(57)【要約】【課題】複数の検査装置による検査結果の誤差を効率良く評価することができる欠陥データ処理装置、欠陥データ処理システム、及び欠陥データ処理方法を提供する。【解決手段】同一の被検査物上の欠陥を検査装置１Ａ，１Ｂによって検査して得られる複数の検査情報、及び、検査ごとに得られる欠陥の位置情報に基づいて欠陥を観察装置２によって観察して得られる複数の観察情報が入力され、この入力された複数の検査情報及び複数の観察情報を用いた処理結果を、検査ごとに得られる欠陥の位置情報に基づいて配置されるプロット点４８で表される複数の欠陥分布３１Ａ，３１Ｂを画面３０上に同時に表示し、入力部５ｄによって表示部５ｃの画面上の任意のプロット点が選択されると、その選択されたプロット点４８ａ，４８ｂに対応する欠陥の検査情報及び観察情報を表示部５ｃに表示する。【選択図】図１
2008053609.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査物上の欠陥に関するデータを処理する欠陥データ処理装置において、
同一の被検査物上の欠陥を複数の検査装置によってそれぞれ検査して得られる複数の検査情報であって、検査ごとに得られる欠陥の位置情報をそれぞれ含む複数の検査情報、及び、前記検査ごとに得られる欠陥の位置情報に基づいて前記被検査物上の欠陥を観察装置によってそれぞれ観察して得られる複数の観察情報であって、観察ごとに得られる欠陥の画像情報をそれぞれ含み前記複数の検査情報とそれぞれ対応する複数の観察情報が入力され、
この入力された前記複数の検査情報及び前記複数の観察情報を用いた処理結果を表示する表示部に、前記検査ごとに得られる欠陥の位置情報に基づいて配置されるプロット点で表される複数の欠陥分布を同一画面上に表示し、
処理内容を指示する入力部によって前記表示部の画面上の任意のプロット点が選択されると、その選択されたプロット点に対応する欠陥の検査情報及び観察情報を前記表示部に表示することを特徴とする欠陥データ処理装置。
【請求項２】
被検査物上の欠陥に関するデータを処理する欠陥データ処理装置において、
同一の被検査物上の欠陥を複数の検査装置によってそれぞれ検査して得られる複数の検査情報であって、検査ごとに得られる欠陥の位置情報をそれぞれ含む複数の検査情報、及び、前記検査ごとに得られる欠陥の位置情報に基づいて前記被検査物上の欠陥を観察装置によってそれぞれ観察して得られる複数の観察情報であって、観察ごとに得られる欠陥の画像情報をそれぞれ含み前記複数の検査情報とそれぞれ対応する複数の観察情報が入力され、
この入力された前記複数の検査情報及び前記複数の観察情報を用いた処理結果を表示する表示部に、前記検査ごとに得られる欠陥の位置情報に基づいて配置されるプロット点で表される複数の欠陥分布を同一画面上に表示し、
処理内容を指示する入力部によって前記表示部の画面上の任意のプロット点が選択されると、その選択されたプロット点に対応する欠陥の検査情報及び観察情報を前記表示部に表示し、
前記選択されたプロット点に対応する欠陥の検査情報及び観察情報を参照することにより前記複数の欠陥分布において同一の欠陥を示すものであると判別されたプロット点の位置情報を基準として、前記複数の検査装置から任意に選択した検査装置が検出した欠陥分布に残りの検査装置が検出した欠陥分布を近づける補正処理をすることを特徴とする欠陥データ処理装置。
【請求項３】
請求項１記載の欠陥データ処理装置において、
前記選択されたプロット点に対応する欠陥の検査情報及び観察情報は、前記検査装置によって得られた検査像データ又は前記観察装置によって得られた観察像データのいずれかを少なくとも含んでいることを特徴とする欠陥データ処理装置。
【請求項４】
請求項１記載の欠陥データ処理装置において、
前記選択されたプロット点に対応する欠陥の検査情報及び観察情報が表示される画面は、その画面上に表示される欠陥の画像情報を他の画像情報に変更するためのプルダウンメニューを有していることを特徴とする欠陥データ処理装置。
【請求項５】
請求項１記載の欠陥データ処理装置において、
前記選択されたプロット点に対応する欠陥の検査情報及び観察情報は、前記複数の検査装置及び前記複数の観察装置によって得られる欠陥の特徴を示す欠陥特徴量であって、欠陥サイズ情報を含む欠陥特徴量を含んでいることを特徴とする欠陥データ処理装置。
【請求項６】
請求項５記載の欠陥データ処理装置において、
前記選択されたプロット点に対応する欠陥の検査情報及び観察情報として前記表示部に表示される欠陥特徴量は、前記複数の検査装置及び前記複数の観察装置によって得られた欠陥特徴量の中から前記入力部によって選択されたものであることを特徴とする欠陥データ処理装置。
【請求項７】
請求項１記載の欠陥データ処理装置において、
前記検査ごとに得られる欠陥の位置情報に基づいて作成される各欠陥の座標一覧を前記表示部に表示することを特徴とする欠陥データ処理装置。
【請求項８】
請求項２記載の欠陥データ処理装置において、
前記同一の欠陥を示すものであると判別されたプロット点の位置情報に基づいて作成される補正処理に利用する欠陥の座標一覧を前記表示部に表示することを特徴とする欠陥データ処理装置。
【請求項９】
請求項８記載の欠陥データ処理装置において、
前記補正処理に利用する欠陥の座標一覧で前記入力部によって選択された欠陥の位置情報を基準として補正処理を行うことを特徴とする欠陥データ処理装置。
【請求項１０】
請求項８記載の欠陥データ処理装置において、
前記補正処理に利用する欠陥の座標一覧は、各欠陥の画像情報が表示される表示枠を有していることを特徴とする欠陥データ処理装置。
【請求項１１】
請求項２記載の欠陥データ処理装置において、
前記任意に選択された検査装置による欠陥分布において前記補正処理の基準としたプロット点の位置情報と、前記残りの検査装置による欠陥分布において前記補正処理の基準としたプロット点の前記補正処理後の位置情報との誤差及び平均誤差を前記表示部に表示することを特徴とする欠陥データ処理装置。
【請求項１２】
請求項１１記載の欠陥データ処理装置において、
前記誤差は、原点からの距離で誤差の程度を示す誤差分布図によって前記表示部に表示されることを特徴とする欠陥データ処理装置。
【請求項１３】
請求項２記載の欠陥データ処理装置において、
前記任意に選択された検査装置による欠陥分布と前記補正処理後の前記残りの検査装置による欠陥分布との合致状況を判定する指標である合致率を算出することを特徴とする欠陥データ処理装置。
【請求項１４】
請求項１３記載の欠陥データ処理装置において、
前記合致率を算出する際に、前記補正処理後の欠陥分布が前記任意に選択された検査装置による欠陥分布と合致するとみなす範囲である座標比較半径は、前記入力部によって入力されることを特徴とする欠陥データ処理装置。
【請求項１５】
請求項１３記載の欠陥データ処理装置において、
前記任意に選択された検査装置による欠陥分布と合致した欠陥の個数、及び、合致しなかった欠陥の個数を前記表示部に表示することを特徴とする欠陥データ処理装置。
【請求項１６】
請求項１３記載の欠陥データ処理装置において、
