(57)【要約】【課題】照明装置およびその塵埃除去方法において、互いの光学面が非平行な状態で上下に対向して配置された２つの扁平な光学素子を有する場合でも、各光学素子に付着する塵埃を効率よく除去することができるようにする。【解決手段】照明光１０を導くために、反射面５ａと第１面８ａが非平行な状態で上下に対向して配置されたミラー５、フレネルレンズ８を有する照明装置１で、ミラー５の反射面５ａの塵埃を落とす塵埃落とし手段と、フレネルレンズ８の第１面８ａ上の塵埃を上方からの気流形成により除去する塵埃除去手段とを備える。【選択図】図２
2008089453.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
照明光を導くために、互いの光学面が非平行な状態で上下に対向して配置された２つの扁平な光学素子を有する照明装置であって、
前記光学素子のうち上側に配置された上側光学素子の下側の光学面上の塵埃を落とす塵埃落とし手段と、
前記光学素子のうち下側に配置された下側光学素子の上側の光学面上の塵埃を上方からの気流を形成して除去する塵埃除去手段とを備えることを特徴とする照明装置。
【請求項２】
前記上側光学素子を揺動する揺動機構が設けられ、
該揺動機構が、前記塵埃落とし手段と前記塵埃除去手段とを兼ねる構成としたことを特徴とする請求項１に記載の照明装置。
【請求項３】
前記塵埃落とし手段が、前記上側光学素子を振動させる上側振動素子を備えることを特徴とする請求項１または２に記載の照明装置。
【請求項４】
前記塵埃除去手段が、前記下側光学素子を振動させる下側振動素子を備えることを特徴とする請求項請求項１〜３のいずれかに記載の照明装置。
【請求項５】
前記塵埃落とし手段が、前記上側光学素子の前記下側の光学面に沿って上方から下方に向けて送風する上側送風手段を備えることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の照明装置。
【請求項６】
前記塵埃除去手段が、前記下側光学素子の前記上側の光学面に沿って上方から下方に向けて送風する下側送風手段を備えることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の照明装置。
【請求項７】
照明光を導くために、互いの光学面が非平行な状態で上下に対向して配置された２つの扁平な光学素子を有するとともに、前記光学素子のうち上側に配置された上側光学素子の下側の光学面上の塵埃を落とす塵埃落とし手段と、前記光学素子のうち下側に配置された下側光学素子の上側の光学面上の塵埃を上方からの気流形成により除去する塵埃除去手段とを備える照明装置の塵埃除去方法であって、
前記塵埃落とし手段を用いて前記上側光学素子の前記下側の光学面上の塵埃を落としてから、前記塵埃除去手段を用いて前記下側光学素子の前記上側の光学面上の塵埃を除去することを特徴とする照明装置の塵埃除去方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は照明装置およびその塵埃除去方法に関する。例えば、照明光を導くために、互いの光学面が非平行な状態で上下に対向して配置された２つの扁平な光学素子を有する照明装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、外観検査装置などでは、被検体を広範囲に照明する照明装置が用いられている。このような照明装置は、例えば、照明光を偏向するミラーや、照明光を集光するフレネルレンズや、照明光の散乱度合いを変えるための液晶を用いた散乱板などのような、扁平な光学素子を複数組み合わせて構成することが多い。
例えば、特許文献１には、このような照明装置の例である照明系本体を備えた欠陥検査装置が記載されている。この照明系本体は、水平方向に放射される照明光を小反射ミラーで斜め上方向に偏向し、傾斜角を変えられる大反射ミラーで斜め下方向に偏向し、水平に近い状態に傾斜して固定されたフレネルレンズで集光し、装置下方に配置されたガラス基板を照明する構成を有している。このため、大反射ミラーの反射面とフレネルレンズの入射側レンズ面とが、非平行な状態で上下に対向して配置されている。
また、特許文献２には、照明装置ではないが、投射ミラーに超音波振動子を設け、下方から送風ファンで送風することにより、投射ミラーに付着する塵埃を上方に吹き飛ばして除去する塵埃除去装置を備えたプロジェクタが記載されている。
【特許文献１】特開２００４−２４５６４３号公報（図１、２）
