(57)【要約】【課題】超音波の伝搬時間を求める際、比較的受信振幅の大きい部分では、上流側と下流側とで受信する波形に差が発生し、伝播時間の誤差として検知されることになる。【解決手段】受信信号は受信手段３５で増幅されその信号レベルが予め定めた値（Ｖｒｅｆ）になるまで受信点記憶手段３８は上書き更新して最新の受信点データを記憶する。Ｖｒｅｆになると上書き更新を停止するためトリガーレベルより前の零クロス点を受信点とするができ、誤差の少ない伝播時間を計測し、計測時間短縮化で省電力動作を実現することが可能になる。【選択図】図１
2008190930.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定流体の流れる流路に配置され超音波を送受信する一対の振動子と、一方の送信側振動子を駆動する送信手段と、他方の受信側振動子の出力信号を電気信号に変換する受信手段と、前記受信手段の信号が予め定めた値になると信号を出す受信波判定手段と、前記受信手段の信号が予め定めた範囲になると信号を出す受信点検知手段と、前記受信点検知手段の出力を記憶する受信点記憶手段と、前記受信点記憶手段の信号を用いて前記振動子間を伝搬した超音波信号の伝搬時間を計時する計時手段と、前記計時手段の計時値に基づいて流量を算出する流量演算手段と、前記送信手段と前記受信手段と前記受信波判定手段と受信点検知手段と前記受信点記憶手段と前記計時手段と前記流量演算手段の少なくとも１つを制御する制御手段を備え、
前記受信点記憶手段は前記受信波判定手段の出力信号があるまで上書き更新して記憶する流速または流量計測装置。
【請求項２】
制御手段は受信点検知手段の出力を記憶する受信点記憶手段への通電を初回のみ長時間とする電源供給手段を有する請求項１記載の流速または流量計測装置。
【請求項３】
制御手段は受信点検知手段の出力を記憶する受信点記憶手段への通電を２回目以降、前回の値を基に短く通電するよう電源供給手段のタイミングを調節する請求項１記載の流速または流量計測装置。
【請求項４】
制御手段は受信点検知手段の出力が予め定めた回数より多くなると信号を出すトリガ手段を有し電源供給手段は前記トリガ手段の出力により受信点検知手段の出力を記憶する受信点記憶手段への通電を開始する請求項１記載の流速または流量計測装置。
【請求項５】
制御手段は受信波判定手段の出力後の受信点検知手段の出力と、受信点記憶手段の値の差を演算する時間検定手段を有し、前記時間検定手段の値が予め定めた値以内であれば計測を有効とする請求項１記載の流速または流量計測装置。
【請求項６】
制御手段は受信波判定手段の出力後の受信点検知手段の出力後予め定めた時間経過後に電源供給手段を介して受信点記憶手段への電源供給を停止する請求項１記載の流速または流量計測装置。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれか１項記載の制御手段としてコンピュータを機能させるためのプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動子などを用い、超音波を利用して気体や液体などの流量を計測する流速または流量計測装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の流量計測装置について、図９を参照して説明する。流体が流れる流路１０１の上流側と下流側とに、一対の超音波振動子１０２，１０３が配置されており、超音波が流体を斜めに横切るように設定してある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
そして、前記一対の超音波振動子１０２，１０３間を伝搬する超音波の伝搬時間から流体の流速を計測し、これにもとづき流量を演算していた。例えば、時間差から流速を求め、管路の大きさや流れの状態を考慮して流量値を計算できる。
【０００４】
