(57)【要約】【課題】磁気記録媒体のサーティファイ検査において、磁気記録媒体の基板のうねりや磁性膜の膜厚分布の不均一などに影響されずに、エラー箇所を検出できる【解決手段】磁気記録媒体の再生信号を検査するサーティファイ検査装置において、磁気ヘッド５３は、磁気記録媒体に記録された信号を再生する。ＡＧＣ部３４は、再生された信号のうち磁気記録媒体のエラー部に起因する信号を入力されてからの経過時間に応じて制御した利得率で、再生された信号を増幅する。ＣＭＰ部３８は、増幅された信号のレベルとスライスレベルとを比較してエラーの有無を判定する。【選択図】図３
2008204504.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気記録媒体の再生信号を検査するサーティファイ検査装置において、
前記磁気記録媒体に記録された信号を再生する磁気ヘッド部と、
前記再生された信号のうち前記磁気記録媒体のエラー部に起因する信号を入力されてからの経過時間に応じて制御した利得率で、前記再生された信号を増幅する増幅手段と、
前記増幅された信号のレベルとスライスレベルとを比較してエラーの有無を判定する比較判定手段と
を具備することを特徴とするサーティファイ検査装置。
【請求項２】
前記増幅手段は、前記エラー部に起因する信号を入力されてから、２５μ秒から１０００μ秒の間の時間だけ経過したときに出力レベルが一定となるように制御した利得率で増幅することを特徴とする請求項１に記載のサーティファイ検査装置。
【請求項３】
前記増幅手段は、出力レベルが一定となるように前記時定数にて制御した利得率にて、前記再生された信号を増幅する自動利得率制御回路であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のサーティファイ検査装置。
【請求項４】
前記増幅された信号の平均値を算出し、該平均値に予め決められた割合を掛けた値を、前記スライスレベルとして前記比較判定手段に与えるスライスレベル設定手段を具備することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかの項に記載のサーティファイ検査装置。
【請求項５】
磁気記録媒体の再生信号を検査するサーティファイ検査装置におけるサーティファイ検査方法において、
前記磁気記録媒体に記録された信号を再生する第１の過程と、
前記再生された信号のうち前記磁気記録媒体のエラー部に起因する信号を入力されてから経過時間に応じて制御した利得率で、前記再生された信号を増幅する第２の過程と、
前記増幅された信号のレベルとスライスレベルとを比較してエラーの有無を判定する第３の過程と
を具備することを特徴とするサーティファイ検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、サーティファイ検査装置およびサーティファイ検査方法、特に、いわゆるハードディスクドライブに用いられる磁気記録媒体のサーティファイ検査装置およびサーティファイ検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ハードディスクドライブに代表される磁気記録装置はコンピュータなどの情報処理装置の外部記憶装置として広く用いられ、近年は動画像の録画装置等としても使用されつつある。
【０００３】
ハードディスクドライブは、通常、中央に開口部のある円盤状（ドーナッツ形状）の磁気記録媒体を、１枚或いは複数枚を積層して同心円で回転させる（複数枚の場合は、同期回転させる）シャフトと、該シャフトにベアリングを介して接合された磁気記録媒体を回転させるモータと、磁気記録媒体の両面において記録及び／又は再生に用いる磁気ヘッドと、該ヘッドが取り付けられた支持アームと、複数本以上の支持アーム（これを、ヘッドスタックアセンブリと呼ぶ。）を同期して可動させ磁気ヘッドを磁気記録媒体上の任意の位置に移動させることのできるヘッドスタック機構とからなる。そして、磁気記録再生用ヘッドは通常浮上型ヘッドで、磁気記録媒体上を一定の浮上量で移動している。
【０００４】
ハードディスクドライブに搭載される磁気記録媒体は、次の工程により製造される。
