(57)【要約】【課題】油分洗浄液等から蒸発した排ガスをその中の有害成分を人体に影響のない濃度して浄化した上で大気に放出する。【解決手段】有害成分を含む排ガスを発生させる排ガス発生槽（１３）と、排ガス発生槽（１３）から排ガスを圧送するための導管（１４）と、導管（１４）に連結されており、排ガス発生槽（１３）から圧送された排ガス中の有害成分を吸着するための活性炭を充填した活性炭槽（１５）と、活性炭によって有害成分が吸着処理された排ガスを大気に排気するための排気手段（１６）とを備えた有害成分含有排ガスの処理装置（１２）であって、その処理装置（１２）を移動可能にするための移動手段（１７）を備えた、移動式排ガス処理装置、並びに有害成分含有排ガスの処理方法。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
有害成分を含む排ガスを発生させる排ガス発生槽（１３）、
該排ガス発生槽（１３）に連結された導管（１４）、
該導管（１４）を介して該排ガス発生槽（１３）に連結されており、該排ガス発生槽（１３）から該導管（１４）を介して圧送された該排ガス中の該有害成分を吸着するための活性炭を充填した活性炭槽（１５）、及び
該活性炭によって該有害成分が吸着処理された排ガスを大気に排気するための排気手段（１６）
を備えた有害成分含有排ガスの処理装置（１２）であって、該処理装置（１２）を移動可能にするための移動手段（１７）を備えた、移動式排ガス処理装置。
【請求項２】
有害成分を含む排ガスを発生させる排ガス発生槽（１３）に連結するための導管（１４）、
該排ガス発生槽（１３）から該導管（１４）を介して圧送される該排ガス中の該有害成分を吸着するための活性炭を充填した活性炭槽（１５）、及び
該活性炭によって該有害成分が吸着処理された排ガスを大気に排気するための排気手段（１６）
を備えた有害成分含有排ガスの処理装置（１８）であって、該処理装置（１８）を移動可能にするための移動手段を備えた、移動式排ガス処理装置。
【請求項３】
前記有害成分がフッ素系溶剤の気体である、請求項１又は２に記載の移動式排ガス処理装置。
【請求項４】
前記活性炭槽が交換可能な活性炭カートリッジである、請求項１〜３のいずれかに記載の移動式排ガス処理装置。
【請求項５】
該処理装置（１２）の運転時間を検出するための時間計を更に備えた、請求項１〜４のいずれかに記載の移動式排ガス処理装置。
【請求項６】
前記導管（１４）の途中における該排ガスの特性を検出する排ガス特性検出手段と、該排ガス特性検出手段による検出結果と前記時間計により検出された該処理装置（１２）の運転時間から該有害成分の該活性炭への積算吸着量を算出する手段を更に備えた、請求項５に記載の移動式排ガス処理装置。
【請求項７】
前記排ガス発生槽（１３）が、前記フッ素系溶剤を含有する洗浄液を使用してサイクル配管（１９）の内部を洗浄した後の該サイクル配管内に残留する該洗浄液が該サイクル配管内から圧送された該洗浄液を加圧下で貯留し、該フッ素系溶剤の気体を含む排ガスを、前記導管（１４）を介して該活性炭槽（１５）へ圧送することによって該排ガス発生槽（１３）内の圧力を低下させるようにしたものである、請求項３〜６のいずれかに記載の移動式排ガス処理装置。
【請求項８】
前記排ガス発生槽が、被洗浄物（４０）に付着した汚れを実質的に除去するためのフッ素系溶剤を含む洗浄液を貯留する洗浄液貯留部（４３）と、該被洗浄物を該洗浄液中に浸漬して洗浄した後の該被洗浄物を該洗浄液から引き上げる手段（４４）と、引き上げられた該被洗浄物を加熱する手段（４７）を含み、引き上げられた該被洗浄物に付着した該洗浄液を該加熱手段により加熱して蒸発させることによって該フッ素系溶剤の気体を含む排ガスを発生させるようにしたものである、請求項３〜６のいずれかに記載の移動式排ガス処理装置。
【請求項９】
前記排ガス発生槽が、被洗浄物に付着した汚れを洗浄剤で洗浄した後にフッ素系溶剤でリンスされた被洗浄物を加熱する手段を含み、リンスされた該被洗浄物に付着した該フッ素系溶剤を該加熱手段により加熱して蒸発させることによって該フッ素系溶剤の気体を含む排ガスを発生させるようにしたものである、請求項３〜６のいずれかに記載の移動式排ガス処理装置。
【請求項１０】
排ガス発生槽（１３）において有害成分を含む排ガスを発生させる排ガス発生工程、
