(57)【要約】【課題】位置合わせ時にフィルム基板に発生する歪応力を緩和して、一対のフィルム基板を貼り合わせる。【解決手段】長さ方向に沿って複数の表示領域がそれぞれ規定されたＴＦＴフィルム基板１及びＣＦフィルム基板２を各表示領域が互いに重なり合うように位置合わせを行った後に順次貼り合わせることにより、液晶表示パネルを製造する装置であって、ＴＦＴフィルム基板１及びＣＦフィルム基板２の少なくとも一方には、各表示領域の間に基板の幅方向の屈曲性を付与するためのスリット形成領域Ｓが規定されており、そのフィルム基板をスリット形成領域Ｓを介して幅方向に屈曲させることによりＴＦＴフィルム基板１及びＣＦフィルム基板２の位置合わせを行った後に、ＴＦＴフィルム基板１及びＣＦフィルム基板２を貼り合わせるための貼り合わせ部２０ａを備えている。【選択図】図２
2008233207.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
長さ方向に沿って複数の表示領域がそれぞれ規定された一対のフィルム基板を該各表示領域が互いに重なり合うように位置合わせを行った後に順次貼り合わせることにより、液晶表示パネルを製造する装置であって、
上記一対のフィルム基板の少なくとも一方には、上記各表示領域の間に該フィルム基板の幅方向の屈曲性を付与するためのスリットが形成されており、
上記スリットが形成されたフィルム基板を該スリットを介して幅方向に屈曲させることにより上記一対のフィルム基板の位置合わせを行った後に、該一対のフィルム基板を貼り合わせるための貼り合わせ部を備えていることを特徴とする液晶表示パネルの製造装置。
【請求項２】
請求項１に記載された液晶表示パネルの製造装置において、
上記貼り合わせ部は、上記スリットが形成されたフィルム基板に周壁の一部がそれぞれ当接するように構成された一対のアライメントロールを備え、
上記一対のアライメントロールの少なくとも一方は、上記スリットが形成されたフィルム基板を該スリットを介して幅方向に屈曲させるように、上記フィルム基板の進行方向に対する角度が任意に設定可能に構成されていることを特徴とする液晶表示パネルの製造装置。
【請求項３】
請求項２に記載された液晶表示パネルの製造装置において、
上記一対のアライメントロールの少なくとも一方は、上記一対のフィルム基板の各表示領域が互いに重なり合うように、周壁の一部に当接するフィルム基板の幅方向及び厚さ方向の少なくとも一方に移動可能に構成されていることを特徴とする液晶表示パネルの製造装置。
【請求項４】
請求項１に記載された液晶表示パネルの製造装置において、
上記貼り合わせ部は、上記スリットが形成されたフィルム基板の各表示領域を表面に吸着するための吸着ステージを備え、
上記吸着ステージは、表面に吸着された上記フィルム基板を上記スリットを介して幅方向に屈曲させるように、上記フィルム基板の進行方向に対する角度が任意に設定可能に構成されていることを特徴とする液晶表示パネルの製造装置。
【請求項５】
請求項４に記載された液晶表示パネルの製造装置において、
上記吸着ステージは、上記一対のフィルム基板の各表示領域が互いに重なり合うように、表面に吸着された上記フィルム基板の進行方向及び幅方向の少なくとも一方に移動可能に構成されていることを特徴とする液晶表示パネルの製造装置。
【請求項６】
長さ方向に沿って複数の表示領域がそれぞれ規定された一対のフィルム基板を該各表示領域が互いに重なり合うように位置合わせを行った後に順次貼り合わせることにより、液晶表示パネルを製造する方法であって、
上記一対のフィルム基板の少なくとも一方に対し、上記各表示領域の間に該フィルム基板の幅方向の屈曲性を付与するためのスリットを形成するスリット形成工程と、
上記スリット形成工程でスリットが形成されたフィルム基板を該スリットを介して幅方向に屈曲させることにより上記一対のフィルム基板の位置合わせを行った後に、該一対のフィルム基板を貼り合わせる貼り合わせ工程とを備えることを特徴とする液晶表示パネルの製造方法。
【請求項７】
請求項６に記載された液晶表示パネルの製造方法において、
上記スリット形成工程では、上記スリットを上記フィルム基板の幅方向に沿って複数形成し、該形成された複数のスリットのうち、両端に配置する各スリットを該フィルム基板の側方に開口させることを特徴とする液晶表示パネルの製造方法。
【請求項８】
請求項７に記載された液晶表示パネルの製造方法において、
上記スリット形成工程では、上記複数のスリットのうち、両端に配置する各スリットを底部が丸みを帯びたＶ字形に開口させることを特徴とする液晶表示パネルの製造方法。
【請求項９】
請求項６に記載された液晶表示パネルの製造方法において、
