(57)【要約】【課題】  Ｂｉ置換希土類鉄ガーネットから構成されるファラデー回転子の温度特性を向上する。【解決手段】  ファラデー回転子をファラデー回転の室温近傍における温度に対する微係数が、正及び負の複数種の結晶粒から成る多結晶体で構成することによりその温度特性を改善する。【選択図】  図１
2008090009.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気光学効果を有するＢｉ置換希土類鉄ガーネットの多結晶体から構成されるファラデー回転子であって、該多結晶体が、ファラデー回転の室温近傍における温度に対する微係数が、正及び負の複数種の結晶粒から構成されていることを特徴とするファラデー回転子。
【請求項２】
磁気光学効果を有する少なくとも１種のＢｉ置換希土類鉄ガーネットから成る結晶粒と磁気光学効果を有し、かつＢｉを含まない少なくとも１種の希土類鉄ガーネットから成る結晶粒とから成る多結晶体から構成されるファラデー回転子であって、該Ｂｉ置換希土類鉄ガーネットから成る結晶粒のファラデー回転の室温近傍における温度に対する微係数が正の値をとり、かつ、該希土類鉄ガーネットから成る結晶粒のファラデー回転の室温近傍における微係数が負の値をとることを特徴とするファラデー回転子。
【請求項３】
該希土類鉄ガーネットから成る結晶粒が、Ｒ３Ｆｅ５Ｏ１２（ただし、ＲはＴｂ，Ｈｏ，Ｅｕの少なくとも１種）から成ることを特徴とする請求項２記載のファラデー回転子。
【請求項４】
請求項１記載のファラデー回転子の製造方法であって、ファラデー回転の室温近傍における温度に対する微係数が、正及び負の複数種のＢｉ置換希土類鉄ガーネットから成る原料微粒子を搬送ガスと混合してエアロゾル化し、減圧チャンバ内で該搬送ガスと共に、該原料微粒子をノズルを通して加速して、基体表面に向けて噴射せしめることにより、Ｂｉ置換希土類鉄ガーネットから成る多結晶成膜体を形成するエアロゾルデポジション工程を含むことを特徴とするファラデー回転子の製造方法。
【請求項５】
請求項２若しくは３記載のファラデー回転子の製造方法であって、ファラデー回転の室温近傍における温度に対する微係数が正の少なくとも１種のＢｉ置換希土類鉄ガーネットと、ファラデー回転の室温近傍における温度に対する微係数が負の少なくとも１種の希土類鉄ガーネットから成る原料微粒子を搬送ガスと混合してエアロゾル化し、減圧チャンバ内で該搬送ガスと共に、該原料微粒子をノズルを通して加速して、基体表面に向けて噴射せしめることにより、多結晶成膜体を形成するエアロゾルデポジション工程を含むことを特徴とするファラデー回転子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は光通信分野、あるいは光計測の分野において、半導体レーザー等の光源から出射された光が、種々の原因で光源に帰還することを防止するための光アイソレータ等に用いられるファラデー回転子であって、特にそのアイソレーション比の温度特性の改善技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図３に、従来からよく知られた、ファラデー回転子を用いた光アイソレータの構成概略を示す。図中、４１はファラデー回転子、４２は偏光子、４３は検光子、４４は永久磁石等の磁界印加手段、４５は半導体レーザー等から成る光源、４６は光源４５から出射された光の伝播方向を示す。  
【０００３】
従来ファラデー回転子４１の材料としては、例えば特開平７−２０６５９３号公報に記載されているように、非磁性ガーネット基板上に液相エピタキシャル法で形成されたビスマス置換希土類鉄ガーネット単結晶が用いられていた。一般的に、ファラデー回転子に入射する光の偏光方向と、ファラデー回転子を透過した後の光の偏光方向との成す角度、すなわちファラデー回転角は、ファラデー回転子の光伝播方向の厚さに比例する。
