(57)【要約】  【課題】ピンと孔との径差に依存しない高精度組み立て方法を提供すると共に、コストを低減することが可能な高精度組み立て装置を提供する。  【解決手段】相対的に位置合わせを行う一対の部品５１１，５１２に共通する位置合わせ用の基準孔５２１，５２２をそれぞれ形成し、各基準孔５２１，５２２に基準ピン２ａ，２ｂを挿入して各部品同士の相対位置を位置合わせして組み立てを行う組み立て方法において、各部品を載置する載置台６及び載置台６と対向配置された基準ピン２ａ，２ｂを有する上板１とを用い、載置台６上に載置された部品５１１，５１２の基準孔５２１，５２２を介して基準ピン２ａ，２ｂに向けて加圧流体を噴出させ、基準ピン２ａ，２ｂの軸芯に対して基準孔５２１，５２２の中心を位置合わせする工程を含むこととした。【選択図】図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
相対的に位置合わせを行う一対の部品に共通する位置合わせ用の基準孔をそれぞれ形成し、前記各基準孔に基準ピンを挿入して前記各部品同士の相対位置を位置合わせして組み立てを行う組み立て方法において、
前記各部品を載置する載置台及び該載置台と対向配置された前記基準ピンを有する上板とを用い、前記載置台上に載置された前記部品の前記基準孔を介して前記基準ピンに向けて加圧流体を噴出させ、前記基準ピンの軸芯に対して前記基準孔の中心を位置合わせする工程を含むことを特徴とする組み立て方法。
【請求項２】
請求項１記載の組み立て方法において、
前記載置台は載置された前記部品を水平方向に移動させる水平移動手段を有すると共に、前記上板は前記部品を吸着保持する吸着保持手段を有し、第１の部品の基準孔が前記基準ピンと概略対向すべく第１の部品を前記載置台上に載置する工程と、前記載置台と前記上板とを上下方向に相対移動させて前記基準ピンを第１の部品の基準孔に導入させる工程と、第１の部品の基準孔を介して前記基準ピンに向けて加圧流体を噴出させて前記基準ピンの軸芯に対して第１の部品の基準孔の中心を位置合わせする工程と、前記載置台と前記上板とを上下方向にさらに相対移動させて前記載置台と前記上板とにより第１の部品を挟持すると共に前記基準ピンを第１の部品の基準孔に嵌入させる工程と、前記上板により第１の部品を吸着保持する工程と、第２の部品の基準孔が前記基準ピンと概略対向すべく第２の部品を前記載置台上に載置する工程と、前記載置台と前記上板とを上下方向に相対移動させて前記基準ピンを第２の部品の基準孔に導入させる工程と、第２の部品の基準孔を介して前記基準ピンに向けて加圧流体を噴出させて前記基準ピンの軸芯に対して第２の部品の基準孔の中心を位置合わせする工程と、前記載置台と前記上板とを上下方向にさらに相対移動させて前記載置台と前記上板とにより第１の部品及び第２の部品を挟持すると共に前記基準ピンを第２の部品の基準孔に嵌入させる工程とを含むことを特徴とする組み立て方法。
【請求項３】
請求項２記載の組み立て方法において、
前記水平移動手段は前記載置台から噴射された流体の噴射圧によって前記部品を前記載置台上より浮上させることを特徴とする組み立て方法。
【請求項４】
請求項２または３記載の組み立て方法において、
前記基準ピンはその形状がほぼ円錐形状であり、前記基準ピンの先端部のみを前記基準孔に挿入することにより前記基準ピンが前記基準孔に導入されることを特徴とする組み立て方法。
【請求項５】
請求項１ないし４の何れか１つに記載の組み立て方法において、
前記載置台上に載置された前記部品の前記基準孔を介して前記基準ピンに向けて加圧流体を噴出させることにより、前記基準ピンの軸芯と前記基準孔の中心とのずれにより生じる隙間を前記加圧流体が通過する際に、前記加圧流体に発生する圧力分布差によって前記基準ピンに対して前記基準孔を求心させることで、前記基準ピンの軸芯に対する前記基準孔の中心の位置合わせが行われることを特徴とする組み立て方法。
