(57)【要約】【課題】被測定物の表面に沿って撮像手段を移動させて撮像した発光点の特徴量測定において、測定速度の高速化を図ることができる発光点測定装置および発光点測定方法を提供すること。【解決手段】被測定物であるプリントヘッドＷを移動させる送りステージ２、プリントヘッドＷを撮像するＣＣＤカメラ４を備えた測定装置を用い、複数の発光パターンごとに発光させた発光点を撮像し、この撮像画像に基づいて個々の発光点の特徴量を算出することで、１つずつの発光点ごとに送りステージ２による移動制御を実行する必要がなくなり、複数の発光点を含んだ所定領域単位で移動制御を実施すればよいため、移動動作に要する時間を大幅に短縮化して測定速度の高速化を図ることができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の発光点を有した被測定物における前記発光点ごとの特徴量を測定する発光点測定装置であって、
前記発光点を有した前記被測定物の測定面を撮像して撮像画像を出力する撮像手段と、
前記撮像手段が前記測定面に沿うように前記被測定物および前記撮像手段の少なくとも一方を移動させる移動手段と、
前記被測定物の発光点の発光を制御して複数の発光パターンで発光させる発光制御部と、
前記移動手段による移動を制御して前記被測定物と前記撮像手段とを相対移動させるとともに所定撮像位置で静止させる移動制御部と、
前記撮像手段の撮像を制御して前記所定撮像位置における前記複数の発光パターンごとに前記測定面の所定領域を撮像させる撮像制御部と、
前記移動制御部、発光制御部および撮像制御部を制御して取得した前記複数の発光パターンごとの撮像画像に基づいて個々の発光点の特徴量を画像処理によって算出する算出制御部とを備え、
前記算出制御部は、前記所定撮像位置で前記被測定物を静止させた状態において、発光点同士の干渉が小さくなるように設定された前記発光パターンでの発光と、前記測定面の所定領域の撮像とを、前記発光制御部および前記撮像制御部に前記発光パターンの数だけ繰り返し実行させた後に、前記所定撮像位置から次の所定撮像位置までの移動を前記移動制御部に実行させることを特徴とする発光点測定装置。
【請求項２】
請求項１に記載の発光点測定装置において、
前記算出制御部は、前記取得した撮像画像中の前記発光点の画像を輝度補正処理する画像処理手段を備え、前記特徴量としての輝度重心位置、輝度分布形状、最大輝度および輝度積算値を算出することを特徴とする発光点測定装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の発光点測定装置において、
前記発光制御部は、前記所定量域に含まれるＮ個の発光点に対してＭ個の発光点を発光させるように設定された（Ｎ／Ｍ）種類の発光パターンで前記発光点の発光を制御することを特徴とする発光点測定装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の発光点測定装置において、
前記被測定物における複数の発光点は、前記移動手段による移動方向に沿って一列または複数列千鳥状に順に並んで配列されており、
前記発光制御部は、前記配列された発光点中の連続するｎ個の発光点のうち、１〜ｎ番目の任意の１つの発光点を発光させるｎ種類の発光パターンで前記発光点の発光を制御することを特徴とする発光点測定装置。
【請求項５】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の発光点測定装置において、
前記被測定物における複数の発光点は、前記移動手段による移動方向に沿って複数列千鳥状に順に並んで配列されており、
前記発光制御部は、前記配列された発光点中の連続するｎ個の発光点のうち、１〜ｎ番目の任意の複数個（ｍ個）の発光点を発光させる（ｎ／ｍ）種類の発光パターンで前記発光点の発光を制御することを特徴とする発光点測定装置。
【請求項６】
複数の発光点を有した被測定物における前記発光点ごとの特徴量を測定する発光点測定方法であって、
前記発光点を有した前記被測定物の測定面を撮像して撮像画像を出力する撮像手段と、
