(57)【要約】【課題】液滴を吐出して形成する膜パターンの膜厚均一性を向上させた液滴吐出装置、及び電気光学装置を提供する。【解決手段】制御部は、吐出面の走査方向に沿ってステートごとに区画されるドットパターン格子を規定し、ドットパターン格子の各格子に吐出・非吐出を対応付ける。そして、制御部は、ステートが３ｍ＋１の各格子に対し、それぞれ第３ｎ＋１番のノズル（ブロック）に対応する格子に“１”を規定し、それ以外の格子に“０”を規定する。また、制御部は、ステートが３ｍ＋２の各格子に対し、それぞれ第３ｎ＋２番のノズル（ブロック）に対応する格子に“１”を規定し、それ以外の格子に“０”を規定する。また、制御部は、ステートが３ｍ＋３の各格子に対し、それぞれ第３ｎ＋３番のノズル（ブロック）に対応する格子に“１”を規定し、それ以外の格子に“０”を規定する。【選択図】図７
2008139532.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の方向に配列されて液滴を吐出する複数のノズルを有した液滴吐出ヘッドと、
前記液滴吐出ヘッドと基板とを走査方向に相対移動させる走査手段と、
前記基板の描画領域を前記基板の走査方向に沿って前記液滴の吐出周波数ごとに複数の
吐出領域に区画し、前記複数の吐出領域の各々に前記複数のノズルのうちから選択される
駆動ノズルを対応付けたパターンデータを記憶する記憶手段と、
前記記憶手段が記憶する前記パターンデータを複数の分割データに分割して前記液滴吐
出ヘッドに順次転送する転送手段と、
前記分割データにより選択される前記駆動ノズルに液滴を吐出させるための駆動波形信
号を出力する出力手段と、を備え、
前記パターンデータは、
前記複数のノズルを複数のブロックに分割し、前記複数の吐出領域の各々に対し前記複
数のブロックのいずれか１つを対応付けたデータであること、
を特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出装置であって、
前記パターンデータは、
隣接するノズルの各々を異なる前記ブロックに分割し、前記複数の吐出領域の各々に対
し前記複数のブロックのいずれか１つを対応付けたデータであること、
を特徴とする液滴吐出装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の液滴吐出装置であって、
外部コンピュータから描画データを受信する受信手段と、
前記受信手段の受信した前記描画データを前記パターンデータに展開する展開手段と、
を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項４】
基板に吐出した液滴を乾燥させて形成した薄膜を有する電気光学装置であって、
前記薄膜は、
請求項１〜３のいずれか１つに記載の液滴吐出装置によって形成されたことを特徴とす
る電気光学装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置、及び電気光学装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、液晶ディスプレイは、液晶分子の配向を規定するため、配向性ポリイミドな
どの配向性高分子からなる配向膜を有する。配向膜の製造工程においては、生産性の向上
や生産コストの低減を図るため、液滴吐出ヘッドを利用したインクジェット法が採用され
ている（例えば、特許文献１）。
【０００３】
液滴吐出ヘッドは、液状体を貯留する複数のキャビティと、該キャビティに連通して一
方向に配列された複数のノズルと、各キャビティ内の液状体を加圧する複数のアクチュエ
ータ（例えば、ピエゾ素子や抵抗加熱素子など）と、を有する。液滴吐出ヘッドは、描画
データに基づいて選択された各アクチュエータに共通する駆動波形信号を入力し、各アク
チュエータに対応するノズルから液状体の液滴を吐出させる。インクジェット法は、配向
膜材料を液滴吐出ヘッドに供給し、配向性高分子を含む液滴を基板に向けて吐出させ、基
板上に着弾した液滴を乾燥させることにより配向膜を形成させる。
