(57)【要約】      （修正有）【課題】カラーフィルタの製造工程内において、マスクのセット間違えおよび処理基板の取り違えを防止できるようにする、マスクの照合方法及びマスク照合システムを提供する。【解決手段】製造使用マスクを指示する製造指示情報管理記憶装置１と、二次元コードを付与したマスクと、二次元コードを付与した処理基板と、二次元コードを読み取ることを特徴とする読み取り機５と、読み取られた二次元コード情報と、指示された製造指示情報を照合することを特徴とする処理装置２から構成されており、製造指示情報の照合を装置で行う事が出来るため、確認の誤りによる製造を防止することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
カラーフィルタ製造の露光工程におけるマスク照合方法において、所定のカラーフィルタの製造指示に基づき、情報記憶媒体から使用するマスク情報を出力する使用マスク情報出力段階と、その出力情報を通信ネットワークを介して通信し、処理装置に記憶する使用マスク情報記憶段階と、識別コード読み取り装置によってセットしたマスクの識別コードを取得するマスク識別コード情報取得段階と、前記マスク識別コード情報を前記処理装置に出力するマスク識別コード情報出力段階と、前記処理装置において前記使用マスク情報と前記マスク識別コード情報を照合するマスク照合段階と、識別コード読み取り装置によって基板の識別コードを取得する基板識別コード情報取得段階と、前記基板識別コード情報を前記処理装置に出力する基板情報出力段階と、前記処理装置において前記使用基板情報と前記使用マスク情報を照合する基板照合段階を含むことを特徴とするマスク照合方法。
【請求項２】
前記マスク照合段階で、前記マスク識別コード情報が前記使用マスク情報に対して異常であると判定された場合、または、前記基板照合段階で、前記基板識別コード情報が前記使用マスク情報に対して異常であると判定された場合には、作業者に対して照合異常通知を行う事を特徴とする請求項１に記載のマスク照合方法。
【請求項３】
前記マスク照合段階および前記基板照合段階での照合結果を、前記通信ネットワークを介して通信し、前記情報記憶媒体に出力することを特徴とする請求項１または２に記載のマスク照合方法。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載のマスク照合方法によりマスクの照合を行うマスク照合システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタの露光工程において、マスクのセット間違えおよび処理基板の取り違えを防止できるようにする、マスクの照合方法及びマスク照合システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えばカラーフィルタ製造工程においては、所望のパターンを基板に転写させる為にマスクが使用されている。
【０００３】
露光工程においては、まず使用指示を受けた所定の遮光パターンを有する露光用マスクを露光機にセットし基板に対しパターン露光を行う。
【０００４】
セットしたマスクが、使用指示されたものと同一であるかの確認は、作業者が目視確認により照合することで行っており、それにより露光工程での誤作業を防止している。
【０００５】
しかしながら、前記確認は作業員による目視作業であるため、確認ミスが発生することがあり、また確認を忘れてしまうこともあり、その結果、製造指示と異なったまま製造を開始してしまう問題点があった。
【０００６】
使用指示されたマスクと異なるマスクで製造をすることは、当然のことながら不良製品を製造することとなり、時間、資材ともに多大な無駄を発生させることとなる。結果として製造コストの上昇に繋がってしまっていた。
【０００７】
一方、マスクのパターンを転写する処理基板についても、作業者の手動運用における基板の取り違えやロット中に異なる種類の基板が混入することがあり、当然のことながら不良製造の発生要因となっていた。
【０００８】
処理基板一枚一枚の目視確認は運用的には難しく、混載確認をするための基板の自動チェック方法が望まれていた。更に、使用指示されたマスクと、実際にセットされているマスクと、処理基板の組み合わせが製造指示の通りかどうかをチェックする方法が必要とされていた。
【０００９】
