(57)【要約】【課題】目視マクロ検査工程における作業時間の短縮による作業効率の向上と、欠陥が存在する基板の看過による次工程への流出防止を実現する。【解決手段】基板搬送システム１１０を介して自動マクロ検査装置１３０や目視マクロ検査装置１４０と接続され、基板カセット３００を介して基板２００の授受を行う目視マクロ検査装置１４０において、基板受け払いシステム１１２に到来した基板カセット３００のカセットＩＤ２０１に基づいて、収容された基板２００のマクロ画像２０３をマクロ画像表示部１４３に表示して、目視検査員に目視検査が必要なマクロ画像２０３を選択させ、選択されたマクロ画像２０３に対応する基板２００のみを基板カセット３００から目視マクロ検査ステージ１４１ａに取り寄せて目視検査を行う。基板カセット３００内の基板２００の全てを検査する必要がなく、また欠陥２０５を含む基板２００が看過されることもない。【選択図】  図２
2008076242.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部から目視マクロ検査ステージ上に到来する基板に光を照射して表面の欠陥を目視で検出する目視マクロ検査装置であって、
複数の前記基板のマクロ画像を外部から取得して表示する画像表示手段と、
前記画像表示手段において指定された前記マクロ画像に対応した前記基板を、外部から前記目視マクロ検査ステージ上に搬送する搬送制御部と、
を含むことを特徴とする目視マクロ検査装置。
【請求項２】
請求項１記載の目視マクロ検査装置において、
前記基板は所定の単位でカセットに収納された状態で、前記目視マクロ検査装置に接続される受け払い部に到来し、
前記搬送制御部は、前記受け払い部に到来した前記カセットの識別情報を前記画像表示手段に伝達し、
前記画像表示手段は、前記識別情報に基づいて、前記カセットに収納されている複数の前記基板の前記マクロ画像をユーザに提示し、前記ユーザが選択した画像に対応する前記基板を前記カセットから前記目視マクロ検査ステージ上に搬送するように前記搬送制御部に指示することを特徴とする目視マクロ検査装置。
【請求項３】
請求項１記載の目視マクロ検査装置において、
前記マクロ画像は、自動マクロ検査装置にて撮影されたマクロ画像であり、前記マクロ画像には、前記自動マクロ検査装置における自動判定結果が随伴し、
前記画像表示手段は、前記マクロ画像とともに当該マクロ画像の前記自動判定結果を表示することを特徴とする目視マクロ検査装置。
【請求項４】
請求項１記載の目視マクロ検査装置において、
前記基板は、フラットパネルディスプレイ基板であることを特徴とする目視マクロ検査装置。
【請求項５】
外部から目視マクロ検査ステージ上に到来する基板に光を照射して表面の欠陥を目視で検出する目視マクロ検査装置であって、
自動マクロ検査装置で取得された前記基板のマクロ画像および／または自動検査結果を検索する検索手段と、
前記検索手段によって得られた前記マクロ画像および／または自動検査結果を表示する画像表示手段と、
前記画像表示手段において指定された前記マクロ画像に対応した前記基板を、外部から前記目視マクロ検査ステージ上に搬送する搬送制御部と、
を含むことを特徴とする目視マクロ検査装置。
【請求項６】
自動マクロ検査装置で取得された基板のマクロ画像および／または自動検査結果を検索する検索手段と、
前記マクロ画像および／または自動検査結果の検索結果に基づいて目視マクロ検査が必要と判断された前記基板を目視マクロ検査装置に搬送させる搬送制御部と、
を含むことを特徴とする基板検査システム。
【請求項７】
基板に対して所望の処理を行う少なくとも一つの基板処理装置と、
前記基板のマクロ画像の撮影および自動マクロ検査を実行する自動マクロ検査装置と、
目視マクロ検査ステージ上に到来する前記基板に光を照射して表面の欠陥を目視で検出する目視マクロ検査装置と、
前記マクロ画像および／または前記自動マクロ検査の検査結果に基づいて目視マクロ検査が必要と判断された前記基板を目視マクロ検査装置の前記目視マクロ検査ステージ上に選択的に搬送させる搬送制御部と、
を含むことを特徴とする基板処理システム。
【請求項８】
目視マクロ検査ステージ上に到来する前記基板に光を照射して表面の欠陥を目視で検出する目視マクロ検査方法であって、
複数の前記基板のマクロ画像をユーザに提示する第１ステップと、
