(57)【要約】【課題】  アライメント用フィルム固定位置決め装置を提供する。【解決手段】  位置のアライメントが必要なフィルム供給装置におけるアライメント用フィルム固定位置決め装置において、フィルム流れ方向の位置制御機能と張力制御機能のあるロールユニットと、幅方向の張力を一定に保つ為のフィルム両サイドに設置した張力制御機能と位置制御機能のあるクランプユニット、アライメントマークを確認する光学ユニット、フィルムを吸着する吸着テーブルを有する事を特徴とするアライメント用フィルム固定位置決め装置を提供する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
位置のアライメントが必要なフィルム供給装置におけるアライメント用フィルム固定位置決め装置において、フィルム流れ方向の位置制御機能と張力制御機能のあるロールユニットと、幅方向の張力を一定に保つ為のフィルム両サイドに設置した張力制御機能と位置制御機能のあるクランプユニット、アライメントマークを確認する光学ユニット、フィルムを吸着する吸着テーブルを有する事を特徴とするアライメント用フィルム固定位置決め装置。
【請求項２】
請求項１記載のロールユニットは、吸着テーブルの上流部にあるニップロールとアライメントロールによりフィルムを挟み、保持し、フィルム上にあるアライメントマークの位置を所定の位置へと傾きと流れ方向の位置を補正する機能を持つ事を特徴とするアライメント用フィルム固定位置決め装置。
【請求項３】
請求項２記載のフィルム流れ方向の位置制御行なうロールユニットの補正する移動量によるフィルムの張力の変動を抑えるダンサー機構を吸着テーブルの下流部に有する事を特徴とするアライメント用フィルム固定位置決め装置。
【請求項４】
請求項１記載のクランプユニットによりフィルム両端を平行に保持し、一定の張力でフィルムを引っ張る事でフィルムのアライメント性を安定させる事を特徴とするアライメント用フィルム固定位置決め装置。
【請求項５】
請求項１記載のアライメントテーブルにおいて吸着テーブルの上昇位置の制御をフィルムの張力の変動をトリガーとし停止する事を特徴とするアライメント用フィルム固定位置決め装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、位置のアライメントが必要なフィルム供給における、フィルムの位置制御及び張力制御フィルムの流れ方向及び幅方向で行なう事により光学的に読み取るアライメントマークによる位置決めを高精度に、再現性良く安定的にフィルムを固定するアライメント用フィルム固定位置決め装置を実現するものである。
【背景技術】
【０００２】
フィルムのアライメント方式としては、アライメント用の吸着プレート上にフィルムに張力をかけない状態でフィルムを吸着固定し、フィルム上のアライメントマークが所定の位置へ来るように吸着プレートを移動し位置決めを行っている。この方法の場合フィルムの張力がかからぬ状態なので吸着プレートに吸着されたときのアライメントマークの位置でその位置決め精度が左右されてしまう。又テンションが抜けた位置決めユニットの前後のフィルムのたるみが次の位置決めの精度悪化の要因のひとつになってしまっていた。
【０００３】
張力を掛けた場合のアライメント方式の場合の多くはフィルム流れ方向の張力のみかかった状態で行うもので、その張力の強弱によりフィルム流れ方向の伸びと幅方向のしわ等を引き起こす場合があり安定した位置決めを行うことが難しい。又フィルムの幅方向の厚みムラも流れ方向に発生するシワの発生の一因となり、位置決め精度の低下につながる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、位置のアライメントが必要なフィルム供給装置におけるアライメント用フィルム固定位置決め装置において、フィルム流れ方向の位置制御行なう張力制御機能のあるロールユニットと幅方向の張力を一定に保つ為のフィルム両サイドに設置した圧力制御機能のあるクランプユニットを持つアライメント用フィルム固定位置決め装置を提供する事にある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するため本発明は、フィルム流れ方向の位置制御行なう張力制御機能のあるロールユニットと幅方向の張力を一定に保つ為のフィルム両サイドに設置した圧力制御機能のあるクランプユニットを持つにより、フィルムの張力を一定に保ち、且つ位置決めの動作を行う事にある。フィルムの流れ方向だけでなく幅方向の張力を安定させ、一定に保つことでフィルム上にあるアライメントマークの位置精度、再現性を高めることができる。このアライメントマークの位置精度、再現性を高めることで、処理される露光によるパターニング、インクジェットノズル等による描画、転写印刷等の加工精度を高める事につながる。
【０００６】
