(57)【要約】【課題】現像時の残渣の除去を確実にし、画像の欠けの発生を抑制することが可能なカラーフィルタの製造方法及びその方法により製造されたカラーフィルタ並びにこのカラーフィルタを備えた表示装置の提供。【解決手段】感光性樹脂層を基板上に形成する感光性樹脂層形成工程と、前記感光性樹脂層を露光する露光工程と、露光された前記感光性樹脂層を現像して画像を形成する現像工程と、洗浄液を用いて回転ブラシにより前記画像の表面を擦り前記画像に付着する残渣を除去する残渣除去工程と、前記画像を加熱する加熱工程と、をこの順に有するカラーフィルタの製造方法であって、前記回転ブラシが、直径３０〜７０μｍであって、長さ１０〜３０ｍｍのブラシ毛を有し、前記回転ブラシの線速度が１５〜４０ｍ／分であることを特徴とするカラーフィルタの製造方法及びその方法により製造されたカラーフィルタ並びにこのカラーフィルタを備えた表示装置。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
感光性樹脂層を基板上に形成する感光性樹脂層形成工程と、前記感光性樹脂層を露光する露光工程と、露光された前記感光性樹脂層を現像して画像を形成する現像工程と、洗浄液を用いて回転ブラシにより前記基板の表面を擦り前記基板に付着する残渣を除去する残渣除去工程と、前記画像を加熱する加熱工程と、をこの順に有するカラーフィルタの製造方法であって、
前記回転ブラシが、直径３０〜７０μｍであって、長さ１０〜３０ｍｍのブラシ毛を有し、前記回転ブラシの線速度が１５〜４０ｍ／分であることを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項２】
前記回転ブラシの前記基板への押し込み量が１ｍｍ〜５ｍｍであることを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項３】
前記残渣除去工程において、前記基板の進行方向に対して順方向と逆方向とに回転する前記回転ブラシを少なくとも各１基ずつ用いることを特徴とする請求項１又は２に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項４】
前記回転ブラシが、前記基板の進行方向に直交する方向に１０〜５０回／分の周期で揺動することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか1項に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項５】
前記ブラシ毛の材質が、アクリル樹脂であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１項に記載のカラーフィルタの製造方法により製造されたカラーフィルタ。
【請求項７】
請求項６に記載のカラーフィルタを備えた表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノートパソコン、テレビモニター等の液晶表示装置等に用いられるカラーフィルタの製造方法、該製造方法によって製造されたカラーフィルタ及び該カラーフィルタを有する表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
カラーフィルタは、液晶ディスプレイ（以下、「液晶表示装置」ともいう。）に不可欠な構成部品である。この液晶ディスプレイは非常にコンパクトであり、性能面でもこれまでのＣＲＴディスプレイと同等以上であり、ＣＲＴディスプレイから置き換わりつつある。
液晶ディスプレイのカラー画像の形成は、カラーフィルタを通過した光がそのままカラーフィルタを構成する各画素の色に着色されて、それらの色の光が合成されてカラー画像を形成する。そして、現在はＲＧＢの３色の画素でカラー画像を形成している。
【０００３】
カラーフィルタの製造法としては、柱材レジストや着色レジスト等の感光性樹脂をスピンナーやロールコーターで塗布して感光性樹脂層を形成し、該層を露光現像して画像形成する方法、転写法等が知られている。
