(57)【要約】【課題】キャリアテープポケットに挿入された半導体製品の外観検査を行い、不良品が発見された場合に、効率よく良品と交換することが可能で、稼働率の高いテーピング装置及びその制御方法を提供する。【解決手段】キャリアテープＴを搭載し、このキャリアテープＴを間欠的に移送するキャリアテープ駆動機構１と、メインテーブルに備え付けられ半導体製品をテーピング装置上に運ぶ保持機構２とを備える。テーピング装置は、また、ポケット内に収容される半導体製品Ｗの外観を撮像し、キャリアテープに収容する方向の不良や外観不良を検知する外観検査部３と、外観不良の半導体製品Ｗを吸着することによってポケットから排出する排出機構４とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャリアテープを保持し電子部品をキャリアテープに設けられたポケットに収容して当該キャリアテープを間欠的に移送するキャリアテープ駆動部と、前記キャリアテープの電子部品収容位置に電子部品を保持して移送し当該収容位置にあるポケットに電子部品を挿入する保持部とを制御して電子部品を前記ポケットに順次収容して梱包するテーピング装置において、
前記ポケットに収容された電子部品の不良を撮像して検知する外観検査部と、
前記外観検査部により不良と判定された電子部品を、前記収容位置からポケット一つ分下流側の排出位置にて、前記ポケットから排出する不良品排出部とを備え、
前記キャリアテープ駆動部は、前記不良品排出部が前記ポケットから電子部品を排出した後、前記排出位置にある空のポケットを前記収容位置まで戻すことを特徴とするテーピング装置。
【請求項２】
キャリアテープを保持し電子部品をキャリアテープに設けられたポケットに収容して当該キャリアテープを間欠的に移送するキャリアテープ駆動部と、前記キャリアテープの電子部品収容位置に電子部品を保持して移送し当該収容位置にあるポケットに電子部品を挿入する保持部とを制御して電子部品を前記ポケットに順次収容して梱包するテーピング装置において、
前記ポケットに収容された電子部品の不良を撮像して検知する外観検査部と、
前記外観検査部により不良と判定された電子部品を、排出位置にて前記ポケットから排出する不良品排出部とを備え、
前記収容位置と前記排出位置とは共通であり、
前記保持部と前記不良品排出部とは共通に設けられ、
前記キャリアテープ駆動部は、外観検査部において電子部品の不良が検知された場合に、前記キャリアテープを移送して、前記外観検査位置にあるポケットを前記収容排出位置まで戻すことを特徴とするテーピング装置。
【請求項３】
前記キャリアテープ上の前記外観検査部により撮像する位置は、ガラスカバーにより覆われ、このガラスカバーは前記キャリアテープ上をスライド移動可能に設けられ、
前記不良品排出部は、前記ガラスカバーをスライド移動させるレバーを備え、このレバーにより開いた状態で前記ポケットから電子部品を排出することを特徴とする請求項１記載のテーピング装置。
【請求項４】
キャリアテープを保持し電子部品をキャリアテープに設けられたポケットに収容して当該キャリアテープを間欠的に移送するキャリアテープ駆動部と、前記キャリアテープの電子部品収容位置に電子部品を保持して移送し当該収容位置にあるポケットに電子部品を挿入する保持部とを制御して電子部品を前記ポケットに順次収容して梱包するテーピング装置の制御方法において、
前記ポケットに収容された電子部品の不良を撮像して検知する外観検査部により電子部品の外観検査を行う外観検査ステップと、
前記外観検査ステップにおいて不良と判定された電子部品を、不良品排出部により前記収容位置からポケット一つ分下流側の排出位置にて前記ポケットから吸着排出する不良品排出ステップと、
前記キャリアテープ駆動部により、前記不良品排出部が前記ポケットから電子部品を排出した後、前記排出位置にある空のポケットを前記収容位置まで戻すステップとを含むことを特徴とするテーピング装置の制御方法。
【請求項５】
キャリアテープを保持し電子部品をキャリアテープに設けられたポケットに収容して当該キャリアテープを間欠的に移送するキャリアテープ駆動部と、前記キャリアテープの電子部品収容位置に電子部品を保持して移送し当該収容位置にあるポケットに電子部品を挿入する保持部とを制御して電子部品を前記ポケットに順次収容して梱包するテーピング装置の制御方法において、
