(57)【要約】【課題】第１にピストンの移動速度を目標速度に正確に調整する。第２に、適用するシステムが複数存在した場合に、各制御システムにおけるピストンの移動速度を同じ移動速度に調整する際の調整工数を削減する。【解決手段】シリンダ２は、第１シリンダ室５及び第２シリンダ室６が設けられたシリンダチューブ４と、第１シリンダ室５及び第２シリンダ室６への空気の給排が行われることで移動するピストン３とを備える。第１シリンダ室５には第１配管８が接続されるとともに、第２シリンダ室６には第２配管９が接続されている。電磁弁１０には、第１配管８、第２配管９、コンプレッサ１４が接続されている。電磁弁１０が備える第１，第２電磁ソレノイド１２,１３は、制御部１１と電気的に接続されており、制御部１１は、第１,第２電磁ソレノイド１２,１３へ第１，第２駆動信号を出力することで、第１シリンダ室５及び第２シリンダ室６からの排気量を調整する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリンダチューブ内のピストンによって第１シリンダ室及び第２シリンダ室が区画された流体圧シリンダと、
前記第１シリンダ室及び前記第２シリンダ室にそれぞれ接続される配管と、
前記配管と作動流体を供給する流体供給源との間に設けられ、入力される駆動信号に基づいて前記配管を開閉し前記第１シリンダ室及び前記第２シリンダ室に対する流体の供給量及び排出量のうち少なくともいずれか一方を調整する流量調整手段と、
前記流量調整手段へ前記駆動信号を出力する制御手段とを備え、
前記制御手段は、前記ピストンの移動速度を調整する駆動信号を前記流量調整手段へ出力する流体圧シリンダの速度制御システム。
【請求項２】
前記流量調整手段は、前記配管に接続された電磁弁であり、前記制御手段は、前記電磁弁に印加する電圧を徐々に変化させる前記駆動信号を出力する請求項１に記載の流体圧シリンダの速度制御システム。
【請求項３】
前記流量調整手段は、前記第１シリンダ室に接続された一方の配管に接続される第１電磁弁と、前記第２シリンダ室に接続された他方の配管に接続される第２電磁弁とであり、前記制御手段は、前記第１電磁弁及び前記第２電磁弁のうちいずれか一方をオンとオフとに繰り返し切り換える駆動信号を出力するとともに、他方をオン又はオフとする駆動信号を出力する請求項１に記載の流体圧シリンダの速度制御システム。
【請求項４】
前記流量調整手段は、前記第１シリンダ室に接続された一方の配管に接続される第１電磁弁と、前記第２シリンダ室に接続された他方の配管に接続される第２電磁弁と、前記第１電磁弁に接続された第１電磁弁側配管及び前記第２電磁弁に接続された第２電磁弁側配管とを接続する接続配管に接続された第３電磁弁とであり、前記制御手段は、前記第１電磁弁及び前記第２電磁弁のうちいずれか一方をオンし、他方をオフする駆動信号を出力するとともに前記第３電磁弁をオンとオフとに繰り返し切り換える駆動信号を出力する請求項１に記載の流体圧シリンダの速度制御システム。
【請求項５】
前記制御手段は、ティーチングボックス又は上位制御機器のうち少なくともいずれか一方と電気的に接続されるとともに前記ピストンの移動速度に関連付けられたパラメータを記憶可能なメモリを備え、前記ティーチングボックス及び前記上位制御機器は、前記パラメータを前記メモリに記憶させる機能を有し、前記制御手段は、前記メモリに記憶されたパラメータに基づいた駆動信号を前記流量調整手段へ出力して前記ピストンの移動速度を調整する請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の流体圧シリンダの速度制御システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体圧シリンダにおけるピストンの移動速度を調整する流体圧シリンダの速度制御システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
流体圧シリンダの制御システムにおいては、シリンダチューブ内に設けられた第１シリンダ室及び第２シリンダ室に対して流体の給排を行い、ピストンに流体圧を作用させて移動させている。例えば、特許文献１に開示のシリンダの制御回路においては、図１１に示すように、シリンダ５１内はピストン６１によって第１シリンダ室５４と第２シリンダ室５５とに区画されている。また、流体供給源５０とシリンダ５１との間に設けられる配管５２上には電磁弁５３が設けられ、該電磁弁５３によって流体供給源５０から供給される空気の供給先が第１シリンダ室５４及び第２シリンダ室５５のいずれかに切り換えられている。そして、電磁弁５３と第１シリンダ室５４とを接続する第１配管５６上には第１スピードコントローラ５７が設けられ、電磁弁５３と第２シリンダ室５５とを接続する第２配管５８上には第２スピードコントローラ５９が設けられている。第１及び第２スピードコントローラ５７，５９は可変絞り６０と該可変絞り６０に並列に接続されたチェック弁６２とから構成されている。そして、上記シリンダの制御回路においては、前記第１及び第２スピードコントローラ５７,５９によって空気の供給量及び排出量が調整され、ピストン６１の移動速度が調整されるようになっている。
【特許文献１】特開平１１−１２５２１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところが、特許文献１に開示のシリンダの制御回路において、第１、第２スピードコントローラ５７,５９を手動操作することで、第１シリンダ室５４及び第２シリンダ室５５に対する給排気量の調整が行われる。このため、第１，第２スピードコントローラ５７,５９の操作量とピストン６１の移動速度との対応関係が作業者の感覚でしか認識できなかった。したがって、特許文献１に開示のシリンダの制御回路においては、ピストン６１の移動速度を目標速度に正確に設定することが難しかった。また、特許文献１に開示のシリンダの制御回路を備える制御システムが複数存在した場合、それらの制御システムにおいてピストン６１をそれぞれ同じ移動速度に設定する際には、再度作業者が感覚において手動操作を行い調整する必要があった。
【０００４】
本発明は、前記問題に鑑みてなされたものであって、その目的は、第１にピストンの移動速度を目標速度に正確に調整することができる流体圧シリンダの速度制御システムを提供することにある。第２に、同じ制御システムが複数存在した場合に、各制御システムにおけるピストンの移動速度を同じ移動速度に調整する際の調整工数を削減することができる流体圧シリンダの速度制御システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の目的を達成するため、請求項１に記載の発明は、シリンダチューブ内のピストンによって第１シリンダ室及び第２シリンダ室が区画された流体圧シリンダと、前記第１シリンダ室及び前記第２シリンダ室にそれぞれ接続される配管と、前記配管と作動流体を供給する流体供給源との間に設けられ、入力される駆動信号に基づいて前記配管を開閉し前記第１シリンダ室及び前記第２シリンダ室に対する流体の供給量及び排出量のうち少なくともいずれか一方を調整する流量調整手段と、前記流量調整手段へ前記駆動信号を出力する制御手段とを備え、前記制御手段は、前記ピストンの移動速度を調整する駆動信号を前記流量調整手段へ出力することを要旨とする。
