(57)【要約】【課題】ロータリージョイントの交換時期を判定可能な研磨装置を提供する。【解決手段】本発明では、ウェハを研磨可能な研磨部材６０と、研磨部材６０を保持して回転自在な研磨ヘッド３０と、研磨ヘッド３０を回転自在に保持する回転保持部材と、回転保持部材に設けられた管路７１，７２，７３と研磨ヘッド３０の内部に設けられた管路６５，６６，６７とを繋ぐ第１および第２ロータリージョイント９０，１００とを備えて構成された研磨装置において、第１および第２ロータリージョイント９０，１００に純水が外部から供給されるように構成されており、第１および第２ロータリージョイント９０，１００に供給された純水の一部を取り出して比重を測定する比重計８８が設けられる。【選択図】図２
2008044064.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨対象物を研磨可能な研磨部材と、
前記研磨部材を保持して回転自在な回転部材と、
前記回転部材を回転自在に保持する回転保持部材と、
前記回転保持部材に設けられた管路と前記回転部材に設けられた管路とを繋ぐロータリージョイントとを備え、
前記研磨部材を前記研磨対象物に当接させながら相対移動させて前記研磨対象物を研磨するように構成された研磨装置において、
前記ロータリージョイントに、少なくとも前記ロータリージョイントの冷却に用いられる液体が外部から供給されるように構成されており、
前記ロータリージョイントに供給された液体の少なくとも一部を取り出して前記液体の物性を測定する物性測定装置を有して構成されていることを特徴とする研磨装置。
【請求項２】
前記物性測定装置が、前記液体の比重を測定する比重計であることを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
【請求項３】
前記物性測定装置が、前記液体に含まれた前記ロータリージョイントを構成するシール部材の破片の数を測定する微粒子カウンタであることを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェハ等の研磨対象物の表面を平坦化する研磨装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウェハ等の研磨対象物の表面を平坦化する研磨装置として、ウェハをその被研磨面が露出する状態で保持するウェハ保持装置と、このウェハ保持装置に保持されたウェハの被研磨面と対向する研磨パッドが貼り付けられた研磨部材を保持する研磨ヘッドとを備え、これら双方を回転させた状態で研磨パッドをウェハの被研磨面に押し付け、且つ研磨体を両者の接触面内方向に揺動させてウェハを研磨する構成のものが知られている（例えば、特許文献１を参照）。また、このような機械的研磨に加え、研磨パッドとウェハとの接触面に研磨剤（スラリー）を供給して研磨剤の化学的作用により上記研磨を促進させる化学的機械的研磨（Chemical Mechanical Polishing；ＣＭＰ）を行うＣＭＰ装置も知られている。
【０００３】
研磨パッドとウェハとの接触面にスラリーを供給する手段として、スラリー供給装置と、スラリー供給装置と繋がる固定側管路と、研磨ヘッドの内部に設けられた回転側管路とを有し、スラリー供給装置から圧送されたスラリーが固定側管路および回転側管路を通過して、研磨部材に設けられたスラリー供給穴から研磨パッドとウェハとの接触面に供給されるようになっている。なお、固定側管路と回転側管路とは、いわゆるロータリージョイントを利用して接続され、このロータリージョイントには、ロータリージョイント内に設けられたメカニカルシールのシール面の冷却および潤滑、並びにロータリージョイントを通過するスラリーのシールを行う純水（クウェンチ水とも称される）が供給されるようになっている。
【特許文献１】特開平１１−１５６７１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述のようなロータリージョイントが壊れると、例えば、スラリーが通る通路側にメカニカルシールの破片が入り込み、スラリーにメカニカルシールの破片が混入することになって、研磨後のウェハにいわゆるマイクロスクラッチが生じる可能性があった。しかしながら、従来においては、ロータリージョイントを定期的に（例えば半年ごとに）交換しているに過ぎず、ロータリージョイントの交換時期を具体的に判定していなかった。
