(57)【要約】【課題】  ワーク保持用吸着部へ真空破壊用空気圧を供給してワークを離脱した際、圧力空気を大気開放ポートから速やかに排気すること。【解決手段】  真空破壊用３ポート切換弁３０は、供給通口３１Ｇを装置本体１０の圧力空気供給ポートＰ１へ連通させるとともに、装置本体１０の内部通路１０ａ、１０ｅを通って、真空供給用３ポート切換弁２０の弁本体２１の内部通路２１Ｇを通り、弁部材２３を介して吸着側に接続する出力ポートＰ２へ連通し、排気ポートＰ４を装置本体１０の圧力空気供給ポートＰ１とは同じ側の側面へ開口して大気中へ開放し、真空供給用３ポート切換弁２０は、真空源Ｖへ接続する真空供給ポートＰ３と出力ポートＰ２とを、装置本体１０の圧力空気供給ポートＰ１および真空破壊用３ポート切換弁３０の排気ポートＰ４と同じ側の側面へ開口した。【選択図】    図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力空気源（Ｐ）と接続する圧力空気供給ポート（Ｐ１）を有する装置本体（１０）と、前記装置本体（１０）の一方の側面に装着される真空破壊用３ポート切換弁（３０）と、前記装置本体（１０）の他方の側面に装着される真空供給用３ポート切換弁（２０）とを有する真空用切換弁装置において、
前記真空破壊用３ポート切換弁（３０）は、供給通口（３１Ｇ）を前記装置本体（１０）の圧力空気供給ポート（Ｐ１）へ連通させるとともに、前記装置本体（１０）の内部通路（１０ａ、１０ｅ）を通って、前記真空供給用３ポート切換弁（２０）の弁本体（２１）の内部通路（２１Ｇ）を通り、弁部材（２３）を介して吸着側に接続する出力ポート（Ｐ２）へ連通し、排気ポート（Ｐ４）を前記装置本体（１０）の圧力空気供給ポート（Ｐ１）とは同じ側の側面へ開口して大気中へ開放し、
前記真空供給用３ポート切換弁（２０）は、真空源（Ｖ）へ接続する真空供給ポート（Ｐ３）と前記出力ポート（Ｐ２）とを、前記装置本体（１０）の圧力空気供給ポート（Ｐ１）および前記真空破壊用３ポート切換弁（３０）の排気ポート（Ｐ４）と同じ側の側面へ開口した
ことを特徴とする真空用切換弁装置。
【請求項２】
前記装置本体（１０）に有する圧力空気供給ポート（Ｐ１）と前記真空破壊用３ポート切換弁（３０）の供給通口（３１Ｇ）とを連通する通路途中へ流量制御弁（４０）を装着し、真空破壊用圧力空気の供給量を調整可能に構成してなることを特徴とする請求項１記載の真空用切換弁装置。
【請求項３】
前記装置本体（１０）に有する圧力空気供給ポート（Ｐ１）と前記真空破壊用３ポート切換弁（３０）の供給通口（３１Ｇ）とを連通する通路途中へ圧力制御弁（１４０）を装着し、真空破壊用圧力空気の圧力を調整可能に構成してなることを特徴とする請求項１記載の真空用切換弁装置。
【請求項４】
前記圧力制御弁（１４０）が減圧弁であることを特徴とする請求項３記載の真空用切換弁装置。
【請求項５】
圧力空気源（Ｐ）と接続する圧力空気供給ポート（Ｐ１）を有する装置本体（１０）と、前記装置本体（１０）の一方の側面に装着される真空破壊用３ポート切換弁（３０）と、前記装置本体（１０）の他方の側面に装着される真空供給用３ポート切換弁（２０）とを有する真空用切換弁装置において、
前記装置本体（１０）は、前記圧力空気供給ポート（Ｐ１）と、前記圧力空気供給ポート（Ｐ１）と接続し、前記真空破壊用３ポート切換弁（３０）側に開口する通口（１０ｃ）と、前記圧力空気供給ポート（Ｐ１）と直交する方向に貫通する内部通路（１０ｄ，１０ｅ）とを有し、
