(57)【要約】【課題】主面のうねりが低減されかつ破損しにくいウェハ及びその製造方法を提供する。【解決手段】固定砥粒ワイヤ工具及び被加工部材Ｗのうち少なくとも一方を、所定の軸線Ｘに交差する移動方向Ｚに移動させつつ、固定砥粒ワイヤ工具及び被加工部材Ｗのうち少なくとも一方を揺動させることによって、移動方向Ｚに沿う被加工部材の切断加工面Ｗｘ上において一方向に湾曲した曲線Ｃを描く複数の条痕を形成しながら、被加工部材Ｗを切断し、曲線の一端Ｖａ，Ｖｂと曲線Ｃの頂点Ｕとを結ぶ直線Ｍａ，Ｍｂが曲線Ｃの両端を結ぶ基準線Ｙに対してなす条痕の角度γａ，γｂを１°以上とする、ウェハの製造方法。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に砥粒を固着したワイヤを複数の主軸ローラに巻架した固定砥粒ワイヤ工具によって、所定の軸線に沿って延びる被加工部材を切断することによってウェハを製造する方法であって、
前記固定砥粒ワイヤ工具及び前記被加工部材のうち少なくとも一方を、前記所定の軸線に交差する移動方向に移動させつつ、
前記固定砥粒ワイヤ工具及び前記被加工部材のうち少なくとも一方を揺動させることによって、前記移動方向に沿う前記被加工部材の切断加工面上において一方向に湾曲した曲線を描く複数の条痕を形成しながら、前記被加工部材を切断し、
前記曲線の一端と前記曲線の頂点とを結ぶ直線が前記曲線の両端を結ぶ基準線に対してなす前記条痕の角度を１°以上とする、ウェハの製造方法。
【請求項２】
前記角度を３〜６°とする、請求項１に記載のウェハの製造方法。
【請求項３】
当該ウェハの主面上において一方向に湾曲した曲線を描く複数の条痕を有し、前記曲線の一端と前記曲線の頂点とを結ぶ直線が前記曲線の両端を結ぶ基準線に対してなす前記条痕の角度が１°以上である、ウェハ。
【請求項４】
前記角度が３〜６°である、請求項３に記載のウェハ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェハおよびその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ワイヤ工具は、高速で走行させたワイヤを被加工部材（ワークともいう）に押し当てることによって被加工部材を切断する工具である。具体的には、シリコン、サファイア、石英、磁性材料石材などの硬脆材で構成された被加工部材から、高い寸法精度で薄板（ウェハ）を切り出すスライス加工に用いられる。
【０００３】
このようなワイヤ工具には、遊離砥粒方式のものと固定砥粒方式のものとが存在する。遊離砥粒方式によるワイヤ工具（遊離砥粒ワイヤ工具）は、研削液中にミクロンサイズの砥粒を混合した加工液（スラリー）をワイヤによって被加工部材に擦りつけながら加工を行うワイヤ工具である。固定砥粒方式によるワイヤ工具（固定砥粒ワイヤ工具）は、表面に砥粒を直接固着させたワイヤによって加工を行うワイヤ工具である。この固定砥粒ワイヤ工具は、遊離砥粒ワイヤ工具に比べて加工精度が劣るものの加工能率が高いという優位性をもつ。
【０００４】
一方、ワイヤ工具には、切断中にワイヤ側もしくは被加工部材側を揺動させる揺動機構を有する装置も存在している。この揺動機構には、切断時における切粉の排出性を高めて、加工精度を高める利点がある。例えば、特許文献１には、ワイヤ列に微少振動を与えながらインゴットを切断することによってワイヤ工具の切れ味を長時間維持できる固定砥粒ワイヤ工具が記載されている。
