(57)【要約】【課題】  印刷時におけるハンダ等の付着材料の無駄が無く、印刷に供されなかった付着材料を回収する労力を軽減乃至解消し得るメタルマスクおよびメタルマスクスクリーン版を提供する。【解決手段】  金属板２の領域Ｘ1にパターン状の孔４が設けられてなり、被印刷物表面に接触乃至近接配置し、その被印刷物側と反対の面に付着材料を供給した後、当該面を接触部が略直線状のスキージ６でその接触部と垂直方向（Ｙ方向）に擦り、前記付着材料をパターン状の孔４から押し出すことで被印刷物表面に印刷するための物であり、領域Ｘ1におけるスキージ６の移動方向（Ｙ方向）と平行の中心線Ｂを基準にその左右両側であって領域Ｘ1以外の部位に、スキージ６の移動方向の上流に面し、かつ、中心線Ｂに対して上流側よりも下流側で近付く様に傾けられた一面８ａを側面に有する凸部８が複数設けられてなるメタルマスクおよびこれを用いたメタルマスクスクリーン版である。【選択図】  図１
2008213215.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属板の１箇所または２箇所以上の領域に所望のパターン状の孔が設けられてなり、
被印刷物表面に接触乃至近接配置し、その被印刷物側と反対の面に付着材料を供給した後、当該面を接触部が略直線状のスキージでその接触部と垂直方向に擦り、前記付着材料を前記パターン状の孔から押し出すことで被印刷物表面にパターン状に印刷するためのメタルマスクであり、
前記領域における前記スキージの移動方向と平行である中心線Ｂを基準としてその左右両側であって前記領域以外の部位に、前記スキージの移動方向の上流に面し、かつ、中心線Ｂに対して上流側よりも下流側で近付く様に傾けられた一面を側面に有する凸部が複数設けられてなることを特徴とするメタルマスク。
【請求項２】
前記スキージの移動方向が往復の２方向であり、各移動方向に対応する前記一面を前記凸部が有することを特徴とする請求項１に記載のメタルマスク。
【請求項３】
前記凸部の平面形状が、２つの前記一面を２つの辺とする三角形状であることを特徴とする請求項２に記載のメタルマスク。
【請求項４】
前記凸部における前記スキージとの接触面が、平面状であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のメタルマスク。
【請求項５】
前記凸部の平面形状が、前記一面を一方の側面とする直線形状であることを特徴とする請求項１に記載のメタルマスク。
【請求項６】
前記凸部の前記金属板からの高さが、０．１〜５０μｍの範囲内であることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のメタルマスク。
【請求項７】
前記凸部が、中心線Ｂを基準としてその左右両側に複数ずつ設けられてなることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のメタルマスク。
【請求項８】
前記領域内外の前記パターン状の孔が設けられた部位以外の部位に、前記金属板からの高さが前記凸部と同等以下の任意の平面形状の第２の凸部が設けられてなることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載のメタルマスク。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれかに記載のメタルマスクの外周が、帯状の弾性張架帯を介して版枠に固定されてなることを特徴とするメタルマスクスクリーン版。
【請求項１０】
前記弾性張架帯が、紗であることを特徴とする請求項９に記載のメタルマスクスクリーン版。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高精度なパターン印刷を可能にさせるスクリーン印刷用の版材であるメタルマスクおよびそれを用いたメタルマスクスクリーン版に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、例えば各種の電子部品等の実装のためにプリント配線基板にハンダペースト（クリームハンダ）、導体ペースト等を塗布形成するに際し、高精度なパターン印刷を可能にさせるスクリーン印刷が採用されている。特に高精度なパターン印刷が望まれる場合には、スクリーン印刷用の版材として、メタルマスク等のスクリーン印刷版が用いられる。
【０００３】
図１５に、メタルマスクを用いたスクリーン印刷について、その作業を説明するためのスキージ面側からの平面図を示す。図１５においては、メタルマスク１１０のスキージ面にハンダや印刷インクその他の付着材料１１２を供給し、スキージ１０６が待機している状態（印刷作業開始前）を示している。
メタルマスク１１０は、ステンレス製などの金属板１０２の所定の領域Ｘ’に所望のパターン状の孔１０４が設けられてなるものである。また、スキージ１０６は板状の部材であり、付着材料１１２を孔１０４に擦り込む。
【０００４】
メタルマスクを用いたスクリーン印刷においては、メタルマスク１１０の被印刷物側の面（図１５において下に向いている側の面）を被印刷物（不図示）の表面に接触させて、あるいは僅かに離れて（近接して）配置し、被印刷物側とは反対側の面（スキージ面）から被印刷物側の面に、スキージ１０６等を押し付けながら矢印Ｙ方向に移動し、孔１０４から印刷インクその他の付着材料を押し出すことで、被印刷物表面に印刷が行われる。この印刷方法は、被印刷物が平板状である場合に特に好適である。
【０００５】
平板状のスキージ面に供給された付着材料１１２をスキージ１０６で擦るだけでは、スムーズに付着材料１１２が孔１０４に擦り込まれず、印刷画像に抜けが生じたり、付着材料１１２の溜まりが生ずる懸念がある。印刷時に印刷画像の抜けや付着材料の溜まりが生ずることは、均質なパターン画像の形成に障害となるため、高精細なパターンを再現する上でこれらの改善は常に望まれている。
【０００６】
図１６は、図１５の状態からスキージ１０６を途中まで移動させた印刷作業初期の状態を示す平面図である。スキージ１０６が通過した部位にある孔１０４には付着材料１１２が擦り込まれている。また、スキージ１０６により擦られて移動している付着材料１１２は、スキージ１０６の長手方向に広がり、当初（図１５の状態）は印刷領域である領域Ｘ’に対応する範囲に供給されていたものが、符号１１２ａおよび１１２ｂに示されるように当該範囲を超えてしまう。
