(57)【要約】【課題】性能低下を抑えて、低コストで高性能な車載用測距装置に用いるスキャナ装置を提供することである。【解決手段】本発明のスキャナ装置は、投光レンズ２８を備えた可動部１０が、ワイヤバネ４１ａ〜４１ｈによって、投光レンズ２８の光軸に垂直な２方向に移動可能に支持する。可動部１０は、Ｘコイル２５、Ｙコイル２６ａ、２６ｂとバネ受け４５外の固定部に備えられた磁石により、上記投光レンズ２８の光軸に垂直な２方向に移動される。Ｙ軸方向では、投光レンズ２８を挟んでＹコイル２６ａと２６ｂが対称に配置されるが、Ｘ軸方向では投光レンズ２８を挟んでＸコイル２５と位置検出用のスリット１４ａ、１４ｂが設けられている。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学素子と、該光学素子を備えたホルダと、該ホルダを上記光学素子の光軸に垂直な２方向に移動可能に支持する弾性支持部材と、上記ホルダを上記光学素子の光軸に垂直な２方向に移動させるために、ホルダに備えられたコイルと上記ホルダ外の固定部に備えられた磁石より成る駆動手段と、上記光学素子への光を発光する発光手段と、を少なくとも備え、上記光学素子を車に水平な第１の方向と垂直な第２の方向に移動させることによって、上記発光手段からの光の投光位置を該２方向に移動させ投光する車載用測距装置に用いられるスキャナ装置に於いて、
上記ホルダに備えられたコイルが、第１の方向に垂直な面に関しては非対称に、第２の方向に垂直な面に関して対称に配されていることを特徴とするスキャナ装置。
【請求項２】
上記第１の方向及び第２の方向に垂直な方向より投影したときに、第１の方向に駆動するためのコイルは１つ、第２の方向に駆動するためのコイルは２つであることを特徴とする請求項第１に記載のスキャナ装置。
【請求項３】
上記第１の方向に駆動するためのコイルは、上記第１の方向及び第２の方向に同一の位置に配された複数のコイルで構成されていることを特徴とする請求項１若しくは２に記載のスキャナ装置。
【請求項４】
ホルダの位置検出手段を更に具備し、
上記位置検出手段のうちホルダに搭載された部分が、第１の方向について、ホルダを含む可動部の重心点に関し、第１の方向に駆動するためのコイルと反対側に配されていることを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載のスキャナ装置。
【請求項５】
ホルダに搭載される位置検出手段は、光を遮るスリットであることを特徴とする請求項４に記載のスキャナ装置。
【請求項６】
上記ホルダに搭載される位置検出手段は、発光素子であることを特徴とする請求項４に記載のスキャナ装置。
【請求項７】
上記ホルダに搭載される位置検出手段は、受光素子であることを特徴とする請求項４に記載のスキャナ装置。
【請求項８】
第１の方向に駆動するためのコイルのホルダに覆われている部分の比率を、第２の方向に駆動するためのコイルのホルダに覆われている部分の比率よりも小さくしたことを特徴とする請求項１乃至７の何れか１項に記載のスキャナ装置。
【請求項９】
ホルダの位置検出手段搭載部にリブ形状を設けたことを特徴とする請求項１乃至８の何れか１項に記載のスキャナ装置。
【請求項１０】
上記ホルダの位置検出手段搭載部に設けたリブの幅は、ホルダの他の部分に設けられたリブより広いことを特徴とする請求項９に記載のスキャナ装置。
【請求項１１】
上記光学素子は、レンズ機能を有する光学素子であることを特徴とする請求項３乃至請求項１０の何れか１項に記載のスキャナ装置。
【請求項１２】
上記位置検出手段は、上記ホルダへの搭載部にリブを設けたことを特徴とする請求項１１に記載のスキャナ装置。
【請求項１３】
上記位置検出手段の搭載部に設けたリブの幅は、上記ホルダの他の部分に設けられたリブより広いことを特徴とする請求項１２に記載のスキャナ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学素子を動かし対象物との距離を測定する車載用測距装置に関わり、特にレーザを用いた車載用測距装置に用いるスキャナ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、車両に於いて、先行車両や障害物を検知して物体の情報を運転者に告知し、先行車両との車間距離を所定の距離に保つように自動的に車両の速度を制御するシステムが開発されている。このようなシステムでは、レーザ光等の光ビームを車両の周囲の所定の角度範囲に走査して出射すると共に、その出射した光ビームの反射波を受光して、その光ビームの出射方向に存在する物体の位置や距離等が測距される。
【０００３】
そして、例えば、下記特許文献１では、レーザ光を照射する装置に於いて、投光用レンズを備えたレンズホルダが板バネを介して固定部材に弾性支持され、レンズホルダの上下左右各端面にそれぞれ突出するように固着されたムービングコイルとそれぞれに対応して配置された上記固定部材に固定されたＥ字型の各ヨークからなる装置が開示されている。この装置によれば、ムービングコイルがレンズホルダの上下左右の各端面に配置されおり、Ｅ字型の各ヨークにはマグネットが固定され、マグネットとコイル・ヨークより成る電磁駆動手段でレンズホルダは任意の位置に移動される。これにより、レンズホルダのバランスがよく共振を抑える効果がある。
【特許文献１】特開平１１−８３９８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記特許文献１に開示された装置では、マグネット、コイル、ヨークより成る磁気回路が４組必要となるが、マグネットは高価な部品である。また、ヨークも磁気回路を構成することから、安価な合成樹脂化をすることができず、鉄を使用する必要がある。鉄はマグネットほどではないが高価である。また、コイルについても、銅線や場合によっては更に高価な銅クラッドアルミ線を巻線する必要があり、価格が高くなってしまう。これらが４組必要なことから、上述した装置は高価なものとなってしまう。
【０００５】
磁気回路を減らせば低価格化を図れるが、単純に磁気回路を減らすとレンズホルダのバランスが崩れ、共振が生じ、低性能な装置となってしまう。また、レンズホルダにバランサを設けてコイルとバランスを取ることも考えられるが、コイルの線材はそのロットにより単位長さあたりの質量のばらつきが大きく、バランス取りを完全に行うことできず、十分な性能が得られないものであった。
