(57)【要約】【課題】潤滑層の膜厚制御に優れた磁気記録媒体の製造装置及び製造方法を提供する。【解決手段】媒体１９に潤滑層１８を形成して磁気記録媒体１０を製造する製造装置１００において、潤滑剤液２を貯蔵した貯槽１１０と、貯槽から見て重力方向と逆方向に配置された処理槽１２０と、処理槽から溢れた潤滑剤液を受ける受け部１２６と、媒体を支持して重力方向に平行に移動する移動手段１３０と、貯槽と処理槽とを接続する供給配管１４０と、供給配管に沿って潤滑剤液を貯槽から処理槽に供給するポンプ１５０と、供給配管を流れる潤滑剤液の流量を検出する流量計１５５と、受け部から貯槽に潤滑剤液を回収する回収配管１６０と、回収配管を流れる潤滑剤液を検出する光センサ１７０と、流量計及び光センサの検出結果１９０に応じて移動手段の移動を制御する制御１９５とを有することを特徴とする製造装置１００を提供する。【選択図】図１
2008310886.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
媒体に潤滑層を形成して磁気記録媒体を製造する製造装置において、
潤滑剤液を貯蔵した貯槽と、
前記貯槽から見て重力方向とは逆方向に配置された処理槽と、
前記処理槽から溢れた前記潤滑剤液を受ける受け部と、
前記貯槽と前記処理槽とを接続する供給配管と、
前記供給配管に沿って前記潤滑剤液を前記貯槽から前記処理槽に供給するポンプと、
前記供給配管を流れる前記潤滑剤液の流量を検出する流量計と、
前記受け部から前記貯槽に前記潤滑剤液を回収する回収配管と、
前記回収配管を流れる前記潤滑剤液を検出する光センサと、
前記流量計及び前記光センサの検出結果に応じて、液流量検出部がＯＮし、前記移動手段の移動を制御することを特徴とする制御部とを有することを特徴とする製造装置。
【請求項２】
媒体に潤滑層を形成して磁気記録媒体を製造する製造方法において、
潤滑剤液を貯蔵した貯槽から、当該貯槽から見て重力方向とは逆方向に配置された処理槽に、前記貯槽と前記処理槽とを接続する供給配管に沿って前記潤滑剤液をポンプを利用して供給するステップと、
前記処理槽から溢れた前記潤滑剤液を受ける受け部から前記貯槽に前記潤滑剤液を回収する回収配管を流れる前記潤滑剤液を光センサにより検出するステップと、
前記供給配管を流れる前記潤滑剤液の流量を流量計により検出するステップと、
前記流量計が規定流量を検出し、前記光センサが前記潤滑剤液を検出したと判断した場合に、前記処理槽の潤滑剤液に浸漬された前記媒体を前記重力方向とは逆方向に移動させるステップとを有することを特徴とする製造方法。
【請求項３】
請求項１記載の製造装置を利用して磁気記録媒体を製造するステップと、
前記磁気記録媒体を筐体に搭載するステップとを有する記憶装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般には、磁気記録媒体の製造装置及び製造方法に係り、特に、磁気記録媒体の潤滑層を形成する方法及び装置に関する。本発明の製造装置によって製造される磁気記録媒体は、ハードディスク装置（Ｈａｒｄ Ｄｉｓｋ Ｄｒｉｖｅ：ＨＤＤ）に搭載される磁気ディスクに好適である。
【背景技術】
【０００２】
近年のＨＤＤの高性能化に伴って、ＨＤＤに搭載される磁気ディスクの特性の向上が益々要求されている。磁気ディスクは、典型的に、非磁性基板上に下地層、記録層としての磁性層、保護層、潤滑層を順に積層する。磁性層は情報を記録する層であり、保護層と潤滑層は磁性層を保護する。このうち、潤滑層は、磁気ヘッドが磁気ディスク表面に接触した場合にヘッドやディスク表面が破壊されるのを防ぐと共にその低い表面エネルギーにより他の物質のディスク面への吸着を防ぐ機能を有する。かかる機能は、潤滑層の膜厚や分子状態に依存するため、潤滑層の膜厚の制御は重要である。
