(57)【要約】      （修正有）【課題】磁気ディスクの記録面に対する傾きを調整し、トラックミスレジストレーションを低減する。【解決手段】磁気ディスクのアクセス位置に応じて回動するロータの一端にサスペンションを介して磁気ヘッドを有するヘッドスライダ３２が取り付けられ、ロータの一端とサスペンションとの間にアクチュエータ部８４を設け、アクチュエータ部８４に指令信号を与えてサスペンションの傾斜角を適切に変位させることによって、オフトラック量を改善する。【選択図】図１
2008310912.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ディスクのアクセス位置に応じて回動するよう駆動されるロータの一端にサスペンションを介して磁気ヘッドを有するヘッドスライダが取り付けられた磁気ヘッドアッセンブリであって、
ロータの前記一端と前記サスペンションとの間に、サスペンションの傾斜角を指令信号に応じて変位させるアクチュエータ部を設けた
磁気ヘッドアッセンブリ。
【請求項２】
前記サスペンションは、
前記ロータの側に基端が接続されたロードビームと、前記ロードビームに比べ屈曲が容易でロードビームの先端に取り付けられたフレキシャとからなり、前記フレキシャに前記ヘッドスライダが取り付けられており、前記サスペンションの先端には、前記フレキシャに当接して前記ヘッドスライダを突き出す突起部を設けた
請求項１記載の磁気ヘッドアッセンブリ。
【請求項３】
ロータの前記一端に前記アクチュエータ部の固定側を固定し、
前記アクチュエータ部の可動側にバネ部を介して前記サスペンションを固定した
請求項１記載の磁気ヘッドアッセンブリ。
【請求項４】
ロータの前記一端にバネ部を介して前記アクチュエータ部の固定側を固定し、
前記アクチュエータ部の可動側に前記サスペンションを固定した
請求項１記載の磁気ヘッドアッセンブリ。
【請求項５】
磁気ディスクのアクセス位置に応じて回動するよう駆動されるロータの一端にサスペンションを介して磁気ヘッドを有するヘッドスライダが取り付けられた磁気ヘッドアッセンブリを備えた磁気ディスク装置であって、
磁気ヘッドアッセンブリは、ロータの前記一端と前記サスペンションとの間に、サスペンションの傾斜角を指令信号に応じて変位させるアクチュエータ部を設け、
磁気ディスクアッセンブリの磁気ディスク上の半径位置，トラックミスレジストレーションの大きさに応じて、前記サスペンションの傾斜角を変更するよう前記アクチュエータ部を駆動する制御部を設けた
磁気ディスク装置。
【請求項６】
前記サスペンションは、
前記ロータの側に基端が接続されたロードビームと、前記ロードビームに比べ屈曲が容易でロードビームの先端に取り付けられたフレキシャとからなり、前記フレキシャに前記ヘッドスライダが取り付けられており、前記サスペンションの先端には、前記フレキシャに当接して前記ヘッドスライダを突き出す突起部を設け、
ヘッドスライダが前記磁気ディスク上を浮上している状態において前記突起部の中心点が、前記アクチュエータ部の断面の中立点からなる軸の延長上に位置している
請求項５記載の磁気ディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ディスク装置に用いる磁気ヘッドアッセンブリに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
まずは、一般的な磁気ディスク装置の構造と機能について、図を用いて説明する。
図１３は、基台５０にビス締めされて磁気ディスク装置の内部を密閉しているカバー（図示せず）を外した状態を示したものである。
【０００３】
磁気ディスク６０は、基台５０に付属したスピンドルモータ（図示せず）にクランパ７１で取り付けられ、回転自在に保持されている。先端に磁気ヘッドを有する磁気ヘッドアッセンブリ１０の基端は、ロータ２０の先端２０ａに連結されている。ロータ２０の中間はピボットベアリング３０によって基台５０に回転自在に支持されている。ロータ２０の他端と基台５０との間には、ボイスコイルモータ７２が構成されており、ロータ２０は、ボイスコイルモータ７２によって回動が可能で、前記磁気ヘッドを磁気ディスク６０の任意の位置に移動させることにより、磁気信号の読み書きを可能としている。磁気ディスク６０上には、磁気ディスク６０の位置情報を示す磁気情報からなる複数のサーボトラック（図示せず）が、同心円状に配置されている。
【０００４】
磁気ディスク装置の動作状態において、ロータ２０は、磁気ヘッドアッセンブリ１０の磁気ヘッドが磁気ディスク６０上のサーボトラックを追従するように、ボイスコイルモータ７２によって制御されている。なお、図１３に示した状態の磁気ヘッドアッセンブリ１０は、ランプ機構８０に退避している。
【０００５】
磁気ディスク装置を動作させるためには、前記スピンドルモータによって磁気ディスク６０を回転させ、ロータ２０を回動させる必要がある。ただしこれらの駆動要素は、振動の原因となり、スピンドルモータと磁気ディスク６０の回転により生じる風乱も、さまざまな機構部を振動させる原因となっている。
【０００６】
さらに詳しくは、これらの振動は磁気ヘッドとサーボトラックを、相対的に磁気ディスク６０の半径方向にずらせる原因となる。この磁気ヘッドとサーボトラックの信号のずれは、トラック・ミス・レジストレーション（ track miss-registration  以下、ＴＭＲと略す）として知られ、磁気ディスクの回転に同期した信号のずれ“リピータブル・ランアウト”と、回転に同期していない信号のずれ“ノン・リピータブル・ランアウト”の自乗平均として表現される。
【０００７】
特に、回転数の高い磁気ディスク装置や、半径が大きい磁気ディスクを備えた装置ではＴＭＲが大きくなる傾向がある。ＴＭＲは磁気ヘッドの位置制御に悪影響を及ぼし、磁気信号の読み書きにおいて失敗を助長する原因となる。この結果、ＴＭＲは磁気ディスク装置の転送速度やエラーレートに影響を及ぼす。
【０００８】
このため、ＴＭＲを低減することは磁気ディスク装置の性能，信頼性を確保するために重要な技術のひとつとなっている。トラックピッチが０．２１３μｍの磁気ディスク装置において、ＴＭＲはトラックピッチの９％以下に収めることが要求されている。これは０．０２１μｍという微小な寸法である。サーボ技術や先読みの技術でＴＭＲを軽減することも試みられるが、もともとのＴＭＲを極力抑えることが重要となる。
