(57)【要約】【課題】本発明は、カーボンナノチューブ複合材料及びその製造方法に関する。【解決手段】本発明に係るカーボンナノチューブ複合材料は、基質材料と、複数のカーボンナノチューブとを含む。前記基質材料は、第一表面と、該第一表面に対向する第二表面とを含む。前記複数のカーボンナノチューブは、少なくとも一方の端部が一つの方向に沿って配列され、少なくとも一方の端部が前記第一表面及び／又は第二表面に平行するように設けられる。本発明は、このカーボンナノチューブ複合材料の製造方法も提供する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基質材料と、複数のカーボンナノチューブと、を含むカーボンナノチューブ複合材料であり、
前記基質材料は、第一表面と、該第一表面に対向する第二表面と、を含み、
前記複数のカーボンナノチューブは、少なくとも一方の端部が一つの方向に沿って配列され、少なくとも一方の端部が前記第一表面及び／又は前記第二表面に平行するように設けられていることを特徴とするカーボンナノチューブ複合材料。
【請求項２】
前記複数のカーボンナノチューブは、前記カーボンナノチューブ複合材料の横方向に沿って複数の平行な行領域と、前記カーボンナノチューブ複合材料の縦方向に沿って複数の列領域とに分割されていることを特徴とする、請求項１に記載のカーボンナノチューブ複合材料。
【請求項３】
隣接する列領域と、同じ行領域とにおけるカーボンナノチューブはそれぞれ接続されていることを特徴とする、請求項２に記載のカーボンナノチューブ複合材料。
【請求項４】
隣接する列領域と、同じの行領域とにおけるカーボンナノチューブが互いに接近しているが、接続されてはいないことを特徴とする、請求項２に記載のカーボンナノチューブ複合材料。
【請求項５】
前記複数のカーボンナノチューブがカーボンナノチューブアレイであることを特徴とする、請求項１に記載のカーボンナノチューブ複合材料。
【請求項６】
前記基質材料は、エポキシ樹脂、アクリル酸樹脂、シリコン、熱伝導グリース又はこれらの混合物のいずれか一種であることを特徴とする、請求項１に記載のカーボンナノチューブ複合材料。
【請求項７】
前記カーボンナノチューブの長さが均一であり、サイズが１００〜２００μｍであることを特徴とする、請求項１に記載のカーボンナノチューブ複合材料。
【請求項８】
基板を提供して、該基板に複数のストライプ状の領域によって複数のカーボンナノチューブを成長させる第一段階と、
前記複数のカーボンナノチューブが成長された前記基板を液体状態の基質材料に浸漬させて、前記基質材料で前記複数のカーボンナノチューブの間の隙間を充填する第二段階と、
前記基質材料で包まれた前記複数のカーボンナノチューブを前記液体状態の基質材料から取り出す第三段階と、
所定の方向に沿って前記カーボンナノチューブ及び基質材料をプレスする第四段階と、
前記カーボンナノチューブに結合された前記基質材料を硬化させる第五段階と、
を含むことを特徴とするカーボンナノチューブ複合材料の製造方法。
【請求項９】
前記複数のカーボンナノチューブを、ＣＶＤ法で複数のストライプ状の触媒シートに成長させ、
該複数の触媒シートはそれぞれ同じ距離で分離して形成されていることを特徴とする、請求項７に記載のカーボンナノチューブ複合材料の製造方法。
【請求項１０】
前記複数のカーボンナノチューブは、カーボンナノチューブアレイであることを特徴とする、請求項７に記載のカーボンナノチューブ複合材料の製造方法。
【請求項１１】
隣接する前記触媒シートの間の距離は、前記カーボンナノチューブの長さより長いように設けられることを特徴とする、請求項７に記載のカーボンナノチューブ複合材料の製造方法。
【請求項１２】
隣接する前記触媒シートの間の距離は、前記カーボンナノチューブの長さより短いように設けられることを特徴とする、請求項７に記載のカーボンナノチューブ複合材料の製造方法。
【請求項１３】
前記カーボンナノチューブに結合された前記基質材料を硬化させた後、前記基板を除去することを特徴とする、請求項７に記載のカーボンナノチューブ複合材料の製造方法。
【請求項１４】
