(57)【要約】【課題】微細な粒子径を有する液滴を効果的に捕獲して蒸発させることができる蒸気発生装置を得る。【解決手段】蒸気発生装置１０は、液体を気化するための蒸気発生部１８を含む蒸気発生器１２と、蒸気発生部１２の下流側の蒸気流路３６を複数の多数の隔壁３４にて多数の流路に区画する蒸気トラップ３０と、蒸気トラップ３０の表面温度を液滴がライデンフロスト現象を生じる下限温度以上に保つための温度制御部３８と、を備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を気化するための蒸気発生部と、
前記蒸気発生部の下流側の蒸気流路を複数の流路に区画する流路区画体と、
前記流路区画体の表面温度を、前記液体の液滴がライデンフロスト現象を生じる下限温度以上に保つための温度制御手段と、
を備えた蒸気発生装置。
【請求項２】
前記流路区画体は、該流路区画体が区画した上記流路の代表直径を該流路区画体よりも上流側が飛翔する前記液滴の直径以下となるように配置されている請求項１記載の蒸気発生装置。
【請求項３】
前記蒸気発生部は、微細な代表直径を有する流路の周壁を加熱することで、該流路に供給された液体を気化するようになっており、
前記流路区画体は、該流路区画体が区画した上記流路の代表直径を前記蒸気発生部における流路の代表直径以下とするように配置されている請求項１又は請求項２記載の蒸気発生装置。
【請求項４】
前記流路区画体が区画する流路は、重力方向の上側から蒸気が流入されるように配置されている請求項１乃至請求項３の何れか１項記載の蒸気発生装置。
【請求項５】
前記蒸気発生部は、供給された水を気化するようになっており、
前記温度制御手段は、前記流路区画体の表面温度を１６０℃以上に保つようになっている請求項１乃至請求項４の何れか１項記載の蒸気発生装置。
【請求項６】
前記温度制御手段は、前記流路区画体の表面温度をライデンフロスト温度以下に保つようになっている請求項１乃至請求項５の何れか１項記載の蒸気発生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を気化して蒸気を発生するための蒸気発生装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
蒸発部とスーパヒート部とをジャバラパイプより成るＵターン部にて連通すると共に、該Ｕターン部内に液滴の移動を抑制するガイドを配設した改質器が知られている（例えば、特許文献１参照）。この技術では、蒸発部からスーパヒート部へ向けて飛翔する液滴を、ガイドにてＵターン部（ジャバラパイプ）の下壁面に落下させ、該Ｕターン部の下壁面のジャバラ凹部に接触させて効果的に蒸発させるようになっている。
【特許文献１】特開２００４−２２４６２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、蒸発特性、熱交換効率の向上の要求から微細な代表直径を有する多数の流路を有する蒸発器が開発されてきている。このような微細流路を通過した液滴は、その粒子径が小さく蒸気流れに対する追従性が高いため、上記の如き従来の技術におけるガイド、ジャバラパイプでは捕獲が困難である。すなわち、上記の如き従来の技術では、比較的大径の液滴を捕獲するのには有効であるものの、蒸気流れに対する追従性が高い小径の液滴を捕獲することについて改善の余地がある。
【０００４】
本発明は、上記事実を考慮して、微細な粒子径を有する液滴を効果的に捕獲して蒸発させることができる蒸気発生装置を得ることが目的である。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１記載の発明に係る蒸気発生装置は、液体を気化するための蒸気発生部と、前記蒸気発生部の下流側の蒸気流路を複数の流路に区画する流路区画体と、前記流路区画体の表面温度を、前記液体の液滴がライデンフロスト現象を生じる下限温度以上に保つための温度制御手段と、を備えている。
