(57)【要約】【課題】複数の波形を表示することが可能な変位センサを提供すること。【解決手段】変位センサはコントローラ１０とヘッド２０ａとを備え、コントローラ２０にはコンソール３０が接続されている。それぞれ異なる複数の特定のスキャン動作における、少なくとも受光量がピークとなる画素位置と受光量をコントローラ１０の第一の記憶部に記憶させるＣＰＵと、を備える。また、ＣＰＵは、スキャン動作を行なうごとに、少なくとも受光量がピークとなる画素位置と受光量をコンソール３０の表示画面に更新表示させるとともに、コントローラ１０の第１の記憶部に記憶される少なくとも受光量がピークとなる画素位置と受光量を表示する。【選択図】図１
2008076119.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検出物へ向けて光を照射する投光手段と、複数の画素で構成され、前記被検出物からの反射光を受光し、各画素の受光量に応じた受光信号を順次出力するイメージセンサと、前記イメージセンサより出力される受光信号から全画素の受光量を順次読み出すスキャン動作を繰り返し行なう読出手段と、前記読出手段が全画素の受光量を読み出すごとに、各画素の受光量に基づいて被検出物の変位を検出する検出手段と、表示手段と、前記読出手段が前記スキャン動作を行うごとに、少なくとも受光量がピークとなる画素位置と受光量を前記表示手段に更新表示させる表示制御手段と、を備える変位センサにおいて、
記憶手段と、
それぞれ異なる複数の特定のスキャン動作における、少なくとも受光量がピークとなる画素位置と受光量を前記記憶手段に記憶させる記憶制御手段と、
を備え、
前記表示制御手段は、前記読出手段が前記スキャン動作を行なうごとに、少なくとも受光量がピークとなる画素位置と受光量を前記表示手段に更新表示させ、前記記憶手段に記憶される少なくとも受光量がピークとなる画素位置と受光量を表示させること
を特徴とする変位センサ。
【請求項２】
前記表示制御手段は、前記スキャン動作により読み出した画素位置及び受光量と、前記記憶手段から読み出した画素位置及び受光量と、を前記表示手段に同時に表示する、ことを特徴とする請求項１記載の変位センサ。
【請求項３】
前記表示制御手段は、前記スキャン動作により読み出した画素位置及び受光量と、前記記憶手段から読み出した画素位置及び受光量と、を所定時間ごとに前記表示手段に交互に表示する、ことを特徴とする請求項１記載の変位センサ。
【請求項４】
前記表示制御手段は、前記表示手段に、特定のスキャン動作毎にそれぞれ異なる表示態様で表示させること
を特徴とする請求項１〜３のうちの何れか一項に記載の変位センサ。
【請求項５】
前記表示制御手段は、前記受光量がピークとなる画素位置における受光量のみを前記表示手段に表示させることを特徴とする請求項１〜４のうちの何れか一項に記載の変位センサ。
【請求項６】
前記表示制御手段は、各画素位置と各画素の受光量からなる受光波形を前記表示手段に表示させることを特徴とする請求項１〜４のうちの何れか一項に記載の変位センサ。
【請求項７】
前記記憶手段に記憶される画素位置と受光量ごとに、前記表示手段への表示又は非表示の選択が可能な選択手段を備え、
前記表示制御手段は、前記選択手段にて、非表示に選択された画素位置と受光量は表示させないことを特徴とする請求項５又は６記載の変位センサ。
【請求項８】
作業者が操作可能な操作手段を備え、前記記憶制御手段は、それぞれ異なる複数の特定のスキャン動作として、前記操作手段が操作されたときのスキャン動作における、少なくとも受光量がピークとなる画素位置と受光量を前記記憶手段に記憶させることを特徴とする請求項１〜７のうちの何れか一項に記載の変位センサ。
【請求項９】
前記記憶手段に記憶される複数の前記画素位置と受光量とともに、前記記憶手段に記憶された順番が前記表示手段へ表示されることを特徴とする請求項１〜８のうちの何れか一項に記載の変位センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、変位センサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
