(57)【要約】【課題】簡単な構成及び工程で、フイルムの詰まりを可及的に阻止することができ、停止しているフイルムの先端部を保持し、前記フイルムを搬送路に沿って円滑且つ確実に搬送することを可能にする。【解決手段】フイルム搬送装置４８は、ユニット本体９４を備え、このユニット本体９４は、長尺状感光性ウエブ２２が停止された状態で、搬送路８８に沿って搬送方向とは逆の反搬送方向に移動される。ユニット本体９４には、長尺状感光性ウエブ２２を切断する切断機構１０６と、前記切断機構１０６の搬送方向上流側に配置される第１フイルム搬送ローラ対１１２ａ及び第２フイルム搬送ローラ対１１２ｂと、前記切断機構１０６の搬送方向下流側に配置される第３フイルム搬送ローラ対１１２ｃとが収容される。【選択図】図４
2008242345.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
停止しているフイルムの先端部を保持し、前記フイルムを搬送路に沿って搬送するためのフイルム搬送装置であって、
前記フイルムを切断する切断機構、前記切断機構の搬送方向上流側に配置される上流側フイルム搬送ローラ対、及び前記切断機構の搬送方向下流側に配置される下流側フイルム搬送ローラ対が収容されるユニット本体と、
前記切断機構により切断された前記フイルムの先端部を、前記下流側フイルム搬送ローラ対で挟持させる際に、前記フイルムが停止された状態で、前記ユニット本体を前記搬送路に沿って搬送方向とは逆の反搬送方向に移動させる駆動機構と、
前記ユニット本体が前記反搬送方向に移動する際に、前記上流側フイルム搬送ローラ対及び前記下流側フイルム搬送ローラ対に対し、前記フイルムを前記搬送方向に送り出すためのフイルム送り方向に回転トルクを付与するトルクモータと、
を備えることを特徴とするフイルム搬送装置。
【請求項２】
請求項１記載のフイルム搬送装置において、前記ユニット本体は、前記下流側フイルム搬送ローラ対の下流に配置され、前記下流側フイルム搬送ローラ対の回転作用下に前記搬送路に沿って送り出される前記フイルムの先端部を、前記搬送路から分岐する集積路に案内する回転ローラを備えることを特徴とするフイルム搬送装置。
【請求項３】
請求項２記載のフイルム搬送装置において、前記集積路には、前記フイルムを集積部位に搬送するフイルム送り機構が配設されることを特徴とするフイルム搬送装置。
【請求項４】
請求項３記載のフイルム搬送装置において、前記下流側フイルム搬送ローラ対の出口近傍に配置される第１フイルム検出センサと、
前記フイルム送り機構に配置される第２フイルム検出センサと、
を備えることを特徴とするフイルム搬送装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載のフイルム搬送装置において、前記フイルムは、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層される長尺状感光性ウエブであり、
前記ユニット本体は、前記保護フイルムの剥離部分を剥離した前記長尺状感光性ウエブを、加熱された一対の圧着ローラ間に送り出して基板に貼り付けるラミネート機構の下流に配置されることを特徴とするフイルム搬送装置。
【請求項６】
停止しているフイルムの先端部を保持し、前記フイルムを搬送路に沿って搬送するためのフイルム搬送方法であって、
前記フイルムを停止させた状態で、フイルム搬送ローラ対を、フイルム送り方向に回転させながら搬送方向とは逆の反搬送方向に移動させる工程と、
前記フイルム搬送ローラ対で前記フイルムの先端部を挟持するとともに、前記フイルム搬送ローラの回転作用下に、前記フイルムを前記搬送方向に送り出す工程と、
を有することを特徴とするフイルム搬送方法。
【請求項７】
請求項６記載のフイルム搬送方法において、前記フイルムを切断する切断機構、前記切断機構の搬送方向上流側に配置される上流側フイルム搬送ローラ対、及び前記切断機構の搬送方向下流側に配置される下流側フイルム搬送ローラ対が収容されるユニット本体を、前記反搬送方向に移動させながら、前記上流側フイルム搬送ローラ対及び前記下流側フイルム搬送ローラ対に対し、前記フイルムを前記搬送方向に送り出すためのフイルム送り方向に回転トルクを付与することを特徴とするフイルム搬送方法。
【請求項８】
請求項６又は７記載のフイルム搬送方法において、前記下流側フイルム搬送ローラ対の回転作用下に、前記フイルムを前記搬送方向に送り出す一方、前記フイルムの先端部を、回転ローラの押圧及び回転作用下に前記搬送路から分岐する集積路に案内することを特徴とするフイルム搬送方法。
【請求項９】
請求項８記載のフイルム搬送方法において、前記回転ローラにより前記集積路に案内される前記フイルムを、フイルム送り機構を介して集積部位に搬送することを特徴とするフイルム搬送方法。
【請求項１０】
請求項９記載のフイルム搬送方法において、前記下流側フイルム搬送ローラ対の出口近傍に配置される第１フイルム検出センサにより前記フイルムの有無を検出する工程と、
前記フイルム送り機構に配置される第２フイルム検出センサにより前記フイルムの有無を検出する工程と、
を有することを特徴とするフイルム搬送方法。
【請求項１１】
請求項６〜１０のいずれか１項に記載のフイルム搬送方法において、前記フイルムは、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層される長尺状感光性ウエブであり、
