(57)【要約】【課題】少なくとも部分干渉性光散乱特性を有する方向性凝固のニッケル基合金鋳物や他の材料における結晶粒欠陥を評価する検査法を提供する。【解決手段】金属部品の欠陥（１５）の検出方法は、反復ミクロ構造（１３）と少なくとも１つの表面欠陥（１５）とを含む金属面（１１）を用意し、上記少なくとも１つの表面欠陥（１５）を含む金属面（１１）の領域から入射光線（１７）を反射させて反射光線（１９，２１）を生成し、この反射光線を観測し、上記少なくとも１つの表面欠陥（１５）から反射した上記反射光線（２１）の少なくとも一部を検出することを含む。【選択図】図２
2008089608.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
反復ミクロ構造と少なくとも１つの表面欠陥とを有する金属面を用意し、
前記少なくとも１つの表面欠陥を含む前記金属面の領域から入射光線を反射させて反射光線を生成し、
前記反射光線を観測し、
前記少なくとも１つの表面欠陥から反射した前記反射光線の少なくとも一部を検出することを含むことを特徴とする金属部品の欠陥検出方法。
【請求項２】
前記少なくとも１つの結晶粒欠陥から反射した前記反射光線の一部を十分に検出できるように、前記入射光線の波長を選択することをさらに含むことを特徴とする請求項１記載の金属部品の欠陥検出方法。
【請求項３】
前記金属面は、反復ミクロ構造を含むことを特徴とする請求項２記載の金属部品の欠陥検出方法。
【請求項４】
前記表面欠陥の最大寸法は、０．５マイクロメートルより大きいことを特徴とする請求項４記載の金属部品の欠陥検出方法。
【請求項５】
前記表面欠陥の最大寸法は、０．００１インチより大きいことを特徴とする請求項４記載の金属部品の欠陥検出方法。
【請求項６】
波長の選択は、規則的な配列の間隔の２倍を超えない波長を選択することを含むことを特徴とする請求項３記載の金属部品の欠陥検出方法。
【請求項７】
波長の選択は、可視光を含む波長帯を選択することを含むことを特徴とする請求項３記載の金属部品の欠陥検出方法。
【請求項８】
０．４〜０．７マイクロメートルの波長を選択することを含むことを特徴とする請求項６記載の金属部品の欠陥検出方法。
【請求項９】
入射光線を反射させることは、レーザで入射光線を生成することを含むことを特徴とする請求項１記載の金属部品の欠陥検出方法。
【請求項１０】
入射光線を反射させることは、可視光源にフィルタを適用することによって入射光線を生成することを含むことを特徴とする請求項１記載の金属部品の欠陥検出方法。
【請求項１１】
反射光線の観測は、この反射光線をカメラで記録することを含むことを特徴とする請求項１記載の金属部品の欠陥検出方法。
【請求項１２】
反射光線の観測は、この反射光線をデジタル画像として記録することを含むことを特徴とする請求項１記載の金属部品の欠陥検出方法。
【請求項１３】
検出は、前記デジタル画像のデジタル信号処理を行うことをさらに含むことを特徴とする請求項１２記載の金属部品の欠陥検出方法。
【請求項１４】
金属部品における少なくとも１つの欠陥の確認方法であって、
反復ミクロ構造を含む金属面を用意し、
前記金属面の領域から入射光線を反射させて反射光線を生成し、
前記反射光線を観測し、
前記反射光線の少なくとも一部を検出し、
前記面の異なる位置からの反射光線の少なくとも一部を検出し、
前記の２つの反射光線を比較し、
前記の２つの反射光線の振幅を分析することを含み、この分析では、欠陥を確認するのに十分な振幅差を判定することを特徴とする欠陥の確認方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、方向性凝固のニッケル基合金鋳物の結晶粒欠陥を評価する方法および装置に関する。より詳細には、本発明は、少なくとも部分干渉性光散乱特性を有する方向性凝固のニッケル基合金鋳物および他の材料において、結晶粒欠陥などの特徴を光学的に識別する検査法に関する。
