(57)【要約】【課題】  手動で開閉する場合にも部品や付属品等の紛失するおそれが少なく、搬送時の振動や衝撃等でもパーティクルが発生しにくく、しかも、洗浄後の乾燥作業に長時間を要することのない蓋体及び基板収納容器を提供する。【解決手段】  基板を収納する容器本体１と、容器本体１の開口正面部２に着脱自在に嵌入される蓋体１０とを備える。蓋体１０を、容器本体１の開口正面部２に着脱自在に嵌入される筐体と、筐体の表面に配設され、回転プレート１５の回転に基づき筐体の周壁から出没可能に突出させた係止爪を容器本体１の開口正面部２内周に係止させることにより筐体を施錠する施錠機構１４と、筐体の表面に装着されて施錠機構を覆うカバープレート２２と、カバープレート２２に形成されて回転プレート１５に部分的に対向する操作窓３０とから構成し、施錠機構１４の回転プレート１５の操作窓３０との対向部には、手動操作手段を備える。【選択図】  図１
2008098236.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収納する容器本体の開口部に着脱自在に嵌め入れられる蓋体であって、容器本体の開口部に嵌め入れられる筐体と、この筐体に配設され、回転体の回転に基づき筐体の周壁から出没可能に突出させた係止体を容器本体の開口部内周に干渉させることにより筐体を施錠する施錠機構と、この施錠機構を覆うカバーと、このカバーに形成されて回転体に対向する操作窓とを含んでなることを特徴とする蓋体。
【請求項２】
施錠機構の回転体の操作窓との対向部に、手動操作手段を備える請求項１記載の蓋体。
【請求項３】
手動操作手段を、施錠機構の回転体に設けられる指挿入孔とした請求項２記載の蓋体。
【請求項４】
回転体の指挿入孔の周囲に指係合片を形成した請求項３記載の蓋体。
【請求項５】
手動操作手段を、施錠機構の回転体に設けられて操作窓から露出する操作バーとした請求項２記載の蓋体。
【請求項６】
手動操作手段を、施錠機構の回転体に形成されるローレットとした請求項２記載の蓋体。
【請求項７】
基板を収納する容器本体の開口部に請求項１ないし６いずれかに記載の蓋体を着脱自在に嵌め入れることを特徴とする基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ等からなる基板を収納する容器本体の蓋体及び基板収納容器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の基板収納容器は、図示しないが、半導体ウェーハからなる複数枚の基板を整列収納する容器本体と、この容器本体の開口正面部に着脱自在に嵌入される蓋体とを備えて構成されている。この基板収納容器は、半導体部品の量産工程で半導体ウェーハの加工装置にセットされ、クリーン化の要求に鑑み、蓋体が加工装置の蓋体開閉装置により自動的に開閉される（特許文献１、２参照）。
【０００３】
ところで、基板収納容器は、基本的には加工装置の蓋体開閉装置により蓋体が自動的に開閉されるが、トラブルの発生時や試験使用時には、作業者により蓋体が手動で開閉される。この場合、作業者は、専用の小さな治具を使用して容器本体から蓋体を取り外したり、あるいは蓋体の表面に予め軸支させておいた手動操作用の開閉ハンドルを揺動操作して容器本体から蓋体を取り外している。
【特許文献１】特開平１１‐９１８６４号公報
【特許文献２】特開２００３‐１７４０８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来における基板収納容器は、以上のように構成され、専用の小さな治具や手動操作用の開閉ハンドルを使用して容器本体から蓋体が手動により取り外されるが、専用の治具を使用する場合には、各工程に用意しておく必要があるし、小型なので紛失するおそれがある。また、開閉ハンドルを使用する場合には、蓋体の表面に開閉ハンドルを予め軸支させておく必要があるので、作業に手間がかかり、しかも、煩雑であるという問題がある。
【０００５】
また、開閉ハンドルが可動であるので、搬送時の振動や衝撃で摺動部にパーティクルが発生しやすいという問題もある。さらに、蓋体の洗浄時に開閉ハンドルの軸支部や操作用の空隙部に洗浄水が残留しやすいので、洗浄後の乾燥作業に長時間を要するおそれが少なくない。
【０００６】
