(57)【要約】 【課題】  圧電トランスの高出力化のために、比誘電率εｒ、電気機械結合係数ｋ、振動限界速度Ｖｍａｘのより大きな圧電磁器組成物を提供すること。【解決手段】  主成分の組成式が、ａＰｂ（Ｍｎ1/3Ｓｂ2/3）Ｏ3−ｂＰｂ（Ｍｎ1/3Ｎｂ2/3）Ｏ3−ｃＰｂ（Ｓｂ1/2Ｎｂ1/2）Ｏ3−ｙＰｂＺｒＯ3−ｚＰｂＴｉＯ3（但し、ａ＋ｂ＋ｃ＋ｙ＋ｚ＝１）で表記され、前記組成式中のａ，ｂ，ｃ，ｙ，ｚが、０．４６≦ｙ／（ｙ＋ｚ）≦０．５４、０．０３＜ａ＋ｂ＋ｃ≦０．１０の範囲とする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
主成分の組成式が、ａＰｂ（Ｍｎ1/3Ｓｂ2/3）Ｏ3−ｂＰｂ（Ｍｎ1/3Ｎｂ2/3）Ｏ3−ｃＰｂ（Ｓｂ1/2Ｎｂ1/2）Ｏ3−ｙＰｂＺｒＯ3−ｚＰｂＴｉＯ3（但し、ａ＋ｂ＋ｃ＋ｙ＋ｚ＝１）で表記され、前記組成式中のａ、ｂ、ｃ、ｙ、ｚが、０．０３＜ａ＋ｂ＋ｃ≦０．１０、０．４６≦ｙ／（ｙ＋ｚ）≦０．５４の範囲であることを特徴とする圧電磁器組成物。
【請求項２】
前記組成式中のＰｂの一部をＣａに置換したことを特徴とする請求項１記載の圧電磁器組成物。
【請求項３】
前記組成式中の化学量論的なＰｂ含有量から１．０ｍｏｌ％以下の範囲で減量したことを特徴とする請求項１または２記載の圧電磁器組成物。
【請求項４】
振動速度限界Ｖｍａｘが０．３ｍ／ｓ以上で、比誘電率εｒが６００以上で、かつ縦振動モードにおける電気機械結合係数ｋ33が０．６以上であることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の圧電磁器組成物。
【請求項５】
破壊振動速度が１．０ｍ／ｓ以上であることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の圧電磁器組成物。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種圧電デバイスに用いられる圧電磁器組成物に係り、特に圧電トランスに適した圧電磁器組成物に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、圧電材料を応用した圧電トランスは、電磁トランスと比較して、高い効率および昇圧比が得られること、低背化に適していることから、液晶ディスプレイのバックライト用インバーターに広く用いられている。
【０００３】
液晶ディスプレイの大型化およびインバーターの小型化に伴い、圧電トランスに用いられる圧電材料に対しては、その機械的出力のさらなる増大が要求されている。また、圧電材料の電気エネルギーの機械的な振動エネルギーへの変換に際して、エネルギー損失を抑制することが求められる。動作振動振幅もしくは振動速度が高くなるのに伴い、内部エネルギー損失による発熱が生じるため、やがて励起できる振動振幅は限界値すなわち振動速度限界値に達し、さらには材料の絶縁破壊を引き起こすことになるからである。
【０００４】
今、振動速度を、振動子の最大先端振動振幅ξｍと振動子の共振周波数ｆｒの測定から算出できる振動速度Ｖとすると、Ｖは式（１）で表される。非特許文献１に記されているとおりである。
【０００５】
Ｖ＝２×π×ｆｒ×ξｍ  ・・・・・・・・・（１）
【０００６】
そして、実効的振動速度Ｖｅは、式（２）で表される。
Ｖｅ＝２1/2×π×ｆｒ×ξｍ  ・・・・・・・・（２）
【０００７】
