(57)【要約】【課題】  より単純な構造で、壁面などの被吸着面に対して確実に吸着力を発揮し、しかも、エネルギーロスも少なく、安価な走行安定化装置を提供すること。【解決手段】  複数の吸着パッド１９を無端状の走行体２９，３０に設けてクローラ機構を構成し、吸着パッド１９には、吸着パッド内を真空源に接続するための接続口３７を設け、吸着パッド内を真空に維持したときに、装置本体Ｚを被吸着面に吸着させる走行安定化装置において、吸着パッド１９には、接続口３７に接続し、上記吸着パッドを被吸着面に接触させたときに開弁する開閉弁機構Ｖ１を設けるとともに、上記各吸着パッドの複数の接続口を一連に連通させる可撓性を有する真空連通パイプＶＰを備えるとともに、この真空連通パイプと真空発生源とを相対回転可能に接続する回転接続手段５５を設け、真空連通パイプＶＰを、各接続口３７との相対関係を維持して走行可能にした。【選択図】  図１１
2008207746.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の吸着パッドを無端状の走行体に設けてクローラ機構を構成し、かつ、上記吸着パッドには、吸着パッド内を真空源に接続するための接続口を設け、吸着パッド内を真空に維持したときに、装置本体を被吸着面に吸着させる走行安定化装置において、上記吸着パッドには、接続口に接続し、上記吸着パッドを被吸着面に接触させたときに開弁する開閉弁機構を設けるとともに、上記各吸着パッドに設けた接続口の複数を一連に連通させる可撓性を有する真空連通パイプを備えるとともに、この真空連通パイプと真空発生源とを相対回転可能に接続する回転接続手段を設け、上記真空連通パイプを、各吸着パッドの接続口との相対関係を維持して走行可能にした走行安定化装置。
【請求項２】
上記クローラ機構は、装置本体に所定の間隔を保って設けた一対の回転体間に上記走行体を巻き掛けてなり、上記回転体の軸心方向における吸着パッドの幅をＷとし、上記走行体を巻き掛ける回転体の幅をｗとしたとき、幅Ｗ＞幅ｗの関係を維持し、吸着パッドの上記幅方向の一方側を上記回転体の幅方向外側に突出させ、この突出部分に上記接続口を備えるとともに、複数の吸着パッドの上記突出部分が相まって囲繞空間を形成し、この空間内に、上記回転接続手段及び上記真空連通パイプを設けた請求項１に記載の走行安定化装置。
【請求項３】
上記吸着パッドに真空破壊孔を形成し、この真空破壊孔を開閉する真空破壊弁を設け、この真空破壊弁は、上記走行体の走行過程において被吸着面から離れる関係位置で開弁する構成にした請求項１または２に記載の走行安定化装置。
【請求項４】
上記回転接続手段を、走行体の回動軌跡の中心もしくはその近傍を通る軸線上に設けた請求項１〜３のいずれか１に記載の走行安定化装置。
【請求項５】
上記開閉弁機構は、通常は閉弁状態を維持し、上記吸着パッドが被吸着面に接触したときに作用する力によって開弁する第１弁部を備えた請求項１〜４のいずれか１に記載の走行安定化装置。
【請求項６】
上記開閉弁機構は、上記第１弁部が開弁状態のとき、吸着パッド内と真空源側との差圧を検出し、その差圧が設定値未満のときに開弁する第２弁部を備えた請求項５に記載の走行安定化装置。
【請求項７】
上記第２弁部には、上記第１弁部が開弁状態であって、第２弁部が閉弁状態のとき、吸着パッド内と真空源側とを連通する絞り孔を備えた請求項６に記載の走行安定化装置。
【請求項８】
複数の単位チューブと、ひとつの開口を上記接続口に接続した複数のＴ型管継ぎ手とを交互に連結して一連の真空連通パイプを構成した請求項１〜７のいずれか１に記載の走行安定化装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えば、高所作業用のゴンドラのように、壁面などに沿って移動する物体の走行を安定化するための装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、高所作業用のゴンドラに連結し、ゴンドラの上下移動とともに移動しながら壁面に吸着して、ゴンドラの揺れを止めるために、ゴンドラの進行とともに移動する真空吸着装置として、次のものが従来から知られている。
例えば、図１９〜図２１に示す従来の装置Ｘは、内部に設けた真空チャンバ１を真空ポンプＰに接続し、この真空チャンバ１内を真空に保つことにより、その吸引力で壁面２に吸着するものである。
【０００３】
その具体的構造は、以下の通りである。
上記装置Ｘの図示しないフレームに回転自在にスプロケット３、４を取り付けるとともに、このスプロケット４にタイミングベルト５を掛け渡す。
なお、通常、スプロケット４に掛け渡すタイミングベルトは、上記スプロケット３，４の歯にかみ合う凹凸を構成するために、等間隔で帯状凸部が形成されている。しかし、この従来装置のタイミングベルト５は、図２０に示すように、通常のタイミングベルトから、その幅方向中央部の凸部を取り除き、ベルトの両脇にのみ凸部５ａを備えたものである。そして、この凸部５ａを備えたベルトの両脇に対応する位置に、上記一対のスプロケット３及び４を設けてタイミングベルト５を支持するようにしている。
また、上記タイミングベルト５において、上記凸部５ａを備えていない平面状の中央部５ｂには、複数の孔６を厚み方向に貫通させている。
【０００４】
そして、この装置Ｘの図示していないフレームには、真空チャンバ１を設けているが、この真空チャンバ１は、上記タイミングベルト５の中央部５ｂに接触する位置関係を保つとともに、この真空チャンバ１が接触する側のタイミングベルト５を、壁面２に接触させるようにしている。このようにした真空チャンバ１は、図２１に示すように、上記タイミングベルト５の中央部５ｂに接する面に、通気孔７を形成している。
そこで、この真空チャンバ１が接している側のタイミングベルト５の表面を壁面２に押し付けた状態で、真空引きすれば、上記通気孔７及び孔６を介して壁面２に負圧が作用し、装置Ｘのベルト面が壁面２に吸着することになる。
