(57)【要約】【課題】単一の光源を使用して簡単な構造で同時に複数点又は連続した環状パターンの照射を行うことができる照射装置を提供する。【解決手段】この照射装置は、光源１０から照射された光線を結像する結像光学系１１と、該結像光学系１１の結像側に配置され、該結像光学系１１から射出された光線を放射状に偏向する錐型プリズム１２と、該錐型プリズム１２から射出された光線を内面反射作用により光軸方向に偏向して、光軸上に配置された被照射物体１４に照射する反射部材１３と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源から照射された光線を結像する結像光学系と、該結像光学系の結像側に配置され、該結像光学系から射出された光線を放射状に偏向する錐型プリズムと、該錐型プリズムから射出された光線を内面反射作用により光軸方向に偏向して、光軸上に配置された被照射物体に照射する反射部材と、を備えることを特徴とする照射装置。
【請求項２】
前記錐形プリズムが円錐型プリズムである、ことを特徴とする請求項１に記載の照射装置。
【請求項３】
前記反射部材が円柱形状若しくは円錐台形状のプリズム、又は内周壁に円柱形状若しくは円錐台形状の反射面を有する中空部材である、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の照射装置。
【請求項４】
前記錐型プリズムが多角錐型プリズムである、ことを特徴とする請求項１に記載の照射装置。
【請求項５】
前記反射部材が多角柱形状又は多角錐台形状のプリズム、又は内周壁に多角柱形状又は多角錐台形状の反射面を有する中空部材である、ことを特徴とする請求項１又は４に記載の照射装置。
【請求項６】
前記反射部材は光軸方向に移動可能に配置されている、ことを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の照射装置。
【請求項７】
前記被照射物体が略円筒形状であり、該被照射物体の外周面に対して前記光線を照射する、ことを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の照射装置。
【請求項８】
前記光源は単波長のレーザ光を照射する、ことを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の照射装置。
【請求項９】
前記光源は赤外域のレーザ光を照射する、ことを特徴とする請求項８に記載の照射装置。
【請求項１０】
前記被照射物体は赤外線透過物質によって形成され、該被照射物体の外周部に前記レーザ光を照射することにより該被照射物体にレーザ溶着される被固定部材の外周部を保持する、ことを特徴とする請求項９に記載の照射装置。
【請求項１１】
前記被固定部品と前記保持部材との間に熱可塑性物質を介装し、該介装部位に前記レーザ光を照射する、ことを特徴とする請求項１０に記載の照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、光学レンズ等をホルダに保持して熱溶着固定するのに好適な照射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、レンズをホルダに固定するには、一般に、図１３に示すように、かしめ爪１を有するホルダ２にレンズ３を保持し、次いで、かしめ工具４によってかしめ爪１をレンズ３にかしめて固定する。
【０００３】
しかし、近年、撮影光学系等に用いられる光学レンズはますます小径化が進み、かしめカシメ方式でレンズを固定する場合、変形後のかしめ爪の強度確保のためレンズ径に相対してかしめ爪の肉厚を厚くする必要がある。この場合、かしめ爪のレンズへのかかり代を確実にするため、その分の余裕をみてレンズの外径を大きくしなくてはならなくなってしまう。また、凹レンズにかしめ爪をかしめる場合は、かしめ爪の肉厚分だけ光軸方向に突起が生じることになるため、他の部材との干渉が生じ易くなり、該干渉を防止するために広いスペースが必要になる。
【０００４】
一方、レンズをホルダに紫外線硬化性接着剤を介して接着固定することも行われているが、硬化前の接着剤は液体であるため塗布充填に際しては流れ出しに留意しなければならず、特に小径レンズに対しての取り扱いが難しい。また、紫外線で接着剤を硬化させる時間も長くかかるため生産性が悪い。
