(57)【要約】【課題】無負荷状態ではスライドテーブルがセンター位置に保持され、機器を受載した状態にて僅かな操作力でスライドテーブルをＸ，Ｙ方向に移動させることができ、かつ、その移動（調整）が終了した時点で、スライドテーブルを位置固定できるようにした位置決めユニットを提供する。【解決手段】スライドテーブル２が機器１を受載していない状態では、テーブル位置規制板１３の周縁に形成された係合部１６が位置決め開口１５に付勢係合することによって、スライドテーブル２がセンター位置に位置決めされ、スライドテーブル２が機器１を受載すると、付勢手段１２の付勢力に抗してテーブル位置規制板１３が降下して位置決め開口１５に対する係合部１６の係合状態が解除され、スライドテーブル２が位置調整自在となる。【選択図】  図１
2008098288.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
機器（１）を受載するためのスライドテーブル（２）が平面内に移動自在となるように本体筐体（３）に設けられ、前記スライドテーブル（２）を所望の位置で固定保持するための位置決め手段（４）（５）が、前記本体筐体（３）とスライドテーブル（２）に連係して互いに直交する２方向に配設可能な位置決めユニットであって、
本体筐体（３）内には、前記スライドテーブル（２）を支持する支持機構（６）が設けられ、該支持機構（６）は、前記スライドテーブル（２）に固定される支承部材（７）と、該支承部材（７）を囲むように設けられる下部開放のケーシング（８）と、該ケーシング（８）と前記支承部材（７）の間に形成される空間部（９）と、該空間部（９）の下部を塞ぐために前記本体筐体（３）の底部に敷設されるベース板（１０）と、前記空間部（９）に挿入され前記ベース板（１０）上を転動しつつ循環移動する複数の球体（１１）と、を備え、
前記ケーシング（８）の上面には、付勢手段（１２）によって上方に向けて付勢されるテーブル位置規制板（１３）が載設されて前記スライドテーブル（２）の下部に固定され、かつ、前記本体筐体（３）の天板部（１４）には、前記テーブル位置規制板（１３）をセンター位置に位置決めするための位置決め開口（１５）が形成され、前記スライドテーブル（２）が機器（１）を受載していない状態では、前記テーブル位置規制板（１３）の周縁に形成された係合部（１６）が前記位置決め開口（１５）に付勢係合することによって、前記スライドテーブル（２）がセンター位置に位置決めされ、前記スライドテーブル（２）が機器（１）を受載すると、前記付勢手段（１２）の付勢力に抗して前記テーブル位置規制板（１３）が降下して前記位置決め開口（１５）に対する前記係合部（１６）の係合状態が解除され、前記スライドテーブル（２）が位置調整自在となることを特徴とする位置決めユニット。
【請求項２】
前記位置決め手段（４）（５）が操作部（４ａ）（５ａ）と雄螺子部（４ｂ）（５ｂ）を有し、該雄螺子部（４ｂ）（５ｂ）が前記スライドテーブル（２）のフランジ部（３１）に形成された横方向の長孔（３２）（３３）に移動自在に遊嵌され、該雄螺子部（４ｂ）（５ｂ）と、該雄螺子部（４ｂ）（５ｂ）に螺合する一対の雌螺子部材（４ｃ）（５ｃ）とによって前記長孔（３２）（３３）の周縁が挟持状態に固定されることを特徴とする請求項１に記載の位置決めユニット。
【請求項３】
前記位置決め手段（４）（５）の雄螺子部（４ｂ）（５ｂ）の先端が、ボールジョイント（４ｄ）（５ｄ）を介して前記本体筐体（３）に連係されることを特徴とする請求項１又は２に記載の位置決めユニット。
【請求項４】
前記本体筐体（３）の天板部（１４）に形成される位置決め開口（１５）と、該位置決め開口（１５）に係合する前記テーブル位置規制板（１３）の係合部（１６）の係合面が、上方に向けて窄まるテーパー状に形成されることを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の位置決めユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機器を受載して平面内に移動自在なスライドテーブルと、該スライドテーブルを位置決めするための操作部材と、を備えた位置決めユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