【特許文献１】特開２００４−３４７６９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記インクジェット法は、吐出対象の基板と液滴吐出ヘッドとを所定の走査方向に相対
移動させ、各アクチュエータに上記の駆動波形信号を所定の吐出周波数で入力する。これ
により、配列されたノズル分の液滴が所定の吐出周波数で順次吐出され、液状体のパター
ンが対象基板の走査方向に沿って順次描画される。
【０００５】
しかし、上記液滴吐出ヘッドは、共通する１つのタンクから全てのノズルに向けて液状
体を導出させる。そのため、以下の問題を招いていた。すなわち、液滴吐出ヘッドは、多
数のノズルが同時に液滴を吐出するとき、ノズルごとの流路抵抗が液状体の供給圧に大き
な影響を及ぼし（例えば、隣接するノズル間でクロストークを来たし）、ノズルごとの吐
出重量に大きなバラツキを来たす。この結果、相対的にサイズの大きい液滴、あるいは、
相対的にサイズの小さい液滴が走査方向に沿って連続し、液滴吐出ヘッドの走査方向に沿
う膜厚段差が形成されて、液晶ディスプレイの表示画質が著しく低下する。
【０００６】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、その目的は、液滴を吐出し
て形成する膜パターンの膜厚均一性を向上させた液滴吐出装置、及び電気光学装置を提供
することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の液滴吐出装置は、所定の方向に配列されて液滴を吐出する複数のノズルを有し
た液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドと基板とを走査方向に相対移動させる走査手段
と、前記基板の描画領域を前記基板の走査方向に沿って前記液滴の吐出周波数ごとに複数
の吐出領域に区画し、前記複数の吐出領域の各々に前記複数のノズルのうちから選択され
る駆動ノズルを対応付けたパターンデータを記憶する記憶手段と、前記記憶手段が記憶す
る前記パターンデータを複数の分割データに分割して前記液滴吐出ヘッドに順次転送する
転送手段と、前記分割データにより選択される前記駆動ノズルに液滴を吐出させるための
駆動波形信号を出力する出力手段と、を備え、前記パターンデータは、前記複数のノズル
を複数のブロックに分割し、前記複数の吐出領域の各々に対し前記複数のブロックのいず
れか１つを対応付けたデータである。
【０００８】
本発明の液滴吐出装置は、各ブロックが、それぞれ走査方向に沿って区画された異なる
吐出領域に液滴を吐出する。したがって、ブロックの数量分だけ、吐出タイミングの重複
を低減させることができ、同時吐出に起因した吐出重量のバラツキを抑制させることがで
きる。この結果、ノズルごとの吐出重量を均一にさせることができ、ひいては、液滴を吐
出して形成する膜パターンの膜厚均一性を向上させることができる。
【０００９】
この液滴吐出装置であって、前記パターンデータは、隣接するノズルの各々を異なる前
記ブロックに分割し、前記複数の吐出領域の各々に対し前記複数のブロックのいずれか１
つを対応付けたデータであってもよい。
【００１０】
この液滴吐出装置によれば、隣接するノズルの各々が異なる吐出タイミングで液滴を吐
出する。したがって、ノズル間のクロストークを、より確実に回避させることができる。
ひいては、液滴を吐出して形成する膜パターンの膜厚均一性を向上させることができる。
【００１１】
この液滴吐出装置であって、外部コンピュータから描画データを受信する受信手段と、
前記受信手段の受信した前記描画データを前記パターンデータに展開する展開手段と、を
備える構成であってもよい。
【００１２】
この液滴吐出装置によれば、展開手段が、描画データをパターンデータに展開する。し
たがって、別途外部装置を用いてパターンデータを生成する場合に比べ、液滴吐出装置の
利便性を向上させることができる。
【００１３】
本発明の電気光学装置は、基板に吐出した液滴を乾燥させて形成した薄膜を有する電気
光学装置であって、前記薄膜は、上記液滴吐出装置によって形成された。
