(57)【要約】【課題】見栄えを向上し、且つ、耐衝撃性を低下させずに広範囲で位相差による方位検出が可能な超音波センサ及び障害物検出装置を提供する。【解決手段】少なくとも１つの送信用の圧電振動子１１０と、複数の受信用の圧電振動子１１０と、圧電振動子１１０が底面部１２１の内面１２２に接触固定された筐体１２０と、一方の開口端１３３がバンパ１０に形成された貫通孔１３を介して外部に露出され、車両外部と外面１２３との間で超音波を誘導する導波管１３０とを備える超音波センサ１００であって、管部１３２は、少なくとも受信用の圧電振動子１１０に対応して複数設けられ、開口端１３３の開口面積が外面１２３の面積よりも小さく、開口端１３３の開口間隔ｄが外面１２３の間隔Ｄよりも狭く、それぞれの長さが、バンパ１０における反射波の位相差を互いに保って外面１２３に伝達する長さに設定されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動体の外部に、送信波として超音波を送信する少なくとも１つの送信用の圧電振動子と、
前記送信波の障害物による反射波を受信して、前記反射波の強度に応じた受信信号を出力する複数の受信用の圧電振動子と、
前記圧電振動子をそれぞれ収容するものであって、前記圧電振動子が底面部の内面に接触固定され、前記底面部の外面が振動面とされる筐体と、
一方の開口端が前記移動体の被取り付け部に形成された貫通孔を介して外部に露出され、前記移動体の外部と前記移動体の内部に配置された前記振動面との間で超音波を誘導する導波管と、を備え、
前記導波管は、少なくとも前記受信用の圧電振動子に対応して複数設けられ、前記開口端の開口面積が前記振動面の面積よりも小さく、隣接する前記開口端の開口間隔が隣接する前記振動面の間隔よりも狭く、前記反射波が前記被取り付け部での互いの位相差を保って前記振動面に伝達される長さにそれぞれ設定されていることを特徴とする超音波センサ。
【請求項２】
少なくとも１つの前記導波管において、前記被取り付け部側の開口端の開口面積が、前記振動面側の開口端の開口面積よりも小さいことを特徴とする請求項１に記載の超音波センサ。
【請求項３】
少なくとも１つの前記導波管において、前記被取り付け部側の開口端の開口面積が、前記振動面側の開口端の開口面積よりも大きいことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の超音波センサ。
【請求項４】
少なくとも１つの前記導波管において、前記被取り付け部側の開口端と前記振動面側の開口端との間の断面形状及び断面積がそれぞれ一定とされていることを特徴とする請求項１〜３いずれか１項に記載の超音波センサ。
【請求項５】
複数の前記圧電振動子のうち、少なくとも１つが送信用と受信用を兼ねていることを特徴とする請求項１〜４いずれか１項に記載の超音波センサ。
【請求項６】
複数の前記導波管は、その長さが全て等しいことを特徴とする請求項１〜５いずれか１項に記載の超音波センサ。
【請求項７】
前記開口端は、前記被取り付け部の外部側と面一となっていることを特徴とする請求項１〜６いずれか１項に記載の超音波センサ。
【請求項８】
隣接する前記開口端の開口間隔が、前記超音波の波長に対して半波長以下とされていることを特徴とする請求項１〜７いずれか１項に記載の超音波センサ。
【請求項９】
複数の前記導波管は、前記開口端の開口形状及び大きさが全て等しいことを特徴とする請求項１〜８いずれか１項に記載の超音波センサ。
【請求項１０】
複数の前記導波管において、前記開口端の開口形状が複数に設定されていることを特徴とする請求項１〜９いずれか１項に記載の超音波センサ。
【請求項１１】
前記開口端は、その開口形状が開口面の直交する２軸方向において長さが異なる形状とされていることを特徴とする請求項１〜１０いずれか１項に記載の超音波センサ。
【請求項１２】
前記圧電振動子として、送信用を２つ以上有し、
複数の前記送信用の圧電振動子から、同時に前記超音波が送信されることを特徴とする請求項１〜１１いずれか１項に記載の超音波センサ。
【請求項１３】
前記被取り付け部側の前記開口端の開口下部位置が、前記振動面側の開口端の下部位置よりも、重力方向において下方とされていることを特徴とする請求項１〜１２いずれか１項に記載の超音波センサ。
【請求項１４】
前記導波管は、その管状内部が、前記移動体の外部雰囲気と前記筐体の底面部との間の音響インピーダンスを有する音響整合部材によって満たされていることを特徴とする請求項１〜１２いずれか１項に記載の超音波センサ。
【請求項１５】
前記導波管は、前記受信用の圧電振動子に対応して複数に分離されていることを特徴とする請求項１〜１４いずれか１項に記載の超音波センサ。
【請求項１６】
分離された複数の前記導波管の間に、前記導波管を構成する材料とは音響インピーダンスの異なる不要振動低減部材が配置されていることを特徴とする請求項１５に記載の超音波センサ。
【請求項１７】
前記移動体は車両であり、前記被取り付け部はバンパ又はボディであることを特徴とする請求項１〜１６いずれか１項に記載の超音波センサ。
【請求項１８】
請求項１〜１７いずれか１項に記載の超音波センサを備え、
複数の前記受信用の圧電振動子の受信信号の位相差に基づいて、前記障害物の方位を検出することを特徴とする障害物検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、受信用の圧電振動子を複数備える超音波センサ、及び、超音波センサを用いて障害物を検出する障害物検出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば特許文献１に示されるように、受信用の圧電振動子を複数備える超音波センサが知られている。
【０００３】
特許文献１に示される超音波センサは、少なくとも１つの送波用圧電素子と少なくとも２つの受波用圧電素子を含む複数の圧電素子と、当該圧電素子を収納する１つの振動ケースとを有している。そして、振動ケースには、その入出射面に沿った底面を有する複数の収納凹部が併設され、対応する収納凹部の底面に圧電素子がそれぞれ接触配置されている。また、振動ケースの、送波用圧電素子の収納された収納凹部と受波用圧電素子の収納された収納凹部との間の部位に、仕切り凹部が設けられている。
