(57)【要約】【課題】従来のエアーシリンダによる上昇、下降動作を変更せずに、ルータービットの磨耗寿命を延ばし交換回数を減らすことが可能な基板分割装置を提供する。【解決手段】ルーターが取り付けられるエアーシリンダ６の、固定部６ａの所定高さ部位に、第２の停止位置を設定するエアーシリンダストッパ１８を設け、その下方部位に一方の面にノックピン２５が圧入され、他方の面にカムの山２３ａおよびカムの谷２３ｂが形成されたカムプレート２３を、ワンウエイクラッチ２２により左方向にのみ回転するように配設する。アーム取り付けピン２６を軸として回動可能にアーム２７を設け、アーム２７の一端には前記カムの山２３ａ，カムの谷２３ｂに当接するカムフォロア３０を設け、他端には第１の停止位置を設定するスペーサ３１を設ける。前記可動部６ｂの下端には、上昇時にのみノックピン２５を引き上げてカムプレート２３を左回転させるツメ２０を設ける。【選択図】図１
2008149431.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板が並べて形成された集合基板から、前記基板を切断して分割する切断手段と、
前記切断手段が設置され、前記集合基板の切断面に直交する方向に沿って上昇、下降を行う移動手段と、
前記移動手段の停止位置を決定する手段であって、該移動手段の上昇時又は下降時のいずれかのときに、前記集合基板の切断面に直交する方向に沿う所定高さを有した第１の停止位置、又は該第１の停止位置より低い第２の停止位置に設定変更する停止位置決定手段と
を備えたことを特徴とする基板分割装置。
【請求項２】
前記停止位置決定手段は、前記第２の停止位置に固設されたストッパと、前記第１の停止位置を設定するための所定厚みを有したスペーサと、該スペーサの存在位置を、前記ストッパ上に介在させる位置又は介在させない位置に切り換える切換え部とを有し、
前記移動手段は、下降時に前記ストッパ又はスペーサに当接する当接部と、上昇時又は下降時のいずれかのときに前記切換え部に作用する作用部とを有したことを特徴とする請求項１に記載の基板分割装置。
【請求項３】
前記停止位置決定手段の切換え部は、
前記移動手段の作用部が作用する毎に一方向に所定角度回転するカム機構と、前記カム機構が回転する毎に、前記スペーサの存在位置を、前記ストッパ上に介在させる位置と介在させない位置とで交互に切り換える切換え機構とを有したことを特徴とする請求項２に記載の基板分割装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の基板が形成された集合基板から基板を切断して分割する基板分割装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、集合基板を分割するための装置としては、エアーシリンダを利用した例えば図１２に示すような基板分割装置が用いられていた。
【０００３】
図１２において、基板分割作業を行うＸ−Ｙ２軸ロボット１の作業台２上には、基板を切断したときの切り粉を吸引する複数の吸引穴３ａを有した基板受け３が設けられ、該基板受け３上に、複数の基板が並べて形成された集合基板４が載置される。
【０００４】
基板受け３の上方にはＸ軸用スライダー５が配設され、該Ｘ軸用スライダー５には移動手段としてのエアーシリンダ６がスライド可能に支持されている。このエアーシリンダ６の可動部には切断手段としてのルーター７が取り付けられており、ルーター７はエアーシリンダ６の可動部が垂直方向に移動するときにともに上昇、下降する。ルーター７の下側先端部位には刃を構成するルータービット７ａが設けられている。
【０００５】
前記エアーシリンダ６は、例えば図示省略のソレノイドバルブにエアーを流入することで可動部が下降し、そのエアーを止めることで上昇するように構成されている。
【０００６】