【特許文献２】特開２００５−１４１０６５号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記のような従来の照明装置には、以下のような問題があった。
特許文献１に記載の技術では、大反射ミラーやフレネルレンズに塵埃が付着すると照明光にムラが発生するので擬似欠陥が観察される場合がある。そのため、大反射ミラーやフレネルレンズの光学面を定期的に清掃する必要がある。しかしながら、近年、ガラス基板は大型化する傾向にあるため、照明範囲を広げる必要があり、大反射ミラーやフレネルレンズも大型化している。加えて、互いが上下に重なるように配置されているため、そのままの状態では清掃にたいへんな手間がかかるという問題がある。
一方、このような欠陥検査装置の照明装置に、特許文献２に記載の技術を適用して塵埃の除去を行うことも考えられる。この場合、光学素子に付着した塵埃は、超音波振動子により、表面に対する付着力が弱められ、送風ファンによって送風することによって上方に吹き飛ばされる。
ところが、特許文献１のような照明装置では、光学素子が上下に対向して配置され、しかも照明光を漏らさないように筐体で囲われているので、上方に吹き飛ばされた塵埃は、いずれ落下して、下側の光学素子上に降り積もる。そのため塵埃を確実には除去することができないという問題がある。
【０００４】
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、互いの光学面が非平行な状態で上下に対向して配置された２つの扁平な光学素子を有する場合でも、各光学素子に付着する塵埃を効率よく除去することができる照明装置およびその塵埃除去方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題を解決するために、本発明の照明装置は、照明光を導くために、互いの光学面が非平行な状態で上下に対向して配置された２つの扁平な光学素子を有する照明装置であって、前記光学素子のうち上側に配置された上側光学素子の下側の光学面上の塵埃を落とす塵埃落とし手段と、前記光学素子のうち下側に配置された下側光学素子の上側の光学面上の塵埃を上方からの気流を形成して除去する塵埃除去手段とを備える構成とする。
この発明によれば、上側光学素子の下側の光学面上の塵埃を、塵埃落とし手段によって下方に落とすことできる。そして、下側光学素子の上側の光学面上に付着していたり、上側光学素子から落とされて積もったりした塵埃は、塵埃除去手段によって、上方からの気流を形成して下方に吹き飛ばすことによって除去することができる。すなわち、互いに対向する光学面の塵埃を、上側光学素子から下側光学素子の方に向かって除去してゆくことができる。
【０００６】
また、本発明の照明装置の塵埃除去方法は、照明光を導くために、互いの光学面が非平行な状態で上下に対向して配置された２つの扁平な光学素子を有するとともに、前記光学素子のうち上側に配置された上側光学素子の下側の光学面上の塵埃を落とす塵埃落とし手段と、前記光学素子のうち下側に配置された下側光学素子の上側の光学面上の塵埃を上方からの気流形成により除去する塵埃除去手段とを備える照明装置の塵埃除去方法であって、前記塵埃落とし手段を用いて前記上側光学素子の前記下側の光学面上の塵埃を落としてから、前記塵埃除去手段を用いて前記下側光学素子の前記上側の光学面上の塵埃を除去する方法とする。
この発明によれば、上側光学素子の下側の光学面上の塵埃を落としてから、下側光学素子の上側の光学面上の塵埃を除去するので、後者の工程で、上側から塵埃が落下しないようにすることができる。そのため、効率的に塵埃除去を行うことができる。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の照明装置およびその塵埃除去方法によれば、上側光学素子から下側光学素子の方に向かって、塵埃を除去することができるので、互いの光学面が非平行な状態で上下に対向して配置された２つの扁平な光学素子を有する場合でも、各光学素子に付着する塵埃を効率よく除去することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下では、本発明の実施の形態について添付図面を参照して説明する。すべての図面において、実施形態が異なる場合であっても、同一または相当する部材には同一の符号を付し、共通する説明は省略する。
【０００９】
［第１の実施形態］
本発明の第１の実施形態に係る照明装置について説明する。
