(57)【要約】【課題】可動子を揺動させる駆動部の配置された側の可動子の面を利用できる様にした揺動装置を提供することである。【解決手段】揺動装置は、支持部105と、振動部101、102、103、104と、振動部を駆動する駆動部120を備える。振動部は、永久磁石111を持つ可動子101を含む少なくとも1つの可動子101、102を有する。可動子101、102は、支持部105に対して揺動可能に支持される。駆動部は、永久磁石111と、永久磁石111に対して配置された磁性体109と、磁性体109の周りに配置されたコイル110を含む。磁性体109を周回するコイル110の内側の空間には、少なくとも1つの可動子102の面を外部に露出させるための開口部150が設けられている。【選択図】図1
2008070398.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持部と、振動部と、振動部を駆動する駆動部を備え、
振動部は、永久磁石を有する可動子を含む少なくとも1つの可動子を含み、
可動子は、支持部に対して揺動可能に支持され、
駆動部は、前記永久磁石と、該永久磁石に対して配置された磁性体と、磁性体の周りに配置されたコイルを含み、
磁性体を周回するコイルの内側の空間には、少なくとも1つの可動子の面を外部に露出させるための開口部が設けられていることを特徴とする揺動装置。
【請求項２】
前記振動部は、単一のねじり軸を中心にねじり振動する第1可動子と第2可動子を有すると共に、第1可動子と第2可動子を直列に連結する一直線上に配置された複数の第1ねじりバネと複数の第2ねじりバネを有し、
第2可動子は、第2可動子を挟んで対向した複数の第2ねじりバネで第1可動子に支持され、
第1可動子は、第2可動子を挟んで対向した位置に2つの永久磁石が設けられると共に、第1可動子を挟んで対向した複数の第1ねじりバネで支持部に支持され、
前記駆動部は、前記開口部を挟んで配置された2つの第1磁性体と、2つの第1磁性体の周りに配置されたコイルと、前記2つの永久磁石を有し、
2つの第1磁性体は、2つの永久磁石に対向してその近傍に夫々1つずつ配置されていることを特徴とする請求項1記載の揺動装置。
【請求項３】
前記第1可動子は、1つ有し、前記第2可動子を取り囲む様に形成されていることを特徴とする請求項2に記載の揺動装置。
【請求項４】
前記第1可動子は、2つ有し、前記第2可動子を挟んで対向した位置に夫々配置されていることを特徴とする請求項2に記載の揺動装置。
【請求項５】
前記駆動部は、前記第1磁性体と前記コイルと前記第1可動子と前記永久磁石との周りを周回し、かつ、前記第1磁性体と連結された第2磁性体を有することを特徴とする請求項2乃至4のいずれかに記載の揺動装置。
【請求項６】
前記開口部を通して光を前記可動子ないし第2可動子の面に当て、その反射光を光検出器で受光することで該前記可動子ないし第2可動子の動作状態を検出する動作状態検出手段を有することを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の揺動装置。
【請求項７】
請求項1乃至6のいずれかに記載の揺動装置を用いて光を偏向走査する光偏向装置であって、前記可動子ないし第2可動子に入射光を反射させる反射面が設けられていることを特徴とする光偏向装置。
【請求項８】
光源と、請求項7に記載の光偏向装置と、感光体とを有し、
光源からの光が前記反射面により偏向され、その偏向された光の少なくとも一部が感光体上に照射される様に、光源、光偏向装置、感光体が配置されていることを特徴とする画像形成装置。
【請求項９】
請求項1乃至8のいずれかに記載の揺動装置の振動部の周波数調整方法であって、前記開口部を通して前記可動子ないし第2可動子にレーザ光を照射してレーザ加工を行うことを特徴とする周波数調整方法。
【請求項１０】
請求項9に記載の周波数調整方法を実行する周波数調整装置であって、
レーザ加工用光源を有し、
前記開口部を通してレーザ加工用光源からの光を前記可動子ないし第2可動子に照射し、該可動子ないし第2可動子の質量を変化させることで前記振動部の固有振動モードを調整することを特徴とする周波数調整装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、揺動可能な可動子を有する揺動装置、その周波数調整方法及び装置に関する。更には、その様な揺動装置を有する光偏向装置、及びそれを用いた画像形成装置に関する。この光偏向装置は、例えば、光の偏向走査によって画像を投影するプロジェクションディスプレイや、電子写真プロセスを有するレーザービームプリンタ、デジタル複写機等の画像形成装置に好適なものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ねじり軸を中心にねじり振動する可動子を有する揺動装置が提案されている。この揺動装置の応用例の1つとして光偏向装置がある。この様な光偏向装置をレーザービームプリンタに利用した例が提案されている（特許文献1参照）。
