(57)【要約】【課題】生体磁場計測装置における検査対象の測定位置設定に関する操作手順を単純化すること。また、生体磁場計測装置において正確な位置調整を実現し、測定装置の占有スペースを縮小化すること。そして、上記の課題を達成した生体磁場計測装置及び生体磁気計測における検査対象の測定位置設定方法を提供することにある。【解決手段】検査対象から発生する磁場を計測する磁束計を備えた測定手段と、前記検査対象を配置するためのステージと、前記磁束計のうち予め定めた磁束計と前記ステージの位置関係を予め定めた基準と、検査対象と前記基準の位置を調整するために水平方向および垂直方向に駆動可能な基準位置調整機構と、前記ステージを前記測定手段へ搬送する搬送機構と、搬送した前記ステージを前記測定手段の予め定められた位置に配置する位置決め機構と、を備えた生体磁場計測装置。【選択図】図１
2008029459.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁束計を備えた測定手段と、
検査対象を配置するためのステージと、
前記測定手段と前記ステージの位置関係を予め定めた基準と、
前記基準と検査対象の測定位置を合わせる基準／検査対象位置調整機構と、
前記ステージを前記測定手段に搬送するステージ搬送機構と、
前記ステージを前記測定手段の予め決められた位置に決定するステージ位置決め機構を備えたことを特徴とする生体磁場計測装置。
【請求項２】
請求項１に記載された生体磁場計測装置において、
前記基準／検査対象位置調整機構は、水平方向、および垂直方向に駆動する位置調整駆動手段を有することを特徴とする生体磁場計測装置。
【請求項３】
請求項１記載の生体磁場計測装置において、
前記基準は、前記検査対象と前記ステージとの間に位置し、かつ前記ステージと傾きなく水平に設けられることを特徴とする生体磁場計測装置。
【請求項４】
請求項３記載の生体磁場計測装置において、
前記測定手段は、一つまたは複数の磁束計を有し、
前記基準は、前記一つまたは複数の磁束計のうちに予め定めた一つより下方に位置し、
前記基準は、前記一つまたは複数の磁束計のうちに予め定めた一つより下ろした垂線が交差する交点に備えられることを特徴とする生体磁場計測装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載された生体磁場計測装置において、
前記基準は非磁性材料で構成されたことを特徴とする生体磁場計測装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載された生体磁場計測装置において、
前記基準はアクリル板のような光透過性の高い材料で構成されたことを特徴とする生体磁場計測装置。
【請求項７】
請求項６に記載の生体磁場計測装置において、
前記測定手段に備えられた前記１つまたは複数の磁束計のうちに予め定めた磁束計の位置から下ろした垂線が、水平に設けられた前記基準と交差する交点に基準マーカを設け、
前記基準マーカは、前記基準または前記ステージ若しくは磁束計を備えられる１つまたは複数のレーザ光源からの照射されるレーザで構成されることを特徴とする生体磁場計測装置。
【請求項８】
請求項７に記載の生体磁場計測装置において、
前記基準マーカは、前記１つまたは複数の磁束計のうちに予め定めた磁束計の位置から水平に設けられた前記基準に下ろした垂線と同軸のレーザで構成されたことを特徴とする生体磁場計測装置。
【請求項９】
操作により、測定手段が備えられたステージに検査対象を配置するステップと、
操作により、前記測定手段と前記ステージの位置関係を予め定めた基準を前記検査対象に配置するステップと、
操作により、前記基準に前記検査対象を位置調整するステップと、
操作により、前記測定手段に前記ステージを搬送するステップと、