【０００４】
例えば、ファラデー回転子を光アイソレータに適用する場合、ファラデー回転角は４５度であることが必要であり、そのためのビスマス置換希土類鉄ガーネットの厚さは４００〜５００μmとなる（以下、４５度のファラデー回転角を得るための厚さを「伝播長」と記す）。通常、係る伝播長を得るために、液相エピタキシャル法で、ビスマス置換希土類鉄ガーネットを前述した伝播長より厚く形成した後、基板を研磨で除去し、更に、精密研磨により所望のファラデー回転角を得るために必要な膜厚に追い込む、と云う加工方法が採られていた。
【０００５】
また、ファラデー回転子の単位長さ当たりのファラデー回転角は温度によって変化するため、伝播長もまた温度によって変化することになる。従って、例えば温度：２０℃において、そのファラデー回転角が４５度になるようにＢｉ置換希土類鉄ガーネット単結晶の厚さを設定しても、温度が変化するとファラデー回転角が４５度からずれ、アイソレーション比が劣化することになる。係るファラデー回転の温度特性を改善する方法として、例えば、特公平６−８８８７６号公報においては、ファラデー回転の温度特性が負の（Ｂｉ１Ｇｄ２）（Ｆｅ３．５Ｇａ１．５）Ｏ１２と同温度特性が正の（Ｂｉ１．２Ｙｂ０．６Ｇｄ１．２）Ｆｅ５Ｏ１２を、液相エピタキシャル法で各々所望の厚さに積層することにより、ファラデー回転の温度変化をほぼ零にできることが開示されている。
【特許文献１】特開平７−２０６５９３号公報
【特許文献２】特公平６−８８８７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
前述した従来技術により、ファラデー回転子の温度特性は飛躍的に向上されるものの、液相エピタキシャル法の場合、基板として用いる非磁性単結晶基板の格子定数とその上に形成する磁気光学効果を有するＢｉ置換希土類鉄ガーネットの格子定数との整合を図ることが不可欠であり、一般的に、両者の格子定数の差（Δａ）は、│Δａ│≦０．０２Åとすることが必要である、とされている。一方、Ｂｉ置換希土類鉄ガーネットの場合、その格子定数は、置換元素種、あるいはその置換量によって大きく変化することが知られている。  すなわち、従来技術においては、前述した格子定数の整合を図ると云う観点から、Ｂｉ置換希土類鉄ガーネットの組成は制限を受け、結果として材料選定の自由度が狭い、と云う問題点があった。また、従来のファラデー回転子の製造方法は、液相エピタキシャル法で単結晶を成長させるため、高価な単結晶基板を使用する必要があり、製造コストの面でも問題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するための本発明により提供される第１の手段は、
ファラデー回転子が、磁気光学効果を有するＢｉ置換希土類鉄ガーネットの多結晶体から構成され、かつ該多結晶体が、ファラデー回転の室温近傍における温度に対する微係数が、正及び負の複数種の結晶粒から構成されていることを特徴とするファラデー回転子である。
【０００８】
また本発明により提供される第２の手段は、
ファラデー回転子が、磁気光学効果を有する少なくとも１種のＢｉ置換希土類鉄ガーネットから成る結晶粒と磁気光学効果を有し、かつＢｉを含まない少なくとも１種の希土類鉄ガーネットから成る結晶粒とから成る多結晶体から構成され、該Ｂｉ置換希土類鉄ガーネットから成る結晶粒のファラデー回転の室温近傍における温度に対する微係数が正の値をとり、かつ、該希土類鉄ガーネットから成る結晶粒のファラデー回転の室温近傍における微係数が負の値をとることを特徴とするファラデー回転子である。
