(57)【要約】【課題】マザー基板から複数の薄膜トランジスタアレイを作製する多面取り薄膜トランジスタアレイ基板において、各薄膜トランジスタアレイを取り出すための切断をした後で行う切断端面の角の面取り工程において、面取り量の確認を容易にできるようにするとともに、ＯＬＢパッドを基板から剥がれにくくして、ＯＬＢパッドが剥がれる率を低減し得る配線構造を提供する。【解決手段】マザー基板から複数の薄膜トランジスタアレイを作製する多面取り薄膜トランジスタアレイ基板において、ＯＬＢパッドと切断境界線までの端面配線において、該配線の両側に枝配線である目盛兼ＯＬＢ保護用枝配線を所定の間隔で配置し、薄膜トランジスタアレイをマザー基板から切断した後に行う面取りの際に、目盛兼ＯＬＢ保護用枝配線が基板の端面からＯＬＢ用パッドまでの寸法を確認する際の目盛となり、かつ、ＯＬＢパッドが基板から剥がれにくくするという効果を奏するようにする。【選択図】図１
2008070806.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
１枚のマザー基板上に薄膜トランジスタアレイを複数配置した多面取り薄膜トランジスタアレイ基板において、
各薄膜トランジスタアレイは
絶縁基板上に縦横に列設された信号線および走査線と、
前記信号線および走査線の各交点付近に形成された表示素子と、
前記マザー基板から切断された後で外部との接続のために前記絶縁基板の周辺に形成された複数のアウターリードボンディング用パッド（以下「ＯＬＢパッド」ともいう）及び接続用配線と、を有し、
前記ＯＬＢパッドから出て、該薄膜トランジスタアレイを前記多面取り薄膜トランジスタアレイ基板から切り出すために前記多面取り薄膜トランジスタアレイ基板を切断する位置を示す線（以下「切断線」ともいう）と交差する配線（以下「端面配線」ともいう）の両側に枝配線（以下「目盛兼ＯＬＢ保護用枝配線」ともいう）を所定の間隔で設け、
該薄膜トランジスタアレイを前記多面取り薄膜トランジスタアレイ基板から切断した後に切断した端面の面取りを行う際に、前記目盛兼ＯＬＢ保護用枝配線が前記表示装置用基板の端面から前記ＯＬＢ用パッドまでの寸法を確認する際の目盛となるとともに、前記ＯＬＢパッドが前記表示装置用基板から剥がれにくくなるように構成されていることを特徴とする多面取り薄膜トランジスタアレイ基板。
【請求項２】
請求項１に記載の多面取り薄膜トランジスタアレイ基板において、前記薄膜トランジスタアレイはアクティブマトリックス型液晶表示装置用の薄膜トランジスタアレイであることを特徴とする多面取り薄膜トランジスタアレイ基板。
【請求項３】
請求項１または２に記載の多面取り薄膜トランジスタアレイ基板から切り出された薄膜トランジスタアレイを有する液晶表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、１枚のマザー基板上に薄膜トランジスタアレイを複数配置した多面取り薄膜トランジスタアレイ基板から各薄膜トランジスタアレイを切り出す際の工程における歩留まりの改善に寄与し得る配線構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶表示装置の主流はアクティブマトリックス型液晶表示装置である。一般的にこのアクティブマトリックス型液晶表示装置用の薄膜トランジスタアレイは１枚のマザー基板に複数作成された後に、マザー基板を切断して個々の薄膜トランジスタアレイとする。
【０００３】
該切断の直後の工程に、切断された端面の欠け等を防止するために切断単面の面取り工程が在る。この面取り工程において、薄膜トランジスタアレイ上の配線やパッドが剥がれてしまう場合がある。特に薄膜トランジスタアレイと外部回路等との接続部分となるＯＬＢ（Ｏｕｔｅｒ  Ｌｅａｄ  Ｂｏｎｄｉｎｇ）パッドが剥がれてしまうことは問題である。図に基づいて説明する。
【０００４】