【０００６】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記流量調整手段は、前記配管に接続された電磁弁であり、前記制御手段は、前記電磁弁に印加する電圧を徐々に変化させる前記駆動信号を出力することを要旨とする。
【０００７】
請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記流量調整手段は、前記第１シリンダ室に接続された一方の配管に接続される第１電磁弁と、前記第２シリンダ室に接続された他方の配管に接続される第２電磁弁とであり、前記制御手段は、前記第１電磁弁及び前記第２電磁弁のうちいずれか一方をオンとオフとに繰り返し切り換える駆動信号を出力するとともに、他方をオン又はオフとする駆動信号を出力することを要旨とする。
【０００８】
請求項４に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記流量調整手段は、前記第１シリンダ室に接続された一方の配管に接続される第１電磁弁と、前記第２シリンダ室に接続された他方の配管に接続される第２電磁弁と、前記第１電磁弁に接続された第１電磁弁側配管及び前記第２電磁弁に接続された第２電磁弁側配管とを接続する接続配管に接続された第３電磁弁とであり、前記制御手段は、前記第１電磁弁及び前記第２電磁弁のうちいずれか一方をオンし、他方をオフする駆動信号を出力するとともに前記第３電磁弁をオンとオフとに繰り返し切り換える駆動信号を出力することを要旨とする。
【０００９】
請求項５に記載の発明は、請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の発明において、前記制御手段は、ティーチングボックス又は上位制御機器のうち少なくともいずれか一方と電気的に接続されるとともに前記ピストンの移動速度に関連付けられたパラメータを記憶可能なメモリを備え、前記ティーチングボックス又は前記上位制御機器は、前記パラメータを前記メモリに記憶させる機能を有し、前記制御手段は、前記メモリに記憶されたパラメータに基づいた駆動信号を前記流量調整手段へ出力して前記ピストンの移動速度を調整することを要旨とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、ピストンの移動速度を目標速度に正確に調整することができる。また、同じ制御システムが複数存在する場合に、各制御システムにおけるピストンの移動速度を同じ移動速度に調整する際の調整工数を削減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
（第１実施形態）
以下、本発明を具体化した実施形態を図１〜図４に従って説明する。
図１に示すように、シリンダ速度制御システム１は、作動流体として空気の給排によって駆動される流体圧シリンダとしてのシリンダ２を備えている。シリンダ２は、内部にピストン３を収容するシリンダチューブ４を備え、シリンダチューブ４内はピストン３によって第１シリンダ室５と第２シリンダ室６とに区画されている。
【００１２】
ピストン３には、一部がシリンダチューブ４に設けられた図示しない貫通孔を貫通してシリンダチューブ４の外部に突出したロッド７が設けられている。ピストン３は、第１シリンダ室５に空気が供給されるとロッド７をシリンダチューブ４から突出させる側に移動するとともに第２シリンダ室６に空気が供給されるとロッド７をシリンダチューブ４に没入させる側に移動するように構成されている。ピストン３は、シリンダチューブ４の没入側端部と当接する位置（没入側停止位置）からシリンダチューブ４の突出側端部と当接する位置（突出側停止位置）までの間をストローク範囲としている。
【００１３】
第１シリンダ室５は、シリンダチューブ４に設けられた図示しないポートを介して配管としての第１配管８と接続されている。第２シリンダ室６は、シリンダチューブ４に設けられた図示しないポートを介して配管としての第２配管９と接続されている。そして、第１配管８及び第２配管９は、流量調整手段としての２位置５ポート型の電磁弁１０に接続されている。
【００１４】
電磁弁１０には、第１電磁ソレノイド１２及び第２電磁ソレノイド１３が設けられるとともに、Ｐポート、Ｒ１ポート、Ｒ２ポート、Ａポート及びＢポートが設けられている。第１，第２電磁ソレノイド１２,１３は、それぞれ電圧が印加されると励磁するように構成されている。Ａポートは、第２配管９を介して第２シリンダ室６と接続されるとともに、Ｂポートは、第１配管８を介して第１シリンダ室５と接続されている。また、Ｐポートは、流体供給源としてのコンプレッサ１４と接続されている。
【００１５】
電磁弁１０は、第１電磁ソレノイド１２が励磁されると、Ｒ１ポートとＡポートとを連通するとともにＰポートとＢポートとを連通し、さらに、Ｒ２ポートを非連通にする状態となる。この状態の時、Ｒ１ポートとＡポートとが連通することで、第２シリンダ室６は大気開放状態となる。なお、この時のＲ１ポートの開度は、第２電磁ソレノイド１３に印加される電圧値に応じて変更される。具体的には、Ｒ１ポートは、第２電磁ソレノイド１３に印加される電圧値が大きくなるとその開度も大きくなり、第２電磁ソレノイド１３に印加される電圧値が小さくなるとその開度も小さくなる。また、電磁弁１０のＰポートとＡポートとが連通することで第２シリンダ室６にはコンプレッサ１４から空気が供給されるようになっている。
【００１６】
また、電磁弁１０は、第２電磁ソレノイド１３が励磁されると、ＰポートとＡポートとを連通するとともにＲ２ポートとＢポートとを連通し、さらに、Ｒ１ポートを非連通状態とする状態となる。この状態の時、ＢポートとＲ２ポートとが連通することで、第１シリンダ室５は大気開放状態となる。なお、この時のＲ２ポートの開度は、第１電磁ソレノイド１２に印加される電圧値に応じて変更される。具体的には、Ｒ２ポートは、第１電磁ソレノイド１２に印加される電圧値が大きくなるとその開度も大きくなり、第１電磁ソレノイド１２に印加される電圧値が小さくなるとその開度も小さくなる。また、電磁弁１０のＰポートとＡポートとが連通することで第２シリンダ室６にはコンプレッサ１４から空気が供給されるようになっている。
【００１７】
