(57)【要約】【課題】相異する特性を有する２つの太陽電池層により構成された薄膜型太陽電池において、製造コストを抑制しながら効率を高めることのできる太陽電池の構造を提供する。【解決手段】本発明に係る薄膜型太陽電池は、光電変換層を含む複数個の単位セルを直列接続した第１太陽電池層３２０と、光電変換層を含む複数個の単位セルを直列接続した第２太陽電池層３３０とを備えている。これら第１太陽電池層と第２太陽電池層とは、電極連結部３６０ａ，３６０ｂにより並列接続される。第１太陽電池層と第２太陽電池層とは、バンドギャップエネルギーが相異し且つ動作電圧が略一致する。【選択図】図５
2008211217.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光電変換層を含む複数個の単位セルが直列接続された第１太陽電池層、
光電変換層を含む複数個の単位セルが直列接続された第２太陽電池層、
及び前記第１太陽電池層と前記第２太陽電池層とを並列接続する電極連結部
を含んで構成されることを特徴とする薄膜型太陽電池。
【請求項２】
前記第２太陽電池層は、前記第１太陽電池層とバンドギャップエネルギーが相異し且つ前記第１太陽電池層と動作電圧が略一致することを特徴とする請求項１に記載の薄膜型太陽電池。
【請求項３】
前記光電変換層は、非晶質シリコン、微細結晶質シリコン、単結晶シリコン、ポリシリコン、非晶質ＳｉＣ、非晶質ＳｉＮ、非晶質ＳｉＧｅ、非晶質ＳｉＳｎ、ガリウム砒素（ＧａＡｓ）、アルミニウムガリウム砒素（ＡｌＧａＡｓ）、インジウムリン（ＩｎＰ）、ガリウムリン（ＧａＰ）、ＣＩＧＳ（Copper Indium Galium Selenide）、テルル化カドミウム（ＣｄＴｅ）、硫化カドミウム（ＣｄＳ）、硫化銅（Ｃｕ２Ｓ）、テルル化亜鉛（ＺｎＴｅ）、硫化鉛（ＰｂＳ）、セレン化銅インジウム（ＣｕｌｎＳｅ２；ＣＩＳ）、アンチモン化ガリウム（ＧａＳｂ）、又はこれらの化合物であることを特徴とする請求項１に記載の薄膜型太陽電池。
【請求項４】
前記第１太陽電池層及び前記第２太陽電池層は、それぞれ非晶質シリコン太陽電池層又は微細結晶質シリコン太陽電池層であることを特徴とする請求項１に記載の薄膜型太陽電池。
【請求項５】
前記非晶質シリコン太陽電池層は、非晶質シリコンｐ−ｉ−ｎ層の順次積層又は非晶質シリコンｐ−ｎ層の順次積層を含むことを特徴とする請求項４に記載の薄膜型太陽電池。
【請求項６】
前記微細結晶質シリコン太陽電池層は、微細結晶質シリコンｐ−ｉ−ｎ層の順次積層又は微細結晶質シリコンｐ−ｎ層の順次積層を含むことを特徴とする請求項４に記載の薄膜型太陽電池。
【請求項７】
前記単位セルの上部及び下部にそれぞれ透明導電層を有することを特徴とする請求項１に記載の薄膜型太陽電池。
【請求項８】
前記単位セルは、隣り合った単位セルの前記上部透明導電層と前記下部透明導電層とを接続することにより、直列接続されいていることを特徴とする請求項７に記載の薄膜型太陽電池。
【請求項９】
前記電極連結部は、
前記第１太陽電池層における所定の単位セルの前記下部透明導電層と前記第２太陽電池層における所定の単位セルの前記下部透明導電層とを接続する下部電極連結部と、
前記第１太陽電池層における所定の単位セルの前記上部透明導電層と前記第２太陽電池層における所定の単位セルの前記上部透明導電層とを接続する上部電極連結部と、
を含むことを特徴とする請求項７に記載の薄膜型太陽電池。
【請求項１０】
前記上部電極連結部及び前記下部電極連結部によって接続される前記第１太陽電池層及び前記第２太陽電池層は幅が一致していることを特徴とする請求項９に記載の薄膜型太陽電池。
【請求項１１】
前記上部電極連結部と前記下部電極連結部とは、前記セルの反対側にそれぞれ形成されていることを特徴とする請求項９に記載の薄膜型太陽電池。
【請求項１２】
前記第１太陽電池層と前記第２太陽電池層との間に絶縁層が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の薄膜型太陽電池。
【請求項１３】
光電変換層を含んだ複数個の単位セルを形成して直列接続することによって第１太陽電池層を形成する段階と、
光電変換層を含んだ複数個の単位セルを形成して直列接続することによって第２太陽電池層を形成する段階と、
前記第１太陽電池層と前記第２太陽電池層とを電気的に並列接続する段階と、
を含むことを特徴とする薄膜型太陽電池の製造方法。
【請求項１４】
前記第２太陽電池層は、前記第１太陽電池層とバンドギャップエネルギーが相異し且つ前記第１太陽電池層と動作電圧が略一致することを特徴とする請求項１３に記載の薄膜型太陽電池の製造方法。
【請求項１５】
前記単位セルの上部及び下部にそれぞれ透明導電層を形成する段階をさらに含むことを特徴とする請求項１３に記載の薄膜型太陽電池の製造方法。
【請求項１６】
前記単位セルは、隣り合った単位セルの前記上部透明導電層と前記下部透明導電層とを接続することにより、直列接続に形成することを特徴とする請求項１５に記載の薄膜型太陽電池の製造方法。
【請求項１７】
前記第１太陽電池層と前記第２太陽電池層とを電気的に並列接続する段階において、
前記第１太陽電池層における所定の単位セルの前記下部透明導電層と前記第２太陽電池層における所定の単位セルの前記下部透明導電層とを接続する下部電極連結部を形成し、
