(57)【要約】【課題】簡単な工程で、面状むら等を阻止し、高品質なラミネート処理を良好且つ効率的に遂行することを可能にする。【解決手段】貼り付け方法は、貼り付け位置に配置されたゴムローラ８０ａの外周面に、長尺状感光性ウエブ２２を第１巻き付け角度で摺接させた状態で、前記ゴムローラ８０ａを回転させることにより、前記長尺状感光性ウエブ２２の一部をガラス基板２４に熱圧着させる。次いで、ゴムローラ８０ａの回転を停止させるとともに、前記ゴムローラ８０ａの外周面には、長尺状感光性ウエブ２２を第１巻き付け角度よりも小さな第２巻き付け角度で接触させている。【選択図】図４
2008238763.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺状ウエブを、連続した状態で各基板に熱圧着させる長尺状ウエブの貼り付け方法であって、
貼り付け位置に配置された加熱ローラの外周面に、前記長尺状ウエブを第１巻き付け角度で摺接させた状態で、前記加熱ローラを回転させることにより、前記長尺状ウエブの一部を前記基板に熱圧着させる工程と、
前記加熱ローラの回転を停止させるとともに、前記加熱ローラの外周面に、前記長尺状ウエブを前記第１巻き付け角度よりも小さな第２巻き付け角度で接触させる工程と、
を有することを特徴とする長尺状ウエブの貼り付け方法。
【請求項２】
請求項１記載の貼り付け方法において、アクチュエータの作用下に進退可能なローラ部材を介して前記長尺状ウエブを押圧することにより、前記長尺状ウエブを前記加熱ローラの外周面に前記第２巻き付け角度で接触させることを特徴とする長尺状ウエブの貼り付け方法。
【請求項３】
請求項１又は２記載の貼り付け方法において、前記第２巻き付け角度は、前記長尺状ウエブの種類に応じて変更されることを特徴とする長尺状ウエブの貼り付け方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の貼り付け方法において、前記長尺状ウエブは、少なくとも第１層体と第２層体とが積層された多層ウエブであり、
前記長尺状ウエブを、積層方向の一部を残してハーフカットすることにより、基板長に応じた所定の間隔毎にハーフカット部位を形成する工程を有することを特徴とする長尺状ウエブの貼り付け方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、長尺状ウエブを、連続した状態で各基板に熱圧着させる長尺状ウエブの貼り付け方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、ＰＤＰパネル用基板は、感光性樹脂層（感光材料層）を有する感光性シート体（感光性ウエブ）を基板表面に貼り付けて構成される。感光性シート体は、例えば、可撓性プラスチック支持体上に感光性樹脂層と保護フイルムとが順に積層されている。
【０００３】
この種の感光性シート体の貼り付けに使用される製造装置は、通常、ガラス基板や樹脂基板等の基板を所定の間隔ずつ離間させてラミネーションローラ間に搬送するとともに、前記基板に貼り付けられる感光性樹脂層の範囲に対応する保護フイルムを剥離した感光性シート体を前記ラミネーションローラ間に搬送する方式が採用されている。
【０００４】
例えば、特許文献１に開示されているフイルム張付方法及び装置では、図７に示すように、フイルムロール１から繰り出される積層体フイルム（感光性シート体）１ａは、ガイドロール２ａ、２ｂに巻き付けられて水平のフイルム搬送面に沿って延在している。このガイドロール２ｂには、積層体フイルム１ａの送り量に応じた数のパルス信号を出力するロータリエンコーダ３が取り付けられている。
【０００５】
水平のフイルム搬送面に沿って延在する積層体フイルム１ａは、サクションロール４に巻き掛けられるとともに、前記ガイドロール２ｂと前記サクションロール４との間には、ハーフカッタ５とカバーフイルム剥離装置６とが設けられている。
【０００６】
ハーフカッタ５は、一対のディスクカッタ５ａ、５ｂを備えている。ディスクカッタ５ａ、５ｂは、積層体フイルム１ａのフイルム幅方向に沿って移動することにより、前記積層体フイルム１ａのカバーフイルム（図示せず）をその裏側の感光性樹脂層（図示せず）と一体に切断する。
【０００７】
カバーフイルム剥離装置６は、粘着テープロール７から繰り出される粘着テープ７ａを押圧ロール８ａ、８ｂ間でカバーフイルムに強く圧着させた後、巻き取りロール９によって巻き取る。これにより、カバーフイルムは、感光性樹脂層から剥離されて粘着テープ７ａと共に巻き取りロール９に巻き取られる。
