(57)【要約】【課題】ノズルプレートの端面が連通孔プレートやザグリプレートの端面よりはみ出さないようにすることで、ワイピング時や記録媒体のジャムによるザグリプレートの剥離を防止することを課題とする。【解決手段】ノズルプレート１８に積層するザグリプレート１６及びプールプレート２０の外形よりも、ノズルプレート１８の外形を小さくする。このように、打ち抜き加工で、ノズルプレート１８をザグリプレート１６及びプールプレート２０の外形よりも小さくカットすることで、ノズルプレート１８にザグリプレート１６が成形されるプレート６４とプールプレート２０が成形されるプレート６６を積層して、エッチングによってザグリプレート１６及びプールプレート２０を成形すれば、プールプレート２０及びザグリプレート１６の端面からノズルプレート１８の端面がはみ出ることがない。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出するノズルが形成され、打ち抜き加工によって成形されたノズルプレートに、前記ノズルと連通される連通孔が形成され、前記ノズルプレートに積層されてエッチングによって成形された連通孔プレートと、前記ノズルプレートの前記連通孔プレートが積層された側と反対側の面に積層され、前記ノズル周りにザグリを形成するザグリプレートと、を有して構成される積層ノズルプレートにおいて、
前記ノズルプレートの外形は、前記連通孔プレート及び前記ノズルプレートの外形よりも小さくされていることを特徴とする積層ノズルプレート。
【請求項２】
請求項１に記載の積層ノズルプレートを備えたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
液滴を吐出するノズルが形成されたノズルプレートと、前記ノズルと連通される連通孔が形成された連通孔プレートと、前記ノズル周りにザグリを形成するザグリプレートと、が積層された積層ノズルプレートの製造方法であって、
前記連通孔プレート及び前記ノズルプレートの外形よりも小さい外形の前記ノズルプレートを打ち抜く打ち抜き工程と、
前記ノズルプレートの一方の面にプレートを接合する接合工程と、
前記ノズルプレートの他方の面に保護プレートを接合する接合工程と、
前記プレートをエッチングして前記連通孔プレートを成形するエッチング工程と、
前記保護プレートをエッチングして、前記連通孔プレートと同じ外形のザグリプレートを成形するエッチング工程と
前記ノズルプレートに前記ノズルを形成するノズル加工工程と、
を有することを特徴とする積層ノズルプレートの製造方法。
【請求項４】
プレートを打ち抜き加工して前記ノズルプレートを多数個取りするとき、前記ノズルプレートを連結する連結部材を切り残すことを特徴とする請求項３に記載の積層ノズルプレートの製造方法。
【請求項５】
前記ノズルプレートと前記連結部材の連結部は、前記連通孔プレートの外縁より凹んでいることを特徴とする請求項４に記載の積層ノズルプレートの製造方法。
【請求項６】
前記連結部材は、前記ノズルから液滴が吐出されて画像が記録される記録媒体の搬送方向と交差する方向に沿って設けられていることを特徴とする請求項４又は請求項５に記載の積層ノズルプレートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴を吐出して画像を記録する液滴吐出ヘッド及び、この液滴吐出ヘッドの構成部材である積層ノズルプレート、及び、この積層ノズルプレートの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
複数のノズルからインク滴を吐出し、記録媒体に文字や画像等を印刷するインクジェット記録装置において、ノズルからインク滴を吐出した際に、インク滴がノズル周囲に付着するのを防ぐため、ノズル表面に撥水膜を施すことが行われている。しかし、この撥水膜は、用紙の浮き上がり等による擦れや、ノズル面のメンテナンスのためのワイピング等による機械的な摩擦によって破壊されることがある。これにより、インク吐出方向が傾いたり、インク滴径及び速度にばらつきが生じるなど、インクの吐出性能が悪化する。
【０００３】
この対策として、例えば、ノズルプレートに形成されたノズルの周囲に段差を設けたインクジェット記録ヘッドが提案されている。つまり、ノズルを形成したノズルプレートに、ノズルに対応した開孔を有する金属プレートを接着することで、ノズルの周囲に段差を形成し、ノズル周辺の撥水膜に用紙が接触しないようにしている。