【特許文献１】特開２００４−２５３９１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、障害物の方位を検出する方法としては、各受波用圧電素子の受信信号の位相差に基づいて検出する方法が、各各受波用圧電素子の受信信号の時間差に基づいて検出する方法よりも精度良く検出できることが知られている。例えば超音波の周波数を４０ｋＨｚ（波長λ８．５ｍｍ）とすると、超音波センサに必要な振動面（圧電素子の振動及び／又は反射波によって振動する面であり、収納凹部の底面の裏面とほぼ等しい）の大きさは、振動板（圧電素子が接触配置された振動ケースの部分）の剛性（飛び石等に対する耐衝撃性）を考えると１０ｍｍ程度が一般的である。また、隣り合う振動面は音響学的に分離されていることが好ましい。したがって、特許文献１に示される超音波センサの場合、入出射面に沿う方向において、隣り合う受波用圧電素子にそれぞれ対応する振動面間の距離（中心間の距離）は１０ｍｍを超える値となり、超音波の波長λを超えてしまう。すなわち、複数の受波用圧電素子の位相差に基づいて障害物の方位を検出しようとしても、広範囲（例えば路面に水平な方向の±９０度（振動面を中心とした１８０度）の範囲（広範囲）を検出することができず、狭い範囲しか検出することができない。これに対し、振動面を小さくして広範囲を検出できるようにすることも考えられるが、周波数を維持するためには振動板の厚さを薄くしなければならず、振動板の剛性が低下するので耐衝撃性を確保することが困難である。
【０００５】
また、特許文献１に示される超音波センサを例えば車両のバンパに取り付けるとすると、少なくとも振動ケースの、収納凹部の底面の裏面及び各収納凹部の間の部位を含む入出射面が、バンパに設けられた貫通孔を介して車両外部に露出することとなる。すなわち、外部に露出する部位が大きく、見栄え上好ましくない。
【０００６】
本発明は上記問題点に鑑み、見栄えを向上し、且つ、耐衝撃性を低下させずに広範囲で位相差による方位検出が可能な超音波センサ及び障害物検出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成する為に請求項１に記載の超音波センサは、移動体の外部に、送信波として超音波を送信する少なくとも１つの送信用の圧電振動子と、送信波の障害物による反射波を受信して、反射波の強度に応じた受信信号を出力する複数の受信用の圧電振動子と、圧電振動子をそれぞれ収容するものであって、圧電振動子が底面部の内面に接触固定され、底面部の外面が振動面とされる筐体と、一方の開口端が移動体の被取り付け部に形成された貫通孔を介して外部に露出され、移動体の外部と移動体の内部に配置された振動面との間で超音波を誘導する導波管と、を備え、導波管は、少なくとも受信用の圧電振動子に対応して複数設けられ、開口端の開口面積が振動面の面積よりも小さく、隣接する開口端の開口間隔が隣接する振動面の間隔よりも狭く、反射波が被取り付け部での互いの位相差を保って振動面に伝達される長さにそれぞれ設定されていることを特徴とする。
【０００８】
このように本発明によれば、       筐体の振動面を移動体の被取り付け部における送受信面とするのではなく、被取り付け部と筐体の間に超音波を誘導する導波管を少なくとも受信用の圧電振動子に対応して複数設けることで、導波管の一方の開口端の開口面を送受信面としている。また、導波管の開口端の開口面積を振動面の面積よりも小さくし、導波管の隣接する開口端の開口間隔を隣接する振動面の間隔よりも狭くしている。このような導波管を採用することにより、移動体の被取り付け部から外部に露出する超音波センサの露出部位を従来よりも小さくし、見栄え（意匠性）を向上することができる。
【０００９】
また、導波管のそれぞれの長さを、反射波が被取り付け部での互いの位相差を保って振動面に伝達される長さに設定（１つの導波管の長さに対して、他の導波管の長さを、同一又はｎλ（ｎ：正の整数、λ：超音波の波長）ずらした長さに設定）しているので、位相差による方位検出が可能である。また、導波管の隣接する開口端の開口間隔を隣接する振動面の間隔よりも狭くしているので、従来よりも広範囲で位相差による方位検出を行うことができる。さらに、導波管の一方の開口端の開口面を送受信面としているので、当該センサを用いれば、耐衝撃性を低下させずに広範囲で位相差による方位検出を行うことが可能である。
【００１０】
請求項２に記載のように、少なくとも１つの導波管において、被取り付け部側の開口端の開口面積を、振動面側の開口端の開口面積よりも小さくした構成としても良い。これによれば、特に反射波（受信波）を、被取り付け部側の開口端から振動面まで効率よく伝達させることができる。また、見栄え（意匠性）をより向上することができる。
【００１１】
また、請求項３に記載のように、少なくとも１つの導波管において、被取り付け部側の開口端の開口面積を、振動面側の開口端の開口面積よりも大きくした構成としても良い。これによれば、特に送信波を、振動面から被取り付け部側の開口端まで効率よく伝達させることができる。
【００１２】
さらには、請求項４に記載のように、少なくとも１つの導波管において、被取り付け部側の開口端と振動面側の開口端との間の断面形状及び断面積がそれぞれ一定とされた構成としても良い。これによれば、送信波又は反射波を、振動面と被取り付け部側の開口端との間で効率よく伝達させることができる。
【００１３】
請求項５に記載のように、複数の圧電振動子のうち、少なくとも１つが送信用と受信用を兼ねた構成としても良い。これによれば、圧電振動子の個数を低減し、コストを低減することができる。また、センサの体格を小型化することができる。
【００１４】
請求項６に記載のように、複数の導波管の長さが全て等しく設定された構成としても良い。これによれば、センサの体格を小型化することができる。
【００１５】
請求項７に記載のように、導波管の開口端が被取り付け部の外部側と面一とされた構成としても良い。これによれば、見栄え（意匠性）をより向上することができる。
【００１６】
請求項８に記載のように、隣接する開口端の開口間隔が、超音波の波長に対して半波長以下とされた構成とすることが好ましい。これによれば、振動面の中心軸に対して±９０度以上の広範囲を検出することが可能となる。例えば移動体の被取り付け部が平面であれば、受信用の圧電素子の配列方向においてほぼ全域を方位検出のエリアとすることができる。また、サイドローブ（副極）を互いに打ち消しあい、障害物の誤検出を低減乃至防止することができる。
【００１７】
複数の導波管の開口端は、請求項９に記載のように、開口形状及び大きさが全て等しく設定されても良いし、請求項１０に記載のように、開口形状が複数（少なくとも１つが他とは異なる）に設定されても良い。請求項９に記載の構成によれば、サイドローブ（副極）をきれいに打ち消すことができる。したがって、合成指向性を制御しやすい。また、請求項１０に記載の構成によれば、開口形状に応じて指向性を切り替えることができる。
【００１８】
