(57)【要約】【課題】部品を共通化してコストダウンを図ることができる流体機器のマニホールド構造体を提供すること。【解決手段】流体機器２が取り付けられるボディブロック４を横方向に複数連結してマニホールド３を構成する流体機器のマニホールド構造体１において、ボディブロック４は、流体機器２の取付方向に対して直交する方向に形成された貫通流路２１と、貫通流路２１の開口部外側に設けられたシール溝３４，２２と、貫通流路２１の外側に複数設けられ、ボディブロック４を連結する連結部材４１が配置される貫通孔３３と、流体機器２が取り付けられる取付面４ａから貫通流路２１に接続するように形成された分岐流路２５と、を有し、取付面４ａを挟んで対向する第１側面４ｂと第２側面４ｃに、貫通流路２１の開口部と、シール溝３４，２２と、貫通孔３３の開口部とが対称的に設けられている。【選択図】図２
2008089085.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体機器が取り付けられるボディブロックを横方向に複数連結してマニホールドを構成する流体機器のマニホールド構造体において、
前記ボディブロックは、
前記流体機器の取付方向に対して直交する方向に形成された貫通流路と、
前記貫通流路の開口部外側に設けられたシール溝と、
前記貫通流路の外側に複数設けられ、当該ボディブロックを他のボディブロックに連結する連結部材が配置される貫通孔と、
前記流体機器が取り付けられる取付面から前記貫通流路に接続するように形成された分岐流路と、を有し、
前記取付面を挟んで対向する第１側面と第２側面に、前記貫通流路の開口部と、前記シール溝と、前記貫通孔の開口部とが対称的に設けられていること
を特徴とする流体機器のマニホールド構造体。
【請求項２】
請求項１に記載する流体機器のマニホールド構造体において、
前記流体機器がバルブであって、
前記分岐流路が、前記取付面に取り付けられたバルブとの間に弁室を形成する有底凹部と、前記有底凹部と同軸上に形成されて前記有底凹部を前記貫通流路に連通させる弁孔とからなり、
前記ボディブロックは、
前記弁孔の開口部外側に沿って弁座が設けられていることと、
前記第１側面と前記第２側面との間に介在する第３側面に継手部が突設されていることと、
前記継手部を前記有底凹部に接続する継手流路が設けられていること、
を特徴とする流体機器のマニホールド構造体。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載する流体機器のマニホールド構造体において、
前記ボディブロックに連結された状態で前記貫通流路に連通する継手部、又は、前記ボディブロックに連結された状態で前記貫通流路の開口部を閉鎖する閉鎖部を有し、前記貫通孔に対応する位置に端部側貫通孔が形成された端部ブロックを有し、
前記端部ブロックは、前記端部側貫通孔に配置される端部側連結部材を用いて前記ボディブロックの前記第１側面又は前記第２側面に連結されることを特徴とする流体機器のマニホールド構造体。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３の何れか一つに記載する流体機器のマニホールド構造体に使用されることを特徴とするボディブロック。
【請求項５】
流体機器を取り付けられるボディブロックを横方向に連結してマニホールドを構成する流体機器のマニホールド構造体において、
前記ボディブロックは、
前記連結部材を配置するための貫通孔が、前記流体機器の取付方向と直交する方向に複数形成され、前記貫通孔は、前記流体機器が取り付けられる取付面を挟んで対向する第１側面と第２側面に開口する複数のザグリ孔と、孔径が前記ザグリ孔の孔径より小さく、前記第１側面と前記第２側面に形成したザグリを接続して連通させる接続孔とからなること、
前記連結部材は、前記ザグリ孔に配置される雌ねじ部材と、前記接続孔に配置される締結部材とからなること、
第１ボディブロックのザグリ孔に配置した前記雌ねじ部材に、第２ボディブロックに挿通した前記締結部材を締結した状態で、前記第１ボディブロックと前記第２ボディブロックとが連結されていること
を特徴とする流体機器のマニホールド構造体。
【請求項６】
請求項５に記載する流体機器のマニホールド構造体において、
前記雌ねじ部材は、全長が前記ザグリ孔の深さより長く、
前記締結部材は、両端部に雄ねじ部を形成された締結ロッドの一端に前記雌ねじ部材を締結したものであり、前記締結ロッドの全長が前記接続孔より長く、前記ボディブロックの幅寸法より短いこと
を特徴とする流体機器のマニホールド構造体。
【請求項７】
請求項５に記載する流体機器のマニホールド構造体において、
前記締結部材は、全長が前記ボディブロックの幅寸法より長く、前記ボディブロックを２個連設した場合の幅寸法より短い雄ねじ部材であり、
互いに連結される前記第１ボディブロックと前記第２ボディブロックは、複数の貫通孔の中から特定された貫通孔に前記雄ねじ部材を配置され、前記第２ボディブロックとその第２ボディブロックに連結される第３ボディブロックは、前記特定された貫通孔以外に対応する貫通孔に前記雄ねじ部材を配置されていること
を特徴とする流体機器のマニホールド構造体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体機器が取り付けられるボディブロックを複数連結してマニホールドを構成する機器のマニホールド構造体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体製造装置は、小型化を図るために、流体機器をマニホールドに集積する。マニホールドを１ブロックで構成すると、流路を変更したい場合に別形状のマニホールドを準備する必要があり、マニホールドの種類が多くなるという問題がある。特許文献１に記載するマニホールド弁構造体は、弁機構が取り付けられる弁ブロックを横方向に連結してマニホールドを構成し、副流路を簡単且つ迅速に変更できるようにしている。
【０００３】
図１７は、特許文献１に記載する従来のマニホールド弁構造体１００の断面図である。
従来のマニホールド弁構造体１００は、弁機構１０１，１０２，１０３が取り付けられた第１弁ブロック１１０と第２弁ブロック１２０と第３弁ブロック１３０とを、ブロック側面からボルト等の連結部材を用いて連結し、マニホールド１０４を構成する。
【０００４】
マニホールド１０４は、第１弁ブロック１１０の正面側に設けた主流体流出入口１１２が、第１〜第３弁ブロック１１０，１２０，１３０の内部流路１１４，１２４，１３４に導通する。内部流路１１４は、第１弁機構１０１の弁部を収納するチャンバ１１１を介して第１流出入口１１３に連通する。また、内部流路１３４は、第３弁機構１０３の弁部を収納するチャンバ１３１を介して第３流出入口１３３に連通する。さらに、内部流路１２４は、第２弁機構１０２を収納するチャンバ１２１を介して第２流出入口１２３に連通する。マニホールド１０４は、流体漏れを防止するために、内部流路１１４の第１連通開口１１５と内部流路１３４の第３連通開口１３５との接続部分、及び、内部流路１３４の第４連通開口１３６と内部流路１２４の第２連通開口１２５との接続部分を、図１８に示すシール構造によりそれぞれシールし、流体漏れを防止している。
【０００５】
図１８は、図１７に示すマニホールド弁構造体１００のＰ部拡大断面図である。
