(57)【要約】【課題】転動体と軌道面との動摩擦力が小さくかつ製造コストも安価な新規なリニアガイド装置の提供。【解決手段】レール１０とベアリング２０間に形成された循環路２３，２６を転動体Ｂが転動するリニアガイド装置であって、前記循環路２３，２６の軌道面Ｓの断面形状が、その軌道面Ｓの中央部分を形成すべく第１円弧Ａ１と、当該第１円弧Ａ１の両側の軌道面Ｓをそれぞれ形成すべく第２円弧Ａ２、Ａ２とからなると共に、当該第２円弧Ａ２、Ａ２側が前記転動体Ｂから離れる位置に形成する。これによって、通常時には第１円弧Ａ１が主に荷重を受け、第２円弧Ａ２、Ａ２は殆ど荷重を受けなくなるため、転動体Ｂと軌道面Ｓとの接触幅が小さくなって動摩擦力が低減する。また、このような形状の軌道面Ｓは比較的容易に形成できるため、製造コストも安価となる。【選択図】    図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レールとベアリング間に形成された循環路を転動体が転動するリニアガイド装置であって、
前記循環路の軌道面の断面形状が、その軌道面の一部を構成する第１円弧と、当該第１円弧を除く部分を構成する第２円弧とからなると共に、当該第２円弧側を前記転動体から離れる位置に形成したことを特徴とするリニアガイド装置。
【請求項２】
請求項１に記載のリニアガイド装置において、
前記第１円弧を前記軌道面の中央部分にその長手方向に沿って形成すると共に、前記第２円弧を当該第１円弧の両側にそれぞれ形成したことを特徴とするリニアガイド装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載のリニアガイド装置において、
前記第１円弧と第２円弧との境に、これらが滑らかにつながるように傾斜した連結部を形成したことを特徴とするリニアガイド装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載のリニアガイド装置において、
前記第１円弧と第２円弧との段差量が２〜１０μｍであることを特徴とするリニアガイド装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば金型加工機や半導体製造装置などのように高い加工精度や測定精度が要求される機械装置に好適に適用されるリニアガイド装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に係るリニアガイド装置は、直線状の案内レール上に下向きコ字形をしたベアリングが複数の転動体（ボール）を介してスライド自在に係合した構造となっている。
そして、これら各転動体は、ベアリングと案内レールとによって形成される循環路内を転動しながら循環することになるため、特にその循環路の軌道面との間での動摩擦力が問題となる。
【０００３】
そのため、このような構造をしたリニアガイド装置は、従来からこの動摩擦に対して様々な工夫が施されている。
例えば、以下の特許文献１に示すリニアガイド装置（ころがり案内装置）では、転動体が転動する軌道面を単一の断面円弧で構成すると共に、その円弧の半径を転動体直径の５２％より小さく設定することで、その転動体と軌道面との間に発生する摩擦を増大させて減衰性を高めるようにしている。
【０００４】
これに対し、以下の特許文献２に示すリニアガイド装置（直線運動用玉軸受）では、転動体が転動する軌道面を２つ以上の円弧で構成し、各転動体が、軽荷重下では単一の円弧に接触し、重荷重下では２つ以上の円弧と接触するようにしたものであり、これによって重荷重が作用したときでも、転動体と軌道面との接触幅があまり大きくならず、その転動体と軌道面との間に発生する摩擦の増大を防ぐようにしている。
【０００５】
また、以下の特許文献３に示すリニアガイド装置では、軌道面を放物線状にすることでリニアガイドの転動体と軌道面との摩擦が過大に増大されることを回避するようにしている。
また、以下の特許文献４に示すリニアガイド装置（運動案内装置）では、軌道面に複数条の突起を設けることで特定の１点での高い応力集中を抑制するようにしている。
【０００６】
