(57)【要約】【課題】スライダの磁気ディスク表面からの浮上量のゼロ点を正確に検出でき、スライダの浮上量の制御を精度よく行うことができる。【解決手段】傾斜を有するスライダ６の表面の片方が磁気ディスク１に衝突すると、衝突センサ素子６ｂによりフィードバックされた衝撃信号により、アクチュエータ素子６ａに変位が生じて、スライダ６の傾斜が制御されるようになる。これにより、スライダ６の表面と磁気ディスク１の記録表面とを平行にさせることができ、スライダ６の浮上量の制御の精度を保つことが可能となる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ディスクと、ヘッド位置決め機構と、前記ヘッド位置決め機構の先端に取り付けられたサスペンションと、前記サスペンションの先端部に設置され、磁気ヘッドを搭載したスライダと、を有する磁気ディスク装置において、
前記スライダの側面に設置された衝突センサ素子と、
前記サスペンションと前記スライダとの間にアクチュエータ素子と、
を有することを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項２】
前記衝突センサ素子は、前記磁気ヘッドを搭載していない、少なくとも１つの側面に設置されていることを特徴とする請求項１記載の磁気ディスク装置。
【請求項３】
前記衝突センサ素子は、前記スライダの側面に対向するように設置されていることを特徴とする請求項１または２記載の磁気ディスク装置。
【請求項４】
前記衝突センサ素子は、ピエゾ抵抗素子または圧電素子により構成されることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の磁気ディスク装置。
【請求項５】
前記アクチュエータ素子は、前記圧電素子により構成されることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の磁気ディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は磁気ディスク装置に関し、特に、磁気的に記録再生する磁気ディスク装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、磁気ディスク装置は磁気ディスクの記憶容量の増加や装置サイズの微小化が進んでいる。サイズの微小化にともない、磁気ヘッドに設置されたスライダも小型化および薄型化が進んでいる。
【０００３】
そして、磁気ディスクの記憶容量の増加にともない、小型化されたスライダによる読み出しおよび書き出しに対するサーボ制御の高精度化が進められている。サーボ制御の高精度化を進めるためには、磁気ディスクの全領域でスライダが磁気ディスクの記録表面から一定の微細浮上高を必要として、スライダの磁気ディスクに対する浮上量制御が重要な技術となっている（例えば、特許文献１，２参照。）。
【０００４】
浮上量制御の方法として、特許文献１では、スライダと磁気ディスクとの間に電圧を印加して、スライダと磁気ディスクとの対向面に逆符号の電荷を発生させ、スライダと磁気ディスクとの間に電位差の二乗に比例した引力を発生させ、この引力を利用してスライダの磁気ディスクに対して所定の浮上量を保たせることができる。
【０００５】
別の方法として、特許文献２では、スライダが圧電材料により構成される薄膜圧電アクチュエータを介して、サスペンションに支持されており、このアクチュエータの歪みを利用したスライダの磁気ディスクに対して所定の浮上量の制御が試みられている。
【０００６】
また、このような浮上量制御を行う際には、浮上量の絶対値を決定する必要があり、浮上量の絶対値を決定する方法として磁気ディスク表面への接触（コンタクト）時を基準点として、浮上量のゼロ点の検出が必要となる。
【特許文献１】特開平９−８２０１４号公報
【特許文献２】特許第３５０１７５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、スライダの表面を磁気ディスクの表面にコンタクトされることにより、スライダの浮上量のゼロ点の検出を行うには、以下のような問題があった。
傾いたスライダが実装されている場合、スライダの表面を磁気ディスクの表面にコンタクトさせた時も、傾いたスライダの片側が先に磁気ディスク表面へ接触してしまい、正確なゼロ点の検出ができなくなる。このため、正確な浮上量を検出することができなくなる。