前記撮像手段が前記測定面に沿うように前記被測定物および前記撮像手段の少なくとも一方を移動させる移動手段と、
前記被測定物の発光点の発光を制御して複数の発光パターンで発光させる発光制御手段と、
前記移動手段、発光制御手段および撮像手段を制御する制御手段とを備えた装置を用い、
前記制御手段は、
前記移動手段を制御して前記被測定物と前記撮像手段とを相対移動させるとともに所定撮像位置で静止させ、
前記発光点同士の干渉が小さくなるように設定された前記発光パターンでの前記発光点の発光と、この発光パターンにおける前記測定面の所定領域の撮像とを、前記発光制御手段および前記撮像手段を制御して前記発光パターンの数だけ繰り返し実行し、
前記取得した複数の発光パターンごとの撮像画像に基づいて個々の発光点の特徴量を画像処理によって算出することを特徴とする発光点測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリントヘッドや画像表示デバイス等の発光点を複数有した被測定物における発光点の特徴量を測定するため発光点測定装置および発光点測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、レーザー光源やＬＥＤ（Light-Emitting Diode）等の発光点を複数有したプリントヘッドにおける個々の発光点の位置を測定する装置として、プリントヘッドを長尺方向に移動させる移動ステージと、レンズおよびスクリーンを介してプリントヘッドの発光点を１つずつ撮像するＣＣＤ（Charge-Coupled Device ）カメラと、このＣＣＤカメラからの出力を処理する画像処理装置と、画像処理した画像データに基づいて発光点の位置情報を算出するコンピュータとを備えたプリントヘッドの測定装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載の装置では、移動ステージによって被測定物であるＬＥＤプリントヘッドを長尺方向に沿って移動させ、レンズで集光されたＬＥＤ素子（発光点）からの光束をＣＣＤカメラで撮像し、これにより取得した発光点の画像データと、移動ステージの移動量とに基づいてＬＥＤ素子の位置情報が算出されるようになっている。
【０００３】
【特許文献１】特許第３０１４１５６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載された従来の測定装置では、被測定物が長尺のＬＥＤプリントヘッドであり、このプリントヘッドの発光点であるＬＥＤ素子を１つずつ順次点灯させてＣＣＤカメラで撮像する構成であるため、多くのＬＥＤ素子を有したプリントヘッドの全てのＬＥＤ素子の位置情報を得るには長時間を要し、測定時間を短縮するのが困難であるという問題がある。
なお、このような問題は、被測定物が長尺のものに限らず、平面的に拡がりを持った平板状の被測定物における発光点の特徴量を測定する場合でも、同様の問題がある。
【０００５】
本発明の目的は、被測定物の表面に沿って撮像手段を移動させて撮像した発光点の特徴量測定において、測定速度の高速化を図ることができる発光点測定装置および発光点測定方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の発光点測定装置は、複数の発光点を有した被測定物における前記発光点ごとの特徴量を測定する発光点測定装置であって、前記発光点を有した前記被測定物の測定面を撮像して撮像画像を出力する撮像手段と、前記撮像手段が前記測定面に沿うように前記被測定物および前記撮像手段の少なくとも一方を移動させる移動手段と、前記被測定物の発光点の発光を制御して複数の発光パターンで発光させる発光制御部と、前記移動手段による移動を制御して前記被測定物と前記撮像手段とを相対移動させるとともに所定撮像位置で静止させる移動制御部と、前記撮像手段の撮像を制御して前記所定撮像位置における前記複数の発光パターンごとに前記測定面の所定領域を撮像させる撮像制御部と、前記移動制御部、発光制御部および撮像制御部を制御して取得した前記複数の発光パターンごとの撮像画像に基づいて個々の発光点の特徴量を画像処理によって算出する算出制御部とを備え、前記算出制御部は、前記所定撮像位置で前記被測定物を静止させた状態において、発光点同士の干渉が小さくなるように設定された前記発光パターンでの発光と、前記測定面の所定領域の撮像とを、前記発光制御部および前記撮像制御部に前記発光パターンの数だけ繰り返し実行させた後に、前記所定撮像位置から次の所定撮像位置までの移動を前記移動制御部に実行させることを特徴とする。
