(57)【要約】【課題】高精細度表示が可能な井桁状隔壁を有する微細放電セルの隔壁高さの均一性を実現し、高品質の画像表示を実現するＰＤＰを提供する。【解決手段】ガラス基板上に表示電極と誘電体層と保護層とを形成した前面板と、基板上にデータ電極と隔壁と蛍光体層とを形成した背面板とを対向配置するとともに周囲を封着して放電空間を形成したＰＤＰであって、隔壁３４をデータ電極と平行に配置した縦隔壁３４ａ、縦隔壁３４ａに交差するように配置した横隔壁３４ｂとにより構成するとともに、縦隔壁３４ａと横隔壁３４ｂとが交差する交差部３４ｃを備え、交差部３４ｃを形成する部分の縦隔壁３４ａおよび横隔壁３４ｂのうちの少なくとも一方の断面積を、縦隔壁３４ａと横隔壁３４ｂの他の部分の断面積よりも小さくしている。【選択図】図３
2008098042.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板上に表示電極と誘電体層と保護層とを形成した前面板と、基板上にデータ電極と隔壁と蛍光体層とを形成した背面板とを対向配置するとともに周囲を封着して放電空間を形成したプラズマディスプレイパネルであって、前記隔壁を前記データ電極と平行に配置し断面積が第１の断面積を有する第１隔壁と、前記第１隔壁に交差するように配置し断面積が第２の断面積を有する第２隔壁とにより構成するとともに、前記第１隔壁と前記第２隔壁とが交差する交差部を備え、前記交差部を形成する前記第１隔壁および前記第２隔壁のうちの少なくとも一方の断面積を、前記第１の断面積または前記第２の断面積よりも小さくしたことを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項２】
前記交差部を形成する前記第１隔壁の頂部の幅が、前記第１の断面積を有する前記第１隔壁の頂部の幅よりも小さいことを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項３】
前記交差部を形成する前記第２隔壁の頂部の幅が、前記第２の断面積を有する前記第２隔壁の頂部の幅よりも小さいことを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項４】
前記交差部を形成する前記第１隔壁の底部の幅が、前記第１の断面積を有する前記第１隔壁の底部の幅よりも小さいことを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項５】
前記交差部を形成する前記第２隔壁の底部の幅が、前記第２の断面積を有する前記第２隔壁の底部の幅よりも小さいことを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項６】
前記第１隔壁を異なる間隔で配置して異なる間隔の放電空間を形成し、前記間隔が最小となる放電空間において、前記第１隔壁と交差する第２隔壁の交差部を形成する前記第２隔壁の断面積を、前記第２隔壁の第２の断面積よりも小さくしたことを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示デバイスなどに用いるプラズマディスプレイパネルに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、双方向情報端末として大画面、壁掛けテレビへの期待が高まっており、そのための表示デバイスとして、液晶表示パネル、フィールドエミッションディスプレイ、エレクトロルミネッセンスディスプレイなどの数多くのものがある。これらの表示デバイスの中でもプラズマディスプレイパネル（以下、「ＰＤＰ」と記す）は、自発光型で美しい画像表示ができて大画面化が容易であるなどの理由から、視認性に優れた薄型表示デバイスとして注目され、高精細化および大画面化に向けた開発が進められている。