次に、振動速度限界値について説明する。圧電インバーターには、パソコン等の装置の使用環境温度の上限である４０℃環境において駆動できなければならないという要求がある。環境温度の上昇と共に各部品単体の温度が上昇して熱暴走し、圧電インバーターが停止してしまうことを防ぐためである。圧電トランスについては、駆動中の単体の温度上昇が２０℃ならば、装置の使用環境条件を満足できることが確認されている。常温下で共振駆動されている圧電振動子の振動節点における上昇温度が２０℃に達するときの振動速度を振動速度限界Ｖｍａｘと定めると、従来からの圧電磁器組成物では振動速度限界Ｖｍａｘは０．３ｍ／ｓであった。
【０００８】
さらに、高振動速度で駆動可能な圧電磁器組成物の例としては、特許文献１に開示されている。ここでは、組成式ａＰｂＺｒＯ3−ｂＰｂＴｉＯ3−ｃＰｂ（Ｍｎ1/3Ｓｂ2/3）Ｏ3（但し、ａ＋ｂ＋ｃ＝１）で表される特定の組成範囲と焼結体の平均粒径範囲を規定することで、振動限界速度Ｖｍａｘ≧０．４５ｍ／ｓを実現していた。
【０００９】
また、圧電トランスの出力値Ｐｏｕｔは、材料特性値である比誘電率εｒ、電気機械結合係数ｋ、および振動速度Ｖと式（３）の関係にある。
【００１０】
Ｐｏｕｔ∝εｒ×ｋ2×Ｖ2  ・・・・・・・・・（３）
【００１１】
式（３）より高出力を得るためには、その材料特性において、使用可能な振動速度レベルが高いことも重要であるが、あわせてεｒやｋの値が大きいことが必要となる。
【００１２】
圧電トランスのように、高振動速度レベルで使用するデバイスにおいては、セラミクスの機械的強度が高いことが求められる。高特性（εｒ、ｋ、Ｖｍａｘ）を満足する材料が得られても、機械的強度が低ければ、高振動速度レベルで安定して使用することが不可能であり、製品としての信頼性も低下するからである。
【００１３】
【特許文献１】特開２００３−２６４７７号公報
【非特許文献１】広瀬精二、「圧電振動子のハイパワー特性の自動測定」、電子情報通信学会技術研究報告、社団法人電子情報通信学会、１９９２年４月２１日、ＵＳ９２−３、P．１７−２２
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
しかしながら、特許文献１に記載されている技術では、高出力の圧電トランスを得るために、振動速度が高い状態で動作させると、圧電トランス自身が発生する歪みによって破壊が生じるおそれがあり、安定した圧電トランス特性を確保できなくなるという問題があった。
【００１５】
従って、本発明の課題は、インバーターの高出力化の要求に対して、圧電トランスの高寿命化および安定した高出力特性を確保するために、比誘電率εｒ、電気機械結合係数ｋおよび振動限界速度Ｖｍａｘのより大きな圧電磁器組成物を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
即ち、本発明は、主成分の組成式が、ａＰｂ（Ｍｎ1/3Ｓｂ2/3）Ｏ3−ｂＰｂ（Ｍｎ1/3Ｎｂ2/3）Ｏ3−ｃＰｂ（Ｓｂ1/2Ｎｂ1/2）Ｏ3−ｙＰｂＺｒＯ3−ｚＰｂＴｉＯ3（但し、ａ＋ｂ＋ｃ＋ｙ＋ｚ＝１）で表記され、前記組成式中のａ，ｂ，ｃ，ｙ，ｚが、０．０３＜ａ＋ｂ＋ｃ≦０．１０、０．４６≦ｙ／（ｙ＋ｚ）≦０．５４の範囲の圧電磁器組成物である。
【００１７】
本発明は、前記組成式中のＰｂの一部をＣａに置換した上記圧電磁器組成物である。
【００１８】
本発明は、前記組成式中の化学量論的なＰｂ含有量から１．０ｍｏｌ％以下の範囲で減量した上記圧電磁器組成物である。
【００１９】
