(57)【要約】【課題】この発明は、帯電物体の電荷除去方法を提供することを目的とする。【解決手段】この発明は、所定の帯電物体が位置した所に向けて軟Ｘ線を照射し、所定のターゲット電圧及びターゲット電流が与えられるターゲットを内蔵しており、ベリリウム窓に銀を蒸着させた軟Ｘ線管を配置して、前記ベリリウム窓から発生波長が１Å以上５Å以下の範囲の軟Ｘ線を照射して前記帯電物体が位置した領域に含まれる元素乃至物質をイオン化することによって前記帯電物体の電荷を除去する。【選択図】図３
2008098144.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の帯電物体が位置した所に向けて軟Ｘ線を照射し、所定のターゲット電圧及びターゲット電流が与えられるターゲットを内蔵しており、ベリリウム窓に銀を蒸着させた軟Ｘ線管を配置して、前記ベリリウム窓から発生波長が１Å以上５Å以下の範囲の軟Ｘ線を照射して前記帯電物体が位置した領域に含まれる元素乃至物質をイオン化することによって前記帯電物体の電荷を除去することを特徴とする帯電物体の電荷除去方法。
【請求項２】
加速電圧が１０ＫＶ以下で３．５〜４．５Åの主波長帯の軟Ｘ線を発生させて静電気を除去することを特徴とする請求項１に記載の帯電物体の電荷除去方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明はイオナイザー、特に軟Ｘ線を利用したイオナイザーの構造及び帯電物体の電荷除去方法に関するものである。特に、この発明は既存の軟Ｘ線を利用したイオナイザーの構造的な短所を改善したもので、軟Ｘ線を利用したイオナイザーの小型化に必要な外部への熱放出が容易で、従来よりも構造も簡単で、組立も容易で、支持が堅固になるようにした技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この分野の従来技術としては日本特許出願番号第１９９６−２５６７８０号（出願人：浜松ホトニクス株式会社）(１９９６年９月２７日出願)「Ｘ線発生装置及びこれを使用した静電気制御器」がある。
【０００３】
しかし、この技術による軟Ｘ線を利用したイオナイザーは、いわゆる「狭持」と言う過程が必要であるが、その過程が複雑で、組立も容易でなく、フランジ部と外部保護容器との電気的及び熱的な接触がよくないので、実際に使うには問題点が多くあった。このような理由のために、この技術を採択したイオナイザーは実用化されていないことと知られているが、この技術の構成図は図１に図示されたようなものである。
【０００４】
しかし、図１による従来技術の短所を克服した、一層技術的に進歩した技術が既に実用化されて使われている。この技術の構成図は、図２に図示されたようなものである。
【０００５】
しかし、このような従来技術より熱伝導度がさらに良好で、組立が容易で、構造が簡単な新しい技術の登場が要求されてきた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
この発明は上記した従来技術等が持っている問題点を解決するための軟Ｘ線を利用したイオナイザーを提供することを目的とする。
【０００７】
本発明の他の目的と長所は、下記の発明の詳細な説明を読んで添付された図面を参照すれば、より明白になるであろう。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明による軟Ｘ線を利用したイオナイザー（以下では、簡単に「イオナイザー」とだけ言う）の望ましい一実施例の構成例は、
帯電物体に向けて軟Ｘ線を放出して放出された軟Ｘ線によって空気中のガスを電離させて電離されたガスから発生されるプラスイオン、マイナスイオン及び電子のうちの何れか１つ以上によって前記帯電物体の電荷を除去するために軟Ｘ線を生成させるヘッド部と、１つ以上の前記ヘッド部を制御するための制御部とを具備してなる軟Ｘ線を利用したイオナイザーにおいて、
前記ヘッド部は、
電子を生成するチューブ；
前記チューブで生成された電子を電位差によって引きつけるターゲット；
前記ターゲットで電子の衝突によって発生される軟Ｘ線を放出するための出力窓；
前記出力窓と熱的及び電気的に連結されていて、前記出力窓を支持すると同時に保護容器の前面部と触接して前記ターゲットで発生した内部の熱をＸ線管外部に放出させ、前記チューブの前端部と連結されて前記Ｘ線管の前端部を成すフランジ部；