前記ユーザによって選択された前記マクロ画像に対応した前記基板を、外部から前記目視マクロ検査ステージ上に選択的に取り寄せる第２ステップと、
を含むことを特徴とする目視マクロ検査方法。
【請求項９】
請求項８記載の目視マクロ検査方法において、
前記第２ステップでは、前記目視マクロ検査ステージの近傍にカセットに収容されて到来した複数の前記基板の中の一つを、前記カセットから取り出して前記目視マクロ検査ステージ上に搬送することを特徴とする目視マクロ検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、目視マクロ検査装置、基板検査システム、基板処理システム、目視マクロ検査方法に関し、たとえば、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ等のＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）基板などの標本の傷、異物、膜厚むらなどの欠陥を目視で検査する目視マクロ検査技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば、ＦＰＤ等の製造工程では、工程中の所望のタイミングで基板の欠陥検査を行うことにより、早期に不良な基板を特定して、加工工程のやり直しによる基板の再利用や、不良な基板の排除を行うことで、不良な基板が工程内を流れ続けることに起因する加工工程の無駄、さらには最終製品の不良の発生を未然に防止することが行われている。
【０００３】
従来、特許文献１に開示されているように、搬送システムにより検査対象の基板が目視マクロ検査装置に搬送された後、前段の自動マクロ検査装置にて撮像された当該基板のマクロ画像を表示モニタに表示している。作業者はこのマクロ画像を参照しながら、基板を適宜傾動させつつ光を照射し、目視で基板の傷、異物、膜厚むらなどの欠陥の検査を行っている。
【特許文献１】特開２００３−９０８０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
目視マクロ検査装置にて検査を行う場合、カセット内に２０枚程度入っている基板を全数検査するか、または複数枚を抜き取って検査が行われる。全数検査の場合は、欠陥のない基板も目視マクロ検査装置内へ搬送されるので、非常に時間が掛かり、作業効率が悪いという技術的課題がある。
【０００５】
近年では、ＦＰＤの大画面化、さらには１枚の基板から複数のＦＰＤを製造する多数個取りによる生産性の向上の観点から、基板は大型化の一途をたどっており、基板の無駄な搬送に伴うオーバーヘッドによる効率低下の悪影響は大きい。
【０００６】
また、抜き取り検査の場合は、目視マクロ検査装置へ搬送されない基板に欠陥が存在する可能性もあり、欠陥が存在する基板が看過されて次工程へ進んでしまう懸念があるという技術的課題がある。
【０００７】
本発明の目的は、目視マクロ検査工程における作業時間の短縮による作業効率の向上と、欠陥が存在する基板の看過による次工程への流出防止を実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第１の態様は、外部から目視マクロ検査ステージ上に到来する基板に光を照射して表面の欠陥を目視で検出する目視マクロ検査装置であって、
複数の前記基板のマクロ画像を外部から取得して表示する画像表示手段と、
前記画像表示手段において指定された前記マクロ画像に対応した前記基板を、外部から前記目視マクロ検査ステージ上に搬送する搬送制御部と、
を含む目視マクロ検査装置を提供する。
【０００９】
本発明の第２の態様は、外部から目視マクロ検査ステージ上に到来する基板に光を照射して表面の欠陥を目視で検出する目視マクロ検査装置であって、
自動マクロ検査装置で取得された前記基板のマクロ画像および／または自動検査結果を検索する検索手段と、
前記検索手段によって得られた前記マクロ画像および／または自動検査結果を表示する画像表示手段と、
前記画像表示手段において指定された前記マクロ画像に対応した前記基板を、外部から前記目視マクロ検査ステージ上に搬送する搬送制御部と、
を含む目視マクロ検査装置を提供する。
【００１０】
本発明の第３の態様は、自動マクロ検査装置で取得された基板のマクロ画像および／または自動検査結果を検索する検索手段と、
前記マクロ画像および／または自動検査結果の検索結果に基づいて目視マクロ検査が必要と判断された前記基板を目視マクロ検査装置に搬送させる搬送制御部と、
