(57)【要約】【課題】  簡易な回路構成で負荷変動に対する自由度の高い電源制御が可能なデバイス試験装置を提供する。【解決手段】  電源変換部２１４，２１６から被試験デバイス１４０に所定の電力を供給して該被試験デバイスの電気的機能試験を遂行する中央制御部２１０により制御される本発明のデバイス試験装置１００は、中央制御部と電源変換部との間に、該中央制御部とデータの授受を行う信号処理部２１２を備え、電源変換部は、信号処理部により閉ループ制御されることを特徴としている。【選択図】    図２
2008076065.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電源変換部から被試験デバイスに所定の電力を供給して該被試験デバイスの電気的機能試験を遂行する中央制御部により制御されるデバイス試験装置において、
前記中央制御部と前記電源変換部との間に、該中央制御部とデータの授受を行う信号処理部を備え、
前記電源変換部は、前記信号処理部により閉ループ制御されることを特徴とする、デバイス試験装置。
【請求項２】
前記電源変換部は、
所定の電源から電力の供給を受け、前記信号処理部からの制御信号に比例した電流を前記被試験デバイスに出力する電流出力部と、
前記電流出力部の出力端の電圧を検知し、検知した電圧値である検知電圧値を前記信号処理部に送信する検知部と、
を備え、
前記信号処理部は、前記中央制御部から受信した目標電圧値と、前記検知電圧値とに基づいた制御信号を前記電流出力部に出力することを特徴とする、デバイス試験装置。
【請求項３】
前記検知部は、前記電流出力部から出力される電流も検知し、検知した電流値である検知電流値を前記信号処理部に送信し、
前記信号処理部は、所定時間分の前記検知電流値を前記中央制御部に送信することを特徴とする、請求項２に記載のデバイス試験装置。
【請求項４】
前記中央制御部は、前記信号処理部からの所定時間分の検知電流値を複数蓄積し、該蓄積された検知電流値を統計処理し、該統計処理された検知電流値をフィードフォワード信号として前記信号処理部に送信し、
前記信号処理部は、前記制御信号に前記フィードフォワード信号を加算して出力することを特徴とする、請求項３に記載のデバイス試験装置。
【請求項５】
前記中央制御部は、前記統計処理された検知電流値に基づいて設定された検知電流値の許容範囲を前記信号処理部に送信し、
前記信号処理部は、前記検知電流値の許容範囲を超える検知電流値を前記検知部から受信した場合、その旨前記中央制御部に伝達することを特徴とする、請求項４に記載のデバイス試験装置。
【請求項６】
前記信号処理部は、複数の電源変換部を並行して閉ループ制御することを特徴とする、請求項１〜５のいずれかに記載のデバイス試験装置。
【請求項７】
前記電源変換部は、
所定の電源から電力の供給を受け、前記信号処理部からの制御信号に比例した電圧を前記被試験デバイスに出力する電圧出力部と、
前記電圧出力部から出力される電流を検知し、検知した電流値である検知電流値を前記信号処理部に送信する検知部と、
を備え、
前記信号処理部は、前記中央制御部から受信した目標電流値と、前記検知電流値とに基づいた制御信号を前記電圧出力部に出力することを特徴とする、請求項１に記載のデバイス試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被試験デバイスに所定の電力を供給し、所定の電力の下で被試験デバイスの電気的機能試験を行うデバイス試験装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、集積回路（ＩＣ：Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）の大容量化、高速化、小型化（高密度化）が進んでいる。このような集積回路の高密度化に伴って、集積回路の電気的機能試験も高速かつ複雑な工程が要求されている。
【０００３】
集積回路を含む被試験デバイス（Ｄｅｖｉｃｅ  Ｕｎｄｅｒ  Ｔｅｓｔ：以下「ＤＵＴ」という。）の電気的機能試験を遂行するデバイス試験装置では、被試験デバイスに電力を供給し、実際の利用状況と同様の電源状況下において、想定される様々な入力信号に対し所望する出力信号が得られるかどうかが試験される。
【０００４】
このような電気的機能試験では、デバイス試験装置本体に設けられた中央制御部が試験信号とその出力タイミングを把握しており、デバイス試験装置のテストヘッドでは、上記中央制御部からの指示に従って、電力を含む様々な信号が出力される。