前記フランジ部の外周縁に対応する円形の貫通孔を具備し、前記フランジ部の外周縁が前記貫通孔の内部に形成された短顎によってＸ線管が前記貫通孔内側に挿入されて前記フランジ部の外周縁が短顎によって固定されて前記フランジ部と一体になり、前記フランジ面と一つの接触外表面を成し、熱伝導性と電気伝導性を持つフランジ結合器；
コ字形状をしており、その一側面に形成された貫通孔の内側に前記フランジ部と前記フランジ結合器が結合されて成す接触外表面を所定の結合手段によって固定させるための保護容器側面部；
前記Ｘ線管に高電圧を供給するための高電圧発生部；
前記高電圧発生部の一方に位置したＰＣＢ；
コ字形状をしており、前記保護容器側面部の上下部と一方側面部の役割をする保護容器蓋部；及び、
前記保護容器側面部の上下部に保護容器蓋部をねじで固定させるために形成された多数の固定手段；を具備してなることを特徴とする。
【０００９】
この発明において、前記各ヘッド部は、前記イオナイザーの累積使用時間を示すためのタイマーをさらに具備していることが望ましい。
【００１０】
この発明において、前記保護容器の側面部、蓋部、ターゲットは、導電性材質からなり、接地電位をなしており、熱伝導性があることが望ましい。
【００１１】
この発明において、前記制御部は、
前記多数の各ヘッド部を選択することのできる手段；及び、
前記各ヘッド部の内部タイマーと連動して選択したヘッド部の累積使用時間を示すための表示窓；を具備していることが望ましい。
【００１２】
この発明において、前記制御部は、警報、インターロック、遠隔制御、制御器電源の制御信号を入出力させる機能を具備することが望ましい。
【００１３】
この発明において、前記ヘッド部が保護容器外部に設置される場合、可撓電線管によって前記制御部と連結され、前記可撓電線管内部にヘッド部と電源制御部を連結する高圧ケーブルを収容して高圧ケーブルを外部からの衝撃と震動から保護し、必要によって使用者がヘッド部のヘッド方向を帯電物体に向けて任意の角度に曲げられるようにするために使われ、この時は、フランジ結合器は使用しないことが望ましい。
【００１４】
この発明において、一つのＰＣで多数のイオナイザーを遠隔で監視するためのＲＭＳ機能をさらに具備することが望ましい。
【００１５】
この発明において、前記制御部のコネクター形態が単一コネクター方式を採用することが望ましい。
【００１６】
この発明において、天井と壁に前記イオナイザーを付着させる時に使われ、前記イオナイザーのヘッド部をねじによって水平または垂直に任意に固定することができるようにしたＬ字形ブラケット部；平面形態で前記Ｌ字形ブラケット部の外面の一方とねじで連結され、前記ヘッド部をねじで固定させるためのブラケット補強板；からなるブラケットを利用し、前記Ｌ字形ブラケット部は天井または壁にアンカーボルトを利用して固定することが望ましい。
【００１７】
この発明において、前記フランジ結合器が前記保護容器側面部と触接する面積は必要によって広くまたは狭く設定することができるのが望ましい。
【００１８】
この発明において、前記保護容器側面部内側には前記高電圧発生部が位置した所の側にＸ線管の本体が位置するための空き空間が準備されることが望ましい。
【００１９】
この発明において、前記Ｘ線管は、前記フランジ結合器と前記保護容器側面部を固定させる手段によって固定され、支持されることが望ましい。
【００２０】
この発明において、前記制御部は、前記ヘッド部の使用年限が尽きたり、使用年限に近づくと、これを知らせてくれるアラーム機能を具備することが望ましい。
【００２１】
この発明において、前記保護容器側面部で出力窓が有る面に別途の照射用孔がある遮蔽用器具を追加付着して前記孔の模様及び出力窓との距離により多様な除電範囲及び円形、四角、楕円形模様を含む多様な模様のＸ線照射形態をつくる事ができることが望ましい。
【００２２】
そして、この発明による帯電物体の電荷除去方法の望ましい一実施例は、所定の帯電物体が位置した所に向けて軟Ｘ線を照射し、所定のターゲット電圧及びターゲット電流が与えられるターゲットを内蔵しており、ベリリウム窓に銀を蒸着させた軟Ｘ線管を配置して、前記ベリリウム窓から主波長が１Å以上５Å以下範囲の軟Ｘ線を照射して前記帯電物体が位置した領域に含まれる元素乃至物質をイオン化することによって前記帯電物体の電荷を除去することを特徴とする。