なお、図中の実線矢印１０４は流体の流れる方向を示し、破線矢印１０５は超音波の伝搬する方向を示している。流体の流れる方向と、超音波の伝搬する方向とは角θで交叉している（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００２−１３９５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、前記従来の構成では、上流側の超音波振動子１０２から下流側の超音波振動子１０３へ超音波を伝播させ、超音波の伝搬時間Ｔｕｄを、また下流側の超音波振動子１０３から上流側の超音波振動子１０２へ超音波を伝播させ、超音波の伝搬時間Ｔｄｕを交互に計測し、計測した超音波の伝播時間Ｔｕｄ、Ｔｄｕなどを用いて時間差を求め流量を演算していた。
【０００６】
この際、所定の振幅が得られる受信波形の部分に参照レベルを設定してトリガーレベルとし、伝播時間を計測していた。したがって、トリガ−レベルよりも前の零クロス点を用いて超音波の伝搬時間を計測することができなかった。
【０００７】
このため、超音波の到達時間に不確かな時間が含まれることになり、誤差となる場合があり、高精度な流れ計測を実現することができない、という課題を有していた。
【０００８】
即ち、超音波の受信波形は、一般に駆動回路で駆動される周波数で立上がり、順次、超音波変換器固有の振動周波数に変化する。
【０００９】
あるいは、流路の側壁などからの反射波の影響を受けるなどするため、超音波の受信波形は受信点に近い立上がり部分は周波数が安定しているが、トリガ−レベルを設定するような比較的受信振幅の大きい部分では、上流側と下流側とで受信する波形に差が発生し、伝播時間の誤差として検知されることになる。
【００１０】
また、流路１０１の側壁などで反射した超音波が受信波に若干遅れて到達し、受信波として受信されるので、受信波形がオフセット分を差し引いた場合にゼロ点を通過する零クロス点が不確かになることもあった。
【００１１】
さらに、本来到達時間より長時間計測することは、計測装置をそれだけの間余分に動作することになるため消費電流の増大という課題も有していた。
【００１２】
本発明は、前記従来の課題を解決するもので、受信した超音波の零クロス点の到達時間を計測し、順次更新することにより、トリガ−レベルよりも前の零クロス点を用いて超音波の到達時間を計測することができるようにして超音波の伝播時間に含まれる誤差を少なくし、高精度な計測を実現しつつ、省電力動作を実現することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
前記従来の課題を解決するために、本発明の流速または流量計測装置は、被測定流体の流れる流路に配置され超音波を送受信する一対の振動子と、一方の振動子を駆動する送信手段と、他方の受信側振動子の出力信号を電気信号に変換する受信手段と、受信手段の信号が予め定めた値になると信号を出す受信波判定手段と、受信手段の信号が予め定めた範囲になると信号を出す受信点検知手段と、前記受信点検知手段の出力を記憶する受信点記憶手段と、前記受信点記憶手段の信号を用いて振動子間を伝搬した超音波信号の伝搬時間を計時する計時手段と、前記計時手段の計時差に基づいて流量を算出する流量演算手段と、前記送信手段と前記受信手段と前記受信波判定手段と受信点検知手段と前記受信点記憶手段と前記計時手段と前記流量演算手段との少なくとも１つを制御する制御手段を備え、前記受信点記憶手段は前記受信波判定手段の出力信号があるまで上書き更新して記憶するようにしたものである。
【００１４】
