(57)【要約】【課題】  簡易な構造で被検査基板を安定的に保持することができる基板保持機構を有する基板保持装置の提供。【解決手段】  検査対象となる被検査基板を保持する基板保持機構であって、前記被検査基板の側面に当接するとともに、該検査基板を所定の検査位置で位置決め固定する固定部と、前記固定部と前記被検査基板を挟み込む位置に配置されるとともに、前記被検査基板の側面を押圧して該被検査基板を前記所定検査位置へ移動させる移動部を有し、前記移動部は、前記被検査基板の当接に応じて弾性力が生じる素材により形成されることを特徴とする。【選択図】  図１
2008053463.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象となる被検査基板を保持する基板保持機構であって、
前記被検査基板の側面に当接するとともに、該検査基板を所定の検査位置で位置決め固定する固定部と、
前記固定部と前記被検査基板を挟み込む位置に配置されるとともに、前記被検査基板の側面を押圧して該被検査基板を前記所定検査位置へ移動させる移動部を有し、
前記移動部は、前記被検査基板の当接に応じて弾性力が生じる素材により形成されることを特徴とする基板保持機構。
【請求項２】
前記固定部は、前記被検査基板の２つの側面に夫々当接する第一及び第二固定部位を有するとともに、該第一及び第二固定部位が一端で接続され、
前記移動部は、前記第一固定部位と前記被検査基板を介して対向する位置に設けられる第一移動部位と、前記第二固定部位と前記検査基板を介して対向する位置に設けられる第二移動部位とを有するとともに、前記第一移動部位と前記第二移動部位が一端で接続されていることを特徴とする請求項１記載の基板保持機構。
【請求項３】
前記第一及び第二移動部位は、平面視において、前記被検査基板に向かって延設する円形状の延設部が設けられていることを特徴とする請求項２記載の基板保持機構。
【請求項４】
前記第一固定部位と前記第二固定部位との接続部には、切欠部が形成されていることを特徴とする請求項２に記載の基板保持機構。
【請求項５】
検査対象となる被検査基板を複数同時に保持する基板保持装置であって、
前記請求項１乃至４いずれかに記載の複数の基板保持機構と、
前記複数の基板保持機構を保持する板状部と、
前記移動部の移動を制御する移動制御機構を有し、
前記複数の基板保持機構は、前記板上部の一方側面に所定間隔で配置され、
前記移動制御機構は、前記板上部の他方側面に設けられていることを特徴とする基板保持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板保持装置に関し、より詳しくは、簡易な構成で被検査基板を安定的に保持することができる基板保持機構を有する基板保持装置に関する。
尚、本発明は、プリント配線基板に限らず、例えば、フレキシブル基板、多層配線基板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなど種々の基板における電気的配線の検査に適用でき、本明細書では、それら種々の配線基板を総称して「基板」という。
【背景技術】
【０００２】
基板に形成される配線パターンが、正確に形成されているかどうかを検査するために、配線パターンの導通検査を行ったり、配線パターン間における絶縁検査の検査を行ったりしている。
被検査基板に形成される配線パターンは微細なものが多数存在している。このため、基板が配置される位置精度が極めて高くないと、検査対象となる配線パターンと検査のための導通が取れなくなる場合があった。
このような問題が生じないために、基板保持装置は高精度である必要があった。
【０００３】
例えば、特許文献１に記載される基板保持装置では、平行な配置関係にある基準側搬送部と可動側搬送部とを介しての被検査基板の搬送と所定位置での保持とを自在とした基板搬送手段を具備させるとともに、被検査基板のサイズに対応させる可動側搬送部の移動と、被検査基板を常に搬送方向での前後の略中央部にて各別に挟持するチャック部の移動とを介在させたリンク機構により連動させてそれぞれの位置の調整を自在とした基板位置決め手段を具備させている。