上記スリット形成工程では、上記スリットをレーザー加工又は打ち抜き加工により形成することを特徴とする液晶表示パネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示パネルの製造装置及び製造方法に関し、特に、フィルム基板を用いた液晶表示パネルにおいて、一対のフィルム基板を貼り合わせる際の位置合わせ技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶ディスプレイや有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイなどの分野では、従来より用いられてきたガラス基板の代わりに、可撓性を有するフィルム基板を用いたフレキシブルな表示パネルが開発されている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、それぞれロールに巻かれた２枚の絶縁樹脂シートをシール材によりセル単位毎に貼り合わせた後に、各絶縁樹脂シートにハーフカットの状態のカットラインを設けて、そのカットラインを介して各絶縁樹脂シートをセル単位毎に分割する液晶表示装置（液晶表示パネル）の製造方法が開示されている。そして、この製造方法によれば、２枚のシートを貼着した後に分割してゆくので、連続してシートを流すことができ、また、シートをハーフカットをするので、下層に設けられる配線の断線も防止できる、と記載されている。
【特許文献１】特開平８−１４６３７２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、液晶表示パネルは、例えば、複数の画素電極がマトリクス状に形成されたアクティブマトリクス基板と、各画素電極に対応するようにＲ・Ｇ・Ｂの着色層が形成された対向基板とを備えているので、それらの両基板を貼り合わせる際には、各画素電極と各着色層とが互いに重なり合うように位置合わせを行う必要がある。
【０００５】
また、フィルム基板を用いて液晶表示パネルを製造する際には、生産効率を向上させる観点から、例えば、ロールツーロール方式により、長尺のフィルム基板を連続して処理することが好ましい。そのため、上記アクティブマトリクス基板としてそれぞれ機能するアクティブ素子層が長さ方向に沿って複数形成された第１のフィルム基板と、上記対向基板としてそれぞれ機能するＣＦ素子層が長さ方向に沿って複数形成された第２のフィルム基板とを、各素子層により構成されるセル単位毎に位置合わせを行った後に、順次貼り合わせると、以下のような不具合の発生が考えられる。
【０００６】
図１３は、従来の位置合わせを行った後に、下側の第１フィルム基板１０１に上側の第２フィルム基板１０２を貼り合わせた状態を示す上面図である。なお、図１３では、領域Ａ及び領域Ｂが１つの液晶表示パネルを形成するためのセル単位をそれぞれ示しており、図中下側の矢印が基板の進行方向を示している。
【０００７】
図１３の右側の領域Ａ（Ａ１及びＡ２）のセル単位では、第１フィルム基板１０１及び第２フィルム基板１０２を貼り合わせる前に、例えば、第１フィルム基板１０１のアクティブ素子層Ａ１に対して第２フィルム基板のＣＦ素子層Ａ２が若干斜めに配置されていたので、第２フィルム基板１０２をその進行方向に対して角度θ傾けるθ補正による位置合わせを行った後に、第１フィルム基板１０１及び第２フィルム基板１０２がシール材（不図示）を介して貼り合わせられている。
【０００８】
そして、上記領域Ａに続く図１３の左側の領域Ｂ（Ｂ１及びＢ２）のセル単位では、図１３に示すように、第２フィルム基板１０２がその進行方向に対して角度θ傾いたままの状態であるので、第１フィルム基板１０１及び第２フィルム基板１０２を貼り合わせる前に、第２フィルム基板１０２をその進行方向に対して角度−（マイナス）θ傾ける−θ補正による位置合わせが必要になる場合がある。そして、領域Ｂにおいて第１フィルム基板１０１及び第２フィルム基板１０２を−θ補正による位置合わせを行った後に貼り合わた場合には、領域Ａにおけるθ補正、及び領域Ｂにおける−θ補正に起因して、基板内に歪応力が残留することになるので、貼り合わせた後の工程において、第１フィルム基板１０１及び／又は第２フィルム基板１０２からシール材が剥離してしまうという不具合が発生するおそれがある。
【０００９】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、位置合わせ時にフィルム基板に発生する歪応力を緩和して、一対のフィルム基板を貼り合わせることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明は、一対のフィルム基板の少なくとも一方にスリットが形成されており、そのスリットを介してフィルム基板を幅方向に屈曲させることにより、一対のフィルム基板の位置合わせを行うようにしたものである。
【００１１】
具体的に本発明に係る液晶表示パネルの製造装置は、長さ方向に沿って複数の表示領域がそれぞれ規定された一対のフィルム基板を該各表示領域が互いに重なり合うように位置合わせを行った後に順次貼り合わせることにより、液晶表示パネルを製造する装置であって、上記一対のフィルム基板の少なくとも一方には、上記各表示領域の間に該フィルム基板の幅方向の屈曲性を付与するためのスリットが形成されており、上記スリットが形成されたフィルム基板を該スリットを介して幅方向に屈曲させることにより上記一対のフィルム基板の位置合わせを行った後に、該一対のフィルム基板を貼り合わせるための貼り合わせ部を備えていることを特徴とする。
【００１２】