前記第１太陽電池層における所定の単位セルの前記上部透明導電層と前記第２太陽電池層における所定の単位セルの前記上部透明導電層とを接続する上部電極連結部を形成する
ことを特徴とする請求項１５に記載の薄膜型太陽電池の製造方法。
【請求項１８】
前記上部電極連結部及び前記下部電極連結部によって接続する前記第１太陽電池層の幅と前記第２太陽電池層の幅とを一致させることを特徴とする請求項１７に記載の薄膜型太陽電池の製造方法。
【請求項１９】
前記上部電極連結部と前記下部電極連結部とは、前記セルの反対側にそれぞれ形成することを特徴とする請求項１７に記載の薄膜型太陽電池の製造方法。
【請求項２０】
前記単位セルは、光学的スクライビング法、機械的スクライビング法、プラズマを利用するエッチング法、湿式エッチング法、乾式エッチング法、リフト・オフ（lift−off）法、又はワイヤー・マスク（wire mask）法のいずれかでパターニングすることを特徴とする請求項１３に記載の薄膜型太陽電池の製造方法。
【請求項２１】
前記第１太陽電池層と前記第２太陽電池層との間に絶縁層を形成する段階をさらに含むことを特徴とする請求項１３に記載の薄膜型太陽電池の製造方法。
【請求項２２】
前記第１太陽電池層と前記第２太陽電池層とを、絶縁層を介して垂直に形成することを特徴とする請求項１３に記載の薄膜型太陽電池の製造方法。
【請求項２３】
前記第１太陽電池層は、非晶質シリコンｐ−ｉ−ｎ層又は非晶質シリコンｐ−ｎ層の順次積層、
前記第２太陽電池層は、微細結晶質シリコンｐ−ｉ−ｎ層又は微細結晶質シリコンｐ−ｎ層の順次積層で形成することを特徴とする請求項１３に記載の薄膜型太陽電池の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、集積化された薄膜型太陽電池モジュールとその製造方法に関し、特に、太陽電池の光電変換効率を改善する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
太陽電池は、次世代クリーンエネルギー源として、数十年の間に数多くの研究が進められている。今までに太陽電池の素材としては、単結晶シリコン、多結晶シリコン、非晶質シリコン、非晶質ＳｉＣ、非晶質ＳｉＮ、非晶質ＳｉＧｅ、非晶質ＳｉＳｎなどのＩＶ族系の材料、又は、ガリウム砒素（ＧａＡｓ）、アルミニウムガリウム砒素（ＡｌＧａＡｓ）、インジウムリン（ＩｎＰ）などのIII−Ｖ族や、ＣｄＳ、ＣｄＴｅ、Ｃｕ２ＳなどのII−ＶＩ族の化合物半導体などが使用されている。また、太陽電池の構造としては、背面電界型を包含するｐｎ構造、ｐｉｎ構造、ヘテロ接合構造、ショットキー構造、タンデム型や、垂直接合型を包含する多重接合構造などが採用されている。
【０００３】
一般的に太陽電池に要求される特性としては、例えば、高い光電変換効率であること、製造コストの低いこと、エネルギーの回収年数が短くて済むこと、などを挙げることができる。現在、商用化されている単結晶バルク（Ｂｕｌｋ）シリコンを利用する太陽電池は、光電変換効率は高いが、高い製造コスト及び設置費用のために積極的に活用されてはいない状況である。このような問題を解決するために、薄膜型太陽電池に関する研究が活発に進行しており、特に、非晶質シリコン（ａ−Ｓｉ：Ｈ）を利用した薄膜型太陽電池は、大面積太陽電池モジュールを低コストで作製することができ、エネルギー回収年数の短い技術として注目を受けている。しかし、光電変換効率が単結晶シリコン太陽電池に比べて低く、光に露出されると効率がさらに減少する問題を有している。
【０００４】
他の材料を使用する太陽電池においても、変換効率が高い場合は製造コストが高くなるとともに、エネルギーの回収年数も延長される。一方、低コストでエネルギーの回収年数が短い場合には光電変換効率が低いという問題がある。
【０００５】
このような背景において、非晶質シリコンを利用した薄膜型太陽電池のデメリットである低い光電変換効率の問題を改善するために、バンドギャップが相異する半導体層とその間に緩衝層を形成する構造が提案されたことがあり、特に、バンドギャップが相異し、結晶格子が不整合を成す非晶質シリコン（ａ−Ｓｉ：Ｈ）及び微細結晶質シリコン（ｕｃ−Ｓｉ：Ｈ）の上下積層構造が提案されている。
【０００６】
図１は、従来技術の薄膜型太陽電池モジュールの積層構造例を示す断面図である。この例は、相異する特性を有し、結晶構造の異なる第１太陽電池層と第２太陽電池層とが順次に積層された構造からなっている。これら２つの太陽電池層は、第２太陽電池層の上に積層された透明導電層が隣接するセルの第１太陽電池層の下に積層された透明導電層と連結されることによって、電気的に直列接続されている。
【０００７】
図２は、このような半導体層の直列接続を説明するダイオードの等価回路図である。
【０００８】
一般的に太陽光が入射する側の第１太陽電池層は、非晶質シリコン（Amorphous silicon）からなり、１．７〜１．９ｅＶ程度の高いバンドギャップエネルギーを有する。一方、第１太陽電池層の上側に積層された第２太陽電池層は、微細結晶質シリコン（Microcrystalline silicon）からなり、略１．１ｅＶのバンドギャップエネルギーを有することになる。このように互いに異なる吸収帯域を有する太陽電池層が積層されているため、単一の太陽電池層からなる薄膜型太陽電池に比べて、高い光電変換効率を有することになる。研究結果によると、３ｃｍ２面積の小さなモジュールでは、初期の光電変換効率が略１４．５％であり、大面積のモジュールの場合には、略１２％の初期変換効率を得ることができると知られている。