【０００５】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、ロータリージョイントの交換時期を判定可能な研磨装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このような目的達成のため、本発明では、研磨対象物を研磨可能な研磨部材と、研磨部材を保持して回転自在な回転部材と、回転部材を回転自在に保持する回転保持部材と、回転保持部材に設けられた管路と回転部材に設けられた管路とを繋ぐロータリージョイントとを備え、研磨部材を研磨対象物に当接させながら相対移動させて研磨対象物を研磨するように構成された研磨装置において、ロータリージョイントに、少なくともロータリージョイントの冷却に用いられる液体が外部から供給されるように構成されており、ロータリージョイントに供給された液体の少なくとも一部を取り出して液体の物性を測定する物性測定装置を有して構成されている。
【０００７】
また、上述の発明において、物性測定装置が、液体の比重を測定する比重計であることが好ましい。
【０００８】
さらに、物性測定装置が、液体に含まれたロータリージョイントを構成するシール部材の破片の数を測定する微粒子カウンタであってもよい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、ロータリージョイントの交換時期を判定することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施形態について説明する。本発明に係る研磨装置の代表例であるＣＭＰ装置（化学的機械的研磨装置）を図１に示している。このＣＭＰ装置１は、研磨対象物たるウェハ１０をその上面側に着脱自在に吸着保持可能なウェハ保持テーブル１５と、このウェハ保持テーブル１５の上方位置に設けられ、ウェハ保持テーブル１５上に保持されたウェハ１０の被研磨面１０ｓと対向する研磨パッド６４が取り付けられた研磨部材６０を保持してなる研磨ヘッド３０とを備えて構成されている。このＣＭＰ装置１では、研磨パッド６４の寸法（直径）は研磨対象たるウェハ１０の寸法（直径）よりも小さく（すなわち研磨パッド６４はウェハ１０よりも小径であり）、研磨パッド６４をウェハ１０に接触させた状態で双方を相対移動させることにより、ウェハ１０の被研磨面（上面）１０ｓ全体を研磨できるようになっている。
【００１１】
これらウェハ保持テーブル１５と研磨ヘッド３０とを支持する支持フレーム２０は、水平な基台２１と、この基台２１上にＹ方向（紙面に垂直な方向でこれを前後方向とする）に延びて設けられたレール（図示せず）上をＹ方向に移動自在に設けられた第１ステージ２２と、この第１ステージ２２から垂直（Ｚ方向）に延びるように設けられた垂直フレーム２３と、この垂直フレーム２３上をＺ方向（上下方向）に移動自在に設けられた第２ステージ２４と、この第２ステージ２４上から水平（Ｘ方向）に延びるように設けられた水平フレーム２５と、この水平フレーム２５上をＸ方向（左右方向）に移動自在に設けられた第３ステージ２６とを有して構成されている。
【００１２】
第１ステージ２２内には第１電動モータＭ１が設けられており、これを回転駆動することにより第１ステージ２２を上記レールに沿ってＹ方向に移動させることができる。第２ステージ２４内には第２電動モータＭ２が設けられており、これを回転駆動することにより第２ステージ２４を垂直フレーム２３に沿ってＺ方向に移動させることができる。また、第３ステージ２６内には第３電動モータＭ３が設けられており、これを回転駆動することにより第３ステージ２６を水平フレーム２５に沿ってＸ方向に移動させることができる。このため、上記電動モータＭ１〜Ｍ３の回転動作を組み合わせることにより、第３ステージ２６をウェハ保持テーブル１５上方の任意の位置に移動させることが可能である。
【００１３】
