(57)【要約】【課題】より高速回転可能な遠心式圧縮機を提供する。【解決手段】遠心式圧縮機は、前側羽根車１１が設けられる前側圧縮部１と、前側圧縮部１の外部に設けられるモータ３２と、前側羽根車１１にモータ３２の駆動力を伝達する回転軸３１と、回転軸３１を支承する軸受装置４とが設けられる駆動部３と、駆動部３の前側圧縮部１と反対側に設けられ、回転軸３１の前側羽根車１１と反対側の端部に連結される後側羽根車２１が設けられる後側圧縮部２とを備える。軸受装置４は、前側羽根車１１の駆動部３側端面に設けられる前側ターゲット６１と、前側ターゲット６１に対向する位置に設けられる前側電磁石６２と、後側羽根車２１の駆動部３側端面に設けられる後側ターゲット７１と、後側ターゲット７１に対向する位置に設けられる後側電磁石７２とを備えるアキシャル磁気軸受６０，７０を含む。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一のケーシングと同第一のケーシング内部に回転可能に収容される第一の羽根車とが設けられる第一の圧縮部と、
同第一の圧縮部の外部に設けられるモータと、同第一の羽根車に同モータの駆動力を伝達する回転軸と、同回転軸をアキシャル方向及びラジアル方向において支承する非接触軸受とが設けられる駆動装置と、
同駆動装置の同第一の圧縮部と反対側に設けられる第二のケーシングと、同第二のケーシング内部に回転可能に収容されるとともに、前記回転軸の前記第一の羽根車と反対側の端部に連結される第二の羽根車とが設けられる第二の圧縮部とを備え、
前記非接触軸受は、前記第一の羽根車の前記モータ側端面に設けられる第一のターゲットと、前記第一のケーシング内部に露出するとともに、同第一のターゲットに対向する位置に設けられ、同第一のターゲットを吸引する第一の電磁石と、前記第二の羽根車の前記モータ側端面に設けられる第二のターゲットと、前記第二のケーシング内部に露出するとともに、同第二のターゲットに対向する位置に設けられ、同第二のターゲットを吸引する第二の電磁石とを備えるアキシャル磁気軸受を含み、
前記モータの駆動により前記第一の羽根車及び前記第二の羽根車が回転運動することによって前記第一のケーシング内部及び前記第二のケーシング内部の双方において気体を圧縮する
ことを特徴とする遠心式圧縮機。
【請求項２】
請求項１に記載の遠心式圧縮機において、
前記第二の圧縮部は、前記第一の羽根車と同様である前記第二の羽根車と、前記第一のケーシングと同様である前記第二のケーシングとを備えてなる
ことを特徴とする遠心式圧縮機。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の遠心式圧縮機において、
前記第一の羽根車に設けられた前記第一のターゲットの前記第一の電磁石に対向する面及び前記第二の羽根車に設けられた前記第二のターゲットの前記第二の電磁石に対向する面には、前記回転軸がラジアル方向へ偏移しようとしたときに、前記両ターゲットに対して前記偏移方向と反対のラジアル方向の吸引力を作用させるべく環状溝が前記両ターゲットの軸心回りに形成され、ラジアル磁気軸受も兼ねる
ことを特徴とする遠心式圧縮機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、遠心式圧縮機に関する。
【背景技術】
【０００２】
遠心式圧縮機では、モータを駆動源とする駆動装置により圧縮部のケーシング内に設けられた羽根車を回転駆動することにより気体（空気）を圧縮している。このような駆動装置には、羽根車に駆動力を伝達する回転軸を支承するための軸受装置が設けられている（特許文献１参照。）。特に軸受装置としては、非接触軸受である磁気軸受やフォイル軸受が用いられている。
【０００３】
