(57)【要約】【課題】ボックス体の移動、ボックス体に対する板状体の出し入れ処理を、構造簡単かつ安価にして行える板状体処理設備を提供する。【解決手段】ボックス体１１は、少なくとも一側壁を開放するとともに、内部に配設した支持部材１５を介して、板状体１を上下複数段に収納自在に構成した。ボックス体に対して板状体の出し入れ処理を行う処理手段２０を設け、処理手段の両側に振り分けて、ボックス体を支持自在な入れ側固定荷受台６１と出し側固定荷受台７１を設けた。処理手段は、一側壁の開放部１１ｂを通して両固定荷受台の振り分け方向Ａとは直交状の方向Ｂに板状体を搬送自在な搬送装置３１と、搬送装置に干渉されることなくボックス体を昇降させる昇降装置４１から構成した。昇降装置におけるボックス体を支持する昇降体５５は、処理手段内と両固定荷受台とに亘って横移動自在に構成した。ボックス体を支持する昇降装置の昇降体により、ボックス体の昇降と横搬送とを兼用して行うことができる。【選択図】図１
2008098317.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ボックス体は、少なくとも一側壁が開放されるとともに、内部に配設された支持部材を介して、板状体を上下複数段に収納自在に構成され、このボックス体に対して板状体の出し入れ処理を行う処理手段が設けられるとともに、この処理手段の両側に振り分けて、ボックス体を支持自在な入れ側固定荷受台と出し側固定荷受台とが設けられ、前記処理手段は、一側壁の開放部を通して両固定荷受台の振り分け方向とは直交状の方向に板状体を搬送自在な搬送装置と、この搬送装置に干渉されることなくボックス体を昇降させる昇降装置とから構成され、この昇降装置におけるボックス体を支持する昇降体は、処理手段内と両固定荷受台とに亘って横移動自在に構成されていることを特徴とする板状体処理設備。
【請求項２】
入れ側固定荷受台は板状体が収納されている実のボックス体を支持し、処理手段は、昇降体により支持した実のボックス体内から搬送装置によって板状体を搬出するとともに、板状体を搬出した空のボックス体を出し側固定荷受台に渡すように構成されていることを特徴とする請求項１記載の板状体処理設備。
【請求項３】
昇降体の上面には、入れ側固定荷受台に対する上昇時にボックス体の下部に作用する位置決め体が設けられていることを特徴とする請求項１または２記載の板状体処理設備。
【請求項４】
入れ側固定荷受台や出し側固定荷受台に対して、移載手段によりボックス体を受け渡し自在に構成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の板状体処理設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、たとえばボックス体内に上下複数段に収納されているガラス基板（プラズマディスプレイパネル）などの板状体を、このボックス体から１枚ずつ搬出処理したり、空のボックス体内に板状体を上下複数段に収納処理したりする板状体処理設備に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のものとしては、次のような構成が提供されている。すなわち、昇降台を中にして、待機コンベアと排出コンベアとが両側に振り分けて配設され、そして昇降台、待機コンベア、排出コンベアの上面には、それぞれ送り機構が設けられている。この状態で、ガラス基板を上下複数段で収納しているカセットを待機コンベアの送り機構上に位置させる。次いで、昇降台を上昇させて送り機構を、待機コンベアの送り機構と同じ水準にしたのち、両送り機構を作動させることで、待機コンベア上のカセットを昇降台上に移送させる。そして、カセット内にローラを挿入させた状態で、昇降台を下降して最下段のガラス基板をローラ上に載せることにより、ローラの回転駆動によってガラス基板をプロセスに向けて移送し得る。カセットが空になると、ローラをカセット内から退避させ、次いで、昇降台を上昇させて送り機構を排出コンベアの送り機構と同じ水準にしたのち、両送り機構を作動させることで、昇降台上のカセットを排出コンベア上に移送し得、その後に、排出コンベア上のカセットを除去させる（たとえば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開２００２−１６７０３７号公報（第３頁、図１）
【特許文献２】特開２００２−１６７０３８号公報
【特許文献３】特開２００６−２０６２１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、上記した従来構成によると、昇降台、待機コンベア、排出コンベアにそれぞれ送り機構が設けられていることで、構造が複雑かつ高価となる。また、待機コンベアへのカセットの供給や排出コンベアからのカセットの除去は、これらコンベアに接続した別のコンベアにより行う形式（ライン）であれば、同じレベルの搬送で行えるが、たとえばフォークリフトや搬送装置などの移載手段をプロセスとは反対側から作動させて行う場合、送り機構が邪魔になることなどから、待機コンベアや排出コンベアの部分には、供給や除去（受け渡し）のためのリフト手段を配設しなければならず、以て構造が複雑かつ高価となる。