【０００５】
ところで、近年、高出力なレーザ光源を用い、レーザ光の集光熱を利用して、例えば板プレートにマーキングしたり、物体を熱溶着固定したりする照射装置が提案されている。
【０００６】
このような照射装置は、特に、物体の固定に関しては、固定作業の時間短縮化や固定される物体の位置決め精度の向上を図るために、複数の照射点に対して同時にレーザを照射することが望まれる。
【０００７】
従来、複数の照射点に同時にレーザを照射するためには、一般に、要求される照射点の数と同数分の光源を用意している。
【０００８】
また、複数の照射点を連続的に繋げて環状の線分としてレーザ照射する技術として、２つの反射部材を用い、一方の反射部材によって光線分離及び偏向を行い、他方の反射部材によってレーザ光線を被照射物体へ向かわせる技術が提案されている（特許文献１）。
【特許文献１】特開平６−１４２９６５公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかし、要求される照射点の数と同数分の光源を用意する場合は、装置全体が大型化すると共に、光学系が複雑となるため、コスト高になる。
【００１０】
また、上記特許文献１のように、２つの反射部材を用いて環状の線分パターンのレーザ光を照射する場合は、反射部材の取り付け誤差による照射位置のずれや、照射光の特性ずれが生じやすくなる。また、照射光学系の大型化、および照射位置の調整方法の煩雑化を招くという問題がある。
【００１１】
そこで、本発明は、単一の光源を使用して簡単な構造で同時に複数点又は連続した環状パターンの照射を行うことができる照射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために、本発明の照射装置は、光源から照射された光線を結像する結像光学系と、該結像光学系の結像側に配置され、該結像光学系から射出された光線を放射状に偏向する錐型プリズムと、該錐型プリズムから射出された光線を内面反射作用により光軸方向に偏向して、光軸上に配置された被照射物体に照射する反射部材と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、単一の光源を使用して簡単な構造で同時に複数点又は連続した環状パターンの照射を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態の一例を図を参照して説明する。図１は本発明の実施の形態の一例である照射装置を説明するための説明図、図２は図１の部分拡大図である。
【００１５】
本発明の実施の形態の一例である照射装置は、図１に示すように、光源１０、結像光学系１１、円錐型プリズム１２、および反射部材である円柱形状のプリズム１３を備える。
【００１６】
光源１０、結像光学系１１、円錐型プリズム１２、および円柱型プリズム１３は、いずれも光軸上に同軸配置されている。また、円柱型プリズム１３の円錐型プリズム１２から離間する側の光軸上には、例えば熱可塑性の樹脂からなる光学レンズ１５を保持する円筒状のレンズ保持枠１４が配置されている。レンズ保持枠１４は、赤外光を透過する特性を有する樹脂で形成されている。
【００１７】
光源１０は、強度中心波長が９３０ｎｍ近辺である赤外の単波長の高出力レーザ光を照射可能であり、該レーザ光の集光作用によって樹脂を溶解して接着作用を得ることができるものを用いている。光源１０から照射されたレーザ光は結像光学系１１によって結像される。
【００１８】
円錐型プリズム１２は、結像光学系１１の結像側に配置され、該結像光学系１１から射出されたレーザ光を側面の屈折作用により放射状に偏向して円柱型プリズム１３に向けて射出する。
【００１９】
円柱型プリズム１３は、その外周面の裏面１３ａが全反射面とされており、円錐型プリズム１２から射出されたレーザ光が円柱型プリズム１３の上端面から入射する。そして、円柱型プリズム１３の上端面から入射したレーザ光は面１３ａで全反射して光軸方向に偏向し、光軸上に配置された光学レンズ（被固定部材）１５を保持するレンズ保持枠（被照射物体）１４の外周部に向けて射出する。
【００２０】