【０００６】
請求項１記載の蒸気発生装置では、蒸気発生部で液体が気化されて蒸気が発生し、この蒸気は流路区画体にて区画された流路を通過して装置外に排出（供給）される。ここで、温度制御手段によって流路区画体がライデンフロスト現象を生じる下限温度以上に保たれているため、蒸気発生器から気化されない液滴が流出した場合に、該液滴を流路区画体との間に生成される蒸気膜によって捕獲することができる。なお、ライデンフロスト現象とは、広義には液滴と加熱面との間に蒸気膜が生成される現象であり、ライデンフロスト現象を生じる下限温度は、その物質の飽和温度を超える所定温度として把握することができる。液滴が捕獲される態様としては、例えば、流路区画体間に形成された流路の代表直径以下の粒子径の液滴では該流路区画体間で捕獲される態様が、流路区画体間に形成された流路の代表直径を超える粒子径の液滴では流路区画体の端部で捕獲される態様が考えられる。そして、流路区画体によって捕獲された液滴は、該流路区画体（温度制御手段）からの熱供給によって、その外周から徐々に蒸発し、完全に気化させることができる。
【０００７】
このように、請求項１記載の蒸気発生装置では、微細な粒子径を有する液滴を効果的に捕獲して蒸発させることができる。なお、例えば、蒸気発生部の蒸気流路が隔壁にて多数の微細の流路に区画されている構成においては、流路区画体は、蒸気発生部の隔壁から連続して構成されても良い。
【０００８】
請求項２記載の発明に係る蒸気発生装置は、請求項１記載の蒸気発生装置において、前記流路区画体は、該流路区画体が区画した上記流路の代表直径を該流路区画体よりも上流側が飛翔する前記液滴の直径以下となるように配置されている。
【０００９】
請求項２記載の蒸気発生装置では、蒸気発生部で生じ得る液滴の粒子径範囲は、該蒸気発生部の仕様により推定され、この粒子径範囲の下限よりも代表直径が小さい複数の流路に区画されるように流路区画体を配置することで、該流路区画体間に入り込む前（流路区画体の端部で）液滴を確実に捕獲することができる。これにより、液滴が流路区画体間を通過することが防止され、微細な粒子径を有する液滴を一層効果的に捕獲して蒸発させることができる。さらに、捕獲した液滴（粒子）が気化するのに伴って発生する蒸気膜が液滴粒子の通過をさらに防止（阻害）する効果を示す。
【００１０】
請求項３記載の発明に係る蒸気発生装置は、請求項１又は請求項２記載の蒸気発生装置において、前記蒸気発生部は、微細な代表直径を有する流路の周壁を加熱することで、該流路に供給された液体を気化するようになっており、前記流路区画体は、該流路区画体が区画した上記流路の代表直径を前記蒸気発生部における流路の代表直径以下とするように配置されている。
【００１１】
請求項３記載の蒸気発生装置では、蒸気発生部において、微細な代表直径を有する流路の周壁を加熱することで液体の気化が行われる。したがって、この蒸気発生部から飛翔する液滴は、上記代表直径以下の粒子径を有している。ここで、液滴を捕獲するための流路区画体が区画する流路の代表直径が蒸気発生部における流路の代表直径以下であるため、蒸気発生部からの液滴を、蒸気膜を介して確実に捕獲することができる。
【００１２】
請求項４記載の発明に係る蒸気発生装置は、請求項１乃至請求項３の何れか１項記載の蒸気発生装置において、前記流路区画体が区画する流路は、重力方向の上側から蒸気が流入されるように配置されている。
【００１３】
