(57)【要約】【課題】長尺状感光性ウエブに形成された加工部位の位置を簡易な構成で高精度に検出することができるとともに、高品質な感光性積層体を効率的に製造することのできる感光性積層体の製造装置及び製造方法を提供する。【解決手段】ロータリエンコーダ５１によってカウントされたパルス数が所定の規定パルス数となった時点でＣＣＤカメラ７２を駆動してハーフカット部位３４ａの画像を撮影し、位置ずれ量算出部１２８において、基準位置に対するハーフカット部位３４ａの位置ずれ量を算出する。制御パルス補正部１３２は、前記位置ずれ量に従って基板間送り量を補正し、貼り付け機構における長尺状感光性ウエブの基板間送り量を調整した後、貼り付け機構にガラス基板を搬入してラミネート処理を行う。【選択図】図５
2008213150.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層されてなる長尺状感光性ウエブを送り出し、前記保護フイルムの剥離部分と残存部分との境界位置に対応する加工部位を、前記保護フイルムから前記感光材料層に至る部分に形成し、前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離した後、所定の間隔で供給される基板とともに前記長尺状感光性ウエブを加熱された一対の圧着ローラ間に連続的に送り出し、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置するとともに、露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付けることで感光性積層体を製造する感光性積層体の製造装置において、
前記加工部位が形成された前記長尺状感光性ウエブの送り量を計測する送り量計測部と、
前記加工部位を形成する加工部と前記圧着ローラとの間における前記長尺状感光性ウエブの搬送路中に配置され、基準位置に対する前記加工部位の位置ずれ情報を取得する位置ずれ情報取得部と、
前記位置ずれ情報を取得するため、計測された前記送り量が所定の設定送り量となった時点で前記位置ずれ情報取得部を付勢する付勢部と、
取得した前記位置ずれ情報に基づき、前記長尺状感光性ウエブの前記圧着ローラに対する送り量を補正する送り量補正部と、
を備えることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
【請求項２】
請求項１記載の製造装置において、
前記位置ずれ情報取得部は、前記加工部位を含む前記長尺状感光性ウエブの画像を撮影するカメラを備えることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
【請求項３】
請求項２記載の製造装置において、
前記付勢部は、前記カメラのシャッタを制御するシャッタ制御部からなることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
【請求項４】
請求項２記載の製造装置において、
前記カメラと前記長尺状感光性ウエブとの間に、前記基準位置を規定する基準片を配設し、前記カメラは、前記加工部位及び前記基準片を含む画像を撮影することを特徴とする感光性積層体の製造装置。
【請求項５】
請求項１記載の製造装置において、
前記送り量補正部による補正条件を設定する補正条件設定部を備えることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
【請求項６】
支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層されてなる長尺状感光性ウエブを送り出し、前記保護フイルムの剥離部分と残存部分との境界位置に対応する加工部位を、前記保護フイルムから前記感光材料層に至る部分に形成し、前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離した後、所定の間隔で供給される基板とともに前記長尺状感光性ウエブを加熱された一対の圧着ローラ間に連続的に送り出し、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置するとともに、露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付けることで感光性積層体を製造する感光性積層体の製造方法において、
前記加工部位が形成された前記長尺状感光性ウエブの送り量を計測するステップと、
前記加工部位を形成する加工部と前記圧着ローラとの間における前記長尺状感光性ウエブの搬送路中において、計測された前記送り量が所定の設定送り量となった時点で、基準位置に対する前記加工部位の位置ずれ情報を取得するステップと、
取得した前記位置ずれ情報に基づき、前記長尺状感光性ウエブの前記圧着ローラに対する送り量を補正するステップと、
からなることを特徴とする感光性積層体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板と、支持体上に感光材料層が設けられた長尺状感光性ウエブとを一対の圧着ローラ間に送り出し、前記感光材料層を前記基板に貼り付けることで感光性積層体を製造する感光性積層体の製造装置及び製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、ＰＤＰパネル用基板は、感光性樹脂層（感光材料層）を有する感光性シート体（感光性ウエブ）を基板表面に貼り付けて構成される。感光性シート体は、例えば、可撓性プラスチック支持体上に感光性樹脂層と保護フイルムとが順に積層されている。
【０００３】
この種の感光性シート体の貼り付けに使用される製造装置は、通常、ガラス基板や樹脂基板等の基板を所定の間隔ずつ離間させてラミネーションローラ間に搬送するとともに、前記基板に貼り付けられる感光性樹脂層の範囲に対応する保護フイルムを剥離した感光性シート体を前記ラミネーションローラ間に搬送する方式が採用されている。
