(57)【要約】【課題】測定時間の短縮ができ、精度の良い校正が可能なデバイス用電源装置を実現する。【解決手段】半導体検査装置で使用されるデバイス用電源装置において、動作時電流測定時に一方のデバイスに電源を供給する第１のスイッチと、動作時電流測定時に他方のデバイスに電源を供給する第２のスイッチと、前記一方のデバイスの静止時電流を測定する第１の経路と、前記他方のデバイスの静止時電流を測定する第２の経路とを備える。【選択図】  図１
2008076104.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体検査装置で使用されるデバイス用電源装置において、
動作時電流測定時に一方のデバイスに電源を供給する第１のスイッチと、
動作時電流測定時に他方のデバイスに電源を供給する第２のスイッチと、
前記一方のデバイスの静止時電流を測定する第１の経路と、
前記他方のデバイスの静止時電流を測定する第２の経路と
を備えたことを特徴とするデバイス用電源装置。
【請求項２】
半導体検査装置で使用されるデバイス用電源装置において、
電圧を発生させる電圧発生回路と、
この電圧発生回路の出力を増幅する増幅器と、
動作時電流測定時に前記増幅器の出力を一方のデバイス及び他方のデバイスに供給すると共に前記動作時電流を電圧に変換して出力する第１のスイッチ部と、
静止時電流測定時に前記増幅器の出力を前記一方のデバイスに供給すると共に前記一方のデバイスの静止時電流を電圧に変換して出力する第２のスイッチ部と、
静止時電流測定時に前記増幅器の出力を前記他方のデバイスに供給すると共に前記他方のデバイスの静止時電流を電圧に変換して出力する第３のスイッチ部と、
前記第１のスイッチ部にかかる電圧を制限する電圧制限回路と、
前記変換された電圧を測定する電圧測定回路と、
前記各スイッチ部を制御すると共に前記電圧測定回路で測定された電圧から前記動作時電流若しくは前記静止時電流を求める演算制御部と
を備えたことを特徴とするデバイス用電源装置。
【請求項３】
前記第１のスイッチ部が、
一端が前記増幅器の出力端子、前記電圧制限回路の一端及び前記電圧測定回路の一方の入力端子にそれぞれ接続される抵抗と、
一端が前記抵抗の他端に接続され、他端が前記電圧制限回路の他端に接続される第１のスイッチと、
一端が前記抵抗の他端に接続され、他端が前記電圧測定回路の他方の入力端子に接続される第２のスイッチと、
一端が前記第１のスイッチの他端に接続され、他端が一方のスイッチを介して前記増幅器の反転入力端子に接続されると共に前記一方のデバイスの電源端子に接続される第３のスイッチと、
一端が前記第１のスイッチの他端に接続され、他端が他方のスイッチを介して前記増幅器の反転入力端子に接続されると共に前記他方のデバイスの電源端子に接続される第４のスイッチとから構成されることを特徴とする
請求項２記載のデバイス用電源装置。
【請求項４】
前記第２のスイッチ部が、
一端が前記増幅器の出力端子、前記電圧制限回路の一端及び前記電圧測定回路の一方の入力端子にそれぞれ接続される抵抗と、
一端が前記抵抗の他端に接続され、他端が一方のスイッチを介して前記増幅器の反転入力端子に接続されると共に前記一方のデバイスの電源端子に接続される第１のスイッチと、
一端が前記抵抗の他端に接続され、他端が前記電圧測定回路の他方の入力端子に接続される第２のスイッチとから構成されることを特徴とする
請求項２若しくは請求項３記載のデバイス用電源装置。
【請求項５】
前記第３のスイッチ部が、
一端が前記増幅器の出力端子、前記電圧制限回路の一端及び前記電圧測定回路の一方の入力端子にそれぞれ接続される抵抗と、
一端が前記抵抗の他端に接続され、他端が一方のスイッチを介して前記増幅器の反転入力端子に接続されると共に前記他方のデバイスの電源端子に接続される第１のスイッチと、
一端が前記抵抗の他端に接続され、他端が前記電圧測定回路の他方の入力端子に接続される第２のスイッチとから構成されることを特徴とする
