(57)【要約】【課題】液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び画像形成装置の小型化を図る。【解決手段】インクプール室３８内のインクを圧力室５０へ供給するための流路である、インク供給用貫通口１１２及びインク供給用貫通口４４の内壁に接続配線８６を形成し、この接続配線８６によって、駆動ＩＣ６０が接続される金属配線９０と上部電極５４とを接続することで、上部電極５４と駆動ＩＣ６０とを電気的に接続させる。したがって、配線用貫通孔とインク流路を別々の孔部で形成する場合と比較して、天板４１に形成する孔部が少なくなるため、電気配線領域を広くでき、結果としてインクジェット記録ヘッド３２を小型化することができる。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電圧が印加されると変形する圧電素子が形成された振動板と、
前記圧電素子上に配置され、該圧電素子を変形させるための電気配線が配設された配線板と、
前記配線板を間において、前記圧電素子と反対側に設けられた液体貯留室と、
前記振動板を間において、前記配線板と反対側に設けられた圧力室と、
前記圧力室の液滴を吐出する吐出口と、
前記液体貯留室内の液体を前記圧力室に供給するインク供給口と、
前記配線板を貫通し、前記インク供給口を通して前記圧電素子と前記電気配線を電気的に接続する電気接続部と、
を有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
前記インク供給口の内壁に前記電気接続部が形成されたことを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
前記電気接続部が真空体積法で形成されたことを特徴とする請求項１又は２に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
前記電気配線及び前記電気接続部が保護膜で被覆されていることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
請求項１〜４の何れか１項に記載の液滴吐出ヘッドが、液滴を吐出可能な領域の幅方向に沿って複数配設されたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項６】
前記液滴がインクであり、記録媒体を搬送する搬送手段と、前記搬送手段で搬送された記録媒体にインクを吐出する請求項５に記載の液滴吐出装置と、を有することを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、液滴吐出ヘッドの一例としてのインクジェット記録ヘッドの複数のノズルから選択的にインク滴を吐出し、記録用紙等の記録媒体に画像（文字を含む）等を記録するインクジェット記録装置（液滴吐出装置）は知られている。このようなインクジェット記録装置のインクジェット記録ヘッドは、圧力室を構成する振動板を変位させることによって、その圧力室内に充填されているインクをノズルから吐出させるようになっており、振動板上には振動板を変位させるための圧電素子が形成されている。
【０００３】
この圧電素子を間において、圧力室の反対側にインク供給手段を設けている場合（特許文献１）、圧電素子が形成された基板にインク供給路を設けて、該インク供給手段と圧力室を繋げている。
【特許文献１】特許第３５２２１６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明では、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び画像形成装置の小型化を図ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、液滴吐出ヘッドにおいて、電圧が印加されると変形する圧電素子が形成された振動板と、前記圧電素子上に配置され、該圧電素子を変形させるための電気配線が配設された配線板と、前記配線板を間において、前記圧電素子と反対側に設けられた液体貯留室と、前記振動板を間において、前記配線板と反対側に設けられた圧力室と、前記圧力室の液滴を吐出する吐出口と、前記液体貯留室内の液体を前記圧力室に供給するインク供給口と、前記配線板を貫通し、前記インク供給口を通して前記圧電素子と前記電気配線を電気的に接続する電気接続部と、を有することを特徴とする。
【０００６】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記インク供給口の内壁に前記電気接続部が形成されたことを特徴とする。