を含む基板検査システムを提供する。
【００１１】
本発明の第４の態様は、基板に対して所望の処理を行う少なくとも一つの基板処理装置と、
前記基板のマクロ画像の撮影および自動マクロ検査を実行する自動マクロ検査装置と、
目視マクロ検査ステージ上に到来する前記基板に光を照射して表面の欠陥を目視で検出する目視マクロ検査装置と、
前記マクロ画像および／または前記自動マクロ検査の検査結果に基づいて目視マクロ検査が必要と判断された前記基板を目視マクロ検査装置の前記目視マクロ検査ステージ上に選択的に搬送させる搬送制御部と、
を含む基板処理システムを提供する。
【００１２】
本発明の第５の態様は、目視マクロ検査ステージ上に到来する前記基板に光を照射して表面の欠陥を目視で検出する目視マクロ検査方法であって、
複数の前記基板のマクロ画像をユーザに提示する第１ステップと、
前記ユーザによって選択された前記マクロ画像に対応した前記基板を、外部から前記目視マクロ検査ステージ上に選択的に取り寄せる第２ステップと、
を含む目視マクロ検査方法を提供する。
【００１３】
上記した本発明によれば、搬送システムによる目視マクロ検査装置への基板の搬送前に、自動マクロ検査装置にて撮像された基板のマクロ画像を、目視マクロ検査装置の表示装置に表示して作業者に事前に基板の欠陥を確認させ、目視マクロ検査が必要な基板のみを目視マクロ検査装置へ選択的に搬送することがきるので、欠陥の有無に関係なく全ての基板を目視マクロ検査装置に取り込むことに起因する作業時間の増大を防止して作業効率を向上させることができるとともに、欠陥を含む基板が看過されて次工程へ流出することを確実に防止できる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、目視マクロ検査工程における作業時間の短縮による作業効率の向上と、欠陥が存在する基板の看過による次工程への流出防止を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
図１は、本発明の第１実施の形態である目視マクロ検査装置１４０の構成の一例を示す概念図であり、図２は、本実施の形態の目視マクロ検査装置１４０を含む基板処理システム１００の構成の一例を示す概念図である。
【００１６】
図２に例示されるように、本第１実施の形態の基板処理システム１００は、任意の数の基板処理装置１２０と、自動マクロ検査装置１３０および目視マクロ検査装置１４０とを基板搬送システム１１０を介して接続した構成となっている。
【００１７】
基板搬送システム１１０は、カセット搬送路１１１と、個々の装置とカセット搬送路１１１との間に設けられた基板受け払いシステム１１２、カセットステーション１１３を含んでいる。
【００１８】
複数の基板処理装置１２０の各々は、ＦＰＤ基板等の基板２００に対して、たとえば、フォトリソグラフィによるパターン形成を行うための、薄膜形成装置、塗布装置、露光装置、エッチング装置、洗浄装置、検査装置、補修装置、等のいずれかからなる。
【００１９】
簡単のため、図２には一つの基板処理装置１２０が例示されているが、同様の接続形態にて複数の基板処理装置１２０が基板搬送システム１１０に接続される。
基板２００は、所定の枚数を単位として基板カセット３００に収納された状態で、個々の基板処理装置１２０や、自動マクロ検査装置１３０、目視マクロ検査装置１４０の間を搬送され、基板受け払いシステム１１２を介して各装置の内部に取り込まれる。
【００２０】
また、基板２００を収納した基板カセット３００や空の基板カセット３００は、必要に応じて、カセットステーション１１３で待機する。
個々の基板２００には基板ＩＤ２０２が付与されて識別され、当該基板２００を収納する個々の基板カセット３００にはカセットＩＤ２０１が付与されて識別される。
【００２１】
すなわち、基板搬送システム１１０を構成する個々の基板受け払いシステム１１２は、カセット受け台１１２ａと基板搬送ロボット１１２ｂを含んでいる。
カセット受け台１１２ａは、カセット搬送路１１１から到来した基板カセット３００や、処理済みの基板２００が収納され、払い出しを待つ基板カセット３００が載置される。
【００２２】
基板搬送ロボット１１２ｂは、カセット受け台１１２ａに載置された基板カセット３００から基板２００を個別に取り出して各装置の内部に搬送したり、各装置の内部から処理済み、あるいは検査済みの基板２００を基板カセット３００に戻す動作を行う。
