリンダ６２を作動させて可動逆止爪６０を一時的に所定量突出させ、その結果、可動逆止爪６０がラチェット歯車５１aを次の爪が逆止爪５８に係合される位置まで爪の１ピッチ分以上回動させて回転体５１を巻取り方向へ所定量回転させる。回転体５１の巻取り方向への回転によって、嵌合体５１dに嵌着された粘着テープ巻取体３５が粘着テープ４を所定長さ分巻き取り、テープ支持装置３０の粘着テープ巻付体２９を巻戻し回転させ、押圧手段３３によって押下げる粘着テープ４の接着部が新しい部分に変更される。従って、粘着テープ４を各シート２のフイルム３の剥離始端側隅角部３ａ上に確実に接着させることができる。粘着テープ４の巻取りは各シート２のフイルム４を剥離する度に行なっても良いし、所定枚数のシート２のフイルム３を剥離したときや任意枚数のシート２のフイルム４を剥離したときに行なうようにしても良い。
なお、本願のフイルム剥離方法は、図示したフイルム剥離装置とは異なる装置、例えば粘着テープの両端部を別々の移動装置で移動される移動体に保持させ、粘着テープの両端部を時間的にずらして移動させることで行うようにしても良い。
また、前記実施例では、フイルム付シートに対して粘着テープを移動させてフイルムをシートから剥がすようにしているが、移動可能な移動テーブルの上にフイルム付シートをその剥離始端側隅角部と剥離終端側隅角部を結ぶ対角線方向が移動テーブルの略移動可能となるように載置固定し、この移動テーブル上のフイルム付シートの剥離始端側隅角部に粘着テープを接着し、その後、粘着テープの接着部に対して移動テーブルを剥離始端側方向へ第１剥離移動させてフイルムの剥離始端側隅角部を剥離し、その後、更に移動テーブルを剥離始端側方向へ第２剥離移動させてフイルムの全面をシートから剥がすようにしても良い。この場合、第１剥離移動のみを図示の剥離ヘッドを用いてフイルム付シートに対して粘着テープの接着部を移動させるようにしても良い。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の実施形態を示すフイルム剥離装置の正面図である。
【図２】図１のフイルム剥離装置の平面図である。
【図３】図１のフイルム剥離装置の作動状態を示す正面図である。
【図４】図１の剥離ヘッドを拡大して示す剥離ヘッドの正面図である。
【図５】図４の剥離ヘッドの右側面図である。
【図６】図４の剥離ヘッドの左側面図である。
【図７】図４の剥離ヘッドの作動状態を示す剥離ヘッドの部分図である。
【図８】図４の剥離ヘッドの作動状態を示す剥離ヘッドの正面図である。
【図９】図１のフイルム剥離装置の作動状態を拡大して示す部分正面図である。
【符号の説明】
【００３１】
１  ：フイルム剥離装置
２  ：フイルム付シート
３  ：フイルム
４  ：粘着テープ
８  ：載置台
Ａ  ：接着ステーション
Ｂ  ：剥離回収ステーション
１４：剥離ヘッド
１６：フイルム回収容器
１８：フイルム保持手段
２０：移動手段
２２：ヘッド本体
２４：移動体
２９：粘着テープ巻付体
３０：テープ支持装置
３３：押圧手段
３５：粘着テープ巻取体
３６：巻取り装置
３８：弛み防止手段
８４：検出器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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