(57)【要約】【課題】流路の潰れを容易に且つ確実に検査して、製造コスト及び信頼性を向上した液体噴射ヘッドの検査方法を提供する。【解決手段】液体を噴射するノズル開口３４が並設されていると共に、内部に前記ノズル開口３４と連通する流路が設けられ、且つ前記流路に液体を供給する導入口が設けられた液体噴射ヘッド１０の前記導入口から前記ノズル開口３４に至る液体流路の検査を行う液体噴射ヘッドの検査方法であって、前記ノズル開口３４毎又は複数のノズル開口３４からなるノズル開口群毎に、当該ノズル開口３４側又は前記導入口側から気体を圧入又は吸引して、前記液体流路を通過した前記気体の流量を測定することにより、前記液体流路の検査を行う。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射するノズル開口が並設されていると共に、内部に前記ノズル開口と連通する流路が設けられ、且つ前記流路に液体を供給する導入口が設けられた液体噴射ヘッドの前記導入口から前記ノズル開口に至る液体流路の検査を行う液体噴射ヘッドの検査方法であって、
前記ノズル開口毎又は複数のノズル開口からなるノズル開口群毎に、当該ノズル開口側又は前記導入口側から気体を圧入又は吸引して、前記液体流路を通過した前記気体の流量を測定することにより、前記液体流路の検査を行う液体噴射ヘッドの検査方法。
【請求項２】
前記ノズル開口側から前記ノズル開口毎又は前記ノズル開口群毎に吸引することを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッドの検査方法。
【請求項３】
前記ノズル開口毎又は前記ノズル開口群毎を覆うと共に前記ノズル開口毎又は前記ノズル開口群毎に連通する開口部が設けられたキャップ部材と、該キャップ部材の前記開口部に流量計を介して接続された吸引ポンプとを用いて前記液体流路の検査を行うことを特徴とする請求項２記載の液体噴射ヘッドの検査方法。
【請求項４】
前記キャップ部材が、複数の前記ノズル開口を覆う大きさで、且つ前記開口部が、前記キャップ部材が覆う複数のノズル開口の数より少ない数であって、前記開口部に露出するノズル開口を覆う大きさで設けられており、当該キャップ部材を前記ノズル開口が複数で構成される前記ノズル開口群毎に移動して、当該ノズル開口群毎に気体の圧入又は吸引を行うことを特徴とする請求項３記載の液体噴射ヘッドの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体噴射ヘッドの内部の液体流路の潰れを検査する液体噴射ヘッドの検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドとしては、例えば、圧電素子及び圧力発生室が設けられたアクチュエータユニットと、圧力発生室に連通してインクを吐出するノズル開口が設けられたノズルプレートを有する流路ユニットとを具備するものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このようなインクジェット式記録ヘッドでは、インクの流路を形成する各部材、例えば、アクチュエータユニットと流路ユニットとや、流路ユニットの各部材などは接着剤を介して接着されて固定されている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−０４２５５９号公報（第６〜８頁、第１〜２図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に代表されるインクジェット式記録ヘッドでは、インクの流路を形成する各部材を接着する接着剤が流路内に流出して、ノズル開口の目詰まりや、インクの流路の流路抵抗が増大してしまうといった流路の潰れが発生して、インクの吐出不良が発生してしまうという問題がある。
【０００６】
このような流路の潰れは、インクジェット式記録ヘッドを分解又は破壊することでしか確認することができず、流路の潰れを確認したインクジェット式記録ヘッドは製品として使用できないことから製造コストが増大してしまうという問題がある。
【０００７】
また、インクジェット式記録ヘッドを分解又は破壊する流路の潰れ検査は、複数個のインクジェット式記録ヘッドの中から任意に選択した１つでしか実施することができず、実際に流路の潰れが発生したインクジェット式記録ヘッドを製品化して利用してしまう可能性が高いという問題がある。
【０００８】
なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の他の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【０００９】
本発明はこのような事情に鑑み、流路の潰れを容易に且つ確実に検査して、製造コスト及び信頼性を向上した液体噴射ヘッドの検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の態様は、液体を噴射するノズル開口が並設されていると共に、内部に前記ノズル開口と連通する流路が設けられ、且つ前記流路に液体を供給する導入口が設けられた液体噴射ヘッドの前記導入口から前記ノズル開口に至る液体流路の検査を行う液体噴射ヘッドの検査方法であって、前記ノズル開口毎又は複数のノズル開口からなるノズル開口群毎に、当該ノズル開口側又は前記導入口側から気体を圧入又は吸引して、前記液体流路を通過した前記気体の流量を測定することにより、前記液体流路の検査を行う液体噴射ヘッドの検査方法にある。
かかる態様では、液体噴射ヘッドの分解・破壊を行うことなく、液体流路の潰れを検査することができるため、検査後に液体噴射ヘッドを製品として利用でき、製造コストを向上することができると共に、全ての液体噴射ヘッドの液体流路の検査を行うことができるため信頼性を向上することができる。
【００１１】
ここで、前記ノズル開口側から前記ノズル開口毎又は前記ノズル開口群毎に吸引することが好ましい。これによれば、ノズル開口側から気体を吸引することによって、測定ばらつきを減少させて、高精度な検査を行うことができる。
【００１２】
また、前記ノズル開口毎又は前記ノズル開口群毎を覆うと共に前記ノズル開口毎又は前記ノズル開口群毎に連通する開口部が設けられたキャップ部材と、該キャップ部材の前記開口部に流量計を介して接続された吸引ポンプとを用いて前記液体流路の検査を行うことが好ましい。これによれば、液体流路の検査を容易に且つ確実に行うことができる。
【００１３】
また、前記キャップ部材が、複数の前記ノズル開口を覆う大きさで、且つ前記開口部が、前記キャップ部材が覆う複数のノズル開口の数より少ない数であって、前記開口部に露出するノズル開口を覆う大きさで設けられており、当該キャップ部材を前記ノズル開口が複数で構成される前記ノズル開口群毎に移動して、当該ノズル開口群毎に気体の圧入又は吸引を行うことが好ましい。これによれば、複数のノズル開口からなるノズル開口群毎に検査を行うことで、検査時間を短縮してコストを低減することができると共に、測定ばらつきに影響されない高精度な検査を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例を示すインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図２はインクジェット式記録ヘッドの断面図である。
【００１５】
図示するように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１０は、アクチュエータユニット２０と、このアクチュエータユニット２０が固定される流路ユニット３０とで構成されている。
【００１６】
アクチュエータユニット２０は、圧電素子４０を具備するアクチュエータ装置であり、圧力発生室２１が形成された流路形成基板２２と、流路形成基板２２の一方面側に設けられた振動板２３と、流路形成基板２２の他方面側に設けられた圧力発生室底板２４とを有する。
【００１７】
流路形成基板２２は、例えば、１５０μｍ程度の厚みを有するアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）や、ジルコニア（ＺｒＯ２）などのセラミックス板からなり、本実施形態では、複数の圧力発生室２１がその幅方向に沿って並設された列が２列形成されている。そして、この流路形成基板２２の一方面に、例えば、厚さ１０μｍのジルコニアの薄板からなる振動板２３が固定され、圧力発生室２１の一方面はこの振動板２３により封止されている。
【００１８】
圧力発生室底板２４は、流路形成基板２２の他方面側に固定されて圧力発生室２１の他方面を封止すると共に、圧力発生室２１の長手方向一方の端部近傍に設けられて圧力発生室２１と後述するリザーバとを連通する供給連通孔２５と、圧力発生室２１の長手方向他方の端部近傍に設けられて後述するノズル開口３４に連通するノズル連通孔２６とを有する。
