(57)【要約】【課題】本発明は、レンズ枚数が増加しても全体サイズをコンパクトに収めることのできるレンズユニットを提供する。【解決手段】本発明のレンズユニット（１）は、気体間隙を介して近接配置され、その気体間隙へ有効径の略等しい屈折面を向けた１対のレンズ部材（Ｇ３，Ｇ４）と、前記１対のレンズ部材の一方である第１レンズ部材（Ｇ４）を保持する第１保持枠（Ｂ４）と、前記１対のレンズ部材の他方である第２レンズ部材（Ｇ３）を保持する第２保持枠（Ｂ３）とを備え、前記第１レンズ部材（Ｇ３）の外径φ1は、前記２レンズ部材（Ｂ４）の外径φ2に対しφ1＞φ2の関係を満たし、前記第１保持枠（Ｂ４）による前記第１レンズ部材（Ｇ４）の保持位置は、前記第２保持枠（Ｂ３）による前記第２レンズ部材（Ｇ３）の保持位置よりも外周側であることを特徴とする。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
気体間隙を介して近接配置され、その気体間隙へ有効径の略等しい屈折面を向けた１対のレンズ部材と、
前記１対のレンズ部材の一方である第１レンズ部材を保持する第１保持枠と、
前記１対のレンズ部材の他方である第２レンズ部材を保持する第２保持枠とを備え、
前記第１レンズ部材の外径φ1は、
前記２レンズ部材の外径φ2に対しφ1＞φ2の関係を満たし、
前記第１保持枠による前記第１レンズ部材の保持位置は、
前記第２保持枠による前記第２レンズ部材の保持位置よりも外周側である
ことを特徴とするレンズユニット。
【請求項２】
請求項１に記載のレンズユニットにおいて、
前記第１レンズ部材は、
前記気体間隙に凹の屈折面を向けたレンズ部材であり、
前記第２レンズ部材は、
前記気体間隙に凸の屈折面を向けたレンズ部材である
ことを特徴とするレンズユニット。
【請求項３】
請求項２に記載のレンズユニットにおいて、
前記第１レンズ部材のうち前記第２レンズ部材より外周側に位置する周縁部の光軸方向の厚さｄ１は、
前記第１レンズ部材の有効径内の形状を延長してできる仮想周縁部の光軸方向の厚さｄ２に対しｄ１≦ｄ２の関係を満たす
ことを特徴とするレンズユニット。
【請求項４】
請求項１〜請求項３の何れか一項に記載のレンズユニットにおいて、
前記１対のレンズ部材を含む光学系は、
物体の拡大像を形成する顕微鏡対物レンズである
ことを特徴とするレンズユニット。
【請求項５】
請求項１〜請求項４の何れか一項に記載のレンズユニットにおいて、
前記第１レンズ部材及び前記第２レンズ部材によって構成される光学系の使用波長には、
波長４００ｎｍ以下の光が含まれる
ことを特徴とするレンズユニット。
【請求項６】
請求項１〜請求項５の何れか一項に記載のレンズユニットにおいて、
前記１対のレンズ部材を含むレンズ群には、
複数波長に対する色消し機能の少なくとも一部が付与される
ことを特徴とするレンズユニット。
【請求項７】
請求項６に記載のレンズユニットにおいて、
前記１対のレンズ部材の前記気体間隙は、
前記レンズ群に前記色消し機能の少なくとも一部を付与するための微小距離に設定される
ことを特徴とするレンズユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、顕微鏡対物レンズなどのレンズユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の顕微鏡対物レンズには、色消しなどの目的で貼り合わせレンズが用いられる。図７に示した従来の顕微鏡対物レンズでは、レンズ群Ｇ０３，Ｇ０４，Ｇ０５，Ｇ０６，Ｇ０７の各々が貼り合わせレンズからなり、１つの貼り合わせレンズを構成する個々のレンズは共通のバレル（保持枠）Ｂ０３，Ｂ０４，Ｂ０５，Ｂ０６，Ｂ０７で一括して保持される。
【０００３】
一方、深紫外線（DUV:Deep Ultra Violet,193nm,248nmなど）を観察波長とした顕微鏡対物レンズでは、接着剤が紫外線と化学反応するのを避けるため、接着剤の代わりにエアギャップ層を介して複数のレンズが配置される。この顕微鏡対物レンズでは、個々のレンズが専用のバレルで個別に保持される（特許文献１等を参照）。
