(57)【要約】【課題】簡単な工程及び構成で、クリーン環境を維持するとともに、ローラ表面を良好且つ確実に洗浄することを可能にする。【解決手段】貼り付け装置４６は、ラミネートローラ対１１０と、このラミネートローラ対１１０に近接して配置されるローラ洗浄機構１１８とを備える。ラミネートローラ対１１０は、感光性ウエブ２２に摺接して回転する第１加熱ゴムローラ１１０ａと、ガラス基板２４に摺接して回転する第２加熱ゴムローラ１１０ｂとを有する。ローラ洗浄機構１１８は、第１加熱ゴムローラ１１０ａの外周部に対して、感光性ウエブ２２が摺接する範囲内に摺接可能な洗浄部材１３０と、前記洗浄部材１３０を前記第１加熱ゴムローラ１１０ａに向かって進退させるシリンダ１２６と、前記洗浄部材１３０を前記第１加熱ゴムローラ１１０ａの軸方向に沿って移動させる電動シリンダ１２０と、前記洗浄部材１３０に洗浄液を供給する洗浄液供給部１５２とを備える。【選択図】図４
2008297028.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持体上に少なくとも感光材料層が積層される感光性ウエブを、前記感光材料層側が基板に向かうようにして前記基板に貼り付ける感光性ウエブの貼り付け装置であって、
前記感光性ウエブと前記基板とを加熱挟持してラミネートするラミネートローラ対と、
前記ラミネートローラ対に近接して配置されるローラ洗浄機構と、
を備え、
前記ラミネートローラ対は、前記感光性ウエブに摺接して回転する第１ローラと、
前記基板に摺接して回転する第２ローラと、
を有するとともに、
前記ローラ洗浄機構は、前記第１ローラの外周部に対して前記感光性ウエブが摺接する範囲外に摺接可能な洗浄部材と、
前記洗浄部材を前記第１ローラの外周部に向かって進退させる第１アクチュエータと、
前記洗浄部材を前記第１ローラの軸方向に沿って移動させる第２アクチュエータと、
前記洗浄部材に洗浄液を供給する洗浄液供給部と、
を備えることを特徴とする感光性ウエブの貼り付け装置。
【請求項２】
請求項１記載の貼り付け装置において、前記洗浄部材は、前記洗浄液供給部から供給される所定量の前記洗浄液が貯留されるとともに、複数の洗浄液供給孔部が形成される基台部と、
前記基台部に装着され、前記洗浄液供給孔部から供給される前記洗浄液を含浸するとともに、弾性変形可能な保液弾性部と、
前記保液弾性部を覆って前記基台部に着脱自在に取り付けられ、前記保液弾性部から供給される前記洗浄液により前記第１ローラの外周部を洗浄する洗浄布部と、
を備えることを特徴とする感光性ウエブの貼り付け装置。
【請求項３】
請求項２記載の貼り付け装置において、前記基台部の長手方向中央部側に設けられる前記洗浄液供給孔部の開口径は、前記基台部の長手方向端部側に設けられる前記洗浄液供給孔部の開口径よりも大径に設定されることを特徴とする感光性ウエブの貼り付け装置。
【請求項４】
請求項２記載の貼り付け装置において、前記基台部の長手方向中央部側に設けられる前記洗浄液供給孔部の分布は、前記基台部の長手方向端部側に設けられる前記洗浄液供給孔部の分布よりも密に設定されることを特徴とする感光性ウエブの貼り付け装置。
【請求項５】
支持体上に少なくとも感光材料層が積層される感光性ウエブを、前記感光材料層側が基板に向かうようにして前記基板に貼り付ける感光性ウエブの貼り付け装置の洗浄方法であって、
前記感光性ウエブに摺接して回転する第１ローラと、前記基板に摺接して回転する第２ローラとにより、前記感光性ウエブと前記基板とを加熱挟持してラミネートする工程と、
前記ラミネート中、又は前記ラミネートが停止されて前記感光性ウエブが前記第１ローラから離間された状態で、前記第１ローラを洗浄する工程と、
を有し、
前記第１ローラを洗浄する工程は、前記第１ローラの外周部に対して前記感光性ウエブが摺接する範囲外に洗浄部材を押圧する一方、前記第１ローラを前記ラミネート中の回転方向と同一方向に回転させることを特徴とする感光性ウエブの貼り付け装置の洗浄方法。
【請求項６】
請求項５記載の洗浄方法において、前記第１ローラを回転させた後、前記洗浄部材を前記第１ローラの軸方向に該洗浄部材の洗浄範囲に対応する距離だけ移動させ、さらに前記第１ローラを回転させて前記第１ローラを洗浄することを特徴とする感光性ウエブの貼り付け装置の洗浄方法。
【請求項７】
支持体上に少なくとも感光材料層が積層される感光性ウエブを、前記感光材料層側が基板に向かうようにして前記基板に貼り付ける感光性ウエブの貼り付け装置の洗浄方法であって、
前記感光性ウエブに摺接して回転する第１ローラと、前記基板に摺接して回転する第２ローラとにより、前記感光性ウエブと前記基板とを加熱挟持してラミネートする工程と、
前記ラミネート中、又は前記ラミネートが停止されて前記感光性ウエブが前記第１ローラから離間された状態で、前記第１ローラを洗浄する工程と、
を有し、
前記第１ローラを洗浄する工程は、前記第１ローラの外周部に対して前記感光性ウエブが摺接する範囲外に洗浄部材を押圧するとともに、前記洗浄部材を前記第１ローラの軸方向に進退させた後、前記第１ローラを前記洗浄部材の洗浄範囲に対応して所定の角度だけ回転させ、さらに前記洗浄部材を前記軸方向に進退させることを特徴とする感光性ウエブの貼り付け装置の洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、支持体上に少なくとも感光材料層が積層される感光性ウエブを、前記感光材料層側が基板に向かうようにして前記基板に貼り付ける感光性ウエブの貼り付け装置及びその洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、ＰＤＰパネル用基板では、感光材料（感光性樹脂）層を有する感光性シート体（感光性ウエブ）を基板表面に貼り付けて構成されている。感光性シート体は、基本的には、可撓性プラスチック支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層されている。
【０００３】
上記の感光性シート体の貼り付けに使用される貼り付け装置では、通常、ガラス基板や樹脂基板等の基板を所定の間隔ずつ離間させて搬送するとともに、前記基板に貼り付けられる感光材料層の範囲に対応して保護フイルムが剥離された前記感光性シート体を、前記基板に加熱転写（ドライラミネート）する方式が採用されている。
【０００４】
