(57)【要約】【課題】インクジェット記録ヘッドの誤動作および発煙・発火を防止して記録ヘッドの安全性を向上させるために、電気接合部へのインクの浸入を即座に感知できるような記録ヘッドとする。【解決手段】記録素子基板と、フレキシブルフィルム配線基板と、電極Ａ、電極Ｂ及び電極ＡとＢを電気接続する部分を封止するように設けられた封止材とを備えたインクジェット記録ヘッドであって、記録素子基板の封止材によって封止された部分には、インクを検知可能な電極Ｃが設けられていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。【選択図】図１
2008149573.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の吐出口と、インクを吐出するためのエネルギを発生し且つ各吐出口に対応して設けられた複数のエネルギ発生素子と、前記エネルギ発生素子に電気接続された複数の電極Ａとを有する記録素子基板と、
前記複数の電極Ａに電気接続されて電極Ａに電圧を印加するための複数の電極Ｂを有するフレキシブルフィルム配線基板と、
前記電極Ａ、電極Ｂ、及び電極ＡとＢを電気接続する部分を封止するように設けられた封止材とを備えたインクジェット記録ヘッドであって、
前記記録素子基板の前記封止材によって封止された部分には、インクを検知可能な電極Ｃが設けられていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
前記複数の電極Ａは、電極Ａの配列を構成し、
前記電極Ｃは、前記電極Ａの配列方向において電極Ａの配列の両端に配置された２つの端部電極と、前記端部電極のうち少なくとも一方の端部電極に電気接続された帯状電極とから構成されていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
前記電極Ｃは、腐食性金属を含むことを特徴とする請求項１又は２に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
前記電極Ｃは、耐腐食性金属を含むことを特徴とする請求項１又は２に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】
請求項１から４の何れか１項に記載のインクジェット記録ヘッドと、
インク認識手段と、
前記インクジェット記録ヘッドを記録媒体に対向して保持するヘッド保持部材と、
を備えたことを特徴とするインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微細な吐出口からインクを液滴として吐出させて記録媒体に記録を行うインクジェット記録ヘッド、及びこのインクジェット記録ヘッドを備えたインクジェット記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録装置は、いわゆるノンインパクト記録方式の記録装置であり、高速で様々な記録メディアに対する記録が可能であって、記録時における騒音がほとんど生じないといった特徴を有している。このようなことから、インクジェット記録装置は、プリンタ、ワードプロセッサ、ファクシミリ、複写機などの記録機構を担う装置として広く採用されている。
【０００３】
この種のインクジェット記録装置に用いられるインクジェット記録方式の代表的な例としては、特許文献１及び２に記載されているように、吐出エネルギ発生素子として電気熱変換素子を用いた方式がある。この方式は、微少な吐出口からインクの液滴を吐出させて記録媒体に記録を行うものである。この方式は、一般的に液滴を形成する為の吐出ノズルを備えたインクジェット記録ヘッドと、このインクジェット記録ヘッドに対してインクを供給するインク供給系とから構成されている。そして、電気熱変換素子を加圧室内に有し、これに記録信号となる電気パルスを印加する事によってインクに熱エネルギを与え、その時のインクの相変化により生じるインクの発泡時（沸騰時）の気泡圧力をインク滴の吐出に利用するものである。
