(57)【要約】【課題】短時間で効率良く低コストで、放射線硬化性組成物からなる光導波路を製造することができる光導波路の製造方法を提供する。【解決手段】光導波路の製造方法は、基板及びクラッド層からなるクラッド基材２の当該クラッド層の上面の一部分に、貫通孔を有するスクリーン４の一部分を、押圧手段７によって接触させ、クラッド基材２とスクリーン４の接触部分を移動させながら、この接触部分において、押圧手段７によりスクリーン４の貫通孔から光導波路のコア部分となる液状の放射線硬化性組成物をクラッド基材２上に押し出し、クラッド基材２上に液状の放射線硬化性組成物からなるコアパターン２ａを転写するとともに、コアパターン２ａに放射線を照射して、コアパターン２ａを硬化させ、コア部分を形成する工程を含む。【選択図】図１
2008089861.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光導波路の構成部分である基板及びクラッド層からなるクラッド基材の当該クラッド層の上面の一部分に、コアパターンを形成するための貫通孔を有するスクリーンの一部分を、押圧手段によって接触させ、クラッド基材とスクリーンの接触部分を移動させながら、この接触部分において、押圧手段によりスクリーンの貫通孔から光導波路のコア部分となる液状の放射線硬化性組成物をクラッド基材上に押し出して、クラッド基材上に液状の放射線硬化性組成物からなるコアパターンを転写するとともに、前記コアパターンに放射線を照射して、コアパターンを硬化させ、コア部分を形成する工程を含むことを特徴とする光導波路の製造方法。
【請求項２】
前記放射線の照射が、スクリーンの表面側に位置する前記押圧手段とは反対側である裏面側から行われる請求項１記載の光導波路の製造方法。
【請求項３】
クラッド基材から離反したスクリーンの部分を放射線から遮蔽するためのスクリーン用遮蔽手段を用いる請求項１又は２記載の光導波路の製造方法。
【請求項４】
前記押圧手段が、ローラーまたはスキージである請求項１〜３のいずれか１項に記載の光導波路の製造方法。
【請求項５】
光導波路の構成部分である基板及びクラッド層からなるクラッド基材の当該クラッド層の上面の一部分に、コア部分を形成するための光導波路の製造装置であって、
クラッド基材の上部にクリアランスを有して張設された、コアパターンを形成するための貫通孔を有し、該貫通孔を通じて、光導波路のコア部分となる液状の放射線硬化性組成物をクラッド基材上に供給するためのスクリーンと、
スクリーンの上方からスクリーンの一部分を押圧して、スクリーンの一部分をクラッド基材の一部分に押し付けながら移動し、前記スクリーンの貫通孔を通じて前記液状の放射線硬化性組成物をクラッド基材上に押し出して、クラッド基材上に液状の放射線硬化性組成物からなるコアパターンを転写するための押圧手段と、
該押圧手段の移動とともに移動しコアパターンに放射線を照射するための放射線照射手段と、
を備えた光導波路の製造装置。
【請求項６】
光導波路の構成部分である基板及びクラッド層からなるクラッド基材の当該クラッド層の上面の一部分に、コア部分を形成するための光導波路の製造装置であって、
コアパターンを形成するための貫通孔を有し、該貫通孔を通じて、光導波路のコア部分となる液状の放射線硬化性組成物をクラッド基材上に供給するための、回転可能な円筒型のスクリーンと、
該円筒型のスクリーンに対して内方から線接触している円柱型のローラーであって、前記クラッド基材との接触部分において前記円筒型のスクリーンと同じ速度で回転可能なローラーからなる押圧手段であって、前記円筒型のスクリーンの貫通孔を通じて前記液状の放射線硬化性組成物をクラッド基材上に押し出して、クラッド基材上に液状の放射線硬化性組成物からなるコアパターンを転写するための押圧手段と、
前記円筒型のスクリーンと共にクラッド基材を挟持しつつ、該クラッド基材を一方向に送出可能な案内手段と、
前記コアパターンに放射線を放射するための、定位置に配設した放射線照射手段と、
を備えた光導波路の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクリーン印刷方法を用いて、光通信、光情報処理等に用いられる光導波路を製造する方法及び製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
