(57)【要約】      （修正有）【課題】複数の気泡除去ユニットの交換を容易にできると共に、漏れた機能液を適切に処理すること。【解決手段】気泡除去装置１３５は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液流路に介設され、機能液流路を流れる機能液内のマイクロバブルを除去する気泡除去装置１３５であって、ケーシングとケーシング内の気体透過膜との間隙に減圧室３０４を構成すると共に、気体透過膜の内側に機能液が流れる内部流路３０３を構成し、気体透過膜を介して機能液から減圧室３０４に溶存気体を透過させてマイクロバブルを除去する複数の気泡除去ユニット３００と、減圧室３０４を開放した複数の気泡除去ユニット３００を収容すると共に、真空吸引源８９に連なる単一の減圧容器３２０と、を備えたものである。【選択図】図１１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液流路に介設され、前記機能液流路を流れる機能液内のマイクロバブルを除去する気泡除去装置であって、
ケーシングと前記ケーシング内の気体透過膜との間隙に減圧室を構成すると共に、前記気体透過膜の内側に機能液が流れる内部流路を構成し、前記気体透過膜を介して機能液から前記減圧室に溶存気体を透過させてマイクロバブルを除去する複数の気泡除去ユニットと、
前記減圧室を開放した前記複数の気泡除去ユニットを収容すると共に、真空吸引源に連なる単一の減圧容器と、を備えたことを特徴とする気泡除去装置。
【請求項２】
前記減圧容器は、前記気体透過膜を透過し前記ケーシングから液漏れした機能液を、視認可能に構成されていることを特徴とする請求項１に記載の気泡除去装置。
【請求項３】
前記減圧容器の底部に連通するドレン配管と、
前記ドレン配管に介設したドレンバルブと、を更に備えたことを特徴とする請求項１または２に記載の気泡除去装置。
【請求項４】
前記減圧容器の底部に連通する密閉式の廃液タンクを、更に備え、
前記真空吸引源は、前記廃液タンク内の上部空間に接続されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の気泡除去装置。
【請求項５】
前記減圧容器は、前記各気泡除去ユニットを交換するための開閉扉を、有していることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の気泡除去装置。
【請求項６】
前記ケーシングには、全域に分散するようにして複数の小孔が形成されていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の気泡除去装置。
【請求項７】
前記機能液滴吐出ヘッドが複数設けられ、
これに対応して、前記機能液流路は、上流側から主流路、分岐流路および複数の枝流路により分岐しており、
前記各気泡除去ユニットは、前記分岐流路近傍の前記枝流路に介設されていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の気泡除去装置。
【請求項８】
ワークに対し、インクジェット方式の複数の機能液滴吐出ヘッドを移動させながら、前記複数の機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出させて描画を行なう描画手段と、
前記各機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液流路に介設した請求項１ないし７のいずれかに記載の気泡除去装置と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項９】
請求項８に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１０】
請求項８に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１１】
請求項９に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項１０に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット方式の液滴吐出ヘッドに供給される機能液内の気泡（マイクロバブル）を除去する気泡除去装置、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の気泡除去装置として、気体透過膜を有する複数の気泡除去ユニットと、複数の気泡除去ユニット内を真空状態にする真空ポンプと、を備えたものが知られている（特許文献１参照）。この気泡除去装置では、複数の気泡除去ユニットが、各気泡除去ユニットにそれぞれ接続した複数の吸気用配管を介して真空ポンプに接続されており、真空ポンプの吸引により気泡除去ユニット内に流入する液中の溶存気体を除去している。なお、各気泡除去ユニットは、気体透過膜の劣化に伴って交換される。
【特許文献１】特開平０９−２５３４５９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、従来の気泡除去装置では、気泡除去ユニットの交換の際には、接続用配管に加えて、気泡除去ユニットの数だけ吸気用配管の取付け取外しを行なう必要があり、作業が煩雑になる問題がある。また、気体透過膜の劣化により気泡除去ユニットに液漏れが生ずると、漏れた機能液が真空ポンプに流入し、真空ポンプに故障が生ずる問題があった。
【０００４】
本発明は、複数の気泡除去ユニットの交換を容易にできると共に、漏れた機能液を適切に処理することができる気泡除去装置、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の気泡除去装置は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液流路に介設され、機能液流路を流れる機能液内のマイクロバブルを除去する気泡除去装置であって、ケーシングとケーシング内の気体透過膜との間隙に減圧室を構成すると共に、気体透過膜の内側に機能液が流れる内部流路を構成し、気体透過膜を介して機能液から減圧室に溶存気体を透過させてマイクロバブルを除去する複数の気泡除去ユニットと、減圧室を開放した複数の気泡除去ユニットを収容すると共に、真空吸引源に連なる単一の減圧容器と、を備えたことを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、真空吸引源に連なる単一の減圧容器内に、減圧室を開放した複数の気泡除去ユニットを収容しているため、各気泡除去ユニットを個別に真空吸引源に接続させる必要がなく、複数の気泡除去ユニットの交換を容易に行なうことができる。また、真空吸引源は減圧容器に接続されているため、たとえ気体透過膜に液漏れが生じても、これが真空吸引源に吸引されることがない。
【０００７】
この場合、減圧容器は、気体透過膜を透過しケーシングから液漏れした機能液を、視認可能に構成されていることが好ましい。
【０００８】
この構成によれば、ケーシングからの液漏れを容易に発見することができるので、オペレータに気泡除去ユニットの交換を促すことができると共に、迅速な液漏れ処理を促すことができる。
【０００９】
これらの場合、減圧容器の底部に連通するドレン配管と、ドレン配管に介設したドレンバルブと、を更に備えたことが好ましい。
【００１０】
この構成によれば、ドレンバルブの開放により、ドレン配管を介して漏れた機能液を減圧容器から廃液することができる。
【００１１】
これらの場合、減圧容器の底部に連通する密閉式の廃液タンクを、更に備え、真空吸引源は、廃液タンク内の上部空間に接続されていることが好ましい。
【００１２】
この構成によれば、廃液タンク内の底部に液漏れした機能液が貯留されるため、真空吸引源への機能液の流入を防止し、真空吸引源の故障を防止することができる。また、真空を利用して漏れた機能液を減圧容器から廃液タンクに強制的に集液することができるため、廃液処理を容易に行なうことができる。
【００１３】
これらの場合、減圧容器は、各気泡除去ユニットを交換するための開閉扉を、有していることが好ましい。
【００１４】
この構成によれば、気体透過膜の劣化した気泡除去ユニットを簡単に交換することができる。
【００１５】
これらの場合、ケーシングには、全域に分散するようにして複数の小孔が形成されていることが好ましい。
【００１６】
この構成によれば、複数の小孔により、減圧の際の圧力損失を軽減することができ、効率的に気泡除去処理を行なうことができる。また、気体透過膜からの液漏れを早期に発見することができる。
【００１７】
