(57)【要約】【課題】装置の大型化を避け、レジストの分離・回収を効率的に行なうことができるレジスト剥離・回収システム、該レジスト剥離・回収システムに用いられるレジスト分離器およびレジスト回収槽を提供する。【解決手段】レジストの分離・回収システムの構成として、搬送中の帯状の製品からレジストを分離するために剥離液が注入され、かつ製品が剥離液に浸漬されるように構成された剥離液槽、または搬送中の個々の製品からレジストを分離するために剥離液が注入され、個々の製品を搬送する外部駆動のローラコンベアを内部に配置され、かつ製品が剥離液に浸漬されるように構成された剥離液槽と、剥離液槽で製品から分離されたレジストおよび剥離液の混合体が流入され、流入したレジストおよび剥離液を分離するレジスト分離器と、レジスト分離器から分離された、多少の剥離液を伴ったレジストが流入され、流入したレジストから剥離液を分離してレジストを回収するレジスト回収槽と、を設ける。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送中の帯状の製品からレジストを分離するために剥離液が注入され、かつ製品が剥離液に浸漬されるように構成された剥離液槽、または搬送中の個々の製品からレジストを分離するために剥離液が注入され、個々の製品を搬送する外部駆動のローラコンベアを内部に配置され、かつ製品が剥離液に浸漬されるように構成された剥離液槽と、
該剥離液槽で製品から分離されたレジストおよび剥離液の混合体が流入され、流入したレジストおよび剥離液を分離するレジスト分離器と、
該レジスト分離器から分離された、多少の剥離液を伴ったレジストが流入され、流入したレジストから剥離液を分離してレジストを回収するレジスト回収槽と、
を有することを特徴とするレジスト剥離・回収システム。
【請求項２】
請求項１記載のレジスト剥離・回収システムにおいて、
前記レジスト分離器は、分離板であるメッシュ状部材から構成された逆裁頭四角誰状であり、各メッシュ状部材の水平面となす角度が５０〜６０°であることを特徴とするレジスト剥離・回収システム。
【請求項３】
請求項２記載のレジスト剥離・回収システムにおいて、
前記レジスト分離器のメッシュ状の部材の下側には該部材に向けて上方に洗浄液を噴射するための洗浄液ノズル配管が配置されていることを特徴とするレジスト剥離・回収システム。
【請求項４】
請求項１記載のレジスト剥離・回収システムにおいて、
前記レジスト回収槽は、レジストを剥離液から分離するための傾斜した分離板を備えたレジスト滑り台と、レジスト滑り台の下方に配置され、分離されたレジストを回収するためのレジスト回収ネットを有することを特徴とするレジスト剥離・回収システム。
【請求項５】
請求項４記載のレジスト剥離・回収システムにおいて、
前記レジスト回収槽は、前記レジスト滑り台へ流入させるレジストおよび剥離液を減速・減圧させる、前記レジスト滑り台の上方に液噴出し口を持つ減速・減圧エリアと、前記液噴出し口から出てレジスト滑り台に流入するレジストおよび剥離液を下方に向ける整流板と、前記レジスト滑り台の分離板の下側に配置されて剥離液を偏向する上部のＬ状の一次液切り板および下部の二次液切り板と、をさらに有することを特徴とするレジスト剥離・回収システム。
【請求項６】
請求項５記載のレジスト剥離・回収システムにおいて、
前記分離板が垂直面となす角度は３５〜４５°であり、前記分離板と前記整理板とのなす角度は２０〜３０°であり、前記分離板と前記一次液切り板とのなす角度は２０〜３０°であり、前記分離板と前記二次液切り板とのなす角度が９０°であることを特徴とするレジスト剥離・回収システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＴＡＢテープ、リードフレーム等の半導体実装部品の製造に際して行なわれるレジスト層の剥離・回収装置、該システムに用いられるレジスト分離器およびレジスト回収槽に関し、より具体的には該レジスト層を剥離工程においてブロック状に剥離し、得られたレジスト剥離片を容易に回収することができ、かつメンテナンスフリーの剥離・回収システム（装置）、該システムに用いられるレジスト分離器およびレジスト回収槽に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子実装用部品にＴＡＢテープやリードフレームといったものがある。これらは、主として、基材の表面にレジスト層を設け、レジスト層をパターニングしてエッチングマスクを作成し、露出した導体層部をエッチングして所望の配線部を作成し、その後、残存するレジスト層を除去し、要すれば所望部位にめっきを施して作成される。
