(57)【要約】【課題】剥離設備と剥離方法を提供する。【解決手段】本発明は、剥離設備と剥離方法、特に液晶ディスプレイの生産ラインにおいてガラス表面膜を剥離することに適用できる設備と方法に関する。本発明にかかる剥離設備は、転送装置と合わせて設置される剥離装置を備え、更に剥離装置の作業領域内における転送装置の両側に設置され、製品の転送方向をガイドするガイド装置を備える。【選択図】図２Ａ
2008285325.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
製品の膜を剥離する剥離設備であり、
該製品を転送する転送装置と、
剥離作業の領域内における転送装置の上方に設置される剥離装置と、
前記剥離装置の作業領域内における転送装置の両側に設置され、製品の転送方向をガイドするガイド装置と、
を備える剥離設備。
【請求項２】
前記ガイド装置は、前記転送装置の両側にそれぞれ設置されるガイドロールであることを特徴とする請求項１に記載の剥離設備。
【請求項３】
前記転送装置の同じ側のガイドロールは所定の距離で等間隔に設置されることを特徴とする請求項２に記載の剥離設備。
【請求項４】
前記転送装置の両側のガイドロールを向かい合わせて、又は交互に設置してもよいことを特徴とする請求項３に記載の剥離設備。
【請求項５】
前記剥離装置の下流に設置され、剥離装置による処理を受けた製品の膜検出する膜センサーと、
前記膜センサーと転送装置とそれぞれ電気的に接続され、膜センサーの検出結果によって、前記転送装置の製品転送方向を制御する制御装置と、
を備えるモニターモジュールを、更に備えることを特徴とする請求項１に記載の剥離設備。
【請求項６】
前記モニターモジュールは、前記膜センサーと電気的に接続され、前記検出結果を記録するカウント装置を更に備えることを特徴とする請求項５に記載の剥離設備。
【請求項７】
前記モニターモジュールは、前記制御装置、又はカウント装置と電気的に接続されるアラーム装置を更に備えることを特徴とする請求項６に記載の剥離設備。
【請求項８】
前記制御装置の後ろに、製品の行進速度を制御する緩衝装置が更に設置されたことを特徴とする請求項１に記載の剥離設備。
【請求項９】
前記緩衝装置は、前記転送装置の周囲に設置され、製品を検出する少なくとも１つのセンサーを備えることを特徴とする請求項８に記載の剥離装置。
【請求項１０】
前記緩衝装置は、前記転送装置と電気的に接続され、前記転送装置の転送速度を制御する速度制御装置を更に備えることを特徴とする請求項８に記載の剥離設備。
【請求項１１】
製品の膜を剥離する剥離方法であって、
製品を転送装置の上で剥離装置に転送するステップと、
剥離装置によって前記製品の膜を剥離するステップと、
を備え、前記製品を転送する時、及び製品の膜を剥離する時に、ガイド装置により、確定の方向に沿って前記製品の転送をガイドすることを特徴とする剥離方法。
【請求項１２】
前記製品の膜を剥離するステップの後、
剥離作業後、製品に対する剥離が完全であるかどうかを検出するステップと、
剥離が不完全である場合、製品を剥離装置の前に後退させるステップと、
を更に備えることを特徴とする請求項１１に記載の剥離方法。
【請求項１３】
前記製品の転送速度が可変であることを特徴とする請求項１１に記載の剥離方法。
【請求項１４】
製品が第１の位置に転送される時、製品の転送速度は第１の速度値から第２の速度まで加速した後そのまま変化せず、
製品が第２の位置に転送される時、製品の転送速度は第２の速度値から第３の速度まで加速した後そのまま変化せず、
製品が第３の位置に転送される時、製品の転送速度は第３の速度値から第４の速度まで減速した後そのまま変化しない、
ことを特徴とする請求項１３に記載の剥離方法。
【請求項１５】
製品の位置を検出するステップを更に備えることを特徴とする請求項１４に記載の剥離方法。
【請求項１６】
製品に対する剥離が完全であるかどうかを検出するステップは、
剥離が不完全であれば検出カウントをゼロにし、さもなければ、検出カウントに１を足し、更にカウントは閾値に達するかどうかを検出し、
もしカウントが閾値に達すれば、転送装置を停止させ、閾値に達していない場合は、製品を剥離装置の前に後退させるステップを執行するステップを更に備えることを特徴とする請求項１２に記載の剥離方法。
【請求項１７】
