(57)【要約】【課題】機械部品、電気部品などの被洗浄物を良好に洗浄乾燥することができると共に、真空吸引するための設備費を低減でき、洗浄槽の保守点検や清掃作業を容易に行なうことができる洗浄乾燥装置を提供する。【解決手段】洗浄槽１の下部に洗浄液を収容し超音波発振器２９を配置してなる浸漬洗浄室２を設けられ、上部に被洗浄物を出し入れする出入室３が設けられる。被洗浄物を浸漬洗浄室２と出入室３との間で昇降させる昇降装置７が洗浄槽１内に配設される。洗浄槽１の出入室３の側部に真空乾燥室２１が連通して配置される。真空乾燥室２１は連通口１７を真空室シャッター１８により閉鎖可能とされ、内部を真空ポンプ３０により減圧する。洗浄槽１上部の出入室３と真空乾燥室２１との間で被洗浄物を水平移動させる水平移動機構２２が設けられる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被洗浄物を洗浄液中に浸漬させ、洗浄液中に超音波を印加して洗浄し、洗浄後の被洗浄物を真空乾燥室に搬入して乾燥させる洗浄乾燥装置において、
下部に洗浄液を収容し超音波発振器を配置してなる浸漬洗浄室を設けると共に、上部に被洗浄物を出し入れする出入室を設けた洗浄槽と、
該洗浄槽内に配設され該被洗浄物を該浸漬洗浄室と該出入室との間で昇降させる昇降装置と、
該洗浄槽の該出入室の側部に連通して配置され、連通口をシャッターにより閉鎖可能とすると共に、内部を真空ポンプにより減圧する真空乾燥室と、
該洗浄槽上部の出入室と該真空乾燥室との間で被洗浄物を水平移動させる水平移動機構と、
を備えたことを特徴とする洗浄乾燥装置。
【請求項２】
前記被洗浄物は搬送トレイに入れられ、該搬送トレイが前記昇降装置の昇降枠に保持されて昇降し、該被洗浄物を入れた搬送トレイは、前記水平移動機構により出入室と真空乾燥室の間で移送されることを特徴とする請求項１記載の洗浄乾燥装置。
【請求項３】
前記洗浄槽の側部に洗浄液貯留槽を設けると共に、該洗浄槽下部の浸漬洗浄室上の側壁に、該浸漬洗浄室からオーバーフローした洗浄液を該洗浄液貯留槽に送るための連通口が形成され、該洗浄液貯留槽に洗浄液を加温するための加熱器を設け、該洗浄液貯留槽の洗浄液をろ過して該洗浄槽内に戻すための管路、ポンプ、及びフィルタを含む洗浄液循環路が該洗浄槽と洗浄液貯留槽との間に接続されたことを特徴とする請求項１記載の洗浄乾燥装置。
【請求項４】
前記浸漬洗浄室の上方にリンス洗浄部が設けられ、該リンス洗浄部にはリンス洗浄液を噴射するリンスノズル管を配置し、該リンスノズル管は切替弁を介して前記洗浄液循環路に管路接続され、該洗浄液循環路からの洗浄液をリンスノズル管に供給することを特徴とする請求項３記載の洗浄乾燥装置。
【請求項５】
前記リンスノズル管は、前記リンス洗浄部においてリンスノズル移動機構により往復移動可能に配設され、リンス洗浄液を噴射しながら該リンスノズル管が往復移動することを特徴とする請求項４記載の洗浄乾燥装置。                                                                        
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属、合成樹脂等の機械部品或いは電子部品などの被洗浄物を洗浄して油脂類や異物等を除去する洗浄乾燥装置に関し、特に、被洗浄物に対し液中で超音波を印加して超音波洗浄を行なうと共に、洗浄後の被洗浄物を真空室に搬入し、減圧下で乾燥処理を行なう洗浄乾燥装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電子部品、機械部品などの洗浄を行なう洗浄乾燥装置として、下記特許文献１などにおいて、減圧式の洗浄乾燥装置が提案されている。この洗浄乾燥装置は、洗浄槽の下部に洗浄液を入れ超音波振動子により超音波を印加する浸漬洗浄部を設けると共に、被洗浄物をその浸漬洗浄部に浸漬するための昇降装置を洗浄槽内に配設し、密閉可能な洗浄槽内に、真空ポンプに接続された接続管を接続して、洗浄槽内を減圧可能とし、洗浄後に浸漬洗浄部から引き上げた被洗浄物を洗浄槽内の上部で減圧乾燥させる構造である。
