(57)【要約】【課題】少ない消費電力で容器内部の真空度を良好に維持することが可能な発熱体収納用容器およびそれを用いた発熱体収納構造体を提供すること。【解決手段】発熱体７が収納される収納容器１と、金属板の表面に金属粉末を被着して成り収納容器１内のガスを吸着するガス吸着材８とを具備した発熱体収納用容器９において、ガス吸着材８は、その両端部に一対のリード端子１０が接続されているとともに、リード端子１０との接続部における断面積が一対のリード端子１０間の部位の断面積よりも小さくなっている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
発熱体が収納される収納容器と、金属板の表面に金属粉末を被着して成り前記収納容器内のガスを吸着するガス吸着材とを具備した発熱体収納用容器において、前記ガス吸着材は、その両端部に一対のリード端子が接続されているとともに、該リード端子との接続部における断面積が前記一対のリード端子間の部位の断面積よりも小さくなっていることを特徴とする発熱体収納用容器。
【請求項２】
前記ガス吸着材は、前記リード端子との接続部において、前記金属板の断面積が前記一対のリード端子間の部位の断面積よりも小さくなっていることを特徴とする請求項１記載の発熱体収納用容器。
【請求項３】
前記金属板は、前記リード端子との接合部において切り欠きが形成されていることを特徴とする請求項２記載の発熱体収納用容器。
【請求項４】
前記ガス吸着材は、前記リード端子との接続部において、前記金属粉末の量が前記一対のリード端子間の部位の量よりも少なくなっていることを特徴とする請求項１記載の発熱体収納用容器。
【請求項５】
前記ガス吸着材は、前記金属板の前記リード端子との接続部において、前記リード端子側の主面に被着する金属粉末の量が、その反対側の主面に被着する金属粉末の量よりも少なくなっていることを特徴とする請求項４記載の発熱体収納用容器。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の発熱体収納用容器と、前記凹部内に収納される発熱体とを具備することを特徴とする発熱体収納構造体。
【請求項７】
前記発熱体は反応器であることを特徴とする請求項６記載の発熱体収納構造体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、稼動により発熱を伴う発熱体を収納するための発熱体収納用容器およびそれを用いた発熱体収納構造体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、発熱体として反応器を収納した反応装置は、基体と蓋体とから成る反応器収納用容器内部を真空状態にし、この真空容器内に反応器を収納することにより構成されている。このような真空容器とすることによって、反応器内で化学反応をする際に発生する熱の反応装置外部への伝導を遮断し、少ないエネルギーで反応を進めるシステムとすることができる。
【０００３】
このような反応システムを長期に安定かつ安全に使用するためには、反応器収納用容器内部の真空状態を、反応器収納用容器に反応器を収納し封止した直後だけでなくその後も長期に保つ必要がある。しかし、蓋体で反応器収納用容器内を封止した後に、反応器収納用容器の内面や反応器自体の表面など反応器収納用容器内の各部品表面に吸着しているガスが、化学反応時の温度の影響や時間の経過に伴い反応器収納用容器内部にアウトガスとして放出される可能性がある。
【０００４】
その場合、反応器収納用容器内部の真空度が低下することから、反応器内で原料から化学反応にて発生する熱の反応装置外部への伝導量が増加することになり、その結果その熱によって反応器収納用容器が高温となり、他の部品に影響を及ぼすという恐れがあった。
【０００５】
そこで、この反応器収納用容器内部に金属板に金属粉末が被着されて成るガス吸着材を収納し、ガス吸着材にリード端子で通電を行なうことによって金属板を発熱させ、この熱によって金属粉末を活性化して容器内部のアウトガスを吸着させるという提案がなされている。
【特許文献１】特開２００６−１２４２０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記従来の構成では、ガス吸着材を通電して金属粉末を活性化させるために多くの電力を消費するという問題点を有していた。
