(57)【要約】      （修正有）【課題】カセットに収納された複数のウェーハに対し、簡単な構造でオリフラ合わせを正確に行うことができるウェーハの整列冶具、ウェーハの整列装置およびウェーハ処理装置を提供する。【解決手段】複数のウェーハのオリエンテーションフラット側を同時に押圧すると共に、押圧面５０を平坦に形成した整列プレート３３と、整列プレート３３を支持すると共に、整列プレート３３の上下動をガイドする上下動ガイド機構と、上下動ガイド機構を介して、待機位置と整列位置との間で整列プレート３３の進退動をガイドする進退動ガイド機構３１と、整列プレート３３を後退方向に付勢する付勢手段３４と、進退動ガイド機構３１を支持する機台３０と、を備える。【選択図】図４
2008192933.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハカセットに棚板状に収容した複数のウェーハのオリエンテーションフラット側を押圧し、複数のウェーハの前後位置およびオリエンテーションフラットを揃えるためのウェーハの整列治具であって、
複数のウェーハのオリエンテーションフラット側を同時に押圧すると共に、押圧面を平坦に形成した整列プレートと、
前記整列プレートを支持すると共に、前記整列プレートの上下動をガイドする上下動ガイド機構と、
前記上下動ガイド機構を介して、待機位置と整列位置との間で前記整列プレートの進退動をガイドする進退動ガイド機構と、
前記整列プレートを後退方向に付勢する付勢手段と、
前記進退動ガイド機構を支持する機台と、を備えたことを特徴とするウェーハの整列治具。
【請求項２】
前記整列プレートに併設され、前記整列プレートを手動で操作するためのグリップを、更に備えたことを特徴とする請求項１に記載のウェーハの整列治具。
【請求項３】
前記付勢手段は、前記進退動ガイド機構を介して前記整列プレートを付勢していることを特徴とする請求項１または２に記載のウェーハの整列治具。
【請求項４】
上動端位置に上動した前記整列プレートに対し、前記上動端位置を維持するようにクリック係合するクリック機構を、更に備えたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のウェーハの整列治具。
【請求項５】
前記整列位置における前記整列プレートの下動を阻止する下動ストッパを、更に備えたことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のウェーハの整列治具。
【請求項６】
下動端位置に移動した前記整列プレートを検出するプレート検出手段を、更に備えたことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載のウェーハの整列治具。
【請求項７】
ウェーハカセットに棚板状に収容した複数のウェーハのオリエンテーションフラット側を押圧し、複数のウェーハの前後位置およびオリエンテーションフラットを揃えるウェーハの整列装置であって、
複数のウェーハのオリエンテーションフラット側を同時に押圧すると共に、押圧面を平坦に形成した整列プレートと、
前記整列プレートを支持すると共に、前記整列プレートを上下動させる上下動機構と、
前記上下動機構を介して、待機位置と整列位置との間で前記整列プレートを進退させる進退動機構と、
前記進退動機構を支持する機台と、
前記上下動機構および前記進退動機構を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とするウェーハの整列装置。
【請求項８】
複数のウェーハを挟んで前記整列プレートに対峙すると共に、その押圧面を前記整列プレートの前記押圧面に対面するように形成した従動整列プレートと、
前記従動整列プレートを支持すると共に、前記従動整列プレートを上下動させる従動上下動機構と、
前記従動上下動機構を介して、待機位置と整列位置との間で前記従動整列プレートを進退させる従動進退動機構と、
前記整列プレートおよび前記従動整列プレートを、接近方向に同時に移動させると共に、離間方向に同時に移動させる同期移動手段と、を更に備え、
前記制御手段は、前記従動上下動機構、前記従動進退動機構および前記同期移動手段を、更に制御することを特徴とする請求項７に記載のウェーハの整列装置。
【請求項９】