このように構成することによって、専用スペースを必要とするタイミングベルトや比較的高価なボールねじ部やプーリーなどの部品を用いずに、リンク機構を介して運動を伝達することにより被検査基板を位置決めして装置本体内に定置させ、部品点数を少なくして装置全体のコンパク化と製品コストの低減に有効に寄与させることを目的としている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−１９３４４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、この特許文献１に記載される基板保持装置は、基板を挟持するチャック部がリンク機構によって基板を挟持するよう駆動するように設定されている。このようなリンク機構では、基板を押圧して保持するため、その使用に応じて基板と接触するクランプ部やチャック部が磨耗し接触面が変形して、位置精度が低減する問題を有していた。
また、この特許文献１の基板保持装置では、基板1枚を対象とした基板保持装置であるので、複数の基板を同時に処理しようとすると、同じ構成の基板保持装置を複数準備することが必要であり、大掛かりな装置に成らざるを得なかった。
本発明は、このような実情に鑑みてなされたもので、長期間の使用においてもその位置精度が低下することなく、また、複数の基板を保持する場合であっても位置精度良く保持することができる基板保持装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１記載の発明は、検査対象となる被検査基板を保持する基板保持機構であって、前記被検査基板の側面に当接するとともに、該検査基板を所定の検査位置で位置決め固定する固定部と、前記固定部と前記被検査基板を挟み込む位置に配置されるとともに、前記被検査基板の側面を押圧して該被検査基板を前記所定検査位置へ移動させる移動部を有し、前記移動部は、前記被検査基板の当接に応じて弾性力が生じる素材により形成されることを特徴とする基板保持機構を提供する。
請求項２記載の発明は、前記固定部は、前記被検査基板の２つの側面に夫々当接する第一及び第二固定部位を有するとともに、該第一及び第二固定部位が一端で接続され、前記移動部は、前記第一固定部位と前記被検査基板を介して対向する位置に設けられる第一移動部位と、前記第二固定部位と前記検査基板を介して対向する位置に設けられる第二移動部位とを有するとともに、前記第一移動部位と前記第二移動部位が一端で接続されていることを特徴とする請求項１記載の基板保持機構を提供する。
請求項３記載の発明は、前記第一及び第二移動部位は、平面視において、前記被検査基板に向かって延設する円形状の延設部が設けられていることを特徴とする請求項２記載の基板保持機構を提供する。
請求項４記載の発明は、前記第一固定部位と前記第二固定部位との接続部には、切欠部が形成されていることを特徴とする請求項２に記載の基板保持機構を提供する。
請求項５記載の発明は、検査対象となる被検査基板を複数同時に保持する基板保持装置であって、前記請求項１乃至４いずれかに記載の複数の基板保持機構と、前記複数の基板保持機構を保持する板状部と、前記移動部の移動を制御する移動制御機構を有し、前記複数の基板保持機構は、前記板上部の一方側面に所定間隔で配置され、前記移動制御機構は、前記板上部の他方側面に設けられていることを特徴とする基板保持装置を提供する。
これらの発明を提供することによって、上記課題を悉く解決する。
【発明の効果】
【０００７】
請求項１記載の発明によれば、移動部と固定部により被検査基板を挟み込むことにより被検査基板を保持する基板保持機構であって、移動部が被検査基板の当接に応じて弾性変形するので、移動部が被検査基板を位置決めとなる固定部へ確実に押圧することができる。
