(57)【要約】      （修正有）【課題】種々の形状及び大きさの四角形のワークの位置決めが可能な位置決め装置を提供する。【解決手段】四角形のワークの各辺の全長に亘って当接するように、ワークの各対応辺の辺長以上の長さに形成されたガイド部の各々が、ワークの対応辺に対して接離方向にスライド可能に設けられた可動ガイド部１２i〜１２ivに構成され、可動ガイド部１２i〜１２ivの各々を所定方向にスライド駆動し、隣接する他の可動ガイド部に当接又は近接した状態を保持して、ワークの中心を所定位置とする駆動手段を具備し、可動ガイド部１２i〜１２ivの各々が、その駆動手段によってスライド駆動されるスライド方向に対して直交方向にもスライド可能となるように、駆動手段と可動ガイド部との連結部及び隣接する可動ガイド部との交差部の各々に、直交方向に延出されたリニアガイド１６，３０が設けられている。【選択図】図１
2008142797.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
四角形のワークの各辺の全長に亘って当接するように、前記ワークの各対応辺の辺長以上の長さに形成されたガイド部が、前記ワークを囲むように配設されたワークの位置決め装置であって、
前記ガイド部の各々が、前記ワークの対応辺に対して接離方向にスライド可能に設けられた可動ガイド部に構成され、
前記可動ガイド部の各々を所定方向にスライド駆動し、隣接する他の可動ガイド部に当接又は近接した状態を保持して、前記ワークの中心を所定位置とする駆動手段を具備し、
且つ前記可動ガイド部の各々が、その駆動手段によってスライド駆動されるスライド方向に対して直交方向にもスライド可能となるように、前記駆動手段と可動ガイド部との連結部及び隣接する可動ガイド部との交差部の各々に、前記直交方向に延出されたリニアガイドが設けられていることを特徴とするワークの位置決め装置。
【請求項２】
駆動手段が、ワークを囲むように配設された可動ガイド部のうち、前記ワークを挟んで互いに対向する位置に配設された一対の可動ガイド部を、前記ワークが挟み込まれる方向にスライド駆動する第1駆動手段と、
前記第1駆動手段によって駆動される一対の可動ガイド部に対して直交するように、前記ワークを挟んで互いに対向する位置に配設された一対の可動ガイド部を、前記ワークが挟み込まれる方向にスライド駆動する第２駆動手段とから構成される請求項１記載のワークの位置決め装置。
【請求項３】
第１駆動手段及び第２駆動手段の各々が、スライド可能に設けられた一対の駆動板と、前記一対の駆動板の一方を所定方向にスライドする駆動部材と、前記一対の駆動板間に設けられ、前記駆動板の一方が所定方向にスライドしたとき、前記所定方向へのスライド力を逆方向のスライド力として他方の駆動板に付与するセンタリング部材とが設けられている請求項２記載のワークの位置決め装置。
【請求項４】
可動ガイド部が、一端部が他端部に対して曲折端部に形成されたＬ字状部材であって、前記曲折端部の曲折側方向の内側面に対して反対面となる外側面が、ワークの対応辺が当接する当接面に形成され、且つ前記端部の一方が対応する駆動手段とリニアガイドを介して連結されている請求項１〜３のいずれか一項記載のワークの位置決め装置。
【請求項５】
四角形のワークの各辺の全長に亘って当接するように、前記ワークの各対応辺の辺長以上の長さに形成されたガイド部が、前記ワークを囲むように互いに直交して配設されたワークの位置決め装置であって、
前記ガイド部が、前記ワークの一辺に当接するように所定位置に固定された固定ガイド部と、前記固体ガイド部に当接するワークの一辺に直交する他の一辺に沿って、一部が前記固定ガイド部に近接して直線状にスライド可能に設けられた第1可動ガイド部と、前記第１可動ガイド部に対して接離方向に、一部が前記固定ガイド部に近接して直線状にスライド可能に設けられた第２可動ガイド部と、前記第1可動ガイド部と第２可動ガイド部とに直交するように配設され、前記第1可動ガイド部のスライド方向にスライド可能に設けられていると共に、前記第２可動ガイド部のスライド方向にもスライド可能に設けられている第３可動ガイド部とから構成され、
