(57)【要約】【課題】所定の抵抗値を得るために炭素繊維を細くしても、各炭素繊維がばらけないで所定の強度を維持することができる炭素系発熱体、その炭素系発熱体を用いたヒーター、及びそのヒーターを用いた加熱装置を提供する。【解決手段】炭素系発熱体は、長手方向に延びる複数の縦糸（２ａ）と、幅方向に延び、少なくとも１回の折返しを有し、縦糸の少なくとも１本の上下をクロスするように折り合わされた少なくとも１本の横糸（２ｂ）と、を焼成して形成される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
長手方向に延びる複数の縦糸と、
幅方向に延び、少なくとも１回の折返しを有し、前記縦糸の少なくとも１本の上下をクロスするよう折り合わせた少なくとも１本の横糸と、
を焼成して形成された炭素系発熱体。
【請求項２】
前記幅方向に延びる横糸が、幅方向の垂直面に対し所定の角度を有する請求項１に記載の炭素系発熱体。
【請求項３】
前記横糸が、幅方向両端で折り返し折り合わされた請求項１または２に記載の炭素系発熱体。
【請求項４】
前記横糸が、少なくとも１本の連続する糸である請求項３に記載の炭素系発熱体。
【請求項５】
前記炭素系発熱体の幅方向の断面が、筒状若しくは袋状に折り合わされている請求項４に記載の炭素系発熱体。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかに記載の前記炭素系発熱体をガラス管に封止した構成からなることを特徴とするヒーター。
【請求項７】
前記炭素系発熱体を複数層積層して形成されたことを特徴とする請求項６に記載のヒーター。
【請求項８】
前記炭素系発熱体が、長手方向に延びる細い縦糸と、幅方向に延びる太い横糸とからなることを特徴とする請求項６に記載のヒーター。
【請求項９】
前記炭素系発熱体が、長手方向に延びる太い縦糸と、幅方向に延びる細い横糸とからなることを特徴とする請求項６に記載のヒーター。
【請求項１０】
長手方向に延びる前記炭素系発熱体を保持する保持部材を、前記炭素系発熱体の両端部以外の位置に設けたことを特徴とする請求項６に記載のヒーター。
【請求項１１】
請求項６に記載のヒーターを有することを特徴とする加熱装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、炭素系発熱体、炭素系発熱体を用いたヒーター、及びヒーターを用いた加熱装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、炭素系物質を発熱体として使用するヒーターが開発されてきている。炭素系物質は導体であるため、電気抵抗値が小さい。そこで、炭素系物質の発熱体の抵抗値を大きくするために、発熱体の全長を長くし、発熱体の断面積を小さくし、又は発熱体自体の固有抵抗値を大きくする等の様々な方法が実用化されている。
【０００３】
特許３３１９９５１号公報に所定の抵抗値を得ることができる従来の織物状の炭素繊維からなる発熱体及び炭素繊維発熱体の利用方法が開示されている。従来の発熱体は、実質的に炭素元素のみからなる繊維状の炭素材料で形成され、各繊維にミクロ単位のボア（穴）を形成している。ボアの部分で電気抵抗値は大きくなる。更に、炭素繊維の太さ及び量を変えることにより、抵抗値を調整している。これにより、従来の炭素繊維発熱体を用いたヒーターを、加熱装置の熱源として使用することができる。
【特許文献１】特許３３１９９５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の発熱体は、長手方向に延びる複数の炭素繊維の縦糸で形成されていた。従来のヒーターは、発熱体の抵抗値を大きくするために、炭素繊維を細くしたり、又は炭素繊維の量を少なくしていた。炭素繊維を細くし、又は炭素繊維の量を少なくすると、各繊維がばらけたり、断線が起こるという問題があった。
【０００５】
本発明は、炭素繊維がばらけない炭素系発熱体、その炭素系発熱体を用いたヒーター、及びそのヒーターを備えた加熱装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため、本発明は下記の構成を有する。
