(57)【要約】【課題】界面活性剤およびＢＯＤ成分を含む有機物含有水を、オゾン添加量の過不足を防止して処理すること。【解決手段】オゾン反応槽１１内の泡沫層Ｂの上端（空気層との界面）高さを界面検出器Ｌで測定する。測定された界面高さを入力値として、予め求めた計算式に従い界面活性剤濃度を算出するプログラムが記憶されたコンピュータ等で構成された制御器３０に入力する。制御器３０は、算出された界面活性剤濃度に応じて、オゾン発生器２０で発生させるオゾンガス量を制御する制御信号を出力する。これにより、オゾン反応槽１１に流入した有機物含有水中の界面活性剤量に対応した量のオゾンガスがオゾン反応槽１１に供給される。オゾン反応槽１１でオゾン処理した有機物含有水は、生物処理槽１２で処理する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
オゾン反応槽と、生物処理槽と、を含む界面活性剤およびＢＯＤ成分を含む有機物含有水の処理装置において、
前記オゾン反応槽にオゾンガスを供給するオゾン発生器と、
前記オゾン反応槽内の泡沫層界面高さを計測して計測結果を第１の信号として出力する界面検出器と、
前記第１の信号を受信して前記オゾン発生器からのオゾンガス供給量を制御する制御器と、をさらに含む有機物含有水の処理装置。
【請求項２】
前記オゾン反応槽に導入される有機物含有水の流入量を測定して計測結果を第２の信号として出力する流量計をさらに含み、
前記制御器は、前記第１の信号および第２の信号を受信し、前記オゾン反応槽に導入される有機物含有水の流入量と界面活性剤濃度とから前記オゾン反応槽に持ち込まれる界面活性剤の量を算出して、前記オゾン発生器からのオゾン供給量を制御する請求項１に記載の有機物含有水の処理装置。
【請求項３】
前記オゾン反応槽の後段に、前記生物処理槽が配置されている請求項１または２に記載の有機物含有水の処理装置。
【請求項４】
界面活性剤およびＢＯＤ成分を含む有機物含有水を、オゾン反応槽および生物処理槽で処理する有機物含有水の処理方法において、
前記オゾン反応槽内の泡沫層界面高さを測定し、前記泡沫層界面高さから前記オゾン反応槽に流入する前記有機物含有水の界面活性剤濃度を求め、前記オゾン反応槽に供給するオゾン量を制御する有機物含有水の処理方法。
【請求項５】
前記オゾン反応槽に流入する前記有機物含有水の流入量を測定し、前記オゾン反応槽に流入する前記有機物含有水の流入量と界面活性剤濃度から前記オゾン反応槽に持ち込まれる界面活性剤の量を算出し、前記オゾン反応槽に供給するオゾン量を制御する請求項４に記載の有機物含有水の処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、界面活性剤と有機物とを含む有機物含有水の処理装置および処理方法に関する。本発明は特に、オゾンにより界面活性剤を酸化させるオゾン処理を含む有機物含有水の処理装置および処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、界面活性剤含有水の処理方法として、活性炭吸着法、泡沫分離法、生物処理法、およびオゾン等の酸化剤を使用する酸化処理等が知られている。界面活性剤の中でも、エチレンオキサイド（ＥＯ）鎖を有するアルキルフェノール型非イオン性界面活性剤、アルキルエーテル型非イオン性界面活性剤等は、直鎖型のアルキルベンゼンスルホン酸（ＬＡＳ）に比して生物分解されにくい。
【０００３】
半導体製造工場や液晶製造工場では、製品製造過程でポリエチレンアルキルエーテル（ＡＰＥ）等のエーテル型の界面活性剤が用いられることが多い。このため、半導体や液晶製造工場から排出される排水にはこれらの生物難分解性の界面活性剤が含まれ、その処理に従来、オゾンが用いられている。また、オゾン処理に、過酸化水素添加、紫外線照射、酸化触媒添加、アルカリ添加等による処理を適宜、組み合わされた処理法も提案されている（例えば特許文献１）。
【０００４】
