(57)【要約】【課題】動圧発生部の耐久性を高め、動圧軸受装置の長寿命化に寄与する。【解決手段】軸部２ａの外周面２ａ１には、微量インクの集合体を硬化させて形成された丘部Ａａと、該丘部Ａａによって区画形成される溝部Ａｂとからなるラジアル動圧発生部Ａが形成されている。ラジアル動圧発生部Ａのうち、少なくとも丘部Ａａは、シリカ系無機被膜等からなる被膜層１１で被覆されている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸受隙間を満たす潤滑流体に動圧作用を発生させるための動圧発生部を備え、動圧発生部が部材表面に被着した微量インクの集合体からなる丘部と、該丘部で区画形成される溝部とで構成される動圧軸受装置において、
動圧発生部のうち、少なくとも丘部が、被膜層で被覆されていることを特徴とする動圧軸受装置。
【請求項２】
被膜層が無機被膜である請求項１に記載の動圧軸受装置。
【請求項３】
被膜層がめっき被膜である請求項１に記載の動圧軸受装置。
【請求項４】
被膜層が蒸着被膜である請求項１に記載の動圧軸受装置。
【請求項５】
丘部の厚みに対する被膜層の厚みの比が、０．３以下である請求項１〜４の何れかに記載の動圧軸受装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は動圧軸受装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
動圧軸受装置は、軸部材と軸受部材の相対回転により、両部材間に形成される軸受隙間を満たす潤滑流体に動圧作用を発生させ、その圧力で回転側の部材（例えば軸部材）を回転自在に非接触支持する軸受装置である。この動圧軸受装置は、高速回転、高回転精度、低騒音等に優れた特徴を示すものであり、近年ではその特徴を活かして、情報機器、例えばＨＤＤ、ＦＤＤ等の磁気ディスク装置、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ／ＲＷ、ＤＶＤ−ＲＯＭ／ＲＡＭ等の光ディスク装置、ＭＤ、ＭＯ等の光磁気ディスク装置などに搭載されるスピンドルモータ用の軸受、レーザービームプリンタ（ＬＢＰ）のポリゴンスキャナモータ用の軸受、あるいはプロジェクタのカラーホイール、軸流ファンなどの小型モータ用の軸受などとして広く用いられている。
【０００３】
この種の動圧軸受装置では、例えば金属製の軸部材の外周面、あるいは軸受部材の内周面の何れか一方に、ラジアル軸受隙間を満たす潤滑流体に動圧作用を発生させるための動圧発生部が形成される。動圧発生部としては、へリングボーン状やスパイラル状等に配列された複数の動圧溝が採用される場合が多く、この特殊かつ複雑な形状の動圧発生部を精度良く形成するための手法として、例えば印刷、より具体的にはインクジェット印刷（例えば、特許文献１参照）が公知である。
【０００４】
上記特許文献に開示された方法で形成される動圧発生部は、微量インクの集合体からなり、ヘリングボーン状等に配列された丘部と、該丘部で区画形成される溝部（動圧溝）とで構成される。この場合、軸受運転時における他方側の部材（ここでは軸受部材をいう）との摺動接触は、樹脂製の丘部によって優先的に行なわれる。そのため、転造等の機械加工で軸部材の表面にこの種の動圧発生部を形成した場合に比べ、軸受運転時における焼き付き等の不具合が生じにくい。
【特許文献１】特開２００５−３３１１００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、一般に、樹脂は金属に比べて低硬度、低剛性のため、特に動圧軸受装置の起動・停止時における軸受部材との摺動接触によって動圧発生部（丘部）の摩耗・損傷が生じ易い。そのため、上記特許文献に示す態様の動圧発生部では、長期使用時における信頼性に欠ける。
