(57)【要約】【課題】液晶表示装置を構成するカラーフィルタ基板をＴＦＴ基板と張り合わせる場合、それぞれの基板のアライメントマークの画像を認識し、精度よく位置合わせを行えることができる、アライメントマークの認識に好適な表面反射率を有するＢＭ遮光部を含む液晶表示装置用カラーフィルタを提供する。【解決手段】基板と、基板上に形成されかつ画素領域を画定する遮光部と、画素領域に配置された着色膜と遮光部と同じ材料で形成されたアライメントマーク部とを含む液晶表示装置用カラーフィルタであって、遮光部の膜面からの反射率が５〜１０％であることを特徴とすることを前提にして、遮光部の光学濃度が１μｍ厚みあたり２．５〜５．０であり、また遮光部に用いられる遮光剤がカーボンブラックであることを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタである。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、基板上に形成されかつ画素領域を画定する遮光部と、画素領域に配置された着色膜と、遮光部と同じ材料で形成されたアライメントマーク部とを含む液晶表示装置用カラーフィルタであって、遮光部の膜面からの反射率が５％〜１０％であることを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタ。
【請求項２】
遮光部の光学濃度が１μｍ厚みあたり２．５〜５．０であることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置用カラーフィルタ。
【請求項３】
遮光部に用いられる遮光剤がカーボンブラックであることを特徴とする請求項1又は、請求項２に記載の液晶表示装置用カラーフィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液晶表示装置に用いるカラーフィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に液晶表示装置用カラーフィルタは、光透過性の基板上に形成されかつ画素領域を画定する遮光部（いわゆるブラックマトリックス、以下ＢＭと称する）と、画素領域に配置された着色膜とを含んでいる。
【０００３】
ＢＭは、カーボンブラック等の遮光剤を含有する樹脂からなり、例えば複数のマトリックス状に配置された窓部を形成し、この窓部は画素領域となっている。
【０００４】
着色膜は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の画素を構成する顔料もしくは染料を含む薄膜である。着色膜を形成する方法としては、フォトリソグラフィ法がある。フォトリソグラフィ法は、感光性の着色組成物液を基板上に配して、所定パターンで露光処理及び現像処理を行って、当該パターンに対応した着色組成物の硬化物を形成する方法である。
【０００５】
液晶表示装置用カラーフィルタのＢＭを形成する方法としては、クロム、ニッケル、アルミニウム等の金属の蒸着膜が用いられているが、環境面及び、コストの点で、現在ではフォトレジストを用いることが一般的である。
【０００６】
また、液晶表示装置用カラーフィルタのＢＭの大切な特性としては、ガラス基板面からの反射率が挙げられる。ＢＭの反射率が高いと、強い外光に照射されると、ガラス面で外光を反射させ、表示品質が低下するという問題がある。
【０００７】
これを解決すべく、特許文献１では表面反射率が３．０％以下であるカーボンブラックと黒鉛を含む黒色被覆組成物が提案されている。しかし今では液晶表示装置のカラーフィルタ形成面と反対のガラス面側に反射防止層を設けることで外光からの反射を低減できるようになっている。
【０００８】
