(57)【要約】【課題】簡単な回路等により高精度でクロック周波数の設定を行うことにより、情報記録媒体の原盤を作成する電子ビーム描画装置を提供する。【解決手段】第１クロック作成回路３は第１クロック周波数を有し露光のタイミングの基準となるライトクロックを作成する。第２クロック作成回路４は第２クロック周波数を有しモータの回転速度の基準となるスピンドルクロックを作成する。リファレンスクロック作成回路２は、第１及び第２クロック作成回路３及び４に共通にリファレンスクロックＦｒを供給する。周波数更新回路９は、第１及び第２クロック作成回路３及び４に共通に設けられ、リファレンスクロックＦｒの数をカウントして、そのカウント値が所定の値となった場合に、第１及び第２クロック周波数を更新する。【選択図】図２
2008076603.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転駆動機構上に載置された原盤に電子ビームを照射することにより記録媒体の原盤を露光する電子ビーム描画装置において、
リファレンスクロックに基づいて、第１クロック周波数を有し、露光のタイミングの基準となるライトクロックを作成する第１クロック作成回路と、
前記リファレンスクロックに基づいて、第２クロック周波数を有し、前記回転駆動機構の備えるモータの回転速度の基準となるスピンドルクロックを作成する第２クロック作成回路と、
前記第１及び第２クロック作成回路に、これらに共通のクロックとして前記リファレンスクロックを供給するリファレンスクロック作成回路と、
前記第１及び第２クロック作成回路に共通に設けられ、前記リファレンスクロックの数をカウントして当該カウント値が所定の値となった場合に、前記第１及び第２クロック作成回路における前記第１及び第２クロック周波数を更新する周波数更新回路とを備える
ことを特徴とする電子ビーム描画装置。
【請求項２】
前記第１クロック作成回路が、第１ダイレクトデジタルシンセサイザ回路を用いて、前記ライトクロックを作成し、
前記第２クロック作成回路が、第２ダイレクトデジタルシンセサイザ回路を用いて、前記スピンドルクロックを作成する
ことを特徴とする請求項１に記載の電子ビーム描画装置。
【請求項３】
前記周波数更新回路は、所定のリファレンスクロックの数毎に周波数を更新し、前記第１及び第２クロック周波数の更新を前記モータの１回転の周期内において複数回行う
ことを特徴とする請求項１に記載の電子ビーム描画装置。
【請求項４】
当該電子ビーム描画装置が、更に、
前記周波数更新回路の前段に設けられ、前記リファレンスクロックをＮ分周するＮ分周回路を備え、
前記周波数更新回路が、前記Ｎ分周回路によりＮ分周されたリファレンスクロックの数をカウントし、
前記第１及び第２クロック作成回路が、各々、当該供給されたリファレンスクロックをＮ分周する内部Ｎ分周回路を備え、前記内部Ｎ分周回路によりＮ分周されたリファレンスクロックで動作する
ことを特徴とする請求項１に記載の電子ビーム描画装置。
【請求項５】
前記周波数更新回路が、前記リファレンスクロックの数をカウントするカウンタと、前記カウンタにおけるカウント値が所定の値となった場合に当該更新すべき第１クロック周波数に相当する周波数設定データを前記第１クロック作成回路に出力するライトクロック周波数データ設定レジスタと、前記カウンタにおけるカウント値が所定の値となった場合に当該更新すべき第２クロック周波数に相当する周波数設定データを前記第２クロック作成回路に出力するスピンドルクロック周波数データ設定レジスタとを備える
ことを特徴とする請求項１記載の電子ビーム描画装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子ビーム描画装置に関し、特に、電子ビームを回転駆動機構上の情報記録媒体の原盤に照射することにより情報記録媒体の原盤を作成（生成）する電子ビーム描画装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、磁気ディスクや光ディスクのような情報記録媒体の微細化に伴って、その原盤（マスタ）にピット（情報ピット）を形成するために、電子ビーム描画装置（ＥＢマスタリング装置；ＥＢＲ）が用いられる場合がある。この場合、原盤を載置した回転ステージをモータによって回転させつつ、原盤に対して電子ビーム（ＥＢ）を一定の強さで照射しながら、回転ステージを半径方向に移動させ、かつ、電子ビームを所定のタイミングで遮断（ブランキング）する。これにより、原盤上には、電子ビームの照射点に応じて、図６（Ａ）又は図６（Ｂ）に示すピットパターンが形成される。図６（Ａ）は、同心円状（又はスパイラル状）のピットパターンが形成される光ディスク等の原盤の例を示す。図６（Ｂ）は、半径方向に円弧状のピットパターンが形成される磁気ディスク等の原盤の例を示す。
【０００３】
なお、本発明は、図６（Ｂ）のような磁気ディスクのパターンを電子ビーム描画装置で描画させるためのものである。図６のようなパターンの描画は、原盤上における円周方向の同一位置にピットを形成することで、原盤の半径方向にピットを整列させる整列ピット作成技術が必要であるが、電子ビーム描画装置では更に以下のような課題がある。この電子ビーム描画装置において、モータの回転速度を一定として、電子ビームが原盤上で照射される領域（照射点）を内周側から外周側へ移動させた場合、外周側へ行くにつれて照射点の線速度（照射点が原盤上を移動する速度）が徐々に大きくなる。このため、電子ビームの照射点によって原盤に付与される単位面積当たりのエネルギが、外周側に行くにつれて小さくなる。一方、電子ビーム描画装置は電子ビームを一定の強さで照射することしかできない（変化させる即ち強くすることができない）。以上の理由により、原盤の内周側と外周側とで照射点により形成されるピットの幅が異なってしまうという問題があった。
【０００４】
