(57)【要約】【課題】機器支持装置を免震化せずに、免震台に搭載された機器と機器搭載台に搭載された機器とを隣接して配置しても、互いの衝突を避ける。【解決手段】地震時に、免震滑り材１７は、移動範囲内で免震滑り板１８の上を、自由に動摩擦係数μで滑り、床面１５の振動から絶縁し、免震台１１に搭載された精密機器１０を免震する。支援機器３０を搭載した機器搭載台６１は、ガイド６４に支持され、ガイド６４は免震台１１から離れる方向の動摩擦係数μ２は小さく、免震台１１に近づく方向の動摩擦係数μ１は大きいレール６６を摺動する。ここにμ１＞μ＞μ２としてある。このため、免震台１１が機器搭載台６１に近づく方向へ移動しても、免震台１１は機器搭載台６１に追いつけず、機器搭載台６１が免震台１１に近づく方向へ移動しても、機器搭載台６１は免震台１１に追いつけない。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
免震装置の免震台に隣接して配置される機器搭載台と、
前記機器搭載台を移動可能に支持し、地震時に、前記機器搭載台を前記免震台から離す方向に移動させる支持機構と、
を有することを特徴とする機器支持装置。
【請求項２】
前記免震台に搭載された機器の稼動を支援する支援機器を、前記機器搭載台に搭載したことを特徴とする請求項１に記載の機器支持装置。
【請求項３】
前記支持機構は、
前記機器搭載台を前記免震台から離す方向に付勢するバネ部材と、
前記バネ部材で付勢された状態で、前記機器搭載台を前記免震台の隣に固定するロック機構と、
前記地震を検知し、前記検知した結果に基づき前記ロック機構を解除する解除手段と、
を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の機器支持装置。
【請求項４】
前記免震装置は、前記免震台を支持する免震滑り材と、床面に配置され前記免震滑り材を受ける免震滑り板とを備え、
前記支持機構は、前記機器搭載台を支持する滑り材と、床面に配置され前記滑り材を受ける滑り板とを備え、
前記支持機構の前記滑り材と前記滑り板との動摩擦係数を、前記機器搭載台が前記免震台に近づく方向をμ１、前記機器搭載台が前記免震台から離れる方向をμ２とし、
前記免震滑り材と前記免震滑り板との動摩擦係数がμである場合において、
前記動摩擦係数μ、μ１、μ２の関係を、μ１＞μ＞μ２としたことを特徴とする請求項１又は２に記載の機器支持装置。
【請求項５】
前記免震装置は、前記免震台を支持する免震滑り材と、床面に配置され前記免震滑り材を受ける免震滑り板とを備え、
前記支持機構は、
床面に配置したレールと、
前記機器搭載台に設けられ、前記レールに沿って移動するガイド部材と、
で構成され、
前記レールは、前記免震台から離れる方向に下がり勾配となっており、
前記ガイド部材が前記レールを上るときの抵抗力をＦ１、前記ガイド部材が前記レールを下るときの抵抗力をＦ２とし、
前記免震滑り材が前記免震滑り板を滑るときの抵抗力がＦである場合において、
前記抵抗力Ｆ、Ｆ１、Ｆ２の関係を、Ｆ１＞Ｆ＞Ｆ２としたことを特徴とする請求項１又は２に記載の機器支持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、免震装置に隣接して配置される機器を搭載し、移動可能に支持する機器支持装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
クリーンルーム内で稼動される高価で貴重な機器（精密機器）は、地震による被害を避けるため、免震床に設置され、免震化されている（特許文献１）。
【０００３】
ところで、精密機器を稼動させるには、精密機器への電気、水等の供給に加えて、精密機器への原材料の供給や、加工した製品の精密機器からの受け取り等の支援を行う機器（支援機器）が必要である。
【０００４】
一例として、図１１に示すように、精密機器１０の一側面には、原材料の供給や加工した製品の受け取りなどを行う支援機器２０が隣り合って配置され、精密機器１０の他の一側面には、支援機器３０が隣り合って配置されている。
【０００５】
このようなレイアウトでは、地震時に、精密機器１０と支援機器２０、３０が衝突しないように、精密機器１０のみでなく、支援機器２０、３０も含めて免震床４０に設置する必要がある。
【０００６】
支援機器２０、３０の代表例としては、クリーンルームに設置されたステッパに隣接して配置されるコータ、デベロッパ等が挙げられるが、十分な耐震強度を備え、壊れても代替品が容易に入手でき、比較的安価である等の理由から、本来免震化の必要のない機器もある。