【００１９】
そして、圧電素子４０は、振動板２３上の各圧力発生室２１に対向する領域のそれぞれに設けられ、例えば、本実施形態では、圧力発生室２１の列が２列設けられているため、圧電素子４０の列も２列設けられている。
【００２０】
ここで、各圧電素子４０は、振動板２３上に設けられた下電極膜と、各圧力発生室２１毎に独立して設けられた圧電体層と、各圧電体層上に設けられた上電極膜とで構成されている。圧電体層は、圧電材料からなるグリーンシートを貼付することや、印刷することで形成されている。また、下電極膜は、並設された圧電体層に亘って設けられて各圧電素子４０の共通電極となっており、振動板の一部として機能する。勿論、下電極膜を各圧電体層毎に設けるようにしてもよい。
【００２１】
なお、アクチュエータユニット２０の各層である流路形成基板２２、振動板２３及び圧力発生室底板２４は、粘土状のセラミックス材料、いわゆるグリーンシートを所定の厚さに成形して、例えば、圧力発生室２１等を穿設後、積層して焼成することにより接着剤を必要とすることなく一体化される。そして、その後、振動板２３上に圧電素子４０が形成される。
【００２２】
一方、流路ユニット３０は、アクチュエータユニット２０の圧力発生室底板２４に接着剤を介して接合されるインク供給口形成基板３１と、複数の圧力発生室２１の共通インク室となるリザーバ３２が形成されるリザーバ形成基板３３と、ノズル開口３４が形成されたノズルプレート３５とからなる。
【００２３】
インク供給口形成基板３１は、厚さ１５０μｍのジルコニアの薄板からなり、ノズル開口３４と圧力発生室２１とを接続するノズル連通孔３６と、前述の供給連通孔２５と共にリザーバ３２と圧力発生室２１とを接続するインク供給口３７を穿設して構成され、また、各リザーバ３２と連通し、外部のインクタンクからのインクを供給するインク導入口３８が設けられている。
【００２４】
リザーバ形成基板３３は、インク流路を構成するに適した、例えば、１５０μｍのステンレス鋼などの耐食性を備えた板材に、外部のインクタンク（図示なし）からインクの供給を受けて圧力発生室２１にインクを供給するリザーバ３２と、圧力発生室２１とノズル開口３４とを連通するノズル連通孔３９とを有する。
【００２５】
ノズルプレート３５は、例えば、ステンレス鋼からなる薄板に、圧力発生室２１と同一の配列ピッチでノズル開口３４が穿設されて形成されている。例えば、本実施形態では、流路ユニット３０には、圧力発生室２１の列が２列設けられているため、ノズルプレート３５にも、ノズル開口３４の列が２列形成されている。また、このノズルプレート３５は、リザーバ形成基板３３の流路形成基板２２の反対面に接合されてリザーバ３２の一方面を封止している。
【００２６】
また、ノズルプレート３５のリザーバ形成基板３３とは反対側であるインク吐出面側には、撥水膜６０が設けられている。撥水膜６０は、ノズル開口３４が開口する領域にノズル開口３４よりも大きな開口を有するクレータ部６１が設けられている。すなわち、撥水膜６０は、クレータ部６１によってノズル開口３４の開口周囲に撥水膜６０が設けられていない非撥水領域を形成し、その他の領域を全て覆っている。このように撥水膜６０にクレータ部６１によって非撥水領域を設けることで、ノズル開口３４の視認性を向上して、ノズル開口３４をアライメントマークとして、複数のインクジェット式記録ヘッド１０をアライメントする際に、高精度なアライメントを行うことができる。
【００２７】
このような流路ユニット３０は、これらインク供給口形成基板３１、リザーバ形成基板３３及びノズルプレート３５を、接着剤や熱溶着フィルム等によって固定することで形成される。そして、このような流路ユニット３０とアクチュエータユニット２０とは、接着剤や熱溶着フィルムを介して接合されて固定されている。
【００２８】
これらのアクチュエータユニット２０及び流路ユニット３０からなるインクジェット式記録ヘッド１０には、インク流路（液体流路）として、本実施形態では、インク導入口３８、リザーバ３２、インク供給口３７、供給連通孔２５、圧力発生室２１、ノズル連通孔２６、３６、３９及びノズル開口３４が設けられている。
【００２９】
このようなインクジェット式記録ヘッドのインク流路（液体流路）の潰れを検査する検査方法について詳細に説明する。なお、図３〜図５は、液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの検査方法を示す要部断面図である。
