(57)【要約】【課題】インクジェットヘッドにおけるノズル間での吐出量の差を低減させること。【解決手段】吐出装置におけるインクジェットヘッドが、インクジェットヘッドの短手方向に伸びた複数の隔壁によって分割された複数の吐出ブロックを有している。そして、複数のノズルは、少なくとも一つのノズルが複数の吐出ブロックの各々に配置されるように、複数の吐出ブロックに分散して配置され、複数の吐出ブロックは第１吐出ブロックと、第２吐出ブロックと、第３吐出ブロックとを少なくとも有し、第２吐出ブロックは第１吐出ブロックと第３吐出ブロックとの間に配置されている。さらに、第２吐出ブロックに供給される第２液状体は、第１吐出ブロックに供給される第１液状体及び第３吐出ブロックに供給される第３液状体よりも粘度が低く、第１液状体、第２液状体及び第３液状体は共通の機能性材料からなる溶質を含む。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状体を吐出する複数のノズルを備えたインクジェットヘッドを有する吐出装置であって、
前記インクジェットヘッドは前記インクジェットヘッドの短手方向に伸びた複数の隔壁によって分割された複数の吐出ブロックを有し、
前記複数のノズルは、少なくとも一つのノズルが前記複数の吐出ブロックの各々に配置されるように、前記複数の吐出ブロックに分散して配置され、
前記複数の吐出ブロックは第１吐出ブロックと、第２吐出ブロックと、第３吐出ブロックとを少なくとも有し、前記第２吐出ブロックは前記第１吐出ブロックと前記第３吐出ブロックとの間に配置され、
前記第２吐出ブロックに供給される第２液状体は、前記第１吐出ブロックに供給される第１液状体及び前記第３吐出ブロックに供給される第３液状体よりも粘度が低く、
前記第１液状体、前記第２液状体及び前記第３液状体は共通の機能性材料からなる溶質を含むことを特徴とする吐出装置。
【請求項２】
前記第１吐出ブロックに供給される前記第１液状体を備えた第１タンクと、
前記第２吐出ブロックに供給される前記第２液状体を備えた第２タンクと、
前記第３吐出ブロックに供給される前記第３液状体を備えた第３タンクと、
をさらに有することを特徴とする請求項１に記載の吐出装置。
【請求項３】
前記複数のノズルのうちの前記第２吐出ブロックに配置されたノズルの数は、前記複数のノズルのうちの前記第１吐出ブロックに配置されたノズルの数及び前記複数のノズルののうちの前記第３吐出ブロックに配置されたノズルの数よりも多いことを特徴とする請求項１又は２に記載の吐出装置。
【請求項４】
液状体を吐出する複数のノズルを備えたインクジェットヘッドを有し、前記インクジェットヘッドは前記インクジェットヘッドの短手方向に伸びた複数の隔壁によって分割された複数の吐出ブロックを有し、前記複数のノズルは、少なくとも一つのノズルが前記複数の吐出ブロックの各々に配置されるように、前記複数の吐出ブロックに分散して配置され、前記複数の吐出ブロックは第１吐出ブロックと、第２吐出ブロックと、第３吐出ブロックとを少なくとも有し、前記第２吐出ブロックは前記第１吐出ブロックと前記第３吐出ブロックとの間に配置された液滴吐出装置、を用いて基体上に液状体を配置する液状体配置方法であって、
前記第２吐出ブロックに供給する第２液状体として、前記第１吐出ブロックに供給する第１液状体及び前記第３吐出ブロックに供給する第３液状体よりも粘度が低く、かつ前記第１液状体及び前記第３液状体に含まれる機能性材料からなる溶質と共通の溶質を含む液状体を用いることを特徴とする液状体配置方法。
【請求項５】
前記吐出装置は、前記第１吐出ブロックに接続された第１タンクと、前記第２吐出ブロックに接続された第２タンクと、前記第３吐出ブロックに接続された第３タンクと、を有し、
前記第１タンクに前記第１液状体、前記第２タンクに前記第２液状体、前記第３タンクに前記第３液状体を供給することを特徴とする請求項４に記載の液状体配置方法。
【請求項６】
前記第１液状体に含まれる前記機能性材料からなる第１溶質が前記第１液状体に占める割合と、前記第２液状体に含まれる前記機能性材料からなる第２溶質が前記第１液状体に占める割合と、前記第３液状体に含まれる前記機能性材料からなる第３溶質が前記第１液状体に占める割合と、は同じ割合であることを特徴とする請求項４又は５に記載の液状体配置方法。
【請求項７】
前記第２液状体に含まれる第２溶媒の粘度は、前記第１液状体に含まれる第２溶媒の粘度及び前記第３液状体に含まれる第３溶媒の粘度よりも粘度が低いことを特徴とする請求項４から６のいずれか１項に記載の液状体配置方法。
【請求項８】
前記第１溶媒の沸点、前記第２溶媒の沸点、前記第３溶媒沸点の差は、共通の条件下で
