(57)【要約】      （修正有）【課題】良好な耐熱性、現像性及び接着性を有する液晶ディスプレー用のカラーフィルター用感光性組成物を提供すること。【解決手段】（Ａ）アルカリ可溶性樹脂と、（Ｂ）多官能性モノマーと、（Ｃ）光開始剤と、（Ｄ）着色剤と、（Ｅ）溶媒と、を含む感光性樹脂組成物であって、前記アルカリ可溶性樹脂は式（１）：2008090283.tif 000006で表されるモノマー５〜９５重量％と、少なくとも一のカルボキシ基を含有するエチレン性不飽和モノマー５〜９５重量％とを共重合させて得られる共重合体を含む。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
感光性樹脂組成物であって、
（Ａ）アルカリ可溶性樹脂と、
（Ｂ）多官能性モノマーと、
（Ｃ）光開始剤と、
（Ｄ）顔料と、
（Ｅ）溶媒と、を含み、
アルカリ可溶性樹脂１００重量部に対して、多官能性モノマー（Ｂ）の量は１０〜６００重量部の範囲であり、顔料（Ｄ）の量は０．１〜３００重量部の範囲であり、溶媒（Ｅ）の量は５０〜３００重量部の範囲であり、光開始剤（Ｃ）の量は多官能性モノマー（Ｂ）１００重量部に対して１〜３００重量部の範囲であり、
前記アルカリ可溶性樹脂は次式（１）：
【化１】
2008090283.tif 000005
で表されるモノマーと、少なくとも一のカルボキシ基を含有するエチレン性不飽和モノマーとを共重合させて得られる共重合体である、感光性樹脂組成物。
【請求項２】
固形分が１０〜３０重量％の範囲である、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】
少なくとも一のカルボキシ基を含有するエチレン性不飽和モノマーは、アクリル酸、メタクリル酸、ブテン酸、α−クロロアクリル酸、エチルアクリル酸、クロトン酸、桂皮酸、マレイン酸、マレイン酸無水物、フマル酸、フマル酸無水物、シトラコン酸、シトラコン酸無水物、イタコン酸、イタコン酸無水物、メサコン酸、モノ−（２−メタクリロイルオキシエチル）コハク酸エステル、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ−アクリル酸エステル、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ−メタクリル酸エステル及びそれらの混合物から成る群から選択される、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項４】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は他の共重合可能なエチレン性不飽和モノマーを更に含む、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項５】
多官能性モノマー（Ｂ）はトリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート及びグリセロールトリプロパノエートから成る群から選択される、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項６】
光開始剤（Ｃ）はビイミダゾール類、ベンゾイン類、ベンゾインアルキルエーテル類、ベンジル類、ケタール類、アセトフェノン類、ベンゾフェノン類、４，４’−ジメチル−アミノ−ベンゾフェノン、チオキサントン類、モルホリノ−プロパノン及びそれらの混合物から選択される、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光照射により重合してアルカリ性溶液で現像可能な感光性樹脂組成物に関する。
【背景技術】
【０００２】
カラー液晶ディスプレイに対する市場需要の増大に伴って、カラーフィルターの製造方法が各種開発されている。この製造方法としては、例えば着色法や印刷法、電気メッキ法、分散法があり、なかでも着色法が主流となっている。
【０００３】
着色法では、感光性水溶性フォトレジストをパターニングし、着色、固定、防汚処理を施し、赤、青及び緑の画素を得る。着色法は、微細さと分散性においては有利であるものの、通常、耐熱性の低さが問題となる。従って、代わりに分散法を用いることにより耐熱性に関する問題を回避してきた。分散法では、黒及び赤、青及び緑の顔料をアルカリ可溶性樹脂材料に分散させ感光性樹脂組成物を生成し、該組成物をガラス基板上にコーティングし、次いでコーティングされた基板をプリベーク、照射、現像及びポストベークの各処理に付し、赤、青及び緑の画素を得る。そればかりでなく該カラーフィルター製造プロセスは、通常２００℃超の高温での加熱処理を多数回行う必要がある。従来の感光性樹脂は１８０℃で約１時間加熱すると、通常顔料の凝集が起こる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前記に鑑みて本発明者は鋭意研究を行い、カラーフィルター用感光性樹脂組成物を開発した。特に本発明感光性樹脂組成物は、これを塗布し、プリベークし、更に照射、現像及びポストベークに付した際、顔料の凝集なしに良好な耐熱性及び化学薬品耐性を示す画素含有着色層であると共にカラーフィルターに有用な画素含有着色層を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の目的は、