請求項２乃至請求項４のいずれかに記載のデバイス用電源装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体検査装置で使用されるデバイス用電源装置に関し、特に測定時間の短縮ができ、精度の良い校正が可能なデバイス用電源装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のデバイス用電源装置に関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−０４１９９７号公報
【０００４】
図５はこのような従来のデバイス用電源装置を示す構成回路図である。図５において１は電圧を発生する電圧発生回路、２は増幅器、３及び６は抵抗、４，５，７，８，１１及び１２はリレー等のスイッチ、９は両端にかかる電圧を制限すると共に漏れ電流を防止する電圧制限回路、１０は電圧を測定する電圧測定回路、１３は各スイッチの制御及び演算を行うＣＰＵ（Central Processing Unit）等の演算制御部である。
【０００５】
また、電圧発生回路１、増幅器２、抵抗３、スイッチ４、スイッチ５、抵抗６、スイッチ７、スイッチ８、電圧制限回路９、電圧測定回路１０及び演算制御部１３はデバイス用電源装置５０を構成している。１００及び１０１は被検査対象のデバイスである。
【０００６】
電圧発生回路１の出力端子は増幅器２の非反転端子に接続され、増幅器２の出力端子は抵抗３の一端、抵抗６の一端、電圧制限回路９の一端及び電圧測定回路１０の一方の入力端子にそれぞれ接続される。抵抗３の他端はスイッチ４の一端及びスイッチ５の一端にそれぞれ接続され、抵抗６の他端はスイッチ７の一端及びスイッチ８の一端にそれぞれ接続される。
【０００７】
スイッチ５の他端はスイッチ８の他端及び電圧測定回路１０の他方の入力端子にそれぞれ接続され、電圧測定回路１０の出力端子は演算制御部１３の入力端子に接続される。スイッチ４の他端は増幅器２の反転入力端子、スイッチ７の他端、電圧制限回路９の他端、スイッチ１１の一端及びスイッチ１２の一端にそれぞれ接続される。
【０００８】
スイッチ１１の他端はデバイス１００の電源端子に接続され、デバイス１００のＧＮＤ端子は接地される。スイッチ１２の他端はデバイス１０１の電源端子に接続され、デバイス１０１のＧＮＤ端子は接地される。
【０００９】
ここで、図５に示す従来例の動作を説明する。演算制御部１３はスイッチ４及びスイッチ１１を”ＯＮ”させ、電圧発生回路１から電圧を出力する。増幅器２で増幅された電圧は抵抗３、スイッチ４及びスイッチ１１を経由してデバイス１００に供給される。
【００１０】
デバイス１００はクロックやデータが入力され、動作状態となる。具体的には、半導体検査装置内のパターンジェネレータ（図示せず）から出力されるパターンと呼ばれるデータをタイミングジェネレータ（図示せず）から生成されるタイミングを用いて波形を生成する。そして、この波形はピンエレクトロニクス（図示せず）を介してデバイス１００にクロックやデータとして入力される。
【００１１】
抵抗３に流れる電流、すなわち、デバイス１００の動作時の電源の消費電流は、抵抗３により電圧に変換される。演算制御部１３はスイッチ５を”ＯＮ”させ、抵抗３の両端にかかる電圧を電圧測定回路１０で測定する。演算制御部１３は電圧測定回路１０で測定した電圧値”Ｖ1”を取得し、抵抗３の抵抗値”Ｒ1”からデバイス１００の動作時の消費電流値”Ｉ1”を式（１）により計算する。
【００１２】
【数１】
2008076104.tif 000003
【００１３】
そして、デバイス１００に入力されているクロックやデータを停止し、デバイス１００の静止時の消費電流を測定する。演算制御部１３はスイッチ４及びスイッチ５を”ＯＦＦ”する。この時、デバイス１００には電圧制限回路９を経由して過渡的な電流が流れるが、この電流が定常状態になるまで（以下、この時間を”待ち時間”と呼ぶ。）待った後で、演算制御部１３はスイッチ７及びスイッチ８を”ＯＮ”する。
【００１４】
静止時の消費電流は動作時の消費電流に比べて微小なために、測定する電流レンジを変える必要がある。そのために、動作時電流測定用である抵抗３−スイッチ４の経路から静止時電流（微小電流）測定用である抵抗６−スイッチ７の経路に変えている。
【００１５】