前記合致率を算出した結果、合致したとみなされた欠陥の欠陥情報のうち、前記任意に選択された検査装置及び前記観察装置によって得られた欠陥特徴量、並びに前記残りの検査装置及び前記観察装置によって得られた欠陥特徴量に基づいて複数のプロット点を配置することによって表される特徴量分布図であって、前記任意に選択された検査装置及び前記観察装置によって得られた欠陥特徴量を一方の軸に割り当て、前記残りの検査装置から任意に選択された検査装置及び前記観察装置によって得られた欠陥特徴量を他方の軸に割り当てた特徴量分布図を前記表示部に表示することを特徴とする欠陥データ処理装置。
【請求項１７】
請求項１６記載の欠陥データ処理装置において、
前記入力部によって前記特徴量分布図上の任意のプロット点が選択されると、その選択されたプロット点に対応する欠陥の前記任意に選択された検査装置及び前記観察装置によって得られた検査情報及び観察情報、並びに、前記残りの検査装置及び前記観察装置によって得られた検査情報及び観察情報を前記表示部の同一画面上に表示することを特徴とする欠陥データ処理装置。
【請求項１８】
請求項１６記載の欠陥データ処理装置において、
前記特徴量分布図は、前記一方の軸に割りあてられた欠陥特徴量を他の欠陥特徴量に変更するプルダウンメニューと、
前記他方の軸に割り当てられた欠陥特徴量を他の欠陥特徴量に変更する他のプルダウンメニューとを有していることを特徴とする欠陥データ処理装置。
【請求項１９】
被検査物上の欠陥に関するデータを処理する欠陥データ処理システムにおいて、
同一の被検査物上の欠陥を検査し、その検査ごとに得られる欠陥の位置情報をそれぞれ含む複数の検査情報を得る複数の検査装置と、
前記検査ごとに得られる欠陥の位置情報に基づいて前記検査物上の欠陥をそれぞれ観察し、その観察ごとに得られる欠陥の画像情報をそれぞれ含み前記複数の検査情報とそれぞれ対応する複数の観察情報を得る観察装置と、
前記複数の検査情報及び前記複数の観察情報を処理する処理部、この処理部の処理結果を表示する表示部、及び前記処理部への処理内容を指示する入力部を有し、前記複数の検査装置及び前記観察装置と接続されている欠陥データ処理装置とを備え、
前記欠陥データ処理装置は、前記検査ごとに得られる欠陥の位置情報に基づいて配置されるプロット点で表される複数の欠陥分布を前記表示部の同一画面上に表示し、前記入力部によって前記表示部の画面上の任意のプロット点が選択されると、その選択されたプロット点に対応する欠陥の検査情報及び観察情報を前記表示部に表示することを特徴とする欠陥データ処理システム。
【請求項２０】
被検査物上の欠陥に関するデータを処理する欠陥データ処理システムにおいて、
同一の被検査物上の欠陥を検査し、その検査ごとに得られる欠陥の位置情報をそれぞれ含む複数の検査情報を得る複数の検査装置と、
前記検査ごとに得られる欠陥の位置情報に基づいて前記検査物上の欠陥をそれぞれ観察し、その観察ごとに得られる欠陥の画像情報をそれぞれ含み前記複数の検査情報とそれぞれ対応する複数の観察情報を得る観察装置と、
前記複数の検査情報及び前記複数の観察情報を処理する処理部、この処理部の処理結果を表示する表示部、及び前記処理部への処理内容を指示する入力部を有し、前記複数の検査装置及び前記観察装置と接続されている欠陥データ処理装置とを備え、
前記欠陥データ処理装置は、前記検査ごとに得られる欠陥の位置情報に基づいて配置されるプロット点で表される複数の欠陥分布を前記表示部の同一画面上に表示し、前記入力部によって前記表示部の画面上の任意のプロット点が選択されると、その選択されたプロット点に対応する欠陥の検査情報及び観察情報を前記表示部に表示し、前記選択されたプロット点に対応する欠陥の検査情報及び観察情報を参照することにより前記複数の欠陥分布において同一の欠陥を示すものであると判別されたプロット点の位置情報を基準として、前記複数の検査装置から任意に選択した検査装置が検出した欠陥分布に残りの検査装置が検出した欠陥分布を近づける補正処理をすることを特徴とする欠陥データ処理システム。
【請求項２１】
被検査物上の欠陥に関するデータを処理する欠陥データ処理方法において、
同一の被検査物上の欠陥を検査し、その検査ごとに得られる欠陥の位置情報をそれぞれ含む複数の検査情報を得る複数の検査装置と、
前記検査ごとに得られる欠陥の位置情報に基づいて前記検査物上の欠陥をそれぞれ観察し、その観察ごとに得られる欠陥の画像情報をそれぞれ含み前記複数の検査情報とそれぞれ対応する複数の観察情報を得る観察装置と、
データ処理の結果を表示する表示部とを備え、
前記検査ごとに得られる欠陥の位置情報に基づいて配置されるプロット点で表される複数の欠陥分布を前記表示部の同一画面上に表示し、
前記表示部の画面上の任意のプロット点が選択されると、その選択されたプロット点に対応する欠陥の検査情報及び観察情報を前記表示部に表示することを特徴とする欠陥データ処理方法。
【請求項２２】
被検査物上の欠陥に関するデータを処理する欠陥データ処理方法において、
同一の被検査物上の欠陥を検査し、その検査ごとに得られる欠陥の位置情報をそれぞれ含む複数の検査情報を得る複数の検査装置と、
前記検査ごとに得られる欠陥の位置情報に基づいて前記検査物上の欠陥をそれぞれ観察し、その観察ごとに得られる欠陥の画像情報をそれぞれ含み前記複数の検査情報とそれぞれ対応する複数の観察情報を得る観察装置と、
データ処理の結果を表示する表示部とを備え、
前記検査ごとに得られる欠陥の位置情報に基づいて配置されるプロット点で表される複数の欠陥分布を前記表示部の同一画面上に表示し、
前記表示部の画面上の任意のプロット点が選択されると、その選択されたプロット点に対応する欠陥の検査情報及び観察情報を前記表示部に表示し、
前記選択されたプロット点に対応する欠陥の検査情報及び観察情報を参照することにより前記複数の欠陥分布において同一の欠陥を示すものであると判別されたプロット点の位置情報を基準として、前記複数の検査装置から任意に選択した検査装置が検出した欠陥分布に残りの検査装置が検出した欠陥分布を近づける補正処理をすることを特徴とする欠陥データ処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハー等を検査する際に得られるデータを処理する欠陥データ処理装置、欠陥データ処理システム、及び欠陥データ処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハー、フォトマスク、磁気ディスク、及び液晶基板等の製造工程において仕掛かり品や製品の表面に付着する異物や、傷、パターン欠陥等は製品不良の原因となるため、製造過程にある製品の外観を検査装置や観察装置によって検査・観察する作業が行われている。そして、その結果を元に欠陥の発生原因を究明し、製造工程にフィードバックすることで製品の歩留まりの向上を図っている。
【０００３】