光を用いた変位センサは、コントローラと、ラインセンサ及び二次元センサを用いたヘッドとから構成される。コントローラは、検出した距離などのデータを出力する。また、コントローラの設定及びヘッドのセンサ出力を確認するために、パーソナルコンピュータが接続される。パーソナルコンピュータでは、ヘッドのセンサにおける受光量を波形表示する。従って、検出物の表面状態や検出物までの距離を、表示画面を見て確認することができる（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特許第３７９７４２２号公報（第８頁、第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、変位センサはパーソナルコンピュータ上での受光波形表示画面において、受光波形を取得してリアルタイムに表示する機能を有していた。しかし、搬送方向に沿ってセンサからの距離が変化する物体の形状などを把握することが難しかった。また、リアルタイムに表示される受光波形と過去の受光波形とを比較及び波形状態による測定値解析を行なうことができないという問題があった。
【０００４】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、複数の波形を表示することが可能な変位センサを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、被検出物へ向けて光を照射する投光手段と、複数の画素で構成され、前記被検出物からの反射光を受光し、各画素の受光量に応じた受光信号を順次出力するイメージセンサと、前記イメージセンサより出力される受光信号から全画素の受光量を順次読み出すスキャン動作を繰り返し行なう読出手段と、前記読出手段が全画素の受光量を読み出すごとに、各画素の受光量に基づいて被検出物の変位を検出する検出手段と、表示手段と、前記読出手段が前記スキャン動作を行うごとに、少なくとも受光量がピークとなる画素位置と受光量を前記表示手段に更新表示させる表示制御手段と、を備える変位センサにおいて、記憶手段と、それぞれ異なる複数の特定のスキャン動作における、少なくとも受光量がピークとなる画素位置と受光量を前記記憶手段に記憶させる記憶制御手段と、を備え、前記表示制御手段は、前記読出手段が前記スキャン動作を行なうごとに、少なくとも受光量がピークとなる画素位置と受光量を前記表示手段に更新表示させるとともに、前記記憶手段に記憶される少なくとも受光量がピークとなる画素位置と受光量を表示させるようにした。この構成により、複数の読出期間の画素と受光量の関係をグラフ表示することができるため、複数の波形を表示することが可能な変位センサを提供することができる。
【０００６】
請求項２に記載の発明は、請求項１記載の変位センサにおいて、前記表示制御手段は、前記スキャン動作により読み出した画素位置及び受光量と、前記記憶手段から読み出した画素位置及び受光量と、を前記表示手段に同時に表示するようにした。これにより、スキャン動作の時の受光量と、記憶手段に記憶した受光量とを容易に比較することができる。
【０００７】
請求項３に記載の発明は、請求項１記載の変位センサにおいて、前記表示制御手段は、前記スキャン動作により読み出した画素位置及び受光量と、前記記憶手段から読み出した画素位置及び受光量と、を所定時間ごとに前記表示手段に交互に表示するようにした。これにより、表示手段に送るデータ量が少なくなり、それぞれの表示を速やかに行うことができるようになる。
【０００８】
請求項４に記載の発明は、請求項１〜３のうちの何れか一項に記載の変位センサにおいて、前記表示制御手段は、前記表示手段に、特定のスキャン動作毎にそれぞれ異なる表示態様で表示させる。これにより異なる表示態様でそれぞれの受光波形をグラフ表示することができ、それぞれの画素と受光量の関係の違いを容易に確認することができる。特に、時間的な変化がより容易に確認できる。
【０００９】
請求項５に記載の発明は、請求項１〜４のうちの何れか一項に記載の変位センサにおいて、前記表示制御手段は、前記受光量がピークとなる画素位置における受光量のみを前記表示手段に表示させる。このため、グラフ表示に際して、表示されるデータ量を最小限にとどめることができる。即ち、記憶手段に記憶されるデータ量を極力少なくし、記憶手段の容量を抑えコストダウンの効果にも繋がる。