【０００６】
したがって本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、性能低下を抑えて、低コストで高性能な車載用測距装置に用いられるスキャナ装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
すなわち請求項１に記載の発明は、光学素子と、該光学素子を備えたホルダと、該ホルダを上記光学素子の光軸に垂直な２方向に移動可能に支持する弾性支持部材と、上記ホルダを上記光学素子の光軸に垂直な２方向に移動させるために、ホルダに備えられたコイルと上記ホルダ外の固定部に備えられた磁石より成る駆動手段と、上記光学素子への光を発光する発光手段と、を少なくとも備え、上記光学素子を車に水平な第１の方向と垂直な第２の方向に移動させることによって、上記発光手段からの光の投光位置を該２方向に移動させ投光する車載用測距装置に用いられるスキャナ装置に於いて、上記ホルダに備えられたコイルが、第１の方向に垂直な面に関しては非対称に、第２の方向に垂直な面に関して対称に配されていることを特徴とする。
【０００８】
そして、請求項１に記載の発明によれば、性能低下を抑え、低コストで高性能な車載用測距装置に用いるスキャナ装置を提供することができる。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明に於いて、上記第１の方向及び第２の方向に垂直な方向より投影したときに、第１の方向に駆動するためのコイルは１つ、第２の方向に駆動するためのコイルは２つであることを特徴とする。
【００１０】
請求項２に記載の発明によれば、部品点数を削減し、低価格化することができる。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、請求項１若しくは２に記載の発明に於いて、上記第１の方向に駆動するためのコイルは、上記第１の方向及び第２の方向に同一の位置に配された複数のコイルで構成されていることを特徴とする。
【００１２】
請求項３に記載の発明によれば、駆動力を高めることができる。
【００１３】
請求項４に記載の発明は、請求項１乃至３の何れか１項に記載の発明に於いて、ホルダの位置検出手段を更に具備し、上記位置検出手段のうちホルダに搭載された部分が、第１の方向について、ホルダを含む可動部の重心点に関し、第１の方向に駆動するためのコイルと反対側に配されていることを特徴とする。
【００１４】
請求項４に記載の発明によれば、小型化、軽量化することができる。
【００１５】
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の発明に於いて、ホルダに搭載される位置検出手段は、光を遮るスリットであることを特徴とする。
【００１６】
請求項５に記載の発明によれば、小型化、軽量化することができる。
【００１７】
請求項６に記載の発明は、請求項４に記載の発明に於いて、上記ホルダに搭載される位置検出手段は、発光素子であることを特徴とする。
【００１８】
請求項６に記載の発明によれば、小型化、軽量化することができる。
【００１９】
請求項７に記載の発明は、請求項４に記載の発明に於いて、上記ホルダに搭載される位置検出手段は、受光素子であることを特徴とする。
【００２０】
請求項７に記載の発明によれば、小型化、軽量化することができる。
【００２１】
請求項８に記載の発明は、請求項１乃至７の何れか１項に記載の発明に於いて、第１の方向に駆動するためのコイルのホルダに覆われている部分の比率を、第２の方向に駆動するためのコイルのホルダに覆われている部分の比率よりも小さくしたことを特徴とする。
【００２２】
請求項８に記載の発明によれば、小型化、軽量化することができる。
【００２３】
請求項９に記載の発明は、請求項１乃至８の何れか１項に記載の発明に於いて、ホルダの位置検出手段搭載部にリブ形状を設けたことを特徴とする。
【００２４】
請求項９に記載の発明によれば、小型で高性能にできる。
【００２５】
請求項１０に記載の発明は、請求項９に記載の発明に於いて、上記ホルダの位置検出手段搭載部に設けたリブの幅は、ホルダの他の部分に設けられたリブより広いことを特徴とする。
【００２６】
請求項１０に記載の発明によれば、小型で高性能にできる。
【００２７】
請求項１１に記載の発明は、請求項３乃至請求項１０の何れか１項に記載の発明に於いて、上記光学素子は、レンズ機能を有する光学素子であることを特徴とする。
【００２８】
請求項１１に記載の発明によれば、部品点数を削減し、低価格化することができる。
【００２９】
請求項１２に記載の発明は、請求項１１に記載の発明に於いて、上記位置検出手段は、上記ホルダへの搭載部にリブを設けたことを特徴とする。
【００３０】
請求項１２に記載の発明によれば、小型で高性能にできる。
【００３１】
請求項１３に記載の発明は、請求項１２に記載の発明に於いて、上記位置検出手段の搭載部に設けたリブの幅は、上記ホルダの他の部分に設けられたリブより広いことを特徴とする。
【００３２】
請求項１３に記載の発明によれば、小型で高性能にできる。
【発明の効果】
【００３３】
本発明によれば、性能低下を抑えて、低コストで高性能なスキャナ装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。
【００３５】
（第１の実施形態）
図１乃至図１４は本発明のスキャナ装置の第１の実施形態を示すもので、図１は本発明の第１の実施形態によるスキャナ装置の２軸アクチュエータを示した斜視図、図２乃至図６は２軸アクチュエータを形成する部組の分解斜視図、図７は２軸アクチュエータを示した側断面図、図８は図７のＡ−Ａ′線に沿った２軸アクチュエータの断面図、図９は図７のＡ−Ａ′線に沿った２軸アクチュエータの断面斜視図、図１０は図８のＢ−Ｂ′線に沿った２軸アクチュエータの断面図、図１１は図８のＢ−Ｂ′線に沿った２軸アクチュエータの断面斜視図、図１２は図８のＣ−Ｃ′線に沿った２軸アクチュエータの断面斜視図、図１３は２軸アクチュエータを装着したスキャナ装置全体を示した側断面図、図１４は本発明の第１の実施形態によるスキャナ装置を用いた車載用測距装置の使用例を示した図である。
