(57)【要約】【課題】フォトマスク等の基板の移載が容易に行える基板移載装置を提供する。【解決手段】本発明による基板移載装置１００は、ベース部１１１に固定されたシャフトを中心に回転可能な回転胴部１１２と、回転胴部１１２の側面に上下動可能に取り付けられたアーム部１２０と、アーム部１２０の先端部に水平方向に回転可能に取り付けられた把持部１３０とを備える。把持部１３０は、上下動可能な下側把持爪１３３と上側把持爪１３４とによって、移載対象となる基板を垂直に立てた状態で上下方向に把持する。更に、把持部１３０は、垂直に立てた状態で把持されている基板に垂直な軸を中心に微小角度回転することができ、基板の重さでアーム部１２０がたわんで把持部１３０が傾いてしまうような場合にも、基板を水平に保持することができる。【選択図】図１
2008053567.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
垂直な軸を中心に回転可能なアーム部と、
当該アーム部の先端部に取り付けられて、基板を立てた状態で把持することができる把持部と
を備え、
前記把持部は、垂直に立てた状態で把持された基板に垂直な軸を中心に回転可能であることを特徴とする基板移載装置。
【請求項２】
前記アーム部の先端部には、垂直方向に伸びる垂直軸部材が固定されており、
前記把持部は、当該垂直軸部材に取り付けられている
ことを特徴とする請求項１に記載の基板移載装置。
【請求項３】
前記把持部は、前記垂直軸部材を押し引きする移動部材を備える
ことを特徴とする請求項２に記載の基板移載装置。
【請求項４】
前記移動部材には、前記垂直軸部材を通すための孔が形成されており、
前記移動部材は、前記垂直軸部材を当該孔に通した状態で、水平方向に直線運動することで、前記垂直軸部材を押し引きする
ことを特徴とする請求項３に記載の基板移載装置。
【請求項５】
前記把持部は、回転運動を行う回転部材を更に備え、
当該回転部材と前記移動部材とは、当該回転部材の回転運動が、前記移動部材の直線運動に変換されるように結合される
ことを特徴とする請求項４に記載の基板移載装置。
【請求項６】
前記移動部材の端部には、当該移動部材の移動方向とは垂直な方向に長い長孔が形成されており、
前記回転部材には、回転中心からずれた位置に突起が設けられており、
前記長孔に、前記突起が嵌め込まれている
ことを特徴とする請求項５に記載の基板移載装置。
【請求項７】
前記把持部は、前記垂直軸部材を中心に回転可能である
ことを特徴とする請求項２〜６のいずれか一項に記載の基板移載装置。
【請求項８】
前記把持部は、垂直に立てた状態で把持された基板に垂直な軸を構成するように、前記垂直軸部材を挟んで配置された２つの水平軸部材を中心に回転する
ことを特徴とする請求項７に記載の基板移載装置。
【請求項９】
前記２つの水平軸部材は、先端が前記垂直軸部材を挟んで対向するように前記把持部に固定され、前記垂直軸部材に回転可能に取り付けられた軸受部に支持される
ことを特徴とする請求項８に記載の基板移載装置。
【請求項１０】
前記把持部は、上下動可能な上側爪及び下側爪を備え、当該上側爪及び下側爪によって、基板の上端部及び下端部を把持する
ことを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載の基板移載装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フォトマスク等の基板を移載する基板移載装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）やＬＳＩ等の製造に使用されるフォトマスクは、複数の工程を経て製作されるが、各工程毎に、各種処理装置が利用されている。そのため、フォトマスクの製作過程においては、フォトマスクを構成する基板を、工程順に、各工程を担当する各処理装置に順次搬送して行く必要がある。当該搬送には、例えば、台車が利用される。台車等によって各処理装置の近くまで運ばれた基板は、台車等から各処理装置へ移載されて、各処理装置で処理される。そして、各処理装置での処理が終了した基板は、再度、各処理装置から台車等へ移載されて、次の処理装置に運ばれる。このような台車等と各処理装置との間での基板の受け渡しは、従来は、人手で行われることが一般的であった。