この種の貼り付け装置は、ラミネート用の一対の加熱ゴムロールを備えており、前記加熱ゴムロール間に基板と感光性シート体とを加熱挟持することにより、上記の加熱転写が行われている。
【０００５】
その際、感光性シート体では、一方の加熱ゴムロールに接するシート体裏面に、例えば、パウダータイプの硬膜剤等の表面処理剤が設けられている。このため、一方の加熱ゴムロールのロール表面には、表面処理剤が転写され易く、前記ロール表面に前記表面処理剤が付着してしまう。そして、ラミネート処理量が増加するのに伴って、ロール表面の付着物（表面処理剤）が増加し、前記ロール表面の摩擦係数が低下し易い。
【０００６】
これにより、ロール表面と感光性シート体との間に滑りが惹起し、ラミネート時に貼り付け位置がばらついて貼り付け精度が低下するおそれがある。このため、一般的には、一定処理量が経過した後、人手によりロール表面を清掃する作業が行われているが、作業頻度が多くなるとともに、作業負担が相当に大きいという問題がある。
【０００７】
そこで、例えば、特許文献１に開示されているローラ洗浄方法及び装置が知られている。このローラ洗浄方法では、円筒状のローラ部材と、このローラ部材に端部を露出した状態で嵌挿された芯金とからなるローラを、その中心軸線を枢軸として回転させながら、第１の洗浄液が付着せしめられる洗浄部材を前記ローラ部材の外周面に押し当てて回転させつつ、該ローラ部材の中心軸線方向に沿って移動させるとともに、第２の洗浄液が付着せしめられる柔軟材料でその外周部が形成されて回転自在に支持された洗浄ローラを前記芯金の端部外周面に押し当てることを特徴としている。
【０００８】
【特許文献１】特開平６−６３４７８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記の特許文献１では、洗浄部材として、実際上、洗浄ブラシが用いられており、この洗浄ブラシを回転させながら、ローラ部材の外周面に押し当てている。従って、ローラ部材の洗浄時に、洗浄液が飛散するとともに、発塵が惹起されてしまう。しかしながら、特に、基板に感光性シート体を加熱転写する貼り付け装置では、装置内をクリーン環境に維持する必要があり、上記の洗浄ブラシを用いた洗浄方法では、該クリーン環境に対応することができないという問題がある。
【００１０】
本発明はこの種の問題を解決するものであり、簡単な工程及び構成で、クリーン環境を維持するとともに、ローラ表面を良好且つ確実に洗浄することが可能な感光性ウエブの貼り付け装置及びその洗浄方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、支持体上に少なくとも感光材料層が積層される感光性ウエブを、前記感光材料層側が基板に向かうようにして前記基板に貼り付ける感光性ウエブの貼り付け装置に関するものである。
【００１２】
貼り付け装置は、感光性ウエブと基板とを加熱挟持してラミネートするラミネートローラ対と、前記ラミネートローラ対に近接して配置されるローラ洗浄機構とを備えている。そして、ラミネートローラ対は、感光性ウエブに摺接して回転する第１ローラと、基板に摺接して回転する第２ローラとを有している。
【００１３】
ローラ洗浄機構は、第１ローラの外周部に対して感光性ウエブが摺接する範囲外に摺接可能な洗浄部材と、前記洗浄部材を前記第１ローラの外周部に向かって進退させる第１アクチュエータと、前記洗浄部材を前記第１ローラの軸方向に沿って移動させる第２アクチュエータと、前記洗浄部材に洗浄液を供給する洗浄液供給部とを備えている。
【００１４】
また、洗浄部材は、洗浄液供給部から供給される所定量の洗浄液が貯留されるとともに、複数の洗浄液供給孔部が形成される基台部と、前記基台部に装着され、前記洗浄液供給孔部から供給される前記洗浄液を含浸するとともに、弾性変形可能な保液弾性部と、前記保液弾性部を覆って前記基台部に着脱自在に取り付けられ、前記保液弾性部から供給される前記洗浄液により前記第１ローラの外周部を洗浄する洗浄布部とを備えることが好ましい。
【００１５】
さらに、基台部の長手方向中央部側に設けられる洗浄液供給孔部の開口径は、前記基台部の長手方向端部側に設けられる前記洗浄液供給孔部の開口径よりも大径に設定されることが好ましい。
【００１６】
さらにまた、基台部の長手方向中央部側に設けられる洗浄液供給孔部の分布は、前記基台部の長手方向端部側に設けられる前記洗浄液供給孔部の分布よりも密に設定されることが好ましい。
【００１７】
また、本発明は、支持体上に少なくとも感光材料層が積層される感光性ウエブを、前記感光材料層側が基板に向かうようにして前記基板に貼り付ける感光性ウエブの貼り付け装置の洗浄方法に関するものである。
【００１８】
そして、感光性ウエブに摺接して回転する第１ローラと、基板に摺接して回転する第２ローラとにより、前記感光性ウエブと前記基板とを加熱挟持してラミネートする工程と、前記ラミネート中、又は前記ラミネートが停止されて前記感光性ウエブが前記第１ローラから離間された状態で、前記第１ローラを洗浄する工程とを有している。
【００１９】
第１ローラを洗浄する工程は、前記第１ローラの外周部に対して感光性ウエブが摺接する範囲外に洗浄部材を押圧する一方、前記第１ローラをラミネート中の回転方向と同一方向に回転させている。
【００２０】
さらに、第１ローラを回転させた後、洗浄部材を前記第１ローラの軸方向に該洗浄部材の洗浄範囲に対応する距離だけ移動させ、さらに前記第１ローラを回転させて前記第１ローラを洗浄することが好ましい。
【００２１】
さらにまた、本発明では、第１ローラを洗浄する工程は、前記第１ローラの外周部に対して感光性ウエブが摺接する範囲外に洗浄部材を押圧するとともに、前記洗浄部材を前記第１ローラの軸方向に進退させた後、前記第１ローラを前記洗浄部材の洗浄範囲に対応して所定の角度だけ回転させ、さらに前記洗浄部材を前記軸方向に進退させている。
【発明の効果】
【００２２】
本発明では、洗浄部材が第１ローラの外周面に摺接した状態で、前記第１ローラが回転され、あるいは、前記洗浄部材が前記第１ローラの軸方向に進退されている。このため、洗浄液の飛散や発塵が惹起され易いブラシ類を不要にすることができ、特にクリーンルーム内の無塵対策が容易に遂行されるとともに、第１ローラの洗浄が迅速且つ確実に遂行される。これにより、高品質な感光性ウエブの貼り付け処理を、効率的且つ経済的に行うことが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
