(57)【要約】【課題】少ないスペースで効率良く異なる検査方向から基板の検査を行うことが可能な基板検査装置を提供する。【解決手段】基板検査装置１は、所定の第一の搬送方向Ｐへ基板Ｗを搬送する第一の搬送部１０と、第一の搬送方向Ｐと異なる第二の搬送方向Ｑへ基板Ｗを搬送する第二の搬送部２０と、基板Ｗの向きを変えずに第一の搬送部１０から第二の搬送部２０へ基板Ｗを受け渡す受渡手段３０と、第一の搬送部１０によって基板Ｗが搬送された状態で第一の搬送方向Ｐと平面視略平行な第一の検査方向Ａで基板Ｗを検査可能であるとともに、第二の搬送部２０によって基板Ｗが搬送された状態で第二の搬送方向Ｑと平面視略平行な第二の検査方向Ｂで基板Ｗを検査可能な基板検査手段２とを備える。【選択図】図１
2008076171.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の第一の搬送方向へ基板を搬送する第一の搬送部と、
前記第一の搬送方向と異なる第二の搬送方向へ前記基板を搬送する第二の搬送部と、
前記基板の向きを変えずに前記第一の搬送部から前記第二の搬送部へ前記基板を受け渡す受渡手段と、
前記第一の搬送部によって前記基板が搬送された状態で前記第一の搬送方向と平面視略平行な第一の検査方向で前記基板を検査可能であるとともに、前記第二の搬送部によって前記基板が搬送された状態で前記第二の搬送方向と平面視略平行な第二の検査方向で前記基板を検査可能な基板検査手段とを備えることを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板検査装置において、
前記第一の搬送部と前記第二の搬送部とは、前記第一の搬送方向と前記第二の搬送方向とが平面視略直交するように配置されていることを特徴とする基板検査装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の基板検査装置において、
前記基板検査手段は、前記第一の検査方向または前記第二の検査方向の少なくともいずれか一方で前記基板に検査光を照射可能な発光部と、
前記基板に前記発光部から照射された前記検査光が反射した反射光を検出する受光部とを有することを特徴とする基板検査装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の基板検査装置において、
前記基板検査手段は、前記第一の搬送部によって前記基板が搬送された状態で前記基板を検査可能な第一の検査ユニットと、
前記第二の搬送部によって前記基板が搬送された状態で前記基板を検査可能な第二の検査ユニットとを有することを特徴とする基板検査装置。
【請求項５】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の基板検査装置において、
前記基板検査手段は、一定の検査方向で前記基板を検査可能な検査ユニットと、
前記第一の搬送部と前記第二の搬送部との間で、それぞれ前記第一の検査方向または前記第二の検査方向で検査可能に、前記検査ユニットを回動させることが可能な回動機構とを備えることを特徴とする基板検査装置。
【請求項６】
請求項１または請求項２に記載の基板検査装置において、
前記基板検査手段は、前記第一の搬送部によって前記基板が搬送された状態で前記第一の検査方向で前記基板に検査光を照射可能な第一の発光部と、
前記第二の搬送部によって前記基板が搬送された状態で前記第二の検査方向で前記基板に検査光を照射可能な第二の発光部と、
前記基板に検査光が照射されて反射した反射光を受光可能な受光部と、
前記第一の発光部から照射された検査光による反射光を受光可能な状態、及び、前記第二の発光部から照射された検査光による反射光を受光可能な状態のそれぞれに、前記受光部を回動させることが可能な回動機構とを備えることを特徴とする基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査基板の欠陥検査を行う基板検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