第１弁ブロック１１０は、第１連通開口１１５を囲むように環状凹溝部１１６が形成されている。第３弁ブロック１３０は、第３連通開口１３５外周に沿って頭部１３７が突設されている。第１弁ブロック１１０と第３弁ブロック１３０は、環状凹溝部１１６に頭部１３７を気密に嵌め込むことにより、気密に連結される。また、第３弁ブロック１３０は、第１弁ブロック１１０に連結されたときに、第３連通開口１３５の周りに設けた環状突起１３８を押し潰してシール力を発生させる。従って、第１連通開口１１５と第３連通開口１３５との接続部分は、２重にシールされ、シール性能が高められている。
尚、第４連通開口１３６と第２連通開口１２５との接続部分のシール構造は、第１連通開口１１５と第３連通開口１３５との接続部分のシール構造と同様なので、図面に符号を付して説明を省略する。
【０００６】
上記従来のマニホールド弁構造体１００は、第１〜第３弁ブロック１１０，１２０，１３０が互いに独立するため、第３弁ブロック１３０の数を増減させることにより、副流路の数を簡単且つ迅速に変更できる。
【０００７】
【特許文献１】特許第３６５５１５５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、従来のマニホールド弁構造体１００は以下の問題があった。
（１）従来のマニホールド弁構造体１００は、図１８に示すように、第３弁ブロック１３０が、第３連通開口１３５の周りに頭部１３７が設けられ、第４連通開口１３６の周りに環状凹溝部１３９が設けられているため、第１弁ブロック１１０と第２弁ブロック１２０に連結する方向が制限されていた。そのため、第３流出入口１３３の向きを背面側から正面側に変えたい場合には、第３流出入口１３３を正面側に配置する弁ブロックを別途準備しなければならなかった。このように、従来のマニホールド弁構造体１００は、弁ブロックの種類が多く、ストック部品数が多いため、コスト高であった。
【０００９】
（２）また、従来のマニホールド弁構造体１００は、第１〜第３弁ブロック１１０，１２０，１３０の連結方法を具体化していない。図１７から推測するに、従来のマニホールド弁構造体１００は、例えば、第２弁ブロック１２０側から４本のボルトを第３，第１弁ブロック１３０，１１０に貫き通し、第１弁ブロック１１０側に設けたナットにボルトの先端部を締結して、第１〜第３弁ブロック１１０，１２０，１３０を一体化していると考えられる。この場合、第１，第２弁ブロック１１０，１２０の間に配置する第３弁ブロック１３０の数に応じて長さの異なるボルトを準備しなければならず、コスト高であった。
【００１０】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、部品を共通化してコストダウンを図ることができる流体機器のマニホールド構造体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に係る流体機器のマニホールド構造体は、次のような構成を有している。
（１）流体機器が取り付けられるボディブロックを横方向に複数連結してマニホールドを構成する流体機器のマニホールド構造体において、前記ボディブロックは、前記流体機器の取付方向に対して直交する方向に形成された貫通流路と、前記貫通流路の開口部外側に設けられたシール溝と、前記貫通流路の外側に複数設けられ、当該ボディブロックを他のボディブロックに連結する連結部材が配置される貫通孔と、前記流体機器が取り付けられる取付面から前記貫通流路に接続するように形成された分岐流路と、を有し、前記取付面を挟んで対向する第１側面と第２側面に、前記貫通流路の開口部と、前記シール溝と、前記貫通孔の開口部とが対称的に設けられていることを特徴とする。
【００１２】
（２）（１）に記載の発明において、前記流体機器がバルブであって、前記分岐流路が、前記取付面に取り付けられたバルブとの間に弁室を形成する有底凹部と、前記有底凹部と同軸上に形成されて前記有底凹部を前記貫通流路に連通させる弁孔とからなり、前記ボディブロックは、前記弁孔の開口部外側に沿って弁座が設けられていることと、前記第１側面と前記第２側面との間に介在する第３側面に継手部が突設されていることと、前記継手部を前記有底凹部に接続する継手流路が設けられていること、を特徴とする。
【００１３】
（３）（１）又は（２）に記載の発明において、前記ボディブロックに連結された状態で前記貫通流路に連通する継手部、又は、前記ボディブロックに連結された状態で前記貫通流路の開口部を閉鎖する閉鎖部を有し、前記貫通孔に対応する位置に端部側貫通孔が形成された端部ブロックを有し、前記端部ブロックは、前記端部側貫通孔に配置される端部側連結部材を用いて前記ボディブロックの前記第１側面又は前記第２側面に連結されることを特徴とする。
【００１４】
（４）（１）乃至（３）の何れか一つに記載の発明に使用されることを特徴とするボディブロックである。
【００１５】
（５）流体機器を取り付けられるボディブロックを横方向に連結してマニホールドを構成する流体機器のマニホールド構造体において、前記ボディブロックは、前記連結部材を配置するための貫通孔が、前記流体機器の取付方向と直交する方向に複数形成され、前記貫通孔は、前記流体機器が取り付けられる取付面を挟んで対向する第１側面と第２側面に開口する複数のザグリ孔と、孔径が前記ザグリ孔の孔径より小さく、前記第１側面と前記第２側面に形成したザグリを接続して連通させる接続孔とからなること、前記連結部材は、前記ザグリ孔に配置される雌ねじ部材と、前記接続孔に配置される締結部材とからなること、第１ボディブロックのザグリ孔に配置した前記雌ねじ部材に、第２ボディブロックに挿通した前記締結部材を締結した状態で、前記第１ボディブロックと前記第２ボディブロックとが連結されていることを特徴とする。
【００１６】
（６）（５）に記載の発明において、前記雌ねじ部材は、全長が前記ザグリ孔の深さより長く、前記締結部材は、両端部に雄ねじ部を形成された締結ロッドの一端に前記雌ねじ部材を締結したものであり、前記締結ロッドの全長が前記接続孔より長く、前記ボディブロックの幅寸法より短いことを特徴とする。
【００１７】
（７）（５）に記載の発明において、前記締結部材は、全長が前記ボディブロックの幅寸法より長く、前記ボディブロックを２個連設した場合の幅寸法より短い雄ねじ部材であり、互いに連結される前記第１ボディブロックと前記第２ボディブロックは、複数の貫通孔の中から特定された貫通孔に前記雄ねじ部材を配置され、前記第２ボディブロックとその第２ボディブロックに連結される第３ボディブロックは、前記特定された貫通孔以外に対応する貫通孔に前記雄ねじ部材を配置されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
上記構成を有する流体機器のマニホールド構造体は、ボディブロックが取付面を挟んで対向する第１側面と第２側面に貫通流路の開口部とシール溝と貫通孔の開口部とを対称的に設けられているので、例えば、第１〜第３ボディブロックを連結してマニホールドを構成しているときに、第２ボディブロックの向きを取付面を中心として１８０度反転させても、第２ボディブロックを第１，第３ボディブロックにそのまま連結することが可能である。このように、本発明の流体機器のマニホールド構造体によれば、ボディブロックの向きを制限されずにボディブロックを何連でも連結することが可能なので、ボディブロックを共通化して、コストダウンを図ることができる。
