(57)【要約】【課題】基板上に、仕切り部材と仕切り部材により囲まれる凹部が形成され、凹部にインクジェット法によりインクを付与し乾燥して着色インキ層を形成するカラーフィルタの製造方法において、カラーフィルタの品種を変更してもインク物性等の製造条件の変更をすることなく画素の平滑性を確保する。【解決手段】予め所定の製造条件で着色インキ層を形成し、乾燥後のインクの形状の平坦性を確保する所定の凹部の体積Ｖｏを求めておき、製造するカラーフィルタの開口部の面積Ｓに対し、仕切り部材の高さｔを凹部の体積が所定の体積Ｖｏとなるように仕切り部材を形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に、仕切り部材と仕切り部材により囲まれる凹部が形成され、凹部にインクジェット法によりインクを付与し乾燥して着色インキ層を形成するカラーフィルタの製造方法において、
予め所定の製造条件で着色インキ層を形成し、乾燥後のインクの形状の平坦性を確保する所定の凹部の体積Ｖｏを求めておき、製造するカラーフィルタの開口部の面積Ｓに対し、仕切り部材の高さｔを凹部の体積が所定の体積Ｖｏとなるように仕切り部材を形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項２】
基板上に、仕切り部材と仕切り部材により囲まれる凹部が形成され、凹部にインクジェット法によりインクを付与し乾燥して着色インキ層を形成するカラーフィルタの製造方法において、
予め、
（ａ）所定の製造条件で仕切り部材により形成される凹部の体積を変えて複数のカラーフィルタを形成し、それぞれの着色インキ層の仕切り部材内における平坦性を検出する工程と、
（ｂ）検出した平坦性のムラが所定の値の場合に、仕切り部材に囲まれた凹部の体積Ｖｏを測定する工程と、
により所定の凹部の体積Ｖｏを求めておき、
（ｃ）製造するカラーフィルタの開口部の面積Ｓに対し、仕切り部材の高さｔを凹部の体積が所定の体積Ｖｏの０．８〜１．２倍となるように仕切り部材を形成する工程と、
（ｄ）凹部内にインキジェット法によりインキを付与して着色インキ層を形成する工程とを含むことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項３】
着色インキ層の仕切り部材内における平坦性の検出が、着色インキ層内の色度の差を検出することにより行われることを特徴とする請求項２に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項４】
製造するカラーフィルタの開口部の面積Ｓに対し、仕切り部材の高さｔを凹部の体積が所定の体積Ｖｏの０．８〜１．２倍となるように仕切り部材を形成する工程が、製造するカラーフィルタの開口部の面積Ｓに対し、仕切り部材の高さｔを凹部の体積が所定の体積Ｖｏの０．９〜１．１倍となるように仕切り部材を形成する工程であることを特徴とする請求項２または３に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項５】
仕切り部材が樹脂材料からなるブラックマトリクスであることを特徴とする請求項１〜４いずれか１項に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項６】
ブラックマトリクスの上面が、インクジェット法により凹部内に付与されるインキに対して撥インク性を有することを特徴とする請求項６に記載のカラーフィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット方式を利用して基板の凹部に向けて液体を付与することにより、電解放射型表示装置、蛍光表示装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）及び液晶表示装置などの表示装置用のカラーフィルタやＥＬ表示素子等を含む表示装置用パネルを製造する方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット方式は近年、主としてコストダウンを目的として、一般的な印刷用途に留まらず、カラーフィルタを代表とする各種産業に応用されている。以下、本発明の代表的な用途であるインクジェット法によるカラーフィルタの製造に関して説明する。
【０００３】
カラー液晶ディスプレイ等のカラー表示装置に使用されるカラーフィルタは、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の三色をカラーフィルタ構成色とし、これらの三色とブラックマトリクスの黒との着色層を透明基板（例えばガラス基板）上に設けることで構成されている。そして、このカラーフィルタを形成するに際して、着色層をフォトリソグラフィを用いた染色法や顔料分散法、印刷法によって形成することが提案されている。
