Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
(57)【要約】      （修正有）【課題】従来の回転軸シールの代表的なリップシールは、接触面が細い線で接するので反発力が小さく、それを補うために強い力で締め付けるので摩耗や熱に影響され、シール性に問題があった。【解決手段】回転軸３の周りからの流体の漏れを止めるシャフトシールで、回転体とハウジングの開口部４の板の表面５の間に弾性体の円錐台環を嵌め込んで前記ハウジングの開口部の板と前記弾性体の外部表面１を密着固定させ、その内部表面２を回転体の表面に弾性体の圧縮による反発力で押付けて接触を保ち流体を密閉するメカニズムの強力シャフトシール。【選択図】図２
2008232415.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
弾性体の円錐台環の外部表面をハウジングの板と回転軸の間に嵌め込んで回転軸の表面に圧縮による反発力で弾性体の円錐台環の内壁を押付けて流体を遮断するメカニズムのシャフトシール。
【請求項２】
前記請求項１で弾性体の円錐台環の外部表面をハウジングの開口部の板に直接固定して密着させ流体を遮断する構造のシャフトシール。
【請求項３】
前記請求項１に於いて、回転部の表面で幅広い接触面で弾性体を接触させ接触圧を緩和させ反発力を増大させてシール性能を増大させ且つ回転負荷を減少させる方法のシャフトシール。
【発明の詳細な説明】
【背景技術】
【０００１】  従来の回転軸シールは、固定した細い幅のリップと呼ばれる弾性体の円環で回転軸の表面に接触してハウジング内の流体をシールするリップシールと、軸に固定され軸と共転する回転環とこれに相対する固定環を摺り合わせて流体をシールするメカニカルシールで代表される回転軸封体であったが、先ずリップシールは接触面が細い線で接触するので反発力が小さくそれを補う為に強い力で締付けるので磨耗や熱に影響され、軸の回転速度に伴う遠心力がリップを跳ね除ける力が作用するのでシール性に問題があった。一方、メカニカルシールは、バネやＬパッキングで支えられた従動リングとシートリングや角リング覆われた固定リングとの摺り合わせによるシール方法の為、部品点数が多く構造が複雑となり各部品間の摩擦ロスによるシール性能の低下を招く。
【当該技術】
【０００２】  当該技術は、弾性体の円錐台環を回転軸に嵌め込んだ状態でハウジングの開口部の板に圧着させ固定した状態で回転軸上に嵌め込み、前記開口部の板と前記弾性体の円錐台環の表面の接触部からと、前記弾性体の円錐台環の内部シリンダー壁と前記回転軸表面の接触部からと前記弾性体の円錐台環の内面及び外面を両側から同時に圧縮することによりその反発力で流体をシールするメカニズムのシャフトシールです。
【図面の簡単な説明】
【０００３】
【図１】  当該ユニバーサルシャフトシールの断面図の一例
【図２】  当該ユニバーサルシャフトシールを回転軸に嵌め込んだ状態の断面図の一例
【符号の説明】
【０００４】  １．弾性体の円錐台環外面      ２．弾性体の円錐台環内面            ３．回転軸
４．ハウジングの開口部        ５．ハウジング開口部の板の接触面
【発明の詳細な説明】
当該発明は、弾性体の円錐台環の外部表面（１）と内壁を構成する内部表面（２）からなる回転軸（３）の周りからの流体をシールするシール体で、ハウジングの開口部（４）の板の表面（５）に前記弾性体の円錐台環の外部表面（１）と接触させて固定し、同時に前記内部表面（２）を前記回転軸（３）を嵌め込んで、回転体との間を弾性体の圧縮による反発力で強く接触を保って流体をシールするメカニズムの回転軸シール体です。この方法によると、従来のリップシールスが回転軸表面（３）と細い線で接触する為ゴムの反発力が接触面積とと比例することを勘案して予め強い接触圧を加えることによってリップ熱や摩擦圧を発生させ特に回転速度に伴う遠心力が接触力を弱める作用をするので流体のシール性能が構造的に不十分なのに対し、当該弾性体の円錐台環の内部表面（２）の接触面積が面で回転軸（３）表面と低い接触力で接することから熱や摩擦圧が小さく遠心力が接触圧を撥ね退ける作用を及ぼしても弾性体の圧縮による反発力が接触力を十分に保つのでシール性能が維持出来、接触力をその分加減できるのでリップシールスに比べて遥かに回転負荷を小さく抑えることが可能です。又、回転軸（３）と共転する固定環との合わせ目を摺り合わせでそれをバネやシールシートで支えて流体をシールするメカニズムのメカニカルシールに比べて、付属物に支えられのではなく直接弾性体（１）及び（２）が回転軸（３）とハウジングの開口部の板を利用した反力で圧縮による反発力で流体をシールするメカニズムなので多くの部品点数の接触ロスが少なくその分強力なシール性能が得られる上装着と構造が極めて簡単な為極めて製造コストが安いメリットが得られます。
【図１】
2008232415.tif 000003
【図２】
2008232415.tif 000004
【手続補正書】
【提出日】平成19年3月22日(2007.3.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
弾性体の円錐台環の外部表面をハウジングの開口部に固定してその円錐台環の内壁を回転体表面に密着させて流体を前記弾性体の円錐台環の外部及び内部表面から遮断するメカニズムのシャフトシール。
【請求項２】
前記弾性体の円錐台環の外部表面の直径が前記ハウジングの開口部内径より大きいか又は等しく、又、前記円錐台環の直径が回転体の直径より小さいか等しい円錐台環を前記ハウジングの開口部と回転体表面の間に嵌め込むことにより前記ハウジングの開口部の板の断面を反力に利用して弾性体の圧縮による反発力で回転軸表面を圧して密着を維持して流体をシールするシャフトシール。
【請求項３】
前記弾性体の円錐台環内壁と前記回転体表面が広い面積で接触することにより接触面積に比例する反発力で反発力の合計を増大させるのでリップシールのように局部的に押付力を増大させてシール機能を果たす必要がない為、回転負荷を減少させて反発力の総和でシール性能を保持する設計が可能な構造のシャフトシール。
(57)【要約】      （修正有）【課題】ホースとホースニップルの抜き差しが簡単にできるホース継ぎ手を提供する。【解決手段】内向き螺旋刃２が、ホースニップル１の外周を回るように組み込んだ継ぎ手構造である。この内向き螺旋刃２を回すとその刃がホースの外周を捕らえてホースニップル１に引き込み、ホースニップル１と内向き螺旋刃２の隙間でホースは固縛される。  また、内向き螺旋刃の逆反転によってホースは押し外される。  図面の内向き螺旋刃２の形状は産業用フレキシブルホースに対応した形状であり、ホースの外周が平滑な場合は、内向き螺旋刃の形状は刃先が丸い急な山形となる。【選択図】図３
2008232414.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ホースニップルの外周を回転する内向き螺旋刃を組み付けて、その螺旋刃を回してホースを捕らえてニップルに引き込み固縛する、反転させて押し外すホース継ぎ手。