【０００７】
この際、本発明の発光点測定装置では、前記算出制御部は、前記取得した撮像画像中の前記発光点の画像を輝度補正処理する画像処理手段を備え、前記特徴量としての輝度重心位置、輝度分布形状、最大輝度および輝度積算値を算出することを特徴とする。
【０００８】
このような本発明では、所定撮像位置における複数の発光パターンごとに所定領域の発光点を撮像し、この撮像画像に基づいて個々の発光点の特徴量を算出することで、１つずつの発光点ごとに移動手段による移動制御を実行する必要がなくなり、複数の発光点を含んだ所定領域単位で移動制御を実施すればよいため、移動動作に要する時間を大幅に短縮化して測定速度の高速化を図ることができる。
また、特徴量としての輝度重心位置、輝度分布形状、最大輝度および輝度積算値を画像処理に基づいて算出することで、従来のように位置情報のみを算出するものと比較して、より高精度な被測定物の発光点の測定が可能になる。
【０００９】
本発明において、前記発光制御部は、前記所定量域に含まれるＮ個の発光点に対してＭ個の発光点を発光させるように設定された（Ｎ／Ｍ）種類の発光パターンで前記発光点の発光を制御することが好ましい。
このような構成によれば、所定領域にＮ個の発光点が含まれていることから、被測定物の全発光点数の１／Ｎ回の移動を行えばよくなることで、前述のように移動動作の時間を短縮することができる。
また、Ｍを２以上（より望ましくは、３以上）の数に設定しておけば、所定撮像位置において、同時にＭ個の発光点を発光させて１度の撮像でＭ個の発光点の撮像画像を取得することができ、撮像回数も減らして測定速度のさらなる高速化を図ることができる。さらに、１度の撮像で複数の発光点を撮像するようにすれば、撮像画像中の発光点同士の位置関係を演算により解析することで、個々の発光点の位置ずれか、あるいは移動手段の精度に起因する被測定物全体の位置ずれ（Ｘ軸ずれ、Ｙ軸ずれ、または回転）かが判定でき、測定精度を向上させることができる。つまり、従来の測定装置のように１つの発光点のみを撮像した場合には、発光点の位置ずれか移動ステージの位置ずれかの判定が困難で、移動精度に測定精度が依存してしまっていた。これに対して本願発明では、移動手段の精度に起因する被測定物全体の位置ずれが生じた場合でも、それを判定することで、測定精度が向上できるとともに、移動手段にさほど高精度な装置を用いる必要がなくなり、装置コストを低減させることもできる。
【００１０】
本発明において、前記被測定物における複数の発光点は、前記移動手段による移動方向に沿って一列または複数列千鳥状に順に並んで配列されており、前記発光制御部は、前記配列された発光点中の連続するｎ個の発光点のうち、１〜ｎ番目の任意の１つの発光点を発光させるｎ種類の発光パターンで前記発光点の発光を制御することが好ましい。
このような構成によれば、順に配列された発光点をｎ個にグループ化し、そのうちの１つずつを発光させるｎ個の発光パターンを用意しておくことで、一列や千鳥配列などの各種の配列パターンに応じて、発光点同士の干渉が小さくなる適宜な発光パターンを設定することができ、測定効率を向上させることができる。
ここで、連続するｎ個の発光点としては、所定領域中に含まれる全ての発光点の個数と同一に設定してもよいし、所定領域中に含まれる全ての発光点数がｎの倍数になるように設定してもよい。そして、例えば、ｎ＝３に設定すれば、連続した３個の発光点のうちの１つの発光点を発光させ、他の２つを発光させないような発光パターン、すなわち、２個飛ばしで発光させる発光パターンとなり、発光する発光点同士が３個分の間隔を介することになることで、発光点同士における互いの光の干渉が小さくなって測定精度を向上させることができる。
