(57)【要約】【課題】高い転写性を有する転写加工装置および転写加工方法を提供する。【解決手段】本転写加工装置は、表面に凹凸パターン１２が形成されている原型１１と、原型１１を固定するホルダ１３と、被加工樹脂２０を載せるステージ１７と、ホルダ１３およびステージ１７を加熱する加熱装置とを有し、原型１１を被加工樹脂２０に押圧することにより被加工樹脂２０に凹凸パターン１２を転写する転写加工装置１０であって、ホルダ１３の原型１１を固定した面に、押圧方向Ｐに移動可能な樹脂堰き止め機構１５を有することを特徴とする。【選択図】図１
2008149540.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に凹凸パターンが形成されている原型と、前記原型を固定するホルダと、被加工樹脂を載せるステージと、前記ホルダおよび前記ステージを加熱する加熱装置とを有し、前記原型を前記被加工樹脂に押圧することにより前記被加工樹脂に前記凹凸パターンを転写する転写加工装置であって、
前記ホルダの前記原型を固定した面に、押圧方向に移動可能な樹脂堰き止め機構を有することを特徴とする転写加工装置。
【請求項２】
前記樹脂堰き止め機構は、前記原型の周囲を囲むように配設されていることを特徴とする請求項１に記載の転写加工装置。
【請求項３】
前記原型は四角形板状であり、前記樹脂堰き止め機構は前記原型の少なくとも対向する２辺に近接して配設されていることを特徴とする請求項１に記載の転写加工装置。
【請求項４】
前記樹脂堰き止め機構は、前記被加工樹脂を堰き止める堰き止め部材と、前記堰き止め部材を押圧方向に移動可能に保持する保持部材を含むことを特徴とする請求項１に記載の転写加工装置。
【請求項５】
前記保持部材は、弾性体を含む弾性保持部材であることを特徴とする請求項４に記載の転写加工装置。
【請求項６】
前記堰き止め部材の先端面は、前記押圧方向と前記先端面とのなす角度θが０°＜θ＜９０°となるように形成されていることを特徴とする請求項４に記載の転写加工装置。
【請求項７】
表面に凹凸パターンが形成されている原型を、可塑状態にある被加工樹脂に押圧することにより、前記凹凸パターンを前記被加工樹脂に転写する転写加工方法であって、
前記押圧の際に流動する前記被加工樹脂を堰き止めることを特徴とする転写加工方法。
【請求項８】
前記押圧の際に流動する前記被加工樹脂は、押圧方向に移動可能な樹脂堰き止め機構により堰き止められることを特徴とする請求項７に記載の転写加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、原型を被加工樹脂に押圧することにより、所定の凹凸パターンを原型から被加工樹脂に転写する転写加工装置および転写加工方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
樹脂に微細な凹凸パターンを形成するために、表面に微細な凹凸パターンが形成された金型などの原型を、加熱により可塑状態にある被加工樹脂に押圧することにより、原型から被加工樹脂に凹凸パターンを熱転写するホットエンボス成形による転写加工が行なわれている（たとえば、特許文献１および特許文献２を参照）。
【特許文献１】特開２００１−２７７２００号公報
【特許文献２】特開２００４−２８８７８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記の転写加工において、凹凸パターンを全面転写するためには、原型を被加工樹脂に押圧する際に、被加工樹脂全面に均等に圧力をかける必要がある。しかし、原型を被加工樹脂に押圧すると、被加工樹脂は、原型の中心部から外周部に向かう方向に流動し、原型の外周部に接触する領域（原型外周部接触領域という、以下同じ）から原型の凹凸パターン外の領域（原型凹凸パターン外領域という、以下同じ）に流出するため、原型の中心部から外周部に離れるほど被加工樹脂にかかる圧力の損失が大きくなる。すなわち、被加工樹脂の原型外周部接触領域における圧力損失が大きくなる。このため、被加工樹脂全面に均等に圧力をかけることが困難となり、被加工樹脂の凹凸パターン外周部領域における転写性が低下するという問題があった。
【０００４】
