(57)【要約】      （修正有）【課題】製造工程を簡略化できると共に製造コストを削減することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】圧電素子ユニット１８をケースヘッド２０の収容部内に固定することなく収容する仮収容工程と、表面に接着剤を所定厚さで塗布した塗布台に、ケースヘッド２０の端面が塗布台上の接着剤に接触するまでケースヘッド２０を鉛直方向に所定速度で下降させた後、ケースヘッド２０を鉛直方向に所定速度で上昇させることで、圧電素子１７の先端面とケースヘッド２０の端面とに塗布台上の接着剤３０を転写する転写工程と、ケースヘッド２０の端面に流路ユニット１６を当接させてケースヘッド２０と流路ユニット１６とを接合するのと同時に、圧電素子１７の先端面を振動板１５上に接合する接合工程と、圧電素子ユニット１８の固定基板３５とケースヘッド２０との隙間に接着剤３９を充填して両者を固定する固定工程と、を具備するようにする。【選択図】図５
2008213277.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の圧電素子が形成される圧電素子形成部材とこの圧電素子形成部材が固定される固定基板とを具備する圧電素子ユニットと、前記圧電素子の先端面を露出させた状態で該圧電素子ユニットが収容される収容室を有すると共に前記固定基板が接着剤によって固定されるケースヘッドと、前記圧電素子の先端面が露出する前記ケースヘッドの端面に接合され、前記圧電素子の先端面が固定される振動板を有すると共にノズル開口に連通する複数の圧力発生室が設けられる流路形成基板を具備する流路ユニットとを具備する液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記圧電素子ユニットを前記ケースヘッドの収容部に挿入して前記圧電素子の先端面を前記ケースヘッドの端面よりも外側に突出させ、且つ挿入方向で移動自在に前記圧電素子ユニットを前記収容部に収容する仮収容工程と、
表面に接着剤を所定厚さで塗布した塗布台に前記圧電素子の先端面が相対向するように前記ケースヘッドを配置し、前記ケースヘッドの端面が前記塗布台上の接着剤に接触するまで当該ケースヘッドを鉛直方向に所定速度で下降させた後、前記ケースヘッドを鉛直方向に所定速度で上昇させることで、前記圧電素子の先端面と前記ケースヘッドの端面とに前記塗布台上の接着剤を転写する転写工程と、
前記ケースヘッドの端面に前記流路ユニットを当接させて前記ケースヘッドと前記流路ユニットとを接合するのと同時に、前記圧電素子の先端面を前記振動板上に接合する接合工程と、
前記圧電素子ユニットの前記固定基板と前記ケースヘッドとの隙間に接着剤を充填して両者を固定する固定工程と、
を具備することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記流路ユニットの前記ケースヘッドが当接する面と、前記圧電素子の先端面が当接する面とが同一平面内にあることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッドの製造法方法。
【請求項３】
前記接着剤を転写する際に、前記ケースヘッド及び前記圧電素子ユニットを前記塗布台側に所定圧力で加圧することを特徴とする請求項１又は２に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記圧電素子ユニットを加圧する圧力が、前記ケースヘッドを加圧する圧力よりも小さいことを特徴とする請求項３に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記塗布台の表面に取り外し可能に設けられた樹脂フィルム上に前記接着剤を塗布することを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記樹脂フィルムを前記塗布台上に吸着保持した状態で、前記ケースヘッドの端面と前記圧電素子の先端面とに接着剤を転写することを特徴とする請求項５に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子の駆動により液滴を吐出する液体噴射ヘッドの製造方法に関し、特に、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドの代表例としては、例えば、圧電素子の変位による圧力を利用してノズル開口からインク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドが知られている。