磁気記録媒体は、一般にアルミニウム合金やガラス基板等からなる基板の表面に、テキスチャリング処理などを施した後、その上に、下地層、磁性層、保護層、潤滑層などを順次形成して作製されている。その後、磁気記録媒体の検査工程として、グライド検査工程とサーティファイ検査工程が行われる。
【０００５】
グライド検査工程とは、磁気記録媒体の表面に突起物が無いか検査する工程である。すなわち、磁気記録媒体を、磁気ヘッドを用いて記録再生する際に、媒体面に媒体と磁気ヘッドの間隔以上の高さの突起があると、磁気ヘッドが突起にぶつかり、磁気ヘッドを損傷し、また、媒体に欠陥が発生する原因となる。本工程ではそのような高い突起の有無を検査する（例えば、特許文献１参照。）。なお本工程は、磁気記録媒体表面の突起物の検査を行い、磁気記録媒体への信号の記録再生を行わない。
【０００６】
グライド検査工程をパスした磁気記録媒体については、サーティファイ検査を実施する。サーティファイ検査工程とは、磁気記録媒体に対し、通常のハードディスクドライブの記録再生のように、磁気ヘッドで所定の信号を記録した後、その信号を再生し、得られた再生信号から、電気特性や欠陥の有無など媒体の品質を確かめるものである（例えば、特許文献２参照。）。
【特許文献１】特開平１０−１０５９０８号公報
【特許文献２】特開２００３−２５７０１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
磁気記録媒体のサーティファイ検査工程は、ハードディスクドライブの記録再生のように、磁気ヘッドで所定の信号を記録再生できることを確認するための検査工程であるため、実際の、ハードディスクドライブでの使用方法と同様に、磁気記録媒体に一定の信号を書き込んだ後、その信号が正しく読み出せるか検査する。
サーティファイ検査装置の信号処理系は、概略すると図７のような構成となっている。すなわち、一定の磁気情報を書き込んだ磁気記録媒体において、磁気ヘッド７１は磁気記録媒体から読み込んだ再生信号を後段の回路に送り、後段の回路ではＴＡＡ（Track Average Amplitude = １周の平均出力）７６に基づき設定されたスライスレベルと再生信号とをＣＭＰ７８にて比較することにより、再生ビット一つ一つがエラーであるかどうかを判定する。
【０００８】
例えば、図８（ａ）の磁気記録媒体ように、矢印で示された箇所にエラー部を有するトラックについてサーティファイ検査を行うと、そのときの再生信号は、図８（ｂ）のようになる。この再生信号は、エンベロープ信号とよばれ、中央部にくびれのある帯状の信号である。サーティファイ検査では磁気記録媒体に、５０〜１００ＭＨｚ程度の高周波数で正弦波の信号を書き込み、および、読み出しを行う。すなわち、ディスクの回転数６０００ｒｐｍの状態において検査を行った場合には、ディスク１周当たり、約５０万個以上のの正弦波形が出力される。このような状態のディスク１周分の信号を測定器で見た場合、図８（ｂ）のような帯状の信号が観察される。
【０００９】
この再生信号について、エラー部を検出するスライスレベルを適切に設定すると、図８（ａ）のエラー部Ｅ１の箇所を、エラー箇所として検出することができる。
ところが、実際の磁気記録媒体においては、基板表面全体にうねり等が生じており基板表面が完全な平面でない場合が多く、このうねり等が磁気記録媒体のサーティファイ検査を難しくしている。例えば、図９（ａ）の磁気記録媒体のように、基板の右上方向の高出力領域Ａ１で高く、左下方向の低出力領域Ａ２で低いうねりが生じ、その基板の右上位置にエラー部Ｅ２がある場合を例にすると、このようなトラックについてサーティファイ検査を行うと、その時の再生信号は、図９（ｂ）のようなエンベロープ信号になる。この場合の再生信号について、エラー部を検出するスライスレベルを図８と同様に図９（ｂ）のように設定しても、図９（ａ）の矢印の箇所を、エラー箇所として検出することができない。
以上は、磁気記録媒体のサーティファイ検査において、エラー箇所の検出を困難にする要因として、磁気記録媒体の基板にうねりが生じている場合を例として示したが、このような要因としては、基板のうねり以外にも、磁気記録媒体における磁性膜の膜厚分布の不均一性等がある。
