(57)【要約】【課題】小型化に寄与することが可能な液体噴射ヘッドを提供する。【解決手段】圧電素子の駆動端子に接合される配線端子４４を複数列設して成る端子列４６を、圧電素子列に対応して複数有し、各端子列４６の列設方向における両端に位置する端子列のうち、少なくとも一端の端子列を配線引出し端子列４７とし、この配線引出し端子列以外の他の端子列の各配線端子に導通する配線のうちの少なくとも一部を、配線引出し端子列における隣り合う配線端子間の間隙を通して当該配線引出し端子列の外側に引き出した。【選択図】図４
2008238413.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
素子端子を通じて駆動信号が印加されることにより変形し、圧力室内の液体に圧力変動を生じさせてノズル開口から液滴を吐出させるための圧力発生素子を複数列設して成る圧力発生素子列を備えた液体噴射ヘッドに前記駆動信号を供給する配線部材であって、
前記圧力発生素子の素子端子に接合される配線端子を複数列設して成る端子列を、各圧力発生素子列に対応して複数有し、
各端子列の列設方向における両端に位置する端子列のうち、少なくとも一端の端子列を配線引出し端子列とし、
前記配線引出し端子列以外の他の端子列の各配線端子に導通する配線のうちの少なくとも一部を、配線引出し端子列における隣り合う配線端子間の間隙を通して当該配線引出し端子列の外側に引き出したことを特徴とする液体噴射ヘッド用配線部材。
【請求項２】
所定の端子列と前記配線引出し端子列との間に他の端子列が存在する構成において、当該所定の端子列の各配線端子の配線のうちの少なくとも一部を、前記他の端子列における隣り合う配線端子間の間隙を通すと共に、前記配線引出し端子列における隣り合う配線端子間の間隙を通して配線引出し端子列の外側に引き出したことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド用配線部材。
【請求項３】
前記配線端子は、無電解メッキによって導電性金属を固着することで形成されたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液体噴射ヘッド用配線部材。
【請求項４】
信号供給源からの駆動信号が素子端子を通じて印加されることにより変形し、圧力室内の液体に圧力変動を生じさせてノズル開口から液滴を吐出させるための圧力発生素子を複数列設して成る圧力発生素子列を備えた液体噴射ヘッドであって、
前記駆動信号を、請求項１から請求項３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド用配線部材を通じて各圧力発生素子に印加するように構成したことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記圧力発生素子の素子端子と液体噴射ヘッド用配線部材の配線端子は、異方性導電接着剤によって接合されたことを特徴とする請求項４に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
上記各圧力発生素子列は、圧力発生素子の列設方向に直交する方向に配列されていることを特徴とする請求項４又は請求項５に記載の液体噴射ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット式記録ヘッド等の液体噴射ヘッドに用いられる液体噴射ヘッド用配線部材、及び、液体噴射ヘッドに係り、特に、液体噴射ヘッドの圧電素子に対応した配線端子を列設して成る配線端子列を有する液体噴射ヘッド用配線部材、及び、これを備えた液体噴射ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
圧力室内の液体に圧力変動を生じさせることでノズル開口から液滴として吐出させる液体噴射ヘッドの一種に、振動板の表面に形成された圧電素子（圧力発生素子の一種）を撓み変形させることで液滴を吐出させるようにしたものがある。この液体噴射ヘッドは、例えば、圧力室と圧電素子とを備えたアクチュエータユニットと、ノズル開口や共通液室を備えた流路ユニットとから構成される。この液体噴射ヘッドでは、駆動信号を印加して圧電素子を駆動させることで圧力室容積を変化させ、圧力室内に貯留された液体に圧力変動を生じさせ、この圧力変動を利用することでノズル開口から液滴を吐出させる。
