(57)【要約】【課題】分割された領域に微細周期構造を有する領域分割型波長板において分割された領域間の境界部の位置や微細周期構造の方向を肉眼で知ることのできる領域分割型波長板及びその製造方法を提供する。【解決手段】この領域分割型波長板は、少なくとも２つに分割された各領域１１，１２に所定方向に延びる微細周期構造をそれぞれ有し、分割された領域間の境界部１３及び／又は微細周期構造の方向を視認可能な視認部を備え、視認部が境界部及び／又は微細周期構造の方向に沿うようにして形成されている。【選択図】図２
2008033279.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも２つに分割された各領域に所定方向に延びる微細周期構造をそれぞれ有する領域分割型波長板であって、
前記分割された領域間の境界部及び／又は前記微細周期構造の方向を視認可能な視認部を備え、
前記視認部が前記境界部及び／又は前記方向に沿うようにして形成されていることを特徴とする領域分割型波長板。
【請求項２】
前記境界部がその周囲の微細周期構造よりも突き出て形成されている請求項１に記載の領域分割型波長板。
【請求項３】
微細周期構造の存在しない領域に対する前記微細周期構造の境界の内の少なくとも一辺が前記微細周期構造の方向と略一致している請求項１または２に記載の領域分割型波長板。
【請求項４】
前記分割された各領域の微細周期構造の方向が異なる請求項１乃至３のいずれか１項に記載の領域分割型波長板。
【請求項５】
前記分割された第１の領域が−１／４波長板として機能し、前記分割された第２の領域が＋１／４波長板として機能する請求項１乃至４のいずれか１項に記載の領域分割型波長板。
【請求項６】
４００乃至８００ｎｍの波長範囲内において広帯域特性を有する請求項１乃至５のいずれか１項に記載の領域分割型波長板。
【請求項７】
請求項１乃至７のいずれか１項に記載の領域分割型波長板をインプリント法により製造することを特徴とする領域分割型波長板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、少なくとも２つに分割された領域に所定方向に延びる微細周期構造をそれぞれ有する領域分割型波長板及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
下記非特許文献１は、３次元周期構造（フォトニック結晶）を用いた領域分割型波長板を開示している（図７）。この領域分割型波長板５０は図７のような周期構造を有し分割ライン５３で分割された領域５１，５２を備え、例えば、光ピックアップ用の光学系に配置されて使用できる。
【非特許文献１】「フォトニック結晶の実用化の前線で」川上彰二郎（O plus E Vol.28,No4,2006年4月）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記非特許文献１のような領域分割された波長板は図７のように２つの領域に方向の異なる微細周期構造が境界部を挟んで形成されるため、光学装置内の光学系に組み込む場合、その境界部の位置や微細周期構造の方向を調整する必要がある。しかし、通常、境界部の位置や微細周期構造の方向は肉眼で見え難く、かかる調整は面倒で手間のかかるものであった。
【０００４】
本発明は、上述のような従来技術の問題に鑑み、分割された領域に微細周期構造を有する領域分割型波長板において分割された領域間の境界部の位置や微細周期構造の方向を肉眼で知ることのできる領域分割型波長板及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、本発明による領域分割型波長板は、少なくとも２つに分割された各領域に所定方向に延びる微細周期構造をそれぞれ有する領域分割型波長板であって、前記分割された領域間の境界部及び／又は前記微細周期構造の方向を視認可能な視認部を備え、前記視認部が前記境界部及び／又は前記方向に沿うようにして形成されていることを特徴とする。
【０００６】
この領域分割型波長板によれば、視認部は分割された領域間の境界部及び／又は微細周期構造の方向に沿うようにして形成されているので、分割された領域間の境界部及び／又は微細周期構造の方向を肉眼で知ることができる。
【０００７】
上記領域分割型波長板において前記境界部がその周囲の微細周期構造よりも突き出て形成されることにより、境界部に沿った視認部を構成できる。