エアーシリンダ６の固定部の所定高さ位置には下限ストッパ８が固設されており、エアーシリンダ６の可動部の下降時に該可動部の当接面が下限ストッパ８に当接することにより、エアーシリンダ６の停止位置が決定され、これによってルーター７の下限位置が決定される。
【０００７】
集合基板４は図１２（ｄ）に示すように、スリット１４ａおよびミシン目１４ｂ（連結部）で区分される複数の基板１４…を有している。集合基板４を分割するときは、エアーシリンダ６を、該エアーシリンダ６の可動部に取り付けたルーター７が前記ミシン目１４ｂと対向する位置に移動させ、その位置で図１２（ｂ），（ｃ）のように、可動部に取り付けたルーター７を前記下限位置まで下降させてミシン目１４ｂを切断する。
【０００８】
そして１つのミシン目１４ｂが切断されるとルーター７はエアーシリンダ６により上昇され、次のミシン目１４ｂの位置で下降し、それらを繰り返し、全てのミシン目１４ｂが切断されると集合基板４が分割される。
【０００９】
尚従来、基板分割装置および穿孔機としては、下記特許文献１〜４に記載のものが提案されていた。
【特許文献１】特開２００１−１５４５６号公報
【特許文献２】特開２００４−３１４２０９号公報
【特許文献３】特開２００１−１５６４２３号公報
【特許文献４】特開平０３−２７９０８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
前記図１２の基板分割装置では、エアーシリンダ６の下限停止位置が一定であるため、集合基板４が常にルータービット７ａに対して同じ位置に当たり、その部分だけ磨耗が進む。このため他の部分が磨耗していなくても新しいものと交換することになり、ルータービット７ａの購入費用が嵩むという問題があった。
【００１１】
そこでルータービット７ａの磨耗を少なくする為にルーター７の上下にエアーシリンダ６ではなくパルスモータを用いたＺ軸のユニットを用いてルータービット７ａに満遍なく集合基板４が当たるように構成することが考えられる。
【００１２】
しかしこの場合、装置全体が高価になるとともに、動作プログラムが複雑になり、プログラム作成時間も増大する。また、ティーチング時、Ｚ方向も行わなければいけない為ティーチングに要する時間も増大する。
【００１３】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものでその目的は、従来のエアーシリンダによる、例えばルーターの上昇、下降動作を変更することなく、ルータービットの磨耗寿命を延ばして交換回数を減らすことができる基板分割装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記課題を解決するための本発明の基板分割装置は、複数の基板が並べて形成された集合基板から、前記基板を切断して分割する切断手段と、前記切断手段が設置され、前記集合基板の切断面に直交する方向に沿って上昇、下降を行う移動手段と、前記移動手段の停止位置を決定する手段であって、該移動手段の上昇時又は下降時のいずれかのときに、前記集合基板の切断面に直交する方向に沿う所定高さを有した第１の停止位置、又は該第１の停止位置より低い第２の停止位置に設定変更する停止位置決定手段とを備えたことを特徴としている。
【００１５】
また前記停止位置決定手段は、前記第２の停止位置に固設されたストッパと、前記第１の停止位置を設定するための所定厚みを有したスペーサと、該スペーサの存在位置を、前記ストッパ上に介在させる位置又は介在させない位置に切り換える切換え部とを有し、前記移動手段は、下降時に前記ストッパ又はスペーサに当接する当接部と、上昇時又は下降時のいずれかのときに前記切換え部に作用する作用部とを有したことを特徴としている。
【００１６】
また前記停止位置決定手段の切換え部は、前記移動手段の作用部が作用する毎に一方向に所定角度回転するカム機構と、前記カム機構が回転する毎に、前記スペーサの存在位置を、前記ストッパ上に介在させる位置と介在させない位置とで交互に切り換える切換え機構とを有したことを特徴としている。
【００１７】
