(57)【要約】【課題】操作速度及び品質が向上するとともに、小型化することが可能な液滴吐出ヘッド等を提供する。【解決手段】ノズル列と、吐出室２，２００と、複数の共通液滴室４，３，４００，３００と、振動板７，７０と、駆動手段とを有し、複数の共通液滴室４，３，４００，３００は積層して形成された積層構造とされ、それぞれの共通液滴室４，３，４００，３００に対して複数の吐出室２，２００が連通されて複数の液滴吐出部ｗ，ｘ，ｙ，ｚが形成され、各液滴吐出部ｗ，ｘ，ｙ，ｚの吐出室２，２００がノズル列方向に配置されるとともに、各液滴吐出部ｗ，ｘ，ｙ，ｚのそれぞれの吐出室２，２００に連通するノズル孔１１，１１０が一列に配列されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズル孔からなるノズル列と、前記それぞれのノズル孔と連通する複数の吐出室と、前記各吐出室と連通され吐出室に液体を供給する複数の共通液滴室と、前記吐出室の底面に形成された振動板と、該振動板を変位させて前記吐出室の液体を前記ノズル孔から吐出させる駆動手段とを有し、
前記複数の共通液滴室は積層して形成された積層構造とされ、
それぞれの共通液滴室に対して複数の吐出室が連通されて複数の液滴吐出部が形成され、
前記各液滴吐出部の吐出室が前記ノズル列方向に配置されるとともに、前記各液滴吐出部のそれぞれの吐出室に連通するノズル孔が一列に配列されたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
前記液滴吐出部がノズル列の両側に配設されて２列の向かい合う吐出室を構成すると共に、前記液滴吐出部の向かい合う前記吐出室が千鳥状に配置されたことを特徴とする請求項１記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
前記液滴吐出部の共通液滴室がノズル列の両側でそれぞれ２層の積層構造を形成することを特徴とする請求項２記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
前記液滴吐出部がノズル列の一方の側に配設されて１列の吐出室を構成することを特徴とする請求項１記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
前記液滴吐出部の共通液滴室がノズル列の一方の側で４層の積層構造を形成することを特徴とする請求項４記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項６】
異なる種類の液体が前記それぞれの液滴吐出部の共通液滴室に供給され、それぞれの共通液滴室より該共通液滴室に対応する吐出室に供給されてそれぞれの吐出室のノズル孔より吐出され、異なる液体のドットが前記ノズル列方向に所定の順序で繰り返し形成されることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項７】
第１の液滴吐出部及び第２の液滴吐出部が前記ノズル列の一方の側に配置され、第３の液滴吐出部及び第４の液滴吐出部が前記ノズル列の他方の側に配置され、これらが前記ノズル列方向に第１の液滴吐出部の吐出室、第３の液滴吐出部の吐出室、第２の液滴吐出部の吐出室、第４の液滴吐出部の吐出室の順で繰り返し配置され、前記第１の液滴吐出部の吐出室のノズル孔から第１の液が吐出され、前記第３の液滴吐出部の吐出室のノズル孔から第３の液が吐出され、前記第２の液滴吐出部の吐出室のノズル孔から第２の液が吐出され、前記第４の液滴吐出部の吐出室のノズル孔から第４の液が吐出されて、これらのノズル孔から吐出された吐出液が前記ノズル列方向に前記吐出室の配置順序で繰り返されるドット列を形成することを特徴とする請求項１、２、３のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項８】
第１の液滴吐出部、第２の液滴吐出部、第３の液滴吐出部及び第４の液滴吐出部が前記ノズル列の一方の側に配置され、これらが前記ノズル列方向に第１の液滴吐出部の吐出室、第２の液滴吐出部の吐出室、第３の液滴吐出部の吐出室及び第４の液滴吐出部の吐出室の順で繰り返し配置され、前記第１の液滴吐出部の吐出室のノズル孔から第１の液が吐出され、前記第２の液滴吐出部の吐出室のノズル孔から第２の液が吐出され、前記第３の液滴吐出部の吐出室のノズル孔から第３の液が吐出され、前記第４の液滴吐出部の吐出室のノズル孔から第４の液が吐出されて、これらのノズル孔から吐出された吐出液が前記ノズル列方向に前記吐出室の配置順序で繰り返されるドット列を形成することを特徴とする請求項１、４、５のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項９】
積層して構成された前記各共通液滴室の間にダイアフラムが設けられたことを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項１０】
フェイスイジェクトタイプであることを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項１１】
エッジイジェクトタイプであることを特徴とする請求項１、４、５、８、９のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項１２】
複数のノズル孔からなるノズル列と、前記それぞれのノズル孔と連通する複数の吐出室と、前記各吐出室と連通され吐出室に液体を供給する複数の共通液滴室と、前記吐出室の底面に形成された振動板と、該振動板を変位させて前記吐出室の液体を前記ノズル孔から吐出させる駆動手段とを有し、
前記複数の共通液滴室は積層して形成された積層構造とされ、
それぞれの共通液滴室に対して複数の吐出室が連通されて複数の液滴吐出部が形成され、
前記各液滴吐出部の吐出室が前記ノズル列方向に配置されるとともに、前記各液滴吐出部のそれぞれの吐出室に連通するノズル孔が一列に配列された液滴吐出ヘッド、
を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のインクジェットヘッドは、複数色の単色圧力室（吐出室）が所定の順序で配列されて圧力室ブロックを形成し、この圧力室ブロックがライン状に複数個配列され、多色圧力室を形成していた。この多色圧力室が含む各単色圧力室には、圧力室ブロックの配列方向と平行に配置されたインク色ごとの共通インク流路から、インク供給路を介して所定色のインクが供給される。このように、異なる色を吐出するノズルを交互に配置すると、印刷速度が向上し、印刷品質が向上する（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開平７−３２９２９４号公報（第４−５頁、図２、図３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来のインクジェットヘッドでは、複数の共通インク室やそれに相当する流路をインクジェットヘッド内において並列に配置しているため、インクジェットヘッドを小型化する際の妨げとなっていた。また、従来のインクジェットヘッドでは、両方向印字として印刷を行う際、各色の組み合わせの順番が往路と復路で異なる場合があり、高品質化が困難であった。
