(57)【要約】    【課題】  作業者１人で、ワイパー、吸引ノズル、光源の３つを扱える様に１人作業での清掃作業を可能とすると共に清掃箇所の適正な照明が行える様にし、清掃作業の効率化、容易化を図る。    【解決手段】  塵等を吸引する為のバキュームノズル４と、該バキュームノズルの吸引方向を照明する照明部とを具備する。    【選択図】          図１
2008212867.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
塵等を吸引する為のバキュームノズルと、該バキュームノズルの吸引方向を照明する照明部とを具備することを特徴とする塵吸引装置。
【請求項２】
前記照明部は、前記バキュームノズルを中心とする周囲に所要数設けられたＬＥＤであり、局部照明部を構成する請求項１の塵吸引装置。
【請求項３】
前記照明部は、前記バキュームノズルを中心とする周囲に所要数設けられたＬＥＤで構成される局部照明部と、該局部照明部とは独立して設けられ、該局部照明部に比べ広い範囲を照明する広域照明部とで構成される請求項１の塵吸引装置。
【請求項４】
中空の本体部を貫通して吸引導管が設けられ、該吸引導管の先端に前記バキュームノズルが設けられ、前記吸引導管の基部が吸引装置に接続され、前記本体部の内部に照明用の電池が収納される請求項１の塵吸引装置。
【請求項５】
着脱可能な複数の局部照明部を有し、該局部照明部毎にＬＥＤの発光色が異なる請求項２の塵吸引装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルーム等、清浄雰囲気で微小な埃等を除去収集する為に使用される塵埃除去装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
清浄雰囲気を要求する設備、例えば半導体製造設備等では、非常に微細なゴミが製品品質、歩留りに影響を与える。この為、半導体製造設備等はクリーンルーム内に設置され、設置環境が清浄雰囲気に維持される様になっている。
【０００３】
従って、クリーンルーム内での清掃、例えば上記した半導体製造設備が設置されるクリーンルーム内、設置された設備等の清掃については、非常に微細な塵埃も見逃さない様な繊細な清掃が求められる。
【０００４】
繊細な清掃をする場合は、清掃箇所に強い光を当てる。強い光を当てることで微細な塵からの乱反射があり、微細な塵の有無を確認できる。この為、従来より繊細な清掃を実施する場合は、清掃箇所に強い光を当て、微細な塵からの乱反射を利用して、塵の有無を確認しながら、クリーンルーム内、設備の隅々迄清掃している。又、清掃には場所や塵の種類によって、拭取りたい塵、吸引したい塵があり、清掃作業は明るい光で照明しつつ、ワイパーによる拭取り、バキュームノズルによる吸引を行っている。
【０００５】
例えば、半導体製造前工程のクリーンルームの黄色い室内灯の下での清掃や半導体製造設備内部の清掃には、清掃場所、清掃箇所を適正に照射する必要があり、自在に照射場所、照射箇所を照射できる様に、懐中電灯や持歩き可能なハロゲン灯等の照明器具が使われている。
【０００６】
従って、清掃作業時にはワイパー、吸引ノズル、照明器具光源の３つを同時に使う。１人では３つを同時に持つことはできない為、照明器具を適当な位置に固定し、清掃の進行と共に固定位置を移動しながら清掃するか、或は１名が光源を持ち、もう１名が清掃する２人で作業を進めるかのどちらかであった。
【０００７】
然し乍ら、１名で作業する場合は、清掃箇所が移動する度に、照明器具を移動しなければならず、作業性が悪く、適当な場所に照明器具を設置できない状況も発生する。又、２名で作業する場合は、作業コストが高くなると共に２名が入れない様な狭い場所もあったりして、やはり適切に照明できない場合がある。
【０００８】
尚、クリーンルーム内の清掃に関しては、特許文献１が知られている。
【０００９】
