(57)【要約】【課題】本願発明の目的は、冷却装置の停止中に滞留した液相冷媒による圧縮機の起動時の液圧縮を防止することにある。【解決手段】圧縮機１の停止中、第１開閉弁２１、第２開閉弁２３は閉じられている。停止中に液相冷媒は圧縮機１側に流動するが、第１開閉弁２１及び第２開閉弁２３によって圧縮機１への流入が阻止され、第３管路８内に滞留する。圧縮機１が起動すると、第１開閉弁２１は閉状態が継続されるが、分岐管路２２の第２開閉弁２３は開かれる。第３管路８内に滞留した液相冷媒は僅かな量が断面積の小さい分岐管路２２を通り抜け、断面積の大きな第３管路８内に突入する。このため、液相冷媒は減圧により気液化された霧状の状態２２ｂとなって圧縮機１に吸入されるので、圧縮機１の液圧縮の発生が防止される。第１開閉弁２１は第３管路８内の低下した圧力を圧力計２６により検出することにより開かれ、圧縮機１の通常運転が行われる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも圧縮機、凝縮器及び蒸発器を備え、前記圧縮機と前記凝縮器、前記凝縮器と前記蒸発器及び前記蒸発器と前記圧縮機をそれぞれ第１、第２、第３の管路によって連結し、前記圧縮機、前記凝縮器、前記蒸発器及び前記圧縮機の順に冷媒を循環する冷却装置において、
前記第３管路に第１開閉弁を配設し、
前記第１開閉弁よりも上流側の前記第３管路に一端を連結する分岐管路を配設するとともに前記分岐管路の他端を前記第１開閉弁の下流となる前記圧縮機側の冷媒管路に連結し、
前記分岐管路の断面積を前記分岐管路の両端が連結する位置の前記各管路の断面積よりも小さく形成し、
前記分岐管路から前記分岐管路の上流側連結点よりも上流側の間に第２開閉弁を配設し、
前記圧縮機の停止時に前記第１開閉弁及び前記第２開閉弁を閉じ、起動時に前記第２開閉弁を開いた後、前記第１開閉弁を開くことを特徴とする冷却装置。
【請求項２】
前記蒸発器は、満液式の蒸発器で構成されたことを特徴とする請求項１に記載の冷却装置。
【請求項３】
前記第２開閉弁を前記分岐管路に配設したことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の冷却装置。
【請求項４】
前記第１管路に第３開閉弁を配設し、前記第２管路に第４開閉弁及び第１膨張弁を配設し、前記凝縮器と前記第１膨張弁との間において前記第２管路から余剰冷媒回収用の第４管路を分岐して前記第３管路に連結するとともに前記第４管路に第５開閉弁及び第２膨張弁を配設し、前記第３管路には前記第４管路との連結点よりも下流側に第２蒸発器及びその下流側に前記第１開閉弁を配設し、前記分岐管路の両端をそれぞれ前記第２蒸発器と前記第１開閉弁との間及び前記第１開閉弁と前記圧縮機との間で前記第３管路に連結したことを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項記載の冷却装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、冷却装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
冷却装置に使用される圧縮機では、運転停止中に圧縮機の圧縮室へ冷媒を吸入する配管系に液相冷媒が溜まり易く、場合によっては圧縮室内にも滞留する現象が生じる。この状態で圧縮機を起動あるいは再起動すると、液圧縮が生じ、圧縮機の構成部品や関連部品に大きな力がかかるという問題がある。
【０００３】
特許文献１には、圧縮機への冷媒の吸い込み配管系の圧力損失を低減する目的で、吸い込み配管系の構造を改良した技術が開示されている。
特許文献１の図２〜図４に開示された実施形態は、吸込配管７を圧縮機吸込部１２の前で２本に分岐して分岐管８、９を形成する。