【００３０】
本実施形態では、図３（ａ）に示すように、複数のノズル開口３４を同時に覆うキャップ部材１００と、キャップ部材１００に流量計１１０を介して接続された吸引ポンプ１２０とを具備する。
【００３１】
キャップ部材１００は、本実施形態では、複数のノズル開口３４を覆う大きさを有し、ノズル開口３４側に開口する開口部１０１が設けられている。開口部１０１は、キャップ部材１００で覆うノズル開口３４の数よりも少ない数のノズル開口３４を同時に覆う大きさで設けられている。
【００３２】
また、キャップ部材１００は、インクジェット式記録ヘッド１０のノズル開口３４の並設方向に相対的に移動可能に設けられたものである。これにより、キャップ部材１００は、複数のノズル開口３４を順次覆うことができるようになっている。
【００３３】
このようなキャップ部材１００には、開口部１０１に連通するパイプ部１０２が設けられ、このパイプ部１０２には、流量計１１０と吸引ポンプ１２０とが接続されている。
【００３４】
吸引ポンプ１２０は、キャップ部材１００を介してノズル開口３４から気体を吸引するものであり、例えば、真空ポンプなどが挙げられる。また、流量計１１０は、吸引ポンプ１２０がノズル開口３４を介して吸引した気体の流量を測定するものであり、例えば、差圧が一定となるように流路断面積が変化する面積流量計、流れによって回転する翼車をもつタービン流量計、周期的な渦の生成放出を利用した渦流量計、熱体の冷却を利用した熱線風速計、流れによる超音波伝播時間の変動や流体中の粒子によるドップラー効果を利用した超音波流量計などが挙げられる。
【００３５】
なお、吸引ポンプ１２０がノズル開口３４から吸引する気体は、大気（空気）でもよいが、インクジェット式記録ヘッド１０を窒素等のガス雰囲気下に配置し、吸引ポンプ１２０が、インク導入口３８から供給された窒素等のガスをノズル開口３４から吸引するようにしてもよい。
【００３６】
そして、吸引ポンプ１２０によってキャップ部材１００を介してノズル開口３４から気体を吸引すると、インクジェット式記録ヘッド１０のインク導入口３８から気体が吸引される。このとき、キャップ部材１００が覆っていないノズル開口３４からも気体が吸引されるが、ノズル開口３４の開口面積は、インク導入口３８の開口面積に比べて小さいため、キャップ部材１００によって覆われていないノズル開口３４からの気体の吸引はほとんど行われず、流量計１１０が検出した気体の流量への影響はほとんどない。
【００３７】
そして、このようにキャップ部材１００を介して複数のノズル開口３４から気体を吸引すると、液体流路を通過する気体の流量を測定することができる。このような状態で、図３（ａ）〜図５（ｂ）に示すように、キャップ部材１００をノズル開口３４の並設方向に移動することにより、インク導入口３８から各ノズル開口３４までの液体流路の流路抵抗を検出して、液体流路の潰れを検査することができる。すなわち、例えば、１つのノズル開口３４が接着剤によって塞がれている場合、塞がれていない複数のノズル開口３４を吸引した気体の流量に比べて、１つが塞がれて複数のノズル開口３４を吸引した気体の流量は低く測定される。このようにノズル開口から気体を吸引してその流量を測定し、これを比較することで、液体流路に目詰まりが生じているか否かを識別することができる。したがって、インクジェット式記録ヘッド１０の分解・破壊を行うことなく、液体流路の検査を行うことができるため、検査後のインクジェット式記録ヘッド１０を製品として利用することができ、歩留まりの低下を防止することができると共に、任意のインクジェット式記録ヘッド１０だけではなく、全てのインクジェット式記録ヘッド１０の液体流路の検査を行うことができるため、信頼性を向上することができる。
【００３８】
なお、本実施形態では、図３（ａ）〜図５（ｂ）に示すように、キャップ部材１００を１個のノズル開口３４だけずらすように移動させるようにしたが、キャップ部材１００は、同時に複数のノズル開口３４からなるノズル開口群から気体を吸引している。
【００３９】
ここで、図３（ａ）〜図５（ｂ）に示すように、ノズル開口３４の内、１個のノズル開口３４が接着剤によって目詰まりを起こしたインクジェット式記録ヘッド１０について、キャップ部材１００を１個のノズル開口３４ずつ移動させて、液体流路の気体流量を測定した。この結果を下記表１に示す。なお、気体流量を電圧として測定する装置を用いたため、測定した電圧値を表１に示す。