【００３６】
図６に示されるように、本実施形態の２軸アクチュエータ１は、バネ受け４５と、可動部１０と、ベース８０及び９０と、ヨーク１００等を有して構成されている。
【００３７】
先ず、図２を参照して、可動部１０の構造について説明する。
【００３８】
可動部１０は、大別して、ホルダ１１と、基板２０と、第１の駆動手段であるＸコイル２５、第２の駆動手段であるＹコイル２６ａ及び２６ｂと、光学素子である投光レンズ２８と、ホルダ３１とを有して構成される。
【００３９】
図２に示されるように、カーボン繊維入りの液晶ポリマで製作されたホルダ１１の中央部には方形状の開口１２が形成されており、該開口１２の周囲には段状部１３が設けられている。そして、図２に於いて、上記開口１２の右側には、そのＹ軸方向を長手方向として延出されたスリット１４ａと、Ｘ軸方向を長手方向として延出されたスリット１４ｂが、位置検出手段としてそれぞれ形成されている。更に、ホルダ１１の外縁部分の所定箇所には、Ｘコイル２５、Ｙコイル２６ａ及び２６ｂを固定するための凸部１５、１６ａ及び１６ｂが形成されている。また、ホルダ１１の周囲及び上記段上部１３には、それぞれ接合面１７ａ及び１７ｂが設けられている。尚、図２に於いて、上記凸部１６ａ及び１６ｂの左右には、図３に示されるもので弾性支持部材として、ベリリウム銅製のワイヤバネ４１ａ〜４１ｈが挿入される複数の孔１８ａ〜１８ｈが設けられている。
【００４０】
上記ホルダ１１には、中央部に方形状の開口２１が形成された基板２０が接着により固定される。この基板２０には、上記ホルダ１１と同様に、ワイヤバネ４１ａ〜４１ｈが挿入される複数の孔２２ａ〜２２ｈが設けられている。そして、ワイヤバネ４１ａ〜４１ｈは、孔２２ａ〜２２ｈにて、その一端が半田付けにより固定される。尚、ワイヤバネ４１ａ〜４１ｈは、ホルダ１１の孔１８ａ〜１８ｈにて接着される。
【００４１】
Ｘコイル２５と、Ｙコイル２６ａ及び２６ｂは銅線で巻回されているもので、Ｙコイル２６ａ及び２６ｂは直列に接続されたものである。そして、これらＸコイル２５、Ｙコイル２６ａ及び２６ｂは、それぞれ基板２０の切り欠き部を介して、ホルダ１１の凸部１５、１６ａ及び１６ｂに嵌着されている。また、投光レンズ２８も、基板２０の開口２１を介してホルダ１１の開口１２の段状部１３に嵌着されている。尚、図示されないが、Ｘコイル２５、Ｙコイル２６ａ及び２６ｂの末端部分は半田付けされている。
【００４２】
更に、ホルダ１１には、上述した基板２０、Ｘコイル２５、Ｙコイル２６ａ及び２６ｂ、投光レンズ２８を介して、ホルダ３１が取り付けられて固定される。このホルダ３１には、上記ホルダ１１と同様に形成された方形状の開口３２と、スリット１４ａ、１４ｂの光を通すための方形状の開口３３が形成されている。上記ホルダ１１の段状部１３に嵌着された投光レンズ２８は、また、ホルダ３１の開口３２に形成された段状部３８に嵌着されて固定される。
【００４３】
更に、このホルダ３１には、上述したホルダ１１の凸部１５、１６ａ、１６ｂ、接合面１７ａ、１７ｂと対応する位置にそれぞれ凸部３５、３６ａ、３６ｂ、接合面３９ａ、３９ｂが設けられている。そして、これら凸部３５、３６ａ、３６ｂと凸部１５、１６ａ、１６ｂが接着され、上記接合面１７ａと接合面３９ａ、接合面１７ｂと接合面３９ｂが接着されることにより、ホルダ１１とホルダ３１が固定されて、可動部１０が構成される。
【００４４】
ワイヤバネ４１ａ〜４１ｈの一端は、上述したように基板２０を介して、Ｘコイル２５、Ｙコイル２６ａ、２６ｂと接続されている。そして、Ｘコイル２５の両端には４本、Ｙコイル２６ａ、２６ｂの両端には４本の８合計本のワイヤバネが接続されている。
【００４５】
図３及び図４に示されるように、ワイヤバネ４１ａ〜４１ｈの他端は、ガラス入りの液晶ポリマ樹脂で製作されたバネ受け４５に固定されている。ワイヤバネ４１ａ〜４１ｈは、バネ受け４５に形成された方形状の開口４８ａ〜４８ｄに挿入されている。これらの開口４８ａ〜４８ｄは、図示されないが、バネ受け４５が基板５５と対向する側では、ワイヤバネ４１ａ〜４１ｈより径が僅かに大きい８つの孔となるように形成されており、その孔の部分でワイヤバネ４１ａ〜４１ｈとバネ受け４５が接着されている。
【００４６】
上記開口４８ａ〜４８ｄに於いて、ワイヤバネ４１ａ〜４１ｈとバネ受け４５が接着されている以外の部分には、シリコンゲルが充填されている。シリコンゲルにより、ワイヤバネ４１ａ〜４１ｈの振動のダンピングが取られている。また、バネ受け４５には、投光レンズ２８からの光を通すための光路となる方形状の開口４６が、その中央部に形成されている。同様に、この開口４６に隣接して、後述する発光ダイオード６３の光を通すための光路となる円形状の開口４７が形成されている。
【００４７】
ところで、可動部１０は、８本のワイヤバネ４１ａ〜４１ｈによりＸ軸方向及びＹ軸方向に移動可能に支持されていることになる。ここで、可動部１０を単純にＸ軸方向及びＹ軸方向に移動可能に支持するだけであれば、ワイヤバネは４本で十分である。本実施形態に於いてワイヤバネを８本にしているのは、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に最大に移動した時のワイヤバネの１本当たりの応力を減らすためである。すなわち、合成時のバネ定数を同じとすれば、８本の方が４本の場合よりワイヤバネの直径を小さくすることができ、それに伴い、ワイヤバネに発生する応力が小さくなる。
【００４８】
更に、このバネ受け４５の、開口４８ａ〜４８ｄの外側には、ネジ７８ａ〜７８ｄに対応したネジ穴４９ａ〜４９ｄが設けられている。また、バネ受け４５に於いて、これらのネジ穴４９ａ〜４９ｄが設けられている面と反対側にも、ネジ６０ａ〜６０ｄに対応して、図示されないがネジ穴が設けられている。更に、バネ受け４５のＹ軸方向で上側の面には、ネジ８５ａ、８５ｂに対応したネジ穴５０ａ、５０ｂが、そして図示されないがＹ軸方向の下側にはネジ９５ａ、９５ｂに対応したネジ穴が、それぞれ設けられている。
【００４９】