前記保護フイルムの剥離部分を剥離した前記長尺状感光性ウエブを、加熱された一対の圧着ローラ間に送り出して基板に貼り付けるラミネート機構の下流で、前記ユニット本体が前記搬送方向及び前記反搬送方向に移動することを特徴とするフイルム搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、停止しているフイルムの先端部を保持し、前記フイルムを搬送路に沿って搬送するためのフイルム搬送装置及びフイルム搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、ＰＤＰパネル用基板は、感光性樹脂層（感光材料層）を有する感光性シート体（感光性ウエブ）を基板表面に貼り付けて構成される。感光性シート体は、例えば、可撓性プラスチック支持体上に感光性樹脂層と保護フイルムとが順に積層されている。
【０００３】
この種の感光性シート体の貼り付けに使用される製造装置は、通常、ガラス基板や樹脂基板等の基板を所定の間隔ずつ離間させてラミネーションローラ間に搬送するとともに、前記基板に貼り付けられる感光性樹脂層の範囲に対応する保護フイルムを剥離した感光性シート体を前記ラミネーションローラ間に搬送する方式が採用されている。
【０００４】
例えば、特許文献１に開示されているドライレジストフイルムのラミネート方法では、図８に示すように、基板予熱部、ラミネート部、基板冷却部、基板上フイルム切断部及びフイルム除去部が、基板１の搬送方向に沿って、順次、配設されている。この基板１は、基板予熱部の予熱ヒータ２よって所定の温度に加熱された後、ラミネート部に送られる。
【０００５】
ラミネート部には、一対のラミネートローラ３ａ、３ｂが配置されており、前記ラミネートローラ３ａ、３ｂ間には、基板１とドライレジストフイルム４とが送られるため、前記ドライレジストフイルム４が前記基板１に熱圧着される。なお、ドライレジストフイルム４は、予め、カバーフイルム５が剥離されており、図示しないレジスト層が基板１側に向かって熱圧着される。
【０００６】
さらに、ドライレジストフイルム４が熱圧着された基板１は、搬送ローラ６を介して基板冷却部に送られ、基板冷却手段７を介して冷却される。基板冷却部によりドライレジストフイルム４が冷却されることにより、このドライレジストフイルム４のレジスト層が硬化するとともに、基板１との密着力が向上する。従って、次段の基板上フイルム切断部において、ドライレジストフイルム４を切断する際に、切断の応力でレジスト層の剥離が発生することを防止する。
【０００７】
次いで、基板１同士を連結しているドライレジストフイルム４は、基板上フイルム切断部で、カッタを備えた基板上フイルム切断手段８により切断されるとともに、前記基板１は、フイルム除去部に送られる。このフイルム除去部では、基板１が加熱ロール９により再加熱された後、フイルム剥離手段１０を介して前記基板１間を連結し且つ切断工程で形成された切断面間のドライレジストフイルム４が、前記基板１から除去される。
【０００８】
【特許文献１】特開平８−１８３１４６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記の従来技術では、ドライレジストフイルム４のみを矢印方向に搬送する場合がある。例えば、自動運転によりラミネートを開始する際や、自動運転中に基板１が供給されずにラミネートローラ３ａ、３ｂによって加熱された前記ドライレジストフイルム４を１枚分搬送して除去する際や、手動操作により前記ドライレジストフイルム４を排出してカットし作業を終了する際、等である。
【００１０】
この種の処理が行われる場合、ドライレジストフイルム４は、基板上フイルム切断手段８により切断された状態で、停止している。そして、作業が再開される際には、ドライレジストフイルム４の先端部が、基板上フイルム切断手段８の上流側に配置された搬送ローラの回転作用下に、前記基板上フイルム切断手段８の下流側に配置された搬送ローラに送られる。
【００１１】
しかしながら、ドライレジストフイルム４は、直接、搬送ローラに摺接するため、剥離帯電等による静電気が発生し、前記ドライレジストフイルム４がフイルム搬送用ガイド部材（図示せず）等に接着するおそれがある。これにより、ドライレジストフイルム４は、良好に搬送されずに詰まりが惹起し易く、例えば、基板１の正常な搬送が阻止されてしまい、前記基板１が破損する等の設備故障が発生するという問題がある。
【００１２】
本発明はこの種の問題を解決するものであり、簡単な構成及び工程で、フイルムの詰まりを可及的に阻止することができ、停止しているフイルムの先端部を保持し、前記フイルムを搬送路に沿って円滑且つ確実に搬送することが可能なフイルム搬送装置及びフイルム搬送方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、停止しているフイルムの先端部を保持し、前記フイルムを搬送路に沿って搬送するためのフイルム搬送装置に関するものである。
【００１４】