【００１１】
また、本発明において、前記被測定物における複数の発光点は、前記移動手段による移動方向に沿って複数列千鳥状に順に並んで配列されており、前記発光制御部は、前記配列された発光点中の連続するｎ個の発光点のうち、１〜ｎ番目の任意の複数個（ｍ個）の発光点を発光させる（ｎ／ｍ）種類の発光パターンで前記発光点の発光を制御するものでもよい。
このような構成によれば、複数列千鳥配列であって、同一列で隣り合う発光体同士の間隔寸法が狭くなる配列パターンの場合に、これらの発光点が同時に発光しないようにｎやｍの値を設定することで、発光点同士の干渉を小さくすることができ、測定効率を向上させることができる。
【００１２】
一方、本発明の発光点測定方法は、複数の発光点を有した被測定物における前記発光点ごとの特徴量を測定する発光点測定方法であって、前記発光点を有した前記被測定物の測定面を撮像して撮像画像を出力する撮像手段と、前記撮像手段が前記測定面に沿うように前記被測定物および前記撮像手段の少なくとも一方を移動させる移動手段と、前記被測定物の発光点の発光を制御して複数の発光パターンで発光させる発光制御手段と、前記移動手段、発光制御手段および撮像手段を制御する制御手段とを備えた装置を用い、前記制御手段は、前記移動手段を制御して前記被測定物と前記撮像手段とを相対移動させるとともに所定撮像位置で静止させ、前記発光点同士の干渉が小さくなるように設定された前記発光パターンでの前記発光点の発光と、この発光パターンにおける前記測定面の所定領域の撮像とを、前記発光制御手段および前記撮像手段を制御して前記発光パターンの数だけ繰り返し実行し、前記取得した複数の発光パターンごとの撮像画像に基づいて個々の発光点の特徴量を画像処理によって算出することを特徴とする。
【００１３】
このような発光点測定方法によれば、前述の発光点測定装置と同様に、撮像回数を減らすことができ、複数の発光点を含んだ所定領域単位で移動制御を実施すればよいため、移動動作に要する時間を大幅に短縮化して測定速度の高速化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本実施形態の発光点測定装置１の構成を示す図である。図２は、発光点測定装置１の測定方法を示すフローチャートである。
発光点測定装置１は、複数の発光点を有した被測定物（検査対象）であるプリントヘッドＷにおける発光点ごとの特徴量を測定する装置である。ここで、プリントヘッドＷは、電子写真用ラインヘッドであり、所定の配列で並設された発光点としてのＬＥＤ素子を複数個（例えば、７０００ドット）有し、この発光点の像を感光体に結像させる為のレンズアレイが取付けられたもので、全体長尺状でＡ４、Ａ３などの印字サイズの幅に対応した全長寸法を有したものである。
なお、被測定物としては、ＬＥＤ素子を有したプリントヘッドＷに限らず、レーザダイオード、有機ＥＬ（Electro Luminescence）素子、シリコン発光素子等の各種固体発光素子を有したプリントヘッドであってもよい。さらに、被測定物としては、有機ＥＬパネルやプラズマパネル等の各種自己発光型の画像表示デバイス、あるいはバックライト等の光源を有した透過型の液晶パネルなどであってもよい。
【００１５】
発光点測定装置１は、セットしたプリントヘッドＷを長手方向（Ｘ方向）に移動させる移動手段としての送りステージ２と、送りステージ２の上方に設けられてプリントヘッドＷのＬＥＤ素子からの光を受光する顕微鏡３と、顕微鏡３で拡大したプリントヘッドＷの像を撮像する撮像手段としてのＣＣＤカメラ４とを備えている。さらに、発光点測定装置１は、送りステージ２に駆動信号を出力して送り移動量を制御する移動制御部としてのステージ制御部５と、プリントヘッドＷに駆動信号を出力してＬＥＤ素子の発光を制御する発光制御部としてのヘッド制御部６と、ＣＣＤカメラ４の撮像を制御するとともにＣＣＤカメラ４からの出力を受信する撮像制御部としてのカメラ制御部７と、ステージ制御部５、ヘッド制御部６およびカメラ制御部７を統合制御する算出制御部（制御手段）としてのパーソナルコンピュータ（ＰＣ）８とを備えている。