【０００４】
例えば、特許文献１に開示されている製造装置では、図１１に示すように、フイルムロール１から繰り出される積層体フイルム（感光性シート体）１ａは、ガイドローラ２ａ、２ｂに巻き付けられて水平のフイルム搬送面に沿って延在している。このガイドローラ２ｂには、積層体フイルム１ａの送り量に応じた数のパルス信号を出力するロータリエンコーダ３が取り付けられている。
【０００５】
水平のフイルム搬送面に沿って延在する積層体フイルム１ａは、サクションローラ４に巻き掛けられるとともに、前記ガイドローラ２ｂと前記サクションローラ４との間には、ハーフカッタ装置５とカバーフイルム剥離装置６とが設けられている。
【０００６】
ハーフカッタ装置５は、積層体フイルム１ａの搬送方向に所定間隔離間する一対のディスクカッタ５ａ、５ｂを備えている。ディスクカッタ５ａ、５ｂは、積層体フイルム１ａのフイルム幅方向に沿って移動することにより、図１２に示すように、前記積層体フイルム１ａのカバーフイルム（図示せず）における剥離部分Ａと残存部分Ｂとの間の２個所の境界部分１４ａ、１４ｂを、支持フイルムを残した状態で感光性樹脂層（図示せず）とともに切断する。
【０００７】
カバーフイルム剥離装置６は、粘着テープロール７から繰り出される粘着テープ７ａを押圧ローラ８ａ、８ｂ間でカバーフイルムの剥離部分Ａに強く圧着させた後、巻き取りロール９によって巻き取る。これにより、カバーフイルムの剥離部分Ａは、感光性樹脂層から剥離されて粘着テープ７ａと共に巻き取りロール９に巻き取られる。
【０００８】
サクションローラ４の下流には、基板搬送装置１０によって所定の間隔で搬送される複数の基板１１の上面に、カバーフイルムの剥離された積層体フイルム１ａの剥離部分Ａを重ねて圧着する一対のラミネーションローラ１２ａ、１２ｂが配設されている。このラミネーションローラ１２ａ、１２ｂの下流側には、支持フイルム巻き取りロール１３が配置されている。感光性樹脂層に貼り付けられている支持フイルム（図示せず）は、基板１１に感光性樹脂層を残存させた状態でカバーフイルムの残存部分Ｂとともに支持フイルム巻き取りロール１３に巻き取られる。
【０００９】
ところで、カバーフイルムの剥離された積層体フイルム１ａの剥離部分Ａを基板１１の所望の範囲に正確に貼り付けるためには、例えば、カバーフイルムの剥離部分Ａと残存部分Ｂとの境界部分１４ａが基板１１の先端部から距離Ｋとなる所定位置に設定されるように、積層体フイルム１ａをラミネーションローラ１２ａ、１２ｂ間に高精度に送り出す必要がある。
【００１０】
この場合、従来の製造装置では、ロータリエンコーダ３から出力されるパルス信号のパルス数をカウントし、ハーフカッタ装置５によって形成された境界部分１４ａがラミネーションローラ１２ａ、１２ｂに到達するまでの規定のパルス数となった時点で、基板１１に対する積層体フイルム１ａの剥離部分Ａの圧着を開始するようにしている。
【００１１】
【特許文献１】特開平１１−３４２８０号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、積層体フイルム１ａは、可撓性の支持フイルム上に感光性樹脂層を形成したものであり、テンションを付与した状態で搬送されるため、搬送中に積層体フイルム１ａが延びることにより、基板１１に貼り付けられる前記境界部分１４ａの位置がずれてしまうおそれがある。特に、ラミネーションローラ１２ａ、１２ｂは、積層体フイルム１ａと基板１１とを加熱した状態で貼り付けるため、ラミネーションローラ１２ａ、１２ｂの近傍での積層体フイルム１ａの延びが大きい。
【００１３】
従って、基板１１に対する貼り付け処理を連続的に行うと、貼り付け位置のずれが累積されて許容範囲を超えてしまう。そのため、所定枚数の貼り付け処理を行った後、基板１１に対する積層体フイルム１ａの貼り付け位置のずれ量を計測し、そのずれを補正すべくハーフカッタ装置５による境界部分１４ａ、１４ｂの形成位置を修正する必要がある。この場合、連続的に処理できる感光性積層体の枚数が制約されるため、生産効率が著しく低下してしまう。
【００１４】
本発明は、長尺状感光性ウエブに形成された加工部位の位置を簡易な構成で高精度に検出することができるとともに、高品質な感光性積層体を効率的に製造することのできる感光性積層体の製造装置及び製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層されてなる長尺状感光性ウエブを送り出し、前記保護フイルムの剥離部分と残存部分との境界位置に対応する加工部位を、前記保護フイルムから前記感光材料層に至る部分に形成し、前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離した後、所定の間隔で供給される基板とともに前記長尺状感光性ウエブを加熱された一対の圧着ローラ間に連続的に送り出し、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置するとともに、露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付けることで感光性積層体を製造する感光性積層体の製造装置において、
前記加工部位が形成された前記長尺状感光性ウエブの送り量を計測する送り量計測部と、
前記加工部位を形成する加工部と前記圧着ローラとの間における前記長尺状感光性ウエブの搬送路中に配置され、基準位置に対する前記加工部位の位置ずれ情報を取得する位置ずれ情報取得部と、
前記位置ずれ情報を取得するため、計測された前記送り量が所定の設定送り量となった時点で前記位置ずれ情報取得部を付勢する付勢部と、
取得した前記位置ずれ情報に基づき、前記長尺状感光性ウエブの前記圧着ローラに対する送り量を補正する送り量補正部と、