図１は、本発明の第１の実施形態に係る感光性ウエブの貼り付け装置が組み込まれる製造システム２０の概略構成図である。この製造システム２０は、液晶又は有機ＥＬ用カラーフィルタ等の製作工程で、感光性ウエブ（長尺状ウエブ）２２の感光性樹脂層２８（後述する）をガラス基板２４に熱転写する作業を行う。
【００２４】
図２は、製造システム２０に使用される感光性ウエブ２２の断面図である。この感光性ウエブ２２は、可撓性ベースフイルム（支持体）２６と、感光性樹脂層（感光材料層）２８と、保護フイルム３０とを積層して構成される。可撓性ベースフイルム２６には、摩擦低減や帯電防止機能を有する硬膜剤等の表面処理剤３１が設けられる。
【００２５】
可撓性ベースフイルム２６は、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）で形成され、感光性樹脂層２８は、アルカリ可溶性バインダとモノマーと光重合開始材と着色剤を含む着色感光性樹脂組成物で形成され、保護フイルム３０は、ポリエチレンあるいはポリプロピレン等で形成される。
【００２６】
図１に示すように、製造システム２０は、感光性ウエブ２２をロール状に巻回した感光性ウエブロール２２ａを収容し、この感光性ウエブロール２２ａから前記感光性ウエブ２２を送り出すウエブ送り出し機構３２と、送り出された前記感光性ウエブ２２の保護フイルム３０に、幅方向に切断可能なハーフカット部位３４を形成するハーフカット機構３６と、一部に非接着部３８ａを有する接着ラベル３８（図３参照）を保護フイルム３０に接着させるラベル接着機構４０とを備える。なお、ハーフカット機構３６は、矢印Ａ方向に所定の間隔だけ離間して２セット配設され、同時に２個所のハーフカット部位３４を形成してもよい。
【００２７】
ラベル接着機構４０の下流には、感光性ウエブ２２をタクト送りから略連続送りに変更するためのリザーバ機構４２と、前記感光性ウエブ２２から保護フイルム３０を所定の長さ間隔で剥離させる保護フイルム剥離機構４４と、ガラス基板２４を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に搬送する加熱機構４５と、前記保護フイルム３０の剥離により露出した感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に貼り付ける第１の実施形態に係る貼り付け装置４６とが配設される。なお、貼り付け装置４６によりガラス基板２４に感光性ウエブ２２が貼り付けられた積層体を、以下、貼り付け基板２４ａという。
【００２８】
貼り付け装置４６における貼り付け位置の上流近傍には、感光性ウエブ２２の境界位置であるハーフカット部位３４を直接検出する検出機構４７が配設されるとともに、前記貼り付け装置４６の下流には、各ガラス基板２４間の前記感光性ウエブ２２を切断する基板間ウエブ切断機構４８が配設される。この基板間ウエブ切断機構４８の上流には、運転開始時及び運転終了時に使用されるウエブ切断機構４８ａが設けられる。
【００２９】
ウエブ送り出し機構３２の下流近傍には、略使用済みの感光性ウエブ２２の後端と、新たに使用される感光性ウエブ２２の先端とを接合させる接合台４９が配設される。この接合台４９の下流には、感光性ウエブロール２２ａの巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端位置検出器５１が配設される。
【００３０】
ハーフカット機構３６は、ウエブ送り出し機構３２に収容巻回されている感光性ウエブロール２２ａのロール径を算出するためのローラ対５０の下流に配置される。ハーフカット機構３６は、感光性ウエブ２２の搬送方向（矢印Ａ方向）に直交する方向に進退自在なスライド台５２を備える。このスライド台５２には、回転丸刃（カッタ）５４が固着されるとともに、前記回転丸刃５４に対向する位置には、感光性ウエブ２２を挟んでカット受台５６が配設される。
【００３１】
図２に示すように、ハーフカット部位３４は、少なくとも保護フイルム３０を切断する必要があり、実際上、この保護フイルム３０を確実に切断するために感光性樹脂層２８から可撓性ベースフイルム２６まで切り込むように、回転丸刃５４の切り込み深さが設定される。
【００３２】
ハーフカット部位３４は、ガラス基板２４の間隔を設定するものであり、例えば、両側の前記ガラス基板２４にそれぞれ１０ｍｍずつ入り込んだ位置に設定される。ガラス基板２４間のハーフカット部位３４で挟まれた部分は、後述する貼り付け装置４６において感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。
【００３３】
ラベル接着機構４０は、ガラス基板２４間に対応して保護フイルム３０の残存部分３０ｂを残すため、剥離側前方の剥離部分３０ａａと剥離側後方の剥離部分３０ａｂとを連結する接着ラベル３８を供給する。図２に示すように、保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを挟んで、先に剥離される部分を前方の剥離部分３０ａａとする一方、後に剥離される部分を後方の剥離部分３０ａｂとする。
【００３４】
図３に示すように、接着ラベル３８は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム３０と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル３８は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部（微粘着を含む）３８ａを有するとともに、この非接着部３８ａの両側、すなわち、前記接着ラベル３８の長手方向両端部に、前方の剥離部分３０ａａに接着される第１接着部３８ｂと、後方の剥離部分３０ａｂに接着される第２接着部３８ｃとを有する。
【００３５】
図１に示すように、ラベル接着機構４０は、最大７枚の接着ラベル３８を所定間隔ずつ離間して貼り付け可能な吸着パッド５８ａ〜５８ｇを備えるとともに、前記吸着パッド５８ａ〜５８ｇによる前記接着ラベル３８の貼り付け位置には、感光性ウエブ２２を下方から保持するための受台５９が昇降自在に配置される。
【００３６】
リザーバ機構４２は、上流側の感光性ウエブ２２のタクト搬送と、下流側の前記感光性ウエブ２２の連続搬送との速度差を吸収するが、さらにテンション変動を防ぐために、揺動自在な２連のローラ６０で構成されるダンサー６１を備えることが好ましい。なお、ローラ６０は、リザーブ量に応じて１連又は３連以上であってもよい。