【請求項６】
請求項１ないし５の何れか１つに記載の組み立て方法により製造される液滴吐出ヘッドの製造方法であって、
前記部品が、液滴を吐出する複数のノズルを有するノズル基板、前記各ノズルが連通する複数の液室を有する流路板、前記液室に駆動エネルギを伝達する振動板の何れかを含むことを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項７】
基準孔が形成された部品を載置する載置台と、前記載置台と対向配置され前記基準孔に嵌合する基準ピンを有する上板とを有し、前記基準孔に前記基準ピンを挿入して前記部品同士の相対位置を位置合わせして組み立てを行う組み立て装置において、
前記載置台は前記基準ピンと対向する位置に流体吹き出し口を有し、前記載置台上に載置された前記部品の前記基準孔を介して前記流体吹き出し口より加圧流体を噴出させて前記基準ピンの軸芯に対して前記基準孔の中心を位置合わせする調芯手段を有することを特徴とする組み立て装置。
【請求項８】
請求項７記載の組み立て装置において、
前記載置台上に載置された前記部品を水平方向に移動させる水平移動手段と、前記上板に前記部品を吸着保持させる吸着保持手段と、前記載置台と前記上板とを上下方向に相対移動させる上下動手段とを有することを特徴とする組み立て装置。
【請求項９】
請求項８記載の組み立て装置において、
前記水平移動手段は前記載置台上に形成された複数の空気吹き出し孔と前記各空気吹き出し孔に接続された空圧発生手段とを有し、前記水平移動手段は前記各空気吹き出し口より圧力空気を噴出させて前記載置台上に載置された前記部品を浮上させることを特徴とする組み立て装置。
【請求項１０】
請求項８または９記載の組み立て装置において、
前記基準ピンはその形状がほぼ円錐形状であり、前記上下動手段により前記載置台と前記上板とを上下方向に相対移動させ前記基準ピンの先端部のみを前記基準孔に挿入することによって前記基準ピンが前記基準孔に導入されることを特徴とする組み立て装置。
【請求項１１】
請求項７ないし１０の何れか１つに記載の組み立て方法において、
前記調芯手段は前記載置台上に載置された前記部品の前記基準孔を介して前記流体吹き出し口から前記基準ピンに向けて加圧流体を噴出させることにより、前記基準ピンの軸芯と前記基準孔の中心とのずれにより生じる隙間を前記加圧流体が通過する際に、前記加圧流体に発生する圧力分布差によって前記基準ピンに対して前記基準孔を求心させることで、前記基準ピンの軸芯に対する前記基準孔の中心の位置合わせを行うことを特徴とする組み立て方法。
【請求項１２】
請求項７ないし１１の何れか１つに記載の組み立て装置において、
前記部品として、液滴を吐出する複数のノズルを有するノズル基板、前記各ノズルが連通する複数の液室を有する流路板、前記液室に駆動エネルギを伝達する振動板の何れかが用いられることを特徴とする組み立て装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微細部品の組み立て方法及び組み立て装置に関し、詳しくは基準ピンに対して２つの微細部品にそれぞれ穿設された基準孔を挿入することにより各部品を高精度に位置合わせするピンアライメント技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、１本の基準ピンに対して２つの部品に設けられた基準孔をそれぞれ挿入することにより各部品を位置合わせする際に、例えばピンと孔との径差が５０μｍであれば第１の部品とピンとの中心位置ずれ量及び第２の部品とピンとの中心位置ずれ量は最大で±２５μｍずつとなり、第１の部品と第２の部品との中心位置ずれ量は最大で±５０μｍとなる。
【０００３】
