(57)【要約】【課題】大型の大容量の真空ポンプを必要とすることなく、ロール配置部の真空度を、転写率向上効果が得られる所要値まで高め、高い転写率による転写成形をウエブ状の樹脂フィルムに連続して行えるようにすること。【解決手段】所定の真空圧に減圧されてモールドロール２１とバックアップロール２２とを収容する減圧主室３２の樹脂フィルム入口３６に連続して入口側準減圧室４１を設けると共に、減圧主室３２の樹脂フィルム出口３７に連続して出口側準減圧室５１を設け、入口側準減圧室４１、出口側準減圧室５１を、減圧主室３２の真空圧より絶対圧で見て高い真空圧に減圧する。【選択図】図１
2008238471.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外周面に微細な凹凸形状を形成されたモールドロールの外周面にバックアップロールによって樹脂フィルムを押し付け、減圧雰囲気下で、前記モールドロールの外周面に形成されている凹凸形状を前記樹脂フィルムに転写する減圧転写成形装置であって、第一の真空圧に減圧され、前記モールドロール及び前記バックアップロールを収容する減圧主室と、
前記減圧主室に前記樹脂フィルムを送り込む樹脂フィルム入口に連続して設けられて前記樹脂フィルムの前記減圧主室に対する供給経路を取り囲み、前記第一の真空圧より絶対圧で見て高い真空圧に減圧された入口側準減圧室と、
前記減圧主室より前記樹脂フィルムを取り出す樹脂フィルム出口に連続して設けられて前記減圧主室よりの前記樹脂フィルムの送出経路を取り囲み、前記第一の真空圧より絶対圧で見て高い真空圧に減圧された出口側準減圧室と、
を有することを特徴とする減圧転写成形装置。
【請求項２】
前記入口側準減圧室と前記出口側準減圧室は、前記樹脂フィルムの移動方向に沿って複数の分室に区分され、当該分室の真空圧が前記減圧主室に近い分室ほど前記第一の真空圧に近い真空圧に段階的に設定されていることを特徴とする請求項１記載の減圧転写成形装置。
【請求項３】
前記減圧主室の前記樹脂フィルム入口、前記入口側準減圧室に樹脂フィルムを送り込む樹脂フィルム入口、前記減圧主室の前記樹脂フィルム出口、出口側準減圧室より前記樹脂フィルムを取り出す樹脂フィルム出口の各々に、前記樹脂フィルムに摺接して当該樹脂フィルムの通過を許す空気・異物吸い込み防止シール片が設けられていることを特徴とする請求項１また２に記載の減圧転写成形装置。
【請求項４】
外周面に微細な凹凸形状を形成されたモールドロールの外周面にバックアップロールによって樹脂フィルムを押し付け、減圧雰囲気下で、前記モールドロールの外周面に形成されている凹凸形状を前記樹脂フィルムに転写する減圧転写成形装置であって、
所定の真空圧に減圧され、前記モールドロール及び前記バックアップロールを収容する減圧主室と、
前記減圧主室に前記樹脂フィルムを送り込む樹脂フィルム入口に連続して設けられて前記樹脂フィルムの前記減圧主室に対する供給経路を取り囲む入口側バッファ室と、
前記減圧主室より前記樹脂フィルムを取り出す樹脂フィルム出口に連続して設けられて前記減圧主室よりの前記樹脂フィルムの送出経路を取り囲む出口側バッファ室と、
前記減圧主室の前記樹脂フィルム入口、前記入口側バッファ室に樹脂フィルムを送り込む樹脂フィルム入口、前記減圧主室の前記樹脂フィルム出口、前記出口側バッファ室より前記樹脂フィルムを取り出す樹脂フィルム出口の各々に設けられ、これら入口、出口を各々個別に開閉するシャッタと、
