(57)【要約】【課題】共通液室に溜まったエアを効率良くかつ簡易な構成で除去することが可能な液滴吐出装置を提供する。【解決手段】インクジェットヘッド１は、供給された液体を複数のノズル孔１４を介して吐出する。インクジェットヘッド１は、液体導入口２３Ａ、液体排出口２３Ｂ、共通液室、および複数の個別液室を備える。液体導入口２３Ａは、外部から供給される液体を受け入れる。液体排出口２３Ｂは、外部に液体を排出する。共通液室は、液体導入口２３Ａおよび液体排出口２３Ｂを連通するように配置される。複数の個別液室は、共通液室および複数のノズル孔１４のそれぞれを連通する。【選択図】図３
2008044383.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
供給された液体を複数のノズルを介して吐出する液滴吐出ユニットを備えるとともに、前記液滴吐出ユニットを用いて液滴を吐出する液滴吐出装置であって、
前記液滴吐出ユニットは、
本体と、
前記本体の内部に設けられる共通液室と、
前記本体の内部に設けられるとともに前記共通液室および前記複数のノズルのそれぞれを連通する複数の個別液室と、
前記本体の第１の側面に露出するとともに前記共通液室に連続する液体導入口と、
前記第１の側面の反対側に位置する第２の側面に露出するとともに前記共通液室に連続する液体排出口と、
を備え、
前記液滴吐出装置は、
前記液滴吐出ユニットを保持するための液滴吐出ユニット保持部材と、
前記液体導入口に設けられる第１の弾性シール部材と、
前記液体排出口に設けられる第２の弾性シール部材と、
前記液体導入口に連続すべき第１の液体流路が内部に設けられた第１の流路構成部および前記液体排出口に連続すべき第２の液体流路が内部に設けられた第２の流路構成部を少なくとも有する流路構成手段と、
を備え、
前記本体は、前記第１の側面および前記第２の側面以外のいずれか１つの面が前記液滴吐出ユニット保持部材に固着されており、
前記流路構成手段は、前記第１の側面と前記第１の流路構成部とが前記第１の弾性シール部材を介して圧接するとともに前記第２の側面と前記第２の流路構成部とが前記第２の弾性シール部材を介して圧接するように構成されることを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、複数のノズルを介して液滴を吐出する液滴吐出ユニット、およびこれを備えた液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液滴吐出装置は、複数のノズルを介して液滴を吐出する液滴吐出ユニットを備える。液滴吐出ユニットは、共通液室および個別液室を有している。液滴吐出ユニットは、共通液室に供給された液体を各個別液室に導き、各個別液室からノズルを介して外部に吐出する。液滴の吐出の方式の代表例として、各個別液室に機械的変形を加えることによって各個別液室内に圧力を発生させて液滴を吐出する方式や、各個別液室に配置した発熱素子で液体を気化させることによって各個別液室に圧力を発生させて液滴を吐出する方式が挙げられる。
【０００３】
液滴吐出ユニットを液滴吐出装置に組み込む際には、通常、流路構成部材およびベース部材が用いられることが多かった。流路構成部材は、液滴吐出ユニットに導入すべき液体が流れる流路を構築する役割を担う。ベース部材は、液滴吐出ユニットや流路構成部材を含むいくつかの部品を保持する役割を担う。従来、液滴吐出ユニット、流路構成部材、ベース部材の構成や、これらの組み立て方に創意工夫を施すことによって液滴吐出装置の信頼性の向上が図られてきた。
【０００４】
ところが、近年、液滴吐出ユニットにおけるノズルの高密度化やノズル数の増大化によって、液滴吐出装置が発熱し易くなっている。この結果、液滴吐出ユニット、流路構成部材、ベース部材を構成する素材の線膨張係数の差によって、使用中に割れが生じるといった問題が発生することがあった。
【０００５】
このような問題を解決するための従来技術の中には、液滴吐出ユニットとベース部材との間に弾性部材を配置するもの（例えば、特許文献１参照）や、ベース部材にセラミックスを用いるもの（例えば、特許文献２参照。）が存在する。これらの従来技術によれば、液滴吐出ユニットとベース部材との開の線膨張係数の差に起因する割れ等の発生を防止することができると言われていた。
