(57)【要約】      （修正有）【課題】レーザ溶接において外観による接合（溶接）の良否の判定ができる半導体装置の製造方法を提供する。【解決手段】リードフレーム１６に貫通孔１７を形成し、金属ブロック１８、２０、２２に凸部１９、２１、２３を形成して、この凸部１９、２１、２３を貫通孔１７に嵌合して、レーザ光１５をこの凸部１９、２１、２３に照射して溶融し、貫通孔１７の側壁と凸部１９、２１、２３を接合することで、リードフレーム１６と金属ブロック１８、２０、２２をレーザ溶接する。【選択図】図４
2008305902.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体チップ上に放熱用の金属ブロックが配置され、該金属ブロック上に配線用の金属板が配置される半導体装置の製造方法において、前記金属ブロックの上面に凸部が形成され、前記金属板に貫通孔が形成され、該貫通孔と前記凸部を嵌合し、前記凸部の表面に焦点が合うレーザ光を前記凸部の表面に照射し、該凸部を溶融し、該凸部と前記貫通孔の側壁をレーザ溶接することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項２】
半導体チップ上に放熱用の金属ブロックが配置され、該金属ブロック上に配線用の金属板が配置される半導体装置の製造方法において、前記金属ブロックの上面に凸部が形成され、前記金属板に貫通孔が形成され、該貫通孔と前記凸部を嵌合し、前記凸部の表面から焦点位置を上方にずらしたレーザ光を前記凸部と前記貫通孔の周囲の表面に照射し、前記凸部と前記貫通孔の周囲を溶融し、前記凸部と前記貫通孔の側壁をレーザ溶接することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項３】
前記凸部の高さが、前記貫通孔の深さの５０％以上で、前記貫通孔上部より飛び出る量が２ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１または２に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項４】
前記凸部と前記貫通孔の側壁との隙間が１００μｍ以上で、５００μｍ以下であることを特徴とする請求項１または２に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項５】
前記金属ブロックおよび前記金属板の材質が、銅、銅合金およびアルミニウ  ムのいずれかであることを特徴とする請求項１または２に記載の半導体装置の製造方法  。
【請求項６】
前記レーザ光の波長が、５３２ｎｍ〜１０６４ｎｍであることを特徴とする請求項１または２に記載の半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体パッケージ内の電気配線方法において、半導体チップ上に接合された金属ブロック（ヒートスプレッダ）と電気配線のための金属板（リードフレーム）とをレーザ溶接にて接合する半導体装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電力変換装置の小型化・高密度化が進んできている。電力変換装置の小型化・高密度化に対しては、パッケージ内部の配線、パッケージ構造および放熱方法などを改良する必要がある。特にパワーデバイスであるＩＧＢＴ（Ｉｎｓｕｌａｔｅｄ  Ｇａｔｅ  Ｂｉｐｏｌａｒ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）やＦＷＤ（Ｆｒｅｅ  Ｗｈｅｅｌｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ）等の半導体チップでは、大電流化、小型化にともない、高電流密度で使用されることが多くなってきている。
【０００３】
ここで問題となるのが高電流密度化に伴う発熱密度の増加である。例えば、従来では定格５０Ａで使用していた半導体チップに、半導体チップの高性能化に伴って定格以上の電流、例えば７５Ａの電流を流すという使われ方が多くなってきている。半導体チップの定格電流により、必要とされるチップ面積があるが、例えば１０ｍｍ□（１０ｍｍ×１０ｍｍ）の半導体チップを１枚のウェハから取り出すことができる個数が１００個であった場合、半導体チップ面積が３０％小さなもの（約８．４ｍｍ□）では、同じウェハから取り出すことのできる半導体チップ個数は約１４２個となり、１ウェハ当たりの半導体チップの取れ数が大きくなる。このように、より小さな半導体チップで、より多くの電流を流すことができれば、１ウェハ当たりの半導体チップの取れ数増加に伴い、コスト低減につながる。
