(57)【要約】【課題】データベース容量の膨大化を防ぎつつ、検索時間の短縮ができる品質管理データ表示システムを得る。【解決手段】検査装置２で検査された品質管理データを収集するクライアントコンピュータ１と、各製品工程毎に共通の品質管理項目を定義した共通品質管理項目マスタ６と、クライアントコンピュータ１から品質管理データを収集し、各製品工程で全品種、全ロットに共通の品質管理項目かどうかを共通品質管理項目マスタ６と照合し、共通の品質管理データの場合、各製品工程で共通のテーブル形式で品質管理データを記憶し、各製品工程で品種、ロットにより特有の品質管理項目の場合、工程、ロット単位で特有のテーブル形式で記憶し、特有の品質管理データの記憶位置をそれぞれ登録するサーバコンピュータ３と、サーバコンピュータ３に登録された品質管理データを表示する表示部とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査装置で検査された品質管理データを各製品工程から収集する管理データ収集手段と、
上記各製品工程毎に共通の品質管理項目を定義した共通品質管理項目マスタと、
上記品質管理データが上記各製品工程で全品種、全ロットに共通の品質管理項目かどうかを上記共通品質管理項目マスタで照合し、品質管理データが共通する場合には、上記各製品工程で共通のテーブル形式で上記品質管理データを記憶し、上記各製品工程で特有の品質管理データの場合には、特有のテーブル形式を生成して記憶位置を登録する品質管理データ収集・登録手段と、
上記品質管理データ収集・登録手段に登録された品質管理データを処理して表示する表示部と、
を備えたことを特徴とする品質管理データ表示システム。
【請求項２】
上記表示部は、
上記品質管理データの項目を用いて検索条件を入力する入力装置と、
上記共通品質管理項目マスタを参照して上記品質管理データ収集・登録手段に登録された上記品質管理データから検索する品質管理データ検索手段と、
検出された上記品質管理データを出力する品質管理データグラフ化手段と、
を備えたことを特徴とする請求項１記載の品質管理データ表示システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体工程における品質管理データ表示システムに関するもので、特に、製品の品質管理項目のデータについての分析、調査を目的に使用されるものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の品質管理データ表示システムとしては、検査データを蓄積させるサーバコンピュータと、そのサーバコンピュータの任意のデータを閲覧することができる手段を備えたクライアントコンピュータとから構成されており、その蓄積されたデータはデータベースで、あるいは検索キー項目で階層構造化し、ファイル化して保持している。（例えば、特許文献1参照）
【０００３】
【特許文献１】特開平２００２−３５１５２６号公報（第４頁、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
各工程の品質管理項目が、品種によって非常に多様な場合、さらには同じ品種でもロットによって各工程の品質管理項目が変更される場合などにおいて、特に、半導体工程のように、非常に多くの品種を扱ったり、製品ライフサイクルが短命であったりすると、品質管理データをデータベースで保持しようとすると、容量が膨大になったり、管理に非常に時間がかかるという問題がある。
【０００５】
そこで、前述のような品質管理システムによって、検索キー項目で階層構造化してファイル化することにより、容量の膨大化は抑えることができるが、今度は逆に、検索時間の増加が問題になる。特に半導体工程のように、非常に多様な品質管理項目がある場合は、検索時間が増大し、また、品質管理項目に関するデータ分析・調査が目的のシステムにおいては緊急のことが多く、検索時間の増加は望ましくない。
【０００６】
この発明は、上記のような問題点を解決するためになされたものであり、データベース容量の膨大化を防ぎつつ、検索時間の短縮ができる品質管理データ表示システムを得ることを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明に係る品質管理データ表示システムは、検査装置で検査された品質管理データを各製品工程から収集する管理データ収集手段と、
上記各製品工程毎に共通の品質管理項目を定義した共通品質管理項目マスタと、
上記品質管理データが上記各製品工程で全品種、全ロットに共通の品質管理項目かどうかを上記共通品質管理項目マスタで照合し、品質管理データが共通する場合には、上記各製品工程で共通のテーブル形式で上記品質管理データを記憶し、上記各製品工程で特有の品質管理データの場合には、特有のテーブル形式を生成して記憶位置を登録する品質管理データ収集・登録手段と、
上記品質管理データ収集・登録手段に登録された品質管理データを処理して表示する表示部と、
を備えたものである。
【発明の効果】
【０００８】
この発明によれば、品質管理データを品質管理データ収集・登録手段に記憶させる際、各製品工程で全品種、全ロット共通の品質管理項目と、各製品工程で品種、ロットにより特有な品質管理項目とを区別して、特有な品質管理項目は、製造ロットそれぞれで異なるテーブル形式で記憶することにより、記憶領域を無駄にすることなく記憶できるため、ハードウエア資源の節約ができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
