(57)【要約】【課題】フォトリソグラフィプロセスを含む処理工程（製版工程）を実現する複数の製版ラインの配置構成等を柔軟に変更することができる高い稼働率のカラーフィルター製造ラインシステムを提供する。【解決手段】カラーフィルター製造ラインシステム１は、スタッカークレーン方式のコア装置１０と、コア装置１０の複数の基板出し入れ位置Ｃ１，Ｃ２のそれぞれに基板出し入れ機構１６ａ，１６ｂを介して接続され、コア装置１０内に保管されている基板収納済みのカセット内に収納されたガラス基板に対してカラーフィルターを製造するための各種の処理を行う複数の処理ライン２０，３０，…，７０，９０とを備えている。ここで、処理ライン２０，３０，…，７０，９０は、フォトリソグラフィプロセスを含む処理工程を実現する複数の処理ライン３０，４０Ｒ等と、これらと同様の処理工程を実現する予備の製版ライン９０とを含む。【選択図】図１
2008242494.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数枚の基板が収納された複数の基板収納済みのカセットまたは空のカセットを保管するコア装置であって、複数のカセットを保管するためのストッカーと、このストッカー内に保管されているカセットを当該ストッカー内の複数の基板出し入れ位置と任意のカセット保管位置との間で搬送するスタッカークレーンとを有するコア装置と、
前記コア装置の前記各基板出し入れ位置に接続され、前記コア装置内に保管されている基板収納済みのカセット内に収納された基板に対してカラーフィルターを製造するための各種の処理を行う複数の処理ラインと、
前記コア装置の前記各基板出し入れ位置に対応して設けられ、当該各基板出し入れ位置に位置付けられた基板収納済みのカセットから当該各基板出し入れ位置に対応する各処理ラインに対して基板を１枚ずつ排出するとともに、当該各処理ラインで処理が行われた処理済みの基板を１枚ずつ当該各基板出し入れ位置に位置付けられた空のカセット内に収納する基板出し入れ機構とを備え、
前記複数の処理ラインは、フォトリソグラフィプロセスを含む処理工程を実現する複数の主製版ラインを含むことを特徴とするカラーフィルター製造ラインシステム。
【請求項２】
前記複数の処理ラインは、前記各主製版ラインと同様の処理工程を実現する予備の製版ラインを含むことを特徴とする、請求項１に記載のカラーフィルター製造ラインシステム。
【請求項３】
前記コア装置は、前記ストッカーおよび前記スタッカークレーンを複数有し、前記各ストッカーには少なくとも一つのスタッカークレーンが配置され、前記各ストッカーはスタッカークレーン間でカセットの受け渡しを行う受け渡し装置を介して互いに接続されていることを特徴とする、請求項１または２に記載のカラーフィルター製造ラインシステム。
【請求項４】
前記複数のストッカーは、雁行状に配置されていることを特徴とする、請求項３に記載のカラーフィルター製造ラインシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルター製造ラインシステムに係り、とりわけ、フォトリソグラフィ法を利用してカラーフィルターを製造するためのカラーフィルター製造ラインシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
カラーフィルターの製造工程には、(1)クロム成膜、(2)ブラックマトリックスの形成、(3)所定のパターンを備えた各色（赤色、緑色および青色）の着色層の形成、(4)保護層の形成、(5)柱状体の形成、(6)ＩＴＯ層の形成等の処理工程が含まれている。そして、このような製造工程を実現するための製造ラインシステムとしては従来、上述した各処理工程を実現する複数の処理ラインを一筆書き状に直列に連結したインライン型の製造ラインシステムが一般的に用いられている。なお、カラーフィルターの製造方法には各種の方法があるが、最も一般的な製造方法はフォトリソグラフィ法を利用したものであり、この場合には、上述した(2)〜(5)の処理工程が、フォトリソグラフィプロセスを含む処理工程として実現される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、フォトリソグラフィ法を利用したカラーフィルターの製造工程においては、フォトリソグラフィプロセスを含む処理工程（製版工程）が複数含まれており、カラーフィルターとして製造される製品の種類に応じて、それらの複数の製版工程を実現する複数の製版ラインの配置構成等を変更する必要がある場合が多い。すなわち、近年のカラーフィルターには、製品ごとに異なる仕様（ブラックマトリックスの有無や、ブラックマトリックスの種類（クロムまたは樹脂）、保護層の有無、柱状体の有無、ＩＴＯ層の有無等）のものが存在しており、これらの製品を同一の製造ラインシステムで製造する場合には、製造工程中に含まれる複数の製版工程の順番を入れ替えたり、特定の製版工程を削除したりする必要がある。また、最近のカラーフィルターには、ＭＶＡの障壁上に柱状体を立設したような複雑な形状の製品も存在しており、このような製品を通常の製品とともに同一の製造ラインシステムで製造する場合には、製造工程中に新たな製版工程を追加する必要がある。
