(57)【要約】【課題】クリーニング時にプローブを容易に摩耗させることなく、プローブの先端部分をクリーニングできるプローブクリーナーを提供することを目的とするものであり、特に、先端に凹部又は凸部が形成されているプローブの先端部分をクリーニングできるプローブクリーナーを提供することである。【解決手段】繊維径が好適に０．２μｍ以上、１０μｍ以下の範囲にあるマイクロファイバーからなる表面部分を有するクリーナーシートから成るプローブクリーナー。クリーナーシートの少なくとも表面部分に位置するマイクロファイバーの表面に平均粒径０．０５μｍ以上、３．０μｍ以下の砥粒が固定されている。クリーニング中、このクリーナーシートの表面部分に位置するマイクロファイバーに固定されている砥粒が、プローブの先端部分に作用して、プローブの先端部分に付着している異物が除去される。【選択図】図１
2008070280.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローブの先端部分に付着している異物を除去するためのプローブクリーナーであって、
マイクロファイバーからなる表面部分を有するクリーナーシートであって、少なくとも前記表面部分に位置するマイクロファイバーの表面に砥粒が固定されている、ところのクリーナーシート、
から成るプローブクリーナー。
【請求項２】
請求項１のプローブクリーナーであって、
前記マイクロファイバーの繊維径が、０．１μｍ以上、２０μｍ以下の範囲にある、
ところのプローブクリーナー。
【請求項３】
請求項１のプローブクリーナーであって、
前記マイクロファイバーの繊維径が、０．１μｍ以上、１０μｍ以下の範囲にある、
ところのプローブクリーナー。
【請求項４】
請求項１のプローブクリーナーであって、
前記砥粒の平均粒径が、０．０５μｍ以上、３．０μｍ以下の範囲にある、
ところのプローブクリーナー。
【請求項５】
請求項１のプローブクリーナーであって、
前記砥粒として、アルミナ、炭化ケイ素、酸化ケイ素、ジルコニア、水酸化アルミニウム又はダイヤモンドからなる粒子が含まれる、
ところのプローブクリーナー。
【請求項６】
請求項１のプローブクリーナーであって、
前記クリーナーシートが、ベースシートの表面に植毛した前記マイクロファイバーからなる植毛シートであり、
前記植毛シートの前記マイクロファイバーの表面に前記砥粒が固定され、
表面に前記砥粒を固定した前記マイクロファイバー同士が固着していない状態にある、
ところのプローブクリーナー。
【請求項７】
請求項１のプローブクリーナーであって、
前記クリーナーシートが、前記マイクロファイバーからなる織布又は不織布シートである、
ところのプローブクリーナー。
【請求項８】
請求項１のプローブクリーナーであって、
前記プローブが、先端に、凹部又は凸部を有する、
ところのプローブクリーナー。
【請求項９】
プローブの先端部分に付着している異物を除去するための方法であって、
プローブクリーナーをテーブルの表面に取り付ける工程であって、前記プローブクリーナーが、マイクロファイバーからなる表面部分を有するクリーナーシートであって、少なくとも前記表面部分に位置するマイクロファイバーの表面に砥粒が固定されている、ところのクリーナーシートから成る、ところの工程、及び
前記プローブの先端部分を前記表面部分の内部に刺し込み、前記プローブを前記表面部分の厚さ方向で往復移動させる工程、
を含む方法。
【請求項１０】
請求項９の方法であって、
前記往復移動させる前記工程が、前記プローブの先端部分を前記表面部分の内部に刺し込んだ後、前記表面部分から抜き出す工程を含む、
ところの方法。
【請求項１１】
請求項９の方法であって、
前記往復移動させる前記工程が、前記プローブの先端部分を前記表面部分の内部に刺し込んだままの状態で、前記プローブを前記表面部分の厚さ方向で往復移動させる工程を含む、