【０００５】
かかるデバイス試験装置において、例えば、ＤＵＴに供給する電源出力を制御しようとした場合、プログラマブル電源を設け、そのプログラマブル電源の出力電圧に応じて、プログラマブル電源への電源電圧を最適に調整する技術が知られている（例えば、特許文献１）。このような電源電圧の操作により、プログラマブル電源における発熱量を低減させ、デバイス試験装置内の電力損失を抑制することができる。
【０００６】
また、オペアンプの出力を電源として利用し、電源の電圧値もしくは電流値をＤ／Ａ（Ｄｉｇｉｔａｌ／Ａｎａｌｏｇ）変換器で調整する技術も知られている。図１０は、従来の電源回路の構成を示した機能ブロック図である。
【０００７】
例えば、図１０のような電源回路１０では、中央制御部１２が出力電圧を設定するためのデジタル信号をＤ／Ａ変換器１４に送信すると、Ｄ／Ａ変換器１４はそのデジタル信号に応じた定電圧のアナログ信号をオペアンプ１６に出力する。オペアンプ１６は入力されたアナログ信号を増幅し、その増幅されたアナログ信号がＤＵＴ１８の電源となる。ここでは、ＤＵＴ１８の負荷電流が変動してもオペアンプ１６がその変動を吸収し、指令された電圧が保たれる。一方、中央制御部１２はＤ／Ａ変換器２０に過電流を設定するためのデジタル信号を送信し、Ｄ／Ａ変換器２０はそのデジタル信号に応じた定電圧のアナログ信号をオペアンプ１６の過電流設定端子に出力し、オペアンプ１６からの過電流の流出が防止される。
【特許文献１】特開平６−１４８２６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、上述したような電源回路１０では、目標値に対する応答特性がオペアンプ１６の応答特性により制限されてしまうので、高速応答が要求される最近の電気的機能試験に適用することができない。また、電源（電圧、電流）の範囲や応答特性の変更もハードウェアの変更を伴うので容易ではない。この目標値に対する応答特性は、補償回路を追加することによって改善することが可能ではあるが、チャンネル数が増加する傾向にある最近のデバイス試験装置では、その追加回路の実装スペースを確保することができない。
【０００９】
さらに、電気的機能試験実施中にＤＵＴ１８の電源を切り換える場合、中央制御部１２がその都度新たな電源を指令しなくてはならず、中央制御部１２が電源処理を切り離すことができなかった。また、負荷電流の変動はオペアンプ１６内で吸収されるので、オペアンプ１６から出力された電流がどのように変動しているかを把握することができなかった。
【００１０】
本発明は、従来の電源回路が有する上記問題点に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、簡易な回路構成で負荷変動に対する自由度の高い電源制御が可能な、新規かつ改良されたデバイス試験装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために、本発明のある観点によれば、電源変換部から被試験デバイスに所定の電力を供給して該被試験デバイスの電気的機能試験を遂行する中央制御部により制御されるデバイス試験装置において、中央制御部と電源変換部との間に、該中央制御部とデータの授受を行う信号処理部を備え、電源変換部は、信号処理部により閉ループ制御されることを特徴とする、デバイス試験装置が提供される。
【００１２】
電源変換部は、所定の電源から電力の供給を受け、信号処理部からの制御信号に比例した電流を被試験デバイスに出力する電流出力部と、電流出力部の出力端の電圧を検知し、検知した電圧値である検知電圧値を信号処理部に送信する検知部と、を備え、信号処理部は、中央制御部から受信した目標電圧値と、検知電圧値とに基づいた制御信号を電流出力部に出力するとしてもよい。
【００１３】
信号処理部では、電圧を自由に設定でき、出力する制御信号のダイナミックレンジも広くとることができる。従って、電圧値や過電流の設定を幅広い範囲でプログラマブルに変更でき、複雑な電源仕様の被試験デバイスに対しても容易に対応することが可能となる。また、信号処理部は、様々な制御理論を適用することができ、自由度の高い電源制御を行うことが可能となる。さらに、出力する制御信号のゲインを調整したり、検知部のサンプルレートを調整することで負荷の急激な変動にも迅速に追従することができる。
【００１４】