【００１９】
また、ボディブロックの取付面にバルブを取り付け、バルブと有底凹部との間に弁室を形成したときには、例えば、第１ボディブロックと第２ボディブロックとの連結を解除して、第１ボディブロックの向きを１８０度反転させて継手部の向きを変えれば、簡単に流路構成を変更できる。
【００２０】
また、端部ブロックは、ボディブロックの第１側面又は第２側面に取り付けられ、ボディブロックを流れる流体を継手部から出力し、又は、端部ブロックの閉鎖部で遮断する。そのため、同一構造のボディブロックを連結している場合でも、端部ブロックの種類を変えれば、任意の流路構成を採用することができる。しかも、端部ブロックは、ボディブロックの貫通孔に対応する位置に端部側貫通孔が設けられ、その端部側貫通孔に端部側連結部材を配置してボディブロックの第１側面又は第２側面に連結されるので、ボディブロックの向きを変えた場合でもそのまま使用できる。
【００２１】
本発明の流体機器のマニホールド構造体は、第１ボディブロックのザグリ孔に配置した雌ねじ部材に、第２ボディブロックに挿通した締結部材を締結することにより、第１ボディブロックと第２ボディブロックとを連結するので、雌ねじ部材と連結部材を用いてボディブロックを１個単位で増減させることが可能である。このように、本発明の流体機器のマニホールド構造体は、雌ねじ部材と締結部材を用いてボディブロックを何連でも連結可能であるので、雌ねじ部材と締結部材を共通化して、コストダウンを図ることができる。
【００２２】
また、本発明の流体機器のマニホールド構造体は、全長がザグリ孔の深さより長い雌ねじ部材を、第１ボディブロックのザグリ孔と第２ボディブロックのザグリ孔との間に配置し、第１，第２ボディブロックを位置決めした状態で、第１，第２ボディブロックを締結部材で連結するので、第１，第２ボディブロックが当接する付近で締結力を発生させ、第１，第２ボディブロックを強固に当接させることができる。
【００２３】
また、本発明の流体機器のマニホールド構造体は、締結部材が、ボディブロックの幅寸法より長く、ボディブロックを２個連設した場合の幅寸法より短い全長を有する雄ねじ部材である。例えば、第１，第２，第３ボディブロックを連結する場合、第１，第２ボディブロックは、雄ねじ部材が複数の貫通孔の中から特定された貫通孔に配置されるのに対して、第２，第３ボディブロックは、第１，第２ボディブロックを連結するときに特定された特定の貫通孔以外に対応する貫通孔に、雄ねじ部材が配置される。このように、本発明の流体機器のマニホールド構造体は、第１，第２ボディブロックを連結する場合と第２，第３ボディブロックを連結する場合とで雄ねじ部材の配置を変えながら、隣り合うボディブロックを連結していくので、少ない雄ねじ部材でボディブロックを連結することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
次に、本発明に係る流体機器のマニホールド構造体及びそれに用いられるボディブロックの実施形態について図面を参照して説明する。
【００２５】
１．第１実施形態
Ａ．流体機器のマニホールド構造体の概略構成
図１は、第１実施形態に係る流体機器のマニホールド構造体１を示す正面図である。
流体機器のマニホールド構造体１は、流体機器の一例であるバルブ２Ａ，２Ｂ，２Ｃをマニホールド３に取り付けて集積化したものであり、例えば、半導体製造装置に取り付けられて薬液や気体などを制御する。マニホールド３は、第１〜第３ボディブロック４Ａ，４Ｂ，４Ｃを横方向に連結し、両端部に端部ブロック５Ａ，５Ｂを連結したものである。流体機器のマニホールド構造体１は、第１〜第３ボディブロック４Ａ，４Ｂ，４Ｃの下面に取り付けた取付板６Ａ，６Ｂ，６Ｃを介して半導体製造装置などに取り付けられる。尚、上記符号の添え字Ａ，Ｂ，Ｃは、構成が同じ部品を区別するために表しているが、これらを個々に区別する必要がない場合は上記添え字を省略する。
【００２６】
Ｂ．バルブの構成
図２は、図１に示す流体機器のマニホールド構造体１の中央縦断面図である。図３は、図２のＡ−Ａ断面図である。尚、全ての構成部品に符号をつけると図面が見難くなるので、図２及び図３においては、第３バルブ２Ｃと第３ボディブロック４Ｃの構成部品に添え字を省略した符号を付し、第１，第２バルブ２Ａ，２Ｂと第１，第２ボディブロック４Ａ，４Ｂの構成部品の符号は省略するものとする。
バルブ２は、シリンダ１１とカバー１２とで円柱形状又は四角柱形状の外観が構成される。シリンダ１１とカバー１２との間には、ピストン室１３が形成されている。ピストン１４は、ピストン室１３に摺動可能に装填され、ピストン室１３を一次室１３ａと二次室１３ｂに区画している。一次室１３ａは、圧縮バネ１５が縮設され、カバー１２に設けられた給排気ポート１６に連通している。一方、二次室１３ｂは、シリンダ１１に設けられた操作ポート１７に連通している。ピストン１４の下端部には、ダイアフラム１８が一体的に取り付けられている。ダイアフラム１８は、周縁部がシリンダ１１とボディブロック４との間に強固に挟み込まれ、ボディブロック４の有底凹部２３との間に弁室１９を形成する。弁室１９には、ダイアフラム１８が当接又は離間する弁座２０が設けられている。よって、バルブ２は、操作ポート１７から二次室１３ｂに操作流体を給排気されて、ピストン１４と一体的にダイアフラム１８を図中上下方向に移動させ、弁開閉を制御する。尚、バルブ２は、耐腐食性を確保するために、圧縮バネ１５及びバルブ２をボディブロック４に固定する固定部材を除き、構成部品が樹脂で形成されている。
【００２７】
Ｃ．ボディブロックの構成
図５は、図１に示すボディブロック４の外観斜視図である。尚、第１〜第３ボディブロック４Ａ，４Ｂ，４Ｃの構造が同一であるので、図５では符号の添え字を省略して表示している。
ボディブロック４は、耐腐食性を確保するために、ＰＦＡ（四フッ化エチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）やＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリデン）、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）などの樹脂を成形したものであり、外観が略六面体形状をなす。
【００２８】
図２に示すように、ボディブロック４は、バルブ２の取付方向（垂直方向）に対して直交する方向（水平方向）に貫通流路２１がストレート状に貫通して設けられている。第１側面４ｂと第２側面４ｃは、貫通流路２１の開口部外側にシール溝３４，２２がそれぞれ環状に形成され、シール部材５０を装着できるようになっている。そのため、ボディブロック４は、貫通流路２１の開口部とシール溝３４，２２が第１側面４ｂと第２側面４ｃにそれぞれ同じ高さ・位置に対称的に設けられている。
【００２９】
取付面４ａの中心部には、バルブ２の取付方向（垂直方向）に沿って有底凹部２３が円柱状に開設される。その有底凹部２３と同軸上に、弁孔２４が貫通流路２１に連通するように穿設されている。第１実施形態では、有底凹部２３と弁孔２４が、取付面４ａから貫通流路２１に接続するように設けられた分岐流路２５を構成している。有底凹部２３の底部には、弁孔２４の開口部外側に沿って弁座２０が環状に突設されている。