【０００３】
一方、ＬＣＤの大型化に伴い、フォトマスクのサイズも大きくなってきており、現在、ＬＣＤの製造に使用されているフォトマスクには、１２２０ｍｍ×１４００ｍｍ（厚さ１３ｍｍ）という大型のものも存在する。その結果、フォトマスクを構成する基板の重量も重たくなってきており、人手で扱うのが困難になってきている。また、処理装置によっては、基板の受け渡しに正確な位置合わせを必要とするものもあり、このような処理装置に対する基板の受け渡しは更に困難なものとなる。
【０００４】
なお、特開２００３−１００８４６号公報には、フォトマスクの製造ラインにおいて、搬送台車と処理装置との間でフォトマスク基板の受け渡しを行う基板受渡機構が開示されている。
【特許文献１】特開２００３−１００８４６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、フォトマスク等の基板の移載が容易に行える基板移載装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る基板移載装置は、垂直な軸を中心に回転可能なアーム部と、当該アーム部の先端部に取り付けられて、基板を立てた状態で把持することができる把持部とを備え、前記把持部は、垂直に立てた状態で把持された基板に垂直な軸を中心に回転可能であることを特徴とする。
【０００７】
この場合において、前記アーム部の先端部には、垂直方向に伸びる垂直軸部材（例えば、後述するセンターシャフト）が固定されており、前記把持部は、当該垂直軸部材に取り付けられているようにしてもよい。更に、前記把持部は、前記垂直軸部材を押し引きする移動部材（例えば、後述する移動プレート）を備えるようにしてもよい。更に、前記移動部材には、前記垂直軸部材を通すための孔が形成されており、前記移動部材は、前記垂直軸部材を当該孔に通した状態で、水平方向に直線運動することで、前記垂直軸部材を押し引きするようにしてもよい。更に、前記把持部は、回転運動を行う回転部材（例えば、後述する偏心シャフト部）を備え、当該回転部材と前記移動部材とは、当該回転部材の回転運動が、前記移動部材の直線運動に変換されるように結合するようにしてもよい。更に、前記移動部材の端部には、当該移動部材の移動方向とは垂直な方向に長い長孔が形成されており、前記回転部材には、回転中心からずれた位置に突起（例えば、後述する偏心シャフト）が設けられており、前記長孔に、前記突起が嵌め込まれているようにしてもよい。更に、前記回転部材を回転させる回転駆動部（例えば、モータ）を備えるようにしてもよい。
【０００８】
また、前記把持部は、前記垂直軸部材を中心に回転可能であるようにしてもよい。更に、前記把持部は、垂直に立てた状態で把持された基板に垂直な軸を構成するように、前記垂直軸部材を挟んで配置された２つの水平軸部材（例えば、後述するローリングピン）を中心に回転するようにしてもよい。更に、前記２つの水平軸部材は、先端が前記垂直軸部材を挟んで対向するように前記把持部に固定され、前記垂直軸部材に回転可能に取り付けられた軸受部（例えば、後述するローリング軸受）に支持されるようにしてもよい。
【０００９】
以上の場合において、垂直な軸を中心に回転可能な胴部を更に備え、前記アーム部は、前記胴部に取り付けられているようにしてもよい。更に、前記アーム部は、前記胴部の側面に沿って上下動可能であるようにしてもよいし、第一アーム及び第二アームによって構成され、第一アームは、前記胴部の側面に一端が取り付けられ、前記第二アームは、前記第一アームの他端に回転可能に、一端が取り付けられるようにしてもよい。
【００１０】