【特許文献１】特開２００４−２１９６０８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
したがってこの種の顕微鏡対物レンズでは、レンズ枚数を増やすとバレルの配置スペースを確保することが困難となる。特にこの種の顕微鏡対物レンズは使用可能な硝材が石英と蛍石の２種類に限定されるので、高倍率化、高開口数化、複数波長に対する色消しなどを図ると、レンズ枚数が膨大化してバレルの配置スペースが絶対的に不足する。例えば、倍率５０以上、開口数０．７５以上とし、２波長に対する色消しを図ると、１０枚程度であったレンズ枚数は２０枚近くに増加する可能性がある。よってバレルの配置スペースを確保しようとすると顕微鏡対物レンズの全体サイズを大型化せざるを得ない。
【０００５】
本発明は、以上の問題に鑑みてなされたものであり、レンズ枚数が増加しても全体サイズをコンパクトに収めることのできるレンズユニットを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のレンズユニットは、気体間隙を介して近接配置され、その気体間隙へ有効径の略等しい屈折面を向けた１対のレンズ部材と、前記１対のレンズ部材の一方である第１レンズ部材を保持する第１保持枠と、前記１対のレンズ部材の他方である第２レンズ部材を保持する第２保持枠とを備え、前記第１レンズ部材の外径φ1は、前記２レンズ部材の外径φ2に対しφ1＞φ2の関係を満たし、前記第１保持枠による前記第１レンズ部材の保持位置は、前記第２保持枠による前記第２レンズ部材の保持位置よりも外周側であることを特徴とする。
【０００７】
なお、前記第１レンズ部材は、前記気体間隙に凹の屈折面を向けたレンズ部材であり、
前記第２レンズ部材は、前記気体間隙に凸の屈折面を向けたレンズ部材であることが望ましい。
また、前記第１レンズ部材のうち前記第２レンズ部材より外周側に位置する周縁部の光軸方向の厚さｄ１は、前記第１レンズ部材の有効径内の形状を延長してできる仮想周縁部の光軸方向の厚さｄ２に対しｄ１≦ｄ２の関係を満たすことが望ましい。
【０００８】
また、前記１対のレンズ部材を含む光学系は、物体の拡大像を形成する顕微鏡対物レンズであることが望ましい。
また、前記第１レンズ部材及び前記第２レンズ部材によって構成される光学系の使用波長には、波長４００ｎｍ以下の光が含まれることが望ましい。
また、前記１対のレンズ部材を含むレンズ群には、複数波長に対する色消し機能の少なくとも一部が付与されることが望ましい。
【０００９】
また、前記１対のレンズ部材の前記気体間隙は、前記レンズ群に前記色消し機能の少なくとも一部を付与するための微小距離に設定されることが望ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、レンズ枚数が増加しても全体サイズをコンパクトに収めることのできるレンズユニットが実現する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明の実施形態を説明する。本実施形態は、顕微鏡対物レンズの実施形態である。
顕微鏡対物レンズの使用波長には４００ｎｍ以下の紫外波長が含まれる。使用波長は例えば７７０ｎｍと２４８ｎｍの２波長であり、顕微鏡対物レンズの光学設計ではこれら２波長に対し色消しが図られる。また、顕微鏡対物レンズの倍率ＭはＭ≧５０、開口数ＮＡはＮＡ≧０．７５、レンズ全長ＬはＬ≒６０ｍｍである。
【００１２】
図１は、光軸を含む面で顕微鏡対物レンズを切断してできる概略断面図である。図１に示すとおり、対物レンズは鏡筒１と、鏡筒１に収められる第１レンズＧ１〜第１５レンズＧ１５と、これらのレンズを鏡筒１の内部で個別に保持する第１バレルＢ１〜第１５バレルＢ１５と、これらのバレルを鏡筒１に固定する押さえ環２と、互いに隣接するバレルに間隔を付与するための分離環３とを備える。
【００１３】
