(57)【要約】【課題】ガラス蓋との間の気密性能を確保しかつ従来より原材料費節減を図ることが可能な気密封止リング及びその製造方法を提供する。【解決手段】本発明の気密封止リング２０は、鉄材で構成されたリング本体２３の内周面をＦｅ−Ｎｉ系合金層２１で覆った構造になっているので、ガラス蓋１４に接触するＦｅ−Ｎｉ系合金層２１のＮｉの組成比を従来と同等の比率に維持しつつ、気密封止リング２０全体に対するＮｉの使用量を下げることができる。即ち、本発明に係る気密封止リング２０は、ガラス蓋１４との間の気密性能を確保しかつ従来よりＮｉの使用量を抑えて原材料費節減を図ることが可能になる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
リード端子の先端に備えた素子本体を封止キャップの内部に収容し、その封止キャップの開放口を前記リード端子が貫通したガラス蓋にて封止するために前記封止キャップの内周面と前記ガラス蓋の外周面との間に嵌合して固着される気密封止リングであって、鉄材で構成されたリング本体の内周面をＦｅ−Ｎｉ系合金層で覆ってなる気密封止リングの製造方法において、
Ｎｉめっき板金を加熱処理することで、前記Ｎｉめっき板金のＮｉめっき全体をその内側の鉄板素地に拡散させて前記Ｆｅ−Ｎｉ系合金層を生成した後、そのＮｉめっき板金から複数の前記リング本体を成形することを特徴とする気密封止リングの製造方法。
【請求項２】
リード端子の先端に備えた素子本体を封止キャップの内部に収容し、その封止キャップの開放口を前記リード端子が貫通したガラス蓋にて封止するために前記封止キャップの内周面と前記ガラス蓋の外周面との間に嵌合して固着される気密封止リングであって、鉄材で構成されたリング本体の内周面をＦｅ−Ｎｉ系合金層で覆ってなる気密封止リングの製造方法において、
Ｆｅ−Ｎｉ系合金めっき板金を加熱処理することで、前記Ｆｅ−Ｎｉ系合金層としてのＦｅ−Ｎｉ系合金めっきをその内側の鉄板素地に拡散させ、前記Ｆｅ−Ｎｉ系合金めっきと前記鉄板素地との境界部分に、Ｆｅの含有率が前記鉄板素地に向かって徐々に増加して前記鉄板素地と一体になった拡散層を生成した後、そのＦｅ−Ｎｉ系合金めっき板金から複数の前記リング本体を成形することを特徴とする気密封止リングの製造方法。
【請求項３】
リード端子の先端に備えた素子本体を封止キャップの内部に収容し、その封止キャップの開放口を前記リード端子が貫通したガラス蓋にて封止するために前記封止キャップの内周面と前記ガラス蓋の外周面との間に嵌合して固着される気密封止リングであって、鉄材で構成されたリング本体の内周面をＦｅ−Ｎｉ系合金層で覆ってなる気密封止リングの製造方法において、
Ｎｉめっきで覆われた前記リング本体を加熱処理することで前記Ｎｉめっき全体を前記リング本体に拡散させて前記Ｆｅ−Ｎｉ系合金層を生成することを特徴とする気密封止リングの製造方法。
【請求項４】
リード端子の先端に備えた素子本体を封止キャップの内部に収容し、その封止キャップの開放口を前記リード端子が貫通したガラス蓋にて封止するために前記封止キャップの内周面と前記ガラス蓋の外周面との間に嵌合して固着される気密封止リングであって、鉄材で構成されたリング本体の内周面をＦｅ−Ｎｉ系合金層で覆ってなる気密封止リングの製造方法において、
前記Ｆｅ−Ｎｉ系合金層としてのＦｅ−Ｎｉ系合金めっきで覆われた前記リング本体を加熱処理することで前記Ｆｅ−Ｎｉ系合金めっきを前記リング本体に拡散させ、前記Ｆｅ−Ｎｉ系合金めっきと前記リング本体との境界部分に、Ｆｅの含有率が前記リング本体に向かって徐々に増加して前記リング本体と一体になった拡散層を生成することを特徴とする気密封止リングの製造方法。
【請求項５】
前記加熱処理後の前記Ｆｅ−Ｎｉ系合金層のうち表面側の組成を、Ｆｅが５０〜６０質量％、Ｎｉが４０〜５０質量％にすることを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載の気密封止リングの製造方法。
