(57)【要約】【課題】端子とプローブとの位置ずれを容易かつ確実に検出する。【解決手段】製造、電気的接触、接触判定および検査のステップを有する。製造では、端子配列の両端に位置する第１端子１３(1)および第Ｎ端子１３(N)の配列方向での幅を、残りの（Ｎ−２）個の端子配列の１ピッチＰ以上に形成し、かつ、第１端子１３(1)と第Ｎ端子１３(N)とが同電位相当の所定の抵抗値以下となるように内部結線を行う。接触判定では、第１端子１３(1)に対応する第１プローブ２(1)と第Ｎ端子１３(N)に対応する第Ｎプローブ２(N)との間で抵抗値を測定し、その測定結果に基づいて正しくプロービングされているかを判定する。【選択図】図２
2008151954.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに離間して一方向に配列されている複数Ｎ個の端子を有する表示デバイスの製造方法であって、
端子配列の両端に位置する第１端子および第Ｎ端子の配列方向での幅を、残りの（Ｎ−２）個の端子配列の１ピッチ以上に形成し、かつ、前記第１端子と前記第Ｎ端子とが同電位相当の所定の抵抗値以下となるように内部結線して前記表示デバイスを製造する製造ステップと、
前記（Ｎ−２）個の端子配列のピッチと対応するピッチで一方向に並ぶＮ本のプローブと前記Ｎ個の端子との電気的接触を行う電気的接触ステップと、
前記電気的接触を行ったときに、前記第１端子に対応する第１プローブと前記第Ｎ端子に対応する第Ｎプローブとの間で第１抵抗を測定し、当該第１抵抗の測定値に基づいて、前記Ｎ本のプローブの、前記Ｎ個の端子に対する接触位置ずれの有無を判定する接触判定ステップと、
前記表示デバイスの検査を行う検査ステップと、
を含む表示デバイスの製造方法。
【請求項２】
前記製造ステップでは、前記第１端子および前記第Ｎ端子の配列方向での幅を、前記残りの（Ｎ−２）個の端子配列の１ピッチ以上、当該１ピッチに前記（Ｎ−２）個の端子で同一な配列方向の端子幅を加えた値以下に形成する
請求項１に記載の表示デバイスの製造方法。
【請求項３】
前記接触判定ステップでは、前記第１抵抗が同電位相当の所定の抵抗値より大きい場合に、接触が正しくないと判定する
請求項１に記載の表示デバイスの製造方法。
【請求項４】
前記接触判定のステップでは、前記第１プローブまたは前記第Ｎプローブと当該プローブに隣接する他のプローブとの間で第２抵抗を測定し、前記第１抵抗が同電位相当の所定の抵抗値より大きく、かつ、前記第２抵抗が同電位相当の所定の抵抗値以下となる場合に、前記検査ステップの実行を禁止する
請求項１に記載の表示デバイスの製造方法。
【請求項５】
互いに離間して一方向に配列されている複数Ｎ個の端子を有する表示デバイスの製造方法であって、
端子配列の両端に位置する第１端子と第Ｎ端子にそれぞれ隣接して、残りの（Ｎ−２）個の端子配列のピッチと幅を有する２つのダミー端子を形成し、かつ、前記第１端子と一のダミー端子とが同電位相当の所定の抵抗値以下となるように内部結線し、前記第Ｎ端子と他のダミー端子とが同電位相当の所定の抵抗値以下となるように内部結線し、さらに、ダミー端子同士も同電位相当の所定の抵抗値以下となるように内部結線して前記表示デバイスを製造する製造ステップと、
前記端子配列のピッチと対応するピッチで一方向に並ぶＮ本のプローブと前記Ｎ個の端子との電気的接触を行う電気的接触ステップと、
前記電気的接触を行ったときに、前記第１端子に対応する第１プローブと前記第Ｎ端子に対応する第Ｎプローブとの間で第１抵抗を測定し、当該第１抵抗の測定値に基づいて、前記Ｎ本のプローブの、前記Ｎ個の端子に対する接触位置ずれの有無を判定する接触判定ステップと、
前記表示デバイスの検査を行う検査ステップと、
を含む表示デバイスの製造方法。
【請求項６】
前記接触判定ステップでは、前記第１抵抗が同電位相当の所定の抵抗値より大きい場合に、接触が正しくないと判定する
請求項５に記載の表示デバイスの製造方法。
【請求項７】
前記接触判定のステップでは、前記第１プローブまたは前記第Ｎプローブと当該プローブに隣接する他のプローブとの間で第２抵抗を測定し、前記第１抵抗が同電位相当の所定の抵抗値より大きく、かつ、前記第２抵抗が同電位相当の所定の抵抗値以下となる場合に、前記検査ステップの実行を禁止する
請求項５に記載の表示デバイスの製造方法。
【請求項８】
互いに離間して一方向に配列されている複数Ｎ個の端子を有し、奇数番目の端子群と、偶数番目の端子群とが、プローブ接触部が段違いとなる異なるパターンにて形成されている表示デバイスの製造方法であって、
前記奇数番目の端子群または前記偶数番目の端子群のうち、一方の端子群の配列で両端に位置する２つの端子の配列方向での幅を、残りの（Ｎ−２）個の端子配列の端子ピッチに奇数番目と奇数番目の端子幅の差の半分を加えたもの以上に形成し、かつ、前記２つの端子が同電位相当の所定の抵抗値以下となるように内部結線される前記表示デバイスを製造する製造ステップと、
前記端子ピッチと同じピッチで一方向に並ぶＮ本のプローブで前記Ｎ個の端子と電気的接触をとる電気的接触ステップと、
前記電気的接触を行ったときに、前記第１端子に対応する第１プローブと、前記第Ｎ端子に対応する第Ｎプローブとでプローブ間抵抗を測定し、当該測定されたプローブ間抵抗が前記所定の抵抗値以下の場合に、前記Ｎ本のプローブが前記Ｎ個の端子に正しく接触していると判断する接触確認ステップと、