閾値に達する時に、アラームするステップを更に備えることを特徴とする請求項１６に記載の剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、剥離設備と剥離方法、特に液晶ディスプレイ（Thin Film Transistor Liquid Crystal Display、以下はＴＦＴ−ＬＣＤと略称）の生産ラインにおいてガラス基板の表面保護膜を剥離する剥離設備と剥離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＴＦＴ−ＬＣＤの生産流れ作業ラインにおいては、ガラス基板に保護膜が付いているため、生産工程の最初のステップは、剥離設備でガラス基板の表面保護膜を剥離し、そしてガラスをクリーニングに出すことである。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来技術における剥離設備の仕事原理は図１に示すように、剥離設備は膜収集装置１と、真空吸着ロール２と、ノズル５１、５２、５３と、からなる。ガラス基板４の上層保護膜３を除去する過程は以下の通りである。即ち、ガラス基板４が転送装置６に転送されて真空吸着ロール２を通る時に、ノズル５１によって上層保護膜３が吹き上げられる。この時、保護膜３の位置は図１Ａに示すようである。そして、上層保護膜３を真空吸着ロール２に吸着させる。この時、保護膜３の位置は図１Ｂに示すようである。その後、ノズル５２、５３の共同作用で、上層保護膜３を膜輸送管によって膜収集装置１の中に送る。この時、保護膜３の位置は図１Ｃに示すようである。この過程において、ガラス基板４の伝動速度は速く、通常は約０．１ｍ／ｓ〜０．２ｍ／ｓであり、時には保護膜３が完全に除去されず、ノズル５１、５２、５３にかかり、又は設備に残るため、このガラス基板４、或いは次のガラス基板の進行が妨げられ、又はガラス基板４が進行軌道から逸脱することもある。その結果として、ガラス基板４は生産ラインで正常に進行できず、破損されることになる。更に、保護膜３の除去が失敗した場合、生産ラインの次の工程における膜センサーに検出されるまで、ガラス基板４は前へ進み続ける。検出された場合、転送装置６の転送運動が停止し、即ち生産ラインの運転がストップとなる。
【０００４】
従来技術に存在する欠陥は以下の通りである。即ち、剥離設備の構造設計によってガラス基板が軌道から逸脱して破損される確率が高く、且つガラスの比較的に速い転送速度によってガラス保護膜の剥離が失敗する可能性も高くなり、更に、剥離が失敗した後、後続の生産を保証する適切な制御措置がないため、生産ライン全体の生産効率と歩留まりが低下する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の１つの方面において、ガラス基板は運行方向からの逸脱によって破損されることを防止できる剥離設備と剥離方法が提供される。
【０００６】
本発明のもう１つの方面において、製品の膜を剥離することに用いる剥離設備と剥離方法が提供され、それによって、剥離の成功率を向上させ、更に剥離が失敗する時に、ガラスの破損及び後続生産に対する悪影響を効果的に防止することができるため、生産ラインの歩留まりと生産効率が向上される。
【０００７】
本発明の第１方面において、製品の膜を剥離することに用いる剥離設備が提供される。該剥離設備は、製品を転送する転送装置と、剥離作業領域内の転送装置の上方に設置される剥離装置と、剥離作業領域内の転送装置の両側に設置され、製品の転送方向をガイドする複数のガイド装置と、を備える。
【０００８】
ガイド装置は転送装置の両側にそれぞれ設置されるガイドロールであることが望ましい。転送装置の同じ側にあるガイドロールは所定の距離で等間隔に設置される。転送装置の両側のガイドロールを向かい合わせて、又は交互に設置してもよい。
【０００９】
本発明において、更にモニターモジュールを設置することが望ましい。該モニターモジュールは、剥離装置の下流に設置され、剥離装置に処理された製品における膜を検出する膜センサーと、膜センサーと転送装置とそれぞれ電気的に接続され、膜センサーの検出結果によって転送装置の製品転送方向を制御する制御装置と、を備える。
【００１０】