これらの場合、機能液滴吐出ヘッドが複数設けられ、これに対応して、機能液流路は、上流側から主流路、分岐流路および複数の枝流路により分岐しており、各気泡除去ユニットは、分岐流路近傍の枝流路に介設されていることが好ましい。
【００１８】
この構成によれば、複数の機能液滴吐出ヘッドに対応させて気泡除去ユニットを設ける場合に、配管の取り回しを含め、複数の気泡除去ユニットを集約的に無理なく設置することができる。
【００１９】
本発明の液滴吐出装置は、ワークに対し、インクジェット方式の複数の機能液滴吐出ヘッドを移動させながら、複数の機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出させて描画を行なう描画手段と、各機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液流路に介設した上記した気泡除去装置と、を備えたことを特徴とする。
【００２０】
この構成によれば、気泡除去装置により機能液内のマイクロバブルを除去することができる。このため、例えば、マイクロバブルが除去された機能液がサブタンクに供給された場合には、サブタンク内でのマイクロバブルによる液位誤検出を抑えることができる。これにより、サブタンクの液位の調整を精度良く行うことができ、機能液滴吐出ヘッドの水頭値を安定に維持することができるため、機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を安定吐出させることができる。
【００２１】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。
【００２２】
本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００２３】
これらの構成によれば、高品質の電気光学装置を効率良く製造することができる。なお、機能材料としては、有機ＥＬ装置の発光材料（Electro-Luminescence発光層・正孔注入層）は元より、液晶表示装置に用いるカラーフィルタのフィルタ材料（フィルタエレメント）、電子放出装置（Field Emission Display, ＦＥＤ）の蛍光材料（蛍光体）、ＰＤＰ（plasma Display Panel）装置の蛍光材料（蛍光体）、電気泳動表示装置の泳動体材料（泳動体）等であって、機能液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）により吐出可能な液体材料を言う。また、電気光学装置（Flat Panel Display, ＦＰＤ）としては、有機ＥＬ装置、液晶表示装置、電子放出装置、ＰＤＰ装置、電気泳動表示装置等がある。
【００２４】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００２５】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータのほか、各種の電気製品がこれに該当する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、添付の図面を参照して、本発明の機能液供給装置を適用した液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。
【００２７】
図１、図２および図３に示すように、液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース２上に配設され、主走査方向となるＸ軸方向に延在して、ワークＷをＸ軸方向（主走査方向）に移動させるＸ軸テーブル１１と、複数本の支柱４を介してＸ軸テーブル１１を跨ぐように架け渡された１対（２つ）のＹ軸支持ベース３上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在するＹ軸テーブル１２と、複数の機能液滴吐出ヘッド１７（図示省略）が搭載された８個のキャリッジユニット５１と、から成り、８個のキャリッジユニット５１は、Ｙ軸テーブル１２に吊設されている。さらに、液滴吐出装置１は、これらの装置を温度および湿度が管理された雰囲気内に収容するチャンバ６と、チャンバ６を貫通して、チャンバ６の外部から内部の機能液滴吐出ヘッド１７に機能液を供給する３組の機能液供給装置１０１を有した機能液供給ユニット７と、を備えている。Ｘ軸テーブル１１およびＹ軸テーブル１２の駆動と同期して機能液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動させることにより、機能液供給ユニット７から供給されたＲ・Ｇ・Ｂ３色の機能液滴を吐出させ、ワークＷに所定の描画パターンが描画される。なお、請求項にいう描画手段は、Ｘ軸テーブル１１、Ｙ軸テーブル１２および８個のキャリッジユニット５１により構成されている。
【００２８】
また、液滴吐出装置１は、フラッシングユニット１４、吸引ユニット１５、ワイピングユニット１６、吐出性能検査ユニット１８から成るメンテナンス装置５を備えており、これらユニットを機能液滴吐出ヘッド１７の保守に供して、機能液滴吐出ヘッド１７の機能維持・機能回復を図るようになっている。なお、メンテナンス装置５を構成する各ユニットのうち、フラッシングユニット１４および吐出性能検査ユニット１８は、Ｘ軸テーブル１１に搭載され、吸引ユニット１５およびワイピングユニット１６は、Ｘ軸テーブル１１から直角に延び、かつＹ軸テーブル１２によりキャリッジユニット５１が移動可能である位置に配設された架台上に配設されている（厳密には、吐出性能検査ユニット１８は、後述するステージユニット７７がＸ軸テーブル１１に搭載され、カメラユニット７８がＹ軸支持ベース３に支持されている。）。
【００２９】
フラッシングユニット１４は、一対の描画前フラッシングユニット７１,７１と、定期フラッシングユニット７２とを有し、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出直前や、ワークＷの載換え時等の描画処理休止時に行われる、機能液滴吐出ヘッド１７の捨て吐出（フラッシング）を受ける。吸引ユニット１５は、複数の分割吸引ユニット７４を有し、各機能液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル９８から機能液を強制的に吸引すると共に、キャッピングを行う。ワイピングユニット１６は、ワイピングシート７５を有し、吸引後の機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面９７を拭取る。吐出性能検査ユニット１８は、機能液滴吐出ヘッド１７から吐出された機能液滴を受ける検査シート８３を搭載したステージユニット７７と、ステージユニット７７上の機能液滴を画像認識により検査するカメラユニット７８を有し、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出性能（吐出の有無および飛行曲り）を検査するものである。
【００３０】
次に、液滴吐出装置１の構成要素について簡単に説明する。図２または図３に示すように、Ｘ軸テーブル１１は、ワークＷをセットするセットテーブル２１と、セットテーブル２１をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第１スライダ２２と、上記のフラッシングユニット１４およびステージユニット７７をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第２スライダ２３と、Ｘ軸方向に延在し、Ｘ軸第１スライダ２２を介してセットテーブル２１（ワークＷ）をＸ軸方向に移動させると共に、Ｘ軸第２スライダ２３を介してフラッシングユニット１４およびステージユニット７７をＸ軸方向に移動させる左右一対のＸ軸リニアモータ（図示省略）と、Ｘ軸リニアモータに並設され、Ｘ軸第１スライダ２２およびＸ軸第２スライダ２３の移動を案内する一対（２本）のＸ軸共通支持ベース２４と、を備えている。
【００３１】
セットテーブル２１は、ワークＷを吸着セットする吸着テーブル３１と、吸着テーブル３１を支持し、吸着テーブル３１にセットしたワークＷの位置をθ軸方向に補正するためのθテーブル３２等を有している。また、セットテーブル２１のＹ軸方向と平行な一対の辺には、それぞれ上記の描画前フラッシングユニット７１が添設されている。
【００３２】
Ｙ軸テーブル１２は、８個の各キャリッジユニット５１をそれぞれ吊設した８個のブリッジプレート５２と、８個のブリッジプレート５２を両持ちで支持する８組のＹ軸スライダ（図示省略）と、上記した一対のＹ軸支持ベース３上に設置され、８組のＹ軸スライダを介してブリッジプレート５２をＹ軸方向に移動させる一対のＹ軸リニアモータ（図示省略）と、を備えている。また、Ｙ軸テーブル１２は、各キャリッジユニット５１を介して描画時に機能液滴吐出ヘッド１７を副走査するほか、機能液滴吐出ヘッド１７をメンテナンス装置５（吸引ユニット１５及びワイピングユニット１６）に臨ませる。