これらの製造方法では現像の際に感光性樹脂の残渣が基板に付着することがある。
この現像残渣は混色を引き起こし、次色の転写時に密着を阻害したり、液晶パネルに組み上げるために２枚の基板を非画像形成部により接着剤で接合したときに、接着強度を低下させる原因ともなる。また、この現像残渣は、色数を追う毎に堆積してゆく。
この問題を回避するため、処理液中でブラシ擦りを行う方法（例えば、特許文献１参照。）が開示されている。
【特許文献１】特開平６−２５８５１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
現像残渣を除去するために現像またはその後の洗浄工程においてブラシを使用すると残渣を有効に除去できるが、画像の欠けによる線幅ムラ（線幅のバラツキ）が発生することがあった。コストダウンのため歩留まりを減らす為には、画像の欠けなどの故障を減らすことが求められている。
【０００５】
本発明は上記従来の問題点に鑑みてなされたものであり、現像時に生ずる残渣の除去を確実にし、画像の欠けの発生を抑制することが可能なカラーフィルタの製造方法及びその方法により製造されたカラーフィルタ並びにこのカラーフィルタを備えた表示装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者は最適なブラシの条件について鋭意研究を行った結果、特定の回転ブラシを用いることで上記課題を解決することを見出し、本発明を完成した。
即ち、本発明は、
＜１＞  感光性樹脂層を基板上に形成する感光性樹脂層形成工程と、前記感光性樹脂層を露光する露光工程と、露光された前記感光性樹脂層を現像して画像を形成する現像工程と、洗浄液を用いて回転ブラシにより前記基板の表面を擦り前記基板に付着する残渣を除去する残渣除去工程と、前記画像を加熱する加熱工程と、をこの順に有するカラーフィルタの製造方法であって、前記回転ブラシが、直径３０〜７０μｍであって、長さ１０〜３０ｍｍのブラシ毛を有し、前記回転ブラシの線速度が１５〜４０ｍ／分であることを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。
【０００７】
＜２＞  前記回転ブラシの前記基板への押し込み量が１ｍｍ〜５ｍｍであることを特徴とする＜１＞に記載のカラーフィルタの製造方法である。
【０００８】
＜３＞  前記残渣除去工程において、前記基板の進行方向に対して順方向と逆方向とに回転する前記回転ブラシを少なくとも各１基ずつ用いることを特徴とする＜１＞又は＜２＞に記載のカラーフィルタの製造方法である。
【０００９】
＜４＞  前記回転ブラシが、前記基板の進行方向に直交する方向に１０〜５０回／分の周期で揺動することを特徴とする＜１＞乃至＜３＞のいずれか1つに記載のカラーフィルタの製造方法である。
【００１０】
＜５＞  前記ブラシ毛の材質が、アクリル樹脂であることを特徴とする＜１＞乃至＜４＞のいずれか１つに記載のカラーフィルタの製造方法である。
【００１１】
＜６＞  ＜１＞乃至＜５＞のいずれか１つに記載のカラーフィルタの製造方法により製造されたカラーフィルタである。
【００１２】
＜７＞  ＜６＞に記載のカラーフィルタを備えた表示装置である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、現像時に生ずる残渣の除去を確実にし、画像の欠けの発生を抑制することが可能なカラーフィルタの製造方法及びその方法により製造されたカラーフィルタ並びにこのカラーフィルタを備えた表示装置が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明のカラーフィルタ及びその製造方法並びに表示装置について詳細に説明する。
【００１５】
＜カラーフィルタ及びその製造方法＞
本発明のカラーフィルタの製造方法は、感光性樹脂層を基板上に形成する感光性樹脂層形成工程と、前記感光性樹脂層を露光する露光工程と、露光された前記感光性樹脂層を現像して画像を形成する現像工程と、洗浄液を用いて回転ブラシにより前記画像の表面を擦り前記画像に付着する残渣を除去する残渣除去工程と、前記画像を加熱する加熱工程と、をこの順に有するカラーフィルタの製造方法であって、前記回転ブラシが、直径３０〜７０μｍであって、長さ１０〜３０ｍｍのブラシ毛を有し、前記回転ブラシの線速度が１５〜４０ｍ／分であることを特徴とするものである。