このような位置ずれ量を低減して駆動モジュールと流路プレートとの位置合わせを正確に行うため、予め支持板と呼ばれるマスタを用いて駆動モジュールの位置合わせを行った後、支持板を取り外して実際の接合部品である流路プレートに差し替えて駆動モジュールを接合する技術が、例えば「特許文献１」に開示されている。また、テーブルに傾斜して穿設した複数の通気孔より圧力気体を供給して部品を浮上させ、位置決め部材に当接させて位置決めを行う技術が、例えば「特許文献２」に開示されている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−３１５３４５号公報
【特許文献２】特開平２−３０８１２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
「特許文献１」に開示された技術によれば、支持板に対して駆動モジュールの位置を合わせることにより駆動モジュール側の第１の部品であるピンと孔との径差により生じる位置ずれは解消されるが、第２の部品である流路プレートを支持板と差し替えてピンと孔とで位置決めすることに変わりはなく、上述したように第２の部品における位置ずれは残ることとなり、駆動モジュールと流路プレートとの位置ずれは解消されない。この技術のようにピンと孔とによる位置合わせ方法では組み立て作業上ピンと孔とに径差（クリアランス）を設けることが必須であり、この径差が位置ずれの最大要因となっている。「特許文献２」に開示された技術では、部品の位置決め部材と当接する複数の外形寸法に高い加工精度が要求されるため、部品製造コストが高騰してしまうという問題点がある。
【０００６】
本発明は上述の問題点を解決し、ピンと孔との径差に依存しない高精度組み立て方法を提供すると共に、コストを低減することが可能な高精度組み立て装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１記載の発明は、相対的に位置合わせを行う一対の部品に共通する位置合わせ用の基準孔をそれぞれ形成し、前記各基準孔に基準ピンを挿入して前記各部品同士の相対位置を位置合わせして組み立てを行う組み立て方法において、前記各部品を載置する載置台及び該載置台と対向配置された前記基準ピンを有する上板とを用い、前記載置台上に載置された前記部品の前記基準孔を介して前記基準ピンに向けて加圧流体を噴出させ、前記基準ピンの軸芯に対して前記基準孔の中心を位置合わせする工程を含むことを特徴とする。
【０００８】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の組み立て方法において、さらに前記載置台は載置された前記部品を水平方向に移動させる水平移動手段を有すると共に、前記上板は前記部品を吸着保持する吸着保持手段を有し、第１の部品の基準孔が前記基準ピンと概略対向すべく第１の部品を前記載置台上に載置する工程と、前記載置台と前記上板とを上下方向に相対移動させて前記基準ピンを第１の部品の基準孔に導入させる工程と、第１の部品の基準孔を介して前記基準ピンに向けて加圧流体を噴出させて前記基準ピンの軸芯に対して第１の部品の基準孔の中心を位置合わせする工程と、前記載置台と前記上板とを上下方向にさらに相対移動させて前記載置台と前記上板とにより第１の部品を挟持すると共に前記基準ピンを第１の部品の基準孔に嵌入させる工程と、前記上板により第１の部品を吸着保持する工程と、第２の部品の基準孔が前記基準ピンと概略対向すべく第２の部品を前記載置台上に載置する工程と、前記載置台と前記上板とを上下方向に相対移動させて前記基準ピンを第２の部品の基準孔に導入させる工程と、第２の部品の基準孔を介して前記基準ピンに向けて加圧流体を噴出させて前記基準ピンの軸芯に対して第２の部品の基準孔の中心を位置合わせする工程と、前記載置台と前記上板とを上下方向にさらに相対移動させて前記載置台と前記上板とにより第１の部品及び第２の部品を挟持すると共に前記基準ピンを第２の部品の基準孔に嵌入させる工程とを含むことを特徴とする。