【００３７】
保護フイルム剥離機構４４は、リザーバ機構４２の下流に配置されるとともに、サクションドラム６２と、感光性ウエブ２２を挟んでこのサクションドラム６２に接する剥離ローラ６４とを備える。剥離ローラ６４を介して感光性ウエブ２２から鋭角の剥離角で剥離される保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを除いて保護フイルム巻き取り軸６６に巻き取られる。保護フイルム巻き取り軸６６は、保護フイルム３０に所定のテンションを付与するために、例えば、トルクモータ６８に連結される。
【００３８】
保護フイルム剥離機構４４の下流側には、感光性ウエブ２２にテンションを付与可能なテンション制御機構７６が配設される。テンション制御機構７６は、シリンダ７８を備え、このシリンダ７８の駆動作用下に、テンションピックアップローラ８０が揺動変位することにより、このテンションピックアップローラ８０が摺接する感光性ウエブ２２のテンションが調整可能である。なお、テンション制御機構７６は、必要に応じて使用すればよく、削除することもできる。
【００３９】
検出機構４７は、レーザセンサやフォトセンサ等の光電センサ８２を備えており、前記光電センサ８２は、ハーフカット部位３４の楔状の溝形状部や、保護フイルム３０の厚さによる段差、あるいは、これらの組み合わせによる変化を直接検出し、この検出信号を境界位置信号とする。光電センサ８２は、バックアップローラ８３に対向して配置される。なお、光電センサ８２に代えて、非接触変位計やＣＣＤカメラ等の画像検査手段等を用いてもよい。
【００４０】
加熱機構４５は、ガラス基板２４を矢印Ｃ方向に搬送するための搬送機構８４を備え、この搬送機構８４は、矢印Ｃ方向に配列される複数の樹脂製円板状搬送ローラ８６を有する。搬送機構８４の矢印Ｃ方向上流側には、ガラス基板２４を受け取る受け取り部８８が設けられる。受け取り部８８の下流側には、複数の加熱炉９０が配列される。
【００４１】
加熱機構４５の上流には、複数のガラス基板２４が収容される基板ストッカー１００が設けられる。基板ストッカー１００には、投入及び取り出し口以外の３方の側面に、除塵用ファンユニット（又はダクトユニット）１０２が付設される。ファンユニット１０２は、基板ストッカー１００内に除電クリーンエアの吹き出しを行う。基板ストッカー１００に収容されている各ガラス基板２４は、ロボット１０４のハンド部１０４ａに設けられた吸着パッド１０６に吸着されて取り出され、受け取り部８８に搬入される。
【００４２】
第１の実施形態に係る貼り付け装置４６は、上下に配設されるとともに、所定温度に加熱される第１加熱ゴムローラ１１０ａ及び第２加熱ゴムローラ１１０ｂを有するラミネートローラ対１１０を備える。第１及び第２加熱ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂには、バックアップローラ１１２ａ、１１２ｂが摺接するとともに、前記バックアップローラ１１２ｂは、ローラクランプ部１１４を介して第２加熱ゴムローラ１１０ｂ側に押圧される。
【００４３】
第１加熱ゴムローラ１１０ａの近傍には、感光性ウエブ２２が前記第１加熱ゴムローラ１１０ａに接触することを防止するための接触防止ローラ１１６が配設される。この接触防止ローラ１１６は、図示しないアクチュエータを介して揺動可能である。
【００４４】
図４及び図５に示すように、ラミネートローラ対１１０に近接してローラ洗浄機構１１８が配置される。ローラ洗浄機構１１８は、第１加熱ゴムローラ１１０ａの軸方向（矢印Ｂ方向）に延在するロッドレス型の電動シリンダ（第２アクチュエータ）１２０を備え、この電動シリンダ１２０には、移動テーブル１２２が矢印Ｂ方向に進退可能に配設される。移動テーブル１２２には、取り付け部材１２４を介してシリンダ（第１アクチュエータ）１２６が固着される。
【００４５】
シリンダ１２６は、左右一対のガイド１２８を備えるロッド１２６ａを有する。ロッド１２６ａの先端及び一対のガイド１２８の先端には、取り付け板１２９が固定されるとともに、この取り付け板１２９には、洗浄部材１３０が着脱自在に取り付けられる。
【００４６】
洗浄部材１３０は、樹脂製の基台部１３２を備える。この基台部１３２は、図６に示すように、矢印Ｂ方向に長尺な板状を有し、その上部には、所定量の洗浄液を貯留可能な貯留部１３４が形成される。貯留部１３４は、凹部により構成されており、この貯留部１３４には、基台部１３２の長手方向両端部に取り付けられる注液部１３６が連通する。
【００４７】
基台部１３２の長手方向中央部には、貯留部１３４に連通して穴部１３８ａが鉛直方向に形成される。穴部１３８ａの両側には、それぞれ所定の間隔だけ離間して穴部１３８ｂが２つずつ形成されるとともに、前記穴部１３８ｂの外方には、それぞれ２つの穴部１３８ｃが形成される。穴部１３８ａは、最も大径に設定される一方、４つの穴部１３８ｃは、最も小径に設定され、さらに、４つの穴部１３８ｂは、中間の径に設定される。
【００４８】
基台部１３２の一方の面側には、額縁状の凹部１４０が設けられる。穴部１３８ａには、高さ方向に所定間隔だけ離間して凹部１４０に開放される洗浄液供給孔部１４２ａ、１４２ｂが連通する。穴部１３８ｂには、同様に、凹部１４０に開放される洗浄液供給孔部１４４ａ、１４４ｂが連通し、穴部１３８ｃには、前記凹部１４０に開放される洗浄液供給孔部１４６ａ、１４６ｂが連通する。
【００４９】
孔部１４２ａ、１４２ｂは、最大の開口径に設定され、孔部１４４ａ、１４４ｂは、前記孔部１４２ａ、１４２ｂより小径に設定され、孔部１４６ａ、１４６ｂは、前記孔部１４４ａ、１４４ｂよりも小径に設定される。
【００５０】
基台部１３２の凹部１４０には、各孔部１４２ａ、１４２ｂ、１４４ａ、１４４ｂ、１４６ａ及び１４６ｂから供給される洗浄液を含浸するとともに、弾性変形可能なスポンジ（保液弾性部）１４８が装着される。このスポンジ１４８は、例えば、ポリエチレン等で形成される。
【００５１】
基台部１３２には、スポンジ１４８を覆ってクリーン布（洗浄布部）１５０が着脱自在に取り付けられる。このクリーン布１５０は、スポンジ１４８から供給される洗浄液を介して第１加熱ゴムローラ１１０ａの外周部を洗浄するものである。クリーン布１５０としては、例えば、超極細繊維を用いた編物が用いられる。
【００５２】
