(57)【要約】      （修正有）【課題】撮像素子の斜め方向に発生する欠陥を精度良く検出することが可能な撮像素子の欠陥検出方法及びプログラムを提供する。【解決手段】ウエハ上のＸ方向とこれに直交するＹ方向に配列して多数形成された撮像素子１４から得られたＹ方向及びＸ方向に配列された多数の画素データから構成される画像データＡを取得するステップＳ１と、画像データＡの画素データの配列を（４５×ｎ）度（ｎは１，３，５，７のいずれか）回転させた回転画像データＢを生成するステップＳ２と、回転画像データＢに対し、Ｙ方向及びＸ方向の両方の特徴成分を強調するための空間フィルタ処理を施すステップＳ３と、ステップＳ３で得られた画像データＢ’をステップＳ２での回転方向と逆方向に同じ回転角度だけ回転させた画像データＢ’’を生成するステップＳ５と、少なくとも画像データＢ’’に基づいて撮像素子１４の欠陥を検出するステップＳ７とを備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
撮像素子の欠陥を検出する撮像素子の欠陥検出方法であって、
ウエハ上の水平方向とこれに直交する垂直方向に配列して多数形成された前記撮像素子から得られた前記垂直方向及び前記水平方向に配列された多数の画素データから構成される画像データを取得する画像データ取得ステップと、
前記画像データの画素データの配列を（４５×ｎ）度（ｎは１，３，５，７のいずれか）回転させた回転画像データを生成する回転画像データ生成ステップと、
前記回転画像データに対し、前記垂直方向及び前記水平方向の両方の特徴成分を強調するための空間フィルタ処理を施す第１の空間フィルタ処理ステップと、
前記第１の空間フィルタ処理ステップで得られた画像データを前記回転画像データ生成ステップでの回転方向と逆方向に同じ回転角度だけ回転させた第１の欠陥検出用画像データを生成する第１の欠陥検出用画像データ生成ステップと、
少なくとも前記第１の欠陥検出用画像データに基づいて前記撮像素子の欠陥を検出する欠陥検出ステップとを備える撮像素子の欠陥検出方法。
【請求項２】
請求項１記載の撮像素子の欠陥検出方法であって、
前記画像データ取得ステップで取得した画像データに対し、前記第１の空間フィルタ処理ステップで実施する前記空間フィルタ処理と同一の空間フィルタ処理を施す第２の空間フィルタ処理ステップと、
前記第２の空間フィルタ処理ステップで得られた画像データと前記第１の欠陥検出用画像データとを、前記撮像素子が形成されていた前記ウエハ上の位置に応じて重み付けして加算して、前記ウエハの中心と前記撮像素子が形成されていたウエハ上の位置とを結ぶ方向の前記撮像素子の欠陥を検出するための第２の欠陥検出用画像データを生成する第２の欠陥検出用画像データ生成ステップとを備え、
前記欠陥検出ステップでは、前記第１の欠陥検出用画像データと前記第２の欠陥検出用画像データとに基づいて、前記欠陥を検出する撮像素子の欠陥検出方法。
【請求項３】
請求項２記載の撮像素子の欠陥検出方法であって、
前記欠陥検出ステップでは、前記第１の欠陥検出用画像データと、前記第２の欠陥検出用画像データと、前記第２の空間フィルタ処理ステップで得られた画像データとに基づいて、前記欠陥を検出する撮像素子の欠陥検出方法。
【請求項４】
請求項１記載の撮像素子の欠陥検出方法であって、
前記画像データ取得ステップで取得した画像データに対し、前記第１の空間フィルタ処理ステップで実施する前記空間フィルタ処理と同一の空間フィルタ処理を施す第２の空間フィルタ処理ステップを備え、
前記欠陥検出ステップでは、前記第１の欠陥検出用画像データと前記第２の空間フィルタ処理ステップで得られた画像データとに基づいて、前記欠陥を検出する撮像素子の欠陥検出方法。
【請求項５】
撮像素子の欠陥を検出する撮像素子の欠陥検出方法であって、
ウエハ上の水平方向とこれに直交する垂直方向に配列して多数形成された前記撮像素子から得られた前記垂直方向及び前記水平方向に配列された多数の画素データから構成される画像データを取得する画像データ取得ステップと、
前記画像データの画素データの配列を（４５×ｎ）度（ｎは１，３，５，７のいずれか）回転させた回転画像データを生成する回転画像データ生成ステップと、