【０００４】
また、半導体チップの小型化は、これらの半導体チップを複数個組み合わせて構成される半導体パッケージのサイズを小さくできるメリットもある。これらのことから、同じ定格電流でも、より小さなチップが嗜好される傾向が強く、結果として高発熱密度化が進んできている現状がある。
【０００５】
ＩＧＢＴやＦＷＤ等のパワーデバイスでは、動作温度の上限を１２５℃としている場合が多い。しかしながらチップの小型化や高電流密度化に伴って発熱密度が増加し、従来のアルミワイヤによる配線ではチップ表面の温度上昇を抑えることが不可能となっている。
【０００６】
これは、アルミワイヤが例えばφ３００μｍやφ４００μｍといった細線であり、チップで発生した熱を移動することが出来ないばかりか、アルミワイヤ自身が流れる電流とワイヤの抵抗で発熱し（ワイヤの抵抗×（電流）2でジュール発熱と言われる）、場合によっては溶断してしまう問題点がある。
【０００７】
片面冷却方式をとる半導体パッケージでは、半導体チップから発生した熱は半導体チップの下面からしか放熱が出来ない。半導体パッケージ内には、絶縁保護のためにシリコーン系の封止樹脂が充填されており、半導体チップの上面はこの封止樹脂で覆われている。シリコーン系封止樹脂の熱伝導率は０．１〜０．２Ｗ／ｍＫ程度であり、この構成では半導体チップ上面からの放熱は期待できない。
【０００８】
このような問題点に対し、半導体チップ上面から効率的に熱を逃がす方法として、半導体チップ上面に金属製のヒートスプレッダ（放熱体：金属ブロック）を接合する方法が開示されている（例えば、特許文献１など）。
【０００９】
さらに、このヒートスプレッダと外部配線となるリードフレーム（金属板）をレーザ溶接して接合する方法があり次にそれを説明する。
【００１０】
図１３〜図１５は、従来の半導体装置の製造方法を説明する図である。
【００１１】
図１３は、溶接後の半導体装置の要部構成図であり、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＸ−Ｘ線で切断した断面図である。
【００１２】
セラミック１、コレクタ銅箔２、エミッタ銅箔３、裏面銅箔１２からなる絶縁基板のコレクタ銅箔２の上面に、はんだ８によりＩＧＢＴチップ４が接合されている。また、同じコレクタ銅箔２の上面に、はんだ１０によりＦＷＤチップ６が接合されている。
【００１３】
ＩＧＢＴチップ４の上面には、はんだ９により金属ブロック５が接合され、ＦＷＤチップ６の上面には、はんだ１１により金属ブロック７が接合されている。これらの金属ブロック５、７は、ＩＧＢＴチップ４およびＦＷＤチップ６で発生する熱を上面から効果的に放熱する働きをする冷却体の役目があり、通常、ヒートスプレッダと言われるものである。
【００１４】
図１４は、リードフレームの要部構成図であり、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＸ−Ｘ線で切断した断面図である。
【００１５】
図１５は、リードフレームと金属ブロックをレーザ溶接した後の要部構成図であり、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＸ−Ｘ線で切断した断面図である。
【００１６】
図１５に示すように、金属ブロック５、金属ブロック７、エミッタ銅箔３とリードフレーム１３との接合はレーザ溶接で行われる（同図中、レーザ溶接部は１４）。レーザ光１５はリードフレーム１３の所定の位置に照射され、下部の金属ブロック５、７、エミッタ銅箔３と溶接されて、金属ブロック５、７と絶縁基板（セラミックス１）上に形成されたエミッタ銅箔３の間を電気的に接続する。
【００１７】
また、特許文献２には、ヒートスプレッダ（金属ブロック）と接続するリードフレーム（金属板）に貫通孔を開けてレーザ光で溶接することが開示されている。
【００１８】
また、特許文献３には、リードフレームに底が塞がれた凹穴を形成し、この凹穴にレーザ光を照射してリードフレームとヒートスプレッダをレーザ溶接することが開示されている。
【特許文献１】特開２０００−３０７０５８号公報
【特許文献２】特開２００１−７１１６２号公報