【特許文献１】特開平５−２６１３４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、この従来の洗浄乾燥装置は、被洗浄物を減圧乾燥させる際、洗浄液の付着した載置台及び被覆体を真空ポンプで真空吸引して減圧し、多量に付着した洗浄液を吸引乾燥するため、必然的に大容量、高真空度の高い能力を備えた大型の真空ポンプを必要とし、設備費が高くなる不具合があった。
【０００４】
さらに、真空ポンプが多量の洗浄液を真空吸引するため、真空ポンプ内への洗浄液の流入量が増大し、このために、真空ポンプの吐出側に高性能のフィルタや回収装置を装着し、排気からの洗浄液の回収を確実に行なう必要がある。
【０００５】
さらに、上記洗浄乾燥装置は、洗浄槽内に昇降チェーンによる昇降装置が配設されるため、洗浄槽内の構造が複雑化し、これにより、洗浄槽内の保守点検作業が難しく、洗浄槽内の清掃作業も非常に難しいという課題があった。
【０００６】
本発明は、上述の課題を解決するものであり、機械部品、電気部品などの被洗浄物を良好に洗浄乾燥することができると共に、真空吸引するための設備費を低減でき、洗浄槽の保守点検や清掃作業を容易に行なうことができる洗浄乾燥装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る洗浄乾燥装置は、被洗浄物を洗浄液中に浸漬させ、洗浄液中に超音波を印加して洗浄し、洗浄後の被洗浄物を真空乾燥室に搬入して乾燥させる洗浄乾燥装置において、下部に洗浄液を収容し超音波発振器を配置してなる浸漬洗浄室を設けると共に、上部に被洗浄物を出し入れする出入室を設けた洗浄槽と、該洗浄槽内に配設され該被洗浄物を該浸漬洗浄室と該出入室との間で昇降させる昇降装置と、該洗浄槽の該出入室の側部に連通して配置され、連通口をシャッターにより閉鎖可能とすると共に、内部を真空ポンプにより減圧する真空乾燥室と、該洗浄槽上部の出入室と該真空乾燥室との間で被洗浄物を水平移動させる水平移動機構と、を備えたことを特徴とする。
【０００８】
ここで、上記被洗浄物は搬送トレイに入れられ、該搬送トレイが上記昇降装置の昇降枠に保持されて昇降し、該被洗浄物を入れた搬送トレイは、上記水平移動機構により出入室と真空乾燥室の間で移送される構成とすることができる。
【０００９】
また、上記洗浄槽の側部に洗浄液貯留槽を設けると共に、該洗浄槽下部の浸漬洗浄室上の側壁に設けた連通口を通して該浸漬洗浄室からオーバーフローした洗浄液を該洗浄液貯留槽に送る構成とし、該洗浄液貯留槽に洗浄液を加温するための加熱器を設け、該洗浄液貯留槽の洗浄液をろ過して該洗浄槽内に戻すための管路、ポンプ、及びフィルタを含む洗浄液循環路を該洗浄槽と洗浄液貯留槽との間に接続することができる。
【００１０】
さらに、上記洗浄槽下部の上記浸漬洗浄室の上方にリンス洗浄部を設け、該リンス洗浄部にはリンス洗浄液を噴射するリンスノズル管を配置し、該リンスノズル管は切替弁を介して上記洗浄液循環路に管路接続し、洗浄液循環路からの洗浄液をリンスノズル管に供給する構成とすることができる。
【００１１】
さらに、上記リンスノズル管は、上記リンス洗浄部においてリンスノズル移動機構により往復移動可能に配設し、リンス洗浄液を噴射しながら該リンスノズル管が往復移動する構成とすることができる。
【発明の効果】
【００１２】