前記回転画像データに対し、前記垂直方向及び前記水平方向の両方の特徴成分を強調するための空間フィルタ処理を施す第１の空間フィルタ処理ステップと、
前記第１の空間フィルタ処理ステップで得られた画像データを前記回転画像データ生成ステップでの回転方向と逆方向に同じ回転角度だけ回転させた画像データを生成する画像データ生成ステップと、
前記画像データ取得ステップで取得した画像データに対し、前記第１の空間フィルタ処理ステップで実施する前記空間フィルタ処理と同一の空間フィルタ処理を施す第２の空間フィルタ処理ステップと、
前記第２の空間フィルタ処理ステップで得られた画像データと前記画像データ生成ステップで生成した画像データとを、前記撮像素子が形成されていた前記ウエハ上の位置に応じて重み付けして加算して、前記ウエハの中心と前記撮像素子が形成されていたウエハ上の位置を結ぶ方向の前記撮像素子の欠陥を検出するための欠陥検出用画像データを生成する欠陥検出用画像データ生成ステップと、
少なくとも前記欠陥検出用画像データに基づいて前記撮像素子の欠陥を検出する欠陥検出ステップとを備える撮像素子の欠陥検出方法。
【請求項６】
請求項５記載の撮像素子の欠陥検出方法であって、
前記欠陥検出ステップでは、前記欠陥検出用画像データと、前記第２の空間フィルタ処理ステップで得られた画像データ及び前記画像データ生成ステップで生成された画像データのいずれか又は両方とに基づいて、前記欠陥を検出する撮像素子の欠陥検出方法。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項記載の撮像素子の欠陥検出方法の各ステップをコンピュータに実行させるための撮像素子の欠陥検出プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、撮像素子の欠陥を検出する撮像素子の欠陥検出方法及びプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
撮像素子の製造工程に起因するシミやムラ等の欠陥検査においては、撮像素子に一定光量を当てて撮像したときに得られる画像データに対し、数種類の空間フィルタ処理を施して欠陥検出を行っている。空間フィルタとしては、画像データの垂直方向と水平方向の特徴量を強調するものや、画像データの斜め方向の特徴量を強調するもの等がある。しかし、画像データの斜め方向の特徴量を強調する空間フィルタ処理は、画像データの垂直方向と水平方向の特徴量を強調する空間フィルタ処理に比べてフィルタ効果が低下する。このため、従来の欠陥検出では、撮像素子の斜め方向に存在するシミやムラ等の欠陥を精度良く検出することが難しかった。
【０００３】
撮像素子の検査装置に関する文献としては例えば特許文献１，２がある。
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−１１１７９５号公報
【特許文献２】特開平１１−９４６９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
撮像素子は、製造過程のスピンコート工程において、ウエハの中心から放射状又は同心円状のシミやムラ等の欠陥が発生する性質があり、ウエハの位置によっては、このような欠陥が、上述した撮像素子の斜め方向に存在する欠陥となる。このような欠陥は、ウエハを目視しただけでは検出することが難しいため、上述した方法で画像処理により検出を行う必要があり、画像処理による欠陥検出精度を向上させることが重要となる。
【０００６】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、撮像素子の斜め方向に発生する欠陥を精度良く検出することが可能な撮像素子の欠陥検出方法及びプログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の撮像素子の欠陥検出方法は、撮像素子の欠陥を検出する撮像素子の欠陥検出方法であって、ウエハ上の水平方向とこれに直交する垂直方向に配列して多数形成された前記撮像素子から得られた前記垂直方向及び前記水平方向に配列された多数の画素データから構成される画像