(57)【要約】【課題】  磁路にギャップを形成する自由度がより高められたコイル部品を提供すること。【解決手段】  このコイル部品１は、導線を巻回してなるコイル３０と、コイル３０を両面から挟み込むように配置される上部フェライトコア１１及び下部フェライトコア１２と、を備え、上部フェライトコア１１の下部フェライトコア１２に対向する内面には、コイル３０の外側の領域に延出する外脚部１１２が設けられ、下部フェライトコア１２の上部フェライトコア１１に対向する内面には、コイル３０の軸心周りの領域に延出する内脚部１２２が設けられ、上部フェライトコア１１と内脚部１２２との間の距離と、下部フェライトコア１２と外脚部１１２との間の距離とが実質的に同一となるように配置されている。【選択図】  図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
導線を巻回してなるコイルと、前記コイルを両面から挟み込むように配置される第１磁性基板及び第２磁性基板と、を備えるコイル部品であって、
前記第１磁性基板の前記第２磁性基板に対向する内面には、前記コイルの外側の領域に延出する外脚部が設けられ、
前記第２磁性基板の前記第１磁性基板に対向する内面には、前記コイルの軸心周りの領域に延出する内脚部が設けられ、
前記第１磁性基板と前記内脚部との間の距離と、前記第２磁性基板と前記外脚部との間の距離とが実質的に同一となるように配置されていることを特徴とするコイル部品。
【請求項２】
導線を巻回してなるコイルと、前記コイルを両面から挟み込むように配置される第１磁性基板及び第２磁性基板とを備えるコイル部品の製造方法であって、
前記第１磁性基板となる基板形成領域を含む第１磁性基板母材と、前記第２磁性基板となる基板形成領域を含む第２磁性基板母材と、前記コイルが互いに繋がって複数連続的に形成されたコイル集合体と、を準備する準備工程と、
前記第１磁性基板母材及び前記第２磁性基板母材の少なくとも一方の主面に突起部を形成する突起形成工程と、
前記第１磁性基板母材の主面に複数の外脚部を、前記第２磁性基板母材の主面に複数の内脚部をそれぞれ形成する脚部形成工程と、
前記コイル集合体を形成する前記コイルの軸心周りの領域それぞれに、前記複数の内脚部が嵌るように前記コイル集合体を前記第２磁性基板母材に挿着する挿着工程と、
前記外脚部及び前記内脚部が形成された主面を内側にして前記第１磁性基板母材及び前記第２磁性基板母材を対向させ、前記コイル集合体をその両面から前記第１磁性基板母材及び前記第２磁性基板母材によって挟み込み、前記突起部が他方の主面に当接する状態で接着し、コイル組立集合体を作製する組立工程と、
当該作製したコイル組立集合体を切り離して前記コイル部品とする切断工程と、
を備えるコイル部品の製造方法。
【請求項３】
前記脚部形成工程においては、前記第１磁性基板母材及び前記第２磁性基板母材を削り出すことによって、前記外脚部及び前記内脚部を形成する、請求項２に記載のコイル部品の製造方法。
【請求項４】
前記挿着工程においては、前記内脚部が形成された前記第２磁性基板母材に樹脂を塗布し、前記コイル集合体を挿着する、請求項３に記載のコイル部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コイル部品及びコイル部品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
平面コイルをコアで挟み込んで形成されるコイル部品が知られている（例えば、下記特許文献１参照）。下記特許文献１に記載されているコイル部品は、平面コイルの軸心部分と外周部分とにコアと一体になった磁性部分が配置されている（下記特許文献の図２６参照）。
【特許文献１】特開２００２−２０３７３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記特許文献１に記載のコイル部品は、コイルを挟み込むコア同士は実質的に密着している。コア同士を接着固定する際に、コアとコアとの間に接着剤が入り込んで微小な空隙が形成される場合も想定されるが、コイル部品の特性に影響を与えるギャップとして機能するものではなかった。
