(57)【要約】      （修正有）【課題】係合ピンの位置のばらつきに起因する係合ピンの調整穴への押し付け力のばらつきを抑制することができる位置決め装置、及び位置決め方法、並びにヘッドユニット組立装置、及びヘッドユニット組立方法を提供する。【解決手段】部材３３に形成された凹部又は穴３３ａ、３３ｂの縁に円錐台形状のテーパ部１２１ａを当接させた状態で凹部又は穴３３ａ、３３ｂに係合する調整ピン１２１と、調整ピン１２１が固定されており、部材３３に対する離接方向に移動可能に形成されたピンユニット２３４と、を有し、調整ピン１２１が凹部又は穴３３ａ、３３ｂに係合した状態で、調整ピン１２１の凹部又は穴３３ａ、３３ｂに対する離接方向における、調整ピンのテーパ部１２１ａを凹部又は穴３３ａ、３３ｂの縁に当接させる力は、ピンユニット２３４の重量に依る。【選択図】図８
2008044087.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プレートの所定の位置に部材を位置決めする位置決め装置であって、
先端側に略円錐台形状のテーパ部を有し、前記部材に形成された凹部又は穴の縁に前記テーパ部を当接させた状態で前記凹部又は前記穴に係合する調整ピンと、
当該調整ピンが固定されており、前記部材に対する離接方向に移動可能に形成されたピンユニットと、
前記ピンユニットを前記部材に対する離接方向に移動させる離接機構と、
前記ピンユニットを前記プレートの前記部材を取付ける面に平行な方向に移動させる移動機構と、を有し、
前記調整ピンが前記凹部又は前記穴に係合した状態で、前記調整ピンの前記凹部又は前記穴に対する離接方向における、前記調整ピンのテーパ部を前記凹部又は前記穴の縁に当接させる力は、前記ピンユニットの重量に依ることを特徴とする位置決め装置。
【請求項２】
前記離接機構は、
前記ピンユニットに一体に形成された第一係合部と、
離接駆動源と、
当該離接駆動源によって前記離接方向に移動可能であって、前記第一係合部の前記部材に対して近接する方向への移動を規制すると共に、前記部材から離反する方向への移動を許容するように、前記第一係合部と係合する第二係合部と、を有することを特徴とする請求項１に記載の位置決め装置。
【請求項３】
前記調整ピンと前記ピンユニットと前記離接機構との組を一対備えることを特徴とする、請求項１または２に記載の位置決め装置。
【請求項４】
前記移動機構は、前記調整ピンを前記プレートの前記部材を取付ける面に平行な第一の方向に移動させる第一軸移動機構と、
前記調整ピンを前記プレートの前記部材を取付ける面に平行であって、前記第一の方向とは異なる第二の方向に移動させる第二軸移動機構と、
前記調整ピンを前記第一の方向および前記第二の方向に直交する第三の方向に延在するＺ軸回りに回動させる回動機構と、を有することを特徴とする、請求項３に記載の位置決め装置。
【請求項５】
前記回動機構の回動中心は、２本の前記調整ピンの軸芯の中点であることを特徴とする、請求項４に記載の位置決め装置。
【請求項６】
前記ピンユニットに着脱可能な錘をさらに有することを特徴とする、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の位置決め装置。
【請求項７】
前記プレートの所定の位置に位置決めされた前記部材を当該所定の位置で固定する固定装置をさらに備えることを特徴とする、請求項１乃至６のいずれか１項に記載の位置決め装置。
【請求項８】
プレートの所定の位置に部材を位置調整して位置決めする位置決め方法であって、
先端側に略円錐台形状のテーパ部を有する調整ピンを、前記部材に形成された凹部又は穴の縁に前記テーパ部を当接させた状態で前記凹部又は前記穴に係合させる係合ステップと、
前記調整ピンが固定されたピンユニットの重量に依って前記テーパ部を前記凹部又は前記穴の縁に押し付けることで、前記調整ピンと前記凹部又は前記穴との係合状態を維持すると共に、前記調整ピンを移動させることで、前記プレートの前記部材を取付ける面に平行な方向に前記部材を移動させる移動調整ステップと、を有することを特徴とする位置決め方法。
【請求項９】
前記調整ピンを２本用い、当該２本の調整ピンのそれぞれを個別にそれぞれの前記ピンユニットに固定し、前記テーパ部を前記凹部又は前記穴の縁に押し付けるための前記ピンユニットの重量に依る力を、当該２本の調整ピンのそれぞれに個別に印加することを特徴とする請求項８に記載の位置決め方法。
【請求項１０】
前記移動調整ステップにおける移動方向は、前記プレートの前記部材を取付ける面に垂直な軸回りの回動方向を含み、前記２本の調整ピンの軸芯の中点を中心に前記部材を回動させることを特徴とする請求項８又は９に記載の位置決め方法。
【請求項１１】
前記プレートがヘッドプレートであり、前記部材が液滴吐出ヘッドであることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一項に記載の位置決め装置。
【請求項１２】
前記プレートがヘッドプレートであり、前記部材が液滴吐出ヘッドであることを特徴とする請求項８乃至１０のいずれか一項に記載の位置決め方法。
【請求項１３】
複数の液滴吐出ヘッドがユニットプレートに固定されたヘッドユニットの前記複数の液滴吐出ヘッドのそれぞれを前記ユニットプレートの所定の位置に位置決めするヘッドユニット組立装置であって、
請求項１１に記載の位置決め装置を備えることを特徴とするヘッドユニット組立装置。
【請求項１４】
複数の液滴吐出ヘッドがユニットプレートに固定されたヘッドユニットの前記複数の液滴吐出ヘッドのそれぞれを前記ユニットプレートの所定の位置に位置決めして前記ヘッドユニットを形成するヘッドユニット組立方法であって、
請求項１２に記載の位置決め方法を用いることを特徴とするヘッドユニット組立方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部材をプレート上の所定の位置に位置決めする位置決め装置、及び位置決め方法、並びに、液滴を吐出するヘッドを有するヘッドユニットのユニットプレートの所定の位置にヘッドを位置決めするヘッドユニット組立装置、及びヘッドユニット組立方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、カラー液晶装置のカラーフィルタ膜や有機エレクトロルミネセンス装置の発光膜などの機能膜を形成する技術として、液体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出装置を用いて、機能膜の材料を含む液状材料の液滴を吐出して基板上の任意の位置に着弾させ、着弾した液状材料を乾燥させて機能膜を形成する技術が知られている。このような膜形成に用いられる液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドは、そのノズル列から微小な液滴を精度良く且つ選択的に吐出することができるため、液晶表示装置のカラーフィルタの製造などの他にも、各種の電子デバイスや光デバイス等の製造装置への応用も期待されている。
【０００３】
このような応用技術を考慮すると、液滴吐出ヘッド自体の性能に加え、液滴吐出ヘッドの液滴吐出ノズルが基板の所望の位置に対向するように液滴吐出ヘッドと基板とを相対移動させる走査機構の位置精度や、その前提となる液滴吐出装置におけるノズル（ノズル列）の位置精度（組付精度）に、高い精度が要求される。また、吐出対象となる液体等によっては、液滴吐出ヘッドの寿命が短くなり、液滴吐出ヘッドの頻繁な交換も考慮する必要がある。特許文献１および特許文献２には、複数の液滴吐出ヘッドを、単一のキャリッジに安定に且つ精度良く組み付けることができるヘッドユニット組立装置および組立方法（ヘッドユニットの組立装置および組立方法、複数ＩＪヘッド搭載サブキャリッジ組立機）が開示されている。液滴吐出ヘッドを高精度で位置調整するための構成としては、液滴吐出ヘッドを固定したプレートの調整穴に係合ピンを係合させて、係合ピンで液滴吐出ヘッドを動かす構成が開示されている。液滴吐出ヘッドを微少量移動させて正確に位置決めするためには、係合ピンが調整穴と隙間なく正確に係合することが必要であることから、係合ピンの先端に円錐台形状のテーパを形成して、当該テーパ部が調整穴の縁に当るように構成することで係合ピンが調整穴と隙間なく係合するようにしている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００３―１２７３９２号公報
