(57)【要約】      （修正有）【課題】移動体装置のレール走行に起因する発塵物を室内で拡散させることなく、レール近傍に向けて局所的に清浄空気を供給するとともにレール近傍の塵埃を含む空気を局所的に且つ速やかに排気すること。【解決手段】レール近傍の少なくとも移動体装置６０の車輪６２が通過する位置に向けて、清浄空気吹出装置４０から清浄空気を吹き出し、移動体装置６０の走行により発生した塵埃を含む空気を、清浄空気吹出装置４０から吹き出された清浄空気とともに、レール３０ａ、３０ｂを挟んで清浄空気吹出装置４０と向かい合う排気装置５０により吸い込んで排気すること。【選択図】図２
2008297046.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
保管物を搬送する移動体装置が走行するレールと、清浄空気を吹き出す清浄空気吹出装置と、塵埃を含む空気を吸い込んで排気する排気装置とを備えた保管倉庫室における気流制御方法であって、
前記レール近傍の少なくとも前記移動体装置の車輪が通過する位置に向けて、前記清浄空気吹出装置から清浄空気を吹き出し、前記移動体装置の走行により発生した塵埃を含む空気を、前記清浄空気吹出装置から吹き出された清浄空気とともに、前記レールを挟んで前記清浄空気吹出装置と向かい合う前記排気装置により吸い込んで排気することを特徴とする気流制御方法。
【請求項２】
前記レールを挟んで互いに向かい合う前記清浄空気吹出装置と前記排気装置とによって前記レール上を横断する第１の気流を形成するとともに、前記レールに沿って互いに隣接している前記清浄空気吹出装置と前記排気装置とによって第２の気流を形成することを特徴とする請求項１に記載の気流制御方法。
【請求項３】
前記移動体装置の位置を検出し、前記位置検出部によって検出された位置に基づいて、前記移動体装置の周囲に位置する前記清浄空気吹出装置と前記排気装置とを連動させることを特徴とする請求項１または２に記載の気流制御方法。
【請求項４】
保管物を搬送する移動体装置が走行するレールと、
前記レールに沿って複数個配置され、前記レール近傍の少なくとも前記移動体装置の車輪が通過する位置に向けて清浄空気を吹き出す清浄空気吹出装置と、
前記レールを挟んで前記清浄空気吹出装置と向かい合うように前記レールに沿って複数個配置され、前記移動体装置の走行により発生した塵埃を含む空気を、前記清浄空気吹出装置から吹き出された清浄空気とともに吸い込んで排気する排気装置と、
を備えたことを特徴とする保管倉庫設備。
【請求項５】
前記レールに沿って前記清浄空気吹出装置と前記排気装置とが互いに隣接して配置されていることを特徴とする請求項４に記載の保管倉庫設備。
【請求項６】
前記移動体装置の位置を検出する位置検出部と、
前記位置検出部によって検出された位置に基づいて、前記移動体装置の周囲に位置する前記清浄空気吹出装置と前記排気装置とを連動させる制御を行う制御部と、
を備えたことを特徴とする請求項４または５に記載の保管倉庫設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は気流制御方法および保管倉庫設備に係り、特に、液晶基板などの保管物を保管する保管倉庫でのレール走行に起因する発塵物が保管倉庫内で拡散することを防止する気流制御方法および保管倉庫設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶基板は、一般に、カセット型のケース（以下「カセット」という）内に半露出状態で収容される。このような液晶基板の保管倉庫室には、カセット内に収容された状態の液晶基板を保管する複数個の保管棚と、保管倉庫室内を移動してカセットを搬送するスタッカクレーンと、スタッカクレーンの稼働領域となるレールと、洗浄空気を供給する洗浄空気供給装置が設けられている。スタッカクレーンは、カセットを保持しながら上下させるとともに、車輪でレール上を走行する。
【０００３】
特許文献１には、床面付近での清浄度の低下を防止するため、ファンフィルタユニットから清浄空気をストッカー（保管棚）内に横向きに吹き出してストッカーを通過させて床面近傍の吸い込み口より吸い込むことが記載されている。