図５に示すように、電動シリンダ１２０上には、第１加熱ゴムローラ１１０ａの幅方向外方に離間した位置で、洗浄部材１３０に所定量の洗浄液を供給する洗浄液供給部１５２が設けられる。洗浄液供給部１５２は、洗浄液を貯留するタンク１５４を備え、このタンク１５４に連通する電磁バルブ１５６には、注液ノズル１５８が接続される。注液ノズル１５８は、一対のノズル口１６０を有するとともに、前記一対のノズル口１６０は、基台部１３２に装着される一対の注液部１３６に対応して設けられる。
【００５３】
図１に示すように、貼り付け装置４６と基板間ウエブ切断機構４８との間には、フイルム搬送ローラ１６２ａと基板搬送ローラ１６２ｂとが配設される。基板間ウエブ切断機構４８の下流側には、複数のローラ１６４ａが配列される搬送系１６４に沿って冷却機構１６６が配置されるとともに、この冷却機構１６６の下流側には、支持体剥離機構１６８が配置される。
【００５４】
冷却機構１６６は、基板間ウエブ切断機構４８を介して貼り付け基板２４ａ間の感光性ウエブ２２が切断された後、この貼り付け基板２４ａに冷風を供給して冷却処理を施す。具体的には、冷風温度が１０℃で、風速が１．０〜２．０ｍ／ｍｉｎに設定される。なお、冷却機構１６６を使用することがなく、後述する感光性積層体ストッカー１７６で自然冷却してもよい。
【００５５】
支持体剥離機構１６８は、貼り付け基板２４ａから可撓性ベースフイルム２６を剥離する際に、前記貼り付け基板２４ａを水平姿勢に吸着保持する複数の吸着パッド１６９を設ける。この支持体剥離機構１６８の近傍には、ガラス基板２４から剥離された可撓性ベースフイルム２６を把持して所定の排出トレイ（図示せず）等に排出するためのロボットハンド（図示せず）が配設される。
【００５６】
支持体剥離機構１６８の下流には、複数の積層体基板１７０が収容される感光性積層体ストッカー１７６が設けられる。支持体剥離機構１６８で貼り付け基板２４ａから可撓性ベースフイルム２６及び残存部分３０ｂが剥離された積層体基板１７０は、ロボット１７２のハンド部１７２ａに設けられた吸着パッド１７４に吸着されて取り出され、感光性積層体ストッカー１７６に収容される。
【００５７】
感光性積層体ストッカー１７６には、投入及び取り出し口以外の３方の側面に、除塵用ファンユニット（又はダクトユニット）１０２が付設される。ファンユニット１０２は、感光性積層体ストッカー１７６内に除電クリーンエアの吹き出しを行う。
【００５８】
製造システム２０では、ウエブ送り出し機構３２、ハーフカット機構３６、ラベル接着機構４０、リザーバ機構４２、保護フイルム剥離機構４４、テンション制御機構７６及び検出機構４７が、貼り付け装置４６の上方に配置されているが、これとは逆に、前記ウエブ送り出し機構３２から前記検出機構４７を前記貼り付け装置４６の下方に配置し、感光性ウエブ２２の上下が逆になって感光性樹脂層２８がガラス基板２４の下側に貼り付けされてもよく、また、前記製造システム２０全体を直線上に構成してもよい。
【００５９】
製造システム２０は、ラミネート工程制御部１８０を介して全体制御されており、この製造システム２０の各機能部毎に、例えば、ラミネート制御部１８２、基板加熱制御部１８４及びベース剥離制御部１８６等が設けられ、これらが工程内ネットワークにより繋がっている。
【００６０】
ラミネート工程制御部１８０は、工場ネットワークに繋がっており、図示しない工場ＣＰＵからの指示情報（条件設定や生産情報）の生産管理や稼動管理等、生産のための情報処理を行う。
【００６１】
ラミネート制御部１８２は、工程全体のマスターとして各機能部の制御を行うものであり、検出機構４７により検出された感光性ウエブ２２のハーフカット部位３４の位置情報に基づいて、例えば、加熱機構４５を制御する制御機構を構成している。
【００６２】
ベース剥離制御部１８６は、貼り付け装置４６から供給される貼り付け基板２４ａから可撓性ベースフイルム２６を剥離し、さらに下流工程に積層体基板１７０を排出する動作の制御を行うとともに、前記貼り付け基板２４ａ及び前記積層体基板１７０の情報をハンドリング制御する。
【００６３】
製造システム２０内は、仕切り壁１９０を介して第１クリーンルーム１９２ａと第２クリーンルーム１９２ｂとに仕切られる。第１クリーンルーム１９２ａには、ウエブ送り出し機構３２からテンション制御機構７６までが収容されるとともに、第２クリーンルーム１９２ｂには、検出機構４７以降が収容される。第１クリーンルーム１９２ａと第２クリーンルーム１９２ｂとは、貫通部１９４を介して連通する。
【００６４】
このように構成される製造システム２０の動作について、以下に説明する。
【００６５】
先ず、図１に示すように、ウエブ送り出し機構３２に取り付けられている感光性ウエブロール２２ａから感光性ウエブ２２が繰り出され、この感光性ウエブ２２は、ハーフカット機構３６に送られる。
【００６６】
ハーフカット機構３６では、スライド台５２が感光性ウエブ２２の幅方向（搬送方向に直交する方向）に移動する。このため、回転丸刃５４は、感光性ウエブ２２のハーフカット部位３４に所望の深さまで切り込んだ状態で、移動しながら回転する。これにより、感光性ウエブ２２には、保護フイルム３０から所望の深さに切り込んだハーフカット部位３４が形成される（図２参照）。
【００６７】
ハーフカット処理された感光性ウエブ２２は、図１に示すように、保護フイルム３０の残存部分３０ｂの寸法に対応して矢印Ａ方向に搬送された後、一旦停止されて回転丸刃５４の走行作用下に次なるハーフカット部位３４が形成される。このため、感光性ウエブ２２には、残存部分３０ｂを挟んで前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとが設けられる（図２参照）。
【００６８】
さらに、感光性ウエブ２２は、ラベル接着機構４０に搬送されて、保護フイルム３０の所定の貼り付け部位が受台５９上に配置される。ラベル接着機構４０では、所定枚数の接着ラベル３８が吸着パッド５８ａ〜５８ｇにより吸着保持され、各接着ラベル３８が保護フイルム３０の残存部分３０ｂを跨いで、前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとに一体的に接着される（図３参照）。
【００６９】
例えば、５本の接着ラベル３８が接着された感光性ウエブ２２は、図１に示すように、リザーバ機構４２を介して送り出し側のテンション変動を防いだ後、保護フイルム剥離機構４４に連続的に搬送される。
【００７０】