図１は、本発明の第１の実施形態に係る照明装置およびそれを用いた基板検査装置の概略構成を示す模式的な側面図である。図２は、本発明の第１の実施形態に係る照明装置の主要部の構成を示す模式的な側面図である。
【００１０】
本実施形態の照明装置１は、図１、２に示すように、被検体である基板１４を保持する基板検査装置２の上部に配置され、基板１４に上方から照明光１０を照射するものである。以下では、一例として、基板１４が、液晶ディスプレイなどに用いられる液晶ガラス基板であり、基板検査装置２は、基板１４の表面を目視で基板全体を検査するマクロ検査部と、基板１４の拡大画像を顕微鏡によって取得して検査するミクロ検査部とを備える構成の例で説明する。
【００１１】
照明装置１の概略構成は、水平に近い方向に放射光として照明光１０を放射するランプ４、このランプ４から放射された照明光１０を反射面５ａ（光学面）により下方側に偏向するミラー５（上側光学素子）、振動素子６（上側振動素子）、回動機構７（揺動機構）、フレネルレンズ８（下側光学素子）、振動素子９（下側振動素子）、およびこれらを、少なくとも上方および側方から覆う筐体３からなる。
なお、照明光１０、振動素子６、９、回動機構７は、基板検査装置２に設けられた制御部１７に接続されており、制御部１７を通してそれぞれの動作制御が行われる。
【００１２】
振動素子６は、ミラー５の反射面５ａの有効領域以外の部位、本実施形態ではミラー５の裏面５ｂ、に固定され、適宜の加振周波数でミラー５を加振するものである。
振動素子６の加振周波数は、制御部１７により一定または可変に制御される。
加振周波数の値は、反射面５ａ上に付着するゴミ、チリ、埃などの塵埃２０（図２参照）を反射面５ａから落としやすい数値範囲を、例えば実験などによって求めておくことで設定することができる。
振動素子６の種類は、必要な加振周波数、加振エネルギーが得られれば、特に限定されない。例えば、超音波振動素子、圧電素子を用いた振動素子、モータなどを用いた振動素子など構成を採用することができる。
【００１３】
なお、図１、２には、振動素子６は１つしか記載されていないが、例えば、より大きな加振エネルギーが必要な場合や、多点位置で加振したい場合には、振動素子６を複数設けてもよい。複数の振動素子６を設けることにより、例えば塵埃２０が付着しやすい部位に多くの振動素子６を配置するなどして、低出力の振動素子６であっても効率的に塵埃２０を落とすことが可能となる。
【００１４】
回動機構７は、ランプ４の光軸に対してミラー５の傾斜角を可変に保持するもので、本実施形態では、ミラー５の保持枠（不図示）に固定されたアームの端部を正逆転可能なモータなどで回動させる機構を採用している。このモータの回動方向と回動角とを制御部１７によって制御することにより、ミラー５を適宜の角度位置に配置することができる。
また、ミラー５の傾斜角を連続的に変化させることにより、ミラー５を揺動させることができる。本実施形態では、この揺動速度、揺動角は、回動機構７とともに回動するミラー５が、近傍の空気を煽ることで下方に向かう気流が発生するように制御される。
【００１５】
フレネルレンズ８は、反射面５ａで反射された照明光１０を集光しつつ下方に導くため、光学面として、ランプ４側から透過平面である第１面８ａ、フレネルレンズ面である第２面８ｂを備えている。
フレネルレンズ８の配置位置は、ミラー５の反射面５ａと第１面８ａとが、側面視でランプ４側が開いたくさび状をなす互いに非平行な状態で上下に対向されている。このため、第１面８ａは上側、第２面８ｂは下側に向けられている。
本実施形態では、フレネルレンズ８はミラー５に比べてより水平に近い傾斜角で筐体３の固定されている。
【００１６】
振動素子９は、フレネルレンズ８の第１面８ａ、第２面８ｂの有効領域以外の部位、本実施形態ではフレネルレンズ８の側部に、に固定され、第１面８ａ上に付着する塵埃２０を第１面８ａから離間させやすい加振周波数でフレネルレンズ８を加振できるようになっている。
振動素子９は、振動素子９と同様の構成を採用することができる。
【００１７】
基板検査装置２の概略構成は、図１に示すように、基台１１、基台１１に固定された支持フレーム１８、基台１１上の複数の検査位置の間で水平移動する移動ステージ１２、移動ステージ１２とともに移動し基板１４を、傾斜角可変に保持する揺動ステージ１３、基台１１上の検査位置の１つ（以下、ミクロ検査位置と称する）に設けられた顕微鏡１５、および制御部１７からなる。
【００１８】