本発明の炭素系発熱体は、長手方向に延びる複数の縦糸と、幅方向に延び、少なくとも１回の折返しを有し、前記縦糸の少なくとも１本の上下をクロスするよう折り合わせた少なくとも１本の横糸と、を焼成して形成される。ここで「糸」とは発熱体として使用されるもので、炭素繊維あるいは焼成後炭素繊維となる材料である。
【０００７】
幅方向に延びる横糸は、幅方向の垂直面に対し、所定の角度を有しても良い。上記横糸は、幅方向両端で折り返し折り合わされても良い。
【０００８】
上記横糸は、少なくとも１本の連続する糸であっても良い。「連続する糸」とは、糸の長さが炭素系発熱体の幅と比較して相当長いことを意味する。
【０００９】
上記炭素系発熱体の幅方向の断面が、筒状若しくは袋状に折り合わされていても良い。
【００１０】
本発明のヒーターは、上記炭素系発熱体をガラス管に封止した構成を有する。上記ヒーターは、炭素系発熱体を複数層積層して形成されても良い。
【００１１】
このヒーターにおいて、上記炭素系発熱体は、長手方向に延びる細い縦糸と、幅方向に延びる太い横糸とを含んでも良い。又は、上記炭素系発熱体は、長手方向に延びる太い縦糸と、幅方向に延びる細い横糸とを含んでも良い。
【００１２】
上記ヒーターにおいて、長手方向に延びる炭素系発熱体を保持する保持部材を、炭素系発熱体の両端部以外の位置に設けても良い。
【００１３】
本発明の加熱装置は、上記ヒーターを有する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、横糸が少なくとも１回の折返しを有し、縦糸の上下をクロスするように折り合わせることにより、炭素繊維がばらけない炭素系発熱体を実現できるという有利な効果が得られる。また、この炭素系発熱体を有するヒーター及びそのヒーターを備えた加熱装置によれば、炭素系発熱体の炭素繊維がばらけないという効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下本発明の実施をするための最良の形態を具体的に示した実施の形態について、図面とともに記載する。
【００１６】
《実施の形態１》
図１及び図２を用いて、本発明の実施の形態１の炭素系発熱体、ヒーター、及び加熱装置について説明する。図１は本発明の実施の形態１のヒーターの構造を示す図である。ヒーターは、発熱体２、放熱ブロック３及び内部リード線４をガラス管１に封入して形成される。
【００１７】
ガラス管１は透明の石英ガラス（例えば、ＧＥ社製の＃２１４又はダウコーニング社製バイコールガラス（品番  ＃７１９０））の非晶質ガラスである。ガラス管の径は、振動しても発熱体２があたらない程度の大きさにする。実施の形態１において、ガラス管のサイズは、直径１０．５ミリである。
【００１８】
発熱体２は、炭素繊維である長手方向に延びる複数の縦糸２ａと幅方向に延びる一本の横糸２ｂとを平織りにして形成されている。この発熱体の製造方法について説明する。
一本の横糸２ｂを複数の縦糸２ａの上と下とを順にクロスするように織り合わせる（織り合わせステップ）。横糸２ｂは、複数の縦糸２ａの幅方向の両端で折り返す。織り合わせた縦糸と横糸とに樹脂を薄く均一に添着する（添着ステップ）。織り合わした物（発熱部）を焼成して全体を一体化する（焼成ステップ）。焼成することにより、発熱体は炭化する。実施の形態１の炭素系発熱体は、その長手方向の両端の間で切れ目無く連続する複数の糸のみで形成されている。
【００１９】
この製造方法によると、縦糸２ａと横糸２ｂの炭素繊維を均一に編み込むことができる。複数の細い縦糸２ａと一本の太い横糸２ｂとからなる発熱体２は、高い抵抗値を有する。一本の横糸２ｂを複数の縦糸２ａの両端で折り返して、発熱体を形成することにより、長時間使用しても炭素繊維がばらけず、断線を起こしにくい発熱体を製造できる。
本願明細書で記述する糸は発熱体として使用するもので、炭素繊維あるいは焼成後炭素繊維となる材料である。
【００２０】