クリーンルーム内で作業が行われる電子機器等の製造プロセスでは、例えば、液晶パネル等の薄型基板を収納したカセットを搬送手段（ＡＧＶ等）で作業ステーションまで搬送し、荷役手段を介して作業ステーション上にカセットを移載し、別途、位置決め装置によって待機しているロボットに対してカセットを位置決めした後、ロボットハンドに加工対象物（薄型基板）を把持させて加工を行い、加工終了後には、カセットを再び荷役手段を介して搬送手段に戻して搬出させるような搬送工程が設けられる。
【０００３】
このような搬送工程では、通常、作業ステーションに対する搬送手段の停止位置に若干の誤差が生じるため、上述のように、作業ステーション上に移載されたカセットを位置決め装置によって位置決めしていた。このような位置決め装置は、加工終了後にカセットを再び搬送手段に戻すために、例えばコイルばね等の弾発部材により、カセットを載置するスライドテーブルを作業ステーション上の元の位置（移載された位置）に復帰させるように構成されていた（例えば特許文献１，２参照）。
【０００４】
ところで、クリーンルーム内で重量のある機器を所定の位置に据え置き状態に据え付ける場合にも、精度の高い位置決めユニットが必要とされる。このような位置決めユニットでは、機器を受載した状態のスライドテーブルを僅かな操作力でＸ，Ｙ方向に移動させることができ、かつ、その位置調整作業が終了した時点で、そのスライドテーブルを容易かつ確実に固定できることが望ましい。
【特許文献１】特開２００３−１５２０５４号公報
【特許文献２】特開２００５−１０９４４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述のような搬送工程で使用される位置決め装置には、機器を受載した状態のスライドテーブルを僅かな操作力で平面内に移動させることができ、かつ、その位置調整作業が終了した時点で、スライドテーブルを位置固定することのできる操作部材は設けられていない。従って、前述したように重量のある機器を位置決めした固定状態に据えつける場合には使用することはできない。
【０００６】
本発明は、このような実情に鑑みてなされ、無負荷状態ではスライドテーブルがセンター位置に保持され、機器を受載した状態にて僅かな操作力でスライドテーブルを平面内に移動させることができ、かつ、その移動（調整）が終了した時点で、スライドテーブルを位置固定できるようにした位置決めユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（１）本発明の位置決めユニットは、機器１を受載するためのスライドテーブル２が平面内に移動自在となるように本体筐体３に設けられ、前記スライドテーブル２を所望の位置で固定保持するための位置決め手段４，５が、前記本体筐体３とスライドテーブル２に連係して互いに直交する２方向に配設可能な位置決めユニットであって、
本体筐体３内には、前記スライドテーブル２を支持する支持機構６が設けられ、該支持機構６は、前記スライドテーブル２に固定される支承部材７と、該支承部材７を囲むように設けられる下部開放のケーシング８と、該ケーシング８と前記支承部材７の間に形成される空間部９と、該空間部９の下部を塞ぐために前記本体筐体３の底部に敷設されるベース板１０と、前記空間部９に挿入され前記ベース板１０上を転動しつつ循環移動する複数の球体１１と、を備え、
前記ケーシング８の上面には、付勢手段１２によって上方に向けて付勢されるテーブル位置規制板１３が載設されて前記スライドテーブル２の下部に固定され、かつ、前記本体筐体３の天板部１４には、前記テーブル位置規制板１３をセンター位置に位置決めするための位置決め開口１５が形成され、前記スライドテーブル２が機器１を受載していない状態では、前記テーブル位置規制板１３の周縁に形成された係合部１６が前記位置決め開口１５に付勢係合することによって、前記スライドテーブル２がセンター位置に位置決めされ、前記スライドテーブル２が機器１を受載すると、前記付勢手段１２の付勢力に抗して前記テーブル位置規制板１３が降下して前記位置決め開口１５に対する前記係合部１６の係合状態が解除され、前記スライドテーブル２が位置調整自在となることを特徴とする。