【００２３】
この発明において、前記加速電圧が１０ＫＶ以下で４〜５Åの主波長帯の軟Ｘ線を発生させて静電気を除去することが望ましい。
【発明の効果】
【００２４】
この発明の実施によっていろいろな利点を予想することができる。
【００２５】
第１に、ターゲット材質としてベリリウム窓に銀を蒸着させて使用した場合、遮蔽が容易であり、安全性が増加するので、より経済的に装置構成が可能である。
【００２６】
第２に、フランジ結合器を使うので、フランジが保護容器と触接する面積を容易に増加させられて、放熱が従来よりも速くなる。
【００２７】
第３に、従来とは違って狭持技術が不必要であるので、組立と製作が容易である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
これから添付された図面を参照してこの発明の構成と動作原理及び特徴に対して説明する。この発明による軟Ｘ線を利用したイオナイザーの特徴は以下の通りである。
【００２９】
（１．Ｘ線管支持体及び放熱構造）
この発明では従来技術の問題点を解決するためにＸ線管の支持体及び放熱構造を改善した。図３を見ればこの発明の内容が詳細に図示されている。つまり、この発明では既存のＸ線管のフランジ部を直接拡大したり、図面のように補形物を利用して、溶接などの方式で固定してフランジ部を広げる効果がある。固定のためには図面での様にねじを利用するのが望ましい。図１２は、この発明によってフランジ部とフランジ結合器が固定された状態を示す図である。これに対しては後に詳細に説明する。そしてこのようにすることによってこの発明が以前の方式に対比して得られる効果は次の通りである。
【００３０】
第１に、フランジ部の大きさを直接拡大して、外部ケースと直接締結したものであるため、放熱効率が非常に高まる。さらに、補形物の大きさによって広い面積を持つことができるので、放熱において、さらに大きい効率を有することができる。
【００３１】
第２に、従来技術が採用した狭持構造のような複雑な構造を使用しておらず、すぐ外部ケースとねじで締結が可能であるので、組立性の面で優秀である。
【００３２】
（２．銀蒸着）
以前の一般的な軟Ｘ線を利用したイオナイザーの目標はベリリウム窓にタングステンを蒸着して加速電圧９〜１１ＫＶ以下で１〜２Åの主波長の軟Ｘ線を発生させて静電気を除去する方式であった。しかし、この発明の出願人による実験でベリリウム窓に銀を蒸着して試験をした結果、加速電圧９．５ｋＶで軟Ｘ線が３．５〜４．５Åの主波長を持ちながらもイオン化に必要なイオン電流量が以前とほとんど同一であるという事実を発見した。さらに、放射線量は既存の半分にしかならなかった。これから、この発明の出願人による実験結果を詳しく説明する。
【００３３】
図４はターゲット材質としてベリリウム窓にタングステンと銀を蒸着させて加速電圧が９．５ＫＶ、１０ＫＶ、１０．５ＫＶである場合における距離によるイオン電流減少量を示している。銀を蒸着させた場合、既存のタングステンをターゲットに利用した波長（１〜２Å）に比べて主波長が（３．５〜４．５Å）長くて長距離除電に不利である可能性を予想したが、実際測定値に於いては、距離によるイオン電流減少量がタングステンとほとんど差異が無いのを見る事が出来る。これは銀を蒸着した時に主波長以外に発生される制動幅射線（１．５〜２．５Å）による長距離除電の効果のためであると予想され、これは除電距離性能を既存の様に維持しながらもタングステンを使用した場合より発生されたＸ線の線量が少ない為に、安定性の面でより優秀で、遮蔽もより容易で、これにより経済性がより良好になるなど、従来に比べていろいろな利点が多い。
【００３４】
また、図５は、管電流が１００μＡで、加速電圧を６〜１３ＫＶに可変させた時であって、ターゲット材質としてベリリウム窓に銀を蒸着させた場合における軟Ｘ線の主波長と該当波長の軟Ｘ線が発生した線量の比率関係を示す曲線である。加速電圧が高いほど同じ波長帯の軟Ｘ線がよりたくさん発生するのを知ることができ、この例では約０．４２５ｎｍつまり４．２５Å波長帯の軟Ｘ線が一番多く発生し、ほぼ大部分の軟Ｘ線が１〜５Å帯の波長を持つことを知ることができる。図面で縦軸の単位は波長別発生線量の値（ＳＶ）である。そして、ここで管電流というのは、加速電圧が与えられた場合に軟Ｘ線管内部ターゲットに移動する電子の電流を意味する。