【０００３】
ＰＤＰは表示電極、誘電体層、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）による保護層などの構成物を形成した前面板と、電極、隔壁、蛍光体層などの構成物を形成した背面板とを、内部に微小な放電セルを形成するように対向配置し、その周囲を封着部材により封止して構成されている。そして、その放電セルにネオン（Ｎｅ）およびキセノン（Ｘｅ）などの混合ガスからなる放電ガスを、例えば６６５００Ｐａ（約５００Ｔｏｒｒ）程度の圧力で封入している。
【０００４】
これらのＰＤＰの構成材料はガラス材料などを主成分として構成されている。そのために、ＰＤＰを搬送する際などに、前面板と背面板とに衝撃や振動が加わると、これらの構成物が欠損し、欠損した破片によって画像表示品質が損なわれるといった課題が発生する。特に、放電セルを区画する背面板の隔壁と前面板とが衝突することによって、隔壁が破損する。その結果、隔壁そのものの欠落や隔壁側面に付着している蛍光体層の欠落や飛散などによって、放電セルの放電状態に影響を与え、放電セルの誤放電や発光時の点欠陥などを発生させていた。
【０００５】
このように、隔壁は放電空間を仕切る構成要素として重要であり、その形状精度には高精度が要求される。ＰＤＰの隔壁は、ガラスペーストの塗布、乾燥、パターニング、焼成などの工程を経て形成されるが、焼成工程での熱収縮により隔壁に歪が生じ、形状精度を確保できないといった課題が生じる。
【０００６】
このような井桁状隔壁を形成する際の隔壁同士の収縮による影響を抑制する方法（例えば、特許文献１、２参照）などが提案されている。
【特許文献１】特開２０００−３５７４５４号公報
【特許文献２】特開２００６−０８５９１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ＰＤＰは従来のＮＴＳＣ方式に比べて走査線数が２倍以上のハイディフィニションテレビへの適用が進んでいる。そのため、放電セルがより微細となり、放電セルを構成する隔壁の幅などがより小さくなっている。
【０００８】
このような微細放電セルにおいては、隔壁形状のわずかな不均一性によって、隣接する放電セル間にクロストークが生じやすく、画像がちらつくなど画像表示品質不良がより発生しやすくなっている。特に、井桁状隔壁を形成する際の隔壁同士が交差する交差部において、交差部を形成する隔壁が熱収縮することによって交差部の隔壁高さが低くなり、隣接する放電セル間へのクロストークが発生するという課題が発生する。
【０００９】
本発明は、このような課題を解決して、高精細度表示が可能な格子形状隔壁を有する微細放電セルであっても、特に井桁状隔壁による交差部での高さの均一性を実現し、高品質の画像表示を実現するＰＤＰを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の目的を達成するために、本発明のＰＤＰは、ガラス基板上に表示電極と誘電体層と保護層とを形成した前面板と、基板上にデータ電極と隔壁と蛍光体層とを形成した背面板とを対向配置するとともに周囲を封着して放電空間を形成したＰＤＰであって、隔壁をデータ電極と平行に配置し断面積が第１の断面積を有する第１隔壁と、第１隔壁に交差するように配置し断面積が第２の断面積を有する第２隔壁とにより構成するとともに、第１隔壁と第２隔壁とが交差する交差部を備え、交差部を形成する第１隔壁および第２隔壁のうちの少なくとも一方の断面積を、第１の断面積または第２の断面積よりも小さくしている。