【０００６】
特に潤滑流体として潤滑油を使用する場合には、この種の問題が顕著になる場合がある。すなわち、動圧発生部が常時潤滑油に接触するため、丘部を形成するインク（樹脂組成物）の耐油性が問題となるが、丘部が耐油性に乏しい樹脂組成物で形成されていると、丘部に油が侵入して弾性率の低下を招き、これが摩耗の進行を早めるおそれがある。あるいは、丘部の接着力が低下し、丘部が剥離するおそれもある。
【０００７】
本発明の課題は、動圧発生部の耐久性を高め、長期に亘って安定した軸受性能を発揮可能な動圧軸受装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明は、軸受隙間を満たす潤滑流体に動圧作用を発生させるための動圧発生部を備え、動圧発生部が部材表面に被着した微量インクの集合体からなる丘部と、該丘部で区画形成される溝部とからなる動圧軸受装置において、動圧発生部のうち、少なくとも丘部が、被膜層で被覆されていることを特徴とするものである。なお、ここでいう軸受隙間には、ラジアル軸受隙間およびスラスト軸受隙間の双方が含まれる。
【０００９】
上記のように、動圧発生部のうち、少なくとも微量インクの集合体、すなわち樹脂製の丘部を被膜層で被覆することにより丘部の耐摩耗性や剛性を高めることができ、摺動接触に伴って丘部が摩耗、損傷等し、軸受性能が低下するのを抑制あるいは防止することができる。特に潤滑流体として潤滑油を用いる場合には、丘部に油が進入して丘部の摩耗が進行するのを抑制あるいは防止することが、また丘部が剥離するのを防止することができる。さらに、動圧発生部の耐久性等は上記の被膜層で確保されるため、丘部を形成する樹脂組成物（インク）の選定自由度を高めることができ、安価なインクで丘部を形成することも可能となる。もちろん、丘部のみならず、丘部によって区画形成される溝部を被膜層で被覆することもできる。
【００１０】
上記の被膜層は、例えば無機被膜とすることができる。無機被膜としては、例えば、シリカ系被膜、チタン系被膜、あるいはジルコニア系被膜などを採用することができる。
【００１１】
上記の被膜層は無機被膜以外にも、例えばめっき処理を施すことによって形成されるめっき被膜とすることもできる。めっき被膜としては、クロムめっき、亜鉛めっき、ニッケルめっき等公知のめっき被膜を採用することができる。
【００１２】
上記の被膜層は無機被膜、めっき被膜以外にも、例えばＰＶＤ法（Ｐｈｙｓｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ；物理蒸着法）、ＣＶＤ法（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ；化学蒸着法）等の公知の蒸着処理を施すことによって形成される蒸着被膜とすることもできる。蒸着被膜としては、ＤＬＣ、ＴｉＮ、ＣｒＮ、ＴｉＡｌＮ、ＴｉＣｒＮ等公知の蒸着被膜を採用することができる。
【００１３】
このように丘部を被膜層で被覆する場合に、被膜層があまりに厚膜に形成されると、丘部間の溝部が埋められて所定の溝深さが得られず、必要とされる圧力を得られない場合がある。これを回避するため、丘部の厚みｔ１に対する被膜層の厚み（厳密には最厚肉部の厚み）ｔ２の比（＝ｔ２／ｔ１）は０．３以下とするのが望ましい。
【発明の効果】
【００１４】
以上より、本発明によれば、動圧発生部の耐久性を高めることができ、長期に亘って安定した軸受性能を発揮可能な動圧軸受装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００１６】
