(57)【要約】【課題】両面研磨装置における上下の定盤に加圧ローラを用いて研磨パッドを機械的に貼着することができる、構成が簡単で操作も容易な新たな技術手段を得る。【解決手段】研磨装置に対して個別に着脱自在である複数の加圧ローラ２０Ｃのローラ本体２１を、上下の定盤１，２のパッド貼着面１ａ，２ａの幅より短く形成し、該パッド貼着面１ａ，２ａに対する研磨パッド５の貼着時に、このローラ本体２１を上下の定盤１，２間に介在させて上下の定盤１，２を互いに逆向きに回転させることにより、このローラ本体２１を従動回転させて定盤１，２の半径方向に移動させ、それによって上記研磨パッド５をパッド貼着面１ａ，２ａに圧着させる。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
円環状のパッド貼着面と、該貼着面に貼着された円環状の研磨パッドとを有し、キャリヤに保持されたワークを両側から挟んで研磨する上定盤及び下定盤；上記キャリヤを駆動するためのサンギヤ及びインターナルギヤ；円柱形をしたローラ本体と、該ローラ本体を回転自在に支持するローラ軸とからなっていて、装置に対して個別に着脱自在なるように形成され、上定盤及び／又は下定盤に対する研磨パッドの貼着時に両定盤間に半径方向に配設される複数の加圧ローラ；を有し、
上記加圧ローラのローラ本体が、上記パッド貼着面の幅より短い長さを有していて、研磨パッドの貼着時に該パッド貼着面上の研磨パッドに部分的に当接し、上下の定盤の回転に追随して従動回転しながら該定盤の半径方向に移動するように構成されていることを特徴とする研磨パッド用加圧ローラを備えた両面研磨装置。
【請求項２】
上記加圧ローラが、ローラ軸の両端にそれぞれ係止部を有し、これらの係止部を研磨装置の係止受部に係止させることによって該研磨装置に取り付けられることを特徴とする請求項１に記載の両面研磨装置。
【請求項３】
キャリヤに保持されたワークを両側から挟んで研磨する上定盤及び下定盤と、上記キャリヤを駆動するためのサンギヤ及びインターナルギヤとを備えた両面研磨装置において、上記上定盤及び／又は下定盤の円環状をしたパッド貼着面に円環状の研磨パッドを貼着するための方法であって、
上記パッド貼着面の幅より短い長さを持つ円柱形のローラ本体と、該ローラ本体を回転自在かつ軸線方向に移動自在に支持するローラ軸とからなっていて、上記両面研磨装置に対して個別に着脱自在なるように形成された複数の加圧ローラを使用し、
上記上定盤及び／又は下定盤のパッド貼着面に研磨パッドを仮接着したあと、上記加圧ローラを上下の定盤間に該定盤の半径方向に介在させ、上定盤により荷重を加えた状態で上下の定盤を互いに逆向きに回転させることにより、上記ローラ本体を定盤の回転に追随させて従動回転させると共に上記ローラ軸に沿って定盤の半径方向に移動させながら、該ローラ本体によって上記研磨パッドをパッド貼着面に圧着させることを特徴とする両面研磨装置における研磨パッドの貼着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、定盤に研磨パッドを貼着するための加圧ローラを備えた両面研磨装置と、その加圧ローラを使用して定盤に研磨パッドを貼着する方法とに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハや、フォトマスク等に用いられるガラスウエハあるいはセラミックスウエハといったような、薄板状をしたワークの表裏両面を研磨加工する場合、ラッピング装置やポリッシング装置等の両面研磨装置が使用される。この両面研磨装置は、一般に、円環形をしたパッド貼着面に研磨パッドを貼着した上下の定盤と、下定盤の中央に位置するサンギアと、該下定盤の外周を取り囲むように位置するインターナルギアと、上記下定盤上に位置してこれら両ギアに噛合する複数のキャリヤとを有し、各キャリヤのワーク保持孔内にワークを嵌合、保持させ、上記サンギアを回転させるか又はサンギアとインターナルギアの両方を回転させて各キャリヤをサンギアの回りで自転及び公転させると共に、研磨液を供給しながら、回転する上下の定盤の上記研磨パッドで上記ワークの表裏面を研磨加工するものである。
