(57)【要約】【課題】第１の回転スピンドルおよび第２の回転スピンドルへの第１の切削砥石および第２の切削砥石の誤組み付けを防止することができるチップの成形装置を提供する。【解決手段】チップの第１の側面を加工する第１の切削砥石と、チップの第２の側面を加工する第２の切削砥石とを具備するチップの成形装置であって、第１の切削砥石を第１の回転スピンドルに装着するための第１の切削砥石装着部材における第１の切削砥石を支持する第１の砥石支持部には第２の切削砥石の嵌入を規制する第１の嵌入規制手段が設けられており、第２の切削砥石を第２の回転スピンドルに装着するための第２の切削砥石装着部材における第２の切削砥石を支持する第２の砥石支持部には第１の切削砥石の嵌入を規制する第２の嵌入規制手段が設けられている。【選択図】図６
2008149383.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
チップの側面を上下にして保持するチップ保持冶具を保持し加工送り方向に移動可能に構成された移動テーブルと、
第１の回転スピンドルと、チップの第１の側面を第１の形状に加工する第１の加工部を外周面に備え中心に嵌合穴を備えた第１の切削砥石と、該第１の切削砥石を該第１の回転スピンドルに装着する第１の切削砥石装着手段とを備えた第１の切削手段と、
第２の回転スピンドルと、チップの第２の側面を第２の形状に加工する第２の加工部を外周面に備え中心に嵌合穴を備えた第２の切削砥石と、該第２の切削砥石を該第２の回転スピンドルに装着する第２の切削砥石装着手段とを備えた第２の切削手段と、を具備するチップの成形装置において、
該第１の切削砥石装着手段は、該第１の切削砥石の嵌合穴が嵌合する外周面を備えた第１の切削砥石装着部材と、該第１の切削砥石装着部材の外周に嵌合され該第１の切削砥石の抜けを規制する第１の着脱フランジと、該第１の切削砥石装着部材の外周に螺合され該第１の着脱フランジを該第１の切削砥石に押圧する第１の締め付けナットとからなり、
該第２の切削砥石装着手段は、該第２の切削砥石の嵌合穴が嵌合する外周面を備えた第２の切削砥石装着部材と、該第２の切削砥石装着部材の外周に嵌合され該第２の切削砥石の抜けを規制する第２の着脱フランジと、該第２の切削砥石装着部材の外周に螺合され該第２の着脱フランジを該第２の切削砥石に押圧する第２の締め付けナットとからなっており、
該第１の切削砥石装着部材は、該第１の切削砥石の装着位置を規定する第１の位置決めフランジと、該第１の位置決めフランジに隣接して形成され該第１の切削砥石の嵌合穴が嵌合する第１の砥石支持部と、該第１の砥石支持部に隣接して形成され該第１の着脱フランジが嵌合する着脱フランジ装着部と、該着脱フランジ装着部に隣接して形成され該第１の締め付けナットが螺合する第１のネジ部を有し、該第１の砥石支持部には該第２の切削砥石の嵌入を規制する第１の嵌入規制手段が設けられており、
該第２の切削砥石装着部材は、該第２の切削砥石の装着位置を規定する第２の位置決めフランジと、該第２の位置決めフランジに隣接して形成され該第２の切削砥石の嵌合穴が嵌合する第２の砥石支持部と、該第２の砥石支持部に隣接して形成され該第２の着脱フランジが嵌合する着脱フランジ装着部と、該着脱フランジ装着部に隣接して形成され該第２の締め付けナットが螺合する第２のネジ部を有し、該第２の砥石支持部には該第１の切削砥石の嵌入を規制する第２の嵌入規制手段が設けられている、
ことを特徴とするチップの成形装置。
【請求項２】
該第１の嵌入規制手段は該第１の砥石支持部に該第１の位置決めフランジから第１の幅(L1)を持って形成され第１の外径(D1)を有する第１の大径部からなり、該第１の切削砥石の嵌合穴には第１の大径部の第１の外径(D1)に対応する内径と第１の幅(L1)に対応する幅を有する被支持部を備えており、
該第２の嵌入規制手段は該第２の砥石支持部に該第２の位置決めフランジから第２の幅(L2)を持って形成され第２の外径(D2)を有する第２の大径部からなり、該第２の切削砥石の嵌合穴には第２の大径部の第２の外径(D2)に対応する内径と第２の幅(L2)に対応する幅を有する被支持部を備えており、
該第１の大径部の第１の外径(D1)および第１の幅(L1)と該第２の大径部の第２の外径(D2)および第２の幅(L2)との関係が、D1＜D2およびL1＞L2、またはD2＜D1およびL2＞L1に設定されている請求項１記載のチップの成形装置。
【請求項３】
該第１の大径部の第１の外径(D1)および第１の幅(L1)と該第２の大径部の第２の外径(D2)および第２の幅(L2))との関係が、D1＜D2およびL1＞L2の場合、