【０００４】
このようなインクジェット記録装置において、インクジェット記録ヘッドを構成する積層ノズルプレート１００は、次のようにして製造される。
【０００５】
まず、図７（Ａ）に示すように、ノズルプレートが成形されるプレート１０２の一方の面に、ザグリプレートが成形されるプレート１０４を接合し、他方の面に、連通孔プレート（プールプレート）が成形されるプレート１０６を積層する。なお、プレート１０２には、ポリイミド等が用いられ、プレート１０４、１０６にはＳＵＳが用いられる。
【０００６】
次に、図７（Ｂ）に示すように、プレート１０４、１０６の表面にレジスト１０８を形成し、マスクを通して積層ノズルプレート１００の外形形状のパターンを形成する。そして、このパターンに従ってプレート１０４、１０６をエッチングし、図７（Ｃ）に示すように、プレート１０２の両面に、それぞれザグリプレート１０４Ａ及びプールプレート１０６Ａを成形する。その後、ザグリプレート１０４Ａ及びプールプレート１０６Ａの外形に沿ってプレート１０２をカットして、ノズルプレート１０２Ａの両面にザグリプレート１０４Ａ及びプールプレート１０６Ａが積層された積層ノズルプレート１００を成形する。
【０００７】
このような製造工程において、プレート１０２をザグリプレート１０４Ａ及びプールプレート１０６Ａの外形に沿ってカットする際に、図７（Ｄ）に示すように、カッターの性能上、ノズルプレート１０２Ａのカット面（端面）が、ザグリプレート１０４Ａ及びプールプレート１０６Ａの端面よりもはみ出してしまう。
【０００８】
つまり、積層ノズルプレート１００の端面から、ノズルプレート１０２Ａの端面がはみ出した状態となる。このとき、ワイピング時や記録媒体のジャムによって、ザグリプレート１０４Ａが剥離してしまい、剥離したザグリプレート１０４によって記録媒体がジャムする、という問題が起こる。
【特許文献１】特許第３１０８７７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は上記問題を考慮し、ノズルプレートの端面が連通孔プレートやザグリプレートの端面よりはみ出さないようにすることで、ワイピング時や記録媒体のジャムによるザグリプレートの剥離を防止することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１に記載の本発明は、液滴を吐出するノズルが形成され、打ち抜き加工によって成形されたノズルプレートに、前記ノズルと連通される連通孔が形成され、前記ノズルプレートに積層されてエッチングによって成形された連通孔プレートと、前記ノズルプレートの前記連通孔プレートが積層された側と反対側の面に積層され、前記ノズル周りにザグリを形成するザグリプレートと、を有して構成される積層ノズルプレートにおいて、前記ノズルプレートの外形は、前記連通孔プレート及び前記ノズルプレートの外形よりも小さくされていることを特徴としている。
【００１１】
請求項１に記載の発明では、打ち抜き加工でノズルプレートを連通孔プレート及びザグリプレートの外形より小さくカットする。そして、ノズルプレートの両面にプレートを積層して、エッチングによって設計サイズの連通孔プレート及びザグリプレートを成形する。このため、連通孔プレート及びザグリプレートの端面からノズルプレートの端面がはみ出てしまうことがない。
【００１２】
したがって、ワイピング時や記録媒体のジャムによってザグリプレートが剥離されることがないので、剥離したザグリプレートに記録媒体が接触する、ということがなく、記録媒体のジャムの発生を抑えることができる。
【００１３】
請求項２に記載の本発明は、請求項１に記載の積層ノズルプレートを備えたことを特徴としている。
【００１４】
請求項２に記載の発明では、ノズルプレートの端面が、連通孔プレート及びザグリプレートの端面からはみ出していないため、ワイピング時や記録媒体のジャムによってザグリプレートが剥離されることがないので、剥離したザグリプレートに記録媒体が接触する、ということがなく、記録媒体のジャムの発生を抑えることができる。
【００１５】
