(57)【要約】【課題】電子部品実装機等の位置決め制御装置において、残留振動の軽減、位置決め時間の短縮（サイクルタイムの短縮）を実現する。【解決手段】位置指令生成部１２で生成した位置指令が入力される位置制御部１３は、補償器構造を切り替える補償器構造切替回路２０と、フィードフォワードのための補償器２４，２５と、フィードバックのための補償器２６とから構成されている。補償器構造切替回路２０は、ノッチフィルタＫ１（ｓ）を使用する回路ａと、ノッチフィルタＫ１（ｓ）を使用しない回路ｂとを切り替えるスイッチ手段２１とから構成されている。移動体の移動距離に応じて補償器構造切替回路２０をノッチフィルタＫ１（ｓ）を使用する回路ａとノッチフィルタＫ１（ｓ）を使用しない回路ｂとに切り替えて、残留振動の軽減、位置決め時間の短縮を図る。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品実装機、接着剤塗布装置、フラックス塗布装置等の電子部品実装関連装置における移動体の位置決め制御を行う電子部品実装関連装置の位置決め制御装置において、
前記移動体の移動に関する情報に応じて補償器の回路を切り替える補償器切替手段を備えていることを特徴とする電子部品実装関連装置の位置決め制御装置。
【請求項２】
前記補償器切替手段は、前記移動体の移動距離に応じて前記補償器の回路を切り替えることを特徴とする請求項１に記載の電子部品実装関連装置の位置決め制御装置。
【請求項３】
前記補償器の回路は、ノッチフィルタを有し、
前記補償器切替手段は、前記補償器の回路を前記ノッチフィルタを使用する回路と前記ノッチフィルタを使用しない回路とに切り替えることを特徴とする請求項１又は２に記載の電子部品実装関連装置の位置決め制御装置。
【請求項４】
前記補償器の回路は、異なる振動モードの振動を抑制する２種類以上の補償器を有し、  前記補償器切替手段は、前記２種類以上の補償器を切り替えることを特徴とする請求項１又は２に記載の電子部品実装関連装置の位置決め制御装置。
【請求項５】
前記補償器の回路は、前記移動体の移動途中に目的位置が変更された場合に変更前の目的位置と変更後の目的位置との相対距離に応じて切り替えられる補正回路を有し、
前記補償器切替手段は、前記移動体の移動途中に目的位置が変更された場合に前記相対距離に応じて前記補正回路を切り替えることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の電子部品実装関連装置の位置決め制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品実装機、接着剤塗布装置、フラックス塗布装置等の電子部品実装関連装置における移動体の位置決め制御を行う電子部品実装関連装置の位置決め制御装置に関する発明である。
【背景技術】
【０００２】
表面実装ラインの装置における、コア技術の一つに高精度・高速位置決め技術が挙げられ、それを実現するための位置決め制御装置（モーションコントローラ）には、特化した制御則（位置指令・補償器など）が実装されることがある。特化した制御則とは、ポイント・ツー・ポイント（Ｐｏｉｎｔ  ｔｏ  Ｐｏｉｎｔ）での高速・高精度位置決め動作において最大限の性能を引き出すものであって、これらは工作機械等の軌跡制御を実現する場合等、別の制御目標を実現する時の制御則とは必ずしも合致しない。例えば、ポイント・ツー・ポイント動作においては、位置指令の最終目的位置さえ正確であればよいため、振動抑制等を考慮して目標値追従特性（軌跡追従特性）を任意のものとした補償器を提供することがある。
【０００３】
しかし、実際の動作はポイント・ツー・ポイント動作だけに限定されない。例えば、接着剤塗布においては、点塗布と線塗布の要求がある。この時、ＸＹロボットの動作は、点塗布の場合は塗布座標間のポイント・ツー・ポイント動作でよいものの、線塗布は直線補間や曲線補間で動作する必要がある。そのため、ポイント・ツー・ポイント動作だけに対応した制御則を制御装置に実装した場合には、これらの動作での制御目標を到達できない場合があり、また、これらの制御目標も考慮した結果、ポイント・ツー・ポイント動作において、最適な制御則を実装できずに、サイクルタイムを限界まで短縮できない可能性があった。
【０００４】