動作時の消費電流値”Ｉ1”の測定と同様に、抵抗６に流れる電流を測定するために、演算制御部１３は抵抗６の両端にかかる電圧を電圧測定回路１０で測定し、その電圧値”Ｖ2”を取得する。演算制御部１３は電圧値”Ｖ2”と抵抗６の抵抗値”Ｒ2”からデバイス１００の静止時の消費電流値”Ｉ2”を式（２）により計算する。
【００１６】
【数２】
2008076104.tif 000004
【００１７】
次に、デバイス１０１の消費電流を測定するために、デバイス１００の電源供給を一旦停止し、演算制御部１３はスイッチ７、スイッチ８及びスイッチ１１を”ＯＦＦ”する。そして、演算制御部１３はスイッチ１２を”ＯＮ”し、デバイス１００と同様に動作時と静止時の消費電流を測定する。
【００１８】
この結果、演算制御部１３がスイッチ４、スイッチ５及びスイッチ１１を”ＯＮ”し、デバイス１００を動作させ、抵抗３の両端の電圧を測定してデバイス１００の動作時の消費電流を求め、デバイス１００を停止させ、スイッチ４及びスイッチ５を”ＯＦＦ”し、スイッチ７及びスイッチ８を”ＯＮ”し、抵抗６の両端の電圧を測定してデバイス１００の静止時の消費電流を求める。同様に、演算制御部１３がスイッチ１１を”ＯＦＦ”し、スイッチ１２を”ＯＮ”してデバイス１０１の動作時及び静止時の消費電流を測定することにより、１つの測定回路で２つのデバイスの消費電流を測定することができるので、回路規模を抑えることが可能になる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
しかし、図５に示す従来例では、２つのデバイスを別々に測定しているため、動作時の消費電流測定から静止時の消費電流測定へ移行する時の待ち時間が２回あるので、測定時間がかかるという問題があった。
【００２０】
また、デバイスの直近にあるスイッチ１１及びスイッチ１２がデバイス用電源装置５０の外部に設けられているため、デバイス用電源装置５０単体で行う校正においては、スイッチ１１及びスイッチ１２に影響される校正ができないという問題があった。
従って本発明が解決しようとする課題は、測定時間の短縮ができ、精度の良い校正が可能なデバイス用電源装置を実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、
半導体検査装置で使用されるデバイス用電源装置において、
動作時電流測定時に一方のデバイスに電源を供給する第１のスイッチと、動作時電流測定時に他方のデバイスに電源を供給する第２のスイッチと、前記一方のデバイスの静止時電流を測定する第１の経路と、前記他方のデバイスの静止時電流を測定する第２の経路とを備えたことを特徴とする。
【００２２】
請求項２記載の発明は、
半導体検査装置で使用されるデバイス用電源装置において、
電圧を発生させる電圧発生回路と、この電圧発生回路の出力を増幅する増幅器と、動作時電流測定時に前記増幅器の出力を一方のデバイス及び他方のデバイスに供給すると共に前記動作時電流を電圧に変換して出力する第１のスイッチ部と、静止時電流測定時に前記増幅器の出力を前記一方のデバイスに供給すると共に前記一方のデバイスの静止時電流を電圧に変換して出力する第２のスイッチ部と、静止時電流測定時に前記増幅器の出力を前記他方のデバイスに供給すると共に前記他方のデバイスの静止時電流を電圧に変換して出力する第３のスイッチ部と、前記第１のスイッチ部にかかる電圧を制限する電圧制限回路と、前記変換された電圧を測定する電圧測定回路と、前記各スイッチ部を制御すると共に前記電圧測定回路で測定された電圧から前記動作時電流若しくは前記静止時電流を求める演算制御部とを備えたことを特徴とする。
【００２３】
請求項３記載の発明は、
請求項２記載のデバイス用電源装置において、
前記第１のスイッチ部が、
一端が前記増幅器の出力端子、前記電圧制限回路の一端及び前記電圧測定回路の一方の入力端子にそれぞれ接続される抵抗と、一端が前記抵抗の他端に接続され、他端が前記電圧制限回路の他端に接続される第１のスイッチと、一端が前記抵抗の他端に接続され、他端が前記電圧測定回路の他方の入力端子に接続される第２のスイッチと、一端が前記第１のスイッチの他端に接続され、他端が一方のスイッチを介して前記増幅器の反転入力端子に接続されると共に前記一方のデバイスの電源端子に接続される第３のスイッチと、一端が前記第１のスイッチの他端に接続され、他端が他方のスイッチを介して前記増幅器の反転入力端子に接続されると共に前記他方のデバイスの電源端子に接続される第４のスイッチとから構成されることを特徴とする。
