(57)【要約】      （修正有）【課題】インクジェット法により着色層を形成した際、混色等が生じた場合であっても、その部分を修正し、高品質なカラーフィルタを製造する方法を提供する。【解決手段】樹脂製遮光部１が形成された基材上の、前記樹脂製遮光部１により区画された画素領域ｓに着色層形成用塗工液をインクジェット法により塗布し、着色層３を形成する着色層３形成工程と、前記各画素領域Ｓに形成された前記着色層３に欠陥が存在するか否かを検査する着色層検査工程と、前記着色層検査工程により欠陥が検出された欠陥画素領域ａの前記着色層３すべてを除去する着色層除去工程と、前記欠陥画素領域ａ周辺の前記樹脂製遮光部１にフッ素化合物を導入ガスとして大気圧プラズマを照射するプラズマ照射工程と、前記欠陥画素領域ａに修正着色層４形成用塗工液を塗布し、修正着色層４を形成する修正着色層形成工程とを有することを特徴とする。【選択図】図１
2008089624.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂製遮光部が形成された基材上の、前記樹脂製遮光部により区画された画素領域に着色層形成用塗工液をインクジェット法により塗布し、着色層を形成する着色層形成工程と、
前記各画素領域に形成された前記着色層に欠陥が存在するか否かを検査する着色層検査工程と、
前記着色層検査工程により欠陥が検出された欠陥画素領域の前記着色層すべてを除去する着色層除去工程と、
前記欠陥画素領域周辺の前記樹脂製遮光部にフッ素化合物を導入ガスとしてプラズマを照射するプラズマ照射工程と、
前記欠陥画素領域に修正着色層形成用塗工液を塗布し、修正着色層を形成する修正着色層形成工程と
を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項２】
前記着色層除去工程と前記プラズマ照射工程との間に、前記欠陥画素領域を洗浄する洗浄工程を有することを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置等に用いられるカラーフィルタの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、パーソナルコンピューターの発達、特に携帯用パーソナルコンピューターの発達に伴い、液晶表示装置、とりわけカラー液晶表示装置の需要が増加する傾向にある。このカラー液晶表示装置には、通常赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、および青（Ｂ）の３原色の着色層とこれを仕切るブラックマトリックスを備えたカラーフィルタが設けられており、このカラーフィルタのＲ、Ｇ、およびＢのそれぞれの画素に対応する電極をＯＮ、ＯＦＦさせることで液晶がシャッタとして作動し、Ｒ、Ｇ、およびＢのそれぞれの画素を光が通過してカラー表示が行われる。
【０００３】
ここで、このようなカラーフィルタの着色層をインクジェット方式により形成する場合、通常、全ての色の着色層形成用塗工液を各画素領域に塗布した後に、着色層形成用塗工液を硬化することとなる。そのため、隣接する画素領域に塗布された異なる色の着色層形成用塗工液どうしが未硬化の状態で接触すること等により、混色が生じやすいという問題があった。また隣接する画素領域に塗布された異なる色の着色層形成用塗工液どうしが接触した場合、混色した着色層形成用塗工液は画素領域全体に拡散してしまう。したがって、この画素領域の着色層を修正するためには、着色層形成用塗工液を硬化させた後、例えば図２に示すように、混色が生じている画素領域ａの着色層３´全てを完全に除去し、修正着色層形成用塗工液を塗布して修正着色層４を形成する必要がある。しかしながら、上記着色層３´を除去する際、遮光部２の端部際まで着色層３´を完全に除去するため、隣接する画素間の遮光部２が細くなってしまう場合等があった。これにより、隣接する画素の間隔が狭い場合には特に、修正用の着色層形成用塗工液をそれぞれの画素領域からはみ出さないように塗布することが難しいという問題があった。
なお、本発明に関する先行文献は発見されていない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
