(57)【要約】【課題】調整を簡単に、かつ素早く行えるようにする外観検査装置を提供する。【解決手段】外観検査装置１は、ウェハＷをＸＹＺ方向及びＺ軸回りに回転自在に保持するウェハ保持部４を有し、ウェハＷの周縁部を観察するために用いられる周縁撮像部５が近接して配置されている。外観検査装置１を制御するコンピュータ４１には、レシピに従ってウェハＷの周縁部の外観検査を行う処理を実行する検査制御部５１と、検査者が割り込み処理を選択したときに、レシピに従った検査を中断し、スクロールバー７１，７２から検査条件の変更を受け付ける割り込み処理部５２とを有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハを回転自在に保持するウェハ保持部と、ウェハの周縁部の拡大像を取得する周縁撮像部とを有し、予め設定されたレシピに従ってウェハの周縁部の外観検査を行う外観検査装置において、
レシピに従ってウェハの周縁部の外観検査を行っている途中に、レシピに従った検査を中断させ、割り込み処理を実行する割り込み処理部と、
割り込み処理として、レシピと異なる検査条件で検査を行えるように、検査条件の項目ごとに検査条件の変更を入力可能な検査条件設定部と、
検査者が前記検査条件設定部に検査条件を入力するために用いられる入力装置と、
を備えることを特徴とする外観検査装置。
【請求項２】
前記割り込み処理部は、レシピと異なる検査条件で検査を行った後に、レシピに従った検査を中断したところから再開させることを特徴とする請求項１に記載の外観検査装置。
【請求項３】
前記割り込み処理部でレシピと異なる検査条件で検査を行った後に、その検査条件を新たなレシピとして登録するレシピ登録部を備えることを特徴とする請求項１に記載の外観検査装置。
【請求項４】
前記検査条件設定部は、変更可能な検査条件の項目ごとに設けられたスクロールバーと、スクロールバーで設定された条件の値を示す表示とを有することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の外観検査装置。
【請求項５】
予め設定されたレシピに従ってウェハを回転させながら周縁部の拡大像を観察し、ウェハの周縁部の外観検査を行う外観検査方法において、
レシピに従ってウェハの周縁部の外観検査を行っている途中に、検査者からの指令を受けて、レシピに従った検査を中断させ、検査者が変更した検査条件で検査を実施し、異なる検査条件での検査が終了した後に、レシピによる検査を再開させることを特徴とする外観検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェハなどの基板の外観を検査する装置及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体の製造工場などでは、半導体ウェハの周縁部や、周縁部を含むウェハ全面を検査することで、プロセスの途中で発生した傷や欠陥などの検査を行っている。例えば、ウェハの周縁部を自動で検査する装置としては、特許文献１に開示されているものがある。この検査装置は、回転ステージ上にウェハを搭載し、ウェハの周端面に弾性体を当接させてウェハの位置を規制した状態で検査を実施する。ウェハの周縁部付近には、ウェハ周縁部の上面を撮像するカメラと、側面を撮像するカメラと、下面を撮像するカメラとが同一平面上に配置されている。周縁部を撮像するときは、ウェハのノッチ位置を特定した後に、ウェハを回転させ、各カメラから画像を取り込む。各カメラの画像は、撮像データ処理部で処理され、ノッチの部分を除いて欠陥抽出処理が自動的に行われる。
【特許文献１】特開２００３−２４３４６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、ウェハの厚さや、周縁部の研磨形状は、ウェハの製造メーカーなどによって異なることがある。このため、１つのレシピによる検査であってもウェハの種類や製造ロットが変更になったときは、カメラのピント（フォーカス）調整を行って、検査したい部分の明確な画像が得られるようにする必要があった。カメラにズーム機構が装着されている場合には、ズーム調整が必要であった。
また、ウェハは、プロセス中に微小な反り、特に周縁部には周方向のうねりが発生することがある。このため、ウェハの周縁部上で検査位置を変えるたびに、フォーカス調整や、ズーム調整を行う必要があった。