また、ボディブロック４の取付面４ａは、有底凹部２３の開口部外側に、ダイアフラム１８の周縁部を嵌め込んでダイアフラム１８を弁座２０に対して位置決めするための装着溝２７が環状に形成されている。そして、ボディブロック４は、バルブ２に挿通したボルト（図示せず）を締結するためのボルト孔２６，２６，２６，２６が、装着溝２７の周りに等間隔に形成されている（図５参照）。
【００３０】
図３に示すように、ボディブロック４は、継手部２８が、第１側面４ｂと第２側面４ｃの間に介在する正面側側面（第３側面）４ｄの中心線上に、切削加工や射出成形によって一体に設けられている。継手部２８は、ボディブロック４に弁座２０と同一断面上に形成された継手流路２９を介して、弁座２０の外側において有底凹部２３に連通している。
上記流路構成を有するボディブロック４は、貫通流路２１の外側に配置される連結部材４１を用いて他のボディブロック４に連結される。
【００３１】
図４は、図３のＢ−Ｂ断面図である。尚、図４では、全ての構成部品に符号をつけると図面が見難くなるので、第２ボディブロック４Ｂと端部ブロック５Ｂに添え字を省略した符号を付し、第１，第３ボディブロック４Ａ，４Ｃと端部ブロック５Ａの符号は省略するものとする。
ボディブロック４の第１側面４ｂと第２側面４ｃには、ザグリ孔３０，３１がそれぞれ４個ずつ円柱状に開設されている。各ザグリ孔３０，３１は、同一長方形状をなす第１側面４ｂと第２側面４ｃの四隅に設けられ（図５参照）、第１側面４ｂと第２側面４ｃに同じ形状・配置で対称的に設けられている。第１，第２側面４ａ，４ｂに対向配置される一対のザグリ孔３０，３１は、接続孔３２を介して連通している。接続孔３２は、一対のザグリ孔３０，３１と同軸上に形成され、孔径がザグリ孔３１の孔径より小さい。そのため、接続孔３２は、ザグリ孔３０，３１との間に段差を設けている。第１実施形態では、一対のザグリ孔３０，３１と接続孔３２とにより貫通孔３３が構成される。よって、ボディブロック４は、貫通流路２１と平行な貫通孔３３が、貫通流路２１の外側に４本設けられる。各貫通孔３３には、ボディブロック４同士を連結する連結部材４１が配置される。
【００３２】
連結部材４１は、雌ねじ部材の一例であるナット４４を介して締結ロッド４２を軸方向に繋いで構成されている。締結ロッド４２は、剛性を有する金属棒であり、全長Ｗ１が接続孔３２の全長Ｗ２より長く、ボディブロック４の幅寸法Ｗ３より短くなるように設定されている。締結ロッド４２の両端部外周面には、雄ねじ部４３ａ，４３ｂが形成されている。また、ナット４４は、剛性を確保するために金属を円筒状に形成したものである。ナット４４の全長は、各ザグリ孔３０，３１の深さより長く、且つ、ザグリ孔３０，３１を接続して形成される隙間にきっちり嵌め合わされる寸法に設定され、ザグリ孔３０，３１の間で軸方向の移動を制限されるようになっている。また、ナット４４は、外径寸法がザグリ孔３０，３１の孔径より若干小さく設けられ、ザグリ孔３０，３１に回転自在に挿入されるようになっている。ナット４４の内周面には、雄ねじ部４３ａ，４３ｂに対応する雌ねじ部４５が形成されている。
【００３３】
Ｄ．端部ブロックの構成
図２に示すように、端部ブロック５は、ＰＦＡ（四フッ化エチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）やＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリデン）、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）などの耐腐食性のある樹脂を成形したものであり、略６面体形状をなす。端部ブロック５には、ボディブロック４の貫通流路２１に対応して、端部側貫通流路３５が貫通流路２１と同じ有効断面積でストレート状に穿設されている。端部側貫通流路３５の一端開口部外周には、端部側継手部３６が切削加工又は射出成形により一体に設けられている。端部側継手部３６が設けられた側面と反対側の側面には、シール部材５０を装着するための端部側シール溝４０が、端部側貫通流路３５の開口部外側に環状に形成されている。
【００３４】
また、図４に示すように、端部ブロック５は、ボディブロック４の貫通孔３３に対応して、端部側貫通孔３７，３７，３７，３７を穿設されている。各端部側貫通孔３７は、一対の端部側ザグリ孔３８，３８と、それを接続する端部側接続孔３９とからなる。端部側ザグリ孔３８及び端部側接続孔３９は、ボディブロック４のザグリ孔３０，３１及び接続孔３２と同様に設けられている。かかる端部ブロック５は、端部側連結部材５１を用いてボディブロック４に連結される。端部側連結部材５１は、端部側ザグリ孔３８に配置可能なナット４４と、ナット４４に締結可能な端部側雄ねじ部材５２とからなる。
【００３５】
Ｅ．マニホールドの組立方法
次に、マニホールド３の組立方法について図６及び図７を参照して説明する。図６は、図１に示すマニホールド３の組立方法を示す外観斜視図であり、（ａ）は端部ブロック５Ａにナット４４を固定する方法を示し、（ｂ）は端部ブロック５Ａと第１ボディブロック４Ａを連結する方法を示し、（ｃ）は第１，第２ボディブロック４Ａ，４Ｂを連結する方法を示す。図７は、図１に示すマニホールド３の組立方法を示す要部断面図であり、（ａ）は端部ブロック５Ａにナット４４を固定する方法を示し、（ｂ）は端部ブロック５Ａと第１ボディブロック４Ａを連結する方法を示し、（ｃ）は第１，第２ボディブロック４Ａ，４Ｂを連結する方法を示す。
図６（ａ）及び図７（ａ）に示すように、端部ブロック５に端部側連結部材５１を固定する。すなわち先ず、端部側継手部３６Ａを設けた側面と対向する側面に設けた端部側ザグリ孔３８Ａの一つにナット４４を挿入し、そのナット４４を工具で回転止めして保持する。この状態で、プラスドライバなどの工具先端部に端部側雄ねじ部材５２を取り付け、端部側継手部３６Ａの周りに設けた端部側ザグリ孔３８Ａの一つから端部側雄ねじ部材５２を挿入し、反対側にある端部側ザグリ孔３８Ａ内に保持されるナット４４に締め付ける。端部側雄ねじ部材５２を規定量だけナット４４に締め付けたら、工具を端部側雄ねじ部材５２から外して引き抜く。これにより、端部側貫通孔３７Ａの一つに端部側連結部材５１が固定される。この他の端部側貫通孔３７Ａにも同様にして端部側連結部材５１を固定する。
【００３６】
次に、図６（ｂ）及び図７（ｂ）に示すように、第１ボディブロック４Ａを端部ブロック５Ａに連結する。すなわち先ず、第１ボディブロック４Ａのシール溝３４Ａ（図２参照）又は端部ブロック５Ａの端部側シール溝４０Ａにシール部材５０を軽く嵌め込んだ状態で、端部ブロック５Ａに固定した各ナット４４，４４，４４，４４を、第１ボディブロック４Ａの各ザグリ孔３０Ａ，３０Ａ，３０Ａ，３０Ａに挿入する。これにより、第１ボディブロック４Ａが端部ブロック５Ａに対して位置決めされる。また、締結ロッド４２の雄ねじ部４３ｂをナット４４の雌ねじ部４５にねじ込み、ボルト形状の締結部材４７を準備する。そして、ナット４４の端面に形成したスリット４６にマイナスドライバなどの工具を嵌め込んで締結部材４７を工具の先端に取り付け、第１ボディブロック４Ａに開口するザグリ孔３１Ａの一つに締結部材４７を挿入する。締結ロッド４２の先端部が端部ブロック５Ａに固定したナット４４に到達したら、締結ロッド４２の雄ねじ部４３ａを当該ナット４４の雌ねじ部４５に締め付けるように締結部材４７を回転させる。締結部材４７が回転できなくなるまで締結ロッド４２をナット４４に締め付けたら、工具を締結部材４７から外して貫通孔３３Ａから引き抜く。これにより、当該締結部材４７は、第１ボディブロック４Ａの貫通孔３３Ａの一つに固定配置された状態で、第１ボディブロック４Ａを端部ブロック５Ａに連結する。他の貫通孔３３Ａについても、同様にして締結部材４７をナット４４に締め付ける。