【００１６】
本発明のカラーフィルタの製造方法によれば、現像時に生ずる残渣の除去を確実にし、画像の欠けの発生を抑制することが可能となる。
【００１７】
本発明のカラーフィルタの製造方法に係る感光性樹脂層形成工程、露光工程、現像工程及び加熱（ベーク）工程は、従来公知の工程と同様である。感光性樹脂層を基板に形成する工程（感光性樹脂層形成工程）は、スリットコーターなどを用いる塗布により形成する方法や、予め作成した転写材料を用いて形成する転写法などが挙げられる。これらの工程については、特開２００６−２３６９６号公報の段落番号［００２３］〜［００５１］に記載の方法と同様に行うことができる。
【００１８】
（残渣除去工程）
本発明に係る残渣除去工程は、洗浄液を用いて回転ブラシにより画像の表面を擦り画像に付着する残渣を除去する工程であり、該回転ブラシが、直径３０〜７０μｍであって、長さ１０〜３０ｍｍのブラシ毛を有し、該回転ブラシの線速度が１５〜４０ｍ／分であることを特徴とするものである。本発明に係る残渣除去工程は、基板の少なくとも感光性樹脂層の形成された側の面を処理する工程である。
【００１９】
＜回転ブラシの構造＞
図１は、本発明に使用可能な回転ブラシの構造を説明するための斜視図である。回転ブラシ１４は、円筒状又は棒状のブラシコア１０とブラシコア１０表面に植毛されたブラシ毛１２とを有する。ブラシコア１０の長さ（即ち回転ブラシ１４の回転軸方向の長さ）は、基板のサイズにより適宜決定されるが、通常基板幅プラス揺動幅プラス約２０ｍｍである。なお、ブラシ毛１２の素材については後述する。
【００２０】
＜回転ブラシのブラシ毛の材質＞
本発明に係る回転ブラシのブラシ毛としては、ナイロン、ＰＥＴ、アクリル樹脂、ＰＶＡ、ＰＶＣなどの合成繊維や、植物又は動物由来の高分子などが好適に用いられるが、耐久性が良く画像のパターン欠けやキズが起こりにくい観点から、ナイロンやアクリル樹脂製の繊維を適宜利用でき、特にアクリル樹脂製が好ましい。
【００２１】
ブラシ毛の長さは、基板表面に傷を付けない程度の弾力性をもつようにするため、１０〜３０ｍｍであることが必須であるが、より好ましくは１５〜２５ｍｍである。ブラシ毛の材質、線径に応じてブラシ毛の長さは適宜選択される。前記好ましい範囲であると、残渣を十分に除去することができる。
【００２２】
ブラシ毛の直径は、３０〜７０μｍであることが必須であるが、より好ましくは４０〜６０μｍである。前記好ましい範囲であると、微細部分の残渣を除去することができ、かつキズの発生が少ない。
【００２３】
＜回転ブラシの線速度＞
本発明に係る回転ブラシの線速度は、１５〜４０ｍ／分であることが必須であるが、好ましくは２０〜３０ｍ／分である。なお、本発明における回転ブラシの線速度とは、回転ブラシの基板への後述する押し込み量を０と仮定したときの値である。
例えば、回転ブラシのコア直径４０ｍｍ、ブラシ毛長２０ｍｍの回転ブラシ（即ち回転ブラシの直径は８０ｍｍ）を２００ｒｐｍで回転させた場合の線速度は、５０．２ｍ／分となる。
残渣除去工程において回転ブラシを２基以上用いる場合は、基板の搬送安定性の観点から、各回転ブラシの線速度は同じであることが好ましい。
前記ブラシ毛長、ブラシ毛径、線速度が共に前記好ましい範囲であると、残渣を良好に除去でき画像の欠けやムラ、キズなどの欠陥が出ない点で好ましい。
【００２４】
＜回転ブラシの基板への押し込み量＞
本発明においては、回転ブラシの基板への押し込み量は１〜５ｍｍが好ましく、更に好ましくは１〜３ｍｍ、特に好ましくは１．５〜３ｍｍである。押し込み量が１〜５ｍｍの範囲であると、画像表面のブラシによる擦り傷の発生を防ぐことができる。
【００２５】
ここで、本発明における「押し込み量」について図面を用いて説明する。図２は、回転ブラシの基板への押し込み量を説明するための図であり、図２（ａ）は押し込み量が０の状態を示し、図２（ｂ）は所定の押し込み量だけ回転ブラシが基板に押し込まれた状態を示す。
