(57)【要約】【課題】  エネルギー変換効率が良い液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】  発熱体を流路の内壁面より浮かせた状態で液体の吐出方向を塞がないように支持し、該発熱体の気泡が発生する面を液体の吐出方向と平行となるように配置する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を加熱して発泡させ、発生気泡を利用して液体を吐出するヘッドにおいて、液滴吐出口と、該液滴吐出口に連通して配置された液体を満たすための流路と、前記流路の内壁面より浮かせた状態で液体の吐出方向を塞がないように支持して前記流路内に配置した発熱体を備え、前記発熱体を、該発熱体の主として気泡が発生する面と液体が吐出する方向が平行となるように配置したことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記発熱体の形状が平板であることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記発熱体の両面で気泡が発生することを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記発熱体の両面で同時に気泡が発生することを特徴とする請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
発生した気泡が前記液滴吐出口近傍で外気と連通することを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
発熱体を流路の内壁面より浮かせた状態で、液体の吐出方向を塞がないように支持し、発熱体の主として気泡が発生する面を液体の吐出方向と平行に配置し、前記発熱体で液体を加熱して、発生した気泡を利用して液体を吐出することを特徴とする液体吐出方法。
【請求項７】
前記発熱体が平板形状であることを特徴とする請求項６に記載の液体吐出方法。
【請求項８】
前記発熱体の両面で気泡を発生させることを特徴とする請求項７に記載の液体吐出方法。
【請求項９】
前記発熱体の両面で気泡を同時に発生させることを特徴とする請求項８に記載の液体吐出方法。
【請求項１０】
発生した気泡が前記液滴吐出口近傍で外気と連通することを特徴とする請求項６から９のいずれか一項に記載の液体吐出方法。
【請求項１１】
液体を加熱して発泡させ、発生した気泡を利用して液体を吐出するヘッドを有する記録装置において、液滴吐出口と、該液滴吐出口に連通して配置された液体を満たすための流路と、前記流路の内壁面より浮かせた状態で液体の吐出方向を塞がないように支持して前記流路内に配置した発熱体を備え、前記発熱体を、該発熱体の主として気泡が発生する面と液体が吐出する方向が平行となるように配置したことを特徴とする液体吐出ヘッドを有する記録装置。
【請求項１２】
複数の液体吐出ヘッドを備え、各発熱体に電気信号を供給する手段を備えたことを特徴とする請求項１１に記載の記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流路内の液体を加熱して発泡させ、発生気泡を利用して液体を吐出する液体吐出ヘッド、液体吐出方法及び記録装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から液体吐出装置は、微細加工、実験分析、画像形成等の様々な分野で応用されているが、ここではインクジェットによる記録方法を例にとって説明する。
【０００３】
インク滴を吐出し、これを被記録媒体上に付着させて画像形成を行なうインクジェット記録方法は、高速記録が可能であり、また記録品位も高く、低騒音であるという利点を有している。さらに、この方法はカラー画像記録が容易であって、普通紙等にも記録でき、さらに装置を小型化し易いといった多くの優れた利点を有している。