ウェハ保持テーブル１５は基台２１上に設けられたテーブル支持部２７から上方に垂直に延びて設けられた回転軸２８の上端部に水平に取り付けられている。この回転軸２８はテーブル支持部２７内に設けられた第４電動モータＭ４を回転駆動することにより回転されるようになっており、これによりウェハ保持テーブル１５をＸＹ面（水平面）内で回転させることができる。
【００１４】
研磨ヘッド３０は第３ステージ２６から下方に垂直に延びて設けられたスピンドル２９の下端部に取り付けられている。このスピンドル２９は第３ステージ２６内に設けられた第５電動モータＭ５を回転駆動することにより回転されるようになっており、これにより研磨ヘッド３０全体を回転させて研磨パッド６４をＸＹ面（水平面）内で回転させることができる。すなわち、研磨ヘッド３０およびスピンドル２９は、第３ステージ２６に回転自在に保持されることになる。
【００１５】
研磨ヘッド３０は、図２に示すように、スピンドル２９の下端部に連結部材３１を介して連結された下面側に開口を有する有底円筒状のヘッドハウジング３２と、図示しないリング部材によりヘッドハウジング３２との間で外周部が挟持された円盤状のドライブプレート３３と、ドライブプレート３３の下側に連結された保持プレート４０と、保持プレート４０の下面側に吸着保持された研磨部材６０を備えて構成される。
【００１６】
ドライブプレート３３は、オーステナイト系ステンレス板等の金属板を用いて中央に円形孔を有する円盤状に形成され、その外周部がリング部材３５とヘッドハウジング３２の内側部分とに挟持されて固定されるようになっている。ドライブプレート３３には、同心円状に並んだ多数の開孔（図示せず）が形成されており、各開孔をヘッドハウジング３２内の空気が通過できるようになっている。ドライブプレート３３の内周部は、ボルト等の締結部材を用いて、円盤状に形成された中心部材３４と保持プレート４０との間に挟持される。このように、保持プレート４０はドライブプレート３３および中心部材３４を介してヘッドハウジング３２に固定されており、スピンドル２９の回転駆動力がドライブプレート３３および中心部材３４を介して保持プレート４０に伝達される。
【００１７】
中心部材３４の中心部に形成された貫通穴には第１ジョイントＪ１が取り付けられ、この第１ジョイントＪ１には、スピンドル２９および研磨ヘッド３０の内部に配設されたスラリー用回転側管路６５の下端部が接続される。また、中心部材３４の外周側に形成された貫通穴には第２ジョイントＪ２が取り付けられ、この第２ジョイントＪ２には、スピンドル２９および研磨ヘッド３０の内部に配設された吸着用回転側管路６６の下端部が接続される。
【００１８】
保持プレート４０は、外径がヘッドハウジング３２の開口部内径より僅かに小さい円盤状に形成され、保持プレート４０がヘッドハウジング３２の開口を塞いでヘッドハウジング３２内を密封状態にすることで、保持プレート４０とヘッドハウジング３２の内側部分とに囲まれて内部空間Ｈが形成されるようになっている。この内部空間Ｈは、スピンドル２９の内部中央に貫通形成された電空用回転側管路６７と連通しており、電空用回転側管路６７を通過した空気がヘッドハウジング３２の内部空間Ｈに供給されるようになっている。なお、電空用回転側管路６７は電空レギュレータ８４と繋がっており、電空レギュレータ８４から供給される空気によりヘッドハウジング３２内の空気圧を所望の圧力に加圧調整できるようになっている。
【００１９】
保持プレート４０の内部には吸着穴４５が形成されており、吸着穴４５の上端部が第２ジョイントＪ２と繋がるとともに、下端部が保持プレート４０の下面側で複数開口するようになっている。なお、吸着穴４５は保持プレート４０の内部で放射状に延びるようになっている。
【００２０】
研磨部材６０は、保持プレート４０に着脱自在に吸着保持されるキャリア部材６１と、キャリア部材６１の下側に取り付けられたパッドプレート６２とから構成される。キャリア部材６１は金属材料を用いて円盤状に形成され、キャリア部材６１の下側にパッドプレート６２が着脱自在に取り付けられる。
【００２１】
