(57)【要約】【課題】複数ビットの導光路を高精度かつ効率的に製造することが可能な導光路アレイの製造方法、導光路アレイおよび導光路モジュールを提供する。【解決手段】導光路の元となる板状の透光性媒体をダイシングテープ１０２に接着し、ダイシング用のテーブル１００に固定し、透光性媒体をダイシング加工して複数の導光路を作製する。次に、ダイシングテープ１０２に紫外線を照射（ＵＶ露光）し、ダイシングテープ１０２の接着力を小さくする。次に、導光路４の上面に、接着剤３を塗布した基板２を貼り付ける。次に、ダイシングテープ１０２から基板２を離間させることにより、４つの導光路４は間隔ｄを保ったままダイシングテープ２から剥離して基板２側に転写する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状の透光性媒体を支持部材上に剥離可能に固定する固定工程と、
前記支持部材上に固定された前記透光性媒体に除去加工を施して、入射した信号光を内部に反射する入射側反射面と前記入射側反射面で内部に反射した信号光を外部に反射する出射側反射面とを有する複数の導光路を所定の間隔で形成する形成工程と、
前記複数の導光路を前記所定の間隔を保ったまま前記支持部材から剥離して基板に転写する転写工程とを含むことを特徴とする導光路アレイの製造方法。
【請求項２】
前記固定工程は、前記透光性媒体を第１の接着剤により前記支持部材上に固定し、
前記転写工程は、前記第１の接着剤の接着力低減処理を行うとともに、前記複数の導光路の前記支持部材側の面と反対側の面に第２の接着剤により前記基板を接着し、前記第１および第２の接着剤の接着力差を利用して前記基板を前記支持部材から離間させることにより、前記複数の導光路を前記第１の接着剤から剥離して前記基板に転写することを特徴とする請求項１に記載の導光路アレイの製造方法。
【請求項３】
前記第１の接着剤の接着力低減処理は、紫外線を照射する処理である請求項２に記載の導光路アレイの製造方法。
【請求項４】
前記転写工程により前記基板に転写された前記複数の導光路の前記入射側反射面および前記出射側反射面は、空気に接していることを特徴とする請求項１に記載の導光路アレイの製造方法。
【請求項５】
前記固定工程における前記透光性媒体は、前記支持部材と反対側の面に前記透光性媒体よりも小さい屈折率を有するクラッド層を備え、
前記形成工程は、前記複数の導光路の前記支持部材と反対側の面の前記入射側反射面および前記出射側反射面を除く面に前記クラッド層を備えたことを特徴とする請求項１に記載の光分岐導光路アレイの製造方法。
【請求項６】
前記形成工程で得られる前記導光路の前記出射側反射面は、前記入射側反射面で内部に反射した前記信号光を複数の信号光に分岐して外部に反射する複数の前記出射側反射面であることを特徴とする請求項１に記載の導光路アレイの製造方法。
【請求項７】
前記形成工程で得られた前記複数の導光路は、互いに平行に形成され、前記複数の導光路に形成された前記入射側反射面、前記複数の出射側反射面は、前記支持部材の上面から見て格子状に配置されたことを特徴とする請求項６に記載の導光路アレイの製造方法。
【請求項８】
前記転写工程で使用した前記第２の接着剤は、前記基板の前記入射側反射面および前記出射側反射面に対向する部分を避けて塗布されたことを特徴とする請求項６に記載の光分岐導光路アレイの製造方法。
【請求項９】
板状の透光性媒体から除去加工により形成され、入射した信号光を内部に反射する入射側反射面と前記入射側反射面で内部に反射した信号光を外部に反射する出射側反射面とを有する複数の導光路と、
基板と、
前記導光路の屈折率よりも小さい屈折率を有し、前記複数の導光路を前記除去加工の際の間隔を保って前記基板に接着する接着層とを備えたことを特徴とする導光路アレイ。
【請求項１０】
板状の透光性媒体から除去加工により形成され、入射した信号光を内部に反射する入射側反射面と前記入射側反射面で内部に反射した信号光を複数の信号光に分岐して外部に反射する出射側反射面とを有する複数の導光路と、
基板と、
前記導光路の屈折率よりも小さい屈折率を有し、前記基板の前記入射側反射面および前記出射側反射面に対向する部分を避けて塗布され、前記複数の導光路を前記除去加工の際の間隔を保って前記基板に接着する接着層とを備えたことを特徴とする導光路アレイ。
【請求項１１】
板状の透光性媒体から除去加工により形成され、入射した信号光を内部に反射する入射側反射面と前記入射側反射面で内部に反射した信号光を外部に反射する出射側反射面とを有する複数の導光路と、