また、ポイント・ツー・ポイント動作に限定した場合にも、あらゆる駆動条件下で最短位置決め時間を実現できる単一補償器を設計するのは容易ではない。
【０００５】
例えば、特許文献１（特開平９−１３００９９号公報）には、サーボモータの制御における速度ループゲインをヘッドユニットの移動距離に応じて変更することにより、残留振動を軽減し、位置決め時間の短縮を図ることが記載されている。
【特許文献１】特開平９−１３００９９号公報（第１頁〜第３頁等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記特許文献１の技術は、制御パラメータ（速度ループゲイン）の変更であって、補償器構造そのものを変更していない。制御対象によっては、補償器構造そのものを変更しなければ最適解を得られず、残留振動の軽減、位置決め時間の短縮を実現できない可能性がある。
【０００７】
本発明はこのような事情を考慮してなされたものであり、従ってその目的は、従来の制御パラメータの変更では実現困難であった残留振動の軽減、位置決め時間の短縮（サイクルタイムの短縮）を実現することができる電子部品実装関連装置の位置決め制御装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、請求項１に係る発明は、電子部品実装機、接着剤塗布装置、フラックス塗布装置等の電子部品実装関連装置における移動体の位置決め制御を行う電子部品実装関連装置の位置決め制御装置において、前記移動体の移動に関する情報に応じて補償器の回路を補償器切替手段によって切り替えるようにしたものである。この構成では、移動体の移動に関する情報に応じて補償器構造そのものを変更することができるため、従来の制御パラメータの変更では実現困難であった残留振動の軽減、位置決め時間の短縮（サイクルタイムの短縮）を実現することができる。
【０００９】
この場合、請求項２のように、前記補償器切替手段は、前記移動体の移動距離に応じて前記補償器の回路を切り替えるようにすると良い。このようにすれば、移動体の移動距離に応じて振動モードが変化するのに対応して補償器の回路を適切に切り替えることができる。
【００１０】
また、請求項３のように、前記補償器の回路は、ノッチフィルタを有し、前記補償器切替手段は、前記補償器の回路を前記ノッチフィルタを使用する回路と前記ノッチフィルタを使用しない回路とに切り替えるようにしても良い。このようにすれば、ノッチフィルタを用いた簡単な構成で本発明を実施できる。
【００１１】
また、請求項４のように、前記補償器の回路は、異なる振動モードの振動を抑制する２種類以上の補償器を有し、前記補償器切替手段は、前記２種類以上の補償器を切り替えるようにしても良い。このようにすれば、移動体の移動に関する情報（移動距離等）に応じて、より適切な補償器に切り替えることができ、振動抑制効果を高めることができる。
【００１２】
また、請求項５のように、前記補償器の回路は、前記移動体の移動途中に目的位置が変更された場合に変更前の目的位置と変更後の目的位置との相対距離に応じて切り替えられる補正回路を有し、前記補償器切替手段は、前記移動体の移動途中に目的位置が変更された場合に、前記相対距離に応じて前記補正回路を切り替えるようにしても良い。このようにすれば、移動体の移動途中に目的位置が変更された場合でも、残留振動の軽減、位置決め時間の短縮（サイクルタイムの短縮）を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明を実施するための最良の形態を電子部品実装機に適用して具体化した３つの実施例１〜３を説明する。
【実施例１】
【００１４】
本発明の実施例１を図１乃至図７に基づいて説明する。
位置決め制御装置１１は、主に位置指令生成部１２、位置制御部１３及び切替処理判定部１４（補償器切替手段）から構成されている。機台１５（図３参照）と一体となった制御対象は、剛体系もしくは電動機１７と可動部１８（移動体）との間にばね特性を有する共振振動系であり、また、機台１５は可動部１８の加減速動作時に発生する負荷トルクにより、弾性変形を起こし、更には負荷トルクの反作用を吸収しきれない場合には、機台１５の固有振動数に依存した周波数で振動し、位置決め時間の増大や位置決め精度の劣化を招き、更には機台１５の振動により、機械周辺環境への悪影響を及ばす場合もある。
