(57)【要約】【課題】従来のプレートヒータでは、大面積のものでは重量が大きくなるとともに、反り、たわみが発生し、熱効率が悪い欠点があった。【解決手段】本発明のプレートヒータは、互いに重ねられた複数枚の金属プレートと、互いに対向する２枚の金属プレートの間に介挿された多角断面形状の複数の金属パイプヒータから成り、上記各金属プレートが上記金属パイプヒータに接する面に絶縁被覆を有することを特徴とする。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに重ねられた複数枚の金属プレートと、互いに対向する２枚の金属プレートの間に介挿された多角断面形状の複数の金属パイプヒータから成り、上記各金属プレートが上記金属パイプヒータに接する面に絶縁被覆を有することを特徴とするプレートヒータ。
【請求項２】
互いに重ねられた上側、中間及び下側の３枚の金属プレートと、上記上側と中間プレート間及び、上記中間と下側の金属プレートの間に夫々介挿された多角形断面形状の複数の金属パイプヒータから成り、上記各金属プレートが上記金属パイプヒータに接する面に絶縁被覆を有することを特徴とするプレートヒータ。
【請求項３】
上記上側と中間プレート間に介挿された金属パイプヒータの向きが、上記中間と下側プレート間に介挿された金属パイプヒータの向きと直交していることを特徴とする請求項２記載のプレートヒータ。
【請求項４】
上記金属パイプヒータ内に流体が流されることを特徴とする請求項１、２または３記載のプレートヒータ。
【請求項５】
上記複数の金属パイプヒータがそれぞれ個別に温度制御できる互いに独立した回路の複数のヒータ群より成ることを特徴とする請求項１、２、３または４記載のプレートヒータ。
【請求項６】
上記パイプヒータの互いに隣接する２個のものが互いにジグザグ状に交叉する形であることを特徴とする請求項１、２、３、４または５記載のプレートヒータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はプレートヒータ、特に、複数枚の大面積金属プレートでパイプヒータを挟持してなる大面積プレートヒータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、２枚の金属板でヒータを挟持したプレートヒータは特許文献１〜３に示すように既知である。
【特許文献１】特開平６−１４６２０８号公報
【特許文献２】特開２００２−０５６９５８号公報
【特許文献３】特開２００７−１１８７７９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来のプレートヒータを大面積ガラス基板等の加熱に使用する場合、大面積のプレートヒータが要求され、プレートヒータは重量が大きくなるとともに、例えば真空中で使用した場合には内部圧力によるヒータの膨らみにより、または常圧中で使用した場合には熱歪みに起因して反り、たわみが発生するという問題があった。本発明の目的は、構造が簡単で、製作コストが安く、強度が強く、熱効率がよく、反り、歪みの少ない軽量な大面積プレートヒータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明のプレートヒータは、互いに重ねられた複数枚の金属プレートと、互いに対向する２枚の金属プレートの間に介挿された多角断面形状の複数の金属パイプヒータから成り、上記各金属プレートが上記金属パイプヒータに接する面に絶縁被覆を有することを特徴とする。
【０００５】
また、本発明の基板加熱装置は、互いに重ねられた上側、中間及び下側の３枚の金属プレートと、上記上側と中間プレート間及び、上記中間と下側の金属プレートの間に夫々介挿された多角形断面形状の複数の金属パイプヒータから成り、上記各金属プレートが上記金属パイプヒータに接する面に絶縁被覆を有することを特徴とする。
【０００６】
また、本発明の基板加熱装置は、上記上側と中間プレート間に介挿された金属パイプヒータの向きが、上記中間と下側プレート間に介挿された金属パイプヒータの向きと直交していることを特徴とする。
【０００７】
また、本発明の基板加熱装置は、上記金属パイプヒータ内に流体が流されることを特徴とする。
【０００８】
また、本発明の基板加熱装置は、上記複数の金属パイプヒータがそれぞれ個別に温度制御できる互いに独立した回路の複数のヒータ群より成ることを特徴とする。
【０００９】
また、本発明の基板加熱装置は、上記パイプヒータの互いに隣接する２個のものが互いにジグザグ状に交叉する形であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明では各金属プレートと、多角断面形状のパイプヒータとをステンレス等の同一材料としたのでそれぞれの熱膨脹率が同じとなり、熱膨脹係数の違いによる熱歪みの発生が抑制され、プレートの熱歪み・反りを少なくでき、長期に亘ってプレートヒータの形状を安定に維持できる。また、本発明では、上側金属プレートと下側金属プレートと多角断面形状を有する金属パイプヒータとを接合して構成しているので、軽量で、高強度とすることができ、プレートの反り、たわみを防止できる。
【００１１】
