(57)【要約】      （修正有）【課題】板状ガラス光学素子のレンズ部が刻まれていない光透過面の研磨工程を、効率的に精度良く加工すること。【解決手段】板面を光透過面とし、略矩形板状のベース部と、ベース部の一方の光透過面に複数の小レンズが形成されたレンズ部と、を有する板状ガラス光学素子１の研磨方法であって、２枚の板状ガラス光学素子１のレンズ部どうしを向かい合わせ、弾性体２１をレンズ部の間に挟みこんだ状態で両面研磨機の相対向する回転研磨盤の間に配設して、板状ガラス光学素子１の双方のレンズ部が形成されていない光透過面を研磨する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板面を光透過面とし、略矩形板状のベース部と、ベース部の一方の光透過面に複数の小レンズが形成されたレンズ部と、を有する板状ガラス光学素子の研磨方法であって、
２枚の板状ガラス光学素子のレンズ部どうしを向かい合わせ、弾性体をレンズ部の間に挟みこんだ状態で両面研磨機の相対向する回転研磨盤の間に配設して、該板状ガラス光学素子の双方のレンズ部が形成されていない光透過面を研磨することを特徴とする板状ガラス光学素子の研磨方法。
【請求項２】
前記弾性体は、不織布又はゴム又は樹脂発泡体からなることを特徴とする請求項１の板状ガラス光学素子の研磨方法。
【請求項３】
板面を光透過面とし、略矩形板状のベース部と、ベース部の一方の光透過面に複数の小レンズが形成されたレンズ部と、該ベース部上に形成されたレンズ部の周囲を囲う平坦面と、を有する板状ガラス光学素子の研磨方法であって、
２枚の板状ガラス光学素子のレンズ部どうしを向かい合わせ、それぞれの平坦面に当接し、かつレンズ部に非接触な支持体を板状ガラス光学素子の間に挟みこんだ状態で両面研磨機の相対向する回転研磨盤の間に配設して、該板状ガラス光学素子の双方のレンズ部が形成されていない光透過面を研磨することを特徴とする板状ガラス光学素子の研磨方法。
【請求項４】
前記支持体は、前記ベース部の側端面に当接することを特徴とする請求項３の板状ガラス光学素子の研磨方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レンズアレイ等の板状ガラス光学素子のレンズが形成されていない光透過面の光学研磨方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
板状ガラス光学素子であるレンズアレイは、液晶を用いた投射型表示装置、即ち液晶プロジェクターなどに用いられている。レンズアレイは、ベース部と、ベース部上に膨出した複数の小レンズがマトリクス状に配列されたレンズ部とを備えている。なおレンズアレイは、インテグレーターレンズあるいはフライアイレンズとも呼ばれている。
【０００３】
一般的に、レンズアレイは、軟化状態のガラスをマトリックス状のレンズ形状が刻まれた金型でプレス成型し、そしてレンズが形成されていない光透過面を研磨することにより製造されている。
【０００４】
レンズアレイのレンズが形成されていない光透過面の研磨工程には、オスカー式研磨装置と呼ばれるものが一般に使用されている。この研磨装置は、上面を研磨面とする下定盤と、この下定盤の上方に対向して配置され、レンズアレイを保持する上定盤とを備えている。そして、この上定盤を揺動腕の先端部に垂下した支持軸の下端部に回転自在に支持し、レンズアレイの光透過面（被加工面）を下定盤の研磨面に押し付けた状態で、研磨面に酸化セリウム等の研磨剤を含むスラリーを下定盤の上方から供給しながら下定盤を一定速度で回転させ、上定盤を下定盤の回転を利用して、又は、積極的に回転させながら下定盤の上で揺動させる。これにより、レンズアレイの光透過面を下定盤の研磨面と研磨剤とによって研磨する。
【０００５】