更に、ＢＭを形成するフォトレジストは、ＢＭを形成するだけではなく、液晶表示装置を作製する上でカラーフィルタとＴＦＴ（トランジスタ）基板との貼り合せのアライメントマークも形成する。この貼り合せのアライメントマークを合わせる場合、カラーフィルタの膜面を、ＴＦＴ基板を通してＣＣＤカメラでアライメントマークを読み取る為に、ＢＭ形成用レジストで形成したアライメントマークの反射率が高いとＣＣＤカメラで精度良く読み取れず、位置合わせを繰り返すことで生産性が上がらないという問題がある。
【０００９】
この課題を解決するために、特許文献２では常に最適な色調および光量で照射して、アライメントマークの画像を認識しやすくする照明装置および照明方法が提案されている。この方法によれば照射光を最適になるよう光量値の補正をおこなうので、アライメントマークを最適なコントラストで認識することができるが、設備が大掛かりとなりコストが高く、補正のための大量のデータ蓄積が必要になる。
【００１０】
以下に上記背景技術文献を示す。
【特許文献１】特開平１１−３４９８９８号公報
【特許文献２】特開２００６−９１６２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
液晶表示装置を構成するカラーフィルタ基板とＴＦＴ基板を張り合わせる場合には、それぞれの基板に位置決めマーク（以下、アライメントマークという）を付してそれぞれの画像を認識し、取得した画像からお互いの位置を求めて、位置合わせを行っている。通常、カラーフィルタではこのアライメントマークはＢＭと同じ材料でパネル表示部の外側にＴＦＴと対応する位置に形成される。照明光を照射し、反射で読み取る場合、それぞれのアライメントマークの見えやすさは、例えば、ＢＭの材質、特に反射率により異なる。反射率が高く、アライメントマークが見えにくくなると、アライメントマークとその背景とのコントラストが低下し、アライメントマークが認識しづらくなり、カラーフィルタ基板とＴＦＴ基板との位置合わせの精度が低下してしまいうという問題があった。
【００１２】
本発明は上記の問題点を解決するものであって、アライメントマークの認識に好適な表面反射率を有するＢＭを含む液晶表示装置用カラーフィルタを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明はかかる課題に鑑みなされたものであり、本発明の請求項１に係る発明は、基板と、基板上に形成されかつ画素領域を画定する遮光部と、画素領域に配置された着色膜とを含む液晶表示装置用カラーフィルタであって、遮光部の膜面からの反射率が５〜１０％であることを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタである。
【００１４】
本発明の請求項２に係る発明は、請求項１の発明を前提とし、遮光部の光学濃度が１μｍ厚みあたり２．５〜５．０であることを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタである。
【００１５】
又、本発明の請求項３に係る発明は、遮光部に用いられる遮光剤がカーボンブラックであることを特徴とする請求項１および請求項２に記載の液晶表示装置用カラーフィルタである。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、ＢＭと同一材料で形成されるアライメントマーク部の反射率を５〜１０％の範囲内にすることで、パネル製造時におけるカラーフィルタ基板とＴＦＴ基板との貼り合せ時に精度よく読み取ることができる。そのため生産効率の向上につながる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明に係るＢＭ形成用レジストは、ＢＭ膜面における反射率が５から１０％の範囲内であることが必要である。