請求項２記載の発明によれば、固定部が第一固定部位と第二固定部位から形成され、移動部が第一固定部位と第二固定部位と対向する位置に設けられる第一移動部位と第二移動部位から形成されることになるので、固定部と移動部が被検査基板の周縁に当接して保持することになり、精度良く被検査基板を保持することができる。
請求項３記載の発明によれば、被検査基板に当接する移動部が円形状の延設部を有するので、移動部が被検査基板の当接により弾性変形しても、延設部が確実に被検査基板を押圧して保持することができる。
請求項４記載の発明によれば、第一固定部位と第二固定部位との接続部に切欠部が形成されているので、被検査基板の角部をこの切欠部の空間に配置することができるので、被検査基板を精度良く維持することができる。
請求項５記載の発明によれば、複数の基板保持機構が板状部を介して移動制御機構に接続されることになるので、移動制御機構による移動部の動作から生じる物理的力を板状部により分散することができるので、基板保持機構の動作を長期間に亘り安定的に維持することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
本発明を実施するための最良の形態を説明する。
図１は、本発明に係る基板保持装置の一実施形態を示す平面図である。
本発明は、検査対象となる基板をその周縁から挟み込むように保持する場合に、位置精度を高く且つ長期間の使用においてもこの高い位置精度を維持することを目的としている。
【０００９】
本発明に係る基板保持装置１は、複数の基板保持機構２、板状部３、移動制御機構４と基台部５を有してなる。
図１で示される基板保持装置１では、10個の基板を保持することのできる基板保持機構２を有するとともに、6つの移動制御機構を有している。この基板保持機構２の配置される数は、特に限定されるものではなく、その数に応じて検査することのできる基板の数が増加することになる。また、基板保持装置１を基板検査装置（図示せず）に取り付ける部材となる移動制御機構４の数も特に限定されるものではなく、基板保持装置１と基板検査装置を確実に固定することができれば良い。
【００１０】
基板保持機構２は、移動部２１と固定部２２を有してなる。
図２は、本発明に係る基板保持機構の一実施形態を示す平面図である。
固定部２２は、被検査基板を検査位置に位置決めして固定するための部材である。この固定部２２は、被検査基板の周縁（被検査基板の側面）と当接することにより被検査基板を固定する。
尚、固定部２２は、検査位置を決定するために、被検査基板が載置される基台６に固定されても構わない。
【００１１】
図２で示される一実施形態の場合では、矩形の被検査基板を位置決めして保持するために、第一固定部位２２１と第二固定部位２２２が形成されている。この固定部２２は、第一固定部位２２１の一端が第二固定部位２２２の一端と接続され、被検査基板の角部を挟む二辺（二側面）と当接するように形成されている。このため、第一固定部位２２１と第二固定部位２２２は、直角に交差するように接続され、固定部２２がＬ字状に形成される。
この結果、被検査基板を確実に検査位置に固定することができる。
尚、本実施形態の場合では、被検査基板が矩形である場合を説明しているが、固定部２２の形状を被検査基板の形状に沿って変更することにより、あらゆる形状の被検査基板に対応することができる。
【００１２】
固定部２２は、第一固定部位２２１と第二固定部位２２２を有し、これらの部位がＬ字状になるように形成されている。
この第一固定部位２２１と第二固定部位２２２の内側の交差部には、切欠部２２３が形成されている（図２参照）。
この切欠部２２３は、被検査基板の角部を収容する空間を形成している。このように切欠部２２３を設けることにより、被検査基板が固定部２２により位置決めされる際に、被検査基板の角部をこの切欠部に配置して、被検査基板の側面を第一固定部位２２１及び／又は第二固定部位２２２と当接させることにより位置決めが容易となる。
【００１３】
移動部２１は、被検査基板を所定の検査位置で固定するために、被検査基板を移動させる。この移動部２１は、少なくとも被検査基板の一側面に当接されて、固定部２２へ移動させるように形成されている。
