(57)【要約】【課題】測定機の異常が検出された場合でも、既に評価された磁気ヘッドの出荷を取りやめたり、磁気ヘッドを再評価する必要がないとともに、測定作業を止めることなく測定機の異常を検出可能な磁気ヘッドの特性評価方法を提供する。【解決手段】測定機で磁気ヘッドの所定の特性を測定して得た測定データを、記憶手段に記憶する測定ステップＳ１，Ｓ２と、前記測定データに基づいて、前記測定機の異常の有無を判定する異常検知ステップＳ３と、異常検知ステップＳ３で異常が検知されなかった場合に、前記測定データに基づいて磁気ヘッドの特性を評価する評価ステップＳ４とを含むことを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定機で磁気ヘッドの所定の特性を測定して得た測定データを、記憶手段に記憶する測定ステップと、
前記測定データに基づいて、前記測定機の異常の有無を判定する異常検知ステップと、
該異常検知ステップで異常が検知されなかった場合に、前記測定データに基づいて磁気ヘッドの特性を評価する評価ステップとを含むことを特徴とする磁気ヘッドの特性評価方法。
【請求項２】
前記測定ステップは、所定の上限値と下限値との間で連続的に変化する磁場を、複数回にわたって磁気ヘッドに印加しながら、磁気ヘッドのリード素子の出力を前記測定機で測定し、該測定で得た測定データを記憶手段に記憶し、
前記異常検知ステップは、前記測定データから、前記上限値の磁場におけるリード素子の出力と、前記下限値の磁場におけるリード素子の出力との差である出力レンジの、前記複数回の各測定間でのばらつきに基づいて、前記測定機の異常の有無を判定することを特徴とする請求項２記載の磁気ヘッドの特性評価方法。
【請求項３】
前記測定ステップは、所定の上限値と下限値との間で連続的に変化する磁場を磁気ヘッドに印加しながら、磁気ヘッドのリード素子の出力を前記測定機で測定し、該測定で得た測定データを記憶手段に記憶し、
前記異常検知ステップは、前記上限値と前記下限値との間を所定の間隔で分割した各範囲の間における、前記測定データが表す磁場変化とリード素子の出力変化との関係を示す一次式を算出し、該一次式の切片の値のばらつきに基づいて、前記測定機の異常の有無を判定することを特徴とする請求項２記載の磁気ヘッドの特性評価方法。
【請求項４】
前記測定ステップは、所定の上限値と下限値との間で連続的に変化する磁場を、複数回にわたって磁気ヘッドに印加しながら、磁気ヘッドのリード素子の出力を前記測定機で測定し、該測定で得た測定データを記憶手段に記憶し、
前記異常検知ステップは、前記測定データから、前記複数回の測定間でのリード素子の出力のばらつきに基づいて、前記測定機の異常の有無を判定することを特徴とする請求項２記載の磁気ヘッドの特性評価方法。
【請求項５】
前記異常検知ステップは、前記ばらつきに加え、前記測定データに含まれるバルクハウゼンジャンプの大きさに基づいて、前記測定機の異常の有無を判定することを特徴とする請求項２〜４のうちのいずれか一項記載の磁気ヘッドの特性評価方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定機で磁気ヘッドの所定の特性を測定して評価する磁気ヘッドの特性評価方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、出荷前の磁気ヘッドの所定の特性を測定機を用いて測定して、磁気ヘッドの特性を評価することが行われている。その所定の特性としては、例えばリード素子のρＨ特性が挙げられる。
ρＨ特性とは、所定のセンス電流をリード素子に与えた状態で、外部磁場を変化させた際の、リード素子の出力（電圧や電流や電気抵抗）の経時的な変化特性のことである。
【０００３】