【０００７】
このような事実から、図１２に示すように、免震床４０ではなくて、精密機器１０だけを免震装置１２で免震化し、支援機器２０、３０は、地震時の精密機器１０の移動範囲１３を避けて、免震装置１２から間隔Ｓを設けて配置する対応が考えられる。
【０００８】
しかし、かかる配置とした場合には、精密機器１０と支援機器２０、３０との間が間隔Ｓだけ余計に離れるため、物の受け渡しに不都合が生じ、精密機器１０の作業効率が低下するという問題がある。
【０００９】
更には、間隔Ｓは機器等が設置できない空間であり、クリーンルームの有効利用の面から、クリーンルームのレイアウト効率が低下するという問題もある。
【特許文献１】特開平１０−２４６３９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は上記事実に鑑み、機器支持装置を免震化せずに、免震台に搭載された機器と機器搭載台に搭載された機器とを隣接して配置しても、互いの衝突を避けることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
請求項１に記載の発明は、免震装置の免震台に隣接して配置される機器搭載台と、前記機器搭載台を移動可能に支持し、地震時に、前記機器搭載台を前記免震台から離す方向に移動させる支持機構と、を有することを特徴としている。
【００１２】
請求項１に記載の発明では、地震時に、支持機構が機器搭載台を、免震台から離す方向に移動させる。
【００１３】
これにより、免震台と隣接して配置した機器搭載台の衝突を避けることができる。この結果、免震台に搭載された機器と機器搭載台に搭載された機器とを隣接して配置しても、地震時に、互いの衝突を避けることができる。
【００１４】
また、支持機構は、機器搭載台を免震装置の免震台から離す水平一方向のみの移動でよいため、水平方向の全範囲の移動が要求される免震装置の免震機構に比べ簡単な機構で実現でき、コスト的に安価となり、コストアップが抑えられる。
【００１５】
更に、支持機構は水平一方向のみの移動でよく、機器搭載台の移動範囲が限定されるため、クリーンルームのレイアウト効率を向上させることができる。
【００１６】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の機器支持装置において、前記免震台に搭載された機器の稼動を支援する支援機器を、前記機器搭載台に搭載したことを特徴としている。
【００１７】
請求項２に記載の発明では、地震時に、免震台に搭載された機器の稼動を支援する支援機器を搭載した機器搭載台が、免震台から離れる方向に移動する。
【００１８】
これにより、免震台に搭載された機器に隣接して機器搭載台に搭載された支援機器を配置しても、地震時に、互いの衝突を避けることができる。
【００１９】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の機器支持装置において、前記支持機構は、前記機器搭載台を前記免震台から離す方向に付勢するバネ部材と、前記バネ部材で付勢された状態で、前記機器搭載台を前記免震台の隣に固定するロック機構と、前記地震を検知し、前記検知した結果に基づき前記ロック機構を解除する解除手段と、を有することを特徴としている。
【００２０】
請求項３に記載の発明では、解除手段が地震を検知し、検知結果に基づきロック機構を解除する。固定が解除された機器搭載台は、免震台から離す方向に付勢したバネ部材の復元力で、免震台から離れる方向へ移動する。
【００２１】
これにより、免震台に搭載された機器と機器搭載台に搭載された機器を隣接して配置しても、地震時に、互いの衝突を避けることができる。
【００２２】
請求項４に記載の発明は、請求項１又は２に記載の機器支持装置において、前記免震装置は、前記免震台を支持する免震滑り材と、床面に配置され前記免震滑り材を受ける免震滑り板とを備え、前記支持機構は、前記機器搭載台を支持する滑り材と、床面に配置され前記滑り材を受ける滑り板とを備え、前記支持機構の前記滑り材と前記滑り板との動摩擦係数を、前記機器搭載台が前記免震台に近づく方向をμ１、前記機器搭載台が前記免震台から離れる方向をμ２とし、前記免震滑り材と前記免震滑り板との動摩擦係数がμである場合において、前記動摩擦係数μ、μ１、μ２の関係を、μ１＞μ＞μ２としたことを特徴としている。
【００２３】
