(57)【要約】【課題】基板検査システムにおいて、製造ラインの作業者と基板検査装置における検査者との間で、基板に関する情報伝達を容易かつ確実に行うことができるようにする。【解決手段】Ｃ／Ｄ６、露光機７、オートマクロ検査装置９、搬送ローダ５を備える基板検査システム１であって、オートマクロ検査装置９が、基板２の検査時の画像データを、基板ＩＤと、基板２ごとに追記および書き換え可能に設けられた付加入力データとともに記憶するデータ記憶部と、データ記憶部に記憶された各データを表示するデータ表示部とを有し、このデータ記憶部とデータ通信可能に接続されることで付加入力データの入力とデータ記憶部に記憶された各データの表示とが可能な入出力端末８Ａ、８Ｂが、Ｃ／Ｄ６、露光機７の近傍に配置された構成とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を製造する基板製造装置と、該基板製造装置により製造中もしくは製造完了した基板の画像を取得して検査を行う基板検査装置とを備える基板検査システムであって、
前記基板検査装置が、
前記基板固有に設定された基板識別コードに対応して、検査時の画像データを記憶する検査画像データ記憶域と、追記および書き換え可能な付加入力データ記憶域を有するデータ記憶部と、
該データ記憶部に記憶されたデータを表示するデータ表示部とを有し、
前記基板製造装置の近傍に、
前記基板検査装置のデータ記憶部とデータ通信可能に接続され、前記付加入力データ記憶域へのデータ入力と前記データ記憶部に記憶されたデータの表示とが可能とされた情報入出力装置が設けられたことを特徴とする基板検査システム。
【請求項２】
前記情報入出力装置から前記基板検査装置の前記データ記憶部の前記付加入力データ記憶域へ入力するデータが、テキストデータであることを特徴とする請求項１に記載の基板検査システム。
【請求項３】
前記情報入出力装置から前記基板検査装置の前記データ記憶部の前記付加入力データ記憶域へ入力するデータが、前記基板検査装置で取得された基板の画像データに、上書き表示する図形データであることを特徴とする請求項１または２に記載の基板検査システム。
【請求項４】
前記情報入出力装置が、
前記データ入力の対象とする基板の前記基板識別コードに基づいて、前記基板に位置関係を合わせた擬似的な画像データを生成して表示し、前記図形データを前記擬似的な画像データに重ね合わせてデータ入力できるようにしたことを特徴とする請求項３に記載の基板検査システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は基板検査システムに関する。例えば、フォトリソグラフィ工程によりレジストパターニングを行って製造される半導体ウエハや液晶基板などの基板を検査する基板検査システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、フォトリソグラフィ工程によりレジストパターニングを行って製造される半導体ウエハや液晶基板などの基板を製造する場合、１つの製造工程が終了すると、基板表面に傷やゴミ付着したり、パターン形状や膜厚の異常が発生したりしていないか、基板の画像を取得し、画像処理や目視によって基板検査を行っている。
フォトリソグラフィ工程は、例えば、洗浄、レジストコート、ベーク、露光などの多数の工程からなるため、長大な製造ラインが形成され、１つの製造工程が終了すると、基板を搬送機構によって、製造ラインから離れた場所に設置された基板検査装置まで搬送して検査を行うのが一般的である。
特許文献１には、このような基板検査システムとして、基板上の欠陥を自動的に検査するオート欠陥検査装置と、基板を目視により検査するマニュアル欠陥検査装置とを備え、それらの間で、原画像ファイル、検査結果ファイルを共有し、それぞれの検査結果に基づいて、欠陥分類や欠陥の名称などを修正することができるようにした基板検査システムが記載されている。
【特許文献１】特開２００３−９０８０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記のような従来の基板検査システムには、以下のような問題があった。
従来の基板検査システムでは、製造ラインから離れた場所に基板製造装置が設置されているため、製造ラインの長大化と相俟って基板の検査結果が製造ラインに伝達されるタイムラグが大きくなりがちである。
また、基板検査で不良と判定されていない場合でも、基板の検査画像などの情報は製造ラインの作業者の工程管理の参考になる場合が多いが、従来の基板検査システムでは、製造ラインの作業者がこのような画像情報を取得するには、基板検査装置の設置におもむき、基板検査装置の表示部を操作するなどの手間をかけなければならず、容易に画像情報の取得することができないという問題がある。