上記の構成によれば、一対のフィルム基板の少なくとも一方が各表示領域の間にフィルム基板の幅方向の屈曲性を付与するためのスリットを有しているので、一対のフィルム基板の位置合わせを行う際に、スリットを有するフィルム基板を貼り合わせ部によって幅方向に屈曲させることにより、フィルム基板のスリットよりも後ろの部分を基板の進行方向に対して角度θ傾けるθ補正による位置合わせを行ったとしても、そのθ補正に起因してフィルム基板に発生する歪応力がスリットで分断される。これにより、そのフィルム基板に発生する歪応力が小さくなるので、位置合わせ時にフィルム基板に発生する歪応力を緩和して、一対のフィルム基板を貼り合わせることが可能になる。
【００１３】
上記貼り合わせ部は、上記スリットが形成されたフィルム基板に周壁の一部がそれぞれ当接するように構成された一対のアライメントロールを備え、上記一対のアライメントロールの少なくとも一方は、上記スリットが形成されたフィルム基板を該スリットを介して幅方向に屈曲させるように、上記フィルム基板の進行方向に対する角度が任意に設定可能に構成されていてもよい。
【００１４】
上記の構成によれば、スリットが形成されたフィルム基板にそれぞれ当接する一対のアライメントロールの少なくとも一方において、フィルム基板の進行方向に対する角度が任意に設定可能に構成されているので、そのアライメントロールをフィルム基板の進行方向に対して斜めに配置することにより、フィルム基板のスリットよりも後ろの部分を基板の進行方向に対して角度θ傾けるθ補正による位置合わせを行うことが可能になって、本発明の作用効果が具体的に奏される。
【００１５】
上記一対のアライメントロールの少なくとも一方は、上記一対のフィルム基板の各表示領域が互いに重なり合うように、周壁の一部に当接するフィルム基板の幅方向及び厚さ方向の少なくとも一方に移動可能に構成されていてもよい。
【００１６】
上記の構成によれば、一対のアライメントロールの少なくとも一方をそれに当接するフィルム基板の幅方向及び／又は厚さ方向に移動させることにより、そのフィルム基板の幅方向及び／又は厚さ方向に沿った位置ずれをそれぞれ調整することが可能になる。
【００１７】
上記貼り合わせ部は、上記スリットが形成されたフィルム基板の各表示領域を表面に吸着するための吸着ステージを備え、上記吸着ステージは、表面に吸着された上記フィルム基板を上記スリットを介して幅方向に屈曲させるように、上記フィルム基板の進行方向に対する角度が任意に設定可能に構成されていてもよい。
【００１８】
上記の構成によれば、フィルム基板の各表示領域を吸着する吸着ステージのフィルム基板の進行方向に対する角度が任意に設定可能に構成されているので、その吸着ステージをフィルム基板の進行方向に対して斜めに配置することにより、フィルム基板のスリットよりも後ろの部分を基板の進行方向に対して角度θ傾けるθ補正による位置合わせを行うことが可能になって、本発明の作用効果が具体的に奏される。
【００１９】
上記吸着ステージは、上記一対のフィルム基板の各表示領域が互いに重なり合うように、表面に吸着された上記フィルム基板の進行方向及び幅方向の少なくとも一方に移動可能に構成されていてもよい。
【００２０】
上記の構成によれば、吸着ステージをそれに吸着されたフィルム基板の幅方向及び／又は厚さ方向に移動させることにより、そのフィルム基板の幅方向及び／又は厚さ方向に沿った位置ずれをそれぞれ調整することが可能になる。
【００２１】
また、本発明に係る液晶表示パネルの製造方法は、長さ方向に沿って複数の表示領域がそれぞれ規定された一対のフィルム基板を該各表示領域が互いに重なり合うように位置合わせを行った後に順次貼り合わせることにより、液晶表示パネルを製造する方法であって、上記一対のフィルム基板の少なくとも一方に対し、上記各表示領域の間に該フィルム基板の幅方向の屈曲性を付与するためのスリットを形成するスリット形成工程と、上記スリット形成工程でスリットが形成されたフィルム基板を該スリットを介して幅方向に屈曲させることにより上記一対のフィルム基板の位置合わせを行った後に、該一対のフィルム基板を貼り合わせる貼り合わせ工程とを備えることを特徴とする。
【００２２】
上記の方法によれば、スリット形成工程において一対のフィルム基板の少なくとも一方に対し各表示領域の間にフィルム基板の幅方向の屈曲性を付与するためのスリットが形成されるので、貼り合わせ工程において一対のフィルム基板の位置合わせを行う際に、フィルム基板をスリットを介して幅方向に屈曲させることにより、フィルム基板のスリットよりも後ろの部分を基板の進行方向に対して角度θ傾けるθ補正による位置合わせを行ったとしても、そのθ補正に起因してフィルム基板に発生する歪応力がスリットで分断される。これにより、そのフィルム基板に発生する歪応力が小さくなるので、位置合わせ時にフィルム基板に発生する歪応力を緩和して、一対のフィルム基板を貼り合わせることが可能になる。
【００２３】
上記スリット形成工程では、上記スリットを上記フィルム基板の幅方向に沿って複数形成し、該形成された複数のスリットのうち、両端に配置する各スリットを該フィルム基板の側方に開口させてもよい。