【００１８】
ＢＭ膜面における表面反射率が１０％以上であると、カラーフィルタ基板とＴＦＴ基板との貼り合せ時にアライメントマークを読み取ることが難しくなるため、効率のよい生産に支障が出る。一方、ＢＭの表面反射率を５％以下にするためには、レジスト中の顔料濃度を低下させる必要があるため、ＢＭの遮光性が低くなり、実用性に乏しくなる。
【００１９】
また、本発明に係るＢＭ形成用組成物は、１．０μｍ厚みあたりの光学濃度（ＯＤ値）が２．５〜５．０である必要がある。ＯＤ値が５．０以上であると、ＢＭ膜面の表面粗さ（Ｒａ値）が大きくなり、表面反射率が１０％以上になることにより、上記に述べたようにアライメントマーク部の読み取りが困難になる。２．５以下であると、ＢＭとしての遮
光性を保つために、ＢＭの厚みを厚くすることが必要となり、着色膜との重なり部分で発生する凹凸により、液晶配向の乱れが生じやすくなる。
【００２０】
なお本発明において、ＢＭの反射率は、顕微鏡分光測定装置（オリンパス  ＯＳＰ―ＳＰ２００）を用いて測定を行った。測定の光源としては、Ｃ光源で測定し、その時に明度Ｙ値を読み取り、反射率を算出した。
【００２１】
また、遮光性の指標となる光学濃度（ＯＤ値）については、マクベスＤ―２００IIを用いて測定を行った。
【００２２】
本発明において使用されるＢＭを形成するレジスト中の遮光剤としては、カーボンブラック、黒鉛、アニリンブラック、シアニンブラックなどの有機顔料、もしくはミロリブルー、酸化鉄、酸化チタン、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、シリカ、アルミナ、コバルト系、マンガン系、タルク、クロム酸塩、フェロシアン化物、各種金属硫酸塩、硫化物、セレン化物、リン酸塩群青、紺青、コバルトブルー、セルリアンブルー、ビリジアン、エメラルドグリーン、コバルトグリーン等の無機顔料が使用できる。また、これらの顔料は複数を混合して使用するか、さらには無機顔料、有顔料機、染料の赤、青、緑色などを混色させることも可能である。
【００２３】
上記遮光剤の中では、遮光性、表面平滑性、分散安定性、樹脂との相溶性の面から、カーボンブラックが好ましい。具体的には、例えば、三菱化学社製  商品名「ＭＡ７」、「ＭＡ８」、「ＭＡ１１」、「ＭＡ１００」、「ＭＡ２２０」、「ＭＡ２３０」、「＃５２」、「＃５０」、「＃４７」、「＃４５」、「＃２７００」、「＃２６５０」、「＃２２００」、「＃１０００」、「＃９９０」、及び「＃９００」等、テグサ社製  商品名「Ｐｒｉｎｔｅｘ９５」、「Ｐｒｉｎｔｅｘ９０」、「Ｐｒｉｎｔｅｘ８５」、「Ｐｒｉｎｔｅｘ７５」、「Ｐｒｉｎｔｅｘ５５」、「Ｐｒｉｎｔｅｘ４５」、「Ｐｒｉｎｔｅｘ４０」、「Ｐｒｉｎｔｅｘ３０」、「Ｐｒｉｎｔｅｘ３」、「ＰｒｉｎｔｅｘＡ」、「ＰｒｉｎｔｅｘＧ」、「ＳｐｅｃｉａｌＢｌａｃｋ５５０」、「ＳｐｅｃｉａｌＢｌａｃｋ３５０」、「ＳｐｅｃｉａｌＢｌａｃｋ２５０」、及び「ＳｐｅｃｉａｌＢｌａｃｋ１００」等、キャボット社製  商品名「Ｍｏｎａｒｃｈ４６０」、「Ｍｏｎａｒｃｈ４３０」、「Ｍｏｎａｒｃｈ２８０」、「Ｍｏｎａｒｃｈ１２０」、「Ｍｏｎａｒｃｈ８００」、「Ｍｏｎａｒｃｈ４６３０」、「ＲＥＧＡＬ９９」、「ＲＥＧＡＬ９９Ｒ」、「ＲＥＧＡＬ４１５」、「ＲＥＧＡＬ４１５Ｒ」、「ＲＥＧＡＬ２５０」、「ＲＥＧＡＬ２５０Ｒ」、「ＲＥＧＡＬ３３０」、「ＢＬＡＣＫ  ＰＥＡＲＬＳ４８０」、及び「ＢＬＡＣＫ  ＰＥＡＲＬＳ１３０」等、コロンビアンカーボン社製  商品名「ＲＡＶＥＮ１１、「ＲＡＶＥＮ１５」、「ＲＡＶＥＮ３０」、「ＲＡＶＥＮ３５」、「ＲＡＶＥＮ４０」、「ＲＡＶＥＮ４１０」、「ＲＡＶＥＮ４２０」、「ＲＡＶＥＮ４５０」、「ＲＡＶＥＮ５００」、「ＲＡＶＥＮ７８０」、「ＲＡＶＥＮ８５０」、「ＲＡＶＥＮ８９０Ｈ」、「ＲＡＶＥＮ１０００」、「ＲＡＶＥＮｌ０２０」、「ＲＡＶＥＮ１０４０」等が挙げられる。これらの顔料は単独で、あるいは複数を混合して用いることができる。