また、以下の特許文献５に示すリニアガイド装置（直線運動ローラーベアリング）では、転動体として球面ころ（ローラー）を用いたものが開示されている。
【特許文献１】特開平７−３５１３６号公報
【特許文献２】特公昭６２−４４１３０号公報
【特許文献３】特開２００５−３３１０９９号公報
【特許文献４】特開２００４−１６２７４８号公報
【特許文献５】特公昭６２−２４６５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、前記特許文献１の技術は、動摩擦力を高めて減衰力を付与することを狙ったものであるため、大きな荷重が作用した場合には、動摩擦力が極端に大きくなることが考えられる。
一方、特許文献２〜４の技術によれば、動摩擦の低減は可能となるが、一般にこのような複雑な曲線形状を正確に加工することは容易ではなく、コストアップにつながることが予想される。
【０００８】
また、特許文献５の技術では、転動体と軌道面とが常に一定の領域で接しているため、その動摩擦力の低減効果は乏しい。
そこで、本発明は前記のような問題点を解決するために案出されたものであり、その目的は、転動体と軌道面との動摩擦力が小さくかつ製造コストも安価な新規なリニアガイド装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決するために請求項１の発明は、
レールとベアリング間に形成された循環路を転動体が転動するリニアガイド装置であって、前記循環路の軌道面の断面形状が、その軌道面の一部を構成する第１円弧と、当該第１円弧を除く部分を構成する第２円弧とからなると共に、当該第２円弧側を前記転動体から離れる位置に形成したことを特徴とするリニアガイド装置である。
また、請求項２の発明は、
請求項１に記載のリニアガイド装置において、前記第１円弧を前記軌道面の中央部分にその長手方向に沿って形成すると共に、前記第２円弧を当該第１円弧の両側にそれぞれ形成したことを特徴とするリニアガイド装置である。
【００１０】
また、請求項３の発明は、
請求項１または２に記載のリニアガイド装置において、前記第１円弧と第２円弧との境に、これらが滑らかにつながるように傾斜した連結部を形成したことを特徴とするリニアガイド装置である。
また、請求項４の発明は、
請求項１〜３のいずれか１項に記載のリニアガイド装置において、前記第１円弧と第２円弧との段差量が２〜１０μｍであることを特徴とするリニアガイド装置である。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１の発明によれば、転動体に対する小〜中程度の荷重に対しては、第１円弧が主に荷重を受け、第２円弧は殆ど荷重を受けなくなるため、転動体と軌道面との接触幅が小さくなって動摩擦力が低減する。一方、転動体に対する大きな荷重に対しては、第１円弧と共に第２円弧も荷重を受けるようになるため、荷重が軌道面全面に分散されて第１円弧に対する過大な応力集中を回避できる。しかも後述するようにこのような形状の軌道面Ｓは、前記特許文献２〜４などに比べて比較的容易に形成できるため、製造コストも安価となる。
【００１２】
また、請求項２の発明によれば、第１円弧を前記軌道面の中央部分にその長手方向に沿って形成すると共に、前記第２円弧を当該第１円弧の両側にそれぞれ形成したため、転動体が第１円弧に常に接し、大きな荷重が加わったときに第２円弧側に接するようになるため、請求項１の発明のような摩擦低減効果と応力集中回避効果を的確に得ることが可能となる。
【００１３】
また、請求項３の発明によれば、前記第１円弧と第２円弧との境にこれらが滑らかにつながるように傾斜した連結部を形成したため、第１円弧と第２円弧との境界部に発生する応力集中を回避できる。すなわち、第１円弧と第２円弧との境界部に急峻な段差が発生し、この部分に応力が集中することになるが、この部分を滑らかにして段差を無くすようにすれば、その段差部分への応力集中を回避することができるため、応力集中による転動体の表面剥離などといった不都合を未然に防止することができる。
【００１４】
また、請求項４の発明によれば、前記第１円弧と第２円弧との段差を２〜１０μｍとしたことから、請求項１、２のように動摩擦の低減と過大な応力集中の回避を実現することができる。