保護フイルム剥離機構４４では、感光性ウエブ２２がサクションドラム６２と剥離ローラ６４とに挟持されて、前記感光性ウエブ２２の可撓性ベースフイルム２６が前記サクションドラム６２に吸着保持されている。この状態で、サクションドラム６２が回転されるとともに、保護フイルム３０には、トルクモータ６８を介して所定のトルクが付与されている。
【００７１】
従って、保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを残して感光性ウエブ２２から剥離され、剥離ローラ６４を介して保護フイルム巻き取り軸６６に巻き取られる。なお、剥離部位には、除電エアを吹き付けることが好ましい。
【００７２】
保護フイルム剥離機構４４の作用下に、保護フイルム３０が残存部分３０ｂを残して可撓性ベースフイルム２６から剥離された後、感光性ウエブ２２は、テンション制御機構７６によってテンション調整が行われ、さらに検出機構４７で光電センサ８２によりハーフカット部位３４の検出が行われる。
【００７３】
感光性ウエブ２２は、ハーフカット部位３４の検出情報に基づいて、運転開始時にはフイルム搬送ローラ１６２ａの回転作用下に、その後は貼り付け基板２４ａを挟持する基板搬送ローラ１６２ｂの回転作用下に、貼り付け装置４６に定量搬送される。その際、接触防止ローラ１１６が上方に待機するとともに、第２加熱ゴムローラ１１０ｂが下方に配置されている。
【００７４】
一方、加熱機構４５では、貼り付け装置４６におけるラミネート温度に対応して各加熱炉９０内の加熱温度が設定されている。そこで、ロボット１０４は、基板ストッカー１００に収容されているガラス基板２４を把持し、このガラス基板２４を受け取り部８８に搬入する。ガラス基板２４は、搬送機構８４を構成する搬送ローラ８６の回転作用下に、受け取り部８８から各加熱炉９０に、順次、タクト搬送される。
【００７５】
矢印Ｃ方向後段に配置されている加熱炉９０では、ガラス基板２４が所定の停止位置に正確に停止されるとともに、このガラス基板２４は、感光性ウエブ２２の感光性樹脂層２８の貼り付け部分に対応して第１及び第２加熱ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂ間に一旦配置される。
【００７６】
この状態で、ローラクランプ部１１４を介してバックアップローラ１１２ｂ及び第２加熱ゴムローラ１１０ｂを上昇させることにより、第１及び第２加熱ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂ間にガラス基板２４が所定のプレス圧力で挟み込まれる。さらに、第１加熱ゴムローラ１１０ａの回転作用下に、このガラス基板２４には、感光性樹脂層２８が加熱溶融により転写（ラミネート）される。
【００７７】
ここで、ラミネート条件としては、速度が１．０ｍ／ｍｉｎ〜１０．０ｍ／ｍｉｎ、第１及び第２加熱ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂの温度が８０℃〜１４０℃、前記第１及び第２加熱ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂのゴム硬度が４０度〜９０度、該第１及び第２加熱ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂのプレス圧（線圧）が５０Ｎ／ｃｍ〜４００Ｎ／ｃｍである。
【００７８】
第１及び第２加熱ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂを介してガラス基板２４に感光性ウエブ２２の１枚分のラミネートが終了すると、前記第１加熱ゴムローラ１１０ａの回転が停止される。一方、ガラス基板２４に感光性ウエブ２２がラミネートされた貼り付け基板２４ａは、基板搬送ローラ１６２ｂによりクランプされる。そして、第２加熱ゴムローラ１１０ｂは、第１加熱ゴムローラ１１０ａから離間する方向に退避してクランプが解除される。
【００７９】
これにより、一枚分のラミネート処理が終了し、次なるラミネート処理が開始されるまでの時間の中で、加熱機構４５を介して所定の温度に加熱されたガラス基板２４が、第１及び第２加熱ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂ間に搬送されて配置されるとともに、前記第１加熱ゴムローラ１１０ａに摺接する感光性ウエブ２２の微動送りが行われる。
【００８０】
図１に示すように、ガラス基板２４に感光性ウエブ２２が貼り付けられた貼り付け基板２４ａは、矢印Ｃ方向に定量搬送される。そして、各ガラス基板２４間の感光性ウエブ２２が、基板間ウエブ切断機構４８を介して切断された貼り付け基板２４ａは、冷却機構１６６を通って冷却された後、支持体剥離機構１６８に移送される。
【００８１】
支持体剥離機構１６８では、貼り付け基板２４ａのガラス基板２４側が吸着パッド１６９の吸引作用下に保持される一方、可撓性ベースフイルム２６は、貼り付け基板２４ａから剥離される。これにより、積層体基板１７０が得られ、前記積層体基板１７０は、ロボット１７２のハンド部１７２ａに設けられた吸着パッド１７４に吸着されて取り出され、感光性積層体ストッカー１７６に収容される。
【００８２】
ところで、上記のように、貼り付け装置４６による貼り付け処理が行われると、第１加熱ゴムローラ１１０ａには、感光性ウエブ２２の裏面側に設けられている表面処理剤３１が転写し易い。このため、第１加熱ゴムローラ１１０ａのロール表面の付着物が増加し、前記第１加熱ゴムローラ１１０ａの摩擦係数が低下する。従って、第１加熱ゴムローラ１１０ａの洗浄処理が行われる。
【００８３】
そこで、本発明の第１の実施形態に係る洗浄方法について、以下に説明する。
【００８４】
先ず、洗浄部材１３０は、移動テーブル１２２の移動作用下に電動シリンダ１２０の一端部側に設けられている洗浄液供給部１５２に対応して配置される。図５に示すように、洗浄液供給部１５２では、注液ノズル１５８の一対のノズル口１６０が、洗浄部材１３０の幅方向両端に装着されている一対の注液部１３６に対応して配置されている。
【００８５】
この状態で、電磁バルブ１５６は、予め設定された時間だけ開放される。このため、タンク１５４に貯留されている洗浄液は、注液ノズル１５８からノズル口１６０を介して注液部１３６から基台部１３２の貯留部１３４に一定量だけ供給される。貯留部１３４に貯留された洗浄液は、穴部１３８ａ〜１３８ｃを通って洗浄液供給孔部１４２ａ、１４２ｂ、１４４ａ、１４４ｂ、１４６ａ及び１４６ｂから凹部１４０に装着されているスポンジ１４８に含浸される。
