(57)【要約】【課題】焦点位置測定装置において、測定雰囲気に温度変化が生じても、正確に被測定光学系の焦点位置測定を行えるようにする。【解決手段】焦点位置測定装置１００において、被検対物レンズ１を保持するワークステージ２と、被検対物レンズ１に、測定用光を入射させる光源部と、被検対物レンズ１を透過した測定用光を反射させる標本ミラー６と、標本ミラー６を光軸に沿って移動する移動機構７と、被検対物レンズ１に再入射した光を結像するコリメートレンズ５と、コリメートレンズ５による光の結像位置を検出するピンホール９および受光素子１０と、標本ミラー６の移動量を検出するレーザー測長機１１と、ワークステージ２に保持された被検対物レンズ１の周りの雰囲気温度を検出する温度センサ１２とを備え、温度センサ１２の検出温度に応じて、測定原点の再設定を促す警告表示を行うようする。【選択図】図１
2008268054.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定光学系に測定用光を入射し、結像位置を検出することで、基準位置からの焦点位置を測定する焦点位置測定装置であって、
前記被測定光学系を前記基準位置に保持する被測定光学系保持部と、
前記被測定光学系に、測定用光として平行光束を入射させる光源部と、
前記被測定光学系を透過した前記測定用光を光軸方向に反射させる反射ミラーと、
該反射ミラーを光軸に沿って移動する移動機構と、
前記反射ミラーを介して、前記被測定光学系に再入射した光を結像する結像レンズと、
該結像レンズを透過した光の結像位置を検出する結像位置検出機構と、
前記移動機構に支持されて移動する反射ミラーの移動量を検出する移動量検出機構と、
前記被測定光学系保持部に保持された前記被測定光学系の周りの雰囲気温度を検出する温度センサとを備え、
該温度センサの検出温度に応じて、測定原点の再設定を促す警告表示を行うようにしたことを特徴とする焦点位置測定装置。
【請求項２】
前記温度センサの検出出力に応じて前記移動量検出機構が検出した前記移動量を補正するようにしたことを特徴とする請求項１に記載の焦点位置測定装置。
【請求項３】
前記被測定光学系保持部が、前記被測定光学系を３点支持してなることを特徴とする請求項１または２に記載の焦点位置測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、焦点位置測定装置に関する。例えば、顕微鏡対物レンズなどを被測定光学系とする焦点位置測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば対物レンズユニットなどの製造工程では、ユニット組立後に焦点距離測定、あるいは基準位置からの焦点位置測定（以下、両者を含めて焦点位置測定と称する）が行われる。
例えば、特許文献１には、このような焦点位置測定装置として、移動自在に支持された被測定光学系への発散光束生成手段と、被測定光学系を移動自在に支持する光学支持体と、被測定光学系からの出射光束の周速点検出手段とからなり、光束収束点が検出される発散光束生成手段と被測定光学系の位置とから焦点距離を演算する光学系の焦点距離測定装置が記載されている。
また、特許文献１の従来の技術には、平行光束を用いた焦点位置測定装置として、ノーダルスライド法、倍率法を用いた装置構成が記載されている。
【特許文献１】特開平７−５５６３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記のような従来の焦点位置測定装置には以下のような問題があった。
特許文献１に記載の技術では、いずれも光軸に沿う距離を測定して、焦点距離、焦点位置を求めている。そのため、測定環境に温度変化が起こると、距離測定が不正確となり、焦点位置の測定精度が低下してしまうという問題がある。