そこで、本発明者は、先に、図７に示す制御信号作成回路を備える電子ビーム描画装置を提案している（特許文献１参照）。図７において、第１クロック作成回路５３は、リファレンスクロック作成回路５２からのリファレンスクロックＦｒに基づいて、第１ＤＤＳ（Direct Digital synthesizer）回路５７を用いてライトクロックを作成して出力し、かつ、このライトクロックを第１周波数更新回路５５のカウンタ５５２によりカウントする。比較回路５５３において、このカウント値がパルス数Ｎ（ｎ）設定レジスタ５５４の設定値と一致した場合に、次周波数データＤ（ｎ＋１）設定レジスタ５５１の設定値が周波数設定データ（以下、周波数データとも言う）Ｄとして第１ＤＤＳ回路５７に設定されライトクロックの周波数を更新すると共に、更に制御プロセッサ５９が次の周波数設定データを次周波数データＤ（ｎ＋１）設定レジスタ５５１にロードする。第２クロック作成回路５４は、第１クロック作成回路５３と同様の構成を有し、スピンドルクロック（モータクロック）を作成して出力し、これをカウントすることにより、その周波数を更新する。なお、制御プロセッサ５９は、図７（Ｂ）において第１クロック作成回路５３の一部として示されているが、第１及び第２クロック作成回路５３及び５４に共通のものとして１個だけ設けられる。
【０００５】
前記特許文献１に記載の技術によれば、電子ビームの照射点が原盤の内周側から外周側へと移動する際、外周側に行くにつれて、露光のタイミングの基準となるライトクロックの周波数を低下させ、かつ、ライトクロックにスピンドルクロックを同期させてスピンドルクロックの周波数も低下させる。従って、電子ビームの照射点が外周側に行くにつれてモータの回転速度が徐々に小さくなり、結果として、照射点の線速度が内周側及び外周側において一定となるので、電子ビームが一定の強さで照射されていても、照射点から原盤に付与される単位面積当たりのエネルギが一定に保つことができ、原盤の表面全体にわたって同一幅のピットを形成することができる。また、ライトクロックとスピンドルクロックとを、これらをカウントすることにより同期させる。従って、モータの回転速度が変化するのに応じて、電子ビームの遮断をオンオフする周期も変化させることができる。これにより、モータの回転速度が変化しても、電子ビームの遮断をオンオフする円周方向の位置を一定にすることができるので、原盤上における円周方向の同一位置にピットを形成することができ、原盤の半径方向にピットを整列させることができる。
【特許文献１】特開２００６−１１９４８４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明者の検討によれば、前記特許文献１に記載の技術には、以下のような問題があることが判った。
【０００７】
第１及び第２クロック作成回路５３及び５４の出力クロック（ライトクロック及びスピンドルクロック）を、出力クロック（即ち、非同期の２個のクロック）それら自体をカウントすることにより同期させている。従って、非同期の出力クロックの間に必ず存在するタイミングのずれに起因する誤差の発生の可能性を排除することができず、第１及び第２クロックを完全に同期させることができないと言う問題がある。
【０００８】
また、ＤＤＳ回路５７及び５８として用いられる市販のＤＤＳ用ＩＣは、制御プロセッサ５９からの周波数設定命令に応じて周波数設定データが設定されてからその出力クロックの周波数が切り替わるまでに、僅かな遅れ（以下、応答遅れ）を有する。応答遅れの時間にはばらつきがあり、かつ、予測できない。応答遅れの時間は、リファレンスクロックＦｒの数に依存して定まり、出力クロックに換算すると数クロック分にも相当する。従って、応答遅れを無視すると、ライトクロックとスピンドルクロックとの間のタイミングに僅かな誤差を生じ、この誤差を含んだ出力クロックをカウンタ５５２によりカウントして次の周波数の切り替えタイミングを決定することになる。この結果、切り替えを繰り返すことにより、誤差が積算され（同一方向に蓄積され）、最終的に大きな誤差が発生すると言う問題がある。
【０００９】
また、このため、実際には、制御プロセッサ５９が、タイマ回路（図示せず）を用いて出力クロックの周期を測定して、応答遅れの時間を見込んだタイミングで、予め次周波数設定データをロードする必要があり、この結果、タイマ回路の分だけ回路が大規模になり、かつ、制御が煩雑になるという問題がある。また、応答遅れの時間には、リファレンスクロックＦｒの数で定まるもの以外に、ＤＤＳ回路５７及び５８に含まれるフィルタ回路による遅延の時間が含まれる。このフィルタ回路による遅延も補正しようとすると、回路が更に大規模化（複雑化）すると言う問題がある。
【００１０】
更に、以上のような種々の補正を行なっても、リファレンスクロックと出力クロックは基本的に非同期であるために、リファレンスクロック±１個分の範囲の誤差は避けられない。このため、切り替えを繰り返すことにより、この誤差が積算される可能性が残ると言う問題がある。
【００１１】
更に、周波数の切り替えタイミングは、ライトクロック及びスピンドルクロックにおいて、各々、独立している（非同期である）。このため、切り替えタイミングが相対的にずれて、積算される。ここで、制御プロセッサ５９が第１及び第２クロック回路５３及び５４に共通であるので、比較回路５５３からの一致信号（割込信号）は、各々、異なるタイミングで別個に制御プロセッサ５９に到達する。このため、周波数計算の精度を上げて前記積算を避けるため、１回転につき複数回の周波数計算を行なおうとすると、制御プロセッサ５９上で動作する制御プログラムが極めて複雑になる。このため、事実上、１回転につき複数回の周波数計算を行なうことはできないと言う問題がある。
【００１２】
本発明は、電子ビームを回転駆動機構上の情報記録媒体の原盤に照射することにより情報記録媒体の原盤を作成する電子ビーム描画装置であって、より簡単な制御信号作成回路及び制御プログラムにより高精度でクロック周波数の設定を行うことができる電子ビーム描画装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の電子ビーム描画装置は、回転駆動機構上に載置された原盤に電子ビームを照射することにより記録媒体の原盤を露光する。本発明の電子ビーム描画装置は、リファレンスクロックに基づいて、第１クロック周波数を有し、露光のタイミングの基準となるライトクロックを作成する第１クロック作成回路と、前記リファレンスクロックに基づいて、第２クロック周波数を有し、前記回転駆動機構の備えるモータの回転速度の基準となるスピンドルクロックを作成する第２クロック作成回路と、前記第１及び第２クロック作成回路に、これらに共通のクロックとして前記リファレンスクロックを供給するリファレンスクロック作成回路と、前記第１及び第２クロック作成回路に共通に設けられ、前記リファレンスクロックの数をカウントして当該カウント値が所定の値となった場合に、前記第１及び第２クロック作成回路における前記第１及び第２クロック周波数を更新する周波数更新回路とを備える。