【０００９】
しかし、このような相異する二重太陽電池層を積層した太陽電池構造にも、２つの太陽電池層が直列に接続されているため、２つの太陽電池層の電流を同一に設計しなければならないという問題点がある。当該制約のため、下部に位置した第１太陽電池層である非晶質シリコン真性半導体層の厚さを必要以上に厚く形成しれなければならず、これと比例して、非晶質太陽電池層に生成される電力の比率が高くなることに従うStabler−Wronski効果で全体的効率が著しく減少する。逆に、真性半導体層の厚さを最適化して薄くする場合、その下部に位置する第１太陽電池層の短絡電流が小さくなり、これに従い２つの太陽電池層の短絡電流の差が大きくなることによって、２つの層が直列接続された素子全体の効率は、短絡電流が第１太陽電池層の短絡電流に制限されるため、２つの太陽電池層においてそれぞれ達成される効率に比べて極小さくなる問題がある。
【００１０】
このように、相異する二重太陽電池層の積層構造をもつ太陽電池においては、最適な光電変換効率を得るために真性半導体層の厚さを調節することが必要となる。そこで、この技術が容易ではないことによる製造工程の困難性を解決し、生産された太陽電池の一定の効率性に対する信頼度を構築するために、特許文献１の技術が提案されている。当特許文献１では、下部に位置する第１太陽電池層と上部に位置する第２太陽電池層とを透明絶縁層によって分離し、それぞれの太陽電池層において２つの端子（Terminal）を引出した形態の４−Ｔ構造を提示しており、第１太陽電池層と第２太陽電池層とをそれぞれ独立的に隣接するセルと直列接続する太陽電池モジュールを提案している。
【００１１】
図３は、前記特許文献１で提案されている４端子型の薄膜型太陽電池モジュールの積層構造を示した断面図であり、図４は、４端子型の薄膜型太陽電池モジュールのダイオード等価回路図である。
【特許文献１】米国特許公開（Ａ１）２００５／０１５０５４２号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
以上のような技術背景に鑑みて、本発明では、薄膜型太陽電池において光電変換効率の高い太陽電池の構造を提案すると共に、このような太陽電池を比較的簡単な工程で製造することによって他の薄膜型シリコン太陽電池に比べて製造コストを抑制可能な太陽電池の製造方法を提供する。
【００１３】
あるいは、相異する特性を有し且つ短絡電流の差が大きい２つの太陽電池層の積層構造を有する太陽電池において、短絡電流の不整合による電力の損失を減少させることのできる薄膜型太陽電池の構造及びその製造方法を提供する。
【００１４】
さらに、相異する特性を有し且つ短絡電流の差が大きい２つのシリコン太陽電池層の積層構造を有する太陽電池において、第１太陽電池層と第２太陽電池層とを独立的に作製して接続するなどの工程によって、従来技術における製造工程の複雑性を解決し、さらに、高い光電変換効率を期待することができるように、一連の製造工程を通じて簡単に薄膜型太陽電池の素子を製造する方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
前記目的を達成するために、本発明の薄膜型太陽電池は、光電変換層を含む複数個の単位セルが直列接続された第１太陽電池層、光電変換層を含む複数個の単位セルが直列接続された第２太陽電池層、及び前記第１太陽電池層と前記第２太陽電池層とを並列接続する電極連結部、を含んで構成される。
【００１６】
この場合の前記第２太陽電池層は、前記第１太陽電池層とバンドギャップエネルギーが相異し且つ前記第１太陽電池層と動作電圧が略一致するものとする。
【００１７】
前記光電変換層は、特に限定する必要はなく、当該分野の当業者において公知の物質群から選択すれば良い。好ましくは、非晶質シリコン、微細結晶質シリコン、単結晶シリコン、ポリシリコン、非晶質ＳｉＣ、非晶質ＳｉＮ、非晶質ＳｉＧｅ、非晶質ＳｉＳｎ、ガリウム砒素（ＧａＡｓ）、アルミニウムガリウム砒素（ＡｌＧａＡｓ）、インジウムリン（ＩｎＰ）、ガリウムリン（ＧａＰ）、ＣＩＧＳ（Copper Indium Galium Selenide）、テルル化カドミウム（ＣｄＴｅ）、硫化カドミウム（ＣｄＳ）、硫化銅（Ｃｕ２Ｓ）、テルル化亜鉛（ＺｎＴｅ）、硫化鉛（ＰｂＳ）、セレン化銅インジウム（ＣｕｌｎＳｅ２；ＣＩＳ）、アンチモン化ガリウム（ＧａＳｂ）、又はこれらの化合物、のいずれかとすることができる。
【００１８】
前記第１太陽電池層及び前記第２太陽電池層は、それぞれ非晶質シリコン太陽電池層又は微細結晶質シリコン太陽電池層とすることができる。非晶質シリコン太陽電池層の場合は、非晶質シリコンｐ−ｉ−ｎ層の順次積層又は非晶質シリコンｐ−ｎ層の順次積層を含むものとすることができる。また、前記微細結晶質シリコン太陽電池層の場合は、微細結晶質シリコンｐ−ｉ−ｎ層の順次積層又は微細結晶質シリコンｐ−ｎ層の順次積層を含んだものとすることができる。
【００１９】
前記単位セルは、上部及び下部にそれぞれ透明導電層を有し、そして、隣り合った単位セルの上部透明導電層と下部透明導電層とを接続することにより、直列接続することができる。
【００２０】