検知部は、電流出力部から出力される電流も検知し、検知した電流値である検知電流値を信号処理部に送信し、信号処理部は、所定時間分の検知電流値を中央制御部に送信するとしてもよい。
【００１５】
かかる構成により、中央制御部は、ＤＵＴの負荷変動を把握することができ、その負荷変動を検査対象の一つに組み込むことができる。例えば、負荷変動からＤＵＴの消費電力を計算したり、エラー値を抽出したり、統計処理してＤＵＴの電力変動マージンを計算したりすることが可能となる。
【００１６】
中央制御部は、信号処理部からの所定時間分の検知電流値を複数蓄積し、蓄積された検知電流値を統計処理し、統計処理された検知電流値をフィードフォワード信号として信号処理部に送信し、信号処理部は、制御信号にフィードフォワード信号を加算して出力するとしてもよい。ここで、統計処理は、蓄積された検知電流値の平均化や標準偏差計算等をいう。
【００１７】
このように検知部からサンプリングされた検知電流値に基づく負荷電流の予測値をフィードフォワード信号として閉ループに追加することで、さらなる高速応答特性を達成することができ、電気的機能試験の時間効率を向上することが可能となる。
【００１８】
中央制御部は、統計処理された検知電流値に基づいて設定された検知電流値の許容範囲を信号処理部に送信し、信号処理部は、検知電流値の許容範囲を超える検知電流値を検知部から受信した場合、その旨中央制御部に伝達するとしてもよい。ここで、検知電流値の許容範囲はユーザにより手動で設定されてもよいし、中央制御部が自動的に設定するとしてもよい。
【００１９】
中央制御部は、従来把握困難であった検知電流値を取得できるので、その検知電流値に基づいてＤＵＴの電流値の許容範囲を設定することも可能となり、ＤＵＴのより詳細な電気的機能試験を実施することができる。また、電流値が許容範囲を超えた場合、リアルタイムに把握することができるので、不具合のあるＤＵＴを即時に抽出することができる。
【００２０】
信号処理部は、複数の電源変換部を並行して閉ループ制御するとしてもよい。
【００２１】
信号処理部は、複数のタスクを並行して処理可能であり、同時に複数の電源変換部（電流出力部および検知部）を制御することができる。従って、電流出力部および検知部と同数の信号処理部を準備する必要もなくなり、当該電源回路の占有面積を縮小することができる。
【００２２】
また、本発明の他の観点によれば、電源変換部は、所定の電源から電力の供給を受け、信号処理部からの制御信号に比例した電圧を被試験デバイスに出力する電圧出力部と、電圧出力部から出力される電流を検知し、検知した電流値である検知電流値を信号処理部に送信する検知部と、を備え、信号処理部は、中央制御部から受信した目標電流値と、検知電流値とに基づいた制御信号を電圧出力部に出力するとしてもよい。
【００２３】
上述した電圧制御の構成は、当該電流制御にも適用可能である。従って、電圧制御同様に、自由度の高い電源制御を行うことができる。
【００２４】
また、上述した電圧制御のデバイス試験装置における従属項に対応する構成要素やその説明は、当該電流制御のデバイス試験装置にも適用可能である。
【発明の効果】
【００２５】
以上説明したように本発明によれば、信号処理部を含む簡易な回路構成を用いてフィードバック制御を実現することで、電圧値や電流値、さらには過電流や過電圧の設定を幅広い範囲でプログラマブルに変更でき、出力する制御信号のダイナミックレンジも広くとることができる。従って、電源仕様が複雑な被試験デバイスに対しても容易に対応することが可能である。また、信号処理部は、負荷変動に対する自由度の高い電源制御を行うことも可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
【００２７】
（第１の実施形態：デバイス試験装置１００）
図１は、第１の実施形態におけるデバイス試験装置１００全体の概略的な構成を示した機能ブロック図である。デバイス試験装置１００は、本体１１０と、テストヘッド１２０とを含んで構成される。当該テストヘッド１２０には、パフォーマンスボード１３０が載設され、パフォーマンスボード１３０上にＤＵＴ１４０が配される。
【００２８】
上記本体１１０は、ユーザインターフェース１１２を介して設定された試験工程を遂行する中央制御部が設けられている。上記テストヘッド１２０には、試験機能を遂行するピンモジュールを１６個や３２個といった単位で備える中継カード（ＰＥ（Ｐｉｎ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ）カードともいう。）１２２が設けられる。かかる中継カード１２２は、本体１１０からの指令をテスト端子に反映する。