さらに、周縁部を撮像するために用いる照明も、周縁部の位置や、凹凸形状、傷やゴミの付着などによって調整が必要になることがある。照明を複数使用する場合には、それぞれの照明に対して調整を行う必要があった。
フォーカス調整や、ズーム調整、照明の調光は、その作業自体が時間がかかり、熟練を要するものであると共に、実際に検査を行ってみて、調整が必要であれば調整を行い、再度検査を最初からやり直すことになるので、検査のタクトタイムを増大させる原因となっていた。
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、レシピを使った検査途中に調整を簡単に、かつ素早く行えるようにすることを主な目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記の課題を解決する本発明は、ウェハを回転自在に保持するウェハ保持部と、ウェハの周縁部の拡大像を取得する周縁撮像部とを有し、予め設定されたレシピに従ってウェハの周縁部の外観検査を行う外観検査装置において、レシピに従ってウェハの周縁部の外観検査を行っている途中に、レシピに従った検査を中断させ、割り込み処理を実行する割り込み処理部と、割り込み処理として、レシピと異なる検査条件で検査を行えるように、検査条件の項目ごとに検査条件の変更を入力可能な検査条件設定部と、検査者が前記検査条件設定部に検査条件を入力するために用いられる入力装置と、を備えることを特徴とする外観検査装置とした。
この外観検査装置では、レシピに従って検査を実施している途中で、割り込み処理を実行させることで、レシピと異なる条件の検査を行うことができる。割り込み処理による検査は、ピンポイントで実施しても良いし、複数箇所で実施しても良い。
【発明の効果】
【０００５】
本発明によれば、レシピに従って検査を実施している途中で、割り込み処理を実行できるようにしたので、ウェハの固体差や、検査者側の事情に合わせてレシピと異なる条件の検査を行うことができる。ウェハに個体差等があった場合でも検査を精度良く行うことができる。検査中に条件変更ができるので、調整が容易であり、かつ最初から検査をやり直さなくても良くなるので、検査のタクトタイムを短縮できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
図１に示すように、外観検査装置１は、不図示のフレームなどに固定されたベース部２を有し、ベース部２上に検査部３が搭載されている。検査部３は、検査対象であるウェハＷが載置されるウェハ保持部４と、ウェハ保持部４に近接して配置され、ウェハＷの周縁部の画像を取得する周縁撮像部５と有する。ウェハ保持部４と周縁撮像部５は、装置制御部６で制御されている。なお、周縁撮像部５に加えてウェハＷの全面を観察可能な顕微鏡などの表面検査部を設けても良い。
【０００７】
ウェハ保持部４は、ベース部２に固定され、図１にＸで示す水平方向に移動可能なＸステージ１１を有し、Ｘステージ１１上にはＸ軸に直交する水平方向であるＹ軸に移動可能なＹステージ１２が搭載されている。さらに、Ｙステージ１２上には、ＸＹ方向に直交する高さ方向でＺ方向に移動可能なＺステージ１３が搭載されている。これによって、ウェハ保持部４は、周縁撮像部５に対してウェハＷを相対的に３次元に移動させることができる。さらに、Ｚステージ１３には、回転部１４が設けられている。回転部１４は、Ｚ軸回りに回転可能な回転軸１５を有する。各ステージ１１〜１３及び回転軸１５の駆動は、サーボモータや、ボールネジ、減速機構を用いて行われる。駆動源は、ステッピングモータや、リニアモータを使用できる。回転軸１５の上端には、吸着ステージ１６が設けられている。吸着ステージ１６の上面には、ウェハＷを真空吸着によって保持する不図示の吸着部が設けられている。
【０００８】
周縁撮像部５は、ベース部２に固定されたアーム部２１で支えられている。周縁撮像部５は、側面視でウェハＷの周縁部を受け入れ可能な凹部２２を有する略Ｃ字形状を有し、ウェハＷの周縁部を撮像可能なカメラが配設されている。図２に３眼式の周縁撮像部の一例を示す。カメラは、ウェハＷの周縁部の上面を撮像可能な第一のカメラ２５と、ウェハＷの周縁部の側面を撮像可能な第二のカメラ２６と、ウェハＷの周縁部の下面を撮像可能な第三のカメラ２７とを有する。各カメラ２５〜２７は、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）などの撮像素子２８と、フォーカス機能付きズームレンズ２９とを有し、光軸上にハーフミラー３０を設置することで、照明装置３１を用いた同軸照明が可能に構成されている。なお、カメラの数は、１つ又は５つなど、任意に変更できる。カメラを１つだけ使用するときは、カメラを移動自在に支持することで撮像位置を変更可能にするか、カメラを固定して可動式のミラーで撮像位置を変更可能にする。照明装置３１は、同軸照明に限定されずに、カメラ２５〜２７から離れた位置に１つ又は複数設けても良い。照明装置３１は、周縁部が明視野で観察できるようにすることが好ましい。