【００２４】
本発明で遮光剤として使用されるカーボンブラックの一次粒子径は、５０ｎｍ以下が好ましく、より好ましくは、４０ｎｍ以下である。一次粒径が５０ｎｍ以上であると、表面粗さ(Ｒａ値)が１５０Å以上となり、表面が白化してしまう。なお、一次粒子径は、電子顕微鏡による算術平均により求めることができる。
【００２５】
また、着色剤は所望により、分散剤と共に使用することができる。このような分散剤としては、例えば、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性、シリコーン系、フッ素系等の界面活性剤を挙げることができる。前記界面活性剤の具体例としては、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル等のポリオキシエチレ
ンアルキルエーテル類等を挙げることができる。例えば、市販の分散液ＥＸ−２８０６（御国色素社製）等を用いてもよい。
【００２６】
次に、本発明に係る遮光部となるＢＭの形成方法について説明する。
【００２７】
まず、ＢＭ形成用レジストの塗液は、ディップ法、ロールコーター法、スピンコート法、ダイコーティング法、各種の印刷法などにより塗布し、その後、オーブンやホットプレートを用いて加熱乾燥及び硬化（プリベーク）を行なう。
【００２８】
ＢＭの膜厚は、０．２μｍから３．０μｍの間であることが好ましく、より好ましくは０．５μｍから２．０μｍの間である。ＢＭの膜厚が小さいと、パネル表示時に十分な遮光性が得られず、光漏れが発生してしまう。一方、ＢＭの膜厚が大きいと、着色膜との重なり部分で発生する凹凸により、液晶表示の乱れの原因となってしまう。
【００２９】
こうして得られた塗布膜を、超高圧水銀、水銀蒸気アーク、カーボンアーク、キセノンアークなどの活性光の光源を用い、フォトマスクを介してパターン露光し、現像、膜硬化過程を行い、ＢＭを形成する。このときアライメントマークも同時に形成する。
【００３０】
このアルカリ現像に適した現像液としては、例えば、アルカリ金属やアルカリ土類金属の炭酸塩の水溶液、アルカリ金属の水酸化物の水溶液等を挙げることができるが、特に炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸リチウム等の炭酸塩を０．０５〜１０ 重量％ 含有する弱アルカリ性水溶液を用いて２ ０ 〜 ３ ０ ℃ の温度で現像するのがよく、市販の現像機や超音波洗浄機等を用いて微細な画像を精密に形成することができる。なお、アルカリ現像後は、通常、水洗する。現像処理法としては、シャワー現像法、スプレー現像法、ディップ（ 浸漬） 現像法、パドル（液盛り）現像法等を適用することができる。現像条件は、常温で１０〜１２０ 秒が好ましい。
【００３１】
このようにして現像した後、１８０〜２５０℃ の温度、及び２０〜１００分の条件で熱処理（ポストベーク） が行われる。このポストベークは、パターニングされた塗膜と基板との密着性を高めるため等の目的で行われる。これはプリベークと同様に、オーブン、ホットプレート等により加熱することによって行われる。本発明に係るパターニングされたＢＭおよびアライメントマークは、遮光性感光性樹脂組成物を用いて以上のフォトリソグラフィ法による各工程を経て形成される。
【００３２】