【特許文献２】特開２００５―２３１３０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、テーパ部を設けることにより、調整穴の穴径のばらつきなどに応じてテーパ部の調整穴の穴径と合致する部分が調整穴の縁に当接することから、調整穴の穴径のばらつきに関りなく確実に隙間なく係合させることができる反面、テーパ部の調整穴の縁に当接する軸方向の位置がばらつくことに起因して、調整穴に係合した状態の係合ピンの軸方向の位置にばらつきが発生していた。特許文献１に開示された装置のように、変位させることで力を発生させるばねのような弾性部材によって係合ピンと調整穴との係合力を得る構成では、係合ピンの軸方向の位置のばらつきに起因して、係合ピンと調整穴との係合力がばらつくという課題があった。係合ピンを介して液滴吐出ヘッドを固定したプレートを精度良く動かすためには、係合ピンを充分強い力でプレートに押し付けて、係合ピンと調整穴との係合を確実にすることが必要である。一方、係合ピンをプレートに押し付ける力によってプレートがキャリッジに強く押し付けられると動き難くなり、調整に要する力が大きくなる。即ち安定して動かすことが困難になる。従って、係合ピンをプレートに押し付ける力は、係合ピンと調整穴との係合が確実に得られると共に、プレートがキャリッジに押し付けられる力が過度にならないような力であることが必要であり、変動が少ないことが好ましい。
【０００６】
本発明は、上記課題を解決するためのものであり、係合ピンの位置のばらつきに起因する係合ピンの調整穴への押し付け力のばらつきを抑制することができる位置決め装置、及び位置決め方法、並びにヘッドユニット組立装置、及びヘッドユニット組立方法を実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明による位置決め装置は、プレートの所定の位置に部材を位置決めする位置決め装置であって、先端側に略円錐台形状のテーパ部を有し、部材に形成された凹部又は穴の縁にテーパ部を当接させた状態で凹部又は穴に係合する調整ピンと、当該調整ピンが固定されており、部材に対する離接方向に移動可能に形成されたピンユニットと、ピンユニットを部材に対する離接方向に移動させる離接機構と、ピンユニットをプレートの部材を取付ける面に平行な方向に移動させる移動機構と、を有し、調整ピンが凹部又は穴に係合した状態で、調整ピンの凹部又は穴に対する離接方向における、調整ピンのテーパ部を凹部又は穴の縁に当接させる力は、ピンユニットの重量に依ることを特徴とする。
【０００８】
本発明に係る位置決め装置によれば、ピンユニットの重量がかかることによって、調整ピンのテーパ部が凹部又は穴の縁に押圧される。ピンユニットの重量は、ピンユニットの位置に関りなく一定であることから、調整ピンの位置に影響されることなく、一定の荷重で調整ピンを凹部又は穴に押圧することができる。また、経時変化による重量の変動は実質的にないと言ってよい程度に微少であり、経時変化による弾性力の劣化が生ずる弾性部材などの付勢手段を用いる場合のような劣化に伴う荷重変化を抑制して、安定して一定の荷重で調整ピンを凹部又は穴に押圧することができる。さらに、重量は精密に調整できることから、適切な荷重を正確に実現することができる。
【０００９】
本発明において、位置決め装置は、離接機構が、ピンユニットに一体に形成された第一係合部と、離接駆動源と、当該離接駆動源によって離接方向に移動可能であって、第一係合部の部材に対して近接する方向への移動を規制すると共に、部材から離反する方向への移動を許容するように、第一係合部と係合する第二係合部と、を有することが好ましい。
【００１０】
この位置決め装置によれば、離接駆動源によって離接方向に移動可能な第二係合部が、ピンユニットと一体に形成された第一係合部と、第一係合部、即ちピンユニットが部材に対して近接する方向への移動を規制するように係合することから、離接駆動源によってピンユニットを部材に対して離反する方向に移動させることができる。また、第二係合部が、部材から離反する方向への移動を許容するように第一係合部と係合することから、第二係合部を部材に対して近接する方向に移動させることによって、調整ピンを凹部又は穴に係合させて、さらに第二係合部を部材に対して近接する方向に移動させることで、第二係合部と第一係合部との係合が解除される。これにより、ピンユニットは駆動源及び第二係合部によって支持されることなく、ピンユニットの重量によって調整ピンを凹部又は穴に押圧する状態にすることができる。
【００１１】
本発明において、位置決め装置は、調整ピンとピンユニットと離接機構との組を一対備えることが好ましい。
【００１２】
この位置決め装置によれば、一対の調整ピンによって、プレートの部材を取付ける面に平行な方向に移動させるための力を部材の２個所に印加することができる。これにより、プレートの部材を取付ける面に垂直な軸回りに部材を回動させる方向の力を、部材に印加することができる。
【００１３】
本発明において、位置決め装置は、移動機構が、調整ピンをプレートの部材を取付ける面に平行な第一の方向に移動させる第一軸移動機構と、調整ピンをプレートの部材を取付ける面に平行であって、第一の方向とは異なる第二の方向に移動させる第二軸移動機構と、調整ピンを第一の方向および第二の方向に直交する第三の方向に延在するＺ軸回りに回動させる回動機構と、を有することが好ましい。
【００１４】
この位置決め装置によれば、第一軸移動機構と第二軸移動機構とによって部材を移動させることで、部材をプレート上の任意の位置に移動させることができる。回動機構によって部材を回動させることで、部材の平面方向の延在方向を任意の方向に調整することができる。これにより、部材がプレート上の所定の位置に所定の向きで位置するように調整することができる。
【００１５】
本発明において、位置決め装置は、回動機構の回動中心が、２本の調整ピンの軸芯の中点であることが好ましい。
【００１６】
この位置決め装置によれば、部材は２本の調整ピンの中心を軸に回動させられることから、回動させられることによる部材の第一および第二の方向の移動はほとんどない。したがって、回動に伴って発生する第一および第二の方向の移動の補正が不要であるため、部材の位置調整を効率良く実行することができる。
【００１７】
本発明において、位置決め装置は、ピンユニットに着脱可能な錘をさらに有することが好ましい。
【００１８】
この位置決め装置によれば、錘を交換することで、ピンユニットの重量を容易に変更することができる。これにより、調整ピンを凹部又は穴に押圧する荷重を容易に調整することができることから、適切な荷重を容易に実現することができる。
【００１９】
本発明において、位置決め装置は、プレートの所定の位置に位置決めされた部材を当該所定の位置で固定する固定装置をさらに備えることが好ましい。
【００２０】
この位置決め装置によれば、固定装置によって、所定の位置に適切に位置決めされた部材を当該位置に固定することができる。同一の位置決め装置において、部材の位置決め及び固定が実行されることから、位置決めされた状態から固定されるまでの時間経過及び空間移動量を少なくすることができるため、位置決めされた状態が固定されるまでに変化することを抑制して、プレートの所定の位置に適切に位置決めされた部材の位置精度を維持して固定することができる。
【００２１】
本発明による位置決め方法は、プレートの所定の位置に部材を位置調整して位置決めする位置決め方法であって、先端側に略円錐台形状のテーパ部を有する調整ピンを、部材に形成された凹部又は穴の縁にテーパ部を当接させた状態で凹部又は穴に係合させる係合ステップと、調整ピンが固定されたピンユニットの重量に依ってテーパ部を凹部又は穴の縁に押し付けることで、調整ピンと凹部又は穴との係合状態を維持すると共に、調整ピンを移動させることで、プレートの部材を取付ける面に平行な方向に部材を移動させる移動調整ステップと、を有することを特徴とする。
【００２２】
本発明に係る位置決め方法によれば、ピンユニットの重量によって、調整ピンのテーパ部が凹部又は穴の縁に押圧される。ピンユニットの重量は、ピンユニットの位置に関りなく一定であることから、調整ピンの位置に影響されることなく、一定の荷重で調整ピンを凹部又は穴に押圧することができる。また、経時変化による重量の変動は実質的にないと言ってよい程度に微少であり、経時変化による弾性力の劣化が生ずる弾性部材などの付勢手段を用いる場合に発生する可能性がある劣化に伴う荷重変化を抑制して、安定して一定の荷重で調整ピンを凹部又は穴に押圧することができる。さらに、重量は精密に調整できることから、適切な荷重を正確に実現することができる。
【００２３】
本発明において、位置決め方法は、調整ピンを２本用い、当該２本の調整ピンのそれぞれを個別にそれぞれのピンユニットに固定し、テーパ部を凹部又は穴の縁に押し付けるためのピンユニットの重量に依る力を、当該２本の調整ピンのそれぞれに個別に印加することが好ましい。
