(57)【要約】【課題】ステージを迅速に遠隔操作することが可能なステージ制御装置を提供する。【解決手段】このパターン修正装置では、表示装置４の画面１０に表示された座標系１２または１３の任意の座標Ｐ１またはＰ２にポインタ１４を位置させてマウス５のボタンを押すと、原点Ｏ１またはＯ２とその座標Ｐ１またはＰ２の間に矢印マーク１５または１６が表示され、その矢印マーク１５または１６の長さに応じた速度で、その矢印マーク１５または１６の向きにステージ２または３が移動する。したがって、ジョイスティックを用いることなくステージ２，３の移動速度と移動方向を同時に指示することができる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ステージを制御するステージ制御装置において、
所定の座標系を画面に表示する表示装置と、
前記表示装置の画面上の任意の座標にポインタを移動させる操作手段と、
前記ステージの移動が指示されたことに応じて、前記ポインタと前記座標系の原点との間の距離に応じた速度で前記原点から見た前記ポインタの方向に前記ステージを移動させる制御手段とを備えたことを特徴とする、ステージ制御装置。
【請求項２】
前記ステージはＸ方向およびＹ方向に移動するＸＹステージであり、
前記座標系は前記原点で直交するＸ軸およびＹ軸を含むことを特徴とする、請求項１に記載のステージ制御装置。
【請求項３】
前記ステージはＺ方向に移動するＺステージであり、
前記座標系は前記原点を通るＺ軸を含むことを特徴とする、請求項１に記載のステージ制御装置。
【請求項４】
前記操作手段はマウスであり、
前記制御手段は、前記マウスのボタンが押されている場合は前記ステージを移動させ、前記マウスのボタンが押されていない場合は前記ステージを停止させることを特徴とする、請求項１から請求項３までのいずれかに記載のステージ制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明はステージ制御装置に関し、特に、ＸＹステージやＺステージを制御するステージ制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、プラズマディスプレイ、液晶ディスプレイ、ＥＬディスプレイなどのフラットパネルディスプレイの大型化、高精細化に伴い、ガラス基板上に形成された電極や液晶カラーフィルタなどに欠陥が存在する確率が高くなっており、歩留まりの向上を図るため欠陥を観察し修正するパターン修正装置が開発されている。
【０００３】
このようなパターン修正装置には、欠陥を観察する観察光学系と、欠陥を修正する修正手段と、基板を搭載してＸＹ方向（水平方向）に移動するＸＹステージと、観察光学系および修正手段を搭載してＺ方向（垂直方向）に移動するＺステージとが設けられている。ＸＹステージおよびＺステージを制御することにより、基板表面の任意の位置の上方に観察光学系および修正手段を位置決めすることが可能となっている。
【０００４】
ステージを制御する方法としては、ジョイスティックを用いる方法がある。この方法によれば、ジョイスティックの操作によってステージの移動方向と移動速度を同時に指示することができる。
【０００５】
また、ステージを制御する他の方法としては、表示装置の画面に表示された対象物の画像を見ながら、移動始点と移動終点の各々をマウスで指定することにより、移動始点を移動終点に移動させる方法がある（たとえば特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平８−２６２３２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、ジョイステックを用いる方法では、パターン修正装置から遠く離れた位置で遠隔操作する場合、信号線の延長に伴ってジョイスティック信号の電圧が低下し、ステージの制御が困難な場合もあった。
【０００７】
また、移動始点と移動終点の各々をマウスで指定する方法では、始点と終点の２点を指示する必要があり、また、始点と終点の間の距離に関係なく一定速度でステージを移動させていたので、ステージの移動に時間がかかるという問題があった。
【０００８】
それゆえに、この発明の主たる目的は、ステージを迅速に遠隔操作することが可能なステージ制御装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明に係るステージ制御装置は、ステージを制御するステージ制御装置において、所定の座標系を画面に表示する表示装置と、表示装置の画面上の任意の座標にポインタを移動させる操作手段と、ステージの移動が指示されたことに応じて、ポインタと座標系の原点との間の距離に応じた速度で原点から見たポインタの方向にステージを移動させる制御手段とを備えたことを特徴とする。
