(57)【要約】      （修正有）【課題】小形化するとともに、容器支持部の下方空間を有効利用できる基板容器オープナを提供する。【解決手段】前後方向Ｘに移動可能な可動体９５と、オープナ側ドア６５に固定される接続体９３とを、平行リンク機構を構成するリンク部材９２によって互いに相対角変位可能に連結し、リンク部材角変位手段９１によって可動体９５の前後方向位置に応じて予め定められる角度位置に、可動体９５に対する各リンク部材９２の角変位を規制する。可動体駆動手段によって、可動体９５を前後方向Ｘに往復移動することによって、オープナ側ドア６５を前後方向Ｘおよび上下方向Ｚに移動させて、オープナ側開口部６８を開閉することができる。可動体９５を前後方向Ｘに移動させることで、可動体９５を上下方向Ｚに駆動および案内する構成を不必要とすることができ、小形化するとともに、ＦＯＵＰ支持部３１の下方空間を有効利用できる。【選択図】図１２
2008053471.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
予め設定される正面方向に開放して、基板が収容される収容空間が形成される容器本体と、容器本体に対して着脱可能に形成されて、容器本体に装着された状態で収容空間の開口を塞ぐ容器側ドアとを有する基板容器を開閉する基板容器オープナの一部を構成して、容器本体から取外される容器側ドアを把持可能なオープナ側ドアを変位駆動するオープナ側ドア駆動機構であって、
（ａ）基板容器オープナの一部を構成する容器支持部に位置決め支持される容器本体において正面方向となる前方Ｘ１と、前記前方Ｘ１と向きが反対の後方Ｘ２とを含む前後方向Ｘに移動可能な可動体と、
（ｂ）前記可動体を、前記前後方向Ｘに変位駆動する可動体駆動手段と、
（ｃ）オープナ側ドアに固定される接続体と、
（ｄ）可動体と接続体とを連結して平行リンク機構を構成し、可動体に対して接続体を、前記前後方向Ｘに垂直または略垂直に延びる角変位軸線Ｌまわりに相対角変位可能に連結する複数のリンク部材と、
（ｅ）可動体の前後方向位置に応じて予め定められる角度位置に、可動体に対して各リンク部材を角変位するリンク部材角変位手段であって、
（ｅ１）オープナ側ドアの把持する容器側ドアが容器本体の開口を塞いだ閉鎖状態で可動体が位置する閉鎖位置と、前記閉鎖位置から可動体が前方Ｘ１に予め定める設定距離Ａ移動した離間位置との間を、可動体が前後方向Ｘに移動するにあたって、接続体の移動方向を分解した成分のうちで、少なくとも前後方向Ｘ成分が存在するように、可動体に対するリンク部材の角変位を規制し、
（ｅ２）前記離間位置よりも前方Ｘ１となる退避領域を、可動体が前後方向Ｘに移動するにあたって、接続体の移動方向を分解した成分のうちで、少なくとも前後方向Ｘに垂直な垂直方向成分が存在するように、可動体の移動に連動して、リンク部材を可動体に対しての角変位させるリンク部材角変位手段とを含むことを特徴とするオープナ側ドア駆動機構。
【請求項２】
前記リンク部材角変位手段は、
可動体が前記閉鎖位置と前記離間位置との間を移動する間、可動体に対するリンク部材の角度を一定または略一定に保ち、
可動体が前記退避領域を移動する間、可動体の前方Ｘ１への移動に応じて可動体に対するリンク部材の角度を大きくし、可動体の後方Ｘ２への移動に応じて可動体に対するリンク部材の角度を小さくすることを特徴とする請求項１記載のオープナ側ドア駆動機構。
【請求項３】
前記前後方向Ｘおよび前記角変位軸線Ｌは、水平または略水平に延び、
前記リンク部材角変位手段は、
可動体が前記退避領域を前方Ｘ１に移動するのに応じて可動体に対してリンク部材を下方に角変位し、可動体が前記退避領域を後方Ｘ２に移動するのに応じて可動体に対してリンク部材を上方に角変位することを特徴とする請求項２記載のオープナ側ドア駆動機構。
【請求項４】
前記可動体駆動手段、前記リンク部材角変位手段および可動体は、前記容器支持部に支持されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載のオープナ側ドア駆動機構。
【請求項５】
前記リンク部材角変位手段は、各リンク部材の少なくともいずれかに設けられる係合部と、
係合部が係合し、可動体の前後方向位置に応じて可動体に対する係合部の角度位置を規制する規制部とを含んで構成されることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載のオープナ側ドア駆動機構。
【請求項６】
前記可動体駆動手段は、基板容器オープナの一部を構成して、前記容器支持部に支持される基板容器を前記前後方向Ｘに変位駆動するための基板容器駆動手段の動力を用いて可動体を前後方向Ｘに変位駆動することを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載のオープナ側ドア駆動機構。
【請求項７】
厚み方向に貫通するオープナ開口が形成される正面壁と、
容器本体の開口部が、周方向にわたって前記正面壁のオープナ開口部と接触する装着位置に、容器本体を位置決め支持する容器支持部と、
容器支持部によって装着位置に位置決め支持される容器本体から、容器側ドアを着脱可能な着脱機構と、取外した容器側ドアを把持可能な把持機構とを有して、前記オープナ開口を塞ぐオープナ側ドアと、
前記容器側ドアを把持するオープナ側ドアを変位駆動可能であって請求項１〜６のいずれか１つに記載のオープナ側ドア駆動機構とを備える基板容器オープナ。
【請求項８】
予め定める雰囲気中で基板処理を行う基板製造装置に対して、基板の搬入および搬出を行う基板移載装置の一部を構成する基板移載装置であって、請求項７記載の基板容器オープナを備えることを特徴とする基板移載装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板処理設備のうちで基板の搬入および搬出を行う基板移載装置の一部に関し、特に半導体処理設備における基板移載装置であるＥＦＥＭ（Equipment Front End 
Module）に関する。
【背景技術】
【０００２】
図２０は、従来技術の半導体処理設備１の一部を切断して示す断面図である。半導体処理設備１は、ウェハ処理装置２とウェハ移載装置３とを含んで構成される。半導体処理設備１内の空間は、予め定める雰囲気気体で満たされる。これによって処理されるウェハ４は、大気中に浮遊する塵埃粒子の付着が防がれる。半導体ウェハ４は、基板容器であるＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod、略称フープ）５に収容された状態で、半導体処理設備１に向かって搬送される。
【０００３】
ウェハ移載装置３は、処理前のウェハ４をＦＯＵＰ５から取り出して、取り出したウェハ４を準備空間９で移動させて、ウェハ処理装置２に供給する。また処理後のウェハ４をウェハ処理装置２から取り出して、取り出したウェハ４を準備空間９で移動させて、ＦＯＵＰ５に再収容する。具体的には、ウェハ移載装置３は、ＦＯＵＰオープナ６（以下、オープナ６と称する）と、ロボット７と、準備空間９を形成する準備空間形成壁とを含む。ＦＯＵＰ内の空間１２と準備空間９とは、外方空間１３に対して密閉された空間であって、塵埃粒子が極めて少ない状態に維持される。
【０００４】
オープナ６は、ウェハ４が通過可能なオープナ側開口が形成される正面壁８と、正面壁８に固定され、準備空間９外でＦＯＵＰ５を支持するＦＯＵＰ支持部１１と、正面壁８を開閉するオープナ側ドアとを有する。オープナ６は、外気の侵入を塞いだ状態で、ＦＯＵＰ５のＦＯＵＰ側ドアとオープナ側ドアとを変位駆動して、ＦＯＵＰ内の空間１２と、準備空間９とを連通する。この状態で、ロボット７がＦＯＵＰ５からウェハ処理装置２へウェハ４を搬送するとともに、ウェハ処理装置２からＦＯＵＰ５へウェハ４を搬送する。またオープナ６が、ＦＯＵＰ側ドアとオープナ側ドアとを変位駆動して、ＦＯＵＰ５内の空間１２と準備空間９との連通を阻止することで、それらの空間９，１２が外気から密閉され、半導体処理装置１からＦＯＵＰ５を分離可能な状態となる。たとえばこのような従来技術として特許文献１および２に開示されている。
【０００５】
図２１は、従来技術のオープナ６を示す断面図であり、図２１（１）〜図２１（３）の順で動作が進むことによって、ＦＯＵＰ内の空間１２と準備空間９とを連通する。図２１に示すように、オープナ６は、オープナ側ドア１４およびＦＯＵＰ側ドア１５を、上下方向Ｚと水平方向Ｘとに変位駆動させて、ＦＯＵＰ５の開閉動作を行う駆動部１８を有する。駆動部１８は、各ドア１４，１５を上下方向Ｚに移動させる第１駆動系１６と、各ドア１４，１５を水平方向Ｘに移動させる第２駆動系１７とによって構成される。駆動部１８は、ＦＯＵＰ支持部１１の下方に配置される。
【０００６】
第１駆動系１６は、ＦＯＵＰ支持部１１の下方空間を上下方向Ｚに移動可能な第１可動部１６ａと、第１可動部１６ａを上下方向Ｚに変位駆動するための第１駆動源１６ｂと、第１駆動源１６ｂからの動力を第１可動部１６ａに伝達するボールねじ機構部１６ｃとを含む。ボールねじ機構部１６ｃは、ねじ軸が上下方向に延び、ねじ軸に螺合する螺合部が第１可動部１６ａに接続される。第１駆動源１６ｂが、ねじ軸を回転させることによって、螺合部とともに第１可動部１６ａが上下方向Ｚに移動する。
【０００７】