前記電磁弁１０は、制御手段としての制御部１１によって開度が調整されるようになっている。制御部１１は、第１,第２電磁ソレノイド１２,１３に電気的に接続され、第１，第２電磁ソレノイド１２,１３へそれぞれ第１，第２駆動信号を出力するように構成されている。制御部１１は、第１，第２駆動信号を生成する制御回路１５と、制御回路１５を制御するための制御プログラムを記憶したメモリ１６とを備えている。また、制御部１１は、上位制御機器１７（例えば、コンピュータ等）と電気的に接続されており、上位制御機器１７から電磁弁１０の駆動を指令する指令信号が入力されると動作するように構成されている。なお、指令信号は、ピストン３が没入側又は突出側に配置されるようにピストン３の位置を指令する信号である。また、シリンダ速度制御システム１は、シリンダ２、第１配管８、第２配管９、電磁弁１０、コンプレッサ１４、制御部１１とから構成されている。
【００１８】
図２に示すように、上位制御機器１７は、第１絶縁及び増幅回路１８を介して制御回路１５と電気的に接続されている。第１絶縁及び増幅回路１８は、上位制御機器１７と制御回路１５とを電気的に絶縁させた状態で上位制御機器１７から出力された指令信号を増幅し制御回路１５が受信できる信号に変換する回路である。制御回路１５は、例えば、５Ｖ電圧で動作するように構成されており、メモリ１６に記憶された制御プログラム及びパラメータに従って動作する。ここで、パラメータは、ピストン３の移動速度に関連付けられた値であり、シリンダ２を動作させる前に、目標とするピストン３の移動速度と関連付けられたパラメータが上位制御機器１７からメモリ１６に入力される。なお、入力される前にメモリ１６に記憶されていたパラメータは、上位制御機器１７から新たなパラメータがメモリ１６に入力されると更新される。制御回路１５は、上位制御機器１７から指令信号が入力されるとメモリ１６に記憶された制御プログラム及びパラメータを読み出し第１，第２駆動信号を生成する。また、制御回路１５は、第２絶縁及び増幅回路２０を介して第１，第２電磁ソレノイド１２,１３と電気的に接続されている。第２絶縁及び増幅回路２０は、制御回路１５と第１，第２電磁ソレノイド１２,１３とを電気的に絶縁させた状態で制御回路１５から出力された第１，第２駆動信号を増幅し、第１，第２電磁ソレノイド１２,１３が受信できる信号に変換する回路である。
【００１９】
次に、シリンダ速度制御システム１の動作を説明する。
まず、図３に示すように、ピストン３がシリンダチューブ４の突出側端部に当接している状態の時間をｔ０とする。この状態から、制御部１１は、第２電磁ソレノイド１３を励磁させる旨の第２駆動信号を第２電磁ソレノイド１３へ出力する。同時に、制御部１１は、第１電磁ソレノイド１２に印加する電圧を徐々に減少させる旨の第１駆動信号を第１電磁ソレノイド１２に出力する。すると、電磁弁１０のＡポートとＰポートとが連通し、コンプレッサ１４から第２配管９を介して第２シリンダ室６に空気が供給され、ピストン３が没入側に向って移動を開始する。同時に、Ｒ２ポートの開度が徐々に減少していき、Ｒ２ポートからの空気の排出量が徐々に少なくなっていく。すると、第２電磁ソレノイド１３が励磁された状態のままで第１電磁ソレノイド１２に印加された電圧が０となると、ピストン３は没入側端部に当接する（時間ｔ１）。すると、ピストン３は、徐々に没入していく。第１電磁ソレノイド１２に印加する電圧の低下勾配を調整することで、Ｒ２ポートからの空気の単位時間当たりの排出量が調整され、ピストン３の移動速度（没入速度）が調整される。そして、第１電磁ソレノイド１２に印加される電圧の低下勾配が緩やかとなるように第１駆動信号を設定した場合、ピストン３は、低速で突出側から没入側に向って移動し、第１駆動信号の電圧の低下勾配が急となるように調整した場合、ピストン３は、高速で突出側から没入側に向って移動する。したがって、ピストン３の移動速度は、印加する電圧を調整することによって一義的に決定される。
【００２０】
次に、ピストン３が没入側端部と当接した状態が所定期間経過した後（時間ｔ２）、制御部１１は、第１電磁ソレノイド１２を励磁させる旨の第１駆動信号を第１電磁ソレノイド１２へ出力する。同時に、制御部１１は、第２電磁ソレノイド１３に印加する電圧を徐々に減少させる旨の第２駆動信号を第２電磁ソレノイド１３に出力する。すると、電磁弁１０のＢポートとＰポートとが連通し、コンプレッサ１４から第１配管８を介して第１シリンダ室５に空気が供給され、ピストン３が突出側に向って移動を開始する。同時に、Ｒ１ポートの開度が徐々に減少していき、Ｒ１ポートからの空気の排出量が徐々に少なくなっていく。すると、第１電磁ソレノイド１２が励磁された状態のままで第２駆動信号の電圧値が０となると、ピストン３は突出側端部に当接する（時間ｔ３）。ピストン３は、徐々に突出していく。そして、第２電磁ソレノイド１３に印加する電圧の低下勾配を調整することで、Ｒ１ポートからの空気の単位時間当たりの排出量が調整され、ピストン３の移動速度（突出速度）が調整される。そして、第２電磁ソレノイド１３に印加される電圧の低下勾配が緩やかとなるように第２駆動信号を設定した場合、ピストン３は、低速で没入側から突出側に向って移動する。一方、第２電磁ソレノイド１３の電圧の低下勾配が急となるように第２駆動信号を設定した場合、ピストン３は、高速で没入側から突出側に向って移動する。したがって、印加する電圧によってピストン３の移動速度が一義的に決定される。
【００２１】
そして、時間ｔ３の後も、時間ｔ３〜ｔ７まで図３に示すような波形の第１,第２駆動信号が第１,第２電磁ソレノイド１２,１３に入力されることで、ピストン３は、シリンダチューブ４内を移動する。
【００２２】
次に、このようなシリンダ速度制御システム１の作用について説明する。
作業者が現在のシリンダ２におけるピストン３の移動速度を任意の目標速度に調整する場合、作業者は、上位制御機器１７を操作してピストン３を目標速度に調整し、その時の目標速度と関連付けられたパラメータを制御部１１へ出力し、パラメータを制御部１１のメモリ１６内に格納する。そして、次にシリンダ２を駆動する際には、上位制御機器１７から指令信号を制御回路１５へ出力すると、制御回路１５は、パラメータ及び制御プログラムに従って第１，第２駆動信号を生成する。制御回路１５は、生成した第１，第２駆動信号を第１，第２電磁ソレノイド１２,１３に出力し、電磁弁１０は入力された第１，第２駆動信号に応じて動作することで、ピストン３は目標移動速度に調整される。また、この状態から、例えば、シリンダ速度制御システム１と同じ構成からなる第２のシリンダ速度制御システムがあり、シリンダ速度制御システム１のピストン３と同じ速度でピストンを動作させる場合には、シリンダ速度制御システム１で設定したパラメータを第２のシリンダ速度制御システムのメモリに記憶させる。そして、第２のシリンダ速度制御システムの制御回路に、そのパラメータに基づいた第１，第２駆動信号を生成させれば、シリンダ速度制御システム１のピストン３と同じ速度でピストンを動作させることができる。
【００２３】
次に、集積された複数の電磁弁１０を一括制御するネットワークシステム２２について説明する。