【背景技術】
【０００２】
金属部品の結晶粒欠陥を識別する方法には多くのものがある。このような方法は、多くの場合、時間がかかるとともに高価である。
【０００３】
よって、特に、方向性凝固のニッケル基合金鋳物に存在する結晶粒欠陥を評価する、迅速でかつ経済的な方法が求められている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、少なくとも部分干渉性光散乱特性を有する方向性凝固のニッケル基合金鋳物や他の材料における結晶粒欠陥を評価する検査法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明によると、金属部品の欠陥の検出方法は、反復ミクロ構造と少なくとも１つの表面欠陥とを含む金属面を用意し、上記少なくとも１つの表面欠陥を含む金属面の領域から入射光線を反射させて反射光線を生成し、この反射光線を観測し、上記少なくとも１つの表面欠陥から反射した上記反射光線の少なくとも一部を検出することを含む。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
本発明は、少なくとも部分干渉性光散乱特性を有する方向性凝固の金属鋳物または他の材料における結晶粒欠陥を検出するとともに評価する検査方法を開示している。本発明の方法は、識別可能な結晶粒構造を有する全ての金属部品を広く含むものである。このような金属部品には、圧縮機ブレード、圧縮機ベーン、タービンブレード、およびタービンベーン、特にニッケル基合金からなるものが含まれるが、これらに限定されない。“干渉性”とは、干渉性の光の使用が必要条件であることを意味しない。単に、材料が、回折格子様の散乱光再分布を発生させる能力を有することを意味し、この散乱光再配分は、以下で説明するように有用な角度選択特性を備える。このような再分布は、単に選択的な光再分布特性を有する（有意の距離にわたって空間的に良好に相関していてもしていなくてもよい）実質的な反復構造体によって達成できる。
【０００７】
本発明は、結晶粒欠陥のコントラストの観測方法、および必要に応じて結晶粒のコントラストを高める方法を教示する。本発明のプロセスは、手動もしくは自動化された装置と組み合わせて実行することができる。本発明の好適な態様では、可視スペクトル波長が使用されるが、以下でより詳細に説明するように、特定の条件下では可視範囲外の波長も使用可能である。
【０００８】
図１は、少なくとも一部に表面欠陥１５（表面と交差する欠陥）を含む金属面１１の表面トポグラフィーを示す概略説明図である。表面欠陥１５は、表面の結晶粒欠陥１５と周囲の本来の表面結晶粒１３とのコントラストを示している。本明細書では、“反復ミクロ構造”とは、金属面に存在する小規模の物理的構造であって、表面にわたって実質的に連続して識別可能に反復する構造を意味するが、結晶粒のある範囲にわたって位相に相関していてもしていなくてもよい。
【０００９】
この場合、ミクロ構造が規則的な反復配列である。本発明は、検査における集合としてこの規則的な配列を利用する。表面結晶粒欠陥１５における規則的な配列は、周囲の結晶粒における規則的な配列とは向きが異なっている（各々の結晶粒において、規則的な配列の向きが異なっている）。本発明は、この規則的な配列を利用して、コントラストを高める。
【００１０】
例えば、回折格子様の効果は、ニッケル基超合金における３００ｎｍのガンマプライム析出物を含む立方体様の配列、またはＩＮ９３９やガンマＴｉＡｌなどで誘発される層状の配列によって得られ、コントラストを高めるように処理される光散乱が生じる。例えば、方向性凝固のＮｉ合金鋳物の特定の例では、通常観測される結晶粒欠陥の範囲は〜０．００１インチ（０．０２５４ｍｍ）およびそれ以上である。例としては、周囲の結晶粒とは異なる幾何学的散乱特性を有するいわゆるフレクル結晶粒が挙げられる。