を有する減圧転写成形装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、減圧転写成形装置に関し、特に、微細な凹凸形状を有する光学用の樹脂フィルムを、減圧雰囲気下で、転写成形する減圧転写成形装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置のバックライトの拡散板やプリズムシート等、微細凹凸形状を有する光学的な樹脂フィルムを製造する樹脂フィルム成形装置として、外周面に微細な凹凸形状を形成されたモールドロールの外周面に樹脂フィルムをバックアップロール（タッチロール）によって押し付け、モールドロールの外周面に形成されている凹凸形状を樹脂フィルムに転写することにより、微細凹凸形状を有する光学的な樹脂フィルムを成形する転写式の樹脂フィルム成形装置が知られている（例えば、特許文献１）。
【特許文献１】特開平１０−２９１２５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上述した転写式の樹脂フィルム成形を、大気圧雰囲気中で行うと、転写する凹凸形状や寸法によるが、モールドロールの微細凹凸形状の外周面に樹脂フィルムを押し当てて、密着させる工程において、モールドロール外周面の微細凹凸形状の凹部の空気が抜けきれないために、モールドロール外周面の凹部に樹脂フィルムの樹脂が充分に入り込まず、高い転写率による転写を行えないことがある。
【０００４】
このことに対して、上述した転写式の樹脂フィルム成形を、減圧雰囲気中で行うことが考えられている。しかし、ロール・ツー・ロール装置を用いて樹脂フィルムを連続的に処理するような転写成形装置の場合、大容積の減圧雰囲気を作らなくてはならず、大型の大容量の真空ポンプが必要になる。
【０００５】
モールドロールとバックアップロールの配置部（転写処理部）を囲いによって囲い、その内部だけを、つまり、モールドロールとバックアップロールの配置部を減圧雰囲気にすることも考えられるが、樹脂フィルムを通すための入口スリット、出口スリットを設ける必要があるため、減圧漏れを避けられず、囲い内部のロール配置部の真空度を、転写率向上効果が得られる所要値まで高めることが難い。
【０００６】
この発明は、上述の如き問題点を解消するためになされたもので、大型の大容量の真空ポンプを必要とすることがなく、ロール配置部の真空度を、転写率向上効果が得られる所要値まで高めることができ、高い転写率による転写成形を樹脂フィルムに連続して行える減圧式の転写成形装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明による減圧転写成形装置は、外周面に微細な凹凸形状を形成されたモールドロールの外周面にバックアップロールによって樹脂フィルムを押し付け、減圧雰囲気下で、前記モールドロールの外周面に形成されている凹凸形状を前記樹脂フィルムに転写する減圧転写成形装置であって、第一の真空圧に減圧され、前記モールドロール及び前記バックアップロールを収容する減圧主室と、前記減圧主室に前記樹脂フィルムを送り込む樹脂フィルム入口に連続して設けられて前記樹脂フィルムの前記減圧主室に対する供給経路を取り囲み、前記第一の真空圧より絶対圧で見て高い真空圧に減圧された入口側準減圧室と、前記減圧主室より前記樹脂フィルムを取り出す樹脂フィルム出口に連続して設けられて前記減圧主室よりの前記樹脂フィルムの送出経路を取り囲み、前記第一の真空圧より絶対圧で見て高い真空圧に減圧された出口側準減圧室とを有する。
【０００８】
この発明による減圧転写成形装置は、好ましくは、前記入口側準減圧室と前記出口側準減圧室は、前記樹脂フィルムの移動方向に沿って複数の分室に区分され、当該分室の真空圧が前記減圧主室に近い分室ほど前記第一の真空圧に近い真空圧に段階的に設定されている。
【０００９】
この発明による減圧転写成形装置は、好ましくは、前記減圧主室の前記樹脂フィルム入口、前記入口側準減圧室に樹脂フィルムを送り込む樹脂フィルム入口、前記減圧主室の前記樹脂フィルム出口、出口側準減圧室より前記樹脂フィルムを取り出す樹脂フィルム出口の各々に、樹脂フィルムに摺接して樹脂フィルムの通過を許す空気・異物吸い込み防止シール片が設けられている。
