(57)【要約】【課題】加熱処理の温度を低温とした場合でも、膜厚、解像度、パターン形状、耐熱性、透明性、耐熱変色性、耐溶剤性などに優れたレンズを形成でき、また保存安定性も良好な感放射線性樹脂組成物を、感放射線性ドライフィルムとして提供すること。【解決手段】ベースフィルム上に、（Ａ）（ａ）酸性官能基を有する重合性不飽和化合物１０〜５０重量％、（ｂ）脂環式炭化水素基を有し、酸性官能基をもたない重合性不飽和化合物２０〜６０重量％および（ｃ）他の重合性不飽和化合物５〜４０重量％（ただし、（ａ）＋（ｂ）＋（ｃ）＝１００重量％）を重合して得られるアルカリ可溶性共重合体、（Ｂ）重合性不飽和化合物、（Ｃ）光重合開始剤、ならびに（Ｄ）シランカップリング剤を主成分とする感放射線性樹脂組成物からなる感放射線層を積層してなる感放射線性ドライフィルム、このフィルムから形成されたレンズ。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースフィルム上に、
（Ａ）（ａ）酸性官能基を有する重合性不飽和化合物１０〜５０重量％、（ｂ）脂環式炭化水素基を有し、酸性官能基をもたない重合性不飽和化合物２０〜６０重量％および（ｃ）他の重合性不飽和化合物５〜４０重量％（ただし、（ａ）＋（ｂ）＋（ｃ）＝１００重量％）を重合して得られるアルカリ可溶性共重合体、
（Ｂ）重合性不飽和化合物、
（Ｃ）光重合開始剤、ならびに
（Ｄ）シランカップリング剤
を主成分とする感放射線性樹脂組成物からなる感放射線層を積層してなる感放射線性ドライフィルム。
【請求項２】
感放射線性樹脂組成物を構成する（Ｂ）重合性不飽和化合物が、１個のエチレン性不飽和結合を有する化合物、２個のエチレン性不飽和結合を有する化合物、および３個以上のエチレン性不飽和結合を有する化合物の群から選ばれた少なくとも１種である請求項１記載の感放射線性ドライフィルム。
【請求項３】
感放射線性樹脂組成物を構成する、（Ｂ）重合性不飽和化合物の使用量が（Ａ）アルカリ可溶性共重合体１００重量部に対し３０〜１５０重量部、（Ｃ）光重合開始剤の使用量が（Ｂ）重合性不飽和化合物１００重量部に対し０．０１〜１００重量部、（Ｄ）シランカップリング剤の使用量が（Ａ）アルカリ可溶性共重合体１００重量部に対し０．１〜３０重量部である請求項１または２記載の感放射線性ドライフィルム。
【請求項４】
感放射線性樹脂組成物中に、さらに（Ｅ）熱重合性化合物を含有する請求項１〜３いずれかに記載の感放射線性ドライフィルム。
【請求項５】
（Ｅ）熱重合性化合物が、加熱により重合するが、放射線の照射によっては重合しない化合物である請求項４記載の感放射線性ドライフィルム。
【請求項６】
（Ｅ）熱重合性化合物の使用量が、（Ａ）アルカリ可溶性共重合体１００重量部に対し１００重量部以下である請求項４または５記載の感放射線性ドライフィルム。
【請求項７】
レンズ形成用である請求項１〜６いずれかに記載の感放射線性ドライフィルム。
【請求項８】
請求項７の感放射線性ドライフィルムから形成されてなるレンズ。
【請求項９】
少なくとも下記（イ）〜（ニ）の工程を下記する記載順で含むことを特徴とするレンズの形成方法。
（イ）請求項７に記載の感放射線性ドライフィルムの被膜を基板上に形成する工程。
（ロ）該被膜の少なくとも一部に放射線を照射する工程。
（ハ）照射後の被膜を現像する工程。
（ニ）現像後の被膜を加熱処理する工程。
【請求項１０】
（ニ）の工程における加熱処理の温度が１６０℃以下である請求項９に記載のレンズの形成方法。
【請求項１１】
（イ）の工程において、請求項７に記載の感放射線性ドライフィルムの感放射線性層を基板表面に転写して、感放射線性樹脂組成物の被膜を基板上に形成する請求項９または１０に記載のレンズの形成方法。
【請求項１２】
請求項８に記載のレンズを具備してなる液晶表示素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感放射線性ドライフィルム、当該感放射線性ドライフィルムから形成されたレンズとその形成方法、および当該レンズを具備する表示素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
表示素子の中でも、特に液晶表示素子は、高精彩な表示性能、低消費電力、高い信頼性、あらゆるサイズに対応できる柔軟性、薄型軽量などの優れた特徴から、近年、最も広く使用されている。しかしながら、パソコンやワープロなどのＯＡ機器、液晶テレビ、携帯電話、プロジェクターなどの普及に伴い、その表示性能と低消費電力化に対する要求がますます厳しくなっている。
これらの要求に応えるものとして、特許文献１〜４に、レンズアレイを設け、開口部に外光またはバックライトの光を集光させることにより、液晶表示素子の輝度やコントラストを向上させる方法が提案されている。これらの方法では、多くの場合、レンズが存在する集光層から液晶画素開口部への焦点距離が非常に短いため、レンズを形成する材料と平坦化膜との屈折率差を大きくとり、かつレンズの曲率半径を精密に制御する必要がある。
【０００３】
また近年、優れた奥行き表現、高い臨場感が求められるアミューズメント、医療、教育などで高いニーズのある「高臨場感ディスプレイ」を実現する一つのアプローチとして、特別な眼鏡などを使用せずに立体映像表示を可能とする立体視表示素子（以下、「３Ｄディスプレイ」と呼ぶ）の開発が各社で盛んに行われており、一部実用化されている。３Ｄディスプレイでは、液晶表示素子やＬＥＤパネルなどの画素上に、複数の画素にまたがるマイクロレンズやレンチキュラレンズを設け、光の屈折により視差の異なる画像を左右各々の目で見ることにより立体視が可能となる、「多眼式立体視ディスプレイ」が主流になりつつあり、非特許文献１にその詳細な記載が有る。さらには、近年、見る角度によって異なる画像を表示したり、視野角を変化させるディスプレイにも、同様にマイクロレンズやレンチキュラレンズが用いられている。これら用途で使用されるマイクロレンズやレンチキュラレンズは、画素上に精度良く配置される必要があり、かつレンズの曲率半径を精密に制御する必要がある。
【０００４】
従来、ビデオプロジェクター、プロジェクションテレビなどに使用するフレネルレンズ、レンチキュラレンズ、ＴＦＴ用のプリズムレンズシートなどのレンズは、メタアクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、スチレン樹脂などの透明樹脂を用いて、プレス法、キャスト法（射出成型法）などの方法により成形されていた。しかしながら、プレス法は加熱、加圧、冷却サイクルで製造するため生産性が悪く、キャスト法は金型にモノマーを流し込んで重合するため製作時間が長くかかるとともに金型が多数個必要なため、製造コストが上がるという問題があった。また最近は、成形型上に塗布された紫外線などの活性エネルギー線硬化性樹脂膜上に活性エネルギー線透過性のベース板またはベースフィルムを積層し、この活性エネルギー線透過性ベース板などを通して紫外線などの活性エネルギー線を照射し、硬化させた後、成形型から活性エネルギー線透過性ベース板などを離形する、２Ｐ成型法によりレンズシートを製造する方法が開発されている。しかしながら、この方法は、ビデオプロジェクター、プロジェクションテレビなどに使用するフレネルレンズ、レンチキュラレンズ、ＴＦＴ用のプリズムレンズシートなどのレンズ用途には好適に使用されるが、精密なレンズ曲率ならびにミクロンオーダーでの高い位置精度を必要とする、上述の液晶表示素子のバックライト集光用途のマイクロレンズや、３Ｄディスプレイ、見る角度によって異なる画像を表示したり、視野角を変化させるディスプレイの視差画像を得るために設けられるマイクロレンズ、レンチキュラレンズ、フレネルレンズ、プリズムレンズなどの用途には使用が困難である。
【０００５】
また、上記以外の表示素子用のレンズを形成する方法として、ガラス基板をドライエッチングして凹みを形成し、それを高屈折率の紫外線硬化型樹脂で埋める方法、レンズパターンを形成したのち加熱処理することにより、パターンをメルトフローさせてそのままレンズとして利用する方法、感放射線性樹脂組成物からパターンを形成してメルトフローさせることにより所定形状のマスクを作製し、このマスクを介しドライエッチングして、下地に所定のレンズ形状を転写する方法などが挙げられる。しかし、このような方法では何れの場合も、レンズの形成プロセスが煩雑で高コストであり、工業的に十分とはいえなかった。
そこで、レンズに要求される諸特性、例えば、膜厚均一性、解像度、パターン形状、透明性、耐熱性、耐溶剤性などを満足でき、また保存安定性が良好であり、かつ簡便な方法でレンズを形成しうる感放射線性樹脂組成物の開発が強く求められている。
【０００６】
さらに、液晶表示素子には、近年における普及に伴って、軽量化や製造コストの低減に対する要求も高まってきている。
そのため、従来使用されてきたガラスに変わり、特許文献５に開示されているように、樹脂基板を使用する試みがなされてきており、それに伴い樹脂基板の変形や黄変を避けるべく、低い加熱温度でレンズを形成しうる感放射線性樹脂組成物および方法の開発が強く求められている。
【０００７】
また、感放射線性樹脂組成物を用いた液晶表示素子用のレンズを形成する方法は、その多くが有機溶剤を含む樹脂組成物をスピンコート法、ディッピング法やスプレー法などの手法によって、基板上に塗膜を形成する工程を経ている。このような方法では、所定の膜厚を得るための条件出しに要する時間が必要であったり、有機溶剤の揮発など環境面での問題が指摘されていた。
そこで、環境面の問題がなく、従来のレンズの形成方法と比較して、短時間でかつ低コストのレンズの形成方法の開発も望まれている。
【０００８】
【特許文献１】特開２００１−１５４１８１号公報
【特許文献２】特開２００１−１１７１１４号公報
【特許文献３】特開平１１−１０９４１７号公報
【特許文献４】特開平１０−２６８３０５号公報
【非特許文献１】「月刊ディスプレイ」２００３年５月号  ｐ１〜ｐ４４
【特許文献５】特開２０００−１００８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その課題は、加熱処理の温度を低温とした場合でも、膜厚均一性、解像度、パターン形状、耐熱性、透明性、耐熱変色性、耐溶剤性などに優れたレンズを形成でき、また保存安定性、転写性も良好な感放射線性樹脂組成物を、感放射線性ドライフィルムとして提供することにある。
本発明の他の課題は、上記優れた特性を併せ有するレンズを、加熱処理の温度を低温としても形成可能なレンズ形成方法を提供することにある。
本発明のさらに他の課題は、当該レンズを具備する表示素子を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、第一に、ベースフィルム上に、
（Ａ）（ａ）酸性官能基を有する重合性不飽和化合物１０〜５０重量％、（ｂ）脂環式炭化水素基を有し、酸性官能基をもたない重合性不飽和化合物２０〜６０重量％および（ｃ）他の重合性不飽和化合物５〜４０重量％（ただし、（ａ）＋（ｂ）＋（ｃ）＝１００重量％）を重合して得られるアルカリ可溶性共重合体、
（Ｂ）重合性不飽和化合物、
（Ｃ）光重合開始剤、ならびに
（Ｄ）シランカップリング剤
を主成分とする感放射線性樹脂組成物からなる感放射線層を積層してなる感放射線性ドライフィルムに関する。
本発明でいう「放射線」は、可視光線、紫外線、遠紫外線、Ｘ線、電子線、分子線、γ線、シンクロトロン放射線、プロトンビームなどを含むものを意味する。
上記感放射線性樹脂組成物からなる感放射線層を積層してなる感放射線性ドライフィルムにおいては、さらに（Ｅ）熱重合性化合物を含有することができる。
【００１１】
本発明は、第二に、
レンズ形成用である上記感放射線性ドライフィルム（以下、「レンズ形成用感放射線性ドライフィルム」ともいう。）に関する。
【００１２】
本発明は、第三に、
レンズ形成用感放射線性ドライフィルムから形成されてなるレンズに関する。
【００１３】
本発明は、第四に、
少なくとも下記（イ）〜（ニ）の工程を下記する記載順で含むことを特徴とするレンズの形成方法に関する。
（イ）請求項３に記載の感放射線性ドライフィルムの被膜を基板上に形成する工程。
（ロ）該被膜の少なくとも一部に放射線を照射する工程。
（ハ）照射後の被膜を現像する工程。
（ニ）現像後の被膜を加熱処理する工程。
上記レンズの形成方法においては、（ニ）工程の加熱処理の温度を１６０℃以下とすることができる。
【００１４】
本発明は、第五に、
