(57)【要約】【課題】フィルタ通過後の風速の調節作業を自動化することで人手を掛けずに短時間に調節作業を行なうことができるファンフィルタユニットを提供することを目的とする。【解決手段】チャンバ５上部に吸込口１を有し、ファンユニット４をチャンバ５に内蔵し、ファンユニット４の下流側にフィルタ６を配設し、フィルタの吹出側に風速計９を配設し、風速計９の計測値が既定の風速となるようにファンの回転数を可変する制御機能を備えることにより、フィルタ通過後の風速の調節作業の自動化が図れるファンフィルタユニットが得られる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
箱形状のチャンバ上部に吸込口を有し、ファンとモータからなるファンユニットを前記チャンバに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側にフィルタを配設し、前記フィルタの吹出側に風速計を配設し、前記風速計の計測値が既定の風速となるようにファンの回転数を可変する制御機能を備えたファンフィルタユニット。
【請求項２】
使用者が任意の風速を設定する機能を備えた請求項１に記載のファンフィルタユニット。
【請求項３】
風速が既定の値となった時に警報を出力する機能を備えた請求項２に記載のファンフィルタユニット。
【請求項４】
使用者が警報を出力する風速を任意に設定する機能を備えた請求項３に記載のファンフィルタユニット。
【請求項５】
箱形状のチャンバ上部に吸込口を有し、ファンとモータからなるファンユニットを前記チャンバに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側にフィルタを配設し、吸込側とフィルタ吹出側の装置内空間との差圧を計測する差圧計をチャンバ内部または外部に配設し、前記差圧計の計測値が既定の差圧となるようにファンの回転数を可変する制御機能を備えたファンフィルタユニット。
【請求項６】
使用者が任意の差圧を設定する機能を備えた請求項５に記載のファンフィルタユニット。
【請求項７】
差圧が既定の値となった時に警報を出力する機能を備えた請求項６に記載のファンフィルタユニット。
【請求項８】
使用者が警報を出力する差圧を任意に設定する機能を備えた請求項７に記載のファンフィルタユニット。
【請求項９】
箱形状のチャンバ上部に吸込口を有し、ファンとモータからなるファンユニットを前記チャンバに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側にフィルタを配設し、前記フィルタの吹出側にパーティクルカウンタを配設し、前記パーティクルカウンタの計測値をもとにファンの回転数を可変する制御機能を備えた請求項１〜８に記載のファンフィルタユニット。
【請求項１０】
パーティクルカウンタの計測値が既定の値となった時に警報を出力する機能を備えた請求項９に記載のファンフィルタユニット。
【請求項１１】
使用者が警報を出力する計測値を任意に設定する機能を備えた請求項１０に記載のファンフィルタユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体、液晶、およびプラズマディスプレイパネルなどの、清浄空間を必要とする製造装置で使用されるファンフィルタユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のファンフィルタユニットの速度調節においては、半導体などの製造装置内のクリーン度を維持するために、風速または圧力を適切になるように、ファンフィルタユニットの回転速度を可変して調節するものであるが、速度調節装置をファンフィルタユニット本体に直接設置するか、または本体より有線で引き出したボリュームで速度調節するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特許第３２９４５２７号公報（図１、図３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような従来のファンフィルタユニットの速度調節においては、本体に設置したボリュームを操作して速度調節しなければならず、装置内の圧力が断続的に変動した場合には、調節作業が繁雑となり作業時間がかかるとともに非効率であるという課題があり、調節作業を自動化して簡単な手順で短時間に行なうことが要求されている。
【０００４】
本発明は、このような従来のファンフィルタユニットの速度調節の課題を解決するものであり、ファン回転数の調節を自動化することで人手を掛けずに短時間に調節作業を行なうことができるファンフィルタユニットを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のファンフィルタユニットは上記目的を達成するために、箱形状のチャンバ上部に吸込口を有し、ファンとモータからなるファンユニットを前記チャンバに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側にフィルタを配設し、前記フィルタの吹出側に風速計を配設し、前記風速計の計測値が既定の風速となるようにファンの回転数を可変する制御機能を備えたものである。
【０００６】
また他の手段は、使用者が任意の風速を設定する機能を備えたものである。
【０００７】
また他の手段は、風速が既定の値となった時に警報を出力する機能を備えたものである。
【０００８】
また他の手段は、使用者が警報を出力する風速を任意に設定する機能を備えたものである。
【０００９】
また他の手段は、箱形状のチャンバ上部に吸込口を有し、ファンとモータからなるファンユニットを前記チャンバに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側にフィルタを配設し、吸込側とフィルタ吹出側の装置内空間との差圧を計測する差圧計をチャンバ内部または外部に配設し、前記差圧計の計測値が既定の差圧となるようにファンの回転数を可変する制御機能を備えたものである。