【００１５】
本実施例１では、この機台１５の振動を抑制するために、位置決め制御装置１１は、次のように構成されている。
【００１６】
位置指令生成部１２は、種々の位置指令生成アルゴリズムを搭載し、移動距離、移動速度、加速度、減速度等により位置指令の軌道が決定される。
【００１７】
この位置指令生成部１２で生成した位置指令が入力される位置制御部１３は、補償器構造を切り替える補償器構造切替回路２０と、フィードフォワードのための補償器２４，２５と、フィードバックのための補償器２６とから構成されている。補償器構造切替回路２０は、位置指令をノッチフィルタＫ１（ｓ）を通過させる回路ａと、ノッチフィルタＫ１（ｓ）をバイパスする回路ｂとを切り替えるスイッチ手段２１とから構成されている。スイッチ手段２１は、可動部１８の移動距離に応じて切替処理判定部１４によって切り替えられる。ノッチフィルタＫ１（ｓ）は、機台１５の振動を抑制するためのフィルタである。
【００１８】
補償器２４のＤ（ｓ）／Ｎａ（ｓ）は、電動機電流指令から可動部１８の位置までの近似伝達特性の逆特性であり、補償器２５のＮｍ（ｓ）／Ｎａ（ｓ）は、電動機１７の位置から可動部１８の位置までの近似伝達特性の逆特性である。
【００１９】
そして、Ｋ２（ｓ）は、Ｄ（ｓ）／Ｎａ（ｓ）とＮｍ（ｓ）／Ｎａ（ｓ）をプロパーにするフィルタである。
【００２０】
スイッチ手段２１により補償器構造切替回路２０がノッチフィルタＫ１（ｓ）を使用する回路ａに切り替えられている場合には、Ｋ１（ｓ）・Ｋ２（ｓ）＝Ｋ（ｓ）とすると、図２に示す比較例の補償器構造と等価になる。
【００２１】
要するに、ノッチフィルタＫ１（ｓ）を使用する場合は、位置制御部１３の補償器構造が図２においてＫ（ｓ）＝Ｋ１（ｓ）・Ｋ２（ｓ）とした補償器構造に切り替えられ、ノッチフィルタＫ１（ｓ）を使用しない場合は、図２においてＫ（ｓ）＝Ｋ２（ｓ）とした補償器構造に切り替えられることになる。
【００２２】
尚、図２において、Ｋ（ｓ）は、Ｄ（ｓ）／Ｎａ（ｓ）とＮｍ（ｓ）／Ｎａ（ｓ）をプロパーにし、かつ、機台１５の振動を抑制するフィルタである。
【００２３】
また、図１において、補償器２６［Ｃｐｏｓ（ｓ）］は、ＰＩＤ補償器＋トルクフィルタである。尚、ｓはラプラス変換演算子を示す。実際の位置決め制御装置１１には、ｓ領域で示された補償器を種々の離散化手法により、ディジタルフィルタに変換して実装している。
【００２４】
ところで、推力（トルク）は、電動機１７から可動部１８へと伝達していくが、このとき可動部１８にかかる推力に機台１５の固有振動数に相当するエネルギーが多く含まれれば、可動部１８が機台１５と共振し、機台１５の振動が大きくなると考えられる。
【００２５】
図２の比較例では、Ｋ（ｓ）は機台１５の固有振動数付近のエネルギーを軽減させるが、機台１５を揺らす程の加振力を有さない駆動条件、例えば狭隣接実装等に使用する微小移動動作では、Ｋ（ｓ）が過補償項となりうる場合があり、位置決め時間の遅延要因となる。
【００２６】
そこで、本実施例１では、可動部１８の移動距離に応じて最適な補償器構造に切り替えることができるようにする。まず、図２のＫ（ｓ）を以下の通り分離して、図１のように構成したものである。
【００２７】
Ｋ（ｓ）＝Ｋ１（ｓ）・Ｋ２（ｓ）
Ｋ１（ｓ）は、機台１５の振動を抑制するノッチフィルタである。
Ｋ２（ｓ）は、Ｄ（ｓ）／Ｎａ（ｓ）とＮｍ（ｓ）／Ｎａ（ｓ）をプロパーにするフィルタである。
【００２８】
切替処理判定部１４は、図４の補償器構造切替処理プログラムを実行して補償器構造切替回路２０のスイッチ手段２１を切り替えることで、可動部１８の移動距離に応じて補償器構造切替回路２０をノッチフィルタＫ１（ｓ）を使用する回路ａとノッチフィルタＫ１（ｓ）を使用しない回路ｂとに切り替えて、残留振動の軽減、位置決め時間の短縮（サイクルタイムの短縮）を図る。
【００２９】
図４の補償器構造切替処理プログラムでは、まずステップ１０１で、可動部１８の移動距離を決定し、次のステップ１０２で、移動距離を判定しきい値と比較してノッチフィルタＫ１（ｓ）の使用の有無を判定する。この際、移動距離が判定しきい値以上であれば、ノッチフィルタＫ１（ｓ）の使用有りと判定し、移動距離が判定しきい値未満であれば、ノッチフィルタＫ１（ｓ）の使用無しと判定する。
【００３０】
