(57)【要約】【課題】直径方向に往復移動するドレッサ等から応力が作用しても上層の中央領域が中間層から剥離しない構造のＣＭＰパッドを提供する。【解決手段】  研磨性の上層１１０が接着剤１２０で中間層１３０に接合され、中間層１３０が接着剤１４０でクッション性の下層１５０に接合されている。ただし、中間層１３０と下層１５０とが外周領域Ｏでは固定されていて中央領域Ｃでは固定されていない。従って、直径方向に往復移動するドレッサ等から応力が作用しても、上層１１０の中央領域Ｃが中間層１３０から剥離することを防止できる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラテンで回転自在に軸支されてスラリーが供給される盤面で処理対象を研磨するＣＭＰ(Chemical Mechanical Polishing)パッドであって、
研磨性の材料で均一な一層として形成されている上層と、前記上層が上面に接着剤で接合されていて前記スラリーの浸透を遮断する中間層と、前記中間層が上面に接着剤で接合されていてクッション性を有する下層と、を有し、
前記中間層と前記下層とが外周領域では固定されていて中央領域では固定されていないＣＭＰパッド。
【請求項２】
前記処理対象を研磨する前記上層の外周領域より内側の前記中央領域で前記中間層と前記下層とが固定されていない請求項１に記載のＣＭＰパッド。
【請求項３】
ドレッサで擦過される前記上層の外周領域より内側の前記中央領域で前記中間層と前記下層とが固定されていない請求項１に記載のＣＭＰパッド。
【請求項４】
前記中間層と前記下層とを接合する前記接着剤が前記中央領域のみ排除されている請求項１ないし３の何れか一項に記載のＣＭＰパッド。
【請求項５】
前記下層が均一な一層として形成されている請求項４に記載のＣＭＰパッド。
【請求項６】
前記下層の前記中央領域に空隙が形成されていない請求項５に記載のＣＭＰパッド。
【請求項７】
前記下層の上面の前記中央領域に凹部が形成されている請求項１ないし４の何れか一項に記載のＣＭＰパッド。
【請求項８】
前記下層の前記中央領域に上面から下面まで貫通孔が形成されている請求項１ないし４の何れか一項に記載のＣＭＰパッド。
【請求項９】
前記上層の中央領域に空隙が形成されていない請求項１ないし８の何れか一項に記載のＣＭＰパッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラテンで回転自在に軸支されてスラリーが供給される盤面で処理対象を研磨するＣＭＰパッドに関し、特に、研磨性の上層とスラリーの浸透を遮断する中間層とクッション性を有する下層とが接着剤で接合されているＣＭＰパッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、半導体装置の製造にＣＭＰ装置が利用されている。ＣＭＰ装置は、ＣＭＰパッドが装着される交換自在に装着されるプラテンを有する。このプラテンとともに回転駆動されるＣＭＰパッドの盤面に、製造過程の半導体装置が形成されている半導体ウェハが処理対象として圧接される。
【０００３】
その場合、半導体ウェハはＣＭＰパッドの直径方向に往復移動される。また、ＣＭＰパッドの盤面にはスラリーが供給される。さらに、ＣＭＰパッドの盤面は、やはり直径方向に往復移動されるドレッサでドレッシングされる。
【０００４】
一般的なＣＭＰパッドは、研磨性の上層とスラリーの浸透を遮断する中間層とクッション性を有する下層とを接着剤で接合した構造に形成されている。現在、このようなＣＭＰパッドとして各種の提案がある(例えば、特許文献１〜６参照)。
【特許文献１】特開２００５−３１７８０８号公報
【特許文献２】特開２００５−０５４０７２号公報
【特許文献３】特開２００５−１５９３４０号公報
【特許文献４】特開２００５−１３８２７７号公報
【特許文献５】特開２００３−１６３１９１号公報
【特許文献６】特開２０００−３０６８７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述のようなＣＭＰパッドは、回転する盤面が直径方向に往復移動する処理対象とドレッサとで擦過される。従って、処理対象とドレッサからＣＭＰパッドの盤面に直径方向に応力が作用する。
