(57)【要約】【課題】微細な凹凸表面を有する金型に付着した（メタ）アクリル系樹脂を効果的に、金型を傷めることなく除去できる、金型の洗浄方法を提供する。【解決手段】（メタ）アクリル系樹脂が付着した金型を洗浄する方法であって、該金型に対し、波長が２００ｎｍ以下の紫外線を照射して、（メタ）アクリル系樹脂を分解、除去することを特徴とする金型の洗浄方法。当該金型は横断面が矩形状の凹部を備え、凹部の幅は１５０ｎｍ以上であり、深さは７００ｎｍ以下であることが好ましい。また、当該金型は逆円錐状の凹部を備え、凹部の開口部直径は３００ｎｍ以上であり、深さは４５０ｎｍ以下であることが好ましい。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
（メタ）アクリル系樹脂が付着した金型を洗浄する方法であって、該金型に対し、波長が２００ｎｍ以下の紫外線を照射して、前記（メタ）アクリル系樹脂を分解、除去することを特徴とする金型の洗浄方法。
【請求項２】
前記（メタ）アクリル系樹脂は、（メタ）アクリル酸エステル由来の構成単位を含む重合体であることを特徴とする請求項１に記載の金型の洗浄方法。
【請求項３】
前記（メタ）アクリル系樹脂は、（メタ）アクリル酸エステル由来の構成単位と、１分子内に少なくとも２つのラジカル重合可能な二重結合を有する不飽和単量体由来の構成単位とを含む共重合体であることを特徴とする請求項２に記載の金型の洗浄方法。
【請求項４】
前記金型は、その表面に凹凸部を有し、該凹部に前記（メタ）アクリル系樹脂が付着していることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の金型の洗浄方法。
【請求項５】
前記金型は横断面が矩形状の凹部を備え、前記凹部の幅は１５０ｎｍ以上であり、深さは７００ｎｍ以下であることを特徴とする請求項４に記載の金型の洗浄方法。
【請求項６】
前記金型は逆円錐状の凹部を備え、前記凹部の開口部直径は３００ｎｍ以上であり、深さは４５０ｎｍ以下であることを特徴とする請求項４に記載の金型の洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金型の洗浄方法に関し、より詳しくは、（メタ）アクリル系樹脂等を成形するために用いられる、微細形状を有する金型を洗浄する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、微細加工技術が進展し、ｎｍ〜サブ波長オーダーの加工が実現できるようになってきており、当該微細加工技術を利用して、素子表面に、使用する光の波長より短い周期（ピッチ）の凹凸を有する構造を形成することが可能となった。このようなサブ波長表面構造（Ｓｕｂｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ  Ｓｔｒｕｃｔｕｒｅｄ  Ｓｕｒｆａｃｅ、ＳＷＳ）を有する光学素子は、広範囲の波長領域および入射角度にわたって反射光を抑制することができるため、反射防止機能を有する各種光学部品として好適に使用される。
【０００３】
サブ波長表面構造を有する光学部品は、たとえば、サブ波長表面構造を有する金型を用いて、樹脂を射出成形等により成形するとともに、金型のサブ波長表面構造を成形樹脂に転写することにより製造される。光学部品用の樹脂としては、メチルメタクリレートを主成分とする重合体等の（メタ）アクリル系樹脂が、その優れた透明性などの理由から好適に使用される。
【０００４】
ここで、上記サブ波長表面構造を有する金型を用いて樹脂を成形する際、当該金型の微細構造部分に樹脂が残存して目詰まりを生じ、成形不良品が発生する大きな原因となっていた。したがって、金型に付着した樹脂を、金型を傷めることなく効果的に除去する方法が従来より渇望されていた。
【０００５】
このような樹脂を除去する方法として、たとえば、金型を解体して有機溶剤等で洗浄する方法、金型に有機溶剤を高圧で吹き付ける方法などが提案されている。しかしながら、これらの方法はいずれも、金型の洗浄に多くの時間、労力を有し、あるいは大掛かりな設備を有する。
【０００６】