具体的には、ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられ流路形成板とその一方面側に設けられる振動板とを有する流路ユニットと、各圧力発生室に対応して設けられ支持基板に固定された圧電素子（圧電振動子）と、この圧電素子を収容する収容室を有するケースヘッド（基台）とを有するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−７４７４０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このようなインクジェット式記録ヘッドを構成する流路ユニットと、支持基板に固定された圧電素子及びケースヘッドとは、一般的に、接着剤によって接合されている。その製造方法としては、まず、ケースヘッドの流路ユニット側の端面に、例えば、フィルム転写等によって接着剤を塗布して、ケースヘッドと流路ユニットとを接合する。その後、圧電素子の先端面に、例えば、フィルム転写等によって接着剤を塗布し、その圧電素子をケースヘッドの収容部に収容して圧電素子の先端面と流路ユニットの振動板とを接合する。
【０００５】
このようにケースヘッドと圧電素子とをそれぞれ処理しているため、製造工程が極めて煩雑であり、さらにケースヘッドと圧電素子とに接着剤を塗布する工程のそれぞれに、装置や人員が必要であるため、製造コストが高くなってしまうという問題がある。
【０００６】
なお、このような問題は、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドの製造方法だけでなく、他の液滴を吐出する液体噴射ヘッドの製造方法においても同様に存在する。
【０００７】
本発明は上述した事情に鑑みてなされたものであり、製造工程を簡略化できると共に製造コストを削減することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決する本発明は、複数の圧電素子が形成される圧電素子形成部材とこの圧電素子形成部材が固定される固定基板とを具備する圧電素子ユニットと、前記圧電素子の先端面を露出させた状態で該圧電素子ユニットが収容される収容室を有すると共に前記固定基板が接着剤によって固定されるケースヘッドと、前記圧電素子の先端面が露出する前記ケースヘッドの端面に接合され、前記圧電素子の先端面が固定される振動板を有すると共にノズル開口に連通する複数の圧力発生室が設けられる流路形成基板を具備する流路ユニットとを具備する液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記圧電素子ユニットを前記ケースヘッドの収容部に挿入して前記圧電素子の先端面を前記ケースヘッドの端面よりも外側に突出させ、且つ挿入方向で移動自在に前記圧電素子ユニットを前記収容部に収容する仮収容工程と、表面に接着剤を所定厚さで塗布した塗布台に前記圧電素子の先端面が相対向するように前記ケースヘッドを配置し、前記ケースヘッドの端面が前記塗布台上の接着剤に接触するまで当該ケースヘッドを鉛直方向に所定速度で下降させた後、前記ケースヘッドを鉛直方向に所定速度で上昇させることで、前記圧電素子の先端面と前記ケースヘッドの端面とに前記塗布台上の接着剤を転写する転写工程と、前記ケースヘッドの端面に前記流路ユニットを当接させて前記ケースヘッドと前記流路ユニットとを接合するのと同時に、前記圧電素子の先端面を前記振動板上に接合する接合工程と、前記圧電素子ユニットの前記固定基板と前記ケースヘッドとの隙間に接着剤を充填して両者を固定する固定工程とを具備することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
