(57)【要約】【課題】本発明は、クリーンルーム用床パネルに関し、熱による温度上昇をバランス良く抑制することが課題である。【解決手段】平板体１ａのグレーチングであって、前記平板体１ａの内部に、連続した冷媒用流路２と該冷媒用流路の端部に出入り口３，４とを設けたクリーンルーム用床パネル１とするものである。【選択図】図１
2008285883.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板体のグレーチングであって、
前記平板体の内部に、連続した冷媒用流路と該冷媒用流路の端部に出入り口部とを設けたこと、
を特徴とするクリーンルーム用床パネル。
【請求項２】
平板体のグレーチングに、床として敷設した場合の下面側に補強用のリブが設けられ、
前記リブの内部にその長手方向に沿って冷媒用流路が設けられ、
前記冷媒用流路同士が前記リブに直交する方向の連結手段により１本の連続した流路に形成されていること、
を特徴とするクリーンルーム用床パネル。
【請求項３】
平板体に補強用のリブを下面に設けて成るグレーチングにおいて、前記リブの長手方向に沿ってその下面に、冷媒用流路が設けられた流路用部材が固着され、該流路用部材の端部に連結され前記冷媒用流路を連続させて連結する流路連結部材が設けられて成ること、
を特徴とするクリーンルーム用床パネル。
【請求項４】
平板体の側面に、冷媒用流路の出入り口が凸凹に設けられ、その出入り口によって隣接する床パネルが首尾連接されて、前記冷媒用流路が連続するようになっていること、
を特徴とする請求項１に記載のクリーンルーム用床パネル。
【請求項５】
リブの側面に、冷却用のフィンを設けて成ること、
を特徴とする請求項２または３に記載のクリーンルーム用床パネル。
【請求項６】
請求項１乃至５に記載の床パネルと、該床パネルの温度を測定する温度センサーと、前記床パネルに連結される顕熱処理装置と、該顕熱処理装置及び温度センサーに連結されるコントローラとで構成される床パネルシステムであって、床面の全部若しくは一部を構成するように前記床パネルが複数個連結されて形成されるパネル群が複数有り、それらのパネル群の群単位毎に冷媒用流路における冷媒の流量が前記コントローラによって調整されること、
を特徴とする床パネルシステム。
【請求項７】
パネル群の隅部に配置される冷媒入出力用の隅部床パネルであって、矩形状の平板体の側面において、顕熱処理装置に連結させる入口または出口が直交方向に首振り自在にして突設されていること、
を特徴とする請求項６に記載の床パネルシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、空気調和技術に係り、特にクリーンルーム等で使用される床パネルと顕熱処理装置における床パネルシステムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、クリーンルームにおける床は、図９に示すように、気流調整などの目的でグレーチングやパンチングパネルなどの床パネル１０が使用される。この床パネル１０は、図１０（Ａ），（Ｂ）に示すように、熱伝導率の高いアルミダイキャスト製で、強度を増すためにリブ１１が設けられ、気流を通過させるための開口部１２、床パネル１０を固定するためのねじ穴１３が各々設けられている。このような、床パネル１０は、例えば、特許文献１に示すような構造で床として敷設されるものである。
【０００３】
また、クリーンルーム内には、半導体ウェーハ製造装置等が多数有り、これらの装置から多くの熱が発生する。そこで、クリーンルーム内で発生する熱の処理を目的として、顕熱処理装置２０が設けられる。この顕熱処理装置２０は、熱の処理を行うコイル２１と、コイルに空気を臆すための送風機２２とが一体化されたものが用いられている。これらは、クリーンルーム内で発生する熱によって必要な熱処理能力や台数が決まり、床下やレタンスペースまたは天井内などに設置される。
【０００４】
更に、クリーンルーム内の塵埃を処理するために、塵埃処理装置（ＦＦＵ）３０がクリーンルーム天井に設置されている。この塵埃処理装置３０は、塵埃を取り除くフィルタ３１と、クリーンルーム内に循環気流を形成するための送風機３２が一体化されたものが用いられている。こうして、クリーンルーム内の空気は、塵埃装置処理装置３０→クリーンルーム→床パネル→床下→顕熱処理装置２０→レタンスペース→天井内→前記塵埃処理装置３０と循環するものである。また、このような空気循環において、特許文献２に示すように、グレーチング床にファンを取り付けて、気流速度分布のバラツキを調整可能にするものも知られている。
【特許文献１】特開２０００−１２０２０２号公報