画素及び／又はＢＭを備えたカラーフィルタを形成する際に使用される基板としては、例えば、ガラス、透明フィルム（例えば、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエーテルスルフォン等） 等が用いられる。また、これらの基板には、所望により、シランカップリング剤等による薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング、スパッタリング、気相反応法、真空蒸着等の適宜の前処理を施しておくこともできる。
【００３３】
以上のように、透明基板上にＢＭを形成し、次いで赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の少なくとも３色を有する画素を形成せしめ、この上に必要に応じてオーバーコート膜、更にＩＴＯ等の透明導電膜を形成することにより、本発明の一例の液晶表示装置用カラーフィルタを形成できる。
【実施例】
【００３４】
以下に、本発明に係る具体的実施例について説明する。
【００３５】
＜実施例１＞
フルオレン骨格を有するエポキシアクリレートの酸無水物重縮合物のプロピレングリコ
ールモノメチルエーテルアセテート溶液（樹脂固形分濃度＝５６．１重量％ 、新日鐵化学社製、Ｖ２５９ＭＥ）６．５ｇに対し、光重合性モノマーとして、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート２．０ｇ、光重合開始剤として、ベンゾフェノン０．８ｇ、溶剤として、シクロヘキサノン４０ｇ、プロピレングリコール−１−モノメチルエーテル−２−アセテート３２．５ｇ、添加剤（ＡＤＥＫＡ社製、アデカポリエーテルＧ−４００）を０．９ｇ加え、感光性樹脂組成物を得た。さらに、遮光剤としてカーボンブラック分散液（御国色素社製、ＥＸ−２８０６）２５．８ｇ及び溶剤として、エチルセロソルブ２７ｇを加えてよく撹拌し、黒色の遮光性感光性樹脂組成物を得た。
【００３６】
上記遮光性感光性樹脂組成物を用いて、以下の手順でＢＭの黒色薄膜を形成し、その＜反射率＞、＜ＯＤ値＞、＜表面粗さ＞を測定し、更に＜アライメントマークのマッチング率＞を算出して評価した。
【００３７】
基板上にγ−グリシドキシプロピルメチルエトキシシランをスピンコートしてよくスピン乾燥させた後、上記遮光性感光性樹脂組成物をスピンコート（８００ｒｐｍ、４０秒間）し、乾燥させた。１００℃で３分間加熱してプリベークを行った後、所定のフォトマスクを用いて、光源として超高圧水銀ランプを用いて露光した後、２．５重量％炭酸ナトリウム溶液に２５℃で３０秒間浸漬して現像し、良く水洗した。水洗乾燥後、２３０℃で１時間ベークしてパターンを定着させＢＭの黒色薄膜を得た。このとき基板端部には、測定用の黒色薄膜のベタ部とアライメントマーク用のパターンも同時に形成した。
【００３８】
上記ＢＭパターン形成済みの基板に対して、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の画素をフォトリソ法を用いて形成し、更にＩＴＯからなる透明導電膜を形成して、本発明の液晶表示装置用カラーフィルタの一例を得た。
【００３９】
この黒色薄膜の＜反射率＞は、顕微鏡分光測定装置（オリンパス  ＯＳＰ―ＳＰ２００）を用いて測定を行った。測定の光源としては、Ｃ光源で測定し、その時に明度Ｙ値を読み取り、反射率を算出した。
【００４０】
遮光性の指標となる黒色薄膜の光学濃度＜ＯＤ値＞については、マクベスＤ―２００IIを用いて測定を行った。
【００４１】
黒色薄膜の＜表面粗さ＞は、触針式膜厚計Ｄｅｋｔａｋ１６０００を用い、５００μｍあたりの平均表面粗さＲａ値により求めた。
【００４２】
このアライメントマークを、ＵＬＶＡＣ社製真空貼り合わせ装置Ｖ１８００Ｔを用いて、反射光で読み取り、二値化方式で認識した。マッチング率は、クロム蒸着により作成したアライメントマークを認識した値を１００とした場合に、７０以上であれば  ○、７０未満では  ×と判定した。
【００４３】