その後、ステップ１０３に進み、上記ステップ１０２の判定結果に基づいて補償器構造切替回路２０のスイッチ手段２１を切り替えることで、可動部１８の移動距離に応じて補償器構造切替回路２０をノッチフィルタＫ１（ｓ）を使用する回路ａとノッチフィルタＫ１（ｓ）を使用しない回路ｂとに切り替える。この後、ステップ１０４に進み、位置指令生成部１２から位置指令を補償器構造切替回路２０に払い出す処理を開始する。
【００３１】
本実施例１の効果を数値例と波形で示す。例えば、ｆＨｚの機台振動（減衰比０・０８）を有する制御対象に対して、位置指令生成を５次曲線で行う（日本カム工業会編「カム機構ハンドブック」第９５頁参照）。また、補償器構造切替回路２０のノッチフィルタＫ１（ｓ）は以下の通り設定する。
【００３２】
【数１】
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【００３３】
図５は位置指令払い出しに１９２制御周期要する５次曲線指令７０００パルス移動時に、ノッチフィルタＫ１（ｓ）を使用した時の位置指令、位置指令一階微分、位置指令二階微分の波形である。
【００３４】
図６は位置指令払い出しに１７２制御周期要する５次曲線指令１０００パルス移動時にノッチフィルタＫ１（ｓ）を使用する場合と２００制御周期要する５次曲線指令１０００パルス移動時にノッチフィルタＫ１（ｓ）を使用しない場合の位置指令、位置指令一階微分、位置指令二階微分の波形である。波形の横軸は１制御周期を１として換算している。      
【００３５】
図６から、１０００パルス移動時におけるノッチフィルタＫ１（ｓ）使用時の位置指令払い出し完了時間は２４０制御周期であり、ノッチフィルタＫ１（ｓ）不使用時の位置指令払い出し完了時間は２００制御周期であり、４０制御周期分の指令時間が短縮されている。
【００３６】
また、図７は位置指令二階微分のパワースペクトルを比較した結果である。７０００パルス移動時で示された、ｆＨｚの帯域付近でのエネルギーレベルの低減が位置決め機台振動抑制で必要であるとすると、１０００パルス移動時のｆＨｚの帯域付近でのパワースペクトルは、ノッチフィルタＫ１（ｓ）の使用の有無にかかわらず、これを下回るエネルギーレベルである。これは、移動距離と移動時間によって規定される位置指令のエネルギー分布特性如何によっては必ずしも補償器による振動抑制項が必要ではないことを示しており、位置指令のエネルギー分布を考慮した補償器構造の切り替えが有効であることを示している。また、移動距離（移動時間）の短い指令にノッチフィルタＫ１（ｓ）を使用した場合の弊害として、フィルタ出力信号がインパルス状に歪むために、高周波のエネルギーが増幅してしまい、高次モードの振動を誘発してしまうことがある。その結果として、整定時間が延びてしまう場合がある。
【００３７】
本実施例１のように、Ｋ１（ｓ）にノッチフィルタを使用する場合には、高次モードの振動を誘発しない移動距離に対してのみ、ノッチフィルタＫ１（ｓ）を使用し、高次モードの振動を誘発する移動距離に対しては、ノッチフィルタＫ１（ｓ）を使用しないという切り替え則を適用することで、残留振動の軽減、移動時間の短縮（サイクルタイムの短縮）を実現することができる。
【実施例２】
【００３８】
上記実施例１では、可動部１８の移動距離に応じて補償器構造切替回路２０をノッチフィルタＫ１（ｓ）を使用する回路ａとノッチフィルタＫ１（ｓ）を使用しない回路ｂとに切り替えるようにしたが、補償器構造切替回路に異なる振動モードの振動を抑制する２種類以上の補償器（振動抑制項）を設け、補償器構造切替回路を３種類以上の補償器構造に切り替えるようにしても良い。以下、これを具体化した本発明の実施例２を図８及び図９に基づいて説明する。
【００３９】
本実施例２は、機台振動の一次モード振動数がｆＨｚ（減衰比０．０８）であり、それの１．５倍の帯域に２次モード（減衰比０・０５）がある場合の実施例であり、補償器構造切替回路３０に、以下の２種類の補償器Ｋ11（ｓ）、Ｋ12（ｓ）を設ける。
【００４０】
【数２】
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【００４１】
この場合、Ｋ12（ｓ）は機台振動一次モードと二次モードを同時に抑制する補償器として構成され、Ｋ11（ｓ）を内包している。
【００４２】
