(57)【要約】【課題】塗布口の開口幅を高精度に、かつ、効率よく調整することのできる塗布ノズル及び塗布装置の提供を目的とする。【解決手段】塗布ノズル１は、正面側ノズル部材２、背面側ノズル部材３、及び、塗布口１２の開口幅を調整する調整手段４を備えており、調整手段４が、溝２４に収納された一対の勾配キー４１，４２及び偏心ショルダーピン４３，４４を有する構成としてある。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向して接合されるノズル部材と、前記ノズル部材の接合面に形成された塗布流路と、前記ノズル部材の先端部に形成され、前記塗布流路と連通する塗布口を有する塗布ノズルであって、
前記ノズル部材に形成され、かつ、溝側面が押圧されると、前記ノズル部材の弾性変形により、前記塗布口の開口幅を縮小させるための溝と、
被押圧面、前記溝側面を押圧する押圧面及びテーパ面を有し、前記テーパ面どうしが当接した状態で、前記溝に収納される一対の勾配キーと、
前記一対の勾配キーの各被押圧面を押圧する押圧手段と
を備えたことを特徴とする塗布ノズル。
【請求項２】
前記押圧手段として、固定用のボルト孔が穿設された回転軸部と、この回転軸部の一方の端部に一体的に設けられ、回転中心に対して偏心した円筒部とからなる偏心部材を用い、前記円筒部の側面が、前記勾配キーの被押圧面を押圧することを特徴とする請求項１に記載の塗布ノズル。
【請求項３】
前記一対の勾配キーにそれぞれ対応する偏心部材の偏心量を異ならせたことを特徴とする請求項２に記載の塗布ノズル。
【請求項４】
前記一対の勾配キー及び押圧手段を複数箇所に設けたことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の塗布ノズル。
【請求項５】
前記ノズル部材を、下面の先端部に前記塗布口を有する四角棒状体とし、該四角棒状体の下面の前記塗布流路側に、前記溝を前記四角棒状体の長手方向に形成したことを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の塗布ノズル。
【請求項６】
上記請求項１〜５のいずれかに記載の塗布ノズルを備えたことを特徴とする塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布ノズル及び塗布装置に関し、特に、塗布口の開口幅を高精度に、かつ、効率よく調整することのできる塗布ノズル及び塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＬＣＤ（液晶表示装置）やプラズマ表示パネル装置（ＰＤＰ）などのパネル型表示装置は、表示性能、省エネルギー等の理由から広く利用されている。
上記表示装置は、その製造工程において、ガラス基板にカラーレジストが塗布されており、塗布厚が均一となるように塗布することが要求されてきた。この要求を満足するために、対向して接合されるノズル部材と、ノズル部材の接合面に形成された塗布流路と、ノズル部材の先端部に形成され、塗布流路と連通する塗布口を有する塗布ノズルが使用されてきた。
【０００３】
近年、パネル型表示装置の大型化により、長い塗布ノズルが使用されるようになってきた。また、塗布ノズルが長くなるほど、塗布厚を均一とすることは難しくなるが、画像品質の向上を目的として、塗布厚をより均一とすることが、さらに強く要求されている。
このため、塗布ノズル及び塗布装置に関する様々な技術が開発されてきた。
【０００４】
（従来例）
たとえば、特許文献１には、ヘッド部材に長手方向に延びた凹部が形成され、この凹部に、塗布口の開口幅を調整するためのクサビ部材を用いた調整ユニットが設けられ、さらに、この調整ユニットを、凹部の任意の位置へ移動させ、その位置に固定することの可能な塗布工具の技術が開示されている。
この技術によれば、調整ユニットを所望する位置に移動させることができるので、塗布液が流通する塗布流路幅を容易に調整することができる。
【０００５】
