(57)【要約】【課題】広範囲な医療用途などに対して適用することが可能な、高出力かつ高輝度で平行性に優れたＸ線を利用した画像測定方法及び画像測定装置を提供する。【解決手段】ターゲットの表面に所定のエネルギー線源からエネルギー線を照射し、被写体の大きさ以上となるような照射面積を有するように前記ターゲットからＸ線を発生させ、次いで、前記Ｘ線を分光器に入射させ、前記Ｘ線から波長及び波長幅を選択するとともに、平行光となった平行Ｘ線を生成する。次いで、前記平行Ｘ線を前記被写体に対して照射し、前記被写体より得たＸ線画像を検知する。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ターゲットの表面に所定のエネルギー線源からエネルギー線を照射し、被写体の全体を覆うような大きさの照射面積を有するように前記ターゲットからＸ線を発生させる工程と、
前記Ｘ線を分光器に入射させ、前記Ｘ線から波長及び波長幅を選択するとともに、平行光となった平行Ｘ線を生成する工程と、
前記平行Ｘ線を前記被写体に対して照射し、前記被写体より得た２次元Ｘ線画像を検知する工程と、
を具えることを特徴とする、画像測定方法。    
【請求項２】
前記分光器は結晶板を含むことを特徴とする、請求項１に記載の画像測定方法。
【請求項３】
前記結晶板は、シリコン、リチウムフルオライド（LiF）、グラファイト、ゲルマニウム及び水晶からなる群より選ばれる少なくとも一つの材料からなる結晶板であることを特徴とする、請求項２に記載の画像測定方法。
【請求項４】
前記結晶板を２以上組み合わせて用いることを特徴とする、請求項２又は３に記載の画像測定方法。
【請求項５】
前記結晶板の少なくとも一つは、Ｘ線表面反射型結晶板として機能することを特徴とする、請求項４に記載の画像測定方法。
【請求項６】
前記結晶板の少なくとも一つは、Ｘ線透過型（ラウエ型）結晶板として機能することを特徴とする、請求項4又は５に記載の画像測定方法。
【請求項７】
前記結晶板は、シリコン、ゲルマニウム及びLiFの立方晶からなる群より選ばれる少なくとも一つの材料からなり、前記結晶板内において互いに直交して存在する少なくとも２つの結晶面での反射を利用して前記平行Ｘ線を得ることを特徴とする、請求項４〜６のいずれか一に記載の画像測定方法。
【請求項８】
前記結晶板はＸ線用多層膜反射板を含むことを特徴とする、請求項２〜６のいずれか一に記載の画像測定方法。
【請求項９】
前記結晶板は非対称カット結晶板を含むことを特徴とする、請求項２〜８のいずれか一に記載の画像測定方法。
【請求項１０】
前記Ｘ線を前記分光器に入射させる以前に、不要な長波長成分を除去するための吸収板を透過させることを特徴とする、請求項１〜９のいずれか一に記載の画像測定方法。
【請求項１１】
前記ターゲットの表面に被膜を形成し、前記ターゲット表面からの蒸発速度を低減する工程を具えることを特徴とする、請求項１〜１０のいずれか一に記載の画像測定方法。
【請求項１２】
前記被膜は、ＢＮ、カーボン膜、グラファイト、ダイヤモンド、Ｂｅからなる群から選ばれる材料から構成することを特徴とする、請求項１１に記載の画像測定方法。
【請求項１３】
前記ターゲットは固定式であることを特徴とする、請求項１〜１２のいずれか一に記載の画像測定方法。
【請求項１４】
前記ターゲットは回転式対陰極を構成し、前記エネルギー線は前記回転式対陰極の回転による遠心力に抗して存在する部分に照射することを特徴とする、請求項１〜１２のいずれか一に記載の画像測定方法。
【請求項１５】
前記エネルギー線は、ターゲット照射部の少なくとも一部を融解させるような強度で前記ターゲットに照射することを特徴とする、請求項１４に記載の画像測定方法。
【請求項１６】
前記ターゲットは複数のターゲットであり、これら複数のターゲットに対してエネルギー線を照射し、前記被写体の全体を覆うような大きさの照射面積を有するような複数のＸ線を発生させ、これら複数のＸ線を前記被写体に対して同時又は順次に照射し、複数のＸ線画像を得るとともに検知することを特徴とする、請求項１〜１５のいずれか一に記載の画像測定方法。
【請求項１７】
前記ターゲットは単一のターゲットであり、この単一のターゲットを移動させるとともに、前記ターゲットの移動に同期させてエネルギー線を照射し、前記被写体の全体を覆うような大きさの照射面積を有するようなＸ線を順次に発生させるとともに前記被写体に対して照射し、複数のＸ線画像を得るとともに検知することを特徴とする、請求項１〜１５のいずれか一に記載の画像測定方法。
【請求項１８】
エネルギー線照射によりＸ線を発生させるためのターゲットと、
前記Ｘ線が被写体の全体を覆うような大きさの照射面積を有するように前記エネルギー線を生成し、このエネルギー線を前記ターゲットに対して照射するためのエネルギー線源と、
前記Ｘ線を入射させ、前記Ｘ線から波長及び波長幅を選択するとともに、平行光となった平行Ｘ線を生成するための分光器と、
前記平行Ｘ線を前記被写体に照射して得たＸ線画像を検知するための検知器と、
を具えることを特徴とする、画像測定装置。
【請求項１９】
前記分光器は結晶板を含むことを特徴とする、請求項１８に記載の画像測定装置。
【請求項２０】
前記結晶板は、シリコン、リチウムフルオライド（LiF）、グラファイト、ゲルマニウム及び水晶からなる群より選ばれる少なくとも一つの材料からなる結晶板であることを特徴とする、請求項１９に記載の画像測定装置。
【請求項２１】
前記結晶板を２以上組み合わせて用いることを特徴とする、請求項１９又は２０に記載の画像測定装置。
【請求項２２】
前記結晶板の少なくとも一つは、Ｘ線表面反射型結晶板として機能することを特徴とする、請求項２１に記載の画像測定装置。
【請求項２３】
前記結晶板の少なくとも一つは、Ｘ線透過型（ラウエ型）結晶板として機能することを特徴とする、請求項２１又は２２に記載の画像測定装置。
【請求項２４】
前記結晶板は、シリコン、ゲルマニウム及びLiFの立方晶からなる群より選ばれる少なくとも一つの材料からなり、前記結晶板内において互いに直交して存在する少なくとも２つの結晶面での反射を利用して前記平行Ｘ線を得ることを特徴とする、請求項２１〜２３のいずれか一に記載の画像測定装置。  
【請求項２５】
前記結晶板はＸ線用多層膜反射板を含むことを特徴とする、請求項１８〜２３のいずれ