このうち、第１レンズＧ１及び第２レンズＧ２は、物体側に凹のメニスカスレンズであり、第３レンズＧ３は両凸レンズ、第４レンズＧ４は物体側に凹のメニスカスレンズ、第５レンズＧ５は両凸レンズ、第６レンズＧ６は両凹レンズ、第７レンズＧ７は両凸レンズ、第８レンズＧ８は両凹レンズ、第９レンズＧ９は両凸レンズ、第１０レンズＧ１０は両凹レンズ、第１１レンズＧ１１は両凸レンズ、第１２レンズＧ１２は物体側に凸のメニスカスレンズ、第１３レンズＧ１３は両凸レンズ、第１４レンズＧ１４は物体側に凸のメニスカスレンズ、第１５レンズＧ１５は両凹レンズである。
【００１４】
このうち、第３レンズＧ３と第４レンズＧ４とからなるレンズ群、第５レンズＧ５と第６レンズＧ６とからなるレンズ群、第７レンズＧ７と第８レンズＧ８と第９レンズＧ９とからなるレンズ群、第１０レンズＧ１０と第１１レンズＧ１１とからなるレンズ群、第１２レンズ１２と第１３レンズＧ１３とからなるレンズ群の各々は、前述した２波長に対する色消し機能の付与された色消しレンズ群である。
【００１５】
そのめに、第３レンズＧ３と第４レンズＧ４との間、第５レンズＧ５と第６レンズＧ６との間、第７レンズＧ７と第８レンズＧ８との間、第８レンズＧ８と第９レンズＧ９との間、第１０レンズＧ１０と第１１レンズＧ１１との間、第１２レンズ１２と第１３レンズＧ１３との間の各々は、０．００５〜０．３ｍｍ程度の微小なエアギャップ層となっている。また、エアギャップ層を挟んで配置される２枚のレンズには、互いに異なる硝材（ここでは紫外線を透過させるために蛍石と石英との組み合わせ）が使用される。
【００１６】
また、第１レンズＧ１に対する第１バレルＢ１の保持姿勢及び外形は、予め調整されている。その調整には、芯取り調整、チルト調整、厚さ調整が含まれる。同様に、第２レンズＧ２に対する第２バレルＢ２の保持姿勢及び外形、第３レンズＧ３に対する第３バレルＢ３の保持姿勢及び外形、第４レンズＧ４に対する第４バレルＢ４の保持姿勢及び外形、第５レンズＧ５に対する第５バレルＢ５の保持姿勢及び外形、第６レンズＧ６に対する第６バレルＢ６の保持姿勢及び外形、第７レンズＧ７に対する第７バレルＢ７の保持姿勢及び外形、第８レンズＧ８に対する第８バレルＢ８の保持姿勢及び外形、第９レンズＧ９に対する第９バレルＢ９の保持姿勢及び外形、第１０レンズＧ１０に対する第１０バレルＢ１０の保持姿勢及び外形、第１１レンズＧ１１に対する第１１バレルＢ１１の保持姿勢及び外形、第１２レンズＧ１２に対する第１２バレルＢ１２の保持姿勢及び外形、第１３レンズＧ１３に対する第１３バレルＢ１３の保持姿勢及び外形、第１４レンズＧ１４に対する第１４バレルＢ１４の保持姿勢及び外形、第１５レンズＧ１５に対する第１５バレルＢ１５の保持姿勢及び外形も予め調整されている。調整後の第１バレルＢ１〜第１３バレルＢ１３、分離環３、第１４バレルＢ１４、第１５バレルＢ１５を鏡筒１に収め、かつ押さえ環２によって光軸方向へ押圧することより、第１レンズＧ１〜第１５レンズＧ１５を位置決めすることができる。
【００１７】
因みに、第３バレルＢ３と第４バレルＢ４は、親子構造をしている。第３バレルＢ３は、第４バレルＢ４の子バレルであって、親である第４バレルＢ４を介して第４バレルＢ４と共に他のバレル及び鏡筒１に対し位置決めされる。これによって、エアギャップ層を挟んで配置すべき第３レンズＧ３と第４レンズＧ４との位置決め精度は相対的に高くなる。
また、第５バレルＢ５と第６バレルＢ６も、親子構造をしている。第５バレルＢ５は第６バレルＢ６の子バレルであって、親である第６バレルＢ６を介して第６バレルＢ６と共に他のバレル及び鏡筒１に対し位置決めされる。これによって、エアギャップ層を挟んで配置すべき第５レンズＧ５と第６レンズＧ６との位置決め精度は相対的に高くなる。
【００１８】
また、第７バレルＢ７と第８バレルＢ８と第９バレルＢ９も、親子構造をしている。第７バレルＢ７及び第９バレルＢ９は第８バレルＢ８の子バレルであって、親である第８バレルＢ８を介して第８バレルＢ８と共に他のバレル及び鏡筒１に対し位置決めされる。これによって、エアギャップ層を挟んで配置すべき第７レンズＧ７と第８レンズＧ８と第９レンズＧ９との位置決め精度は相対的に高くなる。
