(57)【要約】【課題】基板に貼り付けられた感光材料層の位置を効率的且つ高精度に計測して、製造された感光性積層体の品質保証を行うことのできる感光性積層体の製造装置及び製造方法を提供する。【解決手段】貼り付け機構４６においてガラス基板２４に長尺状感光性ウエブ２２が貼り付けられ、カッタ機構４８によって分離された感光性積層体２４ａは、保護フイルムが剥離された後、検出部１０４に搬送される。検出部１０４では、ガラス基板２４又は感光性樹脂層の前端部がフォトセンサ１０６によって検出されたタイミングでＣＣＤカメラ１０８ａ、１０８ｂにより画像が撮影され、撮影された画像に基づき、ガラス基板２４に対する感光性樹脂層２８の前端部の貼り付け位置が算出される。同様にして、ガラス基板２４に対する感光性樹脂層２８の後端部の貼り付け位置が算出される。【選択図】図１
2008213149.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層されてなる長尺状感光性ウエブを送り出し、前記保護フイルムの剥離部分と残存部分との境界位置に対応する加工部位を、前記保護フイルムから前記感光材料層に至る部分に形成し、前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離した後、所定の間隔で供給される基板とともに前記長尺状感光性ウエブを加熱された一対の圧着ローラ間に連続的に送り出し、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置するとともに、露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付け、次いで、前記保護フイルムから前記支持体を剥離することで感光性積層体を製造する感光性積層体の製造装置において、
前記感光性積層体を構成する前記基板の基板端部、又は、前記基板に貼り付けられた前記感光材料層の感光材料層端部を検出する端部検出部と、
前記端部検出部による前記基板端部又は前記感光材料層端部の検出タイミングに従い、前記基板端部及び前記感光材料層端部を含む画像を撮影する撮影部と、
前記撮影部によって撮影された前記画像を処理し、前記基板に対する前記感光材料層の貼り付け位置を算出する貼り付け位置算出部と、
を備えることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
【請求項２】
請求項１記載の製造装置において、
前記撮影部は、搬送機構によって搬送される前記感光性積層体における前記基板の前後両端部と、前記基板に貼り付けられた前記感光材料層の前後両端部との両方の画像を撮影し、
前記貼り付け位置算出部は、前記撮影部によって撮影された前記画像を処理し、前記基板に対する前記感光材料層の前後の貼り付け位置を算出することを特徴とする感光性積層体の製造装置。
【請求項３】
請求項１又は２記載の製造装置において、
前記貼り付け位置算出部により算出された前記貼り付け位置の良否を判定する判定部と、
前記判定部による判定結果を表示する表示部と、
を備えることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
【請求項４】
支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層されてなる長尺状感光性ウエブを送り出し、前記保護フイルムの剥離部分と残存部分との境界位置に対応する加工部位を、前記保護フイルムから前記感光材料層に至る部分に形成し、前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離した後、所定の間隔で供給される基板とともに前記長尺状感光性ウエブを加熱された一対の圧着ローラ間に連続的に送り出し、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置するとともに、露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付け、次いで、前記保護フイルムから前記支持体を剥離することで感光性積層体を製造する感光性積層体の製造方法において、
前記感光性積層体を構成する前記基板の基板端部、又は、前記基板に貼り付けられた前記感光材料層の感光材料層端部を検出するステップと、
前記端部検出部による前記基板端部又は前記感光材料層端部の検出タイミングに従い、前記基板端部及び前記感光材料層端部を含む画像を撮影するステップと、
前記撮影部によって撮影された前記画像を処理し、前記基板に対する前記感光材料層の貼り付け位置を算出するステップと、