【発明の詳細な説明】
【発明の詳細な説明】
ホースの接続に於いてはホースとホースニップルの抜き差しに、大きな力が必要で、力不足の場合接続が不確実になる、本発明はホースニップル１の外周に内向き螺旋刃２を組み付けて、それを回して、ホースの外周を捕らえてホースニップル１に引き込み、ホースニップル１のテーパーと内向き螺旋刃２との隙間減少でホースは固縛される、また内向き螺旋刃２の反転でホースは押し外される構造である。
【ホースによる輸送作業の現状】
従来ホース継ぎ手はカップリングによる場合とホースニップルによる場合がある、カップリングの場合はホース端に口金を固定して相手の口金と接続する、確実な接続が短い時間で出来るが、口金を固定する時間が必要になる．口径の大きなホースの場合相当の技術が求められる，そのほかに接続部分の外径が大きくなり引き回し不良や、収納不良がある。ホースニップルによる場合は外径が小さく引き回しが良く収納も楽であるが、接続に時間が掛かり確実性に劣る
【産業上の効果】
本発明は取り扱いに大きな力を必要とする産業用フレキシブルホース等に適している。ホースによる輸送作業においては、確実な接続が短時間で出来ること。径が小さく、短く、引き回しが良いこと。継ぎ手とホースが簡単に分別できて、積み重ね収納が良いことが求められる。本発明はこれ等のことを解決した。
また、継ぎ手とホースが簡単に分別出来るから、端財のホースを接続して最短の輸送経路を作り、摩擦損失、方向損失を小さくする事が出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】  ホースとホースの継ぎ手
【図２】  ホースとフランジの継ぎ手
【図３】  ホースとフランジの継ぎ手Ａ−Ｂの断面図
【符号の説明】
１）ホースニップル
２）内向き螺旋刃
３）フックスパナ掛かり
４）スポット溶接接合点
５）ツバ付きカラー
【図１】
2008232414.tif 000003
【図２】
2008232414.tif 000004
【図３】
2008232414.tif 000005
(57)【要約】【課題】棚等を上下方向及び横方向に並列形成可能であり、重量の大である場合にも支持でき、脱着が容易である簡易な係止具を提案するものである。【解決手段】ビス挿通孔２を穿通するとともに、後部に嵌合用切欠き３を穿設した基体１と、前部に嵌合突起５を突設し、後部に係着部６を設けるとともに、雌ネジ７を穿設した嵌合部材４とビス８とからなり、前記嵌合用切欠き３は、前記嵌合突起５を収容し、開口部から奥部へ順次幅広く、例えば断面形状が楕円形に形成された長尺状のレールに係合する形状に形成されており、ビス８を前記雌ネジに螺着して用いるものである。【選択図】図１
2008232241.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ビス挿通孔２を穿通するとともに、後部に嵌合用切欠３を穿設した基体１と、前部に嵌合突起を突設し、後部に係着部６を設けるとともに、雌ネジ７を穿設した嵌合部材４と、ビス８とからなることを特徴とする簡易な係止具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、棚又は机の形成、間仕切り、洋服或いはカバンその他の物の吊架、額等の掲示などに用いる簡易な係止具の改良に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
簡易な係止具を用い、労力を費やすことなく臨機に棚、机等を形成し、又はこれを撤去できれば、一般家庭においてだけでなく、多数の人が来集する商店や事務所等においても、極めて便利である。この外、間仕切りその他多種の物掛けや額等の掲示などにも共通して用いることができる係止具は、一定の空間を有効に活用できる。この場合、係止位置を容易に変更できるとともに、係止位置を微妙に調整できれば、より空間の活用を促進する。しかも、係止具にかかる重量が比較的大である場合にもこれに耐えられる利点を有し、形成しようとする棚等及び吊架しようとする間仕切りその他の物、が上下方向に並列できるのみでなく、水平方向にも並列できれば、より空間の活用に資することができるが、従来、このような簡易かつ多用途に利用できる係止具は提案されていない。  
【特許文献１】特開２００５−１５５００８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
解決しようとする問題点は、使用にあたり容易に着脱でき、係止具にかかる重量が比較的大である場合でもこれに耐えられ、かつ形成しようとする棚等及び吊架しようとする物が上下方向に並列できるのみでなく、水平方向にも並列できるようにする点である。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明に係る簡易な係止具は、基体、嵌合部材及びビスの３個の部材からなり、基体と嵌合部材とをビスで螺着することにより、長尺状で嵌合部材を挿着する挿着腔を設けたレールへ強固に係止することを最も主要な特徴とする。
【発明の効果】
【０００５】
本発明に係る簡易な係止具は、前記嵌合部材を前記挿着腔所望の位置にビスを用いて容易かつ強固に取着でき、また、ビスを外せば容易にこれを除去できるので、各部材を損傷することなく再利用でき、資材の効用を最大限に活用できるという利点がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
形成しようとする棚等及び吊架しようとする物が上下方向のみならず、水平方向にも並列でき、かつ、脱着が容易であるとともに、強固になし得るという目的を、最小の部品点数で簡易に実現した。
【実施例１】
【０００７】
図１は、本発明に係る簡易な係止具の概略を示す斜視図、図２（ａ）は、基体１の正面図、同図（ｂ）は、基体１の側面図、同図（ｃ）は、背面斜視図、図３（ａ）は、嵌合部材４の正面図、同図（ｂ）は、嵌合部材４の側面縦断面図、図４は、簡易な係止具をレール９に取着した状態を示す説明図、図５（ａ）は、取付部材１１にレール９を上下方向に固着した状態を示す斜視図、同図（ｂ）は、取付部材１１にレール９を水平方向に固着した状態を示す斜視図、同図（ｃ）は、レール９の形状の１例を示す横断面図である。同図に示すように、レール９の内腔１０の幅は、開口部から奥部へ順次大に、例えば断面形状が楕円形状に形成されている。
【０００８】
基体１は、図２に示すように、ビス挿通孔２を穿通するとともに、後部に嵌合用切欠き３を穿設する。嵌合部材４は、図３に示すように前部に嵌合突起５を突設し、後部に係着部６を設けるとともに、ビス８を螺着する雌ネジ７を穿設する。前記嵌合用切欠き３は、嵌合突起５を収容し、かつ、前記レール９の内腔１０の開口部に係合できる大きさ及び形状に形成し、前記係着部６は後述するように左右幅を大としたとき、前記レール９の内腔１０に僅かな間隙のみを存して嵌合する形状に形成する。
【０００９】
