(57)【要約】【課題】光学デバイスの有効範囲領域を精度よく判別できる光学デバイスの外観検査装置を提供する。【解決手段】外観検査装置１は、検査対象の光学デバイス２を載置する載置台３と、載置台３に載置された光学デバイス２を裏面より斜めに照明する照明具４と、載置台３に載置された光学デバイス２を撮影するカメラ５と、カメラ５により撮影した撮影画像を表示するモニター６と、モニター６に表示された光学デバイス２の外形領域及び有効領域範囲を示す枠画像が、モニター６に適切な位置に表示されるように制御する表示制御装置７とにより構成される。【選択図】図１
2008139235.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象である光学デバイスを載置する載置台と、
前記載置台に載置された光学デバイスを照明する照明手段と、
前記載置台に載置された光学デバイスを撮影する撮影手段と、
前記撮影手段により撮影した撮影画像を表示する表示手段と、
前記表示手段に表示された前記光学デバイスの外形領域及び有効領域を示す枠画像が前記表示手段に表示されるように制御する表示制御手段と、
を備えたことを特徴とする光学デバイスの外観検査装置。
【請求項２】
前記表示制御手段は、前記枠画像を平行移動させる第１の選択領域と、前記枠画像を回転移動させる第２の選択領域を前記表示手段に表示させることを特徴とする請求項１に記載の光学デバイスの外観検査装置。
【請求項３】
所定のキャリブレーションデータが書き込まれた設定ファイルを読み出すステップと、
検査対象の光学デバイスを撮影した画像と前記設定ファイルに書き込まれた光学デバイスの外形領域及び有効領域を示す枠画像とを表示するステップと、
前記枠画像に設けた第１の選択領域がポインティングデバイスにより選択されたかどうかを判別するステップと、
前記第１の選択領域が選択されたと判別したときに前記ポインティングデバイスの座標位置に前記枠画像を平行移動させて表示するステップと、
前記枠画像に設けた第２の選択領域がポインティングデバイスにより選択されたかどうかを判別するステップと、
前記第２の選択領域が選択されたと判別したときに前記ポインティングデバイスの座標位置に前記枠画像を回転移動させて表示するステップと、
を含むことを特徴とする光学デバイスの外観検査方法。
【請求項４】
前記枠画像により判別される光学デバイスの有効領域範囲内において、不良箇所を示す光跡の面積が所定値を超えているかどうかを判別するステップと、
前記光跡の面積が所定値を越えていると判定した場合、検査対象の光学デバイスを不良品と判定するステップと、
前記光跡の面積が所定値を越えていないと判定した場合、検査対象の光学デバイスを良品と判定するステップと、
前記判定結果をモニター画面上に表示するステップと、
を含むことを特徴とする請求項３に記載の光学デバイスの外観検査方法。
【請求項５】
コンピュータに請求項３又は請求項４に記載の検査方法を実行させることを特徴とするプログラム。
【請求項６】
コンピュータに請求項５に記載のプログラムを記録したことを特徴とするコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学デバイスの外観検査装置とその検査方法、プログラム、および記録媒体に関し、特に光学デバイスの製造時などに発生する光学デバイスの光学面の傷や塵の付着による不良箇所の有無を、モニターの画面上に表示する光学デバイスの有効領域範囲内において特定し、光学デバイスの良否判定を行う外観検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
光学デバイスは、光線が入出射する光学面に傷や塵の付着のないことが必要であり、光学デバイスの製造工程において、光学面に傷や塵の付着の有無を検査する光学デバイスの外観検査が行われる。
図９は、従来の光学デバイスの外観検査装置の構成図である。この図９に示す外観検査装置１０１は、検査対象の光学デバイス１０２を載置する載置台１０３と、載置台１０３の裏面より光学デバイス１０２を照明する照明具１０４と、照明具１０４により裏面から照明された光学デバイス１０２を上方から撮影するカメラ１０５と、カメラ１０５が撮影した画像信号を入力し表示するモニター１０６とにより構成される。
【０００３】