上記レンズを具備してなる液晶表示素子に関する。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の感放射線性樹脂組成物は、解像度が高く、保存安定性、塗布性などに優れ、優れた特性バランスを有する高精細なレンズおよびレンズアレイを形成することができる。
また、本発明のレンズは、膜厚均一性、解像度、パターン形状、透明性、耐熱性、耐熱変色性、耐溶剤性などの特性バランスに優れており、液晶表示素子のバックライト集光用途のマイクロレンズや、３Ｄディスプレイの視差画像を得るために設けられるマイクロレンズ、レンチキュラレンズ、フレネルレンズ、プリズムレンズなどの用途に極めて好適に使用することができる。
また、本発明のレンズの形成方法によると、優れた特性を有する高精細なレンズおよびレンズアレイを簡便なプロセスで形成することができ、有機溶剤の揮発など環境面の問題もない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明について詳細に説明する。
感放射線性樹脂組成物
−（Ａ）共重合体−
本発明における（Ａ）成分は、（ａ）酸性官能基を有する重合性不飽和化合物（以下、「（ａ）重合性不飽和化合物」という。）１０〜５０重量％、（ｂ）脂環式炭化水素基を有し、酸性官能基をもたない重合性不飽和化合物（以下、「（ｂ）重合性不飽和化合物」という。）２０〜６０重量％および（ｃ）他の重合性不飽和化合物５〜４０重量％（ただし、（ａ）＋（ｂ）＋（ｃ）＝１００重量％）からなるアルカリ可溶性共重合体（以下、「（Ａ）共重合体」という。）からなる。
【００１７】
（ａ）重合性不飽和化合物は、（Ａ）共重合体において、アルカリ可溶性の機能を有する不飽和化合物である。
（ａ）重合性不飽和化合物において、酸性官能基としては、例えば、カルボキシル基、スルホン酸基などを挙げることができ、特に好ましくはカルボキシル基である。
カルボキシル基を有する（ａ）重合性不飽和化合物（以下、「（ａ１）重合性不飽和化合物」という。）としては、例えば、（メタ）アクリル酸、クロトン酸や、アクリル酸またはクロトン酸のα−位がハロアルキル基、アルコキシル基、ハロゲン原子、ニトロ基、シアノ基などの置換基で置換された化合物などの不飽和モノカルボン酸類；マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イタコン酸などの不飽和ジカルボン酸またはその酸無水物類；上記不飽和ジカルボン酸中の一方のカルボキシル基の水素原子がメチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、ｉ−プロピル基、ｎ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔ−ブチル基、フェニル基、ｏ−トリル基、ｍ−トリル基、ｐ−トリル基などの置換基で置換されたハーフエステル類；上記不飽和ジカルボン酸中の一方のカルボキシル基がアミド基に変換されたハーフアミド類；２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートとコハク酸とのモノエステル化物、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートとマレイン酸とのモノエステル化物、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートとヘキサヒドロフタル酸とのモノエステル化物（以下、「２−モノ（ヘキサヒドロフタロイルオキシ）エチル（メタ）アクリレート」と表記する。）などのカルボキシル基含有（メタ）アクリル酸エステル類などを挙げることができる。
これらの（ａ１）重合性不飽和化合物のうち、（メタ）アクリル酸、２−モノ（ヘキサヒドロフタロイルオキシ）エチル（メタ）アクリレートなどが好ましい。
本発明において、（ａ）重合性不飽和化合物は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができるが、特に、（メタ）アクリル酸と２−モノ（ヘキサヒドロフタロイルオキシ）エチル（メタ）アクリレートとを併用することが好ましい。
【００１８】
（Ａ）共重合体中に占める（ａ）重合性不飽和化合物の含有率は、１０〜５０重量％であり、好ましくは２０〜４０重量％である。この場合、（ａ）重合性不飽和化合物の含有率が１０重量％未満であると、得られる共重合体がアルカリ現像液に溶解し難くなって現像後に膜残りを生じ、十分な解像度を得ることが困難となるおそれがあり、一方５０重量％を超えると、得られる共重合体のアルカリ現像液に対する溶解性が大きくなりすぎて、放射線照射部の膜減りが大きくなる傾向がある。
【００１９】
また、（ｂ）重合性不飽和化合物は、本発明の（Ａ）共重合体において、分子量を上げ組成物溶液の保存安定性を向上させ、形成されたレンズの耐薬品性を向上させる作用をなす不飽和化合物である。
（ｂ）重合性不飽和化合物としては、例えば、シクロペンチル（メタ）アクリレート、１−メチルシクロペンチル（メタ）アクリレート、２−メチルシクロペンチル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、１−メチルシクロヘキシル（メタ）アクリレート、２−メチルシクロヘキシル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、トリシクロデカニル（メタ）アクリレート、アダマンチル（メタ）アクリレート、２−ジシクロペンタニルオキシエチル（メタ）アクリレートなどを挙げることができる。
これらの（ｂ）重合性不飽和化合物のうち、特にトリシクロデカニル（メタ）アクリレートが好ましい。
本発明において、（ｂ）重合性不飽和化合物は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
【００２０】
（Ａ）共重合体中に占める（ｂ）重合性不飽和化合物の含有率は、２０〜６０重量％であり、好ましくは３０〜５０重量％である。この場合、（ｂ）重合性不飽和化合物の含有率が２０重量％未満であると、得られる共重合体の分子量が十分に上がらず、十分膜厚の被膜の形成が困難となるおそれがあり、一方６０重量％を超えると、得られる共重合体の溶剤ないし有機溶媒に対する溶解性が低下する傾向がある。
【００２１】
さらに、（ｃ）他の重合性不飽和化合物は、主として（Ａ）共重合体の機械的特性をコントロールする目的で使用されるものである。
（ｃ）他の重合性不飽和化合物としては、例えば、（メタ）アクリル酸エステル類、上記（ａ１）重合性不飽和化合物について例示した不飽和ジカルボン酸のジエステル類、芳香族ビニル化合物、共役ジオレフィン類、ニトリル基含有不飽和化合物、塩素含有不飽和化合物、アミド結合含有不飽和化合物、脂肪酸ビニルエステル類などを挙げることができる。
【００２２】
上記（メタ）アクリル酸エステル類としては、例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−プロピル（メタ）アクリレート、ｉ−プロピル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ｓｅｃ−ブチル（メタ）アクリレート、ｔ−ブチル（メタ）アクリレート、ｎ−ペンチル（メタ）アクリレート、ネオペンチル（メタ）アクリレート、４−ｉ−ペンチルヘキシル（メタ）アクリレート、アリル（メタ）アクリレート、プロパルギル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、ナフチル（メタ）アクリレート、アントラセニル（メタ）アクリレート、アントラキノニル（メタ）アクリレート、ピペロニル（メタ）アクリレート、サリチル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、フェネチル（メタ）アクリレート、クレシル（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート、トリフェニルメチル（メタ）アクリレート、クミル（メタ）アクリレート、２，２，２−トリフルオロエチル（メタ）アクリレート、ペンタフルオロエチル（メタ）アクリレート、ヘプタフルオロ−ｎ−プロピル（メタ）アクリレート、ヘプタフルオロ−ｉ−プロピル（メタ）アクリレート、２−（Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノ）エチル（メタ）アクリレート、３−（Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノ）プロピル（メタ）アクリレート、フリル（メタ）アクリレート、フルフリル（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、α−（メタ）アクリロイロキシ−γ−ブチロラクトン、β−（メタ）アクリロイロキシ−γ−ブチロラクトンなどを挙げることができる。
【００２３】
上記不飽和ジカルボン酸のジエステル類としては、例えば、マレイン酸ジメチル、マレイン酸ジエチル、フマル酸ジメチル、フマル酸ジエチル、イタコン酸ジメチル、イタコン酸ジエチルなどを挙げることができる。
上記芳香族ビニル化合物としては、例えば、スチレン、α−メチルスチレン、ｏ−メチルスチレン、ｍ−メチルスチレン、ｐ−メチルスチレン、ｐ−メトキシスチレンなどを挙げることができる。
上記共役ジオレフィン類としては、例えば、１，３−ブタジエン、イソプレン、２，３−ジメチル−１，３−ブタジエンなどを挙げることができる。
上記ニトリル基含有不飽和化合物としては、例えば、（メタ）アクリロニトリル、シアン化ビニリデンなどを挙げることができる。
上記塩素含有不飽和化合物としては、例えば、塩化ビニル、塩化ビニリデンなどを挙げることができる。
上記アミド結合含有不飽和化合物としては、例えば、（メタ）アクリルアミド、マレイン酸ジアミド、フマル酸ジアミドなどを挙げることができる。
上記脂肪酸ビニルエステル類としては、例えば、酢酸ビニル、プロピロン酸ビニルなどを挙げることができる。
【００２４】
これらの（ｃ）他の重合性不飽和化合物のうち、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、スチレン、１，３−ブタジエン、イソプレンなどが好ましい。
本発明において、（ｃ）他の重合性不飽和化合物は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができるが、特に、スチレンとテトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレートとの併用、あるいはスチレンと１，３−ブタジエンおよび／またはイソプレンとの併用が好ましい。
（Ａ）共重合体中に占める（ｃ）他の重合性不飽和化合物の含有率は、５〜４０重量％であり、好ましくは１０〜３５重量％である。５重量％未満では、形成されたレンズの硬度や耐薬品性が低下するなどの問題が生じ、一方４０重量％を超えると、現像時のパターニング特性が低下する。
【００２５】
（Ａ）共重合体のポリスチレン換算重量平均分子量（以下、「Ｍｗ」という。）は、好ましくは２，０００〜１００，０００、さらに好ましくは５，０００〜５０，０００である。この場合、（Ａ）共重合体のＭｗが２，０００未満であると、アルカリ現像性、残膜率、パターン形状、耐熱性などが低下する傾向があり、一方１００，０００を超えると、感度やパターン形状が低下する傾向がある。
また、（Ａ）共重合体のＭｗとポリスチレン換算数平均分子量（以下、「Ｍｎ」という。）との比（Ｍｗ／Ｍｎ）は、通常、１．０〜５．０、好ましくは１．０〜３．０である。
【００２６】
（Ａ）共重合体は、（ａ）重合性不飽和化合物、（ｂ）重合性不飽和化合物および（ｃ）他の重合性不飽和化合物を、例えば、適当な溶剤中、ラジカル重合開始剤の存在下に、７０〜１００℃で１〜６時間程度、ラジカル重合することによって製造することができる。
ここで、上記重合に用いられる溶剤としては、例えば、
メタノール、エタノール、ジアセトンアルコールなどのアルコール類；テトラヒドロフラン、テトラヒドロピラン、ジオキサンなどのエーテル類；エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテルなどのエチレングリコールアルキルエーテル類；エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテートなどのエチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類；ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテルなどのジエチレングリコールアルキルエーテル類；
