(57)【要約】【課題】モータの部材である、台座と、回転子と、固定子と、光学式物差と、を精確に組付けることが可能になり、生産コストが低減になり、組付作業が便利になり、モータの精確度が向上するトルクモータ部材の位置決め用実装構造を提供する。【解決手段】その上でモータの各部材が組付けられる台座と、相対に回転可能な固定子と回転子とを有し、固定子の外面に第一位置決め面と第二位置決め面が成形してあり、回転子の外面に基準面が成形してある位置決め軸受と、台座の内部に固定され、一端面が位置決め軸受の第二位置決め面に当接するように位置決め軸受と連結する固定子と、台座の内部に回動可能に組み付けられ、一端面が位置決め軸受の基準面に当接するように位置決め軸受と連結する回転子と、部材の変位誤差を測定するためのものである光学式物差と、を含む。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
その上でモータの各部材が組付けられる台座と、
相対に回転可能な、固定子と、回転子とを有し、前記固定子の外面に、第一位置決め面と、第二位置決め面と、が成形してあり、前記回転子の外面に基準面が成形してあり、第一位置決め面で前記台座に当接するように前記台座と連結する位置決め軸受と、
前記台座の内部に固定され、一端面が前記位置決め軸受の第二位置決め面に当接するように前記位置決め軸受と連結する固定子と、
前記台座の内部に回動可能に組み付けられ、一端面が前記位置決め軸受の基準面に当接するように前記位置決め軸受と連結する回転子と、
部材の変位誤差を測定するためのものであり、一端面が前記位置決め軸受の基準面に当接するように前記位置決め軸受と連結する光学式物差と、を含むことを特徴とする、トルクモータ部材の位置決め用実装構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、トルクモータ部材の位置決め用実装構造に係り、特に、位置決め軸受により、台座と、固定子と、回転子と、光学式物差と、を位置決めるトルクモータ部材の位置決め用実装構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
目下、各種類の回転装置として、回転テーブルが広汎に普及しており、例えば、ウェーハ測定装置と、自動化設備と、割出し板などの装置に回転テーブルが組付けてあり、且つ回転テーブルのパワーソースとして、トルクモータが主に使用される。
【０００３】
回転作業が必要な各種類の設備は、作業精度が厳しく要求されるので、トルクモータのスムーズな回転作動は必要条件とされ、従来のトルクモータは、回転子と、モータ台座および固定子との合せ精度を一定に維持するために、光学式物差により回転子と、モータ台座および固定子との間の誤差を矯正することが一般である。
【０００４】
特に、従来のトルクモータは、回転子と、固定子と、軸受と、光学式物差となどの部材は、先にモータの台座に取付けられて、それぞれ位置合せることが必要であり、だから、モータ台座は、これらの部材を組付可能にするために、これらの部材を組付けるための構造を加工して成形し、又は各種の補助部材を利用することが必要になる。
【０００５】
しかしながら、モータ台座での実装構造は、加工誤差の原因で、組み付けられた部材同士の相対位置誤差が顕在化になり、だから、作製時に調整および矯正を重ねることが必要になり、そしてある時期を使用した後も、組み付けられた部材同士の相対位置誤差を測定して矯正することが必要である。
【０００６】
また、従来の構造によって回転子と台座との間の実装精確度を調整する場合には、回転子と、軸受け台と、補助部材とを調整しないと、誤差を除去できないので、操作は極めて不便である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の主な目的は、モータの部材である、台座と、回転子と、固定子と、光学式物差と、を精確に組付けることが可能になり、補助部材を一切使用することが必要なくなり、生産コストが低減になり、組付作業が便利になり、モータの精確度が向上になるトルクモータ部材の位置決め用実装構造を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するためになされた本願の発明は、その上でモータの各部材が組付けられる台座と、相対に回転可能な、固定子と、回転子とを有し、前記固定子の外面に、第一位置決め面と、第二位置決め面と、が成形してあり、前記回転子の外面に基準面が成形してあり、第一位置決め面で前記台座に当接するように前記台座と連結する位置決め軸受と、前記台座の内部に固定され、一端面が前記位置決め軸受の第二位置決め面に当接するように前記位置決め軸受と連結する固定子と、前記台座の内部に回動可能に組み付けられ、一端面が前記位置決め軸受の基準面に当接するように前記位置決め軸受と連結する回転子と、部材の変位誤差を測定するためのものであり、一端面が前記位置決め軸受の基準面に当接するように前記位置決め軸受と連結する光学式物差と、を含むことを特徴とするトルクモータ部材の位置決め用実装構造であることを要旨としている。