【０００３】
従来、媒体への潤滑層の形成は、テトラオールなどの高分子材料を揮発性の高い有機溶剤に溶かした潤滑剤液に保護層までを形成した媒体を浸漬して引き上げることによって行われていた。
【０００４】
従来技術としては特許文献１及び２がある。
【特許文献１】特許第２５５０４７０号明細書
【特許文献２】特許第２５０６８６０号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、従来の磁気記録媒体の製造において潤滑層の膜厚制御は十分ではなかった。図１０は、媒体１９の表裏面１９ａに潤滑層を形成する機構を説明する概略断面図である。潤滑剤液２からは揮発成分である蒸気層４が一定の高さで存在している。蒸気層４では、潤滑剤２ａが洗い流されており、洗い流す速度が変化すると潤滑層の膜厚が均一にならない。
【０００６】
図１１（ａ）及び図１１（ｂ）は単純に媒体１９を潤滑剤液２から引き上げる様子を説明する概略断面図である。図１１（ａ）に示すように潤滑剤液２に浸漬している媒体１９を図１１(ｂ)に示すように単純に引き上げた場合、媒体１９が上昇するにつれて媒体１９の体積に応じた潤滑剤液２の体積が減少する。このため、たとえ媒体１９の引き上げ速度Ｓ１を一定に維持したとしても相対的に液面が速度Ｓ２で下がるために図１０の潤滑剤２ａを洗い流す速度が変化し、潤滑層の膜厚を均一にすることが困難にある。このため、潤滑層を形成する際の膜厚の精度が低くなる。
【０００７】
本発明は、潤滑層の膜厚制御に優れた磁気記録媒体の製造装置及び製造方法に関する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一側面としての製造装置は、媒体に潤滑層を形成して磁気記録媒体を製造する製造装置において、潤滑剤液を貯蔵した貯槽と、前記貯槽から見て重力方向とは逆方向に配置された処理槽と、前記処理槽から溢れた前記潤滑剤液を受ける受け部と、前記媒体を支持して前記媒体を前記重力方向に平行に移動する移動手段と、前記貯槽と前記処理槽とを接続する供給配管と、前記供給配管に沿って前記潤滑剤液を前記貯槽から前記処理槽に供給するポンプと、前記供給配管を流れる前記潤滑剤液の流量を検出する流量計と、前記受け部から前記貯槽に前記潤滑剤液を回収する回収配管と、前記回収配管を流れる前記潤滑剤液を検出する光センサと、前記流量計及び前記光センサの検出結果に応じて、液流量検出部がＯＮして、前記移動手段の移動を制御することを特徴とする制御部とを有することを特徴とする。かかる製造装置は、処理槽を貯槽の上に配置し、処理槽上方に空気清浄機等を設けて処理槽に流れ込む気体の清浄を維持する。また、貯槽と処理槽の配置が逆であると貯槽から潤滑剤液が溢れて製造装置の周囲を汚染したり、耐震強度が低下したりするおそれがある。光センサは間接的に処理槽から潤滑剤液が溢れていること、即ち、処理槽の液面位置を検出する。処理槽の液面に直接レーザーを照射しても潤滑剤液が透明であり、反射光を検出することができないために処理槽の液面を検出することができない。また、光センサ以外のセンサ、例えば、流量のフロート式センサを使用するとフロートと配管との摩擦によって潤滑剤液が汚染されるため好ましくない。制御部は流量計と光センサの液流量検出部の検出結果に基づいて移動手段の移動を制御するので処理槽から潤滑剤液が溢れている状態で潤滑層を膜厚制御良く形成することができる。
【０００９】
