(57)【要約】【課題】電動機が停止しても抑制できない微小な機械振動をセンサにより検出することで、電動機が誤動作してしまった従来の欠点を解決する機械振動抑制方法を提供する。【解決手段】機械共振特性を有する機械１のうち機械振動が最も大きい部分に加速度検出部（センサ）２を取り付け、その加速度検出部（センサ）２出力信号を位相調整部７で位相調整した後、加速度フィードバックゲイン部９に入れてゲインを掛ける前に本発明により設けられた予め設定した値以下の信号をゼロとする不感帯部８を介することで、微小な振動の場合不感帯部８の出力信号をゼロとして位置偏差の振動が発生するのを抑さえて機械振動と位置偏差の振動の両方を同時に抑制するようにした。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
機械共振特性を有する機械と、前記機械を駆動する電動機と結合されていて、
共振特性による振動を含んだ機械の加速度を検出する加速度検出部と、
前記電動機のトルク（推力）を制御する電動機駆動部と、
前記電動機の速度を検出する電動機速度検出部と、
前記電動機速度検出部の速度をフィードバックして前記電動機駆動部へのトルク指令を出力する電動機速度制御部と、
前記電動機の位置を検出する電動機位置検出部と、
前記電動機位置検出部の位置をフィードバックして前記電動機駆動部への速度指令を出力する電動機位置制御部と、
前記加速度検出部が出力する加速度信号の位相を調整する位相調整部と、
前記位相調整部の出力を前記電動機速度制御部へフィードバックする加速度フィードバックゲイン部で構成される電動機制御装置において、
あらかじめ設定した値以下の信号をゼロとする不感帯部を前記位相調整部の出力側と前記加速度フィードバックゲイン部の入力側の間に設けたことを特徴とする電動機制御装置。
【請求項２】
機械共振特性を有する機械と、前記機械を駆動する電動機と結合されていて、
共振特性による振動を含んだ機械の加速度を検出する加速度検出部と、
前記機械を駆動する電動機のトルク（推力）を制御する電動機駆動部と、
前記電動機の速度を検出する電動機速度検出部と、
前記電動機速度検出部の速度をフィードバックして前記電動機駆動部へのトルク指令を出力する電動機速度制御部と、
前記電動機の位置を検出する電動機位置検出部と、
前記電動機位置検出部の位置をフィードバックして前記電動機駆動部への速度指令を出力する電動機位置制御部と、
前記加速度検出部が出力する加速度信号の位相を調整する位相調整部と、
前記位相調整部の出力を前記電動機速度制御部へフィードバックする加速度フィードバックゲイン部とで構成される電動機制御装置の機械振動抑制方法において、
前記位相調整部の出力があらかじめ設定した値以下のときは、前記加速度フィードバックゲイン部への入力信号をゼロとすることを特徴とする電動機制御装置の機械振動抑制方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機械共振特性を有する負荷機械を電動機で駆動する電動機制御装置とその機械振動抑制方法に関し、特に、負荷の加速度をフィードバックして振動を抑制する制御に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図６は本発明が適用される対象である機械共振特性を有する機械の一例を示す構造図である。
図６において、１は機械共振特性を有する機械、３は電動機、１１は電動機３によって回転するボールネジ機構からなる機械駆動要素、１２は機械駆動要素１１に取付けて電動機３の正・逆転によって機械駆動要素１１に沿って機械駆動要素１１上を前進・後退する１軸スライダーの可動テーブル、１３は可動テーブル１２上に取付けられた負荷機械（アーム）である。可動テーブル１２が前進・後退運動するときの加速度変化でアーム１３は振動を生じる。ここで２は負荷機械１３の先端に取付けられた加速度検出部で、負荷機械１３において振幅が最も大きい場所に加速度検出部２を取り付けておき、負荷機械１３あるいは駆動系の振動を検出する。
電動機３がボールネジ機構からなる機械駆動要素１１を回転させることで可動テーブル１２を移動させ、これによって可動テーブル１２上の負荷機械１３を移動させるものである。
なお、直動型電動機であるリニアモータを用いる場合は、（図示しないが）機械駆動要素１１および電動機３の部分をリニアモータで置き換えることで可動テーブル１２を直動駆動できる。したがって以下の説明で「電動機」には、特に明記しないかぎり、回転型に加え、直動型電動機（リニアモータ）も含めている。
【０００３】