【０００７】
さらにスキージ１０６を移動させた印刷作業後期の状態を図１７に平面図で示す。付着材料１１２は、スキージ１０６の移動と共にさらにその長手方向いっぱいに広がり、ついには符号１１２ａ’および１１２ｂ’に示されるようにスキージ１０６の左右両端から溢れ出してしまう。
【０００８】
このように、スキージ１０６の長手方向に広がって印刷領域である領域Ｘの範囲を超えてしまった付着材料（符号１１２ａ、１１２ｂ、１１２ａ’および１１２ｂ’。以下、単に「１１２ａ等」と称する。））は印刷に供されること無く無駄遣いとなってしまい、資源の浪費に繋がる。省資源化のため、これを回収して再度使おうとすると、広範囲に広がった付着材料１１２ａ等を回収する作業が煩雑となり、作業性の低下を来たしてしまう。また、付着材料１１２等がどんどん領域Ｘ’の範囲を超えてしまうと、今度は領域Ｘ’の範囲内の付着材料１１２が不足してしまい、印刷不良を招来する懸念もある。
【０００９】
【特許文献１】特開平１０−１２９１４０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
したがって、本発明は、プリント配線基板や半導体基板等にハンダペーストなどを塗布形成する等、高精細なパターンを形成するのに適したメタルマスクであって、印刷時におけるハンダや印刷インクその他の付着材料の無駄が無く、印刷に供されなかった付着材料を回収する労力を軽減乃至解消し得るメタルマスクおよびそれを用いたメタルマスクスクリーン版を提供することを目的とする。
また、本発明の他の目的は、印刷画像の抜けや溜まりの無い均質なパターン画像を印刷し得る印刷性が改善されたメタルマスクおよびそれを用いたメタルマスクスクリーン版を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的は、以下の本発明により達成される。すなわち本発明のメタルマスクは、金属板の１箇所または２箇所以上の領域に所望のパターン状の孔が設けられてなり、
被印刷物表面に接触乃至近接配置し、その被印刷物側と反対の面に付着材料を供給した後、当該面を接触部が略直線状のスキージでその接触部と垂直方向に擦り、前記付着材料を前記パターン状の孔から押し出すことで被印刷物表面にパターン状に印刷するためのメタルマスクであり、
前記領域における前記スキージの移動方向と平行である中心線Ｂを基準としてその左右両側であって前記領域以外の部位に、前記スキージの移動方向の上流に面し、かつ、中心線Ｂに対して上流側よりも下流側で近付く様に傾けられた一面（以下、「内寄せ作用面」と称する。）を側面に有する凸部（後述する第２の凸部との区別のために「内寄せ凸部」と称する場合がある。）が複数設けられてなることを特徴とする
【００１２】
本発明のメタルマスクによれば、被印刷物側と反対の面（スキージ面）に付着材料を供給した後、当該面をスキージを移動して擦った際にスキージの長手方向に広がる付着材料が、前記凸部の内寄せ作用面に接した際に当該内寄せ作用面の傾斜によって中心線Ｂ方向に寄せられ、パターン状の孔が設けられた所定の領域に対応する範囲に押し戻される。そのため、供給された付着材料が有効に印刷に供され無駄がなく、回収のための作業の労力を軽減乃至解消することができる。また、付着材料が無駄に広がらず有効に印刷に供されるため、供給する付着材料の量を減量することができる。
【００１３】
前記スキージを往復させて何れの方向への移動に際しても印刷操作を行う場合には、当該スキージの各移動方向に対応する内寄せ作用面を前記凸部が有するものとすることが好ましい。このように構成することで、何れの方向にスキージを移動させる際にも供給された付着材料が中心線Ｂ方向に寄せられ、供給された付着材料が有効に印刷に供され無駄がなく、回収作業の労力軽減乃至解消、並びに、付着材料供給量の減量化が達成されると共に、印刷作業の効率化を図ることができ、この場合の前記凸部の平面形状としては、例えば、２つの前記一面を２つの辺とする三角形状とすることができる。
【００１４】
前記凸部の平面形状としては、１つまたは２つの内寄せ作用面を備える線分（辺）を有していれば特に制限はないが、当該凸部のスキージとの接触面積が小さい直線形状としたり、当該接触面を平面状としたりすることが、スキージの接触部への負荷によるスキージ先端の偏摩耗や割れ乃至欠けを抑制することができるため好ましい。
前記凸部の前記金属板からの高さとしては、各種条件により一概には言えないが、前記スキージへの負荷を低減し、印刷画像への影響を抑制するためには、０．１〜５０μｍの範囲内であることが好ましい。
【００１５】
前記凸部としては、前記スキージが接触する直線Ａの両端双方に１つずつ配されていても、その配された位置においては勿論、本発明の作用が奏され、本発明の効果が期待できるが、スキージの移動方向の全域にわたって付着材料を内側に寄せ、有効に印刷に供されるようにするためには、直線Ａの両端双方に複数ずつ設けらることが好ましい。
【００１６】
前記領域内外の前記パターン状の孔が設けられた部位以外の部位に、前記金属板からの高さが内寄せ凸部と同等以下の任意の平面形状の第２の凸部が設けられてなることが好ましい。当該第２の凸部を備えることにより、これが例えばハンダ等の付着材料中に含まれる粒子の障壁となって転がりの切っ掛けが与えられ転がり性（ローリング性）が向上し、付着材料の動きが促進されてメタルマスクのスキージ面への追従性が高まり、パターン状の孔に前記付着材料が均されて供給され、抜けや溜まりの無い均質なパターン画像を印刷することができる。
【００１７】
なお、付着材料が液体であっても、当該液体中の付着物質等の粒子は勿論、液体中の分子間力等による粒子様挙動が発現していると推測され、第２の凸部による転がり性向上乃至それと同等の作用に基づくパターン画像の均質化の効果が奏される。そのため、以降、付着物質中に粒子様の物質が含まれない場合を含めて「転がり性向上」との表現を用いて説明する。
【００１８】