【特許文献１】特開２００３−７５３５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は斯かる実情に鑑み、作業者１人で、ワイパー、吸引ノズル、光源の３つを扱える様に１人作業での清掃作業を可能とすると共に清掃箇所の適正な照明が行える様にし、清掃作業の効率化、容易化を図るものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、塵等を吸引する為のバキュームノズルと、該バキュームノズルの吸引方向を照明する照明部とを具備する塵吸引装置に係り、又前記照明部は、前記バキュームノズルを中心とする周囲に所要数設けられたＬＥＤであり、局部照明部を構成する塵吸引装置に係り、又前記照明部は、前記バキュームノズルを中心とする周囲に所要数設けられたＬＥＤで構成される局部照明部と、該局部照明部とは独立して設けられ、該局部照明部に比べ広い範囲を照明する広域照明部とで構成される塵吸引装置に係り、又中空の本体部を貫通して吸引導管が設けられ、該吸引導管の先端に前記バキュームノズルが設けられ、前記吸引導管の基部が吸引装置に接続され、前記本体部の内部に照明用の電池が収納される塵吸引装置に係り、更に又着脱可能な複数の局部照明部を有し、該局部照明部毎にＬＥＤの発光色が異なる塵吸引装置に係るものである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、塵等を吸引する為のバキュームノズルと、該バキュームノズルの吸引方向を照明する照明部とを具備するので、吸引作業と吸引箇所の照明を同時に行え、照明器具で別途清掃箇所を照明する手間が省け作業性が向上する。
【００１３】
又本発明によれば、前記照明部は、前記バキュームノズルを中心とする周囲に所要数設けられたＬＥＤであり、局部照明部を構成するので、吸引箇所と照明箇所が必ず一致し、照明箇所の調整をする必要がなく、更に輝度の高いＬＥＤで照明するので、微細な塵の発見に有効である。
【００１４】
又本発明によれば、前記照明部は、前記バキュームノズルを中心とする周囲に所要数設けられたＬＥＤで構成される局部照明部と、該局部照明部とは独立して設けられ、該局部照明部に比べ広い範囲を照明する広域照明部とで構成されるので、広範囲照明で作業状況を確認しつつ、繊細な清掃が行え、作業性と清掃の確実性が向上する。
【００１５】
又本発明によれば、中空の本体部を貫通して吸引導管が設けられ、該吸引導管の先端に前記バキュームノズルが設けられ、前記吸引導管の基部が吸引装置に接続され、前記本体部の内部に照明用の電池が収納されるので、電源用のコードが不要となり、取扱い性が向上する。
【００１６】
更に又本発明によれば、着脱可能な複数の局部照明部を有し、該局部照明部毎にＬＥＤの発光色が異なるので、清掃環境、清掃状況に適した照明色が選択でき、清掃精度の向上が図れる等の優れた効果を発揮する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、図面を参照しつつ本発明を実施する為の最良の形態を説明する。
【００１８】
図中、１は塵吸引装置を示し、該塵吸引装置１は片手で握り自在に操作し得る重量であり、又概略円柱状の外形を有している。
【００１９】
前記塵吸引装置１は、外形が概略円柱形状で中空の本体部２を有し、該本体部２を吸引導管３が同心に貫通し、該吸引導管３の先端部は前記本体部２より所要長さ突出し、吸引ノズル４を形成し、前記吸引導管３の基端はバキュームホース５に接続され、又該バキュームホース５は排気ポンプを具備した真空吸引機（図示せず）に接続されている。
【００２０】
前記本体部２の先端部には発光体ホルダ６が設けられており、該発光体ホルダ６は円板状であり、円周上所要等分した位置（図示では８箇所）に発光孔７が穿設されている。該発光孔７に発光体である、例えばＬＥＤ８がそれぞれ保持される様になっている。該ＬＥＤ８は、ドーナツ板形状の配電基板（図示せず）に実装され、又、該配電基板は前記発光体ホルダ６に一体化され、前記配電基板の反実装面には後述する電池に対する接点が形成されている。
【００２１】
前記発光体ホルダ６は前記本体部２に対して例えば螺子込み式で固着される等、着脱可能となっており、前記発光体ホルダ６を取外すと、該発光体ホルダ６内部の中空部が開放され、該中空部に電池、好ましくは可充電電池（図示せず）が前記吸引導管３の周りに所要数収納可能となっている。
【００２２】
