(57)【要約】【課題】ノズル形成部材で覆われた基板上のテスト端子が露出することを防ぐことが可能なインクジェット記録ヘッドを提供する。【解決手段】インクジェット記録ヘッドは、エネルギ発生素子（不図示）とエネルギ発生素子を駆動する駆動素子（不図示）とが設けられた基板１を有する。基板１上には、基板１上にインク吐出口（不図示）とインク流路（不図示）とを形成するノズル形成部材６が設けられている。基板１の外周領域には駆動素子を検査するためのテスト端子５が設けられている。ノズル形成部材６は、基板１のテスト端子５が形成された領域に対向する部分に、基板１とノズル形成部材６との間に空隙を成す凹部６ｂが形成されている。凹部６ｂの内部は封止材２０で封止されている。【選択図】図２
2008149474.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インク吐出口からインク滴を吐出するインク吐出エネルギを発生するエネルギ発生素子と該エネルギ発生素子を駆動する駆動素子とが設けられた基板と、該基板上に設けられ、該基板上に前記インク吐出口と前記インク吐出口に連通するインク流路とを形成するノズル形成部材と、を有するインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記基板の外周領域には前記駆動素子を検査するためのテスト端子が設けられており、
前記ノズル形成部材は、前記基板の前記テスト端子が形成された領域に対向する部分に、前記基板と前記ノズル形成部材との間に空隙を成す凹部が形成され、前記凹部の内部は封止材で封止されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
前記ノズル形成部材の、前記インク吐出口が形成されている領域の表面と、前記凹部が形成されている部分の表面とは同一面を成している、請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
前記ノズル形成部材の前記凹部が形成されている部分には貫通口が形成されている、請求項１または２に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
前記基板の外周領域には複数の前記テスト端子が設けられており、前記貫通口は各々の前記テスト端子に対向する位置に形成されている、請求項３に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】
前記ノズル形成部材の前記凹部を形成する側壁の少なくとも１つの隅部が面取り形状あるいは円弧形状に形成されている、請求項１から４のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項６】
前記ノズル形成部材の前記凹部が形成されている部分には、前記基板の前記テスト端子が設けられている領域以外の領域において前記基板に接する補強部が設けられている、請求項１から５のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項７】
前記インクジェット記録ヘッドは樹脂材料から成るインク供給部材またはインク供給補助部材の上に接着固定されている、請求項１から６のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項８】
前記基板の切断端面は熱硬化型の第１の封止材によって保護されており、
前記封止材には前記第１の封止材が用いられている、請求項１から７のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項９】
前記基板には配線基板に接続される電気接続端子が設けられ、前記電気接続端子は熱硬化型の第２の封止材によって保護されており、
前記封止材には前記第２の封止材が用いられている、請求項１から７のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク吐出口からインク滴を吐出することで記録を行うインクジェット記録ヘッドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録ヘッドの基板に構成したトランジスタ部の動作確認は、トランジスタ部等の抵抗を測定することによって行われる。そのような動作確認は、その基板上にノズル形成部材を形成する前に行う必要がある。
【０００３】