【００２４】
この位置決め方法によれば、それぞれの調整ピンには、他の調整ピンに関り無くピンユニットの重量に依る力が印加される。これにより、他の調整ピンの凹部又は穴との係合状態や位置などの影響をうけることなく、一定の荷重で調整ピンを凹部又は穴に押圧することができる力を、それぞれの調整ピンに印加することができる。
【００２５】
本発明において、位置決め方法は、移動調整ステップにおける移動方向が、プレートの部材を取付ける面に垂直な軸回りの回動方向を含み、２本の調整ピンの軸芯の中点を中心に部材を回動させることが好ましい。
【００２６】
この位置決め方法によれば、部材は２本の調整ピンの中心を軸に回動させられることから、回動させられることによる部材の第一および第二の方向の移動はほとんどない。したがって、回動に伴って第一および第二の方向の移動が発生する場合には必要な第一および第二の方向の補正のための調整が不要であるため、部材の位置調整を効率良く実行することができる。
【００２７】
本発明において、位置決め装置は、プレートがヘッドプレートであり、部材が液滴吐出ヘッドであることが好ましい。
【００２８】
この位置決め装置によれば、液滴吐出ヘッドの位置決めに際して、適切な荷重を正確に実現すると共に、位置の影響や経時変化を抑制して一定の荷重で調整ピンを凹部又は穴に押圧することができる。
【００２９】
本発明において、位置決め方法は、プレートがヘッドプレートであり、部材が液滴吐出ヘッドであることが好ましい。
【００３０】
このヘッド位置決め方法によれば、適切な荷重を正確に実現すると共に、位置の影響や経時変化を抑制して一定の荷重で調整ピンを凹部又は穴に押圧することができる。
【００３１】
本発明によるヘッドユニット組立装置は、複数の液滴吐出ヘッドがユニットプレートに固定されたヘッドユニットの複数の液滴吐出ヘッドのそれぞれをユニットプレートの所定の位置に位置決めするヘッドユニット組立装置であって、上記した位置決め装置を備えることを特徴とする。
【００３２】
本発明に係るヘッドユニット組立装置によれば、位置決め装置によって、液滴吐出ヘッドをユニットプレートの所定の位置に適切に位置決めすることができる。
【００３３】
本発明によるヘッドユニット組立方法は、複数の液滴吐出ヘッドがユニットプレートに固定されたヘッドユニットの複数の液滴吐出ヘッドのそれぞれをユニットプレートの所定の位置に位置決めしてヘッドユニットを形成するヘッドユニット組立方法であって、上記した位置決め方法を用いることを特徴とする。
【００３４】
本発明に係るヘッドユニット組立方法によれば、液滴吐出ヘッドをユニットプレートの所定の位置に適切に位置決めすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
以下、本発明に係る位置決め装置、及び位置決め方法、並びにヘドユニット組立装置、及びヘドユニット組立方法について、位置決め装置の一例であるヘッドユニット組立装置におけるヘッド位置調整装置の一実施形態について図面を参照して、説明する。
【００３６】
（液滴吐出装置）
最初に、ヘッドユニット組立装置１００（図７参照）のヘッド位置調整装置１０２（図８及び図９参照）を用いて液滴吐出ヘッド４０（図２参照）の位置決めを実行したヘッドユニット３０（図５参照）を搭載する液滴吐出装置１の全体構成について、図１を参照して説明する。図１は液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図である。
【００３７】
図１に示すように、液滴吐出装置１は、液状体を液滴として吐出して着弾させる対象である基板Ｗを載置するための基板ステージ１４と、基板ステージ１４を主走査方向に移動させるＸ軸走査機構１０と、を備えている。また、複数の液滴吐出ヘッド４０（図２参照）を搭載するヘッドユニット３０（図５参照）を有するキャリッジ２２（図６参照）を備えるキャリッジユニット２０と、キャリッジユニット２０を副走査方向に移動させるＹ軸走査機構１７と、を備えている。図１に矢印で示したように、主走査方向をＸ軸方向、主走査方向（Ｘ軸方向）に略直交する副走査方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交する方向をＺ軸方向、Ｚ軸方向回りの回動方向をθ方向と表記する。
【００３８】
基板ステージ１４は、基板Ｗを真空吸着して固定する吸着テーブルであり、ステージ回動機構１６を介してＸ軸移動プレート１２に、θ方向に回動可能に固定されている。Ｘ軸走査機構１０は、Ｘ軸移動プレート１２と、床上に設置されてＸ軸方向に延在しており、Ｘ軸移動プレート１２をエアスライダ（図示省略）を介してＸ軸方向に移動させるリニアモータ１１ａを備えた一対のＸ軸ガイドレール１１，１１とを有している。一対のＸ軸ガイドレール１１，１１を挟むように、収容ボックス９が２個所配設されている。収容ボックス９内には、エアスライダに圧縮空気を供給するエアー供給手段の給気パイプや、Ｘ軸走査機構１０に駆動信号などを送る信号ケーブルなどが収容されている。
【００３９】
キャリッジユニット２０は、キャリッジプレート２１を備え、キャリッジ２２がキャリッジプレート２１にθ方向に回動可能に取付けられている。キャリッジプレート２１は、一対のＹ軸ガイドレール１８，１８に差し渡されるようにして配置されている。差し渡されたキャリッジプレート２１の上には、各液状体が貯留されたタンクから配管を経由して送り込まれた液状体を所定量貯留して、各液滴吐出ヘッド４０に液状体を供給する液状体供給ユニット２３と、各液滴吐出ヘッド４０を駆動するための電気信号を供給するヘッド用電装ユニット２４とが、載置されている。
【００４０】
Ｙ軸走査機構１７は、１０基のキャリッジユニット２０をエアスライダ（図示省略）を介してＹ軸方向に移動させるリニアモータ１８ａを備えた一対のＹ軸ガイドレール１８，１８を有している。１０基のキャリッジユニット２０はそれぞれ個別にＹ軸方向に移動可能である。一対のＹ軸ガイドレール１８，１８は、床上に間隔を置いて立脚した６本の支持スタンド１９上に、Ｘ軸走査機構１０を跨ぐように配設されている。
【００４１】
一対のＹ軸ガイドレール１８，１８の間には、キャリッジ２２（ヘッドユニット３０）に搭載された複数の液滴吐出ヘッド４０のノズルの目詰まりの解消、ノズル面の異物や汚れの除去などのメンテナンスを行うメンテナンスユニット２６が、複数の液滴吐出ヘッド４０を臨む位置に配設されている。
【００４２】
（液滴吐出ヘッド）
次に、図２を参照して液滴吐出ヘッド４０について説明する。図２は、液滴吐出ヘッドをノズル形成プレート側から見た外観斜視図である。この液滴吐出ヘッド４０は、いわゆる２連のものであり、２本の接続針４６，４６を有する液体導入部４５と、液体導入部４５の側方に連なる２連のヘッド基板４７と、液体導入部４５に連なる２連のポンプ部４８と、ポンプ部４８に連なるノズル形成プレート４１とを備えている。液体導入部４５には、配管接続部材が接続され、ヘッド基板４７には、フレキシブルフラットケーブルが接続される。一方、このポンプ部４８とノズル形成プレート４１とにより、方形のヘッド本体４０Ａが構成されている。
【００４３】
ポンプ部４８の基部側、すなわちヘッド本体４０Ａの基部側は、液体導入部４５を受けるべく方形フランジ状にフランジ部４４が形成されている。このフランジ部４４には、液滴吐出ヘッド４０を副ヘッド保持部材３３（図３参照）に固定する小ねじ用のねじ孔（雌ねじ）４９が一対形成されている。この一対のねじ孔４９，４９は、両長辺部分に位置し、且つノズル形成面４１ａの中心に対し点対称となるように配設されている。詳細は後述するが、副ヘッド保持部材３３を貫通してねじ孔４９に螺合したヘッド止めねじ３７により、液滴吐出ヘッド４０が副ヘッド保持部材３３に固定される（図３参照）。
【００４４】
ノズル形成プレート４１のノズル形成面４１ａには、ノズル形成プレート４１に形成されており液滴を吐出する吐出ノズル４２から成る２本のノズル列４３，４３が形成されている。２本のノズル列４３，４３は相互に平行に列設されており、各ノズル列４３は、等ピッチで並べた１８０個（図示では模式的に表している）の吐出ノズル４２で構成されている。すなわち、ヘッド本体４０Ａのノズル形成面４１ａには、その中心線を挟んで２本のノズル列４３，４３が対称に配設されている。
【００４５】
（液滴吐出ヘッドの取付）
次に、液滴吐出ヘッド４０のユニットプレート５１への取付構造について、図３を参照して説明する。図３は、液滴吐出ヘッドのユニットプレートへの取付構造を示す図である。図３（ａ）は、ユニットプレートに取付けられた液滴吐出ヘッドをノズルプレート側からみた平面図であり、図３（ｂ）は、図３（ａ）にＡ−Ａで示した断面の断面図である。
【００４６】