マルチメディア時代を迎え、光通信システムやコンピュータにおける情報処理の大容量化および高速化の要求から、光の伝送媒体として光導波路が注目されている。近年、石英系光導波路に代わって、放射線硬化性樹脂組成物等の合成樹脂製の光導波路の開発が進められている。合成樹脂製の光導波路は、面発光レーザーやフォトダイオード等の受発光素子と接合して、電気／光信号を変換する次世代のインターフェースとして、光インターコネクションの分野で着目されている。
このような光導波路は、例えば、図４に示す光導波路４０のように、一般的に、下部クラッド層４１と、コア部分４２と、上部クラッド層４３とを含み、コア部分４２の屈折率が下部クラッド層４１及び上部クラッド層４３のいずれの屈折率よりも大きくなるように構成されている。
【０００３】
光導波路の製造方法において、光導波路の下部クラッド層及び上部クラッド層は、基板上に、クラッド層を形成するための液状の放射線硬化性組成物を塗布した後、放射線を照射して、液状の放射線硬化性組成物を硬化させることによって形成することができる。液状の放射線硬化性組成物の塗布方法としては、例えば、スピンコート法、ディッピング法、スプレー法、バーコート法、ロールコート法、カーテンコート法等が挙げられる。また、液状の放射線硬化性組成物の塗布方法として適用可能な印刷方法としては、例えば、グラビア印刷法、スクリーン印刷法、インクジェット印刷法等が挙げられる。
上記の各種印刷方法のうち、スクリーン印刷法は、絹、ナイロン、ステンレス等からなるスクリーンにレジスト（版膜）でパターンを形成し、印刷用の樹脂等を、スクリーンの版膜のない部分（貫通孔）からスキージ等の押圧手段で、基板上に押し出して印刷する方法である。スクリーン印刷法は、グラビア印刷等と比較して安価な方法であり、印刷圧が少ないために、屈曲性を有する素材にも印刷することができ、被印刷体に印刷されたインキの肉盛りが厚く、ボリューム感のある印刷ができる点において優れている。
【０００４】
一方、光導波路のコア部分は、高い寸法精度が要求されるため、下部クラッド層上に、例えば、スピンコート法によって、液状の放射線硬化性組成物を塗布し、コア用薄膜を形成させた後、所定のパターンを有するフォトマスクを介してコア用薄膜に光を照射（露光）し、光が照射されない部分を現像処理して除去する方法によって製造することができる。上記のフォトマスクを用いる方法の他に、光導波路のコア部分は、例えば、（ａ）液晶表示装置と同様の原理を利用して、所定のパターンに従って光透過領域と光不透過領域とからなるマスク像を電気光学的に形成する手段を利用する方法、（ｂ）多数の光ファイバを束ねてなる導光部材を用い、この導光部材における所定のパターンに対応する光ファイバを介して光を照射する方法、（ｃ）レーザー光、あるいはレンズ、ミラー等の集光性光学系により得られる収束性の光を、走査させながら光硬化性樹脂組成物に照射する方法等によっても製造することができる（例えば、特許文献１）。
【特許文献１】特開２０００−６６０５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記の従来のコア部分形成方法は、高い寸法精度でコア部分を形成することができる点において優れている。
しかしながら、上記の従来の方法、例えば、フォトマスクを用いる方法は、コア用薄膜の塗装工程、フォトマスクを介しての放射線の照射工程、現像処理工程などを含み、工程数が多く、製造時間も長い。このため、需要増大が見込まれる光導波路の製造方法として、より短時間で、効率良く光導波路を量産する技術の開発が望まれている。
そこで、本発明は、短時間で、効率良く、放射線硬化性組成物を用いて光導波路を製造することができる光導波路の製造方法及び製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者は、上記課題を解決するために鋭意検討した結果、スクリーン印刷法を応用した特定の方法によれば、短時間で、効率良く、放射線硬化性組成物を用いて光導波路のコア部分を形成することができることを見出し、本発明を完成した。
【０００７】
すなわち、本発明は、以下の［１］〜［５］を提供するものである。
［１］  光導波路の構成部分である基板及びクラッド層からなるクラッド基材の当該クラッド層の上面の一部分に、コアパターンを形成するための貫通孔を有するスクリーンの一部分を、押圧手段によって接触させ、クラッド基材とスクリーンの接触部分を移動させながら、この接触部分において、押圧手段によりスクリーンの貫通孔から光導波路のコア部分となる液状の放射線硬化性組成物をクラッド基材上に押し出して、クラッド基材上に液状の放射線硬化性組成物からなるコアパターンを転写するとともに、前記コアパターンに放射線を照射して、コアパターンを硬化させ、コア部分を形成する工程を含むことを特徴とする光導波路の製造方法。