からなることを特徴とする感光性積層体の製造方法。
【請求項５】
請求項４記載の製造方法において、
算出された前記貼り付け位置の良否を判定するステップと、
前記判定の結果を表示するステップと、
からなることを特徴とする感光性積層体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板と、支持体上に感光材料層が設けられた長尺状感光性ウエブとを一対の圧着ローラ間に送り出し、前記感光材料層を前記基板に貼り付けることで感光性積層体を製造する感光性積層体の製造装置及び製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、ＰＤＰパネル用基板は、感光性樹脂層（感光材料層）を有する感光性シート体（感光性ウエブ）を基板表面に貼り付けて構成される。感光性シート体は、例えば、可撓性プラスチック支持体上に感光性樹脂層と保護フイルムとが順に積層されている。
【０００３】
この種の感光性シート体の貼り付けに使用される製造装置は、通常、ガラス基板や樹脂基板等の基板を所定の間隔ずつ離間させてラミネーションローラ間に搬送するとともに、前記基板に貼り付けられる感光性樹脂層の範囲に対応する保護フイルムを剥離した感光性シート体を前記ラミネーションローラ間に搬送する方式が採用されている。
【０００４】
例えば、特許文献１に開示されている製造装置では、図９に示すように、ロール１から感光性シート体２を繰り出してハーフカッタ装置３に供給し、感光性シート体２を構成する支持体上に積層されている保護フイルム及び感光性樹脂層を所定の間隔で切断する。次いで、保護フイルム除去部４に前記感光性シート体２を供給し、基板５の貼り付け範囲に対応する保護フイルムを粘着テープ等を用いて剥離した後、熱圧着ローラ６ａ、６ｂ間に供給する。一方、熱圧着ローラ６ａ、６ｂ間には、加熱された基板５が搬入され、保護フイルムが剥離されることで露出した感光性樹脂層を介して感光性シート体２が基板５の下面部に加熱圧着される。感光性シート体２が加熱圧着された基板５は、熱圧着ローラ６ａ、６ｂから搬出された後、分離装置７に供給され、基板５間の感光性シート体２が切断されることで感光性積層体が製造される。
【０００５】
【特許文献１】特許第３３１６０９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、感光性シート体２は、可撓性の支持体の上に感光性樹脂層及び保護フイルムを積層して形成したものであり、テンションを付与した状態で搬送されるため、感光性シート体２に延びが発生する。特に、熱圧着ローラ６ａ、６ｂは、感光性シート体２を加熱して基板５に貼り付けるため、熱圧着ローラ６ａ、６ｂの近傍での延びが大きい。従って、感光性シート体２に対する基板５の位置を調整し、基板５の所定範囲に保護フイルムが剥離された感光性樹脂層を正確に位置決めして貼り付ける必要がある。
【０００７】
また、製造された感光性積層体は、基板５の所定の位置に感光性シート体２が貼り付けられているか否かを検査する必要がある。この場合、例えば、図１０に示すように、基板５の前後の側端部と感光性シート体２の側端部との距離Ｌ１ｆ、Ｌ１ｂを測定するとともに、基板５の前端部及び後端部と感光性シート体２に形成されたハーフカット部Ｈｆ、Ｈｂとの距離Ｌ２ｆ、Ｌ２ｂを測定し、これらの距離Ｌ１ｆ、Ｌ１ｂ及びＬ２ｆ、Ｌ２ｂが許容範囲内にあるか否かを判定することで、感光性積層体の品質保証を行っている。
【０００８】
しかしながら、従来の検査方法では、基板５に対する感光性シート体２の貼り付け位置を人手により計測していたため、計測に多大な時間を要するだけでなく、計測ミスを惹起するおそれがあり、製造された全ての感光性積層体を効率的且つ確実に検査することが極めて困難であった。
【０００９】
本発明は、基板に貼り付けられた感光材料層の位置を効率的且つ高精度に計測して、製造された感光性積層体の品質保証を行うことのできる感光性積層体の製造装置及び製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層されてなる長尺状感光性ウエブを送り出し、前記保護フイルムの剥離部分と残存部分との境界位置に対応する加工部位を、前記保護フイルムから前記感光材料層に至る部分に形成し、前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離した後、所定の間隔で供給される基板とともに前記長尺状感光性ウエブを加熱された一対の圧着ローラ間に連続的に送り出し、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置するとともに、露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付け、次いで、前記保護フイルムから前記支持体を剥離することで感光性積層体を製造する感光性積層体の製造装置において、