【特許文献１】特開２００１−３２２２８５号公報
【特許文献２】特開２０００−１９０５００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、ノズルの高密度化やノズル数の増大化に起因する問題は、部材間の線膨張係数の差に起因する割れ等の発生だけではない。例えば、ノズルの高密度化やノズル数の増大化によって、共通液室内にエアが溜まり易くなることがあった。共通液室内にエアが溜まると、液滴の不吐出といった不具合が発生し易くなる。このため、共通液室に溜まったエアを効率良く除去することが必要である。特に、近年の液滴吐出装置のコンパクト化の要請を考慮すると、なるべく簡易な構成で、共通液室に溜まったエアを除去することが重要であると言える。
【０００７】
この発明の目的は、共通液室に溜まったエアを効率良くかつ簡易な構成で除去することが可能な液滴吐出装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
（１）  第１の発明に係る液滴吐出ユニットは、供給された液体を複数のノズルを介して吐出する液滴吐出ユニットであって、本体、共通液室、複数の個別液室、および液体導入口、液体排出口を備える。
【０００９】
共通液室は、本体の内部に設けられる。複数の個別液室は、本体の内部に設けられるとともに共通液室および複数のノズルのそれぞれを連通する。液体導入口は、本体の第１の側面に露出するとともに共通液室に連続する。液体排出口は、第１の側面の反対側に位置する第２の側面に露出するとともに共通液室に連続する。
【００１０】
液体導入口は、本体の外部から共通液室に液体を導入するための開口である。共通液室に導入された液体は、複数の個別液室のそれぞれに流れ込み、各個別液室からノズルを介して外部に吐出される。さらに、共通液室は液体排出口にも連続している。液体排出口は、共通液室における液体導入口の反対側に位置しており、共通液室から液体を排出するための開口である。液体導入口を介して共通液室に導入された液体は、反対側に位置する液体排出口を介して共通液室から排出される。
【００１１】
このように液体導入口および液体排出口が共通液室に設けられることによって、液滴吐出ユニットを液滴吐出装置に適用した場合に、共通液室に溜まったエアを除去するための流路が構築し易くなる。
【００１２】
（２）第２の発明に係る液滴吐出装置は、（１）に記載の液滴吐出ユニットを備えるとともに、液滴吐出ユニットを用いて液滴を吐出する液滴吐出装置であって、第１の弾性シール部材、第２の弾性シール部材、および流路構成手段を備える。
【００１３】
第１の弾性シール部材は、液体導入口に設けられる。第２の弾性シール部材は、液体排出口に設けられる。流路構成手段は、液体導入口に連続すべき第１の液体流路が内部に設けられた第１の流路構成部および液体排出口に連続すべき第２の液体流路が内部に設けられた第２の流路構成部を少なくとも有する。第１の流路構成部は、第１の弾性シール部材を介して液滴吐出ユニットの第１の側面と圧接するように配置される。第２の流路構成部は、第２の弾性シール部材を介して液滴吐出ユニットの第２の側面と圧接するように配置される。
【００１４】
この構成においては、流路構成手段の第１の流路構成部および第２の流路構成部によって挟まれるように液滴吐出ユニットが配置される。液滴吐出ユニットと流路構成手段との接続部分には、第１の弾性シール部材および第２の弾性シール部材が介在する。このため、線膨張係数の差によって、温度変化が生じた際の液滴吐出ユニットの変形量と流路構成手段の変形量とに差が生じる場合でも、その変形量の差が第１の弾性シール部材および第２の弾性シール部材によって吸収される。この結果、液滴吐出ユニットおよび流路構成手段が、熱応力の影響を受けにくくなる。
【００１５】
また、第１の弾性シール部材および第２の弾性シール部材は、互いに液滴吐出ユニットの反対側の面に配置されるため、第１の弾性シール部材および第２の弾性シール部材からの力が、互いに打ち消しあうように液滴吐出ユニットに作用する。
