(57)【要約】      （修正有）【課題】試料上における走査範囲が変化しても、明視野信号電子と暗視野信号電子を明確に分離し、高精度の明視野信号像と暗視野信号像を得ることができる走査透過荷電粒子線装置を提供することにある。【解決手段】試料９の下に偏向コイル１０を設け、偏向コイルの下に、開口１５ａを有する暗視野信号検出器１５を設ける。この開口の下に、明視野信号検出器１６を設ける。試料の下の偏向コイルによって、明視野信号粒子線１１を、粒子線の走査と同期させ且つ逆方向に偏向させる。それによって、明視野信号粒子線は、暗視野信号検出器の開口を通過し、明視野信号検出器によって検出される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
荷電粒子源からの荷電粒子線を収束させる集束レンズと、荷電粒子線を試料上で走査する第１の偏向レンズと、荷電粒子線を試料上で集束させる対物レンズと、試料の下側に配置され試料からの明視野信号荷電粒子線を偏向させる第２の偏向レンズと、該第２の偏向レンズによって偏向された明視野信号荷電粒子を検出する明視野信号検出器と、を有し、上記第２の偏向レンズは、試料からの明視野信号荷電粒子線を、上記第１の偏向レンズによる走査と同期して且つ上記第１の偏向レンズによる偏向と逆方向に偏向させ上記明視野信号検出器上に集束させることを特徴とする走査透過荷電粒子線装置。
【請求項２】
請求項１記載の走査透過荷電粒子線装置において、上記第２の偏向レンズの下に、試料からの暗視野信号荷電粒子を検出する暗視野信号検出器を設け、該暗視野信号検出器は上記第２の偏向レンズによって偏向され且つ集束された明視野信号荷電粒子線が通過するための開口を有し、該開口の下に上記明視野信号検出器が設けられていることを特徴とする走査透過荷電粒子線装置。
【請求項３】
請求項２記載の走査透過荷電粒子線装置において、上記暗視野信号検出器は、暗視野信号荷電粒子のうち非弾性散乱荷電粒子のみを検出する有効検出領域を有し、該有効検出領域は、上記開口の外側に且つ上記開口に対して同心的に設けられていることを特徴とする走査透過荷電粒子線装置。
【請求項４】
請求項３記載の走査透過荷電粒子線装置において、上記暗視野信号検出器の有効検出領域以外の領域には弾性散乱荷電粒子を遮断するマスクが設けられていることを特徴する走査透過荷電粒子線装置。
【請求項５】
請求項３記載の走査透過荷電粒子線装置において、上記有効検出領域の内径ｄ１と外径ｄ２の平均（ｄ１＋ｄ２）／２を有効検出領域の径と定義し、外径ｄ２と内径ｄ１の差（ｄ２−ｄ１）を有効検出領域の幅と定義するとき、該有効検出領域の径と幅を所望の値に設定することによって、所望のエネルギを有する非弾性散乱荷電粒子を検出することを特徴する走査透過荷電粒子線装置。
【請求項６】
請求項３記載の走査透過荷電粒子線装置において、試料に正又は負の電圧を印加する電圧印加回路が設けられ、該電圧印加回路によって試料に印加する電圧を制御することによって、上記有効検出領域に照射される非弾性散乱荷電粒子を調整するように構成されていることを特徴とする走査透過荷電粒子線装置。
【請求項７】
請求項３記載の走査透過荷電粒子線装置において、荷電粒子線を加減速させる加速回路が設けられ、該加速回路によって荷電粒子線を加減速させることによって、上記有効検出領域に照射される非弾性散乱荷電粒子を調整するように構成されていることを特徴とする走査透過荷電粒子線装置。
【請求項８】
請求項１記載の走査透過荷電粒子線装置において、上記荷電粒子線は電子線であり、走査透過電子顕微鏡装置として構成されていることを特徴とする走査透過荷電粒子線装置。
【請求項９】
荷電粒子源からの荷電粒子線を収束させる第１の集束レンズと、荷電粒子線を試料上で走査する偏向レンズと、荷電粒子線を試料上で集束させる対物レンズと、試料の下側に配置され試料からの明視野信号荷電粒子線を集束させる第２の集束レンズと、該第２の集束レンズによって集束された明視野信号荷電粒子線を検出する明視野信号検出器と、を有する走査透過荷電粒子線装置。
【請求項１０】
請求項９記載の走査透過荷電粒子線装置において、上記第２の集束レンズの下に、試料からの暗視野信号荷電粒子を検出する暗視野信号検出器を設け、該暗視野信号検出器は上記第２の集束レンズによって集束された明視野信号荷電粒子線が通過するための開口を有し、該開口の下に上記明視野信号検出器が設けられていることを特徴とする走査透過荷電粒子線装置。
