(57)【要約】【課題】異物の形状にバラツキがあっても、一つのブラシで異物を除去し、且つ、除去された異物を容易にブラシから遊離する基板洗浄ブラシを提供する。【解決手段】基板洗浄ブラシ１００の洗浄ブラシの毛２０は、植毛される植毛面３０に対し、所定の角度で傾斜して植毛され、基板洗浄ブラシ１００は、洗浄ブラシの毛の毛先の部分が被洗浄基板の基板面３０に接触し、且つ、被洗浄基板３５が搬送される方向を示す第１の方向線と、所定の角度で植毛された洗浄ブラシの毛２０の植毛の方向を示す第２の方向線とが鋭角α２となるよう超音波基板洗浄装置２００に装着される。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
超音波基板洗浄装置の基板洗浄ブラシであって、
前記基板洗浄ブラシの洗浄ブラシの毛は、植毛される植毛面に対し、所定の角度で傾斜して植毛され、
前記基板洗浄ブラシは、前記洗浄ブラシの毛の毛先の部分が被洗浄基板の基板面に接触し、且つ、前記被洗浄基板が搬送される方向を示す第１の方向線と、前記所定の角度で植毛された前記洗浄ブラシの毛の植毛の方向を示す第２の方向線とが鋭角となるよう前記超音波基板洗浄装置に装着されることを特徴とする基板洗浄ブラシ。
【請求項２】
前記所定の角度で植毛された前記洗浄ブラシの毛は、前記被洗浄基板が搬送される方向の上流側において植毛密度が高く、下流に向かって前記植毛密度が低く植毛されるか、又は、前記上流側において前記植毛密度が低く、前記下流に向かって前記植毛密度が高く植毛されることを特徴とする請求項１に記載の基板洗浄ブラシ。
【請求項３】
前記所定の角度で植毛された前記洗浄ブラシの毛は、前記被洗浄基板が搬送される方向の上流側において太い洗浄ブラシの毛が植毛され、下流に向かって細い洗浄ブラシの毛が植毛されるか、又は、前記上流側において細い洗浄ブラシの毛が植毛され、前記下流に向かって太い洗浄ブラシの毛が植毛されることを特徴とする請求項１に記載の基板洗浄ブラシ。
【請求項４】
超音波基板洗浄装置の基板洗浄ブラシであって、
前記基板洗浄ブラシの洗浄ブラシの毛は、植毛される円形の植毛面に対し、直角に植毛され、
前記直角に植毛された前記洗浄ブラシの毛は、前記円形の中心部において植毛密度が高く、円周部に向かって前記植毛密度が低く植毛され、
前記基板洗浄ブラシは、前記洗浄ブラシの毛の毛先の部分が被洗浄基板の基板面に接触し、且つ、回転運動を行うよう前記超音波基板洗浄装置に装着されることを特徴とする基板洗浄ブラシ。
【請求項５】
前記直角に植毛された前記洗浄ブラシの毛は、前記円形の中心部において太い洗浄ブラシの毛が植毛され、円周部に向かって細い洗浄ブラシの毛が植毛されることを特徴とする請求項４に記載の基板洗浄ブラシ。
【請求項６】
前記直角に植毛された前記洗浄ブラシの毛の毛先は、曲線状に曲げられていることを特徴とする請求項４又は５に記載の基板洗浄ブラシ。
【請求項７】
前記基板洗浄ブラシは、前記植毛面に洗浄液供給口を有することを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の基板洗浄ブラシ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超音波基板洗浄装置の基板洗浄ブラシに係り、詳しくは、基板洗浄ブラシの植毛された毛の植毛構成に関する。
【背景技術】
【０００２】
超音波基板洗浄装置は、洗浄ブラシを超音波振動させるのではなく、超音波を照射した洗浄液に被洗浄基板を浸漬させ、被洗浄基板に超音波振動を加えることにより、高周波スクラブ洗浄を可能とするものである。この方法によると、被洗浄基板の面と洗浄ブラシとが超音波振動により擦れるため、異物の除去効果が向上する特徴がある。ところが異物の形状によっては、一つの洗浄ブラシでは除去し難い、又は、除去されてもブラシから遊離せずいつまでもブラシに残る場合があった。特許文献１には、洗浄用ブラシのブラシ毛の本数が、基板の単位面積あたり１５０００本／ｃｍ２以上当たるようにすることにより、洗浄用ブラシの回転数を高くすることなく洗浄効果を高める、旨についての記載がある。
【特許文献１】特開２００３−１４５０６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、その目的は、異物の形状にバラツキがあっても、一つのブラシで異物を除去し、且つ、除去された異物を容易にブラシから遊離する基板洗浄ブラシを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明の基板洗浄ブラシは、超音波基板洗浄装置の基板洗浄ブラシであって、基板洗浄ブラシの洗浄ブラシの毛は、植毛される植毛面に対し、所定の角度で傾斜して植毛され、基板洗浄ブラシは、洗浄ブラシの毛の毛先の部分が被洗浄基板の基板面に接触し、且つ、被洗浄基板が搬送される方向を示す第１の方向線と、所定の角度で植毛された洗浄ブラシの毛の植毛の方向を示す第２の方向線とが鋭角となるよう超音波基板洗浄装置に装着されることを特徴とする。