【０００８】
サクションロール４の下流には、基板搬送装置１０によって、順次、間欠的に搬送される複数の基板１１の上面に、積層体フイルム１ａを重ねて圧着するラミネーションロール１２ａ、１２ｂが配設されている。このラミネーションロール１２ａ、１２ｂの下流側には、支持フイルム巻き取りロール１３が配置されている。基板１１に貼り付けられている透光性支持フイルム（図示せず）は、支持フイルム巻き取りロール１３に巻き取られる。
【０００９】
【特許文献１】特開平１１−３４２８０号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ところで、上記の特許文献１では、所定温度に加熱されているラミネーションロール１２ａの外周面に、積層体フイルム１ａが一定の巻き付け角度で摺接している。このため、特にラミネーションロール１２ａの回転が停止された際には、積層体フイルム１ａが前記ラミネーションロール１２ａの外周面に当接した状態で、滞留し易い。
【００１１】
しかしながら、積層体フイルム１ａは、個別の熱重合性能を有しており、上記のようにラミネーションロール１２ａの外周面に一定の時間以上当接していると、このラミネーションロール１２ａからの伝熱によって、下流工程の現像処理で残渣による面状むら等が惹起され易い。これにより、基板１１の面付けレイアウトによって、画面内の面状に影響してしまい、品質不良が発生するという問題がある。
【００１２】
本発明はこの種の問題を解決するものであり、簡単な工程で、面状むら等による品質不良を阻止し、高品質なラミネート処理を良好且つ効率的に遂行することが可能な長尺状ウエブの貼り付け方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、長尺状ウエブを、連続した状態で各基板に熱圧着させる長尺状ウエブの貼り付け方法に関するものである。
【００１４】
この貼り付け方法は、貼り付け位置に配置された加熱ローラの外周面に、長尺状ウエブを第１巻き付け角度で摺接させた状態で、前記加熱ローラを回転させることにより、前記長尺状ウエブの一部を基板に熱圧着させる工程と、前記加熱ローラの回転を停止させるとともに、前記加熱ローラの外周面に、前記長尺状ウエブを前記第１巻き付け角度よりも小さな第２巻き付け角度で接触させる工程とを有している。
【００１５】
また、この貼り付け方法は、アクチュエータの作用下に進退可能なローラ部材を介して長尺状ウエブを押圧することにより、前記長尺状ウエブを加熱ローラの外周面に第２巻き付け角度で接触させることが好ましい。
【００１６】
さらに、第２巻き付け角度は、長尺状ウエブの種類に応じて変更されることが好ましい。
【００１７】
さらにまた、長尺状ウエブは、少なくとも第１層体と第２層体とが積層された多層ウエブであり、前記長尺状ウエブを、積層方向の一部を残してハーフカットすることにより、基板長に応じた所定の間隔毎にハーフカット部位を形成する工程を有することが好ましい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明では、ラミネート（熱圧着）時に、長尺状ウエブが加熱ローラの外周面に第１巻き付け角度で摺接するために、前記長尺状ウエブを良好に加熱することができる。一方、ラミネート停止時に、長尺状ウエブが加熱ローラの外周面に第１巻き付け角度よりも小さな第２巻き付け角度で摺接する。従って、長尺状ウエブの熱重合性能が変化（劣化）しても、熱影響部位を幅狭に抑制することができ、基板の面付けレイアウトによる画面内への面状むら等の発生を良好に阻止することが可能になる。
【００１９】
しかも、熱重合性能に制約されることがないため、基板の搬送間隔を高精度に制御する必要がない。このため、制御の簡素化が図られるとともに、廃棄されるウエブ量が削減されてコスト効率の向上が遂行される。
【００２０】
さらに、長尺状ウエブに皺や熱変形が発生することを抑制することができ、貼り付け品質を有効に向上させることが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
図１は、本発明の第１の実施形態に係る長尺状ウエブの貼り付け方法を実施するための感光性積層体の製造システム２０の概略構成図である。この製造システム２０は、液晶又は有機ＥＬ用カラーフィルタ等の製作工程で、所定の幅寸法からなる長尺状感光性ウエブ２２の感光性樹脂層２８（後述する）をガラス基板２４に熱転写（ラミネート）する作業を行う。
