(57)【要約】【課題】高画質記録と高速記録を両立できる液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置を提供する。【解決手段】液滴吐出ヘッド１０にはイジェクタ２０が２次元状にマトリクス配列され、列間に液流方向の異なる共通流路１４Ａ、１４Ｂが交互に配置され、それぞれ共通流路本流１２Ａ、１２Ｂからインクが供給されている。共通流路本流１２Ａ、１２Ｂは各イジェクタ２０に第１連通路１６、第２連通路１８を介してインクを供給する共通流路１４Ａ、１４Ｂにインクを供給している。これによりイジェクタ２０は第１連通路１６、第２連通路１８からそれぞれ逆方向の液流による背圧が作用する。これにより、２次元状に配列された全てのイジェクタ２０に対して、作用する背圧をほぼ一定にすることが可能となる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
イジェクタ内の圧力室に設けられた圧力発生手段を駆動することで前記圧力室内の液を加圧し、前記圧力室に連通したノズルから液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドであって、前記イジェクタが複数の連結路を介して，強制的な液流が形成された共通流路と複数箇所において連結されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
前記連結路と前記共通流路が連結されている複数箇所における前記共通流路内圧力の平均値が，液滴吐出ヘッド内に具備された複数のイジェクタ間でほぼ同一となるように，前記連結路と前記共通流路との連結点が設定されていることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
前記イジェクタを行と列に沿った２次元配置とし、前記行と前記列ごとに前記共通流路を設けたことを特徴とする請求項１乃至請求項２の何れかに記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
前記イジェクタは２つの前記共通流路の間に設けられたことを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れかに記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
隣接する２つの前記共通流路には互いに逆方向の液流が形成され、前記イジェクタは少なくとも２つの前記連通路で前記隣接する２つの共通流路にそれぞれ連結されたことを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れかに記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項６】
前記連通路の一つは前記圧力室の吐出面に近い端に設けられ、前記連通路の一つは前記圧力室の他端に設けられたことを特徴とする請求項１乃至請求項５の何れかに記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項７】
前記連通路の一つは前記圧力室の前記ノズルに近い端に設けられ、前記連通路の一つは前記圧力室の他端に設けられたことを特徴とする請求項１乃至請求項６の何れかに記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７の何れかに記載の液滴吐出ヘッドを備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置に関し、特に圧電素子で微小インク滴を吐出するインクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、インクジェットプリンタに代表される液滴吐出装置では高画質記録と高速記録の両立が求められている。特に、インクの滲みや裏写りが発生しやすい普通紙に対しても、高い画質で記録を実行できる液滴吐出装置が強く求められている。
【０００３】
普通紙に対して高画質記録を行うためには、高い記録解像度を確保すると共に、インクの滲み／浸透を防止するために、粘度の高いインク(色材濃度の高いインク)を使用することが有効である。
【０００４】
また，高速記録を実現するためには１パスで高解像度記録を行う必要があり、これに適した液滴吐出ヘッドとして、所謂マトリクス型ヘッドが提案されている。マトリクス型ヘッドはイジェクタが２次元に平面配列されているため、１パスで高解像度記録（３００ｄｐｉ以上）を実行することができる。２次元に配列された各イジェクタは図７に示すように共通流路に連結されており、インクの供給が行われる。