【００１０】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、その目的は、磁気記録媒体のサーティファイ検査において、磁気記録媒体の基板のうねりや磁性膜の膜厚分布の不均一などに影響されずに、エラー箇所を検出できるサーティファイ検査装置およびサーティファイ検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本願発明者は、上記課題を解決すべく鋭意努力検討した結果、磁気記録媒体のサーティファイ検査工程において、磁気ヘッドからの再生信号の中で磁気記録媒体表面のエラー部に起因する信号を検出してからの時間に応じて、再生信号のゲインをアンプにより動的に変化させることにより、前記課題を解決できることを見出し、本願発明を完成させた。すなわち本願発明は以下に関する。
（１）磁気記録媒体の再生信号を検査するサーティファイ検査装置において、前記磁気記録媒体に記録された信号を再生する磁気ヘッド部と、前記再生された信号のうち前記磁気記録媒体のエラー部に起因する信号を入力されてからの経過時間に応じて制御した利得率で、前記再生された信号を増幅する増幅手段と、前記増幅された信号のレベルとスライスレベルとを比較してエラーの有無を判定する比較判定手段とを具備することを特徴とするサーティファイ検査装置。
（２）前記増幅手段は、前記エラー部に起因する信号を入力されてから、２５μ秒から１０００μ秒の間の時間だけ経過したときに出力レベルが一定となるように制御した利得率で増幅することを特徴とする前項１に記載のサーティファイ検査装置。
（３）前記増幅手段は、出力レベルが一定となるように前記時定数にて利得率を再帰制御して、前記再生された信号を増幅する自動利得率制御回路であることを特徴とする前項１または前項２に記載のサーティファイ検査装置。
（４）前記増幅された信号の平均値を算出し、該平均値に予め決められた割合を掛けた値を、前記スライスレベルとして前記比較判定手段に与えるスライスレベル設定手段を具備することを特徴とする前項１から前項３のいずれかの項に記載のサーティファイ検査装置。
（５）磁気記録媒体の再生信号を検査するサーティファイ検査装置におけるサーティファイ検査方法において、前記磁気記録媒体に記録された信号を再生する第１の過程と、前記再生された信号のうち前記磁気記録媒体のエラー部に起因する信号を入力されてから経過時間に応じて制御した利得率で、前記再生された信号を増幅する第２の過程と、前記増幅された信号のレベルとスライスレベルとを比較してエラーの有無を判定する第３の過程とを具備することを特徴とするサーティファイ検査方法。
【発明の効果】
【００１２】
この発明によれば、増幅手段が、エラー部に起因する信号を入力されてから時定数の時間だけ経過したときの出力信号のレベルが一定となるように制御した利得率で、再生された信号を増幅するので、磁気記録媒体の基板のうねりや磁性膜の膜厚分布の不均一などに影響されずに、エラー箇所を検出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明について詳細に説明する。
図１は、本実施形態における磁気記録媒体の構造を例示するもので、ここに示す磁気記録媒体は、非磁性基板１の上に、非磁性下地層２、磁性層３、保護層４、液体潤滑層５を順次積層させたものである。
本実施形態における磁気記録媒体に係る非磁性基板１としては、Ａｌ、Ａｌ合金などの金属材料からなる基体上にＮｉＰまたはＮｉＰ合金からなる膜が形成されたものを用いることができる。また、非磁性基板１としては、ガラス、セラミックス、シリコン、シリコンカーバイド、カーボン、樹脂などの非金属材料からなるものを用いてもよいし、この非金属材料からなる基体上にＮｉＰまたはＮｉＰ合金の膜を形成したものを用いてもよい。
【００１４】
非金属材料としては、表面平滑性の点から、ガラス、シリコンから選ばれるいずれか１種が好ましい。特に、コストおよび耐久性の点からガラスを用いるのが好ましい。ガラスとしては、結晶化ガラスまたはアモルファスガラスを用いることができる。アモルファスガラスとしては汎用のソーダライムガラス、アルミノほう珪酸ガラス、アルミノシリケートガラスを使用できる。結晶化ガラスとしては、リチウム系結晶化ガラスを用いることができる。
【００１５】
セラミックス基板としては、汎用の酸化アルミニウム、窒化珪素などを主成分とする焼結体やそれらの繊維強化物が挙げられる。記録密度を高めるため、磁気ヘッドの低フライングハイト化が要求されていることから、非磁性基板１の表面平滑性を高めることが望ましい。すなわち、非磁性基板１は、表面平均粗さＲａが０．５ｎｍ以下、好ましくは０．３ｎｍ以下であることが望ましい。
