(57)【要約】【課題】半導体装置のパッケージ表面から静電気を確実に除去する。【解決手段】パッケージ化された半導体装置１２はキャリア１３により噴霧装置１０まで搬送される。ノズルガン１９の噴霧部１９ａから霧状のアルコール３０が半導体装置１２のパッケージ表面１２ａに噴き付けられる。アルコールの揮発によってパッケージ表面１２ａに帯電した静電気が除去される。噴霧室１５を出た半導体装置１２はイオナイザ１１に送られる。電源供給器３３により針状電極３５に電圧が加えられると、コロナ放電が発生する。コロナ放電により針状電極３５の周囲にイオンが集まる。送風器３４は針状電極３５に対して風３４ａを送る。イオン化エアー４０が半導体装置１２のパッケージ表面１２ａに当てられる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
静電気を帯びた帯電体の表面に対して揮発性の液体を霧状にして噴き付け、前記揮発性の液体を揮発させることによって、前記帯電体の表面から前記静電気を除去することを特徴とする静電気除去方法。
【請求項２】
前記揮発性の液体を霧状にして前記帯電体に噴き付けた後に、イオンを伴った風を前記帯電体の表面に噴き付けることを特徴とする請求項１記載の静電気除去方法。
【請求項３】
前記帯電体は半導体装置のパッケージであることを特徴とする請求項１または２記載の静電気除去方法。
【請求項４】
前記揮発性の液体はアルコールであることを特徴とする請求項１ないし３いずれか１項記載の静電気除去方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静電気を帯びた帯電体の表面、特に、半導体装置のパッケージ表面から静電気を除去する静電気除去方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の製造工程においては、半導体装置のパッケージ表面（以下単に「パッケージ表面」とする）に静電気が帯電することがある。パッケージ表面に静電気が帯電した状態で、半導体装置の信号端子が金属などに接触した場合には、激しい放電が発生し、その放電が原因で半導体装置内の電子回路が破壊されてしまうおそれがある。この放電は、静電気放電（ESD;Electro-Static Discharge）と呼ばれている。
【０００３】
これまで、静電気放電の発生を防ぐため、即ち、静電気を除去するために様々な試みがなされてきた（特許文献１〜３参照）。特許文献１の発明は、コロナ放電によりイオン化エアを効率よく発生させ、そのイオン化エアを静電気を帯びた帯電体に当てることによって、静電気を除去している。特許文献２の考案は、導電性の静電気除去ブラシを帯電体に接触させることによって、静電気を除去している。特許文献３の考案は、帯電体に静電気中和剤を噴射して、静電気を除去している。
【特許文献１】特開昭５５−６２５０３号公報
【特許文献２】実開昭５５−９９１００号公報
【特許文献３】実開昭５７−１４００９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述の静電気を除去する方法をパッケージ表面における静電気の除去に用いる場合には、以下のような問題がある。特許文献１の発明については、パッケージ表面に帯電した静電気を除去するものとして有効である。ところが、パッケージ表面の帯電量は常に一定とは限らないため、イオン化エアに含まれるイオンの電荷量とパッケージ表面の帯電量とが釣り合わない場合には、逆にパッケージ表面の帯電量を増加させてしまうことがある。
【０００５】
また、特許文献２の考案については、静電気除去ブラシの接触により、パッケージ表面に傷が付いてしまうおそれがある。また、特許文献３の考案については、中和剤の成分によっては、中和剤の乾燥に時間がかかってしまい、その場合には乾燥設備を別途設ける必要がある。
【０００６】
本発明は、静電気を帯びた帯電体の表面、特に半導体装置のパッケージ表面から静電気を確実に除去することが可能な静電気除去方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明は、静電気を帯びた帯電体の表面に対して揮発性の液体を霧状にして噴き付け、前記揮発性の液体を揮発させることによって、前記帯電体の表面から前記静電気を除去することを特徴とする。
【０００８】