特許文献１に記載の技術では、異なる基板検査装置との間で、基板の画像情報を共有することができるため、先行する検査結果に基づいて後行の検査工程の検査精度や検査効率を向上できるものの、基板の画像情報を製造ラインに伝達できるものではなかった。また逆に、製造ラインからの情報を検査者へ伝達する手段も設けられていないため、製造ラインで、例えば欠陥位置などの検査に有用な情報が得られた場合でも、基板検査に生かされないという問題がある。
【０００４】
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、製造ラインの作業者と基板検査装置における検査者との間で、基板に関する情報伝達を容易かつ確実に行うことができる基板検査システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題を解決するために、本発明の基板検査システムは、基板を製造する基板製造装置と、該基板製造装置により製造中もしくは製造完了した基板の画像を取得して検査を行う基板検査装置とを備える基板検査システムであって、前記基板検査装置が、前記基板固有に設定された基板識別コードに対応して、検査時の画像データを記憶する検査画像データ記憶域と、追記および書き換え可能な付加入力データ記憶域を有するデータ記憶部と、該データ記憶部に記憶されたデータを表示するデータ表示部とを有し、前記基板製造装置の近傍に、前記基板検査装置のデータ記憶部とデータ通信可能に接続され、前記付加入力データ記憶域へのデータ入力と前記データ記憶部に記憶されたデータの表示とが可能とされた情報入出力装置が設けられたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明の基板検査システムによれば、基板製造装置の近傍に、基板検査装置のデータ記憶部とデータ通信可能に接続され、データ記憶部の付加入力データ記憶域へのデータ入力とデータ記憶部に記憶されたデータの表示とが可能とされた情報入出力装置を設けるので、製造ラインの作業者と基板検査装置における検査者との間で、基板に関する情報伝達を容易かつ確実に行うことができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下では、本発明の実施の形態について添付図面を参照して説明する。すべての図面において、実施形態が異なる場合であっても、同一または相当する部材には同一の符号を付し、共通する説明は省略する。
【０００８】
［第１の実施形態］
本発明の第１の実施形態に係る基板検査システムについて説明する。
図１は、本発明の第１の実施形態に係る基板検査システムの概略構成を示す模式的なシステム構成図である。図２は、本発明の第１の実施形態に係る基板検査システムの通信ネットワークの模式的な接続図である。図３は、本発明の第１の実施形態に係る基板検査システムの情報入出力装置の表示画面の一例を示す模式図である。
【０００９】
本実施形態の基板検査システム１の概略構成は、図１に示すように、レジストコータ／デベロッパー（以下、Ｃ／Ｄ）６（基板製造装置）、露光機７（基板製造装置）、オートマクロ検査装置９（基板検査装置）、マニュアルマクロ検査装置１０、搬送ローダ５（基板搬送機構）、および入出力端末８Ａ、８Ｂ（情報入出力装置）からなる。
【００１０】
Ｃ／Ｄ６、露光機７は、液晶ガラス基板などからなる基板２に、フォトリソグラフィ工程によりレジストパターニングを行って製造するための製造ラインを形成するものである。基板２は、Ｃ／Ｄ６、露光機７の間およびそれぞれの内部で、不図示の搬送手段により移動可能に保持される。
Ｃ／Ｄ６は、フォトリソグラフィ工程のうち、露光工程以外の工程、例えば、洗浄、レジストコート、ベーク等を行うレジストコーティング工程と、露光機７で露光後の基板２の現像、洗浄、ベーク等を行う現像工程とを行うものである。
露光機７は、Ｃ／Ｄ６でレジストコートされた基板２に所定のパターンを露光するものである。
【００１１】
オートマクロ（ＡＭ）検査装置９は、Ｃ／Ｄ６、露光機７により表面に層膜が形成されたり、所定のパターンにパターニングされたりした基板２の表面の画像を撮像し、例えば、膜ムラ、異物付着、傷、パターン異常などの欠陥の有無を判定し、欠陥の発生位置、大きさ、種類などの情報を自動的に得るようにしたものである。