【０００５】
本発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、操作速度及び品質が向上するとともに、小型化することが可能な液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る液滴吐出ヘッドは、複数のノズル孔からなるノズル列と、前記それぞれのノズル孔と連通する複数の吐出室と、前記各吐出室と連通され吐出室に液体を供給する複数の共通液滴室と、前記吐出室の底面に形成された振動板と、該振動板を変位させて前記吐出室の液体を前記ノズル孔から吐出させる駆動手段とを有し、前記複数の共通液滴室は積層して形成された積層構造とされ、それぞれの共通液滴室に対して複数の前記吐出室が連通されて複数の液滴吐出部が形成され、前記各液滴吐出部の吐出室が前記ノズル列方向に配置されるとともに、前記各液滴吐出部のそれぞれの吐出室に連通するノズル孔が一列に配列されるものである。
これにより、液滴吐出ヘッドの操作速度及び品質が向上するとともに、液滴吐出ヘッドの小型化が可能となる。液滴吐出ヘッドがインクジェットヘッドである場合は、インクジェットヘッドを走査する際、ノズル列が１列であるので、往路と復路で色の重ね方が同じであり、両方向印字でも高印字品質となる。また、高精度に着弾液滴（異なる色のインク滴）を重ねることができる。
【０００７】
また、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、前記液滴吐出部がノズル列の両側に配設されて２列の向かい合う吐出室を構成すると共に、前記液滴吐出部の向かい合う前記吐出室が千鳥に配置されたものである。
これにより、共通液滴室が積層構造とされ、それぞれの共通液滴室に異なる液滴が供給される構造であり、向かい合う液滴吐出部の一方の列に配置された吐出室に対して、交互にそれぞれの液滴を供給することができる。
【０００８】
また、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、前記液滴吐出部の共通液滴室がノズル列の両側でそれぞれ２層の積層構造を形成するものである。
これにより、２つの共通液滴室が積層構造とされ、それぞれに異なる液滴が供給される構造であり、向かい合う２列の液滴吐出部の一方の列に配置された吐出室に対して、交互にそれぞれの液滴を供給することができる。
【０００９】
また、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、前記液滴吐出部がノズル列の一方の側に配設されて１列の吐出室を構成するものである。
これにより、共通液滴室が積層構造として一方の側に配置され、共通液滴室のそれぞれに異なる液滴が供給される構造であり、液滴吐出部の一の吐出室に対して、交互にそれぞれの液滴を供給することができる。
【００１０】
また、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、前記液滴吐出部の共通液滴室がノズル列の一方の側で４層の積層構造を形成するものである。
これにより、４つの共通液滴室が積層構造とされ、それぞれに異なる液滴が供給される構造であり、液滴吐出部の一の吐出室に対して、交互にそれぞれの液滴を供給することができる。
【００１１】
また、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、異なる種類の液体が前記それぞれの液滴吐出部の共通液滴室に供給され、それぞれの共通液滴室より該共通液滴室に対応する吐出室に供給されてそれぞれの吐出室に対応するノズル孔より吐出され、異なる液体のドットが前記ノズル列方向に順次形成されるものである。
これにより、液滴吐出装置がインクジェットヘッドである場合、走査の往路と復路で色の重ね方が同じであり、両方向印字でも高印字品質となる。また、高精度に異なる色のインク滴を重ねることができる。
【００１２】
また、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、第１の液滴吐出部及び第２の液滴吐出部が前記ノズル列の一方の側に配置され、第３の液滴吐出部及び第４の液滴吐出部が前記ノズル列の他方の側に配置され、これらが前記ノズル列方向に第１の液滴吐出部の吐出室、第３の液滴吐出部の吐出室、第２の液滴吐出部の吐出室、第４の液滴吐出部の吐出室の順で繰り返し配置され、前記第１の液滴吐出部の吐出室のノズル孔から第１の液が吐出され、前記第３の液滴吐出部の吐出室のノズル孔から第３の液が吐出され、前記第２の液滴吐出部の吐出室のノズル孔から第２の液が吐出され、前記第４の液滴吐出部の吐出室のノズル孔から第４の液が吐出されて、これらのノズル孔から吐出された吐出液が前記ノズル列方向に前記吐出室の配置順序で繰り返されるドット列を形成するものである。
これにより、液滴吐出装置がインクジェットヘッドである場合、４色のノズル配色に上記のノズル配置をして、高印字品質で、高精度に色を重ねることができる。ヘッド走査を両方向印字として印刷の高速化を行う場合、各色の重ね合わせの順番が往路と復路で異なると、印字品質が十分でなくなり、色の重なりの精度が低下するが、本発明では、各色の重ね合わせの順番が往路と復路で同じなので、走査の往路と復路で色の重ね方が同じであり、上記のような問題は生じない。
【００１３】
また、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、第１の液滴吐出部、第２の液滴吐出部、第３の液滴吐出部及び第４の液滴吐出部が前記ノズル列の一方の側に配置され、これらが前記ノズル列方向に第１の液滴吐出部の吐出室、第２の液滴吐出部の吐出室、第３の液滴吐出部の吐出室及び第４の液滴吐出部の吐出室の順で繰り返し配置され、前記第１の液滴吐出部の吐出室のノズル孔から第１の液が吐出され、前記第２の液滴吐出部の吐出室のノズル孔から第２の液が吐出され、前記第３の液滴吐出部の吐出室のノズル孔から第３の液が吐出され、前記第４の液滴吐出部の吐出室のノズル孔から第４の液が吐出されて、これらのノズル孔から吐出された吐出液が前記ノズル列方向に前記吐出室の配置順序で繰り返されるドット列を形成するものである。
これにより、液滴吐出ヘッドがインクジェットヘッドである場合、４色のノズル配色に上記のノズル配置をして、高印字品質で、高精度に色を重ねることができる。