前記第1可動スライド部材及び第２可動スライド部材の各々を所定方向に直線状にスライド駆動する駆動手段と、
前記第１可動ガイド部と第３可動ガイド部との交差部と、前記第３可動ガイド部と第２可動ガイド部との交差部との各々に設けられ、前記第３可動ガイド部が第１可動ガイド部及び第２可動ガイド部の各スライド方向にスライド可能となるように延出されたリニアガイドとを具備することを特徴とするワークの位置決め装置。
【請求項６】
駆動手段には、第１可動ガイド部を所定方向にスライド駆動する第１駆動手段と、第２可動ガイド部を前記第１可動ガイド部のスライド方向に対して直交する方向にスライド駆動する第２駆動手段とが設けられている請求項５記載のワークの位置決め装置。
【請求項７】
リニアガイドには、第１可動ガイド部と第３可動ガイド部との交差部に設けられ、前記第３可動ガイド部が第1可動ガイド部のスライド方向に対して直交する方向にスライド可能となるように延出された第1リニアガイドと、
第２可動ガイド部と第３可動ガイド部との交差部に設けられ、前記第３可動ガイド部が第２可動ガイド部のスライド方向に対して直交する方向にスライド可能となるように延出された第２リニアガイドとが設けられている請求項５又は請求項６記載のワークの位置決め装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はワークの位置決め装置に関し、更に詳細には四角形のワークの位置決め装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子等の薄い四角形のワークの位置決め装置としては、下記特許文献１に提案されているものがある。かかるワークの位置決め装置を図９に示す。図９に示すワーク位置決め装置は、水平方向に移動可能に設けられたテーブル２００の一面側の中央部に、四角形のワーク１００が載置される矩形状の載置面が形成された四角形の載置台２０２が突出して形成され、この載置台２０２の載置面には、真空ポンプ等の真空発生手段２０６に連結された複数の吸着孔２０４、２０４・・が開口されている。
更に、載置台２０２の側面の各々に先端面が接離動可能に設けられたスライド手段としての４本の爪状部材３００，３００，３００，３００が設けられている。この爪状部材３００の先端面の上部は、載置台２０２の載置面に載置されたワーク１００のはみ出し部分に当接し、ワーク１００を載置面の方向にスライドできるように、載置台２０２の載置面よりも高く形成されている。
かかる載置台２０２の載置面上には、載置面に載置されたワーク１００の表面の所定位置に形成されたマークを検出するＣＣＤ等のカメラ５００が設けられ、このカメラ５００を左右方向に移動するサーボモータ等の駆動手段（図示せず）を制御する制御部５０２と共に光学検出手段を構成する。
【０００３】
この図９に示す載置台２０２の載置面は、平坦で且つ載置するワーク１００よりも広く形成されていると共に、載置面にワーク１００がはみ出すことなく載置されたとき、ワーク１００の一面側に形成されたマークがカメラ５００の視野５０４内に位置する面積に形成されている。つまり、載置台２０２の載置面にワーク１００を載置した際に、ワーク１００の載置面からはみ出したはみ出し部分を、載置台２０２の方向に移動する爪状部材３００の先端面の上部によって載置台２０２の方向にスライドさせ、載置面にワーク１００がはみ出すことなく載置されとき、ワーク１００の一面側に形成されたマークがカメラ５９０の視野５０４内に位置させることができる。
【特許文献１】特開２００１−２２３２５５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
図９に示す位置決め装置によれば、載置台２０２に載置されたワーク１００は、爪状部材３００，３００，３００，３００の各先端面が載置台２０２の各側面に当接したとき、載置台２０２の載置面にワーク１００がはみ出すことなく載置され、ワーク１００の一面側に形成されたマークがカメラ５９０の視野５０４内に位置させることができる結果、ワーク１００のマークが認識されてワーク１００の位置決めができる。