【０００４】
２本の分岐管８、９のうち小径分岐管８は圧縮機吸込部１２に直結し、太径分岐管９はＵ字状に形成されて吸込冷媒中の液相冷媒の液溜まり部を構成する。また、太径分岐管９の圧縮機吸込部１２と結合する直前部分には電磁バルブ１３が配置される。電磁バルブ１３は、圧縮機１の停止と同時に閉状態となり、停止中に吸込配管７を通って圧縮機１に戻される液相冷媒は分岐管９に溜められる。
【０００５】
従って、圧縮機１の起動直後は冷媒が小径の分岐管８から供給される少量の気相冷媒のみとなる。その後、適当な時間をおいて電磁バルブ１３が開放され、２本の分岐管８、９は圧縮機吸込部１２に並列接続し、正常な状態での気相冷媒の吸い込みが行われる。
【特許文献１】実全昭５６−１５９６９２
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献１に開示された冷却装置では、小径分岐管８が圧縮機１の停止中も圧縮機吸込部１２と常時連通しているため、吸込配管７の液相冷媒は太径分岐管９の液溜まり部に溜まるだけでなく、小径分岐管８を通って圧縮機吸込部１２にも滞留する。また、圧縮機は振動が発生し易いので、一般的には冷却装置の下方に配置されるため、吸込配管７を滴下してきた液相冷媒は小径分岐管８にも流入し易くなる。特に圧縮機１の停止中は時間の経過に伴い配管系の冷媒圧力がほぼ均衡状態になるため、小径分岐管８を通る冷媒は液相状態のまま圧縮機吸込部１２に達し、滞留する現象が生じ易い。
この結果、特許文献１の冷却装置においても圧縮機１の起動時に液圧縮を生じてしまうという問題があった。
【０００７】
本願発明の目的は、冷却装置の停止中に滞留した液相冷媒による圧縮機の起動時の液圧縮を防止することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載の本願発明は、少なくとも圧縮機、凝縮器及び蒸発器を備え、前記圧縮機と前記凝縮器、前記凝縮器と前記蒸発器及び前記蒸発器と前記圧縮機をそれぞれ第１、第２、第３の管路によって連結し、前記圧縮機、前記凝縮器、前記蒸発器及び前記圧縮機の順に冷媒を循環する冷却装置において、前記第３管路に第１開閉弁を配設し、前記第１開閉弁よりも上流側の前記第３管路に一端を連結する分岐管路を配設するとともに前記分岐管路の他端を前記第１開閉弁の下流となる前記圧縮機側の冷媒管路に連結し、前記分岐管路の断面積を前記分岐管路の両端が連結する位置の前記各管路の断面積よりも小さく形成し、前記分岐管路から前記分岐管路の上流側連結点よりも上流側の間に第２開閉弁を配設し、前記圧縮機の停止時に前記第１開閉弁及び前記第２開閉弁を閉じ、起動時に前記第２開閉弁を開いた後、前記第１開閉弁を開くことを特徴とする。
【０００９】
請求項１記載の本願発明によれば、冷却装置の運転停止時に前記第１開閉弁及び前記第２開閉弁が共に閉じられるため、停止中に前記第３管路内を通る液相冷媒は前記第１開閉弁又は前記第２開閉弁の直前で圧縮機側への流入が確実に阻止される。冷却装置の運転開始時に前記圧縮機が起動すると、まず前記第２開閉弁が開かれ、前記圧縮機側との差圧により前記第３管路内に滞留している液相冷媒が前記分岐管路の細い通路を通して吸入される。このため、僅かな液相冷媒が前記分岐管路を通過することになる。この僅かな液相冷媒は前記分岐管路の細い通路から前記圧縮機側の広い空間を有する冷媒管路に達したとき、圧力低下によって効率良く霧状に変化（気液化）し、前記圧縮機に吸入される。従って、運転中の気相冷媒の吸入時とほぼ同様の冷媒圧縮作用を行うことができ、液圧縮が防止される。なお、前記分岐管路を通した冷媒の吸入は起動後一定時間行われ、液圧縮の恐れが無くなった時点で前記第１開閉弁が開かれ、前記第３管路を通した気相冷媒の吸入が行われる。