この状態で、装置Ｘに図１９の矢印Ａ方向の引っ張り力が作用すれば、タイミングベルト５は矢印Ｂ方向へ回転し、装置Ｘは矢印Ａ方向へ移動する。このように、装置Ｘが移動する過程で、タイミングベルト５において上記真空チャンバ１に接触した部分、例えば図２０の一点鎖線で示した部分のみが真空による吸着力を発揮して、壁面２に吸着することができる。
【０００５】
また、別の機構を用いた装置として、例えば、特許文献１に示すものが従来から知られているが、この従来の装置を図２２に示している。
上記図２２に示した装置Ｙは、無端状のベルト８に、複数の真空吸着パッド９を取り付けている。このベルト８は、この装置Ｙにおける図示していないフレームに回転自在に取り付けられたスプロケットで支持されている。そして、装置Ｙが、矢印Ａ方向へ移動する際には、壁面２側に位置する吸着パッド９が壁面２に吸着しながら、ベルト８が矢印Ｂ方向へ回転する。この点は、上記装置Ｘと同様である。
【０００６】
上記各吸着パッド９には、吸着パッド内に連通する接続部を設け、この接続部をベルト８に貫通させて、その接続部に、それぞれホース１０を接続し、これらのホース１０を、ディストリビュータ１１に接続している。このディストリビュータ１１は、図示していない真空ポンプに接続され、ディストリビュータ１１内を真空に維持するようにしている。また、このディストリビュータ１１は図示していない接続切り替え機構を備えているが、この接続切り替え機構は、上記複数の吸着パッド９のうち、壁面２に接触している吸着パッド９のみを、真空ポンプと接続するものである。
【特許文献１】特許第２５２０３５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記した従来の装置Ｘは、タイミングベルト５が回転する際に、タイミングベルト５と真空チャンバ１との間に摩擦力が発生する。タイミングベルト５が壁面２に吸着しているときには、タイミングベルト５と真空チャンバ１との間にも真空吸着力が作用するので、この吸着力によって接触面の垂直抗力が大きくなって、タイミングベルト５と真空チャンバ１間の摩擦力が特に大きくなる。この大きな摩擦力のために、スプロケットごとにモータを設けてスプロケットを回転させなければならず、エネルギー効率が悪くなるという問題があった。
【０００８】
また、このような装置Ｘでは、真空チャンバ１とタイミングベルト５との間の摩擦を小さくし、壁面２とタイミングベルト５との間の摩擦を大きくすれば、エネルギーロスを小さくできる。そのために、タイミングベルト５の両面の摩擦力に差をつけることが理想である。しかし、そのためには、真空チャンバ１またはタイミングベルト５の接触面に特殊な材質や特殊加工が必要となり、コストが掛かるという問題もあった。
更に、この装置Ｘでは、図２１に示すように、真空チャンバ１とタイミングベルト５との間と、タイミングベルト５と壁面２との間の２箇所で、真空吸着が行なわれる。つまり、真空漏れ発生の可能性がある箇所が２箇所あることになり、１箇所での真空吸着に比べて壁面２から装置Ｘが離れてしまう危険性が高くなる。
【０００９】
一方、図２２に示した上記装置Ｙは、壁面に接触する側の吸着パッド９と接触しない側の吸着パッド９とを区別するためのセンサが必要であるとともに、ディストリビュータ１１が、真空ポンプとホース１０との連通を切り替える機構を備えなければならない。
また、上記ベルト８の回転に伴って、ホース１０も回転することになるので、ホース１０が互いに絡まってしまうことがないように、ディストリビュータ１１を吸着パッドに同期して回転させる機構も備えなければならない。
つまり、この装置Ｙでは、センサのほか、切り替え機構、回転機構を有する複雑な構造のディストリビュータが必要となり、装置の製造コストが高くなってしまう。しかも、構造が複雑化するのにともなって、故障の可能性も高くなり、メンテナンスコストも高くなるという問題があった。
【００１０】
この発明の目的は、より単純な構造で、壁面などの被吸着面に対して確実に吸着力を発揮し、しかも、エネルギーロスも少なく、安価な走行安定化装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
第１の発明は、複数の吸着パッドを無端状の走行体に設けてクローラ機構を構成し、かつ、上記吸着パッドには、吸着パッド内を真空源に接続するための接続口を設け、吸着パッド内を真空に維持したときに、装置本体を被吸着面に吸着させる走行安定化装置において、上記吸着パッドには、接続口に接続し、上記吸着パッドを被吸着面に接触させたときに開弁する開閉弁機構を設けるとともに、上記各吸着パッドに設けた接続口の複数を一連に連通させる可撓性を有する真空連通パイプを備えるとともに、この真空連通パイプと真空発生源とを相対回転可能に接続する回転接続手段を設け、上記真空連通パイプを、各吸着パッドの接続口との相対関係を維持して走行可能にした点に特徴を有する。
【００１２】
第２の発明は、上記第１の発明を前提とし、上記クローラ機構は、装置本体に所定の間隔を保って設けた一対の回転体間に上記走行体を巻き掛けてなり、上記回転体の軸心方向における吸着パッドの幅をＷとし、上記走行体を巻き掛ける回転体の幅をｗとしたとき、幅Ｗ＞幅ｗの関係を維持し、吸着パッドの上記幅方向の一方側を上記回転体の幅方向外側に突出させ、この突出部分に上記接続口を備えるとともに、複数の吸着パッドの上記突出部分が相まって囲繞空間を形成し、この空間内に、上記回転接続手段及び上記真空連通パイプを設けた点に特徴を有する。
【００１３】
第３の発明は、上記第１または第２の発明を前提とし、上記吸着パッドに真空破壊孔を形成し、この真空破壊孔を開閉する真空破壊弁を設け、この真空破壊弁は、上記走行体の走行過程において被吸着面から離れる関係位置で開弁する構成にした点に特徴をする。
【００１４】
第４の発明は、上記第１〜第３の発明を前提とし、上記回転接続手段を、走行体の回動軌跡の中心もしくはその近傍を通る軸線上に設けた点に特徴を有する。
【００１５】
第５の発明は、上記第１〜第４の発明を前提とし、上記開閉弁機構は、通常は閉弁状態を維持し、上記吸着パッドが被吸着面に接触したときに作用する力によって開弁する第１弁部を備えた点に特徴を有する。