【０００９】
また本発明により提供される第３の手段は、
前述した第２の手段において、該希土類鉄ガーネットから成る結晶粒が、Ｒ３Ｆｅ５Ｏ１２（ただし、ＲはＴｂ，Ｈｏ，Ｅｕの少なくとも１種）から成ることを特徴とするファラデー回転子である。
【００１０】
また本発明により提供される第４の手段は、
第１の手段に係るファラデー回転子の製造方法において、
ファラデー回転の室温近傍における温度に対する微係数が、正及び負の複数種のＢｉ置換希土類鉄ガーネットから成る原料微粒子を搬送ガスと混合してエアロゾル化し、減圧チャンバ内で該搬送ガスと共に、該原料微粒子をノズルを通して加速して、基体表面に向けて噴射せしめることにより、Ｂｉ置換希土類鉄ガーネットから成る多結晶成膜体を形成するエアロゾルデポジション工程を含むことを特徴とするファラデー回転子の製造方法である。
【００１１】
更に、本発明により提供される第５の手段は、
前述した第２若しくは第３の手段に係るファラデー回転子の製造方法において、
ファラデー回転の室温近傍における温度に対する微係数が正の少なくとも１種のＢｉ置換希土類鉄ガーネットと、ファラデー回転の室温近傍における温度に対する微係数が負の少なくとも１種の希土類鉄ガーネットから成る原料微粒子を搬送ガスと混合してエアロゾル化し、減圧チャンバ内で該搬送ガスと共に、該原料微粒子をノズルを通して加速して、基体表面に向けて噴射せしめることにより、多結晶成膜体を形成するエアロゾルデポジション工程を含むことを特徴とするファラデー回転子の製造方法である。
【発明の効果】
【００１２】
一般的に、Ｂｉ置換希土類鉄ガーネット、あるいはＢｉを含まない希土類鉄ガーネットのような磁性体は、正、あるいは負のファラデー回転を有する。ここで、ファラデー回転の正負は、磁化方向と光の伝播方向との関係において、光の偏光方向が時計方向か、若しくは反時計方向かによって区別される。
【００１３】
図２に、正、及び負のファラデー回転を有する磁性体のファラデー回転の温度変化の一例を模式的に示す。図２は、縦軸に単位長さ当たりのファラデー回転（Θｆ）を、横軸に温度（Ｔ）を各々任意単位で示したものである。図中２１は室温におけるファラデー回転が正の場合のファラデー回転の温度変化を模式的に示したものであり、図中２２は同ファラデー回転の値が負の場合について、その温度変化を模式的に示したものである。図に示したように、室温におけるファラデー回転の正負に拘わらず、その絶対値は温度の上昇と共に減少する。斯かる場合において、図から容易に理解されるように、室温におけるファラデー回転が正の場合（２１の場合）、室温におけるファラデー回転の温度に対する微係数は負の値をとる。一方、室温におけるファラデー回転が負の場合には、その微係数は正の値となる。
【００１４】
すなわち、本発明は、図２に示した２１の特性を有するＢｉ置換希土類鉄ガーネット、若しくは希土類鉄ガーネットから成る結晶粒と、同２２の特性を有するＢｉ置換希土類鉄ガーネット、若しくは希土類鉄ガーネットから成る結晶粒とを含む多結晶体からファラデー回転子を構成し、その温度特性を改善せんとするものである。また、多結晶体であるが故に、それを形成する基板との格子定数の整合をとる必要がなく、この点でＢｉ置換希土類鉄ガーネットの組成選定の自由度が拡大拡大される。
【００１５】
本発明により、Ｂｉ置換希土類鉄ガーネット等の組成選定自由度が拡大し、かつファラデー回転子が多結晶体から構成されていることから、ファラデー回転の温度特性が良好で、かつ単結晶を用いた場合に比べて安価なファラデー回転子の提供が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明の実施の形態について以下説明する。
