(57)【要約】【課題】液体を所望の状態に制御した上で、液体間の相互作用を評価できる液物性評価装置を提供する。【解決手段】本発明の液物性評価装置は、液体試料を液滴吐出法で基板１１上に吐出した際の、基板１１上での液体試料の挙動を調べて液体試料の物性を評価する装置である。基板１１を載置するステージ１０と、ステージ１０上に載置された基板１１上に液体試料を吐出する複数の液滴吐出手段２０、３０と、ステージ１０と複数の液滴吐出手段２０、３０との相対的位置を変化させることにより、ステージ１０上の基板１１を複数の液滴吐出手段２０、３０のうちの一方に対応する位置から他方に対応する位置に移動させる移動手段１２、２２、３２と、基板１１上に吐出された液体試料の挙動を撮影するための撮影手段４０と、を備えている。【選択図】図１
2008233026.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体試料を液滴吐出法で基板上に吐出した際の、前記基板上での前記液体試料の挙動を調べて前記液体試料の物性を評価するための液物性評価装置であって、
前記基板を載置するステージと、
前記ステージ上に載置された前記基板上に液体試料を吐出する複数の液滴吐出手段と、
前記ステージと前記複数の液滴吐出手段との相対的位置を変化させることにより、前記ステージ上の基板を前記複数の液滴吐出手段のうちの一方に対応する位置から他方に対応する位置に移動させる移動手段と、
前記基板上に吐出された液体試料の挙動を撮影するための撮影手段と、を備えたことを特徴とする液物性評価装置。
【請求項２】
前記撮影手段で撮影する時間と、前記液滴吐出手段で液体試料を吐出する時間と、前記移動手段で前記ステージと前記複数の液滴吐出手段との相対的位置を変化させる時間と、を管理する時間管理手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載の液物性評価装置。
【請求項３】
前記ステージは、前記基板上の液体試料を所定温度に加熱し、あるいは冷却する温度管理手段を有していることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液物性評価装置。
【請求項４】
前記基板上の液体試料に所定の波長帯域光を照射する光源を備えていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の液物性評価装置。
【請求項５】
前記撮影手段によって撮影された画像を解析する解析手段を備えていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の液物性評価装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液物性評価装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体の物性、すなわち濡れ性や粘性、乾燥速度、多孔質板への浸透速度等を評価することは、デバイスの生産性や性能を向上させる上で極めて重要である。例えば、インクジェット印刷機を設計する際には、インクの吐出条件を設定する上で、インクの粘性等を知る必要があるし、また、印刷物の画質等を向上させようとすれば、インクの乾燥速度や媒体に対する濡れ性等を知る必要がある。
【０００３】
また、デバイスを製造する際には、印刷法や液滴吐出法等の液相法で液体材料を配して、これを硬化させて成膜することが頻繁に行われ、液体材料が膜となる膜化課程を把握することが重要である。その膜化過程としては、例えば液体材料中の溶媒が浸透しあるいは蒸発することで、液体材料中の固形分が残留して膜となるものや、液体材料が固化することによって膜となるものがある。このような膜化過程を時間管理等によって制御するためには、液体材料の物性を知ることが必要不可欠である。
【０００４】
液体の物性のうち、特に濡れ性や粘性を評価する方法としては、平板上に液体を滴下（吐出）してこれを側方より観察し、液体表面が平板となす角（接触角）を読み取る方法が挙げられる。このような方法で接触角を計測できる装置としては、特許文献１に開示されているものが挙げられる。