図１は、情報機器用スピンドルモータの一構成例を概念的に示している。この情報機器用スピンドルモータは、ＨＤＤ等のディスク駆動装置に用いられるもので、動圧軸受装置１と、動圧軸受装置１の軸部材２に取り付けられたディスクハブ３と、例えば半径方向のギャップを介して対向させたステータコイル４およびロータマグネット５と、ブラケット６とを備えている。ステータコイル４はブラケット６の外周に取り付けられ、ロータマグネット５は、ディスクハブ３の内周に取り付けられている。ディスクハブ３は、その外周に磁気ディスク等のディスクＤを一枚または複数枚保持する。ブラケット６の内周に動圧軸受装置１が装着されている。ステータコイル４に通電すると、ステータコイル４とロータマグネット５との間に発生する電磁力でロータマグネット５が回転し、それに伴ってディスクハブ３、軸部材２が回転する。
【００１７】
図２は、本発明にかかる動圧軸受装置の第１実施形態を示すものである。この動圧軸受装置１は、回転中心に軸部２ａを有する軸部材２と、軸部２ａをその内周に挿入可能なスリーブ状の軸受部材７と、その一端開口を封口する蓋部材８と、他端開口をシールするシール部材９とを主な構成部材として備えている。本実施形態では、軸部材２が回転側、軸受部材７が固定側である。なお、以下では、説明の便宜上、蓋部材８の側を下側、シール部材９の側を上側として説明を行う。
【００１８】
軸受部材７は、例えば、樹脂材料や黄銅等の金属材料で略円筒状に形成される。図示例の軸受部材７は、内周に軸部材２の軸部２ａを挿入可能なスリーブ部７ａと、スリーブ部７ａの上方に位置するシール装着部７ｂと、スリーブ部７ａの下方に位置する封口部７ｃとで構成される。スリーブ部７ａは、シール装着部７ｂや封口部７ｃよりも小径に形成され、その内周面７ａ１は平滑な円筒面に形成されている。
【００１９】
スリーブ部７ａの下側端面７ａ２の全面又は一部環状領域には、第１スラスト軸受部Ｔ１のスラスト軸受面が設けられ、該環状領域にはスラスト動圧発生部として、例えばスパイラル形状に配列された複数の動圧溝が形成されている（図示省略）。このスラスト動圧発生部は、対向する軸部材２のフランジ部２ｂの上側端面２ｂ１に形成してもよい。
【００２０】
スリーブ部７ａの付け根部分には、スリーブ部７ａを軸方向に貫通する循環孔１０ａが円周方向の一または複数箇所に設けられる。この循環穴１０ａは、軸方向全長に亘って同径とする他、異径とすることもできる。スリーブ部７ａの上側端面７ａ３には、円環溝１０ｂが形成され、この円環溝１０ｂからスリーブ部７ａの内周面７ａ１に抜ける径方向溝１０ｃが形成されている。またスリーブ部７ａの下側端面７ａ２の外径側には、循環孔１０ａから軸部材２のフランジ部２ｂの外径側空間に抜ける径方向溝１０ｄが形成されている。
【００２１】
軸受部材７の封口部７ｃには、軸受部材７とは別体の蓋部材８が固定され、これにより軸受部材７の下端開口が封口される。図示例の蓋部材８は、樹脂あるいは金属材料で形成され、略円盤状のプレート部８ｂと、プレート部８ｂの外周から上方に突出する円筒部８ａとを一体に備える。プレート部８ｂの上側端面８ｂ１の全面又は一部環状領域には、第２スラスト軸受部Ｔ２のスラスト軸受面が設けられ、該環状領域にはスラスト動圧発生部として、例えばスパイラル形状に配列された複数の動圧溝が形成されている（図示省略）。スラスト動圧発生部は、対向するフランジ部２ｂの下側端面２ｂ２に形成してもよい。
【００２２】