また特許文献１には、第１の面に所定形状の凹凸が複数形成されているガラス光学素子の第２の面を研磨する工程であって、該研磨工程は、ガラス光学素子を２枚用意し、第１の面を内側にして重ね合わせた状態で、第２の面を平坦研磨する研磨方法が記載されている。
【特許文献１】特開２００１−１６６１１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
パーソナルコンピュータやＤＶＤなどの映像機器の普及に伴って、液晶プロジェクターの用途はプレゼンテーションのための各種業務用から家庭用に至るまで拡大している。これに伴なって液晶プロジェクターの低価格化が進められている。このような背景のもと、液晶プロジェクターの内部に使用されるレンズアレイにも低価格化が要求されている。
【０００７】
出願人は特願２００３−３４３６６９号にて、軟化状態のガラスを金型によって一体にプレス成型し、４枚の板状ガラス光学素子が互いに隣接して配置された田の字形状に成型された成型体を得るプレス成型工程と、この成型体のセル状レンズが形成されていない側の板面を光学研磨する光学研磨工程と、４枚の板状ガラス光学素子に切り離す切り離し工程とを備えた板状ガラス光学素子の製造方法を提案し、これにより成型精度、特に光学系への組付けの基準となる端面および組付け精度に優れた板状ガラス光学素子を精密な後加工に頼ることなく生産性よく製造できると述べている。
そして、出願人は更に生産性が向上する製造方法を検討し、レンズが形成されていない光透過面の研磨工程に着目した。
【０００８】
前述のオスカー式研磨装置を用いた研磨方法では、レンズアレイを１枚毎に上定盤に嵌入保持して、その光透過面を研磨するので、非常に効率が悪い。また、研磨時のレンズ部のキズ付を防ぐため、レンズアレイを上定盤に嵌入保持する際、レンズ部と略同形状の凹状保持具に固定剤を充填し、レンズアレイを嵌入固定している。そのため、レンズアレイを凹状保持具に固定する作業、研磨後に凹状保持具からレンズアレイを取り外す作業、レンズ部に付着した固定剤を除去する作業が必要である。特に固定剤として熱硬化性接着剤を用いる場合、レンズアレイを着脱する際に、熱硬化性接着剤を加熱して溶かす時間、及び冷却固化する時間が必要である。このように、これらの研磨のための段取り作業が研磨工程の効率を更に悪くしている。
【０００９】
また、特許文献１の研磨方法では、研削又は研磨の際にプリズムアレイに掛かる荷重によって被加工面が湾曲する恐れがあるため、これを回避する目的で、２枚のプリズムアレイの鋸歯状の面同士を噛み合わせるようにして重ね、固形ワックスにて一体化している。しかし、この方法では２枚のプリズムアレイの被加工面同士を平行な状態で固定することが難しい。被加工面同士が平行な状態でなくても、前記の研磨装置のように片面づつ研磨を行う場合には問題ないが、両面研磨機を用いて上下面を同時に研磨を行う場合、被加工面同士が平行でないと研磨装置の研磨布が被加工面の一部にのみ作用することになり、被加工面全域を均一に研磨することができない。仕上げの研磨工程で加工される量は、数μｍから数十μｍであり、そのオーダーで２枚のプリズムアレイの被加工面同士の平行度を合わせて固定することは、非常に困難な作業である。
【００１０】
本発明は、上記の従来の問題点を解決し、レンズアレイ等の板状ガラス光学素子のレンズが形成されていない光透過面を両面研磨機を用いることで生産性よく研磨できる研磨方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の板状ガラス光学素子の研磨方法は、板面を光透過面とし、略矩形板状のベース部と、ベース部の一方の光透過面に複数の小レンズが形成されたレンズ部と、を有する板状ガラス光学素子の研磨方法であって、２枚の板状ガラス光学素子のレンズ部どうしを向かい合わせ、弾性体をレンズ部の間に挟みこんだ状態で両面研磨機の相対向する回転研磨盤の間に配設して、該板状ガラス光学素子の双方のレンズ部が形成されていない光透過面を研磨するものである。更に、前記弾性体は、不織布又はゴム又は樹脂発泡体からなるものである。