前記真空供給用３ポート切換弁（２０）は、弁本体（２１）と、前記弁本体（２１）の側面に取り付けられるソレノイド（２２）と、吸着側に接続するために前記弁本体（２１）の底面側に開口する出力ポート（Ｐ２）と、真空源（Ｖ）に接続するために前記弁本体（２１）の底面側に開口する供給ポート（Ｐ３）と、前記出力ポート（Ｐ２）と接続するとともに前記弁本体（２１）の前記装置本体（１０）側の側面に開口するように前記弁本体（２１）に設けた内部通路（２１Ｇ）と、前記出力ポート（Ｐ２）と接続するために前記弁本体（２１）の前記装置本体（１０）側の側面に設けた弁用開口（２１Ａ）と、前記供給ポート（Ｐ３）と接続するために前記弁本体（２１）の前記ソレノイド（２２）側の側面に設けた開口（２１Ｂ）と、前記出力ポート（Ｐ２）と前記供給ポート（Ｐ３）とを接続するために前記弁本体（２１）に設けた連通穴（２１Ｅ）と、前記連通穴（２１Ｅ）を介して前記弁用開口（２１Ａ）と前記開口（２１Ｂ）とに配される弁部材（２３，２５）と、前記弁部材（２３，２５）を前記開口（２１Ｂ）方向へ押圧するバネ（２４）と、前記弁部材（２３，２５）を前記ソレノイド（２２）の可動鉄心（２２Ａ）を介して前記弁用開口（２１Ａ）方向へ押圧するバネ（２２Ｂ）とを有し、
前記真空破壊用３ポート切換弁（３０）は、弁本体（３１）と、前記弁本体（３１）の側面に取り付けられるソレノイド（３２）と、前記真空用切換装置内を大気側と接続するために前記弁本体（３１）の底面側に開口する排気ポート（Ｐ４）と、前記排気ポート（Ｐ４）と接続するために前記弁本体（３１）に設けた弁用開口（３１Ａ）と、前記弁用開口（３１Ａ）と接続するとともに前記弁本体（３１）の前記装置本体（１０）側に開口するように前記弁本体（３１）に設けた出力口（３１Ｊ）と、前記弁本体（３１）の前記ソレノイド（３２）側の側面に設けた開口（３１Ｂ）と、前記通口（３１Ｂ）と接続するとともに前記弁本体（３１）の前記装置本体（１０）側の側面に開口するように前記弁本体（３１）に設けた供給通口（３１Ｇ）と、前記弁用開口（３１Ａ）と前記開口（３１Ｂ）とを接続するために前記弁本体（３１）に設けた連通穴（３１Ｅ）と、前記連通穴（３１Ｅ）を介して前記弁用開口（３１Ａ）と前記開口（３１Ｂ）とに配される弁部材（３３，３５）と、前記弁部材（３３，３５）を前記開口（３１Ｂ）方向へ押圧するバネ（３４）と、前記弁部材（３３，３５）を前記ソレノイド（３２）の可動鉄心（３２Ａ）を介して前記弁用開口（３１Ａ）方向へ押圧するバネ（３２Ｂ）とを有し、
前記装置本体（１０）の通口（１０ｃ）は、前記真空破壊用３ポート切換弁（３０）の供給通口（３１Ｇ）と接続し、前記装置本体（１０）の内部通路（１０ｄ）は、前記真空破壊用３ポート切換弁（３０）の出力口（３１Ｊ）と接続し、前記装置本体（１０）の内部通路（１０ｅ）は、前記真空供給用３ポート切換弁（２０）の内部通路（２１Ｇ）と接続し、
前記真空供給用３ポート切換弁（２０）のソレノイド（２２）のＯＮ時に、前記可動鉄心（２２Ａ）が吸引され、前記真空供給ポート（Ｐ３）が前記真空供給用３ポート切換弁（２０）の開口（２２Ｂ）、前記連通穴（２１Ｅ）および前記弁用開口（２１Ａ）を介して前記出力ポート（Ｐ２）と接続され、
前記真空供給用３ポート切換弁（２０）のソレノイド（２２）のＯＦＦ時に、前記出力ポート（Ｐ２）は前記真空供給用３ポート切換弁（２０）の内部通路（２１Ｇ）、前記装置本体（１０）の内部通路（１０ｅ、１０ｄ）、前記真空破壊用３ポート切換弁（３０）の出力口（３１Ｊ）および前記真空破壊用３ポート切換弁（３０）の弁用開口（３１Ａ）を介して前記排気ポート（Ｐ４）と接続され、