【００３７】
ここで、締結部材４７，４７，４７，４７の締結量は、ザグリ孔３１Ａと接続孔３２Ａとの間に形成される段差によってそれぞれ一定量に規制される。そのため、第１ボディブロック４Ａと端部ブロック５Ａとの間に配置されたシール部材５０は、円周方向に均一な力で押し潰され、貫通流路２１Ａと端部側貫通流路３５Ａとの接続部外側に安定したシール力を発生させる。
【００３８】
次に、図６（ｃ）及び図７（ｃ）に示すように、第２ボディブロック４Ｂを第１ボディブロック４Ａに連結する。すなわちまず、第１ボディブロック４Ａのシール溝２２Ａ又は第２ボディブロック４Ｂのシール溝３４Ｂ（図２参照）にシール部材５０を軽く嵌め込んだ状態で、第１ボディブロック４Ａに固定した締結部材４７，４７，４７，４７のナット４４，４４，４４，４４を第２ボディブロック４Ｂのザグリ孔３０Ｂ，３０Ｂ，３０Ｂ，３０Ｂに挿入する。これにより、第２ボディブロック４Ｂが第１ボディブロック４Ａに対して位置決めされる。そして、締結ロッド４２の雄ねじ部４３ｂをナット４４に締め付けて設けた締結部材４７を工具に取り付け、第２ボディブロック４Ｂに開口するザグリ孔３１Ｂの一つに締結部材４７を挿入する。締結ロッド４２の先端部が第１ボディブロック４Ａに固定したナット４４に到達したら、締結ロッド４２の雄ねじ部４３ａをナット４４の雌ねじ部４５に締め込むように締結部材４７を回転させる。締結部材４７を回転できなくなるまで締結ロッド４２をナット４４に締め付けたら、工具を締結部材４７から外して貫通孔３３Ｂから引き抜く。これにより、当該締結部材４７は、第２ボディブロック４Ｂの貫通孔３３Ｂ内に固定された状態で、第２ボディブロック４Ｂを第１ボディブロック４Ａに連結する。同様にして、他の貫通孔３３Ｂにも連結部材４１を固定する。
【００３９】
ここで、締結部材４７，４７，４７，４７の締結量は、ザグリ孔３１Ｂと接続孔３２Ｂとの間に形成される段差によってそれぞれ一定量に規制される。そのため、第１，第２ボディブロック４Ａ，４Ｂの間に配設されたシール部材５０は、円周方向に均一な力で押し潰され、貫通流路２１Ａ，２１Ｂの接続部外側に安定したシール力を発生させる。
【００４０】
第３ボディブロック４Ｃは、図６（ｃ）及び図７（ｃ）に示す第１，第２ボディブロック４Ａ，４Ｂの連結方法と同様にして、第２ボディブロック４Ｂに連結される。そして、このボディブロック４Ｃには、端部ブロック５Ｂの各端部側貫通孔３７Ｂに端部側継手部３６Ｂ側から挿通した端部側雄ねじ部材５２を、第３ボディブロック４Ｃに固定した締結部材４７のナット４４にそれぞれ締め付けることにより、端部ブロック５Ｂが連結される。
【００４１】
Ｆ．マニホールド構造体の動作説明
続いて、図２に示す流体機器のマニホールド構造体１の動作について説明する。
第１〜第３バルブ２Ａ，２Ｂ，２Ｃは、操作ポート１７Ａ，１７Ｂ，１７Ｃ（図３参照）に操作流体を供給されないときには、ピストン１４が下降し、ダイアフラム１８を弁座２０に当接させている。そのため、例えば、端部ブロック５Ａの端部側継手部３６Ａに作動流体を供給しても、作動流体は継手部２８Ａ，２８Ｂ，２８Ｃの何れからも出力されず、端部ブロック５Ｂの端部側継手部３６Ｂからそのまま出力される。
その後、例えば、第３バルブ２Ｃの操作ポート１７Ｃに操作流体を供給してピストン１４を圧縮バネ１５の弾性力に抗して上昇させると、ダイアフラム１８が弁座２０から離間する。そのため、端部側継手部３６Ａから貫通流路２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃへ流れた作動流体は、弁孔２４Ｃ、弁座２０Ｃ、弁室１９Ｃ、継手流路２９Ｃを介して継手部２８Ｃから所定流量で出力される。
それから、第３バルブ２Ｃの操作ポート１７Ｃに操作流体の供給を停止すると、圧縮バネ１５の弾性力によってピストン１４が下降し、ダイアフラム１８を弁座２０に当接させる。そのため、作動流体が継手部２８Ｃから出力されなくなる。
【００４２】
上記動作は、第１，第２バルブ２Ａ，２Ｂについても同様である。従って、第１〜第３バルブ２Ａ，２Ｂ，２Ｃの開閉弁動作を制御すれば、所望の継手部２８Ａ，２８Ｂ，２８Ｃから作動流体を出力できる。
尚、継手部２８Ａ，２８Ｂ，２８Ｃに供給した作動流体を単独で或いは混合して端部側継手部３６Ａ，３６Ｂから出力させてもよい。
【００４３】
Ｇ．作用効果
以上説明した流体機器のマニホールド構造体１は、ボディブロック４が、取付面４ａ及び継手部２８の中心を挟んで対向する同一形状の第１側面４ｂと第２側面４ｃに、貫通流路２１の開口部とシール溝３４，２２と貫通孔３３，３３，３３，３３の開口部とを同じ形状・配置で対称的に設けられている（図２、図４、図５参照）。
【００４４】
そのため、例えば、図１に示すように同一方向に継手部２８Ａ，２８Ｂ，２８Ｃを向ける流路構成を、図８に示すように継手部２８Ｂを継手部２８Ａ，２８Ｃと逆向きにする流路構成に変更する場合には、端部ブロック５Ｂの各端部側貫通孔３７Ｂに配置する端部側雄ねじ部材５２と、第２，第３ボディブロック４Ｂ，４Ｃの各貫通孔３３Ｂ，３３Ｃに配置する締結部材４７をそれぞれ工具で取り外し、端部ブロック５Ｂと第３ボディブロック４Ｃと第２ボディブロック４Ｂとの連結を解除する。その後、取付孔２３Ｂを中心に第２ボディブロック４Ｂの向きを反転させて、継手部２８Ｂの向きを１８０度変える。これに伴い、第３ボディブロック４Ｃは、第１，第２側面４ｂ，４ｃが入れ替わるが、第１，第２側面４ｂ，４ｃに設けた貫通流路２１Ｂの開口位置、シール溝３４Ｂ，２２Ｂの位置、貫通孔３３Ａ，３３Ａ，３３Ａ，３３Ａの開口位置もそれまま入れ替えられ、配置変更されない。そのため、反転させた第２ボディブロック４Ｂは、シール部材５０と締結部材４７をそのまま用いて、第１ボディブロック４Ａに連結できる。また同様に、第２ボディブロック４Ｂは第３ボディブロック４Ｃにも連結できる。そして、第３ボディブロック４Ｃに端部ブロック５Ｂを端部側雄ねじ部材５２を用いて連結すれば、継手部２８Ｂの向きを変えることにより、マニホールド３の流路構成を変更できる。
【００４５】
また、図１に示す３連構造のマニホールド３を図９に示す２連構造に変更する場合には、端部ブロック５Ｂと第３ボディブロック４Ｃとの連結を解除した後、端部ブロック５Ｂの端部側貫通孔３７Ｂに挿通した端部側雄ねじ部材５２を第２ボディブロック４Ｂのザグリ孔３１Ｂに固定したナット４４に各々締結することにより、端部ブロック５Ｂを第２ボディブロック４Ｂに連結すればよい。
【００４６】
更に、図１に示す３連構造のマニホールド３を図１０に示す４連構造に変更する場合には、端部ブロック５Ｂを第３ボディブロック４Ｃから取り外し、第４ボディブロック４Ｄを第３ボディブロック４Ｃに締結部材４７を用いて連結し、その後、端部ブロック５Ｂを第４ボディブロック４Ｄに端部側雄ねじ部材５２を用いて連結すればよい。