【００１０】
請求項６に記載の発明は、請求項１〜５のうちの何れか一項に記載の変位センサにおいて、前記表示制御手段は、各画素位置と各画素の受光量からなる受光波形を前記表示手段に表示させる。これにより、例えば、ガラス基板など透明度の高い被検出物では複数の画素位置で受光量が得られるため、ピーク位置のみならず全体の受光波形を表示させることで、波形変化の有無を正しく確認することができる。
【００１１】
請求項７に記載の発明は、請求項５又は６記載の変位センサにおいて、前記記憶手段に記憶される画素位置と受光量ごとに、前記表示手段への表示又は非表示の選択が可能な選択手段を備え、前記表示制御手段は、前記選択手段にて、非表示に選択された画素位置と受光量は表示させないことを特徴とする。このため、非表示選択により不要となった表示を消し、作業者の誤認や紛らわしい表示状態を回避することができる。
【００１２】
請求項８に記載の発明は、請求項１〜７のうちの何れか一項に記載の変位センサにおいて、作業者が操作可能な操作手段を備え、前記記憶制御手段は、それぞれ異なる複数の特定のスキャン動作として、前記操作手段が操作されたときのスキャン動作における、少なくとも受光量がピークとなる画素位置と受光量を前記記憶手段に記憶させる。これにより、作業者の操作によりグラフが表示されるため、任意の受光波形を固定表示させることができる。
【００１３】
請求項９に記載の発明は、請求項１〜８のうちの何れか一項に記載の変位センサにおいて、前記記憶手段に記憶される複数の前記画素位置と受光量とともに、前記記憶手段に記憶された順番が明らかに前記表示手段へ表示される。これにより、複数の画素位置と受光量が画面上に表示されたときに、記憶された順番が表示されるため、画素位置と受光量の時間的な変化経緯を容易に見ることができる。
【発明の効果】
【００１４】
従って、上記記載の発明によれば、複数の波形を表示することが可能な変位センサを提供することが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明を具体化した一実施の形態を図面に従って説明する。
図１は、本実施形態の変位センサを示す概略構成図である。
変位センサのコントローラ１０には複数のケーブル接続端子１０ａ〜１０ｄが設けられ、そのケーブル接続端子１０ａにはヘッド部としてのセンサヘッド２０ａのケーブルＣ１ａが接続されている。センサヘッド２０ａは、測定台Ｔの上方に図示しない固定具により配置され、コントローラ１０の制御により測定台Ｔ上に載置された被検出物としてのワークＷに対してレーザ光を照射し、受光した反射光に応じた信号を出力する。
【００１６】
コントローラ１０のケーブル接続端子１０ｃには表示画面としてのコンソール３０がケーブルＣ２を介して接続されている。コンソール３０は、入力部と、ＬＣＤ等のドットマトリクスにて表示可能な表示画面とを有し、文字及び線画を表示することができる。また、コンソール３０はパーソナルコンピュータよりも小型であり、パーソナルコンピュータが持ち込めない場所にも持ち込むことが可能である。コントローラ１０は、センサヘッド２０ａから入力された信号に基づいて表示データをコンソール３０に出力し、コンソール３０には、表示データに基づいて受光量の数値や、受光量の波形が表示される。
【００１７】
次に、コントローラ１０及びセンサヘッド２０ａの電気的構成を説明する。
図２に示すようにコントローラ１０には、表示制御手段、記憶制御手段、読出手段、検出手段及びボタン操作に対応する設定、選択又は切替の制御を行うＣＰＵ１１が内蔵され、該ＣＰＵ１１にはヘッド通信部１２が接続されている。そのヘッド通信部１２はケーブル接続端子１０ａ，１０ｂと接続されている。ケーブル接続端子１０ａにはセンサヘッド２０ａが接続されている。また、ケーブル接続端子１０ｂには破線で示すセンサヘッド２０ｂを、ケーブルＣ１ｂを介して接続することができる。即ち、コントローラ１０には２つのセンサヘッド２０ａ，２０ｂを接続することができ、ＣＰＵ１１は、ヘッド通信部１２を介して各センサヘッド２０ａ，２０ｂと通信することができる。ＣＰＵ１１は、ヘッド通信部１２に制御信号を出力し、そのヘッド通信部１２は各センサヘッド２０ａ，２０ｂに制御信号を送信する。ＣＰＵ１１は、ヘッド通信部１２にて各センサヘッド２０ａ，２０ｂから受信した受光量データを入力する。