トランジスタ部の抵抗測定は、インクジェット記録ヘッド基板に設けられた、記録装置本体に接続される電気接続端子を用いて行うことも可能である。しかし、その電気接続端子はインクジェット記録ヘッド基板に設けられたエネルギ発生素子に接続されているため、その電気接続端子を用いて測定を行う場合にはトランジスタ部のみの抵抗を測定することができない。トランジスタ部を直接測定するためには、トランジスタ部の前後に、上記の電気接続端子とは別個のテスト端子を設ける必要がある。
【０００４】
図１０は、インクジェット記録ヘッドの基板上に構成されたトランジスタ部の前後にテスト端子が設けられた配線構造を示す図である。
【０００５】
通常のインク吐出駆動時には、端子１（電源）から端子２（ＧＮＤ）に向けて電流を流すことでエネルギ発生素子が加熱され、これによってインクが発泡されてインク吐出口から吐出される。その際、エネルギ発生素子の駆動素子であるトランジスタ部の抵抗値が所定値であるかどうかを測定し、正常に駆動しているかどうかを判断する必要がある。図１０に示した構成によれば、テスト端子Ａとテスト端子Ｂとの間での抵抗値を測定することでトランジスタの抵抗値を直接測定し、駆動動作の良否判定を行うことができる。記録装置本体に接続される電気接続端子とは別個のテスト端子を設けることは、特許文献１に開示されている。
【０００６】
テスト端子１０５は、図１１に示すように、ノズル形成部材１０６の下に配置される。これにより、テスト端子１０５がインクから保護される。さらに、テスト端子１０５の周囲が、特許文献２に示されているように熱硬化型の封止材で封止されている場合もある。
【特許文献１】特開平０７−３２３５４９号公報
【特許文献２】特開２００５−１３２１０２公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上述した従来の技術では以下のような問題がある。
【０００８】
図１２は、従来のインクジェット記録ヘッドにおけるノズル形成部材が基板から剥がれる様子を示す模式図である。図１２において、符号１０１はエネルギ発生素子（不図示）を有する基板、符号１０２は記録装置本体と電気的に接続される配線基板が接合される電気接続端子、符号１０３は記録装置本体に電気的に接続される配線基板を示している。さらに、符号１０４は配線基板１０３と電気接続端子１０２とをつなぐリード、符号５は基板１０１上に設けられた、電気接続端子１０２とは別個のテスト端子、符号１０６はノズル形成部材をそれぞれ示している。さらに、符号１００はインク供給部材あるいはインク供給補助部材を示し、符号２０１は封止材を示している。
【０００９】
図１２（ａ）に示すように、ノズル形成部材１０６が形成された基板１０１は、その電気接続端子１０２と配線基板１０３のリード１０４とが接合された状態で、インク供給部材あるいはインク供給補助部材１００に貼り付けられている。この状態で、図１２（ｂ）に示すように、リード１０４と電気接続端子１０２をインクから保護するために、それらを封止するように封止材２０１を塗布する。封止材２０１は熱硬化型の封止材であるため、図１２（ｂ）に示す状態で加熱される。
【００１０】
すると図１２（ｃ）に示すようにインク供給部材あるいはインク供給補助部材１００が図示矢印方向に熱膨張する。この状態で封止材２０１を硬化させ、その後に冷却による収縮が開始すると、図１２（ｄ）に示すように、部材１００によって封止材２０１が図示矢印方向に押圧され、封止材２０１が基板１０１及びノズル形成部材１０６を図示矢印方向に押圧する。すると、図１２（ｅ）に示すように、封止材２０１がノズル形成部材１０６を基板１０１から引き剥がし、その結果、テスト端子１０５が露出してしまう。テスト端子１０５が露出し、その露出部にインクが侵入すると、電気的な不良を生じることがある。
【００１１】
テスト端子１０５は基板１０１の外周領域に配置されることが多い。これは、基板１０１の中央部にテスト端子１０５を配置すると、エネルギ発生素子等その他の必要な電気配線をテスト端子１０５を迂回するように配線しなくてはならず、基板１０１の大きさを必要以上に大きくしてしまうためである。そのため、たとえノズル形成部材１０６の剥がれがノズル形成部材１０６の周囲のわずかな領域に生じた場合であっても、その剥離領域がテスト端子１０５に達してしまい、テスト端子１０５が露出することがある。
【００１２】