【００３３】
一対のＹ軸リニアモータを（同期して）駆動すると、各Ｙ軸スライダが一対のＹ軸支持ベース３を案内にして同時にＹ軸方向を平行移動する。これにより、ブリッジプレート５２がＹ軸方向を移動し、これと共にキャリッジユニット５１がＹ軸方向に移動する。なお、この場合、Ｙ軸リニアモータの駆動を制御することにより、各キャリッジユニット５１を独立させて個別に移動させることも可能であるし、８個のキャリッジユニット５１を一体として移動させることも可能である。
【００３４】
また、Ｙ軸テーブル１２の両脇には、これに平行にケーブル坦持体８１が配設されている。両ケーブル坦持体８１は、一方がＹ軸支持ベース３に固定されると共に他方が各ブリッジプレート５２の１つに固定されている。このケーブル坦持体８１には、各キャリッジユニット５１用のケーブル類、エアーチューブ類および機能液流路（後述する下流側機能液流路１２７）等が収容されている。
【００３５】
各キャリッジユニット５１は、１２個の機能液滴吐出ヘッド１７と、１２個の機能液滴吐出ヘッド１７を６個ずつ２群に分けて支持するキャリッジプレート５３と、から成るヘッドユニット１３を備えている（図４参照）。また、各キャリッジユニット５１は、ヘッドユニット１３をθ補正（θ回転）可能に支持するθ回転機構６１と、θ回転機構６１を介して、ヘッドユニット１３をＹ軸テーブル１２（各ブリッジプレート５２）に支持させる吊設部材６２と、を備えている。加えて、各キャリッジユニット５１は、その上部に後述するサブタンク１２１が配設されており（実際には、ブリッジプレート５２上に配設）、このサブタンク１２１から各機能液滴吐出ヘッド１７に機能液が供給されるようになっている。
【００３６】
図５に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針９２を有する機能液導入部９１と、機能液導入部９１に連なる２連のヘッド基板９３と、機能液導入部９１の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体９４と、を備えている。接続針９２は、機能液供給ユニット７に接続され、機能液導入部９１に機能液を供給する。ヘッド本体９４は、キャビティ９５（ピエゾ圧電素子）と、多数の吐出ノズル９８が開口したノズル面９７を有するノズルプレート９６と、で構成されている。機能液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動すると（ピエゾ圧電素子に電圧が印加され）、キャビティ９５のポンプ作用により、吐出ノズル９８から機能液滴が吐出される。
【００３７】
なお、ノズル面９７には、多数の吐出ノズル９８からなる２つのノズル列９８ｂが相互に平行に形成されている。そして、２つのノズル列９８ｂ同士は、相互に半ノズルピッチ分位置ずれしている。
【００３８】
チャンバ６は、内部温度及び湿度を一定に保つように構成されている。すなわち、液滴吐出装置１によるワークＷへの描画は、温度および湿度が一定値に管理された雰囲気中で行われる。そして、チャンバ６の側壁の一部には、後述するタンクユニット１２２を収納するためのタンクキャビネット８４が設けられている。なお、有機ＥＬ装置等を製造する場合には、チャンバ６内を、不活性ガス（窒素ガス）の雰囲気で構成することが好ましい。
【００３９】
次に、図１および図６ないし図９を参照して機能液供給ユニット７について説明する。機能液供給ユニット７は、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色に対応した３組の機能液供給装置１０１を備えている。また、機能液供給ユニット７は、後述するメインタンク１８１およびサブタンク１２１等の制御用の圧縮窒素ガスを供給する窒素ガス供給設備８５と、各種開閉弁の制御用の圧縮エアーを供給する圧縮エアー供給設備８６と、各部からガス排気を行うためのガス排気設備８７と、後述する気泡除去装置１３５に接続された真空設備（真空吸引源）８９と、を備えている。３組の機能液供給装置１０１は、それぞれＲ・Ｇ・Ｂ３色に対応した機能液滴吐出ヘッド１７に接続されており、これにより、各色の機能液滴吐出ヘッド１７には対応する色の機能液が供給される。
【００４０】
図６に示すように、各機能液供給装置１０１は、機能液の供給源を構成する２つのメインタンク１８１,１８１を有するタンクユニット１２２と、各キャリッジユニット５１に対応して設けた８つのサブタンク１２１と、タンクユニット１２２と８つのサブタンク１２１を接続する上流側機能液流路（機能液流路）１２６と、各サブタンク１２１と各機能液滴吐出ヘッド１７とを接続する８組の下流側機能液流路（ヘッド側流路）１２７と、を備えている。
【００４１】
各メインタンク１８１内の機能液は、これに接続して窒素ガス供給設備８５からの圧縮窒素ガスにより加圧され、上流側機能液流路１２６を介して８つのサブタンク１２１に選択的に供給される。その際、圧縮エアー供給設備８６の圧縮エアーにより、各種開閉弁が開閉制御される。また同時に、各サブタンク１２１は、ガス排気設備８７を介して大気開放され、必要量の機能液を受容する。各サブタンク１２１の機能液は、これに連なる機能液滴吐出ヘッド１７の駆動により、所定の水頭圧を維持しながら、下流側機能液流路１２７を介して機能液滴吐出ヘッド１７に供給される。詳細は後述するが、サブタンク１２１からの機能液逆送時には、圧縮窒素ガスが各サブタンク１２１に供給される一方、各メインタンク１８１は、ガス排気設備８７を介して大気開放（実際には負圧制御）される。
【００４２】
タンクユニット１２２は、機能液の供給源となる一対のメインタンク１８１,１８１と、一対のメインタンク１８１,１８１の重量をそれぞれ測定する一対の重量測定装置１８２,１８２と、一対のメインタンク１８１,１８１に接続されると共に、上流側機能液流路１２６に接続した切替え機構１８３と、を備えている。各メインタンク１８１には、窒素ガス供給設備８５およびガス排気設備８７に接続されており、機能液を圧送する場合の加圧制御および機能液を逆送する場合の負圧制御（大気開放に相当）可能に構成されている。
【００４３】
切替え機構１８３は、一対のメインタンク１８１,１８１に接続した一対のタンク流路１８６,１８６と、上流側に一対のタンク流路１８６,１８６が接続されると共に、下流側に上流側機能液流路１２６が接続されたタンク流路継手１８７と、各タンク流路１８６,１８６に介設されたタンク開閉弁１８８と、を備えている。一方のタンク開閉弁１８８を開弁し、他方のタンク開閉弁１８８を閉弁することにより、上流側機能液流路１２６への接続が、一対のメインタンク１８１,１８１の間で交互に切替えられる。
【００４４】
重量測定装置１８２は、例えばロードセル等で構成され、メインタンク１８１内の機能液が消費され所定の重量になると、交換を促す警報を発するようになっている。また、各タンク流路１８６には、気泡検出センサ１８９（２つの光センサで構成されている）が設けられており、一方のメインタンク１８１が所定の重量になった後、この気泡検出センサ１８９が気泡を検出したところで、他方のメインタンク１８１に流路切替えする（自動または手動）。なお、重量測定装置１８２に代えて、液位検出センサあるいは気泡検出センサ等により警報を出すようにしてもよい。
【００４５】
このように、重量測定装置１８２および気泡検出センサ１８９により一方のメインタンク１８１が要交換であると判断された場合、切替え機構１８３を介して上流側機能液流路１２６への接続を他方のメインタンク１８１に切替えることにより、他方のメインタンク１８１によりサブタンク１２１への補給を行うことができる。すなわち、一方のメインタンク１８１を交換する際にも、他方のメインタンク１８１によりサブタンク１２１への補給を継続的に行うことができる。これにより、メインタンク１８１交換の際に、機能液滴吐出ヘッド１７による描画処理を停止する必要がなく、生産性を向上させることができる。
【００４６】
上流側機能液流路１２６は、上流側から、上流側をタンクユニット１２２に接続した主流路１３１と、上流側を主流路１３１に接続した８分岐流路（分岐流路）１３２と、上流側を８分岐流路１３２に接続され、下流側をサブタンク１２１に接続した８本の枝流路１３３と、を備えている。タンクユニット１２２から供給された機能液は、８分岐流路１３２により８つに分流して各サブタンク１２１に供給される。
【００４７】