本発明は、振動速度限界Ｖｍａｘが０．３ｍ／ｓ以上で、かつ比誘電率εｒが６００以上で、かつ縦振動モードにおける電気機械結合係数ｋ33が０．６以上の圧電磁器組成物である。ここで、振動速度限界とは、常温下で共振駆動されている圧電振動子の振動節点における上昇温度が２０℃に達する時の振動速度である。
【００２０】
本発明は、破壊振動速度が１．０ｍ／ｓ以上の圧電磁器組成物である。ここで、破壊振動速度とは、常温下で共振駆動している圧電振動子の破壊に至る振動速度である。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、縦振動モードにおける電気機械結合係数ｋ33が０．６以上で、比誘電率εｒが６００以上で、振動限界速度Ｖｍａｘが０．３ｍ／ｓ以上の圧電磁器組成物を得ることができる。
【００２２】
また、Ｐｂの一部をＣａで置換し、Ｐｂ量を減らすことで、結晶粒の成長と焼結緻密化のバランスの調整ができるので、材料の抗電界を低下させることが可能となり、圧電素子製造時のエネルギー量を抑制することができる。ここで、抗電界とは強誘電体セラミクスを分極するための高電界である。また、Ｐｂ量を減らすことで、電気機械結合係数を増加させることができる。
【００２３】
従って、本発明によれば、高出力が可能な圧電トランス用の圧電磁器組成物を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、実施の形態により本発明の圧電磁器組成物について詳細に説明する。
【００２５】
本発明による圧電磁器組成物ａＰｂ（Ｍｎ1/3Ｓｂ2/3）Ｏ3−ｂＰｂ（Ｍｎ1/3Ｎｂ2/3）Ｏ3−ｃＰｂ（Ｓｂ1/2Ｎｂ1/2）Ｏ3−ｙＰｂＺｒＯ3−ｚＰｂＴｉＯ3（但し、ａ＋ｂ＋ｃ＋ｙ＋ｚ＝１）は、圧電トランス用磁器組成物である複合ペロブスカイト類を第３成分として固溶させた多成分ＰＺＴ系圧電セラミクスＰｂ（Ｍｎ1/3Ｓｂ2/3）Ｏ3−ＰｂＺｒＯ3−ＰｂＴｉＯ3に、第４、第５の主成分としてＰｂ（Ｍｎ1/3Ｎｂ2/3）Ｏ3、Ｐｂ（Ｓｂ1/2Ｎｂ1/2）Ｏ3を添加したもので、ａ，ｂ，ｃ，ｙ，ｚの組成範囲を選択することで、比誘電率εｒ、および電気機械結合係数ｋ33を増大できる。
【００２６】
本発明において、ａ＋ｂ＋ｃを０．０３より大きく０．１０以下としたのは、０．０３以下の場合または０．１０より大きい場合、ｋ33は０．６以上が得られないからである。
【００２７】
また、ｙ／（ｙ＋ｚ）を０．４６以上０．５４以下としたのは、ｙ／（ｙ＋ｚ）が０．５４より大きく、ａ＋ｂ＋ｃが０．０３未満では、ｋ33は０．６以上が得られないからである。
【００２８】
また、ａ＋ｂ＋ｃは、０．０３より大きく０．１０以下で、かつｙ／（ｙ＋ｚ）は０．４６以上０．５４以下であれば、振動速度限界Ｖｍａｘは０．３以上が得られる。ａ＋ｂ＋ｃが０．０３未満の場合は、０．０３以上の場合と比べて、振動速度限界Ｖｍａｘは小さくなる。
【００２９】
本発明の圧電磁器組成物のＰｂからＣａへの置換については、置換量を０〜７．５％まで増やしていくと抗電界は、１．３〜０．９ｋＶ／ｍｍまで下げることができる。また、ｙ／（ｙ＋ｚ）の組成比を大きくすると、さらに抗電界は下げることができる。
【００３０】
ところが、抗電界が０．６ｋＶ／ｍｍ以下で分極した圧電磁器組成物はｋ33が低くなってしまう。また、Ｃａ置換量を増やしていくと破壊振動速度が下がってくる傾向がある。
【００３１】
これらの条件から、本発明の効果が得られる望ましいＰｂからＣａへの置換量は、０から２．５％であり、その時の抗電界が０．９から１．２ｋＶ／ｍｍである。
【００３２】