発熱体２の形状は平板状であり、例えば、幅Ｔ＝６ｍｍ、厚みｔ＝０．５ｍｍ、長さＬ＝３００ｍｍに形成されている。Ｔ≧５ｔに設定することにより、Ｔｍｍの幅部に垂直な方向に強い指向性を有する輻射強度分布特性が得られる。
樹脂を添着後焼成することにより、縦糸２ａと横糸２ｂとを確実に固着することができる。
また別の効果として、前記樹脂を添着後焼成することにより、比重が０．８から２．０となり、その結果、剛性強度が増大する。
【００２１】
更に、前記添着する樹脂として、焼成後炭素残査収率の高い樹脂を使用すると赤外線放射率を向上させることができる。焼成後炭素残査収率の高い樹脂としては、塩素化塩化ビニールやジアリルフタレートモノマーの他に、ポリ塩化ビニール、ポリアクリルニトリル、ポリビニールアルコール、ポリ塩化ビニールとポリ酢酸ビニールとの共重合体、ポリアミドなどの熱可塑性樹脂、フェノール樹脂、フラン樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリイミドなどの熱硬化性樹脂を用いることができる。これらの単体だけでなく二種以上の混合体でもよい。
【００２２】
放熱ブロック３は黒鉛等の導電性材料で形成されており、発熱体２の一端に電気的に接続されている。放熱ブロック３は円柱形状であり、円柱形状の一方の面（発熱体２側の面）から他方の面（内部リード線４側の面）に向かって延びるスリット（図示しない）を有する。このスリットは貫通していない。複数の細い縦糸２ａとその縦糸２ａに編み込まれた横糸２ｂで構成される発熱体２は、炭素系接着剤を塗布されて、放熱ブロック３のスリットに挿入される。発熱体２が放熱ブロック３に密着嵌合された後、乾燥され、加温（焼成）される。この結果、発熱体２と放熱ブロック３は導電性の高い接着剤の焼結体により接続される。
【００２３】
発熱体２と放熱ブロック３間を炭素系接着剤で接着する構成にすることで、接合部の強度が大きくなる。接着剤が発熱体２及び放熱ブロック３と同じ炭素系物質であり、それぞれの熱膨張係数がほぼ等しいため、加熱のオン・オフによる温度サイクルに強い、信頼性の高いヒーターを提供できる。一般的な炭素系接着剤は、カーボンブラックを熱硬化性樹脂（ポリエステル樹脂やポリイミド樹脂が望ましい）にブレンドし、ペースト状にしたものである。
【００２４】
放熱ブロック３自体の発熱は発熱体に比べて十分小さく無視できるものである。放熱ブロック３には発熱体２から熱が伝わってくるが、放熱ブロック３は表面積（輻射面積）が大きいため、その熱の一部は放熱ブロックの表面から発散する。そのため、放熱ブロック２と内部リード線４との接続部であるコイル状部４ａの温度上昇を防ぐことができる。
【００２５】
内部リード線４は、その一端にコイル状部４ａが形成されており、そのコイル状部４ａに続いて弾性を有するスプリング状部４ｂが形成されている。内部リード線４のコイル状部４ａが放熱ブロック３の外周面に密着して巻回され電気的に接続されている。内部リード線４のスプリング状部４ｂは、放熱ブロック３の外周面から所定の間隔を有して配置されている。スプリング状部の役割は、発熱体１に張力をかけることであり、発熱体１が発熱して熱膨張で伸びたときに、発熱体１がたわむのを防止する。スプリング状部は、発熱体２の膨張による寸法変化を吸収できるように構成されている。
【００２６】
内部リード線４は、モリブデン箔５を介して外部リード線６に接続される。ガラス管１の中にアルゴンガス等の不活性ガスを封入して、モリブデン箔５を含むガラス管１の端部を溶融し平板状に押しつぶして封止する。これにより、炭素系物質の発熱体２が空気中の酸素と反応して酸化し、発熱体の寿命が短くなることを防ぐ。
【００２７】
外部リード線６に電力を印加すると、発熱体２に電流が流れる。その電流に対する発熱体の抵抗により熱が生じ、発熱体からは赤外線が放射される。
【００２８】
保持部材７は、ガラス管１の中の炭素系発熱体２の両端部以外の位置に設ける。実施の形態１において、保持部材７は、発熱体の中央付近に一つ設けられる。
