(57)【要約】【課題】据え付け時などにおいて取り扱いが容易な搬送装置を提供する。【解決手段】固定ベース１と、固定ベース１に対して鉛直軸線Ｏｓ周りに旋回可能に支持された旋回ベース２と、旋回ベース２に搭載されたガイド部材３と、旋回ベース２ないしガイド部材３に支持された直線移動機構４と、直線移動機構４に支持され、ワークを水平直線状の移動行程に沿って搬送するハンド５Ａ，５Ｂと、軸線Ｏｓに沿って配置され、固定ベース１内のモータＭ３，Ｍ４の駆動力を直線移動機構４に伝達するための伝動軸２６，２７とを備えた搬送装置Ａ１であって、旋回ベース２は上下に分離可能に連結されたハウジング２２と円筒軸２１とを備え、ハウジング２２には軸線Ｏｓ周りに回転可能に支持された連結部材６１，６２が付属させられており、連結部材６１，６２には伝動軸２６，２７に対して上方から係合される係合部材７１，７２が着脱可能に設けられている。【選択図】図３
2008264923.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定ベースと、この固定ベースに対して鉛直軸線周りに旋回可能に支持された旋回ベースと、この旋回ベースに搭載されたガイド部材と、上記旋回ベースないし上記ガイド部材に支持された直線移動機構と、この直線移動機構に支持され、この直線移動機構の作動によりワークを水平直線状の移動行程に沿って搬送するハンドと、上記固定ベース内に配置された駆動源と、上記鉛直軸線に沿って配置され、上記駆動源からの駆動力を上記直線移動機構に伝達するための伝動軸と、を備えた搬送装置であって、
上記旋回ベースは、上下に分離可能に連結された上位部と下位部とを備えているとともに、上記上位部には、この上位部に対して上記鉛直軸線周りに回転可能に支持された連結部材が付属させられており、
上記連結部材には、上記伝動軸に対して上方から係合させられる係合部材が着脱可能に設けられていることを特徴とする、搬送装置。
【請求項２】
上記ハンドは、上記移動行程に沿って相互に干渉することなく移動可能とされた第１および第２のハンドを含み、
上記直線移動機構は、上記第１および第２のハンドをそれぞれ駆動する第１および第２の駆動機構を含んでいるとともに、
上記連結部材は、上記第１および第２の駆動機構に対応して同軸状に配置された第１および第２の連結部材からなっており、
上記伝動軸は、上記第１および第２の駆動機構に対応して同軸状に配置された第１および第２の伝動軸からなっており、かつ、
上記係合部材は、上記第１の伝動軸に係合させられ、かつ上記第１の連結部材に着脱可能に設けられる第１の係合部材と、上記第２の伝動軸に係合させられ、かつ上記第２の連結部材に着脱可能に設けられる第２の係合部材とを含んでいる、請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
上記第１および第２の伝動軸と上記第１および第２の連結部材との間には、上記鉛直軸線の周方向に所定の間隙が設けられている、請求項２に記載の搬送装置。
【請求項４】
上記第１および第２の伝動軸の上端は、それぞれスプライン軸部とされており、
上記第１および第２の係合部材は、上記スプライン軸部とそれぞれ嵌合するスプラインボス部を有する、請求項２または３に記載の搬送装置。
【請求項５】
上記第１および第２の連結部材は、これら連結部材の回転面内において、それぞれその一部が上記上位部に重なるように構成されており、
上記上位部ならびに上記第１および第２の連結部材には、これらが重なる部分にピンを挿通するための貫通孔がそれぞれ形成されている、請求項２ないし４のいずれかに記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送装置に関し、より詳しくは、基板等の薄板状のワークを直線状に搬送することができる搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
搬送装置のうち、直線状の移動行程に沿ってハンドを移動させる機構（直線移動機構）をもつものは、いわゆる多関節型ロボットに比較して構成が簡単で安価であり、たとえば、半導体製造装置の製造工程、あるいは、液晶表示パネルの製造工程において、各処理室へのウエハ、あるいはガラス基板等の薄板状のワークの搬入あるいは搬出用として多用されている。
【０００３】
このような薄板状のワークを搬送するための搬送装置としては、たとえば下記の特許文献１に開示されたものがある。この搬送装置は、旋回ベースに支持されたリンクアーム機構が設けられ、このリンクアーム機構の先端部に基板等の板状ワークを水平に保持可能なハンドが設けられたものである。旋回ベースは、固定ベースに対して旋回可能に支持されており、固定ベース上でこの旋回ベースが鉛直状の旋回軸周りに旋回すると、それに伴ってリンクアーム機構が旋回させられる。固定ベースの内部には、リンクアーム機構を駆動させるための駆動源が設けられているとともに、この駆動源からの駆動力をリンクアーム機構に伝達するための伝動軸が旋回ベースの内部まで延びるように設けられている。リンクアーム機構は、固定ベース内の上記駆動源からの駆動力が伝動軸を介して伝達されることによって駆動させられ、リンクアーム機構が駆動すると、ハンドに保持された板状ワークが水平面内で直線的に移動させられる。これにより、板状ワークが所定位置から他の位置へと搬送させられる。また、旋回ベースにはガイド部材が支持されているとともに、このガイド部材には、リンクアーム機構が揺動する際にハンドを支持しながら所定の方向に移動案内するためのガイドレールが固定されている。この構成によれば、板状ワークを保持したハンドをより安定した姿勢で直線的に移動させることができる。
