(57)【要約】【課題】蒸着装置により長時間連続して安定的に蒸着を行うことを可能とする極めて実用性に秀れた蒸着材料供給装置の提供。【解決手段】真空槽内に設けた蒸発源１に充填された蒸着材料２を加熱して蒸発させて基板上に付着させる蒸着装置に設けられ、前記蒸発源１に前記蒸着材料２を供給する蒸着材料供給装置であって、供給用の前記蒸着材料２が収納される材料収納体３に、この供給用の蒸着材料２を前記蒸発源１内に案内供給する案内供給口４を設け、この案内供給口４若しくは材料収納体３を、前記蒸発源１に対して接離自在に設けて、前記案内供給口４を、前記蒸発源１に近接せしめた近接供給状態と、前記蒸発源１から離反せしめた離反退避状態とに切替動自在に構成する。【選択図】図２
2008050630.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空槽内に設けた蒸発源に充填された蒸着材料を加熱して蒸発させ、この蒸発源からの前記蒸着材料の蒸発物を基板上に付着させる蒸着装置に設けられ、前記蒸発源に前記蒸着材料を供給する蒸着材料供給装置であって、供給用の前記蒸着材料が収納される材料収納体に、この供給用の蒸着材料を前記蒸発源内に案内供給する案内供給口を設け、この案内供給口若しくはこの案内供給口を設けた前記材料収納体を、前記蒸発源に対して接離自在に前記真空槽内に設けて、前記案内供給口を、前記蒸発源の開口部に臨む位置まで近接せしめて前記蒸発源に前記蒸着材料を供給する近接供給状態と、前記蒸発源から離反せしめて前記案内供給口に前記蒸発物が付着しないように前記蒸発源の開口部に臨む位置から退避する離反退避状態とに切替動自在に構成したことを特徴とする蒸着材料供給装置。
【請求項２】
前記案内供給口を前記近接供給状態から前記離反退避状態に切り替える際、この案内供給口を、前記蒸発源からの前記蒸着材料の蒸発物が付着する付着領域から、この蒸発物が付着しない非付着領域に退避させ得るように前記案内供給口若しくはこの案内供給口を設けた前記材料収納体を構成したことを特徴とする請求項１記載の蒸着材料供給装置。
【請求項３】
前記案内供給口若しくはこの案内供給口を設けた前記材料収納体を回動自在に構成して、前記近接供給状態と前記離反退避状態とに回動切替自在に構成したことを特徴とする請求項１，２のいずれか１項に記載の蒸着材料供給装置。
【請求項４】
前記材料収納体は、ワイヤ状の前記蒸着材料が巻き取り繰り出し自在に収納されるワイヤドラムで構成し、このワイヤドラムに前記ワイヤ状の蒸着材料を前記蒸発源内へと案内する案内ノズルを突設し、この案内ノズルの先端開口部を前記案内供給口に設定したことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の蒸着材料供給装置。
【請求項５】
前記案内供給口の供給角度（θ）が４０〜７５°であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の蒸着材料供給装置。
【請求項６】
前記離反退避状態において前記案内供給口に付着した前記蒸発物を除去する蒸発物除去機構を備えたことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の蒸着材料供給装置。
【請求項７】
前記蒸発物除去機構は、前記案内供給口に付着した前記蒸発物を溶融除去する溶融除去部を有することを特徴とする請求項６記載の蒸着材料供給装置。
【請求項８】
前記蒸発物除去機構は、前記案内供給口に付着した前記蒸発物を検知し得るセンサ部を有することを特徴とする請求項６，７のいずれか１項に記載の蒸着材料供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸着材料供給装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
真空槽内に設けた蒸発源（坩堝）に充填される蒸着材料（例えばＡｌ等の金属材料）を、例えば電子ビームを照射する等して加熱蒸発させて真空蒸着を行う真空蒸着装置に設けられる、真空槽の真空状態を保持したまま坩堝に蒸着材料を供給する蒸着材料供給装置としては、例えば特許文献１に開示されるような構成が知られている。
【０００３】
