(57)【要約】【課題】ＩＣテスタのテストヘッドにおいて、パフォーマンスボードに実装される部品の配置空間を拡充する。【解決手段】テストヘッド本体２とパフォーマンスボード４との間に配置され、テストヘッド本体側の電極端子に対する位置規制部３ａ及びパフォーマンスボードに対する位置規制部３ｂが形成された位置決め用テンプレートが、位置規制部３ａ，３ｂが形成された第１部分（メインプレート）と、前記第１部分に対し着脱自在な第２部分（サブプレート）とを有する。サブプレートを除いた後の孔部８ａや、サブプレートの孔部８ｆ、８ｇにパフォーマンスボードに実装された部品の一部が配置される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
テストヘッド本体とパフォーマンスボードとの間に配置され、該テストヘッド本体側の電極端子に対する位置規制部及び該パフォーマンスボードに対する位置規制部が形成された位置決め用テンプレートであって、
前記位置規制部が形成された第１部分と、前記第１部分に対し着脱自在な第２部分とを有する位置決め用テンプレート。
【請求項２】
前記第２部分に穴部又は孔部を有する請求項１に記載の位置決め用テンプレート。
【請求項３】
前記第２部分は、前記パフォーマンスボード側からの荷重負荷領域の全部又は一部に形成されている請求項１又は請求項２に記載の位置決め用テンプレート。
【請求項４】
前記第２部分が前記第１部分の穴部又は孔部に嵌ることにより前記第１部分の所定の位置に保持されてなる請求項１、請求項２又は請求項３に記載の位置決め用テンプレート。
【請求項５】
テストヘッド本体と、
パフォーマンスボードと、
前記テストヘッド本体と前記パフォーマンスボードとの間に配置され、該テストヘッド本体側の電極端子に対する位置規制部及び該パフォーマンスボードに対する位置規制部が形成された位置決め用テンプレートとを備え、
前記位置決め用テンプレートは、前記位置規制部が形成された第１部分と、穴部又は孔部とを有し、
前記パフォーマンスボードに実装された部品の一部が前記穴部又は孔部に配置されてなるテストヘッド。
【請求項６】
テストヘッド本体と、
パフォーマンスボードと、
前記テストヘッド本体と前記パフォーマンスボードとの間に配置され、該テストヘッド本体側の電極端子に対する位置規制部及び該パフォーマンスボード側に対する位置規制部が形成された位置決め用テンプレートとを備え、
前記位置決め用テンプレートは、前記位置規制部が形成された第１部分と、前記第１部分に対し着脱自在な第２部分と、前記第２部分に形成された穴部又は孔部とを有し、
前記パフォーマンスボードに実装された部品の一部が前記穴部又は孔部に配置されてなるテストヘッド。
【請求項７】
前記パフォーマンスボード側からの荷重の全部又は一部が前記第２部分を介して前記テストヘッド本体に支持される構造を有する請求項６に記載のテストヘッド。
【請求項８】
前記第２部分が前記第１部分の穴部又は孔部に嵌ることにより、前記第１部分の所定の位置に保持されてなる請求項６又は請求項７に記載のテストヘッド。
【請求項９】
前記第２部分が前記第１部分の穴部又は孔部に嵌り前記テストヘッド本体との前記第１部分とに挟まれることにより、前記第１部分の所定の位置に保持されてなる請求項６又は請求項７に記載のテストヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＩＣ、ＬＳＩ等を試験するＩＣテスタのテストヘッドに係り、テストヘッド本体に対するパフォーマンスボードの位置を決める位置決め用テンプレートに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣテスタは、ＩＣ、ＬＳＩ等の被検査デバイスに試験信号を与え、被検査デバイスからの出力により、良否の判定を行うものである。
特許文献１にも記載されるように、従来、図６〜図８に示すような構造のテストヘッド１が利用されている。テストヘッド１は、テストヘッド本体２にテスト信号を送出するピンエレクトロニクス回路（図示せず）を収めている。テストヘッド本体２の被検査デバイスとの接続側端面には、テンプレート３、パフォーマンスボード４、クランププレート５及びコンタクトリング６が取り付けられる。コンタクトリング６がプローブカード７に接続し、プローブカード７を介してテストヘッドとウェハ上の被検査デバイスとが接続される。テスト信号は、パフォーマンスボード４及びコンタクトリング６を介して伝送される。
【０００３】
特許文献１にも記載されるように、パフォーマンスボード４は、ピンエレクトロニクス回路に付設されたコンタクトピンに自己の電極パッドが圧接されて電気的に接続される。
【０００４】