パッドプレート６２は、樹脂製のプレート部材６３と、プレート部材６３の下面側に貼り付けられた研磨パッド６４とを有して構成される。プレート部材６３は、ＰＥＴ（ポリエチレン−テレフタラート）等の樹脂材料を用いて円盤形に形成され、ウェハ１０の表面（被研磨面１０ｓ）を平坦に研磨可能な研磨パッド６４が両面接着テープ等を用いてプレート部材６３の下面側に貼り付けられている。そして、研磨パッド６４の下面には、ウェハ１０の表面（被研磨面１０ｓ）に当接して研磨を行う研磨面６４ｓが形成される。なお、保持プレート４０および研磨部材６０の中心部に繋がってスラリー供給穴４６が上下に延びるように形成されており、スラリー供給穴４６の上端部が第１ジョイントＪ１と繋がるとともに、下端部が下方に開口するようになっている。
【００２２】
ところで、スピンドル２９および研磨ヘッド３０が回転自在に保持される第３ステージ２６には、スラリー用固定側管路７１が配設されており、スラリー用固定側管路７１の先端部が第１ロータリージョイント９０を介してスラリー用回転側管路６５の上端部と接続されるようになっている。スラリー用固定側管路７１の基端部はスラリー供給装置８０と繋がっており、スラリー供給装置８０から供給されたスラリーがスラリー用固定側管路７１およびスラリー用回転側管路６５を通過してスラリー供給穴４６から外部に流出するように構成されている。
【００２３】
また、第３ステージ２６には、吸着用固定側管路７２および電空用固定側管路７３が配設されており、吸着用固定側管路７２および電空用固定側管路７３の先端部がそれぞれ、第２ロータリージョイント１００を介して吸着用回転側管路６６および電空用回転側管路６７の上端部と接続されるようになっている。吸着用固定側管路７２の基端部は切替バルブ８１を介して真空ポンプ８２と繋がっており、真空ポンプ８２と吸着用固定側管路７２とが繋がるように切替バルブ８１を切替作動させて、真空ポンプ８２を利用して吸着用固定側管路７２および吸着用回転側管路６６と繋がる吸着穴４５に負圧を作用させることにより、研磨部材６０が保持プレート４０に吸着保持されるように構成されている。
【００２４】
さらに、吸着用固定側管路７２の基端部は切替バルブ８１を介して第１純水供給部８３と繋がっており、第１純水供給部８３と吸着用固定側管路７２とが繋がるように切替バルブ８１を切替作動させて、第１純水供給部８３から吸着用固定側管路７２および吸着用回転側管路６６を介して吸着穴４５に純水を供給することにより、研磨部材６０を保持プレート４０から取り外せるように構成されている。
【００２５】
また、電空用固定側管路７３の基端部は電空レギュレータ８４を介して空気圧源であるコンプレッサ８５と繋がっている。そして、コンプレッサ８５および電空レギュレータ８４から、電空用固定側管路７３および電空用回転側管路６７を介して、ヘッドハウジング３２の内部空間Ｈに所望の圧力を有した空気が供給され、内部空間Ｈに供給された空気の圧力を利用して保持プレート４０に吸着保持された研磨部材６０（研磨パッド６４）がウェハ１０を押圧可能に構成されている。
【００２６】
さて、第２ロータリージョイント１００は、スピンドル２９の上端部に連結されており、第３ステージ２６側に固定された筒状の第２ボディ１０１と、第２ボディ１０１の内部に回転可能に挿通された第２ロータ１１０とから構成される。第２ボディ１０１の側部に形成された穴部には、吸着用固定側管路７２の先端部が接続される第７ジョイントＪ７と、電空用固定側管路７３の先端部が接続される第８ジョイントＪ８と、純水中継管路７５の下端部が接続される第９ジョイントＪ９と、純水排水管路７６が接続される第１０ジョイントＪ１０とが取り付けられている。
【００２７】
第２ロータ１１０は、上端部が第１ロータリージョイント９０の第１ロータ９２と連結されるとともに、下端部がスピンドル２９の上端部と連結される。第２ロータ１１０の内部には、上部回転側流体通路１１１と、下部回転側流体通路１１２とが形成される。
【００２８】
第２ボディ１０１と第２ロータ１１０との間で密閉されたシール空間Ｓにおいて、上部メカニカルシール１２０と、下部メカニカルシール１２５とが第２ロータ１１０に沿って配設される。上部メカニカルシール１２０は、第２ボディ１０１に固定される上部固定用密封環１２１と、上部固定用密封環１２１の上下を挟むように設けられて第２ロータ１１０とともに回転自在な上部回転用密封環１２３とから構成される。
【００２９】