【０００４】
しかしながら、上述した従来のインライン型の製造ラインシステムでは、各処理工程を実現する複数の処理ラインが直列に連結されているので、製版工程を実現する複数の製版ラインの配置構成等を容易に変更することができないという問題がある。なお、この場合、各製版ラインの間に適切なバイパス経路を配置することにより対応することも可能であるが、この場合には、バイパス経路の分だけ余分な設置面積をとってしまい、製造ラインシステム全体の占有面積が過大になってしまうという問題がある。
【０００５】
また、フォトリソグラフィ法を利用したカラーフィルターの製造工程において、フォトリソグラフィプロセスを含む処理工程（製版工程）は一般にフォトマスクへの異物の付着等により製品に欠陥（共通欠陥等）が発生しやすいものであり、製版工程を実現する製版ラインを一時的に停止しなければならない場合が多い。また、製版工程は異なる仕様（使用感材や線幅、膜厚等）の製品を製造する際に事前にプロセス条件を決定する必要があり（感材ロット等によっても微妙に異なる場合もあるので、その日ごとに当日のプロセス条件を確認する必要もあり）、製版工程を実現する製版ラインにおいて、前の製品の製造が完全に終了した後に次の製品のプロセス条件を決定するための処理を別途行わなければならない。
さらに、製版工程は通常多くの処理時間がかかり、製造ラインシステム全体にとって律速段階となりやすい。
【０００６】
しかしながら、上述したインライン型の製造ラインシステムでは、各処理工程を実現する複数の処理ラインが直列に連結されているので、特定の製版工程を実現する製版ラインが停止したり、その製版ラインでプロセス条件を決定するための処理が行われたり、その製版ラインが律速段階となったりした場合には、全ての処理ラインに影響が及ぶこととなり、製造ラインシステム全体の稼働率が低下してしまうという問題がある。
【０００７】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、フォトリソグラフィプロセスを含む処理工程（製版工程）を実現する複数の製版ラインの配置構成等を柔軟に変更することができる高い稼働率のカラーフィルター製造ラインシステムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、複数枚の基板が収納された複数の基板収納済みのカセットまたは空のカセットを保管するコア装置であって、複数のカセットを保管するためのストッカーと、このストッカー内に保管されているカセットを当該ストッカー内の複数の基板出し入れ位置と任意のカセット保管位置との間で搬送するスタッカークレーンとを有するコア装置と、前記コア装置の前記各基板出し入れ位置に接続され、前記コア装置内に保管されている基板収納済みのカセット内に収納された基板に対してカラーフィルターを製造するための各種の処理を行う複数の処理ラインと、前記コア装置の前記各基板出し入れ位置に対応して設けられ、当該各基板出し入れ位置に位置付けられた基板収納済みのカセットから当該各基板出し入れ位置に対応する各処理ラインに対して基板を１枚ずつ排出するとともに、当該各処理ラインで処理が行われた処理済みの基板を１枚ずつ当該各基板出し入れ位置に位置付けられた空のカセット内に収納する基板出し入れ機構とを備え、前記複数の処理ラインは、フォトリソグラフィプロセスを含む処理工程を実現する複数の主製版ラインを含むことを特徴とするカラーフィルター製造ラインシステムを提供する。
【０００９】
なお、本発明において、前記複数の処理ラインは、前記各主製版ラインと同様の処理工程を実現する予備の製版ラインを含むことが好ましい。
【００１０】
また、本発明において、前記コア装置は、前記ストッカーおよび前記スタッカークレーンを複数有し、前記各ストッカーには、少なくとも一つのスタッカークレーンが配置され、前記各ストッカーは、スタッカークレーン間でカセットの受け渡しを行う受け渡し装置を介して互いに接続されていることが好ましい。なお、前記受け渡し装置は、前記各ストッカーに配置されたスタッカークレーンの代替機として機能するスタッカークレーンであることが好ましい。また、前記複数のストッカーは、雁行状に配置されていることが好ましい。
【００１１】
本発明によれば、複数枚のガラス基板が収納される複数のカセットを保管するスタッカークレーン方式のコア装置に、基板出し入れ機構を介して、カラーフィルターを製造するための各種の処理を行う複数の処理ラインを接続するようにしているので、ブラックマトリックスの形成や各色の着色層の形成等を行うためのフォトリソグラフィプロセスを含む処理工程（製版工程）を実現する複数の製版ラインの配置構成等を容易に変更することが可能であり、カラーフィルターとして製造される製品の種類に応じて、それらの複数の製版工程の順番を入れ替えたり、特定の製版工程を追加したり削除したりすることができる。
【００１２】