図３（ａ）及び（ｂ）に示すように、ユニットプレート５１にはヘッド開口５１ａが形成されており、主ヘッド保持部材３２がヘッド開口５１ａを略覆うように、ユニットプレート５１に固定されている。主ヘッド保持部材３２は、主ヘッド保持部材３２に形成された孔を貫通してユニットプレート５１に形成されたねじ孔に螺合した３本の保持部材ねじ３８により、ユニットプレート５１に固定されている。（以降、主ヘッド保持部材３２がセットされた側を「裏面側」と表記し、反対側を「表面側」と表記する。）
【００４７】
主ヘッド保持部材３２にはフランジ開口３２ａが形成されており、副ヘッド保持部材３３は、その長辺方向の両端部でフランジ開口３２ａを跨ぐようにして、主ヘッド保持部材３２の裏面側に固定されている。副ヘッド保持部材３３は、副ヘッド保持部材３３に形成された孔を貫通して主ヘッド保持部材３２に形成されたねじ孔に螺合した２本の保持部材ねじ３８により、主ヘッド保持部材３２に固定されている。
【００４８】
副ヘッド保持部材３３は、ステンレス等で構成されており、略長方形の平板状に形成されている。副ヘッド保持部材３３には、その中央に液滴吐出ヘッド４０のヘッド本体４０Ａが挿通する方形のヘッド本体開口３３ｄが形成されている。上記したように、副ヘッド保持部材３３は、フランジ開口３２ａを跨ぐようにして主ヘッド保持部材３２の裏面側にセットされている。これに対し液滴吐出ヘッド４０は、そのヘッド本体４０Ａをヘッド本体開口３３ｄに挿通してヘッド本体４０Ａを副ヘッド保持部材３３の裏面側に突出させるようにして、主ヘッド保持部材３２の表面側からセットされている。液滴吐出ヘッド４０は、副ヘッド保持部材３３に形成された孔を貫通してフランジ部４４に形成された一対のねじ孔４９，４９にそれぞれ螺合した２本のヘッド止めねじ３７，３７により、副ヘッド保持部材３３に固定されている。
【００４９】
副ヘッド保持部材３３のヘッド本体開口３３ｄの周囲には、上記した一対のねじ孔４９，４９に対応する２つの貫通孔、及びヘッド本体開口３３ｄの中心線上において第一調整穴３３ａと第二調整穴３３ｂとが形成されている。第一調整穴３３ａ及び第二調整穴３３ｂは、後述するヘッドユニット組立装置１００（図７参照）における位置補正用の調整ピン１２１（図８又は図９参照）が係合される部位である。この場合、一対の調整ピン１２１，１２１の係合が無理なく為されるように、第一調整穴３３ａが円形に、第二調整穴３３ｂが上記中心線方向に長い長円形に形成されている。
【００５０】
また、ヘッド本体開口３３ｄの中心線上において、第一調整穴３３ａ及び第二調整穴３３ｂのヘッド本体開口３３ｄの反対側には２つの接着剤孔３３ｃが、ヘッド本体開口３３ｄに関して略対称位置に形成されている。各接着剤孔３３ｃは副ヘッド保持部材３３の横断方向に延びる長孔となっている。接着剤孔３３ｃに接着剤を注入して、当該接着剤（図示省略）によって副ヘッド保持部材３３を主ヘッド保持部材３２に接着固定する。
【００５１】
なお、液滴吐出ヘッド４０がヘッド止めねじ３７により副ヘッド保持部材３３に固定されており、副ヘッド保持部材３３の保持部材ねじ３８および接着剤による主ヘッド保持部材３２への固定がなされていない状態では、液滴吐出ヘッド４０は、ユニットプレート５１に対して、フランジ部４４とフランジ開口３２ａとの隙間分、またはヘッド基板４７とヘッド開口５１ａとの隙間分だけ移動可能に、固定された状態となる。本実施形態では、このような状態を「仮装着」状態と表記する。副ヘッド保持部材３３及びヘッド基板４７はフランジ開口３２ａの開口より大きいため、仮装着状態の液滴吐出ヘッド４０（液滴吐出ヘッド４０が主ヘッド保持部材３２を挟んで副ヘッド保持部材３３に固定された液滴吐出ヘッド４０と副ヘッド保持部材３３との組）が主ヘッド保持部材３２から脱落することはない。液滴吐出ヘッド４０のユニットプレート５１への組み付けは、液滴吐出ヘッド４０を仮装着し、次に仮装着状態の液滴吐出ヘッド４０の位置調整を行った後に、副ヘッド保持部材３３の主ヘッド保持部材３２への接着剤による接着固定、及び保持部材ねじ３８によるねじ固定を行うことで実行される。
【００５２】
（基準ピン）
次に、液滴吐出ヘッド４０のユニットプレート５１上の位置を規定する際の基準となる基準ピン５４について、図４を参照して説明する。一対の基準ピン５４，５４（図５参照）は、ヘッドユニット３０が取付けられたキャリッジユニット２０を液滴吐出装置１に取付ける際にθ方向に位置決め（位置認識）するための基準としても用いられる。また、ヘッドユニット３０（ユニットプレート５１）をヘッドユニット組立装置１００（図７参照）に取付ける際にθ方向に位置決めするための基準としても用いられる。一対の基準ピン５４，５４のユニットプレート５１上の配置位置については後述する。
【００５３】
図４（ａ）は、基準ピンを基準マーク孔側から見た平面図であり、図４（ｂ）は、基準ピンの側面図である。図４に示すように、各基準ピン５４は、円柱状のピン本体と、ピン本体の先端面５７の中央部に形成した凹状、具体的には孔状の基準マーク孔５６とで構成されている。ピン本体は、ユニットプレート５１に圧入するための基部圧入部５４ｂと、基部圧入部５４ｂに連なる胴部５４ａと、胴部５４ａの先端に突出形成したマーク形成部５４ｃとから成り、このマーク形成部５４ｃの先端面５７に基準マーク孔５６が形成されている。
【００５４】
先端面５７は鏡面加工されており、この先端面５７の中心位置に基準マーク孔５６となる小孔が穿孔されている。小孔（基準マーク孔５６）は、例えば直径０．３ｍｍ程度のものであり、基部圧入部５４ｂから胴部５４ａにかけてその軸心部分に形成した軸心孔に連通している。なお、基準ピン５４は、断面を円形状として説明したが、楕円状でも、多角形状でも構わない。さらに、小孔の基準マーク孔５６も、小孔に限定されるものではなく、充分なコントラストが得られるような溝を持つ凹形状であればよく、その凹の平面形状も円形に限定されるものではない。
【００５５】
このように形成された基準ピン５４は、ユニットプレート５１に形成した取付用の孔部分に基部圧入部５４ｂを打ち込むようにして圧入される。ユニットプレート５１に圧入された基準ピン５４は、先端面５７の高さが、ユニットプレート５１に取付けられた液滴吐出ヘッド４０のノズル形成面４１ａ（図２又は図３参照）と略同一高さとなるように、ユニットプレート５１の裏面側から突出している。すなわち、基準ピン５４の画像認識面となる先端面５７と、液滴吐出ヘッド４０の画像認識面となるノズル形成面４１ａとが、略同一平面内に位置するようになっている。
【００５６】
（ヘッドユニット）
次に、図５を参照してヘッドユニット３０の全体構成について説明する。図５は、ヘッドユニットの外観斜視図である。図３を参照して説明したように、ヘッドユニット３０のユニットプレート５１には、主ヘッド保持部材３２及び副ヘッド保持部材３３を介して液滴吐出ヘッド４０が取付けられている。図５に示すように、１基のヘッドユニット３０は、１２個の液滴吐出ヘッド４０を備えている。ユニットプレート５１には、基準マーク孔５６（図４参照）が形成された一対の基準ピン５４，５４が固定されており、１２個の液滴吐出ヘッド４０はそれぞれ基準ピン５４に形成された基準マーク孔５６を基準として、適切な位置に位置決めして固定されている。一対の基準マーク孔５６，５６は、Ｘ軸方向に延在する直線上に配置されている。
【００５７】
ユニットプレート５１には、また、第一位置規制孔５２ａと、第二位置規制孔５２ｂと、４箇所のユニット固定孔５３とが形成されている。第一位置規制孔５２ａ及び第二位置規制孔５２ｂは、ヘッドユニット３０をキャリッジ枠６２（図６参照）に取付ける際の位置決め用として用いられる。４箇所のユニット固定孔５３は、ヘッドユニット３０をキャリッジ枠６２に固定するねじが貫通する孔である。図５に示したＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、図１に示したＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸と同一である。即ち、ヘッドユニット３０が液滴吐出装置１に取付けられた状態では、液滴吐出ヘッド４０に形成されたノズル列４３（図２参照）は、Ｙ軸方向に延在する構成になっている。
【００５８】
（キャリッジ）