上部固定用密封環１２１の内部には、上部固定側流体通路１２２が形成され、一端が第８ジョイントＪ８と繋がるとともに、他端が上部固定用密封環１２１および上部回転用密封環１２３に囲まれたシール室（図示せず）を介して上部回転側流体通路１１１の一端と繋がるようになっている。なお、上部回転側流体通路１１１の他端は第２ロータ１１０の下端部で開口し、スピンドル２９内の電空用回転側管路６７の上端部と繋がるようになっている。
【００３０】
下部メカニカルシール１２５は、第２ボディ１０１に固定される下部固定用密封環１２６と、下部固定用密封環１２６の上下を挟むように設けられて第２ロータ１１０とともに回転自在な下部回転用密封環１２８とから構成される。下部固定用密封環１２６の内部には、下部固定側流体通路１２７が形成され、一端が第７ジョイントＪ７と繋がるとともに、他端が下部固定用密封環１２６および下部回転用密封環１２８に囲まれたシール室（図示せず）を介して下部回転側流体通路１１２の一端と繋がるようになっている。なお、下部回転側流体通路１１２の他端は第２ロータ１１０の下端部に設けられた第１１ジョイントＪ１１を介して、吸着用回転側管路６６の上端部と繋がるようになっている。
【００３１】
シール空間Ｓの下側外周部で第９ジョイントＪ９が繋がっており、純水中継管路７５を通じてシール空間Ｓ内に純水が供給されるようになっている。この純水はクウェンチ水と称されるものであり、シール空間Ｓ内がこの純水で満たされることにより、各メカニカルシールにおけるシール面の冷却および潤滑、並びに第２ロータリージョイント１００を通る流体（空気や純水）のシールを行う役目を果たしている。また、シール空間Ｓの上側外周部で第１０ジョイントＪ１０が繋がっており、シール空間Ｓ内の純水が第１０ジョイントＪ１０および純水排水管路７６を通じてドレンポート８７に排出されるようになっている。
【００３２】
第１ロータリージョイント９０は、第２ロータリージョイント１００と同様の構造であり、第３ステージ２６側に固定された筒状の第１ボディ９１と、第１ボディ９１の内部に回転可能に挿通された第１ロータ９２とから構成される。なお、第１ロータリージョイント９０は第２ロータリージョイント１００の上方に位置している。第１ボディ９１の側部に形成された穴部には、スラリー用固定側管路７１の先端部が接続される第３ジョイントＪ３と、純水供給管路７４の先端部が接続される第４ジョイントＪ４と、純水中継管路７５の上端部が接続される第５ジョイントＪ５とが取り付けられている。
【００３３】
純水供給管路７４の基端部は第２純水供給部８６と繋がっており、第２純水供給部８６から純水供給管路７４を介して第１ロータリージョイント９０に純水が供給されるようになっている。なお、第１ロータリージョイント９０に供給される純水の役割は、第２ロータリージョイント１００の場合と同様である。また、第１および第２純水供給部８３，８６は、研磨装置１外部の純水供給装置（図示せず）に繋がって設けられたマニホールドを有し、純水供給装置から供給される純水の一部を研磨装置１の各部に取り込む構成になっている。
【００３４】
第１ロータ９２は、下端部が第２ロータリージョイント１００の第２ロータ１１０と連結される。また、第１ロータ９２の下端部に第６ジョイントＪ６が取り付けられ、この第６ジョイントＪ６を介して第１ロータ９２の内部通路がスラリー用回転側管路６５の上端部と繋がるようになっている。なお、第１ボディ９１と第１ロータ９２との間で密閉されたシール空間（図示せず）が形成され、このシール空間に一組のメカニカルシール（図示せず）が第１ロータ９２に沿って配設されるが、第２ロータリージョイント１００と同様の構成であるため、詳細な図示および説明を省略する。
【００３５】
ところで、純水中継管路７５を通る純水の一部は、純水中継管路７５に設けられた分岐部７５ａから比重計８８に送ることができ、この比重計８８で第１ロータリージョイント９０に供給された純水の比重を測定できるようになっている。また、純水排水管路７６を通る純水の一部は、純水排水管路７６に設けられた分岐部７６ａから比重計８８に送ることができ、比重計８８で第２ロータリージョイント１００に供給された純水の比重を測定できるようになっている。
【００３６】