本発明に係る簡易な係止具は、図４並びに図５（ａ）及び（ｂ）に示すように取付部材１１の上下方向又は水平方向に適宜な手段で固着してある長尺状のレール９の所望の位置に固定して用いる。まず、レール９の内腔１０へ前記係着部６を嵌着し、次にレール９の内腔１０から突出している嵌合突起５を前記基体１の嵌合用切欠き３に係合させ、ビス８を前記ビス挿通孔２を挿通し、前記嵌合部材４に設けた雌ネジ７に螺着して基体１及び嵌合部材４を一体化してレール９に固着する。即ち、該レール９の内腔１０は、前記のとおり、開口部から奥部へ順次大となるよう形成されいるから、係着部６を嵌合するときは該係着部６の左右幅が小となる状態にして挿入し、挿入後横転して左右幅が大となるようにして用いるので、該係着部６はレール９の内腔１０に僅かな間隙のみを存して嵌合し、かつ、前記のようにビス８を螺着したとき、基体１の嵌合用切欠き３がレール９の内腔１０の開口部とも係合することにより嵌合部材４は基体１とともに、極めて強固にレール９に固定される。
【産業上の利用可能性】
【００１０】
本発明に係る簡易な係止具は、物を固定する場合にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明に係る簡易な係止具の概略を示す斜視図である。
【図２】（ａ）は、基体１の正面図、（ｂ）は、基体１の側面図、（ｃ）は、背面斜視図である            。
【図３】（ａ）は、嵌合部材４の正面図、（ｂ）は、嵌合部材４の側面縦断面図である。
【図４】簡易な係止具をレール９に取着した状態を示す説明図である。
【図５】（ａ）は、取付部材１１にレール９を上下方向に固着した状態を示す斜視図、（ｂ）は            取付部材１１にレール９を水平方向に固着した状態を示す斜視図、（ｃ）は、レール９            の形状の１例を示す横断面図である。
【符号の説明】
【００１２】
１    基体
２    ビス挿通孔
３    嵌合用切欠き
４    嵌合部材
５    嵌合突起
６    係着部
７    雌ネジ
８    ビス
９    レール
１０  内腔
１１  取付部材
【図１】
2008232241.tif 000003
【図２】
2008232241.tif 000004
【図３】
2008232241.tif 000005
【図４】
2008232241.tif 000006
【図５】
2008232241.tif 000007
(57)【要約】【課題】ロータとロータ及びロータとロータ枠の間の隙間を無くす。【解決手段】ロータの凹面に奥に空部１２を設けその外側にひっかけを設けその外側にいくらか狭くした足５を設けその側にバネスペース１１を設けてさらにその外側にシール板１０を設け、足５を圧縮をかけられたバネ８でらせんに巻く。ひっかけ足付シールは少なくとも凹面に設けロータ先端にあればなお良い、１方のロータのひっかけ足付シールの無い所と他方のロータのひっかけ足付シールの無い所を重さらないようにする。【選択図】図１
2008232129.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロータ枠（１）．（４）を間を設けて間の１方を吸入口（１５）とし、他方を排出口（１６）とし、各各のロータ枠（１），（４）の中に凸面が３面以上で凹面が３面以上で凸面と凹面が交互になるロータを２個設け、１方のロータの凹面に他方のロータの凸面が接っしそしてロータ枠に各各のロータの凸面の先端が接っし各各のロータに直結する回転軸をロータ側枠外へ出してギヤを設けて噛み合わせ、各各のロータの凹面にシール板（１０）に足（５）を固着し、奥側にひっかかり（６）を設け、シール板（１０）をバネ（８）で押し、シール板（１０）にひっかけ（６）付の足（５）を設ける事を特徴とした足付シール。
【請求項２】
ロータの凸面が３面以上で凹面が３面以上で凹面と凸面が交互になるロータの凹面（Ｂ）及びロータの先端部に設ける事を特徴とした請求項１記載の足付シールのロータ。
【請求項３】
ロータの凸面が２面で凹面が２面で凹面と凸面が交互であるロータの凹面及びロータ先端部に設ける事を特徴とした請求項１記載の足付シールのロータ。
【請求項４】
ひっかけ（９）付のシール板（３）に足（２）を設ける事を特徴とした足付シール。
【請求項５】
ロータの先端部に設ける事を特徴とした請求項１，２，３，４記載の足付シールのロータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】容積形流体モータ及び圧縮機のロータとロータの間に隙間を無すためロータにシールをする事に関するものである。
【背景技術】
【０００２】角のあるロータには角の所に微回転付の微出入等のシールがある（特願２００６−２４２１４２）ロータ全部が丸みおびた形のロータにはシールは無かった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】ロータとロータの間の隙間を無す、耐熱性である事、耐摩耗性である事、ロータとロータが接っした時は少なくとも１方のロータが凹む。
【課題を解決するための手段】
【０００４】金属性で作られたシール板に奥の方にひっかかり付の足を固着し、ロータ基体に奥の方に広がりをもたせた溝を設ける１番奥に空部１０を設ける。奥の方の広がりの外側をいくらか狭くしさらにその外側にバネスペースを設け、バネスペース内の奥側のロータ基体とシール板の間の足にらせんに圧縮をかけたバネを設ける。シール板をする所はロータの略凹面及びロータ先端とする。
１方のロータのシール板のない所と他方のロータのシール板のない所は重さらない事とする。【０００５】ロータ先端部に溝の奥の方を狭くしその外側を広くバネスペースとしさらにその外側を狭くひっかかりのあるシール板３を納め、ひっかけ９付のシール板３に足２を固着する。ひっかけ９付のロータ基体にひっかけ付のシールをひっかけて足をらせんに巻いたバネで押す。これはロータ先端部に設ける。
【発明の効果】
【０００６】シール板金属性でバネで押す事により耐熱性で耐摩耗性で柔軟性が得られる。シール板にひっかけ付の足及び足を固着して溝に嵌める事によりシール板の端を押されても摩擦が小さい為ひっかからないで凹んだり元に戻ったりする。ひっかけ付の足及び足の奥の方に空部を設ける事によりシール板が押されても各各の足がロータ基体に当らない。
【発明を実施する為の最良の形態】
【０００７】ロータ枠１，４を間を設け、間の１方を吸入口とし他方を排出口とし、ロータ枠の中に凸面が３面凹面が３面で凹面と凸面が交互になるロータを２個設け、各各のロータに直結する回転軸を側枠外へ出して同等のギヤを設けて噛み合わせる。凹面に奥の方に空部を設けてひっかけ６を設けた足５とシール板１０を固着し、シール板の奥側にバネスペース１１を設け、ひっかけ６付足５にらせんに圧縮をかけたバネ８で巻く、ロータの凹面（Ｂ）にシール板を隙間無く設ける。凹面だから隙間補助１４があるので隙間補助の先端部を僅かに引っ込める。
【０００８】ロータの先端部にひっかけ付足を固着したシール板を設けるか又はひっかけ付シール９に足７を固着し、足の奥の方に空部を、ひっかけ付シール９の奥側にバネスペースを設けてひっかけ付シール９をバネで押す。バネは足をらせんに巻く。
【実施例】