０℃以上１０℃以下であることを特徴とする請求項７に記載の液状体配置方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は吐出装置および液状体配置方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットヘッドにおけるノズル間での吐出量のばらつきを補正する技術が知られている。特許文献１は、ノズル列を複数のノズルグループに分割し、それぞれのノズルグループに異なる駆動波形を与えて、このことでノズル間での吐出量の差を抑えることを記載している。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−１９６１２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１による解決策では、駆動回路の回路構成が複雑になってしまい、このためコストが増加するという問題がある。
【０００５】
本発明は上記課題を鑑みてなされ、その目的の一つは、駆動回路を複雑にすることなくインクジェットヘッド上のノズル間での吐出量の差を低減させることである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のある態様によれば、吐出装置が、液状体を吐出する複数のノズルを備えたインクジェットヘッドを有している。ここで、前記インクジェットヘッドは前記インクジェットヘッドの短手方向に伸びた複数の隔壁によって分割された複数の吐出ブロックを有している。そして、前記複数のノズルは、少なくとも一つのノズルが前記複数の吐出ブロックの各々に配置されるように、前記複数の吐出ブロックに分散して配置され、前記複数の吐出ブロックは第１吐出ブロックと、第２吐出ブロックと、第３吐出ブロックとを少なくとも有し、前記第２吐出ブロックは前記第１吐出ブロックと前記第３吐出ブロックとの間に配置されている。さらに、前記第２吐出ブロックに供給される第２液状体は、前記第１吐出ブロックに供給される第１液状体及び前記第３吐出ブロックに供給される第３液状体よりも粘度が低く、前記第１液状体、前記第２液状体及び前記第３液状体は共通の機能性材料からなる溶質を含む。
【０００７】
上記構成によって、インクジェットヘッドの両端側に位置したノズルの吐出量と、両端側以外の位置にあるノズルの吐出量との間の差を、低減できる。
【０００８】
本発明の他の態様によれば、上記吐出装置が、前記第１吐出ブロックに供給される前記第１液状体を備えた第１タンクと、前記第２吐出ブロックに供給される前記第２液状体を備えた第２タンクと、前記第３吐出ブロックに供給される前記第３液状体を備えた第３タンクと、をさらに有する。
【０００９】
上記構成によれば、上記のような粘度を有する第１液状体、第２液状体、および第３液状体を１つのインクジェットヘッドに供給できる。
【００１０】
本発明の他の態様によれば、前記複数のノズルのうちの前記第２吐出ブロックに配置されたノズルの数は、前記複数のノズルのうちの前記第１吐出ブロックに配置されたノズルの数及び前記複数のノズルののうちの前記第３吐出ブロックに配置されたノズルの数よりも多い。
【００１１】
さらに、本発明のある態様の液状体配置方法によれば、液状体を吐出する複数のノズルを備えたインクジェットヘッドを有し、前記インクジェットヘッドは前記インクジェットヘッドの短手方向に伸びた複数の隔壁によって分割された複数の吐出ブロックを有し、前記複数のノズルは、少なくとも一つのノズルが前記複数の吐出ブロックの各々に配置されるように、前記複数の吐出ブロックに分散して配置され、前記複数の吐出ブロックは第１吐出ブロックと、第２吐出ブロックと、第３吐出ブロックとを少なくとも有し、前記第２吐出ブロックは前記第１吐出ブロックと前記第３吐出ブロックとの間に配置された液滴吐出装置、を用いて基体上に液状体を配置する。ここで、前記第２吐出ブロックに供給する第２液状体として、前記第１吐出ブロックに供給する第１液状体及び前記第３吐出ブロックに供給する第３液状体よりも粘度が低く、かつ前記第１液状体及び前記第３液状体に含まれる機能性材料からなる溶質と共通の溶質を含む液状体が用いられる。
【００１２】
上記構成によれば、インクジェットヘッドの両端側に位置したノズルの吐出量と、両端側以外の位置にあるノズルの吐出量との間の差を、低減できる。
【００１３】
さらに本発明の他の態様によれば、前記吐出装置は、前記第１吐出ブロックに接続された第１タンクと、前記第２吐出ブロックに接続された第２タンクと、前記第３吐出ブロックに接続された第３タンクと、を有している。そして、前記第１タンクに前記第１液状体、前記第２タンクに前記第２液状体、前記第３タンクに前記第３液状体を供給する。
【００１４】
上記構成によれば、上記のような粘度を有する第１液状体、第２液状体、および第３液状体を１つのインクジェットヘッドに供給できる。
【００１５】
さらに、本発明の他の態様によれば、前記第１液状体に含まれる前記機能性材料からなる第１溶質が前記第１液状体に占める割合と、前記第２液状体に含まれる前記機能性材料からなる第２溶質が前記第１液状体に占める割合と、前記第３液状体に含まれる前記機能性材料からなる第３溶質が前記第１液状体に占める割合と、は同じ割合である。
【００１６】
