(57)【要約】【課題】樹脂供給装置における樹脂の供給量を安定させる。【解決手段】出力を変化させることによって樹脂の供給量を調整する機能及び前記樹脂を所定の場所に搬送・供給する機能の双方の機能を有する樹脂供給量制御手段１１０と、樹脂供給量制御手段１１０により供給される樹脂の樹脂量を計量可能な電子天秤１１２とを備えた樹脂供給装置１００であって、樹脂供給量制御手段１１０により供給される樹脂の最終目標値Ａｅに対して段階的にｎ個（ｎ＝１以上の整数）の手前目標値Ａを設定し、樹脂の供給量が手前目標値Ａを超えた場合に、樹脂供給量制御手段１１０の出力を所定の変数に応じて比例的に低減させる。【選択図】図２
2008213363.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
出力を変化させることによって樹脂の供給量を調整する機能及び前記樹脂を所定の場所に搬送・供給する機能の双方の機能を有する樹脂供給量制御手段と、前記樹脂供給量制御手段により供給される前記樹脂の樹脂量を計量可能な計量器とを備えた樹脂供給装置であって、
前記樹脂供給量制御手段により供給される前記樹脂の最終目標値に対して段階的にｎ個（ｎ＝１以上の整数）の手前目標値を設定し、
前記樹脂の供給量が前記手前目標値を超えた場合に、前記出力を所定の変数に応じて比例的に低減させる
ことを特徴とする樹脂供給装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記ｎが１の場合に、
前記所定の変数が、前記最終目標値と前記手前目標値との差の値に対する、前記最終目標値と前記樹脂供給量制御手段における現在供給量との差の値である
ことを特徴とする樹脂供給装置。
【請求項３】
請求項１において、
前記ｎが２以上の場合に、
前記樹脂供給量制御手段における現在供給量が１個目の前記手前目標値を超えた場合の前記所定の変数が、２個目の手前目標値と前記１個目の手前目標値との差の値に対する、前記２個目の手前目標値と前記現在供給量との差の値であり、且つ、
以下ｎ−１個目の前記手前目標値を超えた場合まで順次同様に繰り返し、
前記現在供給量がｎ個目の前記手前目標値を超えた場合の前記所定の変数が、前記最終目標値とｎ個目の前記手前目標値との差の値に対する、前記最終目標値と前記現在供給量との差の値である
ことを特徴とする樹脂供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体チップ等が搭載された基板を樹脂にて封止する樹脂封止装置の技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、図４（ａ）に示されるように、金型のキャビティ７内にあらかじめ所定量の樹脂６を投入して半導体搭載基板４を上部金型１と枠状金型２との間にセットし、その後、図４（ｂ）に示すように、上部金型１と枠状金型２によって基板４を挟み込み、図示せぬヒーターにより加熱した圧縮金型３を上昇させることによって樹脂６を加熱溶融させる樹脂封止装置Ｘが知られている（特許文献１参照）。 
【０００３】
このような樹脂封止装置Ｘに対してより精度よく所定量の樹脂を供給するために、粒状又は粉状の樹脂を供給するための装置として、図５に示す樹脂供給装置Ｙが知られている（特許文献１参照）。この樹脂供給装置Ｙは、樹脂供給量制御手段１０を電子天秤（計量器）１２上に直接載置したものである。
【０００４】
樹脂供給量制御手段１０は、樹脂の供給量を調整する機能と樹脂を直接キャビティＣ内に搬送・供給する機能の双方の機能を有する。この樹脂供給量制御手段１０は、漏斗１４、樹脂溜まり１６、供給ノズル１８、及び平形ノズル２０を備える。
【０００５】
この樹脂供給装置Ｙでは、最終的に必要となる樹脂の量（最終目標値）よりも手前に、段階的に手前目標値を設定し、当該手前目標値を目指して供給された樹脂の未達量（最終目標値に対する未達量）が、最終的に最終目標値から見て誤差の範囲内に収まるように制御されている。
