(57)【要約】【課題】各種装置に組み付けた場合であっても、設計時と同様の変位量、変位軌跡で突起部を動作させることのできるようにする。【解決手段】圧電アクチュエータ１００は、矩形状のプレート２を有している。このプレート２は中央部に形成された変形部３と、この変形部３の全周に亙って形成された非変形部４とが一体的に形成されている。変形部３の上面には、その中心部に突起部５が一体的に形成されているとともに、圧電素子Ｅ〜Ｈが配置されている。非変形部４の上下面には、変形部３を包囲する形状の周囲部材６が接着固定されており、上下の周囲部材６とこれにより挾持された非変形部４とにより固定部７が構成されている。【選択図】図３
2008029062.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可撓性を有する変形部と、
この変形部の一面に設けられた突起部と、
前記変形部の一面と他面の少なくとも一方の面に設けられ、駆動電圧を印加されることにより、前記変形部を撓み変形させて前記突起部を変位させる圧電素子と、
前記変形部の周部に形成され、非可撓性を有する固定部と、
を備えることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項２】
前記変形部と突起部とを一体的に形成したことを特徴とする請求項１記載の圧電アクチュエータ。
【請求項３】
前記圧電素子を、前記突起部の両側に直線状に配置された第１及び第２の圧電素子と、
これら第１及び第２の圧電素子の配置方向と直交する方向に配置された第３及び第４の圧電素子とにより構成したことを特徴とする請求項１記載の圧電アクチュエータ。
【請求項４】
前記第１乃至第４の圧電素子が、前記突起部が設けられた面と同一の前記一面側と、前記突起部が設けられた面とは異なる他面側の少なくともいずれか一方に配置されたことを特徴とする請求項１、２又は３記載の圧電アクチュエータ。
【請求項５】
前記固定部を、前記変形部の全周に亙って設けたことを特徴とする請求項１から４にいずれか記載の圧電アクチュエータ。
【請求項６】
前記変形部と固定部とを一体的に形成したことを特徴とする請求項１から５にいずれか記載の圧電アクチュエータ。
【請求項７】
前記固定部に、固定用の螺旋を挿通するための穴部及び／又は切欠部を設けたことを特徴とする請求項１から６にいずれか記載の圧電アクチュエータ。
【請求項８】
前記固定部を前記変形部よりも厚肉に形成するとともに、前記固定部に配線用の凹部を形成したことを特徴とする請求項１から７にいずれか記載の圧電アクチュエータ。
【請求項９】
前記変形部に開口部を形成したことを特徴とする請求項１から８にいずれか記載の圧電アクチュエータ。
【請求項１０】
前記開口部を、前記変形部における隣接する各圧電素子間の領域に形成したことを特徴とする請求項１０記載の圧電アクチュエータ。
【請求項１１】
前記開口部を、前記変形部であって、該変形部と前記固定部との境界の近傍に形成したことを特徴とする請求項９又は１０記載の圧電アクチュエータ。
【請求項１２】
請求項１から１１にいずれか記載の電圧アクチュエータを備え、前記突起部の変位に伴って駆動される撮像素子を備えることを特徴とする手ぶれ補正装置。
【請求項１３】
可撓性を有する変形部と、この変形部の一面に設けられた突起部と、前記変形部の一面と他面の少なくとも一方の面に設けられた圧電素子とを備え、この圧電素子に駆動電圧を印加することにより、前記変形部を撓み変形させて前記突起部を変位させるように構成したことを圧電アクチュエータの検査方法であって、
前記突起を外力により変形させ、そのとき前記圧電素子より発生する起電力を測定して、当該圧電アクチュエータの良否を判定することを特徴とする圧電アクチュエータの検査方法。
【請求項１４】