【０００９】各各のロータ枠３０，３８を間を設けて向かい合せ、間の１方を吸入口３９とし間の他方を排出口３７とし、ロータ枠３０，３８の中に両端が円状で中程がくびれたロータ４０，４１を２個各各接っしさせてロータ枠にも接っしさせ、各各のロータに直結する回転軸をロータ側枠外へ出して各各同等のギヤを設けて噛み合わせる。各各のロータの凹面及びロータ先端部に奥に空部３６を設けその外側にひっかけ３１を設けその外側をいくらか狭くした足を設けその外側に足３３とバネスペース３２を足した広さを設けその外側にシール板３４を設ける。足３３をバネ３５でらせんに巻きながらバネ３５を圧縮を加えて元に戻す力を与えておく、凹面にひっかけ３１足３３付シールを設けるので隙間補助４２を設、隙間補助４２の先端部はシール面より僅かに引っ込める。
【産業上の利用可能性】
【００１０】火力発電所及びごみ焼却所で燃料が燃えると燃焼ガスが膨張しその膨張した燃焼ガで容積形流体モータを回わしその回転力で圧縮機と発電機を回転させ、容積形流体モータ及び圧縮機のロータとロータの間の隙間を無しそしてロータとロータ枠の間の隙間を無す。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】ロータの凸面が３面のひっかけ足付シール全体図
【図２】ロータの凸面が２面のひっかけ足付シール全体図
【符号の説明】
【００１２】ロータ枠      １，４，３０，３８
足            ２，５，７，３３
シール        ３
ひっかけ      ６，９，３１
バネ          ８，３５
シール板      １０，３４
バネスペース  １１，３２
空部          １２，３６
プレート      １３
隙間補助      １４，４２
吸入口        １５，３９
排出口        １６，３７
ロータ基体    ４０，４１，１９，２０
【図１】
2008232129.tif 000003
【図２】
2008232129.tif 000004
(57)【要約】【課題】  軽量化、低コスト化が可能な、はめ込み式リング式ファイルを提供する。【解決手段】  直線部分の両端に垂直に始まる二つの平行な半リング状の部分と、それに続く台紙に着脱可能な平行な直線部分をもつ一本のワイヤによる綴り金具と、それをはめ込むための二重にした部分をもつファイル台紙の、二つの部品による、はめ込み式リングファイルを構成する。【選択図】図６
2008120060.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
綴る書類に開けた２穴の間隔と同じ長さの直線部分の両端に垂直に始まる二つの平行な半リング状の部分と、それに続く平行な直線部分をもつように予め成形加工された、１本のワイヤによる綴り金具を、マチのある二つ折りのファイル台紙のマチ部分に、はめ込むことにより構成される、リング式ファイル。
【請求項２】
綴る書類に開けた２穴の間隔と同じ長さの直線部分の両端に、垂直に始まる二つの平行な半リング状の部分と、それに続く平行な直線部分によるはめ込み部分をもつように予め成形加工された、１本のワイヤによる綴り金具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  この発明は、着脱可能な半リング状の部分をもつワイヤによる綴り金具を、ファイルする台紙にはめ込むことにより構成される、はめ込み式リングファイルに関するものである。
【背景技術】
【０００２】  従来、リング式ファイルは複雑な装置をもちいて、書類を保持していた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】  これまでのリング式ファイルは、書類を保持するために、複雑な装置をもちいていたため、コストが高く、また軽量化が困難であった。
本発明は、以上のような問題点を改善するためになされたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】（１）綴る書類に開けた２穴の間隔と同じ長さの直線部分の両端に、垂直に始まる二つの平行な半リング状の部分と、それに続く台紙に着脱可能平行な直線部分をもつように予め成形加工された、１本のワイヤによる綴り金具。
（２）マチ部分を、（１）の綴り金具をはめ込むために二重にしたファイル台紙。
本発明は、上記（１）の綴り金具を、（２）の二重にした部分の間にはめ込むことにより構成される、はめ込み式リングファイルである。
【発明の効果】
【０００５】  穴の開いた書類を、上記の綴り金具に通し、それをファイル台紙にはめ込むだけで、書類を簡単にファイルすることができ、また綴り金具は台紙から着脱可能であるため、書類の入れ替えも簡単である。
また、複雑な装置を用いないため、低コスト化と軽量化が可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】（１）直線部分の両端に垂直に始まる二つの平行な半リング状の部分と、それに続く台紙に着脱可能な平行な直線部分をもつ一本のワイヤによる綴り金具。
（２）マチ部分を二重にして、その間に（１）の綴り金具をはめ込むことを可能にしたファイル台紙。
本発明は、まず２穴の開いた書類を、上記（１）の綴り金具の二つの端から通し、その後（２）のファイル台紙の二重にしたマチ部分中央にはめ込むことによって簡単にファイルできる。また綴り金具を着脱し、書類を入れ替えることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】  綴り金具の斜視図である。
【図２】  綴り金具の側面図である。
【図３】  ファイル台紙とマチ部分に一部接着され、二重になる台紙の、接着前状態の斜視図である。
【図４】  ファイル台紙のマチ部分が二重になった状態の斜視図である。
【図５】  ファイル台紙のマチ部分が二重になった状態の側面図である。
【図６】  ファイル台紙に、綴り金具をはめ込む前の状態の斜視図である。
【図７】  ファイル台紙に、綴り金具をはめ込んだ状態の斜視図である。
【図８】  ファイル台紙に、綴り金具をはめ込んだ状態の側面図である。
【符号の説明】
【０００８】  （イ）綴り金具の直線はめ込み部分
（ロ）ファイル台紙
（ハ）ファイル台紙のマチ部分に一部接着され、二重になる台紙
【図１】
2008120060.tif 000003
【図２】
2008120060.tif 000004
【図３】
2008120060.tif 000005
【図４】
2008120060.tif 000006
【図５】
2008120060.tif 000007
【図６】
2008120060.tif 000008
【図７】
2008120060.tif 000009
【図８】
2008120060.tif 000010
