(57)【要約】【課題】パターニング性、パターン形状に優れたフラットパネルディスプレイのパネル部材を好適に形成でき、フィルム転写性に優れた無機粉体含有樹脂組成物を提供すること。【解決手段】本発明の無機粉体含有樹脂組成物は、無機粉体と下記式（１）で表されるモノマーを重合成分として含有するアクリル樹脂と溶剤とを含有する。2008007559.tif 000007［式（１）中、Ｒ1は水素原子またはメチル基、Ｒ2は炭素数１〜２０のアルキレン基または炭素数６〜３０のアリーレン基、Ｂはイソシアネート基をブロックする基を示す。］【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）無機粉体と、（ｂ）下記式（１）で表されるモノマーを重合成分として含有するアクリル樹脂と、（ｃ）溶剤とを含有することを特徴とする無機粉体含有樹脂組成物。
【化１】
2008007559.tif 000006
［上記式（１）において、Ｒ1は水素原子またはメチル基を示し、Ｒ2は炭素数１〜２０のアルキレン基または炭素数６〜３０のアリーレン基を示し、Ｂはイソシアネート基をブロックする基を示す。］
【請求項２】
さらに（ｄ）感放射線性成分を含有することを特徴とする請求項１に記載の無機粉体含有樹脂組成物。
【請求項３】
前記式（１）で表されるモノマーが、メタクリル酸２−(Ｏ−〔１’−メチルプロピリ
デンアミノ〕カルボキシアミノ）エチルおよびメタクリル酸２−〔 (３,５−ジメチルピ
ラゾリル)カルボキシアミノ〕エチルから選ばれる少なくとも１種であることを特徴とす
る請求項１または２に記載の無機粉体含有樹脂組成物。
【請求項４】
支持フィルム上に、請求項１〜３のいずれかに記載の無機粉体含有樹脂組成物から得られる無機粉体含有樹脂層を有することを特徴とする転写フィルム。
【請求項５】
支持フィルム上に、レジスト膜と、請求項１に記載の無機粉体含有樹脂組成物から得られる無機粉体含有樹脂層との積層膜を有することを特徴とする転写フィルム。
【請求項６】
支持フィルム上に形成された、請求項１に記載の無機粉体含有樹脂組成物から得られる無機粉体含有樹脂層を基板上に転写する工程、
該無機粉体含有樹脂層上にレジスト膜を形成する工程、
該レジスト膜を露光処理してレジストパターンの潜像を形成する工程、
該レジスト膜を現像処理してレジストパターンを顕在化させる工程、
該無機粉体含有樹脂層をエッチング処理して該レジストパターンに対応するパターン層を形成する工程、および
該パターン層を焼成処理することにより、誘電体層、隔壁、電極、抵抗体、蛍光体、カラーフィルターおよびブラックマトリックスから選ばれるパネル部材を形成する工程
を含むことを特徴とするフラットパネルディスプレイ部材の製造方法。
【請求項７】
支持フィルム上に形成された、レジスト膜と、請求項１に記載の無機粉体含有樹脂組成物から得られる無機粉体含有樹脂層との積層膜を基板上に転写する工程、
該積層膜を構成するレジスト膜を露光処理してレジストパターンの潜像を形成する工程、該レジスト膜を現像処理してレジストパターンを顕在化させる工程、
該無機粉体含有樹脂層をエッチング処理してレジストパターンに対応するパターン層を形成する工程、および
該パターン層を焼成処理することにより、誘電体層、隔壁、電極、抵抗体、蛍光体、カラーフィルターおよびブラックマトリックスから選ばれるパネル部材を形成する工程
を含むことを特徴とするフラットパネルディスプレイ部材の製造方法。
【請求項８】
支持フィルム上に形成された、請求項２に記載の無機粉体含有樹脂組成物から得られる無機粉体含有樹脂層を基板上に転写する工程、
該無機粉体含有樹脂層を露光処理してパターンの潜像を形成する工程、
該無機粉体含有樹脂層を現像処理してパターン層を形成する工程、および
該パターン層を焼成処理することにより、誘電体層、隔壁、電極、抵抗体、蛍光体、カラーフィルターおよびブラックマトリックスから選ばれるパネル部材を形成する工程
を含むことを特徴とするフラットパネルディスプレイ部材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、無機粉体含有樹脂組成物、転写フィルムおよびフラットパネルディスプレイ部材の製造方法に関する。より詳しくは、フラットパネルディスプレイを構成するパネル材料の形成に好適な無機粉体含有樹脂組成物および転写フィルム、ならびに該転写フィルムを用いたフラットパネルディスプレイ部材の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
フィールドエミッションディスプレイ（以下「ＦＥＤ」ともいう）、プラズマディスプレイパネル（以下「ＰＤＰ」ともいう）等のフラットパネルディスプレイ（以下「ＦＰＤ」ともいう）は、大型パネルでありながら製造プロセスが容易であること、視野角が広いこと、自発光タイプで表示品位が高いこと等の理由から、フラットパネル表示技術の中で注目されている。特に、カラープラズマディスプレイパネルは、２０インチ以上の壁掛けＴＶ用の表示デバイスとして将来主流になるものと期待されている。
【０００３】
カラーＰＤＰは、ガス放電により発生する紫外線を蛍光体に照射することによってカラー表示が可能になる。そして、一般に、カラーＰＤＰにおいては、赤色発光用の蛍光体部位、緑色発光用の蛍光体部位および青色発光用の蛍光体部位が基板上に形成されることにより、各色の発光表示セルが全体に均一に混在した状態に構成されている。
【０００４】
具体的には、ガラス等からなる基板の表面に、バリアリブと称される絶縁性材料からなる隔壁が設けられており、この隔壁によって多数の表示セルが区画され、該表示セルの内部がプラズマ作用空間になる。そして、このプラズマ作用空間に蛍光体部位が設けられるとともに、この蛍光体部位にプラズマを作用させる電極が設けられることにより、各々の表示セルを表示単位とするプラズマディスプレイパネルが構成される。前記電極は、通常、銀等を含有する白色導電層と、該白色導電層の下層に反射防止層（遮光層）の役割を有する暗色層（黒色層）を有する積層パターンで構成される。また、通常、ＰＤＰのコントラストを向上させるために、電極パターンの間にブラックマトリクスやカラーフィルターが設けられる。
【０００５】
このようなＦＰＤにおけるパネル材料の製造方法としては、（１）イオンスパッタ法もしくは電子ビーム蒸着法などによる方法、（２）フォトリソグラフィー法もしくはスクリーン印刷法等により形成した無機粉体含有樹脂層パターンを焼成し、有機物質を除去する方法などが知られている（たとえば、特許文献１〜４参照）。中でもフォトリソグラフィー法により無機粉体含有樹脂層をパターニングする方法は製造効率が高く、原理的にパターン精度に優れているため好適に用いられている。特に、可撓性を有する支持フィルム上に無機粉体含有樹脂層を形成した転写フィルムを用い、該無機粉体含有樹脂層を基板上に転写してパターニングを行う方法が、膜厚の均一性および表面の均一性に優れたパターンを形成することができるため、好ましく用いられている。
【０００６】
上記無機粉体含有樹脂層の形成に用いられる無機粉体含有樹脂組成物は、該組成物をガラス基板やＰＥＴフィルムなどの支持体上に塗布し、乾燥して形成される被膜の柔軟性を保持するために、あるいは、転写フィルムとして用いる場合は、ガラス基板等の基材への良好な転写性を得るために、ガラス転移点の低いポリマーを用いたり、可塑剤を多量に添加したりする必要がある。
【０００７】
しかしながら、このような無機粉体含有樹脂組成物は、フォトリソグラフィー等を用い
てパターンを形成した後、焼成する際に、樹脂がメルトしやすく、焼成後のパターンが太ってしまうという問題がある。また、焼成時の線太りは、用いる樹脂の平均重量分子量（Ｍｗ）を上げることでも回避できるが、このような無機粉体含有樹脂組成物は、現像液への溶解性が悪く、現像後の残渣が多く、解像度も悪いという問題がある。
【特許文献１】特開平１１−１６２３３９号公報
【特許文献２】特開２００１−８４８３３号公報
【特許文献３】特開２００２−２４５９３２号公報