第２駆動系１７は、オープナ側ドア１４に固定される接続部１７ａと、接続部１７ａを水平方向Ｘに変位駆動するための第２駆動源１７ｂとを含む。第２駆動系１７は、前記第１可動部１６ａに搭載され、第１可動部１６ａとともに上下方向Ｚに移動する。接続部１７ａは、第２駆動源１７ｂによって水平方向Ｘに変位駆動され、第１駆動源１６ｂによって第１可動部１６ａとともに上下方向Ｚに変位駆動される。これによって接続部１７ａに固定されるオープナ側ドア１４と、オープナ側ドア１４に把持されるＦＯＵＰ側ドア１５とも、上下方向Ｚおよび水平方向Ｘに変位駆動される。
【０００８】
ＦＯＵＰ内の空間１２と準備空間９とを連通する場合には、図２１（１）に示すように、オープナ側ドア１４が、ＦＯＵＰ本体からＦＯＵＰ側ドア１５を取外し、取外したＦＯＵＰ側ドア１５を把持する。次に、図２１（２）に示すように、第２駆動源１７ｂによって、ハンド部１７ａを水平方向Ｘに移動させる。次に、図２１（３）に示すように、第１駆動源１６ｂによって、ハンド部１７ａを下方に移動させる。またＦＯＵＰ内の空間１２と準備空間９との連通を解除する場合には、ＦＯＵＰ内の空間１２と準備空間９とを連通する手順と逆の手順を行わせる。
【０００９】
【特許文献１】特開２００２−１７０８６０号公報
【特許文献２】特開２００２−３５９２７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
従来技術のオープナ６は、ＦＯＵＰ支持部１１の下方に、ＦＯＵＰ５の開閉動作を行うための駆動部１８が配置されるので、オープナ６が大形化するという問題がある。またＦＯＵＰ支持部１１の下方空間を有効利用しづらいという問題がある。このような問題は、半導体ウェハ以外の基板が収容される基板容器オープナであっても同様に生じる。
【００１１】
したがって本発明の目的は、小形化するとともに、容器支持部の下方空間を有効利用できる基板容器オープナを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、予め設定される正面方向に開放して、基板が収容される収容空間が形成される容器本体と、容器本体に対して着脱可能に形成されて、容器本体に装着された状態で収容空間の開口を塞ぐ容器側ドアとを有する基板容器を開閉する基板容器オープナの一部を構成して、容器本体から取外される容器側ドアを把持可能なオープナ側ドアを変位駆動するオープナ側ドア駆動機構であって、
（ａ）基板容器オープナの一部を構成する容器支持部に位置決め支持される容器本体において正面方向となる前方Ｘ１と、前記前方Ｘ１と向きが反対の後方Ｘ２とを含む前後方向Ｘに移動可能な可動体と、
（ｂ）前記可動体を、前記前後方向Ｘに変位駆動する可動体駆動手段と、
（ｃ）オープナ側ドアに固定される接続体と、
（ｄ）可動体と接続体とを連結して平行リンク機構を構成し、可動体に対して接続体を、前記前後方向Ｘに垂直または略垂直に延びる角変位軸線Ｌまわりに相対角変位可能に連結する複数のリンク部材と、
（ｅ）可動体の前後方向位置に応じて予め定められる角度位置に、可動体に対して各リンク部材を角変位するリンク部材角変位手段であって、
（ｅ１）オープナ側ドアの把持する容器側ドアが容器本体の開口を塞いだ閉鎖状態で可動体が位置する閉鎖位置と、前記閉鎖位置から可動体が前方Ｘ１に予め定める設定距離Ａ移動した離間位置との間を、可動体が前後方向Ｘに移動するにあたって、接続体の移動方向を分解した成分のうちで、少なくとも前後方向Ｘ成分が存在するように、可動体に対するリンク部材の角変位を規制し、
（ｅ２）前記離間位置よりも前方Ｘ１となる退避領域を、可動体が前後方向Ｘに移動するにあたって、接続体の移動方向を分解した成分のうちで、少なくとも前後方向Ｘに垂直な垂直方向成分が存在するように、可動体の移動に連動して、リンク部材を可動体に対しての角変位させるリンク部材角変位手段とを含むことを特徴とするオープナ側ドア駆動機構である。
【００１３】
本発明に従えば、可動体と接続体とは平行リンク機構を構成する複数のリンク部材に連結されることによって、接続体および接続体に固定されるオープナ側ドアは、姿勢を一定に保ちながら移動する。
【００１４】
また可動体が閉鎖位置と離間位置との間を移動する状態では、可動体の前後方向Ｘ移動に連動して、リンク部材角変位手段が可動体に対してリンク部材の角変位を規制することで、接続体の移動方向には少なくとも前後方向Ｘ成分が含まれる。これによって接続体に固定されるオープナ側ドアは、把持した容器側ドアとともに前後方向Ｘに移動する。閉鎖位置から離間位置に可動体が前方Ｘ１に移動すると、オープナ側ドアに把持される容器側ドアは、容器本体から前方Ｘ１に移動して、容器本体から離間する。また離間位置から閉鎖位置に可動体が後方Ｘ２に移動すると、オープナ側ドアに把持される容器側ドアは、容器本体に向かって後方Ｘ２に移動して、容器本体の開口部を閉鎖する。
【００１５】
また可動体が退避領域を移動する状態では、可動体の前後方向Ｘ移動に連動して、リンク部材角変位手段が可動体に対してリンク部材を角変位させることで、接続体の移動方向には、少なくとも前後方向Ｘに垂直な垂直方向成分が含まれる。これによって接続体に固定されるオープナ側ドアは、把持した容器側ドアとともに垂直方向に移動する。退避領域を可動体が前方Ｘ１に移動すると、オープナ側ドアに把持される容器側ドアは、容器本体から前後方向Ｘに垂直な垂直方向に離反移動して、容器本体を開放する。また退避領域を可動体が後方Ｘ２に移動すると、オープナ側ドアに把持される容器側ドアは、容器本体から前後方向Ｘに垂直な垂直方向に近接移動して、容器本体に対向する。
【００１６】
このように本発明では、オープナ側ドアに把持される容器側ドアを、前後方向Ｘに変位移動させることができるとともに、可動体の角変位軸線Ｌまわりに角変位移動させることができ、角変位軸線Ｌに垂直な平面内で２方向に移動させて、容器本体を開閉することができる。
【００１７】
また本発明は、前記リンク部材角変位手段は、
可動体が前記閉鎖位置と前記離間位置との間を移動する間、可動体に対するリンク部材の角度を一定または略一定に保ち、
可動体が前記退避領域を移動する間、可動体の前方Ｘ１への移動に応じて可動体に対するリンク部材の角度を大きくし、可動体の後方Ｘ２への移動に応じて可動体に対するリンク部材の角度を小さくすることを特徴とする。
【００１８】
本発明に従えば、可動体が閉鎖位置と離間位置との間を移動する間には、リンク部材角変位手段によって可動体に対するリンク部材の角変位が抑えられる。各リンク部材の角変位が抑えられることで、接続体が、可動体の移動に応じて移動する場合、その移動方向を分解した成分のうちの全てまたは大部分が前後方向Ｘ成分となる。したがってオープナ側ドアに把持される容器側ドアもまた、移動方向を分解した成分のうちの全てまたは大部分が前後方向Ｘ成分となる。
【００１９】
また可動体が退避領域を前方Ｘ１に移動する間には、可動体の移動に応じて可動体に対するリンク部材の角度を大きくすることで、容器側ドアの移動方向を分解した成分のうちの前後方向Ｘ成分を少なくすることができる。同様に、可動体が退避領域を後方Ｘ２に移動する間には、可動体の移動に応じて可動体に対するリンク部材の角度を小さくすることで、容器側ドアの移動方向を分解した成分のうちの前後方向Ｘ成分を少なくすることができる。これによって可動体が退避領域を前後方向Ｘに移動する間には、容器側ドアは、垂直方向または略垂直方向に、容器本体に対して近接または離反する。
【００２０】
また本発明は、前記前後方向Ｘおよび前記角変位軸線Ｌは、水平または略水平に延び、
前記リンク部材角変位手段は、
可動体が前記退避領域を前方Ｘ１に移動するのに応じて可動体に対してリンク部材を下方に角変位し、可動体が前記退避領域を後方Ｘ２に移動するのに応じて可動体に対してリンク部材を上方に角変位することを特徴とする。
【００２１】
本発明に従えば、前後方向が水平または略水平に延びることによって、可動体が閉鎖位置と離間位置との間を移動する間には、接続体が水平または略水平に延びる軌跡に沿って移動する。また可動体が前記退避領域を前方Ｘ１に移動するのに応じて可動体に対してリンク部材を下方に角変位することによって、可動体が前記退避領域を前方Ｘ１に移動する場合には、接続体が鉛直または略鉛直に延びる軌跡に沿って下方に移動する。また可動体が前記退避領域を後方Ｘ２に移動するのに応じて可動体に対してリンク部材を上方に角変位することによって、可動体が前記退避領域を後方Ｘ２に移動する場合には、接続体が鉛直または略鉛直に延びる軌跡に沿って上方に移動する。
【００２２】
このように本発明では、容器本体を開く場合には、容器側ドアは、水平または略水平な軌跡に沿って前方Ｘ１に移動したあと、鉛直または略鉛直な軌跡に沿って下方に移動する。また容器本体を閉じる場合には、容器側ドアは、鉛直または略鉛直な軌跡に沿って上方に移動したあと、水平または略水平な軌跡に沿って後方Ｘ２に移動する。
【００２３】
また本発明は、前記可動体駆動手段、前記リンク部材角変位手段および可動体は、前記容器支持部に支持されることを特徴とする。
【００２４】
本発明に従えば、基板容器オープナの一部を構成する容器支持部に、前記可動体駆動手段、リンク部材角変位手段および可動体が支持されることで、可動体駆動手段、リンク部材角変位手段および可動体を支持するためのオープナ側ドア駆動機構支持部を容器支持部と兼用することができ、オープナ側ドア駆動機構に構成される各構成要素を支持するための部分を別途形成する必要がなく、部品点数を低減することができる。
【００２５】
また本発明は、前記リンク部材角変位手段は、各リンク部材の少なくともいずれかに設けられる係合部と、
係合部が係合し、可動体の前後方向位置に応じて可動体に対する係合部の角度位置を規制する規制部とを含んで構成されることを特徴とする。