前記Ｎ本のプローブの接触確認がとれた状態で前記表示デバイスの検査を行う検査ステップと、
を含む表示デバイスの製造方法。
【請求項９】
表示部と、
前記表示部に接続された配線に接続され、互いに離間して一方向に配列されている複数Ｎ個の端子と、
を有し、
端子配列の両端に位置する第１端子および第Ｎ端子の配列方向での幅を、残りの（Ｎ−２）個の端子配列の１ピッチ以上に形成し、かつ、前記第１端子と前記第Ｎ端子とが同電位相当の所定の抵抗値以下となるように前記表示部内で内部結線されている
表示デバイス。
【請求項１０】
表示部と、
前記表示部に接続された配線に接続され、互いに離間して一方向に配列されている複数Ｎ個の端子と、
端子配列の両端に位置する第１端子と第Ｎ端子にそれぞれ隣接して、残りの（Ｎ−２）個の端子配列のピッチと幅を有する２つのダミー端子と、
を有し、
前記第１端子と一のダミー端子とが同電位相当の所定の抵抗値以下となるように前記表示部内で内部結線され、前記第Ｎ端子と他のダミー端子とが同電位相当の所定の抵抗値以下となるように前記表示部内で内部結線され、さらに、ダミー端子同士も同電位相当の所定の抵抗値以下となるように前記表示部内で内部結線されている
表示デバイス。
【請求項１１】
表示部と、
前記表示部に接続された配線に接続され、互いに離間して一方向に配列されている複数Ｎ個の端子と、
を有し、
前記Ｎ個の端子は、奇数番目の端子群と偶数番目の端子群とが、プローブ接触部が段違いとなる異なるパターンにて形成され、
前記奇数番目の端子群または前記偶数番目の端子群のうち、一方の端子群の配列で両端に位置する２つの端子の配列方向での幅が、残りの（Ｎ−２）個の端子配列の端子ピッチに奇数番目と奇数番目の端子幅の差の半分を加えたもの以上に形成され、かつ、前記２つの端子が同電位相当の所定の抵抗値以下となるように前記表示部内で内部結線されている
表示デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、互いに離間して一方向に配列されている複数Ｎ個の端子を有する表示デバイスの製造方法と、当該表示デバイスとに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、ＬＣＤ(liquid crystal display)、有機ＬＥＤディスプレイ等の表示デバイス（以下、表示パネルという）は、各ドットを表示するための画素を２次元平面内で規則的に多数配列した有効画素領域を有する。有効画素領域の各画素は、能動素子（トランジスタ等）と受動素子（キャパシタ等）とを含む画素回路を有している。画素回路は、一般に「水平方向」と称される行（ロウ）方向に並ぶ複数の画素、または、「垂直方向」と称される列（カラム）方向に並ぶ複数の画素において、それぞれ決められた共通線により相互に接続されている。一般に、ロウ方向の共通線を「走査線」、カラム方向の共通線を「データ線（または、信号線あるいはソース線）」と称する。
【０００３】
表示パネルの有効表示領域を構成する各画素は、データ線駆動回路からデータ線によって供給される映像信号、および、走査線駆動回路から走査線によって供給される走査信号に基づいたタイミングと輝度で表示を行う。したがって、データ線または走査線にオープンあるいはショートなどの欠陥があると、欠陥があるデータ線または走査線に接続されている画素全てが表示欠陥となる。
【０００４】
上記データ線駆動回路および上記走査線駆動回路等の駆動回路は、表示パネル内の上記有効画素領域の周辺領域に形成されることがある。ただし、この場合、能動素子として薄膜トランジスタが用いられるため回路性能バラツキが大きい。
【０００５】
回路性能の向上、その他の理由により、駆動回路を表示パネルとは別にＩＣとして設け、両者をＦＰＣ(Flexible Printed Circuit(or Cable))等で接続する表示装置が知られている。
表示パネルに、複数の走査線、複数のデータ線、その他の電圧供給線の各々に対応して電気的に接続されている複数の端子が設けられる。
複数の端子は、四角形状を有する表示パネルの一辺、または、複数辺の各辺に沿った表示パネルの縁部に、等しいピッチ、等しい幅で配列される。ここで端子の幅とは、配列方向の端子サイズである。
【０００６】
このように表示パネルと駆動ＩＣ（さらには、制御ＩＣ）等がＦＰＣ等で接続されて組み立てられる形態では、不良部品を組み立てることによる材料の無駄を防止するため、組み立て前の部品の段階で当該部品の良否を検査する必要がある。とくに表示パネルについては、データ線または走査線にオープンあるいはショートなどの欠陥があると表示パネル全体が不良品扱いとなり、また表示パネルは部品としてコストが高いため、実際に表示パネル内の全画素を点灯させる検査が行われる。
【０００７】
近年の表示パネルは、テレビジョン受像機の用途では大型化、高精細化が進んでいるが、一方で、小型な表示パネルも益々高精細化している。例えば、携帯電話その他の携帯可能な電子機器に搭載される表示パネルは、サイズに対する有効表示領域の画素数が増大している。そのため、四角形状の表示パネルの一辺側に配置される端子群において、狭ピッチ化、端子幅の縮小が以前にも増して進展している。
【０００８】