【００１８】
ＣＰＵ１１には、記憶手段としての第１の記憶部１３（メモリ１と表示）及び第２の記憶部１４（メモリ２と表示）が接続されている。ＣＰＵ１１は、ヘッド通信部１２を介してセンサヘッド２０ａから受信した受光量データ、センサヘッド２０ａに係わる設定値、などを第１の記憶部１３に記憶する。また、ＣＰＵ１１は、ヘッド通信部１２を介してセンサヘッド２０ｂから受信した受光量データ、センサヘッド２０ｂに係わる設定値、などを第２の記憶部１４に記憶する。
【００１９】
更に、ＣＰＵ１１には、コンソール通信部１５とパソコン通信部１６が接続されている。コンソール通信部１５はケーブル接続端子１０ｃに接続され、そのケーブル接続端子１０ｃには、コンソール（ＣＳ）３０が接続されている。ＣＰＵ１１は、コンソール通信部１５を介してコンソール３０と通信する。パソコン通信部１６は、ケーブル接続端子１０ｄと接続されており、そのケーブル接続端子１０ｄには破線で示すパーソナルコンピュータ（ＰＣ）４０がケーブルＣ３を介して接続される。
【００２０】
センサヘッド２０ａは、コントローラ１０と通信するための通信部２１を備え、該通信部２１はＣＰＵ２２に接続されている。ＣＰＵ２２は、通信部２１にて受信した制御信号を入力し、該制御信号に基づいてセンサヘッド２０ａを制御する。ＣＰＵ２２は、表示部２３及び投光手段としてのレーザダイオード（ＬＤ）２４が接続されている。表示部２３はセンサヘッド２０ａの外部から視認可能に設けられたＬＥＤなどからなり、ＣＰＵ２２は、表示部２３に信号を出力し、動作状態を表示部２３に表示させる。
【００２１】
ＣＰＵ２２は、レーザダイオード２４を制御し、ワークＷにレーザ光を照射させる。そして、ワークＷなどによる反射光はイメージセンサ（ＩＳ）２５に入射される。コントローラ１０のＣＰＵ１１は、制御信号によってイメージセンサ２５を構成する全画素の受光量を順次読み出すスキャン動作を行う。イメージセンサ２５は例えば二次元ＣＣＤであり、ＣＰＵ２２を介してコントローラ１０から受け取る制御信号に応答して、各画素における受光量に応じた電圧の受光信号をアナログ／デジタル（Ａ／Ｄ）変換器２６に出力する。Ａ／Ｄ変換機２６は、受光信号を受光量データにアナログ−デジタル変換し、その受光量データをＣＰＵ２２に出力する。ＣＰＵ２２は、受光量データを通信部２１に出力し、通信部２１は受光量データをコントローラ１０に送信する。
【００２２】
上記したように、コントローラ１０のＣＰＵ１１は、センサヘッド２０ａからヘッド通信部１２を介して受信した受光量データを第１の記憶部１３に記憶する。そして、ＣＰＵ１１は、第１の記憶部１３に記憶した受光量データに基づいて、反射面の変位などを測定する。
【００２３】
詳述すると、センサヘッド２０ａから出射されるレーザ光は反射面（例えばワークＷの表面）にて反射し、その反射光がイメージセンサ２５に入射され、その入射位置はセンサヘッド２０ａから反射面までの距離に応じて変化する。コントローラ１０のＣＰＵ１１は、第１の記憶部１３に記憶した受光量データにおけるピーク値を検出し、そのピーク値の受光量データを出力する画素の位置（ピーク位置）の変化により、反射面の変位を測定する。また、ガラスなどの透明体の場合、複数の反射面（ガラスのおもて面と裏面）からの反射光による複数のピーク位置に基づいて、反射面間の距離（ガラスの厚み）を測定する。
【００２４】
コントローラ１０は、コンソール３０からの要求信号に応答して、検出したピーク値、反射面の変動量や記憶部１３，１４に記憶した受光量データ、検出条件などをコンソール３０に送信する。また、コントローラ１０は、コンソール３０から出力される設定データに基づいて、各種設定を行なう。
【００２５】
次に、コンソール３０を説明する。
コンソール３０は液晶表示装置と、その液晶表示装置の表面に配置されたタッチパネルとを備え、画面操作と表示とを同時に行なうことができる。尚、表示部を備えるものであれば、パーソナルコンピュータのディスプレイでの表示、モバイル機器等の小型ディスプレイでの表示、及びポケットＰＣで表示することも想定できる。
【００２６】