【０００３】
上記圧電素子は個別に素子端子を有しており、この素子端子にＦＰＣ（フレキシブル・プリンティング・サーキット）やＴＣＰ（テープ・キャリア・パッケージ）等のフィルム状の配線部材（以下、フレキシブルケーブル）の配線端子が接続され、このフレキシブルケーブルを介して駆動回路であるＩＣから駆動信号が供給されるようになっている。図９は、従来のフレキシブルケーブルの一例を示している。このフレキシブルケーブル５７は、ポリイミドやポリエステル等の絶縁性フィルムの表面に、銅箔で導体パターン（配線パターン：図示せず）を形成するとともに、配線端子５９以外の部分をレジスト５８で覆って構成している。このフレキシブルケーブル５７の配線端子５９の部分には、予めハンダメッキが施されており、この配線端子５９を圧電素子の素子端子にハンダ付けすることによって、フレキシブルケーブル５７がアクチュエータユニットに取り付けられる（例えば、特許文献１参照）。例示したフレキシブルケーブル５７は、図９における左半分と右半分とで、それぞれ異なるアクチュエータユニットに対応している。即ち、このフレキシブルケーブル５７は、２つのアクチュエータユニットに対して共通の配線ケーブルとなっている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−２８１４７７号公報（図２、図３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ここで、上記フレキシブルケーブル５７では、配線端子列６０ａ〜６０ｄ同士の空きスペース（配線スペース）に配線パターンが形成されている。この例では、１列目の端子列６０ａの左側方、２列目の端子列６０ｂと３列目の端子列６０ｃの間、及び、４列目の端子列６０ｄの右側方にそれぞれ配線スペースが設けられている。そして、例えば、１つの端子列６０が９０本の配線端子５９を列設して構成されている場合、各端子列６０から配線パターンがそれぞれの一側の配線スペースに９０本ずつ出ていることになる。そして、２列目の端子列６０ｂと３列目の端子列６０ｃの間の配線スペースは、合計１８０本分の配線パターンを形成するための間隔（図９においてＤの範囲で示す間隔）が必要となっていた。そして、この端子列６０ｂ，６０ｃの間隔を必要とするために、アクチュエータユニット（圧力発生素子列）の配置間隔が規制されてしまい、その結果、液体噴射ヘッド全体の小型化に支障を来していた。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、小型化に寄与することが可能な液体噴射ヘッド用配線部材、及び、液体噴射ヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の液体噴射ヘッド用配線部材は、上記目的を達成するために提案されたものであり、素子端子を通じて駆動信号が印加されることにより変形し、圧力室内の液体に圧力変動を生じさせてノズル開口から液滴を吐出させるための圧力発生素子を複数列設して成る圧力発生素子列を備えた液体噴射ヘッドに前記駆動信号を供給する配線部材であって、
前記圧力発生素子の素子端子に接合される配線端子を複数列設して成る端子列を、各圧力発生素子列に対応して複数有し、
各端子列の列設方向における両端に位置する端子列のうち、少なくとも一端の端子列を配線引出し端子列とし、
前記配線引出し端子列以外の他の端子列の各配線端子に導通する配線のうちの少なくとも一部を、配線引出し端子列における隣り合う配線端子間の間隙を通して当該配線引出し端子列の外側に引き出したことを特徴とする。
【０００８】
上記構成によれば、各端子列の列設方向における両端に位置する端子列のうち、少なくとも一端の端子列を配線引出し端子列とし、配線引出し端子列以外の他の端子列の各配線端子に導通する配線のうちの少なくとも一部を、配線引出し端子列における隣り合う配線端子間の間隙を通して当該配線引出し端子列の外側に引き出したので、配線引出し端子列以外の他の端子列では、配線引出し端子列側とは反対側の側方に引き出す配線の本数を減らせるため、その分、配線スペースを縮小することができる。これにより、配線スペースを縮小した分だけ端子列間の間隔を狭めることができる。これに応じて、圧力発生素子列の配置間隔を狭めることができる。その結果、液体噴射ヘッド全体の小型化に寄与することが可能となる。