【００１６】
第６の発明は、上記第５の発明を前提とし、上記開閉弁機構は、上記第１弁部が開弁状態のとき、吸着パッド内と真空源側との差圧を検出し、その差圧が設定値未満のときに開弁する第２弁部を備えた点に特徴を有する。
【００１７】
第７の発明は、上記第６の発明を前提とし、上記第２弁部には、上記第１弁部が開弁状態であって、第２弁部が閉弁状態のとき、吸着パッド内と真空源側とを連通する絞り孔を備えた点に特徴を有する。
【００１８】
第８の発明は、上記第１〜第７の発明を前提とし、複数の単位チューブと、ひとつの開口を上記接続口に接続した複数のＴ型管継ぎ手とを交互に連結して一連の真空連通パイプを構成した点に特徴を有する。
【発明の効果】
【００１９】
第１の発明によれば、個々の吸着パッドに設けた開閉弁機構を、可撓性を有する真空連通パイプを介して一連に連通したので、従来のように個々のパッドごとにパイプを設ける必要がなくなる。個々のパッドごとにパイプを必要としないので、例えば、従来の装置Ｙのようにディストリビュータなど複雑な部品等も不要になり、その分、製造コストやメンテナンスコストが低減される。
また、上記真空連通パイプは、回転接続手段を介して真空発生源に接続されるので、真空連通パイプと走行体とを一体的に走行させることができる。従って、従来の装置Ｘのように、真空チャンバと走行体とが相対移動する際に摩擦力が発生するという問題や、ベルトと真空チャンバ間に真空漏れが発生するといった問題も発生しない。
【００２０】
また、個々の吸着パッドに設けた開閉弁機構によって、被吸着面に接触した吸着パッドのみを真空に保つことができ、被吸着面に接触していない吸着パッドから、真空漏れが発生することがない。従って、真空連通パイプ内を高真空度に保つことができ、必要箇所での十分な吸着力によって、走行の安定化ができるとともに、真空源の無駄な負荷もほとんど無い。
【００２１】
第２の発明では、吸着パッドの突出部分で形成される囲繞空間内に、真空源と接続するための接続口、真空連通パイプ、回転接続手段等、走行体の回転に伴って回転する部材を設けたので、たとえ上記回転体が軸方向に連続していても、その回転体に真空連通パイプが巻きついたりしない。
【００２２】
第３の発明によれば、装置本体の移動に伴って、被吸着面から離れる箇所における吸着パッドの吸着力を積極的に解放できるため、装置本体のスムーズな走行が可能になる。
第４の発明によれば、走行体と一体に走行する真空連通パイプを回転接続手段に接続するときの真空連通パイプの接続長さを短くすることができ、その分、真空接続パイプ全体の長さも短くし、真空度低下防止することができる。
【００２３】
第５の発明では、吸着パッドが被吸着面に接触したことを機械的に検知して、開閉弁機構を制御することができるので、電気的なセンサとは異なり、信号の伝達に遅れが発生したり、雨水や水を利用する環境においてもセンサが故障したりしにくくなる。
【００２４】
第６の発明によれば、吸着パッドが被吸着面側に位置しているときに、真空漏れが発生したとしても、第２弁部が閉弁状態を保つことができるので、真空漏れによって、真空連通パイプ内の真空度が低下することを防止することができる。
【００２５】
第７の発明によれば、第２弁部が閉弁状態であっても、絞り孔を介して一定量の通気があり、真空漏れを最小限に保ちながら、吸着パッド内を真空にすることができる。
第８の発明によれば、複数の単位チューブと、ひとつの開口を上記接続口に接続した複数のＴ型管継ぎ手とを交互に連結して一連の真空連通手段を構成したので、真空連通パイプを各吸着パッドに接続する構造を単純化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
図１〜図１６に示した第１実施形態は、図３に示すように、ゴンドラＧを固定して安定的に走行する装置に関するものである。
この装置本体Ｚは、金属板で形成し、互いに対向する起立片１２ａ，１２ｂを備えたフレーム１２に、高所作業用のゴンドラＧを取り付けるための支持部材１３を連結している。この支持部材１３には、図２に示すように、ゴンドラＧを取り付けるためのＬ字状の取り付け部１４を備えている。この取り付け部１４とボルト１４ａとの間にゴンドラＧのバーを嵌め、押さえボルト１４ｂによって固定するようにしている。
【００２７】
また、フレーム１２は、図１，図２に示すように、連結部材１５を介して支持部材１３に揺動可能に連結されている。また、この連結部材１５には、ポンプ接続部１６を設けているが、後で説明するロータリー管継ぎ手５５をこのポンプ接続部１６を介して図示していない真空源である真空ポンプに接続するようにしている。
【００２８】
更に、支持部材１３は、上記フレーム１２を挟むコの字状の固定部材１７を備え、固定ボルト１８を締め付けることによって、支持部材１３に対するフレーム１２の角度を固定するようにしている。上記のように、フレーム１２を支持部材１３に揺動可能にしながら、固定部材１７によってフレーム１２を固定するようにしたのは、図３に示すように、上記支持部材１３にゴンドラＧを取り付け、ゴンドラＧを吊るして使用する際に、上記装置本体Ｚと壁面２とがぴったりと接触できるようにするためである。そして、上記装置本体Ｚが、壁面２に対してぴったり接触した時の間隔を維持するために、フレーム１２の各起立片１２ａ、１２ｂに、それぞれ一対のローラ２０，２０を設けている。
なお、この第１実施形態では、図３に示すように、ゴンドラＧに、２台の装置本体Ｚ，Ｚを取り付けるようにしている。そして、図３は、装置本体ＺにゴンドラＧを取り付けた状態の図で、（ａ）は側面図、（ｂ）は壁面２側からの正面図である。
【００２９】
次に、上記フレーム１２内の構造を詳しく説明する。
図４〜図１１に示すように、フレーム１２の一方の起立片１２ａには回転軸２１，２２の一端が片持ち支持され、他端には一枚の板部材２３が掛け渡されている。このようにした回転軸２１，２２は、上記起立片１２ａ及び板部材２３のそれぞれに設けた軸受け２４，２５で回転自在に支持されている。このようにしたそれぞれの回転軸２１，２２のそれぞれには一対の歯車２６，２７を設け、これら回転軸２１，２２と歯車２６，２７とが一体的に回転する構成にしている。