また、特許文献１には、金型の洗浄方法として、成形製品を金型キャビティから取り出した後、成形ショット毎に該金型キャビティに紫外線を照射する方法が開示されている。
【特許文献１】特開２００３−１５４５３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１には、成形樹脂が（メタ）アクリル系樹脂である場合の金型洗浄方法については具体的な開示がない。また、近年、サブ波長表面構造を有する光学部品について、表面のさらなる微細構造化、とりわけより高いアスペクト比（＝凹部の深さｄ／凹凸部のピッチｐ）が求められているが、特許文献１には、このようなより微細構造化された光学部品を製造するための金型を洗浄する具体的手段については述べられていない。
【０００８】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、微細な凹凸表面を有する金型に付着した（メタ）アクリル系樹脂を効果的に、金型を傷めることなく除去できる、金型の洗浄方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者らは、鋭意研究の結果、（メタ）アクリル系樹脂が付着した金型に対し、特定の波長を有する光を照射することにより、該（メタ）アクリル系樹脂が該金型表面の凹部深くに入り込んでいる場合であっても、効果的に短時間で該（メタ）アクリル系樹脂を分解、除去できることを見出し、本発明を完成した。すなわち、本発明は以下のとおりである。
【００１０】
本発明は、（メタ）アクリル系樹脂が付着した金型を洗浄する方法であって、該金型に対し、波長が２００ｎｍ以下の紫外線を照射して、（メタ）アクリル系樹脂を分解、除去することを特徴とする金型の洗浄方法である。
【００１１】
ここで、上記（メタ）アクリル系樹脂は、（メタ）アクリル酸エステル由来の構成単位を含む重合体であってもよく、（メタ）アクリル酸エステル由来の構成単位と、１分子内に少なくとも２つのラジカル重合可能な二重結合を有する不飽和単量体由来の構成単位とを含む共重合体であってもよい。
【００１２】
また、上記金型は、典型的にはその表面に凹凸部を有するものであり、本発明によれば、当該凹部に（メタ）アクリル系樹脂が付着している場合であっても、効果的にこれを除去することが可能である。前記金型は横断面が矩形状の凹部を備え、前記凹部の幅は１５０ｎｍ以上であり、深さは７００ｎｍ以下であることが好ましい。また、前記金型は逆円錐状の凹部を備え、前記凹部の開口部直径は３００ｎｍ以上であり、深さは４５０ｎｍ以下であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、金型に付着した（メタ）アクリル系樹脂を、金型を傷めることなく、効果的に、短時間で分解、除去することができる。特に、当該金型表面がサブ波長表面構造等の微細な凹凸構造を有し、該凹部に（メタ）アクリル系樹脂が入り込んでいる場合であっても、これを効果的に除去することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明の金型の洗浄方法は、金型に対し波長が２００ｎｍ以下の紫外線を照射することによって、該金型に付着した（メタ）アクリル系樹脂を分解、除去することを特徴とする。ここで、本明細書において（メタ）アクリル系樹脂とは、メタクリル系樹脂、アクリル系樹脂またはこれらの混合物を意味する。また、（メタ）アクリレートとは、メタクリレートまたはアクリレートを意味する。
【００１５】
＜（メタ）アクリル系樹脂＞
本発明の方法において、分解、除去の対象となる（メタ）アクリル系樹脂は、（メタ）アクリル酸エステル由来の構成単位を含む重合体であることが好ましい。（メタ）アクリル酸エステル由来の構成単位を含む重合体は、（メタ）アクリル酸エステルを単独で重合させた重合体であってもよく、（メタ）アクリル酸エステルと他の共重合可能な不飽和単量体との共重合体であってもよい。
【００１６】