請求項４に記載の発明では、地震時に、免震台が機器搭載台に近づく方向へ移動し、同時に機器搭載台が免震台から離れる方向へ移動する場合においては、機器搭載台を支える滑り材と滑り板との動摩擦係数μ２の方が、免震台を支える免震滑り材と免震滑り板との動摩擦係数μより小さく、移動しやすいため、機器搭載台が免震台から離れる方向に移動する移動距離の方が、免震台が機器搭載台の方へ移動する移動距離より長くなり、免震台は機器搭載台に追いつけない。
【００２４】
一方、機器搭載台が免震台に近づく方向へ移動し、同時に免震台が機器搭載台から離れる方向へ移動する場合においては、免震台を支える免震滑り材と免震滑り板との動摩擦係数μの方が、機器搭載台を支える滑り材と滑り板との動摩擦係数μ１より小さく、移動しやすいため、免震台が機器搭載台から離れる方向の移動距離の方が、機器搭載台が免震台に近づく方向の移動距離より長くなり、機器搭載台は免震台に追いつけない。
【００２５】
これにより、機器搭載台と免震台とは、お互いに地震前の距離以上に近づくことはなく、免震台に搭載された機器と機器搭載台に搭載された機器を隣接して配置しても、地震時に、互いの衝突を避けることができる。
【００２６】
請求項５に記載の発明は、請求項１又は２に記載の機器支持装置において、前記免震装置は、前記免震台を支持する免震滑り材と、床面に配置され前記免震滑り材を受ける免震滑り板とを備え、前記支持機構は、床面に配置したレールと、前記機器搭載台に設けられ、前記レールに沿って移動するガイド部材と、で構成され、前記レールは、前記免震台から離れる方向に下がり勾配となっており、前記ガイド部材が前記レールを上るときの抵抗力をＦ１、前記ガイド部材が前記レールを下るときの抵抗力をＦ２とし、前記免震滑り材が前記免震滑り板を滑るときの抵抗力がＦである場合において、前記抵抗力Ｆ、Ｆ１、Ｆ２の関係を、Ｆ１＞Ｆ＞Ｆ２としたことを特徴としている。
【００２７】
請求項５に記載の発明では、地震時に、免震台が機器搭載台に近づく方向へ移動し、同時に機器搭載台が免震台から離れる方向へ移動する場合においては、機器搭載台が下がり勾配のレールを下るときの抵抗力Ｆ２の方が、免震滑り材が免震滑り板を滑るときの抵抗力Ｆより小さく、移動しやすい。この結果、機器搭載台の移動距離は免震台の移動距離より長くなり、免震台は機器搭載台に追いつけない。
【００２８】
一方、機器搭載台が免震台に近づく方向へ移動し、同時に免震台が機器搭載台から離れる方向へ移動する場合においては、免震滑り材が免震滑り板を滑るときの抵抗力Ｆの方が、機器搭載台が下がり勾配のレール上面を上るときの抵抗力Ｆ１より小さく移動しやすい。この結果、免震台の移動距離は機器搭載台の移動距離より長くなり、機器搭載台は免震台に追いつけない。
【００２９】
これにより、機器搭載台と免震台とは、お互いに地震前の距離以上に近づくことはなく、免震台に搭載された機器と機器搭載台に搭載された機器を隣り合わせに配置しても、地震時に、互いの衝突を避けることができる。
【発明の効果】
【００３０】
本発明は上記構成としてあるので、機器支持装置を免震化せずに、免震台に搭載された機器と機器搭載台に搭載された機器とを隣接して配置しても、互いの衝突を避けることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
（第１の実施の形態）
図１、図２に示すように、精密機器１０は、地震時の振動を絶縁する免震装置１２で免震化された状態で稼動している。免震装置１２は、地震時には、破線１４で囲まれた移動範囲を、ＸＹ方向に自由に移動しながら精密機器１０を免震し、精密機器１０を損傷や故障から防ぐ。
【００３２】
免震装置１２は、精密機器１０を搭載する免震台１１を有している。免震台１１の下面と床面１５との間には、地震時に、床面１５の振動から免震台１１を絶縁する免震機構１６が備えられている。
【００３３】
免震機構１６は、免震台１１の下面に取り付けられ、免震台１１を移動可能に支持する免震滑り材１７を有している。
【００３４】
免震滑り材１７は、鋼材を樹脂コーティングしたもので、免震滑り板１８と円形の接触面で接している。
【００３５】
免震滑り板１８は、例えば平板状のステンレス鋼で構成され、免震滑り材１７が位置する床面１５に配置され、免震滑り材１７を受けている。免震滑り板１８は、免震台１１のＸＹ方向の移動範囲１４より大きい範囲に配置されている。
【００３６】
この結果、免震滑り材１７は、地震時には、破線１４の移動範囲内で免震滑り板１８の上を、最大Ｓ１の距離までＸＹ方向に自由に滑りを生じ、免震台１１を床面１５の振動から絶縁し、免震台１１に搭載された精密機器１０を免震する。