例えば、基板２を１軸方向に移動可能に保持し、基板２の移動方向に直交する方向に延びるライン状の検査領域に、ライン状照明を照射し、その反射光や回折光をライン撮像素子で撮像することで、基板２の２次元画像データを取得し、適宜の画像処理によって、欠陥を抽出するようにした構成を採用することができる。
本実施形態では、図２に示すように、ＰＣ本体４０、モニタ４１、操作部４２、データ記憶部４３からなる制御部９ａを備え、制御部９ａにロードされた制御プログラムよって、オートマクロ検査装置９の装置動作の制御が行われる。
装置動作の制御としては、基板２の移動制御、基板２の撮像制御、２次元画像データの表示制御、２次元画像データから欠陥抽出を行う画像処理制御などが挙げられる。
【００１２】
ＰＣ本体４０は、ＣＰＵ、メモリ、外部記憶部、入出力インタフェースなどを備えるコンピュータからなる。
モニタ４１は、ＰＣ本体４０から出力されるテキストデータや画像データを表示したり、検査者の操作入力を行うための操作画面を表示したりするものである。
操作部４２は、検査者が操作入力を行うためのもので、例えば、キーボードやマウスなどからなる。
これらのＰＣ本体４０、モニタ４１、操作部４２は制御用に用いられる一般的なパソコン（ＰＣ）の構成であり、本実施形態の他の装置でも同様の構成が用いられる。そこで、簡単のため、以下ではこれらと同様の構成を単にＰＣと総称する場合がある。
【００１３】
、
データ記憶部４３は、検査された基板２に関するデータベースを構成するためのものである。本実施形態では、オートマクロ検査装置９が撮像した基板２を識別するために基板２固有に設定された基板ＩＤ（基板識別コード）ごとに、基板２の検査時の画像データを記憶する検査画像データ記憶域、後述する入出力端末８Ａ、８Ｂから入力される付加入力データを記憶する付加入力データ記憶域、および制御部９ａによって抽出された欠陥の情報などを含む検査結果データを記憶する検査結果データ記憶域が設けられている。
これらのデータは、ＰＣ本体４０によって読み出し、書き込みが制御される。データ記憶部４３から読み出されたデータは、必要に応じて、モニタ４１に表示される。このため、モニタ４１はオートマクロ検査装置９のデータ表示部を構成している。
なお、モニタ４１にデータを表示するプログラムは、オートマクロ検査装置９に特有の表示画面、操作画面の他に、入出力端末８Ａ、８Ｂに表示される後述の検査画像表示ウィンドウ２０と同様の表示画面を表示できるようになっている。
【００１４】
データ記憶部４３の装置構成としては、例えば、必要な記憶容量を有するハードディスク装置などの記憶手段を採用することができる。
【００１５】
また、制御部９ａには、ＬＡＮケーブル１１が接続され、スイッチングハブ１１ａを介してＬＡＮ接続されている。そのため、制御部９ａは、ＬＡＮ上の他のＰＣとのデータ通信が可能となっており、データ記憶部４３に記憶された各データをＬＡＮ上のＰＣに供給するデータサーバーを兼ねている。
【００１６】
マニュアルマクロ検査装置１０は、基板２に一定方向から、集束光や適宜の散乱された照明光でマクロ照射するとともに、基板２を揺動させ、基板２に対する照明角度を変えることで、基板２で反射した光を検査者が目で欠陥の目視検査を行うものである。
制御部１０ａは、マニュアルマクロ検査装置１０のすべての装置動作を制御するためのもので、本実施形態では、ＰＣ本体４０、モニタ４１、操作部４２からなるＰＣで構成される。
制御部１０ａには、ＬＡＮケーブル１１が接続され、スイッチングハブ１１ａを介してＬＡＮ接続されている。そのため、ＬＡＮ上の他のＰＣとのデータ通信が可能となっている。
本実施形態のマニュアルマクロ検査装置１０は、検査の際に、基板２の画像を取得しない基板検査装置となっているが、目視する代わりに、カメラなどで基板２の画像を取得する構成としてもよい。
【００１７】
搬送ローダ５は、例えば、伸縮、回動、昇降などが可能な搬送アームにより、基板２の裏面を保持し、基板２の移動、搬送を行う基板搬送機構である。本実施形態では、カセットポート３上に載置された、複数の基板２を収納可能なカセット４Ａ、４Ｂから基板２を受け取って、Ｃ／Ｄ６に搬送し、１つの製造工程を終えた基板２をＣ／Ｄ６から受け取り、オートマクロ検査装置９およびマニュアルマクロ検査装置１０の基板受け渡し位置に搬送し、各検査の終了後、Ｃ／Ｄ６やカセット４Ａ、４Ｂに戻すことができるようになっている。
【００１８】
入出力端末８Ａ、８Ｂは、制御部９ａ、１０ａが接続されたＬＡＮに、スイッチングハブ１１ａを介してＬＡＮ接続されたクライアント端末であり、それぞれ、ＰＣ本体４０、モニタ４１、操作部４２からなるＰＣで構成される。
