(57)【要約】【課題】  装置の小型化が可能で安価な、多チャンネル測定のセンサチップに適した生化学測定装置を提供することにある。【解決手段】  この発明は、ｎチャネルに対応する投光系のｎ本の光ファイバの途中にｎ本のうちの１本の光ファイバの投光光を順次選択的に通過させる投光系ファイバ切換機構を設け、１つの分光器でｎ本の受光系光ファイバからの受光光を共通に受けるようにしたものである。それにより分光器が１個でｎ個の光学薄膜センサ部の反射スペクトルの測定データを得ることができる。【選択図】      図１
2008089579.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学薄膜の光干渉を利用して生化学物質の結合を測定する生化学測定装置において、
ｎ個（ｎは２か、それ以上の整数）の光学薄膜センサ部を有するセンサチップと、
前記ｎ個の光学薄膜センサ部にそれぞれ光を照射するｎ本の投光系光ファイバと、
このｎ本の投光系光ファイバの途中に設けられｎ本のうちの１本の光ファイバからの投光光を選択的に通過させ残りの投光光を遮断する投光系ファイバ切換機構と、
前記ｎ個の光学薄膜センサ部からの各反射光をそれぞれに受光するｎ本の受光系光ファイバと、
前記ｎ本の受光系光ファイバから各前記反射光を入光側に共通に受ける１つの分光器と、
前記投光系ファイバ切換機構を制御して任意の１本の前記投光系光ファイバからの照射光を選択する制御をする制御部とを備え、
選択された前記投光系光ファイバが照射する前記光学薄膜センサ部からの反射光を前記分光器で分光する生化学測定装置。
【請求項２】
前記センサチップはｎ個のマイクロチャネルが形成され各チャネル対応に前記光学薄膜センサ部を有するｎチャネルのセンサチップであり、１本の前記投光系光ファイバと１本の前記受光系光ファイバとが１個の前記マイクロチャネルに対応して配置され、前記制御部は、前記投光系ファイバ切換機構を時分割で切換制御するものであり、
前記分光器から前記反射光について分光された波長についての信号を前記ｎ個の各チャネル対応に時分割で得る請求項１記載の生化学測定装置。
【請求項３】
ｎ個の各前記マイクロチャネルは、その両端にそれぞれポッドが形成されてこのポッドと各前記マイクロチャネルの全体が光学薄膜センサ部となっていて、両端の前記ポッドは、それぞれ送液のための入力ポートと出力ポートに結合される請求項２記載の生化学測定装置。
【請求項４】
さらに前記センサチップのｎ個のマイクロチャネルにプローブとなる生化学物質を送液する送液装置を有し、前記センサチップは基板に金属薄膜を形成した光学薄膜を有し、前記ｎ個の光学薄膜センサ部は、前記センサチップに前記ポッドを介して前記生化学物質を送液することによって前記光学薄膜上に形成される請求項３記載の生化学測定装置。
【請求項５】
１本の前記投光系光ファイバは複数本の光ファイバからなるバンドルとして構成され、ｎ個の各前記バンドルの先端部がｎ個の各前記光学薄膜センサ部の上部にそれぞれ配置され、ｎ本の前記受光系光ファイバはそれぞれ１本の光ファイバで構成され、その受光部がｎ本の各前記バンドルの前記先端部において前記バンドルの中心部に配置されている請求項４記載の生化学測定装置。
【請求項６】
前記分光器は、透過回折格子とスペクトル分析方向に配列された多数の受光素子とを有する分光器であって、前記ｎ本の受光系光ファイバは、その径が前記分光器の入光口のスリットの幅かこれよりも小さく、前記スリットの長手に方向に沿って配列され、前記受光素子は、前記ｎ本の受光系光ファイバから入光された光のスペクトル分析光を受光するために前記配列された受光素子の方向には直交する方向に所定の幅を有する請求項４記載の生化学測定装置。
【請求項７】
さらに、前記ｎ本の受光系光ファイバのうちの１本の光ファイバからの受光光を選択して１本の光ファイバに前記受光光を入光してこの１本の光ファイバの出光を前記分光器に入力する受光系ファイバ切換機構を有する請求項４記載の生化学測定装置。
【請求項８】
前記受光系ファイバ切換機構は、前記ｎ本の受光系光ファイバの出光側の端部を固定する第１のコネクタ部材と前記分光器に入力するための入力側光ファイバの入光側の端部を固定する第２のコネクタ部材とからなる光コネクタを有し、前記第１のコネクタ部材を固定側とし、前記第２のコネクタ部材を可動にして前記ｎ本の受光系光ファイバの１本と前記入力側光ファイバとを選択的に光結合させる請求項７記載の生化学測定装置。
【請求項９】
前記受光系ファイバ切換機構は、さらに前記第２のコネクタ部材を移動する１軸移動機構を有し、前記１軸移動機構は、基準位置を有していて、前記第２のコネクタ部材を前記基準位置から移動させて前記光結合をさせる請求項８記載の生化学測定装置。
【請求項１０】
前記センサチップの基板はシリコン基板であり、前記光学薄膜は、前記シリコン基板の表面に窒化シリコンを成膜して形成され、前記シリコン基板に対して前記ｎ本のマイクロチャネルを有する光透過性のシリコーンゴムからなる対面基板が接着されて前記センサチップが形成される請求項５記載の生化学測定装置。
【請求項１１】
ｎ個の各前記光学薄膜センサ部の上部において各前記バンドルの先端部の位置を前記センサチップの各前記光学薄膜センサ部に対して距離調整する調整機構を有し、前記送液装置によりサンプルを希釈するバッファ液が送液されて前記分光器から得られる前記分光された波長についての信号に応じて得られる干渉スペルトルの波形に従って各前記バンドルの先端部の位置が前記調整機構により調整される請求項１０記載の生化学測定装置。
【請求項１２】
さらに前記センサチップの上部に前記入力ポートと前記出力ポートとを有するチップカバーが設けられ、前記チップカバーが前記入力ポートと前記出力ポートとを有し、前記チップカバーが前記センサチップにかぶせられたときに前記入力ポートと出力ポートが両端の前記ポッドにそれぞれ連通する請求項１１記載の生化学測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、生化学測定装置に関し、抗体反応などの生化学物質の結合を多チャンネルで測定する多チャンネル測定のセンサチップを使用した測定に適し、安価で装置の小型化が可能な生化学測定装置の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から光学薄膜の光干渉色を利用した化学センサは知られている。このセンサは、光学薄膜の厚さを、可視光の波長の１／４またはその奇数倍として光を照射したときに薄膜に垂直方向の反射強度が特定の波長で実質的にゼロとなるピークを持つ反射スペクトルを生じ、それに応じてこのセンサは所定の干渉色を反射光として発生させる。