【０００４】
一方、近年においては、たとえば、液晶表示パネルの製造において取り扱うパネルサイズが大きくなる傾向がある。それに伴い、搬送装置におけるハンドおよびこれに載置して搬送するべきワークの寸法が大きくなり、その結果、移動行程においても長大化が求められている。
【０００５】
しかしながら、ワーク寸法の大型化にともない移動行程の長大化が進むと、搬送装置全体の寸法としても大型化を招くことになる。このような搬送装置の大型化によって、たとえば、搬送装置を据え付ける際などにおいて、その取り扱いに困難を来すという不都合が生じていた。
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−１２５４７９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、このような事情のもとで考え出されたものであって、据え付け時などにおいても取り扱いが比較的に容易な搬送装置を提供することをその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するため、本発明では、次の技術的手段を採用した。
【０００９】
本発明によって提供される搬送装置は、固定ベースと、この固定ベースに対して鉛直軸線周りに旋回可能に支持された旋回ベースと、この旋回ベースに搭載されたガイド部材と、上記旋回ベースないし上記ガイド部材に支持された直線移動機構と、この直線移動機構に支持され、この直線移動機構の作動によりワークを水平直線状の移動行程に沿って搬送するハンドと、上記固定ベース内に配置された駆動源と、上記鉛直軸線に沿って配置され、上記駆動源からの駆動力を上記直線移動機構に伝達するための伝動軸と、を備えた搬送装置であって、上記旋回ベースは、上下に分離可能に連結された上位部と下位部とを備えているとともに、上記上位部には、この上位部に対して上記鉛直軸線周りに回転可能に支持された連結部材が付属させられており、上記連結部材には、上記伝動軸に対して上方から係合させられる係合部材が着脱可能に設けられていることを特徴としている。
【００１０】
本発明に係る搬送装置においては、直線移動機構を支持するとともに鉛直軸線周りに旋回する旋回ベースは、上位部と下位部とに分離可能とされており、この上位部には、直線移動機構に駆動力を伝達する連結部材が鉛直軸線周りに回転可能に支持されている。また、連結部材には、伝動軸に対して上方から係合させられる係合部材が着脱可能に設けられている。このような構成によれば、たとえば据え付け時などにおいては、係合部材を連結部材から取り外して上方に引き抜くことにより伝動軸と連結部材との連係を解除したうえで、旋回ベースの上位部と下位部との連結状態を解除することにより、上下に適切に分離することができる。すなわち、比較的に長尺となる直線移動機構をガイド部材ないし旋回ベースの上位部に支持させた状態で分離することが可能となるので、上記据え付け時などにおいても、搬送装置の取り扱いが容易になる。
【００１１】
好ましい実施の形態においては、上記ハンドは、上記移動行程に沿って相互に干渉することなく移動可能とされた第１および第２のハンドを含み、上記直線移動機構は、上記第１および第２のハンドをそれぞれ駆動する第１および第２の駆動機構を含んでいるとともに、上記連結部材は、上記第１および第２の駆動機構に対応して同軸状に配置された第１および第２の連結部材からなっており、上記伝動軸は、上記第１および第２の駆動機構に対応して同軸状に配置された第１および第２の伝動軸からなっており、かつ、上記係合部材は、上記第１の伝動軸に係合させられ、かつ上記第１の連結部材に着脱可能に設けられる第１の係合部材と、上記第２の伝動軸に係合させられ、かつ上記第２の連結部材に着脱可能に設けられる第２の係合部材とを含んでいる。
【００１２】
上記構成の搬送装置は、ハンドを２つ備え、当該２つのハンドが別個独立して駆動させられるいわゆる２アーム式の搬送装置においても好適に適用することができる。
【００１３】
好ましい実施の形態においては、上記第１および第２の伝動軸と上記第１および第２の連結部材との間には、上記鉛直軸線の周方向に所定の間隙が設けられている。
【００１４】
このような構成によれば、第１および第２の係合部材をそれぞれ第１および第２の連結部材から取り外した状態にしておけば、第１および第２の伝動軸と第１および第２の連結部材との間には鉛直軸線の周方向への所定の間隙空間が確保される。このため、旋回ベースの上位部を下位部に対して分離し、あるいは連結する際に、当該上位部を上下移動させたとしても、伝動軸と連結部材とが接触するのを回避することができ、これらの部材がこじる、あるいは変形するなどといった問題が生じることもない。