【００４７】
このように、第１実施形態の流体機器のマニホールド構造体１は、ボディブロック４の向きを限定されずにボディブロック４を何連でも連結することが可能なので、ボディブロック４を共通化して、コストダウンを図ることができる。また、ボディブロック４の向きを１８０度反転させて継手部２８の向きを変えれば、流路構成やシール構造等が異なる別種のボディブロックを用いなくても簡単に流路構成を変更できる。
【００４８】
また、図２に示す端部ブロック５Ａ，５Ｂは、端部側継手部３６Ａ，３６Ｂが端部側貫通流路３５Ａ，３５Ｂを介して貫通流路２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃに連通し、貫通流路２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃを流れる作動流体を入出力する。ここで、図１１に示す端部ブロック７Ａ，７Ｂは、ボディブロック４に連結されたときに、貫通流路２１の開口端部に挿入されて貫通流路２１の開口端部を閉鎖する閉鎖部８Ａ，８Ｂを備える。そのため、図２に示す端部ブロック５Ａ，５Ｂを図１１に示す端部ブロック７Ａ，７Ｂに交換すれば、同一構造の第１〜第３ボディブロック４Ａ，４Ｂ，４Ｃを連結している場合でも、図２に示すマニホールド３の流路構成を、図１１に示すように継手部２８Ａ，２８Ｂ，２８Ｃのみを備える流路構成に変更できる。尚、図１１に示す流路構成では、例えば、継手部２８Ａに供給された作動流体を継手部２８Ｂ，２８Ｃの何れか一方又は両方から出力したり、継手部２８Ａ，２８Ｂに供給された作動流体を混合して継手部２８Ｃから出力することができる。
【００４９】
更には、図２に示す第１，第３ボディブロック４Ａ，４Ｂを、図１２に示す端部ブロック９にそれぞれ交換して流路構成を変更してもよい。端部ブロック９は、貫通流路２１に変えて、側面の一つから弁孔２４まで形成された流路１０を備える点を除き、ボディブロック４と同一構成である。流路１０の端部内壁は流体の流れを止める閉鎖部の役割を果たす。そのため、図１２に示す流路構成によれば、図１１に示すように端部ブロック７Ａ，７Ｂを用いなくても、貫通流路２１Ｂの両端を閉鎖でき、マニホールド３においては使用するブロック数を減らして省スペース化を図ることができる。
【００５０】
このように、第１実施形態の流体機器のマニホールド構造体１は、端部ブロック５，７，９を交換することにより、第１〜第３ボディブロック４Ａ，４Ｂ，４Ｃを連結した状態で任意の流路構成を採用することができる。
しかも、端部ブロック５は、ボディブロック４の貫通孔３３に対応する位置に端部側貫通孔３７が設けられ、その端部側貫通孔３７に端部側連結部材５１を配置してボディブロック４の第１側面４ｂ又は第２側面４ｃに連結されるので、ボディブロック４の向きを変えた場合でもそのまま使用することができる。
【００５１】
第１実施形態の流体機器のマニホールド構造体１は、例えば、第１ボディブロック４Ａのザグリ孔３１Ａ，３１Ａ，３１Ａ，３１Ａに配置した各ナット４４に、第２ボディブロック４Ｂに挿通した締結部材４７を締結することにより、第１ボディブロック４Ａと第２ボディブロック４Ｂとを連結するので（図４、図６（ｃ）、図７（ｃ）参照）、ナット４４と締結部材４７を用いてボディブロック４を１個単位で増減させることが可能である。このように、第１実施形態の流体機器のマニホールド構造体１は、ナット４４と締結部材４７を用いてボディブロック４を何連でも連結可能であるので、ナット４４及び締結部材４７を共通化して、コストダウンを図ることができる。
【００５２】
また、第１実施形態の流体機器のマニホールド構造体１は、全長がザグリ孔３０，３１の深さより長いナット４４を、第１ボディブロック４Ａのザグリ孔３１Ａと第２ボディブロック４Ｂのザグリ孔３０Ｂとの間に配置し、第１，第２ボディブロック４Ａ，４Ｂを位置決めした状態で、第２ボディブロック４Ｂに挿通した締結部材４７を当該ナット４４に締め込むことによって、第１，第２ボディブロック４Ａ，４Ｂを連結する（図６（ｃ）及び図７（ｃ）参照）。よって、第１，第２ボディブロック４Ａ，４Ｂが当接する面上で締結力を発生させ、第１，第２ボディブロック４Ａ，４Ｂを強固に当接させることができる。
特に、第１，第２ボディブロック４Ａ，４Ｂの間には、貫通流路２１Ａ，２１Ｂの接続部分外側を囲むようにシール部材５０が配設され、そのシール部材５０の外側にナット４４と締結部材４７との締結力を４箇所に発生させてシール部材５０を押し潰すので（図２及び図４参照）、貫通流路２１Ａ，２１Ｂの接続部外側を安定したシール力で常にシールできる。
【００５３】
２．第２実施形態
続いて、本発明の流体機器のマニホールド構造体について第２実施形態を説明する。
【００５４】
Ａ．全体構成
図１３は、第２実施形態における流体機器のマニホールド構造体に用いられるマニホールド６１の平面図である。図１４は、図１３のＣ−Ｃ断面図である。図１５は、図１３のＤ−Ｄ断面図である。図１６は、図１３に示すマニホールドの分解斜視図である。
図１３に示すマニホールド６１は、第１実施形態と同様にバルブ２（流体機器）を取り付けられ、流体機器のマニホールド構造体を構成する。マニホールド６１は、図１４及び図１５に示す連結構造が図４に示す第１実施形態の連結構造と異なり、その他の点は共通する。そのため、マニホールド６１は、図１３に示す外観及び流路構成が第１実施形態のマニホールド３と全く同じである。よって、ここでは、第１実施形態と異なる点を中心に説明し、共通する点は説明を適宜省略する。尚、第２実施形態も、構成部品を特に区別する必要がない場合には、構成部品を区別するための添え字Ａ，Ｂ，Ｃを適宜省略する。
【００５５】
図１４及び図１５に示すように、第１〜第３ボディブロック４Ａ，４Ｂ，４Ｃは、端部ブロック５Ａの端部側ザグリ孔３８Ａ，３８Ａ，３８Ａ，３８Ａと第１ボディブロック４Ａのザグリ孔３０Ａ，３０Ａ，３０Ａ，３０Ａとの間に形成される空間と、第１ボディブロック４Ａのザグリ孔３１Ａ，３１Ａ，３１Ａ，３１Ａと第２ボディブロック４Ｂのザグリ孔３０Ｂ，３０Ｂ，３０Ｂ，３０Ｂとの間に形成される空間とに、ナット６６を互い違いに配置し、そのナット６６に対応する第１，第２，第３ボディブロック４Ａ，４Ｂ，４Ｃの接続孔４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃに雄ねじ部材６７をそれぞれ挿入して各ナット６６に締結することにより、横方向に連結されている。そのため、第２実施形態では、ナット６６と雄ねじ部材６７とにより「連結部材」が構成される。
【００５６】
雄ねじ部材６７は、全長Ｗ４がボディブロック４の幅寸法Ｗ３より長く、ボディブロック４を２個連結したときの幅寸法Ｗ３×２より短い。換言すると、雄ねじ部材６７は、ボディブロック４の取扱時に邪魔にならないように、当該ボディブロック４に設けたザグリ孔３１から当該ボディブロック４の貫通孔３３と他のボディブロック４の貫通孔３３に挿通したときに、先端部が、他のボディブロック４から突き出さない長さに全長が設定されている。
ナット６６は、金属を円筒状に成形し、内周面に雄ねじ部材６７に対応する雌ねじ部４５を形成したものである。ナット６６は、直径がザグリ孔３０，３１の孔径より若干大きくされ、また、全長がザグリ孔３０，３１の深さより短くされており、ザグリ孔３０，３１に入り込んだ状態で圧入固定されている。