フイルム搬送装置は、フイルムを切断する切断機構、前記切断機構の搬送方向上流側に配置される上流側フイルム搬送ローラ対、及び前記切断機構の搬送方向下流側に配置される下流側フイルム搬送ローラ対が収容されるユニット本体と、前記切断機構により切断された前記フイルムの先端部を、前記下流側フイルム搬送ローラ対で挟持させる際に、前記フイルムが停止された状態で、前記ユニット本体を前記搬送路に沿って搬送方向とは逆の反搬送方向に移動させる駆動機構と、前記ユニット本体が前記反搬送方向に移動する際に、前記上流側フイルム搬送ローラ対及び前記下流側フイルム搬送ローラ対に対し、前記フイルムを前記搬送方向に送り出すためのフイルム送り方向に回転トルクを付与するトルクモータとを備えている。
【００１５】
また、本発明は、停止しているフイルムの先端部を保持し、前記フイルムを搬送路に沿って搬送するためのフイルム搬送方法に関するものである。
【００１６】
フイルム搬送方法は、フイルムを停止させた状態で、フイルム搬送ローラ対を、フイルム送り方向に回転させながら搬送方向とは逆の反搬送方向に移動させる工程と、前記フイルム搬送ローラ対で前記フイルムの先端部を挟持するとともに、前記フイルム搬送ローラの回転作用下に、前記フイルムを前記搬送方向に送り出す工程とを有している。
【００１７】
さらに、ユニット本体は、下流側フイルム搬送ローラ対の下流に配置され、前記下流側フイルム搬送ローラ対の回転作用下に搬送路に沿って送り出されるフイルムの先端部を、前記搬送路から分岐する集積路に案内する回転ローラを備えることが好ましい。
【００１８】
さらにまた、集積路には、フイルムを集積部位に搬送するフイルム送り機構が配設されることが好ましい。
【００１９】
また、フイルム搬送装置は、下流側フイルム搬送ローラ対の出口近傍に配置される第１フイルム検出センサと、フイルム送り機構に配置される第２フイルム検出センサとを備えることが好ましい。
【００２０】
さらに、フイルムは、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層される長尺状感光性ウエブであり、ユニット本体は、前記保護フイルムの剥離部分を剥離した前記長尺状感光性ウエブを、加熱された一対の圧着ローラ間に送り出して基板に貼り付けるラミネート機構の下流に配置されることが好ましい。
【発明の効果】
【００２１】
本発明では、フイルムが停止された状態で、フイルム搬送ローラ対が、フイルム送り方向に回転しながら搬送方向とは逆の反搬送方向に移動する。このため、フイルムをフイルム搬送ローラ対に向かって搬送させる場合に比べ、前記フイルムを所望の平面形状に維持することができ、前記フイルムの詰まりを可及的に阻止することが可能になる。これにより、簡単な構成及び工程で、フイルムの先端部を確実に保持し、前記フイルムを搬送路に沿って円滑且つ良好に搬送することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
図１は、本発明の実施形態に係るフイルム搬送装置を組み込む感光性積層体の製造システム２０の概略構成図である。この製造システム２０は、液晶又は有機ＥＬ用カラーフィルタ等の製作工程で、所定の幅寸法からなる長尺状感光性ウエブ２２の感光性樹脂層２８（後述する）をガラス基板２４に熱転写（ラミネート）する作業を行う。
【００２３】
図２は、製造システム２０に使用される長尺状感光性ウエブ２２の断面図である。この長尺状感光性ウエブ２２は、可撓性ベースフイルム（支持体）２６と、感光性樹脂層（感光材料層）２８と、保護フイルム３０とを積層して構成される。
【００２４】
図１に示すように、製造システム２０は、長尺状感光性ウエブ２２をロール状に巻回した感光性ウエブロール２３を収容し、前記感光性ウエブロール２３から前記長尺状感光性ウエブ２２を送り出し可能なウエブ送り出し機構３２と、送り出された前記長尺状感光性ウエブ２２の保護フイルム３０及び感光性樹脂層２８の幅方向に切断可能な２個所の境界部分であるハーフカット部位３４ａ、３４ｂ（図２参照）を形成する加工機構３６と、一部に非接着部３８ａを有する接着ラベル３８（図３参照）を前記保護フイルム３０に接着させるラベル接着機構４０とを備える。
【００２５】
ラベル接着機構４０の下流には、長尺状感光性ウエブ２２をタクト送りから連続送りに変更するためのリザーバ機構４２と、前記長尺状感光性ウエブ２２から保護フイルム３０を所定の長さ間隔で剥離させる剥離機構４４とが配設される。
【００２６】
剥離機構４４の下流には、ガラス基板２４を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に供給する基板供給機構４５と、保護フイルム３０の剥離により露出した感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に一体的に貼り付ける貼り付け機構４６と、本実施形態に係るフイルム搬送装置４８とが配設される。
【００２７】
ウエブ送り出し機構３２の下流近傍には、略使用済みの長尺状感光性ウエブ２２の後端と、新たに使用される長尺状感光性ウエブ２２の先端とを貼り付ける貼り付け台４９が配設される。貼り付け台４９の下流には、感光性ウエブロール２３の巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端末位置検出器５３が配設される。
【００２８】