請求項１ないし６のいずれかに記載のウェーハの整列治具、または請求項７若しくは請求項８に記載のウェーハの整列装置を備えたことを特徴とするウェーハ処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カセットに収納された複数のウェーハのオリエンテーションフラット（以下、「オリフラ」と称す。）合わせを行うウェーハの整列冶具、ウェーハの整列装置およびウェーハ処理装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ウェーハカセット内に収納された複数のウェーハを回転させ、ウェーハのオリフラを揃えるウェーハの整列装置（ウェーハ移し替え装置）が知られている。このウェーハの整列装置は、ウェーハを収納するカセットと、カセットを載置すると共に、左右に移動可能な移動テーブルと、移動テーブルの下方に昇降可能に設けられたオリフラ合わせ用のローラと、で構成されている。オリフラ合わせを行う場合、ウェーハが収納されたカセットを移動テーブルに載置し、移動テーブルの下方に配置されるローラを昇降させてウェーハを僅かに持ち上げる。この状態でローラを回転させることにより、ウェーハ自身を回転させ、ウェーハのオリフラ端面を鉛直下方に整列させる。すなわち、オリフラがローラに臨むとウェーハの回転が停止することを利用して、複数のウェーハのオリフラ合わせを行うようにしている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平５−１９８６４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような従来のウェーハ整列装置では、その構造および制御が複雑になると共に、ローラが回転中に揃ったウェーハは、ローラとの間でスリップし、場合によってはローラ上で弾む。すなわち、オリフラが揃った後に無用な力が作用し、チッピング等、ウェーハが破損するおそれがある。掛かる不具合を解消するために、単純に板状の部材でオリフラ面を押圧してオリフラ合わせを行うことが考えられる。しかし、板状の部材の押圧が過剰に行われると、カセット内でウェーハが全体的にずれ、片寄ってセットされることが考えられる。また、板状の部材をオリフラ面から離す時、手ブレ等により、一旦揃ったオリフラが、微妙に位置ずれするという問題が想定される。
【０００４】
本発明は、カセットに収納された複数のウェーハに対し、簡単な構造でオリフラ合わせを正確に行うことができるウェーハの整列冶具、ウェーハの整列装置およびウェーハ処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のウェーハの整列冶具は、ウェーハカセットに棚板状に収容した複数のウェーハのオリエンテーションフラット側を押圧し、複数のウェーハの前後位置およびオリエンテーションフラットを揃えるためのウェーハの整列治具であって、複数のウェーハのオリエンテーションフラット側を同時に押圧すると共に、押圧面を平坦に形成した整列プレートと、整列プレートを支持すると共に、整列プレートの上下動をガイドする上下動ガイド機構と、上下動ガイド機構を介して、待機位置と整列位置との間で整列プレートの進退動をガイドする進退動ガイド機構と、整列プレートを後退方向に付勢する付勢手段と、進退動ガイド機構を支持する機台と、を備えたことを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、上下動ガイド機構および進退動ガイド機構により、上下動と進退動とが規制され、且つ進退動ガイドは機台に確実に固定されているため、適切な姿勢を維持しつつ、適切な位置に、適切な方向に、ガタつきなく整列プレートを移動させることができる。また、整列プレートは付勢手段により後退方向に付勢されているため、ウェーハの整列冶具をウェーハのオリフラ面に対して前進させて接触させる際に、付勢手段が反力となり、前進方向に対する過剰な押圧を抑制することができる。これにより、ウェーハがカセットから飛び出す、あるいは片寄ってセットされることを防止することができる。また、押圧をゆるめれば、付勢手段により整列プレートを瞬時に後退させることができ、進退動ガイドと併せて、手ブレの影響を排除することができる。
【０００７】
この場合、整列プレートに併設され、整列プレートを手動で操作するためのグリップを、更に備えたことが好ましい。
【０００８】
この構成によれば、整列プレートの前後方向および上下方向への移動の安定性、すなわち操作性を向上させることができる。これにより、整列プレートの微調整が行い易くなり、ウェーハのオリフラ合わせを正確に行うことができる。
【０００９】
これらの場合、付勢手段は、進退動ガイド機構を介して整列プレートを付勢していることが好ましい。
【００１０】
この構成によれば、付勢手段による付勢力を整列プレートに安定に作用させることができ、整列プレートを安全且つ確実にウェーハのオリフラ面から離すことができる。これにより、一旦揃ったオリフラの位置ずれを防ぐことができる。また、装置を使用しない場合は、整列プレートを後方の待機位置に配置させることができる。
【００１１】