（Ａ）アルカリ可溶性樹脂と、
（Ｂ）多官能性モノマーと、
（Ｃ）光開始剤と、
（Ｄ）顔料と、
（Ｅ）溶媒と、を含む感光性樹脂組成物を提供することにある。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
本発明の感光性樹脂組成物におけるアルカリ可溶性樹脂（Ａ）はバインダーとして用いられ、次式（１）：
【０００７】
【化１】
2008090283.tif 000002
【０００８】
で表されるモノマー（Ｉ）と、少なくとも一のカルボキシ基を含有するエチレン性不飽和モノマー（ＩＩ）と、任意に他の共重合可能なエチレン性不飽和モノマー（ＩＩＩ）とを共重合させて得られる共重合体を含む。
【０００９】
式（１）のモノマーはクミルフェノキシルエチルアクリレートであり、カルボキシ基含有エチレン性不飽和モノマーと共重合可能である。得られる共重合体は、カルボキシ基が存在することによりアルカリ性現像液に溶解可能である。
【００１０】
少なくとも一のカルボキシ基を含有する前記エチレン性不飽和モノマーとしては、アクリル酸やメタクリル酸、ブテン酸、α−クロロアクリル酸、エチルアクリル酸、クロトン酸、桂皮酸等の不飽和モノ酸；マレイン酸やマレイン酸無水物、フマル酸、フマル酸無水物、シトラコン酸、シトラコン酸無水物、イタコン酸、イタコン酸無水物、メサコン酸等の不飽和ジ酸（酸無水物）；不飽和トリ又はポリ酸（酸無水物）；モノ−（２−メタクリロイルオキシエチル）コハク酸エステル等のモノ−（（メタ）アクリロイルオキシアルキル）カルボン酸エステル；両末端カルボキシポリマーのモノ−（（メタ）アクリル酸エステル）（例えば、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ−アクリル酸エステルやω−カルボキシポリカプロラクトンモノ−メタクリル酸エステル）等を挙げることができる。少なくとも一のカルボキシ基を含有する前記エチレン性不飽和モノマーは単独でも組合せても用いることができる。
【００１１】
前記アルカリ可溶性樹脂は、任意に他の（一種以上の）共重合可能なエチレン性不飽和モノマーを含有することができる。この種のモノマーとしては、スチレンやα−メチルスチレン、ビニルトルエン、クロロスチレン、メトキシスチレン等の芳香族ビニル化合物；メチルアクリレートやメチルメタクリレート、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、プロピルアクリレート、プロピルメタクリレート、ブチルアクリレート、ブチルメタクリレート、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、ベンジルアクリレート、グリシジルメタクリレート、ベンジルメタクリレート、ドデシルメタクリレート、テトラデシルメタクリレート、ヘキサデシルメタクリレート、オクタデシルメタクリレート、エイコシルメタクリレート、ドエイコシル（doeicosyl）メタクリレート等の不飽和カルボン酸エステル；アミノエチルアクリレートやアミノエチルメタクリレート、アミノプロピルアクリレート、アミノプロピルメタクリレート等の不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル；グリシジルアクリレートやグリシジルメタクリレート等の不飽和カルボン酸グリシジルエステル；ビニルアセテートやビニルプロピオネート、ビニルブチレート、ビニルベンゾエート等のカルボン酸ビニルエステル；ビニルメチルエーテルやビニルエチルエーテル、アリルグリシジルエーテル等の不飽和エーテル；アクリロニトリルやメタクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリル、ビニリデンシアニド等のビニルシアニド；アクリルアミドやメタクリルアミド、α−クロロアクリルアミド、Ｎ−ヒドロキシエチルアクリルアミド、Ｎ−ヒドロキシエチルメタクリルアミド、マレアミド、Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−オルト−メチルフェニルマレイミド、Ｎ−メタ−メチルフェニルマレイミド、Ｎ−パラ−メチルフェニルマレイミド、Ｎ−オルト−メトキシフェニルマレイミド、Ｎ−メタ−メトキシフェニルマレイミド、Ｎ−パラ−メトキシフェニルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド等の不飽和アミド又は不飽和イミド；１，３−ブタジエンやイソプレン等の脂肪族共役ジエン；ポリスチレンやポリ（メチルアクリレート）、ポリ（メチルメタクリレート）、ポリ（ブチルアクリレート）、ポリ（ブチルメタクリレート）、モノ−アクリロイル分子末端又はモノ−メタクリロイル分子末端シリコーン等のポリマー性マクロモノマー等を挙げることができる。これらの共重合可能なエチレン性不飽和モノマーは単独でも組合せても用いることができる。