また、主流路１３１には、上流側から第１開閉弁１３６、エアー抜きユニット１３７、第２開閉弁１３８がそれぞれ介設されている。また、各８分岐流路１３２の枝流路１３３には、８分岐流路１３２の近傍に位置して気泡除去装置１３５が、各サブタンク１２１の近傍に位置して第３開閉弁１３９がそれぞれ介設されている。
【００４８】
各下流側機能液流路１２７は、上流側から、上流側を各サブタンク１２１に接続したヘッド側主流路１４６と、上流側をヘッド側主流路１４６に接続した４分岐流路１４７と、上流側を４分岐流路１４７に接続した複数の個別流路１４８と、により構成されている。これにより、機能液が各サブタンク１２１から４方に分岐して、それぞれの機能液滴吐出ヘッド１７の接続されている。すなわち、上流側機能液流路１２６の８分岐と、下流側機能液流路１２７の４分岐により、８×４個の機能液滴吐出ヘッド１７に機能液が供給されている。加えて、機能液供給ユニット７は、Ｒ・Ｇ・Ｂで３組の機能液供給装置１０１を有しているため、８×１２個の機能液滴吐出ヘッド１７に機能液が供給される。更に、ヘッド側主流路１４６には、第４開閉弁１４９および減圧弁１５０が介設されている。
【００４９】
気泡除去装置１３５には、上記の真空設備（真空吸引源）８９が接続されており、気体透過膜で隔てられた内部流路を真空引きし、気体透過膜を介して内部流路の機能液から気泡を透過させ除去する。このような気泡除去装置１３５を備えることにより、機能液内のマイクロバブルによる大きな気泡の発生を抑えることができる。そのため、気泡が含有した機能液がサブタンク１２１や機能液滴吐出ヘッド１７に達することを抑えることができ、サブタンク１２１内において、後述する液位検出センサ１７７による液位誤検出を抑えることができる。これにより、機能液の厳密な液位検出を行うことができ、機能液滴吐出ヘッド１７の水頭値を安定に維持することができるため、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出不良を抑えることができる。なお、気泡除去装置１３５の詳細については後述する。
【００５０】
エアー抜きユニット１３７は、主流路１３１に介設したエアー抜き継手（エアー抜き手段）１５５と、開閉弁および気泡検出センサから成るエアー抜き弁（エアー抜き手段）１５７と、エアー抜き弁１５７に連なるエアー抜き流路１５６と、エアー抜き流路１５６の下流端に設けた貯液タンク１５８と、を有している。エアー抜きユニット１３７は、機能液供給装置１０１に機能液を初期充填するときに機能するものであり、メインタンク１８１からの機能液の送液に際し、エアー抜き弁１５７を開弁し且つ第２開閉弁１３８を閉弁して主流路１３１内のエアーを排出する。そして、エアー抜き弁１５７が気泡を検出したところ（少し時間をおく）で、エアー抜き弁１５７を閉弁し且つ第２開閉弁１３８を開弁してエアー抜きを終了する。
【００５１】
このようなエアー抜きユニット１３７を有することにより、初期充填の際に、無用なエアーを適切にエアー抜きすることができる。これにより、初期充填時の無用なエアーを簡単に排除することができる。なお、貯液タンク１５８に流下した機能液を再利用する場合には、貯液タンク１５８を各色に対応させて３つとし、再利用しない場合には、貯液タンク１５８を１つとする（本実施形態においては、貯液タンク１５８が１つである）。
【００５２】
各サブタンク１２１の上流側および下流側近傍に設けた第３開閉弁１３９および第４開閉弁１４９は、容積変化なく開閉可能なエアーオペレートバルブで構成されており、開閉弁を開閉した際に発生する機能液の脈動を抑えることができる。そのため、機能液滴吐出ヘッド１７に脈動が伝わることを抑え、機能液滴吐出ヘッド１７による吐出不良を抑えることができる。なお、これら開閉弁は、例えば、ダイヤフラム式のエアーオペレートバルブで構成することが好ましい。これにより、圧縮エアー供給設備８６からの圧縮エアーにより開閉が制御できると共に、開閉弁の開閉をゆっくり行うことができるため、容易に容積変化なく開閉可能な構成に為されている。また、エアーオペレートバルブを使用することにより、防爆機能の他、開閉弁を通過する機能液の温度上昇を抑えることができる。
【００５３】
８分岐流路１３２は、上流側端から下流側端まで、Ｔ字継手で形成された２分岐継手１６１と、２分岐継手１６１の下流側に接続された一対の接続短管１６２と、による２分岐を３段に亘って繰り返して構成されている（図８（ａ）参照）。８分岐流路１３２は、上流側を下にし、下流側を上にして配置し、タンクユニット１２２から供給された機能液が下から上に流れるように構成されている。このような８分岐流路１３２を使用することにより、８分岐流路１３２の下流端において圧力損失が同一となるため、８本の枝流路１３３の流速（流量）を一定にすることができる。また、上流側を下にし、下流側を上にすることにより、機能液が下から上に流れるため、８分岐流路１３２内にエアーが残留することを抑えることができる。さらに、２分岐継手１６１として安価なＴ字継手を使用することにより、８分岐流路１３２を安価の構成にすることができる。
【００５４】
８分岐流路１３２は、最下流段に属する２分岐継手１６１および一対の接続短管１６２,１６２に比して、最上流段に属する２分岐継手１６１および一対の接続短管１６２,１６２は、太径に形成されている。これにより、８分岐流路１３２での圧力損失を極力小さくすることができる。
【００５５】
なお、本実施形態においては８分岐の分岐流路であるため、端数が生じることがないが、端数が生じる場合、例えば１０分岐（１０分岐流路）である場合、６方の分岐については、３つの２分岐継手１６１と３本の接続短管１６２と通るのに対し、他４方の分岐については、４つの２分岐継手１６１と４本の接続短管１６２と通ることになる（図８（ｂ）参照）。この際、６方の分岐と他４方の分岐の流路長に違いが出ると、サブタンク１２１への機能液の流量が同一にならないため、最下流段の一対の接続短管１６２,１６２（他４方の分岐）と、その上流段の接続短管１６２（６方の分岐）との間において、配管長で圧力損失が調整するよう構成する。
【００５６】
また、各下流側機能液流路１２７の４分岐流路１４７も、上記の８分岐流路１３２と同様の構成とすることが、好ましい。但しこの場合には、４分岐流路１４７の上流側を上にし、下流側を下にすることが好ましい。これにより、下流側機能液流路１２７に気泡が混入することがあっても、気泡をサブタンク１２１側に抜くようにする。
【００５７】
減圧弁１５０は、大気圧基準で作動すると共に対応する機能液滴吐出ヘッド１７との間の水頭値を所定の許容範囲に維持するものである。この減圧弁１５０を使用することにより、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面における機能液の水頭値を精度良く管理することができる。
【００５８】
図９に示すように、サブタンク１２１は、機能液を貯留するサブタンク本体１７１と、サブタンク本体１７１に落し蓋様に浮かした蓋体フロート１７２と、サブタンク本体１７１の側方に配設された透明なバイパスチューブ１７６と、バイパスチューブ１７６に臨み、貯留された機能液の液位を検出する液位検出機構１７３と、サブタンク本体１７１の側方下部に配設された液圧センサ１７４と、を備えている。また、サブタンク１２１は、サブタンク本体１７１の上部には、窒素ガス供給設備８５およびガス排気設備８７が接続されており（図６参照）、サブタンク本体１７１の内部を、メインタンク１８１からの送液の際の大気開放およびメインタンク１８１への加圧制御可能に構成されている。加えて、サブタンク本体１７１の下方には、枝流路１３３が接続される流入ジョイント１６３、およびヘッド側主流路１４６が接続される流出ジョイント１６４が設けられており、機能液は、サブタンク本体１７１の下方から流入し、下方から流出するように構成されている。
【００５９】
液位検出機構１７３は、バイパスチューブ１７６に臨んでおり、上限となる機能液の液位を検出する上限検出センサ１７８と、上下中間位置に配設され、補給時の機能液の液位を検出する液位検出センサ１７７と、下限となる機能液の液位を検出する下限検出センサ１７９と、を備えている。上限検出センサ１７８は、サブタンク１２１のオーバーフローを防止すべく設けられており、上限検出センサ１７８が上限液位を検出した場合には、メインタンク１８１からの送液を停止させる。一方、下限検出センサ１７９は、サブタンク１２１が空になるのを防止すべく設けられており、下限検出センサ１７９が下限液位を検出した場合には、現時点のワークＷの描画が終了したところで液滴吐出装置１を停止させる。
【００６０】