前記真空破壊用３ポート切換弁（３０）のソレノイド（３２）のＯＮ時に、前記可動鉄心（３２Ａ）が吸引され、前記真空破壊用３ポート切換弁（３０）の開口（３１Ｂ）が前記連通穴（３１Ｅ）を介して前記弁用開口（３１Ａ）と接続され、前記出力口（３１Ｊ）、前記装置本体（１０）の内部通路（１０ｄ、１０ｅ）および前記真空供給用３ポート切換弁（２０）の弁用開口（２１Ａ）を介して前記出力ポート（Ｐ２）と接続される
ことを特徴とする真空用切換弁装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造分野における真空搬送装置に用いる真空用切換弁装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の真空用切換弁装置として、特許文献１（特開２００３−３１１６７１号公報）、特許文献２（特許第３８６６０２５号公報）に記載されたものが知られている。
特許文献１は、本出願人によるものであるが、このような真空用切換弁装置を搬送装置に用いた場合、所定位置まで半導体のようなワークを搬送し、ワーク保持用吸着部へ真空破壊用空気圧を供給してワークを離脱した後、吸着部から真空破壊用切換弁に至る内部通路内に圧力空気が残存しているため、吸着部がその位置に留まっていると、残留している内部の圧力空気はこの吸着部から大気中へ排出されるので、折角搬送して離脱した半導体などのワーク位置がその圧力でずれてしまったり、場合によっては吹き飛ばされたりするおそれがあり、また搬送装置が元の位置に戻った場合でも残存している圧力空気によって搬送するワークの位置がずれて所定位置を保持できなかったり、あるいは吹き飛ばしたりするおそれがあった。
【０００３】
一方、特許文献２においては、ワーク保持用吸着部へ真空破壊用空気圧を供給してワークを離脱する際、圧力空気の一部が排気ポートから常時排出される構造をしているので、ワークを離脱した後、特許文献１の構造よりは短い時間で大気圧まで下降するが、吸着部から真空破壊用切換弁に至る内部通路が長い場合には、やはり前者と同様な問題点を有するものであった。
【０００４】
そのため、全体として作業時間、即ちタクトタイムが長くかかってしまい、全体として生産性に寄与できない。また、特許文献２の構造においては、真空破壊用切換弁が作用している間は排気ポートから圧力空気の一部を排出しており、エネルギーの無駄な消費に繋がるという問題点もあった。
【特許文献１】特開２００３−３１１６７１号公報
【特許文献２】特許第３８６６０２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前述したように、従来の構造では、真空搬送したワークを離脱した際、吸着部へ導入した真空破壊用の圧力空気が、吸着部に至る配管通路内に残存しているため、その残存圧力空気がワーク離脱後も同じ吸着部から流出するため、その圧力空気が前述したような悪影響を与えるという問題があった。
本発明は斯かる従来の問題点を解決するために為されたもので、その目的は、ワーク保持用吸着部へ真空破壊用空気圧を供給してワークを離脱した際、圧力空気が排気ポートから速やかに排気することができる真空用切換弁装置を提供することにある。
【０００６】