【００１０】
また他の手段は、使用者が任意の差圧を設定する機能を備えたものである。
【００１１】
また他の手段は、差圧が既定の値となった時に警報を出力する機能を備えたものである。
【００１２】
また他の手段は、使用者が警報を出力する差圧を任意に設定する機能を備えたものである。
【００１３】
また他の手段は、箱形状のチャンバ上部に吸込口を有し、ファンとモータからなるファンユニットを前記チャンバに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側にフィルタを配設し、前記フィルタの吹出側にパーティクルカウンタを配設し、前記パーティクルカウンタの計測値をもとにファンの回転数を可変する制御機能を備えたものである。
【００１４】
また他の手段は、パーティクルカウンタの計測値が既定の値となった時に警報を出力する機能を備えたものである。
【００１５】
また他の手段は、使用者が警報を出力する計測値を任意に設定する機能を備えたものである。
【００１６】
これらの手段により、ファン回転数の調節を自動化することで人手を掛けずに短時間に調節作業を行なうことができるファンフィルタユニットが得られる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、装置内の圧力が変動した場合にも吹出側の風速が常に既定の風速になるという効果のあるファンフィルタユニットが得られる。
【００１８】
また、使用者が希望する任意の風速を常に得ることができるという効果が得られる。
【００１９】
また、ファンモータ等の異常事態の発生により風速が低下した場合において迅速に対応することができるという効果が得られる。
【００２０】
また、異常発生時に想定される風速を予め設定することにより、警報の内容を容易に把握することができるという効果が得られる。
【００２１】
また、装置内の圧力が変動した場合において、吸込側とフィルタ吹出側の装置内空間との差圧が変化することにより、装置外から装置内へパーティクルを含む空気の侵入や装置内から装置外への有害ガスを含む空気の放出の抑制が図れるという効果が得られる。
【００２２】
また、使用者が希望する任意の差圧を常に得ることができるという効果が得られる。
【００２３】
また、ファンモータ等の異常事態の発生により差圧が変化した場合において迅速に対応することができるという効果が得られる。
【００２４】
また、異常発生時に想定される差圧を予め設定することにより、警報の内容を容易に把握することができるという効果が得られる。
【００２５】
また、装置内のプロセス等の影響によるパーティクルの増加・減少に合わせてファンの回転数を変化させ、装置内が既定の清浄度以下となるように効率的に維持することができるという効果が得られる。
【００２６】
また、ファンモータ等の異常事態の発生により装置内の清浄度が変化した場合において迅速に対応することができるという効果が得られる。
【００２７】
また、異常発生時に想定される清浄度を予め設定することにより、警報の内容を容易に把握することができるという効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
本発明の請求項１記載の発明は、箱形状のチャンバ上部に吸込口を有し、ファンとモータからなるファンユニットを前記チャンバに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側にフィルタを配設し、前記フィルタの吹出側に風速計を配設し、前記風速計の計測値が既定の風速となるようにファンの回転数を可変する制御機能を備えたものであり、装置内の圧力が変動した場合にも吹出側の風速が常に既定の風速になるという作用を有する。
【００２９】
本発明の請求項２記載の発明は、使用者が任意の風速を設定する機能を備えたものであり、使用者が希望する任意の風速を常に得ることができるという作用を有する。
【００３０】
本発明の請求項３記載の発明は、風速が既定の値となった時に警報を出力する機能を備えたものであり、ファンモータ等の異常事態の発生により風速が低下した場合において迅速に対応することができるという作用を有する。
【００３１】
本発明の請求項４記載の発明は、使用者が警報を出力する風速を任意に設定する機能を備えたものであり、異常発生時に想定される風速を予め設定することにより、警報の内容を容易に把握することができるという作用を有する。
【００３２】
本発明の請求項５記載の発明は、箱形状のチャンバ上部に吸込口を有し、ファンとモータからなるファンユニットを前記チャンバに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側にフィルタを配設し、吸込側とフィルタ吹出側の装置内空間との差圧を計測する差圧計をチャンバ内部または外部に配設し、前記差圧計の計測値が既定の差圧となるようにファンの回転数を可変する制御機能を備えたものであり、装置内の圧力が変動した場合において、吸込側とフィルタ吹出側の装置内空間との差圧が変化することにより、装置外から装置内へパーティクルを含む空気の侵入や装置内から装置外への有害ガスを含む空気の放出の抑制が図れるという作用を有する。
【００３３】
本発明の請求項６記載の発明は、使用者が任意の差圧を設定する機能を備えたものであり、使用者が希望する任意の差圧を常に得ることができるという作用を有する。
【００３４】
本発明の請求項７記載の発明は、差圧が既定の値となった時に警報を出力する機能を備えたものであり、ファンモータ等の異常事態の発生により差圧が変化した場合において迅速に対応することができるという作用を有する。
【００３５】
本発明の請求項８記載の発明は、使用者が警報を出力する差圧を任意に設定する機能を備えたものであり、異常発生時に想定される差圧を予め設定することにより、警報の内容を容易に把握することができるという作用を有する。