なお、前記冷媒管路とは、前記圧縮機に連結する前記第３管路あるいは前記第３管路が連結する前記圧縮機内の管路を含む前記第１開閉弁から前記圧縮機の圧縮室に至る全ての管路を含む概念である。
【００１０】
請求項２に記載の本願発明は、前記蒸発器が被冷却体を液相冷媒によって冷却する満液式の蒸発器で構成されたことを特徴とする。満液式の蒸発器は被冷却体を液相によって冷却する方式であり、圧縮機の停止時に液相冷媒が圧縮機側に流れやすいが、前記第２開閉弁を備えた前記分岐管路との組み合わせにより液圧縮の発生を確実に防止することができる。
【００１１】
請求項３に記載の本願発明は、前記第２開閉弁を前記分岐管路に配設したことを特徴とする。前記分岐管路は他の管路に比して断面積を細くした構成であるため、それに応じた小型の開閉弁を使用することができ、冷却装置全体の大型化を抑制することができる。
【００１２】
請求項４に記載の本願発明は、前記第１管路に第３開閉弁を配設し、前記第２管路に第４開閉弁及び第１膨張弁を配設し、前記凝縮器と前記第１膨張弁との間において前記第２管路から余剰冷媒回収用の第４管路を分岐して前記第３管路に連結するとともに前記第４管路に第５開閉弁及び第２膨張弁を配設し、前記第３管路には前記第４管路との連結点よりも下流側に第２蒸発器及びその下流側に前記第１開閉弁を配設し、前記分岐管路の両端をそれぞれ前記第２蒸発器と前記第１開閉弁との間及び前記第１開閉弁と前記圧縮機との間で前記第３管路に連結したことを特徴とする。従って、第３開閉弁により前記凝縮器側からの液相冷媒の流入を防止し、液圧縮の防止効果を高めることができる。また、前記第２蒸発器により圧縮機の運転中前記蒸発器から排出される冷媒や前記第４管路から供給される冷媒を確実に気化し、前記圧縮機に吸入させることができる。    
【発明の効果】
【００１３】
本願発明は、冷却装置の圧縮機の起動時における液圧縮を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
（第１の実施形態）
以下、第１の実施形態を図１及び図２に示した半導体製造装置等に用いられる冷却装置に基づいて説明する。
【００１５】
図１において、冷却装置は、フロン、アンモニア、二酸化炭素等の冷媒を圧縮するダイヤフラム型の圧縮機１と、圧縮機１によって圧縮された高温・高圧の気相冷媒を冷却して液化する凝縮器２と、凝縮器２で液化された高圧の液相冷媒を減圧するための減圧手段である第１膨張弁３と、第１膨張弁３での減圧によって気液化された冷媒を受け入れる蒸発器４とを備える。これらの各機器は、それぞれ第１管路６、第２管路７及び第３管路８によって順次連結され、基本的な冷媒の循環経路を形成している。
【００１６】
蒸発器４は気液化された冷媒を分離するレシーバ５及び被冷却体の冷却室９を有する。レシーバ５は第１膨張弁３から供給された冷媒を気相冷媒５ａ及び液相冷媒５ｂに分離する。従って、第２管路７及び第３管路８はレシーバ５の気相冷媒５ａ側で連結されている。
【００１７】
また、冷却室９はレシーバ５の重力方向下側（図1の下方側）に配設されている。冷却室９は内部を真空室に形成され、被冷却体である半導体基板１０の載置台であるサセプタ１１を備えている。サセプタ１１は内部にチャンバー１２を有する。チャンバー１２はその下面位置とレシーバ５の液相冷媒５ｂ側とを第１連通路１３によって連結され、チャンバー１２の上面位置とレシーバ５の気相冷媒５ａ側とを第２連通路１４によって連結されている。
【００１８】
