(57)【要約】      （修正有）【課題】ウエハフレームをウエハカセットから取り出す、或いはセットする時、ウエハに接触、摩擦、或いは傷がつくことがないウエハカセット補助装置を提供する。【解決手段】ガイドレールフレーム２０７を含み、ガイドレールフレーム２０７は第一ガイドレール槽板２０２、第二ガイドレール槽板２０３、少なくとも１個の連接アーム２０５を含む。ガイドレールフレーム２０７は各連接アーム２０５によりそれぞれ第一第一ガイドレール槽板２０２と第二ガイドレール槽板２０３の側辺に連接し、しかも第一ガイドレール槽板２０２と第二ガイドレール槽板２０３はウエハカセットの各ウエハカセットスロットの位置に対応しそれぞれガイドレール槽２０４を設置する。さらに各ガイドレール槽２０４の一端の幅はガイドレール槽２０４中央に向かい徐々に縮小する形態を呈し、ガイドレールフレーム２０７をウエハカセットに接続することができる。【選択図】図４
2008042155.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくともガイドレールフレームを含み、
該ガイドレールフレームは第一第一ガイドレール槽板、第二ガイドレール槽板、少なくとも１個の連接アームを含み、
該各連接アームはそれぞれ該第一第一ガイドレール槽板と該第二ガイドレール槽板の側辺に連接し、しかも該第一第一ガイドレール槽板と該第二ガイドレール槽板はウエハカセットに設置する複数のウエハカセットスロットの上にそれぞれ設置するガイドレール槽に対応し、該ガイドレール槽の一端の幅は該ガイドレール槽中央に向かい徐々に縮小する形態を呈し、該ガイドレールフレームを該ウエハカセットに接続することができ、これにより該ガイドレール槽はその対応する該ウエハカセットスロットに接続することを特徴とするウエハカセット補助装置ことを特徴とするウエハカセット補助装置。
【請求項２】
請求項１記載のウエハカセット補助装置において、前記ウエハカセット補助装置は底台、側壁、可動接続器を含み、
該底台は該ウエハカセットを定位し、
該側壁は該底台の側辺に設置し、
該可動接続器の一端は該側壁に連接し、反対端は該ガイドレールフレームに接続し、これにより該ガイドレールフレームは該側壁に対応し回転が可能で、該ガイドレールフレームの該各ガイドレール槽はそれが対応するウエハカセットスロットにそれぞれ接続することを特徴とするウエハカセット補助装置。
【請求項３】
請求項２記載のウエハカセット補助装置において、前記可動接続器の反対端には該第一ガイドレール槽板、該第二ガイドレール槽板、該連接アームの内の一つを選択し連接することを特徴とするウエハカセット補助装置。
【請求項４】
請求項３記載のウエハカセット補助装置において、前記ウエハカセット補助装置はさらに斜度調整機構を含み、それは該底台と相互に組み合わせ、該底台と該斜度調整機構の相対角度を調整することを特徴とするウエハカセット補助装置。
【請求項５】
請求項４記載のウエハカセット補助装置において、前記斜度調整機構は少なくとも１個の調整壁を含み、該各調整壁の一端は該底台に可動接続し、該底台に対応し回転することを特徴とするウエハカセット補助装置。
【請求項６】
請求項５記載のウエハカセット補助装置において、前記調整壁の反対端には調整槽を設置し、しかも該底台には該調整槽に可動貫通可能な調整ボルトを設置し、調整ネジと該調整ボルトの相互組み合わせにより、該底台と該斜度調整機構の相対角度を固定可能であることを特徴とするウエハカセット補助装置。
【請求項７】
請求項１記載のウエハカセット補助装置において、前記ガイドレール槽一端の幅は該ウエハカセットスロットの幅に連動し、該ガイドレール槽の反対端の幅は該ガイドレール槽の中央に向かい徐々に縮小する形態を呈することを特徴とするウエハカセット補助装置。
【請求項８】
請求項１記載のウエハカセット補助装置において、前記ガイドレール槽中央の幅は該ウエハカセットスロットの幅より小さいことを特徴とするウエハカセット補助装置。
【請求項９】
請求項２記載のウエハカセット補助装置において、前記ウエハカセット補助装置はサポートブロックを含み、該サポートブロックは該側壁の一面に設置し、該ガイドレールフレームの回転角度を制限することを特徴とするウエハカセット補助装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は一種のウエハカセット補助装置に関する。特に一種のウエハフレームを取り出し或いは上はカセットにセットする時にウエハが接触せず、摩擦や傷の恐れがないウエハカセット補助装置に係る。
【背景技術】
【０００２】
研磨後のウエハはウエハフレーム(wafer frame)上に粘着し、ウエハカセット(cassette)にセットされ、運送され、ダイシング(dicing)、ダイス(die)の(pick-up)取り出しなどの後工程を行う。
