(57)【要約】【課題】複数の検出素子や複数の角速度センサを実装するための実装面積を確保する必要がなく、各種電子機器の小型化を図れる角速度センサを提供することを目的としている。【解決手段】２つの第２アーム４に配置された第１感知手段１９と第２感知手段２０と第３感知手段２１は検出回路部に接続され、この検出回路部において、第１〜第３感知電極部１９ａ，１９ｂ，２０ａ，２０ｂ，２１ａ，２１ｂから出力される角速度信号に基づき角速度を検出しており、この角速度信号には、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸における、Ｘ軸周りのＸ成分信号およびＹ軸周りのＹ成分信号およびＺ軸周りのＺ成分信号および可撓体の振動成分信号が含まれ、上記の検出回路部には、これらのＸ成分信号とＹ成分信号とＺ成分信号と振動成分信号を分離する分離手段を設けた構成である。【選択図】図１
2008190972.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可撓体に配置され前記可撓体の歪を感知させる感知手段を有する検出素子と、
前記検出素子に係る角速度を検出する検出回路部を備え、
前記感知手段は、圧電体を介在させた上部電極と下部電極とからなる感知電極部を有し、前記検出回路部は、角速度に応じて前記感知電極部から出力される角速度信号に基づいて角速度を検出しており、
前記角速度信号には、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸における、Ｘ軸周りのＸ成分信号およびＺ軸周りのＺ成分信号が含まれ、
前記検出回路部には、前記Ｘ成分信号と前記Ｚ成分信号を分離する分離手段を設けた角速度センサ。
【請求項２】
前記検出素子には複数のアームを設けるとともに、複数の前記アームに感知電極部を設け、
前記分離手段では、
前記Ｘ成分信号は、複数の前記感知電極部における前記Ｘ成分信号の和差信号値が０でなく、前記Ｚ成分信号の和差信号値が０である組合せにおいて、前記Ｘ成分信号の和差信号値に基づいて検出し、
前記Ｚ成分信号は、複数の前記感知電極部における前記Ｚ成分信号の和差信号値が０でなく、前記Ｘ成分信号の和差信号値が０である組合せにおいて、前記Ｚ成分信号の和差信号値に基づいて検出し、前記Ｘ成分信号と前記Ｚ成分信号を分離する請求項１記載の角速度センサ。
【請求項３】
前記可撓体は駆動振動するとともに前記角速度信号には前記可撓体の振動成分信号が含まれており、
前記分離手段では、
前記Ｘ成分信号は、複数の前記感知電極部における前記Ｘ成分信号の和差信号値が０でなく、前記Ｚ成分信号の和差信号値および前記振動成分信号の和差信号値が０である組合せにおいて、前記Ｘ成分信号の和差信号値に基づいて検出し、
前記Ｚ成分信号は、複数の前記感知電極部における前記Ｚ成分信号の和差信号値が０でなく、前記Ｘ成分信号の和差信号値および前記振動成分信号の和差信号値が０である組合せにおいて、前記Ｚ成分信号の和差信号値に基づいて検出し、前記Ｘ成分信号と前記Ｚ成分信号を分離する請求項１記載の角速度センサ。
【請求項４】
前記角速度信号には、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸における、Ｘ軸周りのＸ成分信号およびＹ軸周りのＹ成分信号およびＺ軸周りのＺ成分信号が含まれ、
前記検出回路部には、前記Ｘ成分信号と前記Ｙ成分信号と前記Ｚ成分信号を分離する分離手段を設けた請求項１記載の角速度センサ。
【請求項５】
前記検出素子には複数のアームを設けるとともに、複数の前記アームに感知電極部を設け、前記分離手段では、
前記Ｘ成分信号は、複数の前記感知電極部における前記Ｘ成分信号の和差信号値が０でなく、前記Ｙ成分信号の和差信号値および前記Ｚ成分信号の和差信号値が０である組合せにおいて、前記Ｘ成分信号の和差信号値に基づいて検出し、