【０００８】
このような構成によれば、例えば図１及び図２に示すように、本体筐体３を機器設置面に載置して機器１の位置決めをする際に、スライドテーブル２が機器１を受載していない状態では、テーブル位置規制板１３の周縁に形成された係合部１６が、位置決め開口１５に付勢係合することによって、スライドテーブル２がセンター位置に位置決めされるため、そのセンター位置にあるスライドテーブル２に機器１を載置すれば、スライドテーブル２の調整代（調整幅）を充分に得ることができる。また、スライドテーブル２をセンター位置に位置決めした状態として出荷することができるので、搬送中や搬入時等にスライドテーブル２が浮動して不具合が発生するようなトラブルを回避することができる。
【０００９】
そして、スライドテーブル２に機器１を載置すると、付勢手段１２の付勢力に抗してテーブル位置規制板１３が降下して前記位置決め開口１５に対する係合状態が解除されるため、スライドテーブル２が位置調整自在となり、循環移動する複数の球体１１によって機器１を僅かな操作力で移動させることができ、その位置調整作業が完了すると、その位置で位置決め手段４，５によってスライドテーブル２を本体筐体３に対して固定することができ、機器１の据え付け作業が完了する。
【００１０】
（２）前記位置決め手段４，５が操作部４ａ，５ａと雄螺子部４ｂ，５ｂを有し、該雄螺子部４ｂ，５ｂが前記スライドテーブル２のフランジ部３１に形成された横方向の長孔３２，３３に移動自在に遊嵌され、該雄螺子部４ｂ，５ｂと、該雄螺子部４ｂ，５ｂに螺合する一対の雌螺子部材４ｃ，５ｃとによって前記長孔３２，３３の周縁が挟持状態に固定されるようにしてもよい。
【００１１】
このようにすれば、雄螺子部４ｂ，５ｂと雌螺子部材４ｃ，５ｃを締結させずに、雄螺子部４ｂ，５ｂを長孔３２，３３内で移動自在な状態にしておけば、スライドテーブル２が平面内で移動自在となるため、機器１をスライドテーブル２に載置して位置決め作業を行うことができる。機器１の位置決め作業が終了すると、操作部４ａ，５ａを操作して螺子部材４ｂ，４ｃ、５ｂ，５ｃを締結することで、本体筐体３とスライドテーブル２の間の間隔を固定して機器１を確実に位置決めした状態に固定することができる。
【００１２】
（３）前記位置決め手段４，５の雄螺子部４ｂ，５ｂの先端が、ボールジョイント４ｄ，５ｄを介して前記本体筐体３に連係されるようにしてもよい。このようにすれば、位置決め作業の際に、機器１を平面内に移動させたときにＸＹ方向に対して捩じれた状態にぶれるようなことがあっても、ボールジョイント４ｄ，５ｄによって吸収されるため、位置決めユニットに無理な負荷が作用するのを回避することができ、精度の高い位置決めをすることができる。
【００１３】
（４）前記本体筐体３の天板部１４に形成される位置決め開口１５と、該位置決め開口１５に係合する前記テーブル位置規制板１３の係合部１６の係合面が、上方に向けて窄まるテーパー状に形成されてもよい。このようにすれば、テーブル位置規制板１３の係合部１６を、位置決め開口１５に対して係合させやすくなり、テーブル位置規制板１３の係合部１６が、位置決め開口１５に対して多少ずれた位置にあっても付勢手段１２の付勢力によって付勢係合させることができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の位置決めユニットは、スライドテーブルが機器を受載していない状態では、テーブル位置規制板の周縁に形成された係合部が位置決め開口に付勢係合することによって、スライドテーブルがセンター位置に位置決めされるので、そのセンター位置にあるスライドテーブルに機器を載置すれば、スライドテーブルの調整代（調整幅）を平面内に充分に得ることができる。