【０００９】
このように磁気ディスク装置の重要な性能であるＴＭＲだが、ＴＭＲを悪化させる原因には様々な振動がある。磁気ディスク６０の半径方向の振動はもちろんであるが、磁気ディスク６０の平面に垂直な方向の振動も、ＴＭＲを悪化させる大きな要因となっている。
【００１０】
以下に、磁気ディスク６０に垂直な方向の振動が、ＴＭＲを悪化させる現象の例を、図を用いて説明する。
図１４（ａ）は図１３のＡで囲んだ磁気ヘッドアッセンブリ１０を拡大したものである。図１４（ｂ）は図１４（ａ）のＢ−Ｂで示される断面図である。
【００１１】
磁気ヘッドアッセンブリ１０は、ロータ２０の先端２０ａに連結された基端部８１と、サスペンション１１と、磁気ヘッドを有するヘッドスライダ３２とで構成されている。１３は基端部８１とサスペンション１１の基端とを接続するバネ部である。
【００１２】
サスペンション１１は、ロータ２０の側に基端が接続されたロードビーム８２と、ロードビーム８２に比べ屈曲が容易でロードビーム８２の先端に取り付けられたフレキシャ１２とからなり、フレキシャ１２にヘッドスライダ３２が取り付けられている。
【００１３】
図１４（ｂ）に示すように、振動８３によって磁気ディスク６０が仮想線位置から実線位置に変位し、磁気ヘッドアッセンブリ１０が磁気ディスク６０に追従して変位する場合には、ヘッドスライダ３２による磁気ディスク６０のトレース位置が変化する。
【００１４】
図１５（ａ）は図１４（ｂ）のＣ−Ｃ断面図である。図１５（ｂ）〜（ｄ）は、図１４（ａ）の方向からヘッドスライダ３２と磁気ディスク６０のサーボトラック６１の位置関係を示した平面図であり、磁気ヘッドアッセンブリ１０は傾斜していない。
【００１５】
図１５（ｂ）の場合には、ヘッドスライダ３２が仮想線位置から実線位置に矢印ｄ１方向に変移してサーボトラック６１に対するオフトラックがない場合を示している。図１５（ｃ）の場合には、ヘッドスライダ３２が仮想線位置から実線位置に矢印ｄ２方向に変移してサーボトラック６１の外側にオフトラック量Δ１だけオフトラックした場合を示している。図１５（ｄ）の場合には、ヘッドスライダ３２が仮想線位置から実線位置に矢印ｄ３方向に変移してサーボトラック６１の内側にオフトラック量Δ２だけオフトラックした場合を示している。
【００１６】
振動８３によって磁気ディスク６０とロータ２０の距離が変化しても、ヘッドスライダ３２は、バネ部１３との作用によりロードビーム８２によって磁気ディスク６０に加圧され、磁気ディスク６０から離間することなく追従する。
【００１７】
しかしヘッドスライダ３２は、この距離の変化に伴い、ロータ２０の磁気ヘッドアッセンブリ１０の取り付け部からヘッドスライダ３２の方向に対して、前後に移動する。この時、ロータ２０からヘッドスライダ３２へ向かう方向がサーボトラック６１の接線方向であれば、磁気ヘッドとサーボトラック６１のずれは大きくならない。しかし、この方向がサーボトラック６１と角度を持つとき、磁気ヘッドとサーボトラック６１にずれが発生し、ＴＭＲを悪化させる要因となる。
【００１８】
ただし、このようにロータ２０からヘッドスライダ３２へ向かう方向とサーボトラック６１が角度を持つ場合でも、磁気ヘッドアッセンブリ１０を、ロータ２０からヘッドスライダ３２に向かう軸を中心に、磁気ディスク６０の面に対して傾斜させた場合、オフトラックを軽減することが可能な場合がある。
【００１９】
図１５（ｅ）（ｇ）は、図１５（ａ）と同様に図１４（ｂ）のＣ−Ｃで示される断面の図であるが、図１５（ｅ）のようにロードビーム８２が磁気ディスク６０の平面に対してλだけ傾斜していると、磁気ヘッドとサーボトラック６１のずれのオフトラック量が図１５（ｆ）に示すように“Δ３ ＜ Δ１”に軽減される。また、図１５（ｇ）のようにロードビーム８２が磁気ディスク６０の平面に対して傾斜していると、磁気ヘッドとサーボトラック６１のずれのオフトラック量が図１５（ｈ）に示すように“Δ４ ＜ Δ２”軽減される。
【００２０】
つまり、磁気ヘッドアッセンブリ１０が傾斜している場合、振動でヘッドスライダ３２が移動する方向は、ロータ２０からヘッドスライダ３２に向かう方向とは角度をなす。この現象によるヘッドスライダ３２の移動方向が、上記起因のオフトラック方向と反対になるように磁気ヘッドアッセンブリ１０を傾斜させれば、最終的なオフトラック量を軽減することが可能となる。
【００２１】
図１４，図１５で示される移動量を数式を用いて説明する。
図１６（ａ）は、磁気ディスク６０の振動による磁気ヘッドアッセンブリ１０の変形の様子を示し、
ｔ１：ロータ２０から磁気ディスク６０の変位前のヘッドスライダ３２までの距離
ｔ２：ロータ２０から磁気ディスク６０の変位後のヘッドスライダ３２までの距離
ｘ１：バネ部１３から磁気ディスク６０の変位前のヘッドスライダ３２までの距離
ｘ２：バネ部１３から磁気ディスク６０の変位後のヘッドスライダ３２までの距離
ｌはバネ部１３からヘッドスライダ３２までのロードビーム８２の長さ
とした場合、
ｘ１ ＝ √（ ｌ２− ｔ１２ ）
ｘ２ ＝ √（ ｌ２− ｔ２２ ）
であって、磁気ディスク６０の変位前後のヘッドスライダ３２の移動量は、
ｘ２ − ｘ１ ＝ √（ ｌ２− ｔ２２ ）−√（ ｌ２ − ｔ１２ ）
図１６（ｂ）は、傾斜のないロードビーム８２を用いた場合に、サーボトラック６１の接線方向６１ａとヘッドスライダ３２の移動方向とのなす角度をθとすると、ヘッドスライダ３２のオフトラック量Δｒ１は、
Δｒ１  ＝（ｘ２ − ｘ１ ）ｓｉｎθ
図１６（ｃ）は、ロードビーム８２を傾斜させたことによるヘッドスライダ３２の変位量を示し、ロードビーム８２の移動方向８６と垂直方向の変位（ｔ１ − ｔ２ ）の間のオフトラック量Δｒ２は、
Δｒ２  ＝（ｔ１ − ｔ２ ）ｔａｎλ
ここで、図１６（ｂ）のオフトラック量Δｒ１と図１６（ｃ）のオフトラック量Δｒ２が等しくなるようにロードビーム８２を傾斜させた場合、ヘッドスライダ３２とサーボトラック６１にずれが生じることを防ぐことができ、ＴＭＲを改善できる。
【００２２】
