(57)【要約】【課題】容積を小型化すると共に基板の全面を観察できる。【解決手段】ステージ１１上に基板２を固定状態に保持する。ステージ１１で支持するアーム部１５によって基板に照明光を照射する照明部３を水平移動可能に支持する。照明部３で照射された基板を撮像する撮像部４をアーム部１９によって水平移動可能に支持する。欠陥の種類に応じた照明部３の照射角度及び撮像部４の撮像角度を制御手段に記憶しておき、検査すべき欠陥に応じて照射角度と撮像角度を予め設定する。基板２を移動することなく、照明部３の照射角度と撮像部４の撮像角度を一定に維持しながらアーム部によって水平移動させて基板の全領域を検査する。【選択図】図２
2008076218.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査用の基板を固定状態に保持するステージと、
前記基板に対して照明光を照射する照明部と、
該照明部を水平移動可能に支持する照明部移動機構と
前記照明部で照射された基板を撮像する撮像部と、
該撮像部を水平移動可能に支持する撮像部移動機構と
を備えていることを特徴とする外観検査装置。
【請求項２】
前記照明部と撮像部は基板の表面側に配設されている請求項１に記載の外観検査装置。
【請求項３】
前記照明部と撮像部は基板を挟んで両側に配設されている請求項１に記載の外観検査装置。
【請求項４】
前記照明部と撮像部は個別にまたは一体に水平移動可能とした請求項１乃至３のいずれかに記載の外観検査装置。
【請求項５】
前記照明部移動機構は照明部を支持するアーム部であり、前記撮像部移動機構は撮像部を支持するアーム部である請求項１乃至４のいずれかに記載の外観検査装置。
【請求項６】
検査用の基板を固定状態に保持するステージと、
前記基板に対して照明光を照射する照明部と、
前記照明部で照射された基板の領域を撮像する撮像部と、
前記照明部及び撮像部を支持する支持部と
該支持部を水平移動させる移動機構と
を備えていることを特徴とする外観検査装置。
【請求項７】
前記支持部は略リング状に形成され、前記照明部と撮像部の少なくとも一方は前記支持部に沿って移動可能とされている請求項６に記載の外観検査装置。
【請求項８】
前記移動機構はアーム部を備えている請求項６または７に記載の外観検査装置。
【請求項９】
前記移動機構は、互いに直交する方向に配設されていて前記支持部をＸ軸及びＹ軸方向に移動可能に支持するＸ軸レール及びＹ軸レールを備えている請求項６または７に記載の外観検査装置。
【請求項１０】
前記照明部は基板に対する照明光の照射角度を調整可能な調整機構を備えている請求項１乃至９のいずれかに記載の外観検査装置。
【請求項１１】
前記撮像部は基板に対する撮像光の撮像角度を調整可能な調整機構を備えている請求項１乃至１０のいずれかに記載の外観検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）用のガラス基板や半導体基板等の基板を検査する外観検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）やプラズマディスプレイ（ＰＤＰ）といったフラットパネルディスプレイの分野では、画面の大型化や多面取りによるコスト削減といった要望に対応するために、フラットパネルディスプレイ製造工程において、ガラス基板の大型化が進む傾向にある。このようなガラス基板に対しては欠陥検査が行われており、欠陥検査手法として基板上のゴミ等の異物やキズ等の欠陥を目視で検査するマクロ検査と高倍率の撮像カメラで撮像してモニターで拡大観察するミクロ検査とある。
マクロ検査等の外観検査を行う場合、基板をステージ上に載置してＸ−Ｙ軸方向に移動させたり、ステージを傾斜させ(tilting)たりして検査対象の欠陥を目視検査していた。
しかしながら、近年、ガラス基板が大型化して一辺が２０００ｍｍを越えるような大型サイズのものが出現している。このような場合に基板をＸ−Ｙ軸方向に移動させたりステージを傾斜させたりして欠陥を目視観察するのは困難であった。