前記Ｙ成分信号は、複数の前記感知電極部における前記Ｙ成分信号の和差信号値が０でなく、前記Ｘ成分信号の和差信号値および前記Ｚ成分信号の和差信号値が０である組合せにおいて、前記Ｙ成分信号の和差信号値に基づいて検出し、
前記Ｚ成分信号は、複数の前記感知電極部における前記Ｚ成分信号の和差信号値が０でなく、前記Ｘ成分信号の和差信号値および前記Ｙ成分信号の和差信号値が０である組合せにおいて、前記Ｚ成分信号の和差信号値に基づいて検出し、
前記Ｘ成分信号と前記Ｙ成分信号と前記Ｚ成分信号を分離する請求項４記載の角速度センサ。
【請求項６】
前記可撓体は駆動振動するとともに前記角速度信号には前記可撓体の振動成分信号が含まれており、
前記分離手段では、
前記Ｘ成分信号は、複数の前記感知電極部における前記Ｘ成分信号の和差信号値が０でなく、前記Ｙ成分信号の和差信号値および前記Ｚ成分信号の和差信号値および前記振動成分信号の和差信号値が０である組合せにおいて、前記Ｘ成分信号の和差信号値に基づいて検出し、
前記Ｙ成分信号は、複数の前記感知電極部における前記Ｙ成分信号の和差信号値が０でなく、前記Ｘ成分信号の和差信号値および前記Ｚ成分信号の和差信号値および前記振動成分信号の和差信号値が０である組合せにおいて、前記Ｙ成分信号の和差信号値に基づいて検出し、
前記Ｚ成分信号は、複数の前記感知電極部における前記Ｚ成分信号の和差信号値が０でなく、前記Ｘ成分信号の和差信号値および前記Ｙ成分信号の和差信号値および前記振動成分信号の和差信号値が０である組合せにおいて、前記Ｚ成分信号の和差信号値に基づいて検出し、
前記Ｘ成分信号と前記Ｙ成分信号と前記Ｚ成分信号を分離する請求項４記載の角速度センサ。
【請求項７】
前記検出素子は、第１アームを第２アームに略直交方向に連結して形成した２つの直交アームと、２つの前記第１アームを支持した支持部と、前記支持部に連結するとともに実装基板に固定した固定用アームとを有し、前記第２アームに前記感知手段を設けた請求項１記載の角速度センサ。
【請求項８】
前記検出回路部は、角速度に応じて前記感知電極部の上部電極から出力される角速度信号と、前記感知電極部の下部電極から出力される角速度信号に基づいて角速度を検出する請求項１記載の角速度センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、航空機、自動車、ロボット、船舶、車両等の移動体の姿勢制御やナビゲーション等、各種電子機器に用いる角速度を検出する角速度センサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
以下、従来の角速度センサについて説明する。
【０００３】
従来の角速度センサは、例えば、音さ形状やＨ形状やＴ形状等、各種形状の検出素子を振動させ、コリオリ力の発生に伴う検出素子の歪を電気的に検知して角速度を検出する。
【０００４】
例えば、互いに略直交したＸ軸とＹ軸とＺ軸において、Ｘ軸とＹ軸とのＸＹ平面に車両を配置した場合、ナビゲーション装置用の角速度センサでは、車両のＸ軸周りや、Ｚ軸周りの角速度を検出する必要がある。
【０００５】
従来、複数の検出軸（Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸）の角速度を検出する場合は、検出軸の数に対応するように複数の角速度センサを用いていた。また、Ｚ軸周りの角速度を検出するためには、ＸＹ平面に対して、検出素子を立設して用いていた。
【０００６】
なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
【特許文献１】特開２００１−２０８５４６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記構成では、複数の検出軸の角速度を検出する場合、各々の検出軸に対応させて、複数の検出素子や複数の角速度センサを実装基板に実装するための実装面積を確保する必要があり、各種電子機器の小型化を図れないという問題点を有していた。