測定環境を一定温度に温度制御することも考えられるが、製造工程での焦点位置測定では、次々に生産される完成品を順次被測定光学系とするので、被測定光学系が頻繁に入れ替えられることになる。そのため、測定環境を正確に一定温度状態を保つことは困難である。被測定光学系の入れ替え後、温度平衡状態となるまで放置すると、測定効率が著しく悪化してしまうという問題がある。
【０００４】
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、測定雰囲気に温度変化が生じても、正確に被測定光学系の焦点位置測定を行えるようにした焦点位置測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題を解決するために、請求項１に記載の発明では、被測定光学系に測定用光を入射し、結像位置を検出することで、基準位置からの焦点位置を測定する焦点位置測定装置であって、前記被測定光学系を前記基準位置に保持する被測定光学系保持部と、前記被測定光学系に、測定用光として平行光束を入射させる光源部と、前記被測定光学系を透過した前記測定用光を光軸方向に反射させる反射ミラーと、該反射ミラーを光軸に沿って移動する移動機構と、前記反射ミラーを介して、前記被測定光学系に再入射した光を結像する結像レンズと、該結像レンズを透過した光の結像位置を検出する結像位置検出機構と、前記移動機構に支持されて移動する反射ミラーの移動量を検出する移動量検出機構と、前記被測定光学系保持部に保持された前記被測定光学系周りの雰囲気温度を検出する温度センサとを備え、該温度センサの検出温度に応じて、測定原点の再設定を促す警告表示を行うようにした構成とする。
この発明によれば、被測定光学系保持部によって、基準位置に保持された被測定光学系に対して、光源部から測定用光として平行光束を入射し、被測定光学系を透過した光を反射ミラーで反射し、その反射光を被測定光学系に再入射させ、その透過光を結像レンズによって結像させる。そして、移動機構によって、反射ミラーを光軸方向に移動することにより、結像レンズによる結像位置を変化させる。そして、この結像位置を結像位置検出機構によって検出し、所定の結像位置が得られるように、反射ミラーの位置を調整する。そして、この調整後の反射ミラーの移動位置を移動量検出機構によって、検出することで、基準位置に対する被測定光学系の焦点位置を測定することができる。
その際、温度センサによって、被測定光学系保持部に保持された被測定光学系周りの雰囲気温度が検出されており、この温度センサの検出温度に応じて、測定原点の再設定を促す警告表示が行われる。
これにより、温度変化量が所定の測定精度を満足できない大きさになった場合には、測定原点の再設定を行うことで、良好な測定精度を維持することが可能となる。
【０００６】
請求項２に記載の発明では、請求項１に記載の焦点位置測定装置において、前記温度センサの検出出力に応じて前記移動量検出機構が検出した前記移動量を補正するようにした構成とする。
この発明によれば、温度センサの検出出力に応じて移動量検出機構の移動量を補正するので、被測定光学系周りの雰囲気温度に応じて正確な移動量を検出することができる。
【０００７】
請求項３に記載の発明では、請求項１または２に記載の焦点位置測定装置において、前記被測定光学系保持部が、前記被測定光学系を３点支持してなる構成とする。
この発明によれば、被測定光学系保持部が、被測定光学系を３点支持するため、基準位置に対する被測定光学系の位置決め精度を向上することができるとともに、被測定光学系保持部を介した熱伝導を低減できるので、被測定光学系の載せ替えに伴う測定環境の温度変化を低減することができる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の焦点位置測定装置によれば、温度センサによって焦点位置測定における雰囲気温度を検出し、この検出温度に応じて、測定原点の再設定を促す警告表示を行うので、測定雰囲気の温度変化が生じても、測定原点の再設定を行うことにより、正確に被測定光学系の焦点位置測定を行うことができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下では、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。