そのため、欠陥検査の一つの手法として、基板をＸ−Ｙ方向に移動させると共に照明部と撮像カメラの一方を移動させることによって、照明部で照射した領域の基板の画像を撮像カメラで取得し、モニター画面で目視検査する外観検査が行われている。この場合、照明部と撮像カメラの一方は固定保持されているため、検査対象領域への照射角、検査角、照明部と撮像カメラの位置関係に制約があった。
【０００３】
このような従来技術の一例として、特許文献１に記載された外観検査装置が提案されている。この装置ではステージに載置された基板を一方向に移動可能とし、低倍率の撮像カメラを上方に配置して一方向に直交する他方向に移動可能としている。照明手段として、基板に対して横方向から照射するラインライトと低倍率の撮像カメラに固定されたリングライトとを備えている。
そして、２軸ロボットによって、ステージ上の基板と撮像カメラ及びリングライトとを一体に直交方向に相対移動させて撮像カメラで撮像した画像情報をモニタ−で表示させ、外観検査を行うようにしている。この装置では、基板を支持するステージと撮像カメラとが互いに直交する方向に移動可能に構成されている。またリングライトは撮像カメラに固定されて一体に移動するように構成されている。
【特許文献１】特開２００１−３０５０７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１では、基板をステージと共に移動させる構成であるために、ステージの周囲に干渉を防止するための領域が必要になり、基板が大型化するほど外観検査装置の容積が大きくなるという欠点がある。しかもリングライトが撮像カメラの周囲に一体に設けられているために基板に対する照明光の照射角度と撮像カメラの撮像角度とがほぼ垂直方向に制限され、欠陥によっては観察しづらい。そのため、特許文献１ではリングライトとは別の位置にラインライトを固定配置し選択的に基板を照射するようにしているが、このような構成は煩雑でコスト高になる欠点があった。
【０００５】
本発明は、このような実情に鑑みて、基板が大型化しても装置の容積の増大を抑制して基板全面を検査できるようにした外観検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明による外観検査装置は、検査用の基板を固定状態に保持するステージと、基板に対して照明光を照射する照明部と、該照明部を水平移動可能に支持する照明部移動機構と、照明部で照射された基板を撮像する撮像部と、該撮像部を水平移動可能に支持する撮像部移動機構とを備えていることを特徴とする。
従って、基板を移動することなく、照明部と撮像部を照明部移動機構と撮像部移動機構によって保持して水平方向に移動させて基板の全領域を検査できる。
【０００７】
また、照明部と撮像部は基板の表面側に配設されていてもよく、基板の表面の欠陥を反射光によって検査できる。
また、照明部と撮像部は基板を挟んで両側に配設されていてもよく、基板の表面の欠陥を透過光によって検査できる。
また、照明部と撮像部は個別にまたは一体に水平移動可能としてもよい。
照明部と撮像部を所定の位置関係に保持して照明部移動機構と撮像部移動機構によって別個にまたは一体に水平移動して基板の検査対象部位を検査できる。
また、照明部移動機構は照明部を支持するアーム部であり、撮像部移動機構は撮像部を支持するアーム部であってもよい。
【０００８】
本発明による外観検査装置は、検査用の基板を固定状態に保持するステージと、基板に対して照明光を照射する照明部と、照明部で照射された基板を撮像する撮像部と、照明部及び撮像部を支持する支持部と、該支持部を水平移動させる移動機構とを備えていることを特徴とする。
支持部を移動機構で水平移動させることで照明部と撮像部の位置関係を一定に保持した状態で照明部と撮像部を一体に移動できる。
【０００９】
また、支持部は略リング状に形成され、照明部と撮像部の少なくとも一方は支持部に沿って移動可能とされていてもよい。