【特許文献１】特許第３５０１１５９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載された塗布工具は、ボルトによって移動されるクサビ部材を用いており、精度よく塗布口の開口幅を調整しようとすると、クサビ部材のテーパ面の傾斜角度を小さくする必要がある。一方、テーパ面の傾斜角度を小さくしすぎると、長い塗布口の中央部付近の開口幅を調整する際、大きな調整量を得るためには、ボルトを多数回締め回す必要があり、作業性が悪いといった問題があった。
【０００７】
本発明は、以上のような従来の技術が有する問題を解決するために提案されたものであり、塗布口の開口幅を高精度に、かつ、効率よく調整することのできる塗布ノズル及び塗布装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明の塗布ノズルは、対向して接合されるノズル部材と、前記ノズル部材の接合面に形成された塗布流路と、前記ノズル部材の先端部に形成され、前記塗布流路と連通する塗布口を有する塗布ノズルであって、前記ノズル部材に形成され、かつ、溝側面が押圧されると、前記ノズル部材の弾性変形により、前記塗布口の開口幅を縮小させるための溝と、被押圧面、前記溝側面を押圧する押圧面及びテーパ面を有し、前記テーパ面どうしが当接した状態で、前記溝に収納される一対の勾配キーと、前記一対の勾配キーの各被押圧面を押圧する押圧手段とを備えた構成としてある。
このようにすると、溝に収納された一対の勾配キー及び各押圧手段が、塗布口の開口幅を調整する開口幅調整手段として機能し、一対の勾配キーが溝の長手方向に移動するので、開口幅の調整量を大きくすることができ、かつ、開口幅を高精度に調整することができる。
【０００９】
また、好ましくは、前記押圧手段として、固定用のボルト孔が穿設された回転軸部と、この回転軸部の一方の端部に一体的に設けられ、回転中心に対して偏心した円筒部とからなる偏心部材を用い、前記円筒部の側面が、前記勾配キーの被押圧面を押圧するとよい。
このようにすると、偏心部材を回転させ固定することにより、容易に勾配キーを押して移動させることができる。また、偏心部材の偏心量に応じて、勾配キーの移動距離が設定されるので、開口幅の調整量及び調整精度を自在に設定することができる。
【００１０】
また、好ましくは、前記一対の勾配キーにそれぞれ対応する偏心部材の偏心量を異ならせるとよい。
このようにすると、偏心量の大きい方の偏心部材を回転させることにより、開口幅を大きく調整することができ、さらに、偏心量の小さい方の偏心部材を回転させることにより、開口幅を高精度に調整することができる。また、小さい方の偏心量をさらに小さくすることにより、開口幅を超高精度に調整することも可能となる。
【００１１】
また、好ましくは、前記一対の勾配キー及び押圧手段を複数箇所に設けるとよい。
このようにすると、塗布口が長い場合であっても、塗布口の全域において、開口幅を調整することができる。
【００１２】
また、好ましくは、前記ノズル部材を、下面の先端部に前記塗布口を有する四角棒状体とし、該四角棒状体の下面の前記塗布流路側に、前記溝を前記四角棒状体の長手方向に形成するとよい。
このようにすると、形状が単純化されるので、製造原価のコストダウンを図ることができる。
【００１３】
また、本発明の塗布装置は、上記請求項１〜５のいずれかに記載の塗布ノズルを備えた構成としてある。
このように、本発明は塗布装置としても有効であり、開口幅の調整量を大きくすることができ、かつ、開口幅を高精度に調整することができる。したがって、塗布口が長い場合であっても、塗布口の開口幅を高精度に、かつ、効率よく調整することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の塗布ノズル及び塗布装置によれば、溝に収納された一対の勾配キー及び各押圧手段が、塗布口の開口幅を調整する開口幅調整手段として機能し、一対の勾配キーが溝の長手方向に移動するので、開口幅の調整量を大きくすることができ、かつ、開口幅を高精度に調整することができる。また、塗布口が長い場合であっても、塗布口の開口幅を高精度に、かつ、効率よく調整することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
［塗布ノズルの実施形態］
以下、本発明の塗布ノズルの実施形態について、図面を参照して説明する。