一方、近年では多品種少量生産や短納期化が進み、客先からの受注情報を迅速に生産に反映するニーズが高まっている。その為、生産日程作成も生産工場内で行うのでなく、より営業部門に近い部署で行う必要が出てきている。
【００１０】
それにより、生産日程計画に関わる情報を生産工場から離れた場所で入力し、その情報に基づき生産工場が適宜生産に関わる資材を選択し、生産を実行する仕組みへの対応が望まれている。同時に、工場側の稼動状況や、生産品目の情報をより直接的に生産工場から離れた部門でも知りたいというニーズも高まってきている。
【００１１】
特許文献１には、フォトマスクにバーコードを設け、そのバーコードを読み取ることでフォトマスクを間違える誤作業を防ぐようにしたフォトマスクの提案がされている。しかしその作業は単に工程内での誤作業の防止に留まり、それらの情報を関連の他部門と共有化されることは示されていない。
【００１２】
【特許文献１】特開平５−３１３３５０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、製造指示情報に基づくマスク情報を通信ネットワークを介して通信し、そのマスク情報と、マスクを装置にセットする際にマスクに付与されている例えば二次元コードなどのマスク識別コードを読み取って、両者を自動的に照合をかけ、かつ処理基板に付与されている例えば二次元コードなどの基板識別コードを読み取って処理基板に対する使用マスクの照合をかけることで、作業者の作業工数の削減を図るとともに、作業者の誤作業をなくしてマスクのセット間違いおよび基板の取り違えを防止し、同時に実際に使われるマスク情報を通信ネットワークで直接的に把握できるマスク照合方法及び照合システムを提供することを目的とする。
【００１４】
また本発明では、照合が得られなかった場合に作業者に通知することで、製造の開始を禁止させ、製造指示と異なった誤作業をより確実に防止できるものとなる。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記の目的を達成するために、本発明では、以下のような手段を講じる。
【００１６】
すなわち、請求項１の発明は、カラーフィルタ製造の露光工程におけるマスク照合方法において、所定のカラーフィルタの製造指示に基づき、情報記憶媒体から使用するマスク情報を出力する使用マスク情報出力段階と、その出力情報を通信ネットワークを介して通信し処理装置に記憶する使用マスク情報記憶段階と、識別コード読み取り装置によってセットしたマスクの識別コードを取得するマスク識別コード情報取得段階と、前記マスク識別コード情報を前記処理装置に出力するマスク識別コード情報出力段階と、前記処理装置において前記使用マスク情報と前記マスク識別コード情報を照合するマスク照合段階と、識別コード読み取り装置によって基板の識別コードを取得する基板識別コード情報取得段階と、前記基板識別コード情報を処理装置に出力する基板識別コード情報出力段階と、前記処理装置において前記使用基板情報と前記使用マスク情報を照合する基板照合段階を含むことを特徴とするマスク照合方法である。
【００１７】
また請求項２の発明は、前記マスク照合段階で、前記マスク識別コード情報が前記使用マスク情報に対して異常であると判定された場合、または、前記基板照合段階で、前記基板識別コード情報が前記使用マスク情報に対して異常であると判定された場合には、作業者に対して照合異常通知を行う事を特徴とする請求項１に記載のマスク照合方法である。
【００１８】
また請求項３の発明は、前記マスク照合段階および前記基板照合段階での照合結果を、前記通信ネットワークを介して通信し、前記情報記憶媒体に出力することを特徴とする請求項１または２に記載のマスク照合方法である。
【００１９】
また請求項４の発明は、請求項１から３のいずれかに記載のマスク照合方法によりマスクの照合を行うマスク照合システムである。
【発明の効果】
【００２０】
本発明のマスク照合方法およびマスク照合システムによれば、生産に使用されるマスク情報が生産部門に通信を介して提供され、そのマスクが正しく使われているかの情報を生産部門からの遠隔の他部門でも確認ができる。また、マスクと処理基板に管理情報を記憶する識別コードを備え、しかもその管理情報を自動的に読み出し、使用すべきマスクと基板の組み合わせの照合が行える。このため、目視確認不足による不良品の製造を防止することが可能となる。