これにより、板状ガラス光学素子のレンズ部が形成されていない光透過面の研磨を両面研磨機を用いて行うことができるため、生産性がよい。また、弾性体をレンズ部の間に挟み込むことで、研磨時の荷重によりレンズ部への過大な負荷が作用することがないため、板状ガラス光学素子の破損を防ぐことができる。また、厚み方向の加圧に対する弾性体の反発力（バネ作用）によって板状ガラス光学素子の板厚のばらつきを吸収し、また被加工面全域を研磨装置の研磨布に均一に作用することができるため、良好な被加工面を得ることができる。また、弾性体は不織布又はゴム又は樹脂発泡体からなるため、ヘタリが少なく複数回の使用が可能である。
【００１２】
本発明の板状ガラス光学素子の研磨方法は、板面を光透過面とし、略矩形板状のベース部と、ベース部の一方の光透過面に複数の小レンズが形成されたレンズ部と、該ベース部上に形成されたレンズ部の周囲を囲う平坦面と、を有する板状ガラス光学素子の研磨方法であって、２枚の板状ガラス光学素子のレンズ部どうしを向かい合わせ、それぞれの平坦面に当接し、かつレンズ部に非接触な支持体を板状ガラス光学素子の間に挟みこんだ状態で両面研磨機の相対向する回転研磨盤の間に配設して、該板状ガラス光学素子の双方のレンズ部が形成されていない他方の光透過面を研磨するものである。更に、前記支持体は、板状ガラス光学素子のベース部の側端面に当接するものである。
これにより、板状ガラス光学素子のレンズ部が形成されていない光透過面の研磨を両面研磨機を用いて行うことができるため、生産性がよい。また、板状ガラス光学素子の平坦面は金型により成形され、支持体は向かい合う板状ガラス光学素子のそれぞれの平坦面に当接した状態で両面研磨機に配設されるため、それぞれの被加工面の平行度の位置決め精度が高く、よって被加工面を均一に加工することが可能である。また、板状ガラス光学素子の光透過面であるレンズ部どうしを非接触状態で研磨するため、研磨時にレンズ部へのキズ付きが生じることがない。また、支持体は板状ガラス光学素子のベース部の側端面に当接するため、２枚の板状ガラス光学素子と支持体とが一体化され、研磨時に板状ガラス光学素子がキャリアの孔部から飛び出すことがない。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の板状ガラス光学素子の研磨方法によれば、従来非常に生産性が悪かったレンズアレイのレンズ部が刻まれていない光透過面の研磨工程を、両面研磨機を用いて効率的に精度良く加工することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
板状ガラス光学素子の一実施形態であるレンズアレイについて説明する。
【００１５】
レンズアレイ１は、図５に示すように全体が略矩形板状の外形を有し、板面を光透過面としている。その板面の一方の面には、複数の小レンズがマトリックス状に配置されたレンズ部２が形成される。レンズ部２が形成されていない側の光透過面は、光学研磨された平面である。また、ベース部３上にレンズ部２の周囲を囲む平坦面５を有するものもある。また、図６に示すようにレンズ部２がレンズ部２の周囲を囲む平坦面５に対して凹入しているものもある。
液晶プロジェクターに用いられるレンズアレイの代表的なサイズを述べると、レンズアレイが４０〜７０ｍｍ角で小レンズのサイズが縦３〜５ｍｍ、レンズ部の縦横比が４：３〜１６：９などであり、レンズ部周囲の平坦面は片側が約２ｍｍである。このほかレンズアレイのサイズとしては、２０ｍｍ〜４０ｍｍ程度の大きさのものもある。
【００１６】
このようなレンズアレイは、例えば以下のようにして液晶プロジェクターなどの照明光学装置に組み込まれて使用される。