【０００７】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記電気接続部が真空体積法で形成されたことを特徴とする。
【０００８】
請求項４に記載の発明は、請求項１〜３の何れか１項に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記電気配線及び前記電気接続部が保護膜で被覆されていることを特徴とする。
【０００９】
請求項５に記載の発明は、液滴吐出装置において、請求項１〜４の何れか１項に記載の液滴吐出ヘッドが、液滴を吐出可能な領域の幅方向に沿って複数配設されたことを特徴とする。
【００１０】
請求項６に記載の発明は、画像形成装置において、前記液滴がインクであり、記録媒体を搬送する搬送手段と、前記搬送手段で搬送された記録媒体にインクを吐出する請求項５に記載の液滴吐出装置と、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１に記載の発明によれば、電気配線の領域を小さくすることができ、液滴吐出ヘッドの小型化が可能となる。
【００１２】
請求項２に記載の発明によれば、インク供給口と共用でき、電気接続部の占有領域を小さくすることができる。
【００１３】
請求項３に記載の発明によれば、圧電素子が形成される圧電素子基板を形成する工程で電気接続部を形成することができる。
【００１４】
請求項４に記載の発明によれば、電気配線及び電気接続部の腐食を防止することができる。
【００１５】
請求項５に記載の発明によれば、液滴吐出装置の小型化が可能となる。
【００１６】
請求項６に記載の発明によれば、画像形成装置の小型化が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の最良な実施の形態について、図面に示す実施例を基に詳細に説明する。      
【００１８】
まず、液滴吐出ヘッドを備えたインクジェット記録装置１０を例に採って説明する。したがって、液体はインク１１０とし、液滴吐出ヘッドはインクジェット記録ヘッド３２として説明をする。そして、記録媒体は記録用紙Ｐとして説明をする。
【００１９】
インクジェット記録装置１０は、図１で示すように、記録用紙Ｐを送り出す用紙供給部１２と、記録用紙Ｐの姿勢を制御するレジ調整部１４と、インク滴を吐出して記録用紙Ｐに画像形成する記録ヘッド部１６及び記録ヘッド部１６のメンテナンスを行うメンテナンス部１８を備える記録部２０と、記録部２０で画像形成された記録用紙Ｐを排出する排出部２２とから基本的に構成されている。
【００２０】
用紙供給部１２は、記録用紙Ｐが積層されてストックされているストッカー２４と、ストッカー２４から１枚ずつ取り出してレジ調整部１４に搬送する搬送装置２６とから構成されている。レジ調整部１４は、ループ形成部２８と、記録用紙Ｐの姿勢を制御するガイド部材２９とを有しており、記録用紙Ｐは、この部分を通過することによって、そのコシを利用してスキューが矯正されるとともに、搬送タイミングが制御されて記録部２０に供給される。そして、排出部２２は、記録部２０で画像が形成された記録用紙Ｐを、排紙ベルト２３を介してトレイ２５に収納する。
【００２１】
記録ヘッド部１６とメンテナンス部１８の間には、記録用紙Ｐが搬送される用紙搬送路２７が構成されている（用紙搬送方向を矢印ＰＦで示す）。用紙搬送路２７は、スターホイール１７と搬送ロール１９とを有し、このスターホイール１７と搬送ロール１９とで記録用紙Ｐを挟持しつつ連続的に（停止することなく）搬送する。そして、この記録用紙Ｐに対して、記録ヘッド部１６からインク滴が吐出され、記録用紙Ｐに画像が形成される。
【００２２】
メンテナンス部１８は、インクジェット記録ユニット３０に対して対向配置されるメンテナンス装置２１を有しており、インクジェット記録ヘッド３２に対するキャッピングや、ワイピング、更には、予備吐出や吸引等の処理を行う。
【００２３】
図２で示すように、各インクジェット記録ユニット３０は、矢印ＰＦで示す用紙搬送方向と直交する方向に配置された支持部材３４を備えており、この支持部材３４に複数のインクジェット記録ヘッド３２が取り付けられている。インクジェット記録ヘッド３２には、マトリックス状に複数のノズル５６が形成されており、記録用紙Ｐの幅方向には、インクジェット記録ユニット３０全体として一定のピッチでノズル５６が並設されている。
【００２４】