特許文献１に、ρＨ特性の測定方法（磁気抵抗効果ヘッドの検査方法）およびρＨ測定機（検査装置）の従来例が開示されている。特許文献１に記載のρＨ特性の測定方法では、ウエハーから切り出したヘッドブロック（ローバー）上に配列されたリード素子（ＭＲヘッド）に、正弦波状に変化する交番外部磁界を印加し、この外部磁界の変化に対する各リード素子の電磁変換特性を測定している。
【０００４】
図７は、特許文献１に記載されたρＨ測定機（ＭＲヘッドの検出装置）の回路構成を概略的に示すブロック図である。
図７において、１０はリード素子に印加する外部磁界を発生するためのヘルムホルツコイル（空心コイル）であり、その長軸が上下方向に平行となるように設置されている。このヘルムホルツコイル１０には、ヘルムホルツコイル電源１１が電気的に接続されており、制御用コンピュータ１２から与えられる指示によってその駆動が制御される。ヘルムホルツコイル１０内には、載置台１３ａと、その載置台１３ａ上に一時的に固定されたローバー１４とが設けられている。
【０００５】
ローバー１４は、ウエハー上に多数のリード素子を薄膜技術によって形成した後、このウエハーをそれぞれが複数のリード素子を含むように列単位でバー状に切断し、その浮上面を研磨してギャップデプス加工を終えたものである。したがって、ローバー１４には、単体に切り離される前の状態の複数のリード素子が存在している。
【０００６】
プローブピン１５は、ローバー１４における各リード素子の出力電極に電気的に接触可能に設けられている。
定電流電源２０は、プローブピン１５を介して電気的に接続されたリード素子にセンス電流を供給するためにこのプローブピン１５に繋がったプローブケーブルに接続されている。プローブケーブルには、さらに、リード素子からの出力電圧を表示するためのオシロスコープ２１とこの出力電圧を受け取って解析を行う制御用コンピュータ１２とが接続されている。
【０００７】
ヘルムホルツコイル電源１１、および定電流電源２０は、制御用コンピュータ１２に接続されており、このコンピュータからの指示によって所定の制御動作を行う。
そして、制御用コンピュータ１２は、ヘルムホルツコイル電源１１を制御して、ローバー１４に配列されたリード素子に、正弦波状に変化する交番外部磁界を印加し、この外部磁界の変化に対する各リード素子の出力（電磁変換特性）を、プローブピン１５およびプローブケーブルを介して測定する。
【０００８】
さて、図８に、ρＨ特性の測定に基づいた、従来のρＨ特性評価方法の全体的な工程の流れ（工程フロー）を示す。
まず、前述のρＨ測定機に、測定対象である、ウエハーから切り出したローバー１４状態の磁気ヘッドをセットする。そして、そのρＨ測定機でローバー１４の各磁気ヘッドのρＨ特性を測定し（ステップＳ１１）、この測定で得た測定データを、制御用コンピュータ１２の記憶手段に記憶する（ステップＳ１２）。
【０００９】
続いて、その測定データを、所定の選別基準と照らし合わせ、磁気ヘッドの良否を判定する（ステップＳ１３）。判定の結果、選別基準を満たしたものは出荷され（ステップＳ１４）、満たさないものは測定データの解析が行われる（ステップＳ１５）。
【００１０】
測定データの解析（ステップＳ１５）においては、測定データの異常が、ρＨ測定機の異常に起因するものであるのか、測定対象の磁気ヘッドの不具合に起因するものであるのかを解析する。
なお、本願において「測定機の異常」とは、測定機そのものの故障や、磁気ヘッドの端子に接続されるプローブの損傷などの、測定機やその周辺装置等のハードウェア的な異常、および、測定機の設定や、磁気ヘッドの端子に対するプローブピン１５の接触不良などの、測定機の運用上の異常を含む。
【００１１】
続いて、測定データの解析の結果の判定を行う。
ここで、測定データの異常が、測定対象の磁気ヘッドの不具合に起因するものであった場合には、当該磁気ヘッドが含まれるローバーや、当該ローバーが切り出されたウエハーを、不良として出荷しないなどの処理を行う（ステップＳ１７）。