データを取得する画像データ取得ステップと、前記画像データの画素データの配列を（４５×ｎ）度（ｎは１，３，５，７のいずれか）回転させた回転画像データを生成する回転画像データ生成ステップと、前記回転画像データに対し、前記垂直方向及び前記水平方向の両方の特徴成分を強調するための空間フィルタ処理を施す第１の空間フィルタ処理ステップと、前記第１の空間フィルタ処理ステップで得られた画像データを前記回転画像データ生成ステップでの回転方向と逆方向に同じ回転角度だけ回転させた第１の欠陥検出用画像データを生成する第１の欠陥検出用画像データ生成ステップと、少なくとも前記第１の欠陥検出用画像データに基づいて前記撮像素子の欠陥を検出する欠陥検出ステップとを備える。
【０００８】
本発明の撮像素子の欠陥検出方法は、前記画像データ取得ステップで取得した画像データに対し、前記第１の空間フィルタ処理ステップで実施する前記空間フィルタ処理と同一の空間フィルタ処理を施す第２の空間フィルタ処理ステップと、前記第２の空間フィルタ処理ステップで得られた画像データと前記第１の欠陥検出用画像データとを、前記撮像素子が形成されていた前記ウエハ上の位置に応じて重み付けして加算して、前記ウエハの中心と前記撮像素子が形成されていたウエハ上の位置とを結ぶ方向の前記撮像素子の欠陥を検出するための第２の欠陥検出用画像データを生成する第２の欠陥検出用画像データ生成ステップとを備え、前記欠陥検出ステップでは、前記第１の欠陥検出用画像データと前記第２の欠陥検出用画像データとに基づいて、前記欠陥を検出する。
【０００９】
本発明の撮像素子の欠陥検出方法は、前記欠陥検出ステップでは、前記第１の欠陥検出用画像データと、前記第２の欠陥検出用画像データと、前記第２の空間フィルタ処理ステップで得られた画像データとに基づいて、前記欠陥を検出する。
【００１０】
本発明の撮像素子の欠陥検出方法は、前記画像データ取得ステップで取得した画像データに対し、前記第１の空間フィルタ処理ステップで実施する前記空間フィルタ処理と同一の空間フィルタ処理を施す第２の空間フィルタ処理ステップを備え、前記欠陥検出ステップでは、前記第１の欠陥検出用画像データと前記第２の空間フィルタ処理ステップで得られた画像データとに基づいて、前記欠陥を検出する。
【００１１】
本発明の撮像素子の欠陥検出方法は、撮像素子の欠陥を検出する撮像素子の欠陥検出方法であって、ウエハ上の水平方向とこれに直交する垂直方向に配列して多数形成された前記撮像素子から得られた前記垂直方向及び前記水平方向に配列された多数の画素データから構成される画像データを取得する画像データ取得ステップと、前記画像データの画素データの配列を（４５×ｎ）度（ｎは１，３，５，７のいずれか）回転させた回転画像データを生成する回転画像データ生成ステップと、前記回転画像データに対し、前記垂直方向及び前記水平方向の両方の特徴成分を強調するための空間フィルタ処理を施す第１の空間フィルタ処理ステップと、前記第１の空間フィルタ処理ステップで得られた画像データを前記回転画像データ生成ステップでの回転方向と逆方向に同じ回転角度だけ回転させた画像データを生成する画像データ生成ステップと、前記画像データ取得ステップで取得した画像データに対し、前記第１の空間フィルタ処理ステップで実施する前記空間フィルタ処理と同一の空間フィルタ処理を施す第２の空間フィルタ処理ステップと、前記第２の空間フィルタ処理ステップで得られた画像データと前記画像データ生成ステップで生成した画像データとを、前記撮像素子が形成されていた前記ウエハ上の位置に応じて重み付けして加算して、前記ウエハの中心と前記撮像素子が形成されていたウエハ上の位置を結ぶ方向の前記撮像素子の欠陥を検出するための欠陥検出用画像データを生成する欠陥検出用画像データ生成ステップと、少なくとも前記欠陥検出用画像データに基づいて前記撮像素子の欠陥を検出する欠陥検出ステップとを備える。
【００１２】
本発明の撮像素子の欠陥検出方法は、前記欠陥検出ステップでは、前記欠陥検出用画像データと、前記第２の空間フィルタ処理ステップで得られた画像データ及び前記画像データ生成ステップで生成された画像データのいずれか又は両方とに基づいて、前記欠陥を検出する。
【００１３】