そこで本発明は、ノズル形成部材で覆われた基板上のテスト端子が露出することを防ぐことが可能なインクジェット記録ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明のインクジェット記録ヘッドは、インク吐出口からインク滴を吐出するインク吐出エネルギを発生するエネルギ発生素子と該エネルギ発生素子を駆動する駆動素子とが設けられた基板を有する。さらに、本発明のインクジェット記録ヘッドは、該基板上に設けられ、該基板上に前記インク吐出口と前記インク吐出口に連通するインク流路とを形成するノズル形成部材を有する。前記基板の外周領域には前記駆動素子を検査するためのテスト端子が設けられている。前記ノズル形成部材は、前記基板の前記テスト端子が形成された領域に対向する部分に、前記基板と前記ノズル形成部材との間に空隙を成す凹部が形成され、前記凹部の内部は封止材で封止されている。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、ノズル形成部材で覆われた基板上のテスト端子が露出することを防ぐことが可能なインクジェット記録ヘッドを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
次に、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
【００１６】
図１は、本発明の一実施形態に係るインクジェット記録ヘッドにおけるノズル形成部材の形状を示す模式的な斜視図である。
【００１７】
図１において、本実施形態のインクジェット記録ヘッドは、エネルギ発生素子（不図示）と、そのエネルギ発生素子を駆動するトランジスタ等からなる駆動素子（不図示）とを有する基板１を有している。基板１上には、記録装置本体側の端子（不図示）と電気的に接続される配線基板３が電気的に接続される電気接続端子２が形成されている。電気接続端子２と配線基板３とはリード４によって接続されている。基板１上には、電気接続端子２とは別個のテスト端子５が形成されている。テスト端子５は、上述した駆動素子（不図示）の動作確認のための検査に用いられる端子である。さらに、基板１上には、基板１上にインク流路（不図示）およびこれに連通するインク吐出口６ａを形成するノズル形成部材６が形成されている。
【００１８】
ノズル形成部材６は、基板１上のテスト端子５が形成された領域に対向する部分に、基板１とノズル形成部材６との間に空隙を形成する凹部６ｂが形成されている。そのため、当該部分のノズル形成部材６は、厚みが他の領域よりも薄くなっており、基板１上のテスト端子５が形成された領域の上方に張り出した庇状の形状を成している。
【００１９】
本実施形態におけるノズル形成部材６は、以下のようにして作製することができる。まず、基板１上にインク流路を成す型材を塗布する工程中において、基板１上のテスト端子５が形成された領域の上にも型材を塗布する。その後、型材のうちインク流路を成す部分と凹部６ｂを成す部分とを残し、型材のその他の部分を除去するように、型材をパターニングする。その後、上記のように型材が形成された基板１の上にノズル形成部材６を形成する。さらに、ノズル形成部材６にはインク流路に連通するインク吐出口６ａを形成する。最後に、エッチング液を用いて上記の型材を除去する。基板１上にインク流路を成す型材は、インク吐出口６ａ等を通じてノズル形成部材６の外部に除去される。凹部６ｂを成す型材もこの除去工程中に除去され、その結果、ノズル形成部材６には、基板１とノズル形成部材６との間に空隙を形成する凹部６ｂが形成される。
【００２０】
このようなノズル形成部材６を備えた基板１に対して熱硬化の封止材２０（図２参照）を塗布すると、封止材２０は凹部６ｂ内に流入し、テスト端子５を封止する。
【００２１】
図２は、図１に示したインクジェット記録ヘッドのテスト端子付近の断面模式図である。図２に示すように、ノズル形成部材６が構成された基板１と、インク供給部材あるいはインク供給補助部材１０との間に塗布された封止材２０は、凹部６ｂ内に流入し、テスト端子５を封止している。
【００２２】
本実施形態のインクジェット記録ヘッドでは、基板１上のテスト端子５が、基板１と部材１０との間を封止する封止材２０によって封止されている。封止材２０を加熱して硬化させた後の冷却によって収縮が開始すると、部材１０が封止材２０を図示左方向に押圧する力が発生する。しかしながら、この場合であっても、封止材２０はテスト端子５を覆った状態が保たれるので、テスト端子５が露出してテスト端子５にインクが付着することはない。仮に、そのような押圧力によってノズル形成部材６の一部が基板１から剥離したとしても、本実施形態の構成ではテスト端子５が露出することはない。
【００２３】
また、ノズル形成部材６の、基板１上のテスト端子５が形成された領域の上方に張り出した庇状の部分の表面は、ノズル形成部材６のインク吐出口６ａが形成されている領域の表面（インク吐出口形成面）と同一面を形成している。したがって、インクジェット記録ヘッドのインク吐出口形成面をワイピングブレード（不図示）でワイピングする際に、ノズル形成部材６の庇状の部分がそのワイピング性能を低下させることはない。