【０００４】
ところで、コイル部品の直流重畳特性の観点から磁路の途中にギャップを設けることがある。このギャップを形成する際には、例えば、コイルの軸心近傍に突出して形成されるコアの一部分である磁性部分の高さと、コイルの周辺部分に形成されるコアの一部分である磁性部分の高さとを異ならせる手法が用いられる。
【０００５】
しかしながら、この手法では、高さを高くした方の磁性部分が相手側のコアに当接し、高さを低くした方の磁性部分と相手側のコアとの間でギャップが形成されるため、ギャップを形成する位置や数の自由度が制限されていた。
【０００６】
そこで本発明は、磁路にギャップを形成する自由度がより高められたコイル部品を提供することを目的とする。また、そのようなコイル部品を製造する製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために本発明者らは、コイル部品にギャップを形成する様々な態様について検討を行った。その検討の過程において、コイル部品の磁路に複数箇所ギャップを形成する場合には、それぞれのギャップの磁路に沿った長さを略同一にすることが極めて困難であることが判明した。例えば、コイルを一対のコアで挟んでコイル部品を形成する場合に、一対のコア同士を接着する際の押圧力を調整することでコア同士の距離、すなわちギャップの長さを同一にすることが考えられる。しかしながらこの手法では、押圧力の制御が極めて困難である。また、別の例では、一対のコアの間にＰＥＴシートといった部材を挟むことが考えられる。しかしながらこの手法では、ＰＥＴシートの厚みのばらつき等によって、一様なギャップを形成することが極めて困難である。特にギャップの長さが２０μｍといった微小なものになると、実質的に一様な精度のよいギャップを形成することはできなかった。そこで本発明者らは、この新たな課題をも解決するために本発明を成しえたものである。
【０００８】
本発明のコイル部品は、導線を巻回してなるコイルと、コイルを両面から挟み込むように配置される第１磁性基板及び第２磁性基板と、を備えるコイル部品であって、第１磁性基板の第２磁性基板に対向する内面には、コイルの外側の領域に延出する外脚部が設けられ、第２磁性基板の第１磁性基板に対向する内面には、コイルの軸心周りの領域に延出する内脚部が設けられ、第１磁性基板と内脚部との間の距離と、第２磁性基板と外脚部との間の距離とが実質的に同一となるように配置されている。
【０００９】
本発明によれば、第１磁性基板の内面から延出する内脚部と第２磁性基板との距離と、第２磁性基板の内面から延出する外脚部と第１磁性基板との距離と、が実質的に同一となるように配置されているので、閉磁路に沿った長さが実質的に同一となっているギャップを複数形成できる。
【００１０】
本発明のコイル部品の製造方法は、導線を巻回してなるコイルと、コイルを両面から挟み込むように配置される第１磁性基板及び第２磁性基板とを備えるコイル部品の製造方法であって、第１磁性基板となる基板形成領域を含む第１磁性基板母材と、第２磁性基板となる基板形成領域を含む第２磁性基板母材と、コイルが互いに繋がって複数連続的に形成されたコイル集合体と、を準備する準備工程と、第１磁性基板母材及び第２磁性基板母材の少なくとも一方の主面に突起部を形成する突起形成工程と、第１磁性基板母材の主面に複数の外脚部を、第２磁性基板母材の主面に複数の内脚部をそれぞれ形成する脚部形成工程と、コイル集合体を形成するコイルの軸心周りの領域それぞれに、複数の内脚部が嵌るようにコイル集合体を第２磁性基板母材に挿着する挿着工程と、外脚部及び内脚部が形成された主面を内側にして第１磁性基板母材及び第２磁性基板母材を対向させ、コイル集合体をその両面から第１磁性基板母材及び第２磁性基板母材によって挟み込み、突起部が他方の主面に当接する状態で接着し、コイル組立集合体を作製する組立工程と、当該作製したコイル組立集合体を切り離してコイル部品とする切断工程と、を備える。
【００１１】
