(57)【要約】【課題】液滴がより微細化したとしても、ノズルごとの液滴の吐出速度や、液滴の吐出量のばらつきを抑制し、より高精度な液滴吐出が可能な液滴吐出ヘッド、及び液滴吐出装置を提供する。【解決手段】液滴吐出ヘッド２２は、液滴を吐出するノズル２７を有するノズルプレート１と、ノズル２７に連通する連通孔１６と連通孔１６に連通され圧力を発生する圧力室４を有するスペーサ３と、ノズルプレート１と、スペーサ３との間に配設される補強部材２０を有する液滴吐出ヘッド２２であって、補強部材２０が、（１１０）面方位を有するシリコン単結晶である。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出するノズルを有するノズルプレートと、前記ノズルに連通する連通孔と前記連通孔に連通され圧力を発生する圧力室を有するスペーサと、前記ノズルプレートと、前記スペーサとの間に配設される補強部材を有する液滴吐出ヘッドであって、
前記補強部材が、（１１０）面方位を有するシリコン単結晶であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、
前記スペーサが、（１１０）面方位を有するシリコン単結晶であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、
前記補強部材が、前記ノズルから前記液滴を吐出するように前記ノズルと前記圧力室とを連通する貫通孔を備えていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、
前記貫通孔の大きさが、前記連通孔の大きさと略等しいことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置であって、
前記液滴吐出ヘッドとして、請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドを備えていることを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッド、及び当該液滴吐出ヘッドを用いた液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、インクジェットプリンタなどの液滴吐出技術を利用して、カラーフィルタや、金属配線などの微細なパターンを描画する製造方法と、その利用例とが、提案されている。
【０００３】
インクジェットプリンタなど液滴吐出装置に用いられる液滴吐出ヘッドの構造については、縦振動型圧電素子を利用してインクを吐出する液滴吐出ヘッドが提案されていた。特許文献１に開示されているように、液滴吐出ヘッドの剛性を向上するための剛性向上用部材を追加する構成が提案されていた。また、特許文献２に開示されているように、液滴を吐出する吐出制御（吐出速度、吐出量）を安定化させるために圧電素子の駆動電圧を補正する補正方法も提案されていた。
【０００４】
【特許文献１】特開平６−９９５７８号公報
【特許文献２】特開２００３−１１８１０８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に示す液滴吐出ヘッドでは、剛性向上用部材の効果を充分発揮させるためには、その厚さが１ｍｍ以上必要になってくるので、ステンレス材料からなる剛性向上用部材では、均一な孔を形成するのが困難であった。特にアスペクト比が１０以上になると、貫通孔を精度よく形成することが困難になっていた。結果的に、均一な大きさの貫通孔を形成することができなければ、液滴の吐出速度や、液滴の吐出量にばらつきを発生させることがあった。また、ステンレス材料（剛性向上用部材）とシリコン材料（ノズルプレート、スペーサ）とで線膨張係数が異なるため、反り、変形、剥離などの問題が発生することがあり、信頼性の低下につながっていた。また、特許文献２に示す液滴吐出ヘッドでは、液滴吐出ヘッドの駆動電圧を補正する補正方法なので、全てのノズルについて液滴の吐出速度を測定し、その測定結果に基づいて補正をすることができる補正回路を印刷装置に組み込むことになる。このため、高度な駆動方法が必要になるため構成も複雑になり、コストアップの要因となっていた。なお、液滴がより微細化してくると、ノズルの大きさをより小さくする必要があり、精度よく液滴を着弾させることが困難となってくる。このため、液滴が微細化したとしても安定的に液滴を吐出することが可能な液滴吐出ヘッドが求められていた。