そのため従来では、磁気ディスク６０の材料に剛性の高いガラスを使用したり、ロータ２０の風の上流部に整流板を備えたり、磁気ヘッドアッセンブリ１０に吸振材料を貼り付けるなどによって振動８３の原因を改善し、ＴＭＲを低減する対策がとられてきた。
【００２３】
また別の従来例では、磁気ヘッドアセンブリ１０を磁気メディア６０に対して傾斜させて取り付け、前述のような磁気ヘッドアッセンブリ１０の挙動を利用して、ＴＭＲを軽減する方法も考えられていた。この技術では、磁気ディスク６０の振動や、ロータ２０のベンディングモードなど、ロータ２０の磁気ヘッドアッセンブリ１０の取り付け面と磁気ディスク６０の距離が、磁気ディスク６０の平面に垂直な方向に変化する振動において、ＴＭＲを低減する効果がある。
【００２４】
実際に磁気ヘッドアッセンブリ１０を傾斜させる手段としては、幾つかの方法が考えられるが、磁気ヘッドアセンブリ１０とロータ２０の係合部を傾斜させ、磁気ヘッドアッセンブリ１０全体を傾斜させて取り付ける方法がある（例えば、特許文献１を参照）。
【特許文献１】特表平１１−５１４１２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２５】
ＴＭＲを軽減できる磁気ヘッドアッセンブリ１０の傾斜の向きは、前述のように、ロータ２０からヘッドスライダ３２へ向かう方向と、サーボトラック６１のなす角度に依存することがわかっている。しかし従来の構成では、磁気ヘッドアッセンブリ１０を所定の傾斜でロータ２０に取り付けているため、磁気ヘッドアッセンブリ１０の傾斜を自在に変更することはできない。
【００２６】
ロータ２０の回動により、磁気ディスク６０上でのヘッドスライダ３２の位置が変化すると、ロータ２０からヘッドスライダ３２へ向かう方向とサーボトラック６１がなす角度も変化してしまう。磁気ヘッドアッセンブリ１０の傾斜が一定では、前記の角度がある角度ではＴＭＲを減少させるように作用するが、別の角度ではＴＭＲを増加させるという課題を有している。
【００２７】
また、前記の角度が大きくなるところでは、磁気ヘッドアッセンブリ１０に傾斜を持たせた場合、傾斜角による効果よりも風乱によるＴＭＲの悪化の方が大きくなり、全体としてＴＭＲを悪化させる要因になるという課題もある。
【００２８】
従来の構成では、磁気ヘッドアッセンブリ１０の傾斜角は、事前の設計によって決定されるものであったが、部品の交差や組み立ての影響で狂いが出やすいといった問題もある。
【００２９】
また、傾斜角に狂いが生じた場合でも、個別の磁気ヘッドアッセンブリ１０や個別の磁気ディスク装置に対して、調整を行うことができないといった課題もある。
その他、磁気ヘッドアッセンブリ１０は精巧な機構であるため、組み立てによるストレスや、取り扱いの不注意によって機械的なダメージを受け、そのダメージがＴＭＲを悪化させるといった課題もある。この場合、従来では、磁気ヘッドアッセンブリ１０の修理が難しいため、磁気ヘッドアッセンブリ１０を交換するしかなかった。
【００３０】
また、磁気ヘッドアッセンブリ１０全体を、ロータ２０，磁気ディスク６０に対して傾斜させなくても、磁気ヘッドアッセンブリ１０のロードビーム８２を傾斜させれば、同様の効果が得られることがわかっている。
【００３１】
このように、従来の技術は、
１．磁気ヘッドアッセンブリの傾斜角が一定であるため、磁気ディスクの半径位置によっては、傾斜角の効果がむしろＴＭＲを悪化させる方向に働く。
【００３２】
２．磁気ヘッドアッセンブリの傾斜角が一定であるため、ロータからヘッドスライダへ向かう方向と、サーボ信号のなす角度が大きいところでは、傾斜角による効果よりも風乱によるＴＭＲの悪化が大きく、全体としてＴＭＲを悪化させる場合がある。
【００３３】
３．部品交差や組み立ての影響で、磁気ヘッドアッセンブリの傾斜角が狂いやすい。
４．磁気ヘッドアッセンブリの傾斜角は設計で決められるため、個別の磁気ディスク装置，個別の磁気ヘッドアッセンブリに対する調整ができない。
といった問題点を持っていたが、本発明は、これらの問題点を解決できる磁気ヘッドアッセンブリおよび磁気ディスク装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００３４】
本発明の請求項１記載の磁気ヘッドアッセンブリは、磁気ディスクのアクセス位置に応じて回動するよう駆動されるロータの一端にサスペンションを介して磁気ヘッドを有するヘッドスライダが取り付けられた磁気ヘッドアッセンブリであって、ロータの前記一端と前記サスペンションとの間に、サスペンションの傾斜角を指令信号に応じて変位させるアクチュエータ部を設けたことを特徴とする。
【００３５】
本発明の請求項２記載の磁気ヘッドアッセンブリは、請求項１において、前記サスペンションは、前記ロータの側に基端が接続されたロードビームと、前記ロードビームに比べ屈曲が容易でロードビームの先端に取り付けられたフレキシャとからなり、前記フレキシャに前記ヘッドスライダが取り付けられており、前記サスペンションの先端には、前記フレキシャに当接して前記ヘッドスライダを突き出す突起部を設けたことを特徴とする。
【００３６】
本発明の請求項３記載の磁気ヘッドアッセンブリは、請求項１において、ロータの前記一端に前記アクチュエータ部の固定側を固定し、前記アクチュエータ部の可動側にバネ部を介して前記サスペンションを固定したことを特徴とする。
【００３７】
本発明の請求項４記載の磁気ヘッドアッセンブリは、請求項１において、ロータの前記一端にバネ部を介して前記アクチュエータ部の固定側を固定し、前記アクチュエータ部の可動側に前記サスペンションを固定したことを特徴とする。
【００３８】
本発明の請求項５記載の磁気ディスク装置は、磁気ディスクのアクセス位置に応じて回動するよう駆動されるロータの一端にサスペンションを介して磁気ヘッドを有するヘッドスライダが取り付けられた磁気ヘッドアッセンブリを備えた磁気ディスク装置であって、磁気ヘッドアッセンブリは、ロータの前記一端と前記サスペンションとの間に、サスペンションの傾斜角を指令信号に応じて変位させるアクチュエータ部を設け、磁気ディスクアッセンブリの磁気ディスク上の半径位置，トラックミスレジストレーションの大きさに応じて、前記サスペンションの傾斜角を変更するよう前記アクチュエータ部を駆動する制御部を設けたことを特徴とする。