入出力端末８Ａ、８Ｂは、データ記憶部４３の付加入力データ記憶域に追記または書き換え可能なアクセス権を有しており、それぞれの操作部４２から操作することで、データ記憶部４３に記憶されている各データを読み出して、モニタ４１に表示したり、データ記憶部４３の付加入力データ記憶域に、データ入力できるようになっている。
入出力端末８Ａは、基板製造装置であるＣ／Ｄ６の操作者または管理者のいるＣ／Ｄ６の近傍に配置されている。また、入出力端末８Ｂは、基板製造装置である露光機７の操作者または管理者のいる露光機７の近傍に配置されている。
なお、本実施形態では、入出力端末８Ａ、８Ｂを、Ｃ／Ｄ６、露光機７にそれぞれ１台設けた場合で説明するが、Ｃ／Ｄ６、露光機７のライン長、スペース、製造工程数や、操作者または管理者の人数などの必要に応じて、配置台数は増減することができる。
【００１９】
ここで、入出力端末８Ａ（８Ｂ）の表示画面の一例について説明する。
入出力端末８Ａ（８Ｂ）の表示画面は、図３に示す検査画像表示ウィンドウ２０からなる。
検査画像表示ウィンドウ２０は、入出力端末８Ａ（８Ｂ）にロードされるプログラムにより表示されるもので、少なくとも、基板画像２１、停止ボタン２６、履歴リスト表示部２２、コメント入力部２４、および登録ボタン２５から構成される。
【００２０】
基板画像２１は、入出力端末８Ａ（８Ｂ）によって、データ記憶部４３から読み出された基板２の検査時の画像データをモニタ４１上に縮小表示したものである。
図３には１枚の基板２に同様のパターンを有する４面のパネルが形成された例を示している。すなわち、それらのパネルに対応して、パネル画像２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄがすべて表示されている。
本実施形態では、入出力端末８Ａ（８Ｂ）の操作者が、現在製造ラインに流れている基板の最新の検査結果を知ることができるように、オートマクロ検査装置９で撮像された基板２の最新の画像データを自動的に表示する自動更新表示モードがデフォルトで有効になっている。
ただし、この自動更新表示モードは、入出力端末８Ａ（８Ｂ）の操作者が停止ボタン２６を操作することにより随時停止することができる。
停止ボタン２６は、自動更新表示モードを停止する押下状態と、自動更新表示モードの停止を解除する押下解除状態の２つの状態が切り替わる操作ボタンである。
【００２１】
基板画像２１は、特に図示しないが、操作部４２の操作入力に連動したカーソル画像などを重ね合わせて表示できる構成とされ、基板２上の位置座標の入出力を行う操作画面を兼ねている。例えば、基板画像２１上の任意の点を指定してその画像に対応する基板２上の位置座標を取得したり、任意の領域を選択して拡大表示したりすることができるようになっている。
【００２２】
履歴リスト表示部２２は、データ記憶部４３に記憶された画像データに対応する基板ＩＤ２２ａを表示する表示ウィンドウである。基板画像２１として、現在表示されている基板ＩＤ２２ａは強調表示される。図３では、「２２２２２２２２２２」の基板ＩＤ２２ａに強調表示部２３が位置している。
【００２３】
基板ＩＤ２２ａは、適宜の番号、記号、文字などからなるテキストデータで構成することができる。例えば、上位桁を基板２にマーキングされたベース基板のシリアル番号とし、下位桁を基板２が撮像された際の工程種類などの工程ＩＤを示す番号や製造日時などの基板情報を表す番号とすることができる。
【００２４】
コメント入力部２４は、表示された基板画像２１に関する情報として、コメント、メモ書きなどの付加入力データをテキストデータにより入力するための入力ウィンドウである。図３には、「コメント」というテキストデータ２４ａが入力されている様子を示す。
また、入出力端末８Ａ（８Ｂ）の操作者は、例えば操作部４２のマウスなどを操作して、基板画像２１上の位置や領域を示す図形データを入力することができる。例えば、図３には、パネル画像２１ｃ上の一部の領域を示す矩形状の選択領域２７が入力されている例を示す。
なお、図形データは、選択領域２７のみに限定されるものではない。例えば、点、円、十字、×印などの図形データにより位置情報を入力してもよい。また、円、楕円、多角形、自由曲線などの図形データによって領域情報を入力してもよい。
【００２５】
登録ボタン２５は、コメント入力部２４から入力されたテキストデータ２４ａと、基板画像２１上で入力された選択領域２７などの図形データとを、基板ＩＤ２２ａに対応してデータ記憶部４３の付加入力データ記憶域に記憶するための操作ボタンである。
【００２６】
次に本実施形態の基板検査システム１の動作について、入出力端末８Ａ、８Ｂでの動作を中心に説明する。
図４は、本発明の第１の実施形態に係る情報入出力装置の動作について説明するフローチャートである。