上記構成の蓋部材８は、軸受部材７の封口部７ｃの内周面７ｃ１に、圧入、接着、圧入接着、溶着、あるいは溶接等、材料等を考慮して適宜の手段で固定される。固定時には、蓋部材８の円筒部８ａの上側端面８ａ２をスリーブ部７ａの下側端面７ａ２と当接させ、軸受部材７（スリーブ部７ａ）の下側端面７ａ２と蓋部材８を構成するプレート部８ｂの上側端面８ｂ１との間に所定寸法の空間を形成する。この空間に軸部材２のフランジ部２ｂが収容され、これにより後述するスラスト軸受隙間の幅が規定値に設定される。
【００２３】
シール部材９は、例えば金属材料や樹脂材料で環状に形成され、軸受部材７のシール装着部７ｂの内周面７ｂ１に、接着、圧入、圧入接着等適宜の手段で固定される。シール部材９の内周面９ａは上方に向けて漸次拡径したテーパ状をなし、この面と対向する軸部２ａの外周面２ａ１との間にテーパ状のシール空間Ｓを形成する。
【００２４】
軸部材２は、ステンレス鋼等の金属材料で形成され、軸部２ａと、軸部２ａに一体または別体に設けられたフランジ部２ｂとを備える。フランジ部２ｂの全体またはその一部（例えば、両端面）は樹脂で形成することもできる。
【００２５】
軸部２ａの外周面２ａ１には、第１ラジアル軸受部Ｒ１と第２ラジアル軸受部Ｒ２のラジアル軸受面となる上下２つの領域が軸方向に離隔して設けられ、当該２つの領域にはそれぞれ動圧発生部（ラジアル動圧発生部）Ａが形成されている。ラジアル動圧発生部Ａは、例えばへリングボーン形状に配列された複数の丘部Ａａと、該丘部Ａａによって区画形成される溝部（動圧溝）Ａｂとで構成される。本実施形態において、上側の動圧溝は、軸方向中心ｍに対して軸方向非対称に形成されており、軸方向中心ｍより上側領域の軸方向寸法Ｘ１が下側領域の軸方向寸法Ｘ２よりも大きくなっている。そのため、軸部材２の回転時、上側の動圧溝による潤滑流体の引き込み力（ポンピング力）は下側の対称形の動圧溝に比べ相対的に大きくなる。
【００２６】
ラジアル動圧発生部Ａの丘部Ａａは微量インクの集合体を硬化させて形成されたもので、本実施形態では図３（ａ）に示すように、軸部２ａの外周面２ａ１に被着した断面略台形状に形成される。インクとしては、例えば、光硬化性樹脂、好ましくは紫外線硬化樹脂を主成分（ベース樹脂）とし、これにラジカル系光重合開始剤やカチオン系光重合開始剤等の光重合開始剤および着色剤（染料や顔料）等の各種添加剤を適宜配合したものが使用可能である。なお、図示例は理解の容易化のために各部の寸法を誇張して描いたものであり、実際には、丘部Ａａの厚みは数μｍ程度、隣接する丘部Ａａ間の離間距離は数十〜数百μｍ程度である。
【００２７】
ラジアル動圧発生部Ａを含む軸部２ａの外周面２ａ１は被膜層１１で被覆されている。被膜層１１は、コルコートＰ（コルコート株式会社製）、グランデックスＦＪ（グランデックス株式会社製）等に代表されるシリカ（シリカ化合物）を含有するシリカ系コーティング材、オルガチックスＴＣ−１００（松本製薬工業株式会社製）等に代表されるチタン化合物を含有するチタン系コーティング材、あるいはオルガチックスＺＣ−１５０（松本製薬工業株式会社製）等に代表されるジルコニウム化合物を含有するジルコニウム系コーティング材を硬化させて形成された、いわゆる無機被膜である。
【００２８】
上記のラジアル動圧発生部Ａおよびこれを被覆する被膜層１１は、例えば、軸部２ａと非接触に設けられたノズルから微小液滴の状態でインクを吐出して軸部２ａの外周面２ａ１にラジアル動圧発生部Ａの丘部Ａａを形成した後、軸部２ａを上記の中から選択されたコーティング材に浸漬させ（ディッピング）、該コーティング材を硬化させることにより形成される。この被膜層１１は、図３（ｂ）に示すように、丘部Ａａの厚みｔ１に対するその厚み（厳密には最厚肉部の厚み）ｔ２の比（＝ｔ２／ｔ１）が０．３以下となるように形成される。従って、例えば丘部Ａａの厚みｔ１が４μｍ程度の場合、被膜層１１の厚みｔ１は１μｍ程度に形成される。なお、インクの密着性を高めるため、ラジアル動圧発生部Ａの形成に先立って、軸部２ａの外周面２ａ１のうち、少なくともラジアル動圧発生部Ａの形成領域にはカップリング処理等の表面処理を施しておくのが望ましい。
