(57)【要約】【課題】作業工程を増やすことなく、簡単な構成で、修正の待機時にガラスピペットの先端部の導電性ペーストの乾燥による詰まりを無くすと共にこのガラスピペットの先端部付近のゴミを取り除くことができるようにすることを目的とする。【解決手段】配線基板３に形成された配線パターン３ａの断線部分３ｂを導電性ペースト４を充填したガラスピペット５の先端部より導電性ペースト４を塗布して修正するようにした配線基板修正方法において、この修正の待機時においても、このガラスピペット５の先端部よりこの導電性ペースト４を吐出すようにし、この導電性ペースト４の乾きによるこのガラスピペット５の先端部の詰まりを防ぐようにしたものである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
配線基板に形成された配線パターンの断線部分を導電性ペーストを充填したガラスピペットの先端部より導電性ペーストを塗布して修正するようにした配線基板修正方法において、
前記修正の待機時においても、前記ガラスピペットの先端部より前記導電性ペーストを吐出すようにし、前記導電性ペーストの乾きによる前記ガラスピペットの先端部の詰まりを防ぐようにしたことを特徴とする配線基板修正方法。
【請求項２】
請求項１記載の配線基板修正方法において、
前記修正の待機時の前記ガラスピペットの先端部より前記導電性ペーストを吐出しを前記導電性ペーストが乾かない程度に断続的に行うようにしたことを特徴とする配線基板修正方法。
【請求項３】
請求項１又は２記載の配線基板修正方法において、
前記修正の待機時の前記ガラスピペットの先端部より前記導電性ペーストをローラーに塗布するようにしたことを特徴とする配線基板修正方法。
【請求項４】
請求項３記載の配線基板修正方法において、
前記ローラーに前記ガラスピペットの先端部より前記導電性ペーストを塗布するに、前記ローラーと前記ガラスピペットの先端部との相対位置を前記ローラーの回転方向に対し変化させるようにしたことを特徴とする配線基板修正方法。
【請求項５】
請求項１記載の配線基板修正方法において、
前記ガラスピペットの開口部に繊維状体を設けたことを特徴とする配線基板修正方法。
【請求項６】
配線基板に形成された配線パターンの断線部分を導電性ペーストを充填したガラスピペットの先端部より導電性ペーストを塗布して修正するようにした配線基板修正装置において、
前記修正の待機時においても、前記ガラスピペットの先端部より前記導電性ペーストを吐出す待機時吐出し手段を設け、
前記導電性ペーストの乾きによる前記ガラスピペットの先端部の詰まりを防ぐようにしたことを特徴とする配線基板修正装置。
【請求項７】
請求項６記載の配線基板修正装置において、
前記修正の待機時の前記ガラスピペットの先端部より前記導電性ペーストを塗布するローラーを設けたことを特徴とする配線基板修正装置。
【請求項８】
請求項６記載の配線基板修正装置において、
前記ガラスピペットの開口部に繊維状体を設けたことを特徴とする配線基板修正装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばＴＦＴ型液晶表示パネルのＴＦＴ基板における配線等の配線基板の配線パターンの断線部分の修正に適用して好適な配線基板修正方法及び配線基板修正装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、配線基板の配線パターンの断線部分の修正を導電性ペーストを塗布して行うようにしたものが提案されている。その中でもマイクロインジェクション用のガラスピペットを用いるものは、極めて細い線を描くことができる。
【０００３】
このマイクロインジェクション用のガラスピペットは、内径が１μｍ程度の非常に細いガラス管で、管内に導電性ペーストを充填し、この管内に圧力をかけて、導電性ペーストを押しだすことによって、配線基板の配線パターンの断線部分に直接導電性ペーストを塗布するものである。
【０００４】
このガラスピペットの先端部は、例えば内径が１μｍ程度と極めて小さいので、この修正の待機時に、このガラスピペットの先端の開口部の導電性ペーストが乾いて、このガラスピペットの先端部が詰まってしまう虞があった。