このような構成のＣＭＰ装置１を用いてウェハ１０の研磨を行うには、先ずウェハ保持テーブル１５の上面に研磨対象となるウェハ１０を吸着取り付けし（このときウェハ１０の中心はウェハ保持テーブル１５の回転中心に一致させる）、電動モータＭ４を駆動してウェハ保持テーブル１５を回転させる。次に電動モータＭ１〜Ｍ３を駆動して第３ステージ２６をウェハ１０の上方に位置させ、電動モータＭ５によりスピンドル２９を駆動して研磨ヘッド３０を回転させる。続いて電動モータＭ２を駆動して第３ステージ２６を降下させ、研磨パッド６４の下面（研磨面６４ｓ）をウェハ１０の上面（被研磨面１０ｓ）に押し当てるようにする。
【００３７】
次に、コンプレッサ８５および電空レギュレータ８４から、電空用固定側管路７３、第２ロータリージョイント１００、および電空用回転側管路６７を介して、ヘッドハウジング３２の内部空間Ｈに所望圧力の空気を供給し、ウェハ１０と研磨パッド６４との接触圧を所定の値に設定する。なおこのとき、電空用固定側管路７３から第２ロータリージョイント１００に達した空気は、第８ジョイントＪ８から上部メカニカルシール１２０の上部固定側流体通路１２２および第２ロータ１１０の上部回転側流体通路１１１を通り、電空用回転側管路６７に達するようになっている。
【００３８】
そして、電動モータＭ１，Ｍ３を駆動して研磨ヘッド３０をＸＹ方向（ウェハ１０と研磨パッド６４との接触面の面内方向）に揺動させる。このとき同時に、スラリー供給装置８０からスラリー用固定側管路７１および（第１ロータリージョイント９０を介して）スラリー用回転側管路６５へスラリー（研磨剤）を圧送し、スラリー供給穴４６より研磨パッド６４の下面側にスラリーを供給する。これにより、ウェハ１０の被研磨面１０ｓは、研磨剤の供給を受けつつウェハ１０自身の回転運動と研磨ヘッド３０の（すなわち研磨パッド６４の）回転及び揺動運動とにより研磨される。
【００３９】
このような研磨を行うとき、第２純水供給部８６から純水供給管路７４を通って第１ロータリージョイント９０に純水が供給される。ここで、第１ロータリージョイント９０内に設けられたシール空間（図示せず）が純水で満たされ、第１ロータリージョイント９０のメカニカルシールにおけるシール面の冷却および潤滑、並びに第１ロータリージョイント９０を通る流体（スラリー）のシールが行われる。
【００４０】
第１ロータリージョイント９０に供給された純水は、純水中継管路７５を通って第２ロータリージョイント１００に供給される。ここで、第２ロータリージョイント１００内に設けられたシール空間Ｓが純水で満たされ、第２ロータリージョイント１００の各メカニカルシールにおけるシール面の冷却および潤滑、並びに第２ロータリージョイント１００を通る流体（空気や純水）のシールが行われる。そして、第２ロータリージョイント１００に供給された純水は、純水排水管路７６を通ってドレンポート８７に排出される。
【００４１】
また、２日に１回、または研磨パッド６４（パッドプレート６２）を交換するごとに、純水中継管路７５を通る純水の一部が、純水中継管路７５に設けられた分岐部７５ａから比重計８８に送られ、比重計８８で第１ロータリージョイント９０に供給された純水の比重が測定される。同様に、純水排水管路７６を通る純水の一部が、純水排水管路７６に設けられた分岐部７６ａから比重計８８に送られ、比重計８８で第２ロータリージョイント１００に供給された純水の比重が測定される。
【００４２】
各ロータリージョイント９０，１００のメカニカルシールが異常に摩耗してメカニカルシールの破片がシール空間内の純水に混入すること等により、比重計８８で測定された純水の比重が基準範囲（例えば、本来の純水の比重±３％の範囲）より外れる場合、作業者はロータリージョイントの交換が必要であると判定する。そして、第１ロータリージョイント９０に供給された純水の比重が基準範囲より外れる場合、第１ロータリージョイント９０の交換が行われ、第２ロータリージョイント１００に供給された純水の比重が基準範囲より外れる場合、第２ロータリージョイント１００の交換が行われる。
【００４３】