検査すべき欠陥の種類に応じて、支持部上の照明部と撮像部を対向する位置や対向しない位置に配設して撮像することで、検査対象部位を基板での反射光や乱反射光によって撮像して観察できる。正反射光によって基板上の欠陥を観察でき、乱反射光は基板上の異物等を観察するのに好ましい。
また、移動機構はアーム部を備えていてもよい。或いは、移動機構は、互いに直交する方向に配設されていて支持部をＸ軸及びＹ軸方向に移動可能に支持するＸ軸レール及びＹ軸レールを備えていてもよい。
また、照明部は基板に対する照明光の照射角度を調整可能な調整機構を備えていてもよく、撮像部は基板に対する撮像光の撮像角度を調整可能な調整機構を備えていてもよい。
この場合、検査すべき欠陥の種類に応じて調整機構によって設定した基板に対する照明部の照射角度と撮像部の撮像角度を設定し、この位置関係を維持しながら水平移動できる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の外観検査装置によれば、基板を固定して撮像部と照明部を水平方向に移動させることで、基板の大きさが増大しても装置の容積農大を抑制できて基板の全領域を容易に観察できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
本発明の第一実施形態による外観検査装置を図１乃至図３により説明する。
図１は本発明の第一実施形態による外観検査装置の外観検査部を示す要部側面図、図２は外観検査装置の要部平面図、図３は照明部の照射角度の調整機構を示す側面図である。
図１に示す外観検査装置１は外観検査部を示すものであり、例えば液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）やプラズマディスプレイ（ＰＤＰ）等に用いるガラス基板等の薄型の基板２がステージ１１に載置されて固定保持されている。ガラス基板２は例えば２ｍ×２ｍまたはそれ以上の略正方形または長方形の板状に形成され、その上方には所定角度に保持された照明部３と撮像部４が対向して配設され、水平方向に移動可能とされている。
照明部３は照明光源と集光レンズ系等からなり、基板２の表面の一部領域である検査対象部位Ｓを照射するものであり、照明光の照射角度θ１は基板２に対する照明光の光軸Ｏ１で設定される。撮像部４は撮像カメラ等からなり基板２表面の検査対象部位Ｓを撮像するものであり、撮像光の撮像角度θ２は基板２に対する撮像光の光軸Ｏ２で設定される。
本実施形態による外観検査装置１は、検査者の目視観察に代えて撮像部４で撮像された画像をモニター画面で観察するようにしたものである。撮像部４で撮像された基板２の検査対象部位Ｓの画像は図示しないモニター画面に映し出され、検査者はモニター画面を通して基板２の検査対象部位Ｓにゴミ等の異物やキズ等の欠陥がないかを目視観察する。
【００１２】
図２に示す外観検査装置１は図１に示す外観検査部を含む基本構成を示す平面図である。
図２におけるステージ１１上には基板２が載置され、四周縁部が例えば吸着手段等によって固定保持されている。そして、ステージ１１上で基板２の対向する側辺の外側には２本の支軸１２、１３が起立保持されている。照明部３を有する照明系１４においては、支軸１２にアーム部１５が水平移動可能に配設され、アーム部１５は支軸１２に水平回動可能に支持された第一アーム１５ａと、第一アーム１５ａの他端に連結された回動支軸１５ｂと、回動支軸１５ｂに水平回動可能な第二アーム１５ｃとで構成されている。第二アーム１５ｃの自由端には照明部３を載置して支持する台座１６が第一支持部として連結されている。
撮像部４を有する撮像系１８においては、支軸１３にアーム部１９が水平移動可能に配設され、アーム部１９は支軸１３に水平回動可能に支持された第一アーム１９ａと、第一アーム１９ａの他端に連結された回動支軸１９ｂと、回動支軸１９ｂに水平回動可能な第二アーム１９ｃとで構成されている。第二アーム１９ｃの自由端には撮像部４を載置して支持する台座２０が第二支持部として連結されている。