請求項４記載の蒸気発生装置では、流路区画体が上流端を重力方向の上側に向けて配置されているので、流路区画体が区画する流路の代表直径よりも大きい粒子径の液滴を、重力と蒸気膜の力を均衡させつつ（他の部分に逃げないように）、流路区画体の端部の上側で確実に捕獲し、蒸発させることができる。特に、請求項２の如く、流路区画体が区画する流路の代表直径が液滴に粒子径以下である構成とすることが好ましい。
【００１４】
請求項５記載の発明に係る蒸気発生装置は、請求項１乃至請求項４の何れか１項記載の蒸気発生装置において、前記蒸気発生部は、供給された水を気化するようになっており、前記温度制御手段は、前記流路区画体の表面温度を１６０℃以上に保つようになっている。
【００１５】
請求項５記載の蒸気発生装置では、流路区画体の温度が１６０℃以上であるため、該流路区画体に水滴が近接すると、例えば蒸気膜の不安定性により水滴が分裂したりダンスするような挙動を示し、流路の特定部位を水滴が閉止するが防止される。
【００１６】
請求項６記載の発明に係る蒸気発生装置は、請求項１乃至請求項５の何れか１項記載の蒸気発生装置において、前記温度制御手段は、前記流路区画体の表面温度をライデンフロスト温度以下に保つようになっている。
【００１７】
請求項６記載の蒸気発生装置では、流路区画体の温度がライデンフロスト温度以下であるため、液滴が回転楕円形状で静止するスフェロイド状態（スフェロイダルステート）に移行することが防止される。このため、液滴が流路区画体が区画する複数の流路のうち特定の流路を閉止することが防止される。
【発明の効果】
【００１８】
以上説明したように本発明に係る蒸気発生装置は、微細な粒子径を有する液滴を効果的に捕獲して蒸発させることができるという優れた効果を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
本発明の第１の実施形態に係る蒸気発生装置１０について、図１乃至図６に基づいて説明する。図１には、蒸気発生装置１０の概略全体構成が模式図にて示されている。この図に示される如く、蒸気発生装置１０は、蒸気発生器１２を備えている。蒸気発生器１２は、液体タンク１４からポンプ１６によって供給されてきた液体を蒸発させ、蒸気を発生する蒸気発生部１８と、蒸気発生部１８を加熱（蒸発線熱を供給）するための加熱部２０とを含んで、加熱式の蒸発器として構成されている。
【００２０】
図５に示される如く、蒸気発生部１８は、略矩形筒状に形成された蒸気発生管２２の内部空間が多数の隔壁２４にて微細な代表直径Ｄｅを有する多数の微細流路１８Ａに区画されて構成されており、蒸気発生管２２及び多数の隔壁２４（及び後述する緩衝ガス流路２６）を介して加熱部２０から伝わる熱にて液体を気化するマイクロチャンネル式蒸発器として構成されている。
【００２１】
また、この実施形態では、蒸気発生部１８と加熱部２０との間には、緩衝ガス流路２６が設けられており、例えば蒸気発生装置１０が適用される装置で利用されるガスを通過させて予熱又は加熱するようになっている。このように蒸気発生部１８と加熱部２０との間に緩衝ガス流路２６を挟むことにより、蒸気発生器１２では、蒸気発生量を変化させるべく蒸気発生部１８への液体供給量及び熱供給量を変化させた場合に、緩衝ガス流路２６が蒸気発生部１８の急激な温度変化を吸収するようになっている。
【００２２】
なお、蒸気発生装置１０では、図示しないコントローラによって、蒸気発生量の変化要求に対し、ポンプ１６による液体供給量、加熱部２０による熱供給量を変化させる構成とされている。また、図５に示される如く、緩衝ガス流路２６は、加熱部２０から緩衝ガス流路２６、蒸気発生部１８への伝熱経路としても機能する多数の隔壁２８にて、ガス流通管２９の内部空間が微細な多数のガス流路２６Ａに区画されて構成されている。
【００２３】