次に、キャリッジ２２の全体構成について、図６を参照して説明する。図６は、ヘッドプレート側から見たキャリッジの外観斜視図である。図５を参照して説明したように、ヘッドユニット３０のユニットプレート５１には、第一位置規制孔５２ａ及び第二位置規制孔５２ｂと、ユニット固定孔５３とが形成されている。図６に示すように、ヘッドユニット３０は、キャリッジ枠６２に設けられた位置規制ピン６３をユニットプレート５１に形成された第一位置規制孔５２ａ及び第二位置規制孔５２ｂに嵌入させることで、キャリッジ枠６２に対して位置決めされている。位置決めされたヘッドユニット３０は、ユニットプレート５１に形成されたユニット固定孔５３を貫通してキャリッジ枠６２に形成されたねじ孔６４に螺合した４本のユニット固定ねじ６８，６８，６８，６８により、キャリッジ枠６２に固定されている。液状体供給ユニット２３（図１参照）に貯留された液状体は、図示省略した給液管及びバルブを経由して液滴吐出ヘッド４０に供給される。ヘッド用電装ユニット２４（図１参照）から供給される電気信号は、ＩＦ基板６９で中継されて、図示省略した配線ケーブルを経由して液滴吐出ヘッド４０に供給される。
【００５９】
上述したように、キャリッジ２２はキャリッジプレート２１（図１参照）にθ方向（Ｚ軸回り方向）に回動可能に取付けられる。キャリッジプレート２１に取付けられたキャリッジ２２をθ方向に回動させて、図６に示したＸ軸、Ｙ軸方向を、図１に示したＸ軸、Ｙ軸方向に一致させることで、液滴吐出ヘッド４０に形成されたノズル列４３の延在方向をＹ軸方向に一致させる。
【００６０】
（ヘッドユニット組立装置）
次に、ヘッドユニット３０を組立てるヘッドユニット組立装置１００について、図７を参照して説明する。ヘッドユニット組立装置１００は、上記したヘッドユニット３０を組立対象物とし、ユニットプレート５１に仮装着した１２個の液滴吐出ヘッド４０をそれぞれ精度良く位置決めして接着（一次固定）するものである。液滴吐出ヘッド４０が部材に相当し、ユニットプレート５１がプレートに相当する。なお、このヘッドユニット組立装置１００で、液滴吐出ヘッド４０を一次固定したヘッドユニット３０は、保持部材ねじ３８を用いてさらに固定する二次固定工程及び洗浄工程を経て、キャリッジ枠６２にセットされる。
【００６１】
図７は、ヘッドユニット組立装置の構成を示す模式図である。図７に示すように、ヘッドユニット組立装置１００は、ユニット移動装置１０１、ヘッド位置調整装置１０２、接着固定装置（図示省略）、及び認識装置１０４を備えている。ユニット移動装置１０１は、ヘッドユニット３０を搭載し、これをＸ軸及びＹ軸に平行な平面内においてＸ軸方向、Ｙ軸方向、θ方向に移動させる。ヘッド位置調整装置１０２は、ユニットプレート５１に仮装着されている各液滴吐出ヘッド４０の位置を適切な位置に合わせ込む位置補正を行う。接着固定装置は、接着剤孔３３ｃ（図３参照）に流入させるように接着剤を供給して、ユニットプレート５１に対して位置補正された各液滴吐出ヘッド４０を、当該位置に一次固定（接着固定）する。認識装置１０４は、液滴吐出ヘッド４０の位置補正に先立ってユニットプレート５１及び各液滴吐出ヘッド４０を位置認識する。また、ヘッドユニット組立装置１００は、これらユニット移動装置１０１、ヘッド位置調整装置１０２、接着固定装置、及び認識装置１０４を統括制御する制御装置（図示省略）を備えている。ユニット移動装置１０１、ヘッド位置調整装置１０２、接着固定装置、及び認識装置１０４は、機台１０６の上の、または機台１０６の上に設置された支持スタンド１１６に支持され設置されている。ヘッド位置調整装置１０２またはヘッド位置調整装置１０２と接着固定装置とが、位置決め装置またはヘッド位置決め装置に相当する。接着固定装置が、固定装置に相当する。
【００６２】
ユニット移動装置１０１は、組立対象物であるヘッドユニット３０を載置して保持する保持テーブル１１０と、保持テーブル１１０が固定されており、保持テーブル１１０をθ方向に回動することで保持テーブル１１０に載置されたヘッドユニット３０をθ方向に回動するユニット回動機構１０９とを備えている。ユニット移動装置１０１は、また、ユニット回動機構１０９をＸ軸方向に移動することでヘッドユニット３０をＸ軸方向に移動するＸ軸移動機構１０７と、ユニット回動機構１０９をＹ軸方向に移動することでヘッドユニット３０をＹ軸方向に移動するＹ軸移動機構１０８とを備えている。
【００６３】
Ｙ軸移動機構１０８は、Ｙ軸移動プレート１１７と、機台１０６の上にＹ軸方向に延在するように設けられており、Ｙ軸移動プレート１１７をエアスライダ（図示省略）を介してＹ軸方向に移動させるリニアモータ１１８ａをそれぞれ備えた一対のＹ軸レール１１８，１１８と、を有している。Ｘ軸移動機構１０７は、Ｘ軸移動プレート１１２と、Ｙ軸移動プレート１１７の上にＸ軸方向に延在するように設けられており、Ｘ軸移動プレート１１２をエアスライダ（図示省略）を介してＸ軸方向に移動させるリニアモータ１１１ａをそれぞれ備えた一対のＸ軸レール１１１，１１１と、を有している。ユニット回動機構１０９は、Ｘ軸移動プレート１１２に固定された固定プレート１１９ａと、図示省略した回動モータを介して固定プレート１１９ａにθ方向に回動可能に支持されている回動プレート１１９ｂとを有している。保持テーブル１１０は、回動プレート１１９ｂに固定されている。
【００６４】
保持テーブル１１０には、保持テーブル１１０に固定されるユニットプレート５１が当接する部分である略長方形のユニット受部１６２が２個所形成されている。２個所のユニット受部１６２，１６２は、Ｘ軸及びＹ軸に略平行な平面であって、Ｚ軸方向の位置が略同一の平面である。ユニット受部１６２の中央付近には位置規制ピン１６３が立設されている。１個所のユニット受部１６２には、ねじ孔１６４が２個所形成されている。ユニット受部１６２の両側には、マスク受部１６１が形成されている。マスク受部１６１は、ユニット受部１６２より高くなっている。
【００６５】
認識装置１０４は、ヘッドなどの画像を認識するためのカメラ１４３及びレンズ１４４と、対象物を照明するための照明装置１４６と、カメラ１４３及びレンズ１４４をＺ軸方向に移動してピント調節を行うためのカメラ上下機構１４７及びカメラ上下モータ１４８と、を有している。認識装置１０４は、カメラ１４３、レンズ１４４、照明装置１４６、カメラ上下機構１４７、及びカメラ上下モータ１４８の組を一対備えている。認識装置１０４は、レンズ１４４が保持テーブル１１０上に載置されたヘッドユニット３０に対向できるように、支持スタンド１１６に支持されている。
【００６６】
（ヘッド位置調整装置）
次に、ヘッド位置調整装置１０２について、図８及び図９を参照して説明する。図８は、ヘッド位置調整装置の調整ピンおよび調整ピン上下機構を示す斜視図である。図８に示すように、ヘッド位置調整装置１０２は、一対の調整ピン１２１，１２１を有している。一対の調整ピン１２１，１２１は、副ヘッド保持部材３３に形成された第一調整穴３３ａと第二調整穴３３ｂとに係合して、ユニットプレート５１に仮装着された液滴吐出ヘッド４０を適切な位置に位置決めするために微少移動させる力を副ヘッド保持部材３３に印加する。
【００６７】
調整ピン１２１は、ピンプレート２２１に立設されている。スライドプレート２２２は、Ｚ軸方向に延在する一対のステージ取付部２２２ａ，２２２ａが、図８のＺ軸方向の下端でピン取付部２２２ｂで結合されたような略Ｕ字形状をしている。ピンプレート２２１は、調整ピン１２１がＺ軸方向を向くように、スライドプレート２２２のＺ軸方向の下端のピン取付部２２２ｂにおいてスライドプレート２２２のＺ軸方向の下端に固定されている。ピンプレート２２１に立設された調整ピン１２１の先端は、副ヘッド保持部材３３に形成された第一調整穴３３ａと第二調整穴３３ｂとの穴径に対し基端側が太径に先端側が細径に形成された円錐台形状のテーパ部１２１ａが形成されている。調整ピン１２１は、テーパ部１２１ａが第一調整穴３３ａと第二調整穴３３ｂとの縁に当接する状態で、第一調整穴３３ａ又は第二調整穴３３ｂと係合する。ステージ取付部２２２ａには、調整ピン１２１を第一調整穴３３ａ又は第二調整穴３３ｂの縁に当接させる力を調節するための荷重錘２２３が、着脱可能に固定されている。ステージ取付部２２２ａの図８のＺ軸方向の上端には、略Ｕ字形状の開口側に張出したプレート係合突起２２２ｃが形成されている。
【００６８】
一対のステージ取付部２２２ａ，２２２ａのそれぞれには、固定ステージ２２４ａとの組でスライドステージ２２４を構成する可動ステージ２２４ｂが、Ｚ軸方向に延在するようにそれぞれ固定されている。一対の固定ステージ２２４ａ，２２４ａは、それぞれステージ台２２６を介して支持板２３１に固定されている。可動ステージ２２４ｂは、支持板２３１に固定された固定ステージ２２４ａに対してＺ軸方向に摺動自在に係合している。固定ステージ２２４ａと可動ステージ２２４ｂとの係合部は隙間がほとんど無いように精密に加工されており、可動ステージ２２４ｂは固定ステージ２２４ａに対してＺ軸方向以外は略固定されている。支持板２３１は支持アーム２３２に固定されており、支持アーム２３２は、後述する回動アーム２４９ｂ（図９参照）に固定されている。
【００６９】