図７は、機械を駆動する電動機を制御する、従来例の電動機制御装置のブロック図である。
図において、１は機械共振特性を有する機械、３は電動機、２１は電動機３を制御する電動機制御装置、４は電動機駆動部、５は電動機速度検出部、６は電動機速度制御部、１０は電動機位置制御部、３１は電動機位置検出部である。
一般的な動作で説明すると、図示のない位置指令器より発生された位置指令と電動機位置検出部３１より計算される実際の移動距離との差が電動機位置制御部１０における演算を経て電動機速度制御部６に対する速度指令へ変換される。電動機速度制御部６においては電動機位置制御部１０からの速度指令と、電動機速度検出部５で検出される実際の速度との偏差を基に演算処理され、次の電動機駆動部４へのトルク（推力）指令に変換される（リニアモータの場合は推力指令となる）。この電動機駆動部４の電力が電動機３へ供給され電動機３が回転することで機械１の位置制御が達成される。
【０００４】
図８は図７の電動機の制御ブロック図の一部変形例を示している。
図８に示すように、３は電動機、３１は電動機位置検出部、３２は検出位置微分部である。速度は位置の微分であることを利用して、電動機速度検出部５を電動機３の位置を検出する電動機位置検出部３１と、この電動機位置検出部３１の出力である検出位置を微分する検出位置微分部３２とで構成し、電動機位置検出部３１の位置出力を検出位置微分部３２で微分することで速度を得て、電動機速度検出部５（図７）を省略している。
【０００５】
図７に戻って、例えば電動機３が３相交流による同期電動機の場合、電動機駆動部４は、通常ＰＷＭ方式による３相分の電圧アンプと、電圧アンプを駆動するｄｑ軸から３相に変換するｄｑ軸−３相変換部と、検出した電動機の３相の電流をｄｑ軸に変換しｄｑ軸それぞれにフィードバックする電流制御部とで構成される。そこで、電流制御部のｄ軸指令は通常ゼロとすると、ｑ軸電流指令値が電動機が発生するトルク（推力）と比例した値となる。通常、トルク（推力）指令をトルク（推力）定数で割り算するなどの補正演算を行いｑ軸電流指令とする。
上述したように、電動機位置検出部３１で検出した電動機の位置と位置指令との差である位置偏差が電動機位置制御部１０に入力される。電動機位置制御部１０は電動機３の位置が位置指令と一致するようにフィードバック制御を行う。
前記位置偏差がある一定値以下（以下、位置決め完了幅）になった状態で、「位置決め完了」とし、電動機位置制御部１０からコントローラに「位置決め完了」信号（図示しない）を出力する。
ボールネジやベルト等を用いた機械駆動要素のリード長などから、可動テーブルを所望の位置に位置決めするようにコントローラが電動機の位置指令を計算・出力する。コントローラは位置制御部が「位置決め完了」信号を出力したことを確認して、次の移動指令を出力する。
機械駆動要素の剛性が高い場合は、電動機が位置決め完了した時点で可動テーブルも同時に位置決め完了する。
ところが機械共振特性を有する負荷機械を電動機で駆動する場合、電動機は安定に動くものの、前記機械共振特性により負荷機械が振動し負荷機械に所望の動作（例えば、位置決め動作）を行うことができないという問題があった。
機械駆動要素の機械共振特性が主の場合（周波数が低い場合など）は可動テーブルが揺れるなどの上記問題は良く知られているが、機械駆動要素の剛性が高い（固有振動数が高い）場合であっても、上記課題があった。
例えば、図６に示すように、可動テーブル１２上にアーム１３が固定されアーム先端のエンドエフェクタで作業する場合、例え機械駆動要素１１の剛性が高くても、アーム１３自身の固有振動数でアーム先端が揺れる。特に、固有振動の減衰係数が小さい場合、電動機３の位置決めが完了していても、アーム先端が固有振動を続けるため、アーム１３先端での作業ができない。
【０００６】
図９は図７に示す従来の電動機位置制御装置を用いた場合の負荷機械先端位置と電動機の位置偏差波形図である。図において、縦軸は変位、横軸は時間軸である。
この図によると、時間軸の方向に２マス目で電動機位置偏差は位置決め完了幅の中に入っているので、電動機は完全に停止しているが、負荷機械先端位置（アーム先端）は振動し続けている。
このような場合、位置決め完了後に振動が十分に減衰するまで待って（待ち時間）から次の位置決め指令を出力する必要があった。この待ち時間のため機械のスループットが著しく悪化する問題があった。
このように、機械駆動系の機械共振要素や可動テーブル上の機構などの機械共振要素をまとめて、負荷機械の共振特性とする。
【０００７】