【００２９】
動圧軸受装置１は以上の部材で構成され、シール部材９で密封された軸受部材７の内部空間には潤滑流体として例えば潤滑油が注油され、内部空間が潤滑油で充満される。図示例の状態で、潤滑油の油面は常時シール空間Ｓの範囲内に維持される。
【００３０】
上記構成の動圧軸受装置１において、軸部材２が回転すると、軸部２ａの外周面２ａ１の軸方向二箇所に離隔して形成されたラジアル動圧発生部Ａは、スリーブ部７ａの内周面７ａ１とラジアル軸受隙間を介して対向する。軸部材２の回転に伴い、ラジアル軸受隙間に満たされた潤滑油が動圧作用を発生し、その圧力によって軸部材２がラジアル方向に回転自在に非接触支持される。これにより、軸部材２をラジアル方向に回転自在に非接触支持する第１ラジアル軸受部Ｒ１、第２ラジアル軸受部Ｒ２が形成される。
【００３１】
また、軸部材２が回転すると、スリーブ部７ａの下側端面７ａ２および蓋部材８の上側端面８ｂ１に形成されたスラスト動圧発生部は、軸部材２のフランジ部２ｂの両端面２ｂ１、２ｂ２とそれぞれスラスト軸受隙間を介して対向する。軸部材２の回転に伴い、両スラスト軸受隙間に満たされた潤滑油が動圧作用を発生し、その圧力によって軸部材２が両スラスト方向に回転自在に非接触支持される。これにより、軸部材２を両スラスト方向に回転自在に非接触支持する第１スラスト軸受部Ｔ１、第２スラスト軸受部Ｔ２が形成される。
【００３２】
なお、本実施形態においては、上述したとおり、軸部材２の回転時における動圧溝による潤滑油の引き込み力（ポンピング力）は下側の第２ラジアル軸受部Ｒ２に比べ上側の第１ラジアル軸受部Ｒ１で相対的に大きくなる。そして、この引き込み力の差圧によって、スリーブ部７ａの内周面７ａ１と軸部２ａの外周面２ａ１との間のラジアル軸受隙間に充満された潤滑油は下方に流動し、スリーブ部７ａの下側端面７ａ２とフランジ部２ｂの上側端面２ｂ１との間のスラスト軸受隙間→径方向溝１０ｄ→循環孔１０ａ→スリーブ部７ａの上側端面７ａ３とシール部材９の下側端面９ｂとの間の隙間→円環溝１０ｂ→径方向溝１０ｃ、という経路を辿ってラジアル軸受部Ｒ１のラジアル軸受隙間に再び引き込まれる。このように、軸受部材７の内部空間に充満された潤滑油が上記の循環経路を介して流動循環することにより、潤滑油の圧力バランスが保たれると同時に、局部的な負圧の発生に伴う気泡の生成、気泡の生成に起因する潤滑油の漏れや振動の発生等が防止される。
【００３３】
以上のように、本発明では、微量インクの集合体からなる丘部Ａａを有するラジアル動圧発生部Ａを、シリカ系コーティング材等を硬化させた無機被膜からなる被膜層１１で被覆した。これにより、ラジアル動圧発生部Ａ（丘部Ａａ）の耐摩耗性や剛性を高めることができ、軸受装置の起動・停止に伴う軸受部材との摺動接触によって丘部Ａａが摩耗、損傷等し、軸受性能が低下するのを抑制あるいは防止することができる。したがって、ラジアル動圧発生部Ａの摩耗や脱落の可能性を減じてその耐久性を高め、長期に亘って安定した軸受性能を確保することが可能となる。特に、潤滑流体として潤滑油を用いた本実施形態においては、樹脂製の丘部Ａａに潤滑油が侵入して丘部Ａａの摩耗が進行するのを抑制あるいは防止することが、また丘部Ａａの剥離を防止することができる。また、被膜層１１でラジアル動圧発生部Ａの耐久性等が確保されるため、丘部Ａａを形成するインクの選定自由度を高めることができる。これにより、安価なインクで丘部Ａａを形成することも可能となる。