【００１４】
好ましくは、本発明の一実施態様において、前記第１クロック作成回路が、第１ダイレクトデジタルシンセサイザ回路を用いて、前記ライトクロックを作成し、前記第２クロック作成回路が、第２ダイレクトデジタルシンセサイザ回路を用いて、前記スピンドルクロックを作成する。
【００１５】
好ましくは、本発明の一実施態様において、前記周波数更新回路は、所定のリファレンスクロックの数毎に周波数を更新し、前記第１及び第２クロック周波数の更新を前記モータの１回転の周期内において複数回行う。
【００１６】
好ましくは、本発明の一実施態様において、当該電子ビーム描画装置が、更に、前記周波数更新回路の前段に設けられ、前記リファレンスクロックをＮ分周するＮ分周回路を備える。前記周波数更新回路が、前記Ｎ分周回路によりＮ分周されたリファレンスクロックの数をカウントする。前記第１及び第２クロック作成回路が、各々、当該供給されたリファレンスクロックをＮ分周する内部Ｎ分周回路を備え、前記内部Ｎ分周回路によりＮ分周されたリファレンスクロックで動作する。
【００１７】
好ましくは、本発明の一実施態様において、前記周波数更新回路が、前記リファレンスクロックの数をカウントするカウンタと、前記カウンタにおけるカウント値が所定の値となった場合に当該更新すべき第１クロック周波数に相当する周波数設定データを前記第１クロック作成回路に出力するライトクロック周波数データ設定レジスタと、前記カウンタにおけるカウント値が所定の値となった場合に当該更新すべき第２クロック周波数に相当する周波数設定データを前記第２クロック作成回路に出力するスピンドルクロック周波数データ設定レジスタとを備える。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の電子ビーム描画装置によれば、第１及び第２クロック作成回路に共通の基準クロックであるリファレンスクロックの数をカウントし、所定の数をカウントした時点で、第１及び第２クロック作成回路における第１及び第２クロック周波数を、同時に、各々の次周波数に切り替える（即ち、更新する）。即ち、本発明においては、第１及び第２クロック作成回路の出力クロック（即ち、ライトクロック及びスピンドルクロック）自体ではなく、リファレンスクロックをカウントして周波数の切り替えのタイミングを決定し、第１及び第２クロック（ライトクロック及びスピンドルクロック）を同一のタイミングで切り替える。従って、複雑な切り替えタイミング予測回路を付加することなく、出力クロックに起因する誤差発生の可能性を排除することができ、第１及び第２クロックを同期させることができる。
【００１９】
更に、リファレンスクロックをカウントするので、リファレンスクロック±１個分の範囲の誤差が生じることが無いので、周波数の切り替えを繰り返しても、当該誤差が積算されることを排除することができる。
【００２０】
更に、第１及び第２クロックを同一のタイミングで切り替える（同期している）ので、両者の間で切り替えタイミングが相対的にずれることが無い。従って、切り替えタイミングに起因して両者の間に誤差が積算されることを防止することができる。また、切り替えタイミングが共通であるので、当該タイミングが別個である場合よりも処理を簡単にすることができ、例えば１回転につき複数回の周波数計算を行なうことができる。
【００２１】
また、本発明においては、異なる信号である出力クロックではなく、リファレンスクロックのみをカウントするので、第１及び第２クロック作成回路におけるカウンタ（及び他の回路）を共通化することができる。従って、回路が大規模化及び複雑化することを防止することができる。
【００２２】
本発明の一実施態様によれば、第１及び第２クロック作成回路が、各々のダイレクトデジタルシンセサイザ回路（以下、ＤＤＳ回路）によりライトクロック及びスピンドルクロックを作成する。これにより、特に第１及び第２クロック作成回路を新たに設計することなく、市販のＬＳＩ（ＤＤＳ回路用ＬＳＩ）を用いて、第１及び第２クロック作成回路を構成することができる。
【００２３】
この場合において、前述のようにリファレンスクロックをカウントするので、第１及び第２クロック作成回路のＤＤＳ回路として市販のＤＤＳ用ＩＣを用いても、当該ＤＤＳ用ＩＣの持つ応答遅れ時間の影響を受けることが無い。従って、これに起因する第１及び第２クロックの間の僅かな誤差が生じる可能性を排除することができ、誤差の積算により最終的に大きな誤差が発生することを防止することができる。また、前記応答遅れの時間を見込んだタイミングで次周波数設定データをロードする必要が無いので、制御が煩雑になることや回路が大規模になることを回避することができる。更に、ＤＤＳ回路に含まれるフィルタ回路による遅延を考慮する必要が無いので、この遅延を排除するために回路が更に大規模化することを回避することができる。
【００２４】
本発明の一実施態様によれば、所定のリファレンスクロックの数毎に周波数を更新し、第１及び第２クロック周波数の更新をモータの１回転の周期内において複数回行い、ＤＤＳ回路の分解能によって生じた量子化誤差を用いて更新すべき第１及び第２クロック周波数を算出する。これにより、第１及び第２クロックの周波数をより多くの回数切り替えることにより、事実上、第１及び第２クロックを連続的に変化させることができる。この結果、例えば、スピンドルクロックを滑らに変化させることにより、モータの回転速度を、その回転精度を劣化させることなく、制御することができる。
【００２５】
本発明の一実施態様によれば、周波数更新回路がＮ分周回路によりＮ分周されたリファレンスクロックの数をカウントし、第１及び第２クロック作成回路が内部Ｎ分周回路によりＮ分周されたリファレンスクロックで動作する。これにより、極めて高い周波数で動作する市販のＬＳＩ（ＤＤＳ回路）を用いて、第１及び第２クロック作成回路を構成することができる。
【００２６】