また、前記把持部は、上下動可能な上側爪及び下側爪を備え、当該上側爪及び下側爪によって、基板の上端部及び下端部を把持するようにしてもよい。また、前記把持部は、チルトベース部及びチルト部によって構成され、当該チルト部は、前記チルトベース部に対して回転して、前傾することができるようにしてもよい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、フォトマスク等の基板の移載を容易に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。
【００１３】
図１〜図３は、本発明による基板移載装置の外観を示す図である。図１は正面側斜め上から見た斜視図を示し、図２は背面側斜め上から見た斜視図を示し、図３は背面図を示す。本基板移載装置は、フォトマスク等の矩形状基板を立てた状態で上下方向に把持（挟持）して移載を行うものであって、オペレータが行う基板移載作業を補助するものである。例えば、オペレータは、本基板移載装置を利用して、台車と処理装置との間で基板の移載を行う。
【００１４】
図１〜図３に示すように、本発明による基板移載装置１００は、胴体部１１０と、アーム部１２０と、把持部１３０とを備える。
【００１５】
胴体部１１０は、ベース部１１１と回転胴部１１２とから構成される。ベース部１１１は、基板移載装置１００が設置される床などに固定されるものであり、その中央部に、垂直方向に伸びるシャフト（不図示）が固定されている。回転胴部１１２は、ベース部１１１に固定されたシャフトを中心に回転可能なものであり、四角柱状の形状を有する。回転胴部１１２の筐体内には、基板移載装置１００の動作を制御する制御部等が収められている。また、回転胴部１１２の一側面には、水平方向に伸びるアーム部１２０の基端部が上下動（昇降）可能なように取り付けられている。
【００１６】
アーム部１２０は、円筒状の形状を有する第一アーム１２１及び第二アーム１２２から構成される。第一アーム１２１の後端は、回転胴部１１２の側面に上下動可能なように取り付けられる。第一アーム１２１の先端と、第二アーム１２２の後端とは、第二アーム１２２が第一アーム１２１に対して（垂直な軸を中心に）水平方向に回転可能なように連結される。第二アーム１２２の先端には、把持部１３０が、水平方向に回転可能なように取り付けられる。なお、第一アーム１２１（アーム部１２０）の上下動は、例えば、回転胴部１１２の筐体内に収められたリニアガイド、ボールネジ、モータ等を利用して実現される。
【００１７】
把持部１３０は、移載対象となる基板を垂直に立てた状態（後述するチルト動作時は、やや前傾した状態）で把持するものであって、チルトベース部１３１と、チルト部１３２とを備える。チルトベース部１３１とチルト部１３２とは、チルト部１３２がチルトベース部１３１に対して（水平な軸を中心に）垂直方向に回転可能なように、下端部で連結されている。チルト部１３２がチルトベース部１３１に対して垂直方向に回転することで、チルト部１３２が前傾することになる。なお、チルト部１３２のチルト動作（前傾動及び前傾状態から元の垂直状態に復帰する動き）は、例えば、把持部１３０の筐体内に収められたボールネジ、モータ等を利用して実現される。
【００１８】
このようなチルト動作を行うチルト部１３２は、基板を把持するための爪を複数（本実施形態では３つ）備えている。より具体的には、垂直に立てた状態の基板の下端部（底面）を支持する一つの下側把持爪１３３と、垂直に立てた状態の基板の上端部（上面）を押さえる２つの上側把持爪１３４とを備える。下側把持爪１３３は、チルト部１３２の前面下部に上下動可能に取り付けられており、２つの上側把持爪１３４は、チルト部１３２の前面上部に上下動可能に取り付けられた上側把持部材１３５の両端部に取り付けられている。上側把持部材１３５は、水平方向に長い矩形状の平板部材であり、様々なサイズの基板に対応できるように、下側把持爪１３３に比べて、長い距離上下動することができる。基板移載装置１００においては、下側把持爪１３３を上昇させ、上側把持部材１３５（すなわち、上側把持爪１３４）を下降させることで、基板の把持（クランプ）を行い、上側把持部材１３５（すなわち、上側把持爪１３４）を上昇させ、下側把持爪１３３を下降させることで基板の解放（アンクランプ）を行う。なお、各把持爪１３３，１３４の内側（基板の底面及び上面と接する側）には、把持時に基板を確実に保持できるよう、基板が嵌り込む溝（図７参照）が形成されている。また、下側把持爪１３３及び上側把持部材１３５の上下動は、例えば、把持部１３０の筐体内に収められたリニアガイド、ボールネジ、モータ等を利用して実現される。