【００８６】
なお、洗浄液供給部１５２から洗浄部材１３０への洗浄液の送液は、重力落下方式であるとともに、送液量は、１回につき、２０ｃｃ程度以下に設定される。
【００８７】
洗浄液供給部１５２から洗浄部材１３０に所定量の洗浄液が供給された後、電動シリンダ１２０を介して前記洗浄部材１３０が第１加熱ゴムローラ１１０ａの一端部に対応して配置される。
【００８８】
そして、洗浄部材１３０は、シリンダ１２６の駆動作用下に第１加熱ゴムローラ１１０ａの外周面に押し付けられるとともに、スポンジ１４８に含浸している洗浄液は、クリーン布１５０に染み込む。洗浄部材１３０の押し付け圧は、例えば、３２〜９４Ｎに設定される。
【００８９】
この状態で、第１加熱ゴムローラ１１０ａは、ラミネート中の回転方向（矢印Ｄ方向）と同一方向に回転される。このため、第１加熱ゴムローラ１１０ａの外周部は、洗浄部材１３０のクリーン布１５０が押圧されている範囲にわたって洗浄処理が施される。その際、第１加熱ゴムローラ１１０ａのロール温度は、約８０℃に冷却されている一方、洗浄液は、例えば、ゴムに損傷を与えない、１−プロピルアルコールが用いられる。
【００９０】
図７に示すように、洗浄部材１３０により、第１加熱ゴムローラ１１０ａの一端部に領域Ｒ１にわたって洗浄処理が施された後、前記洗浄部材１３０は、電動シリンダ１２０を介して矢印Ｂ１方向に、この洗浄部材１３０による洗浄幅に対応する距離だけ移動される。そして、上記と同様に、洗浄部材１３０が第１加熱ゴムローラ１１０ａの外周部に押圧された状態で、前記第１加熱ゴムローラ１１０ａが矢印Ｄ方向に回転される。
【００９１】
このため、第１加熱ゴムローラ１１０ａの外周部には、領域Ｒ１に隣接して領域Ｒ２にわたって洗浄処理が施される。なお、領域Ｒ１、Ｒ２間の隙間は、略０となるように洗浄部材１３０が位置決めされる。
【００９２】
同様にして、洗浄部材１３０は、矢印Ｂ１方向に、順次、洗浄幅寸法に対応して移動するとともに、第１加熱ゴムローラ１１０ａが矢印Ｄ方向に回転する。これにより、第１加熱ゴムローラ１１０ａの外周部には、領域Ｒ１からＲｎにわたって、順次、洗浄処理が施され、前記外周部全面の洗浄が行われる。
【００９３】
その際、洗浄部材１３０では、凹部１４０に供給された洗浄液が一定量以下になると、必要に応じて洗浄液供給部１５２に洗浄部材１３０を移動させ、洗浄液の補充が行われる。
【００９４】
この場合、第１の実施形態では、洗浄部材１３０が第１加熱ゴムローラ１１０ａの外周部に押し付けられた状態で、前記第１加熱ゴムローラ１１０ａが矢印Ｄ方向に回転して前記第１加熱ゴムローラ１１０ａの外周部を洗浄している。このため、ブラシ類を用いる場合のように、洗浄液の飛散や塵埃の発生が良好に抑制され、特にクリーンルーム内の無塵対策が容易に遂行され、清掃後の異物付着による故障が削減される。しかも、第１加熱ゴムローラ１１０ａは、約８０℃まで冷却すればよく、短時間で洗浄作業を開始することができる。
【００９５】
これにより、第１加熱ゴムローラ１１０ａの洗浄が迅速且つ確実に遂行され、高品質な感光性ウエブ２２の貼り付け処理を効率的且つ経済的に行うことが可能になるという効果が得られる。
【００９６】
さらに、洗浄部材１３０は、一定量の洗浄液を貯留する基台部１３２と、この基台部１３２から前記洗浄液を含浸するとともに、弾性変形可能なスポンジ１４８と、このスポンジ１４８を覆って前記基台部１３２に着脱自在なクリーン布１５０とを備えている。
【００９７】
従って、スポンジ１４８の保液機能と弾性機能とにより、クリーン布１５０を第１加熱ゴムローラ１１０ａの外周面に均一且つ確実に押し付けるとともに、洗浄液を継続して供給することができる。これにより、第１加熱ゴムローラ１１０ａの洗浄作業は、高精度に遂行されるという利点がある。
【００９８】
しかも、洗浄部材１３０を構成する基台部１３２には、その幅方向中央部に大径な洗浄液供給孔部１４２ａ、１４２ｂが設けられ、前記洗浄液供給孔部１４２ａ、１４２ｂの外方には、これよりも小径な洗浄液供給孔部１４４ａ、１４４ｂが２つずつ設けられ、さらに、これらの外方には、最小径の洗浄液供給孔部１４６ａ、１４６ｂがそれぞれ２つずつ設けられている。
【００９９】
このため、基台部１３２の幅方向両側から洗浄液が垂れることを阻止することができ、洗浄液が不要に外部に飛散することを防止することが可能になる。
【０１００】
さらに、クリーン布１５０は、基台部１３２に対して着脱可能である。従って、クリーン布１５０の交換作業が簡単に遂行され、例えば、第１加熱ゴムローラ１１０ａを１回掃除する毎に交換することができ、洗浄部材１３０の保守が容易に遂行される。
【０１０１】
さらにまた、第１加熱ゴムローラ１１０ａは、洗浄時に、ラミネート処理中の回転方向である矢印Ｄ方向に回転して、その外周部の洗浄作業が行われている。このため、第１加熱ゴムローラ１１０ａは、洗浄液が溜まり易い洗浄部材１３０の下部側からこの洗浄液を掬い上げるようにして回転し、洗浄液の効率的な利用が遂行されるという利点がある。
【０１０２】
しかも、第１加熱ゴムローラ１１０ａの洗浄時の回転方向は、ラミネート中の回転方向と同一であるため、例えば、貼り付け装置４６によりガラス基板２４に感光性ウエブ２２をラミネートしながら、前記第１加熱ゴムローラ１１０ａの洗浄作業を行うこともできる。
【０１０３】
また、ラミネート停止中に洗浄作業を行う際には、接触防止ローラ１１６を下方向に揺動させて、この接触防止ローラ１１６により感光性ウエブ２２を第１加熱ゴムローラ１１０ａから離間する位置に保持するだけで、前記第１加熱ゴムローラ１１０ａの洗浄作業が行われる。これにより、清掃作業が一挙に簡素化且つ迅速に遂行されるという効果がある。
【０１０４】
図８は、本発明の第２の実施形態に係る感光性ウエブの貼り付け装置２００の概略構成図である。なお、第１の実施形態に係る貼り付け装置４６と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明は省略する。
【０１０５】
貼り付け装置２００は、第１加熱ゴムローラ１１０ａに近接して配置されるローラ洗浄機構２０２を備える。ローラ洗浄機構２０２は、図８及び図９に示すように、基台部２０６と、基台部２０６の湾曲面２０８に沿って取り付けられるスポンジ（保液弾性部）２１０と、前記スポンジ２１０を覆って前記基台部２０６に着脱自在に取り付けられるクリーン布（洗浄布部）２１２とを備える。