かかる本発明では、ケースヘッドの流路ユニット側の端面と圧電素子の先端面とに、同時に接着剤を塗布することができ、また、これらケースヘッドと圧電素子とを流路ユニットに同時に精度良く接合することができる。したがって、製造工程が削減され、それに伴い装置や人員も削減することができる。よって、製造コストを大幅に削減することができる。
【０００９】
ここで、前記流路ユニットの前記ケースヘッドが当接する面と、前記圧電素子の先端面が当接する面とが同一平面内にあることが好ましい。これにより、仮収容工程において、圧電素子の先端面がケースヘッドの先端面よりも外側に突出するため、転写工程において、圧電素子の先端面とケースヘッドの端面とのそれぞれに、確実且つ良好に接着剤を転写することができる。
【００１０】
また、前記接着剤を転写する際に、前記ケースヘッド及び前記圧電素子ユニットを前記塗布台側に所定圧力で加圧することが好ましい。これにより、ケースヘッドと圧電素子の先端面とに、接着剤をより確実且つ良好に転写することができる。
【００１１】
また、前記圧電素子ユニットを加圧する圧力が、前記ケースヘッドを加圧する圧力よりも小さいことが好ましい。これにより、転写工程において圧電素子が変形してしまうのを防止できる。したがって、変形に伴う圧電素子に割れや、転写不良の発生を防止することができる。
【００１２】
また、前記塗布台の表面に取り外し可能に設けられた樹脂フィルム上に前記接着剤を塗布することが好ましい。これにより、塗布台上の接着剤を拭き取る等の工程が必要なくなり、製造工程がさらに簡略化される。
【００１３】
さらに、樹脂フィルム上に前記接着剤を塗布する場合には、前記樹脂フィルムを前記塗布台上に吸着保持した状態で、前記ケースヘッドの端面と前記圧電素子の先端面とに接着剤を転写するが好ましい。これにより、接着剤が樹脂フィルムから良好に剥離されてケースヘッドの端面及び圧電素子の先端面に良好に転写される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
図１は、インクジェット式記録ヘッドの一例を示す断面図である。図示するように、インクジェット式記録ヘッド１０は、複数の圧力発生室１１を有する流路形成基板１２と、各圧力発生室１１に連通する複数のノズル開口１３が穿設されたノズルプレート１４と、流路形成基板１２のノズルプレート１４とは反対側の面に設けられる振動板１５とを具備する流路ユニット１６を有する。さらに、振動板１５上の各圧力発生室１１に対応する領域に設けられる圧電素子１７を有する圧電素子ユニット１８と、振動板１５上に固定されて圧電素子ユニット１８が収容される収容部１９を有するケースヘッド２０とを有する。
【００１５】
流路形成基板１２には、その一方面側の表層部分に、圧力発生室１１が隔壁２１によって区画されてその幅方向で複数並設されている。例えば、本実施形態では、流路形成基板１２には、複数の圧力発生室１１が並設され、各圧力発生室１１の列の外側には、各圧力発生室１１にインクを供給するためのリザーバ２２が、流路形成基板１２を厚さ方向に貫通して設けられている。そして、各圧力発生室１１とリザーバ２２とは、インク供給路２３を介して連通している。インク供給路２３は、本実施形態では、圧力発生室１１よりも狭い幅で形成されており、リザーバ２２から圧力発生室１１に流入するインクの流路抵抗を一定に保持する役割を果たしている。さらに、圧力発生室１１のリザーバ２２とは反対の端部側には、流路形成基板１２を貫通するノズル連通孔２４が形成されている。このような流路形成基板１２は、本実施形態では、シリコン単結晶基板からなり、流路形成基板１２に設けられる上記圧力発生室１１等は、流路形成基板１２をエッチングすることによって形成されている。
【００１６】
この流路形成基板１２の一方面側にはノズル開口１３が穿設されたノズルプレート１４が接着剤や熱溶着フィルムを介して接着され、各ノズル開口１３は、流路形成基板１２に設けられたノズル連通孔２４を介して各圧力発生室１１と連通している。また、流路形成基板１２の他方面側、すなわち、圧力発生室１１の開口面側には振動板１５が接合されて、各圧力発生室１１はこの振動板１５によって封止されている。