本発明によれば、導線を巻回してなるコイルが複数繋がってなるコイル集合体を挿着するので、巻線タイプのコイル部品を容易かつ同時に複数形成できる。また、第１磁性基板の内面と内脚部との間の距離と、第２磁性基板の内面と外脚部と、の間の距離とが実質的に同一となるコイル部品を製造することもできる。特に、第１磁性基板母材及び第２磁性基板母材の少なくとも一方の主面に突起部を形成するので、第１磁性基板母材と第２磁性基板母材との距離を的確に保持できる。従って、例えば第１磁性基板母材と第２磁性基板母材との距離が極めて短い場合であっても、その距離を的確に保持できる。
【００１２】
また本発明では、脚部形成工程においては、第１磁性基板母材及び第２磁性基板母材を削り出すことによって、外脚部及び内脚部を形成することも好ましい。外脚部及び内脚部を磁性基板の削り出しによって形成するので、磁性材料のボリュームを最大限にすることができ、コイル部品の特性を向上させることができる。
【００１３】
また本発明では、挿着工程においては、内脚部が形成された第２磁性基板母材に樹脂を塗布し、コイル集合体を挿着することも好ましい。内脚部が形成されている第２磁性基板母材に樹脂を塗布した後にコイル集合体を装着しているので、コイル回りの気泡発生を抑制できる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、閉磁路に沿った長さが実質的に同一となっているギャップを複数有するコイル部品を提供できる。従って、例えば従来は不可能であったギャップ長さが２０μｍといった微小ギャップを磁路に沿って複数形成することができ、磁路にギャップを形成する自由度をより高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明の知見は、例示のみのために示された添付図面を参照して以下の詳細な記述を考慮することによって容易に理解することができる。引き続いて、添付図面を参照しながら本発明の実施の形態を説明する。可能な場合には、同一の部分には同一の符号を付して、重複する説明を省略する。
【００１６】
本発明の実施形態であるコイル部品について図１を参照しながら説明する。図１は、本実施形態におけるコイル部品１の斜視図である。コイル部品１は表面実装型のコイル部品である。コイル部品１は、平板状のコア構造体１０と、他の基板と電気的に接続される外部端子２０とを備えている。コア構造体１０は、主に平板状の上部フェライトコア１１（第１磁性基板）及び主に平板状の下部フェライトコア１２（第２磁性基板）から構成されており、上部フェライトコア１１と下部フェライトコア１２が組み合わされることで全体として平板状の形状をなしている。
【００１７】
コア構造体１０の分解斜視図を図２に示す。上部フェライトコア１１は、矩形平板状の平板部１１１と、その平板部１１１に対して垂直に延びる外脚部１１２とを有している。外脚部１１２は一対設けられており、一方の外脚部１１２は平板部１１１の一辺から、他方の外脚部１１２はその一辺と平行な辺から、それぞれ同じ方向に延びている。従って、外脚部１１２が下部フェライトコア１２に立脚するように上部フェライトコア１１を配置すると、上部フェライトコア１１の平板部１１１と下部フェライトコア１２との間に空隙が形成される。
【００１８】
下部フェライトコア１２は、矩形平板状の平板部１２１と、その平板部１２１の中央部分から突出する内脚部１２２を有している。内脚部１２２は、角柱形状をなしている凸部である。下部フェライトコア１２の平板部１２１に上部フェライトコア１１の脚部１１２の先端面を突き合わせてコア構造体１０を構成すると、実質的に閉磁路となった外殻部が構成されると共に、外殻部の内側に内脚部１２２が配されることになる。
【００１９】
図１及び図２には明示しないが、上部フェライトコア１１と下部フェライトコア１２との間には、導線を巻回してなるコイルが挟み込まれている。上部フェライトコア１１の外脚部１１２は、コイルの外側の領域に延出している。下部フェライトコア１２の内脚部１２２は、コイルの軸心回りの領域に延出している。
【００２０】