図４に示すように、上位制御機器１７には、ネットワーク制御回路２２ａが搭載されており、ネットワーク制御回路２２ａは、ネットワークライン２２ｂを介してネットワーク子局２３内に設けられた制御回路１５と電気的に接続されている。ネットワーク子局２３には、電源２４が電気的に接続されており、電源２４からは制御回路１５に向けて電力が供給されている。制御回路１５は、各制御信号ライン２５を介して複数の電磁弁１０がそれぞれ備える各電磁ソレノイド１２,１３と接続されている。制御回路１５は、上位制御機器１７から指令信号が入力されると、制御回路１５で生成された第１，第２駆動信号を入力された指令信号に基づいて複数の電磁弁１０へ一斉に出力することも、各電磁弁１０に個別に出力することもできるように構成されている。したがって、このネットワークシステム２２では、同時に複数の電磁弁１０を制御して、各シリンダ２に設けられているピストン３の移動速度を同時に調整することが可能になっている。また、このネットワークシステム２２では、上位制御機器１７から遠隔地にシリンダ２及び電磁弁１０がある場合でも、上位制御機器１７からピストン３の速度調整を行うことが可能になっている。
【００２４】
本実施形態によれば以下のような効果を得ることができる。
（１）電磁弁１０は制御部１１に接続されており、制御部１１から出力される第１，第２駆動信号によって開度が調整される。よって、電磁弁１０は、その開度が電気的に決定されるため、電磁弁１０の開度によって調整される給排気量も一義的に決定され、ピストン３の移動速度も一義的に決めることができる。したがって、従来の作業者の感覚による手動操作でピストン３の移動速度を調整する場合に比べて、ピストン３の移動速度を目標速度に正確に調整することができる。
【００２５】
（２）シリンダ速度制御システム１と同様の構成の第２のシリンダ速度制御システムがある場合、第２のシリンダ速度制御システムが備える制御部においても、シリンダ速度制御システム１の制御部１１が出力する第１，第２駆動信号と同じ駆動信号を生成させる。そして、その駆動信号を出力させることで、シリンダ速度制御システム１のピストン３と同じ速度でピストンを動作させることができる。したがって、複数のシリンダ速度制御システムに適用される場合、第２のシリンダ速度制御システムにおけるピストンの移動速度もピストン３の移動速度と同じ速度に調整する際には、シリンダ速度制御システム１に対する速度調整操作だけでよいためピストンの速度調整工数を削減することができる。
【００２６】
（３）第１シリンダ室５からＢポート及びＲ２ポートを介した空気の排出量は、第１電磁ソレノイド１２に印加される電圧に比例して減少する。また、第２シリンダ室６からＢポート及びＰポートを介した空気の排出量は、第２電磁ソレノイド１３に印加される電圧に比例して減少する。したがって、２位置５ポート型の電磁弁１０だけで第１シリンダ室５又は第２シリンダ室６からの空気の排出量を調整することができる。よって、流量調整手段となるスピードコントローラを外部に設ける代わりに電磁弁を設けた構成であるため、シリンダ速度制御システム１の体格が大型化することを防止してシリンダ速度制御システム１の設置スペースを削減しつつ、ピストン３の移動速度を目標速度に正確に調整できる。
【００２７】
（４）ピストン３の移動速度の調整は、第１シリンダ室５又は第２シリンダ室６からの単位時間当たりの排気量を調整することで行われている。そして、コンプレッサ１４から吐出された空気は、絞られることなく電磁弁１０及び第１配管８又は第２配管９を介してシリンダ２へ供給される。したがって、コンプレッサ１４から吐出された空気が第１シリンダ室５又は第２シリンダ室６に至る過程で、圧損することがない。このため、電磁弁１０によって空気の供給量を調整して、ピストン３の移動速度を調整する場合に比べて効率よくピストン３に空気圧を作用させ、シリンダ２の駆動効率を高めることができる。
【００２８】
（５）ネットワークシステム２２では、上位制御機器１７にネットワーク制御回路２２ａが搭載されている。また、制御回路１５は、制御信号ライン２５を介して各電磁ソレノイド１２,１３と接続されている。したがって、ネットワークシステム２２では、複数の電磁弁１０を一括して制御することができるため、多くのシリンダ２の駆動速度を効率よく調整することができる。
【００２９】
（第２実施形態）
この実施形態を図５〜図７に従って説明する。この実施形態では、第１実施形態と異なっている点を説明し、第１実施形態と同様の構成部分は同一符号を付して説明を省略又は簡略する。
【００３０】
図５に示すように、第１シリンダ室５には、配管としての第１配管８を介して第１電磁弁２６が接続され、第２シリンダ室６には、配管としての第２配管９を介して第２電磁弁２７が接続されている。第１電磁弁２６及び第２電磁弁２７は、それぞれ２位置３ポート型の電磁弁で、かつパイロット式の電磁弁であり、第１電磁弁２６と第２電磁弁２７とによって流量調整手段を構成している。第１電磁弁２６は、第１電磁ソレノイド２８を備えるとともに、Ｐポート、Ｒポート、Ａポートという３つのポートを備えている。第１電磁弁２６のＡポートは、第１配管８を介して第１シリンダ室５と接続され、第１電磁弁２６のＰポートは、第３配管２９及び第５配管３０を介してコンプレッサ１４と接続されている。
【００３１】
第１電磁弁２６は、第１電磁ソレノイド２８が励磁されると、ＰポートとＡポートとを連通しＲポートを非連通状態にして、コンプレッサ１４から第１シリンダ室５へ空気を供給する。また、第１電磁弁２６は、第１電磁ソレノイド２８が消磁されると、第１電磁弁２６のＲポートとＡポートとを連通しＰポートを非連通状態にして、第１シリンダ室５内の空気をＲポートから外部へ排出させる。
【００３２】
第２電磁弁２７は、第２電磁ソレノイド３１を備えるとともに、Ｐポート、Ｒポート、Ｂポートという３つのポートを備えている。第２電磁弁２７のＢポートは第２配管９を介して第２シリンダ室６と接続されるとともに、第２電磁弁２７のＰポートは第４配管３２及び第５配管３０を介してコンプレッサ１４と接続されている。
【００３３】
第２電磁ソレノイド３１は励磁されると、第２電磁弁２７のＰポートとＢポートとを連通しＲポートを非連通状態にして、コンプレッサ１４から第２シリンダ室６へ空気を供給する。また、第２電磁ソレノイド３１は消磁されると、第２電磁弁２７のＲポートとＢポートとを連通しＰポートを非連通状態にして、第２シリンダ室６内の空気をＲポートから外部へ排出させる。
【００３４】
また、コンプレッサ１４から吐出された空気は、分岐部Ｇ１において第３配管２９を流れる空気と第４配管３２を流れる空気とに分けられ、第１電磁弁２６及び第２電磁弁２７に供給されるように構成されている。
【００３５】