上記構成において、移動手段、例えばエアーシリンダは、例えば上昇時に（下降時も同様である）第１の停止位置又は該第１の停止位置より低い第２の停止位置に設定変更される。
【００１８】
このため、移動手段であるエアーシリンダに設置された切断手段、例えばルーターの下降高さは前記第１の停止位置又は第２の停止位置に相当する２通りの高さに設定することができる。
【００１９】
これによってルータービットの磨耗寿命を２倍にし、ルータービットの交換回数を１／２回に削減でき、その購入費を半分に抑えることができる。
【００２０】
また移動手段の上昇時又は下降時に停止位置を設定変更できるので、従来のエアーシリンダを利用することができ、停止位置を変更して切断手段の下降高さを変えるための専用の動力を増設する必要はなく、コストアップを抑制することができる。
【発明の効果】
【００２１】
（１）請求項１〜３に記載の発明によれば、切断手段、例えばルーターの下降高さを２通りに設定することができるので、ルータービットの磨耗寿命を２倍にし、ルータービットの交換回数を１／２回に削減でき、その購入費を半分に抑えることができる。
【００２２】
また移動手段の上昇時又は下降時に停止位置を設定変更できるので、従来のエアーシリンダを利用することができ、停止位置を変更して切断手段の下降高さを変えるための専用の動力を増設する必要はなく、コストアップを抑制することができる。
【００２３】
例えばルーター下降高さを変えるための動力としてのエアーシリンダやソレノイドバルブ、その為の配線配管が不要となり、コストを抑えることができる。また動作プログラムもその動作の為に変更を加えたりすることが無いためプログラムの作成の時間を削減することができる。さらに、切断手段の下降高さを変える手段としてパルスモーター等を利用したＺ軸ユニットを用いたものと比べると、Ｚ方向のティーチングが不要となり、ロボットのティーチング時間を削減することができる。
（２）請求項２，３に記載の発明によれば、停止位置決定手段は単純で簡単な機構、部品により構成することができ、コストアップを抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態を説明するが、本発明は下記の実施形態例に限定されるものではない。
【００２５】
図１〜図１１は、本発明を、前記図１２のように、Ｘ−Ｙ２軸ロボット１のＸ軸スライダー５にスライド可能に支持され、切断手段としてのルーターが取り付けられた可動部を上昇、下降させるエアーシリンダ６を利用した基板分割装置に適用した実施形態例である。
【００２６】
図１の、（ａ）は装置主要部の左側面を、（ｂ）は装置主要部の正面を各々示している。図１において、１１はＸ軸テーブルであり、その一方の面１１ａは例えば図１２のＸ軸スライダー５にスライド自在に支持される。
【００２７】
Ｘ軸テーブル１１の他方の面１１ｂの上方部位の略中央には、移動手段としてのエアーシリンダ６の固定部６ａが取り付けられている。尚Ｘ軸テーブル１１は、例えば図３に示すように所定厚みを有した矩形板で構成される。
【００２８】
エアーシリンダ６は図１２でも述べたとおり、従来から使用されている一般的なエアーシリンダであり、例えば図示省略のソレノイドバルブにエアーを流入することで可動部６ｂが下降し、そのエアーを止めることで上昇するように構成されている。
【００２９】
エアーシリンダ６の固定部６ａの下側の所定位置（後述する第２の停止位置を設定する位置）には、可動部６ｂの下降を停止させるためのエアーシリンダストッパ１８（本発明のストッパ）が、可動部６ｂの左側面側に突出して固設されている。
【００３０】
エアーシリンダ６の可動部６ｂの上部左側面には、可動部６ｂの下降時に、前記エアーシリンダストッパ１８又は後述するスペーサに当接する当接面１２ａを有した当接片（本発明の当接部）１２が固設されている。
【００３１】