【０００６】
特に、このドレッサは一般的に小径である。このため、ＣＭＰパッドは直径方向に移動するストロークが大きい。従って、ドレッサからＣＭＰパッドに作用する応力は大きい。
【０００７】
ＣＭＰパッドは、上述の応力のため、接着剤で接合されている上層と中間層とが、その中央領域で剥離することがある。この剥離が発生すると、中間層から遊離した上層の中央領域に、破損が発生することがある。
【０００８】
特許文献４，５には、下面中央に凹穴が形成されているＣＭＰパッドが開示されている。しかし、特許文献４には、ＣＭＰパッドの層構造が開示されていないため、実施困難である。
【０００９】
また、特許文献５には、ＣＭＰパッドの中央領域を上面から下面まで透光性とするため、下層と上層との中央領域に貫通孔を形成し、上層の貫通孔を透光材で充填した構造が開示されている。
【００１０】
しかし、これでは上層の機械強度が不足する。このため、上述のような構造のＣＭＰパッドでは、処理対象やドレッサで上層が擦過されると、その上層が中央領域の貫通孔の位置から破断しやすい。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明のＣＭＰパッドは、プラテンで回転自在に軸支されてスラリーが供給される盤面で処理対象を研磨するＣＭＰパッドであって、研磨性の材料で均一な一層として形成されている上層と、上層が上面に接着剤で接合されていてスラリーの浸透を遮断する中間層と、中間層が上面に接着剤で接合されていてクッション性を有する下層と、を有し、中間層と下層とが外周領域では固定されていて中央領域では固定されていない。
【００１２】
従って、本発明のＣＭＰパッドでは、直径方向に往復移動する処理対象やドレッサから上層に応力が作用しても、その応力により上層の中央領域が中間層から剥離することが防止される。
【発明の効果】
【００１３】
本発明のＣＭＰパッドでは、中間層と下層とが外周領域では固定されていて中央領域では固定されていない。このため、直径方向に往復移動する処理対象やドレッサから上層に応力が作用しても、その応力により上層の中央領域が中間層から剥離することを防止できる。従って、中間層からの剥離に起因した上層の破損を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明の実施の第一の形態を図１および図２を参照して以下に説明する。本実施の形態のＣＭＰパッド１００は、図１に示すように、研磨性の材料で均一な一層として形成されている上層１１０と、上層１１０が上面に接着剤１２０で接合されていてスラリーＳの浸透を遮断する中間層１３０と、中間層１３０が上面に接着剤１４０で接合されていてクッション性を有する下層１５０と、を有する。
【００１５】
そして、本実施の形態のＣＭＰパッド１００では、中間層１３０と下層１５０とを接合する接着剤１４０が中央領域Ｃのみ排除されている。このため、中間層１３０と下層１５０とが外周領域Ｏでは固定されていて中央領域Ｃでは固定されていない。
【００１６】
なお、上層１１０は上述のように均一な一層として形成されているので、その中央領域には凹部や貫通孔などの空隙は形成されていない。下層１５０も均一な一層として形成されているので、その中央領域には凹部や貫通孔などの空隙は形成されていない。
【００１７】
本実施の形態のＣＭＰ装置２００は、図２に示すように、ＣＭＰパッド１００が交換自在に装着されるプラテン２１０を有する。このプラテン２１０とともに回転駆動されるＣＭＰパッド１００の盤面に、製造過程の半導体装置が形成されている半導体ウェハが処理対象として圧接される(図示せず)。
【００１８】
より具体的には、半導体ウェハはホルダユニット２２０により保持される。このホルダユニット２２０は、半導体ウェハを回転させながらＣＭＰパッド１００の直径方向に往復移動させる。
【００１９】