【００２２】
図２は、製造システム２０に使用される長尺状感光性ウエブ２２の断面図である。この長尺状感光性ウエブ２２は、可撓性ベースフイルム（支持体）２６と、感光性樹脂層（感光材料層）２８と、保護フイルム３０とを積層して構成される。
【００２３】
図１に示すように、製造システム２０は、長尺状感光性ウエブ２２をロール状に巻回した感光性ウエブロール２３を収容し、前記感光性ウエブロール２３から前記長尺状感光性ウエブ２２を送り出し可能なウエブ送り出し機構３２と、送り出された前記長尺状感光性ウエブ２２の保護フイルム３０及び感光性樹脂層２８の幅方向に切断可能な２個所の境界部分であるハーフカット部位３４ａ、３４ｂ（図２参照）を形成する加工機構３６と、一部に非接着部３８ａを有する接着ラベル３８（図３参照）を前記保護フイルム３０に接着させるラベル接着機構４０とを備える。
【００２４】
ラベル接着機構４０の下流には、長尺状感光性ウエブ２２をタクト送りから連続送りに変更するためのリザーバ機構４２と、前記長尺状感光性ウエブ２２から保護フイルム３０を所定の長さ間隔で剥離させる剥離機構４４とが配設される。
【００２５】
剥離機構４４の下流には、ガラス基板２４を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に供給する基板供給機構４５と、保護フイルム３０の剥離により露出した感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に一体的に貼り付ける貼り付け機構４６と、基板間ウエブ切断機構４８とが配設される。
【００２６】
ウエブ送り出し機構３２の下流近傍には、略使用済みの長尺状感光性ウエブ２２の後端と、新たに使用される長尺状感光性ウエブ２２の先端とを貼り付ける貼り付け台４９が配設される。貼り付け台４９の下流には、感光性ウエブロール２３の巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端末位置検出器５３が配設される。
【００２７】
加工機構３６は、ウエブ送り出し機構３２に収容巻回されている感光性ウエブロール２３のロール径を算出するためのローラ対５０の下流に配置される。加工機構３６は、距離Ｍ（図２参照）だけ離間した一対の丸刃５２ａ、５２ｂを備える。丸刃５２ａ、５２ｂは、長尺状感光性ウエブ２２の幅方向に走行して、保護フイルム３０の残存部分Ｂを挟んだ所定の２個所の位置にハーフカット部位３４ａ、３４ｂを形成する（図２参照）。
【００２８】
ハーフカット部位３４ａ、３４ｂは、少なくとも保護フイルム３０及び感光性樹脂層２８を切断する必要があり、実際上、可撓性ベースフイルム２６まで切り込むように丸刃５２ａ、５２ｂの切り込み深さが設定される。丸刃５２ａ、５２ｂは、回転することなく固定された状態で、長尺状感光性ウエブ２２の幅方向に移動してハーフカット部位３４ａ、３４ｂを形成する方式や、前記長尺状感光性ウエブ２２上を滑ることなく回転しながら前記幅方向に移動して前記ハーフカット部位３４ａ、３４ｂを形成する方式が採用される。
【００２９】
ハーフカット部位３４ａ、３４ｂは、感光性樹脂層２８をガラス基板２４に貼り付けた際、例えば、前記ガラス基板２４の両端部からそれぞれ１０ｍｍずつ内側に入り込んだ位置となるように設定される。なお、ガラス基板２４間の保護フイルム３０の残存部分Ｂは、後述する貼り付け機構４６において感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。
【００３０】
ラベル接着機構４０は、ガラス基板２４間に対応して保護フイルム３０の残存部分Ｂを残すため、ハーフカット部位３４ｂ側の剥離部分Ａとハーフカット部位３４ａ側の剥離部分Ａとを連結する接着ラベル３８を供給する。
【００３１】
図３に示すように、接着ラベル３８は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム３０と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル３８は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部（微粘着を含む）３８ａを有するとともに、この非接着部３８ａの両側、すなわち、前記接着ラベル３８の長手方向両端部に、前方の剥離部分Ａに接着される第１接着部３８ｂと、後方の剥離部分Ａに接着される第２接着部３８ｃとを有する。