ところの方法。
【請求項１２】
請求項９の方法であって、
前記プローブが、先端に、凹部又は凸部を有する、
ところの方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気特性検査用の針（プローブ）、医療用の針、縫製用の針などのような針状物の製造工程における先端部分の仕上げ加工又は針状物の使用前後においてその先端部分をクリーニングするためのプローブクリーナー及びクリーニング方法に関し、特に、半導体装置の検査工程における電気特性検査等に用いられるプローブの先端部分に付着した異物を除去するためのプローブクリーナー及びクリーニング方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の製造工程では、その製造効率を向上させるため、半導体ウエハ上に組み立てた複数個のチップの電極パッドにプローブを接触させ、このプローブを通じて試験信号を印加し、また検出して、各チップの電気特性を検査している。
【０００３】
一般に、プローブは、タングステン、ベリリウムなどの硬質の材料から形成されている。一方、電極パッドは、アルミニウムなどの比較的軟質の材料から形成されており、電極パッドにプローブを接触させた際に、プローブの先端部分（先端と先端付近の側面）に電極パッドのアルミニウムなどの異物が付着し、これにより検査精度が低下する。また、プローブに大きい異物が付着すると、隣接するプローブ同士が短絡し、チップを破壊することがある。このため、プローブの先端部分をクリーニングして、異物を除去している。
【０００４】
プローブの先端部分のクリーニングには、従来、砥粒（酸化アルミニウム、炭化ケイ素、ダイヤモンドなどからなる硬質の粒子）を混入したシリコンゴム、ウレタンゴムなどの弾性材からなるクリーナーシートから成るプローブクリーナーが使用され（例えば、特許文献１、２参照）、プローブの先端部分をこのプローブクリーナーの弾性材の表面から内部に突き刺し、弾性材に固定されている砥粒をプローブの先端部分に作用させて、異物を除去している。
【０００５】
また、表面に微小な凹凸を形成した板の表面に、粘着性を有するゲル層を形成したクリーナーシートから成るプローブクリーナーが使用され、このプローブクリーナーでは、プローブの先端部分をゲル層の表面から内部に突き刺し、プローブの先端を板表面の凹凸に接触させながらプローブを移動させて、プローブの先端部分から異物を除去している（例えば、特許文献３参照）。
【０００６】
近年、チップのサイズの小型化に伴い、チップ上に形成される電極パッドのサイズも小さくなり、電極パッド同士も近接して設けられるようになってきた。このため、プローブのサイズもより細くする必要が生じ、また検査精度を向上又は少なくとも維持させるため、プローブは、例えば、ベリリウム−銅の合金のように高い電気特性を有する比較的軟質な材料から形成されるようになってきた。
【０００７】
しかし、このようなプローブは、上記のような従来のプローブクリーナーを使用すると、クリーニング時に容易に摩耗し、プローブの寿命が短くなるという問題があり、またこの摩耗によりチップの電気特性検査に誤差が生じるという問題も生じる。
【０００８】
また、チップの電極パッドとの接触を確実にするために、図５Ａ及び図５Ｂに示すように、プローブの先端３０、３３に凹部３２、３５又は凸部３１、３４を形成したものが使用されている（例えば、特許文献４参照）。
【０００９】
しかし、このようなプローブの先端部分のクリーニングは、上記のような従来のプローブクリーナーを使用しても、その先端の凹部内に付着している異物を十分に除去できず、またクリーニング時に、プローブ先端の凸部を摩耗させてしまうという問題が生じている。
【特許文献１】特開平７−２４４０７４号公報
【特許文献２】特開２００４−１４００１３号公報
【特許文献３】特表２００５−５１５６４５号公報