この種のシステムでは、一般に、検査された部品（例えば、半導体ウエハー上に形成されたチップのパターン）を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ（Scanning Electron Microscope））を応用したいわゆるＳＥＭ式観察装置を用いて観察する際、オペレーターの負担が低減するような工夫がなされている（特許文献１等参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−１３５２８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、検査装置の故障やライン拡大等の理由により、既存の検査装置を一部別のものに交換したり、既存のラインに検査装置を追加したりする場合等には、検査装置の製造元の違いや個体差から生じる検査結果の誤差に注意する必要がある。これは、各検査装置の管理基準の一元化をしたり、過去から蓄積されてきた検査情報を継続利用したりして検査効率の維持・向上を図るために、新しく導入する検査装置による検査結果が既存の検査装置の検査結果と概ね同じになること（例えば、同一の被検査物を検査した場合に、欠陥の検出個数、欠陥のサイズ等が概ね同じであること。）が求められるからである。検査結果の誤差を知得するには、各検査装置による検査結果の比較評価（マッチング評価）を行う必要がある。
【０００６】
しかし、現状ではマッチング評価を行うために必要な各欠陥の検査結果の解析はオペレーターによる手作業で行う必要があり、異なる検査結果から同一の欠陥を判別する作業（いわゆる「突き合わせ」）や、突き合わせた欠陥を基準にして座標を補正して誤差の程度を知得する作業等を行うためには膨大な時間を要していた。
【０００７】
本発明の目的は、複数の検査装置による検査結果の誤差を効率良く評価することができる欠陥データ処理装置、欠陥データ処理システム、及び欠陥データ処理方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明は、被検査物上の欠陥に関するデータを処理する欠陥データ処理装置において、同一の被検査物上の欠陥を複数の検査装置によってそれぞれ検査して得られる複数の検査情報であって、検査ごとに得られる欠陥の位置情報をそれぞれ含む複数の検査情報、及び、前記検査ごとに得られる欠陥の位置情報に基づいて前記被検査物上の欠陥を観察装置によってそれぞれ観察して得られる複数の観察情報であって、観察ごとに得られる欠陥の画像情報をそれぞれ含み前記複数の検査情報とそれぞれ対応する複数の観察情報が入力され、この入力された前記複数の検査情報及び前記複数の観察情報を用いた処理結果を表示する表示部に、前記検査ごとに得られる欠陥の位置情報に基づいて配置されるプロット点で表される複数の欠陥分布を同一画面上に表示し、処理内容を指示する入力部によって前記表示部の画面上の任意のプロット点が選択されると、その選択されたプロット点に対応する欠陥の検査情報及び観察情報を前記表示部に表示するものとする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、マッチング評価に適した欠陥データ処理を行うことができるので、複数の検査装置による検査結果の誤差を効率良く評価することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態を図面を用いて説明する。ここでは半導体製造ラインに本発明を適用した例を説明する。なお、以下において、被検査物（例えば、半導体ウエハー、フォトマスク、磁気ディスク、及び液晶基板等）の表面に付着する異物、パターンの形状の異常、及び前工程での欠陥が原因となって発生するパターン異常（パターンの下に異物が埋もれる）等をまとめて「欠陥」と記載する。
【００１１】
図１は本発明の実施の形態である欠陥データ処理システムの概略構成を示す図である。
【００１２】
図に示す欠陥データ処理システムは、製品ウエハー（被検査物）の外観を検査して、欠陥の位置や数等が含まれ欠陥の特徴を示す情報である欠陥特徴量、及び、欠陥の検査画像（検査像）である画像情報等で構成される検査情報を検出する外観検査装置（検査装置）１Ａ及び外観検査装置（検査装置）１Ｂと、検査装置１Ａ，１Ｂの検査情報（主に欠陥の位置情報）に基づいて欠陥を観察（レビュー）して、欠陥の大きさ、形状、及び種類等の欠陥特徴量、及び、欠陥の観察画像（観察像）である画像情報等で構成される観察情報を検出する観察装置２と、製品ウエハーをプローブ検査するプローブ検査装置３と、内部環境が清浄に保たれており、検査装置１Ａ，１Ｂ、観察装置２、及びプローブ検査装置３等が設けられているクリーンルーム４と、検査装置１Ａ，１Ｂ、観察装置２、及びプローブ検査装置３等からの欠陥情報（検査情報や観察情報を含む）が入力され、その入力された欠陥情報を処理する欠陥データ処理装置（データ処理装置）５とを主に備えている。
【００１３】
欠陥データ処理装置５は、欠陥情報を処理するプログラムに基づいたデータ処理等を行う処理部５ａ（例えば、中央処理装置（Central Processing Unit））と、欠陥情報の処理プログラムや欠陥情報等を記憶する記憶部５ｂ（例えば、ハードディスクやＲＡＭ（Random Access Memory）等の記憶装置）と、処理部５ａによる処理結果を表示する表示部５ｃ（例えば、モニター）と、処理部５ａへの指示をオペレーター等の操作によって入力する入力部５ｄ（例えば、マウス及びキーボード）と、他の装置とのデータの入出力が行われる通信部５ｅとを有している。
【００１４】
このように構成されたデータ処理システムにおいて、製品となるウエハーは、ロット単位で複数の製造工程８を流れており、検査を行うことが予め決められている工程が終了した後に作業者又は搬送機によって検査装置１まで運ばれて検査処理が行われる。外観検査を終了したウエハーは外観不良を観察するためにロットに戻されて観察装置２へ運ばれ、そのロット内から予め決められたウエハーが取り出されてレビューされる。
【００１５】
外観検査装置１Ａ，１Ｂ、観察装置２、及びプローブ検査装置３は、ぞれぞれ通信回線９を介してデータ処理装置５の通信部５ｅと接続されており、各装置１，２，３が検出した欠陥情報をデータ処理装置５へ送信するとともにデータ処理装置５から送信されるデータを受信している。
【００１６】
図２は本発明の実施の形態である欠陥データ処理システムにおけるデータの流れを示す図である。なお、先の図と同じ部分には同じ符号を付して説明は省略し、後の図においても同様とする。
【００１７】
図２において、本発明の実施の形態である欠陥データ処理システムは、検査装置１Ａ，１Ｂからデータ処理装置５へ送信される検査情報２１と、データ処理装置５から観察装置２へ送信される検査情報２２と、観察装置２からデータ処理装置５に送信される観察情報２３とを主に利用している。
【００１８】