本発明の電気光学装置によれば、各種薄膜の膜厚均一性を向上させることができる。ひ
いては、電気光学装置の光学特性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明を具体化した一実施形態を図１〜図９に従って説明する。まず、電気光学
装置としての液晶表示装置１について説明する。図１は、液晶表示装置の全体を示す斜視
図であり、図２は、液晶表示装置に備えられたカラーフィルタ基板を示す斜視図である。
【００１５】
図１において、液晶表示装置１は、バックライト２と液晶パネル３とを有する。バック
ライト２は、光源４から出射された光を液晶パネル３の全面に照射させる。液晶パネル３
は、素子基板５とカラーフィルタ基板６とを有し、これら素子基板５とカラーフィルタ基
板６とが、四角枠状のシール材７によって貼り合わされて、その間隙に液晶ＬＣを封入す
る。液晶ＬＣは、バックライト２からの光を変調して所望の画像をカラーフィルタ基板６
の上面に表示させる。
【００１６】
図２において、カラーフィルタ基板６の上面（図１の下面：素子基板５と相対向する側
面）には、格子状の遮光層８と、該遮光層８によって囲まれた多数の空間（画素９）と、
が形成されている。遮光層８は、クロムやカーボンブラックなどの遮光性材料を含む樹脂
で形成され、液晶ＬＣの透過した光を遮光する。各画素９内には、特定波長の光を透過す
るカラーフィルタＣＦが形成されている。カラーフィルタＣＦは、例えば、赤色の光を透
過する赤色フィルタＣＦＲと、緑色の光を透過する緑色フィルタＣＦＧと、青色の光を透
過する青色フィルタＣＦＢと、を有する。
【００１７】
カラーフィルタＣＦの上側には、カラーフィルタ基板６の全面を覆って液晶ＬＣと接触
する配向膜ＯＦが形成されている。配向膜ＯＦは、配向性ポリイミドなどの配向性高分子
からなる薄膜である。配向膜ＯＦは、ラビング処理などの配向処理を施されて、接触する
液晶分子の配向状態を規定する。配向膜ＯＦは、本発明の液滴吐出装置を利用して形成さ
れている。すなわち、配向膜ＯＦは、カラーフィルタ基板６の表面に向けて配向性高分子
の分散した配向膜材料（配向膜用インクＩｋ）の液滴を吐出し、着弾した液滴を乾燥させ
ることにより形成されている。
【００１８】
ここで、配向膜ＯＦの形成される吐出面６ａの領域を、描画領域とする。
次に、上記配向膜ＯＦを形成するための液滴吐出装置について説明する。図３は、液滴
吐出装置を示す全体斜視図である。
【００１９】
図３において、液滴吐出装置１０は、直方体形状に形成された基台１１を有する。基台
１１の上面には、その長手方向（Ｙ方向）に沿って延びる一対の案内溝１２が形成され、
一対の案内溝１２には、走査手段としての基板ステージ１３が取着されている。基板ステ
ージ１３は、基台１１に設けられたステージモータの出力軸に連結されている。基板ステ
ージ１３は、吐出面６ａを上側にした状態でカラーフィルタ基板６を載置し、該カラーフ
ィルタ基板６を位置決め固定する。基板ステージ１３は、ステージモータが正転又は逆転
するとき、案内溝１２に沿って所定の走査速度で走査され、カラーフィルタ基板６をＹ方
向に沿って走査させる。
【００２０】
基台１１の上側には、門型に形成されたガイド部材１４がＹ方向と直交するＸ方向に沿
って架設されている。ガイド部材１４の上側には、インクタンク１５が配設されている。
インクタンク１５は、フィルタ材料を含む液状体（配向膜用インクＩｋ）を貯留し、配向
膜用インクＩｋを所定の圧力で導出する。
【００２１】
ガイド部材１４には、Ｘ方向に延びる上下一対のガイドレール１６が形成され、上下一
対のガイドレール１６には、ガイド部材１４に設けられたキャリッジモータの出力軸に駆
動連結されるキャリッジ１７が取着されている。キャリッジ１７の下側には、Ｘ方向に配
列された複数の液滴吐出ヘッド１８（以下単に、吐出ヘッド１８という。）が搭載されて
いる。キャリッジ１７は、キャリッジモータが正転又は逆転するとき、ガイドレール１６
に沿って走査され、各吐出ヘッド１８をＸ方向に沿って走査させる。
【００２２】