［２］  前記放射線の照射が、スクリーンの表面側に位置する前記押圧手段とは反対側の裏面側から行われる前記［１］記載の光導波路の製造方法。
［３］  クラッド基材から離反したスクリーンの部分を放射線から遮蔽するためのスクリーン用遮蔽手段を用いる前記［１］又は[２］記載の光導波路の製造方法。
［４］  前記押圧手段が、ローラーまたはスキージである前記［１］〜[３］のいずれかに記載の光導波路の製造方法。
［５］  光導波路の構成部分である基板及びクラッド層からなるクラッド基材の当該クラッド層の上面の一部分に、コア部分を形成するための光導波路の製造装置であって、
クラッド基材の上部にクリアランスを有して張設された、コアパターンを形成するための貫通孔を有し、該貫通孔を通じて、光導波路のコア部分となる液状の放射線硬化性組成物をクラッド基材上に供給するためのスクリーンと、
スクリーンの上方からスクリーンの一部分を押圧して、スクリーンの一部分をクラッド基材の一部分に押し付けながら移動し、前記スクリーンの貫通孔を通じて前記液状の放射線硬化性組成物をクラッド基材上に押し出して、クラッド基材上に液状の放射線硬化性組成物からなるコアパターンを転写するための押圧手段と、
該押圧手段の移動とともに移動しコアパターンに放射線を照射するための放射線照射手段と、
を備えた光導波路の製造装置。
［６］  光導波路の構成部分である基板及びクラッド層からなるクラッド基材の当該クラッド層の上面の一部分に、コア部分を形成するための光導波路の製造装置であって、
コアパターンを形成するための貫通孔を有し、該貫通孔を通じて、光導波路のコア部分となる液状の放射線硬化性組成物をクラッド基材上に供給するための、回転可能な円筒型のスクリーンと、
該円筒型のスクリーンに対して内方から線接触している円柱型のローラーであって、前記クラッド基材との接触部分において前記円筒型のスクリーンと同じ速度で回転可能なローラーからなる押圧手段であって、前記円筒型のスクリーンの貫通孔を通じて前記液状の放射線硬化性組成物をクラッド基材上に押し出して、クラッド基材上に液状の放射線硬化性組成物からなるコアパターンを転写するための押圧手段と、
前記円筒型のスクリーンと共にクラッド基材を挟持しつつ、該クラッド基材を一方向に送出可能な案内手段と、
前記コアパターンに放射線を放射するための、定位置に配設した放射線照射手段と、
を備えた光導波路の製造装置。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の光導波路の製造方法によれば、光導波路を構成するクラッド基材上で、液状の放射線硬化性組成物からなるコアパターンを転写しながら、転写直後のコアパターンを硬化させることができるので、短時間で、効率良く光導波路を製造することができる。
本発明の光導波路の製造方法によれば、例えば、光インターコネクションの用途に使用する埋め込み型の光導波路を低コストで製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照にして説明する。
図１の（ａ）〜（ｃ）は、本発明の一実施の形態を示し、スクリーン印刷装置１を用いた光導波路の製造方法を概念的に示す図である。
スクリーン装置１は、被転写体であるクラッド基材（透明な基板の上に下部クラッド層を積層してなるもの）２の上に、クラッド基材２との間に所定のクリアランス（隙間）を有して張設したスクリーン４と、スクリーン４の上方（表面側）からスクリーン４の一部分をクラッド基材２の一部分に押し付けて接触させ、スクリーン４とクラッド基材２が接触しているときに、スクリーン４の貫通孔（図示略）から液状の放射線硬化性組成物６を押し出して、クラッド基材２の上面にコアパターン（液状の放射線硬化性組成物からなるコア部分の未硬化体）２ａを転写するための水平移動する押圧手段７と、押圧手段７よりも若干後方であって、かつクラッド基材２に対して押圧手段７とは反対側である裏面側の位置（下側の位置）にて、押圧手段７の移動速度と同じ速度で水平移動する、コアパターン２ａに放射線を照射するための放射線照射手段８を備えている。
【００１０】