該第２の大径部の第２の幅(L2)は上記第２のネジ部の長さより大きく設定され、該第１の大径部の第１の幅(L1)は第２の大径部の第２の幅(L2)の２倍以上に設定されている、請求項２記載のチップの成形装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子機器のカードスロットに挿入して用いるメモリーカード等のチップの側面を成形加工するチップの成形装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子機器のカードスロットに挿入して用いるメモリーカードは、配線基板にメモリー素子が実装され、モールド樹脂によって被覆されて形成されている（例えば特許文献１参照）。このようなメモリーカードは、１枚の配線基板に格子状に形成された複数の分割予定ラインによって区画された複数の領域にメモリー素子が実装し、全体をモールド樹脂によって被覆してパッケージ基板を形成した後に、パッケージ基板を複数の分割予定ラインに沿って切断することによって製作される。
【特許文献１】特許第３４０８８０５号公報
【０００３】
上述したメモリーカードの形状は規格化されており、電子機器のカードスロットに挿入際に表裏および挿入方向を特定するため、側面に異形部が形成される。また、異形部が形成されない角部には、面取り加工が施される。
【０００４】
上述したパッケージ基板は、一般に切削装置によって複数の分割予定ラインに沿って切断される。しかるに、メモリーカードの側面に異形部が形成されたり角部に面取り加工が施される場合には、曲線加工することができない切削装置のみで切断することができない。このため個々の分割されたメモリーカード毎にレーザー加工やルーター加工等によって異形部および面取り加工を施しているが、生産性が悪いという問題がある。
【０００５】
このような問題を解消するために本出願人は、メモリーカードの異形部が形成された第１の側面に対応する第１の切削砥石を備えた第１の切削手段と、メモリーカードの第１の側面と反対側の第２の側面に対応する第２の切削砥石を備えた第２の切削手段とを具備するメモリーカードの成形装置を特願２００６−１５８３２２号として提案した。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
而して、上述したメモリーカードの成形装置においては、第１の切削砥石は第１の回転スピンドルに装着し、第２の切削砥石は第２の回転スピンドルに装着する必要があり、第１の回転スピンドルに第２の切削砥石を装着したり第２の回転スピンドルに第１の切削砥石を装着すると、メモリーカードに適正な加工を施すことができない。
【０００７】
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術的課題は、第１の回転スピンドルおよび第２の回転スピンドルへの第１の切削砥石および第２の切削砥石の誤組み付けを防止することができるチップの成形装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、チップの側面を上下にして保持するチップ保持冶具を保持し加工送り方向に移動可能に構成された移動テーブルと、
第１の回転スピンドルと、チップの第１の側面を第１の形状に加工する第１の加工部を外周面に備え中心に嵌合穴を備えた第１の切削砥石と、該第１の切削砥石を該第１の回転スピンドルに装着する第１の切削砥石装着手段とを備えた第１の切削手段と、
第２の回転スピンドルと、チップの第２の側面を第２の形状に加工する第２の加工部を外周面に備え中心に嵌合穴を備えた第２の切削砥石と、該第２の切削砥石を該第２の回転スピンドルに装着する第２の切削砥石装着手段とを備えた第２の切削手段と、を具備するチップの成形装置において、
該第１の切削砥石装着手段は、該第１の切削砥石の嵌合穴が嵌合する外周面を備えた第１の切削砥石装着部材と、該第１の切削砥石装着部材の外周に嵌合され該第１の切削砥石の抜けを規制する第１の着脱フランジと、該第１の切削砥石装着部材の外周に螺合され該第１の着脱フランジを該第１の切削砥石に押圧する第１の締め付けナットとからなり、
該第２の切削砥石装着手段は、該第２の切削砥石の嵌合穴が嵌合する外周面を備えた第２の切削砥石装着部材と、該第２の切削砥石装着部材の外周に嵌合され該第２の切削砥石の抜けを規制する第２の着脱フランジと、該第２の切削砥石装着部材の外周に螺合され該第２の着脱フランジを該第２の切削砥石に押圧する第２の締め付けナットとからなっており、
該第１の切削砥石装着部材は、該第１の切削砥石の装着位置を規定する第１の位置決めフランジと、該第１の位置決めフランジに隣接して形成され該第１の切削砥石の嵌合穴が嵌合する第１の砥石支持部と、該第１の砥石支持部に隣接して形成され該第１の着脱フランジが嵌合する着脱フランジ装着部と、該着脱フランジ装着部に隣接して形成され該第１の締め付けナットが螺合する第１のネジ部を有し、該第１の砥石支持部には該第２の切削砥石の嵌入を規制する第１の嵌入規制手段が設けられており、