また、スライドテーブルをセンター位置に位置決めした状態として出荷することができるので、搬送中や搬入時等にスライドテーブルが浮動して不具合が発生するようなトラブルを回避することができる。そして、スライドテーブルに機器を載置すると、付勢手段の付勢力に抗してテーブル位置規制板が降下して位置決め開口に対する係合状態が解除されるため、スライドテーブルが位置調整できる状態となり、機器の位置調整作業が完了すると、その位置で位置決め手段によってスライドテーブルを固定することができ機器の据え付け作業が完了する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下に、本発明の最良の実施の形態に係る位置決めユニットについて図面を参照しつつ詳細に説明する。
図１は位置決めユニットの要部断面図、図２は位置決めユニットの平面図である。これらの図にて、符号１は、位置決めの対象となる機器（の脚部）、２は、機器１を受載するために平面内に移動自在に設けられるスライドテーブルで、その上面には、機器１の脚を嵌め込む方形の枠２ａが取り付けられ、その周りには固定用のボルト２ｂが螺装されている。３は、スライドテーブル２が移動自在に載設される本体筐体、４，５は、スライドテーブル２を所望の位置で固定保持するための位置決め手段で、本体筐体３とスライドテーブル２に連係して互いに直交する２方向に配設されている。
【００１６】
その位置決め手段４，５は、操作部４ａ，５ａと雄螺子部４ｂ，５ｂを有し、雄螺子部４ｂ，５ｂが、スライドテーブル２の端縁に形成された２つのフランジ部３１に穿設された横方向の長孔３２，３３に移動自在に遊嵌され、その雄螺子部４ｂ，５ｂと、該雄螺子部４ｂ，５ｂに螺合する一対の雌螺子部材４ｃ，５ｃと、によって長孔３２，３３の周縁を挟持状態に固定できるようになっており、かつ、雄螺子部４ｂ，５ｂの先端が、ボールジョイント４ｄ，５ｄを介して本体筐体３の側面に連係されている。
【００１７】
本体筐体３内には、スライドテーブル２を支持する支持機構６が設けられ、その支持機構６は、スライドテーブル２に固定される支承部材７と、その支承部材７を囲むように設けられる下部開放のケーシング８と、そのケーシング８と支承部材７の間に形成される空間部９と、その空間部９の下部を塞ぐために本体筐体３の底部に敷設されるベース板１０と、前記空間部９に挿入されベース板１０上を転動しつつ循環移動する複数の球体１１と、を備えている。
【００１８】
ケーシング８の上面には、例えばコイルスプリングからなる付勢手段１２によって上方に向けて付勢されるテーブル位置規制板１３が載設された状態でスライドテーブル２の下部に固定され、かつ、本体筐体３の天板部１４には、テーブル位置規制板１３をセンター位置に位置決めするための位置決め開口１５が形成されており、スライドテーブル２が機器１を受載していない図１に示す状態では、テーブル位置規制板１３の周縁に形成された係合部１６が位置決め開口１５に付勢係合することによって、スライドテーブル２がセンター位置に位置決めされる。上述の天板部１４に形成される位置決め開口１５と、該位置決め開口１５に係合するテーブル位置規制板１３の係合部１６の係合面は、上方に向けて窄まるテーパー状に形成され係合させやすい構成となっている。
【００１９】
そして、スライドテーブル２が機器１を受載すると、付勢手段１２の付勢力に抗してテーブル位置規制板１３が降下して位置決め開口１５に対する係合部１６の係合状態が解除され、スライドテーブル２が位置決め手段４，５によって位置調整自在となるように構成される。なお、スライドテーブル２が機器１を受載していない状態では、図１に示すように、テーブル位置規制板１３がケーシング８の上面から離間しているが、機器１を受載すると、図示は省略するが、テーブル位置規制板１３がケーシング８の上面に着座し、上述のように、位置決め開口１５に対する係合部１６の係合状態が解除され、スライドテーブル２が平面内に移動自在となる。
【００２０】