【００２７】
プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、プロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテルなどのプロピレングリコールモノアルキルエーテル類；プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテルアセテートなどのプロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類；プロピレングリコールモノメチルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールエチルモノエーテルプロピオネート、プロピレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテルプロピオネートなどのプロピレングリコールモノアルキルエーテルプロピオネート類；トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素類；メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、２−ヘプタノン、シクロヘキサノン、４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノンなどのケトン類；
【００２８】
酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ｎ−プロピル、酢酸ｎ−ブチル、ヒドロキシ酢酸メチル、ヒドロキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸ｎ−プロピル、ヒドロキシ酢酸ｎ−ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸ｎ−プロピル、乳酸ｎ−ブチル、３−ヒドロキシプロピオン酸メチル、３−ヒドロキシプロピオン酸エチル、３−ヒドロキシプロピオン酸ｎ−プロピル、３−ヒドロキシプロピオン酸ｎ−ブチル、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、２−ヒドロキシ−３−メチルブタン酸メチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ｎ−プロピル、メトキシ酢酸ｎ−ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、エトキシ酢酸ｎ−プロピル、エトキシ酢酸ｎ−ブチル、ｎ−プロポキシ酢酸メチル、ｎ−プロポキシ酢酸エチル、ｎ−プロポキシ酢酸ｎ−プロピル、ｎ−プロポキシ酢酸ｎ−ブチル、ｎ−ブトキシ酢酸メチル、ｎ−ブトキシ酢酸エチル、ｎ−ブトキシ酢酸ｎ−プロピル、ｎ−ブトキシ酢酸ｎ−ブチル、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸ｎ−プロピル、２−メトキシプロピオン酸ｎ−ブチル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル、２−エトキシプロピオン酸ｎ−プロピル、２−エトキシプロピオン酸ｎ−ブチル、２−ｎ−プロポキシプロピオン酸メチル、２−ｎ−プロポキシプロピオン酸エチル、２−ｎ−プロポキシプロピオン酸ｎ−プロピル、２−ｎ−プロポキシプロピオン酸ｎ−ブチル、２−ｎ−ブトキシプロピオン酸メチル、２−ｎ−ブトキシプロピオン酸エチル、２−ｎ−ブトキシプロピオン酸ｎ−プロピル、２−ｎ−ブトキシプロピオン酸ｎ−ブチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−メトキシプロピオン酸ｎ−プロピル、３−メトキシプロピオン酸ｎ−ブチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸ｎ−プロピル、３−エトキシプロピオン酸ｎ−ブチル、３−ｎ−プロポキシプロピオン酸メチル、３−ｎ−プロポキシプロピオン酸エチル、３−ｎ−プロポキシプロピオン酸ｎ−プロピル、３−ｎ−プロポキシプロピオン酸ｎ−ブチル、３−ｎ−ブトキシプロピオン酸メチル、３−ｎ−ブトキシプロピオン酸エチル、３−ｎ−ブトキシプロピオン酸ｎ−プロピル、３−ｎ−ブトキシプロピオン酸ｎ−ブチルなどの他のエステル類
などを挙げることができる。
これらの溶剤は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
上記溶剤の使用量は、上記（ａ）〜（ｃ）成分からなる単量体成分１００重量部に対し、好ましくは３０〜８０重量部、さらに好ましくは４０〜７０重量部である。
【００２９】
上記ラジカル重合開始剤としては、例えば、２，２’−アゾビスイソブチロニトリル、２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）、２，２’−アゾビス（４−メトキシ−２，４−ジメチルバレロニトリル）などのアゾ化合物；ベンゾイルペルオキシド、ラウロイルペルオキシド、ｔ−ブチルペルオキシピバレート、１，１’−ビス（ｔ−ブチルペルオキシ）シクロヘキサンなどの有機過酸化物や、過酸化水素などを挙げることができる。ラジカル重合開始剤として過酸化物を用いる場合には、還元剤を併用してレドックス型開始剤としてもよい。
ラジカル重合開始剤の使用量は、上記（ａ）〜（ｃ）成分からなる単量体成分１００重量部に対し、好ましくは０．１〜１０重量部、さらに好ましくは０．５〜５重量部である。
本発明において、（Ａ）共重合体は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
【００３０】
−（Ｂ）重合性不飽和化合物−
本発明における（Ｂ）重合性不飽和化合物は、（Ｃ）光重合開始剤の存在下における放射線の照射により重合する化合物である。
（Ｂ）重合性不飽和化合物としては、例えば、１個のエチレン性不飽和結合を有する化合物、２個のエチレン性不飽和結合を有する化合物、３個以上のエチレン性不飽和結合を有する化合物などを挙げることができる。
【００３１】
上記１個のエチレン性不飽和結合を有する化合物としては、例えば、１価アルコールのモノ（メタ）アクリレート類、好ましくは、下記式（１）で表わされる化合物を挙げることができる。
【００３２】
【化１】
2008020662.tif 000002
【００３３】
〔式（１）中、ｎは０〜８の整数であり、Ｒ１は水素原子または炭素数１〜９の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基を示す。〕
【００３４】
式（１）で表わされる化合物の具体例としては、商品名で、アロニックスＭ−１０１（ｎ＝約２、Ｒ１＝Ｈ）、同Ｍ−１０２（ｎ＝約４、Ｒ１＝Ｈ）、同Ｍ−１１１〔ｎ＝約１、Ｒ１＝ｎ−Ｃ９Ｈ１９（ｎ−ノニル基、以下同様。）〕、
同Ｍ−１１３（ｎ＝約４、Ｒ１＝ｎ−Ｃ９Ｈ１９）、
同Ｍ−１１４（ｎ＝約８、Ｒ１＝ｎ−Ｃ９Ｈ１９）、
同Ｍ−１１７（ｎ＝２．５、Ｒ１＝ｎ−Ｃ９Ｈ１９）〔以上、東亜合成化学工業（株）製〕、ＫＡＹＡＲＡＤ  Ｒ−５６４（ｎ＝約２．３、Ｒ１＝Ｈ）〔日本化薬（株）製〕などを挙げることができる。
【００３５】
また、式（１）で表わされる化合物以外の１個のエチレン性不飽和結合を有する化合物としては、商品名で、ＫＡＹＡＲＡＤ  ＴＣ−１１０Ｓ、同  ＴＣ−１２０Ｓ〔以上、日本化薬（株）製〕、Ｖ−１５８、Ｖ−２３１１〔以上、大阪有機化学工業（株）製〕などを挙げることができる。
また、上記以外の１個のエチレン性不飽和結合を有する化合物として、マレイン酸ジメチル、マレイン酸ジエチルなどの不飽和カルボン酸ジエステルなど、（Ａ）共重合体における（ａ）重合性不飽和化合物、（ｂ）重合性不飽和化合物あるいは（ｃ）他の重合性不飽和化合物について例示した化合物と同様のものを使用することができる。
【００３６】
次に、上記２個のエチレン性不飽和結合を有する化合物としては、例えば、２価アルコールのジ（メタ）アクリレート類、好ましくは、下記式（２）で表わされる化合物、下記式（３）で表わされる化合物、下記式（４）で表わされる化合物などを挙げることができる。
【００３７】
【化２】
2008020662.tif 000003
【００３８】
〔式（２）中、ｌおよびｍはそれぞれ０〜８の整数であり、各Ｒ２は相互に独立に水素原子またはメチル基を示す。〕
【００３９】
【化３】
2008020662.tif 000004
【００４０】
〔式（３）中、Ｒ３は炭素数２〜８の直鎖状もしくは分岐状のアルキレン基を示し、ｐは１〜１０の整数である。〕
【００４１】
【化４】
2008020662.tif 000005
【００４２】
〔式（４）中、各Ｒ４は相互に独立に水素原子またはメチル基を示し、Ｍは２価アルコールの残基を示し、Ｎは２塩基酸の残基を示し、ｑは０または１である。〕
【００４３】
式（２）で表わされる化合物の具体例としては、商品名で、アロニックスＭ−２１０（ｌ＝約２、ｍ＝約２、Ｒ２＝ＣＨ3）〔東亜合成化学工業（株）製〕、ＫＡＹＡＲＡＤ  Ｒ−５５１（ｌ＋ｍ＝約４、Ｒ２＝ＣＨ3）、同  Ｒ−７１２（ｌ＋ｍ＝約４、Ｒ２＝Ｈ）〔以上、日本化薬（株）製〕などを挙げることができる。
【００４４】
また、式（３）で表わされる化合物の具体例として、商品名で、アロニックスＭ−２４０〔Ｒ３＝−ＣＨ2ＣＨ2−、ｐ＝約４〕、同Ｍ−２４５〔Ｒ３＝−ＣＨ2ＣＨ2−、ｐ＝約９〕〔以上、東亜合成化学工業（株）製〕、
ＫＡＹＡＲＡＤ  ＨＤＤＡ〔Ｒ３＝−（ＣＨ2)6−、ｐ＝１〕、
同  ＮＰＧＤＡ〔Ｒ３＝−ＣＨ2Ｃ（ＣＨ3）2ＣＨ2−、ｐ＝１〕、
同  ＴＰＧＤＡ〔Ｒ３＝−ＣＨ2ＣＨ（ＣＨ3）−、ｐ＝１〕、
同  ＰＥＧ４００ＤＡ〔Ｒ３＝−ＣＨ2ＣＨ2−、ｐ＝約８〕、
同  ＭＡＮＤＡ〔Ｒ３＝−ＣＨ2Ｃ（ＣＨ3）2ＣＨ2−、ｐ＝１〕〔以上、日本化薬（株）製〕、ライトアクリレート１．９−ＮＤＡ〔Ｒ３＝−（ＣＨ2)8−、ｐ＝１〕などを挙げることができる。
【００４５】
また、式（４）で表わされる化合物の具体例としては、商品名で、アロニックスＭ−６１００、同Ｍ−６２００、同Ｍ−６２５０、同Ｍ−６３００、同Ｍ−６４００、同Ｍ−６５００〔以上、東亜合成化学工業（株）製〕などを挙げることができる。
【００４６】
さらに、上記以外の２個のエチレン性不飽和結合を有する化合物として、下記式（５−１）で表される化合物〔商品名ＫＡＹＡＲＡＤ  ＨＸ−２２０、日本化薬（株）製〕、式（５−２）で表される化合物〔商品名ＫＡＹＡＲＡＤ  ＨＸ−６２０、日本化薬（株）製〕や、商品名で、Ｒ−６０４〔日本化薬（株）製〕、Ｖ−２６０、Ｖ−３１２、Ｖ−３３５ＨＰ〔以上、大阪有機化学工業（株）製〕などを挙げることができる。
【００４７】
【化５】
2008020662.tif 000006
【００４８】
〔式（５−１）中、ｒおよびｓはそれぞれ０〜２の整数で、ｒ＋ｓ＝２である。〕
〔式（５−２）中、ｔおよびｕはそれぞれ０〜４の整数で、ｔ＋ｕ＝４である。〕
【００４９】
次に、上記３個以上のエチレン性不飽和結合を有する化合物としては、例えば、３価以上のアルコールのポリ（メタ）アクリレート類、好ましくは、下記式（６）で表わされる化合物、下記式（７）で表わされる化合物、下記式（８）で表わされる化合物、下記式（９）で表わされる化合物などを挙げることができる。
【００５０】
【化６】
2008020662.tif 000007
【００５１】
〔式（６）中、ｖは０〜８の整数であり、Ｒ５は水素原子、水酸基またはメチル基を示す。〕
【００５２】
【化７】
2008020662.tif 000008
【００５３】
〔式（７）中、Ｒ６は酸素原子またはメチレン基を示す。〕
【００５４】
【化８】
2008020662.tif 000009
【００５５】
〔式（８）中、各Ｒ７は相互に独立に水素原子またはメチル基を示し、Ｘは３価アルコールの残基を示し、Ｙは２塩基酸の残基を示し、ｗは０〜１５の整数である。〕
【００５６】
【化９】
2008020662.tif 000010
【００５７】
〔式（９）中、ＡはＣＨ2＝ＣＨＣＯ−を示し、ｘは１または２であり、ａは２〜６の整数、ｂは０〜４の整数で、ａ＋ｂ＝６である。〕
【００５８】