エアーシリンダ６の固定部６ａの上端部には、可動部６ｂの上昇時の上限位置（すなわちエアーシリンダの待機位置）を設定する規制片１３が、可動部６ｂの上昇、下降経路側に突出して固設されている。エアーシリンダ６の可動部６ｂの上昇時にその上端面が規制片１３に当接することによってエアーシリンダ６は待機状態となる。
【００３２】
エアーシリンダ６の可動部６ｂには、下端部にルータービット７ａを備えたルーター７（本発明の切断手段）が、ルーターホルダ１４によって例えばネジ止めにより取り付けられている。
【００３３】
エアーシリンダ６の可動部６ｂの下端面には例えば図４に示す形状のツメベース１５が設けられている。このツメベース１５は、上面が前記エアーシリンダ６の可動部６ｂの下端面に固着された天板１５ａと、該天板１５ａの下面に垂直に固設された垂直板１５ｂとを有している。
【００３４】
前記天板１５ａの下面の略中央にはバネポスト１６が固着され、該バネポスト１６にはスプリング１７の一端が固着されている。スプリング１７の他端はピン５０に係止され、該ピン５０は例えば図５の形状のツメ２０の一端部に形成された、小径穴２０ａに挿入し係止されている。
【００３５】
このツメ２０は、長辺２０ｂと、該長辺２０ｂの他端側先端から所定角度で形成された傾斜辺２０ｃを有している。このツメ２０は、傾斜辺２０ｃ側の端部がエアーシリンダ６の可動部６ｂの左側面よりも左側に突出するように配設され、その中央部に形成された大径部２０ｄに、例えば図６に示す段付きネジ２１を通して垂直板１５ｂに回転自在に軸止されている。
【００３６】
スプリング１７およびツメ２０で形成されるコーナー部位の垂直板１５ｂには、ツメ２０の左回転を規制するノックピン１９が立設されている。
【００３７】
Ｘ軸テーブル１１の左下コーナー部位には、ワンウエイクラッチ２２により一方向のみに回転（本実施例では左回転）するように構成されたカムプレート２３が、図７に示すようなカムプレート取り付けピン２４を介して回転自在に取り付けられている。
【００３８】
このカムプレート取り付けピン２４は、大径部２４ａの一端がＸ軸テーブル１１の他方の面１１ｂに固設され、小径部２４ｂにワンウエイクラッチ２２を介してカムプレート２３が回転自在に取り付けられている。
【００３９】
このカムプレート２３は、例えば図８に示すように、中央にワンウエイクラッチ２２が配設される穴を有し、一方の面の外周には図８（ｃ）のように複数のノックピン２５が所定間隔で該一方の面側から圧入されている。
【００４０】
カムプレート２３の他方の面には、該面に対して所定高さを有して、図８（ａ）のように４つのカムの山２３ａ…と、４つのカムの谷２３ｂ…が交互に連続して形成されている。
【００４１】
尚このカムプレート２３は、エアーシリンダ６の可動部６ｂが上昇又は下降するときにツメ２０の先端部（長辺２０ｂ又は傾斜辺２０ｃ）が、カムプレート２３に圧入されたノックピン２５に当接し得る位置に配設されている。
【００４２】
Ｘ軸テーブル１１の他方の面１１ｂの左下コーナー部におけるカムプレート２３よりも上方の位置には、図９に示すようなアーム取り付けピン２６の一端が固着され、該ピン２６の他端には図１０に示すような形状のアーム２７が回転自在に取り付けられている。
【００４３】
このアーム２７は幅の広い幅広部２７ａと、幅の狭い小幅部２７ｂと、これらを結ぶ屈曲部２７ｃとを有し、屈曲部２７ｃには前記アーム取り付けピン２６が挿入される穴２７ｄが穿設され、小幅部２７ｂの屈曲部２７ｃに近い部位には後述するスプリングの端部が係止される穴２７ｅが穿設され、小幅部２７ｂの先端側には後述のカムフォロアが取り付けられる穴２７ｆが穿設されている。
【００４４】
Ｘ軸テーブル１１の他方の面１１ｂの、前記アーム取り付けピン２６の近傍にはバネポスト２８が固設され、このバネポスト２８にはスプリング２９の一端が固着されている。スプリング２９の他端は前記アーム２７の穴２７ｅに係止されている。
【００４５】