【００１７】
図１に本発明により成る多結晶ガーネットの形態を模式的に示す。
図中、１は第１のＢｉ置換希土類鉄ガーネット、若しくは希土類鉄ガーネット結晶粒、２は第２のＢｉ置換希土類鉄ガーネット、若しくは希土類鉄ガーネット結晶粒である。同図において、第１の結晶粒１と第２の結晶粒２とは異なるファラデー回転の温度特性を有し、例えば第１の結晶粒は、図２に示した２１の温度特性を有し、第２の結晶粒は、同２３の特性を有する。また、図１において、第１の結晶粒１と同一の温度特性を有する結晶粒については、同様のハッチングを施して示し、第２の結晶粒２と同一の温度特性を有する結晶粒については、白抜きで示している。
【００１８】
図１に示した各結晶粒の大きさは、当該多結晶体中を伝播する光のビーム径に比べて充分小さく、当該多結晶体を透過する光の偏光面の回転角は、（１）式によって与えられる。
【００１９】
【数１】
2008090009.tif 000003
式（１）において、Θfavは、単位長さ当たりのファラデー回転角、Θｆ1は第１の結晶粒のみから構成される多結晶体の単位長さ当たりのファラデー回転角、Θｆ2は第２の結晶粒のみから構成される多結晶体の単位長さ当たりのファラデー回転角、ｖ1、ｖ2は、各々第１及び第２の結晶粒１，２が単位体積当たりに占める割合である。
【００２０】
また、その微係数は、（２）式によって与えられる。
【００２１】
【数２】
2008090009.tif 000004
式（２）において、右辺の第１項は、第１の結晶粒１からの寄与であり、第２項は第２の結晶粒２からの寄与である。図２に示したように、第１の結晶粒１のファラデー回転の温度に対する微係数は負であり、第２の結晶粒２の同微係数は正であることから、第１項は負の値をとり、第２項は正の値をとる。従って、ｖ1とｖ2の値を適当に選択することによって、多結晶体のファラデー回転の温度に対する微係数の絶対値を、第１若しくは第２の結晶粒のみから成る多結晶体の同微係数の絶対値に比べ小さくすることが可能となり、ｖ1とｖ2の値によっては、その値をほぼ零とすることも可能となる。
【００２２】
ところで、Ｂｉ置換希土類鉄ガーネット、あるいは希土類鉄ガーネットのファラデー回転、及びファラデー回転の温度特性は、それ等の組成に依存する。従って、本発明により成る温度特性改善効果を顕著に発現させるためには、各結晶粒の組成を明確に異ならしめることが肝要となる。係る観点から、本発明により成る多結晶体の形成方法としては、エアロゾルデポジション法を用いた成膜方法が好適である。
【００２３】
エアロゾルデポジション法（以下、ＡＤ法と記す）とは、粒径が数十ｎｍ〜数μmのセラミックス等の微粒子から成る原料をガスと混合してエアロゾル化し、ノズルを通して基板に噴射して、セラミックス等の膜を形成する技術である。ＡＤ法により、低基板温度で、かつ高成膜速度で、原料である微粒子と同様の結晶構造を有する緻密な被膜を形成することができる。  ＡＤ法を用いた成膜装置について図４を用いて説明する。図４は、成膜装置の基本構成を示した概略図である。図中、５１は被成膜基板、５２は被成膜基板５１を移動せしめるＸＹステージ、５３はノズル、５４は成膜チャンバ、５５は分級器、５６はエアロゾル発生器、５７は高圧ガス、５８はマスフロー制御器、５９はパイプライン、図中矢印は基板走査方向を模式的に示したものである。セラミックス等からなる原料微粒子は、エアロゾル発生器５６の内部でマスフロー制御器５８を介して供給される搬送ガス（図示せず）と混合されてエアロゾル化される。成膜チャンバ５４の内部は、真空ポンプ（図示せず）で〜５０Ｐａ程度に減圧されており、この圧力とエアロゾル発生器５６内部の圧力との差圧によって生じるガス流によってエアロゾル化された原料微粒子は、分級器５５を介して成膜チャンバ５４内に導かれ、ノズル５３を通して加速、被成膜基板５１に噴射される。ガスによって搬送された原料微粒子は、１ｍｍ以下の微小開口のノズルを通すことで数百ｍ／ｓまでに加速される。加速された原料微粒子は被成膜基板５１に衝突し、その運動エネルギーは一気に解放され、皮膜が形成されることになる。