【００３５】
図６は、ターゲット材質としてベリリウム窓にタングステンと銀を蒸着させた場合であって、加速電圧が９．４８ＫＶ、管電流が０．２４０ｍＡの時における除電距離と発生した軟Ｘ線量の関係を示す曲線である。銀を蒸着させた場合が同じ除電距離について発生した軟Ｘ線量がより少ないことを知ることができる。これにより、銀を使う場合がより安全で、Ｘ線遮蔽もより容易であることが分かる。
【００３６】
図７は、ターゲット材質としてベリリウム窓にタングステンと銀を蒸着させた場合であって、加速電圧が１０．５ＫＶ、管電流が０．２４０ｍＡの時における除電距離とイオン電流との関係を示す曲線である。同じ距離に対して銀の場合がイオン電流が多少小さいが、イオン電流による除電が起きる時間を考慮して見るとき（±１０００Ｖから±１００Ｖに落ちる除電時間を０．５秒以内に維持するイオン電流値：１５０〜２４０ｎＡ）、銀を使用する場合にも実際除電性能には差異が無い事が分かる。
【００３７】
図８は、ターゲット材質としてベリリウム窓にタングステンと銀を蒸着させた場合であって、加速電圧が１０．５ＫＶ、管電流が０．２４０ｍＡの時における除電距離と発生した軟Ｘ線量の関係を示す曲線である。同じ除電距離に対して銀の場合が軟Ｘ線量の量がより少なく、これにより、銀を使う場合は遮蔽が容易で、安全性がより高いということが分かる。
【００３８】
図９は、ターゲット材質としてベリリウム窓にタングステンと銀を蒸着させた場合であって、加速電圧が１０ＫＶ、管電流が０．２３８２ｍＡの時における除電距離とイオン電流との関係を示す曲線である。同じ距離に対して銀の場合が、イオン電流が多少小さいが、イオン電流による除電が起きる時間を考慮して見るとき（±１０００Ｖから±１００Ｖに落ちる除電時間を０．５秒以内に維持するイオン電流値：１５０〜２４０ｎＡ）、銀を使用する場合にも実際除電性能には差異が無いことが分かる。
【００３９】
図１０は、ターゲット材質としてベリリウム窓にタングステンと銀を蒸着させた場合であって、加速電圧が１０ＫＶ、管電流が０．２３８２ｍＡの時における除電距離と発生した軟Ｘ線量の関係を示す曲線である。同じ除電距離に対して銀の場合が軟Ｘ線量の量がより小さく、これにより、銀を使う場合は遮蔽が容易で、安全性がより高いというのが分かる。
【００４０】
図１１は、ターゲット材質としてベリリウム窓にタングステンと銀を蒸着させた場合であって、加速電圧が９．４８ＫＶ、管電流が０．２４０ｍＡの時における除電距離とイオン電流との関係を示す曲線である。同じ距離に対して銀の場合が、イオン電流が多少小さいが、イオン電流による除電が起きる時間を考慮して見るとき（±１０００Ｖから±１００Ｖに落ちる除電時間を０．５秒以内に維持するイオン電流値：１５０〜２４０ｎＡ）、銀を使用する場合にも実際除電性能には差異が無いことが分かる。この場合は他の場合より両者の差異が少ない方である。この事実から加速電圧が低いと両者のイオン電流発生量に大きな差異がないことを知ることができる。
【００４１】
上記実験結果から分かる事実は、次の通りである。
【００４２】
第１に、低い電圧でも発生するイオン量の差異はあまりない。
【００４３】
第２に、従来のイオナイザーと除電性能は似ているが、従来よりも危険性はさらに大きく減って、遮蔽も容易である。
【００４４】
第３に、この発明では、主波長帯が３．５〜４．５Å、制動幅射線波長帯が１．５〜２．５Åを同時に備えており、これによってこの発明のイオナイザーは、長短距離用除電に全部有用である。参考までに３．５〜４．５Åの主波長帯は短距離除電に有利で、１．５〜２．５Åの制動幅射線波長帯は長距離除電に有利であることを言及する。従って、一台のイオナイザーで長距離及び短距離除電用として兼用させることができるので、非常に経済的である。併せて全体的な除電性能が向上することが予想される。
【００４５】
一方、日本特許第２９５１４７７号を見れば、ターゲット物質を定義せずに主波長の範囲を２〜２０Åに決めておいたが、これは現実的にいろいろ考慮しなければならない事項（例えば、ターゲット物質、加速電圧、管電流など）を排除したままどんな実験根拠もなしに特定数値の値を主張したものである。
【００４６】
（３．制御器の機能向上）