本発明の撮像素子の欠陥検出プログラムは、前記撮像素子の欠陥検出方法の各ステップをコンピュータに実行させるためのプログラムである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、撮像素子の斜め方向に発生する欠陥を精度良く検出することが可能な撮像素子の欠陥検出方法及びプログラムを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
【００１６】
図１は、本発明の実施の形態である撮像素子の欠陥を検出するための欠陥検出システムの概略構成を示す図である。
図１に示す欠陥検出システム１０は、ＣＣＤ型イメージセンサやＣＭＯＳ型イメージセンサ等の撮像素子１４の検査に用いられるテスター等の検査装置１２と、撮像素子１４の検査時に撮像素子１４に対して一定光量の光を照明する光源１３と、検査装置１２に接続されたコンピュータ１５と、コンピュータ１５に接続されたメモリ１１とを備える。
【００１７】
検査装置１２は、光源１３を駆動して光を照明させている状態で、撮像素子１４の電極パッドにプローブを当て、撮像素子１４を駆動して撮像を行わせると共に、この撮像によって撮像素子１４から出力される撮像データを取り込み、取り込んだ撮像データから画像データを生成し、この画像データを図示しない記録媒体に記録する。なお、検査装置１２で生成される画像データを構成する多数の画素データは、それぞれ、その画像データの取得元の撮像素子１４を構成する多数の光電変換素子のいずれかに対応している。
【００１８】
ここで言う画像データとは、撮像素子１４がカラー撮像可能なものである場合は、例えば、撮像素子１４に含まれる１つの光電変換素子に対応する画素データにＲ（赤色），Ｇ（緑色），Ｂ（青色）の情報を持たせたカラー画像データや、カラー画像データを色分離して、撮像素子１４に含まれる１つの光電変換素子に対応する画素データにＧの情報だけを持たせたＧ画像データ等である。
【００１９】
コンピュータ１５は、本発明の欠陥検出プログラムが予めインストールされており、このプログラムを実行することで、撮像素子１４の欠陥を検出する。
【００２０】
次に、このシステムを用いて撮像素子１４の欠陥を検出する方法を説明する。
図２は、撮像素子の欠陥を検出する方法を説明するためのフローチャートである。
まず、図３に示すように、１枚のウエハ１６上の水平方向Ｘとこれに直交する垂直方向Ｙに配列された複数のチップ領域（後のダイシング工程で１チップになる領域）の各々に撮像素子１４を１つ形成したものを製造する。次に、検査装置１２が、ウエハ上の１つ撮像素子１４に光源１３から一定光量の光を当てた状態で、当該撮像素子１４に撮像を行わせ、撮像によって得られた撮像データから画像データを生成して記録媒体に記録する。検査装置１２は、このような処理を、ウエハ上の全ての撮像素子に対して同様に行う。
【００２１】
検査装置１２内の記録媒体に１枚のウエハ上にある全撮像素子からの画像データが記録されると、コンピュータ１５は、その記録媒体から１つの画像データ（以下Ａという）を取得し（ステップＳ１）、内部のワークメモリに記憶する。ここで取得された画像データＡは、図４（ａ）に示すように、水平方向Ｘと垂直方向Ｙとに格子状に配列された多数の画素データ（図では、２５個の画素データａ〜ｙのみを図示）から構成されている。図４に示す四角形が画素データを示しており、その画素データの符号を四角形の中に記載してある。
【００２２】
次に、コンピュータ１５は、図４（ａ）に示すような画像データＡを（４５×ｎ）度（ｎは１，３，５，７のいずれか、ここではｎ＝１とする）回転させた図４（ｂ）に示すような回転画像データＢを生成し（ステップＳ２）、これをワークメモリに記憶する。尚、図４において、回転方向は左としている。
【００２３】
次に、コンピュータ１５は、画像データＡの水平方向Ｘと垂直方向Ｙの両方の特徴成分（エッジ成分等）を強調するための空間フィルタ処理（以下、直交系の空間フィルタ処理ともいう）を画像データＡに施し、この空間フィルタ処理によって得られる画像データＡ’をワークメモリに記憶する（ステップＳ３）。
【００２４】