該排ガス発生槽槽（１３）から該排ガスを圧送する排ガス圧送工程、
圧送された該排ガス中の該有害成分を吸着するための活性炭が充填された活性炭槽（１５）によって該有害成分を吸着処理する吸着工程、及び
該吸着処理された排ガスを大気に排気する排気工程
を含む有害成分含有排ガスの処理方法であって、該排ガス発生槽（１３）と該活性炭槽（１５）を備えた有害成分含有排ガス処理装置（１２）を移動させて所望の場所に設置して該排ガス発生槽（１３）からの該有害成分含有排ガスを処理するようにする、有害成分含有の排ガス処理方法。
【請求項１１】
前記有害成分がフッ素系溶剤の気体である、請求項１０に記載の排ガス処理方法。
【請求項１２】
前記活性炭槽（１３）が交換可能な活性炭カートリッジである、請求項１０又は１１に記載の排ガス処理方法。
【請求項１３】
時間計によって該処理装置（１２）の運転時間を検出することを更に含む、請求項１０〜１２のいずれかに記載の排ガス処理方法。
【請求項１４】
該排ガスの圧送の途中における該排ガスの特性を検出手段により検出する工程、及び該検出手段による検出結果と前記時間計により検出された該処理装置（１２）の運転時間から該有害成分の該活性炭への積算吸着量を算出手段により算出する工程を更に含む、請求項１３に記載の排ガス処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、冷凍サイクル等のサイクル配管内の油分洗浄に使用された洗浄剤からの有害成分含有排ガスや、電子部品等の油分洗浄に使用された洗浄剤又はその洗浄後のリンスに使用されたリンス剤からの有害成分含有排ガス等の有害成分含有排ガスの処理装置、並びに処理方法に関するものである。更に詳細には、本発明は、有害成分含有排ガスの発生槽と、その排ガス中の有害成分を吸着するための活性炭を充填する活性炭槽を備えた有害成分含有排ガス処理装置であって、それを所望の場所に移動させて取付けることが容易な移動式排ガス処理装置を提供するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の油分の洗浄では、フッ素系の洗浄剤が主流であり、配管系の洗浄や電子部品等の部品類の洗浄などでフッ素系の洗浄剤がよく活用されているが、それらは人体にとって有害なものが少なくない。
【０００３】
洗浄方法として大きく分類すると、洗浄装置における槽内に洗浄液を満たした箇所に電子部品等の部品類を浸漬して洗浄した後に、洗浄された部品類を洗浄液から引き上げて、槽内に備えられたヒーター等で部品類を加熱することによってその部品類に付着した洗浄液を蒸発させる方法、並びに、洗浄装置の洗浄槽内における洗浄液に部品類を浸漬して洗浄した後に洗浄された部品類を洗浄液から引き上げて、更にリンス槽内における洗浄液と異なるリンス液に洗浄された部品類を浸漬してリンスされた部品類をリンス液から引き上げて、リンス槽内に備えられたヒーター等でリンスされた部品類を加熱することによってその部品類に付着したリンス液を蒸発させる方法などの電子部品等の部品類の部品類の洗浄乾燥方法（パターンＡ）と、冷凍サイクル等のサイクル配管内の洗浄を行う場合において、洗浄剤をポンプでその配管内に圧送して洗浄剤を循環させることによって配管内を洗浄した後に使用済みの洗浄剤を配管内から取り出して、その後に配管内部、特に配管内細部に残留する洗浄剤を、配管内に圧入された高圧空気流によって回収して回収洗浄液槽に貯留する、サイクル配管内の洗浄方法（パターンＢ）が挙げられる。
【０００４】
それらのどの洗浄操作においても、洗浄液槽等の槽内が密閉されていて、温度の上昇や高圧空気等によって内部圧力が上昇した場合に、その圧力を低下させるために、槽内の洗浄液の蒸気を取り出して洗浄ガスの濃度を低下させた上で大気に排気することが必要であり、特に人体に影響がある洗浄剤に場合には、特別に局所排気装置などを取り付けることによって、作業者にとって閉じた空間となる作業場には洗浄液中の有害成分を排気することのないようにして、作業場外の大気に排気されていた。
【０００５】