【特許文献４】特開平８−３０６７４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
したがって、本発明は、クリーニング時にプローブを容易に摩耗させることなく、プローブの先端部分をクリーニングできるプローブクリーナーを提供することを目的とするものであり、特に、先端に凹部又は凸部が形成されているプローブの先端部分をクリーニングできるプローブクリーナーを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、プローブの先端部分に付着している異物を除去するためのプローブクリーナー及びクリーニング方法であり、特に、先端に凹部又は凸部が形成されているプローブの先端部分に付着している異物を除去するのに適したプローブクリーナー及びクリーニング方法である。
【００１２】
＜プローブクリーナー＞  上記目的を達成する本発明のプローブクリーナーは、マイクロファイバーからなる表面部分を有するクリーナーシートから成り、このクリーナーシートの少なくとも表面部分に位置するマイクロファイバーの表面に砥粒が固定されている。
【００１３】
クリーニング中、このクリーナーシートの表面部分に位置するマイクロファイバーに固定されている砥粒が、プローブの先端部分に作用して、プローブの先端部分に付着している異物が除去される。
【００１４】
マイクロファイバーの繊維径は、０．１μｍ以上、２０μｍ以下の範囲、好適に、０．１μｍ以上、１０μｍ以下の範囲にある。
【００１５】
マイクロファイバーの表面に固定される砥粒の平均粒径は、０．０５μｍ以上、３．０μｍ以下の範囲にあり、砥粒として、アルミナ、炭化ケイ素、酸化ケイ素、ジルコニア、水酸化アルミニウム又はダイヤモンドからなる粒子が含まれる。
【００１６】
上記のクリーナーシートは、ベースシートの表面に植毛したマイクロファイバーからなる植毛シートであり、この植毛シートのマイクロファイバーの表面に上記の砥粒が固定されている。そして、表面に砥粒を固定したマイクロファイバー同士は固着していない状態にある。すなわち、砥粒を固定したマイクロファイバーの１本づつが互いに他のマイクロファイバーから独立して自由に動ける状態にある。
【００１７】
変形的に、上記のクリーナーシートは、マイクロファイバーからなる織布又は不織布シートであり、このクリーナーシートのマイクロファイバーの表面に上記の砥粒が固定されている。
【００１８】
＜プローブクリーニング方法＞  プローブの先端部分に付着している異物は、上記本発明のプローブクリーナーをテーブルの表面に取り付け、プローブの先端部分をクリーナーシートの表面部分の内部に刺し込み、プローブをクリーナーシートの表面部分の厚さ方向で往復移動させることにより除去する。
【００１９】
プローブの先端部分は、クリーナーシートの表面部分の内部に刺し込んだ後、この表面部分から抜き出してもよいしクリーナーシートの表面部分の内部に刺し込んだままの状態で、プローブをクリーナーシートの表面部分の厚さ方向で往復移動させてもよい。
【発明の効果】
【００２０】
本発明が以上のように構成されるので、先端に凹部又は凸部が形成されているプローブであっても、クリーニング時にプローブを容易に摩耗させることなく、プローブの先端部分をクリーニングできるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
＜プローブクリーナー＞  図１Ａ及び図１Ｂに示すように、プローブ（図２に符号１２で示す）の先端部分に付着している異物を除去するための本発明のプローブクリーナー２０は、マイクロファイバー２５からなる表面部分２４を有するクリーナーシート２１から成り、このクリーナーシート２１の少なくとも表面部分２４に位置するマイクロファイバー２５の表面に砥粒２６が固定されている。
【００２２】