特許文献１の蒸着材料供給装置は、ワイヤ状の蒸着材料が巻き取り繰り出し自在に巻回状態で収納されるワイヤドラム22と、このワイヤドラム22から坩堝21に向かって突設されるワイヤ状の蒸着材料を坩堝21内へと案内する案内ノズル23とで構成されている。
【０００４】
ところで、この蒸着材料供給装置においては、坩堝21への材料供給を容易にするため、案内ノズル23の先端開口部が坩堝21近傍に配置されている。そのため、案内ノズル23に蒸発物が付着し易く、この付着物により先端開口部が閉塞されてワイヤ状の蒸着材料の繰り出し等が阻害されるため、頻繁にメンテナンスを行う必要がある。
【０００５】
そこで、一般的には、案内ノズル23と坩堝21との間に、図１に図示したようなシャッタ24を進退自在に設けて、このシャッタ24により蒸発物が案内ノズル23に付着することを阻止できるように構成されている。尚、図１中、符号25はシャッタ24が進退自在に設けられるガイド体、26はワイヤドラム22が設置される設置テーブル、27はワイヤドラム22の回転軸28の両端部を夫々回動自在に支持する支持体である。
【０００６】
即ち、材料供給時にはシャッタ24を坩堝21と案内ノズル23の間から退避させて案内ノズル23から坩堝21への材料供給を許容し、非供給時にはシャッタ24を坩堝21と案内ノズル23の先端開口部との間に位置せしめて、前記蒸発物の案内ノズル23の先端開口部への付着を阻止し得るように構成されている。
【０００７】
【特許文献１】特開２０００−２０８３６４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上述のようにシャッタ24を設けることで、確かに非供給時に案内ノズル23の先端開口部に蒸発物が付着することは阻止できる。しかしながら、シャッタ24は、蒸着中、常に近傍の坩堝21からの蒸発物に晒されるため、蒸発物が大量に付着し、このシャッタ24に付着した蒸発物が、坩堝21等に落下したりシャッタ24を進退移動させる際に坩堝等に接触したりして動作不良の原因となってしまう。
【０００９】
従って、結局、このシャッタ24に付着した蒸発物を除去するために頻繁にメンテナンスを行う必要があり、長時間連続して安定的に蒸着を行える構成は未だ実現できていないのが現状である。
【００１０】
本発明は、上述のような現状に鑑みなされたもので、材料供給時にのみ蒸発源に案内供給口を供給可能位置まで近接させ、非供給時には蒸発物が付着しないように蒸発源から離反させ得るように構成することで、非供給時に常に蒸発物に晒されることなく案内供給口への蒸発物の付着を阻止してメンテナンス周期を長期化でき、蒸着装置により長時間連続して安定的に蒸着を行うことを可能とする極めて実用性に秀れた蒸着材料供給装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
添付図面を参照して本発明の要旨を説明する。
【００１２】
真空槽内に設けた蒸発源１に充填された蒸着材料２を加熱して蒸発させ、この蒸発源１からの前記蒸着材料２の蒸発物を基板上に付着させる蒸着装置に設けられ、前記蒸発源１に前記蒸着材料２を供給する蒸着材料供給装置であって、供給用の前記蒸着材料２が収納される材料収納体３に、この供給用の蒸着材料２を前記蒸発源１内に案内供給する案内供給口４を設け、この案内供給口４若しくはこの案内供給口４を設けた前記材料収納体３を、前記蒸発源１に対して接離自在に前記真空槽内に設けて、前記案内供給口４を、前記蒸発源１の開口部に臨む位置まで近接せしめて前記蒸発源１に前記蒸着材料２を供給する近接供給状態と、前記蒸発源１から離反せしめて前記案内供給口４に前記蒸発物が付着しないように前記蒸発源１の開口部に臨む位置から退避する離反退避状態とに切替動自在に構成したことを特徴とする蒸着材料供給装置に係るものである。
【００１３】
また、前記案内供給口４を前記近接供給状態から前記離反退避状態に切り替える際、この案内供給口４を、前記蒸発源１からの前記蒸着材料２の蒸発物が付着する付着領域から、この蒸発物が付着しない非付着領域に退避させ得るように前記案内供給口４若しくはこの案内供給口４を設けた前記材料収納体３を構成したことを特徴とする請求項１記載の蒸着材料供給装置に係るものである。
【００１４】