非磁性基板上には、非磁性下地層２が形成される。非磁性下地層２としてはＣｒ合金等が用いられる。
本発明の磁気記録媒体に係わる磁性層３は、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｔａ系、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ系、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｔａ系、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｂ−Ｔａ系合金等が用いられる。
【００１６】
本実施形態における磁気記録媒体に係わる保護層４は、従来の公知の材料、例えば、カーボン、ＳｉＣの単体またはそれらを主成分とした材料を使用することができる。保護層４の膜厚は１ｎｍ〜１０ｎｍの範囲内であるのが高記録密度状態で使用した場合の、磁気的スペーシングの低減または耐久性の点から好ましい。ここで、磁気的スペーシングは、磁気ヘッドのリードライト素子と磁性層３との距離を表す。磁気的スペーシングが狭くなるほど電磁変換特性は向上する。
本実施形態における磁気記録媒体では、保護層上に液体潤滑層５を設けるのが好ましい。液体潤滑層の層厚は１．５ｎｍ〜２．５ｎｍの範囲内が好ましい。液体潤滑剤としては、例えば、パーフルオロポリエーテル化合物が用いられる。
【００１７】
本発明の磁気記録媒体の検査方法（サーティファイ検査方法）では、その検査工程の前に、グライド検査工程を設けるのが好ましい。グライド検査工程とは、前述のように、磁気記録媒体の表面に突起物が無いか検査する工程であり、磁気記録媒体を回転させて検査ヘッドを浮上させ、検査ヘッドで磁気記録媒体表面を走査することにより、磁気記録媒体表面の突起物の有無を検査ヘッドからの信号で検査する工程である。この検査工程を、サーティファイ検査方法の前に設けることにより、サーティファイ検査方法での検査ヘッドの破損を防ぐことができる。
【００１８】
グライド検査に使用できる検査ヘッドとして、感熱素子を有するヘッドが例示できる。すなわち、高速で回転している磁気記録媒体上に存在する突起物に検査ヘッドが接触すると、瞬間的に検査ヘッドで熱が発生し、その熱を感熱素子が検知して信号を出力することによりグライド検査を実施することが可能となる。このグライド検査工程における評価は、磁気記録媒体が、ハードディスクドライブにおいて通常用いられる磁気記録再生ヘッドの浮上量よりも、低い浮上量で行うのが好ましい。
【００１９】
図２は、本実施形態におけるサーティファイ検査装置の斜視図である。本実施形態におけるサーティファイ検査装置は、上述の磁気記録媒体における再生信号を検査する装置であり、検査対象の磁気記録媒体５１を設置する機構、磁気記録媒体５１を回転させる媒体駆動部５２、磁気記録媒体５１から記録信号を再生する磁気ヘッド５３、この磁気ヘッド５３を磁気記録媒体５１に対して相対運動させるヘッド駆動部５４、磁気ヘッドからの再生信号を処理する再生信号処理機構５５を備えている。なお、符号５６は、磁気記録媒体５１の交換時に磁気ヘッド５３を退避させるランプである。
【００２０】
図３は、磁気ヘッド５３および再生信号処理機構５５の構成を示す概略ブロック図である。ＡＭＰ（アンプ）部３１は、磁気ヘッド５３からの再生信号を一定の利得率で増幅する。ＬＰＦ（Ｌｏｗ  Ｐａｓｓ  Ｆｉｌｔｅｒ：低域通過濾波器）部３２は、増幅された再生信号の高周波成分を抑制し、低周波成分を出力する。ＡＭＰ部３３は、ＬＰＦ部３２が出力した低周波成分の信号を一定の利得率で増幅して出力する。ＡＧＣ（Ａｕｔｏ  Ｇａｉｎ  Ｃｏｎｔｒｏｌ：自動利得率制御）部（増幅手段）３４は、出力レベルが一定となるように後述する時定数にて利得率を再帰制御して、ＡＭＰ部３３の出力信号を増幅する。ＡＭＰ部３５は、ＡＧＣ部３４が増幅した信号を、一定の利得率でさらに増幅した再生信号を出力する。
【００２１】