【特許文献２】特開２００２−２５７３９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、前記顕熱処理装置２０は、クリーンルーム内で発生する熱によって必要な熱処理能力や台数が決まるので、前記発生する熱が大きいと、顕熱処置装置２０を大型化させたり、その台数を増加させたりして対応しているが、これでは、大きなスペースが必要となり、クリーンルームの有効スペースが削減されるばかりでなく、顕熱処理装置２０の送風機２２からの騒音が大きくなるという問題がある。本発明に係るクリーンルーム用床パネルは、このような課題を解決するために提案されたものであり、その目的は、顕熱処理装置の削減とそれに伴うクリーンルームの有効スペースの拡大、および、顕熱処理装置からの発生騒音の削減を可能とする、熱処理能力を有する床パネルを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係るクリーンルーム用床パネルの上記課題を解決して目的を達成するための要旨は、平板体のグレーチングであって、前記平板体の内部に、連続した冷媒用流路と該冷媒用流路の端部に出入り口部とを設けたことである。
【０００７】
また、平板体のグレーチングに、床として敷設した場合の下面側に補強用のリブが設けられ、前記リブの内部にその長手方向に沿って冷媒用流路が設けられ、前記冷媒用流路同士が前記リブに直交する方向の連結手段により１本の連続した流路に形成されていることである。
【０００８】
更に、本発明の要旨は、平板体に補強用のリブを下面に設けて成るグレーチングにおいて、前記リブの長手方向に沿ってその下面に、冷媒用流路が設けられた流路用部材が固着され、該流路用部材の端部に連結され前記冷媒用流路を連続させて連結する流路連結部材が設けられて成ることである。
【０００９】
前記リブの側面に、冷却用のフィンを設けて成ることを含むものである。また、前記平板体の側面に、冷媒用流路の出入り口が凸凹に設けられ、その出入り口によって隣接する床パネルが首尾連接されて、前記冷媒用流路が連続するようになっていることを含むものである。
【００１０】
本発明に係る床パネルシステムの要旨は、前記本発明に係る床パネルと、該床パネルの温度を測定する温度センサーと、前記床パネルに連結される顕熱処理装置と、該顕熱処理装置及び温度センサーに連結されるコントローラとで構成される床パネルシステムであって、床面の全部若しくは一部を構成するように前記床パネルが複数個連結されて形成されるパネル群が複数有り、それらのパネル群の群単位毎に冷媒用流路における冷媒の流量が前記コントローラによって調整されることである。
更に、前記パネル群の隅部に配置される冷媒入出力用の隅部床パネルであって、矩形状の平板体の側面において、顕熱処理装置に連結させる入口または出口が直交方向に首振り自在にして突設されていることを含むものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のクリーンルーム用床パネルと床パネルシステムとによれば、床パネルを冷却部材として使用することができる。これにより、クリーンルーム内において、熱を発生させる半導体装置等が設置される場所に前記床パネルを敷設し、冷却が必要な場所へ迅速に対応させることができる。更に、補強用のリブにフィンを設けることで放熱効果が高まり、冷却能力が増すことになる。また、リブの下に、冷媒流路を設けた別体の部材を固着することで、冷媒用流路を廉価で容易に形成することができる。
【００１２】
前記平板体の床パネルの側面に、冷媒用流路の出入り口が設けられて、隣接する床パネルと首尾連接できるようにすることで、床パネルの敷設作業が容易になる。
【００１３】
本発明に係る床パネルシステムによれば、半導体装置等の熱源の配置に応じて、その下に配設される一群の床パネルの冷却能力を高めるようにすることができる。こうして、クリーンルーム内の熱バランスを偏り無く均質に調整できるようになる。
また、隅部床パネルがあることで、床パネルを敷設する際に、一群の床パネルの隅部に当該隅部床パネルを配設して、顕熱処理装置の供給管を容易に接続することができる。こうして、床パネルシステムの構築が容易になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明に係るクリーンルーム用床パネル１は、図１に示すように、平板体１ａで通気用の開口部１ｂを複数併設した、軽量で熱伝導率の良いアルミニウム製のグレーチングであって、前記平板体１ａの内部に、連続した冷媒用流路２と該冷媒用流路２の端部に出入り口３，４とを設けたものである。
【００１５】