【請求項１１】
請求項９記載の走査透過荷電粒子線装置において、上記荷電粒子線は電子線であり、走査透過電子顕微鏡装置として構成されていることを特徴とする走査透過荷電粒子線装置。
【請求項１２】
荷電粒子源からの荷電粒子線を集束レンズによって収束させることと、該荷電粒子線を第１の偏向レンズによって試料上で走査することと、該荷電粒子線を対物レンズによって試料上で集束させることと、試料からの明視野信号荷電粒子線を第２の偏向レンズによって上記第１の偏向レンズによる走査と同期して且つ上記第１の偏向レンズによる偏向と逆方向に偏向させることと、該第２の偏向レンズによって偏向された明視野信号荷電粒子を明視野信号検出器によって検出することと、を有する走査透過荷電粒子線装置の制御方法。
【請求項１３】
請求項１２記載の走査透過荷電粒子線装置の制御方法において、
上記第２の偏向レンズの下に、上記第２の偏向レンズによって偏向され且つ集束された明視野信号荷電粒子線が通過するための開口を有し、試料からの暗視野信号荷電粒子を検出する暗視野信号検出器を設けることと、
上記暗視野信号検出器の開口の下に上記明視野信号検出器を配置することと、
を有することを特徴とする走査透過荷電粒子線装置の制御方法。
【請求項１４】
請求項１３記載の走査透過荷電粒子線装置の制御方法において、
上記暗視野信号検出器は、暗視野信号荷電粒子のうち非弾性散乱荷電粒子のみを検出する有効検出領域を有し、該有効検出領域は、上記開口の外側に且つ上記開口に対して同心的に設けられていることを特徴とする走査透過荷電粒子線装置の制御方法。
【請求項１５】
請求項１４記載の走査透過荷電粒子線装置の制御方法において、
上記有効検出領域に照射される非弾性散乱荷電粒子を調整するために、試料に電圧を印加することと、を有することを特徴とする走査透過荷電粒子線装置の制御方法。
【請求項１６】
請求項１４記載の走査透過荷電粒子線装置の制御方法において、
上記有効検出領域に照射される非弾性散乱荷電粒子を調整するために、荷電粒子線を加減速させることと、を有することを特徴とする走査透過荷電粒子線装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、透過荷電粒子線装置に関し、特に透過走査像を生成する走査透過荷電粒子線装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図５（Ａ）及び図５（Ｂ）を参照して、透過走査像（STEM像）を得る方法を説明する。試料５２の上面に電子５１を照射し走査すると、試料５２の下面から、明視野信号電子５３と暗視野信号電子５４が放射される。明視野信号電子５３は、主として試料を透過した電子であり、散乱角が小さく、エネルギが大きい。暗視野信号電子５４は、主として試料内にて散乱した電子であり、散乱角が大きく、エネルギが小さい。
【０００３】
図５（Ａ）に示すように、明視野STEM像を観察する場合には、試料５２の下に環状の明視野用絞り５５を配置し、その下に、明視野信号電子検出器５６を配置する。試料５２からの電子のうち、暗視野信号電子５４は明視野用絞り５５によって遮断され、明視野信号電子５３は明視野用絞り５５の孔を通過し、明視野信号電子検出器５６によって検出される。一方、図５（ｂ）に示すように、暗視野STEM像を観察する場合には、試料５２の下に円板形の暗視野用絞り５７を配置し、その下に、暗視野信号電子検出器５８を配置する。試料５２からの電子のうち、明視野信号電子５３は円板形の暗視野用絞り５７によって遮断され、暗視野信号電子５４は暗視野用絞り５７の周囲を通過し、暗視野信号電子検出器５８によって検出される。
【０００４】
特許文献１には、透過電子検出器の位置を可変とすることにより、検出する透過電子の散乱角度範囲を変更する方法が開示されている。また特許文献１には、暗視野信号電子検出器の下に偏向コイル、明視野絞り、明視野信号電子検出器を配置し、偏向コイルにより透過電子を適切な孔径の絞りに導くことによって、適切なS/N、コントラストを確保する方法が開示されている。
【０００５】