【００３４】
ところで、被膜層１１があまりに厚膜に形成されると、丘部Ａａ間の溝部（動圧溝）Ａｂが埋められて所定の溝深さが得られず、必要とされる圧力を発生させることができないおそれがある。特に図３に示すように丘部Ａａが断面略台形状をなす場合に、ディッピング等で被膜層１１を形成すると、丘部Ａａを被覆する被膜層１１は、図３（ａ）に示すように、丘部Ａａの上端面中央部から上端縁部にむけて漸次薄くなり、そして、丘部Ａａによって区画形成される溝部Ａｂで最も厚くなる。この場合には、特に上記の問題が顕著になる。この点、本実施形態では、丘部Ａａの厚みｔ１に対する被膜層１１の厚みｔ２の比（＝ｔ２／ｔ１）を０．３以下としているので、かかる事態を生じることなく、所望の圧力を確保することができる。なお、特に図示する形態では、被膜層１１の厚みが局所的に極薄となるが、上記の無機被膜はかかる薄膜状であっても十分な耐摩耗性を発揮することができ、軸受性能の低下を防止することができる。
【００３５】
以上では、ラジアル動圧発生部Ａの丘部Ａａを被覆する被膜層１１を無機被膜とした構成について説明を行ったが、被膜層１１としてめっき被膜、より具体的には、例えば、クロムめっき被膜、亜鉛めっき被膜、ニッケルめっき被膜等を採用してもよい。このように被膜層１１としてめっき被膜を採用しても、上記同様の作用効果が得られる。なお、ラジアル動圧発生部Ａの丘部Ａａを被覆する被膜層１１としてめっき被膜を採用する場合には、ラジアル動圧発生部Ａ（丘部Ａａ）が導電性を有する必要がある。そのため、この場合のインクには、上述した添加剤に加え、カーボンブラックや金属ナノ粒子（銀、銅など）等の導電性物質が添加される。
【００３６】
さらに、ラジアル動圧発生部Ａの丘部Ａａを被覆する被膜層１１は、真空蒸着、スパッタリング、およびイオンプレーティング等に代表されるＰＶＤ法、あるいは熱ＣＶＤ、光ＣＶＤ、およびプラズマＣＶＤ等に代表されるＣＶＤ法等、公知の蒸着処理を施すことによって形成される蒸着被膜とすることもできる。蒸着被膜の種類に特に限定はなく、ＤＬＣ、ＴｉＮ、ＣｒＮ、ＴｉＡｌＮ、ＴｉＣｒＮ等公知のものを採用することができる。
【００３７】
以上のことから、ラジアル動圧発生部Ａの丘部Ａａを被覆する被膜層１１は、用途や使用環境等に応じて変化する要求特性に対して特に好適なものを選択使用すればよい。
【００３８】
また、以上では、ラジアル動圧発生部Ａ（丘部Ａａおよび溝部Ａｂ）の全体を被膜層１１で被覆した構成について説明を行ったが、被膜層１１は、例えば被膜層１１の形成方法を変更することにより丘部Ａａのみを被覆するように形成してもよい。この場合、丘部Ａａの厚みｔ１を上記同様とすれば、溝部Ａｂとの高低差が上述した形態に比べ大きくなるので、より大きな圧力を発生させることができる。あるいは、丘部Ａａの厚みｔ２を小さくしてインクの使用量を低減し、ラジアル動圧発生部Ａの成形コストを低減することができる。
【００３９】
また、以上では、ラジアル動圧発生部Ａを軸部２ａの外周面２ａ１に形成した構成について説明を行ったが、ラジアル動圧発生部Ａを、軸部２ａの外周面２ａ１とラジアル軸受隙間を介して対向する軸受部材７のスリーブ部内周面７ａ１に形成し、これを被膜層１１で被覆することもできる。かかる構成であっても、上記同様の作用効果が得られる。
【００４０】