【０００８】
また、スライダは磁気ディスク表面からわずかな浮上量で摺動しているため、突発的な外乱やシークタイム時にスライダの片端が磁気ディスクに衝突し、振動（フラッタリング）するとスライダが傾いたりするため、正確なゼロ点の検出ができなくなるだけでなく、最悪の場合、磁気ディスク装置自身の破損にも繋がる。
【０００９】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、スライダの磁気ディスク表面からの浮上量のゼロ点を正確に検出でき、スライダの浮上量を精度よく制御することができる磁気ディスク装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明では上記課題を解決するために、磁気ディスク１と、ヘッド位置決め機構と、ヘッド位置決め機構の先端に取り付けられたサスペンション５と、サスペンション５の先端部に設置され、磁気ヘッドを搭載したスライダ６と、を有する磁気ディスク装置１０において、図１に示すように、スライダ６の側面に設置された衝突センサ素子６ｂと、サスペンション５とスライダ６との間にアクチュエータ素子６ａと、を有することを特徴とする磁気ディスク装置１０が提供される。
【００１１】
このような磁気ディスク装置によれば、傾斜を有するスライダの表面の片方が磁気ディスクに衝突すると、衝突センサ素子によりフィードバックされた衝撃信号により、アクチュエータ素子に変位が生じて、スライダの傾斜が制御されるようになる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明では、傾斜を有するスライダの表面の片方が磁気ディスクに衝突すると、衝突センサ素子によりフィードバックされた衝撃信号により、アクチュエータ素子に変位が生じて、スライダの傾斜を制御するようにした。これにより、スライダの表面と磁気ディスクの記録表面とを平行にさせることができ、スライダの浮上量の制御の精度を保つことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照して詳細に説明する。但し、本発明の技術的範囲はこれらの実施の形態に限定されるものではない。
まず、本発明の概要を説明し、その後に本発明の実施の形態について説明する。
【００１４】
図１は、本発明における磁気ディスク装置の概要図である。
磁気ディスク装置１０は、磁気ディスク１、モータ２、アーム３、ヘッド位置決め機構４、サスペンション５およびスライダ６により構成されている。さらに、スライダ６はアクチュエータ素子６ａおよび衝突センサ素子６ｂを有する。これらの構成要素について以下にそれぞれ説明する。
【００１５】
磁気ディスク１は、円板状の磁気記録媒体である。モータ２によって回転させられて、磁気記録表面に情報が記録または磁気記録表面の情報が再生させられる。
モータ２は、接続された磁気ディスク１を所定の速度で回転制御することができる。
【００１６】
アーム３は、ヘッド位置決め機構４とサスペンション５とが一体的に接続されている。
ヘッド位置決め機構４は、ロータリアクチュエータ（不図示。）と接続されている。スライダ６から得られる浮上量および位置情報が制御装置（不図示。）にフィードバックされる。フィードバックされた制御装置はロータリアクチュエータを介してヘッド位置決め機構４の制御を行い、スライダ６のトラック位置決めなどを行うことができる。
【００１７】
サスペンション５はスライダ６を支持する板ばねである。
スライダ６は磁気ディスク１の記録表面と対向して、この記録表面上を数ｎｍから数十ｎｍの高さで浮上して位置している。スライダ６は、磁気ディスク１に対して情報の記録や磁気ディスク１に記録されている情報を読み出すことができる。そして、スライダ６はサスペンション５の先端部にアクチュエータ素子６ａを介して設置されて、さらに、スライダ６の側面には衝突センサ素子６ｂが設置されている。
【００１８】
アクチュエータ素子６ａは圧電・電歪材料によって構成されてサスペンション５とスライダ６との間に形成されている。アクチュエータ素子６ａはスライダ６の姿勢制御を行うために、素子に生じる変位を利用してスライダ６の浮上面と磁気ディスク表面とを平行になるように制御する。
【００１９】