制御部１１は、第１,第２電磁ソレノイド２８,３１と電気的に接続されている。制御回路３４は、第１，第２電磁弁２６,２７を高速でオン／オフさせるためにパルス状に電圧を出力させるようになっている。ここで、制御回路３４は、第１,第２電磁弁２６,２７のオン／オフを１〜５００ｍｓｅｃに一回の割合で行わせるように第１,第２電磁ソレノイド２８,３１にパルス状の電圧を印加するようになっている。制御部１１は、第１電磁ソレノイド２８に電圧をパルス状に印加する旨の第１駆動信号を制御回路３４から出力させることで、第１電磁弁２６のオン／オフを高速で間欠的に行わせる。そして、第１電磁弁２６のＲポートからの空気を間欠的に排出させることにより、第１電磁弁２６に絞り作用を生じさせる。また、制御部１１は、第２電磁ソレノイド３１に電圧をパルス状に印加する旨の第２駆動信号を制御回路３４から出力させることで、第２電磁弁２７のオン／オフを高速で間欠的に行わせる。そして、第２電磁弁２７のＲポートからの空気を間欠的に排出させることにより、第２電磁弁２７に絞り作用を生じさせる。なお、第１，第２駆動信号は、制御回路３４がメモリ１６に記憶された制御プログラム及びパラメータを読み出すことで生成される。
【００３６】
ここで、第１電磁弁２６及び第２電磁弁２７による絞り量は、第１電磁弁２６及び第２電磁弁２７のオン／オフの切り換え速度に依存している。そして、第１電磁弁２６及び第２電磁弁２７のオン／オフの切り換え速度は、第１,第２駆動信号のデューティー比によって決定される。すなわち、パルスの一周期における電圧の印加（オンデューティ）時間を長くすることにより、単位時間における第１,第２電磁弁２６,２７の開時間を長くし第１,第２電磁弁２６,２７による絞り量を小さくする。逆に、パルスの一周期における電圧の印加（オンデューティ）時間を短くすることにより、単位時間における第１,第２電磁弁２６,２７の開時間を短くし、第１,第２電磁弁２６,２７による絞り量を大きくする。そして、第１,第２電磁弁２６,２７をオン／オフに切り換えるパルスのデューティー比によって第１,第２電磁弁２６,２７による絞り量が一義的に決定され、ピストン３の移動速度が一義的に決定される。
【００３７】
なお、本実施形態において、シリンダ速度制御システム１は、シリンダ２、第１〜第５配管８,９,２９,３２,３０、第１電磁弁２６、第２電磁弁２７、制御部１１、コンプレッサ１４とから構成されている。
【００３８】
次に、このようなシリンダ速度制御システム１の動作について説明する。
まず、図６に示すように、ピストン３が突出側端部に当接している状態の時間をｔ０とする。この状態から、制御部１１は、第１電磁ソレノイド２８に電圧をパルス状に印加する旨の第１駆動信号を制御回路３４に出力する。同時に、制御部１１は、第２電磁ソレノイド３１を励磁させる旨の第２駆動信号を制御回路３４に出力する。すると、第２電磁弁２７のＰポートとＢポートとが連通される。第２電磁弁２７のＢポートとＰポートとが連通すると、空気が第２配管９を介して第２シリンダ室６に導入され、ピストン３が没入側に向って移動を開始する。同時に、第１電磁弁２６はオン／オフが連続して高速で切り換えられ、Ａポートと連通するポートがＰポートとＲポートとに連続して切り換えられる。すると、第１電磁弁２６のＲポートから空気が間欠的に排出されるため、第１電磁弁２６は第１配管８における絞りとして機能しながら、Ｒポートから外部へ空気が排出されていく。ピストン３は没入側端部に当接すると、制御部１１によって、第１駆動信号の出力が停止される（時間ｔ１）。そして、第１電磁ソレノイド２８に対する一周期における電圧の印加時間を長くすることで絞り量が小さくなり、ピストン３は高速で没入側へ移動し、印加時間を短くすることで絞り量が大きくなり、ピストン３は低速で没入側へ移動する。
【００３９】
次に、ピストン３が没入側端部と当接した状態が所定期間経過した後（時間ｔ２）、制御部１１は、第２電磁ソレノイド３１に電圧をパルス状に印加する旨の第２駆動信号を制御回路３４に出力する。同時に、制御部１１は、第１電磁ソレノイド２８をオンさせる旨の第１駆動信号を制御回路３４に出力する。すると、第１電磁弁２６のＡポートとＰポートとが連通される。第１電磁弁２６のＡポートとＰポートとが連通すると、空気が第１配管８を介して第１シリンダ室５に導入され、ピストン３が突出側に向って移動を開始する。同時に、第２電磁弁２７はオン／オフが連続して高速で切り換えられ、Ｂポートと連通するポートがＰポートとＲポートとに連続して切り換えられる。すると、第２電磁弁２７のＲポートから間欠的に排出されるため、第２電磁弁２７は、第２配管９における絞りとして機能しながら、Ｒポートから外部へ空気が排出されていく。ピストン３は突出側端部に当接すると、制御部１１によって、第２駆動信号の出力が停止される（時間ｔ３）。そして、第２電磁ソレノイド３１に対する一周期における電圧の印加時間を長くすることで絞り量が小さくなり、ピストン３は高速で突出側へ移動し、印加時間を短くすることで絞り量が大きくなり、ピストン３は低速で突出側へ移動する。
【００４０】
本実施形態によれば第１実施形態の（１）、（２）、（４）、（５）の効果の他に、以下のような効果を得ることができる。
（６）制御部１１から出力される第１,第２駆動信号によって第１電磁弁２６及び第２電磁弁２７のうちいずれか一方をオン／オフさせることで第１電磁弁２６及び第２電磁弁２７を絞りとして機能させた。そして、第１電磁弁２６及び第２電磁弁２７のオン／オフの切り換え速度を変えることで、第１電磁弁２６及び第２電磁弁２７による絞り量が決定され、ピストン３の移動速度が調整される。第１,第２電磁弁２６,２７のオン／オフの切り換えは電気的に行われ、制御部１１によってパルス幅（オンデューティ）を変更することでピストン３の移動速度が決定される。よって、手動で絞ってピストン３の移動速度を調整する場合に比べて、ピストン３の移動速度を目標速度に正確に調整できる。
【００４１】
（７）第１電磁弁２６及び第２電磁弁２７は、パイロット式の電磁弁である。したがって、第１電磁弁２６及び第２電磁弁２７の最高使用圧力を直動式の電磁弁に比べて高く設定できるため、ピストン３に高圧の空気を加えることを目的として高圧空気を吐出するコンプレッサを用いても支障がない。
【００４２】
（８）コンプレッサ１４から吐出された空気は、分岐部Ｇ１において分けられて、第１電磁弁２６及び第２電磁弁２７にそれぞれ流入するように構成されている。したがって、一つのコンプレッサ１４で第１シリンダ室５及び第２シリンダ室６のどちらにも空気を供給することができるため、第１電磁弁２６及び第２電磁弁２７のそれぞれにコンプレッサを設ける場合に比べて、シリンダ速度制御システム１におけるコンプレッサの数を省略することができる。
【００４３】
（第３実施形態）
この実施形態を図７及び図８に従って説明する。この実施形態では、第６配管３５、第７配管３６、接続配管３７、第１チェック弁３８、第２チェック弁３９、第３電磁弁４０を備える点及びシリンダ２からの排気量の調整を第３電磁弁４０で行う点が第２実施形態と主に異なっている。その他の構成は、前記第２実施形態とほぼ同じであり、第２実施形態と同様の構成部分は同一符号を付して説明を省略又は簡略する。
【００４４】
