(57)【要約】【課題】流体軸受装置に用いられる軸受部材の寸法精度を、簡易かつ精度良く検査する方法を提供する【解決手段】軸受部材７の内周に検査装置２０の基準軸２１を弾性的に圧入し、これらを一体に回転させた状態で、ハウジング外周面等の被測定面の振れを測定する。これにより、触針２４を軸受部材７の内周に挿入することなく測定できるため、小型の軸受部材の検査も容易に行うことができる。また、高精度に設定されたラジアル軸受面Ａ１、Ａ２を基準として測定するため、精度良く測定することができる。また、弾性力を利用した圧入により軸受部材７を基準軸２１に固定するため、従来のようにターンテーブルや固定具を必要とせず、簡易に固定することができる。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内周面にラジアル軸受面が形成された軸受部材と、軸受部材の内周に挿入される軸部材とを備え、ラジアル軸受面と軸部材の外周面との間のラジアル軸受隙間に形成される流体膜で軸部材を回転自在に支持する流体軸受装置において、前記軸受部材の寸法精度を検査するための方法であって、
ラジアル軸受面を基準として軸受部材を回転させた状態で、被測定面の振れ幅を測定することを特徴とする軸受部材の検査方法。
【請求項２】
ラジアル軸受面に弾性的に圧入した基準軸を回転させることにより、軸受部材を回転させる請求項１記載の軸受部材の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体軸受装置に用いられる軸受部材を検査する方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
流体軸受装置は、情報機器、例えばＨＤＤ等の磁気ディスク駆動装置、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ／ＲＷ、ＤＶＤ−ＲＯＭ／ＲＡＭ等の光ディスク駆動装置、ＭＤ、ＭＯ等の光磁気ディスク駆動装置等のスピンドルモータ用、レーザビームプリンタ（ＬＢＰ）のポリゴンスキャナモータ、プロジェクタのカラーホイール、あるいは電気機器、例えばファンモータなどの小型モータ用として好適に使用可能である。
【０００３】
例えば、特許文献１に示されている流体軸受装置（動圧軸受装置）は、軸部材を有する回転部材と、内周に軸部材が挿入される軸受スリーブと、内周に軸受スリーブが固定されたハウジングとを備えている。軸受スリーブの内周面にはラジアル軸受面が形成され、ハウジングの上端面にはスラスト軸受面が形成される。ラジアル軸受面と軸部材の外周面との間に形成されるラジアル軸受隙間の流体膜で回転部材をラジアル方向に支持し、スラスト軸受面と回転体の端面との間に形成されるスラスト軸受隙間の流体膜で回転部材をスラスト方向に支持する。
【０００４】
このような流体軸受装置の製造工程において、軸受部材を形成した後、各寸法精度を測定する検査を行う場合がある。この検査は、例えば特許文献２に示されるような真円度測定装置を用いて行うことができる。具体的には、例えば軸受部材の内周面（ラジアル軸受面）の寸法精度を検査する場合、軸受部材をターンテーブル上に冶具などにより固定した状態で回転させ、触針により被測定面となるラジアル軸受面の振れを測定することにより、ラジアル軸受面の寸法精度を評価する。
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−３３７３４３号公報
【特許文献２】特表平１０−５０７２６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記の検査方法では、例えば内径が３ｍｍ以下である小径の軸受部材を検査する際、軸受部材の内周面（ラジアル軸受面）に触針を挿入することが困難となる。