【００１５】
好ましい実施の形態においては、上記第１および第２の伝動軸の上端は、それぞれスプライン軸部とされており、上記第１および第２の係合部材は、上記スプライン軸部とそれぞれ嵌合するスプラインボス部を有する。
【００１６】
このような構成によれば、第１および第２の伝動軸と第１および第２の係合部材とは、スプライン嵌合されていることにより、これらの部材どうしの係合状態は適正に維持される。したがって、第１および第２の伝動軸の回転駆動力は、第１および第２の係合部材を介して第１および第２の連結部材へ適正に伝達される。
【００１７】
好ましい実施の形態においては、上記第１および第２の連結部材は、これら連結部材の回転面内において、それぞれその一部が上記上位部に重なるように構成されており、上記上位部ならびに上記第１および第２の連結部材には、これらが重なる部分にピンを挿通するための貫通孔がそれぞれ形成されている。
【００１８】
このような構成によれば、旋回ベースの上位部を下位部に対して分離する際に、上位部ならびに第１および第２の連結部材のそれぞれに形成された貫通孔に対して共通のピンを挿通しておくことにより、第１および第２の連結部材のそれぞれを上位部に対して回転不能としておくことができる。このため、上位部および下位部を連結する際に、伝動軸側と連結部材側との位置合わせなどの調整が不要となり、取り扱いの面で好適である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明に係る搬送装置の好ましい実施形態につき、図面を参照しつつ具体的に説明する。
【００２０】
図１〜図５は、本発明の第１の実施形態に係る搬送装置を示している。搬送装置Ａ１は、たとえば液晶表示パネル用の基板等といった薄板状のワークＷを搬送するためのものである。この搬送装置Ａ１は、図１〜図３に表れているように、固定ベース１と、固定ベース１に対して鉛直軸線Ｏｓ周りに旋回可能に支持された旋回ベース２と、旋回ベース２に搭載されたガイド部材３と、旋回ベース２ないしガイド部材３に支持された直線移動機構４と、直線移動機構４に各別に支持された一対のハンド５Ａ，５Ｂとを備えている。ハンド５Ａ，５Ｂは、上記薄板状のワークＷを水平姿勢で保持するためのものである。
【００２１】
図３によく表れているように、固定ベース１は、底壁部１１と、円筒状の側壁部１２と天井壁１３とを備えた、略円柱状の外形を有するハウジング１Ａを備えており、天井壁１３には、中心開口１３Ａが形成されている。
【００２２】
固定ベース１の内部には、昇降ベース１４が支持されている。昇降ベース１４は、中心開口１３Ａよりも小径の外径をもち、上下方向に所定の寸法を有する円筒部１４１と、この円筒部１４１の下端に形成された外向フランジ部１４２とを有している。ハウジング１Ａの側壁部１２の内壁には、上下方向の直線ガイドレール１５が複数取り付けられているとともに、昇降ベース１４の外向フランジ部１４２に設けた複数のガイド部材１６が直線ガイドレール１５に対して上下方向スライド移動可能に支持されている。これにより、昇降ベース１４は、固定ベース１に対し、上下方向に所定範囲内で移動可能であり、このとき、昇降ベース１４の円筒部１４１の上部がハウジング１Ａの中心開口１３Ａから出没する。
【００２３】
固定ベース１の天井壁１３と昇降ベース１４の外向フランジ部１４２との間には、この昇降ベース１４の円筒部１４１を取り囲むようにして配置されたベローズ１７の両端が連結されている。このベローズ１７は、昇降ベース１４の上下方向の移動にかかわらず、固定ベース１の天井壁１３と昇降ベース１４の外向フランジ部１４２との間を気密シールする。
【００２４】
固定ベース１の内部にはまた、ベローズ１７の外側において、鉛直方向に配置されて回転するネジ軸１８１と、このネジ軸１８１に螺合され、かつ昇降ベース１４の外向フランジ部１４２に貫通状に固定されたナット部材１８２とからなるボールネジ機構１８が配置されている。ネジ軸１８１は、その下端に取付けたプーリ１８３に掛け回されたベルト１８４によってモータＭ１に連係されており、このモータＭ１の駆動により、正逆方向に回転させられる。このようにしてネジ軸１８１を回転することにより、昇降ベース１４が昇降させられる。
【００２５】
旋回ベース２は、円筒軸２１（下位部）と、その上方につながるハウジング２２（上位部）とを備えている。円筒軸２１とハウジング２２とは、複数の締結ボルト２３（図３においては１つのみが示されている）を介して連結されており、上下に分離可能となっている。ハウジング２２が円筒軸２１に連結された状態において、円筒軸２１とハウジング２２との間は図示しないシール部材によって気密シールされている。円筒軸２１は、昇降ベース１４の円筒部１４１の内部にベアリング２４１を介して鉛直軸線Ｏｓを中心として回転可能に支持されている。円筒部１４１と円筒軸２１との間にはまた、ベアリング２４１よりも上位に位置するシール機構２４２が介装されている。シール機構２４２は、当該シール機構２４２よりも上方の空間と、シール機構２４２よりも下方の昇降ベース１４の内側空間とを遮蔽して気密性を保持するものである。円筒軸２１の上部には位置決め用の複数のノックピン２１１（図３においては１つのみが示されている）が立設されており、当該ノックピン２１１は、ハウジング２２に形成されたピン孔２２１に嵌入されている。円筒軸２１の下端には、プーリ２１２が一体的に形成されており、このプーリ２１２と円筒部１４１内に支持されたモータＭ２の出力軸に取り付けたプーリとの間にベルト２５１が掛け回されている。これにより、モータＭ２を駆動させると、旋回ベース２が鉛直軸線Ｏｓ周りに旋回する。