【００１６】
（３）  第３の発明に係る液滴吐出装置は、（２）に記載の液滴吐出装置は、ベース部材および介在部材をさらに備える。ベース部材は、液滴吐出ユニット、第１の流路構成部、および第２の流路構成部がそれぞれ取り付けられる。ベース部材の素材の代表例として、金属が挙げられる。介在部材は、液滴吐出ユニットにおける第１の側面および第２の側面以外の面とベース部材とに固着されることによって、液滴吐出ユニットとベース部材との間に介在する。介在部材は、硬質セラミクスからなる。介在部材に用いる素材の代表例として、アルミナ、窒化アルミが挙げられる。
【００１７】
硬質セラミクスは、液滴吐出ユニットの母材となるシリコンや圧電体と同程度の線膨張係数を有するため、温度変化の際に液滴吐出ユニットと介在部材の間で熱応力が発生しにくい。また、硬質セラミクスはヤング率が高く靱性に富むため、ベース部材との間で生じる熱応力によって破壊されることがない。
【００１８】
（４）  第４の発明に係る液滴吐出装置は、（３）に記載の液滴吐出装置であって、
介在部材は、第１の流路構成部および第２の流路構成部との間に間隙を設けて配置されることを特徴とする。介在部材の配置の代表例として、液滴吐出ユニットの第１の側面と第２の側面との間隔よりも介在部材の幅を短くすることが挙げられる。
【００１９】
この構成においては、介在部材と液滴吐出ユニットとの接着や介在部材とベース部材との接着のための接着剤を過剰に使用してしまった場合における、余剰の接着剤が流れ込む空間が液滴吐出装置の内部に形成される。このため、液滴吐出ユニットと流路構成手段との間や、ベース部材と流路構成手段との間に接着剤が流れ込みにくくなり、その結果、液滴吐出ユニットやベース部材が接着剤によって汚されることが防止される。
【００２０】
（５）  第５の発明に係る液滴吐出装置は、（１）〜（３）のいずれかに記載の液滴吐出装置であって、流路構成手段が、第１の液体流路および第２の液体流路に接続されるべき第３の液体流路が内部に設けられるとともに、第１の流路構成部および第２の流路構成部と相まってベース部材を覆うように配置される第３の流路構成部を備えることを特徴とする。
【００２１】
この構成においては、第１の流路構成部、第２の流路構成部、および第３の流路構成部によって、ベース部材が覆われる。このため、流路を構成する不可欠な部材を用いてベース部材を保護するカバーが構成される。この結果、簡易な構成によって、ベース部材やベース部材に搭載される部品が保護される。
【００２２】
（６）  第６の発明に係る液滴吐出装置は、（５）に記載の液滴吐出装置であって、第３の流路構成部が、液体を濾過するフィルタユニットを兼ねることを特徴とする。
【００２３】
この構成においては、第３の流路構成部にフィルタユニットの機能を持たせている。この結果、フィルタユニットが液滴吐出ユニットの近くに配置され、液滴吐出装置のコンパクト化が図られる。
【００２４】
（７）  第７の発明に係る液滴吐出装置は、（５）または（６）に記載の液滴吐出装置であって、
第１の流路構成部、第２の流路構成部、第３の流路構成部が、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）で構成されるとともに、第１の流路構成部および第２の流路構成部と第３の流路構成部との接着にエポキシ系接着剤が用いられることを特徴とする。
【００２５】
この構成においては、第１の流路構成部、第２の流路構成部、第３の流路構成部に、ＰＥＥＫを用いることによって、流路構成手段の耐液体性が向上する。また、エポキシ系接着剤を使用することによって、液滴吐出装置がより温度変化に強くなる。
【発明の効果】
【００２６】
（１）第１の発明によれば、共通液室に溜まったエアを効率良くかつ簡易な構成で除去することが可能になる。
【００２７】
（２）第２の発明によれば、温度変化によって液滴吐出装置が破損することを防止できる。また、液体流路の構築が簡易化する。
【００２８】
（３）第３の発明によれば、温度変化に強い液滴吐出装置を提供することができる。