ところで、界面活性剤を含有する排水の排出量や界面活性剤の含有割合は、必ずしも一定ではない。このため、処理する排水（被処理水）の量や界面活性剤濃度によっては、オゾンの添加量が過剰、または過小になる場合がある。オゾンの添加量が不足すると、界面活性剤の酸化分解が不十分となる一方、オゾンの添加量が過剰であれば不経済である上、余剰のオゾン量が多くなるため、余剰オゾンの処理コストが高くなる。
【０００５】
オゾン添加量を適正化するためには、被処理水の界面活性剤濃度を計測し、界面活性剤濃度に応じてオゾン添加量を制御する方法が考えられる。オゾン添加量を制御するために界面活性剤濃度を測定する機器としては、有機物濃度計（ＴＯＣ）計や蛍光分光光度計等が挙げられる。例えば、特許文献２には、蛍光分光光度計を用いたオゾン添加量の制御装置が開示されている。
【特許文献１】特開２０００−２７１５７７号公報
【特許文献２】特許第３６０２６６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
半導体や液晶製造工場から排出される排水には、界面活性剤以外にも様々な有機系薬品が含まれる。これら有機系薬品としては、イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）、現像液として使用されるテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド（ＴＭＡＨ）、モノエタノールアミン（ＭＥＡ）等が多く用いられている。
【０００７】
前述したＩＰＡ等は、生物分解されやすい一方でオゾン分解されにくい。このためＩＰＡ等と界面活性剤とを含む被処理水を、オゾン処理と生物処理とを組み合わせ処理することは必ずしも容易でなく、特に、オゾンを過不足なく添加してオゾン処理を行うことは難しい。
【０００８】
例えば、ＴＯＣ計を用いてオゾン添加量を制御しようとする場合、ＴＯＣ計は界面活性剤のみならず、オゾン分解されがたく生物分解されやすいＩＰＡ等を含む有機物濃度を測定するため、界面活性剤の酸化分解に必要なオゾン添加量は把握できない。一方、蛍光分光光度計を用いる場合、界面活性剤のみを測定対象としてその濃度を検知することはできる。しかし、蛍光分光光度計はＴＯＣ計に比べて構成が複雑で高価ある上、オンライン計測が困難であるため、オゾン添加量の制御に遅れが生じる。
【０００９】
本発明は上記課題に鑑みてなされ、オゾン添加量を的確に調整して、生物分解されにくい界面活性剤と生物分解されやすいＩＰＡ等の有機物とを含む排水を処理できる処理装置および処理方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者らは、オゾン処理を行うオゾン反応槽における発泡を利用してオゾン添加量を適正化することで上記課題を達成できること見出し、本発明を完成した。具体的には、本発明は以下を提供する。
【００１１】
（１）オゾン反応槽と、生物処理槽と、を含む界面活性剤およびＢＯＤ成分を含む有機物含有水の処理装置において、  前記オゾン反応槽にオゾンガスを供給するオゾン発生器と、  前記オゾン反応槽内の泡沫層界面高さを計測して計測結果を第１の信号として出力する界面検出器と、  前記第１の信号を受信して前記オゾン発生器からのオゾンガス供給量を制御する制御器と、をさらに含む有機物含有水の処理装置。
（２）前記オゾン反応槽に導入される有機物含有水の流入量を測定して計測結果を第２の信号として出力する流量計をさらに含み、  前記制御器は、前記第１の信号および第２の信号を受信し、前記オゾン反応槽に導入される有機物含有水の流入量と界面活性剤濃度とから前記オゾン反応槽に持ち込まれる界面活性剤の量を算出して、前記オゾン発生器からのオゾン供給量を制御する（１）に記載の有機物含有水の処理装置。
（３）前記オゾン反応槽の後段に、前記生物処理槽が配置されている（１）または（２）に記載の有機物含有水の処理装置。
（４）界面活性剤およびＢＯＤ成分を含む有機物含有水を、オゾン反応槽および生物処理槽で処理する有機物含有水の処理方法において、  前記オゾン反応槽内の泡沫層界面高さを測定し、前記泡沫層界面高さから前記オゾン反応槽に流入する前記有機物含有水の界面活性剤濃度を求め、前記オゾン反応槽に供給するオゾン量を制御する有機物含有水の処理方法。
