(57)【要約】【課題】測定される静電チャックに穿孔加工を施すことなく、静電チャックの誘電体層の体積抵抗率を測定できる測定装置を提供する。【解決手段】測定される静電チャック１の誘電体層の表面に対向する測定面を有し、その測定面がそれぞれ同一平面内で間隔を空けて配設される一対の導電性ラバー電極１１、１２を備える。この一対の導電性ラバー電極に直流電源１３と電流計１４とが接続されている。導電性ラバー電極１１、１２は、測定面が互いに同一面積になる同一の抵抗値を有する形状であり、体積抵抗率が１×１０５Ω・ｃｍ以下であり、ＪＩＳ−Ａ硬度で６０〜８０Ｈｓの範囲である。導電性ラバー電極１１、１２の間隔は、測定される静電チャック１の誘電体層の厚みの６倍以上である。【選択図】図１
2008151581.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定される静電チャックの誘電体層の表面に対向する測定面を有し、その測定面がそれぞれ同一平面内で間隔を空けて配設される一対の導電性ラバー電極と、
この一対の導電性ラバー電極を接続する電気回路に設けられる直流電源及び電流計と
を備え、かつ、
各導電性ラバー電極は、測定面が互いに同一面積になる同一の抵抗値を有する形状であり、
各導電性ラバー電極の間隔が、測定される静電チャックの誘電体層の厚みの６倍以上であり、
各導電性ラバー電極は、体積抵抗率が１×１０５Ω・ｃｍ以下であり、
各導電性ラバー電極は、ＪＩＳ−Ａ硬度で６０〜８０Ｈｓの範囲である
ことを特徴とする静電チャックの誘電体層の体積抵抗率測定装置。
【請求項２】
測定される静電チャックの誘電体層の表面に対向して配設する一対の導電性ラバー電極として、この静電チャックの誘電体層の表面に対向する測定面を有し、この測定面が互いに同一面積になる同一の抵抗値を有する形状であり、体積抵抗率が１×１０５Ω・ｃｍ以下であり、ＪＩＳ−Ａ硬度で６０〜８０Ｈｓの範囲であるものを用い、
この一対の導電性ラバー電極を、それぞれの測定面を同一平面内にし、静電チャックの誘電体層の厚みの６倍以上の間隔を空けて配設した後、この測定面と静電チャックの誘電体層の表面とを密着させ、
この一対の導電性ラバー電極間を接続する電気回路に設けられる直流電源から、プラス電圧とマイナス電圧を交互に印加して、この電気回路に接続している電流計により測定される電流値の平均値を用いて、静電チャックの誘電体層の体積抵抗率を算出する
ことを特徴とする静電チャックの誘電体層の体積抵抗率測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静電チャックの誘電体層の体積抵抗率測定装置及びその装置を用いた測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
静電チャックは、例えば、半導体デバイスの製造工程において、半導体基板に成膜やエッチング等の各種処理をする際、また、処理装置間を運搬する際に、この半導体基板を吸着し、保持するために用いられている。このような静電チャックには、セラミックスよりなる板状の基体を有し、この基体の一方の平面が半導体基板の保持面であり、この保持面の近傍の基体内に静電電極が埋設されたものがある。この静電電極に外部から電力が供給されると、基体における静電電極と保持面との間の領域が分極して誘電体層となり、保持面に静電力が発生して半導体基板を吸着することが可能となる。このような基本原理を有する静電チャックは、誘電体層の体積抵抗率により基板を保持するための主たる吸着力が大別され、クーロン力を主たる吸着力とする静電チャックと、ジョンソン−ラーベック力を主たる吸着力とする静電チャックとがある。
【０００３】