本発明は、被加工樹脂の流動による原型外周部接触領域からの流出を防止することにより、原型の外周部において被加工樹脂にかかる圧力の損失を抑制し、高い転写性を有する転写加工装置および転写加工方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、表面に凹凸パターンが形成されている原型と、原型を固定するホルダと、被加工樹脂を載せるステージと、ホルダおよびステージを加熱する加熱装置とを有し、原型を前記被加工樹脂に押圧することにより被加工樹脂に凹凸パターンを転写する転写加工装置であって、ホルダの原型を固定した面に、押圧方向に移動可能な樹脂堰き止め機構を有することを特徴とする転写加工装置である。本発明によれば、樹脂堰き止め機構を有することにより、原型外周部接触領域からの被加工樹脂の流出を防止することにより、被加工樹脂の原型外周部接触領域における圧力損失を抑制し、高い転写性を有する転写加工装置が得られる。
【０００６】
本発明にかかる転写加工装置において、樹脂堰き止め機構は、原型の周囲を囲むように配設されていることが好ましい。原型の周囲を囲うように配設される樹脂堰き止め機構により、被加工樹脂の流出を効果的に防止できる。
【０００７】
また、本発明にかかる転写加工装置において、原型は四角形板状であり、樹脂堰き止め機構は前記原型の少なくとも対向する２辺に近接して配設されていることが好ましい。四角形板状の原型の少なくとも対向する２辺に近接して配設される樹脂堰き止め機構により、被加工樹脂の流出を効果的に防止できる。
【０００８】
また、本発明にかかる転写加工装置において、樹脂堰き止め機構は、被加工樹脂を堰き止める堰き止め部材と、堰き止め部材を押圧方向に移動可能に保持する保持部材を含むことが好ましい。上記堰き止め部材および保持部材を含む樹脂堰き止め機構により、被加工樹脂の流出を効果的に防止できる。
【０００９】
さらに、本発明にかかる転写加工装置において、保持部材は、弾性体を含む弾性保持部材であることが好ましい。弾性体を含む弾性保持部材により、被加工樹脂の流出をさらに効果的に防止できる。
【００１０】
さらに、本発明かかる転写加工装置において、堰き止め部材の先端面は、押圧方向と先端面とのなす角度θが０°＜θ＜９０°となるように形成されていることが好ましい。先端面と押圧方向とのなす角度θが０°＜θ＜９０°となるように先端面が形成されている堰き止め部材により、被加工樹脂の流出をさらに効果的に防止できる。また、被加工樹脂を所望の形状に切断することができる。
【００１１】
本発明は、表面に凹凸パターンが形成されている原型を、可塑状態にある被加工樹脂に押圧することにより、凹凸パターンを被加工樹脂に転写する転写加工方法であって、押圧の際に流動する被加工樹脂を堰き止めることを特徴とする転写加工方法である。被加工樹脂の押圧の際に原型外周部接触領域に流動する被加工樹脂を堰き止めることにより、被加工樹脂が原型外周部接触領域から流出することを防止でき、原型外周部接触領域における被加工樹脂の圧力損失を抑制し、高い転写性を有する転写加工方法が提供できる。
【００１２】
本発明にかかる転写加工方法において、押圧の際に流動する被加工樹脂は、押圧方向に移動可能な樹脂堰き止め機構により堰き止められることが好ましい。かかる樹脂堰き止め機構により、被加工樹脂の流出を効果的に防止できる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、原型の外周部からの被加工樹脂の流出を防止することにより、原型の外周部における被加工樹脂の圧力損失を抑制し、高い転写性を有する転写加工装置および転写加工方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
（実施形態１）
本発明にかかる転写加工装置の一実施形態は、図１および図２を参照して、表面に凹凸パターン１２が形成されている原型１１と、原型１１を固定するホルダ１３と、被加工樹脂２０を載せるステージ１７と、ホルダ１３およびステージ１７を加熱する加熱装置１９とを有し、原型１１を被加工樹脂２０に押圧することにより被加工樹脂２０に凹凸パターンを転写する転写加工装置１０であって、ホルダ１３の原型１１を固定した面に、押圧方向に移動可能な樹脂堰き止め機構１５を有することを特徴とする転写加工装置である。