【００２６】
旋回ベース２の円筒軸２１には、後述する第１および第２のリンクアーム機構４２Ａ，４２Ｂに駆動力を伝達するための第１および第２の伝動軸２６，２７が鉛直軸線Ｏｓに沿って同軸状に挿通されている。第２の伝動軸２７は、円筒状の軸とされ、円筒軸２１の内側にベアリング２４３を介して回転可能に支持されている。第１の伝動軸２６は、第２の伝動軸２７の内側にベアリング２４４を介して回転可能に支持されている。第１の伝動軸２６の下端は、円筒部１４１内に支持されたモータＭ３の出力軸に連結されている。一方、第２の伝動軸２７の下端には、プーリ２７１が設けられており、このプーリ２７１と、円筒部１４１内に支持されたモータＭ４の出力軸に取り付けたプーリとの間にベルト２５２が掛け回されている。図４によく表れているように、第１および第２の伝動軸２６，２７の上端には、それぞれスプライン軸部２６２，２７２が形成されている。
【００２７】
旋回ベース２のハウジング２２には、その上部中央に開口２２２が形成されており、この開口２２２の下方に環状の支持部材２２３が連結固定されている。この支持部材２２３には、第１および第２の連結部材６１，６２が鉛直軸線Ｏｓに沿って同軸状に挿通されている。また、図４に表れているように、支持部材２２３の所定部位には、鉛直軸線Ｏｓの平行線に沿う貫通孔２２４が形成されている。
【００２８】
図４に表れているように、第１の連結部材６１は、円筒軸６１１と、この円筒軸６１１に対して周方向外方に突出する鍔部６１２とを有し、支持部材２２３の内側にベアリング２４５を介して回転可能に支持されている。鍔部６１２は、第１の連結部材６１の回転面内において、上記支持部材２２３の下方に重なるように設けられている。鍔部６１２の周縁には、プーリ６１３が設けられている。また、鍔部６１２の所定部位には、鉛直軸線Ｏｓの平行線に沿う貫通孔６１４が形成されている。
【００２９】
第２の連結部材６２は、円筒軸６２１と、この円筒軸６２１に対して周方向外方に突出する鍔部６２２とを有し、第１の連結部材６１の円筒軸６１１にベアリング２４６を介して回転可能に支持されている。円筒軸６２１は、第１の連結部材６１の円筒軸６１１の内側に位置している。鍔部６２２は、第２の連結部材６２の回転面内において、上記支持部材２２３および鍔部６１２の下方に重なるように設けられている。鍔部６２２の周縁には、プーリ６２３が設けられている。また、鍔部６２２の所定部位には、鉛直軸線Ｏｓの平行線に沿う貫通孔６２４が形成されている。
【００３０】
ここで、支持部材２２３の貫通孔２２４、ならびに第１および第２の連結部材６１，６２の貫通孔６１４，６２４は、それぞれその中心が、鉛直軸線Ｏｓを共通中心とする同心円上に位置するように配置されている。これにより、これらの貫通孔２２４，６１４，６２４は、鉛直軸線Ｏｓに沿う一直線上に並ぶ状態とすることが可能である。図４に表れているように、この状態において貫通孔２２４，６１４，６２４にピン８１を挿通することにより、第１および第２の連結部材６１，６２の支持部材２２３に対する相対回転が阻止される。
【００３１】
第１の連結部材６１の円筒軸６１１の上端には、第１の係合部材７１が取付ボルト８２を介して着脱可能に設けられている。より具体的には、第１の係合部材７１は、円筒軸７１１と、この円筒軸７１１の上端に設けられ、第１の連結部材６１の円筒軸６１１に重ね合わされた外向フランジ部７１２とを有する。円筒軸７１１の下端には、上記第１の伝動軸２６の上端に形成されたスプライン軸部２６２に係合するスプラインボス部７１３が形成されている。これにより、第１の係合部材７１は、第１の伝動軸２６に対し、上方から係合させることが可能となっている。
【００３２】
第２の連結部材６２の円筒軸６２１の上端には、第２の係合部材７２が取付ボルト８３を介して着脱可能に設けられている。より具体的には、第２の係合部材７２は、円筒軸７２１と、この円筒軸７２１の上端に設けられ、第２の連結部材６２の円筒軸６２１に重ね合わされた外向フランジ部７２２とを有する。円筒軸７２１の下端には、上記第２の伝動軸２７の上端に形成されたスプライン軸部２７２に係合するスプラインボス部７２３が形成されている。これにより、第２の係合部材７２は、第２の伝動軸２７に対し、上方から係合させることが可能となっている。ここで、円筒軸７２１は、第１の係合部材７１の円筒軸７１１の外側、かつ第２の連結部材６２の円筒軸６２１の内側に配置されている。このため、第２の係合部材７２を第２の連結部材６２から取り外した状態においては、第２の伝動軸２７のスプライン軸部２７２と第２の連結部材６２の円筒軸６２１との間には、円筒軸７２１の厚みに相当する間隙がある。