また、以上では、ラジアル動圧発生部Ａを印刷成形し、これを被膜層１１で被覆する構成について説明を行ったが、スラスト動圧発生部を印刷成形し、これをラジアル動圧発生部Ａと同様に被膜層１１で被覆することもできる。例えば以上で説明を行った実施形態では、軸受部材７の下側端面７ａ２および蓋部材８の上側端面８ｂ１に形成したスラスト動圧発生部の何れか一方または双方を上記の構成とすることができる。もちろん、スラスト動圧発生部を、対向するフランジ部２ｂの上下端面２ｂ１、２ｂ２に形成する場合にも同様の構成を採用することができる。特にこの場合には、軸部材２にラジアル動圧発生部Ａおよびスラスト動圧発生部を形成した後、一工程で被膜層１１を形成することができるので望ましい。
【００４１】
以上、本発明の構成を適用した動圧軸受装置の一実施形態について説明を行ったが、本発明はこの実施形態に限定されるものでなく、例えば、以下示す構成の動圧軸受装置にも好ましく適用することができる。なお、図２に示す実施形態と同一の構成部材および要素には同一記号を付与し、重複説明を省略する。
【００４２】
図４は、動圧軸受装置の第２実施形態を示すものである。同図に示す動圧軸受装置１では、軸部２ａの上端にディスク搭載面を有するディスクハブ２３が固定され、第２のスラスト軸受部Ｔ２が、軸部材２に固定されたディスクハブ２３を構成する円盤部２３ａの下側端面２３ａ１と、軸受部材７の上側端面７ａ３との間に形成される。また、シール空間Ｓが、軸受部材７ａのテーパ状外周面７ａ４とディスクハブ２３の円筒部２３ｂの内周面２３ｂ１との間に形成される。
【００４３】
図５は、動圧軸受装置の第３実施形態を示すものである。同図に示す動圧軸受装置１は、軸部材２に、フランジ状の第１シール部１９および第２シール部２０を軸方向に離隔させて設け、二つのシール部１９、２０の外周面１９ｃ、２０ｃと、これに対向する軸受部材７の内周面７ｂ１、７ｃ１との間にそれぞれシール空間Ｓ１、Ｓ２が形成されている。第１および第２のスラスト軸受部Ｔ１、Ｔ２はそれぞれ、第１シール部１９の下側端面１９ｂおよび第２シール部２０の上側端面２０ｂと、軸受部材７のスリーブ部７ａの上下端面７ａ３、７ａ２との間に形成される。なお、図示は省略しているが、図２および図４に示す形態と同様に、スリーブ部７ａの上下端面を連通する循環孔１０ａを設けることもできる。
【００４４】
図示は省略するが、上記図２、図４、および図５で例示した動圧軸受装置１において、軸受部材７のスリーブ部７ａは、その他の部分と別体にすることもできる。
【００４５】
また、以上の説明では、軸部２ａの外周面２ａ１に形成されるラジアル動圧発生部Ａを、ヘリングボーン状等に配列された複数の動圧溝で構成した形態について例示したが、印刷形成可能な形状であれば、これ以外の形状、例えば多円弧面やステップ面で構成されたラジアル動圧発生部Ａとすることもできる（図示省略）。
【００４６】
また、以上の説明では、ラジアル軸受部を、ラジアル軸受部Ｒ１、Ｒ２のように、軸方向２箇所に離隔して設けた構成を例示しているが、軸方向の上下領域に亘って１つのラジアル軸受部を設けた構成としても良い。また、ラジアル軸受部を軸方向の３箇所以上に離隔して設けることもできる。
【００４７】
また、図示は省略するが、スラスト軸受面となる領域にスラスト動圧発生部として複数の半径方向溝形状の動圧溝を円周方向所定間隔に配列したステップ面を形成し、スラスト軸受部Ｔ１およびＴ２のうちの何れか一方又は双方を、いわゆるステップ軸受、いわゆる波型軸受（ステップ型が波型になったもの）等で構成することもできる。
【００４８】
また、以上で説明を行った実施形態は、軸受部材７を固定側としたものであるが、これとは逆に、軸受部材７を回転側とすることもできる。
【００４９】
また、以上では、軸受部材７の内部に充満する潤滑流体として潤滑油を例示したが、潤滑流体として磁性流体、あるいは空気等の気体を採用することもできる。
【００５０】