調整ピン１２１と、ピンプレート２２１と、スライドプレート２２２と、荷重錘２２３と、一対の可動ステージ２２４ｂとの組を、スライドユニット２３４と表記する。スライドユニット２３４は、可動ステージ２２４ｂが固定ステージ２２４ａに対してＺ軸方向に摺動自在に係合していることで、支持板２３１にＺ軸方向に摺動自在に固定されている。支持板２３１には、一対のスライドユニット２３４が、それぞれＺ軸方向に摺動自在に固定されている。スライドユニット２３４が、ピンユニットに相当する。
【００７０】
支持板２３１には、また、エアシリンダ２２８が、スライドユニット２３４に対応して、スライドユニット２３４の調整ピン１２１とは反対側、即ち図８のＺ軸方向上側に固定されている。スライド軸２２９は、エアシリンダ２２８に嵌入しており、エアシリンダ２２８によって、Ｚ軸方向に上昇端位置から下降端位置の間で摺動自在、且つ上昇端位置および下降端位置において保持可能に支持されている。スライド軸２２９は、エアシリンダ２２８からＺ軸方向の下方のスライドユニット２３４に延びており、先端には、フランジ形状に張出した軸係合端突起２２９ａが形成されている。軸係合端突起２２９ａのＺ軸方向上面である軸突起上面２２９ｂと、プレート係合突起２２２ｃのＺ軸方向下面である係合突起下面２２２ｄと、が当接する状態で、スライドユニット２３４がスライド軸２２９に係止されることで、スライドユニット２３４のＺ軸方向下方への移動が規制されている。軸係合端突起２２９ａが、第二係合部に相当し、プレート係合突起２２２ｃが、第一係合部に相当する。
【００７１】
エアシリンダ２２８と、スライド軸２２９と、スライドステージ２２４との組を、調整ピン昇降機構２２７と表記する。調整ピン昇降機構２２７とプレート係合突起２２２ｃとが、離接機構に相当する。スライドユニット２３４と、調整ピン昇降機構２２７と、ステージ台２２６と、支持板２３１と、支持アーム２３２と、を総称して、アームユニット２３０と表記する。
【００７２】
図８に示したスライドユニット２３４は、調整ピン１２１が二点鎖線で示した副ヘッド保持部材３３に形成された第一調整穴３３ａ又は第二調整穴３３ｂに係合することで、図８に示した位置に停止している。スライド軸２２９は、下降端位置にあり、軸突起上面２２９ｂと、係合突起下面２２２ｄとは離反している。調整ピン１２１が第一調整穴３３ａ又は第二調整穴３３ｂを押圧する荷重は、スライドユニット２３４の重量である。スライド軸２２９がエアシリンダ２２８によって図８に示した下降端位置から上昇端位置に移動されると、軸突起上面２２９ｂと、係合突起下面２２２ｄとが当接して、スライドユニット２３４は持ち上げられ、調整ピン１２１が第一調整穴３３ａ又は第二調整穴３３ｂから抜かれて、係合が解除される。
【００７３】
次に、アームユニット２３０をＸ軸およびＹ軸に平行な平面方向に移動させるアームユニット移動機構２４０について説明する。ヘッド位置調整装置１０２は、アームユニット２３０と、アームユニット移動機構２４０と、を備えている。図９は、アームユニット移動機構の概要を示す斜視図である。図９に示すように、アームユニット移動機構２４０は、支持スタンド１１６（図７参照）に固定された補正装置台２４３の上に構成されており、調整Ｘ軸機構２３７、調整Ｙ軸機構２３８、および調整回動機構２３９、を備えている。アームユニット移動機構２４０が、移動機構に相当する。
【００７４】
調整回動機構２３９は、アームユニット２３０をθ方向に回動する。調整Ｙ軸機構２３８は、調整回動機構２３９をＹ軸方向に移動することでアームユニット２３０の調整ピン１２１をＹ軸方向に移動する。調整Ｘ軸機構２３７は、調整回動機構２３９をＸ軸方向に移動することでアームユニット２３０の調整ピン１２１をＸ軸方向に移動する。調整回動機構２３９が、回動機構に相当し、調整Ｙ軸機構２３８が、第一軸移動機構または第二軸移動機構に相当し、調整Ｘ軸機構２３７が、第一軸移動機構または第二軸移動機構に相当する。
【００７５】
調整Ｘ軸機構２３７は、Ｘ軸移動プレート２４２と、補正装置台２４３の上にＸ軸方向に延在するように設けられており、Ｘ軸移動プレート２４２をエアスライダ（図示省略）を介してＹ軸方向に移動させるリニアモータ２４１ａを備えた一対のＸ軸レール２４１，２４１とを有している。調整Ｙ軸機構２３８は、Ｙ軸移動プレート２４７と、Ｘ軸移動プレート２４２の上にＹ軸方向に延在するように設けられており、Ｙ軸移動プレート２４７をエアスライダ（図示省略）を介してＹ軸方向に移動させるリニアモータ２４８ａを備えた一対のＹ軸レール２４８，２４８とを有している。調整回動機構２３９は、Ｙ軸移動プレート２４７に固定された補正用固定プレート２４９ａと、図示省略した回動モータを介して補正用固定プレート２４９ａにθ方向に回動可能に支持されている回動アーム２４９ｂとを有している。上述したように、アームユニット２３０が回動アーム２４９ｂに固定されている。回動アーム２４９ｂは、図９に一点鎖線で示した回動軸１２１Ｇを回動中心軸として回動する。回動軸１２１Ｇは、Ｚ軸に平行な軸である。アームユニット２３０は、一対の調整ピン１２１，１２１のそれぞれの軸が回動軸１２１Ｇに平行であり、回動軸１２１Ｇに関して対称な位置に位置するように、回動アーム２４９ｂに固定されている。
【００７６】
（ヘッドユニット組立方法）
次に、ヘッドユニット３０を組立てるヘッドユニット組立装置１００による組立方法について、図１０を参照して詳細に説明する。図１０は、ヘッドユニット組立装置によるヘッドユニットの組立過程を示すフローチャートである。
【００７７】
作業の実行に先立ち、保持テーブル１１０にアライメントマスクを導入し、認識装置１０４によりアライメントマスクの基準マークを画像認識する。基準マークは、基準ピン５４に形成された基準マーク孔５６（図４参照）の位置、及び基準マーク孔５６を基準とした各液滴吐出ヘッド４０の位置すべき基準位置を、印したものである。ヘッドユニット組立装置１００は、画像認識した基準位置データを記憶し、この基準位置データ（マスタデータ）に基づいて各液滴吐出ヘッド４０の位置補正が行われる。なお、アライメントマスクは、新規のヘッドユニット３０の導入組立時はもとより、同一のヘッドユニット３０であっても、その組立個数や稼動時間に基づいて、定期的に導入される。もちろん、その際に基準位置データはリセットされる。
【００７８】
ヘッドユニット組立装置１００には、液滴吐出ヘッド４０が仮装着されたヘッドユニット３０がセットされる。ヘッドユニット３０は、各液滴吐出ヘッド４０のヘッド本体４０Ａを上向きにして保持テーブル１１０の上面にセットされる。ヘッドユニット３０が保持テーブル１１０の上面にセットされて、ヘッドユニット組立装置１００による液滴吐出ヘッド４０の位置調整であるヘッドユニット３０の組立工程を開始する。
【００７９】
図１０のステップＳ１では、認識装置１０４によって一対の基準ピン５４，５４の一方の基準ピン５４に形成された基準マーク孔５６を認識することで、基準マーク孔５６の位置を検出する。
【００８０】
次に、ステップＳ２では、認識装置１０４が一対の基準ピン５４，５４の他方の基準ピン５４に形成された基準マーク孔５６を認識できるようにするために、他方の基準ピン５４が認識装置１０４に臨む位置になるように、Ｘ軸移動機構１０７によって、保持テーブル１１０にセットされているヘッドユニット３０をＸ軸方向に移動させる。
【００８１】
次に、ステップＳ３では、認識装置１０４が一対の基準ピン５４，５４の他方の基準ピン５４に形成された基準マーク孔５６を認識することで、もう一方の基準マーク孔５６の位置を検出する。
【００８２】
次に、ステップＳ４では、ステップＳ１で認識した一方の基準マーク孔５６の位置と、ステップＳ３で認識したもう一方の基準マーク孔５６の位置とのＹ軸方向のずれ量が規格を満たすか否かを判定する。図５を参照して説明したように、一対の基準マーク孔５６，５６は、Ｘ軸方向に延在する直線上に配置されている。即ち一方の基準マーク孔５６の位置と、他方の基準マーク孔５６の位置とのＹ軸方向のずれは、ヘッドユニット３０がθ方向に傾いていることにより発生する。
【００８３】
Ｙ軸方向のずれ量が規格を満たさない場合（ステップＳ４でＮＯ）は、ステップＳ５に進む。ステップＳ５では、ユニット回動機構１０９によって、保持テーブル１１０上のヘッドユニット３０をθ方向に回動させることで、ヘッドユニット３０の方向を調整する。ヘッドユニット３０をθ方向に回動させることで、Ｙ軸方向のずれを是正することができる。ステップＳ５の次にはステップＳ１に進み、ステップＳ１からステップＳ４を繰り返す。
【００８４】