特許文献２には、透過電子との衝突によって二次電子を放出する透過信号変換部材を設け、透過電子（明視野信号電子）と、透過散乱電子（暗視野信号電子）を分離する方法が開示されている。
【０００６】
【特許文献１】特許第３７７６８７号
【特許文献２】特開２００４−２５３３６９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
一般に、試料上における電子線の走査範囲が変化すると、明視野信号電子及び暗視野信号電子の放射範囲も変化する。そのため、明視野信号電子と暗視野信号電子を明確に分離するためには、電子線の走査範囲の変化に対応して、明視野用絞りの孔径と暗視野用絞りの外径を変化させる必要がある。もし、電子線の走査範囲が変化しても、絞りの径を変化させないと、明視野信号電子と暗視野信号電子の分離が不十分となる。そのため、明視野信号電子検出器及び暗視野信号電子検出器の検出量が低下し、明視野像及び暗視野像の分解能が低下する。例えば、低倍率のSTEM像を取得する場合には、絞り径を大きくする必要がある。この場合、明視野信号電子と暗視野信号電子の不分離が大きくなり、STEM像のコントラスト、S/Nが低下する。
【０００８】
図５（Ａ）及び図５（Ｂ）に示した従来の方法では、明視野信号電子像と暗視野信号電子像を同時に得ることはできない。明視野信号電子像と暗視野信号電子像の両者を得る場合には、絞りの交換作業が必要である。
【０００９】
本発明の目的は、試料上における走査範囲が変化しても、明視野信号電子と暗視野信号電子を明確に分離し、高精度の明視野信号像と暗視野信号像を得ることができる走査透過荷電粒子線装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明によると、試料の下に偏向コイルを設け、偏向コイルの下に、開口を有する暗視野信号検出器を設ける。この開口の下に、明視野信号検出器を設ける。試料の下の偏向コイルによって、明視野信号粒子線を、粒子線の走査と同期させ且つ粒子線の偏向と逆方向に偏向させる。それによって、明視野信号粒子線は、暗視野信号検出器の開口を通過し、明視野信号検出器によって検出される。
【００１１】
本発明によると、暗視野信号検出器は、開口の周囲に且つ開口と同心状に配置された有効検出領域を有する。有効検出領域によって、非弾性散乱荷電粒子を検出する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によると、試料上における電子線の走査範囲が変化しても、明視野信号電子と暗視野信号電子を明確に分離し、高精度の明視野信号電子像と暗視野信号電子像を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
図１を参照して本発明による走査透過電子顕微鏡の例を説明する。本例の走査透過電子顕微鏡は、電子源１、引出し電極２、加速電極３、集束レンズ５、偏向コイル６、及び、対物レンズ８を有する。本例の走査透過電子顕微鏡は、試料９の下側に設けられた透過電子偏向コイル１０、暗視野信号電子検出器１５、及び、明視野信号電子検出器１６を有する。暗視野信号電子検出器１５には明視野信号通過用の開口１５ａが設けられており、開口１５ａの下に明視野信号電子検出器１６が設けられている。
【００１４】
引出し電極２によって、電子源１から電子線４が発生する。電子線４は加速電極３によって、例えば、３０keV程度にまで加速される。加速された電子線４は、集束レンズ５によって光軸上に集束され、対物レンズ８により再度集束され、試料９上に照射される。電子線４は電子線偏向コイル６により偏向支点７を支点として試料９上を二次元走査される。
【００１５】
試料９の下面から、明視野信号電子１１と暗視野信号電子１２が放射される。明視野信号電子１１は、主として試料を透過した電子であり、散乱角が小さく、エネルギが大きい。暗視野信号電子１２は、主として試料内にて散乱した電子であり、散乱角が大きく、エネルギが小さい。
【００１６】