【０００５】
しかし、上記の高粘度インクとマトリクス型ヘッドを組み合わせた場合、共通流路の流路抵抗が過大となり、安定な液滴吐出を実行することが困難となるといった問題がある。すなわち、マトリクス型ヘッドでは共通流路が各イジェクタの間に配置されるため、共通流路に大きな断面積を確保することが難しく、流路抵抗が大きくなりやすい。共通流路の断面積を増加するとヘッドサイズが増加してしまうため、ドットの高密度化／装置サイズの点で問題となる。加えて、断面積の小さい共通流路で高粘度インクを用いると共通流路の流路抵抗が非常に大きくなるため、各イジェクタに対して十分なインク供給を行うことができなくなり、高周波で安定な液滴吐出を実行することが困難となってしまう。
【０００６】
インク供給が不十分になることに対する対策の一つとして，共通流路内のインクを循環させることによりインク供給をアシストする方法が開示されている（例えば、特許文献１、２参照）。図７は，インク循環を適用した従来のマトリクス型ヘッドのイジェクタおよび共通流路の配置を示した図である。イジェクタ１２０は２次元状にマトリクス配列され、列間に共通流路１１４が配置されている。イジェクタ１２０は共通流路１１４と連通路１１６（インク供給路）を介して連結され、共通流路１１４からイジェクタ１２０へのインク供給が行われる。共通流路１１４には、イジェクタ１２０へのインク供給をアシストするために、矢印方向にインク循環流が形成されている。
【０００７】
しかしながら，上記のようなインク循環を用いた従来のマトリクス型ヘッドでは，共通流路の流路抵抗に起因した背圧ばらつきが発生してしまうという問題があった。すなわち，共通流路１１４に大きな流路抵抗（Ｒ）が発生する場合，この共通流路１１４に強制的なインク循環流（流量をＱとする）を発生させると，共通流路１１４に沿ってインクに圧力差ΔＰが発生する。例えば、図７のように共通流路１１４の上流に接続されたイジェクタ１２０Ａと、下流に接続されたイジェクタ１２０Ｂとを考えた場合、両イジェクタ１２０ＡＢ間の共通流路１１４の流路抵抗をＲとすると、ΔＰ＝Ｒ×Ｑの圧力差が両イジェクタ１２０の接続部に発生する。つまり、イジェクタ１２０Ｂに作用する背圧はイジェクタ１２０Ａに作用する背圧よりもΔＰだけ減少する（マイナス方向に増加する）ことになる。例えば、R=1×1011Ns/m5、Q=1×10-8m3/sとすると、ΔP=1kPa（102mmH2O）となる。イジェクタ１２０の吐出特性（滴体積、滴速など）は背圧に非常に敏感であり、10mmH2O程度の背圧差でも画品質に影響を及ぼす。従って、上記計算結果のように、マトリクス型ヘッドと高粘度インクを組み合わせた場合には、イジェクタ１２０間の背圧差が各イジェクタ１２０の吐出特性に大きく影響を及ぼし、均一な吐出特性を得ることが困難となってしまうという問題がある。その結果、高画質の記録を実現することが不可能となってしまう。
【０００８】
さらに高粘度インクを用いた場合の他の問題として，ノズル近傍におけるインク増粘の問題が挙げられる。すなわち，液滴吐出ヘッドでは，記録信号に応じて各イジェクタからのインク吐出が制御されるが，使用頻度の低いノズルでは，インク溶媒がノズル開口から蒸発し，ノズル近傍部のインク粘度が増加するという現象が生じる。こうしたインク増粘が発生すると，そのイジェクタからは正常なインク吐出が実行できなくなり，滴体積や滴速が減少したり，不吐出が発生するなどの問題を生じさせる。こうしたインク増粘の発生を抑制するために、ノズル近傍にてインクを循環させる構成が開示されている（例えば、特許文献３参照）が、これも上記のイジェクタ間に生じる背圧の不均一を考慮に入れておらず、イジェクタ間の特性ばらつきを解消することはできない。
【０００９】
そこで本発明ではマトリクス型液滴吐出ヘッドと高粘度インクを組み合わせた場合に生じる上記問題点を解決し、高画質記録（普通紙対応）と高速記録を両立できる液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置を提供することを目的とする。
【特許文献１】特開平０８−２３８７７２号公報
【特許文献２】特開２００５−２２５１８２号公報
【特許文献３】特開２００２−２３４１７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は上記事実を考慮し、マトリクス型液滴吐出ヘッドにおいて、各イジェクタに発生する背圧のばらつきが少ない液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