薄型テレビなどに使用される液晶ディスプレイでは、表面に微細な電気回路を形成したガラス基板が使用されている。このようなガラス基板上の微細な電気回路は、写真技術を用いて形成されるが、製造工程において製造装置の不具合や周囲のパーティクルが付着することなどに起因して、その一部に不要な導通部分や破断部分などの欠陥が生じる場合がある。このような基板の欠陥は、平面上を移動するガラス基板にライン状の検査光を照射し、その反射光をラインセンサカメラで連続撮影することによって検出している（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
ここで、ガラス基板上の微細な電気回路は、微細なパターンが方向性をもって形成されたり、僅かではあるが厚みを有していて、また、光の透過率が異なるいくつもの層が重なって形成されている。このため、検査光の基板に対する照射方向（検査方向）の相違によって欠陥の見え方が異なり、ある方向では欠陥を検出することができるが、異なる方向では同じ欠陥を検出することができない場合がある。このため、確実に欠陥を検出するためには、搬送途中に基板の向きを変える回転機構（例えば、特許文献２参照）を設けて、一定の方向で検査を行った後に回転機構でガラス基板の向きを変えて、再度上記の検査を行うことが考えられる。
【特許文献１】特開２０００−９６６１号公報
【特許文献２】特開２０００−６２９５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記のような基板検査装置では、基板検査のために特許文献２に示すガラス基板を９０度回転させる搬送装置を別途設ける必要がある。例えば、特許文献１の検査装置に、特許文献２に示す回転機構を組み合わせた場合、検査装置とは別途に回転機構を設置するスペースを必要とするとともに、装置コストも増大してしまう。さらに、上記の検査工程では、ガラス基板の向きを９０度変えて検査するために、少なくとも、搬送部よる往路と復路の２回の移動と、回転機構による１回の回転移動を行う必要があり、非常に検査時間がかかってしまう問題が生じる。また、ガラス基板の製造ライン中に検査装置を配置した場合には、搬送部によって往路から復路、さらに往路へと３回の移動が必要になり、搬送部によるガラス基板の移動が１回増えるため、さらに検査時間がかかってしまう問題が生じる。
【０００５】
この発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、少ないスペースで効率良く異なる検査方向から基板の検査を行うことが可能な基板検査装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、この発明は以下の手段を提案している。
本発明の基板検査装置は、所定の第一の搬送方向へ基板を搬送する第一の搬送部と、前記第一の搬送方向と異なる第二の搬送方向へ前記基板を搬送する第二の搬送部と、前記基板の向きを変えずに前記第一の搬送部から前記第二の搬送部へ前記基板を受け渡す受渡手段と、前記第一の搬送部によって前記基板が搬送された状態で前記第一の搬送方向と平面視略平行な第一の検査方向で前記基板を検査可能であるとともに、前記第二の搬送部によって前記基板が搬送された状態で前記第二の搬送方向と平面視略平行な第二の検査方向で前記基板を検査可能な基板検査手段とを備えることを特徴としている。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の基板検査装置によれば、第一の搬送部、第二の搬送部及び受渡手段によって基板の向きを変えずに異なる方向に搬送し、それに伴って、基板検査手段によってそれぞれの搬送方向に応じた第一の検査方向及び第二の検査方向で基板を検査することができる。すなわち、往復移動、回転移動させることなく、基板を搬送しながら異なる方向から検査することができるので、省スペースで、効率良く基板の検査を行うことが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明の第１実施形態における基板検査装置について、図面を参照して説明する。図１は、本発明の実施形態としての基板検査装置１を示したものである。本実施形態の基板検査装置１は、液晶ディスプレイを複数枚製造するマザーガラス基板などの被検査基板全体を連続撮影した画像に基づいて、被検査基板に存在する表面欠陥を検出することが可能なものである。図１に示すように、基板検査装置１は、被検査基板Ｗを第一の搬送方向Ｐに搬送可能な第一の搬送部１０と、第二の搬送方向Ｑに搬送可能な第二の搬送部２０とを備える。第一の搬送部１０と第二の搬送部２０とは、第一の搬送方向Ｐと第二の搬送方向Ｑとが平面視略略直交するように配置されている。また、第二の搬送部２０の搬入口２０ａは第一の搬送部１０の搬出口１０ａに近接して設けられていて、第一の搬送部１０と第二の搬送部２０との間には、第一の搬送部１０から搬出された被検査基板Ｗを、向きを変えずに第二の搬送部２０に受け渡す受渡手段３０が設けられている。以下に、第一の搬送部１０、第二の搬送部２０、及び、受渡手段３０の具体的構成を述べる。