前記第五段階の後、カッティング又は研磨方法により、前記カーボンナノチューブ複合材料に残った触媒を除去することを特徴とする、請求項７に記載のカーボンナノチューブ複合材料の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カーボンナノチューブ複合材料及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
カーボンナノチューブ（Ｃａｒｂｏｎ  Ｎａｎｏｔｕｂｅ，ＣＮＴ）は１９９１年に飯島によって発見され、２１世紀の重要な新材料の1つであると期待されている。カーボンナノチューブは機械・電気・熱特性に優れていることから、エレクトロニクス、バイオ、エネルギー、複合材料等の広範な分野での応用が期待されている。近年、カーボンナノチューブ／樹脂複合材料の研究が広く行われており、弾性率や導電性、熱伝導率の向上といった成果が得られている。樹脂中でのカーボンナノチューブの配向を制御することにより、それらの物性値をさらに向上させることが可能であると考えられる。例えば、図１１に示すように、カーボンナノチューブ複合材料４０は、複数のカーボンナノチューブ４２と、ポリマー材料４４と、からなる。前記複数のカーボンナノチューブ４２は前記ポリマー材料４４に埋め込まれている。前記複数のカーボンナノチューブ４２は相互に平行して、前記カーボンナノチューブ複合材料４０の対向する表面４６、４８に対して垂直に設置される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、前記カーボンナノチューブ複合材料４０の厚さは前記カーボンナノチューブ４２の高さによって決まるので、少なくとも数百マイクロメートル程度に形成される。さらに、前記カーボンナノチューブ複合材料４０において前記複数のカーボンナノチューブ４２が前記ポリマー材料４４に対して垂直に設置されるので、前記カーボンナノチューブ複合材料４０を熱伝導・導電材料として利用する場合、前記ポリマー材料４４に垂直な方向、即ち、前記カーボンナノチューブ複合材料４０の厚さ方向だけに沿って熱伝導・導電の特性を発揮する。前記カーボンナノチューブ複合材料４０の厚さは数百マイクロメートルに形成されるので、熱伝導又は導電の効率が低くなるという問題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
前記問題を解決するために、本発明はカーボンナノチューブ複合材料に平行する方向に沿って熱伝導・導電の特性を良好に発揮するカーボンナノチューブ複合材料、及びその製造方法を提供する。
【０００５】
本発明に係るカーボンナノチューブ複合材料は、基質材料と、複数のカーボンナノチューブと、を含む。前記基質材料は、第一表面と、該第一表面に対向する第二表面と、を含む。前記複数のカーボンナノチューブは、少なくとも一方の端部が一つの方向に沿って配列され、少なくとも一方の端部が前記第一表面及び／又は前記第二表面に平行するように設けられる。
【０００６】
前記複数のカーボンナノチューブは、前記カーボンナノチューブ複合材料の横方向に沿って複数の平行な行領域と、前記カーボンナノチューブ複合材料の縦方向に沿って複数の列領域とに分割される。
【０００７】
隣接する列領域と、同じの行領域とにおけるカーボンナノチューブはそれぞれ接続される。
【０００８】
隣接する列領域、同じの行領域におけるカーボンナノチューブが互いに接近しているが、接続されてはいない
【０００９】
前記複数のカーボンナノチューブはカーボンナノチューブアレイであることが好ましい。
【００１０】
前記基質材料は、エポキシ樹脂、アクリル酸樹脂、シリコン、熱伝導グリース又はこれらの混合物のいずれか一種であることが好ましい。
【００１１】
前記カーボンナノチューブの長さが均一であり、サイズが１００〜２００μｍであることが好ましい。
【００１２】
本発明に係るカーボンナノチューブ複合材料の製造方法は、基板を提供して、該基板に複数のストライプ状の領域によって複数のカーボンナノチューブを成長させる第一段階と、前記複数のカーボンナノチューブが成長された前記基板を液体状態の基質材料に浸漬させて、前記基質材料で前記複数のカーボンナノチューブの間の隙間を充填する第二段階と、前記基質材料で包まれた前記複数のカーボンナノチューブを前記液体状態の基質材料から取り出す第三段階と、所定の方向に沿って前記カーボンナノチューブ及び基質材料をプレスする第四段階と、前記カーボンナノチューブに結合された前記基質材料を硬化させる第五段階と、を含む。