被転写体であるクラッド基材２は、例えば、ガラス、透明な樹脂性フィルム等からなる透明な基板の上に、公知の材料からなる下部クラッド層を積層されたものを用いることができる。なお、放射線照射手段８をコアパターン２ａの上方にて移動させる場合は、クラッド基材２を構成する基板として、シリコン基板等の不透明な基板を用いてもよい。
【００１１】
図１に示す実施の形態において、クラッド基材２は、支持台３上に設置されている。支持台３としては、例えば、クラッド基材２を吸着するための多数の吸着孔（図示略）と、該吸着孔と連結した吸引用ポンプ（図示略）を備えたものを用いることができる。支持台３は、支持台３の下方に配置された放射線照射手段８から照射された放射線を遮ることがないように、透明な部材で構成されている。なお、支持台３としては、クラッド基材２を安定に固定しうるものであればよく、本例に限らず、他の形態のものでもよい。
【００１２】
スクリーン４としては、スクリーン印刷用の公知のスクリーン（インキを透過させうる目を有するもの）を用いることができ、例えば、ポリエステルフィルム等のプラスチックからなるスクリーン、ステンレス等の金属からなるスクリーン、両者を組み合わせたメッシュタイプのスクリーン等の適宜の種類のスクリーンを用いることができる。スクリーン４の厚さは、スクリーンの材質によっても異なり、特に限定されないが、例えば、スクリーン４に適度の張力を付与しうる厚さである５０〜３００μｍに定めることができる。
スクリーン４は、コアパターンを形成するための貫通孔を有する。この貫通孔は、例えば、次のようにして形成される。
まず、メッシュ状のスクリーンに液状の感光性樹脂組成物を塗布する。次いで、光導波路のコア部分のパターン形状を有するフォトマスクを介して、スクリーンに塗布した感光性樹脂組成物に放射線を照射し、感光性樹脂組成物の一部を硬化させる。その後、現像液を用いて未硬化部分を除去すると、スクリーンのメッシュの一部が剥き出しとなる。この剥き出しになった部分が、コアパターンを形成するための貫通孔である。貫通孔は、光導波路のコア部分の形状と一致する長孔（例えば、直線状の長孔）として形成される。
なお、スクリーンの貫通孔を形成させるための感光性樹脂組成物としては、スクリーン印刷法で用いられる公知の組成物を用いればよい。
【００１３】
図１に示す実施の形態において、スクリーン４は、スクリーン支持手段によってクラッド基材２の上に、所定のクリアランスを設けて張設されている。スクリーン支持手段としては、例えば、押圧手段７が移動する方向（図中のＸ軸方向）に延びるスクリーン４の一方の端部を支持するクランプ５ａと、スクリーン４の他方の端部を所定の力で引っ張りながら支持するテンションローラ５ｂを備えた定張力装置を用いることができる。この定張力装置は、転写中、常に一定の張力がスクリーン４に付与されるように、例えば、コンピュータ機器等の制御手段によって、テンションローラ５ｂの引張力を制御している。スクリーン４に常に一定の張力が付与されている場合は、高い寸法精度を維持してコアパターン２ａをクラッド基材２上に転写することができる。
スクリーン支持手段としては、押圧手段７が移動する方向（図中のＸ軸方向）の部材には、可撓性を有する部材を用い、押圧手段７が移動する方向とは直交する方向（図中のＹ軸方向）には、剛性を有する部材を用いて、押圧手段７が移動する方向に屈曲可能にスクリーン４を持ち上げられるように構成した枠体を用いて、スクリーン４を支持してもよい。なお、スクリーン支持手段としては、本例に限らず、他の形態を用いてもよい。
【００１４】
図１に示す実施の形態において、押圧手段７は、例えば、スキージ７ａと、スキージホルダー７ｂと、スキージ７ａを上下動するシリンダ７ｃとからなる。また、図中のＸ軸方向に押圧手段７を水平移動させるための移動手段（モータ等；図示略）を備えている。
スキージ７ａとしては、例えば、クラッド基材２の幅方向（図中のＹ軸方向）に直線状に延びる接触部を有する板状や円筒状のものを用いることができる。図１においては、円筒状のスキージ７ａを用いた例を示している。スキージ７ａの材料は、特に限定されないが、具体的には、ゴム、樹脂等のように、所定の押圧力でスクリーン４をクラッド基材２に押し付けた場合であっても、摩擦によってスクリーン４を破損しにくいものであることが好ましい。
本実施の形態において、押圧手段７は、例えば、圧力調整されたシリンダ７ｃによって、スキージ７ａを昇降させ、所定の圧力で、スキージ７ａをスクリーン４に押し付けて、スクリーン４の一部分をクラッド基材２の一部分に接触させる。
