(57)【要約】【課題】複数のヘッド側コネクタの劣化度を測定する。【解決手段】パフォーマンスボードに代えてテストヘッドに対して装着され、装着時において複数のヘッド側コネクタに一対一で電気的に接続される複数の測定用コネクタを含む測定ボードと、複数のヘッド側コネクタのそれぞれについて、ヘッド側コネクタおよび測定用コネクタに測定信号を通過させる信号発生部と、複数のヘッド側コネクタを通過した複数の測定信号を検出する信号検出部と、複数のヘッド側コネクタを通過した複数の測定信号に基づき、複数のヘッド側コネクタのそれぞれの周波数特性である複数の測定周波数特性を算出する周波数特性算出部と、複数のヘッド側コネクタのそれぞれについて、基準となる周波数特性である基準周波数特性と測定周波数特性との差に基づき劣化度を算出する劣化度算出部とを有する測定装置を備える試験装置を提供する。【選択図】図１
2008139215.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
複数のヘッド側コネクタを有するテストヘッドと、
前記テストヘッドに対して着脱され、前記テストヘッドに装着されると前記複数のヘッド側コネクタに一対一で電気的に接続される複数のボード側コネクタを有するパフォーマンスボードと、
前記複数のヘッド側コネクタの劣化度を測定する測定装置と
を備え、
前記測定装置は、
前記パフォーマンスボードに代えて前記テストヘッドに対して装着され、装着時において前記複数のヘッド側コネクタに一対一で電気的に接続される複数の測定用コネクタを含む測定ボードと、
前記複数のヘッド側コネクタのそれぞれについて、前記ヘッド側コネクタおよび前記測定用コネクタに測定信号を通過させる信号発生部と、
前記複数のヘッド側コネクタを通過した前記複数の測定信号を検出する信号検出部と、
前記複数のヘッド側コネクタを通過した前記複数の測定信号に基づき、前記複数のヘッド側コネクタのそれぞれの周波数特性である複数の測定周波数特性を算出する周波数特性算出部と、
前記複数のヘッド側コネクタのそれぞれについて、基準となる周波数特性である基準周波数特性と前記測定周波数特性との差に基づき前記劣化度を算出する劣化度算出部と
を有する試験装置。
【請求項２】
前記劣化度算出部は、前記複数のヘッド側コネクタのそれぞれについて、前記基準周波数特性と前記測定周波数特性との周波数毎の振幅差に基づき前記劣化度を算出する
請求項１に記載の試験装置。
【請求項３】
前記劣化度算出部は、前記複数のヘッド側コネクタのそれぞれについて、測定周波数範囲内における前記周波数毎の振幅差における最大値と最小値との差分値に基づき前記劣化度を算出する
請求項２に記載の試験装置。
【請求項４】
前記劣化度算出部は、前記複数のヘッド側コネクタのそれぞれについて、前記周波数毎の振幅差における絶対値の積分値に基づき前記劣化度を算出する
請求項２に記載の試験装置。
【請求項５】
前記ヘッド側コネクタおよび前記ボード側コネクタの装着回数と前記劣化度との関係を記憶する記憶部と、
前記複数のヘッド側コネクタのそれぞれについて、前記劣化度に対応する装着回数の推定値を求める装着回数推定値算出部と
を更に備える請求項１に記載の試験装置。
【請求項６】
前記信号発生部は、前記ヘッド側コネクタである複数の第１ヘッド側コネクタが接続され、
前記信号検出部は、前記第１ヘッド側コネクタとは異なる前記ヘッド側コネクタである複数の第２ヘッド側コネクタが接続され、
前記測定ボードは、第１測定フェーズにおいて、当該測定ボードが前記テストヘッドに取り付けられた場合に前記第１ヘッド側コネクタと接続する複数の第１ボード側コネクタのそれぞれを、当該測定ボードが前記テストヘッドに取り付けられた場合に前記第２ヘッド側コネクタと接続する第２ボード側コネクタのいずれか一つに接続し、第２測定フェーズにおいて、前記複数の第１ヘッド側コネクタのそれぞれを、前記第１測定フェーズにおいて接続される前記第２ボード側コネクタとは異なるいずれか一つの前記第２ボード側コネクタに接続する切替部を更に含み、
前記周波数特性算出部は、前記第１測定フェーズおよび前記第２測定フェーズのそれぞれにおいて、前記切替部を介して互いに接続された前記第１ヘッド側コネクタ及び前記第２ヘッド側コネクタの組毎の測定周波数特性を算出し、
前記劣化度算出部は、前記第１測定フェーズにおいて算出された前記第１ヘッド側コネクタ及び前記第２ヘッド側コネクタの組毎の複数の測定周波数特性と、前記第２測定フェーズにおいて算出された前記第１ヘッド側コネクタ及び前記第２ヘッド側コネクタの組毎の複数の測定周波数特性とに基づき、前記複数のヘッド側コネクタのそれぞれの劣化度を算出する
請求項１に記載の試験装置。
【請求項７】
前記消耗劣化度算出部は、前記第１測定フェーズにおいて算出された前記第１ヘッド側コネクタ及び前記第２ヘッド側コネクタの組のうち合計の劣化度が予め定められた値よりも大きい組と、前記第２測定フェーズにおいて算出された前記第１ヘッド側コネクタ及び前記第２ヘッド側コネクタの組のうち合計の劣化度が予め定められた値よりも大きい組とに共通して含まれる前記ヘッド側コネクタを、劣化度が規定値より大きいと判定する
請求項６に記載の試験装置。
【請求項８】
前記テストヘッドは、前記ヘッド側コネクタの当該テストヘッドに対する交換単位となるコネクタモジュールを少なくとも１つ有し、