前記感光性積層体を構成する前記基板の基板端部、又は、前記基板に貼り付けられた前記感光材料層の感光材料層端部を検出する端部検出部と、
前記端部検出部による前記基板端部又は前記感光材料層端部の検出タイミングに従い、前記基板端部及び前記感光材料層端部を含む画像を撮影する撮影部と、
前記撮影部によって撮影された前記画像を処理し、前記基板に対する前記感光材料層の貼り付け位置を算出する貼り付け位置算出部と、
を備えることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明は、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層されてなる長尺状感光性ウエブを送り出し、前記保護フイルムの剥離部分と残存部分との境界位置に対応する加工部位を、前記保護フイルムから前記感光材料層に至る部分に形成し、前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離した後、所定の間隔で供給される基板とともに前記長尺状感光性ウエブを加熱された一対の圧着ローラ間に連続的に送り出し、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置するとともに、露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付け、次いで、前記保護フイルムから前記支持体を剥離することで感光性積層体を製造する感光性積層体の製造方法において、
前記感光性積層体を構成する前記基板の基板端部、又は、前記基板に貼り付けられた前記感光材料層の感光材料層端部を検出するステップと、
前記端部検出部による前記基板端部又は前記感光材料層端部の検出タイミングに従い、前記基板端部及び前記感光材料層端部を含む画像を撮影するステップと、
前記撮影部によって撮影された前記画像を処理し、前記基板に対する前記感光材料層の貼り付け位置を算出するステップと、
からなることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明では、基板端部又は基板に貼り付けられた感光材料層の端部を検出し、その検出タイミングに従って基板端部及び感光材料層端部を含む画像を撮影して、感光材料層の基板に対する貼り付け位置を算出することにより、製造された感光性積層体の品質検査を容易且つ正確に行うことができる。なお、品質検査の結果を表示することにより、不良品が出荷されてしまう事態を事前に回避することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
図１は、本実施形態に係る感光性積層体の製造装置２０の概略構成図であり、この製造装置２０は、液晶又は有機ＥＬ用カラーフィルタ等の製作工程で、所定の幅寸法からなる長尺状感光性ウエブ２２の感光性樹脂層２８（後述する）をガラス基板２４に熱転写（ラミネート）する作業を行う。
【００１４】
図２は、製造装置２０に使用される長尺状感光性ウエブ２２の断面図である。この長尺状感光性ウエブ２２は、可撓性ベースフイルム（支持体）２６と、感光性樹脂層（感光材料層）２８と、保護フイルム３０とを積層して構成される。
【００１５】
図１に示すように、製造装置２０は、長尺状感光性ウエブ２２をロール状に巻回した感光性ウエブロール２３を収容し、感光性ウエブロール２３から前記長尺状感光性ウエブ２２を送り出し可能なウエブ送り出し機構３２と、送り出された長尺状感光性ウエブ２２の保護フイルム３０及び感光性樹脂層２８の幅方向に切断可能な２個所の境界部分であるハーフカット部位（加工部位）３４ａ、３４ｂ（図２参照）を形成する加工機構３６（加工部）と、一部に非接着部３８ａを有する接着ラベル３８（図３参照）を保護フイルム３０に接着させるラベル接着機構４０とを備える。
【００１６】
ラベル接着機構４０の下流には、長尺状感光性ウエブ２２をタクト送りから連続送りに変更するためのリザーバ機構４２と、長尺状感光性ウエブ２２から保護フイルム３０を所定の長さ間隔で剥離させる剥離機構４４と、ガラス基板２４を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に供給する基板供給機構４５と、前記保護フイルム３０の剥離により露出した感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に一体的に貼り付ける貼り付け機構４６とが配設される。