(57)【要約】【課題】  本発明は、６色ボールペンに各ボールペンにそれぞれ５ＷＨシールを貼ったボールペンである。  本発明を使用するにあたり、聞き漏らし等を事前に防ぎ、円滑なコミュニケーションを計ることはもとより企画書等の作成においても５ＷＨのはっきりとした人に伝えるのに分かりやすい書類を作成するのに発揮することを念頭に発想したペンである。【解決手段】  １本で複数のボールペンの出し入れが可能な６色ボールペン等の表面を用いて、１色のボールペンあたり１項目のスペースを使ってシール等（７ｍｍ×４５ｍｍ）を貼り（書き込みできるスペースを作る）そこに各種１本ずつそれぞれに５ＷＨを書き込みペンが完成。【選択図】図１
2008120057.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
１本で複数のボールペンの出し入れが可能な６色ボールペン等の表面を、１色のボールペンあたり１項目分のスペースとして割り振り、その割り振った箇所にシールを貼り、書き込みできるスペースを作る。そこに書き手が目的を持った内容の事項を何点か（６色ボールペンの場合は最高で６項目まで）あらかじめここに記述し、（本発明では５ＷＨを提唱）それぞれの書き手の目的に応じ、書き手が必要とする情報を整理できるようオリジナルな項目を入れることを可能としたスペースをもったペン。
【請求項２】
請求項１で述べたような方法で、６色ボールペンの表面（６等分したスペース）を使って、そこに、ビジネス等で役に立つ５ＷＨをそれぞれ１項目ずつ記述し、ペンを普段通り使用しながらも、５ＷＨがおのずと意識できるという発想。
【請求項３】
複数色ボールペン（６色ボールペン等）の表面じかに、必要な項目を１色のボールペンあたり、１項目分のスペースとして割り振り、じかに各項目が印刷されたペンも視野に入れる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、文章作成やコミュニケーションを的確にする手助けとして考案された筆記用具に関するものである。
【背景技術】
【０００２】  従来の筆記用具を用いたメモ術では、書き手によっては、メモをとっているつもりでも、うっかり用件を聞き逃したり、頭の中では分かっていることでも文章作成となると何かと苦労が耐えなかった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】  従来の筆記用具（鉛筆、シャーペン、ボールペン、万年筆、マーカー等）は、書くのみを前提とした文房具であるため、書く内容は、書き手の頭の中だけで委ねられていた。そのため、書き手がメモすべき、あるいは書くべきことを怠ると、書類等の内容に不備が発生することもあり、ビジネス等で、上司にお叱りを受けなければならない場面があった。
本発明は、以上の問題点を解決し、何をメモするべきか、書くべきかを誘導してくれるペンを考案し、迅速かつ正確で気持ちのよいコミュニケーションがとれる場面を増やそうと考え考案したペンである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】  １本で複数のボールペンの出し入れが可能な、６色ボールペン等の表面を用いて、１色のボールペンあたり１項目分書き込みするスペースとして割り振り、そこにシール等（７ｍｍ×４５ｍｍ）を貼り、書き込み可能にし、そこに各種１本ずつそれぞれに５ＷＨを書き込みペンが完成。
【発明の効果】
【０００５】  本発明は、従来の文房具を使用する要領で、手に握っていながら、頭の中を整理する手助けと、聞くべき内容、もしくは書くべき内容を手軽に手元でチェックできる点が挙げられる。
【発明の実施の最良の形態】
【０００６】  以下、本発明の実施の形態を説明する。
（イ）  市販の６色ボールペンを用意する。
（ロ）  ６色ボールペンの表面に貼るシール（７ｍｍ×４５ｍｍ）は１色のボールペンあたり１項目分のスペースとして割り振った箇所にそれぞれ貼るため、６項目分、貼れるよう６枚用意する。
（ハ）  （ロ）で用意したシールに５ＷＨ〔いつ（ｗｈｅｎ）時・時間、どこで（ｗｈｅｒｅ）場所、どのように（ｈｏｗ）目的の形状、なぜ（ｗｈｙ）目的の理由、なにを（ｗｈａｔ）目的、だれが（ｗｈｏ）人〕をそれぞれ各項目ごとにわけて記述する。
（ニ）  ６色ボールペン等の表面に（ハ）で記述されたシールを１色のボールペンあたり１項目のスペースを使い貼る。
本発明は以上の構成によりなる。
本発明の使用法にあたっては、従来通り、複数色のボールペン（６色ボールペン）を使用する要領で、使いたい色のボールペンをプッシュして使うことは変わらないのであるが、それに加え、手元に記述された項目（６色ボールペンの場合は、６等分に振り分けられたそれぞれのスペースに記述された項目）を見ながら、書くべき内容、伝えるべき内容、聞くべき内容を判断しながら、各項目をチョイスし、チョイスされたボールペンをプッシュして使用する。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の斜視図
【図２】本発明の要部拡大の正面図
【符号の説明】
【０００８】（１）５ＷＨシール
【図１】
2008120057.tif 000003
【図２】
2008120057.tif 000004
(57)【要約】【課題】  サインペンやマーカー等の筆記具は多数の色があり、利用時に必要な色を探すのに手間取ることがあり、また紛失することもあった。【解決手段】  本発明は、サインペンやマーカー等の筆記具を連結してまとめて保管し使用できるように、筆記具を筒型ではなく四角形的にして、ペン先の反対側の角の両辺にクリップ部を設けて、同様に作成した四角形的でペン先の反対側の角の両辺にクリップ部を設けた他の複数の筆記具を互いのクリップ部で連結出来るようにして、最終的にはリング状に完結し一体化して利用と保管が出来るようにしたものである。【選択図】図５
2008120061.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ペン先及びインク収納部等で構成されたサインペンやマーカー等の筆記具において、記前筆記具を筒状ではなく一定の厚みを持った平坦な四角形的な形体とするが該四角形的な形体の一角にあたる部分についてはペン先と該ペン先を保護するキャップを嵌める構造にし該ペン先構造にした反対側の角側には該角を構成する両辺に夫々クリップ部を設けていて同様な四角形的構造にして作成した他の複数の該筆記具同士の前記ペン先構造にした反対側の角を合わせて並べるように前記クリップ部で互いに嵌め込んで平面的に連結させる事ができ前記ペン先構造にした反対側の角の設定角度を１２０度にした場合は３個で９０度にした場合は４個でリング状に連結して繋がり一体化する事が出来るが連結出来る個数は前記設定角度を変えたり該角度の組合せ等で変更出来また連結させた前記クリップ部から外して分解し個々の該筆記具としても使用出来るようにした事を特長としたサインペンやマーカー等の筆記具。
【発明の詳細な説明】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、数種類の色のサインペンやマーカー等の管理を簡単に行える様にするものである。
【背景技術】
【０００２】  従来のサインペンやマーカー等の筆記具は、各色の筆記具が夫々一本のペンとして独立していて、利用時に必要な色のペンを探す事があった。