請求項１に記載の液滴吐出ヘッドは、イジェクタ内の圧力室に設けられた圧力発生手段を駆動することで前記圧力室内の液を加圧し、前記圧力室に連通したノズルから液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドであって、前記イジェクタが複数の連結路を介して，強制的な液流が形成された共通流路と複数箇所において連結されていることを特徴とする。
【００１２】
上記構成の発明では、イジェクタに複数の連結路を設け、これら連結路を介して共通流路の複数点と連結する構成とする。イジェクタに作用する背圧は、イジェクタが連結された箇所の共通流路内圧力となるため、圧力の異なる複数点で共通流路と連結された場合には、各連結箇所における圧力の平均値がイジェクタに作用する背圧となる。したがって，各イジェクタを共通流路の複数点と連結することにより、イジェクタ間の背圧差を減少することができ、イジェクタ間の特性を均一なものとすることができる。
【００１３】
請求項２に記載の液滴吐出ヘッドは、前記連結路と前記共通流路が連結されている複数箇所における前記共通流路内圧力の平均値が，液滴吐出ヘッド内に具備された複数のイジェクタ間でほぼ同一となるように，前記連結路と前記共通流路との連結点が設定されていることを特徴とする。
【００１４】
上記構成の発明では、共通流路との接続位置によらず、共通流路と接続された全てのイジェクタで背圧をほぼ同一とすることができ、イジェクタ特性に高い均一性を確保することが可能となる。
【００１５】
請求項３に記載の液滴吐出ヘッドは、前記イジェクタを行と列に沿った２次元配置とし、前記行と前記列ごとに前記共通流路を設けたことを特徴とする。
【００１６】
上記構成の発明では、イジェクタが２次元に平面配列されているため、１パスで高解像度記録を実行することができる。
【００１７】
請求項４に記載の液滴吐出ヘッドは、前記イジェクタは２つの前記共通流路の間に設けられたことを特徴とする。
【００１８】
上記構成の発明では、イジェクタに液を供給する連通路を、少ないスペースで隣接する２つの共通流路と接続することができる。
【００１９】
請求項５に記載の液滴吐出ヘッドは、隣接する２つの前記共通流路には互いに逆方向の液流が形成され、前記イジェクタは少なくとも２つの前記連通路で前記隣接する２つの共通流路にそれぞれ連結されたことを特徴とする。
【００２０】
上記構成の発明では、共通流路との接続位置によらず、共通流路と接続された全てのイジェクタで背圧をほぼ同一とすることができ、イジェクタ特性に高い均一性を確保することが可能となる。
【００２１】
請求項６に記載の液滴吐出ヘッドは、前記連通路の一つは前記圧力室の吐出面に近い端に設けられ、前記連通路の一つは前記圧力室の他端に設けられたことを特徴とする。
【００２２】
上記構成の発明では、圧力室内のインクが常にリフレッシュされるため、圧力室内インクの増粘／変質を防止し、装置の信頼性を向上させることが可能となる。
【００２３】
請求項７に記載の液滴吐出ヘッドは、前記連通路の一つは前記圧力室の前記ノズルに近い端に設けられ、前記連通路の一つは前記圧力室の他端に設けられたことを特徴とする。
【００２４】
上記構成の発明では、連通路の一つをノズルの近傍に設けることにより、インク溶媒の揮発によるインク増粘の影響を抑制することができ、装置信頼性および画品質の向上に大きな効果を得ることができる。
【００２５】
請求項８に記載の液滴吐出装置は、請求項１乃至請求項７の何れかに記載の液滴吐出ヘッドを備えたことを特徴とする。
【００２６】
上記構成の発明では、イジェクタ間の背圧差を減少することができ、イジェクタ間の特性を均一なものとできるので、吐出量にむらのない液滴吐出装置とすることができる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明は上記構成としたので、マトリクス型液滴吐出ヘッドにおいて、各イジェクタに発生する背圧のばらつきを小さく抑えることができるため，各イジェクタ間に高い特性均一性を確保でき，高品質記録が可能な液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置を実現することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
＜従来の問題点と本発明における解決策＞
図１は従来例の問題と本発明の効果を示すフロー図である。
【００２９】
