(57)【要約】【課題】慣性の作用による誤検出を防止することが可能であるとともに、異物検出時の基板や検出部に対する衝撃を緩和することが可能な異物検出装置の提供を目的とする。【解決手段】吐出ノズル１から吐出される塗工液で塗装される基板２に沿って走行移動され、基板に付着している異物Ａを検出する異物検出装置において、上下方向に揺動自在に支持されたアーム部３と、アーム部に、回転軸心Ｃ位置で回転自在に支持され、そのローラ面４ａと基板との隙間Ｓが、吐出ノズルと基板との間隙Ｔよりも狭く設定されたローラ４と、ローラの回転やローラの上下動、アーム部の上下動を検出する検出部とを備えた。【選択図】図１
2008151603.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
吐出ノズルから吐出される塗工液で塗装される基板に沿って走行移動し、該基板に付着している異物を検出する異物検出装置において、
上下方向に揺動自在に支持されたアーム部と、該アーム部に、回転軸心位置で回転自在に支持され、そのローラ面と上記基板との隙間が、上記吐出ノズルと該基板との間隙よりも狭く設定されたローラと、該ローラの回転を検出する検出部とを備えたことを特徴とする異物検出装置。
【請求項２】
吐出ノズルから吐出される塗工液で塗装される基板に沿って走行移動し、該基板に付着している異物を検出する異物検出装置において、
上下方向に揺動自在に支持されたアーム部と、該アーム部に、回転軸心位置で回転自在に支持され、そのローラ面と上記基板との隙間が、上記吐出ノズルと該基板との間隙よりも狭く設定されたローラと、該ローラの上下動を検出する検出部とを備えたことを特徴とする異物検出装置。
【請求項３】
吐出ノズルから吐出される塗工液で塗装される基板に沿って走行移動し、該基板に付着している異物を検出する異物検出装置において、
上下方向に揺動自在に支持されたアーム部と、該アーム部に、回転軸心位置で回転自在に支持され、そのローラ面と上記基板との隙間が、上記吐出ノズルと該基板との間隙よりも狭く設定されたローラと、上記アーム部の上下動を検出する検出部とを備えたことを特徴とする異物検出装置。
【請求項４】
前記ローラが、前記吐出ノズルよりも走行方向前方に配置されることを特徴とする請求項１〜３いずれかの項に記載の異物検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、慣性の作用による誤検出を防止することが可能であるとともに、異物検出時の基板や検出部に対する衝撃を緩和することが可能な異物検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイパネルなどの生産は、クリーンルームで行われる。クリーンルームは、室内の清浄状態を維持できるものの、パネル本体であるガラス基板が割れたときなどには、破砕粉が発生し、この破砕粉が基板に付着することがある。このため、異物検知は重要な技術となっている。この種の基板に塗装を行うテーブルコータなどの塗装装置に適用可能な異物検出装置が特許文献１に開示されている。この異物検出装置は、基板上の異物と衝突した際に、衝突検出信号を発生する振動センサーを有している。この振動センサーは、図示によれば、異物と衝突したときの上下方向の振動を感受して、衝突検出信号を発生するようになっている。
【特許文献１】特許第３６５３６８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
背景技術にあっては、異物との衝突で発生する振動によって当該異物を検出する振動センサーを採用している。振動を検知対象とする振動センサーでは、慣性の作用を受けやすく、例えば振動センサーを走行体に設け、この走行体を基板上方で走行させる場合には、加速の際の慣性力で振れ動いてしまって、誤検知するおそれがあった。また、背景技術のように、上下方向の振動を感受する振動センサーであると、異物検出時に基板との間に異物を噛み込んで、基板に損傷を与えてしまうおそれもあった。さらに、振動センサーが異物との衝突による衝撃を十分かつ確実に逃がす構造となっていないため、振動センサーが損傷を受けるおそれもあった。