【０００６】
本発明の目的は、液滴がより微細化したとしても、ノズルごとの液滴の吐出速度や、液滴の吐出量のばらつきを抑制し、より高精度な液滴吐出が可能な液滴吐出ヘッド、及び液滴吐出装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の液滴吐出ヘッドは、液滴を吐出するノズルを有するノズルプレートと、前記ノズルに連通する連通孔と前記連通孔に連通され圧力を発生する圧力室を有するスペーサと、前記ノズルプレートと、前記スペーサとの間に配設される補強部材を有する液滴吐出ヘッドであって、前記補強部材が、（１１０）面方位を有するシリコン単結晶であることを特徴とする。
【０００８】
この発明によれば、補強部材が、（１１０）面方位を有するシリコン単結晶であるため、均一な孔を形成することができるので、剛性を確保するとともに、液滴の吐出速度や、液滴の吐出量を安定させることが実現可能な液滴吐出ヘッドを提供できる。
【０００９】
本発明の液滴吐出ヘッドは、前記スペーサが、（１１０）面方位を有するシリコン単結晶であることが望ましい。
【００１０】
この発明によれば、スペーサが、補強部材と同一の材料であるから、線膨張係数が同じになるので、反り、変形、剥離などの品質問題を抑制することができ、信頼性を向上することが可能な液滴吐出ヘッドを提供できる。
【００１１】
本発明の液滴吐出ヘッドは、前記補強部材が、前記ノズルから前記液滴を吐出するように前記ノズルと前記圧力室とを連通する貫通孔を備えていることが望ましい。
【００１２】
この発明によれば、補強部材が貫通孔を備えているから、スペーサを厚くする他に製造工数を増やすことなく形成することができるので、加工が容易にできる。
【００１３】
本発明の液滴吐出ヘッドは、前記貫通孔の大きさが、前記連通孔の大きさと略等しいことが望ましい。
【００１４】
この発明によれば、補強部材に有する貫通孔の大きさが連通孔の大きさと略等しく形成されているから、吐出される液滴の吐出速度や液滴の吐出量をほぼ等しくすることができるので、高精度な描画をすることが可能な液滴吐出ヘッドを提供できる。
【００１５】
本発明の液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置であって、前記液滴吐出ヘッドとして前述に記載の液滴吐出ヘッドを備えていることを特徴とする。
【００１６】
この発明によれば、ノズルごとの液滴の吐出速度や、液滴の吐出量のばらつきを抑制することができる液滴吐出ヘッドを備えているから、高精度な描画が実現可能な液滴吐出装置を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
（実施形態）
本実施形態では、ノズルプレートと、スペーサとの間に配設された補強部材を備えた液滴吐出ヘッドについて説明する。なお、補強部材及びスペーサは、（１１０）面方位を有するシリコン単結晶である。
【００１８】
まず、本発明の液滴吐出装置に搭載される液滴吐出ヘッドの構成について説明する。
【００１９】
図１は、液滴吐出ヘッドの概略斜視図である。図２は、図１に示す液滴吐出ヘッドのＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【００２０】
図１及び図２に示すように、液滴吐出ヘッド２２は、ノズルプレート１と、補強部材２０と、スペーサ３と、振動板７と、基台１３と、基板２５とで構成されている。
【００２１】
ノズルプレート１は、液滴を吐出することが可能なノズル２７を多数備えている。
【００２２】
補強部材２０は、ノズルプレート１と、スペーサ３との間に挟まれており、貫通孔３３を有している。貫通孔３３は、ノズル２７の数に対応しており、その数の分だけ配設されている。そして、貫通孔３３とノズル２７とが互いに連通している。補強部材２０は、（１１０）面方位を有するシリコン単結晶であり、異方性エッチングによって形成されている。シリコン基板の厚さは約１．５ｍｍである。貫通孔３３は、その幅が１００μｍであり、長さは１８０μｍである。