【００３９】
本発明の請求項６記載の磁気ディスク装置は、請求項５において、前記サスペンションは、前記ロータの側に基端が接続されたロードビームと、前記ロードビームに比べ屈曲が容易でロードビームの先端に取り付けられたフレキシャとからなり、前記フレキシャに前記ヘッドスライダが取り付けられており、前記サスペンションの先端には、前記フレキシャに当接して前記ヘッドスライダを突き出す突起部を設け、ヘッドスライダが前記磁気ディスク上を浮上している状態において前記突起部の中心点が、前記アクチュエータ部の断面の中立点からなる軸の延長上に位置していることを特徴とする。
【発明の効果】
【００４０】
本発明の磁気ヘッドアッセンブリによれば、磁気ディスクアッセンブリの磁気ディスク上の半径位置，ＴＭＲの大きさに応じて、サスペンションの傾斜角を変更することができるので、磁気ディスク装置のＴＭＲを低減して、磁気ディスク装置の転送速度，エラーレートを改善できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４１】
以下、本発明を各実施の形態に基づいて説明する。
なお、従来例を示す図１３，図１４と同一の作用をなすものには同一の符号を付けて説明する。
【００４２】
（実施の形態１）
図１〜図５は本発明の実施の形態１を示す。
図１（ａ）は、本発明の実施の形態における磁気ヘッドアッセンブリ１０を上側から見た斜視図で、図１（ｂ）は、図１（ａ）の下側（Ｅ方向）から見た斜視図を示す。図３（ａ）は図１（ａ）のＤ−Ｄ断面の拡大図、図３（ｂ）は図１（ａ）のＢ−Ｂ断面の拡大図を示す。
【００４３】
ロータ２０の前記一端２０ａに連結されるこの磁気ヘッドアッセンブリ１０は、ロードビーム８２の基端との間に、ロードビーム８２の傾斜角を指令信号に応じて変位させるアクチュエータ部８４を有している。
【００４４】
アクチュエータ部８４は、図３（ａ）にも示すように、ロータ２０の前記一端２０ａとロードビーム８２の基端との間を結合する支持プレート１６と、支持プレート１６に貼り付けられた短冊状のアクチュエータ２１ａ〜２１ｄとで構成されている。ここではアクチュエータ２１ａ〜２１ｄは、印加された電圧により、支持プレート１６の固定側１４から支持プレート１６の可動側１５の方向に伸縮、もしくは支持プレート１６の固定側１４側を基準として、支持プレート１６の可動側１５の側がアクチュエータ２１ａ〜２１ｄの取り付け面と垂直な方向に屈曲駆動する。具体的には、屈曲変形する圧電素子や電歪素子などを使用できる。
【００４５】
図２に詳細を示すように、支持プレート１６にはその中央に孔１６ａを設けてその両側に幅が狭くなったビーム１７，１８が形成されている。ビーム１７，１８は支持プレート１６の固定側１４と可動側１５を連結しており、このビーム１７の上面にアクチュエータ２１ａが貼り付けられている。ビーム１８の上面にはアクチュエータ２１ｂが貼り付けられている。ビーム１８の下面にはアクチュエータ２１ｃが貼り付けられている。ビーム１７の下面にはアクチュエータ２１ｄが貼り付けられている。さらに詳しくは、アクチュエータ２１ａ〜２１ｄは、支持プレート１６の可動側１５と固定側１４，ビーム１７，１８に接触する全面で固着されるか、もしくは支持プレート１６の可動側１５と支持プレート１６の固定側１４の両端付近で固着される。ただし、アクチュエータ２１ａ〜２１ｄ両端で固着する場合には、アクチュエータ２１ａ〜２１ｄの駆動によってビーム１７，１８を変形可能であるように、アクチュエータ２１ａ〜２１ｄの方がビーム１７，１８よりも剛性が高い必要がある。
【００４６】
アクチュエータ２１ａ〜２１ｄが支持プレート１６の固定側１４に係合する周辺は、アクチュエータ２１ａ〜２１ｄが支持プレート１６の可動側１５に係合する周辺よりも、剛性が高い必要がある。これによりアクチュエータ２１ａ〜２１ｄの駆動による変形を、支持プレート１６の可動側１５からヘッドスライダ３２側の要素の変位に、効率的に変換することが可能となる。ただし係合部周辺の剛性に関しては、磁気ヘッドアッセンブリ１０の状態では低くても、ロータ２０に係合された状態で高ければかまわない。
【００４７】
支持プレート１６の可動側１５は、アクチュエータ２１ａ〜２１ｄを、ロードビーム８２側に係合するための要素である。アクチュエータ２１ａ〜２１ｄの駆動によって生じた変形を受け止め、時には自分自身も一部変形するが、バネ部１３よりヘッドスライダ３２側へは応力を伝えない。
【００４８】
ビーム１７，１８は、支持プレート１６の固定側１４と可動側１５の架橋となる要素である。アクチュエータ２１ａ〜２１ｄの剛性を補強するほか、アクチュエータ２１ａ〜２１ｄの駆動によって変形し、アクチュエータ２１ａ〜２１ｄの駆動を、ロードビーム８２，支持プレート１６の可動側１５を傾斜させる動きに変換する役目を担う。支持プレート１６の固定側１４は、アクチュエータ２１ａ〜２１ｄをロータ２０の先端に固定する要素である。
【００４９】
３１はヘッドスライダ３２に搭載されている磁気ヘッド（図示せず）とロータ２０との信号授受を行うフレキシブル配線基板で、前記磁気ヘッドは、電気回路を備えたこのフレキシブル配線基板３１を介して磁気信号の読み書きが可能となっている。また、アクチュエータ２１ａ〜２１ｄへの駆動信号も、このフレキシブル配線基板３１を介して供給されている。
【００５０】
この磁気ディスクアッセンブリ１０を備えた磁気ディスク装置において、アクチュエータ２１ａ〜２１ｄには、磁気ディスク装置が組み上がった後に磁気ディスク上の半径位置，トラックミスレジストレーションの大きさに応じて、磁気ヘッドとサーボトラックのずれのオフトラック量が小さくするに必要なパラメータを測定して学習し、このパラメータに応じて制御部がアクチュエータ部８４を駆動して傾斜角を変更するよう構成されている。
【００５１】
図４は前記学習のフローチャートを示す。
なお、この学習のタイミングは、磁気ディスク装置を製造して出荷する際、または磁気ディスクが起動する際に実行する場合を具体例として挙げることができる。
【００５２】
この学習に際しては、全てのトラックについて測定を行うことは現実的でないため、磁気ディスクを径方向に幾つかのゾーンに区切って、ゾーンごとに最適な傾斜角を求める。