そこで、インクジェット法により着色層を形成した際、混色等が生じた場合であっても、その部分を修正し、高品質なカラーフィルタを製造する方法の提供が望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、樹脂製遮光部が形成された基材上の、上記樹脂製遮光部により区画された画素領域に着色層形成用塗工液をインクジェット法により塗布し、着色層を形成する着色層形成工程と、上記各画素領域に形成された上記着色層に欠陥が存在するか否かを検査する着色層検査工程と、上記着色層検査工程により欠陥が検出された欠陥画素領域の上記着色層すべてを除去する着色層除去工程と、上記欠陥画素領域周辺の上記樹脂製遮光部にフッ素化合物を導入ガスとしてプラズマを照射するプラズマ照射工程と、上記欠陥画素領域に修正着色層形成用塗工液を塗布し、修正着色層を形成する修正着色層形成工程とを有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法を提供する。
【０００６】
本発明によれば、欠陥が生じた欠陥画素領域の着色層全てを除去した後、欠陥画素領域周辺の樹脂製遮光部に上記プラズマ照射工程によりフッ素化合物を導入ガスとしてプラズマを照射することによって、上記欠陥画素領域周辺の樹脂製遮光部を撥液性とすることができる。したがって、修正着色層形成用塗工液が欠陥画素領域の外にはみ出すことを防ぐことができ、欠陥画素領域に、隣接する画素領域とは異なる色の修正着色層形成用塗工液を塗布した場合であっても混色等のない高品質なカラーフィルタを製造することができる。
【０００７】
上記発明においては、上記着色層除去工程と上記プラズマ照射工程との間に、上記欠陥画素領域を洗浄する洗浄工程を有することが好ましい。これにより、欠陥画素領域を親水性領域とすること等が可能となり、欠陥画素領域に白抜け等なく修正着色層を形成することが可能となるからである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、着色層を修正する際、修正着色層形成用塗工液が欠陥画素領域の外にはみ出すことを防ぐことができ、混色等のない、高品質なカラーフィルタを製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明は、液晶表示装置等に用いられるカラーフィルタの製造方法に関するものであり、樹脂製遮光部が形成された基材上の、上記樹脂製遮光部により区画された画素領域に着色層形成用塗工液をインクジェット法により塗布し、着色層を形成する着色層形成工程と、上記各画素領域に形成された上記着色層に欠陥が存在するか否かを検査する着色層検査工程と、上記着色層検査工程により欠陥が検出された欠陥画素領域の上記着色層すべてを除去する着色層除去工程と、上記欠陥画素領域周辺の上記樹脂製遮光部にフッ素化合物を導入ガスとしてプラズマを照射するプラズマ照射工程と、上記欠陥画素領域に修正着色層形成用塗工液を塗布し、修正着色層を形成する修正着色層形成工程とを有することを特徴とする方法である。
【００１０】
本発明のカラーフィルタの製造方法は、例えば図１（ａ）に示すような樹脂製遮光部１が形成された基材（図示せず）の、樹脂製遮光部１により区画された画素領域ｓに着色層形成用塗工液を塗布し、着色層３（３Ｒ、３Ｇ、および３Ｂ）を形成する着色層形成工程（図１（ｂ））と、各画素領域ｓに形成された着色層３に欠陥が生じているか否かを検査する検査工程（図示せず）と、検査工程によって欠陥が発見された欠陥画素領域（図中、例えばａおよびａ´で示される部分）に形成された着色層３全てを除去する着色層除去工程（図１（ｃ）および（ｄ））と、上記着色層３が除去された欠陥画素領域ａおよびａ´の周辺部の樹脂製遮光部１にフッ素化合物を導入ガスとしてプラズマを照射するプラズマ照射工程(図示せず)と、上記欠陥画素領域ａおよびａ´に修正着色層形成用塗工液を塗布し、修正着色層４（例えば４Ｇおよび４Ｂ）を形成する修正着色層形成工程（図１（ｅ））とを有することを特徴とする方法である。なお本発明でいう欠陥とは、着色層に生じた混色をいうこととする。
【００１１】
本発明においては、上記検査工程により欠陥が検出された欠陥画素領域の着色層すべてを除去した後、その欠陥画素領域の周辺の樹脂製遮光部にプラズマを照射する。ここで、フッ素化合物を導入ガスとして用いてプラズマを照射した場合、有機物にフッ素を導入することができ、表面を撥液性とすることができる。したがって、上記プラズマ照射工程により上記欠陥画素領域周辺の樹脂製遮光部を撥液性とすることができ、欠陥画素領域に修正着色層形成用塗工液を塗布した際、修正着色層形成用塗工液が欠陥画素領域外にはみ出してしまうことを防ぐことができる。そのため本発明によれば、着色層に混色が生じないものとすることができ、遮光部の線幅を狭くした場合であっても、高品質なカラーフィルタを製造することができるのである。