【請求項６】
リード端子の先端に備えた素子本体を封止キャップの内部に収容し、その封止キャップの開放口を前記リード端子が貫通したガラス蓋にて封止するために前記封止キャップの内周面と前記ガラス蓋の外周面との間に嵌合して固着される気密封止リングであって、
鉄材で構成されたリング本体の内周面をＦｅ−Ｎｉ系合金層で覆ってなることを特徴とする気密封止リング。
【請求項７】
前記Ｆｅ−Ｎｉ系合金層と前記リング本体との境界部分には、Ｆｅの含有率が前記リング本体に向かって徐々に増加して前記リング本体と一体になった拡散層が備えられたことを特徴とする請求項６に記載の気密封止リング。
【請求項８】
前記Ｆｅ−Ｎｉ系合金層のうち表面側の組成を、Ｆｅが５０〜６０質量％、Ｎｉが４０〜５０質量％にしたことを特徴とする請求項６又は７に記載の気密封止リング。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リード端子の先端に備えた素子本体を封止キャップの内部に収容し、その封止キャップの開放口をリード端子が貫通したガラス蓋にて封止するために封止キャップの内周面とガラス蓋の外周面との間に嵌合して固着される気密封止リング及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、水晶振動子等の電気素子では、特性を安定させるためにリード端子の先端に備えた素子本体を封止キャップ内に封止した構造になっている。気密封止リングは、リード端子が貫通したガラス蓋（絶縁部材）の外周面と封止キャップの内周面との間に嵌合して、それらガラス蓋と封止キャップとの間を気密状態に保持するために用いられる。そして、従来の気密封止リングは、Ｆｅ−Ｎｉ系合金をリング状に成形した構造になっていた（例えば、特許文献１，２参照）。
【特許文献１】特開２００１−２６７１９０号公報（段落［０００２］、［０００３］、第６図、第１３図）
【特許文献２】特開２００１−２１４２９５号公報（段落［０００７］）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、ＮｉはＦｅに比べて高価であり、特に近年、高騰を続けている。このため、原材料費節減の観点から気密封止リングにおけるＮｉの使用量を下げることが検討されていた。しかしながら、単に、Ｎｉの組成比（含有率）を下げたＦｅ−Ｎｉ系合金を用いて気密封止リングを構成すると、気密封止リングとガラス蓋との間の気密性能を確保することが困難になるという問題が生じる。
【０００４】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、ガラス蓋との間の気密性能を確保しかつ従来より原材料費節減を図ることが可能な気密封止リング及びその製造方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するためになされた請求項１の発明に係る気密封止リングの製造方法は、リード端子の先端に備えた素子本体を封止キャップの内部に収容し、その封止キャップの開放口をリード端子が貫通したガラス蓋にて封止するために封止キャップの内周面とガラス蓋の外周面との間に嵌合して固着される気密封止リングであって、鉄材で構成されたリング本体の内周面をＦｅ−Ｎｉ系合金層で覆ってなる気密封止リングの製造方法において、Ｎｉめっき板金を加熱処理することで、Ｎｉめっき板金のＮｉめっき全体をその内側の鉄板素地に拡散させてＦｅ−Ｎｉ系合金層を生成した後、そのＮｉめっき板金から複数のリング本体を成形するところに特徴を有する。
【０００６】