なお、図中符号２８は、上記起立片１２ａと板部材２３との対向部間に設けた支持部材で、板部材２３を支持する機能を発揮するものである。
【００３０】
そして、上記回転軸２１に設けた歯車２６と、回転軸２２に設けた歯車２６とにローラチェーン２９を掛け渡し、同様に、歯車２７と２７にも、別のローラチェーン３０を掛け渡している。
すなわち、上記ローラチェーン２９，３０が、この発明の走行体であり、歯車２６，２７を設けた回転軸２１と、歯車２６，２７を設けた回転軸２２とが、この発明の走行体を掛け渡す一対の回転体を構成している。そして、上記フレーム１２内における各回転軸２１，２２の長さが、この発明の回転体の幅ｗである（図４参照）。
【００３１】
また、上記各ローラチェーン２９，３０には、吸着パッド１９と同数の固定部２９ａ，３０ａを備え、これら固定部２９ａ、３０ａを介して、ローラチェーンの移動方向に等間隔に、図６に示す吸着パッド１９を取り付けている。ただし、各吸着パッド１９の底面には、図４、図５に示すように、ゴムシートからなるシール部材３１を介してプラスティックあるいは金属等の接続用基板３２を設け、この接続用基板３２にローラチェーンの固定部２９ａ，３０ａを固設している。
【００３２】
上記吸着パッド１９は、図６に示すように、長辺を吸着パッドの幅Ｗとする長方形の四隅を面取りした形状の底面と、その外周に起立した側面３３ａを有するパッド基板３３内に、上記側面３３ａに平行な垂直部３４ａを有するカバー３４を設けている。このカバー３４をパッド基板３３内に組み込んだとき、上記垂直部３４ａがパッド基板３３の底面に接触するとともに、上記側面３３ａと垂直部３４ａとの間に間隔が保たれるようにしている。そして、上記側面３３ａと垂直部３４ａとの上記間隔に、図４、図１４に示すように、リング状のシール部材３５の基端側を挟み込んで固定しているが、上記のように吸着パッド１９をローラチェーン２９，３０に固定したとき、図４に示すように、上記シール部材３５が、フレーム１２の起立片１２ａ，１２ｂから外方に突出する関係にしている。
なお、上記吸着パッド１９の幅Ｗを、上記回転体の幅ｗすなわちローラチェーン２９，３０の対向間隔よりも大きくしている。
【００３３】
上記のようにした吸着パッド１９は、その長辺をローラチェーン２９，３０の走行方向に直交して取り付けられるが、このとき上記吸着パッド１９の片側が、回転体の幅ｗよりも外側に突出する構成にしている。言い換えると、吸着パッド１９の片側は、走行体であるローラチェーン３０の走行軌跡よりも外側に突出することになる。
吸着パッド１９を上記のように偏らせてローラチェーン２９，３０に取り付けることによって、その吸着パッド１９の上記突出部分で囲繞される囲繞空間Ｅが形成されることになる。
【００３４】
さらに、上記各吸着パッド１９は、上記シール部材３５が壁面２に接触した状態で、吸着パッド内を真空にしたとき壁面２に吸着されるが、この吸着パッド１９には、その吸着時に壁面２とパッド基板３３との距離を一定以上に保つための一対の脚部３６，３６を所定の間隔を保ってカバー３４から突出させている。この脚部３６，３６は、その中央に、ビス３６ａを貫通させ、このビス３６ａが、パッド基板３３及びシール部材３１を貫通して、上記接続用基板３２に固定されている。この脚部３６に対応する接続用基板３２の裏面に、上記ローラチェーン２９，３０が位置するようにしている。
このように脚部３６，３６を設けた理由は次のとおりである。すなわち、吸着パッド１９が必要以上に壁面２に吸着されると、シール部材３５が壁面２に強く押し付けられて損傷する恐れがある。そこで、上記のように脚部３６，３６を設けて、吸着パッド１９が壁面２に必要以上に押し付けられないようにしている。また脚部３６，３６は、壁面との間で摩擦力を生じ吸着パッドを回転させる原動力を生んでいる。
【００３５】
また、上記吸着パッド１９のカバー３４であって、上記回転体の幅ｗの範囲に対応する位置に開口を設け、この開口をフィルタ３４ｂでふさいでいる。
さらに、上記パッド基板３３には、この発明の接続口である真空引き孔３７と、真空破壊孔３８とを形成しているが、これら各孔３７，３８は、図４に示すように、回転体の幅ｗの外側である上記囲繞空間Ｅに対して開口させている。なお、真空引き孔３７は、パッド基板３３と接続用基板３２とシール部材３１を貫通している。
従って、上記フィルタ３４ｂと真空引き孔３７及び真空破壊孔３８とは、互いに干渉することがない位置関係を保つことになる。
【００３６】
さらに、上記真空引き孔３７の内側には、開閉弁機構Ｖ１を設けるとともに、この開閉弁機構Ｖ１によって吸着パッド１９と後で詳しく説明する真空連通パイプＶＰとを連通させたり、あるいはその連通を遮断させたりするものである。
この開閉弁機構Ｖ１は、図７〜図９に示すように、弾性を有する板部材３９の先端に設けた弁部材４０を主要素にしてなる第１弁部４１と、同じく弾性を有する板部材４３に設けたシート部材４４と、このシート部材４４に形成した通孔４５及びこの通孔４５に対応し、板部材４３に設けられた絞り孔４６を主要素にしてなる第２弁部４７とからなる。
【００３７】
第１弁部４１は、板部材３９に切り込みを入れて湾曲させ、その湾曲部から折り返した固定部３９ａをパッド基板３３に固定するとともに、上記弁部材４０とは反対側端部に、接触検知棒４２を設けている。この接触検知棒４２は、カバー３４から突出し、通常状態において、上記板部材３９の弾性力によって図７の位置を保っている。この図７に示す接触検知棒４２の位置は、吸着パッド１９のシール部材３５を、壁面２などの被吸着面に接触したときに、その先端が壁面で押される位置である。そして、接触検知棒４２がこの位置にあるとき、板部材３９の弾性力によって、弁部材４０により第２弁部４７の絞り孔４６を閉じるとともに、その押圧力で板部材４３をたわませて、シート部材４４で真空引き孔３７の周囲をシートする構成にしている。
【００３８】