次に、コンピュータ１５は、上記直交系の空間フィルタ処理を回転画像データＢに対しても施して画像データＢ’を生成する（ステップＳ４）。
【００２５】
次に、コンピュータ１５は、この空間フィルタ処理によって得られる画像データＢ’を、ステップＳ２での回転方向と逆方向に同じ回転角度だけ回転させた画像データＢ’’を生成し、これをワークメモリに記憶する（ステップＳ５）。例えば、ステップＳ２で画像データＡを左に４５度回転させていた場合は、ステップＳ５にて、画像データＢ’を右に４５度回転させた画像データＢ’’を生成し、これをワークメモリに記憶する。
【００２６】
この空間フィルタ処理に用いる空間フィルタを例えば水平方向３×垂直方向３の大きさとし、画像データＡの画素データｅを注目画素データとし、回転画像データＢの画素データｅを注目画素データとすると、画像データＡについては、図４（ａ）の丸印で囲った９つの画素データａ〜ｉを用いて、新たな画素データｅが生成される。又、回転画像データＢについては、図４（ｂ）の丸印で囲った９つの画素データａ，ｃ，ｅ，ｇ，ｉ，ｌ，ｑ，ｒ，ｗを用いて、新たな画素データｅが生成される。このような処理が、全ての画素データを注目画素データにして実施される。
【００２７】
画像データＡ’は、画像データＡの水平方向Ｘと垂直方向Ｙの特徴成分が強調されているため、撮像素子１４の水平方向Ｘと垂直方向Ｙに発生している欠陥（以下、水平垂直欠陥という）を検出するために用いることができる。画像データＢ’’は、画像データＡの水平方向Ｘと（４５×ｎ）度で交差する方向及び垂直方向Ｙと（４５×ｎ）度で交差する方向が強調されているため、撮像素子１４の水平方向Ｘと（４５×ｎ）度で交差する方向及び垂直方向Ｙと（４５×ｎ）度で交差する方向に発生している欠陥（以下、ななめ４５度欠陥という）を検出するために用いることができる。
【００２８】
次に、コンピュータ１５は、画像データＡ’と画像データＢ’’を、画像データＡの生成元である撮像素子１４のウエハ上の位置に応じて重み付け加算し、画像データＡについて当該ウエハの中心と当該撮像素子１４が形成されていたウエハ上の位置の中心とを結ぶ方向の特徴成分を強調した画像データＣを生成する（ステップＳ６）。この画像データＣは、ウエハの中心と撮像素子１４が形成されていたウエハ上の位置の中心とを結ぶ方向に延びる撮像素子１４の欠陥（例えば上述した放射状の欠陥）を検出するために用いることができる。
【００２９】
例えば、図３に示すように、ウエハ１６上のあるチップ領域に形成された各撮像素子１４の位置を、ウエハ１６の中心から水平方向Ｘに延びる線と、その中心と撮像素子１４の中心とを結ぶ線とのなす角度θで表した場合、画像データＣの画素データＣ（ｘ，ｙ）は、以下の式（１）によって求めることができる。
【００３０】
Ｃ（ｘ，ｙ）＝［ａ×｛０．５×（ｓｉｎ４θ＋１）×Ｂ’’（ｘ，ｙ）｝］＋［ｂ×｛０．５×（ｃｏｓ４θ＋１）×Ａ’（ｘ，ｙ）｝］・・・・式（１）
ここで、Ａ’（ｘ，ｙ）は、画像データＡの座標（ｘ，ｙ）における画素データに直交系の空間フィルタ処理を施して得られる画像データＡ’の画素データを示す。Ｂ’’（ｘ，ｙ）は、回転画像データＢの座標（ｘ，ｙ）における画素データに直交系の空間フィルタ処理を施して得られる画像データＢ’’の画素データを示す。ａ，ｂは、画像データＡの方向要素を考慮して画像評価により決定される係数を示す。
【００３１】
いくつかのテストチャートを撮影して得られる画像データから生成した画像データＡ’及び画像データＢ’’同士を比較し、その比率をｂ及びａに適用することが考えられる。同じ方向要素が打ち消し合う性質を利用したものである。
又は、人間の視覚感度がＸＹ方向と、ＸＹ方向に４５度で交差する方向とにおいて異なることを利用し係数ａ，ｂを決定する方法もある。視覚感度は、ＸＹ方向の要素が強いことが容易に考えられる。実験的にｂ＝０．７，ａ＝０．３ で開始するのが望ましい。
【００３２】
次に、コンピュータ１５は、画像データＡ’を用いて水平垂直欠陥の検出処理を行い、画像データＢ’’を用いて斜め４５度欠陥の検出処理を行い、画像データＣを用いて、ウエハの中心と撮像素子１４が形成されていたウエハ上の位置の中心とを結ぶ方向に延びる撮像素子の欠陥の検出処理を行う（ステップＳ７）。各種欠陥の検出処理は、公知の様々な手法によって行う。例えば、画像データを二値化し、二値化したデータと閾値との比較により欠陥を検出する。