【００１１】
このような構成によれば、交差部を形成する隔壁の熱収縮量を抑制することによって交差部の収縮による凹みを抑制し、井桁状隔壁による交差部での高さの均一性を実現して、高品質の画像表示を実現する。
【００１２】
さらに、交差部を形成する第１隔壁の頂部の幅が、第１の断面積を有する第１隔壁の頂部の幅よりも小さくてもよい。このような構成によれば、井桁状隔壁による交差部での高さの均一性を実現して高品質の画像表示を実現するとともに、感光性隔壁材料を用いて隔壁の高さ方向に複数回の露光を用いて隔壁を形成する際に、頂部幅の異なる隔壁を容易に実現することができる。
【００１３】
さらに、交差部を形成する第２隔壁の頂部の幅が、第２の断面積を有する第２隔壁の頂部の幅よりも小さくてもよい。このような構成によれば、井桁状隔壁による交差部での高さの均一性を実現して高品質の画像表示を実現するとともに、感光性隔壁材料を用いて隔壁の高さ方向に複数回の露光を用いて隔壁を形成する際に、頂部幅の異なる隔壁を容易に実現することができる。
【００１４】
さらに、交差部を形成する第１隔壁の底部の幅が、第１の断面積を有する第１隔壁の底部の幅よりも小さくてもよい。このような構成によれば、井桁状隔壁による交差部での高さの均一性を実現して高品質の画像表示を実現するとともに、感光性隔壁材料を用いて隔壁の高さ方向に複数回の露光を用いて隔壁を形成する際に、頂部幅の異なる隔壁を容易に実現することができる。
【００１５】
さらに、交差部を形成する第２隔壁の底部の幅が、第２の断面積を有する前記第２隔壁の底部の幅よりも小さくてもよい。このような構成によれば、井桁状隔壁による交差部での高さの均一性を実現して高品質の画像表示を実現するとともに、感光性隔壁材料を用いて隔壁の高さ方向に複数回の露光を用いて隔壁を形成する際に、頂部幅の異なる隔壁を容易に実現することができる。
【００１６】
さらに、第１隔壁を異なる間隔で配置して異なる間隔の放電空間を形成し、間隔が最小となる放電空間において、第１隔壁と交差する第２隔壁の交差部を形成する第２隔壁の断面積を、第２隔壁の第２の断面積よりも小さくしてもよい。このような構成によれば、特にハイディフィニションで、なおかつ、各色の放電セルサイズを変えた微細放電セルの場合に、最小放電セルでの現像残りによって隔壁底部幅が拡大することによって交差部での熱収縮量が増大するのを抑制することができる。
【発明の効果】
【００１７】
以上のように本発明によれば、高精細度表示が可能な格子形状隔壁を有する微細放電セルであっても、井桁状隔壁による交差部での高さの均一性を実現し、高品質の画像表示を実現するＰＤＰを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態におけるＰＤＰについて図面を用いて説明する。
【００１９】
（第１の実施の形態）
図１は、本発明の第１の実施の形態におけるＰＤＰの分解斜視図である。ＰＤＰ１０は、ガラス基板よりなる前面基板２１と背面基板３１とを対向配置して、その間に多数の放電セルを形成するように構成されている。前面基板２１上には表示電極を構成する走査電極２２と維持電極２３とが互いに平行に対をなして複数形成されている。そして、走査電極２２および維持電極２３を覆うようにコンデンサとしての働きをする誘電体層２４が形成され、誘電体層２４上には酸化マグネシウム（ＭｇＯ）などからなる保護層２５が形成されている。これらの構成要素によって前面板２０が構成される。
【００２０】