該第２の切削砥石装着部材は、該第２の切削砥石の装着位置を規定する第２の位置決めフランジと、該第２の位置決めフランジに隣接して形成され該第２の切削砥石の嵌合穴が嵌合する第２の砥石支持部と、該第２の砥石支持部に隣接して形成され該第２の着脱フランジが嵌合する着脱フランジ装着部と、該着脱フランジ装着部に隣接して形成され該第２の締め付けナットが螺合する第２のネジ部を有し、該第２の砥石支持部には該第１の切削砥石の嵌入を規制する第２の嵌入規制手段が設けられている、
ことを特徴とするチップの成形装置が提供される。
【０００９】
上記第１の嵌入規制手段は第１の砥石支持部に第１の位置決めフランジから第１の幅(L1)を持って形成され第１の外径(D1)を有する第１の大径部からなり、第１の切削砥石の嵌合穴には第１の大径部の第１の外径(D1)に対応する内径と第１の幅(L1)に対応する幅を有する被支持部を備えており、
上記第２の嵌入規制手段は第２の砥石支持部に第２の位置決めフランジから第２の幅(L2)を持って形成され第２の外径(D2)を有する第２の大径部からなり、第２の切削砥石の嵌合穴には第２の大径部の第２の外径(D2)に対応する内径と第２の幅(L2)に対応する幅を有する被支持部を備えており、
上記第１の大径部の第１の外径(D1)および第１の幅(L1)と上記第２の大径部の第２の外径(D2)および第２の幅(L2)との関係が、D1＜D2およびL1＞L2、またはD2＜D1およびL2＞L1に設定されている。
【００１０】
上記第１の大径部の第１の外径(D1)および第１の幅(L1)と上記第２の大径部の第２の外径(D2)および第２の幅(L2))との関係が、D1＜D2およびL1＞L2の場合、
第２の大径部の第２の幅(L2)は上記第２のネジ部の長さより大きく設定され、第１の大径部の第１の幅(L1)は第２の大径部の第２の幅(L2)の２倍以上に設定されている。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によるチップの成形装置においては、第２の切削砥石を第１の切削砥石装着部材に装着すると、第１の大径部に当接して第１の大径部に嵌合することができない。この結果、第２の切削砥石は所定の装着位置より第１のネジ部側に突出するので、第１の着脱フランジを装着すると該第１の着脱フランジが第１のネジ部を覆い、第１のネジ部に第１の締め付けナットを装着することができない。従って、第２の切削砥石の誤組み付けを未然に防止できる。また、第１の切削砥石を第２の切削砥石装着部材に装着すると、第２の大径部に当接して第２の大径部に嵌合することができない。この結果、第１の切削砥石は所定の装着位置より第２のネジ部側に突出するので、第２の着脱フランジを装着すると該第２の着脱フランジが第２のネジ部を覆い、第２のネジ部第２の締め付けナットを装着することができない。従って、第１の切削砥石の誤組み付けを未然に防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明によって構成されたチップの成形装置の好適な実施形態を図示している添付図面を参照して、更に詳細に説明する。
【００１３】
先ず、本発明によるチップの成形装置によって加工されるチップの一例について、図１3および図１4を参照して説明する。
図１3には複数のメモリーカード１０が形成されたカード基板１１の斜視図が示されている。図１3に示すパッケージ基板１１は矩形状に形成されており、表面が第1の方向に形成された複数の第１の分割予定ライン１１１と該第1の分割予定ライン１１１と直交する方向に形成された第２の分割予定ライン１１２によって区画され、この区画された領域にメモリーカード１０が形成されている。なお、メモリーカード１０は、図示の実施形態においては第１の側面１０aは平面に形成されており、第１の側面１０aと平行な反対側の第２の側面１０bには異形部１０１が形成されている。そして、メモリーカード１０の角部には面取り部１０２が形成されている。このように形成されたパッケージ基板１１を個々のメモリーカード１０に分割するには、切削装置によって第1の分割予定ライン１１１および第2の分割予定ライン１１２に沿って切断することにより、図１4に示すように矩形のチップ１００に分割する。このように分割された矩形のチップ１００は、上記異形部１０１および面取り部１０２が未加工である。また、図１4に示すチップ１００は、一端部表面に段部１０３が突出して形成されている。以下、上記チップ１００の異形部１０１および面取り部１０２を加工するためのチップの成形装置について説明する。
【００１４】
図１には、本発明に従って構成されたチップの成形装置の斜視図が示されている。