【０００４】
本発明は上記従来の課題に鑑みて創案されたものであって、慣性の作用による誤検出を防止することが可能であるとともに、異物検出時の基板や検出部に対する衝撃を緩和することが可能な異物検出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明にかかる異物検出装置は、吐出ノズルから吐出される塗工液で塗装される基板に沿って走行移動され、該基板に付着している異物を検出する異物検出装置において、上下方向に揺動自在に支持されたアーム部と、該アーム部に、回転軸心位置で回転自在に支持され、そのローラ面と上記基板との隙間が、上記吐出ノズルと該基板との間隙よりも狭く設定されたローラと、該ローラの回転を検出する検出部とを備えたことを特徴とする。
【０００６】
吐出ノズルから吐出される塗工液で塗装される基板に沿って走行移動し、該基板に付着している異物を検出する異物検出装置において、上下方向に揺動自在に支持されたアーム部と、該アーム部に、回転軸心位置で回転自在に支持され、そのローラ面と上記基板との隙間が、上記吐出ノズルと該基板との間隙よりも狭く設定されたローラと、該ローラの上下動を検出する検出部とを備えたことを特徴とする。
【０００７】
吐出ノズルから吐出される塗工液で塗装される基板に沿って走行移動し、該基板に付着している異物を検出する異物検出装置において、上下方向に揺動自在に支持されたアーム部と、該アーム部に、回転軸心位置で回転自在に支持され、そのローラ面と上記基板との隙間が、上記吐出ノズルと該基板との間隙よりも狭く設定されたローラと、上記アーム部の上下動を検出する検出部とを備えたことを特徴とする。
【０００８】
前記ローラが、前記吐出ノズルよりも走行方向前方に配置されることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明にかかる異物検出装置にあっては、慣性の作用による誤検出を防止することができるとともに、異物検出時の基板や検出部に対する衝撃を緩和することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下に、本発明にかかる異物検出装置の好適な一実施形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。本実施形態にかかる異物検出装置は基本的には、図１および図２に示すように、吐出ノズル１から吐出される塗工液で塗装される基板２に沿って走行移動され、基板２に付着している異物Ａを検出する異物検出装置において、上下方向に揺動自在に支持されたアーム部３と、アーム部３に、回転軸心Ｃ位置で回転自在に支持され、そのローラ面４ａと基板２との隙間Ｓが、吐出ノズル１と基板２との間隙Ｔよりも狭く設定されたローラ４と、ローラ４の回転を検出する検出部５とを備えて構成される。
【００１１】
異物Ａの検出対象となる基板２としては、例えばテーブルコータなどで塗装される、平面四角形状の液晶ディスプレイパネル用基板などがある。この種の基板２は、表裏面が平坦面であって、吸着石定盤６上に吸着作用によって固定される。近年、この種の基板２として、２ｍ四方に及ぶものも使用されるようになってきている。
【００１２】
吸着石定盤６上に搭載された基板２の上方には、基板２に塗装を行う吐出ノズル１が設けられる。吐出ノズル１は、基板２を横断する長さ寸法で形成され、その下端には長さ方向に沿って、基板２に向かって塗工液を吐出するノズル部１ａが形成される。吐出ノズル１は、取付ブラケット７を介して、基板２上方に位置されるノズルホルダ８に取り付けられる。吐出ノズル１は、ノズル部１ａが基板２に対して僅かな間隙Ｔ、例えば８０μｍ〜１５０μｍの距離を隔てるように、ノズルホルダ８に支持される。
【００１３】