式（６）で表わされる化合物の具体例としては、商品名で、アロニックスＭ−３０９（ｖ＝０、Ｒ５＝ＣＨ3）、同Ｍ−３１０（ｖ＝約１、Ｒ５＝ＣＨ3）〔以上、東亜合成化学工業（株）製〕、ＫＡＹＡＲＡＤ  ＴＭＰＴＡ（ｖ＝０、Ｒ５＝ＣＨ3）〔日本化薬（株）製〕、Ｖ−２９５（ｖ＝０、Ｒ５＝ＣＨ3）、Ｖ−３００（ｖ＝０、Ｒ５＝ＯＨ）〔以上、大阪有機化学工業（株）製〕などを挙げることができる。
【００５９】
また、式（７）で表わされる化合物の具体例としては、商品名で、アロニックスＭ−４００〔東亜合成化学工業（株）製〕などを挙げることができる。
【００６０】
また、式（８）で表わされる化合物の具体例としては、商品名で、アロニックスＭ−７１００、同Ｍ−８０３０、同Ｍ−８０６０、同Ｍ−８１００、同Ｍ−９０５０〔以上、東亜合成化学工業（株）製〕などを挙げることができる。
【００６１】
また、式（９）で表わされる化合物の具体例としては、商品名で、ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＣＡ−２０（ｘ＝約１、ａ＝約２、ｂ＝約４）、同  ＤＰＣＡ−３０（ｘ＝約１、ａ＝約３、ｂ＝約３）、同  ＤＰＣＡ−６０（ｘ＝約１、ａ＝約６、ｂ＝約０）、同  ＤＰＣＡ−１２０（ｘ＝約２、ａ＝約６、ｂ＝約０）〔以上、日本化薬（株）製〕、Ｖ−３６０、Ｖ−ＧＰＴ、Ｖ−３ＰＡ、Ｖ−４００〔以上、大阪有機化学工業（株）製〕などを挙げることができる。
【００６２】
これらの（Ｂ）重合性不飽和化合物のうち、２個のエチレン性不飽和結合を有する化合物および３個以上のエチレン性不飽和結合を有する化合物が好ましく、さらに好ましくは、式（４）で示される化合物、式（８）で示される化合物などである。
本発明において、（Ｂ）重合性不飽和化合物は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
【００６３】
本発明における（Ｂ）重合性不飽和化合物の使用量は、（Ａ）共重合体１００重量部に対して、好ましくは３０〜１５０重量部、さらに好ましくは５０〜１００重量部である。この場合、（Ｂ）重合性不飽和化合物の使用量が３０重量部未満であると、放射線の照射時の感度が低下しやすく、一方１５０重量部を超えると、（Ａ）共重合体との相溶性が悪くなり、塗膜表面に膜荒れを生じるおそれがある。
【００６４】
−（Ｃ）光重合開始剤−
本発明における（Ｃ）成分は、放射線の照射により、（Ｂ）重合性不飽和化合物の重合を開始しうる活性種（例えば、ラジカルなど）を生じる光重合開始剤からなる。
このような（Ｃ）光重合開始剤としては、例えば、ベンジル、ジアセチルなどのα−ジケトン類；ベンゾインなどのアシロイン類；ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテルなどのアシロインエーテル類；チオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、チオキサントン−４−スルホン酸などのチオキサントン類；ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンなどのベンゾフェノン類；アセトフェノン、ｐ−ジメチルアミノアセトフェノン、α，α’−ジメトキシアセトキシベンゾフェノン、２，２’−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、ｐ−メトキシアセトフェノンなどのアセトフェノン類；アントラキノン、１，４−ナフトキノンなどのキノン類；フェナシルクロライド、トリブロモメチルフェニルスルホン、トリス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジンなどのハロゲン化合物；ジ−ｔ−ブチルペルオキシドなどの過酸化物；２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイドなどのアシルフォスフィンオキサイド類；１−（９−エチル−６−ベンゾイル−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル）−ノナン−１，２−ノナン−２−オキシム−Ｏ−ベンゾアート、１−（９−エチル−６−ベンゾイル−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル）−ノナン−１，２−ノナン−２−オキシム−Ｏ−アセタート、１−（９−エチル−６−ベンゾイル−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル）−ペンタン−１，２−ペンタン−２−オキシム−Ｏ−アセタート、１−（９−エチル−６−ベンゾイル−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル）−オクタン−１−オンオキシム−Ｏ−アセタート、１−〔９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル〕−エタン−１−オンオキシム−Ｏ−ベンゾアート、１−〔９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル〕−エタン−１−オンオキシム−Ｏ−アセタート、１−〔９−エチル−６−（１，３，５−トリメチルベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル〕−エタン−１−オンオキシム−Ｏ−ベンゾアート、１−〔９−ブチル−６−（２−エチルベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル〕−エタン−１−オンオキシム−Ｏ−ベンゾアート、１，２−オクタジオン−１−〔４−（フェニルチオ）フェニル〕−２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）、１，２−ブタンジオン−１−〔４−（フェニルチオ）フェニル〕−２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）、１，２−ブタンジオン−１−〔４−（フェニルチオ）フェニル〕−２−（Ｏ−アセチルオキシム）、１，２−オクタジオン−１−〔４−（メチルチオ）フェニル〕−２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）、１，２−オクタジオン−１−〔４−（フェニルチオ）フェニル〕−２−〔Ｏ−（４―メチルベンゾイルオキシム）〕などのＯ−アシルオキシム類などを挙げることができる。
【００６５】
また、（Ｃ）光重合開始剤の市販品としては、商品名で、イルガキュア１８４、同５００、同６５１、同９０７、同３６９、同３７９、同ＣＧ２４−６１（以上、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製）、ルシリンＬＲ８７２８、ルシリンＴＰＯ（以上、ＢＡＳＦ社製）、ダロキュア１１１６、同１１７３（以上、メルク社製）、ユベクリルｐ３６（ＵＣＢ社製）などを挙げることができる。
【００６６】
これらの（Ｃ）光重合開始剤のうち、好ましくは、２−メチル〔４−（メチルチオ）フェニル〕−２−モルフォリノプロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）ブタン−１−オンなどのアセトフェノン類や、フェナシルクロライド、トリブロモメチルフェニルスルホン、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイドなどである。
本発明において、（Ｃ）光重合開始剤は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができ、また１種以上の放射線増感剤と併用することもできる。
【００６７】
本発明における（Ｃ）光重合開始剤の使用量は、（Ｂ）重合性不飽和化合物１００重量部に対して、通常、０．０１〜１００重量部、好ましくは０．０１〜５０重量部、さらに好ましくは０．５〜４０重量部である。この場合、（Ｃ）光重合開始剤の使用量が０．０１重量部未満であると、感度が低下する傾向があり、一方１００重量部を超えると、（Ａ）共重合体や（Ｂ）重合性不飽和化合物との相溶性が悪くなったり、得られる樹脂組成物の保存安定性が低下する傾向がある。
【００６８】
−（Ｄ）シランカップリング剤−
本発明における（Ｄ）成分は、基板との接着性を向上させるための接着助剤として働くものである。
このような（Ｄ）成分としては、例えば、カルボキシル基、メタクリロイル基、ビニル基、イソシアネート基、エポキシ基などの反応性置換基を有するシランカップリング剤が好ましく、より具体的には、トリメトキシシリル安息香酸、γ−メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、γ−イソシアナートプロピルトリエトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシランなどを挙げることができる。
これらのシランカップリング剤は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
シランカップリング剤の添加量は、（Ａ）共重合体１００重量部に対して、好ましくは０．１〜３０重量部、さらに好ましくは１〜２０重量部である。０．１重量部未満では、基板との接着性に劣り、レンズパターンが剥がれるなどの問題が生じることがある。一方、３０重量部を超えると、解像性が低下し現像残渣が生じることがある。
【００６９】
−添加剤−
本発明の感放射線性樹脂組成物には、加熱により重合するが、放射線の照射によっては重合しない（Ｅ）熱重合性化合物を添加することができる。
このような（Ｅ）熱重合性化合物としては、好ましくは８０〜２５０℃、さらに好ましくは８０〜１６０℃、特に好ましくは１００〜１５０℃で熱重合するものが望ましい。
レンズ形成用感放射線性樹脂組成物において、特に加熱処理の温度を１６０℃以下としてレンズを形成する場合には、（Ｅ）熱重合性化合物を添加することが好ましい。
（Ｅ）熱重合性化合物は、一般的には単量体であるが、その分子量は特に制限されず、オリゴマー程度の分子量を有していてもよい。
（Ｅ）熱重合性化合物としては、分子内に熱重合性の官能基、例えば、エポキシ基、エピスルフィド基、オキセタニル基などを、１個以上あるいは１種以上有する化合物を挙げることができる。ただし、後述する接着助剤のうち、エポキシ基を有する官能性シランカップリング剤も、エポキシ基を有する熱重合性化合物に含まれる。
【００７０】
（Ｅ）熱重合性化合物のうち、エポキシ基を１個有する化合物としては、例えば、メチルグリシジルエーテル、エチルグリシジルエーテル、ｎ−プロピルグリシジルエーテル、ｉ−プロピルグリシジルエーテル、ｎ−ブチルグリシジルエーテル、ｓｅｃ−ブチルグリシジルエーテル、ｔ−ブチルグリシジルエーテルなどのアルキルグリシジルエーテル類；エチレングリコールモノグリシジルエーテル、プロピレングリコールモノグリシジルエーテル、１，４−ブタンジオールモノグリシジルエーテル、１，６−ヘキサンジオールモノグリシジルエーテルなどのアルキレングリコールモノグリシジルエーテル類；ポリエチレングリコールモノグリシジルエーテル、ポリプロピレンモノグリシジルエーテルなどのポリアルキレングリコールモノグリシジルエーテル類；フェニルグリシジルエーテル、ｏ−トリルグリシジルエーテル、ｍ−トリルグリシジルエーテル、ｐ−トリルグリシジルエーテル、ｏ−エチルフェニルグリシジルエーテル、ｍ−エチルグリシジルエーテル、ｐ−エチルフェニルグリシジルエーテルなどのアリールグリシジルエーテル類などのグリシジル基を有する化合物や、
【００７１】
〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕メチルエーテル、〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕エチルエーテル、〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕ｎ−プロピルエーテル、〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕ｉ−プロピルエーテル、〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕ｎ−ブチルエーテル、〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕ｓｅｃ−ブチルエーテル、〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕ｔ−ブチルエーテルなどの〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕アルキルエーテル類；エチレングリコールモノ〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕エーテル、プロピレングリコールモノ〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕エーテル、１，４−ブタンジオールモノ〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕エーテル、１，６−ヘキサンジオールモノ〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕エーテルなどのアルキレングリコールモノ〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕エーテル類；ポリエチレングリコールモノ〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕エーテル、ポリプロピレングリコールモノ〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕エーテルなどのポリアルキレングリコールモノ〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕エーテル類；〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕フェニルエーテル、〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕ｏ−トリルエーテル、〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕ｍ−トリルエーテル、〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕ｐ−トリルエーテル、〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕ｏ−エチルフェニルエーテル、〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕ｍ−エチルフェニルエーテル、〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕ｐ−エチルフェニルエーテルなどの〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕アリールエーテル類などの３，４−エポキシシクロヘキシル基を有する化合物
などを挙げることができる。
【００７２】
また、エポキシ基を２個以上有する化合物としては、例えば、
ビスフェノールＡジグリシジルエーテル、ビスフェノールＦジグリシジルエーテル、ビスフェノールＳジグリシジルエーテル、水添ビスフェノールＡジグリシジルエーテル、水添ビスフェノールＦジグリシジルエーテル、水添ビスフェノールＡＤジグリシジルエーテル、臭素化ビスフェノールＡジグリシジルエーテル、臭素化ビスフェノールＦジグリシジルエーテル、臭素化ビスフェノールＳジグリシジルエーテルなどのビスフェノール化合物のジグリシジルエーテル類；
エチレングリコールジグリシジルエーテル、プロピレングリコールジグリシジルエーテル、１，４−ブタンジオールジグリシジルエーテル、１，６−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルなどの多価アルコールのポリグリシジルエーテル類；
ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテルなどのポリアルキレングリコールジグリシジルエーテル類；
エチレングリコール、プロピレングリコール、グリセリンなどの脂肪族多価アルコールに１種または２種以上のアルキレンオキサイド（例えば、エチレンオキサイド、プロピレンオキサイドなど）を付加することにより得られるポリエーテルポリオールのポリグリシジルエーテル類；
ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂；ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂；フェノールノボラック型エポキシ樹脂；クレゾールノボラック型エポキシ樹脂；ポリフェノール型エポキシ樹脂；他の脂環族エポキシ樹脂、他の脂肪族ポリグリシジルエーテル、高級多価脂肪酸のポリグリシジルエステル類；エポキシ化大豆油、エポキシ化アマニ油や、
【００７３】
以下、商品名で、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂として、エピコート８２５、同８２８、同８３４、同１００１、同１００２、同１００３、同１００４、同１００７、同１００９、同１０１０、同８０００、同８０３４〔以上、ジャパンエポキシレジン（株）製〕など；ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂として、エピコート８０７〔ジャパンエポキシレジン（株）製〕など；フェノールノボラック型エポキシ樹脂として、エピコート１５２、同１５４、同１５７Ｓ６５〔以上、ジャパンエポキシレジン（株）製〕、ＥＰＰＮ２０１、同２０２（以上、日本化薬（株）製）など；クレゾールノボラック型エポキシ樹脂として、ＥＯＣＮ１０２、同１０３Ｓ、同１０４Ｓ、同１０２０、同１０２５、同１０２７〔以上、日本化薬（株）製〕、エピコート１８０Ｓ７５〔ジャパンエポキシレジン（株）製〕など；ポリフェノール型エポキシ樹脂として、エピコート１０３２Ｈ６０、同ＸＹ−４０００〔以上、ジャパンエポキシレジン（株）製〕など；他の脂環族エポキシ樹脂として、ＣＹ−１７５、同１７７、同１７９、アラルダイトＣＹ−１８２、同１９２、１８４〔以上、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ（株）製〕、ＥＲＬ−４２０６、同−４２２１、同−４２３４、同−４２９９（以上、Ｕ．Ｃ．Ｃ社製）、ショーダイン５０９〔昭和電工（株）製〕、エピクロン２００、同４００〔以上、大日本インキ（株）製〕、エピコート８７１、同８７２〔以上、ジャパンエポキシレジン（株）製〕、ＥＤ−５６６１、同−５６６２〔以上、セラニーズコーティング（株）製〕など；他の脂肪族ポリグリシジルエーテルとして、エポライト１００ＭＦ〔共栄社化学（株）製〕、エピオールＴＭＰ〔日本油脂（株）製〕などのほか、
【００７４】
２個以上の３，４−エポキシシクロヘキシル基を有する化合物として、３，４−エポキシシクロヘキサンカルボン酸の〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕エステル、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル−５，５−スピロ−３，４−エポキシ）シクロヘキサンメタジオキサン、ビス〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕アジペート、ビス〔（３，４−エポキシ−６−メチルシクロヘキシル）メチル〕アジペート、３，４−エポキシ−６−メチルシクロヘキサンカルボン酸の（３，４−エポキシ−６−メチルシクロヘキシル）エステル、メチレンビス（３，４−エポキシシクロヘキサン）、ジシクロペンタジエンジエポキサイド、エチレングリコールのビス〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕エーテル、エチレングリコールのビス（３，４−エポキシシクロヘキサンカルボン酸）エステル、３，４−エポキシシクロヘキサンカルボン酸の〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕エステルとカプロラクトンとの反応生成物など；
エポキシ基と３，４−エポキシシクロヘキシル基とを有する化合物として、１，２：８，９−ジエポキシリモネンなど
などを挙げることができる。
【００７５】
また、エピスルフィド基を有する化合物としては、例えば、上記エポキシ基を１個または２個以上有する化合物中のエポキシ基を、例えば「Ｊ．Ｏｒｇ．Ｃｈｅｍ.,Ｖｏｌ．２８，ｐ．２２９（１９６３）」に示された方法に準拠して、エピスルフィド基に変換した化合物などを挙げることができる。
【００７６】
また、オキセタニル基を１個有する化合物としては、例えば、３−メチル−３−メトキシメチルオキセタン、３−エチル−３−メトキシメチルオキセタン、３−メチル−３−エトキシメチルオキセタン、３−エチル−３−エトキシメチルオキセタン、３−メチル−３−ヒドロキシメチルオキセタン、３−エチル−３−ヒドロキシメチルオキセタン、３−メチル−３−フェノキシメチルオキセタン、３−エチル−３−フェノキシメチルオキセタン、３−メチル−３−ベンジルオキシメチルオキセタン、３−エチル−３−ベンジルオキシメチルオキセタン、３−メチル−３−〔（２−エチルヘキシルオキシ）メチル〕オキセタン、３−エチル−３−〔（２−エチルヘキシルオキシ）メチル〕オキセタン、３−メチル−３−（Ｎ−ｎ−ブチルアミドメトキシ）オキセタン、３−エチル−３−（Ｎ−ｎ−ブチルアミドメトキシ）オキセタンを挙げることができる。
【００７７】
また、オキセタニル基を２個以上有する化合物としては、例えば、
３，７−ビス（３−オキセタニル）−５−オキサノナン、３，３’−〔１，３−（２−メチレニル）プロパンジイルビス（オキシメチレン）〕ビス（３−エチルオキセタン）、１，４−ビス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メトキシメチル〕ベンゼン、ビス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕テレフタレート、１，２−ビス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メトキシメチル〕エタン、１，３−ビス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メトキシメチル〕プロパン、エチレングリコールビス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕エーテル、ジエチレングリコールビス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕エーテル、トリエチレングリコールビス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕エーテル、テトラエチレングリコールビス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕エーテル、ジシクロペンテニルビス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕エーテル、トリシクロデカンジイルジメチレンビス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕エーテル、トリメチロールプロパントリス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕エーテル、１，４−ビス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メトキシ〕ブタン、１，６−ビス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メトキシ〕ヘキサン、ペンタエリスリトールトリス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕エーテル、ペンタエリスリトールテトラキス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕エーテル、ポリエチレングリコールビス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕エーテル、ジペンタエリスリトールヘキサキス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕エーテル、ジペンタエリスリトールペンタキス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕エーテル、ジペンタエリスリトールテトラキス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕エーテル、
【００７８】
ジペンタエリスリトールヘキサキス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕エーテルとカプロラクトンとの反応生成物、ジペンタエリスリトールペンタキス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕エーテルとカプロラクトンとの反応生成物、ジトリメチロールプロパンテトラキス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕エーテル、ビスフェノールＡビス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕エーテルとエチレンオキサイドとの反応生成物、ビスフェノールＡビス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕エーテルとプロピレンオキサイドとの反応生成物、水添ビスフェノールＡビス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕エーテルとエチレンオキサイドとの反応生成物、水添ビスフェノールＡビス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕エーテルとプロピレンオキサイドとの反応生成物、ビスフェノールＦビス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕エーテルとエチレンオキサイドとの反応生成物
などを挙げることができる。
【００７９】
これらの（Ｅ）熱重合性化合物のうち、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、３，４−エポキシシクロヘキサンカルボン酸の〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕エステル、ビス〔（３−エチル−３−オキセタニル）メチル〕テレフタレートなどが好ましい。
【００８０】
上記（Ｅ）熱重合性化合物は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
（Ｅ）熱重合性化合物の添加量は、（Ａ）共重合体１００重量部に対して、好ましくは１００重量部以下、さらに好ましくは５０重量部以下である。この場合、（Ｅ）熱重合性化合物の添加量が１００重量部を超えると、得られる樹脂組成物の現像性が損なわれるおそれがある。
【００８１】
本発明の感放射線性樹脂組成物には、プレベーク時の熱かぶりによる現像性の低下を抑えるために、熱重合禁止剤を添加することができる。
このような熱重合禁止剤としては、例えば、ピロガロール、ベンゾキノン、ヒドロキノン、メチレンブルー、ｔ−ブチルカテコール、メチルヒドロキノン、ｎ−アミルキノン、ｎ−アミロイロキシヒドロキノン、ｎ−ブチルフェノール、フェノール、ヒドロキノンモノ−ｎ−プロピルエーテル、４，４’−〔１−｛４−（１− [４−ヒドロキシフェニル] −１−メチルエチル）フェニル｝エチリデン〕ジフェノール、１，１，３−トリス（２，５−ジメチル−４−ヒドロキシフェニル）−３−フェニルプロパンなどを挙げることができる。
これらの熱重合禁止剤は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
熱重合禁止剤の添加量は、（Ｅ）熱重合性化合物１００重量部に対して、好ましくは０．１〜５重量部、さらに好ましくは０．５〜３重量部である。この場合、熱重合禁止剤の使用量が５重量部を超えると、現像時の残膜率が低下するなどの問題が生じることがある。
【００８２】
本発明の感放射線性樹脂組成物には、塗布性、消泡性、レベリング性などを向上させるために、界面活性剤を添加することができる。
このような界面活性剤としては、例えば、フッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤などを挙げることができる。
上記フッ素系界面活性剤としては、商品名で、例えば、ＢＭ−１０００、同−１１００（以上、ＢＭ  ＣＨＩＭＩＥ社製）、メガファックＦ１４２Ｄ、同Ｆ１７２、同Ｆ１７３、同Ｆ１８３〔以上、大日本インキ化学工業（株）製〕、フロラードＦＣ−１３５、同ＦＣ−１７０Ｃ、同ＦＣ−４３０、同ＦＣ−４３１〔以上、住友スリーエム（株）製〕、サーフロンＳ−１１２、同Ｓ−１１３、同Ｓ−１３１、同Ｓ−１４１，同Ｓ−１４５、同Ｓ−３８２，同ＳＣ−１０１、同ＳＣ−１０２、同ＳＣ−１０３、同ＳＣ−１０４、同ＳＣ−１０５、同ＳＣ−１０６〔以上、旭硝子（株）製〕などを挙げることができる。
【００８３】
また、上記シリコーン系界面活性剤としては、商品名で、例えば、ＳＨ−２８ＰＡ、同−１９０、同−１９３、ＳＺ−６０３２、ＳＦ−８４２８、ＤＣ−５７、同−１９０〔以上、東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製〕、ＫＰ３４１〔信越化学工業（株）製〕、エフトップＥＦ３０１、同ＥＦ３０３、同ＥＦ３５２〔以上、新秋田化成（株）製〕などを挙げることができる。
また、上記ノニオン系界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテルなどのポリオキシエチレンアルキルエーテル類；ポリオキシエチレンｎ−オクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンｎ−ノニルフェニルエーテルなどのポリオキシエチレンアリールエーテル類；ポリオキシエチレンジラウレート、ポリオキシエチレンジステアレートなどのポリオキシエチレンジアルキルエステル類などを挙げることができる。
さらに、上記以外の界面活性剤として、商品名で、例えば、ポリフローＮｏ．５７、同Ｎｏ．９０〔以上、共栄社化学（株）製〕などを挙げることができる。
これらの界面活性剤は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
界面活性剤の添加量は、（Ａ）共重合体１００重量部に対して、好ましくは５重量部以下、さらに好ましくは２重量部以下である。この場合、界面活性剤の添加量が５重量部を超えると、塗布時に塗膜の膜荒れが生じやすくなる傾向がある。
【００８４】
本発明の感放射線性樹脂組成物には、（Ａ）共重合体のアルカリ現像液に対する溶解性を調節するために、溶解促進剤や溶解制御剤を添加することができる。すなわち、（Ａ）共重合体のアルカリ現像液に対する溶解性が低すぎる場合は、その溶解性を高めて、アルカリ現像時の（Ａ）共重合体の溶解速度を適度に増大させる作用を有する溶解促進剤を配合することができる。逆に、（Ａ）共重合体のアルカリ現像液に対する溶解性が高すぎる場合は、その溶解性を制御し、アルカリ現像時の（Ａ）共重合体の溶解速度を適度に減少させる作用を有する溶解制御剤を配合することができる。
【００８５】
上記溶解促進剤および溶解制御剤としては、特に限定されるものではないが、感放射線性樹脂組成物のプレベーク、露光、現像などの工程において化学変化しない化合物が好ましい。
溶解促進剤としては、例えば、ベンゼン環数が２〜６個程度の低分子量のフェノール性化合物を挙げることができ、より具体的には、ビスフェノール類、トリス（ヒドロキシフェニル）メタン類などを挙げることができる。
また、溶解制御剤としては、例えば、ナフタレン、フェナントレン、アントラセン、アセナフテンなどの芳香族炭化水素類；アセトフェノン、ベンゾフェノン、フェニルナフチルケトンなどのケトン類；メチルフェニルスルホン、ジフェニルスルホン、ジナフチルスルホンなどのスルホン類などを挙げることができる。
これらの溶解促進剤および溶解制御剤はそれぞれ、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
【００８６】
溶解促進剤および溶解制御剤の添加量は、使用される（Ａ）共重合体の種類に応じて適宜調整することができるが、それぞれ（Ａ）共重合体１００重量部に対して、好ましくは５０重量部以下、さらに好ましくは３０重量部以下である。
【００８７】
本発明の感放射線性樹脂組成物には、アルカリ現像液に対する溶解性を微調整するために、カルボキシル基および／またはカルボン酸無水物基を有する化合物（以下、「カルボン酸系添加剤」という。）を添加することができる。
カルボン酸系添加剤としては、例えば、酢酸、プロピオン酸、ｎ−酪酸、イソ酪酸、ｎ−吉草酸、イソ吉草酸、安息香酸、けい皮酸などのモノカルボン酸類；乳酸、２−ヒドロキシ酪酸、３−ヒドロキシ酪酸、サリチル酸、ｍ−ヒドロキシ安息香酸、ｐ−ヒドロキシ安息香酸、ｏ−ヒドロキシけい皮酸、ｍ−ヒドロキシけい皮酸、ｐ−ヒドロキシけい皮酸、５−ヒドロキシイソフタル酸、シリンギン酸などのヒドロキシモノカルボン酸類；シュウ酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、マレイン酸、イタコン酸、ヘキサヒドロフタル酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、１，２−シクロヘキサンジカルボン酸、１，２，４−シクロヘキサントリカルボン酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、１，２，３，４−ブタンテトラカルボン酸、１，２，３，４−シクロペンタンテトラカルボン酸、１，２，５，８−ナフタレンテトラカルボン酸などの多価カルボン酸類；無水イタコン酸、無水コハク酸、無水シトラコン酸、ドデセニルコハク酸無水物、無水トリカルバニル酸、無水マレイン酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、無水メチルテトラヒドロフタル酸、無水ハイミック酸、無水フタル酸、無水ピロメリット酸、無水トリメリット酸、１，２，３，４−ブタンテトラカルボン酸二無水物、１，２，３，４−シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、３，４，３’，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、エチレングリコールビス（トリメリテート）二無水物、グリセリントリス（トリメリテート）三無水物などの酸無水物類を挙げることができる。
これらのカルボン酸系添加剤は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
カルボン酸系添加剤の添加量は、（Ａ）共重合体１００重量部に対して、好ましくは１０重量部以下、さらに好ましくは５重量部以下である。
【００８８】
さらに、本発明の感放射線性樹脂組成物には、充填材、着色剤、粘度調整剤などを、感放射線性樹脂組成物の本来の特性を損なわない範囲、好ましくは合計添加量が、得られる組成物全体の５０重量％以下となる範囲で添加することもできる。
上記充填材としては、例えば、シリカ、アルミナ、タルク、ベントナイト、ジルコニウムシリケート、粉末ガラスなどを挙げることができる。
これらの充填材は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
また、上記着色剤としては、例えば、アルミナ白、クレー、炭酸バリウム、硫酸バリウムなどの体質顔料；亜鉛華、鉛白、黄鉛、鉛丹、群青、紺青、酸化チタン、クロム酸亜鉛、ベンガラ、カーボンブラックなどの無機顔料；ブリリアントカーミン６Ｂ、パーマネントレッド６Ｂ、パーマネントレッドＲ、ベンジジンイエロー、フタロシアニンブルー、フタロシアニングリーンなどの有機顔料；マゼンタ、ローダミンなどの塩基性染料；ダイレクトスカーレット、ダイレクトオレンジなどの直接染料；ローセリン、メタニルイエローなどの酸性染料などを挙げることができる。
これらの着色剤は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
また、上記粘度調整剤としては、例えば、ベントナイト、シリカゲル、アルミニウム粉末などを挙げることができる。