前記揮発性の液体を霧状にして前記帯電体に噴き付けた後に、イオンを伴った風を前記帯電体の表面に噴き付けることが好ましい。前記帯電体は半導体装置のパッケージであることが好ましい。前記揮発性の液体はアルコールであることが好ましい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、静電気を帯びた帯電体の表面に対して霧状のアルコールを噴き付け、前記アルコールを揮発させることによって、前記帯電体の表面から前記静電気を除去することで、静電気を帯びた帯電体の表面から静電気を確実に除去することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
図１は、本発明を実施するための噴霧装置１０及びイオナイザ１１の概略図を示している。半導体装置１２は、ボール・グリッド・アレイ型などの周知の形態でパッケージされた後に、キャリア１３によって噴霧装置１０及びその下流のイオナイザ１１まで搬送される。
【００１１】
噴霧装置１０は、噴霧室１５と、センサ１６と、ストックタンク１７と、コンプレッサ１８と、ノズルガン１９とから構成されている。
【００１２】
噴霧室１５には入口としての開口１５ａ及び出口としての開口１５ｂが形成されており、キャリア１３に載置された半導体装置１２は、開口１５ａから入って、噴霧室１５内を通過し、開口１５ｂから出る。センサ１６は噴霧室１５の開口１５ａ付近に取り付けられており、半導体装置１２の噴霧室１５内への侵入を検出する。センサ１６はコンプレッサ１８内の制御部１８ａに配線１９によって接続されている。センサ１６の検出信号は、配線１９を通じて、コンプレッサ１８内の制御部１８ａに送信される。
【００１３】
ストックタンク１７は、アルコール２０を収容するタンク本体２１と、タンク本体２１の開口部を塞ぐ蓋２２と、蓋２２に取り付けられた圧力供給管２３及び給液管２４とから構成される。圧力供給管２３の一端は、ストックタンク１７から露出し、配管２７によってコンプレッサ１８と接続している。一方、圧力供給管２３の他端は、タンク本体２１内に位置している。同様にして、給液管２４の一端は、ストックタンク１７から露出し、配管２８によってノズルガン１９と接続している。一方、給液管２４の他端は、タンク本体２１内の底部に位置している。
【００１４】
コンプレッサ１８は制御部１８ａを備えており、制御部１８ａの指示によって、圧縮空気を発生させる。発生した圧縮空気は配管２７を通じて圧力供給管２３に送られる。
【００１５】
ノズルガン１９の先端には多数の孔が形成された噴霧部１９ａが設けられ、噴霧部１９ａから霧状のアルコール３０が噴き出される。ノズルガン１９は、キャリア１３に載置された半導体装置１２のパッケージ表面１２ａ（以下単に「パッケージ表面」とする）に、まんべんなく霧状のアルコール３０を吹き付けることが出来るように、噴霧室１５内の上面から所定の位置に取り付けられている。パッケージ表面１２ａに霧状のアルコール３０が吹き付けられ、アルコールがパッケージ表面１２ａに付着すると、パッケージ表面１２ａに帯電した静電気がアルコールに移動する。そして、アルコールに移動した静電気は、アルコールの揮発とともに、パッケージ表面１２ａから除去される。そのため、アルコールは揮発性が極めて高いものが好ましく、特に、アルコール成分が９９．９９％以上の高純度工業用アルコールであることが好ましい。また、アルコールは例えば、イソプロピルアルコール、エタノール、アセトンなどであることが好ましい。
【００１６】
イオナイザ１１は、センサ３２と、電源供給器３３と、送風器３４と、針状電極３５とから構成される。電源供給器３３と針状電極３５とは配線３７によって、センサ３２と電源供給器３３内の制御部３３ａとは配線３８によって接続されている。また、電源供給器３３はアース線３９によって接地されている。
【００１７】
センサ３２は、噴霧室１５を出た半導体装置１２が、イオナイザ１１に接近したことを検出する。センサ３２の検出信号は、配線３８を通じて、電源供給器３３の制御部３３ａに送信される。
【００１８】
電源供給器３３は制御部３３ａを備えており、制御部３３ａの指示によって、電圧を針状電極３５に加える。送風器３４は針状電極３５の上方に設けられ、針状電極３５に向けて風３４ａを送る。
【００１９】