【特許文献１】特開平１１−７７５１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記の固定砥粒ワイヤ工具にあっては、揺動する角度（揺動角）に対する詳細な検討はされていない。また、遊離砥粒ワイヤ工具に対してしばしば設定される揺動角（２θ＝０〜４°）を固定砥粒ワイヤ工具に対して適用したとしても、主面のうねりが大きなウェハを形成してしまう。さらに、揺動時にウェハ主面において形成される線状の条痕がウェハを破損しやすくするおそれがある。
【０００６】
本発明は、上記した事情に鑑みて為されたものであり、主面のうねりが低減されかつ破損しにくいウェハ及びその製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るウェハの製造方法は、表面に砥粒を固着したワイヤを複数の主軸ローラに巻架した固定砥粒ワイヤ工具によって、所定の軸線に沿って延びる被加工部材を切断することによってウェハを製造する方法であって、固定砥粒ワイヤ工具及び被加工部材のうち少なくとも一方を、所定の軸線に交差する移動方向に移動させつつ、固定砥粒ワイヤ工具及び被加工部材のうち少なくとも一方を揺動させることによって、移動方向に沿う被加工部材の切断加工面上おいて一方向に湾曲した曲線を描く複数の条痕を形成しながら、被加工部材を切断し、曲線の一端と曲線の頂点とを結ぶ直線が曲線の両端を結ぶ基準線に対してなす条痕の角度を１°以上とする。
【０００８】
本発明のウェハ製造方法によれば、条痕が描く曲線の一端と曲線の頂点とを結ぶ直線が基準線に対してなす条痕の角度（条痕角）を１°以上とする。このようにすれば、１°未満の条痕角を有する条痕を形成する場合に比べて、ウェハ主面のうねりが低減される。また、条痕角が１°未満の条痕を形成する場合に比べて、条痕が描く曲線の曲率が増大される。この曲率の増大によって、条痕に発生する応力が一方向に集中しにくくなるため、破損しにくいウェハを形成することができる。
【０００９】
ここで、上記の条痕角は３〜６°とすることが好ましい。このようにすれば、３°未満または６°超の条痕を形成する場合に比べて主面のうねりがより低減される。また、条痕角が３°未満の条痕を形成する場合に比べて、より破損しにくいウェハを形成することができる。
【００１０】
また、本発明に係るウェハは、ウェハの主面上において一方向に湾曲した曲線を描く複数の条痕を有し、曲線の一端と曲線の頂点とを結ぶ直線が曲線の両端を結ぶ基準線に対してなす条痕の角度が１°以上である。
【００１１】
本発明のウェハによれば、条痕が描く曲線の一端と曲線の頂点とを結ぶ直線が基準線に対してなす条痕の角度（条痕角）が１°以上である。これによれば、１°未満の条痕角を有するウェハに比べて、ウェハ主面のうねりが低減される。また、条痕角が１°未満の条痕を有する場合に比べて、条痕が描く曲線の曲率が増大される。曲率が増大されると、条痕に発生する応力が一方向に集中しにくくなるため、ウェハの破損が防止される。
【００１２】
ここで、上記の条痕角は、３〜６°であることが好ましい。これによれば、３°未満または６°超の条痕角を有するウェハに比べて主面のうねりがより低減される。また、３°未満の条痕角を有するウェハに比べて、ウェハの破損がより防止される。