【００２４】
上記の方法によれば、スリット形成工程でフィルム基板に形成された複数のスリットのうち、両端に配置する各スリットが基板の側方に開口するので、そのフィルム基板をスリットを介して幅方向に屈曲させることにより、そのフィルム基板のスリットよりも後ろの部分をその進行方向に対して角度θ傾けるθ補正による位置合わせを行った際にフィルム基板に発生する歪応力を逃し易くすることが可能になる。
【００２５】
上記スリット形成工程では、上記複数のスリットのうち、両端に配置する各スリットを底部が丸みを帯びたＶ字形に開口させてもよい。
【００２６】
上記の方法によれば、スリット形成工程でフィルム基板の両側部に形成されるＶ字形のスリットの底部が丸みを帯びることになるので、θ補正による位置合わせを行った際にフィルム基板に発生する歪応力がスリットの底部に集中し難くなる。
【００２７】
上記スリット形成工程では、上記スリットをレーザー加工又は打ち抜き加工により形成してもよい。
【００２８】
上記の方法によれば、レーザー加工又は打ち抜き加工という一般的な加工技術により、フィルム基板に幅方向の屈曲性を付与するためのスリットが形成されるので、本発明の作用効果が具体的に奏される。
【発明の効果】
【００２９】
本発明によれば、一対のフィルム基板の少なくとも一方にスリットが形成されており、そのスリットを介してフィルム基板を幅方向に屈曲させることにより、一対のフィルム基板の位置合わせを行うので、位置合わせ時にフィルム基板に発生する歪応力を緩和して、一対のフィルム基板を貼り合わせることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明は、以下の各実施形態に限定されるものではない。
【００３１】
《発明の実施形態１》
図１〜図１１は、本発明に係る液晶表示パネルの製造装置及び製造方法の実施形態１を示している。具体的に、図１は、本実施形態の液晶表示パネルの製造装置である基板貼り合わせ装置３０を示し、図２は、基板貼り合わせ装置３０を構成する貼り合わせ部２０ａを示している。
【００３２】
基板貼り合わせ装置３０は、図１に示すように、ロール状に巻かれたＴＦＴ（Thin Film Transistor）フィルム基板１を巻き出すための第１巻き出しロール１０ａと、ロール状に巻かれたＣＦ（Color Filter）フィルム基板２を巻き出すための第２巻き出しロール１０ｂと、第１巻き出しロール１０ａ及び第２巻き出しロール１０ｂからそれぞれ巻き出されたＴＦＴフィルム基板１及びＣＦフィルム基板２に対して順次位置合わせを行った後にそれらの両基板１及び２を貼り合わせるための貼り合わせ部２０とを備えている。
【００３３】
貼り合わせ部２０に対応する貼り合わせ部２０ａは、図２に示すように、図中下側を左側から右側に向けて搬送されるＴＦＴフィルム基板１に周壁の一部がそれぞれ当接して回転する第１送りロール１１ａ、第１アライメントロール１２ａ及び第２アライメントロール１２ｂと、図中上側を左側から右側に向けて搬送されるＣＦフィルム基板２に周壁の一部がそれぞれ当接して回転する第２送りロール１１ｂ、第３アライメントロール１６ａ、押さえロール１３及び第４アライメントロール１６ｂと、第１アライメントロール１２ａ及び第２アライメントロール１２ｂの間でＴＦＴフィルム基板１を下側から保持するためのステージ１４と、ステージ１４上に保持されたＴＦＴフィルム基板１及びＣＦフィルム基板２の各アライメントマークを検出するための位置検出器１５とを備えている。なお、図２では、図中横方向及び縦方向をそれぞれＸ方向及びＺ方向とし、Ｘ方向及びＺ方向に対してそれぞれ直交する方向をＹ方向としている。
【００３４】
第１巻き出しロール１０ａ、第２巻き出しロール１０ｂ、第１送りロール１１ａ及び第２送りロール１１ｂは、各回転軸が互いに平行になるように配置されている。
【００３５】
第１アライメントロール１２ａは、後述するように、ＴＦＴフィルム基板１の進行方向に対する角度（θＺ及びθＹ）が任意に設定可能に構成されていると共に、Ｙ方向（基板幅方向）及びＺ方向（基板厚さ方向）に平行移動可能に構成されている。
【００３６】
第２アライメントロール１２ｂ、第３アライメントロール１６ａ及び第４アライメントロール１６ｂについては、第１送りロール１１ａ及び第２送りロール１１ｂに対して回転軸が平行になるように固定された構成を例示するが、第１アライメントロール１２ａのような非固定式の構成であってもよい。
【００３７】
押さえロール１３は、ＴＦＴフィルム基板１及びＣＦフィルム基板２の位置合わせが完了した後に、ステージ１４上のＣＦフィルム基板２にＴＦＴフィルム基板１を介して当接するように構成されている。
【００３８】
ステージ１４は、ＴＦＴフィルム基板１及びＣＦフィルム基板２の位置合わせが完了した後に、ステージ１４上のＴＦＴフィルム基板１を真空チャックや静電チャックなどにより吸着するように構成されていてもよい。
【００３９】