衝突センサ素子６ｂはピエゾ抵抗体または圧電薄膜によって構成されて、スライダ６の側面に形成されている。衝突センサ素子６ｂはスライダ６の浮上面の片側の磁気ディスク表面への衝突から検出したスライダ６の傾き情報を制御装置にフィードバックし、制御装置によってアクチュエータ素子６ａが制御される。
【００２０】
なお、磁気ディスク装置１０には制御装置が備えられており、既に説明したように、制御装置にスライダ６から得られる浮上量および位置情報がフィードバックされ、フィードバックを受けた制御装置によりアクチュエータ素子６ａ、およびヘッド位置決め機構４などの制御を行うことができる。
【００２１】
以上のような要素から構成される磁気ディスク装置１０の本発明における動作概要について説明する。
まず、スライダにアクチュエータ素子および衝突センサ素子が備わっていない場合の浮上量のゼロ点の検出工程について説明する。
【００２２】
図２は、磁気ディスク装置における浮上量の検出工程を示す図である。
スライダ１０６は、図１のスライダ６と異なり、アクチュエータ素子および衝突センサ素子を備えておらず、また、磁気ディスク１０１の記録表面と平行に実装されている（図２（Ａ））。
【００２３】
スライダ１０６の浮上量の絶対値の決定のために、スライダ１０６を降下させて、磁気ディスク１０１とコンタクトさせたとき（図２（Ｂ））を、制御装置によって浮上量のゼロ点として検出する。そして検出した浮上量のゼロ点をもとにしてスライダ１０６の磁気ディスク１０１の記録表面からの浮上量が検出され、制御される。
【００２４】
図３は、傾いたスライダを有する磁気ディスク装置における浮上量の検出工程を示す図である。
図３では、図２と異なり、サスペンション１０５もしくは、サスペンション１０５とスライダ１０６が傾いている場合の浮上量のゼロ点の検出工程について示したものである。
【００２５】
コンタクト時の衝撃や磁気ディスク装置の突発的な外乱やシークタイム時の衝突などによって傾いてしまったスライダ１０６の浮上量のゼロ点を検出するために、磁気ディスク１０１の記録表面へのコンタクトを開始させる（図３（Ａ））。
【００２６】
ところが、コンタクト時には、傾いたスライダ１０６の片側が磁気ディスク１０１の記録表面に衝突してしまう（図３（Ｂ））。従って、正確な浮上量のゼロ点を検出することができず、浮上量の検出および制御が難しくなってしまう。
【００２７】
以上がアクチュエータ素子および衝突センサ素子が備わっていないスライダの浮上量のゼロ点の検出工程である。
図４は、本発明におけるスライダの動作を示す図である。
【００２８】
本発明において、図２，３に対して、アクチュエータ素子６ａ，６ａａおよび衝突センサ素子６ｂが備わり、サスペンション５の先端部に実装されたスライダ６が傾いたときの動作について、図４の（Ａ）〜（Ｃ）または（Ｄ）に従って、以下に説明する。なお、図４の磁気ディスク装置は図１と同様の構成をしているものとして、特に断りが無い場合は図１と同じ要素である。
【００２９】
［工程Ａ］サスペンション５の先端部にアクチュエータ素子６ａ，６ａａを介して設置されたスライダ６が傾いてしまった場合について説明する。スライダ６の浮上量の絶対値の決定のため、以後の工程に従って、磁気ディスク装置１０の制御装置により浮上量のゼロ点の検出を行う（図４（Ａ））。
【００３０】
［工程Ｂ］浮上量のゼロ点を検出するために、スライダ６の表面と磁気ディスク１の記録表面とをコンタクトさせる。ところが、図３と同様に、傾いたスライダ６の表面と記録表面とは平行に接触せずに、スライダ６の表面の片側が記録表面と衝突してしまう（図４（Ｂ））。
【００３１】
［工程Ｃ］この時、衝突センサ素子６ｂが検知した衝突信号を受信した制御装置によって、アクチュエータ素子６ａａをスライダ６の浮上面に対して垂直方向に変位（伸長）を発生させて、スライダ６の表面と記録表面とを平行にコンタクトさせることができ、浮上量のゼロ点を検出することができる（図４（Ｃ））。
【００３２】
［工程Ｄ］［工程Ｃ］に代わり、同様にスライダ６の表面の片側が磁気ディスク１の記録表面と衝突した際、アクチュエータ素子６ａに同方向に変位（収縮）を発生させて、スライダ６の表面と記録表面とを平行に接触させることも可能である（図４（Ｄ））。
【００３３】