この移動部２１は、被検査基板が当接する側面に、この被検査基板の当接（押圧）に応じて弾性力が生じるように形成されている。このため、この移動部２１と固定部２２が被検査基板を挟み込んで保持する場合、移動部２１からの押圧力（移動量により生じる被検査基板に係る物理的力）に応じて、移動部２１がその反作用の力を受けることになる。この結果、この反作用の力による弾性反発（弾性力）が生じ、被検査基板を固定部２１に押し付けて確実に固定することができる。
【００１４】
移動部２１は、上記の如く、被検査基板の当接により弾性力が生じることのできる素材又は機構を有している。この移動部２１は、例えば、弾力性を有する合成樹脂を採用することができる。この合成樹脂には、例えば、ポリエーテルエーテルケトン（PEEK）を採用することができるが、特に限定されるものではなく、十分な弾力性を有する樹脂であればよい。
また、この移動部２１は、被検査基板からの押圧力を受けて、この押圧力と反対方向（反作用方向）の力が生じるばね機構（コイルばねや板ばね）を備えることにより、移動部２１に弾性力が生じるように設定することができる。この弾性力によって、移動部２１が被検査基板を押圧して保持することになる。
【００１５】
この移動部２１は、固定部２２と対向する形状を有して形成される。図２で示される実施形態の移動部２１は、固定部２２と対向するように逆Ｌ字状に形成されている。より具体的には、この移動部２１は、第一固定部位２２１と対向配置される第一移動部位２１１と、第二固定部位２２２と対向配置される第二移動部位２１２を有しており、第一移動部位２１１の一端と第二移動部位２１２の一端が接続される第三部位２１３を有している（図３参照）。
第一移動部位２１１は、第一固定部位２２１が当接する被検査基板の側面と対向する位置にある側面に当接し、第二移動部位２１２は、第二固定部位２２１が当接する被検査基板の側面と対向する位置にある側面に当接する。
このため、被検査基板が矩形の形状を有している場合には、被検査基板の４側面全てが、移動部２１又は固定部２２に当接し、移動部２１と固定部２２が被検査基板を取り囲んで保持することになる。
また、移動部２１と固定部２２は、夫々、被検査基板の一つの角部を挟んだ２つの辺（2つの側面）に当接する棒状の部材により構成されることになる。
尚、移動部２１は、被検査基板を保持した場合に、この被検査基板の中心に対して、固定部２２と点対称となるように形成されることが好ましい。このように形成されることにより、被検査基板を安定的に保持することができるからである。
【００１６】
図３で示される移動部２１は、第一移動部位２１１と第二移動部位２１２が示され、第一移動部位２１１と第二移動部位２１２の間に配置される第三部位２１３が示され、略Ｌ字状に形成されている。
第一移動部位２１１は、被検査基板が当接する側に突出する延設部２１１ａを有している。この延設部２１１ａが被検査基板と接触することにより、被検査基板を押圧することになる。
また、第三部位２１３と第一移動部位２１１の間の被検査基板が当接しない側には、切欠部２１１ｂが形成されている。
移動部２１が合成樹脂で形成され、且つ、この切欠部２１１ｂを設けることにより、第一移動部位２１１が支点Ａを中心として図３で示される矢印方向に、被検査基板の押圧により反作用方向に可動することになる。
このため、被検査基板は、少なくともこの延設部２１１ａの円形の一点で押圧される状態となる。この結果、第一移動部位２１１が、被検査基板による押圧を受けて外側に弾性変形しても、円形状の延設部２１１ａが確実に被検査基板に当接している状態を維持することになり（図４参照）、確実に被検査基板を固定することができる。
また、この延設部２１１ａが長時間の使用により磨耗により変形した場合であっても、延設部２１１ａの円形の一部が少なくとも被検査基板と当接するようになり、極めて長い期間使用することができるとともに、位置精度の高さが低減することがない。
【００１７】