上記構成の洗浄乾燥装置によれば、洗浄槽内の浸漬洗浄室で被洗浄物を洗浄した後、洗浄槽に接続された真空容器内に被洗浄物を移動させ、真空容器内を真空吸引して減圧し乾燥させるため、真空ポンプは真空容器内の限定された空間内のみを真空吸引すればよく、小型化、低容量化が可能となり、設備費を低減することができる。また、真空ポンプが吸引する洗浄液の量も少なくなり、洗浄液の真空乾燥室への付着量を少なくし、洗浄液を含む気体をろ過して回収するフィルタリング機能も簡単化することができる。さらに、洗浄室と真空乾燥室を分離することにより、洗浄槽内で被洗浄物を昇降させる昇降装置及び真空容器内に被洗浄物を出し入れする水平移動機構を、比較的簡単に構成することができ、洗浄槽内や真空容器内の保守点検や清掃作業を簡便に行なうことができる。
【００１３】
また、被洗浄物を搬送トレイに収容し、搬送トレイを昇降装置の昇降枠に保持して昇降させ、被洗浄物を入れた搬送トレイを、水平移動機構により出入室と真空乾燥室の間で移送される構成とすれば、被洗浄物を安定して安全に昇降させ又は移動させることができ、昇降装置と水平移動機構間で被洗浄物を搬送トレイと共に円滑に移載することができる。
【００１４】
また、洗浄槽の側部に洗浄液貯留槽を設け、浸漬洗浄室上の側壁に設けた連通口を通して浸漬洗浄室からオーバーフローした洗浄液を洗浄液貯留槽に送る構成とし、洗浄液貯留槽に洗浄液を加温するための加熱器を設け、洗浄液貯留槽の洗浄液をろ過して洗浄槽内に戻すための管路、ポンプ、及びフィルタを含む洗浄液循環路を洗浄槽と洗浄液貯留槽との間に接続する構成とすれば、浸漬洗浄室の洗浄液の液面レベルを、超音波洗浄における最適な値に保持することができると共に、洗浄液を清浄な状態に保持することができる。
【００１５】
さらに、浸漬洗浄室の上方にリンス洗浄部を設け、リンス洗浄部にはリンス洗浄液を噴射するリンスノズル管を配置し、リンスノズル管は切替弁を介して洗浄液循環路に管路接続し、洗浄液循環路からの洗浄液をリンスノズル管に供給する構成とすれば、浸漬洗浄後の被洗浄物を効率よく良好にリンス洗浄し、被洗浄物の洗浄度を一層向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。図１は洗浄乾燥装置の断面図を示し、図２は真空容器部分の拡大断面図を、図３は図１のIII-III線断面図を示している。本洗浄乾燥装置は、基本的に、バスケットなどに収容した被洗浄物Wを洗浄液中に浸漬させ、洗浄液中に超音波発振器２９から超音波を印加して超音波洗浄を実施し、洗浄後の被洗浄物を真空容器２０内の真空乾燥室２１に搬入し減圧下で乾燥させる構成である。
【００１７】
さらに、この洗浄乾燥装置は、下部に洗浄液を収容し超音波発振器２９を配置してなる浸漬洗浄室２を設けると共に、上部に被洗浄物を出し入れする出入室３を設けた洗浄槽１と、洗浄槽１内に配設され被洗浄物を浸漬洗浄室２と出入室３との間で昇降させる昇降装置７と、洗浄槽１の出入室３の側部に連通して配置され、連通口１７を真空室シャッター１８により閉鎖可能とすると共に、内部を真空ポンプ３０により減圧する真空乾燥室２１と、洗浄槽１上部の出入室３と真空乾燥室２１との間で被洗浄物を水平移動させる水平移動機構２２と、を備えている。
【００１８】
洗浄槽１は、図１に示すように、その下部に浸漬洗浄室２を設け、浸漬洗浄室２の上方にリンス洗浄部２７を設け、さらに、リンス洗浄部２７の上方に、被洗浄物を出し入れする出入室３を設けて構成される。つまり、洗浄槽１内には、上部に出入室３が形成され、その下部に浸漬洗浄室２が形成され、浸漬洗浄室２と出入室３との間に、洗浄後に濯ぎ洗浄を行なうリンス洗浄部２７が形成される。洗浄槽１の上部の出入室３の側壁に、出入口４が形成され、その出入口４を開閉する出入口シャッター５が配設されている。この出入口シャッター５は上方から下降して出入口４を閉鎖するように構成され、扉用シリンダ（流体圧シリンダ）６が洗浄槽１の側部に下向きに取り付けられ、そのピストンロッド６ａの先端に出入口シャッター５の上部が連結される。この扉用シリンダ６の作動により出入口シャッター５は開閉される。