静電チャックの誘電体層の体積抵抗率は、静電チャックの製品特性に影響を及ぼす重要な因子であり、所定の体積抵抗率を具備していることが要求される。この静電チャックの誘電体層の体積抵抗率は、静電チャックの製造過程において、製造条件の如何によって変動することがある。そのため、製造された静電チャックの誘電体層の体積抵抗率を確認することは、製品の歩留まりを向上させるためにも有用である。
【０００４】
従来、セラミックスよりなる基体を有する静電チャックの体積抵抗率を測定する方法には、ＪＩＳ−Ｋ６９１１に準拠した方法によるものがあった。また、この方法を実施する場合に生じることのある、試料に接触する面に被覆された導電ゴムの焼け付きを防止するために、電流制限抵抗器を直流電源と直列に接続した体積抵抗測定装置がある（特許文献１）。
【０００５】
しかしながら、これらの方法及び装置は、測定試料を挟むように対向電極を配設して、この対向電極間で体積抵抗率を測定するものであるから、測定試料が静電チャックである場合には、この静電チャックの基体の全体としての体積抵抗率を測定するものである。そのため、静電チャックの誘電体層の体積抵抗率を部分的に測定できるものではなかった。
【０００６】
そのため、従来、静電チャックの誘電体層のみの体積抵抗率を測定するには、基体の保持面とは反対側の面から基体内に埋設されている静電電極に達する穴を穿設して、この穴の底面に静電電極の一部を露出させ、この露出した静電電極に測定端子を電気的に接続して、この静電電極を一方の測定用電極として活用するとともに、誘電体層の表面、すなわち基体の保持面に一方の測定用電極を対向させて設け、これらの測定用電極間に電圧を印加して電流値を測定することにより体積抵抗率を求めることが行われていた。
【特許文献１】特開２０００−８８９００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述したように基体の保持面とは反対側の面から基体内に埋設されている静電電極に達する穴を穿設してこの穴の底面に静電電極の一部を露出させて誘電体層の体積抵抗率を測定する方法では、静電チャックの基体がセラミックスよりなる場合に、この穴の穿孔加工に時間と労力を要してしまう。誘電体層の体積抵抗率の測定は、製造条件が異なることのあるロットに応じて、静電チャックが所定の体積抵抗率を有しているかを確認するために行われている。したがって、体積抵抗率の測定のための穿設加工に時間と労力を要してしまうのでは、体積抵抗率が不良である静電チャックが発生した場合に、生産を中止するフィードバックに時間がかかる結果、不良品を大量に製造してしまうことになりかねない。
【０００８】
本発明は、上記の問題を有利に解決するもので、製造する静電チャックに穿孔加工を施すことなく、静電チャックの誘電体層の体積抵抗率を測定できるようにして、これにより速やかな体積抵抗率の測定を可能とする静電チャックの誘電体層の体積抵抗率測定装置及びその装置を用いた測定方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の静電チャックの誘電体層の体積抵抗率測定装置は、測定される静電チャックの誘電体層の表面に対向する測定面を有し、その測定面がそれぞれ同一平面内で間隔を空けて配設される一対の導電性ラバー電極と、
この一対の導電性ラバー電極を接続する電気回路に設けられる直流電源及び電流計とを備え、かつ、各導電性ラバー電極は、測定面が互いに同一面積になる同一の抵抗値を有する形状であり、各導電性ラバー電極の間隔が、測定される静電チャックの誘電体層の厚みの６倍以上であり、各導電性ラバー電極は、体積抵抗率が１×１０５Ω・ｃｍ以下であり、各導電性ラバー電極は、ＪＩＳ−Ａ硬度で６０〜８０Ｈｓの範囲であることを特徴とする。
【００１０】