検査情報２１は、外観検査装置１が検出した欠陥に関する情報であり、例えば、ロット番号、ウエハー番号、検査工程、及び検査日時等のウエハーの基本情報をはじめとして、欠陥の識別番号（ＩＤ（Identification number））に関連づけて得られる欠陥の座標（位置）や検査像（例えば、欠陥の座標位置での画像の中から自動的に収録した欠陥画像（ＡＤＲ画像））、又は欠陥の大きさ等の欠陥特徴量等が含まれている。この欠陥特徴量には、欠陥の属性の違いによって、歩留まりに直接影響を与える欠陥（実欠陥）と、歩留まりに直接影響を与えない欠陥（ニュイサンス（Nuisance）欠陥）とを自動的に分類する機能（ＲＤＣ（Real-Time Defect Classification）機能）から得られる分類データ（ＲＤＣ情報）が含まれており、例えば、後述する図５の画面６０上に列挙されている、最大グレーレベル差、参照画像平均グレーレベル、欠陥画像平均グレーレベル、極性、検査モード、欠陥サイズ等の情報が含まれている。なお、検査情報２１は決められたフォーマットのテキストデータ等によってデータ処理装置５へ送信すると良い。
【００１９】
検査情報２２は、検査装置１が検出した検査情報２１のうち観察装置２へ送信されるものであり、主に、ウエハーの基本情報、欠陥の座標、及び欠陥の検査像等の情報が含まれている。なお、検査装置１によって出力される検査情報２１が膨大なデータ量となる場合には、検査情報２１を検査情報２２として観察装置２へ送信するにあたって、データ処理装置５によって検査情報２１の中から必要なものを選別し、それを検査情報２２として送信すると送信データ量を削減できる。
【００２０】
観察情報２３は、検査情報２２に基づいて観察装置２が欠陥を観察して得られる情報であり、例えば、観察装置２が検査情報２２に基づいて得た欠陥検出部の観察像（例えば、ＡＤＲ画像）や、この観察像に基づいて欠陥を大きさや種類等に分けて自動的に分類する機能（ＡＤＣ（Automatic Defect Classification）機能）から得られる欠陥の分類データ等が含まれている。
【００２１】
なお、上記の説明において、外観検査装置１の種類については特に限定しなかったが、例えば、明視野検査装置、暗視野検査装置、又はいわゆるＳＥＭ（Scanning Electron Microscope）式検査装置等を用いてもよい。また、観察装置２についても、例えば、光学式観察装置や、ＳＥＭ式観察装置等を用いても良い。
【００２２】
次に、本発明の実施の形態である欠陥データ処理システムが行うデータ処理を図３から図１１を用いて説明する。図３から図１１は本実施の形態の欠陥データ処理システムにおいて、データ処理装置５の表示部５ｃに表示される画面を示す図である。
【００２３】
図３は本発明の実施の形態であるデータ処理システムが表示部に表示する欠陥解析画面の図である。
【００２４】
図に示す欠陥解析画面３０は、データ処理装置５の表示部５ｃ上に表示される画面である。画面３０は、検査装置１Ａ，１Ｂの検査ごとに得られる欠陥の位置情報（座標情報）に基づいて配置される複数のプロット点４８、及びそのプロット点４８が集合して表される欠陥分布３１が表示される表示枠３２と、検査装置１Ａによって検出された欠陥のうち、欠陥分布３１上で入力部５ｄによって選択された欠陥の画像（検査像又は観察像）が表示される表示枠３３と、表示枠３３に表示される欠陥画像を他の検査結果や観察結果のものに変更するプルダウンメニュー３４と、表示枠３３に表示された欠陥の特徴量（欠陥特徴量）が表示される表示枠３５と、検査装置１Ｂによって検出された欠陥のうち、欠陥分布３１上で入力部５ｄによって選択された欠陥の画像が表示される表示枠３６と、表示枠３６に表示される欠陥画像を他の検査結果や観察結果のものに変更するプルダウンメニュー３７と、表示枠３６に表示された欠陥の特徴量が表示される表示枠３８と、欠陥分布３１上で入力部５ｄによって選択した欠陥を補正処理の基準点（補正基準点）として登録するボタン３９と、ボタン３９で補正基準点として登録した欠陥の座標一覧が表示される画面８０（後述）を表示するボタン４０と、表示枠３５及び表示枠３７に表示する欠陥特徴量の項目を選択する画面６０（後述）を表示するボタン４１と、検査装置１Ａと検査装置１Ｂによって検出された欠陥の座標一覧が表示される画面７０（後述）を表示するボタン４２と、画面３０をプリンターで印刷するためのボタン４３と、直前に表示した画面に戻るためのボタン４４とから主に構成されている。
【００２５】
欠陥分布３１は、検査装置１Ａによって得られた欠陥分布３１Ａと、検査装置１Ｂによって得られた欠陥分布３１Ｂとから構成されている。欠陥分布３１Ａと欠陥分布３１Ｂとはそれぞれ異なる色（又は模様等）のプロット点で表示されており、各欠陥分布がいずれの検査装置で得られたものかが判別できるようになっている。本実施の形態では、欠陥の色分けを明示する表示４５に示すように、検査装置１Ａが検出した欠陥分布３１Ａは白色のプロット点で、検査装置１Ｂが検出した欠陥分布３１Ｂは黒色のプロット点で示されている。なお、上記の説明では、欠陥分布３１Ａと欠陥分布３１Ｂとは表示枠３２内に重ねて表示されているが、各欠陥分布３１Ａ，３１Ｂを別々の表示枠で表示するようにしても良い。この場合には、別個に設けた表示枠内におけるウエハー上の表示範囲が両表示枠で常に同じなるように設定する（例えば、一方の表示枠内の表示位置を変更すると、他方の表示枠の表示位置もそれに追随するように設定する。）と比較が行い易い。
【００２６】
また、欠陥分布３１は、検査対象物体の全体を表示する欠陥分布であり、本実施の形態では半導体ウエハー全体が表示されている。データ処理装置５の入力部５ｄによって欠陥分布３１上の範囲を指定する（例えば、欠陥分布３１上の所望の範囲をマウスでドラッグして指定する。）と、その指定した範囲が拡大表示される。このように欠陥分布３１を適宜拡大表示すると、欠陥の選択が容易になる。図４の表示枠３２内に表示されている欠陥分布３１０は図３の欠陥分布３１上に示す領域４６を拡大して表示したものである。また、詳細は後述するが、欠陥分布３１上の欠陥に付された印４７は、ボタン３９によって補正基準点として登録された欠陥に付されるものであり、これによりオペレーターは補正基準点の登録状況を視覚的に認知することができる。
【００２７】
図４は表示枠３２に図３の欠陥分布３１を拡大して表示した場合の欠陥解析画面の図である。
【００２８】
この図に示す拡大画面３０ａは、画面３０を構成する上記の要素に加えて、欠陥分布３１の全体が縮小表示される縮小マップ５１を有している。この縮小マップ５１上には、現在の表示枠３２内に拡大表示されている部分を示す領域表示５２がされており、この領域表示５２によりオペレーターは拡大表示されている欠陥分布３１０が全体のどの辺りに位置しているかを判別することができる。また、入力部５ｄで縮小マップ５１を選択すれば、表示枠３２内の表示を画面３０のものに戻すことができる。
【００２９】
図５は本発明の実施の形態であるデータ処理システムが表示部に表示する欠陥特徴量の表示選択画面の図である。
【００３０】
図に示す特徴量選択画面６０は画面３０，３０ａ上のボタン４１を押すと表示部５ｃに表示される。画面６０は、各検査から得られた後にデータ処理装置５に出力された欠陥特徴量の項目のリスト６１と、リスト６１の各項目に対応して設けられる複数のチェックボックス６２と、入力部５ｄによってチェックボックス６２で選択した特徴量の項目を表示枠３５，３８内に表示させるボタン６３と、画面６０における選択結果を反映せずに画面３０，３０ａに戻るボタン６４とから構成されている。