図７に示すように、第１電磁弁２６には、第１電磁弁側配管としての第６配管３５及び接続配管３７を介して第３電磁弁４０が接続されている。前記第６配管３５は、第１電磁弁２６のＲポートに接続されている。第２電磁弁２７には、第２電磁弁側配管としての第７配管３６及び接続配管３７を介して第３電磁弁４０が接続されている。前記第７配管３６は、第２電磁弁２７のＲポートに接続されている。第３電磁弁４０は、２位置３ポート型のパイロット式電磁弁であり、第１電磁弁２６及び第２電磁弁２７と同じ種類の電磁弁が採用されている。第３電磁弁４０は、第３電磁ソレノイド４１を備えるとともに、Ｐポート、Ｒポート、Ｃポートという３つのポートを備えている。第３電磁弁４０のＣポートは、大気開放されており、第３電磁弁４０のＰポートは、接続配管３７と接続されている。第３電磁ソレノイド４１は、制御部１１と電気的に接続されている。第３電磁弁４０は、第３電磁ソレノイド４１が励磁されると、第３電磁弁４０のＰポートとＣポートとを連通しＲポートを非連通状態にして、接続配管３７を大気開放状態にする。また、第３電磁弁４０は、第３電磁ソレノイド４１が消磁されると、第３電磁弁４０のＰポートを非連通状態にして、接続配管３７を閉鎖状態にする。
【００４５】
また、第６配管３５には、第１チェック弁３８が設けられ、第７配管３６には第２チェック弁３９が設けられている。第１チェック弁３８及び第２チェック弁３９は、それぞれ第３電磁弁４０に流入する方向にのみエアを通過させるように構成されている。すなわち、第６配管３５又は第７配管３６を流れて第１チェック弁３８又は第２チェック弁を通過した空気は第１電磁弁２６又は第２電磁弁２７に戻らないように構成されている。第６配管３５と第７配管３６とは、接続部Ｇ２で接続され、この接続部Ｇ２には、接続配管３７が接続されている。接続配管３７は、第６配管３５と第７配管３６とを接続する配管である。
【００４６】
制御部１１は、第３電磁ソレノイド４１を高速でオン／オフさせるためにパルス状に電圧を出力させる制御回路４２を備えている。ここで、制御回路４２は、第３電磁弁４０のオン／オフを１〜５００ｍｓｅｃに一回の割合で行わせるように第３電磁ソレノイド４１に電圧を印加するようになっている。制御部１１は、第３電磁ソレノイド４１に電圧をパルス状に印加する旨の第３駆動信号を制御回路４２から出力させることで、第３電磁弁４０のオン／オフを高速で間欠的に行わせる。そして、第３電磁弁４０のＲポートから空気を間欠的に排出させることにより、第３電磁弁４０に絞り作用を生じさせる。ここで、第３電磁弁４０による絞り量は、第３電磁弁４０のオン／オフの切り換え速度に依存している。そして、第３電磁弁４０のオン／オフの切り換え速度は、第３駆動信号のデューティー比によって決定される。すなわち、パルスの一周期における電圧の印加（オンデューティ）時間を長くすることにより、単位時間における第１,第２電磁弁２６,２７の開時間を長くし第３電磁弁４０による絞り量を小さくする。逆に、パルスの一周期における電圧の印加（オンデューティ）時間を短くすることにより、単位時間における第３電磁弁４０の開時間を短くし、第３電磁弁４０による絞り量を大きくする。したがって、第３電磁弁４０をオン／オフに切り換えるパルスのデューティー比によって第３電磁弁４０による絞り量が一義的に決定され、ピストン３の移動速度が一義的に決定される。なお、第１，第２，第３駆動信号は、制御回路４２がメモリ１６に記憶された制御プログラム及びパラメータを読み出すことで生成される。
【００４７】
なお、本実施形態において、シリンダ速度制御システム１は、シリンダ２、第１〜第７配管８,９,２９,３２,３０,３５,３６、接続配管３７、第１電磁弁２６、第２電磁弁２７、第３電磁弁４０、制御部１１、コンプレッサ１４とから構成されている。また、第１電磁弁２６、第２電磁弁２７、第３電磁弁４０によって流量調整手段が構成されている。
【００４８】
次に、このようなシリンダ速度制御システム１の動作について説明する。
まず、図８に示すように、ピストン３が突出側端部に当接している状態の時間をｔ０とする。この状態から、制御部１１は、第１駆動信号を非出力とすると同時に、第２電磁ソレノイド３１を励磁させる旨の第２駆動信号を制御回路４２に出力し、第１電磁弁２６のＲポートとＡポートとを連通させ、第２電磁弁２７のＰポートとＢポートとを連通させる。また、この時、制御部１１は、第３電磁ソレノイド４１に電圧をパルス状に印加する旨の第３駆動信号を制御回路４２に出力する。すると、空気が第５配管３０、第４配管３２、第２電磁弁２７、第２配管９を介して第２シリンダ室６に導入される。同時に、空気が第１シリンダ室５から排出される。そして、第３電磁弁４０のオン／オフが連続的に高速で切り換えられて、Ｃポートと連通するポートがＰポートとＲポートとに連続して切り換えられる。すると、第３電磁弁４０のＣポートから空気が間欠的に排出されるため、第３電磁弁４０は接続配管３７における絞りとして機能しながら、Ｃポートから外部へ空気が排出されていく。ピストン３は没入側端部に当接すると、制御部１１によって、第３駆動信号の出力が停止される（時間ｔ１）。
【００４９】
次に、ピストン３が没入側端部と当接した状態が所定期間経過した後（時間ｔ２）、制御部１１は、第２駆動信号を非出力とすると同時に、第１電磁ソレノイド２８を励磁させる旨の第１駆動信号を制御回路４２に出力し、第１電磁弁２６のＰポートとＡポートとを連通させ、第２電磁弁２７のＲポートとＢポートとを連通させる。また、この時、制御部１１は、第３電磁ソレノイド４１に電圧をパルス状に印加する旨の第３駆動信号を制御回路４２に出力する。すると、空気が第５配管３０、第３配管２９、第１電磁弁２６、第１配管８を介して第１シリンダ室５に導入される。同時に、空気が第２シリンダ室６から排出される。そして、第３電磁弁４０のオン／オフが連続的に高速で切り換えられて、Ｃポートと連通するポートがＰポートとＲポートとに連続して切り換えられる。すると、接続配管３７における絞りとして機能し、第２シリンダ室６から排出された空気はＣポートから外部へ排出されていく。ピストン３は突出側端部に当接すると、制御部１１によって、第３駆動信号の出力が停止される（時間ｔ３）。そして、第３電磁ソレノイド４１に対する一周期における電圧の印加時間を長くすることで絞り量が小さくなり、ピストン３は高速で突出側へ移動し、印加時間を短くすることで絞り量が大きくなり、ピストン３は低速で突出側へ移動する。
【００５０】
本実施形態によれば第１実施形態及び第２実施形態の（１）、（２）、（４）,（５）,（７）,（８）の効果の他に以下の効果を得ることができる。
（９）制御部１１から出力される第３駆動信号によって第３電磁弁４０をオン／オフさせることで第３電磁弁４０を絞りとして機能させた。そして、第３電磁弁４０のオン／オフの切り換え速度を変えることで、第３電磁弁４０による絞り量が決定され、ピストン３の移動速度が調整される。第３電磁弁４０のオン／オフの切り換えは電気的に行われ、制御部１１によってパルス幅（オンデューティ）を変更することでピストン３の移動速度が決定される。よって、手動で絞ってピストン３の移動速度を調整する場合に比べて、ピストン３の移動速度を目標速度に正確に調整できる。
【００５１】
