(57)【要約】      （修正有）【課題】被検査物の周期性パターンの欠陥を画像検出するために、回折光によるコントラストの高い画像を検出する照明角度を容易に精度良く見出し、作業者間の検査精度のばらつきを抑えること。【解決手段】  被検査物に光源からの光を略平行光として照射することで生じる回折光の測定を複数の照明角度で行い、各照明角度での回折光強度を取得する回折光強度データ取得ステップと、  照明角度ごとの回折光強度データを蓄積するデータ蓄積ステップと、  照明角度ごとの回折光強度データを用いて、照明角度ごとの欠陥の見易さを評価する欠陥評価値を計算する欠陥評価値計算ステップと、  欠陥評価値が最大値となる照明角度を設定する照明角度決定ステップと、  を含む欠陥検査装置における照明角度設定方法。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査物が持つ周期性パターンの欠陥検査装置にて行われる方法であって、
被検査物に光源からの光を略平行光として照射することで生じる回折光の測定を複数の照明角度で行い、各照明角度での回折光強度を取得する回折光強度データ取得ステップと、
照明角度ごとの回折光強度データを蓄積するデータ蓄積ステップと、
照明角度ごとの回折光強度データを用いて、照明角度ごとの欠陥の見易さを評価する欠陥評価値を計算する欠陥評価値計算ステップと、
欠陥評価値が最大値となる照明角度を設定する照明角度決定ステップと、
を含む欠陥検査装置における照明角度設定方法。
【請求項２】
前記回折光強度データ取得ステップは、被検査物からの回折光の測定を分光測定で行って、各照明角度での波長毎の回折光強度データを取得し、
前記データ蓄積ステップは、各照明角度での波長毎の回折光強度データを蓄積し、
前記欠陥評価値計算ステップは、照明角度ごとの回折光強度データとして、各照明角度での波長毎の回折光強度に各波長に対応する重み付け係数を掛け合わせて積算したデータを用いて、照明角度ごとの欠陥の見易さを評価する欠陥評価値を計算する、
ことを特徴とする請求項１記載の欠陥検査装置における照明角度設定方法。
【請求項３】
前記欠陥評価値計算ステップは、照明角度ごとの回折光強度データに補間処理を行い、補間処理後の照明角度ごとの回折光強度データを用いて、照明角度ごとの欠陥の見易さを評価する欠陥評価値を計算することを特徴とする請求項１または請求項２記載の欠陥検査装置における照明角度設定方法。
【請求項４】
前記照明角度決定ステップは、欠陥評価値が正の極値を取る一つないしは複数の照明角度候補を検出し、それらの該照明角度候補で撮像を行って得られた撮像画像の比較に基づいて照明角度を設定することを特徴とする請求項１から３いずれかに記載の欠陥検査装置における照明角度設定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、周期性パターンの欠陥を検査する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
フォトマスクの周期性パターンのムラ検査では、同軸の透過照明や平面照明を用いて透過率画像を撮像し、各々の画像での光の強度（明るさ）を比べてムラ部と正常部とを視認している（例えば、特許文献１又は２参照）。そのため、フォトマスクの周期性パターンにおいては元々ムラ部と正常部との光の強度差が少ない、すなわち、コントラストが低い画像をその強度差の処理方法を工夫することで、差を拡大してムラ部の抽出し、検査を行っている。
【０００３】
しかし、上記従来技術においては、格子状の周期性パターンのブラックマトリクスのムラ、特に開口部の大きいブラックマトリクスのムラの撮像において、ムラ部と正常部でのコントラストの向上が望めず、強度差の処理を工夫したとしても、元画像のコントラストが低い画像の場合の検査では、目視での官能検査方法より低い検査能力しか達成できない問題がある。
【０００４】