このような圧縮機は、例えば、図３に示されるように、圧縮部１０１及び駆動装置としての駆動部１０２とを備えている。これら圧縮部１０１及び駆動部１０２は、ケーシング１１０を構成する圧縮部ケーシング１１０ａと駆動部ケーシング１１０ｂとをそれぞれ備えてなる。圧縮部１０１は、駆動部１０２の前方（同図左側）に位置している。圧縮部１０１の圧縮部ケーシング１１０ａには、気体が吸入される気体吸入路１１２と、気体が吐出される気体吐出路１１３と、圧縮部ケーシング１１０ａ内で回転することにより気体吸入路１１２を通じて吸入した気体を圧縮し、気体吐出路１１３を通じて吐出する羽根車１１１とが設けられている。駆動部１０２には、ビルトイン型のモータ１３２と、同モータ１３２によって回転駆動され、同羽根車１１１に回転運動を伝達する回転軸１３１と、同回転軸１３１を支承する軸受装置１０４とが設けられている。回転軸１３１は圧縮部ケーシング１１０ａ及び駆動部ケーシング１１０ｂを嵌通し、その先端には圧縮部１０１に設けられた羽根車１１１が接続されている。軸受装置１０４は、回転軸１３１の軸方向においてモータ１３２を挟むように前後（同図左右）に位置し回転軸１３１をラジアル方向において支承する前後一対の前側フォイル軸受１４０及び後側フォイル軸受１５０と、回転軸１３１をアキシャル方向において支承する前側アキシャル磁気軸受１６０及び後側アキシャル磁気軸受１７０とからなる。
【０００４】
モータ１３２の駆動を通じて回転軸１３１が回転すると、回転軸１３１には、圧縮部１０１における吸入圧力と吐出圧力とが異なることにより、同図の白抜き矢印で示すアキシャル方向の前方への力（スラスト荷重Ｆ）が発生する。そのため、回転軸１３１のアキシャル方向を支承する両アキシャル磁気軸受１６０，１７０は、同スラスト荷重Ｆによる回転軸１３１のアキシャル方向の偏移を抑制することができる程度の負荷容量のものを設けなければならない。
【特許文献１】特表２００４−５２７６９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、圧縮機をより高出力、すなわち高速回転可能にする場合には、負荷容量を大きくするためにアキシャル磁気軸受１６０，１７０を大型化させる必要がある。一方で、軸受装置を大型化すると、回転軸の軸長が長くなるために、回転軸の固有振動数が減少し、高速回転が妨げられるおそれがある。そのため、圧縮機の高出力化には、改善の余地を残すものとなっていた。
【０００６】
この発明は、こうした実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、より高速回転可能な遠心式圧縮機を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
以下、上記目的を達成するための手段及びその作用効果について説明する。
請求項１に記載の発明は、第一のケーシングと同第一のケーシング内部に回転可能に収容される第一の羽根車とが設けられる第一の圧縮部と、同第一の圧縮部の外部に設けられるモータと、同第一の羽根車に同モータの駆動力を伝達する回転軸と、同回転軸をアキシャル方向及びラジアル方向において支承する非接触軸受とが設けられる駆動装置と、同駆動装置の同第一の圧縮部と反対側に設けられる第二のケーシングと、同第二のケーシング内部に回転可能に収容されるとともに、前記回転軸の前記第一の羽根車と反対側の端部に連結される第二の羽根車とが設けられる第二の圧縮部とを備え、前記非接触軸受は、前記第一の羽根車の前記モータ側端面に設けられる第一のターゲットと、前記第一のケーシング内部に露出するとともに、同第一のターゲットに対向する位置に設けられ、同第一のターゲットを吸引する第一の電磁石と、前記第二の羽根車の前記モータ側端面に設けられる第二のターゲットと、前記第二のケーシング内部に露出するとともに、同第二のターゲットに対向する位置に設けられ、同第二のターゲットを吸引する第二の電磁石とを備えるアキシャル磁気軸受を含み、前記モータの駆動により前記第一の羽根車及び前記第二の羽根車が回転運動することによって前記第一のケーシング内部及び前記第二のケーシング内部の双方において気体を圧縮する遠心式圧縮機であることをその要旨としている。