ここで、前記第１円弧と第２円弧との段差を「２〜１０μｍ」と規定したのは、「２μｍ」未満では十分な摩擦低減効果が得られず、反対に「１０μｍ」を超えると大荷重を受けたときでも第２円弧が転動体と接触せず、第１円弧に荷重が集中してその軌道面などの負荷容量の低下を招くからである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
次に、本発明に係るリニアガイド装置１００の実施の一形態を添付図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明に係るリニアガイド装置１００の実施の一形態を示した一部破断斜視図、図２は、その長手方向断面図である。
図示するようにこのリニアガイド装置１００は、直線状に延びる案内レール１０と、この案内レール１０上にこれを跨ぐようにスライド移動自在に係合された断面下向きコ字形のベアリング２０とから主に構成されている。
【００１６】
この案内レール１０は、断面矩形状に形成された金属から形成されており、その両側面にはそれぞれ断面半円形状をした下段転動溝１１，１１がその長手方向に沿って連続して形成されている。そして、この下段転動溝１１，１１とそれぞれ対向するようにベアリング２０の内面両側部に形成された下段転動溝２１，２１と、そのベアリング２０内をその長手方向に貫通するように形成された下段通過孔２２、２２とによって下部循環路２３、２３が形成され、その下部循環路２３、２３内に収容された複数の転動体（ボール）Ｂがこの下段転動溝１１，１１に沿って転動しながらその下部循環路２３、２３の案内レール１０側を転動するようになっている。
【００１７】
また、さらにこの案内レール１０の上端両角部には、断面扇形状をした上段転動溝１５，１５がその長手方向に沿って連続して形成されている。そして、同じくこの上段転動溝１５，１５とそれぞれ対向するようにベアリング２０の内面両側部に形成された上段転動溝２４，２４と、そのベアリング２０内をその長手方向に貫通するように形成された上段通過孔２５，２５とによって上部循環路２６、２６が形成され、その上部循環路２６，２６内に収容された複数の転動体（ボール）Ｂがこの上段転動溝１５，１５に沿って転動しながらその上部循環路２６，２６の案内レール１０側を転動するようになっている。
【００１８】
そして、図３は、これら下部循環路２３、２３および上部循環路２６，２６を形成する軌道面Ｓをその循環方向からみた拡大断面図である。
図示するように、この各循環路２３、２６の軌道面Ｓは、その断面形状が、その軌道面Ｓの中央部分を形成すべく半径ｒ１の第１円弧Ａ１と、この第１円弧Ａ１の両側の軌道面をそれぞれ形成すべく第２円弧Ａ２、Ａ２とからなると共に、この第２円弧Ａ２、Ａ２側が転動体Ｂから離れる位置に形成されている。
【００１９】
すなわち、図３に示すようにこの第１円弧Ａ１は、その中心Ｃ１が、軌道面Ｓの中心から垂直に延びる中心線Ｐ−Ｐ上に位置すると共に、その第１円弧Ａ１の半径ｒ１は、転動体Ｂの半径ｒよりもやや大きい関係となっている（半径ｒ１＞ｒ）。
また、この第１円弧Ａ１の大きさ（幅）は、図示するように第１円弧Ａ１の中心Ｃ１から左右にそれぞれ所定の角度θ１（例えば、２０°）分となっている。
【００２０】
一方、この第１円弧Ａ１の両側に位置する第２円弧Ａ２、Ａ２は、その半径ｒ２については第１円弧Ａ１と同じとなっているが、図４に示すように、その中心Ｃ２の位置は、第１円弧Ａ１の中心Ｃ１から左右にそれぞれ角度θ１だけずれた半径ｒ１上であって、第１円弧Ａ１の中心Ｃ１よりも所定距離Ｄだけそれぞれ離れたところとなっている。
このため、この第２円弧Ａ２、Ａ２は、第１円弧Ａ１の両側に段差Ｄを介して転動体Ｂから離れた位置に形成されていると共に、その転動体Ｂからの離間距離は、その軌道面Ｓの中心から外側になるに従って徐々に広くなるようになっている。
【００２１】
従って、この転動体Ｂに対する小〜中程度の荷重に対しては、第１円弧Ａ１が主に荷重を受けて第２円弧Ａ２、Ａ２は殆ど荷重を受けなくなるため、転動体Ｂと軌道面Ｓとの接触幅が小さくなって動摩擦力を大幅に低減することができる。