【００１１】
２つの寸法特性が関係している。１つは、関連する特定の測定技術によって観測可能な最小表面結晶粒度（Ｓ）である。他方は、表面で観測される実質的に規則的な配列の間の間隔（ｄ）である。
【００１２】
好適な方法は、回折環境が最適になるように検査物品を準備してから、適切な観測プロトコルを用いて物品を検査することである。
【００１３】
好適実施例では、検出可能な最小の結晶粒度（Ｓ）は、典型的に、表面の照射に使用される光の波長以上である。可視光の場合には、この寸法は、１マイクロメートルの半分程度である。実際には、方向性鋳造のＮｉ基超合金で最も好ましい最小値は、約０．００１インチである。この距離は、回折格子の回折格子間隔（ｄ）ではないことに留意すべきである。回折格子間隔（ｄ）は、典型的に反復特徴部を形成する体積要素の固有の間隔および特徴部の断面角度（ｓｅｃｔｉｏｎ  ａｎｇｌｅ）の関数である。
【００１４】
図示のように、表面欠陥１５の回折格子配列は、表面結晶粒１３の方向とは異なる方向に向いて示されている。また、この代わりに、表面欠陥１５は、異なる回折格子間隔であってもよく、またはこれらの組み合わせを有してもよい。
【００１５】
このような面を形成する一般的な方法は、（エッチング液の腐食作用による）エッチングである。表面トポグラフィーを形成する（当業者に周知の）他の方法もある。
【００１６】
反復表面パターンを示す構造体は、寸法、入射光に対する透過度、表面および体積に応じて、不規則でない検出可能なジオメトリに光を回折させることができる。また、欠陥などによる、このような反復表面パターンの中断は、コントラストによって同様に検出可能である。本発明の中心となる洞察は、周囲の表面結晶粒１３内に埋め込まれた表面欠陥１５の存在は、表面欠陥１５および周囲の表面結晶粒１３に適切な波長の光線を反射させ、各々の光散乱特性の差を観測することで視覚的に検出できるということである。光線のスペクトルは、表面欠陥１５から反射した光と表面結晶粒１３から反射した光との視覚的な区別を可能とする十分なコントラストを提供するように選択される。
【００１７】
材料の光散乱特性は、双方向反射率分布関数（ｂｉｄｉｒｅｃｔｉｏｎａｌ  ｒｅｆｌｅｃｔａｎｃｅ  ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎ  ｆｕｎｃｔｉｏｎ  ＢＲＤＦ）によって説明可能である。実際には、表面のＢＲＤＦ特性は、種々の入射角に対する散乱光の強さを種々の角度で測定することによって求められる。“完全な”ＢＲＤＦでは、全ての偏光状態および全ての波長における全ての入射角に対する全ての散乱角の散乱光を広く測定することが必要であるが、実際的な測定は、これよりは幾らか小さい可変空間において、かなり良好な結果が得られる。例えば、多くの“良好な”面は、完全な２Ｐｉステラジアン反射空間（２  ｐｉ  ｓｔｅｒａｄｉａｎ  ｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ  ｓｐａｃｅ）（または透過性を有する物体では４ｐｉ）を通して十分に理解することができ、入射光線と正反射光線（ｓｐｅｃｕｌａｒ  ｂｅａｍ）によって定められる平面の二次元スライス内だけで測定される。
【００１８】
本発明によると、金属面１１は、光と周期的に干渉する反復特徴部を示す結晶粒１３を含む。表面結晶粒１３は、一部分、回折格子のように機能するので、このような干渉は、表面粒子１３のＢＲＤＦを区分する。回折格子は、均等に離間された線を含み、これらの線は、反射光の一部が再生成されて正反射光線とは異なる１つまたはそれ以上の方向で表面から１つまたはそれ以上の追加の光線として放射するように、光の同位相波面を変更する。