例えば、このセンサの薄膜の上に生化学物質（プローブ）としてリガンド（官能基）の単分子層を設けると、膜が厚くなった分だけ、このセンサは、反射スペクトルにおけるピーク波長の位置がずれる。さらに、リガンド単分子層の上にサンプル（検体タンパク質など）が付着すると、さらに膜が厚くなった分、反射光のピーク波長の位置がずれて干渉色が変化し、反射スペクトルも変わるので、干渉色あるいは反射スペクトルにより、サンプル（検体タンパク質など）の光学薄膜への付着をこのセンサにより測定することができる。
【０００３】
抗体反応などの生化学物質の結合の測定方法として、シリコンに光学薄膜を設け、その上に生化学物質（プローブ）を設けたセンサチップが前記とは別の化学センサとして知られている。さらに、光学薄膜を金として表面に生化学物質（プローブ）として、例えばカルボキシルメチルデキストランなどのリガンドを付着させてセンサチップとし、金の表面プラズモンの振動現象を光と共鳴させてセンサチップ表面の屈折率の変化を捉える化学センサもある。
この表面プラズモンのセンサチップは、プリズムを介して照射された照射光に対してリガンドとサンプル（検体タンパク質）との結合あるいは結合・解離に応じた反射光を発生させる。その反射光は、特定の角度にエネルギー消失を生じる。そこで、この特定の角度に見られるエネルギー消失を、反射強度が減衰した谷（ピーク）としてプリズムを介して測定装置によりこのピークを検出する。さらにこのピークをＳＰＲ角度（消失角度）としてピーク角（ＳＰＲ角度）の移動度（ピークシフト）の時間変化を測定する。このことで２分子間の結合あるいは結合と解離の変化が測定される。
なお、２分子間の結合あるいは結合・解離を測定する場合には、その測定中、センサチップに対してチャネル流路を形成するフローセルに一定流速で送液することが必要である。
【０００４】
この金の光学薄膜のセンサチップは、金へのリガンドの付着が難しいことと高価になることから、これとは別にシリコン基板の表面に窒化シリコン（ＳｉＮ）を成膜して光学薄膜を形成した、光干渉色を利用するセンサチップが知られている。窒化シリコンは、リガンドが付着し易いので、これをセンサチップとして利用する測定装置は、このセンサチップに照射光を照射してそにより得られる光学薄膜の光干渉による反射光を波長分析して干渉スペクトル波形を得て、結合したサンプルの結合あるいは結合・解離を干渉スペクトル波形のピークシフトの時間的な変化として測定することができる。
なお、ガラス基板に光学薄膜として金属薄膜を形成し、光干渉色を利用するセンサチップは公知である（特許文献１，２）。また、センサチップにチャネル流路を形成して測定中チャネル流路に送液するマイクロ流体デバイスも公知である（特許文献３）。
【特許文献１】特開２００４−１３２７９９号公報
【特許文献２】特開２００５−３２１１９６号公報
【特許文献３】特開２００５−１８１０９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
光学薄膜の光干渉による反射光のピークシフトの時間的な変化を測定するためには、センサチップから得られる反射光のスペクトルを高い精度で測定することが必要になる。そのため、特許文献１，２に記載されているように、光学薄膜の領域を多数形成したセンサチップに対して多チャネル受光機を設けて各チャネルの測定結果の得て、それらの平均値を算出し、さらに前記ピーク波長を得るために反射スペクトルの減衰曲線を最小自乗法等で近似する処理がなされる。また、センサチップの多チャネル化は、チャネル別に生化学物質の結合をそれぞれに測定することも可能にする。
しかし、特許文献１，２に示されるような４チャネル測定のセンサチップに対しては、４個の分光器が必要になる。その理由は、それぞれの光学薄膜からの反射光は独立のものであって、これらの反射スペクトルを分析するためにこれらを光の段階で混合することができないからである。
その結果、多チャネル測定の生化学測定装置は大型化し、かつ、分光器は高価なものであるので、装置全体の価格を押し上げている問題がある。しかも、透光性のセンサチップは、多チャンネル同時測定を行うと、チャンネル間で相互に光りが漏れて測定精度が落ちる問題がある。
【０００６】
また、ピークシフトを測定するためのセンサチップは、送液状態での測定となる関係から特許文献１，２に示されるように、バッファ液の入力ポートと出力ポートとが必要になる。そのため、センサチップにおいては、光学薄膜センサ部とは別の場所に入力ポートと出力ポートとを設けておかなければ光学薄膜センサ部への照射と光学薄膜センサ部からの反射光の受光ができない問題がある。しかし、特許文献１，２のようにセンサチップに特別に入力ポートと出力ポートとを設けると、センサチップ自体が大きくならざるを得ず、これがセンサチップの取扱い上問題となる。
この発明の目的は、このような従来技術の問題点を解決するものであって、装置の小型化が可能で安価な、多チャンネル測定のセンサチップに適した生化学測定装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
このような目的を達成するためのこの発明の生化学測定装置の構成は、ｎ個（ｎは２か、それ以上の整数）の光学薄膜センサ部を有するセンサチップと、ｎ個の光学薄膜センサ部にそれぞれ光を照射するｎ本の投光系光ファイバと、このｎ本の投光系光ファイバの途中に設けられｎ本のうちの１本の光ファイバからの投光光を選択的に通過させ残りの投光光を遮断する投光系ファイバ切換機構と、ｎ個の光学薄膜センサ部からの各反射光をそれぞれ受光するｎ本の受光系光ファイバと、ｎ本の受光系光ファイバから各反射光を入光側に共通に受ける１つの分光器と、投光系ファイバ切換機構を制御して投光系光ファイバの任意の１本の投光系光ファイバからの照射光を選択をする制御部とを備え、選択された投光系光ファイバが照射する光学薄膜センサ部からの反射光を分光器で分光するものである。
