(57)【要約】      （修正有）【課題】流路内での固定状態確認作業が不要で、特定物質捕獲手段の汚染がなく、振動を阻害することなく水晶振動子が固定されたマイクロリアクタ及びそれを用いたマイクロリアクタシステムを提供する。【解決手段】センサ保持部に帯状の土手、センサ保持機構および貫通穴を形成した後、センサ保持部と水晶振動子とを接合し、このセンサ保持部と水晶振動子とに囲まれた領域が測定室となる構成とした。それにより、センサ保持部と水晶振動子との接合時に、土手、センサ保持機構の頂上面と水晶振動子とを同時に接合し、センサ保持機構と水晶振動子のとの接合状態を確認することで、土手部と水晶振動子との接合状態を確認できるため、実際に流路に送液せずとも、水晶の固定状態を確認でき、しかも、水晶振動子表面に設けられた特定物質捕獲手段を汚染することがない。さらにセンサ保持機構は細い柱状であり、水晶振動子との接合面積が小さく、振動を阻害しない。【選択図】図１
2008020375.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流した試料に含有される特定物質を捕獲する特定物質捕獲手段が設けられた測定室を有し、前記特定物質捕獲手段により捕獲した前記特定物質の質量を測定するために用いられるマイクロリアクタであって、
前記試料を流す複数の第１の貫通穴を有するモジュール基板と、
透明な圧電基板上に検出用電極が形成され、且つ前記検出用電極には前記特定物質捕獲手段が設けられ、しかも前記検出用電極が前記モジュール基板に対向するように配置された圧電振動子と、
前記モジュール基板と前記圧電振動子との間に配置され、前記モジュール基板に接合される第１の面と、該第１の面と対向する反対側の面であって、前記圧電振動子と接合して前記圧電振動子を保持する第２の面と、前記第１の面から前記第２の面に貫通する第２の貫通穴とを有するセンサ保持部と、からなり、
前記センサ保持部は、前記第２の貫通穴を環囲して筒状且つ凸状に形成された筒状土手部と、前記筒状土手部よりも外側に設けられ、凸状に形成された複数のセンサ保持台座とを前記第２の面に有し、
前記筒状土手部は、前記検出用電極の周部と接合されることにより、前記圧電振動子の周部を保持するとともに前記第１の貫通穴に連通する前記測定室を形成し、
複数の前記センサ保持台座は、前記筒状土手部が前記検出用電極の周部と均一に接合されるように前記圧電振動子を保持する機能と、前記圧電振動子との接合度合いを視認により判定可能とする機能を有することを特徴とするマイクロリアクタ。
【請求項２】
基板内に前記第１の貫通穴と連接して前記試料を流す流路を有するとともに、前記モジュール基板の前記検出用電極と対向する位置に新たに形成された第３の貫通穴と嵌合する柱状の凸部を前記基板の表面に有し、前記第３の貫通穴と前記柱状の凸部と嵌合させることにより積重して配置される流路基板を有することを特徴とする請求項１に記載のマイクロリアクタ。
【請求項３】
前記モジュール基板と前記流路基板との間に配置され、前記第３の貫通穴と前記凸部とが嵌合する嵌合部からの前記試料の液漏れを防止するシート状パッキンを有することを特徴とする請求項２に記載のマイクロリアクタ。
【請求項４】
前記モジュール基板の前記センサ保持部と接合される面に酸化珪素膜を有するとともに、前記センサ保持部がシリコーン樹脂からなり、一方、前記圧電基板が水晶基板からなり、前記モジュール基板と前記センサ保持部と前記水晶基板とがそれぞれシロキサン結合により接合していることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のマイクロリアクタ。
【請求項５】
前記モジュール基板と前記センサ保持部が同一の部材からなる一体成型物であり、一方、前記圧電基板が水晶基板からなり、前記一体成型物の前記センサ保持部と前記水晶基板とがそれぞれシロキサン結合により接合していることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のマイクロリアクタ。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載のマイクロリアクタと、