図２は保持部材を示す斜視図である。保持部材７は、炭素系物質で形成される。保持部材７には、発熱体２の板厚より僅かに大きい幅の切り欠き部７ａが形成されている。この切り欠き部７ａに発熱体２を差し込み、保持部材７と発熱体２とを炭素系接着剤で接合する。
【００２９】
円形の板状の保持部材７は、ガラス管１の内径よりわずかに小さい外形を持つ。これにより、外部から振動又は衝撃がヒーターに与えられても、保持部材の外形が石英ガラス管の内壁に当接して、発熱体２の振動の振幅が小さく抑えられる。その結果、発熱体の共振現象が発生せず、発熱体が石英ガラス管１の内壁に衝突して、発熱体が削れたり破損することのないヒーターを提供できる。
【００３０】
保持部材７は、発熱体２を石英ガラス管１の中央付近に保持する機能を有すればよいため、その厚みは板材の強度が許す範囲で薄い方が保持部材を経由する熱の放散が少ないので好適である。
【００３１】
上記のように構成される実施の形態１のヒーターは、炭素繊維がばらけないで所定の強度を維持したまま、所定の抵抗値を得ることができる。発熱体の抵抗値は、長手方向に延びる縦糸を細くすればするほど、また縦糸の本数を少なくするほど、大きくなる。縦糸を細くした場合であっても、一本の横糸を複数の縦糸の両端で折り返しながら、縦糸にクロスして編み込むことにより、発熱体は所定の強度を維持することができる。横糸が抜け落ちることはなく、発熱体がばらばらに解れることもない。
【００３２】
また、縦糸を太くすればするほど、また縦糸の本数を増やすほど、発熱体の抵抗値は小さくなり、発熱量の大きいヒーターを実現することができる。更に、炭素系発熱体を複数層積層して形成することにより、更に発熱量の大きいヒーターを実現できる。
【００３３】
本発明のヒーターを用いた加熱装置は、発熱体の縦糸の太さ及び本数を変えることにより、所定の発熱量を得ることができる。
縦糸を細くし（又は縦糸の本数を減らし）、横糸を太くする（又は横糸の本数を増やす）ことにより、炭素系発熱体の強度を所定以上に保ったまま、発熱体の発熱量を低下させることが出来る。
縦糸を太くし（又は縦糸の本数を増やし）、横糸を細くする（又は横糸の本数を減らす）ことにより、炭素系発熱体の大きさを一定以下に維持しつつ、発熱体の発熱量を大きくすることが出来る。
【００３４】
なお、実施の形態１においては、発熱部（織り合わせた縦糸と横糸）に樹脂を薄く均一に添着したが、これに代えて発熱部に樹脂を含浸して、焼成しても良い。又、予め樹脂を添着させた糸を用いて発熱部を形成し、焼成することにより発熱体を製造しても良い。いずれの製造方法で発熱体を製造した場合であっても、発熱部を構成する糸と糸の間を樹脂（保持部）で連結補強することができる。糸がばらけることも防止できる。
【００３５】
なお、実施の形態に１おいて、スプリング状部４ｂを内部リード線の一部に設けていたが、保持部材７により、発熱体の発熱時の熱膨張によるたわみを抑制することが十分にできる場合は、スプリング状部を設けなくても良い。
【００３６】
なお、実施の形態において保持部材７を設けたが、外部から振動や衝撃が加わったときに、発熱体２がガラス管１の内壁に衝突しなければ、保持部材を設けなくても良い。例えば、ガラス管が発熱体の大きさに対して十分大きい、又はヒーターの全長が短く発熱体が安定している場合などは、保持部材を設けなくても良い。
【００３７】
なお、実施の形態１においては一本の横糸２ｂを発熱体２の幅方向の両端で折り返したが、これに代えて横糸２ｂを両端で折り返さない構成としても良い。例えば発熱体２の幅と略同じ長さの少なくとも１つの横糸を、縦糸に織り合わす構成であっても良い。
【００３８】
なお、縦糸２ａと横糸２ｂを布状の構成のように交互に織り上げる実施の形態１の炭素系発熱体に代えて、下記の炭素系発熱体を用いても良い。