ノズルホルダ８は、吐出ノズル１の長さ方向に沿って、基板２を横断して配設される。ノズルホルダ８は、吸着石定盤６上方に横架して設けても、あるいは吸着石定盤６上方を跨ぐ門型に形成して、設けるようにしてもよい。ノズルホルダ８は、これを基板２に沿って走行移動させるための、図示しない走行手段に取り付けられ、これにより吐出ノズル１は、基板２に沿って走行移動自在に設けられる。
【００１４】
アーム部３は、ノズルホルダ８に、当該ノズルホルダ８よりも走行方向前方へ張り出して設けられる。また、アーム部３は、吐出ノズル１の長さ方向両端側に位置させて、一対配設される。ノズルホルダ８には、これより走行方向前方へ突出させて突出部９が設けられ、これら突出部９に設けた水平ピン１０に各アーム部３の中央部が回動自在に取り付けられ、これにより一対のアーム部３は、それらの先端部３ａが上下方向に揺動自在に、ノズルホルダ８に支持される。また、中央部を挟んで先端部３ａとは反対側のアーム部３の基端部３ｂも、上下方向に揺動自在とされる。
【００１５】
ローラ４は、そのローラ面４ａが基板２に面するように配置される。ローラ４は、吐出ノズル１と同様に、基板２を横断する長さ寸法で形成され、ノズルホルダ８に沿って基板２を横断する方向に向けて配設される。ローラ４は、一対のアーム部３の間に挟み込まれた状態で、その重心と一致する回転軸心Ｃ位置で、その長さ方向両端がそれぞれ各アーム部３の先端部３ａに回動自在に取り付けられる。これにより、ローラ４は、吐出ノズル１よりも走行方向前方に配置されて、走行移動方向に沿って回転自在とされる。走行移動方向に沿って回転自在とは、ノズルホルダ８の走行方向にローラ４が転動することを意味する。
【００１６】
ノズルホルダ８の突出部９には、ローラ面４ａと基板２との間の隙間Ｓを設定するための隙間調整手段１１が設けられる。隙間調整手段１１は、突出部９の側方に設けられ、ローラ４の重みが作用して上方に持ち上がる習性を有するアーム部３の基端部３ｂに当接される調整ボルト１１ａと、突出部９に固定して設けられ、調整ボルト１１ａを上下方向に移動自在に螺合させるナット１１ｂとから構成される。
【００１７】
隙間調整手段１１は、調整ボルト１１ａを締め緩めして上下移動させることで、アーム部３を介して作用するローラ４の重みを突出部９に支持させつつ、当該アーム部３の基端部３ｂを上下動させ、これによりアーム部３の傾きもしくは回転位置を調節して、アーム部３の先端部３ａに支持されたローラ４のローラ面４ａを上下動させ、これによりローラ面４ａと基板２との隙間Ｓを調整するように構成される。そしてこの隙間調整手段１１は、吐出ノズル１と基板２との間隙Ｔ以上の大きさを有する異物Ａを検出するために、当該間隙Ｔよりもローラ面４ａと基板２との隙間Ｓを狭く設定するようになっている。
【００１８】
また、ローラ４にはその回転を検出する検出部５が備えられる。検出部５は、図２に示すように、アーム部３の内部に設けられた軸受部材１２によりその両端が軸受されたローラ４の一端に、カップリング１３を介して連結されたパルスジェネレータ５ａと、パルスジェネレータ５ａに接続され、パルスジェネレータ５ａからの信号を増幅するアンプ５ｂとから構成される。アンプ５ｂは、ノズルホルダ８に搭載するなどすればよい。パルスジェネレータ５ａは、ローラ４の回転を検出して回転検知信号をアンプ５ｂに出力し、アンプ５ｂは回転検知信号を増幅して、図示しないテーブルコータの制御装置に出力する。制御装置は、テーブルコータの起動や停止を制御するとともに、アンプ５ｂから回転検知信号が入力されたときには、塗装作業を中断するためにノズルホルダ８および吐出ノズル１の作動を緊急停止する制御を行うようになっている。
【００１９】