従来の外観検査装置１０１の各機能を説明する。検査対象の光学デバイス１０２は、載置台１０３の表面中央部に備えた回転台上に載置される。載置台１０３の中央部は、載置される光学デバイス１０２の有効光学面領域に相当する部分に開口部が設けられており、照明具１０４により載置台１０３の裏面を斜めに照明すると、光学デバイス１０２の光学面に対して斜めに光線が照射されるようになっている。このとき、光学デバイス１０２の光学面に傷を有していたり塵が付着していたりすると、光学デバイス１０２の光学面に対して斜めに照射している光線に散乱が発生し、光線は発散する。そこで、光学デバイス１０２の光学面に対して垂直方向上部に配置したカメラ１０５により光学デバイス１０２の光学面を撮影すると、光学面に傷のない場合や塵が付着していない場合は、照明具１０４により斜めに照射された光線は、撮影されない。一方、光学デバイス１０２の光学面に傷を有していたり塵が付着していたりすると、光学デバイス１０２の光学面に対して斜めに照射している光線に散乱が発生し、光線は発散するので、カメラ１０５により光学面の傷や塵の付着による光跡が撮影される。
【０００４】
次に、カメラ１０５により撮影された画像信号はモニター１０６に出力される。モニター１０６においては、カメラ１０５により撮影された光学デバイス１０２を拡大表示する。そして、拡大表示された光学デバイス１０２を作業者が目視して、光学面に生じた傷や付着した塵により発散した光線の光跡を認識する。この光跡の面積が所定値より大きい場合は、光学デバイス１０２を不良品として判定し、光跡の面積が所定値より小さい場合は、光学デバイス１０２を良品として判定する。また、光線が発散した際の前記光跡の大きさは、光学デバイスに生じた傷や付着した塵に入射する光線の角度により異なるため、載置台１０３に備えた回転台を光線が発散した際の光跡が最大となるよう回転させた後、光学デバイス１０２の良否判定を行う。
【０００５】
光学関連部品の検査装置の従来例としては、特許文献１に示したレンズの特性検査装置、特許文献２に示した固体撮像素子の検査装置などがある。レンズの特性検査装置は、検査対象物を撮像素子により撮影して画像処理を行うことでレンズの検査を行うものであり、固体撮像素子の検査装置は、検査対象の固体撮像素子の画像データを画像処理して検査を行うものである。
【特許文献１】特開２００５−１３４２６９公報
【特許文献２】特開２００６−１５６６４１公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
光学デバイスの光学面の傷や塵の付着の有無を検査する際は、光学デバイスの光学面の有効領域範囲内について検査すればよい。そこで、従来、光学デバイスの外観検査時には、撮影した光学デバイスを拡大表示するモニターの表示画面の前面に、所定の大きさに加工した検査用の有効領域範囲表示枠をあてがい、その有効領域範囲表示枠内に含まれる傷や塵の付着の有無を検査していた。
図１０は、モニターの表示画面の前面に検査用の有効領域範囲表示枠をあてがう様子を示す図である。図１０（ａ）は、モニターの表示画面の前面に有効領域範囲表示枠をあてがう前の状態を示し、図１０（ｂ）は、モニターの表示画面の前面に有効領域範囲表示枠をあてがった後の状態を示す。有効領域範囲表示枠１０７は、光学デバイスの外形寸法に合わせた大きさであり、光学デバイスの有効領域範囲１０８の部分がくり貫かれた構造である。この有効領域範囲表示枠１０７をモニター１０６の画面上に表示された光学デバイスの拡大画像１０９の外形に合わせて位置決めしてあてがい、有効領域範囲１０８内に含まれる傷や塵の付着の有無を光学デバイスの裏面より照射した光線の光跡により認識し、良否判定を行っていた。
【０００７】
しかしながら、従来の外観検査装置１００は、モニター１０６の画面上に表示した光学デバイスの拡大画像１０９が、モニター１０６の特性により表示画面の縦横の比率が実際の比率よりずれる場合があり、光学デバイスの拡大画像１０９の外形寸法が実際の寸法と異なってしまう場合が生ずる。従って、有効領域範囲表示枠１０７を用いて光学デバイスの拡大画像１０９の有効範囲領域を判別しても実際の有効範囲領域と異なるため、検査対象の光学デバイスの良否判定を誤る可能性を有している。特に、光学デバイスの有効領域範囲の境界に近い部分に傷や塵の付着が発生した場合に問題となる。