図２（ａ）では、回転ブラシ１４が、基板１６に押し込み量が０で当接している。このときの基板１６表面からの回転ブラシ１４の高さ（即ち回転ブラシの直径）は、ブラシコア１０の直径ｃ及びブラシ毛１２の長さｂを用いて（２ｂ＋ｃ）で表される。
一方、図２（ｂ）では、所定の押し込み量だけブラシ１４が基板１６に押し込まれている。このときの基板１６表面からの回転ブラシ１４の高さをａとすると、「押し込み量」は［（２ｂ＋ｃ）−ａ］で表される。
【００２６】
＜回転ブラシの回転数＞
回転ブラシの回転数については、回転ブラシの直径や線速度等を考慮して適宜設定することができるが、好ましくは７５〜１５０ｒｐｍの範囲であり、より好ましくは８０〜１２０ｒｐｍの範囲である。前記好ましい範囲であると、残渣を十分に除去することができる。
【００２７】
＜回転ブラシの設置位置、使用数及び回転方向＞
本発明に係る残渣除去工程で用いられる回転ブラシの数は特に限定されるものではなく、１基であっても２基以上であってもよい。以下に、図面を用いて残渣除去工程における回転ブラシの好ましい設置位置、使用数及び回転方向について述べる。
図３は、残渣除去工程における回転ブラシの好ましい設置位置、使用数及び回転方向を説明するための図である。図３においては、表面に感光性樹脂層の形成された基板１６は、搬送ローラー１８により矢印Ａ方向に搬送されると共に、回転ブラシ１４によりその表面が擦られる。各回転ブラシ１４は図中矢印方向に回転する。なお、感光性樹脂層は基板１６の搬送ローラー１８が接する面とは反対の面に形成されている。
【００２８】
回転ブラシを１基用いる場合には、図３（ａ）のごとく回転ブラシ１４が基板１６の感光性樹脂層の形成された側に配置されるが、基板１６の感光性樹脂層の形成された側とは反対の面への、不溶成分やゴミの付着の防止や、基板の搬送安定性の観点から、図３（ｂ）乃至（ｅ）のごとく基板１６の感光性樹脂層の形成されていない側にも回転ブラシを設置することが好ましい。なお、本発明において図３（ａ）の回転ブラシ１４の回転方向を「基板の搬送方向に対して順方向」の回転と、これとは逆側の回転を「基板の搬送方向に対して逆方向」の回転とする。
【００２９】
また、複数の回転ブラシを用いる場合には、回転ブラシの配置は千鳥配列（図３（ｃ））としても、対向配列（図３（ｂ）、（ｄ）、（ｅ））としてもよいが、対向配列が好適に用いられる。
画像断面形状の方向性をなくす観点及び基板の搬送安定性の観点からは、図３（ｅ）のごとく基板の進行方向に対して順方向と逆方向とに回転する回転ブラシを少なくとも各１基ずつ用いることが好ましい。
【００３０】
＜植毛密度＞
回転ブラシのブラシ毛密度は３０００〜１００００本／ｃｍ２が好ましい。より好ましくは４０００〜９０００本／ｃｍ２である。さらに好ましくは５０００〜７０００本／ｃｍ２である。また、回転ブラシの植毛状態については、放射線状タイプ、チャンネル状タイプ、らせん状タイプ、密巻状タイプ等があるが、回転ブラシのブラシ毛密度の関係から、密巻状タイプが好適に用いられる。例えば、２５００本／５ｍｍφの束を上記範囲に植毛することができる。
【００３１】
＜回転ブラシ径＞
回転ブラシの直径については、好ましくは６０〜１１０ｍｍの範囲であり、より好ましくは７０〜９０ｍｍの範囲である。
【００３２】
＜洗浄液の供給方法＞
残渣除去工程における洗浄液の供給方法は特に限定されるものではないが、基板表面に洗浄液を供給する方法、回転ブラシに洗浄剤を供給する方法又は洗浄剤の満たされた浴中で残渣処理を行う方法等が挙げられるが、洗浄液を回転ブラシにスプレー等により直接供給することは、回転ブラシの汚れの蓄積を軽減し残渣除去の効果を十分発現させる観点で好ましい。
【００３３】
＜揺動＞
基板の搬送方向に直交する方向における画像の線幅バラツキを軽減する目的で、回転ブラシを揺動させることが好ましい。
【００３４】
回転ブラシを揺動させる方向については、基板の搬送方向に対して交わる方向であればよいが、搬送方向に対して直交する方向に、すなわち回転ブラシの軸方向に揺動させる方が好ましい。回転ブラシの揺動ストロークは、５〜５０ｍｍが好ましい。より好ましくは１０〜３０ｍｍである。