また、背面基板３１上には下地誘電体層３３で覆われた複数のデータ電極３２が設けられ、下地誘電体層３３上に井桁状の隔壁３４が設けられている。また、下地誘電体層３３の表面および隔壁３４の側面に蛍光体層３５が設けられている。蛍光体層３５は、紫外線によって赤色、緑色および青色にそれぞれ発光する赤色蛍光体層３５ａ、緑色蛍光体層３５ｂ、青色蛍光体層３５ｃが順次塗布して形成されている。これらの構成要素によって背面板３０が構成される。
【００２１】
走査電極２２および維持電極２３とデータ電極３２とが交差するように前面板２０と背面板３０とが対向配置されている。電極の交差するそれぞれの位置に、走査電極２２および維持電極２３方向に並んだ赤色、緑色、青色の蛍光体層３５を有する放電セルがカラー表示のための画素になる。放電セルには放電ガスとして、例えばネオン（Ｎｅ）とキセノン（Ｘｅ）の混合ガスが封入されている。
【００２２】
図２は本発明の第１の実施の形態におけるＰＤＰ１０の電極の配列を示す図である。行方向にｎ本の走査電極２２１〜２２ｎ（図１の走査電極２２）およびｎ本の維持電極２３１〜２３ｎ（図１の維持電極２３）が配列され、列方向にｍ本のデータ電極３２１〜３２ｍ（図１のデータ電極３２）が配列されている。そして、１対の走査電極２２ｉおよび維持電極２３ｉ（ｉ＝１〜ｎ）と１つのデータ電極３２ｊ（ｊ＝１〜ｍ）とが交差した部分に放電セルが形成され、放電セルは放電空間内にｍ×ｎ個形成されている。
【００２３】
図２に示すような各電極を駆動する手法としては、１フィールド期間を複数のサブフィールドに分割したうえで、発光させるサブフィールドの組み合わせによって階調表示を行う方法が一般的である。
【００２４】
次に、ＰＤＰの製造方法について説明する。まず、前面基板２１上に、走査電極２２および維持電極２３と遮光層（図示せず）とを形成する。これらの走査電極２２および維持電極２３は透明電極と金属バス電極とで構成され、フォトリソグラフィ法などを用いてパターニングして形成される。次に、走査電極２２、維持電極２３および遮光層を覆うように前面基板２１上に誘電体ペーストをダイコート法などにより塗布して誘電体ペースト層（誘電体材料層）を形成する。誘電体ペーストを塗布した後、所定の時間放置することによって塗布された誘電体ペースト表面がレベリングされて平坦な表面になる。その後、誘電体ペースト層を焼成固化することにより、誘電体層２４が形成される。なお、誘電体ペーストはガラス粉末などの誘電体材料、バインダおよび溶剤を含む塗料である。次に、誘電体層２４上に酸化マグネシウム（ＭｇＯ）からなる保護層２５を真空蒸着法により形成する。
【００２５】
一方、背面基板３１上に、銀（Ａｇ）材料を含むペーストをスクリーン印刷する方法や、金属膜を全面に形成した後、フォトリソグラフィ法を用いてパターニングする方法などによりデータ電極３２用の構成物となる材料層を形成し、それを所望の温度で焼成することによりデータ電極３２を形成する。次に、データ電極３２が形成された背面基板３１上にダイコート法などによりデータ電極３２を覆うように誘電体ペーストを塗布して誘電体ペースト層を形成する。その後、誘電体ペースト層を焼成することにより下地誘電体層３３を形成する。なお、誘電体ペーストはガラス粉末などの誘電体材料とバインダおよび溶剤を含んだ塗料である。
【００２６】
次に、下地誘電体層３３上に隔壁材料としてのガラス粉末や骨材を含む隔壁形成用ペーストを塗布して所定の形状にパターニングすることにより、隔壁材料層を形成した後、焼成することにより隔壁３４を形成する。ここで、下地誘電体層３３上に塗布した隔壁用ペーストをパターニングする方法としては、本発明の第１の実施の形態ではフォトリソグラフィ法を用いている。隔壁３４はデータ電極３２と平行な第１隔壁となる縦隔壁３４ａと、縦隔壁３４ａに直交交差する第２隔壁となる横隔壁３４ｂとにより構成され、縦隔壁３４ａと横隔壁３４ｂとが交差する交差部３４ｃを形成している。また、横隔壁３４ｂの高さは、縦隔壁３４ａの高さよりも若干低くなるように形成し、放電セル内の排気経路を確保するように構成している。次に、隣接する隔壁３４間の下地誘電体層３３上および隔壁３４の側面に蛍光体材料を含む蛍光体ペーストを塗布し、焼成することにより蛍光体層３５が形成される。