【０００４】
特許文献２には、スタッカクレーンの移動の際にスタッカクレーンの近傍（横側や後ろ側）に発生する乱流が上方に拡散しないように、スタッカクレーンの近傍（横側や後ろ側）において強制的に上方から下方への気流を形成することが記載されている。
【特許文献１】特開２００６―２５６７９４号公報
【特許文献２】特開２００４―２９９８１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
レール上を走行するスタッカクレーンは、発塵を抑えるため駆動部などはできるだけ密閉構造としているが、剥き出しとなっている箇所からどうしても発塵し、レール上を走行しながら保管倉庫室内に塵埃を撒き散らしてしまう。特に、車輪とレールとが摺動して磨耗し、これに因り発生した塵埃が巻き上がってしまう。
【０００６】
特許文献１、２に記載の方法は、部屋全体の気流による制御なので、スタッカクレーンから発生した塵埃は一旦保管倉庫内に放出されて拡散することには変りがない。つまり、部屋全体に供給する清浄空気を供給過多にして、発生した塵埃を部屋全体の気流から抑え込もうとしているので、部屋内に供給する清浄空気の風量が多くなってしまう。
【０００７】
本発明は、保管倉庫室内の発塵に伴う上記の問題点を鑑み、移動体装置のレール走行に起因する発塵物を室内で拡散させることなく、レール近傍に向けて局所的に清浄空気を供給するとともにレール近傍の塵埃を含む空気を局所的に且つ速やかに排気することができる気流制御方法および保管倉庫設備を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、保管物を搬送する移動体装置が走行するレールと、清浄空気を吹き出す清浄空気吹出装置と、塵埃を含む空気を吸い込んで排気する排気装置とを備えた保管倉庫室における気流制御方法であって、前記レール近傍の少なくとも前記移動体装置の車輪が通過する位置に向けて、前記清浄空気吹出装置から清浄空気を吹き出し、前記移動体装置の走行により発生した塵埃を含む空気を、前記清浄空気吹出装置から吹き出された清浄空気とともに、前記レールを挟んで前記清浄空気吹出装置と向かい合う前記排気装置により吸い込んで排気することを特徴とする気流制御方法を提供する。
【０００９】
ここで、清浄空気吹出装置と排気装置とをレールを挟んで向かい合い配置する態様には各種ある。第１に、清浄空気吹出装置の送風面と排気装置の吸気面とをレールを挟んで真っ直ぐに対向（正対）させて配置する態様、第２に、清浄空気吹出装置の送風面と排気装置の吸気面とをレールを挟んで斜め向かいに配置する態様がある。
【００１０】
この構成によれば、レール近傍の少なくとも移動体装置の車輪が通過する位置に向けて清浄空気が供給されるとともに、清浄空気を吹き出す清浄空気吹出装置とレールを挟んで向かい合う排気装置とによって清浄空気吹出装置からレール上を横断して最短距離で排気装置に至るいわゆるプッシュプル気流が形成されるので、レール近傍の塵埃を含む空気が局所的に且つ速やかに排気されることになる。したがって、移動体装置のレール走行に起因して発生した塵埃を保管倉庫室内で拡散させることなく、局所的に且つ速やかに排気できる。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記レールを挟んで互いに向かい合う前記清浄空気吹出装置と前記排気装置とによって前記レール上を横断する第１の気流を形成するとともに、前記レールに沿って互いに隣接している前記清浄空気吹出装置と前記排気装置とによって第２の気流を形成することを特徴とする気流制御方法を提供する。
【００１２】
この構成によれば、レールを挟んで向かい合う清浄空気吹出装置と排気装置との間の第１の気流が移動体装置によって遮断される瞬間でも、レールに沿って互いに隣接している清浄空気吹出装置と排気装置とによって形成される第２の気流により、保管倉庫室内への塵埃の拡散を防止できる。
【００１３】
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の発明において、前記移動体装置の位置を検出し、前記位置検出部によって検出された位置に基づいて、前記移動体装置の周囲に位置する前記清浄空気吹出装置と前記排気装置とを連動させることを特徴とする気流制御方法を提供する。