次いで、押圧手段７は、スキージ７ａによってスクリーン４の一部分をクラッド基材２の一部分に押し付けながら、図中のＸ軸方向に水平移動し、スクリーン４の貫通孔から放射線硬化性組成物６を押し出して、クラッド基材２上にコアパターン２ａを転写する。
押圧手段７は、押圧手段７をＸ軸方向に水平移動させる走行レールや、クラッド基材とスキージの角度が一定の角度となるように調整するための角度調整部材を備えてもよい。なお、押圧手段は、本例に限らず、他の形態を用いてもよい。
【００１５】
光導波路のコア部分を形成するための放射線硬化性組成物６としては、特開２０００−０６６０５１号公報等に記載された公知の組成物からなる放射線硬化性組成物を用いることができる。放射線硬化性組成物６の粘度は、５〜１０，０００ｃｐｓ（２５℃）の範囲内の値であることが好ましい。粘度が１０，０００ｃｐｓを超えると、放射線硬化性組成物の取り扱いが困難になったり、均一なコアパターンを転写することが困難になる場合がある。なお、放射線硬化性組成物の粘度は、反応性希釈剤や有機溶媒の配合量によって、適宜調整することができる。
放射線硬化性組成物６は、例えば、図中のＹ軸方向に延設されたインキ供給管（図示略）等から、スクリーン４上に供給される。
【００１６】
図１に示す実施の形態において、放射線照射手段８は、放射線を照射するランプと、押圧手段７の若干後方に位置を保ちつつ押圧手段７の移動速度と同じ速度で放射線照射手段８を水平移動させるための移動手段（図示略）を備えている。また、放射線照射手段８は、クラッド基材２の下方からコアパターン２ａに向かって放射線を照射することができる位置に、移動可能に配置されている。
放射線照射手段８は、押圧手段７の移動によってスクリーン４からクラッド基材２が離反した直後に、転写されたコアパターン２ａに対して放射線を照射する。このため、転写されたコアパターン２ａの形状が崩れることなく、高い寸法精度を有するコア部分を形成することができる。
放射線照射手段の移動手段としては、例えば、モータと、放射線照射手段をＸ軸方向に移動させる走行レール等を用いた移動装置を用いることができる。なお、放射線照射手段は、本例に限らず、他の形態を用いてもよい。
放射線としては、例えば、可視光、紫外線、赤外線、Ｘ線、α線、β線、γ線等を用いることができる。また、ランプとしては、例えば、高圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、エキシマランプ等を用いることができる。コアパターン２ａへの放射線の照射は、例えば、波長２００〜３９０ｎｍ、照度が１〜５００ｍＷ／ｃｍ2 のものを所定時間照射して、照射量が１０〜５０００ｍＪ／ｃｍ2 となるように行なえばよい。
【００１７】
図１に示す実施の形態において、スクリーン装置１には、押圧手段７の移動によってクラッド基材２から離反したスクリーン４を、さらにクラッド基材２から離反する方向に移動させる離反手段９を備えていることが好ましい。
離反手段９としては、例えば、スクリーン４に所定の張力を付与しつつ、コアパターン２ａが転写されたクラッド基材２からスクリーン４を、図中のＺ軸方向に引き上げて離反させるエアシリンダ、油圧シリンダ等のシリンダを備えた昇降装置を用いることができる。
離反手段９を用いることによって、スクリーン４を、コアパターン２ａが転写されたクラッド基材１から短時間で離反させることができる。このため、離反手段９を用いた場合は、スクリーン４とコアパターン２ａの硬化体（コア部分）の貼り付きを確実に防止することができ、また、コア部分の寸法精度を高めることができる。
【００１８】
図１に示す実施の形態において、スクリーン印刷装置１には、コアパターン２ａを転写した後にクラッド基材２から離反したスクリーン４の部分を、放射線から遮蔽するためのスクリーン用遮蔽手段１０を備えていることが好ましい。
スクリーン用遮蔽手段１０としては、例えば、クラッド基材２とスクリーン４の間に挿入される遮蔽板１０ａと、押圧手段７の移動速度と同じ速度で、遮蔽板１０ａを、図中のＸ軸方向に移動させるためのモータ（図示略）を備えた装置を用いることができる。なお、スクリーン用遮蔽手段は、本例に限らず、他の形態を用いてもよい。
スクリーン用遮蔽手段１０を用いることによって、クラッド基材２から離反したスクリーン４に放射線が照射されて、スクリーン４に付着している放射線硬化性組成物が硬化する事態を防止することができる。
【００１９】
スクリーン印刷装置１は、クラッド基材２のコアパターン２ａが転写されていない部分を、放射線から遮蔽するためのクラッド基材用遮蔽手段１１を備えることができる。