そこで、例えばＬＣＤにおいて、画素回路が形成される駆動基板に、欠陥検出のための検査回路と、検査回路に対し検査信号を入出力する複数の端子を予め形成することが知られている（たとえば特許文献１、２および３参照）。
検査回路を用いた検査において、駆動基板に対向基板を貼り合わせる前に、検査信号の入出力端子にプローブを立ててデータ線や走査線のオープンあるいはショートの検査を行う。このときプローブはある程度太さを有するためプローブの配置ピッチに限界があり、プローブの配置ピッチよりも端子ピッチが小さいと検査が困難である。特許文献３に記載されているように、端子を例えば６画素に１つの割合で設け、検査回路として、制御ラインおよびスイッチで端子により検査される画素範囲を限定し、かつ、当該範囲を順次切り替え可能な構成が知られている。また、特許文献２には、一つ置きに長さ（形状）が異なる複数の端子部にプローブを位置的にずらして接触し、検査を行う端子配置と検査方法が開示されている。
【０００９】
【特許文献１】特開２００３−２７１０６７号公報（図２参照）
【特許文献２】特開平１１−２９５７５５号公報（図２および図４参照）
【特許文献３】特開２００６−１６２７０１号公報（図４参照）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
検査回路を設ける上記背景技術に記載の方法では、検査回路によるエリアペナルティが大きく、表示パネルのコストが増大する。
よって、可能な限り検査回路を設けることなく検査をできるようにして表示パネルのコストを抑制したい場合がある。最近の小型の表示パネルに要求される端子のピッチは数十[μm]〜０.数[mm]と極めて小さく、端子ピッチに対応したピッチで配置可能なプローブを用いる必要がある。また、端子ピッチに対応したピッチでプローブを配置することができない場合は、特許文献２に記載されているようにプローブを位置的にずらすなど、端子やプローブの配置を工夫する必要がある。
【００１１】
いずれの場合でも、端子ピッチは極めて小さく、端子とプローブとの接触を行う作業（プロービング）において、端子に対するプローブ先端の位置ずれが生じやすい。また、この位置ずれは目視により確認しにくい。このため、高い精度のプロービングのためには、カメラ等で各端子に対するプローブの接触状態を拡大表示または拡大撮影するなどの方法が必要になってきている。
カメラ等で拡大する構成の場合、装置全体が大きくなるとともに高価になり、高価な装置を用いることの表示パネルの製造コストへの影響が無視できない。また、画像処理で位置ずれを判断するようにすると、ディスプレイを作業者が見て位置ずれの有無を確認する手間は省けるが、さらに装置が高価になる。
【００１２】
本発明が解決しようとする課題は、端子とプローブとの位置ずれを容易かつ確実に検出可能な接触判定ステップを含む表示デバイスの製造方法と、当該検出が可能な構成を有する表示デバイスを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明に係る表示デバイスの第１の製造方法は、互いに離間して一方向に配列されている複数Ｎ個の端子を有する表示デバイスの製造方法であって、端子配列の両端に位置する第１端子および第Ｎ端子の配列方向での幅を、残りの（Ｎ−２）個の端子配列の１ピッチ以上に形成し、かつ、前記第１端子と前記第Ｎ端子とが同電位相当の所定の抵抗値以下となるように内部結線して前記表示デバイスを製造する製造ステップと、前記（Ｎ−２）個の端子配列のピッチと対応するピッチで一方向に並ぶＮ本のプローブと前記Ｎ個の端子との電気的接触を行う電気的接触ステップと、前記電気的接触を行ったときに、前記第１端子に対応する第１プローブと前記第Ｎ端子に対応する第Ｎプローブとの間で第１抵抗を測定し、当該第１抵抗の測定値に基づいて、前記Ｎ本のプローブの、前記Ｎ個の端子に対する接触位置ずれの有無を判定する接触判定ステップと、前記表示デバイスの検査を行う検査ステップと、を含む。
【００１４】
本発明に係る表示デバイスの第２の製造方法は、互いに離間して一方向に配列されている複数Ｎ個の端子を有する表示デバイスの製造方法であって、端子配列の両端に位置する第１端子と第Ｎ端子にそれぞれ隣接して、残りの（Ｎ−２）個の端子配列のピッチと幅を有する２つのダミー端子を形成し、かつ、前記第１端子と一のダミー端子とが同電位相当の所定の抵抗値以下となるように内部結線し、前記第Ｎ端子と他のダミー端子とが同電位相当の所定の抵抗値以下となるように内部結線し、さらに、ダミー端子同士も同電位相当の所定の抵抗値以下となるように内部結線して前記表示デバイスを製造する製造ステップと、前記端子配列のピッチと対応するピッチで一方向に並ぶＮ本のプローブと前記Ｎ個の端子との電気的接触を行う電気的接触ステップと、前記電気的接触を行ったときに、前記第１端子に対応する第１プローブと前記第Ｎ端子に対応する第Ｎプローブとの間で第１抵抗を測定し、当該第１抵抗の測定値に基づいて、前記Ｎ本のプローブの、前記Ｎ個の端子に対する接触位置ずれの有無を判定する接触判定ステップと、前記表示デバイスの検査を行う検査ステップと、を含む。
【００１５】