なお、上記第１弁部４１の弁部材４０が絞り孔４６を閉じているときを、この発明における第１弁部の閉弁状態といい、第２弁部４７のシート部材４４が真空引き孔３７の周囲をシートしているときを、この発明における第２弁部４７の閉弁状態という。
【００３９】
そして、接触検知棒４２が、壁面２に接触することによって、図７の下方に押された場合には、図９に示すように、接触検知棒４２とは反対側の弁部材４０が上昇して、絞り孔４６を開く開弁状態となる。なお、第１弁部４１が開弁状態を保てば、第２弁部４７に対する押圧力も開放されることになる。
一方、第２弁部４７は、弾性を有する板部材４３の基端側を、スペーサ４８を介してパッド基板３３に固定するとともに、その先端側には、リング状のシート部材４４を設け、その中央に絞り孔４６を形成している。そして、上記スペーサ４８の厚みを、上記シート部材４４の厚みよりも厚くし、板部材４３に押圧力が作用していないときには、図９に示すように、第２弁部４７を開弁状態に維持する構成にしている。
【００４０】
ただし、この第２弁部４７は、上記第１弁部４１が開弁状態であっても、吸着パッド１９内の真空度が低く、真空連通パイプＶＰとの間の差圧が設定値以上になれば、その差圧によって第２弁部４７が、図７に示すように真空引き孔３７側に押し付けられ、その真空引き孔３７を塞ぐ。また、第２弁部４７が閉弁状態を維持して真空引き孔３７を塞いでいても、第１弁部４１が開弁状態ならば、上記絞り孔４６を介して一定量の空気が、真空連通パイプＶＰ側へ流れることになる。
【００４１】
このような開閉弁機構Ｖ１を設けたので、この装置本体Ｚを、図３（ａ）のように、壁面２に沿って矢印Ａ方向へ引き上げる際に、壁面２に接触した吸着パッド１９の開閉弁機構Ｖ１のみが開弁状態となり、当該吸着パッド１９は内部が真空となって吸着力を発揮する。その他の吸着パッド１９内は、開閉弁機構Ｖ１が閉弁状態を維持して真空連通パイプＶＰとの連通が遮断されるので、真空ポンプが必要以上にエネルギーを消費することなく、真空連通パイプＶＰ内の真空度を保つことができる。
【００４２】
以下には、開閉弁機構Ｖ１の機能を更に詳しく説明する。
まず、図示しない真空ポンプを作動させた状態で、壁面２に装置本体Ｚを押し付けると、接触検知棒４２が壁面２で押圧され、その圧力作用で、第１弁部４１が開弁状態となる。第１弁部４１が開弁状態となっても、吸着パッド１９内の真空度が低く、差圧が板部材４３のバネ力よりも大きい場合には、第２弁部４７は閉弁状態を保ち、絞り孔４６を介してのみ上記真空連通パイプＶＰと吸着パッド１９内とが連通する。この状態では、上記絞り孔４６を介して流量が真空ポンプに引かれるので、吸着パッド１９内の真空度は徐々に高くなる。そして、パッド内部の真空度が高くなって、吸着パッド１９内と真空連通パイプＶＰとの差圧が設定値未満になれば、第２弁部４７が図９に示す開弁状態となる。従って、真空引き孔３７が全開して吸着パッド１９内の真空度を高く保つ。
【００４３】
もし、上記接触検知棒４２が壁面２に接触して、第１弁部４１が開弁状態になっても、壁面の凹凸などにシール部材３５が密着できなければ、吸着パッド１９内は大気圧となる。このときには、上記したように第２弁部４７が、差圧によって閉弁状態を保つことになる。第２弁部４７が、差圧によって閉弁状態を保てば、大気は絞り孔４６を介してのみ引かれることになる。
そのため、壁面２に接触した吸着パッド１９に大気が流れ込んでも、絞り孔４６を介しての僅かな流量のみが、真空連通パイプＶＰ内に流れるだけなので、上記真空連通パイプＶＰ内の真空度の低下を最小限にとどめることができる。
【００４４】
また、吸着パッド１９を吸着させた状態で、何らかの原因によって真空漏れが発生した場合にも、上記第２弁部４７が差圧によって閉じるため、大気は絞り孔４６を介してのみ引かれることになる。従って、上記の場合と同様に、真空連通パイプＶＰ内の真空度の低下を最小限にとどめることができる。
更に、漏れの原因が取り除かれて、吸着パッド１９内部の真空度が高くなれば、第２弁部４７が開弁状態となるので、吸着パッド１９内の真空度を高く維持することができる。
【００４５】
また、図４に示すように、真空引き孔３７よりもさらに外側に形成した前記真空破壊孔３８は真空破壊弁Ｖ２によって、開閉される構成にしている。この真空破壊弁Ｖ２は、図１０に示すように、吸着パッド１９の外に設けたもので、通常は、閉弁状態を保つものである。すなわち、パッド基板３３に一端側４９ａを固定した板部材４９の他端側４９ｂにローラ５０を取り付けるとともに、上記板部材４９に切り込みを入れて分岐させたバネ部４９ｃを形成している。このバネ部４９ｃには、弁部材５１を設け、上記バネ部４９ｃのバネ力によって弁部材５１をパッド基板３３に押し付けて真空破壊孔３８を塞いでいる。
【００４６】
そして、図１０に示す真空破壊弁Ｖ２の閉弁状態において、上記ローラ５０を矢印Ｃ方向へ移動させると、板部材４９が移動して、上記バネ部４９ｃを矢印Ｄ方向へ移動させる。このようにバネ部４９ｃが矢印Ｄ方向に移動すれば、真空破壊弁Ｖ２が開弁状態となって、パッド内部の真空を破壊する。
このように真空破壊弁Ｖ２を設けたのは、当該装置本体Ｚのスムーズな走行を維持するためである。すなわち、当該装置本体Ｚが所定の方向に移動するとき、吸着パッド１９の走行方向前方の吸着パッド１９が壁面２からスムーズに剥がれる必要がある。もし、それがスムーズに剥がれなければ、極端な場合には走行不能になるし、走行不能にならないとしても、上記吸着パッド１９を無理やり剥がさなければならないので、スムーズな走行が阻害されることになる。そこで、上記のように真空破壊弁Ｖ２を設けて、吸着パッド１９の走行方向前方の吸着パッド１９が壁面２からスムーズにはがれるようにしたものである。
【００４７】
従って、真空破壊弁Ｖ２が開くタイミングは、図５に示すように装置本体Ｚを壁面２に対して矢印Ａ方向に走行させるとき、吸着パッド１９が、１９Ａから１９Ｂに移動して、壁面２から離れるときになる。そこで、図４に示すように、前記フレーム１２に、上記タイミングにあわせて真空破壊弁Ｖ２を開くための押圧部材５２を設け、上記吸着パッド１９が壁面２から離れる関係位置に到達したとき、そのローラ５０が押圧部材５２に乗り上げて、真空破壊弁Ｖ２を強制的に開弁させるようにしている。
