(57)【要約】【課題】設置スペースの拡大や装置コストの高騰を回避しつつ、十分な穴明け加工精度を確保し得る穴明け装置を提供する。【解決手段】モータ１７、モータ１７によって回転駆動されるスピンドル１８、およびスピンドル１８によって回転駆動されるドリル２０がキャビネット２内にそれぞれ配設されて、キャビネット２内においてドリル２０による穴明け加工をプリント基板１０に対して実行可能に構成されると共に、モータ１７およびスピンドル１８に対して冷却用媒体を供給して冷却する冷却機４を備えた穴明け装置１であって、キャビネット２内に配設されると共に冷却機４から供給される冷却用媒体を入力してキャビネット２内を冷却する熱交換器５ａを備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
モータ、当該モータによって回転駆動されるスピンドル、および当該スピンドルによって回転駆動されるドリルがキャビネット内にそれぞれ配設されて、当該キャビネット内において前記ドリルによる穴明け加工を加工対象体に対して実行可能に構成されると共に、前記モータおよび前記スピンドルのうちの少なくとも一方に対して冷却用媒体を供給して冷却する冷却機を備えた穴明け装置であって、
前記キャビネット内に配設されると共に前記冷却機から供給される前記冷却用媒体を入力して当該キャビネット内を冷却する熱交換器を備えている穴明け装置。
【請求項２】
前記冷却機から前記熱交換器に対して供給される前記冷却用媒体の流量を制御する流量制御弁と、
前記キャビネットの内部温度を検出する温度検出部と、
前記内部温度が目標温度範囲内となるように前記流量制御弁を制御して前記流量を調整する制御部とを備えている請求項１記載の穴明け装置。
【請求項３】
前記キャビネット内に配設されたヒータと、
前記キャビネットの内部温度を検出する温度検出部と、
前記内部温度が目標温度範囲内となるように前記ヒータの作動を制御する制御部とを備えている請求項１記載の穴明け装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ドリルが取り付けられたスピンドル、およびこのスピンドルを回転させるモータがキャビネット内にそれぞれ配設されて構成され、キャビネット内において加工対象体に対して穴明け加工を実行すると共に、モータおよびスピンドルのうちの少なくとも一方に対して冷却用媒体を供給して冷却する冷却機を備えた穴明け装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の穴明け装置として、特開平７−３２８８８９号公報に開示されたプリント基板加工機（穴明け装置）が知られている。このプリント基板加工機は、同公報において、従来例として開示されたものであって、ワークを載置するためのテーブルと、ドリルなどの工具を保持して回転する主軸を支持する主軸ユニットと、主軸を回転させるモータと、取り付けられた主軸ユニットをワークに対して接離動させるサドルと、配管を介して主軸ユニットに接続されると共に主軸ユニットに形成された通路に液体の冷媒を循環させて主軸ユニットを冷却する冷却装置とを備えている。このプリント基板加工機では、主軸を回転させるモータの発熱によって主軸ユニットが高温になるため、冷却装置を一定の時間間隔で作動させて、主軸ユニット内に冷媒を循環させることにより、主軸ユニット内の温度を所定の温度範囲内に維持するようにしている。
【特許文献１】特開平７−３２８８８９号公報（第２頁、第６図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところが、この従来のプリント基板穴明け装置には、以下の解決すべき課題が存在している。すなわち、この種のプリント基板穴明け装置は、安全性等の観点からキャビネット内に設置されて使用されるのが一般的である。しかしながら、キャビネットによって閉鎖された空間内に設置されたプリント基板穴明け装置では、上記したモータの発熱により、キャビネットの内部温度が上昇する。このため、このプリント基板穴明け装置には、この内部温度の上昇に起因してワークや装置自体の機構部品が熱膨張して、穴明け加工の精度が低下するという解決すべき課題が存在している。また、この課題を解決するために、空調機を別途用意すると共に、ダクトを介してキャビネットと接続して、キャビネットの内部温度を空調機で制御する構成を採用することも考えられる。しかしながら、この構成では、空調機の分だけ余分な設置スペースが必要になり、装置のコストも高騰するという課題が発生する。