【０００４】
このようなインクジェット記録方法を用いる記録装置には、一般にインクを飛翔インク滴として吐出させるための吐出口と、この吐出口に連通するインク路と、このインク路の一部に設けられ、インク路内のインクに吐出のための吐出エネルギーを与えるエネルギー発生手段とを有する記録ヘッドが備えられる。例えば、特公昭６１−５９９１１号、特公昭６１−５９９１２号、特公昭６１−５９９１３号、特公昭６１−５９９１４号の各公報には、エネルギー発生手段として電気熱変換体を用い、電気パルス印加によってこれが発生する熱エネルギーをインクに作用させてインクを吐出させる方法が開示されている。
【０００５】
上記各公報に開示されている記録方法は、熱エネルギーの作用を受けたインクに気泡が発生し、この気泡の急激な膨張に基づく作用力によって、記録ヘッド部先端の吐出口よりインクを吐出し、この吐出インク滴が被記録媒体に付着して画像形成を行なうものである。この方法によれば記録ヘッドにおける吐出口を高密度に配設することができるので、高解像度、高品質の画像を高速で記録することができ、この方法を用いた記録装置は、複写機、プリンタ、ファクシミリなどにおける情報出力手段として用いることができる。
【０００６】
このインクジェット記録方式においては、上述のように電気熱変換体すなわち液体を加熱するための発熱体素子が必要であり、従来は薄膜抵抗体を流路内の壁面に設置し、該薄膜抵抗体の２辺に電気パルスを印加するための電極を接続したものが用いられていた。
【０００７】
しかしながら、上記したように薄膜抵抗体を壁面に設置した場合は、該薄膜抵抗体で発生した熱エネルギーが、かなりの割合で壁面に散逸してしまう場合があった。これにより、熱エネルギーを発泡のエネルギーに変換する効率が低下し、消費電力が大きくなってしまう場合があった。この問題点を解決するために、特開昭５５−５７４７７ならびに特開昭６２−９４３４７号公報には、発熱体素子を部分的に流路内の空間に空中に延在させて設け、これにより発熱体素子からプリントヘッド本体乃至は基板に熱が散逸されることを極力防止し、発熱体で発生した熱エネルギーを効率良く発泡のエネルギーに変換することにより、消費電力を低減させる装置が開示されている。
【特許文献１】特公昭６１−５９９１１号公報
【特許文献２】特公昭６１−５９９１２号公報
【特許文献３】特公昭６１−５９９１３号公報
【特許文献４】特公昭６１−５９９１４号公報
【特許文献５】特開昭５５−５７４７７号公報
【特許文献６】特開昭６２−９４３４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、熱エネルギーを発泡エネルギーに変換する効率を改善した上記従来技術では、以下に説明する問題点があった。
【０００９】
図７に示すように、特開昭６２−９４３４７号では、発熱体素子７０１の主として発泡する面（最も面積が広い面）が液体の吐出方向に対して垂直に配置されている。この場合、発熱体素子７０１の液滴吐出口７０２側では、液体の慣性（動きにくさ）が小さいので、気泡７０３は液滴吐出口７０２に向かって膨張する。一方、発熱体素子７０１の液滴吐出口７０２と反対の側では液体の慣性が大きいので、気泡は７０４は、ほとんど膨張することができない。したがって、上記従来技術では、気泡７０３は液体の吐出に寄与するが、気泡７０４は液体の吐出にほとんど寄与しないので、発生した気泡のエネルギーを最終的な吐出する液滴７０５の運動エネルギーに変換する効率は改善できていない。また特開昭５５−５７４７７では、発熱体を支持する部分が、気泡と吐出口の間に立ちふさがる構成となっており、発生した気泡のエネルギーが有効に活用されていない。すなわち、従来技術においては、発熱体で発生した熱エネルギーを気泡のエネルギーに変換する効率に関しては考慮されているが、気泡のエネルギーを最終的な液体吐出のエネルギーに変換するための効率については考慮されていない。