前記圧電アクチュエータが、請求項１から１１にいずれか記載の電圧アクチュエータであることを特徴とする請求項１３記載の圧電アクチュエータの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電アクチュエータ、これを用いた手ぶれ補正装置及び圧電アクチュエータの検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、圧電素子を用いて構成される圧電アクチュエータが提案されるに至っている。この圧電アクチュエータは、柱状の弾性体と、この弾性体の中心部に突設された突起部、及びこの突起部の両側であって前記弾性体の表面と裏面にそれぞれ貼着された各々一対の圧電素子とで構成されている。そして、各圧電素子に電圧を印加すると、圧電素子が伸長又は収縮し、これに伴って弾性体が変形する。この弾性体の変形により、前記突起部が上下方向及びこれと交差する左右方向とに変位し、この突起部の変位によって駆動対象を上下方向と左右方向とに駆動するものである（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開平７−２７４５５６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような圧電アクチュエータを実際に各種装置に組み付けて用いるに際しては、変形に伴って弾性体自体が移動してしまうことから、これを防止して突起部が所定の変位量、変位軌跡で変位することを確保すべく、弾性体の周部を固定する必要がある。しかしながら、各種装置に組み込むに際して弾性体の周部を固定すると、固定状態や固定構造に応じて弾性体の変形量に変化が生ずる。したがって、従来の圧電アクチュエータは、各種装置に組み付けた際の固定状態や固定構造に応じて、突起部の変位量や変位軌跡が異なってしまい、設計した際に設定した変位量や変位軌跡を得られなくなってしまう。
【０００４】
本発明は、かかる従来の課題に鑑みてなされたものであり、各種装置に組み付けた場合であっても、設計時と同様の変位量、変位軌跡で突起部を動作させることのできる圧電アクチュエータ、これを用いた手ぶれ補正装置及び圧電アクチュエータの検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記課題を解決するため請求項１記載の発明に係る圧電アクチュエータにあっては、可撓性を有する変形部と、この変形部の一面に設けられた突起部と、前記変形部の一面と他面の少なくとも一方の面に設けられ、駆動電圧を印加されることにより、前記変形部を撓み変形させて前記突起部を変位させる圧電素子と、前記変形部の周部に形成され、非可撓性を有する固定部とを備えることを特徴とする。
【０００６】
また、請求項２記載の発明に係る圧電アクチュエータにあっては、前記変形部と突起部とを一体的に形成したことを特徴とする。
【０００７】
また、請求項３記載の発明に係る圧電アクチュエータにあっては、前記圧電素子を、前記突起部の両側に直線状に配置された第１及び第２の圧電素子と、これら第１及び第２の圧電素子の配置方向と直交する方向に配置された第３及び第４の圧電素子とにより構成したことを特徴とする。
【０００８】
また、請求項４記載の発明に係る圧電アクチュエータにあっては、前記第１乃至第４の圧電素子が、前記突起部が設けられた面と同一の前記一面側と、前記突起部が設けられた面とは異なる他面側の少なくともいずれか一方に配置されたことを特徴とする。
【０００９】
また、請求項５記載の発明に係る圧電アクチュエータにあっては、前記固定部を、前記変形部の全周に亙って設けたことを特徴とする。
【００１０】
また、請求項６記載の発明に係る圧電アクチュエータにあっては、前記変形部と固定部とを一体的に形成したことを特徴とする。
【００１１】
また、請求項７記載の発明に係る圧電アクチュエータにあっては、前記固定部に、固定用の螺旋を挿通するための穴部及び／又は切欠部を設けたことを特徴とする。
【００１２】
また、請求項８記載の発明に係る圧電アクチュエータにあっては、前記固定部を前記変形部よりも厚肉に形成するとともに、前記固定部に配線用の凹部を形成したことを特徴とする。
【００１３】
また、請求項９記載の発明に係る圧電アクチュエータにあっては、前記変形部に開口部を形成したことを特徴とする。
【００１４】