ステップＳ１では、磁気ヘッドを測定ゾーンに移動する。初回は最小測定ゾーンへ移動する。
【００５３】
ステップＳ２では、アクチュエータ部８４に電圧を印加して傾斜角を変更する。初回は最小電圧値を印加する。
ステップＳ３では、ステップＳ２で傾斜角を変更したときのＴＭＲを測定し、結果をメモリに記録する。
【００５４】
ステップＳ４では、アクチュエータ部８４への印加電圧が最大値になったかをチェックし、最大値になっていない場合にはステップＳ５で電圧値をΔＶだけ高くしてステップＳ２〜ステップＳ４のルーチンを繰り返す。ステップＳ４において最大値になったことを検出するとステップＳ６を実行する。
【００５５】
ステップＳ６では、ステップＳ３で収集した各印加電圧の時のＴＭＲのうちで最小のＴＭＲの時の印加電圧を、そのときの測定ゾーンの最良の印加電圧としてメモリに記録する。
【００５６】
ステップＳ７では、全ての測定ゾーンについてステップＳ６が実行されたかをチェックする。測定ゾーンが残っている場合にはステップＳ７で次の測定ゾーンを指定してステップＳ１に戻る。ステップＳ７において全ての測定ゾーンについてステップＳ６が実行されたと判定されると、学習ルーチンが終了する。
【００５７】
なお、前記制御部は磁気ディスク装置に内蔵されているマイクロコンピュータによって実現されており、時々の磁気ヘッドの位置が前記測定ゾーンの何れに位置しているのかに基づいて、ステップＳ６で収集した学習データから現在の磁気ヘッドの位置しているゾーンの最小のＴＭＲの時の印加電圧をアクチュエータ部８４に印加して傾斜角を変更する。
【００５８】
ここでは各測定ゾーンでの最小のＴＭＲの時の印加電圧を代表値として使用して制御する場合を説明したが、ステップＳ６で収集した学習データ各測定ゾーンの代表値の間を近似して測定ゾーン内のトラック位置の最適と思われる印加電圧を計算して、この近似で求めた印加電圧をアクチュエータ部８４に印加してして傾斜角を変更することもできる。
【００５９】
制御部によってアクチュエータ部８４を駆動して傾斜角を変更する磁気ディスクアッセンブリ１０の構成を、さらに詳しく説明する。
ロードビーム８２の先端には、図３（ｂ）に示すように突起部８２ａがフレキシャ１２方向に突出している。８２ｂは突起部８２ａの中心点である。バネ部１３の作用により、この突起部８２ａがフレキシャ１２に適切な荷重を与え、ヘッドスライダ３２が回転する磁気ディスク６０上で安定した浮上を維持できる。
【００６０】
また、図３（ａ）に示したようにビーム１７，１８の断面形状は、支持プレート１６の固定側１４と可動側１５の断面の中立点を通り断面の長辺に垂直な軸に対して軸対称であり、支持プレート１６の固定側１４と可動側１５の断面の中立点に対し点対称となっている。中立点とは、軸にねじりモーメントが作用しても、せん断応力が発生しない点である。単一材料からなる軸の場合には、断面の重心と一致する。
【００６１】
図９（ｂ）は図３（ａ）模式図で、突起部８２ａの中心点８２ｂは、ヘッドスライダ３２が磁気ディスク６０上を浮上してアクセスしている状態において、支持プレート１６の固定側１４と可動側１５の断面の中立点８５に位置している。
【００６２】
突起部８２ａは、半球状の一部であるため、ロータ２０や磁気ディスク６０の振動でロードビーム８２が磁気ディスク６０の平面に対し傾斜しても、フレキシャ１２に正しく当接し、適切な荷重を与えることができる。フレキシャ１２は、ロードビーム８２に比べ厚みが薄く屈曲が容易であり、ロードビーム８２が傾斜されても、フレキシャ１２に固着されたヘッドスライダ３２は、磁気ディスク６０の平面に追従できる。
【００６３】
また逆に、歪んだ磁気ディスク６０上をヘッドスライダ３２が浮上しながら追従する場合でも、フレキシャ１２はヘッドスライダ３２の姿勢の変化を吸収することができ、ロードビーム８２やその他の部分に悪影響を及ぼさない。
【００６４】
アクチュエータ２１ａ〜２１ｄの断面形状も、支持プレート１６の固定側１４と可動側１５の断面の中立点を通り断面の長辺に垂直な軸に対して軸対称であり、支持プレート１６の固定側１４と可動側１５の断面の中立点に対し点対称となっている。ここでいう各要素の断面とは、支持プレート１６からヘッドスライダ３２の側へ向かう方向に垂直な断面であり、要素の主たる平面に垂直な断面である。
【００６５】
このように、ビーム１７，１８，アクチュエータ２１ａ〜２１ｄの断面の中立点からなる軸は、ロードビーム８２の突起部８２ａの中心点８２ｂを通るように配置されており、この軸のまわりにねじれのモーメントが発生しても、中心点８２ｂの位置は変化しない。
【００６６】
したがって、磁気ヘッドとサーボトラックのずれのオフトラック量が小さくするに必要なパラメータに応じて制御部がアクチュエータ部８４を駆動して傾斜角を変更し、磁気ヘッドアッセンブリ１０がこの軸の周りに傾斜しても、ロードビーム８２がフレキシャ１２，ヘッドスライダ３２を磁気ディスク６０に加圧する荷重が変化しない。
【００６７】
アクチュエータ２１ａ〜２１ｄに、伸縮型のアクチュエータを用いる場合には、支持プレート１６の可動側１５，固定側１４の断面に対して対角な位置にあるアクチュエータ２１ａ，２１ｃを同位相で駆動させ、アクチュエータ２１ｂ，２１ｄは、アクチュエータ２１ａ，２１ｃとは逆位相で駆動させる。
【００６８】
これは、アクチュエータ２１ａ，２１ｃを伸長させた場合、アクチュエータ２１ｂと，２１ｄを収縮させることを意味する。
このようにアクチュエータ２１ａ〜２１ｄを駆動させた場合、支持プレート１６の可動側１５からヘッドスライダ３２側の要素は、支持プレート１６の固定側１４，支持プレート１６に対し、ロードビーム８２の突起部８２ａの中心点８２ｂを通り、ビーム１７，１８とアクチュエータ２１ａ〜２１ｄの断面の中立点からなる軸を中心に回動することになる。
【００６９】
このとき、アクチュエータ２１ａ〜２１ｄに印加する電圧をコントロールすることにより、ロードビーム８２，支持プレート１６の可動側１５は、任意の傾斜に回動可能で、また任意の傾斜に保持することが可能となっている。
【００７０】
このようにロードビーム８２，支持プレート１６の可動側１５を回動させた場合、ロードビーム８２の突起部８２ａの中心点８２ｂは、磁気ディスク６０の平面からの距離が変化しない。これはロードビーム８２，支持プレート１６の可動側１５を傾斜させても、フレキシャ１２，ヘッドスライダ３２への荷重は変化しないということであり、ヘッドスライダ３２の浮上に悪影響を及ぼさないことを意味する。
