(57)【要約】【課題】吸着パッド内の圧力状態を確認できるワーク吸着装置を提供する。【解決手段】吸着パッド１０ａの鍔部１１背面に、ひずみゲージ５０を接着した。さらに、カバー体４０ａのカバー体鍔部４１であって、ひずみゲージ５０と対向する部位に、挿通孔４３を形成すると共に、ひずみゲージ５０に接続されたリード線５１を該挿通孔４３に挿通させた。そして、このリード線５１を、出力検知装置５８に接続された。この出力検知装置５８は、ひずみゲージ５０に生じた歪みを検知すると共に、歪みを検知したことを出力する。かかる構成にあって、吸引装置２が非作動で、被吸引空域１８が大気圧状態である場合は、吸着パッド１０ａの鍔部１１は所定の原形を維持し、ひずみゲージ５０に歪みは生じない。一方、吸引装置２が作動して、被吸引空域１８が真空状態となると、ひずみゲージ５０が歪み、出力検知装置５８が、これを出力する。【選択図】図４
2008149435.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可撓性で皿状の吸着パッドを備え、該吸着パッドの鍔部周縁がワークの表面に圧着され、当該吸着パッドに接続された吸引装置が作動して、ワークの表面により遮蔽された吸着パッド内の被吸引空域が大気圧以下の所定の低圧状態となると、吸着パッドにワークが吸着するワーク吸着装置において、
吸着パッドの鍔部背面に設けられ、当該鍔部の変形に伴い歪みが生じる可撓性の被歪み検出部と、
前記被歪み検出部の歪みを検知する歪み検知手段と
を備え、
前記被吸引空域が大気圧状態であると、吸着パッドの鍔部は所定の原形を維持し、被歪み検出部は非歪み状態にあり、
前記被吸引空域が前記した低圧状態であると、吸着パッドの鍔部は変形し、被歪み検出部は歪み状態にあるものであることを特徴とするワーク吸着装置。
【請求項２】
可撓性で皿状の吸着パッドを備え、該吸着パッドの鍔部周縁がワークの表面に圧着され、当該吸着パッドに接続された吸引装置が作動して、ワークの表面により遮蔽された吸着パッド内の被吸引空域が大気圧以下の所定の低圧状態となると、吸着パッドにワークが吸着するワーク吸着装置において、
吸着パッドの鍔部背面に設けられ、当該鍔部の変形に伴い移動する第一接触部と、
前記第一接触部の表面を被覆するカバー体と、
カバー体の表面であって前記第一接触部の対向位置に設けられた第二接触部と、
第一接触部と第二接触部とが接触しているか否かを検知する接触検知手段と
を備え、
前記被吸引空域が大気圧状態であると、吸着パッドの鍔部は所定の原形を維持し、第一接触部と第二接触部とは接触状態にあり、
前記被吸引空域が前記した低圧状態であると、吸着パッドの鍔部は変形し、第一接触部は移動して第一接触部と第二接触部とは離間状態にあるものであることを特徴とするワーク吸着装置。
【請求項３】
可撓性で皿状の吸着パッドを備え、該吸着パッドの鍔部周縁がワークの表面に圧着され、当該吸着パッドに接続された吸引装置が作動して、ワークの表面により遮蔽された吸着パッド内の被吸引空域が大気圧以下の所定の低圧状態となると、吸着パッドにワークが吸着するワーク吸着装置において、
吸着パッドの鍔部背面に設けられ、当該鍔部の変形に伴い移動する被位置検出部と、
前記被位置検出部の表面を被覆するカバー体と、
カバー体の、前記被位置検出部の対向部位に設けられた、被位置検出部が所定の基準位置から移動することを検知する移動検知手段と
を備え、
前記被吸引空域が大気圧状態であると、吸着パッドの鍔部は所定の原形を維持し、被位置検出部は前記基準位置に位置し、
前記被吸引空域が前記した低圧状態であると、吸着パッドの鍔部は変形し、被位置検出部は前記基準位置から移動するものであることを特徴とするワーク吸着装置。
【請求項４】
可撓性で皿状の吸着パッドと、
鍔部周縁がワークの表面に圧着された吸着パッドに接続され、ワークの表面により遮蔽された吸着パッド内の被吸引空域を大気圧以下の所定の低圧状態として当該吸着パッドにワークを吸着させる吸引装置と
を備えたワーク吸着装置において、
前記吸着パッドの鍔部が所定の原形を維持しているか否かを検知する吸着パッド変形検知手段を備え、