【００３２】
図１に示すように、ラベル接着機構４０は、最大７枚の接着ラベル３８を所定間隔ずつ離間して貼り付け可能な吸着パッド５４ａ〜５４ｇを備えるとともに、前記吸着パッド５４ａ〜５４ｇによる前記接着ラベル３８の貼り付け位置には、長尺状感光性ウエブ２２を下方から保持するための受け台５６が昇降自在に配置される。
【００３３】
リザーバ機構４２は、上流側の長尺状感光性ウエブ２２のタクト搬送と、下流側の前記長尺状感光性ウエブ２２の連続搬送との速度差を吸収するために、矢印方向に揺動自在なダンサーローラ６０を備える。
【００３４】
リザーバ機構４２の下流に配置される剥離機構４４は、長尺状感光性ウエブ２２の送り出し側のテンション変動を遮断し、ラミネート時のテンションを安定化させるためのサクションドラム６２を備える。サクションドラム６２の近傍には、剥離ローラ６３が配置されるとともに、この剥離ローラ６３を介して長尺状感光性ウエブ２２から鋭角の剥離角で剥離される保護フイルム３０は、残存部分Ｂを除いて保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる。
【００３５】
剥離機構４４の下流側には、長尺状感光性ウエブ２２にテンションを付与可能なテンション制御機構６６が配設される。テンション制御機構６６は、シリンダ６８の駆動作用下にテンションダンサー７０が揺動変位することにより、長尺状感光性ウエブ２２のテンションが調整可能である。
【００３６】
基板供給機構４５は、ガラス基板２４を挟持するように配設される基板加熱部（例えば、ヒータ）７４と、このガラス基板２４を矢印Ｙ方向に搬送する搬送部７６と、前記ガラス基板２４の後端部の停止位置を検出する停止位置検出センサ７８とを備える。基板加熱部７４では、ガラス基板２４の温度を常時監視し、異常時には、搬送部７６の停止や警報を発生するとともに、異常情報を発信して異常なガラス基板２４を後工程でＮＧ排出、品質管理又は生産管理等に活用することができる。搬送部７６には、図示しないエア浮上プレートが配設され、ガラス基板２４が浮上されて矢印Ｙ方向に搬送される。ガラス基板２４の搬送は、ローラコンベアでも行える。
【００３７】
ガラス基板２４の温度測定は、基板加熱部７４内又は貼り付け位置直前で行うことが好ましい。測定方法としては、接触式（例えば、熱電対）の他、非接触式であってもよい。
【００３８】
貼り付け機構４６は、上下に配設されるとともに、所定温度に加熱されるゴムローラ（加熱ローラ）８０ａ、８０ｂを備える。ゴムローラ８０ａは、回転駆動源、例えば、モータ８１に連結されて回転駆動される駆動側ローラを構成する一方、ゴムローラ８０ｂは、回転自在な従動側ローラを構成する。ゴムローラ８０ａ、８０ｂには、バックアップローラ８２ａ、８２ｂが摺接する。バックアップローラ８２ｂは、ローラクランプ部８４を構成する加圧シリンダ８６によりゴムローラ８０ｂ側に押圧される。
【００３９】
ゴムローラ８０ａの近傍には、後述するように、長尺状感光性ウエブ２２が前記ゴムローラ８０ａの外周面に接触する角度（巻き付け角度）を調整するための押圧ローラ８８が配置される。この押圧ローラ８８は、アクチュエータ、例えば、シリンダ９０から延在するロッド９０ａに連結されており、長尺状感光性ウエブ２２に対して進退可能である。
【００４０】
ガラス基板２４は、貼り付け機構４６から矢印Ｙ方向に延在する搬送路９２を介して搬送される。この搬送路９２には、フイルム搬送ローラ９４ａ、９４ｂ及び基板搬送ローラ９６が配設される。ゴムローラ８０ａ、８０ｂと基板搬送ローラ９６との間隔は、ガラス基板２４の一枚分の長さ以下に設定されることが好ましい。
【００４１】
製造システム２０では、ウエブ送り出し機構３２、加工機構３６、ラベル接着機構４０、リザーバ機構４２、剥離機構４４及びテンション制御機構６６が、貼り付け機構４６の上方に配置されているが、これとは逆に、前記ウエブ送り出し機構３２から前記テンション制御機構６６までを前記貼り付け機構４６の下方に配置し、長尺状感光性ウエブ２２の上下が逆になって感光性樹脂層２８をガラス基板２４の下側に貼り付ける構成であってもよく、また、長尺状感光性ウエブ２２の搬送路を直線状に構成してもよい。
【００４２】