【００１５】
本実施形態によれば、かかる樹脂堰き止め機構１５を有することにより、原型１１の外周部接触領域からの被加工樹脂２０の流出を防止することにより、原型１１の中心部から離れた外周部における被加工樹脂２０の圧力損失を抑制し、高い転写性を有する転写加工装置が得られる。なお、本願の図面において、矢印Ｐは押圧方向を示す。また、押圧方向Ｐに移動可能とは、押圧する方向に移動可能だけではなく、その方向と１８０°反対の方向にも移動可能であることを意味する。本実施形態においては、被加工樹脂２０の流出を効果的に防止する観点から、樹脂堰き止め機構は、押圧方向に移動可能とされており、また、押圧方向に弾性的に移動可能であることが好ましい。ここで、弾性的に移動可能とは、受けた応力に対して復元弾性力により移動することができることを意味する。
【００１６】
一般的な転写加工装置においては、図４を参照して、ホルダ１３とステージ１７とを近づけて（ホルダ１３を移動させる場合、ステージ１７を移動させる場合、ホルダ１３およびステージ１７を移動させる場合、いずれも場合をも含む。以下同じ）、表面に凹凸パターンが形成されている原型１１を被加工樹脂２０に押圧すると、被加工樹脂２０は原型１１の中心部１１ｃから外周部１１ｄに向かう方向に流動して行き、被加工樹脂の一部が原型外周部接触領域２０ｄから原型凹凸パターン外領域２０ｅに流出する。このため、被加工樹脂２０の原型外周部接触領域２０ｄにおける圧力損失が大きくなり、凹凸パターン１２の転写性が低下する。なお、本願の明細書および図面において、被加工樹脂２０において、原型１１の中心部１０ｃに接触する領域を原型中心部接触領域２０ｃといい、原型１１の外周部１１ｄに接触する領域を原型外周部接触領域２０ｄという。
【００１７】
これに対して、本実施形態の転写加工装置においては、図５を参照して、樹脂堰き止め機構１５を有するため、ホルダ１３とステージ１７とを近づけて、表面に凹凸パターンが形成されている原型１１を被加工樹脂２０に押圧すると、被加工樹脂２０が原型１１の中心部１０ｃから外周部１１ｄに向かう方向に流動しても、流動した樹脂が樹脂堰き止め機構１５により堰き止められて、被加工樹脂２０の流出が防止される。このため、被加工樹脂２０の原型外周部接触領域２０ｄにおける圧力損失が抑制され、凹凸パターン１２の転写性が高くなる。
【００１８】
図１を参照して、本実施形態の転写加工装置は、表面に凹凸パターン１２が形成されている原型１１と、この原型１１を固定するホルダ１３と、被加工樹脂２０を載せるステージ１７と、ホルダ１３およびステージ１７を加熱する加熱装置１９とを有する。
【００１９】
ここで、原型１１、ホルダ１３およびステージ１７の材質は、被加工樹脂２０を均一にかつ効率よく加熱する観点から熱伝導率および比熱の高いものが好ましく、たとえば、真鍮、アルミニウムなどが好ましい。さらに、原型１１およびステージ１７の材質は、凹凸パターン転写後の被加工樹脂２０を脱型し易いものであることが好ましく、たとえば、銅、ニッケルなどが好ましい。
【００２０】
また、加熱装置１９は、被加工樹脂１２に可塑性を付与するためをそのガラス転移温度以上になるように、ホルダ１３およびステージ１７を加熱できるものであれば特に制限はなく、棒ヒータなどが用いられる。
【００２１】
本実施形態の転写加工装置で、原型１１から被加工樹脂に転写する凹凸パターン１２には、特に制限はない。すなわち、図１および図２に示すような凹部および凸部が点状または線状の凹凸パターンであると、図４および図５に示すような凹部および凸部が面状の凹凸パターンであるとを問わない。
【００２２】
また、図１、図２および図５を参照して、本実施形態の転写加工装置において、樹脂堰き止め機構１５は、原型１１の周囲を囲むように配設されていることが好ましい。原型１１の周囲を囲うように配設される樹脂堰き止め機構１５により、原型外周部接触領域２０ｄからの被加工樹脂２０の流出を効果的に防止できる。
【００２３】
また、図１、図２および図５を参照して、本実施形態の転写加工装置において、原型１１は四角形状であり、樹脂堰き止め機構１５は原型１１の少なくとも対向する２辺に近接して配設されていることが好ましい。樹脂堰き止め機構１５は原型１１の少なくとも対向する２辺に近接して配設される樹脂堰き止め機構１５により、原型外周部接触領域２０ｄからの被加工樹脂２０の流出を効果的に防止できる。