前記ポケットに収容された電子部品の不良を撮像して検知する外観検査部により電子部品の外観検査を行う外観検査ステップと、
前記外観検査ステップにおいて不良と判定された電子部品を、不良品排出部により排出位置にて前記ポケットから吸着排出する不良品排出ステップと、
前記収容位置と前記排出位置とは共通であり、
前記保持部と前記不良品排出部とは共通に設けられ、
前記キャリアテープ駆動部により、外観検査部において電子部品の不良が検知された場合に、前記キャリアテープを移送して、前記外観検査位置にあるポケットを前記収容排出位置まで戻すステップとを含むことを特徴とするテーピング装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、小型半導体製品等の電子部品をキャリアテープのポケットに挿入し、シールで封止するためのテーピング装置及びその制御方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子部品の製造工程においては、製品を検査しながら搬送するための装置が不可欠である。例えば、ダイオードなどのディスクリート半導体や、小ピンのＩＣなどの小型半導体製品の製造工程においては、製品を検査しながら搬送するための装置として、テストハンドラーが用いられる。最も一般的なテストハンドラーは、製品の電気特性のテストを行うテスト装置、製品表面へのマーキングを行うマーキング装置、製品をキャリアテープなどへ収容してパッキングを行うテーピング装置を備え、ターンテーブル等の搬送部により、各装置に対して電子部品を搬送しながら、各工程の処理を実行するものである。
【０００３】
上述のようにテーピング装置の一部を構成するテーピング装置においては、キャリアテープに収容された半導体製品が、正しい方向で収容されているか、収容された半導体製品に形状欠陥や異物の混入がないか、などの外観検査を行い、この外観検査において不良と判定された半導体製品はキャリアテープから取り除かれる。キャリアテープには多数の半導体製品を収容するが、そのなかに一つでも不良品が混入している場合には、キャリアテープ全体を廃棄しなければならないため、この外観検査による不良品の排出は非常に重要な工程である。
【０００４】
キャリアテープ内の不良品は、作業者による目視又はキャリアテープ近傍に設けたカメラによって判別し、不良品が発見された場合には、製造装置を一旦停止し、作業者が手作業で良品との入替えを行うか、又は、機械的に打ち抜くことにより自動的に切除することとしていた（特許文献１）。
【特許文献１】特開２００３−１６５５０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、不良品が発見された場合に、製造装置を停止しての良品との交換作業は、上記のように各工程を備えたテストハンドラー全体を停止させることとなり、生産性の低下につながっていた。また、近年の半導体製品の微小化により、作業者が手作業で半導体製品の交換を行うのは非常に難しく、却って製品を傷つけてしまうなど、課題があった。
【０００６】
また、特許文献１のように機械的に打ち抜く手法では、製造装置を止めることなく処理を続けることはできるが、キャリアテープの打ち抜きにより、テープのところどころ製品の収容されていない箇所が生じてしまっていた。
【０００７】
本発明は、上記のような従来技術の問題点を解決するために提案されたものであり、その目的は、キャリアテープポケットに挿入された半導体製品の外観検査を行い、不良品が発見された場合に、効率よく良品と交換することが可能なテーピング装置及びその制御方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的を達成するため、請求項１の発明は、キャリアテープを保持し電子部品をキャリアテープに設けられたポケットに収容して当該キャリアテープを間欠的に移送するキャリアテープ駆動部と、前記キャリアテープの電子部品収容位置に電子部品を保持して移送し当該収容位置にあるポケットに電子部品を挿入する保持部とを制御して電子部品を前記ポケットに順次収容して梱包するテーピング装置において、前記ポケットに収容された電子部品の不良を撮像して検知する外観検査部と、前記外観検査部により不良と判定された電子部品を、前記収容位置からポケット一つ分下流側の排出位置にて、前記ポケットから排出する不良品排出部とを備え、前記キャリアテープ駆動部は、前記不良品排出部が前記ポケットから電子部品を排出した後、前記排出位置にある空のポケットを前記収容位置まで戻すことを特徴とする。