また、上限検出センサ１７８が上限液位を検出した場合には、その後サブタンク１２１の機能液をメインタンク１８１に戻す逆送動作が行われる。この逆送動作は、第４開閉弁１４９を閉弁すると共に第３開閉弁１３９を開弁し、且つメインタンク１８１への加圧を解除（負圧制御）した後、サブタンク１２１内を加圧（加圧制御）して機能液を逆流させる。そして、液位検出センサ１７７が液位を検出したところで、逆送動作を終了する。このような逆送動作により、サブタンク１２１に過剰供給された機能液を廃棄することなく、適切に処理することができる。
【００６１】
液位検出センサ１７７は、機能液滴吐出ヘッド１７の理想の水頭値を考慮した液位を検出するものであり、液位検出センサ１７７により機能液の液位が検出されると、後述する制御部１９７との協働により、満液もしくは減液と判断される。すなわち、液位検出センサ１７７より上に液位がある状態から、吐出動作により機能液が減り、液位検出センサ１７７により液位が検出されると減液と判断される。また、液位検出センサ１７７より下に液位がある状態から、補給動作により機能液が増え、液位検出センサ１７７により液位が検出された後、一定時間経過すると満液と判断される。このような液位検出センサ１７７により、サブタンク１２１内の機能液の液位が上下中間部位置に制御されている。このように機能液の液位がサブタンク１２１の上下中間部位置に制御されていることにより、サブタンク１２１内で、機能液が満たされていない大きな空間（気体容量）を常に構成することができる。これにより、サブタンク１２１の上流側で発生した機能液の脈動を吸収することができ、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出不良を抑えることができる。
【００６２】
図７に示すように、各機能液供給装置１０１のタンクユニット１２２から８分岐流路１３２までの各構成要素は、チャンバ６の側壁に配設されたタンクキャビネット８４に収納されている（図１参照）。図７に示すように、タンクキャビネット８４は、各タンクユニット１２２が収納されたメインタンク収納部１１１と、メインタンク収納部１１１の上方に配設され、各気泡除去装置１３５が収納されたユニット収納部１１２と、ユニット収納部１１２に隣設され、各８分岐流路１３２が収納された分岐流路収納部１１３と、を備えている。
【００６３】
メインタンク収納部１１１は、その開閉扉１０５ａがチャンバ６の外側に開閉し、図示しないがユニット収納部１１２および分岐流路収納部１１３の開閉扉は、それぞれチャンバ６の内側に開閉する。すなわち、各気泡除去装置１３５および各８分岐流路１３２は、チャンバ６内に配設され、各タンクユニット１２２は、チャンバ６外に配設されている。したがって、タンクユニット１２２は、チャンバ６内を大気置換することなく、そのメインタンク１８１を交換可能に構成されている。このように、チャンバ６外にタンクユニット１２２を配設することにより、メインタンク１８１の交換の際に、チャンバ６を開放することがない。これにより、メインタンク１８１の交換の都度にチャンバ６内の雰囲気が破壊されることがない。すなわち、再度温度及び湿度の調整を行う必要がなく（チャンバ６内を不活性ガスの雰囲気にしている場合には、不活性ガスが外部に漏れることがない）、メインタンク１８１の交換を行うことができるため、装置の生産性を向上させることができる。
【００６４】
次に、図１０を参照して、液滴吐出装置１の主制御系について説明する。同図に示すように、液滴吐出装置１は、ヘッドユニット１３（機能液滴吐出ヘッド１７）を有する液滴吐出部１９１と、Ｘ軸テーブル１１、を有し、ワークＷをＸ軸方向へ移動させるためのワーク移動部１９２と、Ｙ軸テーブル１２を有し、ヘッドユニット１３をＹ軸方向へ移動させるヘッド移動部１９３と、メンテナンス手段の各ユニットを有するメンテナンス部１９４と、機能液供給ユニット７を有し、機能液滴吐出ヘッド１７に機能液を供給する機能液供給部１９８と、各種センサを有し、各種検出を行う検出部１９５と、各部を駆動制御する各種ドライバを有する駆動部１９６と、各部に接続され、液滴吐出装置１全体の制御を行う制御部１９７と、を備えている。
【００６５】
制御部１９７には、各手段を接続するためのインタフェース２０１と、一時的に記憶可能な記憶領域を有し、制御処理のための作業領域として使用されるＲＡＭ２０２と、各種記憶領域を有し、制御プログラムや制御データを記憶するＲＯＭ２０３と、ワークＷに所定の描画パターンを描画するための描画データや、各手段からの各種データ等を記憶すると共に、各種データを処理するためのプログラム等を記憶するハードディスク２０４と、ＲＯＭ２０３やハードディスク２０４に記憶されたプログラム等に従い、各種データを演算処理するＣＰＵ２０５と、これらを互いに接続するバス２０６と、が備えられている。
【００６６】
そして、制御部１９７は、各手段からの各種データを、インタフェース２０１を介して入力すると共に、ハードディスク２０４に記憶された（または、ＣＤ−ＲＯＭドライブ等により順次読み出される）プログラムに従ってＣＰＵ２０５に演算処理させ、その処理結果を、駆動部１９６（各種ドライバ）を介して各手段に出力する。これにより、装置全体が制御され、液滴吐出装置１の各種処理が行われる。
【００６７】
ここで、機能液滴吐出ヘッド１７への機能液供給動作について説明する。この動作は、各メインタンク１８１および各サブタンク１２１に機能液が貯液されていると共に、各流路に機能液が充液されている状態にて行われるものとする。加えて、窒素ガス供給設備８５により、上流側機能液流路１２６に接続された一方のメインタンク１８１が加圧されているものとする。
【００６８】
まず、サブタンク１２１の上流側に介設された第３開閉弁１３９を閉弁した状態で、機能液滴吐出ヘッド１７を駆動して機能液滴の吐出を行う。第３開閉弁１３９が閉弁されているため、メインタンク１８１からの圧力は縁切りされ、機能液滴吐出ヘッド１７のポンプ作用により、機能液が各サブタンク１２１から各機能液滴吐出ヘッド１７に送液される。なお、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面９７における水頭値は、下流側機能液流路１２７に介設された減圧弁１５０により最終調整されている。
【００６９】
次に、サブタンク１２１への機能液の補給について説明する。機能液滴吐出ヘッド１７の吐出動作により、サブタンク１２１内の機能液が一定量減ると、液位検出機構１７３によって減液状態であると判断される。減液状態であると判断された場合、第３開閉弁１３９を開弁してメインタンク１８１からサブタンク１２１に機能液を補給する。メインタンク１８１は加圧されているため、第３開閉弁１３９を開弁することでメインタンク１８１の機能液が自動的にサブタンク１２１に送液される。なお、この際、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出動作は継続的に行われる。
【００７０】
メインタンク１８１からサブタンク１２１に機能液が送液され、サブタンク１２１内の機能液が一定量貯まると、液位検出機構１７３によって、サブタンク１２１内が満液状態であると判断される。満液状態と判断されると、第３開閉弁１３９を閉弁して補給動作を終了する。なお、上記した機能液の逆送動作も、上記の制御系により行われる。
【００７１】
次に、上流側機能液流路１２６に接続されたメインタンク１８１において、機能液が無くなった際の対処動作について説明する。サブタンク１２１への補給動作を繰り返すと、メインタンク１８１内の機能液が減り、対応した重量測定装置１８２により、メインタンク１８１が要交換であると判断される。メインタンク１８１が要交換であると判断されると、切替え機構１８３により上流側機能液流路１２６への接続を、要交換のメインタンク１８１から他方のメインタンク１８１（満液状態のメインタンク１８１）に切り替える。そして、他方のメインタンク１８１によりサブタンク１２１への補給動作が行われる。この際、要交換のメインタンク１８１を交換することができ、サブタンク１２１への供給動作（機能液滴吐出ヘッド１７の吐出駆動）を止めることなく、メインタンク１８１の交換を行うことができる。
【００７２】
以上のような構成によれば、一方のメインタンク１８１の機能液がなくなった際に、切替え機構１８３によりタンク切替えを行うことで、一方のメインタンク１８１を交換する一方で、他方のメインタンク１８１により機能液の供給を行うことができる。これにより、各サブタンク１２１への機能液補給を止めることなく、メインタンク１８１の交換を行うことができる。このため、機能液滴吐出ヘッド１７による描画処理を停止する必要がなく、生産性を向上させることができる。
【００７３】