また、プラテン２１０とともに回転駆動されるＣＭＰパッド１００の盤面には、ドレッサ２３０も圧接される。このドレッサ２３０も、回転駆動されながらＣＭＰパッド１００の直径方向に往復移動される。
【００２０】
プラテン２１０により支持されたＣＭＰパッド１００の盤面の上方には滴下装置２４０が配置されている。この滴下装置２４０は、ＣＭＰパッド１００の盤面にスラリーＳを供給する。
【００２１】
なお、ドレッサ２３０はホルダユニット２２０より小径に形成されている。例えば、ドレッサ２３０はＣＭＰパッド１００の半径の二分の一より小径であり、ホルダユニット２２０はＣＭＰパッド１００の半径の二分の一より大径である。このため、ＣＭＰパッド１００の直径方向の往復移動の距離は、ホルダユニット２２０では小さくドレッサ２３０では大きい。
【００２２】
そして、本実施の形態のＣＭＰパッド１００では、中間層１３０と下層１５０とが固定されていない中央領域Ｃが、半導体ウェハを研磨する上層１１０の外周領域より内側、かつ、ドレッサ２３０で擦過される上層１１０の外周領域より内側、に位置している。
【００２３】
なお、本実施の形態のＣＭＰパッド１００では、例えば、上層１１０は、Shore-D硬度５２〜６２の熱硬化型弾性ポリウレタン樹脂により、層厚１．１７〜１．３７mmに形成されている。接着剤１２０は、アクリル系粘着材により、層厚４５μmに形成されている。
【００２４】
中間層１３０は、ＰＥＴ(Polyethylene Terephthalate)により、層厚３０μmに形成されている。接着剤１４０は、アクリル系粘着材により、層厚４５μmに形成されている。下層１５０は、Asker-C硬度６２〜７０のポリウレタン樹脂を含浸したポリエステル不織布により、層厚１．２０〜１．３４mmに形成されている。
【００２５】
また、ＣＭＰパッド１００は、例えば、直径５０８mmに形成されている。また、半導体ウェハを研磨しない範囲の直径は、例えば、５０mmである。そして、中間層１３０と下層１５０とが固定されていない中央領域Ｃの直径は、例えば、２０mmである。なお、ドレッサ２３０は、ＣＭＰパッド１００の中心から外縁まで往復して盤面の全体を擦過する。
【００２６】
上述のような構成において、本実施の形態のＣＭＰ装置２００では、プラテン２１０の盤面にＣＭＰパッド１００が交換自在に装着される。そこで、半導体ウェハをＣＭＰ処理するときは、その半導体ウェハがホルダユニット２２０に装填される。
【００２７】
そして、このホルダユニット２２０に保持された半導体ウェハが、プラテン２１０とともに回転駆動されるＣＭＰパッド１００の盤面に圧接される。このとき、半導体ウェハも回転駆動されながらＣＭＰパッド１００の直径方向に往復移動される。
【００２８】
さらに、このＣＭＰパッド１００の盤面にはスラリーＳも供給される。これで半導体ウェハの表面がＣＭＰパッド１００によりＣＭＰ処理される。このとき、ＣＭＰパッド１００の盤面にはコンタミが付着する。
【００２９】
しかし、上述のように半導体ウェハを研磨しているＣＭＰパッド１００の盤面は、同時にドレッサ２３０によりドレッシングされている。このため、ＣＭＰパッド１００の盤面の研磨性は常時良好に維持される。
【００３０】
上述のドレッサ２３０も回転駆動されながらＣＭＰパッド１００の直径方向に往復移動される。このため、小径のドレッサ２３０でも大径のＣＭＰパッド１００の盤面が良好にドレッシングされる。
【００３１】
ただし、前述のようにＣＭＰパッド１００の直径方向に往復移動するドレッサ２３０のストロークは大きい。このため、ＣＭＰパッド１００の上層１１０にドレッサ２３０から直径方向に無視できない応力が作用する。
【００３２】
しかし、本実施の形態のＣＭＰパッド１００では、中間層１３０と下層１５０とが外周領域Ｏでは固定されていて中央領域Ｃでは固定されていない。このため、上述のようにドレッサ２３０から直径方向に応力が作用しても、接着剤１２０で接合されている上層１１０と中間層１３０とが中央領域Ｃで剥離することがない。
【００３３】
このことは以下のように考察される。ドレッサ２３０がＣＭＰパッド１００の直径方向に往復移動するとき、その直径方向に上層１１０に応力が作用する。このとき、上層１１０は応力が作用する直径方向に微少に変形して変位する。