【００３１】
リスト６１には、図に示すように、例えば、最大グレーレベル差、参照画像平均グレーレベル、欠陥画像平均グレーレベル、極性、検査モード、欠陥サイズ、欠陥画素数、欠陥サイズ幅、欠陥サイズ高さ、欠陥サイズ幅に対する高さの割合を示す欠陥サイズ比等が含まれている。なお、欠陥の特徴量として用いるものは、図５に示したものに限られず、検査の結果によって得られた情報であって各欠陥の特定に必要なものであれば、これら以外のものでも良い。チェックボックス６２は入力部５ｄによって選択されると「レ点」が付され、このレ点が付されたものが欠陥の特徴量として表示枠３５，３８に表示される。
【００３２】
図６は本発明の実施の形態であるデータ処理システムが表示部に表示する欠陥の座標一覧画面の図である。
【００３３】
図に示す座標一覧画面７０は画面３０，３０ａ上のボタン４２を押すと表示部５ｃに表示される画面である。画面７０は、検査装置１Ａによって検出された全ての欠陥の座標が表示される座標表示部７１と、検査装置１Ｂによって検出された全ての欠陥の座標が表示される座標表示部７２と、これら座標表示部７１，７２を１画面内に表示しきれない場合に表示され、画面７０上で上下することによって表示する欠陥を適宜選択することができるスクロールバー７３と、画面７０をプリンターで印刷するためのボタン７４と、画面３０又は画面３０ａに戻るためのボタン７５とから主に構成されている。このように構成された画面７０により、オペレーターは検査装置１Ａ及び検査装置１Ｂによって検出された欠陥の識別番号（ＩＤ）及び座標を確認することができる。
【００３４】
図７は本発明の実施の形態であるデータ処理システムが表示部に表示する補正基準点の座標一覧画面の図である。
【００３５】
図に示す座標一覧画面８０は画面３０，３０ａ上のボタン４０を押すと表示部５ｃに表示される画面である。画面８０は、検査装置１Ａによって検出された欠陥であって、補正基準点として登録された欠陥の情報が表示される情報表示部８１と、検査装置１Ｂによって検出された欠陥であって、補正基準点として登録された欠陥の情報が表示される情報表示部８２と、情報表示部８１，８２に表示される１組の欠陥に対応して１つ設けられる複数のチェックボックス８３と、これら情報表示部８１，８２を１画面内に表示しきれない場合に表示され、画面８０上で上下することによって表示する欠陥を適宜選択することができるスクロールバー８４と、チェックボックス８３によって選択された欠陥の座標を利用して座標補正の計算を実行するためのボタン８５と、選択された欠陥の情報を情報表示部８１，８２から削除するためのボタン８６と、画面８０をプリンターで印刷するためのボタン８７と、画面３０又は画面３０ａに戻るためのボタン８８とから主に構成されている。
【００３６】
情報表示部８１及び情報表示部８２には、それぞれ、欠陥の識別番号（Defect ID）、観察装置２による欠陥の観察像（SEM画像）、検査装置１Ａ又はＢによって検出された欠陥の座標（Coordinate）、及び欠陥の大きさ（D Size）等が表示されている。また、情報表示部８１，８２は、本実施の形態では、画面３０，３０ａで突き合わせが完了し補正基準点として登録した１組の欠陥（検査装置１Ａによって検出された欠陥と、検出装置Ｂによって検出された欠陥との組合せ）の関係が理解し易いように、その１組の欠陥が左右隣同士に表示されている。
【００３７】
チェックボックス８３には、初期設定として、そのすべてに「レ点（チェック）」が入れられており、登録されたすべての欠陥が座標補正処理に用いられるようになっている。レ点が入れられた欠陥を座標補正処理の対象から外したい場合には、レ点が付されたチェックボックス８３を選択してレ点を除去することができる。これによって座標補正処理に利用する欠陥を適宜選択することができる。
【００３８】
ボタン８６は、例えば、欠陥の識別番号（Defect ID）を選択することによって欠陥を指定し、その指定された欠陥の情報を情報表示部８１，８２から削除するためのボタンである。削除する欠陥を指定する手段は、上記に挙げた識別番号の選択のみに限られない。例えば、観察画像や座標等の他の情報を選択して指定するように構成しても良いし、画面８０に専用のチェックボックスを別途設け、ボタン８６を押すとレ点を付した欠陥の情報が削除されるように構成しても良い。
【００３９】
図８は本発明の実施の形態であるデータ処理システムが表示部に表示する補正処理結果画面の図である。
【００４０】
図に示す補正処理結果画面１００は、画面８０上のボタン８５を押すと表示部５ｃに表示される画面であり、ボタン８５によって補正処理が実行されて、その処理が終了すると表示される。画面１００は、算出された補正値が表示される表示枠１０１と、検査装置１Ａによって得られた欠陥分布３１Ａにおいて補正基準点として登録された欠陥の座標が表示される座標表示部１０２と、検査装置１Ｂによって得られた欠陥分布３１Ｂにおいて補正基準点として登録された欠陥の補正前及び補正後の座標が表示される座標表示部１０３と、欠陥分布３１Ａにおいて補正基準点として登録された欠陥の座標と欠陥分布３１Ｂにおいて補正基準点として登録された欠陥の補正処理後の座標との誤差が表示される誤差表示部１０４と、その誤差の平均値（平均誤差）が表示される表示枠１０５と、座標表示部１０２、座標表示部１０３及び誤差表示部１０４を１画面内に表示しきれない場合に表示され、画面１００上で上下することによって表示する情報を適宜選択することができるスクロールバー１０６と、補正処理の結果を用いて、欠陥分布３１Ａと補正処理後の欠陥分布３１Ｂとの合致状況を判定する指標である合致率を算出するためのボタン１０７と、欠陥分布３１Ａにおいて補正基準点として登録された欠陥の座標と欠陥分布３１Ｂにおいて補正基準点として登録された欠陥の補正処理後の座標との誤差の程度を原点からの距離で示す座標誤差分布図１２１（後述）を表示するためのボタン１０８と、画面１００をプリンターで印刷するためのボタン１０９と、画面８０に戻るためのボタン１１０とから主に構成されている。
【００４１】
図９は本発明の実施の形態であるデータ処理システムが表示部に表示する誤差分布図画面の図である。
【００４２】
図に示す座標誤差分布図画面１２０は、画面１００上のボタン１０８を押すと表示部５ｃに表示される画面である。画面１２０は、欠陥分布３１Ａにおいて補正基準点として登録された欠陥の座標と欠陥分布３１Ｂにおいて補正基準点として登録された欠陥の補正処理後の座標との誤差の分布図１２１と、分布図１２１の表示方法を設定する表示設定部１２２とから主に構成されている。
【００４３】
誤差分布図１２１は、Ｘ軸方向の誤差の大きさを示すＸ軸１２３と、Ｙ軸方向の誤差の大きさを示すＹ軸１２４と、Ｘ軸１２３及びＹ軸１２４から形成される平面上に誤差の値に応じてプロットされる複数のプロット点１２５とから構成されている。
【００４４】