本発明は上記に鑑みなされたもので、手動で開閉する場合にも部品や付属品等の紛失するおそれが少なく、搬送時の振動や衝撃等でもパーティクルが発生しにくく、しかも、洗浄後の乾燥作業に長時間を要することのない蓋体及び基板収納容器を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明においては上記課題を解決するため、基板を収納する容器本体の開口部に着脱自在に嵌め入れられるものであって、
容器本体の開口部に嵌め入れられる筐体と、この筐体に配設され、回転体の回転に基づき筐体の周壁から出没可能に突出させた係止体を容器本体の開口部内周に干渉させることにより筐体を施錠する施錠機構と、この施錠機構を覆うカバーと、このカバーに形成されて回転体に対向する操作窓とを含んでなることを特徴としている。
【０００８】
なお、施錠機構は、蓋体の筐体に回転可能に支持されて外部から操作される回転体と、筐体に支持され、回転体の回転に伴い筐体の内外方向に往復動する複数の連結体と、各連結体に連結され、この連結体の往復動により筐体の周壁の貫通口から出没する複数の係止体とを含むと良い。
また、施錠機構の回転体の操作窓との対向部に、手動操作手段を備えることが好ましい。
【０００９】
また、手動操作手段を、施錠機構の回転体に設けられる指挿入孔とすることができる。
また、回転体の指挿入孔の周囲に指係合片を形成することができる。
また、手動操作手段を、施錠機構の回転体に設けられて操作窓から露出する操作バーとすることもできる。
また、手動操作手段を、施錠機構の回転体に形成されるローレットとすることもできる。
【００１０】
また、本発明においては上記課題を解決するため、基板を収納する容器本体の開口部に請求項１ないし６いずれかに記載の蓋体を着脱自在に嵌め入れることを特徴としている。
なお、容器本体の開口部の内周縁に、施錠機構の係止体に干渉される複数の係止穴を形成することができる。
【００１１】
ここで、特許請求の範囲における基板には、少なくとも口径２００ｍｍ、３００ｍｍ、４５０ｍｍの半導体ウェーハ、再生ウェーハ、ガラスウェーハ等が単数複数含まれる。容器本体や基板収納容器は、透明、不透明、半透明のトップオープンボックスタイプ、フロントオープンボックスタイプ、ボトムオープンボックスタイプ、工程内用、輸送用等を特に問うものではない。
【００１２】
施錠機構は、単数複数や着脱を特に問うものではない。この施錠機構の係止体には、爪やローラ等が含まれる。操作窓は、単数複数や形状を問うものではない。例えば、操作窓を円弧形、円形、矩形、多角形、あるいは楕円形等とすることができる。さらに、手動操作手段の指挿入孔（底の有無を問わない）、指係合片、操作バー（レバー等を含む）は、単数複数や形状を問うものではない。
【００１３】
本発明によれば、基板を収納する容器本体の蓋体を手動により開閉する場合には、カバーの操作窓に指や棒等を挿入し、施錠機構の回転体を回せば、施錠機構が作動して蓋体を手動により開閉することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、例え蓋体を手動で開閉する場合にも部品、付属品、専用品等が紛失するおそれが少なく、搬送時の振動や衝撃等でも蓋体にパーティクルが発生するのを抑制あるいは防止することができるという効果がある。また、洗浄した蓋体の乾燥作業の迅速化を図ることができる。
【００１５】
また、手動操作手段として指挿入孔を使用すれば、施錠機構の回転体に適切に指等を引っ掛けることができるので、手動操作が容易になる。
また、手動操作手段である指挿入孔に指係合片を形成すれば、施錠機構の回転体に指等の操作力を確実に伝達することが可能になる。
さらに、手動操作手段を、施錠機構の回転体に形成されるローレットとすれば、施錠機構の回転体を操作する際、簡易な構成で指等が滑るのを防ぐことが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施の形態を説明すると、本実施形態における基板収納容器は、図１ないし図８に示すように、複数枚の基板を収納する容器本体１と、この容器本体１の開口正面部２にシール状態に着脱自在に嵌入される蓋体１０とを備え、この蓋体１０を、容器本体１の開口正面部２に着脱自在に嵌入される筐体１１と、この筐体１１の表面に配設され、各回転プレート１５の回転に基づき筐体１１の周壁から出没可能に突出させた複数の係止爪２１を容器本体１の開口正面部２内周に係止させることにより筐体１１を施錠閉鎖する複数の施錠機構１４と、筐体１１の表面に装着されて各施錠機構１４を覆う複数のカバープレート２２と、各カバープレート２２に形成されて各回転プレート１５に部分的に対向する複数の操作窓３０とから構成し、各施錠機構１４の回転プレート１５の操作窓３０との対向部には、手動操作手段４０を備えるようにしている。
