(57)【要約】【課題】ミラーを有する露光装置をもつ感光体感度特性評価装置において、露光面の明暗の偏りを目視に依らず、容易に、かつ、定量的に検出し、修正できる手段を提供すること。【解決手段】ミラーを有して被露光体を露光する露光装置であって、光源からの光が照射する露光エリア（１）と、被露光体（サンプル）の測定エリア（２）の大きさの間には（１）＞（２）の関係があり、少なくとも２つ以上のフォトダイオードが（１）と（２）の間のエリアの対極に配置され、相対する位置にあるフォトダイオードの光電流出力の差を検知し、その差があらかじめ定められた値以下になるように露光エリア内の光照度を変更可能であるようにしたこと特徴とする露光装置。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ミラーを有して被露光体を露光する露光装置であって、光源からの光が照射する露光エリア（１）と、被露光体（サンプル）の測定エリア（２）の大きさの間には（１）＞（２）の関係があり、少なくとも２つ以上のフォトダイオードが（１）と（２）の間のエリアの対極に配置され、相対する位置にあるフォトダイオードの光電流出力の差を検知し、その差があらかじめ定められた値以下になるように露光エリア内の光照度を変更可能であるようにしたこと特徴とする露光装置。
【請求項２】
光源、ミラー、サンプル台がこの順に配置されていて、光源から出た光はミラーによる反射で光路をサンプル台の方向に曲げられた後、サンプル台に到達する露光装置であって、少なくとも１対のフォトダイオードがサンプル測定エリア外の周縁部で、サンプル面入射前の位置で、ミラーの角度変更による露光面移動方向の相対する位置に設置されていて、相対するフォトダイオードの光電流出力の差があらかじめ定められた値以下になるようにミラーの角度が調節可能であるように構成されたことを特徴とする露光装置。
【請求項３】
光源、ミラー、ガラス基体に透明導電膜が成膜された透明電極、該透明電極に近接してサンプル台がこの順に配置されていて、光源から出た光はミラーによる反射で光路を透明電極の方向に曲げられた後、透明電極を透過し、サンプル台に到達する露光装置であって、少なくとも１対のフォトダイオードがサンプル測定エリア外の周縁部、ガラス電極入射前の位置で、ミラーの角度変更による露光面移動方向の相対する位置に設置されていて、相対するフォトダイオードの光電流出力の差があらかじめ定められた値以下になるようにミラーの角度が調節できるように構成されたことを特徴とする露光装置。
【請求項４】
サンプル台の透明電極側に向く面に、照射される光を吸収する手段が施されていることを特徴とする請求項３に記載の露光装置。
【請求項５】
二つ以上の光源に対し、入射部が光源の数だけあり、出射部が一つの分岐型ライトガイドで光路変更用ミラーへ光を導く露光装置であって、フォトダイオードは光源の数と同じかそれ以上であって、相対するフォトダイオードの光電流出力の差があらかじめ定められた値以下になるように各光源の出力光量を増減する手段を設けたことを特徴とする露光装置。
【請求項６】
前記各光源の出力光量増減手段がニュートラルデンシティフィルターであることを特徴とする請求項５に記載の露光装置。
【請求項７】
前記各光源の出力光量増減手段が無段階ニュートラルデンシティフィルターであることを特徴とする請求項６に記載の露光装置。
【請求項８】
前記各光源の出力光量増減手段がランプ点灯電圧あるいは電流の増減であることを特徴とする請求項５に記載の露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子写真用感光体の感度特性測定装置で使用する露光装置に関し、光路中に反射ミラーを有する露光装置で、その照射エリアの照度が均一であること（明暗の偏りがないこと）を必要とする露光装置に応用される。
【背景技術】
【０００２】
電子写真用感光体の感度特性測定装置では、感光体（サンプル）に光を照射することになるが、サンプルにある広がりのある露光を行なう場合、単なる照明を行なうのでないかぎり、その露光エリアにおける照度分布は常に問題になる。これはサンプルにどれだけの露光エネルギーを与えたかを把握するためであり、照度分布が均一な光をサンプル全体に露光することで、サンプルに与えた露光エネルギーの算出が簡単になり、算出される露光エネルギー値の精度も良くなるからである。このため、従来より露光面の照度分布の状態を把握する計測手段の開発が、測定精度、測定時間短縮を目的に行なわれてきた。一方、把握された照度分布の状態から、露光装置の改造に結びつける試みも行なわれてきた。