【発明の効果】
【０００８】
このように、この発明にあっては、ｎチャネルに対応するｎ個の光学薄膜センサ部に対して設けた投光系のｎ本の光ファイバの途中にｎ本のうちの１本の光ファイバの投光を順次選択的に通過させる投光系ファイバ切換機構を設けて、１つの分光器でｎ本の受光系光ファイバからの光を受けるようにしているので、分光器は、１個であってもｎ個の光学薄膜センサ部の反射スペクトルの測定データを投光系ファイバ切換えに応じて得ることができる。なお、ｎ本の投光系光ファイバは、それぞれ複数本束ねられたバンドルであってもよい。
ここで、分光器を回折格子型とした場合には、反射光を導光するｎ本の受光系の各光ファイバの径を回折格子型分光器の入光側スリットの長さの１／ｎとしてスリット長さ方向に対応させてスリットに沿ってｎ本配列することが可能になる。そこで、投光系ファイバ切換機構の時分割切換えに応じて１本の投光系の光ファイバを順次選択し、これに応じて前記ｎチャネルの各チャネル対応に回折格子型分光器の出力を時分割で順次得るようにすれば、分光器は１個であっても時分割でｎチャネル分の測定データを順次得ることができる。
また、入力光が１つの分光器を使用する場合には、受光系ファイバ切換機構を設けてｎ本の受光系光ファイバの１本を選択して分光器に入力すればよい。
【０００９】
したがって、センサチップとしてはｎ本のマイクロチャネルを形成した透光性のセンサチップを使用することができる。そのセンサチップとして、特に、半導体プロセスにおいてシリコン基板の表面に窒化シリコンを成膜して光学薄膜形成した基板にｎ本のマイクロチャネルを形成したシリコーンゴム、例えば、ＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン）からなる対面基板が接着されて形成されたｎチャネルセンサチップを使用することができる。さらにこのセンサチップには、各マイクロチャネルの両端にポッドを設けてこのポッドを送液の入力ポートと出力ポートに結合するようにすれば、センサチップの厚さを小さくでき、センサチップの大きさを抑え、その取扱いが容易になる。なお、前記の光学薄膜センサ部は、リガンド等の生化学物質をプローブとして前記の光学薄膜上に形成することで成立する。
ＰＤＭＳ製により透光性センサチップを用いても投光系ファイバ切換機構の切換えにより投光光が１本になるので、チャンネル間で光りが漏れが発生しない。それにより測定精度が落ちる問題は生じない。
その結果、装置の小型化が可能で安価な、多チャンネル測定のセンサチップに適した生化学測定装置を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
図１は、この発明を適用した一実施例の生化学測定装置のブロック図、図２（ａ）は、２本のマイクロチャネルを形成したセンサチップの平面説明図、図２（ｂ）はそのＡ−Ａ断面説明図、図３は、測定ステージの説明図の説明図、図４は、２チャネルの投光系ファイバ切換機構の正面図、図５は、光ファイバと回折格子型分光器の入光側スリットにおける受光系光ファイバの配置の説明図、図６は、投光系と受光系の光ファイババンドルの断面説明図、図７は、測定された干渉スペクトルと反射光の谷の移動度（ピークシフトグラフ）の説明図、図８は、８チャネルの投光系ファイバ切換機構の説明図、図９（ａ）は、この発明を適用した他の実施例における受光系ファイバ切換機構の平面図、図９（ｂ）は、受光系ファイバ切換機構の受光系ファイバ配置図、図９（ｃ）は、受光系ファイバ切換機構の分光器側ファイバ配置図、そして図１０は、投光系ファイバ切換機構と受光系ファイバ切換機構の切換タイミングの説明図である。
前記した各図においては、同等の構成要素は同一の符号で示し、その説明を割愛する。
図１において、１０は、生化学測定装置であって、生化学測定装置１０は、測定ステージ１、送液システム２、温度調整システム３、投光系４、受光系５、受光制御回路６、データ処理／制御装置７、そしてＵＳＢハブ８等からなり、センサチップ９における生化学物質の結合あるいは結合・解離を測定する。
測定ステージ１は、温度調整システム３の恒温ベース１１上に載置されるセンサチップ載置テーブル１６と、これの上に設けられたチップカバー１７、そしてこれの上部に設けられた移動台１２とを有している。
【００１１】
移動台１２は、２本の投光系光ファイババンドルと２本の受光系光ファイバを支持し、恒温ベース１１は、センサチップ９を所定の温度に保持する。
移動台１２は、上下に昇降移動するものであって、測定ステージ１の背面において装置ベース１３に起立したブラケット１４に昇降機構（図示せず）を介して取付けられている。１５は、移動台１２の降下を停止させる突当ストッパバーであり、装置ベース１３に根本が植設されている。移動台１２には、その停止位置を微調整する調整摘み１２ａが設けられていて、これにより突当ストッパバー１５に対する移動台１２の停止位置が微調整される。その結果としてセンサチップ９（その光学薄膜センサ部）に対する投光・受光の光ファイバの先端部（バンドル管４０ａ，４０ｂ）の位置をセンサチップに対して微調整することができる。
【００１２】
センサチップ９は、２本のチャネル流路を有するマイクロチップである。これは、図２（ａ）の平面説明図と図２（ｂ）のＡ−Ａ断面説明図に示されるように、半導体プロセスにおいてシリコン基板９ａの表面に窒化シリコン（ＳｉＮ）を成膜して光学薄膜９ｂを形成したベース９１を有していて、このベース９１に少なくとも２本のマイクロチャネル９２、９３を形成したＰＤＭＳからなる対面基板９４が接着されている。シリコン基板９ａの厚さは、０．７〜０．８ｍｍ程度であり、光学薄膜９ｂの厚さは数百ｎｍ程度である。
マイクロチャネル９２、９３の両端にはそれぞれポッド９４〜９７が設けられ、ポッド９４〜９７の上部は開口している。その大きさは、１５ｍｍ×２０ｍｍ〜２０ｍｍ×３０ｍｍ程度の矩形である。