本実施例２では、切替処理判定部１４は、図９の補償器構造切替処理プログラムを実行して補償器構造切替回路３０のスイッチ手段３１を切り替えることで、可動部１８の移動距離に応じて、補償器構造切替回路３０を、第１の補償器Ｋ11（ｓ）を使用する回路ａと、第２の補償器Ｋ12（ｓ）を使用する回路ｂと、補償器Ｋ11（ｓ）、Ｋ12（ｓ）を使用しない回路ｃとに切り替えて、位置決め時間の短縮を図る。
【００４３】
図９の補償器構造切替処理プログラムでは、まずステップ２０１で、可動部１８の移動距離を決定し、次のステップ２０２で、移動距離に基づいて使用する補償器を選択する。その後、ステップ２０３に進み、上記ステップ２０２の選択結果に基づいて補償器構造切替回路３０のスイッチ手段３１を切り替えることで、可動部１８の移動距離に応じて補償器構造切替回路３０を、第１の補償器Ｋ11（ｓ）を使用する回路ａと、第２の補償器Ｋ12（ｓ）を使用する回路ｂと、補償器Ｋ11（ｓ）、Ｋ12（ｓ）を使用しない回路ｃとに切り替える。この後、ステップ２０４に進み、位置指令生成部１２から位置指令を補償器構造切替回路３０に払い出す処理を開始する。
【００４４】
本実施例２のように、移動距離に対して、抑制すべき機台振動のモード数が２個以上変化する場合には、切り替える回路を増やすことで位置決め時間を短縮できる。
【００４５】
尚、本実施例２では、２つの補償器Ｋ11（ｓ）、Ｋ12（ｓ）を並列に配置した上で、単一のスイッチ手段３１で切り替える構成としているが、２つ以上の補償器を直列に並べ、それぞれに切り替え回路を設けた構成としても良い。
【００４６】
本実施例２では、Ｋ12（ｓ）は機台振動一次モードと二次モードを同時に抑制する補償器として構成され、Ｋ11（ｓ）を内包している。そこで、Ｋ12（ｓ）を二次モード抑制項に限定し、Ｋ11（ｓ）と直列に配置した上で、それぞれの補償器Ｋ11（ｓ）、Ｋ12（ｓ）に切り替え回路を設けた構成としても良い。
【実施例３】
【００４７】
電子部品実装機において、動作途中に最終目的位置を変更する動作を行う際に本発明を適用する実施例３を説明する。動作途中に最終目的位置の変更指示をうけた場合の位置指令の生成方法としては、大別して二通りの方法が考えられる。
【００４８】
一つ目は、軌跡変更直前の位置・速度・加速度を初期値として、最終目的位置までの軌跡を再計算する方法である。
【００４９】
二つ目は、初期目的位置と最終目的位置との相対距離（以下「補正距離」と呼ぶ）を求め、補正距離に対する位置指令を生成し、初期目的位置に対する位置指令に足しこむ方法である。後者の方法を実現する位置決め制御装置を図１１に示す。位置指令生成部１２は初期目的位置に対する軌跡データを第一位置指令として出力し、補正距離に対する軌跡データを第二位置指令として出力する。
【００５０】
補償器構造切替回路４０は、第一位置指令に対して、前記実施例１と同様のノッチフィルタＫ１（ｓ）と第一のスイッチ手段４１とから成る第一の切替回路４３を設け、第二位置指令に対して、同様のノッチフィルタＫ１（ｓ）と第二のスイッチ手段４２とから成る第二の切替回路４４（補正回路）を設け、第一位置指令と第二位置指令の組み合わせに応じて補償器構造切替回路４０を４通りの補償器構造に切り替えるようにしている。
【００５１】
本実施例３では、切替処理判定部１４は、図１２の補償器構造切替処理プログラムを実行して補償器構造切替回路４０の２つのスイッチ手段４１，４２を切り替えることで、可動部１８の移動距離と補正距離に応じて補償器構造切替回路４０を４通りの補償器構造に切り替える。
【００５２】
図１２の補償器構造切替処理プログラムでは、まずステップ３０１で、可動部１８の移動距離を決定し、次のステップ３０２で、移動距離を判定しきい値と比較して第一の切替回路４３の第一のノッチフィルタＫ１（ｓ）の使用の有無を判定する。
【００５３】
その後、ステップ３０３に進み、上記ステップ３０２の判定結果に基づいて補償器構造切替回路４０の第一のスイッチ手段４１を切り替えることで、可動部１８の移動距離に応じて第一の切替回路４３を第一のノッチフィルタＫ１（ｓ）を使用する回路ａと第一のノッチフィルタＫ１（ｓ）を使用しない回路ｂとに切り替える。この後、ステップ３０４に進み、位置指令生成部１２から第一位置指令を第一の切替回路４３に払い出す処理を開始する。
【００５４】