【００１３】
前記複数のカーボンナノチューブを、ＣＶＤ法で複数のストライプ状の触媒シートに成長させる。該複数の触媒シートはそれぞれ同じ距離で分離して形成される。
【００１４】
前記複数のカーボンナノチューブとしては、カーボンナノチューブアレイであることが好ましい。
【００１５】
隣接する前記触媒シートの間の距離は、前記カーボンナノチューブの長さより長いように設けられる。
【００１６】
隣接する前記触媒シートの間の距離は、前記カーボンナノチューブの長さより短いように設けられる。
【００１７】
前記カーボンナノチューブに結合された前記基質材料を硬化させた後、前記基板を除去する。
【００１８】
前記第五段階の後、カッティング又は研磨方法により、前記カーボンナノチューブ複合材料に残った触媒を除去することが好ましい。
【発明の効果】
【００１９】
本発明に係るカーボンナノチューブ複合材料は、複数のカーボンナノチューブの一方の端部が該カーボンナノチューブ複合材料の表面に平行するように加工されるので、該カーボンナノチューブ複合材料に平行な方向に沿って熱伝導・導電機能を発揮する。従って、カーボンナノチューブの高さに限定されず、前記カーボンナノチューブ複合材料を非常に薄く設けることができる。また、本発明に係るカーボンナノチューブ複合材料の製造方法は簡単であり、コストが低いので、大規模生産に適用できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、図面を参照して本発明の実施例について詳しく説明する。
【００２１】
（実施例１）
図１及び図２に示すように、本実施例に係るカーボンナノチューブ複合材料１０は、基質材料１４と、複数のカーボンナノチューブ１２と、を含む。前記基質材料１４は薄膜の形状に形成され、その内に前記複数のカーボンナノチューブ１２が均一に埋め込まれる。前記基質材料１４は、第一表面１０２と、該第一表面１０２に対向する第二表面１０４と、を有する。
【００２２】
前記複数のカーボンナノチューブ１２の成長端部（図示せず）は前記第一表面１０２に対して垂直に付着し、前記成長端部に対向する先端部（図示せず）はそれぞれ前記第二表面１０４に平行するように形成されている。さらに、前記カーボンナノチューブ複合材料１０には、横方向に沿う複数の平行な行領域、及び縦方向に沿う複数の平行な列領域のようなパターンが設けられている。前記複数のカーボンナノチューブ１２は、前記パターンに従って配列される。これにより、隣接するカーボンナノチューブ１２が同じ行領域（列領域）に位置する場合、異なる列領域（行領域）に位置することになる。また、本実施例においては、隣接するカーボンナノチューブ１２が互いに接近しているが、接続はしないように形成されている。
【００２３】
前記基質材料１４は、エポキシ樹脂、アクリル酸樹脂、シリコン、熱伝導グリース又はそれの混合物のいずれか一種である。前記カーボンナノチューブ複合材料１０の熱伝導・導電の効率を最大にするために、前記複数のカーボンナノチューブ１２の長さは同じであり、サイズが１００〜２００μｍに形成される。また、前記複数のカーボンナノチューブ１２は、カーボンナノチューブアレイであることが好ましい。
【００２４】
（実施例２）
図３及び図４に示すように、本実施例に係るカーボンナノチューブ複合材料２０は実施例１に係るカーボンナノチューブ複合材料１０と同じ様に、基質材料２４と、複数のカーボンナノチューブ２２と、を含む。前記基質材料２４は薄膜の形状に形成され、その内に前記複数のカーボンナノチューブ２２が均一に埋め込まれる。前記基質材料２４は第一表面２０２と、該第一表面２０２に対向する第二表面２０４と、を有する。
【００２５】