基板と、
前記導光路の屈折率よりも小さい屈折率を有し、前記複数の導光路を前記除去加工の際の間隔を保って前記基板に接着する接着層と、
前記複数の導光路の前記基板と反対側の前記入射側反射面および前記出射側反射面に対応する位置に配置され、前記信号光を入出力する複数の光学要素とを備えたことを特徴とする導光路モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、導光路アレイの製造方法、導光路アレイおよび導光路モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
最近、高速化、信頼性向上のため、電気配線の代わりに、装置間、ボード間、チップ間で光配線を行うことが注目されている。
【０００３】
このような光配線に用いられる従来の導光路として、特許文献１に示されるものがある。この導波路は、板状の透光性媒体から形成され、入射した信号光を内部に反射する複数の入射側反射面と、各入射側反射面で反射した複数の信号光をそれぞれ複数の信号光に分岐して外部に反射する複数の出射側反射面とを備える。この導波路によれば、任意の回路基板間での並列の信号伝送を行うことができる。
【０００４】
一方、導光路に対して、高速伝送の要求があり、より小径の受光素子やファイバへの結合が求められている。それに伴い、導光路の線幅や光分岐導光路の分岐口が微細になりつつある。
【特許文献１】特開２０００−２５８６６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、複数ビットの導光路を精度良く配置し、かつ、効率的に製造することが可能な導光路アレイの製造方法、導光路アレイおよび導光路モジュールを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記目的を達成するため、以下の導光路アレイの製造方法、導光路アレイおよび導光路モジュールを提供する。
【０００７】
［１］板状の透光性媒体を支持部材上に剥離可能に固定する固定工程と、前記支持部材上に固定された前記透光性媒体に除去加工を施して、入射した信号光を内部に反射する入射側反射面と前記入射側反射面で内部に反射した信号光を外部に反射する出射側反射面とを有する複数の導光路を所定の間隔で形成する形成工程と、前記複数の導光路を前記所定の間隔を保ったまま前記支持部材から剥離して基板に転写する転写工程とを含むことを特徴とする導光路アレイの製造方法。
【０００８】
［２］前記固定工程は、前記透光性媒体を第１の接着剤により前記支持部材上に固定し、前記転写工程は、前記第１の接着剤の接着力低減処理を行うとともに、前記複数の導光路の前記支持部材側の面と反対側の面に第２の接着剤により前記基板を接着し、前記第１および第２の接着剤の接着力差を利用して前記基板を前記支持部材から離間させることにより、前記複数の導光路を前記第１の接着剤から剥離して前記基板に転写することを特徴とする前記［１］に記載の導光路アレイの製造方法。
【０００９】
［３］前記第１の接着剤の接着力低減処理は、紫外線を照射する処理である前記［２］に記載の導光路アレイの製造方法。
【００１０】
［４］前記転写工程により前記基板に転写された前記複数の導光路の前記入射側反射面および前記出射側反射面は、空気に接していることを特徴とする前記［１］に記載の導光路アレイの製造方法。
【００１１】
［５］前記固定工程における前記透光性媒体は、前記支持部材と反対側の面に前記透光性媒体よりも小さい屈折率を有するクラッド層を備え、前記形成工程は、前記複数の導光路の前記支持部材と反対側の面の前記入射側反射面および前記出射側反射面を除く面に前記クラッド層を備えたことを特徴とする前記［１］に記載の光分岐導光路アレイの製造方法。
【００１２】
［６］前記形成工程で得られる前記導光路の前記出射側反射面は、前記入射側反射面で内部に反射した前記信号光を複数の信号光に分岐して外部に反射する複数の前記出射側反射面であることを特徴とする前記［１］に記載の導光路アレイの製造方法。
【００１３】
［７］前記形成工程で得られた前記複数の導光路は、互いに平行に形成され、前記複数の導光路に形成された前記入射側反射面、前記複数の出射側反射面は、前記支持部材の上面から見て格子状に配置されたことを特徴とする前記［６］に記載の導光路アレイの製造方法。
【００１４】
［８］前記転写工程で使用した前記第２の接着剤は、前記基板の前記入射側反射面および前記出射側反射面に対向する部分を避けて塗布されたことを特徴とする前記［６］に記載の光分岐導光路アレイの製造方法。
