(57)【要約】【課題】  接触子が対になって、各対の接触子の検査用端部が被検査基板の配線における同一の検査点に接触して検査用電流、電圧の授受に供される四端子測定用の検査冶具の提供。【解決手段】  一対の線状接触子の各一端が、被検査基板の配線パターン上の同一の検査点に接触され、検査用電流及び電圧の授受を行う四端子測定のための基板検査のための検査用治具において、複数の一対の接触子と、前記接触子の他端を、被検査基板を検査する検査装置と電気的に接続される検査用治具の電極部に案内するとともに、該接触子の他端毎に対応して設けられる電極部側案内孔を有する電極部側保持体と、前記接触子の一端を、前記検査点に案内するとともに、該一対の接触子毎に対応して設けられる検査点側案内孔を有する検査点側保持体とを有することを特徴とする。【選択図】  図２
2008076268.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の線状接触子の各一端が、被検査基板の配線パターン上の同一の検査点に接触され、検査用電流及び電圧の授受を行う四端子測定のための基板検査のための検査用治具において、
複数の一対の接触子と、
前記接触子の他端を、被検査基板を検査する検査装置と電気的に接続される検査用治具の電極部に案内するとともに、該接触子の他端毎に対応して設けられる電極部側案内孔を有する電極部側保持体と、
前記接触子の一端を、前記検査点に案内するとともに、該一対の接触子毎に対応して設けられる検査点側案内孔を有する検査点側保持体とを有することを特徴とする検査用治具。
【請求項２】
前記接触子は、線状の導電部と、該導電部を被覆する非導電性の被覆部を有し、
前記導電部の一端は、先鋭形状に形成され、
前記被覆部は、前記導電部の先鋭形状が露出するように被覆されていることを特徴とする請求項１記載の検査用治具。
【請求項３】
前記検査点側案内孔は、前記一対の接触子の断面の大きさよりも僅かに大きい形状を有していることを特徴とする請求項１記載の検査用治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント配線基板のような基板を検査する場合に使用される基板検査用治具に関し、より詳しくは、先端が被検査基板の検査点に接触する検査端部と、検査制御部に接続される電極部に接触する電極端部と、それら両端部を連結する線状部とからなる接触子を、所定の間隔をもって配置された検査側保持体及び電極側保持体で支持した基板検査治具に関し、特に、接触子が対になって、各対の接触子の検査用端部が被検査基板の配線における同一の検査点に接触して検査用電流、電圧の授受に供される四端子測定用の検査冶具に関する。
尚、この発明は、プリント配線基板に限らず、例えば、フレキシブル基板、多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなど種々の基板における電気的配線の検査に適用でき、この明細書では、それら種々の配線基板を総称して「基板」と称する。
【背景技術】
【０００２】
従来、上記のような四端子測定用冶具においては、接触子を、電極部に接触する電極側端部、および被検査基板の配線におけるランド又は検査点に接触する検査側端部夫々において、それらの端部を個別に案内する案内孔をもった保持体によって支持されていた。
【０００３】
例えば、特許文献１に記載される四端子測定用の検査用治具では、二本の深針（接触子）を検査点である一つのランドに接触させる技術が開示されている。
この特許文献１に開示される技術では、二本の接触子を支持するために、接触子毎に夫々の接触子を支持して所定の検査点に案内する技術が示されている（図４参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−３１５７７５
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このような特許文献１に開示される四端子測定用の検査用冶具では、検査点のピッチが広いＢＧ面（Ball Grid）の検査点を検査対象として構成されているため、接触子毎に支持するように検査治具を作成しても問題無かったが、近年、半導体チップの微細化に伴って、検査点間のピッチが狭間隔となり、接触子を案内する案内孔は、極めて接近して形成されなければならなくなった。
このため、この案内孔を作成するためには、案内孔自体の大きさに対する位置精度、また、案内孔の配置の位置精度を極めて高くする必要が生じている。
この結果、このような高精度の位置決めは、製造工程の煩雑化を招くとともに製造コストの増加を招く原因となっていた。
本発明は、このような実情に鑑みてなされたもので、基板検査用治具を効率よく製造できる四端子測定用の検査用治具を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１記載の発明は、一対の線状接触子の各一端が、被検査基板の配線パターン上の同一の検査点に接触され、検査用電流及び電圧の授受を行う四端子測定のための基板検査のための検査用治具において、複数の一対の接触子と、前記接触子の他端を、被検査基板を検査する検査装置と電気的に接続される検査用治具の電極部に案内するとともに、該接触子の他端毎に対応して設けられる電極部側案内孔を有する電極部側保持体と、前記接触子の一端を、前記検査点に案内するとともに、該一対の接触子毎に対応して設けられる検査点側案内孔を有する検査点側保持体とを有することを特徴とする検査用治具を提供する。