図１は、本発明の一実施形態にかかる塗布ノズルの要部の概略図であり、（ａ）は正面図を、（ｂ）は下面図を、（ｃ）は右側面図を示している。
また、図２，３，４は、それぞれ本発明の一実施形態にかかる塗布ノズルの要部の概略正面図、概略下面図、概略右側面図の拡大図を示している。
図１，２，３，４において、塗布ノズル１は、正面側ノズル部材２、背面側ノズル部材３、及び、塗布口１２の開口幅を調整する調整手段４を備えている。また、本実施形態の調整手段４は、溝２４に収納された一対の勾配キー４１，４２及び偏心ショルダーピン４３，４４を有する構成としてある。
また、塗布ノズル１は、ＬＣＤなどのパネル型表示装置のガラス基板（図示せず）にカラーレジストを塗布する塗布ノズルとしてある。
【００１６】
＜ノズル部材＞
ノズル部材は、ほぼ同様な構造を有する正面側ノズル部材２及び背面側ノズル部材３とからなっている。各ノズル部材２，３は、硬度及び機械的強度に優れた金属からなる四角棒状体としてあり、複数のボルト２８によって、対向した状態で接合されている。
各ノズル部材２，３は、各接合面に長手方向に沿って、断面が半円状の液溜り２２が形成されており、液溜り２２のほぼ中央には、上方に向かって供給孔２１が穿設されている。この供給孔２１は、供給管１１と連通しており、供給管１１を経由して供給されるカラーレジストを液溜り２２に供給する。また、各ノズル部材２，３は、液溜り２２に対応する範囲の接合面に、接合面と平行に深さ約数十μｍの塗布流路面２３が形成されており、対向する塗布流路面２３に挟まれた空間（スリットとも呼称される。）が塗布流路２０となる。
【００１７】
各ノズル部材２，３は、各下面の接合面側縁部に、長手方向に沿って対向するように、一対のほぼ三角柱状の先端部２５が突設してある。この先端部２５にも、塗布流路面２３が形成されており、先端部２５の最下端に塗布口１２が形成される。すなわち、先端部２５に、塗布流路２０と連通する塗布口１２が形成されている。これにより、液溜り２２に供給されたカラーレジストが、塗布流路２０を経由して、塗布口１２から塗布される。なお、塗布口１２が形成された範囲が、吐出範囲となる。
【００１８】
各ノズル部材２，３は、下面の塗布流路側に、溝２４が各ノズル部材２，３の長手方向に沿って形成してある。この溝２４は断面が矩形状としてあり、対向する溝側面（内側溝側面及び外側溝側面）を有している。すなわち、溝２４は、塗布流路側に形成してあるので、図４に示すように、距離Ｗ１（溝２４の内側溝側面から塗布流路面２３までの距離）が、距離Ｗ２（溝２４の外側溝側面から塗各ノズル部材２，３の外側側面までの距離）より短くなっている。したがって、この溝２４は、一対の勾配キー４１，４２による外力Ｘによって、両溝側面が押圧されると、各ノズル部材２，３の溝２４の内側溝側面と塗布流路面２３とに挟まれた部分が弾性変形し、塗布口１２の開口幅を縮小させる。また、本実施形態では、各ノズル部材２，３及び溝２４の形状が単純化されるので、製造原価のコストダウンを図ることができる。
また、溝２４の底面の複数箇所に、偏心ショルダーピン４３，４４を取り付けるための嵌入穴２６及び雌ねじ２７が形成されている。なお、本実施形態では、３５箇所に等間隔で嵌入穴２６及び雌ねじ２７を形成してある。
【００１９】
＜勾配キー＞
図５は、本発明の一実施形態にかかる塗布ノズルの、勾配キーの概略拡大図であり、（ａ）は正面図を、（ｂ）は平面図を示している。
同図において、勾配キー４１，４２は、硬度及び機械的強度に優れた金属製の鉤状部材としてあり、テーパ面４１１、被押圧面４１２及び押圧面４１３を有している。押圧面４１３は、溝２４の溝側面と当接し溝側面を押圧する。また、被押圧面４１２は、押圧面４１３と直交する端面であり、押圧手段によって押圧される。さらに、テーパ面４１１は、押圧面４１３とほぼ対向するように形成され、被押圧面４１２に向かって登り勾配を有する斜面としてある。なお、テーパ面４１１の長さや勾配は、必要とする調整量や調整精度に応じて、自在に設定することができる。なお、勾配キー４１と勾配キー４２は、同様な構造としてある。
【００２０】