他方、測定データの異常が、「測定機の異常」に起因するものであった場合には、その測定機の異常を解消する（ステップＳ１６）とともに、再びステップＳ１１まで戻って、同一の磁気ヘッド（ローバー）に対してρＨ特性を測定し直し、以下、ステップＳ１２以降の処理を再実行する。
【００１２】
【特許文献１】特開平６−１５０２６４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
さて、前記ステップＳ１３における磁気ヘッドの良否を判定する判定基準と、前記ステップＳ１５における、測定データの異常の原因を判定する判定基準とは、互いに異なる判定基準である。
したがって、測定機の異常があったとしても、ステップＳ１３における磁気ヘッドの良否判定において、磁気ヘッドが良品と判定されてしまう場合がある。つまり、前記ステップＳ１５において測定機の異常が判明した場合、それ以前に測定された磁気ヘッドは、その測定機の異常のために正常に測定されていないにもかかわらず、前記ステップＳ１３の判定において良品として判定されてしまっている可能性がある。
【００１４】
そのため、前記ステップＳ１５において測定機の異常が判明した場合、それ以前にステップ３において良品と判定された磁気ヘッドの測定データについても、測定機の異常があったかなかったかを、ステップＳ１５における判定基準に基づいて判定する必要がある。すなわち、従来の磁気ヘッドの特性評価方法においては、測定データから測定機の異常が検出された場合に、既に特性評価の済んでいる磁気ヘッドまで、さかのぼって再判定を行う必要がある。
そして、その再判定の結果、既に特性評価の済んでいる磁気ヘッドの測定データにも、測定機の異常を示す傾向が見られた場合には、その測定機の異常を解消した状態で、その磁気ヘッドの特性を再測定し、再評価を行う必要が生じる。
【００１５】
このように、従来の磁気ヘッドの特性評価方法では、測定機の異常が検出された場合に、出荷可能となっていた磁気ヘッドの出荷を取りやめる必要が生じたり、既に特性評価済みの磁気ヘッドを再評価する必要が生じたりするなど、工程の手戻りや作業負荷が大きいという課題がある。
【００１６】
また、上記のように「測定機の異常」が大きな工程の手戻りや予定外の作業を生じさせることから、測定機の異常の有無を調べる点検を、測定作業を止めて、作業者が頻繁に行う必要があり、測定作業を止めることによる時間的なロスが大きいという課題がある。
【００１７】
本発明は上記課題を解決すべくなされ、その目的とするところは、測定機の異常が検出された場合でも、既に評価された磁気ヘッドの出荷を取りやめたり、磁気ヘッドを再評価する必要がないとともに、測定作業を止めることなく測定機の異常を検出可能な磁気ヘッドの特性評価方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明に係る磁気ヘッドの特性評価方法は、上記課題を解決するため、以下の構成を備える。
すなわち、測定機で磁気ヘッドの所定の特性を測定して得た測定データを、記憶手段に記憶する測定ステップと、前記測定データに基づいて、前記測定機の異常の有無を判定する異常検知ステップと、該異常検知ステップで異常が検知されなかった場合に、前記測定データに基づいて磁気ヘッドの特性を評価する評価ステップとを含むことを特徴とする。
これによれば、測定機の異常の有無を判定し、異常が検知されなかった場合に、磁気ヘッドの特性を評価するから、測定機の異常が検出された場合でも、既に評価された磁気ヘッドの出荷を取りやめたり、磁気ヘッドを再評価する必要がない。また、磁気ヘッドの検査ごとに、測定機の異常の有無を判定するから、測定作業を止めることなく測定機の異常を検出することができる。
【００１９】