【０００９】
上記構成において、所定の端子列と前記配線引出し端子列との間に他の端子列が存在する構成において、当該所定の端子列の各配線端子の配線のうちの少なくとも一部を、前記他の端子列における隣り合う配線端子間の間隙を通すと共に、前記配線引出し端子列における隣り合う配線端子間の間隙を通して配線引出し端子列の外側に引き出す構成を採用することができる。
【００１０】
この構成によれば、所定の端子列の各配線端子の配線のうちの少なくとも一部を、他の端子列における隣り合う配線端子間の間隙を通すと共に、配線引出し端子列における隣り合う配線端子間の間隙を通して配線引出し端子列の外側に引き出すようにすることで、配線引出し端子列の隣の端子列に限らず、配線引出し端子列との間に他の端子列が存在する所定の端子列においても配線引出し端子列側とは反対側の側方に引き出す配線の本数を減らせることができる。
【００１１】
また、上記構成において、前記配線端子が、無電解メッキによって導電性金属を固着することで形成される構成を採用することが望ましい。
【００１２】
この構成によれば、電解メッキを採用する構成に比べてメッキ用導通パターンやメッキ用端子が不要となるので、その分、配線レイアウトの自由度が向上する。
【００１３】
また、本発明の液体噴射ヘッドは、上記各構成の配線部材を通じて圧力発生素子に印加するように構成したことを特徴とする。
【００１４】
この構成では、配線部材における端子列間の間隔が従来よりも縮小されたので、各端子列に対応する圧力発生素子列の配置間隔を狭めることができる。その結果、液体噴射ヘッド全体の小型化が可能となる。
【００１５】
また、上記構成において、前記圧力発生素子の素子端子と液体噴射ヘッド用配線部材の配線端子が、異方性導電接着剤によって接合される構成を採用することが望ましい。
【００１６】
この構成によれば、配線端子に半田付け用の材料を用いなくても圧力発生素子の素子端子との電気的な導通がとれるので、配線端子の形成に無電解メッキを使用することが可能となる。
【００１７】
さらに、上記構成において、上記各圧力発生素子列が、圧力発生素子の列設方向に直交する方向に配列されている構成に好適である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明を実施するための最良の形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明は、本発明の液体噴射ヘッドとして、インクジェット式記録装置（液体噴射装置の一種。以下、単にプリンタという）に搭載されるインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドという）を例に挙げて行う。
【００１９】
図１は、記録ヘッド１の構成の一例を説明する分解斜視図である。この記録ヘッド１は、図示しないインクカートリッジ内に貯留されたインク（本発明における液体の一種）をヘッド内部に導入するインク供給針２が複数配設された供給針ユニット３と、圧電素子３０（圧力発生素子の一種。図２等参照）を有するアクチュエータユニット４及び流路ユニット５から成るヘッドユニット６とを、ヘッドケース９に備えて概略構成される。また、この記録ヘッド１において、ヘッドケース９の先端側（供給針ユニット３の接合面とは反対側）には、ヘッドユニット６を保護すると共に、ノズルプレート８を接地電位に調整するための金属製のカバー１０が取り付けられるようになっている。
【００２０】
供給針ユニット３は、インク供給針２がヘッド主走査方向（ノズル列直交方向）に横並びに配設された合成樹脂製の部材である。この供給針ユニット３に配設されるインク供給針２の先端部は円錐状に尖っており、インクカートリッジ内に挿入し易くなっている。また、この先端部には、インク供給針２の内外を連通する導入孔が複数穿設されており、これらの導入孔を通じてインクカートリッジ内のインクがヘッド内に導入される。そして、本実施形態の記録ヘッド１は４種類のインクを吐出可能であるため、供給針ユニット３には、合計４本のインク供給針２が先端を上方に突出した姿勢で配設されている。