【００１７】
貼り付け機構４６における貼り付け位置の上流近傍には、ハーフカット部位３４ａ、３４ｂを含む長尺状感光性ウエブ２２の画像を撮影する撮影部４７が配設される。製造装置２０は、撮影部４７によって撮影されたハーフカット部位３４ａ、３４ｂの画像に基づき、貼り付け機構４６に対するハーフカット部位３４ａ、３４ｂの位置ずれ量を算出し、長尺状感光性ウエブ２２の送り量の補正を行う。
【００１８】
ウエブ送り出し機構３２の下流近傍には、略使用済みの長尺状感光性ウエブ２２の後端と、新たに使用される長尺状感光性ウエブ２２の先端とを貼り付ける貼り付け台４９が配設される。貼り付け台４９の下流には、感光性ウエブロール２３の巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端末位置検出器５１が配設される。ここで、フイルム端末位置調整は、ウエブ送り出し機構３２を幅方向に移動させて行うが、ローラを組み合わせた位置調整機構を付設して行ってもよい。
【００１９】
加工機構３６は、ウエブ送り出し機構３２に収容巻回されている感光性ウエブロール２３のロール径を算出するためのローラ対５０の下流に配置される。加工機構３６は、距離Ｍだけ離間した一対の丸刃５２ａ、５２ｂを備える。丸刃５２ａ、５２ｂは、長尺状感光性ウエブ２２の幅方向に走行して、保護フイルム３０の残存部分Ｂを挟んだ所定の２個所の位置にハーフカット部位３４ａ、３４ｂを形成する（図２参照）。
【００２０】
図２に示すように、ハーフカット部位３４ａ、３４ｂは、少なくとも保護フイルム３０及び感光性樹脂層２８を切断する必要があり、実際上、可撓性ベースフイルム２６まで切り込むように丸刃５２ａ、５２ｂの切り込み深さが設定される。丸刃５２ａ、５２ｂは、回転することなく固定された状態で、長尺状感光性ウエブ２２の幅方向に移動してハーフカット部位３４ａ、３４ｂを形成する方式や、前記長尺状感光性ウエブ２２上を滑ることなく回転しながら前記幅方向に移動して前記ハーフカット部位３４ａ、３４ｂを形成する方式が採用される。このハーフカット部位３４ａ、３４ｂは、丸刃５２ａ、５２ｂに代替して、例えば、レーザ光や超音波を用いたカット方式の他、ナイフ刃、押し切り刃（トムソン刃）等で形成する方式を採用してもよい。
【００２１】
ハーフカット部位３４ａ、３４ｂは、感光性樹脂層２８をガラス基板２４に貼り付けた際、例えば、前記ガラス基板２４の両端部からそれぞれ１０ｍｍずつ内側に入り込んだ位置となるように設定される。なお、ガラス基板２４間の保護フイルム３０の残存部分Ｂは、後述する貼り付け機構４６において感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。
【００２２】
ラベル接着機構４０は、ガラス基板２４間に対応して保護フイルム３０の残存部分Ｂを残すため、ハーフカット部位３４ｂ側の剥離部分Ａとハーフカット部位３４ａ側の剥離部分Ａとを連結する接着ラベル３８を供給する。
【００２３】
図３に示すように、接着ラベル３８は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム３０と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル３８は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部（微粘着を含む）３８ａを有するとともに、この非接着部３８ａの両側、すなわち、前記接着ラベル３８の長手方向両端部に、前方の剥離部分Ａに接着される第１接着部３８ｂと、後方の剥離部分Ａに接着される第２接着部３８ｃとを有する。
【００２４】
図１に示すように、ラベル接着機構４０は、最大７枚の接着ラベル３８を所定間隔ずつ離間して貼り付け可能な吸着パッド５４ａ〜５４ｇを備えるとともに、前記吸着パッド５４ａ〜５４ｇによる前記接着ラベル３８の貼り付け位置には、長尺状感光性ウエブ２２を下方から保持するための受け台５６が昇降自在に配置される。
【００２５】
リザーバ機構４２は、上流側の長尺状感光性ウエブ２２のタクト搬送と、下流側の前記長尺状感光性ウエブ２２の連続搬送との速度差を吸収するために、矢印方向に揺動自在なダンサーローラ６０を備える。
【００２６】