【００１５】
［９］板状の透光性媒体から除去加工により形成され、入射した信号光を内部に反射する入射側反射面と前記入射側反射面で内部に反射した信号光を外部に反射する出射側反射面とを有する複数の導光路と、基板と、前記導光路の屈折率よりも小さい屈折率を有し、前記複数の導光路を前記除去加工の際の間隔を保って前記基板に接着する接着層とを備えたことを特徴とする導光路アレイ。
【００１６】
［１０］板状の透光性媒体から除去加工により形成され、入射した信号光を内部に反射する入射側反射面と前記入射側反射面で内部に反射した信号光を複数の信号光に分岐して外部に反射する出射側反射面とを有する複数の導光路と、基板と、前記導光路の屈折率よりも小さい屈折率を有し、前記基板の前記入射側反射面および前記出射側反射面に対向する部分を避けて塗布され、前記複数の導光路を前記除去加工の際の間隔を保って前記基板に接着する接着層とを備えたことを特徴とする導光路アレイ。
【００１７】
［１１］板状の透光性媒体から除去加工により形成され、入射した信号光を内部に反射する入射側反射面と前記入射側反射面で内部に反射した信号光を外部に反射する出射側反射面とを有する複数の導光路と、基板と、前記導光路の屈折率よりも小さい屈折率を有し、前記複数の導光路を前記除去加工の際の間隔を保って前記基板に接着する接着層と、前記複数の導光路の前記基板と反対側の前記入射側反射面および前記出射側反射面に対応する位置に配置され、前記信号光を入出力する複数の光学要素とを備えたことを特徴とする導光路モジュール。
【発明の効果】
【００１８】
請求項１に係る導光路アレイの製造方法によれば、導波路を個別に作製して並べるよりも、複数ビットの導光路を精度良く配置し、かつ、効率的に製造することが可能となる。
【００１９】
請求項２に係る導光路アレイの製造方法によれば、接着力低減処理で接着力が弱くなる接着剤を選択することで、複数の導光路を容易に基板に転写させることができる。
【００２０】
請求項３に係る導光路アレイの製造方法によれば、紫外線の照射により接着力が弱くなる接着剤を選択することで、複数の導光路を容易に基板に転写させることができる。
【００２１】
請求項４に係る導光路アレイの製造方法によれば、入射側反射面と出射側反射面での反射率が大きくなり、光の取り出し効率が高くなる。
【００２２】
請求項５に係る導光路アレイの製造方法によれば、汎用の接着剤を使用することができる。
【００２３】
請求項６に係る導光路アレイの製造方法によれば、入力した信号光を複数の信号光に分岐して出力する光分岐導光路を製作することができる。
【００２４】
請求項７に係る導光路アレイの製造方法によれば、複数ビットの導光路と光学的に結合させる発光素子、受光素子、光ファイバ等の光学要素との位置ずれが小さくなり、光結合効率が高くなる。
【００２５】
請求項８に係る導光路アレイの製造方法によれば、入射側反射面および出射側反射面に接着剤が付着しにくく、反射面での反射率の低下を抑制することができる。
【００２６】
請求項９に係る導光路アレイによれば、導波路を個別に作製して並べるよりも、複数ビットの導光路を精度良く配置し、かつ、効率的に製造することが可能となる。
【００２７】
請求項１０に係る導光路アレイによれば、入射側反射面および出射側反射面に接着剤が付着しにくく、反射面での反射率の低下が抑制された導光路アレイを提供できる。
【００２８】
請求項１１に係る導光路モジュールによれば、導波路を固定する基板と反対側に信号光を出射するので、基板側に信号光を出射する場合に比べて光学要素を導光路に近接して配置することができ、効率の良い光結合が可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
［第１の実施の形態］
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る光分岐導光路アレイを示し、（ａ）は斜視図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図、（ｃ）は（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。なお、図１（ａ）は、導光路の形状を分かりやすく示するため、基板および接着剤を想像線で示している。
【００３０】
光分岐導光路アレイ１は、基板２と、基板２に接着剤（第２の接着剤）３を介して接着された複数の導光路４とを備える。なお、本明細書では、「接着剤」および「接着力」を粘着を含む広い概念で用いる。