【０００３】
露光面における照度分布を測定する方法としては、簡易的な方法にはフォトダイオードにマスク（数ｍｍφ、または□の小さい穴あき）をつけ、露光面をステップで移動させ、受けた光照度に対応した電流値を負荷抵抗により電圧に変え、これをデジタルマルチメータ、あるいはＡ／Ｄ変換ボード等に入力し値を読む方法がある。読みとった値と位置の情報との対応から、照度分布データを得る。照度分布データを素早く得るために、センサーが一定間隔で並んだフォトダイオードアレイを使うことも知られている。また、露光面に乳白色のアクリルの板などを置き、そこにレンズの焦点を合わせ撮像管、あるいはＣＣＤカメラに像を結んで観察する方法もある。これらは一度に照度分布データを得る方法であるが、本来の露光装置に照度分布測定装置が組み込まれ、測定が終わると取り外すことになり、測定が煩雑である。一体化すると、装置が大きく、複雑になること、コストがかかること等の問題がある。
【０００４】
露光装置を改造して照度分布を改善する方法としては、光源から被露光体までの光路を大きくとる、筒を通す光学系の場合では光路途中の内壁を黒くし散乱を抑える、集光レンズおよびマスクを用いて必要な光量を確保しかつ平行光束による露光を得る、更には得られた照度分布データから、照度分布に対応した補正手段、例えば位置による透過幅の異なるスリット、位置による透過率の異なる光学フィルターを当てる等の手段がある。
【０００５】
感光体の感度特性測定装置では、装置の構成から、ミラーを有する露光装置をもたせる場合があるが、ミラーが光の方向を曲げるので、このミラーが原因で照度分布に明暗の偏りを持つことがある。このような場合、ミラーの角度が適切ではないことが多く、露光面で偏りが生じていることがわかると、ミラーの角度を調節して修正していたが、照度分布に偏りが生じているかどうか、そして修正されたかどうかは、露光面に白紙、あるいは乳白色のアクリルの板などを置き、目視で照度分布の有無を判断していた。人間の目は明るさに２０％以上の差がないと識別できないとの説もあり、目視による判断は正確ではなかった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は以上に鑑み、ミラーを有する露光装置をもつ感光体感度特性評価装置において、露光面の明暗の偏りを目視に依らず、容易に、かつ、定量的に検出し、修正できる手段を提供しようとするものである。
具体的には、請求項１の目的として、ミラーを有して被露光体を露光する露光装置であって、光源からの光が照射する露光エリア（１）と、被露光体（サンプル）の測定エリア（２）の大きさの間には（１）＞（２）の関係があり、少なくとも２つ以上のフォトダイオードが（１）と（２）の間のエリアの対極に配置され、相対する位置にあるフォトダイオードの光電流出力の差を検知するようにしたことで、定量的に明暗の偏り状態を判断でき、その差があらかじめ定められた値以下になるように露光エリア内の光照度を変更可能な手段を持たせ、容易に明暗の偏りを修正することを目的とする。
また、請求項２、３の目的として、光源、ミラー、サンプル台がこの順に配置されていて、光源から出た光はミラーによる反射で光路をサンプル台の方向に曲げられた後、サンプル台に到達する露光装置にあって、フォトダイオードがサンプル測定エリア外の周縁部で、サンプル面入射前の位置で、ミラーの角度変更による露光面移動方向の相対する位置に設置されていて、相対するフォトダイオードの光電流出力の差を検知するようにしたことで、定量的に明暗の状態を判断でき、その差があらかじめ定められた値以下になるようにミラーの角度が調節可能であるように構成することで、容易に明暗の偏りを修正することを目的とする。
また、請求項４の目的として、請求項３において、サンプル台の透明電極側に向く面に照射される光を吸収する手段が施されていることで、この面で反射した光が透明電極に戻り、更に透明電極表面で反射した光がサンプル台に入射し、明暗の偏りが悪化するのを抑制し、照度分布の修正を容易にすることを目的とする。