【００１２】
本発明のアルカリ可溶性樹脂（Ａ）を得るための重合反応中に溶媒を添加し、重合反応終了後にこれを蒸発させる。アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の製造に有用な溶媒としては、エチレングリコールモノプロピルエーテルやジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールメチルエーテル、エチレングリコールエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエーテル、ジエチレングリコールエチルエーテル、ジエチレングリコールブチルエーテル、メチルセルソルブアセテート、エチルセルソルブアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート、メチルエチルケトン、アセトン等を挙げることができる。前記溶媒は単独でも組合せても用いることができる。
【００１３】
本発明のアルカリ可溶性樹脂（Ａ）の平均分子量は４０００〜５００００であり、６０００〜２５０００であることが好ましい。アルカリ可溶性樹脂の総重量に対して、式（１）で表されるモノマーの使用量は５〜９５重量％の範囲であり、３０〜６５重量％であることが好ましく、少なくとも一のカルボキシ基を含有するエチレン性不飽和モノマーの使用量は５〜９５重量％の範囲であり、１０〜３５重量％であることが好ましく、他の（一種以上の）共重合可能なエチレン性不飽和モノマーの使用量は５〜９０重量％の範囲である。
【００１４】
本発明のアルカリ可溶性樹脂は、良好な棚持ち性や接着性、現像性、耐熱性、耐溶媒性に関連して種々の利点を有する。
【００１５】
本発明感光性樹脂組成物の多官能性モノマー（Ｂ）の使用量は、アルカリ可溶性樹脂１００重量部に対して１０〜６００重量部であり、２０〜４００重量部であることが好ましい。
【００１６】
前記多官能性モノマーは重合性不飽和結合を少なくとも２個有し、なかでもエチレン性不飽和基を少なくとも２基有するモノマー（例えば、アクリレート化合物又はメタクリレート化合物）が好ましい。
【００１７】
エチレン性不飽和基を少なくとも２基有する前記モノマーは当業者には明らかであって特に限定されない。この種のモノマーとしては、エチレングリコールジ（メタ）アクリレートやジシクロペンテニルジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリス（２−ヒドロキシエチル）イソシアヌレートトリ（メタ）アクリレート、トリ（アクリルオキシエチルイソシアヌレート）、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、１，４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、グリセロールトリプロパノエート等を挙げることができる。
【００１８】
前記多官能性モノマーとしては、トリメチロールプロパントリアクリレートやペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、グリセロールトリプロパノエートが好ましい。
【００１９】
本発明感光性樹脂組成物の光開始剤（Ｃ）の使用量は、使用する多官能性モノマー１００重量部に対して１〜３００重量部であり、１〜５０重量部であることが好ましい。
【００２０】
本発明で使用する光開始剤は露光によりフリーラジカルを発生し、フリーラジカルの移動によって重合を開始させることができる。本発明に適した光開始剤の種類は特に限定されず、例えば、ビイミダゾール類やベンゾイン類、ベンゾインアルキルエーテル類、ベンジル類、ケタール類、アセトフェノン類、ベンゾフェノン類（例えば、２−フェニルメチル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノ−フェニル）−ブタン−１−オン）、商品名：Ｉ３６９（チバ（Ciba）社製））、４，４’−ジメチル−アミノ−ベンゾフェノン、チオキサントン類、モルホリノ−プロパノン（例えば、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−（４−モルホリノ）−１−プロパノン、商品名：Ｉ９０７（チバ（Ciba）社製））及びそれらの混合物を挙げることができる。光開始剤はベンゾフェノンであることが好ましい。
【００２１】
本発明感光性樹脂組成物の顔料（Ｄ）の使用量は、アルカリ可溶性樹脂１００重量部に対して０．１〜３００重量部であり、３０〜２００重量部であることが好ましい。
【００２２】
本発明に使用する顔料は、従来公知の無機顔料又は有機顔料の如何なるものでもよい。適切な無機顔料としては、有機金属酸化物や金属錯体等の金属化合物を挙げることができる。
【００２３】
本発明に有用な有機顔料としては、顔料のカラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）として例えば、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ ８３，１１０，１３８，１３９，１５０，１５５；