本発明は、上述したような問題を解決するためになされたものであって、モニターに拡大表示された光学デバイスの縦横の比率が実際の光学デバイスのものと異なっていても、光学デバイスの有効範囲領域を精度よく判別できる光学デバイスの外観検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために本発明に係る光学デバイスの外観検査装置は、検査対象である光学デバイスを載置する載置台と、載置台に載置された光学デバイスを照明する照明手段と、載置台に載置された光学デバイスを撮影する撮影手段と、撮影手段により撮影した撮影画像を表示する表示手段と、表示手段に表示された光学デバイスの外形領域及び有効領域を示す枠画像が表示手段に表示されるように制御する表示制御手段とを備えたことを特徴とする。
このような本発明によれば、検査対象の光学デバイスの外形領域と有効領域範囲を判別する枠画像を、カメラにより撮影した光学デバイスの撮影画像と共にモニターに重ねて表示する機能を備えている。従って、モニターの画面上に表示した有効領域範囲は、予め、モニターの特性に合わせて表示画面の縦横の比率を校正することができ、モニター画面上に光学デバイスを拡大表示した際に、モニターの特性に左右されずに正確な光学デバイスの有効領域範囲を判別することが可能となる。
【０００９】
本発明に係る光学デバイスの外観検査装置は、表示制御手段は、枠画像を平行移動させる第１の選択領域と、枠画像を回転移動させる第２の選択領域を表示手段に表示させることを特徴とする。
このような本発明によれば、載置台に検査対象の光学デバイスを載置した際に、載置した光学デバイスの位置がばらついてカメラにより撮影した光学デバイスの拡大画像の位置が一定とならない場合に、第１の選択領域と第２の選択領域を操作することにより枠画像の位置を調整可能である。従って、枠画像を光学デバイスの拡大画像の位置に一致させて重ね合わせることができ、光学デバイスの有効領域範囲を精度よく判別可能となる。
【００１０】
本発明に係る光学デバイスの検査方法は、所定のキャリブレーションデータが書き込まれた設定ファイルを読み出すステップと、検査対象の光学デバイスを撮影した画像と設定ファイルに書き込まれた光学デバイスの外形領域及び有効領域を示す枠画像とを表示するステップと、枠画像に設けた第１の選択領域がポインティングデバイスにより選択されたかどうかを判別するステップと、第１の選択領域が選択されたと判別したときにポインティングデバイスの座標位置に枠画像を平行移動させて表示するステップと、枠画像に設けた第２の選択領域がポインティングデバイスにより選択されたかどうかを判別するステップと、第２の選択領域が選択されたと判別したときにポインティングデバイスの座標位置に枠画像を回転移動させて表示するステップとを含むことを特徴とする。
このような本発明によれば、光学デバイスの検査方法は、ポインティングデバイスを用いて第１の選択領域、或いは第二の選択領域を選択することにより、容易に枠画像を平行移動、或いは回転移動させることができ、枠画像を光学デバイスの拡大画像の位置に一致させて重ね合わせる際に、精度よく一致させることが可能となる。
【００１１】
本発明に係る光学デバイスの検査方法は、前記枠画像により判別される光学デバイスの有効領域範囲内において、不良箇所を示す光跡の面積が所定値を超えているかどうかを判別するステップと、光跡の面積が所定値を越えていると判定した場合、検査対象の光学デバイスを不良品と判定するステップと、光跡の面積が所定値を越えていないと判定した場合、検査対象の光学デバイスを良品と判定するステップと、判定結果をモニター画面上に表示するステップとを含むことを特徴とする。
このような本発明によれば、モニター画面上に表示される光学デバイスの有効領域範囲内において、光学デバイスに生じた傷や付着した塵により生ずる不良箇所の光跡の面積を判別し、光跡の面積が所定値を超えているか否かの良否判定を行うことができるので、光学デバイスの外観検査を自動化する上で大きな効果を発揮する。
【００１２】
本発明に係るプログラムは、コンピュータに本発明の検査方法を実行させることを特徴としている。このような本発明によれば、本発明の検査方法による処理に従いコンピュータのＣＰＵが記憶装置に記憶されたプログラムを実行することにより本発明の検査方法を実現することができる。
本発明に係る記録媒体は、コンピュータに本発明のプログラムを記録したことを特徴とするコンピュータ読み取り可能な記録媒体である。このような本発明によれば、本発明のプログラムを記録媒体に記録して提供したり、ネットワーク等の通信網を介して記憶装置に格納されたプログラムをサーバコンピュータから直接供給したりすることが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図示した実施形態に基づいて本発明を詳細に説明する。