また、前記案内供給口４若しくはこの案内供給口４を設けた前記材料収納体３を回動自在に構成して、前記近接供給状態と前記離反退避状態とに回動切替自在に構成したことを特徴とする請求項１，２のいずれか１項に記載の蒸着材料供給装置に係るものである。
【００１５】
また、前記材料収納体３は、ワイヤ状の前記蒸着材料２が巻き取り繰り出し自在に収納されるワイヤドラム８で構成し、このワイヤドラム８に前記ワイヤ状の蒸着材料２を前記蒸発源１内へと案内する案内ノズル９を突設し、この案内ノズル９の先端開口部を前記案内供給口４に設定したことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の蒸着材料供給装置に係るものである。
【００１６】
また、前記案内供給口４の供給角度（θ）が４０〜７５°であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の蒸着材料供給装置に係るものである。
【００１７】
また、前記離反退避状態において前記案内供給口４に付着した前記蒸発物を除去する蒸発物除去機構５を備えたことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の蒸着材料供給装置に係るものである。
【００１８】
また、前記蒸発物除去機構５は、前記案内供給口４に付着した前記蒸発物を溶融除去する溶融除去部６を有することを特徴とする請求項６記載の蒸着材料供給装置に係るものである。
【００１９】
また、前記蒸発物除去機構５は、前記案内供給口４に付着した前記蒸発物を検知し得るセンサ部７を有することを特徴とする請求項６，７のいずれか１項に記載の蒸着材料供給装置に係るものである。
【発明の効果】
【００２０】
本発明は、上述のように構成したから、非供給時に常に蒸発物に晒されることなく案内供給口への蒸発物の付着を阻止してメンテナンス周期を長期化でき、蒸着装置により長時間連続して安定的に蒸着を行うことを可能とする極めて実用性に秀れた蒸着材料供給装置となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
好適と考える本発明の実施形態（発明をどのように実施するか）を、図面に基づいて本発明の作用を示して簡単に説明する。
【００２２】
材料収納体３に収納される供給用の蒸着材料２を蒸発源１に供給する際（材料供給時）には、案内供給口４若しくはこの案内供給口４を設けた材料収納体３を、案内供給口４が蒸発源１の開口部に臨む位置まで近接せしめて蒸着材料２を蒸発源１に供給する。
【００２３】
一方、蒸着材料２を供給しない非供給時には、案内供給口４若しくはこの案内供給口４を設けた材料収納体３を、蒸発源１から離反せしめて案内供給口４を蒸発源１の開口部に臨む位置から前記蒸発源１からの蒸発物が付着しない（付着しにくい位置）に退避する。
【００２４】
従って、案内供給口が蒸発源の近傍（材料供給位置）に固定され、非供給時の間、常に蒸発物に晒される従来構成と異なり、案内供給口４に付着する蒸発物は材料供給時に付着する分だけで済む。
【００２５】
よって、例えば、シャッタを設けずとも、非供給時に案内供給口４に蒸発物が付着することを阻止できる。即ち、シャッタから蒸発物が落下したり、シャッタに付着した蒸発物と坩堝とが干渉したりせず、安定的に蒸着を行える。
【００２６】
また、例えば、シャッタ14を設けた場合には、このシャッタ14を案内供給口４と共に蒸着源１に対して接離自在に設ければ、非供給時に付着する蒸発物を減少させることができ、メンテナンス周期の更なる長期化を図ることが可能となる。
【００２７】
また、例えば、前記案内供給口４を前記近接供給状態から前記離反退避状態に切り替える際、この案内供給口４を、前記蒸発源１からの前記蒸着材料２の蒸発物が付着する付着領域から、この蒸発物が付着しない非付着領域に退避させ得るように前記案内供給口４若しくはこの案内供給口４を設けた前記材料収納体３を構成した場合には、より確実に非供給時に案内供給口４に付着する蒸発物の量を低減でき、一層メンテナンス周期の長期化を図ることが可能となる。
【００２８】
また、例えば、前記案内供給口４若しくはこの案内供給口４を設けた前記材料収納体３を回動自在に構成して、前記近接供給状態と前記離反退避状態とに回動切替自在に構成した場合には、簡易構造で且つ必要最小限の設置スペースで案内供給口４を蒸発源１に対して接離自在に構成できることになる。