コンソール３０は液晶表示装置に文字を表示させ、その文字が表示された領域に対する接触をタッチパネルにて検出することで、操作ボタンを構成している。以下、液晶表示装置に表示される画面と、その画面上にタッチパネルにて構成される操作ボタンを説明する。尚、これら操作ボタンは、パーソナルコンピュータなどを用いる場合はこれに接続されるマウス及びタッチペンなどの入力装置を用いることとなる。
【００２７】
本実施形態で高機能なコンソール３０に表示されるグラフの表示例を図３に示す。コンソール３０はタッチパネルが搭載されており、作業者が表示画面に触れることにより、ＣＰＵ１１が作業者の意図した表示を制御する。
【００２８】
コンソール３０には表示画面３１が設けられ、画面内には受光波形並びに受光波形の表示を補助する機能が搭載されている。例えば、受光波形を表示する表示手段としてのグラフ表示領域３２、瞬間的に受光波形のデータを記憶するスナップボックス３３、受光波形のピーク値を数値で表示するピーク値表示領域３４が設けられている。そして、グラフ表示領域３２の表示範囲を画素単位で連続的に切り替えるスクロールバー３５と、表示の設定を行なう画面へと切り替わる受光波形設定画面表示ボタン３６とが設けられている。さらに、センサヘッド２０ａ，２０ｂ複数接続されている場合にそれぞれから送信される受光量のデータ表示を切り替えるヘッド表示切替ボックス３７が用意されている。
【００２９】
スナップボックス３３には受光波形を記憶する記憶部を選択するスナップ対象選択ボタン４１ａ〜４１ｃがラジオボタンとして表示され、スナップ対象をスナップ（記憶）するヘッドＡ取得ボタン４２、表示選択ボタン４３ａ〜４３ｃはチェックボックスとしてそれぞれ表示されている。この時、選択している受光波形がセンサヘッド２０ａ，２０ｂのどちらを表示するかをヘッド表示切替ボックス３７に用意されたヘッドＡのチェックボタン３７ａ及びヘッドＢのチェックボタン３７ｂの少なくとも一方にチェックを入れる。表示画面３１はタッチパネルとして形成されているため、画面中ボタンなどの領域を押圧することで押圧信号がＣＰＵ１１に送信され、コンソール３０の表示も切り替えられる。
【００３０】
コンソール３０の表示画面３１には、センサヘッド２０ａが受けた受光量がグラフとしてグラフ表示領域３２に表示される。この時、ＣＰＵ１１により、実際にセンサヘッド２０ａからリアルタイムに取得している受光信号の受光量データは第１の記憶部１３に送信され記憶される。受光量データは、２次元のイメージセンサ２５から得られたデータである。そのため、イメージセンサ２５から得られた反射面の変位によって反射光が入射する位置が変化する方向に沿った画素列のうち、受光量データのピーク画素を含む画素列をＣＰＵ１１はコンソール３０に表示する。このようにして、計測された受光量はコンソール３０に表示され、ヘッドＡ受光量のピーク値がピーク値表示領域３４に表示される。ところが、表示されている受光波形Ｒはセンサヘッド２０ａの形状によりその受光量が変化するため、常に同じ形状を示さない。そこで、他の信号と比較したい場合を想定し、本発明ではスナップ機能を設けている。
【００３１】
スナップボックス３３の内側にヘッドＡ取得ボタン４２が設けられている。予めどのスナップ対象として保存するかをスナップ対象枠に囲まれたラジオボタン１，２，３の中から選択する。例えばラジオボタン３を選択した場合、ラジオボタン３は選択されたことを示すようにドットがつく。この状態においてタッチパネル上でこのボタンに作業者は指を触れ、指を離した瞬間にタッチパネルの信号がＣＰＵ１１に送信され、グラフ表示領域３２に表示されていた受光波形が図２に示された第１の記憶部１３に記憶される。記憶される信号数として、図３では３つの信号をスナップ対象として表示できるように設定してされている。
【００３２】
第１の記憶部１３にスナップされた受光波形のうち、表示選択ボタン４３ａ〜４３ｃのうちチェックマークが入っているスナップ波形（図中では表示選択ボタン４３ａ〜４３ｃが選択されているためスナップ波形ＳＮ１〜ＳＮ３）が表示画面３１に表示される。また、このときセンサヘッド２０ａがリアルタイムにスキャンしている波形も、スキャン毎にスナップされた波形と一緒に表示画面３１に表示される。また、スクロールバー３５は、受光波形を拡大表示した場合、その表示領域を変更するために用いられる。さらに、リアルタイム波形Ｒとスナップ波形ＳＮ１〜ＳＮ３を同時に表示する場合の補助機能として、受光波形設定画面表示ボタン３６が用意されている。このボタンを選択すると、グラフの表示設定及び波形の表示設定などを選択することができる。表示設定としては、例えば、波形をそのままグラフ上に出力する設定、若しくは波形のピーク値を示す垂直線のみで表示する設定などが挙げられる。