を備えることを特徴とする。
【００１６】
また、本発明は、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層されてなる長尺状感光性ウエブを送り出し、前記保護フイルムの剥離部分と残存部分との境界位置に対応する加工部位を、前記保護フイルムから前記感光材料層に至る部分に形成し、前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離した後、所定の間隔で供給される基板とともに前記長尺状感光性ウエブを加熱された一対の圧着ローラ間に連続的に送り出し、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置するとともに、露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付けることで感光性積層体を製造する感光性積層体の製造方法において、
前記加工部位が形成された前記長尺状感光性ウエブの送り量を計測するステップと、
前記加工部位を形成する加工部と前記圧着ローラとの間における前記長尺状感光性ウエブの搬送路中において、計測された前記送り量が所定の設定送り量となった時点で、基準位置に対する前記加工部位の位置ずれ情報を取得するステップと、
取得した前記位置ずれ情報に基づき、前記長尺状感光性ウエブの前記圧着ローラに対する送り量を補正するステップと、
からなることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明では、長尺状感光性ウエブに形成された加工部位の位置を簡易な構成で高精度に検出することができる。また、検出された前記加工部位の位置の基準位置に対する位置ずれ情報を取得して、長尺状感光性ウエブの送り量を補正することにより、高品質な感光性積層体を効率的に製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
図１は、本発明の第１の実施形態に係る感光性積層体の製造装置２０の概略構成図であり、この製造装置２０は、液晶又は有機ＥＬ用カラーフィルタ等の製作工程で、所定の幅寸法からなる長尺状感光性ウエブ２２の感光性樹脂層２８（後述する）をガラス基板２４に熱転写（ラミネート）する作業を行う。
【００１９】
図２は、製造装置２０に使用される長尺状感光性ウエブ２２の断面図である。この長尺状感光性ウエブ２２は、可撓性ベースフイルム（支持体）２６と、感光性樹脂層（感光材料層）２８と、保護フイルム３０とを積層して構成される。
【００２０】
図１に示すように、製造装置２０は、長尺状感光性ウエブ２２をロール状に巻回した感光性ウエブロール２３を収容し、感光性ウエブロール２３から前記長尺状感光性ウエブ２２を送り出し可能なウエブ送り出し機構３２と、送り出された長尺状感光性ウエブ２２の保護フイルム３０及び感光性樹脂層２８の幅方向に切断可能な２個所の境界部分であるハーフカット部位（加工部位）３４ａ、３４ｂ（図２参照）を形成する加工機構３６（加工部）と、一部に非接着部３８ａを有する接着ラベル３８（図３参照）を保護フイルム３０に接着させるラベル接着機構４０とを備える。
【００２１】
ラベル接着機構４０の下流には、長尺状感光性ウエブ２２をタクト送りから連続送りに変更するためのリザーバ機構４２と、長尺状感光性ウエブ２２から保護フイルム３０を所定の長さ間隔で剥離させる剥離機構４４と、ガラス基板２４を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に供給する基板供給機構４５と、前記保護フイルム３０の剥離により露出した感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に一体的に貼り付ける貼り付け機構４６とが配設される。
【００２２】
貼り付け機構４６における貼り付け位置の上流近傍には、ハーフカット部位３４ａを含む長尺状感光性ウエブ２２の画像を撮影する撮影部４７が配設される。
【００２３】
ウエブ送り出し機構３２の下流近傍には、略使用済みの長尺状感光性ウエブ２２の後端と、新たに使用される長尺状感光性ウエブ２２の先端とを貼り付ける貼り付け台４９が配設される。貼り付け台４９の下流には、感光性ウエブロール２３の巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端末位置検出器５３が配設される。ここで、フイルム端末位置調整は、ウエブ送り出し機構３２を幅方向に移動させて行うが、ローラを組み合わせた位置調整機構を付設して行ってもよい。
【００２４】
加工機構３６は、ウエブ送り出し機構３２に収容巻回されている感光性ウエブロール２３のロール径を算出するためのローラ対５０の下流に配置される。このローラ対５０には、長尺状感光性ウエブ２２の送り量を計測するロータリエンコーダ（送り量計測部）５１が連結される。加工機構３６は、距離Ｍだけ離間した一対の丸刃５２ａ、５２ｂを備える。丸刃５２ａ、５２ｂは、長尺状感光性ウエブ２２の幅方向に走行して、保護フイルム３０の残存部分Ｂを挟んだ所定の２個所の位置にハーフカット部位３４ａ、３４ｂを形成する（図２参照）。
【００２５】
図２に示すように、ハーフカット部位３４ａ、３４ｂは、少なくとも保護フイルム３０及び感光性樹脂層２８を切断する必要があり、実際上、可撓性ベースフイルム２６まで切り込むように丸刃５２ａ、５２ｂの切り込み深さが設定される。丸刃５２ａ、５２ｂは、回転することなく固定された状態で、長尺状感光性ウエブ２２の幅方向に移動してハーフカット部位３４ａ、３４ｂを形成する方式や、前記長尺状感光性ウエブ２２上を滑ることなく回転しながら前記幅方向に移動して前記ハーフカット部位３４ａ、３４ｂを形成する方式が採用される。このハーフカット部位３４ａ、３４ｂは、丸刃５２ａ、５２ｂに代替して、例えば、レーザ光や超音波を用いたカット方式の他、ナイフ刃、押し切り刃（トムソン刃）等で形成する方式を採用してもよい。