本発明の圧電磁器組成物のＰｂ含有量を０から１．０ｍｏｌ％まで減量させていくと電気機械結合係数も増加していく。さらに、ｙ／（ｙ＋ｚ）の組成によっても電気機械結合係数は増加し、Ｐｂ減１．０％、ｙ／（ｙ＋ｚ）＝０．５０にて最大値が得られる。
【実施例】
【００３３】
次に、本発明の実施例について、詳細に説明する。圧電磁器組成物を得る出発材料として、酸化鉛（ＰｂＯ）、酸化チタン（ＴｉＯ2）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ2）、炭酸マンガン（ＭｎＣＯ3）、酸化アンチモン（Ｓｂ2Ｏ3）、酸化ニオブ（Ｎｂ2Ｏ5）および炭酸カルシウム（ＣａＣＯ3）の粉末を用いた。
【００３４】
各原料粉末を所定量秤量しボールミルで湿式混合後、混合粉末を脱水し、乾燥した後にアルミナこう鉢中で予焼を行い、各予焼粉をボールミルで湿式粉砕した。
【００３５】
次に、脱水し、乾燥して得た予焼粉砕粉にバインダを混合して加圧してφ２０×厚さ３ｍｍの形状に成形する。この成形体は、９００〜１２６０℃の温度で２〜６時間の焼成を行った。
【００３６】
そして、各焼結体を１ｍｍの厚さに切断加工した。次に、両面に銀ペーストを塗布し、４５０℃で焼き付けを行い、電極を形成することで、組成の異なる圧電磁気組成物の評価用の試料を作製した。
【００３７】
振動速度限界Ｖｍａｘの評価用としては、長さ１２ｍｍ×幅３ｍｍ×厚さ１ｍｍの矩形板に加工した。
【００３８】
縦振動モードにおける電気機械結合係数ｋ33の評価用としては、３ｍｍ×３ｍｍ×１０ｍｍの矩形板に加工した。
【００３９】
破壊振動速度の評価用としては、４０×４×１．５ｍｍの形状でローゼン型の圧電トランスに加工した。
【００４０】
それぞれの試料を分極処理し、２４時間、室温で放置し、特性評価を行った。
【００４１】
振動速度は、従来技術で説明したように、振動子の最大先端振動振幅ξｍと振動子の共振周波数ｆｒの測定から算出できる実効的振動速度Ｖｅ［式（２）］で表した。
【００４２】
Ｖｅ＝２1/2×π×ｆｒ×ξｍ  ・・・・・・・・・・（２）
【００４３】
振動速度限界は、圧電振動子の振動の節点における温度測定により、その振動子の内部エネルギー損失により励起される温度上昇（室温と振動子の温度との差）ΔＴが２０℃になる振動速度をＶｍａｘと表し、これを振動速度限界とした。
【００４４】
破壊振動速度の測定は、圧電トランスの振動速度をレーザードップラー振動速度計で測定した。試験は共振駆動状態で試料が破損するまで駆動電圧を上げる方法で行った。
【００４５】
表１は、本発明の圧電磁器組成物の各試料組成の評価結果を示し、圧電特性評価結果として、比誘電率εｒ、振動速度限界Ｖｍａｘ、縦振動モードにおける電気機械結合係数ｋ33を示している。試料番号前に＊がついた試料は、本発明の請求範囲外の試料であることを示した。
【００４６】
【表１】
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【００４７】
表１より、各試料の成分組成について説明すると、試料番号１〜３は、ａ＋ｂ＋ｃ＝０．１０２０、ｙ／（ｙ＋ｚ）＝０．４８０〜０．５００である。試料番号４〜７は、ａ＋ｂ＋ｃ＝０．０８７０、ｙ／（ｙ＋ｚ）＝０．４８０〜０．５１０である。試料番号８〜１４は、ａ＋ｂ＋ｃ＝０．０７２６、ｙ／（ｙ＋ｚ）＝０．４６０〜０．５４０である。試料番号１５〜２１は、ａ＋ｂ＋ｃ＝０．０５８０、ｙ／（ｙ＋ｚ）＝０．４８０〜０．５３０である。試料番号２２〜２４は、ａ＋ｂ＋ｃ＝０．０４３５、ｙ／（ｙ＋ｚ）＝０．５１０〜０．５３０である。試料番号２５〜２９は、ａ＋ｂ＋ｃ＝０．０２９０、ｙ／（ｙ＋ｚ）＝０．５２０〜０．５５０である。