【００２４】
前述したように、ＡＤ法を用いることにより低基板温度で、かつ原料微粒子と同一の結晶構造を有するセラミックス膜を形成できることから、例えば組成が異なる複数種のＢｉ置換希土類鉄ガーネットから成る微粒子を予め所望の比率に混合し、当該複合微粒子を原料微粒子として、ＡＤ法を用いて成膜することにより、結晶粒界を境として、化学組成が明確に異なるＢｉ置換希土類鉄ガーネット等の多結晶体を得ることができる。
【００２５】
以下、実施例を用いて本発明を更に詳細に説明する。
【実施例１】
【００２６】
ＡＤ法により、Bi1.2Tb1.8  Fe5O12とTb3Fe5O12とから成る膜をサファイア基板上に３００μm厚に成膜した。ここで用いた原料微粒子は、平均粒径が約０．８μmのBi1.2Tb1.8  Fe5O12とTb3Fe5O12の微粒子を３：２に混合した混合微粒子である。搬送ガスは酸素でその流量は５リットル／分、噴射ノズルの開口径は０．６ｍｍφであった。また、用いたサファイア基板の形状は、１０ｍｍ角で、厚さは０．６ｍｍであった。
【００２７】
成膜後、酸素雰囲気中で７００℃、１時間の条件で熱処理を施した。粉末Ｘ線回折法で熱処理後の膜のＸ線回折を測定した結果、同膜は多結晶体であり、かつ特定の結晶軸が優先的に配向していないことが確認された。また、ガーネット構造による高回折角度側に位置する回折は、Bi1.2Tb1.8  Fe5O12とTb3Fe5O12の各々に基づく回折に明瞭に分離しており、形成された膜は、組成が明確に異なるＢｉ置換希土類鉄ガーネットとＢｉを含まない希土類鉄ガーネットの混合物から成る多結晶体膜であることが確認された。
【００２８】
熱処理後の試料を、幅：３００μm、長さ：４５０μmの直方体形状に切断し、ファラデー回転を測定した。（当該直方体試料の膜厚は３００μmで、サファイア基板の厚さ：０．６ｍｍを含めると、直方体試料の厚さは０．９ｍｍとなる。）  測定波長は１．３μmである。室温におけるファラデー回転は−９９０度/ｃｍで、ファラデー回転の室温における温度に対する微係数は０．３８度/ｃｍ・℃であった。
【００２９】
一方、前述した条件と同様の条件で、Bi1.2Tb1.8  Fe5O12のみから成る多結晶体膜とTb3Fe5O12のみから成る多結晶体膜を作成し、それ等の室温におけるファラデー回転、及びその室温における温度に対する微係数を測定した結果、Bi1.2Tb1.8  Fe5O12多結晶体膜のファラデー回転は−１８００度/ｃｍ、微係数は１．０度/ｃｍ・℃、及びTb3Fe5O12多結晶体膜のファラデー回転は２４０度/ｃｍ、微係数は−０．５４度/ｃｍ・℃であった。
【００３０】
以上の結果から、Bi1.2Tb1.8  Fe5O12とTb3Fe5O12との混合物から成る多結晶膜の場合、その室温におけるファラデー回転は、Bi1.2Tb1.8  Fe5O12のみから成る多結晶体膜の場合に比べて減少するものの、その温度特性（ファラデー回転の温度に対する微係数）は大幅に改善されたことが確認された。
【実施例２】
【００３１】