【０００４】
しかしながら、これらの製造方法は、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色を着色するために同一工程を３回繰り返す必要がある。したがって工程数が多くなり、歩留まりの低下、コスト高等の問題点がある。
【０００５】
そこで近年では、主としてコストダウンを目的として、インクジェット方式を利用したカラーフィルタの製造方法等が検討されている。
【０００６】
インクジェット方式を用いたカラーフィルタの製造方法としては、主に仕切り部材を設けて該開口部に着色インクを付与する方法と、インク受容層を設けて該インク受容層を着色インクにより着色する方法とに大別される。前者の隔壁を設ける方法としては例えば、特許文献１から特許文献３に記載されている方法が挙げられる。
【０００７】
特許文献１には、ガラス基板上の所望する着色領域外への着色インクの広がりを防止するため、予めブラックマトリクスに撥インク成分としてフッ素系撥水・撥油剤を含有させてパターン形成することによって、着色領域内のみに着色インクを定着させることが記載されている。
【０００８】
また、特許文献２、特許文献３には、撥インク成分として含フッ素化合物及び／または含ケイ素化合物を含有するブラックマトリクスを、着色層の形成工程におけるインクにじみ、混色を防止するための仕切り壁とすることが記載されている。
【特許文献１】特開平６−３４７６３７号公報
【特許文献２】特開平７−３５９１５号公報
【特許文献３】特開平７−３５９１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上述したインクジェット方式を用いたカラーフィルタの製造方法では、着色領域外へのインクの広がりを押さえることができるものの、ある一定の開口部の面積Ｓ、仕切り部材の高さｔの条件で、乾燥後のインクの形状が平坦になるようにインク物性等の条件を調節しても、カラーフィルタの品種変更に伴って開口部の面積Ｓが変わる度に、インク物性や
仕切り部材上面の撥インク性の条件等をそれに合わせて調節しなおさなければならないという不具合があった。本発明は、上記事情に鑑み、カラーフィルタの品種を変更してもインク物性等の製造条件の変更をすることなく画素の平滑性を確保することを課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者らは、上記課題に対して鋭意研究を重ねた結果、開口部の面積Ｓが異なっても、Ｖ＝Ｓｔで表される凹部の体積Ｖを一定に保つように、仕切り部材の高さｔを調節することのみで、インク物性等を変更することなく、画素の平滑性を確保することができることを見出したものである。
【００１１】
図１及び図２は、本発明者らが上記の関係を見出すに至った実験結果を模式図化したものである。図１（ａ）に示すように、開口部面積Ｓ＝３０，０００μｍ2、仕切り部材の高さｔ＝１．５μｍの開口部に仕上がり膜厚が０．７５μｍになるようにインクを付与する場合において、インク物性、仕切り部材の上面の撥インク性、乾燥条件等を最適化し、形成画素が平坦になる条件を設定した。このときの開口部の体積Ｖｏは、４５，０００μｍ3である。次いで、図１（ｂ）に示すように、開口部が狭い開口部面積Ｓ＝１５，０００μｍ2、仕切り部材の高さｔ＝１．５μｍの開口部に仕上がり膜厚が０．７５μｍになるように上記と同じ物性のインクを付与したところ、形成された画素は平坦性が低下し凸型の形状を示した。そこで、従来では開口部面積が変わる度に該開口部面積に合わせて、形成画素が平坦になるようにインク物性や仕切り部材上面の撥インク性、乾燥条件等を実験により最適化する必要があった。ここで、開口部面積Ｓ＝１５，０００μｍ2は固定し、仕切り部材の高さｔを１．０μｍとした開口部に上記インクを付与したところ、形成された画素は平坦性がさらに低下し、凸型の形状が著しくなった（図１（ｃ））。一方、開口部面積Ｓ＝１５，０００μｍ2は固定し、仕切り部材の高さｔを３．０μｍとした開口部に上記インクを付与したところ、図１（ａ）に示したものと同様に平坦性が高い画素が得られた（図１（ｄ））。すなわち、体積がＶｏの値のときに平坦性が高い画素が得られた。
【００１２】