また、請求項１０記載の発明に係る圧電アクチュエータにあっては、前記開口部を、前記変形部における隣接する各圧電素子間の領域に形成したことを特徴とする。
【００１５】
また、請求項１１記載の発明に係る圧電アクチュエータにあっては、前記開口部を、前記変形部であって、該変形部と前記固定部との境界の近傍に形成したことを特徴とする。
【００１６】
また、請求項１２記載の発明に係る手ぶれ補正装置にあっては、請求項１から１１にいずれか記載の電圧アクチュエータを備え、前記突起部の変位に伴って駆動される撮像素子を備えることを特徴とする。
【００１７】
また、請求項１３記載の発明に係る圧電アクチュエータの検査方法にあっては、可撓性を有する変形部と、この変形部の一面に設けられた突起部と、前記変形部の一面と他面の少なくとも一方の面に設けられた圧電素子とを備え、この圧電素子に駆動電圧を印加することにより、前記変形部を撓み変形させて前記突起部を変位させるように構成したことを圧電アクチュエータの検査方法であって、前記突起を外力により変形させ、そのとき前記圧電素子より発生する起電力を測定して、当該圧電アクチュエータの良否を判定することを特徴とする。
【００１８】
また、請求項１４記載の発明に係る圧電アクチュエータの検査方法にあっては、前記圧電アクチュエータが、請求項１から１１にいずれか記載の電圧アクチュエータであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明に係る圧電アクチュエータによれば、突起部が設けられた可撓性を有する変形部の周部に固定部を形成するようにしたことから、この圧電アクチュエータを実際に各種装置に組み付けて用いるに際して、固定部にて固定することができる。このとき、固定部は当該圧電アクチュエータに予め設けられている部分であって、当該圧電アクチュエータの一部として設計された部分であることから、固定部を固定して各種装置に組み付けも、突起部の変位量や変位軌跡が設計時と異なってしまうことはない。よって、各種装置に組み付けた場合であっても、当該圧電アクチュエータを設計した際に設定した変位量や変位軌跡で動作させることができる。
【００２０】
また、本発明に係る手ぶれ補正装置によれば、圧電アクチュエータの設計時の動作能力と同様の動作能力で撮像素子を駆動することができる。
【００２１】
また、本発明に係る圧電アクチュエータの検査方法によれば、完成した圧電アクチュエータの良否を、簡単な作業で容易に判別することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の一実施の形態を図に従って説明する。
（第１の実施の形態）
【００２３】
図１〜図３に示すように、本発明の第１の実施の形態に係る圧電アクチュエータ１００は、矩形状のプレート２を有している。このプレート２は中央部に形成された変形部３と、この変形部３の全周に亙って形成された非変形部４とが一体的に形成されている。変形部３は肉薄状であって可撓性を有し、非変形部４は変形部３よりも肉厚状であって非可撓性を有している。
【００２４】
前記変形部３の上面には、その中心部に突起部５が一体的に形成されている。図２に示すように、変形部３の下面側には、突起部５の一方側に配置された第１圧電素子Ａと他方側に配置された第２圧電素子Ｂとが、突起部５を通過する直線上に配置されているとともに、突起部５の一方側に配置された第３圧電素子Ｃと他方側に配置された第４圧電素子Ｄとが、突起部５を通過する直線上であって、前記第１及び第２圧電素子の配列方向とは直交する直線上に配置されている。また、変形部３の上面側には、第１〜第４圧電素子Ａ〜Ｄと対向する位置に第５〜第８圧電素子Ｅ〜Ｈが配置されている。これら第１〜第４圧電素子Ａ〜Ｄ及び第５〜第８圧電素子Ｅ〜Ｈは、電導性接着剤により貼着されている。
【００２５】
前記非変形部４の上下面には、前記変形部３を包囲する形状の周囲部材６が接着固定されており、図３（Ｂ）に示すように、上下の周囲部材６とこれにより挾持された前記非変形部４とにより固定部７が構成されている。固定部７には、相対向する一対の角部に、固定用のビス８等を受容するための切欠部９が形成されており、他の相対向する一対の角部には、ビス等を挿通するための円形孔１１と楕円孔１２とが形成されている。