【００１４】
この構成によれば、移動体装置が発塵しているときのみ必要な清浄空気吹出装置と排気装置とを稼働させることが可能になるので、安価なランニングコストで塵埃の拡散を防止できる。
【００１５】
請求項４に記載の発明は、保管物を搬送する移動体装置が走行するレールと、前記レールに沿って複数個配置され、前記レール近傍の少なくとも前記移動体装置の車輪が通過する位置に向けて清浄空気を吹き出す清浄空気吹出装置と、前記レールを挟んで前記清浄空気吹出装置と向かい合うように前記レールに沿って複数個配置され、前記移動体装置の走行により発生した塵埃を含む空気を、前記清浄空気吹出装置から吹き出された清浄空気とともに吸い込んで排気する排気装置と、を備えたことを特徴とする保管倉庫設備を提供する。
【００１６】
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の発明において、前記レールに沿って前記清浄空気吹出装置と前記排気装置とが互いに隣接して配置されていることを特徴とする保管倉庫設備を提供する。
【００１７】
請求項６に記載の発明は、請求項４または５に記載の発明において、前記移動体装置の位置を検出する位置検出部と、前記位置検出部によって検出された位置に基づいて、前記移動体装置の周囲に位置する前記清浄空気吹出装置と前記排気装置とを連動させる制御を行う制御部と、を備えたことを特徴とする保管倉庫設備を提供する。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、移動体装置のレール走行に起因する発塵物を室内で拡散させることなく、レール近傍に向けて局所的に清浄空気を供給するとともにレール近傍の塵埃を含む空気を局所的に且つ速やかに排気することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、添付図面に従って、本発明の実施形態について、詳細に説明する。
【００２０】
図１は、本発明を適用した液晶基板保管倉庫室（以下単に「保管倉庫室」という）の一例の全体を示す断面図である。
【００２１】
図１において、保管倉庫室２０は、清浄状態に維持すべき液晶基板を保管するための清浄室（クリーンルーム）である。この保管倉庫室２０は、主として、カセット型の容器１２（以下「カセット」という）に露出されて収納されている液晶基板を保管する保管棚２２と、保管倉庫室２０の全体に洗浄空気９０を供給するＦＦＵ２４（ファンフィルタユニット）と、ＦＦＵ２４へ循環空気が戻るためのレタンスペース２６と、カセット１２を搬送するスタッカクレーン６０が走行するレール３０と、レール３０近傍へ局所的に清浄空気を吹き出す清浄空気吹出装置４０と、レール３０近傍の塵埃を含む空気を局所的に吸い込んで塵埃を除去した後に排気する排気装置５０を含んで構成されている。
【００２２】
スタッカクレーン６０は、車輪６２を有し、スタッカクレーン６０の移動領域としてのレール３０に沿って走行する走行台車６４と、保管物としての液晶基板が露出されて収容されているカセット１２を保持しつつその位置を上下方向等において移動させるフォーク６６を備える。
【００２３】
保管倉庫室２０全体の気流性状を説明すると、保管倉庫室２０内には、ＦＦＵ２４から吹き出された清浄空気９０が戻り空気９１としてレタンスペース２６に吸い込まれる気流が形成される。このような気流の中を、スタッカクレーン６０は、フォーク６６によってカセット１２を保持しながら、走行台車６４によって保管棚２２近傍の位置や図示を省略した製造装置近傍の位置などの目的位置に移動する。その移動の際、スタッカクレーン６０とそれに接触する物体との摺動により発塵する。近年は、スタッカクレーン６０自体の密閉度を向上させたことにより、移動体であるスタッカクレーン６０内部からの発塵は非常に低減されつつあるが、剥き出しとなっている摺動箇所は対策しにくい。