本発明においては、光学デバイスの有効領域範囲を判別する手段として、モニター画面上に光学デバイスの撮影画像と共に光学デバイスの外形領域と有効領域範囲を示す枠画像を重ねて表示することにした。従って、モニターの画面上に表示した有効領域範囲は、予め、モニターの特性に合わせて表示画面の縦横の比率を校正することができ、モニター画面上に光学デバイスを拡大表示した際に、モニターの特性に左右されずに正確な光学デバイスの有効領域範囲を判別することが可能となる。
【００１４】
図１は、本発明に係る光学デバイスの外観検査装置の構成を示す図である。
図１に示す本実施形態の外観検査装置１は、検査対象の光学デバイス２を載置する載置台３と、該載置台３に載置された前記光学デバイス２を裏面より斜めに照明する照明具（照明手段）４と、前記載置台３に載置された前記光学デバイス２を上方から撮影するカメラ（撮影手段）５と、該カメラ５により撮影した撮影画像を表示するモニター（表示手段）６と、該モニター６に表示された前記光学デバイス２の外形領域及び有効領域範囲を示す枠画像が、前記光学デバイス２の撮影画像の位置と一致するよう制御する表示制御装置（表示制御手段）７とにより構成される。
【００１５】
本実施形態の外観検査装置１の動作について説明する。検査対象の光学デバイス２は、載置台３の表面中央部に備えた回転台に載置される。載置台３の中央部は、載置される光学デバイス２の光学面の有効領域範囲に相当する部分に開口部が設けられており、照明具４により載置台３の裏面を斜めに照明すると、光学デバイス２の光学面に対して斜めに光線が照射されるようになっている。このとき、光学デバイス２の光学面に傷を有していたり塵が付着していたりすると、即ち光学面に不良箇所があると、光学デバイス２の光学面に対して斜めに照射している光線に散乱が発生し、光線は発散する。
【００１６】
そこで、光学デバイス２の光学面に対して垂直方向上部に配置したカメラ５により光学デバイス２の光学面を撮影すると、光学面に傷がない場合や塵が付着していない場合は、照明具４により斜めに照射された光線は、撮影されない。一方、光学デバイス２の光学面に傷を有していたり塵が付着していたりすると、光学デバイス２の光学面に対して斜めに照射している光線に散乱が発生し、光線は発散するので、光線の光跡が撮影される。また、該光跡の大きさは、光学デバイスに生じた傷や付着した塵に入射する光線の角度により異なるため、載置台３に設けた回転台を回転させて光線が発散した際の光跡が最大となるよう設定しておく。
【００１７】
カメラ５により撮影された光学デバイス２の撮影画像信号は、表示制御装置７へ入力される。表示制御装置７においては、検査対象の光学デバイス２の外形領域と有効領域範囲を判別する枠画像を、カメラ５により撮影した光学デバイス２の撮影画像に重ねて表示する機能を備えており、撮影画像信号と枠画像信号とをモニター６に入力する。なお、枠画像の詳細については後述する。このとき、モニター６に表示された枠画像の外形領域が、光学デバイス２の撮影画像の外形の位置に一致しない場合には、枠画像の位置を調整する必要があり、表示制御装置７は、枠画像を平行移動、或いは回転移動させることが可能となっている。次に、前記枠画像の位置の調整後、モニター６において、光学デバイス２の撮影画像に重ねて表示された有効領域範囲内の前記光跡を目視により認識し、光学デバイスに生じた傷や付着した塵の面積が所定値を超えるか否かにより良否判定を行う。
【００１８】
次に、表示制御装置７の具体的なハードウェアの構成について説明する。
図２は、本発明に係る表示制御装置のハードウェア構成を示す図である。図２において、ＣＰＵ（Central Processing Unit）８は、表示制御装置７の全体の制御処理を司っている。ＲＯＭ（Read Only Memory）９は、プログラムデータ等が記憶されており、必要に応じてバス１０を介してＣＰＵ８が読み出しを行うことで、ここに格納されたプログラムに従った処理を実行することができるようになっている。ＲＡＭ（Random Access Memory）１１には、ＣＰＵ８が各種処理を実行するのに必要なデータやプログラム等が適宜保持される。モデム１２は、電話回線やケーブルなどによる有線の通信を制御し、例えば、プログラムデータを更新する場合は、このモデム１２を介してインターネット上のサーバからプログラムデータをダウンロードしてもよい。
【００１９】
ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）１３は、記憶媒体としてハードディスク（ＨＤ）１４が備えられており、ＣＰＵ８がＨＤＤ１３に対してデータやプログラム等の記録又は読み出しを行うことができる。この場合、ＣＰＵ８は、ＨＤ１４に記憶されているアプリケーションプログラムを読み出し、ＲＡＭ１１に展開することで、そのアプリケーションプログラムに従った各種処理を実行する。
ドライブ装置１５には、例えば光ディスク、ＣＤ（Compact Disc）方式のディスク、ミニディスク（Mini Disc）、或いはフラッシュメモリなどのメモリカードといった各種の外部記録媒体１６が装填可能となっており、ＣＰＵ８が、装填された外部記録媒体１６に記録されているアプリケーションプログラムを読み出してＨＤ１４に記録することが可能である。また、内部バス１０にはキーボード１７やポインティングデバイスであるマウス１８などの入力装置が接続されると共に、表示Ｉ／Ｆ１９を介してモニター６が接続される。また内部バス１０にはプリンタＩ／Ｆ２０を介してプリンタ２１が接続可能となっている。さらに、内部バス１０には、カメラＩ／Ｆ２２を介してカメラ５が接続されている。
【００２０】
次に、本実施形態の外観検査装置についてモニター画面の実施形態例を示して具体的な検査方法を説明する。図３は本実施形態の外観検査装置のモニター画面例を示した図である。図３は検査を開始する際の初期画面であり、図示しないが外観検査装置１の電源を投入すると、モニター画面上に外観検査を示すアイコンが表示されるので、このアイコンをクリックすると表示される画面である。モニター画面２３には、カメラが撮影した検査対象の光学デバイスの拡大画像や検査対象の光学デバイスの外形領域と有効領域範囲を示す枠画像などを表示するビデオキャプチャーウインドウ２４と、検査対象の光学デバイスの外形寸法や有効領域寸法を入力すると共に、画面の切り替えなどを行う回転枠サブウインドウ２５とが表示されている。
【００２１】
次に、前記ビデオキャプチャーウインドウ２４について説明する。
図４はビデオキャプチャーウインドウの拡大図である。
この図４に示すようにビデオキャプチャーウインドウ２４には、カメラにより撮影された検査対象の光学デバイスの拡大画像２６が表示されている。さらに、光学デバイスの拡大画像２６に重ねて検査対象の光学デバイスの外形領域２７と有効領域範囲２８を示す枠画像２９が表示される。枠画像２９には、第１の選択領域３０と、第２の選択領域３１が設けられており、第１の選択領域３０をポインティングデバイスであるマウスを用いてクリックしたままドラッグすることにより、枠画像２９を平行移動することができる。また、第２の選択領域３１を同様にマウスを用いてクリックしたままドラッグすることにより、枠画像２９を回転移動させることができる。外観検査装置１の載置台に検査対象の光学デバイスを載置した際に、載置した光学デバイスの位置のばらつきや回転台の回転などにより、カメラにより撮影した光学デバイスの拡大画像２６の位置が一定とならない。そこで、前記枠画像２９を光学デバイスの拡大画像２６に重ねて表示する際に、第一の選択領域３０と第二の選択領域３１を操作することにより枠画像２９の位置を調整して枠画像２９を光学デバイスの拡大画像２６の位置に一致させて重ね合わせる必要がある。
【００２２】
次に、前記回転枠サブウインドウ２５について説明する。
図５は回転枠サブウインドウの拡大図である。
回転枠サブウインドウ２５には、枠画像の表示／非表示を切り替える領域３２と、モニター画面のモードをノーマルモード／キャリブレーションモードに切り替える領域３３と、検査対象の光学デバイスの外形寸法を入力する領域３４と、検査対象である光学デバイスの有効領域の寸法を入力する領域３５とを備えている。
領域３２は、モニター画面上に表示している枠画像を非表示としたい場合に使用され、この領域をマウスなどのポインティングデバイスを用いてクリックすることにより枠画像を表示／非表示に切り替えることができる。
領域３３は、モニター画面のモードを切り替える領域であり、マウスなどのポインティングデバイスを用いてクリックすることにより二つのモードを選択可能である。選択可能なノーマルモードとは、前述した図３に示したモニター画面を表示するモードである。ノーマルモードのモニター画面は、光学デバイスの外観検査時に最初に表示される画面であり、前述したように、このモニター画面を用いて外観検査を行う。
【００２３】