【０００４】
この電気熱変換方式を用いたインクジェット記録ヘッドには、電気熱変換素子が配列された基板に対して平行にインクを吐出させる方式（エッジシュータ）と、電気熱変換素子が配列された基板に対して垂直にインクを吐出させる方式（サイドシュータ）がある。
【０００５】
図９は、一般的な、吐出口が配列されてインクを吐出する機能を有する基板（以下、「記録素子基板」という。）を示す図であり、同図（ａ）はその平面図、（ｂ）は底面図、（ｃ）は側面図である。また、図１０は、図９に示した記録素子基板がフレキシブルフィルム配線基板に接続された状態を示す図である。
【０００６】
図９に示すように、記録素子基板１０１にはその裏面からインクを供給するための貫通穴（記録液供給口）１０３が形成されている。また、基板１０２の表面にはインクに吐出エネルギを付与するための電気熱変換素子（図示していない）が貫通穴１０３出口の両側にそれぞれ複数配列され、基板１０２上には吐出口プレート１０５が設けられている。この吐出口プレート１０５には、複数の電気熱変換素子にそれぞれ対向（対応）するように複数の吐出口１０６が形成されている。そして、図６に示すように、基板１０２の表面の両端部には複数の電気熱変換素子にそれぞれ電気的に接続された複数の電極パッド１０７が配置されている。
【０００７】
また、図１０に示すように、記録素子基板１０１に設けられた複数の電極パッド１０７とフレキシブルフィルム配線基板１１１に設けられた複数の電極リード１１３とが電気的に接続されて記録素子ユニット１２０が構成される。この電気接続部は、インクによる腐食や外部から作用する力による断線から保護するために、接続部全体が封止樹脂１１９によって被覆保護されている。図１１に示すように、図１０の記録素子ユニットは支持部材に接着固定されてインクジェット記録ヘッドが形成される。
【特許文献１】特開昭５４−５１８３７号公報
【特許文献２】特開昭５４−５９９３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、インクジェット記録ヘッドが駆動する時、記録ヘッド自身が昇温するため、この熱の影響により、インクジェット記録ヘッドを構成する各要素はそれぞれが僅かに膨張・収縮を繰り返す。この際、記録素子基板１０１と封止樹脂１１９との線膨張係数が異なるため、まれに記録素子基板１０１と封止樹脂１１９との界面に剥がれが生じる場合があった。また、例えば高温高湿環境において長期使用する場合、封止樹脂１１９が徐々に劣化して記録素子基板１０１と封止樹脂１１９との界面で剥がれが生じる場合があった。
【０００９】
この結果、記録素子基板１０１に設けられた複数の電極パッド１０７とフレキシブルフィルム配線基板１１１に設けられた複数の電極リード１１３の電気接合部にインクが浸入する場合があった。このように電気接合部にインクが浸入すると、アルミニウム等で形成されている電極パッド１０７が腐食することによって電極パッド１０７が断線し、記録装置からの電気信号が正確に伝わらずに記録ヘッドが誤動作を起こしてしまう可能性があった。
【００１０】
そこで、本発明は、上記従来技術の有する未解決の課題に鑑みてなされたものである。すなわち、本発明は、電気接合部へのインクの浸入を検知するセンサを記録素子基板に設けることで、予め電気接合部へのインクの浸入を検知して記録ヘッドの誤動作を防止し記録ヘッドの信頼性を向上させることを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するため、本発明は、次のような構成としたことを特徴とする。
１．複数の吐出口と、インクを吐出するためのエネルギを発生し且つ各吐出口に対応して設けられた複数のエネルギ発生素子と、前記エネルギ発生素子に電気接続された複数の電極Ａとを有する記録素子基板と、
前記複数の電極Ａに電気接続されて電極Ａに電圧を印加するための複数の電極Ｂを有するフレキシブルフィルム配線基板と、
