(57)【要約】【課題】回折溝の形状を正確に且つ良好な面粗さで創成し、また加工リードタイム、ランニングコストを抑制することが可能な回折溝の加工技術を提供する。【解決手段】回折格子成形用型１の加工面に、斜面部１１ａと平面部１１ｂの交差部位にエッジ部１１ｃを備えた円盤状の研削砥石１１を押圧し回折格子形状１ａを形成する場合に、斜面部１１ａの加工面に対する角度θＴを、回折格子形状１ａの斜面Ｒ１ａの加工面に対する斜面角度θＲ１と等しくなるように設定し、回折格子形状１ａの斜面Ｒ１ａは研削砥石１１の斜面部１１ａで加工され、回折格子形状１ａの垂直面Ｒ１ｃは、エッジ部１１ｃによって加工されるようにした。【選択図】  図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物の加工主面に研削砥石を押圧して回折溝を形成する回折溝の加工方法であって、
前記研削砥石は、交差部がエッジをなす第１および第２主面が外周部に設けられた円盤状を呈し、前記第１主面を、前記回折溝の前記加工主面に対して傾斜した第１加工面と同じ角度に傾けて前記被加工物に切り込み、前記回折溝の前記第１加工面を形成しつつ、前記研削砥石の前記エッジで前記回折溝の前記第１加工面と対向する第２加工面を研削加工することを特徴とする回折溝の加工方法。
【請求項２】
請求項１記載の回折溝の加工方法において、
前記回折溝の前記第１加工面を加工する前記研削砥石の前記第１主面をツルーイング・ドレスにより修正することにより、前記エッジを常に鋭利に保つことを特徴とする回折溝の加工方法。
【請求項３】
請求項１記載の回折溝の加工方法において、
前記被加工物の加工主面に複数の前記回折溝が同心円状に形成され、個々の前記回折溝の溝角度が互いに異なる場合、前記研削砥石の前記第１および第２主面のなす前記エッジの角度を、最小の前記溝角度よりも小さくすることを特徴とする回折溝の加工方法。
【請求項４】
請求項１記載の回折溝の加工方法において、
前記被加工物の加工主面に複数の前記回折溝が同心円状に形成され、個々の前記回折溝の溝角度が互いに等しい場合、前記研削砥石の前記第１および第２主面のなす前記エッジの角度を、前記溝角度と等しく設定することを特徴とする回折溝の加工方法。
【請求項５】
請求項１記載の回折溝の加工方法において、
前記被加工物は、回折素子の型成形に用いられる成形型であることを特徴とする回折溝の加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回折溝の加工技術に関し、たとえば、回折素子を成形する成形型の研削加工等に適用して有効な技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の回折素子の成形用金型は単結晶ダイヤモンドバイトによる無電解ニッケルメッキ面への切削加工が中心であり、そのために回折素子材料はプラスチックとなっていた。近年、光学性能や耐熱強度等の課題からガラスによる回折素子が求められ、ガラス成形に対応するための超硬合金やセラミックス等への回折素子形状の研削加工方法が提案されている。
【０００３】
特許文献１には、円錐状で先端の尖った形状に創成したダイヤモンド砥石と、軸対称の工作物の回転軸に対して研削砥石の砥石回転軸が直交し、さらに工作物上で接する研削砥石の回転方向が工作物の回転方向と平行となるように配置された状態で、研削砥石と工作物を回転させながら研削抵石を工作物の半径方向に移動させ、回折格子形状を研削加工する技術が開示されている。
【０００４】
特許文献２には、回折格子形状の最外周の輪帯から内周方向へ砥石を送りながら、各輪帯の斜面の目標傾斜角度と同じ傾斜角度の斜面創成面と垂直面創成面を斜面創成用砥石と垂直面創成用砥石によってそれぞれ形成しながら金型の研削加工を行う回折光学素子用金型加工方法が開示されている。この特許文献２の場合、各輪帯ごとに目標傾斜角度の斜面創成面で研削するいわゆる総型の砥石による加工であるため、回折格子形状が正確で表面粗さも良好である。
【０００５】
しかしながら、前記従来技術に示した回折格子形状の研削加工には次のような課題がある。