また、本発明の別の目的は、特許文献２の従来例に示すような、真空破壊時に大気中へ常時圧力空気の一部を排出して空気消費するのではなく、真空破壊用圧力空気が有効に作用する真空用切換弁装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に係る発明は、圧力空気源と接続する圧力空気供給ポートを有する装置本体と、前記装置本体の一方の側面に装着される真空破壊用３ポート切換弁と、前記装置本体の他方の側面に装着される真空供給用３ポート切換弁とを有する真空用切換弁装置において、前記真空破壊用３ポート切換弁は、供給通口を前記装置本体の圧力空気供給ポートへ連通させるとともに、前記装置本体の内部通路を通って、前記真空供給用３ポート切換弁の弁本体の内部通路を通り、弁部材を介して吸着側に接続する出力ポートへ連通し、排気ポートを前記装置本体の圧力空気供給ポートとは同じ側の側面へ開口して大気中へ開放し、前記真空供給用３ポート切換弁は、真空源へ接続する真空供給ポートと前記出力ポートとを、前記装置本体の圧力空気供給ポートおよび前記真空破壊用３ポート切換弁の排気ポートと同じ側の側面へ開口したことを特徴とする。
【０００８】
請求項２に係る発明は、請求項１記載の真空用切換弁装置において、前記装置本体に有する圧力空気供給ポートと前記真空破壊用３ポート切換弁の供給通口とを連通する通路途中へ流量制御弁を装着し、真空破壊用圧力空気の供給量を調整可能に構成してなることを特徴とする。
請求項３に係る発明は、請求項１記載の真空用切換弁装置において、前記装置本体に有する圧力空気供給ポートと前記真空破壊用３ポート切換弁の供給通口とを連通する通路途中へ圧力制御弁を装着し、真空破壊用圧力空気の圧力を調整可能に構成してなることを特徴とする。
【０００９】
請求項４に係る発明は、請求項３記載の真空用切換弁装置において、前記圧力制御弁が減圧弁であることを特徴とする。
請求項５に係る発明は、圧力空気源と接続する圧力空気供給ポートを有する装置本体と、前記装置本体の一方の側面に装着される真空破壊用３ポート切換弁と、前記装置本体の他方の側面に装着される真空供給用３ポート切換弁とを有する真空用切換弁装置において、前記装置本体は、前記圧力空気供給ポートと、前記圧力空気供給ポートと接続し、前記真空破壊用３ポート切換弁側に開口する通口と、前記圧力空気供給ポートと直交する方向に貫通する内部通路とを有し、前記真空供給用３ポート切換弁は、弁本体と、前記弁本体の側面に取り付けられるソレノイドと、吸着側に接続するために前記弁本体の底面側に開口する出力ポートと、真空源に接続するために前記弁本体の底面側に開口する供給ポートと、前記出力ポートと接続するとともに前記弁本体の前記装置本体側の側面に開口するように前記弁本体に設けた内部通路と、前記出力ポートと接続するために前記弁本体の前記装置本体側の側面に設けた弁用開口と、前記供給ポートと接続するために前記弁本体の前記ソレノイド側の側面に設けた開口と、前記出力ポートと前記供給ポートとを接続するために前記弁本体に設けた連通穴と、前記連通穴を介して前記弁用開口と前記開口とに配される弁部材と、前記弁部材を前記開口方向へ押圧するバネと、前記弁部材を前記ソレノイドの可動鉄心を介して前記弁用開口方向へ押圧するバネとを有し、前記真空破壊用３ポート切換弁は、弁本体と、前記弁本体の側面に取り付けられるソレノイドと、前記真空用切換装置内を大気側と接続するために前記弁本体の底面側に開口する排気ポートと、前記排気ポートと接続するために前記弁本体に設けた弁用開口と、前記弁用開口と接続するとともに前記弁本体の前記装置本体側に開口するように前記弁本体に設けた出力口と、前記弁本体の前記ソレノイド側の側面に設けた開口と、前記通口と接続するとともに前記弁本体の前記装置本体側の側面に開口するように前記弁本体に設けた供給通口と、前記弁用開口と前記開口とを接続するために前記弁本体に設けた連通穴と、前記連通穴を介して前記弁用開