一方、この転動体Ｂに対する大きな荷重に対しては、第１円弧Ａ１と共に第２円弧Ａ２、Ａ２も荷重を受けるようになるため、荷重が軌道面Ｓ全面に分散されて第１円弧Ａ１に対する過大な応力集中を回避できる。
【００２２】
ここで、この第１円弧Ａ１の中心Ｃ１と第２円弧Ａ２、Ａ２の中心Ｃ２との距離Ｄ、すなわち第１円弧Ａ１と第２円弧Ａ２、Ａ２との段差量Ｄは、「２〜１０μｍ」の範囲に設定することが望ましい。
すなわち、後述するように、この第１円弧Ａ１と第２円弧Ａ２、Ａ２との段差量Ｄが「２μｍ」未満では十分な摩擦低減効果が得られず、反対に「１０μｍ」を超えると大荷重を受けたときでも第２円弧Ａ２、Ａ２が転動体Ｂと接触せず、第１円弧Ａ１に荷重が集中してその軌道面Ｓなどの負荷容量の低下を招くからである。
【００２３】
また、本実施の形態では、第１円弧Ａ１と第２円弧Ａ２、Ａ２との境にそれぞれ急峻な段差Ｄ、Ｄが形成されるようになっているため、後の実施例に示すようにこの段差Ｄ、Ｄ部分に応力が集中する懸念がある。
そのため、図６や図８などに示すようにこの段差Ｄ、Ｄを無くすべく、第１円弧Ａ１と第２円弧Ａ２、Ａ２との境にこれらが滑らかにつながるように傾斜した連結部Ｊ、Ｊをそれぞれ形成しても良い。
これによって後の実施例に示すように、第１円弧Ａ１と第２円弧Ａ２、Ａ２と段差Ｄ、Ｄ部分への応力集中を回避することができるため、応力集中による転動体Ｂの表面剥離などといった不都合を未然に防止することができる。
【００２４】
ここで、このような第１円弧Ａ１と第２円弧Ａ２、Ａ２との境に連結部Ｊ、Ｊを形成する方法としては、例えば、軌道面Ｓを研削加工する砥石を整形するドレッサ（ダイヤモンドドレッサなど）を、予めこの連結部Ｊ、Ｊを有する形状にしておけば良い。また、あるいは、図３に示したような段差Ｄを有する軌道面Ｓを一旦研削加工した後、テープ研磨（ポリエステルなどのフィルムの上に、アルミナなどの砥粒が均一に塗布されたテープを用いて研磨する方法）、超仕上げ、バフ仕上げ、ショットピーニングなどの仕上げ加工を行うことでその急峻な段差部を丸めて連結部Ｊ、Ｊを形成することもできる。従って、このような形状の軌道面Ｓは、前記特許文献２〜４などに比べて比較的容易に形成できるため、製造コストも安価となる。
【００２５】
そして、この仕上げ加工は軌道面Ｓ全体に行っても良いし、また、第１円弧Ａ１と第２円弧Ａ２、Ａ２との境界部にのみ局所的に行っても良い。また、このような仕上げ加工によって連結部Ｊ、Ｊを形成する方法によれば、軌道面Ｓを加工するためのドレッサを、連結部Ｊ、Ｊを有する複雑な形状にしなくても良いため、ドレッサの製作も容易となる。
【実施例】
【００２６】
次に、本発明の具体的実施例について説明する。
図３に示した軌道面Ｓの具体的構造として、直径「４．７６２５ｍｍ」の真球状の転動体（ボール）Ｂを用い、その軌道面Ｓの第１円弧Ａ１と第２円弧Ａ２、Ａ２の半径ｒ１およびｒ２をそれぞれ転動体Ｂの５１％とした。また、第１円弧Ａ１の中心Ｃ１と第２円弧Ａ２、Ａ２の中心Ｃ２との距離Ｄは、「４μｍ」とした。
【００２７】
そして、図３に示すように本実施例（実施例１）では、この第１円弧Ａ１と第２円弧Ａ２、Ａ２とは滑らかに接続せず、その境にはそれぞれそのまま急峻な段差Ｄ、Ｄを形成した。
図３では、軌道面Ｓの断面形状を分かり易くするためにその形状を誇張して表現したが、実際にはその段差量Ｄは約「４μｍ」と極僅かなため、肉眼での判別は困難である。
【００２８】
そこで、図５に、この軌道面Ｓの断面形状から、第１円弧Ａ１と中心位置が同じで第１円弧Ａ１と同一の半径をもつ円弧形状を差し引いた形状を示した。
このようにすると、本実施例の軌道面Ｓの断面形状が、同一の半径（ｒ１＝ｒ２）をもつ第１円弧Ａ１と第２円弧Ａ２、Ａ２とを段差Ｄ、Ｄを介して接続した形状であることが明確に見てとれる。
【００２９】
ところで、この段差Ｄ、Ｄ部分は、製造上の誤差などのために多少の丸みはあるものの通常は急峻な形状（角部）となっている。そして、このような角部が存在していると、転動体Ｂと軌道面Ｓとが接触した場合にこの部分に応力集中が生じ易く、転動体Ｂ表面に剥離などが生じてしまい、リニアガイドとしての寿命の低下が懸念される。