Ｙ軸方向のずれ量が規格を満たす場合（ステップＳ４でＹＥＳ）は、ステップＳ６に進む。ステップＳ６では、予め取得してある基準位置データ上の基準マーク孔５６の位置に認識された基準マーク孔５６の位置が合致するように、Ｘ軸移動機構１０７と、Ｙ軸移動機構１０８と、を用いて、保持テーブル１１０上のヘッドユニット３０をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動する。
【００８５】
次に、ステップＳ７では、認識装置１０４によって液滴吐出ヘッド４０の位置を検出する。液滴吐出ヘッド４０の検出は、液滴吐出ヘッド４０の吐出ノズル４２を、認識装置１０４によって認識することで行う。例えば、ノズル列４３の両端の吐出ノズル４２を認識する。
【００８６】
次に、ステップＳ８では、ステップＳ７で認識した液滴吐出ヘッド４０の位置の、予め取得してある基準位置データ上の液滴吐出ヘッド４０の位置とのずれ量が、規格を満たすか否かを判定する。
【００８７】
ずれ量が規格を満たさない場合（ステップＳ８でＮＯ）は、ステップＳ９に進む。ステップＳ９では、ヘッド位置調整装置１０２により、液滴吐出ヘッド４０の位置補正を行う。ヘッド位置調整装置１０２と認識装置１０４との位置関係は、認識装置１０４によって液滴吐出ヘッド４０の吐出ノズル４２を認識することができる位置に液滴吐出ヘッド４０が位置する場合には、ヘッド位置調整装置１０２の一対の調整ピン１２１，１２１は、液滴吐出ヘッド４０が固定された副ヘッド保持部材３３に形成された第一調整穴３３ａと第二調整穴３３ｂに臨んで位置するような位置関係になっている。
【００８８】
エアシリンダ２２８によって上昇端位置に係止されていたスライド軸２２９を、エアシリンダ２２８によって下降端位置に下降させることで、図８に示したように、調整ピン１２１が副ヘッド保持部材３３に形成された第一調整穴３３ａ又は第二調整穴３３ｂに係合する。図８を参照して説明したように、スライドユニット２３４は、調整ピン１２１が第一調整穴３３ａ又は第二調整穴３３ｂに係合することで、図８に示した位置に停止している。スライド軸２２９は、下降端位置にあり、軸突起上面２２９ｂと、係合突起下面２２２ｄとは離反している。調整ピン１２１は、スライドユニット２３４の重量によって第一調整穴３３ａ又は第二調整穴３３ｂの縁に押圧されている。このように調整ピン１２１を第一調整穴３３ａ又は第二調整穴３３ｂに係合させる工程が、係合ステップに相当する。
【００８９】
調整ピン１２１が、スライドユニット２３４の重量によって第一調整穴３３ａ又は第二調整穴３３ｂの縁に押圧されている状態を保ったままで、アームユニット移動機構２４０の調整Ｘ軸機構２３７と調整Ｙ軸機構２３８とによって、Ｘ軸およびＹ軸に平行な方向に第一調整穴３３ａ及び第二調整穴３３ｂに係合した一対の調整ピン１２１，１２１を同時に同方向に移動させる。また、調整回動機構２３９によって、一対の調整ピン１２１，１２１を回動軸１２１Ｇを中心にθ方向に回動させる。これらの調整ピン１２１の微少移動によって、ユニットプレート５１に仮装着された液滴吐出ヘッド４０を微少移動させることで、認識した液滴吐出ヘッド４０を、予め取得してある基準位置データ上の液滴吐出ヘッド４０の位置に移動させて、当該位置に位置決めする。アームユニット移動機構２４０によって液滴吐出ヘッド４０を微少移動させて位置決めする工程が、移動調整ステップに相当する。
【００９０】
ステップＳ９の次には、一対の調整ピン１２１，１２１が、それぞれ第一調整穴３３ａまたは第二調整穴３３ｂに係合している状態を維持しながらステップＳ７に進み、ステップＳ７およびステップＳ８を繰り返す。
【００９１】
ずれ量が規格を満たす場合（ステップＳ８でＹＥＳ）は、この位置決め完了状態を維持しつつ、ステップＳ１０に進む。位置決め完了状態を維持するためには、一対の調整ピン１２１，１２１が、それぞれ第一調整穴３３ａまたはと第二調整穴３３ｂに係合している状態を維持する。ステップＳ１０では、接着固定装置によって、接着剤孔３３ｃに接着剤を注入することによって、接着剤孔３３ｃの内面、及び接着剤孔３３ｃに臨む主ヘッド保持部材３２の面に接着剤を塗布することで、副ヘッド保持部材３３の主ヘッド保持部材３２への接着剤による接着固定を実行する。接着剤注入後、当該接着剤が略硬化するまで、一対の調整ピン１２１，１２１が、それぞれ第一調整穴３３ａまたは第二調整穴３３ｂに係合している状態を維持することで、接着剤が硬化する過程で変形することによる液滴吐出ヘッド４０の新たな位置ずれの発生を抑制する。
【００９２】
次に、ステップＳ１１では、ヘッドユニット３０の１２個の液滴吐出ヘッド４０の全てについて、位置決め及び接着固定が実行されたか否かを判定する。１２個の液滴吐出ヘッド４０の全てについて、位置決め及び接着固定が実行されていない場合（ステップＳ１１でＮＯ）は、ステップＳ７に進み、位置決め及び接着固定が実行されていない液滴吐出ヘッド４０について、ステップＳ７からステップＳ１１を繰り返す。
【００９３】
１２個の液滴吐出ヘッド４０の全てについて、位置決め及び接着固定が完了していた場合（ステップＳ１１でＹＥＳ）は、ヘッドユニット組立装置１００によるヘッドユニット３０の組立過程を終了する。
【００９４】
さらに、手作業によって、保持部材ねじ３８を用いて、副ヘッド保持部材３３を、主ヘッド保持部材３２に固定することで、図３を参照して説明したように、液滴吐出ヘッド４０がユニットプレート５１に固定される。
【００９５】
以下、実施形態の効果を記載する。本実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）調整ピン１２１は、スライドユニット２３４の重量によって第一調整穴３３ａ又は第二調整穴３３ｂの縁に押圧される。スライドユニット２３４の重量は、調整ピン１２１の位置に関りなく一定であることから、調整ピン１２１の位置に影響されることなく、一定の荷重で調整ピン１２１を第一調整穴３３ａ又は第二調整穴３３ｂの縁に押圧することができる。
【００９６】
（２）調整ピン１２１は、スライドユニット２３４の重量によって第一調整穴３３ａ又は第二調整穴３３ｂの縁に押圧される。スライドユニット２３４の重量は、調整ピン１２１の位置に関りなく一定であることから、主ヘッド保持部材３２や副ヘッド保持部材３３の板圧や第一調整穴３３ａや第二調整穴３３ｂの穴径などの寸法ばらつきがあっても影響を受けることなく、一定の荷重で調整ピン１２１を第一調整穴３３ａ又は第二調整穴３３ｂの縁に押圧することができる。
【００９７】
（３）調整ピン１２１は、スライドユニット２３４の重量によって第一調整穴３３ａ又は第二調整穴３３ｂの縁に押圧される。スライドユニット２３４の経時変化による重量の変動は実質的にないと言ってよい程度に微少であり、安定して一定の荷重で調整ピン１２１を第一調整穴３３ａ又は第二調整穴３３ｂに押圧することができる。
【００９８】
（４）スライドユニット２３４はＺ軸方向に摺動自在に固定されており、軸係合端突起２２９ａのＺ軸方向上面である軸突起上面２２９ｂと、プレート係合突起２２２ｃのＺ軸方向下面である係合突起下面２２２ｄと、が当接する状態で、スライドユニット２３４がスライド軸２２９に係止されることで、スライドユニット２３４のＺ軸方向下方への移動が規制されている。当該軸係合端突起２２９ａとプレート係合突起２２２ｃとの係合は、スライドユニット２３４のＺ軸方向上方への移動は規制しないため、調整ピン１２１が第一調整穴３３ａ又は第二調整穴３３ｂに当接すると、軸係合端突起２２９ａとプレート係合突起２２２ｃとの係合が解除されて、調整ピン１２１が、スライドユニット２３４の重量によって第一調整穴３３ａ又は第二調整穴３３ｂに押圧される状態にすることができる。
【００９９】
（５）一対の調整ピン１２１，１２１のそれぞれの軸が回動軸１２１Ｇに平行であり、回動軸１２１Ｇに関して対称な位置に位置しており、回動アーム２４９ｂは、当該回動軸１２１Ｇを回動中心軸として回動する。したがって、一対の調整ピン１２１，１２１はその中点を中心に回動するため、液滴吐出ヘッド４０もその略中心位置を軸に回動される。これにより、液滴吐出ヘッド４０が回動されることでその方向を調整されても、Ｘ軸方向やＹ軸方向の移動は殆ど生じない。方向を調整することによって生ずる、Ｘ軸方向やＹ軸方向の位置ずれをさらに調整することが殆ど不要であり、効率良く液滴吐出ヘッド４０の位置決めを実行することができる。
【０１００】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明の実施形態は、前記実施形態に限らない。本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。
【０１０１】
（変形例１）前記実施形態においては、ヘッドユニット３０における液滴吐出ヘッド４０のユニットプレート５１への位置決め装置及び位置決め方法を例に説明したが、位置決めの対象物が液滴吐出ヘッドであることは必須ではない。位置決めの対象物は、調整ピン１２１が係合する凹部又は穴を一体に形成できる部材であれば、どのような部材であってもよい。