針状電極３５は針状の導電体、例えば銅から構成される。電源供給器３３によって針状電極３５に電圧が加えられると、コロナ放電が発生する。このコロナ放電によって、針状電極３５の周囲にイオンが集まる。針状電極３５の周囲に集まったイオンは、送風器３４からの風３４ａとともに、イオン化エアー４０としてパッケージ表面１２ａに当てられる。このイオン化エアー４０によって、アルコールの揮発によって除去されなかった静電気がパッケージ表面１２ａから除去されるとともに、パッケージ表面１２ａに残ったアルコールの揮発を促進することができる。なお、針状電極３５は、ノズルガン１９の取付位置と同様に、イオン化エアー４０がパッケージ表面１２ａにまんべんなく当たるように、キャリア１３の上方の所定の位置に設けられている。
【００２０】
イオナイザ１１を通過した半導体装置１２は、吸着パッド（図示省略）を有する昇降及び回転自在なアーム（図示省略）によって、キャリア１３から検査ステージ（図示省略）に移動される。検査ステージ上にて、半導体装置１２の接続端子（図示省略）とブローブカードのブローブ針（図示省略）とを接触させて、半導体装置１２の電気的特性の測定及び検査を行う。この測定及び検査のときに、パッケージ表面１２ａ帯電している場合には、静電気放電が発生して、半導体装置１２が故障するおそれがある。しかしながら、噴霧装置１０及びイオナイザ１１を用いて、パッケージ表面１２ａから静電気を除去しているので、静電気放電は発生せず、半導体装置１２が故障するおそれはない。
【００２１】
次に、本発明の作用を説明する。パッケージされた半導体装置１２は、キャリア１３により噴霧装置１０まで搬送される。半導体装置１２が噴霧室１５の開口１５ａを通過すると、センサ１６が、その通過を検出し、検出信号をコンプレッサ１８内の制御部１８ａに送信する。制御部１８ａがセンサ１６からの検出信号を受信すると、所定時間経過後に、コンプレッサ１８は圧縮空気を配管２７を通じて圧力供給管２３に送る。圧力供給管２３に圧縮空気が送られて、タンク本体２１内のアルコール２０が加圧されると、アルコール２０が、給液管２４及び配管２８を通じて、ノズルガン１９に送られる。ノズルガン１９に送られたアルコール２０は噴霧部１９ａにおいて霧状とされ、パッケージ表面１２ａに霧状のアルコール３０が噴き付けられる。パッケージ表面１２ａに付着したアルコールは気化して、パッケージ表面１２ａから静電気が除去される。
【００２２】
そして、半導体装置１２が噴霧室１５の開口１５ｂを出てイオナイザ１１に接近すると、センサ３２がその接近を検出する。センサ３２からの検出信号は電源供給器３３内の制御部３３ａに送信される。制御部３３ａがセンサからの検出信号を受信すると、所定時間経過後に、電源供給器３３は針状電極３５に電圧を加える。針状電極３５に電圧が加えられると、コロナ放電が発生し、針状電極３５の周囲にイオンが集まる。針状電極の周囲に集まったイオンは、送風器３４からの風３４ａとともに、イオン化エアー４０としてパッケージ表面１２ａに噴き付けられる。これにより、アルコールの噴霧によって除去されなかった静電気がパッケージ表面１２ａから完全に除去される。
【００２３】
なお、本実施形態では、静電気を除去する対象を半導体装置のパッケージ表面としたが、これに限らず、静電気を帯びた部材等の表面であってもよい。
【００２４】
なお、本実施形態では、噴霧装置に噴霧室を備えたが、アルコールをまんべんなく半導体装置のパッケージ表面に噴霧することが可能であれば、噴霧室を設けなくてもよい。
【００２５】
なお、本実施形態では、噴霧装置の下流にイオナイザを設けたが、アルコールの噴霧によって半導体装置のパッケージ表面から静電気を完全に除去することが可能であれば、イオナイザを設けなくてもよい。
【００２６】
なお、本実施形態では、半導体のパッケージ表面に霧状のアルコールを噴き付け、そのアルコールを揮発させることによって、半導体のパッケージ表面の除電を行ったが、アルコールに限らず、揮発性の液体であれば、例えば、アセトンやベンゼンなどであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明を実施するための噴霧装置及びイオナイザを示す概略図である。
【符号の説明】
【００２８】
１０  噴霧装置
１１  イオナイザ
１２  半導体装置
１２ａ  半導体装置のパッケージ表面
３０  霧状のアルコール
４０  イオン化エアー
【図１】
2008047336.tif 000003