この構成により、上流側の超音波振動子と下流側の超音波振動子間を伝播する超音波の伝播時間、即ち、超音波の到達時間をトリガ−レベルよりも前で計測することができる。このため、計測した超音波の伝搬時間あるいは到達時間に含まれる誤差を小さくすることができ、高精度な流れ計測を実現しつつ、省電力動作を実現できる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の、流速または流量計測装置は、トリガ−レベルよりも前の零クロス点を用いて超音波の伝搬時間あるいは超音波の到達時間を計測することができるので、超音波の伝搬時間あるいは到達時間に含まれる誤差を小さくすることができ、高精度な流れ計測を実現しつつ、省電力動作を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
第１の発明は被測定流体の流れる流路に配置され超音波を送受信する一対の振動子と、一方の送信側振動子を駆動する送信手段と、他方の受信側振動子の出力信号を電気信号に変換する受信手段と、受信手段の信号が予め定めた値になると信号を出す受信波判定手段と、受信手段の信号が予め定めた範囲になると信号を出す受信点検知手段と、前記受信点検知手段の出力を記憶する受信点記憶手段と、前記受信点記憶手段の信号を用いて振動子間を伝搬した超音波信号の伝搬時間を計時する計時手段と、前記計時手段の計時差に基づいて流量を算出する流量演算手段と、前記送信手段と前記受信手段と前記受信波判定手段と受信点検知手段と前記受信点記憶手段と前記計時手段と前記流量演算手段との少なくとも１つを制御する制御手段を備え、前記受信点記憶手段は前記受信波判定手段の出力信号があるまで上書き更新するものである。
【００１７】
これにより、比較的受信波形の振幅の大きい部分に受信波判定手段によるトリガ−点を設定し、安定してトリガ−を動作させるとともに、その前の零クロス点を伝播時間計測に用いることができるので、誤差の少ない伝播時間を計測することができるとともに、計測時間を短縮化できることで省電力動作を実現することが可能になる。
【００１８】
第２の発明は、特に第１の発明で制御手段は受信点検知手段の出力を記憶する受信点記憶手段への通電を初回のみ長時間とする電源供給手段を有することにより、最初の計測時は本来受信波が到達するよりも前に受信波検知手段の出力を記憶する準備をすることで確
実に受信波をとらえることが可能になる。
【００１９】
第３の発明は、特に第１の発明で制御手段で受信点検知手段の出力を記憶する受信点記憶手段への通電を２回目以降、前回の値を基に短く通電するよう電源供給手段のタイミングを調節することにより、受信波が到達する直前から受信波検知手段の出力を記憶する準備をすることで確実に受信波をとらえるとともに省電力動作が可能になる。
【００２０】
第４の発明は、特に第１の発明で制御手段は受信点検知手段の出力が予め定めた回数より多くなると信号を出すトリガ手段を有し電源供給手段は前記トリガ手段の出力により受信点検知手段の出力を記憶する受信点記憶手段への通電を開始することにより、確実に受信波が到達したことを確認してから受信波検知手段の出力を記憶する準備をすることで信頼性が向上するとともにさらに短時間動作による省電力動作が可能になる。
【００２１】
第５の発明は、特に第１の発明で制御手段で制御手段は受信波判定手段の出力後の受信点検知手段の出力と、受信点記憶手段の値の差を演算する時間検定手段を有し、前記時間検定手段の値が予め定めた値以内であれば計測を有効とすることで、ノイズなどによる零クロス点の誤検知を防止することができ正確な零クロス点を選定することで信頼性の向上が可能になる。
【００２２】
第６の発明は、特に第１の発明で制御手段は受信波判定手段の出力後の受信点検知手段の出力後予め定めた時間経過後に電源供給手段を介して受信点記憶手段への電源供給を停止することにより、余分な零クロス点を計測して記憶する動作を停止することができ省電力動作を実現することが可能になる。
【００２３】
第７の発明は、特に第１の発明から第９の発明のいずれか１つにおける制御手段としてコンピュータを機能させるためのプログラムを有する構成としたもので、これにより測定方法の動作設定、変更が容易にでき、また経年変化などにも柔軟に対応できるためよりフレキシブルに計測の精度向上や省電力動作を行うことができる。