上記本発明のメタルマスクは、その外周を帯状の弾性張架帯を介して版枠に固定することで、通常のスクリーン印刷に供し得るメタルマスクスクリーン版とすることができる。このとき、該弾性張架帯としては、一般的にメタルマスクスクリーン版でメッシュ（紗）として用いられる紗であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、適切な箇所に適切な形状の内寄せ凸部を設けることで、印刷時において付着材料が印刷領域に寄せられ、ハンダや印刷インクその他の付着材料が有効に印刷に供されるため無駄が無く、印刷に供されなかった付着材料を回収する労力を軽減乃至解消し得るメタルマスクおよびそれを用いたメタルマスクスクリーン版を提供することができる。
また、本発明によれば、さらに適切な箇所に第２の凸部を設けることで、印刷画像の抜けや溜まりの無い均質なパターン画像を印刷し得る印刷性が改善されたメタルマスクおよびそれを用いたメタルマスクスクリーン版を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
［メタルマスクの実施形態］
まず、本発明のメタルマスクについて、いくつかの実施形態およびその変形例を挙げて、図面に則して詳細に説明する。
【００２１】
＜第１の実施形態＞
図１は、本発明の例示的一態様である第１の実施形態のメタルマスクのスキージ面側からの平面図である。図１においては、本実施形態のメタルマスク１０と共にスキージ６も表されている。
【００２２】
メタルマスク１０は、ステンレス製などの金属板２の所定の領域Ｘ1に所望のパターン状の孔４が設けられている他、当該領域Ｘ1の外側に三角形状の凸部８が合計１２個並べて設けられてなるものである。この凸部８は、その三角形の一辺が内寄せ作用面８ａとなっており、内寄せ凸部に相当するものである。
なお、図１には、印刷時に矢印Ｙ方向に移動するスキージ６の進行方向にメタルマスク１０を均等に二分する中心線（領域Ｘ1におけるスキージ６の移動方向と平行である中心線）Ｂが描かれている。
【００２３】
図２は、図１の紙面に対する左上方から見た斜視図である。ただし、図２においては、説明の容易のため、メタルマスク１０に設けられた孔４の図示が省略され、そのパターンが存在する領域Ｘ1のみが表されている。また同様に、スキージ６の図示が省略され、そのスキージ６がメタルマスク１０と接触する直線Ａのみが表されている。さらに、図２においては、手前の左右３個ずつの凸部８のみが図示され、奥方の図示も省略されている。
【００２４】
図２における左側１つ、すなわち矢印Ｃで示す凸部８のみを抜き出して、以下図３〜５を用いて本発明における内寄せ凸部の構成について説明する。ただし、右側の凸部８についても、左右対称であることを除き、同様の作用を奏し同様の効果を発揮する。
図３は、図２における矢印Ｃで示す凸部８のみを抜き出した拡大斜視図である。また、図４は、図２における矢印Ｃで示す凸部８と中心線Ｂとの関係のみを抜き出した拡大平面図である。
【００２５】
図２〜４からわかるように、凸部８には所定の厚み（高さ）があるため側面があり、その３つの側面の内の１つが、内寄せ作用面８ａとなっている。この内寄せ作用面８ａは、スキージ６の移動方向の上流に面し、かつ、中心線Ｂに対して、上流側（８ａ−２）よりも下流側（８ａ−１）で近付く様（線分ｂ＞線分ａ）に傾けられた側面である（図４参照）。このように内寄せ作用面８ａを傾斜させることで、印刷時における付着材料のスキージ６長手方向への広がりが抑制されて（以下、この作用を「内寄せ作用」と称する場合がある。）有効に印刷に供される。当該作用並びに効果については、後に詳述する。
【００２６】
図５は、図２における矢印Ｃで示す凸部８における内寄せ作用面８ａと中心線Ｂとの関係を説明するための模式説明図である。内寄せ作用面８ａと中心線Ｂとの成す角θを、以下「内寄せ作用角」と称する。
内寄せ作用面８ａの傾斜の程度に制限はなく、図４で示す所の「線分ｂ＞線分ａ」（０゜＜内寄せ作用角θ＜９０゜）を満たしさえすれば、本発明の作用が発現し効果が奏される。ただし、この傾きがあまりに大きい（内寄せ作用θの値が大きい）と、付着材料のスキージ６長手方向への広がりを抑制する作用が小さくなり、あまりに小さい（内寄せ作用θの値が小さい）と、付着材料を中心線Ｂ方向に寄せるのに長い道程を要してしまい、それぞれ好ましくない。
【００２７】
具体的に内寄せ作用θの値の下限としては、５°以上であることが好ましく、２０°以上であることがより好ましく、４５°以上であることがさらに好ましい。一方、具体的に内寄せ作用θの値の上限としては、８５°以下であることが好ましく、８０°以下であることがより好ましく、７０°以下であることがさらに好ましい。
【００２８】
図６（ａ）に、凸部８における内寄せ作用面８ａおよびその周辺部の拡大断面図を示す。符号Ｄで示されるように、スキージとの接触面８ｂと内寄せ作用面８ａとの境は角が立った状態となっており、ハンダ等の付着材料を有効に堰き止めて、中心線Ｂ側に導き得る形状になっている。
【００２９】
ただし、図６（ｂ）の符号Ｄ’に示すような角を丸めた、いわゆる面取りした状態であっても構わない。このように面取りすることで、スキージ６先端への負荷を軽減し、偏摩耗や割れ乃至欠けを抑制することができる。面取りする場合には、面取りによる効果と付着材料の堰き止め効果の低下とを比較考量して、適切な程度に面取りすればよい。
【００３０】
次に、本実施形態のメタルマスクによる印刷操作にしたがい、図７〜図９を用いて本発明の作用・効果について説明する。なお、図７〜図９は、図１のメタルマスクを用いたスクリーン印刷について、その作業を説明するためのスキージ面側からの平面図であり、図７は印刷作業開始前の状態、図８は印刷作業の途中段階、図９は図８の状態から僅かに時間が経過した後の状態である。
【００３１】
まず、メタルマスク１０の被印刷物側の面が接するように、プリント基板等の被印刷物の印刷対象面に載置並びに固定し、スキージ６を印刷前の位置に置く（図１参照。ただし、被印刷物は不図示。）。そして、図７に示すようにスキージ６の移動方向Ｙ側にハンダ等の付着材料１２を供給する。
【００３２】