これを解決するため、本出願人は、かつて、加速度センサにて測定した負荷機械の振動を低域通過フィルタと高域通過フィルターで構成するバンドパスフィルターを通して、電動機制御装置の速度制御部にフィードバックすることで負荷機械の振動を低減する手法を開発したことがある（非特許文献１）。
あるいは、加速度フィードバックによる振動抑制制御として、各軸に取り付けられた加速度センサの出力をローパスフィルタおよびゲインを介して対応する軸の速度制御部に負帰還し、防振のための閉ループを構成するものも提案された（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平１０−１０００８５号公報
【特許文献２】特開平９−５６１８３号公報
【非特許文献１】久良他著「安川電機、第４８巻、１９８４、Ｎｏ．２」、ｐｐ．１０５−１０９
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
従来の方法では、加速度センサの出力をフィルタおよびゲインを介して速度制御にフィードバックするという方法をとっているので、振幅の大きい振動をある程度小さくすることは可能であるが、振動を完全には抑制しきれないという問題があった。
例えば、図６に示すように、１軸スライダーの可動テーブル１２にアーム１３を取り付けアーム先端で作業を行う機械１に従来の非特許文献１あるいは特許文献１に示す加速度フィードバックの設計手法を適用した場合、振動の減衰を上げることができる。当然、加速度フィードバックゲインを上げる程、振動抑制効果が上がるが、ゲインを上げ過ぎると、位置決め動作完了後の電動機３の位置偏差やトルク（あるいは推力）が、電動機３がほぼ停止しているにもかかわらず大きく上下する問題が出た。
電動機のトルク（あるいは推力）が不用意に変動すると、図２に示すように、アーム先端（負荷機械）は停止しているが電動機が停止位置でふらつくため、１軸アームの可動テーブルが不用意な動作を行ない、機械として位置決めできない状態となる。
また、可動テーブル１２のふらつきがアーム１３の固有振動を励起して結局アームの振動が取り切れなくなる問題も起こり得た。
加えて、電動機３のトルク（あるいは推力）が本来不要な動作をすることで不要な電力を消費することで、不用意に電動機３の負荷率が上がるため、急な加減速や動作の休止時間を短くとるなどの高タクト動作ができなくなる課題があった（高タクト動作では負荷率が上昇するが、発熱などの制限から電動機３の負荷率は１００％以下とする必要がある）。
このように、機械振動を抑制し機械動作のスループットを改善するために加速度フィードバックを強くかけようとしても実際の機械では、位置偏差やトルク（推力）の不用意な変動のため機械動作のスループットを思ったほど上げることができないという大きな課題があった。
このような課題がありながら、従来はこの段階を加速度フィードバックの限界と考えて改善されることがなかった。
本発明は上記の実験（図２）およびその考察によって得られたものであり、電動機の不用意なトルク（推力）変動を抑え、かつ加速度フィードバック強くかけることで機構部の振動を完全に抑制することができる方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記問題を解決するため、請求項１記載の発明は、電動機制御装置に係り、機械共振特性を有する機械と、前記機械を駆動する電動機と結合されていて、共振特性による振動を含んだ機械の加速度を検出する加速度検出部と、前記電動機のトルク（推力）を制御する電動機駆動部と、前記電動機の速度を検出する電動機速度検出部と、前記電動機速度検出部の速度をフィードバックして前記電動機駆動部へのトルク指令を出力する電動機速度制御部と、前記電動機の位置を検出する電動機位置検出部と、前記電動機位置検出部の位置をフィードバックして前記電動機駆動部への速度指令を出力する電動機位置制御部と、前記加速度検出部が出力する加速度信号の位相を調整する位相調整部と、前記位相調整部の出力を前記電動機速度制御部へフィードバックする加速度フィードバックゲイン部とで構成される電動機制御装置において、あらかじめ設定した値以下の信号をゼロとする不感帯部を前記位相調整部の出力側と前記加速度フィードバックゲイン部の入力側の間に設けたことを特徴としている。