【００３７】
精密機器１０に隣接して支援機器３０が配置されている。支援機器３０は、精密機器１０に加工用の材料を供給したり、精密機器１０から加工済み製品を受け取るなど、精密機器１０の稼動を直接若しくは間接に支援する機器である。
【００３８】
支援機器３０は、機器支持装置３２に載置され、機器支持装置３２に載置された状態で精密機器１０を支援する。
【００３９】
機器支持装置３２は、支援機器３０を搭載する機器搭載台３１を有している。
【００４０】
機器搭載台３１は、機器搭載台３１と床面１５との間に備えた支持機構３９で床面１５に対し移動可能に支持され、地震時には支援機器３０をＲ方向に移動させ、免震台１１から離す。
【００４１】
機器搭載台３１の下部には、ガイド３６が取り付けられている。  ガイド３６はレール３４を跨ぐ形状に鋼板若しくは樹脂で形成され、機器搭載台３１を支持した状態でレール３４の上を摺動する。
【００４２】
レール３４は、床面１５に配置され、ガイド３６を受ける。レール３４は、鋼材で形成され、図示の右方向（Ｒ方向）、即ち、免震台１１から離れる方向に向けて延設されている。レール３４の長さは、機器搭載台３１が距離Ｓ２を移動するのに必要な長さとされている。ここに距離Ｓ２は、免震台１１が機器搭載台３１の方向へ移動する距離Ｓ１より長い距離である。
【００４３】
また、支持機構３９は、機器搭載台３１を免震台１１から離す方向に付勢するバネ機構４０を備えている。バネ機構４０は、バネ４１の一端を機器搭載台３１の端面３１ｂに取り付け、バネ４１の他端をバネ部材固定具４２に取り付け、バネの復元力で機器搭載台３１を、免震台１１から離す方向（図示のＲ方向）に付勢している。なお、バネ部材固定具４２は、床面１５に固定されている。
【００４４】
また、支持機構３９は、バネ機構４０が機器搭載台３１を免震台１１から離す方向に付勢した状態で、機器搭載台３１を免震台１１の隣に固定するロック機構４３を有している。
【００４５】
ロック機構４３は、床面に固定されたエアシリンダー４４を備えている。このエアシリンダー４４のロット４８は伸縮可能とされ、伸びた状態で、機器搭載台３１の下部に凹状に設けられた固定凹部４７に挿入され、縮めるとロット４８の固定凹部４７から外れる。
【００４６】
なお、ロット４８の伸縮は、床面１５に設けられた制御部（図示せず）からの指令（固定指令、解除指令）に基づいてなされる。更に、床面１５には、振動センサ（図示せず）が配置されている。この振動センサは地震を検知すると、地震情報を制御部に出力する。
【００４７】
次に、本発明の作用について図３を用いて説明する。
【００４８】
機器搭載台３１が所定位置へ設置された時に、制御部は、操作者のロック操作を受けエアシリンダー４１に固定指令を出す。エアシリンダー４１は固定指令を受けてロット４８を伸ばし固定凹部４７へロット４８を挿入し固定凹部４７を係止する。この結果、機器搭載台３１は所定位置にロックされる。更に、そのロック状態が維持される。
【００４９】
一方、地震時には、振動センサが地震を検知し、地震情報を制御部へ出力する。制御部は入力された地震情報を判断し、入力された値が予め定めた閾値より大きい場合には、エアシリンダー４１に解除指令を出す。エアシリンダー４１は解除指令を受け、ロット４８を縮め、固定凹部４７からロット４８を抜き出す。この結果、機器搭載台３１のロックは解除される。
【００５０】
ロット４８と固定凹部４７との係止が解除されることで、機器搭載台３１はバネ４１の復元力で、免震台１１から離れる方向（矢印Ｒの方向）にガイド３６と共にレール３４の上を摺動しながら距離Ｓ２だけ移動し、破線３４の位置に到達する（図１参照）。
【００５１】
この結果、精密機器１０が免震台１１に搭載された状態で、支援機器３０の方向に距離Ｓ１だけ移動しても、機器搭載台３１は免震台１１から離される方向（矢印Ｒの方向）に距離Ｓ２だけ移動しており、Ｓ１＜Ｓ２とすれば免震台１１の移動範囲１４の外となる。
【００５２】
このため、精密機器１０と支援機器３０とを隣接して配置しても、免震台１１に搭載された精密機器１０と、機器搭載台３１に搭載された支援機器３０とは、衝突することはない。
【００５３】
また、支持機構３９は、免震装置１２の免震台１１から離れる水平一方向にのみの移動でよいため、水平方向の全範囲の移動が要求される免震装置１２の免震機構１６に比べ簡単な機構で実現でき、コスト的に安価となり、コストアップが抑えられる。
【００５４】