位置検出器１５は、ＴＦＴフィルム基板１の左側端及び右側端にそれぞれ形成されたアライメントマーク（Ｍ１Ｌ及びＭ１Ｒ、図４参照）、並びにＣＦフィルム基板２の左側端及び右側端にそれぞれ形成されたアライメントマーク（Ｍ２Ｌ及びＭ２Ｒ、図４参照）をＣＣＤカメラやレーザー発振／検出器などに検出することにより、ＴＦＴフィルム基板１及びＣＦフィルム基板２の間の位置ずれ及びそのずれ量を検知するように構成されている。
【００４０】
ここで、図３〜図５を用いて、ＴＦＴフィルム基板１に対するθＹ補正による位置合わせについて説明する。
【００４１】
まず、ＴＦＴフィルム基板１に予め形成したアライメントマーク（Ｍ１Ｌ及びＭ１Ｒ、図４参照）、及びＣＦフィルム基板２に予め形成したアライメントマーク（Ｍ２Ｌ及びＭ２Ｒ、図４参照）が互いに重なり合っている場合には、図３に示すように、第１アライメントロール１２ａ及び第２アライメントロール１２ｂを互いに平行に配置させた状態（Ｌ１＝Ｌ２）で、ＴＦＴフィルム基板１をＸ方向に沿って真っ直ぐ進行させる。なお、図３〜図５では、図中横方向及び縦方向をそれぞれＸ方向及びＹ方向としている。
【００４２】
そして、例えば、図４に示すように、ＣＦフィルム基板２の左側端のアライメントマークＭ２Ｌに対して、ＴＦＴフィルム基板１の左側端のアライメントマークＭ１Ｌが後方側にずれていることが位置検出器１５によって検知された場合には、図５に示すように、第１アライメントロール１２ａを点Ｐを基点にθＹ方向に所定量移動させることにより、具体的に第１アライメントロール１２ａの右側をやや後方に移動させることにより、ロール間の距離をＬ３＜Ｌ４として、ＴＦＴフィルム基板１をＸ方向に沿ってやや斜めに進行させる。これにより、ＴＦＴフィルム基板１の送り速度が基板幅方向の左右で異なることになるので、アライメントマークＭ１ＬがアライメントマークＭ２Ｌに重なり合って、θＹ補正による位置合わせを行うことができる。
【００４３】
ここで、上記θＹ補正は、第１アライメントロール１２ａの基板進行方向に対する角度をＸＹ平面上で変えるものである。なお、上記θＹ補正の代わりに、第１アライメントロール１２ａの基板進行方向に対する角度をＹＺ平面上で変えるθｚ補正により位置合わせを行ってもよい。
【００４４】
次に、上記構成の基板貼り合わせ装置３０で連続処理されるＴＦＴフィルム基板１及びＣＦフィルム基板２について説明する。
【００４５】
ＴＦＴフィルム基板１及びＣＦフィルム基板２には、図１に示すように、長さ方向に沿って複数の表示領域Ｄが連続して規定され、各表示領域Ｄの間にフィルム基板の幅方向の屈曲性を付与するためのスリット形成領域Ｓが規定されている。
【００４６】
ＴＦＴフィルム基板１の各表示領域Ｄには、例えば、互いに平行に延びる複数のゲート線と、各ゲート線と直交する方向に互いに平行に延びる複数のソース線と、ゲート線及びソース線の各交差部分にスイッチング素子としてそれぞれ設けられた複数の薄膜トランジスタ（以下、ＴＦＴと称する）と、各ＴＦＴに対応してそれぞれ設けられた複数の画素電極とを備えたアクティブ素子層３が形成されている。なお、ＴＦＴフィルム基板１上には、セル厚を確保するためのフォトスペーサが形成されている。
【００４７】
ＣＦフィルム基板２の各表示領域Ｄには、例えば、ＴＦＴフィルム基板１上の各画素電極に対応するようにＲ・Ｇ・Ｂの着色層が設けられたカラーフィルターと、カラーフィルターを覆うように設けられた共通電極とを備えたＣＦ素子層５が形成されている。
【００４８】
ここで、図６〜図１１を用いて、ＴＦＴフィルム基板１及びＣＦフィルム基板２を構成するフィルム基板Ｆについて説明する。
【００４９】
フィルム基板Ｆには、ＴＦＴフィルム基板１及びＣＦフィルム基板２の各スリット形成領域Ｓを構成するスリットＳ１〜Ｓ１１が形成されている。
【００５０】
スリットＳ１は、図６（ａ）〜（ｄ）及び図９（ａ）〜（ｄ）に示すように、フィルム基板Ｆの幅方向に沿って長方形状に切り欠かれた切り欠き部である。なお、図６（ｄ）及び図９（ｄ）では、スリットＳ１がフィルム基板Ｆの幅方向に沿って斜めに形成されている。ここで、スリットＳ１は、例えば、幅５００ｍｍのフィルム基板Ｆに対して、縦１０ｍｍ×横５ｍｍで４５個程度形成されている。
【００５１】
スリットＳ２は、図６（ｅ）及び図１１（ａ）に示すように、フィルム基板Ｆの幅方向に沿って円状に切り欠かれた切り欠き部である。ここで、スリットＳ２は、例えば、幅５００ｍｍのフィルム基板Ｆに対して、直径５ｍｍで７０個程度形成されている。
【００５２】
スリットＳ３は、図７（ａ）〜（ｄ）及び図１０（ａ）〜（ｄ）に示すように、フィルム基板Ｆの幅方向に沿って線状に切り込まれた切り込み部である。なお、図７（ｄ）及び図１０（ｄ）では、スリットＳ３がフィルム基板Ｆの幅方向に沿って斜めに形成されている。ここで、スリットＳ３は、例えば、幅５００ｍｍのフィルム基板Ｆに対して、長さ１０ｍｍで４５個程度形成されている。
【００５３】
スリットＳ４は、図８（ａ）及び（ｂ）並びに図１１（ｄ）及び（ｅ）に示すように、フィルム基板Ｆの長さ方向に沿って長方形状に切り欠かれた切り欠き部である。ここで、スリットＳ４は、例えば、幅５００ｍｍのフィルム基板Ｆに対して、縦８ｍｍ×横１０ｍｍで５０個程度形成されている。
【００５４】