製造システム２０内は、仕切り壁１００を介して第１クリーンルーム１０２ａと第２クリーンルーム１０２ｂとに仕切られる。第１クリーンルーム１０２ａと第２クリーンルーム１０２ｂとは、貫通部１０４を介して連通する。製造システム２０は、制御部１０６を介して制御される。
【００４３】
このように構成される製造システム２０の動作について、本実施形態に係る貼り付け方法との関連で説明する。
【００４４】
先ず、ウエブ送り出し機構３２に取り付けられている感光性ウエブロール２３から長尺状感光性ウエブ２２が送り出される。長尺状感光性ウエブ２２は、加工機構３６に搬送される。
【００４５】
加工機構３６では、丸刃５２ａ、５２ｂが長尺状感光性ウエブ２２の幅方向に移動して、前記長尺状感光性ウエブ２２を保護フイルム３０から感光性樹脂層２８乃至可撓性ベースフイルム２６まで切り込む。これにより、保護フイルム３０の残存部分Ｂの幅Ｍだけ離間するハーフカット部位３４ａ、３４ｂが形成され、長尺状感光性ウエブ２２には、前記残存部分Ｂを挟んで前方の剥離部分Ａと後方の剥離部分Ａとが設けられる（図２参照）。
【００４６】
次いで、長尺状感光性ウエブ２２は、ラベル接着機構４０に搬送されて、保護フイルム３０の所定の貼り付け部位が受け台５６上に配置される。ラベル接着機構４０では、所定枚数の接着ラベル３８が吸着パッド５４ｂ〜５４ｇにより吸着保持される。そして、各接着ラベル３８は、保護フイルム３０の残存部分Ｂを跨いで、前方の剥離部分Ａと後方の剥離部分Ａとに一体的に接着される（図３参照）。
【００４７】
例えば、７枚の接着ラベル３８が接着された長尺状感光性ウエブ２２は、図１に示すように、リザーバ機構４２を介して送り出し側のテンション変動を防いだ後、剥離機構４４に連続的に搬送される。剥離機構４４では、長尺状感光性ウエブ２２の可撓性ベースフイルム２６がサクションドラム６２に吸着保持されるとともに、保護フイルム３０が残存部分Ｂを残して前記長尺状感光性ウエブ２２から剥離される。この保護フイルム３０は、剥離ローラ６３を介して剥離されて保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる（図１参照）。
【００４８】
剥離機構４４の作用下に、保護フイルム３０が残存部分Ｂを残して可撓性ベースフイルム２６から剥離された後、長尺状感光性ウエブ２２は、テンション制御機構６６によってテンション調整が行われる。
【００４９】
次いで、長尺状感光性ウエブ２２は、貼り付け機構４６に搬送されることで、ガラス基板２４に対する感光性樹脂層２８の熱転写処理（ラミネート）が行われる。貼り付け機構４６では、予めゴムローラ８０ａ、８０ｂが離間した状態に設定されている。そして、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ間の所定位置に、長尺状感光性ウエブ２２のハーフカット部位３４ａが位置決めされた状態で、前記長尺状感光性ウエブ２２の搬送が一旦停止される。
【００５０】
さらに、基板供給機構４５を構成する基板加熱部７４によって所定温度に加熱されたガラス基板２４の先端部が、搬送部７６によってゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に搬入されると、加圧シリンダ８６の作用下にバックアップローラ８２ｂ及びゴムローラ８０ｂが上昇する。従って、ガラス基板２４及び長尺状感光性ウエブ２２は、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に所定のプレス圧力で挟み込まれる。なお、ゴムローラ８０ａ、８０ｂは、所定のラミネート温度に加熱されている。
【００５１】
次に、ゴムローラ８０ａ、８０ｂが回転し、ガラス基板２４及び長尺状感光性ウエブ２２が矢印Ｙ方向に搬送される。これにより、感光性樹脂層２８が加熱溶融されてガラス基板２４に熱転写（ラミネート）される。
【００５２】
なお、ラミネート条件としては、速度が１．０ｍ／ｍｉｎ〜１０．０ｍ／ｍｉｎ、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの温度が８０℃〜１４０℃、前記ゴムローラ８０ａ、８０ｂのゴム硬度が４０度〜９０度、該ゴムローラ８０ａ、８０ｂのプレス圧（線圧）が５０Ｎ／ｃｍ〜４００Ｎ／ｃｍである。
【００５３】