特に、車輪６２とレール３０からの発塵を無くすことは困難であり、また、スタッカクレーン６０は高速(例えば２〜３ｍ／ｓ以上)で移動するので、車輪６２およびレール３０から発生した塵埃がスタッカクレーン６０の移動とともに巻き上がり保管倉庫室２０内へ拡散することが懸念される。そこで、レール３０近傍の少なくともスタッカクレーン６０の車輪６２が通過する位置に向けて清浄空気を吹き出す清浄空気吹出装置４０と、レール３０を挟んで清浄空気吹出装置４０と向かい合うように配置され、スタッカクレーン６０の走行により発生した塵埃を含む空気を清浄空気吹出装置４０から吹き出された清浄空気とともに吸い込んで、塵埃を除去した後に排気する排気装置５０とを、保管倉庫室２０の床上に設けた。清浄空気吹出装置４０の給気（清浄空気の吹き出し）と排気装置５０の吸気（塵埃を含む空気の吸い込み）とによって、清浄空気吹出装置４０からレール３０上を横断して排気装置５０へ最短距離で向ういわゆるプッシュプル気流が形成されるので、スタッカクレーン６０の走行に因り発生した塵埃の巻き上がりが防止され、保管倉庫室２０内の清浄度が維持される。
【００２４】
図２は、図１の保管倉庫室２０ａの要部拡大図であり、主として、レール３０（３０ａ、３０ｂ）の断面と、スタッカクレーン６０の走行台車６４、清浄空気吹出装置４０および排気装置５０を示す。
【００２５】
図２において、一対のレール３０（３０ａ、３０ｂ）を挟んで、清浄空気吹出装置４０と排気装置５０とが向かい合うように配置されている。清浄空気吹出装置４０は、主として、送風機４４と、高性能エアーフィルタ４３（ＨＥＰＡフィルタ：High Efficiency Particulate Air Filter）を含んで構成されている。本例の排気装置５０は、清浄空気吹出装置４０と同じ構成からなる。すなわち、本例の排気装置５０は、清浄空気吹出装置４０と同じ送風機４４と、清浄空気吹出装置４０と同じ高性能エアーフィルタ（ＨＥＰＡフィルタ）４３とを含んで構成されている。レール３０を挟んで互いに向かい合う清浄空気吹出装置４０と排気装置５０とによって、清浄空気吹出装置４０からレール３０上を横断して排気装置５０へ至るいわゆるプッシュプル気流が形成される。
【００２６】
清浄空気吹出装置４０の清浄空気７７を吹き出す面（送風面）と排気装置５０の空気７８を吸い込む面（吸気面）とを両端面とするプッシュプル気流の形成空間を、スタッカクレーン６０の走行台車６４が通過する。言い換えると、清浄空気吹出装置４０は、清浄空気吹出装置４０と排気装置５０との間をスタッカクレーン６０が通過するとき、走行台車６４が通過する空間（少なくとも車輪６２が通過する空間である）に向けて清浄空気７７を横向きに吹き出す一方で、排気装置５０は、走行台車６４が通過する空間を流れて来た塵埃を含む気流を吸い込んで塵埃を除いた後に排気する。時系列的には、清浄空気吹出装置４０と排気装置５０との間を走行台車６４が通過している期間だけでなく、特に、清浄空気吹出装置４０と排気装置５０との間を走行台車６４が通過した後の一定時間内に、清浄空気吹出装置４０と排気装置５０とによる給排気を続ける。
【００２７】
このようにして、走行台車６４下部周辺の汚染された空気を排気装置５０によって吸い込み、高性能フィルタ５３に通して、保管倉庫室２０またはレタンスペース２６に排気する。したがって、スタッカクレーン６０が移動してレール３０と車輪６２の磨耗に因り発塵しても、レール走行に因る塵埃が除去されて保管倉庫室２０内での拡散が防止される。また、高性能フィルタ５３を通した後に排気することで、保管倉庫室２０内の空気の清浄度の向上が期待できる。
【００２８】
特に、清浄空気吹出装置４０からの吹き出し気流（プッシュ気流）と排気装置５０の吸い込み気流（プル気流）とが合成したプッシュプル気流に搬送されて、プッシュプル気流の形成空間内の塵埃を含む汚染された空気が速やかに排気装置５０に達するので、排気装置５０のみの排気を行う場合よりも効率良く、走行台車６４下部周辺の空気を局所的に排気できる。
【００２９】
図３は、他の実施例の保管倉庫２０ｂの要部拡大図である。なお、図３において、図２に示した保管倉庫室２０ａの構成要素と同じ構成要素には同じ符号を付してあり、既に説明した内容については、その説明を省略する。
【００３０】