請求項１１に記載のように、開口端の開口形状が、開口面の直交する２軸方向において長さが異なる形状とされた構成としても良い。これによれば、開口面の直交する２軸方向において、指向性を異なるものとする（偏指向性を持たせる）ことができる。
【００１９】
請求項１２に記載のように、圧電振動子として送信用を２つ以上有し、複数の送信用の圧電振動子から、同時に超音波が送信される構成としても良い。これによれば、送信用の圧電振動子を１つ有する構成に比べて音圧を稼ぐことができるので、指向性を狭くし、検出距離を長くすることができる。また、複数の送信用の圧電振動子に対しても導波管が設けられ、請求項８に記載の構成とすると、サイドローブ（副極）を互いに打ち消しあい、指向性をより狭めることができる。
【００２０】
請求項１３に記載のように、被取り付け部側の開口端の開口下部位置が、振動面側の開口端の開口下部位置よりも、重力方向において下方とされた構成とすると良い。これによれば、異物の導波管内への侵入や導波管への付着を低減することができる。
【００２１】
請求項１４に記載のように、導波管の管状内部が、移動体の外部雰囲気と筐体の底面部との間の音響インピーダンスを有する音響整合部材によって満たされた構成とすると良い。これによれば、音響インピーダンス差に基づく超音波の反射ロスを低減し、検出感度を向上することができる。また、異物の導波管内への侵入や導波管への付着を低減乃至防ぐことができるので、異物による誤検出を低減し、耐衝撃性を向上することができる。
【００２２】
請求項１５に記載のように、導波管が、受信用の圧電振動子に対応して複数に分離された構成とすると良い。これによれば、導波管の間で伝達される不要振動を低減することができる。なお、請求項１６に記載のように、分離された複数の導波管の間に、導波管を構成する材料とは音響インピーダンスの異なる不要振動低減部材が配置された構成とすると、不要振動を効果的に低減することができる。
【００２３】
請求項１〜１６いずれか１項に記載の発明は、請求項１７に記載のように、移動体が車両であり、超音波センサが車両のバンパ又はボディに取り付けられた構成に対して好適である。
【００２４】
また、請求項１〜１７いずれか１項に記載の超音波センサは、請求項１８に記載のように、複数の受信用の圧電振動子の受信信号の位相差に基づいて、障害物の方位を検出することを特徴とする障害物検出装置の構成要素として好適である。すなわち、上述した構成の超音波センサを備えた障害物検出装置は、上述した各効果に基づいて、広範囲で位相差による方位検出を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明の実施形態を図に基づいて説明する。
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係る超音波センサの概略構成を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面図である。図２は、図１（ｂ）における筐体周囲の拡大断面図である。なお、図１（ａ），（ｂ）においては、超音波センサを移動体の被取り付け部に取り付けた状態を図示しており、図１（ａ）は、移動体の外部から見た平面図である。
【００２６】
本実施形態においては、超音波センサ及び当該センサを含む障害物検出装置が、移動体としての車両に用いられる例について説明する。具体的には、図１（ａ），（ｂ）に示すように、超音波センサ１００は、車両の周囲に存在する障害物を検出できるように、例えば車両の前方、後方、或いは四隅側のバンパやボディ（図１（ａ），（ｂ）においてはバンパ１０）に取り付けられている。
【００２７】
図１（ａ），（ｂ）に示すように、超音波センサ１００は、主として、複数の圧電振動子１１０、圧電振動子１１０などを収容する筐体１２０、車両の外部と圧電振動子１１０との間で超音波を誘導する導波管１３０などから構成されている。
【００２８】
圧電振動子１１０は、チタン酸バリウムやＰＺＴ等の圧電セラミックスを焼結体とし、電圧を印加して振動を発生させるものであり、例えば円板状に形成されている。本実施形態においては、路面に対して水平方向（図１（ａ）に示すｘ方向）に２個、垂直方向（図１（ａ）に示すｙ方向）に２個の計４個の圧電振動子１１０が１つの超音波センサ１００として含まれている。また、４個の圧電振動子１１０のそれぞれが、車両外部に送信波として超音波を送信する送信用振動子と、車両外部に存在する障害物の反射波を受信して、反射波の強度に応じた受信信号を出力する受信用振動子を兼ねる構成となっている。このように、複数の圧電振動子１１０のうち、少なくとも１つが送信用と受信用を兼ねた構成とすると、圧電振動子１１０の個数を低減し、コストを低減することができる。また、超音波センサ１００の体格を小型化することができる。
【００２９】
また、本実施形態においては、複数の圧電振動子１１０から、同時に超音波が送信されるように構成されている。このように、送信用の圧電振動子１１０を２つ以上有し、複数の圧電振動子１１０から、同時に超音波が送信される構成とすると、送信用の圧電振動子１１０を１つ有する構成に比べて音圧を稼ぐことができる。すなわち、指向性を狭くし、検出距離を長くすることができる。
【００３０】
圧電振動子１１０の表面には電極（図示略）が形成され、当該電極にリード１１１が電気的に接続されている。本実施形態においては、図２に示すように、一方のリード１１１が電極と電気的に接続された筐体１２０の内面に接続されている。そして、リード１１１は、圧電振動子１１０を振動させて超音波を発生するための駆動信号を出力したり、圧電振動子１１０に超音波が伝達されて、圧電振動子１１０に歪みが生じた場合に、圧電効果によって生じる電圧信号を入力する処理回路が形成された回路基板（図示略）と電気的に接続されている。すなわち、超音波センサ１００は、当該超音波センサ１００を含む障害物検出装置の一部として構成されており、障害物検出装置は、超音波の送信から受信までの時間に基づいて、車両の周囲に存在する障害物までの距離を算出するとともに、複数の圧電振動子１１０からの受信信号の位相差に基づいて、障害物の方位を算出することができる。
【００３１】
筐体１２０は、それぞれ１つの圧電振動子１１０を収容すべく、例えばアルミニウムや合成樹脂（本実施形態においてはアルミニウム）を構成材料として、有底筒状に設けられている。そして、図２に示すように、底面部１２１の内面１２２に圧電振動子１１０が設置（例えば固着）されている。すなわち、圧電振動子１１０の配置された底面部１２１が振動板としての役割を果たし、底面部１２１の外面１２３（内面１２２の裏面）が振動面となっている。なお、本実施形態においては、振動面としての外面１２３が、図１（ａ）に破線で示すように、バンパ１０の平面方向（路面に沿う方向）において円形とされている。