【０００８】
第一の圧縮部に設けられた第一の羽根車が第一のケーシング内で回転すると、第一の圧縮部における吸入圧力と吐出圧力とが異なることにより、回転軸にアキシャル方向へ作用する力、すなわちスラスト荷重が発生する。なお、この力（スラスト荷重）を第一のスラスト荷重という。また、第二の圧縮部に設けられた第二の羽根車が第二のケーシング内で回転すると、第二の圧縮部における吸入圧力と吐出圧力とが異なることにより、回転軸のアキシャル方向へ作用する力、すなわちスラスト荷重が第一のスラスト荷重とは反対方向へ発生する。なお、この力（スラスト荷重）を第二のスラスト荷重という。
【０００９】
ここで、上記構成によれば、第一の羽根車が回転することにより回転軸に発生する第一のスラスト荷重を第二の羽根車が回転することにより回転軸に発生する第二のスラスト荷重によって、回転軸のアキシャル方向に作用する力を全体として減少させることができる。そのため、非接触軸受のアキシャル方向における負荷容量を軽減することができ、回転軸をアキシャル方向において支承する磁気軸受を小型化することができるため、回転軸の軸長を短くできる。また、アキシャル方向の位置制御を行う磁気軸受のターゲットを羽根車のモータ側端面に設けたことにより、ターゲットが離間して設けられた場合に比べ、回転軸の軸長をターゲット分短くすることができる。その結果、回転軸の固有振動数が増大し、高速回転可能な遠心式圧縮機とすることができる。さらに、二つの圧縮部で圧縮気体の生成を行うため、各一つの圧縮部での生成負担を減らして、一つ当たりの吸気量を減らすことができる。このため、羽根車を小さくすることができる。また、回転軸のアキシャル方向へ作用する力が全体として減少し、アキシャル磁気軸受を小さくできる。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の遠心式圧縮機において、前記第二の圧縮部は、前記第一の羽根車と同様である前記第二の羽根車と、前記第一のケーシングと同様である前記第二のケーシングとを備えてなることをその要旨としている。
【００１１】
同構成によれば、第二の羽根車を第一の羽根車と同様にし、第二のケーシングを第一のケーシングと同様にしたことにより、第二の羽根車によって回転軸に発生する第一のスラスト荷重は、第一の羽根車によって回転軸に発生する第二のスラスト荷重と同じ大きさとなるため、第一のスラスト荷重と第二のスラスト荷重とは相殺される。その結果、回転軸に掛かるアキシャル方向の力を全体としての極力抑制することができる。
【００１２】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の遠心式圧縮機において、前記第一の羽根車に設けられた前記第一のターゲットの前記第一の電磁石に対向する面及び前記第二の羽根車に設けられた前記第二のターゲットの前記第二の電磁石に対向する面には、前記回転軸がラジアル方向へ偏移しようとしたときに、前記両ターゲットに対して前記偏移方向と反対のラジアル方向の吸引力を作用させるべく環状溝が前記両ターゲットの軸心回りに形成され、ラジアル磁気軸受も兼ねることを特徴としている。
【００１３】
同構成によれば、ターゲットに環状溝が形成されることによって、アキシャル磁気軸受がラジアル方向軸受としても作用するため、別途ラジアル軸受を設けた場合には、ラジアル軸受を小型化することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、より高速回転可能な遠心式圧縮機とすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の一実施形態について図１を参照して説明する。図１は、遠心式圧縮機の構成を示す縦断面図である。