【０００４】
そこで本発明の請求項１記載の発明は、ボックス体の移動、ならびにボックス体に対する板状体の出し入れ処理を、構造簡単かつ安価にして行える板状体処理設備を提供することを目的としたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前述した目的を達成するために、本発明の請求項１記載の板状体処理設備は、ボックス体は、少なくとも一側壁が開放されるとともに、内部に配設された支持部材を介して、板状体を上下複数段に収納自在に構成され、このボックス体に対して板状体の出し入れ処理を行う処理手段が設けられるとともに、この処理手段の両側に振り分けて、ボックス体を支持自在な入れ側固定荷受台と出し側固定荷受台とが設けられ、前記処理手段は、一側壁の開放部を通して両固定荷受台の振り分け方向とは直交状の方向に板状体を搬送自在な搬送装置と、この搬送装置に干渉されることなくボックス体を昇降させる昇降装置とから構成され、この昇降装置におけるボックス体を支持する昇降体は、処理手段内と両固定荷受台とに亘って横移動自在に構成されていることを特徴としたものである。
【０００６】
したがって請求項１の発明によると、ボックス体を入れ側固定荷受台上に位置させた状態で、入れ側固定荷受台よりも下方に位置させている処理装置の昇降体を、振り分け方向に横移動させてボックス体の下方に位置させる。次いで昇降装置により昇降体を上昇させることで、入れ側固定荷受台で支持していたボックス体を昇降体により持ち上げ支持し得る。このように昇降体によりボックス体を支持した状態で、昇降体を横移動させてボックス体を処理装置内に位置させる。次いで昇降体を昇降させることでボックス体を昇降し得、その際にボックス体の昇降は、搬送装置に衝突などすることなく円滑に行える。そして、所定の高さに停止させた状態で搬送装置を駆動することによって、ボックス体内の板状体を支持部材から受け取ってボックス体外へ搬出し得、またはボックス体外の板状体を受け取ってボックス体内へ搬入したのち支持部材に渡し得る。
【０００７】
その際に、昇降装置によりボックス体を１段分ずつ昇降させることと、搬送装置による搬送とを繰り返して行うことで、ボックス体内に複数段で収納している板状体を下段の板状体から順にボックス体外へ搬出し得、またはボックス体外の板状体を受け取ってボックス体内へ搬入して、上段から順に複数段で収納し得る。このようにしてボックス体に対する板状体の処理を行ったのち、昇降体を上昇させてボックス体を出し側固定荷受台よりも上方に位置させ、次いで昇降体を振り分け方向に横移動させて出し側固定荷受台の上方に位置させたのち昇降体を下降させることで、昇降体で支持していたボックス体を出し側固定荷受台に渡し得る。
【０００８】
また本発明の請求項２記載の板状体処理設備は、上記した請求項１記載の構成において、入れ側固定荷受台は板状体が収納されている実のボックス体を支持し、処理手段は、昇降体により支持した実のボックス体内から搬送装置によって板状体を搬出するとともに、板状体を搬出した空のボックス体を出し側固定荷受台に渡すように構成されていることを特徴としたものである。
【０００９】
したがって請求項２の発明によると、板状体が上下方向に所定の間隔を置いて複数段に収納されている実のボックス体を、入れ側固定荷受台上に位置させた状態で、この実のボックス体を昇降体により処理装置内に位置させたのち、昇降体により下降し得、その際に下降は、最下段の板状体が搬送装置に受け止められ、この板状体に対して支持部材が所定高さ下方へ離間したときに停止し得る。次いで搬送装置を駆動することで、支持している板状体を切り出し供給し得、そして駆動を停止させることで板状体をボックス体内から搬出し得る。その後に、昇降装置によりボックス体を１段分ずつ下降させることと、搬送装置により搬出させることを繰り返して行うことで、ボックス体内の板状体を、下段の板状体から順に搬送装置上に載置して搬出し得る。このようにして、ボックス体内の板状体を全て搬出したのち、昇降体を上昇させて、空のボックス体を出し側固定荷受台よりも上方に位置させる。次いで昇降体を横移動させて出し側固定荷受台の上方に位置させたのち、昇降体を下降させることで、昇降体で支持していた空のボックス体を出し側固定荷受台に渡して支持させ得る。
【００１０】
そして本発明の請求項３記載の板状体処理設備は、上記した請求項１または２記載の構成において、昇降体の上面には、入れ側固定荷受台に対する上昇時にボックス体の下部に作用する位置決め体が設けられていることを特徴としたものである。
【００１１】
したがって請求項３の発明によると、入れ側固定荷受台に対してボックス体が位置ずれ状態で支持されていたとき、昇降体を上昇させて、入れ側固定荷受台で支持していたボックス体を持ち上げる直前に、ボックス体の位置ずれ側の下部に位置決め体を作用させて、位置ずれを自動的に修正し得るとともに、修正姿勢で位置決めし得る。