【０００３】
図8は、特許文献1に開示された光偏向器を示す概略図である。図8の光走査装置において、コア6に巻回してなるコイル7にパルス電流発生器9を接続して磁界発生手段を構成し、この磁界発生手段により形成される磁界の作用により小磁石3及びその小磁石3に固定された鏡面3ａを振動させる。そして、光源より発せられる光ビーム10を鏡面3ａに入射させることにより、鏡面3ａの振動に基づいて光ビーム10を走査する。この光走査装置は、ハウジング1に対して小磁石3を支持すると共に、小磁石3の振動の支点となるために、形状記憶合金からなるトーションバネ5を有している。
【０００４】
磁界発生手段により磁界が発生すると、この磁界は小磁石3にトーションバネ5を中心としたトルクを与える。一方、形状記憶合金からなるトーションバネ5より復元力を受けるので、周期的な磁界が加えられることで鏡面3ａを振動させられる。特に、そのトーションバネ5及び小磁石3からなる振動系の機械的固有振動数と、発生する磁界の周波数とが一致した場合には共振が起こり、その振幅を最大にする。そして、小磁石3の表面には鏡面3ａが固定されているので、鏡面3ａに入射された光ビーム10は反射されて、振動の軸であるトーションバネ5と直交する方向に光ビーム10が走査される。
【特許文献１】特開平9−138366号公報（第6頁、図1）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、この構成では、小磁石3の鏡面3ａが固定されている裏面側にはコア6が配置されており、小磁石3の裏面を利用することができない。一方、コア6と小磁石3の間隔を大きくして小磁石3の裏面を利用できる様にすると、コイル7から発生する磁界が小磁石3に与える力が小さくなり、効率的に振動させることができない。
【０００６】
更に、鏡面3ａは光を偏向するものであり、鏡面3ａの平坦性は維持しなければならない。しかし、鏡面3ａは小磁石3に固定されているため、鏡面3ａの平坦性を維持するのは容易ではない。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題に鑑み、本発明の揺動装置は、支持部と、振動部と、振動部を駆動する駆動部を備える。そして、振動部は、永久磁石を有する可動子を含む少なくとも1つの可動子を含み、可動子は、支持部に対して揺動可能に支持され、駆動部は、前記永久磁石と、該永久磁石に対して配置された磁性体と、磁性体の周りに配置されたコイルを含む。更に、磁性体を周回するコイルの内側の空間には、少なくとも1つの可動子の面を外部に露出させるための開口部が設けられている。
【０００８】
また、上記課題に鑑み、本発明の光偏向装置は、上記揺動装置を用いて光を偏向走査する光偏向装置であって、1つの可動子に入射光を反射させる反射面が設けられている。
【０００９】
また、上記課題に鑑み、本発明の画像形成装置は、光源と、上記光偏向装置と、感光体とを有し、光源からの光が前記反射面により偏向され、その偏向された光の少なくとも一部が感光体上に照射される様に、光源、光偏向装置、感光体が配置されている。
【００１０】
また、上記課題に鑑み、本発明の周波数調整方法は、上記揺動装置の振動部の周波数調整方法であって、前記開口部を通して少なくとも1つの可動子にレーザ光を照射してレーザ加工を行う。
【００１１】
また、上記課題に鑑み、本発明の周波数調整装置は、上記周波数調整方法を実行する周波数調整装置である。そして、レーザ加工用光源を有し、前記開口部を通してレーザ加工用光源からの光を少なくとも1つの可動子に照射し、該可動子の質量を変化させることで前記振動部の固有振動モードを調整する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、開口部ないし縦穴部から少なくとも1つの可動子の面が外部に露出しているため、該可動子の面に光を入射できる。従って、この開口部を、例えば、可動子の振動角度検出や、該可動子を含む振動部の周波数調整のために利用できることになる。この点、上記従来例では、可動子に形成された磁石に磁場を集中させる様に可動子の下面にコイルが巻かれたコアが配置されているため、可動子の下面を利用できなく、可動子下面のコイルが存在する側から光を入射させるのは困難であった。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の具体的な実施の形態を明らかにすべく、実施例を説明する。