請求項３に記載の本発明は、液滴を吐出するノズルが形成されたノズルプレートと、前記ノズルと連通される連通孔が形成された連通孔プレートと、前記ノズル周りにザグリを形成するザグリプレートと、が積層された積層ノズルプレートの製造方法であって、前記連通孔プレート及び前記ノズルプレートの外形よりも小さい外形の前記ノズルプレートを打ち抜く打ち抜き工程と、前記ノズルプレートの一方の面にプレートを接合する接合工程と、前記ノズルプレートの他方の面に保護プレートを接合する接合工程と、前記プレートをエッチングして前記連通孔プレートを成形するエッチング工程と、前記保護プレートをエッチングして、前記連通孔プレートと同じ外形のザグリプレートを成形するエッチング工程と前記ノズルプレートに前記ノズルを形成するノズル加工工程と、を有することを特徴としている。
【００１６】
請求項３に記載の発明では、打ち抜き加工でノズルプレートを連通孔プレート及びザグリプレートの外形よりも小さくカットする。そして、ノズルプレートの一方の面にプレートを接合し、他方の面に保護プレートを接合して、エッチングによって連通孔プレート及びザグリプレートを成形する。このため、連通孔プレート及びザグリプレートの端面からノズルプレートの端面がはみ出してしまうことがない。
【００１７】
請求項４に記載の本発明は、プレートを打ち抜き加工して前記ノズルプレートを多数個取りするとき、前記ノズルプレートを連結する連結部材を切り残すことを特徴としている。
【００１８】
請求項４に記載の発明では、プレートから複数のノズルプレートを打ち抜き加工するとき（ノズルプレートを多数個取りするとき）、ノズルプレートを連結する連結部材を切り残す。これにより、複数のノズルプレートが、連結部材によって連結されるので、ノズルプレートに連通孔プレートを接合する際に、各ノズルプレート毎に位置合わせする必要がないので、積層ノズルプレートを大量生産することができる。
【００１９】
請求項５に記載の本発明は、前記ノズルプレートと前記連結部材の連結部は、前記連通孔プレートの外縁より凹んでいることを特徴としている。
【００２０】
請求項５に記載の発明では、ノズルプレートと連結部材の連結部は、連通孔プレートの外縁より凹んでいる。これにより、連結部材をカットしてノズルプレートを個別化したとき、連結部材のカット部先端が連通孔プレートの外縁からはみ出さない。
【００２１】
請求項６に記載の本発明は、前記連結部材は、前記ノズルから液滴が吐出されて画像が記録される記録媒体の搬送方向と交差する方向に沿って設けられていることを特徴としている。
【００２２】
請求項６に記載の発明では、ノズルから液滴が吐出されて画像が記録される記録媒体の搬送方向と交差する方向に沿って、連結部材が設けられている。これにより、連結部材のカット部先端に記録媒体が接触することがないので、記録媒体のジャムの発生を抑えることができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明は上記構成としたので、ノズルプレートの端面が連通孔プレートやザグリプレートの端面よりはみ出さないようにすることで、ワイピング時や記録媒体のジャムによるザグリプレートの剥離を防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。図１は、本実施形態の積層ノズルプレート２２（図２参照）を有するインクジェット記録ヘッド１０を示す概略斜視図である。
【００２５】
図１に示すように、インクジェット記録ヘッド１０は、記録用紙Ｐの最大幅に対応する長さに設定されたヘッドバー１２を備えている。このヘッドバー１２は、図示しないインクジェット記録装置内の支持体によって固定支持されている。
【００２６】
ヘッドバー１２には、複数のヘッドユニット１４が一列に繋ぎ合わせて設けられている。そして、各ヘッドユニット１４で、図中の矢印Ａ方向に所定のピッチで搬送される記録用紙Ｐに、印字する構成とされている。つまり、ヘッドユニット１４の下方を一回通過することで、インクジェット記録ヘッド１０を走査させることなく記録用紙Ｐの全幅を印字することが可能とされている。
【００２７】
ここで、ヘッドユニット１４の構成について説明する。図２には、ヘッドユニット１４の断面図が示されている。
【００２８】
図２に示すように、ヘッドユニット１４は、ザグリプレート１６、ノズルプレート１８及びプールプレート２０で構成された積層ノズルプレート２２を備えている。
【００２９】
積層ノズルプレート２２を構成するプールプレート２０の上方には、連通孔プレート２４、２６、圧力室プレート２８及び振動板３０が位置合わせして積層され、接着剤等の接合手段によって接合されている。