【００２４】
請求項４記載の発明は、
請求項２若しくは請求項３記載のデバイス用電源装置において、
前記第２のスイッチ部が、
一端が前記増幅器の出力端子、前記電圧制限回路の一端及び前記電圧測定回路の一方の入力端子にそれぞれ接続される抵抗と、一端が前記抵抗の他端に接続され、他端が一方のスイッチを介して前記増幅器の反転入力端子に接続されると共に前記一方のデバイスの電源端子に接続される第１のスイッチと、一端が前記抵抗の他端に接続され、他端が前記電圧測定回路の他方の入力端子に接続される第２のスイッチとから構成されることを特徴とする。
【００２５】
請求項５記載の発明は、
請求項２乃至請求項４のいずれかに記載のデバイス用電源装置において、
前記第３のスイッチ部が、
一端が前記増幅器の出力端子、前記電圧制限回路の一端及び前記電圧測定回路の一方の入力端子にそれぞれ接続される抵抗と、一端が前記抵抗の他端に接続され、他端が一方のスイッチを介して前記増幅器の反転入力端子に接続されると共に前記他方のデバイスの電源端子に接続される第１のスイッチと、一端が前記抵抗の他端に接続され、他端が前記電圧測定回路の他方の入力端子に接続される第２のスイッチとから構成されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば次のような効果がある。
請求項１の発明によれば、第１のスイッチを経由して一方のデバイスに電源が供給され、一方のデバイスの動作時の消費電流を測定し、次に、第２のスイッチを経由して他方のデバイスに電源が供給され、一方のデバイスの動作時の消費電流及び他方のデバイスの動作時の消費電流の和の値を測定して他方のデバイスの動作時の消費電流を演算で求める。そして、第１の経路を経由して一方のデバイスの静止時の消費電流を測定し、第２の経路を経由して他方のデバイスの静止時の消費電流を測定することにより、従来例と比較して待ち時間が短縮されると共にスイッチが全てデバイス用電源装置内に配置されているので、測定時間の短縮ができ、精度の良い校正が可能になる。
【００２７】
請求項２、請求項３、請求項４及び請求項５の発明によれば、電圧発生回路からの出力が増幅器で増幅され、第１のスイッチ部を経由して一方のデバイスに印加され、一方のデバイスの動作時の消費電流を測定し、次に、一方のデバイスの動作時の消費電流及び他方のデバイスの動作時の消費電流の和の値を測定して他方のデバイスの動作時の消費電流を演算で求める。そして、増幅器の出力が第２のスイッチ部を経由して一方のデバイスに印加され、第３のスイッチ部を経由して他方のデバイスに印加されるようにスイッチを切り替え、一方のデバイスの静止時の消費電流、他方のデバイスの静止時の消費電流を測定することにより、従来例と比較して待ち時間が短縮されると共にスイッチが全てデバイス用電源装置内に配置されているので、測定時間の短縮ができ、精度の良い校正が可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明に係るデバイス用電源装置の一実施例を示す構成回路図である。図１において１００及び１０１は図５と同一符号を付してあり、１４は電圧を発生する電圧発生回路、１５は増幅器、１６，１９及び２２は抵抗、１７，１８，２０，２１，２３，２４，２７，２８，２９及び３０はリレー等のスイッチ、２５は両端にかかる電圧を制限すると共に漏れ電流を防止する電圧制限回路、２６は電圧を測定する電圧測定回路、３１は各スイッチの制御及び演算を行うＣＰＵ等の演算制御部である。
【００２９】
また、抵抗１６、スイッチ１７、スイッチ１８、スイッチ２７及びスイッチ２８はスイッチ部５１を構成し、抵抗１９、スイッチ２０及びスイッチ２１はスイッチ部５２を構成している。抵抗２２、スイッチ２３及びスイッチ２４はスイッチ部５３を構成し、電圧発生回路１４、増幅器１５、電圧制限回路２５、電圧測定回路２６、スイッチ２９、スイッチ３０、演算制御部３１、スイッチ部５１、スイッチ部５２及びスイッチ部５３はデバイス用電源装置５４を構成している。