【００４８】
表１の評価結果のｋ33についてまとめると、ａ＋ｂ＋ｃ＝０．０２９０の試料番号２５〜２９では、ｙ／（ｙ＋ｚ）＝０．５２０〜０．５５０となるが、この組成範囲ではｋ33は０．６未満となった。
【００４９】
ａ＋ｂ＋ｃ＝０．０４３５の試料番号２２〜２４では、ｙ／（ｙ＋ｚ）＝０．５１０〜０．５３０となるが、この組成範囲では、ｋ33は０．６以上が得られた。
【００５０】
ａ＋ｂ＋ｃ＝０．０５８０の試料番号１５〜２１のなかで、ｙ／（ｙ＋ｚ）＝０．４８０の試料番号１５は、ｋ33は０．６００となった。ｙ／（ｙ＋ｚ）＝０．５３０の試料番号２１では、ｋ33は０．６００となった。ｙ／（ｙ＋ｚ）＝０．４９０〜０．５２０の試料番号１６〜２０では、ｋ33は０．６００より大きくなり、特にｙ／（ｙ＋ｚ）＝０．５０５の試料番号１８では、ｋ33は０．７１９の最大値が得られた。
【００５１】
ａ＋ｂ＋ｃ＝０．０７２６である試料番号８〜１４のなかで、ｙ／（ｙ＋ｚ）＝０．４６０の試料番号８では、ｋ33は０．６０２となり、ｙ／（ｙ＋ｚ）＝０．５４０の試料番号１４では、ｋ33は０．６００となった。ｙ／（ｙ＋ｚ）＝０．４８０〜０．５２５の試料番号９〜１３では、ｋ33は０．６００より大きくなった。
【００５２】
ａ＋ｂ＋ｃ＝０．０８７０である試料番号４〜７では、ｙ／（ｙ＋ｚ）＝０．４８０〜０．５１０となるが、この組成範囲では、ｋ33は０．６００以上が得られた。
【００５３】
ａ＋ｂ＋ｃ＝０．１０２０である試料番号1〜３では、ｙ／（ｙ＋ｚ）＝０．４８０〜０．５００となる。この組成範囲では、ｋ33は０．６００未満となった。
【００５４】
図１は、本発明の圧電磁器組成物の各組成に対するｋ33の測定値のグラフで、上記の評価結果について横軸をｙ／（ｙ＋ｚ）、縦軸をｋ33として示したものである。ａ＋ｂ＋ｃ＝０．１０２０である試料１〜３と、ａ＋ｂ＋ｃ＝０．０２９０である試料２５〜２９以外はｋ33≧０．６００となった。
【００５５】
これらの結果から本発明の圧電磁器組成物の組成範囲０．０３＜ａ＋ｂ＋ｃ≦０．１０、０．４６≦ｙ／（ｙ＋ｚ）≦０．５４にて、ｋ33≧０．６００を満足した。
【００５６】
比誘電率εｒについては、表1よりどの試料でも６００以上となった。
【００５７】
振動速度限界Ｖｍａｘについては、表１よりａ＋ｂ＋ｃの値とほぼ比例して大きくなった。ａ＋ｂ＋ｃ＝０．０２９０、ｙ（ｙ＋ｚ）＝０．５５０の試料番号２９が最小値で、０．２８０ｍ／ｓとなった。ａ＋ｂ＋ｃ＝０．０８７０、ｙ（ｙ＋ｚ）＝０．５１０の試料番号７が最大値となり、Ｖｍａｘは０．７４０ｍ／ｓとなった。本発明の圧電磁器組成物の組成範囲０．０３＜ａ＋ｂ＋ｃ≦０．１０、０．４６≦ｙ／（ｙ＋ｚ）≦０．５４では、Ｖｍａｘは０．４７ｍ／ｓ以上となった。
【００５８】
したがって、本発明の圧電磁器組成物の組成範囲０．０３＜ａ＋ｂ＋ｃ≦０．１０、０．４６≦ｙ／（ｙ＋ｚ）≦０．５４では、εｒ≧６００、ｋ33≧０．６００、Ｖｍａｘ≧０．３０ｍ／ｓ以上となった。
【００５９】
図２は、本発明の圧電磁器組成物のＰｂからＣａ置換量に対する抗電界値のグラフである。ｙ／（ｙ＋ｚ）＝０．５の時のＰｂからＣａへの置換量を０〜７．５％まで変化させて、１６０℃における抗電界Ｅｃを測定した結果ならびに、ＰｂからＣａへの置換量５．０％の時のｙ／（ｙ＋ｚ）を０．４９〜０．５２へ変化させて、１６０℃における抗電界Ecを測定した結果を示した。
【００６０】