また、本発明によれば、スタッカークレーン方式のコア装置に、各主製版ラインと同様の処理工程を実現する予備の製版ラインを接続しているので、フォトリソグラフィプロセスを含む処理工程（製版工程）において製品に欠陥（共通欠陥等）が発生してその製版工程を実現する製版ラインを一時的に停止する必要がある場合でも、その製版工程を予備の製版ラインにおいて継続することが可能であり、製造ラインシステム全体の稼働率が低下することを防止することができる。
また、製版工程において必要となるプロセス条件の決定を予備の製版ラインを用いて行うことにより、前の製品の製造と時間的に並行して次の製品のプロセス条件を決定した上で当該予備の製版ラインで次の製品の製造を継続することが可能となり、製造ラインシステム全体の稼働率が低下することを防止することができる。さらに、律速段階となる製版ラインで実現される製版工程をその製版ラインとともに予備の製版ラインでも実現することにより、律速段階を解消することが可能となり、製造ラインシステム全体の稼働率が低下することを防止することができる。
【００１３】
さらに、本発明によれば、スタッカークレーン方式のコア装置を、カセットの受け渡しを行う受け渡し装置を介して互いに接続された複数のストッカーから構成することにより、設置面積の異なる処理ラインを必要最小限の設備でかつ任意の配置構成で柔軟に設置することが可能となる。またこのとき、受け渡し装置として、各ストッカーに配置されたスタッカークレーンの代替機として機能するスタッカークレーンを用いることにより、スタッカークレーンが故障したときでも、スタッカークレーンを用いて各ストッカーでの処理を継続することが可能となり、製造ラインシステム全体の安定性を向上させることができる。
【発明の効果】
【００１４】
以上説明したように本発明によれば、フォトリソグラフィプロセスを含む処理工程（製版工程）を実現する複数の製版ラインの配置構成等を柔軟に変更することができる高い稼働率のカラーフィルター製造ラインシステムを提供することができる。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
【００１６】
図１に示すように、本実施の形態に係るカラーフィルター製造ラインシステム１は、複数枚のガラス基板が収納された複数の基板収納済みのカセットまたは空のカセットを保管するスタッカークレーン方式のコア装置１０と、コア装置１０の複数の基板出し入れ位置（基板搬出位置Ｃ１および基板搬入位置Ｃ２）のそれぞれに接続され、コア装置１０内に保管されている基板収納済みのカセット内に収納されたガラス基板に対してカラーフィルターを製造するための各種の処理を行う複数の処理ライン２０，３０，…，７０，９０とを備えている。なお、コア装置１０は水平な設置面上にて直線状に延びるように設置され、各処理ライン２０，３０，…，７０，９０は設置面上にてコア装置１０の側部から逆Ｕ字状に横方向に張り出すように設置されている。
【００１７】
まず、図１により、処理ライン２０，３０，…，７０，９０の構成について説明する。図１に示すように、各処理ライン２０，３０，…，７０，９０は、ガラス基板を水平状態で搬送するコンベア等からなる搬送路１５と、この搬送路１５上に配設された各種の処理装置２１，３１，…，９６とを有している。
【００１８】
このうち、処理ライン２０は、ガラス基板上にクロムを成膜するための処理ラインであり、搬送路１５上に処理装置（クロム成膜装置２１）が配設されている。
【００１９】
処理ライン３０は、ガラス基板上に成膜されたクロムをパターニングしてブラックマトリックスを形成するための処理ラインであり、搬送路１５上に処理装置（フォトレジスト塗布装置３１、プリベーク装置３２、露光装置３３、現像装置３４、洗浄装置３５およびポストベーク装置３６）が配設されている。なお、処理ライン３０は、後述する処理ライン４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂ，５０，６０とともに、フォトリソグラフィを含む処理工程を実現する主製版ラインを構成している。
【００２０】
処理ライン４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂはそれぞれ、ガラス基板上に所定のパターンを備えた各色（赤色、緑色または青色）の着色層を形成するための処理ラインであり、処理ライン３０と同様に、搬送路１５上に処理装置（フォトレジスト（着色感材）塗布装置４１、プリベーク装置４２、露光装置４３、現像装置４４、洗浄装置４５およびポストベーク装置４６）が配設されている。
【００２１】
処理ライン５０は、ガラス基板上に保護層を形成するための処理ラインであり、処理ライン３０と同様に、搬送路１５上に処理装置（フォトレジスト塗布装置５１、プリベーク装置５２、露光装置５３、現像装置５４、洗浄装置５５およびポストベーク装置５６）が配設されている。
【００２２】
処理ライン６０は、ガラス基板上に柱状体を形成するための処理ラインであり、処理ライン４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂと同様に、搬送路１５上に処理装置（フォトレジスト塗布装置６１、プリベーク装置６２、露光装置６３、現像装置６４、洗浄装置６５およびポストベーク装置６６）が配設されている。