【００１９】
二次元ＢＲＤＦのグラフの例が図４に示されている。このグラフは、散乱光エネルギの振幅を散乱角の関数として示しており、散乱角は、一般に、表面に対する法線が０°で、入射光線の投影に沿って戻るように表面に沿って散乱した放射が−９０°として定義され、正反射光線の投影に沿って表面をかすめる放射が法線から＋９０°となる。このシステムは、０〜１８０°の角度範囲、または方向コサインや他の適切な角度空間の規則を用いて定義可能である。
【００２０】
回折格子は、関連する入射光線のジオメトリ、回折格子の反復間隔、および波長に応じて、入射光を選択された方向に反射させることができる周知の光学装置である。研磨が不充分であったり、振幅および特徴部の間隔のいずれかまたは両方が不規則なトポロジーを有する現実の表面は、一般にジオメトリが異なる多数の回折格子相当物を含むことになり、入射光を実質的に不規則な方向に反射させてしまう。しかし、埋め込まれたスクラッチ（ｓｃｒａｔｃｈ）のこのような比較的非効率的で“不規則な”回折格子（光学的ノイズ）よりも反射する力が大きい回折格子を１つまたは複数含むことで、１つまたは複数の好適な角度において選択的に検出可能な信号が生成される。これは、ブレーズ回折格子およびリトロー回折格子によって例示される。これらの回折格子は、天体分光学で長く使用されており、星明かりの選択された狭帯域の波長をかなり高い効率で非常に狭い角度で反射させる。
【００２１】
回折格子の反射ジオメトリは、以下の式によって与えられる。
［数１］
１．      αinc＋αn＝ｎλ／ｄ
２．      βinc＋βn＝０
ここでαとβは、光の平行光線の狭帯域の入射と、正反射（ｎ＝０）および回折（ｎ＜＞０）のそれぞれの次数の方向コサインであり、回折格子の連続特徴部はｘ軸と平行である。このジオメトリは図５に示されている。
【００２２】
上述したように、このように規則的に離間した特徴部は、結晶粒への反復構造のエッチングまたは完成品に自然に発生する結晶の向きによって金属面に作成可能であり、結晶粒欠陥１５に対して異なる屈折率や異なる光吸収レベルなどの特有の光反射特性を示す。
【００２３】
本発明の利点は、特別に形状づけられた光（または電磁放射）の利用と、例えば１つまたはそれ以上の回折格子のいくつかの特性を示す、観測される特徴部の特別の特性と、の組み合わせによって観測性が改善されることである。矩形の特徴部配列の直交回折格子特性を有利に使用することができる場合もある。このような直交回折格子特性は、（ガンマやガンマプライムなどの）埋設された異なる材料相を含む研磨された超合金でみられる。
【００２４】
しかし、有効な回折次数が存在するには、回折格子の式の条件が満たされる必要がある。よって、ｎλ／ｄの比率がかなり大きいと、回折格子光線は発生しなくなる。
【００２５】
信号対ノイズ（Ｓ／Ｎ）の改善例は、上述した図４の回折次数の“凸部”によって示される。このグラフでは、視覚化を容易にするために、入射光線の経路に対して回折格子線が垂直に方向づけられていると仮定している（図５ではｙ＝９０°）。これにより、正反射光線と回折光線とは、入射光線５１と正反射光線５２によって定められる平面に限定される。一般的な広帯域バックグラウンド散乱（図４参照）を超える増加した信号レベルでは、正反射光線５２および回折光線５３の存在は、上述の式によって定められる回折角度における回折ピークによって示される。
【００２６】