【００１６】
送りステージ２は、ＰＣ８の制御に基づくステージ制御部５からの指令に基づきプリントヘッドＷを図１の左右方向に一定速度で移動させるとともに、所定の撮像位置で静止させるものであって、プリントヘッドＷの一方の端部から他方の端部までのストロークを有している。そして、ステージ制御部５は、送りステージ２の移動位置であるプリントヘッドＷの位置情報をＰＣ８に出力する。
なお、移動手段としては、プリントヘッドＷをＸ方向の一方向に移動させるものに限らず、Ｘ方向およびＹ方向の二方向にプリントヘッドＷを移動させる二軸の移動ステージであってもよい。
【００１７】
ＣＣＤカメラ４は、ＰＣ８の制御に基づくカメラ制御部７からの指令に基づき、配列されたＬＥＤ素子の結像画像を撮像し、撮像した画像に応じた信号をカメラ制御部７を介してＰＣ８に出力する。このＣＣＤカメラ４は、具体的な図示は省略するが、光電素子が平面上に配置されたエリアセンサーであって、入射光束の受光時間を変更可能とするシャッター等を備える。そして、ＣＣＤカメラ４の光電素子は、プリントヘッドＷの１つのＬＥＤ素子当たりの入射光束に対して十分に大きな解像度を有しているものが好ましい。
【００１８】
パーソナルコンピュータ（ＰＣ）８は、所定のプログラムを読み込んで実行するＣＰＵ（Central Processing Unit）等を備え、発光点測定装置１全体を制御する。このＰＣ８は、図示しない制御部と、メモリ等の記憶部とを備える。制御部は、記憶部に記憶された制御プログラムにしたがって所定の処理を実行する部分であり、画像データ取得部、画像処理部（画像処理手段）、特徴量算出部（算出制御部）等を備えて構成されている。そして、ＰＣ８の特徴量算出部は、個々のＬＥＤ素子の特徴量としての輝度重心位置、輝度分布形状、最大輝度および輝度積算値を算出して、出力する。
【００１９】
画像データ取得部は、ＣＣＤカメラ４から出力される電気信号を入力してコンピュータにて読取可能な信号（デジタル信号）に変換し、画素毎に画素値（輝度値）に関する情報を含んだ撮像画像を取得する。そして、画像データ取得部は、取得した検査画像データを記憶部に記憶させる。
取得した撮像画像には、後述するようにプリントヘッドＷの所定領域Ａに含まれる複数のＬＥＤ素子の撮像画像が含まれており、このＬＥＤ素子１つ当たりの撮像画像は、ＣＣＤカメラ４における複数の光電素子に対応した複数の画素で構成され、各画素における輝度値が記憶部に記憶されている。
【００２０】
画像処理部は、取得した撮像画像に含まれる個々のＬＥＤ素子の撮像画像に対し、その画素の輝度値を輝度補正処理する。そして、特徴量算出部は、画像処理部による補正処理結果に基づき、個々のＬＥＤ素子の輝度重心位置、輝度分布形状、最大輝度および輝度積算値を算出し、算出した各値を記憶部に記憶させる。ここで、各画素における輝度値は、例えば、８ビット２５６階調で取得され、適宜な輝度値の閾値を用いて個々のＬＥＤ素子を判定するようになっている。また、この際、特徴量算出部は、所定領域Ａ中の複数のＬＥＤ素子の輝度重心位置に基づき、ＬＥＤ素子相互の位置関係を算出し、これに基づいて撮像画像全体の傾きや位置ずれ等も判定するように構成されている。
【００２１】
次に、ヘッド制御部６は、ＰＣ８の制御に基づき、図３〜図６に示すように、プリントヘッドＷのＬＥＤ素子の発光を制御して複数の発光パターンＰ１，Ｐ２，Ｐ３で発光させる。
ここで、図３〜図６には、それぞれＬＥＤ素子の配列が相違するプリントヘッドＷにおける発光パターンＰ１，Ｐ２，Ｐ３が示されている。各図において、白抜きで示す丸が発光させたＬＥＤ素子を示し、黒丸が発光させないＬＥＤ素子を示している。
図３に示すプリントヘッドＷでは、ＬＥＤ素子が一列に配列され、図４に示すプリントヘッドＷでは、ＬＥＤ素子が二列千鳥状に配列され、図５および図６に示す撮像画像は、ＬＥＤ素子が三列千鳥状に配列されている。以下、各配列における発光パターンＰ１，Ｐ２，Ｐ３について説明する。
【００２２】