本発明の別の側面としての製造方法は、媒体に潤滑層を形成して磁気記録媒体を製造する製造方法において、潤滑剤液を貯蔵した貯槽から、当該貯槽から見て重力方向とは逆方向に配置された処理槽に、前記貯槽と前記処理槽とを接続する供給配管を介して前記潤滑剤液をポンプを利用して供給するステップと、前記処理槽から溢れた前記潤滑剤液を受ける受け部から前記貯槽に前記潤滑剤液を回収する回収配管を流れる前記潤滑剤液を光センサにより検出するステップと、前記供給配管を流れる前記潤滑剤液の流量を流量計により検出するステップと、前記流量計が規定流量を検出し、前記光センサが前記潤滑剤液を検出したと判断した場合に、前記処理槽の潤滑剤液に浸漬された前記媒体を前記重力方向とは逆方向に移動させるステップとを有することを特徴とする。かかる製造方法は、処理槽を貯槽の上に配置し、処理槽上方に空気清浄機等を設けて処理槽に流れる気体の清浄を維持する。また、貯槽と処理槽の配置が逆であると貯槽から潤滑剤液が溢れて製造装置の周囲を汚染したり、耐震強度が低下したりするおそれがある。光センサは間接的に処理槽から潤滑剤液が溢れていること、即ち、処理槽の液面位置を検出する。処理槽の液面に直接レーザーを照射しても潤滑剤液が透明であるために液面を検出することができない。また、光センサ以外のセンサ、例えば、流量のフロート式センサを使用すると摩擦などによって潤滑剤液が汚染されるため好ましくない。液流量検出部は、前記流量計が規定流量を検出し、前記光センサが前記潤滑剤液を検出したと判断した場合にのみ制御部へ信号を送り媒体の移動を開始する。処理槽における液面位置が一定に確保されている状態で媒体の移動を開始して潤滑層を形成するので潤滑層の膜厚制御が容易になる。
【００１０】
また、上述の製造装置を利用した記憶装置の製造方法も本発明の一側面を構成する。
【００１１】
本発明の更なる目的又はその他の特徴は、以下、添付図面を参照して説明される好ましい実施例によって明らかにされるであろう。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、潤滑層の膜厚制御に優れた磁気記録媒体の製造装置及び製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、添付図面を参照して、磁気記録媒体（磁気ディスク）の製造装置について説明する。
【００１４】
まず、図２を参照して、磁気ディスク１０の構造について説明する。図２は、磁気ディスク１０の構造を示す概略断面図である。図２に示す磁気ディスク１０は面内磁気記録媒体であるが、本発明に適用可能な磁気ディスクは垂直磁気記録媒体であってもよい。垂直磁気記録媒体も潤滑層を有するからである。磁気ディスク１０は、図示しないハードディスク装置（Ｈａｒｄ Ｄｉｓｋ Ｄｒｉｖｅ：ＨＤＤ）に搭載される。磁気ディスク１０は、非磁性基板１１上に、Ｃｒ下地層１２、ＣｒＭｏ下地層１３、ＣｏＣｒ中間層１４、ＲｕＣｒ中間層１５、磁性層（記録層）１６、Ｃ系保護層１７及び潤滑層１８を有する。
【００１５】
非磁性基板１１は、ガラスやアルミニウムなどからなる。Ｃｒ下地層１２は六方細密充填構造（ｈｅｘａｇｏｎａｌ ｃｌｏｓｅ−ｐａｃｋｅｄ ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ：ｈｃｐ）層（１４乃至１６）を結晶成長させるために使用される。ＣｒＭｏ下地層１３も、Ｃｒ下地層１２と同様の機能を有するが、Ｍｏが添加されて格子サイズが増加しており、格子サイズの整合性を整えている。
【００１６】
ＣｏＣｒ中間層１４は強磁性層であり、磁性層１６を形成する前に結晶方向を整えると共に格子サイズの整合性を整える。強磁性層は、Ｃｏを主成分とする合金からなり、少なくともＣｒ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｍｎ、Ｂ元素から１種以上を含むことが好ましい。ＲｕＣｒ中間層１５は、Ｒｕが熱揺らぎ耐性を向上すると共に格子サイズの整合性を整える。別の実施例では、ＲｕＣｒ中間層１５は純粋Ｒｕ中間層に置換される。
【００１７】