上記（メタ）アクリル酸エステルとしては、たとえば、メチルメタクリレート、メチルアクリレート、エチルアクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、イソボルニルアクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、シクロヘキシルアクリレート等の（メタ）アクリル酸と脂肪族、芳香族または脂環式アルコールとのエステル；ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸ヒドロキシアルキルエステルなどを挙げることができるが、これらに限定されるものではない。これらの中でも、メチルメタクリレートは、その透明性から光学部材として多用されている材料であり、メチルメタクリレートを主成分とする樹脂は本発明における好適な除去対象である。
【００１７】
また、上記（メタ）アクリル酸エステルを単独で重合させた重合体は、（メタ）アクリル酸エステルとして、１種または２種以上用いたものであってもよい。（メタ）アクリル酸エステルとして２種以上の化合物を用いる場合、そのうち１種は、メチルメタクリレートであることが好ましく、メチルメタクリレートの含有量が５０重量％以上であることがより好ましい。
【００１８】
上記他の共重合可能な不飽和単量体としては、たとえば、アクリル酸、メタクリル酸等の不飽和酸類；スチレン、α−メチルスチレン等のスチレン系単量体；アクリロニトリル、メタクリロニトリル、無水マレイン酸、フェニルマレイミド、シクロヘキシルマレイミド、酢酸ビニル等の単官能不飽和単量体等、を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。これらは、単独または２種以上組み合わせて用いることができる。上記（メタ）アクリル酸エステルと他の共重合可能な不飽和単量体との共重合体において、上記（メタ）アクリル酸エステルの含有量は、５０重量％以上であることが好ましく、（メタ）アクリル酸エステルとしてのメチルメタクリレートの含有量が５０重量％以上であることがより好ましい。
【００１９】
また、本発明の方法において、分解、除去の対象となる（メタ）アクリル系樹脂は、（メタ）アクリル酸エステル由来の構成単位と、１分子内に少なくとも２つのラジカル重合可能な二重結合を有する不飽和単量体由来の構成単位とを含む共重合体であってもよい。このような（メタ）アクリル系樹脂であっても、本発明の方法によれば、効果的に分解、除去することが可能である。
【００２０】
上記１分子内に少なくとも２つのラジカル重合可能な二重結合を有する不飽和単量体（多官能不飽和単量体）としては、たとえば限定されないが、アリルメタクリレート、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，３−ブチレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ジビニルベンゼン、ジアリルフタレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート等を挙げることができる。これらは、単独または２種以上組み合わせて用いることができる。上記（メタ）アクリル酸エステル由来の構成単位と、１分子内に少なくとも２つのラジカル重合可能な二重結合を有する不飽和単量体由来の構成単位とを含む共重合体において、（メタ）アクリル酸エステルの含有量は、５重量％以上であることが好ましい。５重量％以上の（メタ）アクリル酸エステル成分を含有することにより、本発明の洗浄方法が効果的に発揮される。
【００２１】
また、分解、除去の対象となる（メタ）アクリル系樹脂は、従来公知の添加剤を含有していてもよい。当該添加剤としては、たとえば酸化防止剤、紫外線吸収剤、連鎖移動剤、離型剤、難燃剤、染料、顔料などを挙げることができる。
【００２２】
＜金型＞