口と前記開口とに配される弁部材と、前記弁部材を前記開口方向へ押圧するバネと、前記弁部材を前記ソレノイドの可動鉄心を介して前記弁用開口方向へ押圧するバネとを有し、前記装置本体の通口は、前記真空破壊用３ポート切換弁の供給通口と接続し、前記装置本体の内部通路は、前記真空破壊用３ポート切換弁の出力口と接続し、前記装置本体の内部通路は、前記真空供給用３ポート切換弁の内部通路と接続し、前記真空供給用３ポート切換弁のソレノイドのＯＮ時に、前記可動鉄心が吸引され、前記真空供給ポートが前記真空供給用３ポート切換弁の開口、前記連通穴および前記弁用開口を介して前記出力ポートと接続され、前記真空供給用３ポート切換弁のソレノイドのＯＦＦ時に、前記出力ポートは前記真空供給用３ポート切換弁の内部通路、前記装置本体の内部通路、前記真空破壊用３ポート切換弁の出力口および前記真空破壊用３ポート切換弁の弁用開口を介して前記排気ポートと接続され、前記真空破壊用３ポート切換弁のソレノイドのＯＮ時に、前記可動鉄心が吸引され、前記真空破壊用３ポート切換弁の開口が前記連通穴を介して前記弁用開口と接続され、前記出力口、前記装置本体の内部通路および前記真空供給用３ポート切換弁の弁用開口を介して前記出力ポートと接続されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
１．ワーク保持用吸着部へ真空破壊用空気圧を供給してワークを離脱した際、圧力空気が排気ポートから速やかに排気することができ、短時間で次の吸着動作に移行していくことができ、タクトタイムを短くすることが可能となった。
２．真空破壊時に大気中へ常時圧力空気の一部を排出して空気消費するのでなく、ワークの離脱時のみ大気中へ圧力空気を排出するように構成しているので、真空破壊用圧力空気が有効に作用するよう構成することができる。
【００１１】
３．真空破壊用切換弁において、供給破壊空気の流入量を有効に制御できるので、ワークの形状等、目的に合わせて対応することができるという実用面での効果が期待できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明を図面に示す実施形態に基づいて説明する。
図１〜図３は、本発明の第一実施形態に係る真空用切換弁装置を示す。
本実施形態に係る真空用切換弁装置は、概略直方体状の装置本体１０の両側に、２ポジション３ポート方式の電磁弁から成る真空供給用切換弁２０と真空破壊用切換弁３０とを配置することによって構成されている。
【００１３】
真空供給用切換弁２０は、弁本体２１とソレノイド２２とを有しており、弁本体２１の中央部両側面方向から夫々底面を有する弁用通口２１Ａ、２１Ｂが形成してあり、夫々の弁用通口２１Ａ、２１Ｂの底面に弁座２１Ｃ、２１Ｄが形成してある。そして、この底面間には弁座２１Ｃ、２１Ｄの周固複数個所に所定の大きさの連通穴２１Ｅが貫通形成してある。
【００１４】
弁用通口２１Ａには、装置本体１０の真空供給用切換弁２０側の側面に形成された環状突起部１０Ａが嵌合してあり、この環状突起部１０Ａと弁用通口２１Ａとによる空間には弁部材２３が配置され、この弁部材２３と装置本体１０の真空供給用切換弁２０側の側面との間にはコイルバネ２４が装着してある。環状突起部１０Ａの中心部に座ぐリ穴１０Ｂが形成され、コイルバネ２４の真空供給用切換弁２０側の端部が挿入配置されている。また、弁部材２３は、その外周部を弁支持部材２５で保持している。