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】  複数の色のサインペンやマーカー等の筆記具を常にまとめて管理出来ようにする事。
【課題を解決するための手段】
【０００４】  本発明は、前記課題を解決するために、次のような手段を採用した。ペン先及びインク収納部等で構成されたサインペンやマーカー等の筆記具において、記前筆記具を筒状ではなく一定の厚みを持った平坦な四角形的な形体とするが該四角形的な形体の一角にあたる部分についてはペン先と該ペン先を保護するキャップを嵌める構造にし該ペン先構造にした反対側の角側には該角を構成する両辺に夫々クリップ部を設けていて同様な四角形的構造にして作成した他の複数の該筆記具同士の前記ペン先構造にした反対側の角を合わせて並べるように前記クリップ部で互いに嵌め込んで平面的に連結させる事ができ前記ペン先構造にした反対側の角の設定角度を１２０度にした場合は３個で９０度にした場合は４個でリング状に連結して繋がり一体化する事が出来るが連結出来る個数は前記設定角度を変えたり該角度の組合せ等で変更出来また連結させた前記クリップ部から外して分解し個々の該筆記具としても使用出来るようにした技術手段を採用した。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００５】  発明の実施の態様を実施例にもとづき図面を参照して説明する。
図１、図２、図３、図４、は本発明の筆記具で単体での形体を表しておりペン先（１）にキャップ（３）を被せた状態で、ペン先（１）の反対角の両辺にクリップ部（４）が設けてあり、ペン先（１）とクリップ部（４）の間のエリアはインク収納部（２）となっている。
図５、はペン先（１）の反対側の角の設定角度を９０度にして本発明の筆記具４個をリング状に連結して繋がり一体化させた状態を表しており、連結させた筆記具の内１個だけキャップ（３）を外した実施例である。
図６、はペン先（１）の反対側の角の設定角度を１２０度にして本発明の筆記具３個をリング状に連結して繋がり一体化させた状態を表しており、連結させた筆記具の内１個だけキャップ（３）を外した実施例である。
【図面の簡単な説明】
【図１】は、本発明の平面図
【図２】は、本発明の左側面図
【図３】は、本発明の正面図でキャップ部分を断面図としている
【図４】は、本発明の右側面図
【図５】は、本発明の正面図
【図６】は、本発明の正面図
【符号の説明】
１…ペン先
２…インク収納部
３…キャップ
４…クリップ部
５…溝
【図１】
2008120061.tif 000003
【図２】
2008120061.tif 000004
【図３】
2008120061.tif 000005
【図４】
2008120061.tif 000006
【図５】
2008120061.tif 000007
【図６】
2008120061.tif 000008
(57)【要約】      （修正有）【課題】６００℃未満の焼成温度での焼成でも、６００℃以上の焼成温度で得られたものと同様かそれ以上の超伝導特性を有する二ホウ化マグネシウム超伝導体の製造方法を提供する。【解決手段】マグネシウムに対して０．９〜２５ｍｏｌ％の銀を添加して混合粉末とし、焼成温度を６００℃未満とする二ホウ化マグネシウム超伝導体の製造方法。【効果】得られた二ホウ化マグネシウム超伝導体は、５５０℃あるいは５００℃での焼成により、臨界温度が３６Ｋ以上、２０Ｋ、低磁場での臨界電流密度が２×１０５Ａ／ｃｍ２以上の超伝導特性を有する。【選択図】図１
2008120659.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マグネシウムとホウ素の混合粉末を焼成して二ホウ化マグネシウム超伝導体の製造方法であって、マグネシウムに対して０．９〜２５ｍｏｌ％の銀を添加して混合粉末とし、焼成温度を６００℃未満としたことを特徴とする二ホウ化マグネシウム超伝導体の製造方法
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
マグネシウムとホウ素の混合粉末を焼成して二ホウ化マグネシウム超伝導体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来法では、ＭｇとＢを十分に反応させてＭｇＢ２を生成するのに６００度以上の熱処理温度が必要であったが、６００度以上ではＭｇＢ２の結晶粒が粗大化するのに加えて高温であるために熱処理のコストがかさむという問題点があり、より低温での熱処理が望まれていた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明は、６００℃未満の焼成温度での焼成でも、６００℃以上の焼成温度で得られたものと同様かそれ以上の超伝導特性を有する二ホウ化マグネシウム超伝導体の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明の二ホウ化マグネシウム超伝導体の製造方法は、マグネシウムに対して０．９〜２５ｍｏｌ％の銀を添加して混合粉末とし、焼成温度を６００℃未満としたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００５】
本発明により得られた二ホウ化マグネシウム超伝導体は、５５０℃あるいは５００℃での焼成によっても、臨界温度は３６Ｋ以上、２０Ｋ、低磁場での臨界電流密度も２ｘ  １０５Ａ／ｃｍ２以上という良好な超伝導特性を有するに至った。
また、線材化のためには、ＭｇＢ２と金属とを複合化する必要があるが、低温での熱処理が可能となったことで、従来では使用出来なかったＭｇやＢと反応しやすい金属（例えば、銅、銅−ニッケル合金、アルミニウム）も複合金属材（シース材）として使用することが可能となり、ＭｇＢ２線材の性能向上、低コスト化に寄与する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
【実施例】
【０００７】
マグネシウム、ホウ素、銀をモル比で、１．１＋ｘ：２：ｘの比で混合した粉末を、ステンレス管に充填し、両端を封じた後、石英管に真空封入して、表１に示すように５００°Ｃおよび５５０°Ｃで７２時間、焼成を行った。このとき、銀添加量ｘは０〜０．１の範囲で変えた。得られたバルク試料について二ホウ化マグネシウム相生成の様子を粉末Ｘ線回折で調べた結果を図１および図２に示す。
図１は５５０°Ｃで７２時間焼成した試料のＸ線回折パターンで、銀を添加しないｘ＝０の試料では二ホウ化マグネシウム相がほとんど生成していないのに対し、ｘ＝０．０２の試料では原料マグネシウムの回折ピークが消え、二ホウ化マグネシウム相が主相となった。さらに銀の添加量を増やした試料でも二ホウ化マグネシウム相が主相でマグネシウム−銀合金相の生成量が増すことがわかった。
図２は５００°Ｃで７２時間焼成した試料のＸ線回折パターンを示した。ｘ＝  ０．０５の試料では二ホウ化マグネシウム相が主相として生成しており、従来より１００°Ｃ低い焼成温度でも焼成時間の延長によって二ホウ化マグネシウムが生成することを示す初めての結果である。図３はこれら低温で焼成した試料の磁化率の温度依存性であるが、二ホウ化マグネシウムが主相となった試料の臨界温度は３６Ｋ以上と十分に高く、また、表１に示すとおり、２０  Ｋ、低磁場での臨界電流密度も２  ｘ  １０５Ａ／ｃｍ２以上と十分高いことがわかった。