前記電極Ａ、電極Ｂ、及び電極ＡとＢを電気接続する部分を封止するように設けられた封止材とを備えたインクジェット記録ヘッドであって、
前記記録素子基板の前記封止材によって封止された部分には、インクを検知可能な電極Ｃが設けられていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【００１２】
２．前記複数の電極Ａは、電極Ａの配列を構成し、
前記電極Ｃは、前記電極Ａの配列方向において電極Ａの配列の両端に配置された２つの端部電極と、前記端部電極のうち少なくとも一方の端部電極に電気接続された帯状電極とから構成されていることを特徴とする上記１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【００１３】
３．前記電極Ｃは、腐食性金属を含むことを特徴とする上記１又は２に記載のインクジェット記録ヘッド。
４．前記電極Ｃは、耐腐食性金属を含むことを特徴とする上記１又は２に記載のインクジェット記録ヘッド。
【００１４】
５．上記１から４の何れか１項に記載のインクジェット記録ヘッドと、
インク認識手段と、
前記インクジェット記録ヘッドを記録媒体に対向して保持するヘッド保持部材と、
を備えたことを特徴とするインクジェット記録装置。
【００１５】
なお、「端部電極」とは、電極Ｃの一部を構成し、電極Ａが所定方向に配列された電極Ａの配列について、その配列方向の両端に設けられた２つの電極を表す。典型的には、端部電極と電極Ａの形状は同じであり、この端部電極と電極Ａとから電極パッドが構成されている。
【００１６】
「帯状電極」とは、電極Ｃの一部を構成し、少なくとも１つの端部電極に電気接続されると共に、所定方向に延在する細長い電極のことを表す。すなわち、帯状電極は端部電極と同じ材料から構成されており、少なくとも１つの端部電極から所定方向に延在するように設けられている。帯状電極は１つの端部電極に電気接続されていても、２つの端部電極を電気接続するものであっても良い（帯状電極は、１つの端部電極から延在するように設けられていても、２つの端部電極間を連結するように設けられていても良い）。
【００１７】
「インク認識手段」とは、本発明のインクジェット記録ヘッドの封止領域内にインクが侵入した際に生じるインク検知センサの抵抗値の変化やショート等の電気信号の変化を検知して、封止領域内にインクが侵入したことを認識する手段である。
【発明の効果】
【００１８】
本発明は、インクジェット記録ヘッドの記録素子基板にインクの浸入を検知するセンサを設けることによって、電気接合部へのインクの浸入を即座に感知することができる。この結果、記録ヘッドの誤動作を防止し、記録ヘッドの信頼性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
本発明のインクジェット記録ヘッドは、記録素子基板とフレキシブルフィルム配線基板とを有する。また、記録素子基板には、複数の吐出口、各吐出口に対応して設けられた複数のエネルギ発生素子、及びエネルギ発生素子に電気接続された複数の電極Ａを備えている。この複数の吐出口には、記録液供給口からインクが流れ込むようにインク流路が設けられている。
【００２０】
そして、この記録素子基板の電極Ａとフレキシブルフィルム配線基板の電極Ｂとは電気接続され、電極Ａ、電極Ｂ及び電極ＡとＢを電気接続する部分（バンプ等）を封止するように封止材が設けられている。このため、記録素子基板上には、電極Ａ及び電極ＡとＢを電気接続する部分を封止することができるよう、これらの部分とその周囲を覆うように封止材が設けられている。本発明のインクジェット記録ヘッドでは、この記録素子基板上の封止材によって封止された部分に電極Ｃが設けられている点に特徴がある。そして、インクがこの封止材によって封止された部分（封止領域）に侵入した際には、電極Ｃによってこれを検知できるようになっている。なお、本発明では、この電極Ｃは電極Ａ、Ｂ及び電極ＡとＢを電気接続する部分とは接触しないように設けられているため、電極Ｃがこれらの部分の作動に悪影響を及ぼすことはない。