上記構成によれば、第１液状体、第２液状体および第３液状体のいずれにおいても機能性材料が占める割合が同じである。したがって、第１吐出ブロック、第２吐出ブロック、および第３吐出ブロックのいずれに属するノズルからでも同じ回数だけ液滴が吐出されれば、得られる機能性材料の層の厚さ（例えば当該層の中央部の厚さ）は、所定の一定値に近くなる。
【００１７】
さらに、本発明の他の態様によれば、前記第２液状体に含まれる第２溶媒の粘度は、前記第１液状体に含まれる第２溶媒の粘度及び前記第３液状体に含まれる第３溶媒の粘度よりも粘度が低い。
【００１８】
上記構成によれば、共通の機能性材料を含有しながらも第１液状体、第２液状体、および第３液状体の粘度が異なる。
【００１９】
さらに、本発明の他の態様によれば、前記第１溶媒の沸点、前記第２溶媒の沸点、前記第３溶媒沸点の差は、共通の条件下で０℃以上１０℃以下である。
【００２０】
上記構成によれば、吐出された第１液状体、第２液状体、および第３液状体の乾燥挙動がより均一になり、そしてこのため、最終的に得られる機能性材料からなる層の厚さのばらつきが低減する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
（Ａ．インクジェットヘッド）
図１（ａ）および（ｂ）は、本実施形態で用いられるインクジェットヘッド１の一例を模式的に示している。図１（ａ）が示すように、インクジェットヘッド１は、複数の吐出ブロック２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄに区分されている。ここで、吐出ブロック２Ｂと吐出ブロック２Ｃとは隣り合っていて、かつこれら吐出ブロック２Ｂと吐出ブロック２Ｃとは、吐出ブロック２Ａと吐出ブロック２Ｄとの間に位置している。
【００２２】
吐出ブロック２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄのそれぞれは、図１（ｂ）が示すように、ノズルプレート３と、複数のノズル４と、複数のノズル４に１対１で導通した複数の吐出機構５と、共通インク室１１と、共通流路１２と、を備えている。このため、インクジェットヘッド１は、４つの共通インク室１１と、４つの共通流路１２と、を備えていることになる。ここで、同じ吐出ブロックに属する複数のノズル４は、ノズルプレート３の一方向に並んで配列されている。同様に、同じ吐出ブロックに属する複数の吐出機構５もノズルプレート３の一方向に並んで配列されている。ここで、同じ吐出ブロックに属した複数のノズル４は、１つの「ノズルグループ」を構成するとも表現される。さらに、この表現によれば、同じ吐出ブロックに属した複数のノズル４は、同じ「ノズルグループ」に属すると表現され得る。
【００２３】
なお、本実施形態では、ノズルプレート３は、吐出ブロック２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄにとって共通である。また、ノズルプレート３は、複数のノズル４の開口を縁取っている。
【００２４】
本実施形態では、吐出ブロック２Ａは３個のノズル４を備えており、吐出ブロック２Ｂは、８個のノズル４を備えており、吐出ブロック２Ｃは、１７個のノズル４を備えており、吐出ブロック２Ｄは、２個のノズル４を備えている。このため、吐出ブロック２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄには、全部で３０個のノズル４が存在する。なお、本実施形態では、吐出ブロック２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄのそれぞれが、ノズル４と１対１で対応した吐出機構５を備えている。ただし、他の形態では、吐出ブロック２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄの少なくともいずれか一つが、ノズル４と吐出機構５とのセットを、１つだけ備えていてもよい。
【００２５】
これら３０個のノズル４は、ノズルプレート３上でノズル列を構成するように一列に並んでいる。このことから、インクジェットヘッド１はノズル列を備えているとも表記される。なお、本明細書では、ノズル列が延びる方向を、便宜上、Ｘ軸方向として表記している。また、Ｘ軸方向に対して垂直な２方向をＹ軸方向およびＺ軸方向としている。また、ノズル４の開口は、ほぼＺ軸方向に沿ってノズルプレート３を貫いている。そして、後述する吐出装置８０（図９）によって、ターゲット３０（図５）に対するノズル４の相対位置が、Ｘ軸方向とＹ軸方向とに平行な面内で変化させられることになる。
【００２６】
図１（ｂ）に示すように、複数の吐出機構５のそれぞれは、振動板６と、振動板６上に位置した振動素子７と、振動板６を介して振動素子７の振動が伝わる圧力室８と、振動板６とともに圧力室８を規定する隔壁構造９と、圧力室８内へ液状体を供給するインク流路１０と、を備えている。それぞれの圧力室８内へは、それぞれのインク流路１０を介して、共通インク室１１からの液状体が導かれている。また、共通インク室１１へは、共通流路１２を介して、外部の共通タンク１３（図９）から液状体が供給されている。ここで、共通インク室１１と、共通流路１２と、共通タンク１３と、はいずれも、同じ吐出ブロックに属する吐出機構５にとって共通である。このため、インクジェットヘッド１において、同じ吐出ブロックに属する吐出機構５には、共通の液状体が供給される。