【０００５】
本発明の基板洗浄ブラシの所定の角度で植毛された洗浄ブラシの毛は、被洗浄基板が搬送される方向の上流側において植毛密度が高く、下流に向かって植毛密度が低く植毛されるか、又は、上流側において植毛密度が低く、下流に向かって植毛密度が高く植毛されることを特徴とする。
【０００６】
本発明の基板洗浄ブラシの所定の角度で植毛された洗浄ブラシの毛は、被洗浄基板が搬送される方向の上流側において太い洗浄ブラシの毛が植毛され、下流に向かって細い洗浄ブラシの毛が植毛されるか、又は、上流側において細い洗浄ブラシの毛が植毛され、下流に向かって太い洗浄ブラシの毛が植毛されることを特徴とする。
【０００７】
本発明の基板洗浄ブラシは、超音波基板洗浄装置の基板洗浄ブラシであって、基板洗浄ブラシの洗浄ブラシの毛は、植毛される円形の植毛面に対し、直角に植毛され、直角に植毛された洗浄ブラシの毛は、円形の中心部において植毛密度が高く、円周部に向かって植毛密度が低く植毛され、基板洗浄ブラシは、洗浄ブラシの毛の毛先の部分が被洗浄基板の基板面に接触し、且つ、回転運動を行うよう超音波基板洗浄装置に装着されることを特徴とする。
【０００８】
本発明の基板洗浄ブラシの直角に植毛された基板洗浄ブラシの毛は、円形の中心部において太い洗浄ブラシの毛が植毛され、円周部に向かって細い洗浄ブラシの毛が植毛されることを特徴とする。
【０００９】
本発明の基板洗浄ブラシの直角に植毛された洗浄ブラシの毛の毛先は、曲線状に曲げられていることを特徴とする。
【００１０】
本発明の基板洗浄ブラシは、植毛面に洗浄液供給口を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の基板洗浄ブラシによれば、異物の形状にバラツキがあっても、一つのブラシで異物を除去し、且つ、除去され対物を容易にブラシから遊離することができる。このためコンパクトで、メンテナンスの容易な、洗浄効果の高い超音波洗浄装置を提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明による実施の形態について、図を用いて説明する。図１は、本発明の基板洗浄ブラシの第１の構成と、超音波基板洗浄装置への装着を示すブラシ構成及び装置装着図である。図１において、基板洗浄ブラシ１００の洗浄ブラシの毛２０は、植毛される植毛面１０に対し、所定の角度α１で傾斜して植毛されている。
【００１３】
また、基板洗浄ブラシ１００は、被洗浄基板の基板面３０に接触し、且つ、矢印で示される被洗浄基板３５が搬送される方向を示す第１の方向線と、所定の角度α１で植毛された洗浄ブラシの毛２０の植毛の方向を示す第２の方向線とが鋭角α２となるよう超音波基板洗浄装置２００に装着され、装置として一体化している。さらに、基板洗浄ブラシ１００は、植毛面１０に洗浄液が供給される洗浄液供給口４０を有している。
【００１４】
これにより、洗浄ブラシの毛２０が被洗浄基板の基板面３０とα２の角度を保った状態で、全ての毛先の所定の部分を同方向に揃えて基板面３０に接触させることができる。このため、超音波による上下振動に対し、毛先の接触部分が均一に保たれ、洗浄効果が上がる。また、洗浄液供給口４０から供給される洗浄液により、除去された異物を容易に洗浄ブラシの毛２０から遊離させることができる。α１とα２とはほぼ同角となるが、洗浄ブラシの毛２０の特性、形状に応じて任意に設定することができる。
【００１５】
超音波基板洗浄装置２００の洗浄槽には超音波振動子が取り付けられており、洗浄槽の洗浄液は、この超音波振動子により超音波振動が与えられる。また洗浄液は、ポンプとフィルタを介し、ノズル及び洗浄液供給口４０から被洗浄基板の基板面３０上に噴射される。搬送ローラにより洗浄槽に搬送された被洗浄基板３５は、洗浄液に接触して超音波振動を受けるため、基板面３０と洗浄ブラシの毛２０とが擦れ合い、噴射された洗浄液の洗浄効果を高めることができる。洗浄液の一部は、ポンプ、フィルタ及び洗浄槽を循環し、洗浄液の清浄度を一定に保っている。
【００１６】