これらの場合、上動端位置に上動した整列プレートに対し、上動端位置を維持するようにクリック係合するクリック機構を、更に備えたことが好ましい。
【００１２】
この構成によれば、ウェーハのオリフラ面に整列プレートを接触させた状態を維持すると共に、整列冶具が下降することを防止することができる。すなわち、整列プレートに引き上げる力と押圧する力とを同時に加える必要が無く、操作性を向上させることができる。
【００１３】
これらの場合、整列位置における整列プレートの下動を阻止する下動ストッパを、更に備えたことが好ましい。
【００１４】
この構成によれば、整列プレートを整列位置に前進させた時に、誤って下降することを防ぐことができ、オリフラ合わせを安定に行うことができる。
【００１５】
これらの場合、下動端位置に移動した整列プレートを検出するプレート検出手段を、更に備えたことが好ましい。
【００１６】
この構成によれば、下動端位置における整列プレートの有無を検出することで、オリフラ合わせを行っているか否かを検出することができる。これにより、例えば、この検出結果に基づいて、下動端位置に整列プレートが無い場合に、搬送ロボットによるウェーハの移載を休止するようにロボット動作をインターロックすることができる。
【００１７】
本発明のウェーハの整列装置は、ウェーハカセットに棚板状に収容した複数のウェーハのオリエンテーションフラット側を押圧し、複数のウェーハの前後位置およびオリエンテーションフラットを揃えるウェーハの整列装置であって、複数のウェーハのオリエンテーションフラット側を同時に押圧すると共に、押圧面を平坦に形成した整列プレートと、整列プレートを支持すると共に、整列プレートを上下動させる上下動機構と、上下動機構を介して、待機位置と整列位置との間で整列プレートを進退させる進退動機構と、進退動機構を支持する機台と、上下動機構および進退動機構を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１８】
この構成によれば、制御手段により、整列プレートの上下移動および前後移動を制御することで、ウェーハのオリフラ合わせを自動で行うことができる。
【００１９】
この場合、複数のウェーハを挟んで整列プレートに対峙すると共に、その押圧面を整列プレートの押圧面に対面するように形成した従動整列プレートと、従動整列プレートを支持すると共に、従動整列プレートを上下動させる従動上下動機構と、従動上下動機構を介して、待機位置と整列位置との間で従動整列プレートを進退させる従動進退動機構と、整列プレートおよび従動整列プレートを、接近方向に同時に移動させると共に、離間方向に同時に移動させる同期移動手段と、を更に備え、制御手段は、従動上下動機構、従動進退動機構および同期移動手段を、更に制御することが好ましい。
【００２０】
この構成によれば、整列プレートおよび従動整列プレートが、接近方向に同時に移動することにより、ウェーハを両側から押し挟むように、オリフラ合わせを行う。これにより、オリフラ合わせに際し、複数枚のウェーハの位置が確実に揃えられ、且つ位置ずれすることないため、ウェーハのオリフラ合わせを正確に行うことができる。また、ウェーハがカセットから飛び出す、あるいは片寄ってセットされることを防止することができる。
【００２１】
本発明のウェーハ処理装置は、上記に記載のウェーハの整列治具または上記に記載のウェーハの整列装置を備えたことが好ましい。
【００２２】
この構成によれば、上記に記載のウェーハの整列冶具またはウェーハの整列装置をウェーハ処理装置に組み込むことにより、カセットをウェーハ処理装置にセットした後にオリフラ合わせを行うことができるため、セットしたカセット内でウェーハが位置ずれしていても、安定した状態で、且つその場でオリフラ合わせを行うことができ、オリフラ合わせを含む一連のウェーハ処理を円滑に行うことができる。これにより、ウェーハ処理のサイクルタイムを短縮することができ、作業効率が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、添付の図面に基づいて、本発明の一実施形態に係るウェーハの整列冶具をウェーハ処理装置に組み込んだ場合について説明する。このウェーハ処理装置は、半導体素子製造の対象となるウェーハに対し所定の処理を行うものであり、処理対象となるウェーハがカセットに収容された状態で搬入され、この状態でオリエンテーションフラット（以下、「オリフラ」と称す。）合わせを行い、その後、ウェーハのアライメントを行って、所定の処理を行う。
【００２４】
