(57)【要約】【課題】グリーンシート積層体が微小化した場合であって、複数のグリーンシート積層体を通る中心線が湾曲した場合にも、内部電極の破断や損傷を与えることなくグリーンシート積層体を切断することができるグリーンシート積層体の切断装置及び切断方法を提供すること。【解決手段】複数の内部電極が配列されたグリーンシート積層体が載置されるステージと、ステージに載置されたグリーンシート積層体を切断するための切断刃と、前記ステージに載置されたグリーンシート積層体の厚さ方向に切断刃を移動させる切断刃駆動手段と、複数の内部電極の配列に沿って、切断刃をグリーンシート積層体が延在する面に平行な面内で切断刃を湾曲させる切断刃曲げ手段と、を備えるグリーンシート積層体の切断装置及びその切断方法。【選択図】  図１
2008142847.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の内部電極が配列されたグリーンシート積層体の切断装置であって、
前記複数の内部電極が配列されたグリーンシート積層体が載置されるステージと、
前記ステージに載置された前記グリーンシート積層体を切断するための切断刃と、
前記ステージに載置された前記グリーンシート積層体の厚さ方向に前記切断刃を移動させる切断刃駆動手段と、
前記複数の内部電極の配列に沿って、前記切断刃を前記グリーンシート積層体が延在する面に平行な面内で切断刃を湾曲させる切断刃曲げ手段と、を備えるグリーンシート積層体の切断装置。
【請求項２】
前記切断刃曲げ手段は、前記切断刃を保持する切断刃ホルダと、前記切断刃ホルダを押圧するホルダ押圧手段を備え、前記ホルダ押圧手段により前記切断刃ホルダを押圧することにより前記ホルダを介して前記グリーンシート積層体が延在する面に平行な面内で前記切断刃を湾曲させる請求項１に記載のグリーンシート積層体の切断装置。
【請求項３】
前記切断刃曲げ手段は、さらに切断刃の刃先稜線部の近傍に当接するガイド部材と、ガイド部材を押圧するガイド押圧手段と、を有し、前記ガイド押圧手段により前記ガイド部材を押圧することにより前記ガイド部を介して前記グリーンシート積層体が延在する面に平行な面内で前記切断刃を湾曲させる請求項２に記載のグリーンシート積層体の切断装置。
【請求項４】
前記切断刃曲げ手段は、前記切断刃の刃先稜線部近傍に当接するガイド部材と、前記ガイド部材を押圧するガイド押圧手段と、を有し、前記ガイド押圧手段により前記ガイド部材を押圧することにより前記ガイド部を介して前記グリーンシート積層体が延在する面に平行な面内で前記切断刃を湾曲させる請求項１に記載のグリーンシート積層体の切断装置。
【請求項５】
複数の内部電極が配列されたグリーンシート積層体を切断するグリーンシート積層体の切断方法であって、
前記複数の内部電極が配列されたグリーンシート積層体を用意する工程と、
前記複数の内部電極の配列を検出する工程と、
前記複数の内部電極の配列に沿って、前記切断刃を前記グリーンシート積層体が延在する面に平行な面内で切断刃を湾曲させる工程と、
前記湾曲させた切断刃により、前記グリーンシートの所定の切断位置に沿って切断する工程と、
を備えるグリーンシート積層体の切断方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、グリーンシートを積層し圧着されたグリーンシート積層体を切断するためのグリーンシート積層体の切断装置及びグリーンシート積層体の切断方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、板状の切断刃にグリーンシート積層体の厚さ方向の押圧力を作用させてグリーンシート積層体を切断する切断方法が知られている。
【０００３】
従来のセラミック電子部品の製造方法について、図９を参照しつつ説明する。図９は、従来のセラミック電子部品の製造方法における切断工程を示す斜視図である。グリーンシート７５３と、内部電極７５１と、を積層し圧着した積層体７１５を、台座７２３上に固定し切断刃７０３で積層体７１５を所望の形状に切断する。そして、切断した積層体７１５を焼成してセラミック電子部品を作製する。
【０００４】
上記セラミック電子部品の製造方法における切断工程では、グリーンシート積層体７１５の端部７１５ａを切断し、内部電極７５１を露出させる。そして、光学レンズ７５５に接続したコンピュータにより、端部７１５ａの画像データを取り込み、内部電極７５１の識別を行う。内部電極７５１の位置を検出した後、内部電極７５１に干渉しない位置を切断位置として、切断刃７０３によりグリーンシート積層体７１５を切断する（特許文献１参照。）。
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−１８４６４６号公報（図１等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、上述のセラミック電子部品の製造方法における切断工程では、複数の内部電極が一直線状に配列されているという前提の下に、グリーンシート積層体７１５の端部７１５ａに露出した内部電極７５１を識別し、グリーンシート積層体７１５の隣り合う内部電極間に切断位置を定め、直線状の切断刃７０３により切断している。
【０００７】