【００３３】
次に、コンピュータ１５は、欠陥検出結果をメモリ１１に出力し、メモリ１１に欠陥検出結果が記録される（ステップＳ８）。コンピュータ１５は、検査装置１２の記録媒体に記録されている全ての画像データに対してステップＳ１〜Ｓ８までの処理を行い（ステップＳ９）、処理を終了する。
【００３４】
以上のように、本実施形態のシステムによれば、画像データＡを（４５×ｎ）度回転させた回転画像データＢに直交系の空間フィルタ処理を施して画像データＢ’’を生成し、この画像データＢ’’により、ななめ４５度欠陥を検出することができる。ななめ４５度欠陥の検出には、直交系の空間フィルタ処理のみを用いているため、フィルタ効果を低下させることなく、ななめ４５度欠陥の検出を高精度に行うことができる。
【００３５】
又、本実施形態のシステムによれば、画像データＡ’と画像データＢ’’を、撮像素子１４のウエハ上の位置に応じて重み付けして加算して画像データＣを生成し、この画像データＣにより、１枚のウエハ上の各撮像素子において、ウエハの中心から放射状に延びる欠陥を検出することができる。撮像素子１４は、ウエハ上の様々な位置に存在するため、各位置の撮像素子において放射状の欠陥を検出しようとすると、各撮像素子から得られる画像データに対して夫々異なる空間フィルタ処理が必要となってしまう。ところが、本実施形態によれば、直交系の空間フィルタ処理のみを用いれば良いため、この放射状の欠陥を、簡単且つ高精度に検出することができる。
【００３６】
尚、以上の説明では、図２のステップＳ７において、コンピュータ１５が、水平垂直欠陥、ななめ４５度欠陥、及び放射状の欠陥を検出しているが、これらの欠陥を全て検出することは必須ではない。検出したい欠陥の種類に合わせて、欠陥検出処理を行えば良い。
【００３７】
例えば、斜め４５度欠陥だけを検出したい場合は、画像データＢ’’のみを用いて欠陥検出を行うようにすれば良い。この場合、図２のステップＳ３の処理とステップＳ６の処理は省略しても良い。
【００３８】
又、例えば、ななめ４５度欠陥と放射状の欠陥だけを検出したい場合は、画像データＢ’’，Ｃのみを用いて欠陥検出を行うようにすれば良い。
【００３９】
又、例えば、ななめ４５度欠陥と水平垂直欠陥だけを検出したい場合は、画像データＡ’，Ｂ’’のみを用いて欠陥検出を行うようにすれば良い。この場合、図２のステップＳ６の処理は省略しても良い。
【００４０】
又、例えば、放射状の欠陥だけを検出したい場合は、画像データＣのみを用いて欠陥検出を行うようにすれば良い。
【００４１】
又、例えば、放射状の欠陥と水平垂直欠陥だけを検出したい場合は、画像データＣと画像データＡ’のみを用いて欠陥検出を行うようにすれば良い。
【００４２】
又、例えば、水平垂直欠陥だけを検出したい場合は、画像データＡ’のみを用いて欠陥検出を行うようにすれば良い。
【００４３】
又、以上の説明では、コンピュータ１５が欠陥検出プログラムを実行して図２に示す処理を行うものとしたが、検査装置１２内のメモリに欠陥検出プログラムを記憶しておき、検査装置１２内の演算処理装置がこのプログラムを実行することで、図２に示す処理を実行するようにしても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の実施の形態である撮像素子の欠陥を検出するための欠陥検出システムの概略構成を示す図
【図２】撮像素子の欠陥を検出する方法を説明するためのフローチャート
【図３】撮像素子が作りこまれたウエハの平面模式図
【図４】（ａ）は撮像素子から得られる画像データを示す図、（ｂ）は（ａ）の画像データを左に４５度回転させた画像データを示す図
【符号の説明】
【００４５】
１０  欠陥検出システム
１１  メモリ
１２  検査装置
１３  光源
１４  撮像素子
１５  コンピュータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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