請求項２の発明に係る気密封止リングの製造方法は、リード端子の先端に備えた素子本体を封止キャップの内部に収容し、その封止キャップの開放口をリード端子が貫通したガラス蓋にて封止するために封止キャップの内周面とガラス蓋の外周面との間に嵌合して固着される気密封止リングであって、鉄材で構成されたリング本体の内周面をＦｅ−Ｎｉ系合金層で覆ってなる気密封止リングの製造方法において、Ｆｅ−Ｎｉ系合金めっき板金を加熱処理することで、Ｆｅ−Ｎｉ系合金層としてのＦｅ−Ｎｉ系合金めっきをその内側の鉄板素地に拡散させ、Ｆｅ−Ｎｉ系合金めっきと鉄板素地との境界部分に、Ｆｅの含有率が鉄板素地に向かって徐々に増加して鉄板素地と一体になった拡散層を生成した後、そのＦｅ−Ｎｉ系合金めっき板金から複数のリング本体を成形するところに特徴を有する。
【０００７】
請求項３の発明に係る気密封止リングの製造方法は、リード端子の先端に備えた素子本体を封止キャップの内部に収容し、その封止キャップの開放口をリード端子が貫通したガラス蓋にて封止するために封止キャップの内周面とガラス蓋の外周面との間に嵌合して固着される気密封止リングであって、鉄材で構成されたリング本体の内周面をＦｅ−Ｎｉ系合金層で覆ってなる気密封止リングの製造方法において、Ｎｉめっきで覆われたリング本体を加熱処理することでＮｉめっき全体をリング本体に拡散させてＦｅ−Ｎｉ系合金層を生成するところに特徴を有する。
【０００８】
なお、「Ｎｉめっきで覆われたリング本体」は、Ｎｉめっき板金をリング状に成形したものであってよいし、板金又はパイプをリング状に成形したものにＮｉめっきを施したものであってもよい。
【０００９】
請求項４の発明に係る気密封止リングの製造方法は、リード端子の先端に備えた素子本体を封止キャップの内部に収容し、その封止キャップの開放口をリード端子が貫通したガラス蓋にて封止するために封止キャップの内周面とガラス蓋の外周面との間に嵌合して固着される気密封止リングであって、鉄材で構成されたリング本体の内周面をＦｅ−Ｎｉ系合金層で覆ってなる気密封止リングの製造方法において、Ｆｅ−Ｎｉ系合金層としてのＦｅ−Ｎｉ系合金めっきで覆われたリング本体を加熱処理することでＦｅ−Ｎｉ系合金めっきをリング本体に拡散させ、Ｆｅ−Ｎｉ系合金めっきとリング本体との境界部分に、Ｆｅの含有率がリング本体に向かって徐々に増加してリング本体と一体になった拡散層を生成するところに特徴を有する。
【００１０】
なお、「Ｆｅ−Ｎｉ系合金めっきで覆われたリング本体」は、Ｆｅ−Ｎｉ系合金めっき板金をリング状に成形したものであってもよいし、板金又はパイプをリング状に成形したものにＦｅ−Ｎｉ系合金めっきを施したものであってもよい。
【００１１】
請求項５の発明は、請求項１乃至４の何れかに記載の気密封止リングの製造方法において、加熱処理後のＦｅ−Ｎｉ系合金層のうち表面側の組成を、Ｆｅが５０〜６０質量％、Ｎｉが４０〜５０質量％にするところに特徴を有する。
【００１２】
請求項６の発明に係る気密封止リングは、リード端子の先端に備えた素子本体を封止キャップの内部に収容し、その封止キャップの開放口をリード端子が貫通したガラス蓋にて封止するために封止キャップの内周面とガラス蓋の外周面との間に嵌合して固着される気密封止リングであって、鉄材で構成されたリング本体の内周面をＦｅ−Ｎｉ系合金層で覆ってなるところに特徴を有する。
【００１３】
請求項７の発明は、請求項６に記載の気密封止リングにおいて、Ｆｅ−Ｎｉ系合金層とリング本体との境界部分には、Ｆｅの含有率がリング本体に向かって徐々に増加してリング本体と一体になった拡散層が備えられたところに特徴を有する。
【００１４】