【０００３】
この種の両面研磨装置においては、加工と共に上記研磨パッドが徐々に摩耗又は変形していくため、研磨精度が低下する前の適切な時期に摩耗又は変形した研磨パッドを新しいものと交換する必要がある。その交換作業は、摩耗又は変形した古い研磨パッドを定盤から剥がし、新しい研磨パッドを両面接着シートで貼着することにより行われるが、その貼着作業には、例えば特許文献１に従来技術として記載されているように、加圧ローラを使用するのが一般的である。その方法は、定盤に仮接着した研磨パッドの上に上記加圧ローラを押し付けて転動させることにより、この加圧ローラでパッド全体を加圧して定盤に圧着させるもので、それらの作業は全て手作業で行われている。
【０００４】
ところが、定盤及び研磨パッドの径が小さい場合はそれほど問題ないが、両面研磨装置のように定盤及び研磨パッドの径が大きくなると、上記加圧ローラを手作業でパッド全体に均等に押し付けるのは非常に難しく、研磨パッドが位置ずれして皺を生じたり、接着むらが発生したり、研磨パッドと定盤との間に空気が封じ込められて該研磨パッドに凹凸が形成され易いといったような問題があった。
【０００５】
そこで、研磨パッドを機械的に加圧して貼着することができる技術も色々提案されている。例えば、特許文献２には、上定盤の下面に下定盤を利用して研磨パッドを機械的に加圧して貼着する方法が開示されている。この方法は、研磨パッドを載置したガイド部材を上下の定盤間に介在させ、両定盤を近接させることにより、下定盤で上記ガイド部材を押圧して研磨パッドを上定盤の下面に貼着するものである。
【０００６】
また、特許文献３には、加圧ローラで研磨パッドを定盤に機械的に押し付ける技術が提案されている。この技術は、プレッシャプレートでワークを定盤（ベースプレート）に押し付けてその片面を研磨する片面研磨装置を対象とするもので、上記プレッシャプレートの下面に加圧ローラを取り付け、このプレッシャプレートで加圧ローラを研磨パッドに押し付けることにより、該研磨パッドを定盤に圧着させるものである。
この方法は、手作業の場合よりは少ない労力で済むうえに、短時間のうちに研磨パッド全体を均一に加圧することができるため、非常に簡単かつ効率的である。
【０００７】
【特許文献１】特開平１１−１５１６６１号公報
【特許文献２】特開２０００−６０１１号公報
【特許文献３】特開平１１−３２０３８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記特許文献２に記載の技術は、研磨パッドを加圧部材を介して面で加圧するため、加圧にばらつきが発生し易いだけでなく、気泡が逃げずに研磨パッドと定盤との間に封じ込められ易いという欠点がある。
【０００９】
また、特許文献３に記載の技術は、１つの定盤だけを有する片面研磨装置が対象であって、上下２つの定盤を有する両面研磨装置とは装置の構成が基本的に相違するため、この技術を両面研磨装置にそのまま転用することはできない。即ち、上記片面研磨装置の技術を両面研磨装置に転用する場合には、上記プレッシャプレートに相当する加圧用部材を新たに設け、これに加圧ローラを保持させる必要があるが、それに付随して流体圧シリンダや圧力制御系等も増設しなければならず、しかも、下定盤と上定盤の両方に対して加圧ローラを押し付けられるようにしなければならないため、研磨装置の構造が複雑化し、実用的とはいえない。特に、このような加圧用部材を上下の定盤間に設置し、その加圧ローラで上定盤の下面に研磨パッドを上向きに押し付けて貼着するように構成するのは、容易ではない。さらに、複数の加圧用部材を設けるようにすると、相互間の加圧力を均等にするための調圧機構を更に付設する必要が生じ、構造が一層複雑化する。また、加圧用部材を直接加圧ローラに押し当てると、該加圧用部材との摩擦によって加圧ローラが回転しにくくなるおそれがある。