図７に示すように、テストヘッド本体２の被検査デバイスとの接続側端面２ｄには、コンタクトピン等が突出して配置される開口２ａが形成されている。また、接続側端面２ｄの中央部には受圧部２ｂが配されている。受圧部２ｂは、その直下に本体２内部の支柱が配されて支持されており、荷重に対して撓みの小さくなる荷重点である。また、テストヘッド本体２にはエアシリンダによる引き込みピン２ｃが設けられている。
テストヘッド本体２の接続側端面２ｄの上に、テンプレート３が配置される。テンプレート３には、位置規制孔３ａが形成されている。テンプレート３は固定用孔３ｃに挿入されたネジが受圧部２ｂに設けられたネジ孔に螺合することにより本体２に連結固定される。このとき、位置規制孔３ａは、本体２側から突出しパフォーマンスボード４に接続されるコンタクトピン等の基部に嵌合する。これにより、コンタクトピン等のパフォーマンスボード４に接続されるもののテンプレート３に対する位置が決められる。
【０００５】
テンプレート３には、位置規制ピン３ｂが形成されている。位置規制ピン３ｂはパフォーマンスボード４側に突設される。パフォーマンスボード４には位置規制孔４ｂが設けられる。位置規制孔４ｂに位置規制ピン３ｂが嵌め入れられてパフォーマンスボード４がテンプレート３の上に配置される。クランププレート５がパフォーマンスボード４の上に配置され、引き込みピン２ｃに連結されてテストヘッド本体２側に引き付けられる。これにより、パフォーマンスボード４及びテンプレート３がテストヘッド本体２とクランププレート５との間に挟まれて圧され、パフォーマンスボード４の電極パッドが、コンタクトピンに圧接されて電気的に接続される。
【０００６】
以上の説明からもわかるように、テンプレート３は、テストヘッド本体２とパフォーマンスボード４に設けられる接続相手同士の位置決めを行う部品として使用される。
なお、図８に示すように、本従来例のテンプレート３は、コンタクトリング６との位置規制部３ｄをも有している。
また、テンプレート３の表面中央領域にはパフォーマンスボード４の裏面に当接して支持する樹脂製の支持パッド３ｅが付設されている。テンプレート３は以上の構造を有し、テストヘッド１がプローバに接続される時に負荷される荷重をテストヘッド本体２に伝達する。
【特許文献１】特開２００３−２１５２１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、以上の従来技術にあってもさらに次のような問題があった。
パフォーマンスボード４を変形させないために、テンプレート３は、パフォーマンスボード４側からの荷重負荷領域において、パフォーマンスボード４側から伝達される荷重をテストヘッド本体２へ伝達する肉部分を有している。
パフォーマンスボード４とテンプレート３との間の隙間は６ｍｍ程度と小さく、パフォーマンスボード４のテストヘッド本体２に対向する面に高さのある部品を実装することは困難である。
一方、プローバ接続に対し、ハンドラ接続の場合は、被検査デバイスとの接続時に負荷される荷重は小さい。
【０００８】
本発明は以上の従来技術における問題に鑑みてなされたものであって、ＩＣテスタのテストヘッドにおいて、パフォーマンスボードに実装される部品の配置空間を拡充することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
以上の課題を解決するための請求項１記載の発明は、テストヘッド本体とパフォーマンスボードとの間に配置され、該テストヘッド本体側の電極端子に対する位置規制部及び該パフォーマンスボードに対する位置規制部が形成された位置決め用テンプレートであって、
前記位置規制部が形成された第１部分と、前記第１部分に対し着脱自在な第２部分とを有する位置決め用テンプレートである。
【００１０】
請求項２記載の発明は、前記第２部分に穴部又は孔部を有する請求項１に記載の位置決め用テンプレートである。
【００１１】
請求項３記載の発明は、前記第２部分は、前記パフォーマンスボード側からの荷重負荷領域の全部又は一部に形成されている請求項１又は請求項２に記載の位置決め用テンプレートである。
【００１２】
請求項４記載の発明は、前記第２部分が前記第１部分の穴部又は孔部に嵌ることにより前記第１部分の所定の位置に保持されてなる請求項１、請求項２又は請求項３に記載の位置決め用テンプレートである。
【００１３】
請求項５記載の発明は、テストヘッド本体と、
パフォーマンスボードと、
前記テストヘッド本体と前記パフォーマンスボードとの間に配置され、該テストヘッド本体側の電極端子に対する位置規制部及び該パフォーマンスボードに対する位置規制部が形成された位置決め用テンプレートとを備え、
前記位置決め用テンプレートは、前記位置規制部が形成された第１部分と、穴部又は孔部とを有し、
前記パフォーマンスボードに実装された部品の一部が前記穴部又は孔部に配置されてなるテストヘッドである。
【００１４】
請求項６記載の発明は、テストヘッド本体と、
パフォーマンスボードと、