クラッド基材用遮蔽手段１１としては、例えば、クラッド基材２と放射線照射手段８の間に挿入される遮蔽板１１ａと、押圧手段７の移動速度と同じ速度で、遮蔽板１１ａを図中のＸ軸方向に移動させるためのモータ（図示略）を備えた装置を用いることができる。
【００２０】
次に、図１に示すスクリーン装置１を用いて、光導波路を製造する方法について説明する。
［コアパターンの転写工程］
本工程は、図１の（ａ）〜（ｃ）に示すように、水平移動する押圧手段７を用いて、クラッド基材２上に所定のクリアランスを有して張設されたスクリーン４の上方からスクリーン４の一部分を押圧して、スクリーン４の一部分を、クラッド基材２の表面の一部分に接触させ、押圧手段７の移動によって、スクリーン４とクラッド基材２の接触部分を移動させながら、スクリーン４とクラッド基材２が接触しているときに、押圧手段７によって、スクリーン４の貫通孔から光導波路のコア部分の形成用の放射線硬化性組成物６をクラッド基材２上に押し出して、クラッド基材２上に放射線硬化性組成物６からなるコアパターン２ａを転写（形成）する工程である。
【００２１】
［コアパターンの硬化工程］
本工程は、図１の（ｂ）〜（Ｃ）に示すように、押圧手段７の移動速度と同じ速度で水平移動する放射線照射手段８を用いて、クラッド基材２上のコアパターン２ａに放射線を照射して、コアパターン２ａを硬化させ、コア部分を形成する工程である。
【００２２】
［上部クラッド層の形成工程］
本工程は、コア部分が形成されたクラッド基材の上に、上部クラッド層を形成するための液状の放射線硬化性組成物をスクリーン印刷法等によって塗布した後、放射線を照射して、液状の放射線硬化性組成物を硬化させ、上部クラッド層を形成させる工程である。これにより光導波路が完成する。
【００２３】
図２は、本発明の他の実施の形態を示し、スクリーン印刷装置２０を用いた光導波路の製造方法を概念的に示す図である。
本発明の光導波路の製造方法に用いるスクリーン印刷装置２０は、例えば、図２に示すように、コアパターンを形成するための貫通孔（図示略）を有する円筒型のロータリースクリーン２１と、ロータリースクリーン２１を回転させるモータ（図示略）と、ロータリースクリーン２１を内方から外方に押圧するための、ロータリースクリーン２１の内部に回転自在に収容した押圧手段（円柱型のローラー２４）と、ロータリースクリーン２１の外周面の一部分と共に、クラッド基材２２の一部分を挟み込み、ロータリースクリーン２１の回転によってクラッド基材２２を一方向に移動させるための案内手段２５と、ロータリースクリーン２１の貫通孔から供給された直後の放射線硬化性組成物からなるコアパターン２２ａに対して、放射線を照射するための放射線照射手段２６を備えている。
【００２４】
図２に示す実施の形態において、ロータリースクリーン２１としては、ステンレススチールやポリエステル等のメッシュ織物や、ニッケル等の金属で形成された中空の円筒状のスクリーン紗に、所定のコアパターンを形成するための貫通孔を形成してスクリーン版としたものを用いることができる。ロータリースクリーン２１は、印刷されるコアパターン２２ａの寸法や、コアパターン２２ａを構成する放射線硬化性組成物等の種類に応じて、所定の形態のものを用いることができる。
また、図２に示す実施の形態において、ロータリースクリーン２１は、モータ（図示略）によって、反時計回りに回転する。なお、ロータリースクリーン２１の回転方向は、特に限定されるものではない。
【００２５】
図２に示す実施の形態において、押圧手段としては、例えば、ローラー２４と、クラッド基材２２との接触部分におけるロータリースクリーン２１の回転速度と同じ速度になるようにローラー２４を回転させるためのモータ（図示略）を備えた装置を用いることができる。
ローラー２４は、その外周面がロータリースクリーン２１に内接している。ローラー２４は、所定の圧力でロータリースクリーン２１を内方から外方に押圧し、ロータリースクリーン２１の貫通孔から放射線硬化性組成物２３をクラッド基材２２上に押し出して、クラッド基材２２上にコアパターン２２ａを転写する。
なお、押圧手段は、ローラーに限らず、例えば、板状のスキージ等でもよい。
【００２６】
図２に示す実施の形態において、案内手段２５として、ロータリースクリーン２１の上流側と下流側にそれぞれ設置された一対の搬送ローラ２５ａ，２５ｂと、この搬送ローラ２５ａ，２５ｂに掛け渡された搬送ベルト２５ｃと、搬送ローラ２５ａ，２５ｂを回転させるモータ（図示略）を備えた搬送装置を用いている。