リザーバ機構４２の下流に配置される剥離機構４４は、長尺状感光性ウエブ２２の送り出し側のテンション変動を遮断し、ラミネート時のテンションを安定化させるためのサクションドラム６２を備える。サクションドラム６２の近傍には、剥離ローラ６３が配置されるとともに、この剥離ローラ６３を介して長尺状感光性ウエブ２２から鋭角の剥離角で剥離される保護フイルム３０は、残存部分Ｂを除いて保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる。
【００２７】
剥離機構４４の下流側には、長尺状感光性ウエブ２２にテンションを付与可能なテンション制御機構６６が配設される。テンション制御機構６６は、シリンダ６８の駆動作用下にテンションダンサー７０が揺動変位することにより、長尺状感光性ウエブ２２のテンションが調整可能である。なお、テンション制御機構６６は、必要に応じて使用すればよく、削除することもできる。
【００２８】
基板供給機構４５は、ガラス基板２４を挟持するように配設される基板加熱部（例えば、ヒータ）７４と、このガラス基板２４を矢印Ｙ方向に搬送する搬送部７６と、ガラス基板２４の後端部の停止位置を検出する停止位置検出センサ７８とを備える。基板加熱部７４では、ガラス基板２４の温度を常時監視し、異常時には、搬送部７６の停止や警報を発生するとともに、異常情報を発信して異常なガラス基板２４を後工程でＮＧ排出、品質管理又は生産管理等に活用することができる。搬送部７６には、図示しないエア浮上プレートが配設され、ガラス基板２４が浮上されて矢印Ｙ方向に搬送される。ガラス基板２４の搬送は、ローラコンベアでも行える。
【００２９】
ガラス基板２４の温度測定は、基板加熱部７４内又は貼り付け位置直前で行うことが好ましい。測定方法としては、接触式（例えば、熱電対）の他、非接触式であってもよい。
【００３０】
貼り付け機構４６は、上下に配設されるとともに、所定温度に加熱されるゴムローラ（圧着ローラ）８０ａ、８０ｂを備える。ゴムローラ８０ａ、８０ｂには、バックアップローラ８２ａ、８２ｂが摺接する。一方のバックアップローラ８２ｂは、ローラクランプ部８３を構成する加圧シリンダ８４によりゴムローラ８０ｂ側に押圧される。
【００３１】
ガラス基板２４は、貼り付け機構４６から矢印Ｙ方向に延在する搬送路を構成する複数の基板搬送ローラ９０ａ〜９０ｄによって搬送される。基板搬送ローラ９０ｂ、９０ｃ間には、ガラス基板２４間の長尺状感光性ウエブ２２を切断することで、ガラス基板２４に感光材料層が貼り付けられた感光性積層体２４ａを分離するカッタ機構４８が配設される。
【００３２】
基板搬送ローラ９０ｄの下流側には、複数の感光性積層体２４ａを積層した状態でストックするストッカ９４が配置されており、このストッカ９４には、カッタ機構４８により分離された感光性積層体２４ａがロボット９６によって移載される。ストッカ９４に隣接して、感光性積層体２４ａに残存する可撓性ベースフイルム２６を剥離する剥離部９８が配置される。剥離部９８は、剥離ローラ１００を有し、剥離ローラ１００を介して剥離された可撓性ベースフイルム２６が巻き取りローラ１０２により巻き取られる。
【００３３】
剥離部９８に続いて、可撓性ベースフイルム２６が剥離された感光性積層体２４ｂを構成するガラス基板２４に対する感光性樹脂層２８の貼り付け位置を検出する検出部１０４が配置される。検出部１０４は、図４に示すように、搬送されるガラス基板２４の前端部及び後端部、又は、ガラス基板２４に貼り付けられた感光性樹脂層２８の前端部及び後端部を検出するフォトセンサ１０６（端部検出部）と、ガラス基板２４の端部画像及び感光性樹脂層２８の端部画像を撮影するＣＣＤカメラ１０８ａ、１０８ｂ（撮影部）とを備える。この場合、ＣＣＤカメラ１０８ａ、１０８ｂは、図５及び図６に示すように、ガラス基板２４の端部と感光性樹脂層２８の端部とが同時に撮影されるよう、各撮影域１０９ａ、１０９ｂが設定される。
【００３４】
なお、以上のように構成される製造装置２０では、ウエブ送り出し機構３２、加工機構３６、ラベル接着機構４０、リザーバ機構４２、剥離機構４４、テンション制御機構６６並びに撮影部４７が、貼り付け機構４６の上方に配置されているが、これとは逆に、前記ウエブ送り出し機構３２から前記撮影部４７までを前記貼り付け機構４６の下方に配置し、長尺状感光性ウエブ２２の上下が逆になって感光性樹脂層２８をガラス基板２４の下側に貼り付ける構成であってもよく、また、長尺状感光性ウエブ２２の搬送路を直線状に構成してもよい。
【００３５】
製造装置２０内は、仕切り壁１１０を介して第１クリーンルーム１１２ａと第２クリーンルーム１１２ｂとに仕切られる。第１クリーンルーム１１２ａには、ウエブ送り出し機構３２からテンション制御機構６６までが収容され、第２クリーンルーム１１２ｂには、撮影部４７以降の機構が収容される。第１クリーンルーム１１２ａと第２クリーンルーム１１２ｂとは、貫通部１１４を介して連通する。