【００３０】
ノズルプレート１８には、インクを吐出するノズル３２が形成されている。ノズルプレート１８に積層されたプールプレート２０には、ノズル３２と連通された連通孔３４が形成されている。
【００３１】
また、連通孔プレート２４、２６には、連通孔３６、３８がそれぞれ形成され、圧力室プレート２８には、圧力室４０が形成されている。ノズル３２、連通孔３４、及び連通孔３６、３８は、ノズルプレート１８、プールプレート２０及び連通孔プレート２４、２６が積層された状態で連通し、圧力室プレート２８に形成された圧力室４０に繋がっている。
【００３２】
また、プールプレート２０には、インクプール４２が形成され、図示しないインク供給孔から供給されたインクが貯留されている。また、連通孔プレート２４、２６には、それぞれインクプール４２と連結するように供給孔４４、４６が形成されている。インクプール４２、供給孔４４、４６及び圧力室４０は、プールプレート２０と連通孔プレート２４、２６と圧力室プレート２８が積層された状態で連通している。
【００３３】
なお、図示は省略するが、振動板３０の上部には、圧力室４０の上方に圧力発生手段としての単板型の圧電素子が取り付けられており、フレキシブル配線基板から駆動電圧が印加されるように構成されている。
【００３４】
一方、ノズルプレート１８のインク吐出面側に取り付けられたザグリプレート１６には、ノズル３２より一回り大きい円状の開口部４８が形成されており、この開口部４８からノズル３２が露出している。つまり、ノズル３２の周囲には、開口部４８が形成されたザグリプレート１６が設けられることで、段差が設けられた状態とされ、印字時に浮き上がった用紙Ｐが、ノズル３２や、ノズルプレート１８のノズル面に接触するのを防ぐ構成とされている。これにより、記録用紙Ｐのジャム等によるノズル３２の損傷が防止される。なお、ザグリプレート１６の表面には、撥水膜５０が塗布されている。
【００３５】
このようなインクジェット記録ヘッド１０では、インクプール４２から供給孔４４、４６、圧力室４０、連通孔３８、３６、連通孔３４、ノズル３２へと連続するインクの通路が形成されている。これにより、インク供給孔（図示省略）から供給されインクプール４２に貯留されたインクは、供給孔４４、４６を経て圧力室４０内に充填され、圧電素子（図示省略）に駆動電圧が印加されると、圧電素子とともに振動板３０がたわみ変形して、圧力室４０を膨張又は圧縮させる。これによって、圧力室４０に体積変化が生じ、圧力室４０内に圧力波が発生する。この圧力波の作用によってインクが運動し、ノズル３２から外部へインク滴が吐出される。
【００３６】
次に、インクジェット記録ヘッド１０を構成する積層ノズルプレート２２の製造方法について説明する。
【００３７】
まず、図３（Ａ）に示すように、プレート５６を打ち抜いて、ヘッドユニット１４（図１参照）の外形サイズよりも小さいサイズの複数のノズルプレート１８と、枠体５８を形成する。
【００３８】
このとき、複数のノズルプレート１８と枠体５８が分離しないように、隣接するノズルプレート１８同士、及びノズルプレート１８と枠体５８が、ノズルプレート１８のヘッドユニット１４の組み付け方向（記録用紙Ｐの搬送方向と交差する方向）側で連結されるように、ライン状の連結部材６０を切り残す。
【００３９】
そして、図３（Ｂ）に示すように、このノズルプレート１８及び枠体５８が形成されたプレート５６の一方の面に、ザグリプレート１６を成形するプレート６４を積層し、熱融着により接合する。また、プレート５６の他方の面には、プールプレート２０を成形するプレート６６を積層して、熱融着により接合する。このとき、プレート５６の四隅に形成された位置決め孔５６Ａに、プレート６４の四隅に形成された位置決め孔６４Ａ及び、プレート６６の四隅に形成された位置決め孔６６Ａを合わせることで、プレート５６に対してプレート６４及びプレート６６が位置合わせされて接合される。
【００４０】
なお、ノズルプレート１８（プレート５６）には、機械的強度、耐薬品性、薄膜化に優れた合成樹脂が用いることが好ましく、本実施形態では、ポリイミドを用いている。プレート５６にポリイミドを用いることで、ＳＵＳよりも加工しやすく、またインクに吐出エネルギーを与えた際にダンパ効果によりクロストークを抑制するという利点がある。また、ザグリプレート１６（プレート６４）及びプールプレート２０（プレート６６）には、ＳＵＳなどの金属プレート、樹脂フィルム、液晶フィルム、又は樹脂プレートなどを用いることができ、本実施形態ではＳＵＳを用いている。