【００２４】
また、図１、図２および図５を参照して、本実施形態の転写加工装置において、樹脂堰き止め機構１５は、被加工樹脂２０を堰き止める堰き止め部材１５ａと、堰き止め部材１５ａを押圧方向Ｐに移動可能に保持する保持部材１５ｂを含むことが好ましい。保持部材１５ｂにより堰き止め部材１５ａが加圧方向に移動可能に保持されている樹脂堰き止め機構１５により、原型外周部接触領域２０ｄからの被加工樹脂２０の流出を効果的に防止して、被加工樹脂２０の原型外周部接触領域２０ｄにおける圧力損失を抑制するため、被加工樹脂全面に均等に圧力がかかり、高い転写性を有する転写加工装置が得られる。
【００２５】
ここで、保持部材１５ｂは、特に制限はないが、弾性体を含む弾性保持部材であることが好ましい。弾性保持部材で堰き止め部材１５ａを保持することにより、堰き止め部材１５ａを弾性的に移動させることが可能になる。弾性体としては、特に制限はなく、ばね弾性体、ゴム弾性体などの各種弾性体を用いることができる。
【００２６】
たとえば、本実施形態の転写加工装置のホルダ１３の一面には、図２を参照して、表面に凹凸パターン１２が形成されている四角形板状の原型１１と、その原型１１の周囲を囲む堰き止め部材１５ａが配設されている。ここで、図３を参照して、ホルダ１３への原型１１および堰き止め部材１５ａの配設方法を説明する。図３の矢印は、ホルダ１３の一面に配設される原型１１および堰き止め部材１５の位置を示す。ホルダ１３の一面には堰き止め部材１５の四角形状枠の枠形状と同一の形状を有する溝１３ｖが形成され、この溝１３ｖに保持部材１５ｂとしてたとえば弾性保持部材であるばねが配設され、この保持部材１５ｂに堰き止め部材１５ｂが配設されている。このようにして、堰き止め部材１５ｂは、押圧方向Ｐに移動可能なようにホルダ１３に配設される。また、溝１３ｖに囲まれたホルダ１３の溝１３ｖに囲まれた部分に表面に凹凸パターン１２が形成されている四角形板状の原型１１が配設されている。
【００２７】
ここで、流動する被加工樹脂を効果的に堰き止める観点から、原型１１の厚さＴ1と被加工樹脂２０の厚さＴ2の和が、堰き止め部材１５の厚さＴ3に等しいかほぼ等しいことが好ましい。
【００２８】
図６を参照して、堰き止め部材１５ａが弾性保持部材１５ｂ（たとえば、ばね）で保持されている樹脂堰き止め機構１５を有する転写加工装置を用いた原型１１から被加工樹脂２０への凹凸パターン１２の転写を詳しく説明する。
【００２９】
図６（ａ）を参照して、原型１１および堰き止め部材１５ａが被加工樹脂２０に接触する前は、堰き止め部材１５ａの先端が原型１１の凹凸パターン１２の先端よりも突出した状態となるように、堰き止め部材１５ａが保持されている。
【００３０】
図６（ｂ）を参照して、ホルダ１３とステージ１７とを近づけて行くと、堰き止め部材１５ａの先端、原型１１の凹凸パターン１２の先端の順に被加工樹脂２０に接触する。堰き止め部材１５ａは、被加工樹脂２０に接触後当初は押し返されるが、弾性保持部材の復元弾性力によって被加工樹脂２０の内部に押し込まれて行く。一方、原型１１により押圧された被加工樹脂２０が流動して原型１１の凹凸パターン１２の凹凸部に流れ込む。このとき、被加工樹脂２０の流動は、原型１１の中心部１１ｃから外周部１１ｄに向かう方向である。すなわち、被加工樹脂２０は原型中心部接触領域２０ｃから原型外周部接触領域２０ｄに流動し、原型外周部接触領域２０ｄから原型凹凸パターン外領域２０ｆへの流出が起こる。しかし、被加工樹脂１２の内部に押し込まれた堰き止め部材１５ａにより、被加工樹脂２０の流出が防止される。
【００３１】
図６（ｃ）を参照して、さらにホルダ１３とステージ１７とを近づけて行くと、堰き止め部材１５ａの先端がステージ１７の表面に達する。被加工樹脂１２が堰き止め部材１５により完全に堰き止められ、被加工樹脂１２に均等に圧力がかかり、被加工樹脂１２の全面に凹凸パターン１２が転写される。このようにして、原型１１から被加工樹脂２０への凹凸パターン１２の転写性を高めることができる。
【００３２】