【００１０】
そこで本発明の目的は、両面研磨装置における上下の定盤に加圧ローラを用いて研磨パッドを機械的に貼着することができる、構成が簡単で操作も容易なパッド貼着のための新たな技術手段を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するため、本発明によれば、円環状のパッド貼着面と、該貼着面に貼着された円環状の研磨パッドとを有し、キャリヤに保持されたワークを両側から挟んで研磨する上定盤及び下定盤；上記キャリヤを駆動するためのサンギヤ及びインターナルギヤ；円柱形をしたローラ本体と、該ローラ本体を回転自在に支持するローラ軸とからなっていて、装置に対して個別に着脱自在なるように形成され、上定盤及び／又は下定盤に対する研磨パッドの貼着時に両定盤間に半径方向に配設される複数の加圧ローラ；を有し、上記加圧ローラのローラ本体が、上記パッド貼着面の幅より短い長さを有していて、研磨パッドの貼着時に該パッド貼着面上の研磨パッドに部分的に当接し、上下の定盤の回転に追随して従動回転しながら該定盤の半径方向に移動するように構成されていることを特徴とする研磨パッド用加圧ローラを備えた両面研磨装置が提供される。
【００１２】
本発明において好ましくは、上記加圧ローラが、ローラ軸の両端にそれぞれ係止部を有し、これらの係止部を研磨装置の係止受部に係止させることによって該研磨装置に取り付けられるようになっていることである。
【００１３】
また、本発明によれば、キャリヤに保持されたワークを両側から挟んで研磨する上定盤及び下定盤と、上記キャリヤを駆動するためのサンギヤ及びインターナルギヤとを備えた両面研磨装置において、上記上定盤及び／又は下定盤の円環状をしたパッド貼着面に円環状の研磨パッドを貼着するための方法が提供される。
この方法は、上記パッド貼着面の幅より短い長さを持つ円柱形のローラ本体と、該ローラ本体を回転自在かつ軸線方向に移動自在に支持するローラ軸とからなっていて、上記両面研磨装置に対して個別に着脱自在なるように形成された複数の加圧ローラを使用し、上記上定盤及び／又は下定盤のパッド貼着面に研磨パッドを仮接着したあと、上記加圧ローラを上下の定盤間に該定盤の半径方向に介在させ、上定盤により荷重を加えた状態で上下の定盤を互いに逆向きに回転させることにより、上記ローラ本体を定盤の回転に追随させて従動回転させると共に上記ローラ軸に沿って定盤の半径方向に移動させながら、該ローラ本体によって上記研磨パッドをパッド貼着面に圧着させることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、加圧ローラを上下の定盤間に介在させ、上定盤により荷重を加えた状態で両定盤を互いに逆向きに回転させるだけの非常に簡単な技術的手段により、上記加圧ローラで研磨パッドを機械的に押圧して定盤に圧着させることができる。この場合、上下の定盤を逆向きに回転させて加圧ローラを従動回転させることにより、該加圧ローラが上下何れの定盤の研磨パッドとも擦れ合うことがないようにし、該研磨パッドの損傷や摩耗あるいは目潰れ等を生じるのを防止することができる。
また、上下の定盤によって加圧ローラ全体が同時にかつ均等に加圧されるため、この加圧ローラによる加圧力が研磨パッド全体に均等に作用することになり、このため接着むらが発生せず、研磨パッド全体を定盤に対して均一に貼着することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