具体的には、請求項１に係る発明は、位置のアライメントが必要なフィルム供給装置におけるアライメント用フィルム固定位置決め装置において、フィルム流れ方向の位置制御機能と張力制御機能のあるロールユニットと、幅方向の張力を一定に保つ為のフィルム両サイドに設置した張力制御機能と位置制御機能のあるクランプユニット、アライメントマークを確認する光学ユニット、フィルムを吸着する吸着テーブルを有する事を特徴とするアライメント用フィルム固定位置決め装置を提供するものである。
【０００７】
請求項２に係る発明は、請求項１記載のロールユニットは、吸着テーブルの上流部にあるニップロールとアライメントロールによりフィルムを挟み、保持し、フィルム上にあるアライメントマークの位置を所定の位置へと傾きと流れ方向の位置を補正する機能を持つ
事を特徴とするアライメント用フィルム固定位置決め装置を提供するものである。
【０００８】
請求項３に係る発明は、請求項２記載のフィルム流れ方向の位置制御行なうロールユニットの補正する移動量によるフィルムの張力の変動を抑えるダンサー機構を吸着テーブルの下流部に有する事を特徴とするアライメント用フィルム固定位置決め装置を提供するものである。
【０００９】
請求項４に係る発明は、請求項１記載のクランプユニットによりフィルム両端を平行に保持し、一定の張力でフィルムを引っ張る事でフィルムのアライメント性を安定させる事を特徴とするアライメント用フィルム固定位置決め装置を提供するものである。
【００１０】
請求項５に係る発明は、請求項１記載のアライメントテーブルにおいて吸着テーブルの上昇位置の制御をフィルムの張力の変動をトリガーとし停止する事を特徴とするアライメント用フィルム固定位置決め装置を提供するものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のアライメント用フィルム固定位置決め装置により、フィルム上にあるアライメントマークの位置精度、再現性を高めることができる。このアライメントマークの位置精度、再現性を高めることで、処理される露光によるパターニング、インクジェットノズル等による描画、転写印刷等の加工精度を高める事が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
図１、図２に本発明のアライメント用フィルム固定装置の例を示す。図中に示す装置の構成は、アライメントロール１、ニップロール２、吸着テーブル３、上流ダンサーロール４、上流サクションロール５、下流ダンサーロール６、下流サクションロール７、アライメント用光学カメラ８、フィルム９、サイドクランプユニット１０Ａ、１０Ｂからなる。
【００１３】
本発明は、まず一定のピッチで描かれ若しくは印字されたアライメントマークがアライメント用光学カメラ８の視野角内に収まるようフィルム９を巻き出し軸及び巻き取り軸の制御により移動させる。
【００１４】
次にフィルム９の流れ方向のアライメントを行なう。この時上流サクションロール５及び下流サクションロール７により、このアライメント工程の前後の工程からの影響が無い様、張力をカットし、又上流ダンサーロール４及び下流ダンサーロール６によりこのアライメント工程のフィルム９の張力は一定に保たれている。
【００１５】
次に、アライメントロール１とニップロール２によりフィルム９がニップされ、保持される。この保持された状態でフィルム９上のアライメントマークの流れ方向のずれと傾きを光学カメラにて確認する。このデータに基づきアライメントロール１とニップロール２によりフィルム９の流れ方向と傾きを補正する。この時下流側には下流ダンサーロール６があるのでアライメントを行なうフィルム９には一定の張力が加わっている。
【００１６】
次に、図２に示すサイドクランプユニット１０Ａ、１０Ｂによりフィルム９の両サイドをクランプし、一定の張力をかける。最後にアライメント用光学カメラ８にてアライメントマークを確認し幅方向の位置をクランプユニット１０Ａ、１０Ｂにより補正する。
【００１７】
フィルム９上のアライメントマークの位置決めが終わったところで吸着テーブル３が上昇、フィルム８に接したところで張力の変動による信号をトリガーとし上昇を停止する。この為吸着テーブル３の上昇によるフィルム９の乱れ、位置の変化を抑える事が出来る。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明のアライメント用フィルム固定装置の例をロールユニットの働きを中心に示す概念斜視図ある。
【図２】本発明のアライメント用フィルム固定装置の例をクランプユニットの働きを中心に示す概念斜視図ある。
【符号の説明】
【００１９】
１  アライメントロール
２  ニップロール
３  吸着テーブル
４  上流ダンサーロール
５  上流サクションロール
６  下流ダンサーロール
７  下流サクションロール
８  アライメント用光学カメラ
９  フィルム
１０Ａ、１０Ｂ  クランプユニット
【図１】
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【図２】
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