【０００９】
図１に示す装置制御部６は、ウェハ保持部４の各ステージ１１〜１３及び回転部１４の駆動制御や、吸着用の真空引きの制御と、周縁撮像部５の各カメラ２５〜２７のズーム調整、フォーカス調整、照明装置３１の調光と、各カメラ２５〜２７の画像信号の受け取りを行う。例えば、モータのドライバ回路や、真空引き用のバルブの開閉を制御するドライバ回路などから構成されている。さらに、装置制御部６は、コンピュータ４１にも接続されている。
【００１０】
コンピュータ４１は、マウス４２やキーボード４３などの入力装置と、各種の設定や、周縁部の画像を表示するモニタ４４とが接続された汎用のコンピュータである。マウス４２、キーボード４３、モニタ４４は、検査者が操作できるインターフェイスである。コンピュータ４１は、装置制御部６やマウス４２、キーボード４３、モニタ４４が接続されるＩ／Ｏ（Input/Output）装置４５と、制御部４６と、レシピなどのデータを記憶する記憶装置４７とを有する。制御部４６は、ＣＰＵ（中央演算装置）などから構成され、レシピに従って検査を実施する検査制御部５１と、割り込み処理を行わせる割り込み処理部５２と、レシピの登録をするレシピ登録部５３とに機能分割することができる。なお、コンピュータ４１は、外観検査装置１に搭載されても良いし、装置とは別に設けられても良い。コンピュータ４１と装置制御部６で一つの制御装置を形成しても良い。
【００１１】
ここで、図３にモニタ４４の画面表示の一例を示す。この画面は検査条件の設定に用いられる検査条件設定部となる。検査条件設定部として提供される機能選択画面７０は、モニタ４４の画面の下側に配置され、画面上からカメラ２５〜２７のズームを調整する「ＺＯＯＭ」のスクロールバー７１と、カメラ２５〜２７のフォーカスを調整する「ＦＯＣＵＳ」のスクロールバー７２と、調光に用いる「ＬＩＧＨＴ」のスクロールバー７３と、ウェハＷの回転速度を調整する「ＳＰＥＥＤ」のスクロールバー７４とが配列表示されている。各スクロールバー７１〜７４は、横方向に細長なスクロールボックス７５を有し、スクロールボックス７５中には現在のスクロール位置を示すスクロールサム７６が設けられており、スクロールボックス７５の両端には、スクロールアロー７７が１つずつ設けられている。スクロールアロー７７は、マウス４２のポインタ７８でクリック可能である。スクロールサム７６は、マウス４２でドラッグして移動させることができる。また、キーボード４３の矢印キーで移動させることも可能である。
さらに、各スクロールバー７１〜７４の隣りには、現在のスクロール位置に対応する設定値の表示欄７１Ａ〜７４Ａが検査条件の項目ごとに設けられている。例えば、「ＺＯＯＭ」のスクロールバー７１に関連付けて表示されている設定値「×５．００」は、ズーム倍率として５倍が選択されていることを示す。この数値の表示欄７１Ａ〜７４Ａをマウス４２でクリックしてアクティブにした状態で、数値をキーボード４３から入力すると、その検査条件を設定することもできる。この場合には、入力された数値に合わせて、スクロールサム７６が移動する。
【００１２】
なお、図示していないが、検査条件設定部として提供される機能選択画面には、この他にもウェハＷの位置を設定するために、ＸＹＺ方向のそれぞれについて条件を入力可能なスクロールバーや、ウェハＷの周方向の位置を設定するスクロールバーを設けることができる。これらのスクロールバーは、機能選択画面７０上に設けられても良いし、機能選択画面７０と切り替えて表示可能な他の機能選択画面に配設しても良い。
【００１３】
次に、この実施の形態の作用について説明する。
ロボットなどで搬送されてきたウェハＷは、不図示のアライメント装置でアライメントされ、吸着ステージ１６の回転中心にウェハＷの中心を合わせて載置される。装置制御部６によって吸着部がウェハＷの裏面の中心付近を真空吸着する。