本発明の洗浄方法により洗浄される金型は、上記（メタ）アクリル系樹脂を成形して、（メタ）アクリル系樹脂成形品を製造するための金型である。より好ましくは、該金型は、該成形品の表面に微細な凹凸構造、たとえば使用する光の波長より短い周期（ピッチ）の凹凸を有する構造（サブ波長表面構造）を付与するための、微細な凹凸表面構造を有する。このような微細な凹凸表面構造を有する金型を用いて成形することにより、当該微細凹凸構造が樹脂に転写されるため、成形品は、金型が有する凹凸を反転させた凹凸構造を有することとなる。サブ波長表面構造を有する成形品は、反射光を効果的に抑制することができるため、光学部品として好適に使用される。
【００２３】
ここで、上記金型の凹凸表面構造は、横断面が矩形状の凹部を備える構造であってもよく、あるいは逆円錐状の凹部を備える構造であってもよい。横断面が矩形状の凹部を備える構造の場合、その凹部の幅は特に限定されないが、たとえば１５０ｎｍ以上である。本発明の洗浄方法によれば、当該凹部の幅が１５０ｎｍと非常に小さい場合であっても、凹部に付着した（メタ）アクリル系樹脂を効果的に分解、除去することができる。また、当該凹部の幅が大きければ大きいほど洗浄はより容易となるので、凹部の幅の上限は特に制限されるものではない。金型の凹凸表面構造が逆円錐状の凹部を備える構造である場合、その凹部の開口部直径は特に制限されないが、たとえば３００ｎｍ以上である。本発明の洗浄方法によれば、当該凹部の開口部直径が３００ｎｍと非常に小さい場合であっても、凹部に付着した（メタ）アクリル系樹脂を効果的に分解、除去することができる。また、当該凹部の開口部直径が大きければ大きいほど洗浄はより容易となるので、凹部の開口部直径の上限は特に制限されるものではない。
【００２４】
横断面が矩形状の凹部を備える構造の場合、その凹部の深さｄ1は特に限定されないが、たとえば７００ｎｍ以下である。本発明の洗浄方法によれば、当該凹部の深さｄ1が７００ｎｍと非常に深い場合であっても、凹部に付着した（メタ）アクリル系樹脂を効果的に分解、除去することができる。また、当該凹部の深さｄ1が小さければ小さいほど洗浄はより容易となるので、凹部の深さｄ1の下限は特に制限されるものではない。金型の凹凸表面構造が逆円錐状の凹部を備える構造である場合、その凹部の深さｄ2は特に制限されないが、たとえば４５０ｎｍ以下である。本発明の洗浄方法によれば、当該凹部の深さｄ2が４５０ｎｍと非常に深い場合であっても、凹部に付着した（メタ）アクリル系樹脂を効果的に分解、除去することができる。また、当該凹部の深さｄ2が小さければ小さいほど洗浄はより容易となるので、凹部の深さｄ2の下限は特に制限されるものではない。
【００２５】
上記金型の材質としては、たとえばＮｉの他、Ｓｉや石英（ＳｉＯ2）等を使用することができる。
【００２６】
上記金型は、たとえば次のようにして作製されたものである。まず、Ｓｉまたは石英基板上に、レジストを塗布し、微細凹凸パターンを形成して、原器を作製する。当該微細凹凸パターンは、たとえば、レーザービーム、電子ビーム、２光束干渉露光等の光学的方法により形成することができる。２光束干渉露光は、λ＝２６６ｎｍの波長のレーザー光を２光束に分岐し、干渉露光するものであり、大面積化が容易であるのが特徴である。ストライプのピッチは、入射するビーム角度によって調整することができる。このように露光を施した後、現像を行なう（レジストパタン）。またエッチングを行なうことにより（エッチングパタン）、基板上に微細凹凸パターンが形成される。
【００２７】
次に、上記原器をマスターとして電鋳を行なうことにより、金型を作製する。ここで、電鋳とは、原器を母型としてその表面（たとえば凸）に導電処理を行ない、その上に、たとえばＮｉを０．３ｍｍ析出させ、これを母型から剥離・分離して、母型と全く反対面の形状（たとえば凹）を作る方法である。具体的には、まず原器にＮｉ等の金属薄膜をスパッタリング法にて数１００Åの厚みで形成し、導電処理を行なう。次に、導電処理された基板をＮｉ等の金属イオンを含む電解質溶液に浸して電流を通じることにより、上記金属薄膜上に、Ｎｉ等の金属を析出させる。最後に、当該電鋳により形成されたＮｉ等からなる金型を原器から剥離して、金型を得る。
【００２８】
＜金型の洗浄方法＞