【０００９】
第一の搬送部１０は、第一の搬送方向Ｐに沿って延設されたフレーム１１、１１と、フレーム１１、１１の間に回転可能に軸着された複数の回転軸１２と、回転軸１２とともに回転可能に各回転軸１２に複数設けられた回転ローラ１３とを備える。各回転軸１２の一端部１２ａはフレーム１１から突出していて、一端部１２ａには駆動ローラ１４が回転軸１２とともに回転可能に設けられている。また、各回転軸１２の駆動ローラ１４にはベルト１５が巻回されているとともに、複数の回転軸１２のいずれか一つには駆動モータ１６が設けられている。このため、複数の回転ローラ１３は、駆動モータ１６の回転駆動がベルト１５及び駆動ローラ１４を介して各回転軸１２に伝達されることで、一定の方向に回転することが可能であり、これにより、回転ローラ１３上に載置された被検査基板Ｗを第一の搬送方向Ｐに沿って搬送することが可能である。
【００１０】
第二の搬送部２０も同様に、第二の搬送方向Ｑに沿って延設されたフレーム２１、２１と、フレーム２１、２１の間に回転可能に軸着された複数の回転軸２２と、回転軸２２とともに回転可能に各回転軸２２に複数設けられた回転ローラ２３とを備える。各回転軸２２においてフレーム２１から突出する一端部２２ａには駆動ローラ２４が回転軸２２とともに回転可能に設けられている。また、各回転軸２２の駆動ローラ２４にはベルト２５が巻回されているとともに、複数の回転軸２２のいずれか一つには駆動モータ２６が設けられている。このため、複数の回転ローラ２３は、駆動モータ２６の回転駆動がベルト２５及び駆動ローラ２４を介して各回転軸２２に伝達されることで、一定の方向に回転することが可能であり、これにより、回転ローラ２３上に載置された被検査基板Ｗを第二の搬送方向Ｑに沿って搬送することが可能である。
【００１１】
また、受渡手段３０は、第一のフレーム３１、３１によって第一の搬送部１０の回転軸１２と略平行として回転可能に軸着された第一の回転軸３２と、第一の回転軸３２とともに回転可能に第一の回転軸３２に設けられた複数の第一の回転ローラ３３とを備える。第一の回転ローラ３３の外径は、第一の搬送部１０の回転ローラ１３の外径と略等しく設定されている。また、各第一の回転軸３２の一端部３２ａは第一のフレーム３１から突出していて、第一の駆動ローラ３４が第一の回転軸３２とともに回転可能に設けられているとともに、複数の第一の駆動ローラ３４には第一のベルト３５が巻回されている。複数の第一の回転軸３２のいずれかに一つには第一の駆動モータ３６が設けられていて、第一の駆動モータ３６と、第一の搬送部１０の駆動モータ１６とを同調させることで、第一の搬送部１０の搬出口１０ａから搬出された被検査基板Ｗを略等しい搬送速度で受け取ることが可能である。
【００１２】
受渡手段３０は、さらに、第二のフレーム３７、３７によって第二の搬送部２０の回転軸２２と略平行として回転可能に軸着された第二の回転軸３８と、第二の回転軸３８とともに回転可能に第二の回転軸３８に設けられた複数の第二の回転ローラ３９とを備える。第二の回転ローラ３９の外径は、第二の搬送部２０の回転ローラ２３の外径と略等しく設定されている。また、各第二の回転軸３８の一端部３８ａは第二のフレーム３７から突出していて、第二の駆動ローラ４０が第二の回転軸３８とともに回転可能に設けられているとともに、複数の第二の駆動ローラ４０には第二のベルト４１が巻回されている。複数の第二の回転軸３８のいずれかに一つには第二の駆動モータ４２が設けられていて、第二の駆動モータ４２と第二の搬送部２０の駆動モータ２６とを同調させることで、第二の搬送部２０の搬入口２０ａへ被検査基板Ｗを略等しい搬送速度で受け渡すことが可能である。なお、基板検査装置１は図示しない制御部を備えていて、第一の搬送部１０の駆動モータ１６、第二の搬送部２０の駆動モータ２６、並びに、受渡手段３０の第一の駆動モータ３６及び第二の駆動モータ４２は、この制御部によって同調して駆動または非駆動の状態となることが可能である。