前記電極連結部は、前記第１太陽電池層及び前記第２太陽電池層の各単位セルの上部及び下部にそれぞれ透明導電層を形成し、隣り合う単位セルの上部透明導電層と下部透明導電層とを接続して、各層で単位セルを直列接続してなる薄膜型太陽電池において、前記第１太陽電池層における所定の単位セルの下部透明導電層と前記第２太陽電池層における所定の単位セルの下部透明導電層とを接続する下部電極連結部と、前記第１太陽電池層における所定の単位セルの上部透明導電層と前記第２太陽電池層における所定の単位セルの上部透明導電層とを接続する上部電極連結部と、を含むものとする。
【００２１】
前記上部電極連結部及び前記下部電極連結部によって接続される前記第１太陽電池層及び前記第２太陽電池層は幅が一致していることが好ましい。すなわち、少なくとも１対の上部電極連結部と下部電極連結部との間に挟まれた第１太陽電池層と第２太陽電池層とにおいて、両層に含まれる単位セルの幅は、第１太陽電池層及び第２太陽電池層の幅が一致するように、調節される。
【００２２】
本発明における薄膜型太陽電池では、互に異なるバンドギャップエネルギーを有する第１太陽電池層及び第２太陽電池層の動作電圧が一致するように、両層の単位セル数を予め算定し、太陽電池の単位セルをパターニングすることができる。
【００２３】
本発明において、前記第１太陽電池層及び前記第２太陽電池層の積層形態または配置は特に限定されない。好ましくは、前記第１太陽電池層と前記第２太陽電池層とが絶縁層を介して垂直に積層されている形態とすることができる。
【００２４】
前記目的を達成するために、本発明の薄膜型太陽電池の製造方法は、光電変換層を含んだ複数個の単位セルを形成して直列接続することによって第１太陽電池層を形成する段階と、光電変換層を含んだ複数個の単位セルを形成して直列連結することによって第２太陽電池層を形成する段階と、前記第１太陽電池層と前記第２太陽電池層とを電気的に並列接続する段階と、を含む。
【００２５】
前記第２太陽電池層は、前記第１太陽電池層とバンドギャップエネルギーが相異し且つ前記第１太陽電池層と動作電圧が略一致するようにする。
【００２６】
前記単位セルの上部及び下部に、それぞれ透明導電層を形成する段階を含むことができる。また、前記単位セルは、光学的スクライビング法、機械的スクライビング法、プラズマを利用するエッチング法、湿式エッチング法、乾式エッチング法、リフト・オフ（lift−off）法、又はワイヤー・マスク（wire mask）法のいずれかでパターニングすることができる。ただし、必ずしもこれらの方法に限定されるものではない。
【００２７】
本発明の製造方法においては、前記第１太陽電池層と第２太陽電池層との間に絶縁層を形成する段階をさらに含むことができる。
【００２８】
前記単位セルの上部及び下部にそれぞれ透明導電層を形成する段階を含むことができ、当該単位セルは、隣り合った単位セルの前記上部透明導電層と前記下部透明導電層とを接続することにより、直列接続として形成することができる。
【００２９】
また、前記第１太陽電池層と前記第２太陽電池層とを電気的に並列接続する段階において、前記第１太陽電池層における所定の単位セルの前記下部透明導電層と前記第２太陽電池層における所定の単位セルの前記下部透明導電層とを接続する下部電極連結部を形成し、前記第１太陽電池層における所定の単位セルの前記上部透明導電層と前記第２太陽電池層における所定の単位セルの前記上部透明導電層とを接続する上部電極連結部を形成することができる。この場合、前記上部電極連結部及び前記下部電極連結部によって接続する前記第１太陽電池層の幅と前記第２太陽電池層の幅とを一致させるようにする。
【００３０】
前記第１太陽電池層と前記第２太陽電池層とは、絶縁層を介して垂直に形成することができる。ただし、必ずこれに限定されるものではなく、多様な形態で配置することができる。
【００３１】
前記第１太陽電池層は、非晶質シリコンｐ−ｉ−ｎ層又は非晶質シリコンｐ−ｎ層の順次積層、前記第２太陽電池層は、微細結晶質シリコンｐ−ｉ−ｎ層又は微細結晶質シリコンｐ−ｎ層の順次積層で形成することができる。
【００３２】
さらに、本発明で提案する薄膜型太陽電池の製造方法は、基板上に第１太陽電池層の下部透明導電層を形成してパターニングする段階と、該下部透明導電層の上に非晶質シリコンｐ−ｉ−ｎ層又は非晶質シリコンｐ−ｎ層を積層してパターニングする段階と、該非晶質シリコン層上に第１太陽電池層の上部透明導電層を形成して前記下部透明導電層と連結する段階と、該上部透明導電層をパターニングして第１太陽電池層の単位セルを１つ以上形成する段階と、該第１太陽電池層の単位セル上に絶縁層を形成する段階と、該絶縁層上に第２太陽電池層の下部透明導電層を積層してパターニングする段階と、該下部透明導電層と前記第１太陽電池層の下部透明導電層とを下部電極連結部で連結する段階と、前記第２太陽電池層の下部透明導電層の上に微細結晶質シリコンｐ−ｉ−ｎ層又は微細結晶質シリコンｐ−ｎ層を積層してパターニングする段階と、該微細結晶質シリコン上に第２太陽電池層の上部透明導電層を形成して前記第２太陽電池層の下部透明導電層と連結する段階と、該上部透明導電層をパターニングして第２太陽電池層の単位セルを１つ以上形成する段階と、前記第２太陽電池層の上部透明導電層上に後面電極層をさらに形成し、該後面電極層又は前記第２太陽電池層の上部透明導電層と前記第１太陽電池層の上部透明導電層とを上部電極連結部で連結する段階と、を含む。