【特許文献１】特開２００２−１０７２８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、先述のインクジェット印刷や液相法によるデバイス製造においては、液体材料からなる膜を多層に形成することが必要とされる。そのため、多層膜のうちの下層膜が浸透過程や乾燥過程、固化過程等の膜化過程にあって、この上に上層膜の液体材料が配された際の下層膜の液体材料と上層膜の液体材料との間の相互作用を知ることが重要となる。具体的には、下層膜の液体材料を配してから何ミリ秒後に上層膜の液体材料を配すると、これら液体材料が相溶することなく層が形成されるのか、あるいは、どのタイミングで上層膜の液体材料を配すると下層膜に対して濡れ広がるのか等を把握することによって、成膜工程の時間管理を効果的に行うことができ、デバイスの生産性や性能を向上させることができる。
【０００６】
しかしながら、特許文献１に開示されたもの等の従来の接触角測定装置は、ある液体に対する別の液体の物性を評価することは限られた条件下でしか行うことができず、必要な情報を得ることができなかった。つまり、ある液体に対する別の液体の物性（相互作用）を評価しようとすれば、まず、平板上にある液体を吐出して、その後に吐出装置を洗浄し別な液体をセットして、先に吐出した液体上に別の液体を吐出する必要がある。ところが、吐出装置を洗浄して別の液体をセットする作業には少なくとも数分程度の時間が必要であり、この間に先に吐出した液体は乾燥等によりその物性が変化してしまう。したがって、先に吐出した液体の状態を所望の状態とすることができず、所望の計測を行うことは実質的に不可能であった。
【０００７】
本発明は、前記の従来技術の問題点に鑑み成されたものであって、液体を所望の状態に制御した上で、液体間の相互作用を評価できる液物性評価装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の液物性評価装置は、液体試料を液滴吐出法で基板上に吐出した際の、前記基板上での前記液体試料の挙動を調べて前記液体試料の物性を評価するための液物性評価装置であって、
前記基板を載置するステージと、
前記ステージ上に載置された前記基板上に液体試料を吐出する複数の液滴吐出手段と、
前記ステージと前記複数の液滴吐出手段との相対的位置を変化させることにより、前記ステージ上の基板を前記複数の液滴吐出手段のうちの一方に対応する位置から他方に対応する位置に移動させる移動手段と、
前記基板上に吐出された液体試料の挙動を撮影するための撮影手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００９】
このようにすれば、複数の液滴吐出手段を備えているので、各液滴吐出手段に複数種類の液体材料を割り当てて吐出することができ、基板上に前記一方の液滴吐出手段から第１の液体試料を配した後に、前記基板を前記他方の液滴吐出手段に対応する位置に移動させて、他方の液滴吐出手段から第２の液滴試料を吐出させて、これを前記基板上の第１の液体試料上に配することができる。したがって、第１の液体試料が配されてから第２の液体試料を配することができるようになるまでの時間を、従来の装置よりも、格段に短縮することができる。
また、第１の液体試料が配されてから第２の液体試料を配するまでの時間は、例えば基板を移動させる速度を調整すること等によって、制御することができる。したがって、第１の液体試料が配されてから所望の時間経過後に第２の液体試料を配することができる。
また、液体試料の挙動を撮影するための撮影手段を備えているので、液体試料の形状等を調べることで液体試料の物性を評価することができる。
【００１０】
前記基板上に配された前記第１の液体試料は、時間経過とともに浸透過程や乾燥過程、固化過程等の膜化過程が進行するが、本発明の液物性評価装置によれば、前記のように第１の液体試料が配された直後から幅広い期間において、所望のタイミングで第２の液体試料を配することができるので、第１の液体試料が膜化過程の所望の状態とされた状態で、この上に第２の液体試料を配することができる。よって、第１の液体試料を配してから第２の液体試料を配するまでのタイミングに依存して、これらの液体試料の相互作用がどのように変化するかという基礎的かつ重要な物性を知ることができ、デバイスの品質を向上させることや、デバイスの製造方法や製造工程の効率を向上させる上で役に立つ情報を得ることができる。