加工機構３６は、ウエブ送り出し機構３２に収容巻回されている感光性ウエブロール２３のロール径を算出するためのローラ対５０の下流に配置される。加工機構３６は、距離Ｍ（図２参照）だけ離間した一対の丸刃５２ａ、５２ｂを備える。丸刃５２ａ、５２ｂは、長尺状感光性ウエブ２２の幅方向に走行して、保護フイルム３０の残存部分Ｂを挟んだ所定の２個所の位置にハーフカット部位３４ａ、３４ｂを形成する（図２参照）。
【００２９】
ハーフカット部位３４ａ、３４ｂは、少なくとも保護フイルム３０及び感光性樹脂層２８を切断する必要があり、実際上、可撓性ベースフイルム２６まで切り込むように丸刃５２ａ、５２ｂの切り込み深さが設定される。丸刃５２ａ、５２ｂは、回転することなく固定された状態で、長尺状感光性ウエブ２２の幅方向に移動してハーフカット部位３４ａ、３４ｂを形成する方式や、前記長尺状感光性ウエブ２２上を滑ることなく回転しながら前記幅方向に移動して前記ハーフカット部位３４ａ、３４ｂを形成する方式が採用される。
【００３０】
ハーフカット部位３４ａ、３４ｂは、感光性樹脂層２８をガラス基板２４に貼り付けた際、例えば、前記ガラス基板２４の両端部からそれぞれ１０ｍｍずつ内側に入り込んだ位置となるように設定される。なお、ガラス基板２４間の保護フイルム３０の残存部分Ｂは、後述する貼り付け機構４６において感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。
【００３１】
ラベル接着機構４０は、ガラス基板２４間に対応して保護フイルム３０の残存部分Ｂを残すため、ハーフカット部位３４ｂ側の剥離部分Ａとハーフカット部位３４ａ側の剥離部分Ａとを連結する接着ラベル３８を供給する。
【００３２】
図３に示すように、接着ラベル３８は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム３０と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル３８は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部（微粘着を含む）３８ａを有するとともに、この非接着部３８ａの両側、すなわち、前記接着ラベル３８の長手方向両端部に、前方の剥離部分Ａに接着される第１接着部３８ｂと、後方の剥離部分Ａに接着される第２接着部３８ｃとを有する。
【００３３】
図１に示すように、ラベル接着機構４０は、最大７枚の接着ラベル３８を所定間隔ずつ離間して貼り付け可能な吸着パッド５４ａ〜５４ｇを備えるとともに、前記吸着パッド５４ａ〜５４ｇによる前記接着ラベル３８の貼り付け位置には、長尺状感光性ウエブ２２を下方から保持するための受け台５６が昇降自在に配置される。
【００３４】
リザーバ機構４２は、上流側の長尺状感光性ウエブ２２のタクト搬送と、下流側の前記長尺状感光性ウエブ２２の連続搬送との速度差を吸収するために、矢印方向に揺動自在なダンサーローラ６０を備える。
【００３５】
リザーバ機構４２の下流に配置される剥離機構４４は、長尺状感光性ウエブ２２の送り出し側のテンション変動を遮断し、ラミネート時のテンションを安定化させるためのサクションドラム６２を備える。サクションドラム６２の近傍には、剥離ローラ６３が配置されるとともに、この剥離ローラ６３を介して長尺状感光性ウエブ２２から鋭角の剥離角で剥離される保護フイルム３０は、残存部分Ｂを除いて保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる。
【００３６】
剥離機構４４の下流側には、長尺状感光性ウエブ２２にテンションを付与可能なテンション制御機構６６が配設される。テンション制御機構６６は、シリンダ６８の駆動作用下にテンションダンサー７０が揺動変位することにより、長尺状感光性ウエブ２２のテンションが調整可能である。なお、テンション制御機構６６は、必要に応じて使用すればよく、削除することもできる。
【００３７】
基板供給機構４５は、ガラス基板２４を挟持するように配設される基板加熱部（例えば、ヒータ）７４と、このガラス基板２４を矢印Ｙ方向に搬送する搬送部７６と、前記ガラス基板２４の後端部の停止位置を検出する停止位置検出センサ７８とを備える。基板加熱部７４では、ガラス基板２４の温度を常時監視し、異常時には、搬送部７６の停止や警報を発生するとともに、異常情報を発信して異常なガラス基板２４を後工程でＮＧ排出、品質管理又は生産管理等に活用することができる。搬送部７６には、図示しないエア浮上プレートが配設され、ガラス基板２４が浮上されて矢印Ｙ方向に搬送される。ガラス基板２４の搬送は、ローラコンベアでも行える。
【００３８】
ガラス基板２４の温度測定は、基板加熱部７４内又は貼り付け位置直前で行うことが好ましい。測定方法としては、接触式（例えば、熱電対）の他、非接触式であってもよい。
【００３９】
貼り付け機構４６は、上下に配設されるとともに、所定温度に加熱されるゴムローラ（圧着ローラ）８０ａ、８０ｂを備える。ゴムローラ８０ａ、８０ｂには、バックアップローラ８２ａ、８２ｂが摺接する。一方のバックアップローラ８２ｂは、ローラクランプ部８３を構成する加圧シリンダ８４によりゴムローラ８０ｂ側に押圧される。
【００４０】
ガラス基板２４は、貼り付け機構４６から矢印Ｙ方向に延在する搬送路８８を介して搬送される。この搬送路８８には、フイルム搬送ローラ９０ａ、９０ｂ及び基板搬送ローラ９２が配設される。ゴムローラ８０ａ、８０ｂと基板搬送ローラ９２との間隔は、ガラス基板２４の一枚分の長さ以下に設定されることが好ましい。