【００２３】
スペーサ３は、圧力室４と、インク供給路５及び共通のインク室であるリザーバ６と、連通孔１６とを有している。そして、連通孔１６は、圧力室４からインクが吐出できるように貫通孔３３及びノズル２７に連通している。スペーサ３は、（１１０）面方位を有するシリコン単結晶であり、異方性エッチングによって形成されている。シリコン基板の厚さは約０．４ｍｍである。圧力室４の幅、深さはそれぞれ１００μｍである。長さは約１ｍｍである。連通孔１６は、その幅が１００μｍであり、長さは１８０μｍである。そして、補強部材２０と、スペーサ３とが、同じ材料で形成されているので、線膨張係数が同じになる。線膨張係数が同じになれば、熱による伸縮具合も同じ程度になるから、反りや、変形、あるいは接着後における剥離などの品質問題の発生を抑制することができる。
【００２４】
振動板７は、その基材７ａに高分子延伸フィルムを使用しており、その表面には金属製のアイランド部７ｂが形成されている。このアイランド部７ｂは、圧力室４の幅方向の中心領域に形成されており、圧力室４の長手方向に延伸するように配置されている。そして、振動板７は、このアイランド部７ｂを介して圧電振動子１１による変位を受けるように構成されている。圧電振動子１１は、複数備えられており、縦振動することが可能な縦振動モードの機能を有している。圧電振動子１１を固定するための固定板２９を備えており、振動子ユニット１０は、圧電振動子１１と固定板２９とで構成されている。振動子ユニット１０は、振動子ユニット収容孔１４に収容されている。そして、圧電振動子１１の先端をアイランド部７ｂに当接するように配置し、固定板２９を介して基台１３に固定されている。
【００２５】
基台１３は、ノズルプレート１と、補強部材２０と、スペーサ３と、振動板７と、振動子ユニット１０とを支持している。そして、これら基台１３と、ノズルプレート１と、補強部材２０と、スペーサ３と、振動板７と、振動子ユニット１０とは、接着剤により固定されている。そして、基台１３には、インクタンク（図示省略）に接続可能なインク供給管（図示省略）が設けられており、インク供給口（図示省略）を介してリザーバ６にインクを供給することができるように構成されている。なお、ノズルプレート１と、補強部材２０と、スペーサ３と、振動板７とで構成される流路は、基台１３に固定される。そして、液滴吐出ヘッド２２は基板２５を介してキャリッジ（図示省略）に固定される。
【００２６】
次に補強部材の製造方法について説明する。
【００２７】
図３は、補強部材の製造方法を説明するための図であり、図４は、補強部材の製造方法の手順を示すフローチャートである。
【００２８】
図４に示すステップＳ１では、図３（ａ）に示すように、シリコン単結晶基板３０を洗浄する。シリコン単結晶基板３０は、（１１０）面方位であり、その厚さが１．５ｍｍである。シリコン単結晶基板３０は、例えば水、アセトンやエタノールなどの有機溶剤、硫酸過水やアンモニア過水、オゾン水などによって洗浄する。なお、湿式洗浄方法にこだわることはなくＵＶ光を利用した乾式洗浄方法でもかまわない。具体的には、波長１７２ｎｍのエキシマＵＶ光をシリコン単結晶基板３０の表面に約３００秒照射する。その他の方法として、例えばシリコン単結晶基板３０の表面に常圧でプラズマを照射することで洗浄してもよい。
【００２９】
図４に示すステップＳ２では、図３（ｂ）に示すように、熱酸化膜３１を形成する。熱酸化膜３１を形成する方法は、Ｗｅｔ熱酸化処理を行う方法でできる。例えば１１００℃に加熱したシリコン単結晶基板３０の雰囲気に、沸騰させた超純水中でバブリングした酸素ガスを供給して約４５分間保持する。この方法によって、熱酸化膜３１を形成することができる。形成された熱酸化膜３１の厚さは約０．４μｍである。
【００３０】