図３(Ａ)〜(Ｃ)には、ＬＥＤ素子が一列に配列されたプリントヘッドＷにおける発光パターンＰ１，Ｐ２，Ｐ３の例が示されている。この例では、ＬＥＤ素子が１２個（Ｎ個）含まれる領域を所定量域Ａとし、これら１２個のＬＥＤ素子のうち、４個（Ｍ個）のＬＥＤ素子を発光させるように設定されており、すなわち、３（Ｎ／Ｍ＝１２／４）種類の発光パターンＰ１，Ｐ２，Ｐ３でＬＥＤ素子の発光が制御されるようになっている。そして、この例では、ＬＥＤ素子中の連続する３個（ｎ個）の発光点のうち、発光パターンＰ１にて１番目のＬＥＤ素子を発光させ、発光パターンＰ２にて２番目のＬＥＤ素子を発光させ、発光パターンＰ３にて３番目（ｎ番目）のＬＥＤ素子を発光させるように設定されている。従って、各発光パターンＰ１，Ｐ２，Ｐ３において、発光するＬＥＤ素子同士が２個飛ばしとなるように設定され、ＣＣＤカメラ４で撮像した際の発光するＬＥＤ素子同士の干渉が小さくなる（あるいは、干渉しない）ようになっている。
【００２３】
図４(Ａ)〜(Ｃ)には、ＬＥＤ素子が二列千鳥に配列されたプリントヘッドＷにおける発光パターンＰ１，Ｐ２，Ｐ３の例が示されている。この例では、ＬＥＤ素子が１２個（Ｎ個）含まれる領域を所定量域Ａとし、これら１２個のＬＥＤ素子のうち、４個（Ｍ個）のＬＥＤ素子を発光させるように設定されており、すなわち、３（Ｎ／Ｍ＝１２／４）種類の発光パターンＰ１，Ｐ２，Ｐ３でＬＥＤ素子の発光が制御されるようになっている。そして、この例では、ＬＥＤ素子中の配列方向に連続する３個（ｎ個）の発光点のうち、発光パターンＰ１にて１番目のＬＥＤ素子を発光させ、発光パターンＰ２にて２番目のＬＥＤ素子を発光させ、発光パターンＰ３にて３番目（ｎ番目）のＬＥＤ素子を発光させるように設定されている。従って、各発光パターンＰ１，Ｐ２，Ｐ３において、ＣＣＤカメラ４で撮像した際の発光するＬＥＤ素子同士の干渉が小さくなる（あるいは、干渉しない）ようになっている。
【００２４】
図５(Ａ)〜(Ｃ)には、ＬＥＤ素子が三列千鳥に配列されたプリントヘッドＷにおける発光パターンＰ１，Ｐ２，Ｐ３の例が示されている。この例では、ＬＥＤ素子が１２個（Ｎ個）含まれる領域を所定量域Ａとし、これら１２個のＬＥＤ素子のうち、４個（Ｍ個）のＬＥＤ素子を発光させるように設定されており、すなわち、３（Ｎ／Ｍ＝１２／４）種類の発光パターンＰ１，Ｐ２，Ｐ３でＬＥＤ素子の発光が制御されるようになっている。そして、この例では、ＬＥＤ素子中の配列方向に連続する３個（ｎ個）の発光点のうち、発光パターンＰ１にて１番目（第一列）のＬＥＤ素子を発光させ、発光パターンＰ２にて２番目（第二列）のＬＥＤ素子を発光させ、発光パターンＰ３にて３番目（ｎ番目、第三列）のＬＥＤ素子を発光させるように設定されている。従って、各発光パターンＰ１，Ｐ２，Ｐ３において、ＣＣＤカメラ４で撮像した際の発光するＬＥＤ素子同士の干渉が小さくなる（あるいは、干渉しない）ようになっている。
【００２５】
図６(Ａ)〜(Ｃ)には、ＬＥＤ素子が三列千鳥に配列されたプリントヘッドＷにおける発光パターンＰ１，Ｐ２，Ｐ３の例が示されている。このプリントヘッドＷは、図５のプリントヘッドＷと比較して、配列方向のＬＥＤ素子のピッチが短くされた高解像度タイプのもので、同一列において隣接するＬＥＤ素子同士の間隔寸法が小さくなっている。この例では、ＬＥＤ素子が１８個（Ｎ個）含まれる領域を所定量域Ａとし、これら１８個のＬＥＤ素子のうち、６個（Ｍ個）のＬＥＤ素子を発光させるように設定されており、すなわち、３（Ｎ／Ｍ＝１８／６）種類の発光パターンＰ１，Ｐ２，Ｐ３でＬＥＤ素子の発光が制御されるようになっている。そして、この例では、ＬＥＤ素子中の配列方向に連続する９個（ｎ個）の発光点のうち、発光パターンＰ１にて１番目、５番目および９番目の３個のＬＥＤ素子を発光させ、発光パターンＰ２にて３番目、４番目および８番目の３個のＬＥＤ素子を発光させ、発光パターンＰ３にて２番目、６番目および７番目の３個のＬＥＤ素子を発光させるように設定されている。従って、各発光パターンＰ１，Ｐ２，Ｐ３において、ＣＣＤカメラ４で撮像した際の発光するＬＥＤ素子同士の干渉が小さくなる（あるいは、干渉しない）ようになっている。
【００２６】