【０００９】
請求項３記載の発明は、請求項２記載の組み立て方法において、さらに前記水平移動手段は前記載置台から噴射された流体の噴射圧によって前記部品を前記載置台上より浮上させることを特徴とする。
【００１０】
請求項４記載の発明は、請求項２または３記載の組み立て方法において、さらに前記基準ピンはその形状がほぼ円錐形状であり、前記基準ピンの先端部のみを前記基準孔に挿入することにより前記基準ピンが前記基準孔に導入されることを特徴とする。
【００１１】
請求項５記載の発明は、請求項１ないし４の何れか１つに記載の組み立て方法において、さらに前記載置台上に載置された前記部品の前記基準孔を介して前記基準ピンに向けて加圧流体を噴出させることにより、前記基準ピンの軸芯と前記基準孔の中心とのずれにより生じる隙間を前記加圧流体が通過する際に、前記加圧流体に発生する圧力分布差によって前記基準ピンに対して前記基準孔を求心させることで、前記基準ピンの軸芯に対する前記基準孔の中心の位置合わせが行われることを特徴とする。
【００１２】
請求項６記載の発明は、請求項１ないし５の何れか１つに記載の組み立て方法により製造される液滴吐出ヘッドの製造方法であって、前記部品が、液滴を吐出する複数のノズルを有するノズル基板、前記各ノズルが連通する複数の液室を有する流路板、前記液室に駆動エネルギを伝達する振動板の何れかを含むことを特徴とする。
【００１３】
請求項７記載の発明は、基準孔が形成された部品を載置する載置台と、前記載置台と対向配置され前記基準孔に嵌合する基準ピンを有する上板とを有し、前記基準孔に前記基準ピンを挿入して前記部品同士の相対位置を位置合わせして組み立てを行う組み立て装置において、前記載置台は前記基準ピンと対向する位置に流体吹き出し口を有し、前記載置台上に載置された前記部品の前記基準孔を介して前記流体吹き出し口より加圧流体を噴出させて前記基準ピンの軸芯に対して前記基準孔の中心を位置合わせする調芯手段を有することを特徴とする。
【００１４】
請求項８記載の発明は、請求項７記載の組み立て装置において、さらに前記載置台上に載置された前記部品を水平方向に移動させる水平移動手段と、前記上板に前記部品を吸着保持させる吸着保持手段と、前記載置台と前記上板とを上下方向に相対移動させる上下動手段とを有することを特徴とする。
【００１５】
請求項９記載の発明は、請求項８記載の組み立て装置において、さらに前記水平移動手段は前記載置台上に形成された複数の空気吹き出し孔と前記各空気吹き出し孔に接続された空圧発生手段とを有し、前記水平移動手段は前記各空気吹き出し口より圧力空気を噴出させて前記載置台上に載置された前記部品を浮上させることを特徴とする。
【００１６】
請求項１０記載の発明は、請求項８または９記載の組み立て装置において、さらに前記基準ピンはその形状がほぼ円錐形状であり、前記上下動手段により前記載置台と前記上板とを上下方向に相対移動させ前記基準ピンの先端部のみを前記基準孔に挿入することによって前記基準ピンが前記基準孔に導入されることを特徴とする。
【００１７】
請求項１１記載の発明は、請求項７ないし１０の何れか１つに記載の組み立て方法において、さらに前記調芯手段は前記載置台上に載置された前記部品の前記基準孔を介して前記流体吹き出し口から前記基準ピンに向けて加圧流体を噴出させることにより、前記基準ピンの軸芯と前記基準孔の中心とのずれにより生じる隙間を前記加圧流体が通過する際に、前記加圧流体に発生する圧力分布差によって前記基準ピンに対して前記基準孔を求心させることで、前記基準ピンの軸芯に対する前記基準孔の中心の位置合わせを行うことを特徴とする。
【００１８】