図２は、１枚の従来のマザー基板から４枚の薄膜トランジスタアレイを作製する場合に、マザー基板を切断する切断線とＯＬＢパッドの位置関係を示す説明用平面図である。図２において、２０１は多面取り薄膜トランジスタアレイ基板であり、１１０は縦方向の切断線であり、２０３は横方向の切断線であり、１０７は端面配線であり、２１１乃至２１４はマザー基板から切断される前の薄膜トランジスタアレイである。
【０００５】
図６は従来の多面取り薄膜トランジスタアレイ基板上の一つの薄膜トランジスタアレイと切断線の位置関係を説明するための説明用部分平面図である。図６において、１１０は多面取り薄膜トランジスタアレイ基板から薄膜トランジスタアレイを切り出すための切断線であり、１１１は該切断後に行う面取り工程の際に、面取り量の基準とする面取り基準線であり、ＢはＯＬＢパッド１０４の端から面取り基準線１１１までの距離である。
【０００６】
薄膜トランジスタアレイ２１２をマザー基板２０１から取りだすためには、切断線１１０に基づいて多面取り薄膜トランジスタアレイ基板２０１を切断する。次に、該切断した切断端面において欠け等が発生することを防止するための該切断端面の面取りをするために切断端面の角を削る。この時、切断端面の角を削りすぎると、図６上の端面配線１０７がマザー基板から剥ぎ取られ、さらに端面配線１０７に連結しているＯＬＢパッド１０４までが、剥ぎ取れてしまう。そのために、面取り量を注意深く、頻繁に、距離Ｂを確認しつつ面取り作業を行う必要があり、該作業には、相当の労力と注意を必要とした。
【０００７】
そのため、係る面取り量の確認をし易くすれば、製造効率を向上させることが可能となる。
【０００８】
また、配線を基板から剥がれにくすることも製造効率を向上させるのに効果的である。
【０００９】
【特許文献１】特開２００１−３５６３５７
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
そこで、本発明は、１枚のマザー基板から複数の薄膜トランジスタアレイを作製する多面取り薄膜トランジスタアレイ基板において、各薄膜トランジスタアレイを取り出すために必要な切断をした後で行う切断端面の角の面取り工程において、面取り量の確認を容易かつ確実にできるようにするとともに、ＯＬＢパッドを基板から剥がれにくくして、面取り工程においてＯＬＢパッドが剥がれる率を低減し、薄膜トランジスタアレイ製造工程の生産効率と歩留まりを向上させ得る配線構造を有する多面取り薄膜トランジスタアレイ基板を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために、
請求項１に記載の発明は、多面取り薄膜トランジスタアレイ基板であって、
各薄膜トランジスタアレイは
絶縁基板上に縦横に列設された信号線および走査線と、
前記信号線および走査線の各交点付近に形成された表示素子と、
前記マザー基板から切断された後で外部との接続のために前記絶縁基板の周辺に形成された複数のアウターリードボンディング用パッド（以下「ＯＬＢパッド」ともいう）及び接続用配線と、を有し、
前記ＯＬＢパッドから出て、該薄膜トランジスタアレイを前記多面取り薄膜トランジスタアレイ基板から切り出すために前記多面取り薄膜トランジスタアレイ基板を切断する位置を示す線（以下「切断線」ともいう）と交差する配線（以下「端面配線」ともいう）の両側に枝配線（以下「目盛兼ＯＬＢ保護枝配線」ともいう）を所定の間隔で設け、
該薄膜トランジスタアレイを前記多面取り薄膜トランジスタアレイ基板から切断した後に切断した端面の面取りを行う際に、前記目盛兼ＯＬＢ保護用枝配線が前記表示装置用基板の端面から前記ＯＬＢ用パッドまでの寸法を確認する際の目盛となるとともに、前記ＯＬＢパッドが前記表示装置用基板から剥がれにくくなるように構成されていることを特徴とする。
【００１２】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の多面取り薄膜トランジスタアレイ基板において、
前記薄膜トランジスタアレイはアクティブマトリックス型液晶表示装置用の薄膜トランジスタアレイであることを特徴とする。
【００１３】