【０００７】
また、信頼できる測定値を得るためには、軸受部材をターンテーブル上に精度良く固定する必要があるが、高精度の固定は容易ではなく、芯出し調整等の検査工程の複雑化及び長時間化を招く。
【０００８】
また、流体軸受装置は内部への異物の混入を嫌うため、クリーンルーム内で製造する場合がある。このような特殊な環境内へ、上記のようなターンテーブルを有する大掛かりな測定装置を持ち込むことは現実的ではなく、より簡易に軸受部材の寸法精度を検査する方法が望まれている。
【０００９】
本発明の課題は、流体軸受装置に用いられる軸受部材の寸法精度を、簡易かつ精度良く検査する方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記課題を解決するため、本発明は、内周面にラジアル軸受面が形成された軸受部材と、軸受部材の内周に挿入される軸部材とを備え、ラジアル軸受面と軸部材の外周面との間のラジアル軸受隙間に形成される流体膜で軸部材を回転自在に支持する流体軸受装置において、前記軸受部材の寸法精度を検査するための方法であって、ラジアル軸受面を基準として軸受部材を回転させた状態で、軸受部材の被測定面の振れ幅を測定することを特徴とする。
【００１１】
このように、本発明では、ラジアル軸受面を基準として軸受部材を回転させた状態で、被測定面の振れ幅を測定することで、軸受部材の寸法精度の検査を行う。これにより、触針を軸受部材の内周に挿入する必要は無く、小型の軸受部材の検査も容易に行うことができる。また、ターンテーブルや固定具を必要としないため、装置の簡易化および小型化が図られる。
【００１２】
このような検査方法は、ラジアル軸受面に基準軸を弾性的に圧入し、これらを一体に回転させることにより行うことができる。このように、弾性を利用した圧入力により軸受部材と基準軸とを固定することで、冶具などを用いてターンテーブルに固定する場合と比べ、簡易に固定することができる。また、予め高精度に加工されたラジアル軸受面を基準とすることで、高精度な位置決めが可能となる。
【発明の効果】
【００１３】
以上のように、本発明によれば、軸受部材の寸法精度を、簡易かつ精度良く検査する方法が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００１５】
図１は、本発明が適用される流体軸受装置１を組込んだ情報機器用スピンドルモータの一構成例を概念的に示している。このスピンドルモータは、ＨＤＤ等のディスク駆動装置に用いられるもので、軸部材２およびハブ部１０を有する回転部材３を相対回転自在に非接触支持する流体軸受装置（動圧軸受装置）１と、例えば半径方向のギャップを介して対向させたステータコイル４およびロータマグネット５と、ブラケット６とを備えている。ステータコイル４はブラケット６の外周に取付けられ、ロータマグネット５はハブ部１０の外径側に設けられたヨーク１２に固定されている。流体軸受装置１の軸受部材７は、ブラケット６の内周に固定される。また、ハブ部１０には、図示は省略するが、情報記録媒体としてのディスクが一又は複数枚保持される。このように構成されたスピンドルモータにおいて、ステータコイル４に通電すると、ステータコイル４とロータマグネット５との間に発生する励磁力でロータマグネット５が回転し、これに伴って、ハブ部１０およびハブ部１０に保持されたディスクが軸部材２と一体に回転する。
【００１６】
図２は、流体軸受装置１を示している。この流体軸受装置１は、軸受部材７と、軸受部材７の一端を閉口する蓋部材１１と、軸受部材７および蓋部材１１に対して相対回転する回転部材３とを主に備えている。なお、説明の便宜上、軸方向両端に形成される軸受部材７の開口部のうち、蓋部材１１で閉口される側を下側、閉口側と反対の側を上側として以下説明する。