本発明の実施形態に係る焦点位置測定装置について説明する。
図１は、本発明の実施形態に係る焦点位置測定装置の概略構成を示す模式的な正面図である。図２は、本発明の実施形態に係る焦点位置測定装置の被測定光学系および被測定光学系保持部を示す模式的な断面図である。図３は、本発明の実施形態に係る焦点位置測定装置の制御ブロック図である。
【００１０】
本実施形態の焦点位置測定装置１００の概略構成は、図１に示すように、レーザー光源３、ハーフミラー８、ミラー４、コリメートレンズ５（結像レンズ）を内部に収めた装置本体１８と、装置本体１８の上面を構成する天板１８ａに固定されたワークステージ２（被測定光学系保持部）と、天板１８ａ上方で上下方向に移動可能に設けられた標本ミラー６（反射ミラー）と、標本ミラー６の移動位置を測定するレーザー測長機１１（移動量検出機構）と、温度センサ１２と、受光素子１０と、これら構成要素の動作を制御する制御部１４とからなる。
そして、このような構成によりワークステージ２上に配置された被測定光学系の焦点位置を測定できるようになっている。
以下では、被測定光学系の一例として、図２に示すような、被検対物レンズ１の焦点位置を測定する場合の例で説明する。
【００１１】
被検対物レンズ１は、略円筒状のレンズ鏡筒１ａの内部に、例えば、レンズＬ１、Ｌ２、Ｌ３などの複数のレンズが配置され、無限遠設計の対物光学系を構成するレンズユニットである。被検対物レンズ１の光軸Ｐは、レンズ鏡筒１ａの中心軸に一致されている。
レンズ鏡筒１ａの一端側には、例えば、顕微鏡などにマウントするための取付部１ｃとその取付時に光軸Ｐ方向に位置決めを行うため光軸Ｐに直交する平面からなる取付基準面１ｂとが形成されている。
取付部１ｃは、本実施形態では、レンズ鏡筒１ａの外径よりわずかに小さい外径を有する雄ネジによって形成されている。
取付基準面１ｂは、取付部１ｃの外周部から、レンズ鏡筒１ａの外形部まで延びる円環状の平面からなる。
【００１２】
ワークステージ２は、本実施形態では、表面が平滑なガラス板からなり、その上面側に、被検対物レンズ１の取付基準面１ｂを支持する測定基準面２ａ（基準位置）を備えている。測定基準面２ａの中心に、被検対物レンズ１の取付部１ｃよりもわずかに大きな内径で板厚方向に貫通するガイド孔２ｂが設けられている。このため、被検対物レンズ１の取付部１ｃをガイド孔２ｂ内に収めた状態で、取付基準面１ｂを測定基準面２ａ上にセットすると光軸Ｐは、略ガイド孔２ｂの中心に位置する。
【００１３】
レーザー光源３は、被検対物レンズ１に入射させる測定用光を発散光として発生するものである。例えば、適宜波長の半導体レーザーなどから構成される。
ハーフミラー８は、レーザー光源３と被検対物レンズ１との間の光路を分岐させる光路分岐手段である。
ミラー４は、ハーフミラー８を透過した測定用光を反射して、測定基準面２ａに直交し、測定基準面２ａの中心を通過して進むように、光路を折り曲げるものである。
【００１４】
コリメートレンズ５は、ミラー４とワークステージ２との間の光路上に設けられ、ミラー４で反射された測定用光を平行光束に集光する光学素子である。
このため、レーザー光源３、ハーフミラー８、ミラー４、コリメートレンズ５は、被検対物レンズ１に平行光束を入射させる光源部を構成している。
コリメートレンズ５の焦点距離は、温度変化の影響を受けにくくなるように、被検対物レンズ１の焦点距離に比べて十分長い値、例えば、数百ｍｍ程度に設定する。
【００１５】
標本ミラー６は、測定用光の光軸に直交する平面ミラーであり、ガイド孔２ｂを透過し、被検対物レンズ１で集光された測定用光を光軸上に折り返すことができるようになっている。