なお、周期性パターンとは、一定の周期（以下ピッチとも云う）で配列しているスリットのパターンの集合体を称し、例えば、細長いスリットのパターンが所定の間隔で１次元的に配列しているストライプ状の周期性パターン、又は、ブラックマトリクスの開口部のように、スリットのパターンが所定の間隔で２次元的に配列しているマトリクス状（格子状）の周期性パターン等がある。
【０００５】
ところで、微細な表示と明るい画面の電子部品の増加により、前記周期性パターンでは、微細化、又は開口部比率アップへの傾向が進んでいる。将来、更に開口部の大きいより微細形状のブラックマトリクスにおける周期性パターンのムラを検査する技術が必要となる。すなわち、従来の光の振幅による光の強度（明るさ）の強弱のみの出力では限界である。
【０００６】
そこで、周期性のあるパターン、例えばブラックマトリクスのムラを安定的、高精度に撮像、検出可能な、周期性パターンムラ検査装置を提供することを目的として、照明光が被検査物に照射され、周期性パターンによって生じる透過回折光を画像検査する検査装置が提案された（例えば、特許文献３参照）。しかし、この装置において、所望の欠陥検査感度を満たす画像を得るためには被検査物の種類毎に最適な検査レシピの設定が必要であり、その最適な検査レシピ設定には作業者の熟練や多大な時間が必要となる。また、作業者間によって検査精度にばらつきが出る可能性が生じる。
【０００７】
一方、適切な検査条件の選定を容易に行える欠陥検査装置を提供することを目的として、複数の中心波長並びに入射角度で測定された被検体の欠陥を有してない部位の反射率データを取得し、この反射率データに基づいて、欠陥の検出に用いる画像の撮影時の中心波長と入射角度とを設定する欠陥検査装置が提案されている（例えば、特許文献４参照）。しかし、この装置においても反射率データより中心波長と入射角度とを決定する工程は作業者の感覚に依存する所が大きく、精度面の問題や、作業者間によって検査精度にバラツキが出る可能性はなお存在する。
【特許文献１】特開２００２−１４８２１０号公報
【特許文献２】特開２００２−３５０３６１号公報
【特許文献３】特開２００５−１４７９１８号公報
【特許文献４】特開２００５−２７４１５６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は上記の問題点を解決するものであって、被検査物の周期性パターンの欠陥を画像検出するために、回折光によるコントラストの高い画像を検出する照明角度を容易に精度良く見出し、作業者間の検査精度のばらつきを抑えることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明において上記の課題を達成するために、まず請求項１の発明では、被検査物が持つ周期性パターンの欠陥検査装置にて行われる方法であって、
被検査物に光源からの光を略平行光として照射することで生じる回折光の測定を複数の照明角度で行い、各照明角度での回折光強度を取得する回折光強度データ取得ステップと、
照明角度ごとの回折光強度データを蓄積するデータ蓄積ステップと、
照明角度ごとの回折光強度データを用いて、照明角度ごとの欠陥の見易さを評価する欠陥評価値を計算する欠陥評価値計算ステップと、
欠陥評価値が最大値となる照明角度を設定する照明角度決定ステップと、
を含む欠陥検査装置における照明角度設定方法としたものである。
【００１０】
また請求項２の発明では、前記回折光強度データ取得ステップは、被検査物からの回折光の測定を分光測定で行って、各照明角度での波長毎の回折光強度データを取得し、
前記データ蓄積ステップは、各照明角度での波長毎の回折光強度データを蓄積し、
前記欠陥評価値計算ステップは、照明角度ごとの回折光強度データとして、各照明角度での波長毎の回折光強度に各波長に対応する重み付け係数を掛け合わせて積算したデータを用いて、照明角度ごとの欠陥の見易さを評価する欠陥評価値を計算する、
