(57)【要約】【課題】１本の導電検査用プローブピンでありながら、検査用途に応じて、伸縮ピン，非伸縮ピンのいずれか一方として使用できるようにする。【解決手段】バレル２０内に、一端に被検査物に接触する接触端子３０１を有するピン本体３０の他端側が摺動可能に挿通され、ピン本体３０がバレルに装着されているバネ手段２１０によりバレル２０から突出する方向に付勢されている導電検査用プローブピン１０において、ピン本体３０をバレル２０に対して選択的に非摺動状態とするピン固定手段（ピン本体３０側に形成されている係合溝３２１と、バレル２０の外側から係合溝３２１に解離可能に係合する係合突起４１０）を備える。【選択図】図１
2008139089.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
バレル内に、一端に被検査物に接触する接触端子を有するピン本体の他端側が摺動可能に挿通され、上記ピン本体が上記バレルに装着されているバネ手段により上記バレルから突出する方向に付勢されている導電検査用プローブピンにおいて、
上記ピン本体を上記バレルに対して選択的に非摺動状態とするピン固定手段を備えていることを特徴とする導電検査用プローブピン。
【請求項２】
上記ピン本体は、その他端側に上記バレルの内径とほぼ同径である頭部を備え、上記バレルは、上記頭部の移動範囲内における所定部位に孔を有し、上記ピン固定手段が、上記頭部側に形成された係合溝と、上記バレルの外側から上記孔を通して一部分が上記係合溝内に解離可能に係合する係合突起とからなることを特徴とする請求項１に記載の導電検査用プローブピン。
【請求項３】
上記係合突起が、一端が上記バレルの所定部位に固定され、他端が上記バレルから離れる方向に付勢されたバネ弾性を有するキャップフレームの他端側に設けられていることを特徴とする請求項２に記載の導電検査用プローブピン。
【請求項４】
上記孔が、上記ピン本体の最大突出時における上記頭部の初期位置に対応する位置に穿設されていることを特徴とする請求項２または３に記載の導電検査用プローブピン。
【請求項５】
上記接触端子が尖鋭針状に形成されており、その先端部以外の部分に絶縁膜が形成されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の導電検査用プローブピン。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、導電検査用プローブピンに関し、さらに詳しく言えば、伸縮ピン，非伸縮ピンの両機能を備えた導電検査用プローブピンに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
導電検査用プローブピンには、例えば特許文献１に記載されているように、フットプリント検査用の尖鋭針とスルーホール検査用のブレードとを１本のピンにまとめた特殊なものもあるが、通常よく使用されるものとしては、図２（ａ）に示す伸縮ピン１Ａと、図２（ｂ）に示す非伸縮ピン１Ｂとがある。
【０００３】
伸縮ピン１Ａはスプリングピンとも呼ばれ、バレル（金属製の筒）２内に、一端に被検査物に接触する接触端子３ａを有するピン本体３の他端側が摺動可能に挿通され、ピン本体３がバレル２に装着されている圧縮バネ４によりバレル１から突出する方向に付勢されているプローブピンで、これに対して、非伸縮ピン１Ｂはピン本体３のみにより構成されるプローブピンである。
【０００４】
接触端子３ａの形状には、図２（ａ）（ｂ）に示す尖鋭針状のほかに円柱状，円柱部の先端に複数の錐状突起が形成された多山状など種々あるが、図２（ｃ）に示すように、基板５上に形成された回路配線で、その上面がパッシベーション絶縁膜７にて被覆された回路配線６の検査には、パッシベーション絶縁膜７を突き破る必要があることから、図２（ａ）（ｂ）に示す尖鋭針状のものが使用される。
【０００５】
なお、パッシベーション絶縁膜７は、基板５上に回路配線６を形成した後に、その表面を外的な損傷（機械的損傷，化学的損傷および静電破壊などの電気的損傷）から保護するための保護膜で、通常、ＰＳＧ（Ｐｈｏｓｐｈｏ−Ｓｉｌｉｃａｔｅ−Ｇｌａｓｓ）膜や、シリコン窒化膜（Ｓｉ３Ｎ４）などが用いられる。
【０００６】
【特許文献１】特開平７−２１８５３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