【００３３】
直線移動機構４は、ハンド５Ａ，５Ｂを水平直線状の移動行程ＧＬに沿って搬送するためのものであり、図３に表れているように、ガイド部材３上に設けられたガイドレール４１Ａ，４１Ｂと、ハンド５Ａ，５Ｂに水平方向の駆動力を伝達するリンクアーム機構４２Ａ，４２Ｂとを有する。
【００３４】
ガイドレール４１Ａ，４１Ｂを支持するガイド部材３は、水平方向に延びる長手軸線（移動行程ＧＬ）を有する平面視長矩形状をしているとともに、底壁３１と、この底壁３１の両側縁部に形成された左右の起立壁３２と、カバー３３とを有する。ガイドレール４１Ａ，４１Ｂは、底壁３１に支持されており、これらガイドレール４１Ａ，４１Ｂの上部は、カバー３３によって覆われている。底壁３１には、中央部に開口３１Ａが形成されており、この開口３１Ａには、この開口３１Ａを気密状態で塞ぐ蓋体３４が着脱可能に取り付けられている。カバー３３には、中央部に開口３３Ａが形成されており、この開口３３Ａには、この開口３３Ａを塞ぐ蓋体３５が着脱可能に取り付けられている。上記底壁３１はまた、旋回ベース２のハウジング２２に固定されており、旋回ベース２が旋回させられると、これにともなってガイド部材３が旋回する。
【００３５】
ハンド５Ａは、その下部に形成された支持アーム５１ａ、および支持アーム５１ａに設けられたスライダ４１１Ａを介して、内側の一対のガイドレール４１Ａに支持されている。ハンド５Ｂは、ハンド５Ａの側方を迂回するように形成された一対の支持アーム５１ｂ、および支持アーム５１ｂに設けられたスライダ４１１Ｂを介して、外側の一対のガイドレール４１Ｂに支持されている。
【００３６】
ハンド５Ａ，５Ｂには、ガイド部材３の長手方向に延びる複数のホーク状の保持片５２ａ，５２ｂが一体的に設けられており、これらの保持片５２ａ，５２ｂ上に上記薄板状のワークＷが載置保持される。また、ハンド５Ａの支持アーム５１ａには、延長部５３ａが連設されており、この延長部５３ａは、ガイド部材３の底壁３１に形成されたスリットを貫通するとともに外側のガイドレール４１Ｂの下方を通って外側に延ばされている。延長部５３ａには、リンク機構４２Ａのアーム４２４（図３において右側のもの）の先端部が回転可能に連結されている。一方、ハンド５Ｂの支持アーム５１ｂには、軸５３ｂが連設されており、この軸５３ｂには、リンクアーム機構４２Ｂのアーム４２４（図３において左側のもの）の先端部が回転可能に連結されている。
【００３７】
リンクアーム機構４２Ａ，４２Ｂは、それぞれ、複数のアーム４２１〜４２４を連結して構成されたものである。リンクアーム機構４２Ａ，４２Ｂの主な構成および動作については、従来のものと同様であるため、詳細な説明を省略する。アーム４２１の基端部４２１ａは、旋回ベース２のハウジング２２の上部に設けられた開口にベアリング２４７を介して回転可能に支持されている。基端部４２１ａの下端には、減速機構４２５を介して回転軸４２０が連結されている。基端部４２１ａとハウジング２２の上部との間には、ベアリング２４７よりも上位において、気密性を保持するためのシール機構２４８が設けられている。これにより、ハウジング２２の内部、およびこの内部から円筒軸２１を介して連通する昇降ベース１４の内側空間は、外部に対して気密シールされている。
【００３８】
リンクアーム機構４２Ａの回転軸４２０（図３において右側）の下端には、プーリ４２０ａが設けられており、このプーリ４２０ａと、第１の連結部材６１のプーリ６１３との間にベルト２５３が掛け回されている。これにより、モータＭ３を駆動させると、このモータＭ３の回転駆動力は、第１の伝動軸２６、第１の係合部材７１、第１の連結部材６１、およびベルト２５３の連係によって回転軸４２０に伝達され、リンクアーム機構４２Ａが駆動させられる。一方、リンクアーム機構４２Ｂの回転軸４２０（図３において左側）の下端には、プーリ４２０ｂが設けられており、このプーリ４２０ｂと、第２の連結部材６２のプーリ６２３との間にベルト２５４が掛け回されている。これにより、モータＭ４を駆動させると、このモータＭ４の回転駆動力は、ベルト２５２、第２の伝動軸２７、第２の係合部材７２、第２の連結部材６２、およびベルト２５４の連係によって回転軸４２０に伝達され、リンクアーム機構４２Ｂが駆動させられる。
【００３９】
第１のリンクアーム機構４２Ａが駆動すると、それに連動して下側のハンド５Ａが内側２つのガイドレール４１Ａに支持されながら水平にスライドする。第２のリンクアーム機構４２Ｂが駆動すると、ハンド５Ａに干渉することなく上側のハンド５Ｂが外側２つのガイドレール４１Ｂに支持されながら水平にスライドする。その際、ハンド５Ａとリンクアーム機構４２Ａとを連結する延長部５３ａは、ガイド部材３に妨げられることなくスライドする。これにより、ハンド５Ａ，５Ｂの保持片５２ａ，５２ｂに載せられたワークＷが安定した姿勢で搬送される。
【００４０】
上記構成の搬送装置Ａ１は、たとえば液晶表示パネルの製造工程において、プロセスチャンバへワークを搬入し、あるいは搬出するために用いられる。この場合、搬送装置Ａ１は、たとえば、周部に複数のプロセスチャンバが配置されたトランスポートチャンバ内に真空雰囲気下で配置される。
【００４１】