また、請求項３に記載の発明は、液晶表示装置であって、
請求項１または２に記載の多面取り薄膜トランジスタアレイ基板から切り出された薄膜トランジスタアレイを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、１枚のマザー基板に複数の薄膜トランジスタアレイを
作製し、各薄膜トランジスタアレイを取り出すために、切断した後に、切断端面の角の面取り工程をより少ない労力で行うことが可能になるとともに、ＯＬＢパッドが剥離してしまう割合を低減でき、薄膜トランジスタアレイの製造コストの低減と品質の向上を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、図を参照しつつ、発明を実施するための最良の形態につき説明する。
【００１６】
図１は本発明に係る特殊配線構造を有する多面取り薄膜トランジスタアレイ基板を説明するための多面取り薄膜トランジスタアレイ基板の部分平面図である。
【００１７】
図１において、１２１乃至１２８は目盛兼ＯＬＢ保護用枝配線であり、１０７は端面配線であり、１０４はＯＬＢパッドであり、１０２は走査線であり、１０５は信号線であり、
１０９は走査線１０２とＯＬＢパッド１０４を接続さるためのスルーホールであり、１１０は切断線であり、１１１は面取り量の基準とする面取り基準線であり、１１２は画素が配置される所謂表示領域であり、１０６は検査用配線である。なお、図１では、薄膜トランジスタアレイの表示領域、走査線、信号線、の一部だけを図示している。また、走査線１０２を点線で描いている理由は、走査線１０２が存在する層は信号線１０５が存在する層とは異なり、信号線１０５が存在する層の下にあることを考慮したものである。目盛兼ＯＬＢ保護用枝配線としては１２１乃至１２８のいずれも同じ目盛兼ＯＬＢ保護用枝配線であるが、説明の都合上異なる番号を付している。
【００１８】
本発明に係る多面取り薄膜トランジスタアレイ基板においては、検査用配線１０６とＯＬＢパッド１０４との間の配線であって、切断線１１０をまたがって設置されている端面配線１０７の両側に枝のように枝配線が、所定の間隔毎に目盛兼ＯＬＢ保護用枝配線１２１乃至１２８として設けられている。この目盛兼ＯＬＢ保護用枝配線が設置されることにより、切断線１１０に沿って、多面取り薄膜トランジスタアレイ基板を切断した後で、切断端面の角の面取りをする工程において、目盛兼ＯＬＢ保護用枝配線１２１乃至１２８が面取り量の確認をする際の目盛となる。該目盛兼ＯＬＢ保護用枝配線を基準にできれば、物差し等は不必要であり、面取り量の確認が容易となる。その結果、作業の効率が上がる。さらに、目盛兼ＯＬＢ保護用枝配線が設置されていることにより、ＯＬＢパッド１０４が剥がれにくくなる。図に基づいて説明する。
【００１９】
図３は本発明に係る多面取り薄膜トランジスタアレイ基板の配線構造を設置した場合の効果を説明するための部分平面図である。図３において、Ａは隣接する目盛兼ＯＬＢ保護用枝配線の間隔であり、Ｃは切断端面から面取り基準線までの距離であり、ＢはＯＬＢパッド１０４から面取り基準線１１１までの距離である。
【００２０】
図４は図３の切断線１１０に基づいて切断した後の薄膜トランジスタアレイ基板の部分平面図である。
【００２１】
図５は図４のＹ−Ｙ切断線断面図である。図５において、５０１は面取りをした場合に削りとられる部分を示す線（以下「面取り線」ともいう）である。面取り線５０１まで面取りを行うと、図５から理解できるように面取り線５０１までの端面配線１０７、目盛兼ＯＬＢ保護用枝配線１２６、目盛兼ＯＬＢ保護用枝配線１２７は削り取られてしまう。この場合、もし、目盛兼ＯＬＢ保護用枝配線が設置されていないと、端面配線１０７に加えられた力がそのまま、ＯＬＢパッドにかかり、ＯＬＢパッドが剥離しやすい。一方、目盛兼ＯＬＢ保護用枝配線が設置されていると、目盛兼ＯＬＢ保護用枝配線１２６、目盛兼ＯＬＢ保護用枝配線１２７は削り取られてしまうが、目盛兼ＯＬＢ保護用枝配線１２８は、該枝配線の面積に対応した力で基板に固着しているので、基板から剥がれず、端面配線１０７に加えられた力は目盛兼ＯＬＢ保護用枝配線１２８で食い止められ、ＯＬＢパッドが基板から剥離することを防止できる。