【０００８】
本発明は上記問題点を解決し、複数の検出軸の角速度を検出する場合、複数の検出素子や複数の角速度センサを実装するための実装面積を確保する必要がなく、各種電子機器の小型化を図れる角速度センサを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために本発明は、可撓体に配置され前記可撓体の歪を感知させる感知手段を有する検出素子と、前記検出素子に係る角速度を検出する検出回路部を備え、前記感知手段は、圧電体を介在させた上部電極と下部電極とからなる感知電極部を有し、前記検出回路部は、角速度に応じて前記感知電極部から出力される角速度信号に基づいて角速度を検出しており、前記角速度信号には、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸における、Ｘ軸周りのＸ成分信号およびＺ軸周りのＺ成分信号が含まれ、前記検出回路部には、前記Ｘ成分信号と前記Ｚ成分信号を分離する分離手段を設けた構成である。
【発明の効果】
【００１０】
上記構成により、角速度信号には、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸における、Ｘ軸周りのＸ成分信号およびＺ軸周りのＺ成分信号が含まれ、前記検出回路部には、前記Ｘ成分信号と前記Ｚ成分信号を分離する分離手段を設けているので、１つの検出素子において複数の検出軸の周りの角速度を検出できる。
【００１１】
よって、複数の検出軸の角速度を検出する場合、複数の検出素子や複数の角速度センサを実装するための実装面積を確保する必要がなく、１つの検出素子を実装するための実装面積を確保すればよく、各種電子機器の小型化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
図１は本発明の一実施の形態における角速度センサの検出素子の斜視図、図２は図１のＡ−Ａ断面図、図３は同検出素子の動作状態図である。
【００１３】
図１において、本発明の一実施の形態における角速度センサは、角速度を検出する検出素子１を備え、この検出素子１は、第１アーム２を第２アーム４に略直交方向に連結して形成した２つの直交アームを有し、２つの第１アーム２の一端を支持部６にて支持しており、２つの第１アーム２の他端を枠体８に連結して、この枠体８にて実装基板（図示せず）に固定している。また、第２アーム４はＵ字状に折曲して第２アーム４自身と対向する対向部１６を設け、その先端には錘部１１を連結している。この錘部１１には溝部１２を設け、この溝部１２に第２アーム４の先端部を連結している。
【００１４】
この検出素子１は、第１アーム２と支持部６とを略同一直線上に配置しており、互いに直交したＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸において、第１アーム２をＸ軸方向に配置した場合、第２アーム４がＹ軸方向に配置される。
【００１５】
また、４つの第２アーム４の内、いずれか１つの第２アーム４には錘部１１を駆動振動させる第１駆動手段１７を設け、他の第２アーム４には、第２アーム４の歪を感知させる第１感知手段１９、第２感知手段２０、第３感知手段２１を設けている。
【００１６】
第１駆動手段１７は第２アーム４の錘部１１を駆動させるための電極部を有し、いずれか１つの第２アーム４の内周部側に第１駆動電極部１７ａを配置するとともに外周部側に第１駆動電極部１７ｂを配置している。また、第１駆動電極部１７ａ，１７ｂは互いに対向配置させている。
【００１７】
第１感知手段１９および第２感知手段２０および第３感知手段２１は、第２アーム４の歪を感知させるための電極部であり、３つの第２アーム４において、各々、その内周部側に第１感知電極部１９ａ、第２感知電極部２０ａ、第３感知電極部２１ａを配置するとともに、外周部側に第１感知電極部１９ｂ、第２感知電極部２０ｂ、第３感知電極部２１ｂを配置している。また、第１感知電極部１９ａ，１９ｂを互いに対向配置させ、第２感知電極部２０ａ，２０ｂを互いに対向配置させ、第３感知電極部２１ａ，２１ｂを互いに対向配置させている。