【００３１】
（基板）
基板２は、導光路４が接着される面が平坦であれば、形状は限定されず、用途に応じた樹脂、ガラス等の材料を用いることができる。なお、基板２は、発光素子の駆動回路、受光素子の増幅回路や、その他の回路が形成されていてもよい。
【００３２】
（接着剤）
接着剤３は、エポキシ系接着剤、アクリル系接着剤等の光学系接着剤を用いることができる。所定の入射角で受光した光が全反射を繰り返しながら導光路４内を伝搬してゆくためには、接着剤３の屈折率は、導光路４の屈折率よりも小さいことが必要である。
【００３３】
導光路４内に入射した光が全反射しながら伝搬してゆくための許容最大受光角度は開口数（ＮＡ）で表すことができ、以下の計算式により求めることができる。
開口数  ＮＡ＝√(ｎ１２−ｎ２２) ・・・（式１）
ｎ１：導光路の屈折率、ｎ２：接着剤の屈折率
ただし、ｎ１＞ｎ２
（光ファイバの開口数の計算の場合には、ｎ１：コアの屈折率、ｎ２：クラッドの屈折率となる。）
【００３４】
導光路４を光ファイバと光結合させる場合、（式１）から算出される導光路４の開口数をＮＡ２、入射側の光ファイバの開口数をＮＡ１、出射側の光ファイバの開口数をＮＡ３とするとき、結合損失を低く抑えるためには、ＮＡ１≦ＮＡ２、ＮＡ１≦ＮＡ３の関係を満たす組合せとする必要がある。入射側と出射側で同じ光ファイバを用いる場合にはＮＡ１＝ＮＡ２とする必要があり、（式１）から求められる導光路４のＮＡが光ファイバのＮＡと等しくなるように接着剤３の屈折率を選択しなければならない。例えば、光ファイバのＮＡが０．４で、波長８５０ｎｍのときの導光路４の屈折率が１．５１のとき、屈折率１．４５６の接着剤３を選択する。また、ファイバのＮＡが０．２で、波長８５０ｎｍのときの導光路４の屈折率が１．５１のとき、屈折率１．４９６の接着剤３を選択する。例えば、ＮＴＴアドバンステクノロジ株式会社製の導光路接合用接着剤を用いる。
【００３５】
（導光路）
導光路４は、入射した信号光を内部に反射する入射側反射面４０と、入射側反射面４０で内部に反射した信号光を複数の信号光に分岐して外部に反射する複数の出射側反射面４１（４１ａ、４１ｂ、４１ｃ、４１ｄ）とを有する。また、入射側反射面４０および出射側反射面４１は、導光路４の上面に対して４５度の傾斜面で構成されており、表面が空気に接している。なお、入射側反射面４０および出射側反射面４１の角度は、光の経路に合わせて適宜設定され、必ずしも４５度に限定されない。
【００３６】
出射側反射面４１ａ〜４１ｃを有する３つの溝は、光の伝播方向の上流側から下流側に向かって徐々に深くなるようにしている。これにより、光の伝播方向の上流側から下流側に向かって出射側反射面４１ａ〜４１ｃの面積が徐々に大きくなり、出射側反射面４１ａ〜４１ｃで反射して外部に出射される光量を一定にすることができる。本実施の形態では、出射側反射面４１ａ〜４１ｃを有する溝は、例えば、それぞれ導光路４の厚さに対して１／４、１／３、１／２の深さを有する。なお、反射して外部に出射される光量を一定とする必要が無ければ、出射側反射面４１ａ〜４１ｃを有する溝が光の伝播方向の上流側から下流側に向かって徐々に深くなるように設定する必要ななく、例えば、同じ深さとしても構わない。
【００３７】
導光路４の材質として、例えば、ポリメチルメタクリレート、ポリカーボネート、アモルファスポリオレフィン等のプラスチック材料、または無機ガラス等を用いることができる。なお、後述するように、導光路４の下面に接着したダイシングテープの接着力を弱めるために導波路４の側から紫外線の照射を必要とする場合は、紫外線に対して透明な材質が好ましい。
【００３８】
複数の導光路４は、一定の間隔ｄ（例えば、５μｍ）を有して基板２上に平行に配列されており、各導光路４は、例えば、５０μｍ×５０μｍの断面形状を有する。
【００３９】
なお、導光路４の数は、本実施の形態では４つであるが、これに限定されず、２つ、３つまたは５つ以上でもよい。
【００４０】
（導光路アレイの製造工程）
図２〜図５は、導光路アレイの製造工程を示し、図２（ａ）は平面図、図２（ｂ）は図２（ａ）のＣ−Ｃ線断面図、図３（ａ）は平面図、図３（ｂ）は図３（ａ）のＤ−Ｄ線断面図、図４（ａ）は平面図、図４（ｂ）は図４（ａ）のＥ−Ｅ線断面図である。
【００４１】