【００２７】
ここで、隔壁３４の製造方法と井桁状隔壁の交差部３４ｃの形状について詳細に説明する。本発明の第１の実施の形態では、隔壁３４の形成方法としてフォトリソグラフィ法を用いている。隔壁３４は以下の工程で形成される。すなわち、隔壁材料として感光性材料を用いこれらの感光性材料を下地誘電体層３３上に塗布する塗布工程、乾燥工程、マスクを介した露光工程、不要部分を除去する現像工程、現像により所定形状となった隔壁材料を焼成固化する焼成工程である。なお、ハイディフィニションの画像表示を行う、例えば５０インチサイズのＰＤＰの場合、縦隔壁３４ａの高さＨは１２０μｍ程度であり、その底部幅Ｄ１は７０μｍ〜８０μｍ、頂部幅Ｄ２は３５μｍ〜５０μｍ程度である。これらの縦隔壁３４ａがピッチ１２０μｍ〜２００μｍで配列され、さらに隣接する縦隔壁３４ａに高さが縦隔壁３４ａよりもわずかに低い１００μｍ程度の横隔壁３４ｂを交差させて、独立した放電セルを形成している。
【００２８】
このような、微細で高さがあり、なおかつ縦隔壁３４ａと横隔壁３４ｂとの高さが異なる隔壁３４をフォトリソグラフィ法で形成する方法としては、露光工程を複数回に分割する方法が有効である。すなわち、まず、所定厚みに塗布した第一層目の感光性材料を露光し、その後、所定厚みの第二層目の感光性材料を露光して現像を１回の現像工程で行う方法である。
【００２９】
一方、現像工程によって得られた所定形状の隔壁材料を焼成固化する焼成工程では、隔壁材料中の感光性バインダなどが焼失する際に体積収縮を発生する。特に、感光性材料は塗布し乾燥した状態での塗布膜中のバインダ量が多いために、焼成工程での体積収縮量が大きくなる。また、これらの体積収縮は、焼成前の断面積Ａ１と焼成後の断面積Ａ２との比Ａ２／Ａ１を体積収縮率とすると、材料が同一で焼成条件が同一であれば、焼成前の断面積Ａ１の大きさに依存せず一定であること確認している。
【００３０】
したがって、図１に示すような井桁状隔壁において、縦隔壁３４ａと横隔壁３４ｂとを単純に交差させた交差部３４ｃでは、体積が大きくなり同一体積収縮率で収縮するために高さが大きく減少する。また、縦隔壁３４ａと横隔壁３４ｂとの収縮に伴い、交差部３４ｃに引張応力が作用して、さらに交差部３４ｃの高さを減少させる。
【００３１】
本発明は、井桁状隔壁において交差部での隔壁の高さが減少することに着目して、これらの高さを抑制して隔壁全体での高さの均一性を実現し、高品質の画像表示が可能なＰＤＰを実現したものである。
【００３２】
次に、本発明の第１の実施の形態におけるＰＤＰの隔壁の形状について、さらに詳しく説明する。図３は、本発明の第１の実施の形態におけるＰＤＰの隔壁形状を示す平面図である。図３においては、蛍光体層３５は省略している。また、図４は図３の隔壁の断面図であり、図４（ａ）は図３のＡ−Ａ線断面図、図４（ｂ）は図３のＢ−Ｂ線断面図、図４（ｃ）は図３のＣ−Ｃ線断面図、図４（ｄ）は図３のＤ−Ｄ線断面図である。
【００３３】
図３に示すように、本発明の第１の実施の形態におけるＰＤＰでは、井桁状の隔壁３４を形成する縦隔壁３４ａの縦隔壁頂部４０ａの幅Ｔ１と、横隔壁３４ｂの横隔壁頂部４０ｂと幅Ｔ２とを交差部３４ｃに向かって小さくし、縦隔壁３４ａと横隔壁３４ｂとによって形成される交差部３４ｃの体積が小さくなるようにしている。