【００２６】
本発明に従えば、係合部が規制部に係合することによって、可動体の前後方向位置毎に、各リンク部材は可動部に設定される角変位軸線Ｌまわりの角変位が阻止される。たとえば可動体が第１の前後方向位置にあるときは、係合部は規制部に案内された状態で、第１の前後方向位置に応じた角変位軸線まわりの角度位置で角変位が規制される。またたとえば可動体が第２の前後方向位置にあるときは、係合部は規制部に案内された状態で、第２の前後方向位置に応じた角変位軸線まわりの角度位置で角変位が規制される。このように係合部と規制部とを含んで、リンク部材角変位手段が構成されることによって、別途駆動源を必要とすることなく、可動体の前後方向移動に連動させて、可動体に対するリンク部材の角変位を所望の値にすることができる。
【００２７】
また本発明は、前記可動体駆動手段は、基板容器オープナの一部を構成して、前記容器支持部に支持される基板容器を前記前後方向Ｘに変位駆動するための基板容器駆動手段の動力を用いて可動体を前後方向Ｘに変位駆動することを特徴とする。
【００２８】
本発明に従えば、基板容器駆動手段は、テーブル部分などを介して基板容器を前後方向Ｘに移動させる。また可動体駆動手段は、可動体を前後方向Ｘに移動させる。基板容器駆動手段と可動体駆動手段とは、ともに物体を前後方向Ｘに移動させる点で共通しており、テーブル部分と可動体とのいずれかに、前後方向Ｘに移動させる動力を伝えるかを切換える切換手段を設けることによって、基板容器駆動手段を用いて可動体駆動手段を実現することができる。
【００２９】
また本発明は、厚み方向に貫通するオープナ開口が形成される正面壁と、
容器本体の開口部が、周方向にわたって前記正面壁のオープナ開口部と接触する装着位置に、容器本体を位置決め支持する容器支持部と、
容器支持部によって装着位置に位置決め支持される容器本体から、容器側ドアを着脱可能な着脱機構と、取外した容器側ドアを把持可能な把持機構とを有して、前記オープナ開口を塞ぐオープナ側ドアと、
前記容器側ドアを把持するオープナ側ドアを変位駆動可能であって前記オープナ側ドア駆動機構とを備える基板容器オープナである。
【００３０】
本発明に従えば、基板容器オープナのオープナ側ドア駆動機構が上述した構成を備えることによって、可動体を前後方向Ｘに移動させることで、容器本体を開閉可能な基板容器オープナを実現することができる。
【００３１】
また本発明は、予め定める雰囲気中で基板処理を行う基板製造装置に対して、基板の搬入および搬出を行う基板移載装置の一部を構成する基板移載装置であって、前記基板容器オープナを備えることを特徴とする基板移載装置である。
【００３２】
本発明に従えば、基板容器オープナのオープナ側ドア駆動機構が上述した構成を備えることによって、可動体を前後方向Ｘに移動させることで、容器本体を開閉可能な基板容器オープナを搭載した基板移載装置を実現することができる。
【発明の効果】
【００３３】
請求項１記載の本発明によれば、可動体駆動手段によって、可動体を前後方向Ｘに移動させることで、オープナ側ドアに把持される容器側ドアを、前後方向Ｘと、前後方向Ｘに垂直な方向とに移動させることができ、容器本体から容器側ドアを近接および離反させて、容器本体の開閉動作を行わせることができる。また可動体を移動させる前後方向Ｘは、容器支持部に支持される容器本体に対して、収容空間が開放する正面方向に平行な方向である。これによって可動体は、前後方向Ｘに移動させても、容器支持部に支持される基板容器の近傍を移動させることができ、容器支持部から離反した位置に可動体を移動させる機構を設ける必要がない。したがって本発明では容器支持部の近傍にオープナ側ドア駆動機構を配置することができ、基板容器オープナを小形化することができる。また基板容器オープナのうちで基板容器を支持する容器支持部から離反した空間を有効利用することができる。
【００３４】
請求項２記載の本発明によれば、可動体が閉鎖位置と離間位置との間を移動する間には、容器側ドアは、移動方向を分解した成分のうちの全てまたは大部分が前後方向Ｘ成分となる。これによって容器側ドアが容器本体に対して前後方向Ｘに近接および離反するときに、容器本体の開口部および基板容器オープナに形成される正面壁などと、容器側ドアとが干渉することを防ぐことができ、容器側ドアを容器本体から円滑に近接および離反させることができる。
【００３５】
また可動体が退避領域を前後方向Ｘに移動する間には、容器側ドアは、容器本体に対して垂直方向または略垂直方向に近接または離反する。これによって容器側ドアが、前後方向Ｘに不所望に移動することを抑えることができ、容器側ドアの動作領域を前後方向Ｘに小さくすることができ、容器本体を開閉するために必要な可動空間の前後方向Ｘ寸法を小さくすることができる。これによって容器側ドアおよびオープナ側ドアが、基板移載装置に配置される他の装置、たとえば基板搬送用のロボットなどに干渉することを防ぐことができる。
【００３６】
請求項３記載の本発明によれば、容器本体を開放する場合、容器側ドアは、水平または略水平に近い軌跡を描きながら容器本体から離間し、離間後鉛直または鉛直に近い軌跡を描きながら容器本体から離反する。また容器本体を閉鎖する場合、容器側ドアは、容器本体から離間した状態で、鉛直または鉛直に近い軌跡を描きながら容器本体に近接し、近接後、水平または略水平に近い軌跡を描きながら容器本体に当接する。このように容器側ドアを、容器本体よりも下方に移動させて容器本体を開放することで、容器開閉時に気流が乱れたとしても、気流が上方から下方に流れるように調整されることで、基板、容器本体およびロボットなどに塵埃粒子が付着するおそれを少なくすることができ、基板搬入および搬出時に基板が汚染されることを防ぐことができる。
【００３７】
請求項４記載の本発明によれば、容器支持部が、可動体駆動手段、リンク部材角変位手段および可動体を支持することで、可動体駆動手段および可動体を支持する部分を別途形成する必要がなく、基板容器オープナの部品点数を低減することができる。これによってさらに基板容器オープナを小形化することができるとともに、構造を簡単化することができ、基板容器オープナの製造コストを低下させることができる。たとえば容器支持部にオープナ側ドア駆動機構を構成する各要素部品を支持させることによって、基板容器オープナに形成される正面壁に、オープナ側ドア駆動機構の各要素部品を固定支持させる必要がなく、正面壁を小形化するとともに、正面壁の剛性を低下させることができ、基板容器オープナの製造コストを低減することができる。
【００３８】
請求項５記載の本発明によれば、係合部と規制部とを含んでリンク部材角変位手段が構成されることによって、別途駆動源を必要とすることなく、可動体に対するリンク部材の角変位を規制することができる。これによって可動体駆動手段によって、可動体を前後方向Ｘに移動させるだけで、その可動体の移動に連動させてリンク部材を角変位させることができる。これによって基板容器オープナの構成をさらに簡単化することができる。
【００３９】
請求項６記載の本発明によれば、テーブル部分などを介して基板容器を前後方向Ｘに移動させる基板容器駆動手段を用いて可動体駆動手段を実現することで、可動体を変位駆動させるための駆動源と、基板容器を変位駆動させるための駆動源との２つの駆動源を用いる必要がなく、１つの駆動源によって、基板容器駆動手段と可動体駆動手段とを実現することができ、基板容器オープナの駆動源の数を低減することができる。これによって基板容器オープナを小形化することができるとともに、構造を簡単化することができる。
【００４０】
請求項７記載の本発明によれば、基板容器オープナが、上述したオープナ側ドア駆動機構を有することによって、小形化することができる。また容器支持部に対して、前後方向Ｘに垂直な方向に離反した空間を有効利用することができる。また基板容器オープナのうちで、位置決め支持される基板容器に密着する正面壁を小形化することができ、基板移載装置の製造コストを安価にすることができる。
【００４１】
請求項８記載の本発明によれば、基板移載装置は、上述したオープナ側ドア駆動機構を有する基板容器オープナが搭載されることによって、基板容器オープナの小形化にともなう小形化を実現することができる。また容器支持部に対して、前後方向Ｘに垂直な方向に離反した空間を有効利用することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４２】
図１は、本発明の第１実施形態である半導体処理設備２０を切断して示す断面図である。図２は、半導体処理設備２０を示す斜視図であり、オープナ側開口３５を開放した状態を示す。図３は、図１の矢符Ａ３−Ａ３切断面線から切断して半導体処理設備２０を示す断面図である。図４は、ＦＯＵＰ２５を示す斜視図である。
【００４３】
半導体処理設備２０は、処理対象基板となる半導体ウェハ２４に対して予め定める処理を行う。たとえば半導体ウェハ２４に施される処理として、熱処理、不純物導入処理、薄膜形成処理、リソグラフィー処理、洗浄処理または平坦化処理などの様々なプロセス処理が想定される。半導体処理設備２０は、予め定められる雰囲気気体で満たされたクリーン度の高い処理空間３０内で、上述した基板処理を行う。ウェハ２４は、ＦＯＵＰ（
Front Opening Unified Pod、略称フープ）２５と称される基板容器２５に複数枚収容された状態で、半導体処理設備２０に対して搬送される。
【００４４】