【００２９】
上記パフォーマンスボード１３０は、テストヘッド１２０に嵌合可能、かつ、ＤＵＴ１４０を載設可能な構成となっており、複数のテスト端子とＤＵＴ１４０のデバイス端子とを電気的に接続する。
【００３０】
電気的機能試験を遂行するこのようなデバイス試験装置１００では、まず、ＤＵＴ１４０に所定の電力を供給し、実際の利用状況と同様の電源状況下において、想定される様々な入力信号に対し所望する出力信号が得られるかどうかが試験される。ここでは、ＤＵＴ１４０の負荷（電流）変動に拘わらずＤＵＴ１４０に供給する電源の電圧値を所定の値に制御する電圧制御を説明する。
【００３１】
図２は、第１の実施形態によるデバイス試験装置１００の電源供給機能を説明するための機能ブロック図である。かかるデバイス試験装置１００は、中央制御部２１０と、信号処理部２１２と、電源変換部としての電流出力部２１４と検知部２１６と、を含んで構成される。
【００３２】
上記中央制御部２１０は、ＣＰＵ等の半導体集積回路で構成され、本体１１０側に設けられる。そして、デバイス試験装置１００全体を管理および制御し、電気的機能試験の試験プログラムを遂行する。電気的機能試験の一環として、例えば、ＤＵＴ１４０に電圧源を供給する場合、ＤＵＴ１４０に印加すべき電圧値である目標電圧値を導出し、信号処理部２１２に送信する。
【００３３】
上記信号処理部２１２は、ＤＳＰ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｓｉｇｎａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ）等の半導体集積回路で構成され、テストヘッド１２０に設けられ、中央制御部２１０からの目標電圧値を受信し、この目標電圧値に基づき制御信号を出力する。このとき、信号処理部２１２は、中央制御部２１０から目標電圧値として電圧変動を含む一連の（所定時間分の）負荷電圧を一度に受信し、記憶することができる。従って、中央制御部２１０は、一度、目標電圧値を信号処理部２１２に送信しさえすれば、その目標電圧値が有効な間、電源電圧の変更に関与する必要がなくなり、他の処理を遂行することが可能となる。
【００３４】
また、信号処理部２１２は、複数のタスクを並行して処理可能であり、同時に複数の電流出力部２１４および検知部２１６を制御することができる。かかる構成により、電流出力部２１４および検知部２１６と同数の信号処理部２１２を準備する必要もなくなり、当該電源回路の占有面積を縮小することができる。
【００３５】
上記電流出力部２１４は、例えば、信号処理部２１２からのＰＷＭ（Ｐｕｌｓｅ  Ｗｉｄｔｈ  Ｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ）信号をアナログ信号に変換するＰＷＭ／アナログ変換器およびアナログ信号に応じた電流を出力するレギュレータ等から構成される。そして、所定の電源２３０から電力の供給を受け、信号処理部２１２からの制御信号に比例した電流をＤＵＴ１４０の電力として出力する。ここで、所定の電源２３０は、直流電源であっても交流電源であってもよい。
【００３６】
上記検知部２１６は、電流出力部２１４の出力端の電圧を検知し、検知した電圧値である検知電圧値を信号処理部２１２に送信する。
【００３７】
（閉ループ制御）
検知部２１６から受信した検知電圧値をフィードバック信号として、かつ、中央制御部２１０から受信した目標電圧値を目標信号として、信号処理部２１２は、閉ループ制御（フィードバック制御）を行うことができる。
【００３８】
図３は、信号処理部２１２による閉ループ制御を説明するための制御ブロック図である。かかる制御ブロック図を参照すると、信号処理部２１２は、中央制御部２１０から受信した目標電圧値と検知部２１６から受信した検知電圧値との差分をとって、その差分に例えば比例定数Ｐといった制御パラメータを乗じ、制御信号を生成する。ここで、生成された制御信号が電流出力部２１４から過電流を出力するような大きさに至った場合、過電流とならない大きさまで制限される。
【００３９】