【００３０】
電圧発生回路１４の出力端子は増幅器１５の非反転端子に接続され、増幅器１５の出力端子は抵抗１６の一端、抵抗１９の一端、抵抗２２の一端、電圧制限回路２５の一端及び電圧測定回路２６の一方の入力端子にそれぞれ接続される。抵抗１６の他端はスイッチ１７の一端及びスイッチ１８の一端にそれぞれ接続され、抵抗１９の他端はスイッチ２０の一端及びスイッチ２１の一端にそれぞれ接続される。
【００３１】
抵抗２２の他端はスイッチ２３の一端及びスイッチ２４の一端にそれぞれ接続され、スイッチ１７の他端は電圧制限回路２５の他端、スイッチ２７の一端及びスイッチ２８の一端にそれぞれ接続される。スイッチ２０の他端はスイッチ２７の他端、スイッチ２９の一端及びデバイス１００の電源端子にそれぞれ接続され、スイッチ２３の他端はスイッチ２８の他端、スイッチ３０の一端及びデバイス１０１の電源端子にそれぞれ接続される。
【００３２】
スイッチ１８の他端はスイッチ２１の他端、スイッチ２４の他端及び電圧測定回路２６の他方の入力端子にそれぞれ接続され、電圧測定回路２６の出力端子は演算制御部３１の入力端子に接続される。スイッチ２９の他端はスイッチ３０の他端及び増幅器１５の反転入力端子にそれぞれ接続され、デバイス１００のＧＮＤ端子及びデバイス１０１のＧＮＤ端子はそれぞれ接地される。
【００３３】
ここで、図１に示す実施例の動作を説明する。演算制御部３１はスイッチ１７、スイッチ１８、スイッチ２７及びスイッチ２９を”ＯＮ”させ、電圧発生回路１４から電圧を出力する。増幅器２で増幅された電圧は抵抗１６、スイッチ１７及びスイッチ２７を経由してデバイス１００に供給される。
【００３４】
デバイス１００はクロックやデータが入力され、動作状態となる。抵抗１６に流れる電流、すなわち、デバイス１００の動作時の電源の消費電流は、抵抗１６により電圧に変換される。演算制御部３１は抵抗１６の両端にかかる電圧を電圧測定回路２６で測定する。演算制御部３１は電圧測定回路２６で測定した電圧値”Ｖ3”を取得し、抵抗１６の抵抗値”Ｒ3”からデバイス１００の動作時の消費電流値”Ｉ3”を式（３）により計算する。
【００３５】
【数３】
2008076104.tif 000005
【００３６】
そして、デバイス１００に入力されているクロックやデータを停止し、演算制御部３１はスイッチ２８及びスイッチ３０を”ＯＮ”させる。デバイス１００及びデバイス１０１はクロックやデータが入力され、動作状態となる。
【００３７】
この時、抵抗１６に流れる電流は、スイッチ２７及びスイッチ２８が両方”ＯＮ”しているので、デバイス１００の動作時の消費電流とデバイス１０１の動作時の消費電流の和の値となる。
【００３８】
演算制御部３１は抵抗１６に流れる電流を測定するために抵抗１６の両端にかかる電圧を電圧測定回路２６で測定する。演算制御部３１は電圧測定回路２６で測定した電圧値”Ｖ4”を取得し、抵抗１６の抵抗値”Ｒ3”からデバイス１００の動作時の消費電流とデバイス１０１の動作時の消費電流の和の値”Ｉ4”を式（４）により計算する。
【００３９】
【数４】
2008076104.tif 000006
【００４０】
演算制御部３１は式（５）に示すように、デバイス１００の動作時の消費電流とデバイス１０１の動作時の消費電流の和の値”Ｉ4”からデバイス１００の動作時の消費電流値”Ｉ3”を差し引くことにより、デバイス１０１の動作時の消費電流値”Ｉ5”を求める。
【００４１】
【数５】
2008076104.tif 000007
【００４２】
そして、静止時の消費電流を測定するため、デバイス１００及びデバイス１０１に入力されているクロックやデータを停止し、演算制御部３１はスイッチ１７を”ＯＦＦ”させる。この時、デバイス１００及びデバイス１０１には電圧制限回路２５を経由して過渡的な電流が流れるが、待ち時間経過後に演算制御部３１はスイッチ２０及びスイッチ２３を”ＯＮ”する。
【００４３】
演算制御部３１はスイッチ２７を”ＯＮ”したまま、スイッチ２８を”ＯＦＦ”する。スイッチ２７及びスイッチ２８の両方を”ＯＦＦ”してしまうと、電圧制限回路２５は他端が開放状態となり、誤動作する可能性があるため、スイッチ２７は”ＯＮ”したままとする。
【００４４】
