(57)【要約】【課題】次処理工程に応じて基板を仕分けるのに要する作業時間を短縮する。【解決手段】複数の基板Ｗを収容するカセット８０が多段に配置される多段棚５，５と、上記基板Ｗを複数載置可能な入出部６と、上記多段棚５，５及び上記入出部６の正面５ａ側に移動可能に配置されるとともに上記多段棚５，５と上記入出部６との間において上記基板Ｗの受け渡しを行う移載装置２０とを備え、上記基板Ｗをクリーン環境下において移動する基板保管庫であって、上記移載装置２０は、複数の上記基板Ｗを一時的に留め置くことが可能なバッファ領域２８と、上記バッファ領域２８と上記多段棚５，５との間において任意の基板Ｗを枚葉搬送する枚葉搬送手段２６とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板を収容するカセットが多段に配置される多段棚と、前記基板を複数載置可能な入出部と、前記多段棚及び前記入出部の正面側に移動可能に配置されるとともに前記多段棚と前記入出部との間において前記基板の受け渡しを行う移載装置とを備え、前記基板をクリーン環境下において移動する基板保管庫であって、
前記移載装置は、複数の前記基板を一時的に留め置くことが可能なバッファ領域と、前記バッファ領域と前記多段棚との間において任意の基板を枚葉搬送する枚葉搬送手段とを備えることを特徴とする基板保管庫。
【請求項２】
少なくとも前記入出部と前記バッファ領域との間において、複数の前記基板を一度に受け渡しが可能な受渡手段を備えることを特徴とする請求項１記載の基板保管庫。
【請求項３】
少なくとも前記入出部と前記バッファ領域との間において、前記入出部あるいは前記バッファ領域に載置される複数の前記基板を一括して受け渡しが可能な受渡手段を備えることを特徴とする請求項１記載の基板保管庫。
【請求項４】
複数の前記基板が単一のカセットに収納されている場合に、前記受渡手段は、前記カセットごと前記基板を受け渡すことによって、前記基板を一括して受け渡すことを特徴とする請求項３記載の基板保管庫。
【請求項５】
前記受渡手段は、前記移載装置に設置されることを特徴とする請求項２〜４いずれかに記載の基板保管庫。
【請求項６】
前記受渡手段は、前記入出部に設置されることを特徴とする請求項２〜４いずれかに記載の基板保管庫。
【請求項７】
前記カセットに扉が設置されている場合に、
前記扉を開放可能な扉開放手段が、前記多段棚の正面側に移動可能に配置される移動手段、前記移載装置あるいは前記多段棚に設置され、
前記扉を閉鎖可能な扉閉鎖手段が、前記多段棚の正面側に移動可能に配置される移動手段、前記移載装置あるいは前記多段棚に設置される
ことを特徴とする請求項１〜６いずれかに記載の基板保管庫。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板保管庫に関するものであり、特に、基板をクリーン環境下において移動する基板保管庫に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスやＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）が製造されるクリーンルームでは、半導体ウエハやガラスプレート等の基板を複数枚ずつカセットに収容して、カセット毎に搬送したり基板保管庫に収容したりする技術が知られている。例えば、半導体ウエハの場合には、ＦＯＵＰ(Front-Opening Unified Pod)と呼ばれる規格化されたカセットが用いられている。
【０００３】
複数枚の基板をカセットに収容して搬送する方法は、少品種大量生産には好都合である。しかし、一つのカセットに同一の処理を行う基板だけを収容しなければならないことから、基板毎に異なる処理を施すような多品種少量生産の場合には、基板が数枚しか収容されていなカセットが増加して、各種処理装置における処理効率や搬送装置の搬送効率、基板保管庫の収容効率等が低下してしまうという問題があった。
【０００４】
このような問題を解決するために、特許文献１及び特許文献２に開示されるように、基板保管庫においてカセットに収容された基板を仕分けることによって、各種処理装置の処理効率や基板保管庫の収容効率を向上させる技術（いわゆるロット編成機）が提案されている。
【特許文献１】特開２００１−３１２１２号公報