（５）前記オゾン反応槽に流入する前記有機物含有水の流入量を測定し、前記オゾン反応槽に流入する前記有機物含有水の流入量と界面活性剤濃度から前記オゾン反応槽に持ち込まれる界面活性剤の量を算出し、前記オゾン反応槽に供給するオゾン量を制御する（４）に記載の有機物含有水の処理方法。
【００１２】
本発明は、界面活性剤とＢＯＤ成分とを含む有機物含有水を処理対象とする。特に、オゾン分解されやすく生物分解されにくい界面活性剤と、オゾン分解されにくく生物分解されやすいＢＯＤ成分とを含む有機物含有水の処理に適する。前者としては、ＥＯ鎖を有するアルキルエーテル型、アルキルエステル型、アルキルフェノール型の非イオン性界面活性剤が挙げられ、その濃度は０．１〜２０ｍｇ／Ｌ程度であれば本発明による処理に適する。後者としては、ＩＰＡ、ＴＭＡＨ、およびＭＥＡ等が挙げられる。
【００１３】
制御器は、オゾン発生器の出力を制御する、または、オゾン発生器からオゾン反応槽へ供給されるオゾンガスの流量を制御する等により、オゾン添加量を制御するものであればよい。例えば、制御器は、界面検出器により計測されたオゾン反応槽内の泡沫層上端高さを入力値として受け取り、オゾン反応槽に供給された有機物含有水の界面活性剤濃度を算出するプログラム（濃度算出用プログラム）を記憶するコンピュータ等で構成する。制御器は、入力された泡沫層上端高さ情報を入力値として前記プログラムによる演算処理を行なう演算処理装置を有し、さらに、算出された界面活性剤濃度に応じてオゾン供給量を制御する出力信号を発するように構成する。
【００１４】
本発明者らの研究によれば、オゾン反応槽の泡沫層界面高さと有機物含有水の界面活性剤濃度とは比例関係を有する。よって、濃度算出用プログラムは、オゾン反応槽の泡沫層界面高さと有機物含有水の界面活性剤濃度との関係を予備実験などに求めることで作成できる。
【００１５】
本発明は、オゾン反応槽に導入される有機物含有水の界面活性剤濃度が変動する場合に好適に用いることができる。オゾン反応槽に導入される有機物含有水の流入量も変動する場合は、その流入量を測定する流量計等を用いて流入量を計測し、あわせて、有機物含有水の流入量と濃度とから界面活性剤の流入量自体を求める別のプログラムを制御器にさらに記憶させるとよい。
【００１６】
オゾン処理により、有機物含有水に含まれる界面活性剤は有機酸等に分解される。界面活性剤のオゾン分解により生成された有機酸等は、ＢＯＤ成分であり生物分解されやすいため、オゾン処理後に生物処理を行なうとよい。ただし、オゾン処理に先立ち生物処理を行なってＢＯＤ成分を生物的に分解した後、オゾン処理により生物難分解性の有機物を分解するフローは本発明の範囲から排除されない。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、界面活性剤およびＢＯＤ成分を含む有機物含有水を、オゾン添加量の適正化して処理できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明について図面を用いて詳細に説明する。以下、同一部材については同一符号を付し、説明を省略または簡略化する。
【００１９】
図１は、本発明の第１実施態様に係る有機物含有水の処理装置（以下、単に「処理装置」という）１の模式図である。処理装置１は、オゾン反応槽１１、生物処理槽１２、オゾン発生器２０、および制御器３０を備える。
【００２０】
オゾン反応槽１１には、原水管１５およびオゾン管２６が接続されている。オゾン管２６はオゾン発生器２０と接続されている。オゾン発生器２０には酸素管２５が接続されている。オゾン発生器２０では、無声放電により酸素管２５から供給された酸素を原料としてオゾンガスが生成される。なお、オゾン発生器２０はこれに限定されず、紫外線照射式のオゾン発生器や、水を電気分解することでオゾンを発生させる電解式オゾン発生器を用いてもよい。
【００２１】