【００２９】
（４）第４の発明によれば、液滴吐出ユニットやベース部材が接着剤によって汚されることを防止できる。
【００３０】
（５）第５の発明によれば、簡易な構成によって、ベース部材やベース部材に搭載される部品を保護することができる。
【００３１】
（６）第６の発明によれば、フィルタユニットを液滴吐出ユニットの近くに配置でき、液滴吐出装置のコンパクト化を図ることができる。
【００３２】
（７）第７の発明によれば、液滴吐出装置の信頼性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
図１（Ａ），（Ｂ）は、本発明の液滴吐出装置の実施形態であるインクジェットヘッド１を示す。インクジェットヘッド１は、カバー部材１８、ベースユニット２、およびフィルタユニット３を備える。カバー部材１８は、ベースユニット２およびフィルタユニット３のインク吐出側の面を覆うように配置される。なお、図１（Ａ）ではベースユニット２およびフィルタユニット３にカバー部材１８が取り付けられた状態を示しており、図１（Ｂ）ではベースユニット２およびフィルタユニット３からカバー部材１８が取り外された状態を示している。
【００３４】
続いて、図２〜図５を用いてベースユニット２の構成を説明する。図２に示すように、ベースユニット２の基本的構成は左右対称である。ベースユニット２は、ヘッドベース１３、チップマウント１２、ヘッドチップ１１、フレキシブル基板２６、ドライバ基板４、マニホールド１４Ａ，１４Ｂを備える。
【００３５】
ヘッドベース１３は、本発明のベース部材を構成する。ヘッドベース１３は、金属性素材によって構成される。本実施形態では、ヘッドベース１３の素材としてＳＵＳ（線膨張係数約１１×１０-6 ｍ／Ｋ）を用いている。図３に示すように、ヘッドベース１３は、その表面に凸状の台座部１３１が形成されているおり、その断面は逆Ｔ字型を呈している。台座部１３１は、ヘッドベース１３における短手方向（以下、幅方向という。）の中央部において、長手方向（以下、長さ方向）に沿って形成される。台座部１３１において、長さ方向に沿って第１の台１３２Ａ、第２の台１３２Ｂ、第３の台１３２Ｃが配置される。
【００３６】
図４に示すように、第１の台１３２Ａには接着剤を介してチップマウント１２が接着される。チップマウント１２は、本発明の介在部材を構成する。チップマウント１２は、アルミナ（線膨張係数約４×１０-6 ｍ／Ｋ）によって構成される。また、チップマウント１２には接着剤を介してヘッドチップ１１が接着される。本実施形態では、接着剤としてエポキシ系接着剤が用いられる。ただし、接着剤の種類は、本実施形態のものに限定されるものではない。なお、本実施形態では、第１の台１３２Ａ、第２の台１３２Ｂ、および第３の台１３２Ｃの幅はすべて１２ｍｍであり、チップマウント１２の幅は１１．５ｍｍであり、かつ、ヘッドチップ１１の幅は１２ｍｍである。第１の台１３２Ａにチップマウント１２を固定する際には、チップマウント１２の幅方向の両端部が、第１の台１３２Ａの幅方向の両端部より約０．２５ｍｍずつ凹んだ状態になるようにチップマウント１２が配置される。このとき、第１の台１３２Ａ、第２の台１３２Ｂ、および第３の台１３２Ｃの幅方向の両端面とヘッドチップ１１の幅方向の両端面とが、それぞれ略同一平面上に配置される。
【００３７】
第２の台１３２Ｂは、幅方向の両端面に、複数の雌ネジ部３１および複数の位置決め用穴３２を有している。また、第２の台１３２Ｂには、ドライバ基板４が取り付けられる。第２の台１３２Ｂにおけるドライバ基板４を取り付ける面には、ネジ穴１３３Ａ，１３３Ｂが形成されている。このため、ドライバ基板４に形成された孔を通ったネジ１３４Ａ，１３４Ｂがネジ穴１３３Ａ，１３３Ｂにそれぞれねじ込まれることによって、ドライバ基板４が第２の台１３２Ｂに固定される。ドライバ基板４は、フレキシブル基板２６を介して、ヘッドチップ１１に接続される。
【００３８】
図５は、チップマウント１２、ヘッドチップ１１、およびフレキシブル基板２６の構成を示す図である。
【００３９】