表示設定部１２２は、分布図１２１におけるＸ軸及びＹ軸の表示範囲を設定するレンジ設定部１２６と、プロット点の表示サイズを設定するマーカーサイズ設定部１２７と、レンジ設定部１２６及びマーカーサイズ設定部１２７に入力した値を分布図１２１に反映するためのボタン１２８と、画面１２０をプリンターで印刷するためのボタン１２９と、画面１００に戻るためのボタン１３０とから主に構成されている。
【００４５】
レンジ設定部１２６には、Ｘ軸の表示範囲を設定するＸ軸設定部１２６ａと、Ｙ軸の表示範囲を設定するＹ軸設定部１２６ｂとが設けられている。設定部１２６ａ，１２６ｂは、各軸の表示範囲の最大値と最小値を入力するようになっており、その各入力値が分布図１２１上の軸の両端部の値となる。このようにレンジ設定部１２６を利用すると、分布図１２１の表示範囲を適宜設定することができるので、誤差の分布状況を容易に知ることができる。
【００４６】
図１０は本発明の実施の形態であるデータ処理システムが表示部に表示する合致率表示画面の図である。
【００４７】
図に示す合致率表示画面１３５は、画面１００上のボタン１０７を押すと表示部５ｃに表示される画面である。画面１３５は、基準とした検査装置による欠陥分布（検査装置１Ａによって得られた欠陥分布３１Ａ）、及び、他の検査装置による欠陥分布であって基準とした欠陥分布に近づくように補正処理した後の欠陥分布（検査装置１Ｂによって得られた欠陥分布３１Ｂに補正処理をした後の欠陥分布１３７Ｂ）が表示される表示枠１３８と、異なる検査装置によって得られた欠陥分布の合致判定に利用されるしきい値（座標比較半径）を設定する設定部１３９と、補正処理した欠陥分布（欠陥分布１３７Ｂ）の欠陥の中で、基準となる欠陥分布（欠陥分布３１Ａ）の欠陥と合致したものの割合を示す合致率等の補正処理結果の評価値が示される結果判定部１４０とから主に構成されている。
【００４８】
ここで、上記しきい値（座標比較半径）とは、基準となる欠陥分布上（欠陥分布３１Ａ上）の欠陥と補正した欠陥分布上（欠陥分布１３７Ｂ上）の欠陥との距離が設定したしきい値以内であれば、両欠陥は合致しているとみなされる数値であり、設定部１３９に任意の数値を入力部５ｄによって入力することにより設定される。
【００４９】
また、欠陥分布３１Ａと欠陥分布１３７Ｂとは、画面３０の欠陥分布３１と同様に、異なる色（又は模様等）のプロット点で表示されており、各欠陥がいずれの検査装置で検出されたものかが判別できるようになっている。また、画面３０の説明箇所で説明したので詳細な説明は省略するが、表示枠１３８内の任意の範囲を入力部５ｄによって指定しても、その指定した範囲を拡大表示することができる。
【００５０】
設定部１３９には、入力部５ｄによって座標比較半径を入力する入力部１４１と、入力部１４１に入力した値を合致率の算出に反映させるためのボタン１４２と、画面１３５をプリンターで印刷するためのボタン１４３とが設けられている。
【００５１】
結果判定部１４０には、欠陥分布３１Ａと欠陥分布１３７Ｂとの合致率が表示される合致率表示部１４４と、合致した欠陥の割合がベン図で表示されるベン図表示部１４５と、画面３０に戻るためのボタン１４６とが設けられている。ベン図表示部１４５は、欠陥分布３１Ａの欠陥の中で欠陥分布１３７Ｂの欠陥と合致しなかったものの数を示す部分１４８と、欠陥分布３１Ａ及び欠陥分布１３７Ｂにおける欠陥のうち互いに合致したものの数を示す部分１４９と、欠陥分布１３７Ｂの欠陥の中で欠陥分布３１Ａの欠陥と合致しなかったものの数を示す部分１５０とから成っており、ベン図表示部１４５の下方には各欠陥分布３１Ａ，１３７Ｂにおける欠陥の総数がそれぞれ表示されている。
【００５２】
図１１は本発明の実施の形態であるデータ処理システムが表示部に表示する特徴量分布図画面の図である。
【００５３】
図に示す特徴量分布画面１５５は、合致率表示画面１３５で合致したとみなされた欠陥の欠陥情報のうち、複数の検査装置から任意に選択した検査装置（検査装置１Ａ）及び観察装置２によって得られた欠陥特徴量、並びに、残りの検査装置（検査装置１Ｂ）及び観察装置２によって得られた欠陥特徴量に基づいて複数のプロット点１５９を配置することによって表されるグラフであって、複数の検査装置から任意に選択した検査装置（検査装置１Ａ）及び観察装置２によって得られた欠陥特徴量を一方の軸１５６に割り当て、残りの検査装置（検査装置１Ｂ）及び観察装置２によって得られた欠陥特徴量を他方の軸１５７に割り当てた特徴量分布グラフ１５８を表示している。
【００５４】
特徴量分布図画面１５５は、更に、特徴量分布グラフ１５８が表示される表示枠１６０と、複数のプロット点１５９のうち、入力部５ｄによって選択された欠陥１５９ａの検査装置１Ａ及び観察装置２による欠陥像（検査像または観察像）が表示される表示枠１６１と、表示枠１６１に表示される欠陥像を他の検査・観察結果のものに変更するプルダウンメニュー１６２と、選択された欠陥１５９ａの検査装置１Ａ及び観察装置２によって得られた特徴量が表示される表示枠１６３と、選択された欠陥１５９ａの検査装置１Ｂ及び観察装置２による欠陥像が表示される表示枠１６４と、表示枠１６４に表示される欠陥像を他の検査・観察結果のものに変更するプルダウンメニュー１６５と、選択された欠陥１５９ａの検査装置１Ｂ及び観察装置２によって得られた特徴量が表示される表示枠１６６とから主に構成されている。
【００５５】
表示枠１６０は、検査装置１Ａ及び観察装置２から得られた欠陥特徴量の中からグラフ１５８の軸１５６に割り当てるものを選択するプルダウンメニュー１６７と、検査装置１Ｂ及び観察装置２から得られた欠陥特徴量の中から軸１５７に割り当てるものを選択するプルダウンメニュー１６８とを有している。オペレーターは、プルダウンメニュー１６７，１６８から任意の特徴量を選択することによって、補正処理の結果合致した欠陥の検査装置ごとの特徴量分布を容易に認識することができる。なお、画面１５５を表示させる方法については特に説明しなかったが、合致率表示画面１３５内に別途ボタンを設け、それを入力部５ｄで押すことで表示するように設定すると良い。
【００５６】
次に、上記のように構成される欠陥データ処理システムの動作および作用を説明する。
【００５７】
オペレーターは、欠陥解析画面３０において、各検査装置による検査結果の解析を行う。解析を行う際、欠陥分布３１Ａ，３１Bの中から任意のプロット点を選択すると、選択した欠陥の画像及び特徴量が表示枠３３，３６及び表示枠３５，３８に表示される。これにより各検査装置によって検出された欠陥から任意に選択した欠陥の画像及び特徴量を同一画面上で確認することができるので、検査結果の解析作業の効率が向上する。また、ボタン４１を押すことによって表示される特徴量選択画面６０において、表示部３５，３８に表示する欠陥特徴量を適宜選択すれば、画面に表示する欠陥特徴量を適宜選択することができるので、解析作業の効率が向上する。さらに、プルダウンメニュー３４，３７を利用して表示部３３及び３６に表示する欠陥画像を適宜選択すれば、表示させる欠陥画像を、他の検査像や観察像に変更したり、複数回検査した場合に得た他の欠陥画像に容易に変更することができるし、ボタン４１を押して表示される欠陥の座標一覧画面７０によって検出されたすべての欠陥の識別番号（ＩＤ）及び座標を確認することができるので、作業効率は更に向上する。また、図４に示したように、欠陥解析画面３０は拡大表示することができるので、全体表示されている場合には判別し辛かった近接するプロット点を容易に選択することができ、解析作業の効率は一層向上する。