図１に示すように、このウェーハ処理装置１は、除振台１０と、除振台１０上の左側前部に設置されると共に、ウェーハ１１のオリフラ合わせを行うウェーハの整列冶具２と、ウェーハの整列冶具２に臨んで設置され、ウェーハ１１を収容したカセット１２を載置するカセット台３と、除振台１０左側後部に設置され、オリフラの位置調整を行うオリフラアライナー装置４と、除振台１０右側に設置され、ウェーハ１１のアライメントを行って、所定の処理を行う装置本体５と、各装置間においてウェーハ１１を搬送する搬送ロボット６と、備えている。また、カセット台３には、オリフラ合わせの対象となるウェーハ１１を収容する給材カセット１３および処理後のウェーハ１１を収容する除材カセット１４が載置される。
【００２５】
ウェーハ処理装置１では、まず、カセット台３にウェーハ１１を収容した給材カセット１３がセットされると、これにウェーハの整列冶具２を臨ませ、ウェーハ１１のオリフラ合わせを行う。オリフラ合わせは、オペレータにより手動で行われ（自動もあり）、後述するウェーハの整列冶具２の一部である整列プレート３３を上動させ、当該整列プレート３３を給材カセット１３に臨ませる。そして、この状態から給材カセット１３（ウェーハ１１）に対し、整列プレート３３を前進させることで、ウェーハ１１のオリフラ面２０（図２参照）を押圧し、オリフラ合わせを行う。ウェーハ１１のオリフラ合わせを行うことで、ウェーハ１１の回転方向および前後方向の位置ずれが補正され、オリフラ面２０の向きを一定方向に揃えられ、且つウェーハ１１の外形位置が合わされる。
【００２６】
オリフラ合わせ後、給材カセット１３に収容されたウェーハ１１を１枚ずつ搬送ロボット６にて搬送し、オリフラアライナー装置４に載置する。この場合、上述のウェーハの整列冶具２にて、ウェーハ１１の方向および位置が整列されているため、搬送ロボット６は、ウェーハ１１の周縁部２１（図２参照）を確実につかむことができ、パターン２２（図２参照）等の重要な部分に接触することなく搬送を行う。オリフラアライナー装置４では、ウェーハ１１のオリフラ面２０が一定方向（図１では上方）になるように、ウェーハ１１のアライナ処理を行う。
【００２７】
そして、アライナ処理後のウェーハ１１を搬送ロボット６にて搬送し、装置本体５に載置する。この装置には、ウェーハ１１を載置するアライメントテーブル１５と、アライメントテーブル１５をＸＹθ方向に動作させるＸＹθテーブル１６が載置されており、ＸＹθテーブル１６を動作させることで、ウェーハ１１の仮アライメント処理および本アライメント処理を行い、ウェーハ１１の前後方向および回転方向を正確に位置合わせする。そして、位置合わせを終えたウェーハ１１は、所定の処理を実施した後、搬送ロボット６により除材カセット１４に搬送・収容される。
【００２８】
なお、図２に示すように、上述した給材カセット１３および除材カセット１４は、略方形のボックス本体２５で外殻が構成され、ウェーハ１１の取出し口２６、およびその対面となるオリフラ合わせ口２７は開放されている（同図（ａ）参照）。ボックス本体２５の内部には、両側壁に、対をなす棚板を形成すべく、複数の溝２８、２８が、それぞれ対向するように形成されている（同図（ｂ）参照）。ウェーハ１１は、その周縁部２１が一対の溝２８、２８に挿入するようにセットされることで、パターン２２等のチップ形成部分を傷つけないように給材カセット１３および除材カセット１４に収容される。
【００２９】
次に、図３ないし５を参照し、ウェーハの整列冶具２について説明する。図３は、ウェーハの整列冶具２の上面図であり、図４は、ウェーハの整列冶具２の側面図である。また、図５は、ウェーハの整列冶具２の背面図を示している。ウェーハの整列冶具２は、機台３０と、機台３０上の一端側に設置されると共に、後述する整列プレート３３の進退動をガイドする進退動ガイド機構３１と、進退動ガイド機構３１の一端側に垂直方向に設置され、整列プレート３３を上下動にガイドする上下動ガイド機構３２と、上下動ガイド機構３２に並行となるように支持され、ウェーハ１１のオリフラ面２０を押圧する整列プレート３３と、機台３０上の他端側に、且つ進退動ガイド機構３１を挟んで上下動ガイド機構３２と対峙するように設置されると共に、進退動ガイド機構３１を後退方向に付勢する付勢機構３４（付勢手段）と、を備えている。
【００３０】
また、上述した各機構以外に、ウェーハの整列冶具２は、整列プレート３３の上動端位置を維持するクリック機構３５と、整列位置（オリフラ合わせを行う際の整列プレート３３の位置）における整列プレート３３の下動を阻止する下動ストッパ３６と、下動端位置に移動した整列プレート３３を検出するプレート検出手段３７と、待機位置（整列プレート３３の後退端位置）における整列プレート３３の下動端位置を位置決めするストッパ機構３８と、を備え、これらにより、整列プレート３３の位置規制が行われる。
【００３１】