ヘッドチップ１１は、本発明の液滴吐出ユニットを構成する。ヘッドチップ１１は、チタン酸ジルコン亜鉛［（ＰＺＴ）線膨張係数２〜７×１０-6 ｍ／Ｋ］で構成される２枚の圧電体基板１１１および圧電体基板１１２が互いに重ねあわせられることによって構成される。
【００４０】
圧電体基板１１１は分極しており、圧電体基板１１２と対向すべき面に互いに平行な複数の溝が形成される。この複数の溝のそれぞれの側面には駆動電極が形成されている。これに対して、圧電体基板１１２は分極しておらず、圧電体基板１１１における溝形成面側に接着される。圧電体基板１１２には幅方向の全域に渡って溝２４が形成されており、断面が略逆Ｕ字状を呈している。圧電体基板１１１および圧電体基板１１２が接着された際に、圧電体基板１１１に形成された複数の溝のそれぞれは個別液室を構成し、圧電体基板１１２に形成された溝２４は共通液室を構成する。なお、個別液室、共通液室、およびヘッドチップ１１の外側には、パリレン成膜による保護膜が形成される。
【００４１】
溝２４は、ヘッドチップ１１における幅方向の第１の側面に液体導入口２３Ａとなって表れる。また、溝２４は、第１の側面の反対側に位置する第２の側面に、液体排出口２３Ｂとなって表れる。この結果、ヘッドチップ１１内の共通液室を介して液体導入口２３Ａおよび液体排出口２３Ｂが連通する。
【００４２】
圧電体基板１１１および圧電体基板１１２を重ね合わせた際に、圧電体基板１１１に形成された複数の溝がインク吐出面に露出する。インク吐出面には、ポリイミドフィルムからなるノズルプレート１５が接着される。ノズルプレート１５は、圧電体基板１１１の複数の溝と同じ間隔で配列された複数のノズル孔１４を備える。
【００４３】
ヘッドチップ１１は、インク吐出面と反対側に、複数の個別液室のそれぞれから引き出された接続電極を備える。接続電極は、ＡＣＦ（異方性導電膜）によってフレキシブル基板２６に電気的に接続される。
【００４４】
ここで、再び図３を用いて、マニホールド１４Ａ，１４Ｂについて説明する。マニホールド１４Ａ，１４Ｂは、それぞれ本発明の第１の流路構成部および第２の流路構成部を構成する。説明の便宜上、マニホールド１４Ａにおけるベースユニット２と向かい合う面をマニホールド１４Ａの内側面といい、マニホールド１４Ｂにおけるベースユニット２と向かい合う面をマニホールド１４Ｂの内側面という。
【００４５】
マニホールド１４Ａ，１４Ｂは、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）によって構成される。マニホールド１４Ａ，１４Ｂは、互いに対称な形状を呈している。マニホールド１４Ａ，１４Ｂの内部には共通液室に連続すべき液体流路が形成されている。マニホールド１４Ａ内の液体流路は、第１の開口５７Ａおよび第２の開口５７Ｂの間に形成される。一方、マニホールド１４Ｂ内の液体流路は、第１の開口５６Ａおよび第２の開口５６Ｂの間に形成される。マニホールド１４Ａの第２の開口５７Ｂは、液体導入口２３Ａに対応する位置に配置される。第２の開口５７Ｂの周囲に凹部５１Ａが形成される。同様に、マニホールド１４Ｂの第２の開口５６Ｂは、液体排出口２３Ｂに対応する位置に配置される。第２の開口５６Ｂの周囲に凹部５１Ｂが形成される。なお、本実施形態では、凹部５１Ａ，５１Ｂの凹みの深さは０．８ｍｍである。
【００４６】
マニホールド１４Ａ，１４Ｂは、それぞれの内側面に、複数の貫通孔５４および複数の位置決めピン５５がそれぞれ形成される。さらに、マニホールド１４Ａ，１４Ｂの内側面には、それぞれＶ字溝５２が形成される。なお、マニホールド１４Ａ，１４Ｂをベースユニット２に取り付ける際に、Ｖ字溝５２にエポキシ系接着剤が塗布される。
【００４７】