【００２７】
振動素子７は、振動板６上に位置している。本実施形態での振動素子７は、一対の電極７Ａ，７Ｂと、一対の電極７Ａ，７Ｂ間に位置したピエゾ素子７Ｃと、を備えたアクチュエータである。さらに、一対の電極７Ａ，７Ｂへは、図示しない駆動回路からの駆動信号が与えられるように、吐出機構５は構成されている。このような構成を備えた吐出機構５は、駆動信号における駆動波形に応じて、振動板６を撓ませることで、圧力室８内の液状体をノズル４から液滴として吐出する。なお、他の実施の形態では、振動素子７は、一対の電極間に働く静電力（クーロン力）を利用して、液状体をノズル４から吐出する構成を有していてもよい。
【００２８】
図２は、インクジェットヘッド１の内部を、Ｚ軸方向からＸＹ平面へ写像するように描いた模式図である。図２に示すように、上述の隔壁構造９は、吐出ブロックごとに、共通インク室１１が仕切られるように、インクジェットヘッド１の短手方向に延びた複数の隔壁を有している。このことから、インクジェットヘッド１は、その短手方向に延びた複数の隔壁によって、複数の吐出ブロック２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄに分割されているとも表現され得る。なお、ここでの短手方向はＹ軸方向に平行である。
【００２９】
ここで、インクジェットヘッド１に含まれる複数の吐出機構５のすべてへ共通の液状体を供給し、かつ同じ駆動波形を印加する場合には、吐出機構５（またはノズル４）間で、ノズル４からの吐出量が異なってしまう。これは吐出機構５のインクジェットヘッド１内部での相対位置に応じて、吐出機構５とその周囲とを含めた部分の剛性が異なるからである。しかも、本実施形態では、複数の吐出機構５は互いに接している。また、複数の吐出機構５は、振動板６と、ノズルプレート３と、を共有部分として共有している。さらに、複数の吐出機構５間での振動素子７の性能差もあり得る。これらのことも、ノズル４間での吐出量の差を生じる原因になり得る。
【００３０】
図３に示すように、具体的には、ノズル列の両端側に位置したノズル４からの吐出量が、それら両端側のノズル４の間に位置したノズル４からの吐出量よりも大きくなる。図３は一例であるが、要するにインクジェットヘッド１には、両端側に位置したノズル４の吐出量と、両端側以外の位置にあるノズル４の吐出量との間に、無視できない差がある。このような両端側のノズル４の吐出量と、それ以外のノズル４の吐出量と、の間に差が現れる現象は、複数の吐出機構５に同時に駆動波形を与える場合でも、複数の吐出機構５の１つずつに駆動波形を与える場合でも、現れる。
【００３１】
ここで、本実施形態での「吐出量」は、規定の駆動波形に応じた規定数（例えば５００回）の吐出によって１つのノズル４から吐出された液状体の合計質量で表されている。ただし、「吐出量」は、この合計質量を上記既定数で割った平均質量で表されてもよい。さらに、液状体の比重が既知ならば、「吐出量」は、液状体の比重に基づいて、合計質量または平均質量から換算された合計体積または平均体積で表されてもよい。いずれにせよ、複数のノズル４間で、同じ駆動波形が用いられ、かつ共通の計測・導出方法が適用される限り、どのような計測・導出方法を用いて「吐出量」が計測・導出されてもよい。
【００３２】
本実施形態によれば、隣り合う吐出機構５（あるいは隣り合うノズル４）のうち、比較的に吐出量が近い吐出機構５同士が同じ吐出ブロックに属するように、インクジェットヘッド１が区分されている。そして、複数のノズル４の吐出量が互いに近づくように、インクジェットヘッド１が吐出ブロック２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄに区分されて、かつ吐出ブロック２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄへそれぞれ異なる粘度の液状体が供給される。
【００３３】
具体的には、吐出量が相対的に大きい吐出機構５が属している吐出ブロックへは、相対的に高い粘度を有する液状体が供給されている。一方で、吐出量が相対的に小さい吐出機構５が属している吐出ブロックへは、相対的に低い粘度を有する液状体が供給されている。このため、複数の吐出機構５（複数のノズル４）間での吐出量の差が、共通の液状体が用いられた場合の吐出量の差よりも小さくなる。
【００３４】
インクジェットヘッド１を複数の吐出ブロックへ区分する方法は以下の通りである。
【００３５】
まず、インクジェットヘッド１に含まれるすべての吐出機構５へ１つの共通インク室が導通するように構成された試験用インクジェットヘッドを準備する。そして、試験用インクジェットヘッドに液状体を供給し、それぞれのノズル４からの吐出量を計測する。そうすると、例えば図３のような吐出量のプロファイルが得られる。