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｏｒａｎｇｅ ２４，７１；
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｖｉｏｌｅｔ ２３；
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ４８：２，４８：３，４８：４，１０４，１２２，１７７，１９０，２０２，２０６，２０７，２０９，２１６，２２４，２５４；
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １５：３，１５：４，１５：６，２２，６０；
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｇｒｅｅｎ ７，３６；
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｒｏｗｎ ２３，２５；及び
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌａｃｋ １，７を挙げることができる。
【００２４】
前記顔料は単独でも組合せても用いることができる。また、顔料は分散剤と共に用いることもできる。適切な分散剤としては、カチオン性界面活性剤やアニオン性界面活性剤、非イオン性界面活性剤、両性界面活性剤、シリコーン界面活性剤、フッ素系界面活性剤を挙げることができる。これらの界面活性剤としては、ポリオキシエチレンドデシルエーテルやポリオキシエチレンステアロイルエーテル、ポリオキシエチレンオレオイルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルエーテル類；ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテルやポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類；ポリエチレングリコールジラウリレートやポリエチレングリコールジステアレート等のポリエチレングリコールジエステル類；ソルビタン脂肪酸エステル類；脂肪酸変性ポリエステル類；三級アミン変性ポリウレタン類等を挙げることができる。一例としてＫＰ（信越（Shin-Etsu）製）やＦｌｕｏｒａｄ（住友スリーエム（Sumitomo 3M）製）、Ｓｕｒｆｌｏｎ（アサキガラス（Asaki Glass）製）、ＭＥＧＡＦＡＣ（大日本インキ化学工業製）、Ｆ−Ｔｏｐ（トーケムプロダクツ（Tokem Products）製）、Ｐｏｌｙｆｌｏｗ（共栄社化学（Kyoeisha Chemical）社製）等を挙げることができる。これらの界面活性剤は単独又は組合せて用いることができ、その使用量はアルカリ可溶性樹脂１００重量部に対して０〜６重量部、好ましくは０〜３重量部とすることができる。
【００２５】
本発明の感光性樹脂組成物は通常、流動性及び粘性を調整するための有機溶媒を含む。溶媒を適切に選択しないと、感光性樹脂組成物の棚持ち性やコーティング性が損なわれることがある。
【００２６】
本発明感光性樹脂組成物の溶媒（Ｅ）の使用量は、アルカリ可溶性樹脂１００重量部に対して５０〜３００重量部であり、１００〜２００重量部であることが好ましい。本発明に適切な溶媒は、その他の有機成分を溶解し得ることができる溶媒であって、生じた分散液から常圧で少量の熱量のみで蒸発させることができるような高揮発性を有する溶媒である。従って、適切な溶媒は常圧で沸点２００℃未満のものであり、例えば、ベンゼンやトルエン、キシレン等の芳香族類；メタノールやエタノール等のアルコール類；エチレングリコールモノプロピルエーテルやジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコール-メチルエーテル、エチレングリコールエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエーテル、ジエチレングリコールエチルエーテル、ジエチレングリコールブチルエーテル等のエーテル類；メチルセルソルブアセテートやエチルセルソルブアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート等のエステル類；メチルエチルケトンやアセトン等のケトン類等を挙げることができる。前記溶媒は単独でも組合せても用いることができる。
【００２７】
本発明の感光性樹脂組成物は当業者に知られた添加剤を任意に含むことができる。そのような添加剤としてはフィラーや酸化防止剤、光安定化剤、消泡剤、接着促進剤、架橋剤、熱安定化剤等を挙げることができるがこれらに限定されない。
【００２８】
感光性樹脂組成物の固形分は１０〜３０重量％の範囲であり、１５〜２５％であることが好ましい。固形分が１０重量％未満の場合には、組成物の塗布時にコーティングに曇りが生じ易く、固形分が３０重量％超の場合には、組成物の塗布時に線状痕が生じることがある。
【００２９】