試料９の下側には透過電子偏向コイル１０が配置されている。透過電子偏向コイル１０は、明視野信号電子１１を、電子線偏向コイル６と同期して電子線偏向コイル６による偏向方向とは逆方向に偏向させる。明視野信号電子１１は、透過電子偏向コイル１０によって偏向され、常に、暗視野信号電子検出器１５上の明視野信号集束点１４にて、集束する。明視野信号集束点１４は、光軸１３上にあってよい。明視野信号電子１１は集束され、暗視野信号電子検出器１５の開口１５ａを通り、明視野信号電子検出器１６に照射される。こうして本例では、電子線偏向コイル６によって電子線４が偏向されても、試料からの明視野信号電子１１は常に、暗視野信号電子検出器１５の開口１５ａを通り、明視野信号電子検出器１６によって検出される。
【００１７】
一方は、暗視野信号電子１２は暗視野信号電子検出器１５によって検出される。透過電子偏向コイル１０によって全ての明視野信号電子１１は暗視野信号電子検出器１５の開口１５ａに導かれる。従って、暗視野信号電子検出器１５には暗視野信号電子１２のみが照射される。
【００１８】
暗視野信号電子１２と明視野信号電子１１は、散乱角もエネルギも異なる。透過電子偏向コイル１０によって明視野信号電子１１を偏向しても、暗視野信号電子１２が明視野信号電子１１と同様に偏向されることはない。暗視野信号電子１２は暗視野信号電子検出器１５の開口１５ａを通ることはない。一方、暗視野信号電子検出器１５の有効検出領域を十分大きく設定すれば、略全ての暗視野信号電子１２を検出することができる。こうして本例では、暗視野信号電子１２と明視野信号電子１１を明確に分離することができる。
【００１９】
本発明によると、試料上の電子線４の走査領域が変化しても、それに従って透過電子偏向コイル１０による偏向を制御する。従って、電子線４の走査領域が変化しても、暗視野信号電子１２と明視野信号電子１１を完全に分離することができる。更に、本発明によれば、明視野信号電子検出器１６によって明視野像を得ると同時に暗視野信号電子検出器１５によって暗視野像を得ることができる。即ち、検出器を交換することなく、明視野像と暗視野像を同時に得ることができる。
【００２０】
暗視野信号電子検出器１５の開口１５ａの径は、集束した明視野信号電子１１が通過できる必要があるが、できるだけ小さいほうがよい。しかしながら、小さすぎると、加工が困難である。開口１５ａの径は、好ましくは５ｍｍより小さく０．０１ｍｍより大きいが、より好ましくは、１ｍｍ以下である。
【００２１】
本例では、明視野信号電子検出器１６の有効検出領域は、開口１５ａの径より僅かに大きければよい。例えば、開口１５ａの径が１ｍｍの場合、明視野信号電子検出器１６の有効検出領域の径は、１．１ｍｍ〜２ｍｍであってよい。
【００２２】
暗視野信号電子検出器１５及び明視野信号電子検出器１６の信号検出部の構成は既知であり、例えば、ＣＣＤ（電荷撮像素子）又はシンチレータを用いてよい。
【００２３】
ここでは、透過電子偏向コイル１０による磁界を用いる場合を説明したが、透過電子偏向コイル１０の代わりに、集束レンズを用いてもよい。即ち、明視野信号電子を偏向させる代わりに集束させる。集束レンズでは、偏向コイルに比べて強い励磁が必要である。そのため、電子線走査範囲が大きいと、明視野信号電子を集束させるのが困難となる。そこで、電子線走査範囲に制限を設ける必要がある。または、集束レンズを２段以上の構成とすることによって収束効率を上げることもできる。
【００２４】
図２を参照して暗視野信号電子について詳細に説明する。電子線２１を試料２２の上面の一点に照射すると、試料２２の下面から、明視野信号電子２３と暗視野信号電子２４が発生する。明視野信号電子２３は、試料内部で殆ど散乱されない電子であり、照射電子線と同一方向に、殆ど広がらずに放出する。暗視野信号電子２４は、試料内部で散乱された電子であり、入射電子線に対して、ある散乱角度にて拡がって放射する。
【００２５】
暗視野信号電子２４は、試料内部で非弾性散乱した非弾性散乱電子２４Ａと試料内部で弾性散乱した弾性散乱電子２４Ｂとからなる。非弾性散乱電子２４Ａの散乱角度は数１０mrad程度であり、そのエネルギは照射電子線の９０%程度である。一方、弾性散乱電子２４Ｂの散乱角度は数１００mrad程度であり、そのエネルギは照射電子線のエネルギと等しい。尚、図２にて、明視野信号電子２３、暗視野信号電子２４、非弾性散乱電子２４Ａ、及び、弾性散乱電子２４Ｂは模式的に示したものであり、実際には、これらの電子は、散乱角に対して連続的に分布する。
【００２６】