【００４８】
上記のようにした各吸着パッド１９を図示していない真空ポンプに接続するのが、上記した真空連通パイプＶＰである。この真空連通パイプＶＰは、上記吸着パッド１９と同数のＴ型管継ぎ手５３を、図１１に示すように、可撓性を有する複数の単位チューブ５４を介して直列に接続している。このようにした真空連通パイプＶＰの一端を塞ぐとともに、その他端を、この発明の回転接続手段であるロータリー管継ぎ手５５に接続している。そして、このロータリー管継ぎ手５５には、真空ポンプに接続するポンプ接続部１６が連通している。また、このロータリー管継ぎ手５５は、ローラチェーン２９，３０の走行軌跡の中心もしくはその近傍を通る軸線上であって、囲繞空間Ｅ側の起立片１２ｂに設けている。
【００４９】
上記真空連通パイプＶＰのＴ型管継ぎ手５３は、図１２に示すように、真空引き孔接続管部５６と、一対の接続部を備えたチューブ接続管部５７とからなり、真空引き孔接続管部５６を各吸着パッド１９の真空引き孔３７に接続し、チューブ接続管部５７には前記単位チューブ５４を接続している。なお、上記真空引き孔接続管部５６は、チューブ接続管部５７を回転可能に貫通し、その先端に雄ねじ部５６ａを形成するとともに、この雄ねじ部５６ａとは反対端に頭部５６ｂを形成し、この頭部５６ｂを外方に突出させている。従って、上記雄ねじ部５６ａを接続用基板３２に形成した雌ねじ部３２ａにはめるとともに、外部から頭部５６ｂを回すことによって、Ｔ型管継ぎ手５３を吸着パッド１９に簡単に取り付けることができる。
なお、図１２中、符号５８，５８はシール部材で、連結部からの真空漏れを防いでいる。
【００５０】
上記のように各吸着パッド１９の真空引き孔３７に、Ｔ型管継ぎ手５３の真空引き孔接続管部５６を接続することによって、真空連通パイプＶＰが上記囲繞空間Ｅ内に位置するとともに、この真空連通パイプＶＰを介して各吸着パッド１９が一連に連通することになる。
従って、上記ローラチェーン２９，３０の移動に伴って、吸着パッド１９が移動すると、上記単位チューブ５４とＴ型管継ぎ手５３とで構成された真空連通パイプＶＰが吸着パッド１９に従って移動し、上記真空連通パイプＶＰの一端を連結したロータリー管継ぎ手５５が回転する。
【００５１】
上記したように、上記真空連通パイプＶＰとロータリー管継ぎ手５５とを上記回転体の幅ｗの外側に形成された空間Ｅ内に設けたので、上記のように、吸着パッド１９に従って移動する真空連通パイプＶＰが、歯車２６，２７の回転軸２１，２２に絡まることがない。
なお、この第１実施形態では、回転軸２１，２２に、それぞれ一対の歯車２６，２７を取り付けているが、例えば、各歯車２６，２７をそれぞれ、対向する起立片１２ａ、１２ｂに取り付け、両歯車２６，２７間に、回転軸を渡さない構成にした場合には、この歯車間に上記真空連通パイプＶＰを設けることができる。つまり、上記空間Ｅを形成しなくても、真空連通パイプＶＰが絡まることはない。
【００５２】
また、上記真空連通パイプＶＰは、始点と終点とを有する１本のパイプ状であって、その一端を、この発明の回転接続手段であるロータリー管継ぎ手５５に接続しているが、吸着パッド１９に取り付けた全てのＴ型管継ぎ手を単位チューブ５４で接続してリング状の真空連通パイプを構成し、その途中に別の継ぎ手を設け、その継ぎ手に別のパイプを接続して、それを介して上記ロータリー管継ぎ手５５に接続するようにしてもよい。
さらに、図１３に示すように、回転接続手段としてのロータリー管継ぎ手５５に、複数の接続部を設けて、それぞれに、真空連通パイプＶＰ１、ＶＰ２を接続するようにしてもよい。なお、図１３では、ローラチェーン２９，３０の移動軌跡を二点鎖線で示し、真空連通パイプＶＰ１，ＶＰ２を構成する要素以外は省略しているが、他の構成は、上記第１実施形態と同じである。
【００５３】
そして、図１３の場合も、図示しない全ての吸着パッド１９の真空引き孔３７（図４参照）を、Ｔ型管継ぎ手５３、単位チューブ５４及びロータリー管継ぎ手５５を介して連通させるようにしている。
さらにまた、ロータリー管継ぎ手５５に、３つ以上の接続部を設けて、それぞれに複数の真空引き孔３７を連通させた真空連通パイプを接続するようにしてもよい。
【００５４】
また、上記ロータリー管継ぎ手５５を、長円形となるローラチェーン２９，３０の走行軌跡の中心もしくはその近傍を通る軸線上であって、囲繞空間Ｅ側の起立片１２ｂに設けているが、このように、ロータリー管継ぎ手５５を回動軌跡の中心付近を通る軸線上に設けることによって、上記真空連通パイプＶＰの長さを最小限にすることができる。なぜなら、上記ローラチェーン２９，３０とともに移動する吸着パッドのうち、ロータリー管継ぎ手５５から最も遠くに位置する吸着パッドまでの距離が上記長円の長径のほぼ半分となり、ロータリー管継ぎ手５５を中心から大きく外れた位置に設けた場合よりも小さくすることができるからである。このように真空連通パイプＶＰの長さを、短くできれば、その分、真空も効率よく形成ができるし、真空連通パイプＶＰの移動もよりスムーズになる。
【００５５】
以上のように一連に連通しながら、各吸着パッド１９は、開閉弁機構Ｖ１の機能で独立性が保たれる。例えば、壁面２側に接触した複数の吸着パッド１９のうち、いずれかの吸着パッド１９で真空漏れが発生した場合にも、前記したように、その吸着パッド１９の開閉弁機構Ｖ１が閉弁状態を確保するので、他の吸着パッド１９の吸着力に影響を及ぼすことはない。従って、真空連通パイプＶＰの構造を単純化しながら、安全性を十分に確保することができる。
【００５６】
また、上記したように、各吸着パッド１９において、上記フィルタ３４ｂと真空引き孔３７及び真空破壊孔３８とは、互いに干渉することがない位置関係に保っているので、真空引きによって、上記フィルタ３４ｂを通過してしまうような細かい異物を吸い込んでしまうことがあっても、その異物が、直接真空引き孔３７や、真空破壊孔３８へ直接入り込む可能性は低い。そのため、異物が、上記各孔３７，３８に設けた開閉弁機構Ｖ１の板部材４０や、真空破壊弁Ｖ２の弁部材５１に付着して、真空漏れなどの悪影響を起こすことがなく、より安全である。