【００１０】
本発明は上記問題点に鑑みてなされたものである。本発明の目的は、発熱体素子で発生した熱エネルギーを効率良く気泡のエネルギーに変換し、さらに該気泡のエネルギーを効率良く最終的な液体吐出のエネルギーに変換することが可能な液体吐出ヘッドを提供することであり、さらには消費電力が低い記録装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は上記課題を解決するため、流路内の液体を加熱して発泡させ、発生気泡を利用して液体を吐出する液体吐出ヘッド、液体吐出方法および記録装置を以下のように構成したことを特徴とするものである。
【００１２】
すなわち、本発明の液体吐出装置は、液体を加熱して発泡させ、発生気泡を利用して液体を吐出するヘッドにおいて、液滴吐出口と、該液滴吐出口に連通して配置された液体を満たすための流路と、前記流路の内壁面より浮かせた状態で液体の吐出方向を塞がないように支持して前記流路内に配置した発熱体を備え、前記発熱体を、該発熱体の主として気泡が発生する面と液体が吐出する方向が略平行となるように配置したことを特徴としている。
【００１３】
また、本発明の液体吐出装置は、前記発熱体の形状が平板であることを特徴としている。
【００１４】
また、本発明の液体吐出装置は、前記発熱体の両面で気泡が発生することを特徴としている。
【００１５】
また、本発明の液体吐出装置は、前記発熱体の両面で同時に気泡が発生することを特徴としている。
【００１６】
また、本発明の液体吐出装置は、発生した気泡が前記液滴吐出口近傍で外気と連通することを特徴としている。
【００１７】
本発明の液体吐出方法は、発熱体を流路の内壁面より浮かせた状態で、液体の吐出方向を塞がないように支持し、発熱体の主として気泡が発生する面を液体の吐出方向と略平行に配置し、前記発熱体で液体を加熱して、発生した気泡を利用して液体を吐出することを特徴としている。
【００１８】
また、本発明の液体吐出方法は、前記発熱体が平板形状であることを特徴としている。
【００１９】
また、本発明の液体吐出方法は、前記発熱体の両面で気泡を発生させることを特徴としている。
【００２０】
また、本発明の液体吐出方法は、前記発熱体の両面で気泡を同時に発生させることを特徴としている。
【００２１】
また、本発明の液体吐出方法は、発生した気泡が前記液滴吐出口近傍で外気と連通することを特徴としている。
【００２２】
本発明の記録装置は、液体を加熱して発泡させ、発生した気泡を利用して液体を吐出するヘッドを有する記録装置において、液滴吐出口と、該液滴吐出口に連通して配置された液体を満たすための流路と、前記流路の内壁面より浮かせた状態で液体の吐出方向を塞がないように支持して前記流路内に配置した発熱体を備え、前記発熱体を、該発熱体の主として気泡が発生する面と液体が吐出する方向が略平行となるように配置したことを特徴とする液体吐出ヘッドを有する記録装置である。
【００２３】
また、本発明の記録装置は、複数の液体吐出ヘッドを備え、各発熱体に電気信号を供給する手段を備えたことを特徴としている。
【発明の効果】
【００２４】
以上説明したように、本発明の液体吐出装置型吐出ヘッドでは、発熱体素子を流路内壁から浮かせた状態で支持することで、発熱体で発生した熱が基板に散逸するのを防ぎ、さらに、発熱体を液体の吐出方向を塞がないように支持し、液体の吐出方向に対して発熱体の発泡面を平行に配置することにより、気泡のエネルギーを効率良く液体の吐出エネルギーに変換することができる。これにより、高解像度・高速印字が可能で、従来と比較して消費電力が低い吐出装置を提供することが可能となった。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