【００３３】
前記下部電極連結部と前記上部電極連結部とは、前記第１太陽電池層の幅と前記第２太陽電池層の幅とが一致するように、距離を置いて形成する。前記下部電極連結部と前記上部電極連結部とで１つの電極連結部の対を成し、該電極連結部は大面積薄膜型太陽電池に少なくとも１つ形成することができる。
【発明の効果】
【００３４】
本発明によれば、光電変換効率が高く、安定的な信頼度を備えた薄膜型太陽電池の構造を有する太陽電池が提供される。当該太陽電池及びその製造方法は、従来の技術と比べて、比較的単純な一連の工程を通じて一挙に生産が可能であるとともに、低コストで大面積の太陽電池を使用可能にする効果がある。
【００３５】
また、高い光電変換効率を有し且つ大面積のものを低コストで作製することのできる太陽電池の構造と製造方法を提供することができるので、本発明に係る太陽電池は、次世代クリーンエネルギー源として地球環境保全に寄与するのみならず、公共施設や民間施設など多方面に亘って直接応用され、経済的価値を創出する効果が予想される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
以下、本発明の好ましい実施形態を添付の図面を参照して説明する。各図面の構成要素に対する参照符号は、同一の構成要素に対しては他の図面上に表示されていても同一符号を付けるとともに、本発明の要旨に関わりの薄い公知機能及び構成に対する詳細な説明は省略する。図１〜図４は、背景技術において述べた従来技術の問題を理解するための図面である。
【００３７】
図５は、本発明の一実施形態による薄膜型太陽電池モジュールの積層構造を示した断面図であり、図６は、当該積層構造を有する薄膜型太陽電池モジュールのダイオード等価回路図である。
【００３８】
本実施形態において、薄膜型太陽電池は、図面の下方から基板３００、第１太陽電池層３２０、第２太陽電池層３３０、後面電極層３４０の順に積層されており、第１太陽電池層３２０の下部と上部にそれぞれ透明導電層３１０，３１１が、第２太陽電池層３３０の下部と上部にそれぞれ透明導電層３１２，３１３が設けられている。また、第１太陽電池層３２０と第２太陽電池層３３０とは、絶縁層３５０を介して電気的に互いに分離されている。本実施形態において、第１太陽電池層３２０と第２太陽電池層３３０を上下に積層するとともに、その間に絶縁層３５０を形成する構造が示されているが、必ずしもこのような形態に限定されるものではなく、両太陽電池層３２０，３３０の配置形態にも特別な制限はない。
【００３９】
第１太陽電池層３２０と第２太陽電池層３３０とを電気的に並列接続するために、端部の第１太陽電池層の下部透明導電層３１０と第２太陽電池層の下部透明導電層３１２とを接続する電極連結部３６０ａ、及び端部の第１太陽電池層の上部透明導電層３１１と第２太陽電池層の上部透明導電層３１３とを接続する電極連結部３６０ｂが設けられている。なお、上部電極連結部３６０ｂは、第２太陽電池層の上部に形成された後面電極層３４０に接続することもできる（図２４参照）。
【００４０】
図５に示す本発明の一実施形態による薄膜型太陽電池層は、パターニングによって区分された複数個の単位セルの多重接合構造からなり、これらの単位セルは、各太陽電池層の上部及び下部に構成された透明導電層によって電気的に相互直列接続される。
【００４１】
複数個の単位セルは、互に電気的に直列接続されて大面積の集積化された薄膜型太陽電池を構成することができる。この単位セル相互間の直列接続は、隣接する単位セルの間に形成された絶縁層３５０を介してなされる。本実施形態における薄膜型太陽電池の構成では、図面の上方から順次に後面電極層３４０、上部透明導電層３１３、及び第２太陽電池層３３０のｐ層に至るまでパターンに沿って切断工程を実行しながらセルとセルとの間に間隙を形成し、これらの間隙の空間層を絶縁層として、隣接する単位セルを相互電気的に直列接続する構造にしている。
【００４２】
このような直列接続の単位セルで構成された２つの太陽電池層、つまり、第１太陽電池層３２０と第２太陽電池層３３０とが、電極連結部３６０ａ，３６０ｂによって並列に接続される。
【００４３】
これら第１太陽電池層と第２太陽電池層を構成する半導体物質は、相異する特性を有する互いに異なる物質で構成される。すなわち、それぞれバンドギャップが互いに異なる半導体物質で構成することができる。本実施形態では、非晶質シリコンと微細結晶質シリコンで構成しており、ガラス基板３００上に積層される第１太陽電池層３２０は非晶質シリコンで、第２太陽電池層３３０は微細結晶質シリコンで作製することができる。このような実施形態の場合、非晶質シリコン半導体のバンドギャップは、１．７ｅＶ〜１．９ｅＶであり、微細結晶質シリコン半導体層のバンドギャップは１．１ｅＶである。
【００４４】
ただし、これに限定するものではなく、非晶質シリコン、微細結晶質シリコン、単結晶シリコン、ポリシリコン、非晶質ＳｉＣ、非晶質ＳｉＮ、非晶質ＳｉＧｅ、非晶質ＳｉＳｎ、ガリウム砒素（ＧａＡｓ）、アルミニウムガリウム砒素（ＡｌＧａＡｓ）、インジウムリン（ＩｎＰ）、ガリウムリン（ＧａＰ）、ＣＩＧＳ（Copper Indium Galium Selenide）、テルル化カドミウム（ＣｄＴｅ）、硫化カドミウム（ＣｄＳ）、硫化銅（Ｃｕ２Ｓ）、テルル化亜鉛（ＺｎＴｅ）、硫化鉛（ＰｂＳ）、セレン化銅インジウム（ＣｕｌｎＳｅ２；ＣＩＳ）、アンチモン化ガリウム（ＧａＳｂ）、又は、これらの化合物など一般的な半導体物質の中から選択することができる。