磁性層１６は、ＣｏＣｒＰｔ合金から構成される。Ｃ系保護層１７は磁性層１６を磁気ヘッドの摺動などから保護する。潤滑層１８は、高分子材料から構成され、磁性層１６を保護する。潤滑層１８は、図示しない磁気ヘッドが磁気ディスク１０の表面に接触した場合にヘッドやディスク表面が破壊されるのを防ぐと共にその低い表面エネルギーにより他の物質のディスク面への吸着を防ぐ機能を有する。かかる機能は、潤滑層１８の膜厚や分子状態に依存するため、潤滑層１８の膜厚の制御は重要である。
【００１８】
以下、図１、図３乃至図５を参照して、磁気ディスク１０の製造装置１００について説明する。図１は、製造装置１００の概略断面図である。図３は、複数の媒体１９を搭載した処理槽１２０（右）と媒体１９を搭載していない処理槽１２０（左）の斜視図である。図４（ａ）及び図４（ｂ）は、図３に示す処理槽からカバー１２８を取り外した斜視図である。製造装置１００は、媒体１９に潤滑層１８を形成して磁気ディスク１０を製造する製造装置である。
【００１９】
製造装置１００は、図１に示すように、貯槽１１０と、処理槽１２０と、移動手段１３０と、供給配管１４０と、ポンプ１５０と、流量計１５５と、バルブ１３８と、回収配管１６０と、光センサ１７０と、バイパス配管１８０と、液流量検出部１９０と制御部１９５とを有する。
【００２０】
貯槽１１０は、潤滑剤液２を貯蔵した略直方体形状の槽であり、床上に設置される。潤滑剤液２は、Ａｕｓｉｍｏｎｔ社のＦＯＭＢＬＩＮ Ｚ−テトラオールやＡＭなどのパーフルオロポリエーテル（ＰＦＰＥ）などの高分子材料をガルデンなどの揮発性の高い有機溶剤に溶かした溶液である。貯槽１１０は、ステンレスなどから構成される。貯槽１１０は、供給配管１４０に接続されている接続部１１２を下部に有する。
【００２１】
処理槽１２０は、貯槽１１０から見て重力方向であるＺ１方向とは逆方向であるＺ２方向に、図１には省略されているフレームを介して配置され、略直方体形状を有する槽である。処理槽１２０は、媒体１９に潤滑層１８を形成する処理を行う機能を有する。本実施例の処理槽１２０は、縦３００ｍｍ、横２００ｍｍ、高さ２５０ｍｍの約１５Ｌである。
【００２２】
処理槽１２０は貯槽１１０の鉛直上方に配置される。処理槽１２０の上部には図示しない空気清浄機を配置して処理槽１２０に流れ込む気体の清浄を維持している。かかる理由から処理槽１２０の上部には（空気清浄機との間に）何の部材もない方が好ましい。このような部材は処理槽１２０にとって汚染源となるおそれがある。
【００２３】
また、貯槽１１０は処理槽１２０よりも潤滑剤液２を貯蔵する容積が大きい。このため、貯槽１１０と処理槽１２０の配置が逆であると貯槽１１０から処理槽１２０に誤って過度に潤滑剤液２が供給されるか処理槽１２０から貯槽１１０への回収が不良となると処理槽１２０から潤滑剤液２が溢れて製造装置の周囲を汚染するおそれがあるからである。更に、貯槽１１０は処理槽１２０よりも重いため、耐震性から見て処理槽１２０よりも下方にあるほうが好ましい。
【００２４】
処理槽１２０は、接続部１２２と、山切り部１２４と、受け部１２６と、カバー１２８とを有する。
【００２５】
接続部１２２は、供給配管１４０に接続され、処理槽１２０の下部に設けられる。処理槽１２０の液面の揺れや振動を抑えて液面を安定化させるために潤滑剤液２の供給は処理槽１２０の下部において行う。
【００２６】
山切り部１２４は、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、処理槽１２０の上縁部に形成される。山切り部１２４によって処理槽１２０内の潤滑剤液２は隣接する２つの山の間の谷部１２４ａから溢れる。山切り部１２４がなく処理槽１２０の上縁部が水平であると潤滑剤液２が処理槽１２０内で傾斜しやすくなり、媒体１９に均一に潤滑層１８を形成しにくくなる場合がある。処理槽１２０からは潤滑剤液２を常時溢れさせて液面の高さを一定にすることによって液面を安定化させている。