【００３５】
回転ブラシの揺動速度は、ブラシの数、ブラシの間隔、ブラシの揺動方法、基板の搬送速度に左右されるため適宜選択される。回転ブラシが、基板の進行方向に直交する方向に１０〜５０回／分の周期で揺動することが好ましく、２０〜４０回／分の周期で揺動することがより好ましい。前記好ましい範囲であると、基板の搬送が安定する。
【００３６】
回転ブラシの揺動方法としては、カムとシャフト、歯車、モーターとボールネジ、エアーシリンダー等を用いてブラシを揺動させる方法があるが、装置の構成、ブラシの揺動速度などによって、適宜選択される。
【００３７】
また、回転ブラシの揺動は回転ブラシの揺動速度、基板の搬送速度、搬送方法などによって、回転ブラシの揺動方法を変えるため、必ずしもすべての回転ブラシを同調操作させてもさせなくてもよい。
【００３８】
＜搬送速度＞
基板の搬送速度としては、１〜１０ｍ／分が好ましく、２〜６ｍ／分がさらに好ましく、３〜４ｍ／分が特に好ましい。
【００３９】
（感光性樹脂層）
本発明における感光性樹脂層がブラックマトリクスなどの遮光部を形成する場合は、特開２００５−３８６１号公報の感光性黒色樹脂層や、特開２００４−２４００３９号公報の着色組成物からなる層と同様にして感光性樹脂層を形成することができる。ＲＧＢなどの着色画素を形成する場合は、特開２００６−２３６９６号公報の着色感光性樹脂組成物からなる層と同様にして感光性樹脂層を形成することができる。
【００４０】
（カラーフィルタ）
本発明のカラーフィルタは、上述した本発明のカラーフィルタの製造方法により製造される。
カラーフィルタとは、表示装置のカラーフィルタ基板（ＴＦＴ基板と対向する基板）を構成する部材であり、着色画素やブラックマトリクス、スペーサ、液晶配向制御用突起などを含む。
例えば、着色画素の場合、以上の工程を色の数（例えば、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）等）だけ繰り返して作製する。この際、同様の工程により、隔壁（ブラックマトリクス）を形成してもよい。カラーフィルタ上には、更に必要に応じて、オーバーコート膜や透明導電膜を形成してもよい。
隔壁の場合、ガラス基板やＲＧＢ等の着色パターンが形成されたカラーフィルタ基板の上に、上記の工程によって作製してもよいし、その他の基板（例えばＴＦＴ基板）の上に作製してもよい。
スペーサの場合、カラーフィルタ基板の上に、上記の工程によって作製してもよいし、その他の基板（例えばＴＦＴ基板）の上に作製してもよい。
液晶配向制御用突起の場合、カラーフィルタ基板の上に、上記の工程によって作製してもよいし、その他の基板（例えばＴＦＴ基板）の上に作製してもよい。
【００４１】
＜表示装置＞
本発明の表示装置は、本発明のカラーフィルタを備えて構成される。表示装置の例としては、液晶表示装置、プラズマディスプレイ表示装置、ＥＬ表示装置、ＣＲＴ表示装置などの表示装置が挙げられる。
【００４２】
例えば、本発明のカラーフィルタである着色画素、隔壁、スペーサ、液晶配向制御用突起を備えた基板と、これとは別に用意した対向基板とを所定の間隙を設けて対向配置し、該間隙に液晶を封入することによって液晶表示装置が作製される。
【００４３】
液晶の表示方式としては、特に制限はなく目的に応じて適宜選択できる。例えば、ＥＣＢ（Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌｌｙ  Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｄ  Ｂｉｒｅｆｒｉｎｇｅｎｃｅ）、ＴＮ（Ｔｗｉｓｔｅｄ  Ｎｅｍａｔｉｃ）、ＯＣＢ（Ｏｐｔｉｃａｌｌｙ  Ｃｏｍｐｅｎｓａｔｏｒｙ  Ｂｅｎｄ）、ＶＡ（Ｖｅｒｔｉｃａｌｌｙ  Ａｌｉｇｎｅｄ）、ＭＶＡ（Ｍｕｌｔｉ−ｄｏｍａｉｎ  Ｖｅｒｔｉｃａｌ  Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）、ＨＡＮ（Ｈｙｂｒｉｄ  Ａｌｉｇｎｅｄ  Ｎｅｍａｔｉｃ）、ＳＴＮ（Ｓｕｐｐｅｒ  Ｔｗｉｓｔｅｄ  Ｎｅｍａｔｉｃ）、ＩＰＳ（Ｉｎ−Ｐｌａｎｅ  Ｓｗｉｔｃｈｉｎｇ）、ＧＨ（Ｇｕｅｓｔ  Ｈｏｓｔ）、ＦＬＣ（強誘電性液晶）、ＡＦＬＣ（反強誘電性液晶）、ＰＤＬＣ（高分子分散型液晶）などの表示方式に適用可能である。