以上のような構成によれば、本体筐体３を地上の機器設置面に載置して機器１の位置決めをする際に、スライドテーブル２が機器１を受載していない状態では、テーブル位置規制板１３の周縁に形成された係合部１６が、位置決め開口１５に付勢係合することによって、スライドテーブル２がセンター位置に位置決めされているため、そのスライドテーブル２に機器１を載置すれば、スライドテーブル２の調整代（調整幅）を平面内に充分（最大限）に得ることができる。また、スライドテーブル２がセンター位置に位置決めされた状態では、コイルスプリング１２によって、係合部１６が位置決め開口１５に付勢係合しているため、安定な状態で出荷することができ、搬送中や搬入時等にスライドテーブル２が浮動して不具合が発生するようなトラブルを回避することができる。
【００２１】
スライドテーブル２に機器１を載置する際には、雄螺子部４ｂ，５ｂと雌螺子部材４ｃ，５ｃの締結を緩め、雄螺子部４ｂ，５ｂが長孔３２，３３内を自由に移動できる状態にしておけば、ライドテーブル２が機器１を受載すると、付勢手段１２の付勢力に抗してテーブル位置規制板１３が降下して前記位置決め開口１５に対する係合状態が解除されるため、スライドテーブル２が平面内に移動自在となり、機器１を位置調整できる状態となる。その位置決め作業では、前述したように、スライドテーブル２の調整代（調整幅）を平面内の充分に得ることができるため、無理することなく精度の高い位置決めが可能となる。位置決め作業が完了すると、操作部４ａ，５ａを操作して螺子部材４ｂ，４ｃ、５ｂ，５ｃを締結することで、本体筐体３とスライドテーブル２の間の間隔を固定して機器１を確実に位置決めした状態に固定することができる。
【００２２】
また、位置決め手段４，５の雄螺子部４ｂ，５ｂの先端が、ボールジョイント４ｄ，５ｄを介して前記スライドテーブル２に連係されているので、位置決め作業の際に、機器１がＸＹ方向（雄螺子部４ｂ，５ｂの方向）に対して捩じれた状態にぶれるようなことがあっても、ボールジョイント４ｄ，５ｄによって吸収されるため、位置決めユニットに無理な負荷が作用させることなく、そのままの状態で固定することができ、そのときの位置決め条件の如何にかかわらず、精度の高い位置決めが可能となる。
【００２３】
そして、天板部１４に形成される位置決め開口１５と、該位置決め開口１５に係合するテーブル位置規制板１３の係合部１６の係合面が、上方に向けて窄まるテーパー状に形成されているため、テーブル位置規制板１３の係合部１６を、コイルスプリング１２の付勢によって、位置決め開口１５に対して係合させやすくなり、例えば機器１を撤去した後等においても、テーブル位置規制板１３の係合部１６が、位置決め開口１５に対して多少ずれた位置にあっても付勢手段１２の付勢力によって容易に付勢係合させることができる。
【００２４】
なお、本発明は、実施の形態に限定されることなく、発明の要旨を逸脱しない限りにおいて、適宜、必要に応じて、設計変更や改良等を行うのは自由であり、例えば球体１１は、ボールであってもよい。また、本発明のスライドユニットは、半導体関連の製造プロセスだけでなく、その他の加工ラインや、物流関連の搬送工程における自動倉庫等にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の実施の形態にかかる位置決めユニットの要部断面図である。
【図２】同スライドユニットの平面図である。
【図３】（ａ）は同スライダーの平面図、（ｂ）は側面図である。
【図４】（ａ）は同スライダーの平面図、（ｂ）は側面図である。
【符号の説明】
【００２６】
1…機器、2…スライドテーブル、３…本体筐体、４，５…位置決め手段、６…支持機構、７…支承部材、８…ケーシング、９…空間部、１０…ベース板、１１…球体、１２…付勢手段、１３…テーブル位置規制板、１４…天板部、１５…位置決め開口、１６…係合部、４ａ，５ａ…操作部、４ｂ，５ｂ…雄螺子部、４ｃ，５ｃ…雌螺子部材、４ｄ，５ｄ…ボールジョイント、３１…フランジ部、３２，３３…長孔
【図１】
2008098288.tif 000003
【図２】
2008098288.tif 000004
【図３】
2008098288.tif 000005
【図４】
2008098288.tif 000006