【００３６】
図７は、検出部１０４の制御回路ブロックを示す。検出部１０４は、フォトセンサ１０６がガラス基板２４又は感光性樹脂層２８の端部を検出した検出タイミングに従ってＣＣＤカメラ１０８ａ、１０８ｂが撮影した画像を処理する画像処理部１２０と、処理された画像情報に基づいてガラス基板２４に対する感光性樹脂層２８の貼り付け位置を算出する貼り付け位置算出部１２２と、算出された貼り付け位置が適正位置であるか否かを判定する判定部１２４と、判定部１２４による判定結果を表示する表示部１２６とを備える。
【００３７】
次に、以上のように構成される製造装置２０の動作について、本発明に係る製造方法との関連で説明する。
【００３８】
先ず、ウエブ送り出し機構３２に取り付けられている感光性ウエブロール２３から長尺状感光性ウエブ２２が送り出される。長尺状感光性ウエブ２２は、加工機構３６に搬送される。
【００３９】
加工機構３６では、丸刃５２ａ、５２ｂが長尺状感光性ウエブ２２の幅方向に移動して、前記長尺状感光性ウエブ２２を保護フイルム３０から感光性樹脂層２８乃至可撓性ベースフイルム２６まで切り込み、保護フイルム３０の残存部分Ｂの幅Ｍだけ離間するハーフカット部位３４ａ、３４ｂを形成する（図２参照）。これにより、長尺状感光性ウエブ２２には、残存部分Ｂを挟んで前方の剥離部分Ａと後方の剥離部分Ａとが設けられる（図２参照）。
【００４０】
なお、残存部分Ｂの幅Ｍは、長尺状感光性ウエブ２２が延びないことを前提として、貼り付け機構４６のゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に供給されるガラス基板２４間の距離を基準として設定される。また、幅Ｍで形成される一組のハーフカット部位３４ａ、３４ｂは、ガラス基板２４に貼り付けられる感光性樹脂層２８の基準長さの間隔で長尺状感光性ウエブ２２に形成される。
【００４１】
次いで、長尺状感光性ウエブ２２は、ラベル接着機構４０に搬送されて、保護フイルム３０の所定の貼り付け部位が受け台５６上に配置される。ラベル接着機構４０では、所定枚数の接着ラベル３８が吸着パッド５４ｂ〜５４ｇにより吸着保持され、各接着ラベル３８が保護フイルム３０の残存部分Ｂを跨いで、前方の剥離部分Ａと後方の剥離部分Ａとに一体的に接着される（図３参照）。
【００４２】
例えば、７枚の接着ラベル３８が接着された長尺状感光性ウエブ２２は、図１に示すように、リザーバ機構４２を介して送り出し側のテンション変動を防いだ後、剥離機構４４に連続的に搬送される。剥離機構４４では、長尺状感光性ウエブ２２の可撓性ベースフイルム２６がサクションドラム６２に吸着保持されるとともに、保護フイルム３０が残存部分Ｂを残して前記長尺状感光性ウエブ２２から剥離される。この保護フイルム３０は、剥離ローラ６３を介して剥離されて保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる（図１参照）。
【００４３】
剥離機構４４の作用下に、保護フイルム３０が残存部分Ｂを残して可撓性ベースフイルム２６から剥離された後、長尺状感光性ウエブ２２は、テンション制御機構６６によってテンション調整が行われ、次いで、撮影部４７において、所定の撮影タイミングでハーフカット部位３４ａ、３４ｂを含む長尺状感光性ウエブ２２の画像が撮影される。
【００４４】
撮影部４７を通過した長尺状感光性ウエブ２２は、貼り付け機構４６に搬送されることで、ガラス基板２４に対する感光性樹脂層２８の転写処理（ラミネート）が行われる。この場合、撮影部４７によって撮影されたハーフカット部位３４ａ、３４ｂの画像に基づき、貼り付け機構４６におけるハーフカット部位３４ａ、３４ｂの位置が調整される。
【００４５】
貼り付け機構４６では、当初、ゴムローラ８０ａ、８０ｂが離間した状態に設定されており、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ間の所定位置に長尺状感光性ウエブ２２のハーフカット部位３４ａが位置決めされた状態において、長尺状感光性ウエブ２２の搬送が一旦停止される。この状態において、基板供給機構４５を構成する基板加熱部７４によって所定温度に加熱されたガラス基板２４の先端部が搬送部７６によってゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に搬入されると、加圧シリンダ８４の作用下にバックアップローラ８２ｂ及びゴムローラ８０ｂが上昇し、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ間にガラス基板２４及び長尺状感光性ウエブ２２が所定のプレス圧力で挟み込まれる。なお、ゴムローラ８０ａ、８０ｂは、所定のラミネート温度に加熱されている。