本発明に係る表示デバイスの第３の製造方法は、互いに離間して一方向に配列されている複数Ｎ個の端子を有し、奇数番目の端子群と、偶数番目の端子群とが、プローブ接触部が段違いとなる異なるパターンにて形成されている表示デバイスの製造方法であって、前記奇数番目の端子群または前記偶数番目の端子群のうち、一方の端子群の配列で両端に位置する２つの端子の配列方向での幅を、残りの（Ｎ−２）個の端子配列の端子ピッチに奇数番目と奇数番目の端子幅の差の半分を加えたもの以上に形成し、かつ、前記２つの端子が同電位相当の所定の抵抗値以下となるように内部結線される前記表示デバイスを製造する製造ステップと、前記端子ピッチと同じピッチで一方向に並ぶＮ本のプローブで前記Ｎ個の端子と電気的接触をとる電気的接触ステップと、前記電気的接触を行ったときに、前記第１端子に対応する第１プローブと、前記第Ｎ端子に対応する第Ｎプローブとでプローブ間抵抗を測定し、当該測定されたプローブ間抵抗が前記所定の抵抗値以下の場合に、前記Ｎ本のプローブが前記Ｎ個の端子に正しく接触していると判断する接触確認ステップと、前記Ｎ本のプローブの接触確認がとれた状態で前記表示デバイスの検査を行う検査ステップと、を含む。
【００１６】
上記第１〜第３の製造方法では、製造ステップで両端の端子の抵抗変化によりピッチずれが検出可能に両端の２つの端子の幅拡大、ダミー端子による実質的な幅拡大を行う。そして、電気的接触ステップの良否を、つぎの接触判定ステップで判定する。このとき両端の端子（第１端子と第Ｎ端子）間の抵抗を測定し、その測定値に基づいてプローブ接触が正しく行われているかを判定する。プローブ接触が正しいなら次の検査ステップを行い、正しくない場合は再度電気的接触をやり直すとよい。
【００１７】
本発明に係る第１の表示デバイスは、表示部と、前記表示部に接続された配線に接続され、互いに離間して一方向に配列されている複数Ｎ個の端子と、を有し、端子配列の両端に位置する第１端子および第Ｎ端子の配列方向での幅を、残りの（Ｎ−２）個の端子配列の１ピッチ以上に形成し、かつ、前記第１端子と前記第Ｎ端子とが同電位相当の所定の抵抗値以下となるように前記表示部内で内部結線されている。
【００１８】
本発明に係る第２の表示デバイスは、表示部と、前記表示部に接続された配線に接続され、互いに離間して一方向に配列されている複数Ｎ個の端子と、端子配列の両端に位置する第１端子と第Ｎ端子にそれぞれ隣接して、残りの（Ｎ−２）個の端子配列のピッチと幅を有する２つのダミー端子と、を有し、前記第１端子と一のダミー端子とが同電位相当の所定の抵抗値以下となるように前記表示部内で内部結線され、前記第Ｎ端子と他のダミー端子とが同電位相当の所定の抵抗値以下となるように前記表示部内で内部結線され、さらに、ダミー端子同士も同電位相当の所定の抵抗値以下となるように前記表示部内で内部結線されている。
【００１９】
本発明に係る第３の表示デバイスは、表示部と、前記表示部に接続された配線に接続され、互いに離間して一方向に配列されている複数Ｎ個の端子と、を有し、前記Ｎ個の端子は、奇数番目の端子群と偶数番目の端子群とが、プローブ接触部が段違いとなる異なるパターンにて形成され、前記奇数番目の端子群または前記偶数番目の端子群のうち、一方の端子群の配列で両端に位置する２つの端子の配列方向での幅が、残りの（Ｎ−２）個の端子配列の端子ピッチに奇数番目と奇数番目の端子幅の差の半分を加えたもの以上に形成され、かつ、前記２つの端子が同電位相当の所定の抵抗値以下となるように前記表示部内で内部結線されている。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、端子とプローブとの位置ずれを容易かつ確実に検出できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。
【００２２】
《第１実施形態》
図１に、本発明の実施形態に関わる検査システムの模式図を示す。
図解する検査システム１は、例えばＬＣＤなどの表示デバイス（以下、表示パネルという）に対する検査を行うためのものである。
【００２３】
図１における「被検査デバイス」としての表示パネル１０は、液晶表示パネルである。液晶表示パネルは、液晶の配向状態を表示面内で画素を単位として変化させることによって画像または文字の情報を表示する。液晶表示パネルは、液晶が内部に封入され画素がマトリクス状に形成された矩形の表示部を有する。表示部において、液晶に電界を印加する駆動基板の一部に対向基板が重ねられ、当該２枚の基板間に液晶が封入されている。このとき対向基板の周縁側で駆動基板との間に隙間ができて、ここから液晶が漏れないように、駆動基板に予めスペーサをシール剤によって固定しておき、対向基板側にシール剤を塗布し、このスペーサを挟んで２つの基板を張り合わせた後、光または熱によりシール剤を硬化させる。その後、スペーサおよび２つの基板により形成されている表示部内の空間に液晶を封入する。
図１に示す表示パネル１０は、一回り大きい（図では一方側に大きい）駆動基板１１上に対向基板１２が重ねられている様子を側面から示す。
【００２４】
図２（Ａ）に表示パネル１０の上面図を示し、図２（Ｂ１）と図２（Ｂ２）に図２（Ａ）の一部拡大図を示す。
表示パネル１０は、駆動基板１１と対向基板１２との重なり部分に有効画像表示領域１０Ａを有する。有効画像表示領域１０Ａの駆動基板１１側に、特に図示しないが、一方向に所定間隔で繰り返し形成されている、水平画素数Ｆｈと同じ本数のデータ線と、Ｆｈ本のデータ線に直交するように他方向に所定間隔で繰り返し形成されている、垂直画素数Ｆｖと同じ本数の走査線とが形成されている。有効画像表示領域１０Ａ内で、このデータ線と走査線に区切られた微小領域の１つが１画素に対応する。