（１０）第１電磁弁２６の排気のためのＲポートは、第６配管３５を介して接続配管３７に接続され、第２電磁弁２７の排気のためのＲポートは第７配管３６を介して接続配管３７に接続されている。そして、接続配管３７は、第３電磁弁４０に接続されている。このため、第３電磁弁４０によって空気の排出及び排出の停止が一括して行われるようになっている。よって、第３電磁弁４０のＰポートが閉塞されていれば、第１，第２シリンダ室６内の空気は、外部に漏らさずに閉じ込めることができる。したがって、一度シリンダ２を停止させた後、再度、シリンダ２を駆動する時には、前回、第１，第２シリンダ室６に充填されていた空気を再利用できるため、無駄に空気が消費されることを抑制できる。
【００５２】
（第４実施形態）
この実施形態を図９に従って説明する。この実施形態では、第３実施形態における第５配管３０に第３電磁弁４０を設けた点、及び第１シリンダ室５又は第２シリンダ室６への給気量を調整して、ピストン３の移動速度を調整する点が第３実施形態と主に異なっている。その他の構成は、前記第３実施形態とほぼ同じであり、第３実施形態と同様の構成部分は同一符号を付して説明を省略又は簡略する。なお、図示の都合上、第３配管２９、第４配管３２、第５配管３０の長さ及び延びる方向は、図３の図示内容と異なっているが、第３配管２９、第４配管３２、第５配管３０の構成は、第３実施形態と同一の構成である。
【００５３】
図９に示すように、第５配管３０は、第３配管２９と第４配管３２とを接続する接続配管である。また、第５配管３０には、流量調整手段を構成する第３電磁弁４０が設けられている。第３電磁弁４０のＣポートは、第３配管２９、第５配管３０を介して第１電磁弁２６のＰポートと接続されるとともに、第４配管３２、第５配管３０を介して第２電磁弁２７のＰポートと接続されている。また、第３電磁弁４０のＰポートは、第５配管３０を介してコンプレッサ１４と接続されている。第３電磁ソレノイド４１は励磁されると、コンプレッサ１４から吐出された空気を第１電磁弁２６及び第２電磁弁２７にまで導入させる。第３電磁ソレノイド４１は消磁されると、第３電磁弁４０のＰポートを非連通状態にして、コンプレッサ１４から吐出された空気が第１電磁弁２６及び第２電磁弁２７に導入させないようにする。
【００５４】
なお、制御部１１は、制御回路４２から出力させる第３駆動信号は第３実施形態で説明した第３駆動信号と同じである。そして、本実施形態では、制御部１１が、第３駆動信号を出力することで第３電磁弁４０のＣポートから空気を間欠的に排出させ、第３電磁弁４０に絞り作用を生じさせる。また、第３電磁弁４０における絞り量は、第３実施形態と同様に電圧を印加する第３駆動信号のデューティー比によって決定される。
【００５５】
次に、このようなシリンダ速度制御システム１の動作について図８を利用して説明する。
制御部１１は、ピストン３が突出側端部に当接している状態から没入側に移動させる時、第１駆動信号を非出力とすると同時に、第２電磁ソレノイド３１を励磁させる旨の第２駆動信号を制御回路４２に出力し、第１電磁弁２６のＲポートとＡポートとを連通させ、第２電磁弁２７のＰポートとＢポートとを連通させる。また、この時、制御部１１は、第３電磁ソレノイド４１に電圧をパルス状に印加する旨の第３駆動信号を制御回路４２に出力する。すると、コンプレッサ１４から吐出された空気が第５配管３０、第４配管３２、第２電磁弁２７、第２配管９を介して第２シリンダ室６に導入される。同時に、空気が第１シリンダ室５から排出される。そして、第３電磁弁４０のオン／オフが連続的に高速で切り換えられてＣポートと連通するポートがＰポートとＲポートとに連続して切り換えられる。すると、第３電磁弁４０のＣポートから空気が間欠的に供給されるため、第３電磁弁４０は第５配管３０における絞りとして機能し、コンプレッサ１４から吐出された空気はＣポートから第２シリンダ室６へ供給されていく。
【００５６】
次に、ピストン３が没入側端部と当接した状態が所定期間経過した後、制御部１１は、第１電磁ソレノイド２８を励磁させる旨の第１駆動信号を制御回路４２に出力すると同時に、第２駆動信号を非出力として、第１電磁弁２６のＰポートとＡポートとを連通させ、第２電磁弁２７のＲポートとＢポートとを連通させる。また、この時、制御部１１は、第３電磁ソレノイド４１に電圧をパルス状に印加する旨の第３駆動信号を制御回路４２に出力する。すると、コンプレッサ１４から吐出された空気が第５配管３０、第３配管２９、第１電磁弁２６、第１配管８を介して第１シリンダ室５に導入される。同時に、空気が第２シリンダ室６から排出される。そして、第３電磁弁４０のオン／オフが連続的に高速で切り換えられてＣポートと連通するポートがＰポートとＲポートとに連続して切り換えられる。すると、第３電磁弁４０のＣポートから空気が間欠的に供給されるため、第３電磁弁４０は第５配管３０における絞りとして機能し、コンプレッサ１４から吐出された空気はＣポートから第１シリンダ室５へ供給されていく。
【００５７】
そして、シリンダ２の駆動を停止する場合、コンプレッサ１４からの空気の供給を止めて、第１電磁弁２６及び第２電磁弁２７にそれぞれ第１駆動信号及び第２駆動信号を入力し、第３駆動信号は非出力とする。そのうえで、第３電磁弁４０のＲポートを閉塞手段（例えば、ボルト、ブランクプラグ）によって閉塞する。このようにすれば、シリンダ２の駆動を停止している時、第１，第２シリンダ室５,６内の空気を外部に漏らさずに閉じ込めることができるため、一度シリンダ２を停止させた後、再度、シリンダ２を駆動する時には、前回、第１，第２シリンダ室５,６に充填されていた空気を再利用できる。
【００５８】
本実施形態によれば第１実施形態、第２実施形態、第３実施形態（１）,（２），（５）,（７）〜（９）の効果の他に以下の効果を得ることができる。
（１１）第３電磁弁４０は、第３配管２９及び第５配管３０を介して第１電磁弁２６と接続されるとともに、第４配管３２及び第５配管３０を介して第２電磁弁２７と接続されている。また、シリンダ２の駆動を停止する場合、第３電磁弁４０のＲポートを閉塞手段によって閉塞することができる。したがって、シリンダ２を駆動する時には、前回、第１，第２シリンダ室６に充填されていた空気を再利用できるため、空気が無駄に消費されることを抑制できる。
【００５９】
実施形態は、前記に限定されるものではなく、例えば、次のように具体化してもよい。
○  第１実施形態において、制御回路１５の代わりにＣＲ回路を用いてもよい。この場合、ＣＲ回路にトリマー・コンデンサを用いることで、ＣＲ回路が生成する第１，第２駆動信号の電圧値を変更できるように構成すればよい。このように構成すれば、上位制御機器１７から指令信号が出力されると、ＣＲ回路が動作して第１，第２駆動信号が生成される。
【００６０】