演算制御部３１はスイッチ３０を”ＯＦＦ”すると共にスイッチ２１を”ＯＮ”し、デバイス１００の静止時の消費電流を測定する。演算制御部３１は抵抗１９の両端にかかる電圧を電圧測定回路２６で測定し、その電圧値”Ｖ5”を取得する。演算制御部３１は電圧値”Ｖ5”と抵抗１９の抵抗値”Ｒ4”からデバイス１００の静止時の消費電流値”Ｉ6”を式（６）により計算する。
【００４５】
【数６】
2008076104.tif 000008
【００４６】
同様に、演算制御部３１はスイッチ２４及びスイッチ３０を”ＯＮ”すると共にスイッチ２１及びスイッチ２９を”ＯＦＦ”し、デバイス１０１の静止時の消費電流を測定する。演算制御部３１は抵抗２２の両端にかかる電圧を電圧測定回路２６で測定し、その電圧値”Ｖ6”を取得する。演算制御部３１は電圧値”Ｖ6”と抵抗２２の抵抗値”Ｒ5”からデバイス１０１の静止時の消費電流値”Ｉ7”を式（７）により計算する。
【００４７】
【数７】
2008076104.tif 000009
【００４８】
ここで、従来例と本発明の測定時間の違いについて説明する。図２は従来例と本発明の測定時間の違いを説明する説明図である。図２において従来例はデバイス１００を測定した後でデバイス１０１を測定するため、動作時電流測定と静止時電流測定の間の待ち時間が２回存在することになる。
【００４９】
これに対して、本発明では、デバイス１００及びデバイス１０１の動作時電流測定を行った後に静止時電流測定を行っているので、待ち時間は１回となる。そのため、従来例と比較して本発明では測定時間が待ち時間１回分短縮される。
【００５０】
また、図１に示す実施例ではスイッチが全てデバイス用電源装置５４内に配置されているので、従来例と比較して精度の良い校正を行うことができる。
【００５１】
この結果、電圧発生回路１４からの出力が増幅器１５で増幅され、スイッチ部５１を経由してデバイス１００に印加され、デバイス１００の動作時の消費電流を測定し、次に、デバイス１０１の動作時の消費電流及びデバイス１０１の動作時の消費電流の和の値を測定してデバイス１０１の動作時の消費電流を演算で求める。そして、増幅器１５の出力がスイッチ部５２を経由してデバイス１００に印加され、スイッチ部５３を経由してデバイス１０１に印加されるようにスイッチを切り替え、デバイス１００の静止時の消費電流、デバイス１０１の静止時の消費電流を測定することにより、従来例と比較して待ち時間が短縮されると共にスイッチが全てデバイス用電源装置５４内に配置されているので、測定時間の短縮ができ、精度の良い校正が可能になる。
【００５２】
図３は本発明に係るデバイス用電源装置の他の実施例を示す構成回路図である。図３において１４，１５，１６，１７，１８，１９，２０，２１，２２，２３，２４，２５，２６，２７，２８，２９，３０，３１，５２，５３，１００及び１０１は図１と同一符号を付してあり、３２は抵抗、３３，３４，３５及び３６はリレー等のスイッチである。
【００５３】
抵抗１６、スイッチ１７、スイッチ１８、スイッチ２７、スイッチ２８及びスイッチ３５はスイッチ部５５を構成し、抵抗３２、スイッチ３３及びスイッチ３４はスイッチ部５６を構成している。電圧発生回路１４、増幅器１５、電圧制限回路２５、電圧測定回路２６、スイッチ２９、スイッチ３０、演算制御部３１、スイッチ３６、スイッチ部５２、スイッチ部５３、スイッチ部５５及びスイッチ部５６はデバイス用電源装置５７を構成している。また、１０２は被検査対象のデバイスである。
【００５４】
増幅器１５の出力端子は抵抗１６の一端、抵抗１９の一端、抵抗２２の一端、電圧制限回路２５の一端、電圧測定回路２６の一方の入力端子及び抵抗３２の一端にそれぞれ接続され、抵抗３２の他端はスイッチ３３の一端及びスイッチ３４の一端にそれぞれ接続される。スイッチ１７の他端は電圧制限回路２５の他端、スイッチ２７の一端、スイッチ２８の一端及びスイッチ３５の一端にそれぞれ接続され、スイッチ３３の他端はスイッチ３５の他端、スイッチ３６の一端及びデバイス１０２の電源端子にそれぞれ接続される。
【００５５】