請求項８の発明は、請求項６又は７に記載の気密封止リングにおいて、Ｆｅ−Ｎｉ系合金層のうち表面側の組成を、Ｆｅが５０〜６０質量％、Ｎｉが４０〜５０質量％にしたところに特徴を有する。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１〜８の発明に係る気密封止リングは、鉄材で構成されたリング本体の内周面をＦｅ−Ｎｉ系合金層で覆った構造になっているので、ガラス蓋に接触するＦｅ−Ｎｉ系合金のＮｉの組成比（含有率）を従来と同等の比率に維持しつつ、気密封止リング全体に対するＮｉの使用量を下げることができる。即ち、本発明に係る気密封止リングは、ガラス蓋との間の気密性能を確保しかつ従来よりＮｉの使用量を抑えて原材料費節減を図ることが可能になる。
【００１６】
なお、気密封止リングとガラス蓋との間の気密性能を確保するためには、請求項５及び８の発明のように、Ｆｅ−Ｎｉ系合金層の組成を、Ｆｅが５０〜６０質量％、Ｎｉが４０〜５０質量％とすることが好ましい。
【００１７】
上記効果に加え、請求項１の気密封止リングの製造方法では、Ｎｉめっき板金を加熱処理することによりＮｉめっき全体を鉄板素地に拡散させてＦｅ−Ｎｉ系合金層を生成するので、Ｆｅ−Ｎｉ系合金層と鉄板素地とが一体になってそれらの結合強度が向上する。また、請求項２の気密封止リングの製造方法では、Ｆｅ−Ｎｉ系合金めっき板金を加熱処理することで、Ｆｅ−Ｎｉ系合金めっきが鉄板素地と一体になった拡散層を生成するので、Ｆｅ−Ｎｉ系合金めっきと鉄板素地との結合強度が向上する。さらに、請求項１及び２の気密封止リングの製造方法では、複数のリング本体の成形工程の前に上記加熱処理を行うので生産性が向上する。
【００１８】
また、請求項３の気密封止リングの製造方法では、Ｎｉめっきで覆われたリング本体を加熱処理することでＮｉめっき全体をリング本体に拡散させてＦｅ−Ｎｉ系合金層を表面に生成するので、Ｆｅ−Ｎｉ系合金層とリング本体とが一体になってそれらの結合強度が向上する。また、この製造方法によれば、Ｎｉめっきで覆われた板金を打ち抜いて気密封止リングを製造する方法に比べてＮｉの廃棄量が抑えられ、Ｎｉ資源の有効利用が図られる。
【００１９】
また、請求項４の気密封止リングの製造方法では、Ｆｅ−Ｎｉ系合金めっきで覆われたリング本体を加熱処理することで、Ｆｅ−Ｎｉ系合金めっきにおけるリング本体との境界部分にリング本体と一体になった拡散層を生成するので、Ｆｅ−Ｎｉ系合金めっきとリング本体との結合強度が向上する。また、この製造方法によれば、Ｆｅ−Ｎｉ系合金めっきで覆われた板金を打ち抜いて気密封止リングを製造する方法に比べてＮｉの廃棄量が抑えられ、Ｎｉ資源の有効利用が図られる。
【００２０】
また、請求項７の発明に係る気密封止リングは、Ｆｅ−Ｎｉ系合金層とリング本体との境界部分にリング本体と一体になった拡散層が備えられているので、Ｆｅ−Ｎｉ系合金層とリング本体との結合強度が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
［第１実施形態］
以下、本発明の一実施形態を図１〜図７に基づいて説明する。図１には、本発明に係る気密封止リングを備えた電気素子としての水晶発振子１０が示されている。この水晶発振子１０は、１対のリード端子１１，１１の先端に素子本体１２を接続して備え、その素子本体１２を封止キャップ１３に収容した構造になっている。また、封止キャップ１３の開放口は、リード端子１１，１１が貫通したガラス蓋１４により封止され、その封止のために本発明に係る気密封止リング２０が用いられている。
【００２２】
具体的には、素子本体１２は、圧電体である水晶片（水晶ブランク）を２枚の電極で挟んだ構造になっている。そして、リード端子１１，１１の先端が２枚の電極にそれぞれ接続されている。それら各リード端子１１は、Ｆｅ−Ｎｉ合金からなる線材を所定長にカットしてなる。また、ガラス蓋１４は、ガラス焼結材で構成されている。さらに、封止キャップ１３は、板金を一端有底の筒状に絞り成形してなる。
【００２３】
さて、気密封止リング２０は、例えば、Ｆｅ−Ｎｉ系合金めっき板金５０（図４）の成形品であって、両端が開放した筒形状（図７（Ｃ）参照）になっている。以下、気密封止リング２０の製造方法と合わせて気密封止リング２０の構造を詳細に説明する。