【００２６】
ハーフカット部位３４ａ、３４ｂは、感光性樹脂層２８をガラス基板２４に貼り付けた際、例えば、前記ガラス基板２４の両端部からそれぞれ１０ｍｍずつ内側に入り込んだ位置となるように設定される（図１２における距離Ｋに対応）。なお、ガラス基板２４間の保護フイルム３０の残存部分Ｂは、後述する貼り付け機構４６において感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。
【００２７】
ラベル接着機構４０は、ガラス基板２４間に対応して保護フイルム３０の残存部分Ｂを残すため、ハーフカット部位３４ｂ側の剥離部分Ａとハーフカット部位３４ａ側の剥離部分Ａとを連結する接着ラベル３８を供給する。
【００２８】
図３に示すように、接着ラベル３８は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム３０と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル３８は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部（微粘着を含む）３８ａを有するとともに、この非接着部３８ａの両側、すなわち、前記接着ラベル３８の長手方向両端部に、前方の剥離部分Ａに接着される第１接着部３８ｂと、後方の剥離部分Ａに接着される第２接着部３８ｃとを有する。
【００２９】
図１に示すように、ラベル接着機構４０は、最大７枚の接着ラベル３８を所定間隔ずつ離間して貼り付け可能な吸着パッド５４ａ〜５４ｇを備えるとともに、前記吸着パッド５４ａ〜５４ｇによる前記接着ラベル３８の貼り付け位置には、長尺状感光性ウエブ２２を下方から保持するための受け台５６が昇降自在に配置される。
【００３０】
リザーバ機構４２は、上流側の長尺状感光性ウエブ２２のタクト搬送と、下流側の前記長尺状感光性ウエブ２２の連続搬送との速度差を吸収するために、矢印方向に揺動自在なダンサーローラ６０を備える。
【００３１】
リザーバ機構４２の下流に配置される剥離機構４４は、長尺状感光性ウエブ２２の送り出し側のテンション変動を遮断し、ラミネート時のテンションを安定化させるためのサクションドラム６２を備える。サクションドラム６２の近傍には、剥離ローラ６３が配置されるとともに、この剥離ローラ６３を介して長尺状感光性ウエブ２２から鋭角の剥離角で剥離される保護フイルム３０は、残存部分Ｂを除いて保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる。
【００３２】
剥離機構４４の下流側には、長尺状感光性ウエブ２２にテンションを付与可能なテンション制御機構６６が配設される。テンション制御機構６６は、シリンダ６８の駆動作用下にテンションダンサー７０が揺動変位することにより、長尺状感光性ウエブ２２のテンションが調整可能である。なお、テンション制御機構６６は、必要に応じて使用すればよく、削除することもできる。
【００３３】
一方のハーフカット部位３４ａの位置を検出する撮影部４７は、図４に示すように、搬送ローラ７１と搬送ローラ７３との間の長尺状感光性ウエブ２２が直線状となる部分に配設されており、長尺状感光性ウエブ２２の搬送方向に延在する撮影域を有する二次元センサである、例えば、ＣＣＤカメラ７２と、長尺状感光性ウエブ２２を介してＣＣＤカメラ７２に対向配置され、照明光を長尺状感光性ウエブ２２に照射する二次元光源６９とを備える。
【００３４】
ＣＣＤカメラ７２は、長尺状感光性ウエブ２２の搬送方向に対するハーフカット部位３４ａの位置を検出できるものであればよく、例えば、複数の検出画素が前記搬送方向に配列された一次元ＣＣＤカメラで構成することもできる。また、二次元光源６９から出力される照明光は、感光性樹脂層２８を感光することのない波長からなる光、例えば、赤色光とする。ＣＣＤカメラ７２の撮影域には、基準位置を規定する基準片６７が配設される。なお、基準片６７を使用する代わりに、ＣＣＤカメラ７２を構成する検出画素を特定し、その検出画素の位置を基準位置としてもよい。
【００３５】
基板供給機構４５は、ガラス基板２４を挟持するように配設される基板加熱部（例えば、ヒータ）７４と、このガラス基板２４を矢印Ｙ方向に搬送する搬送部７６と、ガラス基板２４の後端部の停止位置を検出する停止位置検出センサ７８とを備える。基板加熱部７４では、ガラス基板２４の温度を常時監視し、異常時には、搬送部７６の停止や警報を発生するとともに、異常情報を発信して異常なガラス基板２４を後工程でＮＧ排出、品質管理又は生産管理等に活用することができる。搬送部７６には、図示しないエア浮上プレートが配設され、ガラス基板２４が浮上されて矢印Ｙ方向に搬送される。ガラス基板２４の搬送は、ローラコンベアでも行える。
【００３６】
ガラス基板２４の温度測定は、基板加熱部７４内又は貼り付け位置直前で行うことが好ましい。測定方法としては、接触式（例えば、熱電対）の他、非接触式であってもよい。
【００３７】
貼り付け機構４６は、上下に配設されるとともに、所定温度に加熱されるゴムローラ（圧着ローラ）８０ａ、８０ｂを備える。ゴムローラ８０ａ、８０ｂには、バックアップローラ８２ａ、８２ｂが摺接する。一方のバックアップローラ８２ｂは、ローラクランプ部８３を構成する加圧シリンダ８４によりゴムローラ８０ｂ側に押圧される。
【００３８】
ガラス基板２４は、貼り付け機構４６から矢印Ｙ方向に延在する搬送路８８を介して搬送される。この搬送路８８には、フイルム搬送ローラ９０ａ、９０ｂ及び基板搬送ローラ９２が配設される。ゴムローラ８０ａ、８０ｂと基板搬送ローラ９２との間隔は、ガラス基板２４の一枚分の長さ以下に設定されることが好ましい。
【００３９】