【００１７】
この振動板１５は、例えば、樹脂フィルム等の弾性部材からなる弾性膜２５と、この弾性膜２５を支持する、例えば、金属材料等からなる支持板２６との複合板で形成されており、弾性膜２５側が流路形成基板１２に接合されている。例えば、本実施形態では、弾性膜２５は、厚さが数μｍ程度のＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）フィルムからなり、支持板２６は、厚さが数十μｍ程度のステンレス鋼板（ＳＵＳ）からなる。また、振動板１５の各圧力発生室１１に対向する領域内には、圧電素子１７の先端部が当接する島部２７が設けられている。すなわち、振動板１５の各圧力発生室１１の周縁部に対向する領域に他の領域よりも厚さの薄い薄肉部２８が形成されて、この薄肉部２８の内側にそれぞれ島部２７が設けられている。また、本実施形態では、振動板１５のリザーバ２２に対向する領域に、薄肉部２８と同様に、支持板２６がエッチングにより除去されて実質的に弾性膜のみで構成されるコンプライアンス部２９が設けられている。なお、このコンプライアンス部２９は、リザーバ２２内の圧力変化が生じた時に、このコンプライアンス部２９の弾性膜２５が変形することによって圧力変化を吸収し、リザーバ２２内の圧力を常に一定に保持する役割を果たす。
【００１８】
そして、圧電素子ユニット１８を構成する各圧電素子１７は、その活性領域の先端が振動板１５の島部２７に当接されている。実際には、各圧電素子１７の先端面が接着剤３０によって島部２７に接合されている。
【００１９】
ここで、圧力発生室１１内にインク滴を吐出するための圧力を発生する圧力発生手段である圧電素子１７は、本実施形態では、一つの圧電素子ユニット１８において一体的に形成されている。すなわち、圧電材料３１と電極形成材料３２，３３とを縦に交互にサンドイッチ状に挟んで積層した圧電素子形成部材３４を形成し、この圧電素子形成部材３４を各圧力発生室１１に対応して櫛歯上に切り分けることによって各圧電素子１７が形成されている。すなわち、本実施形態では、複数の圧電素子１７が一体的に形成されている。そして、この圧電素子１７（圧電素子形成部材３４）の振動に寄与しない不活性領域、すなわち、圧電素子１７の基端部側が固定基板３５に固着されている。そして、圧電素子１７の基端部近傍には、固定基板３５とは反対側の面に、各圧電素子１７を駆動するための信号を供給する配線３６を有する回路基板３７が接続され、本実施形態では、これら圧電素子１７（圧電素子形成部材３４）と固定基板３５と回路基板３７とで圧電素子ユニット１８が構成されている。
【００２０】
このような圧電素子ユニット１８は、圧電素子１７の先端部が上述したように振動板１５の島部２７に当接された状態で固定されている。例えば、本実施形態では、上述したように振動板１５上にケースヘッド２０が固定されており、圧電素子ユニット１８は、このケースヘッド２０の収容部１９内に収容されて、圧電素子１７が固定された固定基板３５が、圧電素子１７とは反対面側でケースヘッド２０に固定されている。具体的には、ケースヘッド２０の収容部１９内には、段差部３８が設けられており、固定基板３５は、このケースヘッド２０の段差部３８に接着剤３９によって接合されている。
【００２１】
さらにケースヘッド２０上には、回路基板３７の各配線３６がそれぞれ接続される複数の導電パッド４０が設けられた配線基板４１が固定されており、ケースヘッド２０の収容部１９は、この配線基板４１によって実質的に塞がれている。配線基板４１には、ケースヘッド２０の収容部１９に対向する領域にスリット状の開口部４２が形成されており、回路基板３７はこの配線基板４１の開口部４２から収容部１９の外側に引き出されている。
【００２２】
また、圧電素子ユニット１８を構成する回路基板３７は、例えば、本実施形態では、圧電素子１７を駆動するための駆動ＩＣ（図示なし）が搭載されたチップオンフィルム（ＣＯＦ）からなる。そして、回路基板３７の各配線３６は、その基端部側では、例えば、半田、異方性導電材等によって圧電素子１７を構成する電極形成材料３２，３３に接続されている。一方、先端部側では、各配線３６は配線基板４１の各導電パッド４０に接合されている。具体的には、配線基板４１の開口部４２から収容部１９の外側に引き出された回路基板３７の先端部が配線基板４１の表面に沿って折り曲げられた状態で、各配線３６は配線基板４１の各導電パッド４０に接合されている。