次いで、スキージ６をメタルマスク１０のスキージ面を押し付けながら矢印Ｙ方向に移動させて付着材料１２を孔４に擦り込み、これを通じて被印刷物に押し出す。このとき、スキージ６により擦られて移動している付着材料１２は、図８に示すように、スキージ６の長手方向（図２における直線Ａの両端方向）に広がり、当初（図７の状態）は印刷領域である領域Ｘ1に対応する範囲に供給されていたものが、符号１２ａおよび１２ｂに示されるように当該範囲を超える。このはみ出した状態の付着材料１２ａ，１２ｂは、凸部８の内寄せ作用面８ａに当たると内寄せ作用が働き、図１０に示すように中心線Ｂ側に引き戻される。
【００３３】
この内寄せ作用は、スキージ６と共に移動する付着材料１２のはみ出し部分１２ａ，１２ｂの全てが内寄せ作用面８ａに当たって、領域Ａに対応する位置まで寄せられなければならないわけでは無く、はみ出し部分１２ａ，１２ｂの一部またはほとんどがを乗り上げて凸部８の平面部８ｂを移動しても、はみ出し部分１２ａ，１２ｂにおいて中心線Ｂ側に寄せられる作用が働きその傾向が生じていれば本発明の作用は発揮される。
【００３４】
また、このように凸部８に対して付着材料１２が乗り上げることで付着材料１２の転がり性が向上し、当該部位およびその近傍における付着材料１２の動きが促進されて金属板２２表面への追従性が高まる効果もある。そのため、付着材料１２がハンダの様に微細な粒子の集合である場合であっても、当該ハンダ粒子よりも凸部８の高さが小さくても問題なく、スキージ６に与えるダメージや印刷性等から凸部８の適切な高さが選択される。
【００３５】
以上のように、本実施形態のメタルマスクによれば、印刷時にスキージ６の長手方向に広がる付着材料１２が、凸部８の内寄せ作用面８ａに接した際に内寄せ作用面８ａの傾斜によって中心線Ｂ方向に寄せられ、パターン状の孔４が設けられた領域Ｘ1に対応する範囲の方向へと押し戻される。そのため、供給された付着材料１２が有効に印刷に供され、回収のための作業の労力を軽減乃至解消することができる。また、付着材料１２が無駄に広がらず有効に印刷に供されるため、供給する付着材料１２の量を必要最小限に近い量まで減量することができる。
【００３６】
本発明において凸部の平面形状としては、本実施形態の凸部８のような三角形状に限定されるものではなく、、上記の如き内寄せ作用面さえ備えていれば特に制限はない。
図１０は、凸部の平面形状の変形例を示す平面図である。図１０の（ａ）〜（ｃ）においてはそれぞれ、下方がスキージの上流方向であり、右側がパターン状の孔が設けられた領域の中心線Ｂの側である。
【００３７】
図１０（Ａ）に示す凸部８-1は直線形状であり、側面の一方が内寄せ作用面８-1ａとなっている。この形状は、印刷時におけるスキージとの接触面積が小さく、スキージ先端への負荷による偏摩耗や割れ乃至欠けを抑制することができる形状であり好ましい。
図１０（Ｂ）に示す凸部８-2は長方形状であり、長辺の一方が内寄せ作用面８-2ａとなっている。また、図１０（Ｃ）に示す凸部８-3は台形状であり、斜辺が内寄せ作用面８-3ａとなっている。
【００３８】
図１０（Ｂ）および図１０（Ｃ）に示される平面形状や本実施形態の如き三角形状のように、平面形状に一定の面積を有する場合には、スキージとの接触面（図３における符号８ｂ）を平面状とすることが、スキージ先端への負荷による偏摩耗や割れ乃至欠けを抑制することができるため好ましい。勿論、図６（Ａ）に示される凸部８-1の如き直線形状であっても、平面形状にある程度の面積が認められる場合には、接触面を平面状にすることが望ましい。
直線形状以外の平面形状としては、本実施形態に示すように複数の凸部を効率的に並べて配置することができる三角形状（内寄せ作用面を１つの辺とするもの。）であることが好ましい。
【００３９】
凸部の厚さ（メタルマスクの金属板からの高さ）としては、一義的に定まるものではなく、メタルマスクの大きさ（面積、厚さ）や材質、孔のパターン（大きさやピッチ）、凸部の形状（符号８，２８，３８，４８の他各種形状）、前記面取りの有無、付着材料の種類（材質、性状等）、スキージの強度、スキージの移動速度等により適切に選択すればよい。例えば、付着材料がハンダの場合、凸部の厚さとしては、ハンダの粒径からある程度適切な範囲が定まる。なお、ハンダの粒径は、大略１μｍ〜５０μｍであり、印刷用途により適切な粒径の範囲は異なってくる。
【００４０】
凸部の厚さの程度としては、具体的には、０．１μｍ〜５０μｍの範囲内から選択され、０．２μｍ〜２０μｍの範囲内であることが好ましい。
また、スキージへの負荷を低減し、印刷画像への影響を抑制するためには、０．３〜１０μｍの範囲内であることが好ましく、０．４μｍ〜５μｍの範囲内であることがより好ましく、０．５μｍ〜５μｍの範囲内であることがさらに好ましい。。
【００４１】
凸部の数としては、本実施形態においては左右６個ずつ計１２個配しているが、この数に制限はなく、使用する付着材料の挙動から適切な数を選択すればよい。また、要所に左右各１個のみ設ければ内寄せ作用が有効に奏され、本発明特有の優れた効果が期待できる。さらに、左右の片側のみに配されていても、最適の条件でない位置に配されていても、少なくともその配された凸部の内寄せ作用面による内寄せ作用は奏されるため、本発明特有の効果が期待できる。
勿論、内寄せ作用をより効果的に発現させるためには、凸部を左右に複数ずつ配することが望ましい。
【００４２】
なお、本実施形態においては、凸部の配置を左右対称としているが、勿論それに限定されるわけでは無く、千鳥状やランダムに設けても一考に構わない。隣接する凸部との間隔についても、本実施形態の如く一定である必要はなく、たとえばスキージ６の移動方向の上流から下流に向けて、徐々に間隔が狭まるように配置する等、適宜設計することができる。
【００４３】
＜第２の実施形態＞
図１１は、本発明の例示的一態様である第２の実施形態のメタルマスク２０のスキージ面側からの平面図である。図１１においては、図１と同様、本実施形態のメタルマスク２０と共にスキージ２６も表されている。
【００４４】
本実施形態において、金属板２２に設けられた孔２４のパターンやその領域Ｘ2は、第１の実施形態のメタルマスク１０の金属板２に設けられた孔４のパターンやその領域Ｘ1と同様であり、また、スキージ２６も同一の物を用いている。本実施形態においては、内寄せ凸部の形状が、第１の実施形態の凸部８とは異なり、図１１中の凸部２８に示されるように、底辺が金属板２２の端辺と平行な二等辺三角形状となっている。