また、図２（ａ）に示すように、開口部面積Ｓ＝２０，０００μｍ2、仕切り部材の高さｔ＝２．０μｍの開口部に仕上がり膜厚が１．０μｍになるようにインクを付与する場合において、インク物性、仕切り部材の上面の撥インク性、乾燥条件等を最適化し、形成画素が平坦になる条件を設定した。このときの開口部の体積Ｖｏは、４０，０００μｍ3である。次いで、図２（ｂ）に示すように、開口部が広い開口部面積Ｓ＝２５，０００μｍ2、仕切り部材の高さｔ＝２．０μｍの開口部に仕上がり膜厚が１．０μｍになるように上記と同じ物性のインクを付与したところ、形成された画素は平坦性が低下し凹型の形状を示した。ここで、開口部面積Ｓ＝２５，０００μｍ2は固定し、仕切り部材の高さｔを３．０μｍとした開口部に上記インクを付与したところ、、形成された画素は平坦性がさらに低下し、凹型の形状が著しくなった（図２（ｃ））。一方、開口部面積Ｓ＝２５，０００μｍ2は固定し、仕切り部材の高さｔを１．６μｍとした開口部に上記インクを付与したところ、図２（ａ）に示したものと同様に平坦性が高い画素が得られた（図２（ｄ））。以上に示した実験結果より、本発明者らは形成された画素の平坦性と、Ｓｔで表される開口部体積Ｖとの関係に着目し（表１）、Ｓが様々な値を取る場合において常に体積Ｖが一定となるようにｔを調節することで、形成された画素の平坦性を確保することが可能であることを見出したものである。
【００１３】
表１は開口部面積、仕切り部材膜厚及び開口部面積が異なる条件での画素の平坦性を示したものである。条件２から条件５については、条件１の場合において形成画素が平坦になるよう最適化したインク物性、仕切り部材の上面の撥インク性、乾燥条件等の条件で実験をおこなっている。また条件７から条件１０については、条件６の場合において形成画
素が平坦になるよう最適化したインク物性、仕切り部材の上面の撥インク性、乾燥条件等の条件で実験をおこなっている。表１から、基準となる条件（条件１あるいは条件６）の体積に対して０．８から１．２倍であれば平坦性が保てることが解る。好ましくは、０．９から１．１倍である。
【００１４】
【表１】
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すなわち、本発明の請求項１に係る発明は、基板上に、仕切り部材と仕切り部材により囲まれる凹部が形成され、凹部にインクジェット法によりインクを付与し乾燥して着色インキ層を形成するカラーフィルタの製造方法において、予め所定の製造条件で着色インキ層を形成し、乾燥後のインクの形状の平坦性を確保する所定の凹部の体積Ｖｏを求めておき、製造するカラーフィルタの開口部の面積Ｓに対し、仕切り部材の高さｔを凹部の体積が所定の体積Ｖｏとなるように仕切り部材を形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。
【００１５】
本発明の請求項２に係る発明は、基板上に、仕切り部材と仕切り部材により囲まれる凹部が形成され、凹部にインクジェット法によりインクを付与し乾燥して着色インキ層を形成するカラーフィルタの製造方法において、
予め、
（ａ）所定の製造条件で仕切り部材により形成される凹部の体積を変えて複数のカラーフィルタを形成し、それぞれの着色インキ層の仕切り部材内における平坦性を検出する工程と、
（ｂ）検出した平坦性のムラが所定の値の場合に、仕切り部材に囲まれた凹部の体積Ｖｏを測定する工程と、
により所定の凹部の体積Ｖｏを求めておき、
（ｃ）製造するカラーフィルタの開口部の面積Ｓに対し、仕切り部材の高さｔを凹部の体積が所定の体積Ｖｏの０．８〜１．２倍となるように仕切り部材を形成する工程と、
（ｄ）凹部内にインキジェット法によりインキを付与して着色インキ層を形成する工程とを含むことを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。
【００１６】
本発明の請求項３に係る発明は、着色インキ層の仕切り部材内における平坦性の検出が、着色インキ層内の色度の差を検出することにより行われることを特徴とする請求項２に記載のカラーフィルタの製造方法である。
【００１７】
本発明の請求項４に係る発明は、製造するカラーフィルタの開口部の面積Ｓに対し、仕切り部材の高さｔを凹部の体積が所定の体積Ｖｏの０．８〜１．２倍となるように仕切り部材を形成する工程が、製造するカラーフィルタの開口部の面積Ｓに対し、仕切り部材の高さｔを凹部の体積が所定の体積Ｖｏの０．９〜１．１倍となるように仕切り部材を形成する工程であることを特徴とする請求項２または３に記載のカラーフィルタの製造方法である。
【００１８】
本発明の請求項５に係る発明は、仕切り部材が樹脂材料からなるブラックマトリクスであることを特徴とする請求項１〜４いずれか１項に記載のカラーフィルタの製造方法である。
【００１９】