【００１２】
なお、フッ素化合物を導入ガスとしてプラズマ照射を行った場合、無機物にはフッ素が導入されない。したがって、本発明において基材として無機物からなるものを用いることにより、欠陥画素領域にはフッ素が導入されないものとすることができ、欠陥画素領域には修正着色層形成用塗工液を均一に塗布することが可能となる。
【００１３】
ここで、本発明においては、上記着色層除去工程後、プラズマ照射工程前に、上記着色層が除去された欠陥画素領域を洗浄する洗浄工程を有することが好ましい。これにより、欠陥画素領域に残存している残渣等を取り除くことができ、上記残渣や、プラズマ照射工程によりこの残渣に導入されたフッ素化合物等によって、この部分が撥液性となってしまうことを防ぐことができる。またさらに、欠陥画素領域を洗浄することによって、欠陥画素領域の親液性を高いものとすること等もでき、修正着色層形成工程において、より均一に修正着色層形成用塗工液を塗布することが可能となるからである。以下、本発明のカラーフィルタの製造方法の各工程ごとに詳しく説明する。
【００１４】
１．着色層形成工程
まず、本発明のカラーフィルタの製造方法の着色層形成工程について説明する。本発明の着色層形成工程は、樹脂製遮光部が形成された基材上の、上記樹脂製遮光部により区画された画素領域に着色層形成用塗工液をインクジェット法により塗布し、着色層を形成する工程であり、例えば複数色の着色層形成用塗工液をそれぞれ目的とする画素領域にインクジェットノズルによって塗布した後、硬化させて着色層を形成する工程とすることができる。本工程により形成される着色層は、通常、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、および青（Ｂ）の３色とされるが、４色以上であってもよい。また本工程により形成される着色層の配列は、例えばストライプ型、モザイク型、トライアングル型、４画素配置型等の公知の配列とすることができ、画素領域の面積は任意に設定することができる。また本工程により形成される着色層の膜厚としては、目的とするカラーフィルタの種類等により、適宜選択されるものであるが、通常１．３μｍ〜２．０μｍ程度とされることが好ましい。
【００１５】
なお、本工程において着色層形成用塗工液を塗布するために用いられるインクジェット装置としては、一般的にカラーフィルタを製造する際に用いられるものと同様とすることができる。
【００１６】
また、本工程に用いられる着色層形成用塗工液としては、インクジェット法を用いてカラーフィルタを製造する際に一般的に用いられるものと同様とすることができる。
【００１７】
本工程において用いられる基材としては、樹脂製遮光部および着色層を形成可能なものであれば特に限定されるものではないが、無機物からなるものであることが好ましい。これにより、プラズマ照射工程においてプラズマ照射を行った際、欠陥画素領域の表面にフッ素化合物が導入されてしまうことのないものとすることができ、修正着色層形成工程において、修正着色層形成用塗工液を欠陥画素領域に均一に塗布することが可能となるからである。このような基材としては、通常カラーフィルタに用いられるものを用いることができ、例えば石英ガラス、パイレックス（登録商標）ガラス、合成石英板等の可撓性のない透明なリジッド材等を用いることができる。
【００１８】
また、このような基材上に形成される樹脂製遮光部としては、一般的なカラーフィルタに樹脂製遮光部として用いられるものであれば特に限定されるものではない。このような樹脂製遮光部としては、例えば樹脂バインダ中にカーボン微粒子、金属酸化物、無機顔料、有機顔料等の遮光性粒子を含有させた層をフォトリソ法、印刷法等により形成したもの等とすることができる。また画素領域と画素領域との間に形成される樹脂製遮光部の線幅としては、カラーフィルタの用途や種類等に応じて適宜選択されるが、通常５μｍ〜１００μｍ程度、中でも１０μｍ〜５０μｍ程度とされることが好ましい。これにより、本工程において着色層形成用塗工液を塗布する際や、後述する修正着色層形成工程において修正着色層形成用塗工液を塗布する際に、隣接する画素間で着色層形成用塗工液や修正着色層形成用塗工液が、接触してしまうことが少ないものとすることができるからである。
【００１９】
２．着色層検査工程