搬送装置Ａ１においては、たとえば据え付け時などの際には、直線移動機構４を支持するとともに鉛直軸線Ｏｓ周りに旋回する旋回ベース２は、上述したように、上位部であるハウジング２２と下位部である円筒軸２１とに分離することができる。
【００４２】
円筒軸２１からハウジング２２を分離する際には、たとえば図５を参照して説明する以下の手順によって行う。まず、ハンド５Ａ，５Ｂの支持アーム５１ａ，５１ｂをそれぞれ蓋体３５の上方から退避させたうえで、蓋体３５および蓋体３４を取り外す。
【００４３】
次に、モータＭ３，Ｍ４を駆動させることにより第１および第２の連結部材６１，６２をそれぞれ支持部材２２３に対して回転させて、支持部材２２３の貫通孔２２４、ならびに第１および第２の連結部材６１，６２の貫通孔６１４，６２４が一直線上に並ぶ状態にする。この状態でこれらの貫通孔２２４，６１４，６２４にピン８１を挿通する。これにより、連結部材６１，６２は、支持部材２２３に対して回転不能となる。
【００４４】
次に、取付ボルト８２を緩めて第１の係合部材７１を第１の連結部材６１から取り外し、この第１の係合部材７１を、ハウジング２２の開口２２２およびガイド部材３の開口３１Ａ，３３Ａを通じて上方に引き抜く。これにより、第１の伝動軸２６と第１の連結部材６１との連係が解除される。次に、取付ボルト８３を緩めて第２の係合部材７２を第２の連結部材６２から取り外し、この第２の係合部材７２を、ハウジング２２の開口２２２およびガイド部材３の開口３１Ａ，３３Ａを通じて上方に引き抜く。これにより、第２の伝動軸２７と第２の連結部材７２との連係が解除される。
【００４５】
次に、締結ボルト２３を緩めて旋回ベース２の円筒軸２１およびハウジング２２の連結状態を解除する。
【００４６】
次いで、たとえばガイド部材３の上部の適所に図示しない吊りフックを係止させ、当該吊りフックを引き上げることにより、旋回ベース２のハウジング２２、ガイド部材３、およびハウジング２２ないしガイド部材３に支持された直線移動機構４について、これらが一体となった状態で、固定ベース１側から分離することができる。
【００４７】
円筒軸２１（下位部）に対するハウジング２２（上位部）の連結は、分離の際とは逆の手順によって行うことができる。すなわち、まず、ハウジング２２を円筒軸２１に載置し、締結ボルト２３を締めつけることにより、ハウジング２２と円筒軸２１とを連結する。ここで、ノックピン２１１によって円筒軸２１に対するハウジング２２の位置決めが高精度でなされており、分離前とほぼ同じ相対位置関係を維持することができる。次いで、第２の係合部材７２を第２の連結部材６２に取り付け、その後に第１の係合部材７１を第１の連結部材６１に取り付ける。次いで、ピン８１を取り外し、第１および第２の連結部材７１，７２を支持部材２２３に対して相対回転可能な状態にする。
【００４８】
近年では、液晶表示パネルの製造において取り扱うパネルサイズが大型化する傾向にある。これにともなう移動行程ＧＬの長大化によって、ガイドレール４１Ａ，４１Ｂを含む直線移動機構４やガイド部材３の移動行程ＧＬに沿う方向への寸法が長大化するところ、本実施形態の搬送装置Ａ１においては、上記のように直線移動機構４を旋回ベース２のハウジング２２ないしガイド部材３に支持させた状態で分離することができるため、据え付け時などにおいても、搬送装置Ａ１の取り扱いが容易になる。
【００４９】
また、搬送装置Ａ１においては、第１および第２の係合部材７１，７２を取り外した状態において、第１および第２の伝動軸２６，２７のうち外側に位置する第２の伝動軸２７と、第１および第２の連結部材６１，６２のうち内側に位置する第２の連結部材６２との間には、鉛直軸線Ｏｓの周方向に第２の係合部材７２の円筒軸７２１の厚み相当量の間隙空間Ｓ１が確保される。このため、旋回ベース２のハウジング２２（上位部）を円筒軸２１（下位部）に対して分離し、あるいは連結する際に、ハウジング２２を上下移動させたとしても第２の伝動軸２７と第２の連結部材６２とが接触するのを回避することができ、これらの部材がこじる、あるいは変形するといった問題が生じることもない。
【００５０】
また、搬送装置Ａ１においては、旋回ベース２のハウジング２２（上位部）を円筒軸２１（下位部）に対して分離する際に、上述したように、支持部材２２３ならびに第１および第２の連結部材６１，６２のそれぞれに形成された貫通孔２２４，６１４，６２４に対して共通のピン８１を挿通しておくことにより、第１および第２の連結部材６１，６２のそれぞれをハウジング２２に対して回転不能となるように仮固定しておくことができる。このとき、第１および第２の伝動軸２６，２７については、モータＭ３，Ｍ４のブレーキ機能によってその回転が阻止されている。このため、第１および第２の係合部材７１，７２を第１および第２の連結部材６１，６２に取り付ける際に、第１の連結部材６１と第１の伝動軸２６、および第２の連結部材６２と第２の伝動軸２７のそれぞれの位置関係が変化することはない。したがって、第１および第２の係合部材７１，７２を取り付ける際に位置合わせなどの調整が不要となり、取り扱いの面で好適である。
【００５１】