本発明の一実施態様によれば、リファレンスクロックのカウント値と設定値との比較の結果が一致した場合に当該更新すべき第１及び第２クロック周波数を第１及び第２クロック作成回路に出力する。これにより、予め設定したカウント値において、ライトクロック及びスピンドルクロックの双方を同一のタイミングで切り替えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
図１は、本発明の電子ビーム描画装置の一例を示す構成図である。特に、図１（Ａ）は、本発明の電子ビーム描画装置の断面構造の概略を示し、図１（Ｂ）は、本発明の電子ビーム描画装置の回転ステージの断面構造の概略を示す。
【００２８】
電子ビーム描画装置は、周知の構成を備え、図１（Ａ）に示すように、電子光学系１００とステージ系２００とからなる。電子光学系１００は、電子ビームを発生させる電子銃１０１、電子ビームを原盤３００上に収束させる電子光学系（１００）と、電子ビームのon/offを行うブランカ１０２と、原盤３００の主面に照射される電子ビーム位置を変化させる偏向制御系１０３とからなる。ステージ系２００は、電子光学系１００の下部に設けられた真空チャンバ２０１内に設けられ、直動（直駆動又は直線駆動）ステージ２０３と、この上に搭載された回転ステージ（回転駆動機構）２０２とからなる。回転ステージ２０２は、図１（Ｂ）に示すように、原盤３００を載置するターンテーブル２０４と、モータ（スピンドルモータ又は回転モータ）２０７とを備える。
【００２９】
電子ビーム描画装置は、周知のように、モータ２０７により回転する回転ステージ２０２（のターンテーブル２０４）上に載置された原盤３００に電子ビームを照射することにより記録媒体の原盤３００を露光する。簡単に説明すると、ターンテーブル２０４上にレジストを塗布した原盤３００が固定された状態で、モータ２０７を回転させながら、電子光学系１００から電子ビームが原盤３００に対してブランカ１０２により断続的に照射される。これと同時に、モータ２０７を含む回転ステージ２０２の全体が、直動ステージ２０３により半径方向（図１（Ａ）の左又は右方向）に移動させられる。これにより、図６に示すように、同心円状又は円弧状のピットが記録領域の全面に描画される。
【００３０】
直動ステージ２０３の位置決め誤差やモータ２０７の回転ムラは、周知のように、偏向制御系１０３により補正され、より高精度な描画を可能としている。偏向制御系１０３は本発明には直接関係しないので、その説明は省略する。なお、偏向制御はオープン制御であるため、直動ステージ２０３の位置決めやモータ２０７の回転精度をできるだけ高める必要がある。そこで、電子ビーム描画装置がエアや漏洩磁場を嫌うにも拘らず、周知のように、エアベアリング（エアスピンドル）２０６により支持されたモータ２０７等が、図１（Ｂ）に示すように、真空シール２０５及び磁気シール（図示せず）によりシーリングされた上で、真空チャンバ２０１内に設けられる。
【００３１】
モータ２０７の回転制御はＰＬＬ制御回路２１０により行われる。このために、モータ２０７には、ロータリーエンコーダ２０８及びエンコーダ用データテクタ２０９が取り付けられる。ロータリーエンコーダ２０８は、モータ２０７の回転数に比例したパルス列、例えば１回転あたり数百〜数千個のパルス列を発生させる。エンコーダ用データテクタ２０９は、ロータリーエンコーダ２０８が発生させたパルス列を検出し、これに基づいてエンコーダ信号を作成し、ＰＬＬ制御回路２１０に入力する。ＰＬＬ制御回路２１０は、エンコーダ信号とスピンドルクロックとが一致するように、モータ２０７（の駆動回路、図示せず）をフィードバック制御する。従って、スピンドルクロックの周波数を上げるとモータ２０７の回転数は上がり、周波数を下げるとモータ２０７の回転数も下がる。
【００３２】
図２は、本発明の電子ビーム描画装置の制御信号作成回路の一例を示す構成図である。特に、図２（Ａ）は制御信号作成回路の全体の構成を示し、図２（Ｂ）は主として第１及び第２クロック作成回路の構成を示す。
【００３３】
制御信号作成回路は、原盤３００を実際に露光するためのデータを作成するフォーマッタ１と、スピンドルクロックを作成するスピンドル制御回路６とからなる。フォーマッタ１は、リファレンスクロック作成回路２と、第１及び第２クロック作成回路３及び４と、データジェネレータ５とからなる。
【００３４】
リファレンスクロック作成回路２は、第１及び第２クロック作成回路３及び４に、これらに共通のリファレンスクロック（リファレンスクロック信号）Ｆｒを供給する。リファレンスクロックＦｒは、後述するように、第１及び第２ＤＤＳ回路７及び８によりその出力クロックを作成する基準のクロックである。リファレンスクロックＦｒは、その数をカウントするために、周波数更新回路９にも供給される。リファレンスクロック作成回路２は、例えば周知の発振回路からなり、例えばおよそ１８０ＭＨｚの周波数のクロックを作成して出力する。
【００３５】
第１クロック作成回路３は、リファレンスクロックＦｒに基づいて、第１クロック周波数を有し、露光のタイミングの基準となるライトクロック（ライトクロック信号）を作成する。ライトクロックはデータジェネレータ５に供給される。第１クロック作成回路３は、主として第１ＤＤＳ回路７を用いて、ライトクロックを作成する。
【００３６】
データジェネレータ５は、ライトクロックを用いて、描画データに基づいて、原盤３００を実際に露光するためのデータ（ブランカ制御データ）を作成し、ブランカ１０２を制御する（ブランカ制御回路である）。描画データは、例えば予めデータジェネレータ５に与えられる（入力される）。ブランカ１０２がブランカ制御データに従って電子ビームをｏｎ／ｏｆｆ制御することにより、当該データに応じた情報ピットが原盤３００の主面上に作成される。例えば、電子ビームがｏｎの期間中、当該電子ビームが原盤３００上に照射され、これに応じたピットが形成される。ライトクロックとスピンドルクロックとが同期しているので、ライトクロックから生成されるブランカ制御データもスピンドルクロックと同期している。
【００３７】
第２クロック作成回路４は、リファレンスクロックＦｒに基づいて、第１クロック周波数と異なる第２クロック周波数を有し、モータ２０７の回転速度の基準となるスピンドルクロック（スピンドルクロック信号）を作成する。スピンドルクロックはスピンドル制御回路６に供給される。第２クロック作成回路４は、主として第２ＤＤＳ回路８を用いて、スピンドルクロックを作成する。
【００３８】