図４に示すようにＦＯＵＰ２５は、ウェハ２４が収容される容器本体となるＦＯＵＰ本体６０と、ＦＯＵＰ本体６０に対して着脱可能に形成される容器側ドアとなるＦＯＵＰ側ドア６１とを含んで構成される。ＦＯＵＰ本体６０は、予め設定される正面方向Ｗに開放する略箱状に形成され、ウェハ収容空間としてＦＯＵＰ内空間３４が形成される。ＦＯＵＰ本体６０は、正面方向Ｗ側に露出するＦＯＵＰ側開口部６２が形成され、ＦＯＵＰ側開口部６２によって、ＦＯＵＰ内空間３４のうちで正面方向Ｗの領域となるＦＯＵＰ側開口６３が形成される。ＦＯＵＰ側ドア６１は、板状に形成され、ＦＯＵＰ本体６０に対して着脱可能に構成される。ＦＯＵＰ側ドア６１は、ＦＯＵＰ本体６０に装着されることによって、ＦＯＵＰ側開口部６２を周方向にわたって当接し、ＦＯＵＰ側開口部６２を塞ぐ。またＦＯＵＰ側ドア６１は、ＦＯＵＰ本体６０から取外されることで、ＦＯＵＰ側開口部６２から離間してＦＯＵＰ側開口部６２を開く。
【００４５】
ＦＯＵＰ側ドア６１がＦＯＵＰ本体６０に装着されることによって、ＦＯＵＰ本体６０に形成されるＦＯＵＰ内空間３４が、外方空間３３に対して密閉されて、外方空間３３から汚染物質がＦＯＵＰ内空間３４に侵入することを防ぐ。したがってＦＯＵＰ内空間３４がクリーン度の高い状態で、ＦＯＵＰ側ドア６１が装着されることで、ＦＯＵＰ内空間３４は、クリーン度の高い状態に保たれる。またＦＯＵＰ側ドア６１がＦＯＵＰ本体６０を開放することで、ＦＯＵＰ内空間３４にウェハ２４を収容可能となるとともに、ＦＯＵＰ内空間３４からウェハ２４を取り出し可能となる。
【００４６】
図１〜図３に示すように、半導体処理設備２０は、ウェハ処理装置２２と、ウェハ移載装置２３とを含んで構成される。ウェハ処理装置２２は、前記処理空間３０でウェハ２４に予め定める処理を施す。ウェハ処理装置２２は、ウェハ２４に処理を施す処理装置本体のほか、処理空間３０を形成する複数の処理空間形成壁、処理空間３０でウェハ２４を搬送する搬送装置、処理空間３０に満たされる雰囲気気体を制御する調整装置などを有する。
【００４７】
ウェハ移載装置２３は、処理前のウェハ２４をＦＯＵＰ２５から取り出してウェハ処理装置２２に供給するとともに、処理後のウェハ２４をウェハ処理装置２２から取り出してＦＯＵＰ２５に再収容する。ウェハ移載装置２３は、装置フロントエンドモジュール（ＥＦＥＭ、Equipment Front End Module）と称され、半導体処理設備２０のうちで、ＦＯＵＰ２５とウェハ処理装置２２との間でのウェハ２４の受渡しを担うインターフェース部となる。ウェハ２４は、ＦＯＵＰ内空間３４と、ウェハ処理装置２２の処理空間３０との間を移動する間に、予め定められる雰囲気気体で満たされるクリーン度の高い準備空間２９を通過する。
【００４８】
ウェハ移載装置２３は、前記準備空間２９を形成する複数の準備空間形成壁２８と、フレーム６４と、準備空間２９に配置されてウェハ搬送可能なロボット２７と、ＦＯＵＰ２５を開閉するＦＯＵＰオープナ２６（以下、オープナ２６と称する）と、準備空間２９に満たされる雰囲気気体を制御する調整装置とを含む。
【００４９】
準備空間形成壁２８は、準備空間２９を囲み、外方空間３３から外気が準備空間２９に侵入することを防ぐ。フレーム６４には、ウェハ２４を搬送するのに必要な各搬送構成体がそれぞれ固定される。本実施の形態ではフレーム６４は、３つのオープナ２６と、１つのロボット２７がそれぞれ固定される。
【００５０】
このようにＦＯＵＰ２５は、極所クリーン化技術に関し、クリーン環境におけるミニエンバイロメント用基板容器である。オープナ２６は、ＦＯＵＰ２５を開閉する開閉装置となり、いわゆるＦＯＵＰオープナと称される。ＦＯＵＰ２５およびオープナ２６の構成の一部については、たとえばＳＥＭＩ（Semiconductor Equipment and Materials 
International）規格によって、予め規定される。この場合、たとえばＦＯＵＰ２５およびオープナ２６は、ＳＥＭＩ規格のＥ４７．１、Ｅ１５．１、Ｅ５７、Ｅ６２、Ｅ６３、Ｅ８４などの仕様に従う。ただし、ＦＯＵＰ２５およびオープナ２６の構成がＳＥＭＩ規格外の構成であっても、本実施の形態に含まれる。
【００５１】
各オープナ２６は、正面壁２８ａと、オープナ側ドア６５と、ＦＯＵＰ支持部３１と、オープナ側ドア駆動機構６６と、基部６７とを含んで構成される。ＦＯＵＰ支持部３１は、準備空間２９外となる外方空間３３に配置されて、ロボットまたは人力などによって搬送されるＦＯＵＰ２５を支持する。本実施の形態では、ＦＯＵＰ支持部３１は、ＦＯＵＰ２５に設定される正面方向Ｗが水平となるように、ＦＯＵＰ２５を下方から支持する。ＦＯＵＰ支持部３１は、ＦＯＵＰ２５を支持した状態で、ＦＯＵＰ２５をその正面方向Ｗに変位駆動して予め定めるウェハ移載位置に位置決め支持可能に構成される。
【００５２】
以下、ＦＯＵＰ支持部３１に支持されるＦＯＵＰ２５に設定される正面方向となる方向を前方Ｘ１とし、前方Ｘ１と向きが反対の方向を後方Ｘ２と称する。また前方Ｘ１および後方Ｘ２を含む方向を前後方向Ｘと称する。また上下方向をＺとし、前後方向Ｘおよび上下方向Ｚにともに垂直な方向を左右方向Ｙと称する。
【００５３】
正面壁２８ａは、準備空間形成壁２８の一部を構成する板状部材である。正面壁２８ａを挟んで前方Ｘ１の空間が準備空間２９となり、正面壁２８ａを挟んで後方Ｘ２の空間が外方空間３３となる。正面壁２８ａは、ＦＯＵＰ支持部３１に支持されるＦＯＵＰ２５に対して前方Ｘ１に配置され、ＦＯＵＰ側開口部６２に対向する。本実施の形態では、正面壁２８ａは、ＦＯＵＰ支持部３１がＦＯＵＰ２５を乗載する乗載面から鉛直方向上方Ｚ１に延びるとともに、前後方向Ｘに垂直に延びる。
【００５４】
正面壁２８ａには、厚み方向に貫通するオープナ側開口３５を形成するオープナ側開口部６８を有する。オープナ側開口部６８は、ウェハ移載位置に位置決め支持されるＦＯＵＰ２５のＦＯＵＰ側開口部６２に周方向にわたって接触する。これによってウェハ移載位置にＦＯＵＰ２５が位置決めされた状態で、正面壁２８ａとＦＯＵＰ側開口部６２との間から、ＦＯＵＰ内空間３４および準備空間２９に外気が侵入することを防ぐ。
【００５５】
またオープナ側開口３５は、前後方向Ｘに垂直な方向の断面形状が、ＦＯＵＰ側ドア６１とほぼ同じ形状で、ＦＯＵＰ側ドア６１よりも大きく形成される。これによってＦＯＵＰ本体６０から取外されたＦＯＵＰ側ドア６１は、オープナ側開口部６８と干渉することが防がれて、オープナ側開口３５を前後方向Ｘに通過可能となる。
【００５６】
オープナ側ドア６５は、ＦＯＵＰ本体６０に対してＦＯＵＰ側ドア６１を取付けおよび取外し可能に構成されるとともに、ＦＯＵＰ本体６０から取外したＦＯＵＰ側ドア６１を把持可能に構成される。またオープナ側ドア６５は、略板状に形成されて、正面壁２８ａに形成されるオープナ側開口部６８を周方向にわたって当接することで、オープナ側開口３５を塞ぐ。またオープナ側ドア６５は、正面壁２８ａに形成されるオープナ側開口部６８から離反することによって、オープナ側開口３５を開放する。
【００５７】
オープナ側ドア駆動機構６６は、オープナ側ドア６５を前後方向Ｘおよび前後方向Ｘに垂直な方向となる上下方向Ｚに変位駆動する。オープナ側ドア駆動機構６６がオープナ側ドア６５を変位駆動することによって、オープナ側ドア６５とともに、オープナ側ドア６５が把持するＦＯＵＰ側ドア６１を変位駆動することができる。これによってＦＯＵＰ側ドア６１をＦＯＵＰ本体６０から近接離反させることができ、ウェハ移載位置に位置決めされるＦＯＵＰ２５を開閉させることができる。各オープナ２６の基部６７は、フレーム６４に固定される。オープナ２６のうちで、基部６７以外をオープナ本体とすると、オープナ本体は、基部６７を介してフレーム６４に固定される。このようにオープナ側ドア駆動機構６６は、ＦＯＵＰ２５を開閉するための機構である。
【００５８】
ロボット２７は、本実施の形態では水平多関節ロボットによって実現される。ロボット２７は、準備空間２９に配置され、ウェハ２４を把持可能なロボットハンド４０と、ロボットハンド４０を変位移動させるためのロボットアーム４１と、ロボットアーム４１を上下方向Ｚに変位駆動させる上下駆動体４２と、上下駆動体４２をフレーム６４に固定するベース部４３とを含んで構成される。ロボットアーム４１などを制御するロボットコントローラ４４によって、ロボットアーム４１および上下駆動体４２などを制御することによって、ロボットハンド４０に把持させたウェハ２４を移動させることができる。
【００５９】
ロボットハンド４０は、オープナ２６がＦＯＵＰ２５を開いた状態で、ＦＯＵＰ２５のＦＯＵＰ内空間３４に侵入して、ＦＯＵＰ２５に収容されるウェハ２４を把持する。次に、ロボットハンド４０は、準備空間２９を通過して、半導体処理装置２２の処理空間３０に侵入して、把持したウェハ２４を、予め設定されるウェハ配置位置に移載する。またロボットハンド４０は、処理空間３０に侵入してウェハ配置位置に把持されるウェハ２４を把持する。次にロボットハンド４０は、準備空間２９を通過して、ＦＯＵＰ内空間３４に侵入して、把持したウェハ２４を、ＦＯＵＰ２５の収容位置に移載する。本実施の形態では、オープナ２６が３箇所設けられるので、３箇所のオープナ２６の各ＦＯＵＰ支持部３１に支持されるＦＯＵＰ２５それぞれに対して、ウェハ２４の出し入れ可能に設定される。
【００６０】