【００２２】
また、ＯＬＢパッドが剥離することを防ぐため等の目的により、面取り量を確認しながら作業をする必要があるが、目盛兼ＯＬＢ保護用枝配線が設置されていると、別途、物差し等を使用することなく、目盛兼ＯＬＢ保護用枝配線を目安に、作業をすることができる。図３に基づいて説明する。面取りは面取り基準線１１１付近まで行う場合、もし目盛兼ＯＬＢ保護用枝配線が設置されていないとＯＬＢパッドからの距離を常に確認し、その距離がＢ以上であることを常に確認する必要がある。しかし、多面取り薄膜トランジスタアレイ基板上のこれらの配線や、ＯＬＢパッドは微細なものであり、その確認は困難である。一方、目盛兼ＯＬＢ保護用枝配線を設置し、隣接する目盛兼ＯＬＢ保護用枝配線の間隔Ａを所定の値とすること等により、
目盛兼ＯＬＢ保護用枝配線を設置してある場合には、ＯＬＢパッドから何個目の目盛兼ＯＬＢ保護用枝配線を残しておけばよいかを基準として、面取り作業をすることができる。図４の場合には、目盛兼ＯＬＢ保護用枝配線１２７まで、削ることができ、目盛兼ＯＬＢ保護用枝配線１２８を残しておけば良い。この作業方法によれば、別の物差し等は不必要で、作業も簡単で確実である。
なお、本発明に係る多面取り薄膜トランジスタアレイ基板の製造方法は、公知のフォトリソ工程であるので説明は省略する。
また、以上の説明は走査線に連結するＯＬＢパッド１０４につながる端面配線の目盛兼ＯＬＢ保護用枝配線に対して行っているが、信号線に連結する図１に示されるＯＬＢパッド１３４につながる端面配線１３７の場合も同様であり、図１に示されるように、端面配線１３７に対して目盛兼ＯＬＢ保護用枝配線１４１等を設置すればよい。また、信号線や走査線でなくても、本実施例と同様な配線構造となる場合の端面配線にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明に係る特殊配線構造を有する多面取り薄膜トランジスタアレイ基板を説明するための多面取り薄膜トランジスタアレイ基板の部分平面図である。
【図２】従来の１枚のマザー基板から４枚の薄膜トランジスタアレイを作製する場合に、切断する切断線とＯＬＢパッドの位置関係を示す説明図である。
【図３】本発明に係る多面取り薄膜トランジスタアレイ基板の配線構造を設置した場合の効果を説明するための部分平面図である。
【図４】図３の切断線１１０に基づいて切断した後の薄膜トランジスタアレイ基板の部分平面図である。
【図５】図４のＹ−Ｙ切断線断面図である。
【図６】従来の多面取り薄膜トランジスタアレイ基板上の一つの薄膜トランジスタアレイと切断線の位置関係を説明するための説明用部分平面図である。
【符号の説明】
【００２４】
１０２      走査線
１０４      ＯＬＢパッド
１０５      信号線
１０６      検査用配線
１０７      端面配線
１０９      走査線１０２とＯＬＢパッド１０４を接続さるためのスルーホール
１１０      切断線
１１１      面取り基準線
１２１      目盛兼ＯＬＢ保護用枝配線
１２２      目盛兼ＯＬＢ保護用枝配線
１２３      目盛兼ＯＬＢ保護用枝配線
１２４      目盛兼ＯＬＢ保護用枝配線
１２５      目盛兼ＯＬＢ保護用枝配線
１２６      目盛兼ＯＬＢ保護用枝配線
１２７      目盛兼ＯＬＢ保護用枝配線
１２８      目盛兼ＯＬＢ保護用枝配線
１３４      ＯＬＢパッド
１３７      端面配線
１４１      目盛兼ＯＬＢ保護用枝配線
【図１】
2008070806.tif 000003
【図２】
2008070806.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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