本発明の液体吐出ヘッドでは、液体が満たされた流路の内壁面より浮かせた状態で液体の吐出方向を塞がないように支持して発熱体を設置することにより、ヘッド本体や基板への熱の散逸を防止することができ、発熱体で発生した熱エネルギーを効率良く発泡エネルギーに変換することができる。また、発熱体の主として気泡が発生する面（以下、発泡面と記述する。）を、液体の吐出方向に対して略平行に配置し、さらに吐出方向を塞がない支持構造にすることにより、発生した気泡のエネルギーを、効率良く液体吐出のエネルギーに変換することが可能となる。発熱体の支持構造は、液体の吐出口方向を塞がないようにするのであれば、両持ち梁状でも片持ち梁状でも良い。発熱体の形状は、平板形状とした場合に特に効率の損失が小さいが、これ以外の形状であっても良い。発泡面は、平板形状の発熱体の場合、最も面積が広い面であることが多い。発泡面が平板の他の面となる場合や平板形状以外の発熱体を用いる場合でも、発泡面を吐出方向と略平行にすれば良い。
【００２６】
また、本発明の液体吐出ヘッドでは、平板形状の発熱体を用いた場合に、発熱体の面積が最も広い面を発泡面とし、その両面に気泡を発生させることにより、従来技術の壁面に設置され発熱体と比較して、気泡の体積が約２倍となり液体の吐出エネルギーを向上させることができる。もしくは、従来技術と比較して少ない消費電力で同等の吐出エネルギーを得ることができる。
【００２７】
また、本発明の液体吐出ヘッドでは、平板形状の発熱体を用いた場合に、発熱体の面積が最も広い面を発泡面とし、その両面に同時に気泡を発生させることにより、吐出特性を安定させることができる。発熱体両面で、同時に気泡を発生させるためには、例えば、発熱体を膜沸騰が生じる温度まで急速に加熱すれば良い。これにより、発熱体の温度は短時間で一様に発泡温度以上に上昇するので、発熱体両面での発泡時間のばらつきが小さくなり、発熱体両面で同時に気泡を発生させることができる。
【００２８】
また、本発明の液体吐出ヘッドでは、発生した気泡を液滴吐出口近傍で外気と連通させることにより、吐出する液体の体積が一定となり、液体の吐出特性を安定させることができる。気泡と外気を連通させるためには、例えば、発熱体素子と液滴吐出口の距離を短くする、駆動電圧を大きくすることにより気泡の体積を大きくする等の方法が挙げられる。
【００２９】
また、本発明の記録装置は、上記した記録ヘッドを複数備えることにより高速な記録が可能となり、さらに記録ヘッドの各発熱体に膜沸騰を生じさせる電気信号を供給する手段を備えることにより安定した記録が可能となる。
【００３０】
また本発明の記録装置では、上記した液体吐出方法を用いて液体を吐出することにより、高解像度・高速印字が可能で高品位な記録を実現することが可能となる。
【００３１】
以下に具体的な実施例を示すが、基板、天板、流路、発熱体、液滴吐出口等の寸法や形状や材質、駆動条件等は一例であり、設計事項として任意に変更できるものである。
【００３２】
以下、実施例を用いて本発明を、より詳細に説明する。
【００３３】
（第１実施例）
図１に示したインクジェットヘッドを設計、作製した。本実施例の吐出ヘッドは、単結晶シリコン基板１０１上に流路１０２となる溝をエッチングにより形成し、不純物を導入して導電性を持たせたｐｏｌｙ−Ｓｉの両面にＳｉ3Ｎ4よりなる保護層（不図示）を形成した平板形状の発熱体素子１０３を溝に対して両持ち梁状となるように配置し、該発熱体素子の両端に電極（不図示）を形成し、流路１０２となる溝を形成した単結晶シリコンよりなる天板１０４を前記基板に張合わせ、液体供給口１０５および先細形状の液滴吐出口１０６を形成したものである。前記発熱体素子１０３の各面のうち、最も面積が広い面において気泡は主として発生する。図１に示した通り、発熱体素子１０３の各面のうち最も面積が広い面、すなわち気泡が主として発生する面（以下、発泡面と記述する。）は、液体吐出方向に対して平行となるように配置されている。吐出ヘッドの各部の寸法は、図１に示した通りである。