本発明の請求項６に係る発明は、ブラックマトリクスの上面が、インクジェット法により凹部内に付与されるインキに対して撥インク性を有することを特徴とする請求項６に記載のカラーフィルタの製造方法である。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、仕切り部材により囲まれた開口部の面積をＳ、仕切り部材の高さをｔ
、仕切り部材により囲まれた凹部の体積ＶをＶ＝Ｓｔとする時、常に体積Ｖが一定ＶｏとなるようにＳ及びｔを調節した仕切り部材を用いることで、インク物性等の製造条件の変更をすることなく、常に同じ条件で乾燥後のインクの形状の平滑性を確保することが可能である。すなわち、開口部の面積Ｓが０．８倍となった場合は、体積Ｖを一定Ｖｏに保つ為に、仕切り部材の高さｔを１．２５倍とすることで、インク物性等の製造条件が同条件で、形成画素の平滑性を保つことができる。また、開口部の面積Ｓが１．２５倍となった場合は、体積Ｖを一定に保つ為に、仕切り部材の高さｔを０．８倍とすることで、インク物性等の製造条件が同条件で、形成画素の平滑性を保つことができる。
【００２１】
したがって本願発明は、カラーフィルタの品種を変更してもインク物性等の製造条件の変更をすることなく画素の平滑性を確保できるカラーフィルタの製造方法である。
【００２２】
また、着色インキ層の仕切り部材内における平坦性の検出は、着色インキ層内の中心部と端部の色度の差を検出することにより行うことができる。色度差が１以内であれば画素の膜厚差は０．１μｍ以内、色度差が３以内であれば画素の膜厚差は０．３μｍ以内である。このことから画素の平坦性の検出が可能である。画素の平坦性の検出を色度差で行うことにより、膜厚差を測定することなく簡便的に平坦性の検出を行うことができる。
【００２３】
一方、開口部の面積Ｓが小さくなった場合に、仕切り部材の高さｔを変更しないと、体積Ｖは小さくなり、インク物性等の製造条件が同条件であると、形成画素は平滑性を得ることが出来ず凸型になってしまい、画素内での色ムラを生じてしまう。このような場合には、インク物性をはじめ、仕切り部材の材料及び上面の撥インク性の製造条件を、平滑性が得られるようにカスタマイズすることが必要になってしまい、頻雑である。また、開口部の面積Ｓが大きくなった場合に、仕切り部材の高さｔを変更しないと、体積Ｖは大きくなり、インク物性等が同条件であると、形成画素は平滑性を得ることが出来ず凹型になってしまい、画素内での色ムラを生じてしまう。このような場合も、インク物性等のカスタマイズが必要である。
【００２４】
また、本発明によれば、樹脂材料からなるブラックマトリクスを仕切り部材とすることで、新たに仕切り部材を形成する必要が無く工程減、コストダウンに有利である。
【００２５】
また、本発明によれば、ブラックマトリクス上面が撥インク性を有することで、着色領域外へのインクの流出を防止することが可能である。
【００２６】
また、本発明によれば、ブラックマトリクスに撥インク性を持たせる手段として、ブラックマトリクスを構成する樹脂材料に撥インク成分を混入することで、ブラックマトリクス層の上に新たに撥インク層を設ける工程、あるいはプラズマ処理工程等の撥インク化処理が不要になり、工程減、コストダウンに有利である。
【００２７】
また、本発明によれば、前記撥インク成分をフッ素あるいはケイ素を含む成分とすることで、付与された液体の流出を防止する上で十分な撥インク性を得ることができるものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明の好適な実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。図３は、本発明によるカラーフィルタの製造方法の一実施例を説明する工程図である。図３（ａ）は透明基板１上にブラックマトリクス２が形成された状態を示したものである。まず、透明基板１上に仕切り部材としてのブラックマトリクス２を選択的に形成する。これにより、ブラックマトリクス２の開口部に後述の着色インクを付与する凹部が形成される。
【００２９】
ここで透明基板１としては一般にガラス基板が用いられるが、液晶表示装置等、最終的な用途に必要な特性、例えば透明性、機械的強度を満足し、後工程に耐えるものであればガラス基板に限定されるものではなく、例えばＰＥＴ、ＰＥＳ、ＰＥＮ等のプラスチック基板なども用いることができる。
【００３０】
ここで、本発明におけるブラックマトリクス２はインクの流出を防止する仕切り材としても利用することから、その高さは１μｍ以上を満たすように設計されるのが望ましい。また、ブラックマトリクス２は仕切り部材として、ある一定以上の高さを有している必要がある為、樹脂（光重合性モノマー、光重合開始剤を含む）、黒色遮光材、分散剤、溶媒等を主成分とする黒色の感光性樹脂組成物を用い、フォトリソグラフィ法によりパターニングして形成することが望ましい。しかしながら、ブラックマトリクス２の形成方法としては、フォトリソグラフィ法に限定されるものではなく、例えば印刷法、転写法等によっても形成することが可能である。