しかし、本実施例に係るカーボンナノチューブ複合材料２０は実施例１に係るカーボンナノチューブ複合材料１０と比べて、次の点が異なる。同じ行領域に配列する前記カーボンナノチューブ２２において、隣接するカーボンナノチューブは相互に接続される。従って、各々の行領域は熱伝導・導電のパスとして形成され、前記カーボンナノチューブ複合材料２０の内に複数の熱伝導・導電のパスが形成される。該複数の熱伝導・導電のパスはそれぞれ前記第一表面２０２及び第二表面２０４に平行に配列される。従って、前記カーボンナノチューブ複合材料２０を熱伝導・導電の材料として利用する場合、前記第一表面２０２及び前記第二表面２０４に平行な方向に沿って良好な熱伝導・導電の特性が示される。
【００２６】
（実施例３）
図５乃至図９を参照して、実施例１に係るカーボンナノチューブ複合材料１０の製造方法について詳しく説明する。
【００２７】
図５に示すように、第一段階では、基板１６を提供して、該基板１６に複数の触媒シート１８を堆積させる。前記基板１６は、ガラス、石英、シリコン、アルミナなどのいずれか一種からなる。前記複数の触媒シート１８は、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ又はこれらの合金のいずれか一種からなる。本実施例においては、前記基板１６としてシリコンウェハーが利用される。熱堆積、電子線堆積、スパッタリングなどのいずれか一種の方法により、前記シリコンウェハーの表面に、鉄粉末を触媒として堆積させた触媒層を形成する。該触媒層の厚さを５ｎｍにすることが好ましい。フォトリソグラフィー又はマスキング工程により、前記触媒層を複数の触媒シート１８に分割する。結果として、前記基板１６に複数の触媒シート１８が形成される。
【００２８】
前記複数の触媒シート１８は、それぞれ同じ形状を有する複数の領域からなる。前記複数の触媒シート１８を、横方向から見ると、前記基板１６の長手方向に沿って複数の平行な行領域が形成されているが、縦方向から見ると、複数の列領域が形成されている。隣接する触媒シート１８の間の距離は、前記基板１６に成長させようとするカーボンナノチューブの高さにより決められる。本実施例においては、前記距離が、前記触媒シート１８に成長させようとするカーボンナノチューブの高さより少し長く設けられる。また、前記触媒シート１８の幅は、該触媒シート１８に成長させようとするカーボンナノチューブの密度に応じて設定される。前記カーボンナノチューブの密度が高くなるほど、前記触媒シート１８の幅が短く設けられる。本実施例において、前記触媒シート１８の幅を十マイクロメートル乃至数十マイクロメートルに設ける。
【００２９】
図６に示すように、第二段階では、ＣＶＤ法で前記基板１６の前記複数の触媒シート１８にカーボンナノチューブ１２を成長させる。まず、前記複数の触媒シート１８を大気雰囲気で３００〜４００℃で１０時間アニーリングして、前記触媒シート１８に複数のナノスケールの酸化触媒粒子を形成する。次に、アンモニア又は窒素ガスを導入して前記複数の酸化触媒粒子を触媒粒子にする。これによって、前記触媒シート１８は複数の均一的な触媒粒子からなるので、前記複数の触媒粒子に均一なカーボンナノチューブを成長させることができる。前記触媒シート１８が形成された前記基板１６を反応装置に設置して、カーボンを含むガスを導入して、前記基板１６にカーボンナノチューブ１２を成長させる。前記カーボンを含むガスは、Ｃ２Ｈ４、ＣＨ４、Ｃ２Ｈ２、Ｃ２Ｈ６などの炭化水素のいずれか一種である。本実施例において、前記基板１６を反応装置に置いた後、前記反応装置を７００℃に加熱して、カーボンを含むガスとしてＣ２Ｈ４ガスを導入して、前記基板１６に形成される前記複数の触媒シート１８に複数のカーボンナノチューブ１２を成長させる。
【００３０】
前記隣接する触媒シート１８の間の距離により、前記カーボンナノチューブ１２の長さを制御して前記カーボンナノチューブ１２を成長させる。即ち、前記距離を長く設けると、前記カーボンナノチューブ１２がより長く成長する。前記カーボンナノチューブ１２の長さは前記隣接する触媒シート１８の間の距離より少し短くなるように設けられる。ただし、前記カーボンナノチューブ１２の長さを前記隣接する触媒シート１８の間の距離より短くさせるように前記カーボンナノチューブ１２の成長を制御する。本実施例においては、前記隣接する触媒シート１８の間の距離を１００〜２００μｍに設定する。
【００３１】