支持フレーム１８の上部には、照明装置１が固定され、フレネルレンズ８から下方に投射された照明光１０の照射範囲が、基台１１上の検査位置の他の１つ（以下、マクロ検査位置と称する）に設定されている。そのため、移動ステージ１２は、マクロ検査位置とミクロ検査位置との間で水平移動される。そして、マクロ検査位置では基板１４を目視で検査し、ミクロ検査位置では顕微鏡１５によって基板１４の拡大画像を取得して検査することができるようになっている。
【００１９】
制御部１７は、上述した照明装置１の制御を行うとともに、基板検査装置２の移動ステージ１２、揺動ステージ１３、顕微鏡１５などの動作全般を制御できるようになっている。
制御部１７の構成は、本実施形態では、例えば、モニタ、操作部、記憶装置などの入出力装置を備えたパソコンからなり、検査者１６の操作入力に基づいて、適宜の制御プログラムを実行することにより、これら制御動作を実現している。
【００２０】
次に、本実施形態の照明装置１の動作について、塵埃除去動作を中心に説明する。
照明装置１は、制御部１７から必要に応じて検査者１６が操作するか、あるいは、制御部１７にロードされた制御プログラムに予め設定された動作シーケンスに基づいて、照明モードと塵埃除去モードとを切り替えることができる。
照明モードは、基板検査装置２のマクロ検査位置に配置された基板１４を上方から予め設定された照明条件で照明するモードである。
塵埃除去モードは、マクロ検査位置での検査を行っていないときに、ミラー５、フレネルレンズ８の塵埃２０を除去するモードである。
【００２１】
照明モードでは、まず、振動素子６、９による加振を停止し、照明光１０が基板１４上の検査範囲に照射されるような位置関係に反射面５ａを配置する。すなわち、本実施形態では、回動機構７を所定の回動角まで回動して、反射面５ａのランプ４の光軸に対する傾斜角を固定する。
このため、ランプ４を点灯すると、その放射光が反射面５ａで偏向され、フレネルレンズ８を透過することによりレンズ作用を受けて集光され、例えば、平行光などとして、基板１４に照射される。
これにより、基板検査装置２ではマクロ検査位置に移動された基板１４の目視検査が行えるようになる。検査者１６は、制御部１７を操作して揺動ステージ１３を駆動し、基板１４に対する照明角度を変えながら目視観察して、基板１４の欠陥の有無を検査する。
【００２２】
塵埃除去モードでは、まず、回動機構７を回動して、ミラー５の角度位置を塵埃除去モードを実行する位置に移動する。この位置は、照明モードを実行する際の位置と同一でもよいし異なる位置でもよい。
次に、その移動後の位置を維持した状態で、振動素子６を動作させ、ミラー５を一定時間加振する。加振時間、加振周波数あるいは加振周波数の範囲は、ミラー５に付着する塵埃２０が落ち易いように設定されるので、反射面５ａへの付着力以上の加振力を受けた塵埃２０が反射面５ａから離間し、反射面５ａに再衝突して下方に跳ね飛ばされたり、自重で落下したりして、下方に落とされていく。
【００２３】
次に、振動素子６による加振を停止し、回動機構７によりミラー５を揺動させる。この揺動動作により、ミラー５とフレネルレンズ８とで挟まれるくさび状の空間の空気が上方から煽られるため、揺動を続けることで、図２に破線で示すような反射面５ａ、第１面８ａに沿って上方から下方に向かう気流が発生する。
このような気流は、揺動速度の制御を変えたり、ミラー５、フレネルレンズ８がなしているくさび形の頂角を適切に設定したりすることで安定した気流を形成することができる。
例えば、ミラー５がフレネルレンズ８から離れる方向の揺動速度を相対的な低速とし、ミラー５がフレネルレンズ８に近づく方向の揺動速度を相対的な高速とすれば、ミラー５がフレネルレンズ８から離れる際に上方に引き上げられる力が弱まるので、上方から下方に向かう良好な気流が形成される。また、ミラー５とフレネルレンズ８とのなすくさび形の頂角は、３０°〜８０°の範囲に設定することが好ましい。
【００２４】
この揺動動作を続けることで、振動素子６の加振を停止した後に反射面５ａに残存している塵埃２０も、揺動によってミラー５に励起される振動により振り落とされたり、あるいは反射面５ａ近傍に発生する気流により払い落とされたりする。また、反射面５ａの近傍に浮遊している塵埃２０が気流に沿って下方に搬送されていく。
これらの結果、反射面５ａ側の塵埃２０は徐々に下方に落とされていく。この塵埃２０は、第１面８ａに順次降り積もり、その一部は、第１面８ａに沿って形成される気流により、第１面８ａの下方側に吹き飛ばされる。