これらの粘度調整剤は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
【００８９】
本発明の感放射線性樹脂組成物は、（Ａ）共重合体、（Ｂ）重合性不飽和化合物、（Ｃ）光重合開始剤、（Ｄ）シランカップリング剤、および必要に応じて使用される添加剤を均一に混合し、また基板上への塗布作業を容易とする目的で、有機溶媒で希釈して、液状組成物とすることが好ましい。
上記有機溶媒としては、感放射線性樹脂組成物を構成する各成分を均一に溶解ないし分散させることができ、該各成分と反応せず、適度の揮発性を有するものが好ましい。
このような有機溶媒としては、例えば、上記（Ａ）共重合体を製造する重合について例示した溶剤と同様の有機溶媒のほか、Ｎ−メチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ−メチルホルムアニリド、Ｎ−メチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドン、ジメチルスルホキシド、ベンジルエチルエーテル、ジヘキシルエーテル、アセトニルアセトン、イソホロン、カプロン酸、カプリル酸、１−オクタノール、１−ノナノール、ベンジルアルコール、酢酸ベンジル、安息香酸エチル、シュウ酸ジエチル、マレイン酸ジエチル、γ−ブチロラクトン、炭酸エチレン、炭酸プロピレン、エチレングリコールモノフェニルエーテルアセテートなどの高沸点溶媒を挙げることができる。
【００９０】
これらの有機溶媒のうち、溶解性、各成分との反応性および塗膜形成の容易性から、エチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテルなどの多価アルコールのアルキルエーテル類；エチレングリコールモノエチルエーテルアセテートなどの多価アルコールのアルキルエーテルアセテート類；乳酸エチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチルなどの他のエステル類；ジアセトンアルコールなどのケトン類などが好ましい。
上記有機溶媒は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
有機溶媒の使用量は、感放射線性樹脂組成物の具体的な用途、塗布方法などに応じて適宜選定することができる。
なお、上記溶媒の使用量の具体例は、Ａ）共重合体、（Ｂ）重合性不飽和化合物、（Ｃ）光重合開始剤、（Ｄ）シランカップリング剤、および必要に応じて使用される添加剤合計の濃度（固形分濃度）が、好ましくは２０〜９０重量％、さらに好ましくは３０〜８０重量％となる量である。
【００９１】
本発明の感放射線性樹脂組成物を調製する際には、充填材や顔料を添加しない場合は、通常の方法で撹拌混合するだけでよく、充填材や顔料を添加する場合は、ディゾルバー、ホモジナイザー、３本ロールミルなどの分散機を用いて分散混合させればよい。また、本発明の感放射線性樹脂組成物は、必要に応じて、調製後にメッシュ、メンブレンフィルターなどによりろ過して使用に供してもよい。
【００９２】
本発明の感放射線性樹脂組成物は、感放射線性ドライフィルムとして、特に、表示素子用のレンズの形成に極めて好適に使用することができる。
【００９３】
感放射線性ドライフィルム
本発明の感放射線性ドライフィルムは、ベースフィルム、好ましくは可とう性のベースフィルム上に、本発明の感放射線性樹脂組成物からなる感放射線層を積層してなるものである。
感放射線性ドライフィルムは、ベースフィルム上に、感放射線性樹脂組成物を好ましくは液状組成物として塗布したのち乾燥することにより、感放射線層を積層して形成することができる。
【００９４】
感放射線性ドライフィルムのベースフィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリカーボネート、ポリ塩化ビニルなどの合成樹脂フィルムを使用することができる。
ベースフィルムの厚さは、１５〜１２５μｍの範囲が適当である。
ベースフィルム上に感放射線層を積層する際の塗布方法としては、特に限定されるものでないが、例えば、アプリケーターコート法、バーコート法、ロールコート法、カーテンフローコート法などの適宜の方法を採用することができる。
得られる感放射線層の膜厚は、乾燥膜厚で５〜５０μｍ程度が好ましい。
【００９５】
また、感放射線性ドライフィルムは、未使用時に、その感放射線層上にさらにカバーフィルムを積層して保存することもできる。
このカバーフィルムは、未使用時の感放射線層を安定に保護しておくためのものであり、使用時に除去される。したがって、カバーフィルムは、未使用時には剥がれず、使用時には容易に剥がすことができるように、適度な離型性を有する必要がある。このような条件を満たすカバーフィルムとしては、例えば、ＰＥＴフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリ塩化ビニルなどの合成樹脂フィルムの表面にシリコーン系離型剤を塗布または焼き付けしたフィルムを使用することができる。
カバーフィルムの厚さは、通常、１５μｍ程度で十分である。
【００９６】
レンズの形成方法
本発明のレンズの形成方法は、少なくとも下記（イ）〜（ニ）の工程を下記する記載順で含んでいる。
（イ）本発明のレンズ形成用感放射線性樹脂組成物の被膜を基板上に形成する工程。
（ロ）該被膜の少なくとも一部に放射線を照射（以下、「露光」という。）する工程。
（ハ）露光後の被膜を現像する工程。
（ニ）現像後の被膜を加熱処理（以下、「ベーク」という。）する工程。
【００９７】
以下、これらの工程について説明する。
−（イ）工程−
この工程においては、感放射線性樹脂組成物を、液状組成物として使用する方法、あるいは感放射線性ドライフィルムとして使用する方法（以下、「ドライフィルム法」という。）のいずれも用いることができる。
【００９８】
感放射線性樹脂組成物を液状組成物として使用する場合は、該液状組成物を基板上に塗布し、プレベークを行うことにより、被膜を形成する。
使用できる基板としては、ガラス基板、樹脂基板、シリコンウエハーや、これらの表面に各種の金属層が形成された基板などを挙げることができる。
液状組成物の塗布方法としては、特に限定されるものでないが、例えば、スプレーコート法、ロールコート法、回転コート法、バーコート法などの適宜の方法を採用することができる。
プレベークの条件は、感放射線性樹脂組成物の構成成分の種類や使用割合などによっても異なるが、通常、６０〜１３０℃で３０秒間〜１５分間程度である。
得られる被膜の膜厚は、プレベーク後の値として、１０〜３０μｍ程度が好ましい。
【００９９】
また、ドライフィルム法の場合は、カバーフィルムが積層されている場合はそれを剥離したのち、感放射線性ドライフィルムを、その感放射線層が基板側となるように、常圧熱ロール圧着法、真空熱ロール圧着法、真空熱プレス圧着法などの適宜の圧着手法を用いて、適当な熱と圧力を加えながら、基板に圧着することにより、感放射線層を基板表面に転写して、基板上に感放射線性樹脂組成物の被膜を形成する。
【０１００】
−（ロ）工程−
この工程においては、形成された感放射線性樹脂組成物の被膜の少なくとも一部に露光する。被膜の一部に露光する際には、通常、所定パターンのフォトマスクを介して露光する。
露光に用いられる放射線としては、特に限定されるものではなく、使用される（Ｃ）光重合開始剤の種類などに応じて、例えば、ｇ線（波長４３６ｎｍ）やｉ線（波長３６５ｎｍ）などの紫外線、ＫｒＦエキシマレーザーなどの遠紫外線、シンクロトロン放射線などのＸ線、電子線などの荷電粒子線などを適宜選択することができるが、これらの放射線のうち、紫外線が好ましく、特に、ｇ線および／またはｉ線を含む放射線が好ましい。
また、露光量は、５０〜１０，０００Ｊ／ｍ２程度が好ましい。さらに好ましくは、３００〜５，０００Ｊ／ｍ２程度である。
（イ）工程でドライフィルム法を用いたときは、感放射線性ドライフィルムに用いたベースフィルムは、露光前に剥離除去してもよく、また露光後、現像前に剥離除去してもよい。
【０１０１】
−（ハ）工程−
この工程においては、露光された被膜を現像液、好ましくはアルカリ現像液により現像して、未露光部を除去することにより、所定形状のパターンを形成する。
上記アルカリ現像液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウム、アンモニア、エチルアミン、ｎ−プロピルアミン、ジエチルアミン、ジエチルアミノエタノール、ジ−ｎ−プロピルアミン、トリエチルアミン、メチルジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、トリエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、ピロール、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ [５．４．０] −７−ウンデセン、１，５−ジアザビシクロ [４．３．０] −５−ノネンなどの塩基性化合物の水溶液を挙げることができる。
上記塩基性化合物の水溶液には、メタノール、エタノールなどの水溶性有機溶媒や界面活性剤を適当量添加することもできる。
なお、アルカリ現像液で現像したのちは、通常、例えば流水洗浄などにより洗浄する。
また、顔料や充填材などの不溶性成分を含有しない感放射線性樹脂組成物の場合には、当該組成物を構成する各成分を溶解する各種の有機溶媒を現像液として使用することもできる。
【０１０２】
現像方法としては、特に限定されるものではなく、液盛り法、ディッピング法、揺動浸漬法、シャワー法などの適宜の方法を採用することができる。
現像時間は、感放射線性樹脂組成物の組成などによっても異なるが、通常、常温で３０〜３００秒間程度である。
レンズの形成に用いられる従来の感放射線性樹脂組成物では、現像時間が最適条件から２０〜２５秒程度超過すると、形成されたパターンに剥がれが生じるため、現像時間を厳密に制御する必要があったが、本発明のレンズ形成用感放射線性樹脂組成物の場合、最適現像時間からの超過時間が３０秒以上となっても、良好なパターンを形成でき、製品歩留りの面で有利である。
【０１０３】
−（ニ）工程−
この工程においては、現像後の被膜を、例えば、ホットプレート、オーブンなどの加熱装置によりベークすることにより、該被膜を硬化させつつ、所定のレンズ形状にメルトフローさせて、レンズを形成することができる。
ベークの条件は、感放射線性樹脂組成物の構成成分の種類や使用割合、所望するパターン形状、加熱装置などによっても異なるが、ホットプレートの場合は、例えば、１５０〜２４０℃で１〜３０分間程度であり、オーブンの場合は、１５０〜２４０℃で３〜９０分間程度である。樹脂基板など耐熱性の低い基板を使用したときは、ベークの温度を１６０℃以下、好ましくは１００〜１５０℃とすることが望ましい。また、ベークに際しては、２回以上加熱処理するステップベーク法などを採用することもできる。
【０１０４】
このようにして、目的とするマイクロレンズに対応するパターンを基板上に形成することができる。
本発明のレンズの形成方法によると、優れた特性を有する高精細なマイクロレンズおよびマイクロレンズアレイを高い製品歩留まりで簡便に形成することができる。
本発明のマイクロレンズは、本発明のレンズ形成用感放射線性樹脂組成物から形成されたものであり、優れた特性バランスを有しており、各種のＯＡ機器、液晶テレビ、携帯電話、プロジェクターなどの液晶表示素子、ファクシミリ、電子複写機、固体撮像子などのオンチップフイルターの結像光学系、光ファイバーコネクタなどに極めて好適に使用することができる。
【実施例】
【０１０５】
以下に、実施例および比較例を示して、本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
【０１０６】
合成例１
ドライアイス／メタノール系還流器を装着したフラスコを窒素置換したのち、ラジカル重合開始剤として２，２’−アゾビスイソブチロニトリル  ４．０ｇ、溶剤としてジエチレングリコールジメチルエーテル  １００．０ｇおよびジエチレングリコールモノメチルエーテル  ５０．０ｇを仕込み、ラジカル重合開始剤が溶解するまで撹拌した。その後、メタクリル酸  １５．０ｇ、２−モノ（ヘキサヒドロフタロイルオキシ）エチルメタクリレート  １５．０ｇ、ジシクロペンタニルメタクリレート  ４０．０ｇ、スチレン  １５．０ｇおよびテトラヒドロフルフリルメタクリレート  １５．０ｇを仕込んで、ゆるやかに撹拌を始めた。その後、反応溶液の温度を８０℃に上昇させ、この温度で４時間重合を行なった。重合後、反応溶液を多量のメタノール中に滴下して反応生成物を凝固させ、得られた凝固物を水洗したのち、凝固物と同重量のテトラヒドロフランに再溶解して、再度多量のメタノール中に滴下して凝固させた。この再溶解−凝固操作を計３回行なったのち、反応生成物を４０℃で４８時間真空乾燥して、（Ａ）共重合体を得た。