【０００８】
また、微細周期構造の存在しない領域に対する前記微細周期構造の境界の内の少なくとも一辺が前記微細周期構造の方向と略一致することで、微細周期構造の方向に沿った視認部を構成できる。
【０００９】
また、上記領域分割型波長板は前記分割された各領域の微細周期構造の方向が異なるように構成できる。
【００１０】
また、前記分割された第１の領域が−１／４波長板として機能し、前記分割された第２の領域が＋１／４波長板として機能することで、両機能を持つ波長板を実現できる。なお、領域分割型波長板の両面に第１の領域及び第２の領域を設けることが好ましい。
【００１１】
また、４００乃至８００ｎｍの波長範囲内において広帯域特性を有することが好ましく、上記領域分割型波長板の使用波長帯域を４００ｎｍ〜８００ｎｍの比較的広帯域とすることで、例えば、光ピックアップ装置として必要とされている４０５ｎｍ，６５０ｎｍ，７８０ｎｍ（青紫ＬＤ，ＤＶＤ，ＣＤの３波長互換）のような広い波長帯域内で一様な位相差特性を持たせることができる。
【００１２】
本発明による領域分割型波長板の製造方法は、上述の領域分割型波長板をインプリント法により製造することを特徴とする。
【００１３】
この製造方法によれば、分割された領域間の境界部においてインプリント成形により成形品に変形が生じ易くなり、かかる変形により境界部が周囲の微細周期構造よりも突き出るために境界部自体が視認部となる。かかる境界部における変形は、分割された各領域の微細周期構造の方向が異なるため境界部で交差する構成の場合に一層生じ易くなる。また、周期構造の存在しない領域に対する微細周期構造の境界の内の少なくとも一辺が微細周期構造の方向と略一致することで、インプリント成形時の離型が安定して行われ、離型時の基材と型に対する負荷を軽減することができるので成形の歩留まりを向上できるとともに、型の耐久性を向上できる。
【００１４】
以上のように、分割された領域間の境界部及び／又は微細周期構造の方向を視認可能な視認部を、インプリント成形により微細周期構造とともに形成することができるので、視認部を設けたことによる特別なコストは発生せず、経済的に製造可能となる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の領域分割型波長板によれば、分割された領域に微細周期構造を有する領域分割型波長板において分割された領域間の境界部の位置や微細周期構造の方向を肉眼で知ることができる。このため、装置等において領域分割型波長板を配置し光学系を構成する際に、領域分割型波長板の組み込みや調整が容易となり、組立工数の削減につながる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明を実施するための最良の形態について図面を用いて説明する。
【００１７】
〈第１の実施の形態〉
【００１８】
図１は第１の実施の形態による領域分割型波長板の模式的な平面図（ａ）、その模式的な断面図（ｂ）及び拡大した模式的な部分断面図（ｃ）である。図２は図１（ａ）の領域分割型波長板の境界部近傍を拡大して示す要部平面図（ａ）及び境界部近傍の要部斜視図（ｂ）である。
【００１９】
図１（ａ）の平面図に示すように、円板状の領域分割型波長板１０は、直線状に延びる微細周期構造部１５を有する第１の領域１１と、第１の領域１１と異なる方向に延びる微細周期構造部１６を有する第２の領域１２と、を直線状の境界部１３を挟んで備えており、両微細周期構造部１５，１６が第１の領域１１と第２の領域１２との境界部１３で交差するように形成されている。
【００２０】
領域分割型波長板１０は、第１の領域１１と第２の領域１２が基材１４の両面に形成されている。すなわち、図１（ｂ）のように、第１の領域１１の裏面側に第２の領域１２が位置し、第２の領域１２の裏面側に第１の領域１１が位置するようにして両面に微細周期構造が形成されている。
【００２１】
図１（ｂ）、（ｃ）のように、領域分割型波長板１０の一方の面の第１の領域１１に凹凸状の第１の微細周期構造部１５を有し、凸部１５ａと凹部１５ｂが周期的に繰り返して形成されている。一方の面の第２の領域１２に凹凸状の第２の微細周期構造部１６を有し、凸部１６ａと凹部１６ｂが周期的に繰り返して形成されている（図２（ａ））。
【００２２】