【００２９】
図２のように（蒸発源１の設置面と平行な）水平線と案内ノズルのなす角度θは、供給角度と定義する。この供給角度は、４０〜７５°が好ましく、５５〜６５°がより好ましい。４０°より小さい角度では、材料供給の際に、案内供給口から送り出したワイヤ材が蒸着時の熱の影響にて撓んでしまい、うまく坩堝に供給できなくなるため好ましくない。また、７５°より大きな角度の場合は、坩堝の上部から供給するため案内ノズルが長くなると共に、案内ノズルの長手方向全域に材料が蒸着してしまい、蒸着した材料の除去が困難になるため好ましくない。
【００３０】
また、例えば、前記離反退避状態において前記案内供給口４に付着した前記蒸発物を溶融除去する溶融除去部６と前記案内供給口４に付着した前記蒸発物を検知し得るセンサ部７とを有する蒸発物除去機構５を備えた場合には、案内供給口４に付着した蒸発物を真空槽の真空状態を保ったまま簡単に且つ確実に除去することが可能となり、より長時間連続して安定的な蒸着が可能となる。
【実施例】
【００３１】
本発明の具体的な実施例について図２〜４に基づいて説明する。
【００３２】
本実施例は、真空槽内に設けた蒸発源１に充填された蒸着材料２を加熱して蒸発させ、この蒸発源１からの前記蒸着材料２の蒸発物を基板上に付着させる蒸着装置に設けられ、前記蒸発源１に前記蒸着材料２を供給する蒸着材料供給装置であって、供給用の前記蒸着材料２が収納される材料収納体３に、この供給用の蒸着材料２を前記蒸発源１内に案内供給する案内供給口４を設け、この案内供給口４若しくはこの案内供給口４を設けた前記材料収納体３を、前記蒸発源１に対して接離自在に前記真空槽内に設けて、前記案内供給口４を、前記蒸発源１の開口部に臨む位置まで近接せしめて前記蒸発源１に前記蒸着材料２を供給する近接供給状態と、前記蒸発源１から離反せしめて前記案内供給口４に前記蒸発物が付着しないように前記蒸発源１の開口部に臨む位置から退避する離反退避状態とに切替動自在に構成したものである。
【００３３】
具体的には、本実施例は、図２に図示したように、材料収納体３を、ワイヤ状の前記蒸着材料２が巻き取り繰り出し自在に巻回状態で収納されるワイヤドラム８で構成し、このワイヤドラム８（のカバー）に前記ワイヤ状の蒸着材料２を前記蒸発源１内へと案内する案内ノズル９を蒸発源１（坩堝）に向けて供給角度θが６０°になるよう突設し、この案内ノズル９の先端開口部を前記案内供給口４に設定している。
【００３４】
このワイヤドラム８を繰り出し方向に回動することで、案内供給口４から、ワイヤ状の蒸着材料２の先端部分が突出せしめられて蒸発源１内に挿入せしめられる。
【００３５】
この蒸発源１内に挿入された蒸着材料２は、加熱されて溶融状態となった蒸発源１内の蒸着材料２により溶融せしめられて一体化する。尚、蒸着材料２をワイヤ状以外の形状で供給するように構成しても良い。
【００３６】
また、案内供給口４を設けた材料収納体３を設置面に対して水平回動自在に構成して、前記近接供給状態と前記離反退避状態とに水平回動切替自在に構成している。
【００３７】
即ち、本実施例は、材料収納体３を近接供給状態とした際、案内供給口４が蒸発源１から所定距離だけ上方（蒸発源１の略中心位置に蒸着材料２を挿入できる位置）に位置するように構成し、高さを変えることなく（垂直方向に移動させることなく）水平方向に回動させることで離反退避状態にし得るように構成している。
【００３８】
尚、本実施例においては、材料収納体３を水平回動させる構成を採用しているが、設置面に対して垂直方向にも移動し得るように構成しても良い。また、回動に限らず進退動し得るように構成しても良いし、回動と進退動の双方を行うように構成しても良い。但し、材料収納体３の設置スペースが十分に確保できない場合や、できるだけ真空槽を小さくしたい場合には、水平回動のみを行う構成を採用するのが望ましい。
【００３９】
具体的には、前記案内供給口４を前記近接供給状態から前記離反退避状態に切り替える際、この案内供給口４を、前記蒸発源１からの前記蒸着材料２の蒸発物が付着する付着領域から、この蒸発物が付着しない非付着領域に退避させ得るように案内供給口４を設けた前記材料収納体３を構成している。
【００４０】