【００１１】
また、前記撮影手段で撮影する時間と、前記液滴吐出手段で液体試料を吐出する時間と、前記移動手段で前記ステージと前記複数の液滴吐出手段との相対的位置を変化させる時間と、を管理する時間管理手段を備えていることが好ましい。
このようにすれば、基板上に第１の液体試料が配されてから、第１の液体試料上に第２の液体試料を配するまでの時間を容易に、かつ精度良く設定することができ、効率的に液体試料の物性を評価することができる。また、所望のタイミングで画像を取得できるので、評価精度を向上させることができる。
【００１２】
また、前記ステージは、前記基板上の液体試料を所定温度に加熱し、あるいは冷却する温度管理手段を有していることが好ましい。
このようにすれば、温度によって物性が変化する液体試料を用いて、この液体試料の乾燥状態や硬化状態等を制御しながら、この液体試料上に別の液体試料を配して、液体間の物性を評価することができる。
【００１３】
また、前記基板上の液体試料に所定の波長帯域光を照射する光源を備えていることが好ましい。
このようにすれば、特定の波長帯域光を照射されることによって物性が変化する液体試料、例えば紫外線感光性の樹脂材料等を用いて、この液体試料の硬化状態を制御しながら、この液体試料上に別の液体試料を配して、液体間の物性を評価することができる。
【００１４】
また、前記撮影手段によって撮影された画像を解析する解析手段を備えていることがこのましい。
このようにすれば、客観的かつ高精度で、液体試料の接触角や底面積、体積等のデータを取得することができる。また、作業性を向上させることができ、効率的に液体試料の物性を評価することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、図面を参照して本発明の一実施形態を説明するが、本発明の技術範囲は以下の実施形態に限定されるものではない。
【００１６】
図１は、本発明の液物性評価装置の一実施形態の構成を示す模式図である。図１に示すように、液物性評価装置は、ステージ１０と、このステージ１０の上方に配置された第１ディスペンサ（液滴吐出手段）２０及び第２ディスペンサ（液滴吐出手段）３０と、前記ステージ１０の側方に配置された高速カメラ（撮影手段）４０と、コンピュータ（解析手段）５０と、を備えて構成されている。
【００１７】
前記ステージ１０上には、試料基板（基板）１１がマグネットやネジ等の固定手段によって着脱可能に固定（載置）されており、この上に液体試料を配することができるようになっている。また、前記ステージ１０は、例えば図示しないヒータ（加熱手段）と冷却水循環装置（冷却手段）とからなる温度管理手段を備えており、前記試料基板１１を所望の温度に制御して、試料基板上の液体試料の物性を計測（評価）することができるようになっている。また、前記試料基板１１としては、用途に応じて様々な材料からなるものを用いることができる。例えば、液体材料が浸透する材料を表層部に設けたものを用いると、液体試料が前記表層部へ浸透する浸透速度を評価することができ、また、浸透しない材料のものを用いると、液体試料の乾燥速度を評価することができる。
【００１８】
また、複数の液滴吐出手段としては、本実施形態では、第１ディスペンサ２０と第２ディスペンサ３０の二つが備えられている。これらディスペンサ２０、３０には、それぞれディスペンサチップ（ノズル）２１、３１と、ディスペンサ移動機構２２、３２とが備えられている。また、ディスペンサ移動機構２２、３２は、それぞれディスペンサコントローラ２３、３３と接続されており、これらディスペンサコントローラ２３、３３は、前記コンピュータ５０と接続されている。
【００１９】
コンピュータ５０は、本実施形態では、時間管理手段としての機能を兼ね備えており、前記ディスペンサコントローラ２３、３３のそれぞれに、所定のタイミングで吐出命令等の制御信号を送るようになっている。吐出命令を受けたディスペンサコントローラ２３、３３は、前記ディスペンサ２０、３０の吐出量や吐出圧力を制御して、前記ディスペンサチップ２１、３１から所定の位置に所定の吐出量で液体試料を吐出させるようになっている。