【特許文献２】特開平６−１５６６１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、特許文献１においては、仕分作業の際に、基板を枚葉搬送しているため、一枚の基板の移動が完了してから次の基板の移動を行うこととなり、全ての基板の仕分けが完了するまでに多くの作業時間を要する。
また、特許文献２においては、基板を詰めて保管することによって収容効率を向上させることができるものの、基板の順序自体が入れ替わるものではなく、互いに離れた複数箇所に分散して保管されている。このため、同一の次処理工程を行う基板をまとめて搬出する場合には、保管庫に保管された基板を搬出する際に仕分ける必要が生じる。このため、次処理工程に移行するまでに多くの作業時間を要する。
【０００６】
本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、次処理工程に応じて基板を仕分けるのに要する作業時間を短縮することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明は、複数の基板を収容するカセットが多段に配置される多段棚と、上記基板を複数載置可能な入出部と、上記多段棚及び上記入出部の正面側に移動可能に配置されるとともに上記多段棚と上記入出部との間において上記基板の受け渡しを行う移載装置とを備え、上記基板をクリーン環境下において移動する基板保管庫であって、上記移載装置が、複数の上記基板を一時的に留め置くことが可能なバッファ領域と、上記バッファ領域と上記多段棚との間において任意の基板を枚葉搬送する枚葉搬送手段とを備える。
【０００８】
このような特徴を有する本発明によれば、枚葉搬送手段によって、任意の基板がバッファ領域と多段棚との間にて枚葉搬送可能とされる。また、バッファ領域に複数の基板を留め置いた状態にて移載装置が移動可能とされる。
【０００９】
また、本発明においては、少なくとも上記入出部と上記バッファ領域との間において、複数の上記基板を一度に受け渡しが可能な受渡手段を備えるという構成を採用することができる。
【００１０】
また、本発明においては、少なくとも上記入出部と上記バッファ領域との間において、上記入出部あるいは上記バッファ領域に載置される複数の上記基板を一括して受け渡しが可能な受渡手段を備えるという構成を採用することもできる。
【００１１】
また、本発明においては、複数の上記基板が単一のカセットに収納されている場合に、上記受渡手段は、上記カセットごと受け渡すことによって、上記基板を一括して受け渡すという構成を採用することができる。
【００１２】
また、本発明においては、上記受渡手段が、上記移載装置に設置されるという構成を採用することができる。
【００１３】
また、本発明においては、上記受渡手段が、上記入出部に設置されるという構成を採用することもできる。
【００１４】
また、本発明においては、上記カセットに扉が設置されている場合に、上記扉を開放可能な扉開放手段が、上記多段棚の正面側に移動可能に配置される移動手段、上記移載装置あるいは上記多段棚に設置され、上記扉を閉鎖可能な扉閉鎖手段が、上記多段棚の正面側に移動可能に配置される移動手段、上記移載装置あるいは上記多段棚に設置されるという構成を採用することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、枚葉搬送手段によって、任意の基板がバッファ領域と多段棚との間にて枚葉搬送可能とされる。よって、次処理工程に応じて基板を仕分けることができる。また、バッファ領域に複数の基板を留め置いた状態にて移載装置が移動可能とされる。このため、基板一枚の移動ごとに移載装置が多段棚と入出部との間を行き来する必要がなくなる。よって、仕分け作業を短縮することができる。
したがって、本発明によれば、次処理工程に応じて基板を仕分けるのに要する作業時間を短縮することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図面を参照して、本発明に係る基板保管庫の一実施形態について説明する。なお、以下の図面において、各部材を認識可能な大きさとするために、各部材の縮尺を適宜変更している。
【００１７】