【００３４】
次に、図２を用いて、本実施例の吐出ヘッドの液体吐出原理を説明する。流路２０１が液体２０２に満たされた状態（図２（ａ））で、発熱体素子２０３の両端に形成された電極（不図示）に、パルス電圧を印加することにより、発熱体の温度を、膜沸騰が生じる温度（３００℃以上）まで急速に上昇させる。これにより、発熱体の気泡面の両面に、同時に気泡２０４が発生し、急激に膨張を始める（図２（ｂ））。さらに気泡は膨張を続け、液滴を液滴吐出口２０５側に押し出す（図２（ｃ））。さらに気泡が膨張すると、独立した液滴２０６が形成され、液滴吐出口から吐出する（図２（ｄ））。その後、液滴に取り込まれずに流路内に残った液体は、液体供給口２０７側の液体と合体して初期状態に戻る（図２（ｅ））。
【００３５】
この吐出ヘッドに、Ｃ．Ｉ．フードブラック２３．０重量％、ジエチレングリコール１５．０重量％、Ｎ−メチル−２−ピロリドン５．０重量％、イオン交換水７７．０重量％よりなる各配合成分を容器中で撹拌し、均一に混合溶解させた後、孔径０．４５μｍのポリフッ化エチレン系繊維製フィルタで濾過して得た粘度２．０ｃｐｓ（２０℃）のインクを流路に供給し吐出を試みた。
【００３６】
吐出ヘッドの発熱体の加熱条件を、電圧９．０Ｖ、パルス幅２．５μｓｅｃ、周波数３ｋＨｚの矩形パルスよりなる電気信号とし、吐出口よりインクを吐出させた。この状況をパルス光源と顕微鏡を用い観察した。すなわち、発熱体を加熱するための駆動パルスに同期し、かつ所定の遅延時間をおいてパルス光を発光させながら、発泡状況および吐出したインクを観察した。吐出方向から発泡状況を観察したところ、パルス電圧を印加し始めてから２．２μｓｅｃ後に、発熱体の両面で気泡が生じていることが確認できた。また、吐出されたインク液滴をインクの吐出方向に対して垂直な方向から観察したところ、インク液滴の投影形状から概算したインク液滴の体積は、約２．０×１０4（μｍ）3であり、インク液滴の平均速度は、約１１．０ｍ／ｓであった。
【００３７】
本実施例の吐出ヘッドでは、発熱体を流路の内壁面から浮かせた状態に支持してあるので、該発熱体で発生した熱は、基板（もしくは天板）に散逸せず、その殆どが気泡の発生に利用される。さらに、発熱体を液体の吐出方向を塞がないように支持し、発熱体の発泡面が液体の吐出方向に対して平行に配置されているので、図７に示した従来技術と異なり、発生した気泡のエネルギーは、効率良く液体の吐出エネルギーに変換される。
【００３８】
（第２実施例）
図３に示したインクジェット吐出ヘッドを設計作製した。本実施例の吐出ヘッドは、単結晶シリコン基板３０１上に、両端に電極（不図示）を備え不純物を導入して導電性を持たせたｐｏｌｙ−Ｓｉの両面にＳｉ3Ｎ4よりなる保護層（不図示）を形成した平板状の発熱体素子３０２を、基板３０１に対して発熱体３０２の発泡面が垂直になるように形成し、さらに基板３０１上にエポキシ系樹脂で形成したスペーサー３０３を張合わせ、円形の液体吐出口３０４を形成したガラスよりなる天板３０５をスペーサー３０３に張合わせ、流路３０６を形成したものである。前記発熱体素子は、図３に示した通り、その発泡面が液体吐出方向に対して、平行となるように配置されている。吐出ヘッドの各部の寸法は、図３に示した通りである。
【００３９】
本実施例の液滴吐出原理は、流路と液滴吐出口の相対位置が異なることを除いて、第１実施例と同じである。
【００４０】