図７に示すように、第三段階では、前記カーボンナノチューブ１２が成長した前記基板１６を液体状態の基質材料１４'に浸漬させて、前記基質材料１４'で前記カーボンナノチューブ１２の間の隙間を充填する。前記基質材料１４'は、エポキシ樹脂、アクリル酸樹脂、シリコン、熱伝導グリース又はこれらの混合物のいずれか一種である。本実施例において、前記基質材料１４'としては、シリコンをエーテルに浸漬させて形成するシリコン溶液である。さらに、前記シリコン溶液に硬化材料を添加して、２時間以上かけて前記シリコン溶液を硬化させることができる。該硬化材料は、エポキシ樹脂硬化剤、塩基性硬化剤、酸性硬化剤のいずれか一種である。ここで、塩基性硬化剤は、脂肪族ジアミン、芳香族ポリアミド、改良脂肪族アミン、窒素化合物のいずれか一種である。酸性硬化剤は、有機酸、無水物、三フッ化ホウ素錯塩、錯化合物のいずれか一種である。この場合、前記カーボンナノチューブ１２は前記シリコンに物理的に結合される。
【００３２】
第四段階では、前記基質材料１４'で包まれた前記カーボンナノチューブ１２を前記液体状態の基質材料１４'から取り出す。図８を参照すると、この場合、前記カーボンナノチューブ１２に結合された前記基質材料１４'は、固体の基質材料１４に形成されている。
【００３３】
第五段階では、該基質材料１４が完全に硬化する前に、所定の方向に沿って前記カーボンナノチューブ１２及び基質材料１４をプレスする。例えば、円筒型のツール又は平滑な平板を利用して、前記プレス加工を行うことができる。図９を参照すると、前記カーボンナノチューブ１２の、前記基質材料１４に接続する成長端部（図示せず）と前記基板１６との垂直状態を保持すると同時に、該成長端部に対向する先端部（図示せず）を、前記カーボンナノチューブの成長方向に垂直で、前記基質材料１４に平行するように同じ方向に沿ってプレスする。前記カーボンナノチューブ１２の成長端部と前記基板１６との垂直状態を保持することは必要ということではない。また、前記基質材料１４が完全に硬化すると、それに対してプレス加工を行うことが非常に困難になるので、第三段階乃至第五段階を完成するためかかる時間を１５分間以下に制限することが好ましい。
【００３４】
第六段階では、前記カーボンナノチューブ１２に結合された前記基質材料１４を硬化させる。第五段階が完了すると、前記カーボンナノチューブ及び前記基質材料１４を大気雰囲気において所定の時間置いて、前記基質材料１４を硬化させる。
【００３５】
第七段階では、前記基板１６を除去して、カーボンナノチューブ複合材料１０を得る。図１を参照すると、該カーボンナノチューブ複合材料１０は、基質材料１４と、複数のカーボンナノチューブ１２と、を含む。前記基質材料１４は薄膜の形状に形成され、その内に前記複数のカーボンナノチューブ１２が均一に埋め込まれる。図２に示すように、前記カーボンナノチューブ複合材料１０には、横方向に沿って複数の平行な行領域、及び縦方向に沿って複数の平行な列領域のようなパターンが設計されている。前記複数のカーボンナノチューブ１２は、前記パターンに従って配列される。これにより、前記複数のカーボンナノチューブ１２において、隣接するカーボンナノチューブが同じ行領域（列領域）に位置する場合、異なる列領域（行領域）に位置することになるが、隣接するカーボンナノチューブが互いに接近しているが、接続していないように形成される。
【００３６】
さらに、本実施例に係るカーボンナノチューブ複合材料の製造方法は、更なる加工工程を含むこともできる。例えば、第七段階の後、カッティング又は研磨などの方法により、前記カーボンナノチューブ複合材料１０に残った触媒を除去することができる。なお、前記基板１６を除去せず、前記カーボンナノチューブ複合材料１０の一部として保有することもできる。
【００３７】
（実施例４）
本実施例に係るカーボンナノチューブ複合材料の製造方法は実施例３と比べて、次の点が異なる。本実施例に係る第二段階では、カーボンナノチューブの長さが隣接する触媒シートの間の距離より長く又は等しくなるように、前記カーボンナノチューブを成長させる。これにより、本実施例によるカーボンナノチューブ複合材料を押すと、隣接する行／列領域のカーボンナノチューブを互いに接続することができる。
【００３８】
本発明に係るカーボンナノチューブ複合材料は、熱伝導材料、導電材料、スマートスイッチとして利用される。