以上により、コンタクト時や磁気ディスク装置の突発的な外乱やシークタイム時の衝突や実装時のサスペンションの歪みなどによってスライダが傾いても、スライダに設置したアクチュエータ素子および衝突センサ素子によって、スライダの表面を記録表面に対して平行することができる。そして、スライダの表面と記録表面とを平行に接触させて、浮上量の絶対値を検出でき、スライダの浮上量の制御の精度を保つことが可能となる。
【００３４】
次に、本発明の実施の形態について説明する。
第１の実施の形態について説明する。
第１の実施の形態では、スライダが傾いて実装された場合を例に挙げて説明する。
【００３５】
図５は、第１の実施の形態における磁気ディスク装置の模式図、図６は、第１の実施の形態におけるサスペンションの先端部の拡大模式図、図７は、スライダの拡大模式図である。なお、図の構成要素は見やすくするために、実際の寸法と必ずしも一致していない。
【００３６】
磁気ディスク装置２０は、図５に示すように、磁気ディスク１１、スピンドルモータ１２、キャリッジ１３、アーム１４、ＶＣモータ１５、サスペンション１６、スライダ１７および制御装置１８により構成されている。さらに、スライダ１７は、図７（Ｂ）に示すように、アクチュエータ素子Ａ１７ａ，アクチュエータ素子Ｂ１７ａａおよび衝突センサ素子Ａ１７ｂ，衝突センサ素子Ｂ１７ｂｂを有する。
【００３７】
磁気ディスク１１は記録表面に磁性体を塗布した円板状の記録媒体である。スピンドルモータ１２によって回転させられて、スライダ１７によって記録表面に情報が磁気的に記録または再生される。
【００３８】
スピンドルモータ１２は接続された磁気ディスク１１を所定の速度で回転制御することができる。
キャリッジ１３にはアーム１４が搭載されている。
【００３９】
アーム１４はアルミ合金またはステンレスにて形成されていて、ＶＣモータ１５とサスペンション１６とが一体的に接続されている。
ＶＣモータ１５はロータリアクチュエータ（不図示。）と接続されている。このロータリアクチュエータによって、スライダ１７から得られる位置情報を制御装置１８にフィードバックして、フィードバックを受けた制御装置１８によってＶＣモータ１５を介してスライダ１７のトラック位置決めを行うことができる。
【００４０】
サスペンション１６は、図６に示すように、スライダ１７を支持しているステンレス製の板ばねである。そして、サスペンション１６には、樹脂部材により覆われた金属配線にて構成されるプリント配線基板１６ａが接着されている。なお、サスペンション１６は、全長１５ｍｍ程度、幅５ｍｍ程度とする。
【００４１】
スライダ１７は、例えば、アルミナチタンカーバイド（Ａｌ2Ｏ3−ＴｉＣ）により構成され、磁気ディスク１１と対向するように位置しており、磁気ディスク１１の記録表面上を数ｎｍから数十ｎｍの高さで浮上して滑走する。スライダ１７は、図６に示すように、サスペンション１６の先端部に設置されて、プリント配線基板１６ａと接続されている。なお、スライダ１７は、縦２ｍｍ程度×横１ｍｍ程度×厚さ３００μｍ程度とする。
【００４２】
さらに、スライダ１７は、図７に示すように、サスペンション１６の先端部にアクチュエータ素子Ａ１７ａ，アクチュエータ素子Ｂ１７ａａを介して設置され、スライダ１７の側面には衝突センサ素子Ａ１７ｂ，衝突センサ素子Ｂ１７ｂｂが設置されている。
【００４３】
アクチュエータ素子Ａ１７ａ，アクチュエータ素子Ｂ１７ａａは、圧電・電歪材料にて構成されている。第１の実施の形態では、圧電・電歪材料として、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ：Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ3）を用いるが、その他にマグネシウム酸ニオブ酸チタン酸鉛（ＰＭＮ−ＰＴ：Ｐｂ（Ｍｇ，Ｎｂ）Ｏ3−ＰｂＴｉＯ3）、ニオブ酸カリウム（ＫＮｂＯ3）、チタン酸ジルコン酸ランタン鉛（ＰＬＺＴ：（Ｐｂ，Ｌａ）（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ3）などのように電界により機械的に変形する材料でも良い。また、アクチュエータ素子Ａ１７ａ，アクチュエータ素子Ｂ１７ａａはスライダ１７の両端の長手方向にそれぞれ形成されている。なお、アクチュエータ素子Ａ１７ａ，アクチュエータ素子Ｂ１７ａａは、それぞれ縦１ｍｍ程度×横２００μｍ程度×厚さ１００μｍ程度とし、アクチュエータ素子Ａ１７ａ，アクチュエータ素子Ｂ１７ａａの変位量を１０ｎｍとした。アクチュエータ素子Ａ１７ａ，アクチュエータ素子Ｂ１７ａａのサスペンション１６の先端部への形成方法は特に限定されず、圧電・電歪材料層の形成方法を考慮して、導電性ペーストの印刷、焼成やスパッタ、蒸着などの各種方法から適宜選択することができる。