照明光学装置には、レンズアレイのレンズ部に対応する開口部を有する金属製の板金部品あるいは成型部品からなる枠体が設けられる。そして、レンズアレイの基準面を枠体の基準面に当接し、接着剤や板ばね等を用いて枠体と固定する。そして、その他の光学部品と光軸を一致にするように、この枠体を照明光学装置内に固定する。
【００１７】
次に、本発明に係る板状ガラス光学素子の製造方法の実施形態として、前記液晶プロジェクター用レンズアレイの製造工程を、ガラス素材の作製、プレス成形、研削・研磨、光学機能膜の成膜、切断の順にそれらの工程の概略を説明する。
【００１８】
（ガラス素材の作製）
あらかじめ製品重量の２〜５倍の塊状ガラス素材１７を用意する。この塊状ガラス素材１７は周知の方法で溶融されたガラスを型内に鋳込むことにより得られる。また、溶融炉から連続的に引き出されたロッド状成型体の先端部分を加熱溶融して軟化したものを適当な長さに切断するなどの方法でも得られる。なお、塊状ガラス素材１７は用途に応じて適宜の種類のものが使用される。例えば、液晶プロジェクター用途のレンズアレイの場合、熱膨張係数が３２×１０−７／℃の硼珪酸ガラスが好適に用いられる。
【００１９】
（プレス成型）
図７は、金型を用いたプレス成型時の状態を模式的に示すものである。図７において、金型は上型１９と下型１８とからなり、上型１９は、マトリックス状レンズ成型面を有するプランジャ１５と側端面を形成するリング１６とを有している。下型１８は、レンズ部２を形成しない光透過面側に対応する。図７に示す下型１８は、各レンズアレイ１の中心部に断面が台形状の凸部を形成した例である。凸部は、プレス成型時に下型１８に塊状ガラス素材１７をのせたときに、上下方向にかかる押圧力を十分に塊状ガラス素材１７に加えることを可能にし、凸部表面の法線方向への反力で軟化したガラスを上型１９のすみずみにまで行き渡らせ、肉不足の防止、転写精度の向上を得る。なお、図７の上型１９はレンズ部２を形成するプランジャ１５とレンズアレイの側端面を形成するリング１６とで構成されているが、これらは一体で構成されていてもよい。
【００２０】
プレス成型工程は、前述のガラス素材の作製で得られた塊状ガラス素材１７を、必要な粘度になるまで加熱する。そして、加熱された塊状ガラス素材１７を前記金型の下型１８に載置し、上型１９を下降させて押圧力を加え、金型形状を転写しプレス成型する。このとき、精度よく転写を行うため、上型１９は押圧力をかけたまま、所定時間保持する。保持時間はガラスの材質や製品サイズにもよるが、例えば十数秒から数十秒の程度である。上型１９はガラスが冷却された後、上昇させる。製品重量に比べ、過剰のガラス素材をプレスするため、上型１９と下型１８とは直接接触せず、下型１８の外縁は特に規定していない。また、上型１９のリング１６は成型部分を凸として外方に向かって後退する形状を持つ。このため、プレス時にガラスは金型との接触によって急激に冷却固化することなく、金型内に展延され、余剰のガスは金型外にはみ出すことで流動抵抗が軽減され、高い転写精度を得ることができる。
【００２１】
（研削・研磨）
次に、プレス成型されたレンズアレイ１のレンズ部２が形成されていない光透過面を研削・研磨する。まず、レンズアレイ１は、上型により形成された側端面付近まで平面研削機を用いて研削する。その後、ラッピング加工により粗研磨を行い、肉厚をほぼ製品形状に整え、最後にポリッシング加工により光学研磨する。ラッピング加工は、オスカー式片面研磨機やラップマスター式片面研磨機などを用いて行う。ポリッシング加工にて行われる研磨工程については、後ほど詳細に説明する。
【００２２】
（光学機能膜の成膜）
レンズアレイ１の光透過面である板面の片面または両面に、反射防止膜や紫外線・赤外線反射膜等の光学機能膜を真空蒸着、スパッタリングなどの方法で成膜する。
【００２３】
（切断）