次に、図１１および図１２を参照して、気泡除去装置１３５について説明する。上述したように、気泡除去装置１３５は、ユニット収納部１１２内に配設されると共に、８分岐流路１３２により８本に分岐した枝流路１３３に介設されており、メインタンク１８１から加圧送液される機能液内のマイクロバブル（気泡）を除去して、気泡除去後の機能液を上記各サブタンク１２１に供給する。なお、気泡除去装置１３５の気泡除去ユニット３００は消耗品であるため、交換を迅速に行えるように、予備の気泡除去装置１３５を用意しておくことが、好ましい（図６参照）。
【００７４】
気泡除去装置１３５は、マイクロバブルを除去すると共に、８つ（複数）の枝流路１３３にそれぞれ接続する８つ（複数）の気泡除去ユニット３００と、これら８つの気泡除去ユニット３００を収容する単一の減圧容器３２０と、を備えている。メインタンク１８１から圧送されてきた機能液は、各気泡除去ユニット３００内の内部流路３０３（詳細は後述する）を下から上に流れ、マイクロバブルが除去された後、各サブタンク１２１に向かってそれぞれ圧送される。
【００７５】
各気泡除去ユニット３００は、円筒形状に形成されたケーシング３０１と、ケーシング３０１に収容され、気体透過膜で構成された複数の膜チューブ３０２と、を有しており、複数の膜チューブ３０２の流路により気泡除去ユニット３００の内部流路３０３が構成され、ケーシング３０１と膜チューブ３０２との間隙に減圧室３０４が構成されている。
【００７６】
ケーシング３０１は、ケーシング本体３０５と、ケーシング本体３０５の両端部に設けられた一対のキャップ部３０６と、一対のキャップ部３０６に形成された流入ポート３０７および流出ポート３０８と、各キャップ部３０６に形成された一対の真空ポート３０９と、で構成されている。
【００７７】
ケーシング本体３０５は、その外周面全域に分散するように複数の小孔３１０が形成されている。これにより、減圧の際の真空ポート３０９による圧力損失を軽減することができ、効率的に気泡除去処理が行なえるようになっている。また、気体透過膜からの液漏れを早期に発見することができる。
【００７８】
流入ポート３０７の先端側には、流入側接続短流路３１１が接続されており、流入ポート３０７の基部側には、分流室（図示せず）を介して、複数の膜チューブ３０２が連通している。同様に、流出ポート３０８の先端側には、流出側接続短流路３１２が接続されており、流出ポート３０８の基部側には、複数の膜チューブ３０２に連通した合流室（図示せず）が構成されている。各流入側接続短流路３１１および各流出側接続短流路３１２は、いずれも気体非透過性のチューブ等で形成されており、各流入側接続短流路３１１は、ハウジング３２１に設けた各流入側継手３１３を介して各枝流路１３３の下流側に接続され、各流出側接続短流路３１２は、ハウジング３２１に設けた各流出側継手３１４を介して各枝流路１３３の上流側に接続されている（詳細は後述する）。
【００７９】
一対の真空ポート３０９には、チューブ等が接続されておらず（減圧容器３２０内に開放）、両真空ポート３０９はそのまま減圧室３０４に連通している。したがって、真空吸引源８９により減圧容器３２０内がエアー吸引されると、減圧室３０４が負圧となり、気体透過膜で構成された膜チューブ３０２から機能液内の溶存気体が減圧室３０４に透過される。これにより、各気泡除去ユニット３００の内部流路３０３を流れる機能液のマイクロバブルが除去される。より詳細には、メインタンク１８１から各枝流路１３３を介して圧送された機能液は、減圧容器３２０内で、エアー吸引されながら、すなわち、機能液内の溶存気体が気体透過膜を介して減圧室３０４に透過され、機能液内のマイクロバブルが除去されながら各気泡除去ユニット３００の各内部流路３０３を流れ、枝流路１３３を介して各サブタンク１２１に向かって圧送される。
【００８０】
減圧容器３２０は、８つ（複数）の気泡除去ユニット３００を収容する密閉式のハウジング３２１と、ハウジング３２１の上部に連通する真空吸引源（真空ポンプ）８９と、ハウジング３２１の底部に連通するドレン配管３２８と、ハウジング３２１の下部に設けられた液面センサ３３０と、を有している。
【００８１】
図１２に示すように、ハウジング３２１は、ステンレスやアルミ等の金属性材料で方形箱状に形成されており、ハウジング本体３２２と、ハウジング本体３２２の前面に設けられた開閉扉３２３と、で構成されている。開閉扉３２３は、左端に設けたヒンジ３２４により開閉自在に構成され、右端に設けた止め金具３２５により、ハウジング本体３２２に閉塞ロックされる。また、開閉扉３２３とハウジング本体３２２との接触面には、シール材が介設されており、開閉扉３２３を閉めることで、ハウジング３２１内の気密に保たれ、開閉扉３２３を開けることで、各気泡除去ユニット３００の交換を行なうことができるようになっている。さらに、開閉扉３２３には、透光性の樹脂性材料で形成された窓部３２６が形成され、外部から各気泡除去ユニット３００が視認可能に構成されている。これにより、気泡除去ユニット３００からの液漏れを容易に発見することができる。
【００８２】
ハウジング３２１の下壁および上壁には、各気泡除去ユニット３００に対応して８個ずつ流入側継手３１３および流出側継手３１４がシールされた状態でそれぞれ取付けられており、これにより、ハウジング３２１内を気密に保った状態で、ハウジング３２１内外の流路接続を可能にしている。そして、流入側継手３１３が、上流側の枝流路１３３と流入側接続短流路３１１とを接続し、流出側継手３１４が、流出側接続短流路３１２と下流側の枝流路１３３とを接続することで、各気泡除去ユニット３００の各内部流路３０３と各枝流路１３３とが接続されている。この場合、各流入側接続短流路３１１および各流入側継手３１３は、上流側の枝流路１３３の一部を構成し、各流出側接続短流路３１２および各流出側継手３１４は、下流側の枝流路１３３の一部を構成している。
【００８３】
また、ハウジング３２１の上壁には、継手を介して、真空吸引源８９と連通する吸引用チューブ３２７が接続されている。これにより、真空吸引源８９が、エアーの吸引を行なうと、ハウジング３２１内が負圧に保たれる。なお、吸引用チューブ３２７には、大気開放用のバルブを設けることが、好ましい。
【００８４】
さらに、ハウジング３２１の底部には、継手を介して、上記ドレン配管３２８が連通されており、ドレン配管３２８には、ドレンバルブ３２９が介設されている。詳細は後述するが、減圧容器３２０内で機能液の液漏れが発生し所定の機能液が溜まると、液面センサ３３０がこれを検出し、注意を喚起（警報）する。オペレータは、ドレンバルブ３２９を開放して、液漏れした機能液を抜き取り、必要があれば上記開閉扉３２３を開放して、気泡除去ユニット３００を交換する。
【００８５】
液面センサ３３０は、気体透過膜を透過し、ハウジング３２１内から液漏れした機能液の限界液面を検出し、図外の制御装置等を介して警報を発するようになっている。これにより、液漏れした機能液が限界液面を越えて真空吸引源８９に流入することがなく、真空吸引源８９の故障を未然に防止することができる。なお、警報発令後、所定時間経過しても液面センサ３３０が限界液面を検出している場合には、真空吸引源８９の駆動を停止させることが好ましい。
【００８６】
以上のように、本実施形態によれば、真空吸引源８９に連なる単一の減圧容器３２０内に、減圧室３０４を開放した複数の気泡除去ユニット３００を収容しているため、各気泡除去ユニット３００を個別に真空吸引源８９に接続させる必要がなく、複数の気泡除去ユニット３００の交換を容易に行なうことができる。また、８つの気泡除去ユニット３００の真空配管の取り回しを省略することができる。さらに、真空吸引源８９は減圧容器３２０に接続されているため、たとえ気体透過膜に液漏れが生じても、これが真空吸引源８９に吸引されることがない。
【００８７】
なお、本実施形態では、各気泡除去ユニット３００が、各流入側接続短流路３１１および各流出側接続短流路３１２を介して各枝流路１３３に接続する構成にしたが、減圧容器３２０内の気密性が維持できる構成であれば、各気泡除去ユニット３００と枝流路１３３とを直接接続するようにしてもよい。また、窓部３２６はハウジング本体３２２に設けてもよく、窓部３２６の大きさは、ハウジング３２１内に収容される気泡除去ユニット３００の個数、配設位置等により決定されることが好ましい。さらに、ハウジング３２１全体を透光性材料で構成してもよい。
【００８８】
また、本実施形態においては、８個のキャリッジユニット５１を備えた液滴吐出装置１を備えたものを使用しているが、キャリッジユニット５１の個数は任意である。
【００８９】
次に、図１３を参照して、本発明の第２実施形態に係る気泡除去装置１３５について説明する。なお、本実施形態において、上記第１実施形態の気泡除去装置１３５と同じ構成については同じ符号を付して、その説明を省略する。
【００９０】