前記出入り口３，４に、従来例と同様にして顕熱処理装置２０が冷媒供給・排出用の断熱性のパイプを介して接続されるものである。なお、図１（Ａ）では、床パネル１として単独で斜視図に示したが、これを、床パネル１の複数枚を接続してなる、例えば、クリーンルームの床全体の一部を占める、半導体製造装置を載置するような局地的な面積を占めるパネル群として把握しても良い。
【００１６】
また、前記平板体１ａに冷媒用流路２を埋設させる製造方法として、金型の製作費用が嵩む場合には、図１（Ｂ）に示すように、補強リブ５に前記冷媒用流路５ａを貫通させて設けるようにすることで、金型費用を抑えることができる。
【００１７】
前記補強用のリブ５は、前記平板体１ａに一体にして形成されるものであり、更に、前記リブ５の内部にその長手方向に沿って冷媒用流路５ａが設けられ、前記冷媒用流路同士５ａが、前記リブ５に直交する方向の連結手段６により１本の連続した流路に形成されているものである。
【００１８】
前記連結手段６は、図１（Ｃ）に示すように、前記リブ５とは別体の連結部品であり、フレキシブルな金属製または合成樹脂製のホース等を用いるものである。その接続部分には、ねじで螺着させたり、ワンタッチロックなどで接続させたりするものである。
【００１９】
また、前記リブ５には、他の実施例として、図２（Ａ），（Ｂ）に示すように、当該リブ５の側面に気流の流れに沿って、冷却用のフィン５ｂを設けて成るようにすることができる。
【００２０】
このほか、前記リブ５に冷媒用流路を設ける方法として、図３に示すように、平板体１ａに一体に形成された前記リブ５とは別体に、当該リブ５と同じ幅で長手方向の長さもほぼ同じで、冷媒用流路用の凹部７ａが設けられたアルミニウム製の流路用部材７を形成する。そして、これを前記リブ５の下面に固着するのである。
【００２１】
これにより、前記凹部７ａがリブ５の平坦な下面で閉蓋され、密閉された冷媒用流路が形成されるものである。このようにして形成した複数の流路用部材７の冷媒用流路（凹部７ａ）を、前記連結手段６等の流路連結部材で連結することで、当該冷媒用流路が一連に連結されるものである。
【００２２】
このような床パネル１を床面に敷設する際の、パネル同士の接続作業の便宜のために、図４（Ａ），（Ｂ）に示すように、平板体１ａの側面に、冷媒用流路の出入り口８，９が凸凹に設けられる。この出入り口８，９によって、隣接する床パネル１ｃ，１ｃが首尾連接されて、前記冷媒用流路２が連接方向に効率的に連続して形成される。
【００２３】
また、前記床パネル１の連接方向に対して直交する方向にも接続する必要があるので、例えば、図５に示すように、連接方向を直交方向に偏向する偏向床パネル１ｄ，１ｅを用意する。
【００２４】
また、冷媒を顕熱処理装置２０（図９参照）から導入するためには床下から断熱性供給ホース等で接続するので、入口９ａを床下に向けなければならない。そこで、隅部床パネルとして、下向きの入口９ａと水平な出口８を有した冷媒導入用の隅部床パネル１ｆを用意すると共に、この複数個の床パネルを連結して成るパネル群１４から冷媒を排出させる為に、水平な入口９と下向きの出口８ａを有する冷媒排出用の隅部床パネル１ｇを用意する。このような床パネルを用意することで、床面積の内の一部に、一群のパネル群１４を構築することができる。なお、図５中の床パネル１ｈは、床パネル１ｃと対称形の床パネルを示している。
【００２５】
前記隅部床パネル１ｆ，１ｇにおいて、下向きの入口９ａ、下向きの出口８ａが、例えば、使用条件によって水平状態に成るようにすることができれば便宜である。そこで、図６に示すように、前記入口９ａ、出口８ａを、首振り自在にする構成する。それには、例えば、三次元で自由に回転する球座継手を利用したものや、直交するエルボを回転自在に接続することで達成できる。
【００２６】
次に、上記床パネル１，１ｃ，１ｈ、偏向床パネル１ｄ，１ｅ、隅部床パネル１ｆ，１ｇ等を使って、例えば、クリーンルームにおいて、発熱する半導体製造装置等がある場合に、その付近を循環する空気を積極的に冷却することで、循環する空気全体の熱バランスを良くする床パネルシステムを構築する。
【００２７】
この床パネルシステムは、図７に示すように、クリーンルームの床のうち、その一部を占める、前記床パネルが複数個連結されて形成されるパネル群１４ａ，１４ｂ，１４ｃと、該パネル群１４ａ，１４ｂ，１４ｃ若しくはその付近の温度を測定する温度センサー１５と、前記各床パネル１４ａ，１４ｂ，１４ｃに連結される顕熱処理装置２０と、該顕熱処理装置２０及び温度センサー１５に連結されるコントローラ１６とで構成される。
【００２８】