更に、機器搭載台３１は、免震台１１から離れる水平一方向にのみ移動するため、図４に示す網掛け部分３５に移動することはなく、網掛け部分３５を他の用途に利用することができる。このように、機器搭載台３１の移動範囲が制限されるため、クリーンルームを効率的に利用できる。
【００５５】
なお、免震機器１０の稼動を支援する他の支援機器２０は、機器支持装置２２に載置され、免震機器１０の隣に配置されている。ここに、機器支持装置２２の構成、作用、効果は、上述の機器支持装置３２と同一であり、説明は省略する。
（第２の実施の形態）
図５〜図９を用いて、第２の実施の形態について説明する。
【００５６】
第２の実施の形態における精密機器１０と支援機器２０、３０の配置は図１に示す配置と同じである。更に、精密機器１０を免震する免震装置１２の構成も、第１の実施の形態と同じである。第１の実施の形態と重複する部分の説明は省略する。
【００５７】
図５に示すように、支援機器３０は、機器支持装置６０に載置され、免震台１１に隣接して配置されている。
【００５８】
機器支持装置６０は、支援機器３０を搭載する機器搭載台６１を有し、機器搭載台６１の下面と床面との間には、機器搭載台６１を支持すると共に、地震時に、機器搭載台６１を免震台１１から離れる方向に移動させる支持機構６２が備えられている。
【００５９】
支持機構６２は、機器搭載台６１の下部に取り付けられたガイド６４を有している。ここに、ガイド６４は、レール６６を跨ぐ形状に鋼板若しくは樹脂で形成され、機器搭載台６１を支持した状態でレール６６の上を矢印Ａ，Ｂいずれの方向にも摺動可能に配置されている。
【００６０】
レール６６は、鋼材で形成され、ガイド６４を受け、床面１５に免震台１１から離れる方向（図示Ａ方向）に直線状に延設されている。
【００６１】
また、このレール６６の長さは、機器搭載台６１が移動するのに必要な距離である距離Ｓ２より長い距離とされている。ここに、距離Ｓ２は、免震台１１が支援機器搭載台６１の方向へ移動する距離Ｓ１より長い距離とされている。
【００６２】
かかる構成において、ガイド６４とレール６６との間の動摩擦係数を、ガイド６４の進行方向によって異なる値に設定している。即ち、ガイド６４が免震台１１から離れる方向（Ａ方向）の動摩擦係数μ２は小さく、免震台１１に近づく方向（Ｂ方向）の動摩擦係数μ１は大きく、それぞれ異なる値に設定している。このとき、免震装置１２の免震機構１６を構成する免震滑り材１７と、免震滑り材１７を支える免震滑り板１８との間の動摩擦係数μは、動摩擦係数μ１とμ２の中間の値に設定している。
【００６３】
図６は、移動方向により動摩擦係数を変化させるための、具体的なレール６６の形状の一例を示している。
【００６４】
即ち、レール６６の上面は、免震台１１から離れる方向（矢印Ａ方向）に向けて一定の距離Ｌ１は、高さｈだけ上昇する緩やかな上り斜面となっている。続いて一定の距離Ｌ２は、高さｈだけ下降する急な下り斜面となっている。この上り斜面Ｌ１と下り斜面Ｌ２とを連続して繰り返す構成としてある。このとき、上り斜面の距離Ｌ１は下り斜面の距離Ｌ２より長く設定されている。
【００６５】
レール６６の表面をこのような斜面形状とすることにより、ガイド６４が免震台１１から離れる方向（矢印Ａ方向）に摺動する場合には、緩やかな上り斜面を連続して進むこととなり、レール６６の表面とガイド６４との間の動摩擦係数は小さく保たれる。
【００６６】
一方、ガイド６４が免震台１１に近づく方向（矢印Ｂ方向）に摺動する場合には、高さｈの急な上り斜面を連続して乗り越えながら進むこととなり、レール６６の表面とガイド６４との動摩擦係数は大きくなり、進みづらくなる。
【００６７】
この構成により、免震台１１から離れる方向の動摩擦係数μ２と、免震台１１に近づく方向の動摩擦係数μ１とを異なる値とすることができる。
【００６８】
次に、支持装置の動摩擦係数を進行方向により異なる値としたことによる、免震台１１と機器搭載台６１の地震時の挙動について、下記条件の下で、数値計算で求めた結果を説明する。
【００６９】
計算方法は、免震台１１と機器搭載台６１を図５に示す位置に配置し、この配置状態で、数値計算用の地震波を入力し、入力した地震波に対する免震台１１と支援機器搭載台６１について、それぞれの応答加速度、相対加速度及び移動距離を算出した。
【００７０】
計算にあたり、免震台１１の免震機構１６である免震滑り材１７と免震滑り板１８との間の動摩擦係数をμ、機器搭載台６１が免震台１１に近づく方向（矢印Ｂ）の動摩擦係数をμ１、機器搭載台６２が免震台１１から離れる方向（矢印Ａ）の動摩擦係数をμ２、動摩擦係数μ、μ１、μ２の関係をμ１＞μ＞μ２とした。