【００２１】
一方、作業者は照合結果が異常であった場合、異常の通知を受け取ることができる。これによって、作業者は、目視の確認ミスによる不良製造の進行を防止することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下に、本発明を実施するための最良の形態について図面を参照しながら説明する。
【００２３】
図１は、本発明に関わるマスク照合方法を適用したマスク照合システムが適用されるネットワーク構成を示す概念図である。
【００２４】
すなわち、本発明に係わるマスク照合方法を適用したマスク照合システムは、たとえばインターネット等の通信ネットワーク１０を介して製造指示情報管理データベース１およびマスク照合処理装置２に接続をし、識別コード読み取り装置５を備えている。
【００２５】
また図２および図３に示したように、マスク２０や処理基板２２は例えば二次元コードのようなマスク識別コード２１または基板識別コード２３を、それぞれ備えている。
【００２６】
露光工程において作業指示が出され、露光機にマスクをセットした後、製造が始まるま
での場合の例を図４に示すフローチャートで説明する。
【００２７】
所定のカラーフィルタの製造指示情報が選択されると、露光工程で使用されるマスクが決まり、そのなかの使用マスク指示（Ｓ１）に基づき、製造指示情報管理データベース１から使用マスク情報が選択、出力され、マスク照合処理装置２に送信される（Ｓ２）。
【００２８】
次に、作業者が露光機にマスクをセットする（Ｓ３）と、マスクに付与されている前記マスク識別コード２１を、読み取り装置５を用いて読み取り（Ｓ４）、マスク識別コード情報を検出する。そして、そのマスク識別コード情報をマスク照合処理装置２に送信する（Ｓ５）。
【００２９】
次に、マスク照合処理装置２では、このマスク識別コード情報と、使用マスク情報とが照合される。そして、照合の結果、照合が異常でない場合（Ｓ７：Ｎｏ）には、製造が許可され（Ｓ８）、異常と判定された場合（Ｓ７：Ｙｅｓ）には、製造は許可されず、作業者に異常報告がなされ（Ｓ９）、Ｓ３の処理に戻る。
【００３０】
図５のフローチャートを使って、マスクのセット終了後の動作を説明する。
【００３１】
露光処理段階において、処理基板が露光工程前まで進み（Ｓ１１）処理基板が露光機にセットされると（Ｓ１２）、処理基板に付与されている基板識別コードを、読み取り装置５を用いて読み取り（Ｓ１３）、基板識別コード情報を検出する。そしてその基板識別コード情報をマスク照合処理装置２に送信する（Ｓ１４）。
【００３２】
次に、マスク照合処理装置２では、この基板識別コード情報と、使用マスク情報とが照合される。そして、照合の結果、照合が異常でない場合（Ｓ１６：Ｎｏ）には、露光処理が開始され（Ｓ１７）、異常と判定された場合（Ｓ１６：Ｙｅｓ）には、製造は許可されず、作業者に異常報告がなされ（Ｓ１８）、処理基板の再確認と再セットが促される。
【００３３】
マスクおよび処理基板の照合結果は必要に応じて、通信ネットワーク１０を介して製造指示情報管理データベース１に転送することが可能である。またそのようにしておけば、コンピュータ端末６等で、参照でき、実際の工程で使用されたマスクおよび処理基板の情報や、製造の進捗具合を遠隔の場所からも確認することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明のマスク照合方法が適用されるネットワークシステム構成例を示す概念図。
【図２】マスク識別コード２１が備えられたマスク２０を示す斜視図。
【図３】基板識別コード２３が備えられた処理基板２２を示す斜視図。
【図４】製造指示が出てからマスクセット完了までの流れを示すフローチャート。
【図５】処理基板が投入され露光処理が開始されるまでの流れを示すフローチャート。
【符号の説明】
【００３５】
１・・・製造指示情報管理データベース
２・・・照合処理装置
５・・・識別コード読み取り装置
６・・・コンピュータ端末
１０，１１・・・通信ネットワーク
２０・・・マスク
２１・・・マスク識別コード
２２・・・基板
２３・・・基板識別コード
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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