【０００３】
ところで、エッチング後に残存するレジスト層を剥離する工程では、剥離液をスプレー等で吹き付ける方式が一般的である。レジスト層に剥離液が吹き付けられると、レジスト層が膨潤し、このとき発生する応力によりレジスト層が基材表面より剥離脱落する。同時にスプレーの打力により、膨潤したレジスト層が細かい破片状に砕かれる。その結果、細かく砕かれたレジスト層の破片がリードフレームのパターンの細かい部分に付着し、異物付着として不良原因となるという問題がある。
【０００４】
こうした問題を解消するために、剥離液にレジスト層が剥がれやすくなる添加剤等を加えたり、レジスト層そのものの剥離片が小さくならない特性をもつものを用いることなどが検討されているが、いずれもコストアップとなり、現実的な解決方法となっていない。
【０００５】
一方、プリント配線板やリードフィルムといった半導体素子実装用部品は、半導体装置の高密度化、小型化に伴い、近年、ますますファインな加工が要求され、用いるレジスト層もより解像度の高いものとなってきている。そのため、前記した細かく砕かれたレジスト層の破片に起因する不良原因の低減がより重要視されるようになってきている。
【０００６】
このような状況のもと、製品収率の歩留まりを大きく下げていたレジスト剥離工程を改良し、製品収率を向上させることを目的として特開平１１−２０４９１７号公報に、その主要部を浸漬槽と、浸漬槽内部に設けられた無限ベルトコンベアと、浸漬槽入り口部に設けられ、被処理物を前記無限ベルトコンベアの上に供給するための供給ローラーと、前記無限ベルトコンベアの被処理物排出端近くで無限ベルトコンベア上面に設けられた被処理物を搬送するための搬送ローラーと、ベルトコンベア入り口端と搬送ローラーとの間に、ベルトコンベア上方に、ベルトコンベア上面より被処理物が通過しうる間隔をあけて、剥離したレジスト層を被処理物の進行方向と略９０度となる方向に排出するように設けられた邪魔板と、被処理物排出端側で、被処理物の排出方向に浸漬槽より排出される剥離液を受ける受け槽と、該受け層の剥離液を、フィルターを介して剥離液タンクに戻すためのポンプと、剥離液タンクから浸漬槽に剥離液を供給する供給ポンプと、供給ポンプより浸漬槽下部の剥離液供給ノズルとの間に設けられた配管と、供給ポンプより前記ベルトコンベアと前記搬送ローラーと前記邪魔板とで構成される部分に、搬送方向と略直角に剥離液が流れるように設けられた供給管との間に設けられた配管とから主として構成されるレジスト剥離装置が開示されている。
【０００７】
この装置は、レジストを剥離するに際して、被処理物をベルトコンベア上に載せて剥離液中を搬送し、被処理物のレジスト槽と剥離液とを接触させて、レジスト層を細かく粉砕することなく基材より剥離させ、前記ベルトコンベアと前記搬送ローラーと前記邪魔板とで構成される部分で作成される搬送方向に対して略直角になる剥離液の流れにより剥離した被処理物の上側手のレジスト層を系外に排出し、搬送面下側では、搬送方向に略一致する剥離液の流れをつくり、被処理物の下側手のレジスト層を受け層の剥離液を剥離液タンクに戻すためのポンプ手前に設けられたフィルターにより系外に排出しようとするものである。なお、剥離された上側手のレジスト層は金属製の網を用いて固液分離し、剥離液は剥離液タンクに戻されている。
【特許文献１】特開平１１−２０４９１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
前述の特開平１１−２０４９１７号公報記載の装置では、剥離された上側手のレジスト層はブロック状となっており、必ずしも連続的に均一に系外に排出されるわけではないため、前記固液分離のための装置として過剰の能力を有するものを用いざるを得ない。また、下側手のレジスト層は被処理物の下側手のレジスト層を受け層の剥離液を剥離液タンクに戻すためのポンプ手前に設けられたチェックフィルター等により系外に排出するために頻繁にフィルターを交換しなければならないという問題がある。
【０００９】
また、前記装置では無限ベルトコンベアシステムを用いるため、装置が大規模となり、多大の投資が必要となること、ベルトが目詰まりすることにより剥離液が被処理物の下面に入りづらくなり、そうした場合にはレジスト層の膨潤が不十分となり剥離不良が起きやすいこと、これを防止するためにベルトを交換する際には装置全体の停止が必要となってくることといった問題がある。
【００１０】