【００７１】
図７は免震台１１における計算結果を示したものである。横軸はいずれの図も地震発生からの経過時間（秒）を示している。縦軸は上から順に、図７（Ａ）は加速度（ｃｍ／ｓ２）、図７（Ｂ）は相対加速度（ｃｍ／ｓ２）、図７（Ｃ）は相対変位量（ｃｍ）を示している。
【００７２】
図７（Ａ）は、入力した地震波の加速度である入力加速度Ｘ１（床面１５の加速度）と、入力加速度Ｘ１を受けて免震台１１が移動する加速度である免震加速度Ｘ２の時間変化を示している。
【００７３】
免震加速度Ｘ２は、免震機構１６の動摩擦係数がμであることから、入力加速度Ｘ１が加速度μｇ（ｇは重力加速度）を超えない時間帯Ｔ１においては、免震機構１６では滑りは発生せず、入力加速度Ｘ１と同一加速度で、床面１５と一体となって移動している。
【００７４】
一方、入力加速度Ｘ１が加速度μｇを超える時間帯Ｔ２、Ｔ３においては、免震台１１を支える免震滑り材１７は免震滑り板１８の上を滑り始める。この結果、免震加速度Ｘ２は、加速度μｇを超えることはなく、加速度μｇで一定の値となり、免震作用が発揮される。一方、入力加速度Ｘ１は加速度μｇを超える加速度が継続する。この結果、入力加速度Ｘ１と免震加速度Ｘ２との間に差（相対加速度）が生じる。
【００７５】
なお、加速度のマイナス部分が生じている時間帯Ｔ３は、加速度の方向が予め定めた方向（プラス部分の加速度方向）と逆方向であることを示す。
【００７６】
次に、免震台１１の加速度と床面１５の加速度との間の、相対加速度について説明する。
【００７７】
図７（Ａ）において、時間帯Ｔ２、Ｔ３においては、入力加速度Ｘ１と免震加速度Ｘ２との間に差が生じている。この加速度の差は免震台１１と床面１５の間の相対加速度Ｙ１となる。図７（Ｂ）は、入力加速度Ｘ１と免震加速度Ｘ２との差から求めた相対加速度Ｙ１を示している。
【００７８】
相対加速度Ｙ１は、時間帯Ｔ１では入力加速度Ｘ１が小さく、床面１５と免震台１１は一緒に移動しているため、相対速度５４はゼロで発生していない。しかし、入力加速度Ｘ１の大きい時間帯Ｔ２では、免震加速度Ｘ２は入力加速度Ｘ１より小さい値（μｇ）で一定に保たれているため、相対加速度Ｙ１が発生する。また、時間帯Ｔ３でも、同じく相対加速度Ｙ２が発生している。この場合、加速度方向が逆であるため、マイナス方向の値となっている。
【００７９】
次に、時間帯Ｔ２、Ｔ３における相対加速度Ｙ１、Ｙ２の値を用いて、相対加速度Ｙ１、Ｙ２を２階積分することで、免震台１１の床面１５に対する相対変位量Ｚ１を求めた。
【００８０】
結果は、図７（Ｃ）に示すように、ピークを有するなだらかな波型となる。相対変位量Ｚ１は、結果から、プラス側で最大約２ｃｍ、マイナス側で最大約３ｃｍ程度の値となり、免震台１１との衝突を避けるには、この範囲内を避けた位置まで、機器搭載台６１を移動させる必要がある。
【００８１】
図８は機器搭載台６１についての計算結果を示したものである。図７に示した免震台１１の計算と同じ地震波を入力し、同じ計算条件に基づいて同様の処理を行った結果である。縦軸、横軸の表示も図７と同じである。
【００８２】
図８（Ａ）は、入力加速度Ｘ１と、入力加速度Ｘ１に応答して機器搭載台６１が移動した機器加速度Ｘ３とを示している。なお、機器搭載台６１は、移動方向により動摩擦係数の値が異なるため、機器搭載台６１が免震台１１から離れる方向（プラス側）と、機器搭載台６１が免震台１１に近づく方向（マイナス側）とで機器加速度Ｘ３の値が異なっている。
【００８３】
即ち、プラス側では動摩擦係数μ２が小さいため、機器加速度Ｘ３は小さい値（μ２ｇ）で一定に保たれている。一方、マイナス側では動摩擦係数μ１が大きいため、機器加速度Ｘ３も大きい値（μ１ｇ）で一定に保たれている。
【００８４】
図８（Ｂ）は、入力加速度Ｘ１と機器加速度Ｘ３との加速度の差から求めた相対加速度Ｙ３である。上述の機器加速度Ｘ３の特性の違いから、プラス側では相対加速度Ｙ３は大きくなり、マイナス側では相対加速度Ｙ３は小さくなっている。
【００８５】
図８（Ｃ）は、相対加速度Ｙ３の値から、相対加速度Ｙ３を２階積分して支援機器加速度Ｘ３の床面に対する相対変位量Ｚ２を求めた結果である。図７（Ｃ）と同じく、ピークを有するなだらかな波型となる。しかし、上述の機器加速度Ｘ３の特性の違いから、免震台１１から遠ざかる方向（プラス側）の相対変位量Ｚ２は大きく、免震台１１に近づく方向（マイナス側）の相対変位量Ｚ２は小さい方へシフトしている。
【００８６】