【００１３】
図３において、照明系１４の台座１６には照明部３がその基板２に対する照射角度θ１である俯角を欠陥の種類等に応じて調整可能な調整機構２１が設けられている。
調整機構２１において、台座１６の先端側（撮像部４方向）に軸部２２で上下方向に回動可能な基部２３が設けられ、基台２３上には照明部３が固定保持されている。台座１６の後端側にはボールねじ２４が取付けられ、ボールねじ２４の基部にはモータＭ１が台座１６に固定され、先端は基台２３に連結されている。基台２３には長孔２３ａが穿孔され、ボールねじ２４に螺合するナット部２４ａには長孔２３ａに挿入されたピン２４ｂが摺動可能に保持されている。
また、モータＭ１には、欠陥の種類に応じて対応する照射角度θ１と撮像角度θ２を記憶すると共にモータＭ１に出力する制御手段２５が接続され、制御手段２５には検査すべき欠陥の種類を入力する入力手段２６が接続されている。
ここで、照射角度θ１と撮像角度θ２は基本的に異なる値であるが、同一に設定する場合もある。基板２の検査対象部位Ｓに対する照射角度θ１と撮像角度θ２の大きさで欠陥の見え方が変わってくる。また、観察しようとする欠陥がゴミかキズか膜のムラか等、欠陥の種類に応じて制御手段２５によって照射角度θ１と撮像角度θ２を変化させる。そのため、上述したように観察すべき欠陥に応じて照明部３と撮像部４の照射角度θ１と撮像角度θ２を位置関係として予め設定して、制御手段２５のメモリに登録しておく。
【００１４】
そして、入力手段２６で入力されて制御手段２５で指示することによって、モータＭ１を駆動させ、ボールねじ２４が正逆回転してナット部２４ａが上下動する。ナット部２４ａの上下動と一体にピン２４ｂが上下動しながら長孔２３ａ内を摺動することで基台２３が軸部２２を支点に回動し、照明部３の照射角度θ１を調整する。撮像系１４においても撮像角度θ２を調整するための照明系１３と同一構造の調整機構２１が設けられ、そのモータＭ１は制御手段２５に接続されている。
また、照明部３及び撮像部４の水平移動に際しては、例えばアーム部１５，１９をジョイスティック等で手動操作し、同時にまたは個別に水平移動させるようにしてもよい。
図４は照明部３及び撮像部４の調整機構２１の変形例を示すものである。図中、台座１６の孔に軸部２２を挿通させ、軸部２２にはモータＭ１の出力軸を連結しておく。また軸部２２に基台２３を連結しておく。モータＭ１の回転駆動に応じて基台２３を上下方向に回動させ、照明部３（撮像部４）の照射角度θ１(撮像角度θ２)を調整可能に設定してもよい。
なお、照明部３の照射角度θ１で照射する基板２上の検査対象部位Ｓを撮像部４の撮像角度θ２で撮像するから、照射角度θ１と撮像角度θ２を設定してアーム部１５、１９で照明部３と撮像部４を水平移動させることで、照明部３と撮像部４間の距離等の位置関係もほぼ一定に維持される。
【００１５】
本実施形態による外観検査装置１は上述の構成を有しており、基板２の表面の欠陥の有無をマクロ観察を行う場合、まず、観察すべき欠陥の種類に応じて入力手段２６を介して各調整機構２１の照射角度θ１と撮像角度θ２を制御手段２５で調整し、照明部３と撮像部４の位置関係を設定しておく。
そして、基板２の表面における一部の観察すべき区域を設定し、ジョイスティック等によって各アーム１５、１９を支軸１２、１３、回転軸部１５ｂ、１９ｂを中心に水平回動させ、照明部３及び撮像部４を最初の観察すべき区域に個別に位置合わせする。照明部３によって検査対象部位Ｓに照明光を照射して撮像部４で撮像し、モニター画面を介して検査者が目視観察する。
次に基板２上の観察すべき領域を他に移し、同様にアーム１５，１９を水平移動して照明部３及び撮像部４を所定の位置に保持して照明・撮像する。このようにして基板２の全面をモニター画面上で順次目視観察して欠陥の有無を検査する。
なお、基板２の表面における欠陥のありそうな部分を目視で選択し、照明部３及び撮像部４を検査対象部位Ｓに移動させて照射及び撮像し、モニター画面で欠陥の有無を確認するようにしてもよい。