【００１９】
一方、チルトベース部１３１には、図３に示すように、表示装置及び入力装置として、タッチパネル付き液晶ディスプレイ１４１が取り付けられている。タッチパネル付き液晶ディスプレイ１４１は、基板移載装置１００の操作に必要な各種メニューや装置の状態を表示すると共に、オペレータの指示を入力するためのものである。更に、チルトベース部１３１には、表示装置として、モニタ１４２が取り付けられている。モニタ１４２は、下側及び上側把持爪１３３，１３４のクランプ・アンクランプ状態を確認するために各把持爪付近に設けられたＣＣＤカメラ（不図示）の映像を表示するためのものである。
【００２０】
また、チルトベース部１３１の両側面には、外側に伸びるハンドル１４３が取り付けられている。オペレータは、当該ハンドル１４３を持って、把持部１３０を必要な場所に移動させることで、基板の移載を行う。ハンドル１４３には、基板移載装置１００を操作するためのスイッチ１４４が複数個設けられている。例えば、チルト動作、クランプ・アンクランプ動作、アーム上下動、ローリング動作（後述）を指示するためのスイッチが設けられている。
【００２１】
次に、以上のような構成を有する基板移載装置１００の動作について説明する。
【００２２】
図４は、基板移載装置１００の使用方法を説明するための図である。ここでは、同図に示す基板載置台２０１から基板載置台２０２へ基板３００を移載する場合を例にして説明する。なお、基板載置台２０１，２０２は共に、斜めに立てかけるようにして基板を載置するタイプの載置台である。また、各基板載置台２０１，２０２の前には、基板の受け渡しを行う際の把持部１３０の位置決めを容易にするための器具として、キャッチャー２１１，２１２が設けられている。キャッチャー２１１，２１２は、同図（ｂ）に示すように、把持部１３０の下端部（チルトベース部１３１とチルト部１３２との連結部周辺）を収容する収容部２１３と、当該収容部２１３の動きを直線方向に制限するリニアガイド２１４とから構成され、各基板載置台２０１，２０２の前に配置される設置台（不図示）の上に載せられて、収容部２１３が各基板載置台２０１，２０２に対して垂直な方向に前後動できるように設置される。
【００２３】
まず、同図（ａ）に示すように基板載置台２０１に載置されている基板３００を把持するため、オペレータは、把持部１３０のハンドル１４３を持って、把持部１３０を基板載置台２０１に概ね正対する位置まで移動させる。この際、オペレータのハンドル操作に応じて、把持部１３０の第二アーム１２２に対する回転、第二アーム１２２の第一アーム１２１に対する回転（屈伸）並びに第一アーム１２１及び回転胴部１１２の回転（旋回）が適宜行われる。そして、把持部１３０の下端部がキャッチャー２１１の収容部２１３の上方に位置するところまで把持部１３０を移動させると、オペレータは、スイッチ１４４を操作して、アーム部１２０を下降させ、把持部１３０の下端部をキャッチャー２１１の収容部２１３に収容させる。把持部１３０の下端部がキャッチャー２１１の収容部２１３に収容されると、把持部１３０は、基板載置台２０１に対して左右方向の位置合わせされた状態になる。把持部１３０の下端部の収容が完了すると、オペレータは、スイッチ１４４を操作して、チルト部１３２を所定角度前傾させる。オペレータによってチルト動作が指示されると、チルト部１３２は、チルト部１３２の前面が基板３００と平行になるよう、所定角度前傾する。
【００２４】