請求項１２記載の発明は、請求項７ないし１１の何れか１つに記載の組み立て装置において、さらに前記部品として、液滴を吐出する複数のノズルを有するノズル基板、前記各ノズルが連通する複数の液室を有する流路板、前記液室に駆動エネルギを伝達する振動板の何れかが用いられることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、基準ピンと各部品に形成された基準孔との径差に依存しない高精度な位置合わせを行うことにより簡易なピンアライメント方式を用いた高精度な組み立て方法及び組み立て装置を提供することができ、製品の歩留まりを向上することができると共に製造コストを低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
図１は、本発明の一実施形態における組み立て方法及び組み立て装置を用いて製造可能な液滴吐出ヘッドとしてのインクジェット記録ヘッドを示している。インク流路から吐出口にかけての形状が直線的であるエッジシュータ方式のインクジェット記録ヘッド１００は、吐出エネルギ発生体１０７（これに吐出信号を印加する電極及び必要に応じて設けられる保護層等は図示を省略）を有する基板１０１に、流路１０４の側壁及びオリフィス１０５を構成する壁材１０２、及び流路１０４の覆いを構成する天板１０３を積層した構成を有している。このインクジェット記録ヘッド１００においては、インクが蓄えられている図示しない液室から流路１０４にインクが充填された状態で、図示しない電極を介して記録信号を吐出エネルギ発生体１０７に印加すると、吐出エネルギ発生体１０７から発生した吐出エネルギが流路１０４内のインクに対して吐出エネルギ発生体１０７の上方（吐出エネルギ作用部）で作用し、その結果インクがオリフィス１０５から液滴として吐出される。吐出されたインク滴はオリフィス１０５の前方に送り込まれた記録紙等の被記録材に付着する。
【００２１】
図２は、本発明の一実施形態における組み立て方法及び組み立て装置を用いて製造可能な液滴吐出ヘッドとしてのインクジェット記録ヘッドを示している。インク流路の向きと吐出口の向きとが異なるサイドシュータ方式のインクジェット記録ヘッド１１０は、天板１０３にオリフィス１０５を設け、図中に一点鎖線で示すように流路１０４内の吐出エネルギ作用部へのインクの流れ方向とオリフィス１０５の開口中心軸とが直角をなした構成を有している。このような構成とすることにより、吐出エネルギ発生体１０７からのエネルギをより効率よくインク滴の形状とその飛行の運動エネルギとに変換することができ、またインクの供給によるメニスカスの復帰も速いという構造上の利点を有している。これは、吐出エネルギ発生体１０７として発熱素子を用いた場合には特に効果的である。また、エッジシュータ方式において問題となる、気泡が消滅する際の衝撃により吐出エネルギ発生体１０７が徐々に破壊されるいわゆるキャビテーション現象を回避することができるという利点がある。つまり、サイドシュータ方式では成長した気泡がオリフィス１０５に到達すれば気泡が大気に通じることとなり、温度低下による気泡の収縮が発生せず、インクジェット記録ヘッドの寿命が長くなるという長所を有している。
【００２２】
上述したエッジシュータ方式のインクジェット記録ヘッドを採用することにより、各部分の精度よい微細化やオリフィスのマルチ化、あるいは記録ヘッドの小型化が極めて容易となり、量産性に富んだインクジェット記録ヘッドの製造が可能となる。また、サイドシュータ方式のインクジェット記録ヘッドを採用することにより、エネルギをより効率よくインク滴の形成とその飛行の運動エネルギへと変換することができ、またインクの供給によるメニスカスの復帰も速いという構造上の利点を得ることができる。この作用効果は、吐出エネルギ発生体として発熱素子を用いた場合には特に効果的となる。
【００２３】