図４に示すステップＳ３では、図３（ｃ）に示すように、熱酸化膜パターン３１ａを形成する。熱酸化膜パターン３１ａを形成する方法は、フォトリソグラフィ法でできる。貫通孔３３に対応する位置に配置された熱酸化膜３１を除去する。同時に、ノズルプレート１、スペーサ３、振動板７と貼り合わせるときに使用する位置決め用の孔に対応する位置の熱酸化膜３１も除去する。なお、熱酸化膜３１は、シリコン単結晶基板３０の表側と裏側の両面に配置されているから、両面ともパターンを形成する。
【００３１】
図４に示すステップＳ４では、図３（ｄ）に示すように、先貫通孔３２を形成する。先貫通孔３２を形成する方法は、熱酸化膜３１を除去した後にエキシマレーザなどの手法を用いてできる。なお、この先貫通孔３２は、貫通孔３３及び位置決め孔に対応する熱酸化膜パターン３１ａからはみださなければよいので、先貫通孔３２に多少の曲がりや、変形、レーザ加工による異物などが生じていてもかまわない。
【００３２】
図４に示すステップＳ５では、図３（ｅ）に示すように、貫通孔３３を形成する。貫通孔３３を形成する方法は、異方性エッチングする方法でできる。例えば８０℃、１７％のＫＯＨの水溶液の中に６０分浸漬させてエッチングをする。すると、先貫通孔３２の内部がエッチングされて、シリコン単結晶の４つの（１１１）面に囲まれた貫通孔３３を形成することができる。シリコン単結晶基板３０が、従来のステンレス材料ではなく、シリコン単結晶材料であるから、貫通孔３３をより均一に精度よく形成することができる。また、この方法によれば、アスペクト比（貫通孔３３の長さと貫通孔３３の径との比）が５以上であっても、貫通孔３３を精度よく形成することができる。また、前工程のステップＳ４におけるレーザ加工で発生した異物は、この工程において溶解し、除去される。なお、エッチングをしている間に熱酸化膜パターン３１ａは約０．２μｍ減少するので、熱酸化膜パターン３１ａの厚さは、約０．２μｍ残る。
【００３３】
図４に示すステップＳ６では、図３（ｆ）に示すように、補強部材用基板３４を形成する。補強部材用基板３４を形成する方法は、希フッ酸などでエッチングをして熱酸化膜パターン３１ａを除去する。すると、貫通孔３３を有する補強部材用基板３４を形成することができる。
【００３４】
図４に示すステップＳ７では、図３（ｇ）に示すように、補強部材２０を形成する。補強部材２０を形成する方法は、再度Ｗｅｔ熱酸化処理を行う方法でできる。例えばＷｅｔ熱酸化処理を４時間行うことで、約１．２μｍの熱酸化膜３１を形成する。すると、熱酸化膜３１を有する（１１０）面方位の厚さ１．５ｍｍのシリコン単結晶の補強部材２０を形成することができる。
【００３５】
次に液滴吐出装置について説明する。ここでは、本実施形態における液滴吐出ヘッドを搭載した液滴吐出装置としてのプリンタについて説明する。
【００３６】
図５は、本実施形態における液滴吐出ヘッドを搭載した液滴吐出装置としてのプリンタの構成例を示す概略斜視図である。
【００３７】
図５に示すように、液滴吐出装置としてのプリンタ１００は、インクタンク１０１、キャリッジ１０２、プラテン１０３、記録紙１０４等を備えた構成になっており、液滴吐出ヘッド２２はキャリッジ１０２に搭載されている。
【００３８】
本実施形態における液滴吐出ヘッド及びプリンタの構成は以上のようであって、図１、図２、図５を参照しながら、その動作について説明する。
【００３９】
図５に示すように、液滴吐出装置としてのプリンタ１００は、プラテン１０３により記録紙１０４を搬送させつつ、キャリッジ１０２を移動させて、記録紙１０４と液滴吐出ヘッド２２との相対位置を制御しながら、インクをインクタンク１０１から供給する。そして、液滴吐出ヘッド２２からインクを吐出させることにより、任意の文字や画像を記録紙１０４に印刷する。
【００４０】
次にプリンタ以外で液滴吐出ヘッドが使用される工業用の液滴吐出装置について説明する。
【００４１】
図６は、本実施形態における液滴吐出ヘッドを搭載した液滴吐出装置の構成例を示す概略斜視図である。
【００４２】
図６に示すように、液滴吐出装置ＩＪは、液滴吐出ヘッド２２を備えたヘッドユニット２６と、液滴吐出ヘッド２２の位置を制御するヘッド位置制御装置１７と、ガラス基板１２の位置を制御する基板位置制御装置１８と、走査駆動装置１９と、送り駆動装置２１と、基板供給装置２３と、この液滴吐出装置ＩＪの全般の制御を司るコントロール装置２４とを有している。