標本ミラー６は、例えば天板１８ａ上に立設された低熱膨張金属製の支柱部１３上で、測定用光の光軸に沿って移動可能に設けられた移動機構７によって光軸に沿う上下方向に移動可能に支持されている。
移動機構７は、標本ミラー６をワークステージ２の測定基準面２ａの上方の所定距離の範囲で光軸に沿う上下方向に移動自在に支持するもので、例えば、ボールネジ駆動される１軸ステージ、リニアモータ、圧電素子による駆動機構などの適宜の機構を採用することができる。
【００１６】
レーザー測長機１１は、支柱部１３の上部に固定され、標本ミラー６の、上下方向における移動位置を測定するものである。レーザー測長機１１の測定結果は、制御部１４に送出され、焦点位置を算出するための演算データや、移動機構７の移動制御用のデータとして利用できるようになっている。
【００１７】
温度センサ１２は、ワークステージ２に支持された被検対物レンズ１周りの雰囲気温度を測定するセンサである。温度センサ１２によって検出された検出温度データは、制御部１４に送出される。
【００１８】
受光素子１０は、標本ミラー６で反射され、被検対物レンズ１、コリメートレンズ５によって集光され、ミラー４、ハーフミラー８によって反射された測定用光を、コリメートレンズ５の焦点位置より像側の位置で受光し、その光量変化により測定用光の結像位置を検出するためのもので、例えば、フォトダイオードやＣＣＤなどからなる。
そして、ハーフミラー８と受光素子１０との間の光路上には、コリメートレンズ５の焦点位置に相当する位置において受光素子１０への入射光を規制するピンホール９が配置されている。すなわち、ピンホール９は、レーザー光源３に対する共焦点位置に配置されていることになる。
このため、本実施形態では、コリメートレンズ５は、反射ミラーを介して被測定光学系に再入射した光を結像する結像レンズを兼ねており、ピンホール９と受光素子１０とは、結像レンズを透過した光の結像位置を検出する結像位置検出機構を構成している。
【００１９】
制御部１４は、図３に示すように、移動機構７、レーザー測長機１１、温度センサ１２、表示部１４ａ、受光素子１０とそれぞれ電気的に接続され、それぞれと通信を行って、動作制御、データの取得、データ演算などを行うことができるようになっている。
制御部１４の装置構成としては、ＣＰＵ、メモリ、入出力部、外部記憶装置などで構成されたコンピュータを用い、各種の制御機能、演算機能に対応して作成されたプログラムを実行することにより各種の制御機能、演算機能を実現している。
制御部１４が行う制御としては、移動機構７の移動制御があり、これには後述する０リセット制御が含まれる。また、レーザー測長機１１、温度センサ１２からはそれぞれ標本ミラー６の位置情報、検出温度を取得できるようになっている。受光素子１０からは、標本ミラー６の移動位置に応じた受光量を取得し、これら受光量を比較演算して、受光量の最大値を検出できるようになっている。
【００２０】
表示部１４ａは、適宜の操作画面、測定結果表示画面、メッセージ画面などを切替表示可能とするもので、例えば、モニタや液晶パネルなどから構成される。
本実施形態では、温度センサ１２の検出温度が、一定の温度範囲を超えている場合、測定原点の再設定を促す警告表示をメッセージ画面上に表示できるようになっている。
一定の温度範囲は、例えば、支柱部１３の熱膨張によるレーザー測長機１１の固定位置の変動などを考慮して、測定精度の必要に応じて適宜設定することができる。例えば、焦点位置が４５ｍｍの被検対物レンズ１の場合、測長精度としては、０．５μｍ以下程度の精度が好ましい。そのため、本実施形態では、後述する０リセット動作を行った温度から１℃以上変化した場合、警告表示を行う設定としている。
【００２１】
次に、焦点位置測定装置１００の動作について説明する。
図４は、本発明の実施形態に係る焦点位置測定装置の０リセット動作および基準治具測定動作について説明する模式図である。
【００２２】