この後、ステップ３０５に進み、目的位置の変更指示が出されたか否かを判定し、目的位置の変更指示が出されなければ、そのまま本プログラムを終了する。
【００５５】
一方、目的位置の変更指示が出された場合は、ステップ３０６に進み、初期目的位置と最終目的位置との相対距離（補正距離）を決定し、次のステップ３０７で、補正距離を判定しきい値と比較して第二の切替回路４４の第二のノッチフィルタＫ１（ｓ）の使用の有無を判定する。
【００５６】
その後、ステップ３０８に進み、上記ステップ３０７の判定結果に基づいて第二の切替回路４４の第二のスイッチ手段４２を切り替えることで、補正距離に応じて第二の切替回路４４を第二のノッチフィルタＫ１（ｓ）を使用する回路ｃと第二のノッチフィルタＫ１（ｓ）を使用しない回路ｄとに切り替える。この後、ステップ３０９に進み、位置指令生成部１２から第二位置指令を第二の切替回路４４に払い出す処理を開始する。
【００５７】
このようにすれば、例えば、第一位置指令に対して第一のノッチフィルタＫ１（ｓ）を使用し、第二位置指令に対して第二のノッチフィルタＫ１（ｓ）を使用しないような初期目的位置と最終目的位置が指定された場合に位置決め時間を短縮する効果が期待できる。例えば、前記実施例１で示した、７０００パルス移動の軌跡データを第一位置指令に出力した上で、第一のノッチフィルタＫ１（ｓ）を使用し、その動作途中に１０００パルスの補正距離が指定された時に第二のノッチフィルタＫ１（ｓ）を不使用とすることで、位置決め時間を短縮できる。
【００５８】
以上説明した各実施例１〜３では、移動距離に応じて補償器の回路を切り替えるようにしたが、例えば、移動時間、移動速度、加速度等のいずれかに応じて補償器の回路を切り替えるようにしても良く、要は、移動体の移動に関する少なくとも１つの情報に応じて補償器の回路を切り替えるようにすれば良い。
【００５９】
その他、本発明は、電子部品実装機に限定されず、接着剤塗布装置、フラックス塗布装置等の電子部品実装関連装置に広く適用して実施できる。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明の実施例１の位置決め制御装置の構成例を示すブロック図である。
【図２】比較例の位置決め制御装置の構成例を示すブロック図である。
【図３】本発明を適用するボールねじシステムの概念図である。
【図４】実施例１の補償器構造切替処理プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。
【図５】実施例１の位置指令払い出しに１９２制御周期要する５次曲線指令７０００パルス移動時に、ノッチフィルタＫ１（ｓ）を使用した時の位置指令、位置指令一階微分、位置指令二階微分の波形である。
【図６】実施例１の位置指令払い出しに１７２制御周期要する５次曲線指令１０００パルス移動時にノッチフィルタＫ１（ｓ）を使用する場合と２００制御周期要する５次曲線指令１０００パルス移動時にノッチフィルタＫ１（ｓ）を使用しない場合の位置指令、位置指令一階微分、位置指令二階微分の波形である。
【図７】実施例１の位置指令二階微分のパワースペクトルを比較した結果である。
【図８】実施例２の位置決め制御装置の構成例を示すブロック図である。
【図９】実施例２の補償器構造切替処理プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。
【図１０】実施例３の位置決め制御装置の構成例を示すブロック図である。
【図１１】実施例３の補償器構造切替処理プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００６１】
１１…位置決め制御装置、１２…位置指令生成部、１３…位置制御部、１４…切替処理判定部（補償器切替手段）、１５…機台、１７…電動機、１８…可動部（移動体）、２０…補償器構造切替回路、２１…スイッチ手段、３０…補償器構造切替回路、３１…スイッチ手段、４０…補償器構造切替回路、４１…第一のスイッチ手段、４２…第二のスイッチ手段、４３…第一の切替回路、４４…第二の切替回路（補正回路）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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