本発明の静電チャックの誘電体層の体積抵抗率測定方法は、測定される静電チャックの誘電体層の表面に対向して配設する一対の導電性ラバー電極として、この静電チャックの誘電体層の表面に対向する測定面を有し、この測定面が互いに同一面積になる同一の抵抗値を有する形状であり、体積抵抗率が１×１０５Ω・ｃｍ以下であり、ＪＩＳ−Ａ硬度で６０〜８０Ｈｓの範囲であるものを用い、この一対の導電性ラバー電極を、それぞれの測定面を同一平面内にし、静電チャックの誘電体層の厚みの６倍以上の間隔を空けて配設した後、この測定面と静電チャックの誘電体層の表面とを密着させ、この一対の導電性ラバー電極間を接続する電気回路に設けられる直流電源から、プラス電圧とマイナス電圧を交互に印加して、この電気回路に接続している電流計により測定される電流値の平均値を用いて、静電チャックの誘電体層の体積抵抗率を算出することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の静電チャックの誘電体層の体積抵抗率測定装置によれば、製造された静電チャックに穿孔加工を施すことなく、誘電体層の体積抵抗率を測定することが可能となる。
【００１２】
本発明の静電チャックの誘電体層の体積抵抗率測定方法によれば、上記の体積抵抗率測定装置による体積抵抗率の測定を、より正確に行うことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態に係る静電チャックの誘電体層の体積抵抗率測定装置を、図面を用いて説明する。
【００１４】
図１は、本発明の一実施形態に係る静電チャックの誘電体層の体積抵抗率測定装置を、模式的な断面で示す図である。図１において、体積抵抗率を測定される静電チャック１は、セラミックスよりなる板状の基体２と、この基体２の基板保持面である一方の表面近傍に埋設された静電電極３とを有している。基体２における静電電極３と基板保持面との間の領域が、誘電体層の領域である。
【００１５】
本実施形態の体積抵抗率測定装置は、この静電チャック１の基板保持面に対向するように、それぞれ平板形状である第１の導電性ラバー電極１１と第２の導電性ラバー電極１２とを有している。この第１の導電性ラバー電極１１及び第２の導電性ラバー電極１２における、静電チャック１の基板保持面と対向する面は、測定面であり、この静電チャック１の基板保持面と密着できるように平面になっている。この第１の導電性ラバー電極１１の測定面と、第２の導電性ラバー電極１２の測定面とが同一平面にあるようにして、第１の導電性ラバー電極１１と第２の導電性ラバー電極１２とは、所定の間隔を空けて配設されている。
【００１６】
図１に示した本実施形態では、第１の導電性ラバー電極１１に直流電源１３の正極側が接続され、また、第２の導電性ラバー電極１２に電流計１４が接続されている。直流電源１３の負極側に接続される導線は接地されるとともに、電流計１４から接続される導線もまた、接地されている。このことにより、第１の導電性ラバー電極１１、直流電源１３、電流計１４及び第２の導電性ラバー電極を接続する電気回路が形成されている。
【００１７】
これらの第１の導電性ラバー電極１１及び第２の導電性ラバー電極１２並びに直流電源１３及び電流計１４を備える本実施形態の体積抵抗率測定装置を用いて静電チャックの誘電体層の体積抵抗率を測定するときは、第１の導電性ラバー電極１１及び第２の導電性ラバー電極１２を、その各測定面が上向きになるようにして所定の間隔を空けて配設する。そして、これらの第１の導電性ラバー電極１１、第２の導電性ラバー電極１２の各測定面に静電チャック１の基板保持面が対向するように静電チャック１の基板保持面を下向きにして、静電チャック１を第１の導電性ラバー電極１１、第２の導電性ラバー電極１２上に載置する。なお、第１の導電性ラバー電極１１及び第２の導電性ラバー電極１２は、図示しない絶縁体により支持固定されている。このことにより、第１の導電性ラバー電極１１及び第２の導電性ラバー電極１２の各測定面と、静電チャック１の基板保持面とは、静電チャック１の自重により密着される。