実施の形態１．
図１は、本発明における品質管理データ表示システムの実施の形態１の構成を示すブロック図、図２は、図１における各部の機能及び一連の処理を示すブロック図であり、図１及び図２に基づき実施の形態１の構成を説明する。なお、この実施の形態１では、図１及び図２における、表示部で表示の処理をするための管理データを収集する部分について説明する。
【００１０】
各クライアントコンピュータ１とサーバコンピュータ３はネットワークで接続されており、各クライアントコンピュータ１と各工程の検査装置２もネットワークで接続されている。検査装置２で検査完了した製造ロットの品質管理データは品質管理データ収集部であるクライアントコンピュータ１に保存される。サーバコンピュータ３にはＨＤユニット４が搭載されており、ＨＤユニット４にはデータベース５が搭載されている。ＨＤユニット４は、各クライアントコンピュータ１から品質管理データを収集する品質管理データ収集手段Ｃ２、ＨＤユニット４またはデータベース５に登録する品質管理データ登録手段Ｃ３を保持した品質管理データ収集・登録手段であり、各工程の品質管理データがクライアントコンピュータ１に保存され、その品質管理データをネットワークを介して、サーバコンピュータ３に収集され、ＨＤユニット４は、データベース５に登録された工程毎に共通の品質管理項目を定義した共通品質管理項目マスタ６を参照して、収集された管理データを共通品質管理データと特有品質管理データに分けて、共通品質管理テーブル７、特有品質管理テーブル記憶位置テーブル９からなるデータベース５に登録し、特有品質管理データ９をＨＤユニット４に登録する。
【００１１】
図３及び図５は、ある工程の複数の製造ロットの品質管理データを保存、登録する場合のデータの一例を示し、図４は、処理の流れを示すフローチャートであり、図１、２、３及び４を参照して処理の流れを説明する。
【００１２】
図３において、Ｄ１は工程Ａのロットａ、ｂの品質管理データであり、工程Ａでは、ロットａについては品質管理項目Ａ８〜Ａ１０の検査が不要であり、ロットｂについては品質管理項目Ａ４〜Ａ５の検査が不要であった場合、あるいは、ロットａでは品質管理項目Ａ１〜Ａ７の検査だけでよかったが、ロットｂでは品質管理項目Ａ８〜Ａ１０の検査が新たに加えられたと場合といえる。ここで挙げたロットというのは、品種に関わらずユニークであるとし、品種が同じであるか異なるかは特に問題としない。別の言い方をすると、品種が同じ場合でも異なる場合でも、同様の処理で実現できる。
【００１３】
このようにロットによって品質管理項目が増減すると、Ｄ１のように無駄な記憶領域が生じることになる。そこで、Ｄ２のように、工程毎に共通の品質管理項目を定義した共通品質管理項目マスタ６を、データベース５に登録しておくことで、図４に示したように、登録したい品質管理項目データがどの工程にあたるかを取得（ステップＳ１）し、Ｄ２のような共通品質管理項目マスタを参照し、取得した工程に該当する共通品質管理項目を抽出（ステップＳ２）する。そして、抽出した工程Ａの共通品質管理項目に該当する品質管理データをＤ１のデータから抽出（ステップＳ３）し、Ｄ３のように共通のテーブル形式でデータベース５の共通品質管理テーブル７（図１，図２参照）に登録（ステップＳ４）する。次に、Ｄ２に登録されていない特有な品質管理項目について、その品質管理データだけをロット単位で分類（ステップＳ５）して、Ｄ４、Ｄ５のようにそれぞれ固有の形式でまとめたファイルを作成し、特有品質管理データ８（図１，図２参照）としてＨＤユニット４に保存（ステップＳ６）する。また、Ｄ４、Ｄ５の特有品質管理データは、工程×ロットの数だけ新規にファイルを作成することになるため、Ｄ６に示すように、工程、ロットごとの特有品質管理データのファイル位置をデータベース５の特有品質管理データ記憶位置テーブル９（図１，図２参照）に登録（ステップＳ７）する。
【００１４】
またこのとき、図５に示したＤ７のように、特有品質管理データのファイル位置だけでなく、その工程、ロットの処理時刻など、製造ロット単位で管理する項目も合わせて登録することにより、後述の実施の形態２における検索条件の指定が容易になる。
【００１５】
以上のように、この実施の形態１によれば、品質管理項目が、同工程でもロットによって異なる場合に生じる記憶領域の無駄を無くすことができ、ハードウエア資源の節約に有効である。
【００１６】
また、一度各工程の共通品質管理項目を定義すれば、品質管理項目が追加された場合でも、追加された品質管理項目に関するデータを特有品質管理データとして、自動でファイル化するので、特にデータベースを管理する作業が不要である。また、品質管理項目が変更になった場合でも、共通品質管理項目に変更がない限りはデータベース管理の必要はない。
【００１７】
なお、共通品質管理データをデータベース５に登録する場合を示したが、特有品質管理データと同様に、製造ロット単位で、かつ、共通のテーブル形式で、ファイルを作成してＨＤユニット４に保存し、その記憶位置を別テーブルに記憶する方法でもよい。この方法によれば、製造ロットの単位が大きい場合に、データベース５のパフォーマンスを向上することができる。