本実施例の吐出ヘッドを用いて、第１実施例と同様のインクを吐出した。吐出ヘッドの発熱体の加熱条件を、電圧９．０Ｖ、パルス幅２．５μｓｅｃ、周波数３ｋＨｚの矩形パルスよりなる電気信号とし、吐出口よりインクを吐出させた。この状況を、実施例１と同様にパルス光源と顕微鏡を用い観察したところ、パルスをかけ始めてから２．２μｓｅｃ後に、発熱体の両面で気泡が生じていることが確認できた。また吐出されたインク液滴の投影形状から概算したインク液滴の体積は、約２．０×１０4（μｍ）3であり、インク液滴の平均速度は、約１１．０ｍ／ｓであった。
【００４１】
本実施例の吐出ヘッドでは、発熱体は流路内に直立した状態で配置しているため、該発熱体で発生した熱は、基板（もしくは天板）に散逸せず、その殆どが気泡の発生に利用される。さらに、発熱体を液体の吐出方向を塞がないように支持し、発熱体の発泡面が液体の吐出方向に対して平行に配置されているので、図７に示した従来技術と異なり、発生した気泡のエネルギーは、効率良く液体の吐出エネルギーに変換される。
【００４２】
（比較例）
比較のため、図４に示したインクジェット吐出ヘッドを設計、作製した。本実施例の吐出ヘッドは、基板４０１上に、流路４０７となる溝を有するスペーサー４０２を形成し、スペーサー４０２の溝に架かる両持ち梁状の発熱体素子４０３を形成し、さらに流路４０７となる溝を有するスペーサー４０４を形成し、円形の液体吐出口４０５を有する天板４０６を張合わせたものである。吐出ヘッドの各部の寸法は、図３に示した通りである。流路、液滴吐出口の材質、形状および寸法、発熱体素子の発泡面の面積は、第２実施例の吐出ヘッドと同じである。
【００４３】
本比較例の吐出ヘッドと第２実施例の吐出ヘッドの大きく異なる点は、第２実施例の吐出ヘッドは、液滴の吐出方向に対して発熱体の発泡面が平行に配置されているのに対して、本比較例では従来技術と同様に、発熱体の発泡面が液滴の吐出方向に対して垂直に配置されている点である。
【００４４】
この吐出ヘッドを用いて、第２実施例と同じインクの吐出を試みた。吐出ヘッドの発熱体の加熱条件を、第２実施例と同様に電圧９．０Ｖ、パルス幅２．５μｓｅｃ、周波数３ｋＨｚの矩形パルスよりなる電気信号とし、吐出口よりインクを吐出させた。この状況をパルス光源と顕微鏡を用い観察した。その結果、吐出されたインク液滴の投影形状から概算したインク液滴の体積は、約１．７×１０4（μｍ）3であり、インク液滴の平均速度は、約９．６ｍ／ｓであった。
【００４５】
本比較例では、従来技術の項で説明した様に、発熱体の液滴吐出口側で発生した気泡のエネルギーは、液滴の吐出に寄与するが、発熱体の液滴吐出口と逆側で発生した気泡は、ほとんど液滴の吐出に寄与しない。したがって、最終的なインク液滴の運動エネルギーは、第２実施例と比較して約６割に減少した。
【００４６】
（第３実施例）
本実施例では、図５に示したインクジェット吐出ヘッドを設計、作製した。本実施例のインクジェット吐出ヘッドは、発熱体素子５０３の吐出口側端面から吐出口５０６までの距離Ｌを、第１実施例では６０μｍであったのに対して、２０μｍと短くしたことを特徴とする。それ以外の発熱体の材質および寸法、流路の形状については、第１実施例のインクジェット吐出ヘッドと同様である。
【００４７】
次に、図６を用いて、本実施例の吐出原理について説明する。流路６０１が液体６０２に満たされた状態（図６（ａ））で、発熱体素子６０３の両端に形成された電極（不図示）に、パルス電圧を印加することにより、発熱体の温度を、膜沸騰が生じる温度（３００℃以上）まで急速に上昇させる。これにより、発熱体の発泡面の両面に、同時に気泡６０４が発生し、急激に膨張を始める（図６（ｂ））。さらに気泡は膨張を続け、液滴を吐出口６０５側に押し出す（図６（ｃ））。さらに気泡が膨張すると、気泡は吐出口近傍で大気と連通し、安定に独立した液滴６０６が形成され、吐出口から吐出する（図６（ｄ））。その後、吐出口側に形成された空隙には、液体供給口６０７側の液体の表面張力と流路を形成する部材との濡れによって、液体が吐出口側に供給され初期状態に戻る（図６（ｅ））。