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−３３５１１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記説明した樹脂供給装置Ｙによれば、未達量が最終目標値の誤差範囲内に収まるまで計量と追加供給が繰り返されるため、最終的に必ず供給量が最終目標値の誤差範囲内に収まるように供給することが理論的に可能である。
【０００８】
しかしながら、単に手前目標値を設け、当該手前目標値を基準として樹脂の供給を行なった場合でも、樹脂供給量制御手段の出力が一定のままでは、勢い余って最終目標値を超えて樹脂が供給されてしまう可能性が高い。一方、図６に示すように、手前目標値を境に段階的に樹脂供給量制御手段の出力を落としたのでは、最終目標値に達するまでに時間が掛かることとなる。
【０００９】
本発明は、このような問題点を解決するべくなされたものであって、樹脂供給量制御手段による樹脂の供給を最終目標値を超えることが無い範囲でより迅速に行うことをその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、出力を変化させることによって樹脂の供給量を調整する機能及び前記樹脂を所定の場所に搬送・供給する機能の双方の機能を有する樹脂供給量制御手段と、前記樹脂供給量制御手段により供給される前記樹脂の樹脂量を計量可能な計量器とを備えた樹脂供給装置であって、前記樹脂供給量制御手段により供給される前記樹脂の最終目標値に対して段階的にｎ個（ｎ＝１以上の整数）の手前目標値を設定し、前記樹脂の供給量が前記手前目標値を超えた場合に、前記出力を所定の変数に応じて比例的に低減させることにより、上記課題を解決するものである。
【００１１】
この変数は例えば、前記最終目標値と前記手前目標値との差の値に対する、前記最終目標値と前記樹脂供給量制御手段における現在供給量との差の値である。
【００１２】
又、手前目標値を複数設定した場合には、この変数は例えば、前記樹脂供給量制御手段における現在供給量が１個目の前記手前目標値を超えた場合の前記所定の変数が、２個目の手前目標値と前記１個目の手前目標値との差の値に対する、前記２個目の手前目標値と前記現在供給量との差の値であり、且つ、前記現在供給量が前記２個目の前記手前目標値を超えた場合の前記所定の変数が、３個目の手前目標値と前記２個目の手前目標値との差の値に対する、前記３個目の手前目標値と前記現在供給量との差の値であり、且つ、以下ｎ−１個目の前記手前目標値を超えた場合まで順次同様に繰り返し、前記現在供給量がｎ個目の前記手前目標値を超えた場合の前記所定の変数が、前記最終目標値とｎ個目の前記手前目標値との差の値に対する、前記最終目標値と前記現在供給量との差の値である。
【００１３】
このような制御を行うことによって、最終目標値又は次段の手前目標値に対する未達量（不足分）に応じて、比例的に樹脂供給量制御手段の出力が低減する。その結果、出力を段階的に低減される場合に比べて樹脂が最終目標値まで供給されるまでの時間を短縮することが可能となっている。更に、最終目標値に達する直前には、樹脂供給量制御手段の出力は略０に近い値になっているため、樹脂が勢い余って最終目標値を超えて供給されてしまうことを防止している。
【００１４】
又、前記樹脂供給量制御手段の態様は種々考えられ、例えば、前記樹脂供給量制御手段が振動発生手段を備え、振動により前記樹脂の供給量を調整している場合や、前記樹脂供給量制御手段が、スクリュウコンベアを備え、該スクリュウコンベアの駆動により前記樹脂の供給量を調整している場合、更に、前記樹脂供給量制御手段が、ベルトコンベアを備え、該ベルトコンベアの駆動により前記樹脂の供給量を調整している態様のものが想定できる。
【００１５】
なおここでの出力とは、振動発生手段における振動強度、スクリュウコンベア、ベルトコンベアにおける回転速度のことを意味する場合の他、これら振動強度、回転速度が変化する結果としての樹脂の搬送能力自体のことをも意味するものである。