【００２７】
受け部１２６は、処理槽１２０から溢れた潤滑剤液２を受ける。受け部１２６は、回収配管１６０に接続された放出口１２７を有する。処理槽１２０から溢れた潤滑剤液２は放出口１２７から回収配管１６０に排出される。潤滑剤液２は回収配管１６０を自重により進む。受け部１２６は処理槽１２０の周囲に設けられる。即ち、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、受け部１２６は、処理槽１２０の外壁１２１と、最外壁１２５ａと、水平面１２５ｂとによって規定されている。このように、受け部１２６は、ドーナツ形状又は中空形状を有する。
【００２８】
本実施例は処理槽１２０と受け部１２６は一つの槽の中の二重構造として形成されているが、本発明はかかる構造に限定されない。本実施例では、放出口１２７は水平面１２５ｂに形成されるが、水平面１２５ｂの代わりに放出口１２７に向かって傾斜する傾斜面を使用して潤滑剤液２の排出効率を高めてもよい。
【００２９】
カバー１２８は受け部１２６に対応した中空形状を有して受け部１２６を覆うように最外壁１２５ａに接合する。カバー１２８は、例えば、ステンレス等から構成される。カバー１２８は、縁部１２８ａと、縁部１２８ａよりも一段低くなった段差部１２８ｂとを有する。縁部１２８ａと段差部１２８ｂは異物が外部から受け部１２６に侵入して貯槽１１０に回収されることを防止する。
【００３０】
移動手段１３０は、複数の媒体１９を支持して複数の媒体１９をＺ方向に沿って移動し、特に、媒体１９を処理槽１２０に貯められた潤滑剤液２から一定速度でＺ２方向に上昇させる。移動手段１３０は、ハンガー１３２と、駆動部１３６とを有する。ハンガー１３２は、ステンレス製などのロッドであり、水平部１３３と垂直部１３４からなるＬ字形状を有する。
【００３１】
水平部１３３は、図３に示すように、媒体１９の中央孔１９ｂを貫通して一又は複数の媒体１９を支持する。本実施例では水平部１３３は、Ｚ方向に垂直なＹ方向に延びている。水平部１３３の長さは支持すべき媒体１９の枚数によって決定される。
【００３２】
垂直部１３４は、一端が水平部１３３に連結されており、他端が駆動部１３６に結合されている。垂直部１３４はＺ方向に延びる。
【００３３】
駆動部１３６は垂直部１３４をＺ方向に平行に上下移動させる機能を有し、図示しないモータやギアなどから構成される。本発明は駆動部１３６の構成を限定するものではない。駆動部１３６による移動速度は制御部１９５によって制御される。本実施例の制御部１９５は、駆動部１３６による媒体１９の引き上げ速度を３０〜５０ｍｍ／分という低速度に設定している。これにより、媒体１９の移動時に液面の揺らぎを防止することができる。
【００３４】
供給配管１４０は、貯槽１１０と処理槽１２０とを接続し、貯槽１１０から処理槽１２０に潤滑剤液２を供給するのに使用される配管である。本実施例の供給配管１４０の径は２０φである。供給配管１４０は、ポリテトラフロロエチレン（ＰＴＦＥ）でできている。潤滑剤がフッ素系であるために供給配管１４０も同じフッ素系材料を使用して配管からの不純物の溶出を防止している。
【００３５】
ポンプ１５０は、供給配管１４０に設けられ、潤滑剤液２を貯槽１１０から処理槽１２０に供給するための送液ポンプ又は定量ポンプである。このように、本実施例の製造装置１００は潤滑剤液２を貯槽１１０から処理槽１２０に引き上げて使用する。
【００３６】
流量計１５５は、供給配管１４０にポンプ１５０の後段に設けられ、供給配管１４０を流れる潤滑剤液２の流量を検出する。本実施例では流量は１Ｌ／分である。処理槽１２０の体積は約１５Ｌであるので約１５分で処理槽１２０は潤滑剤液２で満たされる。処理槽１２０の液面の上昇速度は１６．７ｍｍ／分となる。