【００１０】
また、この発明による減圧転写成形装置は、外周面に微細な凹凸形状を形成されたモールドロールの外周面にバックアップロールによって樹脂フィルムを押し付け、減圧雰囲気下で、前記モールドロールの外周面に形成されている凹凸形状を前記樹脂フィルムに転写する減圧転写成形装置であって、所定の真空圧に減圧され、前記モールドロール及び前記バックアップロールを収容する減圧主室と、前記減圧主室に前記樹脂フィルムを送り込む樹脂フィルム入口に連続して設けられて前記樹脂フィルムの前記減圧主室に対する供給経路を取り囲む入口側バッファ室と、前記減圧主室より前記樹脂フィルムを取り出す樹脂フィルム出口に連続して設けられて前記減圧主室よりの前記樹脂フィルムの送出経路を取り囲む出口側バッファ室と、前記減圧主室の前記樹脂フィルム入口、前記入口側バッファ室に樹脂フィルムを送り込む樹脂フィルム入口、前記減圧主室の前記樹脂フィルム出口、前記出口側バッファ室より前記樹脂フィルムを取り出す樹脂フィルム出口の各々に設けられ、これら入口、出口を各々個別に開閉するシャッタとを有する。
【発明の効果】
【００１１】
この発明による減圧転写成形装置によれば、第一の真空圧に減圧されてモールドロールとバックアップロールとを収容している減圧主室の樹脂フィルム入口側と樹脂フィルム出口側の各々に、第一の真空圧より絶対圧で見て高い真空圧に減圧された入口側準減圧室、出口側準減圧室が連続して設けられているので、減圧主室の樹脂フィルム入口、樹脂フィルム出口が大気中に直接開放されている場合に比して、減圧主室の減圧漏れが少なくなり、減圧主室、つまりロール配置部（転写処理部）の真空度を、転写率向上効果が得られる所要値まで高め易くなる。
【００１２】
これにより、大型の大容量の真空ポンプを用いることなく、ロール配置部の真空度を、  転写率向上効果が得られる所要値まで高めることができ、樹脂フィルムに高い転写率による転写連続を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
この発明による減圧転写成形装置の実施形態１を、図１を参照して説明する。
【００１４】
本実施形態では、減圧転写成形装置は、ロール・ツー・ロール装置として構成されており、たとえばウエブ状の樹脂フィルムＦを巻装されていて樹脂フィルムＦを転写処理部１０へ送り出す繰出しロール１１と、転写処理部１０より送り出される樹脂フィルムＦを巻き取る巻取りロール１２とを有する。
【００１５】
繰出しロール１１の樹脂フィルムＦは、案内ローラ１３に案内されてモータ駆動の送出駆動ローラ対１４によって繰出しロール１１より繰り出され、案内ローラ１５に案内されて転写処理部１０へ連続的に供給される。転写処理部１０より連続的に送り出される樹脂フィルムＦは、案内ローラ１６、１７に案内されて巻取りロール１２へ向かい、モータ駆動の巻取りロール１２に巻き取られる。
【００１６】
転写処理部１０は、外周面に微細な凹凸形状を形成されたモールドロール２１と、バックアップロール２２と、ＵＶ硬化性樹脂塗工ダイ２３と、紫外線照射を行うＵＶ光源２４とを有する。モールドロール２１は、転写作業中、図示されていない電動機によって図１で見て反時計廻り方向に連続的に回転駆動される。バックアップロール２２は、転写作業中、図示されていない電動機によって図１で見て時計廻り方向に連続的に回転駆動される。
【００１７】
繰出しロール１１より転写処理部１０に送られた樹脂フィルムＦは、ＵＶ硬化性樹脂塗工ダイ２３によって一方の面（モールドロール２１の外周面に接触する面）にＵＶ硬化性樹脂を層状に塗工され、バックアップロール２２によって塗工面をモールドロール２１の外周面に押し付けられて密着し、ロール外周面の微細凹凸形状をＵＶ硬化性樹脂層に転写される。そして、樹脂フィルムＦは、モールドロール２１の回転に伴ってモールドロール２１の外周面に巻き付いた状態で移動し、その間にＵＶ光源２４より紫外線を照射されることによりＵＶ硬化性樹脂層が硬化し、その後、剥離案内ローラ１８に案内されてモールドロール２１より剥離し、巻取りロール１２へ送られる。