また、本発明では、多角断面形状のパイプヒータ内部に、酸素や窒素、蒸気等の流体を流すことによってプレートヒータ全体を均一温度にすることができ、プレートヒータを急激に冷却させたい場合には、水などの冷却材をパイプ内に流すことで急速に温度を降下せしめることができる。
【００１２】
また、本発明では、プレート間に多数のヒータユニット群を設けているので、分割的に温度制御することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下図面によって本発明の実施例を説明する。
【実施例１】
【００１４】
本発明においては図１及び図２に示すように上側及び下側の２枚の大面積金属プレート、例えばステンレス板（１５００×１８００ｍｍ×５ｍｍ）１、２を重ね、これら各プレート１、２間に例えば一辺３０ｍｍの正三角形断面の上記金属プレートと同一金属のパイプヒータ３の複数を夫々互いに隣接して配置し、これらを絶縁材（図示せず）により一体に固定せしめる。
【００１５】
また、上側プレート１と下側プレート２間に配置されるパイプヒータ３の向きは互いに同一とする。
【００１６】
また、図３に示すように互いに隣接する複数の、例えば４個のパイプヒータ３を互いに直列接続してそれぞれ独立した複数のヒータ群を形成し、ヒータ群毎に個別に温度制御ができるようにする。
【００１７】
また、上記パイプヒータ３と接する側の金属プレート１、２の面には夫々絶縁層４を形成する。この絶縁層４は例えばセラミックスの溶射、あるいはマイカシート等の絶縁フィルムの取り付けによって形成する。
【００１８】
各パイプヒータ３の端子部５は図１に示すように一体とされた上記２枚プレート１、２とパイプヒータ３の一側に設ける。
【００１９】
本発明のプレートヒータは上記のような構成であるから、各プレートとパイプヒータの熱膨脹率が同じとなるため、熱膨脹係数の違いによるプレートの熱歪みや反りの発生が抑制され、長期に亘ってプレートヒータの形状安定性を維持できる。また、上側及び下側プレートと三角断面形状の金属パイプヒータと接合して構成しているので、軽量で、高強度とすることができ、プレートの反り、たわみを防止できる。
【００２０】
また、三角断面形状のパイプヒータ内部に、酸素や窒素、蒸気等の流体を流すことによってプレートヒータ全体を均一温度にすることができる。プレートヒータを急激に冷却させたい場合には、水などの冷却材をパイプ内に流すことで急速な温度降下を達成することができる。
【００２１】
本発明では、プレート間に多数のヒータユニット群を設けているので、分割的に温度制御することがきでる。
【実施例２】
【００２２】
本発明の実施例２においては図４に示すように上側、中間、下側の３枚の大面積金属プレート、例えばステンレス板（１５００×１８００ｍｍ×５ｍｍ）１、６、２を重ね、これら３枚の各プレートのうち、互いに重なり合うもの１と６、６と２間にそれぞれ一辺３０ｍｍの正三角形断面の上記金属プレートと同一金属のパイプヒータ３の複数を夫々互いに隣接して配置し、これらを絶縁材（図示せず）により一体に固定せしめる。
【００２３】
また、図４に示すように互いに隣接する複数の、例えば４個のパイプヒータ３を互いに直列接続してそれぞれ独立した複数のヒータ群を形成し、ヒータ群毎に個別に温度制御できるようにする。
【００２４】
また、上記各プレート１、２及び６の上記パイプヒータ３と接する側の面には夫々絶縁層４を形成する。この絶縁層４は例えばセラミックスの溶射、あるいはマイカシート等の絶縁フィルムの取り付けによって形成する。
【００２５】
また、上側プレート１と中間プレート６間に配置されるパイプヒータ３の向きと、中間プレート６と下側プレート２間に配置されるパイプヒータ３の向きは互いに直交するようにする。
【００２６】
本発明のこの実施例では、上下金属プレート１、２の中間に中間プレート６を介挿し、三角断面形状のパイプヒータ３を２層とし、上下のパイプヒータ３の配列を互いに直交するようにしたので、ヒータ面積を増加できると共に、プレートヒータの強度を増加させ、反り、たわみを減少することができる。
【実施例３】
【００２７】
本発明の実施例３においては図５に示すように上側プレート１と中間プレート６間または下側プレート２と中間プレート６間に介挿される互いに隣接する２個の三角断面形状のパイプヒータ３を互いにジグザグ状に交叉する形とものとする。
【００２８】
この実施例３における作用効果は上記実施例１及び２におけるものと同様である。
【００２９】
なお、上記実施例におけるパイプヒータ３は三角形断面ではなく多角形断面のものでも良い。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明のプレートヒータの平面図である。
【図２】図１に示すプレートヒータの一部の拡大斜視図である。
【図３】図１に示すプレートヒータのパイプヒータ群の回路図である。
【図４】本発明のプレートヒータの他の実施例を示す一部の拡大斜視図である。
【図５】本発明のプレートヒータのパイプヒータの形状の他の実施例を示す平面図である。
【符号の説明】
【００３１】
１  上側プレート
２  下側プレート
３  パイプヒータ
４  絶縁層
５  端子部
６  中間プレート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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