前記検出用電極に接続され、前記圧電振動子の共振周波数の変化を検出することにより前記特定物質捕獲手段が捕獲した前記特定物質の質量を測定する計測手段と、を備えることを特徴とするマイクロリアクタシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微細な流路内を流れる流体に含有する化学物質等の検出を行うために用いられるマイクロリアクタ、及び該マイクロリアクタを用いたマイクロリアクタシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、Ｌａｂ−ｏｎ−ａ−Ｃｈｉｐ、マイクロリアクターチップ等と呼ばれる小型分析システムの開発が盛んに行われている。これは、流路や反応槽、バルブ、センサ等の要素構造を小さな基板（チップ）に集積した構成であり、この内部に流れる気体や液体状の試料に対して分析処理を行うものである。このような小型分析システムの一例として、樹脂製チップ内に設けられた微細な流路に血液を流し、臨床検査を行うバイオチップが挙げられる（例えば、非特許文献１参照。）。このような小型分析システムを用いると、少量の試料で高速に分析を行うことができることから、試料を提供する側の負担を少なくすることができる。このため、特に生体への応用が注目を集めている。
【０００３】
この小型分析システムの構成要素の一つであるセンサ部には、様々な原理を利用したセンサが提案されている。中でもシステムが搭載する基板と一体化が比較的容易であり、かつ小型のシステム構成が可能なＱＣＭ（Ｑｕａｒｔｚ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｍｉｃｒｏｂａｌａｎｃｅ）の利用が期待されている。
【０００４】
ＱＣＭは圧電振動子（特に水晶振動子）の共振現象を利用して、振動子に付着した微少な質量を測定する技術である。詳細に説明すると、圧電振動子の両面に形成した電極に交流電圧を印加すると、圧電振動子の材料特性および形状から決定される特定の周波数で共振する。そこで、圧電振動子の電極に物質が付着すると、付着した質量に応じて振動子全体の共振周波数が変化する。この共振周波数の変化を検出することで、電極に付着した物質の質量を測定するという技術である。
【０００５】
しかし、このような質量計測手段では、特定の物質の検出はできないため、特定の物質のみを吸着もしくは捕獲する手段を電極上に固定し、特定の物質のみを検出する構成が用いられている。一例を挙げると、蛋白質の検出に抗原抗体反応を用いる技術が知られている（特許文献１参照。）。このような構成のＱＣＭを利用すると、ある特定の測定対象物質の微小な質量を測定することが可能となる。そのため、小型分析システムのセンサ部にＱＣＭを利用すると、測定したい物質の質量を高精度に測定することが出来るとともに、前述したように、分析システムと一体化した構成が可能であり、しかも小型な構成を維持できる。
【０００６】
ところが、ＱＣＭは圧電振動子の共振現象を利用しているため、ＱＣＭ表面に試料を流すための流路を接続する際には、圧電振動子の振動を出来る限り阻害しない配慮が必要であった。通常、圧電振動子を固定する構造を柔軟にし、圧電振動子との固定領域を小さくしている。例えば、圧電振動子の外周のみを接着固定、または細いＯリングを圧接して流路の一壁面とするのが一般的である。しかし、圧電振動子を固定する領域が小さいため、固定がわずかでも不十分であると、流路内の試料が流路外へ漏れ出てしまう。そのため、固定を確実にするために固定領域を大きくし、多少の振動減衰および感度低下を許容したり、圧電振動子を固定した後に流路内に実際に流体を流し、固定が完全であるかどうか、漏れがないか確認したりすることが必要であった。
【特許文献１】特開２０００−３３８０２２号公報
【非特許文献１】Ｊ．Ａｕｇｅ  ｅｔ  ａｌ．，  Ｓｅｎｓｏｒｓ  ａｎｄ  Ａｃｔｕａｔｏｒｓ  Ｂ，  ２６−２７（１９９５）１８１−１８６
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、固定領域を大きくすると、振動は確実に減衰し、ＱＣＭの感度が低下する。また、流体を流して圧電振動子の固定状態を確認すると、圧電振動子上に設けられた特定物質の捕獲手段が流路内に流した流体に汚染され、固定確認作業の後に行う検出動作の感度が低下してしまうという問題があった。
【０００８】