進退動ガイド機構３１は、略長方形に形成された進退動テーブル４０と、進退動テーブル４０の進退方向に、且つ機台３０の両端に沿って延在する一対の進退動ガイド４１、４１と、進退動テーブル４０の下面四隅に止着され、進退動ガイド４１と係合する４つの進退動ガイド係合部材４２と、付勢機構３４と対向するように進退動テーブル４０の長手方向の一端側に立設される付勢受けプレート４３と、を有している。進退動ガイド係合部材４２は、進退動ガイド４１を挟むように逆凹型断面に形成されており、進退動ガイド４１に沿って、進退動テーブル４０を進退方向にスライド自在に支持している。これにより、進退動テーブル４０は、進退動ガイド４１上をスライドすることで、ウェーハ１１のオリフラ合わせを行う整列位置まで前進し、あるいは、待機位置まで後退する。また、付勢受けプレート４３には、挿入孔４４が形成されており、挿入孔４４に後述する付勢機構３４のロッド５６が貫通している。
【００３２】
上下動ガイド機構３２は、進退動テーブル４０に垂直に、且つ垂直方向に長い略長方形に形成された上下動テーブル４５と、上下動テーブル４５の背面に上下方向に添うように延在する上下動ガイド４６と、上下動ガイド４６と係合する上下動ガイド係合部材４７と、上下動ガイド係合部材４７に取り付けられ、整列プレート３３を支持する支持部材４８と、略台形に形成され、その下端が進退動テーブル４０に溶着され、後端が上下動テーブル４５に溶着された補助リブ４９と、を有している。上下動ガイド係合部材４７は、上下動ガイド４６を挟み込むように凹型断面に形成されており、上下動テーブル４５に対し、支持部材４８（整列プレート３３）を上下方向にスライド自在に支持している。これにより、整列プレート３３を移動させると、支持部材４８を介して上下動ガイド係合部材４７が上下動ガイド４６に沿ってスライドし、整列プレート３３を上方向および下方向に移動させる。
【００３３】
整列プレート３３は、ウェーハ１１と接触する押圧面５０を平坦に形成すると共に、押圧面５０の底部が上記の支持部材４８に止着されるプレート本体５１と、プレート本体５１の背面に止着された縦長のグリップ５２と、を有している。整列プレート３３を上下動させると、支持部材４８を介して上下動ガイド係合部材４７が上下動ガイド４６に沿って上下動し、これにより、整列プレート３３は、上方向および下方向にスライドする。また、整列プレート３３に前進方向の押圧力を与えると、上下動ガイド機構３２を介して進退動テーブル４０が前進し、これにより、整列プレート３３は、前方に移動する。一方、整列プレート３３に与えた押圧力を弱めると、整列プレート３３は、付勢機構３４の付勢力により後方に移動する。また、プレート本体５１に止着したグリップ５２により、上下動および進退動への移動の安定性が増し、操作性が向上するため、整列プレート３３の微調整が行い易くなり、ウェーハ１１のオリフラ合わせを正確に行うことができる。
【００３４】
付勢機構３４は、付勢受けプレート４３と対向するように機台３０端部に立設された固定プレート５５と、一方を固定プレート５５に貫設すると共に、他方を付勢受けプレート４３に進退自在に貫通する段付きのロッド５６と、固定プレート５５と付勢受けプレート４３との間のロッド５６に巻回するように取り付けられ、整列プレート３３を付勢する圧縮ばね５７と、固定プレート５５に貫設され、整列プレート３３の前進端位置を微調整する調整ネジ５８と、を有している。整列プレート３３を前進させると、付勢受けプレート４３が前進し、これに伴って圧縮ばね５７が収縮し、付勢受けプレート４３（進退動ガイド機構３１）を後退方向に付勢する。すなわち、オペレータによるオリフラ合わせでは、圧縮ばね５７に抗して整列プレート３３を前進させることになる。これにより、進退動ガイド機構３１の前進に一定の負荷がかかり、整列プレート３３の急激な移動が抑制され、ウェーハ１１が整列位置からオーバーランしてしまうのを防止している。また、前方に移動した付勢受けプレート４３に調整ネジ５８が当接することにより、進退動テーブル４０（整列プレート３３）の前進端位置が規制される。一方、ウェーハ１１を整列させた後、力を弱めれば、圧縮ばね５７のばね力により、整列プレート３３は元の位置に復帰する。
【００３５】
クリック機構３５は、ボールプランジャ６０と、ボールプランジャ６０を保持すると共に、上下動テーブル４５の上端側面に止着されたプランジャ支持部材６１と、上下動ガイド係合部材４７の下端に止着され、ボールプランジャ６０と係合する係合プレート６２と、を有している。ボールプランジャ６０は、出没自在に取り付けられたボール６３が、付勢ばね（図示省略）によって出没するように形成されている。また、係合プレート６２は、ボールプランジャ６０と係合するための係合溝（図示省略）が形成されている。さらに、プランジャ支持部材６１の下部には、後述する下動ストッパ３６と係合するための切り欠き６４が形成されている。この場合、上下動ガイド機構３２を介して整列プレート３３が上動端位置に到達すると、係合プレート６２がボール６３とクリック係合し、整列プレート３３を上動端位置に維持する。これにより、オリフラ合わせの際は、整列プレート３３に引き上げる力と押圧する力とを同時に加える必要がなく、操作性を向上させる。