１つの実施例では、特に高いＳ／Ｎ性能を提供するために、１つまたは小数の狭帯域を含む光源による照射が用いられる。式１によると、回折角度は（回折格子次数と線間隔が一定の場合に）入射波長によって決まるので、より広範囲の波長はより大きい角度範囲にわたって広がる傾向となる。これにより、（一定の光エネルギの光線に対して）回折ピークの振幅が減少し、Ｓ／Ｎが減少してしまう。狭帯域の動作モードは、回折格子間隔（ｄ）と比較的近い（しかし、これよりもかなり大きい）波長を有する、レーザなどの狭帯域の光源または（光源、または回折面とセンサもしくは観測者との間に位置する）フィルタを通した光を使用することによって達成可能である。この条件では、（ｎ＝１，ｎ＝−１，ｎ＝２など）の比較的高い次数が良好に分光され、回折格子効果を少し示すか全く示さない周囲に対して明瞭に区別される。
【００２７】
しかし、第２の実施例として、許容可能なＳ／Ｎが得られる限り、狭帯域のフィルタリングは必ずしも必要でない。例えば、標準的な白熱電球などの小開口部の白色光源は、局部的な回折格子様領域を識別するために表面を視覚的にスクリーニングするのに有効である。これは、回折格子線間隔（ｄ）が典型的に使用される波長の大きさと同等または幾らか大きい場合に特に有効である。例えば、０．４〜０．７マイクロメートルの範囲の可視光は、（これに限定されないが）面の法線に沿った視角でかつ法線に対して高い角度の照射において、同じ次元の線間隔を有する周期的な特徴部の観測にかなり有効である。
【００２８】
上述の概念は、反射型回折格子や透過型回折格子とともにブラッグ回折格子などの体積干渉構造体にも当てはまる。
【００２９】
隣接する波長を区別する効果は、表面寸法および回折格子の干渉性に伴って改善されるが、比較的“低品質”の回折格子でも波長帯の間の角度的およびＳ／Ｎの区別を実質的に得ることができる。このことは、本発明を可能とする１つの特徴である。
【００３０】
図２を参照すると、本発明によって結晶粒欠陥を検出する方法が示されている。上述のように選択された波長および入射ジオメトリの光線１７は、表面結晶粒１３および表面欠陥１５から反射される。表面結晶粒１３からの反射光線の一部は、選択的に検出器２３に向かって非正反射として伝わり、検出器２３によって反射光１９として検出される。表面欠陥１５から反射される光線１７の部分は、反射した欠陥光２１として示されている。欠陥内の位置から反射した光は、大部分ランベルト散乱光であり、検出器２３によって収集される光線１９に貢献する部分は、欠陥の外の結晶粒における同等の寸法位置から収集された光の大きさに比べて小さい。反射光１９は、検出器２３に向かって伝わるが、反射した欠陥光２１は、検出器２３からかなり離れた方向に反射される。検出器２３は、光を検知するとともに記録すなわち識別することができるどんなシステムまたは装置であってもよい。好適実施例では、検出器２３は、フィルムまたはＣＣＤなどの写真媒体である。他の実施例では、検出器２３は、観測者の目である。明らかなように、結晶粒欠陥および周囲の結晶粒の絶対的および相対的な寸法は、（いずれが大きくてもよく）検出器の空間的な分解能のみによって制限される。
【００３１】
図３を参照すると、検出器２３によって生成すなわち検出された画像３１が示されている。明らかなように、反射光１９に関連する値を含む画像部分すなわち表面結晶粒の画像領域３３と、表面欠陥１５を含む領域に対応する欠陥画像領域３５と、の間には実質的に視覚的なコントラストがある。また、表面結晶粒画像領域３３と欠陥画像３５とは、異なる視覚的特性を示すことが明らかである。好適実施例では、検出器２３は、画像３１に自動化された画像処理を行うために画像処理機構２５を使用する。画像処理機構２５は、好ましくは端線検出を含むがこれに限定されない技術を使用して欠陥画像領域３５の境界を識別する。検出器２３は、このようにして金属面１１の表面欠陥１５に対応する欠陥画像領域３５を識別することができる。
【００３２】