【００１８】
第１の導電性ラバー電極１１及び第２の導電性ラバー電極１２の各測定面と、静電チャック１の基板保持面とが密着している状態で、直流電源１３から直流電圧を印加すると、直流電流が、第１の導電性ラバー電極１１から静電チャック１の誘電体層を通って静電電極３に流れ、この静電電極３から静電チャック１の誘電体層を通って第２の導電性ラバー電極１２に流れ、この第２の導電性ラバー電極１２から電流計１４に流れる。このような電気回路における直流電源１３により印加される所定の電圧値と、電流計１４により測定される電流値とから、静電チャック１の誘電体層の体積抵抗率を算出することができる。
【００１９】
本実施形態の体積抵抗率測定装置によれば、測定される静電チャック１の基板保持面に密着される一対の導電性ラバー電極を使用して、静電チャック１の誘電体層の体積抵抗率を測定することができるから、この体積抵抗率の測定の際に静電チャック１に穿孔加工を施す必要がない。したがって、体積抵抗率を速やかに測定することができる。また、静電チャックを非破壊で測定することができるため、信頼性の高い測定をすることができる。
【００２０】
第１の導電性ラバー電極１１及び第２の導電性ラバー電極１２の平面形状の一例を、図２の平面図を用いて説明する。図２に示した本実施形態においては、第１の導電性ラバー電極１１及び第２の導電性ラバー電極１２がそれぞれ、静電チャック１の基板保持面を覆うことのできるサイズで、円の中心を通る線分で二分された半円形又はＤ形の平面形状を有している。なお、本発明の体積抵抗率測定装置は、図２に図示した第１の導電性ラバー電極１１及び第２の導電性ラバー電極１２の平面形状に限定されるものではない。第１の導電性ラバー電極１１及び第２の導電性ラバー電極１２の測定面が、互いに同一面積になり、同一の抵抗値を有する形状であれば形状を問わない。第１の導電性ラバー電極１１の測定面の面積と、第２の導電性ラバー電極１２の測定面の面積とが相違して、両者の抵抗値が相違する場合には、静電チャック１の誘電体層の体積抵抗率を正確に測定することができない。第１の導電性ラバー電極１１の材質と、第２の導電性ラバー電極１２の材質とを同一にすることにより、第１の導電性ラバー電極１１の測定面の面積と、第２の導電性ラバー電極１２の測定面の面積とを同一にしさえすれば、正確な測定が可能となる。
【００２１】
第１の導電性ラバー電極１１と第２の導電性ラバー電極１２は、図１及び図２に示されたとおり所定の間隔Ｌを空けて離隔配設されている。この間隔Ｌは、測定される静電チャック１の誘電体層の厚みの６倍以上とする。誘電体層の厚みの６倍に満たないと、電流計１４の測定値が、第１の導電性ラバー電極１１と第２の導電性ラバー電極１２との間の静電チャック１の基板保持面を流れる表面電流の影響を受け、正確な測定値が得られ難くなる。間隔Ｌを、測定される静電チャック１の誘電体層の厚みの６倍以上とすることにより、表面電流の影響による誤差を無視することができ、正確な体積抵抗率の測定が可能となる。もっとも、距離Ｌがあまりに大きくなると、電流の測定面積が小さくなるため、却って正確な測定値が得られ難くなるおそれがある。好適な間隔Ｌの範囲は、この静電チャック１の誘電体層の材質にもよるが、一般的な静電チャックの材質として用いられる体積抵抗率が１０８〜１０１３Ω・ｃｍの誘電体層である場合には、上記間隔Ｌが静電チャック１の誘電体層の厚みの６倍以上、より好ましくは１０倍程度である。
【００２２】