即ち、案内供給口４を、蒸発源１の開口部に臨む位置（ワイヤ状の蒸着材料２を繰り出した際、この蒸着材料２が案内ノズル９に案内されて蒸発源１に挿入し得る位置）まで近接せしめて材料供給し得るように構成すると共に、蒸発源１から離反せしめて蒸発源１の開口部に臨む位置から蒸発物が付着しない位置まで退避し得るように構成している。
【００４１】
具体的には、材料収納体３を回動自在な回転テーブル11に設けて、この回転テーブル11を回動させることにより、材料収納体３を、前記案内ノズル９（案内供給口４）が蒸発源１側を向いて材料供給が可能な状態（近接供給状態）と、この近接供給状態から１８０°回動させて案内ノズル９が反対側を向いた状態（離反退避状態）とに回動切替自在に構成している。図中、符号10は回転テーブル11の回転軸（回転テーブル11は回転軸10と共に回動する）、12はワイヤドラム８の回転軸13の両端部を夫々回転自在に支持する支持体である。
【００４２】
尚、離反退避状態においては、蒸発源１から見て案内ノズル９をワイヤドラム８により隠蔽し得る位置まで離反させ得るように構成すれば良く、近接供給状態から１８０°以下の範囲で回動させた状態を離反退避状態としても良い。即ち、少なくとも蒸発源１からの蒸発物が直線的に案内ノズル９に付着することを、ワイヤドラム８により阻止できる位置まで回動し得るように構成すれば良い（回り込んでくる蒸発物は僅かであるため。）。
【００４３】
従って、本実施例は、例えばレール等を用いて材料収納体３を進退自在に設ける場合に比し設置スペースを取ることなく、また、既存の材料収納体３を回転テーブル上に設置するだけで構成することができ、極めて簡易に且つコスト安に実現可能となる。
【００４４】
また、本実施例は、図３に図示したように、前記離反退避状態において案内供給口４に付着した前記蒸発物を除去する蒸発物除去機構５を備えている。従って、材料供給時に案内供給口４に付着した蒸発物を除去できることになり、一層メンテナンス周期の長期化を図ることが可能となる。
【００４５】
蒸発物除去機構５は、前記案内供給口４に付着した前記蒸発物を溶融除去する溶融除去部６と、前記案内供給口４に付着した前記蒸発物を検知し得るセンサ部７とを有する構成としている。この蒸発物除去機構５は、材料収納体３と共に回動する構成としても良いし、離反退避状態の案内ノズル９の先端部を被嵌し得る位置に固定状態に設ける構成としても良い。
【００４６】
溶融除去部６は、案内ノズル９の先端部に巻回される導線６ａと電源６ｂとで構成されている。この導線６ａに電流を流して加熱することで、案内ノズル９の先端部に付着した前記蒸発物を溶融除去する。また、加熱方式としては急速加熱可能な（高周波）誘導加熱を採用すると良い。
【００４７】
例えば蒸着材料がＡｌである場合、加熱温度は７００〜９００℃、加熱時間は１〜２分程度に設定すると良い。また、蒸発物を溶融除去する際には、ワイヤドラム８を巻き取り方向に回動せしめてワイヤ状の蒸着材料２の先端部を案内ノズル９内から退避せしめ、ワイヤ状の蒸着材料がノズル内で溶融しないようにしておく。尚、このような高周波誘導加熱による蒸着物の溶融除去機構に対して、案内ノズル９の材質は、炭化ケイ素、窒化ケイ素、ジルコニア、サイアロン、チタン酸アルミニウム等のセラミックが有効である。上記の加熱温度域では、案内ノズル９に付着した金属材料が選択的に加熱されるからである。
【００４８】
センサ部７は、一般的な光センサであり、案内ノズル９の先端部（先端開口部）に前記蒸発物が付着しているか否かを検知する。このセンサ部７により、溶融除去部６により蒸発物が除去されたか否かを確認する。また、このセンサ部７が蒸発物の付着を検知した際、前記溶融除去部６の導線に自動的に電流が流れて蒸発物を溶融除去するように構成しても良い。更に、光センサ以外のセンサとして、超音波センサ（案内ノズル９の退避位置に送波器と受波器を配設しておき、案内ノズル９の洗浄前後の蒸着物の状況を検出し洗浄及び再洗浄の判断を行う）や画像検出（洗浄前後の案内ノズル９の状態を撮影し、未使用時の状態と比較することで洗浄及び再洗浄の判断を行う）により同様に利用可能である。
【００４９】