かかる図９に示す位置決め装置によれば、ワーク１００を爪状部材３００，３００，３００，３００によって挟み込むことがないため、厚さ１５０μｍ以下の薄いワーク１００でも位置決めを行うことができる。
しかしながら、位置決めできるワーク１００の形状及び大きさは、載置台２０２の載置面の形状及び大きさによって決定されるため、位置決めできるワーク１００の形状及び大きさに限界が存在する。
ところで、近年、半導体装置の製造工程では、半導体素子等の四角形のワークについて、種々の形状及び大きさに種々のものを取り扱うことが必要となってきて、種々の形状及び大きさの四角形のワークについて位置決めができる位置決め装置が望まれている。
そこで、本発明では、位置決めできる四角形のワークの形状及び大きさに限界が存在する従来の位置決め装置の課題を解決し、種々の形状及び大きさの四角形のワークの位置決めを可能にできるワークの位置決め装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
かかる本発明の課題を解決すべく、本発明者は、図１０（ａ）に示す位置決め装置について検討した。図１０（ａ）に示す位置決め装置では、「く」字状の固定ガイド部６００と、固定ガイド部６００に対して対向する位置に、上下及び左右にスライド可能に設けられ、且つ固定ガイド部６００よりも小さい「く」字状の可動ガイド部６０２とから構成される。
かかる位置決め装置では、図１０（ａ）に示す様に、正方形のワーク７００の一角部に当接した可動ガイド部６０２を駆動し、この一角部に対向するワーク７００の他の角部を挟んで直交する二辺を、その全長に亘って固定ガイド部６００の内周面に当接するように、ワーク７００をスライドすることによって、ワーク７００の位置決めを行うことができる。
この図１０（ａ）に示す位置決め装置では、図１０（ｂ）に示す様に、長方形のワーク７００でも位置決めを行うことができる。
しかし、図１０（ａ）に示す位置決め装置では、図１０（ｃ）に示す如く、可動ガイド部６０２の幅αによって、位置決めできるワーク７００の形状及び大きさが決定されてしまうことが判明した。
また、ワーク７００の一角部に可動ガイド部６０２が当接してワーク７００をスライドすることは、ワーク７００が所定以上の強度を有する場合には問題ないが、ワーク７００が所定以下の低強度の場合には、ワーク７００がスライド中に変形するおそれがある。
このため、本発明者は、ワーク７００の各辺の全長に亘って当接するように、ワーク７００の各対応辺の辺長以上の長さに形成したガイド部を、ワーク７００の各対応辺に対して接離方向にスライド可能の可動ガイド部とすることが有効ではないかと考え検討した結果、本発明に到達した。
【０００６】
すなわち、本発明は、四角形のワークの各辺の全長に亘って当接するように、前記ワークの各対応辺の辺長以上の長さに形成されたガイド部が、前記ワークを囲むように配設されたワークの位置決め装置であって、前記ガイド部の各々が、前記ワークの対応辺に対して接離方向にスライド可能に設けられた可動ガイド部に構成され、前記可動ガイド部の各々を所定方向にスライド駆動し、隣接する他の可動ガイド部に当接又は近接した状態を保持して、前記ワークの中心を所定位置とする駆動手段を具備し、且つ前記可動ガイド部の各々が、その駆動手段によってスライド駆動されるスライド方向に対して直交方向にもスライド可能となるように、前記駆動手段と可動ガイド部との連結部及び隣接する可動ガイド部との交差部の各々に、前記直交方向に延出されたリニアガイドが設けられていることを特徴とするワークの位置決め装置にある。
かかる本発明において、駆動手段を、ワークを囲むようにして配設した可動ガイド部のうち、前記ワークを挟んで互いに対向する位置に配設された一対の可動ガイド部を、前記ワークが挟み込まれる方向にスライド駆動する第1駆動手段と、前記第1駆動手段によって駆動される一対の可動ガイド部に対して直交するように、前記ワークを挟んで互いに対向する位置に配設された一対の可動ガイド部を、前記ワークが挟み込まれる方向にスライド駆動する第２駆動手段とから構成することによって、ワークを容易にスライドできる。