次に、本発明における着色層検査工程について説明する。本発明における着色層検査工程は、上記各画素領域に形成された上記着色層に欠陥が存在するか否かを検査する工程である。上記着色層を検査する方法としては、例えば各画素領域に形成された着色層の色度や輝度を測定する方法や、ＣＣＤカメラにより上記着色層を撮像し、これを予め準備された基準パターンと比較することによって欠陥を識別する方法、ＣＣＤカメラにより上記着色層を撮像し、入力された信号と、パターン間隔分を遅延した信号とを比較することにより規則的なパターン以外のデータを欠陥として検出する方法等が挙げられる。
【００２０】
上記着色層の色度や輝度を測定する方法としては、例えば顕微鏡型分光光度計を用いて、各画素領域の着色層の色度や輝度をそれぞれ測定し、標準値と比較する方法等とすることができる。
【００２１】
３．着色層除去工程
次に、本発明における着色層除去工程について説明する。本発明における着色層除去工程は、上記着色層検査工程により欠陥が検出された欠陥画素領域の上記着色層すべてを除去する工程である。本工程により着色層が除去されることにより、欠陥画素領域には基材が露出することとなる。なお、本工程においては、上記着色層だけでなく、その周囲に形成された樹脂製遮光部の一部を、着色層と一緒に除去してもよい。
【００２２】
ここで、上記欠陥画素領域に形成された着色層を全て除去する方法としては、欠陥画素領域を囲む樹脂製遮光部の端部まで着色層を除去し、基材を露出させることが可能な方法であれば特に限定されるものではなく、例えばスクラッチやレーザー等による方法が挙げられる。
【００２３】
なお本発明においては、上記欠陥画素領域の液体との接触角は、表面張力４０ｍＮ／ｍの液体との接触角が９°未満、好ましくは表面張力５０ｍＮ／ｍの液体との接触角が１０°以下、特に表面張力６０ｍＮ／ｍの液体との接触角が１０°以下とされていることが好ましい。これにより、修正着色層形成工程において塗布された修正着色層形成用塗工液が欠陥画素領域に均一に濡れ広がるものとすることができるからである。本発明においては、上記欠陥画素領域の液体との接触角を上記値以下とするために、後述する洗浄工程を、本工程を行った後に行ってもよい。
【００２４】
なお、ここでいう液体との接触角は、種々の表面張力を有する液体との接触角を接触角測定器（協和界面科学（株）製ＣＡ−Ｚ型）を用いて測定（マイクロシリンジから液滴を滴下して３０秒後）し、その結果から、もしくはその結果をグラフにして得たものである。また、この測定に際して、種々の表面張力を有する液体としては、純正化学株式会社製のぬれ指数標準液を用いた。
【００２５】
４．プラズマ照射工程
次に、本工程におけるプラズマ照射工程について説明する。本工程は、上記欠陥画素領域周辺の上記樹脂製遮光部にフッ素化合物を導入ガスとしてプラズマを照射する工程である。
【００２６】
ここで本発明でいう上記欠陥画素領域周辺とは、上記欠陥画素領域を囲む領域をいうこととし、上記欠陥画素領域の端部から樹脂製遮光部側に２０μｍ離れた位置までを少なくとも含む領域とする。本発明においては、中でも上記欠陥画素領域の端部から樹脂製遮光部側に５０μｍ以上、特に７０μｍ以上離れた位置までを含む領域をプラズマ照射することが好ましい。これにより、修正着色層形成工程において塗布された修正着色層形成用塗工液が、隣接する画素領域にはみ出すことのないものとすることができるからである。なお、本発明においては、上記欠陥画素領域のみにプラズマを照射してもよいが、例えばカラーフィルタ全体にプラズマを照射してもよい。
【００２７】
また、上記プラズマを照射する際に用いられる導入ガスのフッ素化合物としては、例えばフッ化炭素（ＣＦ４）、窒化フッ素（ＮＦ３）、フッ化硫黄（ＳＦ６）、Ｃ２Ｃｌ３Ｆ３、Ｃ２Ｆ６、Ｃ３Ｆ６等が挙げられる。また、照射されるプラズマの照射条件としては、照射装置等により適宜選択されるものである。
【００２８】
本工程におけるプラズマの照射方法は、フッ素化合物を導入ガスとして用いてプラズマを照射し、上記欠陥画素領域の周辺の樹脂製遮光部を撥液性とすることが可能であれば特に限定されるものではなく、減圧下でプラズマ照射する方法であってもよく、また大気圧下でプラズマ照射する方法であってもよい。
【００２９】
本発明においては、特に上記プラズマ照射が大気圧中で行われることが好ましい。これにより、減圧用の装置等が必要なく、コストや製造効率等の面から好ましいものとすることができるからである。このような大気圧プラズマの照射条件としては、以下のようなものとすることができる。例えば、電源出力としては、一般的な大気圧プラズマの照射装置に用いられるものと同様とすることができる。また、この際、照射されるプラズマの電極と、上記樹脂製遮光部との距離は、０．２ｍｍ〜２０ｍｍ程度、中でも１ｍｍ〜５ｍｍ程度とされることが好ましい。