【００１７】
軸受部材７は、軸方向両端を開口した形状をなし、略円筒状のスリーブ部８、およびスリーブ部８の外径側に位置し、スリーブ部８と一体又は別体に形成されるハウジング部９とを備えている。
【００１８】
スリーブ部８は、弾性体で円筒状に形成される。この実施形態では、スリーブ部８は、銅を主成分とする焼結金属の多孔質体で円筒状に形成され、ハウジング部９の内周面９ｃに、例えば接着（ルーズ接着を含む）、圧入（圧入接着を含む）、溶着（超音波溶着を含む）等、適宜の手段で固定される。
【００１９】
スリーブ部８の内周面８ａの全面又は一部円筒領域には、ラジアル動圧発生部として複数の動圧溝を配列した領域が形成され、該領域がラジアル軸受面となる。この実施形態では、例えば図３に示すように、複数の動圧溝８ａ１、８ａ２をヘリングボーン形状に配列したラジアル軸受面Ａ１、Ａ２が軸方向に離隔して形成される。
【００２０】
スリーブ部８の下端面８ｂの全面又は一部環状領域には、スラスト動圧発生部として、例えば図４に示すように、複数の動圧溝８ｂ１をスパイラル状に配列した領域が形成され、該領域が第１スラスト軸受面Ｂ１となる。
【００２１】
ハウジング部９は、金属材料又は樹脂材料で略円筒状に形成される。この実施形態では、ハウジング部９は、その軸方向両端を開口した形状をなし、かつ一端側を蓋部材１１で封口している。他端側の端面（上端面）９ａの全面または一部環状領域には、スラスト動圧発生部として、例えば図５に示すように、複数の動圧溝９ａ１をスパイラル形状に配列した領域が形成され、該領域が第２スラスト軸受面Ｂ２となる。ハウジング部９の上方部外周には、上方（封口側とは反対の側）に向かって漸次拡径するテーパ面９ｂが形成される。ハウジング部９の下方部外周には円筒面９ｅが形成され、この円筒面９ｅがブラケット６の内周に、接着、圧入、溶着等の手段で固定される。
【００２２】
ハウジング部９の下端側を封口する蓋部材１１は、金属あるいは樹脂で形成され、ハウジング部９の下端内周側に設けられた段部９ｄに、接着、圧入、溶着等の手段で固定される。
【００２３】
回転部材３は、この実施形態では、スリーブ部８の内周に挿入される軸部材２と、軸部材２の上端に設けられ、軸受部材７の開口側に配置されるハブ部１０とを備えている。
【００２４】
軸部材２は、この実施形態では金属製で、ハブ部１０と別体に形成される。軸部材２の外周面２ａは、軸部材２をスリーブ部８の内周に挿入した状態では、スリーブ部８の内周面８ａに形成された動圧溝８ａ１、８ａ２形成領域（ラジアル軸受面Ａ１、Ａ２）と対向する。そして、軸部材２の回転時、スリーブ部８の内周面８ａとの間に後述する第一、第二ラジアル軸受部Ｒ１、Ｒ２のラジアル軸受隙間をそれぞれ形成する（図２を参照）。
【００２５】
軸部材２の下端には、抜止めとしてフランジ部２ｂが別体に設けられる。フランジ部２ｂは金属製で、例えばねじ結合等の手段により軸部材２に固定される。フランジ部２ｂの上端面２ｂ１は、スリーブ部８の下端面８ｂに形成された動圧溝８ｂ１形成領域（第一スラスト軸受面Ｂ１）と対向し、軸部材２の回転時、動圧溝８ｂ１形成領域との間に後述する第一スラスト軸受部Ｔ１のスラスト軸受隙間を形成する（図２を参照）。また、軸部材２の上端には凹部（この実施形態では環状溝）２ｃが形成されており、軸部材２をインサート部品とする樹脂の射出成形でハブ部１０を形成する場合、上記凹部２ｃがハブ部１０に対する軸部材２の抜止めとして作用する。
【００２６】