【００２１】
ヘッドケース９は、上記供給針ユニット３や配線基板１１が取り付けられるベース部１２と、このベース部１２の底部から下方に向けて延出し、開口面にヘッドユニット６が取り付けられる中空箱体状のケース部１３とにより構成される部材である。本実施形態においては、このヘッドケース９と上記供給針ユニット３は、例えば、変性ＰＰＥ（ポリフェニレンエーテル）樹脂等の合成樹脂によって作製されている。そして、ヘッドケース９のベース部１２には、ケース流路１４の上部開口が、供給針ユニット３の各インク供給針２に対応した位置にそれぞれ開設されている。また、ベース部１２には、配線基板１１を配設するための基板配設部１５が区画されている。
【００２２】
上記配線基板１１は、コネクタ１６を備えており、このコネクタ１６には、プリンタ本体側からのＦＦＣ（フレキシブルフラットケーブル）等の配線ケーブル（図示せず）が装着されるようになっている。また、配線基板１１には、接続用端子１７が形成されており、この接続用端子１７には、ＴＣＰ（テープキャリアパッケージ）等のフィルム状のフレキシブルケーブル１８（本発明における配線部材の一種に相当）が電気的に接続される。そして、この配線基板１１は、プリンタ本体側からの駆動信号をＦＦＣを通じて受けると共に、この駆動信号をフレキシブルケーブル１８を通じてアクチュエータユニット４の圧電素子３０に印加するようになっている。このフレキシブルケーブル１８の詳細については後述する。
【００２３】
ノズルプレート８は、流路ユニット５を構成する部材の１つである。このノズルプレート８には、ドット形成密度に応じたピッチで複数のノズル開口１９が列状に開設されており、本実施形態においては、このノズル開口１９の列（ノズル列）が、主走査方向に複数条（４列）並設されている。そして、このノズルプレート８は、流路ユニット５において、アクチュエータユニット４の接合面側とは反対側に配置される。
【００２４】
図２は、上記ヘッドユニット６の構成を説明する要部断面図、図３は、ヘッドユニット６の平面図である。本実施形態におけるヘッドユニット６は、流路ユニット５の上面（アクチュエータ載置面）にアクチュエータユニット４を積層した状態で一体化して構成されている。流路ユニット５は、オリフィスとして機能するインク供給口２２及びノズル連通口２３の一部となる通孔が形成された供給口プレート２４と、インク供給針２側からのインクが供給されるリザーバ２５（共通液体室）及びノズル連通口２３の一部となる通孔が形成されたリザーバプレート２６と、上記ノズルプレート８とから構成されている。そして、流路ユニット５は、リザーバプレート２６の一方の面にノズルプレート８を、他方の面に供給口プレート２４をそれぞれ配置し、これらの部材の間を熱溶着フィルム等によって接合して構成されている。これらの供給口プレート２４、リザーバプレート２６、ノズルプレート８は、例えば、ステンレス鋼などの金属製の板材をプレス加工することで作製されている。そして、この流路ユニット５は、リザーバ２５からノズル開口１９に至るまでのインク流路（液体流路）を形成している。
【００２５】
アクチュエータユニット４は、圧力室２８となる通孔を開設した圧力室プレート２９と、圧電素子３０が複数横並びに実装されると共に圧力室２８の一部を区画する振動子プレート３１と、供給側連通口３２となる通孔及びノズル連通口２３となる通孔を形成した連通口プレート３４とを積層した状態で備えている。これらの圧力室プレート２９、振動子プレート３１、及び、連通口プレート３４は、アルミナや酸化ジルコニウム等のセラミックスで作製されており、焼成によって一体化される。本実施形態においては、図３に示すように、合計２つのアクチュエータユニット４が流路ユニット５上に設けられている。そして、１つのアクチュエータユニット４は、２条のノズル列分の圧力室２８や圧電素子３０を備えてユニット化されている。
【００２６】
上記の圧力室２８は、ノズル列とは直交する方向に細長い空部となっており、ノズル開口１９に対応して複数形成されている。そして、各圧力室２８の一端側は、供給側連通口３２及びインク供給口２２を通じてリザーバ２５に連通している。また、供給側連通口３２とは反対側の圧力室２８の他端側は、ノズル連通口２３を通じてノズル開口１９に連通している。この圧力室２８の一部、即ち、連通口プレート３４とは反対側となる面は、振動子プレート３１によって区画されている。