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係るウエハ用保管庫１（基板保管庫）の概略構成を示す上面図である。
図２は、ウエハ用保管庫１の正面図である。
なお、図１及び図２においては、後述する多段棚５，５及び該多段棚５，５に設置されるウエハ収容カセット８０の図示を一部省略している。また、図２においては、後述する制御部５０の図示を省略している。
【００１８】
ウエハ用保管庫１は、所定の間隔を空けて平行に対向配置された２つの多段棚５，５と、一方の多段棚５の略中央部に設置される入出庫６と、２つの多段棚５，５の間に配置されるウエハ搬送部２０（移載装置）と、これらを統括的に制御する制御部５０等を備えている。
【００１９】
２つの多段棚５，５は、後述するウエハ収容カセット８０が多段に配置されるものであって、ウエハ収容カセット８０を載置するカセット載置位置５ｃが水平方向及び垂直方向に一定間隔で並ぶように、升目状に区画されている。
そして、２つの多段棚５，５は、所定の間隔を空けて、平行に対向配置されている。
【００２０】
入出庫６は、ウエハＷ（基板）が収容されたウエハ収容カセット８０あるいは空のウエハ収容カセットを載置可能なものであり、一方の多段棚５の略中央部に２つ設置されている。そして、これらの入出庫６を介して、ウエハ収容カセット８０に収容されたウエハＷが、内部がクリーン環境に保たれた保管庫本体２に対して出し入れされる。なお、入出庫６の内側開口には、該内側開口を閉塞可能なシャッター１８が設置されており、入出庫６にウエハ収容カセット８０が収容されていない場合には、シャッター１８によって内側開口が閉塞されることによって、保管庫本体２の内外が隔離される。
【００２１】
図３は、ウエハ収容カセット８０を示す斜視図である。
ウエハ収容カセット８０は、複数枚のウエハＷを一定間隔を空けて重畳して収容する容器であって、ウエハＷを出し入れする正面開口８２が形成された容器本体８１と、正面開口８２を閉塞する気密蓋８３（扉）を有している。例えば、直径２００ｍｍや３００ｍｍのウエハＷを水平な状態で複数毎収容することができる。そして、その内部空間は、空気清浄度（クリーン度）が高く維持される。具体的には、クラス１程度の空気清浄度に維持されている。
ウエハ収容カセット８０としては、ＳＥＭＩ規格に規定されているＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）が用いることができる。
また、各ウエハ収容カセット８０は、正面開口８２（気密蓋８３）がウエハ搬送部２０側（多段棚５，５の正面５ａ，５ａ）を向くように、多段棚５，５に載置される。
【００２２】
図１及び図２に戻り、ウエハ搬送部２０は、多段棚５，５の間の床面に、多段棚５，５に沿って敷設された２本のレール２１上を走行する走行部２２と、走行部２２に立設される一対のマスト２３と、該マスト２３間を上下方向に移動可能なケージ２４と、ケージ２４に連結された一括搬送用ウエハローダ２５（受渡手段）と、枚葉搬送用ウエハローダ２６（枚葉搬送手段）と、オープナー２７（扉開放手段及び扉閉鎖手段）とを備えている。
そして，ケージ２４上には、一括搬送用ウエハローダ２５と枚葉搬送用ウエハローダ２６との間に、複数枚のウエハＷを一定間隔を空けて重畳して収容可能なバッファ部２８が設置されている。
このような、ウエハ搬送部２０は、走行部２２とケージ２４の位置制御によって、一括搬送用ウエハローダ２５、枚葉搬送用ウエハローダ２６及びオープナー２７を、多段棚５，５の正面５ａ，５ａに沿って、二次元方向に移動させることができる。すなわち、ウエハ搬送部２０は、多段棚５，５及び入出庫６の正面に移動可能に配置されている。
【００２３】
一括搬送用ウエハローダ２５は、水平多関節型ロボットであって、ウエハ収容カセット８０に収容可能なウエハＷの枚数分だけ、ウエハＷを保持可能なハンドを多段に備えている。そして、この一括搬送用ウエハローダ２５によって、入出庫６に収容された複数のウエハＷが一括してバッファ部２８に受け渡される。また、一括搬送用ウエハローダ２５は、多段棚５，５に設置されるウエハ収容カセット８０に収容された複数のウエハＷを一括してバッファ部２８に受け渡すこともできる。
このように、本実施形態のウエハ用保管庫１においては、入出庫６とバッファ部２８との間にてウエハＷを一括して受け渡す受渡手段である一括搬送用ウエハローダ２５が、移載装置であるウエハ搬送部２０に設置されている。
