(57)【要約】【課題】  本発明はヘッダーとダイアフラムおよび、該ダイアフラムとアダプタとをプロジェクション抵抗溶接で同時に接合できるようにして、手数や制約を受けることなく、容易で、低コストで製造することができる隔膜式圧力センサを得るにある。【解決手段】  オイル収納室が形成されたヘッダーと、このヘッダーのオイル収納室を覆うことができるダイアフラムと、このダイアフラムを覆うことができる受圧室が形成されたアダプタとを備える隔膜式圧力センサにおいて、前記ダイアフラムの外周部位の前記ヘッダーあるいはアダプタのダイアフラム側にプロジェクション抵抗溶接用のリング状の突片を形成し、このプロジェクション抵抗溶接用のリング状の突片と前記ダイアフラムおよび、該ダイアフラムとアダプタあるいはヘッダーとをプロジェクション抵抗溶接で同時に接合して隔膜式圧力センサを構成している。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
オイル収納室が形成されたヘッダーと、このヘッダーのオイル収納室を覆うことができるダイアフラムと、このダイアフラムを覆うことができる受圧室が形成されたアダプタとを備える隔膜式圧力センサにおいて、前記ダイアフラムの外周部位の前記ヘッダーあるいはアダプタのダイアフラム側にプロジェクション抵抗溶接用のリング状の突片を形成し、このプロジェクション抵抗溶接用のリング状の突片と前記ダイアフラムおよび、該ダイアフラムとアダプタあるいはヘッダーとをプロジェクション抵抗溶接で同時に接合したことを特徴とする隔膜式圧力センサ。
【請求項２】
オイル収納室が形成されたヘッダーと、このヘッダーのオイル収納室を覆うことができるダイアフラムと、このダイアフラムを覆うことができる前記オイル収納室よりも大きな受圧室が形成されたアダプタとを前記ダイアフラムの外周部位で、該ダイアフラムとヘッダーおよびダイアフラムとアダプタとをリング状に溶接した隔膜式圧力センサにおいて、前記アダプタの外周部の前記ダイアフラム側にプロジェクション抵抗溶接用のリング状の突片を形成し、このプロジェクション抵抗溶接用のリング状の突片と前記ダイアフラムおよび、該ダイアフラムとヘッダーとをプロジェクション抵抗溶接で同時に接合したことを特徴とする隔膜式圧力センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は溶接固定することができるダイアフラムを用いた隔膜式圧力センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の溶接固定するダイアフラムを用いた隔膜式圧力センサは、ダイアフラムをレーザーや電子ビーム、抵抗溶接を用いているが、レーザー系を用いるものは外周長に合せた加工時間がかかるとともに、部品端部の形状に制約を受けるという欠点があった。
また、抵抗溶接を用いる場合、ヘッダーとダイアフラムを溶接し、次にヘッダーとアダプタを溶接して受圧部を制作するため手数がかかり、コスト高になるという欠点があった。
【特許文献１】特になし
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明は以上のような従来の欠点に鑑み、ヘッダーとダイアフラムおよび、該ダイアフラムとアダプタとをプロジェクション抵抗溶接で同時に接合できるようにして、手数や制約を受けることなく、容易で、低コストで製造することができる隔膜式圧力センサを提供することを目的としている。
【０００４】
本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は次の説明を添付図面と照らし合わせて読むと、より完全に明らかになるであろう。
ただし、図面はもっぱら解説のためのものであって、本発明の技術的範囲を限定するものではない。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、本発明はオイル収納室が形成されたヘッダーと、このヘッダーのオイル収納室を覆うことができるダイアフラムと、このダイアフラムを覆うことができる受圧室が形成されたアダプタとを備える隔膜式圧力センサにおいて、前記ダイアフラムの外周部位の前記ヘッダーあるいはアダプタのダイアフラム側にプロジェクション抵抗溶接用のリング状の突片を形成し、このプロジェクション抵抗溶接用のリング状の突片と前記ダイアフラムおよび、該ダイアフラムとアダプタあるいはヘッダーとをプロジェクション抵抗溶接で同時に接合して隔膜式圧力センサを構成している。
【発明の効果】
【０００６】
以上の説明から明らかなように、本発明にあっては次に列挙する効果が得られる。