【００３６】
次に、得られた吐出量のプロファイルから算出される、それぞれのノズル４からの吐出量に基づいて、インクジェットヘッド１を複数の吐出ブロックに区分する。具体的には、吐出ブロックごとに異なる粘度の液状体が流れるように、吐出ブロックごとに共通インク室１１と、共通流路１２と、を設ける。より具体的には、試験用インクジェットヘッドにおける共通インク室を、隔壁構造９の形状を改変することで、吐出ブロックごとに個別な共通インク室１１にする。そして、それぞれの吐出ブロックにおいて、共通インク室１１に繋がった共通流路１２を設ける。そうすると、本実施形態のインクジェットヘッド１が得られる。なお、試験用インクジェットヘッドの構造と、得られたインクジェットヘッド１の構造とは、インクジェットヘッド１が、区分された吐出ブロック毎に共通インク室１１と共通流路１２とを備える点を除くと、基本的に同じである。
【００３７】
さらに、得られたインクジェットヘッド１を用いて、それぞれの吐出ブロックへ異なる粘度の液状体を同時に供給し、それぞれのノズル４からの吐出量を計測する。このような計測を様々な液状体のセットを用いて行う。そして、ノズル４間の吐出量の差が、共通の液状体が用いられた場合の吐出量の差よりも小さくなるような、各液状体の粘度を選択する。
【００３８】
（Ｂ．液状体）
本実施形態では、吐出ブロック２Ａへは、液状体２０Ａが供給されている。また、吐出ブロック２Ｂへは、液状体２０Ｂが供給されている。吐出ブロック２Ｃへは、液状体２０Ｃが供給されている。そして、吐出ブロック２Ｄへは、液状体２０Ｄが供給されている。
【００３９】
本実施形態ではより具体的には、吐出ブロック２Ａの共通インク室１１へは、インクジェットヘッド１の外部の共通タンク１３（図９）から共通流路１２を介して、液状体２０Ａが供給される。共通インク室１１に導かれた液状体２０Ａは、それぞれのインク流路１０を流れて、それぞれの吐出機構５へ供給される。このため、吐出ブロック２Ａに属する複数の吐出機構５のいずれへも、共通の液状体２０Ａが供給される。そしてこのため、吐出ブロック２Ａに属する複数のノズル４のそれぞれから、共通の液状体２０Ａが吐出される。
【００４０】
吐出ブロック２Ｂ，２Ｃ，２Ｄへも、吐出ブロック２Ａと同様に、それぞれ液状体２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄが供給されているので、吐出ブロック２Ｂに属する複数のノズル４からは、共通の液状体２０Ｂが吐出され、吐出ブロック２Ｃに属する複数のノズル４からは、共通の液状体２０Ｃが吐出され、吐出ブロック２Ｄに属する複数のノズル４からは、共通の液状体２０Ｄが吐出される。
【００４１】
本実施形態の液状体２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄのそれぞれにおける溶媒と機能性材料との組み合わせは、表１に示す通りである。具体的には、液状体２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄはいずれも、機能性材料として、共通の青色ＥＬ材料を、約１．０重量％の割合で含有している。そして、液状体２０Ａは、約９９．０重量％の溶媒２２Ａを含有している。液状体２０Ｂは、約９９．０重量％の溶媒２２Ｂを含有している。液状体２０Ｃは、約９９．０重量％の溶媒２２Ｃを含有している。液状体２０Ｄは、約９９．０重量％の溶媒２２Ｄを含有している。このように本実施形態では、３つの液状体２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃのいずれにおいても機能性材料が占める割合（本実施形態では重量％）が同じである。このことから、吐出ブロック２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄのいずれに属するノズル４からでも液状体が同じ回数だけ液滴として吐出されれば、得られる機能性材料の層の厚さ（例えば層の中央部の厚さ）は、所定の一定値に近くなる。
【００４２】
【表１】
2008238023.tif 000003
【００４３】
ここで、溶媒２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄのそれぞれは、表２に示す通り、１つの要素溶媒、または２つの要素溶媒の混合物からなっている。具体的には、溶媒２２Ａは、５０重量％のテトラリンと、５０重量％の１，２，３，５テトラメチルベンゼンと、からなる。溶媒２２Ｂは、１０重量％のテトラリンと、９０重量％の１，２，３，５テトラメチルベンゼンと、からなる。溶媒２２Ｃは、１００重量％の１，２，３，５テトラメチルベンゼンからなる。溶媒２２Ｄは、３０重量％のテトラリンと、７０重量％の１，２，３，５テトラメチルベンゼンからなる。
【００４４】
【表２】
2008238023.tif 000004
【００４５】