スピンドル制御回路６は、スピンドルクロックを用いて、モータ２０７の回転数を制御するためのデータを作成する。このデータに従って回転ステージ（回転駆動機構）２０２（のモータ２０７）を制御することにより、原盤３００を載置した回転ステージ２０２が、ライトクロックに基づく電子ビームのｏｎ／ｏｆｆに同期して、所定の回転速度で回転する。
【００３９】
周波数更新回路９は、第１及び第２クロック作成回路３及び４に供給されるリファレンスクロックＦｒの数をカウントして、当該カウント値が所定の値となった場合に、第１及び第２クロック作成回路３及び４における第１及び第２クロック周波数を更新する。即ち、第１及び第２クロック作成回路３及び４の出力クロック（ライトクロック及びスピンドルクロック）の周波数を変更する。
【００４０】
周波数更新回路９は第１及び第２クロック作成回路３及び４に共通に設けられる。即ち、第１クロック作成回路３は第１ＤＤＳ回路７と周波数更新回路９とからなり、第２クロック作成回路４は第２ＤＤＳ回路８と周波数更新回路９とからなる。従って、このフォーマッタ１は、少なくとも、２個のＤＤＳ回路７及び８と、１個の周波数更新回路９とを備える。図２（Ｂ）と図７（Ａ）との対比から判るように、本発明によれば、１個の周波数更新回路９分の回路が削減されている。
【００４１】
周波数更新回路９は、カウンタ９１と、比較回路９２と、リファレンスクロックＦｒの数を設定するクロック数設定レジスタであるパルス数Ｎ（ｎ）設定レジスタ（以下、パルス数レジスタ）９３と、ライトクロックの周波数設定データＤｗを設定するライトクロック次周波数データ設定レジスタ（以下、ライトクロックレジスタとも言う）９４と、スピンドルクロックの周波数設定データＤｓｐを設定するスピンドルクロック次周波数データ設定レジスタ（以下、スピンドルクロックレジスタとも言う）９５と、制御プロセッサ９６とを備える。なお、以下の説明において、現在の処理対象であるリファレンスクロックＦｒの数をＦｒ（ｎ）と表し、次に処理対象となるリファレンスクロックＦｒの数をＦｒ（ｎ＋１）と表し、周波数設定データＤｗ及びＤｓｐも同様に表すとする。
【００４２】
パルス数レジスタ９３は、第１及び第２クロック周波数の切り替えのタイミングを定めるために、当該タイミングに相当するリファレンスクロックＦｒの数Ｆｒ（ｎ）を設定される。これに対応するように、第１及び第２ＤＤＳ回路７及び８の内部には既にＤｗ（ｎ）及びＤｓｐ（ｎ）が設定されている。
【００４３】
ライトクロックレジスタ９４は、次ステップのライトクロックの周波数（第１クロック周波数）設定データＤｗを設定するためのレジスタであり、第１クロック周波数の次周波数設定データ（次回の切り替え時に用いられる周波数設定データ）Ｄｗ（ｎ＋１）を設定される。スピンドルクロックレジスタ９５も、次ステップのスピンドルクロックの周波数（第２クロック周波数）設定データＤｓｐを設定するためのレジスタであり、第２クロック周波数の次周波数設定データＤｓｐ（ｎ＋１）を設定される。これらの設定は、周波数の切り替えの都度に行われる。
【００４４】
カウンタ９１は、供給されたリファレンスクロックＦｒの数をカウントする。比較回路９２は、カウンタ９１におけるカウント値と、パルス数レジスタ９３における設定値Ｆｒ（ｎ）とを比較する。当該比較の結果が一致した場合、以下のような処理が行われる。
【００４５】
最初に、比較回路９２は、二つの次周波数データ設定レジスタ９４及び９５にロード信号を送信し、カウンタ９１にクリア信号を送信し、制御プロセッサ９６にインタラプト信号（割り込み信号）を送信する。これらの信号は同一の信号であっても良い。ロード信号によってＤＤＳ回路の出力するクロック周波数はＤｗ（ｎ＋１）及びＤｓｐ（ｎ＋１）に対応したものに変化し、クリア信号によって、カウンタ９１はクリアされ、当該更新された周波数設定データＤｗ（ｎ＋１）及びＤｓｐ（ｎ＋１）に対応する第１及び第２周波数の期間におけるリファレンスクロックＦｒのカウントを新たに開始する。
【００４６】
一方、制御プロセッサ９６は、Ｆｒ（ｎ＋１）、Ｄｗ（ｎ＋２）及びＤｓｐ（ｎ＋２）を後述する演算により算出して、パルス数レジスタ９３と次周波数データ設定レジスタ９４及び９５とに送信する。パルス数レジスタ９３は、これらを所定のデータとして格納領域に格納する。これらの演算が、必要となるタイミングよりも十分早く終了するようにＦｒ（ｎ＋１）の値は選択される。なお、Ｆｒ（ｎ）、Ｄｗ（ｎ）及びＤｓｐのｎ＝０（初期値）、１及び２の場合における値は、容易に知ることができるので、予め設定される。
【００４７】
以上のようにして周波数設定データＤｗ及びＤｓｐが入力されると、第１及び第２ＤＤＳ回路７及び８は、周知のように、周波数設定データＤ（Ｄｗ及びＤｓｐ）とリファレンスクロックＦｒとに基づいて、
Ｆｏ＝Ｆｒ×（Ｄ／２32）・・・（１）、
によって定まる周波数Ｆｏのクロック（出力クロック）を出力する。ここで、Ｆｒは例えば１００ＭＨｚ、Ｄは例えば３２ｂｉｔのビット長のデータである。この場合の周波数分解能（１ｂｉｔあたりの周波数変化）は０．２３Ｈｚとなり、極めて高い分解能が得られる。また、Ｆｏの最高周波数は、Ｆｒの１／３程度という制約があり、この場合には３０ＭＨｚ程度となる。
【００４８】
第１及び第２ＤＤＳ回路７及び８は、制御プロセッサ９６から周波数設定するためのインターフェイスを備える。これを用いて、ライトクロックレジスタ９４及びスピンドルクロックレジスタ９５から周波数設定データＤｗ及びＤｓｐを受信する。
【００４９】
ここで、例えばモータ２０７の１回転当たりのライトクロックの数をＮｗとし、スピンドルクロック数をＮｓｐとする。描画地点がその時点で半径Ｒ（ｍｍ）の位置に存在する場合、所望の回転速度（周速又は線速度）Ｖ（ｍｍ／ｓ）を得るためのモータ２０７（スピンドル）の回転数ｆ（Ｈｚ）は、
ｆ＝Ｖ／２πＲ  ・・・（２）、
である。従って、スピンドルクロックの周波数Ｆｓｐが
Ｆｓｐ＝ｆ×Ｎｓｐ  ・・・（３）、
となるように、スピンドルクロックの周波数設定データＤｓｐを設定する。同様に、ライトクロックの周波数Ｆｗが
Ｆｗ＝ｆ×Ｎｗ  ・・・（４）、
となるように、ライトクロックの周波数設定データＤｗを設定する。
【００５０】