ことを特徴とする請求項１記載の欠陥検査装置における照明角度設定方法としたものである。
【００１１】
また請求項３の発明では、前記欠陥評価値計算ステップは、照明角度ごとの回折光強度データに補間処理を行い、補間処理後の照明角度ごとの回折光強度データを用いて、照明角度ごとの欠陥の見易さを評価する欠陥評価値を計算することを特徴とする請求項１または請求項２記載の欠陥検査装置における照明角度設定方法としたものである。
【００１２】
また請求項４の発明では、前記照明角度決定ステップは、欠陥評価値が正の極値を取る一つないしは複数の照明角度候補を検出し、それらの該照明角度候補で撮像を行って得られた撮像画像の比較に基づいて照明角度を設定することを特徴とする請求項１から３いずれかに記載の欠陥検査装置における照明角度設定方法としたものである。
【発明の効果】
【００１３】
請求項１の発明では、周期性パターンを持つ被検査物に、光源からの光を略平行光として照射することで生じる回折光の測定を複数の照明角度で行うと、自動的に、欠陥検査に最適な照明角度を設定できる。
【００１４】
請求項２の発明では、周期性パターンを持つ被検査物に、光源からの光を略平行光として照射することで生じる回折光の分光測定を複数の照明角度で行うと、自動的に、欠陥検
査に最適な照明角度を設定できる。また請求項２の発明では、各照明角度での波長毎の回折光強度データを蓄積するので、複数の波長に関する光学条件に対して検査を行う場合でも、光学条件に基づいた波長ごとの重み付け係数を選択するだけで、この蓄積データを基に速やかに最適な検査角度を再設定することができる。
【００１５】
請求項３の発明では、補間処理を行うことにより、より詳細な照明角度ごとの欠陥評価値を得ることができ、精度高く欠陥検査に最適な証明角度を設定できる。
【００１６】
請求項４の発明では、照明角度ごとの欠陥評価値において、同程度の極大値が複数存在する場合に、特に精度良く欠陥検査に最適な照明角度を設定できる。
【００１７】
従って、本発明によれば、検査レシピの設定に際して、所望する検査感度が得られるまで検査条件を変え、検査の実行とその結果の観察の繰返し作業を行わなければならないという従来の工程を排し、検査レシピの設定にかかる労力を削減することが可能となる。また、定量的な手法を用いることで、ピッチやパターンが作業者に知られていないワークであっても精度良くムラを検出できる照明角度を設定でき、かつ作業者間の検査精度のばらつきを抑える事が可能となる。
【００１８】
以上、被検査物の周期性パターンの欠陥を画像検出するために、回折光によるコントラストの高い画像を検出する照明角度を容易に精度良く見出し、作業者間の検査精度のばらつきを抑えることができるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下に本発明の第１の実施形態を説明する。
【００２０】
図１には、本発明に係る第１の実施形態の照明角度を設定する方法を適用する欠陥検査装置のシステム構成例を示す。光照射手段としては光源１と出射した光を略平行光にする集光レンズ２を有する。回折光受光部としては、被検査物３から生ずる回折光を受光する光量センサー６、得られた回折光強度のデータを蓄積する回折光強度データ蓄積部９、得られたデータより欠陥の見易さを評価する欠陥評価値を計算し、検査に最適な照明角度を決定する回折光強度データ処理部１０、得られた回折光強度データや決定された最適検査角度を表示するデータ表示部１２を有する。また、本発明を適用するにあたっては検査に用いる画像検出器７が前記の光量センサー６と共にリニアスライダ８に設置され、平行移動によって受光側の光軸上に画像検出器７と光量センサー６とが切り替えられる様に配置されている形態が望ましい。この機構により、検査条件と同一条件での最適照明角度の探査が可能となる。画像検出器７は検出した画像を処理する画像処理部１１と接続されており、照明角度設定後の欠陥検査においては、これらを用いて検査結果をデータ表示部１２に提示する。