図８に示すように、プレス成型にて複数個のレンズアレイ１が一体に形成されている場合は、スライサーやダイシングソーなどの精密切断装置を用いて個別のレンズアレイ１に切断する。また、簡便な方法として、カッターで表面に直線状の傷をつけて折り曲げて破断することによる割断による切断も可能である。また切断の後には、必要に応じて切断面の稜部の面取りを行なってもよい。なお、切断後に前述の光学機能膜の成膜や研磨を行ってもよい。また、プレス成型にてレンズアレイが１個単位で形成される場合は、この切断工程は不要である。
また、ガラス素材の作製工程にて用意される塊状ガラス素材は、上記に限らず成形型で鋳込まれたガラスを製品重量と略同一となるよう研削等を行ったものでもよい。この場合、プレス成型工程において所望の製品形状が得られるため、研削・研磨工程における余分な部分を研削する工程は不要であり、レンズ部が形成されていない光透過面の研磨工程のみを行えばよい。
これらにより、光透過面の一方の面にレンズ部２が形成され、光透過面の他方の面が光学研磨されたレンズアレイ１を得る。
【００２４】
以下、本発明の板状ガラス光学素子のポリッシング加工に用いられる研磨方法を詳細に説明する。
【００２５】
本発明の研磨方法では、図９に示すような両面研磨機１０が用いられる。両面研磨機１０は、研磨布１３を貼り付けた下定盤１２に、レンズアレイ１よりやや大きい内径の孔部を複数有するキャリア１４をセットし、そのキャリア１４の孔部にレンズアレイ１をセットした後、研磨布１３を貼り付けた上定盤１３を降ろし圧力をかけ、上定盤１３、下定盤１２、キャリア１４をそれぞれ回転させて、酸化セリウム等の研磨液を流しながら両面を研磨する。ここで、キャリア１４は外周に歯を有する歯車であって、キャリア１４の内側に位置する太陽歯車４１とキャリアの外側に位置する内歯歯車４２との間に等間隔に配置され、太陽歯車４１および内歯歯車４２と噛み合い太陽歯車４１のまわりを遊星運動する。そして、各レンズアレイ１が上下定盤に貼り付けられた研磨布１３と均等に接触移動することにより、被加工面が平坦に光学研磨される。
【００２６】
前記キャリア１４の孔部にセットされるレンズアレイ１は、一方の光透過面はプレス成型で形成されたレンズ部２であり、他方の光透過面はラッピング加工により粗研磨された面である。
前記キャリア１４の孔部にレンズアレイ１をセットする場合、２枚のレンズアレイ１の双方のレンズ部どうしを向かい合わせ、双方の被加工面が外側に向いた状態で重ね合わせる。この際、両面研磨機１０では研磨時にレンズアレイ１の厚み方向に荷重が作用するため、双方のレンズ部２が接触すると、レンズアレイ１が変形した状態で研磨されたり、レンズ部２に擦り傷が生じるおそれがある。また、被加工面を均一に研磨するため、双方の被加工面と上下定盤の研磨布とが均一に作用する必要がある。
そのため、本発明の研磨方法では、以下の実施例に示す方法でレンズアレイを支持している。
【００２７】
[実施例１]
実施例１の研磨方法は図１に示すように、弾性体２１をレンズアレイの双方のレンズ部２の間に挟み込んだ状態で、両面研磨機１０のキャリア１４の孔部にセットし、双方の被加工面を研磨する。この弾性体２１は、荷重がかかった状態で一定の反発力を生じる、いわゆるクッション性を有することが必要である。弾性体に用いられる材質として、単層構造の不織布であるフェルト、天然ゴムや合成樹脂ゴム等の各種ゴム、ウレタンスポンジ等の樹脂発泡体を用いることができる。またこれらを組み合わせたもの、例えば合成繊維および合成ゴムにより形成した立体構造の不織布からなる基体層と、耐摩耗性に優れたポリウレタン等の樹脂に多数の微細な孔を形成した表面層とから構成されたスエードタイプの複合構造体も好適に使用できる。
【００２８】
弾性体２１の外形は、少なくともレンズ部２を覆う寸法が必要である。弾性体２１の厚さは、研磨時の荷重に対して、レンズ部２が底付きしない程度の厚さが最低限必要であるが、研磨の前工程（ラッピング工程）の粗研磨における厚さ寸法の加工ばらつきを吸収する目的で、適宜の厚さのものを選択して用いることができる。また、弾性体２１は、凹凸のないシート状であることが好ましいが、レンズ部２の形状に対応して中央付近の厚みを薄くしたり、レンズ部２どうしが接触しない程度に貫通孔を設けるようにしてもよい。