ｙ／（ｙ＋ｚ）＝０．５の時Ｃａ置換量が０％でＥｃ＝１．３２ｋＶ／ｍｍに対して、置換量が７．５％では、Ｅｃ＝０．８９ｋＶ／ｍｍとＣａ置換量を増やすと抗電界Ｅｃは低下した。Ｃａ置換量が５％の時、ｙ／（ｙ＋ｚ）＝０．４９ではＥｃ＝１．１３ｋＶ／ｍｍに対して、ｙ／（ｙ＋ｚ）＝０．５２ではＥｃ＝０．９ｋＶ／ｍｍとなった。
【００６１】
したがって、ＰｂからＣａへ置換することによって抗電界Ｅｃが低下するので、分極処理に必要な電圧を低くでき、圧電素子製造時のエネルギー量を抑制することが可能となった。
【００６２】
図３は、本発明の圧電磁器組成物のＰｂからＣａ置換量とｋ33、ならびに破壊振動速度の測定値のグラフで、ＰｂからＣａへの置換量が０〜４．５％に対して、０．４ｋＶ／ｍｍ〜１．２ｋＶ／ｍｍで分極した振動子のｋ33の測定値と、破壊振動速度の測定値である。
【００６３】
Ｃａ置換量０％の時は、分極電界が１．１７ｋＶ／ｍｍでもｋ33は０．５１であったが、Ｃａ置換量４．５％では、分極電界が０．９８ｋＶ／ｍｍでｋ33は０．５５となり、Ｃａ置換量を増やすと、分極電界を下げることができた。ただし、分極電界が０．６ｋＶ／ｍｍ以下で分極した試料はｋ33は０．４以下となった。
【００６４】
一方、破壊振動速度に着目すると、Ｃａ置換量０％の時は分極電界によらず、ほぼ３ｍ／ｓで一定だが、Ｃａ置換量４．５％ではｋ33が分極電界０．９８ｋＶ／ｍｍで２ｍ／ｓと下がる傾向が見られた。
【００６５】
図３より、ＰｂからＣａへの置換２．５％、分極電界０．８ｋＶ／ｍｍ以上で分極した圧電磁器組成物ならば破壊振動速度は一定となった。
【００６６】
図４は、本発明の圧電磁器組成物のＰｂ減量と焼結密度の測定値のグラフで、Ｐｂ量を減らしていない試料（Ｐｂ減０ｍｏｌ％）と０．５ｍｏｌ％と１ｍｏｌ％減らした試料（Ｐｂ減０．５ｍｏｌ％、Ｐｂ減１ｍｏｌ％）に対して焼結保持温度を変えて焼結密度を測定した結果である。焼結保持温度１１００℃にて、Ｐｂ減０ｍｏｌ％にて７．８６ｇ／ｃｍ3に対し、Ｐｂ減１ｍｏｌ％でも７．９１ｇ／ｃｍ3となった。
【００６７】
したがって、本発明による圧電磁器組成物によれば、Ｐｂ含有量を１ｍｏｌ％以下の範囲で減らしても圧電磁器組成物として十分な焼結密度が確保できた。
【００６８】
図５は、本発明の圧電磁器組成物の組成とＰｂ減量に対するｋｒのグラフで、図４で示した焼結保持温度１１００℃のＰｂ減量０、０．５、１．０ｍｏｌ％での圧電磁器組成体の試料につき、組成式のｙ／（ｙ＋ｚ）を０．４８から０．５１まで変化させて、ｋｒを測定した結果である。ここで、ｋｒはφ１７ｍｍ厚み１ｍｍの円板状の試料を用いて測定した径方向の電気機械結合係数である。
【００６９】
図５より、Ｐｂを０から１．０％の範囲で減量すると、ｋｒが高くなった。特にｙ／（ｙ＋ｚ）＝０．５、Ｐｂ減１．０％にてｋｒは最大の０．６８６となった。したがって、Ｐｂを０から１．０％の範囲で減量すると電気機械結合係数は増加した。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】本発明の圧電磁器組成物の各組成に対するｋ33の測定値のグラフ。
【図２】本発明の圧電磁器組成物のＰｂからＣａ置換量に対する抗電界値のグラフ。
【図３】本発明の圧電磁器組成物のＰｂからＣａ置換量とｋ33、ならびに破壊振動速度の測定値のグラフ。
【図４】本発明の圧電磁器組成物のＰｂ減量と焼結密度の測定値のグラフ。
【図５】本発明の圧電磁器組成物の組成とＰｂ減量に対するｋｒのグラフ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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