(57)【要約】【課題】コネクタのフロ−ティング状態がハーネスの影響を受けることなく最適に保つことが出来る半導体テスタを実現する。【解決手段】テストボードの一方の面に設けられ前記テストボードにフローティング保持されプローブカードに接続される複数のプローブカード側コネクタと、前記テストボードに設けられ前記複数のプローブカード側コネクタに一方端がそれぞれ接続され他方端がテストヘッドに接続されるテストヘッド側コネクタにそれぞれ接続される複数のリードと、前記複数のリードの所定数がそれぞれ束ねられる複数のハーネスと、前記テストボードに設けられ前記複数のハーネスを前記テストボードに固定保持する固定保持手段とを具備したことを特徴とする半導体テスタである。【選択図】図１
2008151741.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
テストボードの一方の面に設けられ前記テストボードにフローティング保持されプローブカードに接続される複数のプローブカード側コネクタと、
前記テストボードに設けられ前記複数のプローブカード側コネクタに一方端がそれぞれ接続され他方端がテストヘッドに接続されるテストヘッド側コネクタにそれぞれ接続される複数のリードと、
前記複数のリードの所定数がそれぞれ束ねられる複数のハーネスと、
前記テストボードに設けられ前記複数のハーネスを前記テストボードに固定保持する固定保持手段と
を具備したことを特徴とする半導体テスタ。
【請求項２】
前記固定保持手段は、一方端がテストボードに固定された支持ブロックと、
前記支持ブロックの他方端に固定され前記ハーネスを押圧保持する平板状のプレートと
を具備したことを特徴とする請求項１記載の半導体テスタ。
【請求項３】
前記プレートに設けられ前記プレートと前記複数のハーネスとを結束する結束手段
を具備したことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の半導体テスタ。
【請求項４】
前記結束手段としてバンドが使用されたこと
を特徴とする請求項１乃至請求項３の何れかに記載の半導体テスタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体テスタ−のテストボードで使用されているコネクタ用のハーネスの保持機構を有する半導体テスタに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体テスタに関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−１３７０５８号公報
【０００４】
半導体テスタのテストボード１は、図４に示す如く、テストヘッド２が（１）の状態において、テストヘッド２に搭載される。
プローバ３が、テストヘッド２にテストボード１が取り付けられたと認識すると、指令を出して、テストヘッド２を（１）→（２）→（３）の状態に回転させて、半導体テスタの測定動作が開始される。
【０００５】
図５は従来より一般に使用されているテストヘッド２の従来例の構成説明図で、（ａ）は正面図、（ｂ）は平面図、（ｃ）は側面図、図６は図５のＡ−Ａ断面図、図７，図８は図５の動作説明図である。
【０００６】
図５，図６において、テストボ−ド１の上部ベース２へプローブカード側コネクタ３が円周状に複数個取付けられ、プローブカード側コネクタ３は上部ベース２へ、押え板４，５とスタッド６によりフロ−ティング可能な状態で取付けられている。
ハーネス７は、プローブカード側コネクタ３の下部に一端が接続され、テストボ−ド１内の空間に収納され、他端が下部ベ−ス８に取付けられているテストヘッド側コネクタ９に繋がっている。
【０００７】
以上の構成において、図７に示す如く、半導体テスタの測定動作を行う場合には、テストボ−ド１は前述の如く、１８０度旋回し、プローブカードのコネクタ１１と接続される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
このような装置においては、以下の間題点がある。
図７、図８に示す如く、テストボ−ド１を１８０度旋回して、プローブカードのコネクタ１１とプローブカード側コネクタ３が嵌合する時、フロ−ティングされているプローブカード側コネクタ３がプローブカードのコネクタ１１に案内される状態で嵌合される。
【０００９】
その時、プローブカード側コネクタ３の下部に一端が接続されているハーネス７は、テストボ−ド１内でフォ−ミングされて収納されている。
しかし、ハーネス７の自重とハーネス７自体の張りの影響で、プローブカード側コネクタ３の取付け状態は傾いたり、押さえ付けられたりと、不安定となり、プローブカード側コネクタ３のフロ−ティングが硬くなることがある。
【００１０】