伸縮ピン１Ａによれば、被検査物に対する押圧力が圧縮バネ４のバネ圧に依存することから、回路配線６に機械的な損傷を与えるおそれはないが、バネ圧が足りない場合もしくはパッシベーション絶縁膜７が硬い場合、パッシベーション絶縁膜７を突き破ることができないことがある。
【０００８】
これに対して、非伸縮ピン１Ｂの場合、硬くて弾性を有しないため、被検査物に対して伸縮ピン１Ａよりも大きな押圧力をかけてパッシベーション絶縁膜７を突き破ることができるが、他方において、回路配線６を破壊してしまうことがある。
【０００９】
これとは別に、例えばＴＦＴ（薄膜トランジスタ）液晶表示パネルやＳＴＮ（スーパーツィステッドネマチック）液晶表示パネルで、その端子部にベアチップなどの電子部品が搭載されているＣＯＧ（Ｃｈｉｐ  Ｏｎ  Ｇｌａｓｓ）型の機種では、近年、端子部に形成されるＩＴＯ配線の配線間隔がますます狭ピッチ化（例えば２０μｍピッチ）されてきている。
【００１０】
そのため、伸縮ピン１Ａ，非伸縮ピン１Ｂのいずれを使用するにしても、接触端子３ａを検査しようとする回路配線６に接触させる際、隣接する回路配線間が接触端子３ａにより短絡してしまうことがある。
【００１１】
したがって、本発明の課題は、１本の導電検査用プローブピンでありながら、検査用途に応じて、伸縮ピン，非伸縮ピンのいずれか一方として使用できるようにした導電検査用プローブピンを提供することにある。また、本発明の別の課題は、隣接する回路配線間で短絡が生じないようにした特に狭ピッチ化に対応し得る導電検査用プローブピンを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するため、請求項１に記載の発明は、バレル内に、一端に被検査物に接触する接触端子を有するピン本体の他端側が摺動可能に挿通され、上記ピン本体が上記バレルに装着されているバネ手段により上記バレルから突出する方向に付勢されている導電検査用プローブピンにおいて、上記ピン本体を上記バレルに対して選択的に非摺動状態とするピン固定手段を備えていることを特徴としている。
【００１３】
請求項２に記載の発明は、上記請求項１に記載の導電検査用プローブピンにおいて、上記ピン本体は、その他端側に上記バレルの内径とほぼ同径である頭部を備え、上記バレルは、上記頭部の移動範囲内における所定部位に孔を有し、上記ピン固定手段が、上記頭部側に形成された係合溝と、上記バレルの外側から上記孔を通して一部分が上記係合溝内に解離可能に係合する係合突起とからなることを特徴としている。
【００１４】
請求項３に記載の発明は、上記請求項２に記載の導電検査用プローブピンにおいて、上記係合突起が、一端が上記バレルの所定部位に固定され、他端が上記バレルから離れる方向に付勢されたバネ弾性を有するキャップフレームの他端側に設けられていることを特徴としている。
【００１５】
請求項４に記載の発明は、上記請求項２または３に記載の導電検査用プローブピンにおいて、上記孔が、上記ピン本体の最大突出時における上記頭部の初期位置に対応する位置に穿設されていることを特徴としている。
【００１６】
請求項５に記載の発明は、上記請求項１ないし４のいずれか１項に記載の導電検査用プローブピンにおいて、上記接触端子が尖鋭針状に形成されており、その先端部以外の部分に絶縁膜が形成されていることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１７】
請求項１に記載の発明によれば、バレル内に、一端に被検査物に接触する接触端子を有するピン本体の他端側が摺動可能に挿通され、上記ピン本体が上記バレルに装着されているバネ手段により上記バレルから突出する方向に付勢されている導電検査用プローブピンにおいて、上記ピン本体を上記バレルに対して選択的に非摺動状態とするピン固定手段を備えていることにより、当該導電検査用プローブピンを必要に応じて伸縮ピンもしくは非伸縮ピンとすることができる。
【００１８】
請求項２に記載の発明によれば、上記ピン本体は、その他端側に上記バレルの内径とほぼ同径である頭部を備え、上記バレルは、上記頭部の移動範囲内における所定部位に孔を有し、上記ピン固定手段を、上記頭部側に形成された係合溝と、上記バレルの外側から上記孔を通して一部分が上記係合溝内に解離可能に係合する係合突起とから構成したことにより、簡単な構成でありながら、当該導電検査用プローブピンを必要に応じて伸縮ピンもしくは非伸縮ピンとすることができる。