樹脂を糸に添着後、複数の糸にて薄板を形成する。例えば、複数の縦糸（長手方向に延びる糸）の薄板と、複数の横糸（幅方向に延びる糸）の薄板をそれぞれ形成する。その薄板を複数枚重ね合わせて積層状の平板を形成する。例えば、複数の縦糸で形成された薄板と、複数の横糸で形成された薄板を交互に重ね合わせる。糸に予め樹脂が添着されているため、この平板は樹脂にて形状を保持（賦形）される。この平板を焼成して炭素系発熱体を形成する。これにより、横糸と縦糸が交互に積層された構成の炭素系発熱体を有するヒーターを作成することが出来る。この方法によれば前記クロスされた構成の発熱体と同等の剛生強度を有すると共に、糸がばらけたり、断線を起こしたりすることのない発熱体を作成することができる。
【００３９】
また、予め糸に樹脂を添着することに代えて、横糸の薄板と縦糸の薄板を重ね合わせた平板に樹脂を含浸させることにより板状の形状を保持（賦形）し、その後焼成して板状の炭素系発熱体を作成しても良い。
更に、縦糸と横糸が直角になるように各薄板を形成し重ね合わせても良いし、縦糸と横糸が斜めの角度になるように薄板を形成して重ね合わせても良い。
【００４０】
《実施の形態２》
図３を用いて、本発明の実施の形態２の炭素系発熱体、ヒーター、及び加熱装置について説明する。図３は本発明の実施の形態２の加熱装置及びヒーターの構造を示す図である。実施の形態２のヒーターが実施の形態１のヒーターと異なるところは、発熱体である。それ以外の構成については、実施の形態１と同一であるため、説明を省略する。
【００４１】
実施の形態２の炭素系発熱体を製造する方法について説明する。炭素繊維である一本の横糸３１ｂを複数の縦糸３１ａの上と下とを順にクロスするように織り合わせる（織り合わせステップ）。横糸３１ｂは、複数の縦糸３１ａの幅方向の両端で折り返す。織り合わせた縦糸と横糸とに樹脂を薄く均一に添着する（添着ステップ）。織り合わした物を焼成して全体を一体化する（焼成ステップ）。一体化した発熱体を長手方向に２分割する。実施の形態２の製造方法によると、織り合わせた１つの板状の織物から２つの発熱体を製造することができ、製造効率が良くなる。
【００４２】
実施の形態２の発熱体３１は、横糸が発熱体の幅方向の一端で１回の折り返しを有し、他端では折り返されていない。実施の形態２の加熱装置３２は、ヒーターを横糸３１ｂの折り返しを有する側を上にして配置する。これにより、発熱体を加熱しても横糸が抜け落ちず、炭素繊維がばらけないで長時間使用できる安価な加熱装置を実現できる。
【００４３】
《実施の形態３》
図４及び図５を用いて、本発明の実施の形態３の炭素系発熱体、ヒーター、及び加熱装置について説明する。図４は本発明の実施の形態３のヒーターの構造を示す図である。実施の形態３の加熱装置は、図４（ａ）と図４（ｂ）に示すヒーターを有する。実施の形態３において加熱装置は、幅の狭い用紙（複写対象物）をテーブルの中央にセットする（幅の広い用紙のセット位置と、幅の狭い用紙のセット位置の中心線が同一である）複写機のトナー定着用の加熱装置である。
【００４４】
図５（ａ）は、図４（ａ）のヒーターの長手方向に対する温度分布を示す図である。図５（ｂ）は、図４（ｂ）のヒーターの長手方向に対する温度分布を示す図である。図５（ｃ）は、図４（ａ）及び（ｂ）の両方のヒーターを加熱した場合の長手方向に対する温度分布を示す図である。図５において、縦軸は温度を示し、横軸はヒーターの長手方向の距離を示す。原点はヒーターの左側の放熱ブロック３とコイル状部４ａの境界部に対応している。
【００４５】
実施の形態３のヒーターが実施の形態１のヒーターと異なるところは、発熱体である。それ以外の構成については、実施の形態１と同一であるため、説明を省略する。
図４（ａ）に示すヒーターの発熱体４１は、縦糸の両端部を除く部分に横糸を織り合わせる。図４（ｂ）に示すヒーターの発熱体４２は、縦糸の両端部に横糸を織り合わせ、中央部では横糸を織り合わせない。横糸を織り合わせた箇所は織り合わせていない箇所よりも抵抗値が小さくなるため、温度が低くなる。
【００４６】
例えば、実施の形態３の加熱装置は、Ａ４サイズの横長用紙を複写する場合、発熱体４２にのみ電力を供給する（図５（ｂ））。Ａ３サイズの横長用紙を複写する場合は、発熱体４１及び発熱体４２の両方に電力を供給する（図５（ｃ））。発熱体４１及び４２の両方に電力を印加した場合は、単位面積当たりの実効的な発熱量が長手方向に略均一になる。
【００４７】