以上により、周波数の切り替えタイミングと、次に比較回路９２の比較結果が一致するタイミングと、今回と次回の割り込みの間にライトクロック及びスピンドルクロック（出力クロック）が何個出力され、どのような位相状態になったかを正確に知ることができる。位相状態とは、出力クロックの端数に相当する。実際には、前述のフィルタ回路の遅れ時間があるが、この時間は一定であるので、次のステップに誤差の累積が発生しない。従って、実際には、フィルタ回路の遅れ時間は無視することができる。従って、例えばモータ２０７の１周分のリファレンスクロックＦｒの数に基づいて、その間に出力されなければならないクロック数を端数も含めて算出することにより、必要な周波数設定データＤ（Ｄｗ又はＤｓｐ）を算出することができる。また、ライトクロックとスピンドルクロックとの同期のタイミングを微小時間だけ変化させることができるので、図６（Ｂ）の磁気ディスクのサーボパターンに示すように、記録域の全面（半径方向の全体）に及んでいる円弧状の整列ピット（円周方向のピットエッジ位置が揃ったピット）を正確に描画することができる。
【００５１】
以上のように、本発明においては、リファレンスクロックＦｒのカウント値に基づいてライトクロック及びスピンドルクロックの周波数を切り替えているため、これらを同期させることができる。従って、また、ライトクロック及びスピンドルクロックの非同期に起因する誤差を無くすことができ、当該誤差が積算されることを防止することができる。なお、図７においては、第１及び第２ＤＤＳ回路５７及び５８の出力クロック（ライトクロック及びスピンドルクロック）のカウント値に基づいてそれらの周波数を切り替えているため、当該出力クロックを完全に同期させることはできない。
【００５２】
また、本発明においては、リファレンスクロックＦｒをカウントしているため、その１個のクロックを単位として、周波数設定データＤをＤＤＳ回路７及び８に設定することができる。リファレンスクロックＦｒは、ライトクロック及びスピンドルクロックとは異なり、安定しており、かつ、そのタイミングが予想できるので、安定した周波数の制御を行うことができる。なお、図７においては、ライトクロック及びスピンドルクロックの１個のクロックを単位として、周波数設定データＤを第１及び第２ＤＤＳ回路７及び８に設定しているため、当該設定のタイミング（従って、周波数の切り替えのタイミング）がこれらのクロックにより変動することが避けられない。
【００５３】
また、本発明においては、リファレンスクロックＦｒをカウントしているため、カウンタ９１等を共通化することができる。従って、また、リファレンスクロックＦｒのカウント値に基づく制御プロセッサ９６への割込みは、１個の周波数更新回路９からしか生じないので、制御プロセッサ９６における処理（処理プログラム）を簡単なものとすることができる。なお、図７においては、第１及び第２ＤＤＳ回路５７及び５８の出力クロックをカウントしているため、カウンタ５５２等を共通化することができず、制御プロセッサ９６への割込みも複雑になる。
【００５４】
図３は、本発明の電子ビーム描画装置の制御信号作成回路の他の一例を示す構成図である。この例は、周波数更新回路９の構成を簡素化し、かつ、第１及び第２クロック周波数の更新をモータ２０７の１回転の周期内において複数回行う例である。周波数更新回路９は、比較回路９２及びパルス数Ｎ（ｎ）設定レジスタ９３を省略した以外は、図２の周波数更新回路９と同様の構成を有する。
【００５５】
周波数更新回路９において、カウンタ９１は、供給されたリファレンスクロックＦｒの数をカウントし、カウント値が所定の値となった（カウントアップした）場合、クリア信号及び割り込み信号を出力する。クリア信号に応じて、カウンタ９１はクリアされる。割り込み信号を受信した制御プロセッサ９６により、ライトクロックレジスタ９４が周波数設定データＤｗ（ｎ＋１）を第１クロック作成回路３に出力し、スピンドルクロックレジスタ９５が周波数設定データＤｓｐ（ｎ＋１）を第２クロック作成回路４に出力する。また、割り込み信号を受信した制御プロセッサ９６により、ライトクロックレジスタ９４及びスピンドルクロックレジスタ９５に、Ｄｗ（ｎ＋２）及びＤｓｐ（ｎ＋２）が、各々の次周波数設定データとして送信される（ロードされる）。更に、制御プロセッサ９６は、Ｄｗ（ｎ＋３）及びＤｓｐ（ｎ＋３）を演算により算出する。
【００５６】
図３の例によれば、カウンタ９１が、所定のリファレンスクロックＦｒの数毎に、即ち、所定の（一定の）パルス数毎に、カウントアップ出力を発生するように、単純化される。これにより、比較回路９２等を削減することができ、また、所定の時間毎に全ての周波数を更新することができる。これにより、制御プロセッサ９６における処理（処理プログラム）も単純化することができる。ここで、所定の時間は、全ての周波数の演算が終わる時間より長ければ良く、制御プロセッサ９６の演算処理速度で決まる。通常、１ｍｓ以下で終了することができる。
【００５７】
そこで、図３の例では、カウンタ９１のカウントアップ値をモータ２０７の１回転の周期よりも十分に短く（例えば１／Ｎ、Ｎは例えば１０以下の整数）設定する。これにより、第１及び第２クロック周波数の更新が、モータ２０７の１回転の周期内において複数回（Ｎ回）行われる。この結果、ライトクロック及びスピンドルクロックの周波数をより滑らかに（事実上連続的に）切り替えることができる。
【００５８】
更に、図３の例では、制御プロセッサ９６は、第１及び第２ＤＤＳ回路７及び８の分解能によって生じた量子化誤差を考慮して、当該更新すべき第１及び第２クロック周波数を算出する。即ち、第１及び第２ＤＤＳ回路７及び８の分解能は有限であり、３２ｂｉｔのＤＤＳ回路では（１／２）32以下の端数は誤差となる。これは、ライトクロックの周波数Ｆｗとその周波数設定データＤｗとの間には量子化誤差が発生するためである。Ｆｗが（４）式より僅かに高いと整列ピットは徐々に上流側にシフトし、低いと下流側にシフトする。しかし、どの程度シフトするかは予測可能であり、周波数（即ち、周波数設定データＤｗ）を調整することにより、ピットを円弧状に整列させることができる。
【００５９】
そこで、図３の例では、制御プロセッサ９６において周波数設定データＤｗ（ｎ）について倍精度演算（６４ｂｉｔ）を行う。これにより、当該誤差を見積もり、見積もった当該誤差を次周波数設定データＤｗ（ｎ＋１）に繰り込む。この結果、第１及び第２ＤＤＳ回路７及び８の分解能の誤差を補償し、より精度の高い出力クロックを出力することができる。