ハブ部１０は、軸受部材７の開口側（上側）を覆う円盤部１０ａと、円盤部１０ａの外周部から軸方向下方に延びる筒状部１０ｂと、筒状部１０ｂから外径側に突出する鍔部１０ｃおよび鍔部１０ｃの上端に形成されるディスク搭載面１０ｄとを備える。図示されていないディスクは、円盤部１０ａの外周に外嵌され、ディスク搭載面１０ｄに載置される。そして、図示しない適当な保持手段（クランパなど）によってディスクがハブ部１０に保持される。
【００２７】
上記構成のハブ部１０は、例えば液晶ポリマー（ＬＣＰ）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）等の結晶性樹脂や、ポリフェニルサルフォン（ＰＰＳＵ）、ポリエーテルサルフォン（ＰＥＳ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）等の非晶性樹脂をベース樹脂とする樹脂組成物の射出成形で成形される。この実施形態では、ハブ部１０は、軸部材２をインサート部品として射出成形される。また、炭素繊維やガラス繊維等の繊維状充填材、チタン酸カリウム等のウィスカ状充填材、マイカ等の鱗片状充填材、カーボンブラック、黒鉛、カーボンナノマテリアル、各種金属粉等の繊維状または粉末状の導電性充填材を、目的に応じて上記ベース樹脂に適量配合したものを使用することもできる。
【００２８】
円盤部１０ａの下端面１０ａ１は、ハウジング部９の一端開口側に設けられた上端面９ａの動圧溝９ａ１形成領域（第二スラスト軸受面Ｂ２）と対向し、軸部材２の回転時、上端面９ａとの間に後述する第二スラスト軸受部Ｔ２のスラスト軸受隙間を形成する（図２を参照）。
【００２９】
筒状部１０ｂの内周面１０ｂ１は、ハウジング部９の外周上端に設けられたテーパ面９ｂと対向し、このテーパ面９ｂとの間に径方向寸法が上方に向かって漸次縮小するテーパ状のシール空間Ｓを形成する。このシール空間Ｓは、ハブ部１０（回転部材３）の回転時、スラスト軸受部Ｔ２のスラスト軸受隙間の外径側と連通する。後述する潤滑油を流体軸受装置１内部に充満させた状態では、潤滑油の油面は常時シール空間Ｓの範囲内にある。
【００３０】
流体軸受装置１内部に充満される潤滑油としては、種々のものが使用可能であるが、ＨＤＤ等のディスク駆動装置用の流体軸受装置に提供される潤滑油には、その使用時あるいは輸送時における温度変化を考慮して、低蒸発率及び低粘度性に優れたエステル系潤滑油、例えばジオクチルセバケート（ＤＯＳ）、ジオクチルアゼレート（ＤＯＺ）等が好適に使用可能である。
【００３１】
上記構成の流体軸受装置１において、軸部材２の回転時、スリーブ部８の内周面８ａに形成された動圧溝８ａ１、８ａ２形成領域（第１、第２ラジアル軸受面Ａ１、Ａ２）は、対向する軸部材２の外周面２ａとの間にラジアル軸受隙間を形成する。そして、軸部材２の回転に伴い、上記ラジアル軸受隙間の潤滑油が動圧溝８ａ１、８ａ２の軸方向中心側に押し込まれ、その圧力が上昇する。このように、動圧溝８ａ１、８ａ２によって生じる潤滑油の動圧作用によって、軸部材２をラジアル方向に非接触支持する第一ラジアル軸受部Ｒ１と第二ラジアル軸受部Ｒ２とがそれぞれ構成される。
【００３２】
これと同時に、スリーブ部８の下端面８ｂに形成される動圧溝８ｂ１形成領域（第１スラスト軸受面Ｂ１）とこれに対向するフランジ部２ｂの上端面２ｂ１との間のスラスト軸受隙間、およびハウジング部９の上端面９ａに形成される動圧溝９ａ１形成領域（第２スラスト軸受面Ｂ２）とこれに対向するハブ部１０の下端面１０ａ１との間のスラスト軸受隙間に形成される潤滑油膜の圧力が、動圧溝８ｂ１、９ａ１の動圧作用により高められる。そして、これら油膜の圧力によって、回転部材３（ハブ部１０）をスラスト方向に非接触支持する第一スラスト軸受部Ｔ１と第二スラスト軸受部Ｔ２とがそれぞれ構成される。
【００３３】