【００１７】
基板は、図示しないが、例えば口径３００ｍｍの薄く丸い半導体ウェーハ（Ｓｉウェーハ等）からなり、半導体ウェーハの結晶方位の判別や位置合わせのため、周縁部の一部が選択的かつ直線的に切り欠かれてオリフラとされたり、あるいは周縁部の一部が略細溝形に切り欠かれてノッチとされており、容器本体１内に１〜２５枚又は１〜２６枚の枚数で整列収納される。
【００１８】
容器本体１は、図１に示すように、所定の成形材料を使用して正面の開口したフロントオープンボックスタイプに射出成形される。この容器本体１の成形材料としては、例えばポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルフォン、ポリエーテルエーテルケトン等の熱可塑性樹脂があげられ、この熱可塑性樹脂には、導電性カーボン、導電繊維、金属繊維、導電性高分子等からなる導電剤、各種の帯電防止剤、紫外線吸収剤等が適宜添加される。
【００１９】
容器本体１は、その内部背面に、基板の後部周縁を水平に嵌合保持する左右一対のリヤリテーナが突出形成され、この一対のリヤリテーナが所定の間隔をおいて上下方向に並設される。また、容器本体１の内部両側には、基板の側部周縁を水平に支持する左右一対のティースが突出形成され、この相対向する左右一対のティースが所定の間隔をおいて上下方向に並設される。
【００２０】
容器本体１の底面には、平面略Ｙ字形、多角形、あるいは三角形等のボトムプレートが着脱自在に装着され、このボトムプレートには、図示しない加工装置に対する断面略Ｖ字形の複数の位置決め具が配列して装着されており、容器本体１の天井中央部には、搬送ロボットに把持される平面略矩形のフランジが着脱自在に装着される。また、容器本体１の開口正面部２は、図１や図２に示すように、外方向に張り出すように段差を付けて屈曲形成され、この段差の平坦な段差面が蓋体１０用のシール形成面として機能する。
【００２１】
容器本体１の開口正面部２の内周縁上下には、施錠機構１４の係止爪２１に嵌合する左右一対の係止穴が所定の間隔をおいて凹み形成され、容器本体１の左右両側部の外面中央部には、作業者に握持されるマニュアルハンドルがそれぞれ着脱自在に装着される。
【００２２】
蓋体１０の筐体１１、複数の施錠機構１４、複数のカバープレート２２、及び手動操作手段４０は、容器本体１と同様の成形材料を使用して成形される。
筐体１１は、図１ないし図４に示すように、基本的には断面略皿形を呈した正面横長の長方形に形成され、中央部１２が表面側（正面側）に略矩形に隆起することにより左右の両側部が相対的に凹み形成されるとともに、この凹んだ左右の両側部内には施錠機構１４がそれぞれ設置されており、周壁の上下両側には、矩形の貫通口がそれぞれ穿孔される。
【００２３】
筐体１１の中央部１２は、同図に示すように、表面の上下両側に、加工装置の蓋体開閉装置に吸着される円形の吸着領域１３が併設され、凹んだ裏面には、基板の前部周縁を水平に嵌合保持する弾性のフロントリテーナが着脱自在に装着される。また、筐体１１の裏面の周縁部には、断面略Ｕ字形の嵌合保持溝がエンドレスの枠形に形成され、この嵌合保持溝には、容器本体１のシール形成面に圧接する弾性変形可能なシールガスケットが嵌入される。このシールガスケットは、例えばシリコーンゴムやフッ素ゴム等を使用してエンドレスに成形される。
【００２４】
各施錠機構１４は、図３ないし図７に示すように、筐体１１の表面に回転可能に軸支され、蓋体１０の外部から加工装置の蓋体開閉装置により回転操作される回転プレート１５と、筐体１１の表面に複数のガイドピンやガイドを介しスライド可能に支持され、回転プレート１５の回転に伴い筐体１１の上下内外方向にスライドする一対の連結プレート１９と、筐体１１の周壁の貫通口付近に軸支されるとともに、各連結プレート１９の先端部に軸支連結され、連結プレート１９のスライドにより筐体１１の周壁の貫通口から出没する一対の係止爪２１とを備えて構成される。
【００２５】
各回転プレート１５は、断面略凸字形に形成され、表面側に突出した円形の中心部には外部操作用の操作穴１６が正面矩形に凹み形成される。この回転プレート１５の外周部には、略１８０°の間隔をおいて一対の円弧溝１７がそれぞれ穿孔され、周縁部には、可撓性を有する一対の湾曲片１８が略１８０°の間隔をおいて付設される。
【００２６】