このセンサチップ９は、図３に示すように、測定ステージ１に載置される。測定ステージ１のセンサチップ載置テーブル１６には、センサチップ９の外形より少し大きな凹部１６ａが設けられ、ここにセンサチップ９が位置決め挿着される。位置決め部材は図示していない。
【００１３】
チップカバー１７は、移動台１２の下側においてセンサチップ９の上部に所定距離離れて配置され、図３に示すように、位置決めされたセンサチップ９に対してその上からセンサチップ９に適合するように降下してセンサチップ９に被せられる。
チップカバー１７は、点線で示すように、それぞれクランク型の連通路を持つ入力ポート１７ａと出力ポート１７ｃとがマイクロチャネル９２の上部の位置に対応するように両側端部に形成されている。入力ポート１７ｂと出力ポート１７ｄとはマイクロチャネル９３の上部の位置に対応するように同様に両側端部に形成されているが、図３の側面図では、入力ポート１７ａ，１７ｂとは側面からみた位置が重なっていてかつ同様な形状であるので図２（ａ）におけるマイクロチャネル９２側の入力ポート１７ａのみを点線で示し、入力ポート１７ｂは省略してある。
入力ポート１７ａ，１７ｂの開口部は、センサチップ載置テーブル１６に位置決めされたセンサチップ９のポッド９４，９６の位置に対応して位置付けられ、出力ポート１７ｃ，１７ｄの開口部も同様にポッド９５，９７の位置に対応するように位置付けられている。
なお、チップカバー１７は、ＰＤＭＳ製であってもＳＵＳ製であってもよく、測定に影響を与えないようなその他の部材が用いられてもよい。
【００１４】
入力ポート１７ａ，１７ｂと出力ポート１７ｃ，１７ｄとにはラッパ状のコネクタ挿入部１８がチップカバー１７の両側端部にそれぞれ設けられている。それぞれの入出力ポートは、このコネクタ挿入部１８を介してインジェクタ２１，２２と導管で接続される。
これにより、ポッド９４，９６は、図１に示すインジェクタ２１，２２に接続され、それぞれに所定の量の薬液の供給を入力ポート１７ａ，１７ｂからそれぞれ受けてその薬液がポッド９４，９６に充填される。供給された薬液は、さらにマイクロチャネル９２、９３に流れ、これらを経てそれぞれポッド９５，９７に送られる。さらにこれらポッドを経て出力ポート１７ｃ，１７ｄから排出されて導管を通して廃液ホルダ２８に送られる。
【００１５】
図２（ｂ）に点線で示すように、チップカバー１７には、ポッド９４〜９７の位置に対応してシールリング突起１９がフランジとして下側に突き出して設けられている。これによりインジェクタ２１，２２から送り込まれる薬液（送液）、排出される薬液（送液）が漏れることはない。
なお、チップカバー１７は、一定の圧力でセンサチップ９の表面に押しつけられる構成を採るが、その押圧機構は図示していない。
図２（ａ）に示すように、チップカバー１７には孔１７ｅ，１７ｆが設けられている。この孔１７ｅ，１７ｆは、図２（ａ）に一点鎖線で示すように、マイクロチャネル９２、９３の上部にそれぞれ位置する矩形の孔である。この孔１７ｅ，１７ｆに２本のバンドル管４０ａ，４０ｂ（図３参照）がそれぞに挿入される。２本のバンドル管４０ａ，４０ｂは、図１では、２本であることの説明の都合上、位置をずらせて並列に２本示してあるが、実際には前後に重なっているので、図３では、バンドル管４０ｂをバンドル管４０ａに重ねて、バンドル管４０ａ側だけを示してある。
【００１６】
投光系光ファイバと受光系光ファイバは、センサチップ９に対峙する先端部では、図６（ｃ）に示すような２ｍｍφ程度の１本のバンドル管４０ａ，４０ｂとされ、このバンドル管４０ａ，４０ｂが図１に示すように移動台１２の孔に貫通して固定的に支持される。これによりバンドル管４０ａ，４０ｂの先端部がそれぞれ１本づつ孔１７ｅ，１７ｆに配置される。各先端部の位置は、それぞれマイクロチャネル９２、９３の上部に位置している。
図２（ｂ）に示すように、ポッド９４〜９７と各マイクロチャネル９２、９３には、窒化シリコン（ＳｉＮ）の光学薄膜９ｂの表面に光学薄膜センサ部１００がそれぞれ形成されている。ここでの光学薄膜センサ部１００の形成は、バッファ液ホルダ２５にリガンドを含むバッファー液を蓄積しておき、センサチップ９の各入力ポート１７ａ，１７ｂからこのバッファー液をポッド９４，９６に送液してこれに充填し、各マイクロチャネル９２、９３にそれぞれ流すことで行われる。
光学薄膜９ｂは、ＳｉＮ、ＳｉＮ＋アミノ基、ＳｉＮ＋エポキシ基、あるいはＳｉＮ＋カルボキシル基などから選択されたもので構成され、光学薄膜センサ部１００は、そのような光学薄膜９ｂの表面に付着したリガンドからなり、そのような光学薄膜センサ部１００を形成した後にそれぞれのセンサチップとしてセンサチップ９が提供される。
以下では、ポッド９４〜９７と各マイクロチャネル９２、９３にはそれぞれに光学薄膜センサ部１００がすでに形成されているものとして説明する。
【００１７】
図１に戻り、送液システム２は、データ処理／制御装置７により制御され、インジェクタ２１，２２とポンプ２３，２４、バッファ液ホルダ２５、ポンプ制御ユニット２６，２７、そして廃液ホルダ２８とからなる。
ポンプ制御ユニット２６，２７は、それぞれポンプ２３，２４を駆動して所定量の薬液をバッファ液ホルダ２５から吸い上げてそれぞれに接続されている導管を経てインジェクタ２１，２２へと薬液を供給する。
インジェクタ２１，２２は、入力ポート１７ａ，１７ｂに接続された導管を経てポッド９４、９５に調整された所定量の薬液を供給する。
温度調整システム３は、恒温ベース１１と温度制御ユニット３１からなり、データ処理／制御装置７の制御下でセンサチップ９が目標の温度になるように恒温ベース１１の温度を設定し、制御する。
【００１８】
投光系４は、ハロゲンランプの光源４１と２本の光ファイババンドル４２，４３とからなり、光源４１の光をセンサチップ９のマイクロチャネル９２，９３に照射する。
光ファイババンドル４２，４３は、図６（ｂ）に示すように、６本の光ファイバ４４からなる投光系光ファイバである。光源４１の光出力の位置では、図６（ａ）に示すように、光ファイババンドル４２，４３の各の６本の光ファイバ４４は２段に整列されて上下に配置されている。各光ファイバの径は０．５ｍｍφである。