被吸引空域が大気圧状態であると、吸着パッドの鍔部は所定の原形を維持し、被吸引空域が前記した低圧状態であると、吸着パッドの鍔部は変形するものであることを特徴とするワーク吸着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸着パッドを備え、該吸着パッドでワークを吸着するワーク吸着装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、吸着パッドを用いて所要のワークを移送する技術は良く知られている（例えば、特許文献１参照。）。このような移送技術は、自動車製造工場内の生産ラインにも採用されており、自動車用窓ガラス等のワークを工場内で移送するワーク吸着装置が良く知られている。
【０００３】
前記ワーク吸着装置は、弾性材料からなる切頭円錐形をした皿状の吸着パッドを備え、該吸着パッドに係る環状鍔部の周縁がワークの表面に圧着され、当該吸着パッドに接続された吸引装置が作動して、ワークの表面により遮蔽された吸着パッド内の被吸引空域が大気圧以下の所定の低圧状態（例えば真空状態）となると、吸着パッドにワークが吸着する構成である。このような装置を使用することにより、ワークを迅速に、かつ表面を傷つけることなく所望箇所へ移送することができる。
【０００４】
【特許文献１】特開平６−３９７６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記の従来構成は、吸着パッド内の被吸引空域が真空状態に到達したタイミングを正確に把握することができないため、被吸引空域が真空状態に達していない状態でワークを移送させた場合に発生する落下事故を防止すべく、吸引装置の作動による吸引工程が無駄に長くなりがちであった。すなわち、実際には被吸引空域が真空状態に到達している場合でも、余裕を持たせて過剰に吸引装置を作動させているのが一般的であり、このため、吸引時間が無駄に長くなって全体として作業効率が低下してしまう問題が生じていた。また、前記したような落下事故を回避するため、実際に必要な吸引能力よりも高い吸引能力を有する吸引装置を導入してしまっている場合もあり、結果的に吸引装置が高価となって全体としてコストが高くなっているという問題もあった。
【０００６】
そこで、本発明は、上記問題を解決することができるワーク吸着装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、可撓性で皿状の吸着パッドを備え、該吸着パッドの鍔部周縁がワークの表面に圧着され、当該吸着パッドに接続された吸引装置が作動して、ワークの表面により遮蔽された吸着パッド内の被吸引空域が大気圧以下の所定の低圧状態となると、吸着パッドにワークが吸着するワーク吸着装置において、吸着パッドの鍔部背面に設けられ、当該鍔部の変形に伴い歪みが生じる可撓性の被歪み検出部と、前記被歪み検出部の歪みを検知する歪み検知手段とを備え、前記被吸引空域が大気圧状態であると、吸着パッドの鍔部は所定の原形を維持し、被歪み検出部は非歪み状態にあり、前記被吸引空域が前記した低圧状態であると、吸着パッドの鍔部は変形し、被歪み検出部は歪み状態にあるものであることを特徴とするワーク吸着装置である。
【０００８】
かかる構成にあって、吸引装置の作動前であって被吸引空域が大気圧状態である場合は、吸着パッドの鍔部は原形を維持しており、被歪み検出部には歪みが生じない。一方、吸引装置が作動して被吸引空域が低圧状態となると、可撓性の吸着パッドに係る鍔部が被吸引空域の負圧により被吸引空域に湾曲し、これに伴い被歪み検出部に歪みが生じることとなる。そしてさらに、前記歪み検知手段が、当該被歪み検出部の歪みを検知すると、これにより、被吸引空域が適正な低圧状態に到達したタイミングを正確に把握することができる。また、ワークが適正に吸着することとなる被吸引空域の圧力状態を正確に特定することも可能となる。なお、ワークが吸着するような低圧状態としては、例えば真空状態が挙げられるが、ワークを吸着させるために被吸引空域を完全な真空状態とする必要は無く、吸着可能な被吸引空域の圧力が適宜設定され得る。
【０００９】
また、本発明は、可撓性で皿状の吸着パッドを備え、該吸着パッドの鍔部周縁がワークの表面に圧着され、当該吸着パッドに接続された吸引装置が作動して、ワークの表面により遮蔽された吸着パッド内の被吸引空域が大気圧以下の所定の低圧状態となると、吸着パッドにワークが吸着するワーク吸着装置において、吸着パッドの鍔部背面に設けられ、当該鍔部の変形に伴い移動する第一接触部と、前記第一接触部の表面を被覆するカバー体と、カバー体の表面であって前記第一接触部の対向位置に設けられた第二接触部と、第一接触部と第二接触部とが接触しているか否かを検知する接触検知手段とを備え、前記被吸引空域が大気圧状態であると、吸着パッドの鍔部は所定の原形を維持し、第一接触部と第二接触部とは接触状態にあり、前記被吸引空域が前記した低圧状態であると、吸着パッドの鍔部は変形し、第一接触部は移動して第一接触部と第二接触部とは離間状態にあるものであることを特徴とするワーク吸着装置である。