従って、レシーバ５の下方に滞留した液相冷媒５ｂは自重により第１連通路１３を落下し、チャンバー１２内を満たすとともに第２連通路１４に流れ、レシーバ５の液相冷媒５ｂと釣り合う高さまで第２連通路１４を上昇する。このため、チャンバー１２内の液相冷媒とサセプタ１１上の半導体基板１０との間で熱交換が行われる。熱の吸収により気化した冷媒はチャンバー１２の上面側を伝わり、第２連通路１４を経てレシーバ５の気相冷媒５ａ側に排出される。つまり、蒸発器４はチャンバー１２内を常に液相冷媒で満たして、被冷却体と液相冷媒とが熱交換する満液式の蒸発器として構成されている。このようなチャンバー１２内に満たされた液相冷媒を用いて被冷却体と熱交換する満液式の蒸発器では半導体基板１０全体を均一に冷却することが可能となる。
【００１９】
なお、レシーバ５は、内部の圧力が所定圧力以上に上昇した時、気相冷媒５ａを外部に放出する安全弁１５を備えている。また、レシーバ５には、内部の圧力を検出する圧力センサー１６が設けられ、圧力センサー１６の検出信号によって第１膨張弁３の開度を調整している。
【００２０】
圧縮機１と凝縮器２とを連結する第１管路６には、圧縮機１の吐出側近くに電磁弁又は逆止弁からなる第３開閉弁１７が配設される。凝縮器２と第１膨張弁３とを連結する第２管路７には、第１膨張弁３近くに電磁弁からなる第４開閉弁１８が配設される。第３開閉弁１７及び第４開閉弁１８は圧縮機１の起動時に開き、停止時に閉じるように設定されている。また、第４開閉弁１８は蒸発器４における冷却作用を必要としない時閉じられ、冷媒を後述する余剰冷媒回収用の第４管路２７に流すように設定されている。
【００２１】
蒸発器４と圧縮機１とを連結する第３管路８には、蒸発器４側から順に圧力調整弁１９、第２蒸発器２０、圧縮機１側近くの電磁弁からなる第１開閉弁２１が配設されている。圧力調整弁１９は蒸発器４から排出される冷媒を第２蒸発器２０において気化され易いように適当な圧力に調整する機能を有する。第２蒸発器２０は、運転時に蒸発器４において気化されていない冷媒を確実に気化し、気相冷媒のみが圧縮機１に吸入されるようにする。例えば、蒸発器４における冷却負荷が変動し、冷却の必要度が減少したような場合に気化されていない冷媒が第３管路８に流れる恐れが生じるが、第２蒸発器２０はこのような冷却負荷の変動にも十分対応でき、圧縮機１の安全性を高めることができる。第１開閉弁２１は圧縮機１の起動後後述する圧力計２６の圧力信号に基づき、第３管路８内の液相冷媒が消滅した時期に開き、停止時に閉じるように設定されている。
【００２２】
第３管路８にはさらに圧縮機１側に分岐管路２２が配設されている。分岐管路２２は電磁弁からなる第２開閉弁２３を備え、上流側の一端が第２蒸発器２０と第１開閉弁２１との間の連結点２４において第３管路８に連結され、下流側の他端が第１開閉弁２１と圧縮機１との間の連結点２５において本願発明の冷媒管路に相当する第３管路８に連結されている。第２開閉弁２３は圧縮機１の起動と同時に開き、停止時に閉じるように設定され、第２開閉弁２３が開くと、第３管路８の連結点２４の位置に存在する冷媒は分岐管路２２を通り、連結点２５を経て圧縮機１に吸入される。なお、第２開閉弁２３は本実施形態では圧縮機１の停止時まで開いているように設定されているが、第１開閉弁２１が開いた後閉じるように設定しても良い。
【００２３】
分岐管路２２は図２に模式的に示した回路図で明らかなように、分岐管路２２の断面積Ａが第３管路８の断面積Ｂよりも小さく形成され、第３管路８中の僅かな冷媒のみが通過可能な程度の大きさに構成されている。
【００２４】
分岐管路２２の連結点２４よりも上流側の第３管路８には圧力計２６が配設されている。第３管路８内は圧縮機１の停止時に液相冷媒が滞留すると圧力が高まり、液相冷媒が消滅し、気相冷媒になると圧力が下がる。従って、圧縮機１の起動後、第３管路８内の圧力が所定値まで低下した状態を示す圧力信号が圧力計２６から出力されると、第１開閉弁２１が開かれ、冷却装置は通常の運転が開始される。