この発明の軟Ｘ線を利用したイオナイザーの制御器は、従来に比べていろいろな機能が向上された。これについては、下記の表１に詳しく整理されている。表１は、この発明による軟Ｘ線を利用したイオナイザーの機能設定表を例示している。この例では、１０種類の機能を設定するようになっている。この発明のイオナイザーで制御器の向上された機能の概略的な内容は下記の通りである。
【００４７】
【表１】
2008098144.tif 000003
【００４８】
第１に、この発明では、既存の警報（Alarm）、インターロック（Interlock）、遠隔制御（Remote）、制御器電源（Controller Power）機能を外部に信号出力できる機能を付加した。
【００４９】
第２に、この発明では、本出願人の他の韓国特許出願書１０−２００５−３２５３５「可撓型軟X線イオナイザー」に開示されている可撓電線管の適用が可能である。つまりこの発明の軟Ｘ線を利用するイオナイザーの他の実施例は、軟Ｘ線を発生させるヘッド部とこのヘッド部から軟Ｘ線が漏出するのを遮蔽するための軟Ｘ線保護部と制御信号及び制御電圧をヘッド部に供給する電源制御部を具備してなり、この時、軟Ｘ線保護部の外にヘッド部が位置しており、ヘッド部と電源制御部を連結する高圧ケーブルを外部からの衝撃と震動から保護し、必要によって使用者がヘッド部のヘッド方向を帯電物体に向けて任意の角度で曲げられるようにすることが可能な可撓管を使うのが可能である。
【００５０】
第３に、この発明では、ＲＭＳ（Real monitoring system）の適用が可能である。ＲＭＳは現場に設置されている多数のイオナイザーを一台の現場のＰＣで簡便にモニタリングできるシステムである。ＲＭＳについては、本出願人の他の韓国特許出願書１０−２００５−３２５３４「棒型イオナイザー」に詳しく説明されている。
【００５１】
上記の１０種類の機能に対してより詳しく探れば、次の通りである。
【００５２】
番号１の場合、コネクター名称（機能に該当する）はＯＵＴＰＵＴ１〜４であり、ピンの数は５つであり、この機能はヘッドを連結するものである。この機能は従来にも使われていた。
【００５３】
番号２の場合、コネクター名称はＩＮＴＥＲＬＯＣＫであり、ピン数は２つで、この機能は外部インターロック信号を入力させるものである。作業者がイオナイザーが設置された遮蔽室内へ入る場合、作業者の安全のためにイオナイザーの動作を停止させる必要性があるから、外部インターロック信号入力のために遮蔽室出入口が開放されると自動にイオナイザーの動作が停止され，さらに出入口が閉鎖されても手動でスタートボタンを押せば作動されるので作業者を保護することが出来る。しかし作業環境によっては、遮蔽室出入口閉鎖時、自動で動作が再開されなければならない場合もあるので、回路修正を通じてこの様な要求を満足させることも出来、これは従来にも使用されていた技術である。
【００５４】
番号３の場合、コネクター名称はＲＥＭＯＴＥであり、ピン数は２つであり、外部遠隔信号を入力する機能がある。外部遠隔信号入力時、スタート／ストップボタンが使われる。この機能は既存のものにも使われていた。
【００５５】
番号４の場合、コネクター名称はＩＮＤＩＣＡＴＯＲで、ピン数は２つである。ヘッドのＯＮ／ＯＦＦ状態を確認する機能があり、既存のものにもあった機能である。
【００５６】
番号５の場合、コネクター名称はＡＬＡＲＭで、ピン数は２つであり、警報状態を出力する機能があり、既存のものにはない機能である。
【００５７】
番号６の場合、コネクターの名称はＩＮＴＥＲＬＯＣＫ  ＯＵＴであり、ピン数は２つであり、外部インターロック信号を出力する機能がある。この機能は、インターロックが動作中の場合に出力されるのが特徴である。既存のものにはない機能である。
【００５８】
番号７の場合、コネクターの名称はＲＥＭＯＴＥ  ＯＵＴであり、ピン数は２つであり、外部遠隔信号を出力する機能があって、遠隔動作中に出力される。既存のものにはない機能である。
【００５９】
番号８の場合、コネクターの名称はＰＯＷＥＲ  ＯＮ／ＯＦＦであり、ピン数は２つであり、パワーオン／オフ（ＰＯＷＥＲ  ＯＮ／ＯＦＦ）機能があり、電源入力状態による信号を出力する。既存のものにはない機能である。
【００６０】
番号９の場合、コネクターの名称は電源仕様（ＡＣ）である。既存のもののように１００〜２４０Ｖである。
【００６１】
番号１０の場合、コネクターの名称はコネクター仕様で、既存のものでは個別コネクターであったが、この発明では単一コネクターを使用する。