【特許文献４】特開２００３−５１２５０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の第１の目的は、パターニング性およびパターン形状に優れたＦＰＤのパネル部材（例えば、誘電体層、隔壁、電極、抵抗体、蛍光体、カラーフィルター、ブラックマトリクス）を好適に形成することができ、フィルム転写性に優れた無機粉体含有樹脂組成物を提供することにある。
【０００９】
本発明の第２の目的は、パターニング性およびパターン形状に優れたＦＰＤのパネル部材を効率的に形成することができ、フィルム転写性に優れた転写フィルムおよび該転写フィルムを用いたＦＰＤの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の第一の無機粉体含有樹脂組成物（以下「組成物Ｉ」ともいう）は、（ａ）無機粉体と、（ｂ）下記式（１）で表されるモノマー（以下「モノマー（１）」ともいう）を重合成分として含有するアクリル樹脂と、（ｃ）溶剤とを含有することを特徴とする。
【００１１】
【化１】
2008007559.tif 000002
【００１２】
上記式（１）において、Ｒ1は水素原子またはメチル基を示し、Ｒ2は炭素数１〜２０のアルキレン基または炭素数６〜３０のアリーレン基を示し、Ｂはイソシアネート基をブロックする基を示す。
【００１３】
本発明の第二の無機粉体含有樹脂組成物（以下「組成物ＩＩ」ともいう）は、前記成分（ａ）、（ｂ）および（ｃ）とともに、さらに（ｄ）感放射線性成分を含有することを特徴とする。
【００１４】
本発明の第一の転写フィルム（以下「転写フィルムＩ」ともいう）は、支持フィルム上に、本発明の組成物Ｉまたは組成物ＩＩから得られる無機粉体含有樹脂層を有することを特徴とする。
【００１５】
本発明の第二の転写フィルム（以下「転写フィルムＩＩ」ともいう）は、支持フィルム上に、レジスト膜と、本発明の組成物Ｉから得られる無機粉体含有樹脂層との積層膜を有することを特徴とする。
【００１６】
本発明の第一のＦＰＤ部材の製造方法（以下「ＦＰＤの製造方法Ｉ」ともいう）は、支持フィルム上に形成された、本発明の組成物Ｉから得られる無機粉体含有樹脂層を基板上
に転写する工程、該無機粉体含有樹脂層上にレジスト膜を形成する工程、該レジスト膜を露光処理してレジストパターンの潜像を形成する工程、該レジスト膜を現像処理してレジストパターンを顕在化させる工程、該無機粉体含有樹脂層をエッチング処理して該レジストパターンに対応するパターン層を形成する工程、および該パターン層を焼成処理することにより、誘電体層、隔壁、電極、抵抗体、蛍光体、カラーフィルターおよびブラックマトリックスから選ばれるパネル部材を形成する工程を含むことを特徴とする。
【００１７】
本発明の第二のＦＰＤ部材の製造方法（以下「ＦＰＤの製造方法ＩＩ」ともいう）は、支持フィルム上に形成された、レジスト膜と、本発明の組成物Ｉから得られる無機粉体含有樹脂層との積層膜を基板上に転写する工程、該積層膜を構成するレジスト膜を露光処理してレジストパターンの潜像を形成する工程、該レジスト膜を現像処理してレジストパターンを顕在化させる工程、該無機粉体含有樹脂層をエッチング処理してレジストパターンに対応するパターン層を形成する工程、および該パターン層を焼成処理することにより、誘電体層、隔壁、電極、抵抗体、蛍光体、カラーフィルターおよびブラックマトリックスから選ばれるパネル部材を形成する工程を含むことを特徴とする。
【００１８】
本発明の第三のＦＰＤ部材の製造方法（以下「ＦＰＤの製造方法III」ともいう）は、
支持フィルム上に形成された、本発明の組成物ＩＩから得られる無機粉体含有樹脂層を基板上に転写する工程、該無機粉体含有樹脂層を露光処理してパターンの潜像を形成する工程、該無機粉体含有樹脂層を現像処理してパターン層を形成する工程、および該パターン層を焼成処理することにより、誘電体層、隔壁、電極、抵抗体、蛍光体、カラーフィルターおよびブラックマトリックスから選ばれるパネル部材を形成する工程を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の無機粉体含有樹脂組成物を用いると、基板へのフィルム転写性が良好であり、かつ、焼成時の樹脂のメルトもないため、直線性に優れたパターンを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明に係る無機粉体含有樹脂組成物、転写フィルムおよびＦＰＤぼ製造方法について詳細に説明する。
【００２１】
〔無機粉体含有樹脂組成物〕
本発明の無機粉体含有樹脂組成物は、（ａ）無機粉体と、（ｂ）モノマー（１）を重合成分として含有するアクリル樹脂と、（ｃ）溶剤と、必要に応じて（ｄ）感放射線性成分とを含有し、ＦＰＤ部材の形成に好適に用いることができる。
【００２２】
（ａ）無機粉体
本発明の組成物に用いられる無機粉体（ａ）を構成する無機物質としては特に限定されるものではなく、該組成物により形成される焼結体の用途（ＦＰＤ部材の種類）に応じて適宜選択することができる。
【００２３】
ここに、ＦＰＤを構成する「誘電体層」または「隔壁」を形成するための組成物に含有される無機粉体としては、軟化点が３５０〜７００℃（好ましくは４００〜６２０℃）の範囲内にあるガラス粉末を挙げることができる。ガラス粉末の軟化点が４００℃未満である場合には、本発明の組成物から形成された無機粉体含有樹脂層の焼成工程において、結着樹脂などの有機物質が完全に分解除去されない段階でガラス粉末が溶融してしまうため、形成される誘電体層中に有機物質の一部が残留し、この結果、誘電体層が着色されて、その光透過率が低下する傾向がある。一方、ガラス粉末の軟化点が６２０℃を超える場合には、６２０℃より高温で焼成する必要があるために、ガラス基板に歪みなどが発生しや
すい。
【００２４】
好適なガラス粉末の具体例としては、
１．酸化鉛、酸化ホウ素、酸化ケイ素（PbO−B2O3−SiO2系）の混合物、
２．酸化亜鉛、酸化ホウ素、酸化ケイ素（ZnO−B2O3−SiO2系）の混合物、
３．酸化鉛、酸化ホウ素、酸化ケイ素、酸化アルミニウム（PbO−B2O3−SiO2−Al2O3系）の混合物、
４．酸化鉛、酸化亜鉛、酸化ホウ素、酸化ケイ素（PbO−ZnO−B2O3−SiO2系）の混合物、５．酸化ビスマス、酸化ホウ素、酸化ケイ素（Bi2O3-B2O3-SiO2系）の混合物、
６．酸化亜鉛、酸化リン、酸化ケイ素（ZnO−P2O5−SiO2系）の混合物、
７．酸化亜鉛、酸化ホウ素、酸化カリウム（ZnO−B2O3−K2O系）の混合物、
８．酸化リン、酸化ホウ素、酸化アルミニウム（P2O5−B2O3−Al2O3系）の混合物、
９．酸化亜鉛、酸化リン、酸化ケイ素、酸化アルミニウム（ZnO−P2O5−SiO2−Al2O3系）の混合物、
１０．酸化亜鉛、酸化リン、酸化チタン（ZnO−P2O5−TiO2系）の混合物、
１１．酸化亜鉛、酸化ホウ素、酸化ケイ素、酸化カリウム（ZnO−B2O3−SiO2系−K2O系）の混合物、
１２．酸化亜鉛、酸化ホウ素、酸化ケイ素、酸化カリウム、酸化カルシウム（ZnO−B2O3
−SiO2−K2O−CaO系）の混合物、
１３．酸化亜鉛、酸化ホウ素、酸化ケイ素、酸化カリウム、酸化カルシウム、酸化アルミニウム（ZnO−B2O3−SiO2−K2O−CaO−Al2O3系）の混合物
などが挙げられる。
【００２５】
上記ガラス粉末は、誘電体層および隔壁以外のパネル部材（例えば、電極、抵抗体、蛍光体、カラーフィルター、ブラックマトリックス）を形成するための組成物中に含有（併用）されていてもよい。これらのパネル部材を得るための無機粉体含有樹脂組成物におけるガラス粉末の含有量は、無機粉体全量に対して、通常、８０質量％以下、好ましくは、１〜７０質量％である。
【００２６】
ＦＰＤを構成する「電極」を形成するための組成物に含有される無機粉体としては、Ag、Au、Al、Ni、Ag−Pd合金、Cu、CoおよびCrなどからなる金属粒子を挙げることができる。なお、電極として、暗色層（反射防止層）と白色層との二層を有する電極を形成する場合には、暗色層に用いられる無機粉体としては、Ni、Cu、Fe、Cr、Mnおよびそれらの複合酸化物、さらには酸化ニッケル、酸化鉄、酸化銅、酸化コバルト、酸化ルテニウム等が好適に用いられる。
【００２７】