図３ないし図５は、本発明の一実施形態における組み立て方法及び組み立て装置を用いて製造可能なＰＺＴ方式印字ヘッドの概略構成を示している。図３に示すように液滴吐出ヘッドとしてのＰＴＺ方式印字ヘッド５０１は、駆動ユニット５０３、駆動ユニット５０３に接合した液室ユニット５０２を有している。  
駆動ユニット５０３は、基板５１５上に複数の圧電素子駆動部５１４ａ及び支柱部５１４ｂを交互に配設して構成され、これら圧電素子駆動部５１４ａ及び支柱部５１４ｂは所定の間隔をおいて基板５１５に接合している。
【００２４】
液室ユニット５０２は、インク滴を吐出する複数のノズル５４０を有する図４に示すノズル板５１１と、ノズル５４０に対応した液室５３０が形成された図５に示す流路板５１２と、液室５３０に対応し、かつ駆動ユニット５０３の圧電素子駆動部５１４ａの振動を液室５３０に伝える振動板５１３から構成されている。液室ユニット５０２を構成するノズル板５１１、流路板５１２、振動板５１３は、流路板５１２の表裏両面に塗布された接着剤５１６によって高精度で接着接合されており、液室ユニット５０２には図示しないインク供給機構によって液室５３０に対してインクが供給される。
【００２５】
駆動ユニット５０３の各圧電素子駆動部５１４ａ及び各支柱部５１４ｂの上面には接着剤５１６が塗布され、駆動ユニット５０３と液室ユニット５０２とは接着剤５１６によって高精度で接着接合される。この構成により、圧電素子を選択的に駆動することにより、液室ユニット５０２のノズル５４０からインク滴が吐出される。ノズル板５１１及び流路板５１２には、相対的に位置合わせを行うための位置合わせ用の貫通基準孔５２１，５２２が、それぞれ２個ずつ形成されている。
【００２６】
ここで、上述したノズル板５１１と流路板５１２とを位置合わせする際に用いられる本発明の組み立て装置について説明する。図６は、本発明の組み立て装置を示しており、組み立て装置４０は、位置合わせを行う部品としてのノズル板５１１及び流路板５１２を載置する載置台６、載置台６に対向配置された上板１を有している。上板１は、リニアガイドあるいは１軸ロボット等の図示しない直線駆動機器に接続されており、載置台６に対して高精度で上下動可能に構成されている。この図示しない直線駆動機器により上下動手段が構成されている。
【００２７】
上板１には、ノズル板５１１及び流路板５１２が接触する面の全面にわたって複数の吸着孔３が穿設されており、各吸着孔３は図示しない真空切換弁を介して図示しない真空発生器に接続されている。また上板１の、ノズル板５１１及び流路板５１２にそれぞれ形成された基準孔５２１，５２２と対応する位置には、各基準孔５２１，５２２に嵌合可能な基準ピン２ａ，２ｂが植設されている。各基準ピン２ａ，２ｂは、各基準孔５２１，５２２に対して所定のクリアランスで嵌合する植設部近傍に設けられた平行嵌合部と、この平行嵌合部から先端方向に向けてほぼ円錐形状に形成された導入部とを有している。
【００２８】
載置台６の、ノズル板５１１及び流路板５１２が載置される面の各基準ピン２ａ，２ｂと対応する位置には、流体吹き出し口８ａ，８ｂが形成されている。各流体吹き出し口８ａ，８ｂは載置台６の内部において互いに連通されており、各流体吹き出し口８ａ，８ｂには図７に示すように切換弁２０ａ及び圧力制御弁２１ａを介して空圧発生手段としての圧力空気供給源２２が接続されている。また載置台６には、ノズル板５１１及び流路板５１２が載置される面の全面にわたって複数の空気吹き出し孔７が穿設されており、各空気吹き出し孔７には図７に示すように切換弁２０ｂ及び圧力制御弁２１ｂを介して圧力空気供給源２２が接続されている。
【００２９】