【００２４】
気密封止リング２０の製造に使用するＦｅ−Ｎｉ系合金めっき板金５０は、図４に示されており、鉄板素地５３（例えば、低炭素鋼）の表裏両面がＦｅ−Ｎｉ系合金めっき２１にて覆われた構造になっている。そのＦｅ−Ｎｉ系合金めっき２１の組成は、例えば、Ｆｅが５０〜６０質量％、Ｎｉが４０〜５０質量％になっている。より具体的には、Ｆｅ−Ｎｉ系合金めっき２１の組成は、例えば、Ｆｅが５８質量％、Ｎｉが４２質量％で、所謂「４２アロイ」と同じ組成になっている。また、本実施形態のＦｅ−Ｎｉ系合金めっき板金５０は、全体の板厚が０．１〜０．３［ｍｍ］になっており、Ｆｅ−Ｎｉ系合金めっき２１の厚さは、１〜３［μｍ］になっている。
【００２５】
本実施形態の気密封止リング２０の製造方法では、Ｆｅ−Ｎｉ系合金めっき板金５０を、例えば中性ないし弱還元性の雰囲気の中で加熱処理することで、Ｆｅ−Ｎｉ系合金めっき２１を鉄板素地５３に拡散させ、図５に示すようにＦｅ−Ｎｉ系合金めっき２１と鉄板素地５３との境界部分に、Ｆｅの含有率が鉄板素地５３に向かって徐々に増加して鉄板素地５３と一体になった拡散層２２を生成する。このとき、Ｆｅ−Ｎｉ系合金めっき２１における表面側が、加熱処理後も、例えば、Ｆｅが５０〜６０質量％、Ｎｉが４０〜５０質量％（より具体的には、Ｆｅが５８質量％、Ｎｉが４２質量％）に維持されるように、加熱時間、加熱温度を調節する。
【００２６】
次いで、図６に示すように加熱処理済みのＦｅ−Ｎｉ系合金めっき板金５０から複数の円板５４を打ち抜く。そして、円板５４（図７（Ａ）参照）を絞って図７（Ｂ）に示した一端有底の筒体５５を成形し、その筒体５５の底壁を打ち抜いて図７（Ｃ）に示した気密封止リング２０を完成させる。
【００２７】
このようにして製造された気密封止リング２０は、鉄材で構成されたリング本体２３の内周面及び外周面をＦｅ−Ｎｉ系合金めっき２１によって覆った構造になる。また、気密封止リング２０の全体の外径は、例えば３［ｍｍ］、内径は例えば２．６［ｍｍ］、Ｆｅ−Ｎｉ系合金めっき２１の厚さは、例えば２［μｍ］になっている。なお、上記した底壁の打ち抜きにより、リング本体２３の内周面のうち一端部でリング本体２３が露出している。
【００２８】
気密封止リング２０を用いて水晶発振子１０を製造するには、以下のようである。即ち、粉末ガラスとバインダとを混練したものから、リード端子１１，１１が貫通したガラス蓋１４の原型体を成型し、それを仮焼きしておく。
【００２９】
次いで、上記製法により製造しておいた気密封止リング２０の内側にガラス蓋１４を嵌合して図示しない治具にセットし、ガラス蓋１４を構成するガラスを溶融させる。そして、その溶融したガラスが固化すると、ガラス蓋１４が気密封止リング２０の内周面と各リード端子１１の外面とに密着した状態になる。このようにしてガラス蓋１４、リード端子１１，１１及び気密封止リング２０が一体固定された部品である気密封止端子１５（図２参照）が完成する。
【００３０】
次いで、その気密封止端子１５全体を、例えばろう材（図示せず）でコーティングしてから、リード端子１１，１１の一方の先端間に素子本体１２を接続する。
【００３１】
次いで、気密封止端子１５を素子本体１２側から封止キャップ１３内に挿入し、気密封止リング２０を封止キャップ１３の内側に嵌合して封止キャップ１３の内周面と気密封止リング２０の外周面との間を気密状態に封止する。以上により水晶発振子１０が完成する。
【００３２】