【００４１】
図４に示すように、フイルム搬送装置４８は、ユニット本体９４を備え、このユニット本体９４は、駆動機構９６を介して搬送方向（矢印Ｙ方向）及び反搬送方向（矢印Ｚ方向）に移動可能である。駆動機構９６は、架台９８に装着されるモータ１００を備え、このモータ１００に連結されて水平方向に延在するボールねじ１０２は、架台９８に回転自在に支持される。ボールねじ１０２は、ユニット本体９４の下部に設けられるナット部１０４に螺合するとともに、前記ユニット本体９４は、ガイドレール１０５上に進退可能に載置される。なお、駆動機構９６は、ユニット本体９４に装着される自走式駆動部により構成してもよい。
【００４２】
ユニット本体９４内には、各ガラス基板２４間の長尺状感光性ウエブ２２を切断する基板間切断機構１０６が収容される。この切断機構１０６は、長尺状感光性ウエブ２２を幅方向に切断するカッタ１０８と、前記カッタ１０８に対向して昇降自在なフイルム押さえ１１０とを備える。
【００４３】
切断機構１０６の搬送方向（矢印Ｙ方向）上流側には、第１フイルム搬送ローラ対１１２ａ及び第２フイルム搬送ローラ対１１２ｂが配置されるとともに、前記切断機構１０６の搬送方向下流側には、第３フイルム搬送ローラ対１１２ｃが配置される。
【００４４】
第１フイルム搬送ローラ対１１２ａ〜第３フイルム搬送ローラ対１１２ｃは、駆動ローラ１１４ａ、１１４ｂ及び１１４ｃと、従動ローラ１１６ａ、１１６ｂ及び１１６ｃとを備える。駆動ローラ１１４ａ〜１１４ｃには、長尺状感光性ウエブ２２を搬送方向に送り出すためのフイルム送り出し方向（矢印Ｃ方向）に回転トルクを付与するトルクモータ１１８ａ〜１１８ｃが連結される。従動ローラ１１６ａ〜１１６ｃは、シリンダ１２０ａ〜１２０ｃを介して、駆動ローラ１１４ａ〜１１４ｃに対し近接及び離間する方向に変位可能である。
【００４５】
第１フイルム搬送ローラ対１１２ａと第３フイルム搬送ローラ対１１２ｃとの間には、搬送路８８に沿ってガイド板１２２ａ、１２２ｂが切断機構１０６を挟んで配設される。切断機構１０６の下流側に配置されるガイド板１２２ｂ上には、長尺状感光性ウエブ２２が摺接する上面部に対応してベルト材１２４が貼り付けられる。ベルト材１２４は、例えば、ポリエステル帆布にウレタンをコーティングするとともに、表面に網目状の微細な凹凸が形成されている。ガイド板１２２ｂの上方には、除電バー１２６が必要に応じて配設される。
【００４６】
第３フイルム搬送ローラ対１１２ｃの下流近傍には、回転ローラ１２８が配設される。回転ローラ１２８は、モータ１３０を介して回転駆動されるとともに、シリンダ１３２の作用下に昇降可能であり、排出される長尺状感光性ウエブ２２（以下、排出フイルム２２ａともいう）を搬送路８８から分岐する集積路１３４に案内する。
【００４７】
集積路１３４には、排出フイルム２２ａを集積箱（集積部位）１３６に搬送するフイルム送り機構１３８が配設される。フイルム送り機構１３８は、それぞれモータ１４０ａ、１４０ｂを介して、周回走行される案内ベルト１４２ａ、１４２ｂを備える。集積箱１３６内には、帯電接着防止材１４４が設けられるとともに、底面には傾斜面１４６が形成される。
【００４８】
ユニット本体９４内には、第３フイルム搬送ローラ対１１２ｃの出口近傍に、第１フイルム検出センサ１４８が配置されるとともに、フイルム送り機構１３８の下部側には、第２フイルム検出センサ１５０が配設される。第１フイルム検出センサ１４８及び第２フイルム検出センサ１５０は、例えば、透過型の光センサであり、ＯＮ（遮光）されることによって長尺状感光性ウエブ２２の存在を検出する。
【００４９】
図１に示すように、製造システム２０では、ウエブ送り出し機構３２、加工機構３６、ラベル接着機構４０、リザーバ機構４２、剥離機構４４及びテンション制御機構６６が、貼り付け機構４６の上方に配置されているが、これとは逆に、前記ウエブ送り出し機構３２から前記テンション制御機構６６までを前記貼り付け機構４６の下方に配置し、長尺状感光性ウエブ２２の上下が逆になって感光性樹脂層２８をガラス基板２４の下側に貼り付ける構成であってもよく、また、長尺状感光性ウエブ２２の搬送路を直線状に構成してもよい。
【００５０】
製造システム２０内は、仕切り壁１６０を介して第１クリーンルーム１６２ａと第２クリーンルーム１６２ｂとに仕切られる。第１クリーンルーム１６２ａと第２クリーンルーム１６２ｂとは、貫通部１６４を介して連通する。製造システム２０は、制御部１６６を介して制御される。
【００５１】
このように構成される製造システム２０の動作について、本実施形態に係る搬送方法との関連で説明する。
【００５２】
先ず、ウエブ送り出し機構３２に取り付けられている感光性ウエブロール２３から長尺状感光性ウエブ２２が送り出される。長尺状感光性ウエブ２２は、加工機構３６に搬送される。
【００５３】
加工機構３６では、丸刃５２ａ、５２ｂが長尺状感光性ウエブ２２の幅方向に移動して、前記長尺状感光性ウエブ２２を保護フイルム３０から感光性樹脂層２８乃至可撓性ベースフイルム２６まで切り込む。これにより、保護フイルム３０の残存部分Ｂの幅Ｍだけ離間するハーフカット部位３４ａ、３４ｂが形成され、長尺状感光性ウエブ２２には、前記残存部分Ｂを挟んで前方の剥離部分Ａと後方の剥離部分Ａとが設けられる（図２参照）。