次に、上述した組み立て装置４０を用いた本発明の組み立て方法について説明する。先ず、図６に示すように、各基準孔５２１が各流体吹き出し口８ａ，８ｂにほぼ一致する態様で図示しない案内治具等を用いてノズル板５１１を載置台６上に載置する。次に図示しない直線駆動機器を作動させて上板１を下降させ、図７に示すように各基準ピン２ａ，２ｂの導入部のみを各基準孔５２１に挿入する。次に、図示しない制御回路により切換弁２０ｂを作動させ、圧力空気供給源２２から供給され圧力制御弁２１ｂによって所定の圧力に調整された圧力空気を矢印３１で示す方向に流動させる。これにより圧力空気供給源２２から供給された空気は、所定の圧力で各空気吹き出し孔７から噴出する。ノズル板５１１は、下方からの圧力空気の噴出により載置台６の上面より浮上し、矢印３０で示すように載置台６の水平面内において移動自在な状態となる。上述した各空気吹き出し孔７、切換弁２０ｂ、圧力制御弁２１ｂ、圧力空気供給源２２によって水平移動手段４が構成される。このとき、各基準ピン２ａ，２ｂの導入部のみが各基準孔５２１に挿入されている状態であるため、ノズル板５１１は載置台６上より逸脱することなく各基準ピン２ａ，２ｂの導入部径と各基準孔５２１直径との径差分の自由度にその移動が制限されている。
【００３０】
次に、図示しない制御回路により切換弁２０ａを作動させ、圧力空気供給源２２から供給され圧力制御弁２１ａによって所定の圧力に調整された圧力空気を図８に矢印３２で示す方向に流動させる。これにより圧力空気供給源２２から供給された空気が所定の圧力で各流体吹き出し口８ａ，８ｂから噴出し、この噴出した空気によって各基準ピン２ａ，２ｂの軸芯に対して各基準孔５２１の中心を位置合わせする調芯工程が行われる。この調芯工程を、図９を用いて説明する。
【００３１】
図９において、基準ピン２ａの軸芯と基準孔４１２の中心との間にずれ量３３存在すると、基準ピン２ａと基準孔５１２との隙間を通過する圧力空気の流れは、隙間が大きい部分を通過する流れ３２ａの方が隙間が小さい部分を通過する流れ３２ｂよりもその流量が大きくなる。また隙間が大きい部分を通過する流れ３２ａ側は、隙間が小さい部分を通過する流れ３２ｂ側に比して流体抵抗が小さくなり流速が速くなる。このため、流れ３２ｂ側に対して流れ３２ａ側の圧力が低下し、この圧力差によって水平方向に移動自在なノズル板５１１はずれ量３３を少なくする方向に移動し、基準ピン２ａと基準孔５１２とが調芯される。この調芯は１回の動作で完結するものではなく、上述の動作を複数回繰り返すことによりずれ量３３が徐々に減少して調芯が行われることとなる。上述した水平移動手段４、各流体吹き出し口８ａ，８ｂ、切換弁２０ａ、圧力制御弁２１ａによって調芯手段５が構成される。
【００３２】
次に、図１０に示すように、上述した調芯工程を行いながら図示しない直線駆動機器を作動させて上板１を下降させ、各基準ピン２ａ，２ｂの平行嵌合部を各基準孔５２１に嵌合させた後に上板１をノズル板５１１に当接させる。この状態で図示しない真空発生器を作動させると、ノズル板５１１が各吸着孔３より発生する吸着力によって上板１に吸着し、これによりノズル板５１１の各基準ピン２ａ，２ｂへの位置合わせが完了する。各吸着孔３、図示しない真空切換弁、図示しない真空発生器によって吸着保持手段が構成されている。
【００３３】
次に、吸着保持手段を作動させた状態で図示しない直線駆動機器を作動させて上板１を上昇させ、図１１に示すように各基準孔５２２が各流体吹き出し口８ａ，８ｂにほぼ一致する態様で図示しない案内治具等を用いて流路板５１２を載置台６上に載置する。流路板５１２の上面（ノズル板５１１との接合面）には、図示しない接着剤塗布装置によって接着剤５１６が塗布されている。
【００３４】
次に、図示しない直線駆動機器を作動させて上板１を下降させ、図１２に示すように各基準ピン２ａ，２ｂの導入部のみを各基準孔５２２に挿入した後、上述と同様に水平移動手段４を作動させる。これにより流路板５１２は載置台６の水平面内において移動自在な状態となる。このとき、各基準ピン２ａ，２ｂの導入部のみが各基準孔５２２に挿入されている状態であるため、流路板５１２は載置台６上より逸脱することなく各基準ピン２ａ，２ｂの導入部径と各基準孔５２２直径との径差分の自由度にその移動が制限されている。