バネ受け４５のＺ軸方向で、図４に於いて右側の面には、基板５５に形成された穴５８ａ〜５８ｄを介して、該基板５５が、ネジ６０ａ〜６０ｄによって固定される。この基板５５は、その中央部に、バネ受け４５と同様に投光レンズ２８からの光を通すための光路となる方形状の開口５６が形成されている。そして、この開口５６の周囲には、上述したワイヤバネ４１ａ〜４１ｈを挿通させるための穴５７ａ〜５７ｈと、ネジ６０ａ〜６０ｄによって該基板５５をバネ受け４５に固定するための穴５８ａ〜５８ｄが設けられている。ワイヤバネ４１ａ〜４１ｈの他端は、穴５７ａ〜５７ｈに挿入されて基板５５に半田付けされている。
【００５０】
基板５５のバネ受け４５と対面する側で、開口４７と対向する位置には、位置検出手段を構成する発光ダイオード６３が半田付けされて固定されている。更に、基板５５からはフレキシブル基板６２が延出されて取り付けられており、図示されない制御基板に接続されている。上述したＸコイル２５、Ｙコイル２６ａ及び２６ｂは、ワイヤバネ４１ａ〜４１ｈを介して、上記制御基板に接続されている。
【００５１】
一方、バネ受け４５のＺ軸方向で基板５５と反対側には、鉄製のヨーク６５が、該ヨーク６５に形成された穴７０ａ〜７０ｄを介して、ネジ７８ａ〜７８ｄによって固定される。ヨーク６５の中央部には、バネ受け４５、基板５５と同様に投光レンズ２８からの光を通すための光路となる方形状の開口６６が形成されている。そして、この開口６６の周囲には、上述したワイヤバネ４１ａ〜４１ｈを挿通させるための、方形状に形成された開口６９ａ〜６９ｄと、ネジ７８ａ〜７８ｄによって該ヨーク６５をバネ受け４５に固定するための穴７０ａ〜７０ｄが設けられている。また、開口６６に隣接して、発光ダイオード６３の光を通すための光路となる開口６７が形成されている。
【００５２】
ヨーク６５の外周部には、複数の凸部７１ａ〜７１ｄが形成されている。これらの凸部７１ａ〜７１ｄは、後述するベース８０及び９０を取り付ける際の位置決め部材となる。更に、ヨーク６５には、Ｘ磁石７５と、Ｙ磁石７６ａ及び７６ｂが接着固定されている。これらのＸ磁石７５、Ｙ磁石７６ａ、７６ｂの磁極については後述する。
【００５３】
鉄製のベース８０は、該ベース８０に形成された穴８４ａ、８４ｂを介して、バネ受け４５に、ネジ８５ａ、８５ｂによって固定されている。このとき、ベース８０の穴８１ａ、８１ｂが、ヨーク６５の凸部７１ａ、７１ｂのＺ軸方向で左側に当て付けられることにより、Ｚ軸方向に対して位置決めされる。尚、ベース８０には、ネジ８５ａ、８５ｂを挿通させるための穴８４ａ、８４ｂと、後述するヨーク１００を取り付けるための段状部８２ａ、８２ｂと、ネジ穴８３ａ、８３ｂとが設けられている。
【００５４】
上記ベース８０と同様に、ベース９０は、該ベース９０に形成された穴９４ａ、９４ｂを介して、バネ受け４５に、ネジ９５ａ、９５ｂによって固定されている。このとき、ベース９０の穴９１ａ、９１ｂが、ヨーク６５の凸部７１ｃ、７１ｄのＺ軸方向で左側に当て付けられることにより、Ｚ軸方向に対して位置決めされる。尚、ベース９０には、ネジ９５ａ、９５ｂを挿通させるための穴９４ａ、９４ｂと、後述するヨーク１００を取り付けるための段状部９２ａ、９２ｂと、ネジ穴９３ａ、９３ｂとが設けられている。
【００５５】
鉄製のヨーク１００は、図５及び図６に示されるように、ベース８０に設けられたネジ穴８３ａ、８３ｂと、ベース９０に設けられたネジ穴９３ａ、９３ｂに、穴１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ、１０２ｄを介してネジ１１７ａ、１１７ｂ、１１７ｃ、１１７ｄによって固定されている。このとき、ヨーク１００は、該ヨーク１００の外周部に形成された凸部１０４ａ、１０４ｂをベース８０の段状部８２ａ、８２ｂに、凸部１０４ｃ、１０４ｄをベース９０の段状部９２ａ、９２ｂに当て付けることにより、ヨーク６５とヨーク１００の距離を精密に保っている。
【００５６】
ヨーク１００には、Ｘ磁石１０７、Ｙ磁石１０８ａ及び１０８ｂが接着固定されている。これらＸ磁石１０７、Ｙ磁石１０８ａ、１０８ｂの磁極については後述する。また、ベース８０及び９０が鉄製であるのは、ヨーク６５、１００及びＸ磁石７５、１０７、Ｙ磁石７６ａ、７６ｂ、１０８ａ、１０８ｂと共同して磁気回路を構成するためである。
【００５７】
ヨーク１００には、位置検出手段を構成するポジションセンサ１１１ａ、１１１ｂが固定された基板１１０が固定されている。
【００５８】
図１０及び図１１で明らかなように、ポジションセンサ１１１ａ、１１１ｂは、基板５５に装着された発光ダイオード６３のＺ＋方向に配置されている。その間には、スリット１４ａ、１４ｂが、それぞれのポジションセンサ１１１ａ、１１１ｂと対応するようにホルダ１１に配されている。発光ダイオード６３が１つに対してポジションセンサが２つという構成になっているが、発光ダイオード６３から出た光は広がり、スリット１４ａ、１４ｂの両方を通過し、それぞれのポジションセンサ１１１ａ、１１１ｂに到達する。光は発光ダイオード２６から広がる方向に進むので、２つのスリット１４ａ、１４ｂを通った光がお互いに干渉することはない。
【００５９】
Ｙ軸方向に延出するスリット１４ａの側では、スリット１４ａの長手方向と直交する方向のＸ軸方向への可動部１０の動きをポジションセンサ１１１ａで検出し、Ｘ軸方向に延出するスリット１４ｂの側では、スリット１４ｂの長手方向と直交する方向のＹ軸方向への可動部１０の動きをポジションセンサ１１１ｂで検出しており、そのような向きにポジションセンサ１１１ａ、１１１ｂは取り付けられている。
【００６０】
ヨーク１００には、開口１０１が設けられている。この開口１０１は、投光レンズ２８への後述するレーザダイオード１４０からの光路、及びポジションセンサ１１１ａ、１１１への発光ダイオード６３からの光路となっている。
【００６１】
基板１１０は、ヨーク１００のネジ穴１０３ａ、１０３ｂにネジ１１５ａ、１１５ｂで固定される。この基板１１０は、固定の際に、投光レンズ２８のＸＹ軸方向の位置が、後述するレンズ１４１、１４２の光軸と一致する等の所望の位置となったときに、ポジションセンサ１１１ａ、１１１ｂの出力が０位置を示す出力となるように、ＸＹ平面内での位置調整がなされる。基板１１０は、フレキシブル基板１１３で図示されない制御基板に接続され、ポジションセンサ１１１ａ、１１１ｂは制御基板と接続されていることになる。
【００６２】
以上のように構成された機構は、可動部１０を動かす２軸アクチュエータ１と称する。