【００１０】
好ましくは、ステージはＸ方向およびＹ方向に移動するＸＹステージであり、座標系は原点で直交するＸ軸およびＹ軸を含む。
【００１１】
また好ましくは、ステージはＺ方向に移動するＺステージであり、座標系は原点を通るＺ軸を含む。
【００１２】
また好ましくは、操作手段はマウスであり、制御手段は、マウスのボタンが押されている場合はステージを移動させ、マウスのボタンが押されていない場合はステージを停止させる。
【発明の効果】
【００１３】
この発明に係るステージ制御装置では、所定の座標系を画面に表示する表示装置と、表示装置の画面上の任意の座標にポインタを移動させる操作手段と、ステージの移動が指示されたことに応じて、ポインタと座標系の原点との間の距離に応じた速度で原点から見たポインタの方向にステージを移動させる制御手段とが設けられる。したがって、ジョイスティックを用いることなくステージの移動速度と移動方向を同時に指示することができ、ステージを迅速に遠隔操作することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
図１は、この発明の一実施の形態によるパターン修正装置の要部を示すブロック図である。図１において、このパターン修正装置は、基板１上に形成された電極などの微細パターンの欠陥を修正する装置であって、ＸＹステージ２、Ｚステージ３、表示装置４、マウス５、演算装置６、および制御装置７を備える。
【００１５】
ＸＹステージ２は、基板１を搭載してＸＹ方向（水平方向）に移動する。ＸＹステージ２は、ＸＹ平面（水平面）に沿って任意の方向に移動可能に設けられており、その移動速度は制御可能になっている。Ｚステージ３は、欠陥を観察する観察光学系（図示せず）や欠陥を修正する修正手段（図示せず）を搭載してＺ方向（垂直方向）に移動する。Ｚステージ３は、Ｚ軸（垂直軸）に沿って上下方向に移動可能に設けられており、その移動速度は制御可能になっている。
【００１６】
図２は、表示装置４の画面１０を示す図である。図２において、表示装置４の画面１０には、ステージ操作領域１１が設けられ、ステージ操作領域１１にはＸＹ座標系１２とＺ軸座標系１３が表示される。ＸＹ座標系１２は、原点Ｏ１で交差するＸ軸およびＹ軸を有する。Ｚ軸座標系１３は、原点Ｏ２を通るＺ軸を有する。また、画面１０には、矢印の形状のポインタ１４が表示される。
【００１７】
ポインタ１４は、マウス５を操作することにより画面１０上の任意の位置に移動させることが可能となっている。図３に示すように、ＸＹ座標系１２の任意の座標Ｐ１にポインタ１４の先端を位置させてマウス１５のボタンを押すと、原点Ｏ１から座標Ｐ１を指す矢印マーク１５が表示され、ＸＹステージ２が矢印マーク１５の方向に矢印マーク１５の長さに応じた速度で移動する。マウス５のボタンを離すと矢印マーク１５が消えてＸＹステージ２が停止する。
【００１８】
また、Ｚ軸座標系１３の任意の座標Ｐ２にポインタ１４の先端を位置させてマウス１５のボタンを押すと、原点Ｏ２から座標Ｐ２を指す矢印マーク１６が表示され、Ｚステージ３が矢印マーク１６の方向（図では上方向）に矢印マーク１６の長さに応じた速度で移動する。マウス５のボタンを離すと矢印マーク１６が消えてＺステージ２が停止する。
【００１９】
図１に戻って、演算装置６は、表示装置４の画面１０に座標系１２，１３、ポインタ１４、矢印マーク１５，１６などを表示させ、マウス５の操作に応答してステージ２，３の移動速度および移動方向を求める。
【００２０】
図４は、演算装置６の動作を示すフローチャートである。図４において、演算装置６は、ステップＳ１においてマウス５のボタンが押されているか否かを判別し、ボタンが押されている場合はステップＳ２においてポインタ１４の先端の座標を検出するとともに矢印マーク１５または１６を表示させる。
【００２１】
次いで演算装置６はステップＳ３において、検出した座標に基づいてステージ２または３の移動速度および移動方向を演算し、ステップＳ４において制御装置７に演算した移動速度で演算した方向にステージ２または３を移動させる。またステップＳ１でマウス５のボタンが押されていない場合は、ステップＳ５においてステージ２，３を停止させ、矢印マーク１５，１６を消去させる。
【００２２】
図１に戻って、制御装置７は、演算装置６からの信号に従ってステージ２，３を制御する。次に、このパターン修正装置の使用方法について説明する。
【００２３】
まず、基板１上の欠陥を探すために観察光学系の倍率を小さく設定し、マウス５およびそのボタンを操作して観察光学系の焦点を基板１の表面に合わせ、基板１表面の大きな範囲を観察する。このとき、観察光学系の焦点ずれが大きい場合は矢印マーク１６の長さを長くしてＺステージ３を高速で移動させ、観察光学系の焦点ずれが小さい場合は矢印マーク１６の長さを短くしてＺステージ３を低速で移動させる。