そこで、本発明は、流路内に流体を流す固定確認作業が不要で、かつ特定物質捕獲手段の汚染がなく高感度検出が行えるマイクロリアクタを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記目的を達成するために、本発明に係るマイクロリアクタは、流した試料に含有される特定物質を捕獲する特定物質捕獲手段が設けられた測定室を有し、前記特定物質捕獲手段により捕獲した前記特定物質の質量を測定するために用いられるマイクロリアクタであって、前記試料を流す複数の第１の貫通穴を有するモジュール基板と、透明な圧電基板上に検出用電極が形成され、且つ前記検出用電極には前記特定物質捕獲手段が設けられ、しかも前記検出用電極が前記モジュール基板に対向するように配置された圧電振動子と、前記モジュール基板と前記圧電振動子との間に配置され、前記モジュール基板に接合される第１の面と、該第１の面と対向する反対側の面であって、前記圧電振動子と接合して前記圧電振動子を保持する第２の面と、前記第１の面から前記第２の面に貫通する第２の貫通穴とを有するセンサ保持部とからなり、前記センサ保持部は、前記第２の貫通穴を環囲して筒状且つ凸状に形成された筒状土手部と、前記筒状土手部よりも外側に設けられ、凸状に形成された複数のセンサ保持台座とを前記第２の面に有し、前記筒状土手部は、前記検出用電極の周部と接合されることにより、前記圧電振動子の周部を保持するとともに前記第１の貫通穴に連通する前記測定室を形成し、複数の前記センサ保持台座は、前記筒状土手部が前記検出用電極の周部と均一に接合されるように前記圧電振動子を保持する機能と、前記圧電振動子との接合度合いを視認により判定可能とする機能を有することを特徴とするものである。
【００１０】
また、本発明に係るマイクロリアクタは、基板内に前記第１の貫通穴と連接して前記試料を流す流路を有するとともに、前記モジュール基板の前記検出用電極と対向する位置に新たに形成された第３の貫通穴と嵌合する柱状の凸部を前記基板の表面に有し、前記第３の貫通穴と前記柱状の凸部と嵌合させることにより積重して配置される流路基板を更に有することを特徴とするものである。
【００１１】
また、本発明に係るマイクロリアクタは、前記モジュール基板と前記流路基板との間に配置され、前記第３の貫通穴と前記凸部との嵌合部からの前記試料の液漏れを防止するシート状パッキンを有することを特徴とするものである。
【００１２】
また、本発明に係るマイクロリアクタは、前記モジュール基板の前記センサ保持部と接合される面に酸化珪素膜を有するとともに、前記センサ保持部がシリコーン樹脂からなり、一方、前記圧電基板が水晶基板からなり、前記モジュール基板と前記センサ保持部と前記水晶基板とがそれぞれシロキサン結合により接合していることを特徴とするものである。
【００１３】
また、前記モジュール基板と前記センサ保持部が同一の部材からなる一体成型物であり、一方、前記圧電基板が水晶基板からなり、前記一体成型物の前記センサ保持部と前記水晶基板とがそれぞれシロキサン結合により接合していることを特徴とするものである。
【００１４】
また、本発明に係るマイクロリアクタシステムは、上記のうちのいずれかのマイクロリアクタと、前記検出用電極に接続され、前記圧電振動子の共振周波数の変化を検出することにより前記特定物質捕獲手段が捕獲した前記特定物質の質量を測定する計測手段とを備えることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明のマイクロリアクタ及びマイクロリアクタシステムによると、水晶振動子の固定強度を確認するために流路内に流体を流す確認作業を行う必要がなく、かつ特定物質捕獲手段への汚染がないため高感度の検出が可能となる。また、水晶振動子の固定を確実に行え、かつ水晶振動子の実装時の位置決め精度も向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明について図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、以下の実施の形態により本発明が限定されるものではない。
【００１７】
図１に本発明のマイクロリアクタ１００の構成を、図２にマイクロリアクタ１００の構成要素の構造を示す。なお、図１（ａ）は本発明のマイクロリアクタ１００の平面図であり、図１（ｂ）はＡ−Ａ’断面図である。また、図２（ａ）は図１に示す本発明のマイクロリアクタ１００を分解したときの分解斜視図であり、図２（ｂ）は同じく分解したときのＢ−Ｂ’断面図を示すものである。
【００１８】
本発明のマイクロリアクタ１００は、流路基板１とセンサモジュール２から構成されている。
【００１９】
まず、それぞれの構成体について個別に説明する。
【００２０】