【００４５】
１つの太陽電池層は、ｐ型−ｉ型−ｎ型の接合構造、またはｐ型−ｎ型接合構造を有する半導体層に積層することができる。
【００４６】
第１太陽電池層３２０及び第２太陽電池層３３０を構成する半導体物質は、相異するバンドギャップ特性を有する互いに異なる物質で構成されるため、両太陽電池層を構成する単位セルの動作電圧は相異する。本実施形態において、電極連結部３６０ａ，３６０ｂによって両太陽電池層が並列接続される長さを１つの太陽電池の単位モジュールとするとき、該単位モジュール内の各太陽電池層の動作電圧は、ほぼ一致するように構成しなければならない。つまり、各太陽電池層を構成する半導体物質のバンドギャップが相異し、短絡電流の差が大きくなり、太陽電池モジュールの全体効率が落ちることになるので、単位モジュール内の各太陽電池層の動作電圧をほぼ一致させて構成する必要がある。そこで、太陽電池層のそれぞれで単位セルの個数を調整するようにパターニングする方法を採択する。
【００４７】
例えば、第１太陽電池層の半導体物質の動作電圧が０．７０Ｖであり、第２太陽電池層の半導体物質の動作電圧が０．４７Ｖとすれば、１対の電極連結部によって並列接続された単位モジュール内に設けられる第１太陽電池層の単位セルの個数は２つ、第２太陽電池層の単位セルの個数は３つとする。この場合、１つの単位モジュールにおいて、第１太陽電池層の２つの単位セルが形成する動作電圧の総合は１．４０Ｖであり、第２太陽電池層の３つの単位セルが形成する動作電圧の総合は１．４１Ｖとなる。したがって、両太陽電池層の動作電圧がほぼ一致することになって、動作電圧の差による光電変換効率の低下を防止することにより、高効率の太陽電池モジュールを得ることができる。
【００４８】
本実施形態において、１対の電極連結部によって形成する単位モジュール内の第１太陽電池層の全体幅と第２太陽電池層の全体幅（図中左右方向）とは、同一であることが好ましい。したがって、ほぼ一致する動作電圧を得るために、同じ幅の第１太陽電池層と第２太陽電池層とにおいて異なる個数の単位セルを設けるには、第１太陽電池層の単位セルの幅と第２太陽電池層の単位セルの幅とが異なるようにパターニングすることになる。図５を参照すると、同じ単位モジュール幅に形成される、第１太陽電池層３２０の単位セル数は２つで、第２太陽電池層３３０の単位セル数は３つなので、第１太陽電池層の単位セルの幅について、第２太陽電池層の単位セルの幅よりも長くしている。
【００４９】
図３及び図４に図示した従来の４端子型薄膜型太陽電池は、上下部に積層された両太陽電池層が中間の絶縁層を介して電気的に分離されることにより、それぞれに端子が必要で最終的に４つの端子を形成している。これとは異なり、本実施形態のように構成される太陽電池の等価回路図である図６を参照すれば、第１太陽電池層と第２太陽電池層とは、両者が異なる個数の単位セルを有することで両動作電圧が互に整合し、相互並列接続されて最終的に一般太陽電池と同様な２つの端子を有している。したがって、上部と下部の太陽電池層の出力電力を効率的に整合させることができ、２つの端子を有することになるので製造工程や製造コストの側面から経済的である。
【００５０】
本実施形態のように、相異する特性を有する半導体物質で構成された第１太陽電池層と第２太陽電池層において、両者の動作電圧が互いに整合するような各層ごとの単位セル構成数を算出し、該個数の単位セルを一定幅の単位モジュールの中に収めることの可能な単位セルの幅をそれぞれ算出することにより、大面積に集積化した薄膜型太陽電池を構成することになる。
【００５１】
本実施形態における薄膜型太陽電池の素子から光起電力が誘導される過程は、ガラス基板３００を通じて入射した光が第１太陽電池層３２０または第２太陽電池層３３０のｐ型シリコン層３２１，３３１を透過してｉ型シリコン層３２２，３３２に吸収されながら開始される。該入射光が、非晶質シリコンや微細結晶シリコンの光学的バンドギャップより大きいエネルギーを有すると電子が励起され、電子−正孔対が発生する。発生した電子と正孔は内部電界によってそれぞれｎ型シリコン層とｐ型シリコン層に分離されて移動することになって、ｐ型とｎ型の両電極端子から発生する光起電力を外部回路に接続すれば、太陽電池として機能することになる。
【００５２】
図６の等価回路図を参照してさらに説明する。下部に位置する第１太陽電池層３２０と上部に位置する第２太陽電池層３３０とにおいてそれぞれ光起電力が誘導され、これら太陽電池層を電極連結部３６０ａ，３６０ｂによって相互に並列接続することで１つの単位モジュールとして構成され、外部回路と接続することによって太陽電池として機能することになる。
【００５３】
本実施形態では、２つの相異する特性を有する太陽電池層の積層構造をそのまま維持し、動作電圧が整合するように単位セルの個数を調節すると共に各太陽電池層を電気的に並列接続している。すなわち、従来の太陽電池の製造方法と大差ない範囲において蒸着の手順及び切断工程を利用するパターニングを通じて、層間構造を調節することができるので、製造工程が簡単でコストを節減する効果がある。
【００５４】