ウエハフレーム１００の正面図である図１に示すように、ウエハ１０１はウエハシート(wafer sheet/tape)１０２により該ウエハフレーム１００の表面に粘着される。
さらにウエハカセット１０３の俯瞰図と立体図である図２、図３に示すように、該ウエハカセット１０３両側の内側壁１０４は多数組の相互に対称するウエハカセットスロット(slot)１０５を備え、該ウエハフレーム１００は該ウエハカセットスロット１０５に従い該ウエハカセット１０３内にスライド設置される。すべての該ウエハフレーム１００が該ウエハカセット１０３にセットされると、操作人員は回転ハンドル１０６を回転し引き出し、持ち上げることにより、該ウエハカセット１０３を運送する。
【０００３】
またダイシング(dicing)作業の前後においては、通常は操作人員の手動により該ウエハフレーム１００を取り出し、サンプル検査を行う必要がある。しかし、該ウエハカセットスロット１０５の間隔距離或いはスロットの幅は該ウエハフレーム１００の厚みより大きい(通常は約３倍)ため、該ウエハフレーム１００を取り出し或いは設置の過程において、隣り合った該ウエハフレーム１００はぶつかり、摩擦し易く、該上は１０１に傷を作ってしまう。
上記問題に鑑み、コストの点からウエハカセットを再設計、再製造しないという条件において、一種の装置を提出し、ウエハフレームを取り出し、ウエハカセットにセットする時に補助し、ウエハがぶつかり、摩擦し、傷を負うことを防止する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は下記のウエハカセット補助装置を提供する。
それはウエハカセット補助装置を提供し、ウエハは取り出し或いは設置時に接触、摩擦、或いは傷がつく恐れを払拭することができ、
すなわちそれは少なくともガイドレールフレームを含み、
該ガイドレールフレームは第一ガイドレール槽板、第二ガイドレール槽板、少なくとも１個の連接アームを含み、
該ガイドレールフレームは該各連接アームによりそれぞれ該第一第一ガイドレール槽板と該第二ガイドレール槽板の側辺に連接し、しかも該第一第一ガイドレール槽板と該第二ガイドレール槽板はウエハカセットの各ウエハカセットスロットの位置に対応しそれぞれガイドレール槽を設置し、さらに該各ガイドレール槽の一端の幅は該ガイドレール槽中央に向かい徐々に縮小する形態を呈し、該ガイドレールフレームを該ウエハカセットに接続することができ、
本発明のウエハカセット補助装置により、ウエハカセットをウエハフレームから取り出す、或いはセットする時、ガイドレール槽の幅によりウエハフレームを導引するため、ウエハは取り出し或いは設置の角度により接触、摩擦、或いは傷がつく恐れを払拭することができることを特徴とするウエハカセット補助装置である。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１の発明は、少なくともガイドレールフレームを含み、
該ガイドレールフレームは第一第一ガイドレール槽板、第二ガイドレール槽板、少なくとも１個の連接アームを含み、
該各連接アームはそれぞれ該第一第一ガイドレール槽板と該第二ガイドレール槽板の側辺に連接し、しかも該第一第一ガイドレール槽板と該第二ガイドレール槽板はウエハカセットに設置する複数のウエハカセットスロットの上にそれぞれ設置するガイドレール槽に対応し、該ガイドレール槽の一端の幅は該ガイドレール槽中央に向かい徐々に縮小する形態を呈し、該ガイドレールフレームを該ウエハカセットに接続することができ、これにより該ガイドレール槽はその対応する該ウエハカセットスロットに接続することを特徴とするウエハカセット補助装置ことを特徴とするウエハカセット補助装置としている。
請求項２の発明は、請求項１記載のウエハカセット補助装置において、前記ウエハカセット補助装置は底台、側壁、可動接続器を含み、
該底台は該ウエハカセットを定位し、
該側壁は該底台の側辺に設置し、
該可動接続器の一端は該側壁に連接し、反対端は該ガイドレールフレームに接続し、これにより該ガイドレールフレームは該側壁に対応し回転が可能で、該ガイドレールフレームの該各ガイドレール槽はそれが対応するウエハカセットスロットにそれぞれ接続することを特徴とするウエハカセット補助装置としている。
請求項３の発明は、請求項２記載のウエハカセット補助装置において、前記可動接続器の反対端には該第一ガイドレール槽板、該第二ガイドレール槽板、該連接アームの内の一つを選択し連接することを特徴とするウエハカセット補助装置としている。