チルト部１３２が前傾して、チルト部１３２の前面と基板３００が平行になると、次に、オペレータは、ハンドル１４３を前に押して、同図（ａ）に示すように、把持部１３０を基板３００の直前の位置（基板把持位置）まで前進させる。このとき、把持部１３０は、下端部がキャッチャー２１１の収容部２１３に収容された状態で収容部２１３と共に水平直線移動するので、基板載置台２０１に対して正対した状態（左右方向の位置合わせがされた状態）で移動させることができる。なお、このとき、上下の把持爪１３３，１３４は、解放状態、すなわち、下側把持爪１３３は下降し、上側把持爪１３４（上側把持部材１３５）は上昇した状態にある。把持部１３０が基板把持位置に達すると、オペレータは、スイッチ１４４を操作して、基板３００のクランプを行う。オペレータによってクランプ動作が指示されると、まず、下側把持爪１３３が上昇して、下側把持爪１３３が基板３００の底面に当接し、続いて、上側把持部材１３５が下降して、上側把持爪１３４が基板３００の上面に当接する。このようにして下側把持爪１３３と上側把持爪１３４とによる基板３００の把持（挟持）が完了すると、オペレータは、スイッチ１４４を操作して、前傾していたチルト部１３２を、垂直な状態に復帰させる。続いて、オペレータは、基板３００が基板載置台２０１から充分離れるよう、ハンドル１４３を引っ張って、把持部１３０を後退させる。把持部１３０の後退が完了すると、オペレータは、スイッチ１４４を操作して、アーム部１２０を上昇させ、把持部１３０の下端部をキャッチャー２１１の収容部２１３から外す。
【００２５】
その後、オペレータは、把持部１３０で把持した基板３００を基板載置台２０２に載置するため、ハンドル１４３を操作して、把持部１３０をアーム部１２０及び胴体部１１０（回転胴部１１２）と共に、例えば、時計回りに回転させながら、把持部１３０を基板載置台２０２に概ね正対する位置まで移動させる。そして、把持部１３０の下端部がキャッチャー２１２の収容部２１３の上方に位置するところまで把持部１３０を移動させると、オペレータは、スイッチ１４４を操作して、アーム部１２０を下降させ、把持部１３０の下端部をキャッチャー２１２の収容部２１３に収容させる。把持部１３０の下端部の収容が完了すると、オペレータは、ハンドル１４３を前に押して、把持部１３０を基板載置台２０２の直前の位置（基板載置位置）まで前進させる。基板載置位置に達すると、オペレータは、スイッチ１４４を操作して、同図（ｂ）に示すように、チルト部１３２を所定角度前傾させる。その結果、基板３００は、把持部１３０に把持された状態のまま、基板載置台２０２に斜めに立てかけられて載置されることになる。次に、オペレータは、スイッチ１４４を操作して、基板３００のアンクランプを行う。オペレータによってアンクランプ動作が指示されると、まず、上側把持部材１３５が上昇して、上側把持爪１３４が基板３００の上面から離れ、続いて、下側把持爪１３３が下降して、下側把持爪１３３を基板３００の底面から離れる。このようにして基板３００の解放が完了すると、オペレータは、把持部１３０が基板載置台２０２に載置された基板３００から充分離れるよう、ハンドル１４３を引っ張って、把持部１３０を後退させる。その後、オペレータは、スイッチ１４４を操作して、前傾しているチルト部１３２を垂直な状態に復帰させ、更に、アーム部１２０を上昇させて、把持部１３０の下端部をキャッチャー２１２の収容部２１３から外す。
【００２６】
以上のようにして、基板載置台２０１から基板載置台２０２へ基板３００の移載が行われる。オペレータは、基板移載装置１００を利用することで、基板の移載を容易に行うことができる。なお、ここでは、チルト部１３２を前傾させた状態で基板３００の受け渡しを行っているが、移載元又は移載先が垂直な状態で基板の受け渡しを行う装置等の場合は、チルト動作は不要となる。
【００２７】
次に、基板移載装置１００のローリング動作について説明する。ローリング動作とは、把持部１３０が、（把持部１３０に垂直に立てた状態で把持されている）基板に垂直な軸を中心に（微小角度）回転する動作をいう。
【００２８】