【００２３】
処理ライン７０は、ガラス基板上にＩＴＯ層を形成するための処理ラインであり、搬送路１５上に処理装置（ＩＴＯ成膜装置７１）が配設されている。なお、ＳＴＮタイプのカラーフィルターを製造する場合にはＩＴＯ層のパターニングを行う必要があり、この場合には、処理ライン７０に、処理ライン３０，４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂ，５０，６０と同様の処理装置（塗布装置、プリベーク装置、露光装置、現像装置、洗浄装置およびポストベーク装置）を配設するようにするとよい。
【００２４】
処理ライン９０は、処理ライン３０，４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂ，５０，６０と同様の処理工程を実現する予備の製版ラインであり、搬送路１５上に、処理ライン３０，４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂ，５０，６０と同様の処理装置（塗布装置９１、プリベーク装置９２、露光装置９３、現像装置９４、洗浄装置９５およびポストベーク装置９６）が配設されている。
【００２５】
なお、コア装置１０に接続される処理ラインとしては、上述した処理ライン２０，３０，…，７０，９０以外にも、ガラス基板を切断したり、各種の検査を行ったり、ガラス基板を再生したりするための他の処理ラインを設置することができる。
【００２６】
次に、図２乃至図５により、図１に示すカラーフィルター製造ラインシステム１におけるコア装置１０および基板出し入れ機構（基板搬出機構１６ａおよび基板搬入機構１６ｂ）の構成について説明する。
【００２７】
図２に示すように、コア装置１０は、複数のカセット８１を保管するためのストッカー１１と、このストッカー１１内に保管されているカセット８１をストッカー１１内で搬送するスタッカークレーン１２とを有している。ここで、ストッカー１１は、図３および図４に示すように、カセット８１が載置される複数のラック１１ａを上下２段に配置した構造を有している。また、スタッカークレーン１２は、ストッカー１１に沿って延びるレール１３上を左右方向に走行するとともに、昇降フレーム（図示せず）を上下方向に移動させることにより、ストッカー１１内の各基板出し入れ位置（基板搬出位置Ｃ１および基板搬入位置Ｃ２）と上下２段のラック１１ａのうちの任意のラック（任意のカセット保管位置）との間でカセット８１を搬送するようになっている。なお、ここでは、レール１３の片側に１台のストッカー１１を設置しているが、これに限らず、レール１３の両側に２台のストッカーを設置するようにしてもよい。また、ストッカー１１のラック１１ａを上下２段に配置しているが、これに限らず、ストッカー１１のラック１１ａを上下３段以上に配置してもよい。さらに、レール１３上にて１台のスタッカークレーン１２のみが走行するようにしているが、これに限らず、レール１３上にて２台以上のスタッカークレーンが走行するようにしてもよい。
【００２８】
ここで、ストッカー１１内の各基板出し入れ位置（基板搬出位置Ｃ１および基板搬入位置Ｃ２）にはそれぞれ基板出し入れ機構（基板搬出機構１６ａおよび基板搬入機構１６ｂ）が設けられており、図２および図３に示すように、各基板搬出機構１６ａにより、各基板搬出位置Ｃ１に位置付けられた基板収納済みのカセット８１から各基板搬出位置Ｃ１に対応する各処理ライン（搬送路１５）に対してガラス基板８２を１枚ずつ排出するとともに、図２および図４に示すように、各基板搬入機構１６ｂにより、各処理ライン（搬送路１５）で処理が行われた処理済みのガラス基板８２を１枚ずつ各基板搬入位置Ｃ２に位置付けられた空のカセット８１内に収納するようになっている。なお、各基板搬出機構１６ａは、カセット８１を昇降させるカセット昇降装置１７ａと、カセット昇降装置１７ａにより昇降される基板収納済みのカセット８１から搬送路１５へガラス基板８２を１枚ずつ搬出させる基板搬送コンベア１８ａと、基板搬出位置Ｃ１の出庫ポジションＡ１または入庫ポジションＢ１とカセット昇降装置１７ａとの間でカセット８１の受け渡しを行うカセット搬送装置（図示せず）とを有している。また、各基板搬入機構１６ｂは、カセット８１を昇降させるカセット昇降装置１７ｂと、カセット昇降装置１７ｂにより昇降されるカセット８１へ搬送路１５からガラス基板８２を１枚ずつ搬入させる基板搬送コンベア１８ｂと、基板搬入位置Ｃ２の出庫ポジションＡ２または入庫ポジションＢ２とカセット昇降装置１７ｂとの間でカセット８１の受け渡しを行うカセット搬送装置（図示せず）とを有している。
【００２９】