すなわち、特許文献１に記載されている研削加工方法では、加工が進むにつれてダイヤモンド砥石のエッジ部の摩耗が進行して、中心の輪帯になるに従い正確な回折格子形状、特に最深部の形状創成が困難になる。また、砥石エッジ部での加工であり砥石送り速度を遅くしないと良好な表面粗さを得ることができないため、加工時間がかかるという課題もある。
【０００６】
一方、特許文献２の技術の場合には、各輪帯ごとに砥石創成を実行するため、金型全面を加工するためには加工時間がかかってしまい、金型を複数個加工する場合では、一面加工するごとに最外周の輪帯斜面角度に研削砥石を再創成する必要があり、研削砥石も複数個必要となり研削砥石のコストもかかってしまう。また、各輪帯ごとに斜面と垂直面を創成するため、研削砥石の輪郭形状が大きく変化し、この変化に合わせた各輪帯のピッチや深さの制御が難しくなるという課題がある。
【特許文献１】特開２０００−２３７９４２号公報
【特許文献２】特開２００２−３２１１４６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、回折溝の形状を正確に且つ良好な面粗さで創成し、また加工リードタイム、ランニングコストを抑制することが可能な回折溝の加工技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第１の観点は、被加工物の加工主面に研削砥石を押圧して回折溝を形成する回折溝の加工方法であって、
前記研削砥石は、交差部がエッジをなす第１および第２主面が外周部に設けられた円盤状を呈し、前記第１主面を、前記回折溝の前記加工主面に対して傾斜した第１加工面と同じ角度に傾けて前記被加工物に切り込み、前記回折溝の前記第１加工面を形成しつつ、前記研削砥石の前記エッジで前記回折溝の前記第１加工面と対向する第２加工面を研削加工する回折溝の加工方法を提供する。
【０００９】
本発明の第２の観点は、第１の観点に記載の回折溝の加工方法において、
前記回折溝の前記第１加工面を加工する前記研削砥石の前記第１主面をツルーイング・ドレスにより修正することにより、前記エッジを常に鋭利に保つ回折溝の加工方法を提供する。
【００１０】
本発明の第３の観点は、第１の観点に記載の回折溝の加工方法において、
前記被加工物の加工主面に複数の前記回折溝が同心円状に形成され、個々の前記回折溝の溝角度が互いに異なる場合、前記研削砥石の前記第１および第２主面のなす前記エッジの角度を、最小の前記溝角度よりも小さくする回折溝の加工方法を提供する。
【００１１】
本発明の第４の観点は、第１の観点に記載の回折溝の加工方法において、
前記被加工物の加工主面に複数の前記回折溝が同心円状に形成され、個々の前記回折溝の溝角度が互いに等しい場合、前記研削砥石の前記第１および第２主面のなす前記エッジの角度を、前記溝角度と等しく設定する回折溝の加工方法を提供する。
【００１２】
本発明の第５の観点は、第１の観点に記載の回折溝の加工方法において、
前記被加工物は、回折素子の型成形に用いられる成形型である回折溝の加工方法を提供する。
【００１３】
上記した本発明によれば、円盤状の研削砥石の第１主面を回折溝（回折格子形状）の斜面（第１加工面）と同じに角度に傾けて切り込むことで回折溝の斜面部は研削砥石の第１主面部で形成され、直線部は研削砥石のエッジ部で形成されることになり、研削抵抗を抑えられることで面精度の良好な斜面が得られる。さらには、加工主面に同心円状に形成される回折溝の各輪帯ごとに斜面部（第１加工面）を加工主面に対して任意の角度に傾けることができ、より性能の高い回折溝や、当該回折溝を備えた回折光学素子を型成形で製造するための金型への対応が可能である。
【００１４】