【００２６】
さらに、固定部７の各隣接する角部間の中央部であって上面側と裏面側には、電線等を配索するための凹部１３が設けられている。そして、図３（Ａ）に示すように、各圧電素子Ａ〜Ｈには電荷を印加できるように各々電線１４が接続され、これら電線１４は各々凹部１３内に配索されている。また、前記プレート２は、圧電素子Ａ〜Ｈの共通電極として使用するために、導電性材料からなり、図３（Ａ）に示すように、電線１５が接続される。
【００２７】
この圧電アクチュエータ１００は、図３（Ｂ）に示すように、本実施の形態における組み付け対象であるデジタルカメラ２０の所定箇所にビス８により固定される。そして、前記突起部５上にＣＣＤ２２が固定された台座２１が配置される。
【００２８】
図４は、本実施の形態の回路構成を示すブロック図である。メモリ１６には、プログラム等が格納されている。ＣＰＵ１７はこのメモリ１６に格納されたプログラムに従って処理を実行することにより、トランジスタ１８ａ〜１８ｈを制御し、ＦＥＴ１９ａ〜１９ｈを介して、第１〜第４圧電素子Ａ〜Ｄに印加する電圧を制御する。また、メモリ１６には、前記プログラムとともに、図５（ａ）に示す第１第２圧電素子制御テーブル１６ａと、（ｂ）に示す第３第４圧電素子制御テーブル１６ｂ、及び図示しない第５第６圧電素子制御テーブルと第７第８圧電素子制御テーブルが格納されている。第１第２圧電素子制御テーブル１６ａと第３第４圧電素子制御テーブル１６ｂには、各々パターン（１）〜（６）、（１１）〜（１６）に対応して、各圧電素子Ａ〜Ｄに印加する電圧の正負等が記憶されている。また、図示しない第５第６圧電素子制御テーブルと第７第８圧電素子制御テーブルにも同様にパターン（１）〜（６）、（１１）〜（１６）に対応して、各圧電素子Ｅ〜Ｈに印加する電圧の正負等が記憶されている。
【００２９】
なお、以下の説明においては、図６、７に示したように、第１圧電素子Ａ側を「左」、第２圧電素子Ｂ側を「右」、第３圧電素子Ｃ側を「前」、第４圧電素子Ｄ側を「後」とする。
【００３０】
以上の構成に係る本実施の形態において、前記台座２１は、図６、７に示すように左右を左支柱２３Ｌと右支柱２３Ｒにより支持され、かつ前後を前支柱２３Ｆと後支柱２３Ｂにより支持され、突起部５の上端部を接触させた状態で配置される。なお、図６においては、第３及び第４圧電素子Ｃ、Ｄ及び第５〜第８圧電素子Ｅ〜Ｈを省略して、第１及び第２圧電素子Ａ、Ｂのみを図示し、図７においては、第１及び第２圧電素子Ａ、Ｂ及び第５〜第８圧電素子Ｅ〜Ｈを省略して、第３及び第４圧電素子Ｃ、Ｄのみを図示している。
【００３１】
そして、図５（ａ）に示した第１第２圧電素子制御テーブル１６ａにおけるパターン（１）に対応して、第１及び第２圧電素子Ａ、Ｂへの印加電圧が共に「０」であると、図６（１）に示すように、第１及び第２圧電素子Ａ、Ｂは直状を維持する。したがって、変形部３も直状を維持し、突起部５は台座２１の下面に当接して静止している。
【００３２】
次に、パターン（２）に対応して、第１及び第２圧電素子Ａ、Ｂへの印加電圧を共に「−」にすると、図６（２）に示すように、第１及び第２圧電素子Ａ、Ｂは共に伸長する。したがって、変形部３は下方に膨出し、突起部５は台座２１の下面から下方に離間する。
【００３３】
次に、パターン（３）に対応して、第１圧電素子Ａへの印加電圧を「−」にし、第２圧電素子Ｂへの印加電圧を「＋」にすると、図６（３）に示すように、第１圧電素子Ａは伸長し、第２圧電素子Ｂは収縮する。したがって、変形部３の第１圧電素子Ａ側は下方に膨出し、第２圧電素子Ｂ側は上方に膨出して、変形部３は波形に変形する。よって、突起部５は左側に傾きながら上方に変位し、右上端部５ａを台座２１の下面に当接させて、台座２１を左右支柱２３Ｌ、８Ｒよりも上方に押し上げる。
【００３４】