ＴＡＡ（Ｔｒａｃｋ  Ａｖｅｒａｇｅ  Ａｍｐｌｉｔｕｄｅ：トラック平均出力）部３６は、ＡＭＰ部３５の出力した再生信号の１トラック分（１周分）を平均したデジタル信号を出力する。ＤＡＣ部３７は、ＴＡＡ部３６の出力したデジタル信号を８０％のレベル（スライスレベル）のアナログ信号に変換したスライス信号を出力する。ＣＭＰ（Ｃｏｍｐａｒａｔｏｒ：比較器）部（比較判定手段）３８は、ＡＭＰ部３５の出力した再生信号とＤＡＣ部３７の出力したスライス信号との大小を比較する。ＬＳＩ（Ｌａｒｇｅ  Ｓｃａｌｅ  Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ）部３９は、ＣＭＰ部３８が再生信号がスライス信号より小さいと判定したときをエラーとするエラー判定手段である。
なお、本実施形態では、ＴＡＡ部３６とＤＡＣ部３７とでスライスレベル設定手段として機能する。
【００２２】
なお、図２に示したサーティファイ検査装置では、磁気記録媒体に記録した情報を再生する構成のみを述べているが、本装置で読み込むための情報を磁気記録媒体に書き込む装置についても、本構成のサーティファイ検査装置に加えることができる。すなわち、本構成のサーティファイ検査装置を用いて磁気記録媒体に情報を書き込む場合は、磁気ヘッド５３を書き込みも可能なヘッドとし、また、再生信号処理機構５５を記録信号処理も可能な構成とする。
【００２３】
本願発明の、磁気記録媒体からの再生信号を検査する方法（いわゆる、サーティファイ検査方法を指す。）は、磁気記録媒体の記録信号を磁気ヘッドにより再生し、この再生信号の中で磁気記録媒体表面のエラー部に起因する信号を検出してからの時間に応じて、再生信号のゲイン（利得率）をアンプにより動的に変化させることを特徴とする。前述のように、磁気記録媒体のサーティファイ検査では、磁気記録媒体基板のうねりの影響を受ける他、磁気記録媒体の磁性膜の、膜厚分布等の影響も受ける。
【００２４】
このような影響を抑制するために、本実施形態のサーティファイ検査装置は、磁気記録媒体のサーティファイ検査において、磁気ヘッドから出力された信号を、ＡＧＣ回路であるＡＧＣ部３４に送り、その信号レベルを安定化させる。例えば、図４（ａ）の高出力領域Ａ３と低出力領域Ａ４とを有する磁気記録媒体のエラー箇所の例では、この時の磁気ヘッドからの出力信号をＡＧＣ回路で処理することにより、図４（ｂ）の再生信号が得られ、スライスレベルの設定により、図４（ａ）のエラー部Ｅ３を検出することが可能となる。
以上のように、磁気記録媒体のサーティファイ検査において、磁気ヘッドから出力された信号を、ＡＧＣ回路で処理することにより、基板にうねり等の生じた磁気記録媒体においても適切にサーティファイ検査を実施することが可能とできる。
【００２５】
しかしながら、再生信号をＡＧＣ回路で処理すると、磁気記録媒体表面のエラービットからの信号までもが補償され、特に長いエラービットが検出できないなど、磁気記録媒体の適正な検査ができなくなる場合がある。図５（ａ）はエラー長さが１５μ秒に相当する箇所からのＡＧＣ回路で処理する前の再生信号を示している。これらの再生信号を時定数がそれぞれ１０μ秒と１００μ秒のＡＧＣ回路で処理すると、それぞれ図５（ｂ）および図５（ｃ）の信号となる。これを見ると、図５（ｃ）の信号では、入力信号である図５（ａ）の振幅の減少がそのまま維持されるものの、図５（ｂ）の信号では、入力信号である図５（ａ）の振幅の減少分が維持されず、図５（ｂ）の振幅の減少分は図５（ａ）の振幅の減少分に比べ小さくなる。これは、図５（ａ）の信号をＡＧＣ回路で処理することにより、図５（ａ）の信号の最小振幅位置に至る前に、ＡＧＣ回路により、信号の振幅が平滑化され、図５（ｂ）の信号の振幅減少が、図５（ａ）の信号の振幅減少に比べ小さくなるためである。
【００２６】
本願発明の、磁気記録媒体からの再生信号を検査する方法は、磁気ヘッドからの再生信号の中で、磁気記録媒体表面のエラー部に起因する信号を検出してからの時間に応じて、再生信号のゲインをアンプにより動的に変化させることにより、ＡＧＣ回路により長いエラービットに起因する信号が補償させることを防止する。これにより、長いエラービットからの信号がＡＧＣ回路により補償させることが無くなるため、磁気記録媒体表面のエラー箇所を適正に検査することが可能となる。なお、磁気記録媒体を用いた磁気記録再生装置（いわゆる、ハードディスクドライブ装置）においては、その信号処理系にＡＧＣ回路が用いられる場合があるが、本願発明に用いられるＡＧＣ回路と、ハードディスクドライブ装置の信号処理系に用いられるＡＧＣ回路とは、その機能が全く異なる。すなわち、本願発明に用いられるＡＧＣ回路は、前述のように磁気記録媒体表面の、特に長いエラービットを検出可能とするためのＡＧＣ回路であり、一方、ハードディスクドライブ装置の信号処理系に用いられるＡＧＣ回路は、磁気記録媒体表面にエラービットが無いことを前提に、磁気記録媒体に書き込まれた信号の処理を行うためのＡＧＣ回路である。