スリットＳ５は、図８（ｃ）及び（ｄ）に示すように、フィルム基板Ｆの長さ方向に沿って線状に切り込まれた切り込み部である。ここで、スリットＳ５は、例えば、幅５００ｍｍのフィルム基板Ｆに対して、長さ１５ｍｍで５０個程度形成されている。
【００５５】
スリットＳ６は、図９（ａ）〜（ｄ）に示すように、フィルム基板Ｆの幅方向に沿って長方形状に切り欠かれ、側方に開口した切り欠き部である。なお、図９（ｄ）では、スリットＳ６がフィルム基板Ｆの幅方向に沿って斜めに形成されている。ここで、スリットＳ６は、スリットＳ１と同程度のサイズである。
【００５６】
スリットＳ７は、図１０（ａ）〜（ｄ）に示すように、フィルム基板Ｆの幅方向に沿って線状に切り込まれ、側方に達した（微視的に開口した）切り込み部である。なお、図１０（ｄ）では、スリットＳ７がフィルム基板Ｆの幅方向に沿って斜めに形成されている。ここで、スリットＳ７は、スリットＳ３と同程度のサイズである。
【００５７】
スリットＳ８は、図１１（ａ）に示すように、フィルム基板Ｆの側方に半円形状に切り欠かれ、開口した切り欠き部である。ここで、スリットＳ８は、スリットＳ２の１／２程度のサイズである。
【００５８】
スリットＳ９は、図１１（ｂ）に示すように、フィルム基板Ｆの側方にＶ字状に切り欠かれ、開口した切り欠き部である。ここで、スリットＳ９は、例えば、幅５００ｍｍのフィルム基板Ｆに対して、斜辺１０ｍｍ及びＶ字角３０°程度に形成されている。
【００５９】
スリットＳ１０では、図１１（ｃ）に示すように、図１１（ｂ）のスリットＳ９の底部が丸みを帯びた形状になっている。ここで、スリットＳ１０の底部は、例えば、直径３ｍｍの円弧状に形成されている。
【００６０】
スリットＳ１１は、図１１（ｄ）に示すように、フィルム基板Ｆの長さ方向に沿って長方形状に切り欠かれ、側方に開口した切り欠き部である。ここで、スリットＳ１１は、スリットＳ４と同程度のサイズである。
【００６１】
なお、上記説明した各スリットＳ１〜Ｓ１１は、単なる例示であり、その大きさ、基板幅方向に沿った個数、基板長さ方向に沿った列数、配置及びそれらの組み合わせについて、限定されるものではない。
【００６２】
次に、上記構成の基板貼り合わせ装置３０を用いて、液晶表示パネルを製造する方法について説明する。なお、本実施形態の製造方法は、スリット形成工程、素子層形成工程、貼り合わせ工程、分断工程及び液晶注入工程を備えている。
【００６３】
＜スリット形成工程＞
例えば、幅５００ｍｍ、長さ５０ｍ及び厚さ１００μｍの一対のプラスチックフィルムの所定位置に、ロール・ツー・ロール方式のレーザー加工や打ち抜き加工などにより、例えば、図６〜図１１に示すように、スリットを形成する。
【００６４】
＜素子層形成工程＞
上記スリット形成工程でスリットが形成された一方のプラスチックフィルム上に、ロール・ツー・ロール方式などにより、ＴＦＴや画素電極などをパターニングして、長さ方向に沿って複数のアクティブ素子層３を形成した後に、その表面に配向膜を形成して、長さ方向に沿って複数の表示領域Ｄが規定されたＴＦＴフィルム基板１を作製する。
【００６５】
また、上記スリット形成工程でスリットが形成された他方のプラスチックフィルム上に、ロール・ツー・ロール方式などにより、カラーフィルターや共通電極などをパターニングして、長さ方向に沿って複数のＣＦ素子層５を形成した後に、その表面に配向膜を形成して、長さ方向に沿って複数の表示領域Ｄが規定されたＣＦフィルム基板２を作製する。
【００６６】
さらに、例えば、ＴＦＴフィルム基板１の各表示領域Ｄの周囲に、ロール・ツー・ロール方式などにより、エポキシ樹脂を描画又は印刷して液晶注入口を有するシール材４を形成する。なお、シール材４は、ＴＦＴフィルム基板１及びＣＦフィルム基板２の間隔（セル厚）を保持するための球状のスペーサを含有し、エポキシ樹脂などにより構成されている。
【００６７】
ここで、上記ＴＦＴフィルム基板１及びＣＦフィルム基板２の作製方法では、予め、各フィルム本体にスリットを形成させておく方法を例示したが、各フィルム本体にアクティブ素子層３及びＣＦ素子層５をそれぞれ形成させた後に、そのフィルム本体にスリットを形成させてもよい。
【００６８】
＜貼り合わせ工程＞
まず、素子層形成工程で形成されたＴＦＴフィルム基板１及びＣＦフィルム基板２をロール状にして基板貼り合わせ装置３０の第１巻き出しロール１０ａ及び第２巻き出しロール１０ｂにそれぞれ取り付ける。
【００６９】
続いて、ＴＦＴフィルム基板１を第１巻き出しロール１０ａから巻き出して、図２に示すように、第１送りロール１１ａ、第１アライメントロール１２ａ及び第２アライメントロール１２ｂに沿って、例えば、各表示領域Ｄ単位でステップ搬送させる。また、ＣＦフィルム基板２を第２巻き出しロール１０ｂから巻き出して、図２に示すように、第２送りロール１１ｂ、第３アライメントロール１６ａ及び第４アライメントロール１６ｂに沿って、例えば、各表示領域Ｄ単位でステップ搬送させる。
【００７０】
そして、ステージ１４上において、位置検出器１５によってＴＦＴフィルム基板１及びＣＦフィルム基板２の各アライメントマーク（Ｍ１Ｌ、Ｍ１Ｒ、Ｍ２Ｌ及びＭ２Ｒ、図４参照）を検出する。
【００７１】