【０００８】
【表１】
2008120659.tif 000003
【産業上の利用可能性】
【０００９】
本発明による二ホウ化マグネシウム超伝導体は、既に３  ｋｍ以上の長さの線材が開発されており、今後これを用いての、医療用磁気共鳴診断装置（ＭＲＩ）や磁気浮上列車用の超伝導電磁石としての実用が期待されているほか、限流器、変圧器などに応用できる可能性を持っている。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】実験No.１から６による二ホウ化マグネシウムバルクの粉末のＸ線回折パターンを示すグラフ。
【図２】実験No.９、１０による二ホウ化マグネシウムバルクの粉末のＸ線回折パターンを示すグラフ。
【図３】実験No.１から６による二ホウ化マグネシウムの磁化率の温度依存性を示すグラフ。
【図１】
2008120659.tif 000004
【図２】
2008120659.tif 000005
【図３】
2008120659.tif 000006
(57)【要約】【課題】内部に含まれる窒素濃度が低く抵抗率が高い炭化珪素単結晶を製造する。【解決手段】化学気相成長法により製造された炭化珪素多結晶体を粉砕することにより得られた粉体を炭化珪素原料２として炭化珪素単結晶を結晶成長させる。【選択図】図１
2008120617.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
化学気相成長法により製造された炭化珪素多結晶体を粉砕する工程と、
前記粉砕処理により得られた粉体を開口部を有する坩堝の内部に炭化珪素原料として供給する工程と、
種結晶と炭化珪素原料とが対向するように裏面に種結晶が取り付けられた蓋体により坩堝の開口部を覆う工程と、
坩堝を加熱炉内に配置する工程と、
不活性ガス雰囲気下で坩堝を加熱することにより、炭化珪素原料を昇華させて種結晶の表面上に炭化珪素単結晶を結晶成長させる工程と
を有することを特徴とする炭化珪素単結晶の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高周波半導体デバイスの基板として利用して好適な炭化珪素（ＳｉＣ）単結晶の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、高周波半導体デバイスの基板には１０５〜１０１２［Ω・ｃｍ］程度の抵抗率の半絶縁（高抵抗）特性が要求される。このような背景から近年、高周波半導体デバイスの基板としての利用が期待される炭化珪素単結晶については、結晶内に含まれる窒素等の不純物の濃度を低減させる工夫がなされている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００２−２７４９９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、従来の炭化珪素単結晶の製造方法では、研磨剤等として用いられ、内部に多くの不純物を含む炭化珪素粉末（アチソン結晶を砕いた粉末）を原料として用いているために、不純物の濃度を低減させることは困難であった。
【０００４】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、内部に含まれる不純物の濃度を低減させることにより高抵抗化を実現可能な炭化珪素単結晶の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明に係る炭化珪素単結晶の製造方法は、化学気相成長法により製造された炭化珪素多結晶体を粉砕することにより得られた粉体を炭化珪素原料として炭化珪素単結晶を結晶成長させることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明に係る炭化珪素単結晶の製造方法によれば、化学気相成長法により製造された炭化珪素多結晶体を粉砕することにより得られる高純度の炭化珪素粉体を原料として用いるので、内部に含まれる不純物の濃度が低く抵抗率が高い炭化珪素単結晶を製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、本発明の実施形態となる炭化珪素単結晶の製造装置及びその製造方法について説明する。
【０００８】
本発明の実施形態となる炭化珪素単結晶の製造装置１は、図１に示すように、内部に炭化珪素原料２が収容される黒鉛製の坩堝３と、裏面に種結晶４が取り付けられ、坩堝３の開口部を覆う蓋体５と、蓋体５を含む坩堝３全体を覆う多孔性の断熱材６と、坩堝３を含む断熱材６全体を収容する加熱炉７とを備える。
【０００９】
この製造装置１を用いて炭化珪素単結晶を製造する際は、始めに、化学気相成長法により製造された炭化珪素多結晶体を粉砕し、粉砕処理により得られた粉体を開口部を有する坩堝３の内部に炭化珪素原料２として供給する。次に、種結晶４と炭化珪素原料２とが対向するように蓋体５により坩堝３の開口部を覆う。そして、アルゴンガス雰囲気下で炭化珪素原料が昇華する温度（２５００℃程度）に坩堝３を加熱することにより、炭化珪素原料２を昇華させて種結晶４の表面上に炭化珪素単結晶を結晶成長させる。
【００１０】
このように、本発明の実施形態となる炭化珪素単結晶の製造方法では、化学気相成長法により製造された炭化珪素多結晶体を粉砕することにより得られた粉体を炭化珪素原料２として炭化珪素単結晶を結晶成長させる。そしてこのような製造方法によれば、化学気相成長法により製造された炭化珪素多結晶体を粉砕することにより得られた高純度の炭化珪素粉体を原料として用いるので、図２及び図３に示すように、従来技術により製造された炭化珪素単結晶と比較して、内部に含まれる窒素濃度が低く抵抗率が高い炭化珪素単結晶を製造することができる。
【００１１】
なお、図２に示す窒素濃度はＳＩＭＳ分析により測定された結果を示す。また、図３に示す抵抗値は非接触式渦電流検出型測定器（抵抗値＜１×１０３［Ω・ｃｍ］）と非接触式ＣＶカーブ測定式測定器（抵抗値＞１×１０５［Ω・ｃｍ］）により測定された結果を示す。
【００１２】
以上、本発明者らによってなされた発明を適用した実施の形態について説明したが、この実施の形態による本発明の開示の一部をなす論述及び図面により本発明は限定されることはない。すなわち、上記実施の形態に基づいて当業者等によりなされる他の実施の形態、実施例及び運用技術等は全て本発明の範疇に含まれることは勿論であることを付け加えておく。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施形態となる炭化珪素単結晶の製造装置を示す模式図である。
【図２】従来技術及び本願発明により製造された炭化珪素単結晶内部の窒素濃度を示すプロファイル図である。
【図３】従来技術及び本願発明により製造された炭化珪素単結晶内部の抵抗値を示すプロファイル図である。