各連結プレート１９は、連結体として長方形の平板に形成され、その表面末端部の円柱形の連結ピン２０が回転プレート１５の円弧溝１７に嵌入して連結される。このような連結プレート１９は、回転プレート１５が一方向に回転すると、筐体１１の上下外方向にスライドして周壁の貫通口から係止爪２１を突出させ、回転プレート１５が他方向に回転すると、筐体１１の上下内方向にスライドして係止爪２１を元の位置に復帰させる。
【００２７】
各カバープレート２２は、図１、図２、図８に示すように、筐体１１の各側部に対応するよう縦長に形成され、中央部上方や側部には、筐体１１やその中央部側面に着脱自在に係合する可撓性の係合片２３が複数突出形成される。このカバープレート２２には、回転プレート１５の操作穴１６に対向して連通する正面矩形の操作口２４が穿孔され、この操作口２４を貫通した蓋体開閉装置の操作キーが回転プレート１５の操作穴１６に挿入されて回転することにより、各施錠機構１４が外部から操作される。
【００２８】
複数の操作窓３０は、図１、図２、図８に示すように、各カバープレート２２の略中央部に形成されて操作口２４の左右に並べて一対配列され、各操作窓３０が正面略円弧形に穿孔されており、回転プレート１５の表面に部分的に対向して外部からの手動操作を許容するよう機能する。
【００２９】
手動操作手段４０は、図５ないし図７に示すように、操作窓３０に対向する回転プレート１５の対向部に１８０°の間隔で正面略扇形に穿孔される一対の指挿入孔４１と、各指挿入孔４１の周縁部の一部分に突出形成される指係合リブ４２とを備えて形成される。この手動操作手段４０は、容器本体１と同様の成形材料を使用して成形される。
なお、操作窓３０と指挿入孔４１は、例えばＳＥＭＩ規格Ｓ８（半導体製造装置の人間工学エンジニアリング）に準拠する寸法に形成されることが好ましい。
【００３０】
上記において、容器本体１から蓋体１０を手動により取り外す場合には、各カバープレート２２の操作窓３０内に指を挿入するとともに、手動操作手段４０の指挿入孔４１内に指を挿入して指係合リブ４２に係合させ、回転プレート１５を任意の方向に回せば、施錠機構１４が作動して容器本体１の開口正面部２に嵌合した蓋体１０を手動により取り外すことができる。
【００３１】
上記によれば、専用の小さな治具を使用しなくても、手動操作手段４０の指挿入孔４１と指係合リブ４２とを使用すれば、容器本体１から蓋体１０を手動により簡単に取り外すことができるので、各工程に治具を予め用意しておく必要が全くなく、しかも、治具紛失のおそれもない。また、蓋体１０の表面に開閉ハンドルを予め軸支させておく必要もないので、蓋体１０の開閉作業の円滑化、簡素化、迅速化、容易化を図ることができる。また、開閉ハンドルを省略することができるので、搬送時の振動や衝撃で摺動部にパーティクルの発生することがない。
【００３２】
また、開閉ハンドルの省略に伴い、開閉ハンドルの軸支部や操作用の空隙部に洗浄水の残留することがないので、洗浄後の乾燥作業の迅速化を図ることが可能になる。また、操作窓３０に対向する回転プレート１５の対向部に指挿入孔４１と指係合リブ４２とを配設するので、指の挿入が容易となり、手動操作に支障を来たすことが少ない。また、手動操作手段４０の指挿入孔４１を使用すれば、適切に指を係止することができるので、手動操作が容易になる。さらに、指係合リブ４２を使用すれば、回転プレート１５に指の操作力を確実に伝達することが可能になる。
【００３３】
次に、図９、図１０は本発明の第２の実施形態を示すもので、この場合には、手動操作手段４０を、各回転プレート１５の表面に突出形成され、各カバープレート２２の操作窓３０から露出する一対の操作バー４３とするようにしている。
【００３４】
各操作バー４３は、直線的で短い長方形あるいは正方形に形成されて各円弧溝１７の端部に近接配置され、作業者の指の干渉により回転プレート１５を回転させる。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、カバープレート２２の各操作窓３０から操作バー４３が突出するので、手動操作の際に指の挿入量を減少させることができるのは明らかである。また、手動操作手段４０の形状や構造の多様化を図ることができる。
【００３５】
次に、図１１、図１２は本発明の第３の実施形態を示すもので、この場合には、手動操作手段４０を、各回転プレート１５の表面中心部に１８０°の間隔をおいて形成され、各カバープレート２２の円形を呈した操作窓３０から露出する一対の操作バー４３Ａとするようにしている。