前記温度センサー１５は、パネル群１４若しくはその付近に循環する空気の温度を測定するものであり、床パネル１４の直下に配置しても良い。前記パネル群１４ａ，１４ｂ，１４ｃと顕熱処理装置２０を連結する冷媒供給・排出用の断熱性ホースは床下に配設されるものである。
【００２９】
前記コントローラ１６は、前記各パネル群の群単位毎に冷媒用流路２における冷媒（例えば、冷水）の流量を調整するものである。このようにして、図８に示すように、クリーンルームの循環気流が前記床パネル１によって冷却されるので、クリーンルーム内において使用される半導体製造装置等の熱源の配置に対応させて、前記パネル群１４を設け、循環気流の熱が一部に偏らないように、調整することができるようになる。
【００３０】
他の実施例として、前記パネル群１４の移動を容易にするために、例えば、従来のグレーチング床の下に、所要の間隙を置いて格子状のレールを配設し、そのレールの上に、複数個で一定面積に形成したパネル群１４を移動自在に配置する。そして、前記パネル群１４を水平に縦・横に移動させる駆動装置により、所望の位置に前記パネル群１４を移動させるものである。クリーンルーム内の半導体製造装置等の熱源が頻繁に移動するようなことがあっても、迅速にパネル群１４を前記駆動装置で移動させて、循環気流を冷却するように迅速に対応させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明に係るクリーンルーム用床パネル１の斜視図（Ａ）、リブ５を有する床パネル１の断面図（Ｂ）、床パネル１の一部で冷媒流路の連結状態を示す概略説明図（Ｃ）である。
【図２】同本発明のクリーンルーム用床パネルにおける他の実施例に係る一部縦断面図（Ａ）とその一部斜視図（Ｂ）とである。
【図３】同本発明のクリーンルーム用床パネル１の他の実施例を示す断面図である。
【図４】同クリーンルーム用床パネル１ｃの斜視図（Ａ）と、連接する様子を示す説明図（Ｂ）とである。
【図５】同クリーンルーム用床パネルによるパネル群１４の接続の様子を説明する平面状態の説明図である。
【図６】同パネル群１４における隅部パネルにおいて、入口若しくは出口が直交方向に首振りする構成を示す説明図である。
【図７】本発明に係るクリーンルーム用床パネルを使用した床パネルシステムの概略構成を示す説明図である。
【図８】本発明のクリーンルーム用床パネル１による循環気流の冷却の概念を示す説明図である。
【図９】従来例に係るクリーンルームの循環気流の流れの様子を示す説明図である。
【図１０】従来例におけるクリーンルーム用床パネル１０の斜視図（Ａ）と縦断面図（Ｂ）とである。
【符号の説明】
【００３２】
１          クリーンルーム用床パネル、          １ａ        平板体、
１ｂ        開口部、                            １ｃ        床パネル、
１ｄ，１ｅ  偏向床パネル、                      １ｆ，１ｇ  隅部床パネル、  
１ｈ        床パネル、      
２          冷媒用流路、
３，４      出入り口、
５          補強リブ、                          ５ａ        冷媒用流路、
５ｂ        フィン、
６          連結手段、
７          流路用部材、                        ７ａ        凹部、
８，８ａ    出口、
９，９ａ    入口、
１０        床パネル、
１１        リブ、
１２        開口部、
１３        ねじ穴、
１４        パネル群、              １４ａ，１４ｂ，１４ｃ    パネル群、
１５        温度センサー、
１６        コントローラ、
２０        顕熱処理装置、
２１        コイル、
２２        送風機、
３０        塵埃処理装置、
３１        フィルター、
３２        送風機。
【図１】
2008285883.tif 000003
【図２】
2008285883.tif 000004
【図３】
2008285883.tif 000005
【図４】
2008285883.tif 000006
【図５】
2008285883.tif 000007
【図６】
2008285883.tif 000008
【図７】
2008285883.tif 000009
【図８】
2008285883.tif 000010
【図９】
2008285883.tif 000011
【図１０】
2008285883.tif 000012