この揺動動作を一定時間続けることで反射面５ａ側の塵埃２０を十分に下方に落とすことができる。
すなわち、本実施形態では、振動素子６と回動機構７とが、上側に配置された上側光学素子の下側の光学面上の塵埃を落とす塵埃落とし手段を構成している。
【００２５】
次に、上記の揺動動作を一定時間続けた後、振動素子９による加振を開始する。なお、このとき塵埃２０の落下が落ち着くまで待ち時間を設けてから、振動素子９による加振を開始することがより好ましい。
振動素子９は、第１面８ａに降り積もった塵埃２０を加振して、上方に跳ね飛ばすので、第１面８ａ上に定常的に形成される気流によって、順次、第１面８ａの下方側に吹き飛ばされていく。このため、第１面８ａ上の塵埃２０が除去される。
すなわち、本実施形態では、回動機構７が、下側に配置された下側光学素子の上側の光学面上の塵埃を上方からの気流を形成して除去する塵埃除去手段を構成している。
また、振動素子９は、塵埃除去手段による塵埃除去を補助する作用を備えている。
【００２６】
このように本実施形態の照明装置１によれば、ミラー５の反射面５ａの塵埃２０を下方に落としてから、下側のフレネルレンズ８の第１面８ａに降り積もった塵埃２０を除去できるので、塵埃２０を効率よく除去することができる。その際、装置を分解したりすることなく、また、人手をかけることなく除去できるので、きわめて容易にメンテナンスすることができる。
またこのような塵埃除去を自動的に行う塵埃除去モードを備えることで、ミラー５、フレネルレンズ８を経時的に清浄に保つことができ、塵埃２０に起因する照明ムラを防止することができる。そのため、照明装置１を備える基板検査装置２では、照明ムラによる擬似欠陥などが観察されないため、検査精度、検査効率を向上することができる。
【００２７】
次に、本実施形態の第１変形例について説明する。
図３は、本発明の第１の実施形態の第１変形例に係る照明装置の主要部の構成を示す模式的な側面図である。
【００２８】
本変形例の照明装置１Ａは、図３に示すように、上記第１の実施形態の照明装置１において、送風ファン２２（下側送風手段）を追加したものである。以下上記第１の実施形態と異なる点について、塵埃除去モードを中心として説明する。
【００２９】
送風ファン２２は、ミラー５の下側の端部とフレネルレンズ８の上側の端部の間の隙間から、フレネルレンズ８の第１面８ａに沿って上方から下方に向かって送風するものである。
【００３０】
本変形例によれば、揺動動作により形成される気流に加えて、送風ファン２２によって、第１面８ａに沿って上方から下方に向かう気流が形成されるので、反射面５ａ、第１面８ａに沿って上方から下方に流れる気流がより安定して定常的に形成される。
そのため、第１面８ａから塵埃２０をより効率的に吹き飛ばすことができる。
【００３１】
［第２の実施形態］
本発明の第２の実施形態に係る照明装置について説明する。
図４は、本発明の第２の実施形態に係る照明装置の主要部の構成を示す模式的な側面図である。
【００３２】
本実施形態の照明装置１Ｂは、図４に示すように、上記第１の実施形態の照明装置１において、イオナイザ２１（上側送風手段）、送風ファン２２（下側送風手段）を追加することで、回動機構７を塵埃除去手段としては用いないようにしたものである。このため、本実施形態では、照明モードのミラー５の角度位置と塵埃除去モードのミラー５の角度位置が同一の場合には回動機構７を削除してもよい。以下、上記第１の実施形態と異なる点について、塵埃除去モードを中心として説明する。
【００３３】
イオナイザ２１は、ミラー５の上側の端部近傍に設けられ、放電によるイオンを含む空気を反射面５ａに沿って上方から下方に向かって送風するものである。
送風ファン２２は、上記第１の実施形態の第１変形例と同様に設けられたものである。
【００３４】
本実施形態の塵埃除去モードの動作は、上記第１の実施形態と同様に、ミラー５を塵埃除去モード実行時の角度位置に配置する。そして、振動素子６を動作させてミラー５を加振する。これに併行してイオナイザ２１から送風を行う。
この工程によれば、上記第１の実施形態と同様に、塵埃２０は振動素子６からの加振を受けて反射面５ａから離間するが、イオナイザ２１からイオンが送風されることにより塵埃２０が除電され、反射面５ａに対する静電吸着力が低減されるので、より効率的に塵埃２０を離間させることができる。
反射面５ａから離間した塵埃２０は自重により落下し、イオナイザ２１が形成する気流によって下方に搬送されていく。