さらに、蒸気発生器１２の蒸気発生部１８における蒸気出口１８Ｂには、液滴トラップ３０が連通されている。図２及び図３に示される如く、液滴トラップ３０は、略矩形枠（筒）状に形成された蒸気流路形成管３２の内部空間が流路区画体としての流路隔壁３４にて多数の微細な代表直径Ｄｔを有する微細流路３０Ａに区画されて構成されている。蒸気トラップ３０又は隔壁３４が本発明における流路区画体に相当する。
【００２４】
液滴トラップ３０を構成する微細流路３０Ａの代表直径Ｄｔは、蒸気発生部１８を構成する微細流路１８Ａの代表直径Ｄｅ以下とされている。なお、微細流路１８Ａ、微細流路３０Ａの如き矩形状流路の代表直径（代表長さ）Ｄは、流路断面積をＳ、ぬれぶち長さをＬとして、Ｄ＝４×Ｓ／Ｌとなる。なお、矩形状流路である微細流路１８Ａ、微細流路３０Ａのアスペクト比が１６以上である場合には、代表直径Ｄ（Ｄｅ、Ｄｔ）を、近似的に蒸気流れ方向視の流路断面の短辺長さとすることができる。
【００２５】
この実施形態では、液滴トラップ３０における代表直径Ｄｔは、蒸気発生部１８で蒸発されずに蒸気発生部１８と液滴トラップ３０との間の蒸気流路３６に至り、該蒸気流路３６を飛翔する液滴ｄの粒子径Ｄｄ以下とされている。より具体的には、蒸気発生部１８の微細流路１８Ａから排出される液滴の粒子径Ｄｄの範囲は、該微細流路１８Ａの代表直径Ｄｅに依存し、代表直径Ｄｅから推定することができる。微細流路１８Ａが十分な流路長さを有する場合には、粒子径Ｄｄ＜代表直径Ｄｅの関係が成り立つ（この実施形態では、粒子径Ｄｄは、サブミリメートル、数ミリメートルのオーダー）。そして、図４に示される如く、液滴トラップ３０を構成する微細流路３０Ａの代表直径Ｄｔは、蒸気発生部１８の代表直径Ｄｅから推定される粒子径Ｄｄ（範囲）の下限の粒子径以下として設定されている。図４では、便宜上、微細流路３０Ａの代表直径Ｄｔを該微細流路３０Ａの短辺長さとして図示している。
【００２６】
以上説明した液滴トラップ３０は、その蒸気流れ方向の上流端３０Ｂが、重力方向の上側を向く姿勢で配置されている。この姿勢で液滴トラップ３０は、温度制御手段としての温度制御部３８によって、流路隔壁３４及び蒸気流路形成管３２の表面温度Ｔが所定温度Ｔｌ以上で、かつ別途所定温度Ｔｕ以下（Ｔｌ≦Ｔ≦Ｔｕ）に保たれるようになっている。所定温度Ｔｌは、蒸気発生部１８で蒸発されずに蒸気流路３６で飛翔する液滴ｄがライデンフロスト現象を生じる下限温度として設定されており、別途所定温度Ｔｕは、ライデンフロスト温度として設定されている。
【００２７】
このライデンフロスト現象及びライデンフロスト温度について、図６に基づいて補足する。図６は、固体表面で液体（この例では、水）が蒸発する場合における、固定表面温度と液滴の寿命（蒸発に消費される時間）との関係を示す線図である。この図から、固体表面で液体が蒸発する場合には、液滴寿命が固体表面温度の上昇と共に短くなる温度領域Ａ、温度領域Ａの高温側に連続し液滴寿命が固体表面温度の上昇と共に長くなる温度領域Ｂ、温度領域Ｂの高温側に連続し液滴寿命が固体表面温度の上昇と共に長くなる温度領域Ｃが存在することがわかる。
【００２８】
温度領域Ａでは、液滴は固定表面に付着してレンズ状蒸発を生じる。温度領域Ｂでは、液滴の蒸発に伴って蒸気膜（気泡）が部分的に生じ、液滴は固体表面に間欠的に接触して該固体表面上をダンスするような挙動を示す。このダンスのような挙動に伴い、液滴が分裂を伴うこともある。これらにより、液滴寿命が固体表面温度の上昇に伴い長くなる。温度領域Ｃでは、液滴は蒸気膜に支えられて（浮上して）回転楕円体のまま静止しつつ蒸発するスフェロイド状態に遷移する（スフェロイドステート現象を示す）。
【００２９】