【特許文献３】特開平１１−１４４７７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
図１５で示す従来の半導体装置の製造方法で溶接した溶接状態について図１６で説明する。
【００２０】
図１６は、従来の溶接状態を説明する図であり、上段の図は溶接部のリードフレーム表面の図、中段の図は溶接部の断面の図、下段の図は溶接部の接合面の図であり、同図（ａ）は溶接良の図、同図（ｂ）は溶接面積小の図、同図（ｃ）は溶接されていない図である。図１６において同図（ａ）の下段の図ような状態（溶接部１４ｂの面積が大きい）が好ましく溶接良となるが、中には同図（ｂ）の下段の図ように溶け込みが少なく接合面積（溶接部１４ｂの面積）が少なく溶接不良となる場合や、同図（ｃ）の下段の図ように未接合（溶接されていない：溶接部１４ｂがない）で溶接不良となる場合もある。
【００２１】
このように、溶接状態の良否は中段の図のようにその断面を見るか、引き剥がし下段の図のように接合面を見ない限りは判定ができない。つまり、溶接した表面（上段の図の溶接部１４ａの状態）を観察しただけでは溶接の状態（下段の図の溶接部１４ｂの状態）が同図（ａ）の下段の図の状態なのか、同図（ｂ）の下段の図の状態なのか、それとも同図（ｃ）の下段の図の状態なのかは判断できない。要するに、外観（上段の図の溶接部１４ａの観察）からは接合（溶接）の良否の判定ができない。
【００２２】
また、特許文献２、３で開示されている場合にも、外観による接合（溶接）の良否の判定ができない。
【００２３】
この発明の目的は、前記の課題を解決して、レーザ溶接において外観による接合（溶接）の良否の判定ができる半導体装置の製造方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００２４】
前記の目的を達成するために、半導体チップ上に放熱用の金属ブロックが配置され、該金属ブロック上に配線用の金属板が配置される半導体装置の製造方法において、前記金属ブロックの上面に凸部が形成され、前記金属板に貫通孔が形成され、該貫通孔と前記凸部を嵌合し、前記凸部の表面に焦点が合うレーザ光を前記凸部の表面に照射し、該凸部を溶融し、該凸部と前記貫通孔の側壁をレーザ溶接する製造方法とする。
【００２５】
また、半導体チップ上に放熱用の金属ブロックが配置され、該金属ブロック上に配線用の金属板が配置される半導体装置の製造方法において、前記金属ブロックの上面に凸部が形成され、前記金属板に貫通孔が形成され、該貫通孔と前記凸部を嵌合し、前記凸部の表面から焦点位置を上方にずらしたレーザ光を前記凸部と前記貫通孔の周囲の表面に照射し、前記凸部と前記貫通孔の周囲を溶融し、前記凸部と前記貫通孔の側壁をレーザ溶接する製造方法とする。
【００２６】
また、前記凸部の高さが、前記貫通孔の深さの５０％以上で、前記貫通孔上部より飛び出る量が２ｍｍ以下であるとよい。
【００２７】
また、前記凸部と前記貫通孔の側壁との隙間が１００μｍ以上で、５００μｍ以下であるとよい。
【００２８】
また、前記金属ブロックおよび前記金属板の材質が、銅、銅合金およびアルミニウムのい  ずれかであるとよい。
【００２９】
また、前記レーザ光の波長が、５３２ｎｍ〜１０６４ｎｍであるとよい。
【発明の効果】
【００３０】
この発明によれば、リードフレーム（金属板）に貫通孔を設け、この貫通孔に下部の金属ブロックの凸部を合わせて挿入し、この凸部の表面または凸部と貫通孔の周囲の表面にレーザ光を照射して凸部または凸部とその周囲のリードフレームを溶融してレーザ溶接し、その後の溶接表面を観察し溶接面積の大きさから接合（溶接）の良否を判定することができる。つまり、外観から接合（溶接）の良否を判定することができる。
【００３１】
外観で溶接の良否が判定ができれば、作業性が大きく向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
発明の実施の形態を以下の実施例で説明する。従来技術の図で説明した部位と同一な部位には同一な符号を付した。
【実施例１】
【００３３】
図１〜図５は、この発明の第１実施例の半導体装置の製造方法を説明する図である。
【００３４】
図１は、溶接後の半導体装置の要部構成図であり、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は、同図（ａ）のＸ−Ｘ線で切断した断面図である。図１は半導体チップを搭載した半導体パッケージの一部を示す。