【００５７】
以下に、上記吸着パッド１９のシール部材３５について説明する。
このシール部材３５は、上記したように、パッド基板３３の側面３３ａとカバー３４の垂直部３４ａとの間に基端部を固定したリング状の樹脂部材であるが、例えば、スチレンゲル、ウレタンゲル、オレフィン系ゲルなどの、高分子ゲルで形成している。このような高分子ゲルは、微粘着性があり、被吸着面に対して接触した場合の密着度を高めることができる。しかも、高分子ゲルは、低反発性材料なので、壁面２に押し付けられたときに発生する反力も小さく、壁面２に密着し易い。
また、高分子ゲルは変形し易いため、壁面２に目地など、凹凸があってもそれに対応して変形し、密着することができる。
【００５８】
更に、シール部材３５は、その断面形状を、図１４に示すように先端３５ａの角度θを鋭角にするとともに、この先端３５ａがシール部材３５における、固定部の幅方向中心である図１４の一点鎖線で示す位置より外側に位置するようにしている。
このような形状にすることによって、シール部材３５は、壁面２に接触させたときに、先端が外側に向かってスカートのように広がり易くしている。
このシール部材３５の形状が、外側へ広がり易い形状であることを、図１５，図１６を用いて説明する。
【００５９】
シール部材３５の先端を壁面２に接触させ、シール部材３５を押圧すると、シール部材３５の先端には力Ｆが作用する。図１５では、壁面２をシール部材３５の先端に軽く接触させ、先端がほんの僅か押し縮められた状態を示している。このとき、作用する力Ｆによって、シール部材３５内には、歪みが発生する。この歪みによって、図中左右方向へ開く方向の、破線の矢印で示した力ｆ１、ｆ２が発生する。シール部材３５の内部には、上記左右方向の力ｆ１、ｆ２に対する抗力Ｒ１，Ｒ２が発生するはずである。しかし、シール部材３５の先端よりも外側には、部材がないので、実際には、上記抗力Ｒ１はほとんど発生せず、力のバランスによってシール部材３５の先端は、図１６に示すように外側へ移動し、先端３５ａが外側に開いて壁面２に密着する。
【００６０】
この第１実施形態では、シール部材３５の先端３５ａが、パッド基板３３の外周とほぼ同じ位置に位置しているため、先端３５ａより外側に部材がなく、上記抗力Ｒ１がほとんど発生しない。ただし、先端３５ａの位置が、図１４の一点鎖線で示した中心線寄りであっても、上記中心線よりも外側にあれば、上記歪みに応じて発生する抗力Ｒ１が、抗力Ｒ２よりも小さくなるので、シール部材３５が外側へ向かって開くようになる点は同じである。
このように、先端３５ａが、外側へ開けば、先端３５ａに向かう斜面が壁面２に接触するので、壁面２に対して平行な先端面が接触する場合と比べて、壁面への接触面積が大きくなる。そして、上記先端３５ａが開いて、壁面２に接触した状態で、パッド内部の真空度を上げれば、先端３５ａよりも基端側の部分３５ｂも、真空によって内側へ引かれて変形し、薄く延びて壁面２との密着面積をさらに増すことになる。
【００６１】
上記のように、薄く延びたシール部材３５が壁面２に密着した状態で、小さな隙間ができて真空漏れが発生した場合には、小さな隙間にジェット流が発生し、そのジェット流によって延びたシール部材３５を引き付けて壁面２へ、再度密着させることもできる。つまり、真空漏れが発生しても、それを回復することができる。
しかも、このシール部材３５は、高分子ゲルで形成されているため、上記した高分子ゲルの性質を活かして壁面２との密着面積を最大限にすることができる。
このようなシール部材３５を備えることによって、吸着パッド１９は、凹凸のある被吸着面にも密着し易く、真空漏れの発生も少なくできる。そのため、この吸着パッド１９を用いた走行安定化装置は、吸着力が強くゴンドラなどの移動体を確実に保持することができる。
【００６２】
図１７，図１８に、走行体として、タイミングベルト５９を用いるとともに、このタイミングベルトを掛け渡す回転体を、吸着パッド１９の幅Ｗとほぼ同じにして、吸着パッド１９を回転体に対して偏らせていない第２実施形態を示す。
この第２実施形態の装置本体は、図１７に示すように、タイミングベルト５９の表面に、吸着パッド１９を取り付けているが、この吸着パッド１９は、タイミングベルト５９の走行方向に沿って所定の間隔で、複数取り付けられている。この第２実施形態の吸着パッド１９は、図１７において詳細は省略しているが、上記第１実施形態の吸着パッド１９とほぼ同じ構成であり、シール部材３５の材質及び形状も第１実施形態のものと同じである。吸着パッド１９の構成要素や、その他の構成要素であって、上記第１実施形態と同じ構成要素には、図１〜図１６に用いたものと同じ符号を用い、各要素の詳細な説明は省略する。
【００６３】
ただし、第２実施形態の吸着パッド１９では、真空引き孔３７と真空破壊孔３８とは、第１実施形態の吸着パッド１９に比べて、吸着パッド１９の幅Ｗにおいてやや中央よりに形成され、後で説明するプーリー６２，６３間に開口している。また、図１７では省略しているが、この吸着パッド１９にも、図４、図６に示す脚部３６を備えている。
また、この第２実施形態では、上記吸着パッド１９のパッド基板３３の底面にシール部材３１を介して接続用基板３２を設け、この接続用基板３２に、上記タイミングベルト５９を図示しないビスによって固定している。
【００６４】
また、フレーム１２の一方の起立片１２ａには、一対の回転軸６０，６０の一端が片持ち支持され、他方の起立片１２ｂにも、同様に一対の回転軸６１，６１の一端を片持ち支持させている。そして、両起立片１２ａ，１２ｂに設けた一対の回転軸６０，６１を同軸上に配置している。
さらに、上記起立片１２ａ側の回転軸６０，６０には、プーリー６２，６２を取り付けるとともに、各回転軸６０，６０を起立片１２ａに設けた軸受け２４で回転自在に支持し、上記起立片１２ｂ側の回転軸６１，６１には、プーリー６３，６３を取り付けるとともに、各回転軸６１，６１は、上記他方の起立片１２ｂに設けた軸受け２５で回転自在に支持している。