ヘッド走査を両方向印字として印刷の高速化を行う場合、各色の重ね合わせの順番が往路と復路で異なると、印字品質が十分でなくなり、色の重なりの精度が低下するが、本発明では、各色の重ね合わせの順番が往路と復路で同じなので、走査の往路と復路で色の重ね方が同じであり、上記のような問題は生じない。
【００１４】
また、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、前記積層された共通液滴室の間にダイアフラムが設けられたものである。
これにより、液滴吐出ヘッドの共通液滴室間の圧力干渉を防止することができる。
【００１５】
また、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、フェイスイジェクトタイプである。
これにより、液滴吐出ヘッドの薄板化が可能となる。
【００１６】
また、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、エッジイジェクトタイプである。
これにより、液滴吐出ヘッドのノズル面平面形状の小型化が可能となる。また、ノズル連通流路が不要となり、流路抵抗を低減することが可能となる。
【００１７】
本発明に係る液滴吐出装置は、複数のノズル孔からなるノズル列と、前記それぞれのノズル孔と連通する複数の吐出室と、前記各吐出室と連通され吐出室に液体を供給する複数の共通液滴室と、前記吐出室の底面に形成された振動板と、該振動板を変位させて前記吐出室の液体を前記ノズル孔から吐出させる駆動手段とを有し、前記複数の共通液滴室は積層して形成された積層構造とされ、それぞれの共通液滴室に対して複数の前記吐出室が連通されて複数の液滴吐出部が形成され、前記各液滴吐出部の吐出室が前記ノズル列方向に配置されるとともに、前記各液滴吐出部のそれぞれの吐出室に連通するノズル孔が一列に配列された液滴吐出ヘッドを備えたものである。
これにより、操作速度及び品質（印刷速度及び印刷品質）が向上するとともに、小型化した液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
実施の形態１．
図１は本発明の実施の形態１に係るインクジェットヘッドの要部を示す分解斜視図、図２は図１に示したインクジェットヘッドの組み立て状態の平面説明図、図３は図２をイ−イ線で切断した状態の縦断面図である。なお、図１の分解斜視図は、図の手前側及び右側を一部省略した状態で示してある。
図１〜図３において、インクジェットヘッドは、ノズル基板１０、リザーバ基板２０、キャビティ基板３０及び電極基板４０の４つの基板を、この順に貼り合わせて４層構造としたものである。
以下、各基板の構成について詳述する。なお、説明にあっては、インクジェットヘッドのノズル列の一方の側（図１の奥側あるいは図２の右側に位置してインク圧力室を含んだ第１の列部Ａ側）、及び他方の側（図１の手前側あるいは図２の左側に位置してインク圧力室を含んだ第２の列部Ｂ側）に分けて説明する。
【００１９】
ノズル基板１０はシリコン材から作製されている。ノズル基板１０には多数のノズル孔１１、１１０が所定の間隔（隣接するノズル孔が同じピッチで、以下１ピッチということがある）で一列に配設され、基板面に対し垂直に貫通されている。一列に配置されたノズル列の第１の列部Ａ側に属するノズル孔１１（第１のノズル孔１１ａ，第２のノズル孔１１ｂ，第３のノズル孔１１ｃ，第４のノズル孔１１ｄ・・）と、ノズル列の第２の列部Ｂ側に属するノズル孔１１０（第１のノズル孔１１０ａ、第２のノズル孔１１０ｂ，第３のノズル孔１１０ｃ，第４のノズル孔１１０ｄ・・）とは、直線上に交互に配置されている。すなわち、全体として、第１のノズル孔１１ａ，第１のノズル孔１１０ａ、第２のノズル孔１１ｂ，第２のノズル孔１１０ｂ，第３のノズル孔１１ｃ，第３のノズル孔１１０ｃ，第４のノズル孔１１ｄ、第４のノズル孔１１０ｄ・・の順に配置されている。そして、ノズル孔１１を備えた第１の列部Ａと、ノズル孔１１０を備えた第２の列部Ｂとは、ノズル列の両側に向かい合って配置されている。
なお、ノズル基板１０には、第１のリザーバ（第１の共通インク室または共通液滴室）（後述）の上面位置に、吐出室（後述）間の圧力干渉を防止するための第１のダイアフラム１２、第２のダイアフラム（図示せず）が設けられている。
【００２０】
リザーバ基板２０はシリコン材から作製されている。リザーバ基板２０の第１の列部Ａ側には、リザーバ基板２０を垂直に貫通し、ノズル基板１０に設けたノズル孔１１（第１のノズル孔１１ａ，第２のノズル孔１１ｂ，第３のノズル孔１１ｃ，第４のノズル孔１１ｄ・・・）にそれぞれ独立して連通するこれらのノズル孔１１よりも少し大きい径のノズル連通流路２１（第１のノズル連通流路２１ａ，第２のノズル連通流路２１ｂ，第３のノズル連通流路２１ｃ，第４のノズル連通流路２１ｄ・・・）が設けられている。
【００２１】
リザーバ基板２０の第２の列部Ｂ側には、リザーバ基板２０を垂直に貫通し、ノズル基板１０に設けたノズル孔１１０（第１のノズル孔１１０ａ，第２のノズル孔１１０ｂ，第３のノズル孔１１０ｃ，第４のノズル孔１１０ｄ・・・）にそれぞれ独立して連通するこれらのノズル孔１１０よりも少し大きい径のノズル連通流路２１０（第１のノズル連通流路２１０ａ，第２のノズル連通流路２１０ｂ，第３の連通流路２１０ｃ，第４の連通流路２１０ｄ・・・）が設けられている。
なお、リザーバ基板２０を貫通するノズル連通流路２１、２１０は、ノズル基板１０のノズル孔１１、１１０とそれぞれ同軸上に設けられ、これによってインク滴が吐出する際に直進性が得られる。
【００２２】
また、リザーバ基板２０の第１の列部Ａ側には、ノズル連通流路２１の一部（一つおきに配置される第１のノズル連通流路２１ａ、第３のノズル連通流路２１ｃ・・・）が、キャビテイ基板３０に設けられた吐出室２になる吐出凹部３１の一部（一つおきに配置された第１の吐出凹部３１ａ、第３の吐出凹部３１ｃ・・・）を介して連通する、第１のリザーバ（第１の共通インク室）３となる第１のリザーバ凹部２２が形成されている。
【００２３】
第１のリザーバ３になる第１のリザーバ凹部２２の底壁には、吐出室２の一部（吐出室２になる第１の吐出凹部３１ａ、第３の吐出凹部３１ｃ・・・）にインクを供給するための供給口５（供給口５ａ・・・）と、外部から第１のリザーバ３にインクを供給するための第１のインク供給孔６の一部になる供給孔とが貫通されている。
なお、リザーバ基板２０の第１のリザーバ凹部２２の下面には、キャビティ基板３０との接合面側が断面凹状に形成され、ダイアフラム２３を形成する凹部２３ａが設けられている。
【００２４】