【００２５】
一方、凝縮器２と第４開閉弁１８との間の第２管路７には連結点２７から余剰冷媒回収用の第４管路２８が分岐され、圧力調整弁１９と第２蒸発器２０との間で第３管路の連結点２９に連結されている。また、第４管路には下流側に向けて電磁弁からなる第５開閉弁３０及び高圧の液相冷媒を減圧するための第２膨張弁３１が順に配設されている。第５開閉弁３０は常時閉じた状態にあり、前記したように蒸発器４における冷却作用を中止するために第４開閉弁１８が閉じられた時、開くように設定されている。
【００２６】
従って、第５開閉弁３０が開いている間、凝縮器２を経て供給される液相冷媒は連結点２７から第４管路２８に流れる。第４管路２８は、第２膨張弁３１で減圧により気液化された冷媒が連結点２９から第３管路８に流れ、第２蒸発器２０で気化された後、圧縮機１に吸入されるというサブ的な冷媒循環経路を形成する。
【００２７】
なお、このサブ的な冷媒循環経路は、蒸発器４における冷却作用が行われる場合であっても形成することができる。例えば、被冷却体の冷却温度が小さく、圧縮機１の定格の冷媒容量まで必要としないような場合に、第４開閉弁１８を適宜開閉するように設定し、それに連動して第５開閉弁３０を開閉するように設定することによっても冷媒循環経路を形成することができる。
【００２８】
圧縮機１及び凝縮器２の冷却作用と第２蒸発器２０の吸熱作用はそれらの周囲に配管したウォータ管路３２によって行われる。ウォータ管路３２は圧縮機１を通る経路３３、凝縮器２を通る開閉弁３４を備えた経路３５及び第２蒸発器２０を通る開閉弁３６を備えた経路３７に分岐され、各経路３３、３５、３７を所定温度の水が流れる。経路３３は温度上昇する圧縮機１を冷却する機能を、経路３５は圧縮機１から吐出され凝縮器２に供給された高温高圧の気相冷媒を冷却して液化する機能を、経路３７は第２蒸発器２０を流れる冷媒に熱を加え、確実に気化させる機能をそれぞれ果たす。
【００２９】
以上のように構成された第１の実施形態における冷却装置の作用を以下に説明する。
冷却装置の運転中は第１開閉弁２１、第２開閉弁２３、第３開閉弁１７、第４開閉弁１８が開いた状態にあり、第５開閉弁３０が閉じた状態にある。また、ウォータ管路３２の開閉弁３４、３６が開かれる。
【００３０】
従って、圧縮機１によって圧縮され、吐出された高温高圧の気相冷媒は第１管路６を通り、凝縮器２に送られる。凝縮器２では気相冷媒がウォータ管路３２の経路３５を流れる水によって冷却されて液化し、第２管路７に送られる。液相冷媒は第１膨張弁３において減圧されることにより気液化された状態でレシーバ５に供給され、気相冷媒５ａと液相冷媒５ｂに分離される。
【００３１】
レシーバ５の下方に貯留された液相冷媒５ｂは第１連通路１３、チャンバー１２、第２連通路１４内に充填され、チャンバー１２内の液相冷媒がサセプタ１１上に載置された半導体基板１０を均一に冷却する。半導体基板１０側から吸熱したチャンバー１２上方の液相冷媒の一部は気化され、第２連通路１４を上昇し、レシーバ５の気相冷媒５ａ側の空間に排出される。
【００３２】
レシーバ５から第３管路８に送り出された気相冷媒５ａは、圧力調整弁１９によって所定圧力に調整され、第２蒸発器２０に到達する。第２蒸発器２０では、気相冷媒に混在する液相冷媒がウォータ管路３２の経路３７を流れる水から吸熱し、気化される。従って、第２蒸発器２０より下流の第３管路８内の冷媒はほぼ全てが気相冷媒となり、圧縮機１に吸入される。
【００３３】