操作により、前記測定手段の予め決められた位置に前記ステージを配置するステップと、を含むことを特徴とする生体磁場計測装置の測定位置設定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超伝導デバイスであるＳＱＵＩＤ（Ｓｕｐｅｒｃｏｎｄｕｃｔｉｎｇ  Ｑｕａｎｔｕｍ  Ｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅ  Ｄｅｖｉｃｅ  超伝導量子干渉素子）磁束計を利用して生体の脳や心臓などから発生する微弱な磁場（磁気、磁界）を計測する生体磁場計測装置に係わる。
【０００２】
特に、容易に被検者と磁束計の位置合わせを可能とする生体磁場計測装置に関する。
【背景技術】
【０００３】
生体磁場計測装置では、ＳＱＵＩＤ磁束計が不透明なデュワー等の断熱容器内に設置されているため被検者と磁場センサとの位置関係を正確に把握するのが難しい。
【０００４】
位置関係を把握する手段として、例えば、特許文献１記載の脳磁計に関する技術では、複数のＳＱＵＩＤ磁束計を、外形を頭部の曲率に合わせたデュワーの底部に配置し、頭部の複数個所に設置した磁場発生コイルに通電して発生する磁場をＳＱＵＩＤ磁束計により計測して、磁場発生コイルにより発生する磁場とＳＱＵＩＤ磁束計の出力関係をシミュレートする。
【０００５】
ＳＱＵＩＤ磁束計による出力電圧の理論値と計測値の差を最小とする磁場発生コイルの位置を推定することによって、磁場発生コイルを配置した頭部の個所の位置座標を特定している。
【０００６】
また、特許文献２に記載の心磁計に関する技術では、検査対象の剣状突起、頚切根の体表面に各々第１、第２のマーカが配置され、第１、第２のマーカを結ぶ線が、低温容器の内部で磁束計が配列する１方向に沿うように、低温容器底面の下部に腹部が配置され、演算処理装置は磁場波形の信号から心臓の活動に関する機能情報を表す画像を作成する処理と、剣状突起の体表面に第１のマーカを配置して、撮像装置により撮影された心臓を含む形態画像の画素の大きさに、機能情報を表す画像の画素の大きさを一致させ、形態画像と同じ大きさの画素をもつ機能画像を作成する処理、機能画像における第１のマーカの位置を一致させる処理、機能画像と形態画像との合成画像を作成する処理を実行している。
【０００７】
【特許文献１】特開平４−３０３４１６号公報
【特許文献２】特開２００１−１７００１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
従来の生体磁場計測装置では、検査対象の測定位置設定方法が、検査対象と検査対象を配置するための基準を合わせるステップと、前記基準と測定装置（測定手段）の基準を合わせるステップのニ段階に分かれており、操作手順が煩雑となる。
【０００９】
また、上記の測定位置設定方法は、正確な位置調整を行うために操作者が検査対象の脇で作業することが要求される。従って、測定装置内部に検査対象に加えて、操作者が配置するスペースが必要となる。
【００１０】
そこで、本発明の課題は、生体磁場計測装置における検査対象の測定位置設定に関する操作手順を単純化すること。また、生体磁場計測装置において正確な位置調整を実現し、測定装置の占有スペースを縮小化すること。
【００１１】
そして、上記の課題を達成した生体磁場計測装置及び生体磁気計測における検査対象の測定位置設定方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するための本発明の構成は以下の通りである。
【００１３】
磁束計を備えた測定手段と、
検査対象を配置するためのステージと、
前記測定手段と前記ステージの位置関係を予め定めた基準と、
前記基準と検査対象の測定位置を合わせる基準／検査対象位置調整機構と、
前記ステージを前記測定手段に搬送するステージ搬送機構と、
前記ステージを前記測定手段の予め決められた位置に決定するステージ位置決め機構を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、生体磁場計測装置における検査対象の測定位置設定に関する操作手順を単純化することができ、また同時に正確な位置調整が実現可能となる。さらに、測定装置の占有スペースを縮小化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明の生体磁場計測装置の代表的な構成について説明する。