【００２３】
そして、このようなインクジェット式記録ヘッド１０では、インク滴を吐出する際に、圧電素子１７及び振動板１５の変形によって各圧力発生室１１の容積を変化させて所定のノズル開口１３からインク滴を吐出させるようになっている。具体的には、図示しないインクカートリッジからリザーバ２２にインクが供給されると、インク供給路２３を介して各圧力発生室１１にインクが分配される。実際には、圧電素子１７に電圧を印加することにより圧電素子１７を収縮させる。これにより、振動板１５が圧電素子１７と共に変形されて圧力発生室１１の容積が広げられ、圧力発生室１１内にインクが引き込まれる。ノズル開口１３に至るまで内部にインクが満たされた後、配線基板を介して供給される記録信号に従い、圧電素子１７の電極形成材料３２，３３に印加していた電圧を解除する。これにより、圧電素子１７が伸張伸張されて元の状態に戻ると共に振動板１５も変位して元の状態に戻る。結果として圧力発生室１１の容積が収縮して圧力発生室１１内の圧力が高まりノズル開口１３からインク滴が吐出される。
【００２４】
以下、このようなインクジェット式記録ヘッドの製造方法、特に、流路ユニット１６と、圧電素子ユニット１８と、ケースヘッド２０との組立方法について、図２〜図４を参照して説明する。なお、図２〜４は、インクジェット式記録ヘッドの製造工程を示す断面図である。
【００２５】
まずは、圧電素子ユニット１８と、流路ユニット１６とをそれぞれ形成する。具体的には、図示しないが、圧電素子形成部材３４を固定基板３５に接合し、この圧電素子形成部材３４を上述したように各圧力発生室１１に対応して櫛歯上に切り分けることによって圧電素子ユニット１８を形成する。一方、圧力発生室１１等が形成された流路形成基板１２に、ノズルプレート１４と振動板１５を接合することによって流路ユニット１６を形成する。
【００２６】
そして、これら圧電素子ユニット１８と、流路ユニット１６と、ケースヘッド２０とを組み立てる。組み立て工程としは、まず図２（ａ）に示すように、ケースヘッド２０の収容部１９内に圧電素子ユニット１８を挿入して仮収容する。なお、仮収容とは、圧電素子ユニット１８をケースヘッド２０の収容部１９内に収容するが接着剤によって固定しない状態のことである。このため、圧電素子ユニット１８を収容部１９内に仮収容した状態では、圧電素子ユニット１８は、少なくとも収容部１９への挿入方向（図中上下方向）において、移動自在となっている。また、仮収容の状態では、図２（ｂ）に示すように、圧電素子ユニット１８の固定基板３５が段差部３８に接着剤を介することなく直接接触しているため、圧電素子１７の先端面１７ａは、接着剤の厚さ分だけ、ケースヘッド２０の端面（流路ユニット１６が接合される側の端面）２０ａよりも外側に突出している。
【００２７】
次に、この圧電素子ユニット１８を構成する圧電素子１７の先端面１７ａと、ケースヘッド２０の端面２０ａに接着剤を転写（塗布）する。具体的には、まず図３（ａ）に示すように、圧電素子ユニット１８が仮収容されたケースヘッド２０を、所定の支持治具５０によって支持し、圧電素子ユニット１８及びケースヘッド２０と、流路ユニット１６とを接合するための接着剤３０が塗布された塗布台５１に相対向するように配置する。
【００２８】
ここで、本実施形態では、塗布台５１上に、例えば、ＰＥＴフィルム等である樹脂フィルム５２が載置され、この樹脂フィルム５２上に接着剤３０が所定厚さで塗布されている。樹脂フィルム５２上への接着剤３０の塗布方法は、特に限定されないが、例えば、樹脂フィルム５２上に所定量の接着剤３０を滴下し、滴下した接着剤３０をスキージ等によってならすことによって所定の厚さとすればよい。
【００２９】
また、本実施形態では、樹脂フィルム５２は、塗布台５１上に取り外し可能に保持されている。例えば、本実施形態では、塗布台５１には、複数の貫通孔５３が設けられており、これらの貫通孔５３は、例えば、真空ポンプ等の吸引装置（図示なし）に接続されている。そして、樹脂フィルム５２は、これら複数の貫通孔５３を介して吸引装置によって吸引されることで、塗布台５１上に吸引保持されている。