第１の導電性ラバー電極１１及び第２の導電性ラバー電極は、いずれも、体積抵抗率が、１×１０５Ω・ｃｍ以下である。これらの導電性ラバー電極の体積抵抗率は、測定対象である静電チャック１の誘電体層の体積抵抗率よりも３桁以上で、小さい値であることにより、静電チャック１の誘電体層の体積抵抗率の測定結果に悪影響を及ぼさない。本発明の体積抵抗率測定装置で測定する静電チャック１としては、誘電体層の体積抵抗率が１０８Ω・ｃｍ程度以上のものを想定しているため、第１の導電性ラバー電極１１及び第２の導電性ラバー電極１２は、いずれも、体積抵抗率が、１×１０５Ω・ｃｍ以下とする。なお、体積抵抗率が、１×１０５Ω・ｃｍ以下である導電性ラバーは、市販されているものを入手可能である。このような体積抵抗率を有する導電性ラバーのシートを、前述したとおり、同一面積になるように打ち抜き加工等の成形加工をして、第１の導電性ラバー電極１１及び第２の導電性ラバー電極１２を得ることができる。
【００２３】
第１の導電性ラバー電極１１及び第２の導電性ラバー電極は、いずれも硬度が、ＪＩＳ−Ａ硬度で６０〜８０Ｈｓの範囲のものである。これらの導電性ラバー電極の硬度は、測定する静電チャック１の基板保持面との密着性を確保するために必要である。これらの導電性ラバー電極の硬度が、硬すぎると、静電チャック１の基板保持面との密着性が低下し、正確な測定が難しくなる。また、これらの導電性ラバーの硬度が柔らかすぎると、第１の導電性ラバー電極１１及び第２の導電性ラバー電極の測定面上に静電チャック１を載置したときに、この静電チャック１の自重により第１の導電性ラバー電極１１及び第２の導電性ラバー電極１２が変形してしまい、第１の導電性ラバー電極１１と第２の導電性ラバー電極１２との間の間隔Ｌを上述の範囲に制御することが難しくなる。したがって、これらの不具合のない、好適な範囲として、第１の導電性ラバー電極１１及び第２の導電性ラバー電極の硬度は、ＪＩＳ−Ａ硬度で６０〜８０Ｈｓの範囲とする。
【００２４】
次に、本発明に係る静電チャックの誘電体層の体積抵抗率測定方法の一例について説明する。静電チャックの誘電体層の体積抵抗率を測定するに当たっては、上述した本発明の実施形態に係る体積抵抗率測定装置を用いる。この体積抵抗率測定装置を用いて、第１の導電性ラバー電極１１と、第２の導電性ラバー電極１２の各測定面上に静電チャック１を、その基板保持面を対向させて載置し、静電チャック１の基板保持面と第１の導電性ラバー電極１１の測定面及び第２の導電性ラバー電極１２の測定面とを、静電チャック１の自重で密着させる。なお、静電チャック１の自重に限らず、例えば、第１の導電性ラバー電極１１及び第２の導電性ラバーに向けて静電チャック１を押圧することにより密着させることもできる。
【００２５】
第１の導電性ラバー電極１１に接続している直流電源１３から所定の電圧を印加して、第２の導電性ラバー電極１２に接続している電流計により電流値を測定する。この電流値の測定の際、直流電源１３から、プラス電圧とマイナス電圧を交互に一分間印加して、電流計１４により測定される電流値の平均値を用いて、静電チャック１の誘電体層の体積抵抗率を算出することが、この誘電体層の体積抵抗率を正確に測定するために好ましい。
【００２６】
このようにして算出された静電チャック１の誘電体層の体積抵抗率は、実際に測定した結果、誘電体層の体積抵抗率が１０８〜１０１３Ω・ｃｍの範囲で、従来の測定装置、測定方法により測定された誘電体層の体積抵抗率と直線的な相関関係にあった。これにより本発明に係る静電チャックの誘電体層の体積抵抗率測定装置及び測定方法が、実用的であることが発明者らの計測により確認されている。
【００２７】
本発明に係る静電チャックの誘電体層の体積抵抗率測定装置との比較のため、従来の静電チャックの誘電体層の体積抵抗率測定装置を模式的に図３に示す。図３に示される測定装置を用いて静電チャック１の誘電体層の体制抵抗率を測定するに当たって、この静電チャック１の基板保持面とは反対の面から、基体２内に埋設されている静電電極３に達する穴２ａが穿設され、この穴２ａに装入された測定端子４が、静電電極３に電気的に接続されている。