【００２７】
カセット４Ａ、４Ｂに収納されて基板２が基板検査システム１に搬送されると、搬送ローダ５が、カセット４Ａ、４Ｂから基板２を受け取り、Ｃ／Ｄ６に順次搬送する。このとき、カセット４Ａ、４Ｂなどの収納位置や基板に設けられたマーキングなどの情報に基づいて、搬送される基板２のシリアル番号が取得される。
Ｃ／Ｄ６では、搬送ローダ５によって搬送された基板２に対してレジストコーティンブ工程を行い、露光機７に搬送する。
露光機７では、基板２を露光して、パターニングを行う。その後、Ｃ／Ｄ６に搬送して現像工程を行う。
この間のいずれかのタイミングあるいはこれらの工程が終了した後、基板２は、必要に応じて搬送ローダ５との受け渡し位置に搬送され、搬送ローダ５に受け渡される。
検査のために受け渡された基板２は搬送ローダ５によって、オートマクロ検査装置９に搬送される。
【００２８】
オートマクロ検査装置９では、搬入された基板２のベース基板のシリアル番号と、手動または自動で入力される工程種類の情報や、搬入時刻の情報などに基づいて、基板ＩＤ２２ａが設定される。
そして、予め設定された検査条件に基づいて、基板２全面のマクロ画像を撮像し、基板ＩＤ２２ａとともに、データ記憶部４３の検査画像データ記憶域に記憶する。制御部９ａでは、この画像データに対して画像処理を行って、欠陥抽出、欠陥の位置、大きさや種類などの判定を行い、検査結果のテキストデータを生成し、データ記憶部４３の検査結果データ記憶域に記憶する。
データ記憶部４３に新しく画像データが記憶されると、ＬＡＮ上の各ＰＣに画像データの更新が通知される。
【００２９】
オートマクロ検査装置９での検査が終了すると、必要に応じて基板２がマニュアルマクロ検査装置１０に搬送され、検査者の目視による基板検査が行われる。その際、オートマクロ検査装置９の検査結果は、ＬＡＮケーブル１１を通して、制御部１０ａに送出され制御部１０ａのモニタ４１に表示される。マニュアルマクロ検査装置１０の検査者は、制御部１０ａのモニタ４１上に表示されたオートマクロ検査装置９の検査結果を確認してから、搬入された基板２に対して目視検査を行うことができる。
マニュアルマクロ検査装置１０による検査が終了すると、搬送ローダ５に基板２が受け渡され、カセット４Ａ、４Ｂに搬入するか、または、残りの製造工程がある場合には、Ｃ／Ｄ６や露光機７に戻したりする。
【００３０】
一方、入出力端末８Ａ（８Ｂ）では、図４に示すように、プログラムの起動とともに、自動更新表示モードが設定され、ＬＡＮ上での画像検索が開始される（ステップＳ１）。
ステップＳ２では、オートマクロ検査装置９の制御部９ａから最新のマクロ画像が更新されたか画像データ更新通知の有無を判定する。
画像データ更新通知が検出されれば、画像表示を行うステップＳ３に移行する。
画像データ更新通知が検出されなければ、ステップＳ４に移行する。
【００３１】
ステップＳ３では、入出力端末８Ａ（８Ｂ）で画像データ更新通知を検出すると、制御部９ａに対して新しい画像データの基板ＩＤ２２ａを問い合わせ、基板ＩＤ２２ａに対応する画像データ、付加入力データを入出力端末８Ａ（８Ｂ）のＰＣ本体４０にダウンロードし、それらのデータに基づいて、モニタ４１における検査画像表示ウィンドウ２０に最新の画像データを表示させる。
【００３２】
ステップＳ４では、停止ボタン２６の操作状態を検出し、画像検索を停止するかどうか判定する。
停止ボタン２６が押下状態の場合は、自動更新表示モードを停止し、ステップＳ５に移行する。
停止ボタン２６が押下解除状態の場合は、自動更新表示モードの停止を解除し、ステップＳ２に移行する。
【００３３】
ステップＳ５は、画像検索を再開するかどうか判定するための停止ボタン２６の監視ループである。
停止ボタン２６が押下解除状態の場合は、自動更新表示モードに復帰させ画像検索を再開するため、ステップＳ２に移行する。
停止ボタン２６が押下状態の場合は、ステップＳ５にループし、自動更新表示モードをそのまま停止し、現在の基板画像２１の表示を続行する。
【００３４】
このようにして、停止ボタン２６が押下解除状態にあると、データ記憶部４３の新しい画像データと、それと対応する付加入力データが検査画像表示ウィンドウ２０に表示され、停止ボタン２６が押下状態にあると、停止ボタン２６の押下時の基板画像２１が検査画像表示ウィンドウ２０上に保持される。