【００２７】
本実施形態において、圧力発生素子の一種として機能する圧電素子３０は、付与された電界に応じて撓み振動を行う所謂撓みモードの圧電素子であり、駆動電極３６と共通電極３７で圧電体層３８を挟んだ状態に形成されている。この圧電素子３０は、圧力室２８とは反対側の振動子プレート３１の表面に、圧力室２８を覆い隠す状態に形成されている。即ち、各圧電素子３０は、各圧力室２８に対応してノズル列方向に列設されて、圧電素子列４１（圧力発生素子列）を形成している。そして、１つのアクチュエータユニット４には、圧電素子列４１が、圧電素子３０の列設方向（ノズル列方向）に直交する方向に２列形成されている。したがって、ヘッドユニット６には、合計４列の圧電素子列４１が設けられている。
【００２８】
上記圧電素子３０の長手方向の一側には、圧電素子３０毎に個別の駆動端子３９（素子端子の一種）が形成されている。この駆動端子３９は、圧電素子３０の駆動電極３６に導通すると共に、フレキシブルケーブル１８の配線端子４４（図４参照）と電気的に接続される部分である。また、共通電極３７は、共通幹電極を介して共通接地端子（素子端子の一種。図示せず）に導通している。駆動端子３９及び共通接地端子は、金属材料によって作製されており、例えばスクリーン印刷によって、アクチュエータユニット４の表面に形成されている。そして、各駆動端子３９や共通接地端子は、ノズル列方向に列設されて駆動端子列４０を構成しており、この駆動端子列４０は、アクチュエータユニット４の幅方向の中心寄りに２列形成されている。したがって、ヘッドユニット６には、合計４列の駆動端子列４０が設けられている。
【００２９】
上記駆動端子３９を通じて駆動電極３６に駆動信号が印加されると、駆動電極３６と共通電極３７との間には電位差に応じた電界が発生する。この電界は圧電体層３８に付与され、圧電体層３８は付与された電界の強さに応じて撓み変形する。即ち、圧電素子３０に印加される電位をプラス側に上昇させる程、圧電素子３０は、流路ユニット５に近づく方向に変位し、圧力室２８の容積を減少するように振動子プレート３１を変形させる。一方、圧電素子３０に印加される電位をマイナス側に下降させる程、圧電素子３０は、流路ユニット５よりも遠ざかる方向に変位し、圧力室２８の容積を増加させるように振動子プレート３１を変形させる。このような圧電素子３０の作動により、圧力室２８が収縮又は膨張し、これにより、圧力室２８内のインクに圧力変動が生じる。この圧力変動を利用することで、圧力室２８内のインクをノズル開口１９からインク滴として吐出させることができる。
【００３０】
図４は、上記フレキシブルケーブル１８の構成を説明する要部拡大図であり、圧電素子３０に接続される先端側部分を示している。このフレキシブルケーブル１８は、ポリイミド等の絶縁フィルムから成るベースフィルム４３の表面に、銅箔等の導体材料で配線パターン（導体パターン）４２が形成され、配線端子４４以外の部分がレジストで覆われて構成されている。また、このフレキシブルケーブル１８には、配線基板１１側からの駆動信号を圧電素子３０に対して選択的に供給する制御を行うＩＣチップ（図示せず）が実装されている。本実施形態におけるフレキシブルケーブル１８は、隣り合う２つのアクチュエータユニット４に共通な１枚のケーブルとなっており、図４において左半分と右半分がそれぞれ１つのアクチュエータ４に対応している。フレキシブルケーブル１８の各配線端子４４は、アクチュエータユニット４の駆動端子３９毎に対応させて複数列設され、端子列４６を形成している。そして、端子列４６は、２つのアクチュエータユニット４の各駆動端子列４０に対応して合計４列形成されている。なお、図４においては、各端子列４６における配線端子４４の一部を示している。
【００３１】