実施例１に記載した方法とほぼ同様の条件で、Bi1.2Tb1.8  Fe5O12とHo3Fe5O12とから成る膜をサファイア基板上に３００μm厚に成膜した。ここで用いた原料微粒子は、平均粒径が約０．８μmのBi1.2Tb1.8  Fe5O12とHo3Fe5O12の微粒子を３：２に混合した混合微粒子である。
【００３２】
粉末X線回折法で熱処理後の試料についてX線回折を測定した結果、実施例１と同様、形成された膜は多結晶体であり、かつ特定の結晶軸が優先的に配向していないことが確認された。また、ガーネット構造による高回折角度側に位置する回折は、Bi1.2Tb1.8  Fe5O12とHo3Fe5O12の各々に基づく回折に明瞭に分離しており、形成された膜は、組成が明確に異なるＢｉ置換希土類鉄ガーネットとＢｉを含まない希土類鉄ガーネットの混合物から成る多結晶体膜であることが確認された。
【００３３】
熱処理後の試料について、実施例１に記載した方法と同様の方法で、室温におけるファラデー回転及びその室温における温度に対する微係数を測定した結果、室温におけるファラデー回転は−１０５０度/ｃｍで、ファラデー回転の室温における温度に対する微係数は０．４６度/ｃｍ・℃であった。
【００３４】
一方、前述した条件と同様の条件で、Ho3Fe5O12のみから成る多結晶体膜を作成し、その室温におけるファラデー回転とその温度に対する微係数を測定した結果、ファラデー回転は、１００度/ｃｍで微係数は−０．３５度/ｃｍ・℃であった。
【００３５】
以上の結果から、Bi1.2Tb1.8  Fe5O12とHo3Fe5O12との混合物から成る多結晶膜の場合、その室温におけるファラデー回転は、Bi1.2Tb1.8  Fe5O12のみから成る多結晶体膜の場合に比べて減少するものの、その温度特性（ファラデー回転の温度に対する微係数）は大幅に改善されたことが確認された。
【実施例３】
【００３６】
実施例１と同様の条件でサファイア基板の表面に、Bi1.2Tb1.8  Fe5O12とEu3Fe5O12とから成る膜をサファイア基板上に３００μm厚に成膜した。ここで用いた原料微粒子は、平均粒径が約０．８μmのBi1.2Tb1.8  Fe5O12とEu3Fe5O12の微粒子を３：２に混合した混合微粒子である。
【００３７】
粉末X線回折法で熱処理後の試料についてX線回折を測定した結果、形成された膜は多結晶体であり、かつ特定の結晶軸が優先的に配向していないことが確認された。また、ガーネット構造による高回折角度側に位置する回折は、Bi1.2Tb1.8  Fe5O12とEu3Fe5O12の各々に基づく回折に明瞭に分離しており、形成された膜は、組成が明確に異なるＢｉ置換希土類鉄ガーネットとＢｉを含まない希土類鉄ガーネットの混合物から成る多結晶体膜であることが確認された。
【００３８】
熱処理後の試料について、実施例１に記載した方法と同様の方法で、室温におけるファラデー回転及びその室温における温度に対する微係数を測定した結果、室温におけるファラデー回転は−１０２０度/ｃｍで、ファラデー回転の室温における温度に対する微係数は０．３９度/ｃｍ・℃であった。
【００３９】
一方、前述した条件と同様の条件で、Eu3Fe5O12のみから成る多結晶体膜を作成し、その室温におけるファラデー回転とその温度に対する微係数を測定した結果、ファラデー回転は、１６０度/ｃｍで微係数は−０．５２度/ｃｍ・℃であった。
【００４０】
以上の結果から、Bi1.2Tb1.8  Fe5O12とEu3Fe5O12との混合物から成る多結晶膜の場合、その室温におけるファラデー回転は、Bi1.2Tb1.8  Fe5O12のみから成る多結晶体膜の場合に比べて減少するものの、その温度特性（ファラデー回転の温度に対する微係数）は大幅に改善されたことが確認された。
【実施例４】
【００４１】