また、以上の説明では、本発明の構成を有する動圧軸受装置１をディスク装置のスピンドルモータに組み込んだ形態を例示したが、スピンドルモータ以外のモータ、例えば、ファンモータ等に組み込まれる動圧軸受装置にも本発明の構成を好ましく用いることができる。
【実施例】
【００５１】
本発明の有用性を実証するため、軸部材２の外周面２ａ１にインクジェット法で印刷成形されたラジアル動圧発生部Ａ（丘部Ａａ）を、被膜層１１で被覆した場合（図６中、試料Ｎｏ１〜６）と被覆しない場合（図６中、試料Ｎｏ７）とで耐久性能を比較した。丘部Ａａを形成するためのインクは全試料同一とし、ベース樹脂は、紫外線硬化樹脂、具体的にはカチオン重合系モノマーである脂肪族環状エポキシ樹脂としてのセロキサイド２０２１Ｐと、脂環式ジエポキシ樹脂としてのセロキサイド３０００（何れもダイセル化学工業（株）製）とをそれぞれ５０質量部ずつ混合したものである。また、前記ベース樹脂には、カチオン系重合開始剤であるトリアリルスルフォニュムヘキサフルオロフェスフェード塩として、Ｕｖａｃｕｒｅ１５９０（ダイセル・ユーシービー（株）製）を３質量部、さらにインクの着色剤として、蛍光染料であるカヤセット  フラビンＦＧ（日本化薬（株）製）を１質量部添加した。
【００５２】
また、被膜層１１としては、コルコートＰからなるシリカ系無機被膜（試料Ｎｏ１）、グランデックスＦＪ８０１からなるシリカ系無機被膜（試料Ｎｏ２）、オルガチックスＴＣ−１００からなるチタン系無機被膜（試料Ｎｏ３）、クロムめっき被膜（試料Ｎｏ４）、亜鉛めっき被膜（試料Ｎｏ５）、およびニッケルめっき被膜（試料Ｎｏ６）の６種類を準備した。
【００５３】
耐久性能の合否判定基準は、上記の各軸部材２を動圧軸受装置に組み込んで軸受装置の起動停止を１０万回行った後に、ラジアル動圧発生部Ａ（丘部Ａａ）の丘部Ａａの剥離が無く、かつ丘部Ａａの厚みが当初厚みの５０％以上であった場合を合格（○）、丘部Ａａの剥離が有った場合、もしくは丘部Ａａの厚みが当初厚みの５０％未満であった場合を不合格（×）とした。なお、丘部Ａａの剥離および損傷の程度確認は、顕微鏡観察およびＳＥＭ観察によって行った。その結果を図６に示す。
【００５４】
図６からも明らかなように、本発明の実施形態にかかる試料Ｎｏ１〜６では何れも丘部Ａａの剥離が無く、かつほとんど摩耗が生じず合格（○）であったのに対し、比較例では摩耗が進行して不合格（×）となった。これにより、本発明の有用性が実証できる。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】動圧軸受装置を組み込んだスピンドルモータの一例を示す図である。
【図２】動圧軸受装置の第１実施形態を示す断面図である。
【図３】（ａ）図は、ラジアル動圧発生部を構成する丘部の拡大概略図、（ｂ）図は、丘部の厚みと被膜層の厚みとを対比させた図である。
【図４】動圧軸受装置の第２実施形態を示す断面図である。
【図５】動圧軸受装置の第３実施形態を示す断面図である。
【図６】本発明の有用性を実証するために行った比較試験の試験結果である。
【符号の説明】
【００５６】
１        動圧軸受装置
２        軸部材
２ａ      軸部
２ｂ      フランジ部
７        軸受部材
８        蓋部材
９        シール部材
１１      被膜層
Ａ        ラジアル動圧発生部
Ａａ      丘部
Ａｂ      溝部（動圧溝）
Ｒ１、Ｒ２    ラジアル軸受部
Ｔ１、Ｔ２    スラスト軸受部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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