モニターモジュールは、膜センサーと電気的に接続され、前記検出結果を記録するカウント装置を更に備えることが望ましい。モニターモジュールは制御装置、又はカウント装置と電気的に接続されるアラーム装置を更に備える。
【００１１】
剥離装置の後ろに、製品の進行速度を制御する緩衝装置を設置することが望ましい。
【００１２】
緩衝装置は、転送装置の周囲に設置され、製品を検出する少なくとも１つのセンサーを備えることが望ましい。
【００１３】
緩衝装置は、転送装置と電気的に接続され、転送装置の転送速度を制御する速度制御装置を更に備えることが望ましい。
【００１４】
本発明の第２方面において、製品の膜を隔離する剥離方法が更に提供され、該剥離方法は、転送装置の上で製品を剥離装置に転送するステップと、剥離装置によって製品の膜を剥離するステップと、を備え、製品を転送する時、及び膜を剥離する時に、ガイド装置によって確定の方向に沿って製品の転送をガイドすることを特徴とする。
【００１５】
製品の膜を剥離するステップの後、剥離作業後の製品における膜は完全に剥離されたかどうかを検出するステップと、剥離が不完全である場合、製品を剥離装置の前に後退させるステップと、を更に備えることが望ましい。
【００１６】
製品の転送速度は可変であり、ステップ変化、又は連続変化で変化してもよいことが望ましい。
【００１７】
製品が第１の位置に転送される時、製品の転送速度は第１の速度値から第２の速度まで加速した後そのまま変化せず、製品が第２の位置に転送される時、製品の転送速度は第２の速度値から第３の速度まで加速した後そのまま変化せず、製品が第３の位置に転送される時、製品の転送速度は第３の速度値から第４の速度まで減速した後そのまま変化しないことが望ましい。
【００１８】
本発明にかかる方法は製品の位置を検出するステップを更に備えることが望ましい。
【００１９】
製品の膜が完全に剥離されたかどうかを検出するステップは、以下のステップを備えることが望ましい。即ち、剥離が不完全であれば検出カウントをゼロにし、さもなければ、カウントに１を足して、更にカウントは閾値に達するかどうかを検出し、もしウントは閾値に達すれば、転送装置を停止させ、閾値に達していない場合は、製品を剥離装置の前に後退させるステップを執行する。
【００２０】
本発明にかかる方法は、閾値に達する時にアラームするステップを更に備えることが望ましい。
【００２１】
よって、本発明にかかる剥離設備と剥離方法は以下の長所を有する。即ち、
１、製品が運行方向からの逸脱によって破損されること、及び後続生産流れに対する悪影響を防止できる。
２、可変の速度で製品を転送し、剥離の製品に対する抵抗力を減少し、剥離過程を効果的に制御し、剥離の成功率を向上させることができる。
３、剥離の結果を直ちに検出し、失敗となった剥離作業に対して救済と後続制御を行い、剥離の失敗による損失を効果的に低減させ、生産効率を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下の通りに、図と具体的な実施例を参照することで本発明を更に詳細に説明する。
【実施例１】
【００２３】
図２Ａは本発明の実施例１における剥離設備、即ちＴＦＴ生産ラインにおいてガラス基板４の上表面保護膜３を剥離する剥離設備の構造概略図である。該剥離設備は剥離装置、即ち転送装置６の上方に設置される真空吸着ロール２と、真空吸着ロール２と連結し、巻きついた保護膜３を収集して吸着する膜収集装置１と、ノズル５１、５２、５３と、を備える。該剥離設備は、ガイドロール７、即ち真空吸着ロール２の下方の剥離作業領域内、且つ転送装置６の両側に設置され、ガラス基板４の伝動に従って回転し、ガラス基板４の運行方向を制限し、ガラス基板４の転送方向をガイドする機能を実現する縦円柱を、更に備える。該実施例１における剥離設備は、膜センサー８１と制御装置８３とからなるモニターモジュール８を更に備える。膜センサー８１は真空吸着ロール２の下流における転送装置６の下方に設置され、真空吸着ロール２の下方を離れるガラス基板４に保護膜が依然として存在しているかどうか、即ち剥離が完全かどうかを検出することに用いられる。制御装置８３は膜センサー８１と転送装置６とそれぞれ電気的に接続され、膜センサー８１の検出結果によって転送装置６の転送方向を制御することに用いられる。
【００２４】