また、円盤状砥石の回折溝の斜面に作用する研削砥石の第１主面のみを修正することで、常に、回折溝の斜面の面精度と最深部の形状精度が保たれ正確な回折素子形状を得ることができる。また、研削砥石の第１主面のみの修正であるため、この第１主面に交差してエッジを形成する第２主面の支持軸方向（法線方向）における位置は変化せず、回折溝のピッチや深さの制御が容易になる。さらには、研削砥石の再生ではエッジ部を構成する第１および第２主面のうち、第１主面のみの修正が行われるため、修正に伴う損耗量も減少し、研削砥石のランニングコストも抑えられる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、回折溝の形状を正確に且つ良好な面粗さで創成し、また加工リードタイム、ランニングコストを抑制することが可能な回折溝の加工技術を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
（実施の形態１）
本実施の形態では、回折溝の加工方法の一例として、型成形にて回折光学素子を成形するために用いられる回折格子成形用型１に回折格子形状１ａ（回折溝）を形成する場合について説明する。
【００１７】
図１は被加工物である回折格子成形用型１の最終的な仕上がり状態を示す斜視図であり、図２は回折格子成形用型の断面図である。
被加工物としての本実施の形態の回折格子成形用型１は円柱状を呈し、その一端面である加工主面１ｂには、同心円状の複数の回折溝（輪帯）からなる回折格子形状１ａが後述のようにして形成される。この回折格子形状１ａの形状は斜面角度とピッチが同心円状の各輪帯にてそれぞれ変化するものであり、素材は、たとえば、超硬合金からなる。
【００１８】
図３は、本実施の形態の回折溝の加工方法を実施することによって、後述のように回折格子成形用型１の回折格子形状１ａを加工する加工機であり、超精密加工機２が使用される。
【００１９】
この超精密加工機２はＸ軸、Ｚ軸の２軸方向にそれぞれスライド可能なＸ軸テーブル３、Ｚ軸テーブル４を有し、また前記スライド軸に加えて主軸５を回転させる主軸回転モータ６、工具回転スピンドル８を回動させるＢ軸回転テーブル７を有した３軸制御が可能となっている。
【００２０】
回折格子成形用型１は超精密加工機ベース９上のＺ軸テーブル４上に設置されている主軸５に固定されており、Ｚ軸は主軸５の回転軸５ａと平行な軸、Ｘ軸は主軸５の回転軸５ａに対して垂直な軸となっている。この場合、回折格子成形用型１の加工主面１ｂは、回転軸５ａに直交している。
【００２１】
工具回転スピンドル８は前記Ｚ軸と対向した超精密加工機ベース９上のＸ軸テーブル３上のＢ軸回転テーブル７の上に設置された工具スピンドルホルダー１０に固定されており、Ｂ軸はＸ軸とＺ軸によって形成される面に対して垂直な軸で、主軸５の回転軸５ａに対して水平方向に回動可能な状態に設置されている。
【００２２】
また、主軸５の隣には主軸５の回転軸５ａと同じ高さの位置に研削砥石１１をツルーイング及びドレスするためのツルア１２が設置してある。本実施の形態では、ツルア１２としては、一例としてダイヤモンドの単石ドレッサーを用いている。
【００２３】
図４は工具回転スピンドル８に研削砥石１１が取り付けられた状態を示す上面図である。研削砥石１１はレジンボンドのダイヤモンド砥石を用いており、斜面部１１ａ（第１主面）と平面部１１ｂ（第２主面）の二つの面からなり、前記二つの面の交差部がエッジ部１１ｃとして形成された円盤状である。
【００２４】
この研削砥石１１の斜面部１１ａと平面部１１ｂからなる先端の角度θ１１は、回折格子成形用型１の回折格子形状１ａの最小の溝角度θｍｉｎより小さい角度となっている。前記研削砥石１１は超精密加工機２のＢ軸回転テーブル７上に設置された工具回転スピンドル８に取付けられ、研削砥石１１のエッジ部１１ｃとＢ軸回転テーブル７の回転軸７ａが工具スピンドルホルダー１０の図示しない調整機構により合致している。また、工具回転スピンドル８の回転軸８ａと主軸５の回転軸５ａも回転軸が工具スピンドルホルダー１０の図示しない調整機構により合致している。また、工具回転スピンドル８の回転軸８ａと主軸５の回転軸５ａも回転軸が工具スピンドルホルダー１０の図示しない調整機構により合致している。
【００２５】
次に、この実施の形態の超精密加工機２による回折格子成形用型１の加工方法の一例を説明する。