【００２４】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、本実施の形態によって本発明が限定されるものではない。
【００２５】
（実施の形態１）
実施の形態１に関する本発明の流速または流量計測装置について説明する。
【００２６】
図１は本実施の形態の構成を示す流速または流量計測装置のブロック図である。図１おいて、本発明の超音波流量計は被測定流体の流れる流路３１と、前記流路３１に配置された超音波を送受信する第１の振動子３２、第２の振動子３３を設置している。第１の振動子３２または第２の振動子３３とを駆動する送信手段３４と、第１の振動子３２または第２の振動子３３の受信信号を受け信号を増幅する受信手段３５と、受信手段３５の信号が予め定めた値になると信号を出す受信波判定手段３６と、受信手段３５の信号が予め定めた範囲になると信号を出す受信点検知手段３７と、前記受信点検知手段３７の出力を記憶する受信点記憶手段３８と、前記受信点記憶手段３８の信号を用いて振動子間を伝搬した超音波信号の伝搬時間を計時する計時手段３９と、前記計時手段３９の計時値に基づいて流量を算出する流量演算手段４０とを有するものである。
【００２７】
さらに、送信手段３４と第１の振動子３２、および第２の振動子３３と受信手段３５の間に切換手段４１を設け、第１の振動子３２と第２の振動子３３が超音波の送受信を切換えて動作するようにしている。
【００２８】
制御手段４２は、前記送信手段３４と前記受信手段３５と前記受信波判定手段３６と、受信点検知手段３７と、受信点記憶手段３８と、前記計時手段３９と前記流量演算手段４０と前記切換手段４１との少なくとも１つを制御する。
【００２９】
通常の流速または流量計測の動作を説明する。制御手段４２からスタート信号を受けた送信手段３４が第１の振動子３２を一定時間パルス駆動行うと同時に計時手段３９は時間計測始める。パルス駆動された第１の振動子３２からは超音波が送信される。第１の振動子３２から送信した超音波は被測定流体中を伝搬し、第２の振動子３３で受信される。第２の振動子３３の受信出力は、受信手段３５で信号を増幅された後、予め定められている受信タイミングの信号レベルで超音波の受信を決定する。この超音波の受信を決定した時点で計時手段３９の動作を停止し、その時間情報ｔから（式１）によって流速を求める。
【００３０】
ここで、計時手段３９から得た測定時間をｔ、超音波振動子間の流れ方向の有効距離をＬ、確度をφ、音速をｃ、被測定流体の流速をｖとする。
【００３１】
ｖ＝（１／ｃｏｓφ）＊（Ｌ／ｔ）−ｃ  ・・・・（式１）
受信手段３５は通常コンパレータによって基準電圧と受信信号を比較するようになっていることが多い。
【００３２】
また、第１の超音波振動子３２と第２の超音波振動子３３との送信、受信方向を切り替え、被測定流体の上流から下流と下流から上流へのそれぞれの伝搬時間を測定し、（式２），（式３），（式４）より速度ｖを求めることができる。ここで、上流から下流への測定時間時間をｔ１、下流から上流への測定時間時間をｔ２とする。
【００３３】
ｔ１＝Ｌ／（ｃ＋ｖ＊ｃｏｓφ）・・・・・・・・（式２）
ｔ２＝Ｌ／（ｃ−ｖ＊ｃｏｓφ）・・・・・・・・（式３）
ｖ＝（Ｌ／２＊ｃｏｓφ）＊（（１／ｔ１）−（１／ｔ２））・・・（式４）
この方法によれば音速の変化の影響を受けずに流度を測定することが出来るので、流速・流量・距離などの測定に広く利用されている。流速ｖが求まると、それに流路３１の断面積を乗ずることにより流量を導くことができる。
【００３４】