【００１８】
実施の形態２．
上記実施の形態１では、表示部で表示の処理をするための管理データを収集する部分について説明したが、この実施の形態２では、図１及び図２における、収集された品質管理データを表示のための処理をして表示する表示部に関するものである。
【００１９】
図１に示したように、クライアントコンピュータ１０とサーバコンピュータ３はネットワークにより接続されており、クライアントコンピュータ１０には、ＨＤユニット１２が内蔵され、入力装置１１及び表示装置１３が接続されている。ＨＤユニット１２は、取得し表示したい品質管理データをサーバコンピュータ３に記憶された品質管理データから検索し、抽出するプログラム（図２の品質管理データ検索手段Ｃ８）、抽出したデータを表やグラフで表示するプログラム（図２の品質管理データグラフ化手段Ｃ９）を有し、クライアントコンピュータ１０は、ＨＤユニット１２を駆動して入力装置１１から入力された検索、表示したい品質管理データを取得する。
【００２０】
図３のＤ２〜Ｄ５、図５のＤ７のように、品質管理データ、及び基準情報が登録されている場合を例に、品質管理データの検索、抽出について説明する。
【００２１】
図６は、その処理の流れを示すフローチャートである。まず、入力装置１１にて、検索、表示したい品質管理データの工程と、その品質管理項目やその測定日時の範囲が入力され、その入力された検索条件をクライアントコンピュータ１０が取得（ステップＳ１１）し、その条件に該当する工程、測定日時に該当するロットを、Ｄ７のようなテーブル（図５参照）から検索（ステップＳ１２）する。次に、入力された条件に該当する品質管理項目のうち、その工程の共通品質管理項目に該当するものがあるかどうかを、Ｄ２のような共通品質管理項目マスタ（図３参照）から判定（ステップＳ１３）する。
【００２２】
共通品質管理項目に該当する項目があった場合は、Ｄ３のような、該当する工程の品質管理項目テーブル（図３参照）から、該当するロット、品質管理項目の品質管理データを抽出（ステップＳ１４）する。
【００２３】
共通品質管理項目に該当する項目がなかった場合は、Ｄ７のような特有品質管理データの記憶位置を含む各工程、ロットの処理情報テーブル（図５参照）から、該当する工程、ロットの記憶位置を取得（ステップＳ１５）し、その記憶位置にある製造ロット毎のＤ４〜Ｄ５のような特有品質管理データ（図３参照）の中から、該当する品質管理項目のデータがあるか判定（ステップＳ１６）し、あればその品質管理データを抽出（ステップＳ１７）する。
【００２４】
共通品質管理項目に該当する項目も該当しない項目も混在する場合は、ステップＳ１４〜Ｓ１８を実行することになる。
【００２５】
このようにして抽出した品質管理データを、表やグラフ化し、表示装置１３に表示（ステップＳ１９）する。
【００２６】
以上のように、この実施の形態２によれば、入力された条件に該当するロットやその品質管理データについて、データ抽出し、表やグラフで表示することが実現可能である。
【００２７】
また、表示したい品質管理項目が共通品質管理項目に該当するものだけであった場合には、共通のテーブルからの抽出処理だけでよい分、品質管理データの抽出ステップが単純になり、検索時間は最小となる効果を有する。
【産業上の利用可能性】
【００２８】
この発明は、半導体工程等における製品の品質管理項目のデータについての分析、調査に有効に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明における品質管理データ表示システムの実施の形態１の構成を示すブロック図である。
【図２】図１における各部の機能及び一連の処理を示すブロック図である。
【図３】ある工程の複数の製造ロットの品質管理データを保存、登録する場合のデータの一例である。
【図４】本発明の実施の形態１における品質管理データを記憶する際の処理を示すフロー図である。
【図５】ある工程の複数の製造ロットの品質管理データを保存、登録する場合のデータの一例である。
【図６】本発明の実施の形態２における品質管理データの検索、グラフ化をする際の処理を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００３０】
１  クライアントコンピュータ、２  検査装置、３  サーバコンピュータ、
４  ＨＤユニット、５  データベース、６  共通品質管理項目マスタ、
７，Ｄ３  共通品質管理テーブル、８  特有品質管理データ、
１０  クライアントコンピュータ、９  特有品質管理データ記憶位置テーブル、
１１  入力装置、１２  ＨＤユニット、１３  表示装置、
Ｃ２  品質管理データ収集手段、Ｃ３  品質管理データ登録手段、
Ｃ８  品質管理データ検索手段、Ｃ９  品質管理データグラフ化手段、
Ｄ１  品質管理データ、Ｄ２  共通品質管理項目マスタ、Ｄ３  共通品質管理テーブル、
Ｄ４〜Ｄ５  特有品質管理データ、Ｄ６  特有品質管理データ記憶位置テーブル、
Ｄ７  特有品質管理データ記憶位置を含む処理情報テーブル。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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