次に、上述した発光点測定装置１による測定手順を図２も参照して説明する。
先ず、送りステージ２にプリントヘッドＷをセットしてからＰＣ８から測定を実行する旨の設定入力を実施すると、ＰＣ８の制御部は、メモリから制御プログラムを読み出し、制御プログラムにしたがって測定処理を実行する。この際、設定入力としては、プリントヘッドＷのサイズやＬＥＤ素子の数、配列などが含まれる機種情報の入力であって、ＰＣ８の制御部は、機種情報に基づいてプリントヘッドＷの発光パターンや送りステージ２の移動量、移動回数等の測定パラメータを読み出し、初期値として設定する。また、ＰＣ８の制御部は、測定処理の開始時にプリントヘッドＷの測定開始点とＣＣＤカメラ４との初期位置セットを実行する。
【００２７】
測定処理が実行されると、制御部は、処理ＳＴ１において、プリントヘッドＷの発光パターンを初期化し、処理ＳＴ２において、ヘッド制御部６に指令して発光パターンＰ１でＬＥＤ素子を発光させる。これに続いて、制御部は、処理ＳＴ３において、カメラ制御部７に指令してＣＣＤカメラ４にプリントヘッドＷの測定面を撮像させ、撮像画像を取得する。画像データ取得部で撮像画像を取得したＰＣ８は、処理ＳＴ４において、画像処理部にて前述の画像処理を実行するとともに、特徴量算出部にて個々のＬＥＤ素子の輝度重心位置、輝度分布形状、最大輝度および輝度積算値を算出し、測定データをメモリに記憶させる。
【００２８】
処理ＳＴ４の後、制御部は、処理ＳＴ５において、最後の発光パターンまで実行したか否かを判定し、最後の発光パターンの実行がまだの場合（処理ＳＴ５でＮｏの場合）には、処理ステップＳＴ６において、次の発光パターン（Ｐ２、Ｐ３）を設定して処理ＳＴ２に戻りＬＥＤ素子を発光させる。一方、処理ＳＴ５において、最後の発光パターンを実行したと判定した場合（処理ＳＴ５でＹｅｓの場合）には、制御部は、次の処理ＳＴ７において、プリントヘッドＷの全てのＬＥＤ素子の測定が終了したか否かを判定し、全てのＬＥＤ素子の測定が終了していないと判定した場合（処理ＳＴ７でＮｏの場合）には、処理ステップＳＴ８において、ステージ制御部５に指令して送りステージ２によって次の所定領域Ａ位置までプリントヘッドＷを距離Ｄだけ移動させるとともに、処理ＳＴ１に戻って再び発光パターンを初期化する。一方、処理ＳＴ７において、全てのＬＥＤ素子の測定が終了したと判定した場合（処理ＳＴ７でＹｅｓの場合）には、測定を終了する。
【００２９】
上述した本実施形態によれば、以下の効果がある。
すなわち、複数の発光パターンＰ１，Ｐ２，Ｐ３ごとに発光させたＬＥＤ素子を撮像し、この撮像画像に基づいて個々のＬＥＤ素子の特徴量を算出することで、１つずつのＬＥＤ素子ごとに撮像する必要がなくなり、発光パターンごとの撮像でよいため、撮像回数を減らすことができる。つまり、図３〜図５の発光パターンＰ１，Ｐ２，Ｐ３のように、所定領域Ａ内のＬＥＤ素子のうち４個点灯ならば、撮像回数は、１／４の回数にでき、図６の発光パターンＰ１，Ｐ２，Ｐ３のように、所定領域Ａ内のＬＥＤ素子のうち６個点灯ならば、撮像回数は、１／６の回数にできる。また、１つずつのＬＥＤ素子ごとに送りステージ２による移動制御を実行する必要がなくなり、複数のＬＥＤ素子を含んだ所定領域Ａ単位で移動制御を実施すればよいため、移動動作に要する時間を大幅に短縮化して測定速度の高速化を図ることができる。つまり、図３〜図５の発光パターンＰ１，Ｐ２，Ｐ３のように、１２個のＬＥＤ素子を含む所定領域Ａを撮像すれば、移動動作に要する時間が約１／１２に短縮化でき、図６の発光パターンＰ１，Ｐ２，Ｐ３のように、１８個のＬＥＤ素子を含む所定領域Ａを撮像すれば、移動動作に要する時間が約１／１８に短縮化できる。
【００３０】
さらに、各発光パターンＰ１，Ｐ２，Ｐ３において、それぞれ複数のＬＥＤ素子を発光させるようにしたことで、点灯および消灯の発光制御に要する時間も短縮化でき、さらに測定速度を高速化することができる。つまり、図３〜図５の発光パターンＰ１，Ｐ２，Ｐ３では、それぞれ４個ずつのＬＥＤ素子を発光させたことで、発光制御に要する時間が約１／４に短縮化でき、図６の発光パターンＰ１，Ｐ２，Ｐ３では、それぞれ６個ずつのＬＥＤ素子を発光させたことで、発光制御に要する時間が約１／６に短縮化できる。