前記コネクタモジュールは、前記信号発生部が接続される前記ヘッド側コネクタである複数の第１ヘッド側コネクタと、前記信号検出部が接続される前記ヘッド側コネクタである複数の第２ヘッド側コネクタとを含み、
前記測定ボードは、当該測定ボードが前記テストヘッドに取り付けられた場合に前記第１ヘッド側コネクタと接続する複数の第１ボード側コネクタのそれぞれを、当該測定ボードが前記テストヘッドに取り付けられた場合に前記第２ヘッド側コネクタと接続する第２ボード側コネクタであって対応する前記第１ヘッド側コネクタと同一のコネクタモジュールに設けられた第２ボード側コネクタに接続する配線部を更に含み、
前記周波数特性算出部は、前記配線部を介して互いに接続された前記第１ヘッド側コネクタ及び前記第２ヘッド側コネクタの組毎の測定周波数特性を算出し、
前記劣化度算出部は、前記第１ヘッド側コネクタ及び前記第２ヘッド側コネクタの組毎の複数の測定周波数特性に基づき、前記第１ヘッド側コネクタ及び前記第２ヘッド側コネクタの組毎の劣化度を算出する
請求項１に記載の試験装置。
【請求項９】
複数の第１コネクタを有し、前記複数の第１コネクタに一対一で電気的に接続される複数の第２コネクタを有するユニットが着脱される対象装置における、前記複数の第１コネクタの劣化度を測定する測定装置であって、
前記ユニットに代えて前記対象装置に対して装着され、装着時において前記複数の第１コネクタに一対一で電気的に接続される複数の測定用コネクタを有する測定ボードと、
前記複数の第１コネクタのそれぞれについて、前記第１コネクタおよび前記測定用コネクタに測定信号を通過させる信号発生部と、
前記複数の第１コネクタを通過した前記複数の測定信号を検出する信号検出部と、
前記複数の第１コネクタを通過した前記複数の測定信号に基づき、前記複数の第１コネクタのそれぞれの周波数特性である複数の測定周波数特性を算出する周波数特性算出部と、
前記複数の第１コネクタのそれぞれについて、基準となる周波数特性である基準周波数特性と前記測定周波数特性との差に基づき前記劣化度を算出する劣化度算出部と
を備える測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試験装置および測定装置に関する。特に本発明は、テストヘッドに設けられたコネクタの劣化度を測定する機能を有する試験装置および測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置等の試験装置は、テストヘッドと、当該テストヘッドに対して着脱されるパフォーマンスボードを備える。そして、試験装置は、テストヘッドに装着されたパフォーマンスボード上に被試験デバイスを載置して、当該被試験デバイスを試験する。また、テストヘッドは、パフォーマンスボードが装着された時に、当該パフォーマンスボードに設けられたコネクタと電気的に接続する複数のコネクタを有する。
【０００３】
ここで、テストヘッドに設けられたコネクタは、パフォーマンスボードに設けられたコネクタが着脱される度に磨耗等をするので、着脱回数に応じて劣化する。従って、試験装置においては、テストヘッドのコネクタとパフォーマンスボードのコネクタとの着脱回数をカウンタ等によりカウントし、適切な着脱回数となった時にテストヘッドのコネクタを交換しなければならない。
【０００４】
なお、現時点で先行技術文献の存在を認識していないので、先行技術文献に関する記載を省略する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、テストヘッドに設けられている複数のコネクタは、配置等に応じて劣化の進み具合が異なり、それぞれの適切な交換タイミングが異なる場合がある。しかし、試験装置は、複数のコネクタに対して１つのカウンタを備え、カウント値が所定回数に達した場合に、これら複数のコネクタが一括して交換されていた。従って、このような試験装置は、劣化が進んでいないコネクタも一括して交換されるので、コストが高くなっていた。
【０００６】
また、試験装置は、複数のコネクタのそれぞれに対してカウンタを備えてもよい。これにより、試験装置は、一つ一つのコネクタについての劣化の度合いを検出することができるので、劣化が進んでいるコネクタのみを交換することができる。しかし、このような試験装置は、構成が非常に複雑となり、コストも高くなってしまう。
【０００７】
また、高周波信号を通過させるコネクタを備える試験装置は、より厳密に着脱をカウントできるカウンタの値に基づき、コネクタが交換されるのが望ましい。例えば、試験装置は、例えば電源を投入していない場合における装着、手動による装着等もカウントできるカウンタの値に基づき、コネクタが交換されるのが望ましい。しかし、このようなカウンタを備える試験装置は、構成が複雑となり、コストも高くなってしまう。
【０００８】