【００４４】
衝突センサ素子Ａ１７ｂ，衝突センサ素子Ｂ１７ｂｂは、第１の実施の形態では、ピエゾ抵抗素子にて構成されているが、圧電素子でも同様の効果を得ることができる。これらの素子を利用することにより、衝突時に、ピエゾ抵抗素子では抵抗値の、圧電素子では起電力の変化量を検出することで衝突が認識される。なお、第１の実施の形態では、ピエゾ抵抗素子としてシリコン（Ｓｉ）膜を用いるが、ガリウム砒素（ＧａＡｓ）、窒化ガリウム（ＧａＮ）またはダイアモンドライクカーボン（ＤＬＣ）でも同様の効果が得られ、圧電素子としてＰＺＴ膜の他、上記に挙げた材料などが挙げられる。衝突センサ素子Ａ１７ｂ，衝突センサ素子Ｂ１７ｂｂは、それぞれ縦３００μｍ程度×横１ｍｍ程度×厚さ１００μｍ程度とする。衝突センサ素子として、ピエゾ抵抗素子の形成および配線方法は、スライダ１７の側面に、例えば、あらかじめ積層しておいたＳＯＩ（Silicon On Insulator）基板（厚さ：１００μｍ程度）をはりつけて形成し、最上部のＳｉ層（厚さ：１μｍ程度）をフォトリソグラフィーによりパターニングを行い、ＩＣＰ（Inductively Coupled Plasma）によるドライエッチングによって、抵抗測定を行うための配線のパターンに加工する。加工されたＳｉの配線のパターンの両端にアルミパターンを形成し、ピエゾ抵抗素子を配線させる。または、最上部のＳｉ層に代わって、最下部のＳｉ層（厚さ：１００μｍ程度）をフォトリソグラフィーにより、パターニングを行って、ウェットエッチングで溶解させ、Ｓｉ配線部の直下を中空とするダイヤフラム構造にしても同様に配線させることができる。
【００４５】
そして、制御装置１８は、スライダ１７から得られる浮上量および位置情報がフィードバックされて、ＶＣモータ１５を介してスライダ１７などの制御を行うことができる。
以上のような要素から構成される磁気ディスク装置２０の第１の実施の形態における動作概要について図７（Ｂ）およびフローチャートを用いて説明する。
【００４６】
図８は、第１の実施の形態におけるスライダの傾斜の修正工程を示すフローチャートである。
図８は、磁気ディスク装置における傾いて実装されたスライダの浮上量のゼロ点検出までの動作工程を示している。
【００４７】
［ステップＳ１１］制御装置１８によってサスペンション１６を動作させて、スライダ１７の表面と磁気ディスク１１の記録表面とをコンタクトさせる。スライダ１７の表面を記録表面にコンタクトさせたときに、衝突センサ素子Ａ１７ｂが衝突するかどうかを判断する。衝突センサ素子Ａ１７ｂが衝突する場合はステップＳ１２へ進められ、衝突しない場合はステップＳ１３へ進められる。
【００４８】
［ステップＳ１２］衝突センサ素子Ａ１７ｂが記録表面と衝突すると、さらに、制御装置１８は衝突センサ素子Ｂ１７ｂｂが記録表面と衝突するかどうかを判断する。衝突センサ素子Ｂ１７ｂｂが衝突する場合はステップＳ１４へ進められ、衝突しない場合はステップＳ１５へ進められる。
【００４９】
［ステップＳ１３］衝突センサ素子Ａ１７ｂが記録表面と衝突しない場合、制御装置１８によってアクチュエータ素子Ａ１７ａを伸長させる。そして再びステップＳ１１へ進められる。
【００５０】
［ステップＳ１４］記録表面に対して、衝突センサ素子Ａ１７ｂおよび衝突センサ素子Ｂ１７ｂｂが衝突すると、スライダ１７が磁気ディスク１１とが平行に接触するようになる。この点を浮上量の絶対値として、スライダ１７の浮上量のゼロ点を検出することができる。
【００５１】
［ステップＳ１５］記録表面に対して、衝突センサ素子Ａ１７ｂが衝突し、衝突センサ素子Ｂ１７ｂｂが衝突しない場合、制御装置１８によってアクチュエータ素子Ｂ１７ａａを伸長させる。再びステップＳ１２へ進められる。
【００５２】
以上のステップＳ１１からＳ１５の工程によって、傾いたスライダ１７と磁気ディスク１１の記録表面とを平行に接触させることが可能となり、スライダ１７の浮上量の絶対値を検出でき、スライダ１７の浮上量を精度よく制御することが可能となる。