ウェハ保持部４の位置決めして載置されたウェハＷには、予め登録されているレシピに従って周縁部の検査が行われる。コンピュータ４１は、検査者によって選択されたレシピを記憶装置４７から読み込んで、検査制御部５１に実行させる。レシピは、所定の位置の周縁部の画像を確実に取得できるように、カメラ２５〜２７のズーム、フォーカス、照明、ウェハＷの回転速度などの各種条件を定めたものであり、これに従って装置制御部６が指令信号をＸステージ１１などに出力する。レシピを設定するときには、図３に示すスクロールバー７１〜７４を使用することができる。コンピュータ４１は、例えば、検査位置ごとにスクロールバー７１〜７４の変化を順番に記録して１枚のウェハＷを検査するためのレシピを作成し、レシピ登録部５３が記憶装置４７に登録する。
【００１４】
レシピに従って検査を行うときは、マウス４２などを操作して所望のレシピを読み出して実行させる。ウェハＷが所定速度で回転し、カメラ２５〜２７が周縁部の画像を取得し、モニタ４４に表示させる。周縁部の画像は、モニタ４４の略中央に表示されるようにウェハ保持部４のＸＹＺが調整されているので、検査者は、モニタ４４を目視で確認して傷などの欠陥の有無を検査する。検査は、周方向に所定の距離をおいて複数箇所行うが、周方向に連続して行っても良い。また、基準画面を予め入力して観察中の画面との差分を取り、その値が予め設定した閾値を越えたら欠陥とみなすなど、画像処理によって欠陥を自動的に抽出するようにしても良い。
予定されていた検査位置について、欠陥の有無を検査できた場合には、ウェハＷの回転を停止させ、吸着を解除してからロボットでウェハＷを搬出する。
【００１５】
これに対して、ウェハＷが反っていた場合には、カメラ２５〜２７の焦点からウェハＷの周縁部が外れることがある。また、照明装置３１の光量が適切でなくなって、十分な明るさが得られなかったり、明るすぎたりすることがある。これらの場合には、検査条件を変更しなければ、外観検査ができなくなる。
さらに、欠陥が判別可能に表示されているが、モニタ４４の端に表示されて見難くかったり、検査者の体調等によっては回転速度が速すぎると感じたりすることがある。検査者が異なる場合には、その習熟度によっては回転速度の調整が必要なこともある。このような場合は、検査が不能ではないが、検査条件を変更することが好ましい。
これらの場合、検査者は、割り込みボタンを押して、検査中に検査条件を変化する。なお、割り込みボタンは、コンピュータ４１がモニタ４４にマウス４２等で操作可能なボタンをＧＵＩ（Graphical User Interface）として提供しても良いし、不図示の操作パネル上にハードウェア的に設けられても良い。図３の下方にＧＵＩとしてモニタ４４上に設けられる割り込みボタンと、割り込み処理を解除するボタンの例を示す。モニタ４４の略全面に検査中の周縁部の画像８１が表示され、その下方に割り込みボタン８２と、割り込み解除ボタン８３とが並んで配置されている。
【００１６】
図４に割り込み操作時のフローチャートを示す。ステップＳ１０１で予め登録してあるレシピを実行する。検査が終了する前に（ステップＳ１０２でＮｏ）、検査者が割り込みボタン８２を押したら（ステップＳ１０３でＹｅｓ）、割り込み処理部５２がモニタ４４が周縁部の画像８１から、検査条件設定部、つまり機能選択画面７０で設定変更が可能になるので、マウス４２等でスクロールバー７１〜７３を操作して検査条件を変更する（ステップＳ１０４）。例えば、ウェハＷの変形などによってフォーカスがあっていない場合には、「ＦＯＣＵＳ」のスクロールバー７２を操作して、フォーカスを変化させる。また、ウェハＷの位置が周縁撮像部５に対してずれていた場合には、画像８１の端に周縁部が表示されるので、これを画像８１の中央に移動させるときは、ＸＹＺの座標をそれぞれ設定可能な不図示のスクロールバーを表示させて、ウェハ保持部４のＸＹＺを調整する。いずれの検査条件でも、予め設定可能な範囲が定められており、設定可能な範囲内で検査条件を変更できる。設定可能な範囲外の検査条件を選択しようとした場合には、インターロックがかかり、そのような入力は無効になる。
【００１７】
そして、検査条件を変更しつつ観察を継続する（ステップＳ１０５）。周縁部にカメラ２５〜２７のフォーカスが合うので、モニタ４４に表示された画像を目視で確認してウェハＷの周縁部の欠陥の有無を調べる。さらに、必要に応じて不図示の保存ボタンを押すことにより画像を保存する（ステップＳ１０６）。この画像は、例えば、欠陥の状態をデータとして保有しておく必要がある場合や、その画像を使ってプロセス改良などを行う場合に保存される。そして、例えば、プロセスを中止せざるを得ない傷等が発見された場合には、不図示の終了ボタンを押すことにより、この段階で検査を終了する（ステップＳ１０７でＹｅｓ）。