そこで本発明は、上記の課題を解決することのできる試験装置および測定装置を提供することを目的とする。この目的は特許請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明の第１形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、複数のヘッド側コネクタを有するテストヘッドと、テストヘッドに対して着脱され、テストヘッドに装着されると複数のヘッド側コネクタに一対一で電気的に接続される複数のボード側コネクタを有するパフォーマンスボードと、複数のヘッド側コネクタの劣化度を測定する測定装置とを備え、測定装置は、パフォーマンスボードに代えてテストヘッドに対して装着され、装着時において複数のヘッド側コネクタに一対一で電気的に接続される複数の測定用コネクタを含む測定ボードと、複数のヘッド側コネクタのそれぞれについて、ヘッド側コネクタおよび測定用コネクタに測定信号を通過させる信号発生部と、複数のヘッド側コネクタを通過した複数の測定信号を検出する信号検出部と、複数のヘッド側コネクタを通過した複数の測定信号に基づき、複数のヘッド側コネクタのそれぞれの周波数特性である複数の測定周波数特性を算出する周波数特性算出部と、複数のヘッド側コネクタのそれぞれについて、基準となる周波数特性である基準周波数特性と測定周波数特性との差に基づき劣化度を算出する劣化度算出部とを有する試験装置を提供する。
【００１０】
本発明の第２形態においては、複数の第１コネクタを有し、複数の第１コネクタに一対一で電気的に接続される複数の第２コネクタを有するユニットが着脱される対象装置における、複数の第１コネクタの劣化度を測定する測定装置であって、ユニットに代えて対象装置に対して装着され、装着時において複数の第１コネクタに一対一で電気的に接続される複数の測定用コネクタを有する測定ボードと、複数の第１コネクタのそれぞれについて、第１コネクタおよび測定用コネクタに測定信号を通過させる信号発生部と、複数の第１コネクタを通過した複数の測定信号を検出する信号検出部と、複数の第１コネクタを通過した複数の測定信号に基づき、複数の第１コネクタのそれぞれの周波数特性である複数の測定周波数特性を算出する周波数特性算出部と、複数の第１コネクタのそれぞれについて、基準となる周波数特性である基準周波数特性と測定周波数特性との差に基づき劣化度を算出する劣化度算出部とを備える測定装置を提供する。
【００１１】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００１３】
図１は、本実施形態に係る試験装置１０の構成を被試験デバイス１００ともに示す。試験装置１０は、テストヘッド１４と、パフォーマンスボード１６と、装置本体１８と、測定装置２０とを備える。試験装置１０は、テストヘッド１４に装着されたパフォーマンスボード１６上に被試験デバイス１００を載置して、被試験デバイス１００を試験する。なお、被試験デバイス１００は、例えばパフォーマンスボード１６上のマザーボード上に載置されてもよい。
【００１４】
テストヘッド１４は、複数のヘッド側コネクタ３０を有する。テストヘッド１４は、与えられた試験パターンに応じた試験信号を生成し、生成した試験信号をヘッド側コネクタ３０を介して出力する。また、テストヘッド１４は、被試験デバイス１００から出力された出力信号をヘッド側コネクタ３０を介して入力し、入力した出力信号を論理値に変換した比較信号を生成する。複数のヘッド側コネクタ３０のそれぞれは、一例として、同軸コネクタであってよい。
【００１５】
パフォーマンスボード１６は、テストヘッド１４に対して着脱される。パフォーマンスボード１６は、テストヘッド１４に装着されると複数のヘッド側コネクタ３０に一対一で電気的に接続される複数のボード側コネクタ３２を有する。複数のボード側コネクタ３２のそれぞれは、一例として、対応するヘッド側コネクタ３０と嵌合することにより当該ヘッド側コネクタ３０と電気的に接続される同軸コネクタであってよい。
【００１６】
また、パフォーマンスボード１６は、テストヘッド１４に対して装着された状態で被試験デバイス１００が載置されると、複数のヘッド側コネクタ３０のそれぞれと被試験デバイス１００の対応する端子とを電気的に接続する。これにより、パフォーマンスボード１６は、ヘッド側コネクタ３０を介して出力された試験信号を被試験デバイス１００の対応する端子に伝送し、また、被試験デバイス１００の端子から出力された出力信号を対応するヘッド側コネクタ３０に伝送することができる。
【００１７】
装置本体１８は、試験パターンを発生し、テストヘッド１４に供給する。また、装置本体１８は、テストヘッド１４により生成された比較信号を入力して、当該比較信号を期待値信号と比較して被試験デバイス１００の良否を判定する。
【００１８】
測定装置２０は、複数のヘッド側コネクタ３０の劣化度を測定する。すなわち、測定装置２０は、ヘッド側コネクタ３０がボード側コネクタ３２と着脱を繰り返すことにより生じる劣化の度合いを表した劣化度を測定する。測定装置２０は、一例として、テストヘッド１４内に含まれる構成の一部を用いて構成されてよい。また、測定装置２０は、構成要素および機能の一部が、装置本体１８内に設けられてもよい。
【００１９】
図２は、本実施形態に係る測定装置２０の構成をテストヘッド１４とともに示す。測定装置２０は、測定ボード４０と、信号発生部４２と、信号検出部４４と、周波数特性算出部４６と、劣化度算出部４８とを有する。
【００２０】
測定ボード４０は、パフォーマンスボード１６に代えてテストヘッド１４に対して装着される。この場合において、測定ボード４０は、マザーボード等も含めたパフォーマンスボード１６に代えて、テストヘッド１４に対して装着されてよい。測定ボード４０は、複数の測定用コネクタ５０を含む。複数の測定用コネクタ５０は、テストヘッド１４に対する装着時において複数のヘッド側コネクタ３０に一対一で電気的に接続される。複数の測定用コネクタ５０のそれぞれは、一例として、対応するヘッド側コネクタ３０と嵌合することにより当該ヘッド側コネクタ３０と電気的に接続される同軸コネクタであってよい。