ところで、発明者等はグリーンシート積層体７１５の圧着時に加えられる負荷により、グリーンシート積層体の中心から外側に向かい伸び、図２に示されるように内部電極の中心を通る線が湾曲するという知見を得た。従来のように、セラミック電子部品の寸法が比較的大きい場合には、影響はなかったが、セラミック電子部品の微小化や、材料の有効利用等の観点から内部電極をより近接して配置することが望まれている。このような状況において、直線状の切断刃７０３を用いてグリーンシート積層体を切断すると近接する内部電極間を切断する場合には、内部電極７５１の破損や切断が生じる恐れがある。
【０００８】
そこで、本発明は、セラミック電子部品の外形寸法が微小化し内部電極がより近接して配置される場合であって、複数のグリーンシート積層体を通る中心線が湾曲した場合にも、内部電極の破断や損傷を与えることなくグリーンシート積層体を切断することができるグリーンシート積層体の切断装置及び切断方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するための本発明のグリーンシート積層体の切断装置の第１の態様は、複数の内部電極が配列されたグリーンシート積層体の切断装置であって、前記複数の内部電極が配列されたグリーンシート積層体が載置されるステージと、前記ステージに載置された前記グリーンシート積層体を切断するための切断刃と、前記ステージに載置された前記グリーンシート積層体の厚さ方向に前記切断刃を移動させる切断刃駆動手段と、前記複数の内部電極の配列に沿って、前記切断刃を前記グリーンシート積層体が延在する面に平行な面内で切断刃を湾曲させる切断刃曲げ手段と、を備える。
【００１０】
本発明のグリーンシート積層体の切断装置の第２の態様によれば、前記切断刃曲げ手段は、前記切断刃を保持する切断刃ホルダと、前記切断刃ホルダを押圧するホルダ押圧手段を備え、前記ホルダ押圧手段により前記切断刃ホルダを押圧することにより前記ホルダを介して前記グリーンシート積層体が延在する面に平行な面内で前記切断刃を湾曲させる。
【００１１】
本発明のグリーンシート積層体の切断装置の第３の態様によれば、前記切断刃曲げ手段は、さらに切断刃の刃先稜線部の近傍に当接するガイド部材と、ガイド部材を押圧するガイド押圧手段と、を有し、前記ガイド押圧手段により前記ガイド部材を押圧することにより前記ガイド部を介して前記グリーンシート積層体が延在する面に平行な面内で前記切断刃を湾曲させる。
【００１２】
本発明のグリーンシート積層体の切断装置の第４の態様によれば、前記切断刃曲げ手段は、前記切断刃の刃先稜線部近傍に当接するガイド部材と、前記ガイド部材を押圧するガイド押圧手段と、を有し、前記ガイド押圧手段により前記ガイド部材を押圧することにより前記ガイド部を介して前記グリーンシート積層体が延在する面に平行な面内で前記切断刃を湾曲させる。
【００１３】
また、上記課題を解決するための本発明のグリーンシート積層体の切断方法の第１の態様は、複数の内部電極が配列されたグリーンシート積層体を切断するグリーンシート積層体の切断方法であって、前記複数の内部電極が配列されたグリーンシート積層体を用意する工程と、前記複数の内部電極の配列を検出する工程と、前記複数の内部電極の配列に沿って、前記切断刃を前記グリーンシート積層体が延在する面に平行な面内で切断刃を湾曲させる工程と、前記湾曲させた切断刃により、前記グリーンシートの所定の切断位置に沿って切断する工程と、を備える。
【００１４】
なお、本明細書におけるグリーンシート積層体とは、各種積層型の電子部品の製造過程においてその中間体として形成されたものを意味する。より具体的には、フェライト、ガラス系セラミック等の粉末、バインダ、可塑剤、溶剤等から構成され、電子部品において絶縁領域を形成するグリーンシートと、電子部品における内部電極に代表される導電性領域を有するグリーンシート等とを積層して得られたシート状の部材を言う。また、シート状部材は、これらを支持するシート状の支持体（基材）を有するものであっても良い。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、セラミック電子部品の外形寸法が微小化した内部電極がより近接して配置される場合であって、複数の内部電極を通る中心線が湾曲したときにも、切断刃を湾曲させることで、内部電極の破断や損傷を与えることなくグリーンシート積層体を切断することができ、結果として材料の無駄や製造コスト削減できるグリーンシート積層体の切断装置及び切断方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明におけるグリーンシート積層体の切断装置の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下の実施形態を通じて同一の構成要素には同一の参照符号を付する。
【００１７】
まず、グリーンシート積層体から構成される電子部品を製造する方法について簡単に説明する。シート成形工程（ステップ１）において、数μｍ〜数１０μｍの厚さにシート成形（キャスティング）されたグリーンシートすなわち、セラミックシートを得る。次に、内部導体印刷乾燥工程（ステップ２）において、スクリーン印刷法で内部電極（Ａｇ系、Ａｇ−Ｐｄ系）を形成する。その後、グリーンシート圧着工程（ステップ３）で内部電極がパターニングされた複数のグリーンシートの層を基材上に重ねてグリーンシート積層体のブロックを作製し、グリーンシート積層体の切断工程（ステップ４）で個片（チップ）に切断する。
【００１８】