【００２３】
自動マクロ検査装置１３０は、複数の基板処理装置１２０の間を移動する基板２００に対して、所定のタイミングで、マクロ画像２０３の撮影および自動マクロ検査を行う。
たとえば、自動マクロ検査装置１３０は、図示しないラインセンサ等によって、基板２００の全体を走査することで、マクロ画像２０３を撮影するとともに、マクロ画像２０３と、予め登録されている欠陥の辞書パターンとを比較することで、基板２００における欠陥の有無を判別し、マクロ画像２０３とともに自動判定結果２０４として出力する。
【００２４】
撮影されたマクロ画像２０３や、自動マクロ検査の自動判定結果２０４は、マクロ画像記憶装置１３１に設けられたマクロ画像データベース１３２に格納される。
図３は、本実施の形態におけるマクロ画像記憶装置１３１に格納されるマクロ画像データベース１３２の一例を示す概念図である。
【００２５】
個々の基板２００毎に、当該基板２００が収納される基板カセット３００に付与されたカセットＩＤ２０１、当該基板２００に付与された基板ＩＤ２０２、基板２００から撮影されたマクロ画像２０３、マクロ画像２０３から自動判定された自動判定結果２０４、当該基板２００における処理工程の進捗状況を示す工程番号２０６（たとえば、当該基板２００における、直近の完了済み工程、現在処理中の工程、あるいは次の処理予定の工程、のいずれかを示す識別情報）が、対応付けて格納されている。
【００２６】
従って、カセットＩＤ２０１を指定すれば、対応する基板カセット３００に収納された全ての基板２００を特定でき、当該基板２００に関するマクロ画像２０３および自動判定結果２０４、工程番号２０６等の情報をマクロ画像データベース１３２から読み出すことが可能である。
【００２７】
また、基板ＩＤ２０２を指定して個々の基板２００を単位としてマクロ画像２０３および自動判定結果２０４を読み出すことも可能である。
マクロ画像記憶装置１３１は、自動マクロ検査装置１３０の内部に設けられていてもよいし、別に画像サーバとして自動マクロ検査装置１３０の外部に設けられていてもよい。
【００２８】
本実施の形態の目視マクロ検査装置１４０は、上述の自動マクロ検査装置１３０においてマクロ画像２０３の撮影や自動マクロ検査が実施された基板２００に対して、さらに詳細に、高精度で目視マクロ検査を行う装置である。
【００２９】
本実施の形態の目視マクロ検査装置１４０は、マクロ検査部１４１、目視検査制御部１４２、マクロ画像表示部１４３、搬送制御部１４４、情報ネットワーク１４６を含んでいる。
【００３０】
マクロ検査部１４１は、たとえば、基板２００が載置される目視マクロ検査ステージ１４１ａと、図示しない照明光学系を備えている。
目視マクロ検査ステージ１４１ａは、載置された基板２００を照明光に対して三次元的に任意の角度で傾動させることが可能である。
【００３１】
検査員（ユーザ）は、目視マクロ検査ステージ１４１ａを傾動させることで、随意の角度で基板２００を照明して、傷、異物、膜厚むらなどの欠陥の有無を目視観察によって判定する。
【００３２】
目視検査制御部１４２は、目視マクロ検査装置１４０の全体を制御するコンピュータである。目視検査制御部１４２には、後述の図４のようにマクロ画像２０３を表示するためのマクロ画像表示画面１４３−１を表示するマクロ画像表示部１４３が設けられている。
【００３３】
搬送制御部１４４は、目視マクロ検査装置１４０と基板搬送システム１１０のカセット搬送路１１１との間に設けられた基板受け払いシステム１１２を制御するコンピュータである。
【００３４】
すなわち、搬送制御部１４４は、カセット受け台１１２ａに対する基板カセット３００の到着、払い出しの検出を行う。
また、搬送制御部１４４は、基板搬送ロボット１１２ｂの動作の制御により、カセット受け台１１２ａに載置された基板カセット３００と、目視マクロ検査ステージ１４１ａとの間における個々の基板２００の搬送動作を制御する。
【００３５】
以下、本実施の形態の作用の一例について説明する。
基板処理装置１２０において、所定の処理が行われた基板２００は、必要に応じて、基板カセット３００に収納されて自動マクロ検査装置１３０に移動し、全数に対して、自動マクロ検査装置１３０におけるマクロ画像２０３の撮影および当該マクロ画像２０３に基づく自動マクロ検査が実施され、得られたマクロ画像２０３および自動判定結果２０４の情報は、カセットＩＤ２０１、基板ＩＤ２０２等の情報とともにマクロ画像記憶装置１３１のマクロ画像データベース１３２に格納される。