【００３３】
また、観察用に表示するだけではなく、後にデータ解析などを行なうことができるように、表示波形のデータを第１の記憶部１３に記憶するデータ出力機能、並びに現在表示されている画面を第１の記憶部１３に出力する機能を持つキャプチャボタン３８が設けられている。
【００３４】
次に、本実施の形態の特徴的な作用効果を記載する。
（１）それぞれ異なる複数の特定のスキャン動作における、少なくとも受光量がピークとなる画素位置と受光量を第一の記憶部に記憶させるＣＰＵ１１と、を備える。また、ＣＰＵ１１は、スキャン動作を行なうごとに、少なくとも受光量がピークとなる画素位置と受光量を前記表示画面３１に更新表示させるとともに、第１の記憶部１３に記憶される少なくとも受光量がピークとなる画素位置と受光量を表示させてなることを特徴とする変位センサを構成した。この構成により、複数の読出期間における各画素と受光量の関係を記憶し、後にグラフ表示することができるため、例えば移動する被検出物の変位測定の際に、時間的な受光量の変化をグラフ上で容易に確認することができる。従って、複数の波形を表示することが可能な変位センサを提供することができる。
【００３５】
（２）ＣＰＵ１１は、表示画面３１に、特定のスキャン動作毎にそれぞれ異なる表示態様で表示させる。そのため、例えばリアルタイムにスキャン動作で得られた波形と、スナップされていた波形における画素と受光量の関係の違いを容易に確認することができ、特に、時間的な変化がより容易に確認できる。
【００３６】
（３）ＣＰＵ１１は、各画素位置における各画素の受光量からなる受光波形を表示画面３１に表示させる。これにより、例えば、ガラス基板など透明度の高い被検出物では複数の画素位置で受光量が得られるため、ピーク位置のみならず全体の受光波形を表示させることで、波形変化の有無を正しく確認することができる。
【００３７】
（４）第１の記憶部に記憶される画素位置と受光量ごとに、表示画面３１への表示又は非表示の選択が可能な表示選択ボタン４３ａ〜４３ｃを備え、ＣＰＵ１１は、表示選択ボタン４３ａ〜４３ｃにて、非表示に選択された画素位置と受光量は表示させない。このため、非表示選択により不要となった表示を消し、作業者の誤認や紛らわしい表示状態を回避することができる。
【００３８】
（５）作業者が操作可能なヘッドＡ取得ボタン４２を備え、ＣＰＵ１１は、それぞれ異なる複数の特定のスキャン動作として、前記操作手段が操作されたときのスキャン動作における、少なくとも受光量がピークとなる画素位置と受光量を第１の記憶部１３に記憶させる。これにより、作業者の操作によりグラフが表示されるため、任意の受光波形を固定表示させることができる。
【００３９】
尚、本発明の実施の形態は、以下のように変更してもよい。
・タッチパネルを用いなくとも、別の表示装置及び入力装置又はボタンなどで表示の選択を行なっても良い。例えば、センサヘッド２０ａ，２０ｂより受光した光信号はコンソール３０で表示するだけではなくパーソナルコンピュータ４０の画面上でも受光波形として表示することができる。ＣＰＵ１１は、コントローラ１０に内に設けられるコンソール通信部１５をパソコン通信部１６とし、これ通じてパーソナルコンピュータ４０にもコンソール３０で出力していた設定（例えば、受光量やサンプリング周期等）で得られた光信号を表示することができる。ＣＰＵ１１は、第１の記憶部に記憶されたリアルタイムの光信号情報及び第２の記憶部１４で記憶されたスナップされた光信号情報を元にパーソナルコンピュータ上で表示する画像を作成する。そして、ＰＣ接続端子１０ｄから電気的に接続されたケーブルＣ３を介してパーソナルコンピュータ４０の表示画面に出力する。
【００４０】