図１Ｂに示すように、砥粒２６は、バインダー２７により、マイクロファイバー２５の表面に固定されている。
【００２３】
表面部分２４は、プローブ１２の先端部分に作用する部分をいう（図２Ａ及び図２Ｂを参照）。この表面部分２４の厚さ（又は高さ）は、特に限定されるものではなく、少なくとも、クリーニングされるべきプローブ１２の先端部分の長さ分だけあればよく、１００μｍ以上、１０００μｍの範囲にあり、図２Ａ及び図２Ｂに示すように、プローブ１２の先端部分（先端及び先端付近の側面）のクリーニングは、プローブ１２の先端部分をクリーナーシート２１の表面部分２４に刺し込み（テーブル１１を矢印Ｔ２の方向に移動させるか、又はプローブ１２を矢印Ｔ１の方向に移動させる）、引き抜く（テーブル１１を矢印Ｔ１の方向に移動させるか、又はプローブ１２を矢印Ｔ２の方向に移動させる）ことにより行われる。このクリーニング中、このクリーナーシート２１の表面部分２４に位置するマイクロファイバー２５に固定されている砥粒２６が、プローブ１２の先端部分に作用して、プローブ１２の先端部分に付着している異物が除去される。
【００２４】
マイクロファイバー２５の繊維径は、０．１μｍ以上、２０μｍ以下の範囲、好適に、０．１μｍ以上、１０μｍ以下の範囲にある。
【００２５】
マイクロファイバー２５として、ナイロン、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリウレタン、アクリル、ポリ塩化ビニル、ビニロン又はレーヨンなどからなる合成繊維が使用される。
【００２６】
マイクロファイバー２５の表面に固定される砥粒２６のサイズは、マイクロファイバー２５の繊維径よりも小さく、繊維径の２分の１以下の範囲にあることが好ましい。これは、砥粒２６のサイズが大きいと、繊維の表面（曲面）に対する砥粒の固定力が低下し、クリーニング中に、プローブ１２の先端部分に作用した砥粒２６がマイクロファイバー２５から脱粒し、脱粒した砥粒がプローブ１２の先端部分異物として付着することがあるからである。好適に、砥粒２６として、平均粒径が０．０５μｍ以上、３．０μｍ以下の範囲にあるものが使用される。
【００２７】
砥粒２６の材料は、特に限定されるものではなく、研磨に一般的に使用されている砥粒が使用でき、好適に、アルミナ、炭化ケイ素、酸化ケイ素、ジルコニア、水酸化アルミニウム又はダイヤモンドからなる粒子が使用される。
【００２８】
クリーナーシート２１は、図３及び図４に示すように、ベースシート２８の表面に植毛したマイクロファイバー２５からなる植毛シートであり、この植毛シートのマイクロファイバー２５の表面に上記の砥粒２６が固定されている。そして、表面に砥粒２６を固定したマイクロファイバー２５同士は固着していない状態にある。
【００２９】
すなわち、砥粒２６を固定したマイクロファイバー２５の１本づつが互いに他のマイクロファイバー２５から独立して自由に動ける状態にある。
【００３０】
植毛シートのマイクロファイバー２５の長さは、１００μｍ以上、１０００μｍ（１.０mm）の範囲、好適に、４００μｍ以上、６００μｍ以下の範囲にある。これは、長さが短くなると、繊維の動きが低下し、長すぎたりするとマイクロファイバー２５の各々が１本づつ独立できず、相互に絡み合い、マイクロファイバー２５の各々に砥粒２６を個別に付着させることが難しくなるからである。
【００３１】
ベースシート２８として、温度変化による熱変形が小さいものが好ましく、機械的特性として、熱収縮率が、２５℃以上、１５０℃以下の範囲で、２％以下の範囲にあるシートが使用される。ベースシート２８のサイズ及び材料は、特に限定されるものではなく、厚さが５０μｍ以上、１８８μｍ以下の範囲にあり、ベースシートとして、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、ＰＥＮ（ポリエチレンナフタレート）、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）、ＰＥＩ（ポリエーテルイミド）、ＰＩ（ポリイミド）、ＰＣ（ポリカーボネート）、ＰＶＣ（ポリ塩化ビニル）、ＰＰ（ポリプロピレン）、ＰＶＤＣ（ポリ塩化ビニリデン）、ナイロン、ＰＥ（ポリエチレン）、又はＰＥＳ（ポリエーテルスルホン）などからなるシートが使用され、好適に、ＰＥＴシートが使用される。