【００１０】
かかる構成にあって、吸引装置の作動前であって被吸引空域が大気圧状態である場合は、吸着パッドの鍔部は原形を維持しており、当該鍔部とカバー体との相対位置関係が変化せず、第一接触部と第二接触部とが接触した状態が維持される。一方、吸引装置が作動して被吸引空域が低圧状態となると、可撓性の吸着パッドに係る鍔部が被吸引空域の負圧により被吸引空域側に湾曲し、これに伴い第一接触部が被吸引空域側に移動し、第一接触部と第二接触部とが離間状態となる。そして、前記移動検知手段が、第一接触部と第二接触部とが離間したことを検知すると、これにより、被吸引空域が適正な低圧状態に到達したタイミングを正確に把握することができ、ワークが吸着することとなる被吸引空域の適正な圧力状態を正確に特定することが可能となる。
【００１１】
また、本発明は、可撓性で皿状の吸着パッドを備え、該吸着パッドの鍔部周縁がワークの表面に圧着され、当該吸着パッドに接続された吸引装置が作動して、ワークの表面により遮蔽された吸着パッド内の被吸引空域が大気圧以下の所定の低圧状態となると、吸着パッドにワークが吸着するワーク吸着装置において、吸着パッドの鍔部背面に設けられ、当該鍔部の変形に伴い移動する被位置検出部と、前記被位置検出部の表面を被覆するカバー体と、カバー体の、前記被位置検出部の対向部位に設けられた、被位置検出部が所定の基準位置から移動することを検知する移動検知手段とを備え、前記被吸引空域が大気圧状態であると、吸着パッドの鍔部は所定の原形を維持し、被位置検出部は前記基準位置に位置し、前記被吸引空域が前記した低圧状態であると、吸着パッドの鍔部は変形し、被位置検出部は前記基準位置から移動するものであることを特徴とするワーク吸着装置である。
【００１２】
かかる構成にあって、吸引装置の作動前であって被吸引空域が大気圧状態である場合は、吸着パッドの鍔部は原形を維持しており、被位置検出部は不動で基準位置にある。一方、吸引装置が作動して被吸引空域が低圧状態となると、可撓性の吸着パッドに係る鍔部が被吸引空域の負圧により被吸引空域側に湾曲し、これに伴い被位置検出部が被吸引空域側に変動することとなる。そして、前記移動検知手段が、当該被位置検出部の移動を検知すると、被吸引空域が適正な低圧状態に到達したタイミングを正確に把握することができることとなり、ワークが吸着することとなる被吸引空域の適正な圧力状態を正確に特定することが可能となる。
【００１３】
なお、これまでに述べた発明は、次のような技術思想を共通のものとしている。すなわち、可撓性で皿状の吸着パッドと、鍔部周縁がワークの表面に圧着された吸着パッドに接続され、ワークの表面により遮蔽された吸着パッド内の被吸引空域を大気圧以下の所定の低圧状態として当該吸着パッドにワークを吸着させる吸引装置とを備えたワーク吸着装置において、前記吸着パッドの鍔部が所定の原形を維持しているか否かを検知する吸着パッド変形検知手段を備え、被吸引空域が大気圧状態であると、吸着パッドの鍔部は所定の原形を維持し、被吸引空域が前記した低圧状態であると、吸着パッドの鍔部は変形するものであることを特徴とするワーク吸着装置である。
【００１４】
かかる構成にあって、ワークを吸着すべく、吸着パッドをワークに圧着して吸引装置を作動させると、被吸引空域が外界に対して負圧となって、当該吸着パッドの鍔部が被吸引空域側に湾曲しながらワークが吸着パッドに吸着する。ここで、これまでに述べた本発明は、このようなワークの吸着過程における吸着パッドの変形に着目したものであり、ワークが吸着した際の前記鍔部の変形状態から被吸引空域の圧力状態を特定しようとするものである。
【００１５】
なお、吸着パッド変形検知手段は、吸着パッドの鍔部背面に設けられ、当該鍔部の変形に伴い歪みが生じる可撓性の被歪み検出部と、前記被歪み検出部の歪みを検知する歪み検知手段とを備えたものであり、前記被吸引空域が大気圧状態であると、吸着パッドの鍔部は所定の原形を維持し、被歪み検出部は非歪み状態にあり、前記被吸引空域が前記した低圧状態であると、吸着パッドの鍔部は変形し、被歪み検出部は歪み状態にあるものである構成が提案される。
【００１６】