【００２４】
なお、本実施形態では、テスト端子５を封止して保護する封止材２０として、基板１と部材１０との間に塗布され、基板１の切断端面の保護に用いる熱硬化型の封止材を使用した例を示した。しかし、テスト端子５の封止に適用可能な封止材はこれに限られず、電気接続端子２とリード４との電気接続部を保護するための熱硬化型の封止材を使用してもよい。ただし、基板１とノズル形成部材６との間の凹部６ｂ内に流入可能な粘度を有する封止材を使用することが望ましい。
【００２５】
続いて、本実施形態のいくつかの変形例を示す。
【００２６】
＜第１の変形例＞
図３は、図１等に示したインクジェット記録ヘッドの第１の変形例に係るテスト端子付近の断面模式図である。
【００２７】
本変形例では、ノズル形成部材６の凹部６ｂが形成された部分に、貫通口６ｃが形成されている。この貫通口６ｃは、ノズル形成部材６にインク吐出口６ａを形成する工程において、インク吐出口６ａと同様に形成することができる。凹部６ｂ内に流入した封止材２０は貫通口６ｃ内にも流入し、ノズル形成部材６の最表面における開口面でメニスカス力によって保持されている。
【００２８】
封止材２０を凹部６ｂ内に流入させる際に、封止材２０が空気を抱き込んで封止材２０中に気泡が存在すると、封止材２０がテスト端子５を保護する能力が低下したり、封止材封止材２０の熱硬化中に封止材封止材２０中の気泡が破裂することが懸念される。これに対し、本変形例のようにノズル形成部材６に貫通口６ｃを形成することにより、凹部６ｂ内に封止材２０が流入する際に凹部６ｂ内に残されていた気泡を貫通口６ｃを通じて外部に排出することができる。したがって、封止材２０を凹部６ｂ内により確実に流入させることが可能になる。
【００２９】
＜第２の変形例＞
図４は、図１等に示したインクジェット記録ヘッドの第２の変形例に係るノズル形成部材の形状を示す模式的な斜視図である。
【００３０】
封止材２０を凹部６ｂ内に流入させる際に、封止材２０が空気を抱き込んで封止材２０中に気泡が存在すると、封止材２０がテスト端子５を保護する能力が低下したり、封止材封止材２０の熱硬化中に封止材封止材２０中の気泡が破裂することが懸念される。このことは、上述した通りである。
【００３１】
これに対し、図４（ａ）に示す第２の変形例では、ノズル形成部材６の凹部６ｂを形成する側壁の隅部が、面取り形状あるいは円弧形状に形成されている。これにより、凹部６ｂ内に流入する封止材の流入性が向上し、かつ凹部６ｂの奥部の隅部に気泡が残存することを防ぐことが可能になる。さらに、図３に示した構成と同様に、ノズル形成部材６の凹部６ｂが形成された部分に、貫通口６ｃが形成されていてもよい。
【００３２】
なお、図４（ａ）に示す例では、ノズル形成部材６の凹部６ｂを形成する側壁の全ての角部が面取り形状あるいは円弧形状に形成されているが、その全ての角部がそのように形成されていなくてもよい。たとえば、図４（ｂ）に示すように、凹部６ｂの奥部の隅部にのみ、面取り形状あるいは円弧形状が形成されている構成であってもよい。
【００３３】
＜第３の変形例＞
図５は、図１等に示したインクジェット記録ヘッドの第３の変形例に係るノズル形成部材の形状を示す模式的な斜視図である。
【００３４】
ノズル形成部材６の凹部６ｂが形成された部分は厚さが薄くなっており、基板１の切断、洗浄および分離などを行う際に破損することが懸念される。そのため、ノズル形成部材６の凹部６ｂが形成された部分を補強することが望ましい。
【００３５】
本変形例では、ノズル形成部材６の凹部６ｂが形成された部分の裏面に、基板１に接する柱状あるいは壁状の補強部６ｄが形成されている。補強部６ｄは、基板１上のテスト端子５以外の領域において基板１に接している。補強部６ｄは、ノズル形成部材６の凹部６ｂが形成された部分を支持し、基板１の切断、洗浄および分離などを行う際にその庇状の部分が破損することを防ぐ。
【００３６】
特に、図５に示すように補強部６ｄを庇状部分の隅部に設けることにより、封止材が凹部６ｂ内に流入する際に補強部６ｄがその妨げになることを抑えることができる。
【００３７】
（他の実施形態）
以下に、電気接続にフライングリードを有する電気配線部材を用いたインクジェット記録ヘッドの一例を示す。
【００３８】
後述するインクジェット記録ヘッドＨ１０００は、電気信号に応じて膜沸騰をインクに対して生じせしめるための熱エネルギを生成するエネルギ発生素子としての電気熱変換体を用いたバブルジェット（登録商標）方式のインクジェット記録ヘッドである。インクジェット記録ヘッドＨ１０００は、電気熱変換体とインク吐出口とが対向するように配置された、いわゆるサイドシュータ型のインクジェット記録ヘッドである。