また、基板搬送ローラ９２の下流側の所定位置には、ガラス基板２４間の長尺状感光性ウエブ２２を切断して感光性積層体１００とするためのカッタ機構４８が配設される。
【００４０】
なお、以上のように構成される製造装置２０では、ウエブ送り出し機構３２、加工機構３６、ラベル接着機構４０、リザーバ機構４２、剥離機構４４、テンション制御機構６６並びに撮影部４７が、貼り付け機構４６の上方に配置されているが、これとは逆に、前記ウエブ送り出し機構３２から前記撮影部４７までを前記貼り付け機構４６の下方に配置し、長尺状感光性ウエブ２２の上下が逆になって感光性樹脂層２８をガラス基板２４の下側に貼り付ける構成であってもよく、また、長尺状感光性ウエブ２２の搬送路を直線状に構成してもよい。
【００４１】
製造装置２０内は、仕切り壁１１０を介して第１クリーンルーム１１２ａと第２クリーンルーム１１２ｂとに仕切られる。第１クリーンルーム１１２ａには、ウエブ送り出し機構３２からテンション制御機構６６までが収容され、第２クリーンルーム１１２ｂには、撮影部４７以降の機構が収容される。第１クリーンルーム１１２ａと第２クリーンルーム１１２ｂとは、貫通部１１４を介して連通する。
【００４２】
図５は、製造装置２０の制御回路ブロック図を示す。製造装置２０の制御回路は、撮影部４７を構成するＣＣＤカメラ７２によって取得したハーフカット部位３４ａを含む長尺状感光性ウエブ２２の画像情報に基づいてハーフカット部位３４ａの位置ずれ情報を取得する画像検査制御盤１２０（位置ずれ情報取得部）と、画像検査制御盤１２０で取得した前記位置ずれ情報に従い、貼り付け機構４６を制御して長尺状感光性ウエブ２２の送り量を補正し、ハーフカット部位３４ａの位置調整を行うラミネータ制御盤１２２とを備える。
【００４３】
画像検査制御盤１２０は、ＣＣＤカメラ７２による画像の撮影タイミングを制御するシャッタ信号をＣＣＤカメラ７２に出力するシャッタ制御部１２４（付勢部）と、ＣＣＤカメラ７２によって撮影されたハーフカット部位３４ａ及び基準片６７の画像情報を処理する画像処理部１２６と、処理された画像情報に基づき、基準片６７の位置で決まる基準位置に対するハーフカット部位３４ａの位置ずれ量を算出する位置ずれ量算出部１２８とを有する。
【００４４】
シャッタ制御部１２４には、ローラ対５０による長尺状感光性ウエブ２２の送り量をパルス数としてカウントするロータリエンコーダ５１と、加工機構３６を制御してハーフカット部位３４ａ、３４ｂを加工するハーフカット制御部１３０とが接続される。ハーフカット制御部１３０は、ロータリエンコーダ５１に対して、ハーフカット部位３４ａ、３４ｂの加工時に対応してパルスカウント開始信号を出力するとともに、シャッタ制御部１２４に対して、長尺状感光性ウエブ２２のハーフカット部位３４ａが撮影部４７に設定した基準位置に到達するまでの規定送り量に対応する規定パルス数をシャッタ制御部１２４に出力する。シャッタ制御部１２４は、ロータリエンコーダ５１から供給されるパルス数のカウント値と、ハーフカット制御部１３０から供給される規定パルス数とを比較し、これらが一致した時点で、ＣＣＤカメラ７２にシャッタ信号を出力する。
【００４５】
ラミネータ制御盤１２２は、位置ずれ量算出部１２８で算出されたハーフカット部位３４ａの位置ずれ量に基づき、貼り付け機構４６による長尺状感光性ウエブ２２の搬送を制御する制御パルスを補正する制御パルス補正部１３２（送り量補正部）と、制御パルス補正部１３２による補正条件を設定するための操作表示部１３４（補正条件設定部）と、制御パルス補正部１３２によって補正された制御パルスに基づき、貼り付け機構４６を制御するラミネータ制御部１３６とを備える。ラミネータ制御部１３６は、モータ制御部１３８を介してゴムローラ８０ａ、８０ｂを駆動する駆動モータ１４０を制御する。なお、補正条件とは、例えば、制御パルス補正部１３２においてハーフカット部位３４ａの位置を補正する感光性積層体１００の枚数である補正頻度、制御パルスを補正するための位置ずれ量の処理方法等の条件である。
【００４６】
次に、以上のように構成される製造装置２０の動作について、本発明に係る製造方法との関連で説明する。
【００４７】
先ず、ウエブ送り出し機構３２に取り付けられている感光性ウエブロール２３から長尺状感光性ウエブ２２が送り出される。長尺状感光性ウエブ２２は、加工機構３６に搬送される。
【００４８】
加工機構３６では、丸刃５２ａ、５２ｂが長尺状感光性ウエブ２２の幅方向に移動して、前記長尺状感光性ウエブ２２を保護フイルム３０から感光性樹脂層２８乃至可撓性ベースフイルム２６まで切り込み、保護フイルム３０の残存部分Ｂの幅Ｍだけ離間するハーフカット部位３４ａ、３４ｂを形成する（図２参照）。これにより、長尺状感光性ウエブ２２には、残存部分Ｂを挟んで前方の剥離部分Ａと後方の剥離部分Ａとが設けられる（図２参照）。
【００４９】
なお、残存部分Ｂの幅Ｍは、長尺状感光性ウエブ２２が延びないことを前提として、貼り付け機構４６のゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に供給されるガラス基板２４間の距離を基準として設定されるものとする。また、幅Ｍで形成される一組のハーフカット部位３４ａ、３４ｂは、ガラス基板２４に貼り付けられる感光性樹脂層２８の基準長さの間隔で長尺状感光性ウエブ２２に形成される。
【００５０】
次いで、長尺状感光性ウエブ２２は、ラベル接着機構４０に搬送されて、保護フイルム３０の所定の貼り付け部位が受け台５６上に配置される。ラベル接着機構４０では、所定枚数の接着ラベル３８が吸着パッド５４ｂ〜５４ｇにより吸着保持され、各接着ラベル３８が保護フイルム３０の残存部分Ｂを跨いで、前方の剥離部分Ａと後方の剥離部分Ａとに一体的に接着される（図３参照）。
【００５１】