尚、本実施例においては、蒸発源１と案内供給口４との間にシャッタを設けない場合について説明したが、図４に図示したようにシャッタ14を設ける構成としても良い。この場合、シャッタ14も前記材料収納体３と共に回動するように構成する。具体的には、シャッタ14が進退自在に設けられるガイド体15を回転テーブル11に設置する。従って、このシャッタ14にも非供給時に蒸発物が付着せず、シャッターの動作に対する影響が解消される。
【００５０】
また、本実施例は、材料収納体３を蒸発源１に対して接離自在に設けた構成としたが、案内供給口４（案内ノズル９）を蒸発源１に対して接離自在に設けた構成としても良い。但し、この場合には、本実施例に比して構造が複雑化することになる。
【００５１】
本実施例は上述のように構成したから、材料収納体３に収納される供給用の蒸着材料２を蒸発源１に供給する際（材料供給時）には、案内供給口４を設けた材料収納体３を、案内供給口４が蒸発源１の開口部に臨む位置まで近接せしめて蒸着材料２を蒸発源１に供給する。
【００５２】
一方、蒸着材料２を供給しない非供給時には、案内供給口４を設けた材料収納体３を、蒸発源１から離反せしめて案内供給口４を蒸発源１の開口部に臨む位置から前記蒸発源１からの蒸発物が付着しない（付着しにくい位置）に退避する。
【００５３】
従って、案内供給口が蒸発源の近傍（材料供給位置）に固定され、非供給時の間、常に蒸発物に晒される従来構成と異なり、案内供給口４に付着する蒸発物は材料供給時に付着する分だけで済む。
【００５４】
よって、例えば、シャッタを設けずとも、非供給時に案内供給口４に蒸発物が付着することを阻止できる。即ち、シャッタから蒸発物が落下したり、シャッタに付着した蒸発物と坩堝とが干渉したりせず、安定的に蒸着を行える。
【００５５】
また、例えば、シャッタ14を設けた場合には、このシャッタ14を案内供給口４と共に蒸着源１に対して接離自在に設ければ、非供給時に付着する蒸発物を減少させることができ、メンテナンス周期の更なる長期化を図ることが可能となる。
【００５６】
また、前記案内供給口４を前記近接供給状態から前記離反退避状態に切り替える際、この案内供給口４を、前記蒸発源１からの前記蒸着材料２の蒸発物が付着する付着領域から、この蒸発物が付着しない非付着領域に退避させ得るように前記案内供給口４を設けた前記材料収納体３を構成したから、より確実に非供給時に案内供給口４に付着する蒸発物の量を低減でき、一層メンテナンス周期の長期化を図ることが可能となる。
【００５７】
また、前記案内供給口４を設けた前記材料収納体３を回動自在に構成して、前記近接供給状態と前記離反退避状態とに回動切替自在に構成したから、簡易構造で且つ必要最小限の設置スペースで案内供給口４を蒸発源１に対して接離自在に構成できることになる。
【００５８】
また、前記離反退避状態において前記案内供給口４に付着した前記蒸発物を溶融除去する溶融除去部６と前記案内供給口４に付着した前記蒸発物を検知し得るセンサ部７とを有する蒸発物除去機構５を備えたから、案内供給口４に付着した蒸発物を真空槽の真空状態を保ったまま簡単に且つ確実に除去することが可能となり、より長時間連続して安定的な蒸着が可能となる。案内ノズル９に付着した蒸着材料は、溶融除去された場合、その下方に設置した図示しない回収トレーなどに溶融滴下させて回収する。
【００５９】
従って、本実施例は、非供給時に常に蒸発物に晒されることなく案内供給口への蒸発物の付着を阻止してメンテナンス周期を長期化でき、蒸着装置により長時間連続して安定的に蒸着を行うことを可能とする極めて実用性に秀れた蒸着材料供給装置となる。
【００６０】
本発明は、本実施例に限られるものではなく、各構成要件の具体的構成は適宜設計し得るものである。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】従来例の概略説明側面図である。
【図２】本実施例の一部を切り欠いた概略説明側面図である。
【図３】本実施例の概略説明側面図である。
【図４】別例の概略説明側面図である。
【符号の説明】
【００６２】
１  蒸発源
２  蒸着材料
３  材料収納体
４  案内供給口
５  蒸発物除去機構
６  溶融除去部
７  センサ部
８  ワイヤドラム
９  案内ノズル
【図１】
2008050630.tif 000003
【図２】
2008050630.tif 000004
【図３】
2008050630.tif 000005
【図４】
2008050630.tif 000006