【００６５】
そして、上記各起立片１２ａ，１２ｂに設けた各プーリー６２，６２，６３，６３に、上記タイミングベルト５９を掛け渡している。
すなわち、この第２実施形態では、上記タイミングベルト５９が、この発明の走行体であり、各プーリー６２，６２を設けた回転軸６０，６０と、プーリー６３，６３を設けた回転軸６１，６１とが、それぞれ、この発明の走行体を掛け渡す一対の回転体を構成している。
【００６６】
さらに、上記パッド基板３３に形成した真空引き孔３７に対応する位置であって、吸着パッド１９の外側には、Ｔ型管継ぎ手５３を、図１８に示すように取り付けている。そして、上記真空引き孔３７に連続して形成された接続用基板３２の開口の雌ねじ部３２ａに、Ｔ型管継ぎ手５３における真空引き孔接続管部５６の雄ねじ部５６ａを締結する際に、上記真空引き孔接続管部５６と接続用基板３２との間に、上記タイミングベルト５９を挟み込むようにしている。
【００６７】
図１８に示すように吸着パッド１９に取り付けたＴ型管継ぎ手５３のチューブ接続管部５７には、単位チューブ５４を連結して、図１１に示す第１形態と同様に、真空連通パイプＶＰを構成し、この真空連通パイプＶＰの一端を、図１７には図示していないが、フレーム１２の起立片１２ｂに取り付けたロータリー管継ぎ手に接続する。このロータリー管継ぎ手を介して上記真空連通パイプＶＰが、真空ポンプに接続される。
【００６８】
従って、この装置本体が壁面などの被吸着面に沿って移動する際には、上記タイミングベルト５９の移動に伴って吸着パッド１９が移動し、上記単位チューブ５４とＴ型管継ぎ手５３とで構成された真空連通パイプＶＰが上記吸着パッド１９に従って移動し、上記真空連通パイプＶＰの一端を連結したロータリー管継ぎ手が回転することになる。
なお、この第２実施形態では、上記回転軸６０，６１が、それぞれ、対応する起立片１２ａ，１２ｂで片持ち支持され、回転軸６０と６１とが連続していないので、両起立片１２ａ，１２ｂ間に渡る回転軸がない。そのため、上記吸着パッド１９の幅Ｗの中央部付近であって、上記プーリー６２と６３との間に設けた真空連通パイプＶＰが、吸着パッド１９の移動に従って移動しても、回転軸などに絡まることがない。
【００６９】
また、この第２実施形態の装置も、吸着パッド１９内であって、パッド基板３３に形成した真空引き孔３７に対応する位置には、図７〜図９に示す、開閉弁機構Ｖ１が設けられ、この開閉弁機構Ｖ１が、上記第１実施形態と同様に機能する。
従って、第２実施形態の装置も、第１実施形態と同様に、構造が単純ながら、十分な吸着力を備え、高い安全性を確保できる。
【００７０】
さらに、上記真空破壊孔３８の外側には、図１０に示す第１実施形態と同様の真空破壊弁Ｖ２を設けている。そして、フレーム１２の一方の起立片１２ｂには、押圧部材６４を設け、各吸着パッド１９が被吸着面から離れる関係位置に到達したとき、この真空破壊弁Ｖ２のローラ５０が、押圧部材６４に乗り上げて、真空破壊弁Ｖ２を開弁して、吸着パッド１９内の真空を破壊するようにしている。これにより、装置本体のスムーズな移動も実現できる。
なお、上記第１、第２実施形態における吸着パッド１９のシール部材３５の材質及び形状は、上記実施形態に限定されない。ただし、シール部材３５に、上記のような形状と材質を採用することによって、安全性をより高めることができる。
また、上記走行安定化装置の装置本体は、移動物体に取り付けることによって、その移動物体を安定化させながら、移動物体と一体的に移動するようにしたものであるが、上記装置本体に駆動手段を設けて、例えば、ローラチェーンの歯車などを回転させるようにすれば、走行面に吸着しながら移動する自走式装置としても利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】第１実施形態の走行安定化装置の斜視図である。
【図２】第１実施形態の走行安定化装置の側面図である。
【図３】第１実施形態の走行安定化装置の使用例を示した図で、（ａ）側面図、（ｂ）は正面図である。
【図４】図１のIV-IV線断面図である。
【図５】図１及び図４のV-V線断面図である。
【図６】吸着パッドの斜視図である。
【図７】開閉弁機構の動作説明図であり、閉弁状態を示している。
【図８】図７の部分拡大図である。
【図９】開閉弁機構の動作説明図であり、開弁状態を示した図である。
【図１０】真空破壊弁の拡大図である。
【図１１】図１及び図４のXI-XI線断面図である。
【図１２】Ｔ型継ぎ手の接続部分の拡大断面図である。
【図１３】真空連通パイプの別の構成例を示す模式図である。
【図１４】吸着パッドにおけるシール部材の拡大断面図である。
【図１５】シール部材に作用する力関係を説明するための図である。
【図１６】シール部材の変形例を示した図である。
【図１７】第２実施形態の模式図である。
【図１８】図１７の部分拡大図である。
【図１９】従来例の吸着装置Ｘの模式図である。
【図２０】従来例における吸着装置Ｘのベルトの拡大図である。
【図２１】従来例の吸着装置Ｘの部分断面図である。
【図２２】別の従来例における吸着装置Ｙの模式図である。
【符号の説明】
【００７２】
Ｚ      装置本体
２      壁面
１２    フレーム
１９    吸着パッド
２１，２２  回転軸
２６，２７  歯車
２９，３０  ローラチェーン
２９ａ，３０ａ  固定部
３５    シール部材
３７    真空引き孔
３８    真空破壊孔
Ｖ１    開閉弁機構
４１    第１弁部
４２    接触検知棒
４７    第２弁部
Ｖ２    真空破壊弁
５３    Ｔ型管継ぎ手
５４    単位チューブ
５５    ロータリー管継ぎ手
５６    真空引き孔接続管部
５７    チューブ接続管部
５９    タイミングベルト
６０，６１  回転軸
６２，６３  プーリー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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