さらに、切断された個片の端面に所望の丸み（アール）を付与するため、水バレル研磨工程（ステップ６）でメディアボールと一緒にバレル研磨を行い、分離、洗浄、乾燥後に焼成工程（ステップ７）でセラミック層と内部導体とを同時焼成する。分離、洗浄、乾燥後、端子電極塗布工程（ステップ８）にて端子電極を付与する治具（パレット）にセットしてＡｇ−Ｐｄ系の電極を塗布、乾燥後、焼成工程（ステップ９）で焼き付けを行う。さらに、実装時の電気的接合を確実に取るために、メッキ工程（ステップ１０）でＮｉ、Ｓｎ等のメッキを施した後、最後に特性検査工程（ステップ１１）で特性検査をし、製品として出荷している。以上のような工程によりグリーンシート積層体電子部品が製造される。
【００１９】
本発明の切断装置の実施形態は、上記製造工程の内、切断工程（ステップ４）に係るものである。
【００２０】
以下に、圧着したグリーンシート積層体を切断する工程で用いられる本発明に係るグリーンシート積層体の切断装置の実施形態について説明する。図１は、切断装置を含む電子部品製造装置のブロック図である。図２は、Ｘ線検査装置を用いてグリーンシート積層体内部を撮影した状態を示す図である。図２中の破線Ｙ１、Ｙ２は、各内部電極の中心を通る線である。
【００２１】
図１に示されるように、切断装置１は、主として、複数の内部電極５１が配列されたグリーンシート積層体１５を載置するステージ２３と、ステージ２３に載置されたグリーンシート積層体１５を切断するための切断刃３と、前記ステージに載置されたグリーンシート積層体１５の厚さ方向に切断刃３を移動させる切断刃駆動手段である切断刃の上下アクチュエータ２５と、複数の内部電極５１の配列に沿って、切断刃３を前記グリーンシート積層体１５が延在する面に平行な面内で切断刃３を湾曲させる切断刃曲げ手段８５である、切断刃押圧部材と、を備える。
【００２２】
さらに、本発明の必須構成要素ではないが、本実施形態では、以下の構成要素を有する。図中において、符号７７は、切断装置１の各要素を制御する制御部（ＣＰＵ）であり、符号７９はデータ格納部である。データ格納部７９は、後述するステージ負圧供給部、アクチュエータ、検出装置等の駆動をするためのプログラム及び、検出装置のデータ等を収める部材である。
【００２３】
また、符号８１はステージ負圧供給部である。ステージ負圧供給部８１は、ステージ２３を貫通する吸引孔（不図示）に負圧を付与し、グリーンシート積層体１５をステージ２３（図４Ａ、Ｂ参照）上に固定するための部材である。符号８３は、ステージ駆動アクチュエータであり、ステージ２３をｘ軸方向（図４Ａの左右方向）、ｙ軸方向（図４Ａの表裏方向）、及びθ方向（ｘ軸とｙ軸とか構成される面内における角度方向）に駆動するための部材である。グリーンシート積層体１５の内部電極を検出するための検出装置６５は、従来から知られるＸ線検知装置を用いる。また、ステージ駆動アクチュエータ８３を駆動することにより、切断刃３の刃先稜線部を、グリーンシート積層体を所定の切断位置に位置決めする。切断刃上下アクチュエータ２５により切断刃３は下降され、グリーンシート積層体１５内へと進入する。
【００２４】
なお、上述の切断刃上下アクチュエータ２５及びステージ負圧供給部８１、ステージ駆動アクチュエータ８３、切断刃曲げ用アクチュエータ８５は、従来から知られている電動モータ、電磁弁、ポンプ等で駆動する公知の構成である。
【００２５】
切断する対象であるグリーンシート積層体１５は、図２に示されるように、図中の上下方向に並んでいる複数の内部電極５１が、複数列で配置されている。また、グリーンシート積層体１５の中心から図中の左右両端側に離れるに従って、グリーンシート積層体１５が外側に伸びていることが判る。このように積層時には、上下方向に直線状に配列される複数の内部電極５１は、グリーンシート積層体１５が圧着された後には、その配列が湾曲する。
【００２６】
グリーンシート積層体１５は、上記のようにＸ線検査装置により検出された複数の内部電極５１の配列において隣り合う一対の内部電極の列の間で切断される。例えば一列に並ぶ内部電極の中心を結ぶ線Ｙ１、Ｙ２各々の曲率半径の平均値である曲率半径を有するように、もしくはＹ１が通る内部電極の中心各点について、その点からの距離が最小となるＹ２が通る内部電極の中心の点を考え、それら中心２点の中点をＹ１、Ｙ２が延びる方向に沿って順次結んだ湾曲線Ｚ（一点鎖線）と同一の曲率半径を有するように、切断刃を湾曲させ切断する。
【００２７】
上記構成の装置におけるグリーンシート積層体の切断方法は、複数の内部電極５１が配列されたグリーンシート積層体１５を用意する工程と、複数の内部電極５１の配列を検出装置６５により検出する工程と、複数の内部電極５１の配列に沿って、切断刃３をグリーンシート積層体１５が延在する面に平行な面内で切断刃３を湾曲させる工程と、切断刃上下アクチュエータ２５を駆動させ、湾曲させた切断刃３によりグリーンシート積層体１５の所定の切断位置に沿って切断する工程と、を備える。
【００２８】
このように、グリーンシート積層体１５が延在する面に平行な面内において切断刃３を湾曲させることにより、たとえ、内部電極５１の配列にズレが生じた場合であっても内部電極の損傷や破損をすることを防止することができる。
【実施例１】
【００２９】
次に、本発明の実施例に係るグリーンシートを切断するためのグリーンシート積層体切断装置について、図面を参照して説明する。図３は、実施例に係る製造装置のブロック図である。図４Ａは切断装置の正面図であり、図４Ｂは図４Ａの線ＩＶＢ−ＩＶＢに沿った断面図である。
【００３０】