【００２１】
図１に示すように、被検査物３は、スリット１３ａのパターンが、一定である遮光部１３ｂの幅で配列している周期性パターン１３を有している。１つのスリット１３ａの幅を、周期性パターンの間隔４とも云う。また、スリット１３ａと遮光部１３ｂとが繰り返される最小の間隔（１つのスリット１３ａの幅と１つの遮光部１３ｂの幅とを加算した値）を、周期性パターンの一周期の長さ５とも云う。
【００２２】
以上、図１に示す欠陥検査装置の構成を用いて照明角度設定方法の実施の形態ついて図２に従って説明する。
【００２３】
図１に示す光源１から出射された光は、集光レンズ２で略平行光とし周期性パターンを持つ被検査物３へ照明する。光源はハロゲン光、メタルハライド光、ＬＥＤ光、キセノン
光などを用いる。
【００２４】
被検査物３に照射された光は周期性パターン１３の周期性パターンの間隔４と周期性パターンの一周期の長さ５との寸法に依存した回折光を生じる。この回折光は光量センサー６により受光され、回折光強度として検出される。この回折光強度の測定を、光の照明角度１４を一定量ずつ変化させ、その都度行い（Ｓ２０１）、各々の照明角度ごとの回折光強度のデータを回折光データ蓄積部９に蓄積する（Ｓ２０２）。
【００２５】
以上のようにして蓄積されたデータを用いて、回折光強度データ処理部１０において、照明角度ごとの欠陥評価値を計算し（Ｓ２０３）、後に照明角度ごとの欠陥評価値を基に検査に用いる照明角度を選択し決定する（Ｓ２０４）。
【００２６】
ここで、欠陥評価値を計算するステップ（Ｓ２０３）について説明する。図３は所定の波長域における照明角度と回折光強度の関係を模式的に示したものである。横軸に照射角度、縦軸に回折光強度をとる。回折光強度１５は正常部における回折光強度を示し、回折光強度１６は周期性パターンの間隔４及び周期性パターンの一周期の長さ５に欠陥が生じた欠陥部における回折光強度を示す。所定の照明角度において画像を検出した時、その照明角度における正常部からの回折光強度１５および欠陥部からの回折光強度１６に示される回折光強度の差が画像の正常部と欠陥部のコントラストとして現れる。例えば図３に示す照明角度１７、照明角度１８、および照明角度１９の様に、回折光強度がピークより小さく０より大きい角度では、正常部と欠陥部との回折光強度の差が大きく、正常部と欠陥部のコントラストが高いことが望める。
【００２７】
欠陥検査においては画像内の検査対象部の明るさが、設定した標準値に収まるように照明光の光量ないしは画像検出器の設定を調整する。例えば、画像検出器７にＣＣＤカメラを用い、そのダイナミックレンジを考慮する場合を図４の（ａ）から（ｃ）を用いて説明する。図４の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ図３に示す照明角度１７、照明角度１８、照明角度１９におけるＣＣＤダイナミックレンジ２０内での正常部の光強度２１と欠陥部の光強度２２とを模式的に表した図である。各照明角度において、正常部の光強度２１が標準値になるように調整した時、照明角度１７より照明角度１８ないしは照明角度１９の方が、正常部と欠陥部との強度比率により光強度差２３が大きく出る。つまり、検査画像において光量の高い照明角度１７より照明角度１８ないしは照明角度１９の方が正常部と欠陥部のコントラストが高い画像が得られる。
【００２８】
よって、下式数１で表される、正常部の回折光強度Ｉと欠陥部の回折光強度Ｉ’の差の絶対値を、正常部の回折光強度Ｉで規格化した数値を、検査画像における正常部と欠陥部とのコントラストの評価値として用いることができる。この検査画像における正常部と欠陥部とのコントラストの評価値は、欠陥の見易さを評価するものなので、以後、この評価値を欠陥評価値とする。
【００２９】
【数１】