非弾性散乱電子２４Ａのエネルギは散乱角度に依存する。非弾性散乱電子２４Ａの散乱角度が大きいほど、そのエネルギは小さくなる。従って、特定の散乱角度を有する非弾性散乱電子を選択的に検出することにより、特定のエネルギの非弾性散乱電子を検出することができる。このように特定のエネルギの非弾性散乱電子を検出し、それによる透過像を得ることによって、試料の構造解析に有用な情報が得られる。以下に、特定のエネルギの非弾性散乱電子を検出する非弾性散乱電子検出器の例を説明する。
【００２７】
図３を参照して、本発明による走査透過電子顕微鏡の他の例を説明する。本例の走査透過電子顕微鏡では、図１に示した走査透過電子顕微鏡と比べて、暗視野信号電子検出器の代わりに非弾性散乱電子検出器１７が設けられている点が異なる。ここでは、本例の非弾性散乱電子検出器１７について説明する。本例の非弾性散乱電子検出器１７は、特定のエネルギの非弾性散乱電子を検出するように構成されている。即ち、本例の非弾性散乱電子検出器１７は、特定の散乱角の非弾性散乱電子を検出するように構成されている。本例の非弾性散乱電子検出器１７には明視野信号通過用の開口１７ａが設けられており、開口１７ａの下に明視野信号電子検出器１６が設けられている。暗視野信号電子１２のうち、非弾性散乱電子１２Ａのみが非弾性散乱電子検出器１７によって検出され、弾性散乱電子１２Ｂは非弾性散乱電子検出器１７によって検出されない。試料電圧印加回路１８については後に説明する。
【００２８】
図４を参照して、非弾性散乱電子検出器１７の構造の詳細を説明する。図４（Ａ）に示す非弾性散乱電子検出器１７では、明視野信号通過用の開口１７ａの周囲に有効検出領域１７１が設けられ、その外側に同心円状の環状の電子遮断用マスク１７２が設けられている。電子遮断用マスク１７２は電子線を遮断するように機能し、例えば、薄い金属板によって構成されてよい。非弾性散乱電子１２Ａのうち比較的散乱角が小さい電子は有効検出領域１７１に照射され、比較的散乱角が大きい電子は電子遮断用マスク１７２に照射される。非弾性散乱電子のエネルギは、散乱角が小さいほど大きい。従って、非弾性散乱電子１２Ａのうち比較的エネルギが大きい電子は有効検出領域１７１に照射され、比較的エネルギが小さい電子は電子遮断用マスク１７２に照射される。こうして本例の非弾性散乱電子検出器１７では、非弾性散乱電子１２Ａのうち比較的エネルギが大きい電子を検出することができる。
【００２９】
図４（Ｂ）に示す非弾性散乱電子検出器１７では、明視野信号通過用の開口１７ａの周囲に電子遮断用マスク１７２が設けられ、その外側に同心円状の環状の有効検出領域１７１が設けられている。非弾性散乱電子１２Ａのうち比較的散乱角が大きい電子は有効検出領域１７１に照射され、比較的散乱角が小さい電子は電子遮断用マスク１７２に照射される。従って、非弾性散乱電子１２Ａのうち比較的エネルギが小さい電子は有効検出領域１７１に照射され、比較的エネルギが大きい電子は電子遮断用マスク１７２に照射される。こうして本例の非弾性散乱電子検出器１７では、非弾性散乱電子１２Ａのうち比較的エネルギが小さい電子を検出することができる。
【００３０】
図４（Ｃ）に示すように、有効検出領域１７１のリングの内径ｄ１と外径ｄ２の平均（ｄ１＋ｄ２）／２を有効検出領域１７１の径と定義し、外径ｄ２と内径ｄ１の差（ｄ２−ｄ１）を有効検出領域１７１の幅と定義する。有効検出領域１７１の径と幅を変化させることによって、所望のエネルギを有する非弾性散乱電子を検出することができる。
【００３１】
例えば、有効検出領域１７１の幅を大きくすると、より広い範囲のエネルギを有する非弾性散乱電子を検出することができる。一方、有効検出領域１７１の幅を小さくすると、より狭い範囲のエネルギを有する非弾性散乱電子を検出することができる。即ち、有効検出領域１７１の幅は、検出する非弾性散乱電子のエネルギの幅に対応すると言える。従って、特定の極めて狭い範囲のエネルギを有する非弾性散乱電子を検出する場合には、有効検出領域１７１の幅を小さくすればよい。
【００３２】