【００４６】
次いで、ゴムローラ８０ａ、８０ｂが回転し、ガラス基板２４及び長尺状感光性ウエブ２２が矢印Ｙ方向に搬送される。この結果、感光性樹脂層２８が加熱溶融されてガラス基板２４に転写（ラミネート）される。
【００４７】
なお、ラミネート条件としては、速度が１．０ｍ／ｍｉｎ〜１０．０ｍ／ｍｉｎ、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの温度が８０℃〜１４０℃、前記ゴムローラ８０ａ、８０ｂのゴム硬度が４０度〜９０度、該ゴムローラ８０ａ、８０ｂのプレス圧（線圧）が５０Ｎ／ｃｍ〜４００Ｎ／ｃｍである。
【００４８】
ガラス基板２４に対して長尺状感光性ウエブ２２の一枚分のラミネートが終了すると、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの回転が停止される一方、長尺状感光性ウエブ２２がラミネートされたガラス基板２４の先端部が基板搬送ローラ９０ａによりクランプされる。このとき、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ間の所定位置には、ハーフカット部位３４ｂが配置される。
【００４９】
そして、ゴムローラ８０ｂが、ゴムローラ８０ａから離間する方向に退避してクランプが解除されるとともに、基板搬送ローラ９０ａの回転が低速で再び開始され、長尺状感光性ウエブ２２がガラス基板２４にラミネートされた感光性積層体が矢印Ｙ方向に保護フイルム３０の残存部分Ｂの幅Ｍに対応する距離だけ搬送され、次のハーフカット部位３４ａがゴムローラ８０ａの下方付近の所定位置に搬送された後、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの回転が停止される。なお、長尺状感光性ウエブ２２をハーフカット部位３４ａ、３４ｂ間だけ搬送する処理を、以下において「基板間送り」という。
【００５０】
一方、前記の状態において、基板供給機構４５を介して次なるガラス基板２４が貼り付け位置に向かって搬送される。以上の動作が繰り返されることにより、感光性積層体が連続的に製造される。
【００５１】
その際、感光性積層体は、それぞれの端部が図２に示す保護フイルム３０の残存部分Ｂによって覆われている。従って、感光性樹脂層２８がガラス基板２４に転写される際、ゴムローラ８０ａ、８０ｂが前記感光性樹脂層２８により汚れることがない。
【００５２】
貼り付け機構４６によって感光性樹脂層２８が貼り付けられたガラス基板２４は、貼り付け機構４６で長尺状感光性ウエブ２２が基板間送りされた後、一旦停止状態にあるとき、基板搬送ローラ９０ｂ、９０ｃ間に配設されているカッタ機構４８によってガラス基板２４間の長尺状感光性ウエブ２２が切断され、感光性積層体２４ａとされる。なお、この感光性積層体２４ａには、保護フイルム３０が残存している。
【００５３】
分離された感光性積層体２４ａは、ロボット９６によって一旦ストッカ９４に積層される。次いで、ストッカ９４に積層された感光性積層体２４ａは、剥離部９８に移載された後、剥離ローラ１００を介して保護フイルム３０が感光性積層体２４ａから剥離されることで、ガラス基板２４に感光性樹脂層２８のみが貼り付けられた感光性積層体２４ｂが製造される。なお、感光性積層体２４ａから剥離された保護フイルム３０は、巻き取りローラ１０２により巻き取られる。
【００５４】
ここで、長尺状感光性ウエブ２２は、所定のテンションが付与された状態で供給されるとともに、貼り付け機構４６において加熱されてガラス基板２４に貼り付けられるため、延びが発生することになる。この場合、長尺状感光性ウエブ２２の延び量によっては、ガラス基板２４に対する感光性樹脂層２８の貼り付け位置が不適切となるおそれがある。
【００５５】
そこで、剥離部９８の下流側に配置された検出部１０４は、感光性積層体２４ｂにおける感光性樹脂層２８の貼り付け位置の検出を行う。
【００５６】
先ず、図４に示すように、検出部１０４を構成するフォトセンサ１０６が、搬送されるガラス基板２４の前端部又はガラス基板２４に貼り付けられた感光性樹脂層２８の前端部を検出すると、端部検出信号をＣＣＤカメラ１０８ａ、１０８ｂに出力する。ＣＣＤカメラ１０８ａ、１０８ｂは、前記端部検出信号に従い、ガラス基板２４の撮影域１０９ａ、１０９ｂの画像を撮影する。この場合、撮影域１０９ａ、１０９ｂには、ガラス基板２４の前端コーナ部分及び感光性樹脂層２８の前端コーナ部分の画像が含まれている。