勾配キー４１，４２は、テーパ面４１１どうしが当接した状態で、溝２４に収納される。このようにすると、一対の勾配キー４１，４２の各押圧面４１３が溝２４の対向する溝側面とそれぞれ当接し、被押圧面４１２が押されると、勾配キー４１，４２の一方又は両方が接近する方向に移動し、各押圧面４１３，４１３が溝側面に外力Ｘを作用させる。
なお、図示してないが、本実施形態では、勾配キー４１，４２が落下しないように、ほぼ矩形板状の落下防止板が各ノズル部材２，３の下面に螺着される。
【００２１】
＜偏心ショルダーピン＞
偏心ショルダーピン４３，４４は、硬度及び機械的強度に優れた金属製の偏心部材であり、一対の勾配キー４１，４２の各被押圧面４１２を押圧する押圧手段としてある。この偏心ショルダーピン４３，４４は、固定用のボルト孔４３２が穿設された円筒状の嵌入部４３１と、嵌入部４３１の上端に形成され、嵌入部４３１の中心軸（回転中心）に対して偏心した円筒状の押圧部４３３とからなっている。また、押圧部４３３は、ボルト（六角穴付きボルト）４５の頭部が収納される収納穴４３４が形成され、さらに上面には、対向して係止溝４３５が形成されている。この係止溝４３５は、断面が矩形状としてあり、図示してないが、角度調整治具の突起部が係入される。この角度調整治具は、下面に一対の突起部が設けられた円環部材と、この円環部材から水平方向に突き出たハンドルとを有している。角度調整治具を用いることにより、偏心ショルダーピン４３，４４を容易に所望する角度に回転させることができ、かつ、所望する角度に回転させた状態で、ボルト４５を締め付けることができる。
【００２２】
上記偏心ショルダーピン４３，４４は、回転軸部として機能する嵌入部４３１が、嵌入穴２６に回転自在に嵌入され、角度調整治具によって角度調整された状態で、ボルト４５が雌ねじ２７に締め込まれることにより螺着される。
すなわち、ボルト４５を緩めた状態で、角度調整治具を用いて、偏心ショルダーピン４３，４４を回転させると、偏心している押圧部４３３の側面が勾配キー４１，４２の被押圧面４１２を押圧し、押圧した状態のままボルト４５によって固定される。このように、偏心ショルダーピン４３，４４を回転させると、偏心量に応じて勾配キー４１，４２を移動させることができ、塗布口１２の開口幅を調整することができる。
【００２３】
また、偏心ショルダーピン４３，４４の偏心量σによって、開口幅の調整量及び調整精度を自在に設定することができる。すなわち、開口幅の調整量が大きい場合には、偏心量σを大きくするとよく、また、開口幅の調整精度を高めたい場合には、偏心量σを小さくするとよい。
本実施形態の偏心ショルダーピン４３と偏心ショルダーピン４４は、同様な構造としてあり、同じ大きさの偏心量σ（＝約２ｍｍ）を有している。
【００２４】
ここで、好ましくは、一方の勾配キー４１に対応する偏心ショルダーピン４３の偏心量σを大きくし、他方の勾配キー４２に対応する偏心ショルダーピン４４の偏心量σを小さくするとよい。このようにすると、偏心量σの大きい偏心ショルダーピン４３を回転させることにより、開口幅を大きく調整することができ、さらに、偏心量σの小さい偏心ショルダーピン４４を回転させることにより、開口幅を微調整することができる。
【００２５】
たとえば、図示してないが、偏心ショルダーピン４３の偏心量σを約３ｍｍとし、偏心ショルダーピン４４の偏心量σを約０．２ｍｍとしてもよい。このようにすると、偏心ショルダーピン４３を角度調整として約１８０°回転させると、勾配キー４１が最大約６ｍｍ移動し、大きな調整量を得ることができる。また、偏心ショルダーピン４４を角度調整として約１８０°回転させると、勾配キー４２が最大約０．４ｍｍ移動し、高精度の調整を行うことができる。
【００２６】
また、本実施形態では、一対の勾配キー４１，４２及び偏心ショルダーピン４３，４４を、一つの溝２４の１１個所に配設してある。このように、複数箇所に配設することにより、塗布口１２が長い場合であっても、塗布口１２の全域において、開口幅を精度よく調整することができる。