また、請求項５乃至８の目的として、二つ以上の光源に対し、入射部が光源の数だけあり、出射部が一つの分岐型ライトガイドで光路変更用ミラーへ光を導く露光装置にあって、フォトダイオードは光源の数と同じかそれ以上であって、相対するフォトダイオードの光電流出力の差があらかじめ定められた値以下になるように各光源の出力光量を増減する手段を設けたことで、露光面の明暗の偏りを容易に修正できることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題は、以下の本発明の（１）〜（８）によって解決される。
（１）「ミラーを有して被露光体を露光する露光装置であって、光源からの光が照射する露光エリア（１）と、被露光体（サンプル）の測定エリア（２）の大きさの間には（１）＞（２）の関係があり、少なくとも２つ以上のフォトダイオードが（１）と（２）の間のエリアの対極に配置され、相対する位置にあるフォトダイオードの光電流出力の差を検知し、その差があらかじめ定められた値以下になるように露光エリア内の光照度を変更可能であるようにしたこと特徴とする露光装置」、
（２）「光源、ミラー、サンプル台がこの順に配置されていて、光源から出た光はミラーによる反射で光路をサンプル台の方向に曲げられた後、サンプル台に到達する露光装置であって、少なくとも１対のフォトダイオードがサンプル測定エリア外の周縁部で、サンプル面入射前の位置で、ミラーの角度変更による露光面移動方向の相対する位置に設置されていて、相対するフォトダイオードの光電流出力の差があらかじめ定められた値以下になるようにミラーの角度が調節可能であるように構成されたことを特徴とする露光装置」、
（３）「光源、ミラー、ガラス基体に透明導電膜が成膜された透明電極、該透明電極に近接してサンプル台がこの順に配置されていて、光源から出た光はミラーによる反射で光路を透明電極の方向に曲げられた後、透明電極を透過し、サンプル台に到達する露光装置であって、少なくとも１対のフォトダイオードがサンプル測定エリア外の周縁部、ガラス電極入射前の位置で、ミラーの角度変更による露光面移動方向の相対する位置に設置されていて、相対するフォトダイオードの光電流出力の差があらかじめ定められた値以下になるようにミラーの角度が調節できるように構成されたことを特徴とする露光装置」、
（４）「サンプル台の透明電極側に向く面に、照射される光を吸収する手段が施されていることを特徴とする前記第（３）項に記載の露光装置」、
（５）「二つ以上の光源に対し、入射部が光源の数だけあり、出射部が一つの分岐型ライトガイドで光路変更用ミラーへ光を導く露光装置であって、フォトダイオードは光源の数と同じかそれ以上であって、相対するフォトダイオードの光電流出力の差があらかじめ定められた値以下になるように各光源の出力光量を増減する手段を設けたことを特徴とする露光装置」、
（６）「前記各光源の出力光量増減手段がニュートラルデンシティフィルターであることを特徴とする前記第（５）項に記載の露光装置」、
（７）「前記各光源の出力光量増減手段が無段階ニュートラルデンシティフィルターであることを特徴とする前記第（６）項に記載の露光装置」、
（８）「前記各光源の出力光量増減手段がランプ点灯電圧あるいは電流の増減であることを特徴とする前記第（５）項に記載の露光装置」。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、簡単な構成で露光面照度の明暗の偏りを検出し、そのまま目視に頼らずに修正が可能な手段が提供できる。そのため、感光体感度特性測定装置に常時組み込んだ状態にでき、測定の度に治具の準備等の必要もなく、照度分布の確認をし、分布に問題があればこれを直ちに修正して感光体の測定に臨むことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
感光体を露光するとき、この露光面の照度を均一にするのは極めて重要である。測定系のレイアウト上の制約からミラーを介して感光体面に光を導く場合は、ミラー角度の調節が不適切であると、露光面での照度に明暗の偏りを生じやすい。また、導く光の光源を変えると光軸が代わり、露光面の照度に偏りが生じることもある。