【００１８】
さらに、第１駆動電極部１７ａ，１７ｂの下部電極１４と上部電極１５、第１〜第３感知電極部１９ａ，１９ｂ，２０ａ，２０ｂ，２１ａ，２１ｂの下部電極１４と上部電極１５からは、各々、信号線を引き出している。
【００１９】
上記の第１駆動電極部１７ａ，１７ｂ、第１〜第３感知電極部１９ａ，１９ｂ，２０ａ，２０ｂ，２１ａ，２１ｂおよび各々の電極部から引き出された信号線は、図２に示すように、シリコン基板からなる第２アーム４の上にＰｔからなる下部電極１４を高周波スパッタにて形成し、この下部電極１４の上部にＰＺＴからなる圧電体１３を高周波スパッタにて形成し、ＰＺＴからなる圧電体１３の上部にＡｕからなる上部電極１５を蒸着して形成すればよい。
【００２０】
図３は同検出素子１の動作状態図である。
【００２１】
互いに直交したＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸において、検出素子１の第１アーム２をＸ軸方向に配置して、第２アーム４をＹ軸方向に配置した場合、第１駆動電極部１７ａ，１７ｂに共振周波数の交流電圧を印加すると、第１駆動手段１７が配置された第２アーム４を起点に第２アーム４が駆動振動し、それに伴って錘部１１も第２アーム４の対向方向（実線の矢印と点線の矢印で記した駆動振動方向）に駆動振動する。また、４つの第２アーム４および４つの錘部１１の全てが同調して第２アーム４の対向方向に駆動振動する。この検出素子１における駆動振動方向はＸ軸方向となる。
【００２２】
このとき、例えば、Ｚ軸の左周りに角速度が生じた場合は、錘部１１の駆動振動と同調して、錘部１１に対して駆動振動方向と直交した方向（実線の矢印と点線の矢印で記したコリオリ方向）にコリオリ力が発生するので、第２アーム４にＺ軸の左周りの角速度に起因した歪を発生させることができる。この検出素子１のコリオリ方向はＹ軸方向となる。
【００２３】
実線の矢印で記したコリオリ方向にコリオリ力が発生した場合は、第１〜第３感知電極部１９ａ，１９ｂ，２０ａ，２０ｂ，２１ａ，２１ｂが設けられた第２アーム４において、第１感知電極部１９ｂと第２感知電極部２０ａと第３感知電極部２１ａが第２アーム４の縮みを感知するとともに第１感知電極部１９ａと第２感知電極部２０ｂと第３感知電極部２１ｂが第２アーム４の伸びを感知し、点線の矢印で記したコリオリ方向にコリオリ力が発生した場合は、その逆方向の伸び縮みを感知する。
【００２４】
そして、感知した伸び縮みに応じて、第１〜第３感知電極部１９ａ，１９ｂ，２０ａ，２０ｂ，２１ａ，２１ｂから角速度信号が出力され角速度が検出される。
【００２５】
一方、Ｚ軸の右周りに角速度が生じた場合は、Ｚ軸の左周りに角速度が生じた場合とは正反対に、第２アーム４が伸び縮みし、この伸び縮みを第１〜第３感知電極部１９ａ，１９ｂ，２０ａ，２０ｂ，２１ａ，２１ｂが感知するので、同様に角速度が検出される。
【００２６】
また、Ｘ軸周りやＹ軸周りに角速度が生じた場合も、錘部１１の駆動振動と同調して、錘部１１に対して駆動振動方向と直交した方向にコリオリ力が発生するので、第２アーム４にＹ軸周りの角速度に起因した歪を発生させ、第２アーム４の伸び縮みを第１〜第３感知電極部１９ａ，１９ｂ，２０ａ，２０ｂ，２１ａ，２１ｂが感知することにより、角速度が検出される。
【００２７】
次に、同角速度センサの角速度検出処理について説明する。
【００２８】
４つの第２アーム４の内、２つの第２アーム４に配置された第１感知手段１９と第２感知手段２０と第３感知手段２１は検出回路部に接続され、この検出回路部において、第１〜第３感知電極部１９ａ，１９ｂ，２０ａ，２０ｂ，２１ａ，２１ｂの下部電極１４および上部電極１５から出力される角速度信号に基づき角速度を検出している。