図１は両面研磨装置の要部の断面を概略的に示すもので、この両面研磨装置は、半導体ウエハや、フォトマスク等に用いられるガラスウエハあるいはセラミックスウエハといったような、薄板状をしたワークの表裏両面を研磨加工するためのもので、ラッピング装置やポリッシング装置等によって代表されるものである。
【００１６】
上記両面研磨装置は、図２及び図３からも分かるように、同軸上に位置する円環形の上下の定盤１，２と、下定盤２の中央に位置するサンギヤ３と、該下定盤２の外周を取り囲むように位置するインターナルギヤ４とを有していて、上記両定盤１，２と、両ギヤ３，４のうち少なくともサンギヤ３とが、それぞれ駆動軸１１，１２，１３，１４を介して図示しないモーターに連結され、必要な方向に必要な速度で個別に回転駆動されるようになっている。
【００１７】
上記上下の定盤１，２は、それぞれ定盤受け６，７に取り付けられることにより、着脱自在となっている。このうち上定盤１は、上記定盤受け６及び定盤吊り８を介して昇降用シリンダのロッド９に取り付けられ、この昇降用シリンダで昇降自在となっており、ワークの研磨時や後述する研磨パッドの交換時等に該上定盤１が下降すると、上記定盤吊り８に取り付けられたフック８ａが駆動軸１１の上端のドライバ１１ａに係合し、このドライバ１１ａを介して回転駆動されるようになっている。
【００１８】
上記上定盤１及び下定盤２は、その下面又は上面に円環形をしたパッド貼着面１ａ及び２ａを有し、これらのパッド貼着面１ａ，２ａにそれぞれ、全体としてほぼ均一厚さを有する円環形の研磨パッド５が、該研磨パッド５の裏面全体に接着された両面接着シートを介して貼着されている。上記両定盤１，２におけるパッド貼着面１ａ，２ａの内外径の寸法は互いに同じであり、従って、両定盤１，２に貼着される研磨パッド５，５の内外径の寸法も互いに同じである。なお、上記研磨パッド５としては、例えば硬質ウレタン製あるいは硬質不織布製のものを使用することができる。
【００１９】
また、上記サンギヤ３及びインターナルギヤ４は、リング状をした基体３ａ，４ａの外周又は内周に、歯を構成する多数のピン３ｂ，４ｂを一定のピッチで鉛直かつ円環状に配設したもので、ピン歯車の形態を有するものである。
【００２０】
上記両面研磨装置によるワークの研磨時には、図１の左半部と図２に一つのキャリヤで代表して示すように、外周に歯１６ａを備えた複数のキャリヤ１６が、上記下定盤２上にほぼ等間隔に配置されると共に、上記両ギヤ３，４に噛合せしめられる。そして、各キャリヤ１６に形成されている複数のワーク保持孔１６ｂ内にそれぞれ円板形のワークＷを嵌合、保持させ、上記サンギヤ３を回転させるか又はサンギヤ３とインターナルギヤ４の両方を回転させることにより、上記各キャリヤ１６をサンギヤ３の回りで自転及び公転させながら、上下両定盤１，２の間に研磨液を供給し、回転するこれらの定盤１，２の研磨パッド５，５で上記ワークＷの表裏面を研磨加工する。
【００２１】
上記両面研磨装置はまた、上記定盤１，２に研磨パッド５を貼着する際に使用される複数の加圧ローラ２０Ａを備えている。この加圧ローラ２０Ａは、金属（好ましくは錆びにくいステンレスやその他の非鉄金属）からなる円柱形のローラ本体２１と、このローラ本体２１を軸線の回りに回転自在に支持するローラ軸２２とからなるもので、該ローラ軸の一端を支持する支持機構２５を介して装置本体に取り付けられ、該支持機構２５を駆動することにより、図２及び図３に実線で示す研磨パッド貼着のための占有位置であるパッド貼着位置Ｘと、図２に鎖線で示す研磨パッド非貼着時の位置である収納位置Ｙとの間を変位するようになっている。