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本実施形態では図１中の光量センサー６により取得した回折光強度を正常部の回折光強度として用い、この取得した回折光強度を基に欠陥部の回折光強度の代用値を以下のように算出することで、数１による欠陥評価値を計算する。
【００３０】
欠陥部の回折光強度の代用値の算出方法について図５を用いて説明する。例えば、検査対象欠陥が非常に小さいことを考慮すると、正常部の回折光強度と欠陥部の回折光強度の差は非常に小さいものとなり、欠陥部の回折光強度は正常部の回折光強度を照明角度軸方向に微小量平行シフトした値で近似できる。この模式図を図5に示す。回折光強度２４（実線）は正常部における回折光強度、回折光強度２５は欠陥部における回折光強度、回折
光強度２６は正常部の回折光強度を平行シフトした欠陥部の回折光強度の代用値を示す。欠陥部の回折光強度２５（破線）と欠陥部の回折光強度の代用値２６（一点鎖線）は非常に近い分布となる。
【００３１】
つまり、ｍ番目に測定された照明角度θmにおける回折光強度データをＩmとした時、照明角度θm+nにおける回折光強度データＩm+nを照明角度θmにおける欠陥部の回折光強度として代用し、前記数１を用いて照明角度ごとの欠陥評価値が計算できる。この時、欠陥部の回折光強度を計算するためのシフト量（すなわち前記照明角度θm+nとθmの差)は、実証試験により求めた値を使用する。
【００３２】
この時の欠陥評価値の算出においては、使用する回折光強度データにスムージング処理を行い、ノイズ除去を行ったものを用いても良い。また、欠陥部の回折光強度の代用値の算出に、別の算出方法を用いても良い。
【００３３】
次に照明角度を決定するステップ（Ｓ２０４）について図６を用いて説明する。図６中の欠陥評価値２７は前記手法により計算された欠陥評価値を示す。計算された照明角度ごとの欠陥評価値が最大値を示す照明角度（図６中の照明角度２８）を、最適検査角度として設定する。
【００３４】
以上のように本発明の第１の実施形態では照明角度を変化させ、各照明角度における回折光強度データを蓄積し、その回折光強度データを基に欠陥評価値を計算して、欠陥検査に最適な照明角度を選択する。
【００３５】
本発明に係る第１の実施形態では検査レシピの設定に際して、所望する検査感度が得られるまで検査条件を変え、検査の実行とその結果の観察の繰返し作業を行わなければならないという従来必要であった工程を排し、検査レシピの設定にかかる労力を削減することが可能となる。また、定量的な手法を用いることで、ピッチやパターンが作業者に知られていないワークであっても精度良くムラを検出できる照明角度を設定でき、かつ作業者間の検査精度のばらつきを抑えることが可能となる。
【００３６】
次に本発明の第２の実施形態について図１と図２を用いて説明する。本発明の第２の実施形態のシステム構成の概略は図１と同様である。但し、本発明の第２の実施形態においては、光量センサー６に分光器を用いる。
【００３７】
本発明の第２の実施形態ついて図２に従って説明する。図１に示す光源１から出射された光は、集光レンズ２で略平行光とし周期性パターンを持つ被検査物３へ照明する。被検査物３に照射された光は周期性パターン１３の周期性パターンの間隔４と周期性パターンの一周期の長さ５との寸法に依存した回折光を生じ、この回折光は分光器である光量センサー６により分光され、波長ごとに回折光強度として検出される。この回折光強度の測定を、光の照明角度１４を一定量ずつ変化させ、その都度行い（Ｓ２０１）、各々の照明角度ごとの各波長での回折光強度のデータを回折光データ蓄積部９に蓄積する（Ｓ２０２）。
【００３８】
以上のようにして蓄積されたデータを用いて、回折光強度データ処理部１０において照明角度ごとの欠陥評価値を計算する（Ｓ２０３）。
【００３９】
本発明の第２の実施形態における欠陥評価値を計算するステップ（Ｓ２０３）について図７を用いて説明する。本発明の第２の実施形態における欠陥評価値を計算するのに用いる各照明角度における回折光強度３１として、各照明角度における各波長での回折光強度２９に、各波長に対応した一連の重み付け係数３０をかけあわせ、その値の合計値を用い