これら光ファイババンドル４２，４３の経路は、途中で遮断され、それぞれ２つのブロック４２ａ，４２ｂと４３ａ，４３ｂとに分離されている。
２つのブロック４２ａ，４２ｂと４３ａ，４３ｂの間には、それれぞ２チャネルの投光系ファイバ切換機構４５が設けられている。これにより、センサチップ９のマイクロチャネル９２，９３に投光する光の一方を遮断し他方を透過する切換えを行う。その切換えは、データ処理／制御装置７からの駆動信号をＵＳＢインタフェース７３，ＵＳＢハブ８を介してソレノイド駆動回路４６が投光切換信号Ｓ１（図１０（ａ）参照）を受けてシャッタ機構４７を駆動することで行われる。
【００１９】
図４は、この２チャネルの投光系ファイバ切換機構の正面図である。シャッタ機構４７は、ベース板４７ａの両端に起立したブラケット４７ｂ，４７ｃを有し、これらブラケット４７ｂａ，４７ｃに固定されたソレノイド４８ａ，４８ｂが両端にそれぞれ設けられている。各ソレノイド４８ａ，４８ｂには、その進退するロッドにシャッタ板４９が橋渡されて取付られている。なお、４９ａは、光ファイババンドル４２，４３の挿着固定板であって、手前側にも同様なものが一枚設けられているが、図では見えていない。挿着固定板４９ａは、ベース板４７ａに起立して固定され、図１に示すように、それぞれ光ファイバ保持用のコネクタが挿着されている。
シャッタ板４９の前後にあるそれぞれある２枚の挿着固定板は、分離された２つのブロック４２ａ，４２ｂと２つのブロック４３ａ，４３ｂとの各ブロックの光ファイバの中心が相互に一致するようにそれぞれの光ファイバを固定するものである。
ところで、図４では、シャッタ機構４７は、ベース板４７ａが下側に位置しているが、反転させてベース板４７ａを上側としてこれを使用してもよい。
【００２０】
シャッタ板４９には、光透過用の孔５０が１つ開けられている。ソレノイド駆動回路４６によるソレノイド４８ａ，４８ｂのいずれか一方の駆動で、図１に示すように、孔５０が光ファイババンドル４２，４３のいずれかの位置に対応して位置付けられ、いずれかの光ファイバに投光光を通過させるようになっている。なお、孔５０の径は、光ファイババンドル４２，４３の径２ｍｍφよりも少し大きく、３ｍｍφ程度のものである。
受光系５は、光ファイバ５１，５２と分光器５３とからなる。光ファイバ５１，５２は、図６（ｃ）に示すように、バンドル管４０ａ，４０ｂの６本の光ファイバ４４の中心部に受光部となる先端側が配置された光ファイバであって、そこから各バンドル管４０ａ，４０ｂを経てそれぞれに引き出されたものとして右側に１本の光ファイバ５１（５２）として示すものである。
【００２１】
図１に示すように、分光器５３は、透過回折格子型分光器であって、入力コネクタ５３ａを有していて、図５に示すように、入力コネクタ５３ａを介して入射光を受けるスリット５４とコリメータミラー５５、透過型ホログラフィックグレーティング５６、フォーカシングミラー５７、そして一次元ＣＣＤイメージセンサ（リニアセンサ）５８等からなる。
スリット５４には入力コネクタ５３ａを介して２本の光ファイバ５１，５２がスリット５４の長手方向に沿って設けられている。入射光を受けるスリット５４の幅は、光ファイバの径の０．５ｍｍφより少し大きく、その長さは、数ｍｍで、複数本の光ファイバをスリット５４の長手方向に沿って配列することができる。そこで、透過型ホログラフィックグレーティング５６は、水平面からみれば光ファイバ５１，５２の照射光が同じ位置となり、垂直方向では上下にずれて各ファイバからの光が照射されるようになっている。
スリット５４から入射された光は、コリメータミラー５５、透過型ホログラフィックグレーティング５６、フォーカシングミラー５７を経て波長分析されてそのスペクトル光がフォーカシングミラー５７から各波長に応じた反射角でＣＣＤセンサ５８に入射される。ＣＣＤセンサ５８は、ここでは画素数が１０２４であって、画素配列方向と垂直な方向の画素幅は、上下に配置された２本の光ファイバ５１，５２の入射光を分析したスペクトル光を受けることができる大きさになっている。
【００２２】
図１に戻り、受光制御回路６は、コントローラ６１とＡ／Ｄ変換回路（Ａ／Ｄ）６２、メモリ６３、ＵＳＢインタフェース６４とからなる。
コントローラ６１は、データ処理／制御装置７からの制御信号に応じて分光器５３のＣＣＤセンサ５８から得られる１０２４画素分を読み出してその出力信号を、例えば１６ビットのＡ／Ｄ６２でデジタル値に変換して検出画素位置対応にメモリ６３に記憶する処理をする。
なお、各検出画素位置は、分析されたスペクトル波形の波長に対応していて、コントローラ６１は、分光開始信号ＡS（第１０図（ｃ）参照）をＭＰＵ７１から受けて、Ａ／Ｄ変換された１回分のスペクトル分析データをＡ／Ｄ６２を介してＣＣＤセンサ５８から読出してメモリ６３へ記憶する。その記憶が終了すると、データ処理／制御装置７に割込信号Ｉｎ（第１０図（ｄ）参照）を発生する。もちろん、この場合、１回分のスペクトル分析データの読出が複数回、例えば１００回程度行われ、１００個分のスペクトル分析データがメモリ６３に記憶されてもよい。なお、コントローラ６１によるＣＣＤセンサ５８からのスペクトル分析データ読出は、投光切換信号Ｓ１（第１０図（ａ）参照）の切換タイミング（その立上がりあるいは立下がり）から所定時間後、例えば、１．１sec後に行われる。
【００２３】
ＵＳＢインタフェース６４は、メモリ６３に記憶された受光データ（１回分あるいは複数回分のスペクトル分析データ）をデータ処理／制御装置７の制御に応じてデータ処理／制御装置７に転送する処理をする。
データ処理／制御装置７は、ＵＳＢ端子をもつ通常のパーソナルコンピュータである。これは、ＭＰＵ７１とメモリ７２、ＵＳＢインタフェース７３、ディスプレイ７４、キーボード７５、そしてこれらを接続するバス７６等とを有している。コントローラ６１からの割込信号Ｉｎを受けてメモリ６３に記憶された測定データ（スペクトル分析データ）をＵＳＢインタフェース６４，ＵＳＢインタフェース７３を介して得て、メモリ７２の所定の領域に記憶する。なお、７７は、ＨＤＤ等の外部記憶装置である。
【００２４】