実施例１と同様の条件でサファイア基板の表面に、Bi0.9Gd2.1Fe4.5Ga0.5O12とEu3Fe5O12とから成る膜をサファイア基板上に３００μm厚に成膜した。ここで用いた原料微粒子は、平均粒径が約０．８μmのBi0.9Gd2.1Fe4.5Ga0.5O12とEu3Fe5O12の微粒子を３：２に混合した混合微粒子である。
【００４２】
粉末X線回折法で熱処理後の試料についてX線回折を測定した結果、形成された膜は多結晶体であり、かつ特定の結晶軸が優先的に配向していないことが確認された。また、ガーネット構造による高回折角度側に位置する回折は、Bi0.9Gd2.1Fe4.5Ga0.5O12とEu3Fe5O12の各々に基づく回折に明瞭に分離しており、形成された膜は、組成が明確に異なるＢｉ置換希土類鉄ガーネットとＢｉを含まない希土類鉄ガーネットの混合物から成る多結晶体膜であることが確認された。
【００４３】
熱処理後の試料について、実施例１に記載した方法と同様の方法で、室温におけるファラデー回転及びその室温における温度に対する微係数を測定した結果、室温におけるファラデー回転は−８５０度/ｃｍで、ファラデー回転の室温における温度に対する微係数は０．５７度/ｃｍ・℃であった。
【００４４】
一方、前述した条件と同様の条件で、Bi0.9Gd2.1Fe4.5Ga0.5O12のみから成る多結晶体膜を作成し、その室温におけるファラデー回転とその温度に対する微係数を測定した結果、ファラデー回転は、−１５００度/ｃｍで微係数は１．３度/ｃｍ・℃であった。
【００４５】
以上の結果から、Bi1.2Tb1.8  Fe5O12とEu3Fe5O12との混合物から成る多結晶膜の場合、その室温におけるファラデー回転は、Bi0.9Gd2.1Fe4.5Ga0.5O12のみから成る多結晶体膜の場合に比べて減少するものの、その温度特性（ファラデー回転の温度に対する微係数）は大幅に改善されたことが確認された。
【００４６】
以上、本発明について、ファラデー回転子がファラデー回転の温度特性の異なるＢｉ置換希土類鉄ガーネットと希土類鉄ガーネットの２種類の結晶粒から構成される場合について、実施例を用いて詳細に説明した。しかし、本発明は、実施例に記載した組成、混合比率に限定されるものではなく、かつ多結晶体を構成する結晶粒の種類も２種類に限定されるものではなく、多結晶体を構成する結晶粒の組成、及びその種類の数は、所望の特性に応じて適宜選定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明により成る多結晶のＢｉ置換希土類鉄ガーネットの形態模式図
【図２】磁性体のファラデー回転の温度変化を示す模式図
【図３】ファラデー回転子を用いた光アイソレータの構成概略図
【図４】エアロゾルデポジション法を用いた成膜装置の基本構成を示した概略図
【符号の説明】
【００４８】
１，２  多結晶Ｂｉ置換希土類鉄ガーネットを構成する結晶粒
２１，２２  ファラデー回転の温度変化
４１    ファラデー回転子
４２    偏光子
４３    検光子
４４    永久磁石等の磁界印加手段
４５    半導体レーザー等から成る光源
４６    光源４５から出射された光の伝播方向
５１    被成膜基板
５２    被成膜基板５１を移動せしめるＸＹステージ
５３    ノズル
５４    成膜チャンバ
５５    分級器
５６    エアロゾル発生器
５７    高圧ガス
５８    マスフロー制御器
５９    パイプライン
【図１】
2008090009.tif 000005
【図２】
2008090009.tif 000006
【図３】
2008090009.tif 000007
【図４】
2008090009.tif 000008