この圧縮機は、駆動装置に設けられる回転軸の軸線が水平方向となる横置きで用いられる。同図１に示されるように、遠心式圧縮機には、駆動装置としての駆動部３と、同駆動部３を挟むように前方（同図左側）に第一の圧縮部としての前側圧縮部１及び後方（同図右側）に第二の圧縮部としての後側圧縮部２とを備えてなる。これら前側圧縮部１、後側圧縮部２、及び駆動部３は、第一の圧縮部ケーシングとしての前側圧縮部ケーシング１０、第二の圧縮部ケーシングとしての後側圧縮部ケーシング２０、及び駆動部ケーシング３０とをそれぞれ備えている。これら前側圧縮部ケーシング１０、後側圧縮部ケーシング２０、及び駆動部ケーシング３０は、一体に形成されている。前側圧縮部１には、気体（空気）を吸入する前側気体吸入路１２と、圧縮した気体を吐出する前側気体吐出路１３と、前側圧縮部ケーシング１０内で回転することにより前側気体吸入路１２を通じて吸入した気体を圧縮するとともに前側気体吐出路１３を通じて吐出する第一の羽根車としての前側羽根車１１とが設けられている。後側圧縮部２には、前側圧縮部１と同様に、後側気体吸入路２２と、後側気体吐出路２３と、第二の羽根車としての後側羽根車２１とが設けられている。ここで、前側圧縮部ケーシング１０と後側圧縮部ケーシング２０とは同様であり、前側羽根車１１と後側羽根車２１とは同様である。なお、前側羽根車１１及び後側羽根車２１は回転軸３１の両端にそれぞれ設けられるため、それぞれの吸入方向に対して回転方向が異なるが、異なる回転方向であっても圧縮が行えるように後側羽根車２１は構成されている。すなわち、後側羽根車２１は、前側羽根車１１と鏡像関係に構成される。前側気体吐出路１３と後側気体吐出路２３は、送風路５に合流している。駆動部３には、モータ３２と、同モータ３２によって回転駆動される回転軸３１と、同回転軸３１をアキシャル方向及びラジアル方向において支承する軸受装置４とが設けられている。モータ３２は、駆動部ケーシング３０の内壁に設けられたステータ３４と、回転軸３１の外周に設けられたロータ３３とを備えている。回転軸３１の前側先端には前側圧縮部１に設けられた前側羽根車１１が接続されており、回転軸３１の後側先端には後側圧縮部２に設けられた後側羽根車２１が接続されている。軸受装置４には、回転軸３１の軸方向においてモータ３２を挟むように前後（同図左右）に位置し回転軸３１をラジアル方向において支承する前後一対の前側フォイル軸受４０及び後側フォイル軸受５０と、回転軸３１をアキシャル方向において支承する前側アキシャル磁気軸受６０及び後側アキシャル磁気軸受７０とが設けられている。
【００１６】
前側フォイル軸受４０は、回転軸３１においてモータ３２より前方（同図左側）、すなわちロータ３３と前側羽根車１１との間に配設されている。前側フォイル軸受４０は、駆動部ケーシング３０に固定される円筒状の前側軸受ハウジング４１を備え、同前側軸受ハウジング４１の内周面には、波形状のバンプフォイル４２及びスリーブ状のトップフォイル４３が配設されている。回転軸３１は、トップフォイル４３内に位置している。前側軸受ハウジング４１の前側圧縮部１側の端面は、前側圧縮部ケーシング１０の内面に露出している。後側フォイル軸受５０は、回転軸３１においてモータ３２より後方（同図右側）、すなわちロータ３３と後側羽根車２１との間に配設されている。後側フォイル軸受５０は、前側フォイル軸受４０と同様に構成されており、駆動部ケーシング３０に固定される後側軸受ハウジング５１と、バンプフォイル５２と、トップフォイル５３とを備えている。後側軸受ハウジング５１の後側圧縮部２側の端面は、後側圧縮部ケーシング２０の内面に露出している。