【００１４】
（実施例1）
図1乃至図3を用いて、本発明の実施例1による揺動装置を説明する。図1（ａ）は本実施例の揺動装置の斜視図であり、図1（ｂ）、（ｃ）はその断面図である。図1に示す如く、本実施例の揺動装置は、2つの可動子101、102と、2つの可動子101、102を直列に連結する一直線（ねじり軸108）上に配置された2種類のねじりバネ103、104を有する。2つの可動子は、中央部に形成され反射面を有した第2可動子102と、反射面を囲む様に配置された外枠部である第1可動子101である。2つの可動子101、102と2種類のねじりバネ103、104は振動部を構成する。
【００１５】
より詳細には、図1（ａ）に示す如く、反射面を有する第2可動子102は、2本の第2ねじりバネ104で支持されている。第1可動子101は、その内側で2本の第2ねじりバネ104を支持しており、その外側において2本の第1ねじりバネ103で支持されている。支持部である支持基板105は、その内側で2本の第1ねじりバネ103を支持している。支持基板105はプレート部材（図示しない）に接着されている。また、第1可動子101において、第2可動子102を挟んで対向した位置に2つの永久磁石111が接着されている。
【００１６】
図1（ｂ）、（ｃ）を用いて、第2可動子102を駆動させる駆動手段すなわち振動部を駆動する駆動部を説明する。図1（ｂ）は、図1（ａ）の平面107で切断した断面を示している。平面107は、ねじり軸108に垂直で、第1可動子101に交差する平面である。図1（ｃ）は、ねじり軸108を通り、静止時の第2可動子102の面と垂直に交差する面で切断した断面を示している。
【００１７】
上記構成において、第2可動子102の下面には光反射膜が接着されている。この光反射膜の使用法については後述する。第2可動子102の上面にも光反射膜が接着されていてもよい。この上面光反射膜は、典型的には、入射光を偏向走査するのに用いられる。第1可動子101の下面の第2可動子102を挟んで対向した位置には、永久磁石111が1つずつ接着されている。ここで、第1可動子101の上面にも永久磁石111が1つずつ接着されていてもよい。更に、2つの永久磁石111の下部には、透磁率の高い材料で作成された磁性体ないし第1磁性体であるコア109が夫々1つずつ配置され、2つのコア109の周囲にはコイル110が周回されている。コア109と上記プレート部材は、固定台（図示しない）に接着されている。永久磁石111、コイル110、コア109は、駆動部である電磁アクチュエータ120を構成している。そして、コイル110に電流を流すと、永久磁石111にトルクが作用し、第1可動子101及び第2可動子102をねじり軸108の回りで振動させる。ここで、2つのコア109は間隔を空けて並んでおり、それらの周りにコイル110が周回されている。この間隔が、第2可動子102の下面を外部に露出させるための開口部150を形成している。こうした開口部150が確保されているのであれば、2つのコア109は、例えば、その側部で繋がっていてもよい。
【００１８】
2つのコア109間には上記間隔が空いているが、2つのコア109が存在するため、コイル110が発生する磁場の漏れを抑え、2つの永久磁石111に磁場を効果的に与えることができる。また、単一のコイル110により発生する大きな磁場を2つの永久磁石111に均等に与えることができる。本実施例の構成では、第1可動子101は第2可動子102と比べると、ねじり軸108の回りのねじり振動角が小さいため、第1可動子101をコア109に近づけることができる。それにより、2つの可動子101、102を含む揺動体を効率良く駆動させることができる。この際、第1可動子101をコア109に近づけても、開口部150が形成されているので、第2可動子102の裏面を外部に露出させる構造は維持できる。更に、本実施例では、永久磁石111を第2可動子102に設けていないので、それに接着された光反射膜の平坦性を、より良好に担保することができる。
【００１９】
上記構成の揺動装置の駆動原理の一例を説明する。本揺動装置の揺動体ないし振動部は、ねじり軸108を中心としたねじり振動について、基準周波数となる周波数ｆ0の1次の固有振動モードと、基準周波数の略2倍の周波数となる2次の固有振動モードを有する2自由度振動系として扱うことができる。図1に示すコイル110を含む電磁アクチュエータ120は、この1次の固有振動モードの周波数と、これに対して同位相で略2倍の周波数の2つの周波数で揺動体を駆動することができる。