上記のパターンＢに関する従来の冷凍サイクル配管内の洗浄の１例として、図１に、ワーク（冷凍サイクル）（１）と洗浄装置（２）及び工場廃棄ダクト（３）からなる装置が記載されている。そこでの冷凍サイクル（ワーク）の洗浄作業では、フッ素系等の洗浄剤を用い、ポンプ（５）で圧送し、配管・熱交換器等内部の付着オイル除去が行なわれて、洗浄後に導入される高圧空気（６）により配管内の残留洗浄剤を洗浄液槽（４）に圧送する際等において、洗浄液槽（４）の内圧を所定の範囲に維持するためガス化した洗浄剤を放出する必要があるが、人体に影響がある洗浄剤の場合、ガス化した洗浄剤を密閉された小さな作業場内の空間へは放出することが出来ず、工場廃棄ダクト（３）なる排気設備による吸引、放出を同時に行って作業場外の大気（７）に放出する必要があった。
【０００６】
このように、従来の方法は、局所排気装置などの大型の設備が特別に設けられねばならないなどの欠点を有しており、また局所排気装置の無い密閉された作業空間などにおいて万が一放出された洗浄剤の気体を作業者が大量に吸引して人体に悪い影響を及ぼすという危険性を有していた。
【０００７】
なお、悪臭成分の除去方法として、［特許文献１］では、下水処理場に設置されているばっ気槽などから発生するガスに含有される悪臭成分を効率的に除去できるようにするために、悪臭成分を含有したガスを脱臭するための装置であって、その装置には生物脱臭用担体が充填されており、その生物脱臭用担体が活性炭素繊維と熱可塑性合成繊維とを含む特定の嵩密度と空隙率を有する繊維収束体であって、その生物脱臭用担体を充填した脱臭塔を備え脱臭装置は、ばっ気槽側壁の上段あるいはばっ気槽間の通路部の上段に設けられるものが提案されている。しかしながら、かかる装置は大型であり移動が不可であるという欠点を有する。
【０００８】
また、［特許文献２］では、装置規模を大きくすることなく、効率的に臭気成分を除去する脱臭装置であって、生ごみ処理装置からの臭気を含む排気中に含まれる余分な粉塵を除去するための脱臭容器のプレフィルタを備えており、紫外線ランプからなるオゾン発生器が放つ短波長の紫外線が、排気中の酸素に作用してオゾンを発生させるとともに、光触媒フィルタを活性化させ、排気中の水分や上記オゾンから、ＯＨラジカルを大量に生成すし、さらにＯＨラジカルが、上記オゾンを分解してＯＨラジカルを生成して、これにより脱臭容器の内部にＯＨラジカルが連鎖反応的に発生し、排気中の臭気成分が多量のＯＨラジカルにより強力に酸化脱臭され排出される、脱臭装置が提案されている。しかしながら、かかる装置における紫外線ランプでは、本願のごとき洗浄剤等中の有害成分の浄化が出来ない。
【０００９】
更に、［特許文献３］では、効率良く脱臭でき、満足できる特性が得られる脱臭装置として、臭気発生部（生ごみ処理機の処理部）からの排気中に含まれる臭気物質を貯留部に貯留される液中に溶解させて電気分解することにより、臭気物質を分解して除去するものが提案されている。しかしながら、かかる装置における電気分解では、本願のごとき洗浄剤等中の有害成分の浄化が出来ない。
【００１０】
【特許文献１】特開平２００６−２４７４４０号公報
【特許文献２】特開平２００２−１４３６３８号公報
【特許文献３】特開平２００３−１５４２３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本願発明は、活性炭の吸着という点に着目し、洗浄装置本体における加圧槽等から洗浄溶剤等の有害成分を含む排ガスを大気に放出する部位に活性炭浄化装置を装着することによって、洗浄排ガス中の有害成分を人体に影響のない濃度して浄化した上で大気に放出することを目指している。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本願発明は、冷凍サイクル等のサイクル配管内の洗浄に使用された洗浄剤からの有害成分含有排ガスや、電子部品等の洗浄に使用された洗浄剤又はその洗浄後のリンスに使用されたリンス剤からの有害成分含有排ガス等の処理装置であって、有害成分含有排ガスの発生槽と、その排ガス中の有害成分を吸着するための活性炭を充填する活性炭槽を備えた有害成分含有排ガス処理装置であって、それを所望の場所に移動させて取付けることが容易な移動式排ガス処理装置、並びにそのような有害成分含有排ガス等の処理を行なう有害成分含有排ガスの処理方法を提供するものである。
【００１３】