【００２０】
前記ディスペンサ移動機構２２、２３は、本実施形態ではディスペンサ２０、３０を鉛直方向に移動させるもので、試料基板１１からディスペンサノズル２１、３１までの高さを液体試料の種類に応じて調整することによって、吐出された液体試料の飛行曲がりや液体試料が試料基板１１上で飛び散る等の不都合を防止し、液体試料を所定の位置に配することができるようにしている。
【００２１】
また、前記ステージ１０には、ステージ移動機構（移動手段）１２と、このステージ移動機構１２を制御するステージコントローラ１３とが備えられており、このステージコントローラ１３は前記コンピュータ５０と接続されている。前記コンピュータ５０は、先述したように解析手段の他に時間管理手段も兼ね備えており、所定のタイミングで前記ステージコントローラ１３に移動命令（制御信号）を送るようになっている。この移動命令を受けたステージコントローラ１３は、前記ステージ移動機構１２を制御して、ステージ１０を所定の速度で所定の時間だけ移動させ、ステージ１０上の前記試料基板１１を所定の位置に移動させるようになっている。
【００２２】
図２は、ステージ１０の形状例を示す平面図である。図２に示すように、ステージ１０は、移動手段による移動方向等によって、円板状のものや平板状のもの等を適宜選択して用いることができる。
図２（ａ）に示した例は、円板状のステージ１０であり、これを円板の周方向（Ｒ方向）に回転移動させながら、円板内の同心円周上に並ぶ複数の位置１０５、１０６に液体試料を配するものである。例えば、前記第１ディスペンサ２０から、試料基板１１上の第１の位置１０５に第１の液体試料を配した後に、前記ステージ移動機構１２によって前記ステージ１０を周回転させて、第１の位置１０５を第２ディスペンサの位置に対応させと同時に、別の位置１０６を第１ディスペンサの位置に対応させる。この後に、第１の位置１０５に配された第１の液体試料上には所定のタイミングで第２の液体試料を配し、また試料基板１１上の第２の位置１０６には所定のタイミングで第１の液体試料を配する。以下同様の作業を繰り返すことにより、試料基板１１上の複数の位置に液体試料を配することができる。
また、図２（ｂ）に示した例は、平板状のステージ１０であり、これを縦横に移動させながら、平板内の一列に等間隔に並ぶ試料基板１１上の位置１０５、１０６に液体試料を配するものである。例えば、第１ディスペンサ２０から第１の位置１０５に第１の液体試料を配した後に、前記ステージ移動機構１２によって前記ステージ１０を縦方向（Ｙの正方向）に移動させて、第１の位置１０５を第２ディスペンサ３０の位置に対応させる。そして、所定のタイミングで第２のディスペンサ３０から第１の位置１０５上の第１の液体試料上に第２の液体試料を配する。そして、前記ステージ移動機構１２によって前記ステージ１０を縦方向（Ｙの負方向）と横方向（Ｘ方向）に移動させて、第２の位置１０６を第１ディスペンサ２０の位置に対応させて、第２の位置１０６に第１の液体試料を配する。以下同様の作業を繰り返すことにより、試料基板１１上の複数の位置に液体試料を配することができる。
このように複数の位置に液体試料を配することで、連続的に液体試料を計測（評価）することができ、したがって、効率よく計測することができるとともに、再現性についても評価することができる。
【００２３】
また、前記ステージ１０の側方には、高速カメラ４０と、カメラ用光源４１とが設けられており、前記高速カメラ４０は、前記コンピュータ５０と接続されている。前記コンピュータ５０は、先述したように時間管理手段としての機能を兼ね備えており、前記高速カメラ４０に所定のタイミングで撮影命令（制御信号）を送るようになっている。撮影命令を受けた高速カメラ４０は、前記試料基板１１上に配された液体試料の挙動を撮影できるようになっており、撮影された画像データは、コンピュータ（解析手段）５０に送られて保存され、解析に用いられる。
【００２４】