これにより、図２に示すように、レンズ保持枠１４の外周部にレーザ光の照射点が連続する環状の線分パターンが照射されて加熱され、樹脂の溶着によりレーザ保持枠１４に光学レンズ１５が固定される。なお、光学レンズ１５が熱可塑性樹脂以外の材質で形成されている場合は、熱可塑性を有するシート材をレンズ保持枠１４とレンズとの間に介装するか、熱可塑性を有する溶剤をレンズに塗布するとよい。
【００２１】
以上説明したように、この実施の形態では、単一のレーザ光源１０を使用して光学レンズ１５を保持するレンズ保持枠１４に対して連続した環状パターンのレーザ照射を行うことができる。これにより、簡単な構造で小型化および低コスト化を実現できるとともに、生産性に優れた照射装置を提供することができる。
【００２２】
なお、本発明は上記実施の形態に例示したものに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。
【００２３】
例えば、上記実施の形態では、反射部材として、外周面の裏面が反射面とされた円柱形状のプリズムを例示したが、これに代えて、内壁面が円筒形状の反射面とされた中空光学部材を用いてもよい（図７参照）。
【００２４】
また、上記実施の形態では、反射部材として、円柱形状のプリズム１３を例示したが、これに代えて、外周面の裏面が反射面とされた円錐台形状のプリズム３３を用いてもよい（図５参照）。反射部材として、円錐台形状のプリズム３３を用いた場合は、反射面の反射角度を調整することでレンズ保持枠１４への照射角度と焦点位置とが調整し易くなる。
【００２５】
さらに、反射部材として、円錐台形状のプリズム３３を用いた場合は、円錐台形状のプリズム３３を光軸上にて移動することで、反射位置を容易に変化させることができる。反射位置を変化させることで、レーザ照射されるレンズ保持枠１４の径（光学レンズ１５の径）の変化に対応することができる。なお、この場合も、内壁面が円錐台形状の反射面とされた中空光学部材２３を用いてもよい（図４参照）。
【００２６】
さらに、上記実施の形態では、結像光学系１１の結像側に円錐型プリズム１２を配置し、円柱形状のプリズム１３を採用した場合を例示したが、これに限定されない。例えば、結像光学系１１の結像側に、円錐型プリズム１２に代えて多角錐型プリズム１２ａを配置し、円柱形状のプリズム１３に代えて多角柱形状のプリズム６３を採用してもよい。
【００２７】
この場合、多角錐型プリズム１２ａは、結像光学系１１から射出されたレーザ光を側面の屈折作用により複数に分割して放射状に偏向し、多角柱形状のプリズムに向けて射出する。
【００２８】
多角柱形状のプリズムは、その外周面の裏面が全反射面とされており、多角錐型プリズム１２ａから射出された分割レーザ光が上端面から入射する。そして、多角柱形状のプリズムの上端面から入射したレーザ光は面１３ａで全反射して光軸方向に偏向し、光軸上に配置された光学レンズ（被固定部材）を保持するレンズ保持枠（被照射物体）の外周部の円周方向の複数点に向けて射出する。
【００２９】
これにより、図２のように、レンズ保持枠１４の外周部の円周方向の複数点にレーザ光が照射されて加熱され、樹脂の溶着によりレーザ保持枠１４に光学レンズ１５が固定される。
【００３０】
なお、この場合も、外周面の裏面が反射面とされた多角柱形状のプリズムに代えて、内壁面が多角筒形状の反射面とされた中空光学部材を用いてもよい。
【００３１】
また、反射部材１３として、多角柱形状のプリズムに代えて、多角錐台形状のプリズム６３を用いてもよい（図９および図１０参照）。多角錐台形状のプリズム６３を用いた場合は、反射面の反射角度を調整することでレンズ保持枠１４への照射角度と焦点位置とが調整し易くなる。
【００３２】
さらに、多角錐台形状のプリズム６３を用いた場合は、反射部材１３を光軸上に移動可能に配置することで、反射位置を容易に変化させることができる。これにより、レーザ照射されるレンズ保持枠１４の径（光学レンズ１５の径）が変化しても対応可能となる。なお、この場合も、多角錐台形状のプリズムに代えて、内壁面が多角錐台形状の反射面とされた中空光学部材を用いてもよい。
【００３３】