【００３４】
図４（ａ）〜図４（ｄ）を用いてさらに詳細に説明する。図４（ａ）に示すように、縦隔壁３４ａのＡ−Ａ線は縦隔壁３４ａの断面積が最大となる部分であり、この断面積Ｓ１を第１の断面積としている。また、図４（ｃ）に示すように、横隔壁３４ｂのＣ−Ｃ線は横隔壁３４ｂの断面積が最大となる部分であり、この断面積Ｓ３を第２の断面積としている。また、図４（ａ）、図４（ｂ）に示すように、縦隔壁３４ａの高さＨ１と底部幅の幅Ｂ１とは全ての断面で同一であり、同じく図４（ｃ）、図４（ｄ）に示すように、横隔壁３４ｂの高さＨ２と底部幅の幅Ｂ２とが全ての断面で同一としている。
【００３５】
本発明の第１の実施の形態におけるＰＤＰでは、図４（ｂ）に示すように、交差部３４ｃを形成する縦隔壁３４ａの頂部の幅Ｔ１ｂを、図４（ａ）に示す断面の頂部の幅Ｔ１ａよりも小さくしている。したがって、断面積Ｓ２が断面積Ｓ１よりも小さくなるようにしている。また、同様に、図４（ｄ）に示すように、交差部３４ｃを形成する横隔壁３４ｂの頂部の幅Ｔ２ｂを、図４（ｃ）に示す断面の頂部の幅Ｔ２ａよりも小さくしている。したがって、断面積Ｓ４が断面積Ｓ３よりも小さくなるようにしている。
【００３６】
図４（ｂ）と図４（ｄ）とは、完全な交差部３４ｃにおけるそれぞれの断面を示してはいないが、図３に示すように交差部３４ｃに向かって、それぞれの断面積が最大断面積である第１の断面積と第２の断面積よりも小さくなるようにしている。したがって、交差部を形成する縦隔壁３４ａと横隔壁３４ｂとは、それぞれの最大断面積である第１の断面積および第２の断面積よりも小さい断面積の縦隔壁３４ａと横隔壁３４ｂとによって形成されることになる。
【００３７】
したがって、このような構成とすることによって交差部３４ｃでの体積を小さくして、焼成工程によって体積収縮する際の高さ減少を抑制し、さらに、交差部３４ｃを形成する縦隔壁３４ａと横隔壁３４ｂの体積収縮による引張応力をも軽減して、交差部３４ｃの高さ減少をさらに抑制することが可能となる。
【００３８】
なお、図４（ｂ）と図４（ｄ）とは、底部から頂部まで直線形状となるようにして頂部の幅Ｔ１ｂとＴ２ｂとを小さくしているが、露光工程での複数回露光を用いて段差を設ける構成としてもよい。
【００３９】
また、本発明の第１の実施の形態では、頂部の幅が連続的に交差部３４ｃに向かって減少するように構成した例について説明したが、縦隔壁３４ａ、横隔壁３４ｂとも最大の断面積を有する部分と、交差部３４ｃを形成する頂部の幅が小さな断面積の小さい部分とが不連続に接続されている構成であってもよい。
【００４０】
さらに、上記の説明では、縦隔壁３４ａと横隔壁３４ｂとの頂部の幅を同時に小さくする例について述べたが、縦隔壁３４ａのみ、あるいは横隔壁３４ｂのみの頂部の幅だけを小さくしてもよい。
【００４１】
（第２の実施の形態）
本発明の第１の実施の形態におけるＰＤＰの隔壁の形状について、さらに詳しく説明する。図５は、本発明の第２の実施の形態におけるＰＤＰの隔壁形状を示す平面図である。図５においては、蛍光体層３５は省略している。また、図６は図５の隔壁の断面図であり、図６（ａ）は図５のＥ−Ｅ線断面図、図６（ｂ）は図５のＦ−Ｆ線断面図、図６（ｃ）は図５のＧ−Ｇ線断面図、図６（ｄ）は図５のＨ−Ｈ線断面図である。なお、隔壁形状以外は第１の実施の形態と同様であるので説明は省略する。
【００４２】
図５に示すように、本発明の第２の実施の形態におけるＰＤＰでは、井桁状の隔壁３４を形成する縦隔壁３４ａの縦隔壁底部４１ａの幅Ｂ３と、横隔壁３４ｂの横隔壁底部４１ｂと幅Ｂ４とを交差部３４ｃに向かって小さくし、縦隔壁３４ａと横隔壁３４ｂによって形成される交差部３４ｃの体積が小さくなるようにしている。