この弁支持部材２５は、図２に示すように、弁部材２３を支持する円環部２５Ｂと、周囲が複数個の長手方向に突出する脚部２５Ａとを有しており、この脚部２５Ａが前述した弁本体２１の連通穴２１Ｅ内を通過して伸び、コイルバネ２４の押圧力で弁部材２３によりソレノイド２２方向へ押圧され、先端がソレノイド２２の可動鉄心（プランジャー）２２Ａ端面へ当接している。さらに、このソレノイド２２の可動鉄心２２Ａは、常時コイルバネ２２Ｂにより装置本体１０方向へ押圧支持されている。そして、この時、支持部材２５の両側にコイルバネ２４とコイルバネ２２Ｂとの押圧力が作用するが、通常ソレノイド２２がＯＦＦ状態で可動鉄心２２Ａの端面の弁シート２２Ｃが弁座２１Ｄを密閉するように、コイルバネ２２Ｂをコイルバネ２４より押圧力を強く設定してある。
【００１５】
一方、真空破壊用切換弁３０は、弁本体３１とソレノイド３２とを有しており、弁本体３１の中央部両側面方向から夫々底面を有する弁用通口３１Ａ、３１Ｂが形成してあり、夫々の穴の底面に弁座３１Ｃ、３１Ｄが形成してある。そして、この底面間には弁座３１Ｃ、３１Ｄの周囲複数個所に所定の大きさの連通穴３１Ｅが貫通形成してある。
弁用通口３１Ａには、装置本体１０の真空破壊用切換弁３０側の側面に形成された環状突起部１０Ｃが嵌合してあり、環状突起部１０Ｃと弁用通口３１Ａとによる空間には弁部材３３が配置され、この弁部材３３と装置本体１０の真空破壊用切換弁３０側の側面との間にはコイルバネ３４が装着してある。環状突起部１０Ｃの中心部に座ぐり穴１０Ｄが形成され、コイルバネ３４の左端部が挿入配置されている。また、弁部材３３は、その外周部を弁支持部材３５で保持している。この弁支持部材３５は、図２に示すように、真空供給用切換弁２０と同様に、弁部材３３を支持する円環部３５Ｂと、周囲が複数個の長手方向に突出する脚部３５Ａとを有しており、この脚部３５Ａが前述した弁本体３１の連通穴３１Ｅ内を通過して伸び、コイルバネ３４の押圧力で弁部材３３をソレノイド３２方向へ押圧し、先端がソレノイド３２の可動鉄心（プランジャー）３２Ａ端面へ当接している。さらに、このソレノイド３２の可動鉄心３２Ａは、常時コイルバネ３２Ｂにより装置本体１０方向へ押圧支持されている。そしてこの時、弁支持部材３５の両側にコイルバネ３４とコイルバネ３２Ｂとの押圧力が作用するが、通常ソレノイド３２がＯＦＦ状態で可動鉄心３２Ａの瑞面の弁シート３２Ｃが弁座３１Ｄを密閉するように、コイルバネ３２Ｂをコイルバネ３４より押圧力を強く設定してある。なお、図中２６、３６は手動切換弁を示す。
【００１６】
次に、これらの２つの切換弁構造における開口と通路の構成について説明する。
図１において、装置本体１０の底面には圧力空気源へ接続される圧力供給ポートＰｌが開口し、装置本体１０の内部を垂直に形成され、途中に縮径部１０ａを有し、上端から開口するネジ穴１０ｂへ連通させている。そして、ネジ穴１０ｂ底面近くから真空破壊用切換弁３０側へ接続する通口１０ｃが開口している。また、この主弁本体１０の真空破壊用切換弁３０側の側面の下方へ形成した内部通路１０ｄは、主弁本体１０の内部を通って真空供給用切換弁２０側の上方に開口する内部通路１０ｅと繋がっている。
【００１７】
一方、真空供給用切換井２０の弁本体２１の底面部には、間隔をおいて２つのポートが開口しており、装置本体１０に近い方が、吸着パッドなどの真空機器へ接続される出力ポートＰ２、ソレノイド２２側に近い方が、真空供給源である真空発生機器（真空ポンプ等）Ｖへ接続される真空供給ポートＰ３である。出力ポートＰ２は弁用通口２１Ａへ連通し、真空供給ポートＰ３は、弁座２１Ｄの中心へ弁口２１Ｆとして開口している。また、装置本体１０の真空供給用切換弁２０側の端面に開口する内部通路１０ｅと連通する内部通路２１Ｇが、弁座２１Ｃの中心部へ２１として開口する。