信号処理部２１２は生成した制御信号を電流出力部２１４に出力し、電流出力部２１４は信号処理部２１２からの制御信号に比例した電流をＤＵＴ１４０に出力する。このような閉ループ制御では、目標電圧値と、検知電圧値（望ましくは負荷の入力端における電圧値）との差分が生じないように電流出力部２１４の電流が調整されるので、ＤＵＴ１４０には、中央制御部２１０で遂行されている試験プログラムに従った電圧が印加される。
【００４０】
ここで、信号処理部２１２は様々な制御理論を取り入れることができ、自由度の高い電源制御を行うことが可能となる。例えば、出力する制御信号のゲインを調整したり、検知部２１６のサンプルレートを調整することで負荷の急激な変動にも迅速に追従することができる。
【００４１】
図４は、このような信号処理部２１２による閉ループ制御を用いた場合の負荷電圧と負荷電流の一例を示した説明図である。かかる説明図の横軸は時間、縦軸は電圧値もしくは電流値であり、ここでは、中央制御部２１０から定電圧出力が指令された場合の負荷の応答が表されている。従って、図４（ａ）に示す検知電圧値３００は、目標電圧値３１０に沿って、ほぼ一定に推移している。また、図４（ｂ）に示す検知電流値３２０は、ＤＵＴ１４０の負荷に応じて変動するものの、閉ループ制御により負荷の変動に電流出力部２１４が高速に追従するので、遅れを伴うことなくＤＵＴ１４０に十分な電力を供給することができる。例えば、図４（ｂ）の急勾配３３０のように負荷が変動する場合においても十分な速度で追従できることが理解できる。
【００４２】
以上説明したように、信号処理部２１２を含む簡易な回路構成を用いてフィードバック制御を実現することで、負荷変動に対する自由度の高い電圧制御を行うことが可能となる。
【００４３】
（フィードフォワード制御）
次に、第１の実施形態の他の機能を説明する。ここでは、負荷に流れる電流を検出し、中央制御部２１０に取り込んで、統計処理や解析を行い、さらにはその処理結果をフィードフォワード信号として上述した閉ループ制御に加え、さらなる応答特性の向上を図っている。
【００４４】
図２を用いた説明において、検知部２１６は、電流出力部２１４の出力端の電圧を検知しているが、電流出力部２１４から出力される電流も検知することができる。そして、検知部２１６は検知した電流値である検知電流値を信号処理部２１２に送信し、信号処理部２１２は所定時間分の検知電流値を中央制御部２１０に送信する。かかる構成により、中央制御部２１０は、ＤＵＴ１４０の負荷変動を把握することができる。
【００４５】
そして、中央制御部２１０は、信号処理部２１２からの所定時間分の検知電流値を複数蓄積し、該蓄積された検知電流値を統計処理し、該統計処理された検知電流値をフィードフォワード信号として信号処理部２１２に送信する。ここで、統計処理は、蓄積された検知電流値の平均化や標準偏差計算等をいう。
【００４６】
図５は、中央制御部２１０が送信したフィードフォワード信号の信号伝達を説明する制御ブロック図である。かかる制御ブロック図を参照すると、信号処理部２１２は、中央制御部２１０から受信した目標電圧値と検知部２１６から受信した検知電圧値との差分をとって、その差分に例えば比例定数Ｐといった制御パラメータを乗じると共に、生成された制御信号に中央制御部２１０からのフィードフォワード信号を加算し、新たな制御信号として電流出力部２１４に出力する。
【００４７】
このように検知部からサンプリングされた検知電流値に基づく負荷電流の予測値をフィードフォワード信号として閉ループに追加することで、さらなる高速応答特性を達成することができ、電気的機能試験の時間効率を向上することが可能となる。
【００４８】
（負荷電流の許容範囲）
中央制御部２１０は、さらに、統計処理された検知電流値に基づいて設定された検知電流値の許容範囲を信号処理部２１２に送信することができる。信号処理部２１２は、中央制御部２１０から受信した検知電流値の許容範囲を自己の記憶装置に記憶し、かかる許容範囲を超える検知電流値を検知部２１６から受信した場合、その旨、中央制御部２１０に伝達する。
【００４９】
図６は、図４（ｂ）の負荷電流の推移に許容範囲を設けた場合の一例を示す説明図である。かかる説明図も横軸は時間、縦軸は電圧値もしくは電流値であり、ここでも、中央制御部２１０から定電圧出力が指令された場合の負荷の応答が表されている。
【００５０】