また、吸着パッド変形検知手段は、吸着パッドの鍔部背面に設けられ、当該鍔部の変形に伴い移動する第一接触部と、前記第一接触部の表面を被覆するカバー体と、カバー体の表面であって前記第一接触部の対向位置に設けられた第二接触部と、第一接触部と第二接触部とが接触しているか否かを検知する接触検知手段とを備えたものであり、前記被吸引空域が大気圧状態であると、吸着パッドの鍔部は所定の原形を維持し、第一接触部と第二接触部とは接触状態にあり、前記被吸引空域が前記した低圧状態であると、吸着パッドの鍔部は変形し、第一接触部は移動して第一接触部と第二接触部とは離間状態にあるものである構成が提案される。
【００１７】
また、吸着パッド変形検知手段は、吸着パッドの鍔部背面に設けられ、当該鍔部の変形に伴い移動する被位置検出部と、前記被位置検出部の表面を被覆するカバー体と、カバー体の、前記被位置検出部の対向部位に設けられた、被位置検出部が所定の基準位置から移動することを検知する移動検知手段とを備えたものであり、前記被吸引空域が大気圧状態であると、吸着パッドの鍔部は所定の原形を維持し、被位置検出部は前記基準位置に位置し、前記被吸引空域が前記した低圧状態であると、吸着パッドの鍔部は変形し、被位置検出部は前記基準位置から移動するものである構成が提案される。
【発明の効果】
【００１８】
本発明は、吸着パッドの鍔部背面に設けられた被歪み検出部と、被歪み検出部の歪みを検知する歪み検知手段とを備え、被吸引空域が大気圧状態であると、吸着パッドの鍔部は所定の原形を維持し、被歪み検出部は非歪み状態にあり、被吸引空域が前記した低圧状態であると、吸着パッドの鍔部は変形し、被歪み検出部は歪み状態にある構成としたため、被歪み検出部の歪みの有無に基づき、被吸引空域が適正な低圧状態に到達したタイミングを正確に把握することができると共に、ワークが適正に吸着することとなる被吸引空域の圧力状態を正確に特定することができる効果がある。これにより、吸引装置の吸引時間又は吸引能力の適正化を図ることが可能となり、移送作業の効率向上、又は設備コストの低減が可能となる。
【００１９】
また、本発明は、吸着パッドの鍔部背面に設けられた第一接触部と、カバー体の表面であって前記第一接触部の対向位置に設けられた第二接触部と、第一接触部と第二接触部とが接触しているか否かを検知する接触検知手段とを備え、被吸引空域が大気圧状態であると、吸着パッドの鍔部は所定の原形を維持し、第一接触部と第二接触部とは接触状態にあり、被吸引空域が前記した低圧状態であると、吸着パッドの鍔部は変形し、第一接触部は移動して第一接触部と第二接触部とは離間状態にある構成としたため、両接触部の接触又は被接触に基づき、被吸引空域が適正な低圧状態に到達したタイミングを正確に把握することができると共に、ワークが適正に吸着することとなる被吸引空域の圧力状態を正確に特定することができる効果がある。これにより、吸引装置の吸引時間又は吸引能力の適正化を図ることが可能となり、移送作業の効率向上、又は設備コストの低減が可能となる。
【００２０】
また、本発明は、吸着パッドの鍔部背面に設けられた被位置検出部と、被位置検出部が所定の基準位置から移動することを検知する移動検知手段とを備え、被吸引空域が大気圧状態であると、吸着パッドの鍔部は所定の原形を維持し、被位置検出部は前記基準位置に位置し、被吸引空域が前記した低圧状態であると、吸着パッドの鍔部は変形し、被位置検出部は前記基準位置から移動する構成としたため、被位置検出部の配置に基づき、被吸引空域が適正な低圧状態に到達したタイミングを正確に把握することができると共に、ワークが適正に吸着することとなる被吸引空域の圧力状態を正確に特定することができる効果がある。これにより、吸引装置の吸引時間又は吸引能力の適正化を図ることが可能となり、移送作業の効率向上、又は設備コストの低減が可能となる。
【００２１】
また、本発明は、吸着パッドの鍔部が所定の原形を維持しているか否かを検知する吸着パッド変形検知手段を備え、被吸引空域が大気圧状態であると、吸着パッドの鍔部は所定の原形を維持し、被吸引空域が前記した低圧状態であると、吸着パッドの鍔部は変形する構成とした場合は、ワークが吸着した際の鍔部の変形状態に基づき、被吸引空域が適正な低圧状態に到達したタイミングを正確に把握することができると共に、ワークが適正に吸着することとなる被吸引空域の圧力状態を正確に特定することができる効果がある。これにより、吸引装置の吸引時間又は吸引能力の適正化を図ることが可能となり、移送作業の効率向上、又は設備コストの低減が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