【００３６】
こうして、自動マクロ検査が実施された基板２００は、基板カセット３００に収納されて目視マクロ検査装置１４０の基板受け払いシステム１１２に移動する。
図５は、本実施の形態の目視マクロ検査装置１４０における作用の一例を示すフローチャートである。
【００３７】
ＦＰＤ基板などの基板２００が入った基板カセット３００の受入、および目視マクロ検査装置１４０の内部への基板２００の搬送を行う基板受け払いシステム１１２に基板カセット３００の到着が検出された時点で（ステップ４０１）、目視マクロ検査装置１４０の搬送制御部１４４は、カセットＩＤ２０１（ロットＩＤ）、基板ＩＤ２０２などの基板情報を基板受け払いシステム１１２から取得する（ステップ４０２）。
【００３８】
この基板情報により、目視マクロ検査装置１４０のマクロ画像表示部１４３（目視検査制御部１４２）は、基板受け払いシステム１１２に到来した基板カセット３００に収納されている全ての基板２００について、上述のように、事前に撮像されたマクロ画像２０３および自動判定結果２０４の情報を、自動マクロ検査装置１３０のマクロ画像記憶装置１３１（マクロ画像データベース１３２）から取得し、図４に例示されるように表示する（ステップ４０３）。
【００３９】
図４は、マクロ画像表示部１４３の表示画面の一例を示しており、基板受け払いシステム１１２に到来した基板カセット３００に含まれる全ての基板２００のマクロ画像２０３および自動判定結果２０４が、当該基板２００の基板ＩＤ２０２とともに、表示される。
【００４０】
この場合、個々の基板２００に４枚分のＦＰＤが配列形成される、いわゆる４ヶ取り、の場合のマクロ画像２０３が例示されている。
目視検査員はこのマクロ画像により基板２００の欠陥２０５を確認し、目視検査が必要な基板２００をマクロ画像表示部１４３におけるマウスポインタ１４３ａにより指定して選択することができる。
【００４１】
本実施の形態の場合、一例として、マクロ画像表示部１４３ではサムネイル表示されたマクロ画像２０３と、当該基板２００の基板ＩＤ２０２と、自動マクロ検査装置１３０での自動判定結果２０４が表示される。
【００４２】
マクロ画像２０３のサムネイル表示では画像が小さく欠陥の確認が困難な場合は、マクロ画像２０３を、マウスポインタ１４３ａでダブルクリックすることにより拡大表示が可能である。また、マクロ画像２０３には自動マクロ検査装置１３０にて検出した欠陥の存在するセルを赤枠で表示するなどの強調表示が可能である。
【００４３】
目視検査員がこのマクロ画像２０３を確認した結果、目視検査が必要と判断した場合、マクロ画像２０３をマウスポインタ１４３ａでクリックすることにより、目視検査対象の基板２００として選択される（ステップ４０４）。
【００４４】
目視検査員による選択結果を認識したマクロ画像表示部１４３は、搬送制御部１４４を介して基板受け払いシステム１１２に対して選択された基板２００の搬送を指示し、これにより、目視検査員が指示した基板２００が、目視マクロ検査装置１４０の内部のマクロ検査部１４１の目視マクロ検査ステージ１４１ａの上へ搬送される（ステップ４０５）。
【００４５】
目視マクロ検査ステージ１４１ａに搬送された基板２００は、目視検査員によって、光を照射して基板２００の表面の傷、異物、膜厚むらなどの欠陥を目視で検出する目視検査が行われる。
【００４６】
目視検査員は、目視マクロ検査ステージ１４１ａ上の基板２００に対する目視検査が完了すると、マクロ画像表示部１４３の目視検査完了ボタン１４３ｂをマウスポインタ１４３ａでクリックして当該基板２００に関する目視検査完了をマクロ画像表示部１４３（目視検査制御部１４２）に通知する。
【００４７】
この目視検査完了を検出したマクロ画像表示部１４３は（ステップ４０６）、搬送制御部１４４に対して、目視マクロ検査ステージ１４１ａ上の基板２００を、カセット受け台１１２ａ上の基板カセット３００に戻す搬送指示を行い（ステップ４０７）、基板２００は、目視マクロ検査ステージ１４１ａから基板カセット３００に戻される。
【００４８】
その後、マクロ画像表示部１４３は、ステップ４０４に戻って、目視検査員による次の基板２００の選択を待ち、別の基板２００の選択が検出されたら、ステップ４０５〜ステップ４０７を反復する。