そして、用紙搬送路２７を連続的に搬送される記録用紙Ｐに対し、ノズル５６からインク滴を吐出することで、記録用紙Ｐ上に画像が記録される。なお、インクジェット記録ユニット３０は、例えば、いわゆるフルカラーの画像を記録するために、イエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｋ）の各色に対応して、少なくとも４つ配置されている。
【００２５】
図３で示すように、それぞれのインクジェット記録ユニット３０のノズル５６による印字領域幅は、このインクジェット記録装置１０での画像記録が想定される記録用紙Ｐの用紙最大幅ＰＷよりも長くされており、インクジェット記録ユニット３０を紙幅方向に移動させることなく、記録用紙Ｐの全幅にわたる画像記録が可能とされている。つまり、このインクジェット記録ユニット３０は、シングルパス印字が可能なＦｕｌｌ  Ｗｉｄｔｈ  Ａｒｒａｙ（ＦＷＡ）となっている。
【００２６】
ここで、印字領域幅とは、記録用紙Ｐの両端から印字しないマージンを引いた記録領域のうち最大のものが基本となるが、一般的には印字対象となる用紙最大幅ＰＷよりも大きくとっている。これは、記録用紙Ｐが搬送方向に対して所定角度傾斜して（スキューして）搬送されるおそれがあるためと、縁無し印字の要望が高いためである。
【００２７】
以上のような構成のインクジェット記録装置１０において、次にインクジェット記録ヘッド３２について詳細に説明する。なお、図４はインクジェット記録ヘッド３２の全体構成を示す概略平面図であり、図５は図４のＸ−Ｘ線断面図である。また、図７（Ｂ）は、図４のＹ−Ｙ線の概略断面図であり、図７（Ａ）は（Ｂ）の平面図である。さらに、図８は、図７（Ｂ）に示す領域Ａの拡大図である。
【００２８】
（第１実施形態）
図４及び図５で示すように、このインクジェット記録ヘッド３２には、天板部材４０が配置されている。本実施形態では、天板部材４０を構成するガラス製の天板４１は板状で、かつ配線を有しており、インクジェット記録ヘッド３２全体の天板となっている。
【００２９】
天板部材４０には、耐インク性を有する材料で構成されたプール室部材３９が貼着されており、天板４１との間に、所定の形状及び容積を有するインクプール室３８が形成されている。プール室部材３９には、インクタンク（図示省略）と繋がるインク供給ポート３６が所定箇所に穿設されており、インク供給ポート３６から注入されたインク１１０は、インクプール室３８に貯留される。
【００３０】
また、天板部材４０には、駆動ＩＣ６０と、駆動ＩＣ６０に通電するための金属配線９０が設けられており、金属配線９０は、樹脂保護膜９２で被覆保護され、インク１１０による浸食が防止されるようになっている。なお、この金属配線９０にはフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）１００も接続される。
【００３１】
一方、駆動ＩＣ６０の下面には、図６で示すように、複数のバンプ６２がマトリックス状に所定高さ突設されており、天板４１上で、かつプール室部材３９よりも外側の金属配線９０にフリップチップ実装されるようになっている。なお、駆動ＩＣ６０の周囲は樹脂材５８で封止されている。
【００３２】
また、天板４１には、後述する圧力室５０と１対１で対応するインク供給用貫通口１１２が貫通しており、その内部が第１インク供給路１１４Ａとなっている。
【００３３】
一方、流路基板としてのシリコン基板７２には、インクプール室３８から供給されたインク１１０が充填される圧力室５０が形成されている。このシリコン基板７２の下部には、ＳＵＳで形成された連通路基板１２０が接着剤１２２を介して接合されている。
【００３４】
この連通路基板１２０には、圧力室５０と繋がる連通路１２４が形成されており、該連通路１２４は圧力室５０よりも狭い空間となるようにしている。そして、連通路基板１２０の下面に、連通路１２４と繋がるノズル５６が形成されたノズルプレート７４が貼着されている。
【００３５】
シリコン基板７２の上面には、圧電素子基板７０が形成されており、該圧電素子基板７０は振動板４８を有している。そして、この振動板４８が圧力室５０の１つの面を構成している。振動板４８は、Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ（ＣＶＤ）法で形成されたＳｉＯｘ膜であり、少なくとも上下方向に弾性を有し、後述する圧電素子４５に電圧が印加されると、上下方向に撓み変形する（変位する）構成になっている。なお、振動板４８は、Ｃｒ等の金属材料であっても差し支えはない。この振動板４８の振動によって、圧力室５０の容積を増減させて圧力波を発生させることで、圧力室５０及び連通路１２４を経て、ノズル５６からインク滴が吐出されるようになっている。
【００３６】