第二移動部位２１２は、被検査基板が当接する側に突出する延設部２１２ａを有している。この延設部２１２ａが被検査基板と接触することにより、被検査基板を押圧することになる。
また、第三部位２１３と第二移動部位２１２の間の被検査基板が当接しない側には、切欠部２１２ｂが形成されている。移動部２１が合成樹脂で形成され、且つ、この切欠部２１２ｂを設けることにより、第二移動部位２１２が支点Ｂを中心として図３で示される矢印方向に、被検査基板の押圧により反作用方向に可動することになる。
このため、被検査基板は、少なくともこの延設部２１２ａの円形の一点で押圧される状態となる。この結果、第一移動部位２１１と同様、第二移動部位２１２が、被検査基板による押圧を受けて外側に弾性変形しても、円形状の延設部２１２ａが確実に被検査基板に当接している状態を維持することになり（図４参照）、確実に被検査基板を固定することができる。
また、この延設部２１１ａが長時間の使用により磨耗により変形した場合であっても、延設部２１２ａの円形の一部が少なくとも被検査基板と当接するようになり、極めて長い期間使用することができるとともに、位置精度の高さが低減することがない。
【００１８】
第三部位２１３は、後述する板状部３と接続される部位となる。この第三部位２１３の形状は、特に限定されず、螺子留めなどを例示することができ、板状部３と確実に接続される方法が用いられる。
【００１９】
移動部２１は、上記の説明の如く、被検査基板の側面に当接し、検査位置となる固定部２２まで被検査基板を搬送する。また、移動部２１は、固定部２２に被検査基板を搬送した後に、固定部２２へ被検査基板を押圧することにより確実に位置決めを行うことができる。このため、移動部２１は、図２で示される如く、矢印方向に移動可能に駆動することになる。
この移動部２１の駆動（図２の矢印方向の駆動）は、被検査基板の大きさや形状に応じて適宜調整されることになるが、移動部２１が被検査基板の押圧に応じて弾性変形する素材又は部材で構成されているので、被検査基板の大きさと略同じ大きさの空間が移動部２１と固定部２２により形成されるように移動量も調整される。
また、この移動部２１は、できるだけ被検査基板を固定部２２に押し付けるように調整されることが好ましい。このように調整されることによって、移動部２１の第一移動部位２１１と第二移動部位２１２の内側の接続部へ被検査基板の角部を押し付けることが可能となり、この結果、被検査基板の配置される位置精度を向上させることができるからである。
【００２０】
板状部３は、複数の基板保持機構２を保持する。この板状部３は、棒状の形状を有しており、その一方側面に基板保持機構２が配置される（図１参照）。
この板状部３は、耐久性及び磨耗性に優れた素材で形成され、例えば、ステンレス鋼を例示することができる。
この板状部３に配置される複数の基板保持機構２は、所定間隔で配置される。この所定間隔は特に限定されるものではなく、検査対象となる被検査基板の大きさに応じて設定される。
この板状部３は、後述する移動制御機構４と基板保持機構２を接続している。このため、移動制御機構４からの物理的な力をこの板状部３が各基板保持機構２へ伝達することになり、物理的な力を分散させ、且つ、均一化して、複数の基板保持機構２へ伝達することができる。
【００２１】
移動制御機構４は、被検査基板を保持するために、移動部２１を固定部２２へ移動させる。この移動制御機構４は、被検査基板を保持することのできる所定の移動量だけ移動部２１を移動させることができれば特に限定されるものではないが、下記の如き構成を例示する。
図２で示される移動制御機構４は、取付部４１、基部４２、腕部４３と動作制御棒４４を有してなる。
動作制御棒４４は、複数の被検査基板の整列方向と平行となるように配置され、被検査基板の配列長さと同じ長さを有して形成されている（図１参照）。このため、この動作制御棒４４は、全ての基板保持機構２を同時に動作させることができる。
この動作制御棒４４は、この整列方向に作動するように設定されている。この動作制御棒４４の作動（配列方向の動作）により、移動部２１が被検査基板を挟み込んだり、開放したりすることになる。