焦点位置測定装置１００では、電源投入とともに、温度センサ１２によって雰囲気温度が検出され、一定のサンプリング周期で温度検出が繰り返される。
焦点位置測定装置１００では、０リセット工程、基準治具測定工程、焦点位置測定工程をこの順次行うようになっている。
【００２３】
まず、０リセット工程では、図４に破線で示すように、ワークステージ２上に何も配置しない状態で、標本ミラー６を下降させ、標本ミラー６を測定基準面２ａに当接させる。そして、このときの標本ミラー６の位置（上面位置）をレーザー測長機１１で測定し、標本ミラー６の上面位置を測定原点として設定する。このとき、温度センサ１２で検出された温度を制御部１４に基準温度として記憶する。
【００２４】
次に、基準治具測定工程では、図４の実線で示すように、予め長さが既知の基準治具１５を測定基準面２ａ上に配置し、標本ミラー６を基準治具１５の上面に当接させる。このとき、標本ミラー６の上面位置をレーザー測長機１１によって測定する。
ここで、基準治具１５は、熱膨張率が小さく、表面に傷などがつきにくい材質で製作する。本実施形態では、熱膨張率０±０．１×１０−６／℃のゼロデュア（登録商標）を用いている。
【００２５】
制御部１４では、レーザー測長機１１による測定結果と予め記憶された基準治具１５の長さとを比較し、その差が許容範囲内であれば、基準治具測定工程を完了し、焦点位置測定工程に移行する。
一方、レーザー測長機１１による測定結果と予め記憶された基準治具１５の長さとの差が許容範囲を超える場合は、０リセット工程、または基準治具測定工程の動作が正しく行われていないことが考えられる。例えば、測定基準面２ａと標本ミラー６との間や、測定基準面２ａと基準治具１５との間にゴミなどが付着して、高さに狂いが生じることが考えられる。したがって、このような許容範囲の測定結果が得られた場合、制御部１４は、０リセットを無効とする。
そして、表示部１４ａに、０リセット工程、基準治具測定工程のやり直しを促すメッセージを表示する。そして、焦点位置測定工程を実行する操作をロックし、０リセット工程、基準治具測定工程をやり直さない限り焦点位置測定ができないようにする。
【００２６】
０リセット工程をやり直す表示が出た場合、測定者は、測定基準面２ａを清掃してから、再度０リセット動作を実行させる。そして、基準治具１５の受け面を清掃してから、測定基準面２ａに再セットして基準治具測定動作をやり直す。
そして、０リセットのやり直し表示が消えるまで上記の手順を繰り返す。
【００２７】
次に、以下のようにして、焦点位置測定工程を行う。
まず、ワークステージ２の測定基準面２ａに、レンズ鏡筒１ａの取付基準面１ｂを当接させて、ワークステージ２に被検対物レンズ１をセットする。このとき、標本ミラー６は、被検対物レンズ１の焦点位置近傍に移動しておく。
この状態で、レーザー光源３から測定用光を出射する。測定用光は、ハーフミラー８を透過し、ミラー４によって反射されて、コリメートレンズ５に入射する。
コリメートレンズ５は、予めレーザー光源３からの発散光を平行光束にするようにコリメート調整されているため、コリメートレンズ５からは平行光束が出射される。
この平行光束は、ガイド孔２ｂを通して、被検対物レンズ１に入射し、被検対物レンズ１の焦点位置に結像される。
【００２８】
標本ミラー６が、被検対物レンズ１の焦点位置に配置されている場合、標本ミラー６で反射された測定用光は、被検対物レンズ１に再入射し、平行光束となって、コリメートレンズ５に入射し、レーザー光源３と共焦点となる位置に結像される。すなわち、ミラー４、ハーフミラー８で反射された後、ピンホール９の位置に結像される。
このため、ピンホール９に入射する全光量がピンホール９を透過し、受光素子１０上で受光される。
一方、標本ミラー６が、被検対物レンズ１の焦点位置からずれている場合、同様の光路を通って、ピンホール９から光軸方向にずれた位置に結像される。そのため、ピンホール９上では、ピンホール９のホール径よりも広い範囲に光束が広がるため、一部の光束がピンホール９で遮光される。したがって、受光素子１０の受光量が低下する。