本実施例に係るグリーンシート積層体切断装置４０１（以下、切断装置４０１と称す。）は、主として、複数の内部電極５１が配列されたグリーンシート積層体１５を載置するステージ２３と、ステージ２３に載置されたグリーンシート積層体１５を切断するための切断刃３と、前記ステージに載置されたグリーンシート積層体１５の厚さ方向に切断刃３を移動させる切断刃駆動手段である切断刃上下アクチュエータ２５と、切断刃曲げ手段と、を備える。ここで、切断刃曲げ手段は、切断刃３を保持する切断刃ホルダ２７と、切断刃ホルダ２７を押圧するホルダ押圧手段、すなわち切断刃ホルダ曲げ用アクチュエータ９３と、を備える。そして、切断刃ホルダ曲げ用アクチュエータ９３により切断刃ホルダ２７を押圧することにより切断刃ホルダを介してグリーンシート積層体１５が延在する面に平行な面内で前記切断刃３を湾曲させる。切断刃３のみならず切断刃ホルダ２７自体をも湾曲させているので、切断刃３が湾曲状態を保っている時に切断装置４０１の外からの外乱の影響で（例えば切断時の衝撃など）切断刃３の湾曲状態が乱されることを抑制することができる。なお、制御部４７７には切断刃ホルダ曲げ用アクチュエータ９３が連結され、制御部からの駆動信号により切断刃ホルダ曲げ用アクチュエータ９３が駆動される。また、データ格納部４７９には、ステージ負圧供給部、アクチュエータ、検出装置等の駆動をするためのプログラムに加え、切断刃ホルダ曲げ用アクチュエータ９３を駆動するためのプログラム等が格納されている。図３に示されるその他の付随的な構成要素は、図１と同様であるので詳細は割愛する。
【００３１】
切断装置４０１の各要素の詳細について図４Ａ、４Ｂを参照して以下に説明する。切断装置４０１の基体であるメインフレーム部材１７は、正面から見て略逆Ｕ字形状を有しており、鉛直方向において逆Ｕ字の両直線部が並立するように配置されている。メインフレーム部材１７におけるＵ字水平部の上部略中央には、切断刃３を上下方向に移動させるための切断刃上下アクチュエータ２５が装着されている。切断刃上下アクチュエータ２５は、メインフレーム部材１７を貫通し下方に伸びるアクチュエータロッド２５ａを有しており、ロッド２５ａは切断刃上下アクチュエータ２５によって延在方向に伸縮する。また、メインフレーム部材１７は、略逆Ｕ字の両直線部に配置されたガイドレール１７ｃを有している。
【００３２】
サブフレーム部材１９は略矩形状を呈しており、メインフレーム部材１７の略逆Ｕ字の内側において同一向きとなるように配置される。サブフレーム部材１９の水平方向に延在する上方水平部１９ｂはメインフレーム部材１７のＵ字水平部と向かい合い、アクチュエータロッド２５ａの端部と結合する。サブフレーム部材１９の上方水平部１９ｂから鉛直方向に伸びる両直線部において、メインフレーム部材１７の両直線部と向かい合う部分には、スライダ１９ａが固定されている。スライダ１９ａは、メインフレーム部材１７のガイドレール１７ｃと摺動可能に係合している。従って、切断刃の上下アクチュエータ２５が作動することによって、サブフレーム部材１９は、メインフレーム部材１７に対して鉛直方向に移動することが可能となる。
【００３３】
図４Ｂから容易に理解されるように、切断刃３を保持する切断刃ホルダ２７は、略矩形状のサブフレーム部材１９の水平方向に延在し上方水平部１９ｂと対向する下方水平部１９ｄの下端部に連結されている。そして、切断刃ホルダ２７は、サブフレーム部材１９における下方水平部１９ｄと略平行に配置される矩形状の枠体部材である。
【００３４】
さらに、図４Ｃ〜図４Ｅを参照し切断刃ホルダについて説明する。図４Ｃは、図４ＢのＩＶＣ部の拡大図である。図４Ｄは、図４Ｃを上方から見た図である。図４Ｅは、切断刃ホルダのみを示す上面図である。
【００３５】
切断刃ホルダ２７には、押さえ部材２７ａを介して切断刃３が装着されている。切断刃３の刃先稜線部は、ステージ２３の載置面２３ａと平行に延在し、メインフレーム部材１７の下方（略逆Ｕ字形状における開放部方向）に配置されるステージ２３と向かい合うように配置されている。
【００３６】
さらに切断刃ホルダ２７には、ピン部材８７を介して曲げピンホルダ８９が連結されている。ピンホルダ８９は、後述する切断刃曲げ用のアクチュエータ９３（図４Ｂ参照。）が連結され、図４Ｃ中の左右方向に、ピンホルダ８９が移動する構成となっている。
【００３７】
図４Ｅに示されるように、枠体状の切断刃ホルダ２７の一辺を構成する壁部２７ｂには、対向する壁部の方向へ突出する矩形状のピン受け部２７ｄが設けられている。ピン受け部２７ｄと壁部２７ｂとの接続部２７ｅは、ピン受け部２７ｄの幅より狭く寸法付けされ、くびれ形状となっている。また、接続部２７ｅのほぼ中心には、厚さ方向（図面の表裏方向）に貫通するピン受け孔２７ｆが設けられている。
【００３８】
ピン受け孔２７ｆには、ピン８７が嵌挿され、ピンの一端部はピンホルダ８９、他端部は、ピン受け孔２７ｆに嵌挿されている。さらに、切断刃３は、切断刃ホルダ２７の壁部２７ｂに対して、押さえ部材２７ａをねじ止めすることにより、外側面２７ｃと押さえ部材２７ａとにより切断刃３を挟みこむことにより固定される。
【００３９】