そして、広義には、液滴と固体表面との間に蒸気膜が形成される現象（温度領域Ｂ、Ｃ）がライデンフロスト現象であり、液滴の寿命が極大となる温度がライデンフロスト温度である。また、狭義には、ライデンフロスト温度以下の温度領域Ｂで液滴が示す挙動をライデンフロスト現象という場合がある。何れにしても、液滴ｄがライデンフロスト現象を生じる下限温度である所定温度Ｔｌは、温度領域Ｂの下限温度として設定され、ライデンフロスト温度である別途所定温度Ｔｕは、温度領域Ｂの上限（温度領域Ｃとの境界）の温度として設定されている。
【００３０】
したがって、蒸気発生装置１０で蒸発させる液体がほぼ大気圧の水である場合、図６に示される如く、液滴トラップ３０の蒸気流路形成管３２、流路隔壁３４の表面温度Ｔは、温度制御部３８によって１６０℃≦Ｔ≦３００℃に制御（管理）される。この実施形態では、温度制御部３８は、液滴トラップ３０の蒸気流路形成管３２、流路隔壁３４を加熱する加熱装置として把握することができ、例えば蒸気トラップ３０の表面温度に応じた信号を出力する図示しない温度センサの信号に基づいてフィードバック制御を行うことで、液滴トラップ３０の蒸気流路形成管３２、流路隔壁３４の表面温度Ｔを上記範囲に保つ構成とされている。
【００３１】
次に、第１の実施形態の作用を、蒸発させる液体が水である場合を例にして説明する。
【００３２】
上記構成の蒸気発生装置１０では、起動によりポンプ１６、加熱部２０、温度制御部３８が作動される。すると、ポンプ１６によって液体タンク１４の水が蒸気発生部１８に供給される。蒸気発生部１８では、緩衝ガス流路２６を経由して加熱部２０からの熱供給を受けて、供給された水を蒸発させる。この水蒸気は、蒸気発生部１８の蒸気出口１８Ｂから排出され、蒸気流路３６、液滴トラップ３０を経て、例えば水蒸気消費装置に供給される。
【００３３】
ところで、蒸気発生装置１０では、図２に示される如く、蒸気発生部１８内で突沸や圧力変動に伴い気化されない状態で水滴ｄが蒸気出口１８Ｂから排出され、蒸気流路３６内を飛翔する場合がある。
【００３４】
ここで、蒸気発生装置１０では、液滴トラップ３０の微細流路３０Ａの代表直径Ｄｔが水滴ｄの粒子径Ｄｄ以下であり、液滴トラップ３０を構成する蒸気流路形成管３２内を多数の微細流路３０Ａに区画する流路隔壁３４及び蒸気流路形成管３２の表面温度Ｔが１６０℃≦Ｔ≦３００℃であるため、蒸気流路３６を飛翔して液滴トラップ３０の上流端３０Ｂに至った水滴ｄは、蒸気膜を介して液滴トラップ３０の上流端３０Ｂに捕獲される。すなわち、下流側への液体状態での排出（蒸気消費装置への供給）が禁止される。
【００３５】
そして、液滴トラップ３０を構成する流路隔壁３４の表面温度Ｔが図６の温度領域Ｂに相当する温度に管理されるため、換言すれば、水滴ｄが狭義のライデンフロスト現象を生じる温度に流路隔壁３４の表面温度が管理されているため、水滴ｄは、蒸気膜の不安定性によっていくつかに分裂したりダンスをするような挙動を示し、液滴トラップ３０の上流端３０Ｂ面上や流路隔壁３４間を移動しつつ、流路隔壁３４を経由した温度制御部３８からの熱供給によって徐々に蒸発される。特に、液滴トラップ３０は、蒸気流れ方向の上流端３０Ｂを重力方向の上側に向ける姿勢で配置されているため、例えば蒸気流れ方向が水平方向に沿うように配置された構成のように水滴ｄを蒸気流路３６の重力方向下側に逃がすことなく、確実に捕獲して蒸発させることができる。
【００３６】
このように、第１の実施形態に係る蒸気発生装置１０では、微細な粒子径を有する液滴（水滴）ｄを効果的に捕獲して蒸発させることができる。これにより、液滴ｄは完全に気化され、蒸気消費装置に液滴が供給されてしまうことを効果的に防止することができる。
【００３７】
また、蒸気発生装置１０では、液滴トラップ３０の表面温度Ｔの上限がライデンフロスト温度以下に管理されているため、水滴ｄが液滴トラップ３０の上流端３０Ｂ上でスフェロイド状態に遷移することが防止される。これにより、液滴トラップ３０で捕獲された水滴ｄは液滴トラップ３０の上流端３０Ｂ上面に沿って移動したり、ダンスをするように移動したりして、特定の微細流路３０Ａの蒸気流れを阻害することがない。このため、蒸気流路の一部を成す液滴トラップ３０に局所的な低温部が生じたり、多数の微細流路３０Ａでの蒸気濃度のムラが生じたりすることが防止される。