【００６３】
２軸アクチュエータ１は、図１３に示されるように、ガラス繊維入りのポリフェニリンサルファイト樹脂製の本体１３０に設けられた台座１３１ａ〜１３１ｃ（１３１ｂは図示されない）上に、ベース９０に設けられたネジ穴（図示せず）を介してネジ１３２ａ〜１３２ｃ（１３２ｂ、１３２ｃは図示されない）を締めることにより固定されている。台座１３１ａ〜１３１ｃが３箇所設けられているのは、がたつきがなく固定するためである。
【００６４】
ホンタイ１３０には、真鍮製の鏡枠１３３を介してレンズ１４１、１４２も固定されている。レンズ１４１、１４２は鏡枠１３３に接着され、この鏡枠１３３は、図示されないネジによって本体１３０に固定されている。鏡枠１３３にはネジ穴が設けられており、引きビスの形式で固定される。このとき、Ｚ軸方向に鏡枠１３３の位置が動かされ、投光レンズ２８を通して投光される光の大きさが所望の大きさになるように調整される。
【００６５】
本体１３０には、更に基板１３５に半田付けされたレーザダイオード１３５が、図示されないネジにより固定されている。
【００６６】
次に以上のように構成された本実施形態のスキャナ装置について、その動作を説明する。
【００６７】
図１４は、本実施形態のスキャナ装置が用いられる車載用測距装置を簡略に示した図である。
【００６８】
図１４に於いて、レーザダイオード１４０より発光されたレーザ光は、レンズ１４１及び１４２を介し、ワイヤバネ４１に支持されたホルダ１１、３１の投光レンズ２８が、図示矢印Ｆ方向（左右方向）に動かされることにより、図示矢印Ｇのように左右に振られて投光される。投光された光１４４は、障害物１４５に当たって反射され、その反射光１４７は受光レンズ１４８を介してフォトディテクタ１４９に至る。これにより、図示されない電気回路によって本装置から障害物１４５までの距離が計算される。
【００６９】
尚、実際には、投光レンズ２８は左右方向だけでなく、上下方向にも振られ、これに従って光も上下方向に振られる。また、ここでは複数のワイヤバネ４１ａ〜４１ｈをワイヤバネ４１として説明した。
【００７０】
次に、投光レンズ２８を上下左右に動かす仕組みについて、更に詳細に説明する。
【００７１】
図８、図１０及び図１１に示されるように、Ｘコイル２５はＸ磁石７５、１０７に挟まれている。Ｘ磁石７５、１０７の磁極は、図１０に示されるとおりで、表面に２つの磁極が現れる、いわゆる異極着磁がなされている（異極着磁の境目は破線で示される）。Ｘコイル２５の辺１２０、１２１には、図示矢印Ｅ1 、Ｅ2 の向きの磁界が及ぶ。Ｘコイル２５の辺１２０、１２１に流れる電流の向きは逆であり、及ぶ磁界の向きＥ1 、Ｅ2 も逆であるので、発生する力の向きは同じである。力の向きは、電流の向きと磁界の向きに垂直なＸ軸方向となる。
【００７２】
Ｘコイル２５の辺１２０、１２１以外の辺には、Ｙ軸方向の力が発生するが、図示矢印Ｅ1 、Ｅ2 の磁界から受けるカの向きが逆向きとなりキャンセルするので、Ｙ軸方向に動くことはない。
【００７３】
これにより、Ｘコイル２５に電流を流すことで、ホルダ１１、３１及びそれに取り付けられた投光レンズ２８をＸ軸方向に動かすことができる。
【００７４】
一方、図７、図８及び図１２に示されるように、Ｙコイル２６ａ、２６ｂは各々Ｙ磁石７６ａ、１０８ａ及び７６ｂ、１０８ｂに挟まれている。Ｙ磁石７６ａ、１０８ａ、７６ｂ、１０８ｂの磁極は、図７に示されるとおりで、表面に２つの磁極が現れるいわゆる異極着磁がなされている（異極着磁の境目は破線で示す）。Ｙコイル２６ａの辺１２２、１２３には、図示矢印Ｄ1 、Ｄ2 の向きの磁界が及ぶ。Ｙコイル２６ａの辺１２２、１２３に流れる電流の向きは逆であり、及ぶ磁界の向きＤ1 、Ｄ2 も逆であるので、発生する力の向きは同じである。力の向きは、電流の向きと磁界の向きに垂直なＹ軸方向になる。
【００７５】
Ｙコイル２６ｂの辺１２４、１２５には、図示矢印Ｄ3 、Ｄ4 の向きの磁界が及ぶ。Ｙコイル２６ｂの辺１２４、１２５に流れる電流の向きは逆であり、及ぶ磁界の向きＤ3 、Ｄ4 も逆であるので、発生する力の向きは同じである。カの向きは、電流の向きと磁界の向きに垂直なＹ軸方向となる。
【００７６】
Ｙコイル２６ａ、２６ｂの辺１２２、１２３、１２４、１２５以外の辺には、Ｘ軸方向の力が発生するが、矢印Ｄ1 、Ｄ4 と矢印Ｄ2 、Ｄ3 の磁界から受ける力の向きが逆向きになりキャンセルするので、Ｘ軸方向に動くことはない。
【００７７】
Ｙコイル２６ａ、２６ｂで発生するＹ軸方向の力は２つのコイルで同じ向きになるように配線される。これにより、Ｙコイル２６ａ、２６ｂに電流を流すことで、ホルダ１１、３１及びそれに取り付けられた投光レンズ２８をＹ軸方向に動かすことができる。
【００７８】
投光レンズ２８のＸ軸方向、Ｙ軸方向の位置は、上述したように、発光ダイオード６３の光をポジションセンサ１１１ａ、１１１ｂで受光することにより検出される。この位置情報を基に制御をかけ、所定の位置に動くように、Ｘコイル２５、Ｙコイル２６ａ及び２６ｂに電流が流される。
【００７９】
尚、本実施形態のスキャナ装置を用いた車載用測距装置は、主に自動車に搭載されるが、その際にＸ軸方向が道路に水平になるように、Ｙ軸方向が垂直になるように設置される。すなわち、投光レンズ２８をＸ軸方向に動かした場合、レーザダイオード１４０からの光は、道路に水平な左右方向に動き、Ｙ軸方向に動かした場合、道路に垂直な高さ方向に動く。
【００８０】
本実施形態のように、ワイヤバネ等で弾性支持した可動部１０では、駆動カの合力が働く駆動点と、可動部の重心点を一致させることが性能を高める上で重要である。駆動点と重心点にずれがあると、ワイヤバネ等の支持部材の固有振動モードを励起してしまい、共振が生じ、上述した位置制御の制御帯域が狭くなり、移動速度を速くできない等の問題が起きてしまう。
【００８１】
本実施形態では、図３及び図９で明らかなように、可動部１０に搭載されたＸコイル２５、Ｙコイル２６ａ及び２６ｂは、Ｙ軸方向について、Ｘコイル２５の中心を通る線Ｏ1 を含むＺＸ平面に関して対称に配置されている。この他の可動部１０を構成するホルダ１１、３１等も同ＺＸ平面に関して対称形状になっており、可動部１０のＹ軸方向の重心点の位置は、Ｘコイル２５の中心を通る線Ｏ1 を含むＺＸ平面内となる。ホルダ１１等の部品は、大量生産しても形状のばらつきは小さく、それによる重心点の位置のずれは無視することができる。Ｘコイル２５、Ｙコイル２６ａ、２６ｂについては、それらを作っているコイル線のロットにより線径が微妙に変化し、単位長さあたりの質量がばらついてしまう。その結果、完成したコイルの質量もコイルの線のロットが変わると変化する。