前記カメラ用光源４１としては、連続光やフラッシュ光等のの光源を、液体試料の種類や前記高速カメラ４０の性能、撮影された画像の解析方法等に応じて選択して用いることができる。フラッシュ光の光源を用いると、撮影に必要な光量を確保することが容易になるが、前記高速カメラ４０とカメラ用光源４１とを同期させて撮影する必要があるため、前記時間管理手段（コンピュータ）４０等を用いて、カメラ用光源４１を発光させるタイミングを制御する必要がある。また、ハロゲンランプ等の連続光を用いる場合には、発光させるタイミングを制御する必要はないが、撮影に必要な光量を確保しようとすれば、カメラ用光源４１が発熱して雰囲気の温度を上昇させてしまう場合があるので、前記温度管理手段や雰囲気管理手段等を用いることが好ましい。本実施形態では、前記温度管理手段を備えた構成としているので、連続光のカメラ用光源４１を用いている。
【００２５】
前記コンピュータ（解析手段）５０には、画像解析ソフトウェア等が組み込まれており、前記画像データを解析して液体試料の液滴あるいは膜としての形状データを求め、この形状データから接触角や底面積、体積等を計算することができるようになっている。前記画像データから形状データを求める方法としては、例えばエッジ検出による方法等がある。この方法では、前記画像データにおいて近接する画素間の輝度の差分を求め、この差分がある閾値よりも大きい画素間に液体試料間の界面（エッジ）、あるいは雰囲気と液体試料との界面があると仮定して、このような画素を平滑線で結ぶことによって、前記形状データを得ることができる。また、例えば所定の位置から撮影した時間ごとの画像データ間で、画像相関を求めることによって、前記界面の移動速度等を求めることもできる。
【００２６】
次に、以上のような構成の液物性評価装置を用いて、液体試料の物性を評価する方法を説明する。ここでは、液体試料が乾燥過程を経て上層膜と下層膜とからなる２層膜を形成する場合を想定して、前記液体試料が浸透しない材料からなる試料基板上に第１の液体試料（下層膜材料）を配して、この第１の液体試料上に第２の液体試料を配して、これら液体試料間の物性を評価する方法を例にして説明を行う。
【００２７】
図３（ａ）〜（ｃ）は、液物性評価装置の使用方法を説明する模式図である。まず、ステージ１０上に試料基板１１を固定しておき、ステージ１０を移動させてもステージ１０と試料基板１１との相対位置がずれることがないようにする。また、ステージ１０に備えられた温度管理手段（図示せず）によって、試料基板１１を所定の温度にしておく。また、第１ディスペンサ２０には第１の液体試料を、第２ディスペンサ３０には第２の液体試料をセットしておく。ここで、第１、第２の液体試料としては、特に限定されることなく種々のものが用いられる。例えば、絶縁材料や導電材料、半導体材料を溶媒（分散媒）に溶解（分散）したものや、顔料や染料を含有してなるインク等が用いられる。また、コンピュータ５０には、所定のタイミングで、ステージコントローラ１３や、ディスペンサコントローラ２３、３３、高速カメラ５０に、所定の制御信号を送るように制御プログラムを組み込んでおく。
【００２８】
次に、コンピュータ５０の制御プログラムを起動して、物性の計測（評価）を開始する。図３（ａ）に示すように、コンピュータ５０は、ディスペンサコントローラ２３に吐出命令を送り、これを受けたディスペンサコントローラ２３は、第１ディスペンサ２０の吐出量や吐出圧力等を制御して、ディスペンサチップ２１から第１の液体試料６０を吐出させる。吐出された第１の液体試料６０は、ステージ１０上に載置された試料基板１１上面の所定の位置に配される。ここで、配された第１の液体試料６０は、その液体成分である溶媒（分散媒）が蒸発することにより、固体成分である溶質（分散質）が時間経過とともに膜化していく。この膜化過程における第１の液体試料６０の挙動は、所定の位置に固定され、前記試料基板１１の所定の位置に焦点を合わせておいた高速カメラ４０で撮影され、その画像データはコンピュータ５０に送られて保存される。
【００２９】
次に、図３（ｂ）に示すように、コンピュータ５０は、所定のタイミングでステージコントローラ１３に移動命令を送り、これを受けたステージコントローラ１３は、ステージ移動機構１２を制御し、移動機構１２はステージ１０を所定の速度で所定の時間だけ移動させる。また、ステージ１０上に固定された試料基板１１は、ステージ１０に付随して所定の位置に移動する。このとき前記試料基板１１上の第１の液体試料６０の位置が、第２ディスペンサ３０と対応する位置となるように、前記試料基板１１は移動させられる。