【００１９】
請求項３に記載の発明によれば、上記係合突起を、一端が上記バレルの所定部位の固定され、他端が上記バレルから離れる方向に付勢されたバネ弾性を有するキャップフレームの他端側に設けたことにより、当該導電検査用プローブピンを必要に応じて伸縮ピンもしくは非伸縮ピンとする操作を簡単に行うことができる。
【００２０】
請求項４に記載の発明によれば、上記孔を上記ピン本体の最大突出時における上記頭部の初期位置に対応する位置に穿設したことにより、当該導電検査用プローブピンを被検査物に押し当てる前に、伸縮ピンもしくは非伸縮ピンのいずれかを選択することができる。また、当該導電検査用プローブピンをあらかじめ非伸縮ピンとしておき、被検査物に押し当て時点で伸縮ピンとすることもできる。
【００２１】
請求項５に記載の発明によれば、上記接触端子が尖鋭針状に形成されており、その先端部以外の部分に絶縁膜を形成したことにより、狭ピッチで配線されている回路配線に対して、隣接する回路配線との間で短絡を生じさせることなく、当該導電検査用プローブピンを接触させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
次に、図１により、本発明の実施形態について説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。図１は本発明による導電検査用プローブピンの実施形態を示す概略的な断面図で、図１には接触端子の部分拡大断面図が含まれている。
【００２３】
図１に示すように、この導電検査用プローブピン１０は、圧縮バネ２１０を有するバレル２０と、バレル２０に摺動可能に支持されるピン本体３０とを備え、基本的には伸縮ピン（スプリングピン）である。
【００２４】
バレル２０は、一端（図１において上端側）２０１が栓部材などにより閉じられ、他端２０２が開放されている金属の筒体からなるが、その一端２０１は気密的に閉じられている必要はなく、圧縮バネ２１０の抜け止めとしての留め金が設けられてもよい。
【００２５】
ピン本体３０は、弾性を有しない硬い金属製の棒状体からなる。この導電検査用プローブピン１０は、被検査物が先に示した図２（ｃ）のパッシベーション膜７にて被覆された回路配線６であるため、ピン本体３０の一端（図１において下端側）には尖鋭針状の接触端子３０１が形成されている。
【００２６】
ピン本体３０は、その外径をバレル２０の内径とほぼ同一とされた他端３０２側がバレル２０の開放されている他端２０２からバレル２０内に挿通されるが、ピン本体３０の他端３０２には、縮径されたステム３１０がバレル２０に沿ってさらに延びるように同軸的に一体に形成されており、ステム３１０の上端には、バレル２０の内径とほぼ同一に拡径された頭部３２０が一体に形成されている。
【００２７】
バレル２０内の一端２０１とピン本体３０の頭部３２０との間には、ピン本体３０をバレル２０から突出する方向に付勢する圧縮バネ２１０が介装されているとともに、バレル２０内には、ピン本体３０の頭部３２０に当接する抜け止め用のストッパリング２２０が設けられている。なお、圧縮バネ２１０はバネル２０の外側に配置されてもよい。
【００２８】
この導電検査用プローブピン１０は、非伸縮ピンとしても使用することができる。そのため、ピン本体３０をバレル２０に対して選択的に非摺動状態とするピン固定手段を備えている。
【００２９】
この実施形態において、ピン固定手段は、ピン本体３０の頭部３２０に形成された係合溝３２１と、バレル２０の外側から頭部３２０の係合溝３２１に解離可能に係合する係合突起４１０とから構成され、バレル２０には、係合突起４１０を係合溝３２１に係合可能とするための孔２３０が穿設されている。
【００３０】
係合突起４１０の係合溝３２１に対する係合部分は先端側の一部分であり、残余の部分は孔２３０内およびその外側に存在する。これにより、頭部３２０の動きが拘束され、ピン本体３０はバレル２０に対して非摺動状態になる。
【００３１】