案内手段２５は、搬送ベルト２５ｃ上にクラッド基材２２を載置し、ローラー２４により外方に押圧されるロータリースクリーン２１の外周面の一部分に、クラッド基材２２の一部分を接触させた状態で、ロータリースクリーン２１を回転させることによって、クラッド基材２２を一方向に移動させる。なお、案内手段は、本例に限らず、他の形態のものを用いてもよい。
図２に示す実施の形態のように、ロータリースクリーン２１とクラッド基材２２の接触部分には、ロータリースクリーン２１に対峙する位置に受台２６を設けることができる。受台２６は、クラッド基材２２を搬送ベルト２４ｃの下方から支持する。この受台２６によって、クラッド基材２２は、例えば、フレキシブルなフィルム状のものであっても、下方に弛まないように支持される。また、受台２６は、放射線照射手段２７から照射された放射線の遮蔽手段としての役割も果たしている。
【００２７】
図２に示す実施の形態において、放射線照射手段２７は、放射線硬化性組成物を硬化するための放射線を照射するランプを備えた装置である。放射線照射手段２７は、クラッド基材２２上に転写された直後のコアパターン２２ａが、案内手段２５によってロータリースクリーン２１の下端から移動してきたときに、このコアパターン２２ａに対して、透明な基板および下部クラッド層からなるクラッド基材２２の下方から、放射線を照射するためのものである。
放射線およびランプとしては、図１に示す実施の形態において使用したものと同様のものを用いることができる。
【００２８】
図２に示す実施の形態において、スクリーン印刷装置２０には、コアパターン２２ａを転写した後にクラッド基材２２から離反したロータリースクリーン２１の部分を、放射線から遮蔽するためのスクリーン用遮蔽手段２８を備えていることが好ましい。本例において、スクリーン用遮蔽手段２８として、ロータリースクリーン２１の外周に沿った円弧状の形態のものを用いている。スクリーン用遮蔽手段は、本例に限らず、他の形態を用いてもよい。
【００２９】
次に、図２に示すスクリーン装置２０を用いて、光導波路を製造する方法について説明する。
［コアパターンの転写工程］
本工程は、図２に示すように、スクリーン装置２０のロータリースクリーン２１と、ロータリースクリーン２１を回転させるモータ（図示略）と、ロータリースクリーン２１を内方から外方に押圧するための、ロータリースクリーン２１の内部に設けた回転自在の押圧手段（ローラー２４）と、ローラー２４によって外方に押圧されるロータリースクリーン２１の外周面の一部分に、クラッド基材２２の一部分を接触させて、クラッド基材２２を一方向に移動させるための案内手段２５とを用いて、クラッド基材２２の一部分に、ロータリースクリーン２１の一部分を接触させ、ロータリースクリーン２１とクラッド基材２２が接触しているときに、ローラー２４によって、ロータリースクリーン２１の貫通孔（図示略）から放射線硬化性組成物２３をクラッド基材２２上に押し出して、クラッド基材２２上に、放射線硬化性組成物２３からなるコアパターン２２ａを転写する工程である。
クラッド基材２２としては、ガラス等からなる透明な基板上に、公知の材料を用いて下部クラッド層を形成させてなるものを用いることができる。
【００３０】
［コアパターンの硬化工程］
本工程は、ロータリースクリーン２１から供給された液状放射線硬化性組成物からなる、クラッド基材２２上のコアパターン２２ａに対して、放射線照射手段２７を用いて放射線を照射して、コアパターン２２ａを硬化し、コア部分を形成させる工程である。
【００３１】
［上部クラッド層を形成する工程］
本工程は、コア部分が形成されたクラッド基材２２上に、上部クラッド層の形成用の放射線硬化性組成物をスクリーン印刷法等によって塗布した後、放射線照射して、この放射線硬化性組成物を硬化させて、上部クラッド層を形成させる工程である。これにより、光導波路が完成する。
【００３２】
図３は、本発明の他の実施の形態を示し、スクリーン印刷装置３０を用いた光導波路の製造方法を概念的に示す図である。
本発明の光導波路の製造方法で用いるスクリーン印刷装置３０は、例えば、図３に示すように、所定のコアパターンを形成する貫通孔（図示略）を有する略円筒状のロータリースクリーン３１と、ロータリースクリーン３１を反時計回りに回転させるモータ（図示略）と、ロータリースクリーン３１の内部に設けた押圧手段（ローラー３４）と、ロータリースクリーン３１に対してクラッド基材３２を挟んで対峙する加圧ロール３５と、加圧ロール３５をロータリースクリーン３１と逆方向に回転させるためのモータ（図示略）と、クラッド基材３２を挟んで対峙し、互いに逆方向に回転する一対の搬送ローラ３６を有する搬送手段と、ロータリースクリーン３１の下端を通過した直後のクラッド基材３２上のコアパターン３２ａに対して、放射線を照射して、コア部分を形成するための放射線照射手段３７を備えている。