【実施例】
【００４４】
以下、本発明を実施例に基づきさらに詳細に説明するが、本発明は下記実施例により限定されるものではない。
［実施例１］
＜ブラックマトリクスの作製＞
−感光性転写材料、塗布液の作製−
厚さ７５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム仮支持体の上に、スリット状ノズルを用いて、下記処方Ｈ１からなる熱可塑性樹脂層用塗布液を塗布、乾燥させた。次に、下記処方Ｐ１から成る中間層用塗布液を塗布、乾燥させた。更に、下記表１に記載の処方からなる着色感光性樹脂組成物Ｋ１を塗布、乾燥させ、該仮支持体の上に乾燥膜厚が１４．６μｍの熱可塑性樹脂層と、乾燥膜厚が１．６μｍの中間層と、乾燥膜厚が２．２μｍの感光性樹脂層を設け、保護フイルム（厚さ１２μｍポリプロピレンフィルム）を圧着した。
こうして仮支持体と熱可塑性樹脂層と中間層（酸素遮断膜）とブラック（Ｋ）の感光性樹脂層とが一体となった感光性転写材料を作製し、サンプル名を感光性転写材料Ｋ１とした。
【００４５】
熱可塑性樹脂層用塗布液：処方Ｈ１
・メタノール                                                          １１．１部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート                    ６．３６部
・メチルエチルケトン                                                  ５２．４部
・メチルメタクリレート／２−エチルヘキシルアクリレート／ベンジル
メタクリレート／メタクリル酸共重合体（共重合組成比（モル比）
＝５５／１１．７／４．５／２８．８、分子量＝９万、Ｔｇ≒７０℃）  ５．８３部
・スチレン／アクリル酸共重合体（共重合組成比（モル比）
＝６３／３７、分子量＝１万、Ｔｇ≒１００℃）                      １３．６部
・ビスフェノールＡにペンタエチレングリコールモノメタクリートを
２当量脱水縮合した化合物（新中村化学工業（株）製、商品名：２，２−
ビス［４−（メタクリロキシポリエトキシ）フェニル］プロパン）    ９．１部
・後述の界面活性剤１                                                  ０．５４部
【００４６】
中間層用塗布液：処方Ｐ１
・ＰＶＡ２０５（ポリビニルアルコール、（株）クラレ製、
鹸化度＝８８％、重合度５５０）          ３２．２部
・ポリビニルピロリドン（アイエスピー・ジャパン（株）製、Ｋ−３０）    １４．９部
・蒸留水                                                                ５２４部
・メタノール                                                            ４２９部
【００４７】
−ブラック（Ｋ）画像の形成−
無アルカリガラス基板に、２５℃に調整した洗浄液（燐酸塩・珪酸塩・ノニオン界面活性剤・消泡剤・安定剤含有、商品名：Ｔ−ＳＤ１  富士写真フイルム（株）製を純水で１０倍に希釈したもの）をシャワーにより２０秒間吹き付けながらナイロン毛を有する回転ブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液（Ｎ−β（アミノエチル）γ−アミノプロピルトリメトキシシラン０．３質量％水溶液、商品名：ＫＢＭ６０３、信越化学工業（株）製）をシャワーにより２０秒間吹き付け、純水シャワー洗浄した。この基板を基板予備加熱装置で１００℃２分加熱して次のラミネーターに送った（なお、ここで洗浄液としてＴ−ＳＤ１を用いたが、Ｔ−ＳＤ３を同様に用いてもよい）。