【０１０２】
（変形例２）前記実施形態においては、ヘッドユニット組立装置１００は、ヘッドユニット３０を搭載し、これをＸ軸方向、Ｙ軸方向、θ方向に移動させるユニット移動装置１０１と、アームユニット２３０をＸ軸方向、Ｙ軸方向、θ方向に移動させることで、アームユニット２３０の調整ピン１２１が係合した副ヘッド保持部材３３（液滴吐出ヘッド４０）をユニットプレート５１に対して移動させるアームユニット移動機構２４０とを備えていたが、ユニット移動装置１０１とアームユニット移動機構２４０との双方を備えることは必須ではない。ユニット移動装置１０１またはアームユニット移動機構２４０を備え、調整ピン１２１を第一調整穴３３ａおよび第二調整穴３３ｂに係合させた状態で、ユニット移動装置１０１を用いてユニットプレート５１側を移動させる方法、または、アームユニット移動機構２４０を用いて液滴吐出ヘッド４０側を移動させる方法で、液滴吐出ヘッド４０の位置調整を実行することもできる。
【０１０３】
（変形例３）前記実施形態においては、スライドユニット２３４を昇降させる駆動源としてエアシリンダ２２８を用いていたが、駆動源がエアシリンダであることは必須ではない。スライドユニット２３４（調整ピン１２１）の駆動源としては、モータやソレノイドなどを使用してもよい。
【０１０４】
（変形例４）前記実施形態においては、軸係合端突起２２９ａと、プレート係合突起２２２ｃとを係合させてスライドユニット２３４を上昇させ、調整ピン１２１が第一調整穴３３ａ又は第二調整穴３３ｂに当接した状態では、軸係合端突起２２９ａと、プレート係合突起２２２ｃとの係合が解除されるようにすることで、調整ピン１２１が、スライドユニット２３４の重量によって押圧されるようにしていた。しかし、調整ピン１２１が、スライドユニット２３４の重量によって押圧されるようにするために、軸係合端突起２２９ａと、プレート係合突起２２２ｃとを設けることは必須ではない。電圧を印加しない状態では保持力が発生しないアナログモータを用いて、スライドユニット２３４を上昇させる場合にのみ電圧を印加し、スライドユニット２３４を下降させて調整ピン１２１を第一調整穴３３ａ又は第二調整穴３３ｂに係合させる場合には、電圧を印加しないことで、自重で降下させる構成または方法であってもよい。
【０１０５】
（変形例５）前記実施形態においては、１基のヘッドユニット３０の１２個の液滴吐出ヘッド４０について接着剤を用いる固定が完了した後に、保持部材ねじ３８を用いる副ヘッド保持部材３３の主ヘッド保持部材３２への固定を実行していたが、１２個の液滴吐出ヘッド４０について接着固定完了後に保持部材ねじ３８を用いるねじ固定を実行することは必須ではない。液滴吐出ヘッド４０のそれぞれ一個所毎に、接着固定に続いてねじ固定を実行してもよい。
【０１０６】
（変形例６）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド４０の位置を検出し、位置補正の必要がある場合に一対の調整ピン１２１，１２１を、第一調整穴３３ａと第二調整穴３３ｂとに係合させていたが、位置補正の必要がある場合にのみ係合させることは必須ではない。液滴吐出ヘッド４０の位置を検出するために吐出ノズル４２を認識する前に一対の調整ピン１２１，１２１を、第一調整穴３３ａと第二調整穴３３ｂとに係合させてもよい。位置補正が不要の場合であっても、調整ピン１２１，１２１が、第一調整穴３３ａと第二調整穴３３ｂとに係合していることで、接着工程などにおいてずれが生ずることを抑制することができる。
【０１０７】
（変形例７）前記実施形態においては、ヘッドユニット組立装置１００による組立工程は、接着固定することで終了していたが、接着固定完了後、再度液滴吐出ヘッド４０の位置確認を行っても良い。組立（液滴吐出ヘッド４０の位置調整）結果を検証することができることから、ヘッドユニット３０の信頼性が向上する。
【０１０８】
（変形例８）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド４０のユニットプレート５１上の位置を規定する際などの基準として、基準ピン５４に形成された小孔である基準マーク孔５６を用いていたが、基準が孔であることは必須ではない。認識装置１０４によって明瞭に検出することができるものであればよい。微小経の突起の頂上を基準として用いてもよい。
【０１０９】
（変形例９）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド４０のユニットプレート５１上の位置を規定する際などの基準として、基準ピン５４に形成された小孔である基準マーク孔５６を用いていたが、基準マーク孔５６を基準ピン５４に形成することは必須ではない。ユニットプレート５１に直接基準マーク孔５６を形成してもよい。ユニットプレート５１に直接基準マーク孔５６を形成することで、基準ピン５４の形状誤差の影響を排除して、より正確な位置に基準マーク孔５６を形成することができる。
【０１１０】
（変形例１０）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド４０は、副ヘッド保持部材３３および主ヘッド保持部材３２を介してユニットプレート５１に固定されていたが、副ヘッド保持部材３３および主ヘッド保持部材３２を介することは必須ではない。主ヘッド保持部材３２を用いない構成や、液滴吐出ヘッド４０に調整ピン１２１が係合する調整穴を形成して副ヘッド保持部材３３および主ヘッド保持部材３２を用いない構成であってもよい。副ヘッド保持部材３３および主ヘッド保持部材３２を用いることによる液滴吐出ヘッド４０の着脱性の容易さは失われるが、部品点数を減らし、ヘッドユニットを小型化及び軽量化することができる。
【０１１１】
（変形例１１）前記実施形態においては、調整ピン１２１は、位置調整のための力を印加する対象である副ヘッド保持部材３３に形成された穴である第一調整穴３３ａ及び第二調整穴３３ｂと係合していたが、調整ピン１２１と係合する係合部分が穴であることは必須ではない。調整ピン１２１が嵌入できる溝などの凹部であってもよい。
【０１１２】
（変形例１２）前記実施形態においては、調整ピン１２１を第一調整穴３３ａ又は第二調整穴３３ｂの縁に当接させる力を調節するための荷重錘２２３を設けていたが、荷重用の錘を設けることは必須ではない。調整ピン１２１を保持及び昇降させるための構成要素で適切な荷重が実現できる重量に調整できればよい。
【図面の簡単な説明】
【０１１３】
【図１】液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図。
【図２】液滴吐出ヘッドをノズル形成プレート側から見た外観斜視図。
【図３】（ａ）ユニットプレートに取付けられた液滴吐出ヘッドをノズルプレート側からみた平面図。（ｂ）図３（ａ）にＡ−Ａで示した断面の断面図。
【図４】（ａ）基準ピンを基準マーク孔側から見た平面図。（ｂ）基準ピンの側面図。
【図５】ヘッドユニットの外観斜視図。
【図６】ヘッドプレート側から見たキャリッジの外観斜視図。
【図７】ヘッドユニット組立装置の構成を示す模式図。
【図８】ヘッド位置調整装置の調整ピンおよび調整ピン上下機構を示す斜視図。
【図９】アームユニット移動機構の概要を示す斜視図。
【図１０】ヘッドユニット組立装置によるヘッドユニットの組立過程を示すフローチャート。
【符号の説明】
【０１１４】
１…液滴吐出装置、２２…キャリッジ、３０…ヘッドユニット、３２…主ヘッド保持部材、３３…副ヘッド保持部材、３３ａ…第一調整穴、３３ｂ…第二調整穴、４０…液滴吐出ヘッド、５１…ユニットプレート、１００…ヘッドユニット組立装置、１０１…ユニット移動装置、１０２…ヘッド位置調整装置、１０４…認識装置、１２１…調整ピン、１２１Ｇ…回動軸、１２１ａ…テーパ部、２２１…ピンプレート、２２２…スライドプレート、２２２ｃ…プレート係合突起、２２４…スライドステージ、２２７…調整ピン昇降機構、２２８…エアシリンダ、２２９…スライド軸、２２９ａ…軸係合端突起、２３０…アームユニット、２３２…支持アーム、２３４…スライドユニット、２３７…調整Ｘ軸機構、２３８…調整Ｙ軸機構、２３９…調整回動機構、２４０…アームユニット移動機構、２４１…Ｘ軸レール、２４２…Ｘ軸移動プレート、２４７…Ｙ軸移動プレート、２４８…Ｙ軸レール、２４９ａ…補正用固定プレート、２４９ｂ…回動アーム。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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