【００１６】
上述のように第一の実施形態の外観検査装置１によれば、基板２を移動させることなく、照明部３と撮像部４について検査しようとする欠陥の種類に応じて設定した照射角度θ１及び撮像角度θ２に維持しながら水平移動させて基板２上の各検査対象部位Ｓを順次モニター画面で観察して検査できる。そのため、基板２が大型化しても装置の大型化を抑制できる。また、照明部３及び撮像部４を欠陥の種類に応じた任意の角度θ１、θ２に予め設定できて便利である。
【００１７】
図５は第一実施形態による外観検査装置の変形例を示すものであり、この外観検査装置１では、各アーム部１５、１９に水平移動可能に保持された照明部３及び撮像部４は連結部材２７によって互いに連結されている。そのため、照明部３及び撮像部４は各アーム部１５、１９で水平移動する際に同一の間隔と姿勢を保持した状態で一体に移動させることができる。そのため、照射角度θ１及び撮像角度θ２を含めて常に同一条件下で基板２の検査対象部位Ｓを観察できる。
【００１８】
次に本発明の他の実施形態に説明するが、上述の第一実施形態と同一または同様の部分、部材には同一の符号を用いて説明する。
本発明の第二実施形態を図６に基づいて説明する。図６は外観検査装置２８の要部側面図である。
第二実施形態による外観観察装置２８は照明部３による基板２の透過光を撮像部４で撮像してその画像をモニター画面を通して目視観察しようとしたものである。透過観察する基板２として、例えば液晶基板のカラーフィルタがある。液晶パネルはバックライトを通して透過観察するため、カラーフィルタの赤、青、緑の三原色の薄膜がそれぞれ固有の色を透過観察できるか、色ムラ等なく均一な三原色を観察できるか、薄膜のカラーフィルターに穴やキズ等の欠陥があるか、等の外観検査に用いられる。
図６に示す外観検査装置２８において、基板２は図示を省略したステージ１１に支持されている。ステージ１１の一側部側には水平方向に配設された支持軸２９が配設されている。支持軸２９には、基板２(及びステージ１１）を挟んで一方側、例えば裏面側に照明部３及びアーム部１５が配設され、他方側、例えば表面側には撮像部４及びアーム部１９が配設されている。
【００１９】
アーム部１５、１９は第一実施形態とほほ同様な機能を有している。即ち、照明部３のアーム部１５は支持軸２９に対して第一アーム１５ａが上下方向に回動可能とされ、高さ(基板２との距離)調整可能とされている。第一アーム１５ａの他端に連結された回動支軸１５ｂは第二アーム１５ｃを水平回動可能に支持している。第二アーム１５ｃの自由端には照明部３の台座１６が支持されている。台座１６には調整機構２１が設けられ、基板２に対する照射角度θ１を調整可能とされている。
また、撮像部４のアーム部１９は支持軸２９に対して第一アーム１９ａが上下方向に回動可能とされ、第一アーム１９ａの他端に連結された回動支軸１９ｂは第二アーム１９ｃを水平回動可能に支持している。第二アーム１９ｃの自由端には撮像部４の台座２０が支持されている。台座２０では調整機構２１で基板２に対する撮像部４の撮像角度θ２を調整可能とされている。
照明角度θ１と撮像角度θ２は基板２に対して直角即ち９０度に設定してもよいし、適宜の角度に傾斜させてもよい。
【００２０】
本実施形態による外観検査装置２８によれば、アーム部１５、１９のうちアーム部１５を支持軸２９回りに基板２の裏面側に回動させる。そして、アーム部１５、１９を水平方向に適宜移動させて基板２の検査対象部位Ｓについて裏面側に照明部３を配設し、表面側に撮像部４を配設させて適宜角度に対向させる。そして照明部３によって基板２の裏面を照射し、その透過光が透過する基板２の表面を撮像部４によって撮像し、撮像画像をモニター画面を通して透過観察することができる。
なお、基板２に対して照明部３表面側に、撮像部４を裏面側に配設してもよい。
【００２１】
次に図７は第二実施形態による外観検査装置２８の変形例を示す要部側面図である。