この結果、本実施形態のＣＭＰ装置１によれば、第１および第２ロータリージョイント９０，１００に供給された純水の一部を取り出してその純水の比重（物性）を測定する比重計８８が設けられるため、比重計８８で測定された純水の比重に応じて、各ロータリージョイント９０，１００の交換時期を判定することが可能になる。また、比重計８８を用いることにより、純水の物性を比較的容易に知ることができることから、簡便な構成で各ロータリージョイント９０，１００の交換時期を判定することが可能になる。
【００４４】
なお、上述の実施形態において、比重計８８を用いて、第１および第２ロータリージョイント９０，１００に供給された純水の比重を測定しているが、これに限られるものではない。例えば、図２の二点鎖線で示すように、比重計８８に代えて、微粒子カウンタ８９を用いるようにしてもよい。この微粒子カウンタ８９は、例えば、特開平５−１４９８６５号公報に開示された装置であり、純水に含まれたＳｉＣ（炭化珪素）を材質とする微粒子の数を測定可能に構成されている。これにより、純水に含まれたＳｉＣを材質とするメカニカルシールの破片の数を測定することができる。
【００４５】
そして、２日に１回、または研磨パッド６４（パッドプレート６２）を交換するごとに、純水中継管路７５を通る純水の一部が、純水中継管路７５に設けられた分岐部７５ａから微粒子カウンタ８９に送られ、微粒子カウンタ８９で第１ロータリージョイント９０に供給された純水に含まれるＳｉＣを材質とする微粒子の数（メカニカルシールの破片の数）が測定される。同様に、純水排水管路７６を通る純水の一部が、純水排水管路７６に設けられた分岐部７６ａから微粒子カウンタ８９に送られ、微粒子カウンタ８９で第２ロータリージョイント１００に供給された純水に含まれるＳｉＣを材質とする微粒子の数が測定される。
【００４６】
微粒子カウンタ８９で測定された微粒子の数（メカニカルシールの破片の数）が所定基準値を超える場合、作業者はロータリージョイントの交換が必要であると判定する。そして、第１ロータリージョイント９０に供給された純水に含まれる微粒子の数（メカニカルシールの破片の数）が基準値を超える場合、第１ロータリージョイント９０の交換が行われ、第２ロータリージョイント１００に供給された純水に含まれる微粒子の数が基準値を超える場合、第２ロータリージョイント１００の交換が行われる。このように微粒子カウンタ８９を用いることで、メカニカルシールの破片の数を測定することができるため、各ロータリージョイント９０，１００の交換時期をより正確に判定することが可能になる。
【００４７】
また、上述の実施形態において、第１および第２ロータリージョイント９０，１００に供給された純水の物性（比重やメカニカルシールの破片の数等）を測定しているが、これに限られるものではなく、シール面の冷却や潤滑、シール等に用いるための液体がロータリージョイントに供給される構成であれば、本発明を適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明に係る研磨装置の一例であるＣＭＰ装置の正面図である。
【図２】研磨ヘッドの近傍を示す正断面図である。
【符号の説明】
【００４９】
１  ＣＭＰ装置（研磨装置）
１０  ウェハ（研磨対象物）              １０ｓ  被研磨面
２６  第３ステージ（回転保持部材）      ２９  スピンドル
３０  研磨ヘッド（回転部材）            ３２  ヘッドハウジング
６０  研磨部材                          ６１  キャリア部材
６２  パッドプレート                    ６３  プレート部材
６４  研磨パッド                        ６４ｓ  研磨面
６５  スラリー用回転側管路              ６６  吸着用回転側管路
６７  電空用回転側管路
７１  スラリー用固定側管路              ７２  吸着用固定側管路
７３  電空用固定側管路
８８  比重計（物性測定装置）            ８９  微粒子カウンタ（物性測定装置）
９０  第１ロータリージョイント        １００  第２ロータリージョイント
【図１】
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【図２】
2008044064.tif 000004