本実施形態においては、後述するように、圧電素子３０の駆動端子３９と配線端子４４との接合に異方性導電接着剤を採用している。この異方性導電接着剤を採用することにより、配線端子４４に半田付け用の材料を用いなくても駆動端子３９との電気的な導通がとれる。そして、配線端子４４の表面には、無電解メッキによって導電性金属が固着されている。具体的には、導電性金属（例えば、ニッケルやスズ等）を含む溶剤に溶ける化合物と還元剤を液に溶かし、ケーブルの基体を液に浸漬して配線端子４４上で金属を析出させる。この無電解メッキを用いることにより、電解メッキによって端子を形成する場合のように、メッキ用導通パターンやメッキ用導通端子を設ける必要が無く、また、近接して隣り合う端子列４６同士の間にスリットを設ける必要が無い。
【００３２】
即ち、図９に示す従来におけるフレキシブルケーブル５７では、図５に示す拡大図（図９における領域Ａの拡大図）のように、隣り合う端子列６０の間に、両端子列に共通の幹電極６１が設けられ、この幹電極６１には電解メッキ時に使用される通電用端子６２が設けられていた。そして、通電用端子６２と幹電極６１を通じて各端子列６０にメッキが施された後、図においてハッチングで示す部分にスリットＳを設けることで、両端子列６０を分断していた。
【００３３】
これに対し、本発明にかかるフレキシブルケーブル１８では、通電用端子や幹電極を用いなくとも、無電解メッキによって各端子４４に個々に金属被膜を形成することができるので、従来のように端子列同士の間にスリットを設ける必要が無い。このため、従来スリットであった部分を配線用のスペースとして利用することができる。即ち、配線レイアウトの自由度が向上する。そして、フレキシブルケーブル１８は、このスリットであった部分を配線スペースとして利用すると共に配線レイアウトを工夫することによって端子列４４の配置間隔を縮小している。
【００３４】
ここで、フレキシブルケーブル１８では、各端子列４６の列設方向における両端に位置する端子列のうち、少なくとも一端の端子列が、本発明における配線引出し端子列として機能する。図４の例では、左端に位置する端子列４６が配線引出し端子列４７となっている。そして、配線引出し端子列４７以外の他の端子列４６の各配線端子４４に導通する配線のうちの少なくとも一部を、配線引出し端子列４７における隣り合う配線端子４４間の間隙を通して、この配線引出し端子列４７の外側（側方）に引き出している。より具体的には、図４に示すように、配線引出し端子列４７の右隣の端子列４６（端子列４６ａ）の配線端子４４のうちの一部の配線、例えば、９０本中の５０本を、端子列間のスペース、即ち、従来スリットがあった部分と配線引出し端子列４７の配線端子４４間の間隙とを通して、配線引出し端子列４７の左側方に引き出している。
【００３５】
このように配線をレイアウトすることによって、端子列４６ａから配線引出し端子列４７とは反対側の側方（右側方）へ引き出す配線の本数を減らすことができるため、その分、この端子列４６ａの右側方の配線スペースを縮小することができる。これにより、端子列４６ａの右隣に位置する端子列４４との間の間隔Ｄｘを狭めることができる。その結果、記録ヘッド１において隣り合うアクチュエータユニット４同士の間隔（圧力発生素子列の間隔）を狭めることができ、これにより、記録ヘッド１全体の小型化に寄与することが可能となる。
【００３６】
なお、図４の例では、左端に位置する端子列４４のみを配線引出し端子列４７としたが、勿論、右端に位置する端子列４４も配線引出し端子列４７として、その左隣の端子列の配線をこの配線引出し端子列４７の右側方に引き出す構成を採用することもできる。また、２つのアクチュエータユニット４に対して１枚のフレキシブルケーブル１８を用いる構成を例示したが、これには限らず、図６に示すように、アクチュエータ４毎に個別のフレキシブルケーブル１８（１８ａ，１８ｂ）を用いる構成を採用しても良い。この構成においても、各ケーブル１８ａ，１８ｂの配線パターンを互いに反対側の側方に引き出すようにすることで、これらの各ケーブル１８ａ，１８ｂの配置間隔Ｄｚを可及的に狭めることができる。その結果、記録ヘッド１の小型化に寄与することができる。
【００３７】