【０００４】
本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、設置スペースの拡大や装置コストの高騰を回避しつつ、十分な穴明け加工精度を確保し得る穴明け装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成すべく請求項１記載の穴明け装置は、モータ、当該モータによって回転駆動されるスピンドル、および当該スピンドルによって回転駆動されるドリルがキャビネット内にそれぞれ配設されて、当該キャビネット内において前記ドリルによる穴明け加工を加工対象体に対して実行可能に構成されると共に、前記モータおよび前記スピンドルのうちの少なくとも一方に対して冷却用媒体を供給して冷却する冷却機を備えた穴明け装置であって、前記キャビネット内に配設されると共に前記冷却機から供給される前記冷却用媒体を入力して当該キャビネット内を冷却する熱交換器を備えている。
【０００６】
請求項２記載の穴明け装置は、請求項１記載の穴明け装置において、前記冷却機から前記熱交換器に対して供給される前記冷却用媒体の流量を制御する流量制御弁と、前記キャビネットの内部温度を検出する温度検出部と、前記内部温度が目標温度範囲内となるように前記流量制御弁を制御して前記流量を調整する制御部とを備えている。
【０００７】
請求項３記載の穴明け装置は、請求項１記載の穴明け装置において、前記キャビネット内に配設されたヒータと、前記キャビネットの内部温度を検出する温度検出部と、
前記内部温度が目標温度範囲内となるように前記ヒータの作動を制御する制御部とを備えている。
【発明の効果】
【０００８】
請求項１記載の穴明け装置によれば、モータおよびスピンドルの少なくとも一方に対して冷却機から供給される冷却用媒体の一部をキャビネット内に配設された熱交換器に供給してキャビネット内を冷却することにより、モータやスピンドルから発生する熱によるキャビネットの内部温度の上昇を抑制したり、さらには内部温度を低下させることができ、内部温度の上昇に起因する穴明け装置自体の機構部品や加工対象体（例えばプリント基板）の熱膨張を防止することができるため、加工対象体に対する穴明け加工の精度低下を確実に防止することができる。また、モータやスピンドルの冷却用として元々設置されている冷却機を使用することにより、冷却用の専用装置を新たに設置する必要がなく、穴明け装置の設置スペースの拡大や装置コストの高騰を回避することができる。
【０００９】
請求項２記載の穴明け装置によれば、内部温度が目標温度範囲内となるように、制御部が流量制御弁を制御して流量を調整することにより、内部温度を目標温度範囲内に自動的に維持することができる。したがって、加工対象体に対する穴明け加工の精度低下を一層確実に防止することができる。
【００１０】
請求項３記載の穴明け装置によれば、内部温度が目標温度範囲内となるように、制御部がヒータの作動を制御することにより、内部温度を目標温度範囲内に自動的に維持することができるため、加工対象体に対する穴明け加工の精度低下を一層確実に防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、添付図面を参照して、本発明に係る穴明け装置の最良の形態について説明する。
【００１２】
最初に、本発明に係る穴明け装置を適用したプリント基板穴明け装置（以下、「穴明け装置」ともいう）１の構成について、図面を参照して説明する。
【００１３】
穴明け装置１は、図１に示すように、キャビネット２、装置本体３、冷却機４、温度調節器５、温度検出器６、流量制御弁７、制御部８および記憶部９を備えて、加工対象体としてのプリント基板（以下、「基板」ともいう）１０に対する穴明け加工を実行可能に構成されている。
【００１４】
キャビネット２は、安全性確保のため、および穴明け加工時に発生した切削粉の飛散防止のために、装置本体３、温度調節器５および温度検出器６を覆うようにして設置されている。この構成により、装置本体３、温度調節器５および温度検出器６は、キャビネット２によって閉鎖された１つ空間Ｗ内に配設された状態となる。
【００１５】