【００３９】
図６はインクジェット記録ヘッドＨ１０００の斜視図であり、図７はインクジェット記録ヘッドＨ１０００の分解斜視図である。インクジェット記録ヘッドＨ１０００は、エネルギ発生素子を有する記録素子基板Ｈ１１００、フライングリードを有する電気配線部材Ｈ１３００、およびインク供給保持部材Ｈ１５００を有している。さらに、インクジェット記録ヘッドＨ１０００は、フィルタＨ１７００、インク吸収体Ｈ１６００、蓋部材Ｈ１９００、およびシール部材Ｈ１８００を有している。
【００４０】
（１）エネルギ発生素子を有する記録素子基板Ｈ１１００
図８は、エネルギ発生素子を有する記録素子基板Ｈ１１００の構成を説明するための図で、一部破断して示す斜視図である。記録素子基板Ｈ１１００は、例えば、厚さ０．５ｍｍ〜１ｍｍのＳｉ基板Ｈ１１１０に、インク流路である長溝状の貫通口のインク供給口Ｈ１１０２をＳｉの結晶方位を利用した異方性エッチングやサンドブラストなどの方法で形成したものである。
【００４１】
Ｓｉ基板Ｈ１１１０には、インク供給口Ｈ１１０２を挟んでその両側に、エネルギ発生素子である電気熱変換素子Ｈ１１０３が１列ずつ並べて配置されており、さらに電気熱変換素子Ｈ１１０３に電力を供給するＡｌ等からなる不図示の電気配線が形成されている。これら電気熱変換素子Ｈ１１０３と電気配線は、既存の成膜技術を利用して形成することができる。各列の電気熱変換素子Ｈ１１０３は、互いに千鳥状になるように配列されている。すなわち、各列の吐出口の位置が、その列方向に直交する方向に並ばないように、少しずれて配置されている。
【００４２】
記録素子基板Ｈ１１００では、インク流路Ｈ１１０２から供給されたインクは、各電気熱変換素子Ｈ１１０３の発熱によって発生した気泡の圧力によって、各電気熱変換素子Ｈ１１０３に対向する吐出口１１０７から吐出される。
【００４３】
（２）フライングリードを有する電気配線部材Ｈ１３００
フライングリードを有する電気配線部材Ｈ１３００は、記録素子基板Ｈ１１００に対してインクを吐出するための電気信号を印加する電気信号経路を形成するものであり、ポリイミドのベース基材上に銅箔の配線パターンを形成することで構成されている。また、記録素子基板Ｈ１１００を組み込むための開口部Ｈ１３０３が形成されており、この開口部の縁付近には、記録素子基板Ｈ１１００の電気接続端子部Ｈ１１０４に接続されるフライングリード部Ｈ１３０４が形成されている。さらに、電気配線部材Ｈ１３００には、本体装置からの電気信号を受け取るための外部信号入力端子Ｈ１３０２が形成されており、この外部信号入力端子Ｈ１３０２とフライングリード部Ｈ１３０４が連続した銅箔の配線パターンでつながれている。
【００４４】
電気配線部材Ｈ１３００と記録素子基板Ｈ１１００との電気的接続は、以下のようになされる。例えば、記録素子基板Ｈ１１００の電気接続端子部Ｈ１１０４に形成されたバンプＨ１１０５と、電気接続端子部Ｈ１１０４に対応する電気配線部材Ｈ１３００のフライングリード部Ｈ１３０４とが図９に示す位置関係で電気接合されることでなされている。
【００４５】
（３）インク供給保持部材Ｈ１５００
インク供給保持部材Ｈ１５００は、例えば、樹脂成形により形成されている。樹脂材料には、形状的剛性を向上させるためにガラスフィラーを５〜４０％混入した樹脂材料を使用することが望ましい。図７に示すように、インク供給保持部材Ｈ１５００は、内部にインクを保持し負圧を発生するための吸収体Ｈ１６００を有している。これにより、インクタンクの機能を、記録素子基板Ｈ１１００にそのインクを導くためのインク流路を形成することでインク供給の機能をそれぞれ実現している。インク吸収体Ｈ１６００としては、ＰＰ繊維を圧縮したものが使われているが、これに代えてウレタン繊維を圧縮したものを用いても良い。
【００４６】
インク流路の上流部に位置するインク吸収体Ｈ１６００からのインクが供給される部分とインク流路との境界部には、エネルギ発生素子を有する基板Ｈ１１００内部へのゴミの進入を防ぐためのフィルタＨ１７００が溶着により接合されている。フィルタＨ１７００は、ステンレススチールからなる金属メッシュタイプでも良いが、ステンレススチールからなる金属繊維焼結タイプの方が好ましい。
【００４７】