【００１７】
前側アキシャル磁気軸受６０は、前側羽根車１１の駆動部３側端面に一体回転可能に設けられる第一のターゲットとしての前側ターゲット６１と、前側軸受ハウジング４１の前側圧縮部ケーシング１０の内面に露出した面に前側ターゲット６１と対向して設けられる第一の電磁石としての前側電磁石６２とを備えている。前側ターゲット６１の前側軸受ハウジング４１に対向する面には、前側ターゲット６１の軸心を中心とする大径の環状溝である大径環状溝６３と、同大径環状溝６３よりも小径の環状溝である小径環状溝６４とが形成されている。大径環状溝６３は、前側電磁石６２に対向する位置に形成される。前側ターゲット６１の大径環状溝６３より外側の面（以下、外側吸引面）６５、及び大径環状溝６３と小径環状溝６４との間の面（以下、内側吸引面）６６は、電磁石６２によって発生する磁力によって前側軸受ハウジング４１に吸引される。これにより、前側アキシャル磁気軸受６０は、外側吸引面６５及び内側吸引面６６が前側電磁石６２の電磁石ヨーク６２ｂの対向面と一致しようとする。すなわち、回転軸３１が所定位置から偏心しようとすると、前側電磁石６２と両吸引面６５，６６との間には、ラジアル方向の力が発生し、回転軸３１を所定位置に維持する。前側軸受ハウジング４１の前側ターゲット６１に対向する面には、環状の凹部４１ａが形成されており、同凹部４１ａには電磁石コイル６２ａが収容されている。前側軸受ハウジング４１は、磁性体により形成されており、電磁石ヨーク６２ｂを兼ねている。すなわち、電磁石コイル６２ａ及び電磁石ヨーク６２ｂより電磁石６２が構成されている。前側アキシャル磁気軸受６０の前側ターゲット６１が前側羽根車１１の駆動部３側端面に設けられるため、回転軸３１の軸長を短くすることができる。前側ターゲット６１は、電磁石コイル６２ａに電流が流されると、発生する磁力によって前側電磁石６２に吸引される。後側アキシャル磁気軸受７０は、前側アキシャル磁気軸受６０と同様に構成されており、後側羽根車２１の駆動部３側端面に一体回転可能に設けられる第二のターゲットとしての後側ターゲット７１と、後側軸受ハウジング５１の後側圧縮部ケーシング２０の内面に露出した面に後側ターゲット７１と対向して設けられる第二の電磁石としての後側電磁石７２とを備えている。後側ターゲット７１の後側軸受ハウジング５１に対向する面には、後側ターゲット７１の軸心を中心とする大径の環状溝である大径環状溝７３と、同大径環状溝７３よりも小径の環状溝である小径環状溝７４とが形成されている。大径環状溝７３は、後側電磁石７２に対向する位置に形成される。後側ターゲット７１の大径環状溝７３より外側の面（以下、外側吸引面）７５、及び大径環状溝７３と小径環状溝７４との間の面（以下、内側吸引面）７６は、後側電磁石７２によって発生する磁力によって後側軸受ハウジング５１に吸引される。これにより、後側アキシャル磁気軸受７０は、外側吸引面７５及び内側吸引面７６が後側電磁石７２の電磁石ヨーク７２ｂの対向面と一致しようとする。すなわち、回転軸３１が所定位置から偏心しようとすると、後側電磁石７２と両吸引面７５，７６との間には、ラジアル方向の力が発生し、回転軸３１を所定位置に維持する。後側軸受ハウジング５１の後側ターゲット７１に対向する面には、環状の凹部５１ａが形成されており、同凹部５１ａには電磁石コイル７２ａが収容されている。後側軸受ハウジング５１は、磁性体により形成されており、電磁石ヨーク７２ｂを兼ねている。すなわち、電磁石コイル７２ａ及び電磁石ヨーク７２ｂより後側電磁石７２が構成されている。後側アキシャル磁気軸受７０の後側ターゲット７１が後側羽根車２１の駆動部３側端面に設けられるため、回転軸３１の軸長を短くすることができる。後側ターゲット７１は、電磁石コイル７２ａに電流が流されると、発生する磁力によって後側電磁石７２に吸引される。駆動部ケーシング３０には、回転軸３１のアキシャル方向の位置を検出する図示しない位置センサが設けられている。同位置センサによって検出された回転軸３１の位置に基づいて、回転軸３１が所定位置に支承できるように前側アキシャル磁気軸受６０に設けられる電磁石コイル６２ａ及び後側アキシャル磁気軸受７０に設けられる電磁石コイル７２ａの電流がそれぞれ制御される。