【００２０】
この駆動の様子を詳しく説明する。図3（ａ）は、横軸を時間ｔとして、第2可動子102の周波数ｆ0のねじり振動の変位角を説明する図である。本明細書においては、可動子の往復振動の変位角と、揺動装置を用いた光偏向装置によって偏向走査される光の変位角とは定数分が異なるのみであるので、等価的に扱う。図3（ａ）は、特に第2可動子105のねじり振動の1周期Ｔ0に相当する部分を示している（−Ｔ0／2＜Ｘ＜Ｔ0／2）。
【００２１】
曲線61は、コイル110を駆動する駆動信号のうち、基準周波数ｆ0の成分を示しており、最大振幅±φ1の範囲で往復振動し、時間ｔ、角周波数ｗ0＝2πｆ0として、次の式1で表される正弦振動である。
θ1＝φ1sin[ｗ0ｔ]          （式1）
【００２２】
一方、曲線62は、基準周波数ｆ0の2倍の周波数成分を示しており、最大振幅±φ2の範囲で振動し、次の式2で表される正弦振動である。
θ2＝φ2sin[2ｗ0ｔ]          （式2）
【００２３】
曲線63は、この様な駆動の結果生じる第2可動子102のねじり振動の変位角を示している。光偏向装置は、前述の様に基準周波数ｆ0とその2倍の2ｆ0付近に夫々調整された周波数ｆ1の固有振動モードと周波数ｆ2の2次の固有振動モードをねじり軸108中心のねじり振動について有している。そのため、光偏向装置には、上記θ1、θ2の駆動信号に励起された共振が夫々生じる。つまり、曲線63の第2可動子102の変位角は、2つの正弦振動の重ね合わせの振動となり、次の式3で表される鋸波状の振動となる。
θ＝θ1＋θ2＝φ1sin[ｗ0ｔ]＋φ2sin[2ｗ0ｔ]          （式3）
【００２４】
図3（ｂ）は、図3（ａ）の曲線61、63、直線64を微分した曲線61ａ、63ａ、直線64ａを示しており、これらの曲線の角速度を説明している。基準周波数ｆ0の正弦振動の角速度である曲線61ａと比べ、第2可動子102の鋸波状の往復振動の角速度を示す曲線63ａは、区間Ｎ−Ｎ’において、極大点の角速度Ｖ1、極小点の角速度Ｖ2を最大・最小とする範囲に角速度が収まっている。従って、揺動装置を利用した光偏向器による光の偏向走査を利用する応用において、等角速度走査である直線64ａからの角速度の許容誤差以内にＶ1、Ｖ2が存在するならば、区間Ｎ−Ｎ’は実質的な等角度走査とみなすことができる。この様に、鋸波状の往復振動によって、偏向走査の角速度は、変位角が正弦波であったときと比べ、実質的な等角速度となる領域を広く設定できるため、偏向走査の全域に対する利用可能な領域を大きくできる。
【００２５】
上記説明では、特に2つの固有振動モードの周波数が略2倍の関係を説明したが、これを略3倍にした場合は、重ね合わせの振動の形状は略三角波となる。この場合、偏向走査の往復で略等角速度の領域が現れるため、往復で等角速度を利用する応用に特に好適となる。
【００２６】
次に、第2可動子102の動作状態を検出する手段について説明する。図2は、本実施例の動作状態検出手段を説明する図である。図2は、図1（ｃ）と同様な面で切断した断面を示している。レーザ光源201から出射されたレーザ光203は、レンズ202を通り、光反射膜が接着された第2可動子102の下面に照射されてここで反射される。そして、反射されたレーザ光203は、光検出器204に入射する。ここでは、光検出器204からの出力信号を検波して得られた信号を用いて、第2可動子102のねじり振動における角度、角速度、角加速度、振幅のいずれかを検知する。
【００２７】
この様に、第2可動子102の下面を外部に露出させるための開口部150を備える本実施例の揺動装置では、従来の揺動装置ではできなかった揺動体の下面の利用を行うことができる。それにより、振動部のねじり振動における角度、角速度、角加速度、振幅などを検知することができる。そして、この検知結果に基づいて電磁アクチュエータをフィードバック制御して第2可動子の往復振動の周波数などを調整することができる。また、後述する実施例で説明する様な振動部の加工調整を行うこともできる。
【００２８】
以上の様に、本実施例によれば、開口部ないし縦穴部から第2可動子が露出しているため、第2可動子の下面に光を入射でき、第2可動子の角度検出や周波数調整などに利用できる。また、本実施例の揺動装置を用いた光偏向器では、反射面を有する第2可動子には磁石が形成されておらず、反射面の平坦性も良好に維持できる。
【００２９】
（実施例2）