【０００９】
請求項４の発明は、請求項１の発明を方法という見方から捉えたもので、キャリアテープを保持し電子部品をキャリアテープに設けられたポケットに収容して当該キャリアテープを間欠的に移送するキャリアテープ駆動部と、前記キャリアテープの電子部品収容位置に電子部品を保持して移送し当該収容位置にあるポケットに電子部品を挿入する保持部とを制御して電子部品を前記ポケットに順次収容して梱包するテーピング装置の制御方法において、前記ポケットに収容された電子部品の不良を撮像して検知する外観検査部により電子部品の外観検査を行う外観検査ステップと、前記外観検査ステップにおいて不良と判定された電子部品を、不良品排出部により前記収容位置からポケット一つ分下流側の排出位置にて前記ポケットから吸着排出する不良品排出ステップと、前記キャリアテープ駆動部により、前記不良品排出部が前記ポケットから電子部品を排出した後、前記排出位置にある空のポケットを前記収容位置まで戻すステップとを含むことを特徴とする。
【００１０】
以上のような請求項１，４の発明では、キャリアテープ内の電子部品に外観不良等が発見された場合に、これを外観検査部により自動的に検出し、当該不良品を排出部により吸着保持して排出することができるので、従来のように製造装置を停止して良品と交換する必要がなく、生産性に優れる。また、微小な電子部品を作業者が手作業で電子部品の交換を行う必要がなく、高品質な製品の提供が可能である。
【００１１】
また、排出部により、排出位置から不良の電子部品を排出した後、排出したポケット１つ分キャリアテープを戻すため、不良品と良品の入れ替えを自動で行うことができるので、従来のように不良品部分を打ち抜くことにより不良品を排出した場合と異なり、不良品の排出によりキャリアテープのポケットに空きが生じるようなことがない。
【００１２】
請求項２の発明は、キャリアテープを保持し電子部品をキャリアテープに設けられたポケットに収容して当該キャリアテープを間欠的に移送するキャリアテープ駆動部と、前記キャリアテープの電子部品収容位置に電子部品を保持して移送し当該収容位置にあるポケットに電子部品を挿入する保持部とを制御して電子部品を前記ポケットに順次収容して梱包するテーピング装置において、前記ポケットに収容された電子部品の不良を撮像して検知する外観検査部と、前記外観検査部により不良と判定された電子部品を、排出位置にて前記ポケットから排出する不良品排出部とを備え、前記収容位置と前記排出位置とは共通であり、前記保持部と前記不良品排出部とは共通に設けられ、前記キャリアテープ駆動部は、外観検査部において電子部品の不良が検知された場合に、前記キャリアテープを移送して、前記外観検査位置にあるポケットを前記収容排出位置まで戻すことを特徴とする。
【００１３】
請求項５の発明は、請求項２の発明を方法という見方から捉えたもので、キャリアテープを保持し電子部品をキャリアテープに設けられたポケットに収容して当該キャリアテープを間欠的に移送するキャリアテープ駆動部と、前記キャリアテープの電子部品収容位置に電子部品を保持して移送し当該収容位置にあるポケットに電子部品を挿入する保持部とを制御して電子部品を前記ポケットに順次収容して梱包するテーピング装置の制御方法において、前記ポケットに収容された電子部品の不良を撮像して検知する外観検査部により電子部品の外観検査を行う外観検査ステップと、前記外観検査ステップにおいて不良と判定された電子部品を、不良品排出部により排出位置にて前記ポケットから吸着排出する不良品排出ステップと、前記収容位置と前記排出位置とは共通であり、前記保持部と前記不良品排出部とは共通に設けられ、前記キャリアテープ駆動部により、外観検査部において電子部品の不良が検知された場合に、前記キャリアテープを移送して、前記外観検査位置にあるポケットを前記収容排出位置まで戻すステップとを含むことを特徴とする。