【００４３】
基板位置制御装置１８は、ガラス基板１２を載せるテーブル４９を有している。走査駆動装置１９は、ガラス基板１２に対して液滴吐出ヘッド２２を走査方向Ｘに走査移動させる走査駆動機能を有している。送り駆動装置２１は、ガラス基板１２に対して液滴吐出ヘッド２２を走査方向と交差（直交）するＹ方向に送る機能を有している。基板供給装置２３は、ガラス基板１２を液滴吐出装置ＩＪ内の所定の作業位置へ供給する機能を有している。
【００４４】
ヘッド位置制御装置１７、基板位置制御装置１８、走査駆動装置１９、送り駆動装置２１の各装置は、ベース９の上に設置される。また、これらの各装置は、必要に応じてカバー１５によって覆われる。
【００４５】
基板供給装置２３は、ガラス基板１２を収容する基板収容部５７と、ガラス基板１２を搬送するロボットなどの基板移載機構５８とを有している。基板移載機構５８は、基台５９と、基台５９に対して昇降移動する昇降軸６１と、昇降軸６１を中心として回転する第１アーム６２と、第１アーム６２に対して回転する第２アーム６３と、第２アーム６３の先端下面に設けられた吸着パッド６４とを有している。この吸着パッド６４は空気吸引（真空吸着）などによってガラス基板１２を吸着保持することができるように構成されている。
【００４６】
液滴吐出ヘッド２２の走査軌跡下であって、送り駆動装置２１の一方の脇位置に、キャッピング装置７６及びクリーニング装置７７が配設されている。さらに、送り駆動装置２１の他方の脇位置には電子天秤７８が設置されている。ここで、キャッピング装置７６は液滴吐出ヘッド２２が待機状態にあるときにノズル２７（図１参照）の乾燥を防止するための装置である。クリーニング装置７７は、液滴吐出ヘッド２２を洗浄するための装置である。電子天秤７８は、液滴吐出ヘッド２２内の個々のノズル２７から吐出される材料の液滴の重量を測定する装置である。さらに、液滴吐出ヘッド２２の近傍には、液滴吐出ヘッド２２と一体に移動するヘッド用カメラ８１が取り付けられている。
【００４７】
コントロール装置２４は、プロセッサを収容したコンピュータ本体部６６と、キーボード等の入力装置６７と、ＣＲＴ等の表示装置６８とを有している。
【００４８】
次に液滴吐出装置ＩＪ（図６参照）を用いて発光層を形成する方法について簡単に説明する。
【００４９】
ガラス基板１２の上に隔壁（バンク）を形成し、バンク開口部（図示省略）に発光層形成用インクを打ち込んで乾燥・固化させ、発光層を形成する。なお、バンク開口部（図示省略）に発光層形成用インクを打ち込むときには、ノズル２７とバンク開口部（図示省略）とが１：１で対応するようにバンク開口部（図示省略）を配置し、描画を行う。バンク開口部（図示省略）内における発光層の膜厚の狙い値は８５ｎｍである。本実施形態で形成した発光層の膜厚は、８４ｎｍ〜８７ｎｍ（ばらつきの幅：３ｎｍ）の範囲であった。なお、発光層の膜厚の測定には、触針式の段差測定器を用いた。
【００５０】
次に本実施形態における液滴吐出ヘッドと各種液滴吐出ヘッドとを比較した結果について説明する。なお、バンク開口部（図示省略）に発光層形成用インクを打ち込むのには、図６に示す液滴吐出装置を用いた。
＜比較例１＞
【００５１】
補強部材２０の材料に厚さ１ｍｍのステンレスを用い、プレス加工によって位置決め孔（図示省略）を形成し、この位置決め孔（図示省略）を基準にしてエキシマレーザを用いて貫通孔３３を形成する。その結果、貫通孔３３を真っ直ぐに形成することができず、孔径もばらついていた。吐出性能を確認するために、この補強部材２０を液滴吐出ヘッド２２に用い、本実施形態と同一条件のもとで液滴吐出ヘッド２２を駆動させて、その特性を調査した。その結果、発光層の膜厚が７８ｎｍ〜９５ｎｍ（ばらつきの幅：１８ｎｍ）の範囲であった。
＜比較例２＞
【００５２】