【００５８】
上記の検査結果の解析を基にして更に詳細なマッチング評価を行う場合には、各欠陥分布から基準となる欠陥を複数登録し、その登録した欠陥を基に補正処理を行って誤差を計測し、定量的にマッチング評価する。補正処理の基準とする欠陥を登録する際には、まず、異なる検査結果から得られる欠陥分布から同一の欠陥を判別するいわゆる突き合わせ作業を行う。すなわち、任意に選択した欠陥分布に他の欠陥分布を近づける補正処理を突き合わせた欠陥を基準として行う。なお、上記構成によって解析作業の際に得られた上記効果は、突き合わせ作業を行う際にも効果を奏する。すなわち、各検査装置によって得られた欠陥の情報をそれぞれ同時に画面に表示しながら突き合わせ作業を行うことができるので、突き合わせ作業の効率向上ばかりでなく、突き合わせの間違いが発生することを抑制することができる。なお、上記した特徴量選択画面６０、座標一覧画面７０や、プルダウンメニュー３４，３７等の作用によって得られる効果は、突き合わせ作業においても同様に得ることができることは言うまでもない。
【００５９】
続いてオペレーターは、突き合わせ作業の結果同一の欠陥を示すものであると認定されたプロット点の中から、補正処理の基準点となる欠陥をボタン３９を利用して登録する。この登録作業は勿論上記の突き合わせ作業と同時に行っても良い。補正処理基準点とする欠陥を登録する際には、異なる欠陥分布上の欠陥をそれぞれ１つずつ選択してからボタン３９を押して登録していく。本実施の形態においては、欠陥分布３１Ａから欠陥を１つ選択するとともに、欠陥分布３１Ｂから欠陥を１つ選択してボタン３９を押す。ボタン３９を押すと、選択した１組の欠陥が補正処理基準点として登録される。画面３０及び３０ａにおいて、登録された欠陥には印４７（図３参照）が付されるので、欠陥分布３１上で登録済みとなった欠陥を視覚的に認識することができる。
【００６０】
このように登録した欠陥を利用して補正処理を行う際には、ボタン４０を押して座標一覧画面８０を表示させる。オペレーターは登録した欠陥の中から補正処理に利用する欠陥をチェックボックス８３を利用して適宜選別する。情報表示部８１，８２には、登録した欠陥の観察像（例えば、ＳＥＭ画像）や欠陥の大きさ等が表示されるので登録した欠陥の最終確認をすることができる。一度登録した欠陥を削除して未登録に戻す場合には、欠陥の識別番号（Defect ID）を選択してボタン８６を押すと選択した１組の欠陥が消去される。補正処理に利用する欠陥が決定したら、ボタン８５を押して補正処理を実行する。なお、画面８０には登録した欠陥がすべて表示されるので、欠陥の登録状況を確認する場合に利用しても勿論良い。
【００６１】
本実施の形態のデータ処理システムが行う補正処理は、複数の検査装置から任意に選択した検査装置（検査装置１Ａ）によって得られた欠陥分布（欠陥分布３１Ａ）の中から補正基準として登録した欠陥の配置に、他の検査装置（検査装置１Ｂ）によって得られた欠陥分布（欠陥分布３１Ｂ）の中から補正基準として登録した欠陥の配置を近づけようとする処理である。ボタン８５が押されるとデータ処理装置５によって上記のような補正処理が開始されはじめ、その処理が終了すると補正処理画面１００が表示部５ｃに表示される。画面１００上の表示枠１０１に表示される補正値及び表示枠１０５に表示される平均誤差は、両検査装置（検査装置１Ａ，１Ｂ）の検査結果のマッチング評価に利用され、その数値が小さければ小さいほど両検査装置のマッチングは良好であると判断することができる。さらに詳細なマッチング評価を行う場合には、合致率の計算を実行するボタン１０７や、座標誤差分布図を表示するボタン１０８を利用する。
【００６２】
ボタン１０８を押すとデータ処理装置５によって分布図１２１の作成処理が行われて、座標誤差分布図画面１２０が表示される。こうして表示される分布図１２１によってオペレーターは欠陥分布３１B上の欠陥が欠陥３１Aに対してどの程度誤差があったかを視覚的に認知することができる。分布図１２１は、レンジ設定部１２６において画面上に表示することができる範囲を設定することができるので、オペレーターは誤差分布の程度やニーズに応じて適切な表示範囲を選択することができる。また、マーカーサイズ設定部１２７において、分布図１２１上のプロット点の表示サイズを変更することができるので、常に表示範囲に最適なマーカーサイズを選択することができる。
【００６３】
ボタン１０７を押すとデータ処理装置５によって合致率の計算が実行されて、その処理が終了すると合致率表示画面１３５が表示される。合致判定に利用される座標比較半径を変更して再計算する際には、入力部１４１に任意の数値を入力してボタン１４２を押すことで、入力した値を座標比較半径として再度合致率を算出することができる。このように座標比較半径を変更することで、欠陥分布同士の合致精度を評価することができる。結果判定部１４０に表示される合致率は、上記のように基準点に基づいて実施した補正処理によって、欠陥分布１３７B上の各欠陥が欠陥分布３１A上の各欠陥に対してどの程度近づいたかを評価するものである。そのためオペレーターはこの合致率によって、検査装置のマッチング評価を定量的に行うことができる他に、先の手順で補正基準点として登録した欠陥の妥当性や、補正によって各検査装置のマッチングがどの程度向上するか等も評価することができる。また、合致の詳細はベン図表示部１４５に表示されるベン図によって把握することができる。
【００６４】
上記の機能は、主に、検査装置によって検出される欠陥の位置の誤差（座標誤差）について評価するものであったが、図１１に示す特徴量分布図画面１５５は、合致した欠陥の欠陥情報のうち、欠陥特徴量に着目して各検査装置による検査結果を評価する場合に用いるものである。
【００６５】
画面１５５において、グラフ１５８の軸１５６，１５７に特徴量を割り当てるプルダウンメニュー１６７，１６８を同じ欠陥特徴量に設定すれば、その設定した特徴量における検査装置１Ａ，１Ｂそれぞれの検出の傾向を把握することができる。ここで例えば、グラフ１５８において軸１５６，１５８の中心を通過する直線１６９付近にプロット点が集中すれば、両検査装置１Ａ，１Ｂによって得られた欠陥特徴量は類似傾向にあり、欠陥特徴量の結果に着目した場合のマッチングが良好であると判別することができる。また、表示枠１６０，１６３に検査装置１Ａによって得られた欠陥情報を表示しながら、表示枠１６４，１６６に検査装置１Ｂによって得られた欠陥情報を表示することができるので、検査装置ごとに得られた欠陥情報を同時に参照することができる。これにより検査結果を欠陥分布の観点のみだけでなく、欠陥特徴量の観点からも評価することができる。
【００６６】
次に本発明の実施の形態の効果についてまとめる。
【００６７】