【００５４】
次いで、長尺状感光性ウエブ２２は、ラベル接着機構４０に搬送されて、保護フイルム３０の所定の貼り付け部位が受け台５６上に配置される。ラベル接着機構４０では、所定枚数の接着ラベル３８が吸着パッド５４ｂ〜５４ｇにより吸着保持される。そして、各接着ラベル３８は、保護フイルム３０の残存部分Ｂを跨いで、前方の剥離部分Ａと後方の剥離部分Ａとに一体的に接着される（図３参照）。
【００５５】
例えば、７枚の接着ラベル３８が接着された長尺状感光性ウエブ２２は、図１に示すように、リザーバ機構４２を介して送り出し側のテンション変動を防いだ後、剥離機構４４に連続的に搬送される。剥離機構４４では、長尺状感光性ウエブ２２の可撓性ベースフイルム２６がサクションドラム６２に吸着保持されるとともに、保護フイルム３０が残存部分Ｂを残して前記長尺状感光性ウエブ２２から剥離される。この保護フイルム３０は、剥離ローラ６３を介して剥離されて保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる（図１参照）。
【００５６】
剥離機構４４の作用下に、保護フイルム３０が残存部分Ｂを残して可撓性ベースフイルム２６から剥離された後、長尺状感光性ウエブ２２は、テンション制御機構６６によってテンション調整が行われる。
【００５７】
次いで、長尺状感光性ウエブ２２は、貼り付け機構４６に搬送されることで、ガラス基板２４に対する感光性樹脂層２８の熱転写処理（ラミネート）が行われる。貼り付け機構４６では、予めゴムローラ８０ａ、８０ｂが離間した状態に設定されている。そして、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ間の所定位置に、長尺状感光性ウエブ２２のハーフカット部位３４ａが位置決めされた状態で、前記長尺状感光性ウエブ２２の搬送が一旦停止される。
【００５８】
さらに、基板供給機構４５を構成する基板加熱部７４によって所定温度に加熱されたガラス基板２４の先端部が、搬送部７６によってゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に搬入されると、加圧シリンダ８４の作用下にバックアップローラ８２ｂ及びゴムローラ８０ｂが上昇する。従って、ガラス基板２４及び長尺状感光性ウエブ２２は、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に所定のプレス圧力で挟み込まれる。なお、ゴムローラ８０ａ、８０ｂは、所定のラミネート温度に加熱されている。
【００５９】
次に、ゴムローラ８０ａ、８０ｂが回転し、ガラス基板２４及び長尺状感光性ウエブ２２が矢印Ｙ方向に搬送される。これにより、感光性樹脂層２８が加熱溶融されてガラス基板２４に熱転写（ラミネート）される。
【００６０】
なお、ラミネート条件としては、速度が１．０ｍ／ｍｉｎ〜１０．０ｍ／ｍｉｎ、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの温度が８０℃〜１４０℃、前記ゴムローラ８０ａ、８０ｂのゴム硬度が４０度〜９０度、該ゴムローラ８０ａ、８０ｂのプレス圧（線圧）が５０Ｎ／ｃｍ〜４００Ｎ／ｃｍである。
【００６１】
ガラス基板２４に対して長尺状感光性ウエブ２２の一枚分のラミネートが終了すると、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの回転が停止される。一方、長尺状感光性ウエブ２２がラミネートされたガラス基板２４である感光性積層体１７０の先端部は、基板搬送ローラ９２によりクランプされる。このとき、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ間の所定位置には、ハーフカット部位３４ｂが配置される。
【００６２】
そして、ゴムローラ８０ｂは、ゴムローラ８０ａから離間する方向に退避してクランプが解除されるとともに、基板搬送ローラ９２の回転が低速で再び開始される。感光性積層体１７０は、矢印Ｙ方向に保護フイルム３０の残存部分Ｂの幅Ｍに対応する距離だけ搬送され、次のハーフカット部位３４ａがゴムローラ８０ａの下方付近の所定位置に搬送された後、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの回転が停止される。
【００６３】
一方、前記の状態において、基板供給機構４５を介して次なるガラス基板２４が貼り付け位置に向かって搬送される。以上の動作が繰り返されることにより、感光性積層体１７０が連続的に製造される。
【００６４】
貼り付け機構４６でラミネートされた感光性積層体１７０は、ユニット本体９４内に収容されている切断機構１０６によってガラス基板２４間の長尺状感光性ウエブ２２が切断されることで分離される。分離された感光性積層体１７０には、可撓性ベースフイルム２６が装着されており、この可撓性ベースフイルム２６がガラス基板２４間の保護フイルム３０とともに剥離された後、次の処理工程に供給される。
【００６５】
ところで、上記の製造システム２０では、長尺状感光性ウエブ２２のみを搬送路８８に沿って搬送する場合がある。例えば、自動運転によりラミネートを開始する際には、所定枚数分の長尺状感光性ウエブ２２を集積箱１３６に廃棄するとともに、切断機構１０６により切断し、前記長尺状感光性ウエブ２２の先端部を前記切断機構１０６に対応して配置する場合である。