この第１駆動手段及び第２駆動手段の各々に、スライド可能に設けられた一対の駆動板と、前記一対の駆動板の一方を所定方向にスライドする駆動部材と、前記一対の駆動板間に設けられ、前記駆動板の一方が所定方向にスライドしたとき、前記所定方向へのスライド力を逆方向のスライド力として他方の駆動板に付与するセンタリング部材とを設けることによって、一対の駆動板の各々を等距離移動できる。
また、可動ガイド部を、一端部が他端部に対して曲折端部に形成されたＬ字状部材であって、前記曲折端部の曲折側方向の内側面に対して反対面となる外側面を、ワークの対応辺が当接する当接面に形成し、且つ前記端部の一方が対応する駆動手段とリニアガイドを介して連結することによって、各可動ガイド部をスムーズにスライド駆動できる。
【０００７】
また、本発明は、四角形のワークの各辺の全長に亘って当接するように、前記ワークの各対応辺の辺長以上の長さに形成されたガイド部が、前記ワークを囲むように互いに直交して配設されたワークの位置決め装置であって、前記ガイド部が、前記ワークの一辺に当接するように所定位置に固定された固定ガイド部と、前記固体ガイド部に当接するワークの一辺に直交する他の一辺に沿って、一部が前記固定ガイド部に近接して直線状にスライド可能に設けられた第1可動ガイド部と、前記第１可動ガイド部に対して接離方向に、一部が前記固定ガイド部に近接して直線状にスライド可能に設けられた第２可動ガイド部と、前記第1可動ガイド部と第２可動ガイド部とに直交するように配設され、前記第1可動ガイド部のスライド方向にスライド可能に設けられていると共に、前記第２可動ガイド部のスライド方向にもスライド可能に設けられている第３可動ガイド部とから構成され、前記第1可動スライド部材及び第２可動スライド部材の各々を所定方向に直線状にスライド駆動する駆動手段と、前記第１可動ガイド部と第３可動ガイド部との交差部と、前記第３可動ガイド部と第２可動ガイド部との交差部との各々に設けられ、前記第３可動ガイド部が第１可動ガイド部及び第２可動ガイド部の各スライド方向にスライド可能となるように延出されたリニアガイドとを具備することを特徴とするワークの位置決め装置にある。
かかる本発明において、駆動手段には、第１可動ガイド部を所定方向にスライド駆動する第１駆動手段と、第２可動ガイド部を前記第１可動ガイド部のスライド方向に対して直交する方向にスライド駆動する第２駆動手段とを設けることによって、各可動ガイド部を容易にスライド駆動できる。
更に、リニアガイドとして、第１可動ガイド部と第３可動ガイド部との連結部に設けられ、前記第３可動ガイド部が第1可動ガイド部のスライド方向に対して直交する方向にスライド可能となるように延出された第1リニアガイドと、第２可動ガイド部と第３可動ガイド部との連結部に設けられ、前記第３可動ガイド部が第２可動ガイド部のスライド方向に対して直交する方向にスライド可能となるように延出された第２リニアガイドとを設けることによって、第３可動ガイド部は第１可動ガイド部及び第２可動ガイド部の各スライドに容易に追従できる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明に係るワークの位置決め装置によれば、四角形のワークの各辺の全長に亘って当接するように、前記ワークの各対応辺の辺長以上の長さに形成されたガイド部のうち、少なくとも三本がワークの対応辺に接離方向にスライド可能に設けられた可動ガイド部に形成されている。このため、ワークは、その一辺の全長に亘って可動ガイド部に当接してスライドされ、ワークが低強度であっても、ワークのスライド中に変形するおそれを解消できる。