か一に記載の画像測定装置。
【請求項２６】
前記結晶板は非対称カット結晶板を含むことを特徴とする、請求項１９〜２５のいずれか一に記載の画像測定装置。
【請求項２７】
前記Ｘ線を前記分光器に入射させる以前に、不要な長波長成分を除去するための吸収板を具えることを特徴とする、請求項１８〜２５のいずれか一に記載の画像測定装置。
【請求項２８】
前記ターゲットの表面からの蒸発速度を低減するために形成された被膜を具えることを特徴とする、請求項１８〜２６のいずれか一に記載の画像測定装置。
【請求項２９】
前記被膜は、ＢＮ、カーボン膜、グラファイト、ダイヤモンド、Ｂｅからなる群から選ばれる材料から構成することを特徴とする、請求項２８に記載の画像測定装置。
【請求項３０】
前記ターゲットは固定式であることを特徴とする、請求項１８〜２９のいずれか一に記載の画像測定装置。
【請求項３１】
前記ターゲットは回転式対陰極を構成し、前記エネルギー線は前記回転式対陰極の回転による遠心力に抗して存在する部分に照射するように構成したことを特徴とする、請求項１８〜３０のいずれか一に記載の画像測定装置。
【請求項３２】
前記エネルギー線は、ターゲット照射部の少なくとも一部を融解させるような強度で前記ターゲットに照射するように構成したことを特徴とする、請求項３１に記載の画像測定装置。
【請求項３３】
前記ターゲットは複数のターゲットであり、前記検知器は複数の検知器であって、前記複数のターゲットに対してエネルギー線を照射し、前記被写体の大きさ以上の照射面積を有するような複数のＸ線を発生させ、これら複数のＸ線を前記被写体に対して同時又は順次に照射し、複数のＸ線画像を得るとともに前記複数の検知器のそれぞれで検知するように構成したことを特徴とする、請求項１８〜３２のいずれか一に記載の画像測定装置。
【請求項３４】
前記ターゲットは単一のターゲットであり、この単一のターゲットを移動させるとともに、前記ターゲットの移動に同期させてエネルギー線を照射し、前記被写体の全体を覆うような大きさの照射面積を有するようなＸ線を順次に発生させるとともに前記被写体に対して照射し、複数のＸ線画像を得るとともに検知するように構成したことを特徴とする、請求項１８〜３２のいずれか一に記載の画像測定装置。
【請求項３５】
前記平行Ｘ線は医療用として使用することを特徴とする、請求項１８〜３４のいずれか一に記載の画像測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、画像測定方法及び画像測定装置に関し、特に医療用として好適に用いることが可能な画像測定方法及び画像測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、医療用のＸ線撮影においては、所定のＸ線管球が用いられ、このＸ線管球から発せられるＸ線を被写体に照射するとともに、前記被写体を透過したＸ線をフィルムなどの所定の検出部において撮像あるいは検出し、その撮像あるいは検出した映像を解析することにより医療用に供していた。
【０００３】
例えば、従来のＸ線管においては、実効焦点１ｍｍ×１ｍｍから出たＸ線が広がって４０ｃｍ×４０ｃｍまで拡大して被写体に照射されるとすると、そのＸ線の輝度は（１ｍｍ×１ｍｍ）／（４００ｍｍ×４００ｍｍ）の割合だけ弱くなる。すなわち、被写体に照射されるＸ線の輝度は、出射直後の輝度に比較して少なくとも６．２５×１０−6まで減衰してしまう。
【０００４】
また、従来のＸ線管を医療用などに用いる場合においては、不要な成分をフィルターによりカットして使用する場合が大部分であった。しかし、この方法では目的とする波長成分を有効に取り出すには不十分であった。
【０００５】
一方、医療用、たとえば冠状動脈のように動いている被写体の３次元CTを高分解能で撮像するためには、平行性の良い高出力かつ高輝度Ｘ線を短時間露光する必要がある。しかしながら、従来のＸ線管球においては、被写体に照射される段階でのＸ線輝度は格段に減少してしまうとともに、前記Ｘ線の平行性も十分なものを得ることができないでいた。かかる観点より、従来のＸ線管球を特に医療用として使用するには、その使用態様が限定されてしまい、十分広範囲な医療に対して適用することができないでいた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上述の背景のもとでなされたものであり、広範囲な医療用途などに対して適用することが可能な、高出力かつ高輝度で平行性に優れたＸ線を利用した画像測定方法及び画像測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成すべく、本発明は、
ターゲットの表面に所定のエネルギー線源からエネルギー線を照射し、被写体の全体を覆うような大きさの照射面積を有するように前記ターゲットからＸ線を発生させる工程と、
前記Ｘ線を分光器に入射させ、前記Ｘ線から波長及び波長幅を選択するとともに、平行光となった平行Ｘ線を生成する工程と、
前記平行Ｘ線を前記被写体に対して照射し、前記被写体より得たＸ線画像を検知する工程と、
を具えることを特徴とする、画像測定方法に関する。
【０００８】
また、本発明は、
エネルギー線照射によりＸ線を発生させるためのターゲットと、
前記Ｘ線が被写体の全体を覆うような大きさの照射面積を有するように前記エネルギー線を生成し、このエネルギー線を前記ターゲットに対して照射するためのエネルギー線源と、
前記Ｘ線を入射させ、前記Ｘ線から波長及び波長幅を選択するとともに、平行光となった平行Ｘ線を生成するための分光器と、
前記平行Ｘ線を前記被写体に照射して得たＸ線画像を検知するための検知器と、
を具えることを特徴とする、画像測定装置に関する。
【０００９】
本発明においては、従来のようなＸ線管球に代えてＸ線発生のためのターゲットを用い、このターゲットに対してエネルギー線を照射するようにしている。したがって、前記ターゲットに対する前記エネルギー線の照射強度及び照射面積を適宜制御することにより、従来のＸ線管球では実現できなかったような高出力かつ高輝度であって、被写体の大きさよりも大きな照射面積を有するようなＸ線を生成することができる。
【００１０】