図５は、一部を切断して示すオープナ２６を示す側面図であり、図６は、オープナ２６を示す正面図である。また図７は、オープナ側ドア駆動機構６６を模式的に示す斜視図である。また図８は、図６の矢符Ａ８−Ａ８から見たオープナ２６を示す図であり、図９は、図６の矢符Ａ９−Ａ９から見たオープナ２６を示す図である。また図１０は、図６の矢符Ａ１０から見たオープナ２６を示す図である。
【００６１】
図５に示すように、正面壁２８ａは、板状に形成され、ウェハ２４が前後方向Ｘに通過可能なオープナ側開口３５が形成される。正面壁２８ａのうち厚み方向一方側の空間が準備空間２９となり、厚み方向他方側の空間が外方空間３３となる。オープナ側ドア６５は、正面壁２８ａに形成されるオープナ側開口部６８を閉鎖可能に構成される。
【００６２】
オープナ２６は、オープナ側開口部６８がＦＯＵＰ２５を載置して位置決めするテーブル部分６９と、テーブル部分６９を前後方向Ｘに移動させてテーブル部分６９に載置されるＦＯＵＰ２５をウェハ移載位置に位置決め移動させるＦＯＵＰ駆動手段７０とをさらに含む。ＦＯＵＰ駆動手段７０は、ＦＯＵＰ７０を前後方向Ｘに変位駆動するための基板容器駆動手段となる。ＦＯＵＰ駆動手段７０が、ＦＯＵＰ２５を乗載したテーブル部分６９を移動させることで、ＦＯＵＰ２５を正面壁２８ａに密着させたウェハ移載位置に位置決めした状態と、正面壁２８ａから離反させたＦＯＵＰ着脱位置に位置決めした状態とに切換え可能となる。
【００６３】
またオープナ側ドア６５は、ＦＯＵＰ側ドア６１をＦＯＵＰ本体６０に対して着脱可能に装着するラッチ機構を動作させたり、解除したりするための着脱機構を有する。着脱機構は、たとえば着脱用ラッチキーによって実現される。またオープナ側ドア６５は、ＦＯＵＰ本体６０から取外したＦＯＵＰ側ドア６１を把持するための把持機構を有する。把持機構は、たとえば吸着パットまたはＦＯＵＰ側ドア６１に嵌合する嵌合部によって実現される。
【００６４】
ＦＯＵＰ支持部３１は、正面壁２８ａに対して外方空間３３側に配置され、正面壁２８ａに隣接して形成される。ＦＯＵＰ支持部３１は、水平延びるテーブル部分６９を有し、テーブル部分６９にＦＯＵＰ２５を乗載することでＦＯＵＰ２５を支持する。ＦＯＵＰ支持部３１は、内部空間が形成され、内部空間にテーブル部分６９を変位駆動するＦＯＵＰ駆動手段７０が配置される。ＦＯＵＰ支持部３１は、ＦＯＵＰ駆動手段７０によって、テーブル部分６９を前後方向Ｘに移動させることで、テーブル部分６９に乗載されるＦＯＵＰ２５をウェハ移載位置およびＦＯＵＰ着脱位置に位置合わせすることができる。ここで、前後方向Ｘとは、正面壁２８ａの厚み方向であって、ウェハ２４を搬入および搬出する方向となり、水平または略水平な方向となる。
【００６５】
ウェハ移載位置に位置合わせされるＦＯＵＰ２５は、ＦＯＵＰ２５に形成されるＦＯＵＰ側開口部６２が正面壁２８ａに密着して、正面壁２８ａに形成されるオープナ側開口部６８に臨む位置に配置される。またＦＯＵＰ着脱位置に位置合わせされるＦＯＵＰ２５は、正面壁２８ａから後方方Ｘ２に離反して、ウェハ移載装置２３から着脱可能となる。
【００６６】
オープナ側ドア駆動機構６６は、オープナ側開口部６８を開放させる場合、オープナ側開口部６８を塞いだオープナ側ドア６５を、オープナ側開口３５から前後方向Ｘおよび上下方向Ｚに離反した開放位置に移動させる。またＦＯＵＰ２５が正面壁２８ａのウェハ移載位置に位置決めされた状態で、ＦＯＵＰ側ドア６１を把持したオープナ側ドア６５を開放位置に移動させることで、外方空間３３に対して密閉された状態に保って、ＦＯＵＰ内空間３４と準備空間２９とを連通させることができる。
【００６７】
またオープナ側ドア駆動機構６６は、オープナ側開口部６８を閉塞させる場合、開放位置に配置されるオープナ側ドア６５を、オープナ側開口部６８に対して前後方向Ｘおよび上下方向Ｚに近接させて、オープナ側開口部６８を塞ぐ閉鎖位置に移動させる。ＦＯＵＰ２５が正面壁２８ａのウェハ移載位置に位置決めされた状態で、ＦＯＵＰ側ドア６１を把持したオープナ側ドア６５を閉鎖位置に移動させることで、外方空間３３に対して密閉された状態に保って、ＦＯＵＰ内空間３４と準備空間２９との連通を解除させることができる。
【００６８】
ＦＯＵＰ内空間３４と準備空間２９との連通を解除すると、ＦＯＵＰ２５をＦＯＵＰ支持部３１から分離可能となる。このようにして半導体処理設備２０にウェハ２４を搬入するときと、半導体処理設備２０からウェハ２４を搬出するときに、ウェハ２４が外気に触れることを防ぐことができる。したがって処理されるウェハ２４は、大気中の塵埃粒子の付着が防がれる。
【００６９】
オープナ駆動機構６６は、可動体９５と、可動体駆動手段９４と、接続体９３と、リンク部材９２と、リンク部材角変位手段９１とを含んで構成される。可動体９５は、ＦＯＵＰ支持部３１に支持されるＦＯＵＰ２５の近傍を通過し、かつ前後方向Ｘに移動可能に構成される。本実施の形態では、可動体９５は、ＦＯＵＰ支持部３１のうちで、テーブル部分６９よりも下方の空間で前後方向Ｘに移動可能に構成される。またオープナ側ドア６５がオープナ側開口部６８を塞いだ状態で、可動体９５、可動体駆動手段９４、リンク部材９２およびリンク部材角変位手段９１は、ＦＯＵＰ支持部３１のテーブル部分６９よりも下方の空間となる内部空間に配置される。
【００７０】
図７および図８に示すように、ＦＯＵＰ支持部３１には、前後方向Ｘに延びるレール状の２つの案内部９０が間隔をあけて形成される。可動体９５は、各案内部９０に嵌合する嵌合部分８９が形成される。可動体９５の嵌合部分８９が各案内部９０に嵌合することで、可動体９５は、前後方向Ｘ以外に変位することが阻止されて、前後方向Ｘに移動可能に案内される。このように可動体９５は、ＦＯＵＰ支持部３１に支持される。
【００７１】
可動体駆動手段９４は、ＦＯＵＰ支持部３１に支持されて、可動体９５を前後方向Ｘに往復変位駆動する。本実施の形態では、可動体駆動手段９４は、前後方向Ｘに延びてＦＯＵＰ支持部３１に回転可能に支持されるねじ軸８８と、ねじ軸８８に螺合して可動体９５に固定される螺合部８７と、ねじ軸８８を回転駆動するためのモータ８６と、モータ８６の動力をねじ軸８８に伝達して、ねじ軸を回転させる動力伝達要素９９とを含んで構成される。本実施の形態では、螺合部８７とねじ軸とでボールねじ機構が構成される。また動力伝達機構９９は、モータの出力軸に固定される第１プーリと、ねじ軸８８に固定される第２プーリと、第１プーリと第２プーリとに巻回されるベルトとを含んでベルト動力伝達機構が実現される。モータ８６によってねじ軸８８を回転させることによって、ねじ軸８８に螺合する螺合部８７が前後方向Ｘに移動し、螺合部８７とともに可動部９５が前後方向Ｘに移動する。
【００７２】
本実施の形態では、ねじ軸８８を用いて可動体９５を移動させたが、可動体９５を前後方向Ｘに変位する構成は、他の構成であってもよい。たとえばエアシリンダ機構およびラックアンドピニオン機構などによって、可動体９５を前後方向Ｘに移動させてもよい。
【００７３】
図５、図９および図１０に示すように、接続体９３は、オープナ側ドア６５に固定される。接続体９３は、オープナ側ドア６５から前後方向Ｘに垂直な方向である下方Ｚ２に延びる。具体的には、接続体９３の上端部は、オープナ側ドア６５に接続され、接続体９３の下端部は、ＦＯＵＰ支持部３１の上面よりも下方に配置される。
【００７４】
図５および図７に示すように、リンク部材９２は複数設けられ、それら各リンク部材９２は、可動体９５と接続体９３とを連結して平行リンク機構を構成する。このように各リンク部材９２と、可動体９５と接続体９３とによって平行リンク機構が構成されるので、可動体９５に連結される接続体９３は、姿勢を維持した状態で可動体９５の角変位軸線Ｌ１まわりに回転可能となる。
【００７５】
本実施の形態では、角変位軸線Ｌは、前後方向Ｘに垂直な水平方向となる左右方向Ｙに延びる。またリンク部材９２は、２つ設けられる。２つのリンク部材９２は、平行に延びて、一端部に可動体９５が回転自在にピン結合され、他端部に接続体９３が回転自在にピン結合される。各リンク部材９２は、長さが等しく形成される。本実施の形態では、各リンク部材９２は、オープナ側ドア６５がオープナ側開口部６８を塞いだ状態で、水平に延びる。この場合、各リンク部材９２は、長手方向が前後方向Ｘとなり、幅方向が左右方向Ｙに延びる板状に形成される。
【００７６】
リンク部材角変位手段９１は、可動体９５の前後方向位置に応じて、予め定められる角度位置に、可動体９５に対する各リンク部材９２の角変位を規制する。図７および図９に示すように、リンク部材角変位手段９１は、係合部８５と規制部８４とを含んで構成される。係合部８５は、各リンク部材９２の少なくともいずれかに設けられる。また規制部８４は、係合部８５が係合し、可動体９５の前後方向位置に応じて係合部８５の角度位置を規制する。
【００７７】
係合部８５は、リンク部材９２の長手方向中間部分から角変位軸線Ｌ１と平行な方向に突出するピン部材によって実現される。規制部８４は、ＦＯＵＰ支持部３１に形成されて、係合部８５が嵌合するスリット溝である凹所が形成されることによって実現される。規制部８４の凹所は、長孔形状に形成されて前後方向Ｘに進むにつれて上下方向位置が変化する。また規制部８４の凹所は、係合部８５のうちで規制部８４に嵌合する嵌合部分よりもやや大きい寸法に設定される。係合部８５は、角変位軸線Ｌと平行に延びる。また規制部８４の凹所に嵌合した係合部８５は、規制部８４の凹所の延びる方向に移動可能に形成される。これによって可動体９５の移動を停止した状態では、規制部８４に係合部８５が嵌合することで、係合部８５が角変位軸線Ｌ１まわりに角変位することが阻止され、リンク部材９２の角変位量が予め定められる値に維持される。