【００４５】
本実施形態においては、第１の実施形態と同様、印刷作業開始前には左側の位置Ｌにスキージ２６は待機している。そして、印刷時にスキージ２６は矢印Ｙ方向に移動して、印刷終了時には位置Ｒに達する。最初の印刷終了後、メタルマスク２０を他の被印刷物（不図示）の印刷対象面に載置並びに固定して、今度は位置Ｒから矢印Ｙ’方向に移動して次の印刷作業が為される。すなわち、スキージ２６の移動方向が往復（Ｙ，Ｙ’）の２方向となっている。
【００４６】
本実施形態において、凸部２８は、その側面の１つである２８ａが、矢印Ｙ方向に移動するスキージ２６に対する内寄せ作用面を構成している。また、他の１つの側面である２８ａ’が、矢印Ｙ’方向に移動するスキージ２６に対する内寄せ作用面を構成している。すなわち、凸部２８は、スキージ２６の各移動方向Ｙ，Ｙ’に対応する内寄せ作用面２８ａ，２８ａ’を有し、これらを二等辺とし、他の一辺を底辺とする二等辺三角形状である。
【００４７】
本実施形態のメタルマスクによれば、スキージ２６を往復させてそれぞれ印刷操作を行った場合にも、スキージ２６の各移動方向Ｙ，Ｙ’に対応する内寄せ作用面２８ａ，２８ａ’の作用により、供給された付着材料が中心線Ｂ方向に寄せられ、供給された付着材料が有効に印刷に供され無駄がなく、回収作業の労力軽減乃至解消、並びに、付着材料供給量の減量化が達成されると共に、印刷作業の効率化を図ることができる。
【００４８】
凸部２８における内寄せ作用面２８ａ，２８ａ’の傾斜の程度（内寄せ作用角θ：図５参照）については、第１の実施形態において説明した通りである。なお、２つの内寄せ作用面２８ａ，２８ａ’のそれぞれ内寄せ作用角θが同一であっても異なっていても構わない。
【００４９】
凸部２８の厚さ（メタルマスクの金属板からの高さ）については、第１の実施形態において説明した通りである。また、凸部の数としては、本実施形態においては左右５個ずつ計１０個配しているが、本発明においてこの数に制限はなく適宜設定されるものである点も第１の実施形態において説明した通りである。これら（内寄せ作用角θ、凸部の厚さ、凸部の数）については、以降の実施形態においても同様であるため、それぞれの実施形態の項における説明は省略する。
【００５０】
本実施形態における作用・効果を実現するための凸部の平面形状としては、本実施形態の凸部２８のような二等辺三角形状に限定されるものではなく、スキージ２６の各移動方向Ｙ，Ｙ’に対応する２つの内寄せ作用面を備えていれば特に制限はない。例えば、２つの辺を内寄せ作用面とする四角形や五角形等の多角形状やその他不定形としたり、それぞれの内寄せ作用面の内寄せ作用角θが異なる、二等辺と成らない三角形状であっても構わない。
【００５１】
＜第３の実施形態＞
図１２は、本発明の例示的一態様である第３の実施形態のメタルマスク２０のスキージ面側からの平面図である。図１２においては、図１と同様、本実施形態のメタルマスク３０と共にスキージ３６も表されている。
【００５２】
本実施形態においては、金属板３２に設けられた孔３４のパターンやその領域Ｘ3は勿論、凸部３８の配置や形状まで、第１の実施形態のメタルマスク１０の金属板２に設けられた孔４のパターンやその領域Ｘ1、並びに凸部８と同様であり、また、スキージ３６も同一の物を用いている。本実施形態においては、第１の実施形態の構成に加えて、領域Ｘ3の内外に第２の凸部３９が設けられている点が第１の実施形態と異なっている。
第２の凸部３９は、基本的な形状は長方形であり、領域Ｘ3の内外にわたって規則的に配列している。ただし、孔３４のある部位については、その部分だけ欠けた形状となっており、当該欠けた部位は穿孔されている。
【００５３】
この第２の凸部３９は、その厚さ（金属板からの高さ）が、内寄せ凸部である凸部３８と同程度かそれよりも低い。内寄せ凸部と第２の凸部のそれぞれの機能が発揮される範囲で、両者の厚さは相違していて構わない。具体的には、両者間の厚さの差異が、平均として±２０％以内であることが好ましいが、より差が開いていても構わない。凸部３９の厚さとしては、具体的には、０．１μｍ〜５μｍの範囲が好ましく、０．５μｍ〜５μｍの範囲がより好ましい。
【００５４】
本実施形態によれば、第２の凸部３９を備えることにより、これが例えばハンダ等の付着材料中に含まれる粒子の障壁となって転がりの切っ掛けが与えられ転がり性（ローリング性）が向上し、付着材料の動きが促進されてメタルマスク３０のスキージ面への追従性が高まり、パターン状の孔３４に前記付着材料が均されて供給され、抜けや溜まりの無い均質なパターン画像を印刷することができる。
【００５５】
特に本発明に特徴的な内寄せ凸部である凸部３８では、長手方向に広がろうとする付着材料を中心線Ｂ方向に寄せる作用が生じ、同時に当該箇所における転がり性向上効果も発現するため、移動するスキージ３６の長手方向全域にわたって付着材料の転がり性が向上し、付着材料の動きが促進されてメタルマスクのスキージ面への追従性が高まる。凸部３８により付着材料が内側に寄せられ、これが全体として高い転がり性で領域Ｘ3に供給されるため、パターン状の孔３４に付着材料が均されて供給され、抜けや溜まりの無い均質なパターン画像を印刷することができる。
【００５６】
第２の凸部３９の形状としては、本実施形態では長方形状であるが、これに限定されるものでは無く、正方形状、三角形状、五角形状等の多角形状や円形状、楕円形状、その他不定形を含む各種形状を採用することができる。ただし、高い転がり性向上効果を求める場合には、スキージ３６に平行に対向する面を有することが好ましい。
【００５７】
また、第２の凸部としては、内寄せ凸部と同一乃至相似形状にする等、内寄せ作用面と同様の機能を有する面（中心線Ｂに対して傾斜を持たせた、スキージの移動方向上流に面した面）を備える形状としても構わない。ただしこの場合、当該面は、内寄せ凸部と同様、中心線Ｂに対して上流側よりも下流側で近付く様に傾けられるように配することが望ましい。第２の凸部をこのように配することで、内寄せ凸部も第２の凸部も何も設けなければ、スキージと共に移動するに従ってスキージの長手方向に広がってゆく付着材料の動きが制限され、中心線Ｂ方向に集まるような力が作用し、これら凸部による転がり性向上効果と相俟って、付着材料が均されて供給され、抜けや溜まりの無い均質なパターン画像を印刷することができる。