【００１８】
欠陥が発見されなかった場合や、欠陥があってもプロセスを続行できる場合には（ステップＳ１０７でＮｏ）、ステップＳ１０８に進む。現在の機能選択画面７０に表示されていない検査条件を追加的に変更する必要がある場合には、不図示のページ変更ボタンを押すことにより（ステップＳ１０８でＹｅｓ）、ステップＳ１０４に戻る。例えば、撮像角度をさらに調整する必要がある場合や、他の照明装置を点灯させるなどのような他の検査条件を変更する必要がある場合などがあげられる。
これに対して、これ以上の検査条件の変更が不要である場合は（ステップＳ１０８でＮｏ）、割り込み処理部５２が割り込み解除ボタン８３が押されたか判定する（ステップＳ１０９）。割り込み解除ボタン８３が押されたときは、割り込み処理部５２が割り込み処理を解除させ（ステップＳ１１０）、検査条件をレシピ設定値に戻し、ステップＳ１０１に進み、検査制御部５１が通常のレシピに従って検査を続行する。このとき、割り込み処理を開始したときの検査位置や検査条件から検査が再開される。
【００１９】
ステップＳ１０９で割り込み解除ボタン８３が押されていない場合は、変更された検査条件のままでステップＳ１０１に戻って継続して検査を行う。
なお、検査条件変更後、図１のモニタ４４に表示されているレシピ登録ボタン９３を押すと、レシピ登録部５３がレシピを登録し、ステップＳ１０４で変更した条件で既存のレシピが上書き登録される。なお、既存のレシピとは別に新しいレシピとして登録するようにしても良い。また、レシピ登録ボタン９３は、ハードウェア上に設けられても良い。
【００２０】
この実施の形態では、予め作成しておいたレシピに従って周縁部の検査を行っているときに、基本的なレシピ動作を変更することなく、観察に関する検査条件を変更する割り込み処理を行えるようにしたので、ウェハＷの固体差があって正確な検査が困難な場合でも、調整しながら検査を行うことができる。外観検査装置１を完全に停止させなくても検査を行うことができる。レシピをその都度作り直す必要がなくなり、処理が容易になる。検査条件を変えたい場所で割り込み処理を行うことができるので、条件変更後に継続して所望する位置の検査が行える。従来の構成では、レシピを変更した場合には、最初から検査をやり直さなければならないが、この実施の形態では必要なところのみで検査条件を変更することができる。このような効果は、検査者が異なる場合や、検査者の疲労度に合わせて検査条件を変更した場合についても同様である。
検査条件を変更する場合には、検査条件設定部として画面表示されるスクロールバー７１〜７４を操作すれば良いので、操作が容易である。スクロールサム７６の位置で調整可能な範囲内のどの辺りの条件を使用しているかを目視で認識でき、イメージとして捉え易い。具体的な設定値が表示欄７１Ａ〜７４Ａに設定項目と関連付けて表示されるから、検査条件の変更を確認し易い。さらに、条件変更によって新たにレシピが登録されるので、このレシピを使って以降の検査を行うことができる。
【００２１】
なお、一般にカメラの倍率が上がったときは、ウェハの回転速度を落とした方が観察し易いので、予めコンピュータ４１にカメラ２５〜２７の倍率と、その倍率において観察し易い回転速度との関係を予め記憶させておき、ズームで画像を拡大させたときはウェハＷの回転速度が自動的に変化するように構成しても良い。このように、複数の検査条件を関連付けて調整する場合に、対象となる設定項目は、倍率と回転速度に限定されない。
【００２２】
（第２の実施の形態）
この実施の形態は、割り込み時の処理が異なることを主な特徴とする。なお、図５に示す外観検査装置１は、入力装置としてジョグダイヤル９１が追加されている以外は第一の実施の構成と同じ装置構成である。
ジョグダイヤル９１は、データ入力用のインターフェイスであり、指で回転させて使用する。ジョグダイヤル９１の回転方向、回転速度によって各設定項目の調整が行える。例えば、ズーム機能であれば、ジョグダイヤル９１をゆっくり回転させると倍率の変動が小さく、回転速度を速めると倍率の変動が大きくなる。例えば、低倍ではゆっくり回して倍率を徐々に変動させ、高倍率になる従って速く回転させ、素早く変動させることが可能になる。倍率を下げるときには高倍率から低倍率に素早く倍率を下げることができる。また、ジョグダイヤル９１を速く回転させて、粗く倍率を合わせ、その後、ジョグダイヤル９１をゆっくり回転させて適切な倍率に合わせることもできる。レシピを登録する場合、コンピュータ４１は、検査者がジョグダイヤル９１を操作した通りに、レシピを記憶させることもできる。