さらに、上記実施の形態では、レーザ保持枠１４に光学レンズ１５をレーザ光による熱溶着により固定する場合を例示したが、本発明はこれに限定されない。例えば、レーザ光による加工、位置決めを行うために基準点を照射光で示すような光学的な位置決め装置や照明等にも本発明を適用することができる。
【実施例】
【００３４】
次に、図４〜図１２を参照して、本発明の実施例１〜７について具体的な数値例を挙げて説明する。なお、上記実施の形態と重複又は相当する部分については各図に同一符号を付して説明する。
【００３５】
まず、図３に、実施例１〜７に共通する結像光学系１１の数値実施例を示す。結像光学系１１は、光源１０から第１面までの距離が５７．６ｍｍとされ、図３において、Ｎｄはｄ線における屈折率、Ｖｄはアッベ数、Ｎ（９３０ｎｍ）は９３０ｎｍ波長での屈折率を示す。
【００３６】
（実施例１）
実施例１は、図４（ａ）に示すように、光源１０からのレーザ光の進行方向側に結像光学系１１を配置し、該結像光学系１１と結像位置との間に、円錐型プリズム１２と内壁面２３ａが円錐台形状の反射面とされた中空光学部材２３を配置した例である。
【００３７】
実施例１の数値実施例は、次の通りである。ここで、Ｌ１は結像光学系１１の最も結像側の面頂点から円錐型プリズム１２の頂点までの距離、Ｌ２は円錐型プリズム１２の底面から中空光学部材２３までの距離を示す。また、Ｎｄはｄ線における屈折率、Ｖｄはアッベ数、Ｎ（９３０ｎｍ）は９３０ｎｍ波長での屈折率を示す。
Ｌ１＝３５．５ｍｍ
円錐型プリズム１２の形状：光軸方向長さ＝８ｍｍ、底面径＝φ８ｍｍ
円錐型プリズム１２の材質：Ｎｄ＝１．５１６３３、Ｖｄ＝６４．１、Ｎ（９３０ｎｍ）＝１．５０８１
Ｌ２＝１３ｍｍ
中空光学部材２３の形状：光軸方向長さ＝２３ｍｍ、光源側中空径＝φ９ｍｍ、照射側中空径＝φ１１ｍｍ
実施例１では、例えばファイバーの先端から立体角的な広がりでレーザ光が射出されるような光源１０からの光線を結像光学系１１で集光する。そして、結像光学系１１と集光点との間に円錐型プリズム１２を、頂点を光源１０側に向け、かつ頂点と底面の中心とを結ぶ線が結像光学系１１の光軸と一致するように配置する。
【００３８】
これにより、レーザ光線が円錐型プリズム１２の側面に入射され、該側面の屈折作用によって入射光線を環状光線に偏向する。なお、円錐型プリズム１２の底面を光源１０側に向けて配置して、入射光線が円錐型プリズム１２の側面から射出する際の屈折偏向作用を得るようにしてもよい。
【００３９】
また、中空光学部材２３の円錐台形状の内壁面（反射面）に前記環状光線が入射するように中空光学部材２３の上面の中心と底面の中心とを結ぶ線が結像光学系１１の光軸線に一致するように配置し、前記内壁面の反射作用により発散していた環状光線を収斂させる。
【００４０】
そして、環状光線の光線幅が略極小になる位置に、図２を参照して、例えば円形のレンズ部品１５等をレンズ保持枠１４で保持し、レンズ保持枠１４の外周部全周にレーザ光線が照射されるようにする。
【００４１】
この場合、中空光学部材２３を光軸上に移動可能に配置することにより、円錐型プリズム１２からの射出光が反射される部位の内径を変化させて、前記環状光線の光線幅が略極小になる位置を変化させることができる。このため、被照射物体であるレンズ保持枠１４の外径（レンズ外径）を変更した際においても対応可能となる。例えば、この実施例１では、レンズ保持枠１４の径をφ６ｍｍからφ８ｍｍに変更した場合、図４（ｂ）に示すように、中空光学部材２３を光源１０側に向けて光軸方向に８ｍｍ移動させている。
【００４２】
（実施例２）
実施例２は、実施例１に対して、図５（ａ）に示すように、反射部材として、外周面の裏面３３ａが反射面とされた円錐台形状のプリズム３３を用いた例であり、前記反射面の全反射作用により前記環状光線を収斂させる。なお、この場合も、反射部材１３を光軸上に移動可能に配置することにより、円錐型プリズム１２からの射出光が反射される部位の内径を変化させて、前記環状光線の光線幅が略極小になる位置を変化させることができる（図５（ｂ）参照）。
【００４３】
実施例２の数値実施例は、次の通りである。ここで、Ｌ１は結像光学系１１の最も結像側の面頂点から円錐型プリズム１２の頂点までの距離、Ｌ２は円錐型プリズム１２の底面から円錐台型プリズム３３までの距離を示す。また、Ｎｄはｄ線における屈折率、Ｖｄはアッベ数、Ｎ（９３０ｎｍ）は９３０ｎｍ波長での屈折率を示す。