【００４０】
【表１】
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【００４１】
表１に示す結果から、キャップ部材１００で、目詰まりしたノズル開口３４を覆った場合の図３（ｂ）〜図５（ａ）では、目詰まりしたノズル開口３４を覆っていない図３（ａ）及び図５（ｂ）の流量に比べて低くなることが分かる。
【００４２】
また、図３（ｃ）〜図４（ｄ）では、平均が６．２５１Ｖ、標準偏差（σ）が０．１Ｖ、平均＋６σが７．１０７Ｖとなった。
【００４３】
さらに、図３（ｄ）〜図４（ｃ）では、平均が６．１９３Ｖ、標準偏差（σ）が０．０５５Ｖ、平均＋６σが６．５２３Ｖとなった。
【００４４】
これは、本実施形態では、ノズルプレート３５のキャップ部材１００が当接する面には、撥水膜６０が設けられていると共に、ノズル開口３４に相対向する領域には非撥水領域を形成するクレータ部６１が設けられているため、キャップ部材１００とノズルプレート３５との間には、撥水膜６０の厚さの分だけ間隙が設けられている。そして、キャップ部材１００による気体の吸引では、この間隙を介して開口部１０１に相対向するノズル開口３４に隣接するノズル開口３４からも気体が吸引されるため、本実施形態のように、キャップ部材１００の開口部１０１が複数のノズル開口３４を覆う場合であっても、測定した流量には、キャップ部材１００により覆われた複数のノズル開口３４の内、開口部１０１以外であって、ノズルプレート３５のキャップ部材１００が触れる領域に対応するノズル開口３４による影響も現れる。
【００４５】
したがって、本実施形態のようなキャップ部材１００を用いて、ノズルプレート３５に撥水膜６０及びクレータ部６１の設けられたインクジェット式記録ヘッド１０の検査を行う場合、表１に示すように、図３（ｂ）〜図５（ａ）の範囲、すなわち、複数のノズル開口３４の液体流路の検査を同時に行うことができる。詳細には、複数のノズル開口３４の内、１個でもノズル開口３４に目詰まりが生じていると、表１の図３（ａ）及び図５（ｂ）に比べて、図３（ｂ）〜図５（ａ）では吸引された気体の流量が減少していることを検出することができる。
【００４６】
また、ノズル開口３４の目詰まりをより高精度に検出するには、図３（ｃ）〜図４（ｄ）の範囲、すなわち、開口部１０１により近い複数のノズル開口３４を同時に検査すればよい。
【００４７】
また、ノズル開口３４の目詰まりをさらに高精度に検出するには、図３（ｄ）〜図４（ｃ）の範囲、すなわち、開口部１０１にさらに近いノズル開口３４を同時に検査すればよい。このように開口部１０１にさらに近いノズル開口３４を同時に検査することによって、測定結果にばらつきが生じたとしても、目詰まりしたノズル開口３４をさらに確実に検出することができる。
【００４８】
以上のことから、複数のノズル開口３４を同時に覆うことができるキャップ部材１００を用いた場合には、キャップ部材１００を複数のノズル開口３４からなるノズル開口群毎に移動させて、キャップ部材１００によって同時に複数のノズル開口３４からなる液体流路を通過する気体の流量を測定するようにすればよい。また、複数のノズル開口３４を同時に覆うことができるキャップ部材１００を開口部１０１により近い複数のノズル開口３４からなるノズル開口群毎に移動させて、キャップ部材１００によって同時に開口部１０１により近い複数のノズル開口３４からなる液体流路を通過する気体の流量を測定するようにすれば、より確実にノズル開口３４の目詰まりを検出することができる。さらに、複数のノズル開口３４を同時に覆うことができるキャップ部材１００を開口部１０１にさらに近い複数のノズル開口３４からなるノズル開口群毎に移動させて、キャップ部材１００によって同時に開口部１０１にさらに近い複数のノズル開口３４からなる液体流路を通過する気体の流量を測定するようにすれば、さらに確実にノズル開口３４の目詰まりを検出することができる。勿論、キャップ部材１００の開口部１０１に相対向する複数のノズル開口３４毎にキャップ部材１００を移動させるようにしてもよい。
【００４９】
このように、本実施形態では、複数個のノズル開口３４からなるノズル開口群を検査対象とすることができる。したがって、各ノズル開口３４毎に検査を行うのに比べて、検査時間を短縮して効率よく検査することができる。
【００５０】