係合突起４１０はひとつでもよいが、バランス的に見て、図１に示すように左右一対もしくはそれ以上の数として配置されることが好ましい。また、頭部３２０が回転することもあるため、係合溝３２１は頭部３２０の全周にわたって形成されることが好ましいが、係合突起４１０と対向する位置に個別的に設けられてもよい。
【００３２】
図示しないが、別の例として、頭部３２０に直径方向に貫通する貫通孔を形成し、その貫通孔に対してバレル２０の外側からバレル２０の外径以上の長さを有するピンを抜き差し自在に挿通するようにしてもよい。
【００３３】
バレル２０に穿設される孔２３０の位置は、頭部３２０が移動可能な範囲内（図１のように圧縮バネ２１０によりストッパリング２２０に押し付けられている初期位置から、ピン本体３０が被検査物に押し付けられ圧縮バネ２１０が最大限圧縮される上限位置までの範囲内）で任意に設定されてよいが、頭部３２０の上記初期位置に対応する位置に穿設されていることが好ましく、これによれば、この導電検査用プローブピン１０を被検査物に押し当てる前に、伸縮ピンもしくは非伸縮ピンのいずれかを選択できる。
【００３４】
この実施形態では、好ましい態様として、左右一対の係合突起４１０，４１０を有し、その各々はキャップフレーム４０，４０を介して操作される。キャップフレーム４０，４０は、バレル２０の外側でバレル２０の軸方向に沿って配置される帯状のバネ弾性体からなり、その一端４０１がバレル２０の一端２０１側に固定され、他端４０２が上記孔２３０の位置にまで延ばされており、このキャップフレーム４０の他端４０２側に係合突起４１０が取り付けられている。
【００３５】
この構成によれば、キャップフレーム４０，４０を指などで挟んで、係合突起４１０，４１０を頭部３２０の係合溝３２１内に係合させることにより非伸縮ピンとすることができ、また、キャップフレーム４０，４０に対する挟持力を解除すれば、キャップフレーム４０，４０のバネ弾性により係合突起４１０，４１０が頭部３２０の係合溝３２１から離脱するため、伸縮ピンとして使用できる。
【００３６】
なお、この導電検査用プローブピン１０のバレル２０の一部分（例えばストッパリング２２０から下の部分）を図示しない例えば自動検査装置のピンボードなどに植設して使用する場合には、一例として次の構成を採用すればよい。
【００３７】
すなわち、図１に示すように、キャップフレーム４０，４０に、その一端４０１から他端４０２に行くにしたがって漸次広がるようなテーパ部分４０３，４０３を形成し、上記自動検査装置側に、図１の想像線で示すように、テーパ部分４０３，４０３の最大間隔よりも小径のスリーブ５０を設け、このスリーブ５０を図示しない所定の駆動手段にて昇降させるようにするとよい。
【００３８】
これによれば、スリーブ５０を下降させることにより、キャップフレーム４０，４０がバレル２０側に寄せられ、係合突起４１０，４１０が頭部３２０の係合溝３２１内に係合して非伸縮ピンとなり、スリーブ５０を上昇させることにより、キャップフレーム４０，４０が自らのバネ弾性によりバレル２０から離れる方向に動き、係合突起４１０，４１０が頭部３２０の係合溝３２１から離脱して伸縮ピンとなる。
【００３９】
また、被検査物であるの回路配線の狭ピッチ化に対応して、ピン本体３０の接触端子３０１の先端部は、例えば曲率が２０μｍ程度の針状に形成されるが、接触時に隣接する回路配線との間で短絡を生じさせないようにするため、図１に含まれている拡大図に示すように、接触端子３０１の先端部以外の部分に絶縁膜３０３を形成することが好ましい。この場合、繰り返し使用に耐えるため、絶縁膜３０３を例えばフッ樹脂により厚さ１０μｍ程度に形成することが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明による導電検査用プローブピンの実施形態を示す概略的な断面図。
【図２】（ａ）従来の伸縮ピンを示す概略的な断面図，（ｂ）従来の非伸縮ピンを示す側面図，（ｃ）被検査回路配線を示す断面図。
【符号の説明】
【００４１】
１０  導電検査用プローブピン
２０  バレル
２１０  圧縮バネ
２２０  ストッパリング
２３０  孔
３０  ピン本体
３０１  接触端子
３０３  絶縁膜
３２０  頭部
３２１  係合溝
４０  キャップフレーム
４１０  係合突起
５０  スリーブ
【図１】
2008139089.tif 000003
【図２】
2008139089.tif 000004