【００６２】
一方、図１２は、この発明によるフランジ部とフランジ結合器を結合した状態図を示すものである。この発明でフランジ部が保護容器の側面部と直接的に触接する面積を広げた方が良いが、技術的にそれが容易でない。従って、この発明ではこのような点を克服しようとフランジ部をフランジ結合器に結合させて実質的にフランジ部の接触面積を広げることで従来よりも放熱効果がより優秀になる。そして、従来、放熱用フランジを保護容器と触接するようにするために狭持をさせる過程で狭持がよくならない場合があり、このために装置が複雑になり、組立も容易でなかった。しかし、この発明では、フランジ結合器を採用することでこのような問題点が全部解決された。
【００６３】
本発明は様々に変形することができ、いろいろな形態が取れるが、上記発明の詳細な説明ではそれによる特別な実施例に対してのみ述べた。しかし、本発明は、上記発明の詳細な説明で言及された特別な形態に限定されないものと理解されるべきであり、むしろ添付された請求範囲によって定義される本発明の精神と範囲内にあるすべての変形物と均等物及び代替物を含むことと理解されるべきである。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】従来技術による軟Ｘ線を利用したイオナイザーの構造図を示す。
【図２】他の従来技術による軟Ｘ線を利用したイオナイザーの構造図を示す。
【図３】この発明による軟Ｘ線を利用したイオナイザーの構造図の望ましい一実施例を示す。
【図４】ターゲット材質としてタングステンと銀が使われ、加速電圧が９．５ＫＶ、１０ＫＶ、１０．５ＫＶである場合における、イオン電流量に距離の自乗を乗じた値と除電距離との関係を示す特性曲線である。
【図５】管電流が１００μＡで、加速電圧を６〜１３ＫＶに可変させた時であって、ターゲット材質として銀を使った場合における軟Ｘ線の波長別発生線量値（Ｓｖ）を示す曲線である。
【図６】ターゲット材質としてタングステンと銀を使った場合であって、加速電圧が９．４８ＫＶ、管電流が０．２４０ｍＡの時における除電距離と発生された軟Ｘ線量の関係を示す曲線である。
【図７】ターゲット材質としてタングステンと銀を使った場合であって、加速電圧が１０．５ＫＶ、管電流が０．２４０ｍＡの時における除電距離とイオン電流との関係を示す曲線である。
【図８】ターゲット材質としてタングステンと銀を使った場合であって、加速電圧が１０．５ＫＶ、管電流が０．２４０ｍＡの時における除電距離と発生された軟Ｘ線量の関係を示す曲線である。
【図９】ターゲット材質としてタングステンと銀を使った場合であって、加速電圧が１０ＫＶ、管電流が０．２３８０ｍＡの時における除電距離とイオン電流との関係を示す曲線である。
【図１０】ターゲット材質としてタングステンと銀を使った場合であって、加速電圧が１０ＫＶ、管電流が０．２３８２ｍＡの時における除電距離と発生された軟Ｘ線量の関係を示す曲線である。
【図１１】ターゲット材質としてタングステンと銀を使った場合であって、加速電圧が９．４８ＫＶ、管電流が０．２４０ｍＡの時における除電距離とイオン電流との関係を示す曲線である。
【図１２】この発明による軟Ｘ線を利用したイオナイザーのフランジ部とフランジ結合器を結合させた状態図である。
【符号の説明】
【００６５】
３１０  Ｘ線管
３２０  フランジ部
３３０  フランジ結合器
３４０  保護容器側面部の正面部
３５０  高電圧発生部
３６０  保護容器側面部
３７０  保護容器蓋部
３８０  コネクター
３９０  ブラケット
【図１】
2008098144.tif 000004
【図３】
2008098144.tif 000005
【図６】
2008098144.tif 000006
【図７】
2008098144.tif 000007
【図８】
2008098144.tif 000008
【図９】
2008098144.tif 000009
【図１０】
2008098144.tif 000010
【図１１】
2008098144.tif 000011
【図２】
2008098144.tif 000012
【図４】
2008098144.tif 000013
【図５】
2008098144.tif 000014
【図１２】
2008098144.tif 000015