装置本体３は、図１に示すように、ベット１１、スライドテーブル１２、一対の支持柱１３，１３、梁１４、水平移動ヘッド１５、垂直移動ヘッド１６、モータ１７、スピンドル１８、チャック部１９、およびドリル２０を備えている。この場合、スライドテーブル１２は、不図示のスライド機構を介してベット１１の上面に配設されている。この構成により、スライドテーブル１２は、ベット１１上において、同図中の左右方向に水平移動可能となっている。また、スライドテーブル１２は、その上面に基板１０を載置可能に構成されている。
【００１６】
各支持柱１３，１３は、ベット１１の両側に互いに平行となるように立設されている。なお、図１では、各支持柱１３，１３は、ベット１１に対して紙面手前側と奥側とに配設されているため、手前側の支持柱１３のみが図示されている。梁１４は、各支持柱１３，１３の上部間に掛け渡されて、ベット１１を跨ぐ状態で配設されている。水平移動ヘッド１５は、梁１４の側面（同図中では左側面）に配設されている。一例として、水平移動ヘッド１５は、梁１４に配設されたガイドレール１４ａ，１４ａに、このガイドレール１４ａ，１４ａに案内されて梁１４の長手方向（紙面手前側と奥側の方向）に移動（水平移動）自在に取り付けられている。垂直移動ヘッド１６は、水平移動ヘッド１５の側面（同図中では左側面）に配設されている。一例として、垂直移動ヘッド１６は、水平移動ヘッド１５に配設されたガイドレール１５ａに、ガイドレール１５ａに案内されて垂直方向に移動自在に取り付けられている。
【００１７】
モータ１７およびスピンドル１８は、図１に示すように、垂直移動ヘッド１６に取り付けられて、一体として垂直方向に移動可能となっている。また、モータ１７は、その出力軸１７ａがスピンドル１８の出力軸１８ａの一端（同図中の上端）に連結されている。また、スピンドル１８の出力軸１８ａの他端（同図中の下端）には、チャック部１９が取り付けられている。さらに、チャック部１９には、ドリル２０が取り付けられている。これにより、モータ１７を作動させることにより、チャック部１９およびドリル２０を回転可能な構成となっている。また、モータ１７およびスピンドル１８は、各々の出力軸１７ａ，１８ａが回転している際に発熱する。このため、モータ１７には、その内部に冷却機４から供給された冷却用媒体を流すための流路１７ｂが形成されている。同様にして、スピンドル１８にも、その内部に冷却用媒体を流すための流路１８ｂが形成されている。
【００１８】
冷却機４は、一例として、フロン冷媒を使用した冷凍機、モータ１７等に供給するための冷却用媒体（本例では水）を循環させる水回路、および冷却用媒体を循環させるポンプ（いずれも図示せず）を備えて構成されている。また、冷却機４には、図１に示すように、出力系管路３１および入力系管路３２が接続されている。この冷却機４では、入力系管路３２を経由して外部から入力した冷却用媒体が、水回路を循環している際に冷凍機で冷却されたフロン冷媒と熱交換を行うことによって一定の温度に冷却されて、出力系管路３１から外部に出力される。
【００１９】
この場合、出力系管路３１は、一端が冷却機４に接続されると共に他端が分流弁３３に接続された第１出力管路３１ａ、一端が分流弁３３に接続されると共に他端がモータ１７の流路１７ｂにおける一端に接続された第２出力管路３１ｂ、一端が分流弁３３に接続されると共に他端がスピンドル１８の流路１８ｂにおける一端に接続された第３出力管路３１ｃ、および一端が分流弁３３に接続されると共に他端が温度調節器５の後述する熱交換器５ａの入力口（図示せず）に接続された第４出力管路３１ｄで構成されている。一方、入力系管路３２は、一端が冷却機４に接続されると共に他端が集流弁３４に接続された第１入力管路３２ａ、一端が集流弁３４に接続されると共に他端がモータ１７の流路１７ｂにおける他端に接続された第２入力管路３２ｂ、一端が集流弁３４に接続されると共に他端がスピンドル１８の流路１８ｂにおける他端に接続された第３入力管路３２ｃ、および一端が集流弁３４に接続されると共に他端が熱交換器５ａの出力口（図示せず）に接続された第４入力管路３２ｄで構成されている。
【００２０】