高速・高画質化を実行するために２次元配置のマトリクス型ヘッドを採用し、個々のイジェクタを行列配置することによりヘッドは高密度化（３００dpi以上）できるが、これによりインクの流れる共通流路が必然的に長くなる（Ａ）。また一方で，インクの滲み、裏写り対策（＝表面への撥水加工など）をしていない普通紙に高画質で（両面印刷も含めて）記録したい場合には，高粘度インクを採用する必要がある（Ｂ）。
【００３０】
上記ふたつの理由（共通流路の長大化、インクの高粘度化）から、共通流路における流路抵抗が大きくなる（Ｃ）。
【００３１】
このため、イジェクタから吐出されたインクを補充するリフィル時に補充が不十分となるリフィル不足が発生し、周波数特性（＝印字速度）が劣化してしまう（Ｄ）。
【００３２】
さらに共通流路の抵抗が大きくなればインク増粘の影響も増加し、装置自体の信頼性も低下してしまう（Ｅ）。
【００３３】
上記のリフィル不足の問題およびインク増粘の問題を解決するために，共通流路内のインクを循環させる必要があるが，
ここで問題となるのは、流路抵抗の大きな共通流路でインク循環を行うと，共通流路の上流側と下流側ではイジェクタの背圧にばらつきが大きい点であり（Ｆ）、これにより液滴の体積、液滴の吐出速度などの吐出特性がイジェクタ毎にばらついてしまう。
【００３４】
そこで本発明は流路構造を工夫し、複数設けられた連通路で共通流路の複数箇所と連結することによってイジェクタの背圧ばらつき発生を防止し、（Ｈ）画像品質の悪化を防ぐことを可能とする。
【００３５】
＜第１実施形態＞
図２には本発明の第１実施形態に係る液滴吐出ヘッドが示されている。
【００３６】
図２に示すように、液滴吐出ヘッド１０にはイジェクタ２０が２次元状にマトリクス配列され、列間に液流方向の異なる共通流路１４Ａ、１４Ｂが交互に配置され、それぞれ共通流路本流１２Ａ、１２Ｂからインクが供給されている。
【００３７】
共通流路本流１２Ａ、１２Ｂは各イジェクタ２０に第１連通路１６、第２連通路１８を介してインクを供給する共通流路１４Ａ、１４Ｂにインクを供給している。これによりイジェクタ２０は第１連通路１６、第２連通路１８からそれぞれ逆方向の液流による背圧が作用する。
【００３８】
すなわち本実施形態においては隣接する共通流路１４Ａ、１４Ｂでインク循環流の方向が互いに異なっている点、および各イジェクタ２０に２つの連通路１６Ａ、１６Ｂが具備されており、それぞれが別個の共通流路１４Ａ、１４Ｂ（インク循環流が逆方向の共通流路）と連結している点が特徴である。
【００３９】
加えて、隣接する共通流路１４Ａ／１４Ｂでインク循環流の方向が逆になるように、共通流路本流１２Ａ、１２Ｂもそれぞれ循環流ごとに独立しており、図１では共通流路１４Ａ、１４Ｂごとに１本ずつの共通流路本流１２Ａ、１２Ｂが設けられている。
【００４０】
上記のような流路構造を採用することにより、２次元状に配列された全てのイジェクタ２０に対して、作用する背圧をほぼ一定にすることが可能となる。
【００４１】
例えばイジェクタ２０Ａに着目すると、第１連通路１６は共通流路１４Ａの下流（低背圧）に接続されており、第２連通路１８は共通流路１４Ｂの上流（高背圧）に接続されている。従って、イジェクタ２０Ａの圧力室に作用する背圧は、２点（第１連通路１６／共通流路１４Ａの接続箇所と、第２連通路１８／共通流路１４Ｂの接続箇所）の圧力の平均値となる。
【００４２】
一方、イジェクタ２０Ｂに着目すると、第１連通路１６は共通流路１４Ａの上流（高背圧）に接続されており、第２連通路１８は共通流路１４Ｂの下流（低背圧）に接続されている。従って、イジェクタ２０Ｂの圧力室に作用する背圧は、２点（第１連通路１６／共通流路１４Ａの接続箇所と、第２連通路１８／共通流路１４Ｂの接続箇所）の圧力の平均値となり、これはイジェクタ２０Ａの圧力室に作用する背圧と等しくなる。
【００４３】
すなわち図２（Ｂ）に示すようにイジェクタ２０Ａ、２０Ｂの圧力室に作用する背圧は共通流路１４Ａ／１４Ｂの圧力Ｐ１４Ａ／Ｐ１４Ｂの平均値であり、共通流路１４Ａ、１４Ｂの一方が上流側で大きな圧力であれば他方は下流側で小さな圧力となるので、両者の平均値であるイジェクタ２０の背圧は接続箇所にかかわらず一定の値となる。
【００４４】
このように、隣接する共通流路１４に逆方向のインク循環流を形成し、各イジェクタ２０を両方の共通流路１４と連結することによって、各イジェクタ２０に作用する背圧をほぼ一定とすることが可能となる。
【００４５】
＜イジェクタ内のインク流＞
図３には本発明の第１実施形態に係る液滴吐出ヘッドのイジェクタ内に発生するインク流が示されている。
【００４６】
図３に示すように、イジェクタ２０の圧力室２４を複数の連通路１６／１８によって共通流路１４の複数箇所と連結した場合、連結箇所の圧力差によってイジェクタ２０内にインク流が発生する（図中黒矢印）。