また、リザーバ基板２０の第２の列部Ｂ側には、第１の列部Ａ側と同様に、ノズル連通流路２１０の一部（一つおきに配置される第１のノズル連通流路２１０ａ、第３のノズル連通流路２１０ｃ・・・）が、キャビテイ基板３０に設けられた吐出室２００になる吐出凹部３１０の一部（一つおきに配置された第１の吐出凹部３１０ａ、第３の吐出凹部３１０ｃ・・・）（後述）を介して連通する、第１のリザーバ（第１の共通インク室）３００となる第１のリザーバ凹部２２０が形成されている。
【００２５】
第１のリザーバ３００になる第１のリザーバ凹部２２０の底壁には、吐出室２００の一部（吐出室２００になる第１の吐出凹部３１０ａ、第３の吐出凹部３１０ｃ・・・）にインクを供給するための第１のインク供給孔６０の一部になる供給孔とが貫通されている。
なお、リザーバ基板２０の第１のリザーバ凹部２２０の下面には、第１の列部Ａ側と同様にキャビティ基板３０との接合面側が断面凹状に形成されており、ダイアフラムを形成する凹部（図示せず）が設けられている。
リザーバ基板２０の全面にはインクによるシリコンの腐食を防ぐために、例えば熱酸化膜（ＳｉＯ2 膜）からなるインク保護膜が形成されている（図示せず）。
【００２６】
キャビティ基板３０はシリコン材から作製されている。キャビテイ基板３０の第１の列部Ａ側には、リザーバ基板２０のノズル連通流路２１（第１のノズル連通流路２１ａ、第２のノズル連通流路２１ｂ、第３のノズル連通流路２１ｃ、第４の連通流路２１ｄ・・・）のそれぞれに独立して連通する吐出室２（第１の吐出室２ａ、第２の吐出室２ｂ、第３の吐出室２ｃ、第４の吐出室２ｄ・・・）となる吐出凹部３１（第１の吐出凹部３１ａ，第２の吐出凹部３１ｂ，第３の吐出凹部３１ｃ，第４の吐出凹部３１ｄ・・・）が設けられている。
【００２７】
吐出凹部３１の底壁には振動板７が設けられており、シリコンに高濃度のボロンを拡散することにより形成されるボロン拡散層により構成されている。振動板７をボロン拡散層とすることにより、ウエットエッチングでのエッチングストップを十分に働かせることができるので、振動板７の厚みや面荒れを精度よく調整することができる。
【００２８】
吐出凹部３１の一部（一つおきに配置された第２の吐出凹部３１ｂ、第４の吐出凹部３１ｄ・・・）に対しては、供給口３２を介して連通する第２のリザーバ（第２の共通インク室または共通液滴室）４になる第２のリザーバ凹部３３が形成されている。
なお、第２のリザーバ凹部３３の底壁には、外部から第２のリザーバ凹部３３にインクを供給するための第２のインク供給孔３４の一部となる供給孔が貫通されている。
【００２９】
また、第１の列部Ａ側の吐出凹部３１の他の部分（第２の吐出凹部３１ｂ、第４の吐出凹部３１ｃ・・・に対して一つおきに配置された第１の吐出凹部３１ａ、第３の吐出凹部３１ｄ・・・）は、先のリザーバ基板２０に設けた第１のリザーバ凹部２２と供給口５（５ａ、５ｃ・・・）を介して連通している。
【００３０】
キャビテイ基板３０の第２の列部Ｂ側には、リザーバ基板２０のノズル連通流路２１０（第１の連通流路２１０ａ、第２の連通流路２１０ｂ、第３の連通流路２１０ｃ、第４の連通流路２１０ｄ・・・）のそれぞれに独立して連通する吐出室２００（第１の吐出室２００ａ、第２の吐出室２００ｂ、第３の吐出室２００ｃ、第４の吐出室２００ｄ・・・）となる吐出凹部３１０（第１の吐出凹部３１０ａ，第２の吐出凹部３１０ｂ，第３の吐出凹部３１０ｃ，第４の吐出凹部３１０ｄ・・・）が設けられている。
吐出凹部３１０の底壁には振動板７０が設けられており、シリコンに高濃度のボロンを拡散することにより形成されるボロン拡散層により構成されている。
【００３１】
吐出凹部３１０の一部（一つおきに配置された第２の吐出凹部３１０ｂ、第４の吐出凹部３１０ｄ・・・）に対しては、供給口３２０を介して連通する第２のリザーバ（第２の共通インク室または共通液滴室）４００になる第２のリザーバ凹部３３０が形成されている。
なお、第２のリザーバ凹部３３０の底壁には、外部から第２のリザーバ凹部３３０にインクを供給するための第２のインク供給孔３４０の一部となる供給孔が貫通されている。
【００３２】
吐出凹部３１０の他の部分（第２の吐出凹部３１０ｂ、第４の吐出凹部３１０ｄ・・・に対して一つおきに配置された第１の吐出凹部３１０ａ、第３の吐出凹部３１０ｄ・・・）は、リザーバ基板２０に設けた第１のリザーバ凹部２００と供給口５０（５０ａ、５０ｃ・・・）を介して連通している。
【００３３】
キャビティ基板３０の下面には、例えばＴＥＯＳ（Tetraethylorthosilicate Tetraethoxysilane：テトラエトキシシラン、珪酸エチル）を原料としたプラズマＣＶＤ(Chemical Vapor Deposition：化学気相成長法)によるＳｉＯ2 膜からなる絶縁膜が形成されている（図示せず）。この絶縁膜は、インクジェットヘッドの駆動時における絶縁破壊や短絡を防止するために設けられている。一方、キャビティ基板３０の上面には、リザーバ基板２０と同様のインク保護膜（図示せず）が形成されている。
キャビティ基板３０には、第１の列部Ａ側の第１のリザーバ３にインクを供給する第１のインク供給孔６の一部になる供給孔が設けられ、第２の列部Ｂ側の第１のリザーバ３００にインクを供給する第１のインク供給孔６０の一部になる供給孔が設けられている。
【００３４】
リザーバ基板２０の第１の列部Ａ側の第１のリザーバ凹部２２の下部に形成された前述の凹部２３ａは、キャビティ基板３０の第２のリザーバ凹部３３の開口側に位置しており、吐出室間の圧力干渉を防止するための第２のダイアフラム２３を形成している。
また、リザーバ基板２０の第２の列部Ｂ側の第１のリザーバ凹部２２０の下部に形成された前述の凹部（図示せず）は、キャビティ基板３０の第２のリザーバ凹部３３０の開口側に位置しており、吐出室間の圧力干渉を防止するための第２のダイアフラム（図示せず）を形成している。これらのダイアフラム２３等は、リザーバ基板２０の裏面からのドライエッチングによってその厚みを調整することができる。
【００３５】
電極基板４０はガラス材から作製されている。なかでも、キャビティ基板３０のシリコン材と熱膨張係数の近い硼珪酸系の耐熱硬質ガラスを用いるのが適している。硼珪酸系の耐熱硬質ガラスを用いることにより、電極基板４０とキャビティ基板３０を陽極接合する際、両基板の熱膨張係数が近いため、電極基板４０とキャビティ基板３０との間に生じる応力を低減することができ、その結果、剥離等の問題を生じることなく、電極基板４０とキャビティ基板３０を強固に接合することができる。
【００３６】
電極基板４０の第１の列部Ａ側には、キャビティ基板３０の振動板７に対向する表面の位置にそれぞれ電極凹部４１が設けられ、電極基板４０の第２の列部Ｂ側には、キャビティ基板３０の振動板７０に対向する表面の位置にそれぞれ電極凹部４１０が設けられ、これらはエッチングにより形成されている。