冷却装置の運転が停止されると圧縮機１が停止するが、同時に第１開閉弁２１、第２開閉弁２３、第３開閉弁１７、第４開閉弁１８、及びウォータ管路３２の開閉弁３４、３６が全て閉じられる。なお、第２開閉弁２３が圧縮機１の通常運転中閉じられるように設定されている場合はその閉状態が継続される。また、第４管路２８の第５開閉弁３０は蒸発器４の冷却状況との関係で通常閉じられているので、その閉状態が継続される。
【００３４】
冷却装置の運転停止が継続されると、冷媒の循環経路に存在する液相冷媒が低圧側である圧縮機１の吸入側に流動する。特に本実施形態ではチャンバー１２内を常時、液相冷媒で満たして被冷却体と熱交換させる満液式の蒸発器４を使用するため、冷却装置内への冷媒の封入量が非常に多く、多くの液相冷媒が流動し易くなる。これらの液相冷媒は第１開閉弁２１及び第２開閉弁２３が閉じているため、圧縮機１への流入が阻止され、第１開閉弁２１及び第２開閉弁２３の上流側第３管路８内に滞留する。
【００３５】
冷却装置の運転再開時は第３管路８内に多量の液相冷媒が滞留した状態で圧縮機１の再起動が行われる。しかし、圧縮機１の起動時は第３開閉弁１７、第４開閉弁１８、及びウォータ管路３２の開閉弁３４、３６が開かれるが、圧縮機１の吸入側に配設される第１開閉弁２１は閉状態が継続され、分岐管路２２に配設した第２開閉弁２３のみが開かれる。
【００３６】
このため、圧縮機１の運転に伴う吸入圧力によって第３管路８内に滞留した液相冷媒は分岐管路２２の断面積に応じた僅かな量が分岐管路２２内を早い速度で流動する。図２に示すように、分岐管路２２を通過した液相冷媒２２ａは連結点２５において分岐管路２２より断面積の大きな第３管路８内に突入するために、減圧により膨張し、気液化された霧状の状態２２ｂとなって圧縮機１に吸入される。従って、圧縮機１の圧縮室では通常運転中の気相冷媒の場合とほぼ同様の圧縮作用を行うことができ、液圧縮の発生を防止することができる。
【００３７】
圧縮機１が分岐管路２２を通り気液化された冷媒を吸入して運転を継続することによって、第３管路８内に滞留していた液相冷媒は減少していく。液相冷媒が消滅すると第３管路８内の圧力は低下する。従って、圧力計２６が設定値に等しい低い圧力の検出信号を出力すると、この検出信号に基づき第１開閉弁２１が開かれ、圧縮機１は第３管路８内の気相冷媒を直接吸入して通常の圧縮運転が行われる。なお、分岐管路２２に設けた第２開閉弁２３は、圧縮機１の停止時まで開いておくか、第１開閉弁２１が開くと同時又はその後に閉じるかのいずれかに設定されている。
【００３８】
前記した本願発明の第１の実施形態では、以下の作用効果が得られる。
（１）冷却装置の停止中は第１開閉弁２１及び第２開閉弁２３の閉鎖により液相冷媒を両開閉弁２１、２３の上流側第３管路８内に滞留させ、圧縮機１の起動時あるいは再起動時には第３管路８内の液相冷媒が消滅するまで、分岐管路２２を通り気液化されて霧状となった冷媒を圧縮機１に吸入させることによって液圧縮の発生を防止することができ、圧縮機の耐久性が高められる。
【００３９】
（２）冷却装置の停止中に圧縮機１側へ流動する液相冷媒は第１開閉弁２１及び第２開閉弁２３の上流側第３管路８中に滞留させておけば良いので、従来装置のように液相冷媒を貯留するリザーブ手段を特別に設ける必要がない。このため、冷却装置を小型化でき、省スペース化を図ることができる。特に満液式の蒸発器４を使用する場合は冷却装置への冷媒の封入量が非常に多く、停止時の液相冷媒の滞留量が増加するため、省スペース化には好適である。
【００４０】
（３）蒸発器４と圧縮機１とを連結する第３管路８に第２蒸発器２０を配設したため、被冷却体の温度等によって蒸発器４の冷却負荷が減少する方向に変動する際に発生し易い液相冷媒を第２蒸発器２０によって確実に気化することができる。従って、運転中の圧縮機１による液圧縮を防止することができる。
【００４１】