＜第一実施例＞
本発明の第一実施例を、添付図面に従って説明する。
図１に示すように、自動車製造工場内にあっては、自動車用窓ガラス等のワークＷを工場内で移送するワーク吸着装置１ａが採用されている。このワーク吸着装置１ａは、吸引装置２と、この吸引装置２に接続された吸着パッド１０ａとを備えている。
【００２３】
以下、吸引装置２について説明する。
吸引装置２は、吸着パッド１０ａ内を吸引して低圧化する機能を具備し、公知の真空ポンプ３、該真空ポンプ３に接続された空気配管４、公知の電源９、該電源９に接続されたコントロールユニット５、及び、コントロールユニット５に連通した制御ユニット６で構成されている。さらに詳述すると、前記の制御ユニット６は、真空破壊バルブ７と真空切替バルブ８とを備え、真空切替バルブ８は空気配管４と接続されている。そして、両バルブ７，８がコントロールユニット５により開閉制御されることにより、両バルブ７，８に接続された空気流通路２８を介して吸着パッド１０ａの内部を吸引する又は吸引停止することを可能としている。このような吸引装置２は、公知技術が好適に用いられる。なお、吸引装置２の吸引機構は、他の機構であっても勿論良い。
【００２４】
次に、吸着パッド１０ａ及びこれに連結された付属部品等について説明する。
図２等に示すように、吸着パッド１０ａの外形は、切頭円錐形で、全体として伏せ皿状となっており、その周縁を構成する鍔部１１と、その中央部分を構成する中央平部１２とで構成されている。具体的に鍔部１１は、図３，４に示すように、吸着パッド１０ａの周縁で外方に向かって下方傾斜してなる部位が該当し、中央平部１２は、吸着パッド１０ａの中心部で底部となる水平部位が該当する。
【００２５】
また、吸着パッド１０ａは、弾性材料で成形加工されており、少なくとも前記鍔部１１が可撓性を具備している。なお、弾性材料としては、例えば合成ゴム材料が挙げられる。
【００２６】
また、前記吸着パッド１０ａの中央平部１２には、当該吸着パッド１０ａの中心軸に沿って上下方向へ貫通する貫通孔１３を備え、この貫通孔１３に金属製で筒状の、押え金具２０と接続金具２５が装着されている。具体的には、押え金具２０と接続金具２５とが上下で螺着されていると共に、接続金具２５の下端に形成されたフランジ部２６が吸着パッド１０ａの中央平部１２に形成された凹溝１５内に嵌着されている。さらに、押え金具２０の下端に形成されたフランジ部２２が、貫通孔１３の下端に当接する構成となっている。かかる構成により、吸着パッド１０ａが、押え金具２０と接続金具２５とで挟持されて脱落不能となっている。
【００２７】
また、吸着パッド１０ａの背面上には、吸着パッド１０ａに比して硬質のカバー体４０ａが当該吸着パッド１０ａを覆うようにして配設されている。具体的には、カバー体４０ａの中心に配設された上下方向の貫通孔４８が接続金具２５に外嵌されており、最上位置に配された板状の押え金具ナット３０により、積層方向で緊締されて固定されている。
【００２８】
また、前記カバー体４０ａは、吸着パッド１０ａの形状に沿って成形加工されており、吸着パッド１０ａと同様の伏せ皿状をなしている。さらに詳述すると、かかるカバー体４０ａは、吸着パッド１０ａ内が大気圧状態である場合に、図３に示すように、吸着パッド１０ａの鍔部１１と中央平部１２とにそれぞれ密着するカバー体鍔部４１とカバー体中央平部４２とを各々備えている。なお、本実施例に係るカバー体４０ａは、金属材料で構成されている。
【００２９】
ところで、吸着パッド１０ａの背面側に突出した接続金具２５の先端は、前記空気流通路２８（図１参照）を構成するものであり、吸引装置２が作動すると、接続金具２５の空路２７と押え金具２０の空路２１を介して、吸着パッド１０ａ内が吸引されて低圧状態を形成することが可能となっている。
【００３０】
これまでに述べた構成にあって、吸着パッド１０ａにワークＷを吸着させるには、図３に示すように、まず吸着パッド１０ａに係る鍔部１１の周縁をワークＷの表面に圧着する。そして、吸引装置２を作動させて、吸着パッド１０ａ内であってワークＷにより遮蔽されてなる被吸引空域１８を真空状態とする。そうすると、図４に示すように、吸着パッド１０ａの変形を伴いながら被吸引空域１８が真空状態となって、ワークＷが吸着パッド１０ａに吸着することとなる。