【００３４】
このとき、上層１１０に発生した変形および変位に中間層１３０が良好に追従しないと剥離が発生する。しかし、この中間層１３０が下層１５０に中央領域Ｃでは固定されていない。このため、中間層１３０の中央領域Ｃが上層１１０の変形および変位に良好に追従することができ、そこに剥離が発生することを防止できる。
【００３５】
なお、ＣＭＰパッド１００は外周面が開放されている。このため、中間層１３０は、外周領域Ｏで下層１５０に固定されていても、上層１１０の変形および変位に良好に追従することができる。従って、そこに剥離が発生することもない。
【００３６】
なお、本発明者は、上層と中間層と下層とが接着剤で固定されている従来の構造のＣＭＰパッドと、上述のように中間層と下層とが中央領域で固定されていないＣＭＰパッドと、を試作して実験した(図示せず)。
【００３７】
すると、従来の構造のＣＭＰパッドでは、上層と中間層とが中央領域で剥離した。しかし、中間層と下層とが中央領域で固定されていないＣＭＰパッドでは、その上層と中間層とが剥離しないことが確認された。
【００３８】
本実施の形態のＣＭＰパッド１００は、上述のように中間層１３０と下層１５０とが外周領域Ｏでは固定されていて中央領域Ｃでは固定されていない。このため、直径方向に移動されるドレッサ２３０で盤面が擦過されても、上層１１０と中間層１３０とが中央領域Ｃで剥離することを防止できる。
【００３９】
しかも、中間層１３０と下層１５０とを外周領域Ｏでは固定して中央領域Ｃでは固定しない構造を、中間層１３０と下層１５０とを接合する接着剤１４０を中央領域Ｃのみ排除することで実現している。
【００４０】
このため、中間層１３０や下層１５０に特別な加工が必要ない。従って、ＣＭＰパッド１００として、構造が簡単で生産性が良好な構造を提供することができる。さらに、中間層１３０に貫通孔などを形成する必要がない。このため、スラリーＳが中間層１３０より下方まで浸透することを有効に防止できる。
【００４１】
さらに、中間層１３０と下層１５０とが固定されていない中央領域Ｃが、半導体ウェハを研磨する上層１１０の外周領域より内側に位置している。このため、下層１５０に中間層１３０の中央領域Ｃが支持されていないことにより、上層１１０に半導体ウェハが良好に圧接されないことが発生しない。
【００４２】
本実施の形態のＣＭＰパッド１００は、上層１１０が研磨性の材料で均一な一層として形成されている。このため、上層１１０の強度が良好であり、ドレッサ２３０から直径方向に作用する応力のために上層１１０に破断が発生するようなことを防止できる。
【００４３】
なお、本発明は本実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で各種の変形を許容する。例えば、上記形態では各部の材料および寸法を具体的に例示した。しかし、その材料および寸法は必要な機能を満足する範囲で各種に変形することができる。
【００４４】
つぎに、本発明の実施の第二の形態を図３を参照して以下に説明する。なお、これより以下の説明において、上述した実施の第一の形態と同一の部分は、同一の名称および符号を使用して詳細な説明は省略する。
【００４５】
本実施の形態のＣＭＰパッド３００も、上層１１０、接着剤１２０、中間層１３０、接着剤１４０、下層３１０、からなる。さらに、本実施の形態のＣＭＰパッド３００では、中間層１３０と下層３１０とを接合する接着剤１４０が中央領域Ｃのみ排除されているのみならず、下層３１０の上面の中央領域Ｃに凹部３１１が形成されている。このため、中間層１３０と下層３１０とが外周領域Ｏでは固定されていて中央領域Ｃでは固定されていない。
【００４６】
上述のような構成において、本実施の形態のＣＭＰパッド３００も、前述したＣＭＰパッド１００と同様に、中間層１３０と下層３１０とが外周領域Ｏでは固定されていて中央領域Ｃでは固定されていない。このため、直径方向に移動されるドレッサ２３０で盤面が擦過されても、上層１１０と中間層１３０とが中央領域Ｃで剥離することを防止できる。