流路基板１は、柱状に形成された凸部１６と、その構造の内部に形成された２本の微細な流路１３ａ、１３ｂとが設けられている。詳細に説明すると、流入ポート１１からセンサ流入ポート１２へ至る流路１３ａと、排出ポート１４からセンサ排出ポート１５へ至る流路１３ｂが設けられている。また、センサ流入ポート１２とセンサ排出ポート１５との間に凸部１６が設けられている。なお、流路チップ１の外寸は、長さが２０〜１００［ｍｍ］程度、幅が１０〜２０［ｍｍ］程度、厚さが数［ｍｍ］程度である。
【００２１】
センサモジュール２は、モジュール基板２１と、水晶振動子２３と、モジュール基板２１と水晶振動子２３との間にあり、これら各々と接合したセンサ保持部２２から構成されている。モジュール基板２１は、貫通した穴（第１の貫通穴）２１１ａ、（第３の貫通穴）２１１ｂ、（第１の貫通穴）２１１ｃが形成され、センサ保持部２２と接合する面に酸化珪素膜を有している。センサ保持部２２は、シリコーン樹脂（ポリジメチルシロキサン、以下ＰＤＭＳと記す。）からなり、貫通穴（第２の貫通穴）２２１と、貫通穴２２１を取り囲むように環囲して形成された筒状土手部２２２、センサ保持台座２２３を有する。水晶振動子２３は検出用電極２３１、対向電極２３２が設けられ、さらに検出用電極２３１上には特定物質捕獲手段２３３が設けられている。
【００２２】
上記の流路基板１の凸部１６とセンサモジュール２の穴（第３の貫通穴）２１１ｂを嵌合し、流路基板１とセンサモジュール２を一体化すると、マイクロリアクタ１００となる。この一体化により、マイクロリアクタ１００の内部には流入ポート１１から、流路１３ａ、センサ流入ポート１２、センサモジュール２の穴２１１ａ、水晶振動子２３と流路基板１の凸部１６との間に形成された測定室１０を通過し、センサモジュール２の穴２１１ｃ、センサ排出ポート１５、流路１３ｂ、排出ポート１４へと至る１本の流路１３が形成されることになる。
【００２３】
このため、流入ポート１１に試料を流入すると、試料中に含有する特定物質を測定する検出用電極２３１および検出電極に形成された特定物質捕獲手段２３３が試料に浸されることになる。なお、この送液を行うには動力源が必要であり、流入ポート１１に液体を滴下し、排出ポートに接続した吸引ポンプで吸引送液するか、タンクと流入ポート１１の間に加圧ポンプを接続して、タンクから液体を吸入し、流入ポートへと送液する等の方法が選択できる。さらに、センサ流入ポート１２と貫通穴２１１ａ、センサ排出ポート１５と貫通穴２１１ｃ、凸部１６と貫通穴２１１ｂとの間での液漏れを防止するため、図３に示すように穴あきのシート状パッキン３をモジュール基板２１と流路基板１との間に設置することが望ましい。なお、パッキンはシート状でなくとも、３ヶ所個別にＯリングを設置しても同様の効果が期待できる。
【００２４】
詳しくは後述するが、上記貫通穴２２１の大きさはモジュール基板２１にセンサ保持部２２を接合したとき、図１（ａ）に示されるように第１の貫通穴２１１ａ、２１１ｃと第３の貫通穴２１１ｂが第２の貫通穴２２１の中に配置可能な大きさであり、流路基板１、モジュール基板２１、センサ保持部２２、水晶振動子２３を順に積重して組み立てると、水晶振動子２３、第２の貫通穴２２１、第３の貫通穴２１１ｂ、筒状土手部２２２、凸部１６によって囲まれる測定室１０が形成され、しかもこの測定室１０に試料を流す第１の貫通穴も連通するように形成されている。
【００２５】
また、上記センサ保持台座２２３は、筒状土手部２２２の外側の複数箇所に設けられ、凸状の台座となり、筒状土手部２２２とほぼ同じ高さで形成されているため、水晶振動子２３をセンサ保持部２２に接合させたとき、筒状土手部２２２の凸端部が検出用電極２３１の周部と均一に接合されるように水晶振動子を保持する機能を有している。また、水晶振動子２３を構成する水晶基板が透明な基板であるため、この水晶基板とセンサ保持台座２２３を接合させたとき、後述するように圧電振動子との接合強度度合いを視認観察により判定可能とする機能も有している。
【００２６】
また、このセンサ保持台座２２３は、水晶振動子２３を筒状土手部２２２上に載置して接合する場合、水晶振動子２３とセンサ保持部２２の材質の特性上、意図しない箇所で水晶振動子２３とセンサ保持部２２がくっついてしまうことにより、筒状土手部２２２の凸端部が検出用電極２３１の周部と均一に接合されずに測定室１０から液漏れが生じてしまうようなことを防止するために凸状に形成されている。より具体的には、細い柱状に形成されており、水晶振動子２３との接合面積が小さく、水晶振動子２３の振動を阻害しないため、より正確な測定が可能である。