【発明の効果】
【００１６】
本発明を適用することにより、供給される樹脂量を安定させることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、添付図面を参照しつつ、本発明の実施形態の一例について詳細に説明する。
【００１８】
図１は、本発明の実施形態の一例にかかる樹脂供給装置１００の斜視図である。
【００１９】
この樹脂供給装置１００は、樹脂供給量制御手段１１０を電子天秤（計量器）１１２上に直接載置したものである。
【００２０】
樹脂供給量制御手段１１０は、樹脂の供給量を調整する機能と樹脂を直接キャビティＣ内に搬送・供給する機能の双方の機能を有する。この樹脂供給量制御手段１１０は、漏斗１１４、樹脂溜まり１１６、供給ノズル１１８、及び平形ノズル１２０を備える。
【００２１】
漏斗１１４は、ほぼ錐形形状とされ、所定量の樹脂を保持可能である。樹脂溜まり１１６は、箱形状とされ、漏斗１１４の下部に配置されている。樹脂溜まり１１６は、漏斗１１４から落下してくる樹脂を受け止め、供給ノズル１１８側に送り出す機能を有する。供給ノズル１１８は、樹脂溜まり１１６の側面１１６Ａに接続され、樹脂溜まり１１６側から送られてきた樹脂を、平形ノズル１２０にまで搬送する。供給ノズル１１８は、樹脂溜まり１１６側の樹脂を円滑に平形ノズル１２０にまで搬送できるように、その平形ノズル１２０側が樹脂溜まり１１６側より下方に約１５度傾斜した状態で設置されている。平形ノズル１２０は、樹脂の落下を防止するための立壁１２０Ａを備えた平板状のトレイであり、樹脂を広範囲に均等に拡散させた状態でキャビティＣ内に供給するためのものである。
【００２２】
樹脂供給量制御手段１１０は、支柱１２２を備える。支柱１２２は、漏斗１１４、樹脂溜まり１１６、供給ノズル１１８、及び平形ノズル１２０を支持している。支柱１２２には、振動子（振動発生手段）１２４が取り付けられている。振動子１２４は、樹脂溜まり１１６を介して漏斗１１４、供給ノズル１１８、及び平形ノズル１２０の全体に振動を発生させることが可能である。樹脂溜まり１１６の反供給ノズル側には、錘１２６が取り付けられている。錘１２６は、樹脂溜まり１１６等と共振して該樹脂溜まり１１６の後部を連打することにより、振動子１２４によって発生された振動を増幅可能である。
【００２３】
漏斗１１４の中央には、樹脂溜まり１１６の中心部に至る振動棒（振動体）１２８が振動子１２４の振動によって振動（或いは揺動）自在に取り付けられている。
【００２４】
支柱１２２には台座１３０及び防振材１３２を介して電子天秤１１２上に載置されている。電子天秤１１２は、供給されるべき樹脂の重量を樹脂供給量制御手段１１０の重量ごと計量可能である。
【００２５】
この樹脂供給量制御手段１１０には演算装置１３６が付設されている。演算装置１３６は、電子天秤１１２の計量結果を受け取り、所定の演算を行った結果に基づいて振動子１２４に所定の時間だけ振動させるための指令を発信する。振動子１２４の振動により、漏斗１１４、樹脂溜まり１１６、供給ノズル１１８、及び平形ノズル１２０の全体が振動し、それぞれの位置に存在する樹脂が振動された時間に応じた量だけ移動し、キャビティＣ内に落下・供給される搬送構成とされている。
【００２６】
なお、本実施形態では、キャビティＣに対して直接樹脂を供給する構成とされているが、この構成に限定されるものではない。例えば、キャビティＣ以外の部分に一旦供給した後、供給した樹脂に何らかの加工（例えば仮形成等）を行なった上でキャビティＣに供給するような場合であっても何ら差し支えないものである。
【００２７】
又、本実施形態では、電子天秤（計量器）１１２上に、樹脂供給量制御手段１１０を直接載置しているが、このような構成に限定されるものでもない。例えば、供給された側の重量の変化を検知してもよい。供給した樹脂の量が計量できる限りにおいて、種々の構成を採用することが可能である。