【００２９】
そこで、焦点位置測定工程では、上記の初期状態で、測定用光が、受光素子１０に入射することが確認されたら、制御部１４によって移動機構７を駆動し、標本ミラー６の位置を光軸方向の上（又は下）に移動させる。そして、その状態から、初期設定位置に向けて、標本ミラー６を徐々に下（又は上）に移動する。そして、適宜のサンプリング間隔で、レーザー測長機１１によって測定される標本ミラー６の移動位置と、受光素子１０の受光量を測定していく。そして、受光素子１０の受光量が光軸方向で最大となる標本ミラー６の位置を求め、この位置を被検対物レンズ１の焦点位置の測定値とする。
このとき、温度センサ１２の検出温度が、０リセット動作時の温度から、所定温度範囲内にあれば、焦点位置測定を正常終了する。
一方、測定中に、温度センサ１２の検出温度が、所定温度範囲を超えた場合、表示部１４ａに警告表示が行われ、これにより、焦点位置測定動作が中断される。
この場合、測定者は、０リセット工程、基準治具測定工程からやり直し、その後、焦点位置を再測定する。
【００３０】
このように、本実施形態の焦点位置測定装置１００によれば、温度センサ１２によって、測定雰囲気温度の変化をモニタすることにより、０リセット動作からの温度変化が所定温度範囲内にある条件の下に、焦点位置測定を行うことができるので、正確な測定を行うことができる。
【００３１】
なお、本実施形態では、被検対物レンズ１周りの雰囲気温度を測定しており、装置本体１８の内部における温度、例えば、コリメートレンズ５からピンホール９までの光路における雰囲気温度は測定していない。これは、コリメートレンズ５の焦点距離が被検対物レンズ１の焦点距離に比べて十分長いため、１℃程度の温度変動が発生しても、測定精度に影響しないからである。
【００３２】
次に、本実施形態の第１変形例について説明する。
図５は、本発明の実施形態の第１変形例に係る焦点位置測定装置の被測定光学系および被測定光学系保持部を示す模式的な正面図である。図６は、本発明の実施形態の第１変形例に係る焦点位置測定装置の被測定光学系保持部を示す模式的な斜視図である。図７は、本発明の実施形態の第１変形例に係る焦点位置測定装置の被測定光学系および被測定光学系保持部を示す模式的な断面図である。
【００３３】
本変形例の焦点位置測定装置１０１は、上記実施形態の焦点位置測定装置１００において、ワークステージ２に代えてワークステージ１６（被測定光学系保持部）を備えるものである。以下、上記実施形態と異なる点を中心に説明する。
ワークステージ１６は、図５、６に示すように、中央にワークステージ２のガイド孔２ｂと同様のガイド孔１６ｂを備えた板部材からなり、ガイド孔１６ｂの近傍の上面１６ａ側においてガイド孔１６ｂを周方向に３等分する位置に鋼球などからなる３つの受け部１７を取り付けたものである。このため、図７に示すように被検対物レンズ１の取付基準面１ｂは、３つの受け部１７によって、ワークステージ１６上で３点支持されるようになっている。
【００３４】
本変形例によれば、被検対物レンズ１を、測定基準面２ａに代えて、３つの受け部１７によって、３点支持するため、被検対物レンズ１の取付基準面１ｂとワークステージ１６、あるいは基準治具１５とワークステージ１６との間にゴミなどが挟まれにくくなる。
そのため、ゴミなどが挟み込まれて０リセット動作や基準治具測定動作の測定が失敗する可能性が低減され、効率的な焦点位置測定を行うことができる。
また、測定時に被検対物レンズ１とワークステージ１６との接触面積が非常に小さくなるため、それぞれの間の熱交換が起こりにくく、被検対物レンズ１を取り替えて連続測定を行うような場合でも、被検対物レンズ１の接触による温度変化の影響が少なくなり、測定温度環境を安定しやすくなる。
【００３５】
次に、本実施形態の第２変形例について説明する。