【００２５】
駆動基板１１は、対向基板１２の一辺（本例では一方の長辺）のエッジより一定幅突出した帯状領域を有する。この駆動基板１１の帯状領域は駆動基板１１の長辺に沿って、図２（Ｂ１）および（Ｂ２）に一部拡大して示すように、複数Ｎ個の端子１３(1),１３(2),１３(3),…,１３(N-2),１３(N-1),１３(N)が配列され、これらの端子群が表面に露出している。
端子１３(1)〜１３（N）の各々は、Ｆｈ本のデータ線、Ｆｖ本の走査線、さらには電源電圧Ｖddまたはグランド電位ＧＮＤの電源線等の何れか１本の線と電気的に接続されている。よって、端子１３(1)〜１３（N）の個数Ｎは、Ｎ＝Ｆｈ＋Ｆｖ＋α（α：電源線等の本数）となっている。
【００２６】
図１に示す検査システム１は、紙面と直交する向きに配列されたＮ本のプローブ２(1)〜２(N)を有する。Ｎ本のプローブ２(1)〜２(N)は上記Ｎ個の端子１３(1)〜１３（N）と１対１で対応する。図１ではＮ本のプローブを“プローブ２”により示す。
以下、一方端のプローブを第１プローブ２(1)、その隣のプローブを第２プローブ２(2)、さらに隣のプローブを第３プローブ２(3)という。同様に、第４プローブ以降が定義され、最後から３本目のプローブを第(N-2)プローブ２(N-2)、最後から２本目のプローブを第(N-1)プローブ２(N-1)、最後のプローブを第Ｎプローブ２(N)という。
また、図２（Ｂ１）および図２（Ｂ２）に示されているように、第１プローブ２(1)に対応する端子を第１端子１３(1)、第２プローブ２(2)に対応する端子を第２端子１３(2)、第３プローブ２(3)に対応する端子を第３端子１３(3)という。同様に、第４端子以降が定義され、最後から３番目の端子を第(N-2)端子１３(N-2)、最後から２番目の端子を第(N-1)端子１３(N-1)、最後の端子を第Ｎ端子１３(N)という。
【００２７】
検査システム１は、図１に示すように、制御駆動部４を有する。制御駆動部４は、端子１３(1)〜１３(N)のそれぞれに接触されたプローブ２(1)〜２(N)のうち所定のプローブに所定の順序でバイアス（電源電圧等）を印加し、画素回路を動作させたときのオープンまたはショートのチェックを行うテスタの機能を有する。制御駆動部４内のテスタ部分がケーブル３によってプローブ２と接続されている。テスタ内には定電流源、定電圧源、電流計、電圧計等の機能があり、例えば、それらをプログラムにしたがって制御することにより所定のシーケンスでテストを実行する。
このシーケンスには、詳細は後述するが、テストの前にプローブの接触が正しく行われているかを電気的に検出し判定する接触判定の手順も含まれる。
【００２８】
なお、制御駆動部４は、テスタ以外にも、検査システム１全体の電気的あるいは機械的な部分を制御または駆動する機能を有する。システムの機械的部分とは、特に図示していないが、表示パネル１０の機械的位置合わせを行うために、例えばステージの移動、プローブ２を表示パネル１０に対して位置あわせを行うプローブヘッダの移動を行うアーム等とその駆動部が該当する。
【００２９】
本実施形態の端子は、図２（Ｂ１）および図２（Ｂ２）に示すように、端子配列の両端に位置する第１端子１３(1)および第Ｎ端子１３(N)の配列方向での幅を、残りの（Ｎ−２）個の端子配列の１ピッチ以上に形成している。ここで第１端子１３(1)および第Ｎ端子１３(N)を除く、第２端子１３(2)〜第(N-1)端子１３(N-1)の（Ｎ−２）個の端子配列の１ピッチを“Ｐ”とすると、第１端子１３(1)の幅Ｗ１および第Ｎ端子１３(N)の幅Ｗｎの各々がピッチＰより大きく形成されている。
幅が大きい第１端子１３(1)と第Ｎ端子１３(N)は、図２（Ａ）に示す駆動基板１１と対向基板１２が重なる領域内で内部結線されている（図４（Ａ）参照）。このため、第１端子１３(1)と第Ｎ端子１３(N)は上記接触判定時には同電位相当と見なされる程度に小さい、所定の抵抗値Ｒｓ以下の端子間抵抗を示す。詳細は後述するが、本実施形態では、この所定の抵抗値Ｒｓを一つの基準としてプローブ接触の良否（位置ずれの有無）を判定する。
【００３０】
図３に、本実施形態に関わる表示パネル１０の製造手順を示すフローチャートを示す。
ステップＳＴ１により示される「パネル製造」は、手順そのものは通常のＬＣＤパネルの製造手順であり、ここでの詳細な説明を省略する。ただし、この製造では、図２に示すように第１端子１３(1)と第Ｎ端子１３(N)が他の（Ｎ−２）個の第２端子１３(2)〜第(N-1)端子１３(N-1)のピッチＰより大きく形成され、かつ、接触抵抗を無視した場合の第１端子１３(1)と第Ｎ端子１３(N)の端子間抵抗、すなわち第１プローブ２(1)と第Ｎプローブ２(N)との間のプローブ間抵抗が、前述した抵抗値Ｒｓ以下となるようにパネル内の内部結線がなされるという条件に適合した製造パターンや製造プロセスが用いられる。
また、さらに望ましくは、第１端子１３(1)と第２端子１３(2)との抵抗値、ならびに、第(N-1)端子１３(N-1)と第Ｎ端子１３(N)との抵抗値は、上記抵抗値Ｒｓより十分大きい。
【００３１】