このため、入出力端末８Ａ、８Ｂの操作者または管理者は、それぞれが担当するＣ／Ｄ６、露光機７の近傍で作業をしながら、現在処理している基板２に先行して処理された基板の最新の画像データを入出力端末８Ａ（８Ｂ）上で確認することができる。したがって、先行する基板２に発生した欠陥などの品質情報を検査の終了と同時に知ることができる。このため、オートマクロ検査装置で検出された最新の画像データを各製造装置の入出力端末８Ａ、８Ｂのモニタに表示することにより先行する基板２の検査データから各製造装置に起因する特有の欠陥、例えば露光不足やデフォーカスに起因する欠陥が露光記７で発生していることを知ることができ、工程の設定条件を変えたり、点検したりするといった迅速な対応が可能となる。
【００３５】
また、入出力端末８Ａ（８Ｂ）では、停止ボタン２６を押下することにより、自動更新表示モードを停止すると同時に、コメント入力部２４へのテキストデータ２４ａの入力、基板画像２１上への選択領域２７などの図形データ入力が可能となる。本実施形態では、これらのデータが入力され、画像記憶部４３の付加入力データ記憶域に記憶された場合、画像記憶部４３のデータベース上に付加入力データの入力が存在することを示すフラグなどが立てられ、そのフラグに基づいて、基板ＩＤ２２ａの先頭に、例えば黒丸などのマーク２８を表示するようにしている。
これらの情報は、基板ＩＤ２２ａとともに、データ記憶部４３に記憶されるので、データ記憶部４３にアクセス可能なＬＡＮ上のすべてのＰＣによって、これらの情報を表示し、共有することができる。
すなわち、これらＬＡＮ上の各ＰＣの間で、テキストデータおよび図形データによる情報交換を行うことができる。
例えば、現在処理中の基板２に、基板画像２１と同様の欠陥が現れていたり、別の位置に同様の欠陥が現れていたりするような場合、選択領域２７で対応する範囲をマーキングし、コメント入力部２４に、同様の欠陥が疑われる旨のコメントを記載し、現場から離れたところにいる検査担当者や工程管理者に伝達し、指示を仰ぐことができるので、迅速な対応が可能となる。
逆に、オートマクロ検査装置９やマニュアルマクロ検査装置１０で各製造装置に起因する欠陥と思われる同位置に同じ欠陥が連続して検出された場合、各製造装置の入出力端末８Ａ、８Ｂのモニタにて注意を促すとともに、コメント入力部２４に欠陥発生の原因を記載し操作者に伝達する。
【００３６】
［第２の実施形態］
次に、本発明の第２の実施形態の基板検査システムについて説明する。
図５は、本発明の第２の実施形態に係る基板検査システムの概略構成を示す模式的なシステム構成図である。図６は、本発明の第２の実施形態に係る基板検査システムの通信ネットワークの模式的な接続図である。図７は、本発明の第２の実施形態に係る基板検査システムの表示画面の一例を示す模式図である。
【００３７】
本実施形態の基板検査システム１００は、図５に示すように、上記第１の実施形態のオートマクロ検査装置９において、制御部９ａに代えて制御部９ｂを備え、データサーバー１２を追加し、Ｃ／Ｄ制御部５０、システム制御部５１を追加したものである。以下、上記第１の実施形態と異なる点について説明する。
【００３８】
制御部９ｂは、制御部９ａから、データ記憶部の機能を実現するデータ記憶部４３を削除したものである。
オートマクロ検査装置９のデータ記憶部の機能は、本実施形態では、データサーバー１２により実現されている。すなわち、本実施形態では、オートマクロ検査装置９とデータサーバー１２とが基板検査装置を構成している。
データサーバー１２は、図６に示すように、ＰＣ本体４０、モニタ４１、操作部４２、データ記憶部４３からなり、このＰＣ本体４０は主として、データ記憶部４３へのデータの読み書きを制御している。そして、ＰＣ本体４０がＬＡＮケーブル１１を通してスイッチングハブ１１ａにＬＡＮ接続され、ＬＡＮ上の他のＰＣから、データ記憶部４３にアクセスできるようになっている。
【００３９】
Ｃ／Ｄ制御部５０は、Ｃ／Ｄ６および搬送ローダ５に接続され、それぞれの制御を行うもので、ＰＣ本体４０、モニタ４１、操作部４２からなるＰＣで構成される。
システム制御部５１は、基板検査システム１００の動作条件を設定して基板検査システム１００内の各装置の動作の協調を図り、基板２の製造および検査に係る動作順序を制御するものである。
本実施形態では、Ｃ／Ｄ制御部５０は、システム制御部５１と通信を行って、搬送ローダ５がカセット４Ａ、４Ｂから受け取る基板２の収納位置の情報を、基板ＩＤ２２ａおよび工程種類等の基板情報とともに受信する。この基板情報は、例えばソケット通信を用い予め定義したプロトコルに従って、Ｃ／Ｄ制御部５０から入出力端末８Ａ、８Ｂに送信される。
【００４０】
本実施形態では、図７に示すように、入出力端末８Ａ、８Ｂにおいて、オートマクロ検査装置９で検査された過去の基板の検査画像表示ウィンドウ２０に加えて、各製造装置の搬入された現在処理中の基板の擬似基板画像表示ウィンドウ３０を並置して表示する。