第１の列部Ａ側の電極凹部４１（４１ａ、４１ｂ・・・）の底面、及び第２の列部Ｂの電極凹部４１０（４１０ａ、４１０ｂ・・・）の底面には、それぞれ、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide：インジウム錫酸化物）からなる個別電極８（８ａ、８ｂ・・・）、及び個別電極８０（８０ａ、８０ｂ・・・）が、スパッタにより形成されている。したがって、第１の列部Ａ側の振動板７と個別電極８、及び第２の列部Ｂ側の振動板７０と個別電極８０の間に形成されるエアギャップＧ（空隙）は、第１の列部Ａ側の電極凹部４１の深さと個別電極８の厚みにより、及び第２の列部Ｂ側の電極凹部４１０の深さと個別電極８０の厚みにより決まることになる。このエアギャップＧは、インクジェットヘッド１の吐出特性に大きく影響する。このエアギャップＧの開放端部は、エポキシ接着剤等からなる封止材（図示せず）により気密に封止されている。
【００３７】
第１の列部Ａ側の個別電極８の端子部８５は、リザーバ基板２０およびキャビティ基板３０の端部が開口された電極取り出し部９側に露出しており、電極取り出し部９において、例えばドライバＩＣ等の駆動制御回路が搭載されたフレキシブル配線基板（図示せず）が、各個別電極８の端子部８５と、キャビティ基板３０の端部に設けられた共通電極３５とに接続されている。
第２の列部Ｂ側の個別電極８０の端子部（図示せず）は、リザーバ基板２０およびキャビティ基板３０の端部が開口された電極取り出し部（図示せず）側に露出しており、電極取り出し部において、例えばドライバＩＣ等の駆動制御回路が搭載されたフレキシブル配線基板（図示せず）が、各個別電極８０の端子部(図示せず)と、キャビティ基板３０の端部に設けられた共通電極（図示せず）とに接続されている。
また、電極基板４０には、インクカートリッジ（図示せず）に接続されるインクの供給孔６，３４の一部を構成する孔部が設けられている。
【００３８】
次に、上記のように構成されたインクジェットヘッド１の動作について、図２、図３を用いて説明する。インクジェットヘッド１の第１の列部Ａ側には、第１の液滴吐出部ｗが形成されて、外部のインクカートリッジ内のインク（例えばイエロ−Ｙ）が、第１のインク供給孔６を通じて第１のリザーバ３内に供給され、個々の供給口５（５ａ、５ｃ・・・）から、吐出室２（第１の吐出室２ａ、第３の吐出室２ｃ・・・）、ノズル連通流路２１（第１のノズル連通流路２１ａ，第３のノズル連通流路２１ｃ・・・）を経て、ノズル孔１１（第１のノズル孔１１ａ、第３のノズル孔１１ｃ・・・）の先端まで満たされている。
また、第１の列部Ａ側には、第２の液滴吐出部ｘが形成されて、外部の別のインクカートリッジ内のインク（例えばブラックＫ）が、第２のインク供給孔３４を通じて第２のリザーバ４内に供給され、個々の供給口３２（３２ｂ、３２ｄ・・・）から、それぞれの吐出室２（第２の吐出室２ｂ、第４の吐出室２ｄ・・・）、ノズル連通流路２１（第２のノズル連通流路２１ｂ、第４のノズル連通流路２１ｄ・・・）を経て、ノズル孔１１（第２のノズル孔１１ｂ、第４のノズル孔１１ｄ・・・）の先端まで満たされている。
【００３９】
さらに、第２の列部Ｂ側には、第３の液滴吐出部ｙが形成されて、外部の別のインクカートリッジ内のインク（例えばシアンＣ）が、第１のインク供給孔６０を通じて第１のリザーバ３００内に供給され、個々の供給口５０（５０ａ、５０ｃ・・・）から、それぞれの吐出室２００（第１の吐出室２００ａ、第３の吐出室２００ｃ・・・）、ノズル連通流路２１０（第１のノズル連通流路２１０ａ，第３のノズル連通流路２１０ｃ・・・）を経て、ノズル孔１１０（第１のノズル孔１１０ａ、第３のノズル孔１１０ｃ・・・）の先端まで満たされている。
また、第２の列部Ｂ側には、第４の液滴吐出部ｚが形成されて、外部の別のインクカートリッジ内のインク（例えばマゼンタＭ）が、第２のインク供給孔３４０を通じて第２のリザーバ４００内に供給され、個々の供給口３２０（３２０ｂ、３２０ｄ・・・）から、それぞれの吐出室２００（第２の吐出室２００ｂ、第４の吐出室２００ｄ・・・）、ノズル連通流路２１０（第２のノズル連通流路２１０ｂ、第４のノズル連通流路２１０ｄ・・・）を経て、ノズル孔１１０（第２のノズル孔１１０ｂ、第４のノズル孔１１０ｄ・・・）の先端まで満たされている。
【００４０】
上記のようにインクが充填された状態で、駆動制御回路により、第１の列部Ａ側の個別電極８及び第２の列部Ｂ側の個別電極８０に駆動信号（パルス電圧）を供給すると、個別電極８、８０には駆動制御回路からパルス電圧が印加され、個別電極８、８０をプラスに帯電させ、一方、これに対応する振動板７、７０はマイナスに帯電する。このとき、個別電極８、８０と振動板７、７０と間に静電気力（クーロン力）が発生するため、この静電気力により振動板７、７０は個別電極８、８０側に引き寄せられて撓む。これによって、吐出室２、２００の容積が増大する。次に、パルス電圧をオフにすると、上記静電気力がなくなり、振動板７、７０はその弾性力により元に戻り、その際、吐出室２、２００の容積が急激に減少するため、そのときの圧力により、吐出室２、２００内のインクの一部がノズル孔１１、１１０から吐出される。
【００４１】
こうして、第１の列部Ａ側の第１の液滴吐出部ｗの吐出室２（第１の吐出室２ａ、第３の吐出室２ｃ・・・）内のインク（イエローＹ）は、ノズル連通流路２１（第１のノズル連通流路２１ａ、第３のノズル連通流路２１ｃ・・・）を通過し、インク滴となってノズル孔１１（第１のノズル孔１１ａ、第３のノズル孔１１ｃ・・・）から吐出される。
また、第１の列部Ａ側の第２の液滴吐出部ｘの吐出室２（第２の吐出室２ｂ、第４の吐出室２ｄ・・・）内のインク（ブラックＫ）は、ノズル連通流路２１（第２のノズル連通流路２１ｂ、第４のノズル連通流路２１ｄ・・・）を通過し、インク滴となってノズル孔１１（第２のノズル孔１１ｂ、第４のノズル孔１１ｄ・・・）から吐出される。
【００４２】
さらに、第２の列部Ｂ側の第３の液滴吐出部ｙの吐出室２００（第１の吐出室２００ａ、第３の吐出室２００ｃ・・・）内のインク（シアンＣ）は、ノズル連通流路２１０（第１のノズル連通流路２１０ａ、第３のノズル連通流路２１０ｃ・・・）を通過し、インク滴となってノズル孔１１０（第１のノズル孔１１０ａ、第３のノズル孔１１０ｃ・・・）から吐出される。
また、第２の列部Ｂ側の第４の液滴吐出部ｚの吐出室２００（第２の吐出室２００ｂ、第４の吐出室２００ｄ・・・）内のインク（マゼンタＭ）は、ノズル連通流路２１０（第２のノズル連通流路２１０ｂ、第４のノズル連通流路２１０ｄ・・・）を通過し、インク滴となってノズル孔１１０（第２のノズル孔１１０ｂ、第４のノズル孔１１０ｄ・・・）から吐出される。
【００４３】