【００１９】
また、第１０バレルＢ１０と第１１バレルＢ１１も親子構造をしている。第１１バレルＢ１１は第１０バレルＢ１０の子バレルであって、親である第１０バレルＢ１０を介して第１０バレルＢ１０と共に他のバレル及び鏡筒１に対し位置決めされる。これによって、エアギャップ層を挟んで配置すべき第１０レンズＧ１０と第１１レンズＧ１１との位置決め精度は相対的に高くなる。
【００２０】
また、第１２バレルＢ１２と第１３バレルＢ１３も親子構造をしている。第１３バレルＢ１３は第１２バレルＢ１２の子バレルであって、親である第１２バレルＢ１２を介して第１２バレルＢ１２と共に他のバレル及び鏡筒１に対し位置決めされる。これによって、エアギャップ層を挟んで配置すべき第１２レンズＧ１２と第１３レンズＧ１３との位置決め精度は相対的に高くなる。
【００２１】
図２は、図１に示した第３レンズＧ３及び第４レンズＧ４とその周辺を抽出した図である。但し、バレル及びレンズは光軸の周りに回転対称な形状をしているので、図２では部分的に図示を省略した。
第３レンズＧ３と第４レンズＧ４とのうち、エアギャップ層を挟む２つの屈折面はその有効径が略等しいが（図１参照）、図２に示すとおり、エアギャップ層に凹面を向けたレンズ（第４レンズＧ４）の外径φ４は、エアギャップ層に凸面を向けたレンズ（第３レンズＧ３）の外径φ３より大きく確保されており、φ４＞φ３の関係を満たす。これにより、第４バレルＢ４による第４レンズＧ４の保持位置Ｅを、第３バレルＢ３による第３レンズＧ３の保持位置Ｄよりも外周側とし、両者を径方向に分離することができる。
【００２２】
但し、第４レンズＧ４のうち、第３レンズＧ３よりも外周側にはみ出した周縁部Ｂの光軸方向の厚さｄ１は、第４レンズＧ４の有効径内の形状を冗長的に延長してできる仮想周縁部（細線部）の光軸方向の厚さｄ２以下であり、ｄ１≦ｄ２の関係を満たす。具体的には符号Ｃで示した部分が薄化されている。図２に示す例では、欠けを防ぐために面取りも施されている。これにより、第３レンズＧ３の外周側に、第３レンズＧ３の最外周における厚さと同等の厚さの空間（第３バレルＢ３を配置するための空間）が確保される。
【００２３】
その結果、本実施形態では、第３レンズＧ３及び第４レンズＧ４の全体と同等の厚さの空間に、第３バレルＢ３及び第４バレルＢ４の主要部が収まる。
図３は、図１に示した第５レンズＧ５及び第６レンズＧ６とその周辺を抽出した図である。但し、バレル及びレンズは光軸の周りに回転対称な形状をしているので、図３では部分的に図示を省略した。
【００２４】
第５レンズＧ５と第６レンズＧ６とのうち、エアギャップ層を挟む２つの屈折面はその有効径が略等しいが（図１参照）、図３に示すとおり、エアギャップ層に凹面を向けたレンズ（第６レンズＧ６）の外径φ６は、エアギャップ層に凸面を向けたレンズ（第５レンズＧ５）の外径φ５より大きく確保されており、φ６＞φ５の関係を満たす。これにより、第６バレルＢ６による第６レンズＧ６の保持位置Ｅを、第５バレルＢ５による第５レンズＧ５の保持位置Ｄよりも外周側とし、両者を径方向に分離することができる。
【００２５】
但し、第６レンズＧ６のうち、第５レンズＧ５よりも外周側にはみ出した周縁部Ｂの光軸方向の厚さｄ１は、第６レンズＧ６の有効径内の形状を冗長的に延長してできる仮想周縁部（細線部）の光軸方向の厚さｄ２以下であり、ｄ１≦ｄ２の関係を満たす。具体的には符号Ｃで示した部分が薄化されている。これにより、第５レンズＧ５の外周側に、第５レンズＧ５の最外周における厚さと同等の厚さの空間（第５バレルＢ５を配置するための空間）が確保される。
【００２６】
その結果、本実施形態では、第５レンズＧ５及び第６レンズＧ６の全体と同等の厚さの空間に、第５バレルＢ５及び第６バレルＢ６の主要部が収まる。
図４は、図１に示した第７レンズＧ７及び第８レンズＧ８及び第９レンズＧ９とその周辺を抽出した図である。但し、バレル及びレンズは光軸の周りに回転対称な形状をしているので、図４では部分的に図示を省略した。