図４は、吐出ヘッド１８を下側（基板ステージ１３）から見た図であり、図５は、図４
のＡ―Ａ線断面図である。
図４において、吐出ヘッド１８の上側（図３における下側）には、ノズルプレート１９
が備えられている。ノズルプレート１９の上面（図３における下面）には、カラーフィル
タ基板６と平行のノズル形成面１９ａが形成され、そのノズル形成面１９ａには、ノズル
形成面１９ａの法線方向に貫通する１８０個の貫通孔（ノズルＮ）がＸ方向に沿って等間
隔に配列されている。吐出ヘッド１８の下側（図３における上側）には、ヘッド基板２０
が設けられ、そのヘッド基板２０の一側端には、入力端子２０ａが設けられている。入力
端子２０ａには、吐出ヘッド１８を駆動するための各種の信号が入力される。
【００２３】
ここで、最もＸ矢印方向に位置するノズルＮを第１ノズルＮ（１）とし、そのノズル番
号を１番とする。また、第１ノズルＮ（１）から反Ｘ矢印方向に向かって順に、第２ノズ
ルＮ（２）、・・・、第１７９ノズルＮ（１７９）、第１８０ノズルＮ（１８０）とし、
そのノズル番号をそれぞれ２番、・・・、１７９番、１８０番とする。
【００２４】
図５において、各ノズルＮの上側には、それぞれインクタンク１５に連通するキャビテ
ィ２１が形成されている。各キャビティ２１には、それぞれ共通するインクタンク１５か
ら配向膜用インクＩｋが供給される。各キャビティ２１は、それぞれ配向膜用インクＩｋ
を貯留して対応するノズルＮに供給する。各キャビティ２１の上側には、上下方向に振動
可能な振動板２２が貼り付けられて、対応するキャビティ２１の容積を拡大及び縮小可能
にする。振動板２２の上側には、それぞれアクチュエータとしての圧電素子ＰＺが配設さ
れている。各圧電素子ＰＺは、それぞれ圧電素子ＰＺを駆動するための信号（駆動波形信
号ＣＯＭ）が入力されるとき、上下方向に収縮及び伸張して対応する振動板２２を振動さ
せる。
【００２５】
各キャビティ２１は、それぞれ対応する振動板２２が振動するとき、対応するノズルＮ
のメニスカスを上下方向に振動させ、駆動波形信号ＣＯＭに応じた重量の配向膜用インク
Ｉｋを対応するノズルＮから液滴Ｄとして吐出させる。吐出された液滴Ｄは、カラーフィ
ルタ基板６の略法線に沿って飛行し、ノズルＮと相対向する吐出面６ａ上の位置に着弾す
る。
【００２６】
次に、上記液滴吐出装置１０の電気的構成を図６〜図９に従って説明する。図６は、液
滴吐出装置１０の電気的構成を示すブロック回路図である。
図６において、制御装置３０は、液滴吐出装置１０に液滴吐出動作を実行させるもので
ある。制御装置３０は、受信手段としての外部Ｉ／Ｆ３１と、ＣＰＵなどからなり展開手
段を構成する制御部３２と、ＤＲＡＭ及びＳＲＡＭからなり各種のデータを格納する記憶
手段としてのＲＡＭ３３と、各種制御プログラムを格納するＲＯＭ３４と、を有する。ま
た、制御装置３０は、クロック信号を生成する発振回路３５と、駆動波形信号ＣＯＭを生
成して出力手段を構成する駆動波形生成回路３６と、基板ステージ１３やキャリッジ１７
を走査するためのモータ駆動回路３７と、各種の信号を送信する転送手段としての内部Ｉ
／Ｆ３８と、を有する。制御装置３０は、外部Ｉ／Ｆ３１を介して入出力装置４０に接続
されている。また、制御装置３０は、内部Ｉ／Ｆ３８を介して基板ステージ１３やキャリ
ッジ１７に接続されている。また、制御装置３０は、内部Ｉ／Ｆ３８を介して吐出ヘッド
１８の各々に対応する複数のヘッド駆動回路４１に接続されている。
【００２７】
入出力装置４０は、例えばＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ、ハードディスク、液晶ディスプレ
イなどを有した外部コンピュータである。入出力装置４０は、ＲＯＭ又はハードディスク
に記憶された制御プログラムに従って、液滴吐出装置１０を駆動させるための各種の制御
信号や各種のデータを外部Ｉ／Ｆ３１に出力する。入出力装置４０は、例えば、液滴吐出
処理を実行するための描画データＩｐを外部Ｉ／Ｆ３１に出力する。外部Ｉ／Ｆ３１は、
入出力装置４０から入力された各種の信号や各種のデータ（例えば、描画データＩｐ）を