この動作制御棒４４は、収容部４４１を有している。この収容部４４１は、後述する腕部４３の先端を収容する。詳細は後述するが、この収容部４４１の大きさ（幅ｗ）は、移動部２１の移動量と相関関係にあるため、使用者により適宜設定される。
【００２２】
取付部４１は、基部４２から延設されるとともに板状部３と固定されている。この取付部４１に板状部３と螺子留めするための螺子留め孔が形成されている。
基部４２は、動作制御棒４４の配列方向の動作から、被検査基板を挟み込む方向の動作へと方向を変更する機構を有している。
このような機構を行うために、移動部２１が被検査基板を挟み込む方向と同方向の溝部５１が基台５に形成されている。この溝部５１が移動部２１の動作方向を制御する。
これは、基部４２に棒状部材４２２が取り付けられ、この棒状部材４２２の一端がこの溝部５１内に収容されることになる。このため、基部４２は、溝部５１の形状による移動の制限を受けることになる。尚、本実施形態では、棒状部材４２２が2つ示されている。
【００２３】
腕部４３は、動作制御棒４４の配列方向の動作を基部４２に伝達する。この腕部４３は、基部４２の取付部４１の反対側に延設される。この腕部４３の先端は収容部４４１に収容されており、動作制御棒４４の配列方向の作動に応じてこの腕部４３も配列方向に作動する。
尚、この腕部４３の先端には、収容部４４１に当接した場合の衝撃を吸収することのできる及び／又は円滑に動作制御棒４４と接するための緩衝部４３１が形成されることが好ましい。
【００２４】
この移動制御機構４は、上記の説明の如く、動作制御棒４４の動作方向に対して、相違する方向（本実施形態では図２で示される矢印方向（以下、保持方向と称する））に移動部２１を動作させることによって、固定部２２に被検査基板を押圧し保持する。
このため、動作方向と保持方向が相違していることになるが、取付部４１、基部４２と腕部４３が動作方向に対して略直角方向の一直線上に配置されることになるので、動作制御棒４４の動作を確実に且つ安定的に移動部２１に伝達することができる。
【００２５】
移動制御機構４の動作を説明する。
図５は、移動制御機構の動作を示す平面図であり、図５（ａ）は被検査基板が配置された状態を示し、図５（ｂ）は基板保持装置が動作して被検査基板を保持している状態を示し、図５（ｃ）は基板保持装置が動作して被検査基板を保持状態から開放した状態を示している。動作制御棒４４は、図５（ａ）で示される白矢印と黒矢印の両方に動作可能に形成されている。
動作制御棒４４が白矢印Ｂ１方向に動作すると、動作制御棒４４の収容部４４１に収容される腕部４３を白矢印Ｂ１方向に押す（収容部の側面Ａ１が腕部４３を押す）。このとき、腕部４３が白矢印Ｂ１方向に押されると、棒状部材４２２が溝部５１の右端に位置するように基部４２が左下方向に移動する（白矢印Ｂ２方向に移動する）。
この結果、基部４２が左下方向に移動するため、移動部２１も同様に左下方向に移動することになる。そして、移動部２１が被検査基板Ｐを押圧する。
つまり、動作制御棒４４が、図５（ａ）中の白矢印Ｂ１方向に移動すると、移動部２１が図５（ａ）中の白矢印Ｂ２方向に移動することになる（図５（ｂ）参照）。
【００２６】
動作制御棒４４が黒矢印Ｂ１方向に移動すると、動作制御棒４４の収容部４４１に収容される腕部４３を黒矢印Ｂ１方向に押す（収容部の側面Ａ２が腕部４３を押す）。このとき、腕部４３が黒矢印Ｂ１方向に押されると、棒状部材４２２が溝部５１の左端に位置するように基部４２が右上方向に移動する（黒矢印Ｂ２方向に移動する）。
この結果、基部４２が右上方向に移動するため、移動部２１も同様に右上方向に移動することになる。そして、移動部２１が被検査基板Ｐを保持位置から開放する。
つまり、動作制御棒４４が、図５（ａ）中の黒矢印Ｂ２方向に移動すると、移動部２１が図５（ａ）中の黒矢印Ｂ２方向に移動することになる（図５（ｃ）参照）。
【００２７】