マニホールド１４Ａ，１４Ｂをベースユニット２に取り付ける際には、第２の開口５７Ｂと液体導入口２３Ａとの間に弾性シール部材１５Ａが配置され、第２の開口５６Ｂと液体排出口２３Ｂとの間に弾性シール部材１５Ｂが配置される。本実施形態では、弾性シール部材１５Ａ，１５Ｂとして、パーフロゴムからなる額縁状のパッキンが用いられる。弾性シール部材１５Ａ，１５Ｂの中空領域の大きさは、それぞれ液体導入口２３Ａおよび液体排出口２３Ｂの開口と同一の大きさ（２．４×１．１ｍｍ）になるように設計されている。弾性シール部材１５Ａ，１５Ｂは、凹部５１Ａ，５１Ｂにそれぞれ嵌め込まれる。弾性シール部材１５Ａ，１５Ｂの厚みは、１．１ｍｍであり、凹部５１Ａ，５１Ｂの凹みの深さより約０．３ｍｍだけ大きい。このため、マニホールド１４Ａ，１４Ｂをベースユニット２に取り付ける際に、弾性シール部材１５Ａ，１５Ｂは圧縮されて弾性変形する。また、弾性シール部材１５Ａ，１５Ｂによって、マニホールド１４Ａ内の液体流路およびマニホールド１４Ｂ内の液体流路が、それぞれヘッドチップ１１内の共通液室に連通する。なお、ここでは弾性シール部材１５Ａ，１５Ｂは、０．３ｍｍ圧縮した際に、約９．８Ｎの反発力を生じる。
【００４８】
また、マニホールド１４Ａ，１４Ｂをベースユニット２に取り付ける際には、複数の位置決めピン５５が複数の位置決め用穴３２にそれぞれ嵌め込まれる。さらに、複数の貫通孔５４を介して複数の雌ネジ部３１にネジを嵌め込むことにより、マニホールド１４Ａ，１４Ｂがベースユニット２に固定される。
【００４９】
続いて、図６を用いて、フィルタユニット３の構成を説明する。フィルタユニット３は、本発明の第３の流路構成部を構成する。フィルタユニット３は、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）からなる２つのハウジング１６１、１６２を備える。ハウジング１６１、１６２の内部に形成された液室を隔てるように、液体を濾過するフィルタプレートが配置される。ハウジング１６１の液室は、図示しない液体収容部から液体が導入される導入口が形成される。ハウジング１６２の液室内には、マニホールド１４Ａにおける第１の開口５７Ａに連通されるべき流路が形成される。さらに、ハウジング１６２には、マニホールド１４Ｂの第１の開口５６Ａに連通されるべき図示しないベント流路が形成されている。なお、このベント流路は、ハウジング１６１に形成されたベント流路を介して、液体収容部に接続される。
【００５０】
図７に示すように、マニホールド１４Ａ，１４Ｂには溝１６Ａ，１６Ｂがそれぞれ形成されている。溝１６Ａ，１６Ｂには、マニホールド１４Ａ，１４Ｂとフィルタユニット６との取り付け時に接着剤が充填される。溝１６Ａ，１６Ｂには、フィルタユニット６やマニホールド１４Ａ，１４Ｂの素材と近い線膨張係数のものを用いるのが好ましい。本実施形態では、溝１６Ａ，１６Ｂにエポキシ系接着剤が充填される。なお、フィルタユニット６とマニホールド１４Ａ，１４Ｂとが接着剤によって接着された状態を図８に示す。
【００５１】
図９は、インクジェットヘッド１の概略構成を示す図である。図９のハッチングを付した部分において、液体流路の１部分の断面を示している。上述したように、チップマウント１２は、ヘッドチップ１１およびヘッドベース１３の台座１３１より幅狭になっているため、チップマウント１２とマニホールド１４Ａの間、およびチップマウント１２とマニホールド１４Ｂの間にはそれぞれ空隙が形成される。このため、ヘッドチップ１１とチップマウント１２を接着する接着剤、または、チップマウント１２とヘッドベース１３を接着する接着剤の量が過剰であった場合でも、余った分の接着剤は上述の空隙にて吸収される。この結果、接着剤がヘッドチップ１１とマニホールド１４Ａ，１４Ｂの間に流れ込んだり、ヘッドベース１３とマニホールド１４Ａ，１４Ｂの間に流れ込んだりすることがない。
【００５２】
本実施形態では、ヘッドチップ１１およびマニホールド１４Ａ，１４Ｂは、直接固着されていない。このため、弾性シール部材１５Ａ，１５Ｂの反発力がヘッドチップ１１に作用することによって、ヘッドチップ１１とチップマウント１２との間に摩擦力が発生し得る。ただし、弾性シール部材１５Ａからヘッドチップ１１に作用する力、および弾性シール部材１５Ｂからヘッドチップ１１に作用する力は、それぞれ逆方向であり互いに打ち消しあうため、ヘッドチップ１１とチップマウント１２との間に発生する摩擦力が微小に抑えられる。
【００５３】