このため、図６に示すように実際にはこの段差Ｄ、Ｄ部分に滑らかな連結部Ｊ、Ｊを形成してこの部分の応力集中を無くすようにすることが望ましい（実施例２）。
【００３０】
具体例を挙げると、図６に示すように第１円弧Ａ１を、半径ｒ１＝転動体Ｂの直径の５１％の中央部分（中心線Ｐ−Ｐから左右に角度θｄ（１０°）の範囲）と、半径ｒｄ＝転動体Ｂの直径の５６％の連結部Ｊ、Ｊ（中心線Ｐ−Ｐからそれぞれ左右に角度θｄ〜θ１（１０°〜２０°）の範囲）との領域から構成すると共に、図示するようにこれらの領域を滑らかにつなげた。また、この連結部Ｊ、Ｊと連続する第２円弧Ａ２、Ａ２は、図３に示した実施例１の形態と同じく半径ｒ２＝転動体Ｂの直径の５１％の円弧である。
【００３１】
図７は、これら各円弧の中心の位置関係を示したものであり、第１円弧Ａ１の中心Ｃ１と第２円弧Ａ２、Ａ２の中心Ｃ２との位置関係は同じであるが、連結部Ｊを構成する円弧の中心Ｃ３は、中心線Ｐ−Ｐから左右に角度θｄの延長線上に位置している。
そして、図８は、図６中の中心線Ｐ−Ｐから右側部分の軌道面Ｓの拡大図であり、第１円弧Ａ１と第２円弧Ａ２との境に急進な段差Ｄがなくなって第１円弧Ａ１と第２円弧Ａ２とが連結部Ｊを介して滑らかに連続した形状となっているのが分かる。
【００３２】
また、図９は、前記実施例１のように急峻な段差Ｄがある場合の軌道面Ｓの形状を示した図５に対応するものであり、図示するように本実施例によれば急峻な段差Ｄがなくなった分だけその軌道面Ｓの形状が滑らかに変化するのが分かる。
なお、本実施例１，２に対する比較例として、従来の単一円弧形状（円弧半径は、転動体Ｂの直径の５１％）の軌道面Ｓの一例を図１０に、また、前記図５および図９に対応するその軌道面Ｓの形状を図１１に示した。当然のことながら、この場合の軌道面Ｓは、単一形状の円弧のみを有し、また、その表面には段差が一切存在していない。
【００３３】
そして、図１２〜図１４は、これら実施例１，２および比較例のそれぞれの軌道面Ｓおよび転動体Ｂ間に荷重Ｑ（５００Ｎ）を与えたときの接触面圧の分布の計算結果を示したものである。また、図１５は、それぞれの形態において動摩擦係数を「０．１」として差動滑りによる摩擦力を計算した結果を示したものである。なお、図１５において横軸は転動体Ｂと軌道面Ｓ間の荷重Ｑ、縦軸は差動滑りによる摩擦力Ｆｓである。
【００３４】
先ず、図１５からも分かるように本発明に係る実施例１および２の摩擦力は、それぞれ比較例の７５％および６０％であり、従来例に比べてその摩擦力を大幅に低減できた。
これは、前述したように本発明に係る実施例１および２では、その軌道面Ｓが所定の位置関係である第１円弧Ａ１と第２円弧Ａ２とからなるため、Ｑ＝５００Ｎ程度の通常の荷重の場合は、比較例よりもそれらの接触部の幅が小さくなるためであると判断できる。
【００３５】
一方、図１２〜図１４に示すように、これら各例の面圧分布をみてみると、実施例２では実施例１のような面圧ピークが存在しなかった。このような面圧ピークは、リニアガイド装置の寿命低下を引き起こすおそれがあり、望ましくない。従って、係る観点から鑑みれば、実施例１の形態よりも実施例２のような形態の方が好適である。
図１６は前記実施例１の場合において、その第１円弧Ａ１と第２円弧Ａ２の段差量Ｄ（μｍ）を「０〜１０μｍ」の範囲に亘って変化させたときの差動滑りにより摩擦力Ｆｓ（転動体Ｂ荷重Ｑ＝５００Ｎ）の計算結果を示したものである。
【００３６】
この結果から、その段差量Ｄが「２μｍ」未満では急激にその摩擦力が増大するため、その段差量Ｄは、少なくとも「２μｍ」以上とすれば十分な摩擦低減効果が得られることが分かる。
次に、図１７は、前記実施例２の変形例を示したものであり、第２円弧Ａ２の半径ｒ２を転動体Ｂ直径を５１％から５４％に変化させると共に、図１８に示すようにその第２円弧Ａ２の中心Ｃ２を角度θ１の延長線上に設けたものである。
【００３７】
そして、図１９は、図５のようにこの軌道面Ｓの断面形状から、第１円弧Ａ１と中心位置が同じで第１円弧Ａ１と同一の半径をもつ円弧形状を差し引いた形状を示したものであり、本実施例のように第１円弧Ａ１の半径と第２円弧Ａ２の半径を変えても、前記実施例２などと同様な摩擦低減効果が得られる。