剥離設備の作業過程において、転送装置６はガラス基板４をロードして運動し、ガラス基板４はガイドロール７にガイドされて真空吸着ロール２の下方に運行し、ノズル５１に吹かれることによって、ガラス基板４の上表面保護膜３は先端からガラス基板４を離れ、ノズル５２の吹き上げ作用と真空吸着ロール２の吸着作用によって吸着され、更にガラス基板４と真空吸着ロール２の運動によって真空吸着ロール２に巻き付く。真空吸着ロール２の下方を通ったガラス基板４はモニターモジュール８における膜センサー８１の上方に運行し、膜センサー８１はガラス基板４に保護膜が依然として存在しているかどうかを検出し、その検出結果を制御装置８３に伝達する。制御装置８３は検出結果によって転送装置６に対して制御し、もしガラス基板４に保護膜３が既に存在しなければ、即ち剥離が完全である場合、制御装置６は運行し続ける。さもなければ、転送装置６は制御されて後退、又は停止する。該実施例１における剥離設備は剥離結果を直ちに検出し、失敗となった剥離作業に対して救済と後続制御を行うことができ、剥離の失敗による損失を効果的に低減させ、生産効率を向上させる。
【００２５】
実施例１において、図２Ｂに示されたのはモニターモジュール８の他種の具体的実施法である。膜センサー８１と制御装置８３の以外に、モニターモジュール８に、膜センサー８１と電気的接続し、膜センサー８１による検出結果の回数を記録するカウント装置８２を更に設置してもよい。モニターモジュール８は、制御装置８３と電気的接続し、制御装置８３の転送装置６に対する制御によってアラームするアラーム装置８４を更に備えてもよい。該アラーム装置８４はカウント装置８２と電気的接続し、カウント装置８２のカウントによってアラームしてもよい。剥離作業において、膜センサー８１は検出結果をカウント装置８２に伝達してカウントを行い、その後、検出結果とカウントは制御装置８３に伝達する。制御装置８３は検出結果とカウントによって転送装置６を制御する。制御命令、或いはカウントはまたアラーム装置８４に伝達され、アラーム装置８４はそれによってアラーム信号を発するかどうかを決定する。前記過程において、ガラス基板４は終始ガイドロール７のガイドの下で進行する。
【００２６】
本実施例において、前記剥離装置は、例えば接着テープホイール、粘性ロールのような、粘着性によって製品表面の膜を剥離する機能を有する装置であってもよい。ガラス基板４の剥離作業を受けた部分に保護膜３の位置が存在するかどうかを直ちに検出できれば、膜センサー８１を真空吸着ロール２の下流の上方に設置してもよい。ガイドロール７の代わりに、ガラス基板４の転送方向を制限でき、ガイド機能を有する装置を利用してもよく、その具体的な実施法の中の１つは以下通りである。即ち、片側にある２つの竪柱の間に、転送装置に従って運動するベルトが連結され、それによって製品の転送方向を制限する。多種の方法でガイドロール７を設置してもよい。図３Ａに示されたのはガイドロールを設置する一種の具体的な実施法である。即ち、転送装置６の両側に、２つずつ１組になる６つのガイドロール７１、７１’、７２、７２’、７３、７３’が等間隔に設置され、前記ガイドロールの間隔を３０ｃｍに設置できる。図３Ｂに示されたのは他種のガイドロール設置の具体的な実施法である。即ち、転送装置６の両側にあるガイドロール７１、７２、７３、７４は交互に設置される。自由に回転でき、製品の転送方法を制限できれば、複数のガイドロールは隣接してもよい。
【００２７】
次は実施例１における剥離方法を説明する。図４に示されたのは本発明にかかる剥離方法の具体的実施例の流れ図であり、剥離が失敗した時、該実施例の仕事原理は図５Ａ、５Ｂ、５Ｃに示すように、
保護膜３がついているガラス基板４が確定のガイド方向に沿って真空吸着ロール２の下方に入るステップ１００１と、
ガラス基板４の前端保護膜が吸着され、真空吸着ロール２に巻きつくステップ１００２と、
モニターモジュール８が真空吸着ロール２から離れるガラス基板４に保護膜が存在するかどうかを検出し、存在しなければステップ１００４を執行し、存在すればステップ１００５を執行するステップ１００３と、
カウント装置の剥離失敗カウントをゼロにし、剥離流れを終わらせるステップ１００４と、
剥離失敗カウントに１を足し、更にカウントは閾値に達するかどうかを検出し、もしカウントは閾値に達すればステップ１００６を執行し、達さなければステップ１００７を執行するステップ１００５と、
モニターモジュール８が転送装置６を制御し、転送装置６の運行を停止させ、更にアラームするステップ１００６と、