【００２８】
測定される静電チャック１は、基板保持面を下向きにして容器２１内に収容された水２２中に浸されている。静電チャックに取り付けられた測定端子４に直流電源１３の正極側を接続し（負極側は接地）、容器２１に接地された電流計１４を接続して、この直流電源１３から直流電圧を印加すると、直流電源１３から測定端子４、静電電極３、誘電体層、水２２及び容器２１を通って電流が流れ、電流計１４により電流値が測定される。印加された電圧値と測定された電流値とから、静電チャック１の誘電体層の体積抵抗率が算出される。
【００２９】
図３に示した従来の測定装置は、基体２に穴２ａを穿孔加工する必要があるので、測定に時間と労力がかかるのであって、図１に示した本発明に係る測定装置は、この穿孔加工なしで誘電体層の体積抵抗率の測定ができるのであるから、本発明に係る測定装置が有利であることは明白である。
【００３０】
本発明に係る測定装置によれば、穿孔加工なしで誘電体層の体積抵抗率の測定ができることから、種々の利点が考えられる。例えば、静電チャックを粗加工した後、仕上げ加工前に誘電体層の体積抵抗率の測定を行い、測定結果から目標とする体積抵抗率から外れている静電チャックがある場合には、その静電チャックを熱処理して、所定の目標体積抵抗率に調整することが可能となる。このような調整は、従来の測定装置を用いた場合には、穿孔加工された部分に露出する静電電極３が熱処理により酸化してしまうので不可能である。さらに、静電チャックに限らず、高周波電極を内部に有するサセプター等の誘電体層の体積抵抗率を非破壊、非加工で測定することを可能ならしめる。
【実施例】
【００３１】
図１に示した装置を用いて、静電チャックの誘電体層の体積抵抗率を測定した。測定した静電チャックは、基板保持面の直径が２９８ｍｍの円盤形状の窒化アルミニウム製のセラミックスからなるものである。
【００３２】
まず、誘電体層の体積抵抗率が異なる２種類の静電チャックを用意した。これらの静電チャックの誘電体層は、体積抵抗率が、それぞれ1×１０１１Ω・ｃｍ及び７×１０１１Ω・ｃｍであり、厚みは１ｍｍである。これらの静電チャックを用いて、誘電体層の体積抵抗率を測定するに際して、第１の導電性ラバー電極１１と第２の導電性ラバー電極１２との間隔を種々に変化させた種々の条件により測定を行った。第１の導電性ラバー電極１１及び第２の導電性ラバー電極１２は、体積抵抗率が1×１０４Ω・ｃｍ、硬度がＪＩＳ−Ａで７０のものであった。第１の導電性ラバー電極１１及び第２の導電性ラバー電極１２は、平面形状が図２に示したようなＤ形であり、測定面の面積が互いに同一のものである。測定の際における直流電源１３からの電圧印加は、５００Ｖの電圧を、プラスの電圧とマイナスの電圧とを交互に１分間印加して、それぞれの電流値の平均値を求めた。
【００３３】
導電性ラバー電極間距離と誘電体層の厚さとの比Ａに対する上記電流値Ｉについて得られた結果を図４に示す。図４に示されるように、導電性ラバー電極間距離と誘電体層の厚さとの比Ａが６以上である場合に、２種類のいずれの静電チャックであっても、電流値は一定の値になり、導電性ラバー電極間の表面電流の影響がない、正確な電流値が得られた。
【００３４】
この導電性ラバー電極間の表面電流が体積抵抗率の測定に及ぼす影響について、図５を用いて説明する。図５は、本発明の実施形態に係る測定装置の模式図であり、図１に示した測定装置と構成は同じである。図５に示される測定装置を用いた体積抵抗率の測定に関して、電流が流れる経路は、
Ｉ：静電チャックの内部（誘電体層と静電電極）を通り導電性ラバー電極間に流れる電流
ｉ：静電チャックの表面を通り導電性ラバー電極間に流れる電流
の二種類がある。電流計１４により測定される電流は、このＩとｉとの合計量（Ｉ＋ｉ）となり、この合計量を用いて算出される体積抵抗率には、表面電流分の誤差が含まれることになる。