【００２９】
この角速度信号には、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸における、Ｘ軸周りのＸ成分信号およびＹ軸周りのＹ成分信号およびＺ軸周りのＺ成分信号および可撓体の振動成分信号が含まれ、上記の検出回路部には、これらのＸ成分信号とＹ成分信号とＺ成分信号と振動成分信号を分離する分離手段を設けている。
【００３０】
この分離手段では、第１〜第３感知電極部１９ａ，１９ｂ，２０ａ，２０ｂ，２１ａ，２１ｂは面積がほぼ等しく、各電極で検出するＸ成分信号、Ｙ成分信号、Ｚ成分信号、振動成分信号の絶対値はそれぞれ等しい。そのため各電極の出力の加算、減算することにより信号を増加、もしくは相殺させることができる。これにより各成分信号の分離が可能となる。
【００３１】
Ｘ成分信号は、複数の第１〜第３感知電極部１９ａ，１９ｂ，２０ａ，２０ｂ，２１ａ，２１ｂにおけるＸ成分信号の和差信号値が０でなく、Ｙ成分信号の和差信号値およびＺ成分信号の和差信号値および振動成分信号の和差信号値が０である組合せにおいて、Ｘ成分信号の和差信号値に基づいて検出し、Ｙ成分信号は、複数の第１〜第３感知電極部１９ａ，１９ｂ，２０ａ，２０ｂ，２１ａ，２１ｂにおけるＹ成分信号の和差信号値が０でなく、Ｘ成分信号の和差信号値およびＺ成分信号の和差信号値および振動成分信号の和差信号値が０である組合せにおいて、Ｙ成分信号の和差信号値に基づいて検出し、Ｚ成分信号は、複数の第１〜第３感知電極部１９ａ，１９ｂ，２０ａ，２０ｂ，２１ａ，２１ｂにおけるＺ成分信号の和差信号値が０でなく、Ｘ成分信号の和差信号値およびＹ成分信号の和差信号値および振動成分信号の和差信号値が０である組合せにおいて、Ｚ成分信号の和差信号値に基づいて検出し、Ｘ成分信号とＹ成分信号とＺ成分信号と振動成分信号を分離している。
【００３２】
角速度信号のＸ成分信号、Ｙ成分信号、Ｚ成分信号と振動成分信号とを比較すると、一般的に、振動成分信号の方が非常に大きい。
【００３３】
検出素子１に配置した第１〜第３感知電極部１９ａ，１９ｂ，２０ａ，２０ｂ，２１ａ，２１ｂから出力されるＸ成分信号、Ｙ成分信号、Ｚ成分信号、振動成分信号を、各々、Ｘ値、Ｙ値、Ｚ値、Ｄ値とし、例えば、Ｘ成分信号、Ｙ成分信号、Ｚ成分信号のＸ値、Ｙ値、Ｚ値を「１」とし、振動成分信号を「１０」とし、ある瞬間のピーク値を捕らえた各々の信号値におけるＸ値、Ｙ値、Ｚ値、Ｄ値は、（表１）に示すとおりである。
【００３４】
【表１】
2008190972.tif 000003
【００３５】
このときの和差信号値の結果を（表２）に示す。
【００３６】
【表２】
2008190972.tif 000004
【００３７】
（表２）において、１番目の１９ｂ−１９ａは第１感知電極部１９ｂのＸ値、Ｙ値、Ｚ値、Ｄ値と第１感知電極部１９ａのＸ値、Ｙ値、Ｚ値、Ｄ値との差信号値を示しているが、各々、Ｘ値は「０」、Ｙ値は「０」、Ｚ値は「−２０」、Ｄ値は「０」となる。２番目〜３０番目までも同様である。
【００３８】
これらの差分値から、和差信号値を算出して、上記の分離手段の条件を満たす組合せを抽出すると、次のとおりである。
【００３９】
Ｘ成分信号では、４番目と９番目の和信号値（Ｘ値「４」、Ｙ値「０」、Ｚ値「０」、Ｄ値「０」）と１７番目と２１番目の和信号値（Ｘ値「−４」、Ｙ値「０」、Ｚ値「０」、Ｄ値「０」）との差信号値（Ｘ値「８」、Ｙ値「０」、Ｚ値「０」、Ｄ値「０」）が相当する。
【００４０】
Ｙ成分信号は、１２番目と１３番目の和信号値（Ｘ値「０」、Ｙ値「−４」、Ｚ値「０」、Ｄ値「０」）と１８番目と２４番目の和信号値（Ｘ値「０」、Ｙ値「４」、Ｚ値「０」、Ｄ値「０」）との差信号値（Ｘ値「０」、Ｙ値「８」、Ｚ値「０」、Ｄ値「０」）が相当する。
【００４１】