前記アーム２７の穴２７ｆには円筒体のカムフォロア３０が取り付けられている。このカムフォロア３０は、その円筒体の外周面がカムプレート２３のカムの山２３ａおよびカムの谷２３ｂに当接するように配設されるものであり、このような配置をとなるようにアーム取り付けピン２６、アーム２７、バネポスト２８、スプリング２９を各々配設している。
【００４６】
前記アーム２７の幅広部２７ａの先端面には所定厚みを有した例えば図１１に示す平板状のスペーサ（本発明のスペーサ）３１の一方の面が固着されている。このスペーサ３１の長手方向寸法はアーム２７の幅広部２７ａの寸法よりも大きく形成され、図１（ｂ）に示すようにカムフォロア３０がカムプレート２３のカムの山２３ａに当接した（乗り上げた）ときに、スペーサ３１の一方の面であって幅広部２７ａとの固着部以外の面３１ａが前記エアーシリンダストッパ１８上に搭載される。
【００４７】
また、カムフォロア３０がカムプレート２３のカムの谷２３ｂに当接した（入り込んだ）ときには、後述するようにアーム２７がアーム取り付けピン２６を軸として所定角度左回転するため、スペーサ３１はエアーシリンダストッパ１８上から除外される。
【００４８】
したがってエアーシリンダストッパ１８上への前記スペーサ３１の搭載、除外が確実に行われる位置に、カムプレート２３、アーム取り付けピン２６、アーム２７、カムフォロア３０等を配設しておくものである。尚図１において、エアーシリンダ６のソレノイドバルブやエアー供給用の配管等は図示省略している。
【００４９】
図１のように構成された装置は、例えば図１２に示すＸ−Ｙ２軸ロボット１に組み込まれる。すなわち図１のＸ軸テーブル１１を図１２のＸ軸用スライダー５にスライド自在に支持して基板分割装置を構成し、集合基板４の分割作業を行うものである。
【００５０】
次に、上記のように構成された基板分割装置の動作を図１、図２、図１２とともに説明する。図２は図１の要部構成のみを図示しており、エアーシリンダ６に取り付けられるルーター７は図示省略している。
【００５１】
まずエアーシリンダ６にはエアーが供給されず、図２（ａ）に示すように可動部６ｂが上昇してその上端面が規制片１３に当接し、待機状態となっているものとする。
【００５２】
この場合、カムフォロア３０がカムプレート２３のカムの山２３ａに乗り上げており、アーム２７の先端のスペーサ３１が図示のようにエアーシリンダストッパ１８上に搭載された状態となっている。
【００５３】
また、図示省略のＸ−Ｙ２軸ロボット１によってＸ軸テーブル１１が移動され、図１２（ｂ）のように、ルーター７のルータービット７ａが集合基板４のミシン目の直上に配置されているものとする。
【００５４】
このエアーシリンダ待機状態から、ソレノイドバルブによりエアーを流入させエアーシリンダ６の可動部６ｂを下降させる。この下降途中でツメ２０が、カムプレート２３に圧入されているノックピン２５に当たるが、カムプレート２３はワンウエイクラッチ２２を介しているため右回転しない。
【００５５】
またツメ２０はその傾斜辺２０ｃが前記ノックピン２５に当たり、スプリング１７のバネ力に抗して段付きネジ２１を中心に右回りに回転するのでノックピン２５に引っ掛かることはない。
【００５６】
そしてエアーシリンダ６の可動部６ｂの左側面に設けられた当接片１２が、図２（ｂ）のようにエアーシリンダストッパ１８上に搭載状態となっているスペーサ３１の面３１ｂに当接して該可動部６ｂが停止する。
【００５７】
このときのルーター７の下降高さが第１の下降高さとなり、この状態で集合基板のミシン目を切断する。
【００５８】
ミシン目切断後、ソレノイドバルブにより流入させていたエアーを止め、エアーシリンダ６を上昇させる。この上昇時、ツメ２０の長辺２０ｂが、カムプレート２３に圧入されているノックピン２５に当たって該ピン２５を引き上げ、図２（ｃ）のようにカムプレート２３を左回転させる。
【００５９】
これによりカムフォロア３０がカムプレート２３のカムの谷２３ｂに入り込み、スプリング２９のバネ力により、アーム取り付けピン２６を軸としてアーム２７を左回転させる。
【００６０】