図１に示すチップの成形装置は、略直方体状の装置ハウジング２を具備している。この装置ハウジング２内には、移動テーブル３が加工送り方向である矢印Ｘで示す方向に移動可能に配設されている。この移動テーブル３は、中央部に静電チャック(図示せず)が設けられている。また、移動テーブル３は、図示しない切削送り手段によって矢印Ｘで示す加工送り方向に移動せしめられるとともに、図示しない回動機構によって回動せしめられるようになっている。このように構成された移動テーブル３に上記チップ１００を複数保持するチップ保持冶具４が着脱可能に載置され保持される。なお、チップ保持冶具４については、後で説明する。
【００１５】
図示の実施形態における成形装置は、チップ保持冶具４に保持されたチップ１００におけるメモリーカード１０の第１の側面１０aを切削する第１の切削手段５aと、チップ１００におけるメモリーカード１０の第２の側面１０bを切削する第２の切削手段５bを具備している。第１の切削手段５aおよび第２の切削手段５bは、それぞれ図示しない割り出し送り手段によって図１において矢印Yで示す割り出し送り方向に移動せしめられるとともに、図示しない切り込み送り手段によって図１において矢印Ｚで示す切り込み送り方向に移動せしめられるようになっている。第１の切削手段５aは、図示しない移動基台に装着され割り出し方向である矢印Ｙで示す方向および切り込み方向である矢印Ｚで示す方向に移動調整される第１のスピンドルハウジング５１aと、該第１のスピンドルハウジング５１aに回転自在に支持された第１の回転スピンドル５２aと、該第１の回転スピンドル５２aの前端部に装着された第１の切削砥石６とを具備している。この第１の切削砥石６は、図２に示すように第１の切削砥石装着手段７によって第１の回転スピンドル５２aに装着される。
【００１６】
第１の切削砥石装着手段７は、第１の切削砥石６の後述する嵌合穴が嵌合する第１の切削砥石装着部材７１と、該第１の切削砥石装着部材７１に嵌合された第１の切削砥石６の抜けを規制する第１の着脱フランジ７２と、第１の切削砥石装着部材７１の先端部に螺合し第１の着脱フランジ７２を第１の切削砥石６に押圧する第１の締め付けナット７３とからなっている。第１の切削砥石装着部材７１は、中心部にテーパー状の装着穴７１１aが設けられており、この装着穴７１１aを第１の回転スピンドル５２aの先端部に設けられたテーパー状の装着部５２１aに嵌合する。このとき、第１の切削砥石装着部材７１の図２において右端面に形成された位置決め穴７１０、７１０を第１の回転スピンドル５２aに設けられたフランジ５２２aに設けられたピン５２３a、ピン５２３aに嵌合する。そして、第１の回転スピンドル５２aの先端に設けられたネジ部５２４aに締め付けナット５３aを螺合することにより、第１の切削砥石装着部材７１は第１の回転スピンドル５２aに装着される。
【００１７】
上記第１の切削砥石装着部材７１について、図２を参照して説明を続ける。
図示の実施形態における第１の切削砥石装着部材７１の外周面には、図２において右端部に第１の切削砥石６の装着位置を規定する第１の位置決めフランジ７１１と、第１の位置決めフランジ７１１の図２において左側に隣接して形成され第１の切削砥石６が嵌合する第１の砥石支持部７１２と、該第１の砥石支持部７１２の図２において左側に隣接して形成された着脱フランジ装着部７１３と、該着脱フランジ装着部７１３の図２において左側に隣接して形成された第１のネジ部７１４が設けられている。第１の位置決めフランジ７１１は、第１の砥石支持部７１２より径方向に突出して設けられており、図２において左面が軸方向に対して垂直な位置決め面７１１bに形成されている。第１の砥石支持部７１２は、第１の位置決めフランジ７１１の図２において左側に隣接して形成され第１の外径(D1)を有する第１の大径部７１２aと該第１の大径部７１２aより外径が小さい小径部７１２bとからなっている。第１の大径部７１２aは、第１の位置決めフランジ７１１の位置決め面７１１bから第１の幅(L1)を持って形成されている。上記着脱フランジ装着部７１３は、第１の砥石支持部７１２の小径部７１２bの外径より小さい外径に形成されている。上記第１のネジ部７１４は、着脱フランジ装着部７１３の外径より小さい外径の外周面にネジが形成されている。
【００１８】
上記第１の切削砥石６は、砥粒がボンド剤で固められた環状の砥石ブレードからなっており、その外周面がチップ１００におけるメモリーカード１０の第１の側面１０aの形状に対応した形状に形成された第１の加工部６１を備えた所謂総型ブレードをなしている。第１の切削砥石６は、上記の第１の砥石支持部７１２に嵌合する嵌合穴６２を備えている。この嵌合穴６２は、上記第１の切削砥石装着部材７１の第１の砥石支持部７１２を構成する第１の大径部７１２aの第１の外径(D1)と対応する内径を有し該第１の大径部７１２aの第１の幅(L1)に対応する幅を有する第１の被支持部６２１と、上記第１の切削砥石装着部材７１の第１の砥石支持部７１２を構成する小径部７１２bの外径と対応する内径を有し該小径部７１２bの幅に対応する幅を有する第２の被支持部６２２とからなっている。