本発明の第１の態様は、請求項１によれば、有害成分を含む排ガスを発生させる排ガス発生槽（１３）と、排ガス発生槽（１３）に連結された導管（１４）と、導管（１４）が連結されており排ガス発生槽（１３）から導管（１４）を介して圧送された排ガス中の有害成分を吸着するための活性炭を充填した活性炭槽（１５）と、活性炭によって有害成分が吸着処理された排ガスを大気に排気するための排気手段（１６）とを備えた有害成分含有排ガスの処理装置（１２）であって、処理装置（１２）を移動可能にするための移動手段（１７）を備えた、移動式排ガス処理装置である。
【００１４】
本発明の第２の態様は、請求項２によれば、有害成分を含む排ガスを発生させる排ガス発生槽（１３）に連結するための導管（１４）と、排ガス発生槽（１３）から導管（１４）を介して圧送される排ガス中の該有害成分を吸着するための活性炭を充填した活性炭槽（１５）と、活性炭によって有害成分が吸着処理された排ガスを大気に排気するための排気手段（１６）とを備えた有害成分含有排ガスの処理装置（１８）であって、処理装置（１８）を移動可能にするための移動手段を備えた、移動式排ガス処理装置である。
【００１５】
本発明の第３の態様は、請求項１０によれば、排ガス発生槽（１３）において有害成分を含む排ガスを発生させる排ガス発生工程と、排ガス発生槽槽（１３）から排ガスを圧送する排ガス圧送工程と、圧送された排ガス中の有害成分を吸着するための活性炭が充填された活性炭槽（１５）によって有害成分を吸着処理する吸着工程と、吸着処理された排ガスを大気に排気する排気工程とを含む有害成分含有排ガスの処理方法であって、排ガス発生槽（１３）と活性炭槽（１５）を備えた有害成分含有排ガス処理装置（１２）を移動させて所望の場所に設置して排ガス発生槽（１３）からの有害成分含有排ガスを処理するようにする、有害成分含有の排ガス処理方法である。
【００１６】
これらの本発明の第１〜３の態様によれば、小規模な有害成分含有排ガス処理装置が提供でき、その排ガス処理装置は、高価な大型の排気ダクト設備が不要であって、機構が簡単で小型・安価なものである。そして、有害成分含有排ガス処理装置を、所望の場所に移動させて設置して使用ことが容易であって、活性炭槽自体が移動可能であり、また活性炭槽を有害成分含有排ガス発生槽に取付けて一体として移動可能でもある。
【００１７】
さらに言うならば、有害成分含有排ガスの発生槽（装置）の排気部に、有害成分含有排ガスの吸着処理用の活性炭槽である脱臭槽を取付け、排ガス発生装置から排出される有害成分含有排ガスを活性炭槽に通過（接触）させて浄化することにより、その浄化された排ガスを作業環境内の大気に放出しても、作業環境の安全が保持され得るように出来る。また、その脱臭槽（活性炭槽）を、有害成分含有排ガスの発生装置に内臓することで、排気ダクト、排気ダクトなど大型設備が不要のため、小型化が可能で運用性に優れる。そして、排ガス発生槽側の高圧を利用して排ガス発生槽から排ガスを活性炭槽へ圧送するので、そのためのファンなどの動力を特に必要としないため、省エネルギーを実現可能である。
【００１８】
上記の本発明の第１、２の態様での好ましい態様として、請求項３によれば、有害成分がフッ素系溶剤の気体である、移動式の排ガス処理装置が挙げられる。かかるフッ素系溶剤は、洗浄剤又はリンス剤として頻度高く使用され得るものであることから、本発明の移動式排ガス処理装置が有利に使用される機会が多くなり、好ましいものである。
【００１９】
更に本発明の第１、２の態様での好ましい態様として、請求項４によれば、活性炭槽が交換可能な活性炭カートリッジである、移動式の排ガス処理装置が挙げられる。かかる態様によれば、活性炭を通気性のある袋にいれることで交換が容易になる。
【００２０】
更に本発明の第１、２の態様での好ましい態様として、請求項５によれば、処理装置（１２）の運転時間を検出するための時間計を更に備えた、移動式排ガス処理装置が挙げられる。かかる態様によれば、活性炭槽（１５）における吸着度合いを評価して、活性炭の交換時期を予測することが容易になる。
【００２１】
かかる態様での更に好ましい態様として、請求項６によれば、導管（１４）の途中における排ガスの特性を検出する排ガス特性検出手段と、排ガス特性検出手段による検出結果と時間計により検出された処理装置（１２）の運転時間から有害成分の活性炭への積算吸着量を算出する手段を更に備えた、移動式排ガス処理装置が挙げられる。かかる態様によれば、活性炭槽（１５）における吸着度合いをよりきめ細かく評価して、活性炭の交換時期をより正確に予測することが容易になる。