【００２１】
また、本発明のインクジェット記録ヘッドにおいて、このインク検知センサ（電極Ｃ）を設けた以外の構成としては、例えば、図９〜１１の構成とすることができる。
本発明の実施形態の一例について図面を参照して以下に説明する。
【００２２】
（記録素子基板）
図１は、本発明のインクジェット記録ヘッドの記録素子基板の第１の実施例を示す図である。また、図２は記録素子基板の電極Ａとフレキシブルフィルム配線基板の電極Ｂとを電気接続し、封止樹脂（封止材）により電極Ａ、Ｂ及び電極ＡとＢを電気接続する部分（以下、「電気接合部」と記載する。）を封止した状態を示す図である。図２（ａ）は、これらの部分の平面図、（ｂ）は断面図を示す。
【００２３】
図１に示すように、本実施例のインクジェット記録ヘッドにおける記録素子基板１０１は、単結晶シリコンの基板と、吐出口プレート１０５とで構成されている。この単結晶シリコンの基板は、エネルギ発生素子として複数の電気熱変換素子（図示していない）が所定のピッチで並列配置されている。また、この吐出口プレート１０５は、この基板に接合されて各電気熱変換素子の位置に対応するように複数の吐出口１０６が形成されている。
【００２４】
記録素子基板１０１の端部には、フレキシブルフィルム配線基板の電極リード（電極Ｂ）と電気的に接続するための複数の電極Ａ（白抜きの四角形の部分）１３１とインク検知センサ（電極Ｃ）１０９が形成されている。なお、このインク検知センサ１０９は、複数の電極Ａ１３１の配列において、その配列方向１３４の両端に設けられた２つの端部電極（太字四角形で囲まれた部分）１３２と、この２つの端部電極１３２を電気接続する帯状電極１３３とから構成されている。
【００２５】
すなわち、電極Ａ  １３１、インク検知センサ（電極Ｃ）１０９、及び電極Ａ  １３１と電極リード（電極Ｂ）１１３の電気接合部上には、インクや外部作用から保護するための封止樹脂（封止材）１１９が塗布されている。そして、記録素子基板１０１上の、この封止材１１９によって封止された領域は、封止領域１１８を構成している。そして、図１、図２に示すように、記録素子基板１０１の封止領域１１８上には、インクを検知可能な電極（インク検知センサ；電極Ｃ）１０９が形成されている。また、インク検知センサ１０９は、端部電極１３２を介してフレキシブルフィルム配線基板に電気接続されている。
【００２６】
インク検知センサ１０９は腐食性金属で構成され、封止領域１１８内にインクが侵入すると、このインクによってインク検知センサ１０９が腐食してインク検知センサ１０９の抵抗値が変化する。本発明では、このインク検知センサ１０９の抵抗値変化によって封止領域１１８にインクが浸入したことをプリンタ本体が認識できるようになっている。インク検知センサ１０９の構成材料としては例えば、アルミニウム、タングステン、バナジウム、モリブデン等の材料が用いられる。
【００２７】
この封止領域１１８にインクが浸入したことをインク検知センサが認識した場合には、例えば、以下のような構成とすることによりインクジェット記録ヘッドの誤動作を防止することができる。
・自動停止手段により、インクジェット記録ヘッドへの電力供給を直ちに自動停止させる（自動電源ＯＦＦ機能）。
・アラーム表示手段により、使用者が分かるようにアラーム表示をする。
【００２８】
また、インク検知センサ（電極Ｃ）１０９の帯状電極１３３は、数μｍ〜数十μｍの幅を有することが好ましい。端部電極の幅がこれらの微小な範囲内にあることによって、従来の記録素子基板に対して大きな設計変更を伴うことなく、記録素子基板上にインク検知センサを設置することができる。また、高精度でインクの検知することができる。
【００２９】