例えば、７枚の接着ラベル３８が接着された長尺状感光性ウエブ２２は、図１に示すように、リザーバ機構４２を介して送り出し側のテンション変動を防いだ後、剥離機構４４に連続的に搬送される。剥離機構４４では、長尺状感光性ウエブ２２の可撓性ベースフイルム２６がサクションドラム６２に吸着保持されるとともに、保護フイルム３０が残存部分Ｂを残して前記長尺状感光性ウエブ２２から剥離される。この保護フイルム３０は、剥離ローラ６３を介して剥離されて保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる（図１参照）。
【００５２】
剥離機構４４の作用下に、保護フイルム３０が残存部分Ｂを残して可撓性ベースフイルム２６から剥離された後、長尺状感光性ウエブ２２は、テンション制御機構６６によってテンション調整が行われ、次いで、撮影部４７において、所定の撮影タイミングでハーフカット部位３４ａ及び基準片６７を含む長尺状感光性ウエブ２２の画像が撮影される。
【００５３】
撮影部４７によって取得した画像情報は、画像検査制御盤１２０において、ハーフカット部位３４ａの位置ずれ量が算出され、次いで、ラミネータ制御盤１２２において、長尺状感光性ウエブ２２の送り量の補正処理が行われる。なお、画像検査制御盤１２０及びラミネータ制御盤１２２における補正処理の詳細については、後述する。
【００５４】
撮影部４７を通過した長尺状感光性ウエブ２２は、貼り付け機構４６に搬送されることで、ガラス基板２４に対する感光性樹脂層２８の転写処理（ラミネート）が行われる。
【００５５】
貼り付け機構４６では、当初、ゴムローラ８０ａ、８０ｂが離間した状態に設定されており、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ間の所定位置に長尺状感光性ウエブ２２のハーフカット部位３４ａが位置決めされた状態において、長尺状感光性ウエブ２２の搬送が一旦停止される。この状態において、基板供給機構４５を構成する基板加熱部７４によって所定温度に加熱されたガラス基板２４の先端部が搬送部７６によってゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に搬入されると、加圧シリンダ８４の作用下にバックアップローラ８２ｂ及びゴムローラ８０ｂが上昇し、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ間にガラス基板２４及び長尺状感光性ウエブ２２が所定のプレス圧力で挟み込まれる。なお、ゴムローラ８０ａ、８０ｂは、所定のラミネート温度に加熱されている。
【００５６】
次いで、ラミネータ制御部１３６の制御下にモータ制御部１３８を介して駆動モータ１４０が駆動されることでゴムローラ８０ａ、８０ｂが回転し、ガラス基板２４及び長尺状感光性ウエブ２２が矢印Ｙ方向に搬送される。この結果、感光性樹脂層２８が加熱溶融されてガラス基板２４に転写（ラミネート）される。
【００５７】
なお、ラミネート条件としては、速度が１．０ｍ／ｍｉｎ〜１０．０ｍ／ｍｉｎ、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの温度が８０℃〜１４０℃、前記ゴムローラ８０ａ、８０ｂのゴム硬度が４０度〜９０度、該ゴムローラ８０ａ、８０ｂのプレス圧（線圧）が５０Ｎ／ｃｍ〜４００Ｎ／ｃｍである。
【００５８】
ガラス基板２４に対して長尺状感光性ウエブ２２の一枚分のラミネートが終了すると、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの回転が停止される一方、長尺状感光性ウエブ２２がラミネートされたガラス基板２４である感光性積層体１００の先端部が基板搬送ローラ９２によりクランプされる。このとき、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ間の所定位置には、ハーフカット部位３４ｂが配置される。
【００５９】
そして、ゴムローラ８０ｂが、ゴムローラ８０ａから離間する方向に退避してクランプが解除されるとともに、基板搬送ローラ９２の回転が低速で再び開始され、感光性積層体１００が矢印Ｙ方向に保護フイルム３０の残存部分Ｂの幅Ｍに対応する距離だけ搬送され、次のハーフカット部位３４ａがゴムローラ８０ａの下方付近の所定位置に搬送された後、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの回転が停止される。なお、長尺状感光性ウエブ２２をハーフカット部位３４ａ、３４ｂ間だけ搬送する処理を、以下において「基板間送り」という。
【００６０】
一方、前記の状態において、基板供給機構４５を介して次なるガラス基板２４が貼り付け位置に向かって搬送される。以上の動作が繰り返されることにより、感光性積層体１００が連続的に製造される。
【００６１】
その際、感光性積層体１００は、図４に示すように、それぞれの端部同士が保護フイルム３０の残存部分Ｂによって覆われている。従って、感光性樹脂層２８がガラス基板２４に転写される際、ゴムローラ８０ａ、８０ｂが前記感光性樹脂層２８により汚れることがない。
【００６２】
貼り付け機構４６でラミネートされた感光性積層体１００は、カッタ機構４８によってガラス基板２４間の長尺状感光性ウエブ２２が切断されることで分離される。なお、分離された感光性積層体１００には、可撓性ベースフイルム２６が装着されており、この可撓性ベースフイルム２６がガラス基板２４間の保護フイルム３０とともに剥離された後、次の処理工程に供給される。
【００６３】
次に、図６に示すフローチャートに従い、長尺状感光性ウエブ２２の送り量の補正処理について説明する。
【００６４】
先ず、オペレータは、タッチパネル等からなる操作表示部１３４を用いて補正条件を指定する（ステップＳ１）。
【００６５】