【００２７】
また、筒状土手部２２２も検出用電極２３１の周りを囲むようにシロキサン結合により小さな接合面積でしっかり接合させることができるため、水晶振動子２３の振動を阻害せずに、より正確な測定が可能である。
【００２８】
なお、センサ保持部２２がＰＤＭＳのような弾力性や伸展性を有する材質の部材を用いる場合は、その弾力性や伸展性を考慮してセンサ保持台座２２３の高さや筒状土手部２２２の高さを決定すればよい。
【００２９】
また、モジュール基板２１は測定室１０の一部を形成する役目と測定室１０に試料を流出入させるための流出入口を形成する役目を有しているが、その他に、例えば指でつかみ易い大きさに形成しておけば、センサモジュール２のみを流路基板１から取り外して搬送することができ、例えば、測定室１０内の洗浄や検出用電極２３１への特定物質捕獲手段２３３の形成が流路基板１から取り外した状態で容易に実施可能である。
【００３０】
また、流路基板１は本例の場合、流路長を拡大されるために組み込んだものであり、第３の貫通穴２１１ｂを形成せず、単にモジュール基板２１、センサ保持部２２、水晶振動子２３からなるセンサモジュールのみでマイクロリアクタを構成可能である。また、例えば、モジュール基板２１とセンサ保持部２２を同一の部材からなる一体成型物とすれば、図４に示すようなセンサモジュールのみで構成されたマイクロリアクタ１００’も形成可能である。
【００３１】
なお、本発明は水晶基板及び水晶振動子に拘るものではなく、透明性を有する圧電基板からなる圧電振動子であっても構成可能である。
【００３２】
また、図５に示すように、以上のように構成されたマイクロリアクタ１００、１００‘の検出用電極２３１に、水晶振動子２３の共振周波数の変化を検出することにより特定物質捕獲手段２３３が捕獲した特定物質の質量を測定する計測手段３００を接続することにより本発明のマイクロリアクタシステム１０００を構成可能である。
【００３３】
次に、センサモジュール２の製造方法について述べる。モジュール基板２１は、樹脂を射出成形し、穴２１１ａ、２１１ｂ、２１１ｃを有する板を形成する。その後、成形板に酸化珪素をスパッタして、板表面に酸化珪素膜を形成する。水晶振動子２３は、ＡＴカット水晶板両面を金で蒸着もしくはスパッタして、検出用電極２３１、対向電極２３２および各電極への配線を作成して作製する。
【００３４】
次に、センサ保持部２２の製造方法について説明する。シリコンウェハ上に、レジストを塗布、フォトリソグラフィ技術を用いて、パターニングすると、シリコンウェハ上にレジストで微細な構造が形成される。この上に、フッ素樹脂膜を形成した後ＰＤＭＳを流し、ＰＤＭＳを加熱硬化させる。その後、ＰＤＭＳに紫外線を照射し、ＰＤＭＳ表面を活性化させ、モジュール基板２１の酸化珪素膜とシロキサン結合により直接接合させる。ＰＤＭＳとシリコンウェハを剥離し、ＰＤＭＳの剥離面に、水晶振動子２３の位置が所定の位置になるように位置決めし、その上から紫外線照射し、ＰＤＭＳと水晶基板とのシロキサン結合を利用して接合し、センサモジュール２を作製する。
【００３５】
このときの水晶振動子２３とセンサ保持部２２の接合時に、相互の位置決めや接合強度、即ち接合の不良等をセンサ保持台座２２３の視認観察により検知することができる。詳細に説明すると、まず、センサ保持部２２に水もしくはエタノールを滴下した後、センサ保持部２２の筒状土手部２２２とセンサ保持台座２２３の上に水晶振動子２３を静置する。この時、筒状土手部２２２、センサ保持台座２２３と水晶振動子２３との間には水もしくはエタノールが存在するため、水晶振動子２３を面内で移動することができる。
【００３６】
上面からの画像を観察して、水晶振動子２３の端部とセンサ保持台座２２３との相対位置が所定の位置になるように水晶振動子２３を位置決めし、水晶振動子２３を加圧する。加圧すると、水もしくはエタノールが周囲に押しやられ、水晶振動子２３と筒状土手部２２２、センサ保持台座２２３とが直接接する。このまま、紫外線を照射すると、水晶振動子２３と筒状土手部２２２、センサ保持台座２２３とが接合される。
【００３７】
接合後、水晶振動子２３の上面からセンサ保持台座２２３との接合面を観察する。設計通りに接合されているとセンサ保持台座２２３の端面はくっきりと明確に観察できるが、接合が不十分であれば端面はぼやけている。筒状土手部２２２の外周に配された複数のセンサ保持台座２２３全てが接合されていれば、センサ保持台座２２３とほぼ同じ高さの筒状土手部２２２と水晶振動子２３とが並行であることから、筒状土手部２２２と水晶振動子２３とが接合されていることを確認できる。このため、筒状土手部２２２の外周全てを確認せずとも、接合状況を確認することが可能となる。