【０００７】
本発明は上記従来の技術における問題点に鑑みて完成されたものであり、その目的は、少ない消費電力で容器内部の真空度を良好に維持することが可能な発熱体収納用容器およびそれを用いた発熱体収納構造体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の発熱体収納用容器は、発熱体が収納される収納容器と、金属板の表面に金属粉末を被着して成り前記収納容器内のガスを吸着するガス吸着材とを具備した発熱体収納用容器において、前記ガス吸着材は、その両端部に一対のリード端子が接続されているとともに、該リード端子との接続部における断面積が前記一対のリード端子間の部位の断面積よりも小さくなっていることを特徴とする。
【０００９】
本発明の発熱体収納用容器において好ましくは、前記ガス吸着材は、前記リード端子との接続部において、前記金属板の断面積が前記一対のリード端子間の部位の断面積よりも小さくなっていることを特徴とする。
【００１０】
本発明の発熱体収納用容器において好ましくは、前記金属板は、前記リード端子との接合部において切り欠きが形成されていることを特徴とする。
【００１１】
本発明の発熱体収納用容器において好ましくは、前記ガス吸着材は、前記リード端子との接続部において、前記金属粉末の量が前記一対のリード端子間の部位の量よりも少なくなっていることを特徴とする。
【００１２】
本発明の発熱体収納用容器において好ましくは、前記ガス吸着材は、前記金属板の前記リード端子との接続部において、前記リード端子側の主面に被着する金属粉末の量が、その反対側の主面に被着する金属粉末の量よりも少なくなっていることを特徴とする。
【００１３】
本発明の発熱体収納構造体は、上記本発明の発熱体収納用容器と、前記収納容器内に収納される発熱体とを具備することを特徴とする発熱体収納構造体。
【００１４】
本発明の発熱体収納構造体において好ましくは、前記発熱体は反応器であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、ガス吸着材は、リード端子との接続部における断面積が、一対のリード端子間の部位の断面積よりも小さくなっていることにより、この断面積の小さい部位において、電気抵抗を局所的に高くし、この部分の発熱をリード端子間の部位よりも高くすることができる。よって、一対のリード端子間の部位よりも外側部分の通電が成されない部位に対しても、この電気抵抗の高い部位の発熱によって表面に被着した金属粉末を非常に効率よく活性化させて活性化効率を向上させることができる。その結果、ガス吸着材を活性化するための印加電流値を低減して、消費電力を少なくすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明の発熱体収納用容器の実施形態を以下に詳細に説明する。
【００１７】
図１は本発明の発熱体収納用容器を用いた発熱体収納構造体の実施の形態の一例を示す断面図である。また、図２は図１の発熱体収納構造体の斜視図である。また、図３は図１の発熱体収納構造体で用いるガス吸着材の部分を示す拡大斜視図である。
【００１８】
本発明の発熱体は、稼動により発熱を伴う部品であり、例えば、半導体素子、光半導体素子、反応器等が挙げられる。本実施形態においては、発熱体が化学反応などの反応を行なうための反応器である例を示す。よって、本実施形態では、反応器収納用容器が本発明の発熱体収納用容器を示し、反応装置が本発明の発熱体収納構造体を示す。
【００１９】
図１〜図３において、１は収納容器、１ａおよび１ｂはそれぞれ収納容器１を構成する基体および蓋体、２，１０は配線としてのリード端子、４ａは原料を反応器へ供給する供給路としての供給管、４ｂは反応器で生成した生成物を排出する排出路としての排出管、５は電極、６は基体１ａの貫通孔にリード端子２，１０を絶縁しつつ封止固定するための絶縁封止材、８はガス吸着材であり、主にこれらで反応器収納用容器（発熱体収納用容器）が構成される。そして、この反応器収納用容器に反応器７を収納することにより、反応装置（発熱体収納構造体）となる。
【００２０】