【００３１】
ブラックマトリクス２の黒色遮光材としては、黒色顔料、黒色染料、無機材料などであり、有機顔料、カーボンブラック、アニリンブラック、黒鉛、酸化チタン、鉄黒などを混合して用いられるものである。
【００３２】
また、ブラックマトリクス２の溶媒としては、黒色樹脂組成物の塗布性、分散安定性などの点から、適宜選択して使用されるものであり、トルエン、キシレン、エチルセロソルブ、エチルセロソルブアセテート、ジクライム、シクロヘキサノンなどが挙げられる。
【００３３】
また、仕切り部材となるブラックマトリクス２には、着色領域外にインクが流出するのを防ぐ為に、撥インク成分を添加して撥インク性を付与することが望ましい。添加する撥インク成分としては、フッ素または／およびケイ素を含む材料が望ましい。具体的な例としては、フッ化ビニリデン、フッ化ビニル、三フッ化エチレン等や、これらの共重合体等のフッ素樹脂、また、主鎖または側鎖に有機シリコーンを有するもので、シロキサン成分を含むシリコーン樹脂やシリコーンゴム、などを挙げることができるが、これらに限定されるものではない。
【００３４】
次いで、図３（ｂ）に示すように着色インクをインクジェット法により開口部に付与する。インクジェット方式を用いた装置としては、エネルギー発生素子として電気熱変換体を用いたバブルジェット（登録商標）タイプ、あるいは圧電素子を用いたピエゾジェットタイプ等が使用可能である。
【００３５】
本発明における着色インクの材料としては、色素と樹脂と溶媒を主成分としたものである。色素としては染料や顔料などが用いられる。樹脂としては、カゼイン、ゼラチン、ポリビニルアルコール、カルボキシメチルアセタール、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、メラニン樹脂などが用いられ、色素との関係にて適宜選択されるものである。耐熱性や耐光性が要求される際には、アクリル樹脂が好ましい。
【００３６】
着色インクに使用する溶剤種としてはインクジェット印刷における適性を考慮し、表面張力範囲３５ｍＮ／ｍ以下で、且つ、沸点が１３０℃以上のものが好ましい。表面張力が３５ｍＮ／ｍ以上であるとインクジェット吐出時のドット形状の安定性に著しい悪影響を及ぼし、また、沸点が１３０℃以下であるとノズル近傍での乾燥性が著しく高くなり、その結果、ノズル詰まり等の不良発生を招くので好ましくない。具体的には、２−メトキシエタノール、２−エトキシエタノール、２−ブトキシエタノール、２−エトキシエチルアセテート、２−ブトキシエチルアセテート、２−メトキシエチルアセテート、２−エトキシエチルエーテル、２−（２−エトキシエトキシ）エタノール、２−（２−ブトキシエトキシ）エタノール、２−（２−エトキシエトキシ）エチルアセテート、２−（２−ブトキ
シエトキシ）エチルアセテート、２−フェノキシエタノール、ジエチレングリコールジメチルエーテルなどを挙げることができるが、これらに限定されるものではなく、上記要件を満たす溶剤なら用いることができる。また、必要に応じて２種類以上の溶剤を混合して用いても構わない。
【００３７】
また、樹脂への色素の分散を向上させる為に分散剤を用いてもよく、分散剤として非イオン性界面活性剤では、例えばポリオキシエチレンアルキルエーテルなど、またイオン性界面活性剤では、例えばアルキルベンゼンスルホン酸ナトリウム、ポリ脂肪酸塩、脂肪酸塩アルキルリン酸塩、テトラアルキルアンモニウム塩など、その他に有機顔料誘導体、ポリエステルなどが挙げられる。分散剤は単独で使用してもよく、また二種類以上を混合して使用しても良い。溶媒としては溶解性の他に経時安定性、乾燥性などが要求され、色素、樹脂との関係にて適宜選択されるものである。
【００３８】
また、本発明により形成されるカラーフィルタは画素形成後、その耐性向上を目的として、熱、光、電子線等のエネルギーによる硬化処理が可能である（図３（ｃ）、（ｄ））。
【００３９】
また、図３（ｅ）に示すように、必要に応じて、カラーフィルタ表面を溶剤等から保護する為とブラックマトリクスと画素の平坦化の為に保護層４を形成しても良い。保護層としては、熱硬化タイプ、光硬化タイプ、光・熱併用タイプ等の樹脂膜、蒸着、スパッタ等によって形成された無機膜等を用いることができ、カラーフィルタとしての透明性を有し、その後のＩＴＯ形成プロセス、配向膜形成プロセス等に耐えるものであれば使用可能である。