【００４３】
図６（ａ）〜図６（ｄ）を用いてさらに詳細に説明する。図６（ａ）に示すように、縦隔壁３４ａのＥ−Ｅ線は縦隔壁３４ａの断面積が最大となる部分であり、この断面積Ｓ５を第１の断面積としている。また、図６（ｃ）に示すように、横隔壁３４ｂのＧ−Ｇ線は横隔壁３４ｂの断面積が最大となる部分であり、この断面積Ｓ７を第２の断面積としている。また、図６（ａ）、図６（ｂ）に示すように、縦隔壁３４ａの高さＨ１と頂部の幅Ｔ３とは全ての断面で同一であり、同じく図６（ｃ）、図６（ｄ）に示すように、横隔壁３４ｂの高さＨ２と頂部の幅Ｔ４とが全ての断面で同一としている。
【００４４】
本発明の第２の実施の形態におけるＰＤＰでは、図６（ｂ）に示すように、交差部３４ｃを形成する縦隔壁３４ａの底部の幅Ｂ３ｂを、図６（ａ）に示す断面の底部の幅Ｂ３ａよりも小さくしている。したがって、断面積Ｓ６が断面積Ｓ５よりも小さくなるようにしている。また、同様に、図６（ｄ）に示すように、交差部３４ｃを形成する横隔壁３４ｂの底部の幅Ｂ４ｂを、図６（ｃ）に示す断面の底部の幅Ｂ４ａよりも小さくしている。したがって、断面積Ｓ８が断面積Ｓ７よりも小さくなるようにしている。
【００４５】
図６（ｂ）と図６（ｄ）とは、完全な交差部３４ｃにおけるそれぞれの断面を示してはいないが、図５に示すように交差部３４ｃに向かって、それぞれの断面積が最大断面積である第１の断面積と第２の断面積よりも小さくなるようにしている。したがって、交差部を形成する縦隔壁３４ａと横隔壁３４ｂとは、それぞれの最大断面積である第１の断面積および第２の断面積よりも小さい断面積の縦隔壁３４ａと横隔壁３４ｂとによって形成されることになる。
【００４６】
したがって、このような構成とすることによって交差部３４ｃでの体積を小さくして、焼成工程によって体積収縮する際の高さ減少を抑制し、さらに、交差部３４ｃを形成する縦隔壁３４ａと横隔壁３４ｂの体積収縮による引張応力をも軽減して、交差部３４ｃの高さ減少をさらに抑制することが可能となる。
【００４７】
なお、図６（ｂ）と図６（ｄ）とは、底部から頂部まで直線形状となるようにして底部の幅Ｂ３ｂとＢ４ｂとを小さくしているが、露光工程での複数回露光を用いて段差を設ける構成としてもよい。
【００４８】
また、本発明の第２の実施の形態では、底部の幅が連続的に交差部３４ｃに向かって減少するように構成した例について説明したが、縦隔壁３４ａ、横隔壁３４ｂとも最大の断面積を有する部分と、交差部３４ｃを形成する底部の幅が小さな断面積の小さい部分とが不連続に接続されている構成であってもよい。
【００４９】
さらに、上記の説明では、縦隔壁３４ａと横隔壁３４ｂとの底部の幅を同時に小さくする例について述べたが、縦隔壁３４ａのみ、あるいは横隔壁３４ｂのみの底部の幅だけを小さくしてもよい。
【００５０】
（第３の実施の形態）
本発明の第３の実施の形態におけるＰＤＰの隔壁の形状について図７を用いて説明する。図７は、本発明の第３の実施の形態におけるＰＤＰの隔壁形状を示す平面図である。図７においては、蛍光体層３５は省略している。なお、隔壁形状以外は第１および第２の実施の形態と同様であるので説明は省略する。
【００５１】
近年の放電セルの微細化、さらには各色蛍光体の性能を活かし、輝度や色温度を充分に確保する目的で、各色に対応する放電セルサイズを色毎に変えることが有効である。特に、青色の放電セルサイズを大きくし、他の色の放電セルサイズを小さくすると、１画素を構成するサイズが同一であるため、赤色や緑色の放電セルサイズが小さくなる。そのために赤色や緑色の放電セルを構成する縦隔壁間のピッチが小さくなり、フォトリソグラフィ法の現像工程において、横隔壁の現像残りが発生する場合がある。