本発明における基体１ａ及び蓋体１ｂは、反応器７を収納する収納容器１としての役割を有する。それらは、例えば、ＳＵＳ，Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金，Ｆｅ−Ｎｉ合金等のＦｅ系合金や、無酸素銅等の金属材料、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）質焼結体，ムライト（３Ａｌ２Ｏ３・２ＳｉＯ２）質焼結体，炭化珪素（ＳｉＣ）質焼結体，窒化アルミニウム（ＡｌＮ）質焼結体，窒化珪素（Ｓｉ３Ｎ４）質焼結体，ガラスセラミックス等のセラミック材料、ポリイミド等の高耐熱の樹脂材料等で形成されている。
【００２１】
なお、基体１ａおよび蓋体１ｂに適用可能なガラスセラミックスは、ガラス成分とフィラー成分とから成る。そのガラス成分としては、例えばＳｉＯ２−Ｂ２Ｏ３系，ＳｉＯ２−Ｂ２Ｏ３−Ａｌ２Ｏ３系，ＳｉＯ２−Ｂ２Ｏ３−Ａｌ２Ｏ３−ＭＯ系（但し、ＭはＣａ，Ｓｒ，Ｍｇ，ＢａまたはＺｎを示す），ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３−Ｍ１Ｏ−Ｍ２Ｏ系（但し、Ｍ１およびＭ２は同一または異なってＣａ，Ｓｒ，Ｍｇ，ＢａまたはＺｎを示す），ＳｉＯ２−Ｂ２Ｏ３−Ａｌ２Ｏ３−Ｍ１Ｏ−Ｍ２Ｏ系（但し、Ｍ１およびＭ２は前記と同じである），ＳｉＯ２−Ｂ２Ｏ３−Ｍ３２Ｏ系（但し、Ｍ３はＬｉ，ＮａまたはＫを示す），ＳｉＯ２−Ｂ２Ｏ３−Ａｌ２Ｏ３−Ｍ３２Ｏ系（但し、Ｍ３は前記と同じである），Ｐｂ系ガラス，Ｂｉ系ガラス等が挙げられる。
【００２２】
また、フィラー成分としては、例えばＡｌ２Ｏ３，ＳｉＯ２，ＺｒＯ２とアルカリ土類金属酸化物との複合酸化物、ＴｉＯ２とアルカリ土類金属酸化物との複合酸化物、Ａｌ２Ｏ３およびＳｉＯ２から選ばれる少なくとも１種を含む複合酸化物（例えばスピネル，ムライト，コージェライト）等が挙げられる。
【００２３】
一方、基体１ａおよび蓋体１ｂが、例えば相対密度が９５％以上の緻密質の酸化アルミニウム質焼結体で形成されている場合は、例えば、まず酸化アルミニウム粉末に希土類酸化物粉末や酸化アルミニウム粉末等の焼結助剤を添加，混合して、酸化アルミニウム質焼結体の原料粉末を調製する。次いで、この原料粉末に有機バインダおよび分散媒を添加，混合してペースト化し、このペーストをドクターブレード法によって、あるいは原料粉末に有機バインダを加え、プレス成形，圧延成形等によって、所定の厚みのグリーンシートを作製する。その後、所定枚数のシート状成形体を位置合わせして積層圧着した後、この積層体を、例えば非酸化性雰囲気中、焼成最高温度が１２００〜１５００℃の温度で焼成して、目的とするセラミック製の基体１ａおよび蓋体１ｂを得る。なお、基体１ａおよび蓋体１ｂの成形は粉末成形プレス法であっても良い。
【００２４】
他方、基体１ａおよび蓋体１ｂが金属材料から成る場合は、切削法，プレス法，ＭＩＭ（Metal Injection Mold）法等により所定の形状に形成される。
【００２５】
また、基体１ａおよび蓋体１ｂが金属材料から成る場合には、腐食を防止するためにその表面は、例えばＡｕ，Ｎｉのめっき処理や、ポリイミド等の樹脂コーティング等の被覆コーティング処理が行なわれることが望ましい。例えばＡｕめっき処理の場合であれば、その厚さは０．１〜５μｍ程度であることが望ましい。
【００２６】
以上のような基体１ａおよび蓋体１ｂは、反応器収納用容器９の小型化，低背化を可能とするためには厚さを薄くすべきであるが、機械的強度である曲げ強度は２００ＭＰａ以上であることが好ましい。
【００２７】
次に、本発明におけるリード端子２，１０は、基体１ａおよび蓋体１ｂの熱膨張係数と同一または近似した金属が用いられるのがよく、例えば、Ｆｅ−Ｎｉ合金，Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金よりなるものが、実用時の温度変化に対して熱歪の発生を防止できる。その上、基体１ａとの良好な封着性が得られるとともに、ボンディング性に優れ、実装時に必要な強度と良好なはんだ付性や溶接性を確保できる。
【００２８】