【００３５】
セラミック１、コレクタ銅箔２、エミッタ銅箔３および裏面銅箔１２からなる絶縁基板のコレクタ銅箔２の上面に、はんだ８によりＩＧＢＴチップ４が接合されている。また、同じコレクタ銅箔２の上面に、はんだ１０によりＦＷＤチップ６が接合されている。
【００３６】
ＩＧＢＴチップ４の上面には、はんだ９により金属ブロック１８が接合され、ＦＷＤチップ６の上面には、はんだ１１により金属ブロック２０が接合されている。これらの金属ブロック１８、２０の役目は、ＩＧＢＴチップ４およびＦＷＤチップ６の放熱でありヒートスプレッダと言われる放熱金属ブロックである。また外部導出端子となるエミッタ銅箔３の上面に金属ブロック２２がはんだ２４で接合されている。
【００３７】
図１で示すように、金属ブロック１８、金属ブロック２０および金属ブロック２２とリードフレーム１６との接合はレーザ溶接される（同図中、レーザ溶接部は２５、２６、２７）。図４に示すように、レーザ光１５はリードフレーム１６の貫通孔１７の中にセット（嵌合）された下部の金属ブロック１８、金属ブロック２０および金属ブロック２２の凸部１９、２１、２３に照射され、各金属ブロック１８、２０、２２の凸部１９、２１、２３が溶融し、各金属ブロック１８、２０、２２の凸部１９、２１、２３とリードフレーム１６の貫通孔１７の側壁とがそれぞれレーザ溶接され、互いに電気的に接続される。
【００３８】
図２〜図５は、この発明の第１実施例の半導体装置の製造方法を説明する図である。
【００３９】
図２は、リードフレームを搭載する前の図１の半導体装置の要部構成図であり、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＸ−Ｘ線で切断した断面図である。各金属ブロック１８、２０、２２には凸部１９、２１、２３が形成されている。
【００４０】
図３は、リードフレームの要部構成図であり、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＸ−Ｘ線で切断した断面図である。リードフレーム１６には金属ブロック１８、２０、２２の凸部１９、２１、２３より大きな貫通孔１７が凸部１９、２１、２３と嵌合できるように形成されている。
【００４１】
図４は、リードフレームと金属ブロック上にリードフレームが配置された後レーザ溶接している図１の半導体装置の要部構成図であり、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＸ−Ｘ線で切断した断面図である。金属ブロック１８、２０、２２の凸部１９、２１、２３がリードフレーム１６の貫通孔１７に嵌合（挿入）されている。
【００４２】
リードフレーム１６に形成した貫通孔１７の形状を円形とし、下部の金属ブロック１８、２０、２２に形成した凸部１９、２１、２３の形状を円柱状としたが、図８に示すように、貫通孔２９を四角形としても良い（図８（ａ）は平面図であり、図８（ｂ）は図８（ａ）のＸ−Ｘで切断した断面図である）。この場合には図示しないが、この四角形に適合した四角柱の凸部を有した図示しない金属ブロックを使用する。
【００４３】
また、図９に示すように、貫通孔３０を長方形として良い（図９（ａ）は平面図であり、図９（ｂ）は図９（ａ）のＸ−Ｘで切断した断面図である）。また、図示しないが楕円形でも構わない。
【００４４】
つまり、リードフレーム１６の貫通孔１７の形状は円、楕円、正四角形および長方形であり、また、これらの貫通孔１７に嵌合する金属ブロック１８、２０、２２の凸部の形状は、それぞれ円、楕円、正四角形、長方形とする。
【００４５】
この凸部１９、２１、２３と貫通孔１７の隙間は、１００μｍ〜５００μｍ程度とするのが好ましい。これは、１００μｍ未満では部材公差や下部凸部の位置精度により嵌め合いが困難となり、また５００μｍを超えると隙間が広すぎ、凸部１９、２１、２３が溶融してもその隙間を充填することが困難となって溶接不良となるからである。
【００４６】
また、凸部１９、２１、２３にレーザ光１５を照射して、凸部１９、２１、２３を溶融してリードフレーム１６の貫通孔１７の側壁とレーザ溶接した図が図５であり、図１（ｂ）と同じである。
【００４７】
前記したように、凸部１９、２１、２３にレーザ光１５を照射することによりその凸部１９、２１、２３が溶融し、リードフレーム１６に形成された貫通孔１７と凸部１９、２１、２３の隙間に溶融物が充填されることにより、リードフレーム１６と下部の金属ブロック１８、２０、２２が接合される。