【００５２】
このような横隔壁の現像残りが発生すると、横隔壁の断面積が大きくなりなるため、結果として交差部の体積を大きくし、交差部での高さ減少を発生させて隔壁高さの不均一性を発生させる。
【００５３】
本発明の第３の実施の形態におけるＰＤＰではこれらの課題を解決するものである。すなわち、図７に示すように、隔壁３４は縦隔壁３４ａと横隔壁３４ｂとで井桁状隔壁を構成し、隣接する縦隔壁間でそれぞれの間隔となるピッチＰ１、Ｐ２、Ｐ３が異なっている。例えばピッチＰ１の縦隔壁３４ａ間には青色蛍光体が塗布され、ピッチＰ２の縦隔壁３４ａ間には緑色蛍光体が塗布され、最小ピッチであるピッチＰ３の縦隔壁３４ａ間には赤色蛍光体が塗布されている。
【００５４】
本発明の第３の実施の形態のＰＤＰでは、最小ピッチであるピッチＰ３の放電セルの横隔壁３４ｄにおいて、交差部３４ｃを形成する部分の横隔壁３４ｄの断面積を、横隔壁３４ｄの他の領域の最大断面積よりも小さくしている。
【００５５】
なお、断面積を小さくする方法としては、第１の実施の形態で述べたように、頂部の幅を小さくする方法でもよいし、第２の実施の形態で述べたように底部の幅を小さくする方法でもよいが、現像残りが隔壁の底部に発生しやすいことを考慮すると、頂部の幅を小さくすることが望ましい。
【００５６】
なお、上述の説明では、最小ピッチの放電セルを赤色蛍光体の放電セルとしているが、蛍光体特性などによって任意に選択することが可能である。
【００５７】
以上のように、本発明の第３の実施の形態におけるＰＤＰによれば、ハイディフィニションで、なおかつ、各色の放電セルサイズを変えた微細放電セルの場合に、最小放電セルでの現像残りがあったとしても交差部での熱収縮量が増大するのを抑制し、クロストークなどのない高品質の画像表示を実現することができる。
【００５８】
以上説明してきたように隔壁の交差部の断面積を、交差部以外の部分の断面積より小さくすることで、交差部の凹みを小さくでき、隣接する放電セル間にクロストークなどのない高品質の画像表示を実現するＰＤＰを提供できる。
【産業上の利用可能性】
【００５９】
以上のように、本発明のＰＤＰは、高精細度表示が可能な微細放電セルを高精度に実現し、高品質の画像表示が可能なディスプレイ装置に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明の第１の実施の形態におけるＰＤＰの分解斜視図
【図２】同ＰＤＰの電極の配列を示す図
【図３】本発明の第１の実施の形態におけるＰＤＰの隔壁形状を示す平面図
【図４】図３の隔壁の断面図
【図５】本発明の第２の実施の形態におけるＰＤＰの隔壁形状を示す平面図
【図６】図５の隔壁の断面図
【図７】本発明の第３の実施の形態におけるＰＤＰの隔壁形状を示す平面図
【符号の説明】
【００６１】
１０    ＰＤＰ
２０    前面板
２１    前面基板
２２    走査電極
２３    維持電極
２４    誘電体層
２５    保護層
３０    背面板
３１    背面基板
３２    データ電極
３３    下地誘電体層
３４    隔壁
３４ａ    縦隔壁
３４ｂ，３４ｄ    横隔壁
３４ｃ    交差部
３５    蛍光体層
４０ａ    縦隔壁頂部
４０ｂ    横隔壁頂部
４１ａ    縦隔壁底部
４１ｂ    横隔壁底部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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