【００３７】
バルブ１３８は、供給配管１４０に設けられ、供給配管１４０を流れる潤滑剤液２の流量をその開閉量によって制御する。
【００３８】
回収配管１６０は、貯槽１１０と処理槽１２０とを接続し、受け部１２６から貯槽１１０に潤滑剤液２を回収する配管である。本実施例の回収配管１６０の径は２０φである。回収配管１６０は、ポリテトラフロロエチレン（ＰＴＦＥ）でできている。潤滑剤がフッ素系であるために回収配管１６０も同じフッ素系材料を使用して配管からの不純物の溶出を防止している。
【００３９】
光センサ１７０は、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、回収配管１６０に設けられ、回収配管１６０を流れる潤滑剤液２を検出する。ここで、図５（ａ）は光センサ１７０の搭載位置を示す斜視図である。図５（ｂ）は図５（ａ）の拡大斜視図である。
【００４０】
光センサ１７０は、透過光量を検出する透過型光センサであり、例えば、キーエンス（Ｋｅｙｅｎｃｅ）社製光学式通過センサＰＧから構成される。光学式通過センサＰＧは発光素子（ＬＥＤ）の光を均一に平行化して検出領域を形成する。検出領域の一方の側に発光素子が設けられ、反対側に受光素子が設けられる。
【００４１】
このように、光センサ１７０の発光素子と受光素子は検出領域である回収配管１６０を跨いでいる。この領域を物質が通過すると透過光量が変化する。物質が透明な流体であっても空気と流体では光の屈折率が異なるために透過光量が変化する。空のテフロン製の回収配管１６０は半透明であるため、一定の光量が得られる。
【００４２】
光センサ１７０は間接的に処理槽１２０から潤滑剤液２が溢れていること、即ち、処理槽１２０の液面位置を検出する。光センサ１７０に反射型光センサを使用して処理槽１２０の液面を直接検出することも考えられる。しかし、処理槽１２０の液面に直接レーザーを照射して反射光を検出しようとしても潤滑剤液２が透明であるために反射光を十分な光強度で検出することができず、この結果、処理槽１２０の液面を検出することができない。
【００４３】
また、光センサ以外のセンサ、例えば、フロート式センサを使用するとフロートと処理槽１２０との摩擦によって潤滑剤液２が汚染されるおそれがあるため好ましくない。
【００４４】
バイパス配管１８０はバルブ１３８と回収配管１６０に接続される。バイパス配管１８０はバルブ１３８の切り替えによって供給配管１４０、バイパス配管１８０及び回収配管１６０を接続する。バイパス配管１８０は、メインテナンスなどの場合に使用される。バルブ１３８が誤って切り替わってバイパス配管１８０に接続されると流量計１５５が規定の流量を検出しても処理槽１２０の液面位置が満たされない状態で一定にならなくなる。従って、流量計１５５の検出結果にのみ基づいて移動手段１３０を上昇開始することは潤滑層１８が膜厚制御良く形成されない可能性がある。
【００４５】
制御部１９５は、液流量検出部の検出結果に応じて移動手段１３０の移動を制御する。以下、図６及び図７を参照して、制御部１９５の動作について説明する。ここで、図６は、製造装置１００の動作を説明するためのフローチャートである。制御部１９５は液流量検出部１９０の検出結果に基づいて移動手段１３０の移動を制御するので処理槽１２０から潤滑剤液２が溢れている状態で潤滑層１８を膜厚制御良く媒体１９上に形成することができる。
【００４６】
まず、貯槽１１０から処理槽１２０に供給配管１４０に沿って潤滑剤液２をポンプ１５０を利用して供給開始する（ステップ１００２）。次に、供給配管１４０を流れる潤滑剤液２の流量を流量計１５５により検出する（ステップ１００４）。次に、液流量検出部１９０は流量計１５５が検出した流量が規定流量（本実施例では、１Ｌ／分）であるかどうかを判断する（ステップ１００６）。