【００７８】
規制部８４の凹所は、正面壁２８ａから最も離反した位置から、正面壁２８ａに近づくにつれて、予め定める設定距離Ａ進むまでは、前後方向Ｘに平行に延びる。凹所８４は、設定距離Ａを到達してからさらに前方Ｘ１に近づくにつれて下方Ｚ２に進む。本実施の形態では、設定距離Ａは、たとえば２５ｍｍに設定される。本実施の形態では、係合部８５は、リンク部材９２の両側にそれぞれ突出する。また規制部８４の凹所は、リンク部材９２の両側にそれぞれ形成され、２つの係合部８５がそれぞれ嵌合する。
【００７９】
図１１は、可動体９５の前後方向移動に連動したリンク部材９２の角変位状態を示す図である。図１１は、理解を容易にするために、オープナ２６の構成の一部を省略して示す。また図１１は、可動体９５とリンク部材９２とが連結される連結点８０の移動位置８０ａ〜８０ｄに応じた、各要素の位置を添え字ａ〜ｄによって表わす。添え字ａから添え字ｄに進むにつれて、可動体９５が前方Ｘ１に進む。上述したように接続体９３は、前後方向Ｘに移動可能な可動体９５に連結されるとともに、可動体９５に対して角変位軸線Ｌ１まわりに角変位可能に構成される。したがって可動体９５の前後方向位置と、可動体９５に対するリンク部材９２の角変位軸線Ｌ１まわりの角度を決定することによって前後方向Ｘおよび上下方向Ｚの任意の位置に、接続部９３を配置することができる。本実施の形態では、可動体９５の前後方向移動に応じて、接続体９３が予め定める移動軌跡を移動するように、リンク部材角変位手段９１によって、可動体９５の前後方向移動に連動させて、可動体９５に対するリンク部材９２の角度を位置決めする。
【００８０】
可動体９５とリンク部材９２とが連結される連結点８０を、可動体９５の基準位置とする。オープナ側ドア６５の把持するＦＯＵＰ側ドア６１が、ＦＯＵＰ本体６０を塞いだ閉鎖状態において、可動体９５が位置する閉鎖位置Ｐ１と、閉鎖位置Ｐ１から可動体９５が前方Ｘ１に予め定める設定距離Ａ移動した離間位置Ｐ２との間Ｃ１を、可動体９５が前後方向Ｘに移動するにあたって、接続体９３が前後方向Ｘに移動するように、可動体９５に対するリンク部材９２の角変位を規制する。また前記離間位置Ｐ２よりも前方Ｘ１となる退避領域Ｃ２を、可動体９５が前後方向Ｘに移動するにあたって、接続体９３が上下方向Ｚに移動するように、可動体９５に対するリンク部材９２の角変位を決定する。
【００８１】
本実施の形態では、可動体９５が位置する閉鎖位置Ｐ１と、閉鎖位置Ｐ１から可動体９５が前方Ｘ１に予め定める距離Ａ移動した離間位置Ｐ２との間Ｃ１では、リンク部材角変位手段９１は、可動体９５に対するリンク部材９２の角度θを一定または略一定に保つ。これによって接続体９３を前後方向Ｘに移動させることができる。また退避領域Ｃでは、リンク部材角変位手段９１は、可動体９５が前方Ｘ１に移動するのに応じて、可動体９５に対するリンク部材９２の角度を大きくし、可動体９５が後方Ｘ２に移動するのに応じて、可動体９５に対するリンク部材９２の角度を小さくする。
【００８２】
たとえば閉鎖位置Ｐ１から前後方向移動を停止すべき接続体９３の位置までの前後方向距離をＥ１とする。閉鎖位置Ｐ１から可動体９５の位置までの前後方向距離をＥ２とし、リンク部材９２の長さをＦとする。この場合、可動体９５に対するリンク部材９２の角度θが、Ｃｏｓ−１（（Ｅ１−Ｅ２）／Ｆ）となるように、リンク部材９２の角度を位置決めする。これによって可動体９５を前後方向Ｘに移動させた場合に、接続体９３をＥ２の前後方向位置に維持した状態で、接続体９３を上下方向Ｚに移動させることができる。ここでＣｏｓ−１は、逆コサイン三角関数であってアークコサインを示す。また角度は、水平面からリンク部材９２が下方Ｚ２に角変位する方向を正とする。たとえば図１１において、可動体９５の連結点８０がＥ２ｃ位置に存在する場合における可動体９５に対するリンク部材９２の角度θｃは、Ｃｏｓ−１（（Ｅ１−Ｅ２ｃ）／Ｆ）となるように、リンク部材９２の角度を位置決めする。
【００８３】
可動体９５が、閉鎖位置Ｐ１から前方Ｘ１に移動することによって、接続体９３が前方Ｘ１に移動する。可動体９５が閉鎖位置Ｐ１から設定距離Ａ移動して離間位置Ｐ２に達したあと、さらに前方Ｘ１に移動することによって、接続体９３は、水平に移動しつつ徐々に垂直下方に移動した後、完全に垂直または垂直に近い軌跡を移動して、下方Ｚ２に移動する。また可動体９５が、退避領域Ｃ２から後方Ｘ２に移動することによって、接続体９３が上方Ｚ１に移動して、垂直上方に移動しつつ徐々に水平に移動する。そして完全に水平または水平に近い軌跡を移動して、可動体９５が離間位置Ｐ２に達したあと、さらに後方Ｘ２に移動することによって、接続体９３が後方Ｘ２に移動する。接続体９３と一体に固定されるオープナ側ドア６５もまた接続体９３と同じ形状の軌跡を移動する。図１１には、接続体９３の移動軌跡を９８ａで示し、オープナ側ドアの移動軌跡を９８ｂで示す。
【００８４】
図１２は、オープナ側ドア６５の開閉動作を示す図である。図１２（１）は、オープナ側ドア６５が、オープナ側開口部６８を閉鎖した状態を示す。図１２（２）は、オープナ側ドア６５が、オープナ側開口部６８から離間した状態を示す。図１２（３）は、オープナ側ドア６５が、オープナ側開口部６８を開放した状態を示す。
【００８５】
図１２（１）に示すように、オープナ側ドア６５がオープナ側開口部６８を塞いだ状態から、可動体９５が前後方向Ｘに移動して予め定める設定距離Ａに移動するまでは、リンク部材角変位手段９１によって可動体９５に対するリンク部材９２の角変位が阻止される。各リンク部材９２の角変位が阻止されることで、接続体９３は、可動体９５の移動とともに前後方向Ｘに移動する。したがってオープナ側ドア６５もまた、接続体９３とともに前後方向Ｘに移動する。これによってオープナ側ドア６５は、正面壁２８ａから前方Ｘ１に平行に移動して、正面壁２８ａから離間する。
【００８６】
図１２（２）に示すように、可動体９５が正面壁２８ａに近接して予め前方Ｘ１に定める設定距離Ａに移動した離間位置から、可動体９５がさらに前方Ｘ１に移動すると、可動体９５の移動にともなって、リンク部材角変位手段９１によって可動体９５に対する各リンク部材９２の角度が徐々に大きくなる。各リンク部材９２の角変位が大きくなることで、接続体９３は、可動体９５の移動とともに、可動体９５に対して角変位軸線Ｌまわりに角変位移動する。本実施の形態では、リンク部材角変位手段９１による角度が調節されることで、接続体９３は、ＦＯＵＰ支持部３１に対して下方Ｚ２に移動する。これによってオープナ側ドア６５もまた、接続体９３とともに下方Ｚ２に移動する。したがって図１２（３）に示すように、オープナ側ドア６５は、正面壁２８ａから前方Ｘ１に離間した状態から、下方Ｚ２に移動して正面壁２８ａから離反する。オープナ側ドア６５がＦＯＵＰ側ドア６１を把持した状態で、上述したように開放動作を行うことによって、ＦＯＵＰ本体６０から取外したＦＯＵＰ側ドア６１を準備空間２９に引込み、ＦＯＵＰ側ドア６１を下方Ｚ２に移動させて、ＦＯＵＰ内空間４３と、準備空間２９とを連通して、ＦＯＵＰ本体６０を開くことができる。
【００８７】
同様にして、可動体９５が正面壁２８ａに最近接した位置から後方Ｘ２に離反する場合には、オープナ側ドア６５は、接続体９３とともに上方Ｚ１に進んで、正面壁２８ａに近接する。さらに可動体９５が正面壁２８ａから後方Ｘ２に離反すると、オープナ側ドア６５は、後方Ｘ２に移動して正面壁２８ａのオープナ開口部６８を塞ぐ。オープナ側ドア６５がＦＯＵＰ側ドア６１を把持した状態で、上述したように閉鎖動作を行うことによって、ＦＯＵＰ本体６０から取外したＦＯＵＰ側ドア６１を再びＦＯＵＰ本体６０に当接させることができ、ＦＯＵＰ本体６０を閉じることができる。
【００８８】
また可動体９５と接続体９３とは平行リンク機構を構成する複数のリンク部材９２に連結されることによって、接続体９３は、姿勢を一定に保ちながら進む。このような本実施の形態のオープナ側ドア駆動機構６６によって、オープナ側ドア６５は、姿勢を維持した状態で、前後方向Ｘおよび上下方向Ｚに移動させることができる。
【００８９】
以上のようにリンク部材角変位手段９１は、オープナ側ドア６５がオープナ側開口部６８を塞いだ閉鎖状態から、可動体９５が前方Ｘ１に予め定める設定距離Ａ移動するまで、可動体９５に対するリンク部材９２の角度を一定に保つ。またリンク部材角変位手段９１は、可動体９５が設定距離Ａに達した離間位置から前方Ｘ１にさらに移動するにともなって可動体９５に対するリンク部材９２の角度を大きくする。これによって可動体９５を前後方向Ｘに移動させることで、オープナ側ドア６５を水平方向および鉛直方向に移動させることができ、オープナ側ドア６５が把持するＦＯＵＰ側ドア６１によってＦＯＵＰ本体６０を開閉することができる。ここで、設定距離Ａは、ＦＯＵＰ側ドア６１を把持するオープナ側ドア６５が、正面壁２８ａから下方Ｚ２に移動する場合に、ＦＯＵＰ側ドア６１等が正面壁２８ａなどと干渉することが防がれる距離に設定される。たとえば設定距離Ａは、正面壁２８ａの厚み方向寸法と、ＦＯＵＰ側ドア６１の厚み方向寸法とを加算した値よりも大きく設定される。
【００９０】
本実施の形態によれば、可動体９５と接続体９３とは平行リンク機構を構成する複数のリンク部材９２に連結されることによって、接続体９３に固定されるオープナ側ドア６５およびオープナ側ドア６５に把持されるＦＯＵＰ側ドア６１は、姿勢を一定に保ちながら移動する。また本実施の形態では、オープナ側ドア６５に把持されるＦＯＵＰ側ドア６１を、前後方向Ｘに変位移動させることができるとともに、可動体９５の角変位軸線Ｌまわりに角変位移動させることができ、角変位軸線Ｌに垂直な平面内で２方向に移動させて、容器本体を開閉することができる。