【０１０６】
基台部２０６の上部には、一定量の洗浄液を貯留可能な貯留部１３４が設けられ、この貯留部１３４は、前記基台部２０６内に延在する複数の穴部２１６ａ〜２１６ｃに連通する。基台部２０６の幅方向略中央部には、３つの穴部２１６ａが設けられ、前記穴部２１６ａの外方には、これより短尺な２１６ｂが設けられ、さらに、前記穴部２１６ｂの外方には、これよりも短尺な穴部２１６ｃが設けられる。
【０１０７】
穴部２１６ａには、それぞれ５つの洗浄液供給孔部２１８が連通し、穴部２１６ｂには、それぞれ３つの孔部２１８が連通し、穴部２１６ｃには、それぞれ２つの孔部２１８が連通する。孔部２１８は、基台部２０６の湾曲面２０８に対して、中央が下方に突出する逆山形状の分布を有する。
【０１０８】
このように構成される第２の実施形態では、図１０に示すように、洗浄部材２０４が第１加熱ゴムローラ１１０ａの一端部側外周部に押圧された状態で、この洗浄部材２０４は、矢印Ｂ方向に所定の回数だけ往復移動する。このため、洗浄部材２０４は、クリーン布２１２が第１加熱ゴムローラ１１０ａの外周部に摺接する範囲、例えば、９０°の範囲にわたって、前記第１加熱ゴムローラ１１０ａの軸方向に対して領域Ｒ１に洗浄処理が行われる。
【０１０９】
次いで、第１加熱ゴムローラ１１０ａは、矢印Ｄ方向に所定角度、例えば、９０°だけ回転された後、洗浄部材２０４は、この第１加熱ゴムローラ１１０ａの外周部に押し付けられた状態で、矢印Ｂ方向に往復移動する。そして、上記の処理を、例えば、４回繰り返すことにより、第１加熱ゴムローラ１１０ａの外周部全周にわたって、洗浄部材２０４による洗浄作業が遂行される。
【０１１０】
このように、第２の実施形態では、洗浄部材２０４は、第１加熱ゴムローラ１１０ａの外周部に押し付けられた状態で、前記第１加熱ゴムローラ１１０ａの軸方向に沿って往復動作することにより、この外周部の洗浄作業が行われている。従って、洗浄ブラシを用いる場合に比べて、洗浄液の飛散や塵埃等の発生が可及的に阻止され、上記の第１の実施形態と同様の効果が得られる。
【０１１１】
さらに、図９に示すように、基台部２０６の湾曲面２０８には、中央側に多数の洗浄液供給孔部２１８が設けられる一方、矢印Ｂ方向両端には、前記洗浄液供給孔部２１８の分布が減少されている。従って、基台部２０６の両端部から洗浄液が垂れることがなく、洗浄液の飛散を良好に阻止して効率的且つ経済的な洗浄作業が遂行される。
【０１１２】
なお、第１及び第２の実施形態では、第１加熱ゴムローラ１１０ａを洗浄する場合について説明したが、これに限定されるものではなく、第２加熱ゴムローラ１１０ｂの洗浄にも、同様に用いることができる。また、洗浄液供給部１５２に代えて、洗浄液供給をポンプ方式にしてもよい。
【０１１３】
さらにまた、第１の実施形態では、洗浄部材１３０を第１加熱ゴムローラ１１０ａの外周面に押し付けた状態で、前記第１加熱ゴムローラ１１０ａを回転させる。一方、第２の実施形態では、第１加熱ゴムローラ１１０ａを停止した状態で、洗浄部材２０４を前記第１加熱ゴムローラ１１０ａの軸方向に往復動作させている。これに代えて、第１の実施形態と第２の実施形態とを組み合わせた洗浄方法、すなわち、第１加熱ゴムローラ１１０ａを回転させながら、洗浄部材１３０、２０４を前記第１加熱ゴムローラ１１０ａの軸方向に往復動作させることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１１４】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る感光性ウエブの貼り付け装置が組み込まれる製造システムの概略構成図である。
【図２】前記製造システムに使用される感光性ウエブの断面図である。
【図３】前記感光性ウエブに接着ラベルが接着された状態の説明図である。
【図４】前記貼り付け装置の概略構成図である。
【図５】前記貼り付け装置の要部斜視説明図である。
【図６】前記貼り付け装置を構成するローラ洗浄機構の要部分解斜視説明図である。
【図７】前記ローラ洗浄機構の動作説明図である。
【図８】本発明の第２の実施形態に係る感光性ウエブの貼り付け装置の概略構成図である。
【図９】前記貼り付け装置を構成するローラ洗浄機構の要部分解斜視説明図である。
【図１０】前記ローラ洗浄機構の動作説明図である。
【符号の説明】
【０１１５】
２０…製造システム                  ２２…感光性ウエブ
２２ａ…感光性ウエブロール          ２４…ガラス基板
２６…ベースフイルム                ２８…感光性樹脂層
３０…保護フイルム                  ３２…ウエブ送り出し機構
３４…ハーフカット部位              ３６…ハーフカット機構
４０…ラベル接着機構                ４５…加熱機構
４６、２００…貼り付け装置          １１０ａ、１１０ｂ…加熱ゴムローラ
１１６…接触防止ローラ              １１８、２０２…ローラ洗浄機構
１２０…電動シリンダ                １２２…移動テーブル
１２４…取り付け部材                １２６…シリンダ
１３０…洗浄部材                    １３２、２０６…基台部
１３４…貯留部
１３８ａ〜１３８ｃ、２１６ａ〜２１６ｃ…穴部
１４２ａ、１４２ｂ、１４４ａ、１４４ｂ、１４６ａ、１４６ｂ、２１８…孔部
１４８、２１０…スポンジ            １５０、２１２…クリーン布
１５２…洗浄液供給部                １５４…タンク
１５６…電磁バルブ                  １５８…注液ノズル
２０８…湾曲面
【図１】
2008297028.tif 000003
【図２】
2008297028.tif 000004
【図３】
2008297028.tif 000005
【図４】
2008297028.tif 000006
【図５】
2008297028.tif 000007
【図６】
2008297028.tif 000008
【図７】
2008297028.tif 000009
【図８】
2008297028.tif 000010
【図９】
2008297028.tif 000011
【図１０】
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