補強部材２０の材料に厚さ１ｍｍのステンレスを用い、プレス加工によって位置決め孔（図示省略）を形成し、この位置決め孔（図示省略）を基準にしてフォトマスクを合わせてエッチングマスクを形成し、この位置決め孔を基準にしてエキシマレーザを用いて先貫通孔３２を形成する。さらに、塩化第二鉄水溶液による片面スプレーエッチングを行い、貫通孔３３を形成する。その結果、比較例１に比べて貫通孔３３を真っ直ぐに形成することはできたが、孔径がばらついていた。吐出性能を確認するために、この補強部材２０を液滴吐出ヘッド２２に用い、本実施形態と同一条件のもとで液滴吐出ヘッド２２を駆動させて、その特性を調査した。その結果、発光層の膜厚が８１ｎｍ〜９１ｎｍの範囲（ばらつきの幅：１０ｎｍ）であった。
＜比較例３＞
【００５３】
補強部材２０の材料に厚さ１ｍｍのステンレスを用い、プレス加工によって位置決め孔（図示省略）を形成し、この位置決め孔（図示省略）を基準にしてフォトマスクを合わせ、両面から塩化第二鉄水溶液によるスプレーエッチングを行い、貫通孔３３を形成する。その結果、隣り合う貫通孔３３同士が接続してしまい、貫通孔３３を有する補強部材２０を作成することができなかった。
＜比較例４＞
【００５４】
補強部材２０の材料に厚さ１ｍｍのエポキシを用い、レーザ加工によって貫通孔３３と位置決め孔（図示省略）とを形成する。吐出性能を確認するために、この補強部材２０を液滴吐出ヘッド２２に用い、本実施形態と同一条件のもとで液滴吐出ヘッド２２を駆動させて、その特性を調査した。その結果、発光層の膜厚が７５ｎｍ〜１００ｎｍ（ばらつきの幅：２５ｎｍ）の範囲であった。
【００５５】
本実施形態と比較例１〜４とを比較した結果、本実施形態では、各比較例に比べて貫通孔３３を精度よく形成することができ、その結果、発光層の膜厚のばらつきを抑制することができることを確認できた。また、このことから液滴吐出ヘッド２２から吐出される液滴の吐出速度や、液滴の吐出量のばらつきが抑制されていることも確認できた。
【００５６】
以上のような本実施形態における液滴吐出ヘッド及び液滴吐出ヘッドを搭載した液滴吐出装置の構成によれば、以下の効果が得られる。
（１）補強部材２０が、（１１０）面方位を有するシリコン単結晶であるため、均一な貫通孔３３を形成することができるので、剛性を確保するとともに、液滴の吐出速度や、液滴の吐出量を安定させることが実現可能な液滴吐出ヘッド２２を提供できる。
（２）スペーサ３が、補強部材２０と同一の材料で形成されているから、線膨張係数が同じになるので、温度変化による反り、変形、剥離などを減少させることができる。結果的に、ノズル２７ごとの液滴の吐出速度や、液滴の吐出量のばらつきを抑制することができ、信頼性を向上させることが可能な液滴吐出ヘッド２２を提供できる。
（３）補強部材２０が貫通孔３３を備えているから、スペーサ３を厚くするよりも製造工数を増やすことなく形成することができるので、加工が容易にできる。
（４）補強部材２０に有する貫通孔３３の大きさが連通孔１６の大きさと略等しく形成されているから、吐出される液滴の吐出速度や液滴の吐出量をほぼ等しくすることができるので、高精度な描画をすることが可能な液滴吐出ヘッド２２を提供できる。
（５）ノズル２７ごとの液滴の吐出速度や、液滴の吐出量のばらつきを抑制することができる液滴吐出ヘッド２２を備えているから、高精度な描画が実現可能な液滴吐出装置としてのプリンタ１００（または液滴吐出装置ＩＪ）を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】実施形態における液滴吐出ヘッドの概略斜視図。
【図２】図１における液滴吐出ヘッドのＡ−Ａ線に沿う断面図。
【図３】補強部材の製造方法を説明するための図。
【図４】補強部材の製造方法の手順を示すフローチャート。
【図５】プリンタの概略構成を示す斜視図。
【図６】液滴吐出装置の概略構成を示す斜視図。
【符号の説明】
【００５８】
１…ノズルプレート、３…スペーサ、４…圧力室、１６…連通孔、２０…補強部材、２２…液滴吐出ヘッド、２７…ノズル、３０…シリコン単結晶基板、３３…貫通孔、１００…プリンタ、ＩＪ…液滴吐出装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
2008213295.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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