なお、図５に示すように、基板搬送コンベア１８ａ，１８ｂは、支持フレーム８７と、支持フレーム８７上に設けられたコロ８８とを有している。一方、カセット８１は、上板８３と、下板８４と、これらの上板８３および下板８４を連結するように取り付けられた複数の支柱８５と、支柱８５間に左右（図５の紙面に垂直な方向）に掛け渡された複数のワイヤ８６とを有し、同一の高さに配置された複数のワイヤ８６により、図５に示すような状態で複数のガラス基板８２が収納されるようになっている。なお、カセット８１は、カセット昇降装置（図２参照）により昇降されるようになっており、下板８４に形成された開口８４ａを介して進入した基板搬送コンベア１８ａ，１８ｂのコロ８８が、カセット８１内に収納されたガラス基板８２の下面と接触することにより、ガラス基板８２がカセット８１から搬送路１５へ搬出され、または搬送路１５からカセット８１へ搬入されるようになっている。
【００３０】
次に、図１乃至図５により、このような構成からなるカラーフィルター製造ラインシステム１の動作について説明する。なお、コア装置１０および各処理ライン２０，３０，…，７０，９０には制御装置（図示せず）が接続されており、以下の動作が自動的に行われるようになっている。
【００３１】
まず、初期の状態として、コア装置１０のストッカー１１内には、未処理の複数枚のガラス基板８２が収納された複数の基板収納済みのカセット８１および複数の空のカセット８１が保管されているものとする。
【００３２】
この状態で、各処理ライン２０，３０，…，７０，９０は、コア装置１０のスタッカークレーン１２により、ストッカー１１内に保管されている基板収納済みのカセット８１のうち特定のカセット８１（所望の処理工程までの処理が行われたガラス基板が収納されたカセット）を取り出し、基板搬出位置Ｃ１に位置付ける。また、各処理ライン２０，３０，…，７０，９０は、コア装置１０のスタッカークレーン１２により、ストッカー１１内に保管されている空のカセット８１を基板搬入位置Ｃ２に位置付ける。なおこのとき、カラーフィルターの製造は、処理ライン２０，３０，…，７０，９０を用いてガラス基板６２に対して所定の順序に従って順次処理を行うことにより実現されており、各処理ライン２０，３０，…，７０，９０の基板搬出位置Ｃ１には、ストッカー１１内に保管されている基板収納済みのカセット８１のうち直前の処理工程までの処理が行われたガラス基板が収納されたカセット８１が選択的に位置付けられる。なお、処理ライン２０，３０，…，７０，９０によるカラーフィルターの製造は例えば、(1)クロム成膜（処理ライン２０）、(2)ブラックマトリックスの形成（処理ライン３０）、(3)赤色の着色層の形成（処理ライン４０Ｒ）、(4)青色の着色層の形成（処理ライン４０Ｇ）、(5)緑色の着色層の形成（処理ライン４０Ｂ）、(6)保護層の形成（処理ライン５０）、(7)柱状体の形成（処理ライン６０）、(8)ＩＴＯ層の形成（処理ライン７０）といった順序で行われ、この場合には、各処理ライン２０，３０，…，７０，９０の基板搬出位置Ｃ１には、ストッカー１１内に保管されている基板収納済みのカセット８１のうち上述した(1)〜(8)の順序からみて直前の処理工程までの処理が行われたガラス基板が収納されたカセット８１が選択的に位置付けられる。
【００３３】
ここで、各処理ライン２０，３０，…，７０，９０においては、基板搬出位置Ｃ１に設けられた基板搬出機構１６ａにより、基板搬出位置Ｃ１に位置付けられた基板収納済みのカセット８１から処理ライン（搬送路１５）に対してガラス基板８２が１枚ずつ排出され、各処理ライン２０，３０，…，７０，９０においてガラス基板８２に対して所定の処理が行われる。
【００３４】
具体的には、図２に示すように、まず、コア装置１０のスタッカークレーン１２によりストッカー１１の特定のラック１１ａから取り出された基板収納済みのカセット８１を、基板搬出位置Ｃ１の出庫ポジションＡ１へ搬送する。ここで、出庫ポジションＡ１に到着した基板収納済みのカセット８１は、カセット搬送装置（図示せず）によりカセット昇降装置１７ａへ搬送される。そして、カセット昇降装置１７ａは、図５に示すような状態で、カセット８１を１段ずつ下降させながら、基板板搬送コンベア１８ａのコロ８８をカセット８１内の最下段に位置するガラス基板８２の下面に接触させることにより、カセット８１から搬送路１５へガラス基板８２を１枚ずつ搬出する。なおこのとき、カセット８１からガラス基板８２を搬出している間に、次にガラス基板８２が排出されるべき別の基板収納済みのカセット８１を出庫ポジションＡ１へ搬送させて待機させておく。
【００３５】
なお、全てのガラス基板８２が搬出された空のカセット８１は、カセット昇降装置１７ａにより上昇されながら入庫ポジションＢ１の前へ移動し、カセット搬送装置（図示せず）により、カセット昇降装置１７ａから入庫ポジションＢ１へ搬送される。そして、入庫ポジションＢ１へ搬送された空のカセット８１は、収納用のカセットとして、スタッカークレーン１２により、ストッカー１１内のあいているラック１１ａ内に保管される。
【００３６】
一方、各処理ライン２０，３０，…，７０，９０においては、基板搬入位置Ｃ２に設けられた基板搬入機構１６ｂにより、処理ライン（搬送路１５）で処理が行われた処理済みのガラス基板８２が１枚ずつ基板搬入位置Ｃ２に位置付けられた空のカセット８１内に収納される。