【００３５】
測定時の印加電圧（Ｖ）と導電性ラバー電極の測定面の面積が変わらない（定数）とし、誘電体層の体積抵抗をＲ、導電性ラバー電極間の基板保持面の表面抵抗をｒとすると、それぞれの抵抗は、次の（１）式、（２）式のとおり、誘電体層厚ｄ又は導電性ラバー電極間の距離Ｌと比例関係にある。
【００３６】
Ｒ∝ｄ  ……（１）
ｒ∝Ｌ  ……（２）
電流計１４により測定される電流値から、表面抵抗ｒの影響を無視できるようにするには、ｒのＲに対する比の値が無限大（ｒ／Ｒ＝∞）となるのが理想的であり、実際には、ｒのＲに対する比が１０００以上（ｒ／Ｒ≧１０００）とすれば、測定に影響が出ないといえる。この関係と、上記（１）式及び（２）式の比例関係とから、次の（３）式
Ｌ／ｄ≧Ａ  ……（３）（Ａは定数）
となる関係を満たせば、測定上の誤差要因は無視できることになる。
【００３７】
実測の結果としては、図４に示したように、（３）式のＬ／ｄの値Ａが６以上であれば、表面抵抗による誤差としては無視できることを検証した。この値Ａは、静電チャックの誘電体層の材料の抵抗が高ければ大きな値となり、抵抗が低ければ小さい値となるが、本発明の装置を用いて測定する静電チャックの誘電体層の材料が具備する体積抵抗率の範囲であれば、Ｌ／ｄの値Ａが６以上で測定上の誤差要因は無視できた。
【００３８】
次に、導電性ラバー電極の硬度を種々に変化させた条件で静電チャックの誘電体層の体積抵抗率の測定を行った。静電チャックは、上記した体積抵抗率の異なる２種類を用いた。導電性ラバー電極の形状は上記したのと同じものである。導電性ラバー電極間距離Ｌは６ｍｍとした。測定結果を図６に示す。
【００３９】
図６から分かるように、導電性ラバー電極の硬度が８０以下である場合には、測定された体積抵抗率に変動が発生せず、正確な値を測定できた。なお、図６には図示していないが、導電性ラバー電極の硬度が６０未満である場合に、正確な測定ができないことを確認している。
【００４０】
次に、導電性ラバー電極の体積抵抗率を種々に変化させた条件で静電チャックの誘電体層の体積抵抗率の測定を行った。静電チャックは、上記した体積抵抗率の異なる２種類を用いた。導電性ラバー電極の形状は上記したのと同じものである。導電性ラバー電極の硬度は７０とした。導電性ラバー電極間距離Ｌは６ｍｍとした。測定結果を図７に示す。
【００４１】
図７から分かるように、導電性ラバー電極の体積抵抗率が１×１０５Ω・ｃｍ以下である場合には、測定された体積抵抗率に変動が発生せず、正確な値を測定できた。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の一実施形態に係る静電チャックの誘電体層の体積抵抗率測定装置を示す模式図である。
【図２】体積抵抗率測定装置の導電性ラバー電極の例を示す平面図である。
【図３】従来の静電チャックの誘電体層の体積抵抗率測定装置を示す模式図である。
【図４】導電性ラバー電極間距離と誘電体層の厚さとの比が、測定電流に及ぼす影響を示すグラフである。
【図５】導電性ラバー電極間の表面電流が体積抵抗率の測定に及ぼす影響を説明する図である。
【図６】導電性ラバー電極の硬度と誘電体層の体積抵抗率との関係を示すグラフである。
【図７】導電性ラバー電極の体積抵抗率と誘電体層の体積抵抗率との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
【００４３】
１１…第１の導電性ラバー電極
１２…第２の導電性ラバー電極
１３…直流電源
１４…電流計
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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