【００１９】
バスケットなどに入れられた被洗浄物Ｗは、洗浄槽１内で搬送トレイ１０に載置されるが、搬送トレイ１０は、洗浄槽１に配設した昇降装置７の昇降枠９に保持されて昇降する。昇降装置７は、昇降用シリンダ（流体圧シリンダ）８を洗浄槽１の上板上に下向きに取り付け、そのピストンロッド８ａを洗浄槽１内に縦に挿入し、ピストンロッド８ａの下端に昇降枠９を取り付けて構成される。昇降枠９は、図２に示すように、直方体の枠状に形成され、内側底部に搬送トレイ１０を水平摺動可能に載置するための載置部が形成され、載置部の両側には側面ガイドが設けられ、後述の水平移動機構２２により搬送トレイ１０を出入室３内の昇降枠９と真空乾燥室２１との間で、水平摺動させながら、移送するように構成される。
【００２０】
搬送トレイ１０は、図２に示すように、例えば金属棒を縦横に組み合わせてネットトレイ状に形成され、その上にバスケットなどに入れた被洗浄物Ｗを収容可能とし、上記のように、昇降枠９の内側と真空乾燥室２１内と間でスライド移動する。また、搬送トレイ１０の端部（図２の右側端部）に、係合保持部１０ａが設けられる。この係合保持部１０ａは、図２に示すように、平面視で略コ字状に形成され、洗浄槽１内の所定位置に縦に立設された昇降ガイド２５の外側に外嵌されて上下動可能に形成され、且つ水平移動機構２２の水平移動用シリンダ（流体圧シリンダ）２３のピストンロッド２３ａの先端に取着した係合先端部２６に係合可能に形成されている。
【００２１】
すなわち、水平移動用シリンダ２３のピストンロッド２３ａの先端には係合先端部２６が固定され、この係合先端部２６が、図２（ｂ）のように、ピストンロッド２３ａが押し出し作動して、昇降ガイド２５の真上に達した状態で、搬送トレイ１０が真空乾燥室２１の連通口１７（出入室３）に対応した位置に上昇又は下降して停止したとき、係合先端部２６が搬送トレイ１０の端部に固定された係合保持部１０ａ内に入って係合可能に形成される。また、この後、ピストンロッド２３ａが引戻し作動したとき、搬送トレイ１０を真空乾燥室２１まで牽引して移動可能とし、さらにこの後、ピストンロッド２３ａが押し出し作動したとき、係合先端部２６がそこに係合した係合保持部１０ａを押して、搬送トレイ１０を昇降枠９内まで移動可能に形成されている。
【００２２】
出入室３内の下寄りで真空容器２０側に、中間支持ガイド２４ｂが固定され、その中間支持ガイド２４ｂ上を搬送トレイ１０が水平方向（図１の左右方向）にスライド移動可能に支持される。さらに、この中間支持ガイド２４ｂと水平位置の洗浄槽１の側壁に、連通口１７が形成され、その連通口１７の外側に真空容器２０が結合して取着されている。連通口１７には真空室シャッター１８が上下方向に移動して開閉するように取り付けられ、この真空室シャッター１８を開閉する扉用シリンダ（流体圧シリンダ）１９が洗浄槽１の上板上に取り付けられる。扉用シリンダ１９のピストンロッド１９ａは出入室３内に挿入され、その先端が真空室シャッター１８に連結され、扉用シリンダ１９のピストンロッド１９ａの押し出し作動により、真空室シャッター１８が下降して連通口１７を閉鎖する構造である。
【００２３】