請求項４の発明は、請求項３記載のウエハカセット補助装置において、前記ウエハカセット補助装置はさらに斜度調整機構を含み、それは該底台と相互に組み合わせ、該底台と該斜度調整機構の相対角度を調整することを特徴とするウエハカセット補助装置としている。
請求項５の発明は、請求項４記載のウエハカセット補助装置において、前記斜度調整機構は少なくとも１個の調整壁を含み、該各調整壁の一端は該底台に可動接続し、該底台に対応し回転することを特徴とするウエハカセット補助装置としている。
請求項６の発明は、請求項５記載のウエハカセット補助装置において、前記調整壁の反対端には調整槽を設置し、しかも該底台には該調整槽に可動貫通可能な調整ボルトを設置し、調整ネジと該調整ボルトの相互組み合わせにより、該底台と該斜度調整機構の相対角度を固定可能であることを特徴とするウエハカセット補助装置としている。
請求項７の発明は、請求項１記載のウエハカセット補助装置において、前記ガイドレール槽一端の幅は該ウエハカセットスロットの幅に連動し、該ガイドレール槽の反対端の幅は該ガイドレール槽の中央に向かい徐々に縮小する形態を呈することを特徴とするウエハカセット補助装置としている。
請求項８の発明は、請求項１記載のウエハカセット補助装置において、前記ガイドレール槽中央の幅は該ウエハカセットスロットの幅より小さいことを特徴とするウエハカセット補助装置としている。
請求項９の発明は、請求項２記載のウエハカセット補助装置において、前記ウエハカセット補助装置はサポートブロックを含み、該サポートブロックは該側壁の一面に設置し、該ガイドレールフレームの回転角度を制限することを特徴とするウエハカセット補助装置としている。
【発明の効果】
【０００６】
本発明のウエハカセット補助装置により、使用者はウエハカセットをウエハフレームから取り出す、或いはセットする時、ガイドレール槽の幅によりウエハフレームを導引するため、ウエハは取り出し或いは設置の角度により接触、摩擦、或いは傷がつく恐れを払拭することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
本発明の実施例について以下に説明するが、本発明は他の実施例にも広く応用することができ、しかも本発明の範囲を限定するものではなく、以下の特許請求の範囲を基準とするものである。さらに本説明書中の各部品の異なる部分はサイズに基づき作画されていない。本発明への理解を促進するため、あるサイズは他の関連サイズと比較し、明確に描写するため誇張してある。
【０００８】
本発明実施例のウエハカセット補助装置２０１の立体表示図である図４と図４実施例がウエハカセットを定位する立体表示図である図５に示すように、その主要構造は少なくとも底台２０９、側壁２０９、ガイドレールフレーム２０７、可動接続器２１３、サポートブロック２０８を含む。
該底台０９は複数のウエハカセットスロット１０５を設置するウエハカセット１０３を定位する。
該側壁２０６は該底台２０９の片側に設置する。
該ガイドレールフレーム２０７は第一第一ガイドレール槽板２０２、第二ガイドレール槽板２０３、少なくとも１個の連接アーム２０５を含む。該各連接アーム２０５はそれぞれ該第一第一ガイドレール槽板２０２と該第二ガイドレール槽板２０３の側辺に連接し、しかも該第一第一ガイドレール槽板２０２と該第二ガイドレール槽板２０３は該各ウエハカセットスロット１０５の位置に対応し、それぞれガイドレール槽２０４を設置する。
該可動接続器(図６に示す２１３など)の一端には側壁２０６を連接し、反対端にはガイドレールフレーム２０７を連接する。これにより該ガイドレールフレーム２０７は該側壁２０６に対応し回転し、該ガイドレールフレーム２０７の各ガイドレール槽２０４をそれが対応するウエハカセットスロット１０５にそれぞれ接続する。該可動接続器２１３が該ガイドレールフレーム２０７に連接する位置は該第一ガイドレール槽板２０１、該第二ガイドレール槽板２０３、該連接アーム２０５の内の一つを選択することができる。いずれの場合にも同様の効果を達成可能で、該ガイドレールフレーム２０７は該側壁２０６に対応し回転する。
該サポートブロック２０８は該側壁２０６の一面に設置し、該ガイドレールフレーム２０７の回転角度を制限する。例えば、該ガイドレールフレーム２０７が回転され持ち上がり直立状態となった時(図４参照)には、該ガイドレールフレーム２０７が回転し過ぎないよう、該サポートブロック２０８がサポートする。
【０００９】
本発明のウエハカセット補助装置はさらに斜度調整機能を含み、それは該底台２０９と相互に組み合わされ、該底台２０９と該斜度調整機構の相対角度を制御する。該斜度調整機構は少なくとも１個の調整壁２１０を含む。