また、本発明においては、前記ターゲットから発生したＸ線を分光器に入射させ、前記Ｘ線から平行であって所定の波長範囲にあるＸ線成分のみを取り出すようにしている。したがって、前記Ｘ線成分を被写体に対して短時間照射するのみで、前記被写体のＸ線画像を高精度に得ることができる。この結果、特に前記被写体が動体であるような場合でも、Ｘ線画像を得るためには前記Ｘ線を短時間露光すれば足りるので、前記動体の静止画像も高精度に得ることができる。
【００１１】
実際、従来の３次元ＣＴ装置では測定データをもとに計算機で３次元画像を得る。この時、画像データが全て同じ倍率（実際には倍率１）になるようにするため、３次元ＣＴ装置などに用いられているＸ線管などでは、スリットを通過させることによって平行Ｘ線を得るものであるので、前記平行Ｘ線においては、本来的に数ミリメータ以下の断面積まで絞り込んだＸ線ビームとして使用する。したがって、本来的に小さいＸ線輝度がさらにその効率を下げてしまう結果となる。
【００１２】
例えば上述したように、前記平行Ｘ線の効率は1mm×1mmのコリメーターを通さないで40cm×40cmの透過写真を撮る場合に比較して1/(400×400)=6.25×10-6にまで減少してしまう。また、前記平行Ｘ線の断面積が極めて限定されてしまうため及びデジタルデータから３次元画像を計算により求めるため、前記平行Ｘ線を前記被写体に対してスキャンさせる必要が生じる。この結果、前記被写体全体のＸ線画像を得ようとすると、数十秒オーダの測定時間を要することになる。  
【００１３】
一方、スキャンの高速化に伴い現状では１秒間に３回転する装置も出来ており、回転中心から200mmの位地で1mm×1mmの面積をＸ線ビームが走査する時間は僅か0.26ミリ秒にすぎない。即ち画素当たりミリ秒以下の露光のため、露光不足になりやすく、良質な画像、即ち低ノイズで解像度が良い３次元画像が得にくい。
【００１４】
結果として、従来の方法では、被写体の大きさや形状によって、測定時間が長時間化し、高解像度のＸ線画像が得られないなどの問題が生じる。
【００１５】
これに対して本発明では、被写体の全体を覆うような大きさの照射面積を有する、高強度の平行Ｘ線を得ることができるので、前記被写体のＸ線画像を得るに際して、前記平行Ｘ線を前記被写体に対して一括して照射すれば、スキャンなどを行うことなく目的とするＸ線画像を得ることができる。したがって、前記被写体のＸ線画像を極短時間、実際にはミリ秒オーダで得ることができる。
【００１６】
さらに、本発明で得る平行Ｘ線はそれ自体が被写体の大きさ以上の照射面積を有するので、１ショットで２次元透視画像を得ることができ、しかも従来のＸ線管のように距離に依存して拡大率が変化するようなことがないので、前記被写体に対して高解像度のＸ線画像を得ることができるようになる。
【００１７】
結果として、本発明の方法及び装置では、被写体の大きさや形状に依存することなく、前記被写体に対し、短時間の測定で、高解像度のＸ線画像を得ることができる。
【００１８】
なお、前記分光器は結晶板を含むようにすることができる。この場合、前記結晶板を２以上組み合わせて用い、前記結晶板の内少なくとも一つは、Ｘ線表面反射型結晶板として機能するようにすることができる。また、前記結晶板の内少なくとも一つは、Ｘ線透過型結晶板として機能するようにすることができる。これによって、目的とする平行Ｘ線を簡易に得ることができる。さらに、これら結晶板の組み合わせ方法を適宜に設定することにより、平行のみならず単色のＸ線を得ることができる。
【００１９】
さらに、前記結晶板をシリコン、ゲルマニウム、リチウムフルオライド（LiF）などの立方晶から構成し、前記結晶板内において互いに直交して存在する少なくとも２つの結晶面での反射を利用して前記平行Ｘ線を得るようにすることができる。例えば、１枚の透過型結晶板が結晶内に直交して存在する面指数、（２００）面及び（０２０）面の両方で反射させることによって、非平行のＸ線を平行化し、平行Ｘ線を得るようにすることができる。したがって、単一の結晶板に２枚分の機能を付加せしめることができるので、使用する結晶板の数を減少させた状態で目的とする平行Ｘ線を取り出すことができ、さらに次の結晶板で単色Ｘ線を得るようにすることができる。
【００２０】
また、上述した複数の結晶板の総てをＸ線表面反射型結晶板とすることもできるし、その総てをＸ線透過型結晶板とすることもできる。さらに、これらの結晶板を組み合わせて用いることができる。
【００２１】
前記結晶板は、例えば本発明のように断面積の大きいＸ線を用いる場合は、上述したシリコン、ゲルマニウム、リチウムフルオライド（LiF）に加えて、グラファイト、水晶などから構成することもできる。これによって、ターゲットから発生したＸ線を入射させることによって、上述したような平行Ｘ線を簡易に形成することができる。
【００２２】
さらに、上記結晶板はＸ線用多層膜反射板を含むようにすることができる。このような多層膜反射板は、例えば本発明のような高輝度のＸ線を用いる場合は、２種以上の物質を周期的に層状に重ねた膜として構成することができ、Ｘ線の回折現象を利用して単色或いは一定幅のＸ線を取り出しうる多層膜を意味する。この場合、前記多層膜反射板の周期により取り出される波長と反射角の関係が決まる。また、層の数や周期を微少量変化させることによって反射Ｘ線幅を変えることが出来る。本態様によれば、ターゲットから発生したＸ線を入射させることによって、上述したような平行Ｘ線を簡易に形成することができる。
【００２３】
また、以下に詳述するように、ターゲットは固定型とすることもできるし、回転式対陰極とすることもできる。後者の場合、エネルギー線を前記ターゲットに対し、ターゲット照射部の少なくとも一部を融解させるような強度で照射することができる。したがって、より高強度のＸ線、すなわち平行Ｘ線を得ることができるようになる。
【発明の効果】
【００２４】
以上説明したように、本発明によれば、広範囲な医療用途などに対して適用することが可能な、高出力かつ高輝度で平行性に優れたＸ線を利用した画像測定方法及び画像測定装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明のその他の特徴及び利点について、発明を実施するための最良の形態に基づいて説明する。
【００２６】
図１は、本発明の画像測定装置における平行Ｘ線発生装置の一例を示す構成図である。図１から明らかなように、本例においては、前記平行Ｘ線発生装置は、Ｘ線発生装置本体１０と、分光器３０とから構成されている。なお、Ｘ線発生装置本体１０は、大面積の白色Ｘ線が生成されるように構成された、平板状の固定式ターゲットを用いた場合のＸ線発生装置である。