【００２１】
信号発生部４２は、測定信号を発生する。そして、信号発生部４２は、複数のヘッド側コネクタ３０のそれぞれについて、接続されたヘッド側コネクタ３０および測定用コネクタ５０に測定信号を通過させる。信号検出部４４は、複数のヘッド側コネクタ３０を通過した複数の測定信号を検出する。信号発生部４２および信号検出部４４は、一例として、テストヘッド１４内に含まれている、被試験デバイアス１００に対して入出力を行う信号発生装置および信号検出装置を流用して構成されてよい。
【００２２】
ここで、本実施形態において、信号発生部４２は、ヘッド側コネクタ３０である複数の第１ヘッド側コネクタ３０−１が接続される。また、本実施形態において、信号検出部４４は、第１ヘッド側コネクタ３０−１とは異なるヘッド側コネクタ３０である複数の第２ヘッド側コネクタ３０−２が接続される。さらに、本実施形態において、測定ボード４０は、配線部５２を更に含む。配線部５２は、測定ボード４０がテストヘッド１４に装着された場合に第１ヘッド側コネクタ３０−１と接続する測定用コネクタ５０である複数の第１測定用コネクタ５０−１のそれぞれを、測定ボード４０がテストヘッド１４に取り付けられた場合に第２ヘッド側コネクタ３０−２と接続する測定用コネクタ５０である第２測定用コネクタ５０−２のいずれか一つに電気的に接続する。
【００２３】
これにより、本実施形態においては、複数の第１ヘッド側コネクタ３０−１のそれぞれが、配線部５２を介して複数の第２ヘッド側コネクタ３０−２のいずれか一つと接続されて、複数の第１ヘッド側コネクタ３０−１及び第２ヘッド側コネクタ３０−２の組を形成することができる。そして、信号発生部４２は、発生した測定信号を、配線部５２を介して接続された複数組の第１ヘッド側コネクタ３０−１及び第２ヘッド側コネクタ３０−２を通過させることができる。そして、本実施形態において、信号検出部４４は、配線部５２を介して接続された複数組の第１ヘッド側コネクタ３０−１及び第２ヘッド側コネクタ３０−２を通過した複数の測定信号を、検出することができる。
【００２４】
周波数特性算出部４６は、複数のヘッド側コネクタ３０を通過した複数の測定信号に基づき、複数のヘッド側コネクタ３０のそれぞれの周波数特性である複数の測定周波数特性を算出する。本実施形態において、周波数特性算出部４６は、複数組の第１ヘッド側コネクタ３０−１及び第２ヘッド側コネクタ３０−２を通過した複数の測定信号に基づき、第１ヘッド側コネクタ３０−１及び第２ヘッド側コネクタ３０−２の周波数特性を合成した測定周波数特性を、複数組のそれぞれについて算出する。
【００２５】
周波数特性算出部４６は、一例として、測定周波数範囲内の各周波数成分を含んだ測定信号を、信号発生部４２から発生させてよい。そして、周波数特性算出部４６は、信号発生部４２から発生させた元の測定信号と信号検出部４４により検出された通過後の測定信号との間の周波数毎の振幅変化量および位相変化量を算出することにより、ヘッド側コネクタ３０の周波数特性（または、第１ヘッド側コネクタ３０−１の周波数特性及び第２ヘッド側コネクタ３０−２の周波数特性を合成特性）を算出してよい。
【００２６】
劣化度算出部４８は、複数のヘッド側コネクタ３０のそれぞれについて、基準となる周波数特性である基準周波数特性と測定周波数特性との差に基づき劣化度を算出する。本実施形態において、劣化度算出部４８は、複数組の第１ヘッド側コネクタ３０−１及び第２ヘッド側コネクタ３０−２のそれぞれについて、基準周波数特性と測定周波数特性との差に基づき、第１ヘッド側コネクタ３０−１の劣化度及び第２ヘッド側コネクタ３０−２の劣化度を合成した劣化度を算出する。
【００２７】
基準周波数特性は、一例として、ヘッド側コネクタ３０をテストヘッド１４に取り付けた後の最初の測定時における測定周波数特性であってよい。また、基準周波数特性は、一例として、工場出荷時において予め測定されたヘッド側コネクタ３０の周波数特性であってもよいし、仕様により定められたヘッド側コネクタ３０の周波数特性であってもよい。
【００２８】
図３は、本実施形態に係る測定装置２０による測定フローを示す。測定装置２０は、任意期間毎に繰り返してステップＳ１００１〜ステップＳ１００７の劣化度測定処理を行う（Ｓ１０００、Ｓ１００８）。測定装置２０は、一例として、試験装置１０のキャリブレーションが行われる毎に、ステップＳ１００１〜ステップＳ１００７の劣化度測定処理を行ってよい。
【００２９】
劣化度測定処理において、まず、テストヘッド１４に測定ボード４０が装着され、テストヘッド１４に設けられた複数のヘッド側コネクタ３０が測定ボード４０に設けられた複数の測定用コネクタ５０に一対一に電気的に接続される（Ｓ１００１）。これにより、複数の第１ヘッド側コネクタ３０−１のそれぞれは、配線部５２を介して対応する第２ヘッド側コネクタ３０−２に電気的に接続される。
【００３０】
次に、測定装置２０は、配線部５２を介して接続された第１ヘッド側コネクタ３０−１及び第２ヘッド側コネクタ３０−２の組を順次に一組ごとに選択する。そして、測定装置２０は、一組の第１ヘッド側コネクタ３０−１及び第２ヘッド側コネクタ３０−２毎にステップＳ１００３〜Ｓ１００５の処理を行って劣化度を算出する（Ｓ１００２、Ｓ１００６）。