一方、有効検出領域１７１の径を小さくすると、より大きなエネルギを有する非弾性散乱電子を検出することができる。一方、有効検出領域１７１の径を大きくすると、より小さなエネルギを有する非弾性散乱電子を検出することができる。即ち、有効検出領域１７１の径は、検出する非弾性散乱電子のエネルギの大きさに対応すると言える。従って、特定の極めて大きいエネルギを有する非弾性散乱電子を検出する場合には、有効検出領域１７１の径及び幅を小さくすればよい。
【００３３】
非弾性散乱電子の散乱角度は、試料の構造、組成、厚さ等の試料の条件に依存するが、照射電子のエネルギにも依存する。従って、加速電極３に印加する電圧（加速電圧）を調整し、それによって照射電子のエネルギが調整することによって、散乱角度を調整することができる。例えば、加速電極３に印加する電圧を約１Vずつ変化させることができるように構成してよい。図４に示した例では、検出する非弾性散乱電子のエネルギを変化させる場合には、非弾性散乱電子検出器１７を交換する必要がある。しかしながら、非弾性散乱電子の散乱角度を制御することによって、非弾性散乱電子検出器１７を交換することなしに、検出する非弾性散乱電子のエネルギを調整することができる。
【００３４】
図３を再度参照する。図３の例では、試料電圧印加回路１８が設けられている。試料９の電位は通常アースレベルであるが、試料電圧印加回路１８により試料９に負の電圧を印加する。試料９に照射する電子は、試料に接近すると、試料９に印加された負の電圧によって生成される負の電界によって減速する。試料９に照射する電子のエネルギが減少すると、試料から放出される非弾性散乱電子のエネルギも減少する。こうして、試料９に負の電圧を印加することによって、非弾性散乱電子検出器１７を交換することなしに、検出する非弾性散乱電子のエネルギを調整することができる。
【００３５】
試料の分解能を保持するには、加速電圧を高く保持した状態で、試料に負の電圧を印加するほうがよい。尚、試料に正の電圧を印加してもよい。それによって照射電子のエネルギが増加し、非弾性散乱電子のエネルギが増加する。
【００３６】
以上本発明の例を説明したが本発明は上述の例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲にて様々な変更が可能であることは当業者によって容易に理解されよう。
【００３７】
図１及び図３では、走査透過電子顕微鏡の例を説明した。本発明は、走査透過電子顕微鏡ばかりでなく試料に荷電粒子を照射する走査透過荷電粒子線装置にも適用可能である。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
本発明は、透過走査電子を検出する走査透過電子顕微鏡ばかりでなく、試料に荷電粒子を照射する走査透過荷電粒子線装置にも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明による走査透過電子顕微鏡装置の例の構成を示す図である。
【図２】試料からの発生する暗視野信号電子を説明する図である。
【図３】本発明による走査透過電子顕微鏡装置の他の例の構成を示す図である。
【図４】本発明による走査透過電子顕微鏡装置に設けられた非弾性散乱電子検出器の例を示す図である。
【図５】試料から明視野信号電子と暗視野信号電子が発生する状態を示す図である。
【符号の説明】
【００４０】
１…電子源、２…引出し電極、３…加速電極、４…電子線、５…集束レンズ、６…電子線偏向コイル、７…偏向支点、８…対物レンズ、９…試料、１０…透過電子偏向コイル、１１…明視野信号電子、１２…暗視野信号電子、１２Ａ…非弾性散乱電子、１２Ｂ…弾性散乱電子、１３…光軸、１４…明視野信号電子集束点、１５…暗視野信号電子検出器、１５ａ…開口、１６…明視野信号電子検出器、１７…非弾性散乱電子検出器、１７ａ…開口、１８…試料電圧印加回路、２１…電子線、２２…試料、２３…明視野信号電子、２４…暗視野信号電子、２４Ａ…非弾性散乱電子、２４Ｂ…弾性散乱電子、５１…電子線、５２…試料、５３…明視野信号電子、５４…暗視野信号電子、５５…明視野用絞り、５６…明視野信号電子検出器、５７…暗視野用絞り、５８…暗視野信号電子検出器、１７１…有効検出領域、１７２…電子遮断用マスク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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