【００３１】
次に、本発明の要部について説明する。
上述の吸着パッド１０ａの鍔部１１は、前記のように可撓性を有するため、ワークＷを吸着する過程において、被吸引空域１８が大気圧状態である場合（図３参照）と、真空状態である場合（図４参照）とでは形状が変化することとなる。本発明は、この鍔部１１の形状変化に着目して創案されたものである。
【００３２】
吸着パッド１０ａの鍔部１１における背面には、図５，６に示すように、所定深さの凹陥部１６が形成されていると共に、この凹陥部１６内には、ひずみゲージ５０が接着剤で接着されている。このひずみゲージ５０は、それ自体が可撓性を有し、配設された鍔部１１の変形に伴って所定量の歪みが生じるように設計されたものである。なお、本実施例に係るひずみゲージ５０は、市販のものが好適に用いられる。
【００３３】
さらに、前記カバー体４０ａのカバー体鍔部４１であって、ひずみゲージ５０と対向する部位には、貫通状の挿通孔４３が形成されている。そして、この挿通孔４３には、前記ひずみゲージ５０に接続されたリード線５１が挿通されている。なお、このリード線５１は、所定の出力検知装置５８（図３，４参照）に接続されており、該出力検知装置５８により、ひずみゲージ５０に生じた歪みが検知されると共に、歪みを検知したことが出力されて、オペレーターがひずみゲージ５０の歪み状態を確認できる構成となっている。
【００３４】
ここで、前記したひずみゲージ５０により、本発明に係る被歪み検出部が構成される。また、前記した出力検知装置５８により、本発明に係る歪み検知手段が構成される。
【００３５】
これまでに述べた構成にあって、再度、ワークＷの吸着過程について説明する。
図３，５に示すように、吸引装置２が非作動で、被吸引空域１８が大気圧状態である場合は、吸着パッド１０ａ内に負圧が生じないため、吸着パッド１０ａの鍔部１１は所定の原形を維持している。すなわち、当該鍔部１１の背面に配設されたひずみゲージ５０にも歪みは生じることがなく、出力検知装置５８は歪みを検知しない。
【００３６】
一方、図４，６に示すように、吸引装置２が作動して、被吸引空域１８が真空状態となると、吸着パッド１０ａ内の負圧により、鍔部１１は被吸引空域１８側に湾曲し、かかる変形に伴い当該鍔部１１の背面に配設されたひずみゲージ５０が歪むこととなる。そして、出力検知装置５８が、ひずみゲージ５０の歪みを検知すると共に、歪みを検知したことを出力する。そうすると、オペレーターは、その出力情報に基づき、当該ワーク吸着装置１ａについて、吸着パッド１０ａ内の被吸引空域１８が真空状態となって、適正にワークＷを吸着することができる状態に到達したことを把握することが可能となる。
【００３７】
なお、上記構成にあっては、被吸引空域１８が、ワークＷを適正に吸着することができる低圧レベルに到達すると吸着パッド１０ａの鍔部１１が湾曲するように設計されているものであり、しかもこのように鍔部１１が湾曲した際に、上記ひずみゲージ５０に所定量の歪みが生じ、このときの抵抗変化を検知し得るように設定されている。
【００３８】
次に、第一実施例の変形例について、図７に従って説明する。
変形例に係る吸着パッド１０ｂは、中央に配された貫通孔１３に金属製で筒状の、下側押え金具３２が装着されている。この下側押え金具３２の下端には、フランジ部３４が形成されており、このフランジ部３４が、吸着パッド１０ｂの中央に配された係合溝１７内に圧入されている。かかる構成により、吸着パッド１０ｂが下側押え金具３２に固定されている。
【００３９】
さらに、下側押え金具３２には、金属製で筒状の上側押え金具４５が乗載される。なお、下側押え金具３２の上面には、環状の凹溝３５が形成されており、この凹溝３５内にＯリング３６が収納されている。これにより、下側押え金具３２と上側押え金具４５との間で気密が確保されている。
【００４０】
また、上側押え金具４５の下面であって、下側押え金具３２よりはみ出した部位は、カバー体４０ａの背面に当接している。また、上側押え金具４５にネジ穴４６が、下側押え金具３２には前記ネジ穴４６に連結するネジ穴３３が設けられており、かかる当接状態で、各ネジ穴３３，４６に挿入される取付ネジ４７，４７によりすべての部材が上下方向で積層状に緊締されている。
【００４１】
かかる構成にあって、吸引装置２が作動すると、上側押え金具４５の空路３８と下側押え金具３２の空路３７を介して、吸着パッド１０ａ内の被吸引空域１８が吸引されて低圧状態を形成することが可能となっている。