【００４１】
次に、図４（Ａ）に示すように、プレート６４及びプレート６６の表面にレジスト５２を形成する。そして、レジスト５２の上方に、ヘッドユニット１４（図１参照）の外形形状に相当する形状のマスクを配置し、マスクの形状にレジスト５２を露光現像して、ヘッドユニット１４の外形形状のパターンを形成する。つまり、先に打ち抜き加工で成形したノズルプレート１８の外形サイズよりも大きいサイズのパターンを形成する。
【００４２】
そして、このパターン（レジスト５２）をマスクとして、プレート６４及びプレート６６をエッチングして、レジスト５２を除去する。これにより、図４（Ｂ）に示すように、ザグリプレート１６及びプールプレート２０が形成される。
【００４３】
上記製造工程によって、ノズルプレート１８の一方の面にザグリプレート１６が接合され、他方の面にプールプレート２０が接合された複数の積層ノズルプレート２２が、連結部材６０によって連結された状態で１枚のプレート状に形成される。そして、この連結部材６０をカッター等によってカットして、図４（Ｃ）に示すように、積層ノズルプレート２２を個別化する。
【００４４】
このようにして製造された積層ノズルプレート２２の両面、つまりプールプレート２０の表面とザグリプレート１６の表面に、図５（Ａ）に示すように、レジスト６８を形成する。そして、ザグリプレート１６側のレジスト６８の上方には、開口部４８の形状に相当する形状のマスクを配置し、マスクの形状にレジスト６８を露光現像して、開口部４８に対応した位置に開口部６８Ａを形成する。
【００４５】
また、プールプレート２０側のレジスト６８の上方には、連通孔３４及びインクプール４２の形状に相当する形状のマスクを配置し、マスクの形状にレジスト６８を露光現像して、連通孔３４に対応した孔部６８Ｂ及びインクプール４２に対応した孔部６８Ｃを形成する。
【００４６】
そして、このレジスト６８をマスクとして、ザグリプレート１６及びプールプレート２０をエッチングしてレジスト６８を除去する。これにより、図５（Ｂ）に示すように、ザグリプレート１６に開口部４８が形成されると共に、プールプレート２０に、連通孔３４及びインクプール４２が形成される。
【００４７】
次に、図５（Ｃ）に示すように、ザグリプレート１６の表面、すなわちインクジェット記録ヘッド１０（図１参照）のインク吐出側表面に、撥水膜５０を形成する。撥水膜５０は、スピンコート法などにより形成することができる。この撥水膜５０としては、４フッ化エチレン−６フッ化プロピレン共重合体（ＦＥＰ）、４フッ化エチレン樹脂（ＰＴＦＥ）、４フッ化エチレン−パーフルオロアルコキシエチレン共重合樹脂（ＰＦＡ）、フッ化ビニリデン樹脂、フッ化ビニル樹脂等のフッ素系樹脂を用いることができる。特に、４フッ化エチレン樹脂（ＰＴＦＥ）、４フッ化エチレン−パーフルオロアルコキシエチレン共重合樹脂（ＰＦＡ）が好ましい。
【００４８】
次に、図５（Ｄ）に示すように、ノズルプレート１８にノズル３２を形成する。ノズル３２は、プールプレート２０の後方からエキシマーレーザ等で穿孔することにより形成する。このノズル３２は、開口部４８の孔径より小さい口径に形成する。例えば、ノズルの口径を約２５μｍ、開口部４８の直径を１００μｍ〜４００μｍに設定することができる。このようなノズル３２、開口部４８、連通孔３４は、所定のパターンで複数形成される。
【００４９】
その後、図５（Ｅ）に示すように、プールプレート２０側に、連通孔プレート２６、２８と、圧力室プレート２８を接合し、圧力室プレート２８の開口を覆うように振動板３０を接合する。
【００５０】
以上の製造工程によって、インクジェット記録ヘッド１０が形成される。
【００５１】
次に、本発明の実施形態の作用について説明する。
【００５２】
ノズルプレート１８の一方の面にザグリプレート１６を接合し、他方の面にプールプレート２０を接合して形成される積層ノズルプレート２２の製造工程において、まず、打ち抜き加工によってノズルプレート１８を成形する。このとき、ノズルプレート１８に積層するザグリプレート１６及びプールプレート２０の外形よりも、ノズルプレート１８の外形を小さくする。
【００５３】