【００３６】
下動ストッパ３６は、機台３０上に垂直に、且つ垂直方向に長い略長方形に形成され、上下動ガイド機構３２の近傍に設置されている。下動ストッパ３６の高さは、プランジャ支持部材６１の切り欠き６４の底面の位置と同じ高さに形成されており、整列プレート３３が整列位置に前進移動した際、プランジャ支持部材６１の切り欠き６４と下動ストッパ３６と、が係合することで、整列位置に在る整列プレート３３が下動しないように係止する。
【００３７】
プレート検出手段３７は、進退動テーブル４０の左側後部に設置されたプレート検出センサ６５（図３参照）と、上下動ガイド係合部材４７の下部に止着された遮弊板６６と、を有している。プレート検出センサ６５は、凹型に形成され、その凹部の左右には、発光素子および受光素子が対向配置している。また、遮弊板６６は上面視Ｌ字状に形成されており、その一端がプレート検出センサ６５の凹部分に臨むようになっている。これにより、整列プレート３３が下動端位置に移動すると、整列プレート３３と共に、上下動ガイド係合部材４７が下動端位置に移動し、上下動ガイド係合部材４７に止着された遮弊板６６が、プレート検出センサ６５内の発光素子の光を遮断する。これにより、下動端位置における整列プレート３３の有無を検出する。
【００３８】
ストッパ機構３８は、上下動ガイド係合部材４７の下部に臨むように設置されたストッパボルト７０と、ストッパボルト７０を螺着すると共に、機台３０に止着されるボルト支持部材７１と、を有している。ストッパボルト７０は、待機位置における整列プレート３３の下動端位置を位置規制するものであり、その上部は球面に形成され、上下動ガイド係合部材４７と接触する際の衝撃を和らげると共に、下動端位置を微調整可能にしている。
【００３９】
ここで、図６を参照し、ウェーハの整列冶具２により手動でオリフラ合わせを行う手順を説明する（第１実施形態）。まず、整列プレート３３に止着されたグリップ５２を介して整列プレート３３を上動させ、カセット台３にセットされた給材カセット１３と並行に、且つ給材カセット１３のオリフラ合わせ口２７に臨む位置（上動端位置）まで上動させる。この場合、上述したクリック機構３５により、ボールプランジャ６０と係合プレート６２とが、クリック係合されることで、整列プレート３３を上動端位置に維持する。また、プレート検出手段３７により整列プレート３３が下動端位置に無いことが検出されるため、搬送ロボットによるウェーハ１１の移載を休止するようにロボット動作をインターロックする。
【００４０】
次に、整列プレート３３を待機位置から整列位置まで前進させ、整列プレート３３の押圧面５０で、給材カセット１３内の複数枚のウェーハ１１のオリフラ面２０を押圧することで、ウェーハ１１の前後位置およびオリフラを揃える。
【００４１】
オリフラ合わせ終了後、整列プレート３３に加えた力を緩め、整列プレート３３をウェーハ１１のオリフラ面２０から離間させると共に、待機位置まで後退させる。
【００４２】
その後、整列プレート３３を下動端位置まで移動させ、待機させる。この場合、ストッパ機構３８により、整列プレート３３を確実に、且つ安全に下動端位置に移動させることができる。また、プレート検出手段３７により、整列プレート３３が下動端位置に有ることを検出することで、オリフラ合わせが終了したことを検出し、搬送ロボット６によるウェーハ１１の移載動作を再開させることができる。
【００４３】
また、図７に示すように、上述のウェーハの整列冶具２を２台使用し、制御装置によって制御することで、オリフラ合わせを自動化することも可能である（第２実施形態）。この場合、カセット台３に設置された給材カセット１３に対し、その両側から挟みこむように２台のウェーハの整列冶具２を配置し、給材カセット１３内のウェーハ１１を両側から挟み込むことで、ウェーハ１１のオリフラ面を揃える。以下、第２実施形態におけるウェーハの整列装置７について説明する。
【００４４】
第２実施形態のウェーハの整列装置７は、第１実施形態の整列冶具を主体として組み込んだ主動整列ユニット８０と、主動整列ユニット８０と同一基本構造の従動整列ユニット１００と、で構成されている。主動整列ユニット８０は、ウェーハ１１を押圧する主動側整列プレート８１と、主動側整列プレート８１を進退方向に移動させる主動側進退動機構８２と、主動側整列プレート８１を上下方向に移動させる主動側上下動機構８３と、を備えている。
【００４５】