【００３６】
本発明の請求項９記載の発明は、箱形状のチャンバ上部に吸込口を有し、ファンとモータからなるファンユニットを前記チャンバに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側にフィルタを配設し、前記フィルタの吹出側にパーティクルカウンタを配設し、前記パーティクルカウンタの計測値をもとにファンの回転数を可変する制御機能を備えたものであり、装置内のプロセス等の影響によるパーティクルの増加・減少に合わせてファンの回転数を変化させ、装置内が既定の清浄度以下となるように効率的に維持することができるという作用を有する。
【００３７】
本発明の請求項１０記載の発明は、パーティクルカウンタの計測値が既定の値となった時に警報を出力する機能を備えたものであり、ファンモータ等の異常事態の発生により装置内の清浄度が変化した場合において迅速に対応することができるという作用を有する。
【００３８】
本発明の請求項１１記載の発明は、使用者が警報を出力するパーティクルカウンタの計測値を任意に設定する機能を備えたものであり、異常発生時に想定される清浄度を予め設定することにより、警報の内容を容易に把握することができるという作用を有する。
【００３９】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００４０】
（実施の形態１）
図１に示すように、第１の実施の形態のファンフィルタユニットは、ターボ型のファン２とモータ３からなるファンユニット４を箱形状のチャンバ５に内蔵されている。ファンユニット４は、サポート７により固定されている。またファンフィルタユニットはモータ３の回転数を制御する機能を持つ制御部８を有している。ファンユニットの吹出側となる下方にはフィルタ６を設ける。フィルタ６の吹出側となる下方には風速計９を設け、フィルタ６の吹出面の外周部には、吹出側の空間の気密性を保つためにガスケット１０を貼り付ける。
【００４１】
上記構成において、ファンユニット４を運転することにより吸込口１より空気が吸込まれ、チャンバ５内に送り込まれる。そのファンユニット４から吹出された気流はフィルタ６を通過して風速計９によって計測される。風速計９によって計測されたデータは制御部８に送信され、既定の風速となるように制御部８によりファン２の回転数が制御される。
【００４２】
使用者が任意の風速を設定する機能を制御部８が備え、設定された風速となるように制御部８がファン２の回転数を制御することにより、使用者が希望する任意の風速を常に得ることができる。
【００４３】
また、風速が既定の値となった時に警報を出力する機能を制御部８が備えることにより、ファンモータ等の異常事態の発生により風速が低下した場合において迅速に対応することができる。
【００４４】
また、使用者が警報を出力する風速を任意に設定する機能を制御部８が備えることにより、警報の内容を容易に把握することができる。
【００４５】
（実施の形態２）
図２に示すように、ファンユニット４の吸込側とフィルタ６の吹出側の装置内空間との差圧を計測する差圧計１１をチャンバ５の内部または外部に設けている。
【００４６】
上記構成において、差圧計１１によって計測されたデータは制御部８に送信され、既定の差圧となるように制御部８によりファン２の回転数が制御される。
【００４７】
使用者が任意の差圧を設定する機能を制御部８が備え、設定された差圧となるように制御部８がファン２の回転数を制御することにより、使用者が希望する任意の差圧を常に得ることができる。
【００４８】
また、差圧が既定の値となった時に警報を出力する機能を制御部８が備えることにより、ファンモータ等の異常事態の発生により差圧が変化した場合において迅速に対応することができる。
【００４９】
また、使用者が警報を出力する差圧を任意に設定する機能を制御部８が備えることにより、警報の内容を容易に把握することができる。
【００５０】
（実施の形態３）
図３に示すように、フィルタ６の吹出側の装置内空間にパーティクルカウンタ１２を設けている。
【００５１】
上記構成において、パーティクルカウンタ１２によって計測されたデータは制御部８に送信され、既定の清浄度以下となるように制御部８によりファン２の回転数が制御される。
【００５２】
また、パーティクルカウンタ１２の計測値が既定の値となった時に警報を出力する機能を制御部８が備えることにより、ファンモータ等の異常事態の発生により装置内の清浄度が変化した場合において迅速に対応することができる。
【００５３】
また、使用者が警報を出力するパーティクルカウンタ１２の計測値を任意に設定する機能を制御部８が備えることにより、警報の内容を容易に把握することができる。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
装置内の圧力等の条件が断続的に変化する場合にも吹出風速や装置内の圧力を自動的に均一に保つことにより、風速調節作業が大幅に削減可能となり、半導体製造装置、ＦＰＤ製造装置などの清浄空間を必要とし、高精度な気流制御が必要とされる装置に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の実施の形態１のファンフィルタユニットの縦断面図
【図２】本発明の実施の形態２のファンフィルタユニットの縦断面図
【図３】本発明の実施の形態３のファンフィルタユニットの縦断面図
【符号の説明】
【００５６】
１    吸込口
２    ファン
３    モータ
４    ファンユニット
５    チャンバ
６    フィルタ
７    サポート
８    制御部
９    風速計
１０  ガスケット
１１  差圧計
１２  パーティクルカウンタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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