本発明は、前記問題点を解消しうるレジスト剥離・回収システム、該レジスト剥離・回収システムに用いられるレジスト分離器およびレジスト回収槽を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記課題を解決するために、本発明のレジスト剥離・回収システムは、搬送中の帯状の製品からレジストを分離するために剥離液が注入され、かつ製品が剥離液に浸漬されるように構成された剥離液槽、または搬送中の個々の製品からレジストを分離するために剥離液が注入され、個々の製品を搬送する外部駆動のローラコンベアを内部に配置され、かつ製品が剥離液に浸漬されるように構成された剥離液槽と、該剥離液槽で製品から分離されたレジストおよび剥離液の混合体が流入され、流入したレジストおよび剥離液を分離するレジスト分離器と、該レジスト分離器から分離された、多少の剥離液を伴ったレジストが流入され、流入したレジストから剥離液を分離してレジストを回収するレジスト回収槽と、
を有することを特徴とする。
【００１２】
また、本発明のレジスト剥離・回収システムで用いられるレジスト分離器は、分離板であるメッシュ状部材から構成された逆裁頭四角誰状であり、各メッシュ状部材の水平面となす角度が５０〜６０°であることを特徴とする。
【００１３】
また、前記レジスト分離器のメッシュ状の部材の下側には該部材に向けて上方に洗浄液を噴射するための洗浄液ノズル配管が配置されていることが好ましい。
【００１４】
また、本発明のレジスト剥離・回収システムで用いられるレジスト回収槽は、レジストを剥離液から分離するための傾斜した分離板を備えたレジスト滑り台と、レジスト滑り台の下方に配置され、分離されたレジストを回収するためのレジスト回収ネットを有することを特徴とする。
【００１５】
また、前記レジスト回収槽は、前記レジスト滑り台へ流入させるレジストおよび剥離液を減速・減圧させる、前記レジスト滑り台の上方に液噴出し口を持つ減速・減圧エリアと、前記液噴出し口から出てレジスト滑り台に流入するレジストおよび剥離液を下方に向ける整流板と、前記レジスト滑り台の分離板の下側に配置されて剥離液を偏向する上部のＬ状の一次液切り板および下部の二次液切り板と、をさらに有することが好ましい。
【００１６】
さらにまた、前記分離板が垂直面となす角度は３５〜４５°であり、前記分離板と前記整理板とのなす角度は２０〜３０°であり、前記分離板と前記一次液切り板とのなす角度は２０〜３０°であり、前記分離板と前記二次液切り板とのなす角度が９０°であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１７】
本発明のレジスト剥離・回収システムでは、帯状の製品からレジストを分離する場合には、剥離液が注入されて搬送中の製品を剥離液に浸漬させるための剥離液槽を用いることにより、すなわち、剥離液槽に無端ベルトコンベアを用いないので、簡単に構成できるとともに無端ベルトコンベアの腐食の問題は生じない。または個々の製品からレジストを分離する場合には、個々の製品を搬送する外部駆動のローラコンベアを内部に配置され、かつ剥離液が注入されて搬送中の製品を剥離液に浸漬させるための剥離液槽を用いることにより、簡単に構成できるとともに無端ベルトコンベアの腐食の問題は生じない。
【００１８】
さらに、本発明のレジスト剥離・回収システムでは、レジストの分離をレジスト分離器とレジスト回収槽を用いて二段階で行なっているので、従来のように、一段階のレジストの回収時の処理負担を軽減できる。
【００１９】
本発明のレジスト剥離・回収システムで用いるレジスト分離器では、分離板（メッシュ状部材）が水平面に対して最適な傾斜角（５０〜６０°）から構成されているので、レジスト分離を効率的に行なうことができる。
【００２０】
本発明のレジスト剥離・回収システムで用いるレジスト回収装置では、傾斜した分離板を供えたレジスト滑り台を用いているので、効率的にレジストを分離でき、さらに整理板、一次液切り板、二次液切り板を設けた場合には、その効率を向上させることができ、さらに、これらの部材の傾斜角を適切に選ぶことにより、最適な効率を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