【００６０】
図４は、本発明の電子ビーム描画装置の制御信号作成回路の更に他の一例を示す構成図である。この例は、 電子ビーム描画装置がＮ分周回路１０を備え、これにより、高速（高い周波数）のリファレンスクロックＦｒを用いて制御信号作成回路を動作させる例である。図４の制御信号作成回路は、Ｎ分周回路１０（及び内部Ｎ分周回路７３及び８３、制御回路７２及び８２）以外は、図２の制御信号作成回路と同様の構成を有する。
【００６１】
Ｎ分周回路１０は、周波数更新回路９のリファレンスクロックＦｒの入力の前段に設けられ、リファレンスクロックＦｒをＮ分周する（周波数を１／Ｎにする）。リファレンスクロックＦｒの周波数は例えば数百ＭＨｚ〜１ＧＨｚであり、Ｎは例えば８（又は４、１６等の整数）である。周波数更新回路９は、Ｎ分周回路１０によりＮ分周されたリファレンスクロック（Ｎリファレンスクロック）Ｆｒ’の数をカウントする。即ち、リファレンスクロックＦｒをＮ分周したことにより、カウンタ９１がＮリファレンスクロックＦｒ’をカウントすることができる。これにより、周波数更新回路９を、高周波数のリファレンスクロックＦｒではなく、比較的低い周波数のＮリファレンスクロックＦｒ’を基準クロックとして、動作させることができる。
【００６２】
第１クロック作成回路３における第１ＤＤＳ回路７において、そのクロック作成回路７１は、各々、当該供給されたリファレンスクロックＦｒにより動作する。これにより、高周波数のリファレンスクロックＦｒをそのまま用いて、ライトクロックを作成することができる。一方、第１クロック作成回路３における第１ＤＤＳ回路７は、当該供給されたリファレンスクロックＦｒをＮ分周する内部Ｎ分周回路７３を備える。内部Ｎ分周回路７３はＮ分周回路１０と同一の構成とされ、内部Ｎ分周回路７３のＮの値はＮ分周回路１０のＮの値と同一とされる。これにより、制御回路７２を、高周波数のリファレンスクロックＦｒではなく、比較的低い周波数のＮリファレンスクロックＦｒ’を基準クロックとして、動作させることができ、かつ、周波数更新回路９と同期させることができる。以上は、第２クロック作成回路４における第２ＤＤＳ回路８についても、同様である。
【００６３】
以上によれば、リファレンスクロックＦｒとして極めて高い周波数を用いることができるので、当該周波数で動作する市販の高速ＤＤＳ回路用ＩＣを、クロック作成回路７１及び８１として用いることができる。なお、図４の回路においては、クロック作成回路７１及び８１から出力されるライトクロック及びスピンドルクロックにおいて、その初期位相がＮリファレンスクロックＦｒ’の範囲内でバラつくため、初期誤差が発生する。しかし、この初期誤差は、積算されることがないので、実際上無視することができる。
【００６４】
なお、図４の制御信号作成回路において、内部Ｎ分周回路７３及び８３を省略して、これに代えて、Ｎ分周回路１０からのＮリファレンスクロックＦｒ’を利用するようにしても良い。これにより、内部Ｎ分周回路７３及び８３分の回路を削減することができる。
【００６５】
図５は、本発明の電子ビーム描画装置の制御信号作成回路の更に他の一例を示す構成図である。この例は、電子ビーム描画装置が第３クロック作成回路を備え、これにより、リファレンスクロックＦｒに基づいてステージクロックを作成する例である。第３クロック作成回路は、第３ＤＤＳ回路１１と周波数更新回路９とからなる。従って、周波数更新回路９は、第１及び第２クロック作成回路３及び４に共通であるのみならず、第３クロック作成回路にも共通に設けられる。図５の制御信号作成回路は、第３クロック作成回路（及びステージクロックレジスタ９７）以外は、図２の制御信号作成回路と同様の構成を有する。
【００６６】
リファレンスクロック作成回路２は、第３クロック作成回路にリファレンスクロックＦｒを供給する。第３クロック作成回路は、リファレンスクロックＦｒに基づいて、ステージクロック（ステージクロック信号）を作成する。ステージクロックは、第１及び第２クロック周波数とは異なる第３クロック周波数を有し、回転駆動機構（回転ステージ２０２）の直線方向（半径方向）の移動速度の基準となる。即ち、直動ステージ２０３の予め定められた移動方向（図１（Ａ）の左又は右方向）への移動速度の基準となる。ステージクロックは、直動ステージ２０３の駆動回路（図示せず）に供給される。駆動回路は、ステージクロックを受信して、これに基づいて（１クロック当たりの移動量）×（クロック数）だけ直動ステージ２０３を移動させる。
【００６７】
周波数更新回路９は、ステージクロックの周波数設定データＤｓｔを設定するためのステージクロック次周波数設定データ設定レジスタ（ステージクロックレジスタ）９７を備える。ステージクロックレジスタ９７は、ライトクロックレジスタ９４及びスピンドルクロックレジスタ９５と同様の働きをするので、その詳細な説明は省略する。
【００６８】
以上によれば、ステージクロックの作成においても、ライトクロック及びスピンドルクロックの作成における効果と同様の効果を得ることができる。即ち、回転数（スピンドルクロックの周波数）の変更に合わせて、直動ステージ２０３の送り速度（ステージクロックの周波数）を変更することができる。これにより、モータ２０７の１回転当たりの直動ステージ２０３の移動量を一定にすることができ、周速が一定であることと併せて、単位面積当たりの露光量を一定とすることができる。
【００６９】
以上から判るように、本発明の実施形態の特徴が以下のように把握される。
【００７０】
（付記１）回転駆動機構上に載置された原盤に電子ビームを照射することにより記録媒体の原盤を露光する電子ビーム描画装置において、
リファレンスクロックに基づいて、第１クロック周波数を有し、露光のタイミングの基準となるライトクロックを作成する第１クロック作成回路と、
前記リファレンスクロックに基づいて、第２クロック周波数を有し、前記回転駆動機構の備えるモータの回転速度の基準となるスピンドルクロックを作成する第２クロック作成回路と、
前記第１及び第２クロック作成回路に、これらに共通の前記リファレンスクロックを供給するリファレンスクロック作成回路と、
前記第１及び第２クロック作成回路に共通に設けられ、前記リファレンスクロックの数をカウントして当該カウント値が所定の値となった場合に、前記第１及び第２クロック作成回路における前記第１及び第２クロック周波数を更新する周波数更新回路とを備える