【００２２】
更に本発明の第１、２の態様での好ましい態様として、請求項７によれば、排ガス発生槽（１３）が、フッ素系溶剤を含有する洗浄液を使用してサイクル配管（１９）の内部を洗浄した後のサイクル配管内に残留する洗浄液がサイクル配管内から圧送された洗浄液を加圧下で貯留し、フッ素系溶剤の気体を含む排ガスを、導管（１４）を介して活性炭槽（１５）へ圧送することによって排ガス発生槽（１３）内の圧力を低下させるようにしたものである、移動式排ガス処理装置が挙げられる。かかる態様によれば、内圧を段階的に逃がすことにより安全で排ガスの浄化が可能である。
【００２３】
更に本発明の第１、２の態様での好ましい態様として、請求項８によれば、排ガス発生槽が、被洗浄物（４０）に付着した汚れを実質的に除去するためのフッ素系溶剤を含む洗浄液を貯留する洗浄液貯留部（４３）と、被洗浄物を洗浄液中に浸漬して洗浄した後の被洗浄物を洗浄液から引き上げる手段（４４）と、引き上げられた被洗浄物を加熱する手段（４７）を含み、引き上げられた被洗浄物に付着した洗浄液を加熱手段により加熱して蒸発させることによってフッ素系溶剤の気体を含む排ガスを発生させるようにしたものである、移動式排ガス処理装置が挙げられる。かかる態様によれば、被洗浄物を洗浄装置からの排ガスの処理が容易になる。
【００２４】
更に本発明の第１、２の態様での好ましい態様として、請求項９によれば、排ガス発生槽が、被洗浄物に付着した汚れを洗浄剤で洗浄した後にフッ素系溶剤でリンスされた被洗浄物を加熱する手段を含み、リンスされた被洗浄物に付着したフッ素系溶剤を該加熱手段により加熱して蒸発させることによってフッ素系溶剤の気体を含む排ガスを発生させるようにしたものである、移動式排ガス処理装置が挙げられる。かかる態様によれば、被洗浄物を洗浄・リンス処理装置からの排ガスの処理が容易になる。
【００２５】
上記の本発明の第３の態様での好ましい態様として、請求項１１によれば、有害成分がフッ素系溶剤の気体である排ガス処理方法が挙げられ、また、請求項１２によれば、活性炭槽（１３）が交換可能な活性炭カートリッジである排ガス処理方法が挙げられる。更に本発明の第２の態様での好ましい態様として、請求項１３によれば、時間計によって処理装置（１２）の運転時間を検出することを更に含む排ガス処理方法が挙げられ、また、請求項１４によれば、排ガスを圧送によって受け容れる途中における排ガスの特性を検出手段により検出する工程と、検出手段による検出結果と時間計により検出された処理装置（１２）の運転時間から有害成分の活性炭への積算吸着量を算出手段により算出する工程を更に含む、排ガス処理方法が挙げられる。
【００２６】
これらの態様によれば、上記した本発明に第１の態様である移動式排ガス処理装置の場合と同様の効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、必要に応じて図面を参照して、本発明の実施の態様を更に詳細に説明する。なお、上記の各手段に付した括弧内の符号は、後述する実施の態様に記載される具体的手段の対応関係を示す一例である。
【００２８】
本発明の移動式排ガス処理装置の好ましい態様である、サイクル配管内の洗浄に使用された洗浄剤からの有害成分含有排ガスの処理装置が、図２に模式的に示されている。即ち、図２には、洗浄剤を活性炭により吸着・浄化して、大規模な排気装置を使用せずに排気出来るようにした有害成分含有排ガスの処理装置が示されている。
【００２９】