従来の動作を図２のタイミング図と図３の受信波形とで説明する。制御手段４２による時刻ｔ０における開始信号から計測を開始するとともに送信手段３４を介して第１の超音波振動子３２を駆動する。そこで発生した超音波信号は流路３１内を伝搬し、時刻ｔ１で第１の超音波振動子３２から出た超音波は第２の超音波振動子３３に到達する。その受信信号は受信手段３５で増幅されその信号レベルが予め定めた値（Ｖｒｅｆ）になると受信波判定手段３６は受信波が到達したことを判定して信号を出す。
【００３５】
この信号を基に受信点検知手段３７が動作を開始し、Ｖｒｅｆ後の最初の零クロス点を受信点として信号を出し、この点までの時間を計時手段３９で求める。切換手段４１で超音波振動子３２，３３の送受信の役割を切換えて同様の動作を行い、計時手段３９で求めた時間と先ほど求めた時間の差に基づいて流量演算手段４０が流量を算出する。
【００３６】
ここで図３のｔａ点はＶｒｅｆより後になっている。例えば信号波を１００ｋＨｚ、伝搬時間を１００μｓｅｃ前後とすると、ｔａのような零クロス点は５μｓｅｃ毎に発生する。
【００３７】
受信波は、図３でもわかるように、Ｖｒｅｆより前にも到達している。これがＶｒｅｆより前の信号を利用できればできるほど超音波の到達時間に不確かな時間が含まれにくくなる。さらに５μｓｅｃ前の信号を利用できれば、１００μｓｅｃの伝搬時間を計測して
いる場合は５％も計測時間を短縮することが可能になり、消費電流の削減を実現できる。
【００３８】
そこで、Ｖｒｅｆより前の零クロス点を検出する方法を説明する。単純に零クロス点を受信波の到達した点、例えば図３のａ点を求めることが出来ればよいが、その場合はＶｒｅｆを設定できない。それに近い次のｂ点を受信波到達点とするとＶｒｅｆは破線のＶｒｅｆ−ｓｕｂとしなければならない。この場合は零信号に近いため流量が流れた場合の波形の変化や少しのノイズ等で反応して、誤検知する可能性がある。このような現象を回避して通常のｔａより短時間で受信波の到達点を判定するには、Ｖｒｅｆの直前の零クロス点ｔｘを検知するようにすればよい。
【００３９】
この動作を実現するには制御手段４２による時刻ｔ０における開始信号から計測を開始するとともに送信手段３４を介して第１の超音波振動子３２を駆動する。そこで発生した超音波信号は流路３１内を伝搬し、時刻ｔ１で第１の超音波振動子３２から出た超音波は第２の超音波振動子３３に到達する。その受信信号は受信手段３５で増幅されその信号レベルが予め定めた値（Ｖｒｅｆ）になると、受信波判定手段３６は受信波が到達したことを判定して信号を出す。
【００４０】
その前に零クロス点として予め定めた範囲、例えばプラス１ｍＶ、マイナス１ｍＶ以内に入ると信号を出す受信点検知手段３７が動作を開始している。そうすると図４の点ａになると受信点検知手段３７が信号を出力し、その出力を受信点記憶手段３８が記憶する。記憶する値は送信時点からの経過時間、もしくは経過時間を計測できる特定一定時間幅を有するパルス数等とすると後の演算が容易になる。
【００４１】
次に点ｂになると同様に受信点記憶手段３７が信号を出力し、受信点記憶手段３８は上書き更新して、最新の受信点データを記憶する。これを点ｃ，点ｄと繰返しｔｘの点を記憶した後、受信信号がＶｒｅｆを越える。
【００４２】
この時初めて、受信波判定手段３６が、信号を出力する。制御手段はこの受信波判定手段３６から信号が出力されると、これ以降の零クロス点で受信点見地手段３７が信号を出さないようにするか、もしくは受信点記憶手段３８への書き込みを禁止する。この動作を行うことによりｔｘまでの時間を受信点記憶手段に記憶しているため計時手段３９で伝搬時間を求める。切換手段４１で送受信を切換えて同様の動作を行い計時手段３９で求めた時間と先ほど求めた時間の差に基づいて流量演算手段４０が流量を算出する。その結果、今までは図４のｔａまでかかっていた伝搬時間をｔｘで確定することができる。具体的にはＴａ−Ｔｆの時間は送信周波数の半周期Ｔｆだけ伝搬時間の計測動作時間を短くすることができることになる。
【００４３】