なお、前記各実施の形態では、第１円弧Ａ１およびの半径ｒ１を転動体Ｂの直径の５１％の例で説明したが、これに限定されるものでないことは勿論であり、これより小さくても大きくても良く、またその直径のちょうど５０％であっても良い。また、一方または両方の円弧の代わりに直線形状、すなわち円弧半径が無限大の円弧を用いても良い。
【００３８】
また、前記各実施例では、転動体Ｂと軌道面Ｓの中心線Ｐ−Ｐに対して軌道面Ｓの形状を左右対称に形成したが、非対称であっても良い。例えば、左右の第２円弧Ａ２、Ａ２の半径をそれぞれｒ２、ｒ２′としたり、第１円弧Ａ１と第２円弧Ａ２、Ａ２の連結部Ｊ、Ｊの角度をθ１とθ１′の２種類にしても良い。あるいは、第１円弧Ａ１の左右片側にだけ段差Ｄを形成し、他方には連結部Ｊを形成するようにしても良い。さらに、転動体Ｂと軌道面Ｓの中心線Ｐ−Ｐの片側Ｓは、第１円弧Ａ１のみで構成し、他方は第１円弧Ａ１と第２円弧Ａ２で構成しても良い。
また、前記実施の形態では、転動体Ｂとして真球状（ボール）のものを用いたが、前記特許文献５に示したようにこの転動体Ｂとして球面ころ（ローラー）を用いた場合でも同様に本発明構成を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明に係るリニアガイド装置１００の実施の一形態を示した一部破断斜視図である。
【図２】本発明に係るリニアガイド装置１００の実施の一形態を示した長手方向断面図である。
【図３】循環路を形成する軌道面をその循環方向からみた一例（実施例１）を示す拡大断面図である。
【図４】第１円弧の中心と第２円弧の中心との位置関係を示す説明図である。
【図５】第１円弧と第２円弧からなる軌道面の断面形状から、第１円弧と中心位置が同じで第１円弧と同一の半径をもつ円弧形状を差し引いた形状を示す図である。
【図６】循環路を形成する軌道面をその循環方向からみた一例（実施例２）を示す拡大断面図である。
【図７】第１円弧の中心と第２円弧の中心と連結部の中心との位置関係を示す説明図である。
【図８】図６中の中心線Ｐ−Ｐから右側部分の軌道面Ｓの拡大図である。
【図９】第１円弧と第２円弧と連結部を構成する円弧とからなる軌道面の断面形状から、第１円弧と中心位置が同じで第１円弧と同一の半径をもつ円弧形状を差し引いた形状を示す図である。
【図１０】従来の単一円弧からなる軌道面をその循環方向からみた拡大断面図である。
【図１１】単一円弧からなる軌道面の断面形状から、その円弧と中心位置が同じで同一の半径をもつ円弧形状を差し引いた形状を示す図である。
【図１２】実施例１の軌道面Ｓおよび転動体Ｂ間に、Ｑ＝５００Ｎの荷重を与えたときの接触面圧の分布の計算結果を示した図である。
【図１３】実施例２の軌道面Ｓおよび転動体Ｂ間に、Ｑ＝５００Ｎの荷重を与えたときの接触面圧の分布の計算結果を示した図である。
【図１４】比較例の軌道面Ｓおよび転動体Ｂ間に、Ｑ＝５００Ｎの荷重を与えたときの接触面圧の分布の計算結果を示した図である。
【図１５】差動滑りによる摩擦力と転動体荷重との関係を示す図である。
【図１６】差動滑りによる摩擦力と段差量との関係を示す図である。
【図１７】前記実施例２の変形例を示す図である。
【図１８】図１７に示す変形例における各円弧の中心関係を示す図である。
【図１９】図１７に示す軌道面の断面形状から、第１円弧と中心位置が同じで同一の半径をもつ円弧形状を差し引いた形状を示す図である。
【符号の説明】
【００４０】
１００…リニアガイド装置
１０…案内レール
２０…ベアリング
２３，２６…循環路
Ａ１…第１円弧
Ａ２…第２円弧
Ｂ…転動体
Ｃ１…第１円弧の中心
Ｃ２…第２円弧の中心
Ｃ３…連結部円弧の中心
Ｄ…段差
Ｊ…連結部
Ｓ…軌道面
ｒ１…第１円弧の半径
ｒ２…第２円弧の半径
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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