【発明の効果】
【００１３】
本発明のウェハおよびその製造方法によれば、主面のうねりが低減されかつ破損しにくいウェハ及びその製造方法を提供することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態について説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。また、図示の便宜上、図面の寸法比率は説明のものと必ずしも一致しない。
【００１５】
まず、図１を参照して、第一実施形態に係るウェハの製造方法を適用した固定砥粒ワイヤ工具の構成概略について説明する。ここで、図１は、本実施形態に係る製造方法を実施する固定砥粒ワイヤ工具を概略的に示す図である。
【００１６】
図１に示すように、固定砥粒ワイヤ工具１００は、３本の主軸ローラ１０，１１，１２と、複数のガイドプーリ２０と、一対のワイヤリール３０Ａ，３０Ｂと、ワイヤ５０と、揺動板６０とを備えている。固定砥粒ワイヤ工具１００は、主軸ローラ１０を備えなくともよいし、更なる主軸ローラを備えるものであってもよい。
【００１７】
ワイヤ５０は、鋼鉄等からなるワイヤの外周面にダイヤモンド等の砥粒が公知の方法によって固着されたものである。
【００１８】
ワイヤ５０の両端部は、ワイヤリール３０Ａ，ワイヤリール３０Ｂによって巻回されている。このワイヤリール３０Ａ，３０Ｂは、モータなどの駆動手段（不図示）によって駆動可能に設置されており、ワイヤリール３０Ａからワイヤリール３０Ｂへワイヤ５０の繰出しおよび巻取り動作を行うことができる。固定砥粒ワイヤ工具１００の運転時において、ワイヤリール３０Ａ，３０Ｂは、ワイヤ５０の繰出しおよび巻取り動作を交互に行い、ワイヤ列５０Ｃ（後述）を被加工部材Ｗ上で摺動する摺動動作を行う。
【００１９】
ワイヤ５０の中間部は、ガイドプーリ２０を介して、回動自在に設けられた３本の主軸ローラ１０，１１，１２に巻架されている。この主軸ローラ１０，１１，１２には、複数列の平行なワイヤ案内溝が一定のピッチで形成されている。このワイヤ案内溝によって案内されたワイヤ５０は、ワイヤ列５０Ｃを形成する。固定砥粒ワイヤ工具１００の運転時には、ワイヤ列５０Ｃが被加工部材Ｗに直接接触して被加工部材Ｗの切断加工を行う。
【００２０】
主軸ローラ１０，１１，１２は、同一の揺動板６０に軸支されている。この揺動板６０は、揺動手段（不図示）によって揺動可能に設置されており、固定砥粒ワイヤ工具１００の運転時には、ワイヤ列５０Ｃを揺動させる揺動動作（後述）を行う。例えば、主軸ローラ１０，１１，１２が正三角形をなす場合、揺動板６０は、その三角形の重心を固定しつつワイヤ列５０Ｃを揺動する。
【００２１】
ワイヤ列５０Ｃの下方には、ワークテーブル４０が設けられている。ワークテーブル４０上には、軸線Ｘ方向に延びる被加工部材Ｗが載置される。この被加工部材Ｗは、例えば、円柱状部材である。このワークテーブル４０は、公知の昇降移動手段（不図示）によって昇降移動可能に設置されており、固定砥粒ワイヤ工具１００の運転時には、軸線Ｘに交差する移動方向Ｚ、例えば鉛直方向に被加工部材Ｗを移動させる。被加工部材Ｗの移動方向Ｚへの移動については、固定砥粒ワイヤ工具１００を動かしてもよいし、固定砥粒ワイヤ工具１００および被加工部材Ｗの両方を動かしてもよい。
【００２２】