図４Ｂを参照して、切断刃ホルダ２７の周辺の構成について説明する。Ｌ字状のブラケット９５がサブフレーム部材１９の下方水平部１９ｄのほぼ中央に設けられている。Ｌ字状ブラケット９５は、サブフレーム部材１９の下方水平部１９ｄの側面から水平に延びるブラケット本体９５ａと、ブラケット本体９５ａの一端部から上下方向の下方に延びるアクチュエータ固定部９５ｂと、から構成される。アクチュエータ固定部９５ｂには、切断刃ホルダ２７の壁部２７ａを押圧するための切断刃ホルダ曲げ用アクチュエータ９３が装着されている。切断刃ホルダ曲げ用アクチュエータ９３は、一端が切断刃ホルダ曲げ用アクチュエータ９３内に収容され、他端がピンホルダ８９に固定され、アクチュエータ固定部９５ｂを厚さ方向に貫通するロッド９７を備える。そして、ピンホルダ８９はピン８７を介してピン受け部２７ｂと連結しているので、切断刃ホルダ曲げ用アクチュエータ９３の押圧力がピン受け部２７ｄに伝達される構成である。
【００４０】
また、サブフレーム部材１９の下面には、棒状のガイドレール１９ｃが設けられている。ピンホルダ８９の上面で、ガイドレール１９ｃに対面する位置には、スライダ９１が設けられており、スライダ９１の凹部にガイドレール１９ｃが摺動可能に装着されている。すなわち、スライダ９１は、ロッド９７が図４Ｂ中の左右方向に往復運動する際のガイドとして機能する。
なお、本実施形態においては、サブフレーム部材１９と切断刃ホルダ２７とを異なる部材から構成したが、これらを一体の部材としても良い。
【００４１】
さらに、ステージ２３は、グリーンシート積層体１５を載置できる水平な載置面２３ａを有する。ステージ２３は不図示のステージ駆動アクチュエータ８３によって駆動され、ｘ、ｙ、θ方向（図４Ａの紙面に垂直な方向、図面の左右方向、ｘ、ｙ平面上の角度方向）に間歇的に移動可能である。
【００４２】
次に、本実施形態に係る切断装置１を用いて、実際にグリーンシート積層体１５の切断刃を湾曲させる曲率半径を算出する工程、切断刃ホルダを湾曲させる工程及び切断位置を決定する工程、切断する工程の動作について説明する。
【００４３】
まず、切断刃を湾曲させる曲率半径を算出する工程が行われる。検出装置６５によりグリーンシート積層体１５の内部電極の配列を検出する。検出装置６５である、既に知られているＸ線装置は、ステージ上に位置決めされたグリーンシート積層体１５にＸ線を照射するＸ線照射装置と、Ｘ線照射装置の下方に配置され、Ｘ線画像を電気信号に変換するＸ線撮像管などの撮像手段を備える。撮像手段により撮像されたグリーンシート積層体の内部電極の画像信号は、内部電極の配列を示す配列データに変換された後、データ格納部７９内に保存される。そして、配列データに基づき、内部電極の配列の湾曲の程度を演算し把握する。より具体的には、図２に示される複数の列に並んだ内部電極１５のうち切断したい位置（切断予定部位）を挟むように存在して隣り合う一対の内部電極１５の列における内部電極１５の中心を結ぶ２つの曲線（Ｙ１、Ｙ２）の曲率半径を算出しデータ格納部７９へ保存する。切断したい位置が複数存在する場合には、切断したい位置を挟むように隣り合う一対の内部電極１５の列毎にこの曲率半径を算出し、切断したい位置と関連付けしてデータ格納部７９へ保存しておく。
【００４４】
次に切断刃ホルダを湾曲させる工程が行われる。算出された２つの曲率半径の平均値である曲率半径で切断刃３を湾曲させるために必要な駆動信号が制御部７７から切断刃ホルダ曲げ用アクチュエータ９３へ供給される。そして、ロッド９７を突出し（若しくは引っ込め）、ロッド固定部２７ｄを押圧し（若しくは引張り）、壁部２７ｂが左方に押圧される（あるいは右方に引っ張られる）。このように切断刃３が凸状若しくは凹状で前述の曲率半径に湾曲する。
【００４５】
次に切断位置決定工程では、Ｘ線装置により得られ、データ格納部７９に保存された内部電極の配列データに基づいて、湾曲させた切断刃３の刃先稜線部が並列配置された内部電極に干渉しないような位置を切断位置データとして制御部７７により決定する。切断位置データは、データ格納部７９に保存される。
【００４６】
次に、切断工程が行われる。まず、ステージ駆動アクチュエータ８３を移動させることにより、グリーンシート積層体１５が載置されたステージ２３を切断装置１の加工領域へと移動させる。また、切断刃上下アクチュエータ２５を作動させて、切断刃３を上昇させ、ステージ２３の載置面２３ａからグリーンシート積層体１５の厚さよりも大きな間隔を隔てる位置まで移動させる。さらに、データ格納部７９に保存される切断位置データと、切断刃３の刃先稜線部が整合するように、制御部７７からの駆動信号によりステージ駆動アクチュエータ８３を移動して切断刃３とグリーンシート積層体の相対的な位置決めを行う。
【００４７】
さらに、切断刃上下アクチュエータ２５を作動して、サブフレーム部材１９を降下させる。これに伴って切断刃支持部材２７も降下する。
【００４８】
切断刃ホルダ２７が更に降下を続けることによって、切断刃３がグリーンシート積層体１５内部に進入する。切断刃上下アクチュエータ２５の動作は、切断刃３の刃先稜線部が、グリーンシート積層体１５の基材（不図示）を切断するまで続けられる。以上の動作により、グリーンシート積層体１５における切断予定部位の切断工程が終了する。切断終了後、切断刃上下アクチュエータ２５によりサブフレーム部材１９が上昇する。これにより、切断時とは逆の順序で各部材が動作し、切断前の状態に各構成が配置される。
【００４９】
以上の切断刃ホルダを湾曲させる工程、切断位置を決定する工程、および切断工程における切断刃３の相対的な位置決め動作、切断刃３の降下、上昇の動作をグリーンシート積層体１５における切断予定部位の数だけ順次繰り返し、グリーンシート積層体１５の全面に対して切断面を形成した後、ステージ２３は載置面２３ａに垂直な軸を中心に９０°回転する。回転後、グリーンシート積層体１５の回転後の方向における切断予定部位を切断刃３の直下に位置させ、再度上述した切断動作を繰り返して行う。これにより、略直方形状のチップ形状とされた部材が複数個同時に得られる。