【００３２】
実用的には、ベースシート２８の裏面に粘着剤層（図１Ａに符号２２で示す）が形成され、この粘着剤層２２の表面に離型紙（図１Ａに符号２３で示す）が着脱可能に貼り付けられる。そして、この離型紙２３は、粘着剤層２２の表面から剥がされ、本発明のプローブクリーナー２０は、この粘着剤層２２を介して、図２Ｃに示すように、プローブクリーニング装置１０のテーブル１１上に貼り付けられる。
【００３３】
変形的に、本発明のプローブクリーナー２０のクリーナーシート２１として、上記のマイクロファイバー２５からなる織布又は不織布シートを使用することができ、少なくとも、このクリーナーシート２１の表面部分２４に位置するマイクロファイバー２５の表面には上記の砥粒２６が固定されている（図１Ｂを参照）。
【００３４】
このクリーナーシート２１は、その裏面に粘着剤層２２を形成し、この粘着剤層２２を介して、クリーニング装置１０のテーブル１１上に貼り付けてもよいし、また、このクリーナーシート２１をベースシート（図示せず）の表面に固定し、このベースシートの裏面に粘着剤層（図１Ａに符号２２で示すような粘着剤層）を形成し、この粘着剤層を介して、クリーニング装置１０のテーブル１１上に貼り付けてもよい。
【００３５】
このベースシートとして、上記の植毛シートのものと同様に、温度変化による熱変形が小さいものが好ましく、機械的特性として、上記の熱収縮率を有するシートが使用される。上記の植毛シートのものと同様に、ベースシートのサイズ及び材料は、特に限定されるものではなく、厚さが５０μｍ以上、１８８μｍ以下の範囲にあり、ベースシートとして、ポリプロピレン、ポリエチレンなどの合成樹脂からなるシートが使用される。
【００３６】
実用的には、ベースシートの裏面に形成した粘着剤層の表面に離型紙（図１Ａに符号２３で示すような離型紙）が着脱可能に貼り付けられる。この離型紙は、粘着剤層の表面から剥がされ、本発明のプローブクリーナー２０は、上記の植毛シートと同様に、この粘着剤層を介して、図２Ｃに示すように、プローブクリーニング装置１０のテーブル１１上に貼り付けられる。
【００３７】
＜製造方法＞  上記本発明のプローブクリーナー２０は、クリーナーシート２１の表面に、樹脂溶液中に砥粒を分散させ、さらに硬化剤を添加した塗料を、リバース塗工、グラビア塗工などの既知の塗工方法を利用して塗布し、乾燥させて製造される。
【００３８】
樹脂溶液は、ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂、共重合ビニル系樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂などから選択される一種又は二種以上の樹脂を溶剤で溶解したものである。溶剤として、トルエン、キシレン、ＭＥＫ（メチルエチルケトン）、酢酸エチル、シクロヘキサノン、アセトン、アルコールなどが含まれる。硬化剤として、イソシアネート系のものが含まれる。
【００３９】
塗料の粘度は、２０ｃｐ以上、３００ｃｐ以下の範囲、好ましくは５０ｃｐ以上、１５０ｃｐ以下の範囲にある。
【００４０】