【００１８】
次に、前述のように構成された圧縮機の動作態様について説明する。
圧縮機は、駆動部３に設けられるモータ３２が回転すると回転軸３１が回転し、回転軸３１の両端にそれぞれ接続された前側羽根車１１及び後側羽根車２１が回転される。これにより、前側圧縮部１においては、前側気体吸入路１２を通じて、吸入した気体が圧縮され、圧縮された気体が前側気体吐出路１３から吐出される。同様に、後側圧縮部２においては、後側気体吸入路２２を通じて、吸入した気体が圧縮され、圧縮された気体が後側気体吐出路２３から吐出される。回転軸３１が回転されると、回転軸３１の外周面とトップフォイル４３，５３の内周面との間に動圧が発生し、同動圧による気体潤滑作用によって、回転軸３１が両フォイル軸受４０，５０と非接触状態で支承される。
【００１９】
前側圧縮部１における吸入圧力と吐出圧力とが異なることにより、回転軸３１には同図左側の白抜き矢印に示されるように、アキシャル方向の前方へ作用する力（前側スラスト荷重Ｆｆ）が発生する。後側圧縮部２における吸入圧力と吐出圧力とが異なることにより、回転軸３１には同図右側の白抜き矢印に示されるように、アキシャル方向の後方へ作用する力（後側スラスト荷重Ｆｒ）が発生する。なお、これら前側スラスト荷重Ｆｆと後側スラスト荷重Ｆｒとは、前側圧縮部１と後側圧縮部２とが同様の構成であるため、同じ大きさ（｜Ｆｆ｜＝｜Ｆｒ｜）でありかつ反対方向であるため、これら前側スラスト荷重Ｆｆ，後側スラスト荷重Ｆｒは相殺される。
【００２０】
両アキシャル磁気軸受６０，７０は、位置センサによって検出された回転軸３１のアキシャル方向の位置に基づいて、前側アキシャル磁気軸受６０に設けられる電磁石コイル６２ａ及び後側アキシャル磁気軸受７０に設けられる電磁石コイル７２ａの電流がそれぞれ制御されることにより、回転軸３１が所定位置に支承される。
【００２１】
以上、説明した実施形態によれば、以下の作用効果を奏することができる。
（１）前側羽根車１１が回転することにより回転軸３１に発生する前側スラスト荷重Ｆｆを後側羽根車２１が回転することにより回転軸３１に発生する後側スラスト荷重Ｆｒによって、回転軸３１のアキシャル方向に作用する力を全体として減少させることができる。そのため、軸受装置４のアキシャル方向における負荷容量を軽減することができ、回転軸３１をアキシャル方向において支承する両アキシャル磁気軸受６０，７０を小型化することができるため、回転軸３１の軸長を短くできる。また、両アキシャル磁気軸受６０，７０の両ターゲット６１，７１を両羽根車１１，２１の駆動部３側端面に設けたことにより、ターゲットが離間して設けられた場合に比べ、回転軸の軸長をターゲット分短くすることができる。その結果、回転軸３１の固有振動数が増大し、高速回転可能な遠心式圧縮機とすることができる。さらに、二つの圧縮部１，２で圧縮気体の生成を行うため、各一つの圧縮部１，２での生成負担を減らして、一つ当たりの吸気量を減らすことができる。このため、それぞれの羽根車１１，２１を小さくすることができる。また、回転軸３１のアキシャル方向へ作用する力が全体として減少し、両アキシャル磁気軸受６０，７０を小さくできる。
【００２２】
（２）後側羽根車２１を前側羽根車１１と同様にし、後側圧縮部ケーシング２０を前側圧縮部ケーシング１０と同様にしたことにより、後側羽根車２１によって回転軸３１に発生する後側スラスト荷重Ｆｒは、前側羽根車１１によって発生する前側スラスト荷重Ｆｆと同じ大きさ（｜Ｆｆ｜＝｜Ｆｒ｜）でありかつ反対方向であるため、前側スラスト荷重Ｆｆと後側スラスト荷重Ｆｒとは相殺される。その結果、回転軸３１に掛かるアキシャル方向の力を全体としての極力抑制することができる。