一方、キャリブレーションモードとは、外観検査を行うために必要な情報を入力するモードであり、検査対象の光学デバイスの外形寸法や有効領域範囲などの情報を外観検査装置に入力し、記憶させるために用いるモニター画面のモードである。
図６はモニターのキャリブレーションモードの画面例を示した図である。
図６に示すようにキャリブレーションモードのモニター画面３６は、前述した回転枠サブウインドウ２５とビデオキャプチャーウインドウ３７を表示している。図５に示したように、回転枠サブウインドウ２５に設けられた領域３４と領域３５は、それぞれ検査対象の光学デバイスの外形寸法や有効領域範囲の数値情報を入力する領域であり、検査対象の光学デバイスの数値情報を入力する。
一方、ビデオキャプチャーウインドウ３７には、検査対象となる光学デバイスを撮影した拡大画像３８と、拡大画像３８の対角線上に、枠画像を形成するために必要な第１の調整ポイント３９と、第２の調整ポイント４０が表示される。
【００２４】
そこで、図６に示すように、第１の調整ポイント３９を、マウスを用いてクリックし、光学デバイスの拡大画像３８の一方の対角までドラッグするとともに、第２の調整ポイント４０を、マウスを用いてクリックし、光学デバイスの拡大画像３８の他方の対角までドラッグする。これは、モニター画面上に検査対象の光学デバイスの外形領域や有効領域範囲を示す枠画像を表示する際に、モニターの特性などにより表示誤差が発生することを防ぐための作業である。なお、キャリブレーションモード時に入力された検査対象である光学デバイスの数値情報などのキャリブレーションデータは、外観検査装置に記憶され、次回の外観検査時には、キャリブレーションモードによる作業は不要である。さらに、複数種類の光学デバイスに本検査装置を対応させる場合であれば、キャリブレーションモード時に入力したそれぞれの種類の光学デバイスの数値情報は全て記憶され、次回の外観検査時には、検査対象の光学デバイスの製品名を選択することで所定のキャリブレーションデータが読み出される。
【００２５】
以上説明したように、モニター画面には、ノーマルモードとキャリブレーションモードとがあり、キャリブレーションモードを選択すると、検査対象の光学デバイスの外形寸法や有効領域範囲の数値情報などを入力が可能であり、ノーマルモードを選択すると、表示される枠画像の位置の調整が可能となり、調整後に光学デバイスに生じた傷や付着した塵の面積が所定値を超えるか否かにより良否判定を行う。
【００２６】
次に、光学デバイスの外観検査方法についてフローチャートを用いて説明する。
図７は、本実施形態の外観検査装置が実行する処理動作を示したフローチャートである。なお、以下に説明する処理は、コンピュータである表示制御装置７のＣＰＵ８がＨＤ１４に記憶されたプログラムを実行することにより実現されるものである。
図７は光学デバイスの外観検査時に、ビデオキャプチャーウインドウに検査対象の光学デバイスの有効領域範囲を示す枠画像を表示して、この枠画像を、撮影した検査対象の光学デバイスの拡大画像に位置合わせする処理を示すものである。また、図７に示すフローチャートは、前提として、前述したキャリブレーションモードによる作業が終了しており、キャリブレーションデータがＨＤ１４に記憶されているものとする。
モニター画面上に表示されているアイコンなどをクリックすることにより外観検査がスタートすると（ステップ１）、所定の設定ファイルやキャリブレーションデータを読み出してノーマルモードの画面がモニターに表示する（ステップ２）。
【００２７】
さらに、モニター画面のビデオキャプチャーウインドウに、カメラにより撮影された検査対象の光学デバイスの拡大画面と、前記設定ファイルに書き込まれている光学デバイスの外形領域と有効領域を示す枠画像とを表示する（ステップ３）。
次に、ビデオキャプチャーウインドウ内の第１の選択領域が選択されたかどうかを判別し（ステップ４）、選択されたと判別した場合は、ポインティングデバイスの座標位置に枠画像を平行移動させて表示する(ステップ５)。一方、第１の選択領域が選択されない場合はステップ６に移行する。
次に、ビデオキャプチャーウインドウ内の第２の選択領域が選択されたかどうかを判別し（ステップ６）、選択されたと判別した場合は、ポインティングデバイスの座標位置に枠画像を回転移動させて表示した後(ステップ７)、ステップ４に戻る。一方、第２の選択領域が選択されない場合はステップ４に戻る。