本実施形態に係る気泡除去装置１３５では、減圧容器３２０が、ハウジング３２１と、ハウジング３２１の底部に連通する密閉式の廃液タンク３３１と、廃液タンク３３１を介してハウジング３２１に連通する真空吸引源８９と、を備えており、廃液タンク３３１には、液面センサ３３０が設けられている。
【００９１】
ハウジング３２１の下壁には、継手を介して、廃液チューブ３３２が接続されており、廃液チューブ３３２の先端は、廃液タンク３３１内の底部に達している。一方、廃液タンク３３１の上部空間には、真空吸引源８９に連通する吸引用チューブ３２７が接続されている。これにより、真空吸引源８９によりエアーの吸引を行うと、ハウジング３２１内の底部に漏れ出た機能液は、強制的に廃液タンク３３１に流入し、かつハウジング３２１内が負圧に保たれる。この場合も、吸引用チューブ３２７には、大気開放用のバルブを設けることが、好ましい。
【００９２】
液面センサ３３０は、廃液タンク３３１内に貯留した機能液の限界液面を検出し、図外の制御装置等を介して警報を発するようになっている。これにより、液漏れした機能液が限界液面を越えて真空吸引源８９に流入することがなく、真空吸引源８９の故障を未然に防止することができる。
【００９３】
また、図１４は、上記第１実施形態および第２実施形態に係る変形例を示しており、この変形例では、上記した流入側接続短流路３１１および流出側接続短流路３１２を用いることなく、各気泡除去ユニット３００の各内部流路３０３と、各枝流路１３３とが接続されている。すなわち、各気泡除去ユニット３００の流入ポート３０７および流出ポート３０８が、ハウジング３２１から外部に突出するように設けられており、流入ポート３０７および流出ポート３０８の先端部に、各枝流路１３３が直接接続される構成になっている。この場合、各流入ポート３０７および各流出ポート３０８と、これらが嵌合するハウジング３２１の下壁および上壁に設けられた各嵌合穴との間には、ハウジング３２１内を気密に保つために、シール材が介設されている。このような構成では、気泡除去ユニット３００廻りの配管取り回しを単純化することができる。
【００９４】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。
【００９５】
まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１５は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１６は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図１６（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【００９６】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１６（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１６（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド１７により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【００９７】
以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。
【００９８】
次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図１６（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００９９】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図１６（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【０１００】
図１７は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１６に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【０１０１】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【０１０２】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１７において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【０１０３】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【０１０４】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【０１０５】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。
【０１０６】
図１８は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【０１０７】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【０１０８】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【０１０９】
図１９は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【０１１０】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【０１１１】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【０１１２】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【０１１３】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【０１１４】
次に、図２０は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【０１１５】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【０１１６】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【０１１７】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【０１１８】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【０１１９】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【０１２０】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【０１２１】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【０１２２】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【０１２３】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【０１２４】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【０１２５】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【０１２６】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図２１〜図２９を参照して説明する。
この表示装置６００は、図２１に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、および対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【０１２７】
まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図２２に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図２３に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【０１２８】