ここで、被加工樹脂２０の種類、厚さおよびその物性、ならびに原型１１の凹凸パターン１２の形状などに応じて、堰き止め部材１５ａの先端と原型１１の凹凸パターンの先端との高低差、弾性保持部材１５ｂの弾性率などを調節することにより、被加工樹脂２０の流出を抑制して、原型１１から被加工樹脂２０への凹凸パターン１２の転写性が高めることができる。
【００３３】
なお、図６においては、保持部材１５ｂが弾性保持部材で保持されている場合について説明したが、保持部材１５ｂが弾性保持部材でない場合であっても、保持部材１５に圧力をかけその圧力を調節することによっても、被加工樹脂２０の流出を抑制して、原型１１から被加工樹脂２０への凹凸パターン１２の転写性が高めることができる。
【００３４】
ここで、堰き止め部材１５ａの材質は、被加工樹脂２０の熱分布を均一にするために熱伝導率が高く、凹凸パターン転写後の被加工樹脂２０を脱型し易いものが好ましく、たとえば、真鍮、銅などが好ましい。
【００３５】
また、図１、図５および図６を参照して、本実施形態の転写加工装置において、堰き止め部材１５の先端面１５ｓは、押圧方向Ｐと先端面１５ｓとのなす角度θが０°＜θ＜９０°となるように形成されていることが好ましい。押圧方向Ｐと先端面１５ｓとのなす角度θが０°＜θ＜９０°となるように先端面１５ｓが形成されている堰き止め部材１５は、被加工樹脂１２０への進入が容易であり、被加工樹脂２０の流出をさらに効果的に防止できる。また、かかる先端面１５ｓが形成されている堰き止め部材１５は、被加工樹脂２０を原型凹凸パターン転写領域２０ｐ（原型中心部接触領域２０ｃおよび原型外周部接触領域２０ｄ）と原型凹凸パターン外領域２０ｆとに容易に切断できる。すなわち、被加工樹脂２０を所望の形状に切断することができる。上記観点から、堰き止め部材１５の先端面１５ｓにおける押圧方向Ｐと先端面１５ｓとのなす角度θは、３０°＜θ＜６０°であることがより好ましく、４０°＜θ＜５０°であることがさらに好ましい。
【００３６】
（実施形態２）
本発明にかかる転写加工方法の一実施形態は、図７を参照して、表面に凹凸パターン１２が形成されている原型１１を、可塑状態にある被加工樹脂２０に押圧することにより、凹凸パターン１２を被加工樹脂２０に転写する転写加工方法であって、押圧の際に流動する被加工樹脂２０を堰き止めることを特徴とする。被加工樹脂の押圧の際に原型外周部接触領域に流動する被加工樹脂を堰き止めることにより、被加工樹脂が原型外周部から流出することを防止でき、原型外周部接触領域における被加工樹脂の圧力損失を抑制し、高い転写性を有する転写加工方法が提供できる。
【００３７】
本実施形態の転写加工方法においては、押圧の際に流動する被加工樹脂２０は、押圧方向Ｐに移動可能な樹脂堰き止め機構１５により堰き止められることが好ましい。かかる樹脂堰き止め機構により、被加工樹脂の流出を効果的に防止できる。ここで、押圧方向Ｐに移動可能な樹脂堰き止め機構１５とは、たとえば、被加工樹脂を堰き止める堰き止め部材１５ａと、堰き止め部材１５ａを押圧方向Ｐに移動可能に保持する保持部材１５ｂを含む。
【００３８】
本実施形態の転写加工方法が適用される被加工樹脂２０は、可塑状態となる樹脂であれば特に制限はないが、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリビニルアルコール、ポリ塩化ビニリデン、ポリエチレンテレフタレート、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ＡＢＳ（アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン）樹脂、ＡＳ（アクリロニトリル・スチレン）樹脂、アクリル樹脂、ポリアミド、ポリアセタール、ポリブチレンテレフタレート、ガラス強化ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、変性ポリフェニレンエーテル、ポリフェニレンスルフィド、ポリエーテルエーテルケトン、液晶性ポリマー、フッ素樹脂、ポリアリレート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、熱可塑性ポリイミドなどの熱可塑性樹脂が好ましい。