【００２３】
（３）両ターゲット６１，７１にそれぞれ大径環状溝６３，７３及び小径環状溝６４，７４が形成されることによって、両アキシャル磁気軸受６０，７０がラジアル方向軸受としても作用するため、別途ラジアル軸受を設けた場合には、ラジアル軸受を小型化することができる。
【００２４】
なお、上記実施形態は、これを適宜変更した以下の形態にて実施することができる。
・上記実施形態では、前側羽根車１１と後側羽根車２１とを同様にするとともに、前側圧縮部ケーシング１０と後側圧縮部ケーシング２０とを同様にするようにした。しかしながら、回転軸３１に掛かる前側羽根車１１により発生する前側スラスト荷重Ｆｆによる影響を減少させればよいのであれば、異なってもよい。同構成によれば、前側スラスト荷重Ｆｆと後側スラスト荷重Ｆｒとによって相殺させることはできないが、回転軸３１に掛かるアキシャル方向の力を全体としては減少させることができる。
【００２５】
・上記実施形態では、両ターゲット６１，７１にそれぞれ大径環状溝６３，７３及び小径環状溝６４，７４を形成するようにしたが、ラジアル方向の軸受が十分であるならば、図２に示されるように、両ターゲット８１，９１の駆動部３側端面を平面にして、前側ターゲット８１と前側電磁石６２とからなるアキシャル磁気軸受８０、及び後側ターゲット９１と後側電磁石７２とからなるアキシャル磁気軸受９０をアキシャル方向のみ支承する軸受として用いるようにしてもよい。同構成によれば、両ターゲット８１，９１の厚みを環状溝６３，６４，７３，７４が形成されたターゲット６１，７１と比較して薄くすることができる。また、環状溝６３，６４，７３，７４が形成されたターゲット６１，７１より構造を簡易にすることができる。
【００２６】
・上記実施形態では、両電磁石６２，７２が吸引するターゲット６１，７１を両羽根車１１，２１にそれぞれ設けたが、両羽根車１１，２１を強磁性体（鉄系材料）で製作してもよい。同構成によれば、両羽根車１１，２１自体が電磁石となるので、別途ターゲットとなるものを羽根車に設けなくともよいため、構成が簡易である。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】遠心式圧縮機の縦断面図。
【図２】遠心式圧縮機の縦断面図。
【図３】遠心式圧縮機の縦断面図。
【符号の説明】
【００２８】
１…前側圧縮部、２…後側圧縮部、３…駆動部、４…軸受装置、１０…前側圧縮部ケーシング、１１…前側羽根車、１２…前側気体吸入路、１３…前側気体吐出路、２０…後側圧縮部ケーシング、２１…後側羽根車、２２…後側気体吸入路、２３…後側気体吐出路、３０…駆動部ケーシング、３１…回転軸、３２…モータ、３３…ロータ、３４…ステータ、４０…前側フォイル軸受、４１…前側軸受ハウジング、５０…後側フォイル軸受、５１…後側軸受ハウジング、４１ａ，５１ａ…凹部、４２，５２…バンプフォイル、４３，５３…トップフォイル、６０…前側アキシャル磁気軸受、６１…前側ターゲット、６２…前側電磁石、７０…後側アキシャル磁気軸受、７１…後側ターゲット、７２…後側電磁石、６２ａ，７２ａ…電磁石コイル、６２ｂ，７２ｂ…電磁石ヨーク、６３，７３…大径環状溝、６４，７４…小径環状溝、６５，７５…外側吸引面、６６，７６…内側吸引面、８１…前側ターゲット、９１…後側ターゲット、Ｆ…スラスト荷重、Ｆｆ…前側スラスト荷重、Ｆｒ…後側スラスト荷重。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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