【００５７】
一方、端部ブロック６２は、第１実施形態の端部側貫通孔３７に変えて端部側貫通孔６３を備える。端部側貫通孔６３は、端部側ザグリ孔６４と端部側接続孔６５とにより構成される。端部側ザグリ孔６４は、端部側継手部３６が設けられた側面のみに、ボディブロック４のザグリ孔３０，３１と同じ形状で開設されている。一方、端部側接続孔６５は、端部側ザグリ孔６４より小さい孔径で、端部側ザグリ孔６４と同軸上に設けられている。そのため、端部側接続孔６５の一端は、端部側ザグリ孔６４に接続し、他端は、端部側継手部３６が設けられた側面と対向する側面に開口している。かかる端部側貫通孔６３には、端部側雄ねじ部材６８が配置される。端部側雄ねじ部材６８は、剛性を確保するために金属を材質とする。端部側雄ねじ部材６８の全長は、連結されたボディブロック４を取り扱う際に邪魔にならないように、端部ブロック６２の端部側貫通孔６３とボディブロック４の貫通孔３３に挿通されたときに、両端部が端部ブロック６２又はボディブロック４から突き出ない長さに設定されている。
【００５８】
Ｂ．マニホールドの組立方法
次に、マニホールド６１の組立方法について図１６を参照して説明する。尚、説明の便宜上、マニホールド４の継手部２８側から右上がりになる第１対角線上に設けた対角位置を第１対角位置といい、マニホールド４の継手部２８側から右下がりになる第２対角線上に設けた対角位置を第２対角位置というものとする。
第１ボディブロック４Ａを端部ブロック６２Ａに連結する。すなわち先ず、圧入用工具などを用いて、端部ブロック６２Ａの端部側継手部３６Ａを挟んで第２対角位置にある端部側ザグリ孔６４Ａ，６４Ａ（図１５参照）にナット６６をそれぞれ圧入固定する。また、次の第２ボディブロック４Ｂを連結するために、第１ボディブロック４Ａの第１側面４ｂに開口するザグリ孔３０Ａ，３０Ａ，３０Ａ，３０Ａのうち第１対角位置にあるザグリ孔３０Ａ，３０Ａにナット６６を圧入固定する。それから、第１ボディブロック４Ａのシール溝３４Ａと端部ブロック６２Ａのシール溝４０Ａとの間にシール部材５０を軽く嵌め込み、第１ボディブロック４Ａと端部ブロック６２Ａとを位置合わせする。
【００５９】
そして、端部側雄ねじ部材６８をドライバに取り付け、第１ボディブロック４Ａの第２対角位置に設けられた貫通孔３３Ａの一つから端部側雄ねじ部材６８を挿入する。そして、端部側雄ねじ部材６８の先端部がナット６６に到達したら、端部ブロック６２Ａの端部側ザグリ孔６４Ａ（図１５参照）に圧入固定したナット６６に端部側雄ねじ部材６８を締め込む。端部側雄ねじ部材６８が、ザグリ孔３１Ａと接続孔３２Ａとの間に形成される段差に頭部を突き当て、それ以上回転できなくなったら、工具を端部側雄ねじ部材６８から外して引き抜く。これにより、端部側雄ねじ部材６８は、第１ボディブロック４Ａの貫通孔３３Ａと端部ブロック６２Ａの端部側貫通孔６３Ａ内に貫き通されて固定配置された状態で、第１ボディブロック４Ａを端部ブロック６２Ａに連結する。同様にして、第１ボディブロック４Ａの第２対角位置に設けられた別の貫通孔３３Ａに端部側雄ねじ部材６８を固定配置する。
【００６０】
第２対角位置に配置された端部側雄ねじ部材６８，６８の締結力により、端部ブロック６２Ａと第１ボディブロック４Ａが連結される。端部側雄ねじ部材６８，６８の締結力は、ザグリ孔３１Ａと接続孔３２Ａとの間に設けられた段差で規制されるため、略均等になる。よって、端部ブロック６２Ａと第１ボディブロック４Ａとの間に配設されたシール部材５０は、シール溝４０Ａ，３４Ａを挟んで対向する位置に略均等に発生する締結力によって円周方向にほぼ均一な力で押し潰され、安定したシール力を発生する。
【００６１】
その後、第２ボディブロック４Ｂを第１ボディブロック４Ａに連結する。圧入用工具などを用いて、第２ボディブロック４Ｂの第１側面４ｂに開口するザグリ孔３０Ａ，３０Ａ，３０Ａ，３０Ａのうち、第２対角位置に設けたザグリ孔３０Ａ，３０Ａにナット６６を圧入固定する。それから、第２ボディブロック４Ｂのシール溝３４Ｂと第１ボディブロック４Ａのシール溝２２Ａとの間にシール部材５０を軽く嵌め込み、第２ボディブロック４Ｂを第１ボディブロック４Ａに対して位置決めする。
【００６２】
そして、雄ねじ部材６７を工具の先端に取り付け、第２ボディブロック４Ｂの第１対角位置に設けた貫通孔３３Ｂの一つに雄ねじ部材６７を挿入する。雄ねじ部材６７の先端部が、第１ボディブロック４Ａのザグリ孔３０Ａに圧入固定したナット６６に到達したら、雄ねじ部材６７をナット６６にねじ込む。雄ねじ部材６７の頭部が、ザグリ孔３１Ｂと接続孔３２Ｂとの間に形成される段差に突き当たり、それ以上雄ねじ部材６７を回転させることができなくなったら、工具を雄ねじ部材６７から外して引き抜く。これにより、雄ねじ部材６７は、第２ボディブロック４Ｂの貫通孔３３Ｂと第１ボディブロック４Ａの貫通孔３３Ａ内に貫き通されて固定配置された状態で、第２ボディブロック４Ｂを第１ボディブロック４Ａに連結する。同様にして、第１，第２ボディブロック４Ａ，４Ｂの第１対角位置に設けた他方の貫通孔３３Ａ，３３Ｂに雄ねじ部材６７を固定配置する。
【００６３】
第１対角位置に配置した雄ねじ部材６７，６７の締結力により、第２ボディブロック４Ｂが第１ボディブロック４Ａに連結される。雄ねじ部材６７，６７の締結力は、ザグリ孔３１Ｂと接続孔３２Ｂとの間に形成される段差で規制される。よって、第１，第２ボディブロック４Ａ，４Ｂの間に配設したシール部材５０は、シール溝２２Ａ，３４Ｂを挟んで対向する位置に略均等に発生する締結力によって円周方向に均一な力で押し潰され、安定したシール力を発生する。
【００６４】
更に、上記第１，第２ボディブロック４Ａ，４Ｂの連結手順と同様にして、第２対角位置において、第３ボディブロック４Ｃを第２ボディブロック４Ｂに連結する。
【００６５】
さらにその後、シール部材５０を介して端部ブロック６２Ｂと第３ボディブロック４Ｃとを位置決めした後、端部ブロック６２Ｂの第１対角位置に設けた端部側貫通孔６３Ｂに端部側雄ねじ部材６８を挿入し、第３ボディブロック４Ｃのザグリ孔３０Ａに圧入固定したナット６６にねじ込んで固定する。これにより、端部ブロック６２Ｂと第３ボディブロック４Ｃとの間に配設したシール部材５０を押し潰した状態で、端部ブロック６２Ｂが第３ボディブロック４Ｃに連結される。
【００６６】
Ｃ．作用効果
以上説明した第２実施形態の流体機器のマニホールド構造体は、例えば、第１ボディブロック４Ａのザグリ孔３０Ａに配置したナット６６に、第２ボディブロック４Ｂに挿通した雄ねじ部材６７を締結することにより、第１ボディブロック４Ａと第２ボディブロック４Ｂとを連結するので、ナット６６と雄ねじ部材６７を用いてボディブロック４を１個単位で増設することが可能である。このように、第２実施形態の流体機器のマニホールド構造体は、ナット６６と雄ねじ部材６７を用いてボディブロック４を何連でも連結可能であるので、ナット６６及び雄ねじ部材６７を共通化して、コストダウンを図ることができる。
【００６７】
また、第２実施形態の流体機器のマニホールド構造体は、第１対角位置に設けた貫通孔３３Ａと第２対角位置に設けた貫通孔３３Ａに雄ねじ部材６７を交互に配置してボディブロック４を連結していく。そのため、マニホールド６１は、ボディブロック４の連結に必要なナット６６と雄ねじ部材６７の数を、第１実施形態で使用するナット４４と締結ロッド４２の数より半分以上減らし、コストダウンを図ることができる。