【００２７】
第７レンズＧ７と第８レンズＧ８とのうち、エアギャップ層を挟む２つの屈折面はその有効径が略等しいが（図１参照）、図４に示すとおり、エアギャップ層に凹面を向けたレンズ（第８レンズＧ８）の外径φ８は、エアギャップ層に凸面を向けたレンズ（第７レンズＧ７）の外径φ７より大きく確保されており、φ８＞φ７の関係を満たす。これにより、第８バレルＢ８による第８レンズＧ８の保持位置Ｅを、第７バレルＢ７による第７レンズＧ７の保持位置Ｄよりも外周側とし、両者を径方向に分離することができる。
【００２８】
但し、第８レンズＧ８のうち、第７レンズＧ７よりも外周側にはみ出した周縁部Ｂの光軸方向の厚さｄ１は、第８レンズＧ８の有効径内の形状を冗長的に延長してできる仮想周縁部（細線部）の光軸方向の厚さｄ２以下であり、ｄ１≦ｄ２の関係を満たす。具体的には符号Ｃで示した部分が薄化されている。図４に示す例では、欠けを防ぐために面取りも施されている。これにより、第７レンズＧ７の外周側に、第７レンズＧ７の最外周における厚さと同等の厚さの空間（第７バレルＢ７を配置するための空間）が確保される。
【００２９】
その結果、本実施形態では、第７レンズＧ７及び第８レンズＧ８の全体と同等の厚さの空間に、第７バレルＢ７及び第８バレルＢ８の主要部が収まる。
また、以上の第８レンズＧ８と第７レンズＧ７との関係は、第８レンズＧ８と第９レンズＧ９との間にも同様に当てはまる（なぜなら、第９レンズＧ９の外径φ９は、第７レンズＧ７の外径φ７と略等しい）。したがって、本実施形態では、第８レンズＧ８及び第９レンズの全体と同等の厚さの空間に、第８バレルＢ８と第９バレルＢ９の主要部が収まる。
【００３０】
図５は、図１に示した第１０レンズＧ１０及び第１１レンズＧ１１とその周辺を抽出した図である。但し、バレル及びレンズは光軸の周りに回転対称な形状をしているので、図５では部分的に図示を省略した。
第１０レンズＧ１０と第１１レンズＧ１１とのうち、エアギャップ層を挟む２つの屈折面はその有効径が等しいが（図１参照）、図５に示すとおり、エアギャップ層に凹面を向けたレンズ（第１０レンズＧ１０）の外径φ１０は、エアギャップ層に凸面を向けたレンズ（第１１レンズＧ１１）の外径φ１１より大きく確保されており、φ１０＞φ１１の関係を満たす。これにより、第１０バレルＢ１０による第１０レンズＧ１０の保持位置Ｅを、第１１バレルＢ１１による第１１レンズＧ１１の保持位置Ｄよりも外周側とし、両者を径方向に分離することができる。
【００３１】
但し、第１０レンズＧ１０のうち、第１１レンズＧ１１よりも外周側にはみ出した周縁部Ｂの光軸方向の厚さｄ１は、第１０レンズＧ１０の有効径内の形状を冗長的に延長してできる仮想周縁部（細線部）の光軸方向の厚さｄ２以下であり、ｄ１≦ｄ２の関係を満たす。具体的には符号Ｃで示した部分が薄化されている。これにより、第１１レンズＧ１１の外周側に、第１１レンズＧ１１の最外周における厚さと同等の厚さの空間（第１１バレルＢ１１を配置するための空間）が確保される。
【００３２】
その結果、本実施形態では、第１０レンズＧ１０及び第１１レンズＧ１１の全体と同等の厚さの空間に、第１０バレルＢ１０及び第１１バレルＢ１１の主要部が収まる。
図６は、図１に示した第１２レンズＧ１２及び第１３レンズＧ１３とその周辺を抽出した図である。但し、バレル及びレンズは光軸の周りに回転対称な形状をしているので、図６では部分的に図示を省略した。
【００３３】
第１２レンズＧ１２と第１３レンズＧ１３とのうち、エアギャップ層を挟む２つの屈折面はその有効径が等しいが（図１参照）、図６に示すとおり、エアギャップ層に凹面を向けたレンズ（第１２レンズＧ１２）の外径φ１２は、エアギャップ層に凸面を向けたレンズ（第１３レンズＧ１３）の外径φ１３より大きく確保されており、φ１２＞φ１３の関係を満たす。これにより、第１２バレルＢ１２による第１２レンズＧ１２の保持位置Ｅを、第１３バレルＢ１３による第１３レンズＧ１３の保持位置Ｄよりも外周側とし、両者を径方向に分離することができる。