本発明のレジスト剥離・回収システムでは、搬送中の帯状の製品からレジストを分離するために剥離液が注入され、かつ製品が剥離液に浸漬されるように構成された剥離液槽、または搬送中の個々の製品からレジストを分離するために剥離液が注入され、個々の製品を搬送する外部駆動のローラコンベアを内部に配置され、かつ製品が剥離液に浸漬されるように構成された剥離液槽と、該剥離液槽で製品から分離されたレジストおよび剥離液の混合体が流入され、流入したレジストおよび剥離液を分離するレジスト分離器と、該レジスト分離器から分離された、多少の剥離液を伴ったレジストが流入され、流入したレジストから剥離液を分離してレジストを回収するレジスト回収槽と、を設ける。
【００２２】
また、本発明のレジスト剥離・回収システムで用いるレジスト分離器は、分離板であるメッシュ状部材から構成された逆裁頭四角誰状であり、各メッシュ状部材の水平面となす角度が５０〜６０°である。
【００２３】
また、本発明のレジスト剥離・回収システムで用いるレジスト回収槽は、レジストを剥離液から分離するための傾斜した分離板を備えたレジスト滑り台と、レジスト滑り台の下方に配置され、分離されたレジストを回収するためのレジスト回収ネットを備える。
【実施例】
【００２４】
次に、図面を参照して、本発明の実施例のレジスト剥離・回収システム、該システムに用いられるレジスト分離器およびレジスト回収槽を説明する。
（実施例１）
図１は、本発明の実施例のレジスト剥離・回収システム全体を示す概略ブロック図である。図２は、本発明の実施例１のレジスト剥離・回収システム内の製品搬送部とレジスト分離器を示す図であり、図２ａはその上面図であり、図２ｂはその正面図である。図３はレジスト分離機の詳細を示す平面図と、その正面図および側面図である。図４はレジスト回収槽を示す図であり、図４ａはその側面図であり、図４ｂはその正面図である。図５はレジスト回収槽の主要部だけを拡大して示す側面図である。
【００２５】
図１において、剥離液は剥離タンク６０より剥離噴射ポンプ８４を用いて製品搬送・剥離部分１０へ供給される。製品搬送・剥離部分１０にはフープ状（帯状）の例えばリードフレーム（図示せず）が搬送されており、この搬送中の製品からレジスト（例えば、ドライフィルムレジスト）が剥離液によって剥離され、剥離されたレジストは剥離液とともにレジスト分離器２０に流入する。
【００２６】
レジスト分離器２０で、剥離液とレジストが大まかに分離される。大まかに分離することにより、後述するレジスト回収槽４０の処理を負担を軽減することができる。大まかに分離されたレジストは少量の剥離液と一緒にレジスト回収ポンプ８２でレジスト回収槽４０へ移送される。一方、分離された剥離液は剥離タンク６０に戻される。
【００２７】
レジスト回収槽４０において、レジストと剥離液はほぼ完全に分離される。分離後のレジストはレジスト回収槽内のレジスト回収ネット（図１には図示せず）に回収されるが、その際、わずかに付着した剥離液の液切りが行なわれ、分離された剥離液は剥離タンク６０に戻される。
【００２８】
なお、図１中の矢印は、剥離液、またはレジストおよび剥離液の混合体の流れの方向を示す。
【００２９】
次に、図２を参照すると、製品搬送・剥離部分とレジスト分離器が示されている。図２において、製品搬送・剥離部分１０には、剥離液が注入されて製品からレジストを剥離するための剥離液槽１２が設けられている。製品は矢印Ａの方向に搬入され、剥離液槽１２中でレジストが剥離され、矢印Ｂの方向に搬出される。剥離液は矢印Ｃで示すように剥離液槽１２に注入され、剥離したレジストと一緒に矢印Ｄで示す方向に流れ、レジスト分離器２０に流入することになる。
【００３０】
レジスト分離器２０は、図３を参照して後述するが、メッシュ状ステンレスで構成されている。このレジスト分離器２０の下方には、レジストによるレジスト分離器の目詰まりを防止するために洗浄液を上方に向かって噴射する洗浄用シャワー（レジスト分離機洗浄用ノズル配管）３０が設けられている。レジスト分離器２０によって分離されたレジストはその底部に設けられた配管３２を通してレジスト回収用ポンプ８２（図１参照）によってレジスト回収槽４０（図１参照）に移送される。一方、レジスト分離器２０によって分離された剥離液は配管３４を通して剥離タンク６０（図１参照）に移送される。
【００３１】
次に、図３を参照すると、レジスト分離器が示されている。図３において、レジスト分離器２０は、分離板２２、２４、２６、２８から構成された逆裁頭四角錐形状であり、各分離板は、例えば、１００メッシュのステンレスで作られている。そして、各分離板が水平面となす角度は５０〜６０°であることが極めて好ましいものである。その理由は、５０°以下であると、レジストの流れが遅くなり、底部に溜まり易く、レジスト回収槽４０（図１参照）への移送が困難となり、６０°以上であると、剥離液が十分分離されずに底部に流れ込むからである。