【００８２】
また、線材をコイルにする巻線も、巻線のロットや巻線する機械が変わったりすると、巻線時の線材にかかるテンションが変わり、線材の伸び具合が変わってしまう。結果として、使用する元の線材の長さが変わってきてしまうので、巻線ロットが変わってもコイルの質量が変化する。
【００８３】
一方、ロット間のばらつきはあるが、同一ロット内でのばらつきは、ホルダ１１頭の部品と同様に小さく、それによる質量ばらつきは無視することができる。
【００８４】
Ｘコイル２５は１つであるので、Ｘコイル２５の質量が変化しても、その重心はＸコイル２５の中心を通る線Ｏ1 を含むＺＸ平面内にある。Ｙコイル２６ａ、２６ｂは２つであるが、個々のコイルのばらつきは小さいので、２つのコイルの質量はほぼ同一となる。よって、ロットによってＹコイル２６ａ、２６ｂの質量が変化しても、２つのＹコイル２６ａ、２６ｂのＹ軸方向の重心点の位置は、それらの中間位置のＸコイル２５の中心を通る線Ｏ1 を含むＺＸ面内となる。よって、本実施形態では、Ｘコイル２５、Ｙコイル２６ａ、２６ｂの質量が変化しても、それらがＹ軸方向について、Ｘコイル２５の中心を通る線Ｏ1 を含むＺＸ平面に関して対称に配置されているので、可動部１０のＹ軸方向の重心点の位置は、Ｘコイル２５の中心を通る線Ｏ1 を含むＺＸを平面内で変わることはない。
【００８５】
投光レンズ２８をＸ軸方向に動かす場合は、上述したようにＸコイル２５に電流を流す。このとき、駆動点のＹ軸方向の位置は、Ｘコイル２５のＹ軸方向中心のＸコイル２５の中心を通る線Ｏ1 を含むＺＸ平面内となる。
【００８６】
以上より、本実施形態によれば、投光レンズ２８をＸ軸方向に動かすとき、移動方向と直交するＹ軸方向に駆動点と重心点が一致しているので、支持部材の共振モードの励起を抑えられ、制御帯域を広く取ることができる。
【００８７】
尚、Ｚ軸方向については述べていないが、駆動点と重心点を一致させるように、Ｘコイル２５、Ｙコイル２６ａ、２６ｂが配置されており、共振に悪影響を及ぼさない。
【００８８】
次に、Ｚ軸方向について、詳細に説明する。
【００８９】
図９に示されるように、Ｘコイル２５、Ｙコイル２６ａ、２６ｂのＺ軸方向の中心は、同一ＸＹ平面に配置されている（図９はこのＸＹ平面での断面図）。Ｘコイル２５、Ｙコイル２６ａ、２６ｂのＺ軸方向重心点は、このＸＹ平面内となる。また、Ｘコイル２５及びＹコイル２６ａ、２６ｂによる駆動点の位置も、このＸＹ平面内となる。可動部１０のＸコイル２５、Ｙコイル２６ａ、２６ｂを除いたＺ軸方向の重心点の位置と、この平面が一致するように設計することで、可動部１０全体の重心点と駆動点は一致している。Ｘコイル２５、Ｙコイル２６ａ、２６ｂの質量が変化しても、各々のコイルのＺ軸方向の重心点はＺ軸方向中心位置であるので、Ｚ軸方向に重心点がずれることはない。Ｘ軸方向については移動する方向であり、重心点と駆動点は一致していなくても良い。
【００９０】
次に、投光レンズ２８をＹ軸方向に動かす場合であるが、投光レンズ２８をＹ軸方向に動かす場合は、２つのＹコイル２６ａ、２６ｂに電流が流れる。Ｙコイル２６ａ、２６ｂは、ＺＸ平面に対称に配置されているので、Ｘ軸方向には同一の位置にある。Ｘ軸方向の駆動点の位置は、Ｙコイル２６ａ、２６ｂのＸ軸方向中心のＹコイル１２ａ、１２ｂの中心を通る線Ｏ2 を含むＹＺ平面内となる。
【００９１】
可動部１０に搭載されたＹコイル２６ａ、２６ｂは、Ｙ軸方向について、Ｙコイル２６ａ、２６ｂの中心を通る線Ｏ2 を含むＹＺ平面に関して対称に配置されているが、Ｘコイル２５は対称に配置されていない。しかし、ホルダ１１、３１のスリット１４ａ、１４ｂの配置部分を大きくＸ軸方向の一側に突出させることによって、Ｘコイル２５とバランスをとり、可動部１０の重心点がＹコイル２６ａ、２６ｂの中心を通る線Ｏ2 を含むＹＺ平面内にあるようにされている。
【００９２】
ここで、Ｘ軸方向への移動で述べたように、ロットによりＸコイル２５、Ｙコイル２６ａ、２６ｂの質、量が変化する。Ｙコイル２６ａ、２６ｂの質量が変化しても、Ｙ軸方向について、Ｙコイル２６ａ、２６ｂの中心を通るＯ2 を含むＹＺ平面に関して対称に配置されているので重心点は移動しないが、Ｘコイル２５の質量が変化すると、対称に配置されていないので、Ｘ軸方向に重心点が移動し、駆動点とのずれが生じ、支持部材の共振モードが励起され、制御帯域が狭くなる。
【００９３】
尚、Ｚ軸方向については、Ｙ軸方向への移動の時と同様に駆動点と重心点は一致している。Ｙ軸方向は移動方向であり、駆動点と重心点は一致していなくてよい。
【００９４】
本実施形態のスキャナ装置は、車輌に取り付けられるもので、路面に水平な左右方向に一通り光を振った後に路面に垂直な高さに方向の位置を変え、異なる高さで路面に水平な左右方向に一通り光を振るという動作を基本として働く。左右方向への動きは連続動作であるが、高さ方向への動作は間欠動作となる。したがって、左右方向への移動速度は大きいが、高さ方向への移動速度は小さくてもよく、高さ方向（Ｙ軸方向）の制御帯域は狭くても良い。
【００９５】
本実施形態のコイル配置であれば、性能が必要な左右方向（Ｘ軸方向）の制御帯域は広く、高さ方向（Ｙ軸方向）の制御帯域は狭いが、実使用上十分な性能が得られ、装置全体としては必要な性能が確保でき、性能を低下させることなく、高価な磁石、コイル等より成る磁気回路を減少させ、低価格化を図ることができる。特に、本実施形態のように、Ｘコイルを１つ、Ｙコイルを２つとする構成が、最小の数量のコイルによる構成であり、低価格化の効果が大きくなる。勿論、要求される駆動力によってはコイルの数を増やしても良く、その場合でも両移動方向の垂直方向に対称に配置するより必要な性能を確保しつつ、低価格化を図ることができる。
【００９６】