また、１８０度戻して初期状態に戻しても、元の状態に戻らずフロ−ティングが硬いままとなりやすい。
フロ−ティングが硬いままの状態が続き、プローブカードのコネクタ１１とプローブカード側コネクタ３が嵌合を頻繁に行うと、プローブカード側コネクタ３又はプローブカードのコネクタ１１を破損する恐れがある。
【００１１】
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、コネクタのフロ−ティング状態がハーネスの影響を受けることなく最適に保つことが出来るように、ハーネスを保持する構造を有する半導体テスタを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
このような課題を達成するために、本発明では、請求項１の半導体テスタにおいては、
テストボードの一方の面に設けられ前記テストボードにフローティング保持されプローブカードに接続される複数のプローブカード側コネクタと、前記テストボードに設けられ前記複数のプローブカード側コネクタに一方端がそれぞれ接続され他方端がテストヘッドに接続されるテストヘッド側コネクタにそれぞれ接続される複数のリードと、前記複数のリードの所定数がそれぞれ束ねられる複数のハーネスと、前記テストボードに設けられ前記複数のハーネスを前記テストボードに固定保持する固定保持手段とを具備したことを特徴とする。
【００１３】
本発明の請求項２の半導体テスタにおいては、請求項１記載の半導体テスタにおいて、
前記固定保持手段は、一方端がテストボードに固定された支持ブロックと、前記支持ブロックの他方端に固定され前記ハーネスを押圧保持する平板状のプレートとを具備したことを特徴とする。
【００１４】
本発明の請求項３の半導体テスタにおいては、請求項１又は請求項２記載の半導体テスタにおいて、
前記プレートに設けられ前記プレートと前記複数のハーネスとを結束する結束手段を具備したことを特徴とする。
【００１５】
本発明の請求項４の半導体テスタにおいては、請求項１乃至請求項３の何れかに記載の半導体テスタにおいて、
前記結束手段としてバンドが使用されたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の請求項１によれば、次のような効果がある。
テストボードに設けられ前記複数のハーネスをテストボードに固定保持する固定保持手段が設けられたので、テストボ−ドを１８０度旋回した状態でも、プローブカード側コネクタに一端が取り付けられたハ−ネスを、常に固定保持手段が支えているため、プローブカード側コネクタがハーネスの自重と張りによって押さえつけられることがなくなり、プローブカード側コネクタのフロ−ティング状態への影響が少なく出来る半導体テスタが得られる。
【００１７】
本発明の請求項２によれば、次のような効果がある。
固定保持手段は、一方端がテストボードに固定された支持ブロックと、支持ブロックの他方端に固定されハーネスを押圧保持する平板状のプレートとが設けられたので、固定保持手段を簡潔に構成出来て、安価な半導体テスタが得られる。
【００１８】
本発明の請求項３によれば、次のような効果がある。
プレートに設けられ、プレートと複数のハーネスとを結束する結束手段が設けられたので、旋回を繰り返してもハ−ネスが一定に保たれ、プローブカード側コネクタのフロ−ティングが安定し、嵌合自体も良好に行うことが出来る為、プローブカード側コネクタの寿命も延び、嵌合不良の頻度が減ることにより信頼性が向上された半導体テスタが得られる。
【００１９】
本発明の請求項４によれば、次のような効果がある。
結束手段としてバンドが使用されたので、結束が容易で、安価な半導体テスタが得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図１は本発明の一実施例の要部構成説明図、図２は図１の部品説明図である。
図において、図５，図６と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図５，図６との相違部分のみ説明する。
【００２１】
図１において、複数のプローブカード側コネクタ２２はテストボード２１の一方の面に設けられ、テストボード２１にフローティング保持されプローブカードに接続される。
この場合は、プローブカード側コネクタ２２は、テストボ−ド２１の上部ベース２３へ円周上に複数個取付けられている。
【００２２】
複数のリード２４は、テストボード２１に設けられ、複数のプローブカード側コネクタ２２に一方端がそれぞれ接続され、他方端が下部ベース２５に取り付けられたテストヘッド側コネクタ２６にそれぞれ接続される。
複数のハーネス２７は、複数のリード２４の所定数がそれぞれ束ねられる。
【００２３】