尚、第２実施形態のマニホールド構造体は、ボディブロック４同士が接触する付近、すなわち、ボディブロック４の接触面からザグリ孔６６内に僅かに入り込んだ所にナット６６を配置し、そのナット６６に雄ねじ部材６７をねじ込んでボディブロック４同士を一定の力で個別連結する。そのため、第２実施形態の流体機器のマニホールド構造体は、隣り合うボディブロック４を２本の雄ネジ部材６７だけで連結しても、隣り合うボディブロック４の間に配設したシール部材５０を円周方向にほぼ均一な力で押し潰して安定したシール力を発生し、流体漏れを防止できる。
【００６８】
尚、本発明は、上記実施形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。
（１）上記実施の形態では、流体機器の一例としてエアオペレイト型バルブ２を使用したが、レギュレータや圧力計、流量計、電磁弁などを流体機器として使用してもよい。
（２）上記実施形態では、ボディブロックを樹脂で形成したが、ＳＵＳなどの金属で形成してもよい。
（３）上記実施形態では、ボディブロック４が貫通流路２１の外側に貫通孔３３を４箇所設けたが、貫通流路２１の周りに２個又は３個、或いは５個以上の貫通孔３３を設けてもよい。この場合にも、貫通流路２１とシール溝３４，２２と貫通孔３３とを対称的にボディブロック４に設け、貫通流路２１の開口部とシール溝３４，３３と貫通孔３３の開口部との形状・配置を同じにすれば、ボディブロック４を自由に反転させて他のボディブロック４に連結することが可能なので、部品の共通化とコストダウンという効果が得られる。
（４）上記実施形態では、Ｈ形のシール部材５０に対応するシール溝３４，２２をボディブロック４の第１，第２側面４ｂ，４ｃに設けたが、環状のゴムリングなどのシール部材を装着するように断面矩形状や断面半円状のシール溝を貫通流路２１の開口部外側に環状に設けてもよい。
（５）上記実施形態では、弁室１９を形成するための分岐流路２５を有底凹部２３と弁孔２４とから構成したが、流体機器として圧力計や流量センサなどを搭載する場合には、ボディブロック４の取付面４ａから貫通流路２１に連通するように分岐流路２５を同じ太さで穿設してもよい。
（６）上記実施形態では、ボディブロック４の外観を６面体形状としたが、取付面を挟んで対向する第１側面と第２側面を備えれば、正立方体形状や１０面体形状など形状を限定されない。
（７）上記実施形態では、連結部材４１、ナット４４，雄ねじ部材６７を用いてボディブロック４を個別に増設した。これに対して、マニホールド３の横寸法に合わせた長尺な連結部材を第１〜第３ボディブロック４Ａ，４Ｂ，４Ｃに挿通し、第１〜第３ボディブロック４Ａ，４Ｂ，４Ｃを連結してもよい。この場合にも、ボディブロック４の第１側面４ｂと第２側面４ｃの形状が同じであるので、ボディブロック４の一つを反転させても、長尺な連結部材を用いて他のボディブロックに連結できることはいうまでもない。
（８）上記第２実施形態では、ボディブロック４の第１対角位置に設けた貫通孔３３を「特定の貫通孔」とし、第２対角位置に設けた貫通孔を「特定の貫通孔以外の貫通孔」とした。「特定の貫通孔」と「特定の貫通孔以外の貫通孔」との関係は対角位置に限られず、例えば、貫通流路２１の周りに６個の貫通孔を等間隔に設け、正三角形位置にある貫通孔を「特定の貫通孔」とし、それと異なる正三角形位置（雄ねじ部材６７が配置されていない位置）にある貫通孔を「特定の貫通孔以外の貫通孔」としてもよい。
（９）上記第２実施形態では、ナット６６を圧入固定したが、予めボディブロック４にインサート成形で一体的に設けておき、マニホールド６１の組立にかかる手間や時間を軽減してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明の第１実施形態に係る流体機器のマニホールド構造体を示す正面図である。
【図２】図１に示す流体機器のマニホールド構造体の中央縦断面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ断面図である。
【図４】図３のＢ−Ｂ断面図である。
【図５】図１に示すボディブロックの外観斜視図である。
【図６】図１に示すマニホールドの組立方法を示す外観斜視図であり、（ａ）は端部ブロックにナットを固定する方法を示し、（ｂ）は端部ブロックと第１ボディブロックを連結する方法を示し、（ｃ）は第１ボディブロックと第２ボディブロックを連結する方法を示す。
【図７】図１に示すマニホールドの組立方法を示す要部断面図であり、（ａ）は端部ブロックにナットを固定する方法を示し、（ｂ）は端部ブロックと第１ボディブロックを連結する方法を示し、（ｃ）は第１ボディブロックと第２ボディブロックを連結する方法を示す。
【図８】図１に示すマニホールドの継手部方向を変更した変形例である。
【図９】図１に示すマニホールドのボディブロックを２連に変更した変形例である。
【図１０】図１に示すマニホールドのボディブロックを４連に変更した変形例である。
【図１１】図１に示すマニホールドの端部ブロックを、継手部を備えるものから閉鎖部を備えるものに変更した変形例である。
【図１２】図１に示す第１，第３ボディブロックを、別形状のボディブロックに交換した変形例である。
【図１３】本発明の第２実施形態に係る流体機器のマニホールド構造体に用いられるマニホールドの平面図である。
【図１４】図１３のＣ−Ｃ断面図である。
【図１５】図１３のＤ−Ｄ断面図である。
【図１６】図１３に示すマニホールドの分解斜視図である。
【図１７】従来のマニホールド弁構造体を示す断面図である。
【図１８】図１７に示すマニホールド弁構造体のＰ部拡大断面図である。
【符号の説明】
【００７０】
１  流体機器のマニホールド構造体
２（２Ａ，２Ｂ，２Ｃ）  バルブ（流体機器）
３  マニホールド
４（４Ａ，４Ｂ，４Ｃ）  ボディブロック
２１（２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ）  貫通流路
２２（２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ）  シール溝
２５（２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃ）  分岐流路
３０（３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃ）  ザグリ孔
３１（３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃ）  ザグリ孔
３２（３２Ａ，３２Ｂ，３２Ｃ）  接続孔
３３（３３Ａ，３３Ｂ，３３Ｃ）  貫通孔
３４（３４Ａ，３４Ｂ，３４Ｃ）  シール溝
４１  連結部材
４２  締結ロッド
４４  ナット（雌ねじ部材）
４７  締結部材
５２  雄ねじ部材
６１  マニホールド
６６  ナット
６７  雄ねじ部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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