【００１６】
本発明の生体磁場計測装置は、磁気シールドルームと、検査対象の磁場を計測するためのＳＱＵＩＤ磁束計（測定手段の磁束計）と、ＳＱＵＩＤ磁束計を冷却する低温容器と、低温容器の位置を固定するガンドリーと、低温容器に冷媒を供給するための冷媒供給ルートと、低温容器の冷媒が蒸発したガスを磁気シールドルームの外部に排出するためのガス排気ルートと、検査対象を測定位置に搬送させるためのステージと、検査対象の配置を決定する基準平面（基準）とを具備している。
【００１７】
磁気シールドルームは、ステージが収納可能な最小限の形状を有する。
【００１８】
基準平面（基準）に配置された基準マーカは、基準平面（基準）とＳＱＵＩＤ磁束計から基準平面（基準）に下ろした垂線との交点に配置される。
【００１９】
基準マーカと検査対象の測定位置をあわせるために、ステージはステージ位置調整機構（ｘ軸方向の基準／検査対象位置調整機構）、ステージ位置調整機構（ｙ軸方向の基準／検査対象位置調整機構）およびステージ位置調整機構（ｚ軸方向の基準／検査対象位置調整機構）を備える。
【００２０】
ステージ位置調整機構（基準／検査対象位置調整機構）は、ｘ軸方向、ｙ軸方向、ｚ軸方向に位置を移動する位置調整駆動手段を有する。
【００２１】
基準平面（基準）は、例えば、アクリル板（非磁性材料）のような光透過性の高い材料で構成されている。ステージの搬送は、ステージ搬送機構を使用する。
【００２２】
ステージ搬送機構は、例えば、ステージと、スライドレールと、ベアリングから構成される。ステージ搬送機構により、ステージはステージ駆動方向（ｙ軸方向の基準／検査対象位置調整機構）へ搬送される。
【００２３】
ステージ位置決め機構は、例えば、ステージ位置決めピンとステージ位置決め溝から構成される。ステージ位置決め機構は、ｙ軸方向の位置ずれ（言い換えると、ｙ軸方向の振動）を小さくする構成が望まれる。
【００２４】
上記構成を実現するために、ステージ位置決めピンに衝突時の衝撃を吸収する弾性材（例えば、ゴムやスポンジ）を使用する。また、ステージ位置決め溝のステージ位置決めピンとの接触面に粘着テープを使用する。
【００２５】
検査対象を測定位置に搬送後、ステージ位置調整機構（ｘ軸方向の基準／検査対象位置調整機構）を使用して、ｘ軸方向の位置ずれを補正することが可能である。また同時に、ステージ位置調整機構（ｙ軸方向の基準／検査対象位置調整機構）を使用して、ｙ軸方向の位置ずれを補正することが可能である。
【００２６】
基準平面（基準）は、検査対象を配置するステージに取り付けられる。また、基準平面（基準）は、検査対象の配置を容易にするために基準位置調整機構を備えている。具体的に基準平面（基準）は、基準平面位置決め機構と基準平面駆動機構を具備している。
【００２７】
基準平面位置決め機構は、基準平面とステージとの平行度を保持する機能がある。本機能を実現するための１つの手段として、例えば、Ｌ字アングルを利用することができる。
【００２８】
この基準平面位置決め機構３３は、ステージに直接取り付けられている。この基準平面（基準）は、検査対象がステージとの間に配置されるように基準平面位置決め機構へ取り付けられている。
【００２９】
ただし、検査対象が容易にステージへ配置できるよう、基準平面（基準）は、基準平面駆動機構が備えられている。これより基準平面（基準）は、位置調整が可能となる。
【００３０】
次に本発明の内容を実施例に基づき説明する。
【実施例１】
【００３１】
図１に示すように、本発明の生体磁場計測装置は、磁気シールドルーム１と、検査対象の磁場を計測するためのＳＱＵＩＤ磁束計１２と、ＳＱＵＩＤ磁束計１２を冷却する低温容器５と、低温容器５の位置を固定するガンドリー６と、低温容器５に冷媒を供給するための冷媒供給ルート７と、低温容器５の冷媒が蒸発したガスを磁気シールドルーム１外部に排出するためのガス排気ルート８と、検査対象１１を測定位置に搬送させるためのステージ９と、検査対象１１の配置を決定する基準平面１０（基準）とを具備している。