○  第１実施形態において、第１シリンダ室５又は第２シリンダ室６からの空気の排出量を調整する代わりに、第１シリンダ室５又は第２シリンダ室６への空気の供給量を調整して、ピストン３の移動速度を調整してもよい。この場合には、第１電磁ソレノイド１２が励磁された時、電磁弁１０のＢポートから流出する空気量が第２電磁ソレノイド１３に印加される電圧値に応じて調整されるように構成する。すなわち、第１電磁ソレノイド１２を励磁させる旨の第１駆動信号を出力し、第２電磁ソレノイド１３に印加する電圧を徐々に減少させる旨の第２駆動信号を出力する。そして、この時に、第２電磁ソレノイド１３に印加される電圧の低下勾配が緩やかとなるように第１駆動信号を設定した場合、ピストン３は低速で突出側に向って移動する。一方、第２電磁ソレノイド１３に印加される電圧の低下勾配が急となるように第１駆動信号を設定した場合、ピストン３は高速で突出側に向って移動する。また、第２電磁ソレノイド１３が励磁された時、電磁弁１０のＡポートから流出する空気量が第１電磁ソレノイド１２に印加される電圧値に応じて調整されるように構成する。すなわち、第２電磁ソレノイド１３を励磁させる旨の第２駆動信号を出力し、第１電磁ソレノイド１２に印加する電圧を徐々に減少させる旨の第１駆動信号を出力する。そして、この時には、第１電磁ソレノイド１２に印加される電圧の低下勾配を調整することで、ピストン３が突出側に移動する場合と同様にピストン３の没入側へ向っての移動速度を調整することができる。
【００６１】
○  第２実施形態において、第１シリンダ室５又は第２シリンダ室６からの空気の排出量を調整する代わりに、第１シリンダ室５又は第２シリンダ室６への空気の供給量を調整して、ピストン３の移動速度を調整してもよい。この場合には、ピストン３が突出側から没入側に移動する時においては、第１電磁ソレノイド２８を励磁する旨の第１駆動信号を出力し、第２電磁ソレノイド３１に電圧をパルス状に印加する旨の第２駆動信号を出力するように制御部１１を構成する。また、ピストン３が没入側から突出側に移動する時においては、第１電磁ソレノイド２８に電圧をパルス状に印加する旨の第１駆動信号を出力し、第２電磁ソレノイド３１を励磁する旨の第２駆動信号を出力するように制御部１１を構成する。このように構成すれば、第１シリンダ室５又は第２シリンダ室６への空気の供給量を調整して、ピストン３の移動速度を調整することができるようになる。
【００６２】
○  複数の電磁弁を集積し制御するネットワークシステム２２の構成を変更してもよい。例えば、図１０に示すように、上位制御機器１７にネットワーク制御回路２２ａの代わりに上位制御回路１７ａを搭載し、一組の第１，第２電磁ソレノイド１２,１３に対して一つずつマイクロコンピュータを備える制御回路４３が接続されるように変更してもよい。この場合、各制御回路４３は、制御信号ライン２５を介して上位制御回路１７ａと電気的に接続されるとともに、上位制御機器１７から指令信号が入力されると一組の第１，第２電磁ソレノイド１２,１３に対してだけ第１,第２駆動信号を出力する。
【００６３】
○  制御回路１５,３４,４２を制御する制御プログラムを適宜、メモリに入力できるように上位制御機器１７を構成してもよい。上位制御機器として、例えば、制御プログラムを作成できるようなコンピュータを用いれば、作成した制御プログラムを上位制御機器から入力してメモリに記憶させることができる。このように構成すれば、初期設定において制御プログラムが記憶されていないメモリを制御部１１に搭載した後に、上位制御機器によって制御プログラムをメモリに記憶させることができる。
【００６４】
○  上位制御機器１７によってピストン３の移動速度に関連付けられたパラメータをメモリ１６に記憶させる代わりに、ティーチングボックスを用いて、メモリ１６にピストン３の移動速度に関連付けられた駆動信号を記憶させてもよい。この場合、ティーチングボックスと制御部１１とを電気的に接続し、ティーチングボックスから制御回路１５,３４,４２に外部電気信号を入力し、ピストン３の移動速度に関連付けられたパラメータをメモリ１６に記憶させる。そして、シリンダ２を駆動する際には、メモリ１６に記憶されたパラメータを出力させることでピストン３の移動速度を１度実現されたピストン３の移動速度に設定することができる。したがって、制御部１１は、メモリ１６から記憶されたパラメータを読み出し出力することで、繰り返し同じ移動速度でピストン３を移動させることができる。
【００６５】
○  電磁弁１０、第１電磁弁２６、第２電磁弁２７、第３電磁弁４０は、パイロット式でなくともよい。例えば、電磁弁１０、第１電磁弁２６、第２電磁弁２７、第３電磁弁４０を直動式に変更してもよい。直動式の場合、パイロット圧を作用させるパイロット室を設ける必要がないため、パイロット式の電磁弁に比べて電磁弁１０、第１電磁弁２６、第２電磁弁２７、第３電磁弁４０を小型化することができる。
【００６６】
○  第１シリンダ室５及び第２シリンダ室６に給排する作動流体を空気から他の種類の作動流体に変更してもよい。例えば、作動流体として、窒素や不活性ガス等を用いてもよい。
【００６７】
○  ピストン３とピストン３に設けられたロッド７とを備えるシリンダ２から、ロッド７が省略されたロッドレスシリンダに変更してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】一実施形態のシリンダ速度制御システムを示す概要図。
【図２】シリンダ速度制御システムの電気的構成を示すブロック図。
【図３】シリンダ速度制御システムにおいて動作させる時のピストン位置と、駆動信号の関係を示すタイムチャート。
【図４】電磁弁を一括制御するネットワークシステムを示す回路図。
【図５】別の実施形態のシリンダ速度制御システムを示す概要図。
【図６】別の実施形態においてシリンダ速度制御システムが動作する時のピストン位置と、駆動信号の関係を示すタイムチャート。
【図７】別の実施形態のシリンダ速度制御システムを示す概要図。
【図８】別の実施形態においてシリンダ速度制御システムが動作する時のピストン位置と、駆動信号の関係を示すタイムチャート。
【図９】別の実施形態のシリンダ速度制御システムを示す概要図。
【図１０】別の実施形態のネットワークシステムを示す回路図。
【図１１】従来技術におけるシリンダの制御回路を示す概要図。
【符号の説明】
【００６９】
１…シリンダ速度制御システム、２…シリンダ、３…ピストン、４…シリンダチューブ、５…第１シリンダ室、６…第２シリンダ室、８…第１配管、９…第２配管、１０…流量調整手段としての電磁弁、１１…制御部、１２…第１電磁ソレノイド、１３…第２電磁ソレノイド、１４…コンプレッサ、１５,３４,４２,４３…制御回路、１６…メモリ、１７…上位制御機器、１９…ティーチングボックス、２６…流量調整手段としての第１電磁弁、２７…流量調整手段としての第２電磁弁、２８…第１電磁ソレノイド、２９…第１配管、３０…第５配管、３１…第２電磁ソレノイド、３２…第４配管、３５…第１電磁弁側配管としての第６配管、３６…第２電磁弁側配管としての第７配管、３７…接続配管、４０…流量調整手段としての第３電磁弁、４１…第３電磁ソレノイド。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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