スイッチ１８の他端はスイッチ２１の他端、スイッチ２４の他端、電圧測定回路２６の他方の入力端子及びスイッチ３４の他端にそれぞれ接続され、スイッチ２９の他端はスイッチ３０の他端、増幅器１５の反転入力端子及びスイッチ３６の他端にそれぞれ接続される。デバイス１０２のＧＮＤ端子は接地される。その他の接続に関しては図１と同じため、説明を省略する。
【００５６】
ここで、図３に示す実施例の動作を説明する。図３に示す実施例の動作は図１の実施例とほぼ同一であり、異なる点は被検査対象のデバイスが３つあり、３つ目のデバイス用の電流測定回路が増えたことである。
【００５７】
演算制御部３１は、図１に示す実施例と同様にデバイス１００及びデバイス１０１の動作時の消費電流を測定した後、スイッチ３５及びスイッチ３６を”ＯＮ”させる。デバイス１００、デバイス１０１及びデバイス１０２はクロックやデータが入力され、動作状態となる。
【００５８】
この時、抵抗１６に流れる電流は、スイッチ２７、スイッチ２８及びスイッチ３５が”ＯＮ”しているので、デバイス１００の動作時の消費電流、デバイス１０１の動作時の消費電流及びデバイス１０２の動作時の消費電流の和の値となる。
【００５９】
演算制御部３１は抵抗１６に流れる電流を測定するために抵抗１６の両端にかかる電圧を電圧測定回路２６で測定する。演算制御部３１は電圧測定回路２６で測定した電圧値”Ｖ7”を取得し、抵抗１６の抵抗値”Ｒ3”からデバイス１００の動作時の消費電流、デバイス１０１の動作時の消費電流及びデバイス１０２の動作時の消費電流の和の値”Ｉ8”を式（８）により計算する。
【００６０】
【数８】
2008076104.tif 000010
【００６１】
演算制御部３１は式（９）に示すように、デバイス１００の動作時の消費電流、デバイス１０１の動作時の消費電流及びデバイス１０２の動作時の消費電流の和の値”Ｉ8”からデバイス１００の動作時の消費電流及びデバイス１０１の動作時の消費電流の和の値”Ｉ4”を差し引くことにより、デバイス１０２の動作時の消費電流値”Ｉ9”を求める。
【００６２】
【数９】
2008076104.tif 000011
【００６３】
そして、静止時の消費電流を測定するため、図１の実施例と同様に、デバイス１００、デバイス１０１及びデバイス１０２に入力されているクロックやデータを停止し、演算制御部３１はスイッチ１７を”ＯＦＦ”させる。待ち時間経過後に、デバイス１００の静止時の消費電流、デバイス１０１の静止時の消費電流を測定する。
【００６４】
演算制御部３１はスイッチ３４及びスイッチ３６を”ＯＮ”すると共にスイッチ２４及びスイッチ３０を”ＯＦＦ”し、デバイス１０２の静止時の消費電流を測定する。演算制御部３１は抵抗３２の両端にかかる電圧を電圧測定回路２６で測定し、その電圧値”Ｖ8”を取得する。演算制御部３１は電圧値”Ｖ8”と抵抗３２の抵抗値”Ｒ6”からデバイス１０２の静止時の消費電流値”Ｉ10”を式（１０）により計算する。
【００６５】
【数１０】
2008076104.tif 000012
【００６６】
この結果、電圧発生回路１４からの出力が増幅器１５で増幅され、スイッチ部５５を経由してデバイス１００に印加され、デバイス１００の動作時の消費電流を測定し、次に、デバイス１０１の動作時の消費電流及びデバイス１０１の動作時の消費電流の和の値を測定してデバイス１０１の動作時の消費電流を演算で求め、さらに、デバイス１０１の動作時の消費電流、デバイス１０１の動作時の消費電流及びデバイス１０２の動作時の消費電流の和の値を測定してデバイス１０２の動作時の消費電流を演算で求める。そして、増幅器１５の出力がスイッチ部５２を経由してデバイス１００に印加され、スイッチ部５３を経由してデバイス１０１に印加され、スイッチ部５６を経由してデバイス１０２に印加されるようにスイッチを切り替え、デバイス１００の静止時の消費電流、デバイス１０１の静止時の消費電流及びデバイス１０２の静止時の消費電流を測定することにより、従来例と比較して待ち時間が短縮されると共にスイッチが全てデバイス用電源装置５４内に配置されているので、測定時間の短縮ができ、精度の良い校正が可能になる。
【００６７】
図４は本発明に係るデバイス用電源装置の他の実施例を示す構成回路図である。図４において１４，１５，１６，１７，１８，１９，２０，２１，２２，２３，２４，２５，２６，２７，２８，２９，３０，３１，５１，５２，５３，５４，１００及び１０１は図１と同一符号を付してあり、３７，３８，３９及び４０はリレー等のスイッチ、１０３及び１０４は被検査対象のデバイスである。