【００４８】
この吐出ヘッドを用い、第１実施例と同様のインクを液室に供給し吐出を試みた。
【００４９】
吐出ヘッドの発熱体の加熱条件を、電圧９Ｖ、パルス幅２．５μｓｅｃ、周波数３ｋＨｚの矩形パルスよりなる電気信号とし、吐出口よりインクを吐出させた。この状況をパルス光源と顕微鏡を用い観察した。すなわち、発熱体を加熱するための駆動パルスに同期し、かつ所定の遅延時間をおいてパルス光を発光させながら吐出したインクを観察した。その結果、液滴の体積のばらつき、速度のばらつきが小さくなり、第１実施例と比較して安定した吐出が可能であることが判明した。
【００５０】
本実施例の吐出ヘッドでは、気泡が大気と連通することにより、吐出される液滴の体積が常に一定となり、安定した吐出を行うことが可能となる。
【００５１】
また、第２実施例の吐出ヘッドの発熱体素子と液滴吐出口の距離を短くすることにより、気泡と大気を連通させた場合でも、本実施例と同様の効果が得られることは明らかである。
【００５２】
また、本実施例においては、発熱体素子と液滴吐出口の距離を短くすることにより、気泡と大気を連通させたが、これ以外の方法、例えば駆動電圧を大きくすることにより気泡の体積を大きくする等の方法によって、気泡と外気を連通させても本実施例と同様の効果を得ることが可能である。
【００５３】
（第４実施例）
第３実施例のインクジェット吐出ヘッドを複数装備し、発熱体駆動用回路を備え、該吐出ヘッドと被記録媒体とを所望の間隔で対向させるための支持体と、入力された情報に応じて、該吐出ヘッドと被記録媒体との相対位置を変化させるための機構を有する記録装置を作製した。本実施例の記録装置は、高解像度・高速印字が可能で、従来と比較して消費電力が低かった。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の第１実施例のインクジェット吐出ヘッドを示す図。
【図２】本発明の第１実施例のインクジェット吐出ヘッドの吐出原理を示す図。
【図３】本発明の第２実施例のインクジェット吐出ヘッドを示す図。
【図４】比較例のインクジェット吐出ヘッドを示す図。
【図５】本発明の第３実施例のインクジェット吐出ヘッドを示す図。
【図６】本発明の第３実施例のインクジェット吐出ヘッドの吐出原理を示す図。
【図７】従来技術のインクジェット吐出ヘッドを示す図。
【符号の説明】
【００５５】
１０１  基板
１０２  流路
１０３  発熱体素子
１０４  天板
１０５  液体供給口
１０６  液滴吐出口
２０１  流路
２０２  液体
２０３  発熱体素子
２０４  気泡
２０５  液滴吐出口
２０６  液滴
２０７  液体供給口
３０１  基板
３０２  発熱体素子
３０３  スペーサー
３０４  液滴吐出口
３０５  天板
３０６  流路
４０１  基板
４０２  スペーサー
４０３  発熱体素子
４０４  スペーサー
４０５  液滴吐出口
４０６  天板
４０７  流路
５０３  発熱体素子
５０６  液滴吐出口
６０１  流路
６０２  液体
６０３  発熱体素子
６０４  気泡
６０５  液滴吐出口
６０６  液滴
６０７  液体供給口
７０１  発熱体素子
７０２  液滴吐出口
７０３  気泡
７０４  気泡
７０５  液滴
【図１】
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【図２】
2008149672.tif 000004
【図３】
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【図４】
2008149672.tif 000006
【図５】
2008149672.tif 000007
【図６】
2008149672.tif 000008
【図７】
2008149672.tif 000009