このように、打ち抜き加工でノズルプレート１８をザグリプレート１６及びプールプレート２０の外形よりも小さくカットすることで、ノズルプレート１８にザグリプレート１６が成形されるプレート６４とプールプレート２０が成形されるプレート６６を積層して、エッチングによってザグリプレート１６及びプールプレート２０を成形すれば、プールプレート２０及びザグリプレート１６の端面からノズルプレート１８の端面がはみ出ることがない。
【００５４】
したがって、ワイピング時や記録用紙Ｐのジャムによってザグリプレート１６が剥離されることがないので、剥離したザグリプレート１６に記録用紙Ｐが接触する、ということがなく、記録用紙Ｐのジャムの発生を抑えることができる。
【００５５】
また、プレート５６を打ち抜いて複数のノズルプレート１８を成形するとき、隣接するノズルプレート１８を連結部材６０で連結させておくことで、ノズルプレート１８にザグリプレート１６（プレート６４）及びプールプレート２０（プレート６６）を接合する際に、プレート６４及びプレート６６に形成された位置決め孔６４Ａ、６６Ａを、プレート５６に形成された位置決め孔５６Ａに位置決めするだけで、ノズルプレート１８（プレート５６）に対するザグリプレート１６（プレート６４）及びプールプレート２０（プレート６６）の位置合わせができる。これにより、積層ノズルプレート２２を大量生産することができる。
【００５６】
さらに、この連結部材６０は、ヘッドユニット１４の組み付け方向（記録用紙Ｐの搬送方向と交差する方向）に沿って、ノズルプレート１８に設けられているため、連結部材６０をカットして各ヘッドユニット１４を個別化したとき、このカットした連結部材６０に、記録用紙Ｐの先端が接触することがないので、記録用紙Ｐのジャムの発生を抑えることができる。
【００５７】
なお、本実施形態では、記録用紙Ｐの搬送方向と交差する方向に沿って、連結部材６０でヘッドユニット１４同士を連結する構成としたが、連結部材６０は必ずしも、記録用紙Ｐの搬送方向と交差する方向に沿って設ける必要はなく、記録用紙Ｐの搬送方向に沿って設けてもよい。
【００５８】
また、図６（Ａ）に示すように、連結部材６０をカットしたとき、ザグリプレート１６及びプールプレート２０の外縁から、連結部材６０のカット部先端がはみ出てしまう。そこで、図６（Ｂ）に示すように、ノズルプレート１８と連結部材６０の連結部を、ザグリプレート１６及びプールプレート２０の外縁よりも凹ませておいてもよい。そして、ザグリプレート１６及びプールプレート２０の外縁も、ノズルプレート１８の外縁に合わせて凹ませておけば、図６（Ｃ）に示すように、連結部材６０のカット部先端がザグリプレート１６及びプールプレート２０の外縁からはみ出ないようにカットできるので、より確実にザグリプレート１６の剥離の発生を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の実施形態に係るインクジェット記録装置に搭載されたインクジェット記録ヘッドアレイを示す斜視図である。
【図２】本発明の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドを示す断面図である。
【図３】インクジェット記録ヘッドを構成する積層ノズルプレートの製造工程を示す斜視図である。
【図４】インクジェット記録ヘッドを構成する積層ノズルプレートの製造工程を示す斜視図及び断面図である。
【図５】インクジェット記録ヘッドの製造工程を示す断面図である。
【図６】積層ノズルプレートを構成するノズルプレートの他の形態を示す平面図である。
【図７】従来の積層ノズルプレートの製造工程を示す斜視図及び断面図である。
【符号の説明】
【００６０】
１０  インクジェット記録ヘッド
１６  ザグリプレート
１８  ノズルプレート
２０  プールプレート（連通孔プレート）
２２  積層ノズルプレート
３２  ノズル
３４  連通孔
４８  開口部（ザグリ）
６０  連結部材
６４  プレート（保護プレート）
６６  プレート
【図１】
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【図２】
2008149526.tif 000004
【図３】
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【図４】
2008149526.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
2008149526.tif 000009