受信する。
【００２８】
描画データＩｐとは、配向膜ＯＦの形成位置や膜厚に関する情報、基板ステージ１３の
走査速度に関する情報など、吐出面６ａ上の各位置に液滴Ｄを吐出させるための各種のデ
ータである。
【００２９】
図６において、ＲＡＭ３３は、受信バッファ３３ａ、中間バッファ３３ｂ、出力バッフ
ァ３３ｃとして利用される。ＲＯＭ３４は、制御部３２が実行する各種の制御ルーチンと
、該制御ルーチンを実行するための各種のデータと、を格納する。
【００３０】
発振回路３５は、各種のデータや各種の駆動信号を同期させるクロック信号を生成する
。発振回路３５は、例えば、各種のデータのシリアル転送時に利用される転送クロックＳ
ＣＬＫを生成する。発振回路３５は、シリアル転送された各種のデータのパラレル変換時
に利用されるラッチ信号（パターンデータ用ラッチ信号ＬＡＴ）を生成する。
【００３１】
ここで、パターンデータ用ラッチ信号ＬＡＴのパルスごとに規定される状態であって、
パターンデータ用ラッチ信号ＬＡＴのパルス数に対応する値を、「ステート」という。
駆動波形生成回路３６は、波形メモリ３６ａ、ラッチ回路３６ｂ、Ｄ／Ａ変換器３６ｃ
、増幅器３６ｄを有する。波形メモリ３６ａは、各駆動波形信号ＣＯＭを生成するための
波形データを所定のアドレスに対応させて格納する。ラッチ回路３６ｂは、制御部３２が
波形メモリから読み出した波形データを所定のクロック信号でラッチする。Ｄ／Ａ変換器
３６ｃは、ラッチ回路３６ｂがラッチした波形データをアナログ信号に変換し、増幅器３
６ｄは、Ｄ／Ａ変換器３６ｃが変換したアナログ信号を増幅して駆動波形信号ＣＯＭを生
成する。制御部３２は、入出力装置４０が描画データＩｐを入力するとき、駆動波形生成
回路３６を介して描画データＩｐに応じた波形メモリ３６ａの波形データを読み出す。そ
して、制御部３２は、駆動波形生成回路３６を介してステートごとに駆動波形信号ＣＯＭ
を生成させる。
【００３２】
制御部３２は、モータ駆動回路３７に対応する駆動制御信号を出力する。モータ駆動回
路３７は、制御部３２からの駆動制御信号に応答し、内部Ｉ／Ｆ３８を介して基板ステー
ジ１３、キャリッジ１７を走査させる。
【００３３】
制御部３２は、外部Ｉ／Ｆ３１が受信した描画データＩｐを受信バッファ３３ａに一時
的に格納させる。制御部３２は、描画データＩｐを中間コードに変換し中間コードデータ
として中間バッファ３３ｂに格納させる。制御部３２は、中間バッファ３３ｂから中間コ
ードデータを読み出してドットパターンデータに展開し、該ドットパターンデータを出力
バッファ３３ｃに格納させる。
【００３４】
ドットパターンデータは、２次元描画平面（吐出面６ａ）の各位置（ドットパターン格
子の各格子）にそれぞれ液滴Ｄを吐出させるか否か（吐出・非吐出）を対応付けるデータ
である。ドットパターンデータは、ドットパターン格子の各格子にそれぞれ１ビットの値
（”０”あるいは”１”）を対応づけるためのデータである。ドットパターン格子は、吐
出面６ａの走査方向（Ｙ方向）に沿ってステートごとに区画される格子である。また、ド
ットパターン格子は、吐出面６ａのＸ方向に沿ってノズルＮの形成ピッチで区画される格
子である。なお、本発明の各吐出領域は、それぞれＸ方向に連続する複数の格子によって
構成されている。
【００３５】
ドットパターンデータは、図７に示す真理値表に従って生成される。すなわち、ステー
トが３ｍ＋１となる格子では、第３ｎ＋１番のノズルＮ（ブロック）に対応する格子に“
１”が規定され、第３ｎ＋２番、３番のノズルＮに対応する各格子にそれぞれ“０”が規
定される。例えば、図８に示すように、ステートが「１」、「４」、・・・、「３ｍ＋１
」となる格子では、第１ノズルＮ（１）、第４ノズルＮ（４）、第３ｎ＋１ノズルＮ（３
ｎ＋１）に対応する各格子にのみ液滴Ｄの吐出動作が対応付けられる（図８において塗潰
した領域）。
【００３６】
また、ステートが３ｍ＋２となる格子では、第３ｎ＋２番のノズルＮ（ブロック）に対
応する格子に“１”が規定され、第３ｎ＋１番、３番のノズルＮに対応する各格子にそれ