【００２７】
図１に示すＸ線発生装置本体１０においては、真空容器１１内に、対陰極１２が配置されているとともに、これと対向するようにして陰極１３が設けられている。陰極１３はウエーネルト１４の内側にセラミックなどの絶縁体で固定され、通常陰極とウエーネルトには電位差が与えられ、ウエーネルトが電子線用のレンズとして機能している。
【００２８】
対陰極１２と陰極１３との間にはアパチャーグリッド１５及び陽極１６が設けられている。アパチャーグリッド１５は陰極に対し条件により異なるが概ね±7kV変化でき、負電位の時は電子を遮断し、正電位の時は陰極の空間電荷を中和し、多量の電子を効果的に引き出すのに用いられる。陽極１６は陰極１３から発せられた電子線２０を加速するため及びその後の電位差をなくし高温になったターゲットの影響を減らすために設けられているものであって、本例においては必要に応じて省略することができる。また、真空容器１１にはＸ線取り出し窓１７が設けられており、対陰極１２から発生したＸ線２１を外部に取り出させるように構成されている。
【００２９】
なお、通常グリッドは効率を良くするため網目状のものが多いが、それでは電子線束に編み目状の濃淡が出来るため、敢えて円筒形のグリッドを用いる、即ち電子線２０は円筒の中を通るため陰が出来ない。このようなグリッドをアパチュアーグリッドという。
【００３０】
なお、本例においては、対陰極１２及び真空容器１１即ちＸ線取り出し窓１７以外を全て絶縁性オイルで冷却するようにしている。しかしながら、対陰極が図１のように直接外部に出ていると大気圧のため、ターゲットに歪みが生じる場合があるその様な場合、ターゲット１２を真空内に固定して大気圧が掛からないようにして対陰極１２にパイプを取り付け、所定の冷媒を循環させて冷却するようにすることもできる。
【００３１】
また、真空容器１１の外方の、Ｘ線取り出し窓１７の近傍には、分光器３０が設けられている。分光器３０は、第1の結晶板３１及び第２の結晶板３２が所定の角度をなすようにして配置されている。
【００３２】
図１に示す装置においては、陰極１４から発生した電子線２０をグリッド１５で電流を制御し、陽極１６で加速して対陰極１２の表面に照射し、所定の面積（大面積）を有する（白色かつ非平行）Ｘ線２１を生成させる。次いで、Ｘ線２１をＸ線取り出し窓１７から外部に取り出し、第1の結晶板３１で反射させることによって紙面に平行な面方向に平行なＸ線４１とする。
【００３３】
具体的には、Ｘ線２１が第１の結晶板３１に入射することによって、Ｘ線２１は上述したブラッグ回折を受け、平行Ｘ線４０及び４１となって反射される。第１結晶板と第２結晶板が同じ素材で且つ同じ反射面を使用している場合、第一結晶で反射された平行Ｘ線４１は、第１の結晶板３１の入射角度及び反射角度αと等しい角度で第２の結晶板３２に入射するので、第２の結晶板３２でも同様に反射し、その後は直進して被写体に届くようになる。一方、平行線４１と波長の異なる平行Ｘ線４０は、第１の結晶板３１において入射角度及び反射角度がβとなるのに対し、第２の結晶板３２における入射角度は異なる角度γとなる。したがって、第２の結晶板３２で平行Ｘ線４０は反射しなくなる。
【００３４】
結果として、図１に示す分光器３０では平行Ｘ線４１のみが生成されるようになる。このことは、その波長に於けるその他の平行Ｘ線は生成されないことを意味し、したがって、図１に示す分光器３０では紙面に平行なＸ線に限ると単色の平行Ｘ線４１のみが生成されることになる。
【００３５】
なお、図１に関する例では、第１の結晶板３１及び第２の結晶板３２の２つの結晶板を用い、いずれの結晶板においてもＸ線の反射を行わせ、Ｘ線表面反射型結晶板として機能させている。これらの結晶板は、シリコン、リチウムフルオライド（LiF）、グラファイト、ゲルマニウム及び水晶からなる群より選ばれる材料から構成することができる。
【００３６】
図２は、本発明の画像測定装置における平行Ｘ線発生装置の他の例を示す構成図である。図２に示す平行Ｘ線発生装置においては、図１と同様のＸ線発生装置本体１０を用い、分光器の構成のみを替えている。
【００３７】
図１に示すＸ線発生装置では、分光器３０は２枚の反射型結晶板３１及び３２によって構成されていたが、本例のＸ線発生装置では、分光器５０は２枚のＸ線透過型（ラウエ型）結晶板５１及び５３と、１枚のＸ線表面反射型結晶板５２とから構成されている。図２に示すように、これらの結晶板は、Ｘ線発生装置本体１０から第１の結晶板５１、第２の結晶板５２及び第３の結晶板５３の順に配列されている。
【００３８】
なお、第２の結晶板５２は、反射面（主面）が紙面と略平行となっており、Ｘ線の反射は紙面の手前側に向かって行われることになる。また、第１の結晶板５１及び第３の結晶板５３の回折面（主面）は、紙面と略垂直となっている。したがって、第２の結晶板５２の反射面（主面）と、第１の結晶板５１及び第３の結晶板５３の回折面（主面）とは互いに略垂直の関係となる。
【００３９】
図２に示す例では、図１に示す例と同様にして、対陰極１２から発生した所定の面積（大面積）を有する（白色かつ非平行）Ｘ線２１を、Ｘ線取り出し窓１７を介して外部に取り出した後、第１の結晶板５１に対して角度δで入射させる。この際、Ｘ線２１はブラックの回折式2dsinδ= nλに従って回折し、第１の結晶板５１内を透過する。この際、特に明示していないが、異なる波長λ’のＸ線が角度δ’で入射した際に上記ブラックの回折式を満足すれば、同じく第１の結晶板５１を透過することができる。したがって、第１の結晶板５１を透過したのみでは、Ｘ線２１は未だ白色かつ非平行なＸ線のままである。
【００４０】
なお、Ｘ線２１が大面積Ｘ線として生成されているので、波長λのＸ線は紙面に略平行な面に沿った平行成分を有するようになるが、その他の非平行成分も残存する。また、波長λ’のＸ線は波長λのＸ線とは異なる方向に回折するので、これらは互いに平行とはならない。
【００４１】
次いで、第１の結晶板５１を透過したＸ線２１は第２の結晶板５２に入射し、紙面手前側に反射されるようになる。この段階で波長毎に平行なＸ線となる。そして、このようにして得た反射光を第３の結晶板５３に対して角度δで入射するようにすることによって、前記反射光の内、第３の結晶板５３に対してブラッグの回折式を満足した波長のみ、平行Ｘ線６１として取り出される。すなわち、断面積の大きな単色の平行Ｘ線６１が生成されるようになる。