図２（ａ）に示すように、導光路４の元となる板状の透光性媒体２００をダイシングテープ１０２に接着し、ダイシングテープ１０２の周辺をダイサー用リング１０３を介して固定部１０４およびボルト１０５によりダイサー用のテーブル１００上に固定する。なお、ダイサー用リング１０３のテーブル１００への固定方法は、ボルト１０５以外に電磁チャックや真空チャックを用いて行ってもよい。
【００４２】
（ダイシングテープ）
ダイシングテープ１０２は、ＰＶＣ（ポリ塩化ビニール）、ＰＣ（ポリカーボネート）、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）等の樹脂からなる基材（支持部材）１０２ａに、アクリル系、シリコーン系、イソプレン系等の紫外線硬化型の粘着剤（第１の接着剤）１０２ｂを塗布したものである。粘着剤１０２ｂに紫外線を照射することにより、粘着剤１０２ｂが硬化して導光路４との接着力が低下する。このようなダイシングテープ１０２としては、例えば、株式会社トーヨーアドテック製のＵＶタイプ、住友ベークライト株式会社製のスミライト等を用いることができる。
【００４３】
次に、図３に示すように、ダイシングテープ１０２に接着した透光性媒体２００をダイシングソー１０６を用いて複数の導光路に分離するための溝２０１を形成する。
【００４４】
続いて、図４に示すように、例えば、先端に傾斜した幅６０μｍのダイシングソー１０７Ａを用いて入射側反射面４０を有する溝２０２を形成し、例えば、先端が傾斜した幅６０μｍのダイシングソー１０７Ｂを用いて複数の出射側反射面４１（４１ａ、４１ｂ、４１ｃ、４１ｄ）を有する溝２０２を形成する。出射側反射面４１ａ、４１ｂ、４１ｃを有する３つの溝２０２は、透光性媒体２００の厚に対してそれぞれ１／４、１／３、１／２の深さとなるようにする。ダイシングソー１０７Ａ，１０７Ｂの位置精度は条件出しによって０．１μｍ程度まで制御可能であるので、所望の深さの溝を形成することができる。
【００４５】
次に、図５（ａ）に示すように、ダイシング加工によって作製した導光路４をダイサー用のテーブル１００から取り外し、別のＵＶ照射装置に移してダイシングテープ１０２の裏面から紫外線を例えば１５０ｍＪ／ｃｍ２の光強度で照射（ＵＶ露光）し、ダイシングテープ１０２から剥離しやすい接着状態（ダイシングテープの種類によって異なるが、例えば接着力がＵＶ照射前の１／１０以下程度）にする。なお、紫外線を導光路４側から照射してもよい。
【００４６】
次に、図５（ｂ）に示すように、導光路４の上面（ダイシングテープ１０２に接着している面と反対側の面）に、接着剤３を塗布した基板２を貼り付ける。接着剤３は、導光路４の屈折率よりも小さく、かつ、接着剤３の接着力が紫外線を照射したダイシングテープ１０２の接着力よりも大きいものを用いる。なお、接着剤３は、導光路４の上面に塗布してもよい。
【００４７】
次に、図５（ｃ）に示すように、ダイシングテープ１０２から基板２を離間させることにより、ダイシングによって形成された４つの導光路４は、間隔ｄを保ったままダイシングテープ２から剥離して基板２側に転写し、図５（ｄ）に示すように、基板２上に接合されたアレイ状の４つの導光路４が得られる。導光路４がダイシングテープ１０２から剥離して基板２側に転写されるのは、ダイシングテープ１０２と導光路４との間の接着力よりも、導光路４と基板２との間の接着力の方が大きいからである。
【００４８】
（光分岐導光路アレイの動作）
図６は、光分岐導光路アレイ１の動作を説明する。導光路４に入射した信号光が、入射側反射面４０で反射すると、その信号光は、導光路４の側面で全反射しつつ導光路４の内部を伝播し、各出射側反射面４１ａ〜４１ｄで反射し、外部に出射される。従って、同一のデータを含む信号光が、導光路４に入射すると、４つの信号光に分岐されて外部に出射される。また、入射側反射面４０および出射側反射面４１に、導光路として例えばコア径５０μｍのマルチモードファイバ（ＭＭＦ：Multi Mode Fiber）を光結合させる。なお、入射側反射面４０および出射側反射面４１に、発光素子や受光素子などの光学素子を直接光結合させても構わない。
【００４９】
［第２の実施の形態］
図７は、本発明の第２の実施の形態に係る光分岐導光路アレイの断面図である。この第２の実施の形態に係る光分岐導光路アレイ１は、出射側反射面４１ａ、４１ｂ、４１ｃを有する溝形状をＶ字状としたものである。各出射側反射面４１ａ、４１ｂ、４１ｃは、導光路４の上面に対して４５度に傾斜しており、Ｖ字状の溝は、先端が山形状のダイシングソーを用いて加工することができる。
【００５０】
［第３の実施の形態］