また、本実施形態では、一対の勾配キー４１，４２及び偏心ショルダーピン４３，４４を、隣接するように配設してある。すなわち、ｎ（自然数）番目の嵌入穴２６に、偏心ショルダーピン４３を取り付け、ｎ＋２番目の嵌入穴２６に偏心ショルダーピン４４を取り付け、さらに、ｎ＋３（自然数）番目の嵌入穴２６に、偏心ショルダーピン４３を取り付け、ｎ＋５番目の嵌入穴２６に偏心ショルダーピン４４を取り付ける構成としてあるが、これに限定されるものではない。たとえば、図示してないが、ｎ（自然数）番目の嵌入穴２６に、偏心ショルダーピン４３を取り付け、ｎ＋２番目の嵌入穴２６に偏心ショルダーピン４４を取り付け、さらに、ｎ＋４（自然数）番目の嵌入穴２６に、偏心ショルダーピン４３を取り付け、ｎ＋６番目の嵌入穴２６に偏心ショルダーピン４４を取り付け、隣り合う調整手段４の間隔を大きくしてもよい。
【００２７】
さらに、本実施形態では、一対の勾配キー４１，４２が、ｎ（自然数）番目の嵌入穴２６とｎ＋２番目の嵌入穴２６の間に収納される形状としてあるが、これに限定されるものではない。たとえば、ｎ番目の嵌入穴２６とｎ＋３番目の嵌入穴２６の間に収納される形状としてもよい。このようにすると、塗布口１２の長手方向の各位置における調整量及び調整精度を自在に設定することができ、付加価値を向上させることができる。
【００２８】
次に、上記塗布ノズル１を用いた、塗布口１２の開口幅の調整手順について、図面を参照して説明する。
図７は、本発明の一実施形態にかかる塗布ノズルの、塗布口の開口幅の調整手順を説明するための概略拡大図であり、（ａ）は調整前の下面図を、（ｂ）は調整後の下面図を示している。
同図（ａ）において、塗布ノズル１は、調整前の状態であり、各偏心ショルダーピン４３，４４が、勾配キー４１，４２を押圧しない角度位置で（図６（ａ）の初期当接点が、被押圧面４１２と接触した状態で）固定されている。
【００２９】
また、この塗布ノズル１は、長時間にわたりカラーレジストが供給され、塗布流路２０を経由して、塗布口１２からカラーレジストを塗布しており、塗布口１２の開口幅が、距離Ｈ＋ΔＨに広がっている。
なお、使用前の塗布ノズル１は、各ノズル部材２，３の対向する塗布流路面２３が距離Ｈとなるように、研磨加工が施されており、塗布口１２の開口幅が距離Ｈである（図４参照）。
また、塗布ノズル１は、塗布口１２の開口幅が広がると、カラーレジストの塗布量が局所的に厚くなるといった不具合が発生するので、定期的に塗布口１２の開口幅が測定される。この測定には、通常、光学式顕微鏡などの測定装置が用いられる。
【００３０】
次に、同図（ｂ）に示すように、偏心ショルダーピン４３のボルト４５が緩められ、偏心ショルダーピン４４を時計回り方向に回転させると、押圧部４３３が勾配キー４１の被押圧面４１２を押圧し、勾配キー４１がテーパ面４１１に沿って勾配キー４２側に移動する。この移動によって、一対の勾配キー４１，４２に外力Ｘが発生し、押圧面４１３によって溝２４の両溝側面が押圧されると、ノズル部材２の溝２４の内側溝側面と塗布流路面２３とに挟まれた部分が弾性変形し、塗布口１２の開口幅を縮小させる。そして、偏心ショルダーピン４３を所定の角度位置（たとえば、時計回り方向に約９０°）まで回転させ、塗布口１２の開口幅が、距離Ｈとなったところで、ボルト４５によって固定する。このようにすると、効率よくミクロンオーダーでの微細な幅の調整を行うことができる。
なお、本実施形態では、塗布口１２の長手方向における上記測定を、一対の勾配キー４１，４２の配設されたポイントで行い、各ポイントにおいて、塗布口１２の開口幅を調整する。
【００３１】
また、図示してないが、一方の勾配キー４１に対応する偏心ショルダーピン４３の偏心量σを大きくし、他方の勾配キー４２に対応する偏心ショルダーピン４４の偏心量σを小さくした場合には、上記測定結果より、塗布口１２の開口幅の広がり量に応じて、偏心量σの異なる偏心ショルダーピン４３，４４が回転される。
すなわち、広がり量が大きい場合には、まず、偏心ショルダーピン４３のボルト４５が緩められ、角度調整治具を用いて、偏心ショルダーピン４３を所定の角度位置まで回転させ、ボルト４５によって固定する。これにより、大きな広がり量に対して、大きな調整をまず行うことができる。続いて、偏心ショルダーピン４４のボルト４５が緩められ、角度調整治具を用いて、偏心ショルダーピン４４を所定の角度位置まで回転させ、微調整が行われた後、ボルト４５によって固定する。このようにすると、偏心ショルダーピン４３によって効率よく大きく調整し、さらに、偏心ショルダーピン４４によって、たとえば、ミクロンオーダーでの微細な幅の調整を行うことができる。