【００３０】
次に、図３（ｂ）に示すように、ケースヘッド２０を支持する支持治具５０を塗布台５１に向かって下降させる。すなわち、ケースヘッド２０を鉛直方向に下降させて、圧電素子１７の先端面１７ａとケースヘッド２０の端面２０ａとを接着剤３０に押しつける。
【００３１】
ここで、上述したように圧電素子１７の先端面１７ａは、ケースヘッド２０の端面２０ａよりも外側に突出している。このため、ケースヘッド２０を下降させると、まずは圧電素子１７の先端面１７ａが接着剤３０に押しつけられる。その後、ケースヘッド２０のみがさらに下降して、ケースヘッド２０の端面２０ａが接着剤３０に押しつけられる。このように、圧電素子ユニット１８が仮収容されたケースヘッド２０を接着剤３０に向かって下降させることで、圧電素子１７の先端面１７ａとケースヘッド２０の端面２０ａとを接着剤３０に順次押しつけることができる。
【００３２】
なお、ケースヘッド２０を支持する支持治具５０の下降速度は、特に限定されないが、比較的ゆっくりした速度であることが好ましい。これにより、圧電素子１７が接着剤３０に当接した衝撃で変形して折れてしまうのを防止することができる。
【００３３】
その後、図４（ａ）に示すように、ケースヘッド２０を支持する支持治具５０を鉛直方向に上昇させる。これにより、樹脂フィルム５２上の接着剤３０が剥離して、圧電素子１７の先端面１７ａとケースヘッド２０の端面２０ａとに所定の厚さで同時に転写される。なお、支持治具５０を上昇させた状態では、上述したように圧電素子１７の先端面１７ａは、ケースヘッド２０の端面２０ａよりも外側に突出した状態となる。
【００３４】
支持治具５０の上昇速度は、下降速度ほど遅くする必要はないが、比較的低速であることが好ましい。これにより、接着剤３０の転写ムラを防止することができる。また、本実施形態では、上述したように樹脂フィルム５２が塗布台５１上に吸引保持されているため、支持治具５０を上昇させた際に、接着剤３０が樹脂フィルム５２から良好に剥離される。このことによっても、接着剤３０の転写ムラを防止することができる。
【００３５】
なお、圧電素子１７の先端面１７ａとケースヘッド２０の端面２０ａとを接着剤３０に押しつける際、これら圧電素子１７の先端面１７ａとケースヘッド２０の端面２０ａとを、圧電素子ユニット１８又はケースヘッド２０の自重によって接着剤３０に押しつけるようにしてもよいが、圧電素子ユニット１８及びケースヘッド２０をそれぞれ塗布台５１側に向かって所定の圧力で加圧することが好ましい。これにより、圧電素子１７の先端面１７ａとケースヘッド２０の端面２０ａとを接着剤３０を良好に転写させることができる。
【００３６】
ケースヘッド２０の端面２０ａは、比較的面積が広いため、圧力の違いによって転写される接着剤の厚さが変化する。したがって、ケースヘッド２０を一定の圧力で加圧することで、ケースヘッド２０の端面２０ａに常に一定の厚さで接着剤３０を転写させることができる。一方、圧電素子ユニット１８を加圧することで、圧電素子１７の先端面１７ａが接着剤３０に対して斜めに当接するのを防止して、常に均一な厚さで接着剤３０を転写させることができる。なお、圧電素子１７の先端面１７ａは、比較的面積が狭いため圧力の違いによる接着剤の厚さの変化はほとんどない。
【００３７】
また、圧電素子ユニット１８及びケースヘッド２０をそれぞれ塗布台５１側に向かって所定の圧力で加圧する場合、圧電素子ユニット１８を加圧する圧力は、ケースヘッド２０を加圧する圧力よりも小さいことが好ましい。これにより、転写工程において圧電素子が変形してしまうのを防止でき、変形に伴う圧電素子１７に割れや、転写不良の発生を防止することができる。
【００３８】