図３は、本発明のインクジェット記録ヘッドの記録素子基板の第２の実施例を示す図である。この実施例において第１の実施例と異なる点は、インク検知センサの帯状電極１３３が１つの端部電極１３２にのみ電気接続され、且つこれが２本（１対）、形成されている点である。また、インクを検知するための電極Ｃ  １０９は、腐食性金属および耐腐食性金属のいずれかの金属で構成されている。電極Ｃ  １０９が腐食性金属の場合、例えばアルミニウム、タングステン、バナジウム、モリブデン等の材料が用いられる。また、電極Ｃ  １０９が耐腐食性金属の場合、例えばタンタル、白金、ニオブ等の材料が用いられる。
【００３０】
図３に示す電極Ｃの構成では、封止領域１１８に侵入したインクにより互いに平行な２本の帯状電極間のショートによって、インクが浸入したことを検知するようになっている。本実施例では、電極Ｃ  １０９の帯状電極１３３は２本（１対）の構成としたが、３本以上の複数の帯状電極１３３でインク検知センサ（電極Ｃ）１０９を構成しても良い。
【００３１】
また、図４、図５は、本発明のインクジェット記録ヘッドの記録素子基板の第３、第４の実施例を示す図である。図４、図５に示すように、インク検知センサ（電極Ｃ）１０９を、電極Ａ  １３１が配置されている領域（電極Ａの配列）全体を囲うように形成しても良い。この場合、例えば、図４の実施例では電極Ｃの腐食による電気抵抗の変化によって封止領域１１８内にインクが浸入したことを検知することができる。また、図５の実施例では、封止領域１１８内に浸入したインクによって２本の帯状電極１３３間でショートが起こることによって封止領域１１８内にインクが浸入したことを検知することができる。
【００３２】
（電気熱変換素子）
次に、電気熱変換素子について説明する。図７は、電気熱変換素子の平面図であり、各電気熱変換素子は各吐出口１０６に対応する位置に形成されている。また、図８は、図７の電気熱変換素子のＡ−Ａ線断面図である。
【００３３】
図７および図８に示すように、基板１０の表面には熱酸化により得られるＳｉＯ２膜からなる蓄熱層１５が、２〜４μｍの膜厚で形成される。蓄熱層１５上には、各吐出口１０６（図１参照）の位置に対応する複数の発熱抵抗層１６が形成される。発熱抵抗層１６は、例えばＨｆＢ２膜、ＴａＮ膜又はＴａＳｉＮ膜からなり、その膜厚は１００〜３０００オングストローム、好ましくは５００〜１５００オングストロームである。
【００３４】
そして、例えば、Ａｌ膜またはＡｌ−Ｃｕ膜を、２０００〜１００００オングストロームの膜厚で形成し、フォトリソグラフィ工程により所望の形状にパターニングする。このパターニングにより発熱抵抗層１６に電力を供給するための対の電極１７ａ、１７ｂを駆動回路の配線（図示していない）と共に形成する。対の電極１７ａ、１７ｂを介して発熱抵抗層１６に電圧を印加することで発熱抵抗層１６が発熱する。すなわち、発熱抵抗層１６と対の電極１７ａ、１７ｂとで電気熱変換素子１３が構成され、特に、対の電極１７ａ、１７ｂで挟まれた部位が、インクに熱エネルギを与える熱作用部１４となる。この熱作用部１４によって、インクが加熱されて発泡（沸騰）し、その時の気泡圧力により吐出口からインク滴が吐出される。
【００３５】
また、多層配線の場合は、上記の電極１７ａ、１７ｂ上に、層間絶縁層として、例えばＳｉＯ２膜又はＳｉ３Ｎ４膜を０．５〜２μｍの膜厚で形成する。この後、第２の電極（図示していない）として例えば、Ａｌ膜又はＡｌ−Ｃｕ膜を２０００〜１００００オングストロームの膜厚で形成し、所望の形状にパターン形成する。
【００３６】
上記各層は、第１の保護層１８により保護され、さらに第１の保護層１８の表面には第２の保護層１９（「耐キャビテーション層」ともいう）が設けられている。第１の保護層１８は、例えば、ＳｉＯ２膜又はＳｉ３Ｎ４膜からなり、ＣＶＤ法またはスパッタリング法により３０００〜１００００オングストロームの膜厚で形成される。第２の保護層１９は、熱作用部１４より伝わった熱により発生したインクの気泡が消滅するときに生じる衝撃から、熱作用部１４を保護する目的で設けられている。第２の保護層１９は、例えばＴａ膜をスパッタリング法によって５００〜５０００オングストロームの膜厚で形成した後、フォトリソグラフィ工程により所望の形状にパターニングすることによって得られる。