以上の構成において、液体の初期充填時には、液体収容部１００からチューブ管６１を介してハウジング１６１内に液体が供給される。ハウジング１６１内に供給された液体は、フィルタプレート通過してハウジング１６２内に導かれる際に濾過される。液体は、ハウジング１６２からマニホールド１４Ａを介してヘッドチップ１１の共通液室に案内される。さらに、共通液室を通過した液体は、マニホールド１４Ｂ内の流路、ハウジング１６１，１６２に形成されたベント流路、およびチューブ管６２を介して液体収容部１００に帰還する。そして、液体が循環する際に、共通液室に存在する残留エアが除去される。残留エアの除去が終わると、マニホールド１４Ｂと液体収容部１００との間の帰還流路が図示しない弁によって閉じられる。その後、制御部２００がドライバ基板４を制御し、ヘッドチップ１１の個別液室内の駆動電極を駆動することによって、ヘッドチップ１１から液体が吐出する。
【００５４】
以上のように、本実施形態に係るインクジェットヘッド１によれば、液体収容部１００、フィルタユニット３、ヘッドチップ１１の間で液体を循環させることによって、共通液室に存在する残留エアが効率よく排出されるというメリットがある。また、ヘッドチップ１１に液体導入口２３Ａと液体排出口２３Ｂとが設けられているため、液体を循環させる流路を簡易に構築することができる。
【００５５】
続いて、再び図７を用いて、本実施形態に係るインクジェットヘッド１の他のメリットを説明する。同図に示すように、ヘッドベース１３上のドライバ基板４およびフレキシブル基板２６は、マニホールド１４Ａ，１４Ｂおよびフィルタユニット３によって覆われる。具体的には、ハウジング１６１，１６２から延び出すように設けられたプレート部１６３、マニホールド１４Ａにおける流路構成部から延び出すように設けられたプレート部１４１、およびマニホールド１４Ｂにおける流路構成部から延び出すように設けられたプレート部１４２によって、ドライバ基板４の略全域が覆われて保護される。このため、ドライバ基板４に液体がかかってドライバ基板４が破損することが防止される。さらに、マニホールド１４Ａ，１４Ｂおよびフィルタユニット３のように必要不可欠な部材によってドライバ基板４を保護するため、ドライバ基板４を保護するためにのみ用いる別部材を用意する必要がなく、構成要素を減らすことができる。
【００５６】
また、図７に示すように、ヘッドチップ１１の両側に位置するマニホールド１４Ａ，１４Ｂの間をフィルタユニット３によって連結し、全体として門型の構成にすることによって、流路を構成する部分の剛性が増す。このため、弾性シール部材１５Ａ，１５Ｂからの反発力や外部からの外力が作用した場合でも流路が壊れにくい。
【００５７】
上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の実施形態に係るインクジェットヘッドの斜視図である。
【図２】ベースユニットの構成を示す斜視図である。
【図３】ベースユニットの概略構成を示す分解図である。
【図４】ヘッドベース、チップマウント、およびヘッドチップの構成を示す図である。
【図５】ヘッドチップの構成を示す斜視図である。
【図６】フィルタユニットの構成を示す斜視図である。
【図７】ベースユニットとフィルタユニットとを分解した状態を示す図である。
【図８】ベースユニットとフィルタユニットとを結合した状態を示す図である。
【図９】インクジェットヘッドの概略構成を示す図である。
【符号の説明】
【００５９】
１−インクジェットヘッド
２−ベースユニット
３−フィルタユニット
４−ドライバ基板
１１−ヘッドチップ
１２−チップマウント
１３−ヘッドベース
１４Ａ，１４Ｂ−マニホールド
２３Ａ−液体導入口
２３Ｂ−液体排出口
【図１】
2008044383.tif 000003
【図２】
2008044383.tif 000004
【図３】
2008044383.tif 000005
【図４】
2008044383.tif 000006
【図５】
2008044383.tif 000007
【図６】
2008044383.tif 000008
【図７】
2008044383.tif 000009
【図８】
2008044383.tif 000010
【図９】
2008044383.tif 000011