図６〜図１２は、本発明の第２の実施形態に係る搬送装置Ａ２を示している。なお、図６以降の図面においては、上記第１の実施形態と同一または類似の要素には同一の符号を付しており、適宜説明を省略する。
【００５２】
本実施形態に係る搬送装置Ａ２は、図６〜図８に表れているように、固定ベース１と、旋回ベース２と、ガイド部材３と、直線移動機構４’と、一対のハンド５Ａ，５Ｂとを備え、上記第１の実施形態の搬送装置Ａ１と同様に、薄板状のワークＷを直線状の移動行程ＧＬに沿って搬送するためのものである。なお、図８以降の図面においては、図６および図７と異なり、ハンド５Ａ，５Ｂの双方が固定ベース１の上方に位置する状態を示している。
【００５３】
本実施形態に係る直線移動機構４’は、一対の水平駆動機構４３Ａ，４３Ｂを備えている。この水平駆動機構４３Ａ，４３Ｂは、ベルトによって駆動させられるように構成されたものである。すなわち、本実施形態の搬送装置Ａ２は、上記第１の実施形態の搬送装置Ａ１に比べて、リンクアーム機構４２Ａ，４２Ｂに代えて水平駆動機構４３Ａ，４３Ｂを備える点が主たる相違点であり、これに伴って種々の設計変更が施されている。なお、搬送装置Ａ２は、第１および第２の連結部材６１，６２、ならびに第１および第２の係合部材７１，７２を備えており、これらの部材の構成は上記第１の実施形態におけるものと同様である。
【００５４】
第１および第２の水平駆動機構４３Ａ，４３Ｂは、同様の構成を有しているので、以下に第１の水平駆動機構４３Ａの構成について具体的に説明し、第２の水平駆動機構４３Ｂについては適宜説明を省略する。
【００５５】
水平駆動機構４３Ａは、図９〜図１１に表れているように、伝動軸４３１，４３２，４３３と、減速機構４３４と、出力ベルト４３５とを備えている。伝動軸４３１は、旋回ベース２のハウジング２２上部から垂下する円筒状の支持部２２５によって垂直軸Ｏ１周りに回転可能に支持されている。伝動軸４３１の下端には、プーリ４３１ａが設けられており、このプーリ４３１ａと、第１の連結部材６１のプーリ６１３との間にベルト２５３が掛け回されている。一方、伝動軸４３１の上端には、ベベルギア４３１ｂが設けられている。
【００５６】
伝動軸４３２は、図１１によく表れているように、支持部２２５によって水平軸Ｏ２周りに回転可能に支持されている。伝動軸４３２の一端には、ベベルギア４３２ａが設けられており、このベベルギア４３２ａは、伝動軸４３１の上端のベベルギア４３１ｂと噛み合っている。伝動軸４３２の他端は減速機構４３４の入力側に連結されている。
【００５７】
伝動軸４３３は、ハウジング２２に取り付けられた支持部材２２６によって水平軸Ｏ２周りに回転可能に支持されている。支持部材２２６とハウジング２２との間は図示しないシール部材によって気密シールされている。伝動軸４３３の一端は、減速機構４３４の出力側に連結されている。伝動軸４３３の他端には、駆動プーリ４３３ａが設けられている。また、伝動軸４３３と支持部材２２６との間には、シール機構４３６が介装されている。このシール機構４３６によって、ハウジング２２の内部、およびこの内部から円筒軸２１を介して連通する昇降ベース１４の内側空間は、外部に対して気密シールされている。
【００５８】
図９または図１２に表れているように、出力ベルト４３５は、駆動プーリ４３３ａ、およびプーリ４３７ａ〜４３７ｄに掛け回されている。プーリ４３７ａ，４３７ｂは、ガイド部材３の長手方向（移動行程ＧＬに沿う方向）の両端部近傍に設けられている。一方、プーリ４３７ｃ，４３７ｄは、駆動プーリ４３３ａの近傍に設けられており、かつ、出力ベルト４３５の外側に配置されている。これにより、出力ベルト４３５には、適度な張力が付与されている。出力ベルト４３５としては、たとえばタイミングベルトが好適に用いられる。
【００５９】
このような構成により、モータＭ３を駆動させると、駆動モータＭ３の回転駆動力は、第１の伝動軸２６、第１の係合部材７１、第１の連結部材６１、およびベルト２５３の連係によって第１の水平駆動機構４３Ａに伝達され、駆動プーリ４３３ａが回転させられる。この回転に伴って出力ベルト４３５が往復動する。
【００６０】
プーリ４３７ａ，４３７ｂは、移動行程ＧＬの平行線に沿って配置されている。図１２において出力ベルト４３５におけるプーリ４３７ａ，４３７ｂの上方に位置する領域は、移動行程ＧＬと平行な区間４４ａとなっており、出力ベルト４３５は、この区間４４ａにおいて往復動しうるように構成されている。
【００６１】
本実施形態のハンド５Ａ，５Ｂは、基本的な構成としては上記第１の実施形態におけるハンド５Ａ，５Ｂと同様であるが、図８に表れているように、延長部５３ａおよび軸５３ｂに代えて支持アーム５１ａ，５１ｂから延びる連結部材５４ａ，５４ｂを備えている。連結部材５４ａは、出力ベルト４３５における上記区間４４ａの所定部位に連結されている。これにより、ハンド５Ａは、第１の水平駆動機構４３Ａの駆動により、内側２つのガイドレール４１Ａに支持されながら移動行程ＧＬに沿って水平にスライドする。
【００６２】