また、請求項２記載の発明は、電動機制御装置の機械振動抑制方法に係り、機械共振特性を有する機械と、前記機械を駆動する電動機と結合されていて、共振特性による振動を含んだ機械の加速度を検出する加速度検出部と、前記機械を駆動する電動機のトルク（推力）を制御する電動機駆動部と、前記電動機の速度を検出する電動機速度検出部と、前記電動機速度検出部の速度をフィードバックして前記電動機駆動部へのトルク指令を出力する電動機速度制御部と、前記電動機の位置を検出する電動機位置検出部と、前記電動機位置検出部の位置をフィードバックして前記電動機駆動部への速度指令を出力する電動機位置制御部と、前記加速度検出部が出力する加速度信号の位相を調整する位相調整部と、前記位相調整部の出力を前記電動機速度制御部へフィードバックする加速度フィードバックゲイン部とで構成される電動機制御装置の機械振動抑制方法において、前記位相調整部の出力があらかじめ設定した値以下のときは、前記加速度フィードバックゲイン部への入力信号をゼロとすることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１０】
以上の電動機制御装置およびその機械振動抑制方法により、微小な振動を制御ループ中から排除することができるので、機構部の振動を完全に抑制することができ、したがって機械共振特性を有する機械の振動をほぼ完全になくすと同時に電動機の位置決め完了を行うことができるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の具体的実施例について、図に基づいて説明する。
【実施例１】
【００１２】
図１は本発明の先行技術である電動機制御装置の制御ブロック図である。
そこで、まず図１に基づいて、電動機トルク（あるいは推力）の変動の原因について考察する。
図１において、１は機械共振特性を有する機械、３は電動機、２１は電動機３を制御する電動機制御装置、２は加速度検出部、４は電動機駆動部、５は電動機速度検出部、６は電動機速度制御部、７は位相調整部、９は加速度フィードバックゲイン部、１０は電動機位置制御部、３１は電動機位置検出部である。機械１は例えば図６の機械と同様な構成とすると、可動テーブル１２をボールネジで駆動することになる。可動テーブル１２を駆動する機械要素としてベルトやギアなどでも以下の説明は同じであるのでボールネジの場合で説明を行う。
図に示すように、電動機３はボールネジ機構からなる機械駆動要素１１で可動テーブル１２を駆動し可動テーブル１２上の負荷機械１３を駆動する。負荷機械（アーム）１３において振幅が最も大きい場所（振動の「腹」という）に加速度検出部２を取り付け負荷機械あるいは駆動系の振動を検出する。なお、直動型電動機であるリニアモータを用いる場合は、（図示しないが）機械駆動要素１１および電動機３の部分をリニアモータで置き換えることで可動テーブル１２を直動駆動できる。したがって以下の説明で「電動機」には、特に明記しないかぎり、回転型に加え、直動型電動機（リニアモータ）も含めている。
電動機３は電動機駆動部４にて駆動する。例えば電動機３が３相交流による同期電動機の場合、図示しないが、電動機駆動部４は、通常ＰＷＭ方式による３相分の電圧アンプと電圧アンプを駆動するｄｑ軸から３相に変換する３相変換部と検出した電動機３の３相の電流をｄｑ軸に変換しｄｑ軸それぞれにフィードバックする電流制御部とで構成する。電流制御部のｄ軸指令は通常ゼロとすると、ｑ軸電流指令値が電動機３が発生するトルク（推力）と比例した値となる。通常、トルク（推力）指令をトルク（推力）定数で割り算するなどの補正演算を行いｑ軸電流指令とする。トルク指令（推力指令）を電動機駆動部４の入力とする。
【００１３】
電動機速度制御部６は、電動機３に取り付けた電動機速度検出部５が検出する電動機３の速度をフィードバックし、トルク指令（推力指令）を電動機駆動部４に出力して、電動機３の速度を速度指令値と同等になるように制御する。
電動機速度検出部５は、電動機３の位置を検出する電動機位置検出部３１と検出位置を微分する検出位置微分部３２で構成できる（図８参照）。また、速度発電機やジャイロのように直接電動機３の速度を検出する速度検出部で構成することもできる。
加速度検出部２で検出した負荷機械１３の固有振動や機械駆動要素１１の振動を含んだ加速度を位相調整部７に入力する。位相調整部７の出力を加速度フィードバックゲイン部９を通して電動機速度制御部６にフィードバックする。あるいは位相調整部７の出力を速度指令に加算（または減算）すればよい。
位相調整部７は、例えば、従来例１と同様に低域通過フィルタと高域通過フィルタで構成することで、負荷機械１３や機械駆動要素１１の振動を抽出できる。あるいは、低域通過フィルタの時定数を振動周波数に対して調整することで（特許文献２に既に示されているように）、振動をより効果的に減衰することができる。
このように電動機の速度制御系に加速度フィードバックを行うことができる。