これらの金属粒子は、誘電体層を形成するための組成物中に、ガラス粉末と併用する形で含有されていてもよい。誘電体層形成用組成物における金属粒子の含有量は、無機粉体全量に対して、通常、１０質量％以下、好ましくは０．１〜５質量％である。
【００２８】
ＦＰＤを構成する「抵抗体」を形成するための組成物に含有される無機粉体としては、RuO2などからなる粒子を挙げることができる。
【００２９】
ＦＰＤを構成する「蛍光体」を形成するための組成物に含有される無機粉体としては、Y2O3：Eu3+、Y2SiO5：Eu3+、Y3Al5O12：Eu3+、YVO4：Eu3+、(Y, Gd)BO3：Eu3+、Zn3(PO4)2：Mnなどの赤色用蛍光物質；Zn2SiO4：Mn、BaAl12O19：Mn、BaMgAl14O23：Mn、LaPO4：(Ce, Tb)、Y3(Al, Ga)5O12：Tbなどの緑色用蛍光物質；Y2SiO5：Ce、BaMgAl10O17：Eu2+、BaMgAl14O23：Eu2+、(Ca, Sr, Ba)10(PO4)6Cl2：Eu2+、(Zn, Cd)S：Agなどの青色用蛍光
物質などからなる粒子を挙げることができる。
【００３０】
ＦＰＤを構成する「カラーフィルター」を形成するための組成物に含有される無機粉体としては、Fe2O3、Pb3O4などの赤色用物質、Cr2O3などの緑色用物質、2（Al2Na2Si3O10）・Na2S4などの青色用物質などからなる粒子を挙げることができる。
【００３１】
ＦＰＤを構成する「ブラックマトリックス」を形成するための組成物に含有される無機粉体としては、Mn、Fe、Cr、Co、Niや、その酸化物およびそれらの複合酸化物からなる粒子を挙げることができる。
【００３２】
（ｂ）アクリル樹脂
本発明の組成物に用いられるアクリル樹脂（ｂ）は、下記式（１）で表されるモノマー（１）を重合成分として含有し、結着樹脂として機能する。また、前記アクリル樹脂（ｂ）は、アルカリ可溶性を有することが好ましい。ここに、「アルカリ可溶性」とは、アルカリ性の現像液によって溶解し、目的とする現像処理が遂行される程度に溶解性を有する性質をいう。
【００３３】
【化２】
2008007559.tif 000003
【００３４】
上記式（１）において、Ｒ1は水素原子またはメチル基を示し、Ｒ2は炭素数１〜２０のアルキレン基または炭素数６〜３０のアリーレン基を示し、Ｂはイソシアネート基をブロックする基を示す。Ｂの具体例としては、アルコキシ基、フェノキシ基、活性メチレン化合物残基、メルカプタン系化合物残基、酸アミド系化合物残基、アミノ基、イミダゾール系化合物残基、イミノ基、オキシム系化合物残基、ラクタム系化合物残基などが挙げられる。
【００３５】
上記モノマー（１）は、ブロック化イソシアネート基と重合性不飽和基とを有し、それ以外の官能基（例えば、水酸基）を有していないことが好ましい。また、上記モノマー（１）は、下記反応式に示すように、熱処理によって脱ブロック化し、活性なイソシアネート基を再生させることができる。
【００３６】
【化３】
2008007559.tif 000004
【００３７】
これにより、焼成時に、再生されたイソシアネート基がポリマー中の活性水素を有する置換基（−ＣＯＯＨ、−ＯＨ、−ＮＨ2等）と反応し、熱架橋を引き起こすため、ポリマ
ーの高分子量化が起こり、樹脂のメルトによるパターンの変形や太りを抑制することができる。また、常温ではイソシアネート基のブロックが外れることはなく、活性水素と反応することがないため、ポリマーの高分子量化は起こり得ず、保存安定性にも優れている。したがって、上記モノマー（１）を用いることにより、可撓性および転写性に優れる無機粉体含有樹脂組成物が得られるとともに、焼成時の樹脂のメルトを抑制し、線太りがなく、形状に優れたパターンを得ることが可能となる。
【００３８】
上記モノマー（１）中のブロック化イソシアネート（−ＮＨＣＯ−Ｂ）基は、遊離イソシアネート基を、公知のブロック化剤（Ｈ−Ｂ）を用いた公知のブロック化方法で処理し
て形成することができる。前記ブロック化剤としては、イソシアネート基のブロック化剤として従来から一般的に使用されている化合物が挙げられる。
【００３９】
上記ブロック化剤（Ｈ−Ｂ）の具体例としては、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、フェニルセロソルブ、メチルカルビトール、ベンジルアルコール、シクロヘキサノール、フルフリルアルコール等のアルコール系化合物；フェノール、クレゾール、キシレノール、ｐ−エチルフェノール、ｏ−イソプロピルフェノール、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェノール、ｐ−ｔｅｒｔ−オクチルフェノール、ノニルフェノール、α−ナフトール、β−ナフトール、ｐ−ニトロフェノール、ｐ−クロロフェノール等のフェノール系化合物；マロン酸ジメチル、マロン酸ジエチル、アセチルアセトン、アセト酢酸エチル等の活性メチレン化合物系化合物；ブチルメルカプタン、ドデシルメルカプタン、チオフェノール等のメルカプタン系化合物；アセトアニリド、アセトアニシジド、アセチルアミド、ベンズアミド等の酸アミド系化合物；ジフェニルアミン、アニリン、カルバゾール等のアミン系化合物；イミダゾール、２−エチルイミダゾール、２−エチル−４−メチルイミダゾール等のイミダゾール系化合物；エチレンイミン等のイミン系化合物；ホルムアルドオキシム、アセトアルドオキシム、メチルエチルケトオキシム、シクロヘキサノンオキシム等のオキシム系化合物；ε−カプロラクタム、δ−バレロラクタム、β−プロピオラクタム等のラクタム系化合物等を挙げることができる。これらの中では、アルコール系化合物、フェノール系化合物、活性メチレン化合物系化合物、オキシム系化合物、ラクタム系化合物が好ましく、オキシム系化合物がより好ましい。
【００４０】
上記モノマー（１）としては、２−イソシアナトエチルメタクリレートのイソシアネート基をブロック化して得た単量体１種または２種以上を用いることが好ましい。上記モノマー（１）の具体例としては、メタクリル酸２−(Ｏ−〔１’−メチルプロピリデンアミ
ノ〕カルボキシアミノ）エチル（昭和電工：カレンズＭＯＩ−ＢＭ）、メタクリル酸２−〔 (３,５−ジメチルピラゾリル)カルボキシアミノ〕エチル（昭和電工：カレンズＭＯＩ-ＢＰ）などを挙げることができる。
【００４１】
上記アクリル樹脂（ｂ）は、上記モノマー（１）と、他の（メタ）アクリロイル基を有するモノマーと、必要に応じてその他の重合性不飽和基を有するモノマーとの共重合体であることが望ましい。なお、上記アクリル樹脂（ｂ）は、ランダム共重合体、ブロック共重合体、グラフト共重合体、交互共重合体の何れであってもよい。上記アクリル樹脂（ｂ）におけるモノマー（１）の重合割合は、好ましくは０．１〜７０重量部、特に好ましくは１〜５０重量部である。
【００４２】
上記他の（メタ）アクリロイル基を有するモノマーの好ましい例としては、下記のモノマー（i）、（ii）、（iii）を挙げることができる。
【００４３】
モノマー（i）としては、カルボキシル基含有モノマー類が挙げられ、具体的には、ア
クリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸、イタコン酸、シトラコン酸、メサコン酸、ケイ皮酸、コハク酸モノ（２−（メタ）アクリロイロキシエチル）、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノ（メタ）アクリレートなどが挙げられる。
【００４４】
モノマー（ii）としては、ＯＨ含有モノマー類が挙げられ、具体的には、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸３−ヒドロキシプロピル等の水酸基含有モノマー類；ｏ−ヒドロキシスチレン、ｍ−ヒドロキシスチレン、ｐ−ヒドロキシスチレン等のフェノール性水酸基含有モノマー類；ポリアルキレングリコールモノ（メタ）アクリレート類（ブレンマーＰＥ、ブレンマーＡＥ、ブレンマーＰＰシリーズ：日本油脂（株）製）などが挙げられる。
【００４５】