【００４７】
次に、回収配管１６０を流れる潤滑剤液２を光センサ１７０により検出（ステップ１００８）。次に、液流量検出部１９０は、光センサ１７０が潤滑剤液２を検出したかどうかを判断する（ステップ１０１０）。本実施例では液流量検出部１９０は透過光量が一定であれば移動手段１３０への駆動信号をオフのままとし、光量に変動があると判断した時はオンとする。
【００４８】
液流量検出部１９０は、流量計１５５が検出した流量が規定流量であり、かつ、光センサ１７０が潤滑剤液２を検出した時、制御部１９５がＯＮとなり、処理槽１２０の潤滑剤液２に浸漬するため媒体１９をＺ1方向に一定の速度で移動開始する（ステップ１０１２）。次に、媒体１９が浸漬位置まで達したら所定時間待機する。（ステップ１０１３）。次に制御部１９５は引き上げ処理を行う為、媒体１９をＺ２方向に一定速度で移動開始する（ステップ１０１４）。制御部１９５は移動手段１３０が所定の高さまで移動したかどうかを判断し（ステップ１０１５）、移動したと判断したら処理を終了する。
【００４９】
ここで、図７を参照して、ステップ１０１２の効果について説明する。図７（ａ）及び図７（ｂ）は潤滑剤液２の液面を常に一定に維持した状態で媒体１９を一定速度で引き上げる様子を説明する概略断面図である。
【００５０】
従来の潤滑層１８は、図１１（ａ）及び図１１（ｂ）に示すように、潤滑剤液２に保護層１７までを形成した媒体１９を浸漬して引き上げることによって行われていた。しかしこれでは、潤滑層１８の膜厚制御が不十分であり、膜厚にバラツキがでる。
【００５１】
これに対して製造装置１００は、図１０に示す蒸気層４において潤滑剤２ａを洗い流す速度を一定に維持することによって潤滑層１８の膜厚を高精度に制御する。具体的には、図７（ａ）及び図７（ｂ）に示すように、媒体１９が浸漬される潤滑剤液２の液面の位置を媒体１９が移動する位置に拘らず常に一定に維持した状態で（即ち、潤滑剤液２を溢れさせた状態で）、媒体１９を一定の速度Ｓ１で上昇させる。潤滑剤液２の液面の位置が維持されるので、蒸気層４において潤滑剤２ａを洗い流す速度は媒体１９の移動速度にのみ依存する。媒体１９を一定の速度Ｓ１で上昇させることによって蒸気層４において潤滑剤２ａを洗い流す速度は一定となる。
【００５２】
以下、図８を参照して本実施例のＨＤＤの製造方法について説明する。ここで、図８はＨＤＤの製造方法を説明するためのフローチャートである。まず、製造装置１００を利用して磁気ディスクを製造する（ステップ１１０２）。これと並行して、磁気ヘッド、スピンドルモータ、その他の構成要素を製造する（ステップ１１０４）。全ての構成要素を筐体に搭載する（ステップ１１０６）。ステップ１１０２が製造装置１００を利用しているので高精度に膜厚制御された潤滑層１８が形成された磁気ディスク１０を記憶装置に搭載することができる。
【００５３】
図９は、このようにして製造されたＨＤＤ２００の内部構造の概略平面図である。ＨＤＤ２００は、図９に示すように、筐体２０２内に、記録媒体（又は記憶媒体）としての一又は複数の磁気ディスク２０４と、スピンドルモータ２０６と、ヘッドスタックアッセンブリ（Ｈｅａｄ Ｓｔａｃｋ Ａｓｓｅｍｂｌｙ：ＨＳＡ）２１０とを収納する。磁気ディスク２０４は磁気ディスク１０である。磁気ディスク２０４は、その中央に設けられた孔を介してスピンドルモータ２０６のスピンドル（ハブ）に装着される。
【００５４】
ＨＳＡ１１０は、磁気ヘッド部２２０を支持するサスペンション２３０と、ベースプレート２６０と、キャリッジ２７０とを有する。磁気ヘッド部２２０は、スライダと、読み出し及び書き込み用のヘッドを内蔵するヘッド素子内蔵膜とを有する。スライダは、ヘッドを支持して回転するディスク２０４の表面から浮上する。