【０００５】
そこで、従来、特許文献１に、このガラスピペットの先端部の導電性ペーストの乾燥を防ぐために、この修正の待機時は、このガラスピペットの先端部を導電性ペースト格納容器内の導電性ペーストに浸漬させるようにした技術が開示されている。
【０００６】
また、特許文献２には、ガラスピペットの先端部の導電性ペーストの乾燥を防ぐために、この修正の待機時に導電性ペーストの飽和蒸気圧の雰囲気に保たれた密閉容器に格納する技術が開示されている。
【特許文献１】特開平１０−２４７７７４号公報
【特許文献２】特開平８−６６６５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
然しながら、特許文献１に開示の技術は、ガラスピペットの先端部を導電性ペースト格納容器内の導電性ペーストに浸漬するために、このガラスピペットの先端部外部に導電性ペーストが付着する。その後、断線部分を修正するときには、このガラスピペットの先端部外部に付着した導電性ペーストを除去する作業が必要であり、それだけ作業工程が増える不都合があった。
【０００８】
また、特許文献２に開示の技術は、装置が大がかりとなると共に密閉容器内の圧力を制御する必要があり、装置構成が複雑となる不都合があった。
【０００９】
更に、また、ガラスピペットは、非常に細いガラス管であるので、ゴミが混入すると、たちまち使えなくなる不都合があった。
【００１０】
本発明は、斯かる点に鑑み、作業工程を増やすことなく、簡単な構成で、修正の待機時にガラスピペットの先端部の導電性ペーストの乾燥による詰まりを無くすと共にこのガラスピペットの先端部付近のゴミを取り除くことができるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明配線基板修正方法は、配線基板に形成された配線パターンの断線部分を導電性ペーストを充填したガラスピペットの先端部より導電性ペーストを塗布して修正するようにした配線基板修正方法において、この修正の待機時においても、このガラスピペットの先端部よりこの導電性ペーストを吐出すようにし、この導電性ペーストの乾きによるこのガラスピペットの先端部の詰まりを防ぐようにしたものである。
【００１２】
本発明配線基板修正装置は、配線基板に形成された配線パターンの断線部分を導電性ペーストを充填したガラスピペットの先端部より導電性ペーストを塗布して修正するようにした配線基板修正装置において、この修正の待機時においても、このガラスピペットの先端部よりこの導電性ペーストを吐出す待機時吐出し手段を設け、この導電性ペーストの乾きによるこのガラスピペットの先端部の詰まりを防ぐようにしたものである。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、修正の待機時においても、ガラスピペットの先端部よりこの導電性ペーストを吐出すようにしたので、常に新しい導電性ペーストがガラスピペットの先端部より吐出されるため、ガラスピペットの先端部が導電性ペーストの乾燥により詰まることがない。
【００１４】
本発明によれば、修正の待機時においても、ガラスピペットの先端部よりこの導電性ペーストを吐出すようにするだけなので、構成が簡単であると共に作業工程を増やすことも無い。
【００１５】
また、本発明によれば、修正の待機時においても、ガラスピペットの先端部よりこの導電性ペーストを吐出すようにしたので、ガラスピペットの先端部付近にゴミが付着していても、このゴミは、導電性ペーストと共に吐出され、このゴミが取り除かれる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図面を参照して本発明配線基板修正方法及び配線基板修正装置を実施するための最良の形態の例につき説明する。
【００１７】
図１は、本例による配線基板修正装置を全体として示す。図１例において、１は載置台２上に載置されたＸＹステージを示し、このＸＹステージ１は周知の如く構成されたもので、図示しないマイクロコンピュータ等より成る制御装置により、Ｘ軸及びＹ軸方向に任意に移動できる如くなされたものである。