【００３５】
次に調芯手段５を作動させ、上述と同様の調芯工程を行いながら図示しない直線駆動機器を作動させて上板１を下降させ、図１３に示すように各基準ピン２ａ，２ｂの平行嵌合部を各基準孔５２２に嵌合させた後に流路板５１２をノズル板５１１に当接させる。これにより流路板５１２の各基準ピン２ａ，２ｂへの位置合わせが完了し、ノズル板５１１と流路板５１２とは位置合わせされた状態で接合される。
【００３６】
上述の構成によれば、基準ピンと各部品に形成された基準孔との径差に依存しない高精度な位置合わせを行うことにより簡易なピンアライメント方式を用いた高精度な組み立て方法及び組み立て装置を提供することができ、製品の歩留まりを向上することができると共に製造コストを低減することができる。また、この組み立て方法及び組み立て装置を高精度なインクジェットヘッドの製造に用いることにより、インク噴射曲がり不良の低減及びインク噴射量の安定化等の品質向上を図ることが可能となると共に、インクジェットヘッドの製造コストを低減することができる。
【００３７】
上述の実施形態では、組み立てる部品としてインクジェットヘッドを構成するノズル板５１１と流路板５１２とを用いた例を示したが、本発明が適用可能な部品はこれに限られず、例えば上述した流路板５１２と振動板５１３との組み合わせや、他の高精度な位置合わせを必要とする部品に適用可能である。流路板５１２と振動板５１３とに本発明と適用する場合には、振動板５１３に各基準孔５２１，５２２と同様の位置合わせ用の基準孔を設ければよい。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の一実施形態における組み立て方法及び組み立て装置を用いて製造可能なインクジェット記録ヘッドの要部概略図である。
【図２】本発明の一実施形態における組み立て方法及び組み立て装置を用いて製造可能なインクジェット記録ヘッドの要部概略図である。
【図３】本発明の一実施形態における組み立て方法及び組み立て装置を用いて製造可能なＰＺＴ方式印字ヘッドの概略構成図である。
【図４】本発明の一実施形態における組み立て方法及び組み立て装置に適用可能なノズル板の概略平面図である。
【図５】本発明の一実施形態における組み立て方法及び組み立て装置に適用可能な流路板の概略平面図である。
【図６】本発明の一実施形態を採用した組み立て装置の概略構成図である。
【図７】本発明の一実施形態における組み立て装置及び組み立て方法を説明する概略構成図である。
【図８】本発明の一実施形態における組み立て装置及び組み立て方法を説明する概略構成図である。
【図９】本発明の一実施形態における調芯工程を説明する概略図である。
【図１０】本発明の一実施形態における組み立て方法を説明する概略構成図である。
【図１１】本発明の一実施形態における組み立て方法を説明する概略構成図である。
【図１２】本発明の一実施形態における組み立て方法を説明する概略構成図である。
【図１３】本発明の一実施形態における組み立て方法を説明する概略構成図である。
【符号の説明】
【００３９】
１  上板
２ａ，２ｂ  基準ピン
４  水平移動手段
５  調芯手段
６  載置台
７  空気吹き出し孔
８ａ，８ｂ  流体吹き出し口
２２  空圧発生手段（圧力空気供給源）
４０  組み立て装置
５１１  部品（ノズル板）
５１２  部品（流路板）
５１３  部品（振動板）
５２１，５２２  基準孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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