ぞれ“０”が規定される。例えば、図８に示すように、ステートが「２」、「５」、・・
・、「３ｍ＋２」となる格子では、第２ノズルＮ（２）、第５ノズルＮ（５）、第３ｎ＋
２ノズルＮ（３ｎ＋２）に対応する各格子にのみ液滴Ｄの吐出動作が対応付けられる。
【００３７】
また、ステートが３ｍ＋３となる格子では、第３ｎ＋３番のノズルＮ（ブロック）に対
応する格子に“１”が規定され、第３ｎ＋１番、２番のノズルＮに対応する各格子にそれ
ぞれ“０”が規定される。例えば、図８に示すように、ステートが「３」、「６」、・・
・、「３ｍ＋３」となる格子では、第３ノズルＮ（３）、第６ノズルＮ（６）、第３ｎ＋
３ノズルＮ（３ｎ＋３）に対応する各格子にのみ液滴Ｄの吐出動作が対応付けられる。
【００３８】
図６において、制御部３２は、基板ステージ１３の１スキャン分に相当するドットパタ
ーンデータを展開すると、該ドットパターンデータを利用して転送クロックＳＣＬＫに同
期したシリアルデータを生成し、内部Ｉ／Ｆ３８を介して、該シリアルデータをヘッド駆
動回路４１にシリアル転送させる。制御部３２は、１スキャン分のドットパターンデータ
をシリアル転送させると、中間バッファ３３ｂの内容を消去し、次の中間コードデータに
対して展開処理を実行する。
【００３９】
ここで、ドットパターンデータを利用して生成されるシリアルデータを、分割データと
してのシリアルパターンデータＳＩという。シリアルパターンデータＳＩは、１８０個の
ノズルＮの各々に１ビットの値を対応させた１８０ビットのデータ（１ステート分のデー
タ）からなる。
【００４０】
図９において、ヘッド駆動回路４１は、シフトレジスタ４１Ａと、ラッチ４１Ｂと、レ
ベルシフタ４１Ｃと、アナログスイッチ４１Ｄと、を有する。
シフトレジスタ４１Ａは、シリアルパターンデータＳＩがシリアル転送されるとき、シ
リアルパターンデータＳＩを転送クロックＳＣＬＫによって順次シフトして１８０ビット
のシリアルパターンデータＳＩを格納する。ラッチ４１Ｂは、パターンデータ用ラッチ信
号ＬＡＴが入力されるとき、シフトレジスタ４１Ａのデータ（シリアルパターンデータＳ
Ｉ）をラッチしてシリアル／パラレル変換し、パラレルパターンデータＰＩを生成する。
【００４１】
レベルシフタ４１Ｃは、ラッチ４１Ｂのデータ（パラレルパターンデータＰＩ）を読み
出し、パラレルパターンデータＰＩをアナログスイッチ素子の駆動電圧レベルに昇圧し、
１８０個の圧電素子ＰＺに対応する開閉信号を出力する。
【００４２】
アナログスイッチ４１Ｄは、各圧電素子ＰＺに対応する１８０個のスイッチ素子を有す
る。各スイッチ素子は、それぞれレベルシフタ４１Ｃが出力する各開閉信号により開閉す
る。各スイッチ素子の入力端には、それぞれ駆動波形信号ＣＯＭが入力され、各スイッチ
素子の出力端には、それぞれ対応する圧電素子ＰＺが接続されている。各スイッチ素子は
、それぞれレベルシフタ４１Ｃが“Ｈ”レベルの開閉信号を出力するとき、対応する圧電
素子ＰＺに対し駆動波形信号ＣＯＭを出力する。
【００４３】
これにより、１８０個の各ノズルＮ（圧電素子ＰＺ）は、それぞれシリアルパターンデ
ータＳＩによって液滴Ｄの吐出動作が選択されるとき、アナログスイッチ４１Ｄを介した
駆動波形信号ＣＯＭを受けて液滴Ｄの吐出動作を実行する。すなわち、各ノズルＮは、ス
テートごとに、ノズル番号が第３ｎ＋１番のブロック、ノズル番号が第３ｎ＋２番のブロ
ック、ノズル番号が第３ｎ＋３番のブロックの順に液滴Ｄの吐出動作を繰り返す。
【００４４】
次に、液滴吐出装置１０を利用した配向膜ＯＦの製造方法について以下に説明する。
まず、図３に示すように、カラーフィルタ基板６が、その吐出面６ａを上側にして基板
ステージ１３に載置される。このとき、基板ステージ１３は、カラーフィルタ基板６をキ
ャリッジ１７の反Ｙ矢印方向に配置する。この状態から、入出力装置４０は、描画データ
Ｉｐを制御装置３０に入力する。
【００４５】
制御装置３０は、モータ駆動回路３７を介してキャリッジ１７を走査し、カラーフィル
タ基板６がＹ矢印方向に走査されるときに各吐出ヘッド１８がカラーフィルタ基板６上を