前記テストヘッド本体と前記パフォーマンスボードとの間に配置され、該テストヘッド本体側の電極端子に対する位置規制部及び該パフォーマンスボード側に対する位置規制部が形成された位置決め用テンプレートとを備え、
前記位置決め用テンプレートは、前記位置規制部が形成された第１部分と、前記第１部分に対し着脱自在な第２部分と、前記第２部分に形成された穴部又は孔部とを有し、
前記パフォーマンスボードに実装された部品の一部が前記穴部又は孔部に配置されてなるテストヘッドである。
【００１５】
請求項７記載の発明は、前記パフォーマンスボード側からの荷重の全部又は一部が前記第２部分を介して前記テストヘッド本体に支持される構造を有する請求項６に記載のテストヘッドである。
【００１６】
請求項８記載の発明は、前記第２部分が前記第１部分の穴部又は孔部に嵌ることにより、前記第１部分の所定の位置に保持されてなる請求項６又は請求項７に記載のテストヘッドである。
【００１７】
請求項９記載の発明は、前記第２部分が前記第１部分の穴部又は孔部に嵌り前記テストヘッド本体との前記第１部分とに挟まれることにより、前記第１部分の所定の位置に保持されてなる請求項６又は請求項７に記載のテストヘッドである。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、テストヘッド本体とパフォーマンスボードとの間に配置され、該テストヘッド本体側の電極端子と該パフォーマンスボードとの相対的位置を決める位置決め用テンプレートに形成された穴部又は孔部にパフォーマンスボードに実装された部品の一部が配置され、パフォーマンスボードに実装される部品の配置空間を拡充することができるという効果がある。
本発明によれば、必要によりテンプレートから第２部分を取り外すことにより、パフォーマンスボードに実装される部品を配置する穴部又は孔部を設けて、部品の配置空間を拡充することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下に本発明の一実施の形態につき図面を参照して説明する。以下は本発明の一実施形態であって本発明を限定するものではない。
【００２０】
本実施形態のテストヘッドは、図６〜図８に示し上述した従来のテストヘッド１と同様の構造を有し、同様のテストヘッド本体２、パフォーマンスボード４、クランププレート５を備えている（同一の符合のものは同様の要素を示す。）但し、本実施形態に係るテンプレート８は、上記従来のテンプレート３と以下に説明するように異なっている。
【００２１】
図１は、本実施形態に係るテンプレート８の分解斜視図である。図１に示すように、本実施形態のテンプレート８は、第１部分としてのメインプレート８Ｍと、第２部分としてのサブプレート８Ｓとから構成されている。メインプレート８Ｍの中央部に孔部８ａが設けられている。サブプレート８Ｓは、孔部８ａに嵌り、収まって一体化するように形成されている。
【００２２】
孔部８ａに段差を有した重ね縁８ｂが形成されており、重ね縁８ｂに重なるようにサブプレート８Ｓにも段差を有した重ね縁８ｄが形成されており、サブプレート８Ｓが抜け落ちないようにされている。また、固定用孔８ｃ，８ｅでネジ止めされることにより、サブプレート８Ｓがメインプレート８Ｍに固定可能となっている。また、そのネジを外すことによりサブプレート８Ｓをメインプレート８Ｍから取り外すことができる。図２には、メインプレート８Ｍにサブプレート８Ｓを取り付けた状態のテンプレート８の斜視図を示す。
【００２３】
サブプレート８Ｓの中央には、テンプレート８の中央にも相当する位置に固定用孔３ｃ−１が設けられている。サブプレート８Ｓは固定用孔３ｃ−１に挿入されたネジが受圧部２ｂ−１に設けられたネジ孔に螺合することによりテストヘッド本体２に連結固定可能である。
【００２４】
中央の固定用孔３ｃ−１の周囲の固定用孔３ｃ−２〜３ｃ−５は、メインプレート８Ｍに残されている。メインプレート８Ｍは固定用孔３ｃ−２〜３ｃ−５に挿入されたネジが受圧部２ｂ−２〜２ｂ−５に設けられたネジ孔に螺合することによりテストヘッド本体２に連結固定可能である。
【００２５】
図３に示すように、サブプレート８Ｓは、中央の固定用孔３ｃ−１の周りに、４つの孔部８ｆ、８ｆ、８ｆ、８ｆを有しており、固定用孔３ｃ−１で交差するように十字状に肉部分を形成している。
さらに、サブプレート８Ｓは、固定用孔３ｃ−１を中心にして、４つの孔部８ｆ、８ｆ、８ｆ、８ｆより外側に４つの孔部８ｇ、８ｇ、８ｇ、８ｇを有している。
孔部８ｆと孔部８ｆとの間や孔部８ｆと孔部８ｇと間の肉部分Ｆが、パフォーマンスボード４側から負荷される荷重を支持するとともに、テストヘッド本体２に支持され、その荷重をテストヘッド本体２に伝える。
【００２６】
本テンプレート８において、テストヘッド本体２側の電極端子（コンタクトピン等）に対する位置規制部は、位置規制孔３ａによって構成される。本テンプレート８において、パフォーマンスボード４に対する位置規制部は、位置規制ピン３ｂによって構成される。