このように本実施形態の気密封止リング２０を用いることで、封止キャップ１３とガラス蓋１４との間を気密状態にして固定することができる。ここで、この気密封止リング２０は、上記したように鉄材（図４，５図，７（Ａ）の鉄板素地５３参照）で構成されたリング本体２３をＦｅ−Ｎｉ系合金めっき２１で覆った構造になっているので、ガラス蓋１４に接触するＦｅ−Ｎｉ系合金のうちＮｉの組成比（含有率）を従来と同等の比率（例えば、Ｆｅを５８質量％、Ｎｉを４２質量％）に維持しつつ、気密封止リング２０全体に対するＮｉの使用量を下げることができる。即ち、本実施形態の気密封止リング２０は、ガラス蓋１４との間の気密性能を確保しかつ従来よりＮｉの使用量を抑えて原材料費節減を図ることが可能になる。また、本実施形態の気密封止リング２０は、Ｆｅ−Ｎｉ系合金めっき２１と鉄板素地との境界部分にリング本体２３と一体になった拡散層２２を備えているので（図３参照）、Ｆｅ−Ｎｉ系合金めっき２１とリング本体２３との結合強度が高くなる。また、本実施形態の気密封止リング２０の製造方法では、複数のリング本体２３を成形工程の前に、拡散層２２を生成するための上記加熱処理を行うので生産性が向上し、気密封止リング２０の製造コストを下げることができる。
【００３３】
［第２実施形態］
本実施形態は、図８〜図１１に示されており、Ｎｉめっき板金５０Ｖ（図８及び図９参照）を使用して気密封止リング２０Ｖ（図１０参照）を製造する点が異なる。Ｎｉめっき板金５０Ｖは、図８に示すように、鉄板素地５３（例えば、低炭素鋼）の表裏両面がＮｉめっき２１Ｖにて覆われた構造になっている。
【００３４】
なお、本実施形態のＮｉめっき板金５０Ｖは、全体の板厚が０．１〜０．３［ｍｍ］になっており、Ｎｉめっき２１の厚さは、１〜３［μｍ］になっている。
【００３５】
本実施形態の気密封止リング２０の製造方法では、Ｎｉめっき板金５０Ｖを、例えば中性ないし弱還元性の雰囲気の中で加熱処理することで、Ｎｉめっき２１Ｖ全体を鉄板素地５３に拡散させ、図９に示すようにＦｅ−Ｎｉ系合金層２４を生成する。このとき、加熱処理によって生成されたＦｅ−Ｎｉ系合金層２４の組成が、少なくともその表面側においては、例えば、Ｆｅが５０〜６０質量％、Ｎｉが４０〜５０質量％になるように加熱時間、加熱温度を調節する。
【００３６】
次いで、加熱処理済みのＮｉめっき板金５０Ｖから複数の円板５４（図１０（Ａ）参照）を打ち抜き、各円板５４を絞って一端有底の筒体５５（図１０（Ｂ）参照）を成形し、その筒体５５の底壁を打ち抜いて気密封止リング２０Ｖ（図１０（Ｃ）及び図１１参照）を完成させる。
【００３７】
本実施形態の製造方法によっても上記第１実施形態と同様の効果を奏する気密封止リング２０Ｖを製造することができる。
【００３８】
［第３実施形態］
本実施形態に係る気密封止リング２０Ｗの製造方法では、めっき処理が施されていない鉄板（例えば、鋼板）から図１２（Ａ）に示した円板５７を打ち抜く。そして、その円板５７から図１２（Ｂ）に示したリング本体２３を成形する。次いで、そのリング本体２３にめっき処理を施して図１２（Ｃ）に示すようにリング本体２３全体をＦｅ−Ｎｉ系合金めっき２１にて覆った後、加熱処理を行う。これにより、図１３に示すように、Ｆｅ−Ｎｉ系合金めっき２１がリング本体２３に拡散し、Ｆｅ−Ｎｉ系合金めっき２１とリング本体２３との境界部分に、Ｆｅの含有率がリング本体２３に向かって徐々に増加してリング本体２３と一体になった拡散層２２が生成される。
【００３９】
本実施形態の製造方法によれば、Ｆｅ−Ｎｉ系合金めっきで覆われた板金を打ち抜いて気密封止リングを製造する方法に比べてＮｉの廃棄量が抑えられ、Ｎｉ資源の有効利用が図られる。
［第４実施形態］
【００４０】
本実施形態に係る気密封止リング２０Ｘの製造方法では、第３実施形態と同様に、めっき処理が施されていない鉄板からリング本体２３を成形し、そのリング本体２３全体をＮｉめっきで覆うためのめっき処理を施した後、加熱処理を行う。これにより、図１４に示すように、Ｎｉめっき全体がリング本体２３に拡散してＦｅ−Ｎｉ系合金層２４が生成される。この製造方法によっても上記第３実施形態と同様の効果を奏する。
【００４１】