上部フェライトコア１１の外脚部１１２と、下部フェライトコア１２の内脚部１２２とは同じ長さとなるように形成されている。従って、上部フェライトコア１１と下部フェライトコア１２とを所定間隔をあけて配置すると、内脚部１２２の先端と上部フェライトコア１１との間には空隙が生じ、微小ギャップを形成できる。同様に、外脚部１１２の先端と下部フェライトコア１２との間にも空隙が生じ、微小ギャップを形成できる。
【００２１】
本実施形態においては、下部フェライトコア１２の平板部１２１の内面（上部フェライトコア１１に対向する面）から内脚部１２２の先端までの長さと、上部フェライトコア１１の平板部１１１の内面（下部フェライトコア１２に対向する面）から外脚部１１２の先端までの長さとは実質的に同一になるように形成されている。また、上部フェライトコア１１と下部フェライトコア１２とは所定間隔をおいて配置されている。従って、内脚部１２２の先端と平板部１１１との距離（ｄ１）と、外脚部１１２の先端と平板部１２１との距離（ｄ２）とは実質的に同一である。本実施形態の場合、距離（ｄ１）及び距離（ｄ２）は２０μｍとなるように形成されており、誤差は１０％以内である。
【００２２】
本実施形態の場合、下部フェライトコア１２の内脚部１２２が形成されている面と、上部フェライトコア１１の外脚部１１２が形成されている面とのそれぞれに沿って接着樹脂層（図１及び図２においては明示せず）が形成され、コイルを挟み込むように固定している。従って、微小ギャップにはそれぞれ接着樹脂層が充填形成されている。この微小ギャップは、コイルに流れる電流で、上部フェライトコア１１及び下部フェライトコア１２が磁気飽和するのを緩和するために設けられている。
【００２３】
引き続いて、コイル部品１の製造方法を、図３，４，５，６，７，８，９，１０，１１を参照しながら説明する。図３はコイル部品１の製造方法の手順を示す図である。図４，５は、図３に示す手順に沿ってコイル部品１が形成されていく様子を、単位部分に着目して示す図である。図６，７，８，９，１０，１１は、図３に示す手順に沿って、コイル部品１が形成されていく様子を、全体的に示す図である。以下の説明では、図３〜１１を適宜参照しながら説明する。
【００２４】
図３，６に示すように、上部磁性基板母材Ｂ１（第１磁性基板母材）と、下部磁性基板母材Ｂ２（第２磁性基板母材）と、連結巻線コイル（コイル集合体）Ｃと、を準備する（ステップＳ０１ａ，Ｓ０１ｂ，Ｓ０１ｃ、準備工程、突起形成工程、脚部形成工程）。
【００２５】
上部磁性基板母材Ｂ１には、外脚部１１２となる凸部Ｌ１が形成されている（図４の（ａ）参照）。凸部Ｌ１は、外脚部１１２の略倍の幅を有しており、磁性基板を切削加工することで形成されている。凸部Ｌ１は、外脚部１１２の略倍の幅の連続した壁部として形成されている。凸部Ｌ１は、準備する連結巻線コイルＣの本数よりも少なくとも１本多くなるように形成されている。本実施形態の場合には、連結巻線コイルＣの本数９よりも３本多くなるように形成されている。
【００２６】
下部磁性基板母材Ｂ２には、内脚部１２２となる凸部Ｌ２が形成されている（図４の（ａ）参照）。凸部Ｌ２は、少なくとも連結巻線コイルＣが有するコイル３０の数と同じ数だけ形成されている。本実施形態の場合には、連結巻線コイルＣの両側に一列ずつと、各連結巻線コイルＣの両端部側に三列ずつ余分に形成されている。連結巻線コイルＣの両側に形成されえている一列の凸部Ｌ２は、上部磁性基板母材Ｂ１との間の距離を確保するための突起部として形成されている。また、各連結巻線コイルＣの両端部側に三列ずつ余分に形成されている凸部Ｌ２は、アライメントマークとして形成されている。
【００２７】
連結巻線コイルＣは、コイル部品１のコイル３０が互いに繋がって複数連続的に形成されたものである。連結巻線コイルＣとしては、図７〜９に示すようなものが用いられる。図７に示すのは、平角エッジワイズ巻コイルである。図７の（ａ）は平面図を、図７の（ｂ）は側面図を示している。図７に示すように、連結巻線コイルＣは、コイル部分３０ａが連結部分３０ｂによって連結されている。コイル３０は、コイル部分３０ａ及びその両端の連結部分３０ｂによって形成される。連結部分３０ｂは、それぞれ図１に示した外部端子２０に電気的に繋がっている。