基板移載装置１００は、上述したような構造を有しているため、基板が重くなると、アーム部１２０がたわみ、その結果、把持部１３０が若干傾いて、把持している基板を水平に保持することができなくなる。すなわち、基板の左右のいずれか一方側が他方側に比べて若干下がった状態になる。基板の受け渡し先となる処理装置によっては、基板が高い精度で水平に保持されていることを要求するものもあり、このような処理装置に対しては、把持部１３０が傾いたままでは、基板の受け渡しができなくなる。基板移載装置１００では、このような場合においても、ローリング動作を行って把持部１３０を微小角度回転させることで、アーム部１２０のたわみによる把持部１３０の傾きを補正（相殺）して、基板を水平に保持することができる。すなわち、アーム部１２０が基板の重さでたわんだままの状態でも、基板を水平に保持することが可能となり、受け渡し時に基板が高い精度で水平に保持されていることを要求する処理装置に対しても、基板の受け渡しを行うことが可能となる。なお、ローリング動作は、基板の重さによってアーム部１２０がたわんで把持部１３０が傾くような場合に限らず、例えば、処理装置等の基板受け渡し部が個体差等によって傾いているような場合においても利用することができる。
【００２９】
図５〜図９は、基板移載装置１００においてローリング動作を実現するための構成を説明するための図である。図５は、把持部１３０のチルトベース部１３１周辺を斜め下から見た斜視図であり、図６〜図９は、把持部１３０のチルトベース部１３１周辺の断面図であって、図６は図９の線Ａ−Ａに沿った断面図であり、図７は図９の線Ｂ−Ｂに沿った断面図であり、図８は、図６の線Ｃ−Ｃに沿った拡大断面図であり、図９は、図６の線Ｄ−Ｄに沿った拡大断面図である。
【００３０】
図７に示すように、第二アーム１２２（アーム部１２０）の先端部には、垂直方向に伸びるセンターシャフト１２３が固定されており、当該センターシャフト１２３に対して、把持部１３０のチルトベース部１３１が回転可能に取り付けられる。チルトベース部１３１を回転可能に取り付けるため、センターシャフト１２３の先端部分には、上部ベアリング１２４が取り付けられ、センターシャフト１２３の基端部（第二アーム１２２上面側）付近には、下部ベアリング１２５が取り付けられている。なお、本実施形態では、上部ベアリング１２４及び下部ベアリング１２５に、ラジアル軸受としてのニードルベアリングと、スラスト軸受としてのスラストボールベアリングとが組み合わされた複合型軸受を利用している。
【００３１】
センターシャフト１２３に回転可能に取り付けられるチルトベース部１３１の側方には、図６に示すように、ローリング動作用のモータ１５１が配置されている。当該ローリング動作用のモータ１５１の出力シャフト（回転シャフト）には、減速機１５２が取り付けられており、当該減速機１５２が、減速機取付板１５３によって、チルトベース部１３１の側面に固定されている。
【００３２】
減速機１５２の出力部には、偏心シャフト部１５４が取り付けられている。偏心シャフト部１５４は、円板状部材と、当該円板状部材の表面に立設される円柱状の突起（偏心シャフト）１５５とによって構成されている。偏心シャフト１５５は、円板状部材の回転中心（モータ１５１の回転軸）からややずれた位置に設けられており、モータ１５１を回転させると、偏心シャフト１５５は、モータ１５１の回転軸を中心に、モータ１５１の回転軸の回りを回転する。
【００３３】
このような回転運動を行う偏心シャフト１５５には、移動プレート１６０が取り付けられている。偏心シャフト１５５（偏心シャフト部１５４）と移動プレート１６０とはカム機構を構成するように結合され、当該カム機構によって、偏心シャフト１５５（偏心シャフト部１５４）の回転運動が、移動プレート１６０の直線運動に変換される。移動プレート１６０は、水平方向（図６における左右方向）に直線運動して、第二アーム１２２の先端部に固定されたセンターシャフト１２３を押し引きすることで、把持部１３０のローリング動作を実現する部材である。
【００３４】
図８に示すように、移動プレート１６０は、幅の異なる３つの矩形状平板部材が結合されたような形状を有しており、中央に位置する一番幅広の中間部１６１の一方側（同図における右側）に、中間部１６１よりやや幅狭の先端部１６２が位置し、中間部１６１の他方側（同図における左側）に、一番幅狭の後部１６３が位置している。
【００３５】