このように構成された第１の切削砥石６は、第１の被支持部６２１を図２に示すように第１の切削砥石装着部材７１の第１の砥石支持部７１２を構成する第１の大径部７１２aに嵌合し、第２の被支持部６２２を第１の切削砥石装着部材７１の第１の砥石支持部７１２を構成する小径部７１２bに嵌合することにより、第１の切削砥石装着部材７１の所定位置に取付けられる。このようにして第１の切削砥石６を第１の切削砥石装着部材７１の第１の砥石支持部７１２に嵌合したならば、第１の切削砥石装着部材７１の着脱フランジ装着部７１３に第１の着脱フランジ７２を嵌合し、第１の切削砥石装着部材７１の第１のネジ部７１４に第１の締め付けナット７３を螺合することにより、第１の着脱フランジ７２を介して第１の切削砥石６を押圧する。この結果、第１の切削砥石６は、第１の位置決めフランジ７１１と第１の着脱フランジ７２との間に挟持される。なお、第１の着脱フランジ７２と第１の締め付けナット７３は、一体に形成してもよい。
【００１９】
上記第１の切削砥石６を第１の切削砥石装着部材７１に装着する際に、左右を間違えて装着した場合について、図３を参照して説明する。図３に示すように第１の切削砥石６の左右を間違えて第１の切削砥石装着部材７１の第１の砥石支持部７１２に嵌合すると、第１の切削砥石６の嵌合穴６２を構成する第２の被支持部６２２は第１の切削砥石装着部材７１の第１の砥石支持部７１２を構成する小径部７１２bには嵌合するが、第１の大径部７１２aの端面(図３において左端面)に当接して第１の大径部７１２aに嵌合することができない。この結果、第１の切削砥石６は所定の装着位置より図３において左方に突出するため、着脱フランジ装着部７１３に第１の着脱フランジ７２を装着すると、第１の着脱フランジ７２が第１のネジ部７１４を覆い、第１のネジ部７１４に第１の締め付けナット７３を装着することができない。従って、第１の切削砥石６の誤組み付けを未然に防止できる。
【００２０】
図１に戻って説明を続けると、上記チップ１００におけるメモリーカード１０の第２の側面１０bを切削する第２の切削手段５bは、図示しない移動基台に装着され割り出し方向である矢印Ｙで示す方向および切り込み方向である矢印Ｚで示す方向に移動調整される第２のスピンドルハウジング５１bと、該第２のスピンドルハウジング５１ｂに回転自在に支持された第１の回転スピンドル５２bと、該第１の回転スピンドル５２bの前端部に装着された第２の切削砥石８とを具備している。この第２の切削砥石8は、図４に示すように第２の切削砥石装着手段９によって第２の回転スピンドル５２bに装着される。
【００２１】
第２の切削砥石装着手段９は、第２の切削砥石８の後述する嵌合穴が嵌合する第９の切削砥石装着部材９１と、該第１の切削砥石装着部材９１に嵌合された第２の切削砥石８の抜けを規制する第２の着脱フランジ９２と、第２の切削砥石装着部材９１の先端部に螺合し第２の着脱フランジ９２を第１の切削砥石８に押圧する第２の締め付けナット９３とからなっている。第２の切削砥石装着部材９１は、中心部にテーパー状の装着穴９１１aが設けられており、この装着穴９１１aを第１の回転スピンドル５２bの先端部に設けられたテーパー状の装着部５２１bに嵌合する。このとき、第２の切削砥石装着部材９１の図４において右端面に形成された位置決め穴９１０、９１０を第２の回転スピンドル５２bに設けられたフランジ５２２bに設けられたピン５２３b、ピン５２３bに嵌合する。そして、第２の回転スピンドル５２bの先端に設けられたネジ部５２４bに締め付けナット５３bを螺合することにより、第２の切削砥石装着部材９１は第２の回転スピンドル５２bに装着される。
【００２２】
上記第２の切削砥石装着部材９１について、図４を参照して説明を続ける。
図示の実施形態における第２の切削砥石装着部材９１の外周面には、図４において右端部に第２の切削砥石８の装着位置を規定する第２の位置決めフランジ９１１と、第２の位置決めフランジ９１１の図４において左側に隣接して形成され第２の切削砥石８が嵌合する第２の砥石支持部９１２と、該第２の砥石支持部９１２の図４において左側に隣接して形成された着脱フランジ装着部９１３と、該着脱フランジ装着部９１３の図４において左側に隣接して形成された第２のネジ部９１４が設けられている。第２の位置決めフランジ９１１は、第２の砥石支持部９１２より径方向に突出して設けられており、図４において左面が軸方向に対して垂直な位置決め面９１１bに形成されている。第２の砥石支持部９１２は、第２の位置決めフランジ９１１の図４において左側に隣接して形成され第２の外径(D2)を有する第２の大径部９１２aと該第２の大径部９１２aより外径が小さい小径部９１２bとからなっている。第２の大径部９１２aは、第２の位置決めフランジ９１１の位置決め面９１１bから第２の幅(L2)を持って形成されている。上記着脱フランジ装着部９１３は、第２の砥石支持部９１２の小径部９１２bの外径より小さい外径に形成されている。上記第２のネジ部９１４は、着脱フランジ装着部９１３の外径より小さい外径の外周面にネジが形成されている。