【００１３】
また、第二の回転軸３８は、第一の回転軸３２よりも下方に配設されているとともに、第二のフレーム３７を上下に進退させる上下機構４３によって第二のフレーム３７とともに上下に進退することが可能である。そして、図２に示すように、第二の回転ローラ３９の外径は第一の回転ローラ３３の外径よりも大きく設定されていて、上下機構４３によって第二の回転軸３８が上昇した状態では第二の回転ローラ３９の上端が第一の回転ローラ３３よりも上方に突出した状態となるとともに、第二の回転軸３８が下降した状態では第二の回転ローラ３９の上端が第一の回転ローラ３３よりも下方に没した状態となるように設定されている。
【００１４】
また、図１に示すように、基板検査装置１は、被検査基板Ｗの表面欠陥を検出する基板検査手段２を備える。基板検査手段２は、第一の搬送部１０で被検査基板Ｗが搬送された状態で被検査基板Ｗの検査を行う第一の検査ユニット３と、第二の搬送部２０で被検査基板Ｗが搬送された状態で被検査基板Ｗの検査を行う第二の検査ユニット４とを備える。図３に示すように、第一の検査ユニット３及び第二の検査ユニット４は、それぞれ、被検査基板Ｗに検査光Ｌを照射する発光部であるライン照明５と、ライン照明５の検査光Ｌが被検査基板Ｗに反射した反射光Ｌ１によって被検査基板Ｗの画像を取得する受光部である検出用ＴＶカメラ６と、被検査基板Ｗからの反射光Ｌ１を検出用ＴＶカメラ６に到達させるミラー７とを備える。図１及び図３に示すように、第一の検査ユニット３及び第二の検査ユニット４それぞれのライン照明５は、第一の搬送方向Ｐと平面視略平行な第一の検査方向Ａまたは第二の搬送方向Ｑと平面視略平行な第二の検査方向Ｂで検査光Ｌを被検査基板Ｗに照射可能なものである。また、ライン照明５は、検査光Ｌをライン状に照射可能であり、それぞれ対応する第一の搬送方向Ｐまたは第二の搬送方向Ｑと直交する方向に全体に亘って被検査基板Ｗを照射可能に配設されている。このため、検出用ＴＶカメラ６は、検査光Ｌによってライン状に発生する反射光Ｌ１を被検査基板Ｗが第一の搬送方向Ｐ、第二の搬送方向Ｑに搬送されるのに伴って連続撮影することで、被検査基板Ｗ全体を画像として取得可能である。
【００１５】
次に、この実施形態の基板検査装置１の作用について説明する。図１に示すように、まず、第一の搬送部１０に搬入された被検査基板Ｗは、第一の搬送部１０の回転ローラ１３の回転によって第一の搬送方向Ｐに搬送される。そして、第一の検査ユニット３は、被検査基板Ｗが第一の搬送部１０で搬送されるのに伴って、ライン照明５によって第一の検査方向Ａで被検査基板Ｗに検査光Ｌを照射し、その反射光Ｌ１によって検出用ＴＶカメラ６で被検査基板Ｗを連続撮影する。そして、被検査基板Ｗは、第一の検査ユニット３によって検査される範囲を通過し、搬出口１０ａから受渡手段３０に搬出される。
【００１６】
この際、受渡手段３０の第一の回転ローラ３３を第一の駆動モータ３６によって第一の搬送部１０の回転ローラ１３と略等しい回転速度で回転させておくとともに、第二の回転ローラ３９は上下機構４３によって下降させて第一のローラ３３より下方に没した状態にしておく。そして、被検査基板Ｗが第一の搬送部１０の搬出口１０ａから搬出されて、受渡手段３０の第一の回転ローラ３３上に完全に載置された状態となったら、第一の駆動モータ３６の駆動を停止して第一の回転ローラ３３の回転を停止させる。次に、上下機構４３によって第二の回転ローラ３９を上昇させることで、被検査基板Ｗは第二の回転ローラ３９上に載置された状態となる。この状態で、第二の駆動モータ４２によって第二の回転ローラ３９を第二の搬送部２０の回転ローラ２３と略等しい回転速度で回転させることで、被検査基板Ｗは、自身の向きを変化させずに、搬入口２０ａから第二の搬送部２０に搬入され、第二の搬送部２０の回転ローラ２３の回転によって第二の搬送方向Ｑに搬送されることとなる。そして、第二の検査ユニット４は、被検査基板Ｗが第二の搬送部２０で搬送されるのに伴って、ライン照明５によって第二の検査方向Ｂで被検査基板Ｗに検査光Ｌを照射し、その反射光Ｌ１によって検出用ＴＶカメラ６で被検査基板Ｗを連続撮影することができる。