また、本発明の絶縁封止材６は、例えば、硼珪酸ガラス，アルカリガラス，鉛を主成分とする絶縁ガラス等のガラス材料や酸化アルミニウム等のセラミック材料等から成り、基体１ａに形成された貫通穴でこの絶縁封止材６によって基体１ａとリード端子２，１０とが電気的に絶縁されてリード端子２，１０が封止固定されている。基体１ａに形成されたリード端子２，１０が挿通される貫通孔は、基体１ａとリード端子２，１０とが接触して電気的に導通することがない大きさが必要であり、具体的にはリード端子２，１０から基体１ａまでの間隔が０．１ｍｍ以上確保できる内径が必要である。
【００２９】
なお、絶縁封止材６が、酸化アルミニウム等のセラミック材料からなる場合、リード端子２，１０を基体１ａの貫通孔に例えば筒状のセラミック材料から成る絶縁封止材６を介して挿入し、絶縁封止材６と基体１ａとの接続および絶縁封止材６とリード端子２，１０との接続をＡｕ−ＧｅやＡｇ−Ｃｕ等のロウ材により行なうことができる。
【００３０】
本発明の反応器収納用容器９に収納される反応器７は、原料から生成物を得るための装置であり、その内部に原料を反応させるための助剤が搭載された空隙を有する。
【００３１】
反応器７の形状は様々であり、例えば微小ケミカルデバイスとして、半導体製造技術等を適用して、例えば、シリコン等の半導体，石英，ガラス，金属、セラミックス等の無機材料の基材に、切削法，エッチング法，ブラスト法等により細い溝を形成することによって液体通路が作製され、操作中の液体の蒸発防止等を目的として、ガラス板、金属等のカバーを陽極接合、ロウ付け、溶接等により表面に密着させて使用される、例えば略四角形状のものが挙げられる。また、石英，ガラス，金属、セラミックス等の無機材料から成る管状であり、その内面に原料を反応させるための助剤が搭載されたものも挙げられる。
【００３２】
原料の反応が吸熱反応の場合、反応器７内には、温度調節機構、例えば、抵抗層等から成る薄膜ヒーター（不図示）や厚膜ヒーター（不図示）を形成し、表面にはこのヒーターへ電力を供給する端子として電極５が形成される。この温度調節機構により、反応条件に相当する５０〜８００℃程度の温度範囲を任意に調整することが可能となり、供給管４ａが接続された原料供給口から供給される原料を反応させて、生成物排出口に接続された排出管４ｂから生成物を排出させる反応を良好に促進することができる。
【００３３】
このようなヒーターは、反応器７における助剤が搭載され反応をおこなう空隙内、あるいはその近傍に配置される。これにより、ヒーターから発生する熱を効率的に反応に用いることができる。
【００３４】
この反応器７は、蓋体１ｂがＡｕ合金，Ａｇ合金，Ａｌ合金等の金属ロウ材やガラス材による接合やシームウェルド法等により基体１ａに取着されることによって、反応器収納用容器９内に収納される。
【００３５】
例えば、Ａｕ−Ｓｎロウ材により接合する場合は、蓋体１ｂに予めＡｕ−Ｓｎロウ材を溶着させておくか、あるいは金型等を用いて打ち抜き加工等で枠状に形成したＡｕ−Ｓｎロウ材を基体１ａと蓋体１ｂとの間に載置した後、封止炉あるいはシームウェルダーで蓋体１ｂを基体１ａに接合することにより、反応器収納用容器９の内部に反応器７を封止することができる。
【００３６】
供給管４ａおよび排出管４ｂは、それぞれ原料の供給路および生成物の排出路である。これらは、例えば、Ｆｅ−Ｎｉ合金，Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金，ＳＵＳ等の金属材料、Ａｌ２Ｏ３質焼結体，３Ａｌ２Ｏ３・２ＳｉＯ２質焼結体，ＳｉＣ質焼結体，ＡｌＮ質焼結体，Ｓｉ３Ｎ４質焼結体，ガラスセラミック焼結体等のセラミック材料、ポリイミド等の高耐熱の樹脂材料、または、ガラスで形成されている。
【００３７】
ガス吸着材８は、化学的に活性な金属粉による気体の吸着作用を利用して真空度を高めるためものであり、例えば１０〜５００μｍ程度の厚みを持つ帯状のＮｉ−Ｃｒ等から成る金属板の片面あるいは両面にＺｒ、Ｆｅ、Ｖ等を主成分とする金属粉を厚み１０μｍ〜１ｍｍを担持させたものである。このガス吸着材８は、収納容器１内と外部とを連通するように、基体１ａまたは蓋体１ｂに固定されたリード端子１０にスポット溶接等により取り付けられる。
【００３８】