また、被加工部材Ｗは、カーボン、レジン、ガラスなどで構成されるベース台（不図示）を介してワークテーブル４０に載置してもよい。このようにすれば、固定砥粒ワイヤ工具１００の揺動時においても、ワークテーブル４０を損傷することなく、被加工部材Ｗを加工することが出来る。
【００２３】
次に、図１〜図３を参照して、固定砥粒ワイヤ工具１００の動作を説明し、併せて本実施形態に係るウェハ製造方法について説明する。ここで、図２は、図１の固定砥粒ワイヤ工具の動作を示す図である。図３は、加工時における被加工部材の切断加工面の様子を示す図である。
【００２４】
固定砥粒ワイヤ工具１００の運転が開始されると、ワイヤリール３０Ａ，３０Ｂによってワイヤ５０の繰出しおよび巻取り動作が交互に行われる。同時に、図１に示すように、被加工部材Ｗが移動方向Ｚに移動されつつ、揺動板６０によって揺動されるワイヤ列５０Ｃが被加工部材Ｗに直接接触して被加工部材Ｗを切断加工していく。
【００２５】
このとき、ワイヤ列５０Ｃは、移動方向Ｚに直行する基準面を中心として揺動される。具体的には、図２に示すように、固定砥粒ワイヤ工具１００は、傾斜状態１００ａと、傾斜状態１００ｂとの、２つの状態間を交互に行き来する。ここで、１０a，１１ａ，１２aは傾斜状態１００aの主軸ローラ、P１a，P２ａはワイヤ列５０Ｃと主軸ローラ１０a，１１a，１２ａとの接点、Ｌａは接点Ｐ１ａおよび接点Ｐ２ａを結ぶ直線、をそれぞれ示す。傾斜状態１００ｂに係る符号についても同様に、１０ｂ，１１ｂ，１２ｂは傾斜状態１００ｂの主軸ローラ、P１ｂ，P２ｂはワイヤ列５０Ｃと主軸ローラ１０ｂ，１１ｂ，１２ｂとの接点、Ｌｂは接点Ｐ１ｂおよび接点Ｐ２ｂを結ぶ直線、をそれぞれ示す。Ｑは直線Ｌａ，Ｌｂの交点を示し、基準面Ｓは交点Ｑを含み移動方向Ｚに直交する面として設定される。基準面Ｓは例えば水平面である。
【００２６】
直線Ｌａ，Ｌｂは、それぞれ傾斜状態１００ａ，１００ｂのワイヤ列５０Cに相当する。直線Ｌａ，Ｌｂと基準面Ｓとのなす角度−θ，＋θは、基準面Ｓに対してワイヤ列５０Ｃが傾斜できる最大の傾斜角度を示す。固定砥粒ワイヤ工具１００が傾斜状態１００ａから傾斜状態１００ｂに傾斜するその間の角度を揺動角と定義すると、揺動角は２θで表される。なお、明細書中に記載される角度を示す符号はすべて絶対値を示す。
【００２７】
ワイヤ列５０Ｃの揺動時には、基準面Ｓに対するワイヤ列５０Ｃの傾斜角度が−θから０を経て＋θへまたはその逆へ連続的に変化する。そのため、図３に示すように、移動方向Ｚに沿う被加工部材Ｗの切断加工面Ｗｘ上において一方向に湾曲した曲線Ｃを描く条痕が形成されながら、被加工部材Ｗが切断加工される。
【００２８】
ここで、Ｕは曲線Ｃの頂点、ＶａおよびＶｂは曲線Ｃの端点、Ｍａは頂点Ｕと端点Ｖａを結ぶ直線、Ｍｂは頂点Ｕと端点Ｖｂを結ぶ直線、Ｙは端点Ｖａと端点Ｖｂを結ぶ基準線、γａは基準線Ｙと直線Ｍａとのなす条痕角、γｂは基準線Ｙと直線Ｌｂとのなす条痕角、斜線部は切断加工済部、をそれぞれ示す。この条痕角γａおよびγｂは、後述する利点から１°≦γａまたは１°≦γｂを満たす。なお、被加工部材Ｗが移動方向Ｚに移動されつつ切断加工が行われるため、切断加工面Ｗｘ上には、曲線Ｃと同じ条痕角γａおよびγｂを有する複数の曲線を描く条痕が形成される。
【００２９】
次に、図４を参照して、本実施形態に係るウェハについて説明する。ここで、図４は実施形態に係るウェハの主面を示す図である。