【００９１】
可動体駆動手段９４によって、可動体９５を前後方向Ｘに移動させることで、オープナ側ドア６５に把持されるＦＯＵＰ側ドア６１を、前後方向Ｘと上下方向Ｚとに移動させることができ、ＦＯＵＰ本体６０からＦＯＵＰ側ドア６１を近接および離反させて、ＦＯＵＰ本体６０の開閉動作を行わせることができる。可動体９５は、前後方向Ｘに移動させても、ＦＯＵＰ支持部３１に支持されるＦＯＵＰ２５の近傍を移動させることができ、ＦＯＵＰ支持部３１から離反した位置に可動体９５を移動させる機構を設ける必要がない。このように本実施の形態では、ＦＯＵＰ支持部３１の近傍にオープナ側ドア駆動機構６６を配置することができ、オープナ２６を小形化することができる。またＦＯＵＰ支持部３１から離反した空間を有効利用することができる。
【００９２】
可動体９５が閉鎖位置Ｐ１と離間位置Ｐ２との間を移動する間Ｃ１には、ＦＯＵＰ側ドア６５は、移動方向を分解した成分のうちの全てまたは大部分が前後方向Ｘ成分となる。これによってＦＯＵＰ側ドア６１がＦＯＵＰ本体６０に対して前後方向Ｘに近接および離反するときに、ＦＯＵＰ本体６０の開口部６２および正面壁２８ａなどと、ＦＯＵＰ側ドア６１とが干渉することを防ぐことができ、ＦＯＵＰ側ドア６１をＦＯＵＰ本体６０から円滑に近接および離反させることができる。
【００９３】
また可動体９５が退避領域を前後方向Ｘに移動する間Ｃ２には、ＦＯＵＰ側ドア６１は、ＦＯＵＰ本体６０に対して上下方向Ｚに近接または離反する。これによってＦＯＵＰ側ドア６１がＦＯＵＰ本体６０から離間した状態で、前後方向Ｘに移動することを抑えることができ、ＦＯＵＰ側ドア６１の動作領域を前後方向Ｘに小さくすることができ、ＦＯＵＰ本体６０を開閉するために必要な可動空間の前後方向寸法を小さくすることができる。これによってＦＯＵＰ側ドア６１およびオープナ側ドア６５が、基板移載装置２３に配置される他の装置、たとえば基板搬送用のロボットなどに干渉することを防ぐことができる。
【００９４】
またＦＯＵＰ本体６０を開放する場合、ＦＯＵＰ側ドア６１は、水平または水平に近い軌跡を描きながらＦＯＵＰ本体６０から離間し、離間後、鉛直または鉛直に近い軌跡を描きながらＦＯＵＰ本体６０から離反する。またＦＯＵＰ本体６０を閉鎖する場合、ＦＯＵＰ側ドア６１は、ＦＯＵＰ本体６０から離間した状態で、鉛直または鉛直に近い軌跡を描きながらＦＯＵＰ本体６０に近接し、近接後、水平または水平に近い軌跡を描きながらＦＯＵＰ本体６０に当接する。このようにＦＯＵＰ側ドア６１を、ＦＯＵＰ本体６０よりも下方に移動させてＦＯＵＰ本体６０を開放することで、上方から下方に気体が流れることで、ＦＯＵＰ内空間３４または準備空間２９などに塵埃粒子が付着するおそれを少なくすることができ、基板搬入および搬出時に基板が汚染されることを防ぐことができる。
【００９５】
また本実施形態によれば、ＦＯＵＰ支持部３１が、可動体駆動手段９４、リンク部材角変位手段９１および可動体９５を支持することで、可動体駆動手段９４および可動体９５を支持する部分を別途形成する必要がなく、オープナ２６の部品点数を低減することができる。これによってさらにオープナ２６を小形化することができるとともに、構造を簡単化することができ、オープナ２６の製造コストを低下させることができる。たとえばＦＯＵＰ支持部３１にオープナ側ドア駆動機構６６を構成する各要素部品を支持させることによって、オープナ２６に形成される正面壁２８ａに、オープナ側ドア駆動機構６６の各要素部品を固定支持させる必要がなく、正面壁２８ａを小形化するとともに、正面壁２８ａの剛性を低下させることができ、オープナ２６の製造コストを低減することができる。
【００９６】
また本実施形態によれば、係合部８５と規制部８４とを含んでリンク部材角変位手段９１が構成されることによって、別途駆動源を必要とすることなく、可動体９５に対するリンク部材９２の角変位を規制することができる。これによって可動体駆動手段９４によって、可動体９５を前後方向Ｘに移動させるだけで、その可動体９５の移動に連動させてリンク部材９２を角変位させることができる。これによってオープナ２６の構成をさらに簡単化することができ、部品点数を低減することができる。
【００９７】
また本実施の形態では、ＦＯＵＰ支持部３１に形成される内部空間に、可動体駆動手段９４、リンク部材角変位手段９１および可動体９５が配置されることで、可動体駆動手段９４、リンク部材角変位手段９１および可動体９５を覆うカバー体を別途形成する必要がなく、部品点数を低減することができる。これによってさらにオープナ２６を小形化することができるとともに、構造を簡単化することができる。
【００９８】
図１３は、本実施の形態のオープナ２６と、比較例のオープナ１２６とを比較する図である。図１３（１）は、本実施の形態のオープナ２６を示し、図１３（２）は、比較例のオープナ１２６を示す。比較例のオープナ１２６は、オープナ側ドア１６５に接続される接続体１９３を上下方向Ｚに移動させるねじ軸１８８が上下方向Ｚに延びる。比較例のオープナ１２６について、本実施の形態と対応する構成については、参照符号に１００を記載して説明を省略する。
【００９９】
本実施の形態のオープナ２６は、可動体９５がフープ支持部３１の内部空間に収容される。これによって図１３（２）に示す比較例のオープナ１２６に比べて、水平方向寸法を小形化することができる。また比較例のオープナ１２６のように、ねじ軸１８８および接続体１９３を案内する案内手段を正面壁１２８ａで支持する必要がないので、正面壁２８ａを小形化することができ、製造コストを極めて安価に構成することができる。またＦＯＵＰ支持部３１の下方に作業者が侵入可能なドアを設けることができ、このドアを設けることによってメンテナンスを容易に行うことができる。また可動体９３が閉鎖位置Ｐ１に移動した状態で、リンク部材９２が水平に延びるので、閉鎖状態でのオープナ２６をさらに小形化することができる。
【０１００】
図１４は、本実施の形態のオープナ２６と、比較例のオープナ１２６とを比較する図である。図１４（１）は、本実施の形態のオープナ２６を示し、図１４（２）は、比較例のオープナ１２６を示す。本実施の形態のオープナ２６は、ＦＯＵＰ支持部３１に対して上下方向に近接した位置にオープナ側ドア駆動機構６６を配置することができるので、ＦＯＵＰ支持部３１から離反した空間７５を有効利用することができる。これに対して、比較例のオープナ１２６では、移動体１９３を移動させる駆動手段と、移動体１９３を案内する案内手段とをＦＯＵＰ支持部１３１から離反した位置に配置する必要があり、ＦＯＵＰ支持部３１から離反した空間７６を有効利用することができない。本実施の形態では、たとえばＦＯＵＰ支持部３１から離反した位置にロボットコントローラ４４、ウェハ移載装置であるＥＦＥＭに必要なデバイス、メンテナンス材料９７などを配置することができる。
【０１０１】
図１５は、オープナ２６の下方の空間にメンテナンス用ドア９６を設けた状態を示すウェハ移載装置である。図１５（１）は、ドア９６を閉じた状態を示す。また図１５（２）は、メンテナンス用ドア９６を開いた状態を示す。
【０１０２】
本実施形態によれば、オープナ２６の下方の空間７６に、ロボットコントローラ４４、ウェハ移載装置であるＥＦＥＭに必要なデバイス、メンテナンス材料９７などを配置することで、作業者は、メンテナンス用ドア９６を開けることで、準備空間２９に深く侵入しなくとも、ウェハ移載装置の調整およびメンテナンスを行うことができる。これによって作業者が準備空間２９に侵入することに起因する汚染を抑えることができ、準備空間２９のクリーン度を回復するのに必要な時間を短縮することができ、作業効率を向上することができる。また調整およびメンテナンスに必要な、操作機器などをオープナ２６の下方に集めることで、基板移載装置の調整およびメンテナンス作業を容易に行うことができる。
【０１０３】
図１６は、本発明の第２実施形態であるオープナ２２６を示す図である。他の実施の形態のオープナ２２６は、接続部９３の移動軌跡が異なるほかは、第１実施形態と同様である。同様の構成については、同様の参照符号を付して説明を省略する。
【０１０４】
第１実施形態のオープナ２６は、ＦＯＵＰ開放時において、接続部９３を水平方向に移動させたあと、下方Ｚ２に移動させるとしたがこれに限定されない。第２実施形態では、リンク部材角変位手段９１は、可動体９３が閉鎖位置Ｐ１と離間位置Ｐ２との間を、可動体９３が前後方向Ｘに移動するにあたって、接続体９３を略水平な曲線軌跡を描くように、リンク部材９２の角度を規制する。また前記離間位置Ｐ１よりも前方Ｘ１となる退避領域を、可動体９３が前後方向Ｘに移動するにあたって、接続部９３を略垂直な曲線軌跡を描くように、リンク部材９２の角度を規制する。
【０１０５】
具体的には、可動体９５が閉鎖位置Ｐ１と離間位置Ｐ１との間Ｃ１を前方Ｘ１に移動する場合には、接続体９３は、前方Ｘ１に移動するとともに下方Ｚ２に移動する。その移動方向の成分のうちで、前方Ｘ１に移動する成分が多く、下方Ｚ２に移動する成分が少ない。また可動体９５が退避領域Ｃ２を前方Ｘ１に移動する場合には、接続体９３は、前方Ｘ１に移動するとともに下方Ｚ２に移動する。その移動方向の成分のうちで、前方Ｘ１に移動する成分が少なく、下方Ｚ２に移動する成分が多い。このように第２実施形態の接続部９３は、楕円弧に沿う軌跡に沿って移動する。規制部８４の凹所の形状を設定することによって、接続部９３の移動経路を容易に変更することができる。