上述したように、中央制御部２１０は、負荷に流れる電流を中央制御部２１０に取り込んで統計処理や解析を行う。例えば、統計処理として、検知電流値の平均化が行われた場合、平均化された検知電流値がＤＵＴ１４０の通常の負荷変動とみなされ、その変動軌跡に基づいて、ＤＵＴ１４０に許容される許容範囲４００が設定される。ここで、検知電流値の許容範囲４００はユーザにより手動で設定されてもよいし、中央制御部２１０が自動的に設定するとしてもよい。このように設定された許容範囲４００は、信号処理部２１２に送信される。
【００５１】
この許容範囲４００は、平均化された検知電流値から電流値上下方向（縦軸）に任意の幅を持たせているが、時間前後方向（横軸）にも変動を許容している。信号処理部２１２は、検知部２１６で実測された検知電流値４１０と中央制御部２１０から受信した許容範囲４００とを比較し、検知電流値４１０が許容範囲４００を超えている場合、許容範囲４００を超えたことをフラグ等を介して中央制御部２１０に伝達する。
【００５２】
このようにして、中央制御部２１０は、ＤＵＴ１４０のより詳細な電気的機能試験を実施することができる。また、中央制御部２１０は、一度、信号処理部２１２に許容範囲を設定してしまえばその後検知電流値を取得しなくても、電流値が許容範囲を超えたことを信号処理部２１２からリアルタイムに把握することができるので、自己の負担を増やすことなく不具合のあるＤＵＴを即時に抽出することができる。
【００５３】
かかる統計処理と不具合ＤＵＴの抽出により、ＤＵＴのロット毎の違いを長期的にサンプルすることもでき、生産状況の安定度の指標にも活用することができる。
【００５４】
（第２の実施形態：デバイス試験装置５００）
第１の実施形態で説明した電圧制御の構成は、電流制御にも適用可能である。第２の実施形態では、ＤＵＴ１４０の負荷（電圧）変動に拘わらずＤＵＴ１４０に供給する電源の電流値を所定の値に制御する電流制御を説明する。電流制御においても、電圧制御同様に、自由度の高い電源制御を行うことが可能となる。
【００５５】
図７は、第２の実施形態によるデバイス試験装置５００の電源供給機能を説明するための機能ブロック図である。かかるデバイス試験装置５００は、中央制御部２１０と、信号処理部２１２と、電源変換部としての電圧出力部５１４と検知部２１６と、を含んで構成される。第１の実施形態で既に述べている構成要素は実質的に同等の機能を有するので、本実施形態に特化した点のみ説明する。
【００５６】
信号処理部２１２は、中央制御部２１０からの目標電流値を受信し、この目標電流値に基づき制御信号を電圧出力部５１４に出力する。電圧出力部５１４は、所定の電源２３０から電力の供給を受け、信号処理部２１２からの制御信号に比例した電圧を出力する。このように出力された電圧は、ＤＵＴ１４０に供給され、ＤＵＴ１４０の電源として用いられる。
【００５７】
上記検知部２１６は、電圧出力部５１４から出力される電流を検知し、検知した電流値である検知電流値を信号処理部２１２に送信する。このような検知部２１６から受信した検知電流値をフィードバック信号として、かつ、中央制御部２１０から受信した目標電流値を目標信号として、信号処理部２１２は、閉ループ制御（フィードバック制御）を行うことができる。
【００５８】
図８は、信号処理部２１２による閉ループ制御を説明するための制御ブロック図である。かかる制御ブロック図を参照すると、信号処理部２１２は、中央制御部２１０から受信した目標電流値と検知部２１６から受信した検知電流値との差分をとって、その差分に例えば比例定数Ｐといった制御パラメータを乗じ、制御信号を生成する。ここで、生成された制御信号がＤＵＴ１４０に印加できる最大電圧を超えるようであれば、制御信号はその最大電圧に制限される。
【００５９】
そして、信号処理部２１２は生成した制御信号を電圧出力部５１４に出力し、電圧出力部５１４は信号処理部２１２からの制御信号に比例した電圧をＤＵＴ１４０に出力する。このような閉ループ制御では、目標電流値と、検知電流値との差分が生じないように電圧出力部５１４の電圧が調整されるので、ＤＵＴ１４０には、中央制御部２１０で遂行されている試験プログラムに従った電流が印加される。
【００６０】
ここで、信号処理部２１２は様々な制御理論を取り入れることができ、自由度の高い電源制御を行うことが可能となる。例えば、出力する制御信号のゲインを調整したり、検知部２１６のサンプルレートを調整することで負荷の急激な変動にも迅速に追従することができる。
【００６１】
以上説明したように、信号処理部２１２を含む簡易な回路構成を用いてフィードバック制御を実現することで、負荷変動に対する自由度の高い電流制御を行うことが可能となる。