図３に示す実施の形態において、加圧ロール３５は、クラッド基材３２を所定の圧力でロータリースクリーン３１の外周面に押し付けて、ロータリースクリーン３１とクラッド基材３２の接触部分において、クラッド基材３２上にコアパターン３２ａが転写されるようにしている。また、加圧ロール３５は、搬送ローラ３６とともに、クラッド基材３２を一方向に移動させる役割も果たしている。
【００３３】
次に、図３に示すスクリーン装置３０を用いて、光導波路を製造する方法について説明する。
［コアパターンの印刷工程］
本工程は、図３に示すように、スクリーン装置３０のロータリースクリーン３１と、ロータリースクリーンを回転させるモータ（図示略）と、ロータリースクリーン３１を内方から外方に押圧するための、ロータリースクリーン３１の内部に設けた押圧手段（ローラー３４）と、ロータリースクリーン３１と対峙する加圧ロール３５と、搬送ローラ３６とを用いて、クラッド基材３２の一部分に、ロータリースクリーン３１の一部分を接触させ、ロータリースクリーン３１とクラッド基材３２が接触しているときに、ローラー３４によって、ロータリースクリーン３１の貫通孔（図示略）から放射線硬化性組成物３３をクラッド基材３２上に押し出して、クラッド基材３２上に放射線硬化性組成物３３からなるコアパターン３２ａを転写する工程である。
クラッド基材３２としては、ガラス等からなる透明な基板上に、公知の材料を用いて下部クラッド層を形成してなるものを用いることができる。
【００３４】
［コアパターンの硬化工程］
本工程は、ロータリースクリーン３１の下端を通過した直後のクラッド基材３２上のコアパターン３２ａに対して、放射線照射手段３７を用いて放射線を照射して、コアパターン３２ａを硬化し、コア部分を形成させる工程である。
【００３５】
［上部クラッド層の形成工程］
本工程は、コア部分が形成されたクラッド基材上に、上部クラッド層を形成するための液状の放射線硬化性組成物をスクリーン印刷法等によって塗布した後、放射線を照射して、液状の放射線硬化性組成物を硬化させ、上部クラッド層を形成させる工程である。これにより、光導波路が完成する。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の光導波路の製造方法の一実施の形態を概念的に示す説明図である。
【図２】本発明の光導波路の製造方法の他の実施の形態を概念的に示す説明図である。
【図３】本発明の光導波路の製造方法の他の実施の形態を概念的に示す説明図である。
【図４】光導波路の一例を模式的に示す断面図である。
【符号の説明】
【００３７】
１      スクリーン印刷装置
２      クラッド基材
２ａ    コアパターン
３      支持台
４      スクリーン
５ａ    クランプ
５ｂ    テンションローラ
６      放射線硬化性組成物
７      押圧手段
７ａ    スキージ
７ｂ    スキージホルダー
７ｃ    シリンダ
８      放射線照射手段
９      離反手段
１０    スクリーン用遮蔽手段
１０ａ  遮蔽板
１１    クラッド基材用遮蔽手段
１１ａ  遮蔽板
２０    スクリーン印刷装置
２１    ロータリースクリーン
２２    クラッド基材
２２ａ  コアパターン
２３    放射線硬化性組成物
２４    ローラー
２５    案内手段
２５ａ，２５ｂ    搬送ローラ
２５ｃ  搬送ベルト
２６    受台
２７    放射線照射手段
３０    スクリーン印刷装置
３１    ロータリースクリーン
３２    クラッド基材
３２ａ  コアパターン
３３    放射線硬化性組成物
３４    ローラー
３５    加圧ロール
３６    搬送ローラ
３７    放射線照射手段
４０    光導波路
４１    下部クラッド層
４２    コア部分
４３    上部クラッド層
【図１】
2008089861.tif 000003
【図２】
2008089861.tif 000004
【図３】
2008089861.tif 000005
【図４】
2008089861.tif 000006