【００４２】
なお、平行Ｘ線は、上述した要件を満足しさえすれば、第２結晶板５２で反射された段階で波長λ及びλ’のＸ線、すなわち波長の異なるＸ線毎に平行Ｘ線として生成することができる。即ち、第３結晶板を変化するだけで任意の波長の平行Ｘ線を選び出すことが出来る。ただし、大きな波長変化に対しては、出射Ｘ線の断面積が狭くなることがある。その場合には第１結晶、第２結晶共に入射角を調整することにより上記断面積を元に戻すことが出来る。
【００４３】
また、本例においては、第１の結晶板５１及び第３の結晶板５３は、シリコン、ゲルマニウム及びリチウムフルオライド(LiF)などの等軸晶系の結晶板から構成することができるが、その他の材料からなる結晶板を用いることもできる。
【００４４】
図３は、本発明の画像測定装置における平行Ｘ線発生装置のその他の例を示す構成図である。図３に示す平行Ｘ線発生装置においては、図１と同様のＸ線発生装置本体１０を用い、分光器の構成のみを代えている。なお、本例では、特徴を明確化するために、分光器の構成のみを示すようにしている。
【００４５】
図１に示すＸ線発生装置では、分光器３０は２枚の反射型結晶板３１及び３２によって構成されていたが、本例のＸ線発生装置では、分光器７０は３枚のＸ線表面反射型結晶板７１、７２及び７３から構成されている。第１の結晶板７１は平面型の結晶板であるが、第２及び第３の結晶板は非対称カット結晶板である。非対称カット結晶板とは、図から明らかなように、結晶の外形面としての反射表面とＸ線を反射する反射面が平行ではなく、傾斜した結晶表面を有するものである。これによって、生成するＸ線の断面積を変更でき、前記Ｘ線の断面積を拡大したり、縮小したりすることができる。
【００４６】
なお、本例では、第２の結晶板７２及び第３の結晶板７３は、結晶の外形面としての反射表面とＸ線を反射する反射面を約４度の角度で傾斜させている。また、第１の結晶板７１の反射面と第２の結晶板７２の反射面とは互いに直交するようにして配置されており、第１の結晶板７１の反射面と第３の結晶板７３の反射面とは、図１の第１結晶板３１と第２結晶板３２の関係と同じように配置されている。
【００４７】
本例に示す分光器７０では、Ｘ線発生装置本体１０から生成したＸ線２１は第１の結晶板７１で反射された後、第２の結晶板７２に入射し、横方向が拡大された状態で反射される。その後、反射Ｘ線は第３の結晶板７３に入射し、縦方向が拡大された状態で反射される。
【００４８】
このとき、第１の結晶板７１の反射面と第３の結晶板７３の反射面とは、上記図１に関する例と同様に、所定の角度で入射したＸ線のみがブラッグ回折条件を満足し、単色の平行Ｘ線６１が得られるようになる。
【００４９】
したがって、本例においては、Ｘ線発生装置本体１０から生成したＸ線に比し、断面積が拡大された単色の平行Ｘ線を得ることができる。
【００５０】
図４は、本発明の画像測定装置における平行Ｘ線発生装置の他の例を示す構成図であり、図５は図４の一部拡大図である。なお、本例において、分光器は上述した図１〜３と同じ構成のものを用いることができるので、図４及び５においては、平行Ｘ線発生装置の内、Ｘ線発生装置の構造のみを示している。
【００５１】
図４及び５に示すＸ線発生装置においては、回転式対陰極８１が収納される対陰極室８２と、電子線源８３が収納される電子線源室８４と、回転式対陰極８１を回転駆動する駆動モータ８５が設けられた回転駆動部８６とが、互いに隣接するとともに気密構造部材８２ａ、８４ａ及び８６ａによって隔離されて形成されている。また、対陰極室８２と電子線源室８４とを仕切る隔壁部８２ｂには、電子線源８３から射出される電子線１００を通過させるに必要な大きさの貫通孔８２ｃが設けられている。さらに、対陰極室８２及び電子線源室８４の各々には図示しない真空排気装置が接続される真空排気□８２ｄ及び８４ｄが設けられている。
【００５２】
なお、貫通穴８２ｃが加速電極（陽極）としての作用を担うため、それ以降の電子線は電場勾配の無い空間を通る。従って、ターゲット９１aが融点以上に加熱されても放電の起こる危険性は激減する。
【００５３】
なお、図においては、電子線１００は線状に描かれているが、電子線源８３としては、広照射面積の２極管式又は３極管式などを用いることができ、これらから発せられる電子線１００は比較的広い照射面積を有する。したがって、電子線１００は実際には所定の幅を有するものであるが、ここでは簡略化して線状に記載しているものである。したがって、貫通孔８２ｃもこのような電子線１００を通過させるように、所定の大きさを有していることが必要となる。
【００５４】
回転式対陰極８１は、従来式医療用バルブの様に放射熱伝達により放熱する簡易型ではこの部分が高熱となるためMo（モリブデン）やＷ（タングステン）等が用いられるが、図４では放熱効率の良い冷媒による方式を例に取っている。この場合はこの部分が高温になることはないのでステンレスなどからなる筒状部９１と、この筒状部９１の筒の一方の開口部を塞ぐように形成された円板状部９２と、筒状部９１及び円板状部９２の共通の中心軸をその中心軸とする回転軸部９３とが連続して一体に形成され、かつ内部は冷却水を流すことができるように空洞に形成されており、筒状部９１の筒の内壁表面９1ａを電子線照射部とするものである。
【００５５】
電子線照射部の金属は目的により選ばれる、医療用として多く用いられる金属はMo（モリブデン）やＷ（タングステン）である。
【００５６】
回転対陰極８１の回転軸部９３は、回転駆動部８６内に設けられた１対の軸受け部材９３ａ、９３ｂによって回転自在に支持されている。また、回転軸部９３の外周部には上記駆動モータ８５の回転子８５aが取付けられ、この回転子８５aを回転駆動する固定子８５bが上記回転駆動部８６内において気密構造部材８６ａに取付けられている。
【００５７】
回転軸部９３の円板状部９２寄りの根元部には、回転軸部９３と気密構造部材８６ａとの間を気密に保持して対陰極室８２の真空を維持する回転軸シール部材９３ｃが設けられている。
【００５８】