ここで、位置検出器１５による各アライメントマークの検出によって位置ずれが検知されなかった場合には、ＣＦフィルム基板２の表面に押さえロール１３を当接させることにより、ＴＦＴフィルム基板１及びＣＦフィルム基板２を貼り合わせる。
【００７２】
また、位置検出器１５による各アライメントマークの検出によって位置ずれが検知された場合には、上述したように、第１アライメントロール１２ａを用いてθＹ補正による位置合わせを行った後に、ＣＦフィルム基板２の表面に押さえロール１３を当接させることにより、ＴＦＴフィルム基板１及びＣＦフィルム基板２を貼り合わせる。
【００７３】
引き続いて、ロール・ツー・ロール方式などにより、貼り合わせられたＴＦＴフィルム基板１及びＣＦフィルム基板２を加熱することにより、シール材４を硬化させる。
【００７４】
＜分断工程＞
上記貼り合わせ工程で貼り合わせられ、シール材４を硬化させたＴＦＴフィルム基板１及びＣＦフィルム基板２を各スリット形成領域Ｓなどで切断して、セル単位毎に分断する。
【００７５】
＜液晶注入工程＞
上記分断工程でセル単位毎に分断されたＴＦＴフィルム基板（１ａ）及びＣＦフィルム基板（２ａ）の間に、ディップ注入法により液晶材料（６）を注入した後に、ＵＶ硬化樹脂などにより液晶注入口を封止する。
【００７６】
以上のようにして、ＴＦＴフィルム基板１ａ及びＣＦフィルム基板２ａの間に液晶層６が設けられた液晶表示パネル８（図１参照）を製造することができる。
【００７７】
以上説明したように、本実施形態の液晶表示パネルの製造装置及び製造方法によれば、スリット形成工程において、ＴＦＴフィルム基板１及びＣＦフィルム基板２の各表示領域Ｄの間にフィルム基板の幅方向の屈曲性を付与するためのスリット（Ｓ１〜Ｓ１１）を形成して、スリット形成領域Ｓが規定されるので、貼り合わせ工程においてＴＦＴフィルム基板１及びＣＦフィルム基板２の位置合わせを行う際に、貼り合わせ部２０ａを構成する第１アライメントロール１２ａによってＴＦＴフィルム基板１を幅方向に屈曲させることにより、ＴＦＴフィルム基板１のスリット形成領域Ｓよりも後ろの部分を基板の進行方向に対して角度θ傾けるθＹ補正による位置合わせを行ったとしても、そのθＹ補正に起因してＴＦＴフィルム基板１に発生する歪応力をスリット形成領域Ｓで分断することができる。これにより、そのＴＦＴフィルム基板１に発生する歪応力が小さくなるので、位置合わせ時にＴＦＴフィルム基板１に発生する歪応力を緩和して、ＴＦＴフィルム基板１及びＣＦフィルム基板２を貼り合わせることができる。
【００７８】
本実施形態の液晶表示パネルの製造装置及び製造方法によれば、貼り合わせ部２０ａにおいて、ＴＦＴフィルム基板１及びＣＦフィルム基板２の各表示領域Ｄが互いに重なり合うように第１アライメントロール１２ａがＴＦＴフィルム基板１の幅方向及び厚さ方向の少なくとも一方に移動可能に構成されているので、ＴＦＴフィルム基板１の幅方向及び厚さ方向の少なくとも一方に沿った位置ずれをそれぞれ調整することができる。
【００７９】
本実施形態の液晶表示パネルの製造装置及び製造方法によれば、スリット形成工程でフィルム基板Ｆに形成された複数のスリット（Ｓ１〜Ｓ１１）のうち、両端に配置する各スリット（Ｓ６〜Ｓ１１）が基板の側方に開口しているので、そのフィルム基板Ｆをスリットを介して幅方向に屈曲させることにより、そのフィルム基板Ｆのスリットよりも後ろの部分をその進行方向に対して角度θ傾けるθ補正による位置合わせを行った際にフィルム基板Ｆ、すなわち、ＴＦＴフィルム基板１及びＣＦフィルム基板２に発生する歪応力を逃し易くすることができる。
【００８０】
本実施形態の液晶表示パネルの製造装置及び製造方法によれば、スリット形成工程でフィルム基板Ｆの両側部に形成されるＶ字形のスリットＳ１０の底部が丸みを帯びているので、θ補正による位置合わせを行った際にフィルム基板Ｆ、すなわち、ＴＦＴフィルム基板１及びＣＦフィルム基板２に発生する歪応力をスリットＳ１０の底部に集中し難くすることができる。
【００８１】
本実施形態では、ＴＦＴフィルム基板１及びＣＦフィルム基板２を貼り合わせた後に、両基板間に液晶材料をディップ注入法により注入する方法を例示したが、液晶滴下貼り合わせ法により液晶材料を両基板間に注入してもよい。
【００８２】
本実施形態では、ＴＦＴフィルム基板１及びＣＦフィルム基板２の双方にスリットを形成したが、θ補正による位置合わせを行う側のフィルム基板（例えば、ＴＦＴフィルム基板１）だけにスリットを形成してもよい。
【００８３】
《発明の実施形態２》
図１２は、本実施形態の基板貼り合わせ装置を構成する貼り合わせ部２０ｂの側面図である。なお、以下の実施形態では、図１〜図１１と同じ部分に対し同じ符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００８４】
貼り合わせ部２０ｂは、図１２に示すように、図中下側を左側から右側に向けて搬送されるＴＦＴフィルム基板１に周壁の一部がそれぞれ当接して回転する第３送りロール１７ａ及び第４送りロール１９ａと、図中上側を左側から右側に向けて搬送されるＣＦフィルム基板２に周壁の一部がそれぞれ当接して回転する第５送りロール１７ｂ及び第６送りロール１９ｂと、第３送りロール１７ａ及び第４送りロール１９ａの間でＴＦＴフィルム基板１を下側から保持するための吸着ステージ１８と、吸着ステージ１８上に保持されたＴＦＴフィルム基板１及びＣＦフィルム基板２の各アライメントマークを検出するための位置検出器１５とを備えている。