【００１８】
転写処理部１０のモールドロール２１と、バックアップロール２２と、ＵＶ硬化性樹脂塗工ダイ２３と、ＵＶ光源２４と、剥離案内ローラ１８は、主室ボックス３１によって画定された減圧主室３２内に収容されている。
【００１９】
減圧主室３２は、配管３３によって第一の真空ポンプ３４に接続され、第一の真空ポンプ３４によって第一の真空圧に減圧される。減圧主室３２の第一の真空圧は、転写時に、モールドロール２１の外周面の凹凸形状の凹部の空気抜きが良好に行われ、転写率向上効果が得られる真空度であり、例えば、１０ｈＰａ程度に設定されている。
【００２０】
主室ボックス３１には、減圧主室３２に樹脂フィルムＦを送り込むスリット状の樹脂フィルム入口３６と、減圧主室３２より樹脂フィルムＦを取り出すスリット状の樹脂フィルム出口３７とが形成されている。
【００２１】
主室ボックス３１の樹脂フィルム供給側には、樹脂フィルム入口３６に連続して設けられて樹脂フィルムＦの減圧主室３２に対する供給経路を取り囲む入口側準減圧室４１が減圧室ボックス４２によって形成されている。本実施形態では、入口側準減圧室４１は、樹脂フィルムＦの移動方向に沿って、複数の分室４１Ａ、４１Ｂ、４１Ｃに区分されている。減圧室ボックス４２には、入口側準減圧室４１の各分室４１Ａ、４１Ｂ、４１Ｃに樹脂フィルムＦを送り込むスリット状の樹脂フィルム入口４６、４７、４８が形成されている。
【００２２】
分室４１Ａは、配管４３によって第二の真空ポンプ６１に接続され、第二の真空ポンプ６１によって第一の真空圧より絶対圧で見て高い第二の真空圧に減圧される。分室４１Ｂは、配管４４によって第三の真空ポンプ６２に接続され、第三の真空ポンプ６２によって第二の真空圧より絶対圧で見て高い第三の真空圧に減圧される。分室４１Ｃは、配管４５によって第四の真空ポンプ６３に接続され、第四の真空ポンプ６３によって第三の真空圧より絶対圧で見て高い第四の真空圧に減圧される。
【００２３】
つまり、分室４１Ａ、４１Ｂ、４１Ｃよりなる入口側準減圧室４１は、減圧主室３２の第一の真空圧より絶対圧で見て高い真空圧に減圧され、分室４１Ａ、４１Ｂ、４１Ｃの真空圧が減圧主室３２に近い分室ほど第一の真空圧に近い真空圧に段階的に設定されている。
【００２４】
主室ボックス３１の樹脂フィルム排出側には、樹脂フィルム出口３７に連続して設けられて減圧主室３２よりの樹脂フィルムＦの送出経路を取り囲む出口側準減圧室５１が減圧室ボックス５２によって形成されている。本実施形態では、出口側準減圧室５１は、樹脂フィルムＦの移動方向に沿って、複数の分室５１Ａ、５１Ｂ、５１Ｃに区分されている。
【００２５】
減圧室ボックス５２には、出口側準減圧室５１の分室５１Ａ、５１Ｂ、５１Ｃより樹脂フィルムＦを取り出すスリット状の樹脂フィルム出口５６、５７、５８が形成されている。
【００２６】
分室５１Ａは、配管５３によって第二の真空ポンプ６１に接続され、第二の真空ポンプ６１によって第一の真空圧より絶対圧で見て高い第二の真空圧に減圧される。分室５１Ｂは、配管５４によって第三の真空ポンプ６２に接続され、第三の真空ポンプ６２によって第二の真空圧より絶対圧で見て高い第三の真空圧に減圧される。分室５１Ｃは、配管５５によって第四の真空ポンプ６３に接続され、第四の真空ポンプ６３によって第三の真空圧より絶対圧で見て高い第四の真空圧に減圧される。
【００２７】
つまり、分室５１Ａ、５１Ｂ、５１Ｃよりなる出口側準減圧室５１は、減圧主室３２の第一の真空圧より絶対圧で見て高い真空圧に減圧され、分室５１Ａ、５１Ｂ、５１Ｃの真空圧が減圧主室３２に近い分室ほど第一の真空圧に近い真空圧に段階的に設定されている。