【実施例】
【００４０】
以下に本発明のカラーフィルタの製造方法の平坦性にかかる実施例を具体的に説明する。
【００４１】
（実施例１）
（ブラックマトリクスの形成）
無アルカリガラス（コーニング社製「＃１７３７」）上にカーボンブラックを含有したレジスト材（新日鉄化学社製ブラックマトリクス用ネガ型レジストインキ「Ｖ−２５９  ＢＫ７３９Ｐ」）に感光性シリコン化合物（例えばジメチルポリシラン）を１０％添加したものをスピンコートし、プリベークをおこなった。その後、露光、現像、ポストベーク処理をおこなってブラックマトリクスを形成した。この時、ブラックマトリクスの膜厚及び開口部の面積を表２のような組み合わせになるようにブラックマトリクスを形成した。
【００４２】
（着色インクの調製）
メタクリル酸２０部、メチルメタクリレート１０部、ブチルメタクリレート５５部、ヒドロキシエチルメタクリレート１５部を乳酸ブチル３００ｇに溶解し、窒素雰囲気下でアゾビスイソブチルニトリル０．７５部を加え７０℃にて５時間の反応によりアクリル共重合樹脂を得た。得られたアクリル共重合樹脂を樹脂濃度が１０％になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートで希釈しアクリル共重合樹脂の希釈液とした。この希釈液８０．１ｇに対し、顔料１９．０ｇ、分散剤０．９ｇを添加して、３本ロールにて混練し、赤色、緑色、青色の各着色ワニスを得た。この各着色ワニスをプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートで希釈し、Ｒ、Ｇ、Ｂ着色インクを得た。この時、条件Ａのブラックマトリクス開口部に付与したインクの乾燥後の形状が平坦になるように、インクの粘度、表面量力、且つインクに含まれる全固形分量に対する顔料の割合を適宜調整した。
【００４３】
（カラーフィルタの作製）
インクジェット印刷装置により、表２に示した条件のブラックマトリクスの開口部に上記着色インクを適量を付与し、１８０℃で３０分乾燥させ、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）各々のパターン状の画素部を形成した。
【００４４】
【表２】
2008139392.tif 000004
上記のようにして作製されたカラーフィルタを光学顕微鏡及びＳＥＭにより観察したところ、条件Ａ〜条件Ｄの全てにおいて隣接画素間での混色は観察されなかった。また、画素の断面形状を測定したところ、いずれの条件においても最大膜厚差は０．１μｍ以下であり、色差も１以下の色ムラの少ないカラーフィルタを作製することができた。したがって、開口部面積が変わっても、ブラックマトリクスの膜厚を調整し、体積を一定に保つことで、インク物性等の条件を変えることなく、形成画素の平滑性を確保することが出来た。
【００４５】
（比較例１）
実施例１と同様の操作でブラックマトリクスを形成した。ただし、ブラックマトリクスの膜厚及び開口部の面積を表３のような組み合わせになるように調整した。
【００４６】
【表３】
2008139392.tif 000005
上記のようにして作製されたブラックマトリクスを用いて、実施例１と同様に、条件Ａのブラックマトリクス開口部に付与したインクの乾燥後の形状が平坦になるようにインク物性を適宜調整したＲＧＢインクを開口部に適量付与し、１８０℃で３０分乾燥させ、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）各々のパターン状の画素部を形成した。
【００４７】
上記のようにして作製されたカラーフィルタを光学顕微鏡及びＳＥＭにより観察したところ、条件Ｅ〜Ｆいずれについても隣接画素間での混色は観察されなかった。しかし、画素の断面形状は条件Ｅ、Ｇで、周辺が薄く、中央部が厚い凸形状になり、条件Ｆで周辺が厚く中央部が薄い凹形状になり、いずれも膜厚差が０．５μｍ以上であった。また、この画素の色差を測定したところ１０以上であり、色ムラの大きいカラーフィルタであった。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の関係式を見出すに至った実験結果摸式図である。
【図２】本発明の関係式を見出すに至った実験結果摸式図である。
【図３】本発明の製造方法の一実施形態の工程図である。
【符号の説明】
【００４９】
１．透明基板
２．ブラックマトリクス
３．画素部
４．保護層
【図１】
2008139392.tif 000006
【図２】
2008139392.tif 000007
【図３】
2008139392.tif 000008