【００１２】
さらに本発明の請求項４記載の板状体処理設備は、上記した請求項１〜３のいずれか１項に記載の構成において、入れ側固定荷受台や出し側固定荷受台に対して、移載手段によりボックス体を受け渡し自在に構成されていることを特徴としたものである。
【００１３】
したがって請求項４の発明によると、昇降体を処理装置内などに位置させた状態で、移載手段によって、支持しているボックス体を入れ側固定荷受台に渡し得、出し側固定荷受台で支持しているボックス体を受け取り得る。
【発明の効果】
【００１４】
上記した本発明の請求項１によると、ボックス体を入れ側固定荷受台上に位置させた状態で、入れ側固定荷受台よりも下方に位置させている処理装置の昇降体を、振り分け方向に横移動させてボックス体の下方に位置できる。次いで昇降装置により昇降体を上昇させることで、入れ側固定荷受台で支持していたボックス体を昇降体により持ち上げ支持できる。このように昇降体によりボックス体を支持した状態で、昇降体を横移動させてボックス体を処理装置内に位置できる。次いで昇降体を昇降させることでボックス体を昇降でき、その際にボックス体の昇降は、搬送装置に衝突などすることなく円滑に行うことができる。そして、所定の高さに停止させた状態で搬送装置を駆動することによって、ボックス体内の板状体を支持部材から受け取ってボックス体外へ搬出でき、またはボックス体外の板状体を受け取ってボックス体内へ搬入したのち支持部材に渡すことができる。
【００１５】
その際に、昇降装置によりボックス体を１段分ずつ昇降させることと、搬送装置による搬送とを繰り返して行うことで、ボックス体内に複数段で収納している板状体を下段の板状体から順にボックス体外へ搬出でき、またはボックス体外の板状体を受け取ってボックス体内へ搬入して、上段から順に複数段で収納できる。このようにしてボックス体に対する板状体の処理を行ったのち、昇降体を上昇させてボックス体を出し側固定荷受台よりも上方に位置させ、次いで昇降体を振り分け方向に横移動させて出し側固定荷受台の上方に位置させたのち昇降体を下降させることで、昇降体で支持していたボックス体を出し側固定荷受台に渡すことができる。
【００１６】
このように、ボックス体を支持する昇降装置の昇降体を、処理手段内と両固定荷受台とに亘って横移動自在に構成していることで、ボックス体の昇降と横搬送とを兼用して行うことができ、以てコンベア構造物は処理装置の搬送装置のみでよいことから、構造簡単に構成でき、また両固定荷受台は昇降不要で、リフト手段などない定置形式でよいことから、構造簡単に構成できる。したがって、ボックス体の移動、ならびにボックス体に対する板状体の出し入れ処理を、構造簡単かつ安価に構成できる。
【００１７】
また上記した本発明の請求項２によると、板状体が上下方向に所定の間隔を置いて複数段に収納されている実のボックス体を、入れ側固定荷受台上に位置させた状態で、この実のボックス体を昇降体により処理装置内に位置させたのち、昇降体により下降でき、その際に下降は、最下段の板状体が搬送装置に受け止められ、この板状体に対して支持部材が所定高さ下方へ離間したときに停止できる。次いで搬送装置を駆動することで、支持している板状体を切り出し供給でき、そして駆動を停止させることで板状体をボックス体内から搬出できる。その後に、昇降装置によりボックス体を１段分ずつ下降させることと、搬送装置により搬出させることを繰り返して行うことで、ボックス体内の板状体を、下段の板状体から順に搬送装置上に載置して搬出できる。このようにして、ボックス体内の板状体を全て搬出したのち、昇降体を上昇させて、空のボックス体を出し側固定荷受台よりも上方に位置できる。次いで昇降体を横移動させて出し側固定荷受台の上方に位置させたのち、昇降体を下降させることで、昇降体で支持していた空のボックス体を出し側固定荷受台に渡して支持させることができる。
【００１８】
そして上記した本発明の請求項３によると、入れ側固定荷受台に対してボックス体が位置ずれ状態で支持されていたとき、昇降体を上昇させて、入れ側固定荷受台で支持していたボックス体を持ち上げる直前に、ボックス体の位置ずれ側の下部に位置決め体を作用させて、位置ずれを自動的に修正できるとともに、修正姿勢で位置決めできる。
【００１９】
さらに上記した本発明の請求項４によると、昇降体を処理装置内などに位置させた状態で、移載手段によって、支持しているボックス体を入れ側固定荷受台に渡すことができるとともに、出し側固定荷受台で支持しているボックス体を受け取ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
［実施の形態１］
以下に、本発明の実施の形態１を、実のボックス体内から板状体を搬出処理するのに採用した状態として、図に基づいて説明する。
【００２１】