【００２８】
減圧主室３２の樹脂フィルム入口３６、入口側準減圧室４１の各分室５１Ａ、５１Ｂ、５１Ｃの樹脂フィルム入口４６、４７、４８の各々には、先端縁にて樹脂フィルムＦに摺接して樹脂フィルムＦの通過を許し、室内への空気、異物の吸い込みを防止する上下一対のゴム製の空気・異物吸い込み防止シール片３８が設けられている（図２参照）。
【００２９】
また、減圧主室３２の樹脂フィルム出口３７、出口側準減圧室５１の分室５１Ａ、５１Ｂ、５１Ｃの樹脂フィルム出口５６、５７、５８の各々にも、先端縁にて樹脂フィルムＦに摺接して樹脂フィルムＦの通過を許し、室内への空気、異物の吸い込みを防止する上下一対のゴム製の空気・異物吸い込み防止シール片３９が設けられている。
【００３０】
上述したように、第一の真空圧に減圧されてモールドロール２１とバックアップロール２２とを含む転写処理部１０を収容している減圧主室３２の樹脂フィルム入口側と樹脂フィルム出口側の各々に、減圧主室３２の内圧、つまり、第一の真空圧より絶対圧で見て高い真空圧に減圧された入口側準減圧室４１、出口側準減圧室５１が連続して設けられているので、減圧主室３２の樹脂フィルム入口３６、樹脂フィルム出口３７が大気中に直接開放されている場合に比して、減圧主室３２内外の圧力差が小さくなる。
【００３１】
このことにより、減圧主室３２の減圧漏れが少なくなり、減圧主室３２、つまり転写処理部１０の真空度を転写率向上効果が得られる所要値まで高め易くなる。これにより、大型の大容量の真空ポンプ（第一の真空ポンプ３４）を用いることなく、転写処理部１０の真空度を転写率向上効果が得られる所要値まで高めることができ、ウエブ状の樹脂フィルムＦに高い転写率による転写を連続を行うことができるようになる。
【００３２】
更に、この実施形態では、入口側準減圧室４１、出口側準減圧室５１が各々、分室４１Ａ、４１Ｂ、４１Ｃ、分室５１Ａ、５１Ｂ、５１Ｃに区分されて、それら分室の真空圧が減圧主室３２に近い分室ほど第一の真空圧に近い真空圧に段階的に設定されるから、入口側準減圧室４１、出口側準減圧室５１における減圧漏れも軽減される。
【００３３】
また、樹脂フィルム入口３６、４６、４７、４８の各々に、ゴム製の空気・異物吸い込み防止シール片３８が、樹脂フィルム出口３７、樹脂フィルム出口５６、５７、５８の各々に、ゴム製の空気・異物吸い込み防止シール片３９が設けられていることによっても、減圧漏れが少なくなり、併せて減圧主室３２、入口側準減圧室４１、出口側準減圧室５１への異物（コンタミネーション）の吸い込みも抑制され、クリーンルーム雰囲気での転写成形が行われるようなる。コンタミネーションの吸い込み防止を、より確実なものにしたい場合は、ヘパ（ＨＥＰＡ）フィルタを防止シール片３８に重ねて設ければよい。
【００３４】
なお、上記実施形態では、各減圧室のそれぞれに真空ポンプを接続してあるが、１つの真空ポンプを各減圧室に接続してあってもよい。この場合、各準減圧室への配管途中に、絞り弁やレギュレータが設けられているものとする。
【００３５】
次に、この発明による減圧転写成形装置の実施形態２を、図３、図４を参照して説明する。なお、図３、図４において、図１に対応する部分は、図１に付した符号と同一の符号を付けて、その説明を省略する。
【００３６】
減圧主室３２は、この実施形態でも、配管３３によって第一の真空ポンプ３４に接続され、第一の真空ポンプ３４によって第一の真空圧（所定の真空圧）に減圧される。
【００３７】
主室ボックス３１の樹脂フィルム供給側には、樹脂フィルム入口３６に連続して設けられて樹脂フィルムＦの減圧主室３２に対する供給経路を取り囲む入口側バッファ室７１がバッファ室ボックス７２によって形成されている。バッファ室ボックス７２には、入口側バッファ室７１に樹脂フィルムＦを送り込むスリット状の樹脂フィルム入口７３が形成されている。