【００３７】
具体的には、図２に示すように、まず、コア装置１０のスタッカークレーン１２によりストッカー１１の特定のラック１１ａから取り出された空のカセット８１を、基板搬入位置Ｃ２の出庫ポジションＡ２へ搬送する。ここで、出庫ポジションＡ２に到着した空のカセット８１は、カセット搬送装置（図示せず）によりカセット昇降装置１７ｂへ搬送される。そして、カセット昇降装置１７ｂは、図５に示すような状態で、カセット８１を１段ずつ上昇させながら、搬送路１５から搬入されたガラス基板８２を受け入れ、基板搬送コンベア１８ａのコロ８８をガラス基板８２の下面に接触させることにより、搬送路１５からカセット８１へガラス基板８２を１枚ずつ搬入する。なお、カセット８１内にガラス基板８２を収納している間に、次にガラス基板８２が収納されるべき別の空のカセット８１を出庫ポジションＡ２へ搬送させて待機させておく。
【００３８】
なお、全てのガラス基板８２が収納された基板収納済みのカセット８１は、カセット昇降装置１７ｂにより入庫ポジションＢ２の前へ移動し、カセット搬送装置（図示せず）により、カセット昇降装置１７ｂから入庫ポジションＢ２へ搬送される。そして、入庫ポジションＢ２へ搬送された基板収納済みのカセット８１は、スタッカークレーン１２により、ストッカー１１内のあいているラック１１ａ内に保管される。
【００３９】
このように本実施の形態によれば、複数枚のガラス基板８２が収納される複数のカセット８１を保管するスタッカークレーン方式のコア装置１０に、基板出し入れ機構（基板搬出機構１６ａおよび基板搬入機構１６ｂ）を介して、カラーフィルターを製造するための各種の処理を行う複数の処理ライン２０，３０，…，７０，９０を接続するようにしているので、ブラックマトリックスの形成や各色の着色層の形成等を行うためのフォトリソグラフィプロセスを含む処理工程（製版工程）を実現する処理ライン３０，４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂ，５０，６０の配置構成等を容易に変更することが可能であり、カラーフィルターとして製造される製品の種類に応じて、それらの複数の製版工程の順番を入れ替えたり、特定の製版工程を追加したり削除したりすることができる。
【００４０】
また、本実施の形態によれば、スタッカークレーン方式のコア装置１０に、処理ライン（主製版ライン）３０，４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂ，５０，６０と同様の処理工程を実現する処理ライン（予備の製版ライン）９０を接続しているので、フォトリソグラフィプロセスを含む処理工程（製版工程）において製品に欠陥（共通欠陥等）が発生してその製版工程を実現する製版ラインを一時的に停止する必要がある場合でも、その製版工程を処理ライン９０において継続することが可能であり、製造ラインシステム全体の稼働率が低下することを防止することができる。また、製版工程において必要となるプロセス条件の決定を処理ライン９０を用いて行うことにより、前の製品の製造と時間的に並行して次の製品のプロセス条件を決定した上で当該処理ライン９０で次の製品の製造を継続することが可能となり、製造ラインシステム全体の稼働率が低下することを防止することができる。さらに、律速段階となる製版ラインで実現される製版工程をその製版ラインとともに処理ライン９０でも実現することにより、律速段階を解消することが可能となり、製造ラインシステム全体の稼働率が低下することを防止することができる。
【００４１】
なお、上述した実施の形態においては、コア装置１０に処理ライン（予備の製版ライン）９０を一つだけ接続し、この処理ライン９０により必要に応じて各製版ライン３０，４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂ，５０，６０と同様の処理工程を実現するようにしているが、これに限らず、各製版ライン３０，４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂ，５０，６０ごとに予備の製版ラインを接続し、それぞれの予備の製版ラインにより各製版ライン３０，４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂ，５０，６０と同様の処理工程を実現するようにしてもよい。
【００４２】
また、上述した実施の形態においては、コア装置１０を一つのストッカー１１から構成しているが、これに限らず、コア装置１０を複数のストッカーから構成するようにしてもよい。
【００４３】
図６および図７は、図１に示すカラーフィルター製造ラインシステム１を実際の工場に導入する場合のレイアウト設計の例を示す図である。なお、図６および図７では、図１に示す処理ライン２０，３０，…，７０，９０のうち、クロム成膜ライン２０、ブラックマトリックス形成ライン３０、着色層形成ライン４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂ、保護層形成ライン５０および柱状体形成ライン６０のみを工場のフロアー１００上に設置する場合を示している。