請求項２記載の発明は、前記接触子は、線状の導電部と、該導電部を被覆する非導電性の被覆部を有し、前記導電部の一端は、先鋭形状に形成され、前記被覆部は、前記導電部の先鋭形状が露出するように被覆されていることを特徴とする請求項１記載の検査用治具を提供する。
請求項３記載の発明は、前記検査点側案内孔は、前記一対の接触子の断面の大きさよりも僅かに大きい形状を有していることを特徴とする請求項１記載の検査用治具を提供する。
【発明の効果】
【０００７】
請求項１記載の発明によれば、検査点に接触する一対の線状接触子の各一端が、検査点側案内孔により検査点に案内されることになるので、狭間隔に配置される検査点であっても、検査点に対応するための案内孔を一つ形成することによって、四端子測定を行うことができるようになる。このため、従来の検査治具よりも廉価に検査用治具を製造することができる。
請求項２記載の発明よれば、接触子が線状の導電部と被覆部から形成され、導電部の一端が先鋭形状に形成され、且つ、被覆部が、導電部の先鋭形状が露出するように被覆されているので、案内孔に一対の接触子が収容されても接触子間で短絡を起こすことを防止することができる。
請求項３記載の発明によれば、検査点側案内孔は、一対の接触子の断面の大きさよりも僅かに大きい形状を有しているので、より安定して接触子を保持することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
本発明を実施するための最良の形態を説明する。
図１は、本発明に係る検査用治具の一実施形態を示す概略図である。
この図１で示される検査用治具１の実施形態では、複数の接触子２、これら接触子２を多針状に支持する保持体３、この保持体３を保持するとともに接触子２と接触して導通となる電極部を有する接続電極体４、検出される電気信号を処理する検査信号処理部である検査信号処理部５、及び接触子２と検査信号処理部５を接続するワイヤーケーブル６を示している。
この接触子２は、被検査基板に形成される配線パターンの各検査点に接触する端子であり、接続電極体４は接触子２と検査信号処理部５のピッチ変換を行って電気的に接続している。ワイヤーケーブル６は、接続電極体４の電極部と検査信号処理部５を夫々所定位置に電気的に接続しており、電気的接続を可能にすることができればワイヤーケーブルに限られない。
尚、本明細書中では、検査用治具１が有する接触子２とこのプローブを支持する保持体３を、説明の都合上、検査用治具ヘッド１１と称する。
【０００９】
図２は、本発明に係る検査用治具ヘッドの概略側面の断面図である。
検査用治具ヘッド１１は、接触子２と保持体３を有してなる。
検査用治具ヘッド１１は、保持体３により複数の接触子２を多針状に配置して支持している（図２では説明の都合上、四本の接触子を示しているが、接触子の本数は特に限定するものではない）。
【００１０】
この図２で示される検査用治具ヘッド１１の接触子２は、その先端が被検査基板（図示せず）の検査点に接触する検査端部２１と、被検査基板を検査する基板検査装置（図示せず）の検査制御部５に電気的に接続される電極部（図示せず）に接触する電極端部２２と、それら両端部を連結する弾性力を有する導電性の線状部２３とからなる（図３参照）。
検査端部２１は、上述の如く、被検査基板の検査点に導通接触して、電気的特性を測定するための電力を被検査基板へ供給したり、被検査基板から電気信号を検出したりする。
電極端部２２は、基板検査装置の電極部に導通接触して、電気的特性を測定するための電力を基板検査装置から供給したり、被検査基板から検出された電気信号を基板検査装置へ送信したりする。
線状部２３は、検査端部２１と電極端部２２を接続するとともに、接触子２が使用された場合に湾曲状に撓む。
この接触子２は、使用時において、検査端部２１が検査点に圧接され、電極端部２２が電極部に圧接され、検査点と電極部から押圧されることになる。このとき、接触子２は押圧されることになるので、接触子２の線状部２３が湾曲状になり撓む。この結果、接触子２の電極端部２２が電極部を弾性力により押圧し、接触子２の検査端部２１は検査点を弾性力により押圧することになる。
【００１１】
検査端部２１と電極端部２２の先端は、湾曲形状又は尖鋭形状に形成されることが好ましい。検査端部２１と電極端部２２が尖鋭形状又は湾曲形状に形成されることによって、電極部又は検査点に接触した際に、打痕跡を少なくすることができる。
【００１２】
図３で示される接触子２は、検査端部２１と電極端部２２と線状部２３を有する導電性の導電部２ａとこの導電部２ａを被覆する被覆部２ｂを有してなる。
導電部２ａは、線状に形成され、導電性の素材で形成される。この導電部２ａの素材は、タングステン（W）やレニウム−タングステン（Re-W）を採用することが、導電性を有し可撓性を有する素材であれば特に限定されない。
尚、上記の如く検査端部２１と電極端部２２は、湾曲形状又は尖鋭形状（先細り形状）に形成されるため、この導電部２ａの両先端がそのように加工されることになる。
【００１３】
被覆部２ｂは、導電部２ａの表面周縁に設けられ、非導電性の素材で形成される。この被覆部２ｂの素材は、合成樹脂材料であるフッ素樹脂（例えば、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）等）によって形成される。