負荷機械１３の位置を制御する場合は、電動機３の位置を検出する電動機位置検出部３１の出力をフィードバックし、電動機速度制御部６に対して速度指令を出力する電動機位置制御部１０を備えれば良い。例えば、電動機位置制御部１０は位置指令からフィードバック信号（位置検出部３１の出力）を減算して位置ゲインをかけて速度指令として電動機速度制御部６に対して出力するように構成すれば良い。
【００１４】
一般にボールネジなどの機械駆動部には摩擦（特に静止摩擦）があるため、電動機がクーロン摩擦や静止摩擦に打ち勝つトルク（あるいは推力）を出さないと電動機や可動テーブルが動かない。
このため、同じ加速と減速特性の位置決め動作をおこなっても加速トルクは、指令の加速度からの計算値よりも摩擦力の補正量に相当する値だけ大きくなる。逆に減速トルクは摩擦力に相当する減速力のため、計算値よりもトルクが少なくなる。
加速度フィードバックをかけていない通常状態では、電動機位置が位置決め目標位置に到達し、電動機速度がゼロになると電動機トルクはゆっくりとゼロに近付くか、静止摩擦力以下の一定値を保つ。
図１に示す従来技術で最適に調整した加速度フィードバックゲインでは上記と同様に停止時の電動機トルクが安定している。
電動機が完全に停止した状態で、例えば図６の機械での動作を詳細に調べると、可動テーブル１２の加速度がゼロで停止状態となった後もアーム先端の振動が残っているため加速度センサが微小な信号を検出し加速度フィードバック信号として速度指令にフィードバックがかかるが、従来技術の加速度ゲインでは静止摩擦力によって電動機３が動かない（可動テーブルが停止している）。
ところが、加速度フィードバックゲインを最適に調整した値よりも大きくすると、電動機が発生するトルク（あるいは推力）が静止摩擦に打ち勝つほど大きくなり、電動機３が動く。
したがって、アーム先端（負荷機械）は停止しているが、電動機３が停止位置でふらつくため１軸アームの可動テーブル１２が不用意な動作を行い機械として位置決めができない状態となる。
【００１５】
図１に示す従来の加速度フィードバックによる振動抑制制御を実施したときの実験データの一例を図２に示す。図２は負荷機械先端位置と電動機の位置偏差波形であり、負荷機械先端位置はレーザ測長器（変位計）を用いて変位を測定した。図において、縦軸は変位、横軸は時間軸である。
図２によると、負荷機械先端位置（アーム先端）は完全に停止しているが、
電動機位置偏差は位置決め完了幅の中に入ったり出たりで安定しない状態となっている。
この場合、電動機が位置決め完了幅を外れるため、コントローラ３は位置決め完了とは判定せずに、アーム先端が止まっているにもかかわらず次の位置決め動作に進むことができないという大きな問題が生じる。
このように、先行技術においては、加速度フィードバックゲインを大きくすると、電動機が停止してもアームが若干動くと加速度センサが微小な信号を検出してしまい、その結果電動機が動作し、したがってまた、可動テーブルが動作するという誤動作が生じることがあった。
本発明は、加速度センサが微小な信号を検出しても電動機が動作しないようにして、このような誤動作を防止することを目的としている。
【００１６】
図３は、本発明の電動機制御装置の制御ブロック図である。
図において、１は機械共振特性を有する機械、２は加速度検出部、３は電動機、２１は電動機３を制御する電動機制御装置、４は電動機駆動部、５は電動機速度検出部、６は電動機速度制御部、７は位相調整部、８はあらかじめ設定した値以下の信号をゼロとする不感帯部、９は加速度フィードバックゲイン部、１０は電動機位置制御部、３１は電動機位置検出部である。
このように、実施例１によれば、図１で説明した先行技術に対して位相調整部７と加速度フィードバックゲイン部９との間に不感帯部８を設けたのが特徴である。
【００１７】
図４は図３の不感帯８の動作を説明するフロー図（ａ）とその動作特性図（ｂ）である。図（ａ）において、図３の位相調整部７の出力信号が不感帯部８に入力されると、不感帯部８では位相調整部７の出力信号の絶対値があらかじめ設定した絶対値より大きければその出力（位相調整部７の出力信号）を図３の加速度フィードバックゲイン部９に入力し、逆に、位相調整部７の出力信号があらかじめ設定した値以下であればその出力を０として図３の加速度フィードバックゲイン部９に出すようにしている。
図（ｂ）において、横軸に入力、縦軸に出力をとり、横軸に所定の大きさのしきい値を正負両側に設け、入力がそのしきい値の範囲以内であれば出力は０，入力がしきい値を超えたときにその入力の大きさに比例した出力を出すようにしている。入力が負の側でも同様である。