そこで、本発明ではこの明暗の偏りを定量的に検出し、露光面の照度分布の偏りを簡単かつ適切に修正する手段を提供する。
【００１０】
まず、露光面における照度の偏り状態を知るために、フォトダイオードを露光面のエリア内、かつ測定エリア外に置く。置く位置はエリア内の光量を変化させることのできる相対する位置であって、フォトダイオードは少なくとも２つは使用することになる。置く位置が測定エリアに近いと、フォトダイオードの存在が測定エリアへの露光に影響する可能性があるため、露光エリアの周縁部に置くのが好ましい。エリア内の相対する位置に置かれたフォトダイオードの光電流出力を測定し、その差を算出し、定量的に明暗の偏りを知ることができる。
【００１１】
以下、図面に沿って、詳細に本発明の構成を説明する。
図１はシート感光体（５０ｍｍ×６０ｍｍサンプルサイズ）の感度特性を測定する装置の構成図である。（１）はサンプルを乗せ、回転させるターンテーブル（アルミ製、厚み３ｍｍ）、（３）はサンプル台で、ここに上記サイズのサンプルを下向きにして乗せ、上からのサンプル押え（２）で抑える。サンプル台（３）は約２０ｍｍφの開口部をもち、サンプルの測定エリアは２０ｍｍφとなる。その下にガラス電極（５）が置かれている。ガラス電極（５）は透明導電体であるＩＴＯ膜が成膜されている。サンプル側に成膜されていて、ＩＴＯは全面成膜でも、メッシュ状に成膜されているものでも良い。ここではメッシュ状に成膜されているものを用いた。これは下から透過してくる光が白色光の場合、そのスペクトル分布がＩＴＯの分光透過率の影響で変化するのを極力抑えるためである。
【００１２】
ターンテーブル（１）が回転し、感光体サンプルが帯電器（１１）（高圧ＯＮ状態）の上を通り、帯電される。帯電されたサンプルがガラス電極（５）の上に来ると回転は停止し、サンプルの帯電電荷でガラス電極（５）に静電荷が誘起され、この物理量から、サンプルの帯電電位が、図示されていない電位計測回路で測定される。ガラス電極（５）は電位計の検知器にあたる。このとき下側から光で露光されると、感光体上の電荷が感光体内部で放電し、電位減衰が生じるが、この様子をガラス電極（５）を検知器とする電位計で測定することになる。
【００１３】
露光しているときの模式図を図２に示した。
図２はガラス電極を真上から見た図になっている。メッシュ状のガラス電極（５）は周囲の金属枠からは浮いて保持されている。中央の丸はサンプル台（３）のサンプル測定エリア（２０ｍｍφ）を示し、（１３）は測定エリアの境界を示す。（１２）は露光エリアの境界を示すが、実際の露光エリアは電極枠の長辺の方向にまだ延びている。ここでは便宜的に短辺をエリアの境界として（１２）で示した。この露光エリア（１２）と測定エリア（１３）の間にあって、露光エリア（１２）の周縁部に近い位置で、ガラス電極（５）の下側にフォトダイオード（４）が２つ、相対する位置で設置される。向きは２つが対象となる方向にする。ここではフォトダイオード（４）の受光面は下側を向けている。フォトダイオード（４）は露光に影響を与えぬように、小さいものを選定するのが良い。また、金属のＣＡＮタイプのものは外側を黒色塗装するのが好ましい。
【００１４】
ミラー（６）で光路（１０）を曲げられた光の露光面の照度分布はミラーの角度調節が不適切であると、図２の測定エリアに示すように明暗に偏りが生じる。この照度分布の状態を確認しようと、サンプルをはずし、測定エリアを目視しても、ガラス電極、そしてその下のミラーが見えるのみである。むしろそのような観察をすると、光源からの光を直接目に受けることになり、光強度が強いときは目にダメージを与えることになる。そのため、白い紙、あるいは乳白色のアクリル板、白色のテフロン（登録商標）板等を拡散板として測定エリアにおき、紙、あるいは板の明暗を観察し、照度分布を確認する方法がとられる。ただし、目視では定量的で正確な測定にならない。ミラー設置が１軸回転の場合、少なくとも２つのフォトダイオードを使い、その光電流を計測し、その差があらかじめ決められた値以下になるように調節することで、照度分布を修正することができる。ミラー設置が２軸回転の場合にはフォトダイオードは少なくとも４つ必要になる。ミラーが１軸回転の場合、相対する２つのフォトダイオードを使用した場合の光電流をそれぞれＩ１，Ｉ２とすると、以下の式で差を計算した。