図８は、本発明の第３の実施の形態に係る光分岐導光路アレイの断面図である。本実施の形態に係る光分岐導光路アレイ１は、出射側反射面４１ａ、４１ｂ、４１ｃを有する溝形状をスリット状としたものである。本実施の形態の出射側反射面４１ａ、４１ｂ、４１ｃを有するスリットは、導光路４の上面に対して４５度に傾斜しており、ダイシングソーを用いて加工することができるが、エキシマーレーザを用いて加工することもできる。
【００５１】
［第４の実施の形態］
図９は、本発明の第４の実施の形態に係る光分岐導光路アレイの断面図である。本実施の形態に係る光分岐導光路アレイ１は、接着剤３が入射側反射面４０および出射側反射面４１に付着しないようにするため、基板２の入射側反射面４０および出射側反射面４１に対向する部分を避けて接着剤３を塗布したものである。この場合も、導光路４の入射側反射面４０および出射側反射面４１を除く上面に接着剤３を塗布してもよい。
【００５２】
［第５の実施の形態］
図１０は、本発明の第５の実施の形態に係る光分岐導光路アレイの断面図である。本実施の形態に係る光分岐導光路アレイ１は、透光性媒体としてクラッド４２付き透光性媒体を用いたものである。導光路アレイの作製方法は、第１の実施の形態と同様であるが、接着剤３は、屈折率などの光学的な性質が要求されず、基板２とクラッド４２との接着力が基板２と紫外線照射後のダイシングテープ１０２との接着力よりも大きければよいため、選択枝が広がる。
【００５３】
クラッド４２は、導光路４よりも屈折率が低い材料からなる。このようなクラッド４２付き透光性媒体は、例えば、図示しない基板上に、スピンコート、ディッピング等の方法を用いてクラッド４２を形成し、クラッド４２上にクラッド４２よりも屈折率が高い高分子材料からなる透光性媒体を積層形成し、基板からクラッド４２を剥離することで、クラッド４２上に透光性媒体が積層されたフィルム状物を得ることができる。後は、第１の実施の形態と同様の工程を経ることにより、図１０に示すように、基板２上にアレイ状に配列された複数の導光路４を得ることができる。
【００５４】
［第６の実施の形態］
図１１は、本発明の第６の実施の形態に係る導光路アレイの製造工程を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は、（ａ）のＦ−Ｆ線断面図である。
【００５５】
第１乃至第５の実施の形態では、導光路間の隙間は、ダイシングソーの厚さに対応しているが、本実施の形態は、導光路間の隙間をダイシングソーの厚さよりも大きくしたものである。以下に、本実施の形態による導光路アレイの製造方法の一例を説明する。
【００５６】
まず、導光路４の元となる板状の透光性媒体２００をダイシングテープ１０２に接着し、ダイシングテープ１０２の周辺をダイサー用リング１０３を介して固定部１０４およびボルト１０５によりダイサー用のテーブル１００上に固定する。なお、ダイサー用リング１０３のテーブル１００への固定方法は、ボルト１０５以外に電磁チャックや真空チャックを用いて行ってもよい。
【００５７】
次に、図１１（ａ），（ｂ）に示すように、ダイシングテープ１０２に接着した透光性媒体２００をダイシングソー１０６を用いて複数の導光路、および複数の不要部分に分離するための溝２０１を形成する。
【００５８】
続いて、第１の実施の形態で説明したように、先端に傾斜した幅６０μｍのダイシングソー１０７Ａを用いて入射側反射面４０を有する溝２０２を形成し、例えば、先端が傾斜した幅６０μｍのダイシングソー１０７Ｂを用いて複数の出射側反射面４１（４１ａ、４１ｂ、４１ｃ、４１ｄ）を有する溝２０２を形成する。
【００５９】
次に、ダイシング加工によって作製した導光路４をダイサー用のテーブル１００から取り外し、別のＵＶ照射装置に移してダイシングテープ１０２の裏面から紫外線をで照射し、ダイシングテープ１０２から剥離しやすい接着状態にする。
【００６０】
次に、導光路４の上面（ダイシングテープ１０２に接着している面と反対側の面）に、接着剤３を塗布した基板２を貼り付ける。
【００６１】
次に、ダイシングテープ１０２から基板２を離間させることにより、ダイシングによって形成された４つの導光路４、および３つの不要部分４ａの転写部分２０３は、間隔ｄを保ったままダイシングテープ２から剥離して基板２側に転写し、基板２上に接合されたアレイ状の４つの導光路４が得られる。
【００６２】
［第７の実施の形態］
図１２は、本発明の第７の実施の形態に係る導光路アレイを示し、（ａ）は斜視図、（ｂ）は導光路アレイの動作を説明するための図である。なお、図７（ａ）は、導光路の形状を分かりやすく示するため、基板および接着剤を想像線で示している。