【００３９】
図７を参照して、本実施形態の転写加工方法を具体的に説明する。まず、図７（ａ）を参照して、ホルダ１３の一方の面に、表面に凹凸パターン１２が形成されている原型１１と、押圧方向Ｐに移動可能な堰き止め部材１５ａを含む樹脂堰き止め機構１５とを配設する。ここで、樹脂堰き止め機構１５において、堰き止め部材１５ａは保持部材１５ｂにより押圧方向Ｐに移動可能に保持されている。なお、この堰き止め部材１５ａは、被加工樹脂２０に接触する前は、その先端が原型１１の凹凸パターン１２の先端よりも突出した状態となるように保持されている。また、上記ホルダ１３の一方の面に対向するステージ１７の一方の面上に被加工樹脂２０を載置する。
【００４０】
次いで、加熱装置１９を用いてホルダ１３およびステージ１７を加熱して、ホルダ１３、原型１１、樹脂堰き止め機構１５、ステージ１７および被加工樹脂２０の温度を、被加工樹脂２０のガラス転移温度以上とすることにより、被加工樹脂２０を可塑状態とする（かかる工程を、昇温工程という）。ここで、ホルダ１３およびステージ１７の加熱温度は、被加工樹脂２０のガラス転移温度以上であれば特に制限はないが、転写加工装置の保全および加工コスト抑制の観点から、１００℃以上３００℃以下が好ましく、１８０℃以上２５０℃以下がより好ましい。
【００４１】
次に、図７（ｂ）を参照して、ホルダ１３とステージ１７とを近づけることにより、まず堰き止め部材１５ａが被加工樹脂２０に接触する。この堰き止め部材１５ａは、被加工樹脂１２に接触後当初は押し返されるが、弾性保持部材の復元弾性力によって被加工樹脂１２の内部に押し込まれて行く。
【００４２】
次いで、表面に凹凸パターン１２が形成されている原型１１が、可塑状態にある被加工樹脂２０を押圧する。原型１１により押圧された被加工樹脂２０が流動して原型１１の凹凸パターン１２の凹凸部に流れ込む。このとき、被加工樹脂２０は、原型中心部接触領域２０ｃから原型外周部接触領域２０ｄに流動する。しかし、被加工樹脂１２の内部に押し込まれた堰き止め部材１５ａにより、被加工樹脂２０の原型外周部接触領域２０ｄから原型凹凸パターン外領域２０への流出が防止される。このため、被加工樹脂１２に均等に圧力がかかり、被加工樹脂１２の全面に凹凸パターン１２が転写される（かかる工程を、押圧工程という）。
【００４３】
このとき、ホルダ１３とステージ１７との間にかける圧力は、凹凸パターン１２を原型１１から被加工樹脂２０に転写するのに十分な圧力であれば特に制限はなく、転写加工装置の保全および加工コスト抑制の観点から、０．１ＭＰａ以上３．０ＭＰａ以下が好ましく、０．５ＭＰａ以上２．０ＭＰａ以下がより好ましい。また、圧力保持時間は、凹凸パターン１２を原型１１から被加工樹脂２０に転写するのに十分な時間であれば特に制限はなく、転写加工装置の保全および加工コスト抑制の観点から、１０秒間以上１５分間以下が好ましく、３０秒間以上３分間以下がより好ましい。
【００４４】
次に、図７（ｃ）を参照して、ホルダ１３およびステージ１７を冷却して、凹凸パターン１２が転写された被加工樹脂２０の温度をそのガラス転移温度より低くする（かかる工程を、降温工程という）。
【００４５】
次に、図７（ｄ）を参照して、凹凸パターン１２が転写された被加工樹脂２０の温度がそのガラス転移温度より低くなった後、ホルダ１３とステージ１７とを遠ざけて、凹凸パターン１２が転写された被加工樹脂２０をステージ１７から取り外す（かかる工程を、脱型工程という）。このとき、先端面１５ｓと押圧方向Ｐとのなす角度θが０°＜θ＜９０°となるように先端面１５ｓが形成されている堰き止め部材１５により、被加工樹脂２０は原型凹凸パターン転写領域２０ｐと原型凹凸パターン外領域２０ｆとに切断されている。このようにして、凹凸パターン１２の原型１１から被加工樹脂２０への高い転写性を有する転写加工方法が提供される。
【実施例】
【００４６】
（実施例１）