【符号の説明】
【００１４】
１：炭化珪素単結晶製造装置
２：炭化珪素原料
３：坩堝
４：種結晶
５：蓋体
６：断熱材
７：加熱炉
【図１】
2008120617.tif 000003
【図２】
2008120617.tif 000004
【図３】
2008120617.tif 000005
(57)【要約】【課題】内部に含まれる窒素濃度が低く抵抗率が高い炭化珪素単結晶を製造する。【解決手段】減圧雰囲気下で炭化珪素原料２が昇華しない温度に坩堝３を所定時間保持した後、アルゴンガス雰囲気下で炭化珪素原料２が昇華する温度に坩堝３を加熱することにより、炭化珪素原料２を昇華させて種結晶４の表面上に炭化珪素単結晶を結晶成長させる。【選択図】図１
2008120616.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口部を有する坩堝の内部に炭化珪素原料を供給する工程と、
種結晶と炭化珪素原料とが対向するように裏面に種結晶が取り付けられた蓋体により坩堝の開口部を覆う工程と、
坩堝を加熱炉内に配置する工程と、
減圧雰囲気下で炭化珪素原料が昇華しない温度に坩堝を所定時間保持する工程と、
前記所定時間経過後、不活性ガス雰囲気下で炭化珪素原料が昇華する温度に坩堝を加熱することにより、炭化珪素原料を昇華させて種結晶の表面上に炭化珪素単結晶を結晶成長させる工程と
を有することを特徴とする炭化珪素単結晶の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高周波半導体デバイスの基板として利用して好適な炭化珪素（ＳｉＣ）単結晶の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、高周波半導体デバイスの基板には１０５〜１０１２［Ω・ｃｍ］程度の抵抗率の半絶縁（高抵抗）特性が要求される。このような背景から近年、高周波半導体デバイスの基板としての利用が期待される炭化珪素単結晶については、結晶内に含まれる窒素等の不純物の濃度を低減させる工夫がなされている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００２−２７４９９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、窒素は大気中に多く含まれるために、炭化珪素単結晶の内部に大気由来の窒素が取り込まれないようにして窒素の濃度を低減させることは困難であった。
【０００４】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、内部に含まれる不純物の濃度を低減させることにより高抵抗化を実現可能な炭化珪素単結晶の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明に係る炭化珪素単結晶の製造方法は、減圧雰囲気下で炭化珪素原料が昇華しない温度に坩堝を所定時間保持した後、不活性ガス雰囲気下で炭化珪素原料が昇華する温度に坩堝を加熱することにより、炭化珪素原料を昇華させて種結晶の表面上に炭化珪素単結晶を結晶成長させることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明に係る炭化珪素単結晶の製造方法によれば、減圧雰囲気下で炭化珪素原料が昇華しない温度に坩堝を所定時間保持することにより坩堝や炭化珪素原料が有する不純物を除去した後に炭化珪素単結晶を気相成長させるので、内部に含まれる不純物の濃度が低く抵抗率が高い炭化珪素単結晶を製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、本発明の実施形態となる炭化珪素単結晶の製造装置及びその製造方法について説明する。
【０００８】
本発明の実施形態となる炭化珪素単結晶の製造装置１は、図１に示すように、内部に炭化珪素原料２が収容される黒鉛製の坩堝３と、裏面に種結晶４が取り付けられ、坩堝３の開口部を覆う蓋体５と、蓋体５を含む坩堝３全体を覆う多孔性の断熱材６と、坩堝３を含む断熱材６全体を収容する加熱炉７とを備える。
【０００９】
この製造装置１を用いて炭化珪素単結晶を製造する際は、始めに、坩堝３の内部に炭化珪素原料２を供給した後、種結晶４と炭化珪素原料２とが対向するように蓋体５により坩堝３の開口部を覆う。そして、減圧雰囲気下（１ｋＰａ程度。好ましくは１００Ｐａ以下。実施例では１×１０−４Ｐａ程度）で炭化珪素原料２が昇華しない温度（５００〜２５００℃。実施例では２０００℃）に坩堝３を所定時間（２４時間程度）保持した後、アルゴンガス雰囲気下で炭化珪素原料２が昇華する温度（２５００℃程度）に坩堝３を加熱することにより、炭化珪素原料２を昇華させて種結晶４の表面上に炭化珪素単結晶を結晶成長させる。
【００１０】
このように、本発明の実施形態となる炭化珪素単結晶の製造方法では、減圧雰囲気下で炭化珪素原料２が昇華しない温度に坩堝３を所定時間保持した後、アルゴンガス雰囲気下で炭化珪素原料２が昇華する温度に坩堝３を加熱することにより、炭化珪素原料２を昇華させて種結晶４の表面上に炭化珪素単結晶を結晶成長させる。
【００１１】
このような製造方法によれば、減圧雰囲気下で炭化珪素原料２が昇華しない温度に坩堝３を所定時間保持することにより坩堝３や炭化珪素原料２が有する不純物を除去した後に炭化珪素単結晶を気相成長させるので、図２及び図３に示すように、従来技術により製造された炭化珪素単結晶と比較して、内部に含まれる窒素濃度が低く抵抗率が高い炭化珪素単結晶を製造することができる。
【００１２】
なお、図２に示す窒素濃度はＳＩＭＳ分析により測定された結果を示す。また、図３に示す抵抗値は非接触式渦電流検出型測定器（抵抗値＜１×１０３［Ω・ｃｍ］）と非接触式ＣＶカーブ測定式測定器（抵抗値＞１×１０５［Ω・ｃｍ］）により測定された結果を示す。
【００１３】
以上、本発明者らによってなされた発明を適用した実施の形態について説明したが、この実施の形態による本発明の開示の一部をなす論述及び図面により本発明は限定されることはない。すなわち、上記実施の形態に基づいて当業者等によりなされる他の実施の形態、実施例及び運用技術等は全て本発明の範疇に含まれることは勿論であることを付け加えておく。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施形態となる炭化珪素単結晶の製造装置を示す模式図である。
【図２】従来技術及び本願発明により製造された炭化珪素単結晶内部の窒素濃度を示すプロファイル図である。
【図３】従来技術及び本願発明により製造された炭化珪素単結晶内部の抵抗値を示すプロファイル図である。
【符号の説明】
【００１５】
１：炭化珪素単結晶製造装置
２：炭化珪素原料
３：坩堝
４：種結晶
５：蓋体
６：断熱材
７：加熱炉
【図１】
2008120616.tif 000003
【図２】
2008120616.tif 000004
【図３】
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