これによってアーム２７先端のスペーサ３１はエアーシリンダストッパ１８から外れる。そしてエアーシリンダ６の上昇は、可動部６ｂの上端面が規制片１３に当接することで停止される。
【００６１】
次にルーター７が集合基板４の別のミシン目の直上位置に配置されるように、Ｘ−Ｙ２軸ロボット１によりＸ軸テーブル１１を移動させ、ソレノイドバルブによりエアーを流入させエアーシリンダ６の可動部６ｂを下降させる。この下降途中で、可動部６ｂが前記図２（ａ）から図２（ｂ）のように下降する場合と同様に、ツメ２０が、カムプレート２３に圧入されているノックピン２５に当たるが、カムプレート２３はワンウエイクラッチ２２を介しているため右回転しない。
【００６２】
またツメ２０はその傾斜辺２０ｃが前記ノックピン２５に当たり、スプリング１７のバネ力に抗して段付きネジ２１を中心に右回りに回転するのでノックピン２５に引っ掛かることはない。
【００６３】
そしてエアーシリンダ６の可動部６ｂの左側面に設けられた当接片１２が、図２（ｄ）のようにエアーシリンダストッパ１８に当接して該可動部６ｂが停止する。
【００６４】
このときのルーター７の下降高さが第２の下降高さとなり、この状態で集合基板のミシン目を切断する。
【００６５】
ミシン目切断後、ソレノイドバルブにより流入させていたエアーを止め、エアーシリンダ６を上昇させる。この上昇時、可動部６ｂが前記図２（ｂ）から図２（ｃ）のように上昇する場合と同様に、ツメ２０の長辺２０ｂが、カムプレート２３に圧入されているノックピン２５に当たって該ピン２５を引き上げ、図２（ａ）のようにカムプレート２３を左回転させる。
【００６６】
これによりカムフォロア３０がカムプレート２３のカムの山２３ａに乗り上がり、スプリング２９のバネ力に抗して、アーム取り付けピン２６を軸としてアーム２７を右回転させる。
【００６７】
これによってアーム２７先端のスペーサ３１はエアーシリンダストッパ１８上に搭載される。そしてエアーシリンダ６の上昇は、可動部６ｂの上端面が規制片１３に当接することで停止される。
【００６８】
その後は前述した図２（ａ）→図２（ｂ）→図２（ｃ）→図２（ｄ）…の動作が繰り返され、集合基板４のミシン目が切断され基板の分割が行われる。
【００６９】
上記のように、通常のエアーシリンダ６の上昇、下降動作を行うだけで、ルーター７の下降高さを、エアーシリンダストッパ１８上にスペーサ３１を搭載して（すなわち前記ストッパ１８上にスペーサ３１を介在させて）エアーシリンダ６を停止させた位置（図２（ｂ））で決定される第１の下降高さと、エアーシリンダストッパ１８上にスペーサ３１を搭載せずに（すなわち前記ストッパ１８上にスペーサ３１を介在させずに）エアーシリンダ６を停止させた位置（図２（ｄ））で決定される第２の下降高さの、２通りに設定することができる。このためルータービット７ａの磨耗寿命を２倍に延ばすことができる。
【００７０】
本実施形態例では、スペーサ３１の厚みを任意に選定することで、第１の下降高さを容易に設定変更することができる。
【００７１】
またエアーシリンダストッパ１８は前記エアーシリンダ６の固定部６ａに設けるに限らずＸ軸テーブル１１に固設しても良い。
【００７２】
尚前記図１、図２の実施例では、エアーシリンダ６の可動部６ｂの下降時（図２（ａ）から図２（ｂ）への動作時、又は図２（ｃ）から図２（ｄ）への動作時）には、カムプレート２３を回転させずスペーサ３１の存在位置を保持させておき、エアーシリンダ６の可動部６ｂの上昇時（図２（ｂ）から図２（ｃ）への動作時、又は図２（ｄ）から図２（ａ）への動作時）に、ツメ２０によりカムプレート２３を回転させてスペーサ３１の存在位置を切換えることによって、前記第１の下降高さと第２の下降高さを設定変更していたが、これとは逆にエアーシリンダ６の上昇時にスペーサ３１の存在位置を保持し、下降時にスペーサ３１の存在位置を切り換えて前記第１の下降高さと第２の下降高さを設定変更するように構成しても良い。
【００７３】