モノマー（iii）としては、その他の共重合可能なモノマー類が挙げられ、具体的には
、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ｎ−ブチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸ｎ−ラウリル、（メタ）アクリル酸ベンジル、（メタ）アクリル酸グリシジル、（メタ）アクリル酸ジシクロペンタニルなどのモノマー（i）以外の（メタ）アクリル酸エステル類；スチレン、α−メ
チルスチレンなどの芳香族ビニル系モノマー類；ブタジエン、イソプレンなどの共役ジエン類；ポリスチレン、ポリ（メタ）アクリル酸メチル、ポリ（メタ）アクリル酸エチル、ポリ（メタ）アクリル酸ベンジル等のポリマー鎖の一方の末端に（メタ）アクリロイル基などの重合性不飽和基を有するマクロモノマー類；アルキル基末端ポリアルキレングリコールモノ（メタ）アクリレート類（ブレンマーＰＭＥ、ブレンマーＡＭＥ、ブレンマーＰＳＥシリーズ：日本油脂（株）製）などが挙げられる。
【００４６】
上記モノマー（１）、モノマー（i）およびモノマー（iii）の共重合体や、上記モノマー（１）、モノマー（i）、モノマー（ii）およびモノマー（iii）の共重合体は、モノマー（i）に由来する共重合成分の存在により、アルカリ可溶性を有するものとなる。中で
も上記モノマー（１）、モノマー（i）、モノマー（ii）およびモノマー（iii）の共重合体は、無機粉体（ａ）の分散安定性や後述するアルカリ現像液への溶解性の観点から特に好ましい。この共重合体におけるモノマー（i）に由来する共重合成分の含有率は、好ま
しくは５〜６０質量％、特に好ましくは１０〜４０質量％であり、モノマー（ii）に由来する共重合成分の含有率は、好ましくは１〜５０質量％、特に好ましくは５〜３０質量％である。
【００４７】
上記アクリル樹脂（ｂ）の重量平均分子量（Ｍｗ）は、好ましくは５，０００〜５，０００，０００、より好ましくは１０，０００〜３００，０００である。
【００４８】
また、本発明の組成物におけるアクリル樹脂（ｂ）の含有割合としては、無機粉体（ａ）１００質量部に対して、通常、１〜２００質量部、好ましくは５〜１５０質量部、特に好ましくは１０〜１２０質量部である。
【００４９】
（ｃ）溶剤
本発明の無機粉体含有樹脂組成物には、通常、適当な流動性または可塑性、良好な膜形成性を付与するために溶剤が含有される。用いられる溶剤としては、無機粉体との親和性、結着樹脂の溶解性が良好で、無機粉体含有樹脂組成物に適度な粘性を付与することができると共に、乾燥することにより容易に蒸発除去できるものであることが好ましい。
【００５０】
また、特に好ましい溶剤として、標準沸点（１気圧における沸点）が１００〜２００℃であるケトン類、アルコール類およびエステル類（以下、これらを「特定溶剤」という）を挙げることができる。
【００５１】
上記特定溶剤の具体例としては、ジエチルケトン、メチルブチルケトン、ジプロピルケトン、シクロヘキサノンなどのケトン類；ｎ−ペンタノール、４−メチル−２−ペンタノール、シクロヘキサノール、ジアセトンアルコールなどのアルコール類；エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテルなどのエーテル系アルコール類；酢酸−ｎ−ブチル、酢酸アミルなどの飽和脂肪族モノカルボン酸アルキルエステル類；乳酸エチル、乳酸−ｎ−ブチルなどの乳酸エステル類；メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチル−３−エトキシプロピオネートなどのエーテル系エステル類などが挙げられる。
【００５２】
上記の中では、メチルブチルケトン、シクロヘキサノン、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチル−３−エトキシプロピオネートなどが好ましい。上記特定溶剤は、１種単独で用いても、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００５３】
上記特定溶剤以外の溶剤の具体例としては、テレビン油、エチルセロソルブ、メチルセロソルブ、テルピネオール、ブチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトール、イソプロピルアルコール、ベンジルアルコールなどを挙げることができる。
【００５４】
本発明の無機粉体含有樹脂組成物における溶剤の含有割合としては、良好な膜形成性（流動性または可塑性）が得られる範囲内において適宜選択することができる。
【００５５】
（ｄ）感放射線性成分
本発明の無機粉体含有樹脂組成物は、感放射線性成分を含有する感放射線性無機粉体含有樹脂組成物であってもよい。前記感放射線性成分としては、例えば、１）多官能性モノマーと放射線重合開始剤との組み合わせ、２）メラミン樹脂と放射線照射により酸を形成する光酸発生剤との組み合わせなどを好ましいものとして例示することができる。前記１）の組み合わせのうち、多官能性（メタ）アクリレートと放射線重合開始剤との組み合わせが特に好ましい。
【００５６】
上記多官能性（メタ）アクリレートの具体例としては、エチレングリコール、プロピレングリコールなどのアルキレングリコールのジ（メタ）アクリレート類；ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコールなどのポリアルキレングリコールのジ（メタ）アクリレート類；両末端ヒドロキシポリブタジエン、両末端ヒドロキシポリイソプレン、両末端ヒドロキシポリカプロラクトンなどの両末端ヒドロキシル化重合体のジ（メタ）アクリレート類；グリセリン、１，２，４−ブタントリオール、トリメチロールアルカン、テトラメチロールアルカン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトールなどの３価以上の多価アルコールのポリ（メタ）アクリレート類；３価以上の多価アルコールのポリアルキレングリコール付加物のポリ（メタ）アクリレート類；１，４−シクロヘキサンジオール、１，４−ベンゼンジオール類などの環式ポリオールのポリ（メタ）アクリレート類；ポリエステル（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート、アルキド樹脂（メタ）アクリレート、シリコーン樹脂（メタ）アクリレート、スピラン樹脂（メタ）アクリレート等のオリゴ（メタ）アクリレート類などが挙げられる。これらは１種単独で用いても、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００５７】
上記多官能性（メタ）アクリレートの分子量としては、１００〜２，０００であることが好ましい。
【００５８】
本発明の組成物における多官能性（メタ）アクリレートの含有量は、無機粉体（ａ）１００質量部に対して、通常、２０〜８０質量部、好ましくは３０〜６０質量部である。
【００５９】
上記放射線重合開始剤の具体例としては、ベンジル、ベンゾイン、ベンゾフェノン、ビス（N、N-ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、ビス（N、N-ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、カンファーキノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、２−メチル−〔４’−（メチルチオ）フェニル〕−２−モルフォリノ−１−プロパノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オンなどのカルボニル化合物；アゾイソブチロニトリル、４−アジドベン