同じく、他方の面の第２の領域１２に凹凸状の第２の微細周期構造部１７を有し、凸部１７ａと凹部１７ｂが周期的に繰り返して形成されている。他方の面の第１の領域１１に凹凸状の第１の微細周期構造部１８を有する。なお、微細周期構造部１５〜１８の凹凸の周期ピッチを例えば３００ｎｍ程度、各凸部の幅を例えば２００ｎｍ程度とすることができるが、これは一例であって、他の寸法であってもよいことは勿論である。
【００２３】
図２（ａ）に示すように、第１の領域１１と第２の領域１２との直線状の境界部１３で両微細周期構造部１５，１６は凸部１５ａと凸部１６ａとが交差し、同様に凹部１５ｂと凹部１６ｂとが交差するようにして連続している。この境界部１３には、各凸部１５ａ，１６ａの上に図２（ｂ）のように、その周囲の微細周期構造部１５，１６の凸部１５ａ，１６ａから突き出るように突き出し部１３ａが形成されている。
【００２４】
上記突き出し部１３ａは領域分割型波長板１０をインプリント法で作製したときの離型時に、境界部１３で両微細周期構造部１５，１６の交差した凸部１５ａ，１６ａが凸状に変形して形成されたものである。このため、突き出し部１３ａは、境界部１３に沿って形成され、境界部１３を視認可能な視認部を構成することができる。
【００２５】
以上のように、第１の実施の形態の領域分割型波長板１０によれば、分割された領域１１，１２間の境界部１３を、境界部１３に沿って形成された、両微細周期構造部１５，１６の交差した凸部１５ａ，１６ａから突き出た突き出し部１３ａにより肉眼で知ることができる。このため、装置等において領域分割型波長板を配置し光学系を構成する際に、領域分割型波長板の組み込みや分割された領域間の境界部を合わせる調整が容易となり、組立工数を削減できる。
【００２６】
〈第２の実施の形態〉
【００２７】
図３は第２の実施の形態による領域分割型波長板の模式的な平面図（ａ）、その別の構成例を示す同様の平面図（ｂ）及びその更に別の構成例を示す同様の平面図（ｃ）である。
【００２８】
図３（ａ）に示すように、第２の実施の形態による領域分割型波長板６０は、全体として矩形状に構成され、直線状に延びる微細周期構造部６５を有する第１の領域６１と、第１の領域６１と異なる方向に延びる微細周期構造部６６を有する第２の領域６２と、を直線状の境界部６３を挟んで備えており、両微細周期構造部６５，６６が第１の領域６１と第２の領域６２との境界部６３で交差するように形成されている。
【００２９】
領域分割型波長板６０は、表面側の微細周期構造部６５、６６と同様に裏面側も構成されており、微細周期構造部が図１と同様に基材の両面に形成されている。各微細周期構造部は、図１（ｂ）、（ｃ）と同様に凹凸状に形成され、凸部と凹部とが周期的に繰り返して形成されている。
【００３０】
矩形状の領域分割型波長板６０は、境界部６３を挟んで第１の領域６１と第２の領域６２に分割されているが、第１の領域６１の外周を構成する各辺の内で、境界部６３に対し傾斜している傾斜辺６１ａが微細周期構造部６５の方向と略一致し、第２の領域６２の外周を構成する各辺の内で、境界部６３に対し傾斜している傾斜辺６２ａが微細周期構造部６６の方向と略一致するように構成されている。このように、各領域６１，６２の傾斜辺６１ａ，６２ａは、各領域６１，６２の外周の一部を形成し、微細周期構造部のない領域との境界を構成するとともに、微細周期構造部６５，６６の方向と略一致し、微細周期構造６５，６６の各方向に沿った視認部を構成することができる。
【００３１】
以上のように、第２の実施の形態の領域分割型波長板６０によれば、微細周期構造部６５，６６の各方向を、分割された領域６１，６２に形成された微細周期構造部６５，６６の各方向に沿うとともに境界を構成する傾斜辺６１ａ，６２ａにより肉眼で知ることができる。
【００３２】
次に、第２の実施の形態による領域分割型波長板の別の構成例について図３（ｂ）、（ｃ）を参照して説明する。
【００３３】
図３（ｂ）の矩形状の領域分割型波長板７０は、図３（ａ）とほぼ同様に構成され、境界部７３を挟んで略平行四辺形状の第１の領域７１と同じく略平行四辺形状の第２の領域７２に分割されているが、第１の領域７１の外周を構成する各辺の内で、境界部７３に対し傾斜している傾斜辺７１ａ，７１ｃが微細周期構造部７５の方向と略一致し、第２の領域７２の外周を構成する各辺の内で、境界部７３に対し傾斜している傾斜辺７２ａ、７２ｃが微細周期構造部７６の方向と略一致するように構成されている。このように、各領域７１，７２の傾斜辺７１ａ，７２ａは、各領域７１，７２の外周の一部を形成し、微細周期構造部のない領域との境界を構成するとともに、微細周期構造部７５，７６の方向と略一致し、微細周期構造７５，７６の各方向に沿った視認部を構成することができる。