【００３１】
ステップＳ１００３〜Ｓ１００５の処理において、まず、信号発生部４２は、測定信号を発生し、選択された一組の第１ヘッド側コネクタ３０−１及び第２ヘッド側コネクタ３０−２に測定信号を通過させる。そして、信号検出部４４は、選択された一組の第１ヘッド側コネクタ３０−１及び第２ヘッド側コネクタ３０−２を通過した測定信号を検出する（Ｓ１００３）。
【００３２】
次に、周波数特性算出部４６は、信号検出部４４により検出された測定信号に基づき、選択された一組の第１ヘッド側コネクタ３０−１及び第２ヘッド側コネクタ３０−２の測定周波数特性を算出する（Ｓ１００４）。次に、劣化度算出部４８は、選択された一組の第１ヘッド側コネクタ３０−１及び第２ヘッド側コネクタ３０−２について、基準周波数特性と測定周波数特性との差に基づき劣化度を算出する（Ｓ１００５）。
【００３３】
全ての組について劣化度の算出が終了すると（Ｓ１００６）、次に、テストヘッド１４に装着されていた測定ボード４０を取り外す（Ｓ１００７）。以上によりステップＳ１００１〜ステップＳ１００７の劣化度測定処理が終了する（Ｓ１００８）。そして、測定装置２０は、劣化度が規定値以上の組の第１ヘッド側コネクタ３０−１及び第２ヘッド側コネクタ３０−２が存在する場合、劣化度が規定値以上の組の第１ヘッド側コネクタ３０−１及び第２ヘッド側コネクタ３０−２を交換させることを目的として外部に通知してよい。
【００３４】
このような本実施形態に係る測定装置２０によれば、テストヘッド１４が有する複数のヘッド側コネクタ３０の劣化度を、一組の第１ヘッド側コネクタ３０−１及び第２ヘッド側コネクタ３０−２毎に、簡易に且つ正確に測定することができる。従って、このような測定装置２０によれば、テストヘッド１４に設けられた複数のヘッド側コネクタ３０を一括に交換させるのではなく、それぞれを適切なタイミングで交換させることができる。
【００３５】
なお、測定装置２０は、試験装置以外の装置に備えられたコネクタの劣化度を測定してもよい。すなわち、測定装置２０は、複数の第１コネクタを有し、複数の第１コネクタに一対一で電気的に接続される複数の第２コネクタを有するユニットが着脱される対象装置における、複数の第１コネクタの劣化度を測定してもよい。この場合において、測定装置２０は、対象装置における複数の第１コネクタを複数のヘッド側コネクタ３０と同様に取り扱い、ユニットをパフォーマンスボード１６と同様に取り扱い、第２コネクタをボード側コネクタ３２と同様に取り扱う。これにより、測定装置２０は、試験装置１０の複数のヘッド側コネクタ３０の劣化度を測定する場合と同様に、対象装置に備えられた複数の第１コネクタの劣化度を測定することができる。
【００３６】
図４は、本実施形態に係る劣化度算出部４８の構成の一例を示す。劣化度算出部４８は、一例として、基準周波数特性記憶部６２と、振幅差算出部６４と、劣化度演算部６６とを含んでよい。
【００３７】
基準周波数特性記憶部６２は、基準周波数特性を記憶する。基準周波数特性記憶部６２は、一例として、それぞれのヘッド側コネクタ３０について、１回目の測定時に検出された測定周波数特性を基準周波数特性として記憶してよい。振幅差算出部６４は、複数のヘッド側コネクタ３０のそれぞれについて、基準周波数特性記憶部６２に記憶された基準周波数特性と、周波数特性算出部４６により検出された測定周波数特性との周波数毎の振幅差を算出する。
【００３８】
劣化度演算部６６は、複数のヘッド側コネクタ３０のそれぞれについて、測定周波数範囲内における周波数毎の振幅差における最大値と最小値との差分値に基づき劣化度を算出する。これに代えて、劣化度演算部６６は、複数のヘッド側コネクタ３０のそれぞれについて、測定周波数範囲内における周波数毎の振幅差における絶対値の積分値に基づき劣化度を算出してよい。
【００３９】
図５は、劣化度算出部４８に入力される測定周波数特性の一例（Ａ、Ｂ、Ｃ）を示す。図５のＡは、劣化がない場合のヘッド側コネクタ３０の測定周波数特性の一例を示す。図５のＢ、Ｃは、劣化した場合のヘッド側コネクタ３０の測定周波数特性の一例を示す。
【００４０】
ヘッド側コネクタ３０に劣化がない場合、周波数特性算出部４６は、一例として、図５のＡに表すような測定周波数特性を出力する。ヘッド側コネクタ３０は、ボード側コネクタ３２との着脱が繰り返されることにより劣化し、振幅特性が減衰する。例えば、ヘッド側コネクタ３０は、劣化による振幅特性の減衰が、低域側よりも高域側の方が大きくなる。この場合、周波数特性算出部４６は、例えば、図５のＡから図５のＢに表されるように変化した測定周波数特性を出力する。さらに、ヘッド側コネクタ３０は、劣化により、ある特定の周波数においてプラス側またはマイナス側にピークを有する振幅特性となる場合がある。この場合、周波数特性算出部４６は、例えば、図５のＡから図５のＣに表されるように変化した測定周波数特性を出力する。
【００４１】
図６は、図５の測定周波数特性を入力した場合における、振幅差算出部６４により算出される周波数毎の振幅差および当該振幅差の最大値および最小値を示す。また、図７は、図５の測定周波数特性を入力した場合における、振幅差算出部６４により算出される周波数毎の振幅差および当該振幅差の絶対値の積分値を示す。