図１、図２において、ボックス体（カセットケースなど）１１は、下部矩形枠体１２と、この下部矩形枠体１２の４隅から立設された縦枠１３と、これら縦枠１３の上端間に連結された上部矩形枠体１４などにより矩形枠組体状に構成されている。したがってボックス体１１は、下部矩形枠体１２によって下位開放部（底壁の開放部）１１ａが形成されるとともに、両矩形枠体１２，１４間でかつ縦枠１３間にそれぞれ（４箇所）に側位開放部（側壁の開放部）１１ｂが形成されている。また、ボックス体１１の内部には、左右方向（後述する振り分け方向）に一対でかつ前後方向（後述する直交状の方向）のほぼ全長に亘る支持部材１５が、所定間隔置きで上下複数段に配設されている。
【００２２】
したがってボックス体１１は、正方形状（矩形状）のガラス基板（板状体の一例）１を左右方向で一対の支持部材１５間に上方から係止させることで、内部に配設された支持部材１５を介して、ガラス基板１を上下方向に所定の間隔を置いて複数段に収納自在として構成される。その際に支持部材１５は、ワイヤー、丸ロッド、平プレートなどにより構成され、縦枠１３からのブラケット１６を介してボックス体１１側に固定されている。以上の１２〜１６などにより、ボックス体１１の一例が構成される。
【００２３】
前記ボックス体１１に対してガラス基板１の出し入れ処理を行う処理手段２０が設けられるとともに、この処理手段２０の両側に振り分けて、ボックス体１１を支持自在な入れ側固定荷受台６１と出し側固定荷受台７１とが設けられる。そして処理手段２０の前方には送り装置８１が設けられ、また送り装置８１とは反対側には、入れ側固定荷受台６１や出し側固定荷受台７１に対してボックス体１１を受け渡し自在な移載手段９１が設けられている。
【００２４】
前記処理手段２０は、枠本体２１と、前の側位開放部（一側壁の開放部）１１ｂを通して両固定荷受台６１，７１の振り分け方向（左右方向）Ａとは直交状の方向（前後方向）Ｂにガラス基板１を搬送自在な搬送装置３１と、この搬送装置３１に干渉されることなくボックス体１１を昇降させる昇降装置４１などから構成されている。
【００２５】
すなわち図１〜図５において、前記枠本体２１は、平枠状のベース枠体２２と、このベース枠体２２の４隅部分から立設された縦枠体２３と、これら縦枠体２３の上端部間に設けられた連結体２４などにより矩形枠組体状に構成されている。そしてベース枠体２２の下部には、遊転自在な車輪体２５と、上下方向に高さ調整自在な着地体２６とが、それぞれ複数箇所に設けられ、以て枠本体２１は、車輪体２５を介して床Ｆ側に支持されることで走行自在（移動自在）に構成されるとともに、着地体２６を介して床Ｆ側に支持されることで所定位置に定着されるように構成されている。このような矩形枠組体状の枠本体２１によると、送り装置８１に対向される前側開放部２１ａと、入れ側固定荷受台６１に対向される入れ側開放部２１ｂと、出し側固定荷受台７１に対向される出し側開放部２１ｃとが形成される。以上の２２〜２６などにより、枠本体２１の一例が構成される。
【００２６】
前記搬送装置３１はローラコンベア形式であって、振り分け方向（コンベア幅方向）Ａにおいて２つ（複数）のゾーン、すなわち、右側ゾーン３１Ｚ１と左側ゾーン３１Ｚ２  とにより形成されている。両ゾーン３１Ｚ１  ，３１Ｚ２は同様な構成であって、それぞれ直交状の方向（搬送経路の方向）Ｂの複数箇所に、振り分け方向Ａに沿ったコンベアフレーム３２が配設されている。そして各コンベアフレーム３２の上方に、その回転軸心を振り分け方向とした回転軸３４が単数本または複数本並列で配設され、これら回転軸３４は、コンベアフレーム３２からのブラケット３３に回転自在に支持されている。各回転軸３４には、その長さ方向の複数箇所に外嵌してローラ体３５が設けられ、また各回転軸３４に直結して連動する駆動部（モータなど）３６が、内側のブラケット３３に設けられている。各コンベアフレーム３２は、それぞれ縦部材３７の上端に連結固定され、そして縦部材３７の下端は共通のベース体３８に連結固定されるとともに、ベース体３８は上下方向に高さ調整自在な着地体３９を介して床Ｆ上に設置されている。
【００２７】
以上の３２〜３９などにより、搬送装置３１の一例が構成され、そしてローラ体３５群によって搬送装置３１の搬送面３１ａが形成される。かかる構成の搬送装置３１は、実のボックス体１１内に収納されているガラス基板１を搬送（搬出）させるものである。その際に、搬送装置３１の搬送幅（コンベア幅）３１Ｗはボックス体１１の下位開放部幅１１ａＷより狭く、すなわち［３１Ｗ＜１１ａＷ］に設定されている。したがって、ガラス基板１が上下方向に間隔を置いて複数段に収納されている実のボックス体１１を昇降装置４１にセットした状態で、昇降装置４１により１段分ずつ下降させることで、下段のガラス基板１から順に搬送装置３１のローラ体３５群上に載置して搬送（搬出）させるように構成されている。
【００２８】
前記昇降装置４１は、前側開放部２１ａを形成する一対の縦枠体２３の部分に配設される前側装置部４２Ａと、後側で一対の縦枠体２３の部分に配設される後側装置部４２Ｂとからなり、これら装置部４２Ａ，４２Ｂは、前後で対称状として同様に構成されるとともに、同期駆動されるように構成されている。