【００３２】
また、圧電振動子１１０の周囲には、図２に示すように、内面１２２に面する面を除いて吸音材１１２が配置されている。この吸音材１１２は、圧電振動子１１０が伸縮し、筐体１２０の底面部１２１が振動することによって筐体１２０内に放射される超音波を吸収するためのものであり、例えばシリコンスポンジ等の吸音性能に優れた材質よって構成されている。そして、吸音材１１２上に封止材１１３が配置され、この封止材１１３によって筐体１２０内が気密に封止されている。
【００３３】
導波管１３０は、車両外部と車両内部（バンパ１０の内面１１側）に配置された圧電振動子１１０（振動面としての外面１２３）との間で超音波を誘導する（本実施形態においては、送信波を外面１２３から車両外部へ導くとともに、反射波を外面１２３まで導く）ように構成されている。本実施形態に係る導波管１３０は、同一の基材１３１に対して複数の管部１３２が形成されてなる。この管部１３２が、特許請求の範囲に記載の導波管に相当する。管部１３２の一方の開口端１３３は、図１（ｂ）に示すように、基材１３１の一面に開口しており、バンパ１０に取り付けられた状態で、バンパ１０の貫通孔１３を介して車両外部に露出している。また、他方の開口端１３６は、基材１３１の開口端１３３形成面の対向面側に形成された固定用溝１３４に連結されている。この固定用溝１３４は、圧電振動子１１０を含む筐体１２０が固定される溝であり、固定用溝１３４に筐体１２０が固定された状態で、管部１３２の開口端１３６は、外面１２３との間に若干の隙間をもって開口端１３３側に配置された状態となっている。このように、管部１３２において、開口端１３３が特許請求の範囲に記載の被取り付け部側の開口端となっており、開口端１３６が振動面側の開口端となっている。
【００３４】
導波管１３０（基材１３１）の構成材料としては、車両外部及び管部１３２内の媒体（空気）との音響インピーダンスの差が大きく（例えば１×１０２以上）、管部１３２を構成する基材１３１の壁面で超音波を効率よく反射できるものであれば採用することができる。音響学的に好ましくは、筐体１２０と異なる材料とすると良い。具体的には、金属材料、樹脂材料、ゴム等を採用することができる。本実施形態に示すように、複数の導波管（管部１３２）が一体化される構成においては、樹脂材料を選択すると形成が容易である。
【００３５】
複数の管部１３２（換言すれば導波管）は、図１（ａ）に示すように、それぞれの開口端１３３の開口面積が、対応する振動面としての外面１２３の面積よりも小さくなるように設定されている。本実施形態においては、上述の条件を満たしつつ、開口端１３３がすべて、形状及び大きさの等しい円形状とされており、対応する複数の外面１２３も、形状及び大きさが等しく設定されている。また、全ての管部１３２において、振動面側の開口端１３６の開口面積が振動面（外面１２３）と略同一とされ、バンパ１０側の開口端１３３の開口面積が、開口端１３６の開口面積よりも小さくされている。そして、全ての管部１３２において、バンパ１０側の開口端１３３と振動面（外面１２３）側の開口端１３６との間の断面形状が円形状とされ、その円断面の面積（管径）が開口端１３３から開口端１３６（振動面）に向けて大きくなっている。
【００３６】
また、図１（ａ）に示すように、隣接する開口端１３３間の開口間隔ｄ（ｄｘ、ｄｙ）が、隣接する外面１２３間の対応する間隔Ｄ（Ｄｘ，Ｄｙ）よりも狭く設定されている。本実施形態においては、上述の条件を満たしつつ、路面に対して水平方向（図１（ａ）に示すｘ方向）と垂直方向（図１（ａ）に示すｙ方向）の開口間隔ｄ（ｄｘ、ｄｙ）が等しく設定されている。また、開口間隔ｄが、超音波の波長に対して半波長以下（本実施形態においては半波長）とされている。
【００３７】
さらには、障害物による反射波が、バンパ１０（超音波の送受信面）での互いの位相差を保って振動面としての外面１２３に伝達されるように、それぞれの管部１３２の長さ（開口端１３３から外面１２３までの距離）が設定されている。なお、互いの位相差を保って伝達されるには、１つの管部１３２の長さをＬとすると、他の管部１３２の長さが、Ｌと同一又はＬ＋ｎλ（ｎ：正の整数、λ：超音波の波長）ずらした長さに設定されていれば良い。本実施形態においては、複数の管部１３２の長さが全て等しく設定されている。
【００３８】
このように構成される導波管１３０は、圧電振動子１１０を含む筐体１２０が固定用溝１３４に固定された状態で、バンパ１０に固定されている。本実施形態においては、開口部１３３を含む基材１３１の一部がバンパ１０の貫通孔１３に挿入され、バンパ１０の内面１１と対向する基材１３１の部位が内面１１に対して接着固定されている。そして、この固定状態で、開口端１３３（基材１３１の一面）がバンパ１０の外面１２と面一とされている。なお、圧電振動子１１０を含む筐体１２０は、振動面としての外面１２３が開口端１３３側となるように、対応する固定用溝１３４に、振動吸収部材１２４を介してそれぞれ固定されている。すなわち、振動板としての底面部１２１は、導波管１３０を構成する基材１３１（管部１３２の開口端１３６）とは直接接触しておらず、基材１３１が底面部１２１の振動を抑制しないようになっている。振動吸収部材１２４は、筐体１２０（底面部１２１）と導波管１３０（基材１３１）との間で伝達される不要振動を低減するためのものであり、例えばシリコン製ゴムやポリウレタン等によって構成されている。なお、図１（ａ），（ｂ）に示す符号１３５は、基材１３１の外面である。
【００３９】
このように本実施形態に係る超音波センサ１００及び当該超音波センサ１００を含む障害物検出装置によれば、筐体１２０の振動面（外面１２３）を車両のバンパ１０における送受信面とするのではなく、バンパ１０と外面１２３（圧電振動子１１０）との間で超音波を誘導する管部１３２（導波管）を圧電振動子１１０に対応して複数設けることで、管部１３２の開口端１３３の開口面を送受信面としている。また、管部１３２の開口端１３３の開口面積を振動面（外面１２３）の面積よりも小さくし、隣接する開口端１３３の開口間隔ｄ（ｄｘ、ｄｙ）を隣接する振動面（外面１２３）の間隔Ｄ（Ｄｘ，Ｄｙ）よりも狭くしている。したがって、車両のバンパ１０から外部に露出する超音波センサ１００の露出部分を従来よりも小さくし、見栄え（意匠性）を向上することができる。特に本実施形態においては、バンパ１０側の開口端１３３の開口面積を、開口端１３６の開口面積よりも小さくしているので、これにより見栄えをより向上することができる。
【００４０】