モニターモジュール８が転送装置６を制御して後退させ、それによってガラス基板４を真空吸着ロール２の前に戻らせ、ステップ１００１を執行するステップ１００７と、を備える。
【００２８】
前記ステップ１００５におけるカウントの閾値は、例えば２である。通常、ガラス基板４の上部保護膜３の殆どは２回で除去でき、２回でも剥離が成功しないことは異常状況に属し、生産停止、アラームすべきである。他の生産ラインにおける製品に対して剥離を行う時に、該閾値を具体的な状況によって設定できる。本実施例は本発明にかかる剥離方法の比較的によい実施例であり、剥離方法の具体的な実施法は、製品の転送方向をガイドして剥離を行い、更に剥離作業後、剥離が完全であるかどうかを検出するステップと、剥離が不完全である場合、製品を剥離装置の前に後退させるステップと、しか備えなくてもよい。該剥離方法の具体的な実施法は、失敗となった剥離作業に対して効果的な救済を行い、損失を防止する効果もある。
【実施例２】
【００２９】
実施例２と実施例１とはほぼ同じであり、実施例１との区別は、緩衝装置１１を追加したことである。図６は本発明の実施例２における剥離設備の構造概略図である。図６に示すように、緩衝装置１１は剥離装置の下方に設置され、第１のガラスセンサー１０１と、第２のガラスセンサー１０２と、第３のガラスセンサー１０３と、速度制御装置１２とからなる。ガラスがその検出範囲に入る時に、３つのガラスセンサー１０１、１０２、１０３はガラスの存在を検出して検出信号を発することができる。ガラスセンサー１０１、１０２、１０３をそれぞれ異なる位置に設置し、図４に示すように、ガラス基板４の先端が真空吸着ロール２を通る時に、ガラスの存在を検出できる位置にガラスセンサー１０１を設置し、ガラス基板４の中部が真空吸着ロール２を通る時に、ガラスの存在を検出できる位置にガラスセンサー１０２を設置し、ガラス基板４の後部が真空吸着ロール２を通る時に、ガラスの存在を検出できる位置にガラスセンサー１０３を設置し、前記位置は必要に応じて転送装置６の上のガラス基板４の転送を検出できる位置であればよく、ガラス基板４の転送位置によって、ガラス基板４の剥離がどの位置まで行われたかが反映される。速度制御装置１２とガラスセンサー１０１、１０２、１０３とは電気的に接続され、その発した検出信号を受信し、ガラス基板４の位置に基づき転送装置６の転送速度を制御し、それによってガラス基板４の前へ運送される速度を制御する。
【００３０】
本発明にかかるガラス設備の緩衝装置の他種の具体的な実施法においては、１つのガラスセンサーしか設置しなくてもよく、ガラスの先端が剥離装置に入ることを検出する時に、転送装置６は予め設定された規律的な速度で転送を行う。緩衝装置の更に他種の具体的な実施法において、転送装置６の転送速度を制御できれば、例えばプログラミング制御器、又は生産ライン自身の制御器のような他の制御モジュールのみであってもよい。
【００３１】
実施例２において、ガラス基板４の位置により、ガラス基板４の進行速度が効果的に制御され、剥離時、保護膜３のガラス基板に対する抵抗力を低減し、ガラス基板４の剥離失敗の可能性を低下し、その同時に、剥離の各段階の行進速度が合理的に設定されるため、生産効率も保証できる。
【００３２】
次は実施例２における剥離方法を説明する。実施例２の剥離方法と実施例１の剥離方法とはほぼ同じであり、緩衝制御のステップを更に備えてもよい。図７は前記具体的な実施例における緩衝制御ステップの流れ図であり、具体的に、
ガラス基板４の先端が第１の位置を通る時に、第１の位置にあるガラスセンサー１０１がガラス基板４を検出し、速度制御装置１２の調整によって転送装置６の速度を第１の速度値から第２の速度まで加速させ、その後はそのまま変化させないステップ２０１と、
ガラス基板４の先端が第２の位置を通る時に、第２の位置にあるガラスセンサー１０２がガラス基板４を検出し、速度制御装置１２の調整によって転送装置６の速度を第２の速度値から第３の速度まで加速させ、その後はそのまま変化させないステップ２０２と、
ガラス基板４の先端が第３の位置を通る時に、第３の位置にあるガラスセンサー１０３がガラス基板４を検出し、速度制御装置１２の調整によって転送装置６の速度を第３の速度値から第４の速度まで減速させ、その後はそのまま変化させないステップ２０３と、を備える。