次に、パターン（４）に対応して、第１及び第２圧電素子Ａ、Ｂへの印加電圧を共に「＋」にすると、図６（４）に示すように、第１及び第２圧電素子Ａ、Ｂは共に収縮する。したがって、変形部３は上方に膨出し、突起部５は台座２１を左右支柱２３Ｌ、８Ｒよりも上方に押し上げた状態で直立し、頂面５ｂを台座２１の下面に当接させる。
【００３５】
次に、パターン（５）に対応して、第１圧電素子Ａへの印加電圧を「＋」にし、第２圧電素子Ｂへの印加電圧を「−」にすると、図６（５）に示すように、第１圧電素子Ａは収縮し、第２圧電素子Ｂは伸長する。したがって、変形部３の第１圧電素子Ａ側は上方に膨出し、第２圧電素子Ｂ側は下方に膨出して、変形部３は波形に変形する。よって、突起部５は左上端部５ｃにて台座２１を持ち上げた状態で、右側に傾き、これにより台座２１は左側から右側に搬送される。
【００３６】
次に、パターン（６）に対応して、第１及び第２圧電素子Ａ、Ｂへの印加電圧を共に「−」にすると、図６（６）に示すように、第１及び第２圧電素子Ａ、Ｂは共に伸長する。したがって、変形部３は下方に膨出し、突起部５は台座２１の下面から下方に離間する。
【００３７】
よって、以上の（１）→（２）→（３）→（４）→（５）→（６）のサイクルで、第１及び第２圧電素子Ａ、Ｂに電圧を印加することにより、突起部５を垂直面内において右回りに楕円運動させることができ、その結果、台座２１上のＣＣＤ２２を右方向に搬送することができる。また、これとは逆に（６）→（５）→（４）→（３）→（２）→（１）のサイクルで、第１及び第２圧電素子Ａ、Ｂに電圧を印加することにより、突起部５を垂直面内において左回りに楕円運動させることができ、その結果、台座２１上のＣＣＤ２２を左方向に搬送することもできる。
【００３８】
一方、図５（ｂ）に示した第３第４圧電素子制御テーブル１６ｂにおけるパターン（１１）に対応して、第３及び第４圧電素子Ｃ、Ｄへの印加電圧が共に「０」であると、図７（１１）に示すように、第３及び第４圧電素子Ｃ、Ｄは直状を維持する。したがって、変形部３も直状を維持し、突起部５は台座２１の下面に当接して静止している。
【００３９】
次に、パターン（１２）に対応して、第３及び第４圧電素子Ｃ、Ｄへの印加電圧を共に「−」にすると、図７（１２）に示すように、第３及び第４圧電素子Ｃ、Ｄは共に伸長する。したがって、変形部３は下方に膨出し、突起部５は台座２１の下面から下方に離間する。
【００４０】
次に、パターン（１３）に対応して、第３圧電素子Ｃへの印加電圧を「−」にし、第４圧電素子Ｄへの印加電圧を「＋」にすると、図７（１３）に示すように、第３圧電素子Ｃは伸長し、第４圧電素子Ｄは収縮する。したがって、変形部３の第３圧電素子Ｃ側は下方に膨出し、第４圧電素子Ｄ側は上方に膨出して、変形部３は波形に変形する。よって、突起部５は前側に傾きながら上方に変位し、後上端部５ｄを台座２１の下面に当接させて、台座２１を左右支柱２３Ｌ、８Ｒよりも上方に押し上げる。
【００４１】
次に、パターン（１４）に対応して、第３及び第４圧電素子Ｃ、Ｄへの印加電圧を共に「＋」にすると、図７（１４）に示すように、第３及び第４圧電素子Ｃ、Ｄは共に収縮する。したがって、変形部３は上方に膨出し、突起部５は台座２１を左右支柱２３Ｌ、８Ｒよりも上方に押し上げた状態で直立し、頂面５ｂを台座２１の下面に当接させる。
【００４２】
次に、パターン（１５）に対応して、第３圧電素子Ｃへの印加電圧を「＋」にし、第４圧電素子Ｄへの印加電圧を「−」にすると、図７（１５）に示すように、第３圧電素子Ｃは収縮し、第４圧電素子Ｄは伸長する。したがって、変形部３の第３圧電素子Ｃ側は上方に膨出し、第４圧電素子Ｄ側は下方に膨出して、変形部３は波形に変形する。よって、突起部５は前上端部５ｅにて台座２１を持ち上げた状態で、後側に傾き、これにより台座２１は前側から後側に搬送される。
【００４３】
次に、パターン（１６）に対応して、第３及び第４圧電素子Ｃ、Ｄへの印加電圧を共に「−」にすると、図７（１６）に示すように、第３及び第４圧電素子Ｃ、Ｄは共に伸長する。したがって、変形部３は下方に膨出し、突起部５は台座２１の下面から下方に離間する。
【００４４】