ここで、要素溶媒の一つであるテトラリンの粘度は、２０℃の温度で約２．２ｍＰａ・ｓｅｃである。また、１，２，３，５テトラメチルベンゼンの粘度は、同温度で約１．４ｍＰａ・ｓｅｃである。また、テトラリンの沸点は、常圧下で約２０８℃である。テトラメチルベンゼンの沸点は、常圧下で約１９８℃である。このように本実施形態では、２つの要素溶媒の沸点の差が、同条件下で１０℃である。そしてこのため、２つの要素溶媒の組み合わせから得られる溶媒２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄ間の沸点の差は、同条件下で１０℃以下である。
【００４６】
最終的に得られる機能性材料からなる層の厚さのばらつきを低減させる目的からは、理想的には、組み合わせられる２つの要素溶媒の間での沸点の差は、共通の条件下で０℃であることが好ましい。そうすれば、吐出された液状体２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄから溶媒が蒸発する速度が互いに近くなり、このため液状体２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄの乾燥挙動がより均一になるからである。これに加えて、本実施形態では、２つの要素溶媒の沸点の差が共通の条件下で１０℃の場合であっても、最終的に得られる機能性材料からなる層の厚さが許容範囲内にあることを確認した。このため、２つの要素溶媒の沸点の差は共通の条件下で０℃以上１０℃以下であればよいと結論付けられる。あるいは言い換えると、溶媒２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄの間の沸点の差が共通の条件下で０℃以上１０℃以下であればよいと結論付けられる。
【００４７】
さて、溶媒２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄのそれぞれにおいて、互いに異なる粘度を有する２つの要素溶媒が異なる比率で混合されていることから、溶媒２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄのそれぞれの粘度が互いに異なる。具体的には、粘度の大きい順に並べるとこれら４つの溶媒２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄは、溶媒２２Ａ、溶媒２２Ｄ、溶媒２２Ｂ、溶媒２２Ｃの順に並ぶ。そして、このことから、液状体２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄのそれぞれの粘度は互いに異なっていて、粘度の大きい順に並べるとこれら４つの液状体２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄは、液状体２０Ａ、液状体２０Ｄ、液状体２０Ｂ、液状体２０Ｃの順に並ぶ。
【００４８】
ここで、本実施形態では、液状体２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄは、機能性材料を溶質とした溶質・溶媒系である。そして、異なる粘度を有する溶媒を利用することで、異なる粘度を有する液状体を実現している。ただし、液状体は、溶質・溶媒系以外のものでもよい。そして、溶質・溶媒系以外の液状体の場合に、異なる粘度を有する液状体を実現するには、例えば、１）機能性材料をコロイド状態にするための液体を変える、２）液状体に含有されている機能性材料を粒子として分散する液体（つまり狭義の分散媒）を変える、３）機能性材料を膨潤させる液体を変える、または４）液状体に流動性を与えている主成分を変える、ことがあり得る。
【００４９】
図４は、吐出ブロック２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄに、それぞれ液状体２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄを供給して、インクジェットヘッド１におけるそれぞれのノズル４からの吐出量を計測した結果を示している。図４には、比較のために、吐出ブロック２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄに共通の液状体が供給された場合のグラフ（図３と同じ）も重ねて描かれている。共通の液状体を用いた場合には、吐出量の最大値が９．５０であり、最小値が９．００であり、標準偏差が０．１１６８であった。
【００５０】
図４が示すように、４つの吐出ブロック２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄへそれぞれの液状体２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄを供給した場合には、吐出ブロック２Ａ，２Ｄに属するノズル４からの吐出量は、吐出ブロック２Ｂ，２Ｃに属するノズル４からの吐出量に近づいた。具体的には、吐出量の最大値が９．１５であり、最小値が８．９０であり、標準偏差が０．０５７４である。このデータから、複数のノズル４間の吐出量のばらつきが低減したことが分かる。つまり、吐出機構５（つまりノズル４）間の吐出量の差が縮小した。