なお、本実施形態では、インクジェット式記録ヘッドの液体流路の潰れとして、ノズル開口３４の目詰まりを例示したが、このような検査方法によれば、図１に示すように、ノズル開口３４毎に独立して設けられた、インク供給口３７、供給連通孔２５、圧力発生室１２及びノズル連通孔２６、３６、３９が連通する部分での接着剤の流出などによる液体流路の潰れを検査することができる。なお、インク導入口３８は、本実施形態では、１つのインクジェット式記録ヘッド１０に対して２つ設けられているため、インク導入口３８のそれぞれに連通するノズル開口３４から気体を吸引した流量を比較すれば、インク導入口３８とリザーバ３２との連結部分での接着剤の流出などによる液体流路の潰れを検査することができる。勿論、複数のインクジェット式記録ヘッド１０での検査結果（吸引した気体の流量）を比較して、インクジェット式記録ヘッド１０の液体流路の潰れを検査するようにしてもよい。
【００５１】
また、本実施形態では、複数のノズル開口３４からなるノズル開口群から気体を吸引することにより、インクジェット式記録ヘッド１０の液体流路の潰れを検査するようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、１個のノズル開口３４毎に気体を圧入又は吸引するようにしてもよい。この場合、上述した実施形態に比べて時間がかかるものの、高精度に検査することができる。
【００５２】
さらに、本実施形態では、ノズル開口３４側から気体を吸引することにより、インクジェット式記録ヘッド１０の液体流路の検査を行うようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、ノズル開口３４側から気体を圧入することにより検査するようにしてもよい。このような例を図６に示す。なお、図６は、液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの検査方法の他の例を示す要部断面図である。
【００５３】
図６に示すように、検査装置は、キャップ部材１００と、キャップ部材１００にパイプ部１０２を介して接続された圧入ポンプ１２０Ａと、インク導入口３８に図示しないキャップ部材等を介して接続された流量計１１０とを具備する。
【００５４】
圧入ポンプ１２０Ａは、キャップ部材１００を介してノズル開口３４毎又は複数のノズル開口３４からなるノズル開口群毎に気体を圧入するためのものであり、各種ポンプが挙げられる。
【００５５】
また、流量計１１０は、キャップ部材１００を介してノズル開口３４から圧入された気体が、液体流路を介してインク導入口３８から排出される際の気体の流量を測定するためのものである。
【００５６】
このような構成であっても、上述した実施形態１と同様に、分解・破壊検査を行うことなく、液体流路の接着剤の流出などによる潰れを検査することができる。
【００５７】
ここで、図３に示す、ノズル開口側から気体を吸引する場合と、図６に示すノズル開口側から気体を圧入する場合との流量のばらつきを測定した。この結果を図７に示す。なお、流量のばらつきは、図３（ａ）〜図５（ｂ）に示す状態で、気体の圧入又は吸引する圧力を変化させて、それぞれの偏差を取得することで行った。
【００５８】
図７に示すように、ノズル開口３４側から気体を圧入した場合、ノズル開口３４側から気体を吸引した場合に比べてばらつき（偏差）が大きくなることが分かる。したがって、図３（ａ）に示すように、ノズル開口３４側から気体を吸引した方が気体の流量の測定を高精度に行うことができる。
【００５９】
（実施形態２）
図８は、本発明の実施形態２に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの検査方法を示す要部断面図である。なお、上述した実施形態１と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００６０】
図８に示すように、本実施形態では、複数個のノズル開口を覆うキャップ部材１００Ａと、インクジェット式記録ヘッド１０のインク導入口（図示なし）に接続された流量計１１０及び吸引ポンプ１２０とを具備する。
【００６１】
キャップ部材１００Ａは、複数のノズル開口３４を覆うことで、封止するものである。本実施形態では、キャップ部材１００Ａは、複数のノズル開口３４を覆う大きさを有する。
【００６２】
吸引ポンプ１２０は、キャップ部材１００Ａによって塞がれていないノズル開口３４から液体流路を介してインク導入口から気体を吸引するためのものである。
【００６３】