【００３２】
磁気シールドルームは１、ステージ９が収納可能な最小限の形状を有している。これにより、生体磁気計測装置のスペースが縮小することが可能となる。
【００３３】
基準平面１０（基準）に配置された基準マーカ１０ａは、基準平面１０（基準）とＳＱＵＩＤ磁束計１２から基準平面１０（基準）に下ろした垂線（つまり、基準平面の法線（ｚ軸方向）１３）との交点にある。
【００３４】
基準マーカ１１ａと検査対象の測定位置１１ａをあわせるために、ステージ９はステージ位置調整機構（ｘ軸方向の基準／検査対象位置調整機構）１７、ステージ位置調整機構（ｙ軸方向の基準／検査対象位置調整機構）１６およびステージ位置調整機構（ｚ軸方向の基準／検査対象位置調整機構）１８を備える。
【００３５】
操作者は検査対象の測定位置１１ａを基準平面１０（基準）から目で確認しながら調整するので、基準平面１０（基準）を通して検査対象の位置を確認できることが望まれる。
【００３６】
従って、基準平面１０（基準）は、例えば、アクリル板のような光透過性の高い材料で構成されている。特に、無色透明なアクリル板は、容易に検査対象の位置を確認することができる。
【００３７】
また、生体磁場計測装置では磁場を測定するので、基準平面１０（基準）は非磁性材料を使用することが望ましい。非磁性材料以外の場合、検査対象の磁場測定に影響を与えない対策、例えば、磁場測定時に基準平面１０（基準）を取り外して磁場測定をおこなう。
【００３８】
検査対象１１の位置調整後、検査対象を測定位置に搬送する。ステージ９の搬送は、ステージ搬送機構１４を使用する。ステージ搬送機構１４は、例えば、ステージ９と、スライドレール１４ａと、ベアリング（１４ｂ〜１４ｅ）から構成される。
【００３９】
ステージ搬送機構１４では、ステージ９をｘ軸方向の位置ずれ（言い換えると、ｘ軸方向の振動）を小さくする構成が望まれる。
【００４０】
また、検査対象に衝撃を与えないように搬送するために、ステージ搬送機構１４は、ｚ軸方向の位置ずれ（言い換えると、ｚ軸方向の振動）を小さくする構成が望まれる。ステージ搬送機構１４により、ステージ９はステージ駆動方向（ｙ軸方向）２０へ搬送される。
【００４１】
この時、検査対象１１および基準平面１０（基準）は低温容器５に衝突しない。操作者がステージ９をステージ位置決め機構１５まで搬送すると、検査対象は測定位置に配置される。図では、検査対象は足から測定位置に搬入されるが、頭から測定位置に搬入しても良い。
【００４２】
机１９は、計算機３、モニタ４を載置する。ＳＱＵＩＤ磁束計１２の信号は、駆動回路信号ケーブル２１を介して駆動回路２に送られる。駆動回路２の信号は、測定データ転送ケーブル２２を介して計算機３に送られる。
図２に示すように、検査対象は測定位置に配置される。この時、検査対象の測定位置１１ａは、特定位置のＳＱＵＩＤ磁束計１２ａから基準平面１０（基準）に下ろした垂線、つまり基準平面（基準）の法線（ｚ軸方向）１３）と同一直線上に配置される。
【００４３】
位置あわせの精度および再現性を決定するステージ位置決め機構１５は、例えば、ステージ位置決めピン９ａとステージ位置決め溝１５ａから構成される。
【００４４】
ステージ位置決め機構１５は、ｙ軸方向の位置ずれ（言い換えると、ｙ軸方向の振動）を小さくする構成が望まれる。上記構成を実現するために、ステージ位置決めピン９ａに衝突時の衝撃を吸収する弾性材（例えば、ゴムやスポンジ）を使用する。
【００４５】
また、ステージ位置決め溝のステージ位置決めピンとの接触面に粘着テープを使用する。また、投錨効果を利用した方法を使用することもできる。
【００４６】
図３に示すように、ステージ９に搭載される検査対象１１は測定位置に配置される。
【００４７】