インク流路の下流部には、記録素子基板Ｈ１１００にブラックのインクを供給するためのインク供給口Ｈ１２００が形成されている。記録素子基板Ｈ１１００のインク供給口１１０２がインク供給保持部材Ｈ１５００のインク供給口Ｈ１２００に連通するよう、記録素子基板Ｈ１１００がインク供給保持部材Ｈ１５００に対して位置精度良く接着固定される。この接着に用いられる第１の接着剤は、低粘度で硬化温度が低く、短時間で硬化し、硬化後は、比較的高い硬度を有し、かつ、耐インク性のあるものが望ましい。この第１の接着剤としては、例えばエポキシ樹脂を主成分とした熱硬化接着剤がある。この熱硬化接着剤を用いた場合、その接着層の厚みは５０μｍ程度が望ましい。
【００４８】
また、記録素子基板Ｈ１１００の接着面周囲の平面には、電気配線部材Ｈ１３００の一部の裏面が第２の接着剤により接着固定される。記録素子基板Ｈ１１００と電気配線部材Ｈ１３００との電気接続部分は、第１の封止剤Ｈ１３０７および第２の封止剤Ｈ１３０８（図９参照）により封止され、これにより電気接続部分をインクによる腐食や外的衝撃から保護している。第１の封止剤Ｈ１３０７は、主に電気配線部材Ｈ１３００のフライングリード部Ｈ１３０２と記録素子基板Ｈ１１００のバンプＨ１１０５との接続部の裏面側と、記録素子基板Ｈ１１００の外周部分を封止ししている。第２の封止剤Ｈ１３０８は、上述の接続部の表側を封止している。そして、電気配線部材Ｈ１３００の未接着部は折り曲げられ、インク供給保持部材Ｈ１５００の記録素子基板Ｈ１１００の接着面にほぼ垂直な側面に熱カシメもしくは接着等で固定される。
【００４９】
なお、インク供給保持部材Ｈ１５００は図２及び図３に示した部材１０に相当するものである。図２等に示された部材１０は、インク供給保持部材Ｈ１５００の記録素子基板Ｈ１１００が搭載される部分を表している。
【００５０】
（４）蓋部材Ｈ１９００
蓋部材Ｈ１９００は、インク供給保持部材Ｈ１５００の上部開口部に溶着されることで、インク供給保持部材Ｈ１５００内部を密閉するものである。蓋部材Ｈ１９００には、インク供給保持部材Ｈ１５００内部の圧力変動を逃がすための細口Ｈ１９１０とそれに連通した微細溝Ｈ１９２０が設けられている。細口Ｈ１９１０と微細溝Ｈ１９２０のほとんどをシール部材Ｈ１８００で覆い、微細溝Ｈ１９２０の一端部を開口することで、大気連通口Ｈ１９２４を形成している。また、蓋部材Ｈ１９００は、インクジェット記録ヘッドＨ１０００をインクジェット記録装置に固定するための係合部Ｈ１９３０を有している。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の一実施形態に係るインクジェット記録ヘッドにおけるノズル形成部材の形状を示す模式的な斜視図である。
【図２】図１に示したインクジェット記録ヘッドのテスト端子付近の断面模式図である。
【図３】図１等に示したインクジェット記録ヘッドの第１の変形例に係るテスト端子付近の断面模式図である。
【図４】図１等に示したインクジェット記録ヘッドの第２の変形例に係るノズル形成部材の形状を示す模式的な斜視図である。
【図５】図１等に示したインクジェット記録ヘッドの第３の変形例に係るノズル形成部材の形状を示す模式的な斜視図である。
【図６】本発明の他の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの斜視図である。
【図７】本発明の他の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの分解斜視図である。
【図８】図７に示した記録素子基板を一部を破断した状態で示す斜視図である。
【図９】図６等に示したインクジェット記録ヘッドの一部の断面図である。
【図１０】インクジェット記録ヘッドの基板上に構成されたトランジスタ部の前後にテスト端子が設けられた配線構造を示す図である。
【図１１】従来のインクジェット記録ヘッドにおけるノズル形成部材の形状を示す模式的な斜視図である。
【図１２】従来のインクジェット記録ヘッドにおけるノズル形成部材が基板から剥がれる様子を示す模式図である。
【符号の説明】
【００５２】
１    基板
５    テスト端子
６    ノズル形成部材
６ａ  インク吐出口
６ｂ  凹部
２０  封止材
【図１】
2008149474.tif 000003
【図２】
2008149474.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2008149474.tif 000007
【図６】
2008149474.tif 000008
【図７】
2008149474.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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