第２の水平駆動機構４３Ｂにおいては、図１０に表れているように、伝動軸４３１は、垂直軸Ｏ３周りに回転可能に支持されている。この垂直軸Ｏ３は、鉛直軸線Ｏｓを挟んで上記垂直軸Ｏ１に対向して位置する。伝動軸４３１（図中右側）の下端には、プーリ４３１ａが設けられており、このプーリ４３１ａと、第２の連結部材６２のプーリ６２３との間にベルト２５４が掛け回されている。モータＭ４を駆動させると、駆動モータＭ４の回転駆動力は、ベルト２５２、第２の伝動軸２７、第２の係合部材７２、第２の連結部材６２、およびベルト２５４の連係によって第２の水平駆動機構４３Ｂに伝達され、駆動プーリ４３３ａが回転させられる。この回転に伴って出力ベルト４３５が往復動する。また、出力ベルト４３５における所定部位には、ハンド５Ｂの支持アーム５１ｂから延びる連結部材５４ｂが連結されている。これにより、ハンド５Ｂは、第２の水平駆動機構４３Ｂの駆動により、外側２つのガイドレール４１Ｂに支持されながら移動行程ＧＬに沿って水平にスライドする。
【００６３】
このような構成の搬送装置Ａ２においては、第１の実施形態に関して上述したのと同様に、旋回ベース２は、上位部であるハウジング２２と下位部である円筒軸２１とに分離可能となっている。円筒軸２１に対するハウジング２２の分離および連結は、第１の実施形態の搬送装置Ａ１に関して上述したのと同様の手順によって行うことができる。このようなことから理解できるように、本実施形態の搬送装置Ａ２においても、搬送装置Ａ１に関して上述したのと同様の効果を奏することができる。
【００６４】
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明の技術的範囲は上記した実施形態に限定されるものではない。本発明に係る搬送装置の各部の具体的な構成は、発明の思想から逸脱しない範囲内で種々な変更が可能である。
【００６５】
ワークを載置するハンドとしては、上記実施形態のように２つのハンド５Ａ，５Ｂを備えるものに限定されず、たとえば、１つのハンドのみを備えたいわゆるワンハンド式の構成としてもよい。
【００６６】
上記第２の実施形態では、第１および第２の水平駆動機構４３Ａ，４３Ｂの出力ベルト４３５はタイミングベルトとされているが、これに限定されず、たとえば、平ベルトやスチールベルト、あるいはワイヤを用いて構成してもよい。
【００６７】
上記実施形態では、真空雰囲気下で用いることを前提として説明をしたが、もちろん、本発明に係る搬送装置は、大気圧下で用いるものとして構成することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る搬送装置の全体斜視図である。
【図２】図１に示す搬送装置の側面図である。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う断面図である。
【図４】図３の部分拡大図である。
【図５】分離手順を説明するための図４と同様の図である。
【図６】本発明の第２の実施形態に係る搬送装置の全体斜視図である。
【図７】図６に示す搬送装置の平面図である。
【図８】図７のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線に沿う断面図である。
【図９】図８のＩＸ−ＩＸ線に沿う部分断面図である。
【図１０】図９のＸ−Ｘ線に沿う部分断面図である。
【図１１】図９のＸＩ−ＸＩ線に沿う部分断面図である。
【図１２】図８のＸＩＩ−ＸＩＩ線に沿う断面図である。
【符号の説明】
【００６９】
Ａ１，Ａ２        搬送装置
ＧＬ      移動行程
Ｍ３      モータ（駆動源）
Ｍ４      モータ（駆動源）
Ｏｓ      鉛直軸線
Ｗ        ワーク
１        固定ベース
２        旋回ベース
３        ガイド部材
４        直線移動機構
５Ａ      ハンド（第１の）
５Ｂ      ハンド（第２の）
２１      円筒軸（下位部）
２２      ハウジング（上位部）
２６      第１の伝動軸
２７      第２の伝動軸
４２Ａ    第１のリンクアーム機構（第１の駆動機構）
４２Ｂ    第２のリンクアーム機構（第２の駆動機構）
４３Ａ    第１の水平駆動機構（第１の駆動機構）
４３Ｂ    第２の水平駆動機構（第２の駆動機構）
６１      第１の連結部材
６２      第２の連結部材
７１      第１の係合部材
７２      第２の係合部材
２２４    貫通孔（上位部の）
２６２，２７２      スプライン軸部
７１３，７２３      スプラインボス部
６１４    貫通孔（第１の連結部材の）
６２４    貫通孔（第２の連結部材の）
【図１】
2008264923.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2008264923.tif 000009
【図８】
2008264923.tif 000010
【図９】
2008264923.tif 000011
【図１０】
2008264923.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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