メモリ７２には、時分割切換プログラム７２ａと、測定データ採取プログラム７２ｂ、干渉スペクトル波形算出／表示プログラム７２ｃ、そしてピークシフト算出／表示プログラム７２ｄ等が格納され、パラメータ領域７２ｅ、作業領域７２ｆとが設けられている。  時分割切換プログラム７２ａは、キーボード７５における測定開始の機能キー入力に応じてあるいは他のプログラムの実行中にコールされてＭＰＵ７１により実行される。これをＭＰＵ７１が実行して、ＭＰＵ７１は、２チャネルの投光系ファイバ切換機構４５を駆動して、例えば、１．５秒間隔（第１０図（ａ）の投光切換信号Ｓ１参照）で光ファイババンドル４１と光ファイババンドル４２からの投光光を交互に切換えてセンサチップ９のマイクロチャネル９２，９４に交互に照射する制御をし、光ファイババンドル４１と光ファイババンドル４２の照射の各照射期間のそれぞれ対応して分光器５３から得られるスペクトル分析データ、例えば、１００個分の分析データを受光制御回路６のメモリ６３に記憶させる。
【００２５】
測定データ採取プログラム７２ｂは、キーボード７５における所定の機能キー入力に応じてあるいは他のプログラムの実行中にコールされてＭＰＵ７１により実行される。これをＭＰＵ７１が実行して、ＭＰＵ７１は、データ処理／制御装置７により送液システム２を駆動する。最初は、バッファ液ホルダ２５にサンプルを希釈するバッファ液が蓄積される。この時点でのこのプログラムの実行でそのバッファ液がマイクロチャネル９２（第１チャネル）とマイクロチャネル９３（第２チャネル）に流される。同時に時分割切換プログラム７２ａがコールされてタスク処理で実行される。そして、投光系ファイバ切換機構４５の投光切換信号Ｓ１（第１０図（ａ）参照）の切換タイミング時点から所定時間後にコントローラ６１からの発生する割込信号Ｉｎに応じて、データ読取信号Ｒｄ（第１０図（ｄ）参照）をコントローラ６１に送出する。それにより、投光切換信号Ｓ１による投光系ファイバ切換機構４５の切換えごとに交互に受光制御回路６のメモリ６３からマイクロチャネル９２（第１チャネルに対応），９４（第２チャネルに対応）の反射光の各１００個のスペクトル分析データ（測定データ）が交互にＵＳＢインタフェース６４を介して読出されてメモリ７２に記憶される。読出されたそれぞれの光学薄膜センサ部１００の反射光のスペクトルデータは、このとき作業領域７２ｆの各チャネル対応の記憶位置に記憶される。そして、ＭＰＵ７１は、干渉スペクトル波形算出／表示プログラムプログラム７２ｃをコールする。
【００２６】
干渉スペクトル波形算出／表示プログラムプログラム７２ｃは、前記の測定データ採取プログラム７２ｂの実行終了時のコールの他に、キーボード７５におけるスペクトル波形データ表示の機能キー入力に応じてコールされてＭＰＵ７１により実行される。これをＭＰＵ７１が実行して、ＭＰＵ７１は、作業領域７２ｆに記憶されたマイクロチャネル９２（第１チャネル）とマイクロチャネル９３（第２チャネル）の分析波長に応じた各１００個の合計２００個のスペクトルデータを平均化して波形データを作成して、受光レベル［電圧］を縦軸とし、波長を横軸として図７（ａ）に示すような干渉スペルトル波形をディスプレイ７４上に表示する。
このときの干渉スペルトル波形は、サンプルを希釈するバッファ液が送液されて測定されたものであるので、リガンドに対する干渉スペルトル波形である。その干渉スペルトル波形の山と谷の差Ｄが小さいときには、光ファイバー先端がチップ表面より離れていたり、あるいはチップ表面に押し込まれていたりするので、調整摘み１２ａで突当ストッパバー１５に対する移動台１２の位置を調整して再度干渉スペルトル波形を表示して適正か否かを確認する。
【００２７】
ピークシフト算出／表示プログラム７２ｄは、干渉スペルトル波形が適正であるときに測定開始の機能キー入力あるいは所定の機能キー入力に応じてコールされてＭＰＵ７１により実行される。このときにはバッファ液ホルダ２５にはバッファ液にサンプルが充填されている。
このプログラムをＭＰＵ７１が実行してサンプルの測定を開始する。ＭＰＵ７１は、送液システム２を制御して、インジェクタ２１，２２からポッド９４、９５にサンプルを注入して、時分割切換プログラム７２ａと測定データ採取プログラム７２ｂとをコールしてタスク処理で並行してこれらを実行する。これにより、所定の速度に調整された所定量の薬液をマイクロチャネル９２（第１チャネル），９４（第２チャネル）に流してマイクロチャネル９２（第１チャネル），９４（第２チャネル）に形成されたそれぞれの光学薄膜センサ部１００からの反射光のスペクトルデータをそれぞれにメモリ７２の作業領域７２ｆに各チャネル対応に記憶する。なお、このときには干渉スペクトル波形算出／表示プログラムプログラム７２ｃはコールされない。
【００２８】
さらに、ＭＰＵ７１は、時間経過とともに得られるメモリ７２の作業領域７２ｆに記憶された各チャネル対応のスペクトルデータ（２００個）に基づき、各チャネルのピーク（反射光の谷）の位置の波長λpの波長変化量を算出する。
具体的には、ＭＰＵ７１は、１．５秒間隔で所定の時間の間、作業領域７２ｆに記憶された第１チャネルと第２チャネルの多数のスペクトルデータを３秒間隔の各測定回ごとに平均化して、最小自乗法でフォークト関数の係数を算出して、各スペクトル波形データをフォークト関数でフィティング処理をしてピーク位置の波長λp（図７（ａ）参照）を検出する。さらに、各スペクトル波形データ波長λpiから波長の差Δλ＝λpi-λpoを算出して（ただしλpoは測定開始時点のピーク位置の波長λp）ピーク波長の変化量対時間データを作成し、波長の変化量Δλを縦軸とし、経過時間を横軸として図７（ｂ）に示すようなピークシフト波形をディスプレイ７４上に表示する。
なお、以上の各プログラム処理のフローチャートについては、各プログラム処理が単純であり、前記の記述内容で理解されるものと思われるので割愛する。
【００２９】