【００３９】
図３に示すように、実施例２に係るカーボンナノチューブ複合材料２０は、カーボンナノチューブ２２の長さが、隣接する列領域の間の距離と等しい又はより長い。該カーボンナノチューブ複合材料２０を押すと、同じの行領域に成長されたカーボンナノチューブ２２はそれぞれ接続される。従って、行領域ごとに接続された前記カーボンナノチューブ２２が熱伝導・導電のパスに形成され、前記カーボンナノチューブ複合材料２０の内に複数の熱伝導・導電のパスが形成される。該カーボンナノチューブ複合材料２０の内に形成した複数の熱伝導・導電のパスは、該カーボンナノチューブ複合材料２０の第一表面２０２及び第二表面２０４に平行するように形成される。
【００４０】
図１０に示すように、実施例１に係るカーボンナノチューブ複合材料はスマートスイッチとして利用される。該カーボンナノチューブ複合材料３０において、基質材料３４に複数のカーボンナノチューブ３２が埋め込まれる。前記カーボンナノチューブ複合材料３０を押しても、隣接する列領域、同じの行領域におけるカーボンナノチューブ３２が接続できずに、前記カーボンナノチューブ複合材料が絶縁状態のままである。この場合、前記カーボンナノチューブ３２の成長方向に垂直な方向に沿って前記カーボンナノチューブ複合材料３０に電圧を印加する。
【００４１】
前記電圧が低い場合、前記カーボンナノチューブ３２に電流が流れない。該電圧が高い場合、隣接する列領域、同じ行領域におけるカーボンナノチューブ３２の間に電子トンネル効果（例えば、アーク放電）が生じるので、前記カーボンナノチューブ複合材料３０の表面に平行な方向に沿って電気伝導が生じる。従って、異なる電圧により、前記カーボンナノチューブ複合材料３０が異なる状態になるという特徴があるので、該カーボンナノチューブ複合材料３０をスマートスイッチとして実用化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の本実施例１に係るカーボンナノチューブ複合材料の模式図である。
【図２】本発明の本実施例１に係るカーボンナノチューブ複合材料の上面図である。
【図３】本発明の本実施例２に係るカーボンナノチューブ複合材料の模式図である。
【図４】本発明の本実施例２に係るカーボンナノチューブ複合材料の上面図である。
【図５】本発明の実施例３に係るカーボンナノチューブ複合材料の製造方法の第一段階を示す図である。
【図６】本発明の実施例３に係るカーボンナノチューブ複合材料の製造方法の第二段階を示す図である。
【図７】本発明の実施例３に係るカーボンナノチューブ複合材料の製造方法の第三段階を示す図である。
【図８】本発明の実施例３に係るカーボンナノチューブ複合材料の製造方法の第四段階を示す図である。
【図９】本発明の実施例３に係るカーボンナノチューブ複合材料の製造方法の第五段階を示す図である。
【図１０】本発明の実施例３に係るカーボンナノチューブ複合材料の製造方法の第七段階を示す図である。
【図１１】従来技術のカーボンナノチューブ複合材料の模式図である。
【符号の説明】
【００４３】
１０  カーボンナノチューブ複合材料
１０２  第一表面
１０４  第二表面
１２  カーボンナノチューブ
１４  基質材料
１４'  基質材料
１６  基板
１８  触媒シート
２０  カーボンナノチューブ複合材料
２０２  第一表面
２０４  第二表面
２２  カーボンナノチューブ
２４  基質材料
４０  カーボンナノチューブ複合材料
４２  カーボンナノチューブ
４４  ポリマー材料
４６  表面
４８  表面
【図１】
2008044099.tif 000003
【図２】
2008044099.tif 000004
【図３】
2008044099.tif 000005
【図４】
2008044099.tif 000006
【図５】
2008044099.tif 000007
【図６】
2008044099.tif 000008
【図７】
2008044099.tif 000009
【図８】
2008044099.tif 000010
【図９】
2008044099.tif 000011
【図１０】
2008044099.tif 000012
【図１１】
2008044099.tif 000013