さらに、回転対陰極８１の内部には、電子線照射部９１ａの内壁面に冷却水を流通させるための固定隔壁部材９４が挿入設定されている。この固定隔壁部材９４は、回転軸部９３の内部においては筒状をなしており、円板状部９２に至ってその筒の端部を円板状に拡げ、筒状部９１の内部の右端部内壁の手前で延長されている。
【００５９】
すなわち、この固定隔壁９４は、回転式対陰極８１の内部の空洞部分をいわば二重管構造に仕切っている。この二重管の外側管部９４ａは冷却水の導入口９６に連通されている。なお、冷却水の導入口９６から導入された冷却水は軸受け部材９３ｂや駆動モータ８５が設けられた収納スペース内に洩れ出ないようにしつつ二重管の外側管部９４ａ内に導入されるようになっている。
【００６０】
したがって、冷却水導入口９６から導入された冷却水は、二重管の外側管部９４ａを進行し、上記筒状部９１の内部の右端部内壁で折り返して二重管の内側管部９４ｂに進行して電子線照射部９１ａの内壁面を冷却した後、内側管部９４ｂ内をさらに進行して冷却水の排出□９７を通じて外部に排出される。
【００６１】
回転式対陰極８１の電子線照射部９１ａの近傍の気密構造部材８２ａには、電子線照射部９１ａに電子線１００が照射されたときに発生するＸ線１１０を外部に取り出すためのＸ線窓１０１が形成されている。このＸ線窓１０１にはべリリウム膜、アルミニウム膜、等のＸ線透過性の材料からなるＸ線透過膜１０２が形成されており、対陰極室８２の真空を維持しながらＸ線を取り出せるようになっている。
【００６２】
取り出されたＸ線１１０は、上述したような分光器３０，５０又は７０などを経て平行化され、単色化される。
【００６３】
次に、図４及び５に示すＸ線発生装置を用いたＸ線発生方法について説明する。上述の構成において、冷却水導入口９６から冷却水を導入し、騒動モータ８５によって回転式対陰極８１を高速回転させ、電子線源８３から回転式対陰極８１の電子線照射部９１ａに電子線１００を照射し、Ｘ線１１０を発生させる。この際、電子線１００の強度は電子線照射部９１ａの少なくとも一部（表面から数μm）あるいは可成りの部分（表面から数百μm）が融解するような強度とする。但し、回転式対陰極８１が貫通しない程度とする必要がある。
【００６４】
電子線照射部９１ａの少なくとも一部が融解するような強度の電子線１００を照射することにより、回転式対陰極８１の電子線照射部９１ａから高輝度のＸ線を発生させることができるようになる。
【００６５】
また、従来の方式では熱応力により電子線照射部に凹凸が出来、是にＸ線が吸収されＸ線の取り出し効率が下がるため、電子照射部の温度をあまり上げることは出来なかったが、電子線照射部９１ａの表面から数十〜数百μm融解するような強度の電子線１００を照射することにより、電子線照射部９１ａが回転式対陰極８１の回転に伴って逐次融解し、是に強力な遠心力（５，０００Ｇ〜１０，０００Ｇ）が作用して逐次平坦化処理がなされることになり、電子線照射部位９１ａの表面は電子線１００照射中において常に平坦な状態を保持するようになる。したがって、Ｘ線発生部位である９１ａの荒れに起因したＸ線の吸収などが生じることがない。この結果、高輝度のＸ線１１０を長時間安定的に生成することができるようになる。
【００６６】
なお、本例においては、電子線照射部９１ａの融解に伴って、その表面荒れを表面平均粗さで１μｍ以下、さらには１００ｎｍ以下にまですることができる。すなわち、電子線照射部９１ａの表面を長時間に亘って極めて平坦に維持することができる。一方、従来の方法では、例えば回転式対陰極の表面荒れは表面平均粗さで２〜１０μｍ程度である。したがって、本発明では、このようにＸ線発生部位９１ａの表面荒れの相違に基づいて、高輝度のＸ線を安定的に生成することができることが分かる。
【００６７】
また、本例では、電子線照射部９１ａは回転式対陰極８１の筒状部９１の内壁面に設定しているので、この場合、筒状部９１の前記内壁面において融解が生じることになる。したがって、電子線照射部９１ａは回転式対陰極８１の回転に伴う遠心力に抗して存在するようになり、外方への飛散を効果的に抑制することができる。
【００６８】
なお、本例においては、回転式対陰極８１の筒状部９１に対して特に変形加工を加えることなく、すなわち、筒状部９１の側壁が回転軸線（中心軸）に平行となる状態のままで、前記内壁面を電子線照射部９１ａとしている。しかしながら、電子線照射部９１ａの表面をその断面の表面輪郭線が回転軸線に対して、コンマ数度ないし十数度傾斜するようにすることもできる。
【００６９】
具体的には、筒状部９１の前記側壁を前記回転軸線に向けて内側にコンマ数度ないし数十度の角度で傾斜するようにすることができる。この場合、電子線照射部９１ａは筒状部９１の内壁面上において遠心力に抗してより安定的に存在することができるようになる。したがって、電子線照射部９１ａの融解による外方への飛散をさらに効果的に抑制することができるようになる。
【００７０】
一方、筒状部９１の前記側壁を前記中心軸から外方へ向けて傾斜させるようにすることもできる。この場合、電子線照射部９１ａの外方への飛散を抑制した状態で、回転式対陰極８１から発生したＸ線の取り出しを容易にすることができる。
【００７１】
さらに、電子線照射部９１ａの部分を断面がＶ字溝状又はＵ字構状に形成すれば、電子照射部９１ａの融解による外方への飛散を効果的に防止できる。この場合には、Ｖ字状又はＵ字状の溝巾やその傾斜角度もしくは溝深さ等は、Ｘ線取り出しが可能な寸法にすることは勿論である。さらには、上記溝形状を、前記表面部分が融解して液状になった場合に遠心力の作用によって形成される液状部の表面形状と同一の表面形状に予め形成しておけば、電子線照射部９１ａの電子線照射による表面変形を軽減することが可能になる。
【００７２】
また、電子線照射部９１ａの部分だけを、発生させるＸ線の種類で決まるターゲット物質で構成し、その周囲をより高融点の物質及び／又は熱伝導度のより高い物質で構成すれば、回転式対陰極８１全体の冷却効率の向上が図れるとともに、回転式対陰極８１全体の変形を防止することができるようになり、高輝度のＸ線を長時間安定的に発生させるようにすることができる。
【００７３】