また、本実施形態では、Ｘコイル２５を、例えば図２に於いてＸ軸方向で投光レンズ２８の左側に、可動部１０の移動量以上の範囲で光を遮りスポットを作るため移動方向に大きな面積が必要で大型化しがちなスリット１４ａ、１４ｂを、Ｘコイル２５と反対側（投光レンズ２８の右側）に設け、可動部１０のＸ軸方向のバランスを取っている。スリット１４ａ、１４ｂの配置部でバランス取りを行うことでバランスを取るのが容易になり、別途バランサを付加したり、バランスを取るためだけに可動部１０を大型化したりする必要がなくなり、小型、軽量化を図ることができる。また、Ｘコイル２５が大きく重い等の理由からバランサ等が必要な場合でも、バランサの大きさや、形状の大型化を抑制することができ、小型、軽量化を図ることができる。
【００９７】
更に、上述したように、スリット１４ａ、１４ｂ部分は大きいので、コイルを両移動方向の垂直方向に対称に配置している場合は、可動部１０にスリット１４ａ、１４ｂを配置するのが難しく、その分大型化してしまいがちである。そこで、本実施形態では、Ｘコイルを対称に配置しないことにより、その部分にスリット１４ａ、１４ｂを配置することができ、その点でも小型化を図ることができる。
【００９８】
本実施形態では、位置検出手段として、発光ダイオード、ポジションセンサ、スリットを用い、スリットを移動させることによって、投影される光を移動させて位置検出を行っている。しかしながら、スリットを移動させるのではなく、発光ダイオード、ポジションセンサの何れかを可動部に搭載して移動させ、他方は固定部に載置して位置検出を行うこともできる。この場合も、可動部に搭載するものを、先のスリットの位置に搭載しても良い。この場合でも、Ｘコイル２５と反対側の位置にあるので、Ｘ軸方向のバランスをとることが容易になり、小型、軽量化を図ることができる。位置検出手段が、この他の方式であっても、その一部を可動部の上記の位置に搭載することにより、同様の効果を得ることができる。
【００９９】
（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態を説明する。
【０１００】
図１５及び図１６は本発明の第２の実施形態を示すもので、図１５は本発明の第２の実施形態によるスキャナ装置の２軸アクチュエータを形成する部組の分解斜視図、図１６は可動部の正面図である。
【０１０１】
尚、以下に述べる第２の実施形態に於いては、図１乃至図１４に示される第１の実施形態のスキャナ装置と同一の部分には同一の参照番号を付して、その図示及び説明は省略する。
【０１０２】
この第２の実施形態では、上述した第１の実施形態と可動部１０のホルダ１１、３１のＸ軸方向のＸコイル側の端部の形状が異なっている。すなわち、ホルダ３１のＸ軸方向に於けるＸコイル側の端部の凸部１５５が、上述した第１の実施形態のそれより小さく形成されており、Ｘコイル２５のホルダ３１に覆われていない露出部が多くなっている。同様に、ホルダ１１についてもホルダ３１と同じ形状になっており、Ｘ軸方向に於けるＸコイル側の端部の凸部が小さく形成されている。
【０１０３】
図１６に示されるように、Ｘコイル２５ではホルダ１１、３１を小さくし、Ｘコイル２５はその４辺のうち１辺だけがホルダで覆われており、覆われている部分１５６の比率を小さくしている。一方、Ｙコイル１６ａ、１６ｂについては、ホルダ１１、３１はそのままで、その４辺のうち３辺がホルダで覆われており、覆われている部分１５７ａ、１５７ｂの比率は大きくなっている。
【０１０４】
この他の構成、動作は、上述した第１の実施形態と同じである。
【０１０５】
本第２の実施形態によれば、対称的に配置されないＸコイル２５の配置部分で、ホルダ１１、３１を切り欠き、Ｙコイル２６ａ、２６ｂに比べてホルダで覆われている部分の比率を小さくしていることで、Ｘコイル２５の部分の質量を小さくすることができる。これにより、Ｘ軸方向のバランスをとるのに、Ｘ軸方向でＸコイル２５と反対側の質量や大きさを抑えることができ、可動部１０を小型化、軽量化することができる。
【０１０６】
尚、Ｙコイル２６ａ、２６ｂの配置部分をＸコイル２５と同様にホルダ１１、３１を切り欠くと、可動部１０の剛性が低下し、制御が難しくなる等の問題が生じるため、Ｘコイル２５の配置部分のみを切り欠いている。
【０１０７】
（第３の実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態を説明する。
【０１０８】
図１７は、本発明の第３の実施形態によるスキャナ装置の２軸アクチュエータの断面図である。
【０１０９】
尚、以下に述べる第３の実施形態に於いては、図１乃至図１４に示される第１の実施形態のスキャナ装置と同一の部分には同一の参照番号を付して、その図示及び説明は省略する。
【０１１０】
図１７に示されるように、本発明の第３実施形態では、ホルダ１１の周辺部のリブ１６０、１６１の形状に加えて、スリット１４ａ、１４ｂの周辺にもリブ１６２ａ、１６２ｂが追加されている。リブ１６２ａ、１６２ｂの幅Ｈ３は、リブ１６０の幅Ｈ１より大きくとられている。また、同じホルダ１１の周辺部のリブ形状でも、スリット１４ａ、１４ｂの近傍のリブ１６１の幅Ｈ２も、その他のリブ１６０の幅Ｈ１より大きくとられている。図示されないが、ホルダ３１側についても、同様にリブが設けられている。
【０１１１】
本第２の実施形態によれば、スリット１４ａ、１４ｂの周辺にリブ１６２ａ、１６２ｂを設けることで、この部分の質量を増加させ、対称的に配置されないＸコイル２５と、Ｘ軸方向に於けるバランスをとるのが容易となり、小型化することができる。このとき、単純にスリット１４ａ、１４ｂ付近を大きくするのでなく、リブ形状とすることで、この部分の剛性を上げることができ、単純な大型化による剛性低下を防ぐことができる。更に、可動部１０の固有振動数を高め、制御帯域を広く取ることができ、高性能な装置となる。
【０１１２】
そして、スリット１４ａ、１４ｂ付近のリブ形状の幅Ｈ２、リブ１６２ａ、１６２ｂの幅Ｈ３をその他のリブ１６０の幅Ｈ１より大きくすることで、よりその効果を高めることができる。
【０１１３】
（第４の実施形態）
次に、本発明の第４の実施形態を説明する。
【０１１４】
図１８は、本発明の第４の実施形態によるスキャナ装置の２軸アクチュエータの断面図である。
【０１１５】
尚、以下に述べる第４の実施形態に於いては、図１乃至図１４に示される第１の実施形態のスキャナ装置と同一の部分には同一の参照番号を付して、その図示及び説明は省略する。
【０１１６】