【００２８】
図８に示すのは、平角クロスワイズ巻コイルである。図８の（ａ）は平面図を、図８の（ｂ）は側面図を示している。図８に示すように、連結巻線コイルＣは、コイル部分３０ｃが連結部分３０ｄによって連結されている。コイル３０は、コイル部分３０ｃ及びその両端の連結部分３０ｄによって形成される。連結部分３０ｄは、それぞれ図１に示した外部端子２０に電気的に繋がっている。
【００２９】
図９に示すのは、丸線フラット巻コイルである。図９の（ａ）は平面図を、図９の（ｂ）は側面図を示している。図９に示すように、連結巻線コイルＣは、コイル部分３０ｅが連結部分３０ｆによって連結されている。コイル３０は、コイル部分３０ｅ及びその両端の連結部分３０ｆによって形成される。連結部分３０ｆは、それぞれ図１に示した外部端子２０に電気的に繋がっている。
【００３０】
続いて、図３及び図４の（ｂ）に示すように、下部磁性基板母材Ｂ２に接着樹脂Ｒを塗布する（ステップＳ０２）。その後、図３及び図４の（ｃ）に示すように、塗布した接着樹脂Ｒを脱泡し、接着樹脂Ｒ中の余分な気泡を取り除く（ステップＳ０３）。
【００３１】
続いて、図３、図４の（ｄ）及び図１０に示すように、下部磁性基板母材Ｂ２に連結巻線コイルＣを挿着する（ステップＳ０４、挿着工程）。この挿着によって、連結巻線コイルＣを形成するコイル３０それぞれの軸心回りの領域それぞれに、内脚部１２２それぞれが嵌ることとなる（図４の（ｄ）参照）。この場合、図１０に示すように、下部磁性基板母材Ｂ２に形成された凸部Ｌ２の中心側の一部のみが内脚部１２２となるべく、各コイル３０の内側に挿入されている。連結巻線コイルＣの両側のＬ２（ａ）領域に形成されている凸部Ｌ２は、上部磁性基板母材Ｂ１との間の距離を確保するための突起部として形成されている。また、各連結巻線コイルＣの両端部側のＬ２（ｂ）領域に形成されている凸部Ｌ２は、連結巻線コイルＣの両端部のガイド、及びアライメントマークとして形成されている。
【００３２】
続いて、図３及び図４の（ｅ）に示すように、溢れた接着樹脂Ｒをスキージングして取り除く（ステップＳ０５）。続いて、図３及び図１０に示すように、上部磁性基板母材Ｂ１を、その凸部Ｌ１が下部磁性基板母材Ｂ２側を向くようにして、下部磁性基板母材Ｂ１上に載置する（ステップＳ０６、組立工程）。これによって、上部磁性基板母材Ｂ１の凸部Ｌ１（外脚部１１２）が形成された主面と、下部磁性基板母材Ｂ２の凸部Ｌ２（内脚部１２２）が形成されている主面とをそれぞれ向き合わせることになる。従って、連結巻線コイルＣは、その両面から上部磁性基板母材Ｂ１及び下部磁性基板母材Ｂ２によって挟み込まれる。更に、Ｌ２（ａ）領域に形成されている凸部Ｌ２が突起部として上部磁性基板母材Ｂ１に当接する。
【００３３】
Ｌ２（ａ）領域に形成されている凸部Ｌ２を、その他の領域に形成されている凸部Ｌ２よりも高くなるように形成すると、図５の（ａ）に示すように、上部磁性基板母材Ｂ１と下部磁性基板母材Ｂ２との間にギャップが形成される。
【００３４】
本実施形態の場合、Ｌ２（ａ）領域に形成されている凸部Ｌ２を、その他の領域に形成されている凸部Ｌ２よりも２０μｍ高くなるようにしている。また、本実施形態では、下部磁性基板母材Ｂ２に突起部としての凸部Ｌ２を形成しているが、上部磁性基板母材Ｂ１に形成してもよい。また、下部磁性基板母材Ｂ２と上部磁性基板母材Ｂ１との双方に突起部を形成してもよい。
【００３５】
一方、Ｌ２（ａ）領域に形成されている凸部Ｌ２を、その他の領域に形成されている凸部Ｌ２と同じ高さになるように形成すると、図５の（ｂ）に示すように、上部磁性基板母材Ｂ１と下部磁性基板母材Ｂ２との間にギャップが形成されない。
【００３６】
続いて、上部磁性基板母材Ｂ１と下部磁性基板母材Ｂ２とを加圧しながら放置する（ステップＳ０７）。このステップＳ０７の工程によって、接着樹脂Ｒが硬化して、上部磁性基板母材Ｂ１と下部磁性基板母材Ｂ２とが接着される（ステップＳ０８）。