【００２２】
上記支持機構２５は、流体圧シリンダ等からなる昇降用アクチュエータ２６と、この昇降用アクチュエータ２６のロッド２６ａに取り付けられた旋回用アクチュエータ２７とを有していて、この旋回用アクチュエータ２７に上記加圧ローラ２０Ａのローラ軸２２の基端部が取り付けられている。そして、図３に一つの操作途中位置を鎖線で示したように、上記昇降用アクチュエータ２６による昇降操作と旋回用アクチュエータ２７による旋回操作とを行うことにより、各加圧ローラ２０Ａを、上記パッド貼着位置Ｘと収納位置Ｙとに変位させるものである。この支持機構２５による加圧ローラ２０Ａの駆動は、自動操作あるいは手動操作により行われる。
【００２３】
上記加圧ローラ２０Ａにおけるローラ本体２１の軸方向長さは、上下の定盤１，２における円環形のパッド貼着面１ａ，２ａの幅（従って研磨パッド５の幅）と同じかそれより僅かに大きく形成されている。このローラ本体２１の外周面には、フッ素樹脂をコーティングしておくことが望ましい。
【００２４】
また、上記ローラ軸２２の先端には、係止用の凸部又は凹部を備えた係止部２３が形成され、これに対して研磨装置の装置本体には、上記係止部２３の凸部又は凹部が係止する凹部又は凸部を備えた係止受部２４が形成されていて、加圧ローラ２０Ａが上記パッド貼着位置Ｘを占めるとき、これらの係止部２３と係止受部２４とにおける凸部と凹部とが相互に係合するようになっている。図示の例では、上記係止受部２４がサンギヤ３に形成されている。この場合、サンギヤ３のピン３ｂをこの係止受部２４として兼用し、上記ローラ軸２２の係止部２３にこのピン３ｂが係合する孔などの凹部を形成することもできる。
【００２５】
なお、図示した例では３つの加圧ローラ２０Ａと支持機構２５とがインターナルギア４の周りにほぼ等間隔で配設されているが、これらの加圧ローラ２０Ａと支持機構２５との数は２つであっても４つ以上であっても良い。
【００２６】
上記加圧ローラ２０Ａを使用して上下の定盤１，２に研磨パッド５を貼着する場合の作用は、次の通りである。ここでは、上下の定盤１，２に同時に研磨パッド５を貼着する場合について説明されているが、何れか一方の定盤１又は２だけに研磨パッドを貼着する場合の作用も同じである。
【００２７】
先ず、上定盤１を図１及び図３に示すように作業の邪魔にならない位置まで上昇させ、両定盤１，２のパッド貼着面に古い研磨パッドが貼着されている場合には、そのパッドを剥がし、新しい研磨パッド５を両面接着シートにより仮接着する。
【００２８】
新たな研磨パッド５の仮接着が終わると、図２に鎖線で示す収納位置にある各加圧ローラを、支持機構２５を駆動することによって図２及び図３に実線で示すパッド貼着位置Ｘに変位させる。このパッド貼着位置Ｘにおいては、各加圧ローラ２０Ａが、下定盤２上に軸線を該下定盤の半径方向に向けて放射状に配置され、ローラ本体２１が該下定盤２の研磨パッド５に全幅にわたり当接する。また、ローラ軸２２の先端の係止部２３がサンギヤ３の係止受部２４に係止する。
【００２９】
次に、図４に示すように、上昇位置にある上定盤１をその研磨パッド５が上記加圧ローラ２０Ａのローラ本体２１に当接する位置まで下降させ、上下の定盤１，２により該ローラ本体２１を挟持して上定盤１で必要な荷重（加圧力）を加える。このときの荷重は、研磨装置の規模や研磨パッド５の種類等によって最適値は異なるが、一般的には３〜２０ｋｇ／ｃｍ２  程度であることが望ましい。かくして、上下の定盤１，２間に加圧ローラ２０Ａを介在させてローラ本体２１に荷重を加えることにより、該ローラ本体２１で両定盤１，２の研磨パッド５，５が、上記荷重に対応する加圧力でパッド貼着面１ａ，２ａに押し付けられることになる。
【００３０】