【００６６】
一方、自動運転を中断するために、ラミネート処理を一旦停止させ、ラミネート後のガラス基板２４を払い出した直後に、自動運転を開始する場合も同様である。
【００６７】
また、上記の自動運転中に、ガラス基板２４が基板供給機構４５から貼り付け機構４６に供給されない際、ゴムローラ８０ａにより加熱された長尺状感光性ウエブ２２を、例えば、１枚分除去するために搬送する場合である。
【００６８】
さらにまた、手動操作によって長尺状感光性ウエブ２２を集積箱１３６に排出させた後、前記長尺状感光性ウエブ２２を切断機構１０６により切断する場合である。
【００６９】
そして、この種の処理が行われる場合、長尺状感光性ウエブ２２は、切断機構１０６により切断された状態で停止している。このため、前記長尺状感光性ウエブ２２の先端部は、図５に示すように、第２フイルム搬送ローラ対１１２ｂと第３フイルム搬送ローラ対１１２ｃとの間に配置されている。
【００７０】
そこで、本実施形態では、長尺状感光性ウエブ２２を停止させた状態で、ユニット本体９４が、駆動機構９６を構成するモータ１００の回転作用下に、反搬送方向（矢印Ｚ方向）に移動を開始する。その際、図６に示すように、第１フイルム搬送ローラ対１１２ａ〜第３フイルム搬送ローラ対１１２ｃは、トルクモータ１１８ａ〜１１８ｃが駆動されることにより、各駆動ローラ１１４ａ〜１１４ｃが矢印Ｃ方向（フイルム送り方向）に回転駆動されている。このため、第１フイルム搬送ローラ対１１２ａ及び第２フイルム搬送ローラ対１１２ｂでは、駆動ローラ１１４ａ、１１４ｂが停止している長尺状感光性ウエブ２２上を滑ることなく回転しており、剥離帯電を防止することができる。
【００７１】
一方、ユニット本体９４が矢印Ｚ方向に移動する際、回転ローラ１２８及び案内ベルト１４２ａ、１４２ｂは、それぞれ回転駆動されている。また、フイルム押さえ１１０は、一旦上昇しており、長尺状感光性ウエブ２２と接触することを防止している。
【００７２】
ユニット本体９４が矢印Ｚ方向に移動することにより、第３フイルム搬送ローラ対１１２ｃは、回転しながら長尺状感光性ウエブ２２の先端部を挟持する。従って、長尺状感光性ウエブ２２の先端部は、第３フイルム搬送ローラ対１１２ｃに対して矢印Ｙ方向に相対的に引き出される。
【００７３】
ここで、第３フイルム搬送ローラ対１１２ｃの出口近傍に配置されている第１フイルム検出センサ１４８が遮光（ＯＮ）されると、この第１フイルム検出センサ１４８の遮光タイミングから図示しないタイマにより計時が行われる。そして、所定の時間だけ経過した後、回転ローラ１２８がシリンダ１３２の作用下に下降する（図７参照）。
【００７４】
なお、このタイマは、回転ローラ１２８を下降させるタイミングを設定することにより、長尺状感光性ウエブ２２の先端部の突出量を適正な範囲内に維持する機能を有する一方、前記長尺状感光性ウエブ２２の詰まりによる設備の停止を行うための異常検出手段としての機能をも有する。
【００７５】
回転ローラ１２８が下降するタイミングで、ユニット本体９４の矢印Ｚ方向への移動を停止させるとともに、フイルム搬送ローラ９０ａ、９０ｂが駆動されて長尺状感光性ウエブ２２の矢印Ｙ方向への搬送を開始する。回転ローラ１２８は、排出フイルム２２ａが切断機構１０６で切断された後、第１フイルム検出センサ１４８がＯＦＦ（透過）した際に、シリンダ１３２を介して上昇される。
【００７６】
一方、回転ローラ１２８を介して搬送路８８から集積路１３４に送られる排出フイルム２２ａの先端部は、案内ベルト１４２ａ、１４２ｂ間に搬送される。従って、排出フイルム２２ａは、案内ベルト１４２ａ、１４２ｂの案内作用下に、集積箱１３６内に送られるとともに、この集積箱１３６内の傾斜面１４６の傾斜に沿って良好に集積される。その際、集積箱１３６の内面側には、帯電接着防止材１４４が設けられており、前記集積箱１３６内に排出フイルム２２ａを所望の集積姿勢で確実に集積することができる。
【００７７】
案内ベルト１４２ａ、１４２ｂの下部側には、第２フイルム検出センサ１５０が設けられている。この第２フイルム検出センサ１５０を介して、案内ベルト１４２ａ、１４２ｂ間に規定量の排出フイルム２２ａが搬送されたことが検出されると、フイルム搬送ローラ９０ａ、９０ｂによるウエブ送りが、一旦停止される。案内ベルト１４２ａ、１４２ｂ間に所定量以上の排出フイルム２２ａが搬送されると、この排出フイルム２２ａが集積箱１３６からはみ出す等の不具合が発生するからである。
【００７８】
この場合、本実施形態では、先端部が切断機構１０６に対応して配置されている排出フイルム２２ａを集積箱１３６に排出する際、この排出フイルム２２ａが停止された状態で、第１フイルム搬送ローラ対１１２ａ〜第３フイルム搬送ローラ対１１２ｃをフイルム送り方向に回転させながら、ユニット本体９４が反搬送方向（矢印Ｚ方向）に移動している。
【００７９】
このため、ユニット本体９４を停止させた状態で、第１フイルム搬送ローラ対１１２ａ及び第２フイルム搬送ローラ対１１２ｂの回転作用下に、排出フイルム２２ａを矢印Ｙ方向に搬送する場合に比べ、剥離帯電等を良好に防止するとともに、前記排出フイルム２２ａを所望の平面形状に維持することができる。従って、排出フイルム２２ａの先端部を、第３フイルム搬送ローラ対１１２ｃにより確実に把持することが可能になり、前記排出フイルム２２ａの詰まりを可及的に阻止することができる。