【００４２】
図６および図７のＤは、図５のＡの測定周波数特性が入力された場合に振幅差算出部６４により算出される周波数毎の振幅差を示し、図６および図７のＥは、図５のＢの測定周波数特性が入力された場合に振幅差算出部６４により算出される周波数毎の振幅差を示し、図６および図７のＦは、図５のＣの測定周波数特性が入力された場合に振幅差算出部６４により算出される周波数毎の振幅差を示す。さらに、図６のＦｍａｘは、測定周波数範囲内におけるＦの振幅差の最大値を示し、図６のＦｍｉｎは、測定周波数範囲内におけるＦの振幅差の最小値を示す。また、図７のＳは、測定周波数範囲内におけるＦの振幅差の絶対値の積分値を示す。
【００４３】
ヘッド側コネクタ３０は、劣化がない場合、図６のＤに示すように、測定周波数範囲内の各周波数において、基準周波数特性と測定周波数特性との振幅差がほとんどない。これに対して、ヘッド側コネクタ３０は、劣化がある場合、図６のＥに示すように、測定周波数範囲内の各周波数において、基準周波数特性と測定周波数特性との間に振幅差が生じる。この振幅差は、劣化が進むにつれて大きくなる。従って、劣化度算出部４８は、基準周波数特性と測定周波数特性との振幅差に基づき、ヘッド側コネクタ３０の劣化度を測定できる。
【００４４】
また、ヘッド側コネクタ３０は、劣化によりある特定の周波数における振幅差にピークが生じた場合、図６のＦに示すように、基準周波数特性と測定周波数特性との振幅差の最大値（図６のＦｍａｘ）と、最小値（図６のＦｍｉｍ）との差が大きくなる。従って、劣化度算出部４８は、測定周波数範囲内における周波数毎の振幅差における最大値と最小値との差分値をヘッド側コネクタ３０の劣化度とすることにより、通過信号の特定周波数にピーク特性が生じた場合にも、適切な劣化度を出力することができる。
【００４５】
また、ヘッド側コネクタ３０は、劣化によりある特定の周波数における信号の振幅にピークが生じた場合、図７のＳに示すように、測定周波数範囲内における周波数毎の振幅差の絶対値の積分値が大きくなる。従って、劣化度算出部４８は、測定周波数範囲内における周波数毎の振幅差における絶対値の積分値をヘッド側コネクタ３０の劣化度とすることにより、通過信号の特定周波数にピーク特性が生じた場合にも、適切な劣化度を出力することができる。
【００４６】
図８は、本実施形態の第１変形例に係る測定装置２０の構成をテストヘッド１４とともに示す。本変形例に係る測定装置２０は、図２に示した同一符号の部材と略同一の構成および機能を採るので、以下相違点を除き説明を省略する。
【００４７】
測定装置２０は、記憶部７２と、装着回数推定値算出部７４とを更に備えてよい。記憶部７２は、ヘッド側コネクタ３０およびボード側コネクタ３２の装着回数と劣化度との関係を記憶する。より具体的には、記憶部７２は、一例として、劣化度算出部４８により算出された劣化度をヘッド側コネクタ３０およびボード側コネクタ３２の装着回数に変換する演算式、または、劣化度算出部４８により算出された劣化度とヘッド側コネクタ３０およびボード側コネクタ３２の装着回数との対応関係を表すテーブル等を、装着回数と劣化度との関係を表す情報として記憶してよい。測定周波数範囲内における周波数毎の振幅差における最大値と最小値との差分値とヘッド側コネクタ３０およびボード側コネクタ３２の装着回数とはほぼ比例関係を有するので、記憶部７２は、一例として、当該比例関係を表す演算式またはテーブルを記憶してよい。
【００４８】
装着回数推定値算出部７４は、記憶部７２に記憶されたヘッド側コネクタ３０およびボード側コネクタ３２の装着回数と劣化度との関係に基づいて、複数のヘッド側コネクタ３０のそれぞれについて、劣化度算出部４８により算出された劣化度に対応する装着回数の推定値を求める。装着回数推定値算出部７４は、一例として、記憶部７２に記憶された演算式またはテーブルを用いて、劣化度算出部４８により算出された劣化度を、装着回数の推定値に変換してよい。
【００４９】
このような第１変形例に係る測定装置２０によれば、複数のカウンタを設けることなく、複数のヘッド側コネクタ３０のそれぞれについて、ボード側コネクタ３２との装着回数の推定値をユーザに提示することができる。従って、測定装置２０によれば、複数のヘッド側コネクタ３０のそれぞれについての適切な交換タイミングを、ユーザにわかり易く提示することができる。
【００５０】
図９は、本実施形態の第２変形例に係る測定装置２０の構成をテストヘッド１４とともに示す。本変形例に係る測定装置２０は、図２に示した同一符号の部材と略同一の構成および機能を採るので、以下相違点を除き説明を省略する。
【００５１】
本変形例において、測定ボード４０の配線部５２は、切替部８０を含む。切替部８０は、第１切替回路８４と、第２切替回路８６と、接続線８８とを含む。
【００５２】
第１切替回路８４は、複数の第１測定用コネクタ５０−１のうちいずれか一つを選択する。第２切替回路８６は、複数の第２測定用コネクタ５０−２のうちいずれか一つを選択する。接続線８８は、第１切替回路８４により選択された１つの第１測定用コネクタ５０−１と、第２切替回路８６により選択された１つの第２測定用コネクタ５０−２とを電気的に接続する。このような切替部８０は、測定ボード４０がテストヘッド１４に取り付けられた場合に第１ヘッド側コネクタ３０−１と接続する複数の第１測定用コネクタ５０−１のそれぞれを、測定ボード４０がテストヘッド１４に取り付けられた場合に第２ヘッド側コネクタ３０−２と接続する第２測定用コネクタ５０−２のいずれか一つに接続する。