そして、再びパルス電圧が印加され、第１の列部Ａ側の振動板７が個別電極８側に撓むことにより、第１の液滴吐出部ｗのインク（イエローＹ）が、第１のリザーバ３から供給口５（５ａ、５ｃ・・・）を通って、吐出室２（第１の吐出室２ａ、第３の吐出室２ｃ・・・）内に補給される。また、第２の液滴吐出部ｘのインク（ブラックＫ）が、第２のリザーバ４から供給口３２（３２ｂ、３２ｄ・・・）を通って、吐出室２（第２の吐出室２ｂ、第４の吐出室２ｄ・・・）内に補給される。
また、第２の列部Ｂ側の振動板７０が個別電極８０側に撓むことにより、第３の液滴吐出部ｙのインク（シアンＣ）が、第１のリザーバ３００から供給口５０（５０ａ、５０ｃ・・・）を通って、吐出室２００（第１の吐出室２００ａ、第３の吐出室２００ｃ・・・）内に補給される。また、第４の液滴吐出部ｚのインク（マゼンタＭ）が、第２のリザーバ４００から供給口３２０（３２０ｂ、３２０ｄ・・・）を通って、吐出室２００（第２の吐出室２００ｂ、第４の吐出室２００ｄ・・・）内に補給される。
【００４４】
こうして、図４に示すように、第１の列部Ａ側の第１の液滴吐出部ｗのノズル孔１１（第１のノズル孔１１ａ、第３のノズル孔１１ｃ・・・）からは、イエローＹ１，Ｙ３・・・が吐出され、第２の液滴吐出部ｘのノズル孔１１（第２のノズル孔１１ｂ、第４のノズル孔１１ｄ・・・）からはブラックＫ２、Ｋ４・・・が吐出されて、紙面上には、列線方向に交互に異なった色彩のドット列（Ｙ１，Ｋ２、Ｙ３、Ｋ４・・・）が形成される。
また、第２の列部Ｂ側の第３の液滴吐出部ｙのノズル孔１１０（第１のノズル孔１１０ａ、第３のノズル孔１１０ｃ・・・）からはシアンＣ１，Ｃ３・・・が吐出され、第４の液滴吐出部ｚのノズル孔１１０（第２のノズル孔１１０ｂ、第４のノズル孔１１０ｄ・・・）からはマゼンタＭ２，Ｍ４・・・が吐出されて、紙面上には、列線方向に交互に異なった色彩のドット列（Ｃ１，Ｍ２、Ｃ３、Ｍ４・・・）が形成される。
【００４５】
上記の場合、第１の列部Ａ側のノズル孔１１と第２の列部Ｂ側のノズル孔１１０とは、それぞれ列部において、列方向に２ピッチの間隔で設けられており、紙面上に形成された第１の列部Ａ側のドット列のＹ１、Ｋ２、Ｙ３、Ｋ４・・・のドットと、第２の列部Ｂ側のドット列のＣ１，Ｍ２、Ｃ３、Ｍ４・・・のドットとは、列方向に互いに１ピッチずれた状態で形成されている。
【００４６】
図５により詳述すると、図の左側は、第２の列部Ｂ側によるドット列であり、シアンＣ１、マゼンタＫ２、シアンＣ３、マゼンタＫ４・・・のドットが列方向に２ピッチずれた状態で交互に重複する。図の右側は、第２の列部Ｂ側に対してノズル位置が列方向に１ピッチずれた第１の列部Ａ側によるドット列であり、イエローＹ１、ブラックＫ２、イエローＹ３・・・のドットが列方向に交互に２ピッチずれた状態で重複する。それぞれの列部Ａ、Ｂにおけるドットの大きさは、列方向に隣接する他色のドット中心までの距離が円半径となる大きさ（２ピッチずれた状態）となる。
【００４７】
そして、第１の列部Ａ側における列線と第２の列部Ｂ側における列線は、図５において、理解を容易にするため２本の列線として平行に独立させて記載したが、実際には、第１の列部Ａ側におけるノズル孔１１と、第２の列部Ｂ側におけるノズル孔１１０とは、図６に示すように、一列に配置されている、すなわち同一直線上に配置されており、図５に示したこれらの列線は、図６に示すように重なり合う同一の列線である。よって、第１の列部Ａ側及び第２の列部Ｂ側におけるドット列は、図６に示すように、同一の直線上に位置し、イエローＹ１、シアンＣ１、ブラックＫ２、マゼンタＭ２、イエローＹ３、シアンＣ３、ブラックＫ４・・・のように、同一直線上に１ピッチの間隔で配置される。こうして、同一直線上に４色のノズル配色が行われ、フルカラーが実現される。
【００４８】
上記のようにして、紙面の列線上に４色のノズル配色が交互に形成されるが、上記の配色はヘッドが移動する方向（図２の左右方向、図６の左右方向）のおいての一場面であり、ヘッドは上記のような（図６のような）ドット列を形成しつつ、図２（図６）の左右方向に移動する。
図６の一方向（例えば図の右側方向）に移動したのち、端部において方向を変え、逆方向（図６の左側方向）に移動する。
この際、紙面はヘッドの移動方向とは直行する方向に移動している。
【００４９】
実施の形態１によれば、図２に示すように、向かい合う２列の吐出室（第１の列部Ａ側の吐出室２と第２の列部Ｂ側の吐出室２００）が千鳥状に配置され、それぞれの吐出室２，２００に連通するノズル１１、１００は、一列に配置されているので、図６に示すように、１走査でフルカラー表現（３色コンポジット＋ブラック）が可能となる。そして、ヘッド走査を両方向印字として行う場合、図６に示すように、各色の重ね合わせが走査の往路と復路で異なることはなく、各色の重ね合わせの順番が常に一定になる。こうして、４色のノズル配色において、両方向印字であっても高印字品質となり、高精度に色（着弾液滴）を重ねることができ、印刷品質が向上し、高画質を実現することができ、インクジェットヘッドを小型化することが可能となる。
また、２つのリザーバ３，４に接してダイアフラム１２、２３を設けたので、吐出室２間の圧力干渉を防止することができる。
さらに、フェイスイジェクトタイプのインクジェットヘッドにおいて上記の構造を採用したため、インクジェットヘッドの薄型化が可能となる。
【００５０】
実施の形態２．
図７は本発明の実施の形態２に係るインクジェットヘッドの平面説明図、図８は図７をロ−ロ線で切断した状態の縦断面図である。
実施の形態１では、向かい合う２列の吐出室が千鳥状に配置され、それぞれの吐出室に連通するノズルは一列に配置されて、それぞれの列側に属する２つの共通インク室が積層構造として配置されている２列４色の２列構造である場合を示したが、実施の形態２では、液滴吐出室が一列に配置され、それぞれの吐出室に連通するノズルは一列に配置されて、４つの共通インク室が積層構造として配置された１列４色の片列構造としたものである。そして、かかるインクジェットヘッドは、ノズル基板１０、第３のリザーバ基板２０ａ、第２のリザーバ基板２０ｂ、第１のリザーバ基板２０ｃ、キャビティ基板３０及び電極基板４０の４つの基板を、この順に貼り合わせた６層構造によって構成したものである。
以下、各基板の構成について詳述する。
【００５１】
ノズル基板１０はシリコン材から作製されている。ノズル基板１０には多数のノズル孔１１（第１のノズル孔１１ａ，第２のノズル孔１１ｂ，第３のノズル孔１１ｃ，第４のノズル孔１１ｄ、第５のノズル孔１１ｅ，第６のノズル孔１１ｆ，第７のノズル孔１１ｇ，第８のノズル孔１１ｈ・・・）が、同じピッチで一列に配置され、基板面に対し垂直に貫通されている。
【００５２】
リザーバ基板２０は、シリコン材から作製されている。実施の形態２では、リザーバ基板２０は３つの基板を積層してなり、ノズル基板１０側より、第３のリザーバ基板２０ａ、第２のリザーバ基板２０ｂ、第１のリザーバ基板２０ｃの順序で積層してある。