（Ｉ２−Ｉ１）／Ｉ１×１００（％）
ミラーが２軸回転の場合、２軸目の相対するフォトダイオードの光電流をＩ３，Ｉ４とすると、同様に差を計算する。
（Ｉ４−Ｉ３）／Ｉ３×１００（％）
あらかじめ決めておく値とは判定基準のことであるが、本発明では±１０％とした。
【００１５】
なお、測定エリア２０ｍｍφのサンプル台（３）は、帯電器（１１）を通ることから、導電性である必要があり、金属で作られるが、光の入射面（本説明の図ではサンプル台下側の面）は黒色塗装（導電性）が好ましい。図３に示す如く、これは入射した光がサンプル台の下側で反射した光が透明電極に戻り、更に透明電極表面で反射した光がサンプル台に入射し、明暗の偏りが悪化するが、黒色塗装（導電性）することで、悪化を抑制することができ、照度分布の修正が容易になる。
【００１６】
ここまでの説明では判定基準±１０％の範囲内になるように照度分布修正の方法として、ミラーの角度を調節する方法を説明したが、露光装置によってはミラーが不適切な位置で固定されたものであったり、光源（７）からの光の導入において、光軸がずれ、露光面で照度分布に偏りが生じることがある。また、ライトガイド（８）で光を導入すると、ライトガイド（８）自体のもつ特性で、露光面に照度分布が生じることがある。この照度分布がミラーの１軸方向だけで済まない場合がある。このようなとき、複数の光源の光をライトガイドで１つにまとめ、測定器に導入する光源であると、照度分布が生じても個々の光源の光量を調整することで照度分布の修正が容易になる。ミラー（６）の角度調整と組み合わせると照度分布修正の機能は更に効率的になる。
【実施例】
【００１７】
以下、本発明を実施例で具体的に説明する。
（実施例１）（請求項１，３に関連）
感光体の感度特性測定装置として、市販の測定機  ＥＰＡ８２００（スタティックモード専用：川口電機製作所（株）製）を利用した。装置の構成は、照度分布を検出するフォトダイオードがついていないことを除き、図１に示すものと同じである。照度分布を検出するフォトダイオードは図１に示す（４）の位置に、下向きに取り付けた。
フォトダイオードはＳ１１３４−１４（浜松ホトニクス（株）製）を使用した。
外形：８ｍｍ×６ｍｍ（セラミックパッケージで概観は黒）
受光面サイズ：２．８ｍｍ×２．４ｍｍ
感度波長範囲：３２０〜１０００ｎｍ
光電流を電圧に変換するデバイスとして、電流アンプ４２８（ＫＥＩＴＨＬＥＹ社製）を使用し、複数のフォトダイオードの光電流出力は切換えて入力した（図６参照）。
光源はハロゲンランプ光源ＨＬ１００Ｅ（ＨＯＹＡ  ＳＣＨＯＴＴ  製）、定格ＤＣ１２Ｖを使用した。これに同社製のライトガイドで図１のシャッター（９）の手前まで光を導入した。
サンプル面（３）に乳白色のアクリルの板（０．５ｍｍ厚）をおいたとき、図２に示すような照度に明暗の偏りが見られた。このときフォトダイオードの光電流出力の差は５６％を示した。ミラーの角度を出力差の値が小さくなる方向に調節したところ、６％になった。
【００１８】
（実施例２）（請求項１，２に関連）
実施にあたり、ミラー角度をフォトダイオードの光電流出力差の値が５６％の値になる位置に戻した。その状態で、ガラス電極（５）を取り外した。光電流出力差の値は４８％であった。ミラーの角度を出力差の値が小さくなる方向に調節したところ、５．１％になった。
この実施例からガラス電極が露光面の照度分布に影響していることが分かる。
【００１９】
（実施例３）（請求項４に関連）
実施にあたり、ガラス電極（５）を感光体感度特性測定装置に取り付けた。その後、ミラー角度をフォトダイオードの光電流出力差の値が５６％の値になる位置に戻した。ステンレス製のサンプル台（３）の裏面（ガラス電極側の面）に、２０ｍｍφの孔をあけた黒の植毛紙（０．５ｍｍ程度の毛羽立ちあり）を貼り付けた。（注：感光体の特性評価のためにはサンプル台の裏面は導電性である必要があるが、ここでは照度分布の実験のため導電性については考慮外とした）。
光電流出力差の値は４８％であった。ミラーの角度を出力差の値が小さくなる方向に調節したところ、５．３％になった。
【００２０】
（実施例４）（請求項５と７に関連）