ズアルデヒドなどのアゾ化合物あるいはアジド化合物；メルカプタンジスルフィド、メルカプトベンゾチアゾールなどの有機硫黄化合物；ベンゾイルパーオキシド、ジ−ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシド、ｔｅｒｔ−ブチルハイドロパーオキシド、クメンハイドロパーオキシド、パラメタンハイドロパーオキシドなどの有機パーオキシド；１，３−ビス（トリクロロメチル）−５−（２’−クロロフェニル）−１，３，５−トリアジン、２−〔２−（２−フラニル）エチレニル〕−４，６−ビス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジンなどのトリハロメタン類；２，２’−ビス（２−クロロフェニル）４，５，４’，５’−テトラフェニル１，２’−ビイミダゾールなどのイミダゾール二量体などを挙げることができる。これらは１種単独で用いても、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００６０】
本発明の組成物における放射線重合開始剤の含有量は、上記多官能性（メタ）アクリレート１００質量部に対して、通常、０．０１〜５０．０質量部、好ましくは０．１〜３０．０質量部である。
【００６１】
＜組成例＞
本発明の組成物の一例として、好ましい電極形成用組成物の例を示せば、無機粉体（ａ）としてニッケル粉１００質量部およびガラス粉末１〜３０質量部と、アクリル樹脂（ｂ）としてブレンマーＰＭＥ−１００／メタクリル酸ｎ−ブチル／メタクリル酸／メタクリル酸２−ヒドロキシプロピル／メタクリル酸２−(Ｏ−〔１’−メチルプロピリデンアミ
ノ〕カルボキシアミノ）エチル共重合体１０〜１５０質量部と、溶剤（ｃ）としてプロピレングリコールモノメチルエーテルおよび／またはエチル−３−エトキシプロピオネート５〜３０質量部とを含有する組成物を挙げることができる。
【００６２】
また、本発明の無機粉体含有樹脂組成物には、任意成分として、シランカップリング剤、可塑剤、分散剤、現像促進剤、接着助剤、ハレーション防止剤、レベリング剤、保存安定剤、消泡剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、増感剤、連鎖移動剤、粘着性付与剤、表面張力調整剤などの各種添加剤が含有されてもよい。
【００６３】
＜組成物の調製＞
本発明の無機粉体含有樹脂組成物は、上記無機粉体（ａ）、アクリル樹脂（ｂ）、溶剤（ｃ）および必要に応じて感放射線性成分（ｄ）や上記任意成分を、ロール混練機、ミキサー、ホモミキサー、ボールミル、ビーズミルなどの混練機を用いて混練することにより調製することができる。
【００６４】
上記のようにして調製された無機粉体含有樹脂組成物は、塗布に適した流動性を有するペースト状の組成物であり、その粘度は、通常、１００〜１，０００，０００ｃＰ、好ましくは３００〜３００，０００ｃＰである。
【００６５】
〔転写フィルム〕
本発明の転写フィルムは、ＦＰＤ部材の形成工程に好適に使用される複合フィルムであって、支持フィルム上に本発明の組成物を塗布し、塗膜を乾燥させることにより形成される無機粉体含有樹脂層を備えてなる。
【００６６】
すなわち、本発明の第一の転写フィルムは、支持フィルム上に、無機粉体（ａ）、アクリル樹脂（ｂ）および溶剤（ｃ）を含有する無機粉体含有樹脂層を有する。本発明の第一の転写フィルムは、前記無機粉体含有樹脂層に上記感放射線性成分（ｄ）がさらに含有された感放射線性転写フィルムであってもよい。
【００６７】
本発明の第二の転写フィルムは、支持フィルム上に、該支持フィルム上に形成されたレジスト膜と、該レジスト膜上に本発明の組成物を塗布し、塗膜を乾燥させることにより形
成された無機粉体含有樹脂層との積層膜を有する。
【００６８】
支持フィルム上の無機粉体含有樹脂層は、基板の表面に一括転写される。本発明の転写フィルムによれば、このような簡単な操作によって無機粉体含有樹脂層をガラス基板上に確実に形成することができるので、ＦＰＤ部材の形成工程における工程改善（高効率化）を図ることができるとともに、形成される部材の品質の向上（例えば、電極における安定したライン抵抗の発現）を図ることができる。
【００６９】
＜転写フィルムの構成＞
図１（イ）は、ロール状に巻回された本発明の転写フィルムを示す概略断面図であり、同図（ロ）は、該転写フィルムの層構成を示す断面図〔（イ）の部分詳細図〕である。
【００７０】
図１に示す転写フィルムは、本発明の転写フィルムの一例として、複合フィルムであって、通常、支持フィルムＦ１と、この支持フィルムＦ１の表面に剥離可能に形成された無機粉体含有樹脂層Ｆ２と、この無機粉体含有樹脂層Ｆ２の表面に剥離容易に設けられたカバーフィルムＦ３とにより構成されている。カバーフィルムＦ３は、無機粉体含有樹脂層Ｆ２の性質によっては使用されない場合もある。また、支持フィルムＦ１と無機粉体含有樹脂層Ｆ２との間には、レジスト膜が形成されていてもよく、無機粉体含有樹脂層Ｆ２は異種、同種の層が２層以上積層されたものでもよい。
【００７１】
転写フィルムを構成する支持フィルムＦ１は、耐熱性および耐溶剤性を有するとともに可撓性を有する樹脂フィルムであることが好ましい。支持フィルムＦ１が可撓性を有することにより、ロールコーター、ブレードコーターなどを用いてペースト状の組成物（本発明の組成物）を塗布することができ、これにより、膜厚の均一な無機粉体含有樹脂層を形成することができるとともに、形成された無機粉体含有樹脂層をロール状に巻回した状態で保存し、供給することができる。
【００７２】
支持フィルムＦ１を構成する樹脂としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリイミド、ポリビニルアルコール、ポリ塩化ビニル、ポリフロロエチレンなどの含フッ素樹脂、ナイロン、セルロースなどを挙げることができる。支持フィルムＦ１の厚さとしては、例えば２０〜１００μｍとされる。
【００７３】
転写フィルムを構成する無機粉体含有樹脂層Ｆ２は、焼成されることによって無機焼結体（ＦＰＤ部材）となる層であり、無機粉体（ａ）およびアクリル樹脂（ｂ）が必須成分として含有されている。
【００７４】
無機粉体含有樹脂層Ｆ２の厚さとしては、形成する部材の種類、無機粉体の含有率、パネルの種類やサイズによっても異なるが、例えば５〜２００μｍである。
【００７５】
転写フィルムを構成するカバーフィルムＦ３は、無機粉体含有樹脂層Ｆ２の表面（基板との接触面）を保護するためのフィルムである。このカバーフィルムＦ３も可撓性を有する樹脂フィルムであることが好ましい。カバーフィルムＦ３を形成する樹脂としては、支持フィルムＦ１を形成するものとして例示した樹脂を挙げることができる。カバーフィルムＦ３の厚さとしては、例えば２０〜１００μｍである。
【００７６】
＜転写フィルムの製造方法＞
本発明の転写フィルムは、支持フィルム（Ｆ１）上に無機粉体含有樹脂層（Ｆ２）を形成し、該無機粉体含有樹脂層（Ｆ２）上にカバーフィルム（Ｆ３）を設ける（圧着する）ことにより製造することができる。
【００７７】
本発明の組成物を支持フィルム上に塗布する方法としては、膜厚が大きく（例えば２０μｍ以上）、膜厚の均一性に優れた塗膜を効率よく形成することができる観点から、ロールコーターによる塗布方法、ドクターブレードなどのブレードコーターによる塗布方法、カーテンコーターによる塗布方法、ワイヤーコーターによる塗布方法、ダイコーターによる塗布方法などを好ましいものとして挙げることができる。
【００７８】
なお、本発明の組成物が塗布される支持フィルムの表面には離型処理が施されていることが好ましい。これにより、無機粉体含有樹脂層を転写した後において、該無機粉体含有樹脂層から支持フィルムを容易に剥離することができる。
【００７９】
支持フィルム上に形成された本発明の組成物による塗膜は、乾燥されることによって溶剤の一部または全部が除去され、転写フィルムを構成する無機粉体含有樹脂層となる。本発明の組成物による塗膜の乾燥条件としては、例えば４０〜１５０℃で０．１〜３０分間程度である。乾燥後における溶剤の残存割合（無機粉体含有樹脂層中の溶剤の含有割合）は、通常１０質量％以下であり、基板に対する粘着性および適度な形状保持性を無機粉体含有樹脂層に発揮させる観点から０．１〜５質量％であることが好ましい。
【００８０】
上記のようにして形成された無機粉体含有樹脂層の上に設けられる（通常、熱圧着される）カバーフィルムの表面にも離型処理が施されていることが好ましい。これにより、無機粉体含有樹脂層を転写する前に、当該無機粉体含有樹脂層からカバーフィルムを容易に剥離することができる。