塗料の粘度が低すぎると（２０ｃｐ未満の範囲）、塗料がクリーナーシートの表面部分の下層側に落ちて、クリーナーシート２１の表面部分２４に位置するマイクロファイバー２５の表面に十分な量の砥粒２６が固定されず、クリーニング中、プローブの先端部分に砥粒を十分に作用させることができなくなる。一方、塗料の粘度が高すぎる（３００ｃｐを超える）と、塗料がクリーナーシート２１の表面部分２４の上層に停滞し、クリーナーシート２１の表面部分２４に、樹脂（バインダー２７）で砥粒２６を固定した層が、隣接するマイクロファイバー２５同士を固着させるように形成され、この層が、プローブ１２の先端部分を摩耗させる原因となる。
【００４１】
塗料中の砥粒２６の配合割合は、６０重量％以上の範囲、好適に８０重量％以上、９８重量％以下の範囲にある。これは、砥粒２６の割合が少なすぎる（６０重量％未満）と、隣接するマイクロファイバー２５同士が固着し、上記のような層が形成されるからである。
【００４２】
塗料の組成を下記の表１に示す。
【００４３】
【表１】
2008070280.tif 000003
【００４４】
好適に、塗料として、６０重量％〜９８重量％の炭化ケイ素からなる砥粒を加熱し、乾燥させた後、１重量％〜３５重量％の飽和ポリエステル樹脂をトルエン、キシレン、酢酸エチル及びＭＥＫの混合溶媒に溶解した樹脂溶液と混合し、撹拌して砥粒を樹脂溶液中に分散させた後、濾過し、クリーナーシート上に塗布する直前に１重量％〜５重量％のイソシアネート系の硬化剤を添加して、塗料の粘度を３０ｃｐ〜１５０ｃｐに調整したものが使用される。
【００４５】
＜プローブクリーニング方法＞  図２Ｃに示すように、粘着材層（図１Ａに符号２２で示す）を介して、上記本発明のプローブクリーナー２０をテーブル１１の表面に貼り付ける。図２Ａ〜図２Ｃに示すように、プローブ１２の先端部分をこのクリーナーシート２１の表面上に配置し、テーブル１１を矢印Ｔ２の方向に移動させて、プローブ１２の先端部分をクリーナーシート２１の表面部分２４内に刺し込む。そして、プローブ１２の先端部分をクリーナーシート２１の表面部分２４内に刺し込んだ後に引き抜く（テーブル１１を矢印Ｔ１の方向に移動させる）。この矢印Ｔ１、Ｔ２の方向の往復移動により、プローブ１２の先端部分に付着している異物を表面部分で除去する。
【００４６】
＜クリーニング試験＞  実施例及び比較例のプローブクリーナーを製造し、これらプローブクリーナー使用して、先端に凹凸部を有するプローブの先端部分のクリーニング試験を行った。クリーニング後のプローブの先端の凹部と凸部からの異物除去率とこれら凹部と凸部の摩耗の有無について比較した。異物除去率とこれら凹部と凸部の摩耗の有無は、顕微鏡を使用して観察した。
【００４７】
クリーニング試験には、図４Ａ及び図４Ｂにそれぞれ示すような先端を有する二種類のプローブを使用した。以下、これらプローブを「試験プローブＡ」及び「試験プローブＢ」という。
【００４８】
試験プローブＡは、図５Ａに示す先端の形状を有するものに対応するものであり、先端に凹凸部（底面のサイズ：約９０μｍ×約９０μｍ、高さ：約７０μｍ、凹部口径：約５０μｍ、凹部深さ：約７０μｍ）を有する。（この「試験プローブＡ」では、凹部を形成している外輪部分が凸部となっている。）
【００４９】
試験プローブＢは、図５Ｂに示す先端の形状を有するものに対応するものであり、先端に凹凸部（底面：約３０μｍ×約３０μｍ、高さ：約１００μｍ）を複数有するものである。（この「試験プローブＢ」では、凸部と凸部との間の谷間が凹部となっている。）
【００５０】
クリーニング試験は、図２Ｃに示すようなクリーニング装置を使用して行った。クリーニング条件は、各実施例及び比較例で同一であり、各実施例及び比較例のプローブクリーナーのクリーナーシートの表面部分への試験プローブＡ、Ｂの接触回数が１０００回、１万回及び１０万回となった時点でプローブの先端の凹凸部の摩耗の有無について観察し、接触回数が１０万回に達した時点でプローブの先端の凹凸部に付着している異物の有無について観察した。
【００５１】
＜実施例１＞  実施例１のプローブクリーナーを製造した。
【００５２】