光源としてハロゲンランプ光源ＨＬ１００Ｅ（ＨＯＹＡ  ＳＣＨＯＴＴ製）を４台用意した。４台の光を感光体測定装置に入れるため４分岐型ライトガイドを使用した。通常、分岐型ライトガイドは１つの光源の光を複数に分けるために使用されることを前提にしているため、本来の用途とは逆の関係になる本発明の用途のために使える市販のライトガイドは存在しなかった。そのため光源の出射端とライトガイドの入射端の寸法を合わせるべく、特別に製作している。光源につながる一本のライトガイドの口径は５ｍｍφであり、４つが合流した後の１本のライトガイドの口径は１０ｍｍφで製作した（構成は図４を参照）。全長は約１ｍである。また、ここでは各光源からの光を、一旦ＮＤフィルターを通してからライトガイドに入れるためのＮＤフィルター用のソケットを用意した（図５参照）。ただし、この実験ではこの位置に回転円盤状の無段階ＮＤフィルターを４つ用意し設置した。各光源の点灯電圧は１０Ｖにした。
ミラー角度をフォトダイオードの光電流出力差の値が５６％の値になる位置に戻してから、上記光源の出力を導入した。無段階ＮＤフィルターは最初は透過率１００％の位置にした。
ミラー回転方向の光電流出力差の値は６０％であった。サンプル面（３）に乳白色のアクリルの板（０．５ｍｍ厚）を置いたとき、ミラー回転方向の照度に明暗の偏りが見られたが、これとはおおよそ直角の方向にも明暗がみられた。このおよそ直角の方向でのフォトダイオードの出力差は３０％であった。各無段階ＮＤフィルターを回転させ光出力差の値が小さくなる方向を探したところ、１０％になった。その後ミラー角度を調整したところミラー角度調整方向のフォトダイオードの光電流出力差は４．２％になった。
【００２１】
（実施例５）（請求項５と８に関連）
ここでは実施例４と同じ構成で、光源の光量調節を電圧調節で行なうことにした（図４参照）。ただし、電圧を変更するとランプの発光スペクトルが変わるため、スペクトルの変化の影響が避けるため６６０ｎｍバンドパスフィルター（半値幅：２０ｎｍ、最大透過率３０％）を図１のフィルターソケット（１４）の位置に入れ、単色光をサンプル面に入射させるようにした。
実験開始にあたり、ミラー角度をフォトダイオードの光電流出力差の値が６０％の値になる位置に戻し、４つのランプ点灯電圧を１０Ｖにしてから、上記光源の出力を導入し、バンドパスフィルターを入れた。
光電流出力差の値は６０％であった。これとは直角の方向のフォトダイオードの出力差は３０％であった。各光源の点灯電圧を調整し、光出力差の値が小さくなる方向を探したところ、１０％になった。その後ミラー角度を調整したところミラー角度調整方向のフォトダイオードの光電流出力差は４．２％になった。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の感光体感度特性測定装置および露光装置の構成概略を示す図である。
【図２】本発明の露光装置の露光部の上面図である。
【図３】ガラス電極があるときの入射光の散乱の様子を説明する図である。
【図４】本発明で用いられる複数光源を一つにする４分岐型ライトガイドの例である。
【図５】複数光源を一つにする４分岐型ライトガイドの他の例である。
【図６】複数光源からの入力光電流切換手段と、電流・電圧変換増幅器と、該光源切換手段のためのコントローラを有する光照度制御装置例の説明図である。
【符号の説明】
【００２３】
１  ターンテーブル
２  サンプル押え
３  サンプル台
４  フォトダイオード
５  ガラス電極
６  ミラー
７  光源
８  ライトガイド（＋集光レンズ）
９  シャッター
１０  光の進行方向
１０’  光の進行方向（ミラー角度が不適切な場合）
１１  帯電器
１２  露光エリア
１３  サンプル測定エリア
１４  フィルターソケット
１５  ＮＤフィルターソケットあるいは無段階ＮＤフィルター
１６  分岐型ライトガイド
１７  複数のフォトダイオード
１８  マルチプレクサ（入力切換え）
１９  電流−電圧変換増幅器
２０  ＡＤ変換ボード
２１  ＰＣ（コントローラ）
２２  記憶装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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