よって、以上の（１１）→（１２）→（１３）→（１４）→（１５）→（１６）のサイクルで、第１及び第２圧電素子Ａ、Ｂに電圧を印加することにより、突起部５を垂直面内において後回りに楕円運動させることができ、その結果、台座２１上のＣＣＤ２２を前方向から後方向に搬送することができる。また、これとは逆に（１６）→（１５）→（１４）→（１３）→（１２）→（１１）のサイクルで、第３及び第４圧電素子Ｃ、Ｄに電圧を印加することにより、突起部５を垂直面内において前回りに楕円運動させることができ、その結果、台座２１上のＣＣＤ２２を後方向から前方向に搬送することができる。
【００４５】
すなわち、本実施の形態に係る圧電アクチュエータ１００によれば、下記（イ）〜（ニ）に示す各方向への搬送を行うことができる。
（イ）右方向への搬送：（１）→（２）→（３）→（４）→（５）→（６）
（ロ）左方向への搬送：（６）→（５）→（４）→（３）→（２）→（１）
（ハ）後方向への搬送：（１１）→（１２）→（１３）→（１４）→（１５）→（１６）
（ニ）前方向への搬送：（１６）→（１５）→（１４）→（１３）→（１２）→（１１）
【００４６】
したがって、印加電圧を制御して各方向への搬送（イ）〜（ニ）を組み合わせることにより、台座２１をその中心から平面上の全ての方向に駆動することができる。よって、圧電アクチュエータ１００の圧電素子Ａ〜Ｄに電圧を印加し、撮像素子を駆動することにより、デジタルカメラにおける手振れ補正機構を達成することができる。
【００４７】
また、変形部３の上面側に設けられた圧電素子Ｅ〜Ｈに関しては、前述した圧電素子Ａ〜Ｄと逆向きに変形するように制御すればよい。これにより、変形部３の下面側に設けられた圧電素子Ａ〜Ｄと上面側に設けられた圧電素子Ｅ〜Ｈの協働により、変形部３を確実かつ迅速に変形させて、ＣＣＤ２２を高速に駆動することができる。
【００４８】
なお、第１の実施の形態に係る圧電アクチュエータ１００（後述する第２及び第３の実施の形態とは異なり「開口部」がない構成）においては、図８に「Ｊ１：第１の実施の形態」として示したように、水平方向変位量（μｍ）「０．３２８」、垂直方向変位量（μｍ）「０．３２８」が得られる。また、突起部５の任意の点ＰＡの移動軌跡は、図９に「Ｊ１：第１の実施の形態」として示すようになる。
【００４９】
ここで、固定部７は当該圧電アクチュエータ１００に予め設けられている部分であって、当該圧電アクチュエータ１００の一部として設計された部分であることから、固定部７を固定してデジタルカメラ２０に組み付けも、突起部５の変位量や変位軌跡が設計時と異なってしまうことはない。よって、デジタルカメラ２０に組み付けた場合であっても、当該圧電アクチュエータ１００を設計した際に設定した変位量や変位軌跡で動作させることができる。よって、デジタルカメラ２０において、圧電アクチュエータ１００の設計時の動作能力と同様の動作能力でＣＣＤ２２を駆動することができる。
【００５０】
また、本実施の形態においては、圧電アクチュエータ１００をデジタルカメラ２０に搭載した場合を示したが、これに限ることなく各種移動体の移動に用いることができる。この場合、図１０に示すように、固定台２５側に圧電アクチュエータ１００の固定部７にて固定し、突起部５上に移動体２６の下面を接触させて配置すればよい。
【００５１】
図１１は、本実施の形態に係る圧電アクチュエータ１００を製造する最終工程において、完成した圧電アクチュエータ１００を検査する際の検査方法を示す図である。図示のように、検査台２７に完成した圧電アクチュエータ１００を固定部７にて固定する。しかる後に、突起部５に所定の外力Ｆをその上方より加えて、変形部３を変形させる。すると、この変形部３の変形に伴って圧電素子Ａ〜Ｄ及びＥ〜Ｈが変形して、各圧電素子Ａ〜Ｈから起電力が生ずる。この起電力を圧電素子Ｅ〜Ｈ毎に検出し、予め記憶してある圧電素子Ａ〜Ｈの適正起電力と比較する。この比較の結果、検出した圧電素子Ａ〜Ｈの起電力が対応する適正起電力と全て一致するか、又は許容誤差以内である場合には、当該圧電アクチュエータ１００を合格品（良品）と判断し、これ以外である場合には不合格品（不良品）と判断する。無論、これらの比較、判断は、電気的、機械的に行ってもよいし、作業者が行ってもよい。