主動側進退動機構８２は、主動側進退動テーブル８５と、機台３０上に設置され、主動側進退動テーブル８５をスライド自在に支持する主動側進退動ガイド８６と、主動側進退動テーブル８５の下面に止着され、主動側進退動ガイド８６と係合する主動側進退動ガイド係合部材８７と、主動側進退動テーブル８５の前方に設置され、主動側進退動機構８２を進退方向に移動させる主動側進退動シリンダ８８と、を有し、主動側進退動シリンダ８８を駆動することで、主動側進退動テーブル８５がスライドされ、前進または後退する。また、主動側進退動テーブル８５の上面端部には、主動側ラック８９が上向きに止着されており、この主動側ラック８９と後述する従動側ラック１０９と、がピニオン９０により噛み合わさることで、主動整列ユニット８０と従動整列ユニット１００と、を連動して進退動させ（同期移動手段）、ウェーハ１１のオリフラ合わせを行う。なお、ピニオン９０は、図外の軸受けを介して、機台３０上に回転自在に設けられている。
【００４６】
主動側上下動機構８３は、主動側進退動テーブル８５上に垂直に設置される主動側上下動テーブル９１と、主動側上下動テーブル９１に添うように延在すると共に、主動側整列プレート８１を上下方向にスライド自在に支持する主動側上下動ガイド９２と、主動側上下動ガイド９２と係合する主動側上下動ガイド係合部材９３と、下端が主動側進退動テーブル８５に溶着され、後端が主動側上下動テーブル９１に溶着された主動側補助リブ９４と、を有し、これらにより、主動側整列プレート８１の上下動をガイドする。
【００４７】
主動側整列プレート８１は、主動側上下動ガイド係合部材９３に支持される主動側プレート本体９５と、その押圧面９６に貼着される押圧パッド９７と、主動側プレート本体９５の下端に連結され、主動側整列プレート８１を上下方向に移動させる主動側上下動シリンダ９８と、を有している。主動側上下動シリンダ９８が駆動されると、主動側上下動ガイド係合部材９３が主動側上下動ガイド９２に沿って上下動し、これにより、主動側整列プレート８１は、その上動端位置と、下動端位置との間を移動する。
【００４８】
一方、従動整列ユニット１００は、ウェーハ１１を押圧する従動側整列プレート１０１と、従動側整列プレート１０１を進退方向に移動させる従動側進退動機構１０２と、従動側整列プレート１０１を上下方向に移動させる従動側上下動機構１０３と、を備えている。
【００４９】
従動側進退動機構１０２は、従動側進退動テーブル１０５と、機台３０に設置された支持ベース１０６上に設置され、従動側進退動テーブル１０５をスライド自在に支持する従動側進退動ガイド１０７と、従動側進退動テーブル１０５の下面に止着され、従動側進退動ガイド１０７と係合する従動側進退動ガイド係合部材１０８と、を有している。従動側進退動テーブル１０５の下面には、従動側ラック１０９が下向きに止着されており、主動側ラック８９とピニオン９０により噛み合わさることで、主動整列ユニット８０（主動側進退動テーブル８５）の進退動と連動して動作する。
【００５０】
従動側上下動機構１０３は、従動側進退動テーブル１０５上に垂直に設置される従動側上下動テーブル１１０と、従動側上下動テーブル１１０に添うように延在すると共に、従動側整列プレート１０１を上下方向にスライド自在に支持する従動側上下動ガイド１１１と、従動側上下動ガイド１１１と係合する従動側上下動ガイド係合部材１１２と、下端が従動側進退動テーブル１０５に溶着され、後端が従動側上下動テーブル１１０に溶着された従動側補助リブ１１３と、を有し、これらにより、従動側整列プレート１０１の上下動をガイドする。
【００５１】
従動側整列プレート１０１は、従動側上下動ガイド係合部材１１２に支持される従動側プレート本体１１５と、その押圧面１１６に貼着される押圧パッド９７と、従動側プレート本体１１５の下端に連結され、従動側整列プレート１０１を上下方向に移動させる従動側上下動シリンダ１１７と、を有している。従動側上下動シリンダ１１７が駆動されると、従動側上下動ガイド係合部材１１２が従動側上下動ガイド１１１に沿って上下動し、これにより、従動側整列プレート１０１は、その上動端位置と、下動端位置との間を移動する。
【００５２】
ここで、第２実施形態のウェーハの整列装置７により自動でオリフラ合わせを行う手順を説明する。まず、制御装置（図示省略）により、主動側上下動シリンダ９８および従動側上下動シリンダ１１７が駆動されると、主動側整列プレート８１および従動側整列プレート１０１は、それぞれの上下動ガイド機構により上動端位置まで上動される。この場合、主動側整列プレート８１は、給材カセット１３のオリフラ合わせ口２７に臨み、従動側整列プレート１０１は、給材カセット１３の取出し口２６に臨む。このように、主動側整列プレート８１および従動側整列プレート１０１は、給材カセット１３の両側面を間隙を存して挟むように臨み、停止する。なお、主動側整列プレート８１が取出し口２６に臨み、従動側整列プレート１０１がオリフラ合わせ口２７に臨むようにしてもよい。