すなわち、本実施形態では、振動素子６とイオナイザ２１とが塵埃落とし手段を構成している。
【００３５】
以上の動作を所定時間続け、必要に応じて待ち時間を設けてから、振動素子９を動作させてフレネルレンズ８を加振し、併せて送風ファン２２による送風を開始する。
これにより、第１面８ａ上に塵埃２０を第１面８ａに沿って下方側に吹き飛ばすことができ、第１面８ａ上の塵埃２０が除去される。
すなわち、本実施形態では、送風ファン２２は塵埃除去手段を構成し、振動素子９は塵埃除去手段を補助する手段となっている。
【００３６】
このように本実施形態の照明装置１Ｂによれば、ミラー５の反射面５ａの塵埃２０を下方に落としてから、下側のフレネルレンズ８の第１面８ａに降り積もった塵埃２０を除去できるので、塵埃２０を効率よく除去することができる。
その際、ミラー５を揺動させる必要がないので、回動機構７を備えない簡素な構成とすることもできる。
【００３７】
次に、本実施形態の第１変形例について説明する。
図５は、本発明の第２の実施形態の第１変形例に係る照明装置の主要部の構成を示す模式的な側面図である。
【００３８】
本実施形態の照明装置１Ｃは、図５に示すように、上記第２の実施形態の照明装置１Ｂのイオナイザ２１を削除し、ミラー５の上側の端部の近傍の筐体３の天面に、ミラー５の上側の端部に沿う図示奥行き方向にわたって気流取込部３０を設け、気流取込部３０の上方に上方から下方に略鉛直方向に沿って送風する送風ファン２３を設置したものである。
気流取込部３０は、平面視矩形状の板状の送風ガイド３０ａと、送風ガイド３０ａを回動自在に支持するヒンジ部３０ｂからなり、送風ガイド３０ａが、適宜のレバー機構やモータ（いずれも不図示）などによってヒンジ部３０ｂを中心に回動できるようになっている。
このため、照明モードでは、送風ガイド３０ａを筐体３の天面と整列する位置まで回動させて（図５の二点鎖線参照）、気流取込部３０の開口を閉止し、外部からの気流を遮断するとともに、および遮光することができるようになっている。
また、塵埃除去モードでは、図５に実線で示すように、送風ガイド３０ａをミラー５の傾斜に沿う角度に回動して固定し、送風ファン２３からの気流を、ミラー５の上側の端部に向けて導くことができるようになっている。
【００３９】
本変形例によれば、塵埃除去モードにおいて、送風ガイド３０ａを回動させ、送風ファン２３の気流を案内することで、イオナイザ２１と同様な方向に送風することができる。このため、筐体３の外部で上方から下方に略鉛直方向に沿って送風する送風ファン２３によってイオナイザ２１の送風機能を代替させることができる。したがって、送風ファン２３と送風ガイド３０ａとの組合せは、上側送風手段を構成しており、上記第２の実施形態におけるイオナイザ２１の除電作用を除いた作用効果と同様の作用効果を備える。
【００４０】
なお、送風ファン２３は、照明装置１Ｃに専用に設けてもよいし、複数の照明装置が並列されている場合など複数に跨る範囲に設けられていれば複数で共用してもよい。
特に、照明装置１が、クリーンルームなど天井から床面に向けて定常的なダウンフローが形成されている場合には、ダウンフローを送風ファン２３の代わりに気流取込部３０に導くようにしてもよい。
【００４１】
なお、上記の第１の実施形態の説明では、揺動機構として、回動機構７を用いる場合の例で説明したが、揺動機構は、例えば、リンク機構やアクチュエータを用いて揺動させるようにしてもよい。これらの機構によれば、揺動動作の自由度を増すことができるので、例えば、１つの回動軸を中心とした揺動動作だけでなく、回動中心が移動するような揺動動作も可能となる。そのため、ミラー５の近傍の空気の煽り方を変化させることができるので、気流形成をより効率的に行うことができる。
【００４２】
また、上記の第２の実施形態の説明では、イオナイザ２１と送風ファン２２とを使い分けているが、塵埃２０を吹き飛ばすことができれば、送風ファン２２をイオナイザ２１に置き換えてもよい。すなわち、上側送風手段および下側送風手段のいずれにも除電作用を持たせたイオナイザを好適に採用することができる。
【００４３】
また、上記の第２の実施形態の第１変形例では、下側送風手段として送風ファン２２を備えた例で説明したが、上側送風手段である送風ファン２３の形成する気流によって、反射面５ａから回り込んで、第１面８ａに沿って下方に流れる気流が形成され、それによって塵埃２０を十分に除去できる場合には、送風ファン２２を省略することができる。
【００４４】