【００５３】
次に、第２の実施の形態について説明する。
第２の実施の形態では、突発的な外乱やシークタイム時にスライダの片端が磁気ディスクに衝突して、スライダが記録表面に対して傾いた場合や振動した場合（フラッタリング）を例に挙げて説明する。なお、第２の実施の形態の磁気ディスク装置は、第１の実施の形態における図５，６，７記載の磁気ディスク装置２０と同様の構成であるとする。
【００５４】
以下に磁気ディスク装置２０において、フラッタリングが発生した場合の動作概要について図７（Ｂ）およびフローチャートを用いて説明する。
図９は、第２の実施の形態におけるスライダの傾斜の修正工程を示すフローチャートである。
【００５５】
図９は、フラッタリングの発生によって、傾いたスライダの表面を磁気ディスクの記録表面と平行にする動作工程を示している。
［ステップＳ２１］制御装置１８によってスライダ１７を介して、オントラック信号を確認する。確認できない場合はステップＳ２２へ進められ、確認できた場合はステップＳ２６へ進められる。
【００５６】
［ステップＳ２２］オントラック信号が確認できない場合、衝突センサ素子Ａ１７ｂが記録表面と衝突しているかどうかを判断する。衝突している場合は、ステップＳ２３へ進められ、衝突していない場合は、ステップＳ２４へ進められる。
【００５７】
［ステップＳ２３］衝突センサ素子Ａ１７ｂが記録表面と衝突している場合、アクチュエータ素子Ａ１７ａを収縮させるとともに、アクチュエータ素子Ｂ１７ａａを伸長させる。そして、ステップＳ２４へ進められる。
【００５８】
［ステップＳ２４］さらに、衝突センサ素子Ｂ１７ｂｂが記録表面と衝突しているかどうかを判断する。衝突している場合はステップＳ２５へ進められ、衝突していない場合はステップＳ２６へ進められる。
【００５９】
［ステップＳ２５］衝突センサ素子Ｂ１７ｂｂが記録表面と衝突している場合、アクチュエータ素子Ａ１７ａを伸長させるとともに、アクチュエータ素子Ｂ１７ａａを収縮させる。そして、ステップＳ２２へ進められる。
【００６０】
［ステップＳ２６］記録表面に対して、衝突センサ素子Ａ１７ｂおよび衝突センサ素子Ｂ１７ｂｂが衝突していない場合、制御装置１８によってスライダ１７を介して、オントラック信号を確認する。オントラック信号を確認できない場合はステップＳ２７へ進められて、確認できた場合は制御が終了する。
【００６１】
［ステップＳ２７］記録表面に対して、衝突センサ素子Ａ１７ｂおよび衝突センサ素子Ｂ１７ｂｂが衝突しておらず、また、オントラック信号を確認できない場合は異常として検出される。
【００６２】
以上のステップＳ２１からＳ２７の工程によって、フラッタリングの発生によって傾いたスライダを磁気ディスクの記録表面と平行にさせて接触させることが可能となり、スライダの浮上量の制御の精度を保つことが可能となる。
【００６３】
次に、第３の実施の形態について説明する。
第１，２の実施の形態ではスライダに衝突センサ素子およびアクチュエータ素子をそれぞれ２個ずつ取り付けた場合を例にして説明を行った。これに対して、第３の実施の形態では、スライダ１７の四隅にアクチュエータ素子および衝突センサ素子をそれぞれ設置した場合について説明する。
【００６４】
図１０は、第３の実施の形態におけるスライダの平面模式図である。
図１０では、スライダ１７の平面図を示しており、衝突センサ素子２２がスライダ１７の側面の長手方向の前後に、アクチュエータ素子２１がスライダ１７の上面の四隅に設置されている。
【００６５】
このように設置することによって、例えば、フラッタリングによって、スライダ１７の表面が磁気ディスクの記録表面に対して複雑に傾いた場合でも、側面の４つの衝突センサ素子２２によって、傾きが認識でき、アクチュエータ素子２１によって高精度な制御を行うことができ、第１，２の実施の形態と同様な効果を得ることができる。
【００６６】
なお、第３の実施の形態では、スライダ１７の四隅に衝突センサ素子およびアクチュエータ素子をそれぞれ４つ設置しているが、それらの数および設置場所は適宜変更することが可能である。
【００６７】