【００８１】
〔ＦＰＤの製造方法〕
本発明のＦＰＤの製造方法は、本発明の転写フィルムを用いて、誘電体層、隔壁、電極、抵抗体、蛍光体、カラーフィルターおよびブラックマトリックスから選ばれる少なくとも１種のパネル部材を形成することを特徴とする。
【００８２】
図１に示したような構成の転写フィルムによる無機粉体含有樹脂層の転写工程の一例を示せば以下のとおりである。
１．ロール上に巻回された状態の転写フィルムを基板の面積に応じた大きさに裁断する。２．裁断した転写フィルムにおける無機粉体含有樹脂層（Ｆ２）表面からカバーフィルム（Ｆ３）を剥離した後、基板の表面に無機粉体含有樹脂層（Ｆ２）の表面が当接するように転写フィルムを重ね合わせる。
３．基板に重ね合わされた転写フィルム上に加熱ローラを移動させて熱圧着させる。
４．熱圧着により基板に固定された無機粉体含有樹脂層（Ｆ２）から支持フィルム（Ｆ１）を剥離除去する。
【００８３】
上記のような操作１〜４により、支持フィルム（Ｆ１）上の無機粉体含有樹脂層（Ｆ２）が基板上に転写される。基板の表面に転写形成された無機粉体含有樹脂層（Ｆ２）は、焼成されて無機焼結体となる。焼成方法としては、無機粉体含有樹脂層（Ｆ２）が転写形成された基板を高温雰囲気下に配置する方法を挙げることができる。これにより、無機粉体含有樹脂層（Ｆ２）に含有されている有機物質（例えば、結着樹脂、残留溶剤、非イオン性界面活性剤、各種添加剤）が分解されて除去され、無機粉体が溶融して燒結する。焼成温度としては、基板の溶融温度、無機粉体含有樹脂層中の構成物質などによっても異なるが、例えば３００〜８００℃、好ましくは４００〜６２０℃である。
【００８４】
＜ＦＰＤの製造方法Ｉ＞
本発明のＦＰＤの製造方法Ｉは、本発明の転写フィルムを構成する無機粉体含有樹脂層を基板上に転写する工程、転写された無機粉体含有樹脂層上にレジスト膜を形成する工程
、該レジスト膜を露光処理してレジストパターンの潜像を形成する工程、該レジスト膜を現像処理してレジストパターンを顕在化させる工程、該無機粉体含有樹脂層をエッチング処理して該レジストパターンに対応するパターン層を形成する工程、該パターン層を焼成処理することにより、誘電体層、隔壁、電極、抵抗体、蛍光体、カラーフィルターおよびブラックマトリックスから選ばれるパネル部材を形成する工程を含む。
【００８５】
レジスト膜の形成は、レジスト膜と本発明の無機粉体含有樹脂組成物から得られる無機粉体含有樹脂層との積層膜を支持フィルム上に形成した本発明の転写フィルムを用いる方法により、無機粉体含有樹脂層と共に基板上に一括転写して形成してもよい。この方法は、フォトレジスト法を利用した好ましい実施態様であるＦＰＤの製造方法ＩＩとして後述する。
【００８６】
以下、ＦＰＤのパネル部材である「電極」を背面基板の表面に形成する方法を例にとって説明する。この方法においては、〔１〕無機粉体含有樹脂層の転写工程、〔２〕レジスト膜の形成工程、〔３〕レジスト膜の露光工程、〔４〕レジスト膜の現像工程、〔５〕無機粉体含有樹脂層のエッチング工程、〔６〕無機粉体含有樹脂パターンの焼成工程により、基板の表面に電極が形成される。
【００８７】
〔１〕無機粉体含有樹脂層の転写工程
この工程においては、本発明の転写フィルムの無機粉体含有樹脂層を基板に転写形成する。無機粉体含有樹脂層の転写工程一例を示せば以下のとおりである。
【００８８】
上記転写フィルムのカバーフィルムを剥離した後、基板表面に、無機粉体含有樹脂層の表面が当接されるように転写フィルムを重ね合わせ、この転写フィルムを加熱ローラなどにより熱圧着した後、無機粉体含有樹脂層から支持フィルムを剥離除去する。これにより、基板の表面に無機粉体含有樹脂層が転写されて密着した状態となる。転写条件としては、例えば、加熱ローラの表面温度が８０〜１４０℃、加熱ローラによるローラ圧が１〜５ｋｇ／ｃｍ、加熱ローラの移動速度が０．１〜１０．０ｍ／分である。また、基板は予熱されていてもよく、予熱温度としては、例えば４０〜１００℃である。
【００８９】
〔２〕レジスト膜の形成工程
この工程においては、転写された無機粉体含有樹脂層の表面にレジスト膜を形成する。このレジスト膜を構成するレジストとしては、ポジ型レジストおよびネガ型レジストのいずれであってもよい。本発明に用いる好ましいレジストの一例としては、上述した感放射線性成分である多官能性（メタ）アクリレートと放射線重合開始剤と、バインダー樹脂としてアクリル樹脂とを含有するレジスト組成物を挙げることができる。
【００９０】
レジスト膜は、スクリーン印刷法、ロール塗布法、回転塗布法、流延塗布法など種々の方法によってレジストを塗布した後、塗膜を乾燥することにより形成することができる。塗膜の乾燥温度は、通常６０〜１３０℃程度である。
【００９１】
また、支持フィルム上に形成されたレジスト膜を無機粉体含有樹脂層の表面に転写することによって形成してもよい。このような形成方法によれば、レジスト膜の形成工程数を減らすことができるとともに、得られるレジストの膜厚均一性が優れたものとなるため、レジスト膜の現像処理および無機粉体含有樹脂層のエッチング処理が均一に行われ、形成される電極の高さおよび形状が均一なものとなる。レジスト膜の膜厚は、通常０．１〜４０μｍ、好ましくは０．５〜２０μｍである。
【００９２】
〔３〕レジスト膜の露光工程
この工程においては、無機粉体含有樹脂層上に形成されたレジスト膜の表面に、露光用
マスクを介して、紫外線などの放射線を選択的に照射（露光）して、レジストパターンの潜像を形成する。なお、レジスト膜を転写により形成した場合には、レジスト膜上に被覆されている支持フィルムを剥離しない状態で露光工程を行うことが好ましい。
【００９３】
露光工程に用いられる紫外線照射装置としては、従来のフォトリソグラフィー法で使用されている紫外線照射装置、半導体および液晶表示装置を製造する際に使用されている露光装置など特に限定されるものではない。
【００９４】
〔４〕レジスト膜の現像工程
この工程においては、露光されたレジスト膜を現像処理することにより、レジストパターン（潜像）を顕在化させる。
【００９５】
現像処理条件としては、レジスト膜の種類などに応じて、現像液の種類・組成・濃度、現像時間、現像温度、現像方法（例えば、浸漬法、揺動法、シャワー法、スプレー法、パドル法）、現像装置などを適宜選択することができる。
【００９６】
この現像工程により、レジスト残留部とレジスト除去部とから構成されるレジストパターン（露光用マスクに対応するパターン）が形成される。
【００９７】
このレジストパターンは、次工程（エッチング工程）におけるエッチングマスクとして作用するものであり、レジスト残留部の構成材料（光硬化されたレジスト）は、無機粉体含有樹脂層の構成材料よりもエッチング液に対する溶解速度が小さいことが必要である。
【００９８】
〔５〕無機粉体含有樹脂層のエッチング工程
この工程においては、無機粉体含有樹脂層をエッチング処理し、レジストパターンに対応する無機粉体含有樹脂パターン層を形成する。すなわち、無機粉体含有樹脂層のうち、レジストパターンのレジスト除去部に対応する部分がエッチング液に溶解されて選択的に除去される。そして、無機粉体含有樹脂層における所定の部分が完全に除去されて基板が露出する。これにより、樹脂層残留部と樹脂層除去部とから構成される無機粉体含有樹脂パターン層が形成される。
【００９９】
エッチング処理条件としては、無機粉体含有樹脂層の種類などに応じて、エッチング液の種類・組成・濃度、処理時間、処理温度、処理方法（例えば、浸漬法、揺動法、シャワー法、スプレー法、パドル法）、処理装置などを適宜選択することができる。なお、エッチング液として、現像工程で使用した現像液と同一の溶液を使用することができるよう、レジスト膜および無機粉体含有樹脂層の種類を選択することにより、現像工程とエッチング工程とを連続的に実施することが可能となり、工程の簡略化による製造効率の向上を図ることができる。
【０１００】
ここで、レジストパターンを構成するレジスト残留部は、エッチング処理の際に徐々に溶解され、無機粉体含有樹脂パターンが形成された段階（エッチング処理の終了時）で完全に除去されるものであることが好ましい。なお、エッチング処理後にレジスト残留部の一部または全部が残留していても、該レジスト残留部は、次の焼成工程で除去される。