【００５２】
かかる検査方法によれば、完成した圧電アクチュエータ１００の良否を、簡単な作業で容易に判別することが可能となる。また、この検査は完成した圧電アクチュエータ１００の検査のみならず、デジタルカメラ等の修理に際して、搭載されている圧電アクチュエータ１００の良否を検査する際に用いることもできる。
【００５３】
（第２の実施の形態）
図１２〜図１５は、本発明の第２の実施の形態に係る圧電アクチュエータ２００を示すものである。この圧電アクチュエータ２００にあっては、前記変形部３において、隣接する圧電素子Ａ〜Ｄ及びＥ〜Ｈ間の領域に略正方形の開口部３０が設けられている。これにより、４個の開口部３０間には、一端部が突起部５の周部に結合され、他端部が変形部３の周部に残存した部分に結合された架橋部３１が形成されている。そして、こられ各架橋部３１に圧電素子Ａ〜Ｄ及びＥ〜Ｈが各々配置されている。
【００５４】
なお、これら開口部３０及び架橋部３１以外の構成は、前述した第１の実施の形態と同様であるので、同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
【００５５】
係る構成において、前述した第１の実施の形態のように、変形部３が無開口状であると、圧電素子Ａ〜Ｄ及びＥ〜Ｈの伸長又は収縮により変形部３の全体を変形させなければならないことから、変形部３の全体を変形する際の抵抗が大きく、突起部５の変位が妨げられる。しかるに、本実施の形態においては、圧電素子Ａ〜Ｄ及びＥ〜Ｈの伸長又は収縮により、図１５に示すように、変形部３を架橋部３１にて大きく変形することができ、変形時の抵抗は小さくなる。したがって、圧電素子Ａ〜Ｄ及びＥ〜Ｈに印加する電圧を小さくしつつ、突起部５の変位量を大きくすることができる。
【００５６】
すなわち、本実施の形態に係る圧電アクチュエータ２００においては、図８に「Ｊ２：第２の実施の形態」として示したように、水平方向変位量（μｍ）「０．４３４」、垂直方向変位量（μｍ）「０．４６９」、変位比率（水平方向）「１．３２」、変位比率（垂直方向）「１．３５」が得られる。また、突起部５の任意の点ＰＡの移動軌跡は、図９に「Ｊ２：第２の実施の形態」として示すように、「Ｊ１：第１の実施の形態」よりも大きなものとなる。
【００５７】
（第３の実施の形態）
図１６〜図１９は、本発明の第３の実施の形態に係る圧電アクチュエータ３００を示すものである。この圧電アクチュエータ３００にあっては、前記変形部３において、隣接する圧電素子Ａ〜Ｄ及びＥ〜Ｈ間の領域に、第２の実施の形態と同様の略正方形の第１開口部４０が設けられている。これにより、４個の第１開口部４０間には、一端部が突起部５の周部に結合され、他端部が変形部３の周部に残存した部分に結合された架橋部４１が形成されている。そして、こられ各架橋部３１に圧電素子Ａ〜Ｄ及びＥ〜Ｈが各々配置されている。さらに、変形部３には、４個の第２開口部４２が形成されている。これら第２開口部４２は、第１開口部４０よりも外側であって、固定部７との境界の近傍にて該境界に沿ってが設けられている。
【００５８】
なお、これら第１開口部４０、架橋部４１及び第２開口部４２以外の構成は、前述した第１の実施の形態と同様であるので、同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
【００５９】
係る構成において、前述した第１の実施の形態のように、変形部３が無開口状であると、圧電素子Ａ〜Ｄ及びＥ〜Ｈの伸長又は収縮により変形部３の全体を変形させなければならないことから、変形部３の全体を変形する際の抵抗が大きく、突起部５の変位が妨げられる。しかるに、本実施の形態においては、圧電素子Ａ〜Ｄ及びＥ〜Ｈの伸長又は収縮により、図１９に示すように、変形部３を架橋部３１にて大きく変形することができるのみならず、変形部３において第１開口部４０と第２開口部４２間に残存する枠部４３を変形させることもできる。よって、第２の実施の形態に係る圧電アクチュエータ２００よりも、さらに変形時の抵抗を小さくすることができる。したがって、圧電素子Ａ〜Ｄ及びＥ〜Ｈに印加する電圧を一層小さくしつつ、突起部５の変位量を大きくすることができる。