ガラス基板２４に対して長尺状感光性ウエブ２２の一枚分のラミネートが終了すると、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの回転が停止される。一方、長尺状感光性ウエブ２２がラミネートされたガラス基板２４である感光性積層体１２０の先端部は、基板搬送ローラ９６によりクランプされる。このとき、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ間の所定位置には、ハーフカット部位３４ｂが配置される。
【００５４】
そして、ゴムローラ８０ｂは、ゴムローラ８０ａから離間する方向に退避してクランプが解除されるとともに、基板搬送ローラ９６の回転が低速で再び開始される。感光性積層体１２０は、矢印Ｙ方向に保護フイルム３０の残存部分Ｂの幅Ｍに対応する距離だけ搬送され、次のハーフカット部位３４ａがゴムローラ８０ａの下方付近の所定位置に搬送された後、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの回転が停止される。
【００５５】
一方、前記の状態において、基板供給機構４５を介して次なるガラス基板２４が貼り付け位置に向かって搬送される。以上の動作が繰り返されることにより、感光性積層体１２０が連続的に製造される。
【００５６】
貼り付け機構４６でラミネートされた感光性積層体１２０は、基板間ウエブ切断機構４８によってガラス基板２４間の長尺状感光性ウエブ２２が切断されることで分離される。分離された感光性積層体１２０には、可撓性ベースフイルム２６が装着されており、この可撓性ベースフイルム２６がガラス基板２４間の保護フイルム３０とともに剥離された後、次の処理工程に供給される。
【００５７】
この場合、貼り付け機構４６によるラミネート処理時には、図４に示すように、押圧ローラ８８が長尺状感光性ウエブ２２から離間している。このため、長尺状感光性ウエブ２２は、ゴムローラ８０ａの外周面に対し、第１巻き付け角度θ１で摺接しており、この状態で、前記ゴムローラ８０ａが回転駆動されている。従って、長尺状感光性ウエブ２２は、ラミネート直前に所望の温度に加熱された後、ガラス基板２４に圧着されるため、ラミネート処理が良好且つ効率的に遂行される。
【００５８】
一方、図５に示すように、前段のガラス基板２４のラミネート処理が終了してゴムローラ８０ｂが下降するとともに、新たなガラス基板２４が貼り付け位置に搬送されるまでの間、モータ８１の駆動が停止されてゴムローラ８０ａが回転を停止している。
【００５９】
その際、シリンダ９０が駆動されてロッド９０ａが前方に突出することにより、このロッド９０ａに取り付けられている押圧ローラ８８は、長尺状感光性ウエブ２２を略下方向に押圧する。これにより、長尺状感光性ウエブ２２は、回転を停止しているゴムローラ８０ａの外周面に対し、第１巻き付け角度θ１よりも小さな第２巻き付け角度θ２で接触している。
【００６０】
ここで、ゴムローラ８０ａが停止した状態で、このゴムローラ８０ａの外周面に長尺状感光性ウエブ２２が一定の時間以上にわたって接触していると、この長尺状感光性ウエブ２２の熱重合性能によって、使用に適さない熱影響部位（面状むら等）が発生し易い。このため、ゴムローラ８０ａの回転が停止している際には、押圧ローラ８８を介して、長尺状感光性ウエブ２２が前記ゴムローラ８０ａの外周部に接触する角度、すなわち、第２巻き付け角度θ２を第１巻き付け角度θ１よりも小さな角度に設定している。これにより、熱影響部位は、ガラス基板２４の面付けレイアウトに関連する画面以外に設定される。
【００６１】
従って、第１の実施形態では、ガラス基板２４の面付けレイアウトによる画面内に面状むら等の不良部分が存在することがなく、品質低下を確実に阻止して高品質な感光性積層体１２０を効率的に製造することができるという効果が得られる。
【００６２】
具体的には、例えば、ゴムローラ８０ａの直径が、１１０ｍｍである際、ラミネート時の第１巻き付け角度θ１が、６０°〜８０°の範囲内に設定される一方、ラミネート停止時の第２巻き付け角度θ２が、２０°〜３０°の範囲内に設定される。なお、長尺状感光性ウエブ２２の種類に応じて第２巻き付け角度θ２を変更することが好ましい。
【００６３】
また、第１の実施形態では、熱重合性能に制約されることがなく、ガラス基板２４の搬送間隔を高精度に制御する必要がない。これにより、基板供給機構４５の制御を含め、制御部１０６の制御が有効に簡素化されるとともに、廃棄される長尺状感光性ウエブ量が削減され、コスト効率の向上を図ることができるという利点がある。
【００６４】