【００２４】
次に、観察光学系を介して基板１の表面を観察しながらマウス５およびそのボタンを操作して欠陥を観察光学系の観察範囲の中心に移動させる。このとき、欠陥の方向に矢印マーク１５を向け、矢印マーク１５の長さを長くしてＸＹステージ２を高速で移動させる。欠陥が観察範囲の中心に近づいたら、観察光学系の倍率を大きく設定し、マウス５およびそのボタンを操作して観察光学系の焦点を基板１の表面に合わせ、基板１表面の小さな範囲を観察する。
【００２５】
次いで、欠陥の方向に矢印マーク１５を向け、矢印マーク１５の長さを短くしてＸＹステージ２を低速で移動させる。このとき、マウス５のボタンを押したままマウス５を移動させることにより、矢印マーク１５の向きおよび長さを連続的に変えることができ、欠陥の位置を微調整することができる。
【００２６】
欠陥が観察範囲の中心に位置したら、マウス５のボタンを離す。これにより、矢印マーク１５が消えてＸＹステージ２は停止する。この状態で、たとえば修正手段に含まれるレーザ照射手段からレーザ光を照射すると、そのレーザ光は観察光学系を介して欠陥に照射され、欠陥が除去される。欠陥が電極間の短絡欠陥の場合は、これにより欠陥の修正は終了する。
【００２７】
この実施の形態では、表示装置４の画面１０に表示された座標系１２または１３の任意の座標Ｐ１またはＰ２にポインタ１４を位置させてマウス５のボタンを押すと、原点Ｏ１またはＯ２とその座標Ｐ１またはＰ２の間に矢印マーク１５または１６が表示され、その矢印マーク１５または１６の長さに応じた速度で、その矢印マーク１５または１６の向きにステージ２または３が移動する。したがって、ジョイスティックを用いることなくステージ２，３の移動速度と移動方向を同時に指示することができ、ステージ２，３を迅速に遠隔操作することができる。
【００２８】
図５は、この実施の形態の比較例を示す図であって、図３と対比される図である。図５において、この比較例では、表示装置の画面のステージ操作領域２１に、ＸＹステージを左方向、右方向、手前方向などのＸＹ方向に移動させるための８個のアイコン２２と、ＸＹステージの移動速度を高速（Ｈ）、中速（Ｍ）、または低速（Ｌ）に設定するための３個のアイコン２３と、Ｚステージを上方向または下方向に移動させるための２個のアイコン２４と、Ｚステージの移動速度を高速（Ｈ）、中速（Ｍ）、または低速（Ｌ）に設定するための３個のアイコン２５とが表示される。
【００２９】
ＸＹステージを移動させる場合は、マウスを用いて３個のアイコン２３のうちのいずれかをクリックして移動速度を設定した後、８個のアイコン２２のうちのいずれかにポインタを配置する。マウスのボタンを押すとＸＹステージはアイコン２３に応じた速度でアイコン２２に応じた方向に移動し、マウスのボタンを離すとＸＹステージは停止する。
【００３０】
Ｚステージを移動させる場合は、マウスを用いて３個のアイコン２５のうちのいずれかをクリックして移動速度を設定した後、２個のアイコン２４のうちのいずれかにポインタを配置する。マウスのボタンを押すとＺステージはアイコン２５に応じた速度でアイコン２４に応じた方向に移動し、マウスのボタンを離すとＺステージは停止する。
【００３１】
この比較例では、ステージの移動速度と移動方向を別々に設定する必要があるので、ステージの移動速度と移動方向を同時に設定できる本願発明に比べ、ステージの操作が遅くなる。また、この比較例では、ステージの移動速度や移動方向を変更するときはマウスのボタンを一旦離す必要があるので、マウス５のボタンを押したままでステージの移動速度と移動方向を変更できる本願発明に比べ、ステージの操作が遅くなる。
【００３２】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】この発明の一実施の形態によるパターン修正装置の要部を示すブロック図である。
【図２】図１に示した表示装置の画面を示す図である。
【図３】図２に示した座標系およびその使用方法を説明するための図である。
【図４】図１に示した演算装置の動作を示すフローチャートである。
【図５】この実施の形態の比較例を示す図である。
【符号の説明】
【００３４】
１  基板、２  ＸＹステージ、３  Ｚステージ、４  表示装置、５  マウス、６  演算装置、７  制御装置、１０  画面、１１，２１  ステージ操作領域、Ｏ１，Ｏ２  原点、１２  ＸＹ座標、１３  Ｚ軸座標、１４  ポインタ、Ｐ１，Ｐ２  座標、１５，１６  矢印マーク、２２〜２５  アイコン。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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