基台５は、被検査基板を配置するための台であり、移動部２１の動作を制御するための溝部５１が形成される。この基台５の大きさや形状は、被検査基板を配置することのできる大きさや形状であれば特に限定されないが、被検査基板を載置する場合は位置精度のためにも均一の高さを有するように形成する。
基台５の溝部５１は、移動部２１を移動させる方向及び移動量に応じて形成される。本実施形態では、移動部２１を図５（ａ）の矢印Ｂ２方向に移動させるために形成されている。
以上が本発明に係る基板保持装置の構成である。
【００２８】
次に、本発明に係る基板保持装置の動作を説明する。
まず、移動部２１と固定部２２の間に被検査基板Ｐを載置する（図５（ａ）参照）。図５（ａ）では、移動部２１と固定部２２により被検査基板の載置場所が10箇所形成されており、10個の被検査基板Ｐが同時に検査することができる。
この図５（ａ）では、無造作に被検査基板Ｐが10個配置されている。
被検査基板Ｐが載置されると、動作制御棒４４が白矢印Ｂ１方向に移動する（図５（ｂ）参照）。
このとき、図５（ｂ）で示される如く、収容部４４１の側面Ａ１が腕部４３を押す。このため、腕部４３が矢印方向（紙面左方向）に移動するため、溝部５１の右端に棒状部材４２２が移動するように基部４２が移動することなる。この結果、基部４２は左下方向に移動する。
基部４３が左下方向に移動するので、移動部２１も左下方向に移動する。このため、移動部２１は被検査基板Ｐを固定部２２へ押さえつけることになる。
被検査基板Ｐが固定部２２に当接されると、被検査基板Ｐが移動部２１を押し返すことになる。この押し返す力を移動部２１が受け、移動部２１が弾性変形するとともに反作用の力である弾性力が生じる。この結果、被検査基板Ｐは、移動部２１により固定部２２に確実に押さえつけられることになる（図４参照）。
このとき、この基板保持装置１は、複数の基板を保持して検査を行うことになるが、板状部３を介して、移動制御棒４４の動作が伝達されることになるので、長期間使用した場合であっても、確実に移動部２１へ物理的力が伝達されることになり、高い耐久性を提供することができる。
【００２９】
被検査基板の検査が終了した場合には、移動制御棒４４が黒矢印Ｂ１方向に移動する（図５（ｃ）参照）。
このとき、収容部４４１の側面Ａ２が腕部４３を押す。このため、腕部４３が矢印方向（紙面右方向）に移動するため、溝部５１の左端に棒状部材４２２が移動するように基部４２が移動することなる。この結果、基部４２は右上方向に移動する。
基部４３が右上方向に移動するので、移動部２１も右上方向に移動する。このため、移動部２１は固定部２２に押さえ付けられていた被検査基板Ｐを保持状態から開放することになる。
被検査基板Ｐが固定部２２から開放されると、被検査基板Ｐは容易に取り出せることになる（図５（ｃ）参照）。
以上が本発明に係る基板保持装置の動作の説明である。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明に係る基板保持装置の一実施形態を示す概略平面図である。
【図２】本発明に係る基板保持装置の部分拡大平面図である。
【図３】本発明に係る移動部の拡大平面図である。
【図４】移動部と固定部の動作の状態を示す拡大平面図である。
【図５】移動制御機構の動作を示す平面図であり、図５（ａ）は被検査基板が配置された状態を示し、図５（ｂ）は基板保持装置が動作して被検査基板を保持している状態を示し、図５（ｃ）は基板保持装置が動作して被検査基板を開放している状態を示している。
【符号の説明】
【００３１】
１・・・・基板保持装置
２・・・・基板保持機構
２１・・・移動部
２１１・・第一移動部位
２１２・・第二移動部位
２２・・・固定部
２２１・・第一固定部位
２２２・・第二固定部位
３・・・・板状部
４・・・・移動制御機構
５・・・・基台
Ｐ・・・・被検査基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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