図８は、８チャネルの投光系ファイバ切換機構の説明図であって、８チャネルの投光系ファイバ切換機構は、図４の投光系ファイバ切換機構４５のシャッタ機構４７のシャッタ板４９を回転式のシャッタ円板４９ａとしたものである。その投光系ファイバ切換機構４５ａは、実線と点線で示すように、４５度間隔に円板の外周８箇所に８本の投光系光ファイババンドル光４１ａ〜４１ｈを、図１の２本の投光系光ファイババンドル光４１，４２に変えて円形に配置したものである。シャッタ円板４９ａの外周の１箇所に光透過用の孔５０が設けられている。この投光系ファイバ切換機構４５ａは、ステッピングモータ５０ａによりシャッタ円板４９ａを４５度単位でステップ送りして８チャネルの投光系光ファイババンドル光４１ａ〜４１ｈの１つの照射光を選択して８チャネルのマイクロチャネルが形成されたセンサチップのマイクロチャネルの１つに選択的に照射するものである。
これにより８チャネルのセンサチップの各マイクロチャネルについて時分割で１つの分光器により波長分析する測定ができる。
なお、この場合には、受光系５は、受光系光ファイバが８本になる。そこで、分光器５３は、そのスリット５４において８本の受光系光ファイバについてスリット５４の長手方向に沿って配列し、画素配列と直交する方向のＣＣＤセンサの１画素の幅を８本の受光系光ファイバからの光を受光できる大きさにすればよい。
【００３０】
図９は、この発明を適用した他の実施例における受光系ファイバ切換機構の平面図、受光系ファイバ配置図、および受光系ファイバ切換機構の分光器側ファイバ配置図である。なお、受光系ファイバ切換機構と分光器を除いてこの実施例のその他の構成は、図１に示すものと同様であるのでそれらの説明を割愛する。
図９（ａ）の平面図に示すように、受光系のファイバ切換機構４００は、ベース４０１上に設けられたＸ軸移動機構４０２と光コネクタ４０３、分光器に入力するための入力側光ファイバ４０４（以下光ファイバ４０４）、ベース４０１上に設けられた移動基準位置４０５、そしてモータ駆動回路４０６とからなる。
光コネクタ４０３は、固定側光ファイバコネクタ部４０３ａと可動側光ファイバコネクタ部４０３ｂとからなる。
【００３１】
Ｘ軸移動機構４０２は、ボールスクリュウ機構４０２ａとその移動台４０２ｂとステッピングモータ４０２ｃとからなり、移動台４０２ｂには、可動側光ファイバコネクタ部４０３ｂが搭載され、移動基準位置４０５には基準位置検出器としてフォトインターラプタ４０５ａが設けられている。
ボールスクリュウ機構４０２ａは、スクリュウ軸がステッピングモータ４０２ｃにより回転駆動され、ステッピングモータ４０２ｃには、移動台４０２ｂの移動量を検出するためのエンコーダ４０２ｄが設けられ、ステッピングモータ４０２ｃがモータ駆動回路４０６により駆動される。
エンコーダ４０２ｄの出力信号とフォトインターラプタ４０５ａの検出信号とは、それぞれリード線４０７ａ，４０７ｂ、ＵＳＢハブ８を介してデータ処理／制御装置７に入力される。モータ駆動回路４０６は、リード線４０７ｃ、ＵＳＢハブ８を介してデータ処理／制御装置７に接続されている。
【００３２】
図９（ｂ）の受光系ファイバ配置図に示すように、固定側光ファイバコネクタ部４０３ａは、ベース４０１上に固定され、光ファイバ５１、５２（２本の受光系ファイバ）の出光側端部を所定間隔を置いて装着固定する。一方、図９（ｃ）の分光器側ファイバ配置図に示すように、可動側光ファイバコネクタ部４０３ｂは、分光器側の光ファイバ４０４の入光側の端部を固定してＸ軸方向に移動する。光ファイバ４０４の出光側の端部は、分光器５９に入光ポートに結合されて受光光を分光器５９に入光する。
分光器５９は、前記した分光器５３とは異なり、１本の光ファイバの入光ポートを有し、その入光ポートに入光する入力コネクタ５９ａが設けられた反射型あるいは透過型の回折格子を有する通常の分光器である。これは、分光器５３と同様にスペクトル分析信号をＡ／Ｄ６２に出力する。
【００３３】
受光系ファイバ切換機構４００は、メモリ７２に設けられた受光系ファイバ切換切換えプログラム（図示せず）をＭＰＵ７１が実行することによりＭＰＵ７１の制御で投光系ファイバ切換機構４５のスイッチングに応じて切換えが行われる。それにより、光ファイバ５１と光ファイバ５２のいずれかが選択的に光ファイバ４０４と光結合する。
パラメータ領域７２ｅには、移動基準位置４０５から光ファイバ５１と光ファイバ５２までのそれぞれの移動台４０２ｂの移動距離がステッピングモータ４０２ｂの駆動パルス数としてそれぞれに記憶されている。
パラメータ領域７２ｅに記憶される光ファイバ５１と光ファイバ５２までのそれぞれの移動距離は次のようにして測定される。
【００３４】
まず、生化学測定装置１０において、ステッピングモータ４０２ｂを駆動してフォトインターラプタ４０５ａの検出信号を受けて移動台４０２ｂを移動基準位置４０５に設定する。次に投光系ファイバ切換機構４５を駆動してマイクロチャネル９２（第１チャネル）を光照射状態にして移動基準位置４０５からステッピングモータ４０２ｂを駆動して光ファイバ５１まで移動台４０５を移動して分光器５９の検出の出力が最大になったときの移動基準位置４０５からの駆動パルス数をパラメータ領域７２ｅに記憶する。次にマイクロチャネル９３（第２チャネル）に対して同様にして駆動パルス数をパラメータ領域７２ｅに記憶する。
なお、ここでは、分光器５９の検出の出力が最大になったときの位置は、光結合をする各光ファイバの相互の中心が一致したものとしている。
ここでのマイクロチャネル９２とマイクロチャネル９３の受光光の切換は、マイクロチャネル９２からマイクロチャネル９３へ、あるいはその逆に直接切換るものではなく、移動台４０２ｂを移動基準位置４０５に一旦戻してから、この移動基準位置４０５を基準としてマイクロチャネル９２あるいはマイクロチャネル９３へと移動台４０２ｂを移動させることによる。このような切換を行うことにより、光ファイバ４０４の光ファイバ５１あるいは光ファイバ５２との光結合についての位置決め累積誤差をなくすことができる。
【００３５】
図１０は、投光系ファイバ切換機構と受光系ファイバ切換機構の切換タイミングの説明図である。
図１０（ａ）は、投光切換信号Ｓ１であり、ソレノイド駆動回路４６がこの信号を受けて投光切換信号Ｓ１の立上がりと立下がりをそれぞれの切換タイミングとしてそれぞれにシャッタ機構４７を駆動する。これにより投光切換信号Ｓ１がハイレベル（“Ｈ”）のときにはマイクロチャネル９２への投光が選択され、投光切換信号Ｓ１がロウレベル（“Ｌ”）のときにマイクロチャネル９３への投光が選択される。なお、投光切換信号Ｓ１の周期は、３秒であり、各チャネルへの投光期間は、１．５秒である。