圧電素子４５は圧力室５０毎に振動板４８の上面に設けられており、撓み変形可能な圧電体４６を間に挟んで、上部電極５４と下部電極５２とで構成され、振動板４８側が下部電極５２となっている。そして、この下部電極５２が接地電位となる。
【００３７】
また、圧電素子４５（厳密には、上部電極５４）と天板４１との間には、空間１２６（空気層）が設けられており、圧電素子４５の駆動や振動板４８の振動に影響を与えないようにしている。
【００３８】
また、圧電素子４５の上には、隔壁樹脂層８２が積層されており、圧電素子基板７０と天板部材４０との間の空間を区画している。隔壁樹脂層８２には、天板４１のインク供給用貫通口１１２とシリコン基板７２の圧力室５０を繋げるインク供給用貫通口４４が貫通しており、その内部が第２インク供給路１１４Ｂとなっている。ここで、第２インク供給路１１４Ｂは、インク供給用貫通口１１２と圧力室５０を繋げる貫通孔であり、圧電素子４５及び振動板４８に形成された貫通孔も含む（図８参照）。
【００３９】
そして、この第２インク供給路１１４Ｂは、第１インク供給路１１４Ａの断面積よりも小さい断面積を有しており、インク供給路１１４全体での流路抵抗が所定の値になるように調整されている。つまり、第１インク供給路１１４Ａの断面積は、第２インク供給路１１４Ｂの断面積よりも充分に大きくされており、第２インク供給路１１４Ｂでの流路抵抗と比べて実質的に無視できる程度とされている。したがって、インクプール室３８から圧力室５０へのインク供給路１１４の流路抵抗は、第２インク供給路１１４Ｂで規定される。
【００４０】
ところで、図８に示すように、インク供給用貫通口１１２及びインク供給用貫通口４４の内壁の一部には、接続配線（電気接続部）８６を形成している。インク供給用貫通口４４において、上部電極５４の一部が隔壁樹脂層８２の内縁部から張り出している。そして、接続配線８６の一端側は、この張り出した上部電極５４の一部と接続し、他端側は金属配線９０と接続している。これにより、上部電極５４と駆動ＩＣ６０とが接続される。
【００４１】
そして、少なくともインク１１０が接する、インク供給用貫通口１１２、４４（圧電素子４５、振動板４８）、接続配線８６、圧力室５０等の表面は、保護膜としての低透水性絶縁膜（ＳｉＯｘ膜）８０で被覆保護している。低透水性絶縁膜（ＳｉＯｘ膜）８０は、水分透過性が低くなる条件で着膜するため、圧電素子４５の場合、水分が内部に侵入して信頼性不良となること（ＰＺＴ膜内の酸素を還元することにより生ずる圧電特性の劣化）を防止できる。また、接続配線８６等においては、インクによる腐食を防止する。ここで、保護膜として、ＳｉＯｘ膜８０を用いたが、これ以外にも、ＳｉＣ、ＳｉＣＮでも良い。
【００４２】
次に、インクジェット記録ヘッド３２を備えたインクジェット記録装置１０において、次に、その作用を説明する。
【００４３】
まず、図１に示すインクジェット記録装置１０に印刷を指令する電気信号が送られると、ストッカー２４から記録用紙Ｐが１枚ピックアップされ、搬送装置２６により搬送される。
【００４４】
一方、図５に示すインクジェット記録ユニット３０では、すでにインクタンクからインク供給ポートを介してインクジェット記録ヘッド３２のインクプール室３８にインク１１０が注入（充填）され、インクプール室３８に充填されたインク１１０は、インク供給路１１４を経て圧力室５０へ供給（充填）されている。そして、このとき、ノズル５６の先端（吐出口）では、インク１１０の表面が圧力室５０側に僅かに凹んだメニスカスが形成されている。
【００４５】
そして、記録用紙Ｐを搬送しながら、複数のノズル５６から選択的にインク滴を吐出することにより、記録用紙Ｐに、画像データに基づく画像の一部を記録する。すなわち、駆動ＩＣ６０により、所定のタイミングで、所定の圧電素子４５に電圧を印加し、振動板４８を上下方向に撓み変形させて（面外振動させて）、圧力室５０内のインク１１０を加圧し、所定のノズル５６からインク滴として吐出させる。
【００４６】
こうして、記録用紙Ｐに、画像データに基づく画像が完全に記録されたら、排紙ベルト２３により記録用紙Ｐをトレイ２５に排出する。これにより、記録用紙Ｐへの印刷処理（画像記録）が完了する。
【００４７】
ところで、図５に示すように、インクプール室３８と圧力室５０に挟まれて配置された天板４１及び隔壁樹脂層８２（振動板４８等も含む）には、インクプール室３８内のインクを圧力室５０へ供給するための流路を形成する必要がある。また、天板４１には、天板４１の上面に配設された駆動ＩＣ６０と、隔壁樹脂層８２の下部に位置する圧電素子４５とを電気的に接続させるため、天板４１及び隔壁樹脂層８２に電気配線用の貫通孔を形成する必要がある。
【００４８】