・変位センサのセンサヘッド２０ａのみを用いた場合の説明を行なったが、もう１つセンサヘッド２０ｂを追加して利用しても良い。この場合、ヘッド表示切替ボックス３７のヘッドＡ及びヘッドＢの少なくとも１つを選択し、グラフ上に表示することができる。また、ＣＰＵ１１は、センサヘッド２０ａから得られた波形信号を選択することのできたスナップ機能は、ヘッド表示切替ボックス３７が両方のヘッドを同時に表示するよう設定されている場合、ヘッドＡ及びヘッドＢ双方のための選択画面を表示する。また、ＣＰＵ１１により、ヘッドＢより取得された受光量データなどは第２の記憶部１４に記憶される。
【００４１】
さらに、センサヘッド２０ａ，２０ｂは２個だけではなく、３個以上設けてもよい。又その場合、コンソール３０上でセンサヘッドごとに受光量データの取得を行なうことができるように、スナップボックス３３の表示方法をヘッドＡから例えばヘッドＣと切り替え、記憶領域はヘッドごとに分けなくてもよい。
【００４２】
・例えば、図４（ａ）に示すように、高さの異なる段が３つ連続するワークＷ１を測定した結果をコンソール３０で表示するとする。この場合、ピーク値もそれぞれの受光波形毎に得られてしまうため、これまでは一度に表示することができなかった。スナップ機能を用いると、これらの波形の基準とリアルタイム波形とを一度に表示することが可能となり、作業者による比較が容易になる。
【００４３】
・図５（ａ）に示すように、検査代Ｔ１に設置した長手方向に長いワークＷ２を測定するときに、受光波形をそのまま表示するのではなく、図５（ｂ）のように、ピーク値とそうでない場合とでトリガだけとして表示してもよい。また、別のワークＷを測定した時の受光波形をトリガ表示した図６のグラフにおいて、グラフ表示領域３２に引かれた二点鎖線のように、特定のピーク値のプラスマイナスいくつの範囲までは受光波形として問題がないと作業者が判断しやすいように基準線をグラフ表示領域３２内に描けるよう設定画面を設けても良い。
【００４４】
・センサヘッド２０ａ，２０ｂは、２次元のイメージセンサ２５から得られた受光量データをコントローラ１０のＣＰＵ１１に送信していたが、送信する前にセンサヘッド２０ａ，２０ｂのＣＰＵ２２が、グラフ表示領域３２に表示する波形の算出を行い、ＣＰＵ１１に送信してもよい。
【００４５】
・第１の記憶部１３と、第２の記憶部１４とで記憶するデータ（受光量データ及びセンサヘッド２０ａ，２０ｂに係わる設定値など）を分けて説明を行なったが、データはどちらの記憶部に記憶されてもよい。
【００４６】
・センサヘッド２０ａ，２０ｂのヘッド通信部１２は、図２において１つのブロックで表されているが、接続されるセンサヘッド毎に通信部を設けてもよい。
・コンソール３０は外部接続された例を示したが、これはコントローラ１０と一体型となってもよい。
【００４７】
・図３に示すスナップ対象選択ボタン４１ａ〜４１ｃは、受光量データを記憶する領域を示したが、記憶部１３（１４）に記憶された順番を示しても良い。即ち、表示画面３１には、受光波形（スキャン動作毎の画素位置と受光量からなる受光波形）とともに、受光量データが記憶された順番（スナップ対象選択ボタン４１ａ〜４１ｃの番号）が表示される。従って、スナップ対象選択ボタン４１ａ〜４１ｃに表示された数字に従って波形を表示させることで、画素位置と受光量の時間的な変化の経緯を容易に確認することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本実施形態の変位センサを示す概略構成図。
【図２】変位センサの電気的構成を示すブロック図。
【図３】コンソール画面の表示例及び操作例を表す説明図。
【図４】（ａ）（ｂ）ワークの形状に対するコンソールの表示例を表す説明図。
【図５】（ａ）（ｂ）ワークの形状に対するコンソールの表示例を表す説明図。
【図６】コンソールの表示例を表す説明図。
【符号の説明】
【００４９】
１０…コントローラ、１１…コントローラのＣＰＵ、１３…第１の記憶部、１４…第２の記憶部、２０ａ，２０ｂ…センサヘッド、２２…センサヘッドのＣＰＵ、２４…レーザダイオード、２５…イメージセンサ、３０…コンソール、Ｗ…ワーク。
【図１】
2008076119.tif 000003
【図２】
2008076119.tif 000004
【図３】
2008076119.tif 000005
【図４】
2008076119.tif 000006
【図５】
2008076119.tif 000007
【図６】
2008076119.tif 000008