【発明の効果】
【０００９】
本発明のトルクモータ部材の位置決め用実装構造によれば、モータの部材である、台座と、回転子と、固定子と、光学式物差と、を精確に組付けることが可能になり、補助部材を一切使用することが必要なくなり、生産コストが低減になり、組付作業が便利になり、モータの精確度が向上になる効果を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、添付図面を参照して本発明の好適な実施の形態を詳細に説明する。
【００１１】
まず、図１と図２を参照する。図１は本発明のトルクモータの部材の組合状態を示す断面図であり、図２は本発明のトルクモータの部材の位置関係を示す概略図である。本発明のモータ部材の位置決め用実装構造は、
その上でモータの各部材が組付けられる台座１０と、
相対に回転可能な、固定子２１と、回転子２２とを有し、前記固定子２１の外面に、第一位置決め面２１１と、第二位置決め面２１２と、が成形してあり、前記回転子２２の外面に基準面２２１が成形してあり、第一位置決め面２１１で前記台座１０に当接するように前記台座１０と連結する位置決め軸受２０と、
モータの固定磁性部材であり、前記台座１０の内部に固定され、一端面が前記位置決め軸受２０の第二位置決め面２１２に当接するように前記位置決め軸受２０と連結する固定子３０と、
モータの回動磁性部材であり、前記台座１０の内部に回動可能に組み付けられ、一端面が前記位置決め軸受２０の基準面２２１に当接するように前記位置決め軸受２０と連結する回転子４０と、
部材の変位誤差を測定するためのものであり、一端面が前記位置決め軸受２０の基準面２２１に当接するように前記位置決め軸受２０と連結する光学式物差５０と、を含む。
【００１２】
図１と図２に示すように、本発明は、主に、位置決め軸受２０の固定子２１の外面に、第一位置決め面２１１と、第二位置決め面２１２と、が成形してあり、回転子２２の外面に基準面２２１が成形してあり、前記第一位置決め面２１１が前記台座１０に当接して位置決められ、前記第二位置決め面２１２が固定子３０に当接して位置決められ、且つ基準面２２１が回転子４０と光学式物差５０とに当接して位置決められ、これにより、加工時に位置決め軸受２０が要求される精確度に加工されたと、モータの他の部材である、台座１０と、回転子４０と、固定子３０と、光学式物差５０とは精確に組付可能になる。
【００１３】
特に、本発明は、位置決め軸受２０を中心基準としてモータの各部材（台座１０、回転子４０、固定子３０と光学式物差５０）を位置決めして連結し、すなわち、モータの各部材が位置決め軸受２０に位置決められて位置決め軸受２０と結合するので、従来のもののように補助部材を一切使用することが必要なくなり、部材数が減少になり、部材数が多い場合による累積誤差の発生を回避できる。
【００１４】
特に、本発明の位置決め軸受２０は増設する部材ではなく、従来のトルクモータにおいて、回転子４０と固定子３０との間に、回転子４０と固定子３０との回動を自在にするための普通な軸受が配設してあり、本発明は、本来の普通な軸受を、第一位置決め面２１１と、第二位置決め面２１２と、基準面２２１と、を持つ特殊な位置決め軸受２０に変換するので、生産コストはやや増加するだけである。
【００１５】
また、モータの各部材（台座１０、回転子４０、固定子３０と光学式物差５０）は位置決め軸受２０に直接に当接して位置決められて位置決め軸受２０と連結するので、部材の連結作業が簡単になり、部材数が低減になり、モータ全体の剛性および安定性が大幅に向上になる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明のトルクモータの部材の組合状態を示す断面図である。
【図２】本発明のトルクモータの部材の位置関係を示す概略図である。
【符号の説明】
【００１７】
１０      台座                                  
２０      位置決め軸受
２１      固定部                          
２１１    第一位置決め面
２１２    第二位置決め面                  
２２      回転部
２２１    基準面                          
３０      固定子
４０      回転子                    
５０      光学式物差
【図１】
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【図２】
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