【００５１】
（Ｃ．液状体配置方法）
図５が示すように、さらに、本実施形態では、インクジェットヘッド１を、それぞれが同数（１０個）のノズル４を含む３つの部分１Ａ，１Ｂ，１Ｃに区分けした。これら部分１Ａ，１Ｂ，１Ｃは、上述の吐出ブロック２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄと一致していなくてよい。本実施形態では、部分１Ａ，１Ｂ，１Ｃの幅はいずれも同じである。
【００５２】
そして、ターゲット３０の表面を、部分１Ａ，１Ｂ，１Ｃに対応するように、３つの領域３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃに区分けした。具体的には、これら３つの領域３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃは、Ｘ軸方向に沿って連続している。また、これら３つの領域３０Ａ，３０Ｂ，３０ＣのそれぞれのＸ軸方向に沿った幅は、部分１Ａ（つまり部分１Ｂ，１Ｃ）の幅とほぼ同じである。このように構成したうえで、ターゲット３０上の３つ領域３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃのいずれにも、部分１Ａ，１Ｂ，１Ｃが重なるようにした。このため、３つの領域３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃのそれぞれが、３回の吐出走査を受けることになる。
【００５３】
ここで、「吐出走査」とは、インクジェットヘッド１およびターゲット３０の少なくとも一方が他方に対して相対移動することと、この相対移動の期間中にインクジェットヘッド１からターゲット３０へ液状体が吐出されることと、の組み合わせを指している。なお、ここでは、インクジェットヘッド１および／またはターゲット３０が相対移動する方向は、Ｙ軸方向に平行である。
【００５４】
ノズル４と、領域３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃとの間の位置関係をより具体的に説明する。
【００５５】
図７および図８は、図５が示す領域３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃ上の構造を拡大して示している。領域３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃのそれぞれは、マトリクス状に並んだ複数の機能領域３１と、複数の機能領域３１のそれぞれを縁取るバンク構造３２と、を備えている。本実施形態において、機能領域３１のＸＹ平面上での形状は矩形である。そして、機能領域３１の短辺はＸ軸方向に沿っており、長辺はＹ軸方向に沿っている。そして、一つの機能領域３１に一つのノズル４が対応するように、複数の機能領域３１は、ノズル４のピッチとほぼ同じピッチ（約１４０μｍ）でＸ軸方向に並んでいる。
【００５６】
なお、本実施形態では、機能領域３１の一例は、有機ＥＬ装置の画素領域である。また、他の形態では、機能領域３１は、カラーフィルタ基板上でカラーフィルタ層が設けられる領域である。
【００５７】
このような構造を有するターゲット３０に対して、領域３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃのいずれへも、部分１Ａ，１Ｂ，１Ｃからの液滴Ｄ（液状体２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄ）が配置されるように、インクジェットヘッド１に所定のタイミングで駆動波形を与えながら、インクジェットヘッド１およびターゲット３０の少なくとも一方を他方に対して、Ｙ軸方向と平行に相対移動させた。
【００５８】
図６は、図５、図７および図８に示した吐出走査による結果を示している。図６のグラフＧ１は、従来のインクジェットヘッドを用いて得られた結果であり、グラフＧ２，Ｇ３は、本実施形態のインクジェットヘッド１を用いた結果である。グラフＧ１，Ｇ２，Ｇ３のいずれも、機能性材料からなる層の厚さのプロファイルを示している。このプロファイルは図５のＡ−Ａ線に沿って計測されている。なお、グラフＧ２は、グラフＧ１との比較が容易なように、グラフＧ３を０．２だけ上方へ平行移動させたグラフである。
【００５９】
従来のインクジェットヘッドでも、図５のような吐出走査を行えば、領域３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃ間での層の厚さのばらつきを減らせる。ここで、本実施形態によれば、ノズル４間での吐出量の差が小さくなるように、異なる吐出ブロックに属する吐出機構５へ異なる液状体が供給されている。したがって、領域３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃ間での厚さのばらつきが低減されるだけでなく、３つの領域３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃのそれぞれの内での厚さのばらつきも低減される。