【００３０】
次に、図３（ｃ）に示すように、コンピュータ５０は、所定のタイミングでディスペンサコントローラ３３に吐出命令を送り、これを受けたディスペンサコントローラ３３は、第２ディスペンサ３０の吐出量や吐出圧力等を制御して、ディスペンサチップ３１から第２の液体試料７０を吐出させる。このとき、前記試料基板１１上の第１の液体試料６０の位置が、第２ディスペンサ３０と対応する位置となるようにしているので、ディスペンサチップ３１から吐出された第２の液体試料７０は、前記試料基板１１上に配された第１の液体試料６０上に配される。また、所定のタイミングで第２の液体試料７０を吐出させているので、第１の液体試料６０が配されてから所定の時間後に、前記第１の液体試料６０上に第２の液体試料７０を配することができる。
【００３１】
ここで、第１の液体試料６０を配してから第２の液体試料を配することができるようになるまで時間としては、従来の装置によれば少なくとも数分程度を必要としていたが、本発明の液物性評価装置によれば、第１の液体試料６０吐出用の第１ディスペンサ２０と、第２の液体試料７０吐出用の第２ディスペンサ３０とを独立させているので、格段に短縮することができ、数ミリ秒から数秒程度とすることができる。したがって、例えば第１の液体試料６０が十分に固化（膜化）していない状態で、その上に第２の液体試料７０を配することもできる。
【００３２】
また、先述したように本実施形態の液物性評価装置は、ステージ移動機構１２によってステージ１０を回転させ、あるいは縦横に移動させることにより試料基板１１上の複数の位置１０５、１０６に、液体試料を配することができるようになっている（図２参照）。したがって、前記のように第１の液体試料６０上に第２の液体試料７０を配したと同時に、あるいは直後に、別の位置に第１の液体試料６０を配することができ、このような作業を繰り返させるように制御プログラムをコンピュータ（時間制御手段）４０に組みこんでおくことによって、複数の位置に配された複数の液体試料の物性を連続的に評価することができ、作業性を高めることができる。例えば、第２の液体試料を配するタイミング等の条件を一定にして、複数の液体試料の物性を評価することによって、再現性を調べることができ、データの信頼性を向上させることができる。
【００３３】
そして、第１の液体試料６０および第２の液体試料７０の挙動は高速カメラ４０で撮影され、その撮影時間ごとの画像データはコンピュータ５０に送られて保存される。また、前記画像データを画像解析ソフトウェア等を用いて解析することにより、第１の液体試料６０および第２の液体試料７０の膜もしくは液滴としての形状データが、撮影時間ごとに得られる。この形状データから、第１の液体試料６０および第２の液体試料７０の体積や底面積等を求めることができ、また第２の液体試料７０の第１の液体試料６０に対する接触角等を評価することができる。また、体積や底面積等の時間変化に着目すれば、液体間の相互作用を含んだ乾燥速度等も評価することができる。また、先述の計測とは別途に、第１の液体試料６０と第２の液体試料７０とを積層しない状態で、それぞれの乾燥速度を計測しておき、この乾燥速度と先述の液体間相互作用を含んだ乾燥速度とを比較することによって、液体間の浸透速度等を評価することもできる。
【００３４】
本発明の液物性評価装置にあっては、第１の液体試料６０を配した直後に第２の液体試料７０を配することができるようにしているので、第１の液体試料６０の膜化過程が極めて初期段階であるとき以降の幅広い期間において、この第１の液体試料６０上に第２の液体試料７０を配することができ、また、第２の液体試料７０を配するタイミングをコンピュータ（時間管理手段）４０によって制御しているので、第１の液体試料６０を膜化過程の所望の状態（段階）に制御して、物性を評価することができる。したがって、第１の液体試料を配してからどのタイミングで第２の液体試料を配すると、これらの液体試料が相溶するのか、あるいは層をなすのか、また、第２の液体試料が第１の液体試料上で濡れ広がるのか、はじくのか等の基礎的かつ重要な物性を知ることができる。このようにして、液体材料からなる多層膜を形成してデバイスを製造する際の、製造方法や製造工程の設計に極めて重要な情報を得ることができる液物性評価装置となっている。