【００５０】
上記切断工程における切断位置は、切断位置決定工程において決定した切断刃３の刃先稜線部が内部電極１５と干渉しない切断位置データと一致するので、内部電極の欠損、破断などを防止しつつ切断工程を行うことができる。
【００５１】
（切断刃ホルダの変形例１）
上記実施例１は、単一のピン受け部２７ｄを備える構成であったが、変形例１は、複数のピン受け部を備える構成である。以下に構成について図５を参照しつつ説明する。図５は、切断刃の保持ホルダの変形例１の上面図である。切断刃ホルダ２２７には、図４Ｅの切断刃ホルダ２７と同様に、押さえ部材２２７ａを介して切断刃３（不図示）が装着されている。
【００５２】
さらに切断刃ホルダ２２７には、３つのピン部材（図４Ｃの８７に対応）を介して３つのピンホルダ（図４Ｃの８９対応）が連結されている。
【００５３】
枠体状の切断刃ホルダ２２７の一辺を構成する壁部２２７ｂは、その長手方向で３箇所に、対向する壁部の方向へ突出する矩形状のピン受け部２２７ｄ、２２７ｈ、２２７ｉが設けられている。そして、各ピン受け部２２７ｄ、２２７ｈ、２２７ｉと壁部２２７ｂとの接続部（例えば、２２７ｅ）は、ピン受け部２２７ｄ、２２７ｈ、２２７ｉの幅より狭く寸法付けされ、括れた形状を呈する。また、各ピン受け部２２７ｄ、２２７ｈ、２２７ｉのほぼ中心には、厚さ方向（図面の表裏方向）に貫通するピン受け孔（例えば、２２７ｇ）が設けられている。
【００５４】
上記構成のように、切断刃を曲げるための押圧箇所を複数設けることにより、再現されるべき曲率半径をより正確に再現できる。すなわち、内部電極の配列の湾曲する度合いに対してより正確に切断刃を湾曲させることができる。
【００５５】
なお、各ピン受け部２２７ｄ、２２７ｈ、２２７ｉを駆動するために、各々独立に駆動できるように複数の切断刃ホルダ曲げ用アクチュエータを設けて３つのピンホルダに１つずつ切断刃ホルダ曲げ用アクチュエータ（図４Ｂの９３に相当）を連結してもよいし、単一の切断刃ホルダ曲げ用アクチュエータ（図４Ｂの９３に相当）を設け、３つのピン受け部全てを駆動する構成としてもよい。
【００５６】
（切断刃ホルダの変形例２）
変形例２は、上記変形例１と同様に複数のピン受け部を備える構成であるが、一のピン受け部による押圧力が加わる一の領域に対して、他のピン受け部による押圧力が加わる他の領域に及ばない構成となっている。以下に変形例２の構成について図６を参照しつつ説明する。
【００５７】
図６は、切断刃ホルダの変形例２の上面図である。切断刃ホルダ３２７には、図５の切断刃ホルダ２２７と同様に、押さえ部材３２７ａを介して不図示の切断刃が装着されている。なお、変形例２の切断刃ホルダ３２７は、変形例１に比べ長手方向、短手方向ともに大きく寸法付けされているが、適宜変更できることは言うまでもない。切断刃３（不図示）及び押さえ部材３２７ａは、変形例１と同様のものを使用している。
【００５８】
図示されていないが、切断刃ホルダ３２７には、３つのピン部材（図４Ｃの８７に相当）を介して３つのピンホルダ（図４Ｃの８９相当。）が連結される。
【００５９】
枠体状の切断刃ホルダ３２７の一辺を構成する壁部３２７ｂは、その長手方向で３箇所に、対向する壁部３２７ｊの方向へ突出する略矩形状のピン受け部３２７ｄ、３２７ｈ、３２７ｉが設けられている。また、隣り合うピン受け部３２７ｄ、３２７ｉ及び３２７ｄ、３２７ｈの間には、それぞれ壁部３２７ｂとそれに対向する壁部３２７ｊとを連結する架橋部３２７ｋ、３２７ｌが設けられている。
【００６０】
したがって、各ピン受け部３２７ｄ、３２７ｈ、３２７ｉを介して、壁部３２７ａの長手方向に関する領域Ａ、Ｂ、Ｃを、独立的に撓ませることが可能である。例えば、ピン受け部３２７ｄを図中の下方に押圧した場合には、壁部３２７ａの領域Ｂのみが撓み、壁部３２７ａの領域Ａ、Ｃは撓まないか、無視できる程度に僅かに撓む。したがって、切断対象であるグリーンシート積層体の内部電極の不規則な位置ズレに対しても切断刃を柔軟に湾曲させた状態で切断ができる。変形例２の切断刃ホルダのその他の構成は、変形例１と同様であるので詳細は割愛する。
【実施例２】
【００６１】
次に、本発明のグリーンシート積層体切断装置の実施例２について説明する。前述の実施例１の切断装置は、切断刃ホルダを湾曲させる切断刃ホルダ曲げ用アクチュエータを備える構成としたが、実施例２の切断装置は、さらに、切断刃を湾曲させるためのガイド手段である切断刃ガイドを備える構成である。以下に実施形態２の切断装置について図７、図８Ａ、８Ｂを参照しつつ説明する。図７は、グリーンシート積層体切断装置を含む製造装置のブロック図である。図８Ａは切断装置の正面図であり、図８Ｂは図８Ａの線ＶＩＩＩＢ−ＶＩＩＩＢに沿った断面図である。
【００６２】
実施例２のグリーンシート積層体切断装置５０１（以下、切断装置５０１と称す。）の構成要素の多くは、実施例１の切断装置の構成と共通する。よって、異なる部分について説明する。切断刃曲げ手段は、実施例１の切断刃ホルダ、切断刃曲げ用アクチュエータに加え、切断刃３を挟んで配置されるガイド部材５９９ａ、５９９ｂと、ガイド部材５９９ａ、５９９ｂを押圧し、ガイド部材５９９ａ、５９９ｂを湾曲させるガイド押圧手段５９３すなわち、断面略矩形状の第１及び第２ガイド曲げ用アクチュエータ５９４ａ１〜５９４ａ３、５９４ｂ１〜５９４ｂ３と、から構成される。なお、図７に示されるように、ガイド曲げ用アクチュエータ５９４は制御部５７７と連結されており、制御部５７７からの駆動信号によりガイド部材曲げ用アクチュエータ５９４が作動するようになっている。また、データ格納部５７９には、ステージ負圧供給部、アクチュエータ、検出装置等の駆動をするためのプログラムに加え、ガイド押圧手段５９３を駆動するためのプログラム等が格納されている。なお、他の構成は図３と同様であるので説明を割愛する。