この場合、操作表示部１３４では、補正条件として、例えば、感光性積層体１００の枚数を指定し、指定された枚数以降の感光性積層体１００から補正処理を開始するようにラミネータ制御盤１２２に指示することができる。この補正条件を指定することにより、製造装置２０が高精度に調整されている製造開始当初において、補正を行うことなく感光性積層体１００を効率的に製造することが可能となる。
【００６６】
また、補正条件として、補正処理を行う頻度を指定することができる。例えば、画像検査制御盤１２０によって算出されたハーフカット部位３４ａの位置ずれ量を毎回ラミネータ制御盤１２２にフィードバックして補正処理を行うのか、算出された位置ずれ量の平均値を求め、その平均値を用いて何回かに１回の補正処理を行うのか、あるいは、位置ずれ量を何回かに１回算出して補正処理を行うのか、といった補正処理の頻度を指定することができる。
【００６７】
また、補正条件として、算出された位置ずれ量に許容範囲を設定し、位置ずれ量が許容範囲内にあるときのみ補正処理を行い、許容範囲外の場合には、例えば、操作表示部１３４により警告等を行い、製造装置２０の動作を一旦停止させるような指定を行うことができる。
【００６８】
補正条件が指定された後、ハーフカット制御部１３０は、画像検査制御盤１２０のシャッタ制御部１２４に対して、加工機構３６によって長尺状感光性ウエブ２２に形成されたハーフカット部位３４ａが撮影部４７の基準位置に到達するまでの規定送り量に対応する規定パルス数を設定する（ステップＳ２）。この場合、規定パルス数は、例えば、ハーフカット部位３４ａ、３４ｂが加工機構３６から撮影部４７の基準位置まで移動する間に長尺状感光性ウエブ２２が延び縮みしないことを条件として、先行するハーフカット部位３４ａの位置に次のハーフカット部位３４ａが到達するまでの間にロータリエンコーダ５１から出力されるパルス信号のパルス数として設定することができる。
【００６９】
そこで、ハーフカット制御部１３０は、加工機構３６を制御して長尺状感光性ウエブ２２にハーフカット部位３４ａ、３４ｂが形成すると同時に（ステップＳ３）、ロータリエンコーダ５１に対してパルスカウント開始信号を出力し、ロータリエンコーダ５１がパルス数のカウントを開始する（ステップＳ４）。
【００７０】
次いで、ハーフカット部位３４ａ、３４ｂの形成された長尺状感光性ウエブ２２が搬送され、ハーフカット部位３４ａが撮影部４７の撮影領域１４２（図７、図８参照）に到達し、ロータリエンコーダ５１によりカウントされたパルス数が、ステップＳ２で設定した規定パルス数に一致したとき（ステップＳ５）、シャッタ制御部１２４は、ＣＣＤカメラ７２に対してシャッタ信号を出力する。
【００７１】
このとき、二次元光源６９が駆動されて照明光が長尺状感光性ウエブ２２に照射され、基準片６７及びハーフカット部位３４ａを撮影領域１４２に含む長尺状感光性ウエブ２２の画像がＣＣＤカメラ７２によって撮影される（ステップＳ６）。ＣＣＤカメラ７２によって撮影された画像は、画像情報として画像処理部１２６に送信され、所定の画像処理が施されることにより、基準片６７及びハーフカット部位３４ａの位置情報が取得される（ステップＳ７）。取得された位置情報は、位置ずれ量算出部１２８に送信され、基準片６７を基準として設定された基準位置に対するハーフカット部位３４ａの位置の位置ずれ量ΔＫが算出される（ステップＳ８、図７、図８参照）。
【００７２】
算出されたハーフカット部位３４ａの位置ずれ量ΔＫは、制御パルス補正部１３２に送信された後、操作表示部１３４で指定された補正条件に従って基板間送りパルス数の補正が行われる（ステップＳ９、Ｓ１０）。なお、ハーフカット部位３４ａを毎回検出して補正処理を行わない場合には、補正処理をスキップする回数に従ってステップＳ３〜Ｓ９の処理を繰り返すことになる。
【００７３】
制御パルス補正部１３２によって補正された基板間送りパルス数は、ラミネータ制御部１３６に送信される。ラミネータ制御部１３６は、送信された基板間送りパルス数に基づき、モータ制御部１３８を介して駆動モータ１４０を制御し（ステップＳ１１）、基板間送り量を調整する。
【００７４】
図９は、長尺状感光性ウエブ２２のラミネート制御、及び、補正された基板間送りパルス数に基づく基板間送り制御の説明図である。
【００７５】
ラミネータ制御部１３６は、ガラス基板２４の先端部に対して、図１２に示す距離Ｋだけずらせた位置に長尺状感光性ウエブ２２のハーフカット部位３４ａを合わせた状態でラミネートを行った後（ラミネート１）、長尺状感光性ウエブ２２の搬送を一旦停止させる。次いで、補正された基板間送りパルス数に従い、低速で長尺状感光性ウエブ２２を基板間送りすることにより、次のハーフカット部位３４ａがゴムローラ８０ａ、８０ｂ間の所定位置となるように設定した後、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ間にガラス基板２４を供給し、再びガラス基板２４に長尺状感光性ウエブ２２をラミネートする（ステップＳ１２、ラミネート２）。
【００７６】
ここで、基板間送り処理を行う際、図７に示すように、ハーフカット部位３４ａの位置が加工機構３６側に位置ずれ量ΔＫだけずれている場合には、位置ずれ量ΔＫに従って基板間送りパルス数を増やし、図９のパターン１４４ａで基板間送り制御を行う。また、図８に示すように、ハーフカット部位３４ａの位置がゴムローラ８０ａ、８０ｂ側に位置ずれ量ΔＫだけずれている場合には、位置ずれ量ΔＫに従って基板間送りパルス数を減らし、図９のパターン１４４ｂで基板間送り制御を行う。
【００７７】
このようにして基板間送り制御を行うことにより、ガラス基板２４に対するハーフカット部位３４ａの位置を所望の位置に調整し、高品質な感光性積層体１００を製造することができる。また、ガラス基板２４に対する長尺状感光性ウエブ２２の貼り付け位置の調整処理は、製造装置２０の動作を停止させることなく行うことができるため、感光性積層体１００を効率的に製造することができる。さらに、撮影部４７の位置は、ハーフカット部位３４ａ、３４ｂの設定送り量に対応する基板間送りパルス数を調整することで、加工機構３６と貼り付け機構４６との間の任意の位置に設定することができる。