しかしながら、本実施形態では、図８に示すように、インクプール室３８内のインクを圧力室５０へ供給するための流路である、インク供給用貫通口１１２及びインク供給用貫通口４４（インク供給路１１４）の内壁の一部に接続配線８６を配設し、この接続配線８６を、駆動ＩＣ６０（図５参照）と接続する金属配線９０と上部電極５４に接続することで、前述した電気配線用の貫通孔は不要となる。
【００４９】
したがって、電気配線用の貫通孔とインク供給路を別々の孔で形成する場合と比較して、天板４１に形成する孔が少なくなるため、電気配線領域を広くでき、結果としてインクジェット記録ヘッド３２を小型化することができる。
【００５０】
なお、ここでは、インク供給用貫通口１１２及びインク供給用貫通口４４（インク供給路１１４）の内壁の一部に接続配線８６を形成し、該接続配線８６によって金属配線９０と上部電極５４とを接続させたが、金属配線９０と上部電極５４を電気的に接続することができれば良いため、これに限るものではない。
【００５１】
（第２実施形態）
次に、第２実施形態のインクジェット記録ヘッド３２について説明する。なお、以下において、第１実施形態のインクジェット記録ヘッド３２と同一の構成要素、部材等は同一符号を付して、その詳細な説明（作用を含む）を省略する。
【００５２】
本実施形態では、上部電極５４側を共通電極とする接地電位とし、下部電極５２側を個別電極となるようにする。具体的には、図９に示すように、上部電極５４が圧電体４６の内縁部よりも外側になるようにし、また、下部電極５２の一部が隔壁樹脂層８２及び圧電体４６の内縁部から張り出すようにしている。そして、この張り出した下部電極５２の一部に、金属配線９０と接続する接続配線８６を接続させる。
（第３実施形態）
次に、第３実施形態のインクジェット記録ヘッド３２について説明する。なお、以下において、第２実施形態のインクジェット記録ヘッド３２と同一の構成要素、部材等は同一符号を付して、その詳細な説明（作用を含む）を省略する。
【００５３】
本実施形態では、図１０に示すように、天板４１の下面側の、圧力室５０の周壁に対応する位置に突設部４１Ａを凸設させている。つまり、第２実施形態において設けていた隔壁樹脂層８２を用いない構成である。
【００５４】
したがって、接続配線８６は、天板４１（厳密には、圧電体４６も含む）の表面に沿って形成されることとなる。図９に示すように、接続配線８６を天板４１及び隔壁樹脂層８２の表面に配設した場合、隔壁樹脂層８２として用いられる樹脂膜の材料によっては、天板４１との間で、その熱膨張差により、接続配線８６が断線する怖れも生じるが、隔壁樹脂層８２を用いないことで、このような問題は生じない。
【００５５】
ところで、図１１（Ａ）〜（Ｃ）は、本実施形態で示した接続配線８６の製造方法の１例を示した図である。図１１（Ａ）は、圧電素子基板７０上に天板４１を形成後、圧電素子基板７０を保持するワーク（図示省略）を所定の角度（インク供給路１１４の影が下部電極５２の露出している部分に掛からない程度）に傾けて、該ワークを回転させながらスパッタ法により、接続配線８６及び金属配線９０を形成する方法である。
【００５６】
これにより、図１１（Ｂ）に示すように、接続配線８６を下部電極５２及び金属配線９０に確実に接続させる。そして、図１１（Ｃ）に示すように、スパッタ法によって形成した金属配線９０をパターニングし、その後、蒸着工程により接続配線８６及び金属配線９０の表面を低透水性絶縁膜（ＳｉＯｘ膜）で被覆する。
【００５７】
ところで、これらのインクジェット記録ヘッド３２は、インクプール室３８と圧力室５０の間に振動板４８（圧電素子４５）が配置され、インクプール室３８と圧力室５０が同一水平面上に存在しないように構成されている。したがって、圧力室５０が互いに近接配置され、ノズル５６が高密度に配設されている。
【００５８】
また、圧電素子４５に電圧を印加する駆動ＩＣ６０は、圧電素子基板７０よりも外方側へ突出しない構成とされている（インクジェット記録ヘッド３２内に内蔵されている）。したがって、インクジェット記録ヘッド３２の外部に駆動ＩＣ６０を実装する場合に比べて、圧電素子４５と駆動ＩＣ６０の間を接続する金属配線９０の長さが短くて済み、これによって、駆動ＩＣ６０から圧電素子４５までの低抵抗化が実現されている。
【００５９】
つまり、実用的な配線抵抗値で、ノズル５６の高密度化、即ちノズル５６の高密度なマトリックス状配設が実現されており、これによって、高解像度化が実現可能になっている。しかも、その駆動ＩＣ６０は、天板４１上にフリップチップ実装されているので、高密度の配線接続と低抵抗化が容易に実現可能であり、更には駆動ＩＣ６０の高さの低減も図れる（薄くできる）。したがって、インクジェット記録ヘッド３２の小型化も実現される。