本変形例は、温度センサ１２の検出温度に応じて、レーザー測長機１１の測長量の温度補正を行うようにしたものである。温度補正を行うパラメータとしては、温度変化により測定に影響する種々のパラメータを必要に応じて設定する。例えば、レーザー光源３が、温度変化によって、波長変化を起こす場合には、温度センサ１２の温度変化に基づいて、制御部１４が波長変動分による焦点位置の変化を演算し、補正する。また、温度変化により、レーザー測長機１１を支持する支柱部１３が伸縮する場合には、制御部１４により伸縮量を演算して、レーザー測長機１１の測定結果を補正する。
このような温度補正を行うことにより、焦点位置の測定精度を向上することができる。
また、本変形例によれば、被検対物レンズ１周りの雰囲気温度がある程度変化しても、レーザー測長機１１の測長結果が、温度補正されるので、０リセット工程をやり直す温度範囲の範囲を広げることができる。この場合、０リセット工程をやり直す頻度を低減できるので、測定精度を保ちつつ、より効率的に測定を行うことができる。
【００３６】
なお、上記の説明では、反射ミラーの移動量を検出する移動量検出機構として、レーザー測長機１１を用いた例で説明したが、所望の精度で反射ミラーの位置を検出することができれば、移動量検出機構は、レーザー測長機に限定されるものではない。例えば、機械的位置検出機構やリニアエンコーダなどを用いてもよい。
また、上記の説明では、レーザー測長機１１が、移動機構７と一体化された標本ミラー６の位置を検出することで、移動機構７の移動量を検出するようにした例で説明したが、反射ミラーの移動量を正確に求めることができれば、移動量検出機構は、移動機構７の移動量を検出する機構であってもよい。
また、上記の説明では、測定原点として標本ミラー６の上面位置を設定したが、これに限らず、標本ミラー６と一体で上下動するように標本ミラーに取り付けた部材を、標本ミラー６の一部と見なして、この部材の位置で測定原点を設定してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の実施形態に係る焦点位置測定装置の概略構成を示す模式的な正面図である。
【図２】本発明の実施形態に係る焦点位置測定装置の被測定光学系および被測定光学系保持部を示す模式的な断面図である。
【図３】本発明の実施形態に係る焦点位置測定装置の制御ブロック図である。
【図４】本発明の実施形態に係る焦点位置測定装置の０リセット動作および基準治具測定動作について説明する模式図である。
【図５】本発明の実施形態の第１変形例に係る焦点位置測定装置の被測定光学系および被測定光学系保持部を示す模式的な正面図である。
【図６】本発明の実施形態の第１変形例に係る焦点位置測定装置の被測定光学系保持部を示す模式的な斜視図である。
【図７】本発明の実施形態の第１変形例に係る焦点位置測定装置の被測定光学系および被測定光学系保持部を示す模式的な断面図である。
【符号の説明】
【００３８】
１  被検対物レンズ（被測定光学系）
２、１６  ワークステージ（被測定光学系保持部）
１ｂ  取付基準面
２ａ  測定基準面（基準位置）
３  レーザー光源
５  コリメートレンズ（結像レンズ）
６  標本ミラー（反射ミラー）
７  移動機構
９  ピンホール（結像位置検出機構）
１０  受光素子（結像位置検出機構）
１１  レーザー測長機（移動量検出機構）
１２  温度センサ
１３  支柱部
１４  制御部
１４ａ  表示部
１５  基準治具
１７  受け部
１００、１０１  焦点位置測定装置
【図１】
2008268054.tif 000003
【図２】
2008268054.tif 000004
【図３】
2008268054.tif 000005
【図４】
2008268054.tif 000006
【図５】
2008268054.tif 000007
【図６】
2008268054.tif 000008
【図７】
2008268054.tif 000009