本発明の金型の洗浄方法においては、上記（メタ）アクリル系樹脂が付着した金型に、波長が２００ｎｍ以下の紫外線を照射して、（メタ）アクリル系樹脂を分解、除去する。照射する光の波長が２００ｎｍより大きい場合、（メタ）アクリル系樹脂を十分効果的に分解、除去できないか、あるいは分解、除去するのに長時間を要する。照射する光の波長の下限値は、特に制限はないが、オゾンの発生を比較的低レベルに抑えることができることから、１５０ｎｍ以上であることが好ましい。このような波長の光を発する光源としては、たとえば、１８５ｎｍの光を発することができる低圧水銀ランプを好ましく用いることができる。
【００２９】
上記低圧水銀ランプを用いて、紫外線を直接金型に照射する場合、当該低圧水銀ランプと金型との距離（照射距離）は、特に制限されないが、たとえば数ｍｍ〜数十ｃｍ程度である。また、紫外線の照射時間は、特に制限されるものではない。本発明の洗浄方法によれば、たとえば５分間程度の短い照射時間でも凹部内に入り込んだ（メタ）アクリル系樹脂を効果的に分解、除去することが可能である。
【００３０】
以下、実施例および比較例を挙げて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００３１】
横断面が矩形状であって幅１５０ｎｍの凹部が延在する微細表面構造を備えた金型、または開口部直径が３００ｎｍである逆円錐状の凹部を有する微細表面構造を備えた金型を用いて、（メタ）アクリル系樹脂の成形を繰り返し行ない、金型に目詰まりを発生させた後、本発明の洗浄方法および他の方法を用いて金型を洗浄し、目詰まり時の金型凹凸部の状態および洗浄後の金型凹凸部の状態を、目視およびＡＦＭにより観察して洗浄効果を確認した。目視による洗浄効果の確認およびＡＦＭによる洗浄効果の確認は、以下のようにして行なった。
（１）目視による洗浄効果の確認
目詰まりを生じさせる前の金型（たとえば未使用の金型）は、白色光を照射してその反射光を目視で観察すると、美麗な虹色の反射光が観察される。一方、金型凹部が目詰まりを起こすと、この虹色の反射光は観察されないか、またはその反射光の強度は格段に弱いものとなる。したがって、当該指標に基づき、成形後および洗浄後の金型凹凸部における樹脂の残存状態を、明るい白色光源のもとで金型表面の目視観察を行なうことによって評価した。すなわち、成形前（目詰まり前）と同等の虹色反射光が見られる場合には、樹脂が完全に、またはほぼ完全に除去できていると判断し、虹色の反射光が観察されないか、または反射光が格段に弱くなっている場合には、樹脂が凹部に残存していると判断した。
（２）ＡＦＭによる洗浄効果の確認
成形後（すなわち目詰まり後）および洗浄後の金型表面の凹凸部をＡＦＭ（Ａｔｏｍｉｃ  Ｆｏｒｃｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）を用いて観察し、凹部の深さを測定した。ＡＦＭ測定条件は、次のとおりである。測定装置：Ｎａｎｏ  Ｓｃｏｐｅ  ＩＩＩ（デジタルインスツルメンツ社製）、測定条件：タッピングモード（測定領域：２μｍ×２μｍ、深さ１μｍ）。なお、当該ＡＦＭにおける凹部の深さの測定限界は、６μｍである。
【００３２】
＜実施例１＞
複数の凹部がピッチ４５０ｎｍで延在する微細表面構造を備えた金型を準備する。ここで、当該凹部は横断面が矩形状であって幅１５０ｎｍ、深さ１５０ｎｍとなっている。当該金型を、１２０℃に加熱したプレス機の熱盤上に設置し、該金型上に、メチルメタクリレート２５重量部、ネオペンチルグリコールジメタクリレート２５重量部、架橋ＰＭＭＡ粒子（スミペックスＸＣ−１Ａ）５０重量部、およびラジカル重合開始剤（ｔ−アミルパーオキシ−２−エチルヘキサノエート）０．２９重量部よりなる混合物を設置して、圧力７ＭＰａにて５分間加熱加圧することにより成形を行なった。次に、該金型より成形品を取り出した後、上記成形処理を複数回行ない、凹部に目詰まりを生じさせた。目詰まりは、凹凸部の所々に光沢のないシミ状の付着物がある状態であり、白色光を照射したところ、その反射光は格段に弱いものであった。また、ＡＦＭ測定による凹部の深さは０ｎｍとなっており、凹部全体に上記混合物が充填されていることが確認できた。
【００３３】