【００７８】
図１０は、本発明の第２の実施形態に係る感光性積層体の製造装置２００の概略構成図である。なお、第１の実施形態に係る感光性積層体の製造装置２０と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明は省略する。
【００７９】
製造装置２００は、ガラス基板２４に貼り付けられた長尺状感光性ウエブ２２から残存する可撓性ベースフイルム２６を連続的に剥離するように構成されたものであり、貼り付け機構４６の下流側には、搬送路８８に沿って、ラミネートされたガラス基板２４及び長尺状感光性ウエブ２２を冷却する冷却機構２０２と、可撓性ベースフイルム２６を感光性樹脂層２８から連続的に剥離するベース剥離機構２０４とが順に配設される。
【００８０】
ベース剥離機構２０４は、プレ剥離部２０６と、小径な剥離ローラ２０８と、巻き取り軸２１０と、自動貼り付け機２１２とを備える。巻き取り軸２１０は、駆動時にトルク制御して可撓性ベースフイルム２６に張力を付与する一方、例えば、剥離ローラ２０８に張力検出器（図示せず）を設けることにより、張力のフィードバック制御を行うことが好ましい。プレ剥離部２０６は、ガラス基板２４間で昇降可能な剥離バー２１４を備える。
【００８１】
貼り付け機構４６においてラミネートされたガラス基板２４及び長尺状感光性ウエブ２２は、冷却機構２０２によって冷却された後、ガラス基板２４間の長尺状感光性ウエブ２２がプレ剥離部２０６を構成する剥離バー２１４によって上方に押し上げられ、これによって可撓性ベースフイルム２６の一部が感光性樹脂層２８より剥離される。次いで、感光性樹脂層２８の貼り付けられたガラス基板２４が矢印Ｙ方向に搬送される一方、可撓性ベースフイルム２６が剥離ローラ２０８を介して巻き取り軸２１０に巻き取られることにより、可撓性ベースフイルム２６が感光性樹脂層２８から連続的に剥離されてガラス基板２４間が分離され、感光性積層体１００が製造される。
【００８２】
なお、上述した第１及び第２の実施形態では、１本の感光性ウエブロール２３から供給される長尺状感光性ウエブ２２をガラス基板２４に貼り付けることにより、いわゆる、一丁張りの感光性積層体１００を製造するように構成しているが、例えば、２本の感光性ウエブロールや、３本以上の感光性ウエブロールから長尺状感光性ウエブ２２を供給してガラス基板２４に貼り付け、いわゆる、２丁張り、３丁張り等の感光性積層体を製造するように構成してもよい。
【００８３】
また、長尺状感光性ウエブ２２の送り量を検出するロータリエンコーダ５１は、加工機構３６の前段のローラ対５０に連結しているが、撮影部４７の上流側の所望の位置、例えば、サクションドラム６２に連結し、サクションドラム６２の回転量を検出するように構成してもよい。
【００８４】
また、上述した実施形態では、一方のハーフカット部位３４ａの位置ずれ情報を取得して基板間送り量を補正するようにしているが、他方のハーフカット部位３４ｂの位置ずれ情報を取得して基板間送り量を補正することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る製造装置の概略構成図である。
【図２】第１の実施形態に係る製造装置に使用される長尺状感光性ウエブの断面図である。
【図３】長尺状感光性ウエブに接着ラベルが接着された状態の説明図である。
【図４】ハーフカット部位を形成する加工機構、ハーフカット部位の位置ずれ情報を取得する撮影部、及び、貼り付け機構の配置関係説明図である。
【図５】ハーフカット部位の位置ずれ情報に基づき、基板間送り制御の補正処理を行う回路構成ブロック図である。
【図６】ハーフカット部位の位置ずれ情報に基づき、基板間送り制御の補正処理を行うフローチャートである。
【図７】撮影部によって取得されるハーフカット部位の位置ずれ情報の説明図である。
【図８】撮影部によって取得されるハーフカット部位の位置ずれ情報の説明図である。
【図９】長尺状感光性ウエブのラミネート制御及び基板間送り制御の説明図である。
【図１０】本発明の第２の実施形態に係る製造装置の概略構成図である。
【図１１】従来技術に係る製造装置の概略構成図である。
【図１２】長尺状感光性ウエブに形成されたハーフカット部位と、長尺状感光性ウエブが貼り付けられる基板との位置関係説明図である。
【符号の説明】
【００８６】
２０、２００…製造装置
２２…長尺状感光性ウエブ
２４…ガラス基板
２６…可撓性ベースフイルム
２８…感光性樹脂層
３０…保護フイルム
３４ａ、３４ｂ…ハーフカット部位
３６…加工機構
４５…基板供給機構
４６…貼り付け機構
４７…撮影部
５１…ロータリエンコーダ
６９…二次元光源
７２…ＣＣＤカメラ
８０ａ、８０ｂ…ゴムローラ
１００…感光性積層体
１２０…画像検査制御盤
１２２…ラミネータ制御盤
１２４…シャッタ制御部
１２６…画像処理部
１２８…位置ずれ量算出部
１３０…ハーフカット制御部
１３２…制御パルス補正部
１３４…操作表示部
１３６…ラミネータ制御部
【図１】
2008213150.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
2008213150.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
2008213150.tif 000009
【図８】
2008213150.tif 000010
【図９】
2008213150.tif 000011
【図１０】
2008213150.tif 000012
【図１１】
2008213150.tif 000013
【図１２】
2008213150.tif 000014