【００３８】
主室ボックス３１の樹脂フィルム排出側には、樹脂フィルム出口３７に連続して設けられて減圧主室３２よりの樹脂フィルムＦの送出経路を取り囲む出口側バッファ室８１がバッファ室ボックス８２によって形成されている。バッファ室ボックス８２には、出口側バッファ室８１より樹脂フィルムＦを取り出すスリット状の樹脂フィルム出口８３が形成されている。
【００３９】
減圧主室３２内のバックアップロール２２より樹脂フィルム入口３６の側には、二つの定位置ローラ９１、９２と、定位置ローラ９１と９２との間にあって上下移動可能な重錘可動ローラ９３とが設けられている。また、減圧主室３２内のモールドロール２１より樹脂フィルム出口３７の側には、剥離案内ローラ（定位置ローラ）１８と対をなす定位置ローラ９４と、剥離案内ローラ１８と定位置ローラ９４との間にあって上下移動可能な重錘可動ローラ９５とが設けられている。
【００４０】
入口側バッファ室７１内には、定位置ローラ９６と、モータ駆動の駆動ローラ対（定位置ローラ）９７と、定位置ローラ９６と駆動ローラ対９７との間にあって上下移動可能な重錘可動ローラ９８とが設けられている。また、出口側バッファ室８１内には、モータ駆動の駆動ローラ対（定位置ローラ）９９と、定位置ローラ１００と、駆動ローラ対９９と定位置ローラ１００との間にあって上下移動可能な重錘可動ローラ１０１とが設けられている。
【００４１】
減圧主室３２の樹脂フィルム入口３６と、入口側バッファ室７１の樹脂フィルム入口７３と、減圧主室３２の樹脂フィルム出口３７と、出口側バッファ室８１の樹脂フィルム出口８３には、これら入口、出口を各々個別に開閉するシャッタ１１１、１１２、１１３、１１４が設けられている。
【００４２】
シャッタ１１１、１１２、１１３、１１４は、電動式、電磁駆動式あるいは空気圧駆動式のものであり、減圧主室３２の入口側のシャッタ１１１と入口側バッファ室７１の入口側のシャッタ１１２とが互い相反する関係で開閉し、減圧主室３２の出口側のシャッタ１１３と出口側バッファ室８１の出口側のシャッタ１１４とが互い相反する関係で開閉する。
【００４３】
これにより、減圧主室３２の入口側のシャッタ１１１と入口側バッファ室７１の入口側のシャッタ１１２の双方が同時に開いた状態や、減圧主室３２の出口側のシャッタ１１３と出口側バッファ室８１の出口側のシャッタ１１４の双方が同時に開いた状態になることがない。
【００４４】
本実施形態では、図３に示されているように、減圧主室３２の入口側のシャッタ１１１と、減圧主室３２の出口側のシャッタ１１３とが閉扉し、入口側バッファ室７１の入口側のシャッタ１１２と、出口側バッファ室８１の出口側のシャッタ１１４とが開扉している状態（第一の状態）と、これとは逆に、図４に示されているように、減圧主室３２の入口側のシャッタ１１１と、減圧主室３２の出口側のシャッタ１１３とが開扉し、入口側バッファ室７１の入口側のシャッタ１１２と、出口側バッファ室８１の出口側のシャッタ１１４とが閉扉している状態（第二の状態）の何れか一方が選択的に成立するように、シャッタ開閉制御が行われる。
【００４５】
樹脂フィルムＦは、繰出しロール１１より、案内ローラ１３、送出駆動ローラ対１４、案内ローラ１５を経て樹脂フィルム入口７３より入口側バッファ室７１内に入り、入口側バッファ室７１内において、定位置ローラ９６と駆動ローラ対９７との間に、重錘可動ローラ９８によってＵ字状に垂れ下がれる第一のバッファ部Ａを作る。樹脂フィルムＦは、更に、樹脂フィルム入口３６より減圧主室３２内に入り、減圧主室３２内の入口側において、定位置ローラ９１、９２間に、重錘可動ローラ９３によってＵ字状に垂れ下がれる第二のバッファ部Ｂを作る。そして、樹脂フィルムＦは、モールドロール２１とバックアップロール２２とを含む転写処理部１０へ送られる。