【００３０】
被加工部材Ｗが移動方向Ｚに移動されつつ、被加工部材Ｗの切断加工面Ｗｘ上に複数の条痕が形成されながら上記の切断加工が行われると、最終的に、被加工部材Ｗから薄板状のウェハが切断される。切断されたウェハの主面には、図４に示すように、被加工部材Ｗの移動方向Ｚと同方向に湾曲した複数の曲線Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３を描く条痕が形成されている。
【００３１】
ここで、Ｕ１は曲線Ｃ１の頂点、Ｖａ１およびＶｂ１は曲線Ｃ１の端点、Ｍａ１は頂点Ｕ１と端点Ｖａ１を結ぶ直線、Ｍｂ１は頂点Ｕ１と端点Ｖｂ１を結ぶ直線、Ｙ１は端点Ｖａ１と端点Ｖｂ１を結ぶ基準線、γａは基準線Ｙ１と直線Ｍａ１とのなす条痕角、γｂは基準線Ｙ１と直線Ｍｂ１とのなす条痕角、Ｚ１は基準線Ｙ１を基準とする曲線Ｃ１の湾曲幅、Ｘはウェハ主面Ｗｆｘの軸線、をそれぞれ示す。Ｃ２，Ｃ３に係る要素符号についても同様である。
【００３２】
ウェハWｆの主面Ｗｆｘは、上述の切断加工面Ｗｘに対応する。なお、図４では、紙面の都合上３本の条痕のみが記載されているが、例えば、２インチウェハの場合、２００［μｍ］程度の間隔で条痕が形成される。
【００３３】
軸線Ｘを通る基準線Ｙ２を基準とする湾曲幅Ｚ２は、Ｒをワーク半径として
Ｚ２＝Ｒtanγａ・・・（１）
によって求められる。鋭角である条痕角γａが増大すると、湾曲幅Ｚ２が増大されるので、曲線Ｃ２の曲率が増大する。曲線Ｃ１および曲線Ｃ３についても、上式のワーク半径Ｒの値が他の値に置き換わるのみであるので、条痕角γａが増大すると曲線Ｃ１およびC３の曲率が増大する。また、上式において、条痕角γａの代わりに条痕角γｂを用いてもよい。
【００３４】
次に、図５〜図７を参照して、本実施形態に係るウェハおよびウェハ製造方法の利点について説明する。ここで、図５は、加工速度ｖ＝１６．９［ｍｍ／ｈ］（一定）で切り出された２インチサファイアウェハ主面におけるろ波最大うねりＷＣＭ（ＪＩＳ  B ０６１０参照）と条痕角γとの関係を測定した結果を示すグラフである。図６は、揺動角２θと条痕角γとの関係を測定した結果を示すグラフである。図７は、条痕角の測定値と平均値との関係を示す表である。図７に示された条痕角γは、上述の条痕角γａおよびγｂの平均値（γ＝（γa＋γｂ）／２）を示す。条痕角γが１°≦γを満足する場合には、上述の条痕角γａおよびγｂに対して１°≦γaおよび１°≦γｂのうち少なくとも一方が成立する。
【００３５】
図５を参照すると、条痕角γが１°≦γを満足することによって、ＷＣＭは３０[μｍ]以下に低減される。これは、従来の場合（γ＝０°）のWCMに比べて約１／２程度の値である。さらに、条痕角γが３°≦γ≦６°を満足することが好ましい。このようにすれば、ＷＣＭが１５[μｍ]以下に低減される。これは、従来の場合（γ＝０°）のWCMに比べて約１／３程度の値である。
【００３６】
図６を参照すると、１°≦γの条痕角γを有する条痕を形成する場合、揺動角２θを６°≦２θの範囲に設定すればよいことがわかる。また、３°≦γ≦６°の条痕角γを有する条痕を形成する場合、揺動角２θを１２°≦２θ≦１６°の範囲に設定すればよいことがわかる。
【００３７】