【００４９】
目視検査員は、現在の基板カセット３００に収納された複数の基板２００に関する上述のような選択的な目視検査が完了した場合には、マウスポインタ１４３ａによってカセット検査完了ボタン１４３ｃをクリックする。
【００５０】
マクロ画像表示部１４３は、このカセット検査完了ボタン１４３ｃのクリックを検出すると（ステップ４０８）、搬送制御部１４４に対して、現在の基板カセット３００のカセット搬送路１１１への払い出しを指示し（ステップ４０９）、基板カセット３００は、目視マクロ検査装置１４０の基板受け払いシステム１１２から、カセット搬送路１１１に送り出される。
【００５１】
その後、マクロ画像表示部１４３（目視検査制御部１４２）は、ステップ４０１に戻って、次の基板カセット３００の到来を待つ。
このように、本実施の形態の目視マクロ検査装置１４０の場合には、基板受け払いシステム１１２に基板カセット３００が到着した時点で、当該基板カセット３００に収納された全ての基板２００に関するマクロ画像２０３および自動判定結果２０４をマクロ画像表示部１４３に出力して、目視検査員に閲覧させ、目視検査員が事前に基板２００の欠陥を確認し、目視検査が必要な基板２００のみを装置内の目視マクロ検査ステージ１４１ａへ取り寄せることができるため、基板カセット３００に収納された全ての基板２００を、欠陥２０５の有無に関係なく全て目視マクロ検査ステージ１４１ａに取り込んで目視検査を行う場合に比較して、基板受け払いシステム１１２と目視マクロ検査ステージ１４１ａとの間における基板２００の無駄な搬送時間が発生せず、目視マクロ検査の作業時間の短縮を実現できる。
【００５２】
また、事前に目視検査員がマクロ画像２０３を確認して目視検査が必要な基板２００を目視マクロ検査ステージ１４１ａに取り寄せて、目視検査を実施するので、サンプリングによる一部の基板２００の目視検査に比較して、欠陥を含む基板２００が、目視検査で看過されて次工程へ流出することが確実に防止され、目視マクロ検査の検査精度も向上する。
【００５３】
なお、マクロ画像２０３等の取得先として、自動マクロ検査装置１３０に接続されたマクロ画像記憶装置１３１（マクロ画像データベース１３２）の場合を例示したが自動マクロ検査装置１３０とは別に設けられた外部の画像サーバなどでも良い。
【００５４】
次に、図６、図７および図８を参照して、本発明の第２実施の形態を説明する。
なお、上述の第１実施の形態と共通する部分の説明は割愛し、異なる部分を説明する。
図６は、本発明の第２実施の形態である目視マクロ検査装置１４０の構成の一例を示す概念図である。図７は、第２実施の形態におけるマクロ画像表示部１４３のマクロ画像表示・検索画面の表示例を示す説明図である。図８は、本第２実施の形態の作用の一例を示すフローチャートである。
【００５５】
この第２実施の形態は、上述の第１実施の形態の目視マクロ検査装置１４０の構成に、基板情報（カセットＩＤ２０１（ロットＩＤ）、基板ＩＤ２０２、自動判定結果２０４など）を入力することにより自動マクロ検査装置１３０のマクロ画像記憶装置１３１に保存されたマクロ画像２０３を検索するマクロ画像検索部１４５を追加したものである。マクロ画像検索部１４５は、目視検査制御部１４２の機能の一部として実装することができる。
【００５６】
この場合、マクロ画像表示部１４３には、マクロ画像表示画面１４３−１と検索画面１４３−２が表示される。検索画面１４３−２には、入力欄１４３ｄ、検索ボタン１４３ｅが表示される。
【００５７】
目視検査員が目視マクロ検査装置１４０のマクロ画像検索部１４５に基板情報を入力して任意のマクロ画像を検索し、目視マクロ検査装置１４０のマクロ画像表示部１４３に任意の基板２００のマクロ画像２０３を表示する。
【００５８】
マクロ画像検索部１４５の制御によって出力される入力欄１４３ｄは基板情報が入力可能であり、検索ボタン１４３ｅを押すことによりマクロ画像２０３の検索を行う。
この場合、マクロ画像検索部１４５は、たとえば、基板情報として入力欄１４３ｄに入力されたカセットＩＤ２０１に基づいてマクロ画像データベース１３２を検索することにより、当該基板カセット３００に収容されている全ての基板２００に対応したマクロ画像２０３と自動判定結果２０４をマクロ画像表示部１４３に表示させることができる。
【００５９】