第１、第２、第３のリザーバ基板２０ｃ、２０ｂ、２０ａには、これらを垂直に貫通し、ノズル基板１０に設けたノズル孔１１（第１のノズル孔１１ａ，第２のノズル孔１１ｂ，第３のノズル孔１１ｃ，第４のノズル孔１１ｄ・・・）にそれぞれ独立して連通するノズル孔１１よりも少し大きい径のノズル連通流路２１（第１の連通流路２１ａ，第２の連通流路２１ｂ，第３の連通流路２１ｃ，第４の連通流路２１ｄ・・・）が設けられている。
【００５３】
第１のリザーバ基板２０ｃには、ノズル連通流路２１の一部（第２のノズル連通流路２１ｂ、それより順次３つおきに配置された第６の連通流路２１ｆ・・・）が、キャビテイ基板３０に設けられた吐出室２（３つおきに配置された第２の吐出室２ｂ、第６の吐出室２ｆ・・・）を介して連通する第２のリザーバ（第２の共通インク室）３ｃが形成されている。そして、第２のリザーバ３ｃの底壁には、吐出室２の一部（第２の吐出室２ｂ、第６の吐出室２ｆ・・・）にインクを供給するための供給口５（５ｂ、５ｆ・・・）と、外部から第１のリザーバ３ｃにインクを供給するための第２のインク供給口６ｃの一部になる供給孔とが貫通されている。
【００５４】
第２のリザーバ基板２０ｂには、ノズル連通流路２１の一部（第４の連通流路２１ｄ、それより順次３つおきに配置された第８の連通流路２１ｈ・・・）が、キャビテイ基板３０に設けられた吐出室２（３つおきに配置された第４の吐出室２ｄ、第８の吐出室２ｈ・・・）を介して連通する中央リザーバ（中央の共通インク室）３ｂが形成されている。そして、第２のリザーバ２の底壁には、吐出室２の一部（第４の吐出室２ｄ、第８の吐出室２ｈ・・・）にインクを供給するための供給口５（５ｄ、５ｈ・・・）と、外部から中央リザーバ３ｂにインクを供給するための中央インク供給口６ｂの一部になる供給孔とが貫通されている。
【００５５】
第３のリザーバ基板２０ａには、ノズル連通流路２１の一部（第１のノズル連通流路２１ａ、それより順次３つおきに配置された第５のノズル連通流路２１ｅ・・・）が、キャビテイ基板３０に設けられた吐出室２（３つおきに配置された第１の吐出室２ａ、第５の吐出室２ｅ・・・）を介して連通する上部リザーバ（上部の共通インク室）３ａが形成されている。そして、上部リザーバ３ａの底壁には、吐出室２の一部（第１の吐出室２ａ、第５の吐出室２ｅ・・・）にインクを供給するための供給口５ａ、５ｅ・・・と、外部から上部リザーバ３ａにインクを供給するための上部インク供給口６ａの一部になる供給孔とが貫通されている。
【００５６】
キャビティ基板３０はシリコン材から作製されている。キャビテイ基板３０には、リザーバ基板２０のノズル連通流路２１のそれぞれに独立して連通する吐出室（インク圧力室）２（第１の吐出室２ａ、第２の吐出室２ｂ、第３の吐出室２ｃ、第４の吐出室２ｄ・・・）が設けられている。
吐出室２の底壁には振動板７が設けられており、シリコンに高濃度のボロンを拡散することにより形成されるボロン拡散層により構成されている。
【００５７】
吐出室２の一部（一つおきに配置された第３の吐出室２ｃ、第７の吐出室２ｇ・・・）に対しては、供給口３２（３２ｃ、３２ｇ・・・）を介して連通する第１のリザーバ（第１の共通インク室または共通液滴室）４が形成されている。
なお、第１のリザーバ４の底壁には、外部から第１のリザーバ４にインクを供給するための第１のインク供給口３４の一部となる供給孔が貫通されている。
【００５８】
キャビティ基板３０の下面には、例えばＴＥＯＳ（Tetraethylorthosilicate Tetraethoxysilane：テトラエトキシシラン、珪酸エチル）を原料としたプラズマＣＶＤ(Chemical Vapor Deposition：化学気相成長法)によるＳｉＯ2 膜からなる絶縁膜が形成されている（図示せず）。一方、キャビティ基板３０の上面には、リザーバ基板２０と同様のインク保護膜（図示せず）が形成されている。
【００５９】
電極基板４０はガラス材から作製されている。
電極基板４０には、キャビティ基板３０の振動板７に対向する表面の位置にそれぞれ電極凹部４１が設けられ、各電極凹部４１の底面には、一般に、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide：インジウム錫酸化物）からなる個別電極８が、スパッタにより形成されている。
個別電極８の端子部８５は、リザーバ基板２０およびキャビティ基板３０の端部が開口された電極取り出し部９側に露出しており、電極取り出し部９において、例えばドライバＩＣ等の駆動制御回路が搭載されたフレキシブル配線基板（図示せず）が、各個別電極８の端子部８５と、キャビティ基板３０の端部に設けられた共通電極３５とに接続されている。
また、電極基板４０には、それぞれのインクカートリッジ（図示せず）に接続されるインク供給口３４、６ｃ、６ｂ、６ａの一部となる供給孔が貫通している。
【００６０】
上記のように構成されたインクジェットヘッドの動作について、図７、図８を用いて説明する。インクジェットヘッド１には、第１の液滴吐出部ｓが形成されて、外部のインクカートリッジ内のインク（例えばイエロ−Ｙ）が、上部インク供給孔６ａを通じて上部リザーバ３ａ内に供給され、個々の供給口５（５ａ，５ｅ・・・）から、吐出室２（第１の吐出室２ａ、第５の吐出室２ｅ・・・）、ノズル連通流路２１（第１の連通流路２１ａ，第５の連通流路２１ｅ・・・）を経て、ノズル孔１１（第１のノズル孔１１ａ、第５のノズル孔１１ｅ・・・）の先端まで満たされている。
【００６１】
また、第２の液滴吐出部ｔが形成されて、外部の別のインクカートリッジ内のインク（例えばシアンＣ）が、第１のインク供給孔６ｃを通じて第１のリザーバ３ｃ内に供給され、個々の供給口５（５ｂ、５ｆ・・・）から、それぞれの吐出室２（第２の吐出室２ｂ、第６の吐出室２ｆ・・・）、ノズル連通流路２１（第２のノズル連通流路２１ｂ，第６のノズル連通流路２１ｆ・・・）を経て、ノズル孔１１（第２のノズル孔１１ｂ、第６のノズル孔１１ｆ・・・）の先端まで満たされている。
【００６２】
さらに、第３の液滴吐出部ｕが形成されて、外部の別のインクカートリッジ内のインク（例えばブラックＫ）が、第２のインク供給孔３４を通じて第２のリザーバ４内に供給され、供給口３２（３２ｃ、３２ｇ・・・）から、それぞれの吐出室２（第３の吐出室２ｃ、第７の吐出室２ｇ・・・）、ノズル連通流路２１（第３のノズル連通流路２１ｃ、第７のノズル連通流路２１ｇ・・・）を経て、ノズル孔１１（第３のノズル孔１１ｃ、第７のノズル孔１１ｇ・・・）の先端まで満たされている。
【００６３】