【００１８】
また、真空破壊用切換弁３０の弁本体３１の底面部には、排気ポートＰ４が開口し、弁座３１Ｃの中心へ弁口３１Ｆとして開口している。
さらに、装置本体１０において、上端から開口するネジ穴１０ｂには流量制御弁４０が装着されており、その内部に長手方向に移動する弁機能が内蔵され、先端の円錐部分４１が縮径部１０ａと係合して、圧力供給ポートＰｌから流入する真空破壊用圧縮空気（正圧）の量を制御可能に構成している。即ち、通口１０ｃから供給通口３１Ｇを通って破壊用切換弁３０側へ流入する流量が制御される。また、弁用通口３１Ａは出力口３１Ｊを介して装置本体１０の開口１０ｄに連通している。
【００１９】
図３は、本実施形態に係る真空用切換弁装置の回路構成を示す。
図３に基づいて本実施形態に係る真空用切換弁装置の動作を説明する。
先ず、真空吸着時の動きを説明する。図１および図３において、真空供給用切換弁２０のソレノイド２２をＯＮする。すると、可動鉄心２２Ａがソレノイド２２方向へ吸引され、従って弁座２１Ｄが開き、真空供給ポートＰ３が弁口２１Ｆ、穴２１Ｂ、連通穴２１Ｅから弁用通口２１Ａと連通して、出力ポートＰ２と接続される。従って、真空源Ｖは、真空供給用切換弁２０内を通って真空吸着装置ＳＡへ連通し、ワークＷが吸着保持される。
【００２０】
図示していないが、これらの切換弁が搬送装置に一体化されていて保持したワークＷは所定の場所へ搬送される。
次に、所定位置に搬送されたワークＷを離脱する場合を説明する。
前述したように、真空供給用切換弁２０が作動してワークＷが所定位置に到達すると、真空供給用切換弁２０がＯＦＦする。すると、図３の状態にもどる。コイルバネ２２Ｂの押圧力により可動鉄心２２Ａとさらに弁部材２３が装置本体１０方向へ移動し、弁口２１Ｆは閉鎖し、弁口２１Ｈが開口し、出力ポートＰ２は内部通路２１Ｇ、１０ｅ、１０ｄ、出力口３ｌＪ、弁用通口３１Ａ、弁口３１Ｆを通じて排気ポートＰ４と連通し、真空吸着装置内の真空が大気側と連通し、大気が流入して真空が破壊されていく。
【００２１】
真空供給用切換弁２０がＯＦＦして僅かな時間経過後、さらに真空破壊用切換弁３０がＯＮする。すると、可動鉄心３２Ａにより密閉していた弁口孔３１Ｈが開口し、連通穴３１Ｅを通じて弁用通口３１Ａと連通する。従って、これまで排気ポートＰ４に連通していた弁用通口３１Ａ部は、圧力空気源側と連通し、真空破壊用圧力空気が急激に真空供給装置ＳＡへ流入し、吸着していたワークＷは離脱される。
【００２２】
ワークＷの所定位置への離脱が完了すると、真空破壊用切換弁３０がＯＦＦする。それにより、また図１の状態にもどる。すると、圧力供給ポートＰｌは可動鉄心３２Ａによって閉鎖される。そして、真空供給装置ＳＡへ流入していた圧力空気は、排気ポートＰ４から流出し、これらの内部通路内を大気圧へ戻していく。
図４および図５は、本発明の第二実施形態に係る真空用切換弁装置を示す。
【００２３】
本実施形態に係る真空用切換弁装置は、図４に示すように、図１における流量制御弁４０の代りに、レギュレータ（減圧弁）１４０を装着している。
このレギュレータ１４０の機能は、通常一般的な構造でよく、空気圧源からの圧力を２次側へ所定の圧力にして選出するものである。