ステップＳＴ２では、端子１３(1)〜１３（N）に対しプローブ２(1)〜２(N)の接触（プロービング）を行う。そして、ステップＳＴ３において、接触が正しく行われているかを判定する。
【００３２】
図４（Ａ）の平面図にパネル内の内部結線１４を示す。
内部結線１４は実際の配線を示すものではなく、単に、同電位相当であることを電気的、かつ象徴的に示すに過ぎない。つまり、第１端子１３(1)と第Ｎ端子１３(N)は直接接続されていてもよいが、直接的に接続されていなくても少なくとも間接的に同電位相当でそれぞれの電位が保持される関係があればよい。たとえば、同じ信号や電圧が印加される配線が、第１端子１３(1)と第Ｎ端子１３(N)にそれぞれ接続されていればよい。
【００３３】
図４（Ｂ）にプローブ接触ずれが無い場合、図４（Ｃ）に当該ずれが有る場合を示す。
図２（Ｂ１）および図２（Ｂ２）で定義したように、両端以外の（Ｎ−２）個の第２端子１３(2)〜第(N-1)端子１３(N-1)のピッチを“Ｐ”、配列方向の幅を“Ｗ”とする。このとき、上記ずれの量をゼロから徐々に大きくすると、当該ずれ量が“Ｐ−Ｗ＋Ｗ／２＝Ｐ−Ｗ／２”に達すると、図４（Ｃ）に示すように、プローブ２(1)〜２(N)の殆どは、本来接触すべき端子から外れて隣の端子に接触する。ただし、ずれの向きによって一意に決まる第１プローブ２(1)または第Ｎプローブ２(N)（図示例では第Ｎプローブ２(N)）は、第１端子１３(1)または第Ｎ端子１３(N)の幅がピッチＰに形成されているため、ずれ無しの正常時と同じ端子に接触したままとなり、当該端子（図示例では第Ｎ端子１３(N)）には２本のプローブ、即ち第(N-1)プローブ２(N-1)と第Ｎプローブ２(N)が同時に接触している。
【００３４】
図３に示す接触判定（ステップＳＴ３）では、第１に、このようなずれの有無を電気的に検出するため、第１プローブ２(1)と第Ｎプローブ２(N)との間のプローブ間抵抗を測定する。両端のプローブ間抵抗の測定結果を“第１抵抗”という。
【００３５】
第１抵抗Ｒ１が、図４（Ａ）の内部結線１４に相当する所定の抵抗値Ｒｓと比較して大きければ（Ｒ１＞Ｒｓ）“ずれ有り”、Ｒ１≦Ｒｓであれば“ずれ無し”と、判断できる。つまり、図４（Ｃ）の場合、第Ｎプローブ２(N)は“ずれ無し”の場合の本来の第Ｎ端子１３(N)と接触しているが、第１プローブ２(1)は“ずれ無し”の場合の本来の第１端子１３(1)とは異なり隣の第２端子１３(2)と接触している。よって、第１プローブ２(1)と第Ｎプローブ２(N)との間の第１抵抗Ｒ１は、上記抵抗値Ｒｓより十分に大きな値を示し（Ｒ１＞Ｒｓ）、これにより“ずれ有り”と判定できる。一方、Ｒ１≦Ｒｓであれば、第１プローブ２(1)は第１端子１３(1)に接触し、第Ｎプローブ２(N)は第Ｎ端子１３(N)に接触しているとみなすことができるため“ずれ無し”と判定できる。
【００３６】
また、第１プローブ２(1)と第２プローブ２(2)との間、あるいは、第(N-1)プローブ２(N-1)と第Ｎプローブ２(N)との間の隣接するプローブ間抵抗（２つの第２抵抗）の値で、どちらの第２抵抗の値が同電位相当を表すほど小さいかによって、ずれの向きが判定できる。図示例では第(N-1)プローブ２(N-1)と第Ｎプローブ２(N)との間の第２抵抗Ｒ２ｎが同電位相当の小さい値を示す。よって、第Ｎプローブ２(N)が端子配列の外側に移動するような向きにずれが生じていることが分かる。
【００３７】
図４（Ｃ）よりさらにずれ量が大きくなると、ずれが生じていることは第１抵抗Ｒ１の値から判断できるが、第(N-1)プローブ２(N-1)と第Ｎプローブ２(N)が同電位相当でなくなるためずれの向きは判別できない。よって、第１端子１３(1)および第Ｎ端子１３(N)の幅が１ピッチＰでは、ずれの向き判別の範囲が極めて狭い。
そこで、図４（Ｃ）の状態から更にＷだけずれた場合でも第(N-1)プローブ２(N-1)と第Ｎプローブ２(N)が同じ第Ｎ端子１３(N)に接触することが望ましい。それ以上は、現実的にずれが生じる確率が極めて小さく、また、接触端子が図４（Ｃ）の場合と異なるため、第２抵抗の値が変わってくる。
以上より、本実施形態では、第１端子１３(1)および第Ｎ端子１３(N)の幅を「１Ｐ以上、当該１Ｐに（Ｎ−２）個の端子で同一な配列方向の幅Ｗを加えた値以下」に設定することが望ましい。ただし、この幅の上限は、より大きくすることも可能である。
【００３８】
図３に示すステップＳＴ３にて接触判定を、以上の方法で行い、その結果、ずれがプローブと端子の対応関係が本来からずれている場合は、上記検出したずれの向きに基づいて、ずれ量を小さくする向きにプローブ位置または表示パネル位置を調整して再度コンタクトを行い（ステップＳＴ２）、接触判定（ステップＳＴ３）で正しい接触が得られるまで、この位置調整、コンタクト、接触判定を繰り返す。
【００３９】
接触判定で「接触ＯＫ」の判定が下されると、次のステップＳＴ４にて良品と不良品とを分類して、処理フローが終了する。
【００４０】
本実施形態によれば、Ｎ本の端子に対するＮ本のプローブのずれを電気的に検出し、ずれが許容できるか否かを判定可能である。