しかも、可動ガイド部は、一部が他のガイド部に当接又は近接してスライドできるため、各辺が対応するガイド部の長さ以内であるワークであれば、四角形のワークの形状（正方形、長方形）や大きさが変更されても、その位置決めを行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明に係るワークの位置決め装置の一例を図１に示す。図１に示すワークの位置決め装置１０は、一端部が他端部に対して曲折端部に形成されたＬ字状部材から成る４個の可動ガイド部１２i，１２ii，１２iii，１２ivが設けられている。かかる可動ガイド部１２i〜１２ivの各々は、その曲折端部の曲折側方向の内側面１４ａに対して反対面となる外側面１４ｂがワークの対応辺が当接する当接面となるように配設され、可動ガイド部１２i〜１２ivの各外側面１４ｂによって囲まれた四角形の領域１５が形成される。この四角形の領域１５がワークを位置決めする領域である。
これらの可動ガイド部１２i〜１２ivの各々は、図１に示す矢印Ａ側からの側面図である図２（ａ）と、図１に示す矢印Ｂ側からの側面図である図２（ｂ）とに示す様に、上板１２ａと下板１２ｃとが連結板１２ｂによって連結されている。この下板１２ｃは、上板１２ａの外側面１４ｂに沿ってスライドする隣接して設けられた可動ガイド部を構成する上板１２ａと交差している。この様に、互いに隣接する可動ガイド部の上板１２ａと下板１２ｂとが交差する交差部には、上板１２ａの長手方向に伸びるリニアガイド１６が設けられている。
【００１０】
かかるリニアガイド１６は、上板１２ａの下面側に長手方向に延出されたレール１６ｂと、この上板１２ａの外側面１４ｂに沿ってスライドする隣接して設けられた可動ガイド部の下板１２ｃ上に固設され、レール１６ｂに沿って走行するスライド部１６ａとから構成される。このリニアガイド１６によって、可動ガイド部１２i〜１２ivの各々は、その上板１２ａの外側面１４ｂに沿って隣接して設けられた可動ガイド部に近接した状態でスライドできる。
また、可動ガイド部１２i〜１２ivのうち、対向する位置に配設された一対の可動ガイド部１２i，１２iiiは、可動ガイド部１２i〜１２ivに囲まれて形成された四角形の領域１５内に挿入されたワークを挟み込む方向にスライド駆動する様に、第１駆動手段を構成する駆動板２０ａ，２０ｂに連結されている。
更に、一対の可動ガイド部１２i，１２iiiに対して直交するように配設された一対のガイド部１２ii，１２ivは、可動ガイド部１２i〜１２ivに囲まれて形成された四角形の領域１５内に挿入されたワークを挟み込む方向にスライド駆動するように、第２駆動手段を構成する駆動板１８ａ，１８ｂに連結されている。
【００１１】
かかる一対の駆動板１８ａ，１８ｂの各々は、ピニオン２２とラック２４ａ，２４ｂとから成るセンタリング部材２１によって連結されている。このため、一対の駆動板１８ａ，１８ｂの各々を、互いに近接方向又は離れる方向に駆動できる。例えば、駆動板１８ａ，１８ｂのうち、駆動板１８ａを所定方向に所定距離移動すると、駆動板１８ｂは駆動板１８ａの移動方向と反対方向に、駆動板１８ａと同一距離移動できる。
同様に、一対の駆動板２０ａ，２０ｂの各々も、ピニオン２２とラック２４ａ，２４ｂとから成るセンタリング部材２１によって連結されている。このため、一対の駆動板２０ａ，２０ｂの各々を、互いに近接方向又は離れる方向に駆動できる。例えば、駆動板２０ａ，２０ｂのうち、駆動板２０ａを所定方向に所定距離移動すると、駆動板２０ｂは駆動板２０ａの移動方向と反対方向に、駆動板２０ａと同一距離移動できる。
図１に示す位置決め装置では、図２（ａ）（ｂ）に示す様に、駆動板１８ａがモータ等の駆動部材２６ａに連結部材２８ａを介して連結され、且つ駆動板２０ａがモータ等の駆動部材２６ｂに連結部材２８ｂを介して連結されている。
【００１２】
かかる一対の駆動板２０ａ，２０ｂを駆動すると、駆動板２０ａ，２０ｂに連結されている可動ガイド部１２i，１２iiiは、図1に示す矢印Ｘ方向にスライドする。また、一対の駆動板１８ａ，１８ｂを駆動すると、駆動板１８ａ，１８ｂに連結されている可動ガイド部１２ii，１２ivは、図１に示す矢印Ｙ方向にスライドする。