これにより、上流側の超音波振動子と下流側の超音波振動子間を伝播する超音波の伝播時間、即ち、超音波の到達時間をトリガ−レベルであるＶｒｅｆよりも前で計測することができる。このため、計測した超音波の伝搬時間あるいは到達時間に含まれる誤差を小さくすることができ、高精度な流れ計測を実現しつつ、省電力動作を実現できる。
【００４４】
また受信点記憶手段３７の出力を記憶する受信点記憶手段３８は記憶動作を行うのに電力を消費するがどの時点から通電して良いかは前もってわかっていない場合が多い。あまり早く投入すると電力が無駄になるし、受信点を通過してから通電しても意味は無い。そこで図５に示すように制御手段４２内に電源供給手段４３を設けて電力制御を行う。タイミングは図６で説明する。一番初めに計測を開始する場合はＴａが不明である。超音波振動子３２，３３の物理的距離からおおよその時間は推定できるが確かでは無い。そこで制御手段４２は電源供給手段４３を用いて受信点記憶手段３８への通電タイミングを調節する。
【００４５】
まず、時刻ｔ０における開始信号から計測を開始するとともに送信手段３４を介して第１の超音波振動子３２を駆動する。そこで発生した超音波信号は流路内を伝搬し時刻ｔ１で第１の超音波振動子３２から出た超音波は第２の超音波振動子３３に到達する。その前時刻ｔ２に電源供給手段４３を用いて受信点記憶手段３８への通電を開始する。ｔ２はｔ１より十分短い時間とする。
【００４６】
このように、制御手段４２は受信点検知手段３７の出力を記憶する受信点記憶手段３８への通電を初回のみ長時間とする電源供給手段４３を有することにより、最初の計測時は本来受信波が到達するよりも前に受信波検知手段の出力を記憶する準備をすることで確実に受信波をとらえることが可能になる。
【００４７】
また初回により受信点が確定し伝搬時間が求まる。その場合は２回目以降の通電時間を調整することが容易になる。
【００４８】
例えば図６で最初はｔ２において受信点記憶手段３８への通電を開始したが、実際に超音波が伝搬して受信したのはｔ１である。次の計測においては伝搬時間が大幅に変化することが無いため制御手段４２にある電源供給手段４３はｔ１に近くてまだ受信信号が到達していないｔ２まで通電するのを待つことが可能になる。３回目は２回目の伝搬時間を用いたり、または１回目と２回目の移動平均を用いたりして伝播時間を予想し、通電時間を極力短くすることが可能になる。
【００４９】
このように制御手段４２で受信点検知手段３７の出力を記憶する受信点記憶手段３８への通電を２回目以降、前回の値を基に短く通電するよう電源供給手段４３のタイミングを調節することにより、受信波が到達する直前から受信波検知手段の出力を記憶する準備をすることで確実に受信波をとらえるとともに省電力動作が可能になる。
【００５０】
この説明では受信点記憶手段３８の通電時間のみ調節するようになっているが、受信信号を増幅する受信手段３５から下流の動作が電源投入時に不安定な状態が長く続かなければそれら一式もしくは特に電力を必要とする部位の通電を電源供給手段４３で調整すればさらに省電力が可能になる。
【００５１】
また図４の零クロス点ａから点ｄの状態が、図６のｔ３からｔ１の付近を拡大したものと同等とする。この場合、受信手段３５は受信信号が到達する前から動作し、受信点判定手段３７も動作し点ａ，点ｂ，点ｃ，点ｄ毎に信号を送出している。図７において、制御手段４２はこの受信点判定手段３７の出力信号をカウントし、予め定めた回数、例えば２回とすると、点ｂまで受信点が到達し、トリガ手段４４が電源供給手段４３を介して、受信点記憶手段３８への通電を開始する。受信確定するｔｘまでの通電時間をより短くすることができる。
【００５２】
このように制御手段４２は受信点検知手段３７の出力が予め定めた回数より多くなると信号を出すトリガ手段４４を有し電源供給手段４３は前記トリガ手段の出力により受信点検知手段３７の出力を記憶する受信点記憶手段３８への通電を開始することにより、確実に受信波が到達したことを確認してから受信波検知手段３７の出力を記憶する準備をすることで信頼性が向上するとともにさらに短時間動作による省電力動作が可能になる。