図９は、図７（Ｃ）に示した免震台１１の相対変位量Ｚ１と、図８（Ｃ）に示した機器搭載台６１の相対変位量Ｚ２とを、同一座標上に重ねて示した結果である。機器搭載台６１が免震台１１から遠ざかる方向（プラス側）では、機器搭載台６１の相対変位量Ｚ２の方が、免震台１１の相対変位量Ｚ１より大きい。一方、機器搭載台６１が免震台１１に近づく方向（マイナス側）では、免震台１１の相対変位量Ｚ１の方が、機器搭載台６１の相対変位量Ｚ２より大きい値となっている。
【００８７】
以上から、地震時に、免震台１１が機器搭載台６１に近づく方向へ移動し、同時に機器搭載台６１が免震台１１から離れる方向へ移動する場合においては、機器搭載台６１が免震台１１から離れる方向に移動する変位量の方が、免震台１１が機器搭載台６１の方へ移動する変位量より大きくなり、免震台１１は機器搭載台６１に追いつけない。
【００８８】
一方、機器搭載台６１が免震台１１に近づく方向へ移動し、同時に免震台１１が機器搭載台６１から離れる方向へ移動する場合においては、免震台１１が機器搭載台６１から離れる方向の変位量の方が、機器搭載台６１が免震台１１に近づく方向の変位量より大きくなり、機器搭載台６１は免震台１１に追いつけない。
【００８９】
これにより、機器搭載台６１と免震台１１とは、お互いに地震前の距離以上に近づくことはなく、免震装置１２の免震台１１に搭載された精密機器１０と機器搭載台６１に搭載された支援機器３０を隣り合わせに配置しても、地震時に、互いの衝突を避けることができる。
【００９０】
また、支持機構３９は、免震装置１２の免震台１１から離れる水平一方向に、レール６６の上を摺動する移動となるため、水平方向の全範囲の移動が要求される免震装置１２の免震機構１６に比べ簡単な機構で実現でき、コスト的に安価となり、コストアップが抑えられる。
【００９１】
また、機器搭載台３１は、免震台１１から離れる水平一方向に、レール６６の上を摺動する移動となるため、図４の網掛け部分３５を移動することはなく、網掛け部分３５の他の用途への利用が可能となり、クリーンルームを効率的に利用できる。
（第３の実施の形態）
第３の実施の形態の基本構成は、図５に示す第２の実施の形態と同じである。更に、免震装置１２の構成も第１、第２の実施の形態と同じである。第３の実施の形態で第２の実施の形態と異なる点は、支持機構６２を構成するレール６６を、レール７０に変更した点である。既に説明した第２の実施の形態と同一部分の説明は省略する。
【００９２】
レール７０は、図１０に示すように、床面１５に水平１方向に、配置されている。レール７０は鋼材で直線状に形成され、レール７０の長さは、機器搭載台６１が移動する距離Ｓ２より長い距離とされている。ここに、距離Ｓ２は免震台１１が機器搭載台６１の方向へ移動する距離Ｓ１より大きな値とされている。
【００９３】
また、レール７０は、免震台１１から離れる方向（矢印Ａ方向）に下がり勾配（傾斜角θ）で形成されている。
【００９４】
レール７０の上面にはガイド７２が矢印Ａ、Ｂいずれの方向にも摺動可能に配置されている。ガイド７２は、鋼板でレール７０を跨ぐ形状で構成され、ガイド７２には機器搭載台６１（図示せず）が支持されており、機器搭載台６１には、支援機器３０（図示せず）が搭載されている。
【００９５】
このレール７０とガイド７２との摩擦面における動摩擦係数はμ０、免震機構の動摩擦係数も同じμ０とされている。その他の基本構成は第２の実施の形態と同一である。
【００９６】
次に、レール７０の作用について説明する。
【００９７】
このレール７０とガイド部材７２との摩擦面の動摩擦係数はμ０、免震機構の動摩擦係数もμ０、レール７０の水平に対する傾斜角はθであるから、このレール７０をガイド部材７２が上る方向（矢印Ｂの方向）に摺動するときの抵抗力Ｆ１とレールを下る方向（矢印Ａの方向）に摺動するときの抵抗力Ｆ２は、慣性力による付加重力などの２次的な項を除けば、式（１）、（２）で表わされる。
【００９８】
ここに、ｍはガイド７２で支持する支援機器３０と機器搭載台６１の質量（ガイド７２を含む）を合計した質量で、ｇは重力加速度である。
【００９９】
また、式（１）、（２）から明らかなように、見かけの動摩擦係数をμ１、μ２とし、Ｆ１とＦ２の動摩擦係数をμ１、μ２で表示すると、式（３）、（４）となる。
【０１００】
Ｆ１＝μ０ｍｇ＋ｍｇtanθ＝（μ０＋tanθ）ｍｇ  （１）
Ｆ２＝μ０ｍｇ−ｍｇtanθ＝（μ０−tanθ）ｍｇ  （２）
μ１＝μ０＋tanθ    （３）
μ２＝μ０−tanθ    （４）