【００４８】
レーザ溶接による接合部（レーザ溶接部２５、２６、２７）が従来のようにリードフレーム１３の底面と金属ブロック５、７およびエミッタ銅箔３の上面の界面ではなく、本発明では金属ブロック１８、２０、２２の凸部１９、２１、２３とリードフレーム１６の貫通孔１７の側壁であり、そのため溶接状態が表面から観察できる。金属ブロック１８、２０、２２の凸部１９、２１、２３とリードフレーム１６の貫通孔１７の側壁の隙間が所定の割合で溶融物で埋められていることで、溶融表面の観察から接合（溶接）の良否の判定が可能となる。
【００４９】
この接合（溶接）の良否の判定は、金属ブロック１８、２０、２２の溶融・凝固した表面を画像認識装置で捉え、演算装置で表面の溶融・凝固した面積の総和を算出し、この表面の面積（溶接面積）が所定の値以上の場合は溶接良とし、満たない場合には不良とする。これらの判定は自動的に行われる。
【００５０】
溶接面積の所定の値は溶接部の電気抵抗値と接合強度から決められる。例えば、４００Ａ素子の場合には、溶接面積の所定の値は２．７ｍｍ2程度である。この溶接面積の所定の値は、４００Ａ素子をボンディングワイヤ（銅ワイヤ）で組み立てた場合を想定して、そのとき使用される複数のボンディングワイヤの総断面積に相当している。
【００５１】
また、第１実施例では、金属ブロック１８、２０、２２に形成した凸部１９、２１、２３の高さとリードフレーム１６に形成した貫通孔１６の深さを同一なものとしたが、凸部１９、２１、２３の高さと貫通孔１６の深さとの関係は、凸部１９、２１、２３の高さが貫通孔１６の深さの５０％以上とすることが好ましい。５０％未満とした場合、貫通孔１６の内壁への接合面積が少なくなり接合強度が低下する。
【００５２】
また、金属ブロック１８、２０、２２とリードフレーム１６の材質は銅、銅合金（リン青銅、黄銅など）およびアルミニウムのいずれかの材質であり、同一融点の材質のものを用いのがよい。
【００５３】
しかし、金属ブロック１８、２０、２２とリードフレーム１６に異なる材質のものを用いる場合には凸部１９、２１、２３のある金属ブロック１８、２０、２２の方を高融点のものとする。そうすると、凸部１９、２１、２３が溶融した熱で貫通１７の周囲のリードフレーム１６も温度が上がり、貫通孔１７の側壁も溶融して接合が一層強固なものとなる。
【００５４】
また、レーザ光１５の波長としては、半導体レーザの場合は６００ｎｍ〜９００ｎｍまたはＹＡＧレーザの場合は１０６４ｎｍもしくはＹＡＧレーザの第２高調波の５３２ｎｍとするとよい。
【００５５】
レーザ光１５の波長が１０６４ｎｍよりも長波長のレーザ光を照射した場合には溶融させるためにはレーザ光１５の吸収率が低下して溶接するのが困難となる。また５３２ｎｍより短波長のレーザ光１５を照射した場合にはレーザパワーが小さすぎて溶接するのが困難になる。そのため、レーザ光１５の波長範囲は５３２ｎｍ〜１０６４ｎｍとするとよい。
【００５６】
また、良好な溶接を得るためには、レーザ光１５のエネルギーは１００Ｊ程度がよく、パワーとしてはピーク値が５ｋＷ程度でパルス幅が２０ｍｓ程度の矩形波がよい。
【００５７】
また、レーザ光１５のスポット径は焦点を結んだ箇所では０．４ｍｍ〜１ｍｍ程度である。
【実施例２】
【００５８】
図６は、この発明の第２実施例の半導体装置の製造方法を説明する図であり、同図（ａ）はリードフレームを搭載した後で溶接前の状態を示す要部断面図であり、同図（ｂ）は溶接後の状態を示す要部断面図である。
【００５９】
第１実施例との違いは、リードフレーム１６の下部の金属ブロック１８ａ、２０ａ、２２ａの凸部１９ａ、２１ａ、２３ａの高さが貫通孔１７の表面から飛び出している点である。つまり、貫通孔１７の深さ（リードフレーム１６の厚さ）より凸部１９ａ、２１ａ、２３ａの高さが大きいということである。
【００６０】
凸部１９ａ、２１ａ、２３ａの径が貫通孔１７の径よりも小さいために、貫通１７と凸部１９ａ、２１ａ、２３ａの間には隙間が生じる。凸部１９ａ、２１ａ、２３ａにレーザ光１５を照射し、この凸部１９ａ、２１ａ、２３ａが溶融して貫通孔１７の側壁と凸部１９ａ、２１ａ、２３ａの間の隙間に広がると、その隙間の体積の分だけ再凝固後の凸部１９ａ、２１ａ、２３ａの高さが低下することになる。凸部１９ａ、２１ａ、２３ａと下部の金属ブロック１８ａ、２０ａ、２２ａとの接合は、凸部１９ａ、２１ａ、２３ａの高さで決まるため、元々の凸部１９ａ、２１ａ、２３ａの高さが低い場合には所望の接合面積が得られないことがある。このため、凸部１９ａ、２１ａ、２３ａの高さは貫通孔１７の表面よりも飛び出している方が好ましい。