図５は回折格子成形用型１を研削加工中の研削砥石１１の上面図を示す。超精密加工機２によって回折格子成形用型１の最外周の輪帯から研削加工を開始する。研削加工時には、まず、円盤状に形成された研削砥石１１の斜面部１１ａの角度θＴを回折格子成形用型１の最外周の輪帯の斜面角度θＲ１にＢ軸回転テーブル７を回動させて合致させる。前記角度θＴは主軸５の回転軸５ａに垂直な平面に対しての角度としてある。また、研削砥石１１のエッジ部１１ｃは回折格子成形用型１の最外周の輪帯の指定されたＸ座標値Ｘ１にＸ軸テーブル３にて移動させる。
【００２６】
次いで、工具回転スピンドル８の回転軸８ａを中心に回転している研削砥石１１を主軸５の回転軸５ａを中心に回転している回折格子成形用型１に所定の速度で所定のＺ軸位置までＺ軸テーブル４によって切り込ませることで最外周の一つの輪帯Ｒ１が研削加工される。このとき、一つの前記輪帯の斜面Ｒ１ａ（第１加工面）は研削砥石１１の斜面部１１ａの転写で形成され、この斜面Ｒ１ａに対向する垂直面Ｒ１ｃ（第２加工面）は研削砥石１１のエッジ部１１ｃで形成される。
【００２７】
図６は輪帯を研削加工した後の研削砥石１１の斜面部１１ａのツルーイング・ドレス中の上面図を示す。
回折格子成形用型１の最外周の一つの輪帯Ｒ１を研削加工した後に、Ｂ軸回転テーブル７を回動させて研削砥石１１の斜面部１１ａを主軸５の回転軸５ａに対して垂直にする。次いでＺ軸テーブル４の切込みとＸ軸テーブル３による移動により、研削砥石１１の斜面部１１ａをツルア１２に接触させることによりツルーイング・ドレスする。Ｚ軸テーブル４での研削砥石１１の切込量は、研削砥石１１の砥粒径と同等程度でよい。
【００２８】
最外周の輪帯Ｒ１の内側の輪帯Ｒ２の加工について説明する。輪帯Ｒ１と同様に円盤状に形成された研削砥石１１の斜面部１１ａの角度θＴを回折格子成形用型１の輪帯Ｒ２の斜面角度θＲ２にＢ軸回転テーブル７を回動させて合致させる。次に研削砥石１１のエッジ部１１ｃを回折格子成形用型１の輪帯Ｒ２の指定されたＸ座標値Ｘ２にＸ軸テーブル３にて移動させる。
【００２９】
図７に示すように、このとき研削砥石１１のエッジ部１１ｃは、研削砥石１１の斜面部１１ａのツルーイング・ドレスにより、Ｂ軸回転テーブル７の回転軸７ａからずれているので、ツルーイング・ドレスに切込量に応じてＸ座標位置とＺ座標の切込量を補正する。
【００３０】
本実施の形態の場合には、研削砥石１１の平面部１１ｂに対してはツルーイング・ドレスを行わないので、当該平面部１１ｂ（すなわち、エッジ部１１ｃ）の工具回転スピンドル８の回転軸８ａの方向（Ｘ軸方向）における位置は不変であるため、斜面部１１ａの位置が、ツルーイング・ドレスによって変化しても、斜面部１１ａと平面部１１ｂの交点であるエッジ部１１ｃの位置は、斜面部１１ａの変化から容易に算出できる。
【００３１】
以上の研削加工−ツルーイング・ドレス−座標補正の一連の作業を繰り返すことにより、回折格子成形用型１の端面である加工主面に同心円状に回折格子形状１ａが形成される。
【００３２】
本実施の形態では、最外周の輪帯から研削加工を開始しているが、中心から開始しても良い。また、一つの輪帯の加工後に研削砥石１１のツルーイング・ドレスを行っているが、研削砥石１１のエッジ部１１ｃの摩耗状態によっては続けて輪帯を加工することも可能であり、累積の研削距離によって研削砥石１１のツルーイング・ドレスの実行間隔を設定することもできる。
【００３３】
本実施の形態によれば、円盤状の研削砥石１１の面を、加工対象の回折格子形状１ａの斜面（斜面Ｒ１ａ）と同じに角度に傾けて切り込むことで回折格子形状１ａの斜面部は研削砥石１１の斜面部１１ａで形成され、直線部（垂直面Ｒ１ｃ）は研削砥石１１のエッジ部１１ｃで形成されることになり、研削抵抗を抑えられることで、加工速度を抑制しなくても面精度の良好な斜面が得られる。
【００３４】
さらには各輪帯毎に斜面部を任意に傾けることができ、より性能の高い回折光学素子の成形型における回折溝の加工への対応が可能である。
また、研削砥石１１の斜面部１１ａのみにツルーイング・ドレスが実行され、平面部１１ｂには実行されないため、研削砥石１１の全体の損耗量が軽減され、研削砥石１１の寿命が延長されてコスト低減になるとともに、ツルーイング・ドレスの所用時間も短縮される。
【００３５】
また、研削砥石１１のエッジ部１１ｃは、常に鋭利な状態が保たれるので、回折格子形状１ａの溝の底部の形状精度も向上する。