【００２９】
向かい合わせるレンズアレイ１は、同じレンズ部形状のものどうしを組み合わせてもよいし、中央付近が凹状のレンズ部２を有するものと中央付近が凸状のレンズ部を有するものを組み合わせてもよい。
中央付近が凸状のレンズ部（マトリックス状に配置された小レンズの頂点をつないだ軌跡が凸状をなしている）を有するレンズアレイどうしを組み合わせる場合、向かい合わせたレンズアレイ１の姿勢が安定するよう、一方のレンズアレイ１を他方のレンズアレイ１に対して９０°回転して配置してもよい。
【００３０】
このように、弾性体２１をレンズアレイ１の双方のレンズ部の間に挟み込むことで、双方のレンズ部２を非接触状態とすることができるため、研磨のための段取り作業が簡便である。また、弾性体２１のクッション効果により、レンズアレイ１に両面研磨機１０の荷重が作用すると被加工面と上下定盤との微小な傾きが修正され、両者は均一に接触することにより、被加工面は均一に研磨される。また、研磨時の荷重に対して、レンズアレイ１が変形して被加工面が湾曲したまま、研磨されることがない。また、レンズ部どうしが直接接触することがないため、レンズ部２に擦り傷が生じることがない。
【００３１】
次に、実施例２〜実施例４の研磨方法について説明する。
実施例２〜実施例４では、図５に示すようなベース部３上にレンズ部２の周囲を囲う平坦面５を有するレンズアレイ１が対象となる。この平坦面５は、板面のレンズ部２と同じ光透過面側にあり、プレス成型でレンズ部２と同時に金型で形成された平坦な面である。レンズアレイ１は光学系に使用されるため、光軸とずれが生じないよう配置には正確な位置決めが必要とされる。このため、レンズアレイ１では、金型で形成された平坦面５や側端面４を照明光学装置の枠体に当接するなどして位置決めされる。なお、レンズアレイ１の平坦面５は、光軸である厚さ方向に対して垂直な面である。
【００３２】
実施例２〜実施例４の研磨方法では、レンズアレイ１の双方のレンズ部２を向かい合わせ、それぞれのレンズアレイ１の平坦面５に当接し、かつレンズ部２に非接触な支持体をレンズアレイ１の間に挟み込んだ状態で両面研磨機１０のキャリア１４の孔部にセットし、双方の被加工面を研磨する。
支持体は、双方のレンズ部２が接触しないよう、研磨時の荷重を支えるスペーサとして作用する。
【００３３】
支持体の材質としては、加工精度が出しやすく、使用時に変形しにくいことが求められる。例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂のような熱硬化性樹脂、ポリアセタール、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリイミド、ポリスルフォン等の硬質樹脂等が好適に用いられる。
【００３４】
支持体の形状については、実施例２〜実施例４の研磨方法に示すものがある。
[実施例２]
実施例２の研磨方法に用いられる支持体３１は図２に示すように、レンズアレイ１の双方の平坦面５に当接した枠状体である。支持体３１は、双方のレンズ部どうしが当接しないように、レンズ部２の高さ（平坦面５からレンズ部２の頂部までの厚さ方向の距離）の２倍より大きい厚さを有することが必要である。
【００３５】
[実施例３]
実施例３の研磨方法に用いられる支持体３２は図３に示すように、レンズアレイ１の双方の平坦面５に当接し、双方のレンズ部２が接触しないための凹状段差を有する。支持体３２の凹状段差は、レンズ部２の頂部が支持体３２に接触しない程度の深さが必要である。
【００３６】
[実施例４]