真空容器２０内には真空乾燥室２１が形成され、真空乾燥室２１には水平移動ガイド２４ａが取り付けられ、水平移動ガイド２４ａの上に搬送トレイ１０が載置可能となっている。真空容器２０の背面側に水平移動用シリンダ２３がそのピストンロッド２３ａを真空容器２０内の真空乾燥室２１に挿入した形態で取り付けられる。このピストンロッド２３ａの先端の係合先端部２６を搬送トレイ１０の係合保持部１０ａに係合させて、ピストンロッド２３ａを引戻し作動したとき、搬送トレイ１０を真空乾燥室２１内に引き込み、水平移動ガイド２４ａ上に載置する。真空容器２０には、図１に示すように、管路とバルブ３３を介して真空ポンプ３０が接続され、真空ポンプ３０により真空乾燥室２１内を真空吸引する。この真空ポンプ３０は、洗浄槽１内ではなく真空容器２０内のみを真空吸引するため、小型で小容量の真空ポンプを使用することができる。
【００２４】
図３に示すように、洗浄槽１の背面側の側部に突き出すように、洗浄液貯留槽１５が設けられる。洗浄槽１下部の浸漬洗浄室２上の側壁に溢流口となる連通口１５ａが設けられ、この連通口１５ａを通して浸漬洗浄室２からオーバーフローした洗浄液が洗浄液貯留槽１５に送られる。洗浄液貯留槽１５には洗浄液を加温するための加熱器１６が設けられ、洗浄液貯留槽１５の洗浄液をろ過して洗浄槽１内に戻すための管路３５、液用ポンプ３１、及びフィルタ３２を含む洗浄液循環路３６が、洗浄槽１と洗浄液貯留槽１５との間に接続される。洗浄液循環路３６の管路３５には切替弁３４が接続され、洗浄液貯留槽１５の洗浄液は、フィルタ３２によりろ過された後、通常時は浸漬洗浄室２に送られ、リンス洗浄時には、切替弁３４を切り替えることにより、後述のリンスノズル１４ｃに送られ、リンス洗浄に使用される。リンスノズル１４ｃは上記のように、洗浄槽１内の浸漬洗浄室２と出入室３との間に形成されたリンス洗浄部２７上に、移動可能に配設されている。
【００２５】
図６に示すように、洗浄槽１内の中間に位置するリンス洗浄部２７には、リンスノズル管１４ｂが洗浄槽１の外側から水平に移動可能に挿入される。リンスノズル管１４ｂは、洗浄槽１の壁部に貫通して取り付けたスリーブ内に摺動可能に挿通され、さらにその末端近傍がロッドレスシリンダ１４ａに移動部１４ｄに連結される。これにより、リンスノズル管１４ｂはロッドレスシリンダ１４ａの作動によって軸方向に往復移動する。リンスノズル管１４ｂの先端に、リンスノズル１４ｃが取り付けられ、下方の被洗浄物Ｗに向けて洗浄液を吹き付ける。リンスノズル管１４ｂの末端には、可撓性チューブに接続され、可撓性チューブは図３に示す洗浄液の管路３５の切替弁３４に接続される。リンス洗浄時には、切替弁３４をリンス側に切り替えることにより、洗浄液がリンスノズル管１４ｂに送られる。
【００２６】
次に、上記構成の洗浄乾燥装置の動作を説明する。洗浄槽１の浸漬洗浄室２及び洗浄液貯留槽１５内には、炭化水素系洗浄液或いは洗浄水などの洗浄液が貯留される。
【００２７】
洗浄の開始時には、昇降装置７は、図１に示すように、その昇降枠９を洗浄槽１上部の出入室３内の所定位置に停止させた状態となっている。この状態で、出入口シャッター５が扉用シリンダ６の動作によって開放され、開放された出入口４から、被洗浄物Ｗがそのまま或いはバスケットなどに入れられた状態で、出入室３内に搬入され、出入室３に位置する昇降枠９内の搬送トレイ１０上に載置される。出入口シャッター５は閉じられる。
【００２８】
浸漬洗浄室２内の洗浄液は、液用ポンプ３１の動作により連通口１５ａから溢流して洗浄液貯留槽１５に入り、洗浄液貯留槽１５では加熱器１６により洗浄液が加温され、さらに、洗浄液貯留槽１５内の洗浄液はフィルタ３２、切替弁３４を通り浸漬洗浄室２内に戻るように循環している。これにより、浸漬洗浄室２内の洗浄液は最適な液面レベルを保持すると共に、清浄な洗浄液が保持される。
【００２９】