このとき、ずれ量が“Ｐ−Ｗ／２”以上有ると、テストの実行によって本来とは別の信号（または電源）を端子に印加することになり、パネルの損傷や装置の損傷の可能性がある。このようなズレが有る場合、両端の端子幅が端子配列のピッチＰ以上に拡大されているために、片側の２本のプローブが同じ端子上に接続される。したがって、この部分のショート（第２抵抗Ｒ２が同電位相当の抵抗以下であること）を確認することで、“Ｐ−Ｗ／２”以上のコンタクトズレが発生しているかを確認することができる。
【００４１】
《第２実施形態》
図５（Ａ）に本実施形態に関わる表示パネル１０Ａの上面図を示し、図５（Ｂ１）と図５（Ｂ２）に図５（Ａ）の一部拡大図を示す。
本実施形態では、駆動基板１１Ａに形成されている端子１３(1)〜１３（N）が同一の幅Ｗを有し、さらに第１端子１３(1)の外側にダミー端子１３ｄ１が配置され、第Ｎ端子１３(N)の外側に他のダミー端子１３ｄ２が配置されている。ダミー端子１３ｄ１,１３ｄ２は、その隣の第１端子１３(1)または第Ｎ端子１３(N)とのピッチが、Ｎ個の端子１３(1)〜１３（N）と同じピッチＰとなっている。また、ダミー端子１３ｄ１,１３ｄ２の幅も、上記他の端子の幅Ｗと同じに設定されている。
そしてダミー端子１３ｄ１と第１端子１３(1)とは内部結線１５(1)により接続され、ダミー端子１３ｄ２と第Ｎ端子１３(N)は内部結線１５(2)により接続されている。内部結線１５(1),１５(2)の意味は、図４（Ａ）に示す内部結線１４と同様であり、直接接続される場合と間接的に同電位相当と見なされる場合の双方を含む。
【００４２】
図６（Ａ）〜図６（Ｄ）は、“ずれ無し”から徐々にずれ量を大きくした場合の、第(N-1)端子１３(N-1)、第Ｎ端子１３(N)およびダミー端子１３ｄ２の模式図である。この図で第１プローブ２(1)、第(N-1)プローブ２(N-1)および第Ｎプローブ２(N)の頂点位置をそれぞれ矢印により示す。
図６（Ａ）はずれ量ゼロ、図６（Ｂ）はずれ量が小の場合である。この図６（Ｂ）までは端子とプローブの接触関係が正常であり許容される。一方、図６（Ｄ）ではプローブが本来の端子と異なる端子に接触するため、このようなずれが生じているとテストの実行によってパネルの損傷の危険があるため許容できず、必ず検出しなければならない。図６（Ｃ）に示す程度のずれは許容できないが、この状態でテストを実行してもパネル損傷の危険はない。
【００４３】
図６（Ｃ）および図６（Ｄ）において、第１プローブ２(1)と第Ｎプローブ２(N)間の第１抵抗Ｒ１が抵抗値Ｒｓより大きいオープン状態となる。そして図６（Ｄ）で初めて、隣接する２つのプローブ、即ち第(N-1)プローブ２(N-1)と第Ｎプローブ２(N)間の第２抵抗Ｒ２が同電位相当の十分小さい値になる。よって、第１抵抗Ｒ１と第２抵抗Ｒ２を観測することによって、第１実施形態と同様に、必ず防止したいずれである図６（Ｄ）の状態が判別でき、しかも、そのずれの方向も第２抵抗Ｒ２の変化が端子配列のどちらの端で生じているかに応じて判定できる。
【００４４】
以上より、第１実施形態と同様に、Ｎ本の端子に対するＮ本のプローブのずれを電気的に検出し、ずれが許容できるか否かを判定可能である。
このとき、ずれ量が“Ｐ−Ｗ／２”以上有ると、テストの実行によって本来とは別の信号（または電源）を端子に印加することになり、パネルの損傷や装置の損傷の可能性がある。このようなズレが有る場合、Ｎ個の端子の両端側に１つずつ合計２つのダミー端子を設け、当該ダミー端子と隣接する端子を同電位相当に保持することによって、片側の２本のプローブが同電位の端子上で接続される。したがって、この部分のショート（第２抵抗Ｒ２が同電位相当の抵抗以下であること）を確認することで、“Ｐ−Ｗ／２”以上のコンタクトズレが発生しているかを確認することができる。
【００４５】
《第３実施形態》
本実施形態は、特許文献２と同様、プローブを交互に段違いの並びに配置する場合で本発明の適用例を示すものである。
図７（Ａ）にずれ量ゼロの場合、図７（Ｂ）に端子とプローブの接触関係が正しくなくなる場合を示す。図７（Ｂ）までずれると、第２実施形態での図６（Ｄ）と同様にテストの実行によって表示パネルに損傷を与える危険性が高くなるため、この図７（Ｂ）を有効に検出しなければならない。
【００４６】
図７の両端の端子は第１実施形態と同様に第１端子１３(1)と第Ｎ端子１３(N)と捉えることもできるし、隣接端子間が同電位となっている点では第２実施形態におけるダミー端子と捉えることもできる。ここでは、第１端子１３(1)と第Ｎ端子１３(N)と捉え、それらの幅を若干大きくしている。
他の第２端子１３(2)〜第(N-1)端子１３(N-1)は、図７（Ａ）のＡ−Ａ線に沿って見ると、大きい幅Ｗ１と、小さい幅Ｗ２の２種類のパターンを交互に配置したものである。
第１端子１３(1)と第２端子１３(2)とは内部結線１５(1)により接続され、第(N-1)端子１３(N-1)と第Ｎ端子１３(N)とは内部結線１５(2)により接続されている。内部結線１５(1),１５(2)の意味は、図４（Ａ）に示す内部結線１４と同様であり、直接接続される場合と間接的に同電位相当と見なされる場合の双方を含む。
【００４７】
図８は、図７（Ｂ）時のずれ量Ｓを計算するための拡大図である。また、図９は、図７（Ｂ）まではずれないが、第(N-1)プローブ２(N-1)が正しい端子に接触する限界を示す拡大図である。
図７（Ｂ）の場合におけるずれ量Ｓは、大きい幅Ｗ１の第(N-2)端子１３(N-2)に対応する第(N-2)プローブ２(N-2)の先が第(N-1)端子１３(N-1)のエッジに位置するまでずれた場合のずれ量であるから、図８に示すように、Ｓ＝Ｐ−Ｗ２／２となる。