【００６３】
メインフレーム部材５１７の略逆Ｕ字の両直線部の下方には、互いに離間しほぼ平行に延びる一対の第１ブラケット６０５ａ及び第２ブラケット６０５ｂが固定さている。また、第１及び第２ブラケット６０５ａ、６０５ｂのそれぞれには、等間隔で第１ガイド曲げ用アクチュエータ５９４ａ１〜５９４ａ３、第２ガイド曲げ用アクチュエータ５９４ｂ１〜５９４ｂ３が装着されている。第１ガイド曲げ用アクチューエータ５９４ａ１〜５９４ａ３と第２ガイド曲げ用アクチュエータ５９４ｂａ１〜５９４ｂ３は、ロッド６０７ａ１〜６０７ａ３、６０７ｂ１〜６０７ｂ３の一端を収容し、ロッド６０７ａ１〜６０７ａ、６０７ｂ１〜６０７ｂ３の他端が互いに接離するように（図８Ｂ中の左右方向に）対向配置されている。ロッド６０７ａ１〜６０７ａ３及び６０７ｂ１〜６０７ｂ３の他端は、断面矩形状のガイド部材５９９ａ、５９９ｂに連結される。従って、制御部５７７からの駆動信号を第１及び第２第１ガイド曲げ用アクチュエータ５９４ａ１〜５９４ａ３、５９４ｂ１〜５９４ｂ３が受け取ると、ガイド部５９９ａ、５９９ｂが互いに接離するよう移動する。更にここで、ガイド部材５９９ａ、５９９ｂは、刃先稜線部の側面に当接するような高さに配置されている。従って、ガイド部材５９９ａ、５９９ｂが、切断刃３の刃先稜線部近傍であって、切断刃の両側面に当接する構成である。なお、ガイド部材５９９ａ、５９９ｂは、初期状態において、切断刃３の刃先稜線部近傍において、切断刃３の幅寸法より僅かに大きな距離だけ互いに離間して配置される。
【００６４】
実施例２では、第１及び第２ブラケット６０５ａ、６０５ｂの長手方向に沿って第１ガイド曲げ用アクチュエータ５９４ａ１〜５９４ａ３、及び第２ガイド曲げ用アクチュエータ５９４ｂ１〜５９４ｂ３をそれぞれ３つ設ける構成とした。しかしながら、第１及び第２アクチュエータの位置及び数は、適宜変更できることは言うまでもない。
【００６５】
さらに、第１及び第２ガイド曲げ用アクチュエータ５９４ａ１〜５９４ａ３、５９４ｂ１〜５９４ｂ３、ロッド６０７ａ１〜６０７ａ、６０７ｂ１〜６０７ｂ３、ガイド部材５９９ａ、５９９ｂは、切断対象であるグリーンシート積層体や、切断刃ホルダとは、干渉しない位置に固定されている。
【００６６】
上記構成の切断装置５０１を用いて、実際にグリーンシート積層体１５のガイドを湾曲させる工程について説明する。なお、切断刃を湾曲させる曲率半径を算出する工程、切断刃ガイドを湾曲させる工程、及び切断位置を決定する工程、切断する工程は、実施例１と同様の動作であるので説明は割愛する。
【００６７】
まず、ガイド部材を湾曲させる工程は、実施例１と同様に、切断刃を湾曲させる曲率半径を算出する工程で求めた切断刃３を湾曲させる曲率半径を基準値として、その値自体をガイド部材５９９ａ、５９９ｂを湾曲させる曲率半径とするか、基準値に切断刃３の厚さの２分の１である値を加算（若しくは減算）した値を算出し、ガイド部材５９９ａ、５９９ｂを湾曲させる曲率半径としてデータ格納部４７９へ保存する。この時、ガイド部材５９９ａ、５９９ｂの各々に対して異なる曲率半径が算出されることを妨げない。得られた曲率半径を形成するように、第１及び第２切断刃ガイド曲げ用アクチュエータ５９４ａ１〜５９４ａ３、５９４ｂ１〜５９４ｂ３に、制御部５７７から駆動信号が供給される。そして、ロッド６０７ａ１〜６０７ａ３、６０７ｂ１〜６０７ｂ３を伸ばし（若しくは収縮させ）、ガイド部材５９９ａ、５９９ｂを湾曲させる。言うまでもないが、本実施例では、各ガイド部材を３つのロッドにより湾曲させ、結果として切断刃を湾曲させる構成である。例えば、切断刃を図８Ｂの左方に向かい凸状に湾曲させるためには、ガイド部材５９９ａの長手方向のほぼ真ん中を押圧するアクチュエータ５９４ａ２のロッド６０７ａ２を伸ばしアクチュエータ５９４ａ１、５９４ａ３のロッド６０７ａ１、６０７ａ３を縮め、他方、ガイド部材５９９ｂに関しては、ガイド部材５９９ｂの真ん中を押圧するアクチュエータ５９４ｂ２のロッド６０７ｂ２を縮め、ガイド部材５９９ｂの両端に押圧するアクチュエータ５９４ｂ１、５９４ｂ３のロッド６０７ｂ１、６０７ｂ３を伸ばす。このようにガイド部材５９９ａ、５９９ｂを前述の曲率半径で湾曲させることで、ガイド部材５９９ａ、５９９ｂが当接する切断刃３の刃先稜線部近傍を切断刃３を湾曲させる曲率半径を算出する工程で求めた曲率半径に湾曲することができる。
【００６８】
また、本実施例における切断刃ホルダを湾曲させる工程は、実施例１と同様に行われる。従って、切断刃ホルダに固定されている切断刃の根元部（刃先稜線部に対向する部分）において、湾曲させるとともに、切断刃の刃先稜線部近傍においても所定の曲率半径でガイド部材を介して切断刃を湾曲させる構成である。結果として、切断刃をより正確に所定の曲率半径とすることができる。
【００６９】
次の切断位置決定工程では、Ｘ線装置により得られた内部電極の位置データに基づいて、並列配置された内部電極に干渉しないような位置を切断位置として決定される。
【００７０】