【００３１】
さらに、各発光パターンＰ１，Ｐ２，Ｐ３において複数のＬＥＤ素子を発光させたことで、撮像画像中のＬＥＤ素子同士の位置関係を演算により解析することができ、個々のＬＥＤ素子の位置ずれか、あるいは送りステージ２の精度に起因するプリントヘッドＷ全体の位置ずれかが判定でき、測定精度を向上させることができる。そして、送りステージ２の精度に起因するプリントヘッドＷ全体の位置ずれが生じた場合でも、その位置ずれ量を解析して補正することで、発光点の特徴量測定に与える影響が除去できるとともに、送りステージ２にさほど高精度な装置を用いる必要がなくなり、装置コストを低減させることもできる。
【００３２】
また、プリントヘッドＷにおけるＬＥＤ素子の配列や間隔に応じて各種の各発光パターンＰ１，Ｐ２，Ｐ３を用意しておくことで、一列の配列や複数列千鳥配列などの各種の配列パターンに容易に対応することができ、ＬＥＤ素子同士の干渉が小さくなる適宜な発光パターンを設定して測定効率を向上させることができる。
【００３３】
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
前記実施形態では、長尺なプリントヘッドＷにおけるＬＥＤ素子の特徴量を測定する発光点測定装置１について説明したが、本発明の発光点測定装置で測定する被測定物は、長尺なものに限らず、平面的な拡がりを持つものでもよく、この場合の移動手段としては、一軸の送りステージ２に限らず、２次元平面上を移動可能な二軸ステージが採用可能である。また、移動手段としては、被測定物を移動させるものに限らず、撮像手段（顕微鏡３およびＣＣＤカメラ４）を移動させてもよく、さらには、被測定物と撮像手段の両者を移動させてもよい。
【００３４】
また、前記実施形態では、プリントヘッドＷにおけるＬＥＤ素子の配列として、一列配列のもの（図３）、二列千鳥配列のもの（図４）、および三列千鳥配列のもの（図５、図６）について説明したが、ＬＥＤ素子の配列は、上述のものに限らず、四列以上の配列や、その他任意の配列であってもよい。さらに、各配列における発光パターンとしても、上述した発光パターンＰ１，Ｐ２，Ｐ３に限定されるものではなく、適宜設定可能である。つまり、複数の発光パターンとして、２種類を用意してもよく、また４種類以上を用意してもよい。
さらに、各発光パターンで発光させる（あるいは、発光させない）発光点の数や、所定領域に含まれる発光点の数は、発光点の大きさや発光点同士の間隔、撮像手段の解像度などに応じて適宜に設定すればよい。
【００３５】
本発明を実施するための最良の構成などは、以上の記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。
したがって、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の発光点測定装置の構成を示す図。
【図２】前記発光点測定装置の測定方法を示すフローチャート。
【図３】前記発光点測定装置で設定する被測定物の発光パターンを示す図。
【図４】図３とは異なる被測定物の発光パターンを示す図。
【図５】図３、図４とは異なる被測定物の発光パターンを示す図。
【図６】図３〜図５とは異なる被測定物の発光パターンを示す図。
【符号の説明】
【００３７】
１…発光点測定装置、２…移動ステージ（移動手段）、４…ＣＣＤカメラ（撮像手段）、５…ステージ制御部（移動制御部）、６…ヘッド制御部（発光制御部）、７…カメラ制御部（撮像制御部）、パーソナルコンピュータ（制御手段、算出制御部、画像処理手段）、Ａ…所定領域、Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３…発光パターン、Ｗ…プリントヘッド（被測定物）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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