さらに、回転対陰極８１、特に電子線が照射される筒状部９１ａをターゲット材と、このターゲット材の裏面に設けた高融点及び／又は高熱伝導度の物質との２重構造とし、電子線１００を前記ターゲット材に照射してＸ線１１０を発生させるとともに、前記物質の裏面側に前記ターゲット材に対する冷媒を流すように構成することによって、前記物質の高融点の効果による高耐熱性の効果及び／又は高熱伝導性の効果による高冷却性の効果とによって、回転対陰極８１の筒状部９１が前記電子線照射によって貫通するのを抑制し、前記冷媒の漏洩を効果的に抑制することができるようになる。
【００７４】
なお、前記冷媒としては、冷却水、不凍液や冷却オイルなどの液体状のものを用いることができる。
【００７５】
また、本発明においては、電子線照射部９１ａの表面から例えば数ミクロン〜数百μmの深さを融解させるようにしているので、対陰極室８２内において、電子線照射部９１ａを構成する金属の蒸気圧が上昇し、Ｘ線透過膜１０２が汚染される場合がある。これを防止するために、対陰極室８２内のＸ線透過膜１０２の前面（真空内）に交換可能なＸ線透過性の保護膜を設けることが望ましい。この保護膜としては、例えば、反跳電子に耐えられるＮｉ膜、ＢＮ膜、Ａｌ膜、マイラー膜等の長尺状の保護膜をロールに巻いた供給ロールと、この供給ロールの保護膜を巻き取る巻取ロールとをＸ線窓１０１の内側に設け、供給ロールと巻取ロールとの間に張られた保護膜がＸ線透過膜１０２の前面に配置されるようにすればよい。なお、前記保護膜の厚さは、前記反跳電子のエネルギーやＸ線の吸収などを考慮して適宜に設定する。
【００７６】
なお、上述したいずれの具体例においても、エネルギー線として電子線を用いているが、その他のエネルギー線、例えばレーザ光線やイオンなどのエネルギー線を適宜に用いるようにすることができる。
【００７７】
また、ターゲットの表面からの蒸発速度を低減するために、例えば前記ターゲット表面に被膜を設けるようにすることもできる。このような被膜としては、電子線の吸収が少ない、即ち原子番号の小さな物質で、高融点且つターゲット金属に溶解しない物質から構成することが好ましい。
【００７８】
具体的には、前記被膜は前記ターゲット表面に例えば蒸着などの方法で形成する。なお、前記被膜は、ＢＮ、カーボン膜、グラファイト、ダイヤモンド、Ｂｅからなる群から選ばれる材料から構成することができる。この皮膜は強力な電子線及びターゲット金属との膨張率の差等により容易にひびが入るが、強力な遠心力によりターゲット金属に押しつけられるため、容易には系外に飛び散ることはなく、皮膜としての効果を長時間持続させることが出来る。
【００７９】
次に、本発明の画像測定装置について説明する。図６は、本発明の画像測定装置を、被写体に対して配置した場合の概略構成を示す平面図である。本例では、被写体Ｓの周囲において、４組の画像測定装置を配置した場合について示している。
【００８０】
図６において、参照数字２１０，２２０，２３０及び２４０は、それぞれ画像測定装置を示しており、参照数字２１１、２２１、２３１及び２４１は、Ｘ線発生装置及び分光器を含む平行Ｘ線発生装置であって、上記図１〜５に示したような構成を採っている。また、参照数字２１２，２２２，２３２，及び２４２は、上記各画像測定装置における、被写体ＳからのＸ線画像を検知するための検知器である。
【００８１】
図６から明らかなように、各画像測定装置において、各平行Ｘ線発生装置及びそれに相当する検知器は、前記平行Ｘ線発生装置から生成及び発射されたＸ線が、被写体Ｓに照射されてそのＸ線画像を取得した後、そのＸ線画像を検知すべく、互いに対向するようにして配置する。
【００８２】
すなわち、画像測定装置２１０においては、平行Ｘ線発生装置２１１から発せられた平行Ｘ線は被写体Ｓに照射され、それによって得られたＸ線画像が検知器２１２に入射するように互いに対向して配置されている。また、その他の画像測定装置２２０、２３０及び２４０においても、平行Ｘ線発生装置２２１，２３１及び２４１から発せられた平行Ｘ線が被写体Ｓに照射され、それによって得られたＸ線画像が検知器２２２、２３２及び２４２に入射するように互いに対向して配置されている。
【００８３】
図６に示す構成においては、４組の画像測定装置を、被写体Ｓを囲むようにして配置しているので、被写体Ｓからそれぞれ異なる４つのＸ線画像を得ることができ、それぞれを検知することができる。したがって、被写体Ｓから複数のＸ線画像を得ることができ、被写体Ｓの内部構造などを詳細に把握することができる。結果として、被写体Ｓを例えば所定の生物から構成することにより、前記生物の冠状動脈や心臓などの活動状況を詳細に把握することができる。
【００８４】
なお、上述したように、本発明の画像測定装置では、被写体Ｓの大きさ以上の照射面積を有する高強度の平行Ｘ線を得ることができるので、スキャンなどを行うことなく、さらには距離に依存して拡大率が変化するようなことがなく、前記平行Ｘ線をミリ秒オーダで短時間被写体Ｓに照射すれば、目的とするＸ線画像を得ることができる。したがって、上記生物の冠状動脈や心臓などの活動している物体のＸ線画像を瞬時に得ることができるので、それらの静止Ｘ線画像を簡易かつ高精度に得ることができる。
【００８５】
図７は、本発明の画像測定装置を、被写体に対して立体配置した場合の概略構成を示すステレオ投影図である。本例では、被写体Ｓの周囲において、１０組の画像測定装置を配置した場合について示している。なお、中心がいわゆる頂点（例えば北緯９０度）に相当するものであって、周辺に行くにしたがって位置が下方にシフト（例えば緯度が低下）している状態を示すものである。
【００８６】
図７において、参照数字２１０，２２０，２３０，２４０，２５０，２６０，２７０，２８０，２９０及び３００は、それぞれ画像測定装置を示している。なお、図では記載が煩雑となるので特に示してはいないが、各画像測定装置においては、被写体Ｓに対して平行Ｘ線発生装置と検知器とが対向するようにして配置されている。
【００８７】
本例では、被写体Ｓに対して３次元的に平行Ｘ線が照射され、それに伴って３次元的なＸ線画像を得ることができる。したがって、被写体Ｓの内部構造などをより詳細に把握することができる。尚、２次元画像数が多いほど、３次元ＣＴの精度は向上するが、同時に２次元画像数に比例して被曝量も増すので、画像数はそれらを加味し減らす事が出来る。
【００８８】