これまでの技術では、複数の検査装置のマッチング評価を行うために必要な各欠陥の検査結果の解析はオペレーターによる手作業で行う必要があり、異なる検査結果から同一の欠陥を判別する作業（いわゆる「突き合わせ」）や、突き合わせた欠陥を基準にして座標を補正して誤差の程度を知得する作業等を行うためには膨大な時間を要していた。
【００６８】
これに対して、本発明の実施の形態は、同一の被検査物上の欠陥を複数の検査装置１Ａ，１Ｂによってそれぞれ検査して得られる複数の検査情報であって、検査ごとに得られる欠陥の位置情報をそれぞれ含む複数の検査情報、及び、各検査で得られる欠陥の位置情報に基づいて被検査物上の欠陥を観察装置２によってそれぞれ観察して得られる複数の観察情報であって、観察ごとに得られる欠陥の画像情報をそれぞれ含み複数の検査情報とそれぞれ対応する複数の観察情報が入力され、検査ごとに得られる欠陥の位置情報に基づいて配置されるプロット点４８で表される複数の欠陥分布３１Ａ，３１Ｂを表示部５ｃの画面３０上に同時に表示し、入力部５ｄによって表示部５ｃの画面上の任意のプロット点が選択されると、その選択されたプロット点４８ａ，４８ｂに対応する欠陥の検査情報及び観察情報を表示部５ｃに表示することを特徴とする欠陥データ処理装置５を備えている。これにより、オペレーターは、異なる検査装置によって得られた検査情報及び観察情報の中から任意の欠陥についての欠陥情報を同一画面上に表示することができるので、複数の検査装置から得られた検査結果の比較検討を画面上の情報に基づいて効率良く行うことができる。このように、本実施の形態によれば、マッチング評価に適した欠陥データ処理を行うことができるので、マッチング評価に伴う解析作業の効率が向上し、複数の検査装置による検査結果の誤差を効率良く評価することができる。
【００６９】
また、更に、本実施の形態の欠陥データ処理装置５は、選択されたプロット点４８ａ，４８ｂに対応する欠陥の検査情報及び観察情報を表示画面上で同時に参照することにより複数の欠陥分布３１Ａ，３１Ｂにおいて同一の欠陥を示すものであると判別されたプロット点の位置情報を基準として、複数の検査装置１Ａ，１Ｂから任意に選択した検査装置１Ａが検出した欠陥分布３１Ａに残りの検査装置１Ｂが検出した欠陥分布３１Ｂを近づける補正処理をしている。これにより、信頼性の非常に高い突き合わせ作業に基づいて決定した補正基準点を利用して補正処理を行うことができ、さらに詳細なマッチング評価を効率良く行うことができる。
【００７０】
さらに、本実施の形態の欠陥データ処理装置５は、任意に選択された検査装置１Ａによる欠陥分布３１Ａと補正処理後の残りの検査装置１Ｂによる欠陥分布１３７Ｂとの合致率を算出している。これにより、補正処理を施した欠陥分布１３７Ｂ上の全欠陥が、補正の基準とした欠陥分布３１Ａにどの程度近づくかということを定量的に評価できるので、更に詳細なマッチング評価を行うことができる。
【００７１】
また、本実施の形態の欠陥データ処理装置５は、合致したとみなされた欠陥の欠陥情報のうち、任意に選択された検査装置１Ａ及び観察装置２によって得られた欠陥特徴量、並びに残りの検査装置１Ｂ及び観察装置２によって得られた欠陥特徴量に基づいて複数のプロット点１５９を配置することによって表されるグラフであって、任意に選択された検査装置１Ａ及び観察装置２によって得られた欠陥特徴量を一方の軸１５６に割り当て、残りの検査装置１Ｂ及び観察装置２によって得られた欠陥特徴量を他方の軸１５７に割り当てた特徴量分布図１５８を表示している。これにより欠陥分布の観点だけでなく、欠陥特徴量の観点からも詳細なマッチング評価を行うことができるので、複数の検査装置による検査結果の誤差を効率良く評価することができる。
【００７２】
なお、以上の説明においては、２つの検査装置を利用した場合について説明してきたが、３つ以上の検査装置の検査結果を評価する場合にも、欠陥の画像や特徴量を表示する表示枠を適宜増加させることで容易に対応が可能であり、上記と同様に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】本発明の実施の形態である欠陥データ処理システムの概略構成を示す図。
【図２】本発明の実施の形態である欠陥データ処理システムにおけるデータの流れを示す図。
【図３】本発明の実施の形態であるデータ処理システムが表示部に表示する欠陥解析画面の図。
【図４】図３中の表示枠３２に欠陥分布３１を拡大して表示した場合の欠陥解析画面の図。
【図５】本発明の実施の形態であるデータ処理システムが表示部に表示する欠陥特徴量の表示選択画面の図。
【図６】本発明の実施の形態であるデータ処理システムが表示部に表示する欠陥の座標一覧画面の図。
【図７】本発明の実施の形態であるデータ処理システムが表示部に表示する補正基準点の座標一覧画面の図。
【図８】本発明の実施の形態であるデータ処理システムが表示部に表示する補正処理結果画面の図。
【図９】本発明の実施の形態であるデータ処理システムが表示部に表示する誤差分布図画面の図。
【図１０】本発明の実施の形態であるデータ処理システムが表示部に表示する合致率表示画面の図。
【図１１】本発明の実施の形態であるデータ処理システムが表示部に表示する特徴量分布図画面の図。
【符号の説明】
【００７４】
１A，１B    外観検査装置
２      観察装置
５      欠陥データ処理装置
５ａ    処理部
５ｂ    記憶部
５ｃ    表示部
５ｄ    入力部
９      通信回線
３０    欠陥解析画面
３１Ａ，３１Ｂ    欠陥分布
３３    表示枠（欠陥画像）
３４    プルダウンメニュー
３５    表示枠（欠陥特徴量）
３６    表示枠（欠陥画像）
３７    プルダウンメニュー
３８    表示枠（欠陥特徴量）
４８    プロット点
６０    欠陥特徴量の表示選択画面
７０    欠陥の座標一覧画面
８０    補正基準点の座標一覧画面
８１    情報表示部（検査装置１Ａ）
８２    情報表示部（検査装置１Ｂ）
１００  補正処理結果画面
１０３  座標表示部
１０４  誤差表示部
１２０  座標誤差分布図画面
１２１  座標誤差分布図
１３５  合致率表示画面
１３７Ｂ  欠陥分布
１４１  座標半径入力部
１４４  合致率表示部
１４５  ベン図表示部
１５５  特徴量分布図画面
１５８  特徴量分布グラフ
１６０  表示枠（欠陥画像）
１６３  表示枠（欠陥特徴量）
１６４  表示枠（欠陥画像）
１６６  表示枠（欠陥特徴量）
１６７  プルダウンメニュー（検査装置１Ａ）
１６８  プルダウンメニュー（検査装置１Ｂ）
【図１】
2008053609.tif 000003
【図２】
2008053609.tif 000004
【図３】
2008053609.tif 000005
【図４】
2008053609.tif 000006
【図５】
2008053609.tif 000007
【図６】
2008053609.tif 000008
【図７】
2008053609.tif 000009
【図８】
2008053609.tif 000010
【図９】
2008053609.tif 000011
【図１０】
2008053609.tif 000012
【図１１】
2008053609.tif 000013