本発明の感光性樹脂組成物は、液晶ディスプレイ用カラーフィルターの製造において、感光性材料、フォトレジスト、インク又はコーティングとして用いることができる。本感光性樹脂組成物は優れた現像性と接着性を有する。
【００３０】
本発明の感光性樹脂組成物を使用する際の適切なリソグラフィー法は当業者には明らかである。例えば、適切な一方法は次の各段階：
（Ｉ）ミキサーを用いて成分（Ａ）〜（Ｅ）と、任意に従来の（一以上の）添加剤とを均一に混合してコロイド組成物を生成すること；
（ＩＩ）コロイド組成物を基板表面にコーティングし、コーティング層を形成すること；
（ＩＩＩ）コーティング済みの基板をオーブン内に載置し７０〜９０℃で１〜１５分間ソフトベークして溶媒を蒸発させること；
（ＩＶ）基板をマスクで被覆し、コーティング層にエネルギー線（照射強度は１〜３００ｍＪ／ｃｍ2であり、好ましくは１０〜１００ｍＪ／ｃｍ2とする）を照射して光重合させ、照射部分を適切な現像方法（例えば浸漬現像やスプレー現像、攪拌現像）にて２３±２℃で３０秒〜５分間現像し、現像液でリンスして未照射溶解樹脂を除去して所望のパターンを得ること；及び
（Ｖ）得られた基板を、ホットプレートやオーブン等の加熱装置を用いて１５０〜２５０℃で５〜９０分間ハードベークすること、を含む。前記各段階は必要に応じて繰返すことができる。
【００３１】
前記段階（ＩＶ）で使用する現像溶液は特に限定されず、例えばアルカリ性化合物（水酸化ナトリウムや水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、重炭酸ナトリウム、炭酸カルシウム、アンモニア、ジエチルアミン、水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）等）の水溶液であることができる。
【００３２】
以下、実施例を挙げて本発明を更に説明するが、これら実施例は本発明の範囲を限定することを意図するものではない。当業者であれば想到するであろう如何なる改変や変更も、本明細書の開示の範囲内にあるものとする。
実施例及び比較例
【００３３】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）、多官能性モノマー（Ｂ）、光開始剤（Ｃ）、顔料（Ｄ）及び溶媒（Ｅ）を表１に示す組成で溶解混合し感光性樹脂組成物を調製した。
【００３４】
【表１】
2008090283.tif 000003
【００３５】
Ａ１：２−（パラ−イソプロピルフェニル−フェノキシ）−エチルアクリレート（ＤＭＡＣ−１、エターナルケミカル（Eternal Chemical））
Ａ２：メタクリル酸（ＭＡＡ、エターナルケミカル（Eternal Chemical））
Ａ３：ベンジルメタクリレート（ＢｚＭＡ、サンエステルズ社（San Esters Corp.））
Ａ４：メチルメタクリレート（ＭＭＡ、ビマックス（Bimax））
Ａ５：ブチルメタクリレート（ＢＭＡ、アドバンストテクノロジー＆インダストリアル（Advanced Technology & Industrial））
Ａ６：グリシジルメタクリレート（ＧＭＡ、ダウケミカル（Dow Chemical））
Ａ７：プロピレングリコールメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ、ダウケミカル（Dow Chemcial））
Ｂ１：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（ＤＰＨＡ、エターナルケミカル（Eternal Chemical））
Ｃ１：Ｉ３６９（チバ（Ciba））；２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタン−１−オン
Ｃ２：Ｉ９０７（チバ（Ciba））；２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−（４−モルホリニル
Ｄ１：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １５：６（ＤＩＣ）
Ｅ１：プロピレングリコールメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ、ダウケミカル（Dow Chemical））
試験方法
【００３６】
粘度試験：得られた感光性樹脂組成物の粘度（単位：ｃｐｓ）を、Ｅ−ＴＹＰＥ粘度計（東機産業）を用いて定温２５℃、スピンスピード１００ｒｐｍにて測定。
【００３７】
現像速度試験：現像３０秒、水洗３０秒を行い、適正現像時間を測定。
【００３８】
結果を次表２に示す。
【００３９】
【表２】
2008090283.tif 000004
【００４０】
表２の結果から分かるように、実施例の感光性樹脂組成物は特殊な構造の共重合体を含有することから、より迅速に現像することができると共に現像後のパターンもより滑らかである。従って、カラーレジストを使用することによって現像が遅くなることに関する問題が解決されると共にパターンの微細さを向上させることができるため、ＣＭＰプロセスを行う必要がなくなりコスト低減につながる。
【外国語明細書】
2008090283000001.pdf