実施例2の揺動装置を説明する。図4（ａ）は実施例2の構成を示す斜視図であり、図4（ｂ）は第2可動子402を駆動させる駆動手段ないし駆動部を説明するための断面図である。図4（ｂ）は、図4（ａ）の平面407で切断した断面を示している。平面407は、ねじり軸408に垂直で、第1可動子401に交差する平面である。
【００３０】
本実施例において、第2可動子402は、2本の第2ねじりバネ404でねじり軸408の回りで振動可能に支持されている。2つの第1可動子401は、夫々、その内側で2本の第2ねじりバネ404を支持し、その外側で2本の第1ねじりバネ403で支持されている。支持基板405は、その内側で2本の第1ねじりバネ403を支持している。支持基板405はプレート部材（図示しない）に接着されている。また、各第1可動子401において、永久磁石410が接着されている。更に、第2可動子402の下面には光反射膜が接着されている。第2可動子102の上面にも光反射膜が接着されていてもよい。
【００３１】
図4（ｂ）に示す様に、2つの第1可動子401の下面において、第2可動子402を挟んで対向した位置に永久磁石411が1つずつ接着されている。ここで、第1可動子401の上面にも永久磁石411が1つずつ接着されていてもよい。また、2つの永久磁石411の下方には、透磁率の高い材料で作成された2つのコア409が開口部450を挟んで配置され、コア409の周囲にはコイル410が周回されている。更に、第2磁性体である第1ヨーク412と第2ヨーク413が、コイル410の周囲を磁路に沿って配置されている。第1ヨーク412は、コア409と上記プレート部材に接着されている。また、第1ヨーク412は、その上端部で第2ヨーク413に接着されている。永久磁石411、コイル410、コア409、第1ヨーク412、第2ヨーク413は、電磁アクチュエータ420を構成しており、コイル410に電流を流すと、永久磁石411にトルクが作用し、第1可動子401及び第2可動子402を振動させる。本実施例において、その他の点は実施例1と同じである。
【００３２】
本実施例では、以上の様に、コイル410により発生する磁場の流れ（磁路）に沿って、第1ヨーク412及び第2ヨーク413を配置することで、より効率的に永久磁石411に磁場を集中させることができる。それにより、第1可動子401と第2可動子402を含む振動部をねじり振動させるために必要なトルクを得るために流す電流が比較的抑えられる。
【００３３】
また、本実施例では、図4に示す様に、第2可動子402の下面を利用可能とするために、1つのコイル410が巻かれている2つのコア409に第1ヨーク412が夫々間隔を置いて連結され、2つの第1ヨーク412に2つの第2ヨーク413が夫々連結されている。こうして、第1磁性体と第2磁性体から成る2組の磁性体構造が存在する。しかし、永久磁石411に磁場が集中する様にこれら2つのコア409を正確に配置するのは容易ではない。従って、図5に示す如く、第2可動子402の下面を利用できる様にする開口部550は確保しつつ、2組の磁性体構造の一部を連結する構造とすることは有効である。図5において、開口部550を挟んで配置された2つのコア509を周回するコイルと振動部は省略してある。この様に、2つの第1ヨーク512及び第2ヨーク513の一部を連結することにより、コア509と第1可動子401上の永久磁石411とのアライメント精度を容易に向上させることができる。
【００３４】
（実施例3）
実施例3を説明する。図6は本実施例の具体的な構成を示す斜視図である。ここでの揺動装置の構成は基本的に実施例1と同じである。すなわち、揺動装置は、2つの可動子601、602と、2つの可動子601、602を直列に連結する一直線上に配置された2種類のねじりバネ603、604を有する。そして、第1ねじりバネ603は支持基板605で支持され、振動部の下方に、開口部650を挟んで配置されたコア609と、それを周回するコイル610が配置されている。
【００３５】
図6において、レーザ光源611から出射されたレーザ光612は、集光レンズ613を通り、静止時の第2可動子602の下面に集光させられる。集光したレーザ光により、第2可動子602はレーザ加工され、その質量を減少ないし調整することができる。それにより、例えば、振動部の基準周波数（1次の固有振動モード）或いは2次の固有振動モードのどちらかを主に変化させて、ねじりの固有振動モードを所望の周波数比に維持することができる。こうして、例えば、振動部を作製した際の形状のばらつきを調整したり、温度変化などの環境変化により変化する複数のねじり固有振動モードを所望の周波数比に維持したりすることができる。