一方、広がり量が小さい場合には、偏心ショルダーピン４４のボルト４５が緩められ、偏心ショルダーピン４４が所定の角度位置まで回転させ、微調整が行われた後、ボルト４５によって固定する。このようにすると、効率よくミクロンオーダーでの微細な幅の調整を行うことができる。
【００３２】
このように、本実施形態の塗布ノズル１によれば、溝２４に収納された一対の勾配キー４１，４２及び偏心ショルダーピン４３，４４が、塗布口１２の開口幅を調整する調整手段４として機能し、一対の勾配キー４１，４２が溝２４の長手方向に移動するので、開口幅の調整量を大きくかつ高精度に設定することができる。また、開口幅の調整量を大きくかつ高精度に設定しても、塗布ノズル１が大型化するといった不具合を防止することができる。
【００３３】
［塗布装置の一実施形態］
本発明は、塗布装置の発明としても有効であり、本実施形態の塗布装置は、上記塗布ノズル１備えた構成としてある。
このようにすると、塗布口１２の開口幅の調整量を大きくすることができ、かつ、開口幅を高精度に調整することができる。したがって、塗布口１２が長い場合であっても、塗布口１２の開口幅を高精度に、かつ、効率よく調整することができる。
【００３４】
以上、本発明の塗布ノズル及び塗布装置について、好ましい実施形態を示して説明したが、本発明に係る塗布ノズル及び塗布装置は、上述した実施形態にのみ限定されるものではなく、本発明の範囲で種々の変更実施が可能であることは言うまでもない。
例えば、塗布ノズル１は、各ノズル部材２，３の両方に、溝２４を形成し、両方の溝２４に調整手段４を配設した構成としてあるが、この構成に限定されるものではなく、たとえば、一方のノズル部材２にだけ、溝２４を形成して、調整手段４を配設する構成としてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００３５】
以上説明したように、本発明の塗布ノズル及び塗布装置は、カラーレジストを塗布する場合に限定されるものではなく、様々な塗布液に対しても、有効に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】図１は、本発明の一実施形態にかかる塗布ノズルの要部の概略図であり、（ａ）は正面図を、（ｂ）は下面図を、（ｃ）は右側面図を示している。
【図２】図２は、それぞれ本発明の一実施形態にかかる塗布ノズルの要部の概略正面拡大図を示している。
【図３】図３は、それぞれ本発明の一実施形態にかかる塗布ノズルの要部の概略下面拡大図を示している。
【図４】図４は、それぞれ本発明の一実施形態にかかる塗布ノズルの要部の概略右側面拡大図を示している。
【図５】図５は、本発明の一実施形態にかかる塗布ノズルの、勾配キーの概略拡大図であり、（ａ）は正面図を、（ｂ）は平面図を示している。
【図６】図６は、本発明の一実施形態にかかる塗布ノズルの、偏心ショルダーピンの概略拡大図であり、（ａ）は平面図を、（ｂ）は正面図を示している。
【図７】図７は、本発明の一実施形態にかかる塗布ノズルの、塗布口の開口幅の調整手順を説明するための概略拡大図であり、（ａ）は調整前の下面図を、（ｂ）は調整後の下面図を示している。
【符号の説明】
【００３７】
１  塗布ノズル
２  正面側ノズル部材
３  背面側ノズル部材
４  調整手段
１１  供給管
１２  塗布口
２０  塗布流路
２１  供給孔
２２  液溜り
２３  塗布流路面
２４  溝
２５  先端部
２６  嵌入穴
２７  雌ねじ
２８  ボルト
４１，４２  勾配キー
４３，４４  偏心ショルダーピン
４５  ボルト
４１１  テーパ面
４１２  被押圧面
４１３  押圧面
４３１  嵌入部
４３２  ボルト孔
４３３  押圧部
４３４  収納穴
４３５  係止溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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