ここで、免震滑り材１７が免震滑り板１８を滑るときの抵抗力をＦとすれば、抵抗力Ｆ、Ｆ２、Ｆ１の関係をＦ１＞Ｆ＞Ｆ２とすることができる。
【０１０１】
即ち、レール７０を免震台１１から離れる方向に下がり勾配で傾斜させることにより、機器搭載台６１が免震台１１に近づく方向と、機器搭載台６１が免震台１１から離れる方向の見かけの動摩擦係数を異なる値（離れる方向が小さい値）とし、免震台１１の動摩擦係数をその中間に設定することができる。
【０１０２】
このことから、第２の実施の形態で説明したように、地震時に、免震台１１が機器搭載台６１に近づく方向へ移動し、同時に機器搭載台６１が免震台１１から離れる方向へ移動する場合には、機器搭載台６１の移動距離は免震台１１の移動距離より長くなり、免震台１１は機器搭載台６１に追いつけない。
【０１０３】
一方、機器搭載台６１が免震台１１に近づく方向へ移動し、同時に免震台１１が機器搭載台６１から離れる方向へ移動する場合においては、免震台１１の移動距離は機器搭載台６１の移動距離より長くなり、機器搭載台６１は免震台１１に追いつけない。
【０１０４】
これにより、機器搭載台６１と免震台１１とは、お互いに地震前の距離以上に近づくことはなく、免震装置１２の免震台１１に搭載された精密機器１０と機器搭載台６１に搭載された支援機器３０を隣り合わせに配置しても、地震時に、互いの衝突を避けることができる。
【０１０５】
また、レールの軌道は水平一方向で、ガイド７２はレール７０を挟持して摺動するので、直線と直交する方向に機器搭載台６１が移動することはない。機器搭載台６１がレール７０と直交する方向には移動しないため、図４の網掛け部３５の有効活用を図ることができ、クリーンルームのレイアウト効率を高めることができる。
【０１０６】
なお、以上説明した第１〜第３の実施の形態においては、精密機器１０に隣接して配置する機器を支援機器３０として説明したが、精密機器１０に隣接して配置され、機器搭載台３１、６１に搭載される機器は必ずしも支援機器３０にとらわれることはなく、例えば製品を運搬するラインなど、支援機器ではないが精密機器１０に隣接して配置される機器でもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１０７】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る精密機器周囲の機器配置を示す図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係る支持機構と免震台の構成を示す説明図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態に係る支持機構の作用を示す説明図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態に係る機器搭載台と免震台の移動範囲を示す説明図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態に係る支持機構の構成を示す説明図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態に係るレールの表面形状を示す図である。
【図７】地震時の免震台の挙動を示す説明図である。
【図８】地震時の本発明の第２の実施の形態に係る機器搭載台の挙動を示す説明図である。
【図９】地震時の、免震台と本発明の第２の実施の形態に係る機器搭載台との相対位置関係を示す説明図である。
【図１０】本発明の第３の実施の形態に係るレールの構成を示す図である。
【図１１】従来の精密機器の周囲の機器配置を示す図である。
【図１２】従来の精密機器を免震化した場合の周囲の機器配置を示す図である。
【符号の説明】
【０１０８】
１０  機器（精密機器）
１２  免震装置
１１  免震台
１６  免震機構
１７  免震滑り材
１８  免震滑り板
３０  支援機器
３１  機器搭載台
３２  機器支持装置
３４  レール（滑り板）
３６  ガイド部材（滑り材、ガイド）  
３９  支持機構
４１  バネ部材（バネ）
４３  ロック機構
６０  機器支持装置
６１  機器搭載台
６２  支持機構
６４  ガイド部材（滑り材、ガイド）  
６６  レール（滑り板）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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