図７は、上記実施形態による薄膜型太陽電池モジュールと従来技術の薄膜型太陽電池モジュールとで、短絡電流密度及び電圧の関数関係を示したグラフである。また、図８は、同じく薄膜型太陽電池モジュールの効率及び電圧の関数関係を示したグラフである。
【００５５】
図７及び図８の従来技術による薄膜型太陽電池モジュールの構造は、図１に図示した構造の太陽電池である。なお、図３に図示した従来技術による太陽電池は、上部と下部の太陽電池層の電力を合わせない構造であるため、比較対照から除外した。
【００５６】
図１に示す太陽電池の場合、下部太陽電池層１２０は、主に非晶質シリコン（ａ−Ｓｉ：Ｈ）による太陽電池層として形成され、開放電圧Ｖｏｃ＝０．９０Ｖ、短絡電流密度Ｊｓｃ＝８．０ｍＡ／ｃｍ２、このときの効率を略５．４％と仮定した。また、上部太陽電池層１３０は、主に微細結晶質シリコン（ｕｃ−Ｓｉ：Ｈ）による太陽電池層として形成され、Ｖｏｃ＝０．６２Ｖ、Ｊｓｃ＝２０ｍＡ／ｃｍ２、効率を略９．３％と仮定した。この場合、図１に図示したように従来方式で２つの太陽電池層を直列接続すると、Ｖｏｃ＝１．５２Ｖ、Ｊｓｃ＝８ｍＡ／ｃｍ２、効率は略１０．０％である。これを図７及び図８に点線で表示した（直例）。グラフに示すとおり、短絡電流が整合していないために効率があまり高くない結果を表している。
【００５７】
一方、本発明の実施形態によれば、同様の条件で考えた場合、第１太陽電池層は、単位セル２つの直列接続によりＶｏｃ＝１．８０Ｖ、Ｊｓｃ＝４ｍＡ／ｃｍ２、また、第２太陽電池層は、単位セル３つの直列接続によりＶｏｃ＝１．８６Ｖ、Ｊｓｃ＝６．７ｍＡ／ｃｍ２になって、動作電圧がほぼ同じになる。したがって、これらを並列接続した場合には、Ｖｏｃ＝１．８４Ｖ、Ｊｓｃ＝１０．７ｍＡ／ｃｍ２、効率は略１４．８％となり、従来の太陽電池モジュールの効率に比べて略４．８％増加する。図７及び図８に、本発明に係る短絡電流密度と効率を実線で表示した（並列）。
【００５８】
図９〜図２４は、上記実施形態のような薄膜型太陽電池の製造方法を工程別に示したモジュールの積層構造の断面図である。
【００５９】
本例の製造方法は、大別して、第１太陽電池層を形成する段階と、この第１太陽電池層とはバンドギャップが相異する半導体物質で構成された第２太陽電池層を形成する段階と、これら第１太陽電池層及び第２太陽電池層を電気的に並列接続する段階と、を含む。そして、各太陽電池層の上部及び下部に透明導電層を形成する工程、第２太陽電池層の上部に後面電極層を形成する工程が含まれる。また、第１太陽電池層と第２太陽電池層とが順次に上下積層される構造の場合は、これらの層間に絶縁層を形成する工程を含む。
【００６０】
以下、具体的に段階を追って製造工程を逐次説明する。
【００６１】
（図９）  先ず、ガラス基板３００上に第１の透明導電層３１０（ＴＣＯ：Transparent Conductive Oxide）を蒸着する。なお、基板は必ずしもガラス基板に限定されない。
【００６２】
（図１０）  レーザースクライビング（Laser scribing）法によって第１の透明導電層３１０をパターニングする。なお、パターニング法は、レーザースクライビング法に限らず、公知の方法で当業者の慣用の方法を使用することができる。そのような一般的パターニング法としては、光学的スクライビング法、機械的スクライビング法、プラズマ利用のエッチング法、湿式エッチング法、乾式エッチング法、リフト・オフ（lift−off）法、ワイヤー・マスク（wire mask）法などが利用される。
【００６３】
（図１１）  非晶質シリコン（ａ−Ｓｉ：Ｈ）のｐ層３２１を蒸着する。
【００６４】
（図１２）  非晶質シリコン（ａ−Ｓｉ：Ｈ）のｉ層３２２を蒸着する。
【００６５】
（図１３）  非晶質シリコン（ａ−Ｓｉ：Ｈ）のｎ層３２３を蒸着する。
【００６６】
（図１４）  レーザースクライビング法を利用して単位セルを形成するためのパターニングを行う。
【００６７】
（図１５）  第２の透明導電層３１１を蒸着する。  
【００６８】
（図１６）  レーザースクライビング法を利用して第１太陽電池層３２０をパターニングする。このとき、第１太陽電池層３２０の単位セル直列接続の構造を形成するため、単位セルの間に、第１の透明導電層３１０と第２の透明導電層３１１との連結部位を残してパターニングする。
【００６９】
（図１７）  次いで、絶縁層３５０と第３の透明導電層３１２とを順に蒸着する。
【００７０】
（図１８）  レーザースクライビング法を利用して第３の透明導電層３１２をパターニングする。このときのスクライビングの線幅は、動作電圧を整合させるために設計された通りに、第１太陽電池層３２０の単位セルの幅とは異なることになる。
【００７１】
（図１９）  単位セルの一側面部分（モジュール端部相当）において、第１太陽電池層３２０の下部電極用透明導電層３１０と第２太陽電池層３３０の下部電極用透明導電層３１２とを接続する電極連結部３６０ａを形成する。電極連結部３６０ａの構成物質は、金属のような導電性のある物質である。
【００７２】
（図２０）  微細結晶質シリコン（ｕｃ−Ｓｉ：Ｈ）のｐ層３３１、ｉ層３３２及びｎ層３３３を順に蒸着する。
【００７３】
（図２１）  レーザースクライビング法を利用して、第２太陽電池層３３０の単位セルが形成されるように微細結晶質シリコン層をパターニングする。このときのパターニングは、第３の透明導電層３１２のパターンに合わせてパターニングする。