【００１７】
以上のように、この実施形態の基板検査装置１によれば、基板検査手段２の第一の検査ユニット３及び第二の検査ユニット４によって、被検査基板Ｗに対して、例えば水平面内で９０度異なる検査方向から検査光Ｌを照射して被検査基板Ｗを検査することができる。このため、ガラス基板Ｗを往復させること無く搬送ラインの一方向に搬送しながら、第一の検査ユニット３または第二の検査ユニット４いずれかの検出用ＴＶカメラ６によって確実に被検査基板Ｗの欠陥を検出することができる。この際、被検査基板Ｗは、自身の向きを変えずに第一の搬送部１０から受渡手段３０へ、受渡手段３０から第二の搬送部２０へと連続して搬送させているだけである。すなわち、往復移動、回転移動させることなく、被検査基板Ｗを搬送しながら異なる方向から検査することができるので、省スペースで、効率良く被検査基板Ｗの検査を行うことが可能である。
【００１８】
上記のように、基板検査装置１は、被検査基板Ｗの向きを変えずに搬送方向だけを９０度の方向に変えて被検査基板Ｗを搬送させる構成を有する搬送手段と、それぞれ９０度の異なる搬送方向において各々搬送方向と平面視略平行な検査方向で検査可能な基板検査手段とで構成されたものである。このため、例えば図４に示すように、被検査基板Ｗを回転させずに被検査基板Ｗを９０度、さらに９０度と２回折り返しながら搬送する搬送手段５０を有し、搬送途中で被検査基板Ｗの加工等の各処理を行う露光機、Ｃ／Ｄ（レジスト塗布装置、現像装置）などの各種の製造装置５１、５２などを有する基板生産ライン５３において、上記の受渡手段３０等で搬送方向を切替える切替位置５４の前後に上記の第一の検査ユニット３及び第二の検査ユニット４を設けることで基板検査装置１と同様の構成を実現できる。すなわち、製造装置５１、５２など被検査基板Ｗの処理を行う装置を配置することができない切替位置５４前後のスペースに、検査ユニット３、４を配置することにより、基板生産ラインで従来使用されていないデッドスペースを検査スペースとして有効に活用することができて新たな検査装置スペースを設ける必要が無く、かつ、受渡手段３０を利用することができて新たな基板回転機構を設ける必要がなく、装置コストの低減を図ることができるとともに、クリーンルーム内の設置面積を小さくできる。
【００１９】
また、上記において、第一の搬送部１０、第二の搬送部２０、及び、受渡手段３０としては、回転ローラによって所定の搬送方向に搬送する機構としたがこれに限ることはなく、様々な搬送方法のものを使用することができる。図５は、その変形例を示している。図５に示すように、この変形例の基板搬送装置６０において、第一の搬送部７０、第二の搬送部８０、受渡手段９０は、被検査基板Ｗを圧縮空気によって浮上させる浮上ステージ６１を有している。図６に示すように、浮上ステージ６１は、箱状に形成されていて、上面には内部と連通する吹出し穴６１ａが形成されている。そして、内部に送出された圧縮空気Ｃを分散させて各吹出し穴６１ａから上方へ噴出させることで、浮上ステージ６１上の被検査基板Ｗを浮上させることができるものである。なお、本変形例では、浮上ステージ６１は、第一の搬送部７０、第二の搬送部８０及び受渡手段９０に連続して設けられているが、各々独立したものとしても良い。
【００２０】
また、第一の搬送部７０は、浮上ステージ６１の側部に設けられ被検査基板Ｗの端部を保持する保持機構７１と、保持機構７１を第一の搬送方向Ｐに移動させる移動機構７２とを備える。図７に示すように、保持機構７１は、台座７３と、台座７３上でガラス基板Ｗを両面から狭持するクランプ７４とを備える。クランプ７４は、開閉可能でありこれにより被検査基板Ｗを着脱することが可能である。また、図５に示すように、移動機構７２は、浮上ステージ６１の側部に第一の搬送方向Ｐに沿って配設されたリニアモータ７５及びリニアガイド７６を備えている。そして、リニアモータ７５の駆動によってリニアガイド７６に沿って保持機構７１を第一の搬送方向Ｐに移動させることが可能である。第二の搬送部８０も同様に、浮上ステージ６１の側部に設けられ被検査基板Ｗの端部を保持する保持機構８１と、保持機構８１を第二の搬送方向Ｑに移動させる移動機構８２とを備える。図７に示すように、保持機構８１は、台座８３と、クランプ８４とを備える。また、図５に示すように、移動機構８２は、リニアモータ８５及びリニアガイド８６を備えている。そして、リニアモータ８５の駆動によってリニアガイド８６に沿って保持機構８１を第二の搬送方向Ｑに移動させることが可能である。なお、移動機構７２、８２において、各保持機構を移動させる手段としてはリニアモータに限られるものでは無く、ボールネジによるものなどとしても良い。また、被検査基板Ｗを保持する手段としては、上記のクランプ７４に限るものでは無く、例えば、被検査基板Ｗの裏面を真空吸着する吸着手段を有するものとしても良い。