得られたＢＭの黒色薄膜の厚みは１．１μｍ、表面粗さは７５Åであり、１μｍ厚みあたりのＯＤ値は３．０、表面反射率は７．２％であった。アライメントマークのマッチング率は１００であり、容易に読み取ることが可能であった。
【００４４】
＜実施例２＞
フルオレン骨格を有するエポキシアクリレートの酸無水物重縮合物のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液（樹脂固形分濃度＝５６．１重量％ 、新日鐵化学社製、Ｖ２５９ＭＥ）７．５ｇに対し、光重合性モノマーとして、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとジペンタエリスリトールペンタアクリレートとの混合物（日本化薬社製、ＤＰＨＡ）０．７ｇ、光重合開始剤として、Ｏ−アシルオキシム系光重合開始剤（チバスペシャリティ社製、ＣＧＩ−２４２）１．1ｇ、増感剤（保土ヶ谷化学社製、ＥＡＢ−Ｆ）、溶剤として、シクロヘキサノン４０ｇ、プロピレングリコール−１−モノメチルエーテル−２−アセテート３２．５ｇ、添加剤（ＡＤＥＫＡ社製、アデカポリエーテル−４００を０．９ｇ加え、感光性樹脂組成物を得た。さらに、遮光剤としてカーボンブラック（三菱化学社製  ＃４７）使用分散液３２．８ｇ及び溶剤として、エチルセロソルブ２７ｇを加えてよく撹拌し、黒色の遮光性感光性樹脂組成物を得た。
【００４５】
実施例１と同様の方法で、本発明の液晶表示装置用カラーフィルタの一例を作成した。得られたＢＭの黒色薄膜の厚みは０．８μｍ、表面粗さは５０Åであり、１μｍあたりのＯＤ値は４．２、表面反射率は８．５％であった。アライメントマークのマッチング率は８１であり、容易に読み取ることができた。
【００４６】
＜実施例３＞
フルオレン骨格を有するエポキシアクリレートの酸無水物重縮合物のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液（樹脂固形分濃度＝５６．１重量％ 、新日鐵化学社製、Ｖ２５９ＭＥ）１１．５ｇに対し、光重合性モノマーとして、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとジペンタエリスリトールペンタアクリレートとの混合物（日本化薬社製、ＤＰＨＡ）０．４ｇ、光重合開始剤として、Ｏ−アシルオキシム系光重合開始剤（チバスペシャリティ社製、ＣＧＩ−２４２）０．５ｇ、増感剤（保土ヶ谷化学社製、ＥＡＢ−Ｆ）、溶剤として、シクロヘキサノン４０ｇ、プロピレングリコール−１−モノメチルエーテル−２−アセテート３２．５ｇ、添加剤（ＡＤＥＫＡ社製、アデカポリエーテルG−４００）を０．９ｇ加え、感光性樹脂組成物を得た。さらに、遮光剤としてカーボンブラック（三菱化学社製、ＭＡ７）使用分散液２５．７ｇを加えてよく攪拌し、黒色の遮光性感光性樹脂組成物を得た。
【００４７】
実施例１と同様の方法で本発明の液晶表示装置用カラーフィルタの一例を形成した。得られたＢＭの黒色薄膜の厚みは１．２μｍ、表面粗さは３６Åであり、１μｍ厚みあたりのＯＤ値は２．８、表面反射率は６．１％であった。アライメントマークのマッチング率は９２であり、容易に読み取ることができた。
【００４８】
以下に、本発明の比較例について説明する。
【００４９】
＜比較例１＞
フルオレン骨格を有するエポキシアクリレートの酸無水物重縮合物のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液（樹脂固形分濃度＝５６．１重量％ 、新日鐵化学社製、Ｖ２５９ＭＥ）６．５ｇに対し、光重合性モノマーとして、ジペンタエリスリトールヘキサア１クリレート２．０ｇ、光重合開始剤として、ベンゾフェノン０．８ｇ、溶剤として、シクロヘキサノン４０ｇ、プロピレングリコール−１−モノメチルエーテル−２−アセテート３２．５ｇ、添加剤（ＡＤＥＫＡ社製、アデカポリエーテルＧ−４００）を０．９ｇ加え、感光性樹脂組成物を得た。さらに、遮光剤としてカーボンブラック分散液（御国色素社製、ＥＸ−２８０６）３５．８ｇ及び溶剤として、エチルセロソルブ２７ｇを加えてよく撹拌し、黒色の着色感光性樹脂組成物を得た。