通過するように、キャリッジ１７を配置する。制御装置３０は、キャリッジ１７を配置す
るとモータ駆動回路３７を介して基板ステージ１３の走査を開始する。
【００４６】
制御装置３０は、入出力装置４０から入力された描画データＩｐをドットパターンデー
タに展開する。この際、制御装置３０は、図７に示す真理値表に従ってドットパターンデ
ータを生成する。すなわち、制御装置３０は、ステートが３ｍ＋１になる各格子に対し、
それぞれ第３ｎ＋１番のノズル（ブロック）に対応する格子に“１”を規定し、それ以外
の格子に“０”を規定する。また、制御装置３０は、ステートが３ｍ＋２になる各格子に
対し、それぞれ第３ｎ＋２番のノズル（ブロック）に対応する格子に“１”を規定し、そ
れ以外の格子に“０”を規定する。また、制御装置３０は、ステートが３ｍ＋３になる各
格子に対し、それぞれ第３ｎ＋３番のノズル（ブロック）に対応する格子に“１”を規定
し、それ以外の格子に“０”を規定する。
【００４７】
制御装置３０は、基板ステージ１３の１スキャン分に相当するドットパターンデータを
展開すると、ドットパターンデータを用いてシリアルパターンデータＳＩを生成し、シリ
アルパターンデータＳＩを転送クロックＳＣＬＫに同期させて順次ヘッド駆動回路４１に
シリアル転送する。
【００４８】
制御装置３０は、基板ステージ１３が所定の描画開始位置に到達すると、パターンデー
タ用ラッチ信号ＬＡＴの出力を開始し、ステートを「０」から「１」、「２」、「３」、
「４」、・・・の順に切替える。また、制御装置３０は、駆動波形生成回路３６を介して
パターンデータ用ラッチ信号ＬＡＴに同期した駆動波形信号ＣＯＭを生成し、ステートご
とに、駆動波形信号ＣＯＭを出力する。
【００４９】
制御装置３０は、ヘッド駆動回路４１を介して、ステートごとに転送されるシリアルパ
ターンデータＳＩをシリアル／パラレル変換し、各スイッチ素子を開閉するための開閉信
号を生成する。そして、制御装置３０は、ヘッド駆動回路４１を介し、ステートが３ｍ＋
１になると、第３ｎ＋１番のブロックを駆動して液滴Ｄを吐出させ、ステートが３ｍ＋２
に切替わると、第３ｎ＋２番のブロックを駆動して液滴Ｄを吐出させる。また、制御装置
３０は、ヘッド駆動回路４１を介し、ステートが３ｍ＋３になると、第３ｎ＋３番のブロ
ックを駆動して液滴Ｄを吐出させる。
【００５０】
次に、上記のように構成した本実施形態の効果を以下に記載する。
（１）上記実施形態によれば、制御部３２は、入出力装置４０が入力する描画データＩ
ｐをドットパターンデータに展開する。このとき、制御部３２は、吐出面６ａの走査方向
に沿ってステートごとに区画されるドットパターン格子を規定し、ドットパターン格子の
各格子に吐出・非吐出を対応付ける。そして、制御部３２は、図７に示す真理値表に従っ
て、ステートが３ｍ＋１になる各格子に対し、それぞれ第３ｎ＋１番のノズル（ブロック
）に対応する格子に“１”を規定し、それ以外の格子に“０”を規定する。また、制御部
３２は、ステートが３ｍ＋２になる各格子に対し、それぞれ第３ｎ＋２番のノズル（ブロ
ック）に対応する格子に“１”を規定し、それ以外の格子に“０”を規定する。また、制
御部３２は、ステートが３ｍ＋３になる各格子に対し、それぞれ第３ｎ＋３番のノズル（
ブロック）に対応する格子に“１”を規定し、それ以外の格子に“０”を規定する。
【００５１】
したがって、各ブロックが、それぞれ異なるステートで駆動し、走査方向に沿って区画
された異なる吐出領域に液滴Ｄを吐出する。この結果、ブロックの数量分だけ、各ノズル
Ｎに対しその吐出タイミングの重複を低減させることができる。すなわち、吐出タイミン
グの重複に起因した吐出重量のバラツキを抑制させることができる。よって、ノズルＮご
との吐出重量を均一にさせることができ、ひいては、液滴Ｄからなる配向膜ＯＦの膜厚均
一性を向上させることができる。
【００５２】
（２）また、隣接する３つのノズルＮの各々が異なるブロックに分割される。したがっ
て、ノズルＮ間のクロストークを、より確実に回避させることができる。
（３）しかも、制御部３２が描画データＩｐをドットパターンデータに展開する。した