【００４４】
図６に示すように、カラーフィルター製造ラインシステム１のレイアウト設計を行う場合には、必要とされるストック容量等の関係でコア装置１０のストッカー１１のサイズを決定した上で、フロアー１００の面積や形状を考慮して、処理ライン２０，３０，…，６０の配置構成を決定する。
【００４５】
このとき、処理ライン２０，３０，…，６０はその種類に応じて設置面積が異なり、また、同じ製版ラインである処理ライン３０，…，６０でも、例えばブラックマトリックス形成ライン３０では着色層形成ライン４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂに比べて大きな設置面積が必要となる。また、図６に示すように、コア装置１０には、処理ライン２０，３０，…，６０以外にも、検査や修正処理を行うための検査・修正ライン１１０、およびガラス基板を再生するための再生ライン１２０等の処理ラインが接続される。
【００４６】
このため、このような設置面積の異なる全ての処理ライン２０，３０，…，６０，１１０，１２０を、一つのストッカー１１から構成されるコア装置１０に接続しようとすると、図６に示すレイアウト設計のように、一部の処理ライン（ブラックマトリック形成ライン３０および再生ライン１２０）とコア装置１０との間を、図２に示すような基板出し入れ機構（基板搬出機構１６ａおよび基板搬入機構１６ｂ）により直接接続することができなくなり、ＡＧＶやＲＧＶ、ＣＶ等の搬送台車によりガラス基板を搬送する必要がある無駄な経路（１２１，１２２参照）が生じる。
【００４７】
これに対し、コア装置１０を複数のストッカーから構成するようにすれば、設置面積の異なる処理ライン２０，３０，…，６０，１１０，１２０を必要最小限の設備でかつ任意の配置構成で柔軟に設置することが可能となる。具体的には、図７に示すように、複数のストッカー１１，１１′を雁行状（段違い状）に配置することにより、ブラックマトリック形成ライン３０および再生ライン１２０を含む全ての処理ライン２０，３０，…，６０，１１０，１２０とコア装置１０とを、図２に示すような基板出し入れ機構（基板搬出機構１６ａおよび基板搬入機構１６ｂ）により直接接続することが可能となる。
【００４８】
ここで、図７に示すコア装置１０では、各ストッカー１１，１１′に一つのスタッカークレーン１２，１２′が配置されている。また、ストッカー１１，１１′の連結部分には、スタッカークレーン１２，１２′間でカセットの受け渡しを行うスタッカークレーン（受け渡し装置）１９が配置されている。なお、このような受け渡し装置としては任意の装置を用いることが可能であるが、スタッカークレーン１２，１２′の代替機として機能するスタッカークレーン１９を用いるようにすれば、スタッカークレーン１２，１２′が故障したときでも、スタッカークレーン１９を用いて各ストッカー１１，１１′での処理を継続することが可能となる。
【００４９】
なお、図７に示すコア装置１０では、複数のストッカー１１，１１′を雁行状（段違い状）に配置しているが、フロアーの形状や処理ラインの数等に応じて任意の配置構成をとることができ、例えば、図８（ａ）（ｂ）に示すように、複数のストッカー１１，１１′，１１″を受け渡し装置１３０を介してＴ字状等に配置するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の一実施の形態に係るカラーフィルター製造ラインシステムの全体構成を示す図。
【図２】図１に示すカラーフィルター製造ラインシステムの要部の構成を示す図。
【図３】図２に示すカラーフィルター製造ラインシステムのIII−III線に沿った概略断面図。
【図４】図２に示すカラーフィルター製造ラインシステムのIV−IV線に沿った概略断面図。
【図５】図２に示すカラーフィルター製造ラインシステムにおける基板搬送コンベアの動作を説明するための図。
【図６】図１に示すカラーフィルター製造ラインシステムのレイアウト設計の一例を示す図。
【図７】図１に示すカラーフィルター製造ラインシステムのレイアウト設計の他の例を示す図。
【図８】図７に示すようなコア装置（複数のストッカーを備えたコア装置）におけるストッカー同士の接続態様の他の例を示す図。
【符号の説明】
【００５１】
１  カラーフィルター製造ラインシステム
１０，１０′，１０″  コア装置
１１  ストッカー
１２，１２′，１２″  スタッカークレーン
１３  レール
１５  搬送路
１６ａ，１６ｂ  基板出し入れ機構
２０，３０，…，７０  処理ライン
９０  処理ライン（予備の製版ライン）
８１  カセット
８２  ガラス基板
１００  フロアー
１１０  検査・修正ライン
１２０  再生ライン
Ｃ１  基板搬出位置（基板出し入れ位置）
Ｃ２  基板搬入位置（基板出し入れ位置）
【図１】
2008242494.tif 000003
【図２】
2008242494.tif 000004
【図３】
2008242494.tif 000005
【図４】