【００３４】
図３（ｂ）の領域分割型波長板７０によれば、微細周期構造部７５，７６の各方向を、分割された領域７１，７２に形成された微細周期構造部７５，７６の各方向に沿うとともに境界を構成する傾斜辺６１ａ，６１ｃ，６２ａ，６２ｃにより肉眼で知ることができる。
【００３５】
また、図３（ｃ）の多角形状の領域分割型波長板８０は、図３（ａ）とほぼ同様に構成され、境界部８３を挟んで第１の領域８１と第２の領域８２に分割されているが、第１の領域８１の外周を構成する各辺の内で、境界部８３に対し傾斜している傾斜辺８１ａが微細周期構造部８５の方向と略一致し、第２の領域８２の外周を構成する各辺の内で、境界部８３に対し傾斜している傾斜辺８２ａが微細周期構造部８６の方向と略一致するように構成されている。領域８１，８２の外周を構成する他の辺は多角形状になっている。このように、各領域８１，８２の傾斜辺８１ａ，８２ａは、各領域８１，８２の外周の一部を形成し、微細周期構造部のない領域との境界を構成するとともに、微細周期構造部８５，８６の方向と略一致し、微細周期構造８５，８６の各方向に沿った視認部を構成することができる。
【００３６】
以上のように、図３（ｃ）の領域分割型波長板８０によれば、微細周期構造部８５，８６の各方向を、分割された領域８１，８２に形成された微細周期構造部８５，８６の各方向に沿うとともに境界を構成する傾斜辺８１ａ，８２ａにより肉眼で知ることができる。
【００３７】
以上のような図３（ａ）乃至（ｃ）の領域分割型波長板６０，７０，８０によれば、微細周期構造部の方向を、分割された各領域に形成された微細周期構造部の方向に沿うとともに境界を構成する傾斜辺により肉眼で知ることができるため、装置等において領域分割型波長板を配置し光学系を構成する際に、領域分割型波長板の組み込みや微細周期構造部の方向を合わせる調整が容易となり、組立工数を削減できる。また、インプリント成形時の離型が安定して行われ、離型時の基材と型に対する負荷を軽減することができる。
【００３８】
次に、図１の領域分割型波長板１０のインプリント法による製造方法について図４，図５を参照して説明する。図４は本実施の形態によるインプリント法を行うためのインプリント装置の要部を概略的に示す側断面図である。図５は本実施の形態によるインプリント法による製造方法の工程Ｓ０１〜Ｓ０６を説明するためのフローチャートである。
【００３９】
なお、インプリント法とは、例えば特開２００５−１８９１２８号公報のように、微細構造を有する型を用いて、ポリスチレン等の樹脂を加圧成形した後に、成形品を型から剥離することで、微小突起を有する微細構造物を得る公知の方法である。
【００４０】
図４のように、図１（ａ）〜（ｃ）の第１の領域１１の微細周期構造部１５及び第２の領域１２の微細周期構造部１６に対応した凹凸部ｂ１を有する上型ｂと、同じく微細周期構造部１７及び微細周期構造部１８に対応した凹凸部ｃ１を有する下型ｃを用意し、インプリント装置の取付部ｍ，ｎに上型ｂ及び下型ｃをそれぞれ取り付けてから、樹脂からなる基材ａをセットする（Ｓ０１）。
【００４１】
次に、上型ｂを所定温度まで昇温してから（Ｓ０２）、上型ｂを鉛直方向下方ｖに降下させ（Ｓ０３）、基材ａを上型ｂと下型ｃとの間に挟んで一定以上の圧力となるまでプレスし（Ｓ０４）、この圧力状態で一定時間上型ｂと下型ｃを保持する（Ｓ０５）。
【００４２】
次に、上型ｂと下型ｃを冷却してから（Ｓ０６）、上型ｂを鉛直方向上方ｖ’に上昇させることで、また、基材ａを下型ｃから取り去ることで剥離して離型することで（Ｓ０７）、領域分割型波長板１０を得ることができる。
【００４３】
なお、基材ａの樹脂は、ポリオレフィン樹脂やノルボルネン系樹脂等の光学用樹脂材料が好ましく、具体的には、例えば、三井化学（株）製のアペル、ＪＳＲ（株）製のアートン、日本ゼオン（株）製のゼオノア、ゼオネックスなどを使用できる。
【００４４】