【００２１】
ここで、第一の搬送部７０のリニアモータ７５及びリニアガイド７６は、第一の搬送部７０の搬出口７０ａから受渡手段９０まで延設されている。同様に、第二の搬送部８０のリニアモータ８５及びリニアガイド８６は、第二の搬送部８０の搬入口８０ａから受渡手段９０まで延設されている。このため、第一の搬送部７０の保持機構７１によって被検査基板Ｗの一辺Ｗ１を把持して受渡手段９０まで搬送することが可能であるとともに、第二の搬送部８０の保持機構８１は受渡手段９０の位置で待機して、搬送された被検査基板Ｗの一辺Ｗ１と隣り合う他辺Ｗ２を把持することで、第一の搬送部７０の保持機構７１から向きを変えずに被検査基板Ｗを受け取ることが可能であり、すなわち、第一の搬送部７０の保持機構７１及び第二の搬送部８０の保持機構８１によって受渡手段９０を構成している。
【００２２】
（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。図８は、本発明の第２の実施形態を示したものである。この実施形態において、前述した実施形態で用いた部材と共通の部材には同一の符号を付して、その説明を省略する。
【００２３】
図８に示すように、本実施形態の基板検査装置１００は、第一の搬送部１０と、第二の搬送部２０と、受渡手段３０と、被検査基板Ｗを検査する基板検査手段１０１とを備えている。なお、図８において、第一の搬送部１０、第二の搬送部２０、及び、受渡手段３０については説明を容易とするため図を簡略化している。また、基板検査手段１０１は、ライン照明５と、検出用ＴＶカメラ６と、ミラー７とで構成された検査ユニット１０２を備えていて、これらはフレーム１０３によって一体支持されている。フレーム１０３は、受渡手段３０上方において、回動機構１０４によって回動可能に支持されていて、図示しない駆動部によって検査ユニット１０２を回動させることが可能である。より詳しくは、検査ユニット１０２は、回動機構１０４によって、第一の搬送部１０上で第一の搬送方向Ｐに搬送されている被検査基板Ｗにライン照明５によって検査光Ｌを第一の検査方向Ａで照射可能な状態から、第二の搬送部２０上で第二の搬送方向Ｑに搬送されている被検査基板Ｗにライン照明５によって検査光Ｌを第二の検査方向Ｂで照射可能な状態まで、約９０度回動することが可能である。
【００２４】
この実施形態の基板検査装置１００では、第一の搬送部１０で被検査基板Ｗが搬送されている状態では、検査ユニット１０２のライン照明５によって第一の検査方向Ａで被検査基板Ｗに検査光Ｌを照射し、検出用ＴＶカメラ６で被検査基板Ｗを撮影する。そして、被検査基板Ｗが第一の搬送部１０から搬出されて、受渡手段３０によって第二の搬送部２０に受け渡される際に、回動機構１０４によって、検査ユニット１０２を約９０度回動させる。このため、被検査基板Ｗが第二の搬送部１０で第二の搬送方向Ｑに搬送される際には、ライン照明５によって被検査基板Ｗに第二の検査方向Ｂで検査光Ｌを照射し、検出用ＴＶカメラ６で被検査基板Ｗを撮影することができる。すなわち、本実施形態の基板検査装置１００では、回動機構１０４を備えていることで、一つの検査ユニット１０２によって異なる方向から被検査基板Ｗの検査を行うことができる。検査ユニット１０２を回動させる機構は、被検査基板Ｗを回動させ、移動させる機構に比べて簡易なものとすることができ、それ故に装置コストの低減を図ることができる。
【００２５】
（第３の実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態について説明する。図９は、本発明の第３の実施形態を示したものである。この実施形態において、前述した実施形態で用いた部材と共通の部材には同一の符号を付して、その説明を省略する。