ここで、一対の駆動板２０ａ，２０ｂを駆動し、可動ガイド部１２i，１２iiiを互いに近接する方向にスライドする場合、可動ガイド部１２ｉは、駆動板１８ａに連結されている可動ガイド部１２iiに当接してスライドでき、且つ駆動板１８ｂに連結されている可動ガイド部１２ivに近接した状態を保持してスライドできることが必要である。
このため、可動ガイド部１２iiが、そのスライド方向（矢印Ｙ方向）に直交する可動ガイド部１２ｉのスライド方向（矢印Ｘ方向）にもスライドできるように、可動ガイド部１２iiと可動ガイド部１２iiiとの交差部に設けられたリニアガイド１６の他に、駆動板１８ａと可動ガイド部１２iiとの連結部にリニアガイド３０が設けられている。
リニアガイド３０は、図２（ａ）に示す様に、可動ガイド部１２iiを構成する下板１２ｃに固設されたスライド部３０ａと、駆動板１８ａ上に矢印Ｘ方向に延出されたレール３０ｂとから構成される。
かかるリニアガイド３０は、図１に示す様に、駆動板１８ａ，１８ｂ，２０ａ，２０ｂと可動ガイド部１２i〜１２ivとの各連結部には、連結された可動ガイド部のスライド方向に対して直交する方向にもスライドするようにリニアガイド３０が設けられている。
このため、一対の駆動板１８ａ，１８ｂと一対の駆動板２０ａ，２０ｂとを駆動することによって、図３に示す様に、可動ガイド部１２i〜１２ivの各外側面１４ｂによって囲まれた、ワークを位置決めする四角形の領域１５の形状及び大きさを容易に変更できる。
【００１３】
図１に示す様に、可動ガイド部１２i〜１２ivの各外側面１４ｂに囲まれた領域１５が正方形に形成されている状態で、一対の駆動板２０ａ，２０ｂを駆動し、可動ガイド部１２i，１２iiiを互いに近接する方向にスライドすると、可動ガイド部１２i，１２iiiは互いに近接する方向に移動し、その際に、可動ガイド部１２iは、可動ガイド部１２iiに当接した状態を保持してスライドすると共に、可動ガイド部１２ivの外側面１４ｂに近接した状態を保持してスライドする。同様に、可動ガイド部１２iiiも、可動ガイド部１２ivに当接した状態を保持してスライドすると共に、可動ガイド部１２iiの外側面１４ｂに近接した状態を保持してスライドする。
このため、一対の駆動板２０ａ，２０ｂによって可動ガイド部１２i，１２iiiを互いに近接する方向に所定距離スライドすると、図３（ａ）に示す様に、可動ガイド部１２i〜１２ivの各外側面１４ｂに囲まれた領域１５を縦長の長方形にできる。
また、図１に示す状態で、一対の駆動板１８ａ，１８ｂを駆動し、可動ガイド部１２ii，１２iv互いに近接する方向にスライドすると、図３（ｂ）に示す様に、可動ガイド部１２i〜１２ivの各外側面１４ｂに囲まれた領域１５を横長の長方形にできる。
更に、図１に示す状態で、一対の駆動板１８ａ，１８ｂと一対の駆動板２０ａ，２０ｂとを駆動し、可動ガイド部１２ii，１２iv互いに近接する方向にスライドすると共に、可動ガイド部１２i，１２iiiを互いに近接する方向に所定距離スライドすると、図３（ｃ）に示す様に、可動ガイド部１２i〜１２ivの各外側面１４ｂに囲まれた領域１５を、図１に示す正方形の領域１５よりも小さな正方形にできる。
この様に、図１及び図２に示す位置決め装置によれば、ワークの位置決めする領域１５の四角形の形状及び大きさを容易に変更できるため、ワークの形状や大きさが変更されても、可動ガイド部等の部材を交換することなく対応できる。
【００１４】
図１〜図３に示す位置決め装置では、四角形のワークの各辺は対応する可動ガイド部の外側面１４ｂは平坦面に形成されていたが、図４（ａ）（ｂ）に示す様に、可動ガイド部の外側面１４ｂに段差３２を形成してもよい。かかる段差３２は、対向する可動ガイド部の段差３２，３２によって、図４（ｂ）に示す様に、領域１５内でワークＷを支承できる。
また、図１〜図３に示す位置決め装置では、一対の駆動板１８ａ，１８ｂ（２０ａ，２０ｂ）を同時に駆動していたが、図５（ａ）（ｂ）に示す様に、駆動板１８ａ，１８ｂ，２０ａ，２０ｂの各々を個別に駆動できるように、駆動板１８ａ，１８ｂ，２０ａ，２０ｂの各々が、対応するモータ等の駆動部材２６に連結部材２８を介して連結するようにしてもよい。