（実施の形態２）
図８は、本発明の実施の形態２である回折溝の加工方法によって得られた回折格子成形用型１３の断面を示す。回折格子成形用型１３の回折格子形状１３ａの形状は斜面角度とピッチが同心円状の各輪帯にて同一であり、素材は超硬合金からなっている。
【００３６】
本実施の形態の回折格子成形用型１３を加工する加工機の構成は実施の形態１と同様である。
図９は工具回転スピンドル８に研削砥石１４が取り付けられた状態の上面図である。研削砥石１４はレジンボンドのダイヤモンド砥石を用いており、斜面部１４ａ（第１主面）と平面部１４ｂ（第２主面）の二つの面からなり、前記二つの面の交差部がエッジ部１４ｃとして形成された円盤状である。
【００３７】
この実施の形態２の場合、前記研削砥石１４の平面部１４ｂは工具回転スピンドル８の回転軸８ａに直交し、且つ主軸５の回転軸５ａと平行に配置され、前記研削砥石１４の斜面部１４ａと平面部１４ｂからなる先端の角度θ１４は、回折格子成形用型１３の回折格子形状１３ａの溝角度θ１３と同じ角度となっている。前記研削砥石１４は超精密加工機２のＢ軸回転テーブル７上に設置された工具回転スピンドル８に取付けられ、研削砥石１４のエッジ部１４ｃとＢ軸回転テーブル７の回転軸７ａが工具スピンドルホルダー１０の図示しない調整機構により合致している。また、工具回転スピンドル８の回転軸８ａと主軸５の回転軸５ａも回転軸が工具スピンドルホルダー１０の図示しない調整機構により合致している。
【００３８】
次に、この実施の形態２の回折溝の加工方法による回折格子成形用型１３の加工を説明する。
図１０は回折格子成形用型１３を研削加工中の研削砥石１４の上面図を示す。超精密加工機２によって回折格子成形用型１３の最外周の輪帯から研削加工を開始する。研削砥石１４のエッジ部１４ｃを回折格子成形用型１３の最外周の輪帯の指定されたＸ座標値Ｘ１にＸ軸テーブル３にて移動させる。
【００３９】
次いで、工具回転スピンドル８の回転軸８ａを中心に回転している研削砥石１４を主軸５の回転軸５ａを中心に回転している回折格子成形用型１３に所定の速度で所定のＺ軸位置までＺ軸テーブル４によって切り込ませることで最外周の一つの輪帯Ｒ１が研削加工される。このとき、この一つの輪帯の斜面Ｒ１ａ（第１加工面）は研削砥石１４の斜面部１４ａの転写で形成され、垂直面Ｒ１ｂ（第２加工面）は研削砥石１４の平面部１４ｂで形成される。
【００４０】
図１１は輪帯を研削加工した後の研削砥石１４の斜面部１４ａのツルーイング・ドレスの上面図を示す。回折格子成形用型１３の最外周の一つの輪帯Ｒ１を研削加工した後に、Ｘ軸テーブル３とＺ軸テーブル４の移動により、研削砥石１４の斜面部１４ａをツルア１２によりツルーイング・ドレスする。研削砥石１４の切込量は、回折格子成形用型１３の一つの輪帯Ｒ１の溝深さと同等が良い。
【００４１】
この場合も、研削砥石１４においてツルーイング・ドレスされるのは斜面部１４ａのみであり、平面部１４ｂは、ツルーイング・ドレスされない。
次いで最外周の輪帯Ｒ１の内側の輪帯Ｒ２の加工となる。研削砥石１４のエッジ部１４ｃを回折格子成形用型１３の最外周の輪帯の指定されたＸ座標値Ｘ２にＸ軸テーブル３にて移動させる。工具回転スピンドル８の回転軸８ａを中心に回転している研削砥石１４を主軸５の回転軸５ａを中心に回転している回折格子成形用型１３に所定の速度で所定のＺ軸位置までＺ軸テーブル４によって切り込ませることで一つの輪帯Ｒ２が研削加工される。このとき研削砥石１４のエッジ部１４ｃは、研削砥石１４の斜面部１４ａのツルーイング・ドレスにより、Ｂ軸回転テーブル７の回転軸７ａからずれているので、ツルーイング・ドレスに切込量に応じてＺ座標の切込量を補正する。
【００４２】
この場合には、研削砥石１４の斜面部１４ａのツルーイング・ドレスによる損耗分だけ、Ｚ軸方向の切り込み量を深くするだけでよく、回折格子成形用型１３の径方向、すなわちＸ軸方向の位置調整は不要である。
【００４３】
以上の研削加工−ツルーイング・ドレス−Ｚ座標補正の一連の作業を繰り返すことにより、回折格子成形用型１３に回折格子形状１３ａが形成される。