【００４７】
このインク流を有効活用すれば、圧力室２４内部のインクを常に循環させることによってリフレッシュすることができ、圧力室２４内における増粘インクの蓄積やインクの変質（色材の沈降など）を防止することが可能となる。すなわち圧力室２４内にインクが長時間滞留することによって溶媒含有率の低下したインクが増粘し、あるいはインク中に分散していた色材が凝集／沈降などの変質を起こす虞があるが、常に圧力室２４内のインクを流動させることで上記の事態を避けることができる。
【００４８】
本実施形態では、図３に示したように圧力室２４に設けた２つの連通路１６／１８のうち、一方を圧力室２４の後端近傍に、他方を圧力室２４の先端（＝ノズル２２近傍）に設置することにより、圧力室２４内部のインク循環を効率的に行うことができ、上記の効果を得やすくなる。
【００４９】
なお、図３の黒矢印の太さで示したように、イジェクタ２０内に発生するインク流の流量は、イジェクタ２０の共通流路１４への接続位置によって異なる。すなわち、共通流路１４の上流近傍／下流近傍に接続されたイジェクタ２０Ａでは、共通流路１４との連結箇所間（イジェクタ２０の両端＝連通路と連通路の間）に大きな圧力差があるため、イジェクタ２０内に大きな流量が発生する。
【００５０】
他方、共通流路１４の中央付近に接続されたイジェクタ２０Ｃでは、共通流路１４との連結箇所間（イジェクタ２０の両端＝連通路と連通路の間）の圧力差が小さいため、イジェクタ２０内には僅かなインク流しか発生しない。従って、イジェクタ２０内のインク流による効果（上述）を得るためには、共通流路１４の中央付近に接続されたイジェクタ２０でも十分なインク流量が得られるように共通流路１４との接続箇所を設定する必要がある。
【００５１】
また、連通路１６／１８の流路抵抗が過小の場合には、黒矢印のインク流が支配的となり、共通流路１４内に必要なインク流（白矢印）が得られなくなるため、連通路１６／１８の流路抵抗は共通流路１４の流路抵抗に対して一定以上大きく設定する必要がある。
【００５２】
具体的には、連通路１６／１８の流路抵抗総和Ｒ１と共通流路１４（各イジェクタ２０間の部分）の流路抵抗Ｒ２の比（Ｒ２／Ｒ１）を１０倍以上，より好ましくは１０００倍以上に設定することが望ましい。
【００５３】
＜イジェクタと共通流路の接続＞
図４には、本発明に係るイジェクタと共通流路の接続方法が示されている。
【００５４】
第１実施形態（図２〜３）においては、溝形状の連通路１６／１８を介してイジェクタ２０（圧力室２４）と共通流路１４を連結した（図４（Ａ））が、連通路１６／１８の形状／形態はこれに限定されるものではない。
【００５５】
例えば、図４（Ｂ）に示す第２実施形態のようにイジェクタ２０とは別個の部材に設けた穴として連通路１６／１８を設けてもよいし、図４（Ｃ）のように、イジェクタ２０自体の両端部に設けた穴形状の連通路１６／１８を介してイジェクタ２０と共通流路１４を連結しても差し支えない。つまり、所望とする流路抵抗Ｒ１が得られる流路形状であれば、連通路１６／１８はあらゆる形状／形態を採ることが可能である。
【００５６】
図４（ｃ）に示す第３実施形態では、 ２つの共通流路１４間に架橋するようにイジェクタ２０の圧力室２４を配置し、穴形状の連通路１６および連通路１８を介して圧力室２４と共通流路１４を連結している。このような構造を採用することにより、部品点数の少ない単純なヘッド構造で、本発明を実施することが可能となる。
【００５７】
＜断面＞
図５には、本発明の第４実施形態に係る液滴吐出ヘッドを複数の金属プレートを積層して作成したイジェクタ部が示されている。
【００５８】
図５に示すように、液滴吐出ヘッド１０の流路はウェットエッチング等により穿孔加工された複数のプレートを積層接合することにより形成される。
【００５９】
圧力室２４の一方の壁面はピエゾ素子２６と一体化された圧力板２８が設けられ、図示しない制御部からの制御信号によりピエゾ素子２６が駆動され、振動すると一体化された圧力板２８もまた振動し、圧力室２４内のインクを加圧する。
【００６０】
加圧されたインクはノズル２２からインク滴となって吐出される。これにより消費された圧力室２４内のインクは連通路１６／１８を経由して共通流路１４から補充される。
【００６１】
図５のように圧力室２４は連通路１６および連通路１８を介して共通流路１４と連結されており、本実施形態では連通路１６は穴形状、連通路１８は溝形状として形成したが、前述のように所望とする流路抵抗Ｒ１を確保できれば、連通路１６／１８の形状は上記の穴形状や溝形状に限定されない。
【００６２】