但し、図５（ａ）（ｂ）に示す位置決め装置では、対向する位置に設けられた駆動板１８ａ，１８ｂと駆動板２０ａ，２０ｂとが、互いに近接方向又は離れる方向に等距離移動できるように、各駆動部材２６を制御する制御部（図示せず）を設けることが必要である。
尚、図５（ａ）（ｂ）に示す位置決め装置で用いる構成部材について、図１及び図２に示す位置決め装置でも用いる構成部材に関しては、図１及び図２において用いた同一番号を付して詳細な説明を省略した。
【００１５】
図１〜図５に示す位置決め装置は、四角形のワークの各辺の全長に亘って当接する４本のガイド部の全てを可動ガイド部とし、ワークの中心位置を所定位置とする中心基準の位置決め装置である。
かかる中心基準の位置決め装置に対して、図６に示す様に、４本のガイド部のうち、1本のガイド部をワークの一辺に当接する固定ガイド部とし、残りの３本のガイド部を可動ガイド部としてもよい。図６に示す位置決め装置は、固定ガイド部に当接したワークの一辺を基準として位置決めする端面基準の位置決め装置である。
図６に示す位置決め装置では、四角形のワークＷが載置される載置台４０の一端部に帯状の固定ガイド部５０iが固定されている。
この固定ガイド部５０iに対して直交する方向（図６に示す矢印Ｘ方向）に直線状にスライドする第1可動ガイド部５０iiが設けられている。かかる第1可動ガイド部５０iiは、固定ガイド部５０iに一辺が当接するワークＷの他の一辺に接触（摺接）して矢印Ｘ方向にスライドする帯状の摺接部材５１ａと、摺接部材５１ａが固定された駆動板５１ｂとから構成されている。
更に、固定ガイド部５０iのワークＷが当接する当接面に、端面の一方が近接して第1可動ガイド部５０iiに対して接離方向（図６に示す矢印Ｙ方向）に直線状にスライドする帯状の第２可動ガイド部５０iiiが設けられている。
かかる第1可動ガイド部５０iiと第２可動ガイド部５０iiiとに直交するように帯状の第３可動ガイド部５０ivが配設されている。第３可動ガイド部５０ivは、第1可動ガイド部５０iiのスライド方向（矢印Ｘ方向）にスライド可能に設けられていると共に、第２可動ガイド部５０iiiのスライド方向（矢印Ｙ方向）にもスライド可能に設けられている。この第３可動ガイド部５０ivは、図６に示す矢印Ｃ側からの側面図である図７（ａ）に示す様に、上板５０ａと下板５０ｃとが連結板５０ｂによって連結されている。
【００１６】
かかる第３可動ガイド部５０ivと第１可動ガイド部５０iiとの交差部には、第３可動ガイド部５０ivの上板５０ａの長手方向に延出された第１リニアガイド５２が設けられている。この第１リニアガイド５２は、第３可動ガイド部５０ivの上板５０ａの下面側に長手方向に延出されたレール５２ａと、第１可動ガイド部５０iiの駆動板５１ｂ上に固設され、レール５２ａに沿って走行するスライド部５２ｂとから構成される。このため、第３可動ガイド部５０ivは、第１可動ガイド部５０iiのスライド方向（矢印Ｘ方向）に対して直交する方向（矢印Ｙ方向）にもスライドできる。
また、第３可動ガイド部５０ivと第２可動ガイド部５０iiiとの交差部には、帯状の第２可動ガイド部５０iiiの下面側に長手方向に延出された第２リニアガイド５２が設けられている。この第２リニアガイド５２も、帯状の第２可動ガイド部５０iiiの下面側に長手方向に延出されたレール５２ａと、第３可動ガイド部５０ivの下板５０ｃ［図７（ａ）］上に固設され、レール５２ａに沿って走行するスライド部５２ｂとから構成される。このため、第３可動ガイド部５０ivは、第２可動ガイド部５０iiiのスライド方向（矢印Ｙ方向）に対して直交する方向（矢印Ｘ方向）にもスライドできる。
かかる第１可動ガイド部５０ii、第２可動ガイド部５０iii及び第３可動ガイド部５０ivのうち、図６に示す位置決め装置では、図７（ａ）（ｂ）に示す様に、第１可動ガイド部５０iiがモータ等の駆動部材５６ａと連結部材５４ａを介して連結され、且つ第２可動ガイド部５０iiiがモータ等の駆動部材５６ｂと連結部材５４ｂを介して連結されている。