【００３８】
次に、本発明の第２の実施形態に係る蒸気発生装置５０について、図７及び図８に基づいて説明する。なお、上記第１の実施形態と基本的に同一の部品・部分には、上記第１の実施形態と同一の符号を付して説明を省略し、また図示を省略する場合がる。
【００３９】
図７には、蒸気発生装置５０の概略全体構成が模式図にて示されている。この図に示される如く、蒸気発生装置５０は、蒸気発生器１２に代えて、蒸気発生部１８と加熱部２０との間にスーパヒート部５２を挟み込んだ蒸気発生器５４を備える点で、第１の実施形態に係る蒸気発生装置１０とは異なる。以下、具体的に説明する。
【００４０】
蒸気発生装置５０は、蒸気発生部１８の蒸気出口１８Ｂとスーパヒート部５２の蒸気入口５２Ａとを連通するためのＵターン流路５６Ａを形成するＵターン流路部材５６を備えている。図８に示される如く、スーパヒート部５２は、第１の実施形態における緩衝ガス流路２６と同様に、加熱部２０から該スーパヒート部５２自体及び蒸気発生部１８への伝熱経路としても機能する多数の隔壁２８にて、スーパヒート蒸気流通管５８の内部空間が微細なスーパヒート蒸気ガス流路５８Ａに区画されて構成されている。
【００４１】
そして、この実施形態では、スーパヒート部５２における蒸気入口５２Ａ（上流端側の少なくとも一部）が液滴トラップ３０とされている。具体的には、スーパヒート蒸気ガス流路５８Ａの代表直径Ｄｔは、蒸気発生部１８を構成する微細流路１８Ａの代表直径Ｄｅ以下とされており、また、Ｕターン流路部材５６を飛翔する液滴ｄの粒子径Ｄｄ以下に設定されている。
【００４２】
さらに、スーパヒート部５２は、蒸気流れ方向の上流端である蒸気入口５２Ａが重力方向の上側を向く姿勢で配置されている。そして、この実施形態における加熱部２０は、スーパヒート蒸気流通管５８、隔壁２８の表面温度を上記した所定温度Ｔｌ以上で、かつ別途所定温度Ｔｕ以下（Ｔｌ≦Ｔ≦Ｔｕ）に保つように構成されている。
【００４３】
したがって、蒸気発生装置５０では、蒸気発生器５４に液滴トラップ３０が一体的に組み込まれており、かつ加熱部２０が温度制御部３８を兼ねて構成されているもの把握することができる。蒸気発生装置５０における他の構成は、蒸気発生装置１０の対応する構成と同じである。
【００４４】
したがって、第２の実施形態に係る蒸気発生装置５０によっても、基本的に第１の実施形態に係る蒸気発生装置１０と同様の作用によって同様の効果を得ることができる。すなわち、蒸気発生装置５０では、微細な粒子径を有する液滴を効果的に捕獲して蒸発させることができる。
【００４５】
また、蒸気発生装置５０では、主にスーパヒート部５２の蒸気入口５２Ａ（蒸気流れ方向の上流端面）を液滴トラップ３０として用いたので、部品点数を増加することなく、液滴トラップ３０を構成することができる。これにより、蒸気発生装置５０では、蒸気発生装置１０と比較してコンパクトに構成することが可能になる。
【００４６】
なお、上記した第２の実施形態では、加熱部２０が液滴トラップ３０の温度制御（管理）を行う例を示したが、本発明はこれに限定されず、例えば、加熱部２０とは独立した温度制御部３８にて液滴トラップ３０（例えばスーパヒート部５２の上流端側の一部）の温度制御を行うようにしても良い。
【００４７】
また、上記した第２の実施形態では、液滴トラップ３０がスーパヒート部５２に一体的に設けられた例を示したが、本発明はこれに限定されず、例えば、スーパヒート部５２とは別体の液滴トラップ３０を該スーパヒート部５２の蒸気入口５２Ａ上に設けた構成としても良い。この構成では、代表直径Ｄｔをスーパヒート部５２の長さや代表直径（隔壁２８の配置）とは独立して設定することができる。