本発明は、ここで説明および開示した実施例に限定されるものではなく、これらの実施例は、本発明を実施するための最良の形態を単に例示したものであり、その形態、寸法、部品構成、および動作の詳細は、変更可能である。本発明は、請求項によって定められる趣旨および範囲内に含まれる全ての変更を含むことを意図している。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】結晶粒欠陥を含む金属部品の表面トポグラフィーを示す概略説明図である。
【図２】本発明に係る結晶粒検査装置の説明図である。
【図３】本発明に係る結晶粒検出画像の説明図である。
【図４】本発明に係る表面の二次元の双方向反射率分布関数（ＢＤＲＦ）のグラフである。
【図５】典型的な回折格子光線の反射ジオメトリの説明図である。
【符号の説明】
【００３４】
１１…金属面
１３…表面結晶粒
１５…表面欠陥
１７…入射光線
１９…反射光
２１…欠陥光
２３…検出器
２５…画像処理機構
【図１】
2008089608.tif 000003
【図２】
2008089608.tif 000004
【図３】
2008089608.tif 000005
【図４】
2008089608.tif 000006
【図５】
2008089608.tif 000007
【手続補正書】
【提出日】平成19年12月27日(2007.12.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属部品の表面欠陥検出方法であって、
通常の結晶粒構造を有する金属部品を試験のために提供するステップと、
前記金属部品の表面に通常の結晶粒構造と向きが異なる結晶粒構造を有する欠陥があるかどうかを視覚的に判断するステップと、を含み、
欠陥を視覚的に判断するステップは、
通常の結晶粒構造の規則的な配列の間隔の２倍を超えない適切な波長を有する光線を生成し、
前記適切な波長を有する光線を前記金属部品の面から反射させ、
前記表面欠陥における異なる向きを有する結晶粒構造によって生じる第１の光散乱特性と、周囲の通常の結晶粒構造によって生じる第２の光散乱特性と、の違いを判断するステップをそれぞれ含むことを特徴とする金属部品の表面欠陥検出方法。
【請求項２】
光線を反射させるステップは、前記表面欠陥から反射した光と、周囲の通常の結晶粒構造から反射した光と、の視覚的な区別を可能とする十分なコントラストを提供するスペクトルを有する光線を提供することを含むことを特徴とする請求項１記載の金属部品の表面欠陥検出方法。
【請求項３】
金属部品を提供するステップは、光と周期的に干渉する反復性の特徴を示す通常の表面結晶粒を含む表面を有する金属部品を提供することを特徴とする請求項１記載の金属部品の表面欠陥検出方法。
【請求項４】
違いを判断するステップは、検出装置を提供し、この検出装置を用いて前記通常の結晶粒構造から反射した光線の一部を検出することを含むことを特徴とする請求項１記載の金属部品の表面欠陥検出方法。
【請求項５】
前記検出装置の提供は、フィルムを使用する検出装置の提供を含むことを特徴とする請求項４記載の金属部品の表面欠陥検出方法。
【請求項６】
前記検出装置の提供は、ＣＣＤ検出装置の提供を含むことを特徴とする請求項４記載の金属部品の表面欠陥検出方法。
【請求項７】
前記検出装置の提供は、金属部品の表面画像を自動的に処理する画像処理機構を用いる検出装置の提供を含むことを特徴とする請求項４記載の金属部品の表面欠陥検出方法。
【請求項８】
違いを判断するステップは、前記画像処理機構を用いて表面欠陥に対応する欠陥画像領域の境界を識別することをさらに含むことを特徴とする請求項７記載の金属部品の表面欠陥検出方法。
【請求項９】
光線を生成するステップは、レーザを用いて前記光線を生成することを含むことを特徴とする請求項１記載の金属部品の表面欠陥検出方法。