また、上型ｂ、下型ｃは、例えば、ガラスからなる型基材上にレジストを均一に塗布してレジストマスクを形成してから電子ビームにより所定の微細パターンを描画し、所定の現像材料により現像し、この微細パターンが形成された型基材に対しプラズマ等のドライエッチングを行うことで凹凸部ｂ１，ｃ１を形成して製造できる。この電子ビーム描画は、本発明者等が、例えば特開２００４−１０７７９３号公報や特開２００４−５４２１８号公報等で提案した電子ビーム描画装置により行うことができる。これにより、所望の描画パターンを電子ビームによる３次元描画でサブミクロンオーダーの高精度でレジスト膜上に形成できる。
【００４５】
以上のようにして、図１の第１の領域１１と第２の領域１２のように分割された領域にそれぞれ方向の異なる微細周期構造を有する領域分割型波長板１０をインプリント法により製造することができるが、上記離型のとき（Ｓ０６）、第１の領域１１と第２の領域１２との境界部１３で両微細周期構造部１５，１６の交差した凸部１５ａ，１６ａが凸状に変形して図２（ｂ）のような突き出し部１３ａが形成される。このようにして、型ｂ、ｃに突き出し部１３ａの形成のための特別な工夫をすることなく、突き出し部１３ａを境界部１３に沿って形成することができ、領域分割型波長板１０において境界部１３を視認可能な視認部を構成できる。
【００４６】
また、図３（ａ）乃至（ｃ）の領域分割型波長板６０，７０，８０を上述の図４，図５と同様にしてインプリント法により製造することができるが、この離型のとき、各境界に位置する各領域の傾斜辺６１ａと６２ａ，７１ａと７２ａ，８１ａと８２ａがそれぞれ微細周期構造部６５と６６，７５と７６，８５と８６の方向に沿っているので、離型がスムースに安定して行われるとともに、離型時に型や基材への負荷が小さくなる。
【００４７】
すなわち、離型は微細周期構造の平面に対して垂直方向に行われると、樹脂詰まりなどが起き易いので、微細周期構造の平面に対して略平行に進むように行われ、上述のように各傾斜辺での剥離が微細周期構造部の方向に沿って進むので、離型がスムースに安定して行われる。
【００４８】
また、上記離型のとき、図３（ａ）乃至（ｃ）の領域分割型波長板の傾斜辺６１ａと６２ａ，７１ａと７２ａ，８１ａと８２ａとの頂点ｔから剥離が開始され、離型の開始点（頂点ｔ）から各傾斜辺及び各微細周期構造の方向に沿って剥離が進みことで離型が安定して行われ、これにより、再現性の高い成形が可能となる。
【００４９】
次に、図１のような領域分割型波長板１０の使用例について図６を参照して説明する。図６は図１の領域分割型波長板１０を配置した光学系を概略的に示す図である。
【００５０】
図６の領域分割型波長板１０は、両面の第１の領域１１が−１／４波長板として機能し、両面の第２の領域１２が＋１／４波長板として機能するように構成されている。図６のように、レンズ３１と３３との間に領域分割型波長板１０を配置し、領域分割型波長板１０とレンズ３３との間に偏光板３２を配置している。
【００５１】
図６の光学系において、レンズ３１からの実線で示す直線偏光の光（波長λ）が領域分割型波長板１０の第１の領域１１，１１（−１／４波長板）を通過して−９０°−９０°の位相差が与えられ、偏光方向が変化し、また第２の領域１２，１２（＋１／４波長板）を通過して＋９０°＋９０°の位相差が与えられ、偏光方向が変化し、偏光板３２を通過する。この場合、破線で示すように、光が例えば領域分割型波長板１０の手前で焦点を所定を結ぶと、領域分割型波長板１０の第２の領域１２，第１の領域１１を通過し、また第１の領域１１，第２の領域１２を通過し、偏光方向は変化せず、偏光板３２を通過しない。これに対し、図６の実線で示すように、レンズ３１からの光が領域分割型波長板１０の両面の間で焦点を結ぶことで、上述のように、±１８０°の位相差が与えられ、偏光方向が変化し、偏光板３２を通過する。
【００５２】
以上のように、レンズ３１からの光が領域分割型波長板１０の両面の間で焦点を結ぶように領域分割型波長板１０を配置することで、例えば多層ディスク等の所定の深さ位置の反射光のみを透過させるようにできる。図６の光学系において２枚の波長板を配置した場合、２枚の波長板間に焦点を結ぶように２枚の波長板の各位置を調整しなければならず、このため調整が複雑で組立に手間取ってしまうのに対し、図６のように１枚の領域分割型波長板１０の両面に波長板の機能を備えることで、領域分割型波長板１０の位置調整を行うだけでよく、調整が容易で組立が簡単となり、好ましい。
【００５３】