【００２９】
すなわち、各縦枠体２３は横断面がＵ型状の型レール体であって、直交状の方向Ｂで相対向する側が開放された状態で配設されている。そして各縦枠体２３の溝内には上下方向のガイドレール４３が配設され、このガイドレール４３に被ガイド体４４を介して昇降自在に案内される可動体４５が設けられている。さらに各縦枠体２３の溝内には、ガイドレール４３に沿った螺子軸体４６が回動自在に設けられ、この螺子軸体４６に螺合されるナット体４７が前記被ガイド体４４側に設けられている。各装置部４２Ａ，４２Ｂは、一対の縦枠体２３間に位置される状態でベース枠体２２上に設けられた正逆駆動自在なモータ４８を有し、このモータ４８の出力軸は歯車機構４９を介して振り分け方向Ａの駆動軸５０に連動連結されている。そして駆動軸５０の遊端が、縦枠体２３内の下部に設けられた歯車機構５１を介して螺子軸体４６の下端に連動連結されている。
【００３０】
各装置部４２Ａ，４２Ｂにおいて、一対の可動体４５はガイドレール４３の溝から突出され、そして突出部分の上部間にフォーク手段５２が設けられている。すなわち両フォーク手段５２は、可動体４５の上部間に設けられた固定体（ベースフォーク体）５３と、この固定体５３に対して振り分け方向Ａに摺動自在に設けられた中間体（セカンドフォーク体）５４と、この中間体５４に対して振り分け方向Ａに摺動自在に設けられた昇降体（トップフォーク体）５５と、中間体５４や昇降体５５を摺動させる駆動装置（図示せず。）などから構成されるとともに、両駆動装置は同期駆動されるように構成されている。
【００３１】
その際に各フォーク手段５２は、搬送装置３１の搬送幅外に位置され、また両フォーク手段５２の直交状の方向Ｂでの最大幅５２ＬＷは、ボックス体１１の幅１１Ｗよりも大きく、すなわち［５２ＬＷ＞１１Ｗ］に設定されている。したがって昇降装置４１は、両フォーク手段５２における昇降体５５間でボックス体１１を支持し得、そして両フォーク手段５２を同期昇降させることで、搬送装置３１に干渉されることなくボックス体１１を昇降し得る。また、昇降装置４１における両フォーク手段５２は振り分け方向Ａの両側に２段で伸縮自在であり、その伸縮によってボックス体１１を支持する昇降体５５は、処理手段２０内と両固定荷受台６１，７１とに亘って横移動自在に構成される。
【００３２】
前記昇降体５５の上面には、入れ側固定荷受台６１に対する上昇時にボックス体１１の下部に作用する位置決め体５６が設けられている。すなわち、両昇降体５５の上面で振り分け方向Ａの両端には、それぞれ前後位置決め部材５７と左右位置決め部材５８とが、平面視でＬ字状として配設されている。ここで位置決め部材５４，５５は、ローラが遊転自在に設けられた形式や、丸ロッド体が横向きに配置されて溶接などで固定された形式などであり、以て内向きの円周面によってボックス体１１の下部を案内したのち位置決めするように構成されている。以上の４２Ａ，４２Ｂ〜５８などにより、昇降装置４１の一例が構成され、そして２１〜５８などにより、処理手段２０の一例が構成される。
【００３３】
前記入れ側固定荷受台６１と出し側固定荷受台７１とは同様な構成であって、振り分け方向Ａで所定の間隔をおいて配設された一対の受け体６２，７２が、それぞれ２本（単数本または複数本）の脚体６３，７３を介して床Ｆ側に配設されることで構成されている。その際に、一対の受け体６２（７２）は振り分け方向Ａにおいて、所定の幅１１Ｗのボックス体１１を支持し得る外端間幅６２Ｗ（７２Ｗ）、すなわち［１１Ｗ＜６２Ｗ（７２Ｗ）］に設定されるとともに、移載手段９１が作用自在な内端間幅６２Ｓ（７２Ｓ）に設定されている。さらに受け体６２（７２）は、直交状の方向Ｂにおける長さ６２Ｌ（７２Ｌ）が、両フォーク手段５２の内端面幅５２ＳＷよりも短く、すなわち［６２Ｌ（７２Ｌ）＜５２ＳＷ］に設定されている。
【００３４】
前記処理手段２０の前方に設けられる送り装置８１は、たとえば製造工程（製造ライン）にガラス基板１を１枚ずつ搬送（供給）するもので、ベルト形式やローラ形式などからなり、その際に送り面８１ａは前記搬送装置３１の搬送面３１ａと同レベル状とされている。また送り装置８１とは反対側に設けられる移載手段９１は、たとえば、処理手段２０と固定荷受台６１，７１との外方間に形成された一定経路９５上で移動自在な移動体９２と、この移動体９２に設けられた昇降部９３と、この昇降部９３に横方向出退動自在に設けられたフォーク部９４などにより、その一例が構成される。その際にフォーク部９４のフォーク幅９４Ｗは一対の受け体６２（７２）の内端間幅６２Ｓ（７２Ｓ）よりも短く、すなわち［９４Ｗ＜６２Ｓ（７２Ｓ）］に設定されている。
【００３５】
したがって、昇降部９３を介してのフォーク部９４の昇降動と、フォーク部９４の横方向出退動との組み合わせ動作によって、入れ側固定荷受台６１や出し側固定荷受台７１に対して、移載手段９１によりボックス体１１を受け渡し自在に構成される。
【００３６】
以下に、上記した実施の形態１における作用を説明する。