【００６８】
スイッチ２０の他端はスイッチ２７の他端、スイッチ２９の一端、スイッチ３７の一端及びスイッチ３８の一端にそれぞれ接続され、スイッチ２３の他端はスイッチ２８の他端、スイッチ３０の一端、スイッチ３９の一端及びスイッチ４０の一端にそれぞれ接続される。スイッチ３７の他端はデバイス１００の電源端子に接続され、スイッチ３８の他端はデバイス１０３の電源端子に接続される。
【００６９】
スイッチ３９の他端はデバイス１０１の電源端子に接続され、スイッチ４０の他端はデバイス１０４の電源端子に接続される。デバイス１０３のＧＮＤ端子及びデバイス１０４のＧＮＤ端子は接地される。その他の接続に関しては図１と同じため、説明を省略する。
【００７０】
ここで、図４に示す実施例の動作を説明する。図４に示す実施例の動作は図１の実施例とほぼ同一であり、異なる点はデバイス用電源装置５４の外部にスイッチを設け、４つのデバイスを検査可能にしたことである。
【００７１】
演算制御部３１はスイッチ３７及びスイッチ３９を”ＯＮ”し、スイッチ３８及びスイッチ４０を”ＯＦＦ”する。この状態で、図１に示す実施例と同じ手順でデバイス１００及びデバイス１０１の動作時及び静止時の消費電流を測定する。
【００７２】
そして、演算制御部３１はスイッチ３８及びスイッチ４０を”ＯＮ”し、スイッチ３７及びスイッチ３９を”ＯＦＦ”する。この状態で、図１に示す実施例と同じ手順でデバイス１０３及びデバイス１０４の動作時及び静止時の消費電流を測定する。
【００７３】
この結果、演算制御部３１がスイッチ３７及びスイッチ３９を”ＯＮ”すると共にスイッチ３８及びスイッチ４０を”ＯＦＦ”し、電圧発生回路１４からの出力が増幅器１５で増幅され、スイッチ部５１を経由してデバイス１００に印加され、デバイス１００の動作時の消費電流を測定し、次に、デバイス１０１の動作時の消費電流及びデバイス１０１の動作時の消費電流の和の値を測定してデバイス１０１の動作時の消費電流を演算で求める。そして、増幅器１５の出力がスイッチ部５２を経由してデバイス１００に印加され、スイッチ部５３を経由してデバイス１０１に印加されるようにスイッチを切り替え、デバイス１００の静止時の消費電流、デバイス１０１の静止時の消費電流を測定する。
【００７４】
さらに、演算制御部３１がスイッチ３８及びスイッチ４０を”ＯＮ”すると共にスイッチ３７及びスイッチ３９を”ＯＦＦ”し、同様の手順でデバイス１０３及びデバイス１０４の動作時及び静止時の消費電流を測定することにより、従来例と比較して待ち時間が短縮されると共にスイッチが全てデバイス用電源装置５４内に配置されているので、測定時間の短縮ができ、精度の良い校正が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】本発明に係るデバイス用電源装置の一実施例を示す構成回路図である。
【図２】従来例と本発明の測定時間の違いを説明する説明図である。
【図３】本発明に係るデバイス用電源装置の他の実施例を示す構成回路図である。
【図４】本発明に係るデバイス用電源装置の他の実施例を示す構成回路図である。
【図５】従来のデバイス用電源装置を示す構成回路図である。
【符号の説明】
【００７６】
１，１４  電圧発生回路
２，１５  増幅器
３，６，１６，１９，２２，３２  抵抗
４，５，７，８，１１，１２，１７，１８，２０，２１，２３，２４，２７，２８，２９，３０，３３，３４，３５，３６，３７，３８，３９，４０  スイッチ
９，２５  電圧制限回路
１０，２６  電圧測定回路
１３，３１  演算制御部
５０，５４，５７  デバイス用電源装置
５１，５２，５３，５５，５６  スイッチ部
１００，１０１，１０２，１０３，１０４  デバイス
【図１】
2008076104.tif 000013
【図２】
2008076104.tif 000014
【図３】
2008076104.tif 000015
【図４】
2008076104.tif 000016
【図５】
2008076104.tif 000017