そして、上記サンギヤ３とインターナルギヤ４とを非回転の状態に固定し、上下の定盤１，２だけをゆっくりした速度で互いに逆方向に等速で回転させる。これにより、各加圧ローラ２０Ａのローラ本体２１は、一定の位置において、回転する両定盤に追随してローラ軸２２の回りを従動回転し、これらの定盤１，２と一緒に回転する研磨パッド５，５を押圧してパッド貼着面１ａ，２ａに圧着させる。
上記研磨パッド５，５の貼着が終わると、上定盤１を上昇させ、支持機構２５により各加圧ローラ２０Ａを収納位置に変位させる。
【００３１】
かくして、複数の加圧ローラ２０Ａを上下の定盤１，２間に介在させ、荷重を加えた状態で両定盤１，２を互いに逆向きに回転させるだけの非常に簡単でしかも合理的な方法により、各加圧ローラ２０Ａのローラ本体２１で上下両定盤１，２の研磨パッド５，５を機械的に加圧し、パッド貼着面に圧着することができる。この場合、上下の定盤１，２を逆向きに回転させることで上記ローラ本体２１を従動回転させるようにしているから、該ローラ本体２１が上下何れの定盤１，２の研磨パッド５，５とも擦れ合うことがなく、該研磨パッド５，５の損傷や摩耗あるいは目潰れ等を生じることがない。しかも、上下の定盤１，２によってローラ本体２１全体が同時にかつ均等に加圧されるため、このローラ本体２１による加圧力が研磨パッド５，５全体に均等に作用することになり、このため接着むらが発生せず、パッド全体を定盤１，２に対して均一に貼着することができる。
【００３２】
図５は本発明の第２実施形態を示すもので、この第２実施形態の両面研磨装置が上記第１実施形態の両面研磨装置と異なる点は、加圧ローラ２０Ｂにおけるローラ本体２１が、定盤１，２のパッド貼着面１ａ，２ａの幅より短い長さに形成されると共に、ローラ軸２２に沿って移動自在なるように構成されている点である。即ち、各加圧ローラ２０Ｂにおけるローラ軸２２の外周には雄ねじが設けられ、ローラ本体２１の内周にはこの雄ねじと噛み合う雌ねじが設けられていて、パッド貼着時にローラ本体２１が上下の定盤１，２の回転に追随して従動回転するのに伴い、このローラ本体２１が上記ローラ軸２２に沿って移動するようになっている。このとき、研磨パッド５，５とパッド貼着面１ａ，２ａとの間に介在する空気は、ローラ本体２１により押し動かされて外部に排出され、それらの間に封じ込められることはない。
【００３３】
上記加圧ローラ２０Ｂにおけるローラ本体２１の好ましい長さは、パッド貼着面１ａ，２ａの幅の１／２〜１／３程度であるが、それ以外の長さであっても構わない。また、パッド貼着時にこのローラ本体２１は、定盤１，２の内周側から外周側に向けて移動させても、外周側から内周側に向けて移動させても良い。
【００３４】
この第２実施形態における上記以外の構成及び作用と好ましい変形例とについては、上記第１実施形態と同じであるから、それらの主要な同一構成部分に第１実施形態の場合と同じ符号を付してその説明は省略する。
【００３５】
図６は本発明の第３実施形態を示すもので、この第３実施形態の両面研磨装置が上記第２実施形態の両面研磨装置と異なる点は、複数の加圧ローラ２０Ｃが研磨装置に対して個別に着脱自在となっている点である。
【００３６】
即ち、上記加圧ローラ２０Ｃは、図７からも分かるように、定盤１，２のパッド貼着面１ａ，２ａの幅より長さが短いローラ本体２１と、このローラ本体１２を回転自在かつ移動自在に支持するローラ２２軸と、このローラ軸２２の両端に形成された係止部２３ａ，２３ｂとを有していて、これらの係止部２３ａ，２３ｂを、研磨装置における下定盤２の内外周側の部分に形成された係止受部２４ａ，２４ｂに係止させることにより、該研磨装置に取り付けられるものである。この場合、２つの加圧ローラ２０Ｃを使用し、これらの加圧ローラを定盤１，２の直径方向に一列に並べて取り付けるようにしても良いが、好ましくは、図６に示すように、３つ以上の加圧ローラ２０Ｃを等間隔で放射状に配設することである。