【００５３】
図１０は、第２変形例に係る測定装置２０の処理フローを示す。本変形例に係る測定装置２０は、まず、複数の第１ヘッド側コネクタ３０−１のそれぞれを順次に一つずつ選択し、選択した第１ヘッド側コネクタ３０−１について、以下の第１測定フェーズ（Ｓ１１０１）、第２測定フェーズ（Ｓ１１０２）を行う（Ｓ１１００、Ｓ１１０３）。
【００５４】
第１測定フェーズ（Ｓ１１０１）において、切替部８０は、選択された第１ヘッド側コネクタ３０−１と、複数の第２ヘッド側コネクタ３０−２のうち１つの第２ヘッド側コネクタ３０−２とを接続する。信号発生部４２は、切替部８０を介して互いに接続された一組の第１ヘッド側コネクタ３０−１及び第２ヘッド側コネクタ３０−２に測定信号を通過させる。信号検出部４４は、切替部８０を介して互いに接続された一組の第１ヘッド側コネクタ３０−１及び第２ヘッド側コネクタ３０−２を通過した測定信号を検出する。そして、周波数特性算出部４６は、信号検出部４４により検出された測定信号に基づき、切替部８０を介して互いに接続された一組の第１ヘッド側コネクタ３０−１及び第２ヘッド側コネクタ３０−２の合成の周波数特性である測定周波数特性を算出する。
【００５５】
次に、第２測定フェーズ（Ｓ１１０２）において、切替部８０は、選択された第１ヘッド側コネクタ３０−１と、第１測定フェーズにおいて接続された第２ヘッド側コネクタ３０−２とは異なる１つの第２ヘッド側コネクタ３０−２とを接続する。信号発生部４２は、切替部８０を介して互いに接続された一組の第１ヘッド側コネクタ３０−１及び第２ヘッド側コネクタ３０−２に測定信号を通過させる。信号検出部４４は、切替部８０を介して互いに接続された一組の第１ヘッド側コネクタ３０−１及び第２ヘッド側コネクタ３０−２を通過した測定信号を検出する。そして、周波数特性算出部４６は、信号検出部４４により検出された測定信号に基づき、切替部８０を介して互いに接続された一組の第１ヘッド側コネクタ３０−１及び第２ヘッド側コネクタ３０−２の合成の周波数特性である測定周波数特性を算出する。
【００５６】
なお、測定装置２０は、第１測定フェーズおよび第２測定フェーズに加えて、第３測定フェーズ以降の測定フェーズを行ってもよい。第３測定フェーズ以降においては、測定装置２０は、それまでの測定フェーズにおいて接続された第２ヘッド側コネクタ３０−２とは異なる１つの第２ヘッド側コネクタ３０−２とを接続して、第１測定フェーズおよび第２測定フェーズと同様に測定周波数特性を算出する。
【００５７】
複数の第１ヘッド側コネクタ３０−１のそれぞれについて、第１測定フェーズおよび第２測定フェーズが終了すると（Ｓ１１０３）、続いて、劣化度算出部４８は、第１測定フェーズにおいて算出された第１ヘッド側コネクタ３０−１及び第２ヘッド側コネクタ３０−２の組毎の複数の測定周波数特性と、第２測定フェーズにおいて算出された第１ヘッド側コネクタ３０−１及び第２ヘッド側コネクタ３０−２の組毎の複数の測定周波数特性とに基づき、複数のヘッド側コネクタ３０のそれぞれの劣化度を算出する（Ｓ１１０４）。
【００５８】
劣化度算出部４８は、一例として、複数の測定フェーズのそれぞれにおいて切替部８０を介して互いに接続された第１ヘッド側コネクタ３０−１と第２ヘッド側コネクタ３０−２との組み合わせの関係と、複数の測定フェーズのそれぞれにおいて算出された第１ヘッド側コネクタ３０−１及び第２ヘッド側コネクタ３０−２の組毎の測定周波数特性とに基づく行列演算式を解く。そして、劣化度算出部４８は、当該行列演算式を解くことにより、複数の第１ヘッド側コネクタ３０−１のそれぞれ及び複数の第２ヘッド側コネクタ３０−２のそれぞれの測定周波数特性を算出してよい。
【００５９】
このような本変形例に係る測定装置２０によれば、テストヘッド１４が有する複数のヘッド側コネクタ３０の劣化度を、それぞれ独立に測定することができる。従って、このような測定装置２０を備える試験装置１０によれば、複数のヘッド側コネクタ３０の一つ一つを適切なタイミングで交換させることができる。
【００６０】
また、劣化度算出部４８は、劣化度が、ヘッド側コネクタ３０を交換すべき劣化度を示す規定値以上であるか否かを更に判定してもよい。これにより、劣化度算出部４８は、ヘッド側コネクタ３０を交換すべきタイミングをより明確にユーザに認識させることができる。
【００６１】
さらに、劣化度算出部４８は、一例として、第１測定フェーズにおいて算出された第１ヘッド側コネクタ３０−１及び第２ヘッド側コネクタ３０−２の組のうち合計の劣化度が予め定められた値よりも大きい組と、第２測定フェーズにおいて算出された第１ヘッド側コネクタ３０−１及び第２ヘッド側コネクタ３０−２の組のうち合計の劣化度が予め定められた値よりも大きい組とに共通して含まれるヘッド側コネクタ３０を、劣化度が規定値より大きいと判定してもよい。これにより、劣化度算出部４８は、ヘッド側コネクタ３０の一つ一つの適切な交換タイミングをより簡易に判定することができる。
【００６２】
図１１は、本実施形態の第３変形例に係る測定装置２０の構成をテストヘッド１４とともに示す。本変形例に係る測定装置２０は、図２に示した同一符号の部材と略同一の構成および機能を採るので、以下相違点を除き説明を省略する。