このリード端子１０はガス吸着材８の金属板を通電するためのものであり、通電により生じる金属板の抵抗発熱によって金属板表面に被着された金属粒子を加熱し、活性化させることができる。例えば、ガス吸着材８の両端部のそれぞれにリード端子１０を接続し、両端部に接続されたリード端子１０間に電圧を印加することによってガス吸着材８を通電することができる。
【００３９】
そして、本発明のガス吸着材８は、リード端子１０との接続部における断面積が一対のリード端子１０間の部位の断面積よりも小さくなっている。なお、ここでいう断面積とは、一対のリード端子１０のガス吸着材８との接合部間を結ぶ方向に直交する断面の面積である。また、一対のリード端子１０間の部位とは、一対のリード端子１０とガス吸着材８との接続部間に位置する部位のことである。
【００４０】
この構成により、断面積の小さい部位において、電気抵抗を局所的に高くし、この高抵抗部１１の発熱をリード端子１０間の部位よりも高くすることができる。よって、一対のリード端子１０間の部位よりも外側部分の通電が成されない部位（ガス吸着材８のリード端子１０間よりも外側の両端部）に対しても、この電気抵抗の高い部位の発熱によって表面に被着した金属粉末を非常に効率よく活性化させて活性化効率を向上させることができる。その結果、ガス吸着材８を活性化するための印加電流値を低減して、消費電力を少なくすることができる
また、高抵抗部１２により効率よくガス吸着材８を活性化できるので、ガス吸着材８を小さくしても反応器収納用容器９内部の真空状態を良好に維持するのに十分なガス吸着機能を維持できる。よって、ガス吸着材８を収納するためのスペースを小さくすることができ、反応器収納用容器９の小型化，低背化、さらにその反応器収納用容器９を用いたシステム機器の小型化，低背化が可能となる。
【００４１】
ガス吸着材８の高抵抗部１１としては、リード端子１０との接続部において、金属板の断面積を一対のリード端子１０間の部位の断面積よりも小さくすることにより構成することができる。例えば、金属板のリード端子１０との接合部において、図３のように切り欠きを形成することにより高抵抗部１１を形成できる。
【００４２】
ガス吸着材８の金属板に設けられる切り欠き１１の形状はＶ字型や、角型、丸型など様々であり、切り欠き１３は図３に示すようにリード端子１０との接合箇所に設けることがよい。また、切り欠き１１を金属板に溝状に形成してもよい。
【００４３】
切り欠き１１を有するガス吸着材８は、例えば、Ｚｒ、Ｆｅ、Ｖ等を主成分とする金属粉を担持させたＮｉ−Ｃｒ等から成る金属板を所定の形状にプレス加工により打ち抜く方法や、レーザーなどによる切断などの方法を用い成形されたり、先に上記の方法により所定の形状に加工されたＮｉ−Ｃｒ等から成る金属板にＺｒ、Ｆｅ、Ｖ等を主成分とする金属粉を後に担持させることにより成形される。
【００４４】
また、ガス吸着材８の高抵抗部１１としては、ガス吸着材８のリード端子１０との接続部において、金属粉末の量を一対のリード端子１０間の部位の量よりも少なくすることにより高抵抗部１１を形成できる。特に、金属板のリード端子との接続部において、リード端子１０側の主面に被着する金属粉末の量が、その反対側の主面に被着する金属粉末の量よりも少なくなっているのがよい。好ましくはリード端子１０と金属板とが金属粉末を介さずに直接接合されているのがよい。これにより、金属板とリード端子１０との接合強度を高めることができ、接続信頼性を向上できる。
【００４５】
また、反応器収納用容器９内の断熱性を得るために、反応器収納用容器９内をできるだけ真空にするのがよい。反応器収納用容器９内を真空にする方法としては、例えば、真空炉内において反応器収納用容器９の基体１ａと蓋体１ｂとをロウ付けすることにより封止するか、または、真空チャンバー内において反応器収納用容器９の基体１ａと蓋体１ｂとをシームウェルド法などで溶接する等の方法がある。
【００４６】
その後に、前記ガス吸着材８を、リード端子１０から通電させる事により加熱させ活性化を行う。活性条件としては、ガス吸着材８を３５０〜９００℃の温度で加熱を行うことにより、１００％に近い活性状態が得られる。
【００４７】
この活性化とは、ガス吸着材８が製造プロセスに於いて、表面に形成された酸化膜を除去する事により、新しいガス吸着面が現れ周囲に存在するＣＯやＮ２、Ｈ２と言ったガス類を吸着させる機能を持たせることを言う。活性化する温度と時間は、使用する金属粉の種類によって異なる。