WCMはウェハ主面Ｗｆｘのうねり量に相当する。したがって、WCMが低減されるとウェハ主面Ｗｆｘのうねりが低減されて、ウェハＷｆの加工精度が向上する。従来、ウェハの加工精度を向上するにはウェハの加工時間を増大する必要があったが、上記によってウェハの加工精度が向上されれば、ウェハの加工時間の増分を低減することもできる。
【００３８】
次に、図８〜図１１を参照して、本発明者が行った揺動角２θに対する考察について述べる。図８は揺動角とワイヤの撓み量を説明する図である。図９〜１０は２〜４インチウェハの場合に対する揺動幅２Ｔと撓み量Ｄの差の計算結果をそれぞれ示す図である。
【００３９】
遊離砥粒ワイヤ工具ではワイヤを撓ませないように加工を行うことが重要であるが、固定砥粒ワイヤ工具ではワイヤに適切な撓みを持たせながら加工を行うことが必要である。本発明者は、ワーク径ｎ［インチ］の被加工部材Wの加工において固定砥粒ワイヤの撓み量をｎ［ｍｍ］とすると、加工能率がよいことを見出した。
【００４０】
ここで、図８を参照して、撓みを有して揺動するワイヤと被加工部材との接触幅が短縮される条件（加工能率が向上する条件）を、近似的に求める。図８において、Ｄは移動方向Ｚ上におけるワイヤの撓み量、Ｗｘ１，Ｗｘ２はワイヤ５０と被加工部材Ｗとの接触部、Ｒはワーク半径、２Ｔは揺動幅、斜線部は切断加工済部、をそれぞれ示す。
【００４１】
また、図８では、円柱状の被加工部材Ｗの加工時に、接触幅が比較的大きくなる中心部付近の加工を想定する。揺動角２θで揺動するワイヤ５０の傾斜時に、接触部Wｘ１，Wｘ２のうち一方にワイヤ５０が接触するためには、
２Ｔ−Ｄ＞０・・・（２）
を満たせばよい。ここで、揺動幅２Ｔは、２Ｔ＝２Ｒtanθで近似的に表されるので、上式は、
tanθ＞Ｄ／（２Ｒ）・・・（３）
と記載できる。
【００４２】
また、ワーク半径Ｒ［ｍｍ］はワーク径ｎ［インチ］に対してＲ＝１２．７ｎと表され、ワーク径ｎ［インチ］の被加工部材に対して加工能率を向上する固定砥粒ワイヤ工具の撓み量ＤはＤ＝ｎ［ｍｍ］と表される。したがって、円柱状の被加工部材Ｗの中心軸付近を加工する場合において、揺動角２θ［°］は、次式を満たせばよい。
２θ＞（３６０／π）arctan（１／２５．４）・・・（４）
【００４３】
図９〜図１１に示された２Ｔ−Ｄの計算結果を参照すると、２〜４インチの被加工部材において２T−Ｄ＞０を満たす条件はθ≧３°である。この条件は、図５および図６において述べた揺動角の下限条件２θ≧６°に合致する。なお、図９〜図１１に示されたワーク半径Ｒとワイヤの撓み量Ｄは、図ごとに異なる値を示す。図９〜図１１それぞれのワーク半径Ｒ及びワイヤの撓み量Ｄの値は、図９（２インチの場合）においてはＲ＝２５．４［ｍｍ］，Ｄ＝２［ｍｍ］、図１０（３インチの場合）においてはＲ＝３８．１［ｍｍ］，Ｄ＝３［ｍｍ］、図１１（４インチの場合）においてはＲ＝５０．８［ｍｍ］，Ｄ＝４［ｍｍ］、である。
【００４４】
以上のように、本実施形態に係るウェハおよびその製造方法では、条痕が描く複数の曲線Ｃ１〜Ｃ３それぞれの一端Ｖａ１〜Ｖａ３と曲線Ｃ１〜Ｃ３それぞれの頂点Ｕ１〜Ｕ３とを結ぶ直線Ｍａ１〜Ｍａ３が基準線Ｙ１〜Ｙ３に対してそれぞれなす条痕角γａが１°以上である。または、条痕が描く複数の曲線Ｃ１〜Ｃ３それぞれの一端Ｖｂ１〜Ｖｂ３と曲線Ｃ１〜Ｃ３それぞれの頂点Ｕ１〜Ｕ３とを結ぶ直線Ｍｂ１〜Ｍｂ３が基準線Ｙ１〜Ｙ３に対してそれぞれなす条痕角γｂが１°以上である。
【００４５】