前記中空部に電池を収納し、前記発光体ホルダ６を前記本体部２に取付けることで、前記配電基板を介して前記ＬＥＤ８に給電可能となっている。尚、前記本体部２に給電をＯＮ／ＯＦＦさせる為のスイッチを設けてもよいし、前記発光体ホルダ６を回転することでＯＮ／ＯＦＦされる様にしてもよい。
【００２３】
リング状に配設された前記ＬＥＤ８は、局部照明部９を構成する。該局部照明部９は、前記吸引ノズル４により塵を吸引している状態で、該吸引ノズル４を中心として直径３０ｃｍ程度の範囲を照明する。
【００２４】
前記本体部２に広域照明部１１を取付ける。該広域照明部１１は好ましくは、着脱可能となっており、例えば、前記本体部２を磁性体材料とし、前記広域照明部１１に磁石を設ける等とする。又、ベルトを介して着脱可能としてもよい。
【００２５】
前記広域照明部１１は、複数（図示では２個）の発光体１２を有しており、該発光体１２には指向性の少ない、発熱ランプ等が用いられる。尚、前記発光体１２には前記ＬＥＤ８に対して射出光の広がり角の大きいＬＥＤを用いてもよい。
【００２６】
前記広域照明部１１は、可充電電池、充電回路を内蔵しており、又該充電回路に電気的に接続されている折畳み可能なプラグ１３を有している。該プラグ１３は一般商用電源のコンセントに差込可能であり、前記可充電電池は一般商用電源から充電可能となっている。前記広域照明部１１は、図示しないが前記発光体１２をＯＮ／ＯＦＦさせる為のスイッチを有している。
【００２７】
尚、前記広域照明部１１は、前記塵吸引装置１を懐中電灯の様な照明器具として使用した場合に、直径１ｍ〜２ｍ程度の範囲を照明する様になっている。
【００２８】
又、前記広域照明部１１を前記本体部２に一体化して設け、内蔵された充電回路を介して前記局部照明部９用の電池も充電できる様にしてもよい。
【００２９】
以下、前記塵吸引装置１を用いて清掃作業をする場合について説明する。
【００３０】
先ず、前記発光体１２を点灯して、広範囲を照明して清掃を行う。広範囲を照明した状態での、清掃作業としては、例えば、前記塵吸引装置１を照明器具として使用し、片手で清掃部分を照明し、もう一方の手でワイパーによる拭掃除を行う場合である。或は、前記吸引ノズル４により比較的大きな塵を吸引する場合である。
【００３１】
次に、前記ＬＥＤ８を点灯して、前記吸引ノズル４を中心とした局部範囲を照明して清掃を行う。尚、この場合、前記ＬＥＤ８による局部照明と、前記発光体１２による広範囲照明を同時にしてもよい。局部範囲を照明した状態での清掃作業としては、前記吸引ノズル４により微細な塵を吸引する場合である。
【００３２】
前記ＬＥＤ８は、常に前記吸引ノズル４を中心とした範囲を、局部照明するので、該吸引ノズル４を動かした場合、照明範囲も追従し、作業者が見たい範囲を常に照明する状態が得られる。
【００３３】
従って、クリーンルームでの清掃が１人で行え、又照明器具の設置を行う必要がなく、作業性が向上し、より確実な清掃が可能となる。
【００３４】
尚、塵は周囲の状況により、照明する色によって見え方が変る。従って、照明色の異なる前記局部照明部９を複数用意し、状況に合せて交換してもよい。
【００３５】
又、前記吸引ノズル４を着脱可能とし、先端部の形状が異なるものを複数用意し、平面部の塵を吸引する場合、隅の塵を吸引する場合等、清掃場所の状況に合せて適宜取替えてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の実施の形態を示す正面図である。
【図２】本発明の実施の形態を示す側面図である。
【符号の説明】
【００３７】
１              塵吸引装置
２              本体部
３              吸引導管
４              吸引ノズル
５              バキュームホース
６              発光体ホルダ
７              発光孔
８              ＬＥＤ
９              局部照明部
１１            広域照明部
１２            発光体
１３            プラグ
【図１】
2008212867.tif 000003
【図２】
2008212867.tif 000004