【００７１】
アクチュエータ２１ａ〜２１ｄに、屈曲型のアクチュエータを用いる場合には、支持プレート１６の可動側１５支持プレート１６の固定側１４，ビーム１７，１８を挟んで対向するアクチュエータを同位相に、同じ平面状に配置されるアクチュエータを逆位相に駆動することにより、同様の効果を得ることができる。これは、アクチュエータ２１ａとアクチュエータ２１ｄをヘッドスライダ３２側に屈曲させた場合、アクチュエータ２１ｂとアクチュエータ２１ｃをヘッドスライダ３２とは逆側に屈曲させることを意味する。
【００７２】
図５（ａ）（ｂ）は、アクチュエータ２１ａ〜２１ｄの駆動によるロードビーム８２，支持プレート１６の可動側１５の傾斜の様子をシミュレーションした結果である。
図５（ａ）は、磁気ディスク６０の平面に垂直な方向の変位を示し、図５（ｂ）は、ロータ２０の回動に対し接線となる方向の変位を示している。ロードビーム８２，支持プレート１６の可動側１５を傾斜させても、中心部は、垂直方向にほとんど変化していないことがわかる。また、ロードビーム８２，支持プレート１６の可動側１５を傾斜させても、接線方向にもほとんど変位していない。
【００７３】
ロードビーム８２，支持プレート１６の可動側１５を傾斜させることによるオフトラック量の改善を、実際の一例で参考に示す。トラックピッチが０．２１３μｍ，図１６（ａ）のｔ１＝０．３０ｍｍ，ｌ＝８．３ｍｍの磁気ディスク装置において、支持プレート１６からヘッドスライダ３２に向かう方向とサーボトラック６１の接線方向が１０°の角度をなす位置において、磁気ディスク６０とロータ２０のアーム部の高さが、５μｍ変位した場合を考える。この場合、図１６から、オフトラック量は０．０３１μｍであり、トラックピッチの１４．６％となる。
【００７４】
これに対して、サスペンションを０．３５７°傾斜させれば、オフトラック量を相殺できる。なお、支持プレート１６からヘッドスライダ３２に向かう方向が磁気ディスクの外周方向である場合は、サスペンションを傾斜させる向きは、サスペンションの外周側が磁気ディスクに近く、サスペンションの内周側が磁気ディスクから遠ざかる方向となる。
【００７５】
本発明で目的とする機能は、ヘッドスライダ３２が磁気ディスク６０を加圧する荷重を変化させることなく、ロードビーム８２，支持プレート１６の可動側１５を、支持プレート１６からヘッドスライダ３２方向に向かう軸を中心に、磁気ディスク６０の平面に対して任意に傾斜させることである。このためには、アクチュエータの駆動により生じるねじれのモーメントが、ロードビーム８２の突起部８２ａの中心点８２ｂを通る前記方向の軸を中心に働き、その軸部が、磁気ディスク６０の平面からの距離を変化させないことである。
【００７６】
この発明による磁気ヘッドアッセンブリ１０を使用すれば、磁気ディスク６０上の磁気ヘッドの半径位置に応じて、それぞれ個別の磁気ヘッドアッセンブリ１０ごとに、ロードビーム８２の傾斜を、ＴＭＲを最も低減できる角度に調整することが可能となる。
【００７７】
また事前に、磁気ディスク６０を半径位置ごとに幾つかのゾーン（図示せず）に区切り、ロードビーム８２の傾斜を変化させながらＴＭＲを測定することにより、それぞれの磁気ヘッドアッセンブリ１０とゾーンに最適なロードビーム８２の傾斜を、パラメータとして磁気ディスク装置に持たせることができ、応答時間のロスを発生しない磁気ディスク装置を実現できる。
【００７８】
また、磁気ヘッドアッセンブリ１０は、精巧な部品であるため、組み立て時のストレスや不適切な取り扱いでダメージを受けやすい。磁気ヘッドアッセンブリ１０に、ねじれや荷重の増減などがあっても、今までは修理が難しく、交換するしかなかったが、サスペンション８２の姿勢を調整することができるので、今まで廃棄されていた磁気ヘッドアッセンブリ１０であっても、幾分救済できる。
【００７９】
また、それぞれのアクチュエータに２本の電気配線が必要となる。ただし、アクチュエータを同じ電圧で駆動する場合には、それぞれのアクチュエータを並列に接続し、端子数を低減できる。
【００８０】
また、逆符号の絶対値が同じ電圧で使用するアクチュエータがある場合は、電気配線を逆方向から接続し、同様に端子数を低減できる。
このように電気配線，端子数を低減することが可能な場合でも、あえてそれぞれを別回路で形成した場合、コストやスペースの面で不利ではあるが、それぞれのアクチュエータを個別に調整し、微妙なサスペンションの姿勢を制御できるといったメリットがある。
【００８１】
（実施の形態２）
実施の形態１のアクチュエータは、ビーム１７，１８の上面と下面にアクチュエータ２１ａ〜２１ｄを貼り付けたが、アクチュエータは、ビーム１７またはビーム１８の上にのみ配置されたのでもかまわない。
【００８２】
図６と図７は本発明の実施の形態２を示す。
図６（ａ）は、実施の形態２における磁気ヘッドアッセンブリ１０を上側から見た斜視図で、図６（ｂ）は、図６（ａ）の下側（Ｅ方向）から見た斜視図を示す。図７（ａ）は要部の拡大断面、図７（ｂ）は図６（ａ）のＤ−Ｄの拡大断面を示す。図７（ａ）の模式図を図１０（ｇ）に示す。
【００８３】
アクチュエータ２１ａ，２１ｄは、支持プレート１６の可動側１５と固定側１４，ビーム１７，１８に接触する全面で固着されるか、もしくは支持プレート１６の可動側１５と支持プレート１６の固定側１４の両端付近で固着される。
【００８４】
ただし両端で固着する場合には、アクチュエータ２１ａ，２１ｄの駆動によってビーム１７，１８を変形可能であるように、アクチュエータ２１ａ，２１ｄの方がビーム１７，１８よりも剛性が高い必要がある。
【００８５】
ビーム１７，１８の剛性がより低い方が、アクチュエータ２１ａ，２１ｄの駆動によるロードビーム８２の変位量を大きくできる。アクチュエータ２１ａ，２１ｄ，ビーム１７，１８、全体としては、支持プレート１６の可動側１５よりヘッドスライダ３２側の要素が、ロータ２０の回動に追従し、かつバネ部１３の荷重に抗しえる程度に、剛性が高い必要がある。
【００８６】