枚葉搬送用ウエハローダ２６は、同じく水平関節型ロボットであって、ウエハＷを保持可能なハンドを備えている。この枚葉搬送用ウエハローダ２６は、ハンドを上下動可能とされており、この枚葉搬送用ウエハローダ２６によって、バッファ部２８と多段棚５，５との間において任意のウエハＷが枚葉搬送される。
【００２４】
オープナー２７は、ウエハ収容カセット８０の気密蓋８３の開閉を行うものであって、気密蓋８３を吸着又は挾持して水平移動可能とされている。
そして、オープナー２７は、ケージ２４の２つの側面、すなわち多段棚５，５に対向する２つの面にそれぞれ設けられる。つまり、各多段棚５に対して、１つのオープナー２７が対向するように配置される。
そして、各オープナー２７が、それぞれ対向する多段棚５に載置されたウエハ収容カセット８０の気密蓋８３の開閉を行うようになっている。
このように、本実施形態のウエハ用保管庫１においては、気密蓋８３を開放可能な扉開放手段としての機能と気密蓋８３を閉鎖可能な扉閉鎖手段としての機能を併せ持つオープナー２７が、移載装置であるウエハ搬送部２０に設置されている。
【００２５】
制御部５０は、各ウエハＷや各ウエハ収容カセット８０に関する情報が入力される入力部５１と、入力されたウエハ情報を記憶するウエハ情報記憶部５２と、入力されたウエハ収容カセット情報を記憶するカセット情報記憶部５３と、ウエハ搬送部２０の動作指示情報を求める演算処理部５４と、演算処理部５４で決定したウエハ搬送部２０の動作指示情報を記憶する制御情報記憶部５５と、制御情報記憶部５５から読み出された動作指示情報をウエハ搬送部２０等に出力したり、ウエハ搬送部２０等からの情報が入力される入出力部５６とを備えている。
【００２６】
ウエハ情報としては、ＩＤ番号や各ウエハＷに施される各種処理情報や既に施された処理履歴情報等がある。また、カセット情報としては、ＩＤ番号やウエハ収容カセット８０が載置されたカセット載置位置５ｃの位置情報やウエハ収容状況等がある。
そして、演算処理部５４では、入力部５１で入力された情報等から、入出庫６に載置されたウエハ収容カセット８０に収容されたウエハＷの仕分け先を決定する。なお、本実施形態のウエハ用保管庫１においては、演算処理部５４は、ウエハ用保管庫１から搬出された次に行われる処理工程（次処理工程）の種類に応じて、ウエハＷの仕分け先が決定される。具体的には、同一の次処理工程が施されるウエハＷが、多段棚５，５に設置された複数のウエハ収容カセット８０うち、同一のウエハ収容カセット８０に収容されるように、ウエハＷの仕分け先が決定される。
【００２７】
次に、ウエハ用保管庫１の保管制御方法について説明する。
【００２８】
まず、ウエハＷが複数収納されたウエハ収容カセット８０と、空のウエハ収容カセット８０とが入出庫６に設置されると、これらのウエハ収容カセット８０及びウエハＷに関する情報が、制御部５０の入力部５１を介して演算処理部５４に入力される。
【００２９】
続いて制御部５０は、入出庫６に設置されたウエハ収容カセット８０に収容されるウエハＷに関する情報と多段棚５，５に設置されたウエハ収容カセット８０に関する情報をウエハ情報記憶部５２及びカセット情報記憶部５３から読み出し、演算処理部５４にて、これらの情報に基づいて入出庫６に設置されたウエハ収容カセット８０に収容された複数のウエハＷの各仕分け先を決定する。
【００３０】
そして、制御部５０は、決定された仕分け先に基づいてウエハ搬送部２０への動作指示情報を求め、これを記憶すると共に入出力部５６を介してウエハ搬送部２０に対して出力する。
【００３１】
ウエハ搬送部２０は、制御部５０からの指令に基づいて仕分け作業を開始する。まず、入出庫６に設置された、複数のウエハＷを収容するウエハ収容カセット８０に向けて移動する。そして、ウエハ搬送部２０は、走行部２２及びケージ２４を制御して、オープナー２７が対象のウエハ収容カセット８０に対向するように移動させる。
【００３２】
なお、ウエハ収容カセット８０は、入出庫６に設置される際に、容器本体８１が入出庫６の内側開口の内周縁に密着固定される。これにより、外部のエアが保管庫本体２内に侵入することが防止される。また、この際、制御部５０は、入出庫６のシャッター１８を開放する。