【００５３】
また受信信号が図４の零クロス点ｔｘより先Ｖｒｅｆを越えた後は受信手段３５より後段の回路は計時手段３９、流量演算手段４０以外を動作する必要が無い。したがって受信波判定手段３６により受信波がＶｒｅｆを越えたことを検知すると制御手段４２は受信点記憶手段３８への通電を停止して省電力動作を行うとともに必要のない受信回路の通電動
作を停止することが可能である。停止を行う時点はＶｒｅｆを越えた直後でも良いし、また通電停止時の信号によりノイズが発生して計時手段３９などの動作に悪影響を与えてもよくないため次の零クロス点ｔａを検知してから通電停止してもよい。
【００５４】
このように制御手段４２は受信波判定手段３６の出力後の受信点検知手段３７の出力後予め定めた時間経過後に電源供給手段４３を介して受信点記憶手段３８への電源供給を停止することにより、余分な零クロス点を計測して記憶する動作を停止することができ省電力動作を実現することが可能になる。
【００５５】
また、図４における零クロス点は受信波にノイズが重畳されていなければほぼ送信周波数の半分の周期で発生してきている。しかし実際に流路に流体が流れている場合はその流体により下流側で何かが動作している。この動作や他の外来ノイズ等により受信波にスパイク状の信号が重畳されることもある。この場合ノイズが零クロスした点を受信点とすると伝搬時間の計算が大きくずれてします。これを防止するため図８に示すように制御手段４２に時間検定手段４５を設ける。動作を説明する。まず図４と同様に零クロス点を受信し始めると受信点検知手段３７が信号を出力し、その出力を受信点記憶手段３８が記憶する。記憶する値は送信時点からの経過時間、もしくは経過時間を計測できる特定一定時間幅を有するパルス数等とすると後の演算が容易になる。次に点ｂになると同様に受信点記憶手段３７が信号を出力し、受信点記憶手段３８は上書き更新して最新の受信点データを記憶する。これを点ｃ、点ｄと繰返しｔｘの点を記憶した後、受信信号がＶｒｅｆを越える。
【００５６】
この時初めて受信波判定手段３６が信号を出力する。制御手段はこの受信波判定手段３６から信号が出力されると、これ以降の零クロス点で受信点見地手段３７が信号を出さないようにするか、もしくは受信点記憶手段３８への書き込みを禁止する。
【００５７】
そして次の零クロス点ｔａの時間を受信点記憶手段３８を介さずに直接制御手段の時間検定手段４５に送る。時間検定手段４５は受信点記憶手段３８にあるｔｘの値とｔａの値の差を求める。この差が予め定めた範囲内であればｔｘはノイズによるものではないと判断し、ｔｘを用いて流量を演算する。例えば送信周波数が１００ｋＨｚとすると周期の１／２の周期は５μｓｅｃとなるそこでｔｘ−ｔａが予め定めた５μｓｅｃ近傍以内であればｔｘは有効な受信点であると判断する。
【００５８】
このように制御手段４２は受信波判定手段３６の出力後の受信点検知手段３７の出力と、受信点記憶手段３８の値の差を演算する時間検定手段４５を有し、前記時間検定手段４５の値が予め定めた値以内であれば計測を有効とすることで、ノイズなどによる零クロス点の誤検知を防止することができ正確な零クロス点を選定することで信頼性の向上が可能になる。
【００５９】
（実施の形態２）
実施の形態２に関する本発明の流速または流量計測装置について説明する。実施の形態１と異なるところは、振動子３２，３３や送信手段３４、受信手段３５、受信手段３５の信号が予め定めた値になると信号を出す受信波判定手段３６、受信手段３５の信号が予め定めた範囲になると信号を出す受信点検知手段３７、前記受信点検知手段３７の出力を記憶する受信点記憶手段３８、前記受信点記憶手段３８の信号を用いて振動子間を伝搬した超音波信号の伝搬時間を計時する計時手段３９、前記計時手段３９の計時差に基づいて流量を算出する流量演算手段４０、送受信を切換える切換手段４１との少なくとも１つを制御する制御手段４２の動作を確実にするためのコンピュータを機能させるためのプログラムを有する記憶媒体４６を用いていることである。