【００１４】
以上のような請求項２，５の発明では、請求項１，４の発明の効果に加えて、排出部と保持部とを共通にすることができ、これにより装置構成の簡潔化を図ることが可能となる。
【００１５】
請求項３の発明は、請求項１又は２記載の発明において、前記キャリアテープ上の前記外観検査部により撮像する位置は、ガラスカバーにより覆われ、このガラスカバーは前記キャリアテープ上をスライド移動可能に設けられ、前記不良品排出部は、前記ガラスカバーをスライド移動させるレバーを備え、このレバーにより開いた状態で前記ポケットから電子部品を排出することを特徴とする。
【００１６】
以上のような請求項３の発明では、排出位置がガラスカバーで覆われていることにより、外観検査部の撮像を妨げるような光の反射を防ぐことができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、キャリアテープポケットに挿入された半導体製品の外観検査を行い、不良品が発見された場合に、効率よく良品と交換することが可能で、稼働率の高いテーピング装置及びその制御方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
次に、本発明を実施するための最良の形態を、図１乃至図３を参照して説明する。
【００１９】
（１）本発明の実施形態
［実施形態の構成］
本実施形態のテーピング装置は、図１に示すように、キャリアテープＴを搭載し、このキャリアテープＴを間欠的に移送するキャリアテープ駆動機構１と、メインテーブル（図示せず）に備え付けられ半導体製品をテーピング装置上に運ぶ保持機構２とを備える。
【００２０】
テーピング装置は、また、ポケット内に収容される半導体製品Ｗの外観を撮像し、キャリアテープに収容する方向の不良や外観不良を検知する外観検査部３と、外観不良の半導体製品Ｗを吸着することによってポケットから排出する排出機構４とを備える。
【００２１】
キャリアテープ駆動機構１は、キャリアテープＴの図示しないエンボス穴に突起を引っ掛けて搬送させるスプロケット１１と、スプロケット１１を回転駆動させるモータ１２とと、このキャリアテープＴを水平上に搬送する搬送路１３とを備える。この搬送路１３の下流には、キャリアテープＴの表面に貼着するシールＳとそのシールＳをキャリアテープＴ上にガイドするシール用コテ１６とを備える。
【００２２】
また、キャリアテープ駆動機構１は、図２の平面図に示すように、外観検査部３によりポケット内から外観不良の製品が発見された場合に、その全体を排出機構４と同一軸線上に平行移動させる機構を備えている。
【００２３】
キャリアテープ駆動機構１のキャリアテープＴ上には、テープカバー１４とガラスカバー１５とが設けられている。このガラスカバー１５は、テープカバー１４に対してテープカバー１４に対してスライド移動可能に設けられ、先端方向に向かって付勢されている。ガラスカバー１５は、保持機構２が半導体製品Ｗを挿入する収容位置Ｐよりもポケット一つ分下流の位置Ｑを覆うように設けられており、テープカバー１４は、位置Ｑよりさらに下流側を覆うようになっている。
【００２４】
保持機構２は、上下方向すなわちＺ軸方向に駆動して半導体製品Ｗを吸着する吸着ノズル２１を備え、真空吸着により半導体製品Ｗを吸着又は吸着解除を行うものであって、メインテーブルＭの回転に伴ってキャリアテープＴの半導体製品収容位置Ｐに半導体製品Ｗを運び当該位置Ｐにあるポケットに半導体製品Ｗを挿入するものである。なお、このメインテーブルＭは、図２の平面図に表されるように、その円周等配位置において、半導体製品Ｗに対して電気測定検査工程、方向判別工程、捺印工程等の各種処理工程を施すものである。
【００２５】
外観検査部３は、収容位置よりもキャリアテープのポケット１個分下流側の検査排出位置Ｑにおいてカメラ等の撮像手段により、ポケットに収容された半導体製品Ｗの外観を撮像し、ポケットに収容された半導体製品Ｗの方向が正しいかあるいは半導体製品Ｗの外観不良が発生していないかを判定する手段である。
【００２６】