図１〜図３および図７（ａ）を参照して、真鍮製のホルダ１３の一方の面に、表面に凹凸高低差Ｈが１０μｍ、ピッチＬ（凸−凸間距離）が１００μｍである線状の凹凸部を有する凹凸パターン１２が形成されているニッケル製の一辺が４０ｍｍで厚さＴ1が５ｍｍの四角形板状の原型１１と、この原型１１の周囲にばねで押圧方向Ｐに移動可能に固定された銅製の幅が３ｍｍ、高さＴ3が５．２ｍｍ、内側の一辺が４０．０５ｍｍの四角形状枠の堰き止め部材１５ａが配設され、ニッケル製のステージ１７を有する転写装置を用いて、被加工樹脂２０である一辺が４０ｍｍで厚さＴ2が０．２ｍｍの四角形板状のアクリル樹脂シートに上記凹凸パターン１２を転写した。
【００４７】
まず、図７（ａ）を参照して、ステージ１７上に上記の被加工樹脂２０を載置して、加熱装置１９でホルダ１３およびステージ１７を加熱して、ホルダ温度およびステージ温度を２３０℃とした（昇温工程）。
【００４８】
次に、図７（ｂ）を参照して、たとえばステージ１７を移動させることによりホルダ１３とステージ１７とを近づけて、表面に上記の凹凸パターン１２が形成されている原型１１を被加工樹脂２０押圧した。ここで、ホルダ１３とステージ１７との間に２．０ＭＰａの圧力をかけて、３０秒間保持した（押圧工程）。
【００４９】
次に、図７（ｃ）を参照して、ホルダ１３とステージ１７との間の圧力を保持したままで、ホルダ１３およびステージ１７を冷却して、ホルダ温度およびステージ温度を被加工樹脂２０のガラス転移温度より低い１２０℃とした（降温工程）。
【００５０】
次に、図７（ｄ）を参照して、ホルダ温度およびステージ温度を８０℃とした後、ステージ１７をホルダ１３から遠ざけることにより、凹凸パターン１２が転写された被加工樹脂１２ｐが得られた。この被加工樹脂１２ｐをステージ１７から取り外した（脱型工程）。こうして得られた被加工樹脂１２ｐに転写された凹凸パターン１２を、３次元形状測定器（株式会社ミツトヨ製ＳＱＶＨ３０２−ＰＲＯ）で測定したところ、原型中心部接触領域２０ｃおよび原型外周部接触領域２０ｄいずれにおいても、凹凸高低差は１０±０．０５μｍ、ピッチ（凸−凸間距離）は１００±０．０５μｍであり、原型１１の凹凸パターン１２が極めて正確に全面的に転写されていることが確認できた。
【００５１】
今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した説明でなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内のすべての変更が含まれることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明にかかる転写加工装置の一実施形態を示す概略断面図である。
【図２】図１に示す転写加工装置のホルダの概略下面図である。
【図３】図１に示す転写加工装置のホルダへの原型および堰き止め部材の取り付けを示す概略斜視図である。
【図４】一般的な転写加工装置による凹凸パターンの転写の様子を示す概略断面図である。ここで、（ａ）は一般的な転写加工装置を示し、（ｂ）は一般的な転写加工装置による凹凸パターンの転写の様子を示す。
【図５】本発明にかかる転写加工装置による凹凸パターンの転写の様子を示す概略断面図である。ここで、（ａ）は本発明にかかる転写加工装置を示し、（ｂ）は本発明にかかる転写加工装置による凹凸パターンの転写の様子を示す。
【図６】本発明にかかる転写加工装置による凹凸パターンの転写の詳細な様子を示す概略断面図である。ここで、（ａ）は本発明にかかる転写加工装置を示し、（ｂ）は押圧工程の初期段階を示し、（ｃ）は押圧工程の終期段階を示す。
【図７】本発明にかかる転写加工方法の一実施形態を示す概略断面図である。ここで、（ａ）は昇温工程を示し、（ｂ）は押圧工程を示し、（ｃ）は降温工程を示し、（ｄ）は脱型工程を示す。
【符号の説明】
【００５３】
１０  転写加工装置、１１  原型、１１ｃ  中心部、１１ｄ  外周部、１２  凹凸パターン、１３  ホルダ、１５  樹脂堰き止め機構、１５ａ  堰き止め部材、１５ｂ  保持部材、１５ｓ  先端面、１７  ステージ、１９  加熱装置、２０  被加工樹脂、２０ｃ  原型中心部接触領域、２０ｄ  原型外周部接触領域、２０ｅ，２０ｆ  原型凹凸パターン外領域、２０ｐ  原型凹凸パターン転写領域。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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