さらに、前記測定ステップは、所定の上限値と下限値との間で連続的に変化する磁場を、複数回にわたって磁気ヘッドに印加しながら、磁気ヘッドのリード素子の出力を前記測定機で測定し、該測定で得た測定データを記憶手段に記憶し、前記異常検知ステップは、前記測定データから、前記上限値の磁場におけるリード素子の出力と、前記下限値の磁場におけるリード素子の出力との差である出力レンジの、前記複数回の各測定間でのばらつきに基づいて、前記測定機の異常の有無を判定することを特徴とする。
これによれば、測定機のプローブピン先端の磨耗や、プローブケーブルの半断線等に起因する接触不良によって発生する、リード素子の出力レンジのばらつきを、好適に検出できる。
【００２０】
また、前記測定ステップは、所定の上限値と下限値との間で連続的に変化する磁場を磁気ヘッドに印加しながら、磁気ヘッドのリード素子の出力を前記測定機で測定し、該測定で得た測定データを記憶手段に記憶し、前記異常検知ステップは、前記上限値と前記下限値との間を所定の間隔で分割した各範囲の間における、前記測定データが表す磁場変化とリード素子の出力変化との関係を示す一次式を算出し、該一次式の切片の値のばらつきに基づいて、前記測定機の異常の有無を判定することを特徴とする。
これによれば、測定機のプローブピン先端の磨耗や、プローブケーブルの半断線等に起因する接触不良によって発生する、磁場変化に対するリード素子の出力変化の傾きや切片のばらつきを、好適に検出できる。
【００２１】
また、前記測定ステップは、所定の上限値と下限値との間で連続的に変化する磁場を、複数回にわたって磁気ヘッドに印加しながら、磁気ヘッドのリード素子の出力を前記測定機で測定し、該測定で得た測定データを記憶手段に記憶し、前記異常検知ステップは、前記測定データから、前記複数回の測定間でのリード素子の出力のばらつきに基づいて、前記測定機の異常の有無を判定することを特徴とする。
これによれば、測定機のプローブピン先端の磨耗や、プローブケーブルの半断線等に起因する接触不良によって発生する、リード素子の出力のばらつきを、好適に検出できる。
【００２２】
また、前記異常検知ステップは、前記ばらつきに加え、前記測定データに含まれるバルクハウゼンジャンプの大きさに基づいて、前記測定機の異常の有無を判定することを特徴とする。
これによれば、バルクハウゼンジャンプを検出することで、前記測定データの不連続点を条件に加えることとなり、前記接触不良によって発生する、リード素子の出力の暴れも条件に加えられ、測定機の異常をより高精度に検出することができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明に係る磁気ヘッドの特性評価方法によれば、測定機の異常が検出された場合でも、既に評価された磁気ヘッドの出荷を取りやめたり、磁気ヘッドを再評価する必要がないとともに、測定作業を止めることなく測定機の異常を検出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明に係る磁気ヘッドの特性評価方法を実施するための最良の形態を説明する。
なお、本実施の形態に係る磁気ヘッドの特性評価方法で用いる測定機としてのρＨ測定機の構成は、背景技術で記載したものと同様であるため、その説明を省略する。
【００２５】
図１に、本実施の形態に係る磁気ヘッドの特性評価方法であるρＨ特性評価方法の全体的な工程の流れ（工程フロー）を示す。
【００２６】
（測定ステップ）
まず、前述のρＨ測定機に、測定対象である、ウエハーから切り出したローバー１４状態の磁気ヘッドをセットする。そして、そのρＨ測定機でローバー１４の各磁気ヘッドのρＨ特性を測定する（ステップＳ１）。
この測定においては、制御用コンピュータ１２は、ヘルムホルツコイル電源１１を制御して、図２（ａ）のグラフに示すような、所定の上限値ａと下限値ｂとの間で連続的に変化する磁場を、複数回（３周期）にわたって磁気ヘッドに印加しながら、磁気ヘッドのリード素子の出力（出力電圧）をρＨ測定機で測定する。