該調整壁２１０の一端は該底台２０９に可動接続し、該底台２０９に対応し回転する。該調整壁２１０の反対端には調整槽２１２を設置し、しかも該底台２０９は該調整槽２１２を可動貫通する調整ボルト２１１を設置する。該調整ボルト２１１と調整ネジの相互対応により、該底台２０９と斜度調整機構の相対角度の固定を強化することができる。該斜度調整機構は主に該ウエハカセット１０３上のウエハフレーム１００を該ウエハカセットスロット１０５の同一辺に同時に接触させ、これにより該各ウエハフレーム１００の相互の間隔距離は最大の間隔距離を保持可能で、該ウエハフレーム１００の相互接触、摩擦により、ウエハ１０１に傷が付く状況を効果的に防止することができる。
【００１０】
続いて図５のガイドレールフレーム２０７がウエハカセット１０３上方まで回転する立体表示図である図６に示すように、この時、該ウエハフレーム１００は該ガイドフレーム２０７のガイドレール槽２０４上方より挿入し、続いて、該ウエハカセット１０３のウエハカセットスロット１０５にスライドし入る。
反対に該ウエハフレーム１００を該ウエハカセット１０３内から取り出す時には、該ガイドレール槽２０４の導引により、該ガイドレール槽２０４上方から取り出すことができる。
【００１１】
さらにガイドレールフレーム２０７がウエハカセット１０３上方まで回転する時のガイドレール槽２０４とウエハカセットスロット１０３の拡大表示図である図７に示すように、該ガイドレールフレーム２０７に設置する該各ガイドレール槽２０４はおよそ平行に排列される。該各ガイドレール槽２０４の該ウエハカセットスロット１０５に向かう一端の幅は、該ウエハカセットスロット１０５の幅と同一で、これにより該ウエハフレーム１００はスムーズに該ウエハカセットスロット１０５中にスライドし入る。しかも該ガイドレール槽２０４の幅は該ガイドレール槽２０４中央が徐々に縮小する形態を呈するため、該ガイドレール槽２０４中央の幅は該ウエハカセットスロット１０５の幅より小さい。別に該ガイドレール槽２０４反対端の幅も、該ガイドレール槽２０４中央は徐々に縮小する形態を呈するため、該ガイドレール槽２０４両端の幅はより大きく、該ウエハフレーム１００の該ガイドレール槽２０４への進入を導引する作用を備える。  
すなわち、該ガイドレール槽２０４の中央の幅がより小さいため、ウエハフレーム１００を取り出し或いは設置する過程において、一般操作員を効果的に補助することができ、隣り合ったウエハを平行に保ち、該各ウエハフレーム１００が該ウエハ１０１と摩擦し、該ウエハ１０１に傷が付く状況の発生を防止することができる。
【００１２】
以上は本発明の最適実施例で、本発明の特許申請の範囲を限定するものではない。本発明が掲示する精神を離脱しないという条件において完成された同等の効果を持つ他の変化或いは修飾はすべて特許申請の範囲に含まれるものとする。例えば、該ガイドレールフレーム２０７を直接該ウエハカセット１０３上方に嵌設し、操作を行い、上記実施手のような回転方式でない場合もそうである。また、該ウエハカセット補助装置２０１には側壁２０６を設置せず、さらには底台２０９を含まなくても良く、他の公知の昇降機機構により該ガイドレールフレーム２０７を持ち上げ、該ウエハカセット１０３上のウエハカセットスロット１０５に対応させれば良い。さらには、該ウエハカセット１０３の傾斜角度は他の方法によっても得ることができ、例えば作業台の傾斜角度を調整し、ウエハカセットを傾斜させることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】ウエハフレームの正面図である。
【図２】ウエハフレームの俯瞰図である。
【図３】ウエハフレームの立体図である。
【図４】本発明実施例のウエハカセット補助装置の立体表示図である。
【図５】図４実施例がウエハカセットを定位する立体表示図である。
【図６】図５のガイドレールフレームがウエハカセット上方まで回転する立体表示図である。
【図７】ガイドレールフレームがウエハカセット上方まで回転する時のガイドレール槽とウエハカセットスロットの拡大表示図である。
【符号の説明】
【００１４】
１００  ウエハフレーム
１０１  ウエハ
１０２  ウエハシート
１０３  ウエハカセット
１０４  内側壁
１０５  ウエハカセットスロット
１０６  回転ハンドル
２０１  ウエハカセット補助装置
２０２  第一ガイドレール槽板
２０３  第二ガイドレール槽板
２０４  ガイドレール槽
２０５  連接アーム
２０６  側壁
２０７  ガイドレールフレーム
２０８  サポートブロック
２０９  底台
２１０  調整壁
２１１  調整ボルト
２１２  調整槽
２１３  可動接続器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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