【００３６】
ところで、本発明の揺動装置の特徴は、駆動部が、永久磁石と、これに対する磁性体と、磁性体を周回するコイルを含み、コイルの内側の空間に、少なくとも1つの可動子の面を外部に露出させる開口部が設けられることにある。従って、上記実施例は、あくまで例示であり、振動部の可動子の数、可動子の形態や揺動態様、駆動部の磁性体の形態などは種々に変更可能である。例えば、可動子の数は1つであってもよいし、実施例1の如く入れ子式に設けられる可動子が3つ以上あってもよい。また、可動子の揺動態様も、ねじり軸の回りのねじり振動に限られず、例えば、カンチレバー形態の可動子が、その端部の撓み変形を利用してフラップ式に振動する様な態様も可能である。
【００３７】
（実施例4）
図7は、本発明の揺動装置を用いた光偏向装置を利用した実施例4による画像形成装置の基本的な構成を示す斜視図である。図7において、1001はレーザ光源であり、1002はレンズであり、1005は書き込みレンズであり、1006はドラム状感光体である。書き込みレンズ1005とレンズ1002の間には、光偏向器1004が配置されている。光偏向器1004としては、上記実施例1、2に示された揺動装置を使用することができる。また、上記実施例3に示された揺動装置の周波数調整方法を使用することもできる。
【００３８】
本実施例の画像形成装置は、光偏向器1004によりドラム状感光体1006の回転中心10Ａと平行な1次元方向に光を走査する光スキャナ装置として機能する。すなわち、レーザ光源1001から出射されたレーザ光1003は、レンズ1002を通り、光偏向器1004により1次元的に走査される。一方、ドラム状感光体1006は回転中心10Ａの回りで等速回転している。そして、ドラム状感光体1006は図示しない帯電器により表面が一様に帯電されている。従って、光偏向器1004による走査とドラム状感光体1006の回転とに基づき、ドラム状感光体1006の表面に光のパターンが形成され、こうして、ドラム状感光体1006の表面に静電潜像が形成される。更に、図示しない現像器により、ドラム状感光体1006の表面の静電潜像に対応したパターンのトナー像が形成される。これを図示しない用紙に転写・定着することで可視画像を形成することができる。
【００３９】
この様に、本発明の揺動装置を用いた光偏向装置を利用した画像形成装置では、光偏向器1004中の反射面を有する1つの可動子（図示しない）によって光を偏向する。よって、回転多面鏡を利用する構成で生じる面倒れは生じず、面倒れ補正系を必要としない光偏向装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の実施例1の揺動装置を説明する図である。
【図２】実施例1の揺動装置の角度検出手段を説明する図である。
【図３】（ａ）は実施例1の揺動体のねじり振動時の変位角を示す図であり、（ｂ）は実施例1の揺動体のねじり振動時の角速度を示す図である。
【図４】本発明の実施例2の揺動装置を説明する図である。
【図５】実施例2の揺動装置のコアを含む磁性体の変形例を説明する図である。
【図６】本発明の実施例3の構成と揺動体の周波数調整方法を説明する図である。
【図７】本発明の実施例4の画像形成装置を説明する図である。
【図８】従来例の光偏向装置を示す図である。
【符号の説明】
【００４１】
101、401、601  振動部（第1可動子）
102、402、602  振動部（少なくとも1つの可動子、第2可動子）
103、403、603  振動部（第1ねじりバネ）
104、404、604  振動部（第2ねじりバネ）
105、405、605  支持部（支持基板）
108、408  ねじり軸
109、409、509、609  磁性体（第1磁性体、コア）
110、410、610  駆動部（コイル）
111、411  駆動部（永久磁石）
120、420  駆動部（電磁アクチュエータ）
150、450、550、650  開口部（縦穴部）
201  レーザ光源
203  レーザ光
204  光検出器
412、512  第2磁性体（第1ヨーク）
413、513  第2磁性体（第2ヨーク）
611  レーザ加工用光源（レーザ光源）
612  レーザ光
1001  光源（レーザ光源）
1003  光（レーザ光）
1004  光偏向装置（光偏向器）
1006  感光体（ドラム状感光体）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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