【０００７】
（１）オイル収納室が形成されたヘッダーと、このヘッダーのオイル収納室を覆うことができるダイアフラムと、このダイアフラムを覆うことができる受圧室が形成されたアダプタとを備える隔膜式圧力センサにおいて、前記ダイアフラムの外周部位の前記ヘッダーあるいはアダプタのダイアフラム側にプロジェクション抵抗溶接用のリング状の突片を形成し、このプロジェクション抵抗溶接用のリング状の突片と前記ダイアフラムおよび、該ダイアフラムとアダプタあるいはヘッダーとをプロジェクション抵抗溶接で同時に接合したので、ヘッダー、ダイアフラムおよびアダプタをプロジェクション抵抗溶接で同時に接合することができる。
したがって、従来のようにヘッダーとダイアフラムを溶接した後、ヘッダーとアダプタを溶接するものに比べ、製造が容易で、コストの低減を図ることができる。
【０００８】
（２）前記（１）によって、ヘッダー、ダイアフラム、アダプタをプロジェクション抵抗溶接で同時に接合するため、ヘッダーとダイアフラム、ダイアフラムとアダプタを確実に接合することができる。
【０００９】
（３）前記（１）によって、ヘッダーあるいはアダプタのダイアフラム側にプロジェクション抵抗溶接用のリング状の突片を形成しているので、確実にヘッダーとダイアフラム、ダイアフラムとアダプタを接合することができる。
【００１０】
（４）請求項２も前記（１）〜（３）と同様な効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、図面に示す本発明を実施するための最良の形態により、本発明を詳細に説明する。
【００１２】
図１ないし図６に示す本発明を実施するための最良の第１の形態において、１は本発明の隔膜式圧力センサで、この隔膜式圧力センサ1は中央部にシリコンオイル等のオイル２が収納されるオイル収納室３、封止ボール4で封止されるオイル充填孔５が形成されたヘッダー6と、このヘッダー6のオイル収納室３を覆うことができるダイアフラム7と、このダイアフラム7を覆うことができるほぼ中央部に前記オイル収納室３よりも大径の受圧室8が形成された、該ダイアフラム7側で、かつダイアフラム7の外周部より内側部位にほぼ山形状に突出するプロジェクション抵抗溶接用のリング状の突片9を有するアダプタ１０と、このアダプタ１０の中央部の透孔１１と連通するように、該透孔１１の周縁部と溶接固定された継手１２と、前記オイル収納室３内の中央部のヘッダー６に固定されたセンサチップ１３と、前記ヘッダー６に絶縁材１４を介して先端部が前記オイル収納室３内に位置して前記センサチップ１３と接続される複数個の電極１５と、この複数個の電極１５に接続された前記ヘッダー６と並列するように配置された基板１６と、この基板１６に接続されたケーブル１７と、前記ヘッダー６の中央部の大気圧導入口６ａを覆う前記センサチップ１３に大気圧を受圧できるように取付けられた大気開放パイプ１８と、前記継手１２の根元部、ヘッダー６、アダプタ１０、基板１６およびケーブル１７の基板側を覆い、かつ前記大気開放パイプ１８の先端部より底面が低い防水凹部１９、この防水凹部１９上に防水シート貼着凹部２０および、この防水シート貼着凹部２０と連通する空気導入溝２１が形成されるようにモールド成形されたケース体２２とで構成され、前記アダプタ１０の受圧室８の外周部のプロジェクション抵抗溶接用のリング状の突片９と、該突片部位のダイアフラム７および、ダイアフラム７のリング状の突片９部位のヘッダー６とはプロジェクション抵抗溶接により密封状態で接合されている。
なお、前記ダイアフラム7の厚さは、薄いと溶接電流や加圧力が少なくてよいが、破損が生じ、厚いと溶接電流や加圧力が増大するが、破損が生じないため、溶接電流が１８６Ａ／ｍｍ以上、加圧力４９Ｎ／ｍｍ以上の条件下で、ダイアフラムの厚さが２０から２００μmの範囲が良好に接合できることが実験により確認された。
【００１３】
上記構成の隔膜式圧力センサ１は、アダプタ１０、ダイアフラム７およびヘッダー６はアダプタ１０のプロジェクション抵抗溶接用のリング状の突片９部位でアダプタ１０、ダイアフラム７およびヘッダー６とが同時に接合されているため該部位の製造が容易にできる。
また、モールド成形によって形成したケース体２２によって確実に密封することができるとともに、ケース体２２の防水凹部１９、防水シート貼着凹部２０および空気導入溝２１によって、大気開放パイプ１８への大気を確実に供給できるとともに、大気開放パイプ１８内への水の浸入を防水シート貼着凹部２０に貼着した空気の通過はできるが、水の浸入を阻止する防水シート２３や防水凹部１９によって効率よく防止することができる。