【００２３】
ジョグダイヤル９１には、機能切り替えスイッチ９２が複数設けられている。機能切り替えスイッチ９２を選択することで、検査条件の項目を切り替えることができる。例えば、ズーム機能に割り当てられた機能切り替えスイッチ９２を押してからジョグダイヤル９１を回転させると、ズームの検査条件を調整できる。回転速度に割り当てられた機能切り替えスイッチ９２を押してからジョグダイヤル９１を回転させると、回転速度の検査条件を調整できる。機能切り替えスイッチ９２は、検査条件の項目の数と同じ数だけ配設することが好ましいが、１つの機能切り替えスイッチ９２を押すごとに、設定される検査条件の項目が１つずつ順番に切り替えられるようにしても良い。省スペース化が図れる。また、項目の数だけジョグダイヤル９１を備える場合には、機能切り替えスイッチ９２は不要になる。
【００２４】
割り込み処理は、図６のフローチャートに示すように、ステップＳ１０１からステップＳ１０８までは第１の実施の形態と略同じである。すなわち、レシピ実行中にステップＳ１０３で割り込みボタン８２が押された時点で、レシピを中断し、レシピ中断時の情報を記憶しておく。そして、検査条件を変更したら（ステップＳ１０４）、変更した検査条件でマニュアル操作による観察を実施する（ステップＳ１０５Ａ）。マニュアル操作には、ジョグダイヤル９１を使用するが、モニタ４４に表示されるスクロールバー７１〜７４を使用しても良い。回転スピードをジョグダイヤル９１に割り当てたとき、ジョグシャトル９１を逆回転させると吸着ステージ１６も逆転する。
【００２５】
マニュアル操作による検査が不要になったら割り込み解除ボタン８３を押す（ステップＳ２０１）。割り込み解除ボタン８３を押すことにより、割り込みボタン８２が押された時点の状態に戻って復帰する（ステップＳ２０２）。
【００２６】
この実施の形態では、割り込み処理を可能にすることで第１の実施の形態と同様の効果が得られる。さらに、条件変更によって新たにレシピが登録されるので、このレシピを使って以降の検査を行うことができる。
【００２７】
なお、本発明は、前記の実施の形態に限定されずに広く応用することができる。
例えば、ジョグダイヤル９１は、図１に示す外観検査装置に設けても良い。また、図６に示す外観検査装置はジョグダイヤル９１を有しなくても良い。また、ジョグダイヤル９１の代わりにジョイスティック等を使用しても良い。
ウェハ保持部４は、ウェハＷをＸＹＺの３方向に移動可能で、かつウェハＷを回転させることができるものであれば良く、実施の形態の構成に限定されない。また、ウェハＷをＸＹＺに移動させる代わりに、周縁撮像部５をＸステージ、Ｙステージ、Ｚステージに搭載させて、ＸＹＺの３方向に移動可能にしても良い。さらに、ＸＹＺの少なくとも１方向に移動可能な機構をウェハ保持部４側に設け、残りの２方向に移動可能な機構を周縁撮像部５側に設けても良い。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本実施の形態に係る外観検査装置の概略構成を示す図である。
【図２】周縁撮像部のカメラの配置例を示す図である。
【図３】検査条件を設定する画面表示の一例を示す図である。
【図４】割り込み処理を含む外観検査装置の処理を示すフローチャートである。
【図５】ジョグダイヤルを備える外観検査装置の概略構成を示す図である。
【図６】割り込み処理時のレシピを登録するときのフローチャートである。
【符号の説明】
【００２９】
１      外観検査装置
４      ウェハ保持部
５      周縁撮像部
４２    マウス（入力装置）
４３    キーボード（入力装置）
５２      割り込み処理部（検査条件設定部）
５３      レシピ登録部
７０      機能選択画面
７１，７２，７３，７４      スクロールバー
７１Ａ，７２Ａ，７３Ａ，７４Ａ      表示欄
Ｗ      ウェハ
【図１】
2008089351.tif 000003
【図２】
2008089351.tif 000004
【図３】
2008089351.tif 000005
【図４】
2008089351.tif 000006
【図５】
2008089351.tif 000007
【図６】
2008089351.tif 000008