【００１８】
本例においては、このＸＹステージ１上の所定位置に、配線パターン３ａの断線部分３ｂを有する修正しようとする配線基板３を載置する。この配線パターン３ａの線幅は、例えば１μｍである。この配線基板３の断線部分３ｂは、予め映像処理による検査もしくは、通電検査等により、断線部分３ｂを特定し、その形状、大きさ等を上述図示しない制御装置のメモリに記憶させておき、また、この断線部分３ｂの後述する導電性ペースト４の塗布軌跡等も予めプログラムしておくものとする。
【００１９】
図１において、５は導電性ペースト４を予め充填したガラスピペットを示し、このガラスピペット５をＺ軸調整装置６の調整腕６ａの先端に固定し、このＺ軸調整装置６の調整腕６ａを上述図示しない制御装置により制御し、上下方向において、このガラスピペット５の先端部の導電性ペースト４を吐出す開口部５ａに設けたガラス繊維５ｂ及び５ｃの位置を調整できる如くなしたものである。
【００２０】
このガラスピペット５としては、図２に示す如く、細いガラス管より構成し、本例においては、このガラスピペット５の先端の開口部５ａの外径を比較的大きく例えば１０〜２０μｍとし、この開口部５ａに２本の同形状のヒゲ状の繊維状体例えばガラス繊維５ｂ及び５ｃを伸びる如く設ける。このガラス繊維５ｂ及び５ｃの先端の間隔を１μｍ程度とする。
【００２１】
この場合、このガラスピペット５の先端の開口部５ａの外径を比較的大きくすることで、ガラスピペット５の先端の開口部５ａの導電性ペースト４のつまりを防ぐことができると同時にこのガラスピペット５の開口部５ａからガラス繊維５ｂ及び５ｃを伸ばすことによって、その間の毛細管現象により導電性ペースト４が、ガラス繊維５ｂ及び５ｃの先端まで行渡り、非常に細い線を描く（塗布する）ことができる。例えば２本のガラス繊維５ｂ及び５ｃを用い、その先端の間隔を１μｍ程度にすれば、導電性ペースト４が行渡ったガラス繊維５ｂ及び５ｃを配線基板３に接触させることで、１μｍ程度の幅の線を描画（塗布）することができる。
【００２２】
尚、上述例では、繊維状体をガラス繊維５ｂ、５ｃで構成し、２本としたが、本数は特に限定するものではなく、また、ガラス繊維に限らず他のものであっても良い。
【００２３】
このガラスピペット５に充填する導電性ペースト４としては、例えばナノペースト（ハリマ化成（株）製）を使用する。このナノペーストは、水とはなじまない性質を有する。
【００２４】
図１において、７はガラスピペット５内の導電性ペースト４を開口部５ａより押し出す圧力をこの導電性ペースト４に加える加圧装置を示す。本例においては、この加圧装置７として、液体例えば水を例えばテフロンチューブ７ａを介して、このガラスピペット５の後端より送り込み、この水によりガラスピペット５内の導電性ペースト４に圧力を加える如くする。
【００２５】
この加圧装置７は例えば完全に液体本例においては水を満たしたシリンジにより物理的に押し込むことにより、細いガラスピペット５内の導電性ペースト４に圧力を加える。このガラスピペット５内の導電性ペースト４を液体本例においては水により圧力を加えてガラスピペット５の開口部５ａより押し出すようにしたときには、ガラスピペット５が細くても導電性ペースト４を良好に吐出すことができる。
【００２６】
この加圧装置７の制御は、後述するパーソナルコンピュタ等より成る画像処理装置８の指示に従って行う如くする。
【００２７】
また、図１において、９はガラスピペット５の先端の開口部５ａのガラス繊維５ｂ及び５ｃ間の導電性ペースト４を観察できるようにＸＹステージ１上に配された顕微鏡を示し、この顕微鏡９に得られる拡大像を被写体とする例えばＣＣＤカメラ等の撮像装置１０を設ける。
【００２８】
この撮像装置１０よりの映像信号を、この映像信号を表示するモニタ１１及び画像処理する画像処理装置８に供給する。このモニタ１１は、図３に示す如く、撮像装置１０で撮像した映像信号の画像を表示する。
【００２９】
また、画像処理装置８は、図４Ａに示す如き画像を観察し、導電性ペースト４がガラスピペット５の先端の開口部５ａより吐出され２本の細いガラス繊維５ｂ及び５ｃ間を毛細管現象によって先端まで行渡ったかの画像処理を行う。