図１０（ｂ）は、受光切換信号Ｓ２であり、この信号の立上がりと立下がりをそれぞれの切換タイミングとしてステッピングモータ４０２ｂを駆動して移動台４０２ｂを移動基準位置４０５に戻し、そこからステッピングモータ４０２ｂを所定パルス数駆動して光ファイバ５１あるいは光ファイバ５２と光ファイバ４０４とを光結合させる。その周期は、投光切換信号Ｓ１と同じである。受光切換信号Ｓ２が“Ｈ”のときにはマイクロチャネル９２からの反射光の受光が選択され、受光切換信号Ｓ２が“Ｌ”のときにマイクロチャネル９３への投光が選択される。
なお、受光切換信号Ｓ２の信号の立上がりあるいは立下がりから光結合に光ファイバ４０４が設定される時間は、０．２秒程度である。この光結合のための移動台４０２ｂの移動が完了したタイミングに合わせて図１０（ｃ）に示す分光開始信号ＡSを発生する。
【００３６】
図１０（ｄ）は、分光完了を示すコントローラ６１からの割込信号Ｉｎである。この割込信号を点線で示すのは、分光処理時間が通常０．２程度で済むので、この割込信号は必ずしも制御に必要なものではないからである。
図１０（ｅ）は、データ読取信号Ｒｄであって、データ読取信号Ｒｄは、コントローラ６１からの割込信号Ｉｎに応じてあるいは投光切換信号Ｓ１の立上がり又は立下がりから所定時間経過後、例えば１．１秒後にデータ処理／制御装置７からコントローラ６１に送出される。ＭＰＵ７１は、データ読取信号Ｒｄの立下がりタイミングでメモリ６３からスペクトルデータＤＳ（図１０（ｆ）参照）を読出す。
【００３７】
ところで、この実施例は、図１の実施例に対応させて２本の受光系光ファイバについて切換えを行っているが、図８のような８チャネルの投光系ファイバに対応させて８チャネルの受光系光ファイバについて同様な回転式のシャッタ円板で構成して８チャネル切換えを行うようにすることができる。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
以上説明してきたが、実施例の投光系光ファイバは、１本のバンドルに複数本のファイバ設けられ、これに対して受光系光ファイバが１本設けられているが、この発明は、 投光系光ファイバは、バンドルではなく１本のものであってもよく、逆に受光系光ファイバが１本のバンドルに複数本設けられていてもよい。
実施例の投光系ファイバ切換機構は、１．５秒間隔で光ファイババンドル４１（第１チャネルに対応）と光ファイババンドル４２（第２チャネルに対応）の照射光を交互に切換えてセンサチップ９に照射し、それぞれの測定データを１個の分光器から得ている。しかし、この切換間隔は、１．５秒間隔に限定されるものではない。さらに、この場合、この発明は、交互ではなく、例えば、先に光ファイババンドル４１（第１チャネル）を選択して複数個の波形データを得て、その後に光ファイババンドル４２（第２チャネル）側に切換えて同様に複数個の波形データを得るような１回の切換えであってもよい。
また、実施例では、光学薄膜センサ部は、各マイクロチャネルに連通する各ポッドが両側にそれぞれ設けられているが、１つのチャネルに複数の光学薄膜センサ部が分離して設けられていてもよいことはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】図１は、この発明を適用した一実施例の生化学測定装置のブロック図である。
【図２】図２（ａ）は、２本のマイクロチャネルを形成したセンサチップの平面説明図、そして図２（ｂ）はそのＡ−Ａ断面説明図である。
【図３】図３は、測定ステージの説明図の説明図である。
【図４】図４は、２チャネルの投光系ファイバ切換機構の正面図である。
【図５】図５は、光ファイバと回折格子型分光器の入光側スリットにおける受光系光ファイバの配置の説明図である。
【図６】図６は、投光系と受光系の光ファイババンドルの断面説明図である。
【図７】図７は、測定された干渉スペクトルと反射光の谷の移動度（ピークシフトグラフ）の説明図である。
【図８】図８は、８チャネルの投光系ファイバ切換機構の説明図である。
【図９】図９（ａ）は、この発明を適用した他の実施例における受光系ファイバ切換機構の平面図、図９（ｂ）は、受光系ファイバ切換機構の受光系ファイバ配置図、そして図９（ｃ）は、受光系ファイバ切換機構の分光器側ファイバ配置図である。
【図１０】図１０は、投光系ファイバ切換機構と受光系ファイバ切換機構の切換タイミングの説明図である。
【符号の説明】
【００４０】
１…測定ステージ、
２…送液システム、３…温度調整システム、
４…投光系、５…受光系、６…受光制御回路、
７…データ処理／制御装置、８…ＵＳＢバブ、
９…センサチップ、１０…生化学測定装置、
１１…恒温ベース、１２…移動台、１２ａ…調整摘み、
１３…装置のベース、１４…ブラケット、１５…突当ストッパバー、
１６…センサチップ載置テーブル、１７…チップカバー、
１７ａ，１７ｂ…入力ポート、
１７ｃ，１７ｄ…出力ポート、２１，２２…イジェクタ、
２３，２４…ポンプ、２５…バッファ液ホルダ、
２６，２７…ポンプ制御ユニット、２８…廃液ホルダ、
４０ａ，４０ｂ…バンドル管、４１…ハロゲンランプの光源、
４２，４３…光ファイババンドル、
４４…光ファイバ、４５…投光系ファイバ切換機構、
４６…ソレノイド駆動回路、４７…シャッタ機構、
４８ａ，４８ｂ…ソレノイド、４９…にシャッタ板、
７２ａ…時分割切換プログラム、
７２ｂ…測定データ採取プログラム、
７２ｃ…干渉スペクトル波形算出／表示プログラム、
７２ｄ…ピークシフト算出／表示プログラム、
７２ｅ…パラメータ領域、７２ｆ…作業領域、
９２，９３…マイクロチャネル、９４〜９７…ポッド、
４００…受光系のファイバ切換機構、４０１…ベース、
４０２…Ｘ軸移動機構、４０３…光コネクタ、４０４…入力側光ファイバ、
４０５…移動基準位置、４０６…モータ駆動回路。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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