また、管部１３２のそれぞれの長さを、反射波が、バンパ１０での互いの位相差を保って振動面（外面１２３）に伝達される長さに設定しているので、位相差による方位検出が可能である。特に本実施形態においては、複数の管部１３２の長さを全て等しくしているので、センサの体格を小型化することができる。さらに、隣接する開口端１３３の開口間隔ｄを隣接する振動面（外面１２３）の間隔Ｄよりも狭くしているので、従来よりも広範囲で位相差による方位検出を行うことができる。特に開口端１３３の開口間隔ｄを、超音波の波長に対して半波長以下としているので、振動面（外面１２３）の中心軸に対して±９０度以上の広範囲において障害物の方位を検出することが可能である。このような構成とすると、バンパ１０のように、超音波センサ１００が固定される被取り付け部が平面においては、複数の圧電振動子１１０（受信用）の配列方向のほぼ全域を方位検出のエリアとすることができる。また、サイドローブ（副極）を互いに打ち消しあい、障害物の方位誤検出を低減乃至防止することができる。このように、導波管１３０を用いることで、開口端１３３の開口面を送受信面としているので、筐体１２０の剛性を低下させることなく（すなわち飛び石等に対する耐衝撃性を低下させることなく）、広範囲で位相差による方位検出を行うことが可能である。
【００４１】
また、管部１３２の開口端１３３の開口面を送受信面としているので、筐体１２０の振動面（外面１２３）への異物の衝突を低減することができる。すなわち、異物（特に飛び石）の衝突によって、筐体１２０の底面部１２１や圧電振動子１１０が破損する危険性を低減（超音波センサ１００として耐衝撃性を向上）することができる。
【００４２】
また、本実施形態においては、送信機能を有する圧電振動子１１０を複数備え、送信用の複数の圧電振動子１１０から、同時に超音波が送信される例を示した。これによれば、送信用の圧電振動子１１０を１つ有する構成に比べて音圧を稼ぐことができるので、指向性を狭くし、検出距離を長くすることができる。
【００４３】
また、それぞれの圧電振動子１１０が、送信用の機能と受信用の機能を兼ねる例を示した。しかしながら、送信機能又は受信機能のみを有する圧電振動子１１０を備える構成としても良い。導波管１３０は、少なくとも受信用の圧電振動子１１０に対応して配置されれば良い。本実施形態に示したように、送信用の圧電振動子１１０（本実施形態においては送受信兼用）に対しても導波管１３０が配置されると、開口端１３３の形状及び大きさによって、送信波の指向性も制御することができる。さらに、送信用の圧電振動子１１０を複数有しつつ、開口端１３３の開口間隔ｄを超音波の波長に対して半波長以下とすると、サイドローブ（副極）を互いに打ち消しあい、指向性をより狭めることができる。
【００４４】
また、本実施形態においては、それぞれの管部１３２において、開口部１３３の開口形状及び大きさを等しくしている。したがって、サイドローブ（副極）をきれいに打ち消すことができるので、合成指向性を制御しやすい。
【００４５】
また、本実施形態においては、圧電振動子１１０を含む筐体１２０が、振動吸収部材１２４を介して導波管１３０の基材１３１に固定される例を示した。しかしながら、基材１３１が不要振動を伝達しにくい材料（例えばゴム）からなる場合には、振動吸収部材１２４を不要とすることもできる。
【００４６】
また、本実施形態においては、振動面側の開口端１３６の開口面積が振動面（外面１２３）と略同一とされる例を示した。しかしながら、振動面側の開口端１３６の開口面積を振動面（外面１２３）よりも小さい面積としても良い。この場合も、外面１２３と開口端１３６との間には、振動板としての底面部１２１の振動を抑制せず、且つ、超音波が漏れない程度の僅かな隙間が設けた構成とすれば良い。
【００４７】
また、本実施形態においては、基材１３１（管部１３２の開口端１３６）が振動面である外面１２３に接触されない例を示した。しかしながら、基材１３１（管部１３２の開口端１３６）が外面１２３の一部と接触され、外面１２３のうち、基材１３１によって振動が拘束された部位以外を振動面とするように構成しても良い。
【００４８】
また、本実施形態においては、管部１３２の断面形状を円形状とする例を示したが、管部１３２の断面形状は上記例に限定されるものではない。例えば矩形状や矩形以外の多角形状としても良い。しかしながら、円に近づくほど超音波の干渉を低減することができるので、好ましくは本実施形態に示すように円断面とすると良い。
【００４９】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態を、図３に基づいて説明する。図３は、第２実施形態に係る超音波センサ１００の概略構成を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。なお、図３（ａ），（ｂ）は、それぞれ図１（ａ），（ｂ）に対応している。
【００５０】
第２実施形態に係る超音波センサ１００及び当該超音波センサ１００を含む障害物検出装置は、第１実施形態に示した超音波センサ１００及び当該超音波センサ１００を含む障害物検出装置と共通するところが多いので、以下、共通部分については詳しい説明は省略し、異なる部分を重点的に説明する。なお、第１実施形態に示した要素と同一の要素には、同一の符号を付与するものとする。
【００５１】
第１実施形態においては、導波管１３０の各管部１３２内に、車両外部と同一の媒体（空気）が配置される例を示した。これに対し、本実施形態においては、図３（ａ），（ｂ）に示すように、管部１３２内が、車両外部の媒体（空気）と筐体１２０の底面部１２１（一例としてアルミニウム）との間の音響インピーダンスを有する音響整合部材１４０によって満たされている点を特徴とする。なお、音響インピーダンス（ｋｇ／ｍ２ｓ）は、媒体固有の値で、ρｃ（ρ：密度、ｃ：音速）によって決定される。空気の音響インピーダンスは４．１×１０２（１５℃）あり、アルミニウムの音響インピーダンスは１．４×１０７である。
【００５２】
超音波は、音響インピーダンスの異なる部材間において、その音響インピーダンスの差が大きいほど、反射量が増加する特性を有している。音響整合部材１４０は、上述したように、その音響インピーダンスが、車両外部の雰囲気と筐体１２０の底面部１２１の音響インピーダンスとの間の値となっている。したがって、本実施形態に係る超音波センサ１００及び当該超音波センサ１００を含む障害物検出装置によれば、車両外部と音響整合部材１４０の間、さらには音響整合部材１４０と筐体１２０の底面部１２１との間における超音波反射量を低減することができ、ひいては車両外部と筐体１２０の底面部１２１（圧電振動子１１０）との間の超音波の伝達量を、音響整合部材１４０が配置されない構成よりも増加することができる。