予め基準平面１０（基準）の基準マーカ１０ａに位置調整された検査対象の測定位置１１ａは、ステージ搬送機構により搬送され、特定位置のＳＱＵＩＤ磁束計１２ａから基準平面１０（基準）に下ろした垂線、つまり基準平面（基準）の法線（ｚ軸方向）１３と同一直線上に配置される。
【００４８】
基準平面１０（基準）の基準マーカ１０ａは、ステージ位置決め機構１５により基準平面（基準）の法線（ｚ軸方向）１３と一致する。
【００４９】
したがって、検査対象の測定位置１１ａは基準平面（基準）の法線（ｚ軸方向）１３と一致する。この場合、ｘ軸方向の位置の正確さと精度は、ステージ位置決め機構１５によって決定する。
【００５０】
また、ステージ位置調整機構（ｙ軸方向の基準／検査対象位置調整機構）１６を使用して、ｙ軸方向の位置ずれを補正することが可能である。
【００５１】
さらに、基準平面の大きさ（ｙ軸方向）１０ｂは、検査対象１１が低温容器５の底面と衝突防止ために、検査対象１１の頭から腹部が覆われることが望ましい。または、検査対象１１の顎から腹部が覆われていても良い。
【００５２】
図４に示すように、ステージ９に搭載される検査対象１１は測定位置に配置される。
【００５３】
予め基準平面１０（基準）の基準マーカ１０ａに位置調整された検査対象の測定位置１１ａは、ステージ搬送機構により搬送され、特定位置のＳＱＵＩＤ磁束計１２ａから基準平面１０（基準）に下ろした垂線、つまり基準平面（基準）の法線（ｚ軸方向）１３と同一直線上に配置される。
【００５４】
基準平面１０（基準）の基準マーカ１０ａは、ステージ位置決め機構１５により基準平面（基準）の法線（ｚ軸方向）１３と一致する。
【００５５】
したがって、検査対象の測定位置１１ａは基準平面（基準）の法線（ｚ軸方向）１３と一致する。この場合、ｘ軸方向の位置の正確さと精度は、ステージ搬送機構１４によって決定する。
【００５６】
また、ステージ位置調整機構（ｘ軸方向の基準／検査対象位置調整機構）１７を使用して、ｘ軸方向の位置ずれを補正することが可能である。
【００５７】
さらに、基準平面（基準）の大きさ（ｘ軸方向）１０ｃは、検査対象１１が低温容器５の底面と衝突防止ために、検査対象を十分配置が可能なステージの幅（ｘ軸方向）以下が望ましい。
【００５８】
図７に示すように、基準平面１０（基準）は、検査対象１１を配置するステージ９に取り付けられる。
【００５９】
また、基準平面１０（基準）は、検査対象の配置を容易にするために基準位置調整機構を備えている。具体的に基準平面１０（基準）は、基準平面位置決め機構３０と、基準平面位置決め機構３３と、基準平面駆動機構３４と、基準平面駆動機構３２とを具備している。
【００６０】
基準平面位置決め機構３０は、基準平面１０とステージとの平行度を保持する機能がある。本機能を実現するための１つの手段として、例えば、Ｌ字アングルを利用することができる。
【００６１】
基準平面位置決め機構３０は、基準平面位置決め機構３３に１つ、または複数取り付けられている。この基準平面位置決め機構３３は、ステージに直接取り付けられている。または、基準平面駆動機構３２を介してステージに間接的に取り付けられている。
【００６２】
この基準平面１０（基準）は、検査対象がステージ９との間に配置されるように基準平面位置決め機構３０へ取り付けられている。ただし、検査対象が容易にステージへ配置できるよう、基準平面１０（基準）には基準平面駆動機構３４が備えられている。
【００６３】
これより基準平面１０（基準）は、基準平面駆動方向２９に位置調整が可能となる。また、基準平面１０（基準）は、基準平面駆動機構３２により基準平面駆動方向（ｘ軸方向）３１への位置調整が可能となる。
【００６４】
また、基準平面１０（基準）は、ｚ軸方向への基準位置調整機構を備えていても良い。検査対象の生体磁場計測のために、基準平面位置決め機構３０、基準平面位置決め機構３３、基準平面駆動機構３４、および基準平面駆動機構３２は、非磁性材料で構成するのが望ましい。
【実施例２】
【００６５】
図５に示すように、基準平面１０（基準）の基準マーカは、基準平面（基準）の法線と同軸のレーザ２５で構成される。