【００２７】
本願発明の、磁気記録媒体からの再生信号を検査する方法は、磁気記録媒体表面のエラー部に起因する信号を検出してからの時間が、２５μ秒〜１０００μ秒の範囲内の時間であり、この時間の経過後、磁気記録媒体表面のエラー部に起因する信号のゲインをアンプにより動的に変化させる構成とするのが好ましい。
サーティファイ検査装置の回路では、磁気ヘッドの周速度に関係なくＡＧＣ回路は時定数に基づいて動作させる。一般的に、ＡＧＣ回路からの出力信号は指数関数で変化し、その１次の線型系は次の微分方程式で表される。  
【００２８】
【数１】
2008204504.tif 000003
ここでαは指数減少係数を表し、Ｖは時間ｔの関数として表される。この際、時定数は指数減少係数に含まれている。
【００２９】
【数２】
2008204504.tif 000004
ＡＧＣ回路を作動させるまでの時間を２５μ秒より短くすると、エラーの検出能力が低くなり、また、１０００μ秒より長くしても、エラーの検出能力が飽和し、ＡＧＣ回路の効果が向上しない。またそれよりさらに時定数を長くした場合は、ＡＧＣ回路を設けない回路と同等となり、サーティファイ検査における磁気記録媒体の基板にうねりや磁性膜の膜厚分布の不均一性等の影響を除外できなくなる。
本願発明に用いる磁気ヘッド５３には、再生素子として巨大磁気抵抗効果（ＧＭＲ）を利用したＭＲ（ｍａｇｎｅｔｏｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ）素子だけでなく、トンネル磁気抵抗効果（ＴｕＭＲ）を利用したＴＭＲ素子などを有する、高記録密度に適したヘッドを用いることができる。
ＴｕＭＲ素子を用いることによって、さらなる高密度記録化が可能となる。
【実施例】
【００３０】
以下、具体例を示して本発明の磁気記録媒体の検査方法、および該検査装置の効果を明確にする。
（実施例）
非磁性基板には、ＨＯＹＡ社製アモルファスガラス基板を使用した。ガラス基板のサイズは外径６５ｍｍ、内径２５ｍｍ、板厚１．２７ｍｍである。
この基板にテクスチャーを施し、十分に洗浄し乾燥した後、ＤＣマグネトロンスパッタ装置（アネルバ社（日本）製Ｃ３０１０）内にセットした。真空到達度を２×１０−７Ｔｏｒｒ（２．７×１０−５Ｐａ）まで排気した後、非磁性下地層として、Ｃｒ−Ｍｎ合金（Ｃｒ：７０ａｔ％、Ｍｎ：３０ａｔ％）からなるターゲットを用いて６ｎｍ積層した。磁性層としてＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｂ合金（Ｃｏ：６０ａｔ％、Ｃｒ：２０ａｔ％、Ｐｔ：１３ａｔ％、Ｂ：７ａｔ％）からなるターゲットを用いて磁性層であるＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｂ合金層を１７ｎｍの膜厚で形成し、保護膜（カ−ボン）３ｎｍを積層した。成膜時のＡｒ圧は３ｍＴｏｒｒ（０．４Ｐａ）とした。その後、パーフルオロポリエーテルからなる潤滑剤２ｎｍをディップ法で塗布し液体潤滑層を形成した。
【００３１】
上記方法によって製造された磁気記録媒体についてグライド検査を実施した。グライド検査では、検査ヘッドと磁気記録媒体表面の間の機械的なスペーシングを、０．２５マイクロインチに設定し、検査ヘッドから、磁気記録媒体表面の突起物との衝突に起因するシグナルが出力された場合は、その磁気記録媒体は不良品と判断した。
グライド検査工程を通過した磁気記録媒体についてサーティファイ検査を実施した。サーティファイ検査は、図３に示した信号処理系を有す、図２の構成の検査装置で行った。磁気記録媒体の回転数は５４００ｒｐｍ、磁気記録媒体への書き込み周波数は８０ＭＨｚ、磁気記録媒体の検査位置を半径２４．２ｍｍの位置、検査ピッチを２μｍ、検出する欠陥に対応する信号の時間を１５μ秒とした。この条件で、同一の磁気記録媒体を用いて、ＡＧＣ回路の時定数を、２．５μ秒〜１００μ秒（グラフＬ１）、２５μ秒〜１０００μ秒（グラフＬ２）、１０００μ秒〜３０００μ秒（グラフＬ３）と変化させサーティファイ検査を実施した。その結果を図６に示す。