【００３４】
但し、第１２レンズＧ１２のうち、第１３レンズＧ１３よりも外周側にはみ出した周縁部Ｂの光軸方向の厚さｄ１は、第１２レンズＧ１２の有効径内の形状を冗長的に延長してできる仮想周縁部（細線部）の光軸方向の厚さｄ２以下であり、ｄ１≦ｄ２の関係を満たす。具体的には符号Ｃで示した部分が薄化されている。これにより、第１３レンズＧ１３の外周側に、第１３レンズＧ１３の最外周における厚さと同等の厚さの空間（第１３バレルＢ１３を配置するための空間）が確保される。
【００３５】
その結果、本実施形態では、第１２レンズＧ１２及び第１３レンズＧ１３の全体と同等の厚さの空間に、第１２バレルＢ１２及び第１３バレルＢ１３の主要部が収まる。
以上、本実施形態の顕微鏡対物レンズは、エアギャップ層に凹面を向けたレンズの外径を拡大し、そのレンズの保持代を外周側へ変位させたので、各レンズのバレルを小さなスペースに収めることが可能となり、高倍率化（Ｍ≧５０）、高開口数化（ＮＡ≧０．７５）、複数波長に対する色消しを図ったにも拘わらず、顕微鏡対物レンズの全長が抑えられる（Ｌ≒６０ｍｍ）。また、親子バレルの接合には、接着剤による接合、ビス止め、押さえ環などの方法が適用できるが、本実施形態では接着剤を用いた。
【００３６】
なお、外径を拡大する対象は、エアギャップ層に凸を向けたレンズであってもよいが、その場合、周縁部の厚さが薄くなるので、割れ、欠けのリスクが増大するだけでなく、芯取り調整の作業が困難になる。したがって、その対象は、エアギャップ層に凹を向けたレンズであることが望ましい。
また、本実施形態の顕微鏡対物レンズには、親子バレル構造が適用されたが、親子バレル構造を仮に適用しなかったとしても、全長をコンパクトに抑えることができる。
【００３７】
ここで、本実施形態では、外径の拡大対象となったレンズＧ４，Ｇ６，Ｇ８，Ｇ１０，Ｇ１２の周縁部Ｂのうち、薄化された面は非研磨面となっている。このため、第４バレルＢ４，第６バレルＢ６，第８バレルＢ８，第１０バレルＢ１０，第１２バレルＢ１２の保持位置Ｅが非研磨面となる可能性がある。非研磨面で保持する場合、前述したチルト調整は困難である。
【００３８】
そこで、本実施形態の顕微鏡対物レンズの製造では、レンズとバレルとを固定した後にバレルの外形を特殊旋盤で加工し、その加工の際にチルト調整を図るとよい。ここでいう特殊旋盤とは、レンズの光軸を両面から検出すると共に、その光軸に回転軸を一致させながらバレルをバイト加工する旋盤である。このような特殊旋盤によると、前述した芯取り調整、チルト調整、厚さ調整をそれぞれ高精度に行うことができる。
【００３９】
また、本実施形態は、顕微鏡対物レンズの実施形態であったが、他の光学系にも本発明のレンズユニットを適用することができる。特に、本発明のレンズユニットは、レンズ枚数が多く、しかもコンパクト化する必要性の高い光学系に好適である。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】顕微鏡対物レンズの概略断面図である。
【図２】図１に示した第３レンズＧ３及び第４レンズＧ４とその周辺を抽出した図である。
【図３】図１に示した第５レンズＧ２及び第６レンズＧ６とその周辺を抽出した図である。
【図４】図１に示した第７レンズＧ７及び第８レンズＧ８及び第９レンズＧ９とその周辺を抽出した図である。
【図５】図１に示した第１０レンズＧ１０及び第１１レンズＧ１１とその周辺を抽出した図である。
【図６】図１に示した第１２レンズＧ１２及び第１３レンズＧ１３とその周辺を抽出した図である。
【図７】従来の顕微鏡対物レンズの概略断面図である。
【符号の説明】
【００４１】
Ｂ１〜Ｂ１５…第１バレル〜第１５バレル，Ｇ１〜Ｇ１５…第１レンズ〜第１５レンズ，１…鏡筒，２…押さえ環，３…分離環，Ｂ…周縁部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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