更に詳細には、図２において、ワーク（冷凍サイクル）（１１）と、連結手段２４，２５を介してそれに取り付けられた有害成分含有排ガス処理装置（１２）からなる装置が記載されており、その冷凍サイクル（ワーク）の洗浄作業では、人体に有害なフッ素系溶剤をポンプ（２０）で圧送循環して、配管・熱交換器等（１９）の内部に付着した油分等の洗浄除去が行われた後に、高圧空気源から導入される高圧空気（２１）により配管内等に残留する洗浄液を排ガス発生槽である洗浄液槽（１３）に圧送し、油分含有フッ素系溶剤の洗浄液（２６）を加圧下で洗浄液槽（１３）に貯留し、洗浄液槽（１３）内のフッ素系溶剤の蒸気を含む排ガスを導管（１４）を介して活性炭槽（１５）に圧送し、活性炭槽（１５）に充填された活性炭によってフッ素系溶剤の蒸気を吸着除去して得られた、浄化処理済みの人体に無害な空気からなる排ガスを排気手段である排気口（１６）からその作業場内の大気（２３）に放出するようにしたものが記載されている。尚、図２の装置において、連結手段２４，２５を介してワーク（冷凍サイクル）（１１）に取り付けられる前の有害成分含有排ガス処理装置（１２）を所望に応じて移動させるための移動手段であるキャスター（１７）も記載されている。また、排ガス発生槽である洗浄液槽（１３）において、蒸発せずに残った残留洗浄液を排出するためのドレン排出弁が設けられている。
【００３０】
このようにして、図２に記載の装置では、フッ素系溶剤を含有する洗浄液を使用してサイクル配管（１９）の内部を洗浄した後のサイクル配管内に残留する洗浄液がサイクル配管内から圧送された洗浄液を排ガス発生槽（１３）に加圧下で貯留し、特に他の送気手段を使用することなく導管（１４）を介してフッ素系溶剤の気体を含む排ガスを活性炭槽（１５）へ圧送することによって、排ガス発生槽（１３）の内力を低下させて所定の範囲にすると共に、排ガス発生槽（１３）内に貯留された洗浄液からフッ素系溶剤を蒸発させることを可能にしている。
【００３１】
また、図２には、本発明の移動式排ガス処理装置の一つの態様として、冷凍サイクル（ワーク）の洗浄作業において、人体に有害なフッ素系溶剤をポンプで圧送循環して配管・熱交換器等の内部に付着した油分等の洗浄除去が行われた後に高圧空気源から導入される高圧空気により配管内等に残留する洗浄液を排ガス発生槽である洗浄液槽（１３）に連結される導管（１４）と、油分含有フッ素系溶剤の蒸気を含む排ガスを導管（１４）を介して洗浄液槽（１３）から圧送される活性炭槽（１５）と、活性炭槽（１５）に充填された活性炭によってフッ素系溶剤の蒸気を吸着除去して得られた浄化処理済みの人体に無害な空気からなる排ガスを排気手段である排気口（１６）とを備えた排ガス処理装置であって、それを移動するためのキャスター等の移動手段（図示せず）も備えた移動式排ガス処理装置も記載されている。かかる移動式排ガス処理装置から浄化処理済みの人体に無害な空気からなる排ガスがその作業場内の大気（２３）に放出される。
【００３２】
本発明の移動式排ガス処理装置に用いられる移動手段としては、その排ガス処理装置が容易に移動させることができるものであればよく、例えば、キャスター、エアータイヤ等が挙げられ、ストッパー付のキャスターが実用上好ましい。
【００３３】
また、図３においても、上記の図２に類似した、サイクル配管内の洗浄に使用された洗浄剤からの有害成分含有排ガスの処理装置について模式的に示されている。そこでは、洗浄後、冷凍サイクルの配管等（３３）の内部に残留した洗浄液を、高圧空気供給部（３５）からのエアーで圧送し、排ガス発生槽である洗浄液タンク（３２）へ残留洗浄液を回収し、次いで洗浄液タンク（３２）にたまった洗浄ガスの内圧をパージするため、有害成分を含有した排ガスを活性炭槽である脱臭装置（３１）内の活性炭に通し接触、浄化させた後に、浄化処理済みの排ガスがその作業場における大気（３６）に開放される。
【００３４】
図４には、本発明の移動式排ガス処理装置の他の好ましい態様である、電子部品等の洗浄に使用された洗浄液からの有害成分含有排ガスの処理装置が模式的に示されている。即ち、図４には、被洗浄物（４０）に付着した汚れを除去するためのフッ素系溶剤を含む洗浄液を貯留する洗浄液貯留部（４３）と、洗浄液中に浸漬して洗浄した後の被洗浄物を洗浄液から引き上げる手段（４４）と、引き上げられた被洗浄物を加熱するヒーター（４７）を含み、引き上げられた被洗浄物に付着した洗浄液をヒーターにより加熱して蒸発させることによってフッ素系溶剤の気体を含む排ガスを発生させる排ガス発生槽（４２）、並びにヒーターで加熱蒸発されて高圧になった排ガス発生槽（４２）の内圧をパージするため、導管（４９）を介して排ガス発生槽（４２）から圧送された排ガスを吸着浄化するための活性炭槽（４１）を備えた排ガス処理装置が記載されている。それによって、浄化されて人体に無害にされた排ガスが、活性炭槽（４１）の開口部からその作業の場における大気（５０）に放出される。尚、同図において、矢印（４５）は洗浄液の蒸発によって排ガスが発生することを模式的に示したものであり、また、装置の移動手段は省略されている。