塗料は、炭化ケイ素からなる平均粒径０．０５μｍの砥粒（１Ｋｇ）を加熱し、乾燥させた後、飽和ポリエステル樹脂（３１０ｇ）をトルエン、キシレン、酢酸エチル及びＭＥＫの混合溶媒に溶解した樹脂溶液と混合し、撹拌して砥粒を樹脂溶液中に分散させた後、濾過し、クリーナーシート上に塗布する直前にイソシアネート系の硬化剤（６０ｇ）を添加して調整して製造した。塗料の粘度は５０ｃｐであった。
【００５３】
この塗料を植毛シートの表面部分のマイクロファイバーの各々の表面に塗布し、乾燥させて、実施例１のプローブクリーナーを製造した。
【００５４】
ここで、塗料の塗布は、＃５０のグラビアローラー（４５度をなす等間隔の直線状の溝が形成されている）を使用して行った。
【００５５】
また、植毛シートとして、平均繊維径１０μｍ、平均長さ５００μｍ（５００μｍ±１００μｍ）のナイロンからなるマイクロファイバーを厚さ５０μｍのＰＥＴシートに植毛したものを使用した。
【００５６】
＜実施例２＞  実施例２のプローブクリーナーを製造した。実施例２のプローブクリーナーは、砥粒の平均粒径を０．３μｍに変更した以外は上記実施例１と同じ材料及び方法で製造した。
【００５７】
＜実施例３＞  実施例３のプローブクリーナーを製造した。実施例３のプローブクリーナーは、砥粒の平均粒径を０．３μｍに変更した以外は上記実施例１と同じ材料及び方法で製造した。
【００５８】
＜実施例４＞  実施例４のプローブクリーナーを製造した。実施例４のプローブクリーナーは、植毛シートとして平均繊維径０．１μｍのマイクロファイバーを使用した以外は上記実施例１と同じ材料及び方法で製造した。
【００５９】
＜実施例５＞  実施例５のプローブクリーナーを製造した。実施例５のプローブクリーナーは、植毛シートとして平均繊維径３μｍのマイクロファイバーを使用した以外は上記実施例１と同じ材料及び方法で製造した。
【００６０】
＜実施例６＞  実施例６のプローブクリーナーを製造した。実施例６のプローブクリーナーは、植毛シートとして平均繊維径２０μｍのマイクロファイバーを使用した以外は上記実施例１と同じ材料及び方法で製造した。
【００６１】
＜実施例７＞  実施例７のプローブクリーナーを製造した。実施例７のプローブクリーナーは、砥粒としてアルミナを使用した以外は上記実施例１と同じ材料及び方法で製造した。
【００６２】
＜実施例８＞  実施例８のプローブクリーナーを製造した。実施例８のプローブクリーナーは、砥粒としてダイヤモンドを使用した以外は上記実施例１と同じ材料及び方法で製造した。
【００６３】
＜比較例１＞  比較例１のプローブクリーナーを製造した。比較例１のプローブクリーナーは、砥粒の平均粒径を５μｍに変更した以外は上記実施例１と同じ材料及び方法で製造した。
【００６４】
＜比較例２＞  比較例２のプローブクリーナーを製造した。
【００６５】
上記実施例３の塗料（炭化ケイ素からなる平均粒径３μｍの砥粒（１Ｋｇ）を加熱し、乾燥させた後、飽和ポリエステル樹脂（３１０ｇ）をトルエン、キシレン、酢酸エチル及びＭＥＫの混合溶媒に溶解した樹脂溶液と混合し、撹拌して砥粒を樹脂溶液中に分散させた後、濾過し、クリーナーシート上に塗布する直前にイソシアネート系の硬化剤（６０ｇ）を添加して調整して製造したものであり、塗料の粘度は５０ｃｐであった）を、＃５０のグラビアローラー（４５度をなす等間隔の直線状の溝が形成されている）を使用して、ＰＥＴフィルムの表面に塗布し、乾燥させて、比較例２のプローブクリーナーを製造した。
【００６６】
＜比較例３＞  比較例３のプローブクリーナーを製造した。
【００６７】
上記実施例３の塗料を、＃５０のグラビアローラー（４５度をなす等間隔の直線状の溝が形成されている）を使用して、発泡体フィルムの表面に塗布し、乾燥させて、比較例３のプローブクリーナーを製造した。
【００６８】
＜プローブクリーナーの構成材料＞  実施例１〜８及び比較例１〜３のプローブクリーナーの構成材料を下記の表２にまとめる。