次いで、ウエハ搬送部２０は、制御部５０からの指令により、オープナー２７を移動させてウエハ収容カセット８０の気密蓋８３に密着、把持（又は吸着）させる。そして、再度オープナー２７が移動されることによって、気密蓋８３を外す。
【００３３】
次に、ウエハ搬送部２０は、一括搬送用ウエハローダ２５、走行部２２及びケージ２４を制御して、一括搬送用ウエハローダ２５を気密蓋８３が取り外されたウエハ収容カセット８０に向けて移動させる。そして、ウエハ収容カセット８０の正面開口８２から容器本体８１内にハンドを進入させて、収容された複数のウエハＷを一括して把持し、ケージ２４上に設置されたバッファ部２８に収容する。すなわち、入出庫６とバッファ部２８との間において、ウエハＷが一括して受け渡される。
その後、ウエハ搬送部２０は、再度、オープナー２７をウエハ収容カセット８０に向けて移動させる。そして、オープナー２７が把持している気密蓋８３を容器本体８１に押し当てて、気密蓋８３を容器本体８１に取り付ける。
そして、オープナー２７がウエハ収容カセット８０から退避されると、シャッター１８により入出庫６の内側開口が閉塞される。
【００３４】
そして、ウエハ搬送部２０は、バッファ部２８に一括して受け渡されたウエハＷを、次処理工程に応じて決定された仕分け先すなわちウエハ収容カセット８０に順次収容する。
具体的には、制御部５０からの指令により、ウエハ搬送部２０は、オープナー２７によってウエハ収容カセット８０の気密蓋８３を外した後、枚葉搬送用ウエハローダ２６によって、所定のウエハＷを容器本体８１内に受け渡す。その後、気密蓋８３を閉鎖する。
このような作業を繰り返すことによって、バッファ部２８に一時的に留め置かれた複数のウエハＷが、次処理工程の種類ごとに各ウエハ収容カセット８０に収容される。
ここで、本実施形態のウエハ用保管庫１においては、枚葉搬送用ウエハローダ２６がバッファ部２８に収容される複数のウエハＷのうち、任意のウエハＷを枚葉搬送可能とされている。このため、バッファ部２８に重畳して留め置かれているウエハＷの順序に関係なくウエハＷを多段棚５，５に設置されたウエハ収容カセット８０に受け渡すことができる。したがって、全てのウエハＷを仕分けるにあたって、多段棚５，５に設置されたウエハ収容カセット８０のうち、ウエハ搬送部２０に近いウエハ収容カセット８０から遠いウエハ収容カセット８０の順に移動しながら、ウエハＷを受け渡していくことができる。よって、ウエハ搬送部２０の走行を最小限に抑えることができる。
【００３５】
次に、多段棚５，５に設置されたウエハ収容カセット８０をウエハ用保管庫１から搬出する場合には、ウエハ搬送部２０は、制御部５０からの指令により、多段棚５，５に設置された所定のウエハ収容カセット８０にオープナー２７を対向させるように移動する。そして、オープナー２７によって、多段棚５，５の所定のウエハ収容カセット８０の気密蓋８３を外す。その後、ウエハ搬送部２０は、一括搬送用ウエハローダ２５を容器本体８１に対向させ、一括搬送用ウエハローダ２５よって容器本体８１内に収容された複数のウエハＷを一括してバッファ部２８に受け渡す。そして、オープナー２７によって、気密蓋８３を容器本体８１に取り付ける。
【００３６】
続いて、ウエハ搬送部２０は、入出庫６に設置された空のウエハ収容カセット８０にオープナー２７が対向するように移動する。そして、オープナー２７によってウエハ収容カセット８０の気密蓋８３を外した後、一括搬送用ウエハローダ２５によって、バッファ部２８に収容された複数のウエハＷを一括して、容器本体８１に受け渡す。そして、オープナー２７によって、気密蓋８３を容器本体８１に取り付ける。
これによって、同一の次処理工程が行われるウエハＷのみが収容されたウエハ収容カセット８０が搬出可能となる。
【００３７】
このような本実施形態のウエハ用保管庫１によれば、枚葉搬送用ウエハローダ２６によって、任意のウエハＷがバッファ部２８と多段棚５，５との間にて枚葉搬送可能とされている。よって、次処理工程に応じてウエハＷを容易に仕分けることができる。また、バッファ部２８に複数のウエハＷを留め置いた状態にてウエハ搬送部２０が移動可能とされる。このため、ウエハＷ一枚の受け渡しごとにウエハ搬送部２０が多段棚５，５と入出庫６との間を行き来する必要がなくなる。よって、仕分け作業を短縮することができる。