さらに、切断工程が行われる。切断刃３の刃先稜線部を切断位置の上方に移動させるため、ステージ駆動アクチュエータ８３を移動して切断刃３とグリーンシート積層体の相対的な位置決めを行うまでは、実施例１と同様である。
【００７１】
さらに、切断刃上下アクチュエータ２５を作動して、サブフレーム部材１９を降下させる。これに伴って切断刃支持部材２７も降下する。
【００７２】
この状態から、サブフレーム部材５１９を降下させると、切断刃ホルダ５２７は更に降下を続け、切断刃３の刃先近傍の両側面が、ガイド５９９ａ及び５９９ｂと当接し、刃先稜線部近傍を所定の曲率半径に湾曲できる。更に、切断刃ホルダ２７が降下を続けることによって、切断刃３がグリーンシート積層体５１５内部に進入する。切断刃上下アクチュエータ５２５の動作は、切断刃３の刃先稜線部が、グリーンシート積層体５１５の基材（不図示）を切断するまで続けられる。以上の動作により、グリーンシート積層体５１５における切断予定部位の切断工程が終了する。切断終了後、上下移動アクチュエータ５２５によりサブフレーム部材５１９が上昇する。これにより、切断時とは逆の順序で各部材が動作し、切断前の状態に各構成が配置される。
【００７３】
以上のガイド部材を湾曲させる工程、切断刃ホルダを湾曲させる工程、切断位置を決定する工程、および切断工程の動作を順次繰り返し、実施例１と同様に、略直方形状のチップ形状とされた部材が複数個得られる。
【００７４】
切断刃３の刃先稜線部近傍の位置に切断刃３を挟むようにガイド部材５９９ａ、５９９ｂを設け、切断刃を湾曲させる曲率半径を基準として算出した曲率半径にガイド部材５９９ａ、５９９ｂを湾曲させることによりシート表面において切断刃３の刃先稜線部の曲率半径が予め算出した値となることを保証できる。結果として、グリーンシート積層体の微小化により、隣り合う内部電極同士が非常に近接している場合であっても、切断刃ホルダのみで切断刃を湾曲させる構成に比べて、内部電極の欠損、破断などをより高精度に防止した上で切断できる。
【００７５】
また、本実施例２の切断装置５０１は、図４Ｂ及び４Ｅに示す切断刃ホルダを備える構成としたが、図５や図６に示す切断刃ホルダの変形例１、変形例２を備える構成にできることは言うまでもない。
【００７６】
さらに、本実施例２では、切断刃ホルダ及び切断刃ガイドを湾曲させる構成としたが、切断刃ホルダを湾曲させずに、切断刃ガイドのみを設ける構成としてもよい。
【００７７】
上記実施形態及び実施例では、内部電極の配列を識別するために、Ｘ線装置を用いたが、本発明がこれに限定されることはない。すなわち、内部電極の配列がグリーンシートの延在する平面全体において認識できるものであれば、その他の方法でも良いことは言うまでもない。
【００７８】
さらに、本発明は上述した実施形態或いは実施例の具体的構成に限定されない。例えば、各々の構成の配置及び駆動方向は、グリーンシート積層体が水平に支持されることを前提として、全て規定されているが、これらを異なる方向において規定することとしても良い
【００７９】
この発明は、その本質的特性から逸脱することなく数多くの形式のものとして具体化することができる。よって、上述した実施形態は専ら説明上のものであり、本発明を制限するものではないことは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】電子部品製造装置のブロック図である。
【図２】Ｘ線検査装置を用いてグリーンシート積層体内部を撮影した状態を示す図である。
【図３】実施例に係る製造装置のブロック図である。
【図４Ａ】切断装置の正面図である。
【図４Ｂ】図４Ａの線ＶＩＢ−ＶＩＢに沿った断面図である。
【図４Ｃ】図４ＢのＩＶＣ部の拡大図である。
【図４Ｄ】図４Ｃを上方から見た図である。
【図４Ｅ】切断刃ホルダのみを示す上面図である。
【図５】切断刃の保持ホルダの変形例１の上面図である。
【図６】切断刃の保持ホルダの変形例２の上面図である。
【図７】切断装置を含む製造装置のブロック図である。
【図８Ａ】切断装置の正面図である。
【図８Ｂ】図８Ａの線ＶＩＩＩＢ−ＶＩＩＩＢに沿った断面図である。
【図９】従来の電子部品の製造方法における切断工程を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００８１】
３：切断刃、１５：グリーンシート積層体、２７、２２７、３２７：切断刃ホルダ、５１：内部電極、９３：切断刃曲げ用アクチュエータ、４９３：切断刃ガイドの曲げ用アクチュエータ、４９４ａ、４９４ｂ：ガイド押圧手段、４９９ａ、４９９ｂ：切断刃ガイド部材
【図１】
2008142847.tif 000003
【図２】
2008142847.tif 000004
【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
2008142847.tif 000007
【図４Ｃ】
2008142847.tif 000008
【図４Ｄ】
2008142847.tif 000009
【図４Ｅ】
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【図５】
2008142847.tif 000011
【図６】
2008142847.tif 000012
【図７】
2008142847.tif 000013
【図８Ａ】
2008142847.tif 000014
【図８Ｂ】
2008142847.tif 000015
【図９】
2008142847.tif 000016