Ｌ１＝３５．５ｍｍ
円錐型プリズム１２の形状：長さ＝８ｍｍ、底面径＝φ８ｍｍ
円錐型プリズム１２の材質：Ｎｄ＝１．５１６３３、Ｖｄ＝ ６４．１、Ｎ（９３０ｎｍ） ＝１．５０８１
Ｌ２＝１４ｍｍ
円錐台型プリズム３３の形状：光軸方向長さ＝２０ｍｍ、光源側径＝φ１０ｍｍ、照射側径＝φ１１ｍｍ
円錐台型プリズム３３の材質：Ｎｄ＝１．５１６３３、Ｖｄ＝６４．１、Ｎ（９３０ｎｍ）＝１．５０８１
（実施例３）
実施例３は、図６に示すように、反射部材として、外周面の裏面が反射面とされた円柱形状のプリズム１３を用いた例である。この例では、被照射物体であるレンズ保持枠１４への照射角度をより垂直方向に近づけるために、円錐型プリズム１２はより偏向作用が大きくなるように頂点角度を鋭角方向に設定している。また、これに応じて、円柱型プリズム１３の外径を大きくしている。
【００４４】
実施例３の数値実施例は、次の通りである。ここで、Ｌ１は結像光学系１１の最も結像側の面頂点から円錐型プリズム１２の頂点までの距離、Ｌ２は円錐型プリズム１２の底面から円柱型プリズム１３までの距離を示す。また、Ｎｄはｄ線における屈折率、Ｖｄはアッベ数、Ｎ（９３０ｎｍ）は９３０ｎｍ波長での屈折率を示す。
Ｌ１＝４３．５ｍｍ
円錐型プリズム１２の形状：光軸方向長さ＝１３ｍｍ、底面径＝φ７ｍｍ
円錐型プリズム１２の材質：Ｎｄ＝１．５１６３３、Ｖｄ＝６４．１、Ｎ（９３０ｎｍ）＝１．５０８１
Ｌ２＝１１．５ｍｍ
円柱型プリズム１３の形状：光軸方向長さ＝１４ｍｍ、外径＝φ１８ｍｍ
円柱型プリズム１３の材質：Ｎｄ＝１．５１６３３、Ｖｄ＝６４．１、Ｎ（９３０ｎｍ）＝１．５０８１
（実施例４）
実施例４は、図７に示すように、反射部材として、内壁面が円筒形状の反射面とされた中空光学部材４３を用いた例である。
【００４５】
実施例４の数値実施例は、次の通りである。ここで、Ｌ１は結像光学系１１の最も結像側の面頂点から円錐型プリズム１２の頂点までの距離、Ｌ２は円錐型プリズム１２の底面から反射部材１３までの距離を示す。また、Ｎｄはｄ線における屈折率、Ｖｄはアッベ数、Ｎ（９３０ｎｍ）は９３０ｎｍ波長での屈折率を示す。
Ｌ１＝４３．５ｍｍ
円錐型プリズム１２の形状：光軸方向長さ＝１３ｍｍ、底面径＝φ７ｍｍ
円錐型プリズム１２の材質：Ｎｄ＝１．５１６３３、Ｖｄ＝６４．１、Ｎ（９３０ｎｍ）＝１．５０８１
Ｌ２＝９．５ｍｍ
中空光学部材４３の形状：光軸方向長さ＝１０ｍｍ、中空径＝φ１７ｍｍ
（実施例５）
実施例５は、図８に示すように、円錐型プリズム１２と円柱型プリズム５３とを接合した例である。円柱型プリズム５３の外周面の裏面５３ａは、反射面なっている。この例では、円錐型プリズム１２と円柱型プリズム５３との相互の光軸偏心が生じないようにすることができる。
【００４６】
実施例５の数値実施例は、次の通りである。ここで、Ｌ１は結像光学系１１の最も結像側の面頂点から円錐型プリズム１２の頂点までの距離、Ｌ２は円錐型プリズム１２の底面から円柱型プリズム５３までの距離を示す。また、Ｎｄはｄ線における屈折率、Ｖｄはアッベ数、Ｎ（９３０ｎｍ）は９３０ｎｍ波長での屈折率を示す。
Ｌ１＝４３．５ｍｍ
円錐型プリズム１２の形状：光軸方向長さ＝１３ｍｍ、底面径＝φ７ｍｍ
円錐型プリズム１２の材質：Ｎｄ＝１．５１６３３、Ｖｄ＝６４．１、Ｎ（９３０ｎｍ）＝１．５０８１
Ｌ２＝０（接合）
円柱型プリズム５３の形状：光軸方向長さ＝４０ｍｍ、外径＝φ１９ｍｍ
円柱型プリズム５３の材質：Ｎｄ＝１．５１６３３、Ｖｄ＝６４．１、Ｎ（９３０ｎｍ）＝１．５０８１
（実施例６）
実施例６は、図９および図１０に示すように、頂点側を結像光学系１１に向けて配置された四角錐プリズム１２ａにより結像光学系１１からの光線を４方向に偏向させるように４分割した例である。４分割された光線は、四角錐プリズム１２ａの底面側に配置された四角錐台形状のプリズム６３に入射する。そして、４分割された光線は四角錐台型プリズム６３の側面６３ａで全反射することにより光軸方向に集光し、被照射物体１４ａの側面に４点の同時照射が行われる。この実施例６は、例えば立方体や直方体形状の物体と他物体との溶着や熱加工、照明等に適している。