このレギュレータ１４０は、装置本体１１０に内蔵されたカートリッジ式のものを示しており、装置本体１１０のポートＰ１と通口１１０ｃとを結ぶ垂直通路へ形成した穴１１０Ａへ、レギュレータ本体１４１が挿着される。このレギュレータ本体１４１の上部には調圧機構が内蔵され、下方には逆止弁機構が内蔵される。調圧機構はピストン１４２と、ピストン１４２を下方に押圧するバネ１４３と、ネジ１４４とから構成され、ネジ１４４を操作することでバネ１４３を介してピストン１４２を上下方向へ作動させる。
【００２４】
逆止弁機構は、球体１４５と、この球体１４５を上方へ押圧するバネ１４６からなり、ピストン１４２の先端小径部１４２ａが常時球体１４５へ当接している。
装置本体１１０の下方には、通口１４１ａが形成され、上方には通口１４１ｂが半径方向に形成され、ピストン１４３の先端小径部１４２ａが通る穴１４２ｃを通して連通するように構成されている。
【００２５】
従って、ネジ１４４を回転操作することで、ピストン１４２の先端小径部１４２ａで球体１４５を押し下げることになり、球体１４５と装置本体１１０の穴１４２ａの隙間量を制御することで、供給ポートＰ１から真空破壊用切換弁１３０を介して真空吸着側へ流入する破壊用空気圧力を所定の圧力に制御することができる。
その他の構造は、第一実施形態と同じであり、詳細な説明は省く。
【００２６】
本実施形態に係る真空用切換弁装置は、可変絞り弁４０に代えてレギュレーク（減圧弁）１４０を装置本体１１０内へ内蔵して、圧力供給ポートＰｌからの圧力空気を真空破壊用切換弁１３０へ供給させるよう構成したので、以下のような新しい効果をさらに生むことができる。
通常、減圧弁は空気圧源と弁装置の間へ接続し、後続する機器の圧力を一定にしているが、多くの空気圧機器を使用する場合、他の機器の動作によって本発明の真空切換弁装置における真空破壊用空気圧が低下したりして圧力変動の影響を受けかねないので、このように切換弁の近くへ減圧弁を配置することで前述したような圧力変動の影響を受けにくくすることができ、従って半導体等の搬送において、常時一定した条件で搬送件業が実施できる。
【００２７】
なお、本実施形態では、レギュレータ（減圧弁）１４０をカートリッジ式にして装置本体１１０へ組み込んだが、例えば、装置本体１１０の下部にサブベースを設け、このサブタンクへ内蔵して、空気圧源と接続するようにしても、同様な効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の第一実施形態を示す真空用切換弁装置の部分断面正面図である。
【図２】図１に示す弁支持部材の外観形状の斜視図である。
【図３】図１の回路説明図である。
【図４】本発明の第二実施形態を示す真空用切換弁装置の部分断面正面図である。
【図５】図４の回路説明図である。
【符号の説明】
【００２９】
１０、１１０  装置本体
１０Ａ、１０Ｃ  環状突起
１０Ｂ  座ぐり穴
２０  真空供給用切換弁
２１、３１  弁本体
２１Ａ、２１Ｂ、３１Ａ、３１Ｂ  弁用通口
２１Ｃ、２１Ｄ、３１Ｃ、３１Ｄ  弁座
２１Ｅ、３１Ｅ  連通穴
２２、３２  ソレノイド
２２Ａ、３２Ａ  可動鉄心（プランジャー）
２２Ｂ、２４、３２Ｂ、３４  コイルバネ
２３、３３  弁部材
２５、３５  弁支持部材
３０  真空破壊用切換弁
３１Ｇ  供給口
３１Ｊ  出力口
４０  流量制御弁
１４０  レギュレータ（減圧弁）
Ｐ  圧力空気源
Ｐ１  圧力供給ポート
Ｐ２  出力ポート
Ｐ３  真空供給ポート
Ｐ４  排気ポート
Ｖ  真空源
ＳＡ  真空吸着装置
Ｗ  ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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