【００２６】
図９に示すように、本実施形態の基板検査装置１１０は、第一の搬送部１０と、第二の搬送部２０と、受渡手段３０と、被検査基板Ｗを検査する基板検査手段１１１とを備えている。なお、図９において、第一の搬送部１０、第二の搬送部２０、及び、受渡手段３０については説明を容易とするため図を簡略化している。また、基板検査手段１１１は、第一の搬送部１０上で搬送された被検査基板Ｗに第一の検査方向Ａで検査光Ｌを照射可能な第一のライン照明５ａ（第一の発光部）と、第二の搬送部２０上で搬送された被検査基板Ｗに第二の検査方向Ｂで検査光Ｌを照射可能な第二のライン照明５ｂ（第二の発光部）と、受渡手段３０上方に設けられた検出用ＴＶカメラ６とを備えている。第一のライン照明５ａ及び第二のライン照明５ｂのそれぞれには、対応して第一のミラー７ａ及び第二のミラー７ｂが設けられていて、それぞれ被検査基板Ｗに検査光Ｌが照射されて発生した反射光Ｌ１を検出用ＴＶカメラ６に到達するように反射させることが可能である。また、検出用ＴＶカメラ６には回動機構１１２が設けられていて、第一のライン照明５ａ及び第二のライン照明５ｂのそれぞれの反射光Ｌ１を受光可能に約９０度回動可能である。
【００２７】
この実施形態の基板検査装置１１０では、第一の搬送部１０で被検査基板Ｗが搬送されている状態では、第一のライン照明５ａによって第一の検査方向Ａで被検査基板Ｗに検査光Ｌを照射し、検出用ＴＶカメラ６で被検査基板Ｗを撮影する。そして、被検査基板Ｗが第一の搬送部１０から搬出されて、受渡手段３０によって第二の搬送部２０に受け渡される際に、回動機構１１２によって、検出用ＴＶカメラ６を約９０度回動させる。このため、被検査基板Ｗが第二の搬送部１０で第二の搬送方向Ｑに搬送される際には、第二のライン照明５ｂによって被検査基板Ｗに第二の検査方向Ｂで検査光Ｌを照射し、検出用ＴＶカメラ６で被検査基板Ｗを撮影することができる。すなわち、本実施形態の基板検査装置１００では、回動機構１１２を備えていることで、一つの検出用ＴＶカメラ６によって異なる方向から被検査基板Ｗの検査を行うことができる。また、第２の実施形態の基板検査装置１００に比べて回動させる対象が検出用ＴＶカメラ６のみなので、回動機構１１２をより簡易なものとすることができ、また、受光部は、それぞれの検査方向に応じて別途設けることで、被検査基板Ｗの長辺または短辺に応じた最適な長さのライン照明とすることができる。
【００２８】
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の第１の実施形態の基板検査装置の平面図である。
【図２】本発明の第１の実施形態の基板検査装置の受渡手段の拡大した断面図である。
【図３】本発明の第１の実施形態の基板検査装置において、検査ユニットの断面図である。
【図４】本発明の第１の実施形態の一の変形例の基板検査装置の平面図である。
【図５】本発明の第１の実施形態の他の変形例の基板検査装置の平面図である。
【図６】本発明の第１の実施形態の他の変形例の基板検査装置において、浮上ステージの拡大した断面図である。
【図７】本発明の第１の実施形態の他の変形例の基板検査装置において、保持機構の拡大した断面図である。
【図８】本発明の第２の実施形態の基板検査装置の平面図である。
【図９】本発明の第３の実施形態の基板検査装置の平面図である。
【符号の説明】
【００３０】
１、６０、１００、１１０  基板検査装置
２、１０１、１１１  基板検査手段
３  第一の検査ユニット
４  第二の検査ユニット
５  ライン照明（発光部）
５ａ  第一のライン照明（第一の発光部）
５ｂ  第二のライン照明（第二の発光部）
６  検出用ＴＶカメラ（受光部）
１０、７０  第一の搬送部
２０、８０  第二の搬送部
３０、９０  受渡手段
１０２  検査ユニット
１０４、１１２  回動機構
Ａ  第一の検査方向
Ｂ  第二の検査方向
Ｌ  検査光
Ｌ１  反射光
Ｐ  第一の搬送方向
Ｑ  第二の搬送方向
Ｗ  被検査基板（基板）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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