【０１０１】
〔６〕無機粉体含有樹脂パターンの焼成工程
この工程においては、無機粉体含有樹脂パターン層を焼成処理する。これにより、樹脂層残留部の有機物質が焼失されて電極が形成される。
【０１０２】
焼成処理の温度としては、樹脂層残留部の有機物質が焼失される温度であることが必要であり、通常４００〜６００℃である。また、焼成時間は、通常１０〜９０分間である。
【０１０３】
＜ＦＰＤの製造方法Iにおける好ましい実施態様＞
フォトレジスト法を利用した本発明のＦＰＤの製造方法Ｉにおける特に好ましい方法（ＦＰＤの製造方法ＩＩ）として、下記（１）〜（３）の工程による形成方法を挙げることができる。
【０１０４】
（１）支持フィルム上にレジスト膜を形成した後、該レジスト膜上に本発明の無機粉体含有樹脂組成物を塗布、乾燥することにより無機粉体含有樹脂層を積層形成する。レジスト膜および無機粉体含有樹脂層を形成する際には、ロールコーターなどを使用することができ、これにより膜厚の均一性に優れた積層膜を支持フィルム上に形成することができる。
【０１０５】
（２）支持フィルム上に形成された、レジスト膜と無機粉体含有樹脂層との積層膜を基板上に転写する。転写条件としては前記〔１〕無機粉体含有樹脂層の転写工程における条件と同様でよい。
【０１０６】
（３）前記〔３〕レジスト膜の露光工程、〔４〕レジスト膜の現像工程、〔５〕無機粉体含有樹脂層のエッチング工程および〔６〕無機粉体含有樹脂パターンの焼成工程と同様の操作を行う。その際、先に記載したように、レジスト膜の現像液と無機粉体含有樹脂層のエッチング液とを同一の溶液とし、〔４〕レジスト膜の現像工程と〔５〕無機粉体含有樹脂層のエッチング工程とを連続的に実施することが好ましい。
【０１０７】
以上のような方法によれば、無機粉体含有樹脂層とレジスト膜とが基板上に一括転写されるので、工程の簡略化により製造効率を更に向上させることができる。
【０１０８】
＜ＦＰＤの製造方法III＞
本発明のＦＰＤの製造方法IIIは、本発明の感放射線性転写フィルムを構成する無機粉
体含有樹脂層を基板上に転写する工程、該無機粉体含有樹脂層を露光処理してパターンの潜像を形成する工程、該無機粉体含有樹脂層を現像処理してパターン層を形成する工程、該パターン層を焼成処理することにより、誘電体層、隔壁、電極、抵抗体、蛍光体、カラーフィルターおよびブラックマトリックスから選ばれるパネル部材を形成する工程を含む。
【０１０９】
この方法においては、例えば電極の形成方法を例に採ると、前記〔１〕無機粉体含有樹脂層の転写工程の後、〔３〕レジスト膜の露光工程、〔４〕レジスト膜の現像工程に準じた条件でパターン層を形成し、その後、〔６〕無機粉体含有樹脂パターンの焼成工程と同様に焼成処理することにより、基板の表面に電極が形成される。
【０１１０】
以上、本発明のＦＰＤの製造方法Ｉ、ＩＩおよびIIIの各工程説明において、ＦＰＤ部
材として「電極」を形成する方法について説明したが、この方法に準じてＦＰＤを構成する誘電体層、隔壁、抵抗体、蛍光体、カラーフィルターおよびブラックマトリックスなどを形成することができる。
【０１１１】
［実施例］
以下、本発明の実施例について説明するが、本発明はこれらによって限定されるものではない。なお、以下において「部」は「質量部」を示す。
【０１１２】
〔実施例１〕
（１）反射防止膜形成用無機粉体含有樹脂組成物１の調製
無機粉体として、ニッケル粉末（平均粒径０．２μｍ）１００部およびＢｉ2Ｏ3−Ｏ−
Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2系ガラスフリット（軟化点５６０℃、平均粒径２．０μｍ）１０部、結
着樹脂として、ブレンマーＰＭＥ−１００／メタクリル酸ｎ−ブチル／メタクリル酸／メタクリル酸２−ヒドロキシプロピル／メタクリル酸２-(Ｏ-〔１’−メチルプロピリデン
アミノ〕カルボキシアミノ）エチル＝２０／３５／１５／２０／１０（質量％）共重合体（重量平均分子量：９０，０００）９０部、可塑剤としてトリメチロールプロパントリアクリレート３０部、シランカップリング剤として３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン１部、分散剤としてオレイン酸３部、溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテル２０部を、分散機を用いて混練することにより反射防止膜形成用無機粉体含有樹脂組成物１を調製した。
【０１１３】
（２）導電膜形成用無機粉体樹脂組成物の調製
導電性粒子として銀粉末（平均粒径２．２μｍ）１００部およびＢｉ2Ｏ3−Ｏ−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2系ガラスフリット（軟化点５２０℃、平均粒径２．０μｍ）１０部、結着樹脂
としてメタクリル酸ベンジル／メタクリル酸２−エチルヘキシル／メタクリル酸２−ヒドロキシプロピル／メタクリル酸／コハク酸（２−（メタ）アクリロイロキシエチル）＝２０／２０／２０／２０／２０（質量％）共重合体（重量平均分子量：９０，０００）１５部、可塑剤としてポリプロピレングリコールジアクリレート（ｎ=１２）１０部、分散剤
としてオレイン酸１部、溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテル９部を、分散機を用いて混練することにより導電膜形成用無機粉体樹脂組成物を調製した。
【０１１４】
（３）レジスト組成物の調製
バインダー樹脂としてメタクリル酸ベンジル／メタクリル酸＝７５／２５（質量％）共重合体（重量平均分子量：３０，０００）６０部、多官能性モノマーとしてポリプロピレングリコールジアクリレート（ｎ＝１２）４０部、光重合開始剤として２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オン２０部および溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート１００部を混練りした後、カートリッジフィルター（２μｍ径）でフィルタリングすることにより、アルカリ現像型感放射線性レジスト組成物（以下「レジスト組成物」という）を調製した。
【０１１５】
（４）電極形成用転写フィルムの作製
下記i）〜iii）の操作により、レジスト膜、導電膜形成用無機粉体樹脂層および反射防止膜形成用無機粉体樹脂層を有する積層膜（以下「電極形成用積層膜」ともいう）が支持フィルム上に形成されてなる電極形成用転写フィルムを作製した。
【０１１６】
i）上記（３）で調製したレジスト組成物を、予め離型処理した膜厚３８μｍのＰＥＴ
フィルムよりなる支持フィルム上にロールコーターを用いて塗布し、塗膜を１００℃で５分間乾燥して溶剤を完全に除去し、厚さ５μｍのレジスト膜を支持フィルム上に形成した。
【０１１７】
ii）上記（２）で調製した導電膜形成用無機粉体樹脂組成物を、前記i）で作製したレ
ジスト膜上にロールコーターを用いて塗布し、塗膜を１００℃で５分間乾燥して溶剤を完全に除去し、膜厚２０μｍの導電膜形成用無機粉体樹脂層をレジスト膜上に形成した。
【０１１８】
iii）上記（１）で調製した反射防止膜形成用無機粉体樹脂組成物を、前記ii）で形成
した導電膜形成用無機粉体樹脂層上にロールコーターを用いて塗布し、塗膜を１００℃で５分間乾燥して溶剤を完全に除去し、膜厚８μｍの反射防止膜形成用無機粉体樹脂層を導電膜形成用無機粉体樹脂層上に形成した。
【０１１９】
（５）電極形成用転写フィルムの転写
予めホットプレート上で８０℃に加熱されたガラス基板の表面に、反射防止膜形成用無
機粉体樹脂層の表面が当接されるように上記（４）で作製した電極形成用転写フィルムを重ね合わせ、該転写フィルムを加熱ローラに熱圧着した。ここで、圧着条件としては、加熱ローラの表面温度を１００℃、ロール圧を２ｋｇ／ｃｍ、加熱ローラの移動速度を０．５ｍ／分とした。熱圧着処理の終了後、転写フィルム（レジスト膜の表面）から支持フィルムを剥離除去し、電極形成用積層膜の転写を行った。転写後、フィルム転写性、すなわち基板とフィルムとの密着性の指標として、基板とフィルムとの間にカッターの刃を入れ、剥がれるどうかの試験を行った。指標として、簡単に剥がれる場合を「×」、剥がれがない場合を「○」とした。