【００５８】
第２の凸部の配置としては、本実施形態の第２の凸部３９は、主として領域Ａの全面に千鳥状に配置しているが、縦横整列させてもよいし、ランダムに配置してもよい。また、孔３４のパターンに応じて密度を異ならせても構わないし、領域Ｘの範囲外にもっと多く配置しても構わない。
【００５９】
既述の通り、本実施形態では、第２の凸部３９は、孔３４のパターンを無視して規則的に配置し、孔３４の部分はそのまま穿孔された状態となっているが、孔３４が位置しない部位を選択して第２の凸部を配置するようにしても構わない。なお、内寄せ凸部と略等しい高さの第２の凸部３９の分だけ孔３４の縁の一部の厚みが大きくなっていても、内寄せ作用や転がり性を発現させる程度のこれら凸部の高さであれば、印刷性に影響を与える懸念は無い。
【００６０】
＜第４の実施形態＞
図１３は、本発明の例示的一態様である第４の実施形態のメタルマスク２０のスキージ面側からの平面図である。図１３においては、図１と同様、本実施形態のメタルマスク４０と共にスキージ４６も表されている。
【００６１】
本実施形態においては、金属板４２の４つの領域Ｘａ，Ｘｂ，Ｘｃ，Ｘｄにそれぞれパターン状の孔が設けられ、これら各領域それぞれに対応する内寄せ凸部が設けられている。なお、図１３中には、スキージ６の移動方向（矢印Ｙ方向）と平行であって、領域Ｘａおよび領域Ｘｂにおける中心線Ｂａ-ｂと、領域Ｘｃおよび領域Ｘｄにおける中心線Ｂｃ-ｄが描かれている。
４つの領域Ｘａ，Ｘｂ，Ｘｃ，Ｘｄに共通であるため、領域Ｘａについて説明する。なお、図１３においても、主として領域Ｘａについてのみ引き出し線と共に符号が付されているが、勿論他の３つの領域についても同様である。
【００６２】
図１３を見ればわかるように、領域Ｘａにおけるスキージ４６の移動方向（矢印Ｙ方向）と平行である中心線Ｂａ−ｂを基準としてその左右両側であって領域Ｘａ以外の部位に、スキージ４６の移動方向（矢印Ｙ方向）の上流（図１３における左側）に面し、かつ、中心線Ｂａ−ｂに対して上流側よりも下流側で近付く様に傾けられた一面（内寄せ作用面４８ａ）を側面に有する凸部４８が左右６個ずつ設けられている。
この凸部４８は、領域Ｘｂ，Ｘｃ，Ｘｄにおいても同様に設けられている。
【００６３】
このように、１枚のメタルマスク４０中に、パターン状の孔４４が設けらた領域Ｘａ，Ｘｂ，Ｘｃ，Ｘｄが複数（本実施形態では４箇所）含まれる場合には、それぞれの領域に対して内寄せ凸部として機能する凸部４８を設けることで、各領域毎に内寄せ作用が生じ、メタルマスク４０の外周乃至その周辺は勿論、領域Ｘａ−Ｘｃ間や領Ｘｂ−Ｘｄ間の孔４４が存在しない箇所から、領域Ｘａ，Ｘｂ，Ｘｃ，Ｘｄに対応する範囲に押し戻される。そのため、供給された付着材料が極めて有効に印刷に供され無駄がなく、回収のための作業の労力を軽減乃至解消することができる。また、付着材料が無駄に広がらず有効に印刷に供されるため、供給する付着材料の量を必要最小限に近い量まで減量することができる。
【００６４】
なお、この「領域」の数は、本実施形態では４箇所としたが、本発明においては勿論これに限定されるものでは無く、もっと数多くしてもよいし、３箇所以下であっても構わない。また、どのような領域を本発明に言う領域とするかは、パターン状の孔の集合体であってある程度の範囲を有すればよく、スキージの移動方向と平行である中心線Ｂを基準としてその左右両側であってその領域以外の部位に内寄せ凸部を設けることができるような当該領域であれば、１つの領域として論ずることができる。
【００６５】
例えば、図１３で言えば、領域Ｘａ，Ｘｂ，Ｘｃ，Ｘｄの４つで本発明に言う１つの「領域」を構成するとみなして、第１の実施形態にかかる図１と同様に、メタルマスク４０の長辺の近傍にのみ内寄せ凸部を設けることとしても構わない。勿論、本実施形態の如く、「領域」を細かく分画して捉えて、それら「領域」に対応してそれぞれ内寄せ凸部を設けることが、供給された付着材料の無駄がより少なく、好ましい。
また、本実施形態では、４つの領域Ｘａ，Ｘｂ，Ｘｃ，Ｘｄに同一のパターン状の孔４４が設けられた構成を例示しているが、複数の「領域」に設けられる孔のパターンは異なっていてもよく、それに応じて各領域の大きさが異なっていても構わない。
【００６６】
以上、本発明のメタルマスクについて、好ましい実施形態および変形例を挙げて説明したが、本発明は、以上の実施形態に限定されるものではなく、当業者は公知の知見により本発明の構成に変更・改良を加えることができる。
例えば、実施例２で説明した形状の内寄せ凸部を実施例３や実施例４のメタルマスクの構成に取り入れて、往復印刷に対応したメタルマスクとしたり、実施例３で説明した第２の凸部を実施例４のメタルマスクの構成に取り入れて、「領域」が複数あるメタルマスクについてその全面で付着材料の転がり性向上を貴としたメタルマスクとしたり等、各実施形態の構成を任意に取り入れたメタルマスクについても勿論、本発明の範疇に含まれるものである。
【００６７】
［メタルマスクの構成部材の詳細］
次に、本発明のメタルマスクを構成する各要素について、詳細に説明する。
（金属板）
本発明においてメタルマスクの金属板の材料としては、特に制限はなく、従来からメタルマスクスクリーン版におけるメタルマスクの材料として用いられてきた各種金属を問題なく使用することができる。具体的には例えば、ニッケル、鉄、銅、およびこれらの金属を含む合金が挙げられる。加工性や経済性の観点から、これらの中でもニッケルおよびその合金が好ましい。
【００６８】
本発明において金属板の厚みとしては、特に制限はないが、ある程度の耐久性を確保するためには、５μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であることがより好ましい。一方、当該金属板の厚みの上限としては、目的に応じて適宜厚膜とすることもできるが、高精細な画像を得るためには、１００μｍ以下であることが好ましく、５０μｍ以下であることがより好ましい。