【００３０】
本例においては、この画像処理装置８において、導電性ペースト４が２本の細いガラス繊維５ｂ及び５ｃの先端まで行渡ったことを検出したときに、この画像処理装置８は、この検出を加圧装置７に通知して、この加圧装置７よりのガラスピペット５内の導電性ペースト４を押し出す圧力の増大を停止して、この加圧装置７よりの圧力を一定とすると共にこの導電性ペースト４の検出をＸＹステージ１を駆動する前述制御装置に通知し、この制御装置によりＸＹステージ１を駆動して、配線基板３の断線部分３ｂに導電性ペースト４を塗布する。
【００３１】
本例においては、この配線基板３の断線部分３ｂに導電性ペースト４を塗布し、その終了時、このガラスピペット５内の導電性ペースト４への加圧装置７よりの加圧を減圧しながら、ガラスピペット５の開口部５ａよりのガラス繊維５ｂ及び５ｃをこの配線基板３より離すようにする。
【００３２】
また、本例においては、ＸＹステージ１の配線基板３の断線の修正に邪魔にならない所定位置に導電性ペースト塗布用の回転ローラー１２を設け、修正の待機時に、この回転ローラー１２にガラスピペット５を移動し、この開口部５ａに設けたガラス繊維５ｂ及び５ｃの先端をこの回転ローラー１２に当接する如くする（図５Ａ及び図５Ｂ参照）。
【００３３】
本例においては、この修正の待機時において、図５Ｃに示すごとく、画像処理装置８の制御装置により加圧装置７はガラスピペット５内の導電性ペースト４に所定の加圧を行い、このガラスピペット５の先端の開口部５ａより常に新しい導電性ペースト４を吐出し、この導電性ペースト４をこのガラスピペット５の開口部５ａに設けたガラス繊維５ｂ及び５ｃ先端部で回転ローラー１２に描画（塗布）するごとくする。
【００３４】
この場合、回転ローラー１２を回転し、この回転ローラー１２への描画（塗布）位置を少しずつ変化させ、同じ場所へ描画（塗布）することがないようにするを可とする。その後、修正するときは、図５Ｄに示す如く、このガラスピペット５を回転ローラー１２より修正箇所へ移動する。
【００３５】
このようにすることにより、修正作業中及び修正の待機中は常に新しい導電性ペースト４を吐出されるガラスピペット５の先端部の乾燥を防ぐことができ、ガラスピペット５が詰まることはない。
【００３６】
また、もし、このガラスピペット５の先端付近にゴミが付着している場合、待機中においてもこのガラスピペット５の開口部５ａより導電性ペースト４を吐出されるので、このゴミは導電性ペースト４と共にこの回転ローラー１２に描画（塗布）され、この際に取り除かれる。
【００３７】
また、この場合、この回転ローラー１２への描画（塗布）は連続して行うのではなく、導電性ペースト４が乾燥しない程度に、断続的に描画（塗布）するようにしてもよい。このときは、使用する導電性ペースト４を節約することができる。
【００３８】
図１において、１３は熱風を吹き出すブロワーを示し、このブロワー１３からの熱風で導電性ペースト４を加熱焼成する如くする。また、図１において、１４はレーザ発振器を示し、このレーザ発振器１４よりのレーザ光によっても、この導電性ペースト４を加熱焼成する如くする。
【００３９】
本例の配線基板３の断線部分３ｂの修正の動作を図６のフローチャートを参照して説明する。
【００４０】
先ず、ＸＹステージ１を制御駆動して、配線基板３の配線パターン３ａの断線部分３ｂの一端上方にガラスピペット５が位置するようにする（ステップＳ１）。この場合、この配線基板３の断線部分３ｂが顕微鏡９の真下に来る如くし、撮像装置１０でこの配線基板３の断線部分３ｂを撮像するようにし、モニタ１１で図３に示す如き、画像を得るようにする。
【００４１】
次に、Ｚ軸調整装置６の調整腕６ａを制御駆動して、ガラスピペット５の開口部５ａのガラス繊維５ｂ及び５ｃを配線基板３に近ずけ（ステップＳ２）、このガラスピペット５の開口部５ａのガラス繊維５ｂ及び５ｃが配線基板３の断線部分３ｂに接触（軟接触）したかを判断し（ステップＳ３）（図４Ａ参照）、このガラスピペット５の開口部５ａのガラス繊維５ｂ及び５ｃが配線基板３の断線部分３ｂに接触したときは、このＺ軸調整装置６によるこのガラスピペット５の移動を停止する（ステップＳ４）。