または、入力欄１４３ｄに入力されたカセットＩＤ２０１と欠陥２０５の論理積でマクロ画像データベース１３２を検索して、カセットＩＤ２０１に収容された基板２００の中で、自動判定結果２０４で示される検査結果（たとえば“ＮＧ”）に該当するものを選択的にマクロ画像表示部１４３に表示させることができる。
【００６０】
あるいは、入力欄１４３ｄに入力された基板ＩＤ２０２に基づいて一つの基板２００のマクロ画像２０３、自動判定結果２０４を表示することもできる。
あるいは、入力欄は特に図示しないが、工程番号２０６の指定を、上述の検索条件として単独に用いたり、上述の各種検索条件と併用することもできる。
【００６１】
マクロ画像表示部１４３は、マクロ画像表示画面１４３−１によって第１実施の形態と同様にマクロ画像２０３の目視検査員に対する表示および操作者による選択の受け付けが可能である。
【００６２】
また、搬送制御部１４４およびマクロ検査部１４１についても第１実施の形態と同様である。
以下、本第２実施の形態の作用の一例について説明する。
【００６３】
マクロ画像表示部１４３（目視検査制御部１４２）は、図７に例示されるような検索画面１４３−２を表示して、入力欄１４３ｄへの目視検査員からのカセットＩＤ２０１や基板ＩＤ２０２等の基板情報等の入力を待つ（ステップ５１０）。
【００６４】
目視検査員からの基板情報の入力欄１４３ｄへの入力（検索ボタン１４３ｅのマウスポインタ１４３ａによるクリック）が検出されると、当該基板情報に基づいて、マクロ画像記憶装置１３１のマクロ画像データベース１３２を検索し、取得したマクロ画像２０３、自動判定結果２０４、を基板ＩＤ２０２とともに、マクロ画像表示画面１４３−１に表示する（ステップ５０２）。
【００６５】
そして、目視検査員による一つのマクロ画像２０３の選択が検出されると（ステップ５０３）、当該マクロ画像２０３で指定された基板２００を含む基板カセット３００が、目視マクロ検査装置１４０の基板受け払いシステム１１２に取り寄せ済みか否かを判別し（ステップ５０４）、取り寄せ済みでない場合には、搬送制御部１４４に指示して、当該基板２００を含む基板カセット３００を外部から基板受け払いシステム１１２まで取り寄せる（ステップ５０５）。
【００６６】
次に、目視検査制御部１４２は搬送制御部１４４に対して、基板受け払いシステム１１２に取り寄せた基板カセット３００から、目的の基板２００の目視マクロ検査ステージ１４１ａへの搬送を指示する（ステップ５０６）。
【００６７】
目視マクロ検査ステージ１４１ａに搬送された基板２００は、目視検査員によって、光を照射して基板２００の表面の傷、異物、膜厚むらなどの欠陥を目視で検出する目視検査が行われる。
【００６８】
目視検査員は、目視マクロ検査ステージ１４１ａ上の基板２００に対する目視検査が完了すると、マクロ画像表示部１４３のマクロ画像表示画面１４３−１の目視検査完了ボタン１４３ｂをマウスポインタ１４３ａでクリックして当該基板２００に関する目視検査完了をマクロ画像表示部１４３（目視検査制御部１４２）に通知する。
【００６９】
この目視検査完了を検出したマクロ画像表示部１４３は（ステップ５０７）、搬送制御部１４４に対して、目視マクロ検査ステージ１４１ａ上の基板２００を、カセット受け台１１２ａ上の基板カセット３００に戻す搬送指示を行い（ステップ５０８）、基板２００は、目視マクロ検査ステージ１４１ａから基板カセット３００に戻される。
【００７０】
その後、マクロ画像表示部１４３は、ステップ５０３に戻って、目視検査員による次の基板２００の選択を待ち、別の基板２００の選択が検出されたら、ステップ５０４〜ステップ５０８を反復する。
【００７１】
目視検査員は、現在の基板カセット３００に収納された複数の基板２００に関する上述のような選択的な目視検査が完了した場合には、マウスポインタ１４３ａによってカセット検査完了ボタン１４３ｃをクリックする。
【００７２】
マクロ画像表示部１４３は、このカセット検査完了ボタン１４３ｃのクリックを検出すると（ステップ５０９）、搬送制御部１４４に対して、現在の基板カセット３００のカセット搬送路１１１への払い出しを指示し（ステップ５１０）、基板カセット３００は、目視マクロ検査装置１４０の基板受け払いシステム１１２から、カセット搬送路１１１に送り出される。
【００７３】
その後、マクロ画像表示部１４３は、ステップ５０１に戻って、検索画面１４３−２における基板情報の入力を待つ。