【００８０】
これにより、フイルム搬送装置４８は、簡単な構成及び工程で、排出フイルム２２ａの先端部を確実に保持し、前記排出フイルム２２ａを搬送路８８から集積路１３４に沿って円滑且つ確実に搬送することが可能になるという効果が得られる。なお、上記の処理は、長尺状感光性ウエブ２２（排出フイルム２２ａ）だけを搬送する動作が必要な各種の状況において、同様に行われる。
【００８１】
また、第１フイルム検出センサ１４８及び第２フイルム検出センサ１５０を用いることにより、以下に示す各種の機能を有することができる。
【００８２】
先ず、第１フイルム検出センサ１４８と第２フイルム検出センサ１５０とが、共に排出フイルム２２ａを検出した際（ＯＮ）には、ユニット本体９４の矢印Ｚ方向への移動を停止するとともに、フイルム搬送ローラ９０ａ、９０ｂを駆動させて前記排出フイルム２２ａの送り動作を可能にする。
【００８３】
また、第１フイルム検出センサ１４８のみがＯＮされた場合、原点復帰動作を行って、第２フイルム検出センサ１５０がＯＮするか否かを検出する。そして、一定時間だけ経過しても、第２フイルム検出センサ１５０がＯＮしない場合には、集積路１３４で排出フイルム２２ａに詰まり異常が発生していると判断する。
【００８４】
さらにまた、第１フイルム検出センサ１４８がＯＦＦ（透過）で且つ第２フイルム検出センサ１５０がＯＮ（遮光）の場合には、集積路１３４に排出フイルム２２ａの詰まり異常が発生していると判断される。
【００８５】
また、排出フイルム２２ａを案内ベルト１４２ａ、１４２ｂ側に搬送する動作が行われた後、一定時間だけ経過しても、第１フイルム検出センサ１４８と第２フイルム検出センサ１５０とがそれぞれのタイミングでＯＮしなかった場合、前記排出フイルム２２ａに詰まり異常が発生していると判断される。
【００８６】
さらに、集積箱１３６の上部に排出フイルム詰まり検出及び満杯検出を行うセンサ１７２を配置することができる。このセンサ１７２は、排出フイルム２２ａの排出動作中はＯＮ（遮光）しており、この排出フイルム２２ａの送り完了後に基板間カットを行い、タイマからのタイミングによりＯＦＦ（透過）しない場合に警報を発する。なお、タイマからのタイミングは、第３フイルム搬送ローラ対１１２ｃと案内ベルト１４２ａ、１４２ｂとを介して、排出フイルム２２ａの後端が集積箱１３６に落下する程度の時間に設定される。
【００８７】
また、本実施形態では、排出フイルム２２ａが静電気により接触する部分に対応して、静電対策が行われている。例えば、ガイド板１２２ｂの上面には、静電対策用のベルト材１２４が設けられており、排出フイルム２２ａの静電吸着を阻止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８８】
【図１】本発明の実施形態に係るフイルム搬送装置を組み込む感光性積層体の製造システムの概略構成図である。
【図２】前記製造システムに使用される長尺状感光性ウエブの断面図である。
【図３】長尺状感光性ウエブに接着ラベルが接着された状態の説明図である。
【図４】前記フイルム搬送装置の概略構成説明図である。
【図５】前記フイルム搬送装置の動作説明図である。
【図６】前記フイルム搬送装置の動作説明図である。
【図７】前記フイルム搬送装置の動作説明図である。
【図８】従来技術に係るドライレジストフイルムのラミネート方法の説明図である。
【符号の説明】
【００８９】
２０…製造システム                  ２２…長尺状感光性ウエブ
２４…ガラス基板                    ２６…可撓性ベースフイルム
２８…感光性樹脂層                  ３０…保護フイルム
３４ａ、３４ｂ…ハーフカット部位    ３６…加工機構
４５…基板供給機構                  ４６…貼り付け機構
４８…フイルム搬送装置              ９４…ユニット本体
９６…駆動機構
１００、１３０、１４０ａ、１４０ｂ…モータ
１０６…切断機構                    １０８…カッタ
１１０…フイルム押さえ
１１２ａ〜１１２ｃ…フイルム搬送ローラ対
１１４ａ〜１１４ｃ…駆動ローラ      １１６ａ〜１１６ｃ…従動ローラ
１１８ａ〜１１８ｃ…トルクモータ
１２０ａ〜１２０ｃ、１３２…シリンダ
１２２ａ、１２２ｂ…ガイド板        １２４…ベルト材
１２８…回転ローラ                  １３４…集積路
１３６…集積箱                      １３８…フイルム送り機構
１４２ａ、１４２ｂ…案内ベルト      １４６…傾斜面
１４８、１５０…フイルム検出センサ
【図１】
2008242345.tif 000003
【図２】
2008242345.tif 000004
【図３】
2008242345.tif 000005
【図４】
2008242345.tif 000006
【図５】
2008242345.tif 000007
【図６】
2008242345.tif 000008
【図７】
2008242345.tif 000009
【図８】
2008242345.tif 000010