【００６０】
また、上記実施例のインクジェット記録装置１０では、ブラック、イエロー、マゼンタ、シアンの各色のインクジェット記録ユニット３０から画像データに基づいて選択的にインク滴が吐出されてフルカラーの画像が記録用紙Ｐに記録されるようになっているが、本発明におけるインクジェット記録は、記録用紙Ｐ上への文字や画像の記録に限定されるものではない。
【００６１】
すなわち、記録媒体は紙に限定されるものでなく、また、吐出する液体もインクに限定されるものではない。例えば、高分子フィルムやガラス上にインクを吐出してディスプレイ用カラーフィルターを作成したり、溶接状態の半田を基板上に吐出して部品実装用のバンプを形成するなど、工業的に用いられる液滴噴射装置全般に対して、本発明に係るインクジェット記録ヘッド３２を適用することができる。
【００６２】
また、上記実施例のインクジェット記録装置１０では、紙幅対応のいわゆるＦｕｌｌ  Ｗｉｄｔｈ  Ａｒｒａｙ（ＦＷＡ）の例で説明したが、これに限定されず、主走査機構と副走査機構を有するＰａｒｔｉａｌ  Ｗｉｄｔｈ  Ａｒｒａｙ（ＰＷＡ）であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の実施の形態に係るインクジェット記録装置を示す概略正面図である。
【図２】本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの配列を示す説明図である。
【図３】本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの印字領域の幅と記録媒体の幅との関係を示す説明図である。
【図４】本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの概略平面図である。
【図５】図４のＸ−Ｘ線断面図である。
【図６】本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの駆動ＩＣのバンプを示す概略平面図である。
【図７】（Ｂ）は、図４のＹ−Ｙ線断面図であり、（Ａ）は（Ｂ）の概略平面図である。
【図８】図７のＡ領域の拡大図であり、第１実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの断面図である。
【図９】図７のＡ領域の拡大図であり、第２実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの断面図である。
【図１０】図７のＡ領域の拡大図であり、第３実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの断面図である。
【図１１】（Ａ）〜（Ｃ）は、第３実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの接続配線等の製造工程を示す断面図である。
【符号の説明】
【００６４】
１０      インクジェット記録装置（画像形成装置）
１７      スターホイール（搬送手段）
１９      搬送ロール（搬送手段）
３０      インクジェット記録ユニット（液滴吐出装置）
３２      インクジェット記録ヘッド（液滴吐出ヘッド）
３８      インクプール室（液体貯留室）
４１      天板（配線板）
４５      圧電素子
４６      圧電体
４８      振動板
５０      圧力室
５２      下部電極
５４Ａ    貫通孔
５４      上部電極
５６      ノズル（吐出口）
６０      駆動ＩＣ（集積回路）
８６      接続配線（電気接続部）
８０      低透水性絶縁膜（保護膜）
９０      金属配線（電気配線）
１１４    インク供給路（インク供給口）
１３０    ワイヤ（電気接続部）
【図１】
2008213434.tif 000003
【図２】
2008213434.tif 000004
【図３】
2008213434.tif 000005
【図４】
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【図５】
2008213434.tif 000007
【図６】
2008213434.tif 000008
【図７】
2008213434.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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