図１に示すように、移載手段９１はフォーク部９４上にボックス体１１を支持しており、ここでボックス体１１には、支持部材１５を介してガラス基板１が上下方向に所定の間隔を置いて複数段に収納されている。この移載手段９１により、入れ側固定荷受台６１に対して実のボックス体１１を渡すのであるが、このとき処理装置２０では、フォーク手段５２を枠本体２１内（または出し側固定荷受台７１側）に位置させている。したがって、一定経路９５上で移動させてきた移載手段９１を入れ側固定荷受台６１に対向して停止させたのち、図２に示すように、昇降部９３を上昇させた状態でフォーク部９４を入れ側固定荷受台６１の上方へ突出動させ、そして昇降部９３を下降させることで、フォーク部９４で支持していた実のボックス体１１を入れ側固定荷受台６１の両受け体６２上に渡し得る。その際にフォーク部９４は、そのフォーク幅９４Ｗが受け体６２の内端間幅６２Ｓよりも短いことから、その下降は何ら支障なく行える。その後にフォーク部９４は、収縮動されて昇降部９３上に収められる。
【００３７】
この状態で、入れ側固定荷受台６１の受け体６２よりも下方に位置させている処理装置２０のフォーク手段５２を振り分け方向Ａに２段で突出動させ、図６に示すように、昇降体５５をボックス体１１の下方に位置させる。次いでフォーク手段５２を上昇させることで、入れ側固定荷受台６１の両受け体６２で支持していた実のボックス体１１を昇降体５５により持ち上げ支持し得る。その際に、受け体６２の直交状の方向Ｂにおける長さ６２Ｌが、両フォーク手段５２の内端面幅５２ＳＷよりも短く設定されていることから、その突出動や上昇動は何ら支障なく行える。また両フォーク手段５２の直交状の方向Ｂでの最大幅５２ＬＷがボックス体１１の幅１１Ｗよりも大きく設定されていることから、昇降体５５間でのボックス体１１の持ち上げ支持は安定して行える。
【００３８】
さらに、入れ側固定荷受台６１に対して実のボックス体１１が位置ずれ状態で支持されていたとき、昇降体５５により実のボックス体１１の持ち上げを行う直前に、実のボックス体１１の位置ずれ側の下部を、対応する位置決め部材５７，５８の内向きの円弧周面により案内し得、以て位置ずれを自動的に修正し得るとともに、修正姿勢で位置決めし得る。なお、両昇降体５５（フォーク手段５２）の昇降は、昇降装置４１によって同期して行われる。すなわち、モータ４８の正逆駆動により、歯車機構４９を介して駆動軸５０を正逆回転させ、そして歯車機構５１を介して螺子軸体４６を正逆回転させるとともに、ナット体４７を介して被ガイド体４４を昇降させることで行える。
【００３９】
上述したように、昇降体５５により実のボックス体１１を位置決め支持した状態で、フォーク手段５２を振り分け方向Ａに収縮動させ、図３〜図５に示すように、昇降体５５を介して実のボックス体１１を、入れ側開放部２１ｂを通して枠本体２１内に位置させる。次いでフォーク手段５２を下降させることで、昇降体５５で支持している実のボックス体１１を下降し得る。その際に実のボックス体１１の下降は、搬送装置３１の搬送幅３１Ｗが実のボックス体１１の下位開放部幅１１ａＷより狭いことから、搬送装置３１に衝突することなく、大部分を外嵌する状態で円滑に行える。そして下降は、図５の仮想線に示すように、最下段のガラス基板１が搬送装置３１のローラ体３５群に受け止められ、このガラス基板１に対して支持部材１５が所定高さ下方へ離間したときに停止される。
【００４０】
このような状態において、まず搬送装置３１における両ゾーン３１Ｚ１  ，３１Ｚ２の駆動部３６を同期駆動して、各回転軸３４を介してローラ体３５群を回転させることで、支持しているガラス基板１を切り出し、前側開放部２１ａを通して送り装置８１側に供給するとともに、このガラス基板１を、駆動させている送り装置８１によって支持搬送する。そして、ガラス基板１が送り装置８１上に完全に乗り移ったことを検出するなどして、駆動部３６を停止させることで、ガラス基板１をボックス体１１内から送り装置８１へと搬出し得る。その後に、上述と同様にして、昇降装置４１によりボックス体１１を１段分ずつ下降させることと、搬送装置３１から送り装置８１へ搬出させることを繰り返して行うことで、ボックス体１１内のガラス基板１を、下段のガラス基板１から順に搬送装置３１のローラ体３５群上に載置して送り装置８１へと搬送（搬出）し得る。
【００４１】
そして図４の仮想線に示すように、ボックス体１１内のガラス基板１を全て搬出したのち、フォーク手段５２を上昇させ、空のボックス体１１を出し側固定荷受台７１の受け体７２よりも上方に位置させる。次いでフォーク手段５２を振り分け方向Ａに２段で突出動させ、図７に示すように、昇降体５５により支持している空のボックス体１１を、出し側開放部２１ｃを通して出し側固定荷受台７１の上方に位置させる。そしてフォーク手段５２を下降させることで、昇降体５５で支持していた空のボックス体１１を出し側固定荷受台７１の両受け体７２に渡して支持させる。次いで、フォーク手段５２を収縮動させて枠本体２１内に位置させることで、ガラス基板１を搬出した空のボックス体１１を出し側固定荷受台７１に渡し得る。