また、この実施形態では、スリーブ部８の外周面８ｄに軸方向溝１３が形成される。これにより、軸受内部に充満された潤滑油を循環させることが可能となり、局所的な負圧の発生に伴う気泡の生成等を回避できる。具体的には、ハブ部１０の円盤部１０ａの下側端面１０ａ１とスリーブ部８の上側端面８ｃとの間の隙間、第一、第二ラジアル軸受部Ｒ１、Ｒ２の軸受隙間、および第二スラスト軸受部Ｔ２の軸受隙間にそれぞれ充填された潤滑油が循環可能となる。この実施形態では、スリーブ部８の内周面８ａに形成された動圧溝８ａ１が軸方向で上下非対称に形成されることで、第一ラジアル軸受部Ｒ１の軸受隙間の潤滑油を下方へ押し込み、軸受内部の潤滑油を強制的に循環させる構成となっている（図３を参照）。このような強制的な循環が特に必要なければ、ラジアル軸受面の動圧溝を軸方向で上下対称に形成してもよい。
【００３４】
このような流体軸受装置１において、軸受部材７の寸法精度、特にラジアル軸受面Ａ１、Ａ２に対する各部位の寸法精度は、軸受性能に大きな影響を及ぼす。例えば、ラジアル軸受面Ａ１、Ａ２とハウジング部９の外周面の円筒面９ｅとの同軸度の精度が悪いと、ブラケット６に円筒面９ｅを固定した状態で、回転軸が傾斜、あるいは偏心するため、回転部材３の回転精度が低下する。また、ラジアル軸受面Ａ１、Ａ２に対するハウジング部９の外周上方部に形成されたテーパ面９ｂの振れ精度が悪いと、回転部材３の回転時に形成されるシール空間Ｓの隙間幅の精度が低下し、シール機能の低下やシール空間Ｓを介して対向する部材同士の接触を招く。さらに、ラジアル軸受面Ａ１、Ａ２の中心軸に対するスラスト軸受面Ｂ１、Ｂ２の直角度の精度が悪いと、ラジアル軸受隙間やスラスト軸受隙間の隙間幅の精度が低下し、軸受剛性が低下するおそれがある。
【００３５】
このような不具合を回避するため、軸受部材７を形成した後、その寸法精度を測定し、所定の基準を満たすか否かを検査する必要がある。本発明はこの検査方法に係るものであり、その一例を以下に示す。
【００３６】
図６に示す検査装置２０は、軸受部材７の内周に圧入される基準軸２１と、基準軸２１を回転駆動する駆動部２２と、被測定面の振れ幅を測定するゲージ２３および触針２４とで構成される。基準軸２１の外径は、軸受部材７の内径、詳しくはラジアル軸受面Ａ１、Ａ２に形成される動圧発生部の背部（図３にクロスハッチングで示す）の内径よりも、圧入代の分だけ大径に設定される。圧入代の幅は、焼結金属で形成されるスリーブ部８の弾性変形の範囲内で設定される。駆動部２２には、図示しないスピンドルが組み込まれている。このスピンドルには、回転精度に優れたエアスピンドルを用いるのが好ましい。
【００３７】
検査工程を以下に示す。まず、軸受部材７の内周に基準軸２１を圧入することにより、軸受部材７を基準軸２１に対して固定する。このように、軸受部材７の固定が基準軸２１の圧入のみで行うことができるため、例えば固定具を用いてターンテーブル等に固定する従来の方法と比べ、簡易に固定ができる。また、高精度に加工されたラジアル軸受面Ａ１、Ａ２を基準とすることで、軸受部材７の高精度な位置決めが可能となる。
【００３８】
次に、駆動部２２の駆動力により、基準軸２１および軸受部材７を一体に回転させる。この状態で、ゲージ２３および触針２４により被測定面の振れ幅を測定する。この振れ幅の測定値に基づいて、ラジアル軸受面Ａ１、Ａ２に対する被測定面の同軸度、振れ精度、あるいは直角度等の寸法精度を評価することができる。例えば、図６のように、触針２４をハウジング９の外周面の円筒面９ｅと接触させ、この面の振れ幅を測定することにより、ラジアル軸受面Ａ１、Ａ２に対する円筒面９ｅの同軸度等を評価することができる。また、図示は省略するが、触針２４をハウジング９の外周面のテーパ面９ｂに接触させ、この面の振れ幅を測定することにより、ラジアル軸受面Ａ１、Ａ２に対するテーパ面９ｂの振れ精度等を評価することができる。あるいは、同じく図示は省略するが、触針２４をハウジング９の上端面９ａに形成されたスラスト軸受面Ｂ２に接触させ、この面の振れ幅を測定することにより、ラジアル軸受面Ａ１、Ａ２に対するスラスト軸受面Ｂ２の直角度等を評価することができる。