さらに、押圧ローラ８８は、ゴムローラ８０ａの近傍に配置されて、長尺状感光性ウエブ２２を押圧することにより、前記長尺状感光性ウエブ２２にテンションを付与している。このため、ゴムローラ８０ａの直前で、長尺状感光性ウエブ２２に皺や熱変形が発生することを抑制することが可能になり、前記長尺状感光性ウエブ２２のガラス基板２４への貼り付け品質を有効に向上させることができる。
【００６５】
図６は、本発明の第２の実施形態に係る長尺状ウエブの貼り付け方法を実施するための感光性積層体の製造システム１８０の概略構成図である。なお、第１の実施形態に係る製造システム２０と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明は省略する。
【００６６】
製造システム１８０は、貼り付け機構４６の下流に冷却機構１８２と、この冷却機構１８２の下流側に配置されるベース自動剥離機構１８４とを備える。冷却機構１８２は、ラミネートされた感光性積層体１２０に冷風を供給して冷却処理を施す。
【００６７】
ベース自動剥離機構１８４は、各ガラス基板２４が所定間隔ずつ離間して貼り付けられている長尺な可撓性ベースフイルム２６を連続して剥離するものであり、プレ剥離部１８６と、比較的小径な剥離ローラ１８８と、巻き取り軸１９０と、自動貼り付け機１９２とを備えている。巻き取り軸１９０は、駆動時にトルク制御して可撓性ベースフイルム２６に張力を付与する一方、例えば、剥離ローラ１８８に張力検出器（図示せず）を設けることにより、張力のフィードバック制御を行うことが好ましい。プレ剥離部１８６は、ガラス基板２４間で昇降可能な剥離バー１９４を備える。
【００６８】
このように構成される第２の実施形態では、貼り付け機構４６でラミネートされた感光性積層体１２０は、冷却機構１８２を通って冷却された後、プレ剥離部１８６に移送される。このプレ剥離部１８６では、剥離バー１９４が上昇することにより、保護フイルム３０を隣接するガラス基板２４の後端及び先端から剥離することができる。
【００６９】
次いで、ベース自動剥離機構１８４では、巻き取り軸１９０の回転作用下に、感光性積層体１２０から可撓性ベースフイルム２６が連続して巻き取られる。さらに、トラブル停止での切り離しや、不良品分離時の切断の後、新たにラミネート処理が開始された感光性積層体１２０の可撓性ベースフイルム２６の先端と、巻き取り軸１９０に巻き取られている可撓性ベースフイルム２６の後端とは、自動貼り付け機１９２を介して自動的に貼り付けられる。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る長尺状ウエブの貼り付け方法を実施するための感光性積層体の製造システムの概略構成図である。
【図２】前記製造システムに使用される長尺状感光性ウエブの断面図である。
【図３】長尺状感光性ウエブに接着ラベルが接着された状態の説明図である。
【図４】フイルム搬送装置の概略構成説明図である。
【図５】前記フイルム搬送装置の動作説明図である。
【図６】本発明の第２の実施形態に係る長尺状ウエブの貼り付け方法を実施するための感光性積層体の製造システムの概略構成図である。
【図７】特許文献１のフイルム張付装置の概略構成図である。
【符号の説明】
【００７１】
２０、１８０…製造システム          ２２…長尺状感光性ウエブ
２４…ガラス基板                    ２６…可撓性ベースフイルム
２８…感光性樹脂層                  ３０…保護フイルム
３４ａ、３４ｂ…ハーフカット部位    ３６…加工機構
４５…基板供給機構                  ４６…貼り付け機構
４８…基板間ウエブ切断機構          ６６…テンション制御機構
７６…搬送部                        ８０ａ、８０ｂ…ゴムローラ
８１…モータ                        ８２ａ、８２ｂ…バックアップローラ
８８…押圧ローラ                    ９０…シリンダ
９２…搬送路                        ９６…基板搬送ローラ
１８２…冷却機構                    １８４…ベース自動剥離機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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