【００３７】
続いて、カット用アライメントマーク出しを行う（ステップＳ０９）。本実施形態の場合、図１１の（ａ）に示すように、上部磁性基板母材Ｂ１と下部磁性基板母材Ｂ２とが同じ大きさであるから、図１１の（ｂ）に示すように上部磁性基板母材Ｂ１の一部を切除する。これによって、下部磁性基板母材Ｂ２のＬ２（ｂ）領域に形成された凸部Ｌ２の一部が露出する。
【００３８】
続いて、ステップＳ０９によって露出した凸部Ｌ２をアライメントマークとして、ダイシングを行って、コイル部品１を構成する素子に個片化する（ステップＳ１０、切断工程）。
【００３９】
続いて、バレル研磨工程を行う（ステップＳ１１）。その後、素子を洗浄するチップ洗浄工程を行う（ステップＳ１２）。その後、スパッタにより電極用シード層を形成するか、導電性ペーストを塗布する等して、外部電極形成工程が行われる（ステップＳ１３）。最後に、バレルめっきを行って、コイル部品１が完成する（ステップＳ１４）。
【００４０】
本実施形態によれば、下部磁性基板母材Ｂ２の内面から延出させて形成されている凸部Ｌ２の一部が、上部磁性基板母材Ｂ１の内面に当接しているので、下部磁性基板母材Ｂ２と上部磁性基板母材Ｂ１とをＬ２（ａ）領域に形成されている凸部Ｌ２の高さに応じた距離で的確に配置できる。従って、下部磁性基板母材Ｂ２及び上部磁性基板母材Ｂ１を含む基板母材から製造されるコイル部品１の上部フェライトコア１１と下部フェライトコア１２とを所定の距離で的確に配置できるので、上部フェライトコア１１と下部フェライトコア１２との間に一様なギャップを形成できる。
【００４１】
従って、コイル部品１においては、下部フェライトコア１２の内面から延出する内脚部１２２と上部フェライトコア１１との距離と、上部フェライトコア１１の内面から延出する外脚部１１２と下部フェライトコア１２との距離と、が実質的に同一となるように形成できるので、閉磁路に沿った長さが実質的に同一となっているギャップを複数形成できる。
【００４２】
また、本実施形態においては、上部フェライトコア１１をいわゆるＣ型に、下部フェライトコア１２をいわゆるＴ型に、それぞれ磁性基板を削り出して形成している。従って、加工性が良くコストメリットが高い。また、Ｃ型コアとＴ型コアとによってコア構造体１０を形成しているので、フェライトのボリュームを最大限とすることができ、コイル部品１の直流重畳特性向上に寄与できる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の実施形態であるコイル部品の外観を示す図である。
【図２】図１のコア構造体を示す図である。
【図３】本実施形態のコイル部品の製造方法を説明するための図である。
【図４】図３に示す手順に沿ってコイル部品が形成されていく様子を、単位部分に着目して示す図である。
【図５】図３に示す手順に沿ってコイル部品が形成されていく様子を、単位部分に着目して示す図である。
【図６】図３に示す手順に沿って、コイル部品が形成されていく様子を、全体的に示す図である。
【図７】図３に示す手順に沿って、コイル部品が形成されていく様子を、全体的に示す図である。
【図８】図３に示す手順に沿って、コイル部品が形成されていく様子を、全体的に示す図である。
【図９】図３に示す手順に沿って、コイル部品が形成されていく様子を、全体的に示す図である。
【図１０】図３に示す手順に沿って、コイル部品が形成されていく様子を、全体的に示す図である。
【図１１】図３に示す手順に沿って、コイル部品が形成されていく様子を、全体的に示す図である。
【符号の説明】
【００４４】
１…コイル部品、１０…コア構造体、１１…上部フェライトコア、１２…下部フェライトコア、２０…外部端子、３０…コイル、Ｂ２…下部磁性基板母材、Ｃ…連結巻線コイル、Ｂ１…上部磁性基板母材、１２２…内脚部、１１２…外脚部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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