【００６３】
第１乃至第６の実施の形態では、入射した信号光を複数の信号光に分岐して出射する光分岐導光路アレイについて説明したが、本実施の形態は、一方の端部に入射した信号光を分岐せずに他方の端部から出射する導光路アレイとしたものであり、他は第１の実施の形態と同様に構成され、第１の実施の形態と同様に製造される。
【００６４】
この導光路アレイ１ａは、基板２と、基板２に接着剤３を介して接着された複数の導光路４とを備える。
【００６５】
導光路４は、入射した信号光を内部に反射する入射側反射面４０と、入射側反射面４０で内部に反射した信号光を他方に伝播させて外部に反射する出射側反射面４１ｄとを有する。また、入射側反射面４０および出射側反射面４１ｄは、導光路４の上面に対して４５度の傾斜面で構成されており、表面が空気に接している。
【００６６】
上記のように構成された導光路アレイ１ａにおいて、図１２（ｂ）に示すように、導光路４に入射した信号光が、入射側反射面４０で反射すると、その信号光は、導光路４の側面で全反射しつつ導光路４の内部を伝播し、出射側反射面４１ｄで反射し、外部に出射される。
【００６７】
［第８の実施の形態］
図１３は、本発明の第８の実施の形態に係る光分岐導光路モジュールを示し、（ａ）は斜視図、（ｂ）は（ａ）のＧ−Ｇ線断面図、（ｃ）は（ａ）のＨ−Ｈ線断面図である。本実施の形態に係る光分岐導光路モジュール５０は、上記第１乃至第５の実施の形態に係る光分岐導光路アレイ１において、電気配線基板１１上の所定の位置に発光素子アレイ５および複数の受光素子アレイ６（６Ａ〜６Ｄ）を配置し、発光素子アレイ５および複数の受光素子アレイ６上に導光路４を配置したものである。発光素子アレイ５および受光素子アレイ６は、マイクロレンズを介さずに導光路４に直接結合している。電気配線基板１１には、発光素子アレイ５を駆動する駆動回路や受光素子アレイ６の出力信号を増幅する増幅回路、その他の回路が設けられている。
【００６８】
発光素子アレイ５は、面発光型のレーザや発光ダイオード等の発光素子を複数配列したものが好ましい。発光素子アレイ５の各発光部５ａは、各導光路４の入射側反射面４０に対向する位置にある。なお、発光素子単体を入射側反射面４０に対向する位置にそれぞれ配置してもよい。
【００６９】
受光素子アレイ６は、面型のフォトダイオード等の受光素子を複数配列したものが好ましい。受光素子アレイ６の各受光部６ａは、各導光路４の出射側反射面４１に対向する位置にある。なお、受光素子単体を出射側反射面４１に対向する位置にそれぞれ配置してもよい。
【００７０】
［第９の実施の形態］
図１４および図１５は、本発明の第９の実施の形態に係る光分岐導光路モジュールを示し、図１４は斜視図、図１５（ａ）は図１４のＩ−Ｉ線断面図、（ｂ）は図１４のＪ−Ｊ線断面図である。なお、図１４は、コネクタが導光路から分離した状態を示し、図１５は、コネクタが導光路に結合した状態を示す。
【００７１】
本実施の形態に係る光分岐導光路モジュール５０は、上記第１乃至第５の実施の形態に係る光分岐導光路アレイ１において、導光路４の上面の入射側反射面４０に対応する位置に入射側光ファイバ１０Ａを接続し、導光路４の上面の出射側反射面４１ａ〜４１ｄに対応する位置に出射側光ファイバ１０Ｂを接続できるようにしたものである。
【００７２】
本実施の形態は、モジュール筐体７と、モジュール筐体７に植設された左右一対を１組とし構成された５組のピン８と、４本の光ファイバ１０を保持した５つのコネクタ９とを備える。コネクタ９は、一対のピン８が嵌合する一対のピン穴９ａを有しており、市販のＭＴコネクタを用いることができる。コネクタ９のピン穴９ａにピン８が嵌合するようにコネクタ９を導光路４上に密着させ、図示しない固定具によりコネクタ９をモジュール筐体７側に押さえ付ける。なお、固定具を用いなくても、コネクタ９の周辺を封止部材によって封止してコネクタを導光路４に固定してもよい。
【００７３】
なお、本発明は、上記実施の形態に限定されず、種々に変形可能である。例えば、上記実施の形態では、除去加工としてダイシングソーを用いた場合について説明したが、エキシマーレーザ等のレーザ加工を用いてもよい。
【００７４】
また、上記実施の形態では、導光路として、１つの入射側反射面と複数の出射側反射面を有するもの、および１つの入射側反射面と１つの出射側反射面を有するものについ説明したが、複数の入射側反射面と複数の出射側反射面を有するもの、または複数の入射側反射面と１つの出射側反射面を有するものでもよい。