【００４８】
（感光性樹脂層形成工程）
前記感光性樹脂転写材料Ｋ１の保護フイルムを剥離後、ラミネーター（（株）日立インダストリイズ製（ＬａｍｉｃＩＩ））を用い、１００℃に加熱した前記基板に、ゴムローラー温度１３０℃、線圧１００Ｎ／ｃｍ、搬送速度２．２ｍ／分でラミネートした。
【００４９】
（露光工程）
仮支持体を熱可塑性樹脂層との界面で剥離後、超高圧水銀灯を有するプロキシミティー型露光機（日立ハイテク電子エンジニアリング（株）製）で、基板とマスク（画像パターンを有する石英露光マスク）を垂直に立てた状態で、露光マスク面と該感光性樹脂層の間の距離を２００μｍに設定し、露光量７０ｍＪ／ｃｍ２でパターン露光した。  
【００５０】
（現像工程）
次に、トリエタノールアミン系現像液（トリエタノールアミン３０質量％と添加剤含有、商品名：Ｔ−ＰＤ２、富士写真フイルム（株）製を、純水で１２倍（該原液を１質量部と純水を１１質量部の割合で混合）に希釈した液）を３０℃５０秒、フラットノズル圧力０．０４ＭＰａでシャワー現像し熱可塑性樹脂層と中間層を除去した。引き続き、この基板上面にエアを吹きかけて液切りした後、純水をシャワーにより１０秒間吹き付け、純水シャワー洗浄し、エアを吹きかけて基板上の液だまりを減らした。
【００５１】
引き続き炭酸Ｎａ系現像液（商品名：Ｔ−ＣＤ１、富士写真フイルム株式会社製を純水で５倍希釈したもの）を用い、２９℃３０秒、コーン型ノズル圧力０．１５ＭＰａでシャワー現像し感光性樹脂層を現像しパターニング画像を得た。
【００５２】
（残渣除去工程）
引き続き洗浄剤（燐酸塩・珪酸塩・ノニオン界面活性剤・消泡剤・安定剤含有、商品名：Ｔ−ＳＤ１、富士写真フイルム（株）製）を純水で１０倍に希釈して用い、３３℃２０秒、コーン型ノズル圧力０．０２ＭＰａでシャワーで吹きかけ、更に表２に記載の回転ブラシ及び条件により形成された画像を擦って残渣除去を行い、ブラック（Ｋ）の画像を得た（なお、ここで洗浄液としてＴ−ＳＤ１を用いたが、Ｔ−ＳＤ３を同様に用いても良い）。
【００５３】
（ポスト露光、及び、加熱工程）
その後、該基板に対して両面から超高圧水銀灯で５００ｍＪ／ｃｍ２の露光量でポスト露光後、２２０℃、３０分熱処理（ベーク）し、ブラックマトリクスを作製した。
【００５４】
【表１】
2008076864.tif 000002
【００５５】
＊Ｋ顔料分散物１
・カーボンブラック（デグッサ社製  Ｎｉｐｅｘ３５）        ・・・  １３．１％
・分散剤１（下記化合物１）                                ・・・  ０．６５％
・ポリマー（ベンジルメタクリレート／メタクリル酸（＝７２／２８［モル比］）のランダム共重合物、分子量３．７万）                            ・・・  ６．７２％
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート        ・・・７９．５３％
【００５６】
【化１】
2008076864.tif 000003
【００５７】
＊バインダー１
・ポリマー（ベンジルメタクリレート／メタクリル酸（＝７８／２２［モル比］）のランダム共重合物、分子量３．８万）                                ・・・    ２７％
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート            ・・・    ７３％
＊ＤＰＨＡ液
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（重合禁止剤ＭＥＨＱ  ５００ｐｐｍ含有、日本化薬（株）製、商品名：ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ）        ・・・    ７６％
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート            ・・・    ２４％
＊界面活性剤１