次いで、図４（ｂ）に示すように、ケースヘッド２０の端面２０ａに流路ユニット１６を当接させて、接着剤３０を硬化させる。これにより、ケースヘッド２０と流路ユニット１６とが接合されると共に、圧電素子ユニット１８と流路ユニットとが接着剤３０によって接合される。このような接合工程を実施する際、圧電素子ユニット１８は、上述したようにケースヘッド２０の収容部１９に仮収容された状態のままである。このため、圧電素子１７の先端面１７ａは、上述したようにケースヘッド２０の端面２０ａよりも突出している。したがって、ケースヘッド２０の端面２０ａに流路ユニット１６を当接させる際には、まず流路ユニット１６の島部２７が圧電素子１７の先端面１７ａに当接し、その後、圧電素子ユニット１８が流路ユニット１６と共に移動することで、流路ユニット１６はケースヘッド２０の端面２０ａに当接する。そして、この状態で、接着剤３０を硬化させることで、流路ユニット１６が、ケースヘッド２０及び圧電素子ユニット１８と同時に接合される。
【００３９】
このようにケースヘッド２０及び圧電素子ユニット１８と流路ユニット１６とを接合した後は、図５に示すように、圧電素子ユニット１８の固定基板３５とケースヘッド２０との隙間に接着剤３９を流し込んで硬化させる。上述したように、流路ユニット１６をケースヘッド２０に当接させる際には、圧電素子ユニット１８が流路ユニット１６と共に移動するため、圧電素子ユニット１８の固定基板３５とケースヘッド２０の段差部３８との間には空間が形成される。そして、この空間に接着剤３９を流し込んで硬化させる。これにより、圧電素子ユニット１８の固定基板３５がケースヘッド２０に固定され、流路ユニット１６と、圧電素子ユニット１８と、ケースヘッド２０との組み立てが完了する。
【００４０】
以上したように、本発明のインクジェット式記録ヘッドの製造方法では、ケースヘッドと圧電素子ユニットとに、接着剤を同時に転写（塗布）することができる。さらに、これらケースヘッドと圧電素子ユニットとを、流路ユニット１６に同時に接合することができる。したがって、製造工程を大幅に削減することができる。また、製造工程の削減に伴い、装置や人員も削減することができる。よって、製造コストを大幅に削減することができる。
【００４１】
また、ケースヘッド２０と圧電素子ユニット１８とに接着剤３０を転写する際、樹脂フィルム上に残っている接着剤は廃棄されるが、本実施形態のように、一工程で二つの部材に接着剤を転写することで、破棄する接着剤の量も大幅に削減することができる。
【００４２】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、上述した実施形態においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドの製造方法にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図２】実施形態１に係る記録ヘッドの製造工程を示す断面図である。
【図３】実施形態１に係る記録ヘッドの製造工程を示す断面図である。
【図４】実施形態１に係る記録ヘッドの製造工程を示す断面図である。
【図５】実施形態１に係る記録ヘッドの製造工程を示す断面図である。
【符号の説明】
【００４４】
１０  インクジェット式記録ヘッド、  １１  圧力発生室、  １２  流路形成基板、  １３  ノズル開口、  １４  ノズルプレート、  １５  振動板、  １６  流路ユニット、  １７  圧電素子、  １８  圧電素子ユニット、  １９  収容部、  ２０  ケースヘッド、  ２１  隔壁、  ２２  リザーバ、  ２３  インク供給路、  ２４  ノズル連通孔、  ２５  弾性膜、  ２６  支持板、  ２７  島部、  ２８  薄肉部、  ２９  コンプライアンス部、  ３０  接着剤、  ３１  圧電材料、  ３２，３３  電極形成材料、  ３４  圧電素子形成部材、  ３５  固定基板、  ３６  配線、  ３７  回路基板、  ３８  段差部、  ３９  接着剤、  ４０  導電パッド、  ４１  配線基板、  ４２  開口部、  ５０  支持治具、  ５１  塗布台、  ５２  樹脂フィルム、  ５３  貫通孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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