制御用コンピュータ１２は、この測定で得た測定データを、制御用コンピュータ１２の記憶手段に記憶する（ステップＳ２）。
【００２７】
（異常検知ステップ）
続いて、制御用コンピュータ１２の制御部は、前記測定データに基づいて、ρＨ測定機の異常の有無を判定する処理を実行する（ステップＳ３）。なお、この判定手法については後述する。
【００２８】
この異常検知ステップ（ステップＳ３）で、ρＨ測定機の異常が検知された場合には、そのρＨ測定機の異常を解消（ステップＳ７）した上で、再びステップＳ１まで戻って、同一の磁気ヘッド（ローバー）に対してその磁気ヘッドのρＨ特性を再測定し、以下、ステップＳ２以降の処理を再実行する。
【００２９】
（評価ステップ）
制御用コンピュータ１２の制御部は、前記異常検知ステップ（ステップＳ３）でρＨ測定機の異常が検知されなかった場合には、前記測定データに基づいて磁気ヘッドの特性を評価する処理を実行する（ステップＳ４）。ここでは、従来と同様、前記測定データを、所定の選別基準を表す基準データと照らし合わせ、基準データからの相違が所定の閾値以内に入るものを良品、入らないものを不良品と判定する。
【００３０】
この判定の結果、良品と判定されたもの（選別基準を満たしたもの）は出荷され（ステップＳ５）、不良品と判定されたもの（選別基準を満たさないもの）は当該磁気ヘッドが含まれるローバーや、当該ローバーが切り出されたウエハーを出荷しないようにする（ステップＳ６）。
【００３１】
本実施の形態に係る磁気ヘッドの特性評価方法によれば、ρＨ測定機の異常の有無を判定し、異常が検知されなかった場合にのみ、磁気ヘッドの特性を評価するから、ρＨ測定機の異常が検出された場合でも、既に評価された磁気ヘッドの出荷を取りやめたり、磁気ヘッドを再評価する必要がない。また、磁気ヘッドの検査ごとに、測定機の異常の有無を判定するから、測定作業を止めることなく測定機の異常を検出することができる。
【００３２】
さて、前記異常検知ステップ（ステップＳ３）においては、磁気ヘッドの特性異常ではなく、ρＨ測定機の異常のみを高精度に検知するよう構成することが望ましい。
図３は、ρＨ測定機に異常がない場合（図３（ａ），（ｂ））と、ρＨ測定機に、プローブピン１５の先端の磨耗や、プローブケーブルの半断線等に起因する接触不良の異常がある場合（図３（ｃ）〜（ｊ））とにおける、前記複数回（３周期）にわたる外部磁場印加を行った際の測定データ（磁気ヘッドに印加する外部磁場とリード素子の出力電圧との関係）を示すグラフである。
【００３３】
本願発明者は、ρＨ測定機に異常がない場合と異常がある場合とにおける測定データの違い、および、磁気ヘッドそのものに起因する測定データの異常とρＨ測定機の異常に起因する測定データの異常との違いについて鋭意研究を行った結果、前記測定データに基づいて、ρＨ測定機の異常を検知する手法を見出した。
【００３４】
まず、ρＨ測定機に異常がない場合には、図３（ａ），（ｂ）に示すように、複数回（３周期）にわたる外部磁場印加のそれぞれの間で、磁場の強さに対する出力電圧の大きさがほぼ一致している。磁気ヘッドに異常がある場合であっても、多くの場合、同一の外部磁場に対しては、ほぼ一定の出力信号が得られる。
他方、ρＨ測定機に、プローブピン１５の先端の磨耗や、プローブケーブルの半断線等に起因する接触不良の異常がある場合には、図３（ｃ）〜（ｊ）に示すように、複数回（３周期）にわたる外部磁場印加のそれぞれの間で、出力電圧が互いに異なることを見出した。すなわち、ρＨ測定機に前記異常がある場合、同一の外部磁場であっても、それに対応するリード素子の出力がばらつくことを見出した。
【００３５】
このことから、本願発明者は、測定データにおける、同一の外部磁場に対応するリード素子の出力のばらつきに基づくことにより、ρＨ測定機のプローブピン１５の先端の磨耗や、プローブケーブルの半断線等に起因する接触不良の異常を、磁気ヘッドの異常とは切り分けて検知できることを見出した。