【００２３】
上記第２の切削砥石８は、砥粒がボンド剤で固められた環状の砥石ブレードからなっており、その外周面がチップ１００におけるメモリーカード１０の第２の側面１０bの形状に対応した形状に形成された第２の加工部８１を備えた所謂総型ブレードをなしている。第２の切削砥石８は、上記の第２の砥石支持部９１２に嵌合する嵌合穴８２を備えている。この嵌合穴８２は、上記第２の切削砥石装着部材９１の第２の砥石支持部９１２を構成する第２の大径部９１２aの第２の外径(D2)と対応する内径を有し該第２の大径部９１２aの第２の幅(L2)に対応する幅を有する第１の被支持部８２１と、上記第２の切削砥石装着部材９１の第２の砥石支持部９１２を構成する小径部９１２bの外径と対応する内径を有し該小径部９１２bの幅に対応する幅を有する第２の被支持部８２２とからなっている。このように構成された第２の切削砥石８は、第１の被支持部８２１を図４に示すように第２の切削砥石装着部材９１の第２の砥石支持部２１２を構成する第２の大径部９１２aに嵌合し、第２の被支持部８２２を第２の切削砥石装着部材９１の第２の砥石支持部９１２を構成する小径部９１２bに嵌合することにより、第２の切削砥石装着部材９１の所定位置に取付けられる。このようにして第２の切削砥石８を第２の切削砥石装着部材９１の第２の砥石支持部９１２に嵌合したならば、第２の切削砥石装着部材９１の着脱フランジ装着部９１３に第２の着脱フランジ９２を嵌合し、第２の切削砥石装着部材９１の第２のネジ部９１４に第２の締め付けナット９３を螺合することにより、第２の着脱フランジ９２を介して第２の切削砥石８を押圧する。この結果、第２の切削砥石８は、第２の位置決めフランジ９１１と第２の着脱フランジ９２との間に挟持される。なお、第２の着脱フランジ９２と第２の締め付けナット９３は、一体に形成してもよい。
【００２４】
上記第２の切削砥石８を第２の切削砥石装着部材９１に装着する際に、左右を間違えて装着した場合について、図５を参照して説明する。図５に示すように第２の切削砥石８の左右を間違えて第２の切削砥石装着部材９１の第２の砥石支持部９１２に嵌合すると、第２の切削砥石８の嵌合穴８２を構成する第２の被支持部８２２は第２の切削砥石装着部材９１の第２の砥石支持部９１２を構成する小径部９１２bには嵌合するが、第２の大径部９１２aの端面(図５において左端面)に当接して第２の大径部９１２aに嵌合することができない。この結果、第２の切削砥石８は所定の装着位置より図５において左方に突出するため、着脱フランジ装着部９１３に第２の着脱フランジ９２を装着すると、第２の着脱フランジ９２が第２のネジ部９１４を覆い、第２のネジ部９１４に第２の締め付けナット９３を装着することができない。従って、第２の切削砥石８の誤組み付けを未然に防止できる。
【００２５】
ここで、上記第１の切削砥石装着部材７１の第１の砥石支持部７１２を構成する第１の大径部７１２aの第１の外径(D1)および第１の幅(L1)と、第２の切削砥石装着部材９１の第２の砥石支持部９１２を構成する第２の大径部９１２aの第２の外径(D2)および第２の幅(L2)との関係について説明する。
図示の実施形態においては、第１の大径部７１２aの第１の外径(D1)と第２の大径部９１２aの第２の外径(D2)はD1＜D2の関係に設定されており、第１の大径部７１２aの第１の幅(L1)と第２の大径部９１２aの第２の幅(L2)はL1＞L2に設定されている。なお、第２の大径部の第２の幅(L2)は上記第２のネジ部９１４の長さより大きく設定され、第１の大径部７１２aの第１の幅(L1)は第２の大径部９１２aの第２の幅(L2)の２倍以上に設定されていることが望ましい。
【００２６】
従って、第２の切削砥石８を第１の切削砥石装着部材７１に装着すると、図６に示すように第２の切削砥石８の嵌合穴８１を構成する第２の被支持部８２２は第１の切削砥石装着部材７１の第１の砥石支持部７１２を構成する小径部７１２bには嵌合するが、第１の大径部７１２aの端面(図６において左端面)に当接して第１の大径部７１２aに嵌合することができない。この結果、第２の切削砥石８は所定の装着位置より図６において左方に突出するため、着脱フランジ装着部７１３に第１の着脱フランジ７２を装着すると、第１の着脱フランジ７２が第１のネジ部７１４を覆い、第１のネジ部７１４に第１の締め付けナット７３を装着することができない。従って、第２の切削砥石８の誤組み付けを未然に防止できる。