【００４７】
実施例６の数値実施例は、次の通りである。ここで、Ｌ１は結像光学系１１の最も結像側の面頂点から四角錐型プリズム１２ａの頂点までの距離、Ｌ２は四角錐型プリズム１２ａの底面から四角錐台型プリズム６３までの距離を示す。また、Ｎｄはｄ線における屈折率、Ｖｄはアッベ数、Ｎ（９３０ｎｍ）は９３０ｎｍ波長での屈折率を示す。
Ｌ１＝３５．５ｍｍ
四角錐型プリズム１２ａの形状：光軸方向長さ＝１３ｍｍ、底面辺長＝２０ｍｍ
四角錐型プリズム１２ａの材質：Ｎｄ＝１．５１６３３、Ｖｄ＝６４．１、Ｎ（９３０ｎｍ）＝１．５０８１
Ｌ２＝１１．５ｍｍ
四角錐台型プリズム６３の形状：光軸方向長さ＝２５ｍｍ、上面辺長＝２４ｍｍ、底面辺長＝２６ｍｍ
四角錐台型プリズム６３の材質：Ｎｄ＝１．５１６３３、Ｖｄ＝６４．１、Ｎ（９３０ｎｍ）＝１．５０８１
なお、四角錐台形状のプリズム６３かに代えて、内壁面が四角錐台形状の反射面とされた中空光学部材を用いてもよい。
【００４８】
（実施例７）
実施例７は、図１１および図１２に示すように、頂点を結像光学系１１側に向けて配置されたに三角錐型プリズム１２ｂにより結像光学系１１からの光線を３方向に偏向させるように３分割した例である。３分割された光線は、三角錐型プリズム１２ｂの底面側に配置された内壁面が円錐台形状の反射面とされた中空光学部材７３に入射する。そして、３分割された光線は、中空光学部材７３の内壁面７３ａで反射することにより光軸方向に集光し、被照射物体１４ｂの側面に３点の同時照射が行われる。この実施例７は、例えば三角柱形状の物体と他物体との溶着や熱加工、照明等に適している。
【００４９】
実施例７の数値実施例は、次の通りである。ここで、Ｌ１は結像光学系１１の最も結像側の面頂点から三角錐型プリズム１２ｂの頂点までの距離、Ｌ２は三角錐型プリズム１２ｂの底面から中空光学部材７３までの距離を示す。また、Ｎｄはｄ線における屈折率、Ｖｄはアッベ数、Ｎ（９３０ｎｍ）は９３０ｎｍ波長での屈折率を示す。
Ｌ１＝３４．５ｍｍ
三角錐型プリズム１２ｂの形状：一辺１９．５ｍｍの正四面体
三角錐型プリズム１２ｂの材質：Ｎｄ＝１．５１６３３、Ｖｄ＝６４．１、Ｎ（９３０ｎｍ）＝１．５０８１
Ｌ２＝６ｍｍ
中空光学部材７３の形状：光軸方向の長さ＝１５ｍｍ、上面内径＝φ４８ｍｍ、底面内径＝φ４４ｍｍ
中空光学部材７３の材質：Ｎｄ＝１．５１６３３、Ｖｄ＝６４．１、Ｎ（９３０ｎｍ）＝１．５０８１
なお、内壁面が円錐台形状の反射面とされた中空光学部材７３に代えて、外周面の裏面が反射面とされた円錐台形状のプリズムを用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の実施の形態の一例である照射装置を説明するための説明図である。
【図２】図１の部分拡大図である。
【図３】結像光学系の数値実施例を示す図である。
【図４】実施例１の照射装置を説明するための説明図である。
【図５】実施例２の照射装置を説明するための説明図である。
【図６】実施例３の照射装置を説明するための説明図である。
【図７】実施例４の照射装置を説明するための説明図である。
【図８】実施例５の照射装置を説明するための説明図である。
【図９】実施例６の照射装置を説明するための説明図である。
【図１０】図９に示す照射装置の斜視図である。
【図１１】実施例７の照射装置を説明するための説明図である。
【図１２】図１１に示す照射装置の斜視図である。
【図１３】従来のかしめ方式によるレンズの固定方法を説明するための図である。
【符号の説明】
【００５１】
１０    光源
１１    結像光学系
１２    円錐型プリズム
１２ａ  四角錐型プリズム（多角錐型プリズム）
１２ｂ  三角錐型プリズム（多角錐型プリズム）
１３    円柱型プリズム
１４    レンズ保持枠（被照射物体）
１５    光学レンズ（被固定部材）
【図１】
2008142749.tif 000003
【図２】
2008142749.tif 000004
【図３】
2008142749.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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