オゾン発生器２０で生成されたオゾンガスは、オゾン管２６からオゾン反応槽１１下部に供給される。オゾン反応槽１１内には、原水管１５から供給された有機物含有水からなる滞液層Ｗが形成されている。オゾン反応槽１１に供給されたオゾンガスは、この滞液層Ｗを上昇する。滞液層Ｗを構成する有機物含有水は、ＢＯＤ成分と界面活性剤とを含むため、オゾンガスが散気管から滞液層Ｗに吹き込まれることにより発泡が生じ、滞液層Ｗの上に泡沫層Ｂが形成される。
【００２２】
オゾン反応槽１１には、オゾン反応槽１１内における泡沫層Ｂの上端高さ、すなわち泡沫層Ｂとオゾン反応槽１１上部の気層との界面の位置を測定する計測する界面検出器Ｌが設置されている。界面検出器Ｌの形式は限定されず、静電容量または電位差を測定する形式（静電容量式または導電率式）、超音波式等のレベルメータやレベルスイッチを用いることができる。
【００２３】
界面検出器Ｌは、通信回線Ｎにより制御器３０と接続されている。制御器３０は、泡沫層Ｂの界面高さから有機物含有水の界面活性剤濃度を算出する演算処理装置を備えるコンピュータで構成されている。制御器３０を構成するコンピュータには、泡沫層Ｂの界面高さを入力値として、オゾン反応槽１１に導入された有機物含有水の界面活性剤濃度を算出する濃度算出用プログラムが記憶されている。
【００２４】
後述するとおり、本発明者らの研究によれば、オゾン反応槽１１内に形成される泡沫層Ｂの厚さと、オゾン反応槽１１に導入される有機物含有水の界面活性濃度とは相関関係を有しており、前記プログラムはかかる知見に基づき構築されている。以下、具体的に説明する。
【００２５】
まず、既知の濃度の界面活性剤を含む有機物含有水を一定流量でオゾン反応槽１１に導入し、オゾンガスを吹き込むことにより形成される泡沫層Ｂの界面上端高さを求めることで、界面活性剤濃度と泡沫層Ｂ界面高さとの関係を示す回帰式を得る。得られた回帰式より、泡沫層Ｂ界面の上端高さを入力値として界面活性剤濃度を算出する計算式を濃度算出用プログラムとしてコンピュータに記憶させる。
【００２６】
オゾン反応槽１１に持ち込まれた界面活性剤の量は、オゾン反応槽１１に導入された有機物含有水の流入量と界面活性剤濃度との積である。そこで、オゾン反応槽１１への有機物含有水の流入量が一定の場合は、界面活性剤濃度の増減に応じて制御器３０からオゾン発生器２０の出力を調整する出力信号をオゾン発生器２０に送り、オゾン発生器２０で生成されるオゾン生成量やオゾン濃度を増減させる。なお、制御器３０は、オゾン管２６を流れるオゾンガス流量を制御してもよい。
【００２７】
オゾン反応槽１１への有機物含有水の流入量が変動する場合は、図１に示すように原水管１５に流量計Ｆを設ける等してオゾン反応槽１１に流入した有機物含有水の流入量を測定する。制御器３０を構成するコンピュータには、濃度算出用プログラムにより算出された界面活性剤濃度と、流量計Ｆで計測された有機物含有水の流入量を積算して、オゾン反応槽１１に持ち込まれた界面活性剤量を算出する絶対量算出用プログラムも記憶させておく。そして、絶対量算出用プログラムの計算結果に応じてオゾン発生器２０の出力等を調整する出力信号を送ればよい。
【００２８】
なお、本実施態様では、オゾン反応槽１１後段に生物処理槽１２を配置していることから、オゾン反応槽１１では界面活性剤を無機物にまで分解する必要はなく、有機酸等のＢＯＤ成分に分解できればよい。界面活性剤を生物分解可能な物質に分解するために要するオゾン添加量は、界面活性剤の種類によって異なるが、概ね、４〜６ｇ−Ｏ３／ｇ−界面活性剤であり、界面活性剤の分解が不十分とならないように６ｇ−Ｏ３／ｇ−界面活性剤とすればよい。
【００２９】
本発明によれば、オゾン反応槽１１内の泡沫層Ｂの界面上端高さと有機物含有水の界面活性剤濃度とに相関関係があることを利用して、泡沫層Ｂの界面を測定し、その結果からオゾン反応槽１１へのオゾンガス供給量が概ね６ｇ−Ｏ３／ｇ−界面活性剤程度で一定となるように制御する。よって、オゾン反応槽１１でオゾンガスの過剰または過少な供給を回避し、界面活性剤生物分解可能な物質に分解できる。
【００３０】