【００６１】
図６（ａ）に示したように、貫通孔１７の表面よりも高い（貫通孔１７上部から凸部１９ａ、２１ａ、２３ａが飛び出る）凸部１９ａ、２１ａ、２３ａにレーザ光１５を照射すると、図６（ｂ）のようになる。
【００６２】
すなわち、リードフレーム１６に形成された貫通孔１７の側壁と下部の凸部１９ａ、２１ａ、２３ａとの隙間に、溶融した凸部（溶融物）が流れ込むことにより、溶融物が隙間を埋め尽くして広い溶接面積を確保できる。
【００６３】
このときの貫通孔１６上部からの凸部１９ａ、２１ａ、２３ａの飛び出し量は２ｍｍ以下とすることが好ましい。凸部１９ａ、２１ａ、２３ａの飛び出し量が２ｍｍを超えた場合、レーザ光１５により溶融した凸部１９ａ、２１ａ、２３ａが隙間に流入する前に凝固して隙間に流入しなくなり、凸部１９ａ、２１ａ、２３ａと貫通孔１７の側壁が溶接されなくなるからである。
【００６４】
また、図６（ｂ）に示したように凸部１９ａ、２１ａ、２３ａが溶融して再凝固した状態で貫通孔１７の深さと再凝固した凸部の高さが同一になるような場合を示したが、２ｍｍ以下の範囲で凸部１９ａ、２１ａ、２３ａの飛び出し量を多くして貫通孔１７の周囲に凸部１９ａ、２１ａ、２３ａの溶融・再凝固部が広がった状態（リベット状）としても構わない。
【実施例３】
【００６５】
図７は、この発明の第３実施例の半導体装置の製造方法を説明する図であり、同図（ａ）はリードフレーム搭載後で溶接前の状態を示す要部断面図であり、同図（ｂ）は溶接後の状態を示す要部断面図である。
【００６６】
前記の第２実施例との違いは、レーザ光２８の焦点を凸部１９ａ、２１ａ、２３ａの表面より高い位置に移動させて焦点ぼかし（焦点が照射面に結ばない状態のこと）にして貫通孔１７の周囲にもレーザ光２８が広がって照射される点である。ここでは貫通孔１７の表面から、下部の金属ブロック１８ａ、２０ａ、２２ａに形成された凸部１９ａ、２０ａ、２３ａが飛び出した場合を例に示した。
【００６７】
この第３実施例では、凸部１９ａ、２１ａ、２３ａのみにレーザ光２８を照射するのではなく、レーザ光２８を照射する照射ユニット（図示せず）と凸部１９ａ、２１ａ、２３ａの表面との間隔を広げ、貫通孔１７の周囲までレーザ光２８が照射されるようにしたものである。
【００６８】
この場合、前記の第１実施例および第２実施例の場合のレーザパワー密度よりも、照射されるレーザパワー密度が低くなる為に、パワー密度が等しくなるようにレーザパワーを高く設定すれば良い。具体的には、レーザパワーを７ｋＷ〜８ｋＷに上げてパルス幅を短くして、レーザエネルギーを１００Ｊ程度に確保するとよい。
【００６９】
前記したように、レーザ光２８を貫通孔１７の周囲まで照射することにより、凸部１９ａ、２１ａ、２３ａのみではなく貫通孔１７の周囲まで溶融させるため、前記の第１実施例および第２実施例よりレーザ溶接部２５ｂ、２６ｂ、２７ｂが大きくなり、強固な溶接部を得ることができる。
【実施例４】
【００７０】
図１０〜図１２は、この発明の第４実施例の半導体装置の製造方法を説明する図である。  図１０は、溶接後の半導体装置の要部構成図であり、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は  同図（ａ）のＸ−Ｘ線で切断した断面図である。
【００７１】
図１１は、図１０の半導体装置で用いるリードフレームの要部構成図であり、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＸ−Ｘ線で切断した断面図である。
【００７２】
図１２は、図１０の半導体装置の金属ブロックに図１１のリードフレームを搭載した要部構成図であり、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＸ−Ｘ線で切断した断面図である。
【００７３】
前記の第１実施例との違いは、図１１、１２に示すように、金属ブロック３３、３４の上に位置するリードフレーム１６の貫通孔３１、３２を１つの大きな四角形とした点である。
【００７４】
金属ブロック３３、３４の凸部３６、３７の形状は、この貫通孔３１、３２の形状に合った形状で大きな正四角形である。また、エミッタ銅箔３上に接合した金属ブロック３５には長方形の凸部３８を形成した場合を示したが、これは図で説明したエミッタ銅箔３の寸法からの制約であり、長方形と限定したものではない。