本実施形態にかかる異物検出装置の作用について説明すると、基板２を塗装するに際しては、走行手段（図示せず）により基板２上方へ向かってノズルホルダ８を走行移動させる。ノズルホルダ８が基板２上方に達すると、前方をローラ４が走行移動し、その後方を吐出ノズル１が移動しつつ、ノズル部１ａから塗工液を吐出することにより、基板２の塗装が開始される。基板２上に異物Ａが検出されない状態では、吐出ノズル１による塗装が継続される。走行移動しているローラ４のローラ面４ａに、ローラ面４ａと基板２との隙間Ｓよりも大きな寸法の異物Ａが衝突すると、ローラ４の回転作用を伴いつつ、アーム部３を介して、ローラ４が異物Ａに乗り上げて持ち上がる。この際、アーム部３の先端部３ａも持ち上がる。ローラ４が回転すると、これを検出部５のパルスジェネレータ５ａが検出して回転検知信号を生成し、生成された回転検知信号によって制御装置がノズルホルダ８および吐出ノズル１に対する緊急停止制御を実行し、これにより塗装作業を中断することができる。
【００２０】
その後、異物Ａを除去すれば、ローラ面４ａと基板２との隙間Ｓを元に戻すことができて、塗装作業を復旧することができる。このように吐出ノズル１よりも前方を走行移動するローラ４により異物Ａを検出できるので、吐出ノズル１や基板２が損傷されることを適切かつ確実に防止することができる。
【００２１】
また、図３に示すように、吸着石定盤６と基板２の下面との間に異物Ａが挟み込まれて、基板２が部分的に隆起しているような場合にあっても、上述と同様にして異物Ａを検出することができる。
【００２２】
本実施形態にあっては、ローラ４の回転を検出部５で検出して異物Ａを検出するように構成したが、異物Ａに衝突すると、ローラ４は回転するだけでなく、上方移動し、またこれに伴ってアーム部３の先端部３ａも上方へ移動する。従って、これらによっても同様にして、異物Ａを検出することができる。アーム部３の上方移動を検出する場合には、アーム部３の基端部３ｂと隙間調整手段１１の調整ボルト１１ａとの間に、接点スイッチを設けておき、アーム部３の先端部３ａの上方移動（基端部３ｂの下方移動）により、アーム部３の基端部３ｂが接点スイッチから離れて当該接点スイッチが切断されたことを検出する構成の検出部を備えるようにすればよい。ローラ４の上方移動は、アーム部先端部３ａの上方移動を伴うので、同様に接点スイッチを用いることで、異物検出を行うことができる。
【００２３】
以上説明した本実施形態にかかる異物検出装置にあっては、重心と一致する回転軸心Ｃ位置で支持したローラ４を走行移動させて、基板２の異物Ａを検出するようにしたので、走行中の慣性の作用で、検出部位であるローラ４に振動が生ずることはなく、誤検出を適切に防止することができる。また、揺動自在なアーム部３を介してローラ４を支持するようにしたので、異物Ａに衝突してもローラ４の浮き上がりと転がりで衝撃を逃がすことができ、基板２や異物検出装置自体が破損されることを確実に防止することができる。また、ローラ４を吐出ノズル１の走行方向前方に配置するようにしたので、検出部位としてのローラ４と、検出処理後に塗装を行う吐出ノズル１とを、一括してノズルホルダ８に搭載することができ、異物検出装置を塗装装置に合理的に設備することができる。
【００２４】
上記実施形態では、異物検出を行う基板２として、テーブルコータ等で塗装される液晶ディスプレイ用パネルを例示して説明したが、異物の検出を行う必要があるその他の板材、例えば、フィルムなどの表面にペーストやカラーフィルター、レジストなどの高・低粘度塗工液を塗工するダイコータなどにも採用できることはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明にかかる異物検出装置の好適な一実施形態を示す概略側面図である。
【図２】図１に示した異物検出装置に設備される検出部の概略説明図である。
【図３】図１に示した異物検出装置による、他の異物検出状態を示す概略側面図である。
【符号の説明】
【００２６】
１  吐出ノズル
２  基板
３  アーム部
４  ローラ
４ａ  ローラ面
５  検出部
Ａ  異物
Ｃ  回転軸心
Ｓ  ローラ面と基板との隙間
Ｔ  吐出ノズルと基板との間隙
【図１】
2008151603.tif 000003
【図２】
2008151603.tif 000004
【図３】
2008151603.tif 000005