【００１７】
図６及び図７に示す位置決め装置では、固定ガイド部５０i、第１可動ガイド部５０ii、第２可動ガイド部５０iii及び第３可動ガイド部５０ivによって囲まれた領域５５が、載置台４０に載置されたワークＷの位置決めを行う領域である。
かかる領域５５の形状及び大きさは、駆動部材５６ａ，５６ｂの各々を駆動して第１ガイド部５０iiと第２ガイド部５０iiiとの各々をスライドすることによって変更できる。
例えば、駆動部材５６ａを駆動して第１可動ガイド部５０iiを矢印Ｘ方向（図６）にスライドすると、第１可動ガイド部５０iiと交差している第３可動ガイド部５０ivも、第２可動ガイド部５０iiiとの連結部に設けられたリニアガイド５２によって、同時に矢印Ｘ方向にスライドできる。この場合、第２可動ガイド部５０iiiは停止している。
また、駆動部材５６ｂを駆動して第２可動ガイド部５０iiiを矢印Ｙ方向（図６）にスライドすると、第２可動ガイド部５０iiiと交差している第３可動ガイド部５０ivも、第３可動ガイド部５０ivとの連結部に設けられたリニアガイド５２によって、同時に矢印Ｙ方向にスライドできる。この場合、第１可動ガイド部５０iiは停止している。
従って、駆動部材５６ａ，５６ｂを駆動して第１ガイド部５０iiと第２ガイド部５０iiiとをスライドすることによって、図６に示す縦長の長方形状の領域５５を、図８に示す様に、正方形で且つ図６の領域５５よりも小さい領域５５とすることができる。
この様に、図６及び図７に示す位置決め装置によれば、ワークＷの位置決めする領域５５の四角形の形状及び大きさを容易に変更できるため、ワークＷの形状や大きさが変更されても、可動ガイド部等の部材を交換することなく対応できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明に係るワークの位置決め装置の一例を説明するための正面図である。
【図２】図１に示す位置決め装置の矢印Ａ方向からの概略側面図と、矢印Ｂ方向からの概略側面図である。
【図３】図１に示すワークの位置決め装置を構成する可動ガイド部の各々のスライドする状態を説明する説明図である。
【図４】本発明に係るワークの位置決め装置の他の例を説明するための正面図及び部分側面図である。
【図５】本発明に係るワークの位置決め装置の他の例を説明するための正面図及び部分側面図である。
【図６】本発明に係るワークの位置決め装置の他の例を説明するための正面図である。
【図７】図６に示す位置決め装置の矢印Ｃ方向からの概略側面図と、矢印Ｄ方向からの概略側面図である。
【図８】図６に示すワークの位置決め装置を構成する可動ガイド部の各々のスライドした状態を説明する正面図である。
【図９】従来の位置決め装置の構成を説明するための概略図である。
【図１０】改良した位置決め装置について説明する説明図である。
【符号の説明】
【００１９】
１０  位置決め装置
１２ｉ，５０ii  第１可動ガイド部
１２ii，５０iii  第２可動ガイド部
１２iii，５０iv  第３可動ガイド部
１２iv  第４可動ガイド部
１２ａ，５０ａ  上板
１２ｂ，５０ｂ  連結板
１２ｃ，５０ｃ  下板
１４ａ  可動ガイド部の内側面
１４ｂ  可動ガイド部の外側面
１５，５５  領域
１６，３０  リニアガイド
１６ａ，３０ａ  レール
１６ｂ，３０ｂ  スライド部
１８ａ，１８ｂ，２０ａ，２０ｂ  駆動板
２１  センタリング部材
２６，２６ａ，２６ｂ，５６ａ，５６ｂ  駆動部材
２８，２８ａ，２８ｂ，５４ａ，５４ｂ  連結部材
３２  段差
４０  載置台
５０i  固定ガイド部
５１ａ  摺接部材
５１ｂ  駆動板
５２i  第１リニアガイド
５２ii  第２リニアガイド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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