【００４１】
本実施形態の検査画像表示ウィンドウ２０は、自動更新表示モードの他に、データ記憶部４３に記憶された過去の基板ＩＤ２２ａのうち、マーク２８が付けられたものに対応する画像データを付加入力データとともに表示する選択表示モードを備え、それぞれが切り替えられるようになっている。
この切り替えは、モード選択ボタンやモード選択スイッチなどを設けて行ってもよいが、例えば、停止ボタン２６を押下して自動更新表示モードを停止したときに、選択表示モードが有効になり、操作部４２によって、強調表示部２３を移動して基板ＩＤ２２ａを選択できるようにすることができる。
なお、選択表示モードで選択できる基板ＩＤ２２ａの範囲は、マーク２８が付けられたものには限定されず、必要に応じて、例えば、製造日、製造ロット、工程種類などによって選択できる範囲を限定してもよい。また、選択範囲を特に限定せず、データ記憶部４３に記憶されたすべての基板ＩＤ２２ａを選択できるようにしてもよい。
【００４２】
擬似基板画像表示ウィンドウ３０は、Ｃ／Ｄ６や露光機７に現在搬入されている基板２の情報を表示するための表示画面であり、検査画像表示ウィンドウ２０の基板画像２１、履歴リスト表示部２２、コメント入力部２４に代えて、擬似基板画像３１、履歴リスト表示部３２、コメント入力部３４を表示する。
【００４３】
擬似基板画像３１は、入出力端末８Ａ（８Ｂ）が受信した基板ＩＤ２２ａとその基板情報等に基づいて擬似的に作成されるものである。例えば、基板情報からパネルの数や配置位置などの情報を取得して、擬似パネル画像３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄの画像を作成する。
擬似基板画像３１は、搬入された基板２の実際の画像ではないが、基板２上に形成されるパネルやパターンなどの画像と位置関係が対応している。また、特に図示しないが、操作部４２の操作入力に連動したカーソル画像などを重ね合わせて表示できる構成とされ、基板２上の位置座標の入出力を行う操作画面を兼ねている。
例えば、擬似基板画像３１上の任意の点を指定してその画像に対応する基板２上の位置座標を取得したり、任意の領域を選択して拡大表示したりすることができるようになっている。
【００４４】
履歴リスト表示部３２は、入出力端末８Ａ（８Ｂ）に現在までに搬入された基板２の基板ＩＤ２２ａを表示するウィンドウである。現在搬入され、擬似基板画像３１として表示されている基板ＩＤ２２ａは強調表示される。図７では、「ＤＤＤＤＤＤＤＤＤＤ」の基板ＩＤ２２ａに強調表示部２３が位置している。
本実施形態では、擬似基板画像表示ウィンドウ３０は、現在搬入された基板２の基板ＩＤ２２ａに対応する情報を自動的に表示する自動更新表示モードになっている。
ただし、この自動更新表示モードは、入出力端末８Ａ（８Ｂ）の操作者が擬似基板画像表示ウィンドウ３０の停止ボタン２６を操作することにより随時停止することができる。
この動作は、上記第１の実施形態で、図４を用いて説明した動作と同様である。
【００４５】
コメント入力部３４は、自動更新表示モードを停止したとき、入出力端末８Ａ（８Ｂ）の操作者が、現在搬入されている基板２に関する情報として、コメント、メモ書きなどの付加入力データをテキストデータにより入力するための入力ウィンドウである。図７には、「コメント」というテキストデータ３４ａが入力されている様子を示す。
また、入出力端末８Ａ（８Ｂ）の操作者は、自動更新表示モード停止時に、例えば操作部４２のマウスなどを操作して、擬似基板画像３１上の位置や領域を示す図形データを入力することができる。例えば、図７には、擬似パネル画像３１ｃ上の一部の領域を示す矩形状の選択領域３７が入力されている例を示す。
【００４６】
これらのテキストデータ３４ａ、選択領域３７は、擬似基板画像表示ウィンドウ３０の登録ボタン２５を押下することにより、基板ＩＤ２２ａに対応するデータ記憶部４３内の付加入力データ記憶域に記憶される。
そして、データベース上に付加入力データの入力が存在することを示すフラグなどが立てられ、履歴リスト表示部３２上ではマーク２８が表示される。
このようにして、テキストデータ３４ａ、選択領域３７などの付加入力データが入力されると、この基板２がオートマクロ検査装置９で検査された後、検査画像表示ウィンドウ２０において対応する基板ＩＤ２２ａを選択すると、検査画像表示ウィンドウ２０上の、コメント入力部２４、基板画像２１上に、これらテキストデータ３４ａ、選択領域３７が表示されることになる。また、データ記憶部４３にアクセス可能なＬＡＮ上のすべての装置によって、これらの情報を表示し、共有することができる。