【００４２】
＜第二実施例＞
以下、第二実施例に係るワーク吸着装置１ｂについて説明する。なお、第一実施例に係るワーク吸着装置１ａと共通する構成については、同符号を付すと共に、説明を簡略又は省略することとする。
【００４３】
図８〜１１に示すように、吸着パッド１０ａの鍔部１１における背面には、所定深さの凹陥部６５が形成されていると共に、この凹陥部６５内には、板状の磁石６０が固着されている。ここで、磁石６０の上面が鍔部１１の背面と面一となるように、凹陥部６５の深さが設定される。なお、上述のように吸引過程で当該鍔部１１が撓んで変形すると、この磁石６０は、鍔部１１の変形に伴って位置が変動することとなる。なお、この磁石６０の位置変動については、後で詳述する。
【００４４】
さらに、吸着パッド１０ａの背面に取り付けられたカバー体４０ｂのカバー体鍔部４１であって、磁石６０と対向する部位には、所定深さの凹陥部６６が形成されていると共に、この凹陥部６６内に、板状の磁着スイッチ６１が配設されている。ここで、磁着スイッチ６１の下面がカバー体４０ｂの下面と面一となるように、凹陥部６６の深さが設定される。したがって、吸引装置２が作動しておらず、被吸引空域１８が大気圧状態にある場合は、磁石６０の上面と磁着スイッチ６１の下面とが面接触した状態となっている（図１０参照）。
【００４５】
さらに、この磁着スイッチ６１は、前記磁石６０と磁着するものであると共に、凹陥部６６の隣接位置に配設された貫通状の挿通孔４３を介してリード線５１が接続されている。このリード線５１は、所定の出力検知装置５９（図８，９参照）に接続されており、該出力検知装置５９により、磁石６０と磁着スイッチ６１とが接触しているか否かを検知し、かつオペレーターがその接触状態を確認できる構成となっている。
【００４６】
なお、前記した磁石６０により、本発明に係る第一接触部が構成される。また、磁着スイッチ６１により、本発明に係る第二接触部が構成される。さらに、前記した出力検知装置５９により、本発明に係る接触検知手段及び吸着パッド変形検知手段が構成される。なお、磁石６０と磁着スイッチ６１との組合せは、適宜変更可能であり、例えば、磁石６０を磁性体（鉄等）に変更し、磁着スイッチ６１を磁性体と接触するスイッチとしても良い。
【００４７】
これまでに述べた構成にあって、図８，１０に示すように、吸引装置２が非作動で、被吸引空域１８が大気圧状態である場合は、吸着パッド１０ａ内に負圧が生じないため、吸着パッド１０ａの鍔部１１は所定の原形を維持している。すなわち、鍔部１１とカバー体鍔部４１とは面接触しており、当該鍔部１１の背面に配設された磁石６０と磁着スイッチ６１も面接触した状態にある。したがって、出力検知装置５９は、磁石６０と磁着スイッチ６１とが接触状態であることを検知し、かかる情報を出力する。なお、このような接触状態にある磁石６０の位置を、基準位置αとする。
【００４８】
一方、図９，１１に示すように、吸引装置２が作動して、被吸引空域１８が真空状態となると、吸着パッド１０ａ内の負圧により、鍔部１１は被吸引空域１８側に湾曲し、かかる変形に伴い磁石６０が基準位置αから被吸引空域１８側に移動することとなる。かかる磁石６０の位置を、変動位置βとする。これに対し、磁着スイッチ６１は、硬質のカバー体４０ｂに配設されて磁石６０に対して相対的に不動であるため、当該吸引作動に起因して、磁石６０と磁着スイッチ６１との間に間隙ｄが生ずることとなる。すなわち、被吸引空域１８が真空状態となることにより、磁石６０と磁着スイッチ６１とが離間状態となり、出力検知装置５９が、離間状態を検知し、かかる情報を出力する。そうすると、オペレーターは、この出力情報に基づき、当該ワーク吸着装置１ｂについて、吸着パッド１０ａ内の被吸引空域１８が真空状態となって、適正にワークＷを吸着することができる低圧状態に到達したことを把握することが可能となる。
【００４９】
＜第三実施例＞
以下、第三実施例に係るワーク吸着装置１ｃについて説明する。なお、第一又は第二実施例に係るワーク吸着装置１ａ，１ｂと共通する構成については、同符号を付すと共に、説明を簡略又は省略することとする。
【００５０】