排出機構４は、上下方向すなわちＺ軸方向に駆動する排出用の吸着ノズル４１を備え、これによりポケット内に収容された半導体製品Ｗを真空吸着によって保持して、ポケット内から排出するものである。排出機構４は、図２（ａ）に示すように、キャリアテープＴを搭載したキャリアテープ駆動機構１の通常の位置とは、離間した位置に配置されている。具体的には、キャリアテープＴの搬送方向Ｘ線上と平行な位置Ｙ線上に設けられ、図２（ｂ）に示すように、外観検査部３において不良品が発見された場合にキャリアテープ駆動機構１がこれを平行移動させる機構によりテープＴの搬送方向Ｘ線上と平行な位置Ｙ線上上に移動し、これに応じて、Ｙ線上の離間した位置に設けられた排出機構４がＹ線上をキャリアテープ駆動機構１の検査排出位置Ｑ上に移動するようになっている。
【００２７】
ここで、排出機構４には、図３に示すように、ガラスカバー１５をテープカバー１４側に押し開くためのレバー４２を備える。このレバー４２は、排出用吸着ノズル４１とは独立して取り付けられており、上述のように、排出機構４がＹ軸上をキャリアテープ駆動機構１側に移動する際に、検査排出位置を覆うガラスカバー１５を押し開けるようになっている。
【００２８】
［実施形態の作用効果］
以上のような構成を有する本実施形態の作用について、図を参照して説明する。
【００２９】
電気特性検査工程、マーキング工程等の各工程処理を終えた電子部品が、メインテーブルＭに設けられた保持機構２によって搬送されながら、本テーピング装置へ搬送されてくる。
【００３０】
図４に本テーピング装置の動作を説明する。図４（ａ）に示すように、メインテーブルＭに設けられた保持機構２の吸着ノズル２１は、半導体製品Ｗ４を保持したまま、収容位置Ｐにて下降し、同図（ｂ）に示すように、キャリアテープＴのポケットに収容し、同図（ｃ）に示すように上昇する。
【００３１】
この間、外観検査部３は、検査排出位置Ｑを通過する半導体製品Ｗの外観検査を行い、方向違い等の外観不良の有無を検知する。なお、この際、検査排出位置Ｑがガラスカバー１５で覆われていることにより、外観検査部３の撮像を妨げるような光の反射を防ぐことができる。
【００３２】
外観検査部３において、半導体製品Ｗの外観不良が検出されると、キャリアテープ駆動機構１はキャリアテープの送りを停止し、図２（ｂ）に示すように、キャリアテープ駆動機構１全体を排出機構４と同一軸線上が設けられた位置に平行移動させる。
【００３３】
次に、図２（ｂ）又は図４（ｄ）に示すように、排出機構４がＹ軸上をキャリアテープ駆動機構１の方向に移動し、検査排出位置Ｑ上で停止する。このとき、排出機構４に設けられたレバー４２が、この排出機構４のＹ軸上における移動にともなって、キャリアテープＴ上のガラスカバー１５をテープカバー１４側に押し開く。
【００３４】
この状態で、図４（ｅ）に示すように、排出用の吸着ノズル４１が下降し、同図（ｆ）に示すように半導体製品Ｗ４を吸着保持して上昇し、ポケットから半導体製品Ｗ４を排出する。同時に、外観検査部３は、当該ポケットから半導体製品Ｗ４が排出されたか否かの確認を行う。
【００３５】
排出機構４は、Ｙ軸上を元の位置に向けて移動し、元の位置において保持した半導体製品Ｗ４の吸着を解除し、元の位置に設置された排出ボックス等に当該製品を排出する。排出機構４が元の位置に移動すると、排出機構４のガラスカバー１５は、図４（ｇ）に示すように、付勢されて検査排出位置Ｑを覆う位置に戻る。
【００３６】
同時に、キャリアテープ駆動機構１は、図２（ａ）に示すように、Ｙ軸上からＸ軸上に平行移動する。そして、図４（ｈ）に示すように、モータ１２がスプロケット１１を回転駆動させ、キャリアテープＴを搬送方向と逆方向にポケット１つ分戻す。
【００３７】
このように、本実施形態のテーピング装置は、通常は、図４（ａ）〜（ｃ）に示した動作を繰り返しているが、外観検査部３において検査排出位置Ｑに搬送されてくるポケット内に収容された半導体製品Ｗの外観検査を行い外観不良等が検出された場合には、図４（ｄ）〜（ｈ）の処理を行い、外観不良の製品をキャリアテープＴのポケット内から排出するようになっている。
【００３８】