このように、本第２実施の形態では、基板カセット３００を、外部から目視マクロ検査装置１４０の基板受け払いシステム１１２まで搬送することなく、任意の基板２００のマクロ画像２０３を目視マクロ検査装置１４０の操作者が確認して、目視検査が必要か否かを判断できるため、目視検査が不要な場合は、外部から目視マクロ検査装置１４０の基板受け払いシステム１１２への基板カセット３００の搬送時間も削減でき、大幅な目視マクロ検査の作業時間の短縮を実現することができる。
【００７４】
上述の第１および第２実施の形態では、目視マクロ検査装置と自動マクロ検査装置におけるマクロ欠陥の検査工程に適用した場合について例示したが、第３実施の形態として、これを図示しないミクロ欠陥レビューおよびリペア装置と、自動欠陥検査装置に置き換えることも可能である。
【００７５】
すなわち、第３実施の形態では、自動欠陥検査装置で撮像したミクロ欠陥画像を事前に確認し、ミクロ欠陥レビュー・リペア装置へ投入すべき基板２００を決定する。
このようにすることにより、マクロ欠陥と同様に検査時間の短縮と欠陥が存在する基板２００の次工程への流出防止を実現できる。
【００７６】
以上説明したように、本発明の各実施の形態によれば、目視検査員が目視検査の開始前に基板２００のマクロ画像２０３や自動判定結果２０４を確認し、目視検査の必要性を的確に判断することができ、目視検査の必要な基板２００のみを目視マクロ検査ステージ１４１ａに取り寄せるので、目視検査の作業時間の短縮と、欠陥が存在する基板２００の次工程への流出防止を実現できる。
【００７７】
また、本実施の形態の基板処理システム１００によれば、目視マクロ検査装置１４０におけるマクロ検査の所要時間の短縮により、単位時間当たりの基板２００の処理枚数、すなわちスループットを向上させることができる。さらに、目視マクロ検査装置１４０において欠陥２０５を含む基板２００が看過されることが防止され、欠陥２０５を含む基板２００に起因するＦＰＤ基板等の製品不良が低減され、生産歩留りが向上する。
【００７８】
なお、本発明は、上述の実施の形態に例示した構成に限らず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】本発明の第１実施の形態である目視マクロ検査装置の構成の一例を示す概念図である。
【図２】本発明の第１実施の形態である目視マクロ検査装置を含む基板処理システムの構成の一例を示す概念図である。
【図３】本発明の第１実施の形態におけるマクロ画像記憶装置に格納されるマクロ画像データベースの一例を示す概念図である。
【図４】本発明の第１実施の形態におけるマクロ画像表示部の表示状態の一例を示す説明図である。
【図５】本発明の第１実施の形態である目視マクロ検査装置における作用の一例を示すフローチャートである。
【図６】本発明の第２実施の形態である目視マクロ検査装置の構成の一例を示す概念図である。
【図７】本発明の第２実施の形態におけるマクロ画像表示部のマクロ画像表示・検索画面の表示例を示す説明図である。
【図８】本発明の第２実施の形態の作用の一例を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００８０】
１００  基板処理システム
１１０  基板搬送システム
１１１  カセット搬送路
１１２  基板受け払いシステム
１１２ａ  カセット受け台
１１２ｂ  基板搬送ロボット
１１３  カセットステーション
１２０  基板処理装置
１３０  自動マクロ検査装置
１３１  マクロ画像記憶装置
１３２  マクロ画像データベース
１４０  目視マクロ検査装置
１４１  マクロ検査部
１４１ａ  目視マクロ検査ステージ
１４２  目視検査制御部
１４３  マクロ画像表示部
１４３−１  マクロ画像表示画面
１４３−２  検索画面
１４３ａ  マウスポインタ
１４３ｂ  目視検査完了ボタン
１４３ｃ  カセット検査完了ボタン
１４３ｄ  入力欄
１４３ｅ  検索ボタン
１４４  搬送制御部
１４５  マクロ画像検索部
１４６  情報ネットワーク
２００  基板
２０１  カセットＩＤ
２０２  基板ＩＤ
２０３  マクロ画像
２０４  自動判定結果
２０５  欠陥
２０６  工程番号
３００  基板カセット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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