また、上記の説明では、振動素子６、９をミラー５、フレネルレンズ８に直接配置した例で説明したが、ミラー５やフレネルレンズ８を加振するために振動素子６、９の振動が伝達されば、ミラー５、フレネルレンズ８に直接配置しなくともよい。
例えば、ミラー５、フレネルレンズ８が支持枠に固定されている場合に、支持枠に取り付けてもよい。
また、振動素子６、９が移動自在に設けられ、それぞれを動作させるときに、ミラー５、フレネルレンズ８に当接するようにしてもよい。
【００４５】
また、上記の説明では、ミラー５、フレネルレンズ８のいずれにも振動素子を設けた場合の例で説明したが、振動素子の他の塵埃落とし手段、塵埃除去手段で十分に塵埃を落としたり、除去したりできる場合には、振動素子を省略してもよい。
【００４６】
また、上記の説明では、塵埃落とし手段、塵埃除去手段をこの順で動作させるものとして説明したが、それぞれを同時に動作させてもよい。この場合でも、塵埃落とし手段、塵埃除去手段は、いずれも上方から下方に向かって塵埃を落とし、あるいは吹き飛ばすことができるので、塵埃の流れが上方から下方に連続的に向かうことになる。
したがって、塵埃落とし手段が塵埃除去手段の停止以前のタイミングで停止するようにすれば、それぞれが同時に動作する工程を設けてもよい。
【００４７】
また、上記の説明では、上側振動素子、下側振動素子は、それぞれ上側光学素子、下側光学素子のみを振動させる場合の例で説明したが、振動素子は、上側光学素子および下側振動素子を振動させる構成としてもよい。
このような変形例として、例えば、図６に示すように、ミラー５を支持する回動機構７が上下動可能に設けられ、反射面５ａの下側の端部とフレネルレンズ８とが当接できるようにした構成を挙げることができる。
この場合、当接部から、振動素子６の振動が伝達され、ミラー５とフレネルレンズ８とを同時に加振することができる。
また、ミラー５とフレネルレンズ８とは、振動が伝達されるように当接されればよいので、例えば、適宜の振動伝達部材を間に挟んで間接的に当接させてもよい。
【００４８】
また、上記の説明では、基板検査装置に用いられる照明装置の場合の例で説明したが、照明光を導くために、互いの光学面が非平行な状態で上下に対向して配置された２つの扁平な光学素子を有する照明装置であれば、基板検査装置に用いられるものには限定されない。
また、扁平な光学素子としては、ミラー、フレネルレンズに限定されない。例えば、液晶を用いた散乱板や、光学フィルタ、偏光素子、光透過板、回折格子などを挙げることができる。
また、これらの光学素子の組合せについても任意の組合せを採用することができる。
【００４９】
また、上記の実施形態および各変形例に記載された構成要素は、技術的に可能であれば、本発明の技術的思想の範囲内で適宜組み合わせて実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る照明装置およびそれを用いた基板検査装置の概略構成を示す模式的な側面図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係る照明装置の主要部の構成を示す模式的な側面図である。
【図３】本発明の第１の実施形態の第１変形例に係る照明装置の主要部の構成を示す模式的な側面図である。
【図４】本発明の第２の実施形態に係る照明装置の主要部の構成を示す模式的な側面図である。
【図５】本発明の第２の実施形態の第１変形例に係る照明装置の主要部の構成を示す模式的な側面図である。
【図６】本発明の実施形態の他の変形例に係る照明装置の主要部の構成を示す模式的な側面図である。
【符号の説明】
【００５１】
１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄ  照明装置
２  基板検査装置
３  筐体
５  ミラー（上側光学素子）
５ａ  反射面（下側の光学面）
６、９  振動素子
７  回動機構（揺動機構）
８  フレネルレンズ（下側光学素子）
８ａ  第１面（上側の光学面）
１０  照明光
１７  制御部
２０  塵埃
２１  イオナイザ（上側送風手段）
２２  送風ファン（下側送風手段）
２３  送風ファン（上側送風手段）
３０  気流取込部（上側送風手段）
３０ａ  送風ガイド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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