【００４２】
そして、一定経路９５上で移動させてきた空の移載手段９１を出し側固定荷受台７１に対向して停止させたのち、昇降部９３を下降させた状態でフォーク部９４を出し側固定荷受台７１へと突出動させ、これによりフォーク部９４を空のボックス体１１の下方に位置させる。次いで昇降部９３を上昇させることで、出し側固定荷受台７１の両受け体７２で支持していた空のボックス体１１をフォーク部９４で支持し得る。その後に図７の仮想線に示すように、フォーク部９４を収縮動して昇降部９３上に収めることで、空のボックス体１１を移載手段９１により搬送し得る。
【００４３】
上記した実施の形態１によると、ボックス体１１を入れ側固定荷受台６１上に位置させた状態で、入れ側固定荷受台６１よりも下方に位置させている処理装置２０の昇降体５５を、振り分け方向Ａに横移動させてボックス体１１の下方に位置できる。次いで昇降装置４１により昇降体５５を上昇させることで、入れ側固定荷受台６１で支持していたボックス体１１を昇降体５５により持ち上げ支持できる。このように昇降体５５によりボックス体１１を支持した状態で、昇降体５５を横移動させてボックス体１１を処理装置２０内に位置できる。次いで昇降体５５を昇降させることでボックス体１１を昇降でき、その際にボックス体１１の昇降は、搬送装置３１に衝突などすることなく円滑に行うことができる。そして、所定の高さに停止させた状態で搬送装置３１を駆動することによって、ボックス体１１内のガラス基板１を支持部材１５から受け取ってボックス体１１外へ搬出でき、またはボックス体１１外のガラス基板１を受け取ってボックス体１１内へ搬入したのち支持部材１５に渡すことができる。
【００４４】
その際に、昇降装置４１によりボックス体１１を１段分ずつ昇降させることと、搬送装置３１による搬送とを繰り返して行うことで、ボックス体１１内に複数段で収納しているガラス基板１を下段のガラス基板１から順にボックス体１１外へ搬出でき、またはボックス体１１外のガラス基板１を受け取ってボックス体１１内へ搬入して、上段から順に複数段で収納できる。このようにしてボックス体１１に対するガラス基板１の処理を行ったのち、昇降体５５を上昇させてボックス体１１を出し側固定荷受台７１よりも上方に位置させ、次いで昇降体５５を振り分け方向Ａに横移動させて出し側固定荷受台７１の上方に位置させたのち昇降体５５を下降させることで、昇降体５５で支持していたボックス体１１を出し側固定荷受台７１に渡すことができる。
【００４５】
このように、ボックス体１１を支持する昇降装置４１の昇降体５５を、処理手段２０内と両固定荷受台６１，７１とに亘って横移動自在に構成していることで、ボックス体１１の昇降と横搬送とを兼用して行うことができ、以てコンベア構造物は処理装置２０の搬送装置３１のみでよいことから、構造簡単に構成でき、また両固定荷受台６１，７１は昇降不要で、リフト手段などない定置形式でよいことから、構造簡単に構成できる。したがって、ボックス体１１の移動、ならびにボックス体１１に対するガラス基板１の出し入れ処理を、構造簡単かつ安価に構成できる。
【００４６】
上記した実施の形態１によると、ガラス基板１が上下方向に所定の間隔を置いて複数段に収納されている実のボックス体１１を、入れ側固定荷受台６１上に位置させた状態で、この実のボックス体１１を昇降体５５により処理装置２０内に位置させたのち、昇降体５５により下降でき、その際に下降は、最下段のガラス基板１が搬送装置３１に受け止められ、このガラス基板１に対して支持部材１５が所定高さ下方へ離間したときに停止できる。次いで搬送装置３１を駆動することで、支持しているガラス基板１を切り出し供給でき、そして駆動を停止させることでガラス基板１をボックス体１１内から搬出できる。その後に、昇降装置４１によりボックス体１１を１段分ずつ下降させることと、搬送装置３１により搬出させることを繰り返して行うことで、ボックス体１１内のガラス基板１を、下段のガラス基板１から順に搬送装置３１上に載置して搬出できる。このようにして、ボックス体１１内のガラス基板１を全て搬出したのち、昇降体５５を上昇させて、空のボックス体１１を出し側固定荷受台７１よりも上方に位置できる。次いで昇降体５５を横移動させて出し側固定荷受台７１の上方に位置させたのち、昇降体５５を下降させることで、空のボックス体１１を出し側固定荷受台７１に渡して支持させることができる。
【００４７】
上記した実施の形態１によると、入れ側固定荷受台６１に対してボックス体１１が位置ずれ状態で支持されていたとき、昇降体５５を上昇させて、入れ側固定荷受台６１で支持していたボックス体１１を持ち上げる直前に、ボックス体１１の位置ずれ側の下部に位置決め体５６を作用させて、位置ずれを自動的に修正できるとともに、修正姿勢で位置決めできる。
【００４８】
上記した実施の形態１によると、昇降体５５を処理装置２０内などに位置させた状態で、移載手段９１によって、支持しているボックス体１１を入れ側固定荷受台６１に渡すことができるとともに、出し側固定荷受台７１で支持しているボックス体１１を受け取ることができる。