このように、図３において位相調整部７の出力信号が不感帯部８に入力されると、不感帯部８では位相調整部７の出力信号の絶対値があらかじめ設定した絶対値より大きいときに初めてその出力を加速度フィードバックゲイン部９に出すようにしている。
したがって、位相調整部７の出力信号があらかじめ設定した値より大きければ不感帯部８の出力は加速度フィードバックゲイン部９に送られ、加速度フィードバックゲイン部９の出力を電動機速度制御部６にフィードバックすることによって、所望のフィードバック制御が行なわれることとなる。
ところが、電動機３が停止してもアーム１３が若干動くことで加速度センサが微小な信号を検出したような場合は、不感帯部８は加速度フィードバックゲイン部９に出力しなくなるので、それ以降のフィードバック制御が行なわれることはなく、電動機３は停止したままとなる。
【００１８】
図３に示す本発明に係る加速度フィードバックによる振動抑制制御を実施したときの実験データの一例を図５に示す。図５は負荷機械先端位置と電動機の位置偏差波形であり、図２と同様に負荷機械先端位置はレーザ測長器を用いて測定した。
図において、縦軸は変位、横軸は時間軸である。この図によると、負荷機械先端位置（アーム先端）はわずかに変動しているが、電動機位置偏差は位置決め完了幅の中に入ったあと静止に向かい、安定した状態となっている。
このように、先行技術においては、加速度フィードバックゲインを大きくすると、電動機が停止してもアームが若干動くと加速度センサが微小な信号を検出してしまい、その結果電動機が誤動作して電動機の位置決めが完了しないこととなり、場合によっては、電動機の誤動作のために、かえって機械１の振動が大きくなるようなことも生じたが、本発明では、加速度センサが微小な信号を検出しても不感帯部８が機能して電動機が誤動作しないようになり、図５のように機械共振特性を有する機械１の振動をほぼ完全になくすと同時に電動機の位置決め完了を行うことができるようになった。
なお、図３の実施例においては、不感帯部８を位相調整部７の出力側と加速度フィードバックゲイン部９の入力側の間に入れて説明したが、加速度フィードバックゲイン部９の出力側に不感帯部８を入れても全く同じ効果を得ることができる。あるいは、位相調整部７の入力側に不感帯部８を入れても全く同等な効果がある。すなわち、位相調整部７と加速度フィードバックゲイン部９とを含む加速度信号のフィードバックパスに不感帯を入れれば全て同じ効果を期待できる。
このように、本発明によれば、機械振動が最も大きい部分に取り付けた加速度センサを位相調整後、ゲインを掛けて速度指令にフィードバックすることで機械振動を抑制することができるが、ゲインを上げすぎると位置偏差の振動が発生するので、そのため、ゲインを掛ける前に不感帯を設けることで機械振動と位置偏差の振動の両方を同時に抑制するようにして、機械共振特性を有する機械１の振動をほぼ完全になくすと同時に電動機の位置決め完了を行うことができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の先行技術である電動機制御装置の制御ブロック図である。
【図２】図１の先行技術による加速度フィードバックによる振動抑制制御を実施した場合の負荷機械先端位置と電動機の位置偏差波形である。
【図３】本発明の電動機制御装置の制御ブロック図である。
【図４】図３の不感帯の動作を説明するフロー図（ａ）とその動作特性図（ｂ）である。
【図５】図３の本発明に係る加速度フィードバックによる振動抑制制御を実施した場合の負荷機械先端位置と電動機の位置偏差波形である。
【図６】本発明が適用される対象である機械の一例を示す構造図である。
【図７】従来の電動機制御装置の制御ブロック図である。
【図８】電動機の速度検出部を示す図である。
【図９】図７に示す従来の電動機位置制御装置を用いた場合の負荷機械先端位置と電動機の位置偏差波形図である。
【符号の説明】
【００２０】
１  機械
２  加速度検出部（センサ）
３  電動機
４  電動機駆動部
５  電動機速度検出部
６  電動機速度制御部
７  位相調整部
８  不感帯部
９  加速度フィードバックゲイン部
１０  電動機位置制御部
１１  機械駆動要素
１２  可動テーブル
１３  負荷機械（アーム）
２１  電動機制御装置
３１  電動機位置検出部
３２  検出位置微分部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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