処理装置１では、制御器３０と界面検出器Ｌ、流量計Ｆ、およびオゾン発生器２０とを通信回線Ｎで接続しているため、界面検出器Ｌの計測結果は、第１の信号として出力され電気信号として通信回線Ｎを介して制御器３０に自動的に入力される。同様に、流量計Ｆの計測結果は第２の信号として出力され電気信号として通信回線Ｎを介して制御器３０に自動的に入力される。制御器３０からは、濃度算出用プログラム、および絶対量算出用プログラムによる計算結果が出力され、出力信号は電気信号として通信回線Ｎを介してオゾン発生器２０に自動的に送信される。
【００３１】
したがって、処理装置１ではオンラインで自動的にオゾン添加量が制御され、蛍光分光光度計を用いる場合のような遅延が生じることを回避できる。また、界面検出器は、蛍光分光光度計より構成が単純で安価であるため、処理装置１を低額化できる。なお、通信回線Ｎは有線であっても無線であってもよい。
【００３２】
上記のように構成されたオゾン反応槽１１でオゾン処理された有機物含有水は、送り管１６の途中に設けたポンプＰよりオゾン反応槽１１と接続された生物処理槽１２に送る。処理装置１の生物処理槽１２は、活性汚泥等の微生物を保持する生物活性炭層を内部に有し、オゾン反応槽１１からの流出水（オゾン処理水）を、生物活性炭層上方からスプレーノズル等の散水機構を用いて散水する。
【００３３】
オゾン処理水には、界面活性剤がオゾンにより分解されて生成された有機酸や、有機物含有水に含まれオゾン分解されなかったＩＰＡ等のＢＯＤ成分が含まれる。生物処理槽１２ではオゾン処理水が生物活性炭層を通過する間にＢＯＤ成分が生物分解される。生物処理槽１２の下部には、処理水管１７が接続されており、オゾン処理水からＢＯＤ成分が除去された処理水は、処理水管１７から取出す。
【００３４】
なお、オゾン反応槽１１は、密閉型の容器で構成されている。このため、オゾン反応槽１１上部には、排ガスを取出す排オゾン管２７が接続されている。オゾン反応槽１１に、オゾン分解が不十分にならないように多少の余裕を持ってオゾンガスを供給する場合、排ガスにはオゾンが含まれるため、排オゾン管２７を活性炭塔等で構成されるオゾン分解装置２２と接続し、排ガス中のオゾンを分解するとよい。排オゾン管２７の途中にはドライヤ２１を設ければ、排ガス中の余分な湿度を除去し、排オゾンの分解を効率的に行うことができる。
【００３５】
また、生物処理槽１２には、ＢＯＤ成分を好気的に生物処理するため、散気管１８が生物処理槽１２下部に設けられ、酸素を含む空気等が散気管１８から槽内にも供給される。生物処理槽１２は、密閉型の容器で構成されているため、生物処理槽１２の上部に排ガス管１９を取り付けている。ただし、生物処理槽１２はこれに限定されず、開放型の曝気槽等としてもよい。また、生物処理槽１２をオゾン反応槽１１の前段に設けることも本発明の範囲から除外されない。
【実施例】
【００３６】
［参考例］
図２に示す処理装置２を用いて、界面活性剤およびＢＯＤ成分を含む有機物含有水を処理する実験を行った。処理装置２は、オゾン反応槽１１と生物処理槽１２との間に、中間貯槽１３を設けた点で図１の処理装置１と異なる。中間貯槽１３は送り管１６でオゾン反応槽１１と接続され、第２送り管１６Ｂで生物処理槽１２と接続されている。第２送り管１６Ｂの途中には渦流ポンプＰ（株式会社ニクニ製、Ｍ２０ＮＰＤ４０Ｓ型）を設けた。オゾン反応槽１１には、界面検出器として導電率式のレベルスイッチ（オムロン株式会社製、ＰＳ−３Ｓ）を設けた。また、オゾン発生器２０としては、放電電圧可変式のオゾン発生器（住友精密株式会社製、ＧＲ−ＲＤ）を用いた。処理装置２のその他の仕様を以下に示す。
【００３７】
〔オゾン反応槽〕
透明塩ビ製円筒形
直径            ；１５０ｍｍ
高さ            ；４５００ｍｍ（原水管接続位置までの高さは３５００ｍｍ）
流量            ；５００Ｌ／ｈｒ
〔生物処理槽〕
透明塩ビ製円筒形
直径            ；１９０ｍｍ
高さ            ；２２００ｍｍ
充填層（生物活性炭層）高さ；１５００ｍｍ
流量(線速度ＬＶ)；１５ｍ／ｈ
〔中間貯槽〕
容積            ；５００Ｌ
【００３８】