以上のような本実施形態のテーピング装置では、キャリアテープ内の半導体製品に外観不良等が発見された場合に、外観検査部により半導体製品の外観の不良を自動的に検出し、当該不良品を排出機構４により吸着保持して排出し、さらにキャリアテープをポケット１つ分戻すことにより、そのまま良品とすることが可能であるので、従来のように製造装置を停止して良品と交換する必要がなく、生産性に優れる。また、微小な半導体製品を作業者が手作業で半導体製品の交換を行う必要がなく、高品質な製品の提供が可能である。
【００３９】
また、排出機構４により、検査排出位置Ｑから不良の半導体製品を排出した後、排出したポケット１つ分キャリアテープを戻すため、従来のように不良品部分を打ち抜くことにより不良品を排出した場合と異なり、不良品の排出によりキャリアテープＴのポケットに空きが生じるようなことがない。
【００４０】
（２）他の実施形態
本発明は、上記の実施形態に例示した態様のみならず、以下の態様も含むものである。例えば、キャリアテープ上に設けられたガラスカバーは必須の構成要素ではなく、これを設けなくても本発明の作用効果を奏することは可能である。
【００４１】
また、本発明は、排出機構４と保持機構２とを共通にすることも可能である。すなわち、メインテーブルＭに設けられた吸着ノズル２１によって、外観不良と判定された半導体製品Ｗを排出することも可能である。この場合は、上記実施形態において、排出機構４の構成として設けられていた排出用の吸着ノズル４１やレバー４２は設ける必要ない。また、不良品排出時にキャリアテープ駆動機構１を移動させる機構も不要となる。
【００４２】
この場合、図５に示すように、半導体製品Ｗの収容位置と排出位置とはメインテーブルＭに設けられた吸着ノズル２１の直下において共通であり、外観検査位置はこの収容排出位置よりポケット一つ分下流に設けられている。
【００４３】
次のこの態様の処理をフローチャートに示すと、図６（ａ）及び（ｂ）に示すように次の２通りが可能である。まず、図６（ａ）において、収容位置Ｐにおいて吸着ノズル２１からの半導体製品Ｗ４の収容が完了した状態において、外観検査部３において半導体製品Ｗ３の外観検査を行い（Ｓ６０１）、外観に不良があるか否かを検出する（Ｓ６０２）。外観不良がない場合には（ＮＯ）、キャリアテープ駆動機構１は、キャリアテープを進め次のポケットに吸着ノズル２１からの新たな半導体製品Ｗ５の収容を許可して（Ｓ６０３）、Ｓ６０１へ戻る。
【００４４】
一方、外観不良が検出された場合には（Ｓ６０２のＹＥＳ）、キャリアテープ駆動機構１はキャリアテープをポケット１つ分戻し（Ｓ６０４）、外観不良のある半導体製品Ｗ３が収容位置Ｐに位置する。このとき、吸着ノズル２１が下降し当該不良のある半導体製品Ｗ３を排出する（Ｓ６０５）。より具体的には、メインテーブルＭが回転することにより、メインテーブルＭ上の次のポジションにおいて、吸着解除することにより、不良品排出部に対して排出する。
【００４５】
次に、キャリアテープ駆動機構１は、キャリアテープを進め、この半導体製品Ｗ３の収容されていたポケットを検査排出位置Ｑに送り（Ｓ６０６）、このポケットに半導体製品が残存していないことを確認する（Ｓ６０７）。そして、キャリアテープ駆動機構１はキャリアテープをポケット１つ分戻し（Ｓ６０８）、収容位置Ｐにおいて吸着ノズル２１が下降して半導体製品Ｗを収容し（Ｓ６０９）、Ｓ６０１へ戻る。
【００４６】
一方、図６（ｂ）に示す処理は、上記図６（ａ）に示す処理の高速化を図ったものであり、メインテーブルＭの回転をキャリアテープにおける外観検査を待たずに行うものである。すなわち、収容位置Ｐにおいて吸着ノズル２１からの半導体製品Ｗ４の収容が完了した状態において、外観検査部３において半導体製品Ｗ３の外観検査を行い（Ｓ６１１）、外観に不良があるか否かを検出する（Ｓ６１２）。外観不良がない場合には（ＮＯ）、キャリアテープ駆動機構１は、キャリアテープを進め次のポケットに吸着ノズル２１からの新たな半導体製品Ｗ５の収容を許可して（Ｓ６１３）、Ｓ６１１へ戻る。
【００４７】
一方、外観不良が検出された場合には（Ｓ６１２のＹＥＳ）、メインテーブルＭを逆回転させて、吸着ノズル一つ分戻させる（Ｓ６１４）。次に、キャリアテープ駆動機構１はキャリアテープＴをポケット１つ分戻す（Ｓ６１５）。、外観不良のある半導体製品Ｗ３が収容位置Ｐに位置する。このとき、吸着ノズル２１が下降し当該不良のある半導体製品Ｗ３をピックアップする（Ｓ６１６）。