温度調節器５は、熱交換器５ａおよびファン５ｂを備えている。この場合、熱交換器５ａは、一例として、フィンチューブ熱交換器（液体を流す管に気体に接する面を大きくするためにフィンをつけたもの）で構成されて、冷却機４から供給される冷却用媒体を入力して、キャビネット２の内部（キャビネット２内の空気）を冷却する。ファン５ｂは、装置本体３が作動しているときに不図示のモータによって回転駆動されて、キャビネット２の内部温度Ｔａを均一にするように、キャビネット２で空気を循環させる。温度検出器６は、本発明における温度検出部に相当し、白金測温抵抗体やサーミスタや熱電対などの検出素子を備えて構成されて、キャビネット２の内部温度Ｔａを測定して出力する。流量制御弁７は、第４出力管路３１ｄに介装されて、制御部８から出力される制御信号Ｓ１に基づいて、熱交換器５ａに供給される冷却用媒体の流量を制御する。制御部８は、ＣＰＵ（いずれも図示せず）で構成されて、穴明け装置１の全体動作を制御する。具体的には、制御部８は、装置本体３に対する動作制御、冷却機４に対する動作制御、およびキャビネット２の内部温度制御処理を実行する。記憶部９は、ＲＯＭやＲＡＭで構成されて、制御部８用の動作プログラム、およびキャビネット２の内部温度についての目標温度範囲（具体的には、この温度範囲を規定する下限温度Ｔ１および上限温度Ｔ２）が予め記憶されている。
【００２１】
次に、穴明け装置１の動作について、図２を参照して具体的に説明する。
【００２２】
この穴明け装置１では、冷却機４が、制御部８によって作動状態に移行させられて、入力系管路３２を経由して外部から冷却用媒体を入力すると共にフロン冷媒と熱交換して、冷却用媒体を一定の温度に冷却して出力系管路３１から外部に出力する冷却動作を連続して実行する。これにより、一定の温度に冷却された冷却用媒体は、冷却機４から出力系管路３１を経由して、モータ１７、スピンドル１８および温度調節器５に達して、入力系管路３２を経由して冷却機４に至る経路を循環する。具体的には、冷却機４で冷却された冷却用媒体は、第１出力管路３１ａを経由して分流弁３３に達し、この分流弁３３で分流されて、その一部が第２出力管路３１ｂを経由してモータ１７の流路１７ｂに流入し、また、その一部が第３出力管路３１ｃを経由してスピンドル１８の流路１８ｂに流入し、さらに、その一部が第４出力管路３１ｄを経由して熱交換器５ａに流入する。また、モータ１７の流路１７ｂに流入した冷却用媒体は、モータ１７を冷却した後に、第２入力管路３２ｂを経由して集流弁３４に達する。また、スピンドル１８の流路１８ｂに流入した冷却用媒体は、スピンドル１８を冷却した後に、第３入力管路３２ｃを経由して集流弁３４に達する。また、熱交換器５ａに流入した冷却用媒体は、キャビネット２の内の空気を冷却した後に、第４入力管路３２ｄを経由して集流弁３４に達する。また、各入力管路３２ｂ，３２ｃ，３２ｄから集流弁３４に流入した冷却用媒体は、集流弁３４において集流されて、第１入力管路３２ａを経由して冷却機４に戻る。
【００２３】
また、装置本体３は、制御部８の制御下で、スライドテーブル１２、水平移動ヘッド１５、垂直移動ヘッド１６、およびモータ１７を作動させて、スライドテーブル１２上に載置された基板１０に対して穴明け加工を実行する。また、温度検出器６は、キャビネット２の内部温度Ｔａを測定して制御部８に出力する。また、温度調節器５は、ファン５ｂでキャビネット２内の空気を熱交換器５ａに送り込むと共に、上記したように熱交換器５ａにおいて冷却用媒体によってキャビネット２の内の空気を冷却する動作を実行する。
【００２４】
この状態において、制御部８は、図２に示すキャビネット２の内部温度を制御する内部温度制御処理を、例えば一定時間間隔で繰り返し実行する。この処理では、制御部８は、まず、温度検出器６から出力される内部温度Ｔａを入力し（ステップ５１）、次いで、記憶部９から下限温度Ｔ１および上限温度Ｔ２を読み出す（ステップ５２）。続いて、制御部８は、内部温度Ｔａと下限温度Ｔ１とを比較して（ステップ５３）、内部温度Ｔａが下限温度Ｔ１未満のときには、温度調節器５によるキャビネット２内の空気の冷却が過大であると判別して、制御信号Ｓ１を流量制御弁７に出力することにより、温度調節器５への冷却用媒体の流量（供給量）を減少させて（ステップ５４）、この処理を終了させる。
【００２５】