［他の実施形態］
本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、例えば、以下に説明するような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれ、さらに、下記以外にも要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。
【００４２】
（１）前記実施形態では、板金からリング本体２３を成形していたが、パイプを所定長に切断してリング本体にしてもよい。
【００４３】
（２）また、パイプにＦｅ−Ｎｉ系合金めっき又はＮｉめっきを施したものを加熱処理して上記拡散層又はＦｅ−Ｎｉ系合金層を生成してからカットして気密封止リングを製造してもよい。そのようにすれば、Ｎｉの廃棄量が抑えられ、Ｎｉ資源の有効利用が図られる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の第１実施形態に係る水晶発振子の断面図
【図２】気密封止端子の斜視図
【図３】図２におけるＡ−Ａ切断面における気密封止リングを部分拡大断面図
【図４】Ｆｅ−Ｎｉ系合めっき板金の一部破断斜視図
【図５】Ｆｅ−Ｎｉ系合めっき板金の加熱処理後の一部破断斜視図
【図６】Ｆｅ−Ｎｉ系合めっき板金から円板を打ち抜いた状態の斜視図
【図７】円板からリング本体を成形する工程を示した断面図
【図８】第２実施形態に係るＮｉめっき板金の一部破断斜視図
【図９】Ｎｉめっき板金の加熱処理後の一部破断斜視図
【図１０】円板からリング本体を成形する工程を示した断面図
【図１１】気密封止リングを部分拡大断面図
【図１２】第３実施形態の気密封止リングの製造工程を示した断面図
【図１３】気密封止リングを部分拡大断面図
【図１４】第４実施形態の気密封止リングを部分拡大断面図
【符号の説明】
【００４５】
１０    水晶発振子（電気素子）
１１    リード端子
１２    素子本体
１３    封止キャップ
１４    ガラス蓋
２０，２０Ｖ，２０Ｗ，２０Ｘ  気密封止リング
２１    Ｆｅ−Ｎｉ系合金めっき
２１Ｖ  Ｎｉめっき
２２    拡散層
２２    鉄板素地
２３    リング本体
２４    Ｆｅ−Ｎｉ系合金層
５０    Ｆｅ−Ｎｉ系合金めっき板金
５０Ｖ  Ｎｉめっき板金
５３    鉄板素地
【図１】
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【図２】
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【図４】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図１０】
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【図１２】
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【図３】
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【図５】
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【図９】
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【図１１】
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【図１３】
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【図１４】
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