【００５３】
また、図１（ａ），（ｂ）に示すように、音響整合部材１４０が、開口部１３３を閉塞するように、それぞれの管部１３２内に隙間なく配置されている。したがって、飛び石、水、洗車時のワックスといった異物の管部１３２内への侵入を防ぐことができる。すなわち、当該異物による検出精度低下を防ぐことができる。また、筐体１２０の振動面（外面１２３）への異物（特に飛び石）の衝突を確実に防ぐことができるので、筐体１２０の底面部１２１や圧電振動子１１０の破損を防止する（超音波センサ１００として耐衝撃性を向上する）ことができる。なお、本実施形態においては、音響整合部材１４０のうち、バンパ１０の貫通孔１３を介して外部に露出される部分が、開口端１３３の開口面と面一となっている。したがって、見栄え上も好ましい構成となっている。
【００５４】
なお、音響整合部材１４０としては、上述の条件を満たすものであれば採用が可能であるが、好ましくは、車両外部の媒体（空気）と筐体１２０の底面部１２１を構成する材料（アルミニウム）のうち、車両外部の媒体に近い値を有するものを採用すると良い。このような音響整合部材１４０としては、例えばポーラス状（多孔状）に構成されたものや多数のビーズ（空気を含む）を内包させたもののように、密度を小さくしたものを採用することができる。このような音響整合部材１４０を採用すると、筐体１２０の底面部１２１を構成する材料に近い値のものを採用する場合に比べて、車両外部の媒体（空気）と音響整合部材１４０との間における超音波反射量を低減することができる。また、圧電振動子１１０の振動及び／又は反射波を受けて、振動面としての外面１２３を振動させすくすることができる。
【００５５】
（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態を、図４に基づいて説明する。図４は、第３実施形態に係る超音波センサ１００の概略構成を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＣ−Ｃ線に沿う断面図である。なお、図４（ａ），（ｂ）は、それぞれ図１（ａ），（ｂ）に対応している。
【００５６】
第３実施形態に係る超音波センサ１００は、第１実施形態に示した超音波センサ１００と共通するところが多いので、以下、共通部分については詳しい説明は省略し、異なる部分を重点的に説明する。なお、第１実施形態に示した要素と同一の要素には、同一の符号を付与するものとする。
【００５７】
第１実施形態においては、１つの基材１３１に対して複数の管部１３２が設けられ、１つの導波管１３０として一体化された例を示した。これに対し、本実施形態においては、図４（ａ），（ｂ）に示すように、圧電振動子１１０に対応して管部１３２が複数に分離され、１つの導波管１３０（基材１３１）に１つの管部１３２を備える構成とした点を特徴とする。より具体的には、第１実施形態に示した基材１３１が、路面に対して水平方向に沿う方向及び垂直方向に沿う方向で分割された構成となっており、１つの管部１３２を備える４つの導波管１３０（基材１３１）を有している。そして、各分割面間に基材１３１とは音響インピーダンスの異なる不要振動低減部材１５０が配置された状態で、同一のケース１５１内に収容されて保持されている。不要振動低減部材１５０は、導波管１３０（基材１３１）間で伝達される不要振動を低減するためのものであり、上述した振動吸収部材１２４同様、例えばシリコン製ゴムやポリウレタン等によって構成されている。なお、ケース１５１に各導波管１３０が保持された状態で、上述以外の構成は、第１実施形態に示した超音波センサ１００と同じとされている。
【００５８】
このように本実施形態に係る超音波センサ１００及び当該超音波センサ１００を含む障害物検出装置によれば、基材１３１が１つの管部１３２ごとに分割されているので、第１実施形態に示した構成に比べて、導波管１３０（管部１３２）の間で伝達される不要振動を低減することができる。さらに、本実施形態においては、基材１３１の各分割面間に不要振動低減部材１５０を配置しているので、不要振動をより効果的に低減することができる。
【００５９】
なお、本実施形態に示した構成は、第１実施形態に示した構成のみならず、第２実施形態に示した構成と組み合わせることもできる。
【００６０】
（第４実施形態）
次に、本発明の第４実施形態を、図５に基づいて説明する。図５は、第４実施形態に係る超音波センサ１００の概略構成を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＤ−Ｄ線に沿う断面図である。なお、図５（ａ），（ｂ）は、それぞれ図１（ａ），（ｂ）に対応している。
【００６１】
第４実施形態に係る超音波センサ１００及び当該超音波センサ１００を含む障害物検出装置は、第１実施形態に示した超音波センサ１００及び当該超音波センサ１００を含む障害物検出装置と共通するところが多いので、以下、共通部分については詳しい説明は省略し、異なる部分を重点的に説明する。なお、第１実施形態に示した要素と同一の要素には、同一の符号を付与するものとする。
【００６２】
第１実施形態においては、バンパ１０側の開口端１３３の開口面積が、振動面である外面１２３の面積よりも小さく、且つ、振動面側の開口端１３６の開口面積よりも小さい例を示した。すなわち、管部１３２において、開口端１３３から開口端１３６（振動面）に向けて管径（断面積）が大きくなる例を示した。このような構成においては、反射波（受信波）の進行方向に対して、管部１３２の管径（断面積）が大きくなっているので、反射波に対しては管部１３２内での干渉を低減することができる。しかしながら、送信波の進行方向に対しては、管部１３２の管径（断面積）が小さくなるので、送信用としては管部１３２内での干渉が懸念される。
【００６３】
これに対し、本実施形態においては、例えば図５（ａ），（ｂ）に示すように、断面円形状の管部１３２を採用しており、バンパ１０側の開口端１３３の開口面積を、振動面である外面１２３の面積よりも小さく、且つ、振動面側の開口端１３６の開口面積よりも大きくしている。換言すれば、開口端１３３から開口端１３６（振動面）に向けて管径（断面積）を小さくしている。なお、車両の外部から見て、開口端１３６が外面１２３と重なるように配置されており、外面１２３と開口端１３６との間には、振動板としての底面部１２１の振動を抑制せず、且つ、超音波が漏れない程度の僅かな隙間が設けられている。また、図５（ａ）においては、第１実施形態で示した外面１２３の図示を省略し、開口端１３６を図示している。
【００６４】