アクチュエータ２１ａ，２１ｄが支持プレート１６の固定側１４に係合する周辺は、アクチュエータ２１ａ，２１ｄが支持プレート１６の可動側１５に係合する周辺よりも、剛性が高い必要がある。これによりアクチュエータ２１ａ，２１ｄの駆動による変形を、支持プレート１６の可動側１５からヘッドスライダ３２側の要素の変位に、効率的に変換することが可能となる。ただし係合部周辺の剛性に関しては、磁気ヘッドアッセンブリ１０の状態では低くても、ロータ２０に係合された状態で剛性が高ければかまわない。
【００８７】
（実施の形態３）
図８は本発明の実施の形態３を示す。
実施の形態１を示す図１の磁気ヘッドアッセンブリ１０では、アクチュエータ部８４とロードビーム８２との間にバネ部１３を配置したが、図８に示すようにバネ部１３を、アクチュエータ部８４と、磁気ヘッドアッセンブリ１０の前記ロータ２０に取り付けられる基端１６ｃとの間に配置した場合でも、同様の機能を果たすことができる。
【００８８】
この実施の形態３は、実施の形態２の場合でも同様に実施できる。
（実施の形態４）
図９（ｂ）〜（ｆ）と図１０（ｇ）〜（ｑ）はそれぞれ別の具体例を示す。
【００８９】
図９と図１０は実施の形態１を示す図９（ａ）と同じところで断面にした磁気ヘッドアッセンブリ１０を示している。
図９（ａ）では、二本のビーム１７，１８で可動側１５を支持してこのビーム１７，１８の上面と下面にアクチュエータ２１ａ〜２１ｄを貼り付けた場合であるのに対して、図９（ｂ）では、孔１６が形成されていない幅広のビーム１７ａで可動側を支持している点が図９（ａ）とは異なっている。
【００９０】
図９（ｃ）では、複数のビーム１７ｂ，１７ｃ，１７ｄ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄによって可動側を支持し、ビーム１７ｂ，１７ｃ，１７ｄ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄの上面と下面にアクチュエータ２１ａ〜２１ｄを貼り付けた点が図９（ａ）とは異なっている。
【００９１】
図９（ｄ）では、可動側１５を一本のビーム１７ｅだけで支持し、アクチュエータ２１ａ〜２１ｄの両端を可動部１４と固定側１５に固定した点が図９（ａ）とは異なっている。この場合は、ビーム，アクチュエータの断面形状が、断面の中立点に対して点対称であり、断面の中立点からなる軸が突起部８２ａを通ればよい。
【００９２】
図９（ａ）ではビーム１７，１８が同一平面に位置していたが、図９（ｅ）では、前記条件を満たせば、ビームが同一平面状に無い場合でも機能の実現が可能である。アクチュエータの剛性が十分であれば、図９（ｆ）のようにビームを無くしてアクチュエータ２１ａ〜２１ｄだけで可動側１５を支持して構成することもできる。
【００９３】
上記の（ｂ）〜（ｆ）では４枚のアクチュエータ２１ａ〜２１ｄを使用していたが、図１０（ｇ）〜（ｍ）では２枚のアクチュエータ２１ａ，２１ｄを用いている。図１０（ｇ）は図６の場合の例である。伸縮型のアクチュエータを使用する場合には、図１０（ｇ）〜（ｊ）のように、ビーム断面の対角位置にアクチュエータを配置して、同位相でアクチュエータを駆動する形態が考えられる。
【００９４】
図１０（ｈ）では、可動側１５の上面に端部が固定されたビーム１７と、可動側１５の下面で中立点８５についてビーム１７と対角位置に端部が固定されたビーム１８と、ビーム１７と平行に可動側１５の下面に端部が固定されたアクチュエータ２１ｄと、ビーム１８と平行に可動側１５の上面に端部が固定されたアクチュエータ２１ｂとで、可動側１５を支持している。
【００９５】
図１０（ｉ）（ｋ）では、屈曲型のアクチュエータ２１ｂ，２１ｄをビーム１７，１８の断面の対角位置に配置して可動側１５を支持している。
図１０（ｊ）では、屈曲型のアクチュエータ２１ｂ，２１ｄをビーム１７，１８の断面の対角位置にビーム１７，１８と平行に配置して可動側１５を支持している。
【００９６】
図１０（ｌ）では、端部が可動側１５の下面に固定されたビーム１７，１８で支持するとともに、端部が可動側１５の上面に固定されビーム１７，１８と平行な屈曲型のアクチュエータ２１ｂ，２１ｄによって可動側１５を支持し、アクチュエータ２１ｂ，２１ｄを逆位相で駆動する。
【００９７】
図１０（ｍ）では、可動側１５の下面に端部が固定されたアクチュエータ２１ｄと、可動側１５の上面に端部が固定されたアクチュエータ２１ｂとで、可動側１５を支持している。
【００９８】
伸縮型，屈曲型のアクチュエータをビームの対角に配置する場合は、４枚のアクチュエータを使用する場合と同様、ビーム，アクチュエータの断面が、断面の中立点に対して点対称であり、中立点からなる軸が中心点８２ｂを通っていればよい。屈曲型のアクチュエータを、ビームの同一側面両端に配置する場合は、アクチュエータの駆動によって生じるねじれの軸が、ビーム，アクチュエータの断面の中立点から若干ずれるため、中心点８２ｂがねじれの軸上に配置されるよう、配置に留意する必要がある。
【００９９】
なお、屈曲型のアクチュエータを用いる場合には、アクチュエータが十分な剛性を備えれば、図１０（ｍ）のようにビームを設けないことも可能だが、伸縮型のアクチュエータを使用する場合には、何らかのビームが必要となる。
【０１００】
これまでに述べたアクチュエータとビームの配置は、アクチュエータに絶対値が同じ電圧をかけ駆動させる場合の断面形状の条件である。それぞれのアクチュエータに異なる電圧を印加してコントロールする場合には、ビームの配置や断面形状が上記条件を満たさない場合でも、目的とする機能を実現可能な場合がある。
【０１０１】
その例としては、図１０（ｎ）のように３枚のアクチュエータ２１ａ，２１ｂ，２１ｄを使用する場合、図１０（ｏ）のようにビーム，アクチュエータ断面の中立点からなる軸が、ロードビーム８２の突起部８２ａの中心点８２ｂを通っていない場合、図１０（ｑ）のように断面形状が左右で異なる場合、図１０（ｐ）のようにアクチュエータの配置がずれている場合などが挙げられる。図１０（ｋ）（ｌ）で、伸縮型のアクチュエータを同一面に取り付け、逆位相で駆動させる場合も、この例である。
【０１０２】