【００６２】
（フィードフォワード制御）
次に、第２の実施形態の他の機能を説明する。ここでは、第１の実施形態同様、負荷に印加する電圧を検出し、中央制御部２１０に取り込んで、統計処理や解析を行い、さらにはその処理結果をフィードフォワード信号として上述した閉ループ制御に加え、さらなる応答特性の向上を図る。
【００６３】
図７を用いた説明において、検知部２１６は、電圧出力部５１４から出力される電流を検知しているが、電圧出力部５１４の出力端の電圧も検知することができる。そして、検知部２１６は検知した電圧値である検知電圧値を信号処理部２１２に送信し、信号処理部２１２は所定時間分の検知電圧値を中央制御部２１０に送信する。かかる構成により、中央制御部２１０は、ＤＵＴ１４０の負荷変動を把握することができる。
【００６４】
そして、中央制御部２１０は、信号処理部２１２からの所定時間分の検知電圧値を複数蓄積し、該蓄積された検知電圧値を統計処理し、該統計処理された検知電圧値をフィードフォワード信号として信号処理部２１２に送信する。
【００６５】
図９は、中央制御部２１０が送信したフィードフォワード信号の信号伝達を説明する制御ブロック図である。かかる制御ブロック図を参照すると、信号処理部２１２は、中央制御部２１０から受信した目標電流値と検知部２１６から受信した検知電流値との差分をとって、その差分に例えば比例定数Ｐといった制御パラメータを乗じると共に、生成された制御信号に中央制御部２１０からのフィードフォワード信号を加算し、新たな制御信号として電圧出力部５１４に出力する。
【００６６】
このように検知部からサンプリングされた検知電圧値に基づく負荷電圧の予測値をフィードフォワード信号として閉ループに追加することで、さらなる高速応答特性を達成することができ、電気的機能試験の時間効率を向上することが可能となる。
【００６７】
また、第２の実施形態においても、第１の実施形態同様、検知電圧値に許容範囲を設定することもできる。このとき、信号処理部２１２は、設定された許容範囲を超える検知電圧値を検知部２１６から取得した場合、その旨中央制御部２１０伝達する。許容範囲に関する詳細な説明は、第１の実施形態において図６を用いて既になされているのでここではその詳細な説明を省略する。
【００６８】
このようにして中央制御部２１０は、ＤＵＴ１４０のより詳細な電気的機能試験を実施することができる。また、検知電流値が許容範囲を超えた場合、中央制御部２１０は、その旨リアルタイムに把握することが可能となるので、自己の負担を増やすことなく不具合のあるＤＵＴを即時に抽出することができる。
【００６９】
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【産業上の利用可能性】
【００７０】
本発明は、被試験デバイスに所定の電力を供給し、所定の電力の下で被試験デバイスの電気的機能試験を行うデバイス試験装置に利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】第１の実施形態におけるデバイス試験装置全体の概略的な構成を示した機能ブロック図である。
【図２】第１の実施形態によるデバイス試験装置の電源供給機能を説明するための機能ブロック図である。
【図３】信号処理部による閉ループ制御を説明するための制御ブロック図である。
【図４】信号処理部による閉ループ制御を用いた場合の負荷電圧と負荷電流の一例を示した説明図である。
【図５】中央制御部が送信したフィードフォワード信号の信号伝達を説明する制御ブロック図である。
【図６】図４（ｂ）の負荷電流の推移に許容範囲を設けた場合の一例を示す説明図である。
【図７】第２の実施形態によるデバイス試験装置の電源供給機能を説明するための機能ブロック図である。
【図８】信号処理部による閉ループ制御を説明するための制御ブロック図である。
【図９】中央制御部が送信したフィードフォワード信号の信号伝達を説明する制御ブロック図である。
【図１０】従来の電源回路の構成を示した機能ブロック図である。
【符号の説明】
【００７２】
１００，５００  デバイス試験装置
２１０  中央制御部
２１２  信号処理部
２１４  電流出力部
２１６  検知部
５１４  電圧出力部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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