【００４７】
なお、上記形態では中間層１３０と下層３１０とを接合する接着剤１４０が中央領域Ｃのみ排除されているとともに、下層３１０の上面の中央領域Ｃに凹部３１１が形成されていることにより、中間層１３０と下層３１０とが中央領域Ｃでは固定されていないことを例示した。
【００４８】
しかし、図４に例示するＣＭＰパッド３２０のように、中間層１３０の下面全域に接着剤３２１が形成されており、下層３１０の上面の中央領域Ｃに凹部３１１が形成されていてもよい。この場合も、中間層１３０と下層３１０とが中央領域Ｃでは固定されていないので、上層１１０と中間層１３０とが中央領域Ｃで剥離することを防止できる。
【００４９】
つぎに、本発明の実施の第三の形態を図５を参照して以下に説明する。本実施の形態のＣＭＰパッド４００も、上層１１０、接着剤１２０、中間層１３０、接着剤１４０、下層４１０、からなる。
【００５０】
そして、本実施の形態のＣＭＰパッド４００では、中間層１３０と下層４１０とを接合する接着剤１４０が中央領域Ｃのみ排除されているのみならず、下層４１０の上面の中央領域Ｃに貫通孔４１１が形成されている。このため、中間層１３０と下層４１０とが外周領域Ｏでは固定されていて中央領域Ｃでは固定されていない。
【００５１】
上述のような構成において、本実施の形態のＣＭＰパッド４００も、前述したＣＭＰパッド１００，３００と同様に、中間層１３０と下層４１０とが外周領域Ｏでは固定されていて中央領域Ｃでは固定されていない。このため、直径方向に移動されるドレッサ２３０で盤面が擦過されても、上層１１０と中間層１３０とが中央領域Ｃで剥離することを防止できる。
【００５２】
なお、上記形態では中間層１３０と下層４１０とを接合する接着剤１４０が中央領域Ｃのみ排除されているとともに、下層４１０の上面の中央領域Ｃに貫通孔４１１が形成されていることにより、中間層１３０と下層４１０とが中央領域Ｃでは固定されていないことを例示した。
【００５３】
しかし、図６に例示するＣＭＰパッド４２０のように、中間層１３０の下面全域に接着剤３２１が形成されており、下層４１０の上面の中央領域Ｃに貫通孔４１１が形成されていてもよい。この場合も、中間層１３０と下層４１０とが中央領域Ｃでは固定されていないので、上層１１０と中間層１３０とが中央領域Ｃで剥離することを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の実施の第一の形態のＣＭＰパッドの積層構造を示す模式的な側面図である。
【図２】ＣＭＰ装置に装着したＣＭＰパッドで処理対象である半導体ウェハをＣＭＰ処理する状態を示す模式図である。
【図３】実施の第二の形態のＣＭＰパッドの積層構造を示す模式的な側面図である。
【図４】その変形例を示す模式的な側面図である。
【図５】実施の第三の形態のＣＭＰパッドの積層構造を示す模式的な側面図である。
【図６】その変形例を示す模式的な側面図である。
【符号の説明】
【００５５】
１００    ＣＭＰパッド
１１０    上層
１２０    接着剤
１３０    中間層
１４０    接着剤
１５０    下層
２００    ＣＭＰ装置
２１０    プラテン
２２０    ホルダユニット
２３０    ドレッサ
２４０    滴下装置
３００    ＣＭＰパッド
３１０    下層
３１１    凹部
３２０    ＣＭＰパッド
３２１    接着剤
４００    ＣＭＰパッド
４１０    下層
４１１    貫通孔
４２０    ＣＭＰパッド
Ｃ    中央領域
Ｏ    外周領域
Ｓ    スラリー
【図１】
2008053376.tif 000003
【図２】
2008053376.tif 000004
【図３】
2008053376.tif 000005
【図４】
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【図５】
2008053376.tif 000007
【図６】
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