【００２８】
次に、図２をあわせて参照しつつ、当該樹脂供給装置１００の作用を説明する。図２は、樹脂供給量制御手段１１０の出力を比例的に低減する場合を示したグラフである。縦軸が樹脂供給量制御手段１１０の出力であり、横軸が時間軸である。又、当該グラブにおける斑点部分の面積が、樹脂供給量制御手段１１０によって供給された樹脂の量を表している。なお斜線部の面積は、比較として、段階的に出力が低減された場合の樹脂の量を表している。
【００２９】
まず、漏斗１１４にキャビティＣに供給すべき供給量の最終目標値Ａｅよりも若干多めの樹脂を投入し、電子天秤１１２が安定信号を発したときの電子天秤１１２上の重量を計量する。この重量は、漏斗１１４内に投入された樹脂のほか、樹脂供給量制御手段１１０を構成する一切の部材の重量及び防振材の重量の合計値に相当する。重量は初期値として演算装置１３６に記録される。
【００３０】
次に、演算装置１３６の指令により、振動子１２４に対して振動指令が発信される。これにより、漏斗１１４、樹脂溜まり１１６、供給ノズル１１８、及び平形ノズル１２０の全体が振動し、それぞれの位置に存在する樹脂が振動された時間に応じた量だけ移動する。この移動に伴い、平形ノズル１２０からキャビティＣ内に樹脂が所定量だけ供給される。
【００３１】
振動子１２４の振動によって漏斗１１４内の樹脂が順次平形ノズル１２０を介してキャビティＣ内に供給されると、供給された樹脂量に相当する分だけ電子天秤１１２の計量値（現在供給量）が減少してゆく。この減少状態を、演算装置１３６によって連続的にモニタし、初期値から現在値（現在供給量）を差し引くことによって供給量を算出する。
【００３２】
こうして求められた供給量が第１の手前目標値Ａ１よりも大きくなったか否かが判断される。手前目標値Ａとは、使用される樹脂の種類、樹脂供給量制御手段の種類等に応じて任意に設定する手前目標値のことである。ここでの手前目標値は１つとされているが、複数の手前目標値を設定してもよい（詳細は後述する）。
【００３３】
供給量が手前目標値Ａよりも少ないと判断されている間は当初と同じ出力で振動子１２４が振動する。供給量が手前目標値Ａ以上となったと判断された段階で振動子１２４の振動（出力）が低減されはじめる。
【００３４】
この低減の態様は、図２を見ても明らかなように、所定の変数に応じて比例的に低減している。ここでの所定の変数は、最終目標値Ａｅと手前目標値Ａとの差の値に対する、最終目標値Ａｅと現在供給量との差の値である。即ち、現在供給量が手前目標値Ａに至った後は、出力「０」に向って直線的に（比例的に）出力が低減するように制御される。この直線の傾きは、設定する手前目標値Ａの値によって変化し得るものであり、図２で例示したように約４５度の傾きを持つものではない。
【００３５】
その結果、斜線で示した段階的に出力を低減した場合に比べて、Ｔ１分だけ最終目標値Ａｅまでの供給時間の短縮を図ることができる。又、段階的に出力を低減した場合は樹脂が最終目標値Ａｅに達する瞬間に未だＰ１分だけの出力（樹脂供給量制御手段の出力）があるため、樹脂が勢い余って（最終目標値Ａｅを超えて）供給されてしまう可能性がある。しかしながら、本発明の実施形態の場合は、最終目標値Ａｅに向かって比例的に出力が低減し、最終目標値Ａｅに達する瞬間には出力も略「０」となるため、樹脂が勢い余って（最終目標値Ａｅを超えて）供給されてしまうことは無い。
【００３６】
次に、図３を参照しつつ、複数の手前目標値を設定した場合の実施形態について説明する。ここでは、最終目標値Ａｅに達するまでの段階に、３つの手前目標値（第１手前目標値Ａ１、第２手前目標値Ａ２、第３手前目標値Ａ３）が設定されている。なお、２つの手前目標値を設定してもよく、更に４つ以上の手前目標値を設定してもよい。これらの場合においても基本的な考え方は共通である。また、１個目の手前目標値（第１手前目標値）Ａ１が最終目標値Ａｅに対して最も離れて設定されている目標値であり、２個目、３個目…ｎ個目となるにしたがって、最終目標値Ａｅに近似した値となる。