【００３３】
前記第１の位置は真空吸着ロール２の真っ下の位置であり、第２の位置は、ガラス基板４の中部が真空吸着ロール２の下に位置する時、その先端の位置であり、第３の位置は、ガラス基板４の後部が真空吸着ロール２の下に位置する時、その先端の位置である。前記第１、第２、第３の位置を制御位置と転送位置との対応関係として、必要に応じて別に設定すること、又は必要に応じて制御位置の数量を増加、或いは減少することができる。前記段階的な可変速度は、速度制御装置１２がガラス基板４の位置を検出することによって制御されてもよく、具体的な状況によって制御方法を変更してもよい。剥離時、製品の転送速度が従来技術のよりも略遅くするように、前記第１、第２、第３、第４の速度を設定すべきであり、比較的によい設定値は０ｍ／ｓ、０．０５ｍ／ｓ、０．１ｍ／ｓ、０ｍ／ｓである。段階的な可変速度の他種の具体的な実施法は、時間の間隔によって予めに速度変化の規律を設定し、転送装置６に対して制御を行う方法である。
【００３４】
前記剥離方法の具体的な実施例の長所は以下の通りである。即ち、剥離した後、直ちに剥離結果を検出でき、失敗時にすぐ救済し、歩留まりを効果的に向上させるとともに、剥離の失敗による生産ライン全体に与える悪影響を減少する。本実施例は製品の行進速度に対して段階的に制御し、且つ従来技術と比べて行進速度をおとしたため、剥離作業の製品に対する抵抗力を低減し、剥離の成功率を保証し、製品の損壊率を低下する。
【００３５】
上記実施例は本発明の技術案を説明するものであり、限定するものではない。最良な実施形態を参照して本発明を詳細に説明したが、当業者にとって、必要に応じて異なる材料や設備などをもって本発明を実現できる。即ち、その要旨を逸脱しない範囲内において種種の形態で実施しえるものである。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１Ａ】従来技術における剥離設備の仕事原理図である。
【図１Ｂ】従来技術における剥離設備の仕事原理図である。
【図１Ｃ】従来技術における剥離設備の仕事原理図である。
【図２Ａ】本発明の実施例１における剥離設備の構造概略図である。
【図２Ｂ】本発明の実施例１における剥離設備のもう１つのモニターモジュールの概略図である。
【図３Ａ】本発明の実施例１における剥離設備ガイド装置の設置の構造概略図である。
【図３Ｂ】本発明の実施例１における剥離設備ガイド装置の設置の構造概略図である。
【図４】本発明の実施例１における剥離方法の流れ図である。
【図５Ａ】本発明の実施例１における剥離方法の仕事原理図である。
【図５Ｂ】本発明の実施例１における剥離方法の仕事原理図である。
【図５Ｃ】本発明の実施例１における剥離方法の仕事原理図である。
【図６】本発明の実施例２における剥離設備の構造概略図である。
【図７】本発明の実施例２における剥離方法において緩衝制御作業の流れ図である。
【符号の説明】
【００３７】
１  膜収集装置
２  真空吸着ロール
３  上層保護膜
４  ガラス基板
６  転送装置
７  ガイドロール
８  モニターモジュール
１２  速度制御装置
５１  ノズル
５２  ノズル
５３  ノズル
７１  ガイドロール
７２  ガイドロール
７３  ガイドロール
７４  ガイドロール
７５  ガイドロール
８１  膜センサー
８２  カウント装置
８３  制御装置
８４  アラーム装置
１０１  第１のガラスセンサー
１０２  第２のガラスセンサー
１０３  第３のガラスセンサー
【図１Ａ】
2008285325.tif 000003
【図１Ｂ】
2008285325.tif 000004
【図１Ｃ】
2008285325.tif 000005
【図２Ａ】
2008285325.tif 000006
【図２Ｂ】
2008285325.tif 000007
【図３Ａ】
2008285325.tif 000008
【図３Ｂ】
2008285325.tif 000009
【図４】
2008285325.tif 000010
【図５Ａ】
2008285325.tif 000011
【図５Ｂ】
2008285325.tif 000012
【図５Ｃ】
2008285325.tif 000013
【図６】
2008285325.tif 000014
【図７】
2008285325.tif 000015