【０１０６】
図１７は、接続部９３の移動軌跡９８の一例を示す図である。図１７（１）は、第２実施形態での接続部９３の移動軌跡９８を示し、図１７（４）は、第１実施形態の接続部９３の移動軌跡９８を示す。接続部９３の移動軌跡は、このように曲線状に変化してもよく、折れ線状に変化してもよく、また図示していないが波線状に変化してもよい。
【０１０７】
リンク部材角変位手段９１は、閉鎖位置Ｐ１と離間位置Ｐ１との間Ｃ１を、可動体９５が前後方向Ｘに移動するにあたって、接続体９３の移動方向を分解した成分のうちで、少なくとも前後方向Ｘ成分が存在するように、可動体９５に対するリンク部材９２の角変位を規制する。またリンク部材角変位手段９１は、離間位置Ｐ２よりも前方Ｘ１となる退避領域Ｃ２を、可動体９５が前後方向Ｘに移動するにあたって、接続体９３の移動方向を分解した成分のうちで、少なくとも前後方向Ｘに垂直な垂直方向成分が存在するように、可動体９５の移動に連動して、リンク部材９２を可動体９５に対しての角変位させる。これによって各ドア６１，６５が正面壁２８ａなどに干渉することを防ぐとともに、正面壁２８ａから不所望に前方Ｘ１に離反することを防ぐことができ、各ドア６１，６５の可動範囲をコンパクトにして、準備空間２９に配置することができる。
【０１０８】
図１８は、他の実施形態のリンク部材角変位手段９１の一部を示す図である。上述したリンク部材角変位手段９１は、ピン部材８５が凹所８４に嵌合することによって、リンク部材９２の角変位を阻止される構造としたが、本発明はこれに限定されない。たとえば図１８（１）に示すように、規制部１８５は、断面積が一様な柱状のレール部材で形成され、係合部１８４が前記レール部材を軸線まわりに一周するリング部材によって形成されてもよい。
【０１０９】
また図１８（２）に示すように、規制部２８５がレール状に形成されて対向する２つの面にそれぞれレール溝が形成されるレール部材で形成され、係合部２８４が規制部２９５のレール溝を両側から挟む形状に２つの挟持体によって形成されてもよい。また図１８（３）に示すように、各ドア６１，６５が自重を有するので、規制部３８５が、上面が曲面に形成される形状であってもよい。このように係合部８４，１８４，２８４，３８５が、規制部８５，１８５，２８５，３８５に案内されて、前後方向Ｘに移動自在な状態で、前後方向Ｘに垂直な方向に対する変位が規制されることによって、リンク部材角変位手段９１を実現することができる。
【０１１０】
また図１８（４）に示すように、リンク部材角変位手段９１は、リンク部材９２を角変位するためのモータと、モータの動力をリンク部材９２に伝達する動力伝達機構とを備えている構成でもよい。この場合、可動体９５の移動量に応じて、モータによってリンク部材９２を予め定める量だけ角変位することによって、同様の効果を得ることができる。またモータによってリンク部材９２を角変位することで、ドアを開放する場合と、ドアを閉鎖する場合とで、接続部９３の移動経路を異ならせることもできる。
【０１１１】
図１９は、他の実施形態のリンク部材角変位手段９１を簡略化して示す図である。オープナ２６は、ＦＯＵＰ支持部３１が乗載されるテーブル部分６９を前後方向Ｘに移動するＦＯＵＰ駆動手段７０を有する。ＦＯＵＰ駆動手段７０は、ロボットまたは作業者などによってＦＯＵＰ２５がＦＯＵＰ支持部３１のテーブル部分６９に配置された状態で、テーブル部分６９を正面壁２８ａに向かって前後方向Ｘに移動し、ＦＯＵＰ２５と正面壁２８ａとを密着させる。またＦＯＵＰ２５と正面壁１８ａとが密着した状態から解除する。
【０１１２】
テーブル部分６９と前記可動体９５とは、前後方向Ｘが同じ方向であるので、本実施の形態では、オープナ２６は、１つの駆動手段によって、テーブル部分６９と前記可動体９５とのいずれかを移動させるかを切換える切換手段７５を有する。これによって１つの駆動手段によって、テーブル部分６９と可動体９５を選択的に前後方向Ｘに移動させることができる。
【０１１３】
たとえば駆動手段７０は、移動体７３を前後方向Ｘに移動させる。移動体７３には、前後方向Ｘに略垂直な方向にピン部７１を２方向に選択的に突出するデュアル式のエアシリンダ７５が搭載される。図１９（１）に示すように、エアシリンダ７５が、ピン部７１を第１方向に突出させて、ピン部７１を可動体９５に嵌合させることによって、移動体７３とともに可動体９５を前後方向Ｘに移動させることができる。また図１９（２）に示すように、エアシリンダ７５が、ピン部７１を第２方向に突出させて、テーブル部分６９に嵌合させることによって、移動体７３とともにテーブル部分６９を前後方向Ｘに移動させることができる。
【０１１４】
本実施の形態では、可動体９５を移動させる駆動手段をＦＯＵＰ支持部３１近傍に設けることができるので、ＦＯＵＰ支持部３１に設けられる他の駆動手段と、可動体駆動手段を兼用した構成とすることができる。テーブル部分６９などを介してＦＯＵＰ２５を前後方向Ｘに移動させる基板容器駆動手段を用いて可動体駆動手段を実現することで、可動体を変位駆動させるための駆動源と、基板容器を変位駆動させるための駆動源との２つの駆動源を用いる必要がなく、１つの駆動源によって、基板容器駆動手段と可動体駆動手段とを実現することができ、基板容器オープナの駆動源の数を低減することができる。このようにＦＯＵＰ支持部３１に設けられる他の駆動手段で、可動体駆動手段を兼用することによって、駆動手段の数を減らすことができ、構造を簡単化することができるとともに、設計の自由度を高めることができる。またオープナ２６を小形化することができるとともに、構造を簡単化することができる。
【０１１５】
上述した本実施の形態は、本発明の例示に過ぎず発明の範囲内で構成を変更することができる。たとえば本実施の形態では、対象基板として半導体ウェハ２４について説明したが、半導体ウェハ以外の基板、たとえばＦＰＤ（Flat Panel Display）に用いられるガラス基板などであっても同様の効果を達成することができる。また移動軌跡についても、図１７に示す軌跡以外であってもよい。また基板容器としてＦＯＵＰ２５を用いたが、ＦＯＳＢ（Front Opening Shipping Box）であってもよい。また本実施の形態では、接続部９３を水平または略水平に動作させればよく、可動体９５は、水平に移動しなくてもよい。また本実施の形態では、ＦＯＵＰ支持部３１の下方Ｚ２に可動体９５が配置されたが、ＦＯＵＰ支持部３１の上方Ｚ１または左右方向Ｙに可動体９５が配置されてもよい。またリンク部材９２についても、２つ以上のリンク部材によって平衡リンク機構が形成されてもよい。またリンク部材が左右方向Ｙに細く形成され、準備空間２９とＦＯＵＰ支持部３１内を仕切る仕切り壁に形成されるスリット溝を通過して、準備空間２９とＦＯＵＰ支持部３１とにわたって延びてもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１１６】
【図１】本発明の第１実施形態である半導体処理設備２０を切断して示す断面図である。
【図２】半導体処理設備２０を示す斜視図である。
【図３】図１の矢符Ａ３−Ａ３切断面線から切断して半導体処理設備２０を示す断面図である。
【図４】ＦＯＵＰ２５を示す斜視図である。
【図５】一部を切断して示すオープナ２６を示す側面図である。
【図６】オープナ２６を示す正面図である。
【図７】オープナ側ドア駆動機構６６を模式的に示す斜視図である。
【図８】図６の矢符Ａ８−Ａ８から見たオープナ２６を示す図である。
【図９】図６の矢符Ａ９−Ａ９から見たオープナ２６を示す図である。
【図１０】図６の矢符Ａ１０から見たオープナ２６を示す図である。
【図１１】可動体９５の前後方向移動に連動したリンク部材９２の角変位状態を示す図である。
【図１２】オープナ側ドア６５の開閉動作を示す図である。
【図１３】本実施の形態のオープナ２６と、比較例のオープナ１２６とを比較する図である。
【図１４】本実施の形態のオープナ２６と、比較例のオープナ１２６とを比較する図である。
【図１５】オープナ２６の下方の空間にメンテナンス用ドア９６を設けた状態を示すウェハ移載装置である。
【図１６】本発明の第２実施形態であるオープナ２２６を示す図である。
【図１７】接続部９３の移動軌跡９８の一例を示す図である。
【図１８】他の実施形態のリンク部材角変位手段９１の一部を示す図である。
【図１９】他の実施形態のリンク部材角変位手段９１を簡略化して示す図である。
【図２０】従来技術の半導体処理設備１の一部を切断して示す断面図である。
【０１１７】
【図２１】従来技術のオープナ６を示す断面図である。
【符号の説明】
【０１１８】
２０  半導体処理設備
２１  搬送系ユニット
２２  ウェハ処理装置
２３  ウェハ移載装置
２４  ウェハ
２５  ＦＯＵＰ
２６  オープナ
２８ａ  正面壁
３１  ＦＯＵＰ支持部
３４  ＦＯＵＰ側開口
３５  オープナ側開口
６０  ＦＯＵＰ本体
６１  ＦＯＵＰ側ドア
６２  ＦＯＵＰ側開口部
６５  オープナ側ドア
６６  オープナ側駆動機構
９１  リンク部材角変位手段
９２  リンク部材
９３  接続体
９４  可動体駆動手段
９５  可動体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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