また、第１の切削砥石６を第２の切削砥石装着部材９１に装着すると、図７に示すように第１の切削砥石６の嵌合穴６１は第２の切削砥石装着部材９１の第２の砥石支持部９１２を構成する小径部９１２bには嵌合するが、第２の大径部９１２aの端面(図７において左端面)に当接して第２の大径部９１２aに嵌合することができない。この結果、第１の切削砥石６は所定の装着位置より図７において左方に突出するため、着脱フランジ装着部９１３に第２の着脱フランジ９２を装着すると、第２の着脱フランジ９２が第２のネジ部９１４を覆い、第２のネジ部９１４に第２の締め付けナット９３を装着することができない。従って、第１の切削砥石６の誤組み付けを未然に防止できる。なお、第１の切削砥石装着部材７１の第１の砥石支持部７１２を構成する第１の大径部７１２aの第１の外径(D1)および第１の幅(L1)と、第２の切削砥石装着部材９１の第２の砥石支持部９１２を構成する第２の大径部９１２aの第２の外径(D2)および第２の幅(L2)との関係は、D2＜D1およびL2＞L1に設定しても上述した第１の切削砥石６および第２の切削砥石８の誤組み付けを防止することができる。
【００２７】
図１に戻って説明を続けると、図示の実施形態における成形装置は、上記移動テーブル３上に保持されたチップ保持冶具４に保持されているチップ１００の被加工面を撮像し、上記第１の切削砥石６および第２の切削砥石８によって切削すべき領域を検出するための撮像手段１２を具備している。この撮像手段１２は、顕微鏡やＣＣＤカメラ等の光学手段からなっており、その撮像画像を図示しない制御手段に送る。
【００２８】
次に、チップ保持冶具４について、図８を参照して説明する。
図示の実施形態におけるチップ保持冶具４は、矩形状の治具本体４０を具備している。この治具本体４０には上記チップ１００が挿入されるチップ挿入穴４１１aが複数個一列に整列して形成された第１の挿入穴列４１aと、該第１の挿入穴列４１aと平行に併設されチップ１００が挿入されるチップ挿入穴４１１bが複数個一列に整列して形成された第２の挿入穴列４１bを備えている。なお、第１の挿入穴列４１aのチップ挿入穴４１１aと第２の挿入穴列４１bのチップ挿入穴４１１bは、挿入できるチップ１００の向きが異なる形状に形成されている。図示の実施形態においては、第１の挿入穴列４１aのチップ挿入穴４１１aは、チップ１００におけるメモリーカード１０の第１の側面１０aが上側に露出するように挿入されるように形成されている。また、第２の挿入穴列４１bのチップ挿入穴４１１bは、チップ１００におけるメモリーカード１０の第２の側面１０bが上側に露出するように挿入されるように形成されている。第１の挿入穴列４１aのチップ挿入穴４１１aと第２の挿入穴列４１bのチップ挿入穴４１１bに挿入された各チップ１００は、図示しない固定機構によって治具本体４０に固定されるようになっている。なお、第１の挿入穴列４１aのチップ挿入穴４１１aと第２の挿入穴列４１bのチップ挿入穴４１１bに挿入されたチップ１００を固定する図示しない固定機構については、本出願人が既に提案した特願２００６−１５８３２２号の明細書および図面に詳細に説明されているのでかかる記載に委ね、本明細書においては説明を省略する。
【００２９】
上述した、チップ保持冶具４の第１の挿入穴列４１aおよび第２の挿入穴列４１bにチップ１００をセットした状態で図１に示すように移動テーブル３上の所定位置に載置する。そして、図示しない静電チャックを作動することにより移動テーブル３にチップ保持冶具４を静電吸着する。
【００３０】
上述したようにチップ１００がセットされたチップ保持冶具４を静電吸着した移動テーブル３は、撮像手段１２の直下まで移動せしめられる。移動テーブル３が撮像手段１２の直下に位置付けられると、撮像手段１２によってチップ保持冶具４にセットされたチップ１００が撮像され、この撮像された画像に基づいて移動テーブル３の角度を調整するとともに、第１の切削手段５aおよび第２の切削手段５bを割り出し方向である矢印Ｙ方向に移動調節してチップ保持冶具４の第１の挿入穴列４１aおよび第２の挿入穴列４１bにセットされたチップ１００の切削すべき位置と第１の切削砥石６および第２の切削砥石９との位置合わせ作業が行われる。即ち、図９に示すように、第１の挿入穴列４１aのチップ挿入穴４１１aにセットされたチップ１００の移動経路の直上に第１の切削砥石６を位置付けるとともに、第２の挿入穴列４１bのチップ挿入穴４１１bにセットされたチップ１００の移動経路の直上に第２の切削砥石8を位置付ける（アライメント工程）。
【００３１】
その後、第１の切削砥石６および第２の切削砥石8を所定の方向に回転させつつ第１の切削手段５aおよび第２の切削手段５bを下降して、図１０に示すように所定量切り込み送りし、移動テーブル３を加工送り方向（図１０において紙面に垂直な方向、図１において矢印Ｘで示す方向）に所定の加工送り速度で移動する。この結果、第１の挿入穴列４１aにセットされたチップ１００におけるメモリーカード１０の第１の側面１０aは第１の切削砥石６の外周面である第１の加工部６１に倣って切削され、第２の挿入穴列４１bにセットされたチップ１００におけるメモリーカード１０の第２の側面１０bは第２の切削砥石８の外周面である第２の加工部８１に倣って切削される（第１の成形工程）。