図１２，１３に示すように、カバー体４０ａのカバー体鍔部４１には、貫通状の挿通孔４３が形成されており、この挿通孔４３内に、公知の近接スイッチ７０が固着されている。この近接スイッチ７０は、前記挿通孔４３に対面した鍔部１１の被位置検出部７１につき、離間距離の変動を検知する機能を有している。さらに詳述すると、近接スイッチ７０は、吸引装置２の作動を契機として変形する鍔部１１の位置変動を検知するものであり、具体的には、被吸引空域１８が大気圧状態である場合の、被位置検出部７１の基準位置αと、真空状態である場合の変動位置βとを検知する。なお、近接スイッチ７０に接続されたリード線５１は、挿通孔４３を介して外部に取り出され、所定の出力検知装置７３（図１２，１３参照）に接続されている。この出力検知装置７３は、被位置検出部７１が基準位置αにあるか否かを出力し、オペレーターが変動状態を確認できる構成となっている。
【００５１】
なお、前記の被位置検出部７１により、本発明に係る被位置検出部が構成される。また、近接スイッチ７０により、本発明に係る移動検知手段及び吸着パッド変形検知手段が構成される。
【００５２】
かかる構成にあって、図１２に示すように、吸引装置２が非作動で、被吸引空域１８が大気圧状態である場合は、吸着パッド１０ａ内に負圧が生じないため、吸着パッド１０ａの鍔部１１は所定の原形を維持している。すなわち、近接スイッチ７０は、鍔部１１の被位置検出部７１は基準位置αにあることを検知し、出力検知装置７３は、被位置検出部７１が基準位置αにあることを出力する。
【００５３】
一方、図１３に示すように、吸引装置２が作動して、被吸引空域１８が真空状態となると、吸着パッド１０ａ内の負圧により、鍔部１１は被吸引空域１８側に湾曲し、かかる変形に伴い被位置検出部７１が基準位置αから被吸引空域１８側の変動位置βに移動することとなる。すなわち、近接スイッチ７０は、鍔部１１の被位置検出部７１は変動位置βにあることを検知し、出力検知装置７３は、被位置検出部７１が基準位置αにあることを出力する。そうすると、オペレーターは、かかる出力情報に基づき、当該ワーク吸着装置１ｃついて、吸着パッド１０ａ内の被吸引空域１８が真空状態となって、適正にワークＷを吸着することができる状態に到達したことを把握することが可能となる。
【００５４】
なお、非接触で物体の有無を検出する近接スイッチ７０としては、様々な構成が提案され得る。例えば、誘導形、静電容量形、超音波形、光電形、又は磁気形の構成が提案される。
【００５５】
なお、これまでに述べた実施の形態は、これに限定されず、本発明の主旨を逸脱しない限り適宜変更可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】ワーク吸着装置１ａの概念図である。
【図２】ワーク吸着装置１ａの平面図である。
【図３】第一実施例に係る構成であって、被吸引空域１８が大気圧状態にある場合を示す縦断側面図である。
【図４】第一実施例に係る構成であって、被吸引空域１８が真空状態にある場合を示す縦断側面図である。
【図５】第一実施例に係る構成であって、被吸引空域１８が大気圧状態にある場合を示す拡大図である。
【図６】第一実施例に係る構成であって、被吸引空域１８が真空状態にある場合を示す拡大図である。
【図７】第一実施例に係る変形例を示す縦断側面図である。
【図８】第二実施例に係る構成であって、被吸引空域１８が大気圧状態にある場合を示す縦断側面図である。
【図９】第二実施例に係る構成であって、被吸引空域１８が真空状態にある場合を示す縦断側面図である。
【図１０】第二実施例に係る構成であって、被吸引空域１８が大気圧状態にある場合を示す拡大図である。
【図１１】第二実施例に係る構成であって、被吸引空域１８が真空状態にある場合を示す拡大図である。
【図１２】第三実施例に係る構成であって、被位置検出部７１が基準位置αにある場合を示す拡大図である。
【図１３】第三実施例に係る構成であって、被位置検出部７１が変動位置βにある場合を示す拡大図である。
【符号の説明】
【００５７】
１ａ，１ｂ  ワーク吸着装置
２  吸引装置
１０ａ，１０ｂ  吸着パッド
１１  鍔部
１８  被吸引空域
４０ａ，４０ｂ  カバー体
５０  ひずみゲージ（被歪み検出部）
５８  出力検知装置（歪み検知手段）
５９  出力検知装置（接触検知手段）
６０  磁石（第一接触部）
６１  磁着スイッチ（第二接触部）
７０  近接スイッチ（移動検知手段）
７１  被位置検出部
Ｗ  ワーク
α  基準位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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