また、流量計１１０は、吸引ポンプ１２０が吸引した気体の流量を測定するものである。
【００６４】
このような構成では、インクジェット式記録ヘッド１０の複数のノズル開口３４をキャップ部材１００Ａで覆い、キャップ部材１００Ａによって覆われていないノズル開口３４からインク導入口に至る液体流路の潰れを検査することができる。したがって、上述した実施形態１と同様に、インクジェット式記録ヘッド１０の分解・破壊を行うことなく、液体流路の検査を行うことができるため、検査後のインクジェット式記録ヘッド１０を製品として利用することができ、歩留まりの低下を防止することができると共に、任意のインクジェット式記録ヘッド１０だけではなく、全てのインクジェット式記録ヘッド１０の液体流路の検査を行うことができるため、信頼性を向上することができる。
【００６５】
なお、本実施形態では、キャップ部材１００Ａでノズル開口３４を封止することで、封止されていないノズル開口３４に連通する液体流路の検査を行うようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、インク導入口側から気体を圧入して、ノズル開口３４側から排出される気体の流量を測定するようにしてもよい。すなわち、例えば、インク導入口側に圧入ポンプを接続して、インク導入口側から液体流路に気体を圧入すると共に、ノズル開口３４を封止するキャップ部材１００Ａと、実施形態１と同様の流量計が接続されたキャップ部材１００とを設けるようにすればよい。
【００６６】
（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態１及び２では、厚膜型の圧電素子を有するインクジェット式記録ヘッド１０を例示したが、圧力発生室２１に圧力変化を生じさせる圧力発生手段としては、特にこれに限定されず、例えば、ゾル−ゲル法、ＭＯＤ法、スパッタリング法等により形成される圧電材料を有する薄膜型の圧電素子、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電素子、振動板と電極を所定の隙間を開けて配置し、静電気力で振動板の振動を制御する、いわゆる静電アクチュエータ、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものなどが挙げられる。
【００６７】
また、上述した実施形態１及び２では、インクジェット式記録ヘッド１０の液体流路として、アクチュエータユニット２０及び流路ユニット３０に形成された流路を例示したが、その他の構成の液体流路であっても、本発明を適用することができる。すなわち、本発明は、インク導入口からノズル開口に至る液体流路の潰れを検査する検査方法であるため、液体流路の構成は特に限定されるものではない。
【００６８】
なお、上述した実施形態１及び２においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドの検査方法にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図３】実施形態１に係る記録ヘッドの検査方法を示す要部断面図である。
【図４】実施形態１に係る記録ヘッドの検査方法を示す要部断面図である。
【図５】実施形態１に係る記録ヘッドの検査方法を示す要部断面図である。
【図６】実施形態１に係る記録ヘッドの検査方法の他の例を示す要部断面図である。
【図７】実施形態１に係る検査方法の違いによる検査結果の比較を示すグラフである。
【図８】実施形態２に係る記録ヘッドの検査方法を示す要部断面図である。
【符号の説明】
【００７０】
１０  インクジェット式記録ヘッド、  ２０  アクチュエータユニット、  ２１  圧力発生室、  ２２  流路形成基板、  ２３  振動板、  ２４  圧力発生室底板、  ３０  流路ユニット、  ３１  インク供給口形成基板、  ３２  リザーバ、  ３３  リザーバ形成基板、  ３４  ノズル開口、  ３５  ノズルプレート、  ４０  圧電素子、  ６０  撥水膜、  ６１  クレータ部、  １００、１００Ａ  キャップ部材、  １０１  開口部、  １１０  流量計、  １２０  吸引ポンプ、  １２０Ａ  圧入ポンプ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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