本変形例による外観検査装置３１は二つのアーム部１５、１９の共通の支持軸２９は設けられておらず、それぞれアーム部１５、１９の第一アーム１５ａ、１９ａを水平回転可能に支持する回動支軸１２、１３が設けられている。これによって各アーム部１５，１９は基端側の回動支軸１２、１３を基準に二段階に水平回動可能とされている。
【００２２】
次に本発明の第三の実施形態を図８及び図９により説明する。図８は外観検査装置の基本構成を示す要部平面図、図９は支持環の斜視図である。
図中、外観検査装置３５において基板２が載置されたステージ１１には支軸３６が起立状態に保持され、支軸３６にはアーム部１５が水平回動可能に支持されている。アーム部１５は上述したものと略同一構成を有しており、第一アーム１５ａ、回動支軸１５ｂ、第二アーム１５ｃとを有している。第二アーム１５ｃの自由端には略リング形状で中空の支持環３７が片持ち支持され、支持環３７には照明部３と撮像部４とが保持されている。
次に支持環３７の構造について図９を中心に説明する。支持環３７は上面にリング状のレール３９が形成され、レール３９上には照明部３と撮像部４がレール３９に沿って摺動可能に支持されている。図では省略されているが、照明部３と撮像部４には図３または図４に示すような調整機構２１がそれぞれ設けられている。照明部３は照射光を支持環３７の内側中空部を通して下方に位置する基板２の検査対象部位Ｓに照射し、基板２の表面での反射光を撮像部４に入射させて検査対象部位Ｓを撮像するように構成されている。
照明部３と撮像部４の照射角度θ１と撮像角度θ２は観察すべき欠陥の種類に応じて入力手段２６及び制御手段２５で適宜設定されている。
【００２３】
また、照明部３と撮像部４の台座１６，２０の裏面にはレール３９に着座するレール受けとレール３９に沿って照明部３と撮像部４を摺回動させるモータや車輪等からなる駆動部が取付けられているものとする（図では省略されている）。そのため、照明部３と撮像部４はレール３９上での位置調整が可能である。
しかも、照明部３と撮像部４の相対位置が変化しても照明部３で照射する基板２上の照射領域と撮像部４で撮像する基板２上の撮像領域との重複領域を検査対象部位Ｓとすることができる。特に照射角度θ１と撮像角度θ２を等しくすれば、レール３９上での照明部３と撮像部４の位置が任意の周方向に変化しても検査対象部位Ｓを確実に照射して撮像できる。
また、例えば、基板２の表面の一般的な欠陥を検出する場合には、照明部３に対して撮像部４を略１８０度対向する位置に配設するとよい。この場合には、照明部３による照射光の正反射光のみを撮像部４に入射させて欠陥を鮮明に撮像できる。また、ゴミ等の異物やキズ等の凹凸のある欠陥を検出する場合には、照明部３に対して撮像部４を対向する位置からずらした位置に移動させることで、乱反射光のみを撮像部４に入射できるため、基板２上の異物やキズ等の欠陥を確実に検出して観察できる。
【００２４】
上述のように本実施形態による外観検査装置３５によれば、アーム部１５で照明部３及び撮像部４を有する支持環３７を片持ち支持でき、しかも照明部３及び撮像部４をレール３９に沿って摺回動可能としたことで、照明部３や撮像部４の相互の位置と角度θ１及びθ２を設定した位置関係を維持して基板２全面の欠陥を観察できる。そして、欠陥に投射される正反射光や乱反射光を任意に選択して撮像部４で撮像できるために、一方向から見にくい欠陥であっても確実に観察できる。
【００２５】
次に本発明の第四実施形態を図１０及び図１１により説明する。図１０は外観検査装置の要部平面図、図１１は図１０の側縦断面図である。
図１０，１０において外観検査装置４０はステージ１１上に基板２が載置されており、基板２の一方の対向する二辺の外側にはＸガイド４１、４１がステージ１１上に配設されている。Ｘガイド４１、４１上にはＸ軸レール４２が掛け渡され、Ｘガイド４１、４１の配列方向に沿って摺動可能とされている。また、基板２の他方の対向する二辺の外側にはＹガイド４４、４４がステージ１１上に配設されている。Ｙガイド４４、４４上にはＹ軸レール４５が掛け渡され、Ｙガイド４４、４４の配列方向に沿って摺動可能とされている。