したがって、本実施形態のウエハ用保管庫１によれば、次処理工程に応じてウエハＷを仕分けるのに要する作業時間を短縮することが可能となる。
【００３８】
なお、シャッター１８が気密蓋８３を保持する機構を有し、シャッター１８を開けると同時にウエハ収容カセット８０の気密蓋８３が開けられる構成としても良い。このような構成の入出庫６及びシャッター１８としては、市販のＦＯＵＰオープナーを用いることができる。このようなＦＯＵＰオープナーを用いることによって、入出庫６に設置されたウエハ収容カセット８０の気密蓋８３を、シャッター１８の動作によって開閉することができる。このため、ウエハ搬送部２０が備えるオープナー２７によって開閉する必要がなくなり、動作時間をさらに短縮することが出来る。
【００３９】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について説明する。なお、本第２実施形態の説明において、上記第１実施形態と同様の部分については、その説明を省略あるいは簡略化する。
【００４０】
図４は、本発明の第２実施形態に係るウエハ用保管庫１００（基板保管庫）の概略構成を示す上面図である。
図５は、ウエハ用保管庫１００の正面図である。
なお、図４及び図５においては、多段棚５，５及び該多段棚５，５に設置されるウエハ収容カセット８０の図示を一部省略するとともに、制御部５０の図示を省略している。
【００４１】
この図に示すように、本実施形態のウエハ用保管庫１００においては、一括搬送用ウエハローダ２５の替わりにカセット搬送ローダ１１０が設置され、バッファ部２８の替わりにバッファ領域Ａが形成されている。また、バッファ領域Ａに向かって第２のオープナー１２０が設置されている。
カセット搬送ローダ１１０は、入出庫６あるいは多段棚５，５とウエハ搬送部２０のバッファ領域Ａとの間にてウエハ収容カセット８０を受け渡すものである。
また、バッファ領域Ａは、ウエハ収容カセット８０を載置可能な領域である。
また、第２のオープナー１２０は、バッファ領域Ａに載置されたウエハ収容カセット８０の気密蓋８３を自らに対して上下左右のいずれかの方向に開閉可能なものである。
【００４２】
このような構成を有する本実施形態のウエハ用保管庫１によれば、カセット搬送ローダ１１０によってウエハ収容カセット８０ごと複数のウエハＷが一括して、入出庫６からウエハ搬送部２０のバッファ領域Ａに受け渡される。そして、第２のオープナー１２０によってバッファ領域Ａに載置されたウエハ収容カセット８０の気密蓋８３が外され、この状態にて、ウエハ搬送部２０が多段棚５，５に設置されたウエハ収容カセット８０に移動して、枚葉搬送用ウエハローダ２６によってウエハＷが仕分けられる。すなわち、本実施形態においては、ウエハ収容カセット８０が受け渡されることによって、複数のウエハＷが一括搬送される。
【００４３】
なお、ウエハＷをウエハ用保管庫１００から搬出する場合には、多段棚５，５から複数のウエハＷが収容されたウエハ収容カセット８０を、カセット搬送ローダ１１０によってバッファ領域Ａに受け渡した後に入出庫６近傍まで搬送し、再度、カセット搬送ローダ１１０によって入出庫６に受け渡すことによって可能となる。
なお、ウエハ収容カセット８０は、保管庫本体２の外部から搬送されてくるため、外側が汚染されている虞がある。このため、例えば、入出庫６に洗浄機能を持たせ、ウエハ収容カセット８０を洗浄した後に保管庫本体２の内部に取り込むことが好ましい。
【００４４】
このような本実施形態のウエハ用保管庫１００においても、入出庫６に設置されたウエハＷが一括してウエハ搬送部２０に受け渡されるため、上記第１実施形態のウエハ用保管庫１と同様の効果を奏することができる。
【００４５】
なお、上述した実施の形態において示した動作手順、あるいは各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲においてプロセス条件や設計要求等に基づき種々変更可能である。
【００４６】
例えば、上記第１実施形態においては、ウエハ収容カセット８０に収容されたウエハＷを一括して受け渡す場合について説明した。しかしながら、本発明はこれに限定されるものではなく、ウエハ収容カセット８０に収容されたウエハＷのうち何枚か（複数）のウエハＷのみを入出庫６あるいは多段棚５，５とウエハ搬送部２０との間で一度に受け渡す構成であっても良い。このような場合であっても、バッファ部２８には、少なくとも複数枚のウエハＷが載置されるため、従来のウエハ一枚ごとに搬送していたウエハ用保管庫と比較すれば、次処理工程に応じてウエハＷを仕分けるのに要する作業時間を短縮することが可能となる。