本発明において金属板の大きさとしては、印刷しようとする面の面積に依存し、特に制限はないが、一般的には一辺が５０ｍｍ〜１０００ｍｍの範囲内の長方形状のものが選択される。勿論、メタルマスクの形状としては、長方形に制限されるものではない。
【００６９】
（パターン状の孔（開口部））
パターン状の孔（開口部）は、ハンダペースト等の付着材料により印刷すべきパターンであるので、大きさや形状に勿論制限はなく、所望の形状・大きさが適宜選択される。ただし、プリント基板の配線やバンプ形成を目的としてハンダペーストを印刷する場合には、そのハンダ粒子の粒径やプリント基板の機能から考えて、一般的に、円相当の開口径として１５μｍ以上とすることが望ましい。
【００７０】
（凸部）
本発明に特徴的な内寄せ凸部は、（１）前記金属板と一体成形で形成する方法、（２）金属板から凸部以外の箇所を除去して凸部を形成する方法、（３）メッキや塗装により金属板に凸部を形成する方法、（４）別途内寄せ凸部のみを作製してこれを金属板に貼り付けて形成する方法、等が挙げられる。
【００７１】
（１）「前記金属板と一体成形で形成する方法」
内寄せ凸部の形成方法として一体成形する場合には、成形の際の型に予め当該内寄せ凸部を形成し得る凹部を設けておく。例えば、金属板を圧延により成形する場合には、最終段階の圧延ロールに予め当該内寄せ凸部を形成し得る凹部を設けておけばよい。
【００７２】
（２）「金属板から凸部以外の箇所を除去して凸部を形成する方法」
金属板から内寄せ凸部以外の箇所を除去して内寄せ凸部を形成する方法としては、化学的な除去方法と物理的な除去方法の２通りの方法を挙げることができる。この方法の場合には、金属板にパターン状の孔を穿孔する前後いずれにおいて凸部を形成する操作を行っても構わない。
【００７３】
化学的な方法とは、化学エッチングにより内寄せ凸部を形成する方法である。すなわち化学エッチングとは、金属板のスキージ面における内寄せ凸部が形成される部位をレジスト等によりマスキングして、当該部位以外の部位を金属板の材質に応じて適した酸（エッチング液）によりエッチングして溶解し、内寄せ凸部を形成する方法である。エッチング液の種類や濃度、エッチング時間等を調整することにより、所定の高さ（金属板からの高さ）を有する内寄せ凸部を容易に形成することができ、好ましい形成方法であると言える。
【００７４】
物理的な方法とは、ショットブラストやその他各種研磨により、内寄せ凸部が形成される部位以外の部位を物理的に削り取る方法である。研磨に際して、内寄せ凸部が形成される部位をマスキングすることで、効率的に当該部位以外の部位を削り取り、内寄せ凸部を形成することができるが、内寄せ凸部が形成される部位以外の部位のみにショットする方法であっても構わない。物理的な方法によれば、得られるスキージ面が適度に粗される為、ハンダ等の付着材料の転がり性が向上する反面、緻密な形状の内寄せ凸部を形成し難い。
【００７５】
（３）「メッキや塗装により金属板に凸部を形成する方法」
メッキや塗装により金属板に凸部を形成する方法も、金属板にパターン状の孔を穿孔する前後いずれにおいて凸部を形成する操作を行っても構わない。
メッキの場合、金属板と同一材料あるいは異なる材料のいずれをもメッキ材料として使用することができ、その目的や用途に応じて選択すればよい。メッキの方法としては、特に制限なく一般的な方法を採用することが可能であるが、緻密な形状の内寄せ凸部を形成するためには、電解メッキ法、無電解メッキ法、各種蒸着法等の精密なメッキ方法を採用することが好ましい。
【００７６】
一方、塗装の場合、スキージとの摺擦に耐える強度を有する塗膜を形成することが望ましく、塗装によってそのような密着性および硬度を有しつつ、内寄せ凸部として適切な薄膜状の塗膜を形成し得る塗料を選択することが望ましい。
メッキおよび塗装のいずれの場合においても、金属板のスキージ面における内寄せ凸部が形成される部位以外の部位をレジスト等によりマスキングしてから、メッキあるいは塗布の作業を行えばよい。これにより、マスキングされた部位以外の部位にメッキあるいは塗装が施され、内寄せ凸部が形成される。
【００７７】
（４）別途内寄せ凸部のみを作製してこれを金属板に貼り付けて形成する方法
この方法は、内寄せ凸部となるいわゆるシールを作製しておいて、これを金属板に貼り付ける方法である。具体的には各種樹脂、各種金属や繊維布、不織布、セラミックス材料等からなるシートに適当な接着剤を塗布して金属板と貼り合わせればよい。スキージとの摺擦に耐える強度を有する材料および接着剤で形成することが望ましい。
【００７８】
本発明に特徴的な内寄せ凸部の材料としては、例えば上記（１）や（２）の方法によれば、必然的に前記金属板と同一の材料となり、上記（３）や（４）の方法においては特に制限はない。具体的には、各種金属や樹脂、セラミックス材料等を挙げることができる。上記（３）において、メッキにより内寄せ凸部を形成する場合には、金属板と融合してスキージとの摺擦に耐える強度を備えるような材料を選択することが好ましく、金属板と同一材料にすることが最も好ましい。
【００７９】
一方、第２の凸部についても、内寄せ凸部と同様の方法で形成することができ、また、同様の材料を選択することができる。このとき、内寄せ凸部で選択した方法以外の方法で形成してもよいし、同じ方法で形成しても構わない。また、材料についても同一の物でも異なる物でも構わない。両者の高さをより均一にしたい場合には、同一の材料で同一の方法により、内寄せ凸部と第２の凸部とを同時に形成することが望ましい。
【００８０】
［メタルマスクスクリーン版］
本発明のメタルマスクは、版枠に固定してメタルマスクスクリーン版とした上で用いてもよい。通常のスクリーン印刷版ではスキージ側全面に設けられる紗を、メタルマスクの外周まで延伸させて、これを版枠に固定することでいわゆる「紗張り」している。しかし、本発明のメタルマスクに、この「紗」に相当する部材によって紗張りしてしまった場合、本発明に特徴的な内寄せ凸部や第２の凸部の作用がスポイルされてしまうため、本発明のメタルマスクの外周（好ましくはスキージ面側）に帯状の弾性張架帯を貼り付け、これを介して版枠に固定すればよい。
【００８１】