このような場合には、ロードビーム８２を、ビーム断面の中立点からなる軸の周りに回動させることが難しい場合も多い。しかし、ロードビーム８２を、支持プレート１６からヘッドスライダ３２方向への軸を中心に回動させ、磁気ディスク６０の平面に対して傾斜させることができ、中心点８２ｂと磁気ディスク６０の距離が変化しないのであれば、機能の実現に支障は無い。また、この場合にはアクチュエータの駆動により、ロードビーム８２，フレキシャ１２，ヘッドスライダ３２が、ロータ２０の回動方向に幾分変位することもありうるが、磁気ヘッドで磁気ディスク６０上の位置信号を認識できるため、信号への追従に問題は発生しない。
【０１０３】
このように、各アクチュエータを異なる電圧で動作させなければいけない場合、アクチュエータの配置においては、求める傾斜角のためそれぞれのアクチュエータに印加すべき電圧は、ビームとアクチュエータの形態に依存する。このため、このような形態で使用する場合には、事前に電圧と傾斜の関係を確認しておき、傾斜角調整のためのパラメータとして使用することが必要である。
【０１０４】
４枚のアクチュエータを用いた場合、２枚の場合よりもロードビーム８２の傾斜範囲を大きく取れ、同じ傾斜であれば低い電圧で実現が可能である。一方、２枚のアクチュエータを使用した場合のした方が、コストや実装面では優位性がある。また、２枚のアクチュエータを使用する場合には、断面の対角な位置に配置した方が設計の容易さで優位であるが、同一面側に配置した方が製造の面で容易であり、サスペンションの左右が対称であるため振動の悪影響が発生しにくいといった点で優位である。
【０１０５】
また、上記のような形態に準じて、５枚のアクチュエータを使用した場合でも、同様の機能を実現できることは言うまでも無い。ちなみに、ここでは断面の四隅、両端という表現をしているが、必ずしも断面の最端でなくとも問題が無い。回動させたい断面の軸からなるべく距離が離れていた方が変位量を大きく取れるが、そうでない場合でも機能は実現できる。
【０１０６】
（実施の形態５）
上記の各実施の形態では、アクチュエータを支持プレート１６の固定側１４から支持プレート１６の可動側１５の方向に伸縮、もしくは支持プレート１６の固定側１４側を基準として、アクチュエータの支持プレート１６の可動側１５の側が、主たる平面と垂直な方向に屈曲する場合を例に挙げて説明したが、本機能を実現するためには、そのほかにもアクチュエータ部８４の構成は考えられる。
【０１０７】
具体的には図１１または図１２に示すように構成しても実現できる。
図１１（ａ）は分解図、図１１（ｂ）は完成したアクチュエータ部８４を示す。アクチュエータ２１ａ，２１ｂを、支持プレート１６の可動側１５から支持プレート１６の固定側１４の方向に対して垂直方向と斜め方向に配置し、伸縮もしくは屈曲動作させる。図１２（ａ）（ｂ）も同様である。
【０１０８】
上記の各実施の形態では、アクチュエータとして圧電素子や電歪素子を例に挙げて説明したが、磁歪素子，ボイスコイルモータ，ソレノイド等を用いても、本発明が目的とするサスペンションの変位を実現できるように設計すれば、アクチュエータの種類を限定するものではない。
【０１０９】
上記の各実施の形態において、支持プレート１６の固定側１４と可動側１５，ビーム１７，１８は、一部もしくは全てが一体構造でもかまわない。また、バネ部１３，ロードビーム８２，支持プレート１６も含めて、一部もしくは全体が一体構造でもかまわない。
【産業上の利用可能性】
【０１１０】
本発明は、磁気ディスク装置のトラックミスレジストレーション（ＴＭＲ）を低減することができるので、磁気ディスク装置の転送速度やエラーレートの改善などに寄与することができ、この磁気ディスク装置を搭載した各種情報機器などの信頼性向上を期待できる。
【図面の簡単な説明】
【０１１１】
【図１】本発明の実施の形態１の磁気ヘッドアッセンブリの外観図
【図２】同実施の形態の分解図
【図３】図１におけるＤ−Ｄ断面拡大図とＢ−Ｂ断面拡大図
【図４】パラメータ学習のフローチャート図
【図５】同実施の形態の磁気ヘッドアッセンブリの変形シュミレーションと比較図
【図６】本発明の実施の形態１の磁気ヘッドアッセンブリの外観図
【図７】同実施の形態の分解図と図６におけるＤ−Ｄ断面拡大図
【図８】本発明の実施の形態３の磁気ヘッドアッセンブリの外観図
【図９】（ａ）〜（ｆ）は本発明の実施の形態４の各実施例の断面拡大図
【図１０】（ｇ）〜（ｑ）は本発明の実施の形態４の各実施例の断面拡大図
【図１１】本発明の実施の形態５の磁気ヘッドアッセンブリの分解図と外観図
【図１２】同実施の形態の別の分解図と外観図
【図１３】磁気ディスク装置の上カバーを取り外した外観斜視図
【図１４】磁気ヘッドアッセンブリの部分の平面図と磁気ディスクの振動により磁気ヘッドアッセンブリが変位する様子の説明図
【図１５】振動によるＴＭＲ悪化の仕組みを示す図
【図１６】振動によるＴＭＲ悪化量と磁気ヘッドアッセンブリ１０を傾斜させて固定した場合のＴＭＲ改善量を示す図
【符号の説明】
【０１１２】
１０    磁気ヘッドアッセンブリ
１１    サスペンション
１２    フレキシャ
１３    バネ部
１４    支持プレート１６の固定側
１５    支持プレート１６の可動側
１６    支持プレート
１７，１８    ビーム
２０    ロータ
２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ    アクチュエータ
３０    ピボットベアリング
３１    フレキシブル配線基板
３２    ヘッドスライダ
５０    基台（ベース）
６０    磁気ディスク
６１    サーボトラック
７１    クランパ
７２    ボイスコイルモータ（ＶＣＭ）
８４    アクチュエータ部
８２    ロードビーム
８２ａ    突起部
８２ｂ    突起部８２ａの中心点
８５    支持プレート１６の固定側１４と可動側１５の断面の中立点
【図１】
2008310912.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
2008310912.tif 000015
【図１４】
2008310912.tif 000016
【図１５】
2008310912.tif 000017
【図１６】
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