[発明を実施するための異なる形態]
【００１４】
次に、図７ないし図１５に示す本発明を実施するための異なる形態につき説明する。なお、これらの本発明を実施するための異なる形態の説明に当って、前記本発明を実施するための最良の第１の形態と同一構成部分には同一符号を付して重複する説明を省略する。
【００１５】
図７ないし図９に示す本発明を実施するための第２の形態において、前記本発明を実施するための最良の第１の形態と主に異なる点は、ダイアフラム７側のヘッダー６にプロジェクション抵抗溶接用のリング状の突片９を形成し、ヘッダー６のリング状の突片９、ダイアフラム７、アダプタ１０をプリジェクション抵抗溶接で同時に接合した点で、このように構成した隔膜式圧力センサ１Ａにしても
前記本発明を実施するための最良の第１の形態と同様な作用効果が得られる。
【００１６】
図１０ないし図１２に示す本発明を実施するための第３の形態において、前記本発明を実施するための最良の第１の形態と主に異なる点は、防水凹部１９と空気導入溝２１をケース体２２に形成するとともに、該防水凹部１９と空気導入溝２１が形成された面にラベル２４を貼着した点で、このように構成した隔膜式圧力センサ１Ｂにしても、前記本発明を実施するための最良の第１の形態と同様な作用効果が得られる。
【００１７】
図１３ないし図１５に示す本発明を実施するための第４の形態において、前記本発明を実施するための最良の第１の形態と主に異なる点は、ケース体２２をモールド成形する時に大気開放パイプ１８を形成した点で、このようにケース体２２に大気開放パイプ１８を形成した隔膜式圧力センサ１Ｃにしても、前記本発明を実施するための最良の第１の形態と同様な作用効果が得られる。
【産業上の利用可能性】
【００１８】
本発明は隔膜式圧力センサを製造する産業で利用される。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明を実施するための最良の第１の形態の正面図。
【図２】本発明を実施するための最良の第１の形態の平面図。
【図３】本発明を実施するための最良の第１の形態の右側面図。
【図４】図２の４−４線に沿う断面図。
【図５】図４のＡ部拡大断面図。
【図６】本発明を実施するための最良の第１の形態のアダプタの説明図。
【図７】本発明を実施するための第２の形態の正面図。
【図８】本発明を実施するための第２の形態の縦断面図。
【図９】本発明を実施するための第２の形態のヘッダーの説明図。
【図１０】本発明を実施するための第３の形態の正面図。
【図１１】本発明を実施するための第３の形態の縦断面図。
【図１２】本発明を実施するための第３の形態の右側面図。
【図１３】本発明を実施するための第４の形態の正面図。
【図１４】本発明を実施するための第４の形態の縦断面図。
【図１５】本発明を実施するための第４の形態の要部拡大断面図。
【符号の説明】
【００２０】
１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ：隔膜式圧力センサ、
２：オイル、                                                ３：オイル収納室、
４：封止ボール、                                      ５：オイル充填孔、            
６：ヘッダー、                                ７：ダイアフラム、
８：受圧室、                                                ９：リング状の突片、
１０：アダプタ、                            １１：透孔、
１２：継手、                                                １３：センサ、
１４：絶縁材、                                １５：電極、
１６：基板、                                                １７：ケーブル、
１８：大気開放パイプ、                １９：防水凹部、
２０：防水シート貼着凹部、        ２１：空気導入溝、
２２：ケース体、                            ２３：防水シート、
２４：ラベル。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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