【００６０】
図１において実施の形態１で示した制御手段４２の動作を行うには、予め実験等によりｔｘを求めるための受信点記憶手段の動作、通電方法を求めておいたり、経年変化、温度変化、システムの安定度に関して動作タイミングなどの相関を求め、ソフトをプログラムとして記憶媒体４６に格納しておいたりする。通常マイクロコンピュータのメモリやフラッシュメモリ等電気的に書き込み可能なものにしておくと利用が便利である。
【００６１】
切換手段４１の動作により送受信の方向が変化するため条件設定などの個数が増加してくるがこれをコンピュータによる動作で調整すると容易に実現可能である。
【００６２】
このように制御手段４２の動作をプログラムで行うことができるようになると流量演算の補正係数の条件設定、変更や計測間隔の調整などが容易にでき、また経年変化などにも柔軟に対応できるためよりフレキシブルに流速または流量計測の精度向上を行うことができる。なお本実施例において制御手段４２以外の動作もマイコン等によりプログラムで行ってもよい。
【００６３】
これにより制御手段としてコンピュータを機能させるためのプログラムを有する構成としたもので、測定方法の動作設定、変更が容易にでき、また経年変化などにも柔軟に対応できるためよりフレキシブルに計測の精度向上を行うことができる。
【産業上の利用可能性】
【００６４】
本発明の流速または流量計測装置は零クロス点を上書きして記憶し続け、受信波が確実に届いたことを示す受信波判定手段に出力信号があるとその動作を停止することにより、比較的受信波形の振幅の大きい部分に受信波判定手段によるトリガ−点を設定し、安定してトリガ−を動作させるとともに、その前の零クロス点を伝播時間計測に用いることができるので、誤差の少ない伝播時間を計測することができるとともに、計測時間を短縮化できることで省電力動作を実現することが可能になり、ガス漏洩に対する保安性能を長期にわたって電池電源により保証する家庭用ガスメータを始めとする流体の流速や流量を計測するシステムに適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明の流速または流量計測装置の全体ブロック図
【図２】（ａ）同計測装置における計測制御手段の動作を示すタイミング図（ｂ）同計測装置における送信波の動作を示すタイミング図（ｃ）同計測装置における受信波および反射波の動作を示すタイミング図
【図３】同計測装置における受信波を示すタイミング図
【図４】同計測装置における受信波を示すタイミング図
【図５】本発明の流速または流量計測装置他の動作を示す全体ブロック図
【図６】（ａ）同計測装置における計測制御手段の動作を示すタイミング図（ｂ）同計測装置における送信波の動作を示すタイミング図（ｃ）同計測装置における受信波および反射波の動作を示すタイミング図
【図７】本発明の流速または流量計測装置他の動作を示す全体ブロック図
【図８】本発明の流速または流量計測装置他の動作を示す全体ブロック図
【図９】従来の流量計測装置の断面図
【符号の説明】
【００６６】
３１  流路
３２  第１の振動子
３３  第２の振動子
３４  送信手段
３５  受信手段
３６  受信波判定手段
３７  受信点検知手段
３８  受信点記憶手段
３９  計時手段
４０  流量演算手段
４１  切換手段
４２  制御手段
４３  電源供給手段
４４  トリガ手段
４５  時間検定手段
４６  記憶媒体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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