図２は、本願発明の基板洗浄ブラシの第２の構成を示す構成図である。図２において、所定の角度で植毛された洗浄ブラシの毛２０は、矢印で示す被洗浄基板３５が搬送される方向の上流側において植毛密度が高く、下流に向かって植毛密度が低く植毛されている。洗浄は、図１の場合と同様に行われるが、図２の場合は、異物の形状の小さいものから除去され、大きい異物は最後に除去される。また、上流側において植毛密度が低く、下流に向かって植毛密度が高く植毛された場合は、異物の形状の大きいものから除去され、小さい異物は最後に除去される。これにより、異物の形状のバラツキがある範囲内の異物に対し、より効果的に一つのブラシで異物を除去することができる。また図１と同様に、洗浄液供給口４０から供給される洗浄液により、除去された異物を容易に洗浄ブラシの毛２０から遊離させることができる。
【００１７】
図３は、本願発明の基板洗浄ブラシの第３の構成を示す構成図である。図３において、所定の角度で植毛された洗浄ブラシの毛２０は、矢印で示す被洗浄基板３５が搬送される方向の上流側において太い毛が、下流に向かって細い毛が植毛されている。洗浄は、図２の場合と同様に、異物の形状の小さいものから除去され、大きい異物は最後に除去される。また、上流側において細い毛が、下流に向かって太い毛が植毛された場合は、異物の形状の大きいものから除去され、小さい異物は最後に除去される。また図２と同様に、洗浄液供給口４０から供給される洗浄液により、除去された異物を容易に洗浄ブラシの毛２０から遊離させることができ、異物の形状のバラツキがある範囲内の異物に対し、一つのブラシで異物を除去することができる。
【００１８】
図４は、本願発明の基板洗浄ブラシの第４の構成を示す構成図である。図４において、洗浄ブラシの毛２０は、植毛される円形の植毛面１５に対し直角に、且つ、円形の中心部において植毛密度が高く、円周部に向かって植毛密度が低く植毛されている。基板洗浄ブラシ１００は、洗浄ブラシの毛の毛先の部分が被洗浄基板の基板面３０に接触し、且つ、回転運動を行うよう超音波基板洗浄装置２００に装着される。洗浄は、被洗浄基板３５の超音波振動に基板洗浄ブラシ１００の回転が加わり、異物の形状の小さいものが中心部、形状の大きいものは円周部で主に除去される。除去された異物は、回転と共に洗浄液供給口４０から供給される洗浄液により、容易に洗浄ブラシの毛２０から遊離する。これにより、異物の形状のバラツキがある範囲内の異物に対し、一つのブラシで異物を除去することができる。
【００１９】
図５は、本願発明の基板洗浄ブラシの第５の構成を示す構成図である。図５において、洗浄ブラシの毛２０は、植毛される円形の植毛面１５に対し直角に、且つ、円形の中心部において太い毛が、円周部に向かって細い毛が植毛されている。基板洗浄ブラシ１００は、図４の場合と同様に洗浄ブラシの毛の毛先の部分が被洗浄基板の基板面３０に接触し、且つ、回転運動を行うよう超音波基板洗浄装置２００に装着される。洗浄においても図４の場合と同様に洗浄が行われ、異物の形状のバラツキがある範囲内の異物に対し、一つのブラシで異物を除去することができる。
【００２０】
図６は、本願発明の基板洗浄ブラシの第６の構成を示す構成図である。図６において、図４、５において示された洗浄ブラシの毛２０の毛先が、曲線状に曲げられている。この基板洗浄ブラシ１００は、超音波基板洗浄装置２００に装着され被洗浄基板の基板面３０に接触する時、毛先の曲線部分が被洗浄基板の基板面３０に接触する。洗浄においては、被洗浄基板３５の超音波振動による上下振動が毛先の曲線部分に加わり、より効果的に横方向に基板面３０を擦ることが可能となる。
【００２１】
以上説明したように本発明の基板洗浄ブラシによれば、異物の形状にバラツキがあっても、一つのブラシで異物を除去し、且つ、除去され対物を容易にブラシから遊離することができる。このためコンパクトで、メンテナンスの容易な、洗浄効果の高い超音波洗浄装置を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の基板洗浄ブラシの第１のブラシ構成と装置装着図。
【図２】本願発明の基板洗浄ブラシの第２の構成を示す構成図。
【図３】本願発明の基板洗浄ブラシの第３の構成を示す構成図。
【図４】本願発明の基板洗浄ブラシの第４の構成を示す構成図。
【図５】本願発明の基板洗浄ブラシの第５の構成を示す構成図。
【図６】本願発明の基板洗浄ブラシの第６の構成を示す構成図。
【符号の説明】
【００２３】
１０  植毛面
１５  円形の植毛面
２０  洗浄ブラシの毛
３０  被洗浄基板の基板面
３５  被洗浄基板
４０  洗浄液供給口
１００  基板洗浄ブラシ
２００  超音波基板洗浄装置
α１  植毛の角度
α２  第１、２の方向線のなす角度
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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