【００７５】
また、上記の実施の形態では、直線の導光路を例に説明したが、曲線状の導光路や折れ曲がりのある導光路にも本発明は適用可能である。
【００７６】
また、上記実施の形態では、第２の接着剤の接着力低減処理として紫外線照射を行った場合について説明したが、接着剤に電子線硬化型接着剤等を用い、電子線等の他の活性エネルギー線を照射してもよい。また、加熱によって第２の接着剤の接着力を低減してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】図１は、本発明の第１の実施の形態に係る光分岐導光路アレイを示し、（ａ）は斜視図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図、（ｃ）は（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。
【図２】図２は、本発明の第１の実施の形態に係る光分岐導光路アレイの製造工程を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＣ−Ｃ線断面図である。
【図３】図３は、本発明の第１の実施の形態に係る光分岐導光路アレイの製造工程を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＤ−Ｄ線断面図である。
【図４】図４は、本発明の第１の実施の形態に係る光分岐導光路アレイの製造工程を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＥ−Ｅ線断面図である。
【図５】図５（ａ）〜（ｄ）は、本発明の第１の実施の形態に係る光分岐導光路アレイの製造工程を示す断面図である。
【図６】図６は、本発明の第１の実施の形態に係る光分岐導光路アレイの動作を説明するための図である。
【図７】図７は、本発明の第２の実施の形態に係る光分岐導光路アレイの図１（ｂ）に対応する断面図である。
【図８】図８は、本発明の第３の実施の形態に係る光分岐導光路アレイの図１（ｂ）に対応する断面図である。
【図９】図９は、本発明の第４の実施の形態に係る光分岐導光路アレイを示し、（ａ）は図１（ｂ）に対応する断面図、（ｂ）は図１（ｃ）に対応する断面図である。
【図１０】図１０は、本発明の第５の実施の形態に係る光分岐導光路アレイを示し、（ａ）は図１（ｂ）に対応する断面図、（ｂ）は図１（ｃ）に対応する断面図である。
【図１１】図１１は、本発明の第６の実施の形態に係る光分岐導光路モジュールを示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＦ‐Ｆ線断面図である。
【図１２】図１２は、本発明の第７の実施の形態に係る導光路アレイを示し、（ａ）は斜視図、（ｂ）は導光路アレイの動作を説明するための図である。
【図１３】図１３は、本発明の第８の実施の形態に係る光分岐導光路モジュールを示し、（ａ）は斜視図、（ｂ）は（ａ）のＧ−Ｇ線断面図、（ｃ）は（ａ）のＨ−Ｈ線断面図である。
【図１４】図１４は、本発明の第９の実施の形態に係る光分岐導光路モジュールの斜視図である。
【図１５】図１５は、本発明の第９の実施の形態に係る光分岐導光路モジュールを示し、（ａ）は図１４のＩ−Ｉ線断面図、（ｂ）は図１４のＪ−Ｊ線断面図である。
【符号の説明】
【００７８】
１  光分岐導光路アレイ
１ａ  導光路アレイ
２  基板
３  接着剤
４  導光路
５  発光素子アレイ
５ａ  発光部
６，６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄ  受光素子アレイ
６ａ  受光部
７  モジュール筐体
８  ピン
９  コネクタ
９ａ  ピン穴
１０Ａ  入射側光ファイバ
１０Ｂ  出射側光ファイバ
１１  電気回路基板
４０  入射側反射面
４１，４１ａ〜４１ｄ  出射側反射面
５０  光分岐導光路モジュール
１００  テーブル
１０２  ダイシングテープ
１０２ａ  基材
１０２ｂ  粘着剤
１０３  ダイサー用リング
１０４  固定部
１０５  ボルト
１０６，１０７Ａ，１０７Ｂ  ダイシングソー
２００  透光性媒体
２０１，２０２  溝
２０３  転写部分
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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