【００４８】
さらに、上記した各実施形態では、液滴トラップ３０の代表直径Ｄｔが液滴ｄの粒子径Ｄｄ以下である例を示したが、本発明はこれに限定されず、例えば、液滴トラップ３０の代表直径Ｄｔが液滴ｄの粒子径Ｄｄと同等以上である構成としても良い。この場合でも、流路隔壁３４の表面温度を狭義のライデンフロスト現象を生じる温度領域Ｂ内に管理することで、液滴ｄは、単に液滴トラップ３０を通過してしまうことなく、流路隔壁３４上を転がったりダンスしたりしながら徐々に蒸発される。この場合、流路隔壁３４の延在方向（微細流路３０Ａの蒸気流れ方向）は、重力方向に対し傾斜させても良く、水平方向にしても良い。
【００４９】
またさらに、上記した各実施形態では、蒸気流路形成管３２が流路隔壁３４にて多数の微細流路３０Ａに区画されて蒸気トラップ３０が構成された例を示したが、本発明はこれに限定されず、例えば、蒸気出口１８Ｂに接続された蒸気排出ラインに網状の流路区画体にて多数の微細流路（流れ方向に短い流路）に区画するようにしても良い。
【００５０】
また、上記した各実施形態では、微細流路３０Ａが矩形状流路を成すように平板状（格子状）の流路隔壁３４を備えた例を示したが、本発明はこれに限定されず、例えば、蒸気トラップ３０は、ハニカム状に形成されても良く、多数の円筒パイプの外周面を接続した如く構成しても良い。これらの場合、蒸気流路３６内を飛翔する液滴ｄが微細流路を通過しないように、該微細流路の代表直径を決めることが好ましい。
【００５１】
さらに、上記した各実施形態では、蒸気発生器１２、５４が蒸気発生部１８と２０との間に緩衝ガス流路２６、スーパヒート部５２を挟み込んで構成された例を示したが、本発明はこれに限定されず、液滴が生成される可能性のあるあらゆる蒸気発生器に本発明適用可能であることはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る蒸気発生装置の概略全体構成を示す模式図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係る蒸気発生装置を構成する液滴トラップを模式的に示す斜視図である。
【図３】本発明の第１の実施形態に係る蒸気発生装置を構成する液滴トラップの平面断面視図である。
【図４】本発明の第１の実施形態に係る蒸気発生装置を構成する液滴トラップの一部を拡大して示す平面断面視図である。
【図５】本発明の第１の実施形態に係る蒸気発生器を構成する蒸気発生器を模式的に示す斜視図である。
【図６】ライデンフロスト現象を説明するための線図である。
【図７】本発明の第２の実施形態に係る蒸気発生装置の概略全体構成を示す模式図である。
【図８】本発明の第２の実施形態に係る蒸気発生装置を構成する蒸気発生器を模式的に示す斜視図である。
【符号の説明】
【００５３】
１０    蒸気発生装置
１２    蒸気発生器（蒸気発生部）
１８    蒸気発生部
３０    液滴トラップ（流路区画体）
３４    隔壁（流路区画体）
３８    温度制御部
５０    蒸気発生装置
５４    蒸気発生器（蒸気発生部）
【図１】
2008190785.tif 000003
【図２】
2008190785.tif 000004
【図３】
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【図４】
2008190785.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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