【０１２０】
（６）レジスト膜の露光工程
ガラス基板上に形成された電極形成用積層膜のレジスト膜に対して、ライン幅１００μｍ、スペース幅４００μｍのストライプ状ネガ用露光用マスクを介して、超高圧水銀灯によりｇ線（４３６ｎｍ）、ｈ線（４０５ｎｍ）、ｉ線（３６５ｎｍ）の混合光を照射した。その際の露光量は、３６５ｎｍのセンサーで測定した照度換算で２００ｍＪ／ｃｍ2と
した。
【０１２１】
（７）現像工程・エッチング工程
露光処理されたレジスト膜に対して、液温３０℃の０．３質量％炭酸ナトリウム水溶液を現像液とするシャワー法による現像処理と、引き続き無機粉体含有樹脂層のエッチング処理とを、併せて９０秒間行った後、超純水を用いて水洗を行った。これにより、レジストパターンが形成され、さらに該レジストパターンに対応した無機粉体含有樹脂パターンが形成された。得られた無機粉体含有樹脂パターンについて、解像異常や残渣等がないかを光学顕微鏡にて確認した。パターン解像性の指標として、解像異常や残渣が見られる場合を「×」、見られない場合を「○」とした。
【０１２２】
（８）焼成工程
無機粉体含有樹脂パターンが形成されたガラス基板を、焼成炉内で５９０℃の温度雰囲気下で３０分間にわたり焼成処理を行った。これによりガラス基板の表面にパターン幅１００μｍ、厚み１０μｍの電極が形成されてなるパネル材料を得ることができた。形成された電極パターンを、顕微鏡を用いて観察し、パターンの線太りや直線性異常がないかを確認した。焼成後パターンの線太りや直線性（以下「パターン直線性」という）の指標として、太りや直線性異常が見られる場合を「×」、見られない場合を「○」とした。
【０１２３】
〔比較例１〕
（１）反射防止膜形成用無機粉体含有樹脂組成物２の調製
無機粉体としてニッケル粉末（平均粒径０．２μｍ）１００部およびＢｉ2Ｏ3−Ｏ−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2系ガラスフリット（軟化点５６０℃、平均粒径２．０μｍ）１０部、結着
樹脂として、ブレンマーＰＭＥ−１００／メタクリル酸ｎ−ブチル／メタクリル酸／メタクリル酸２−ヒドロキシプロピル＝１０／５０／２５／２０（質量％）共重合体（重量平均分子量：９０，０００）９０部、可塑剤としてトリメチロールプロパントリアクリレート３０部、シランカップリング剤として３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン１部、分散剤としてオレイン酸３部、溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテル２０部を、分散機を用いて混練することにより反射防止膜形成用無機粉体含有樹脂組成物２を調製した。
【０１２４】
以下、実施例１における反射防止膜形成用無機粉体含有樹脂組成物１の代わりに、前記（１）で得られた反射防止膜形成用無機粉体含有樹脂組成物２を用いたこと以外は、実施例１と同様にして、（２）導電膜形成用無機粉体樹脂組成物の調製、（３）レジスト組成物の調製、（４）電極形成用転写フィルムの作製、（５）電極形成用転写フィルムの転写、（６）レジスト膜の露光工程、（７）現像工程・エッチング工程および（８）焼成工程
の操作および評価を行った。
【０１２５】
〔比較例２〕
（１）反射防止膜形成用無機粉体含有樹脂組成物３の調製
無機粉体として、ニッケル粉末（平均粒径０．２μｍ）１００部およびＢｉ2Ｏ3−Ｏ−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2系ガラスフリット（軟化点５６０℃、平均粒径２．０μｍ）１０部、結
着樹脂として、ブレンマーＰＭＥ−１００／メタクリル酸ｎ−ブチル／メタクリル酸／メタクリル酸２−ヒドロキシプロピル＝２０／４５／１５／２０（質量％）共重合体（重量平均分子量：９０，０００）９０部、可塑剤としてトリメチロールプロパントリアクリレート３０部、シランカップリング剤として３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン１部、分散剤としてオレイン酸３部、溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテル２０部を、分散機を用いて混練することにより反射防止膜形成用無機粉体含有樹脂組成物３を調製した。
【０１２６】
以下、実施例１における反射防止膜形成用無機粉体含有樹脂組成物１の代わりに、前記（１）で得られた反射防止膜形成用無機粉体含有樹脂組成物３を用いたこと以外は、実施例１と同様にして、（２）導電膜形成用無機粉体樹脂組成物の調製、（３）レジスト組成物の調製、（４）電極形成用転写フィルムの作製、（５）電極形成用転写フィルムの転写、（６）レジスト膜の露光工程、（７）現像工程・エッチング工程および（８）焼成工程の操作および評価を行った。
【０１２７】
〔比較例３〕
（１）反射防止膜形成用無機粉体含有樹脂組成物４の調製
無機粉体として、ニッケル粉末（平均粒径０．２μｍ）１００部およびＢｉ2Ｏ3−Ｏ−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2系ガラスフリット（軟化点５６０℃、平均粒径２．０μｍ）１０部、結
着樹脂として、ブレンマーＰＭＥ−１００／メタクリル酸ｎ−ブチル／メタクリル酸／メタクリル酸２−ヒドロキシプロピル＝２０／４０／２０／２０（質量％）共重合体（重量平均分子量：１５０，０００）９０部、可塑剤としてトリメチロールプロパントリアクリレート３０部、シランカップリング剤として３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン１部、分散剤としてオレイン酸３部、溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテル２０部を、分散機を用いて混練することにより反射防止膜形成用無機粉体含有樹脂組成物４を調製した。
【０１２８】
以下、実施例１における反射防止膜形成用無機粉体含有樹脂組成物１の代わりに、前記（１）で得られた反射防止膜形成用無機粉体含有樹脂組成物４を用いたこと以外は、実施例１と同様にして、（２）導電膜形成用無機粉体樹脂組成物の調製、（３）レジスト組成物の調製、（４）電極形成用転写フィルムの作製、（５）電極形成用転写フィルムの転写、（６）レジスト膜の露光工程、（７）現像工程・エッチング工程および（８）焼成工程の操作および評価を行った。
【０１２９】
実施例１および比較例１〜３の評価結果を表１に示す。
【０１３０】
【表１】
2008007559.tif 000005
【０１３１】
表１に示すように、本発明の無機粉体含有樹脂組成物を用いると、基板へのフィルム転写性が良好であり、かつ、焼成時の樹脂のメルトもないため、直線性に優れたパターンを得ることができる。
【０１３２】
一方、上記モノマー（１）を含まない樹脂を用いて調製した無機粉体含有樹脂組成物を用いると、例えば、比較例１のように樹脂のガラス転移点が高いものは、焼成時の樹脂のメルトが起こりにくく、直線性に優れたパターンを得ることができるが、フィルムが堅いため、基材への転写性が劣るという問題が生じた。また、比較例２のように樹脂のガラス転移点が低いものは、転写性に優れるものの、焼成時の樹脂のメルトが大きく、パターン直線性に劣る結果となった。また、焼成時の線太りは、比較例３のように、用いる樹脂の分子量（Ｍｗ）を上げることでも回避できるが、現像液への溶解性が悪く、現像後に残渣が多く見られ、解像度も悪い結果であった。
【図面の簡単な説明】
【０１３３】
【図１】（イ）は、本発明の転写フィルムを示す概略断面図であり、（ロ）は、当該転写フィルムの層構成を示す断面図である。
【符号の説明】
【０１３４】
Ｆ１  支持フィルム
Ｆ２  無機粉体含有樹脂層
Ｆ３  カバーフィルム
【図１】
2008007559.tif 000008