【００３５】
本発明の移動式排ガス処理装置の他の好ましい態様として、被洗浄物に付着した汚れを洗浄剤で洗浄した後において、上記のものに類似して、フッ素系溶剤でリンスされた被洗浄物を加熱するヒーターを含み、リンスされた被洗浄物に付着したフッ素系溶剤をヒーターにより加熱して蒸発させることによってフッ素系溶剤の気体を含む排ガスを発生させるようにした排ガス発生槽と、上記と同様の活性炭槽等を備えた移動式排ガス処理装置も挙げられるが、詳細は上記のものと類似しており、その記載を省略する
【００３６】
図５には、本発明の移動式排ガス処理装置に使用される活性炭槽の好ましい例が記載されている。即ち、図５の活性炭タンクでは、そのタンクに排ガスの『入り口』と『出口』が設けられており、吸着剤としての活性炭が使用されており、タンク上部にはその活性炭が取替えられるようにフタが備えられており、活性炭はタンク内部の活性炭メンテナンス性を考慮し通気性のある袋に入れられており、そしてタンク下部に洗浄液貯めが付けられてドレンが設けられている。本発明の移動式排ガス処理装置に使用される活性炭槽としては、カートリッジ型のものが好ましく、そのタンクの形状としては、断面が円や四角形の筒状のものが挙げられるが、活性炭メンテナンス性等から円筒状のものが好ましい。
【００３７】
本発明の移動式排ガス処理装置又は有害成分含有の排ガス処理方法の好ましい態様において使用される、処理装置（１２）の運転時間を検出するための時間計は、活性炭槽（１５）の吸着量を把握して活性炭の交換時期を予測するのに使用され得るものであればよく、具体的には、タイマー等が挙げられる。かかる時間計は、例えば図２において、処理装置（１２）の運転時間の検出として、サイクル配管（１９）の内部を洗浄する際に使用されるポンプ２０の運転の積算時間を検出することができるようなものであってもよい。
【００３８】
時間計のより具体的な使用態様としては、導管（１４）の途中における排ガスの特性、例えば流量、圧力、有害成分の濃度等を検出する排ガス特性検出手段と、排ガス特性検出手段による検出結果と時間計により検出された処理装置（１２）の運転時間から、有害成分の活性炭への積算吸着量を算出する手段を備えた、移動式排ガス処理装置が挙げられる。
【００３９】
本発明に使用される活性炭槽としては、カートリッジ型のものが好ましく、そのタンクの形状としては、断面が円や四角形の筒状のものが挙げられるが、活性炭メンテナンス性等から円筒状のものが好ましい。
【００４０】
本発明において使用される活性炭としては、特に制限されるものではないが、好ましいものとしては、クラレケミカル株式会社製のクラレコール等が挙げられる。かかる活性炭の形状としては、破砕状、顆粒状、棒状（円柱状）等が好ましく、メンテナンスの点で特に棒状（円柱状）が好ましく、またその粒径としては、４〜８メッシュが好ましく、吸着率の点で特に４〜６メッシュが好ましい。
【００４１】
本発明における有害成分としては、人体に有害であって、冷凍サイクル処理や電子部品等の洗浄などに使用されてその作業を実施する作業者等の作業環境にとって好ましく、その浄化が求められる化合物を意味し、具体的には、フッ素系溶剤等の気体が挙げられ、中でもより頻度高く使用されて浄化が求められるものとしてフッ素系溶剤が挙げられる。
【００４２】
そのフッ素系溶剤としては、ハイドロフルオロカーボン（ＨＦＣ）類やハイドロフルオロエーテル（ＨＦＥ）類等が例示され、中でもより浄化が求められるものとして旭硝子社製のAE-3000が挙げられる。
【００４３】
ヒドロフルオロカーボン（ＨＦＣ）類としては、その中に３から８個の炭素原子、水素およびフッ素を含んでいるものが好ましい。ハイドロフルオロカーボン（ＨＦＣ）類の例としては、CH2FCH2FCHF2、CH2FCF2CFH2等のC3HnF8n：CHF2（CF2）2CF2H、CF3CF2CH2CH2F、オクタフルオロシクロブタン等のC4HnF10n：CF3CHFCHFCF2CF3、CH3CHFCH2CF2CF3、CF3CH2CF2CH2CF3等のC5HnF12n：CHF2（CF2）4CF2H、CF3CF2CH2CH2CF2CF3、CH3CH2CH2CF2CF2CF3等のC6HnF14n：CH3CH2CH2CHFCF2CF2CF3、CH3CHFCH2CF2CHFCF2CF3、CH3（CF2）5CH3等のC7HnF16n：CH3CH2CH2CH2CF2CF2CF2CF3、CH3（CF2）6CH3等のC8HnF18nが挙げられる。なかでも好ましいものとして、直鎖または分岐分子鎖を持っている、ＣＦ3ＣＦＨＣＦＨＣＦ2ＣＦ3等が挙げられ、またオクタフルオロシクロブタンも好ましい場合がある。