【００４８】
次に、キャリアテープ駆動機構１は、キャリアテープを進め、この半導体製品Ｗ３の収容されていたポケットを検査排出位置Ｑに送り（Ｓ６１７）、このポケットに半導体製品が残存していないことを確認する（Ｓ６１８）。この間にメインテーブルＭを吸着ノズル１つ分回転させ（Ｓ６１９）、吸着ノズル２１に保持した不良の半導体製品Ｗ４を不良品排出部に排出する（Ｓ６２０）。そして、キャリアテープ駆動機構１はキャリアテープをポケット１つ分戻し（Ｓ６１８）、収容位置Ｐにおいて吸着ノズル２１が下降して半導体製品Ｗを収容し（Ｓ６１９）、Ｓ６１１へ戻る。
【００４９】
このように、本発明は、排出機構４と保持機構２とを共通にすることができ、これにより装置構成の簡潔化を図ることが可能となる。
【００５０】
また、上記実施形態においは、図２に示したように、排出機構４は、キャリアテープＴの搬送方向Ｘ線上と平行な位置Ｙ線上上に設け、図２（ｂ）に示すように、外観検査部３において不良品が発見された場合にキャリアテープ駆動機構１がこれを平行移動させる機構によりテープＴの搬送方向Ｘと平行な位置Ｙ上に移動し、これに応じて、Ｙ軸上の離間した位置に設けられた排出機構４がＹ軸上をキャリアテープ駆動機構１の検査排出位置Ｑ上に移動するようにしたが、本発明はこのような態様に限らず、例えば、図７（ａ）及び（ｂ）に示すように、キャリアテープ駆動機構１の検査排出位置Ｑまで排出機構４が移動するように構成することも可能である。
【００５１】
このように、排出機構４は、外観検査部３において不良品が発見された際に、キャリアテープ駆動機構１の検査排出位置Ｑ上に位置するように構成すれば、その具体的な態様はいかなるものも採用可能であり、本発明の実施形態のようにキャリアテープ駆動機構１と排出機構４との双方を移動させるようにしてもよいし、一方のみを移動させることにより実現することも可能である。
【００５２】
ただし、上記実施形態で示した態様が最良であるといえるのは、キャリアテープ駆動機構において、構造的に前後方向、すなわちテープ送り方向と直角方向の方向への駆動軸が１軸追加されるため、この機構を利用することでテープポケットの前後位置を補正することが可能となることにある。この場合、前後方向の移動はサーボ駆動しており位置決め精度も高く、半導体製品をカメラで位置認識し、ポケット位置を補正し確実に収納するといったことができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の実施形態におけるテーピング装置の全体構成を示す側面図。
【図２】本発明の実施形態におけるテーピング装置の全体構成を示す平面図。
【図３】本発明の実施形態における排出機構の構成を示す側面図。
【図４】本発明の実施形態におけるテーピング装置の作用を示す模式図。
【図５】本発明の他の実施形態におけるテーピング装置の構成を示す側面図。
【図６】本発明の他の実施形態におけるテーピング装置の作用を示すフローチャート。
【図７】本発明の他の実施形態におけるテーピング装置の全体構成を示す平面図。
【符号の説明】
【００５４】
１…キャリアテープ駆動機構
２…保持機構
３…外観検査部
４…排出機構
１１…スプロケット
１２…モータ
１３…搬送路
１４…テープカバー
１５…ガラスカバー
１６…シール用コテ
２１…吸着ノズル
４１…排出用吸着ノズル
４２…レバー
Ｍ…メインテーブル
Ｐ…収容位置
Ｐ…半導体製品収容位置
Ｑ…検査排出位置
Ｓ…シール
Ｔ…キャリアテープ
Ｗ…半導体製品
【図１】
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【図２】
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【図３】
2008285179.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
2008285179.tif 000008
【図７】
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