図１４に、本発明の一例である第１の実施形態のメタルマスクを版枠に固定させたメタルマスクスクリーン版のスキージ面側から見た平面図を示す。第１の実施形態のメタルマスク１０におけるスキージ面側の外周近傍の接着部１８には、メタルマスク１０の外形よりも若干小さな長方形の開口を有する弾性張架体１４が、当該開口からメタルマスク１０のスキージ面が表出するように接着されている。そして弾性張架体１４の外周が型枠１６に固定されて、メタルマスク１０が弾性張架体１４を介して型枠１６に張り渡された状態（いわゆる「紗張り」に近似した状態）となっている。
【００８２】
このような弾性張架帯は、メタルマスク（金属板）の外側においては通常のスクリーン印刷版で用いられる紗と同等の意義の部材であるため、従来からメタルマスクスクリーン版における紗（メッシュ）の材料として用いられてきたものを問題なく使用することができる。具体的には例えば、ステンレス、アルミニウム、鉄、銅、およびこれらの金属を含む合金等の金属メッシュや、ポリエステル（例えばテトロン（登録商標））等の樹脂製メッシュが挙げられる。また、これら樹脂製メッシュの表面を前記金属あるいは合金で被覆した物でも構わない。
【００８３】
ただし、本発明において弾性張架帯として採用可能な紗は、メタルマスクに穿たれたパターン状の孔に設けられるものではないことから、繊維の太さや繊維の密度（いわゆる「メッシュ」）に何ら制限は無い。本発明のメタルマスクと版枠との間を、印刷に供するのに適した程度の張力で張り渡すことができる所望の弾性力を有していれば、繊維の太さや繊維の密度は全く任意の値で構わない。また、前記所望の弾性力を有していれば、特に紗に限定されるものではなく、従来公知のシート状ないしフィルム状の部材を前記弾性張架帯として採用することも可能である。耐久性やコストの観点からは、前記弾性張架帯として紗を用いることが最も簡便であり好ましい。
【００８４】
また、使用可能な版枠としては、特に制限はなく、従来からスクリーン印刷版における版枠として用いられてきたものを問題なく使用することができる。前記弾性張架帯を介して前記版枠に固定（いわゆる、「紗張り」）した際、前記弾性張架帯に十分なテンションがかけられ、スクリーン印刷に供する際、十分な形状保持性を有するものであれば、その形状、構造、大きさ、材料に如何なる制限も課されない。具体的な材料としては、ステンレス、アルミニウム、鉄、銅等の金属材料のほか、各種プラスチック材料でも構わない。
【００８５】
前記金属板と前記弾性張架帯との間の固定、および、前記弾性張架帯と版枠との間の固定は、特に制限は無く、従来公知の一般的な方法によればよい。例えば、接着固定方法の例を挙げれば、溶接による方法、接着剤による方法、メッキによる方法、超音波溶着による方法、ビス止めや押さえ具により加圧しての取り付け等機械的取付方法、等が挙げられ、いずれの方法で行っても全く問題ない。
【００８６】
なお、本発明において、当該版枠は必須の構成要素ではないが、通常のスクリーン印刷においては、版枠に紗張りした状態で用いられることが多い。ただし、印刷装置に直接取り付ける態様のもの等版枠を有しない状態のまま、スクリーン印刷に供し得る場合も想定され、かかる場合においても本発明のメタルマスクは好適に使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８７】
【図１】本発明の例示的一態様である第１の実施形態のメタルマスクのスキージ面側からの平面図である。
【図２】図１の紙面における左上方から見た斜視図である。
【図３】図２における矢印Ｃで示す凸部の拡大斜視図である。
【図４】図２における矢印Ｃで示す凸部と中心線Ｂとの関係のみを抜き出した拡大平面図である。
【図５】図２における矢印Ｃで示す凸部における内寄せ作用面と中心線Ｂとの関係を説明するための模式説明図である。
【図６】凸部における内寄せ作用面およびその周辺部を示す拡大断面図であり、（ａ）は図２における矢印Ｃで示す凸部の態様を示し、（ａ）はその変形例を示すものである。
【図７】図１のメタルマスクを用いたスクリーン印刷について、その作業を説明するためのスキージ面側からの平面図であり、印刷作業開始前の状態である。
【図８】図１のメタルマスクを用いたスクリーン印刷について、その作業を説明するためのスキージ面側からの平面図であり、印刷作業の途中段階である。
【図９】図１のメタルマスクを用いたスクリーン印刷について、その作業を説明するためのスキージ面側からの平面図であり、図９の状態から僅かに時間が経過した状態である。
【図１０】凸部の平面形状の変形例を示す平面図である。
【図１１】本発明の例示的一態様である第２の実施形態のメタルマスクのスキージ面側からの平面図である。
【図１２】本発明の例示的一態様である第３の実施形態のメタルマスクのスキージ面側からの平面図である。
【図１３】本発明の例示的一態様である第４の実施形態のメタルマスクのスキージ面側からの平面図である。
【図１４】図１のメタルマスクを版枠に固定させたメタルマスクスクリーン版のスキージ面側からの平面図である。
【図１５】従来のメタルマスクを用いたスクリーン印刷について、その作業を説明するためのスキージ面側からの平面図であり、印刷作業開始前の状態である。
【図１６】従来のメタルマスクを用いたスクリーン印刷について、その作業を説明するためのスキージ面側からの平面図であり、印刷作業初期の状態である。
【図１７】従来のメタルマスクを用いたスクリーン印刷について、その作業を説明するためのスキージ面側からの平面図であり、印刷作業後期の状態である。
【符号の説明】
【００８８】
２，２２，３２，４２，１０２：金属板
４，２４，３４，４４，１０４：パターン状の孔
６，２６，３６，４６，１０６：スキージ
８，２８，３８，４８：凸部
１０，２０，３０，４０，１１０：メタルマスク
１２，１１２：付着材料
１４：弾性張架体
１６：型枠
１８：接着部
３９：第２の凸部
【図１】
2008213215.tif 000003
【図２】
2008213215.tif 000004
【図３】
2008213215.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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