【００３２】
図６の結果から明らかなように、サーティファイ検査装置の磁気ヘッドからの信号処理回路へＡＧＣ部３４を設けることにより、１５μ秒に相当する欠陥の検出能力が著しく向上することが分かる。またサーティファイ検査を、ＡＧＣ部３４の時定数を２５μ秒〜１０００μ秒の範囲内とすることにより、好適に実施できることが明らかになった。なお、３つの条件におけるサーティファイ検査は、同一の磁気記録媒体を用いているため、図６に示されるグラフは理想的には連続した線となる。今回の実施例の結果が連続した線とならないのは、サーティファイ検査装置の測定誤差によるものである。
【００３３】
（比較例）
実施例で用いた磁気記録媒体について、従来の方法でサーティファイ検査を実施した。すなわち、図３のＡＧＣ部３４を設けない信号処理系によって磁気ヘッドからの信号を処理した。その結果、欠陥の検出数は約８２０となり、実施例の時定数１０００μ秒の場合の約１．２倍の値となった。この結果と、磁気記録媒体の実際のエラーマップと対比したところ、検出した欠陥の約２０％は、基板のうねりや磁性膜の膜厚分布に起因するものであり、磁気記録媒体のエラービットに起因するものではなかった。
【００３４】
なお、このＬＳＩ部３９は専用のハードウェアにより実現されるものであってもよく、また、このＬＳＩ部３９はメモリおよびＣＰＵ（中央演算装置）により構成され、ＬＳＩ部３９の機能を実現するためのプログラムをメモリにロードして実行することによりその機能を実現させるものであってもよい。
以上、この発明の実施形態を図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計等も含まれる。
【産業上の利用可能性】
【００３５】
本発明は、ハードディスク装置に用いられる磁気記録媒体の再生信号を検査するサーティファイ装置に用いて好適であるが、これに限定されない。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】この発明の一実施形態による磁気記録媒体の構造を例示する断面図である。
【図２】同実施形態におけるサーティファイ検査装置の斜視図である。
【図３】同実施形態における磁気ヘッド５３および再生信号処理機構５５の構成を示す概略ブロック図である。
【図４】同実施形態における磁気記録媒体とその再生信号とを例示する図である。
【図５】同実施形態におけるエラー長さが１５μ秒に相当する箇所周辺の再生信号を示すグラフである。
【図６】同時実施形態における時定数とエラー検出数の関係を示すグラフである。
【図７】従来のサーティファイ検査装置の構成を示す概略ブロック図である。
【図８】うねりのない磁気記録媒体と従来のサーティファイ検査装置による再生信号とを例示する図である。
【図９】うねりのある磁気記録媒体と従来のサーティファイ検査装置による再生信号とを例示する図である。
【符号の説明】
【００３７】
１…非磁性基板
２…非磁性下地層
３…磁性層
４…保護層
５…液体潤滑層
３１、３３、３５…ＡＭＰ部
３２…ＬＰＦ部
３４…ＡＧＣ部
３６…ＴＡＡ部
３７…ＤＡＣ部
３８…ＣＭＰ部
３９…ＬＳＩ部
５１…磁気記録媒体
５２…媒体駆動部
５３…磁気ヘッド
５４…ヘッド駆動部
５５…再生信号処理機構
５６…ランプ
７１…磁気ヘッド
７２、７４、７５…ＡＭＰ部
７３…ＬＰＦ部
７６…ＴＡＡ部
７７…ＤＡＣ部
７８…ＣＭＰ部
７９…ＬＳＩ部
【図１】
2008204504.tif 000005
【図２】
2008204504.tif 000006
【図３】
2008204504.tif 000007
【図４】
2008204504.tif 000008
【図５】
2008204504.tif 000009
【図６】
2008204504.tif 000010
【図７】
2008204504.tif 000011
【図８】
2008204504.tif 000012
【図９】
2008204504.tif 000013