一方、ステップ５３での比較の結果、内部温度Ｔａが下限温度Ｔ１以上のときには、制御部８は、内部温度Ｔａと上限温度Ｔ２とを比較して（ステップ５５）、内部温度Ｔａが上限温度Ｔ２を超えているときには、温度調節器５によるキャビネット２内の空気の冷却が過小であると判別して、制御信号Ｓ１を流量制御弁７に出力することにより、温度調節器５への冷却用媒体の流量（供給量）を増加させて（ステップ５６）、この処理を終了させる。他方、ステップ５５での比較の結果、内部温度Ｔａが上限温度Ｔ２以下のときには、制御部８は、直ちにこの処理を終了する。
【００２６】
制御部８が上記の内部温度制御処理を繰り返し実行することにより、内部温度Ｔａが下限温度Ｔ１未満のときには、温度調節器５への冷却用媒体の流量（供給量）が次第に減少するため、温度調節器５の冷却能力が次第に低下する。この結果、モータ１７やスピンドル１８から発生する熱量が温度調節器５の冷却能力を上回って、キャビネット２の内部温度Ｔａが上昇する。逆に、内部温度Ｔａが上限温度Ｔ２を超えるときには、温度調節器５への冷却用媒体の流量（供給量）が次第に増加するため、温度調節器５の冷却能力が次第に上昇する。この結果、温度調節器５の冷却能力がモータ１７やスピンドル１８から発生する熱量を上回って、キャビネット２の内部温度Ｔａが低下する。したがって、内部温度Ｔａが目標温度範囲から外れているときには、制御部８が内部温度制御処理を実行することにより、目標温度範囲内に向かうように内部温度Ｔａが制御される。また、内部温度Ｔａが目標温度範囲内に入った状態（内部温度Ｔａが下限温度Ｔ１以上で、かつ上限温度Ｔ２以下のとき）においては、温度調節器５への冷却用媒体の流量（供給量）が一定に維持されて、温度調節器５の冷却能力が一定に維持される。したがって、制御部８による内部温度制御処理の実行により、内部温度Ｔａが目標温度範囲内に入っている状態が維持される。
【００２７】
このように、この穴明け装置１によれば、モータ１７およびスピンドル１８に対して冷却機４から供給される冷却用媒体の一部をキャビネット２内に配設された温度調節器５の熱交換器５ａに供給してキャビネット２内を冷却することにより、モータ１７およびスピンドル１８から発生する熱によるキャビネット２の内部温度Ｔａの上昇を抑制したり、さらには内部温度Ｔａを低下させることができ、内部温度Ｔａの上昇に起因する穴明け装置１自体の機構部品や基板１０の熱膨張を防止することができるため、基板１０に対する穴明け加工の精度低下を確実に防止することができる。また、モータ１７およびスピンドル１８の冷却用である冷却機４を共用することにより、冷却用の専用装置を個別に設置する必要がなく、穴明け装置１の設置スペースの拡大や装置コストの高騰を抑えることができる。
【００２８】
また、この穴明け装置１によれば、温度検出器６によって検出された内部温度Ｔａが目標温度範囲内となるように、制御部８が、流量制御弁７を制御して、温度調節器５の熱交換器５ａに対して冷却機４から供給される冷却用媒体の流量を制御（調整）することにより、内部温度Ｔａを目標温度範囲内に自動的に維持することができる。したがって、基板１０に対する穴明け加工の精度低下を一層確実に防止することができる。
【００２９】
なお、本発明は、上記した構成に限定されない。例えば、上記の実施の形態では、流量制御弁７を設けて熱交換器５ａに対する冷却用媒体の流量（供給量）を制御することで、温度調節器５の冷却能力を調整してキャビネット２の内部温度Ｔａを目標温度範囲内に維持させる例について説明したが、これに限らない。例えば、図１において破線で示すように、キャビネット２内（同図では一例としてキャビネット２内に配設された温度調節器５内）にヒータ５ｃを配置し、このヒータ５ｃの動作を制御することによっても、キャビネット２の内部温度Ｔａを目標温度範囲内に維持させることができる。以下、このヒータ５ｃを備えた穴明け装置１Ａについてその概要を説明する。なお、穴明け装置１と同一の構成については同一の符号を付して重複する説明を省略する。
【００３０】
まず、この穴明け装置１Ａの構成について説明する。この温度調節器５Ａは、熱交換器５ａ、ファン５ｂおよびヒータ５ｃを備えて構成されている。この場合、ヒータ５ｃは、制御部８が出力する制御信号Ｓ２により、その動作（オン・オフ動作）が制御される。また、流量制御弁７は、制御部８による流量制御は行われずに、一定の流量の冷却用媒体を温度調節器５に供給するように設定されている。この場合、この一定の流量は、温度調節器５（つまり熱交換器５ａ）が、モータ１７等の作動状態（つまり発熱している状態）において、キャビネット２の内部温度Ｔａを低下可能な冷却能力を得られる量に予め設定されている。