移動プレート１６０の中間部１６１の概ね中央部分には、センターシャフト１２３を通すための孔１６４が形成されており、当該孔１６４には、センターシャフト１２３に取り付けられる上部ベアリング１２４が嵌め込まれて、その外輪が移動プレート１６０に固定される。なお、前述したように、本実施形態では、上部ベアリング１２４に、複合型軸受を利用しているが、通常のラジアル軸受を利用することもできる。
【００３６】
また、移動プレート１６０の後部１６３の端部（図８における左端部）には、移動プレート１６０の移動方向とは垂直な方向（同図における上下方向）にやや長い長孔１６５が形成されており、当該長孔１６５に、偏心シャフト１５５が嵌め込まれている。なお、偏心シャフト１５５には、移動プレート１６０（長孔１６５）との接触面をころがり接触とするため、ベアリング１６６が装着されている。
【００３７】
また、チルトベース部１３１の側面には、移動プレート１６０の後部１６３の側面及び上面をコの字状に囲む案内部材１５６が固定されている。当該案内部材１５６は、偏心シャフト１５５によって駆動される移動プレート１６０の動きを水平直線方向に制限するものである。
【００３８】
更に、移動プレート１６０の先端部１６２には、移動プレート１６０の移動方向（図８における左右方向）に長い長孔１６７が形成されており、当該長孔１６７には、図６に示すように、移動プレート１６０の動きを規制するための円柱状部材１６８が挿入される。当該円柱状部材１６８は、その一端が、移動プレート１６０の下側に配置された案内板１７０に固定されており、その他端には、移動プレート１６０の上方への動きを抑えるための張出部が形成されている。
【００３９】
図９に示すように、案内板１７０は、チルトベース部１３１の内側側面に固定される平板状の部材であって、その中央部分にセンターシャフト１２３（及びセンターシャフト１２３に取り付けられる上部ベアリング１２４）を通すための長孔１７１が形成されている。当該長孔１７１は、移動プレート１６０の移動方向（同図における左右方向）に長い孔であり、ローリング動作を行う際に、センターシャフト１２３に対するチルトベース部１３１（把持部１３０）の動きを規制する。
【００４０】
また、図７に示すように、チルトベース部１３１の下側には、センターシャフト１２３を囲うように、ローリング軸受保持部１８０が配置されており、当該ローリング軸受保持部１８０は、センターシャフト１２３に取り付けられた下部ベアリング１２５の外輪に固定されている。ローリング軸受保持部１８０は、ローリング動作の回転中心となるローリングピン（後述）を支持するローリング軸受を保持する部材である。ローリング軸受保持部１８０は、中央部分にセンターシャフト１２３を通すための孔が設けられた背の低い八角柱状の形状を有しており（図５参照）、前記孔に下部ベアリング１２５が嵌め込まれる。ローリング軸受保持部１８０は、２つのローリング軸受１８１を、センターシャフト１２３を挟んで、（垂直に立てた状態で把持された）基板３００に垂直な方向に並ぶように保持する。２つのローリング軸受１８１は、ローリング軸受保持部１８０の（基板３００に平行な）側面に形成された孔に嵌め込まれて保持される。なお、ここでは、ローリング軸受１８１に、ニードルベアリングを利用している。
【００４１】
更に、ローリング軸受保持部１８０の外側には、ローリングピン保持部１９０が配置されており、当該ローリングピン保持部１９０は、チルトベース部１３１の底面に固定されている。ローリングピン保持部１９０は、ローリング動作の回転中心となるローリングピンを保持する部材であって、２本のローリングピン１９１を、その先端がセンターシャフト１２３を挟んで対向し、基板３００に垂直な方向に並ぶように保持する。このようにローリングピン保持部１９０によって保持（チルトベース部１３１の底面に固定）されたローリングピン１９１は、その先端部が、ローリング軸受保持部１８０によって当該ローリングピン１９１と対向する位置に保持（下部ベアリング１２５の外輪に固定）されているローリング軸受１８１に嵌め込まれて回転可能に支持される。
【００４２】