・下記構造物１                                                ・・・    ３０％
・メチルエチルケトン                                          ・・・    ７０％
【００５８】
【化２】
2008076864.tif 000004
【００５９】
＜カラーフィルタの作製＞
特開２００６−２０８４８０号公報の段落番号［０１３４］及び［０１４８］〜［０１６０］に記載の方法で、レッド（Ｒ）画素、グリーン（Ｇ）画素、ブルー（Ｂ）画素を有するカラーフィルタを作製した。
【００６０】
＜液晶表示装置の作製＞
上記で得られたカラーフィルタを用いて、特開２００６−２０８４８０号公報の段落番号［０１３３］〜［０１３４］及び［０１６２］〜［０１６７］に記載の方法で、液晶表示装置を作製した。
【００６１】
（実施例２〜３２、比較例１〜１０）
実施例１において、残渣除去工程に使用する回転ブラシを表２に記載の回転ブラシ、条件に変更した以外は、実施例１と同様の方法でブラックマトリクス、カラーフィルタ及び液晶表示装置を作製した。
【００６２】
【表２】
2008076864.tif 000005
【００６３】
［評価］
残渣除去工程、カラーフィルタ及び液晶表示装置につき、下記評価を実施した。得られた結果を表３に示す。
＜基板搬送安定性＞
残渣除去工程中の基板搬送速度の変動を、基板の通過速度を測定して調べた。
○・・・速度変動１％未満
△・・・速度変動１％以上２％未満
×・・・速度変動２％以上
【００６４】
＜残渣＞
得られたブラックマトリクスが形成された基板について、未露光部における現像残渣を、走査型電子顕微鏡を用いて観察し、下記基準により評価した。
〔評価基準〕
○・・・未露光部に現像残渣が認められなかった。
△・・・未露光部に幾分現像残渣が認められた。
×・・・未露光部に現像残渣が多く認められた。
【００６５】
＜キズ＞
得られたブラックマトリクスについて、キズの有無を、走査型電子顕微鏡を用いて観察し、下記基準により評価した。
〔評価基準〕
◎・・・キズが認められなかった。
○・・・僅かにキズが認められた。
△・・・幾分キズが認められた。
×・・・キズが多く認められた。
【００６６】
＜線幅バラツキ＞
ブラックマトリクスが形成された基板について、金属顕微鏡ＶＡＮＯＸ  ＡＨＭＴ３（オリンパス（株）製）にＯＬＹＭＰＵＳ  Ｉｋｅｇａｍｉ  ＩＴＣ−３７０Ｍ（オリンパス（株）製）を搭載し、ＦＬＯＶＥＬ  ＶＩＤＥＯ  ＭＩＣＲＯ  ＭＥＴＥＲ  ＭＯＤＥＬ  ＶＭ−４０（オリンパス（株）製）を用いて直接観察し、任意の５０点を選択して基板の法線方向と直交しブラックマトリックス幅を最小にする方向におけるブラックマトリクス幅を測定し、線幅とした。算出した線幅の最大値と最小値の差を以下の基準で評価した。
〔評価基準〕
○・・・２μｍ未満
△・・・２μｍ以上４μｍ未満
×・・・４μｍ以上
【００６７】
＜表示ムラ＞
液晶表示装置の各々について、グレイのテスト信号を入力させたときのグレイ表示を目視にて観察し、表示ムラの発生の有無を下記評価基準にしたがって評価した。
〔評価基準〕
○・・・まったくムラがみられない（非常に良い）
△・・・表示部にかすかにムラが見られるが実用レベル（普通）
×・・・表示部に強いムラがある（非常に悪い）
【００６８】
【表３】
2008076864.tif 000006
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】回転ブラシの構造を説明するための斜視図である。
【図２】回転ブラシの基板への押し込み量を説明するための図である。
【図３】残渣除去工程における回転ブラシの好ましい設置位置、使用数及び回転方向を説明するための図である。
【符号の説明】
【００７０】
１０  ブラシコア
１２  ブラシ毛
１４  回転ブラシ
１６  基板
１８  搬送ローラー
【図１】
2008076864.tif 000007
【図２】
2008076864.tif 000008
【図３】
2008076864.tif 000009