【００６３】
本変形例に係るテストヘッド１４は、ヘッド側コネクタ３０の当該テストヘッド１４に対する交換単位となるコネクタモジュール９０を少なくとも１つ有する。このテストヘッド１４は、複数のヘッド側コネクタ３０をコネクタモジュール９０単位で一括して交換させることができる。各コネクタモジュール９０は、信号発生部４２が接続されるヘッド側コネクタ３０である複数の第１ヘッド側コネクタ３０−１と、信号検出部４４が接続されるヘッド側コネクタ３０である複数の第２ヘッド側コネクタ３０−２とを含む。
【００６４】
本変形例における配線部５２は、第１ヘッド側コネクタ３０−１と接続する複数の第１測定用コネクタ５０−１のそれぞれを、第１ヘッド側コネクタ３０−１と接続する第２測定用コネクタ５０−２であって対応する第１ヘッド側コネクタ３０−１と同一のコネクタモジュール９０に設けられた第２測定用コネクタ５０−２に接続する。周波数特性算出部４６は、配線部５２を介して互いに接続された第１ヘッド側コネクタ３０−１及び第２ヘッド側コネクタ３０−２の組毎の測定周波数特性を算出する。劣化度算出部４８は、第１ヘッド側コネクタ３０−１及び第２ヘッド側コネクタ３０−２の組毎の複数の測定周波数特性に基づき、複数のヘッド側コネクタ３０の組毎の劣化度を算出する。
【００６５】
このような測定装置２０によれば、配線部５２を介して互いに接続された一組の第１ヘッド側コネクタ３０−１及び第２ヘッド側コネクタ３０−２の劣化度が例えば規定値より大きいと判定された場合、１つのコネクタモジュール９０の交換により、当該一組の第１ヘッド側コネクタ３０−１及び第２ヘッド側コネクタ３０−２を交換させることができる。これにより、測定装置２０によれば、効率よくヘッド側コネクタ３０の交換をさせることができる。
【００６６】
図１２は、本実施形態の第４変形例に係る測定装置２０の構成をテストヘッド１４とともに示す。本変形例に係る測定装置２０は、図２に示した同一符号の部材と略同一の構成および機能を採るので、以下相違点を除き説明を省略する。
【００６７】
本変形例に係る測定装置２０は、信号発生部４２および信号検出部４４のうち一方が測定ボード４０に備えられ、他方がテストヘッド１４に備えられる。これにより測定装置２０によれば、複数のヘッド側コネクタ３０の一つ一つの劣化度を、例えば行列演算等を用いずに算出することができる。
【００６８】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本実施形態に係る試験装置１０の構成を被試験デバイス１００ともに示す。
【図２】本実施形態に係る測定装置２０の構成をテストヘッド１４とともに示す。
【図３】本実施形態に係る測定装置２０による測定フローを示す。
【図４】本実施形態に係る劣化度算出部４８の構成の一例を示す。
【図５】劣化度算出部４８に入力される測定周波数特性の一例（Ａ、Ｂ、Ｃ）を示す。
【図６】図５の測定周波数特性を入力した場合における、振幅差算出部６４により算出される周波数毎の振幅差および当該振幅差の最大値および最小値を示す。
【図７】図５の測定周波数特性を入力した場合における、振幅差算出部６４により算出される周波数毎の振幅差および当該振幅差の絶対値の積分値を示す。
【図８】本実施形態の第１変形例に係る測定装置２０の構成をテストヘッド１４とともに示す。
【図９】本実施形態の第２変形例に係る測定装置２０の構成をテストヘッド１４とともに示す。
【図１０】第２変形例に係る測定装置２０の処理フローを示す。
【図１１】本実施形態の第３変形例に係る測定装置２０の構成をテストヘッド１４とともに示す。本変形例に係る測定装置２０は、図２に示した同一符号の部材と略同一の構成および機能を採るので、以下相違点を除き説明を省略する。
【図１２】本実施形態の第４変形例に係る測定装置２０の構成をテストヘッド１４とともに示す。
【符号の説明】
【００７０】
１０  試験装置
１４  テストヘッド
１６  パフォーマンスボード
１８  装置本体
２０  測定装置
３０  ヘッド側コネクタ
３２  ボード側コネクタ
４０  測定ボード
４２  信号発生部
４４  信号検出部
４６  周波数特性算出部
４８  劣化度算出部
５０  測定用コネクタ
５２  配線部
６２  基準周波数特性記憶部
６４  振幅差算出部
６６  劣化度演算部
７２  記憶部
７４  装着回数推定値算出部
８０  切替部
８２  判定部
８４  第１切替回路
８６  第２切替回路
８８  接続線
９０  コネクタモジュール
１００  被試験デバイス
【図１】
2008139215.tif 000003
【図２】
2008139215.tif 000004
【図３】
2008139215.tif 000005
【図４】
2008139215.tif 000006
【図５】
2008139215.tif 000007
【図６】
2008139215.tif 000008
【図７】
2008139215.tif 000009
【図８】
2008139215.tif 000010
【図９】
2008139215.tif 000011
【図１０】
2008139215.tif 000012
【図１１】
2008139215.tif 000013
【図１２】
2008139215.tif 000014