【００３２】
上述した第１の成形工程を実施したならば、チップ保持冶具４を移動テーブル３から取り外し、上下を反転して再度移動テーブル３上の所定位置に載置する。そして、図示しない静電チャックを作動することにより移動テーブル３にチップ保持冶具４を静電吸着する。次に、上述したアライメント工程を実施して、図１１に示すように第１の挿入穴列４１aにセットされたチップ１００の移動経路の直上に第２の切削砥石８を位置付けるとともに、第２の挿入穴列４１bにセットされたチップ１００の移動経路の直上に第１の切削砥石６を位置付ける。そして、上記第１の成形工程と同様に第１の切削砥石６および第２の切削砥石９を所定の方向に回転させつつ第１の切削手段５aおよび第２の切削手段５bを下降して、所定量切り込み送りし、移動テーブル３を加工送り方向に所定の加工送り速度で移動する。この結果、第１の挿入穴列４１aにセットされたチップ１００におけるメモリーカード１０の第２の側面１０bは第２の切削砥石９の外周面である第２の加工部８１に倣って切削され、第２の挿入穴列４１aにセットされたチップ１００におけるメモリーカード１０の第１の側面１０aは第１の切削砥石６の外周面である第１の加工部６１に倣って切削される（第２の成形工程）。
【００３３】
以上のようにして上記第１の成形工程および第２の成形工程を実施することにより、チップ保持冶具４にセットされた図１４に示すチップは、図１２に示す形状のメモリーカード１０に加工される。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明に従って構成されたチップの成形装置の斜視図。
【図２】図１に示すチップの成形装置に装備される第１の切削手段の要部断面図。
【図３】図３に示す第１の切削手段を構成する第１の切削砥石を左右逆にして誤組み付けした状態を示す説明図。
【図４】図１に示すチップの成形装置に装備される第２の切削手段の要部断面図。
【図５】図４に示す第２の切削手段を構成する第２の切削砥石を左右逆にして誤組み付けした状態を示す説明図。
【図６】図２に示す第１の切削手段を構成する第１の切削砥石装着部材に図４に示す第２の切削手段を構成する第２の切削砥石を誤組み付けした状態を示す説明図。
【図７】図４に示す第２の切削手段を構成する第２の切削砥石装着部材に図２に示す第１の切削手段を構成する第１の切削砥石を誤組み付けした状態を示す説明図。
【図８】図１に示すチップの成形装置に装備されるチップ保持冶具の斜視図。
【図９】図１に示すチップの成形装置によって実施するアライメント工程の説明図。
【図１０】図１に示すチップの成形装置によって実施する第１の成形工程の説明図。
【図１１】図１に示すチップの成形装置によって実施する第２の成形工程の説明図。
【図１２】被加工物としてのチップがメモリーカードに加工された状態を示す斜視図。
【図１３】被加工物としてのパッケージ基板の斜視図。
【図１４】被加工物としてのパッケージ基板を個々のチップに分割した状態を示す斜視図。
【符号の説明】
【００３５】
２：装置ハウジング
３：移動テーブル
４：チップ保持冶具
５a：第１の切削手段
５b：第２の切削手段
５１a：第１のスピンドルハウジング
５１b：第２のスピンドルハウジング
５２a：第１の回転スピンドル
５２b：第２の回転スピンドル
６：第１の切削砥石
７：第１の切削砥石装着手段
７１：第１の切削砥石装着部材
７２：第１の着脱フランジ
７３：第１の締め付けナット
８：第２の切削砥石
９：第２の切削砥石装着手段
９１：第２の切削砥石装着部材
９２：第２の着脱フランジ
９３：第２の締め付けナット
１０：メモリーカード
１００：チップ
１１：パッケージ基板
１２：撮像手段
【図１】
2008149383.tif 000003
【図２】
2008149383.tif 000004
【図３】
2008149383.tif 000005
【図４】
2008149383.tif 000006
【図５】
2008149383.tif 000007
【図６】
2008149383.tif 000008
【図７】
2008149383.tif 000009
【図８】
2008149383.tif 000010
【図９】
2008149383.tif 000011
【図１０】
2008149383.tif 000012
【図１１】
2008149383.tif 000013
【図１２】
2008149383.tif 000014
【図１３】
2008149383.tif 000015
【図１４】
2008149383.tif 000016