Ｘ軸レール４２とＹ軸レール４５は互いに直交している。
【００２６】
Ｘ軸レール４２には略筒状の第一保持枠４６ａが摺動可能に嵌挿され、第一保持枠４６ａにはＹ軸レール４５に摺動可能な第二保持枠４６ｂが連結されている。第一保持枠４６ａ及び第二保持枠４６ｂを備えた保持枠４６には腕部４７を介して第三実施形態による支持環３７と略同一構成の支持環４８が吊り下げられている。支持環４８の下面４８ａは基板２に対向しており、下面４８ａには同心円状のレール３９が設けられ、レール３９には照明部３と撮像部４が台座１６，２０によって摺動可能に保持されている。
照明部３と撮像部４はそれぞれ調整機構２１によって基板２の表面に対する照射角度θ１と撮像角度θ２が適宜に設定されている。
そして、支持環４８は保持枠４６によってＸ軸レール４２及びＹ軸レール４５に沿ってＸ−Ｙ方向に摺動可能であり、基板２の表面全面に亘って照明部３で照射光を検査対象部位Ｓに照射可能であり、この検査対象部位Ｓを撮像部４で撮像してモニター画面を介して観察できる。また、照明部３と撮像部４はレール３９上で対向する位置や対向する位置からずれた位置等に保持できる。
本実施形態による外観検査装置４０においても第三実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００２７】
上述の各実施形態では照明部３と撮像部４はその照射角度θ１と撮像角度θ２を調整する調整機構２１をそれぞれ設けているが、いずれか一方のみに設けるようにしてもよい。
また、アーム部１５、１９は回動支軸１５ｂ、１９ｂが１つまたは２つで構成したが、３つ以上設けていてもよい。
また、照明部と撮像部の支持部としてリング状の支持環３７，４８を設けたが、支持部はリング状でなくてもよく、例えば平面視で略矩形状や略コの字状や板状等、照明部と撮像部を一体に支持できればよい。連結部材２７も支持部に相当する。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の第一実施形態による外観検査装置の外観検査部の原理を示す要部側面図である。
【図２】第一実施形態による外観検査装置の要部平面図である。
【図３】照明部の基板に対する照射角度の調整機構を示す側面図である。
【図４】図３に示す調整機構の変形例を示す側面図である。
【図５】第一実施形態による外観検査装置の変形例を示す要部平面図である。
【図６】本発明の第二実施形態による外観検査装置の要部側面図である。
【図７】第二実施形態による外観検査装置の変形例を示す要部側面図である。
【図８】本発明の第三実施形態による外観検査装置の要部平面図である。
【図９】図８に示す外観検査装置の支持環の斜視図である。
【図１０】本発明の第四実施形態による外観検査装置の要部平面図である。
【図１１】図１０に示す外観検査装置の要部縦断面図である。
【符号の説明】
【００２９】
１、２８、３５、４０  外観検査装置
２  基板
３  照明部
４  撮像部
１１  ステージ
１５  アーム部(照明部移動機構、移動機構)
１９  アーム部(撮像部移動機構)
２１  調整機構
２５  制御手段
２７  連結部材
３７、４８  支持環(支持部)
３９  レール
４２  Ｘ軸レール
４５  Ｙ軸レール
４６  保持枠
【図１】
2008076218.tif 000003
【図２】
2008076218.tif 000004
【図３】
2008076218.tif 000005
【図４】
2008076218.tif 000006
【図５】
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【図６】
2008076218.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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