【００５５】
サスペンション２３０は、磁気ヘッド部２２０を支持すると共に磁気ヘッド部２２０に対してディスク２０４方向に弾性力を加える機能を有する。ベースプレート２６０は、サスペンション２３０をアーム２７４に取り付ける機能を有する。キャリッジ２７０は、磁気ヘッド部２２０を図９に示す矢印方向に回動又は揺動する機能を有し、支軸２７２と、アーム２７４とを有する。支軸２７２は、筐体２０２内に図２の紙面に垂直に配置される。支軸２７２の中心軸がアーム２７４の回転軸である。アーム２７４は、ベースプレート２６０を介してサスペンション２３０を支持する。
【００５６】
動作において、スライダが磁気ディスク２０４から浮上してヘッドが記録再生を施す。磁気ディスク２０４は、上述の磁気ディスク１０であり、潤滑層１８が設定された膜厚で均一に形成されている。このため、ヘッドが磁気ディスク２０４表面に接触した場合にヘッドやディスク表面が破壊されるのを効果的に防ぐと共にその低い表面エネルギーにより他の物質のディスク２０４への吸着を効果的に防ぐことができる。
【００５７】
以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明はこれらの実施の形態に限定されず、その要旨の範囲内で様々な変形及び変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の一側面としての磁気記録媒体の製造装置の概略ブロック図である。
【図２】図１に示す製造装置によって製造される磁気記録媒体の構造を示す概略断面図である。
【図３】図１に示す製造装置の処理槽の斜視図である。
【図４】図３に示す処理槽からカバーを外した状態を示す斜視図である。
【図５】図１に示す製造装置の光センサ近傍を示す斜視図である。
【図６】図１に示す製造方法の動作を説明するためのフローチャートである。
【図７】図６に示すステップ１０１２の様子を説明する概略断面図である。
【図８】本発明の別の側面としての記憶装置の製造方法を説明するためのフローチャートである。
【図９】図８に示す製造方法によって製造されたＨＤＤの内部構造の概略平面図である。
【図１０】媒体の表裏面に潤滑層を形成する機構を説明する概略断面図である。
【図１１】図１１（ａ）及び図１１（ｂ）は単純に媒体を潤滑剤液から引き上げる様子を説明する概略断面図である。
【符号の説明】
【００５９】
２                  潤滑剤液
１０、２０４        磁気記録媒体（磁気ディスク）
１８                潤滑層
１９                媒体
１００              製造装置
１１０              貯槽
１２０              処理槽
１２６              受け部
１３０              移動手段
１４０              供給配管
１５０              ポンプ
１５５              流量計
１６０              回収配管
１７０              光センサ
１９０              液流量検出部
１９５              制御部
２００              ハードディスク装置
【図７】
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【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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