また、第４の液滴吐出部ｖが形成されて、外部の別のインクカートリッジ内のインク（例えばマゼンタＭ）が、中央インク供給孔６ｂを通じて中央リザーバ３ｂ内に供給され、供給口５（５ｄ、５ｈ・・・）から、それぞれの吐出室２（第４の吐出室２ｄ、第８の吐出室２ｈ・・・）、ノズル連通流路２１（第４の連通流路２１ｄ、第８のノズル連通流路２１ｈ・・・）を経て、ノズル孔１１（第４のノズル孔１１ｄ、第８のノズル孔１１ｈ・・・）の先端まで満たされている。
【００６４】
こうして、第１の液滴吐出部ｓの吐出室２（第１の吐出室２ａ、第５の吐出室２ｅ・・・）内のインク（イエローＹ）は、ノズル連通流路２１（第１のノズル連通流路２１ａ、第５のノズル連通流路２１ｅ・・・）を通過し、インク滴となってノズル孔１１（第１のノズル孔１１ａ、第５のノズル孔１１ｅ・・・）から吐出される。
また、第２の液滴吐出部ｔの吐出室２（第２の吐出室２ｂ、第６の吐出室２ｆ・・・）内のインク（シアンＣ）は、ノズル連通流路２１（第２の連通流路２１ｂ、第６の連通流路２１ｆ・・・）を通過し、インク滴となってノズル孔１１（第２のノズル孔１１ｂ、第６のノズル孔１１ｆ・・・）から吐出される。
【００６５】
また、第３の液滴吐出部ｕの吐出室２（第３の吐出室２ｃ、第７の吐出室２ｇ・・・）内のインク（ブラックＫ）は、ノズル連通流路２１（第３のノズル連通流路２１ｃ、第７のノズル連通流路２１ｇ・・・）を通過し、インク滴となってノズル孔１１（第３のノズル孔１１ｃ、第７のノズル孔１１ｇ・・・）から吐出される。
また、第４の液滴吐出部ｖの吐出室２（第４の吐出室２ｄ、第８の吐出室２ｈ・・・）内のインク（マゼンタＭ）は、ノズル連通流路２１（第４のノズル連通流路２１ｃ、第８のノズル連通流路２１ｈ・・・）を通過し、インク滴となってノズル孔１１（第４のノズル孔１１ｃ、第８のノズル孔１１ｈ・・・）から吐出される。
【００６６】
実施の形態２によれば、図７、図８に示すように、吐出室２が一列に配置され、それぞれの吐出室２に連通するノズル１１は一列に配置されて、４つの共通インク室４、３ｃ、３ｂ、３ａが積層構造として配置された１列４色の片列構造にしたので、１走査でフルカラー表現（３色コンポジット＋ブラック）が可能となる。そして、ヘッド走査を両方向印字として行う場合、ノズル１１は一列に配置されているので、各色の重ね合わせが走査の往路と復路で異なることはなく、各色の重ね合わせの順番が常に一定になる。こうして、４色のノズル配色において、両方向印字であっても高印字品質となり、高精度に色（着弾液滴）を重ねることができ、印刷品質が向上し、高画質を実現することができ、インクジェットヘッドを小型化することができる。
【００６７】
なお、上記の説明ではフェイスイジェクトタイプのインクジェットヘッドについて説明示したが、エッジイジェクトタイプのインクジェットヘッドに適用することもできる。
エッジイジェクトタイプのインクジェットヘッドによれば、ノズル基板１０の平面形状を小型化することが可能となる。また、フェイスイジェクトタイプにおいて不可欠なノズル連通流路２１が不要になるため、流路抵抗を低減することが可能となる。
【００６８】
実施の形態３．
図９は実施の形態３に係るインクジェットプリンタの斜視図、図１０は図９の要部の斜視図である。
図９、図１０において、インクジェットプリンタ１５０は、被印刷物であるプリント紙１６０が支持されるドラム１５１と、プリント紙１６０にインクを吐出して記録を行うインクジェットヘッド１５２とによって主に構成されている。
また、インクジェットヘッド１５２にインクを供給するためのインク供給手段がある（図示せず）。プリント紙１６０は、ドラム１５１の軸方向に平行に設けられた紙圧着ローラ１５３により、ドラム１５１に圧着して保持される。そして、送りネジ１５４がドラム１５１の軸方向に平行に設けられ、インクジェットヘッド１５２が保持されている。送りネジ１５４が回転することによって、インクジェットヘッド１５２がドラム１５１の軸方向に移動するようになっている。
【００６９】
一方、ドラム１５１は、ベルト１５５等を介してモータ１５６により回転駆動される。また、プリント制御手段１５７は、印画データ及び制御信号に基づいて送りネジ１５４及びモータ１５６を駆動させ、また、ここでは図示していないが、発振駆動回路を駆動させて振動板７を振動させ、制御をしながらプリント紙１６０に印刷を行う。
【００７０】
上記の説明では、液体をインクとしてプリント紙１６０に吐出するようにしているが、液滴吐出ヘッドから吐出する液体は上記のインクに限定されるものではない。
例えば、カラーフィルタとなる基板に吐出させる用途においては、カラーフィルタ用の顔料を含む液体、有機化合物等の電界発光素子を用いた表示パネル（ＯＬＥＤ等）の基板に吐出させる用途においては、発光素子となる化合物を含む液体、基板上に電気配線する用途においては、例えば導電性金属を含む液体を、それぞれの装置において設けられた液滴吐出ヘッドから吐出させるようにしてもよい。
【００７１】
また、液滴吐出ヘッドをディスペンサとし、生体分子のマイクロアレイとなる基板に吐出する用途に用いる場合では、ＤＮＡ（Deoxyribo Nucleic Acids ：デオキシリボ核酸）、他の核酸（例えば、Ribo Nucleic Acid：リボ核酸、Peptide Nucleic Acids：ペプチド核酸等）、タンパク質等のプローブを含む液体を吐出させるようにしてもよい。その他、布等の染料の吐出等にも利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】本発明の実施の形態１に係るインクジェットヘッドの要部を示す分解斜視図。
【図２】図１に示したインクジェットヘッドの組み立て状態の平面説明図。
【図３】図２をイ−イ線で切断した縦断面図。
【図４】インクジェットヘッドから吐出されたインクドットの配列を示す説明図。
【図５】インクジェットヘッドから吐出されたインクドットの状態を示す説明図。
【図６】実施の形態１に係るインクジェットヘッドから吐出されたインクドットの状態を示す説明図。
【図７】本発明の実施の形態２に係るインクジェットヘッドの平面説明図。
【図８】図７をロ−ロ線で切断した縦断面図。
【図９】本発明の実施の形態３に係るインクジェットプリンタの斜視図。
【図１０】図９の要部の斜視図。
【符号の説明】
【００７３】
２、２００  吐出室、３、３ａ、３ｂ、３ｃ、４、３００、４００  リザーバ（共通液滴室）、７，７０  振動板、８、８０  個別電極、１０  ノズル基板、１１、１１０  ノズル孔、１２、２３  ダイアフラム、２０、２０ａ、２０ｂ、２０ｃ  リザーバ基板、３０  キャビティ基板、４０  電極基板、Ａ  第１の列部、Ｂ  第２の列部、ｓ、ｔ、ｕ、ｖ、ｗ、ｘ、ｙ、ｚ  液滴吐出部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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