【００４７】
また、上記実施形態においては、一括搬送用ウエハローダ２５あるいはカセット搬送ローダ１１０とがウエハ搬送部２０に設置されている構成について説明した。しかしながら、本発明はこれに限定されるものではなく、一括搬送用ウエハローダ２５あるいはカセット搬送ローダ１１０とが入出庫６に設置されていても良い。このような場合には、ウエハ搬送部２０の走行方向の長さを短くすることができるため、ウエハ用保管庫内におけるデットスペースを削減し、ウエハ用保管庫の収容効率を向上させることができる。
【００４８】
また、上記実施形態においては、ウエハ収容カセット８０が気密蓋８３（扉）を備える構成について説明した。しかしながら、本発明はこれに限定されるものではなく、保管庫本体２内外部のクリーン度が、ウエハ収容カセット８０と同程度以上に保たれている場合には、ウエハ収容カセット８０は、気密蓋を必要としない。
【００４９】
また、上記実施形態においては、オープナーをウエハ搬送部２０に設置する構成について説明した。しかしながら、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、図６に示すように、多段棚５，５の正面５ａ側に移動可能とされる台車２００を別途設置し、該台車にオープナー２７を設置しても良い。このような構成を採用することによって、気密蓋８３を開閉する作業と、ウエハ収容カセット８０とウエハ搬送部２０との間におけるウエハＷの受け渡し作業とを並行に行うことができ、より仕分け作業時間の短縮を図ることが可能となる。
また、オープナー２７を台車２００に設置することによって、ウエハ搬送部２０を小型化することができる。
また、台車２００に洗浄機能を持たせることによって、多段棚５，５の汚れた箇所を局所的に清掃することが可能となり、多段棚５，５の一部が汚れた場合にウエハ用保管庫１全体の稼動を停止して清掃を行う必要がなくなる。よって、ランニングコストを低減させることができる。
また、オープナー２７が有する扉開放手段としての機能と、扉閉鎖手段としての機能とを、ウエハ搬送部２０と台車２００と多段棚５，５とに分割して設置しても良い。
【００５０】
また、例えば、保管庫本体２の背面隔壁に開口を形成するとともに、該開口を閉塞可能なシャッターを設置することによって、多段棚５，５に対してウエハ収容カセット８０を直接出し入れすることが可能となる。
このような構成を採用する場合には、多段棚５，５を入出庫６の替わりに用いることで、入出庫６を設置しない構成を採用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の第１実施形態に係るウエハ用保管庫の概略構成を示す上面図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係るウエハ用保管庫の概略構成を示す正面図である。
【図３】ウエハ収容カセットを示す斜視図である。
【図４】本発明の第２実施形態に係るウエハ用保管庫の概略構成を示す上面図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係るウエハ用保管庫の概略構成を示す正面図である。
【図６】本発明のウエハ用保管庫の変形例を示す一部上面図である。
【符号の説明】
【００５２】
１，１００……ウエハ用保管庫（基板保管庫）、５……多段棚、５ａ……正面、６……入出庫（入出部）、２０……ウエハ搬送部（移載装置）、２５……一括搬送用ウエハローダ（受渡手段）、２６……枚葉搬送用ウエハローダ（枚葉搬送手段）、２７……オープナー（扉開放手段，扉閉鎖手段）、２８……バッファ部（バッファ領域）、８０……ウエハ収容カセット（カセット）、８３……気密蓋（扉）、１１０……カセット搬送ローダ（受渡手段）、２００……台車（移動手段）、Ａ……バッファ領域、Ｗ……ウエハ（基板）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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