洗浄動作に入ると、先ず、昇降用シリンダ８が動作して、昇降枠９を下降させ、図４のように、昇降枠９が浸漬洗浄室２まで下される。このとき、昇降枠９内の搬送トレイ１０は、その端部の係合保持部１０ａが昇降ガイド２５にガイドされて安定して下降する。そして、昇降枠９に保持された搬送トレイ１０上の被洗浄物Ｗが浸漬洗浄室２の洗浄液中に浸漬され、超音波発振器２９の動作によって超音波を印加された洗浄液内で超音波洗浄が実施され、被洗浄物Ｗは、超音波により生じたキャビテーションにより効果的に洗浄される。
【００３０】
所定時間の超音波浸漬洗浄が終了すると、次に、昇降装置７が動作し、昇降枠９を図６のように洗浄室上方のリンス洗浄部２７の位置まで上昇させる。次に、リンスノズル移動機構１４のロッドレスシリンダ１４ａが動作し、リンスノズル管１４ｂが水平軸方向に往復移動する。この間、切替弁３４がリンス洗浄側に切り替えられ、洗浄液貯留槽１５内の洗浄液がフィルタ３２でろ過された後、リンスノズル管１４ｂに送られ、リンスノズル管１４ｂ先端のリンスノズル１４ｃから下方の被洗浄物Ｗに向けて洗浄液が噴射され、リンス洗浄が行われる。リンスノズル１４ｃは水平軸方向に往復移動しながら洗浄液を噴射するため、被洗浄物Ｗ全体が良好にリンス洗浄される。
【００３１】
所定時間のリンス洗浄が終了すると、リンスノズル管１４ｂが元の引き戻し位置に戻った状態で、昇降装置７が再び動作し、昇降枠９を図１の出入室３の定位置まで上昇させ、停止させる。このとき、昇降枠９内の搬送トレイ１０は、図１のように、その端部の係合保持部１０ａが、昇降ガイド２５から水平移動用シリンダ２３のピストンロッド２３ａ先端の係合先端部２６に移り、そこに係合保持される。
【００３２】
次に、図１の状態から水平移動機構２２の水平移動用シリンダ２３がピストンロッド２３ａを引き戻し動作する。これにより、昇降枠９内の被洗浄物Ｗの搬送トレイ１０が昇降枠９内から引き出され、中間支持ガイド２４ｂ上を通過し、開口している連通口１７から真空容器２０の真空乾燥室２１内に入る。そして、真空乾燥室２１内の水平移動ガイド２４ａに搬送トレイ１０が載置され、搬送トレイ１０上の被洗浄物Ｗは、図５のように、真空乾燥室２１内に収容される。そして、扉用シリンダ１９の動作により真空室シャッター１８が下ろされて、連通口１７が閉鎖され、真空乾燥室２１が密閉状態となる。
【００３３】
この状態で、バルブ３３が開いて真空ポンプ３０が作動し、真空乾燥室２１が真空吸引されて減圧状態となり、搬送トレイ１０上の被洗浄物Ｗはその表面に付着した洗浄液が蒸発して乾燥される。真空乾燥室２１は乾燥処理のみのために限定された大きさに形成され、その室内でのみ真空吸引が行なわれるため、付着して蒸発する洗浄液の量は限定され、効率よく減圧と乾燥処理を行なうことができる。また、真空乾燥室２１内で蒸発する洗浄液の量が少なくなるため、真空ポンプ３０により吸引されフィルタなどの回収装置により回収する洗浄液の量も少量となり、回収装置の構成も簡単化することができる。
【００３４】
所定時間の乾燥処理が終了すると、真空ポンプ３０が停止されてバルブ３３が閉鎖され、扉用シリンダ１９がピストンロッド１９ａを引戻し作動して真空室シャッター１８が上昇して連通口１７が開放される。
【００３５】
次に、水平移動機構２２の水平移動用シリンダ２３がピストンロッド２３ａを押し出し動作すると、真空容器２０の真空乾燥室２１内の水平移動ガイド２４ａ上に載置されていた被洗浄物Ｗの搬送トレイ１０が、水平移動ガイド２４ａから中間支持ガイド２４ｂ上を通過し、洗浄槽１内の出入室３の停止している昇降枠９の側面ガイド９ａ内に進入し停止する。
【００３６】
そして、扉用シリンダ６がピストンロッド６ａを引戻し作動して出入口シャッター５が上昇して出入口４が開放され、洗浄乾燥を終了した被洗浄物Ｗが搬送トレイ１０上から取り出される。
【００３７】