【００３７】
（インクジェット記録ヘッド、インクジェット記録装置の作成）
次に、例えば、上記電気熱変換素子を設けた基板上に、腐食性金属であるＡｌを５００〜３０００オングストロームの膜厚で形成し、フォトリソグラフィ工程により所望の形状にパターニングする。これによって、インク検知センサとなる電極Ｃを形成する（図示していない）。また、インク検知センサとして耐腐食性金属を用いる場合には、第２の保護層１９と同一の材料（例えばＴａ膜）を用いても良い。この場合、第２の保護層１９の形成時にインク検知センサも同時に形成することができ、製造工程を追加することなくインク検知センサ１９を形成することができる。
【００３８】
記録素子基板を形成する際には、上述のように複数の電気熱変換素子１３等を形成した基板１０上に更に樹脂材料を塗布し、フォトリソグラフィ技術によって電気熱変換素子１３に対応した位置にインク流路および吐出口を形成する。このようにして、記録素子基板が形成される。
【００３９】
次に、この記録素子基板上の電気配線に電力を供給するための複数の電極Ａ  １３１、及びこの電極Ａ  １３１上にＡｕ等のバンプ１１４を形成する。バンプ１１４としては、一般的にはスタッドバンプを用いるが、バンプの構造はこれに限られずソルダーバンプ又はめっきバンプであっても良い。
【００４０】
次に、図２に示すように、フレキシブルフィルム配線基板の開口部の縁に設けた電極リード（電極Ｂ）１１３とバンプ１１４を電気的に接続する。この電気接続は、バンプ材料を加熱した状態で任意の荷重と超音波振動を所定時間、加えることによって行う。すなわち、電極Ａ上の金バンプ１１４とフレキシブルフィルム配線基板に設けられ金めっきされた電極リード１１３との接触面間に金属間結合を形成することにより行われる。
【００４１】
本実施形態では、電極Ａ  １３１と電極リード１１３の接続方法として上記のようなシングルポイントボンディングを用いたが、接続方法はこれに限定されない。例えば、熱圧着ユニットを用いて全接続部を一括接続するギャングボンディング、はんだバンプを溶融するリフロー法、対応する両電極間をワイヤーで接続するワイヤーボンディング、公知のＡＣＦ接続法等の方法がある。接続方法としては、これらのいかなる方法を用いることも可能であり、所有する生産ラインを考慮してこれらの方法から最適な方法を選択すれば良い。
【００４２】
次に、電極Ａ  １３１、電極リード１１３、及び記録素子基板１０１とフレキシブルフィルム配線基板１１１との電気接合部（バンプ１１４）の上部を、熱硬化型封止樹脂１１９により被覆保護する。熱硬化型封止樹脂１１９としては、例えば、松下電工株式会社製の熱硬化型エポキシ樹脂（ＣＶ５４２０Ｄ）のような硬化後に非常に固い硬度を有し、機械的強度を有する熱硬化型封止材が好ましい。
【００４３】
このようにして、記録素子ユニットが形成され、図１１に例示されるように、記録素子ユニットＨ１００２とインク供給ユニットＨ１００３とタンクホルダーＨ２０００とから、インクジェット記録ヘッドＨ１００１が構成される。図１２はインクジェット記録ヘッドカートリッジの一実施形態を示す斜視図であり、記録ヘッドとインクタンクとが組み合わされた状態を示す。
【００４４】
本実施形態のインクジェット記録ヘッドＨ１００１は、図１２から分かるように、インクジェット記録ヘッドカートリッジＨ１０００を構成する一構成要素である。記録ヘッドカートリッジＨ１０００は、記録ヘッドＨ１００１と記録ヘッドＨ１００１に着脱自在に設けられたインクタンクＨ１９００（Ｈ１９０１，Ｈ１９０２，Ｈ１９０３，Ｈ１９０４）とで構成されている。
【００４５】