（４）余剰冷媒回収用の第４管路２８を組み合わせた構成は冷却装置の運転中に、第４開閉弁１８を閉じ、第５開閉弁３０を開くことにより、蒸発器４の冷却作用を一時停止することができる。また、蒸発器４の冷却負荷が圧縮機１の定格容量よりも低いことが予めわかっていれば、第４開閉弁１８と第５開閉弁３０の開閉動作を所定時間毎に繰り返し行うことによって対応することができ、冷却装置の汎用性を高めることができる。
【００４２】
（第２の実施形）
図３に示す第２の実施形態は、第１の実施形態における第２開閉弁２３の取り付け位置を変更したもので、第１の実施形態と同一の構成については同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。
【００４３】
第２の実施形態は、第２蒸発器２０と分岐管路２２の連結点２４との間に第２開閉弁３８を配設したものである。つまり、第２開閉弁３８は分岐管路２２の上流側の連結点２４よりも上流側に配設されている。従って、冷却装置の停止中に流動する液相冷媒は全て第２開閉弁３８の上流側第３管路８に滞留し、分岐管路２２の連結点２４や第１開閉弁２１まで達することはない。圧縮機１の起動時あるいは再起動時には第２開閉弁３８が開き、第１の実施形態と同じ作用により圧縮機１の液圧縮発生を防止することができる。
【００４４】
本願発明は、前記した各実施形態の構成に限定されるものではなく本願発明の趣旨の範囲内で種々の変更が可能であり、次のように実施することができる。
【００４５】
（１）第１の実施形態における分岐管路２２の他端は第１開閉弁２１と圧縮機１との間の第３管路８を本願発明の冷媒管路として連結点２５で連結しているが、第３管路８が連結する圧縮機１内の管路を含め、第１開閉弁２１の下流側から圧縮機１の圧縮室に至る全ての管路を本願発明の冷媒管路として構成することができる。
（２）第１の実施形態は蒸発器４のレシーバ５に気液化された冷媒を供給する構成であるが、レシーバ５には液相冷媒を供給するように構成しても良い。従って、この場合には第１の実施形態の第１膨張弁３を省略するか気液化されない程度の減圧状態に設定することができる。
（３）蒸発器４は満液式に限らず、冷媒を気液２相状態のまま蒸発器内に流して被冷却体を冷却する乾式に置き換えても良い。
（４）圧縮機１の起動後、第１開閉弁２１を開くタイミングは圧力計２６の圧力検出信号に限らず、タイマーを用いて一定時間後に開くように構成しても良い。なお、タイムアップ時間は実験等により予め把握した値を設定するようにすれば良い。
（５）第１の実施形態の圧縮機１はダイヤフラム式として説明したが、斜板式あるいはその他の形式の圧縮機を用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】第１の実施形態における冷却装置の冷媒循環経路を示す回路図である。
【図２】圧縮機の吸入側回路を拡大して示した模式図である。
【図３】圧縮機の吸入側回路の第２の実施形態を示す模式図である。
【符号の説明】
【００４７】
１    圧縮機
２    凝縮器
３    第１膨張弁
４    蒸発器
５    レシーバ
６    第１管路
７    第２管路
８    第３管路
９    冷却室
１０  半導体基板（被冷却体）
１１  サセプタ
１２  チャンバー
１７  第３開閉弁
１８  第４開閉弁
１９  圧力調整弁
２０  第２蒸発器
２１  第１開閉弁
２２  分岐管路
２３、３８  第２開閉弁
２６  圧力計
２８  第４管路
３０  第５開閉弁
３１  第２膨張弁
３２  ウォータ管路
【図１】
2008020089.tif 000003
【図２】
2008020089.tif 000004
【図３】
2008020089.tif 000005