固定保持手段２８は、テストボード２１に設けられ、複数のハーネス２７をテストボード２１に固定保持する。
この場合は、図２に示す如く、固定保持手段２８は、一方端がテストボード２１に固定された支持ブロック２８１と、支持ブロック２８１の他方端に固定され、ハーネス２７を押圧保持する平板状のプレート２８２とを有する。
【００２４】
以上の構成において、テストボ−ド２１の上部の上部ベース２３の中央部分の内部に円状プレ−ト２８２が支持ブロック２８１と取付き、支持ブロック２８１は円状プレ−ト２8２に取り付けている側と反対側で、上部ベ−ス２３と取付いている。
プローブカード側コネクタ２２に一端が接続されたハ−ネス２７は円状プレ−ト２８２に向けてフォ−ミングされ、円状プレ−ト２８２の下を通して下部ベ−ス２５のテストヘッド側コネクタ２６にそれぞれ接続される。
【００２５】
この結果、テストボード２１に設けられ、複数のハーネス２７をテストボード２１に固定保持する固定保持手段２８が設けられたので、テストボ−ド２１を１８０度旋回した状態でも、プローブカード側コネクタ２２に一端が取り付けられたハ−ネス２７を、常に固定保持手段２８が支えているため、プローブカード側コネクタ２２がハーネス２７の自重と張りによって押さえつけられることがなくなり、プローブカード側コネクタ２２のフロ−ティング状態への影響が少なく出来る半導体テスタが得られる。
【００２６】
固定保持手段２８は、一方端がテストボード２１に固定された支持ブロック２８１と、支持ブロック２８１の他方端に固定されハーネス２７を押圧保持する平板状のプレート２８２とが設けられたので、固定保持手段２８を簡潔に構成出来て、安価な半導体テスタが得られる。
【００２７】
図３は、本発明の他の実施例の要部構成説明図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。
本実施例においては、結束手段３１は、プレート２８２に設けられ、プレート２８２と複数のハーネス２７とを結束する。
この場合は、結束手段３１としてバンドが使用されている。
【００２８】
以上の構成において、プレート２８２の下を通っている全てのハ−ネス２７を、プレート２８２と共に、プレート２８２の中央でバンド３１により束ねて固定する。
バンド３１にて固定したことにより、プローブカード側コネクタ２２の下部からバンド３１で固定された部分までのハーネス２７は常に一定の長さが保たれる。
【００２９】
この結果、プレート２８２に設けられ、プレート２８２と複数のハーネス２７とを結束する結束手段３１が設けられたので、旋回を繰り返してもハ−ネス２７が一定に保たれ、プローブカード側コネクタ２２のフロ−ティングが安定し、嵌合自体も良好に行うことが出来る為、プローブカード側コネクタ２２の寿命も延び、嵌合不良の頻度が減ることにより信頼性が向上された半導体テスタが得られる。
【００３０】
結束手段３１としてバンドが使用されたので、結束が容易で、安価な半導体テスタが得られる。
【００３１】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図１の部品説明図である。
【図３】本発明の他の実施例の要部構成説明図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。
【図４】従来より一般に使用されている従来例の構成説明図である。
【図５】従来より一般に使用されているテストボードの従来例の構成説明図である。
【図６】図５のＡ−Ａ断面図である。
【図７】図５の動作説明図である。
【図８】図５の動作説明図である。
【符号の説明】
【００３３】
１      テストボ−ド
２      上部ベース
３      プローブカード側コネクタ
４      押え板
５      押え板
６      スタッド
７      ハーネス
８      下部ベ−ス
９      テストヘッド側コネクタ
１１    プローブカードのコネクタ
２１    テストボード
２２    プローブカード側コネクタ
２３    上部ベース
２４    リード
２５    下部ベース
２６    テストヘッド側コネクタ
２７    ハーネス
２８    固定保持手段
２８１  支持ブロック
２８２  プレート
３１    結束手段
【図１】
2008151741.tif 000003
【図２】
2008151741.tif 000004
【図３】
2008151741.tif 000005
【図４】
2008151741.tif 000006
【図５】
2008151741.tif 000007
【図６】
2008151741.tif 000008
【図７】
2008151741.tif 000009
【図８】
2008151741.tif 000010