この（Ａ）共重合体を、共重合体（Ａ−１)とする。
【０１０７】
合成例２
ドライアイス／メタノール系還流器を装着したフラスコを窒素置換したのち、ラジカル重合開始剤として２，２’−アゾビスイソブチロニトリル  ４．０ｇ、溶剤としてジアセトンアルコール  １５０．０ｇを仕込み、ラジカル重合開始剤が溶解するまで撹拌した。その後、アクリル酸  ２０．０ｇ、２−モノ（ヘキサヒドロフタロイルオキシ）エチルメタクリレート  １５．０ｇ、ジシクロペンタニルメタクリレート  ４０．０ｇ、スチレン  １５．０ｇおよびイソプレン  ５．０ｇを仕込んで、ゆるやかに撹拌を始めた。その後、反応溶液の温度を８０℃に上昇させ、この温度で４時間重合を行なった。重合後、反応溶液を多量のメタノール中に滴下して反応生成物を凝固させ、得られた凝固物を水洗したのち、凝固物と同重量のテトラヒドロフランに再溶解して、再度多量のメタノール中に滴下して凝固させた。この再溶解−凝固操作を計３回行なったのち、反応生成物を４０℃で４８時間真空乾燥して、（Ａ）共重合体を得た。
この（Ａ）共重合体を、共重合体（Ａ−２)とする。
【０１０８】
合成例３
ドライアイス／メタノール系還流器を装着したフラスコを窒素置換したのち、ラジカル重合開始剤として２，２’−アゾビス−２，４−ジメチルバレロニトリル  ４．０ｇ、溶剤として３−エトキシプロピオン酸エチル  １５０．０ｇを仕込み、ラジカル重合開始剤が溶解するまで撹拌した。その後、メタクリル酸  １５ｇ、２−モノ（ヘキサヒドロフタロイルオキシ）エチルメタクリレート  １５．０ｇ、ジシクロペンタニルメタクリレート  ４５．０ｇ、スチレン  １５．０ｇおよびイソプレン  １０．０ｇを仕込んで、ゆるやかに撹拌を始めた。その後、反応溶液の温度を８０℃に上昇させ、この温度で４時間重合を行なった。重合後、反応溶液を多量のメタノール中に滴下して反応生成物を凝固させ、得られた凝固物を水洗したのち、凝固物と同重量のテトラヒドロフランに再溶解して、再度多量のメタノール中に滴下して凝固させた。この再溶解−凝固操作を計３回行なったのち、反応生成物を４０℃で４８時間真空乾燥して、（Ａ）共重合体を得た。
この（Ａ）共重合体を、共重合体（Ａ−３) とする。
【０１０９】
合成例４
ドライアイス／メタノール系還流器を装着したフラスコを窒素置換したのち、ラジカル重合開始剤として２，２’−アゾビスイソブチロニトリル  ４．０ｇ、溶剤として３−メトキシプロピオン酸メチル  １５０ｇを仕込み、ラジカル重合開始剤が溶解するまで撹拌した。その後、メタクリル酸  １５ｇ、２−モノ（ヘキサヒドロフタロイルオキシ）エチルメタクリレート  １５ｇ、ジシクロペンタニルメタクリレート  ４５ｇ、スチレン  １５．０ｇおよび１，３−ブタジエン  １０．０ｇを仕込んで、ゆるやかに撹拌を始めた。その後、反応溶液の温度を８０℃に上昇させ、この温度で４時間重合を行なった。重合後、反応溶液を多量のメタノール中に滴下して反応生成物を凝固させ、得られた凝固物を水洗したのち、凝固物と同重量のテトラヒドロフランに再溶解して、再度多量のメタノール中に滴下して凝固させた。この再溶解−凝固操作を計３回行なったのち、反応生成物を４０℃で４８時間真空乾燥して、（Ａ）共重合体を得た。
この（Ａ）共重合体を、共重合体（Ａ−４)とする。
【０１１０】
合成例５
ドライアイス／メタノール系還流器を装着したフラスコを窒素置換したのち、ラジカル重合開始剤として２，２’−アゾビスイソブチロニトリル  ４．０ｇ、溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート  １５０ｇを仕込み、ラジカル重合開始剤が溶解するまで撹拌した。その後、メタクリル酸  １５ｇ、Ｎ−フェニルマレイミド  ２５ｇ、ベンジルメタクリレート  ３０ｇ、スチレン  １５．０ｇおよびグリコールメタクリレート  １５．０ｇを仕込んで、ゆるやかに撹拌を始めた。その後、反応溶液の温度を８０℃に上昇させ、この温度で４時間重合を行なった。重合後、反応溶液を多量のメタノール中に滴下して反応生成物を凝固させ、得られた凝固物を水洗したのち、凝固物と同重量のテトラヒドロフランに再溶解して、再度多量のメタノール中に滴下して凝固させた。この再溶解−凝固操作を計３回行なったのち、反応生成物を４０℃で４８時間真空乾燥して、（Ａ）共重合体を得た。
この（Ａ）共重合体を、共重合体（Ａ−５)とする。
【０１１１】
実施例１
液状組成物の調製
（Ａ）成分として共重合体（Ａ−１）  １０．０ｇを３−メトキシプロピン酸メチル  １０．０ｇに溶解して、（Ｂ）重合性不飽和化合物として（Ｂ−１）ライトアクリレート１．９−ＮＤＡを５．０ｇ、（Ｃ）光重合開始剤として（Ｃ−１）２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド（ＢＡＳＦ製ルシリンＴＰＯ）  ２．０ｇおよび（Ｃ−２）チバ・スペシャルティ・ケミカルズ製イルガキュア６５１を１．０ｇ、（Ｄ）成分として（Ｄ−１）３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシランを０．５ｇ加え、さらに３−メトキシプロピオン酸メチルを追加して、固形分濃度５０重量％の溶液としたのち、孔径５μｍのメンブランフィルターでろ過して、感放射線性樹脂組成物の液状組成物（Ｓ−１）を調製した。
【０１１２】
−保存安定性の評価−
液状組成物（Ｓ−１）を４０℃のオーブン中で１週間保存して、保存前後における粘度の増加率（％）により評価した。粘度の増加率が５％以内のとき、保存安定性が良好であるといえる。評価結果を表２に示す。
【０１１３】
−ドライフィルムの作製−
感放射線性樹脂組成物の液状組成物（Ｓ−１）をアプリケーターを用いて、厚さ３８μｍのＰＥＴフィルム上に塗布し、塗膜を１００℃で５分間プレベークして、感放射線層の膜厚が２５μｍの感放射線性ドライフィルムを作製した。
【０１１４】
−転写性の評価−
ガラス基板の表面に感放射線性ドライフィルムの感放射線層が当接されるように重ね合わせ、熱圧着法で圧着して、感放射線性ドライフィルムをガラス基板に転写した。次いで、ベースフィルムを剥離除去した際に、感放射線層がガラス基板上に均一に転写できた場合を「○」、感放射線層が部分的にベースフィルム上に残ったり、感放射線層がガラス基板表面に密着しなかったりするなど、ガラス基板に感放射線層を均一に転写できなかった場合を「×」として評価した。評価結果を、パターン状薄膜の膜厚と併せて、表２に示す。
【０１１５】
パターン状薄膜の形成
ガラス基板上に感放射線性ドライフィルム被膜に、所定パターンのフォトマスクを介して、波長３６５ｎｍにおける強度が２００Ｗ／ｍ２の紫外線を所定の時間、照射した。次いで、０．５重量％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液により、２５℃で２分間シャワー現像し、純水で１分間洗浄して、パターンを形成した。その後、被膜を２２０℃のオーブン中で６０分間ベークして硬化させることにより、膜厚１９．４μｍのパターン状薄膜を得た。
次いで、下記の要領で評価を行った。評価結果を表２に示す。
【０１１６】
−解像度の評価−
パターン状薄膜について、ライン／スペース＝１０μｍ／１０μｍのパターンが解像できている場合を○、ライン／スペース＝２０μｍ／２０μｍのパターンを解像できている場合を△、両者のパターンが解像できていない場合を×として、評価した。
−パターン形状の評価−
パターン状薄膜について、ライン／スペース＝５０μｍ／５０μｍあるいは３０μｍ／３０μｍのパターンを透過型電子顕微鏡で観察し、図１の（ａ）、（ｂ）のいずれの形状に該当するかを評価した。（ａ）のような半凸レンズ形状であるとき、パターン形状が良好である。
【０１１７】
−透明性の評価−
パターン状薄膜の波長４００ｎｍでの透過率（％）を、分光光度計１５０−２０型ダブルビーム〔日立製作所（株）製〕により測定して評価した。この透過率が８５％以上のとき、透明性は良好であるといえる。
−耐熱性の評価−
パターン状薄膜を２２０℃のオーブン中で６０分間加熱して、加熱前後における膜厚の減少率（％）により評価した。膜厚の減少率が５％以内のとき、耐熱性が良好であるといえる。
【０１１８】
−耐熱変色性の評価−
パターン状薄膜を２２０℃のオーブン中で６０分間加熱し、加熱前後におけるパターン状薄膜の波長４００ｎｍでの透過率を、分光光度計１５０−２０型ダブルビーム〔日立製作所（株）製〕により測定して、透過率の減少率（％）により評価した。透過率の減少率が５％以内のとき、耐熱変色性が良好であるといえる。
−耐溶剤性の評価−
パターン状薄膜を形成したガラス基板を、５０℃のＮ−メチルピロリドン中に１５分間浸漬して、浸漬前後におけるパターン状薄膜の膜厚の変化率（％）〔＝（浸漬後の膜厚−浸漬前の膜厚）×１００／浸漬前の膜厚〕により評価した。膜厚の変化率が±５％以内のとき、耐溶剤性が良好であるといえる。
【０１１９】
実施例２〜１４
実施例１において、（Ａ）成分〜（Ｄ）成分として、表１に記載のとおりの種類、量を使用し、また実施例２，３においては熱重合性化合物として表１に記載のとおりの種類、量を添加した以外は、実施例１と同様にして組成物溶液を調製し、パターン状薄膜を形成して評価した。（Ｂ）〜（Ｄ）の添加量は、共重合体（Ａ）１００重量部に対しての重量比である。
【０１２０】
表１中、成分の略称は次の化合物を示す。
（Ｂ−１）：ライトアクリレート１．９−ＮＤＡ（共栄社化学（株）製）
（Ｂ−２）：ＫＡＹＡＲＡＤ  ＨＤＤＡ（日本化薬（株）製）
（Ｂ−３）：ＫＡＹＡＲＡＤ  ＮＰＧＤＡ（日本化薬（株）製）
（Ｂ−４）：アロニックスＭ８１００（東亞合成（株）製）
（Ｂ−５）：アロニックスＭ８０６０（東亞合成（株）製）
（Ｂ−６）：アロニックスＭ３０９（東亞合成（株）製）
（Ｂ−７）：ＫＡＹＡＲＡＤ  Ｒ−５２６（日本化薬（株）製）
（Ｃ−１）：２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド（ＢＡＳＦ製ルシリンＴＰＯ）
（Ｃ−２）：イルガキュア６５１（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ（株）製）
（Ｃ−３）：イルガキュア３７９（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ（株）製）
（Ｄ−１）：３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン
（Ｄ−２）：γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン
（Ｅ−１）：エピコート８２８（ジャパンエポキシレジン（株）製）
（Ｅ−２）：〔（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル〕エステル
【０１２１】
実施例１５
実施例１において、パターン状薄膜を１５０℃のホットプレート上で５分間ベークして硬化させた以外は、実施例１と同様にして保存安定性の評価を行い、またパターン状薄膜を形成して評価した。
評価結果を、パターン状薄膜の膜厚と併せて表２に示す。
【０１２２】
【表１】
2008020662.tif 000011
【０１２３】
【表２】
2008020662.tif 000012
【産業上の利用可能性】
【０１２４】
本発明の感放射線性ドライフィルムは、優れた特性バランスを有する高精細なレンズおよびレンズアレイを形成することができる。また、本発明のレンズは、液晶表示素子のバックライト集光用途のマイクロレンズや、３Ｄディスプレイの視差画像を得るために設けられるマイクロレンズ、レンチキュラレンズ、フレネルレンズ、プリズムレンズなどの用途に極めて好適に使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１２５】
【図１】（ａ）、（ｂ）は、レンズの断面形状を示す模式図である。
【図１】
2008020662.tif 000013