基板移載装置１００（把持部１３０）は、以上のような構造を有しているので、ローリング動作用のモータ１５１を適宜回転させると、移動プレート１６０が水平方向に直線運動して、アーム部１２０の先端に固定されたセンターシャフト１２３を押し引きすることになり、その結果、ローリングピン１９１を中心にチルトベース部１３１が回転することになる。すなわち、垂直に立てた状態で把持された基板に垂直な軸を中心に基板を回転させるローリング動作を実現することが可能となる。
【００４３】
また、移動プレート１６０をセンターシャフト１２３に回転可能に取り付けると共に、ローリング動作の回転軸を、センターシャフト１２３を挟んで、基板３００に垂直な方向に並ぶように配置される２本のローリングピン１９１で構成し、当該ローリングピン１９１を、センターシャフト１２３に回転可能に取り付けられたローリング軸受１８１で支持しているので、ローリング動作を実現しつつ、チルトベース部１３１（把持部１３０）をセンターシャフト１２３を中心に回転させることが可能となっている。
【００４４】
以上説明したように、本発明による基板移載装置によれば、基板を容易に移載することができる。特に、ローリング動作を行えるので、高精度な位置決めが可能となり、正確な位置決めを要求する処理装置等に対する受け渡しを容易に行うことができる。
【００４５】
以上、本発明の実施形態について説明したが、当然のことながら、本発明の実施形態は上記のものに限られない。例えば、上述した実施形態では、ローリング側（チルトベース側）にローリングピンを設け、静止側（センターシャフト側）に、当該ローリングピンの先端部が嵌め込まれるローリング軸受を設けるようにしていたが、逆に、静止側に、ローリングピンを設け、ローリング側に、当該ローリングピンの先端部が嵌め込まれるローリング軸受を設けるようにすることも考えられる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明による基板移載装置１００を正面側斜め上から見た斜視図である。
【図２】本発明による基板移載装置１００を背面側斜め上から見た斜視図である。
【図３】本発明による基板移載装置１００の背面図である。
【図４】基板移載装置１００の使用方法を説明するための図である。
【図５】把持部１３０の下側部分を斜め下から見た斜視図である。
【図６】図９の線Ａ−Ａに沿った断面図である。
【図７】図９の線Ｂ−Ｂに沿った断面図である。
【図８】図６の線Ｃ−Ｃに沿った拡大断面図である。
【図９】図６の線Ｄ−Ｄに沿った拡大断面図である。
【符号の説明】
【００４７】
１００    基板移載装置
１１０    胴体部
１１１    ベース部
１１２    回転胴部
１２０    アーム部
１２１    第一アーム
１２２    第二アーム
１２３    センターシャフト
１２４    上部ベアリング
１２５    下部ベアリング
１３０    把持部
１３１    チルトベース部
１３２    チルト部
１３３    下側把持爪
１３４    上側把持爪
１３５    上側把持部材
１４１    タッチパネル付き液晶ディスプレイ
１４２    モニタ
１４３    ハンドル
１４４    スイッチ
１５１    モータ
１５２    減速機
１５３    減速機取付板
１５４    偏心シャフト部
１５５    偏心シャフト
１５６    案内部材
１６０    移動プレート
１６１    中間部
１６２    先端部
１６３    後部
１６４    孔
１６５    長孔
１６６    ベアリング
１６７    長孔
１６８    円柱状部材
１７０    案内板
１７１    長孔
１８０    ローリング軸受保持部
１８１    ローリング軸受
１９０    ローリングピン保持部
１９１    ローリングピン
２０１，２０２    基板載置台
２１１，２１２    キャッチャー
２１３    収容部
２１４    リニアガイド
３００    基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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