【００４２】
ステップＳ３でガラスピペット５の開口部５ａのガラス繊維５ｂ及び５ｃが配線基板３の断線部分３ｂに接触しないときは、接触するまでステップＳ２を繰り返す。
【００４３】
次に、加圧装置７によりガラスピペット５内の導電性ペースト４への圧力を徐々に増大する（ステップＳ５）。このとき、画像処理装置８で図４Ａに示す如き現画像がガラスピペット５の開口部５ａから導電性ペースト４が吐出され、２本のガラス繊維５ｂ及び５ｃの先端まで行渡ったかどうかを判断する（ステップＳ６）。
【００４４】
先端まで行渡ったらないときは、ステップＳ５を繰り返し、先端まで行渡ったときは、ガラスピペット５内の導電性ペースト４を押し出す圧力の増大を停止して、この加圧装置７よりの圧力を一定とすると共にＸＹステージ１を予め決められた所定方向に駆動して、配線基板３を移動し、図４Ｂに示す如く、断線部分３ｂに導電性ペースト４を塗布する（ステップＳ７）。
【００４５】
次に、断線部分３ｂの終点まで導電性ペースト４を塗布したかを判断し（ステップＳ８）、終点まで、この導電性ペースト４を塗布したときは、このガラスピペット５内の導電性ペースト４への加圧装置７よりの加圧を減圧しながら、ガラスピペット５をこの配線基板３より離して、回転ローラー１２に移動する（ステップＳ９）。この場合ブロワー１３からの熱風やレーザ発振器１４からのレーザ光によって導電性ペースト４を加熱焼成する如くする。
【００４６】
次に、この断線部分３ｂが他にあり、修正待機中であるかどうかを判断する（ステップＳ１０）。修正待機中でないときには終了し、修正待機中であるときには、ガラスピペット５の開口部５ａのガラス繊維５ｂ及び５ｃを回転ローラー１２に当接して、導電性ペースト４の吐出しを行う（ステップＳ１１）。
【００４７】
次に、修正待機終了かを判断し（ステップＳ１２）、修正待機が終了しないときは、ステップＳ１１を継続して行い、修正待機が終了したとこには、ステップＳ１に移行し、次の修正を行う。
【００４８】
本例は上述の如く構成されているので、修正の待機時においても、ガラスピペット５の先端部よりこの導電性ペースト４を吐出すようにしたので、常に新しい導電性ペースト４がガラスピペット５の先端部より吐出されるため、ガラスピペット５の先端部が導電性ペースト４の乾燥により詰まることがない。
【００４９】
本例によれば、修正の待機時においても、ガラスピペット５の先端部よりこの導電性ペースト４を吐出すようにするだけなので、構成が簡単であると共に作業工程を増やすことも無い。
【００５０】
また、本例によれば、修正の待機時においても、ガラスピペット５の先端部よりこの導電性ペースト４を吐出すようにしたので、ガラスピペット５の先端部付近にゴミが付着していても、このゴミは、導電性ペースト４と共に吐出され、このゴミが取り除かれる。
【００５１】
尚、本発明は上述例に限ることなく、本発明の要旨を逸脱することなく、その他種々の構成が採り得ることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明配線基板修正装置を実施するための最良の形態の例を示す構成図である。
【図２】図１に使用されるガラスピペットの例を示す一部切欠き斜視図である。
【図３】本発明の説明に供するモニタの画像の例を示す線図である。
【図４】本発明の説明に供するモニタの画像の例を示す線図である。
【図５】図１に使用される回転ローラーの例の説明に供する線図である。
【図６】図１例の動作の説明に供するフローチャートである。
【符号の説明】
【００５３】
１…ＸＹステージ、３…配線基板、３ａ…配線パターン、３ｂ…断線欠陥部分、４…導電性ペースト、５…ガラスピペット、５ａ…開口部、５ｂ、５ｃ…ガラス繊維、６…Ｚ軸調整装置、７…加圧装置、８…画像処理装置、９…顕微鏡、１０…撮像装置、１１…モニタ、１２…回転ローラー、１３…ブロワー、１４…レーザ発振器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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