本例の排気装置５００は、排気チャンバ５５と、送風機５４と、高性能フィルタ４３と、これらの排気チャンバ５５、送風機５４および高性能フィルタ４３を繋ぐ排気流路４５によって、構成されている。
【００３１】
プッシュプル気流により汚染空気の排気効率を向上させるには、一般に、清浄空気吹出装置４０からの時間当たりの給気風量（清浄空気吹出装置４０の送風機４４の時間当たりの送風量である）よりも、排気装置５０の時間当たりの排気風量（排気装置５０の送風機５４の時間当たりの送風量である）を、大きくすることが、望ましい。給気風量、排気風量、吸気口と排気口との距離などにもよるが、一般に、給気風量に対して排気風量を３倍以上とすることが、望ましい。
【００３２】
図３に示す構造によれば、排気風量を給気風量よりも大きくすることは容易であり、また、排気口の大きさや排気する場所も自由に設定できる。
【００３３】
なお、排気装置（図２の５０、図３の５００）により塵埃が除去されて清浄化された空気を、図１のレタンスペース２６に排気する代わりに、保管倉庫室２０の外部に排気してもよい。
【００３４】
図４（ａ）〜（ｃ）および図５に、清浄空気吹出装置４０および排気装置５０の設置レイアウト例を示す。
【００３５】
図４（ａ）は第１の設置レイアウト例を示す。この設置レイアウトでは、清浄空気吹出装置４０を一対のレール３０ａ、３０ｂの一方側（図中の左側）にその敷設方向に沿って連続的に複数個配置するとともに、排気装置５０を一対のレール３０ａ、３０ｂの他方側（図中の右側）にその敷設方向に沿って連続的に複数個配置し、且つ、一対のレール３０ａ、３０ｂを挟んで清浄空気吹出装置４０と排気装置５０とを真っ直ぐに対向させて配置した。清浄空気吹出装置４０の送風面と排気装置５０の吸気面とが一対のレール３０ａ、３０ｂを挟んで対向しており、清浄空気吹出装置４０から排気装置５０へ向ういわゆるプッシュプル気流は、通常、レール３０ａ、３０ｂの敷設方向に対して直交するように形成されることになる。
【００３６】
図４（ｂ）は第２の設置レイアウト例を示す。この設置レイアウトでは、清浄空気吹出装置４０を一対のレール３０ａ、３０ｂの一方側（図中の左側）にその敷設方向に沿って間欠的に複数個配置するとともに、排気装置５０を一対のレール３０ａ、３０ｂの他方側（図中の右側）にその敷設方向に沿って間欠的に複数個配置し、且つ、一対のレール３０ａ、３０ｂを挟んで清浄空気吹出装置４０と排気装置５０とを真っ直ぐに対向させて配置した。清浄空気吹出装置４０の送風面と排気装置５０の吸気面とが一対のレール３０ａ、３０ｂを挟んで対向しており、清浄空気吹出装置４０から排気装置５０へ向ういわゆるプッシュプル気流は、通常、レール３０ａ、３０ｂの敷設方向に対して直交するように形成されることになる。
【００３７】
図４（ｃ）は第３の設置レイアウト例を示す。この設置レイアウトでは、清浄空気吹出装置４０を一対のレール３０ａ、３０ｂの一方側（図中の左側）にその敷設方向に沿って間欠的に複数個配置するとともに、排気装置５０を一対のレール３０ａ、３０ｂの他方側（図中の右側）にその敷設方向に沿って間欠的に複数個配置し、且つ、一対のレール３０ａ、３０ｂを挟んで清浄空気吹出装置４０と排気装置５０とを斜め向かいに配置した。清浄空気吹出装置４０の送風面と排気装置５０の吸気面とが一対のレール３０ａ、３０ｂを挟んで斜めに向かい合っており、清浄空気吹出装置４０から排気装置５０へ向ういわゆるプッシュプル気流は、通常、レール３０ａ、３０ｂの敷設方向に対して斜めに交わるように形成されることになる。
【００３８】
図５は第４の設置レイアウト例を示す。この設置レイアウトでは、複数個の清浄空気吹出装置４０と複数個の排気装置５０とを一対のレール３０ａ、３０ｂの両側（図の左側と右側）において、その敷設方向に沿って交互に配置し、且つ、一対のレール３０ａ、３０ｂを挟んで清浄空気吹出装置４０と排気装置５０とを真っ直ぐに対向させて配置した。また、レール３０の敷設方向に沿って清浄空気吹出装置４０と排気装置５０とが互いに隣接して配置されており、隣接する清浄空気吹出装置４０と排気装置５０とが接続チャンバ８０により接続されている。
【００３９】