【００５３】
次に、主動側進退動シリンダ８８が駆動されると、主動側進退動テーブル８５が前進すると共に、主動側上下動機構８３を介して主動側整列プレート８１が整列位置まで前進する。この時、主動側ラック８９と従動側ラック１０９とが、ピニオン９０によって噛み合っているため、従動側進退動テーブル１０５は、主動側進退動テーブル８５の前進動作と連動して前進する（同時に接近方向に移動）と共に、従動側上下動機構１０３を介して従動側整列プレート１０１が整列位置まで前進する。これにより、主動側整列プレート８１および従動側整列プレート１０１は、両押圧面９６、１１６でウェーハ１１の両側を押し挟み、オリフラ合わせを行う。
【００５４】
この場合、一方の押圧面９６（ここでは、主動側整列プレート８１側）でオリフラ合わせを行い、他方の押圧面１１６（ここでは、従動側整列プレート１０１側）は、ウェーハ１１の位置を規制する役割を担っている。また、両押圧面９６、１１６には、押圧パッド９７が貼着されているため、ウェーハ１１を挟持しても、ウェーハ１１が破損することがなく、オリフラ面２０が、主動側整列プレート８１側および従動側整列プレート１０１側のいずれの側で在っても、問題なくオリフラ合わせおよびウェーハ１１の給材カセット１３内での位置決めを行うことができる。
【００５５】
その後、制御装置により、主動側進退動シリンダ８８が駆動され、主動側進退動機構８２を待機位置まで後退させることにより、連動して従動側進退動機構１０２も待機位置まで後退（同時に離間方向に移動）し、これにより、主動側整列プレート８１および従動側整列プレート１０１は、ウェーハ１１から離間する。そして、制御装置により、主動側上下動シリンダ９８および従動側上下動シリンダ１１７が駆動されると、主動側整列プレート８１および従動側整列プレート１０１は、下動端位置まで移動し、待機する。
【００５６】
なお、上述の第２実施形態の主動整列ユニット８０を１台のみ使用し、制御装置により、主動側進退動シリンダ８８および主動側上下動シリンダ９８の駆動を制御することで、主動側整列プレート８１の進退方向および上下方向の位置調整を行い、オリフラ合わせを自動化することも可能である（第３実施形態）。
【００５７】
以上のように、本実施形態によれば、進退動ガイド機構３１および上下動ガイド機構３２により、進退動と上下動とを規制することができるウェーハの整列冶具２を使用することで、適切な姿勢を維持しつつ、適切な位置に、適切な方向に、ガタつきなく整列プレート３３を移動させることができ、正確にウェーハ１１のオリフラ合わせを行うこができる。
【００５８】
また、整列プレート３３を前進させ、ウェーハ１１のオリフラ面２０を押圧する際に、整列プレート３３は、付勢機構３４により後退方向に付勢されるため、前進方向に対する過剰な押圧を抑制することができる。これにより、ウェーハ１１が給材カセット１３から飛び出す、あるいは片寄ってセットされることを防止することができる。また、押圧をゆるめれば、付勢機構３４により整列プレート３３を瞬時に後退させることができ、進退動ガイド機構３１と併せて、手ブレ等により、一端揃ったオリフラが、微妙に位置ずれするのを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本実施形態に係るウェーハ処理装置の平面模式図である。
【図２】ウェーハを収納するカセットの側面図（ａ）およびカセットをＡ−Ａで切断した断面図である。
【図３】ウェーハの整列冶具の上面図である。
【図４】ウェーハの整列冶具の側面図である。
【図５】ウェーハの整列冶具の背面図である。
【図６】第１実施形態に係るウェーハの整列冶具の模式図である。
【図７】第２実施形態に係るウェーハの整列装置の模式図である。
【符号の説明】
【００６０】
１…ウェーハ処理装置  ２…ウェーハの整列冶具  ７…ウェーハの整列装置  １１…ウェーハ  １２…カセット  ２０…オリフラ面  ３０…機台  ３１…進退動ガイド機構  ３２…上下動ガイド機構  ３３…整列プレート  ３４…付勢機構  ３５…クリック機構  ３６…下動ストッパ  ３７…プレート検出手段  ５０…押圧面  ５２…グリップ  ８１…主動側整列プレート  ８２…主動側進退動機構  ８３…主動側上下動機構  ８９…主動側ラック  ９０…ピニオン  ９６…押圧面  １０１…従動側整列プレート  １０２…従動側進退動機構  １０３…従動側上下動機構  １０９…従動側ラック  １１６…押圧面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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