【００３２】
次に、図４、図５を参照すると、レジスト回収槽が示されている。図４、図５において、レジスト分離器２０（図１〜図３参照）から分離された、剥離液を多少伴ったレジストはレジスト回収用ポンプ８２（図１参照）によりレジスト回収槽４０の減速・減圧エリア４２を通って、緩やかな流れにされ、その液噴出し口４２ａから流れでる。液噴出し口４２ａの下流には、レジストと剥離液をさらに分離するためのレジスト滑り台４４が下方に傾斜した状態で配置されている。レジスト滑り台４４の底部には、レジストを分離するための例えば１００メッシュのステンレスで作られた分離板４８が設けられている。この分離板４８が垂直面となす角度は、３５〜４５°であることが極めて好ましい。その理由は、３５°以下であると、レジストの流れが緩やかとなりすぎ、停滞や目詰まりを生じやすく、４５°以上であると、剥離液が十分分離されず後述するレジスト回収ネット５４に流入されやすいからである。
【００３３】
分離板４８の上方で液噴出し口４２ａの前方には整流板４６が設けられている。整流板４６のレジスト滑り台４４（分離板４８）となす角度は、レジストを下方に向けるとともにレジスト滑り台４４の分離板４８上を停滞なく滑らすように、２０〜３０°に選ばれることが好ましい。また、剥離液をレジスト回収ネットに流れ込まさないように、分離板４８の下側には、その上部と下部のそれぞれに、Ｌ状の一次液切り板５０と二次液切り板５２が設けられている。一次液切り板５２が分離板４８となす角度は２０〜３０°に選ばれるのが好ましく、また、二次液切り板５４が分離板４８となす角度は９０°に選ばれるのが好ましい。
【００３４】
レジスト滑り台４４の分離板４８の下端の下方にはレジスト回収ネット５４が配置されている。このレジスト回収ネットは多重（例えば、二重）にすることでレジストの未回収量を減少させることができる。
（実施例２）
実施例２は、レジストを剥離する製品が帯状のものでなく、分離された個々の製品を対象とする場合に適用される。図６は、本発明の実施例２のレジスト剥離・回収システム内の製品搬送部とレジスト分離器を示す図であり、図６ａはその上面図であり、図６ｂはその正面図である。
【００３５】
図６において、剥離液槽１２の内部には、製品を搬送するためのローラコンベア９０が配置されている。このローラコンベア９０の個々のローラは剥離液槽１２の外部に駆動部が設けられており、剥離液による腐食が防止されている。なお、その他の構成は実施例１と同様であるので、詳細な説明は省略する。
（評価）
本発明の実施例１のレジスト剥離・回収システムを用いて実験を行なった結果、レジスト回収装置通過後の剥離液にはレジスト片の混入が無く、完全にレジストと剥離液が分離されていたこと、および1ヶ月連続で稼動したが、レジストの詰まりおよび本体装置の破損や故障の発生はなかったことが見出された。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の実施例のレジスト剥離・回収システム全体を示す概略ブロック図である。
【図２】本発明の実施例１のレジスト剥離・回収システム内の製品搬送部とレジスト分離器を示す図であり、図２ａはその上面図であり、図２ｂはその正面図である。
【図３】レジスト分離機の詳細を示す平面図と、その正面図および側面図である。
【図４】レジスト回収槽を示す図であり、図４ａはその側面図であり、図４ｂはその正面図である。
【図５】レジスト回収槽の主要部だけを拡大して示す側面図である。
【図６】本発明の実施例２のレジスト剥離・回収システム内の製品搬送部とレジスト分離器を示す図であり、図６ａはその上面図であり、図６ｂはその正面図である。
【符号の説明】
【００３７】
１０    レジスト剥離・回収システム
１２    剥離液槽
２０    レジスト分離器
２２、２４、２６、２８  分離板
３０    洗浄液ノズル配管
３２    配管
３４    配管
４０    レジスト回収槽
４２    減速・減圧エリア
４４    レジスト滑り台
４６    整流板
４８    分離板
５０    一次液切り板
５２    二次液切り板
５４    レジスト回収ネット
６０    剥離タンク
８２    レジスト回収用ポンプ
８４    剥離液噴射用ポンプ  
９０    ローラコンベア
【図１】
2008070446.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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