る。すなわち、２９および３１に示すように、照明角度θmにおける波長λnでの値をPmnとして、波長λnにおける重み付け係数をＣnとすると、３１に示す照明角度θmにおける透過回折光強度の評価値Ｉmは以下の数２で計算される。
【００４０】
【数２】
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この時の一連の重み付け係数３０には欠陥検査装置の光学機器の波長特性に基づいた値を用いても良い。光学機器の波長特性とは、具体的には欠陥検査時に使用する波長変換フィルターの透過特性や、欠陥検査に用いる画像検出機器の波長感度特性等を指す。また、用意される一連の重み付け係数は複数存在しても良く、照明角度と回折光強度の関係を計算する直前においてそれらの中から任意に選択しても良い。
【００４１】
以上のようにして得られた照明角度毎の回折光強度を用いて、第１の実施形態と同様の手法で照明角度ごとの欠陥検査評価値を計算する。なお、欠陥検査に最適な照明角度を選択するステップも第１の実施形態と同様の手法で行う。
【００４２】
以上のように本発明に係る第２の実施形態では照明角度を変化させ、各照明角度における波長ごとの回折光強度データを蓄積し、その後照明角度と回折光強度の関係を計算し、その照明角度毎の回折光強度のデータを用いて照明角度ごとの欠陥評価値を計算し、欠陥検査に最適な照明角度を選択する。
【００４３】
また本発明に係る第２の実施形態は、被検査物の回折光強度データを蓄積することによって、複数の波長に関する光学条件に対して検査を行う場合でも、蓄積データを基に速やかに最適な検査照明角度を再選択することができる。これを図８に従って説明する。なお、複数の波長に関する光学条件に対して検査を行う場合とは、具体的には、波長変換機能等を用いて光源からの出射光の波長制限を複数通りで検査する場合等のことを指す。
【００４４】
所定の被検査物に照明角度を変えながら照明を行い、波長ごとの回折光強度を測定し（Ｓ８０１）、各照明角度における波長ごとの回折光強度データを蓄積する（Ｓ８０２）。これらのステップを終了した後に、予定される検査光学条件に基づいた重み付け係数を使用し、照明角度ごとの回折光強度を計算し（Ｓ８０３）、得られた回折光強度データより照明角度ごとの欠陥評価値を計算して検査照明角度を決定する（Ｓ８０４）。これらのステップの後に、他に検査する検査光学条件が無いかを判断し（Ｓ８０５）、有るならば第２の光学条件に基づいた波長ごとの重み付け係数を選択する（Ｓ８０６）。そして新しく選択した重み付け係数を用いて第２の照明角度ごとの回折光強度を計算し（Ｓ８０３）、第２の検査照明角度を決定し（Ｓ８０４）、再び他の光学検査条件が無いかを判断する（Ｓ８０５）。この様に重み付け係数を変えてステップＳ８０３、Ｓ８０４を繰り返すことにより、１回の回折光強度データの測定で、複数の検査光学条件に対してそれぞれの条件での最適な照明角度を求めることが出来る。
【００４５】
次に本発明に係る第３の実施形態について説明する。
【００４６】
本発明の第３の実施形態においては照明角度毎の回折光強度の取得を上記第１の実施形態ないしは第２の実施形態と同様の手法で取得する。これにより得られた回折光強度のデータを基に、補間処理を行うことで照明角度の変化幅が細かい回折光強度データを得る。この補間処理後の回折光強度データを用いて、上記照明角度ごとの欠陥評価値を算出し、上記第１の実施形態ないしは第２の実施形態と同様の手法で欠陥の検査に最適な照明角度を選択する。
【００４７】
以上のように本発明の第３の実施形態では照明角度を変化させ、各照明角度における回折光強度データを蓄積し、その後回折光強度データに補間処理を行い、補間処理後の回折
光強度データを用いて照明角度ごとの欠陥評価値を計算し、欠陥検査に最適な照明角度を選択する。
【００４８】