一方、このとき２Ｐだけ離れた第Ｎプローブ２(N)の先が第Ｎ端子１３(N)に接触するための第Ｎ端子１３(N)の最小幅Ｗ３は、図８に示すように、Ｐ＋（Ｗ１−Ｗ２）／２となる。
一方、図７（Ｂ）まではずれ量が大きくない図９の場合、そのずれ量Ｓ´は、端子の大きい幅Ｗ１の半分（Ｓ´＝Ｗ１／２）である。このずれ量Ｓ´より大きなずれが生じると、少なくとも正しいテストが行えないため、このようなずれは許容できない。
【００４８】
以上の構成を有するため、例えば以下の方法により、第１および第２実施形態と同様に、Ｎ本の端子に対するＮ本のプローブのずれを電気的に検出し、ずれが許容できるか否かを判定可能である。
まず、ずれ量が上記Ｓ´（図９）より大きいかどうかの判別のため、第(N-1)プローブ２(N-1)と第Ｎプローブ２(N)との間で抵抗を測定する。このときの抵抗が同電位相当の抵抗値より大きければ、第(N-1)プローブ２(N-1)が第(N-1)端子１３(N-1)と非接触であることを検出することができる。
【００４９】
つぎに、ずれ量が上記Ｓ（図８）のようになるまで大きいかどうかの判別のため、第(N-2)プローブ２(N-2)と第Ｎプローブ２(N)との間で抵抗を測定する。このときの抵抗が同電位相当以下であるときは、第(N-1)プローブ２(N-1)が、本来接触すべき第(N-2)端子１３(N-2)ではなく、隣の第(N-1)端子１３(N-1)に接触していることを検出することができる。なぜなら、第(N-1)端子１３(N-1)と第Ｎ端子１３(N)は内部結線１５(2)により接続されており、その端子間抵抗は同電位相当となるためである。
このとき、図８に示すようにずれ量が“Ｐ−Ｗ２／２”以上有ることになり、テストの実行により本来とは別の信号（または電源）を端子に印加すると、パネルの損傷や装置の損傷が生ずる可能性がある。
【００５０】
本実施形態では、Ｎ個の端子のうち両端の端子の幅を拡大し（あるいは、両端側に１つずつ合計２つのダミー端子を設け）、両端の端子（当該ダミー端子）と隣接する端子を同電位相当に保持することによって、片側の２本のプローブが同電位の端子上で接続される。したがって、外側から数えて１番目と２番目の２つのプローブ間の抵抗が同電位相当の抵抗より大きいを確認することで、“Ｗ１／２”以上のコンタクトズレが発生しているかを確認し、さらに外側から１番目と３番目のプローブ間の抵抗が同電位相当以下であるかを確認することで、“Ｐ−Ｗ２／２”以上のコンタクトズレが発生しているかを確認することができる。
【００５１】
以上のように、本実施形態では、ダミー端子を設けるか、設けなくとも両端の端子の幅を大きくし、両端の各々で外側と次に外側の端子間を内部結線するだけで、正しいテストができない場合、さらにパネル損傷の可能性が場合のプローブの接触ずれを容易に検出できる。
【００５２】
以上の第１〜第３実施形態では、同電位相当の抵抗を基準としたが、接触抵抗のばらつきを考慮するならば、同電位相当の抵抗値とオープン相当の抵抗値との間に判定基準を設けることが望ましい。
また、上記３つの実施形態ではＬＣＤ表示パネルを前提としたが、たとえば有機ＬＥＤパネルであってもよい。その他、本発明を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
また、上記表示パネルに損傷を与えるようなずれを検出した場合は、テストそのものを禁止して誤ってテストが実行されないようにすることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の実施形態に関わる検査システムの模式図である。
【図２】（Ａ）は第１実施形態に関わる表示パネルの上面図、（Ｂ１）と（Ｂ２）は（Ａ）の一部拡大図である。
【図３】実施形態に関わる表示パネルの製造手順を示すフローチャートである。
【図４】（Ａ）は第１実施形態に関わる表示パネルの内部結線を示す図、（Ｂ）と（Ｃ）はプローブと端子の接触関係を示す図である。
【図５】（Ａ）は第２実施形態に関わる表示パネルの上面図、（Ｂ１）と（Ｂ２）は（Ａ）の一部拡大図である。
【図６】（Ａ）〜（Ｄ）は、第２実施形態においてプローブと端子の接触関係を示す図である。
【図７】（Ａ）と（Ｂ）は第３実施形態の表示パネルの端子配置と内部結線を示す図である。
【図８】端子配列の一方端における３つの端子の拡大図である。
【図９】端子配列の一方端における３つの端子の他の拡大図である。
【符号の説明】
【００５４】
１…検査システム、２,２(1)〜２(N)…プローブ、３…ケーブル、４…制御駆動部、１０,１０Ａ,１０Ｂ…表示パネル、１１,１１Ａ,１１Ｂ…駆動基板、１２…対向基板、１３(1)〜１３（N）…端子、１３ｄ１,１３ｄ２…ダミー端子、１４,１５(1),１５(2)…内部結線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2008151954.tif 000009
【図８】
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【図９】
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