次に、上記目詰まりを起こした金型表面の凹凸部に、低圧水銀ランプ（ＧＳ−ＹＵＡＳＡ製、エネルギー３７ｍＷ／ｃｍ2、照射距離４ｃｍ）を用いて、１８５ｎｍの深紫外線を５分間照射した。深紫外線照射後の凹凸部に白色光を照射し、反射光を目視で観察したところ、成形前と同等の虹色光沢を有していた。また、ＡＦＭ測定による凹部の深さは、１５０ｎｍであり、成形前の深さに戻っていることが確認された。
【００３４】
＜実施例２＞
深さ７００ｎｍの微細凹凸表面構造を有する金型を用いたこと以外は、実施例１と同様にして目詰まりを発生させた。目詰まりは、凹凸部の所々が白っぽく濁っている状態であり、白色光を照射したところ、虹色の反射光は観察されなかった。また、ＡＦＭ測定による凹部の深さは、８９ｎｍであった。次に、目詰まりを起こした金型表面の凹凸部に、実施例１と同様の方法にて深紫外線を照射した。深紫外線照射後の凹凸部に白色光を照射し、反射光を目視で観察したところ、成形前と同等の虹色光沢を有していた。また、ＡＦＭ測定により凹部の深さを測定したところ、開口部が狭いためにＡＦＭ針が開口部に接触して凹部の底まで届かず、測定値は２４４ｎｍであった。このため、当該金型を用いて成形を行なった後に金型から成形品を取り出し、該成形品の凸部（金型凹部が成形品に転写されたもの）をＡＦＭにより測定したところ、同様にＡＦＭ針が達しないため凸部の高さは５９５ｎｍと測定された。これ以上深くＡＦＭ針が届かないため、金型から成形した成形品の形状を観察することとした。結果、金型の凹部底が転写されている成形品の凸部頂上表面がいずれも平坦であり、かつすべての凸部頂上表面が略同一平面上に配置されていた。これより、金型の凹部底まで転写されていると判断でき、金型が７００ｎｍの深さに戻っていることが確認された。
【００３５】
＜実施例３＞
逆円錐状の凹部（開口部直径３００ｎｍ、深さ４５０ｎｍ）を３００ｎｍのピッチで２次元的に設けたことにより微細凹凸表面構造を有する金型を用いたこと以外は実施例１と同様にして目詰まりを発生させた。当該凹部は部分的に白濁しているように見えており、白色光を金型に照射したところ、金型の表面には虹色の反射光は観察されなかった。また、ＡＦＭ測定による凹部の深さは０ｎｍとなっており、凹部全体に樹脂混合物が充填されていることが確認できた。次に、目詰まりを起こした金型表面の凹凸部に、実施例１と同様の方法にて５分間深紫外線を照射した。深紫外線照射後の凹凸部をＡＦＭ測定したところ、２０４ｎｍの深さまで洗浄できていることが確認できた。樹脂混合物が完全には洗浄されていなかったため、さらに５分間追加洗浄を行ない、ＡＦＭ測定を再度行なった。実施例２の場合と同様にＡＦＭ針が円錐の頂点に達しなかったため、深さの測定値は２９９ｎｍであった。そこで、白色光を金型表面に照射して目視による確認を行なったところ、成形前と同等の虹色光沢を有していた。このことから、成形前の深さに戻っていることを確認することができた。
【００３６】
＜比較例１＞
実施例１と同様にして目詰まりを起こさせた後、目詰まりした金型を３５０℃のエアーオーブン内にて１時間加熱した。凹凸部に白色光を照射し、反射光を目視で観察したところ、虹色の反射光は観察されなかったことから、熱によっては、樹脂を分解、除去できないことが確認された。
【００３７】
＜比較例２＞
実施例１と同様にして目詰まりを起こさせた後、目詰まりした金型を、メタクリル系樹脂の良溶媒であるアセトンに浸漬し、３０℃にて超音波洗浄を１時間実施した。目詰まりした樹脂に変化は認められなかった。凹凸部に白色光を照射し、反射光を目視で観察したところ、虹色の反射光は観察されなかったことから、有機溶媒および超音波を用いた方法によっては、樹脂を分解、除去できないことが確認された。
【００３８】
＜比較例３＞
メタルハライドランプ（ウシオ電機（株）製、エネルギー１５．５ｍＪ／ｃｍ2、照射距離４０ｃｍ）を用いて、３５０ｎｍの紫外線を３０分間照射したこと以外は、実施例１と同様にして金型の洗浄を行なった。紫外線照射後、凹凸部に白色光を照射し、反射光を目視で観察したところ、虹色の反射光は観察されなかった。
【００３９】
今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。