【００３６】
各操作バー４３Ａは、操作バー４３よりも大きく長い略く字形に屈曲形成され、各回転プレート１５の表面中心部から半径外方向に伸長形成されており、作業者の指の干渉により回転プレート１５を回転させる。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、各操作バー４３Ａが操作バー４３よりも大きく長いので、操作性がさらに向上するのは明白である。
【００３７】
次に、図１３は本発明の第４の実施形態を示すもので、この場合には、手動操作手段４０を、各回転プレート１５の周面に横又は斜めに複数並べて刻設され、各カバープレート２２の矩形を呈した複数の操作窓３０からそれぞれ露出する滑り止め用のローレット（ナーリングともいう）４４とするようにしている。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００３８】
上記において、容器本体１から蓋体１０を手動により取り外す場合に、各カバープレート２２の操作窓３０内に指を挿入し、手動操作手段４０のギザギザのローレット４４に指をあてがい、回転プレート１５を任意の方向に回せば、回転プレート１５が滑ることなく円滑に回転する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、回転プレート１５に複数の操作バー４３を新たに設ける必要性が全くないので、回転プレート１５の構成の簡素化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明に係る蓋体及び基板収納容器の実施形態を模式的に示す全体斜視説明図である。
【図２】本発明に係る蓋体及び基板収納容器の実施形態における蓋体を模式的に示す正面説明図である。
【図３】図２の蓋体からカバーを取り外した蓋体を模式的に示す正面説明図である。
【図４】図３の回転プレートが９０°回転した状態を模式的に示す正面説明図である。
【図５】本発明に係る蓋体及び基板収納容器の実施形態における施錠機構の回転プレートを模式的に示す正面説明図である。
【図６】図５の回転プレートが回転した状態を模式的に示す正面説明図である。
【図７】図６の回転プレートが回転した状態を模式的に示す正面説明図である。
【図８】本発明に係る蓋体及び基板収納容器の実施形態におけるカバーを模式的に示す正面説明図である。
【図９】本発明に係る蓋体及び基板収納容器の第２の実施形態における施錠機構の回転プレートを模式的に示す斜視説明図である。
【図１０】本発明に係る蓋体及び基板収納容器の第２の実施形態における施錠機構を模式的に示す斜視説明図である。
【図１１】本発明に係る蓋体及び基板収納容器の第３の実施形態における施錠機構の回転プレートを模式的に示す斜視説明図である。
【図１２】本発明に係る蓋体及び基板収納容器の第３の実施形態における施錠機構を模式的に示す斜視説明図である。
【図１３】本発明に係る蓋体及び基板収納容器の第４の実施形態における施錠機構を模式的に示す斜視説明図である。
【符号の説明】
【００４０】
１        容器本体
２        開口正面部（開口部）
１０      蓋体
１１      筐体
１４      施錠機構
１５      回転プレート（回転体）
１６      操作穴
１９      連結プレート
２１      係止爪（係止体）
２２      カバープレート（カバー）
２４      操作口
３０      操作窓
４０      手動操作手段
４１      指挿入孔
４２      指係合リブ
４３      操作バー
４３Ａ    操作バー
４４      ローレット
【図１】
2008098236.tif 000003
【図２】
2008098236.tif 000004
【図３】
2008098236.tif 000005
【図４】
2008098236.tif 000006
【図５】
2008098236.tif 000007
【図６】
2008098236.tif 000008
【図７】
2008098236.tif 000009
【図８】
2008098236.tif 000010
【図９】
2008098236.tif 000011
【図１０】
2008098236.tif 000012
【図１１】
2008098236.tif 000013
【図１２】
2008098236.tif 000014
【図１３】
2008098236.tif 000015