【００３９】
このように本発明の検査方法は、従来の測定装置のように軸受部材の内周面に触針を挿入する必要がないため、小型の軸受部材でも容易に寸法精度を検査することができる。
【００４０】
また、このような検査装置２０は、上記のように簡易な仕組みであるため、ターンテーブル等を有する従来の検査装置に比べ、小型化が可能となる。よって、クリーンルームなどの特殊な環境内にも容易に搬入することができる。
【００４１】
本発明の検査方法が適用される軸受部材７は上記に限られない。例えば、図７に示すような一端が閉塞されたカップ状の軸受部材７にも適用できる。この軸受部材７は、蓋部材１１とハウジング部９とが一体に成形され、下端開口部が封口されている。この軸受部材７の検査は、その上端開口部から基準軸２１を圧入し、図６に示す実施形態とは上下反転させた状態で行われる。
【００４２】
図８に示す軸受部材７は、ハウジング部９とスリーブ部８とが樹脂材料で一体成形されている。ここで用いられる樹脂材料は、軸受面に要求される耐摩耗性、耐油性等に加え、優れた弾性を有するものが使用される。このとき、ラジアル軸受面Ａ１、Ａ２は樹脂で形成され、軸受部材７の内周に、樹脂の弾性を利用して基準軸２１が圧入される。
【００４３】
また、上記では、ラジアル軸受面Ａ１、Ａ２が焼結金属あるいは樹脂といった弾性体で形成される場合を示したが、ラジアル軸受面Ａ１、Ａ２を形成する材料はこれに限らない。例えば上記以外の材料でも、弾性変形の範囲内で、基準軸２１との十分な固定力が得られるものであれば使用可能である。また、ラジアル軸受面Ａ１、Ａ２を各種金属材料などの非弾性体で形成し、検査装置２０の基準軸２１を弾性体で形成することにより、軸受部材７と基準軸２１との弾性的な圧入力による固定が可能となる。あるいは、基準軸２１を拡径、縮径が可能な構造とすれば、縮径状態の基準軸２１を軸受部材７の内周に挿入した後、基準軸２１を拡径させることで、軸受部材７の材質にかかわらず、軸受部材７をラジアル軸受面Ａ１、Ａ２を基準とした固定が可能となる。
【００４４】
流体軸受装置１を構成する他の要素も上記実施形態に限られない。例えば、上記実施形態では、金属製の軸部材２をインサート部品とする樹脂の射出成形で、軸部材２と一体にハブ部１０を射出成形する場合を説明したが、例えばハブ部１０のみを樹脂で射出成形した後、ハブ部１０とは別体に形成した金属製の軸部材２の端部をハブ部１０中央に設けた孔に圧入することで一体化することもできる。あるいは、軸部材２を樹脂製とし、ハブ部１０と軸部材２とを共に樹脂の射出成形で一体に形成することもできる。
【００４５】
また、上記実施形態では、フランジ部２ｂの上端面２ｂ１とスリーブ部８の下端面８ｂとの間、およびハブ部１０とハウジング部９との間にそれぞれスラスト軸受部Ｔ１、Ｔ２を設けた場合を説明したが、本発明は、スラスト軸受部Ｔ１、Ｔ２の形成箇所に関係なく適用可能である。すなわち、ハブ部１０の下端面１０ａ１がスラスト軸受隙間を形成するか否かは問題とならず、例えば図示は省略するが、スラスト軸受部Ｔ１、Ｔ２が共にフランジ部２ｂの両端面とこれらの面に対向する面との間に形成されたものであってもよい。
【００４６】
また、以上の実施形態では、ラジアル軸受部Ｒ１、Ｒ２およびスラスト軸受部Ｔ１、Ｔ２として、へリングボーン形状やスパイラル形状の動圧溝により潤滑油の動圧作用を発生させる構成を例示しているが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００４７】