Ｚ成分信号は、４番目と１７番目の和信号値（Ｘ値「０」、Ｙ値「０」、Ｚ値「４」、Ｄ値「０」）と９番目と２１番目の和信号値（Ｘ値「０」、Ｙ値「０」、Ｚ値「−４」、Ｄ値「０」）との差信号値（Ｘ値「０」、Ｙ値「０」、Ｚ値「８」、Ｄ値「０」）が相当する。
【００４２】
上記構成により、角速度信号には、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸における、Ｘ軸周りのＸ成分信号とＹ軸周りのＹ成分信号とＺ軸周りのＺ成分信号と振動成分信号が含まれ検出回路部には、これらＸ成分信号とＹ成分信号とＺ成分信号と振動成分信号を分離する分離手段を設けているので、１つの検出素子１において複数の検出軸の周りの角速度を検出できる。
【００４３】
よって、複数の検出軸の角速度を検出する場合、複数の検出素子１や複数の角速度センサを実装するための実装面積を確保する必要がなく、１つの検出素子１を実装するための実装面積を確保すればよく、各種電子機器の小型化を図ることができる。
【００４４】
特に、振動成分信号を分離することができるので、Ｘ成分信号やＹ成分信号やＺ成分信号の出力信号レベルよりも非常に大きな信号レベルである振動成分信号を相殺して分離するので、ノイズ成分となりやすい振動成分信号が除去されて検出精度を向上できる。
【００４５】
なお、本発明の一実施の形態では、角速度信号には、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸における、Ｘ軸周りのＸ成分信号とＹ軸周りのＹ成分信号とＺ軸周りのＺ成分信号と振動成分信号が含まれ、検出回路部には、これらＸ成分信号とＹ成分信号とＺ成分信号と振動成分信号を分離する分離手段を設けた構成について説明したが、振動成分信号を含まないものであって、Ｘ成分信号とＹ成分信号とＺ成分信号を分離する分離手段を設けたものでもよい。
【００４６】
また、角速度信号には、Ｙ成分信号を含まないものであって、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸における、Ｘ軸周りのＸ成分信号およびＺ軸周りのＺ成分信号および振動成分信号が含まれ、Ｘ成分信号とＺ成分信号と振動成分信号を分離する分離手段を設けたものや、振動成分信号も含まないものであって、Ｘ成分信号とＺ成分信号を分離する分離手段を設けたものでもよい。
【００４７】
さらに、第１〜第３感知電極部１９ａ，１９ｂ，２０ａ，２０ｂ，２１ａ，２１ｂの下部電極１４、上部電極１５から出力する信号はそれぞれ信号極性が逆になっているので、各成分信号（Ｘ成分信号、Ｙ成分信号、Ｚ成分信号、振動成分信号）の分離の際の加算、減算において、信号極性が逆であることを利用することもできる。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
本発明に係る角速度センサは、複数の検出素子や複数の角速度センサを実装するための実装面積を確保する必要がなく、各種電子機器に適用できるものである。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の一実施の形態における角速度センサの検出素子の斜視図
【図２】図１のＡ−Ａ断面図
【図３】同検出素子の動作状態図
【符号の説明】
【００５０】
１  検出素子
２  第１アーム
４  第２アーム
６  支持部
８  枠体
１１  錘部
１２  溝部
１３  圧電体
１４  下部電極
１５  上部電極
１７  第１駆動手段
１７ａ  第１駆動電極部
１７ｂ  第１駆動電極部
１９  第１感知手段
１９ａ  第１感知電極部
１９ｂ  第１感知電極部
２０  第２感知手段
２０ａ  第２感知電極部
２０ｂ  第２感知電極部
２１  第３感知手段
２１ａ  第３感知電極部
２１ｂ  第３感知電極部
【図１】
2008190972.tif 000005
【図２】
2008190972.tif 000006
【図３】
2008190972.tif 000007