位置規制孔３ａ及び位置規制ピン３ｂは、メインプレート８Ｍに形成されている。
【００２７】
以上のようなテンプレート８を用いたテストヘッドの第１の形態は、メインプレート８Ｍのみをテンプレートとして用いて組立てたテストヘッドで、孔部８ａにパフォーマンスボード４に実装された部品の一部を配置したものである。
【００２８】
テンプレート８を用いたテストヘッドの第２の形態は、メインプレート８Ｍ及びこれに取り付けられたサブプレート８Ｓをテンプレートとして用いて組立てたテストヘッドで、孔部８ｆや孔部８ｇにパフォーマンスボード４に実装された部品の一部を配置したものである。
【００２９】
図４に形状の異なるサブプレート９Ｓを示した。サブプレート８Ｓに代え、図４に示すサブプレート９Ｓを用いてもよい。
【００３０】
図５に、他の形態のテンプレート１０を示した。テンプレート８に代え、図５に示すテンプレート１０を用いてもよい。図５に示すテンプレート１０は、上記テンプレート８に対して、重ね縁の関係が上下逆になっている点が異なる。メインプレート１０Ｍの重ね縁１０ｂが上で、サブプレート１０Ｓの重ね縁１０ｄが下で、両者が重なるように形成されている。この場合、サブプレート１０Ｓがメインプレート１０Ｍの孔部１０ａに嵌り、重ね縁１０ｄがテストヘッド本体２とのメインプレート１０Ｍとに挟まれることにより、サブプレート１０Ｓがメインプレート１０Ｍの所定の位置に保持される。そのため、メインプレート１０Ｍとサブプレート１０Ｓとのネジ止めを省くことができる。
【００３１】
なお、以上の実施形態においては、貫通した孔部８ａ、８ｆ，８ｇを採用するが、これに代えて、底のある穴部としてもよい。勿論、部品の配置空間をより大きく確保するためには、前者が好ましい。孔部とすることにより、従来のテンプレートの配置空間と、従来のテンプレートとテストヘッド本体との間の空間を、パフォーマンスボードに実装される部品の配置空間として利用することができる。
【００３２】
以上説明した本発明の実施形態によれば、従来と同様に、コンタクトピン等のテストヘッド本体２に設けられパフォーマンスボード４に接続されるもののテンプレート８に対する位置決め、パフォーマンスボード４のテンプレート８に対する位置決めが行える。
また、テンプレートのテストヘッド本体に対する位置決め及び固定が行える。
【００３３】
テンプレートに形成された穴部又は孔部に、パフォーマンスボードに実装された部品の一部を配置することによって、パフォーマンスボードに実装される部品の配置空間を拡充することができる。
プローバ接続の態様にテストヘッドを構成する場合には、サブプレートを用いて支持構造を高剛性にし、ハンドラ接続の態様にテストヘッドを構成する場合には、サブプレートを用いずに構成して、パフォーマンスボードに実装される部品の配置空間をより大きく拡充することができる。メインプレートをプローバ接続のテストヘッドとハンドラ接続のテストヘッドとで共用でき、テンプレートの生産性が向上できる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の一実施形態に係るテンプレートの分解斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態に係るテンプレートの組立斜視図である。
【図３】本発明の一実施形態に係るサブプレートの斜視図である。
【図４】本発明の他の形態に係るサブプレートの斜視図である。
【図５】本発明の他の形態に係るテンプレートの分解斜視図である。
【図６】本発明及び従来技術に係るテストヘッドの正面図である。
【図７】従来のテストヘッドの分解斜視図である。
【図８】従来のテンプレートの斜視図である。
【符号の説明】
【００３５】
１     テストヘッド
２     テストヘッド本体
２ｄ   接続側端面
３     テンプレート
３ａ   位置規制孔
３ｂ   位置規制ピン
３ｃ   固定用孔
４     パフォーマンスボード
４ｂ   位置規制孔
５     クランププレート
６     コンタクトリング
７     プローブカード
８     テンプレート
８Ｍ   メインプレート
８Ｓ   サブプレート
８ａ   孔部
８ｆ   孔部
８ｇ   孔部
９Ｓ   サブプレート
１０   テンプレート
１０Ｍ メインプレート
１０Ｓ サブプレート
１０ａ 孔部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2008268020.tif 000008
【図７】
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【図８】
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