【００３５】
具体的には、例えば前記液物性評価装置をインクジェット印刷技術分野に適用して、第１、第２の液体試料として異なる色の顔料等を含有するインク等を用いれば、印刷媒体（試料基板）１１にある色のインクを吐出した後に、この上に別の色のインクをタイミングを変化させて吐出して、これらのインクが吐出されるタイミングに依存してどのように相溶して発色するかを調べることができる。このようにすれば、印字タイミングと画質との相関関係を知ることができ、インクジェット印刷装置の印字速度や印刷画質を向上させるうえで、極めて有用な情報を得ることができる。
【００３６】
また、例えば有機ＥＬ装置等のデバイスを液滴吐出法で製造する製造分野に適用して、第１、第２の液体試料として、有機機能膜の正孔注入層や発光層等の液体材料を用いれば、正孔注入層の液体材料を基板上に配した後に、この上に発光層の液体材料をタイミングを変化させて吐出して、これらの液体材料が吐出されるタイミングに依存してどのような層を形成するか、上層の液体材料は下層の液体材料上で濡れ広がるか等を調べることができる。このようにすれば、液体材料を配するタイミングと形成された有機機能膜の品質との相関関係を知ることができ、製造工程を効率化させかつ製品の品質を向上させるうえで、極めて有用な情報を得ることができる。
【００３７】
なお、本実施形態で示した構成の他に、カメラ用光源４１とは別に所定の波長帯域光を照射する光源を備えた構成とすることもでき、このようにすることで、例えば紫外線を照射されることによって硬化、あるいは可溶化等の物性変化を生じる感光性の液体試料にも対応できる液物性評価装置となる。また、第１の液体試料６０と第２の液体試料７０とが異なる波長帯域光を吸収する特徴を有する場合には、これら液体試料６０、７０のうち片方のみに吸収される波長帯域光を照射することにより、第１の液体試料６０と第２の液体試料７０とが異なる輝度で撮影されるようにしてもよい。このようにすれば、撮影された画像を解析する際に、液体試料６０、７０の形状データを容易にかつ精度よく得ることができる。
また、液滴吐出手段としては、ディスペンサ２０、３０以外にも、インクジェット法等を用いたものとしてもよいし、また２つではなく３つ以上としてもよい。
また、複数の高速カメラ４０を設置して、液体試料６０、７０の３次元形状を計測するようにしてもよい。また、液体試料の挙動から物性を評価することの他にも、液体試料が膜化したものをエッチング等で加工してその断面を露出させ、これを観察することで評価すること等もできる。
また、ステージ１０とディスペンサ２０、３０との相対的位置を変化させる移動手段としては、本実施形態のようにステージ移動機構１２の他にも、ディスペンサ移動機構２２、３２を用いてもよいし、これらを併用してもよい。このようにすれば、第１の液体試料６０を配してから第２の液体試料７０を配するまでの時間を短縮することや、第２の液体試料を配するタイミングをより多様に制御することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の液物性評価装置の構成を説明する模式図である。
【図２】（ａ）、（ｂ）はステージ１０の形状例を示す平面図である。
【図３】（ａ）〜（ｃ）は、液物性評価装置の使用方法を説明する模式図である。
【符号の説明】
【００３９】
１０・・・ステージ、１１・・・試料基板（基板）、１２・・・ステージ移動機構（移動手段）、２０・・・第１ディスペンサ（液滴吐出手段）、２２、３２・・・ディスペンサ移動機構（移動手段）、２３、３３・・・ディスペンサコントローラ、３０・・・第２ディスペンサ（液滴吐出手段）、４０・・・高速カメラ（撮影手段）、５０・・・コンピュータ（時間管理手段、解析手段）、６０・・・第１の液体試料、７０・・・第２の液体試料
【図１】
2008233026.tif 000003
【図２】
2008233026.tif 000004
【図３】
2008233026.tif 000005