本第４の実施形態では、上述した第１の実施形態と異なり、Ｘコイルが１つではなく、２つのＸコイル１６５ａ、１６５ｂが用いられている。上述した第１の実施形態では、Ｘコイル２５をホルダ１１、３１で挟み込んでいたが、Ｘコイル１６５ａ、１６５ｂをホルダ１１のＺ軸方向の両側に配置している。Ｘコイル１６５ａ、１６５ｂは、各々ホルダ１１の凸部１６６ａ、１６６ｂに挿入され、接着により固定されている。更に、接着剛性を高めるために、コイル１６５ａ、１６５ｂとホルダ１１の間隙１６７ａ、１６７ｂに接着剤が充填されている。Ｘコイル１６５ａ、１６５ｂは同一形状のコイルであり、Ｚ軸方向から見たとき、ＸＹ平面内の同じ位置に配置されていることになる。Ｘコイル１６５ａ、１６５ｂは、直列接続され、この状態で上述した第１の実施形態のＸコイル２５と同様に接続されている。
【０１１７】
本第４の実施形態によれば、上述した第１の実施形態のように、Ｘコイル２５をホルダ１１、３１で挟み込んでおらず、Ｘコイル１６５ａ、１６５ｂが直接Ｘ磁石７５、１０５に対向している。このため、Ｘコイル１６５ａとＸ磁石７５の距離１６８ａ、Ｘコイル１６５ｂとＸ磁石１０７の距離１６８ｂを、ホルダがない分小さくすることができる。磁気回路の構成にもよるが、一般に磁石に近いほど磁界の強さは大きく、同じ電流のとき磁界より受ける力は大きくなる。よって、駆動力の大きい装置とすることができる。
【０１１８】
逆に、駆動力が同じで良ければ、Ｘコイル１６５ａ、１６５ｂの大きさを小さくすることができ、小型、軽量化を図ることができる。また、Ｘ磁石の大きさを小さくすることも可能であり、高価な磁石を小型化し、低価格化を図ることもできる。
【０１１９】
以上、本発明は上述した実施形態に制限されることなく、さまざまに変形することができる。磁石とコイルの配置は、この他にもさまざまなものが考えられる。例えば、Ｙコイルを第４の実施形態のＸコイルと同様に磁石と直接に対向するような配置としても良い。また、特開平１１−８３９８８号公報に記載されているような、コイルの内側に鉄製ヨークがあり、コイルの外側から磁界が及ぶような磁気回路であっても、本発明を適用することができる。
【０１２０】
光学系についても、今回の構成に限ったことではなく、さまざまな光学系に適用することができる。また、光学素子はレンズに限ったことではなく、回折格子などであっても良い。投光レンズ２８から出射したレーザ光は、投光レンズと異なる別のレンズで受光されるとしたが、再び投光レンズで受光し、受光した光を、例えば、光路分割素子で分離して検出するような光学系であっても良い。
【０１２１】
更に、上述した実施形態には種々の段階の発明が含まれており、開示される複数の構成要件の適当な組合せにより種々の発明が抽出され得る。例えば、実施形態に示される全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成も発明として抽出され得る。
【図面の簡単な説明】
【０１２２】
【図１】本発明のスキャナ装置の第１の実施形態を示すもので、本発明の第１の実施形態によるスキャナ装置の２軸アクチュエータ１を示した斜視図である。
【図２】本発明のスキャナ装置の第１の実施形態を示すもので、２軸アクチュエータ１を形成する可動部１０の構成を示す分解斜視図である。
【図３】本発明のスキャナ装置の第１の実施形態を示すもので、２軸アクチュエータ１を形成する可動部１０、バネ受け４５及びワイヤバネ４１ａ〜４１ｈを示した外観斜視図である。
【図４】本発明のスキャナ装置の第１の実施形態を示すもので、２軸アクチュエータ１のバネ受け４５及びその周辺部の構成を示す分解斜視図である。
【図５】本発明のスキャナ装置の第１の実施形態を示すもので、２軸アクチュエータ１を形成するヨーク１００及びその周辺部の分解斜視図である。
【図６】本発明のスキャナ装置の第１の実施形態を示すもので、２軸アクチュエータ１のバネ受け４５、ベース８０、９０及びヨーク１００の取り付け状態を示す分解斜視図である。
【図７】本発明のスキャナ装置の第１の実施形態を示すもので、２軸アクチュエータを示した側断面図である。
【図８】本発明のスキャナ装置の第１の実施形態を示すもので、図７のＡ−Ａ′線に沿った２軸アクチュエータの断面図である。
【図９】本発明のスキャナ装置の第１の実施形態を示すもので、図７のＡ−Ａ′線に沿った２軸アクチュエータの断面斜視図である。
【図１０】本発明のスキャナ装置の第１の実施形態を示すもので、図８のＢ−Ｂ′線に沿った２軸アクチュエータの断面図である。
【図１１】本発明のスキャナ装置の第１の実施形態を示すもので、図８のＢ−Ｂ′線に沿った２軸アクチュエータの断面斜視図である。
【図１２】本発明のスキャナ装置の第１の実施形態を示すもので、図８のＣ−Ｃ′線に沿った２軸アクチュエータの断面斜視図である。
【図１３】本発明のスキャナ装置の第１の実施形態を示すもので、２軸アクチュエータを装着したスキャナ装置全体を示した側断面図である。
【図１４】本発明の第１の実施形態によるスキャナ装置を用いた車載用測距装置の使用例を示した図である。
【図１５】本発明の第２の実施形態を示すもので、第２の実施形態によるスキャナ装置の２軸アクチュエータを形成する部組の分解斜視図である。
【図１６】本発明の第２の実施形態を示すもので、可動部の正面図である。
【図１７】本発明の第３の実施形態によるスキャナ装置の２軸アクチュエータの断面図である。
【図１８】本発明の第４の実施形態によるスキャナ装置の２軸アクチュエータの断面図である。
【符号の説明】
【０１２３】
１…２軸アクチュエータ、１０…可動部、１１、３１…ホルダ、１４ａ、１４ｂ…スリット、２０、５５…基板、２５…Ｘコイル、２６ａ、２６ｂ…Ｙコイル、２８…投光レンズ、４１ａ〜４１ｈ…ワイヤバネ、４５…バネ受け、６３…発光ダイオード、６５、１００…ヨーク、７５、１０７…Ｘ磁石、７６ａ、７６ｂ、１０８ａ、１０８ｂ…Ｙ磁石、８０、９０…ベース、１１１ａ、１１１ｂ…ポジションセンサ、１３０…本体、１４０…レーザダイオード、１４１、１４２…レンズ、１４８…受光レンズ、１４９…フォトディテクタ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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