このように、本実施形態に係る超音波センサ１００及び当該超音波センサ１００を含む障害物検出装置によれば、特に送信波を、外面１２３から開口端１３３まで効率よく伝達させることができる。
【００６５】
なお、本実施形態においては、第１実施形態同様、全ての圧電振動子１１０を送受信兼用としている。したがって、反射波の進行方向に対しては、管部１３２の管径（断面積）が小さくなるので、受信用としては管部１３２内での干渉が懸念される。そこで、例えば図６に示すように、圧電振動子１１０を送信専用の圧電振動子１１０ａと受信専用の圧電振動子１１０ｂに分け、管部１３２も、本実施形態に示したように送信に適した管部１３２ａ（開口端１３３ａ，１３６ａ）と、第１実施形態に示したように受信に適した管部１３２ｂ（開口部１３３ｂ，１３６ｂ）とに分けた構成とすると良い。このような構成とすると、送受信ともに超音波の伝達効率を向上することができる。図６は、変形例を示す断面図である。
【００６６】
また、本実施形態においては、管部１３２の断面形状を円形状とする例を示したが、管部１３２の断面形状は上記例に限定されるものではない。例えば矩形状や矩形以外の多角形状としても良い。しかしながら、円に近づくほど超音波の干渉を低減することができるので、好ましくは本実施形態に示すように円断面とすると良い。
【００６７】
なお、本実施形態に示した構成（変形例を含む）は、第１実施形態に示した構成のみならず、第２実施形態や第３実施形態に示した構成と組み合わせることもできる。
【００６８】
（第５実施形態）
次に、本発明の第５実施形態を、図７に基づいて説明する。図７は、第５実施形態に係る超音波センサ１００の概略構成を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＥ−Ｅ線に沿う断面図である。なお、図７（ａ），（ｂ）は、それぞれ図１（ａ），（ｂ）に対応している。
【００６９】
第５実施形態に係る超音波センサ１００及び当該超音波センサ１００を含む障害物検出装置は、第１実施形態及び第４実施形態に示した超音波センサ１００及び当該超音波センサ１００を含む障害物検出装置と共通するところが多いので、以下、共通部分については詳しい説明は省略し、異なる部分を重点的に説明する。なお、第１実施形態に示した要素と同一の要素には、同一の符号を付与するものとする。
【００７０】
第１実施形態においては、管部１３２の管径（断面積）を、開口端１３３から開口端１３６（振動面）に向けて大きくする例を示した。また、第４実施形態においては、管部１３２の管径（断面積）を、開口端１３３から開口端１３６（振動面）に向けて小さくする例を示した。これに対し、本実施形態においては、例えば図７（ａ），（ｂ）に示すように、断面円形状の管部１３２内において、管径を一定としている。換言すれば、同一の管部１３２において、バンパ１０側の開口端１３３と振動面側の開口端１３６との間で、断面形状及び断面積をそれぞれ一定としている。なお、本実施形態においても、車両の外部から見て、開口端１３６が外面１２３と重なるように配置されており、外面１２３と開口端１３６との間には、振動板としての底面部１２１の振動を抑制せず、且つ、超音波が漏れない程度の僅かな隙間が設けられている。また、図７（ａ）においては、第１実施形態で示した外面１２３の図示を省略し、開口端１３６を図示している。
【００７１】
このように、本実施形態に係る超音波センサ１００及び当該超音波センサ１００を含む障害物検出装置によれば、断面形状及び管径（断面積）が一定であるので、管部１３２内における送信波又は反射波の干渉を低減することができる。すなわち、送信波又は反射波を、外面１２３と開口端１３３との間で効率よく伝達させることができる。
【００７２】
なお、本実施形態においては、第１実施形態同様、全ての圧電振動子１１０を送受信兼用とし、全ての管部１３２において、断面形状及び管径（断面積）をそれぞれ一定としている。しかしながら、複数の管部１３２として、本実施形態に示した管部１３２とともに、第１実施形態に示した管部１３２及び第４実施形態に示した管部１３２の少なくとも一方を有する構成としても良い。
【００７３】
また、本実施形態においては、管部１３２の断面形状を円形状とする例を示したが、管部１３２の断面形状は上記例に限定されるものではない。例えば矩形状や矩形以外の多角形状としても良い。いずれの断面形状においても、バンパ１０側の開口端１３３と振動面側の開口端１３６との間で断面積を一定とすれば良い。しかしながら、円に近づくほど送信波又は反射波の干渉を低減することができるので、好ましくは本実施形態に示すように円断面とすると良い。
【００７４】
また、本実施形態に示した構成を、第２実施形態に示した構成や第３実施形態に示した構成と組み合わせることもできる。
【００７５】
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は上述した実施形態になんら制限されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々変形して実施することが可能である。
【００７６】
本実施形態においては、移動体としての車両のバンパ１０に、超音波センサ１００が取り付けられる例を示した。しかしながら、移動体は車両に限定されるものではなく、被取り付け部もバンパ１０に限定されるものではない。車両であっても、例えばボディに取り付けることができる。
【００７７】
本実施形態においては、複数の管部１３２において、バンパ１０の外面１２側に露出する開口端１３３の開口形状が円形である例を示した。しかしながら、それぞれの開口端１３３の開口形状を、例えば図８に示すように、開口面の直交する２軸方向（図８においては、図１同様、路面に対して水平方向と垂直方向）において、長さが異なる形状としても良い。これによれば、２軸方向において、指向性を異なるものとする（偏指向性を持たせる）ことができる。なお、図８に示す構成によれば、開口幅が水平方向に狭く、垂直方向に広いので、水平方向に広く、垂直方向に狭い指向性とすることができる。図８は、変形例を示す平面図であり、図１（ａ）に対応している。
【００７８】
本実施形態においては、複数の管部１３２において、バンパ１０の外面１２側に露出する開口端１３３の開口形状及び大きさが全て等しく設定される例を示した。しかしながら、例えば図９に示すように、開口形状が複数（少なくとも１つの開口端１３３が他の開口端１３３とは異なる）に設定されても良い。超音波センサ１００の指向性は、開口端１３３の形状及び大きさによって決定されるので、開口形状に応じて指向性を切り替えることができる。なお、図９に示す構成においては、４つの開口端１３３のうち、２つを開口幅が水平方向に狭く、垂直方向に広いものとし、残りの２つを、水平方向に広く、垂直方向に狭いものとしている。図９は、変形例を示す平面図であり、図１（ａ）に対応している。