このとき共通流路１４Ａと共通流路１４Ｂでは、インクの流れが逆方向になるように共通流路本流１２と接続されており（図２参照）、例えば共通流路１４Ａ→連通路１６→圧力室２４→連通路１８→共通流路１４Ｂのような経路でインク循環流が形成される。
【００６３】
これによりイジェクタ２０のリフィル特性を維持しながら、隣接する共通流路１４に逆方向のインク循環流を形成し、各イジェクタ２０を両方の共通流路１４と連結することによって、各イジェクタ２０に作用する背圧をほぼ一定とすることが可能となる。
【００６４】
＜他の実施形態＞
図６には、本発明の第５実施形態に係る液滴吐出ヘッドを複数の金属プレートを積層して作成したイジェクタ部における共通流路と共通流路本流の接続形態が示されている。
【００６５】
図６に示すように、液滴吐出ヘッド１０の流路はウェットエッチング等により穿孔加工された複数のプレートを積層接合することにより形成される点は第４実施形態と同様である。
【００６６】
本実施形態では、流れの方向が互いに異なる共通流路本流１２Ａおよび共通流路本流１２Ｂが２階建て構造として液滴吐出ヘッド１０の内部に形成され、イジェクタ２０間に配置された共通流路１４と共通流路連結路１１Ａまたは共通流路連結路１１Ｂを介して接続されている。
【００６７】
上記のような構造を採ることにより、共通流路連結路１１Ａ／１１Ｂの選択によって共通流路１４内のインク流れ方向を任意に設定することが可能となり、図２に示したようなインク循環流を形成することが可能となる。この構造であれば液滴吐出方向（ノズル方向）から見た共通流路連結路１１Ａ／１１Ｂの投影面積を共通流路連結路１１の１本分に抑えることができるので、無理なく更なる高密度化を実現することができる。
【００６８】
なお、液滴吐出ヘッド１０内におけるインク循環流は、液滴吐出ヘッド１０の外部に設けたポンプ（図示せず）等によって発生される。また、図６のように２階建て構造とせず図中において左右方向に配置した平面配置としてもよい。
【００６９】
＜まとめ＞
以上のように、本発明に係る液滴吐出ヘッドは，複数設けられた連通路を介して，液の強制液流が形成された共通流路と複数箇所で連結された構成とすることでイジェクタの背圧ばらつき発生を防止し、画像品質の悪化を防ぐことができる。
【００７０】
以上、本発明の実施例について記述したが、本発明は上記の実施例に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々なる態様で実施し得ることは言うまでもない。
【００７１】
また本発明は電気機械変換器（具体的にはピエゾアクチュエータや静電アクチュエータ）を用いた液滴吐出ヘッドだけでなく、サーマル方式など他の吐出原理を用いた液滴吐出ヘッドにも適用可能である。
【００７２】
さらに、本発明の適用分野はインクジェットプリンタに限定されず、カラーフィルタ製造、半導体製造、各種成膜装置等の工業用液滴吐出装置を含め、あらゆる液滴吐出装置に適用することが可能である。特に工業用途では高粘度の液体を吐出するニーズが多いため、本発明を有効に利用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】従来例の問題と本発明の関係を示すフロー図である。
【図２】本発明の第１形態に係る液滴吐出ヘッドを示す図である。
【図３】本発明の第１形態に係る液滴吐出ヘッドの液流を示す図である。
【図４】本発明の第１〜第３形態に係る液滴吐出ヘッドの接続部を示す図である。
【図５】本発明の第４形態に係る液滴吐出ヘッドの断面を示す図である。
【図６】本発明の第５形態に係る液滴吐出ヘッドの断面を示す図である。
【図７】従来の液滴吐出ヘッドを示す図である。
【符号の説明】
【００７４】
１０    液滴吐出ヘッド
１２    共通流路本流
１３    共通流路連結路
１４    共通流路
１６    連通路
１８    連通路
２０    イジェクタ
２２    ノズル
２４    圧力室
２６    ピエゾ素子
２８    振動板
【図１】
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【図２】
2008149579.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2008149579.tif 000007
【図６】
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【図７】
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