2008242494.tif 000006
【図５】
2008242494.tif 000007
【図６】
2008242494.tif 000008
【図７】
2008242494.tif 000009
【図８】
2008242494.tif 000010
【手続補正書】
【提出日】平成20年7月10日(2008.7.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数枚の基板が収納された複数の基板収納済みのカセットまたは空のカセットを保管するコア装置であって、複数のカセットを保管するためのストッカーと、このストッカー内に保管されているカセットを当該ストッカー内の複数の基板出し入れ位置と任意のカセット保管位置との間で搬送するスタッカークレーンとを有するコア装置と、
前記コア装置の前記各基板出し入れ位置に対応して設けられ、前記コア装置内に保管されている基板収納済みのカセット内に収納された基板に対してカラーフィルターを製造するための各種の処理を行う複数の処理ラインと、
前記コア装置の前記各基板出し入れ位置に対応して設けられ、当該各基板出し入れ位置に位置付けられた基板収納済みのカセットから当該各基板出し入れ位置に対応する各処理ラインに対して基板を１枚ずつ排出するとともに、当該各処理ラインで処理が行われた処理済みの基板を１枚ずつ当該各基板出し入れ位置に位置付けられた空のカセット内に収納する基板出し入れ機構と、を備え、
前記基板出し入れ機構は、前記基板出し入れ位置と前記処理ラインとの間で移動可能となるカセット搬送装置を有し、
前記複数の処理ラインは、フォトリソグラフィプロセスを含む処理工程を実現する複数の主製版ラインを含むことを特徴とするカラーフィルター製造ラインシステム。
【請求項２】
前記基板出し入れ機構は、基板収納済みのカセットを昇降させるカセット昇降装置と、該カセット昇降装置により昇降されるカセットから前記処理ラインへ基板を１枚ずつ搬出させる基板搬送コンベアと、を有し、
前記カセット搬送装置は、前記基板出し入れ位置と前記カセット昇降装置との間で前記カセットの受け渡しを行うことを特徴とする、請求項１に記載のカラーフィルター製造ラインシステム。
【請求項３】
前記複数の処理ラインは、前記各主製版ラインと同様の処理工程を実現する予備の製版ラインを含むことを特徴とする、請求項１または２に記載のカラーフィルター製造ラインシステム。
【請求項４】
前記コア装置は、前記ストッカーおよび前記スタッカークレーンを複数有し、前記各ストッカーには少なくとも一つのスタッカークレーンが配置され、前記各ストッカーはスタッカークレーン間でカセットの受け渡しを行う受け渡し装置を介して互いに接続されていることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか１項に記載のカラーフィルター製造ラインシステム。
【請求項５】
前記複数のストッカーは、雁行状に配置されていることを特徴とする、請求項４に記載のカラーフィルター製造ラインシステム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明は、複数枚の基板が収納された複数の基板収納済みのカセットまたは空のカセットを保管するコア装置であって、複数のカセットを保管するためのストッカーと、このストッカー内に保管されているカセットを当該ストッカー内の複数の基板出し入れ位置と任意のカセット保管位置との間で搬送するスタッカークレーンとを有するコア装置と、前記コア装置の前記各基板出し入れ位置に対応して設けられ、前記コア装置内に保管されている基板収納済みのカセット内に収納された基板に対してカラーフィルターを製造するための各種の処理を行う複数の処理ラインと、前記コア装置の前記各基板出し入れ位置に対応して設けられ、当該各基板出し入れ位置に位置付けられた基板収納済みのカセットから当該各基板出し入れ位置に対応する各処理ラインに対して基板を１枚ずつ排出するとともに、当該各処理ラインで処理が行われた処理済みの基板を１枚ずつ当該各基板出し入れ位置に位置付けられた空のカセット内に収納する基板出し入れ機構と、を備え、前記基板出し入れ機構は、前記基板出し入れ位置と前記処理ラインとの間で移動可能となるカセット搬送装置を有し、前記複数の処理ラインは、フォトリソグラフィプロセスを含む処理工程を実現する複数の主製版ラインを含むことを特徴とするカラーフィルター製造ラインシステムを提供する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
なお、本発明において、前記基板出し入れ機構は、基板収納済みのカセットを昇降させるカセット昇降装置と、該カセット昇降装置により昇降されるカセットから前記処理ラインへ基板を１枚ずつ搬出させる基板搬送コンベアと、を有し、前記カセット搬送装置は、前記基板出し入れ位置と前記カセット昇降装置との間で前記カセットの受け渡しを行うことが好ましい。また、本発明において、前記複数の処理ラインは、前記各主製版ラインと同様の処理工程を実現する予備の製版ラインを含むことが好ましい。