【００３７】
ここでは、樹脂供給量制御手段における現在供給量が１個目の手前目標値（第１手前目標値Ａ１）を超えた場合の所定の変数が、２個目の手前目標値Ａ２と１個目の手前目標値Ａ１との差の値に対する、２個目の手前目標値Ａ２と現在供給量との差の値であり、且つ、現在供給量が２個目の手前目標値（第２手前目標値Ａ２）を超えた場合の所定の変数が、３個目の手前目標値Ａ３と２個目の手前目標値Ａ２との差の値に対する、３個目の手前目標値Ａ３と現在供給量との差の値であり、且つ、現在供給量が３個目の手前目標値（第３手前目標値Ａ３）を超えた場合の所定の変数が、最終目標値Ａｅと３個目の手前目標値Ａ３との差の値に対する、最終目標値Ａｅと現在供給量との差の値である。即ち、現在供給量が第１手前目標値Ａ１に至った後は、第２手前目標値Ａ２の時点で発揮されるように予め設定した出力（図３では８０％）に向って直線的に（比例的に）出力が低減するように制御され、現在供給量が第２手前目標値Ａ２に至った後は、第３手前目標値Ａ３の時点で発揮されるように予め設定した出力（図３では５０％）に向って直線的に（比例的に）出力が低減するように制御され、更に、現在供給量が第３手前目標値Ａ３に至った後は、出力「０」に向って直線的に（比例的に）出力が低減するように制御される。これらの直線の傾きは、設定するそれぞれの手前目標値の値及びそれら手前目標値において発揮されるべき出力の設定値によって変化し得るものである。最終目標値Ａｅまでの供給時間の短縮に重点をおく場合には、最終目標値Ａｅに近づくにつれて徐々にこの傾きが強くなるような設定をすれば好ましい。
【００３８】
なお、本発明でいう「比例的に」とは、あくまで樹脂供給量制御手段の出力の分解能に制約を受けるため、ミクロ的な視点で見れば階段状に出力が変化している場合を含む概念である。
【００３９】
又、樹脂供給量制御手段の態様は種々考えられ、上記説明した振動子の振動によるものの他、樹脂供給量制御手段がスクリュウコンベアを備え、該スクリュウコンベアの駆動により樹脂の供給量を調整している場合や、更に、樹脂供給量制御手段がベルトコンベアを備え、該ベルトコンベアの駆動により前記樹脂の供給量を調整している態様のものであってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
キャビティ内に、半導体チップ等を搭載した被成形品及び樹脂を投入し圧縮成形する樹脂封止装置の樹脂供給装置として利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の実施形態の一例にかかる樹脂供給装置１００の斜視図
【図２】本発明の実施形態の一例である樹脂供給量制御手段の出力を比例的に低減する場合を示したグラフ
【図３】本発明の実施形態の一例である樹脂供給量制御手段の出力を比例的に低減する場合であって、手前目標値が複数ある場合を示したグラフ
【図４】樹脂封止装置（圧縮成形型）Ｘの概略構成図
【図５】特許文献１に記載される樹脂供給装置Ｙの斜視図
【図６】樹脂供給量制御手段の出力を段階的に低減する場合を示したグラフ
【符号の説明】
【００４２】
１００…樹脂供給装置
１１０…樹脂供給量制御手段
１１２…電子天秤（計量器）
１１４…漏斗
１１６…樹脂溜まり
１１８…供給ノズル
１２０…平形ノズル
１２２…支柱
１２４…振動子（振動発生手段）
１２８…振動棒（振動体）
１３０…台座
１３２…防振材
Ａ…手前目標値
Ａｅ…最終目標値
Ｃ…キャビティ
【図１】
2008213363.tif 000003
【図２】
2008213363.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2008213363.tif 000007
【図６】
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