この場合、図５の測定結果より、条痕角γ＝０°の場合に比べてWCMが約１／２に低減される。したがって、ウェハ主面Ｗｆｘのうねりが低減される。これは、図８〜図１１の考察より、２θ＜６°すなわちγ＜１°の場合に比べてワイヤの被加工部材Ｗに対する接触幅が半分以下に低減されることによるものと考えられる。また、条痕角γａが１°未満の場合に比べて、（１）式より湾曲幅Ｚ１〜Ｚ３が増大されるため、条痕が描く曲線Ｃ１〜Ｃ３の曲率が増大される。この曲率の増大によって、条痕に発生する応力が一方向に集中しにくくなるため、ウェハの破損が防止される。
【００４６】
ここで、条痕角γが３°≦γ≦６°を満足すれば、図５の測定結果よりγ＝０°の場合に比べてWCMが約１／３に低減されるので、ウェハ主面Ｗｆｘのうねりがより低減される。また、条痕角が３°未満の場合に比べて、条痕が描く曲線の曲率がさらに増大されるため、ウェハの破損がより防止される。
【００４７】
本発明に係るウェハおよびその製造方法は、上記実施形態に限られるものではなく、各請求項に記載した要旨を変更しないように上記実施形態を変形したものであってもよい。
【００４８】
例えば、本実施形態では、主軸ローラを軸支する揺動板を揺動することによって条痕角を形成するウェハ製造方法を示したが、被加工部材を固定するワークテーブルを揺動することによって条痕角を形成する方法であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本実施形態に係る製造方法を実施する固定砥粒ワイヤ工具を概略的に示す図である。
【図２】図１の固定砥粒ワイヤ工具の動作を示す図である。
【図３】加工時における被加工部材の切断加工面の様子を示す図である。
【図４】実施形態に係るウェハの主面を示す図である。
【図５】条痕角対ＷＣＭ特性を示すグラフである。
【図６】揺動角対条痕角特性を示すグラフである。
【図７】条痕角の測定値と平均値との関係を示す表である。
【図８】揺動角とワイヤの撓み量を説明する図である。
【図９】２インチウェハの場合の揺動幅と撓み量の差を示す計算結果である。
【図１０】３インチウェハの場合の揺動幅と撓み量の差を示す計算結果である。
【図１１】４インチウェハの場合の揺動幅と撓み量の差を示す計算結果である。
【符号の説明】
【００５０】
１０，１０a，１０ｂ，１１，１１a，１１ｂ，１２，１２a，１２ｂ…主軸ローラ、２０…ガイドプーリ、３０Ａ，３０Ｂ…ワイヤリール、４０…ワークテーブル、５０…ワイヤ、５０Ｃ…ワイヤ列、６０…揺動板、１００，１００ａ，１００ｂ…固定砥粒ワイヤ工具、Ｃ，Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３…条痕、Ｐ１ａ，Ｐ１ｂ…接点、Ｓ…基準面、Ｕ，Ｕ１，Ｕ２，Ｕ３…曲線の頂点、Ｖａ，Ｖａ１，Ｖａ２，Ｖａ３，Ｖｂ，Ｖｂ１，Ｖｂ２，Ｖｂ３…曲線の端点、Ｗ…被加工部材、Ｗｘ…切断加工面、Ｘ…所定の軸線、Ｙ，Ｙ１，Ｙ２，Ｙ３…基準線、Ｚ…移動方向、Ｌａ，Ｌｂ…接点を結ぶ直線、Ｍａ１，Ｍａ２，Ｍａ３，Ｍｂ１，Ｍｂ２，Ｍｂ３頂点と端点とを結ぶ直線、２θ…揺動角、＋θ，−θ…傾斜角度、γ，γａ，γｂ…条痕角。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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