本発明に係る第３の実施形態では補間処理を行うことにより、より詳細な照明角度ごとの欠陥評価値を計算でき、精度高く欠陥検査に最適な証明角度を決定できる。
【００４９】
次に本発明に係る第４の実施形態について説明する。
【００５０】
本発明の第４の実施形態においては回折光強度データの取得、照明角度ごとの欠陥評価値の計算を上記第１の実施形態、第２の実施形態ないしは第３の実施形態と同様の手法で行う。
【００５１】
本発明の第４の実施形態では、検査照明角度の決定ステップ（図２中のＳ２０４）において欠陥評価値の正の極値を示す照明角度を複数個検出し、これらの照明角度を照明角度候補とする。次に、各照明角度候補において、検査時と同条件の撮像を行う。以上の様にして得られた撮像画像の比較を行い、最も正常部と欠陥部のコントラストが高い画像を得られた照明角度を、欠陥検査に最適な照明角度として設定する。なお、上記撮像画像の比較は画像を基にした数値比較が望ましい。
【００５２】
以上のように本発明の第４の実施形態では照明角度を変化させ、各照明角度における回折光強度データを蓄積し、その後欠陥評価値を計算し、欠陥評価値より得た複数の照明角度候補での撮像画像の比較により欠陥検査に最適な照明角度を選択する。
【００５３】
本発明の第４の実施形態は、計算された照明角度ごとの欠陥評価値において、同程度の極大値が複数存在する場合に、特に精度良く欠陥検査に最適な照明角度を決定することができる。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
本発明によれば、フォトマスクやウェハ等の矩形周期性パターンを有する製品における検査装置おいて検査レシピ設定作業の労力の削減が実行でき、精度良く欠陥検査に最適な照明角度を設定することができる。また、作業者間の検査精度のばらつきをおさえることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明に係る欠陥検査装置のシステム構成の例を示す図である。
【図２】本発明に係る照明角度決定のフローを示す図である。
【図３】所定の波長域における照明角度と回折光強度との関係を模式的に示す図である。
【図４】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ図３に示す照明角度１７、照明角度１８、照明角度１９におけるＣＣＤダイナミックレンジ２０内での正常部の光強度２１と欠陥部の光強度２２とを模式的に表した図である。
【図５】欠陥部の回折光強度は正常部の回折光強度を照明角度軸方向に微小量平行シフトした値で近似できることを模式的に示す図である。
【図６】欠陥評価値と照明角度との関係を模式的に示す図である。
【図７】光量センサーに分光器を用いた場合の回折光強度の計算方法を模式的に示す図である。
【図８】本発明に係る複数の光学条件においての照明角度決定のフローを示す図である。
【符号の説明】
【００５６】
１…光源
２…集光レンズ
３…被検査物
４…周期性パターンの間隔
５…周期性パターンの一周期の長さ
６…光量センサー
７…画像検出器
８…リニアスライダ
９…回折光強度データ蓄積部
１０…回折光強度データ処理部
１１…画像処理部
１２…データ表示部
１３…周期性パターン
１３ａ…スリット
１３ｂ…遮光部
１４…照明角度
１５、１６…回折光強度
１７、１８、１９…照明角度
２０…ダイナミックレンジ
２１、２２…光強度
２３…光強度差
２４、２５…回折光強度
２６…回折光強度代用値
２７…欠陥評価値
２８…照明角度
２９…各照明角度における各波長での回折光強度を表すデータテーブル
３０…各波長に対応した一連の重み付け係数を表すデータテーブル
３１…各照明角度における回折強度を表すデータテーブル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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