【００５７】
画像処理部１２０は、ＣＣＤカメラ１０８ａ、１０８ｂによって撮影された画像を処理し、ガラス基板２４の前端コーナ部分及び感光性樹脂層２８の前端コーナ部分を特定する。貼り付け位置算出部１２２は、特定された各コーナ部分の位置の情報に基づき、前端部におけるガラス基板２４の側部と感光性樹脂層２８の側部との距離Ｌ１ｆ、及び、ガラス基板２４の前端部と感光性樹脂層２８の前端部との距離Ｌ２ｆを算出する（図５参照）。判定部１２４は、算出された距離Ｌ１ｆ、Ｌ２ｆを予め設定した許容距離と比較し、距離Ｌ１ｆ、Ｌ２ｆが許容範囲内にあるか否かを判定する。判定結果は、表示部１２６に表示されることで、当該感光性積層体２４ｂの前端側における感光性樹脂層２８の貼り付け状態を作業者に報知することができる。
【００５８】
同様にして、フォトセンサ１０６がガラス基板２４の後端部又はガラス基板２４に貼り付けられた感光性樹脂層２８の後端部を検出したタイミングでＣＣＤカメラ１０８ａ、１０８ｂにより画像が撮影され、後端部におけるガラス基板２４と感光性樹脂層２８との距離Ｌ１ｂ、Ｌ２ｂが算出され、その算出結果に基づく判定結果が表示部１２６に表示される（図６参照）。
【００５９】
以上のようにして、ガラス基板２４に対する感光性樹脂層２８の貼り付け状態が自動的に検出され、その判定結果が表示部１２６に表示される。従って、作業者は、表示された判定結果に基づき、製造装置２０によって製造された全ての感光性積層体２４ｂの品質検査を行うことができる。
【００６０】
図８は、他の実施形態である製造装置２００の概略構成図である。なお、図１に示す製造装置２０と同一の構成要素には、同一の参照符号を付し、その説明を省略する。
【００６１】
製造装置２００では、貼り付け機構４６によって長尺状感光性ウエブ２２が貼り付けられたガラス基板２４が、分断されることなく冷却部２０２に搬送されて冷却された後、剥離部２０４に供給される。剥離部２０４では、プッシャ２０６によってガラス基板２４間の長尺状感光性ウエブ２２が上方向に押し上げられることで、保護フイルム３０の剥離が容易な状態とされた後、保護フイルム３０が感光性樹脂層２８から剥離され、巻き取りローラ２０８により巻き取られる。これにより、ガラス基板２４間が分離され、感光性積層体２４ｂが製造される。製造された感光性積層体２４ｂは、製造装置２０の場合と同様に、検出部１０４によってガラス基板２４及び感光性樹脂層２８の端部の位置が検出され、貼り付け位置の算出及び判定処理が行われる。
【００６２】
なお、上述した実施形態では、１本の感光性ウエブロール２３から供給される長尺状感光性ウエブ２２をガラス基板２４に貼り付けることにより、いわゆる、一丁張りの感光性積層体２４ｂを製造するように構成しているが、例えば、２本の感光性ウエブロールや、３本以上の感光性ウエブロールから長尺状感光性ウエブ２２を供給してガラス基板２４に貼り付け、いわゆる、２丁張り、３丁張り等の感光性積層体２４ｂを製造するように構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本実施形態に係る製造装置の概略構成図である。
【図２】本実施形態に係る製造装置に使用される長尺状感光性ウエブの断面図である。
【図３】長尺状感光性ウエブに接着ラベルが接着された状態の説明図である。
【図４】端部検出部及び撮影部の配置関係説明図である。
【図５】基板及び感光材料層の前端部の撮影状態の説明図である。
【図６】基板及び感光材料層の後端部の撮影状態の説明図である。
【図７】検出部の制御回路ブロック図である。
【図８】他の実施形態に係る製造装置の概略構成図である。
【図９】従来技術に係る製造装置の概略構成図である。
【図１０】基板及び感光性シート体の位置関係の説明図である。
【符号の説明】
【００６４】
２０、２００…製造装置
２２…長尺状感光性ウエブ
２４…ガラス基板
２４ａ、２４ｂ…感光性積層体
２６…可撓性ベースフイルム
２８…感光性樹脂層
３０…保護フイルム
３４ａ、３４ｂ…ハーフカット部位
３６…加工機構
４５…基板供給機構
４６…貼り付け機構
４７…撮影部
４８…カッタ機構
８０ａ、８０ｂ…ゴムローラ
９８、２０４…剥離部
１０４…検出部
１０６…フォトセンサ
１０８ａ、１０８ｂ…ＣＣＤカメラ
１２０…画像処理部
１２２…貼り付け位置算出部
１２４…判定部
１２６…表示部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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