その際、擬似基板画像３１と基板画像２１とは位置関係が対応しているため、選択領域３７は、対応する実際の画像上の位置に表示される。
【００４７】
このように、本実施形態によれば、入出力端末８Ａ、８Ｂに、検査画像表示ウィンドウ２０と擬似基板画像表示ウィンドウ３０とを表示させることにより、他の基板２の最新の検査画像を参照しつつ、Ｃ／Ｄ６、露光機７に現在搬入されている基板２に対するコメント、メモなどの情報を、基板２上の位置情報や領域情報とともに入力し、これらを基板ＩＤ２２ａに対応した画像記憶部４３上に記憶することができる。このため、画像記憶部４３上には、基板ＩＤ２２ａごとに製造ラインから検査工程まで一貫したデータベースが構築される。
その結果、例えば、Ｃ／Ｄ６の調整中に、調整作業者が現在流れている基板２に何らかの注意事項をコメントとして付し、基板２の移動とともに後工程でそのコメントを参照することができる。例えば、特定の基板位置に欠陥発生の疑いが高いとのコメントが入力された場合、後工程では、同様の場所に注意したり、詳細な検査を行ったり、あるいは製造ラインの停止を指示したりすることが迅速に行える。
したがって、製造ラインでの観察事項などを後工程で役立てることが可能となり、基板に関する情報伝達を容易かつ確実に行うことができる。
【００４８】
なお、上記の説明では、情報入出力装置が、データ記憶部と有線ＬＡＮで接続されている場合の例で説明したが、ＬＡＮは無線ＬＡＮで構成されていてもよい。
また、データ通信可能であれば、通信手段はＬＡＮに限定されることなくどのような通信手段を用いてもよい。
【００４９】
また、上記の説明では、情報入出力装置に、基板識別データ、画像データ、および付加入力データを表示した例で説明したが、データ記憶部において基板識別データごとに記憶されたデータであれば、他のデータを合わせて表示してもよい。例えば、基板の検査結果データを、テキストデータや図形データにより表示してもよい。
【００５０】
また、上記の説明では、情報入出力装置を基板製造装置の制御部とは別に設けた場合の例で説明したが、情報入出力装置は、例えば、Ｃ／Ｄ６や露光機７を制御する制御部を兼ねたものでもよい。
【００５１】
また、上記の実施形態および各変形例に記載された構成要素は、技術的に可能であれば、本発明の技術的思想の範囲内で適宜組み合わせて実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る基板検査システムの概略構成を示す模式的なシステム構成図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係る基板検査システムの通信ネットワークの模式的な接続図である。
【図３】本発明の第１の実施形態に係る基板検査システムの情報入出力装置の表示画面の一例を示す模式図である。
【図４】本発明の第１の実施形態に係る情報入出力装置の動作について説明するフローチャートである。
【図５】本発明の第２の実施形態に係る基板検査システムの概略構成を示す模式的なシステム構成図である。
【図６】本発明の第２の実施形態に係る基板検査システムの通信ネットワークの模式的な接続図である。
【図７】本発明の第２の実施形態に係る基板検査システムの情報入出力装置の表示画面の一例を示す模式図である。
【符号の説明】
【００５３】
１、１００  基板検査システム
２  基板
５  搬送ローダ
６  レジストコータ／デベロッパー（Ｃ／Ｄ、基板製造装置）
７  露光機（基板製造装置）
８Ａ、８Ｂ  入出力端末（情報入出力装置）
９  オートマクロ検査装置（基板検査装置）
９ａ、９ｂ、１０ａ  制御部
１０  マニュアルマクロ検査装置
１１  ＬＡＮケーブル
１１ａ  スイッチングハブ
１２  データサーバー
２０  検査画像表示ウィンドウ
２１  基板画像
２２、３２  履歴リスト表示部
２２ａ  基板ＩＤ（基板識別コード）
２４、３４  コメント入力部
２４ａ、３４ａ  テキストデータ
２５  登録ボタン
２６  停止ボタン
２７  選択領域（図形データ）
２８  マーク
３０  擬似基板画像表示ウィンドウ
３１  擬似基板画像（擬似的な画像データ）
４０  ＰＣ本体
４１  モニタ
４２  操作部
４３  データ記憶部
５０  レジストコータ／デベロッパー（Ｃ／Ｄ）制御部
５１  システム制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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