【００３０】
本工程において、上記プラズマ照射は、上記欠陥画素領域周辺の樹脂製遮光部の液体との接触角が、表面張力４０ｍＮ／ｍの液体との接触角が、１０°以上、中でも表面張力３０ｍＮ／ｍの液体との接触角が１０°以上、特に表面張力２０ｍＮ／ｍの液体との接触角が１０°以上となるように行われることが好ましい。これにより、後述する修正着色層形成工程において修正着色層形成用塗工液を塗布した際に、修正着色層形成用塗工液が欠陥画素領域外にはみ出ることが少ないものとすることができるからである。
【００３１】
また、上記欠陥画素領域周辺の樹脂製遮光部の液体との接触角が、上記欠陥画素領域に露出した基材の液体との接触角より１°以上高くなるようにプラズマ照射することが好ましい。これにより、後述する修正着色層形成工程において、欠陥画素領域にのみ高精細に修正着色層形成用塗工液を塗布することが可能となるからである。なお上記液体との接触角の測定は、上述した方法により行われる。
【００３２】
５．修正着色層形成工程
次に、本発明の修正着色層形成工程について説明する。本発明の修正着色層形成工程は、上記欠陥画素領域に修正着色層形成用塗工液を塗布し、修正着色層を形成する工程である。
【００３３】
修正着色層形成用塗工液を塗布する方法としては特に限定されるものではなく、例えばインクジェット法であってもよく、また例えば針塗布法や、ディスペンサーを用いた塗布方法、マイクロシリンジを用いた塗布方法であってもよく、また上記以外の針状の塗布部を用いて塗布する方法等であってもよい。
【００３４】
また本工程において塗布する修正着色層形成用塗工液としては、上記着色層形成用塗工液と同一のものであってもよく、また例えば異なるものを用いてもよい。このような修正着色層形成用塗工液としては、一般的なカラーフィルタの着色層の形成に用いられる材料等と同様とすることができるので、ここでの詳しい説明は省略する。
【００３５】
６．その他の工程
本発明においては、上記各工程以外にも適宜他の工程を有していてもよい。例えば上記着色層形成工程前に基材上に樹脂製遮光部を形成する工程を有していてもよく、また上述したように、例えば上記着色層除去工程とプラズマ照射工程との間に、欠陥画素領域を洗浄する洗浄工程を有していてもよい。本発明においては特に上記洗浄工程を有していることが好ましい。以下、本発明における洗浄工程について説明する。
【００３６】
（洗浄工程）
本発明における洗浄工程は、上記着色層除去工程とプラズマ照射工程との間に行われる工程であり、欠陥画素領域を洗浄する工程である。本発明においては、上記欠陥画素領域に付着した残渣等を除去することが可能な方法であれば、その方法は特に限定されるものではないが、特に欠陥画素領域の液体との接触角を低下させることが可能な方法であることが好ましい。これにより、修正着色層形成工程において、欠陥画素領域に修正着色層形成用塗工液よりを均一に塗布することが可能となるからである。
【００３７】
このような方法としては、例えば上記欠陥画素領域のみ、欠陥画素領域とその周辺の樹脂製遮光部、または基材全体に、酸素ガスを導入ガスとしてプラズマを照射する方法や、窒素と酸素との混合ガスを導入ガスとしてプラズマ照射する方法、上記欠陥画素領域のみ、欠陥画素領域とその周辺の樹脂製遮光部、または基材全体をアルカリ洗剤を用いてブラシ洗浄する方法や、ＵＶ洗浄する方法等が挙げられる。上記酸素ガスや窒素と酸素との混合ガスを導入ガスとしてプラズマ照射する際のプラズマの照射方法については、上述したプラズマ照射工程で説明した方法と同様とすることができる。また、上記アルカリ洗剤を用いたブラシ洗浄やＵＶ洗浄については、一般的なカラーフィルタ製造の際の上記洗浄方法と同様とすることができる。
【００３８】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【実施例】
【００３９】
以下に実施例を示し、本発明をさらに具体的に説明する。
【００４０】
[実施例１]
〈樹脂製遮光部形成工程〉
基材として、厚さ０．７ｍｍのガラス基板（コーニング社製１７３７ガラス）を準備した。この基材を定法にしたがって洗浄した後、基材の片側全面に下記の組成を有する樹脂製遮光部形成用塗工液を塗布し、乾燥後ホットプレート上で９０℃に加熱（プリベーク）した。その後、所定のフォトマスクと樹脂製遮光部形成用塗工液とのギャップが１５０μｍとなるようにフォトマスクを配置し、５０ｍＪ／ｃｍ２の露光量で露光した。その後、２．５ｋｇｆの現像圧で現像した後、焼成して樹脂製遮光部を形成した。