【００３６】
以下、同一の外部磁場に対応するリード素子の出力のばらつきを求めるためのより具体的な内容について、以下の実施例に説明する。
【実施例１】
【００３７】
図２（ｂ）は、図２（ａ）に示した磁場を印加した際のリード素子の出力電圧の変動を示すグラフである。
本実施例１では、前記異常検知ステップ（ステップＳ３）において、制御用コンピュータ１２の制御部は、図２（ａ）に示した前記複数回（３周期）の磁場に対するリード素子の出力の測定データのそれぞれから、前記上限値ａの磁場におけるリード素子の各出力と、前記下限値ｂの磁場におけるリード素子の各出力との差である出力レンジｃ１，ｃ２，ｃ３（図２（ｂ）参照）をそれぞれ算出する。
【００３８】
そして、制御用コンピュータ１２の制御部は、この複数回（３周期）の測定間での出力レンジのばらつき、すなわち、各出力レンジｃ１，ｃ２，ｃ３間のばらつきを求め、そのばらつきに基づいて、前記測定機の異常の有無を判定する。
【００３９】
特に限定されるものではないが、本実施例１においては、制御用コンピュータ１２の制御部は、例えば、各出力レンジ間の差の絶対値｜ｃ１−ｃ２｜，｜ｃ２−ｃ３｜，｜ｃ３−ｃ１｜をそれぞれ算出し、その３つの絶対値の中の最大値が、所定の閾値を超えている場合に、ρＨ測定機に異常があるものと判定するよう構成する。
【００４０】
この所定の閾値は、磁気ヘッドの機種の違い等に応じて適宜設定すべきものであるが、一例を挙げると、本願発明者は、特定品種の磁気ヘッドにおいて、印加する前記外部磁場の上限値ａを約３００Ｏｅ，下限値ｂを約−３００Ｏｅとしたとき、前記各出力レンジ間の絶対値の中の最大値が、所定の閾値としての５３．２μＶを超えた場合に、ρＨ測定機に異常があるものと判定するよう構成した。
【００４１】
さらに、より好適には、前記異常検知ステップにおいて、制御用コンピュータ１２の制御部は、前記ばらつきに加え、前記測定データに含まれるバルクハウゼンジャンプの大きさに基づいて、前記測定機の異常の有無を判定するよう構成する。
図４に示すように、バルクハウゼンジャンプＢＮは、単位磁場変化量ｄＨに対するリード素子の出力電圧変化量ｄＶの、全体の電圧変化量Ｖｐに対する割合（すなわち、ＢＮ＝（（ｄＶ／ｄＨ）／Ｖｐ）×１００（％））である。
【００４２】
そして、制御用コンピュータ１２の制御部を、前記ばらつきの条件に加え、さらに（アンド条件として）、前記測定データ中に、所定の閾値を超えるバルクハウゼンジャンプが存在する場合に、ρＨ測定機に異常があるものと判定するよう構成する。
この所定の閾値としては、特に限定されるものではないが、例えば１０〜２０％、より好適には１４〜１５％といった値が採用できる。
【００４３】
このバルクハウゼンジャンプの条件を加えることにより、リード素子の出力に、前記接触不良に起因して発生するノイズが有ることをチェックすることができ、ρＨ測定機の異常のみをより高精度に検知することができる。
【実施例２】
【００４４】
図５は、上限値ａと下限値ｂとの間で連続的に変化する磁場を、１周期だけ磁気ヘッドに印加しながら、磁気ヘッドのリード素子の出力（出力電圧）をρＨ測定機で測定した測定データを示すグラフである。
さて、外部磁場とリード素子の出力電圧との関係を示すグラフは、図５に示すように、ほぼ直線状となる。すなわち、印加する外部磁場をｘ，出力電圧をｙで表した場合、ｘとｙの関係は、「ｙ＝ｐｘ＋ｑ」（ｐ，ｑは定数。ｐは傾き。ｑは切片）の一次式で近似的に表せる。
【００４５】
本実施例２では、前記異常検知ステップ（ステップＳ３）において、制御用コンピュータ１２の制御部は、図５に示すように、測定データを、前記上限値ａと前記下限値ｂとの間を所定の間隔で分割した各範囲ｄ１，ｄ２，ｄ３，ｄ４に分割し、各範囲における、外部磁場とリード素子の出力電圧との間の関係を近似する数式（一次式）を算出する。これは、例えば、各範囲ｄ１，ｄ２，ｄ３，ｄ４の上限側の境界における測定データの座標と、下限側の境界における測定データの座標とを直線で結んだ際の傾きｐおよび切片ｑを算出することで実現できる。