【００６６】
基準平面１０（基準）の基準マーカは、基準平面１０（基準）と、基準平面１０（基準）に取り付けられたレーザ発振器２４と反射板２３から構成される。操作者は、基準平面（基準）の法線と同軸のレーザ２５を検査対象の測定位置１１ａに位置調整する。
【００６７】
この位置調整はｙ方向である。
【００６８】
検査対象の生体磁場計測のために、反射板２３とレーザ発振器２４は比磁性材料で構成されるのが望ましい。レーザ発振器２４は検査対象の位置合わせをする時に使用し、検査対象の磁場測定の際には使用しない。
【００６９】
図６に示すように、基準平面１０の基準マーカは、基準平面の法線と同軸のレーザ２８で構成される。
【００７０】
基準平面１０の基準マーカは、基準平面１０と、基準平面１０に取り付けられたレーザ発振器２７と反射板２６から構成される。操作者は、基準平面の法線と同軸のレーザ２８を検査対象の測定位置１１ａに位置調整する。
【００７１】
この位置調整はｘ方向である。ｘ方向とｙ方向の位置調整を併せてすることにより、正確な検査対象の測定位置１１ａの位置調整が行なわれる。
【００７２】
検査対象の生体磁場計測のために、反射板２６とレーザ発振器２７は比磁性材料で構成されるのが望ましい。レーザ発振器２７は検査対象の位置合わせをする時に使用し、検査対象の磁場測定の際には使用しない。
【実施例３】
【００７３】
図８に示すように、磁気シールドルーム１が密閉型の形状を有している。
【００７４】
この場合、検査対象１１を搬送するステージ９は、レール１および２（３６ａと３６ｂ）によりステージ駆動方向（ｘ軸方向）３５へ搬送される。
【００７５】
図１１に示す磁気シールドルーム１でもステージは、ステージ駆動方向がｘ軸方向に搬送移動する。
【実施例４】
【００７６】
図９に示すように、基準平面（基準）の大きさ（ｙ軸方向）１０ｂは、操作者３７が検査対象の測定位置１１ａを指で確認できるような寸法が望ましい。具体的には、磁束計の測定範囲と等しい大きさ（ｙ軸方向）が望ましい。
【００７７】
図１０に示すように、基準平面（基準）の大きさ（ｘ軸方向）１０ｃは、操作者３７が検査対象の測定位置ａを指で確認できるような寸法が望ましい。具体的には、磁束計の測定範囲と等しい大きさ（ｘ軸方向）が望ましい。
【００７８】
上記実施例では、測定手段が一つの磁束計である。測定手段は、一つまたは複数の磁束計を有することが可能である。基準平面（基準）には、一つまたは複数の磁束計のうちに予め定めた一つが交点を結ぶことにより、残りの磁束計の位置が合うように仕組まれた構成が構築されている。
【００７９】
最後に上述した実施例を生体磁場計測装置の測定位置設定方法の観点からまとめる。
【００８０】
まず、操車者の操作により、測定手段が備えられたステージに検査対象は配置するステップが実行される。引き続き、操車者の操作により、測定手段とステージの位置関係を予め定めた基準平面（基準）が基準位置調整機構を用いて検査対象に配置するステップが実行される。
【００８１】
この後、操作者の操作により、基準平面（基準）に検査対象を基準／検査対象位置調整機構を用いて位置調整するステップが実行される。引き続き、操車者の操作により、測定手段にステージを搬送するステップが実行される。
【００８２】
さらに、操作者の操作により、測定手段の予め決められた位置にステージ位置決め機構を用いてステージを位置決め配置するステップが実行される。この測定位置設定方法を実行することにより、生体磁場計測装置による精度の良い測定が行なわれる。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】本発明における第１の実施例の生体磁場計測装置の全体の構成例を示した図。特に、検査対象の位置調整を磁気シールドルームの外部で実施した例。
【図２】本発明における第１の実施例の生体磁場計測装置の全体の構成例を示した図。特に、ステージに搭載される検査対象を測定位置に配置した状態を説明した図。