【００７４】
（図２２）  次いで、第４の透明導電層３１３を蒸着した後、後面電極層（Metal electrode）３４０をその上に蒸着する。
【００７５】
（図２３）  レーザースクライビング法を利用して第２太陽電池層３３０をパターニングする。このとき、第２太陽電池層３３０の単位セル直列接続の構造を形成するため、単位セルの間に、第３の透明導電層３１２と第４の透明導電層３１３との連結部位を残してパターニングする。
【００７６】
（図２４）  最後に、電極連結部３６０ａの反対側及び第２太陽電池層３３０の単位セルの一側（モジュール端部相当）において、第１太陽電池層３２０の上部電極用透明導電層３１１と第２太陽電池層３３０の上部電極用透明導電層３１３とを接続する電極連結部３６０ｂを形成する。電極連結部３６０ｂは、第２太陽電池層の上部電極用透明導電層３１３に限らず、図示のように後面電極層３４０と接続することもできる。
【００７７】
１対の電極連結部３６０ａ，３６０ｂは、上記の例のように別々に形成することもできるし、全ての積層が終った後に同時に形成することもできる。
【００７８】
図２５は本実施形態における薄膜型太陽電池モジュールの上面図である。
【００７９】
上記製造方法の最終段階において、第１太陽電池層３２０及び第２太陽電池層３３０の電極連結部を形成する方法は、図２５のように、モジュールの一端部においては両太陽電池層の上部電極を互いに接続し、モジュールの他端部においては両太陽電池層の下部電極を互いに連結する。なお、上部電極連結部位と下部電極連結部位とは必ず反対方向である必要はなく、太陽電池層内の単位セルにおける任意の部位で互いに接続することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】従来技術に係る薄膜型太陽電池モジュールの積層構造例を示した断面図である。
【図２】図１の薄膜型太陽電池モジュールのダイオード等価回路図である。
【図３】従来技術に係る４端子型薄膜型太陽電池モジュールの積層構造例を示した断面図である。
【図４】図３の４端子型薄膜型太陽電池モジュールのダイオード等価回路図である。
【図５】本発明の実施形態に係る薄膜型太陽電池モジュールの積層構造を示した断面図である。
【図６】図５の薄膜型太陽電池モジュールのダイオード等価回路図である。
【図７】本発明に係る薄膜型太陽電池モジュール及び従来技術に係る薄膜型太陽電池モジュールの短絡電流密度−電圧の関数関係を比較して示したグラフである。
【図８】本発明に係る薄膜型太陽電池モジュール及び従来技術に係る薄膜型太陽電池モジュールの効率−電圧の関数関係を比較して示したグラフである。
【図９】本発明の実施形態に係る薄膜型太陽電池の製造方法を工程順に説明するモジュール断面で示した製造工程図である。
【図１０】図９に続く工程を説明する製造工程図である。
【図１１】図１０に続く工程を説明する製造工程図である。
【図１２】図１１に続く工程を説明する製造工程図である。
【図１３】図１２に続く工程を説明する製造工程図である。
【図１４】図１３に続く工程を説明する製造工程図である。
【図１５】図１４に続く工程を説明する製造工程図である。
【図１６】図１５に続く工程を説明する製造工程図である。
【図１７】図１６に続く工程を説明する製造工程図である。
【図１８】図１７に続く工程を説明する製造工程図である。
【図１９】図１８に続く工程を説明する製造工程図である。
【図２０】図１９に続く工程を説明する製造工程図である。
【図２１】図２０に続く工程を説明する製造工程図である。
【図２２】図２１に続く工程を説明する製造工程図である。
【図２３】図２２に続く工程を説明する製造工程図である。
【図２４】図２３に続く工程を説明する製造工程図である。
【図２５】本発明の実施形態に係る薄膜型太陽電池モジュールの上面図である。
【符号の説明】
【００８１】
１００，２００，３００：ガラス基板
１１０，１１１：透明導電層
２１０，３１０：第１太陽電池層の下部透明導電層
２１１，３１１：第１太陽電池層の上部透明導電層
２１２，３１２：第２太陽電池層の下部透明導電層
２１３，３１３：第２太陽電池層の上部透明導電層
２２０，３２０：第１太陽電池層
２２１，３２１：ｐ型非晶質シリコン層
２２２，３２２：ｉ型非晶質シリコン層
２２３，３２３：ｎ型非晶質シリコン層
２３０，３３０：第２太陽電池層
２３１，３３１：ｐ型微細結晶シリコン層
２３２，３３２：ｉ型微細結晶シリコン層
２３３，３３３：ｎ型微細結晶シリコン層
２４０，３４０：後面電極層
２５０，３５０：絶縁層
３６０ａ：第１太陽電池層と第２太陽電池層との下部電極連結部
３６０ｂ：第１太陽電池層と第２太陽電池層との上部電極連結部
【図１】
2008211217.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2008211217.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
2008211217.tif 000024
【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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