なお、上述した具体例において、各画像測定装置はそれぞれ別個に動作させることもできるし、それらの総てあるいは選択したいくつかの画像測定装置を同時に動作させることもできる。特に、前者の場合、隣接した画像測定装置などからのノイズが重畳しなくなるので、より高精度のＸ線画像を得ることができる。また、この場合に、複数の画像を総て得る際に、画像測定装置を同時に動作させる場合に比較して測定が長時間化するが、それでも数十ミリ秒のオーダであり、従来の数十秒のオーダと比較して十分短時間でＸ線画像を得ることができる。
【００８９】
また、上記平行Ｘ線はそれ自体が被写体の大きさ以上の照射面積を有するので、距離に依存して拡大率が変化することなく、被写体全体のＸ線透過２次元画像を得ることが出来る。さらには、特に被写体Ｓの周囲に複数の画像測定装置を配置しているので、スキャンなどを行わなくても、複数のＸ線画像を画像測定装置を固定（静止）した状態で得ることができる。したがって、前記被写体が複雑な内部構造を有するような場合でも、ノイズが少ない高解像度のＸ線画像を得ることができる。
【００９０】
本発明の画像測定方法及び画像測定装置は、特に限定されるものではないが、人体を含む種々の生物のＣＴ撮影に対して用いることができる。このような場合、本発明によれば、極めて短時間の平行Ｘ線照射で目的とするＸ線画像を得ることができるので、これまで困難であった心臓のＣＴ撮影などを可能とすることができる。
【００９１】
また、本発明の画像測定方法及び画像測定装置では単色の平行Ｘ線を発生させることができるため、その平行Ｘ線の波長を造影剤の吸収端の高エネルギー側に合わせることにより、大きな吸収を得ることができ、前記造影剤の量を大幅に削減すること或いは／更に被曝量を少なくすることができる。したがって、人体を含む種々の生物に対してＣＴ撮影を行う場合に、生物への負担を軽減することができる。さらに、短時間撮影が可能であるため、生物の呼吸停止時間を大幅に削減したり、前記呼吸に伴うノイズの発生を大幅に低減したりすることができる。
【００９２】
なお、当然のことながら、本発明の画像測定方法及び画像測定装置は、医療や生命科学の分野のみならず、非破壊検査などの種々の分野において用いることができる。
【００９３】
また、本発明の画像測定装置における検知器は、汎用のものから構成することができる。
【００９４】
以上、本発明について具体例を挙げながら詳細に説明してきたが、本発明は上記内容に限定されるものではなく、本発明の範疇を逸脱しない限りにおいてあらゆる変形や変更が可能である。
【００９５】
例えば、上記具体例では、図７に示すように、１０台の画像測定装置を用いた。しかしながら、被写体を中心に、例えば図７の各位置に画像測定装置を動かすための移動装置を設ければ、単一の画像測定装置を適宜移動させることによって、時間的なずれが多少生じるものの、結果的には複数の画像測定装置を準備した場合と同様の効果を得ることができる。すなわち、この場合は、単一の画像測定装置を準備すれば、目的とする被写体の画像を得ることができる。
【００９６】
また、例えば３台の画像測定装置を準備し、図７の３００，２１０，２９０，２５０に相当する位置では第１の画像測定装置を用いて撮影し、２２０，２３０，２４０に相当する位置では第２の画像測定装置を用いて撮影し、更に２６０，２７０，２８０に相当する位置では第３の画像測定装置を用いて撮影するようにすることもできる。すなわち、必ずしも測定箇所毎に画像測定装置を配備する必要はない。
【００９７】
またもし、検出器で撮影した２次元画像のデジタル化が追い付かない程移動装置の速度が大きく出来る場合には、検出器のみ必要台数を（図７の場合は１０台）所定の場所に固定し、Ｘ線発生装置及び分光器を含む平行Ｘ線発生装置のみを動かすこともできる。
【００９８】
さらに、多数の２次元画像から３次元画像を求める際、各２次元画像に基準点が必要である。これは、被写体に必要数の基準点に相当するマーカー、例えば小さな（1mm以下の程度）のＸ線吸収の大きい物質、例えば鉛等の板或いは球を取り付けてから撮影する方法で解決できる。
【００９９】
さらに、検出器として撮影機（例えばイメージインテンシファイアーとムービー用CCD）などを用いることによりモニター出力やムービー画像を得ることも出来る。
【図面の簡単な説明】
【０１００】
【図１】本発明の画像測定装置における平行Ｘ線発生装置の一例、を示す構成図である。
【図２】本発明の画像測定装置における平行Ｘ線発生装置の他の例を示す構成図である。
【図３】本発明の画像測定装置における平行Ｘ線発生装置のその他の例を示す構成図である。
【図４】本発明の画像測定装置における平行Ｘ線発生装置の他の例を示す構成図である。
【図５】図４の一部拡大図である。
【図６】本発明の画像測定装置を、被写体に対して配置した場合の概略構成を示す平面図である。
【図７】本発明の画像測定装置を、被写体に対して立体配置した場合の概略構成を示すステレオ投影図である。
【符号の説明】
【０１０１】
１０  Ｘ線発生装置本体
１１  真空容器
１２  対陰極
１３  陰極
１４  ウエーネルト
１５  グリッド
１６  陽極
１７  Ｘ線取り出し窓
２０  電子線
２１  （白色かつ非平行）Ｘ線
３０  分光器
３１  第１の（Ｘ線表面反射型）結晶板
３２  第２の（Ｘ線表面反射型）結晶板
４０，４１  平行Ｘ線
５０  分光器
５１  第１の（Ｘ線透過型）結晶板
５２  第２の（Ｘ線表面反射型）結晶板
５３  第３の（Ｘ線透過型）結晶板
６１  単色の平行Ｘ線  
７０  分光器
７１  第１の（Ｘ線表面反射型）結晶板
７２  第２の（Ｘ線表面反射型）非対称カット結晶板
７３  第３の（Ｘ線表面反射型）非対称カット結晶板
８１  回転式対陰極
８２  対陰極室
８３  電子線源
８４  電子線源室、
８５  駆動モータ
８６  回転駆動部
９１  筒状部
９１ａ  電子線照射部、
１００  電子線
１１０  Ｘ線
２１０，２２０，２３０，２４０，２５０，２６０，２７０，２８０，２９０，３００  画像測定装置
２１１，２２１，２３１，２４１  平行Ｘ線発生装置
２１２，２２２，２３２，２４２  検知器
【図１】
2008048986.tif 000003
【図２】
2008048986.tif 000004
【図３】
2008048986.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
2008048986.tif 000008
【図７】
2008048986.tif 000009