【００４４】
ハイドロフルオロエーテル（ＨＦＥ）類とは、エーテル類の水素原子の一部が弗素原子で置換され、塩素原子を含まない弗素化エーテルのことを指し、その例としては、ＣＦ3ＣＦ2ＣＦ2ＣＦ2ＯＣＨ3、ＣＦ3ＣＦ2ＣＦ2ＣＦ2ＯＣＨ2ＣＨ3、ＣＦ3ＣＦ2ＣＦ2ＯＣＦＨＣＦ3、１，１，１，２，３，３−ヘキサフルオロ−２−ヘプタフルオロプロピロキシ−３−（１，２，２，２−テトラフルオロエトキシ）−プロパンが挙げられる。
【００４５】
本発明の移動式排ガス処理装置又は有害成分含有の排ガス処理方法において、排ガス発生槽（１３）の運転条件は、所定の排ガス処理が実施できる範囲内であれば特に制限されるものではないが、好ましくは、温度が１０〜２８℃で、特に好ましくは温度が２０〜２５℃である。尚、排ガス発生槽（１３）の圧力は発生する排ガス及び温度等により適宜決定され得る。また、活性炭槽（１５）の運転条件も、所定の排ガス吸着処理が実施できる範囲内であれば特に制限されるものではないが、好ましくは、温度が１０〜２８℃で、特に好ましくは温度が２０〜２５℃である。尚、活性炭槽（１５）の圧力は排ガス発生槽（１３）の圧力との関係で排ガスがスムーズに流れるように適宜決定され得るが、排気手段（１６）では通常大気圧である。
【００４６】
上記のように、本発明の移動式排ガス処理装置は、様々な設備の排気部に取付けが可能であり、活性炭種類を変えることで、洗浄剤以外の臭気浄化も可能であって、活性炭槽である脱臭装置部位に動力を必要としないため電気的に分解する脱臭装置より省動力で安価であり、脱臭装置部位機構が簡単なので製作費用が安価である。尚、排ガス発生部の内圧が上昇しない装置においても、脱臭装置前後にブロワーもしくはファンを取付けることで使用が可能である。
【００４７】
更に言うならば、発明の移動式排ガス処理装置は、動力を特に必要とせず、本体がコンパクトであることから様々な設備に取付け可能で、特別な局所排気装置を必要としないため、移動が可能で、触媒に活性炭を使用、臭気成分を浄化し、大気に排気することが可能である。
【００４８】
本発明は、上記した、又は図示した実施態様等の具体的な態様によって何らの限定もされるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】従来の冷凍サイクル配管内の洗浄の例を示した模式図である。
【図２】本発明における、サイクル配管内の洗浄に使用された洗浄液からの有害成分含有排ガス処理装置を例示した模式図である。
【図３】本発明における、サイクル配管内の洗浄に使用された洗浄剤からの有害成分含有排ガスの処理装置を例示した模式図である。
【図４】本発明における、電子部品等の洗浄に使用された洗浄液からの有害成分含有排ガスの処理装置を例示した模式図である。
【図５】本発明において使用される活性炭槽を例示した図である。
【符号の説明】
【００５０】
１    ワーク（冷凍サイクル）
２    洗浄装置
３    工場排気ダクト
４    洗浄液槽
１１    ワーク（冷凍サイクル）
１２    排ガス処理装置
１３    排ガス発生槽（洗浄液槽）
１４    導管
１５    活性炭槽
１６    排気口
１７    移動手段（キャスター）
１９    配管・熱交換器
３１    活性炭槽（脱臭装置）
３２    排ガス発生槽（洗浄液タンク）
３３    配管等
４１    活性炭槽
４２    排ガス発生槽
４３    洗浄液貯留部
４４    引き上げ手段
４７    加熱手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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