表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【０１２９】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１のワークステージ２１に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）および発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。
【０１３０】
図２４に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド１７から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図２５に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【０１３１】
次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【０１３２】
そして次に、図２６に示すように、各色のうちのいずれか（図２６の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【０１３３】
その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２７に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【０１３４】
同様に、機能液滴吐出ヘッド１７を用い、図２８に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１３５】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。
【０１３６】
対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２９に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０１３７】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【０１３８】
次に、図３０は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１３９】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【０１４０】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【０１４１】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１４２】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のワークステージ２１に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド１７により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１４３】
補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１４４】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド１７から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１４５】
次に、図３１は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０１４６】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１４７】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１４８】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１４９】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１５０】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図３２（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図３２（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１５１】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１５２】
【図１】本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の斜視図である。
【図２】液滴吐出装置の平面図である。
【図３】液滴吐出装置の側面図である。
【図４】ヘッド群を構成する機能液滴吐出ヘッドの図である。
【図５】機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。
【図６】機能液供給装置の配管系統図である。
【図７】タンクキャビネットを示した図である。
【図８】８分岐流路およびその変形例である１０分岐流路を示した図である。
【図９】サブタンク廻りを模式的に表した断面図である。
【図１０】液滴吐出装置の主制御系について説明したブロック図である。
【図１１】気泡除去装置を示した模式図である。
【図１２】減圧容器廻りの斜視図である。
【図１３】本発明の第２実施形態に係る気泡除去装置を示した模式図である。
【図１４】変形例に係る気泡除去装置を示した模式図である。
【図１５】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図１６】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図１７】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１８】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１９】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図２０】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図２１】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図２２】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図２３】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図２４】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２５】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２６】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２７】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２８】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２９】陰極の形成を説明する工程図である。
【図３０】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図３１】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図３２】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
【０１５３】
１７…機能液滴吐出ヘッド  ８９…真空吸引源  １２６…上流側機能液流路（機能液流路）  １３１…主流路  １３２…８分岐流路  １３３…枝流路  １３５…気泡除去装置  ３００…気泡除去ユニット  ３０１…ケーシング  ３０３…内部流路  ３０４…減圧室  ３１０…小孔  ３２０…減圧容器  ３２３…開閉扉  ３２８…ドレン配管  ３２９…ドレンバルブ  ３３１…廃液タンク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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