ことを特徴とする電子ビーム描画装置。
（付記２）前記第１クロック作成回路が、第１ダイレクトデジタルシンセサイザ回路を用いて、前記ライトクロックを作成し、
前記第２クロック作成回路が、第２ダイレクトデジタルシンセサイザ回路を用いて、前記スピンドルクロックを作成する
ことを特徴とする付記１記載の電子ビーム描画装置。
（付記３）前記周波数更新回路は、所定のリファレンスクロックの数毎に周波数を更新し、前記第１及び第２クロック周波数の更新を前記モータの１回転の周期内において複数回行う
ことを特徴とした付記１記載の電子ビーム描画装置。
（付記４）当該電子ビーム描画装置が、更に、
前記周波数更新回路の前段に設けられ、前記リファレンスクロックをＮ分周するＮ分周回路を備え、
前記周波数更新回路が、前記Ｎ分周回路によりＮ分周されたリファレンスクロックの数をカウントし、
前記第１及び第２クロック作成回路が、各々、当該供給されたリファレンスクロックをＮ分周する内部Ｎ分周回路を備え、前記内部Ｎ分周回路によりＮ分周されたリファレンスクロックで動作する
ことを特徴とする付記１記載の電子ビーム描画装置。
（付記５）前記周波数更新回路が、前記リファレンスクロックの数をカウントするカウンタと、前記カウンタにおけるカウント値が所定の値となった場合に当該更新すべき第１クロック周波数に相当する周波数設定データを前記第１クロック作成回路に出力するライトクロック周波数データ設定レジスタと、前記カウンタにおけるカウント値が所定の値となった場合に当該更新すべき第２クロック周波数に相当する周波数設定データを前記第２クロック作成回路に出力するスピンドルクロック周波数データ設定レジスタとを備える
ことを特徴とする付記１記載の電子ビーム描画装置。
（付記６）前記周波数更新回路が、更に、前記リファレンスクロックの数をカウントするカウンタと、所定のクロックの数を予め設定するクロック数設定レジスタと、前記カウンタにおけるカウント値と前記クロック数設定レジスタにおける設定値とを比較する比較回路とを備え、
前記比較回路における比較の結果が一致した場合に、ライトクロック周波数データ設定レジスタが当該更新すべき第１クロック周波数に相当する周波数設定データを前記第１クロック作成回路に出力し、スピンドルクロック周波数データ設定レジスタが当該更新すべき第２クロック周波数に相当する周波数設定データを前記第２クロック作成回路に出力する
ことを特徴とする付記５記載の電子ビーム描画装置。
（付記７）前記周波数更新回路が、前記カウンタにおけるカウント値が所定の値となった場合に、前記クロック数設定レジスタにおける設定値を更新する
ことを特徴とする付記５記載の電子ビーム描画装置。
（付記８）当該電子ビーム描画装置が、更に、
前記リファレンスクロックに基づいて、第３クロック周波数を有し、前記回転駆動機構の直線方向の移動速度の基準となるステージクロックを作成する第３クロック作成回路を備え、
前記リファレンスクロック作成回路が、前記第３クロック作成回路に前記リファレンスクロックを供給する
ことを特徴とする付記１記載の電子ビーム描画装置。
【産業上の利用可能性】
【００７１】
以上、説明したように、本発明によれば、電子ビーム描画装置において、第１及び第２クロック作成回路の出力クロック（即ち、ライトクロック及びスピンドルクロック）の周波数を、出力クロックに基づくことなく、リファレンスクロックのカウント値に基づいて、同時に、各々の次周波数に切り替える。従って、複雑な切り替えタイミング予測回路を付加することなく、出力クロックに起因する誤差を排除することができ、また、第１及び第２クロックを同期させることができる。
【００７２】
特に、リファレンスクロックをカウントするので、リファレンスクロック±１個分の範囲の誤差が生じることを防止することができ、また、第１及び第２クロック作成回路におけるカウンタ等を共通化して、回路が大規模化及び複雑化することを防止することができる。
【００７３】
また、第１及び第２クロックを同一のタイミングで切り替えるので、当該切り替えに起因して両者の間に誤差が積算されることを防止し、１回の切り替え処理を簡単にすることができる。これにより、出力クロックの周波数をより多く切り替えることにより、事実上連続的に変化させることができ、例えばスピンドルクロックを滑らに変化させることにより、モータの回転速度をその回転精度を劣化させることなく制御することができる。
【００７４】
また、第１及び第２クロック作成回路のＤＤＳ回路として市販のＤＤＳ用ＩＣを用いる場合において、当該ＩＣに起因する出力クロックの誤差及び遅延を排除し、また、制御が煩雑になることや回路が大規模になることを回避することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】本発明の電子ビーム描画装置の一例を示す構成図である。
【図２】本発明の電子ビーム描画装置の制御信号作成回路の一例を示す構成図である。
【図３】本発明の電子ビーム描画装置の制御信号作成回路の他の一例を示す構成図である。
【図４】本発明の電子ビーム描画装置の制御信号作成回路の更に他の一例を示す構成図である。
【図５】本発明の電子ビーム描画装置の制御信号作成回路の更に他の一例を示す構成図である。
【図６】情報記録用原盤の描画の説明図である。
【図７】従来の電子ビーム描画装置の制御信号作成回路を示す構成図である。
【符号の説明】
【００７６】
１    フォーマッタ
２    リファレンスクロック作成回路
３    第１クロック作成回路
４    第２クロック作成回路
５    データジェネレータ
６    スピンドル制御回路
７    第１ＤＤＳ回路
８    第２ＤＤＳ回路
９    周波数更新回路
９１    カウンタ
９２    比較回路
９３    パルス数Ｎ（ｎ）設定レジスタ
９４    ライトクロック次周波数データ設定レジスタ
９５    スピンドルクロック次周波数データ設定レジスタ
９６    制御プロセッサ
【図１】
2008076603.tif 000003
【図２】
2008076603.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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