【００８５】
第３送りロール１７ａ、第４送りロール１９ａ、第５送りロール１７ｂ及び第６送りロール１９ｂの各回転軸は、第１巻き出しロール１０ａ及び第２巻き出しロール１０ｂの各回転軸と平行になるように配置されている。
【００８６】
吸着ステージ１８は、ＴＦＴフィルム基板１及びＣＦフィルム基板２の位置合わせを行う際に、下側のＴＦＴフィルム基板１を真空チャックや静電チャックなどにより吸着した状態で、ＴＦＴフィルム基板１の進行方向に対する角度（θＺ及びθＹ）が任意に設定可能に構成されていると共に、Ｙ方向（基板幅方向）及びＺ方向（基板厚さ方向）に平行移動可能に構成されている。
【００８７】
上記構成の貼り合わせ部２０ｂを備えた基板貼り合わせ装置３０による液晶表示パネルの製造方法は、上記実施形態１の貼り合わせ工程におけるフィルム基板のθ補正による位置合わせを第１アライメントロール１２ａを用いて行う代わりに、吸着ステージ１８を適宜作動させて行えばよいので、詳細な説明を省略する。
【００８８】
本実施形態の液晶表示パネルの製造装置及び製造方法によれば、ＴＦＴフィルム基板１の各表示領域Ｄを吸着する吸着ステージ１８の基板の進行方向に対する角度が任意に設定可能に構成されているので、吸着ステージ１８を基板の進行方向に対して斜めに配置することにより、ＴＦＴフィルム基板１のスリット形成領域Ｓよりも後ろの部分を基板の進行方向に対して角度θ傾けるθ補正による位置合わせを行うことができる。そして、θ補正に起因してＴＦＴフィルム基板１に発生する歪応力がスリット形成領域Ｓにより小さくなるので、位置合わせ時にＴＦＴフィルム基板１に発生する歪応力を緩和して、ＴＦＴフィルム基板１及びＣＦフィルム基板２を貼り合わせることができる。
【００８９】
本実施形態の液晶表示パネルの製造装置及び製造方法によれば、貼り合わせ部２０ｂにおいて、ＴＦＴフィルム基板１及びＣＦフィルム基板２の各表示領域Ｄが互いに重なり合うように吸着ステージ１８がＴＦＴフィルム基板１の幅方向及び厚さ方向の少なくとも一方に移動可能に構成されているので、ＴＦＴフィルム基板１の幅方向及び厚さ方向の少なくとも一方に沿った位置ずれをそれぞれ調整することができる。
【産業上の利用可能性】
【００９０】
以上説明したように、本発明は、位置合わせ時にフィルム基板に発生する歪応力を緩和して一対のフィルム基板を貼り合わせることができるので、液晶表示パネルやＥＬ表示パネルなど、一対のフィルム基板を貼り合わせることにより製造される表示パネル全般について有用である。
【図面の簡単な説明】
【００９１】
【図１】実施形態１に係る基板貼り合わせ装置３０の概略説明図である。
【図２】基板貼り合わせ装置３０を構成する貼り合わせ部２０ａの側面図である。
【図３】アライメントロール１２ａ及び１２ｂの通常時の状態を示す上面図である。
【図４】位置ずれが発生したＴＦＴフィルム基板１及びＣＦフィルム２の上面図である。
【図５】アライメントロール１２ａ及び１２ｂの位置合わせ時の状態を示す上面図である。
【図６】スリットＳ１又はＳ２が形成されたフィルム基板Ｆの上面図である。
【図７】スリットＳ３が形成されたフィルム基板Ｆの上面図である。
【図８】スリットＳ４又はＳ５が形成されたフィルム基板Ｆの上面図である。
【図９】スリットＳ６が形成されたフィルム基板Ｆの上面図である。
【図１０】スリットＳ７が形成されたフィルム基板Ｆの上面図である。
【図１１】スリットＳ８〜Ｓ１１が形成されたフィルム基板Ｆの上面図である。
【図１２】実施形態２に係る基板貼り合わせ装置を構成する貼り合わせ部２０ｂの側面図である。
【図１３】従来のθ補正による位置合わせを行った後に貼り合わせられた第１フィルム基板１０１及び第２フィルム基板１０２の上面図である。
【符号の説明】
【００９２】
Ｄ      表示領域
Ｆ      フィルム基板
Ｓ      スリット形成領域
Ｓ１〜Ｓ１１    スリット
１      ＴＦＴフィルム基板
２      ＣＦフィルム基板
１２ａ，１２ｂ    アライメントロール
１８    吸着ステージ
２０，２０ａ，２０ｂ  貼り合わせ部
３０    基板貼り合わせ装置（液晶表示パネルの製造装置）
【図１】
2008233207.tif 000003
【図２】
2008233207.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2008233207.tif 000007
【図６】
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【図７】
2008233207.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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