また、領域分割型波長板１０の境界部１３の位置が肉眼で分かるので、境界部１３の位置調整も容易となる。また、図３（ａ）乃至（ｃ）のように領域分割型波長板１０を構成することで、微細周期構造部の方向も肉眼でで分かるので、微細周期構造部の方向の調整も容易となる。
【００５４】
また、図３（ａ）乃至（ｃ）の領域分割型波長板において４００ｎｍ〜８００ｎｍの比較的広い波長帯域で一様な位相差特性を発現させるために、微細周期構造のアスペクト比（凹凸の深さｈ／凸部の幅ｗ（図１（ｃ）参照））が５程度以上必要とされるが、かかる高アスペクト比を持つ領域分割型波長板を成形する場合、成形後の離型が困難となり歩留まりが低下してしまい易いが、第２の実施の形態によれば、上述のように離型がスムースに安定して行われかつ離型時に型や基材への負荷が小さくなるから、高アスペクト比の微細周期構造を持つ領域分割型波長板を歩留まりよく製造することができる。
【００５５】
以上のように本発明を実施するための最良の形態について説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で各種の変形が可能である。例えば、図３（ａ）乃至（ｃ）の境界部６３，７３，８３を図２（ａ）、（ｂ）と同様に構成し、境界部６３，７３，８３を視認可能にするように構成してもよく、これにより、分割された領域間の境界部を合わせる調整が容易となる。
【００５６】
また、図３（ａ）乃至（ｃ）の領域分割型波長板６０，７０，８０は、平面的に矩形状または多角形状に構成され、ほぼ全面に微細周期構造部が形成されているが、本発明はこれに限定されず、三角形状等の他の形状であってもよく、また微細周期構造部のない領域が微細周期構造部の外側に存在してもよく、更に全体平面形状が円板状になって、微細周期構造部のない領域が円板外周に存在してもよく、例えば、図３（ａ）乃至（ｃ）の各辺６１ａ，６２ａ，７１ａ，７１ｃ，７２ａ，７２ｃ，８１ａ，８２ａが微細周期構造部のある領域と微細周期構造部のない領域との境界に位置するように構成できる。
【００５７】
また、図１、図３の各領域分割型波長板は微細周期構造が両面に形成されているが、本発明はこれに限定されず、片面のみに形成されてもよい。
【００５８】
また、領域分割型波長板１０の図２（ｂ）の突き出し部１３ａを形成するように予め工夫した型、例えば境界部１３に位置する凸部が高くなるような構造の型を用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】第１の実施の形態による領域分割型波長板の模式的な平面図（ａ）、その模式的な断面図（ｂ）及び拡大した模式的な部分断面図（ｃ）である。
【図２】図１（ａ）の領域分割型波長板の境界部近傍を拡大して示す要部平面図（ａ）及び境界部近傍の要部斜視図（ｂ）である。
【図３】第２の実施の形態による領域分割型波長板の模式的な平面図（ａ）、その別の構成例を示す同様の平面図（ｂ）及びその更に別の構成例を示す同様の平面図（ｃ）である。
【図４】本実施の形態によるインプリント法を行うためのインプリント装置の要部を概略的に示す側断面図である。
【図５】本実施の形態によるインプリント法による製造方法の工程Ｓ０１〜Ｓ０６を説明するためのフローチャートである。
【図６】図１の領域分割型波長板１０を配置した光学系を概略的に示す図である。
【図７】従来の領域分割型波長板の境界部近傍の平面図である。
【符号の説明】
【００６０】
１０ 領域分割型波長板
１１ 第１の領域（分割された領域）
１２ 第２の領域（分割された領域）
１３ 境界部
１３ａ 突き出し部
１４ 基材
１５，１６ 両微細周期構造部
１５ａ，１６ａ 凸部
１５ｂ，１６ｂ 凹部
１７，１８ 微細周期構造部
１７ａ 凸部
１７ｂ 凹部
６０，７０，８０ 領域分割型波長板
６１，７１，８１ 第１の領域（分割された領域）
６１ａ，７１ａ，８１ａ 傾斜辺
６２，７２，８２ 第２の領域（分割された領域）
６２ａ，７２ａ，８２ａ 傾斜辺
６３，７３，８３ 境界部
６５，７５，８５ 微細周期構造部
６６，７６，８６ 微細周期構造部
ｂ 上型
ｃ 下型
【図１】
2008033279.tif 000003
【図２】
2008033279.tif 000004
【図３】
2008033279.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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