【図３】本発明の第１の実施例において、ステージに搭載される検査対象を測定位置に配置した状態を説明した図。特に、特定位置のＳＱＵＩＤ磁束計、基準平面のマーカおよび検査対象の測定位置の位置関係を説明した図（ｙ−ｚ平面）。
【図４】本発明の第１の実施例において、ステージに搭載される検査対象を測定位置に配置した状態を説明した図。特に、特定位置のＳＱＵＩＤ磁束計、基準平面のマーカおよび検査対象の測定位置の位置関係を説明した図（ｘ−ｚ平面）。
【図５】本発明における第２の実施例の生体磁場計測装置の基準平面の構成例を示した図で、ステージに搭載される検査対象を測定位置に配置した状態を説明した図。特に、特定位置のＳＱＵＩＤ磁束計、基準平面の法線と同軸のレーザ１および検査対象の測定位置の位置関係を説明した図（ｙ−ｚ平面）。
【図６】本発明における第２の実施例の生体磁場計測装置の基準平面の構成例を示した図で、ステージに搭載される検査対象を測定位置に配置した状態を説明した図。特に、特定位置のＳＱＵＩＤ磁束計、基準平面の法線と同軸のレーザ２および検査対象の測定位置の位置関係を説明した図（ｘ−ｚ平面）。
【図７】本発明の第１の実施例において、ステージに取り付けられた基準平面を説明した図。特に、基準平面の駆動方向を説明した図（ｘ−ｚ平面）。
【図８】本発明における第３の実施例の生体磁場計測装置の全体構成例を示した図。特に、検査対象の位置調整を磁気シールドルームの内部で実施した例で、ステージに搭載される検査対象を測定位置に配置した状態を説明した図。
【図９】本発明における第４の実施例の生体磁場計測装置の基準平面の構成例を示した図で、ステージに搭載される検査対象を測定位置に配置した状態を説明した図。特に、基準平面の大きさを説明した図（ｙ−ｚ平面）。
【図１０】本発明における第４の実施例の生体磁場計測装置の基準平面の構成例を示した図で、ステージに搭載される検査対象を測定位置に配置した状態を説明した図。特に、基準平面の大きさを説明した図（ｘ−ｚ平面）。
【図１１】本発明における第１の実施例の生体磁場計測装置で、別の磁気シールドルームの例を示した図。
【符号の説明】
【００８４】
１…磁気シールドルーム、１ａ…磁気シールドルームの床、２…駆動回路、３…計算機、４…モニタ、５…低温容器、６…ガントリー、７…冷媒供給ルート、８…ガス排気ルート、９…ステージ、９ａ…ステージ位置決めピン、１０…基準平面（基準）、１０ａ…基準のマーカ、１０ｂ…基準平面の大きさ（ｙ軸方向）、１０ｃ…基準平面の大きさ（ｘ軸方向）、１１…検査対象、１１ａ…検査対象の測定位置、１２…ＳＱＵＩＤ磁束計、１２ａ…特定位置のＳＱＵＩＤ磁束計、１３…基準平面の法線（ｚ軸方向）、１４…ステージ搬送機構、１４ａ…スライドレール、１４ｂ…ベアリング１、１４ｃ…ベアリング２、１４ｄ…ベアリング３、１４ｅ…ベアリング４、１５…ステージ位置決め機構、１５ａ…ステージ位置決め溝、１６…ステージ位置調整機構（ｙ軸方向）、１７…ステージ位置調整機構（ｘ軸方向）、１８…ステージ位置調整機構（ｚ軸方向）、１９…机、２０…ステージ駆動方向（ｙ軸方向）、２１…駆動回路信号ケーブル、２２…測定データ転送ケーブル、２３…反射板１、２４…レーザ発振器（第一のレーザ）、２５…基準平面の法線と同軸のレーザ１（第一のレーザ）、２６…反射板２、２７…レーザ発振器（第ニのレーザ）、２８…基準平面の法線と同軸のレーザ２（第ニのレーザ）、２９…基準平面駆動方向１、３０…基準平面位置決め機構１、３１…基準平面駆動方向２（ｘ軸方向）、３２…基準平面駆動機構２、３３…基準平面位置決め機構２、３４…基準平面駆動機構１、３５…ステージ駆動方向（ｘ軸方向）、３６ａ…レール１、３６ｂ…レール２、３７…操作者。
【図１】
2008029459.tif 000003
【図２】
2008029459.tif 000004
【図３】
2008029459.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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