実験に用いた有機物含有水は、界面活性剤としてＡＰＥを５〜１５ｍｇ／Ｌ含み、ＢＯＤ成分として、イソプロパノール、ポリエチレングリコール、ＴＭＡＨ、およりＭＥＡを１〜１０ｍｇ／Ｌ含む。実験開始に先立ち、この有機物含有水の界面活性剤濃度を測定しながら、有機物含有水を上記オゾン反応槽１１に上記条件で流量一定で導入することで、オゾン反応槽１１内の泡沫層の界面高さ（すなわち上端の高さ）と有機物含有水の界面活性剤濃度との関係を求めた。結果を図３に示す。
【００３９】
図３に示すように、有機物含有水の界面活性剤濃度と、オゾン反応槽１１内の泡沫層界面高さとは比例することが明らかとなった。そこで、数式１に示す計算式により、オゾン反応槽１１内の泡沫層界面高さＸを入力値として、有機物含有水の界面活性剤濃度を算出するプログラムを、制御器３０を構成するコンピュータに記憶させた。
（数式１）
界面活性剤濃度＝０．０１３８Ｘ＋４２．８４１
【００４０】
[実施例１]
実施例１では、レベルスイッチによりオゾン反応槽１１内の泡沫層界面高さを測定し、得られた測定値を数式１に入力することで、有機物含有水の界面活性剤濃度を算出した。そして、算出結果に基づいてオゾン発生器２０の電圧を制御することで発生するオゾンガスの濃度を増減させた。これにより、オゾン反応槽１１に流入した有機物含有水中の界面活性剤に対するオゾン添加量が６ｇ−Ｏ３／ｇ−ＴＯＣ（界面活性剤としてのＴＯＣ）でほぼ一定となるように制御した。なお、実施例１では、中間貯槽１３から７５Ｌ／ｈで槽内液を越流させ系外へ排出した。
【００４１】
実施例１では、有機物含有水の界面活性剤濃度を上述したとおり、５〜１５ｍｇ／Ｌの範囲で変動させて実験を行った。実施例１において、オゾン反応槽１１に導入された有機物含有水の界面活性剤濃度、オゾン反応槽１１の泡沫層界面高さ、オゾン反応槽１１に注入したオゾン量（オゾン添加量）、および処理水管１７から取出された処理水のＴＯＣ濃度を表１に示す。
【００４２】
【表１】
2008207122.tif 000003
【００４３】
[比較例１]
比較例１として、オゾン反応槽１１内の泡沫層と空気層との界面高さを測定せず、オゾン添加量を１５ｇ−Ｏ３／ｈで一定とした以外は、実施例１と同じ条件で実験を行った。結果を表２に示す。
【００４４】
【表２】
2008207122.tif 000004
【００４５】
[比較例２]
比較例２として、オゾン添加量を４５ｇ−Ｏ３／ｈで一定とした以外は、比較例１と同じ条件で実験を行った。結果を表３に示す。
【００４６】
【表３】
2008207122.tif 000005
【００４７】
表１〜３に示すように、オゾン反応槽１１の泡沫層と空気層との界面高さを測定し、この測定値に基づいてオゾン添加量を制御した実施例１では、処理水のＴＯＣ濃度は１ｍｇ／Ｌ前後で安定した。一方、界面活性剤濃度５ｍｇ／Ｌの場合のオゾン添加量で一定とした比較例１では、有機物含有水の界面活性剤濃度が上昇した場合、処理水ＴＯＣ濃度が、実施例１の５〜１０倍程度となることがあった。また、界面活性剤濃度１５ｍｇ／Ｌの場合のオゾン添加量で一定とした比較例２では、処理水のＴＯＣ濃度は実施例１と同等であったが、オゾン添加量が過剰となった。
【００４８】
以上より、本発明によれば、オゾン分解されやすく生物分解されにくい界面活性剤、およびオゾン分解されにくく生物分解されやすいＢＯＤ成分を含む有機物含有水を、オゾン添加量の過不足を防止して処理できることが示された。
【産業上の利用可能性】
【００４９】
本発明は界面活性剤とＢＯＤ成分とを含む有機物含有水の処理に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明に用いられる処理装置の模式図。
【図２】本発明の実施例に用いた処理装置の模式図。
【図３】参考例により得られた結果を示すグラフ図。
【符号の説明】
【００５１】
１、２      処理装置
１１        オゾン反応槽
１２        生物反応槽
２０        オゾン発生器
２１        ドライヤ
２２        排オゾン処理装置
３０        制御器
【図１】
2008207122.tif 000006
【図２】
2008207122.tif 000007
【図３】
2008207122.tif 000008