【請求項１０】
光線を生成するステップは、光源でフィルタを用いてフィルタリングされた光線を生成することを含むことを特徴とする請求項１記載の金属部品の表面欠陥検出方法。
【請求項１１】
光線を生成するステップは、回折面と、センサおよび観測者の一方と、の間に設けられたフィルタを用いてフィルタリングされた光線を生成することを特徴とする請求項１記載の金属部品の表面欠陥検出方法。
【請求項１２】
光線を生成するステップは、０．４〜０．７マイクロメートルの波長域を有する光線を生成することを含むことを特徴とする請求項１記載の金属部品の表面欠陥検出方法。
【請求項１３】
金属部品を提供するステップは、タービンエンジン構成要素を提供することを含むことを特徴とする請求項１記載の金属部品の表面欠陥検出方法。
【請求項１４】
通常の結晶粒構造を有する金属製タービンエンジン部品の表面欠陥検出装置であって、前記装置は、
前記金属製タービンエンジン部品の表面に通常の結晶粒構造と向きが異なる結晶粒構造を有する欠陥があるかどうかを視覚的に判断する判断手段を有し、この判断手段は、
適切な波長の光線を生成してこの適切な波長の光線を前記金属製タービンエンジン部品の表面から反射させる手段と、
前記表面欠陥における異なる向きを有する結晶粒構造によって生じる第１の光散乱特性と、周囲の通常の結晶粒構造によって生じる第２の光散乱特性と、の違いを判断する手段と、を含み、
前記光線を生成する手段は、通常の結晶粒構造の規則的な配列の間隔の２倍を超えない波長の光線を生成する手段を含むことを特徴とする金属製タービンエンジン部品の表面欠陥検出装置。
【請求項１５】
前記光線を生成する手段は、前記表面欠陥から反射した光と、周囲の通常の結晶粒構造から反射した光と、の視覚的な区別を可能とする十分なコントラストを提供するスペクトルを有する光線を提供する手段を含むことを特徴とする請求項１４記載の金属製タービンエンジン部品の表面欠陥検出装置。
【請求項１６】
前記違いを判断する手段は、前記通常の結晶粒構造から反射した前記光線の部分を検出する検出装置を含むことを特徴とする請求項１４記載の金属製タービンエンジン部品の表面欠陥検出装置。
【請求項１７】
前記検出装置は、フィルムを用いる検出装置を含むことを特徴とする請求項１６記載の金属製タービンエンジン部品の表面欠陥検出装置。
【請求項１８】
前記検出装置は、ＣＣＤ検出装置を含むことを特徴とする請求項１６記載の金属製タービンエンジン部品の表面欠陥検出装置。
【請求項１９】
前記検出装置は、金属製タービンエンジン部品の表面画像を自動的に処理する画像処理機構を用いる検出装置を含むことを特徴とする請求項１６記載の金属製タービンエンジン部品の表面欠陥検出装置。
【請求項２０】
前記画像処理機構は、表面欠陥に対応する欠陥画像領域の境界を識別する手段を含むことを特徴とする請求項１９記載の金属製タービンエンジン部品の表面欠陥検出装置。
【請求項２１】
前記光線を生成する手段は、レーザを含むことを特徴とする請求項１４記載の金属製タービンエンジン部品の表面欠陥検出装置。
【請求項２２】
前記光線を生成する手段は、光源でフィルタを用いてフィルタリングされた光線を生成する手段を含むことを特徴とする請求項１４記載の金属製タービンエンジン部品の表面欠陥検出装置。
【請求項２３】
前記光線を生成する手段は、回折面と、センサおよび観測者の一方と、の間に設けられたフィルタを用いてフィルタリングされた光線を生成する手段を含むことを特徴とする請求項１４記載の金属製タービンエンジン部品の表面欠陥検出装置。
【請求項２４】
前記光線を生成する手段は、０．４〜０．７マイクロメートルの波長域を有する光線を生成する手段を含むことを特徴とする請求項１４記載の金属製タービンエンジン部品の表面欠陥検出装置。