以上により、コンタクト時や磁気ディスク装置の突発的な外乱やシークタイム時の衝突や実装時のサスペンションの歪みなどによってスライダが傾いても、スライダに設置したアクチュエータ素子および衝突センサ素子によって、スライダの表面を記録表面に対して平行することができる。そして、スライダの表面と記録表面とを平行に接触させて、浮上量の絶対値を検出でき、スライダの浮上量の制御の精度を保つことが可能となる。
【００６８】
（付記１）  磁気ディスクと、ヘッド位置決め機構と、前記ヘッド位置決め機構の先端に取り付けられたサスペンションと、前記サスペンションの先端部に設置され、磁気ヘッドを搭載したスライダと、を有する磁気ディスク装置において、
前記スライダの側面に設置された衝突センサ素子と、
前記サスペンションと前記スライダとの間にアクチュエータ素子と、
を有することを特徴とする磁気ディスク装置。
【００６９】
（付記２）  前記衝突センサ素子は、前記磁気ヘッドを搭載していない、少なくとも１つの側面に設置されていることを特徴とする付記１記載の磁気ディスク装置。
（付記３）  前記衝突センサ素子は、前記スライダの側面に対向するように設置されていることを特徴とする付記１または２記載の磁気ディスク装置。
【００７０】
（付記４）  前記衝突センサ素子は、ピエゾ抵抗素子または圧電素子により構成されることを特徴とする付記１乃至３のいずれか１項に記載の磁気ディスク装置。
（付記５）  前記ピエゾ抵抗素子は、シリコン、ガリウム砒素、窒化ガリウムまたはダイヤモンドライクカーボンにより構成されることを特徴とする付記４記載の磁気ディスク装置。
【００７１】
（付記６）  前記衝突センサ素子は、前記スライダの側面に、長手方向にそれぞれ設置されたことを特徴とする付記１乃至５のいずれか１項に記載の磁気ディスク装置。
（付記７）  前記衝突センサ素子は、前記スライダの四隅の側面上にそれぞれ設置されたことを特徴とする付記１乃至５のいずれか１項に記載の磁気ディスク装置。
【００７２】
（付記８）  前記アクチュエータ素子は、前記圧電素子により構成されることを特徴とする付記１乃至７のいずれか１項に記載の磁気ディスク装置。
（付記９）  前記圧電素子は、チタン酸ジルコン酸鉛、マグネシウム酸ニオブ酸チタン酸鉛、ニオブ酸カリウムまたはチタン酸ジルコン酸ランタン鉛であることを特徴とする付記８記載の磁気ディスク装置。
【００７３】
（付記１０）  前記アクチュエータ素子は前記スライドと前記サスペンションとの間に、前記スライド上の両側の長手方向にそれぞれ配置されたことを特徴とする付記１乃至７のいずれか１項に記載の磁気ディスク装置。
【００７４】
（付記１１）  前記アクチュエータ素子は前記スライダと前記サスペンションとの間に、前記スライダ上の四隅にそれぞれ設置されたことを特徴とする付記１乃至７のいずれか１項に記載の磁気ディスク装置。
【００７５】
（付記１２）  サスペンションと、
前記サスペンションの先端部に、前記サスペンションと一直線状に、記録表面と対向して、アクチュエータ素子を介して設置されたスライダと、
前記スライダの側面に設置された衝突センサ素子と、
を有することを特徴とするサスペンション。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】本発明における磁気ディスク装置の概要図である。
【図２】磁気ディスク装置における浮上量の検出工程を示す図である。
【図３】傾いたスライダを有する磁気ディスク装置における浮上量の検出工程を示す図である。
【図４】本発明におけるスライダの動作を示す図である。
【図５】第１の実施の形態における磁気ディスク装置の模式図である。
【図６】第１の実施の形態におけるサスペンションの先端部の拡大模式図である。
【図７】スライダの拡大模式図である。
【図８】第１の実施の形態におけるスライダの傾斜の修正工程を示すフローチャートである。
【図９】第２の実施の形態におけるスライダの傾斜の修正工程を示すフローチャートである。
【図１０】第３の実施の形態におけるスライダの平面模式図である。
【符号の説明】
【００７７】
１  磁気ディスク
２  モータ
３  アーム
４  ヘッド位置決め機構
５  サスペンション
６  スライダ
６ａ  アクチュエータ素子
６ｂ  衝突センサ素子
１０  磁気ディスク装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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