この記録ヘッドカートリッジＨ１０００は、インクジェット記録装置本体に載置されているキャリッジ（図示していない）のヘッド保持手段及び電気的接点によって固定支持されるとともに、このキャリッジに対して着脱可能となっている。インクタンクＨ１９０１はブラックのインク用、インクタンクＨ１９０２はシアンのインク用、インクタンクＨ１９０３はマゼンタのインク用、インクタンクＨ１９０４はイエローのインク用である。このようにインクタンクＨ１９０１，Ｈ１９０２，Ｈ１９０３，Ｈ１９０４のそれぞれが記録ヘッドＨ１００１に対して着脱自在となり、それぞれのインクタンクが交換可能となっている。これにより、残量が少なくなったインクタンクのみを個別に取り替えることができることから、インクジェット記録装置による画像記録のランニングコストが低減される。
【００４６】
（インクジェット記録装置）
本発明のインクジェット記録装置では、図１２に示したインクジェット記録ヘッドＨ１００１が、キャリッジ（ヘッド保持部材）により記録媒体に対向するように位置決めして交換可能に搭載されている。また、キャリッジには、インクジェット記録ヘッドＨ１００１上の電気接続部を介して各吐出口列に駆動信号等を伝達するための電気接続部（図示していない）が設けられている。
【００４７】
更に、インクジェット記録装置にはインク認識手段が設けられている。このインク認識手段は、キャリッジの電気接続部を介して、インクジェット記録ヘッドの封止領域内に侵入したインクによるインク検知センサの電気信号の変化を検知し、封止領域内にインクが侵入したことを認識するように構成されている。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明のインクジェット記録ヘッドの記録素子基板の第１の実施例を示す図である。
【図２】本発明の記録素子基板とフレキシブルフィルム配線基板の電気接合部を示す図である。
【図３】本発明のインクジェット記録ヘッドの記録素子基板の第２の実施例を示す図である。
【図４】本発明のインクジェット記録ヘッドの記録素子基板の第３の実施例を示す図である。
【図５】本発明のインクジェット記録ヘッドの記録素子基板の第４の実施例を示す図である。
【図６】従来のインクジェット記録ヘッドの記録素子基板を示す図である。
【図７】電気熱変換素子の拡大平面図である。
【図８】図７の電気熱変換素子のＡ−Ａ線断面図である。
【図９】従来の電気熱変換素子が配列された記録素子基板を示す図である。
【図１０】図９の記録素子基板が配線基板に接続された状態を示す図である。
【図１１】インクジェット記録ヘッドカートリッジの底面を示す斜視図である。
【図１２】インクジェット記録ヘッドとインクタンクとが組み合わされた状態を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００４９】
１０  基板
１３  電気熱変換素子
１４  熱作用部
１５  蓄熱層
１６  発熱抵抗層
１７  電極
１８  第１の保護層
１９  第２の保護層
１０１  記録素子基板
１０２  基板
１０３  記録液供給口
１０５  吐出口プレート
１０６  吐出口
１０７  電極パッド
１０９  インク検知センサ
１１１  フレキシブルフィルム配線基板
１１３  電極リード
１１４  スタッドバンプ（バンプ）
１１８  封止領域
１１９  封止樹脂
１２０  記録素子ユニット
Ｈ１０００  記録ヘッドカートリッジ
Ｈ１００１  記録ヘッド
Ｈ１００２  記録素子ユニット
Ｈ１００３  インク供給ユニット
Ｈ１９００  インクタンク
Ｈ１９０１  ブラックインクタンク
Ｈ１９０２  シアンインクタンク
Ｈ１９０３  マゼンタインクタンク
Ｈ１９０４  イエローインクタンク
Ｈ２０００  タンクホルダー
Ｈ２４００  ビス
【図１】
2008149573.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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