本実施の形態２によれば、上述の実施の形態１と同様に高精度な回折格子形状１３ａを有する回折格子成形用型１３が得られる、という効果に加えて、研削砥石１４のツルーイング・ドレス後の補正も容易にできる。
【００４４】
以上説明したように、本発明の上述の各実施の形態によれば、円盤状の研削砥石の面を回折格子形状の斜面と同じに角度に傾けて切り込むことで回折格子形状の斜面部は研削砥石面部で形成され、直線部は研削砥石エッジ部で形成されることになり、研削抵抗を抑えられることで面精度の良好な斜面が得られる。さらには各輪帯毎に斜面部を任意に傾けることができ、より性能の高い回折光学素子の成形型への対応が可能である。
【００４５】
また、円盤状砥石の回折格子形状の斜面に作用する研削砥石の第１主面のみを修正することで、常に斜面の面精度と溝のエッジが保たれ、正確な回折素子形状を得ることができる。また、研削砥石の一面のみの修正であり回折素子形状（回折溝）のピッチや深さの制御が容易になる。さらには研削砥石のランニングコストも抑えられる。
【００４６】
なお、本発明は、上述の実施の形態に例示した構成に限らず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
たとえば、上述の各実施の形態では、回折光学素子を製造するための回折格子成形用型に対して回折溝を加工する場合を例示したが、回折光学素子自体の回折溝の加工に用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の実施の形態１の回折溝の加工方法で製作された成形型を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態１の回折溝の加工方法で製作された成形型の断面図である。
【図３】本発明の実施の形態１の回折溝の加工方法を実施する加工機の斜視図である。
【図４】本発明の実施の形態１の回折溝の加工方法を実施する加工機の上面図である。
【図５】本発明の実施の形態１の回折溝の加工方法を実施する研削砥石の加工中の上面図である。
【図６】本発明の実施の形態１の回折溝の加工方法を実施する研削砥石のツルーイング・ドレスの上面図である。
【図７】本発明の実施の形態１の回折溝の加工方法を実施する研削砥石の位置決め制御例を示す上面図である。
【図８】本発明の実施の形態２の回折溝の加工方法で製作された成形型の断面図である。
【図９】本発明の実施の形態２の回折溝の加工方法を実施する加工機の上面図である。
【図１０】本発明の実施の形態２の回折溝の加工方法を実施する研削砥石の上面図である。
【図１１】本発明の実施の形態２の回折溝の加工方法を実施する研削砥石のツルーイング・ドレスの上面図である。
【符号の説明】
【００４８】
１  回折格子成形用型
１ｂ  加工主面
１ａ  回折格子形状
２  超精密加工機
３  軸テーブル
４  Ｚ軸テーブル
５  主軸
５ａ  回転軸
６  主軸回転モータ
７  Ｂ軸回転テーブル
７ａ  回転軸
８  工具回転スピンドル
８ａ  回転軸
９  超精密加工機ベース
１０  工具スピンドルホルダー
１１  研削砥石
１１ａ  斜面部
１１ｂ  平面部
１１ｃ  エッジ部
１２  ツルア
１３  回折格子成形用型
１３ａ  回折格子形状
１４  研削砥石
１４ａ  斜面部
１４ｂ  平面部
１４ｃ  エッジ部
Ｒ１  輪帯
Ｒ１ａ  斜面
Ｒ１ｂ  垂直面
Ｒ１ｃ  垂直面
Ｒ２  輪帯
θ１１  研削砥石１１のエッジ部１１ｃの角度
θ１３  回折格子形状１３ａの溝角度
θ１４  研削砥石１４のエッジ部１４ｃの角度
θＲ１  回折格子形状１ａの斜面角度
θＲ２  回折格子形状１ａの斜面角度
θＴ  研削砥石１１の斜面部１１ａの角度
θｍｉｎ  回折格子形状１ａの最小の溝角度
【図１】
2008142799.tif 000003
【図２】
2008142799.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図３】
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