がって、別途外部装置を利用してドットパターンデータを形成する場合に比べ、液滴吐出
装置１０の利便性を向上させることができる。
【００５３】
尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、隣接する３つのノズルＮの各々を、異なる３つのブロックに分割
した。これに限らず、例えば、隣接する２つのノズルＮの各々を、異なる２つのブロック
に分割する構成であってもよい。すなわち、図１０に示すように、ステートが２ｍ＋１の
各格子に対し、それぞれ第２ｎ＋１番のノズル（ブロック）に対応する格子に“１”を規
定し、それ以外の格子に“０”を規定する。そして、ステートが２ｍ＋２の各格子に対し
、それぞれ第２ｎ＋２番のノズル（ブロック）に対応する格子に“１”を規定し、それ以
外の格子に“０”を規定する構成であってもよい。
【００５４】
あるいは、隣接する４つのノズルＮの各々を、異なる４つのブロックに分割する構成で
あってもよい。すなわち、図１１に示すように、ステートが４ｍ＋１の各格子に対し、そ
れぞれ第４ｎ＋１番のノズル（ブロック）に“１”を規定し、それ以外の格子に“０”を
規定する。また、ステートが４ｍ＋２の各格子に対し、それぞれ第４ｎ＋２番のノズル（
ブロック）に対応する格子に“１”を規定し、それ以外の格子に“０”を規定する。また
、ステートが４ｍ＋３の各格子に対し、それぞれ第４ｎ＋３番のノズル（ブロック）に対
応する格子に“１”を規定し、それ以外の格子に“０”を規定する。そして、ステートが
４ｍ＋４の各格子に対し、それぞれ第４ｎ＋４番のノズル（ブロック）に“１”を規定し
、それ以外の格子に“０”を規定する構成であってもよい。
【００５５】
・上記実施形態では、アクチュエータを圧電素子ＰＺに具体化した。これに限らず、例
えば、アクチュエータを抵抗加熱素子に具体化してもよく、所定の駆動波形信号ＣＯＭを
受けて液滴Ｄを吐出させるものであればよい。
【００５６】
・上記実施形態では、各吐出ヘッド１８が１８０個のノズルＮを１列だけ備える構成に
した。これに限らず、例えば、各吐出ヘッド１８が１８０個のノズルＮを２列以上備える
構成にしてもよく、さらには、列内のノズル数を１８０個よりも多い数量で具体化しても
よい。
【００５７】
・上記実施形態では、電気光学装置を液晶表示装置１に具体化し、液滴Ｄによって配向
膜ＯＦを製造する構成にした。これに限らず、例えば、液滴Ｄによって液晶表示装置１の
カラーフィルタＣＦを製造する構成にしてもよい。あるいは、電気光学装置をエレクトロ
ルミネッセンス表示装置として具体化し、発光素子形成材料を含む液滴Ｄを吐出して発光
素子を製造する構成にしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】液晶表示装置を説明する斜視図。
【図２】同じく、配向膜を説明する斜視図。
【図３】同じく、液滴吐出装置を説明する斜視図。
【図４】同じく、液滴吐出ヘッドを説明する斜視図。
【図５】同じく、液滴吐出ヘッドを説明する要部断面図。
【図６】同じく、液滴吐出装置の電気的構成を説明する電気ブロック回路図。
【図７】同じく、ドットパターンデータを説明する図。
【図８】同じく、ドットパターンデータを説明する図。
【図９】同じく、ヘッド駆動回路の電気的構成を説明する電気ブロック回路図。
【図１０】変更例のドットパターンデータを説明する図。
【図１１】変更例のドットパターンデータを説明する図。
【符号の説明】
【００５９】
ＣＯＭ…駆動波形信号、Ｄ…液滴、Ｎ…ノズル、Ｉｐ…描画データ、１０…液滴吐出装
置、１３…走査手段としての基板ステージ、１８…液滴吐出ヘッド、３１…受信手段とし
ての外部Ｉ／Ｆ、３２…展開手段を構成する制御部、３３…記憶手段としてのＲＡＭ、３
６…出力手段を構成する駆動波形生成回路、３８…転送手段としての内部Ｉ／Ｆ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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