【００５０】
実施例１と同様の方法で液晶表示装置用カラーフィルタを形成した。得られたＢＭの黒色薄膜の厚みは０．９μｍ、表面粗さは１２７Åであり、１μｍあたりのＯＤ値は４．１、表面反射率は１４．５％と高かった。アライメントマークのマッチング率は６４であり、判定は×とした。
【００５１】
＜比較例２＞
フルオレン骨格を有するエポキシアクリレートの酸無水物重縮合物のプロピレングリコ
ールモノメチルエーテルアセテート溶液（樹脂固形分濃度＝５６．１重量％ 、新日鐵化学社製、Ｖ２５９ＭＥ）７．５ｇに対し、光重合性モノマーとして、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとジペンタエリスリトールペンタアクリレートとの混合物（日本化薬社製、ＤＰＨＡ）０．７ｇ、光重合開始剤として、Ｏ−アシルオキシム系光重合開始剤（チバスペシャリティ製、ＣＧＩ−２４２）１．1ｇ、増感剤（保土ヶ谷化学社製、ＥＡＢ−Ｆ）、溶剤として、シクロヘキサノン４０ｇ、プロピレングリコール−１−モノメチルエーテル−２−アセテート３２．５ｇ、添加剤（ＡＤＥＫＡ社製、アデカポリエーテルＧ−４００）を０．９ｇ加え、感光性樹脂組成物を得た。さらに、遮光剤としてカーボンブラック（三菱化学社製、＃４７）使用分散液３８．７ｇ及び溶剤として、エチルセロソルブ２７ｇを加えてよく撹拌し、黒色の遮光性感光性樹脂組成物を得た。
【００５２】
実施例１と同様の方法で液晶表示装置用カラーフィルタを形成した。得られた樹脂ＢＭの厚みは０．７５μｍ、表面粗さは１５０Åであり、１μｍあたりのＯＤ値は５．２、表面反射率は１２．２％と高かった。アライメントマークのマッチング率は５８であり、判定は×とした。
【００５３】
＜比較例３＞
フルオレン骨格を有するエポキシアクリレートの酸無水物重縮合物のプロピレングリコールコールモノメチルエーテルアセテート溶液（ 樹脂固形分濃度＝５６．１重量％ 、新日鐵化学社製、Ｖ２５９ＭＥ）１１．５ｇに対し、光重合性モノマーとして、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとジペンタエリスリトールペンタアクリレートとの混合物（日本化薬社製、ＤＰＨＡ）０．４５ｇ、光重合開始剤として、Ｏ−アシルオキシム系光重合開始剤（チバスペシャリティ社製、ＣＧＩ−２４２）０．８ｇ、溶剤として、シクロヘキサノン３５プロピレングリコール−１−モノメチルエーテル−２−アセテート３８ｇ、添加剤（ＡＤＥＫＡ社製、アデカポリエーテルＧ−４００）を０．９ｇ加え、感光性樹脂組成物を得た。さらに、遮光剤としてカーボンブラック（三菱化学社製、＃４７）使用分散液１８．７ｇ及び溶剤として、エチルセロソルブ２７ｇを加えてよく撹拌し、黒色の着色感光性樹脂組成物を得た。
【００５４】
実施例１と同様の方法で液晶表示装置用カラーフィルタを形成した。得られた樹脂ＢＭの厚みは１．６μｍ、表面粗さは２５Åであり、１μｍあたりのＯＤ値は１．０、表面反射率は４．５であった。アライメントマークのマッチング率は１１５であったものの、ＢＭの遮光性が不十分であるために、バックライトの光漏れが発生した。
【００５５】
以下に、本発明の実施例１〜３と比較例１〜３の、反射率、ＯＤ値、表面粗さの測定結果と、アライメントマークのマッチング率の評価判定結果をまとめたものを、＜表１＞に示す。
【００５６】
【表１】
2008268705.tif 000002