【００４８】
好ましくは、ガス吸着材８が反応器７からの輻射熱を吸収し、活性されやすくするために、反応器７の高温部と相対峙するように配置されるのがよい。特に反応器７に形成された温度調節機構、例えば、抵抗層等から成るヒーター部の近傍に配置されることが望ましい。
【００４９】
また好ましくは、ガス吸着材８は、反応器７から基体１ａや蓋体１ｂへの輻射による伝熱を低減するために、反応器７の主面と基体１ａの主面との間、あるいは反応器７の主面と蓋体１ｂの主面との間に反応器７と近接または接触して配置されることが望ましい。これにより、ガス吸着材８は、反応器７からの熱により活性化が持続され、高いガス吸着能力を維持することが可能となると同時に、反応器収納用容器９の表面の高温化の抑制をより有効に行なうことができる。
【００５０】
ここでガス吸着材８が反応器７と近接して配置されるというのは、ガス吸着材８と反応器７との間の距離が、ガス吸着材８と基体１ａの主面との間の距離よりも小さい状態、またはガス吸着材８と反応器７との間の距離が、ガス吸着材８と蓋体１ｂの主面との間の距離よりも小さい状態で配置されている状態をいう。より好ましくは、ガス吸着材８が反応器７に接触しているか、またはガス吸着材８と反応器７との間の距離が５ｍｍ以下であるのがよい。これにより、反応器７からの熱がガス吸着材８の高温化に効率よく寄与できる。
【００５１】
ガス吸着材８の配置例として、反応器７が略四角形状の場合、ガス吸着材８は反応器７の主面と相対峙するように配置されることが望ましい。これにより、熱がより多く放出される反応器７の主面から基体１ａや蓋体１ｂに伝導される熱をガス吸着材８でより有効に遮断できるとともに、ガス吸着材８の高温化もより良好に行なうことができる。
【００５２】
また、反応器７が一平面上で屈曲した管状の場合、ガス吸着材８は上記一平面に平行に相対峙するように配置されることが望ましい。これにより、ガス吸着材８を管状の反応器７の多くの部位と相対峙することができ、基体１ａや蓋体１ｂに伝導される熱をガス吸着材８でより有効に遮断できるとともに、ガス吸着材８の高温化もより良好に行なうことができる。
【００５３】
また、本発明の反応器収納用容器９は、ガス吸着材８と排出管４ｂとの間の距離が、ガス吸着材８と供給管４ａとの間の距離に比し小さく設定されているのがよい。これにより、反応器７で反応した直後の生成物は高温であり、この高温の生成物によって高温となった排出管４ｂの持つ熱をガス吸着材８の活性化に利用でき、その結果、ガス吸着材８を加熱するための電力をより低減できるとともに反応器収納用容器９内部の真空状態をより良好に保つことができる。
【００５４】
なお、本発明は以上の実施の形態の例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更を加えることは何ら差し支えない。例えば、図１に示した例においては、ガス吸着材８を基体１ａの主面に載置しているが、これを蓋体１ｂ主面や反応器７の表面に載置しても良い。また、反応器７と基体１ａとの隙間や、反応器７と収納容器１の側面との隙間に配置されても良い。
【００５５】
また、本例ではガス吸着材８の金属板の形状として、図２，３で示すように板状の例を示したがそれに限られず、柱状のものでもよく、屈曲部を有したものでもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の発熱体収納用容器を用いた発熱体収納構造体の実施の形態の一例を示す断面図である。
【図２】図１の発熱体収納構造体の斜視図である。
【図３】図１の発熱体収納構造体におけるガス吸着材の部分を示す拡大斜視図である。
【符号の説明】
【００５７】
１・・・・・収納容器
４ａ・・・・供給管
４ｂ・・・・排出管
７・・・・・発熱体（反応器）
８・・・・・ガス吸着材
９・・・・・発熱体収納用容器（反応器収納用容器）
１１・・・・高抵抗部
【図１】
2008238086.tif 000003
【図２】
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【図３】
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