このようにすれば、ポインティングデバイスであるマウスを用いて第１の選択領域、或いは第二の選択領域を選択することにより、容易に枠画像を平行移動、或いは回転移動させることができ、枠画像を光学デバイスの拡大画像の位置に一致させて重ね合わせる際に、精度よく一致させることが可能となる。
【００２８】
次に、本実施形態の外観検査装置に検査対象の光学デバイスの良否判定機能を備えた場合の外観検査方法について説明する。
図８は、その場合の外観検査装置が実行する処理動作を示したフローチャートである。なお、以下に説明する処理は、コンピュータである表示制御装置７のＣＰＵ８がＨＤ１４に記録されたプログラムを実行することにより実現されるものである。
また、図８は上記図７に示した処理が終了後に実行されるものである。
所定のスタートボタンを押下することで検査処理がスタートする（ステップ８）。
そこで、ビデオキャプチャーウインドウに拡大表示されている検査対象の光学デバイスに傷や塵の付着がないかを判定するため、表示されている枠画像の有効領域範囲内に生ずる傷や塵の付着による光跡の面積が所定値を超えているかを判別する（ステップ９）。その結果、光跡の面積が所定値を超えている場合は、検査対象の光学デバイスが不良品であると判定し（ステップ１０）、モニター画面上に不良判定結果を表示する(ステップ１１)。一方、光跡の面積が所定値を超えていない場合は、検査対象の光学デバイスが良品であると判定し（ステップ１２）、モニター画面上に良判定結果を表示する(ステップ１１)。モニター画面上に判定結果を表示後、検査処理は終了する(ステップ１３)。
このようにすれば、モニター画面上に表示される光学デバイスの有効領域範囲内において、光学デバイスに生じた傷や付着した塵により生ずる光跡の面積を判別し、コンピュータにより光跡の面積が所定値を超えているか否かの良否判定を行うことができるので、光学デバイスの外観検査を自動化する上で大きな効果を発揮する。
なお、これまで説明した本実施形態の検査方法はあくまでも一例であり、その処理順序等は適宜変更可能であることは言うまでもない。
【００２９】
以上、光学デバイスの外観検査方法が実行する処理動作を示したが、このような機能を実現するプログラムは、例えば、ＲＯＭ、不揮発性メモリ等の半導体記憶媒体、或いは、ＤＶＤ、ＭＯ、ＭＤ、ＣＤ等の光媒体、磁気テープ、フレキシブルディスク等の磁気媒体といったいずれの形態で提供されてもよい。また、ネットワーク等の通信網を介して記憶装置に格納されたプログラムをサーバコンピュータから直接供給を受けるようにしてもよい。この場合、このサーバコンピュータの記憶装置も本発明の記録媒体に含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の実施形態としての外観検査装置の構成を示す図である。
【図２】本実施形態に係る表示制御装置のハードウェア構成を示す図である。
【図３】本実施形態の外観検査装置のモニター画面を示す図である。
【図４】ビデオキャプチャーウインドウの拡大図である。
【図５】回転枠サブウインドウの拡大図である。
【図６】キャリブレーションモードの画面を示す図である。
【図７】本実施形態の外観検査装置が実行する処理動作を示した第１のフローチャートである。
【図８】本実施形態の外観検査装置が実行する処理動作を示した第２のフローチャートである。
【図９】従来の光学デバイスの外観検査装置の構成図である。
【図１０】モニターの表示画面の前面に検査用の有効領域範囲表示枠をあてがう様子を示す図である。
【符号の説明】
【００３１】
１…外観検査装置、２…光学デバイス、３…載置台、４…照明具、５…カメラ、６…モニター、７…表示制御装置、８…ＣＰＵ、９…ＲＯＭ、１０…バス、１１…ＲＡＭ、１２…モデム、１３…ＨＤＤ、１４…ＨＤ、１５…ドライブ装置、１６…外部記憶媒体、１７…キーボード、１８…マウス、１９…表示Ｉ／Ｆ、２０…プリンタＩ／Ｆ、２１…プリンタ、２２…カメラＩ／Ｆ
【図１】
2008139235.tif 000003
【図２】
2008139235.tif 000004
【図３】
2008139235.tif 000005
【図４】
2008139235.tif 000006
【図５】
2008139235.tif 000007
【図６】
2008139235.tif 000008
【図７】
2008139235.tif 000009
【図８】
2008139235.tif 000010
【図９】
2008139235.tif 000011
【図１０】
2008139235.tif 000012