【００４６】
転写処理部１０によって転写処理された樹脂フィルムＦは、減圧主室３２内の出口側において、剥離案内ローラ１８と定位置ローラ９４に間に、重錘可動ローラ９５によってＵ字状に垂れ下がれる第三のバッファ部Ｃを作る。そして、樹脂フィルムＦは、樹脂フィルム出口３７より出口側バッファ室８１内に入り、出口側バッファ室８１内において、駆動ローラ対９９と定位置ローラ１００との間に、重錘可動ローラ１０１によってＵ字状に垂れ下がれる第四のバッファ部Ｄを作る。そして、樹脂フィルムＦは、樹脂フィルム出口８３より出口側バッファ室８１外に出て、案内ローラ１６、１７を経て巻取りロール１２に巻き取られる。
【００４７】
図３に示されているように、減圧主室３２の入口側のシャッタ１１１と、減圧主室３２の出口側のシャッタ１１３とが閉扉し、入口側バッファ室７１の入口側のシャッタ１１２と出口側バッファ室８１の出口側のシャッタ１１４とが開扉している第一の状態では、モールドロール２１、バックアップロール２２の回転によって、減圧主室３２内の第二のバッファ部Ｂに貯えられている樹脂フィルムＦが転写処理部１０へ送られ、転写処理された樹脂フィルムＦは減圧主室３２内の第三のバッファ部Ｃに貯えられる。この時、第二のバッファ部Ｂの樹脂フィルムＦの繰り出しに伴い重錘可動ローラ９３は上昇移動し、第三のバッファ部Ｃに樹脂フィルムＦが貯えられることに伴い重錘可動ローラ９５は降下移動する。
【００４８】
この第一の状態では、入口側バッファ室７１の入口側のシャッタ１１２が開扉していて、送出駆動ローラ対１４の回転駆動によって繰出しロール１１より樹脂フィルムＦが、モールドロール２１、バックアップロール２２の回転による樹脂フィルム移動速度の２倍の速度をもって入口側バッファ室７１内に送り込まれ、重錘可動ローラ９８が降下しつつ第一のバッファ部Ａに貯えられる。
【００４９】
また、第一の状態では、出口側バッファ室８１の出口側のシャッタ１１４が開扉していて、出口側バッファ室８１内の第四のバッファ部Ｄの樹脂フィルムＦが、巻取りロール１２の回転駆動によってモールドロール２１、バックアップロール２２の回転による樹脂フィルム移動速度の２倍の速度をもって巻取りロール１２に巻き取られる。この巻き取りにより、第四のバッファ部Ｄの重錘可動ローラ９８は上昇移動する。
【００５０】
なお、第一の状態では、駆動ローラ対９７、９９は停止している。
【００５１】
減圧主室３２内の第二のバッファ部Ｂにおける樹脂フィルムＦの貯えがなくなると、図４に示されているように、減圧主室３２の入口側のシャッタ１１１と、減圧主室３２の出口側のシャッタ１１３とが開扉し、入口側バッファ室７１の入口側のシャッタ１１２と、出口側バッファ室８１の出口側のシャッタ１１４とが閉扉する第二の状態に変遷する。
【００５２】
第二の状態では、引き続き、モールドロール２１、バックアップロール２２は回転しているが、送出駆動ローラ対１４と巻取りロール１２の回転は停止し、入口側バッファ室７１内の第一のバッファ部Ａの駆動ローラ対９７と、出口側バッファ室８１内の第四のバッファ部Ｄの駆動ローラ対９９とが、モールドロール２１、バックアップロール２２の回転による樹脂フィルム移動速度の２倍の速度をもって樹脂フィルムＦを移動させる速度で回転駆動される。
【００５３】
これにより、第一のバッファ部Ａの樹脂フィルムＦが転写処理部１０へ送られると共に、重錘可動ローラ９３の降下移動のもとに、減圧主室３２内の第二のバッファ部Ｂに貯えられる。また、これと同時に、第三のバッファ部Ｃに貯えられていた樹脂フィルムＦと転写処理部１０からの樹脂フィルムＦが出口側バッファ室８１へ送り出され、重錘可動ローラ１０１の降下移動のもとに第四のバッファ部Ｄの貯えられる。
【００５４】