【００７９】
本実施形態においては、路面に対する垂直方向及び水平方向のそれぞれにおいて、障害物の方位を広範囲で検出すべく、受信機能を備えた圧電振動子１１０を４つ有し、対応する開口端１３３が、バンパ１０の外面１２側に露出する基材１３１に対して各方向に２個ずつ並設された例を示した。しかしながら、圧電振動子１１０の個数及び開口端１３３の配置は上記例に限定されるものではない。少なくとも２つの受信機能を有する圧電振動子１１０を含み、障害物検出装置がこれらの受信信号の位相差に基づいて障害物の方位を算出すべく、開口端１３３が並設されていれば良い。例えば、図１０（ａ）に示すように、受信機能を有する２つの圧電振動子１１０に対応して、２つの開口端１３３が路面に対して水平方向に並設された構成としても良い。また、図１０（ｂ）に示すように、図１０（ａ）に対して、受信機能を有する３つの圧電振動子１１０に対応して、三角配置された構成としても良い。図１０（ａ）に示す構成の場合、路面に対する水平方向において、広範囲で障害物の方位を検出することができる。また、図１０（ｂ）に示す構成の場合、第１実施形態に示す構成同様、路面に対する水平方向及び垂直方向において、それぞれ広範囲で障害物の方位を検出することができる。また、第１実施形態に示す構成よりも圧電振動子１１０と対応する管部１３２の個数が少ないので、構成を簡素化し、コストを低減することができる。図１０は、（ａ），（ｂ）ともに変形例を示す平面図であり、図１（ａ）に対応している。
【００８０】
本実施形態においては、４つの管部１３２のうち、バンパ１０側の開口端１３３の開口下部位置が、振動面側の開口端１３６の下部位置よりも、重力方向において上方に位置する２つの管部１３２を含む例を示した。すなわち、管部１３２が開口端１３３から開口端１３６（外面１２３）に向けて、下方に傾斜する例を示した。このような構成の管部１３２においては、管部１３２内に第２実施形態に示した音響整合部材１４０が満たされていないと、石、水、泥など異物が侵入する恐れがある。すなわち、異物によって検出精度が低下する恐れがある。したがって、複数の管部１３２として、例えば図１１に示すように、バンパ１０側の開口端１３３の開口下部位置が、振動面側の開口端１３６の下部位置よりも、重力方向において下方に位置する管部１３２のみを含むようにすると良い。すなわち、開口端１３３から開口端１３６（外面１２３）に向けて、上方に傾斜するように、管部１３２を構成すると良い。このような構成とすると、下方に傾斜する構成に比べて、管部１３２内への異物の浸入を抑制することができる。なお、図１１に示す構成は、図１０（ａ）に示したように、２つの開口端１３３が路面に対して水平方向に並設された構成においてそれぞれの管部１３２に適用されている。図１１は、変形例を示す断面図である。
【００８１】
本実施形態においては、基材１３１に、管部１３２に連通する固定用溝１３４が設けられ、固定用溝１３４に圧電振動子１１０を含む筐体１２０を固定した状態で、振動面である外面１２３の少なくとも一部が、管部１３２の開口端１３６から露出され、管部１３２を介して超音波を送信乃至受信可能に構成される例を示した。しかしながら、例えば図１２に示すように、圧電振動子１１０を含む筐体１２０が固定される保持部材１６０を基材１３１とは別に設け、接着テープ１７０を介して基材１３１に保持部材１６０を固定した状態で、保持部材１６０から露出される外面１２３の少なくとも一部が、管部１３２の開口端１３６から露出される構成としても良い。図１２に示す構成においては、接着テープ１７０にスペーサとしての機能を持たせることにより、外面１２３と開口端１３６との間に、振動板としての底面部１２１の振動を抑制せず、且つ、超音波が漏れない程度の僅かな隙間を確保するようにしている。図１２は、変形例を示す断面図である。図１２においては、接着テープ１７０によって、基材１３１に保持部材１６０を固定する例を示したが、固定方法は上記例に限定されるものではない。
【００８２】
本実施形態においては、隣接する開口端１３３の間隔ｄが路面に対して水平方向ｄｘと路面に対して垂直方向ｄｙとで等しい例を示した。しかしながら、開口端１３３の間隔ｄは対応する振動面（外面１２３）間の距離Ｄ（Ｄｘ，Ｄｙ）よりも狭ければ良い。したがって、水平方向ｄｘと垂直方向ｄｙとで異なる間隔に設定されても良い。また、図１（ａ）におて、対角方向で隣接する（対角位置に在る）２つの開口端１３３間の間隔を間隔ｄとしても良い。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】第１実施形態に係る超音波センサの概略構成を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図２】図１（ｂ）における筐体周囲の拡大断面図である。
【図３】第２実施形態に係る超音波センサの概略構成を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図４】第３実施形態に係る超音波センサの概略構成を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＣ−Ｃ線に沿う断面図である。
【図５】第４実施形態に係る超音波センサの概略構成を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＤ−Ｄ線に沿う断面図である。
【図６】変形例を示す断面図である。
【図７】第５実施形態に係る超音波センサの概略構成を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＥ−Ｅ線に沿う断面図である。
【図８】変形例を示す平面図である。
【図９】変形例を示す平面図である。
【図１０】（ａ），（ｂ）ともに変形例を示す平面図である。
【図１１】変形例を示す断面図である。
【図１２】変形例を示す断面図である。
【符号の説明】
【００８４】
１０・・・バンパ（被取り付け部）
１００・・・超音波センサ
１１０・・・圧電振動子
１２０・・・筐体
１２１・・・底面部
１２３・・・外面（振動面）
１３１・・・基材
１３２・・・管部（導波管）
１３３，１３６・・・開口端
【図１】
2008089569.tif 000003
【図２】
2008089569.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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