【００６０】
すなわち、本実施の形態に係る圧電アクチュエータ２００においては、図８に「Ｊ３：第３の実施の形態」として示したように、水平方向変位量（μｍ）「０．５３８」、垂直方向変位量（μｍ）「１．２５０」、変位比率（水平方向）「１．６４」、変位比率（垂直方向）「３．６０」が得られる。また、突起部５の任意の点ＰＡの移動軌跡は、図９に「Ｊ３：第３の実施の形態」として示すように、「Ｊ１：第１の実施の形態」及び「Ｊ２：第２の実施の形態」よりも大きなものとなる。
【００６１】
なお、以上に説明した実施の形態においては、変形部３の下面側と上面側とに圧電素子Ａ〜Ｄ及びＥ〜Ｈを配置するようにしたが、いずれか一方の面のみに圧電素子を配置するようにしてもよい。また、開口部３０、４０を略正方形としたが、開口部の形状はこれに限ることなく他の形状であってもよい。さらに、本発明に係る圧電アクチュエータは、前述したデジタルカメラにおける撮像素子（ＣＣＤ）の駆動のみならず、各種対象物の搬送、駆動に用いることができる。また、第２及び第３の実施の形態に係る圧電アクチュエータ２００、３００においても、図１１に示した方法により検査を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る圧電アクチュエータの斜視図である。
【図２】同圧電アクチュエータの圧電素子を分離した状態の斜視図である。
【図３】（Ａ）は同圧電アクチュエータの平面図、（Ｂ）は（Ａ）のａ−ａ線矢視断面図である。
【図４】同実施の形態の回路構成を示すブロック図である。
【図５】（ａ）は第１第２圧電素子制御テーブルを示す図、（ｂ）は第３第４圧電素子制御テーブルを示す図である。
【図６】（１）−（６）は、第１の実施の形態の動作遷移図である。
【図７】（１１）−（１６）は、同実施の形態の動作遷移図である。
【図８】各実施の形態の特性を示す図である。
【図９】各実施の形態の点ＰＡの移動軌跡を示す図である。
【図１０】本実施の形態に係る圧電アクチュエータの配置状態を示す断面図である。
【図１１】本発明の一実施の形態に係る圧電アクチュエータの検査方法を示す図である。
【図１２】本発明の第２の実施の形態に係る圧電アクチュエータの斜視図である。
【図１３】同圧電アクチュエータの圧電素子を分離した状態の斜視図である。
【図１４】（Ａ）は同圧電アクチュエータの平面図、（Ｂ）は（Ａ）のａ−ａ線矢視断面図である。
【図１５】同圧電アクチュエータの動作状態を示す要部斜視図である。
【図１６】本発明の第３の実施の形態に係る圧電アクチュエータの斜視図である。
【図１７】同圧電アクチュエータの圧電素子を分離した状態の斜視図である。
【図１８】（Ａ）は同圧電アクチュエータの平面図、（Ｂ）は（Ａ）のａ−ａ線矢視断面図である。
【図１９】同圧電アクチュエータの動作状態を示す要部斜視図である。
【符号の説明】
【００６３】
２    プレート
３    変形部
４    非変形部
５    突起部
６    周囲部材
７    固定部
９    切欠部
１１    円形孔
１２    楕円孔
１３    凹部
１６    メモリ
１６ａ    第１第２圧電素子制御テーブル
１６ｂ    第３第４圧電素子制御テーブル
１７    ＣＰＵ
１８ａ〜１８ｈ    トランジスタ
１９ａ〜１９ｈ    ＦＥＴ
２０    デジタルカメラ
２１    台座
２２    ＣＣＤ
２５    固定台
２６    移動体
２７    検査台
３０    開口部
３１    架橋部
４０    第１開口部
４１    架橋部
４２    第２開口部
４３    枠部
１００    圧電アクチュエータ
２００    圧電アクチュエータ
３００    圧電アクチュエータ
Ａ〜Ｈ    圧電素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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