【００６０】
（Ｄ．吐出装置）
図９を参照しながら、図５で説明した吐出走査を実現する吐出装置を説明する。
【００６１】
図９に示す吐出装置８０は、液滴吐出装置とも表記され、基本的にインクジェット装置である。具体的には、吐出装置８０は、複数のノズル４（図１）を有するインクジェットヘッド１（図１）と、吐出ブロックの数と等しい数の共通タンク１３と、ターゲット３０（図５）が載置されるステージ８３と、Ｚ軸方向に所定の距離を置いて複数のノズル４のそれぞれの開口がターゲット３０に対面するようにインクジェットヘッド１を保持するキャリッジ８４と、インクジェットヘッド１とターゲット３０との少なくとも一方が他方に対してＸ軸方向およびＹ軸方向に相対移動するように、ステージ８３および／またはキャリッジ８４の位置を変えるＸＹ走査装置８５と、インクジェットヘッド１からの液滴Ｄの吐出を制御する制御装置８６と、を備えている。
【００６２】
本実施形態によれば、吐出装置８０が、インクジェットヘッド１を備えているので、厚さのばらつきが低減された機能性材料の層を効率的に形成することができる。
【００６３】
なお、本実施形態では、ノズル４間の吐出量の差の原因の一つとして、主に、吐出機構５の位置の違い（あるいはノズル４の位置の違い）が説明された。ただし、上述のように、ノズル４間の吐出量の差の原因の他の一つには、振動素子７自体の性能ばらつきがある。そして、本実施形態によれば、このような原因による吐出量の差も低減できる。さらに、振動素子７に代えて、電気熱変換素子によってノズルから液滴を吐出する構成を有したインクジェットヘッドへも、本実施形態は適用され得る。具体的には、電気熱変換素子の性能ばらつきによってノズルからの吐出量が異なり得るので、ノズルからの吐出量の差が低減するように、互いに異なる粘度を有した複数の液状体をインクジェットヘッドに供給すればよい。
【００６４】
上記実施形態では、液状体配置方法が、有機ＥＬ装置の製造またはカラーフィルタ基板の製造に適用される。また、上記実施形態では、液状体が配置される領域が画素領域に対応した機能領域である。しかしながら他の形態では、上述の液状体配置方法が、複数の画素領域に亘るベタの配向膜を形成する際に適用されてもよいし、液晶層を形成する際に適用されてもよい。また上述の液状体配置方法が、配線パターンまたは絶縁パターンを形成する際に適用されてもよい。さらに、上述の液状体配置方法は、コンシューマ用のプリンタが実行する印刷方法として具現化されてもよい。
【００６５】
また、上記実施形態の吐出装置８０は、いわゆる工業用のインクジェット装置として説明された。ただし、他の形態では、吐出装置が、コンシューマ用のプリンタとして具現化されてもよい。吐出装置がプリンタとして具現化される場合でも、上記実施形態と同様に、駆動回路を複雑化することなく、ノズル間での吐出量の差を低減できる。そしてこのため、高品位なプリントを提供するプリンタが低コストで実現し得る。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】（ａ）本実施形態のインクジェットヘッドの平面図であり、（ｂ）は（ａ）のインクジェットヘッド内部の吐出機構の断面図である。
【図２】本実施形態のインクジェットヘッドの内部をＺ軸方向からＸＹ平面へ写像した模式図。
【図３】従来のインクジェットヘッドの吐出量をノズルごとに示すグラフ。
【図４】本実施形態のインクジェットヘッドからの吐出量をノズルごとに示すグラフ。
【図５】本実施形態の吐出走査の方法を示す模式図。
【図６】図５の吐出走査により得られた機能性材料の層の厚さのプロファイル。
【図７】図５の吐出走査を行う場合のノズルとターゲットとの位置関係を示す図。
【図８】図５の吐出走査を行う場合のノズルとターゲットとの位置関係を示す図。
【図９】本実施形態の吐出装置を示す模式図。
【符号の説明】
【００６７】
Ｄ…液滴、１…インクジェットヘッド、１Ａ，１Ｂ，１Ｃ…部分、２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄ…吐出ブロック、３…ノズルプレート、４…ノズル、５…吐出機構、６…振動板、７…振動素子、８…圧力室、９…隔壁構造、１０…インク流路、１１…共通インク室、１２…共通流路、１３…共通タンク、３０…ターゲット、３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃ…領域、３１…機能領域，３２…バンク構造、８０…吐出装置、８３…ステージ、８４…キャリッジ、８５…ＸＹ走査装置、８６…制御装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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