【００３８】
なお、ここでは、製造過程の一例を挙げたが、モジュール基板を形成した樹脂は、アクリルやポリカーボネート、環状オレフィン・コポリマー等を用いることができ、できれば酸化珪素膜との剥離強度を大きくでき、耐熱・耐薬品性に強いことが望ましい。
【００３９】
次に、検出用電極２３１上に設置する特定物質捕獲手段２３３の形成方法について述べる。ここでは、一例として、自己組織化膜（Ｓｅｌｆ−ａｓｓｅｍｂｌｅｄ  ｍｏｎｏｌａｙｅｒ、以下ＳＡＭ）に抗体を固定する作成方法を示す。まず検出用電極２３１に純水を滴下、洗浄した後、ＳＡＭ試薬（カルボキシル基末端ジスルフィド型）を滴下し、検出用電極２３１上にＳＡＭを形成し、リン酸バッファで洗浄する。
【００４０】
次に、ヒドロキシこはく酸イミドを滴下し、ＳＡＭを活性化し、再びリン酸バッファで洗浄する。その後、リン酸バッファに固定化する抗体を混合して滴下し、ＳＡＭに抗体を固定化する。ここでは、水晶振動子２３に直接特定物質捕獲手段２３３を形成したが、センサモジュール２の構成でも、検出用電極２３１上は空隙があるため、同様の手段で形成可能である。形成したのち、センサモジュール２と流路基板１とを嵌合し、一体化した後、検出動作を行うことができるため、検出に利用する流路１３を汚染することなく、特定物質捕獲手段２３３を形成することができる。
【００４１】
マイクロリアクタ１００内を流れる試料に対して、特定の物質のみを検出する過程について述べる。ここでは、一例として生体高分子、特に蛋白質の検出について述べる。
【００４２】
マイクロリアクタ１００の流入ポート１１に試料を流入する。試料は流入ポート１１から流路１３を経て、測定室１０内に設けられた水晶振動子２３上の特定物質捕獲手段２３３が試料で浸される。このとき、特定物質捕獲手段２３３の抗体が、試料に含有する特定の抗原を捕獲固定し、検出用電極２３１に付着する質量が増加するため、水晶振動子２３の共振周波数が変化する。この変化を水晶振動子２３に接続された周波数カウンター５が測定し、捕獲された物質の質量を測定することができる。なお、水晶振動子２３は周囲の温度によっても共振周波数が変化するため、温度を均一に保つ保温機構内にマイクロリアクタ１００を設置するのが望ましい。
【００４３】
以上により、水晶振動子の固定強度を確認するために流路内に流体を流す確認作業することなく、かつ特定物質捕獲手段への汚染がないため高感度検出を行うことが可能となる。また、水晶振動子の固定を確実に行え、かつ水晶振動子の実装時の位置決め精度も向上するため、検出感度の高精度が維持できる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明に係わるマイクロリアクタの構造を示す摸式図である。
【図２】本発明に係わるマイクロリアクタの構造を説明するための分解図である。
【図３】本発明に係わるマイクロリアクタの一構造例を説明するための概略図である。
【図４】本発明に係わるマイクロリアクタの他の構造例を説明するための概略図である。
【図５】本発明に係わるマイクロリアクタシステムの構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
【００４５】
１００、１００’  マイクロリアクタ
１  流路基板
２  センサモジュール
３  シート状パッキン
１０  測定室
１１  流入ポート
１２  センサ流入ポート
１３  流路
１４  排出ポート
１５  センサ排出ポート
１６  凸部
２１  モジュール基板
２１１ａ、２１１ｃ  貫通穴（第１の貫通穴）
２１１ｂ  貫通穴（第３の貫通穴）
２２  センサ保持部
２２１  貫通穴（第２の貫通穴）
２２２  筒状土手部
２２３  センサ保持台座
２３  水晶振動子
２３１  検出用電極
２３２  対向電極
２３３  特定物質捕獲手段
３００  計測手段
１０００    マイクロリアクタシステム
【図１】
2008020375.tif 000003
【図２】
2008020375.tif 000004
【図３】
2008020375.tif 000005
【図４】
2008020375.tif 000006
【図５】
2008020375.tif 000007