本例では、レール３０ａ、３０ｂを挟んで対向している清浄空気吹出装置４０と排気装置５０（例えば符号４０−１１の清浄空気吹出装置と符号５０−２１の排気装置）とが対となって稼働する一方で、移動しているスタッカクレーン６０が障害物となり、レール３０ａ、３０ｂを挟んで対向している清浄空気吹出装置４０と排気装置５０（例えば符号４０−１２の清浄空気吹出装置と符号５０−２２の排気装置）との間で空気が流れないときには、レール３０ａ、３０ｂの敷設方向に沿って互いに隣接している清浄空気吹出装置４０と排気装置５０（例えば符号４０−１２の清浄空気吹出装置と符号５０−１１または符号５０−１２の排気装置）の間でローカルな循環気流を形成させて、保管倉庫室２０内への塵埃の拡散を防止する。
【００４０】
また、省エネルギーでの運転を実現するためには、図５に示すように、スタッカクレーン６０の位置を検出する位置検出部８２と、位置検出部８２によって検出された位置に基づいて、移動するスタッカクレーン６０の周囲に位置する清浄空気吹出装置４０と排気装置５０とを連動させる制御を行う制御部８４とを設ける。制御部８４には、位置検出部８２から検出信号が入力される。また、制御部８４は、各浄空気吹出装置４０に対して給気の開始及び停止を指示する給気制御信号を出力するとともに、各排気装置５０に対して排気の開始及び停止を指示する排気制御信号を出力する。
【００４１】
位置検出部８２は、例えば周知のセンサによって構成され、レール３０ａ、３０ｂに沿って配置する。制御部８４は、例えばマイクロコンピュータおよびその周辺回路によって構成される。
【００４２】
例えば、図５において、移動しているスタッカクレーン６０の周囲に位置している符号５０−１１、符号５０−２１及び符号５０−２２の清浄空気吹出装置と符号４０−１１、符号４０−１２及び符号４０−２１の排気装置のみ給排気を行い、他の清浄空気吹出装置５０−１２、５０−１３、５０−２３と他の排気装置４０−１３、４０−２２、４０−２３は給排気を停止させる。これにより安価のランニングコストにて効率よく塵埃を除去できる。
【００４３】
清浄空気吹出装置４０と排気装置５０との連動制御処理について図５に示す第４の設置レイアウト例を用いて説明したが、このような場合に特に限定されず、図４（ａ）〜（ｃ）に示した第１、第２、第３の設置レイアウト例において連動制御処理を行ってもよいことは、言うまでもない。
【００４４】
以上、保管物が、液晶基板である場合を例に説明したが、清浄状態を維持すべき他の保管物であってもよい。例えば、半導体基板（ウェーハ）を保管する保管倉庫室に本発明を適用してもよい。また、カセット内に収容する場合に特に限定されない。
【００４５】
本発明は、本明細書において説明した例や図面に図示された例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の設計変更や改良を行ってよいことはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明を適用した保管倉庫室の一例の全体を示す断面図
【図２】保管倉庫室の一例の要部を示す拡大図
【図３】保管倉庫室の他の例の要部を示す拡大図
【図４】（ａ）は第１の設置レイアウト例を示す平面図、（ｂ）は第２の設置レイアウト例を示す平面図、（ｃ）は第３の設置レイアウト例を示す平面図、
【図５】第４の設置レイアウト例を示す平面図、
【符号の説明】
【００４７】
１２…カセット、２０（２０ａ、２０ｂ）…保管倉庫室、２２…保管棚（保管部）、２４…ＦＦＵ（清浄空気供給装置）、２６…レタンスペース、３０（３０ａ、３０ｂ）…レール、４０…清浄空気吹出装置、４４、５４…送風機、４３…高性能フィルタ、５０、５００…排気装置、５５…排気チャンバ、５６…排気流路、６０…スタッカクレーン、６２…スタッカクレーンの車輪、６４…スタッカクレーンの走行台車、６６…スタッカクレーンのフォーク、８０…接続チャンバ、８２…位置検出部、８４…制御部
【図１】
2008297046.tif 000003
【図２】
2008297046.tif 000004
【図３】
2008297046.tif 000005
【図４】
2008297046.tif 000006
【図５】
2008297046.tif 000007