実施例４の研磨方法に用いられる支持体３３は図４に示すように、レンズアレイ１の双方の平坦面５に当接し、双方のレンズ部２が接触しないための凹状段差を有し、レンズアレイ１の側端面４に当接する段差を有する。レンズアレイ１の側端面４に当接する部分の支持体３３の段差は、支持体３３が研磨装置の研磨布１３と接触しないよう、レンズアレイ１の被加工面が飛び出る程度の深さが必要である。なお、図４では、支持体３３のレンズ部２に対応する部分に凹状段差を有しているが、この部分が貫通した枠状体であってもよい。
【００３７】
このように、支持体を金型で成形されたそれぞれの平坦面５に当接するようにしたため、レンズアレイ１の被加工面が研磨装置の研磨布１３に対して傾くことがなく位置決めされ、被加工面は均一に研磨することができる。また、支持体をレンズアレイ１の双方のレンズ部２の間に挟み込むことで、双方のレンズ部２を非接触状態とすることができるため、研磨のための段取り作業が簡便である。また、レンズ部どうしが直接接触することがないため、レンズ部２に擦り傷が生じることがない。また、支持体はレンズ部２の外周を囲う構造のため、耐荷重性が高い。
また、支持体はレンズアレイ１の側端面４に当接するようにすることで、２枚のレンズアレイ１と支持体とが一体化され、研磨時にレンズアレイ１がキャリア１４の孔部から飛び出すことがなく、両面研磨機１０に着脱する際の取り扱いも容易である。
【００３８】
上記各実施例では、板状ガラス光学素子としてレンズアレイ１を用いて説明したが、レンズアレイと同様に片面にレンズ面が形成された、フレネルレンズ、レンチキュラレンズ等の研磨方法としても用いることが可能である。また、最終的に単一のレンズに切断される前段階の多数のレンズが一体でプレス成型されたレンズアレイや同様のプリズムアレイの研磨方法にも用いることができる。また、板状ガラス光学素子の形状としては、図６に示すようなレンズ部２が平坦面５より凹入した形状のもの、平坦面５を有しないものに対しても適用可能である。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
本件発明の板状ガラス光学素子の研磨方法によれば、両面研磨機を用いることで、複数のレンズアレイを効率的に精度良く加工することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】実施例１の研磨方法において、両面研磨機におけるレンズアレイの配設状態を示す模式的断面図及び弾性体の斜視図である。
【図２】実施例２の研磨方法において、両面研磨機におけるレンズアレイの配設状態を示す模式的断面図及び支持体の斜視図である。
【図３】実施例３の研磨方法において、両面研磨機におけるレンズアレイの配設状態を示す模式的断面図及び支持体の斜視図である。
【図４】実施例４の研磨方法において、両面研磨機におけるレンズアレイの配設状態を示す模式的断面図及び支持体の斜視図である。
【図５】レンズアレイの模式的平面図及び模式的断面図である。
【図６】レンズアレイの模式的平面図及び模式的断面図である。
【図７】金型を用いてプレス成型を行なった際の加圧成型の状態を模式的に示した図である。
【図８】一体成型された４枚のレンズアレイを切断により、１枚ずつのレンズアレイを得ることを示した図である。
【図９】両面研磨機の概観及び上下回転盤に挟み込まれるキャリアの配置及び断面について模式的に示した図である。
【符号の説明】
【００４１】
１…レンズアレイ（板状ガラス光学素子）、２…レンズ部、３…ベース部、４…側端面、５…平坦面、１０…両面研磨機、１１…上定盤、１２…下定盤、１３…研磨布、１４…キャリア、１５…プランジャ、１６…リング、１７…塊状ガラス素材、１８…下型、１９…上型、２１…弾性体、３１…支持体、３２…支持体、３３…支持体、４１…太陽歯車、４２…内歯歯車。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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