【００４６】
図２（ａ）に示したように変化する外部磁場の一周期分を印加すると、各領域ｄ１，ｄ２，ｄ３，ｄ４にはそれぞれ２回分の測定データが含まれるから、全部で８回分の（８つの）一次式が算出される。
そして、制御用コンピュータ１２の制御部は、この複数（８つ）の一次式の各切片ｑ１〜ｑ８の間のばらつきを求め、そのばらつきに基づいて、前記測定機の異常の有無を判定する。
【００４７】
特に限定されるものではないが、本実施例２においては、制御用コンピュータ１２の制御部は、例えば、各切片間の差の絶対値｜ｑ１−ｑ２｜，｜ｑ２−ｑ３｜，・・・｜ｑ７−ｑ８｜，｜ｑ８−ｑ１｜をそれぞれ算出し、その８つの絶対値の中の最大値が、所定の閾値を超えている場合に、ρＨ測定機に異常があるものと判定するよう構成する。
【００４８】
本実施例２においても、前記ｑのばらつきの条件に、さらに（アンド条件として）、前記バルクハウゼンジャンプの条件を加えて、ρＨ測定機に異常があるものと判定するよう構成すれば、より好適である。
【実施例３】
【００４９】
図６は、上限値ａと下限値ｂとの間で連続的に変化する磁場を、１周期だけ磁気ヘッドに印加しながら、磁気ヘッドのリード素子の出力（出力電圧）をρＨ測定機で測定した測定データを示すグラフである。
【００５０】
本実施例３では、前記異常検知ステップ（ステップＳ３）において、制御用コンピュータ１２の制御部は、各外部磁場に対応するリード素子の出力のばらつきを求める。このばらつきを求めるには、特に限定されるものではないが、例えば、図５に示すように、２回の外部磁場の印加に対する各出力電圧の値の差を積分して、各出力電圧のグラフ間の面積を算出するよう構成すればよい。この複数のグラフ間の面積（または全体の変化量（図５中破線で囲んだ部分の面積）に対する、グラフ間の面積の割合としてもよい）が、所定の閾値を超えている場合に、ρＨ測定機に異常があるものと判定するよう構成する。
【００５１】
本実施例３においても、前記出力のばらつきの条件に、さらに（アンド条件として）、前記バルクハウゼンジャンプの条件を加えて、ρＨ測定機に異常があるものと判定するよう構成すれば、より好適である。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明に係る磁気ヘッドの特性評価方法の工程の流れを示す図である。
【図２】測定ステップにおいて印加する磁場、およびそれに対応するリード素子の出力を示すグラフである。
【図３】測定データを示すグラフを示し、（ａ），（ｂ）は測定機に異常がない場合のグラフであり、（ｃ）〜（ｊ）は測定機に異常がある場合のグラフである。
【図４】バルクハウゼンジャンプの説明図である。
【図５】実施例２に対応する異常検知ステップにおける測定機の異常の有無の判定手法の説明図である。
【図６】実施例３に対応する異常検知ステップにおける測定機の異常の有無の判定手法の説明図である。
【図７】ρＨ測定機の構成を示すブロック図である。
【図８】従来の磁気ヘッドの特性評価方法の工程の流れを示す図である。
【符号の説明】
【００５３】
１０  ヘルムホルツコイル
１１  ヘルムホルツコイル電源
１２  制御用コンピュータ
１３ａ  載置台
１４  ローバー
１５  プローブピン
２０  定電流電源
２１  オシロスコープ
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図１】
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【図８】
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