続いて、上記フレキシブルケーブル１８の配線端子４４と圧電素子３０の駆動端子３９との接合について説明する。本実施形態においては、上述したように両端子４４，３９間の接合に異方性導電接着剤（異方性導電接着フィルム）を採用している。図７（ａ）に示すように、この異方性導電接着剤４９は、接着剤樹脂５０中に導電粒子５１を分散させて構成される。接着剤樹脂５０としては、主にエポキシ系の熱硬化樹脂が用いられている。また、導電粒子５１としては、例えば、スズ−ニッケル合金、ニッケル等の金属からなる粒子や、スチレン、ジビニルベンゼン、ベンゾグアナミン等の核となる樹脂にニッケル又はニッケル・金メッキを施した粒子等が用いられる。そして、図７（ｂ）に示すように、この異方性導電接着剤４９を、フレキシブルケーブル１８の配線端子４４と圧電素子３０の駆動端子３９との間に介在させた状態で熱と圧力を加えて硬化させると、導電粒子５１が両端子間に挟まれる。この導電粒子５１によって配線端子４４と駆動端子３９とを導通させることができる。
【００３８】
ところで、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。
【００３９】
図８は、本発明の第２実施形態におけるフレキシブルケーブル１８′の構成を説明する要部拡大図である。この第２実施形態におけるフレキシブルケーブル１８′は、端子列４６を横並びで合計３列有している。本実施形態においては、この３列の端子列４６のうち、左端に位置する端子列４６が配線引出し端子列４７として機能する。そして、上記第１実施形態と同様に、配線引出し端子列４７の右隣に位置する端子列４６ａの配線端子４４のうちの一部の配線を配線引出し端子列４７の配線端子４４間の間隙を通して、配線引出し端子列４７の左側方に引き出している。さらに本実施形態では、右端に位置する端子列４６ｂの配線端子４４のうちの一部の配線を、端子列４６ａの配線端子４４間の間隙を通すと共に、配線引出し端子列４７の配線端子４４間の間隙を通して、配線引出し端子列４７の左側方に引き出している。
【００４０】
このように、所定の端子列（端子列４６ｂ）と配線引出し端子列（４７）との間に他の端子列（端子列４６ａ）が存在する構成において、所定の端子列の各配線端子の配線のうちの少なくとも一部を、他の端子列における隣り合う配線端子間の間隙を通すと共に、配線引出し端子列における隣り合う配線端子間の間隙を通して配線引出し端子列の外側に引き出す構成を採用することができる。即ち、配線引出し端子列における隣り合う配線端子間に配線を互いに接触することなく通せる限り、複数の端子列の配線を配線引出し端子列の外側に引き出すことができる。これにより、配線引出し端子列の隣の端子列に限らず、配線引出し端子列との間に他の端子列が存在する所定の端子列においても配線引出し端子列側とは反対側の側方に引き出す配線の本数を減らせることができる。
【００４１】
また、以上では、液体噴射ヘッドとして、インクジェット式記録ヘッド１を例に挙げて説明したが、本発明は他の液体噴射ヘッドにも適用することができる。例えば、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも本発明を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】記録ヘッドの構成を説明する分解斜視図である。
【図２】ヘッドユニットの構成を説明する要部断面図である。
【図３】ヘッドユニットの平面図である。
【図４】フレキシブルケーブルの構成を説明する要部拡大図である。
【図５】従来の電解メッキによって端子を形成する工程を説明する模式図である。
【図６】フレキシブルケーブルの変形例の構成を説明する要部拡大図である。
【図７】異方性導電接着剤によって配線端子と駆動端子を接合する工程を説明する模式図である。
【図８】第２実施形態におけるフレキシブルケーブルの構成を説明する要部拡大図である。
【図９】従来のフレキシブルケーブルの構成を説明する図である。
【符号の説明】
【００４３】
１…記録ヘッド，４…アクチュエータユニット，６…ヘッドユニット，１８…フレキシブルケーブル，３０…圧電素子，３９…駆動端子，４０…駆動端子列，４１…圧電素子列，４２…配線パターン，４４…配線端子，４６…端子列，４７…配線引出し端子列，４９…異方性導電接着剤，５０…接着剤樹脂，５１…導電粒子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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