すなわち、前記図１の装置において、ワンウエイクラッチ（２２）によりカムプレート（２３）を右回転のみ可能であるように構成し、ツメ（２０）を、上昇時には段付きネジ（２１）を中心として左回転させ、下降時にノックピン２５を押し下げてカムプレート２３を右回転させるように構成する。
【００７４】
尚この場合は、下降を開始してからエアーシリンダ６の可動部６ｂの当接片１２がエアーシリンダストッパ１８に到達（当接）する前にスペーサ３１の移動が完了できるように、カムプレート２３、ツメ２０等を配置しておくものである。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】本発明の一実施形態例の基板分割装置を示し、（ａ）は左側面図、（ｂ）は正面図。
【図２】本発明の一実施形態例の動作を表し、（ａ）は待機状態時の要部構成図、（ｂ）はエアーシリンダ下降時の要部構成図、（ｃ）はエアーシリンダ上昇時の要部構成図、（ｄ）はエアーシリンダ下降時の要部構成図。
【図３】本発明の一実施形態例におけるＸ軸テーブルの一例を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は平面図。
【図４】本発明の一実施形態例におけるツメベースの一例を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は右側面図。
【図５】本発明の一実施形態例におけるツメの一例を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は右側面図。
【図６】本発明の一実施形態例における段付きネジの一例を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は右側面図。
【図７】本発明の一実施形態例におけるカムプレート取り付けピンの一例を示し（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は右側面図、（ｄ）は底面図。
【図８】本発明の一実施形態例におけるカムプレートの一例を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は背面図。
【図９】本発明の一実施形態例におけるアーム取り付けピンの一例を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は右側面図、（ｄ）は底面図。
【図１０】本発明の一実施形態例におけるアームの一例を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は右側面図。
【図１１】本発明の一実施形態例におけるスペーサの一例を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は左側面図。
【図１２】従来の基板分割装置の一例を表し、（ａ）は正面構成図、（ｂ）は切断開始時の説明図、（ｃ）は（ｂ）の要部拡大図、（ｄ）は集合基板を説明する要部平面図。
【符号の説明】
【００７６】
１…Ｘ−Ｙ２軸ロボット、４…集合基板、５…Ｘ軸用スライダー、６…エアーシリンダ、７…ルーター、１１…Ｘ軸テーブル、１２…当接片、１３…規制片、１４…基板、１４ｂ…ミシン目、１５…ツメベース、１６、２８…バネポスト、１７、２９…スプリング、１８…エアーシリンダストッパ、１９、２５…ノックピン、２０…ツメ、２１…段付きネジ、２２…ワンウエイクラッチ、２３…カムプレート、２３ａ…カムの山、２３ｂ…カムの谷、２４…カムプレート取り付けピン、２６…アーム取り付けピン、２７…アーム、３０…カムフォロア、３１…スペーサ、５０…ピン。
【図１】
2008149431.tif 000003
【図２】
2008149431.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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