【００４１】
（樹脂製遮光部形成用塗工液）
・カーボンブラック ６１重量部
・感光性樹脂組成物 ３９重量部
・メトキシブチルアセテート ３００重量部
上記感光性樹脂組成物は、下記組成を有するものである。以下の実施例について用いられる感光性樹脂組成物についても、同様である。
【００４２】
（感光性樹脂組成物）
・アクリル樹脂 ３２重量部
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート ４２重量部
・エピコート１８０Ｓ７０（三菱油化シェル（株）社製） １８重量部
・Ｉｒｇ．９０７（チバスペシャリティケミカルズ（株）社製） ８重量部
【００４３】
〈着色層形成工程〉
次に、インクジェット装置を用いて、顔料５重量部、溶剤２０重量部、重合開始剤５重量部、ＵＶ硬化樹脂７０重量部を含むＲＧＢ各色のＵＶ硬化型多官能アクリレートモノマーインク（着色層形成用塗工液）を、上記開口部に付着させ着色し、これにＵＶ処理を行い硬化させてカラーフィルタとした。ここで、赤色、緑色、および青色の各インクについて、溶剤としてはポリエチレングリコールモノメチルエチルアセテート、重合開始剤としてはイルガキュア３６９（商品名、チバ・スペシャルティー・ケミカルズ（株）製）、ＵＶ硬化樹脂としてはＤＰＨＡ（ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（日本化薬（株）製）を用いた。また、顔料としては、赤色インクについてはC. I. Pigment Red 177、緑色インクについてはC. I. Pigment Green 36、青色インクについてはC. I. Pigment Blue 15 + C. I. Pigment Violet 23をそれぞれ用いた。
【００４４】
〈着色層検査工程〉
上記カラーフィルタを、ハロゲンランプ光を照射し、その反射光もしくは透過光をＣＣＤライセンサにて受光した後、その受光した結果を画像処理して欠陥部を検出する装置により検査したところ、着色層に欠陥が生じている欠陥画素領域が検出された。なお、上記装置には、上記欠陥画素領域を検出する欠陥画素領域観察部、後述するように欠陥画素領域を除去するレーザ、および後述する欠陥修正用針が搭載されている。
【００４５】
〈着色層除去工程〉
上記検査により検出された欠陥画素領域の着色層すべてを上記装置に搭載されているＹＡＧレーザ（第２高調波）を用いてスリット径□５０μｍにて３パルス照射し、除去した。
【００４６】
〈プラズマ照射工程〉
上記欠陥画素領域周辺の遮光部に、大気圧中で基板電極間距離１ｍｍ、ＣＦ４／Ｎ２＝１／２のガス組成比でプラズマ照射を行った。
【００４７】
〈修正着色層形成工程〉
次に、先端に上記着色層形成用塗工液と同様の修正着色層形成用塗工液を付着させた上記欠陥修正用針を、上記欠陥画素領域に接触させ、その後欠陥画素領域から引き離すことにより、修正着色層形成用塗工液を塗布した。この工程を２回繰り返すことにより、上記欠陥画素領域全てに修正着色層形成用塗工液を塗布した。その後、この修正着色層形成用塗工液を５０ｍＪ／ｃｍ２の露光量で露光し、焼成することにより、修正着色層を形成した。
上記欠陥画素領域の周囲の遮光部が撥液性とされていることから、上記修正着色層形成用塗工液が欠陥画素領域からはみ出すこと等がなく、高精細に修正着色層を形成することができた。
【００４８】
（実施例２）
下記の洗浄工程を修正着色層形成工程前に行った以外は、実施例１と同様にカラーフィルタを作製し、欠陥画素領域の修正を行い、欠陥のない高品質なカラーフィルタを作製した。
〈洗浄工程〉
上記欠陥画素領域、およびその周辺の樹脂製遮光部に、大気圧中で基板電極間距離１ｍｍ、Ｎ２：Ｏ２＝９７：３のガス組成比でプラズマ照射を行った。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明のカラーフィルタの製造方法の工程図である。
【図２】従来のカラーフィルタの製造方法を説明するための説明図である。
【符号の説明】
【００５０】
１  …樹脂製遮光部
３  …着色層
４  …修正着色層
ａ  …欠陥画素領域
ｓ  …画素領域
【図１】
2008089624.tif 000003
【図２】
2008089624.tif 000004