そして、第一のバッファ部Ａの樹脂フィルムＦの貯えがなくなると、図３に示されている第一の状態に変遷し、以降、第二の状態、第一の状態を繰り返す。
【００５５】
これにより、減圧主室３２の減圧漏れが連続的に生じることがなく、減圧主室３２、つまり転写処理部１０の真空度を転写率向上効果が得られる所要値まで高め易くなる。これにより、大型の大容量の真空ポンプ（第一の真空ポンプ３４）を用いることなく、転写処理部１０の真空度を転写率向上効果が得られる所要値まで高めることができ、ウエブ状の樹脂フィルムＦに高い転写率による転写を連続を行うことができるようになる。
【００５６】
なお、各シャッタ１１１、１１２、１１３、１１４が、樹脂フィルムのほぼ同じ位置に接触するようにして、減圧転写成形装置が動作するようになっていることが望ましい。巻取りロール１２に巻き取られた樹脂フィルムを、製品もしくは半製品にすべく後工程で切断する場合、各シャッタ１１１、１１２、１１３、１１４が接触した部位で切断すれば、前記製品もしくは半製品の品質が向上する。したがって、各シャッタ１１１、１１２、１１３、１１４が、樹脂フィルムのほぼ同じ位置に接触すれば、高品質の長い製品もしくは半製品を容易に得ることができると共に、樹脂フィルムに無駄が発生することを抑制することができる。
【００５７】
上述の実施形態では、ＵＶ硬化性樹脂を用いているが、凹凸形状転写の樹脂フィルムは、熱可塑性のものであってもよい。熱可塑性の樹脂フィルムの場合は、ＵＶ硬化性樹脂塗工ダイ２３、ＵＶ光源２４に代えて、転写処理部１０に樹脂フィルムを加熱軟化させる手段が設けられればよい。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】この発明による減圧転写成形装置の実施形態１を示す全体構成図である。
【図２】実施形態１の減圧転写成形装置の空気・異物吸い込み防止シール片配置部の拡大図である。
【図３】この発明による減圧転写成形装置の実施形態２の第一の状態を示す全体構成図である。
【図４】この発明による減圧転写成形装置の実施形態２の第二の状態を示す全体構成図である。
【符号の説明】
【００５９】
１０  転写処理部
１１  繰出しロール
１２  巻取りロール
１３  案内ローラ
１４  送出駆動ローラ対
１５、１６、１７  案内ローラ
１８  剥離案内ローラ
２１  モールドロール
２２  バックアップロール
２３  ＵＶ硬化性樹脂塗工ダイ
２４  ＵＶ光源
３１  主室ボックス
３２  減圧主室
３３  配管
３４  第一の真空ポンプ
３６  樹脂フィルム入口
３７  樹脂フィルム出口
３８、３９  空気・異物吸い込み防止シール片
４１  入口側準減圧室
４１Ａ、４１Ｂ、４１Ｃ  分室
４２  減圧室ボックス
４３、４４、４５  配管
４６、４７、４８  樹脂フィルム入口
５１  出口側準減圧室
５１Ａ、５１Ｂ、５１Ｃ  分室
５２  減圧室ボックス
５３、５４、５５  配管
５６、５７、５８  樹脂フィルム出口
６１  第二の真空ポンプ
６２  第三の真空ポンプ
６３  第四の真空ポンプ
７１  入口側バッファ室
７２  バッファ室ボックス
７３  樹脂フィルム入口
８１  出口側バッファ室
８２  バッファ室ボックス
８３  樹脂フィルム出口
９１、９２  定位置ローラ
９３  重錘可動ローラ
９４  定位置ローラ
９５  重錘可動ローラ
９６  定位置ローラ
９７  駆動ローラ対
９８  重錘可動ローラ
９９  駆動ローラ対
１００  定位置ローラ
１０１  重錘可動ローラ
１１１、１１２、１１３、１１４  シャッタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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