このように、洗浄槽１内の浸漬洗浄室２で被洗浄物Ｗを洗浄した後、洗浄槽１に側部に連通接続された真空容器２０内に被洗浄物Ｗを移動させ、真空容器２０内を真空吸引して減圧し乾燥させるため、真空ポンプ３０は真空容器２０内の限定された空間内のみを真空吸引すればよく、小型化、低容量化が可能となり、設備費を低減することができる。
【００３８】
また、真空ポンプ３０が吸引する洗浄液の量も少なくなり、洗浄液の真空乾燥室への付着量を少なくし、洗浄液を含む気体をろ過して洗浄液を回収するフィルタリング構成も簡単化することができる。さらに、洗浄槽１と真空乾燥室２１を分離することにより、洗浄槽１内で被洗浄物を昇降させる昇降装置７及び真空容器２０内に被洗浄物Ｗを出し入れする水平移動機構２２を、比較的簡単に構成することができ、洗浄槽１内や真空容器２０内の保守点検や清掃作業を簡便に行なうことができる。
【００３９】
また、被洗浄物Ｗを搬送トレイ１０に収容し、搬送トレイ１０を昇降装置７の昇降枠９に保持して昇降させ、被洗浄物Ｗを保持した搬送トレイ１０を、水平移動機構２２により出入室３と真空乾燥室２１の間で移送するため、被洗浄物Ｗを安定して安全に昇降させ又は移動させることができ、昇降装置７と水平移動機構２２間で被洗浄物Ｗを搬送トレイ１０と共に円滑に移載することができる。
【００４０】
さらに、洗浄槽１の側部に洗浄液貯留槽１５を設け、浸漬洗浄室２上の側壁に設けた連通口１５ａを通して浸漬洗浄室２からオーバーフローした洗浄液を洗浄液貯留槽１５に送り、洗浄液貯留槽１５に洗浄液を加温するための加熱器１６を設け、洗浄液貯留槽１５の洗浄液をろ過して洗浄槽内に戻すための管路３５、液用ポンプ３１、及びフィルタ３２を含む洗浄液循環路３６を洗浄槽１と洗浄液貯留槽１５間に接続するため、浸漬洗浄室２の洗浄液の液面レベルを、超音波洗浄における最適な値に保ち、洗浄液を清浄な状態に保持することができる。
【００４１】
さらに、洗浄槽１内の浸漬洗浄室２の上方にリンス洗浄部２７を設け、リンス洗浄部２７にはリンス洗浄液を噴射するリンスノズル管１４ｂを配置し、リンスノズル管１４ｂは切替弁３４を介して洗浄液循環路３６に管路接続し、洗浄液循環路３６からの洗浄液をリンスノズル管１４ｂに供給するため、浸漬洗浄後の被洗浄物を効率よく良好にリンス洗浄し、被洗浄物の洗浄度を一層向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の一実施形態を示す洗浄乾燥装置の構成を示す断面図である。
【図２】（ａ）は真空容器部分の拡大断面図、（ｂ）は同真空容器部分の平面断面図である。
【図３】図１のIII-III断面図である。
【図４】搬送トレイと被洗浄物を浸漬洗浄室に浸漬した状態の断面図である。
【図５】搬送トレイと被洗浄物を真空搬送室に搬入した状態の断面図である。
【図６】リンス洗浄時の洗浄乾燥装置の断面図である。
【符号の説明】
【００４３】
１      洗浄槽
２      浸漬洗浄室
３      出入室
７      昇降装置
９      昇降枠
１０    搬送トレイ
１４    リンスノズル移動機構
１４ｂ  リンスノズル管
１５    洗浄液貯留槽
２０    真空容器
２１    真空乾燥室
２２    水平移動機構
２５    昇降ガイド
２６    係合先端部
２７    リンス洗浄部
２９    超音波発振器
３０    真空ポンプ
３４    切替弁
３５    管路
【図１】
2008142637.tif 000003
【図２】
2008142637.tif 000004
【図３】
2008142637.tif 000005
【図４】
2008142637.tif 000006
【図５】
2008142637.tif 000007
【図６】
2008142637.tif 000008