本発明の実施の形態３は、炭素繊維である複数の縦糸に、横糸を織り合わせる箇所と織り合わせない箇所とを設けることにより、発熱体の長手方向に対する発熱温度分布を調整することができる。これにより、長手方向において任意の発熱温度分布を有する加熱装置を実現できる。
【００４８】
《実施の形態４》
図６を用いて、本発明の実施の形態４の炭素系発熱体、ヒーター、及び加熱装置について説明する。図６は本発明の実施の形態４のヒーターの構造を示す図である。実施の形態４のヒーターが実施の形態１のヒーターと異なる点は、発熱体の構造である。実施の形態４の発熱体６１は、長手方向に延びる複数の縦糸６１ａと斜め方向に延びる１つのバイアス糸６１ｂとで構成される。実施の形態４において、バイアス糸６１ｂは縦糸６１ａの長手方向に対して所定の角度（図６においては４５度）で複数の縦糸の上と下とを順にクロスするように織り合わせる。バイアス糸６１ｂは、複数の縦糸６１ａの幅方向の両端で折り返す。実施の形態４の炭素系発熱体は、その長手方向の両端の間で切れ目無く連続する複数の糸のみで形成されている。
【００４９】
これにより、バイアス糸が抜け落ちることはなく、炭素繊維がばらけないで所定の強度を維持したまま、所定の抵抗値を有する炭素系発熱体を用いたヒーターを実現できる。縦糸６１ａの太さ及び本数を変えて、抵抗値を変えることができる。
【００５０】
なお、バイアス糸は１つに限られず、２つ以上のバイアス糸を縦糸に交差させても良い。例えば、１つのバイアス糸は、縦糸６１ａに対して−４５度の角度で挿入し、もう１つのバイアス糸は縦糸６１ａに対して４５度の角度で挿入する。複数のバイアス糸は、縦糸の幅方向の両端で折り返す。
【００５１】
なお、長手方向に延びる縦糸を三つ編み状、組紐状、又は真田紐状にして織りこむことにより発熱体を形成しても良い。又、発熱体の紐の形態を筒状に編まれた紐や、袋織り状の紐にして形成しても良い。これにより、炭素繊維がばらけないで所定の強度を維持したまま、所定の抵抗値を得ることができる炭素系発熱体を用いたヒーターを実現できる。
【００５２】
なお、横糸を織り合わせた部分は強度が高くなるため、湾曲したヒーターにおいては、湾曲部分に横糸を織り合わせると良い。
【００５３】
本発明のヒーターは、暖房機器（例えばストーブ、コタツ、エアコン、赤外線治療器等）、乾燥機器（例えば衣類乾燥・布団乾燥・食品乾燥・生ゴミ処理機・加熱型消臭器等）、調理器（例えばオーブン・オーブンレンジ・オーブントースター・トースター・ロースター・保温器・焼き鳥器・コンロ・冷蔵庫解凍用等）、理容器（例えばドライヤー・パーマネント加熱器等）、シートに文字や画像等を定着する機器（例えばＬＢＰ、ＰＰＣ、ファックスなどトナーを媒体として表示する機器や熱を利用してフィルム原本から被転写体へ熱転写する機器等）等、熱源により非加熱物を加温することを目的とした加熱装置に適用できる。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
本発明の炭素系発熱体は、炭素繊維がばらけないという効果を有し、ヒーター及びそのヒータを有する加熱装置に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の実施の形態１のヒーターの構成を示す図
【図２】本発明の実施の形態１の保持部材の構成を示す図
【図３】本発明の実施の形態２の加熱装置の構成を示す図
【図４】本発明の実施の形態３のヒーターの構成を示す図
【図５】本発明の実施の形態３のヒーターの長手方向の発熱温度分布を示す図
【図６】本発明の実施の形態４のヒーターの構成を示す図
【符号の説明】
【００５６】
１  ガラス管
２、３１、４１、４２、６１  発熱体
３  保持ブロック
４  内部リード線
５  モリブデン箔
６  外部リード線
７  保持部材
３２  加熱装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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