例えば、ラジアル軸受部Ｒ１、Ｒ２として、図示は省略するが、軸方向の溝を円周方向の複数箇所に形成した、いわゆるステップ状の動圧発生部、あるいは、円周方向に複数の円弧面を配列し、対向する軸部材２の真円状外周面２ａとの間に、くさび状の径方向隙間（軸受隙間）を形成した、いわゆる多円弧軸受を採用してもよい。
【００４８】
あるいは、スリーブ部８の内周面８ａを、動圧発生部としての動圧溝や円弧面等を設けない真円外周面とし、この内周面８ａと対向する軸部材２の真円状外周面２ａとで、いわゆる真円軸受を構成することができる。この場合、真円状のスリーブ部８の内周面８ａがラジアル軸受面となる。
【００４９】
また、第一スラスト軸受部Ｔ１と第二スラスト軸受部Ｔ２の一方又は双方は、同じく図示は省略するが、動圧発生部が形成される領域（例えばスリーブ部８の下端面８ｂ、ハウジング部９の上端面９ａ）に、複数の半径方向溝形状の動圧溝を円周方向所定間隔に設けた、いわゆるステップ軸受、あるいは波型軸受（ステップ型が波型になったもの）等で構成することもできる。
【００５０】
また、以上の実施形態では、スリーブ部８の側にラジアル動圧発生部（動圧溝８ａ１、８ａ２）が、また、スリーブ部８やハウジング部９の側にスラスト動圧発生部（動圧溝８ｂ１、９ａ１）がそれぞれ形成される場合を説明したが、これら動圧発生部が形成される領域は、例えばこれらに対向する軸部材２の外周面２ａやフランジ部２ｂの上端面２ｂ１、あるいはハブ部１０の下端面１０ａ１の側に設けることもできる。
【００５１】
また、以上の説明では、流体軸受装置１の内部に充満し、ラジアル軸受隙間や、スラスト軸受隙間に動圧作用を生じる流体として、潤滑油を例示したが、それ以外にも各軸受隙間に動圧作用を発生可能な流体、例えば空気等の気体や、磁性流体等の流動性を有する潤滑剤、あるいは潤滑グリース等を使用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】流体軸受装置１を組込んだスピンドルモータの断面図である。
【図２】流体軸受装置１の断面図である。
【図３】スリーブ部８の断面図である。
【図４】スリーブ部８の下面図である。
【図５】ハウジング部９の上面図である。
【図６】軸受部材７を検査装置２０に設置した状態を示す断面図である。
【図７】他の実施形態にかかる軸受部材７を検査装置２０に設置した状態を示す断面図である。
【図８】他の実施形態にかかる軸受部材７を検査装置２０に設置した状態を示す断面図である。
【符号の説明】
【００５３】
１     流体軸受装置
２     軸部材
３     回転部材
７     軸受部材
８     スリーブ部
９     ハウジング部
１０   ハブ部
２０   検査装置
２１   基準軸
２２   駆動部
２３   ゲージ
２４   触針
Ａ１、Ａ２    ラジアル軸受面
Ｂ１、Ｂ２    スラスト軸受面
Ｒ１、Ｒ２    ラジアル軸受部
Ｔ１、Ｔ２    スラスト軸受部
Ｓ     シール空間
【図１】
2008020244.tif 000003
【図２】
2008020244.tif 000004
【図３】
2008020244.tif 000005
【図４】
2008020244.tif 000006
【図５】
2008020244.tif 000007
【図６】
2008020244.tif 000008
【図７】
2008020244.tif 000009
【図８】
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