この被覆部２ｂは、図３で示される如く、導電部２ａの表面を全体的に被覆するように設けられ、導電部２ａの先端の先細りの部分に被覆部２ｂの境界が配置されるように設けられる。つまり、導電部２ａの先端の一部のみが露出するように形成される。
このように被覆部２ｂの境界が先細り部分に配置されるように形成されるので、後述する検査点側案内孔に二本の接触子２が収容された場合であっても、より確実に互いの接触子に触れることを防止することができる。
尚、図３では、接触子２の両端を被覆部２ｂの境界が先細り部分に配置されるように形成されているが、検査点側の先端のみをこのように形成してもよい。
【００１４】
本発明に係る検査用治具１は、四端子測定用に用いられるため、上記説明した接触子が一つの検査点に対して二本の接触子２を接触させることにより実施される。二本の接触子が用いられるのは、四端子測定では検査対象に対して、電流供給用の接触子と電圧検出用の接触子が夫々必要であるからである。このため、二本の接触子を、電圧検出用と電流供給用の一対の接触子２Ａとして用いることになる。
【００１５】
保持体２は、検査点側保持体１２、電極部側保持体１３、とこれらの保持体を接続する支柱１４を有してなる。
検査点側保持体１２は、接触子２の検査端部２１を所定の検査点へ案内するための検査点側案内孔１２１を有している。
この検査点側保持体１２の検査点側案内孔１２１は、一対の接触子２Ａを同時に検査点へ案内する。つまり、この検査点側案内孔１２１は、図２で示される如く、一対の接触子２Ａである二本の接触子２を案内することになる。
このため、本発明の検査用治具１は、四端子測定用の検査治具でありながら、検査点に対して一つの案内孔を設けることにより測定を行うことができる。
【００１６】
検査点側案内孔１２１は、上記の如く、一対の接触子２Ａを保持するが、この検査点側案内孔１２１は一対の接触子２Ａの断面形状と略同じ又は僅かに大きい断面形状を有していることが好ましい。このように、検査点側案内孔１２１を一対の接触子２Ａの断面形状と略同じ又は僅かに大きい断面形状に形成することにより、一対の接触子２Ａを安定して保持することができる。
この検査点側案内孔１２１の断面形状としては、二本の接触子を収容することのできる円形状又は楕円形状や、二つの円形の中心をずらせて重なり合わせた形状、又は、四角形などの多角形状を例示することができる。この検査点側案内孔１２１の断面形状は、二本の接触子を収容させることができ、且つ、二本の接触子が回転しないような形状に形成されていることが好ましい。
【００１７】
検査点側保持体１２は、図２で示される如く、板状部材により形成されるが、複数の板状部材を積層して形成しても良いし、一枚の板状部材により形成しても良い。
この検査点側保持体１２の厚みは、特に限定されないが、接触子２が検査点側案内孔１２１に保持された際に、接触子２を略案内孔の孔方向（窪み方向）に略平行に維持することができる長さを有することが好ましい。このように、検査点側保持体１２の厚みを、接触子２を検査点側案内孔１２１の孔方向に略平行に維持することができるので、より確実に一対の接触子２Ａを接触無く維持して案内することができる。
【００１８】
検査点側案内孔１２１を製造する場合には、検査点側案内孔１２１の中心を検査点の中心と対応するように製造する。このように、検査点に対して一つの案内孔の位置合わせを行うように設定されるので、検査点に対して二つの案内孔を製造する必要がないので、複雑で煩雑な製造工程を経ることなく案内孔を製造することができる。
【００１９】
電極部側保持体１３は、接触子２の電極端部２２を電極部へ案内するための電極部側案内孔１３１を有している。
この電極部側保持体１３の電極部側案内孔１３１は、一本の接触子２を所定の電極部へ案内する。
この電極部側保持体１３は、検査点側保持体１２と同様に、板状部材により形成されるが、複数の板状部材を積層して形成しても良いし、一枚の板状部材により形成しても良い。また、電極部側保持体１３の厚みは、特に限定されないが、接触子２が電極部側案内孔１３１に保持された際に、接触子２を略案内孔の孔方向（窪み方向）に略平行に維持することができる長さを有することが好ましい。このように、電極部側保持体１３の厚みを、接触子２を検査点側案内孔１３１の孔方向に略平行に維持することができるので、より確実に接触子２と電極部の接触を安定したものにすることができる。
【００２０】
支柱１４は、検査点側保持体１２と電極部側保持体１３を接続する部材である。この支柱１４の長さにより、接触子２の長さが決定されるとともに、接触子２が湾曲するための空間を形成されることになる。この支柱１４の長さは、上記の如き設定により調整されることになる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明に係る検査用治具の一実施形態を示す概略図である。
【図２】本発明に係る検査用治具ヘッドの概略側面の断面図である。
【図３】本発明に係る接触子の概略側面図である。
【図４】従来の四端子測定用検査用治具を示す。
【符号の説明】
【００２２】
１・・・・・検査用治具
１２・・・・検査点側保持体
１３・・・・電極部側保持体
２・・・・・接触子
【図１】
2008076268.tif 000003
【図２】
2008076268.tif 000004
【図３】
2008076268.tif 000005
【図４】
2008076268.tif 000006