【００６９】
【表２】
2008070280.tif 000004
【００７０】
＜試験結果＞  試験結果を下記の表３に示す。
【００７１】
【表３】
2008070280.tif 000005
【００７２】
実施例１〜３と比較例１との結果から、凹部異物除去率は、砥粒の粒径が小さくなると低下し、平均粒径０．０５μ（実施例１）において６０〜８０％となる。一方、凹部（及び凸部）摩耗量は、砥粒の粒径が大きくなると低下し、平均粒径０．０５μ（実施例３）において１万コンタクトで摩耗がみられるようになり、平均粒径５μｍ（比較例１）では１０００コンタクトで摩耗がみられるようになる。
【００７３】
実施例２、７及び８の結果から、砥粒の種類を変更しても、凹部異物除去率と凹部（及び凸部）摩耗量に大きな差はなく、いずれの比較例の結果よりも良好であることがわかる。
【００７４】
実施例１、４〜６の結果から、凹部異物除去率は、ファイバー径が小さくなると低下し、ファイバー径０．１μｍ（実施例１）において８０〜９５％となり、ファイバー径が１０μｍを超えて２０μｍとなると、１万コンタクトで摩耗がみられるようになる。一方、凹部（及び凸部）摩耗量は、ファイバー径に大きく依存せず、ファイバー径が０．１μｍ〜２０μｍの範囲において１０万コンタクトでも摩耗がみられない。
【００７５】
以上のことから、植毛シートの植毛とあいて、ファイバー径０．１μｍ〜２０μｍのマイクロファイバーを使用し、このマイクロファイバーに固定される砥粒として、平均粒径が０．０５μｍ〜３μｍのものを使用するのが好適であることがわかる。
【００７６】
また、上記表３に示す結果から、実施例１〜９のプローブクリーナーによると、比較例１〜３のものよりも凹部の異物除去率が良好であり且つ凹部と凸部の摩耗量も低いことがわかる。
【産業上の利用可能性】
【００７７】
上記実施例において、電気特性検査用の針（プローブ）の先端部分のプローブクリーナー及びクリーニング方法について開示したが、本発明は、上記プローブだけでなく、医療用の針、縫製用の針などのような針状物の製造工程における先端部分の仕上げ加工又は針状物の使用前後においてその先端部分に付着した異物を除去することにも利用できるものである。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】図１Ａは、本発明のプローブクリーナーの断面図であり、図１Ｂは、図１Ａの部分拡大断面図である。
【図２】図２Ａ及び図２Ｂは、それぞれ、プローブをクリーニングしているところを示し、図２Ｃは、クリーニング装置を示す。
【図３】図３は、本発明に従ったプローブクリーナーの断面の顕微鏡写真である。
【図４】図４は、本発明に従った好適なプローブクリーナーの断面図である。
【図５】図５Ａ及び図５Ｂは、それぞれ、プローブの先端の拡大斜視図である。
【符号の説明】
【００７９】
１０・・・プローブクリーニング装置
１１・・・テーブル
１２・・・プローブ
２０・・・プローブクリーナー
２１・・・クリーナーシート
２２・・・粘着剤層
２３・・・離型紙
２４・・・表面部分
２５・・・マイクロファイバー
２６・・・砥粒
２７・・・バインダー
２８・・・ベースシート
３０、３３・・・プローブの先端
３１、３４・・・凸部
３２、３５・・・凹部
Ｔ１、Ｔ２・・・移動方向
【図１】
2008070280.tif 000006
【図２】
2008070280.tif 000007
【図４】
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【図３】
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【図５】
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