【００４９】
上記した実施の形態１では、入れ側固定荷受台６１からの実のボックス体１１に対して、処理装置２０においてガラス基板１を送り装置８１へと１枚ずつ搬出処理し、そして空のボックス体１１を出し側固定荷受台７１に渡す形式が示されているが、これは搬送装置３１や送り装置８１を逆動作させるなどすることで、入れ側固定荷受台６１からの空のボックス体１１に対して、処理装置２０において送り装置８１からのガラス基板１を１枚ずつ上下複数段に収納処理したのち、実のボックス体１１を出し側固定荷受台７１に渡すようにした形式などであってもよい。
【００５０】
上記した実施の形態１では、ボックス体１１として、正方形状のガラス基板１を１枚ずつ上下複数段に収納する形式が示されているが、これは長方形状の小型のガラス基板を２枚（複数枚）並べた状態で上下複数段に収納する形式などであってもよい。その際にボックス体１１は各段において、たとえば小型のガラス基板を、その長尺寸法の方向を搬送装置３１の搬送方向（前後方向）として左右２列で支持するように構成されている。この場合に搬送装置３１による搬送は、右側ゾーン３１Ｚ１と左側ゾーン３１Ｚ２  とを別々に駆動して１枚ずつ行ってもよいし、両ゾーン３１Ｚ１  ，３１Ｚ２を同時に駆動して２枚（１段）を同時に行ってもよい。
【００５１】
上記した実施の形態１では、昇降体５５の上面に、入れ側固定荷受台６１に対する上昇時にボックス体１１の下部に作用する位置決め体５６が設けられた形式が示されているが、これは位置決め体５６が省略された形式などであってもよい。
【００５２】
上記した実施の形態１では、入れ側固定荷受台６１や出し側固定荷受台７１に対して、共通の移載手段９１によりボックス体１１を受け渡し自在とした形式が示されているが、これは別々の移載手段９１によりボックス体１１を受け渡し自在とした形式などであってもよい。また移載手段９１は、自動倉庫における出し入れ装置（フォーク形式）の形式、自走台車（フォーク形式）の形式、吊りクレーンによる上方からの受け渡し形式などであってもよい。
【００５３】
上記した実施の形態１では、各フォーク手段５２が搬送装置３１の搬送幅外に位置された形式が示されているが、これは各フォーク手段５２が搬送装置３１の搬送幅内に位置され、搬送装置３１におけるローラ体３５間に形成された間隔内でフォーク手段５２を昇降させることで、搬送装置３１に干渉されることなくボックス体１１を昇降させる形式などであってもよい。
【００５４】
上記した実施の形態１では、板状体としてガラス基板１が示されているが、これは金属板や樹脂板などであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の実施の形態１を示し、板状体処理設備におけるボックス体を移載する前の平面図である。
【図２】同板状体処理設備におけるボックス体を移載する途中の縦断正面図である。
【図３】同板状体処理設備における処理装置部分の横断平面図である。
【図４】同板状体処理設備における処理装置部分の縦断正面図である。
【図５】同板状体処理設備における処理装置部分の縦断側面図である。
【図６】同板状体処理設備におけるボックス体を移載した後の平面図である。
【図７】同板状体処理設備におけるボックス体を出し側に移動した後の平面図である。
【符号の説明】
【００５６】
１        ガラス基板（板状体）
１１      ボックス体
１１ａ    下位開放部
１１ａＷ  下位開放部幅
１１ｂ    側位開放部（側壁）
１２      下部矩形枠体
１３      縦枠
１４      上部矩形枠体
１５      支持部材
２０      処理手段
２１      枠本体
２１ａ    前側開放部
２１ｂ    入れ側開放部
２１ｃ    出し側開放部
３１      搬送装置
３１ａ    搬送面
３１Ｚ１    右側ゾーン
３１Ｚ２    左側ゾーン
３４      回転軸
３５      ローラ体
３６      駆動部
４１      昇降装置
４２Ａ    前側装置部
４２Ｂ    後側装置部
４３      ガイドレール
４５      可動体
４６      螺子軸体
４７      ナット体
４８      モータ
５０      駆動軸
５２      フォーク手段
５５      昇降体
５６      位置決め体
６１      入れ側固定荷受台
６２      受け体
７１      出し側固定荷受台
７２      受け体
８１      送り装置
８１ａ    送り面
９１      移載手段
９４      フォーク部
９５      一定経路
Ａ        振り分け方向
Ｂ        直交状の方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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