【００３７】
上記ローラ軸２２の外周には雄ねじが設けられ、ローラ本体２１の内周にはこの雄ねじと噛み合う雌ねじが設けられており、パッド貼着時にローラ本体２１が上下の定盤１，２の回転に追随して従動回転するのに伴い、このローラ本体２１が上記ローラ軸２２に沿って移動するようになっている。
【００３８】
また、上記係止部２３ａ，２３ｂは、ブロック形の部材の下面に１つ又は複数の係止孔２８を備えた構成を有していて、この係止孔２８を上記サンギヤ３及びインターナルギヤ４の１つ又は複数のピン３ｂ，４ｂに係合させることで、研磨装置に取り付けられるようになっている。従って、研磨装置側の上記係止受部２４ａ，２４ｂは、上記サンギヤ３及びインターナルギヤ４の上記ピン３ｂ，４ｂによって構成されていることになる。
しかし、上記係止部及び係止受部はこのようなものに限らず、係止専用のピンや突起あるいは孔などの相互に係合し合う凸部と凹部とを有するものであれば、どのような形態のものであっても良い。
【００３９】
この第３実施形態における上記以外の構成及び作用と好ましい変形例とについては、上記第２実施形態と同じであるから、それらの主要な同一構成部分に第２実施形態のものと同じ符号を付してその説明は省略する。
【００４０】
なお、上記実施形態においては、サンギヤ３及びインターナルギヤ４がピン歯車としての形態を有していて、多数のピン３ｂ，４ｂによって歯が形成されているが、通常の平歯車のように、内外周に中心軸線と平行する直線歯を放射状に備えたものであっても良い。このようにサンギヤ３及びインターナルギヤ４が直線歯を備えたものである場合、上記加圧ローラ２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃにおける係止部２３，２３ａ，２３ｂを、上記直線歯と同様の歯状の凹凸を有するように形成し、この凹凸をサンギヤ３又はインターナルギヤ４の直線歯に噛合させるように構成することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明に係る両面研磨装置の第１実施形態の要部を概略的に示す断面図であって、右半部が加圧ローラをパッド貼着位置に配設した状態であり、左半部がワークを保持するキャリヤを配設した状態である。
【図２】図１の両面研磨装置の上定盤を取り除いた状態の平面図である。
【図３】図１の要部拡大図である。
【図４】研磨パッドの貼着時の状態を示す断面図である。
【図５】本発明に係る両面研磨装置の第２実施形態を示すもので、図２と同様な位置での平面図である。
【図６】本発明に係る両面研磨装置の第３実施形態を示すもので、図２と同様な位置での平面図である。
【図７】加圧ローラを中間の一部を省略して示す底面図である。
【符号の説明】
【００４２】
１      上定盤
２      下定盤
１ａ，２ａ      パッド貼着面
３      サンギヤ
４      インターナルギヤ
５      研磨パッド
１６      キャリヤ
２０Ｃ      加圧ローラ
２１      ローラ本体
２２      ローラ軸
２３ａ，２３ｂ      係止部
２４ａ，２４ｂ      係止受部
２５      支持機構
Ｘ      貼着位置
Ｙ      収納位置
Ｗ      ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2008149459.tif 000006
【図５】
2008149459.tif 000007
【図６】
2008149459.tif 000008
【図７】
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