【００３１】
次に、この穴明け装置１Ａの動作について説明する。なお、穴明け装置１Ａの基本的な動作は、穴明け装置１の動作と同じため、図２を参照して、相違する動作についてのみ説明する。
【００３２】
穴明け装置１Ａでは、制御部８は、内部温度制御処理において、内部温度Ｔａと下限温度Ｔ１とを比較して（ステップ５３）、内部温度Ｔａが下限温度Ｔ１未満のときには、ヒータ５ｃに対して制御信号Ｓ２を出力してオン状態に移行させる（ステップ５４のかっこ書き）。また、制御部８は、ステップ５３での比較の結果、内部温度Ｔａが下限温度Ｔ１以上のときには、内部温度Ｔａと上限温度Ｔ２とを比較して（ステップ５５）、内部温度Ｔａが上限温度Ｔ２を超えているときには、ヒータ５ｃに対して制御信号Ｓ２を出力してオフ状態に移行させる（ステップ５６のかっこ書き）。
【００３３】
制御部８がこの内部温度制御処理を繰り返し実行することにより、内部温度Ｔａが下限温度Ｔ１未満のときには、オン状態に移行したヒータ５ｃから発生する熱、およびモータ１７やスピンドル１８から発生する熱量の総量が温度調節器５の冷却能力を上回って、キャビネット２の内部温度Ｔａが上昇する。逆に、内部温度Ｔａが上限温度Ｔ２を超えるときには、ヒータ５ｃがオフ状態に移行するため、キャビネット２内において発生する熱はモータ１７等で発生する熱だけとなり、温度調節器５の冷却能力がモータ１７等から発生する熱量を上回るため、キャビネット２の内部温度Ｔａが低下する。したがって、内部温度Ｔａが目標温度範囲から外れているときには、制御部８が内部温度制御処理を実行することにより、目標温度範囲内に向かうように内部温度Ｔａが制御される。また、内部温度Ｔａが目標温度範囲内に入った状態においては、直前に行われたヒータ５ｃに対する制御内容が維持される。したがって、制御部８による内部温度制御処理の実行により、内部温度Ｔａが目標温度範囲内に入っている状態が維持される。
【００３４】
このように、この穴明け装置１Ａにおいても、制御部８が内部温度Ｔａに基づいてヒータ５ｃの動作を制御することにより、穴明け装置１と同様にして、内部温度Ｔａを目標温度範囲内に自動的に維持することができるため、基板１０に対する穴明け加工の精度低下を一層確実に防止することができる。また、モータ１７等の冷却用である冷却機４を共用するため、冷却用の専用装置を個別に設置する必要がなく、穴明け装置１Ａの設置スペースの拡大や装置コストの高騰を抑えることができる。
【００３５】
また、穴明け装置１Ａでは、温度調節器５の一部としてヒータ５ｃをキャビネット２内に配設したが、温度調節器５とは別体にヒータをキャビネット２内に配設してもよいのは勿論である。また、流量制御弁７を設けて、熱交換器５ａへの冷却用媒体の流量を一定にしているが、分流弁３３などに流量を制御する機能が備わっている場合、流量制御弁７を省くこともできる。また、上記の各実施の形態では、流量制御弁７による熱交換器５ａに対する冷却用媒体の流量制御およびヒータ５ｃに対する動作制御のいずれか一方のみを実施する例を挙げて説明したが、熱交換器５ａに対する冷却用媒体の流量制御およびヒータ５ｃに対する動作制御の両方を実施する構成を採用してもよいのは勿論である。
【００３６】
また、上記の各実施の形態では、モータ１７およびスピンドル１８に冷却用媒体が供給されている例について説明したが、モータ１７およびスピンドル１８のうちの少なくとも一方が冷却機から供給される冷却用媒体を入力する構成であっても、本発明を適用できるのは勿論である。また、冷却用媒体として水を例に挙げて説明したが、流体であれば、水や油のような液体であってもよいし、空気やフロンガスなどの気体であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】穴明け装置１の構成を示す構成図である。
【図２】穴明け装置１の内部温度制御処理のフローチャートである。
【符号の説明】
【００３８】
１  穴明け装置
２  キャビネット
４  冷却機
５  温度調節器
５ａ  熱交換器
５ｃ  ヒータ
６  温度検出器
７  流量制御弁
８  制御部
１０  基板（プリント基板）
１７  モータ
１８  スピンドル
２０  ドリル
【図１】
2008238308.tif 000003
【図２】
2008238308.tif 000004