【００７５】
この発明の第１実施例、第２実施例および第３実施例における貫通孔１７は、それぞれその貫通孔１７内部に位置する凸部１９、１９ａ、２１、２１ａ、２３、２３ａや凸部１９、１９ａ、２１、２１ａ、２３、２３ａと貫通孔１７の周囲にレーザ光１５、２８を照射するものであったが、第４実施例のような大きな貫通孔３１、３２と凸部３６、３７の組み合わせでは、その各辺に対して複数のスポット溶接部分を設けると良い。また、スポット溶接ではなく、ビード状の溶接としても良い。
【００７６】
尚、前記第１実施例〜第４実施例において、レーザ光１５、２８の照射面（銅などの表面）にレーザ光１５、２８の吸収率を高めるために、ニッケル（Ｎｉ）膜を被覆すると、溶接の効率を高めることができて好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】この発明の第１実施例の半導体装置の製造方法で製造した半導体装置の要部構成図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は、（ａ）のＸ−Ｘ線で切断した断面図
【図２】リードフレームを搭載する図１の半導体装置の要部構成図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は同図（ａ）のＸ−Ｘ線で切断した断面図
【図３】リードフレームの要部構成図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｘ線で切断した断面図
【図４】リードフレームと金属ブロック上にリードフレームが配置された後レーザ溶接している図１の半導体装置の要部構成図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｘ線で切断した断面図
【図５】金属ブロックの凸部とリードフレームの貫通孔の側壁とをレーザ溶接した要部断面図
【図６】この発明の第２実施例の半導体装置の製造方法を説明する図であり、（ａ）はリードフレームを搭載した後で溶接前の状態を示す図、（ｂ）は溶接後の状態を示す図
【図７】この発明の第３実施例の半導体装置の製造方法を説明する図であり、（ａ）はリードフレーム搭載後、溶接前の状態を示す図、（ｂ）は溶接後の状態を示す図
【図８】リードフレームに形成する貫通孔を四角形とした場合であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｘで切断した断面図
【図９】リードフレームに形成する貫通孔を長方形とした場合であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｘで切断した断面図
【図１０】この発明の第４実施例の半導体装置の製造方法で製造した半導体装置の要部構成図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は同図（ａ）のＸ−Ｘ線で切断した断面図
【図１１】図１０の半導体装置で用いるリードフレームの要部構成図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｘ線で切断した断面図
【図１２】図１０の半導体装置の金属ブロックに図１１のリードフレームを搭載した要部構成図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｘ線で切断した断面図
【図１３】従来の半導体装置の製造方法で製造した半導体装置の要部構成図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｘ線で切断した断面図
【図１４】従来のリードフレームの要部構成図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｘ線で切断した断面図
【図１５】従来のリードフレームと従来の金属ブロックをレーザ溶接した後の要部構成図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｘ線で切断した断面図
【図１６】従来の溶接状態を説明する図であり、（ａ）は溶接良の図、（ｂ）は溶接面積小の図、（ｃ）は溶接されていない図
【符号の説明】
【００７８】
１    セラミックス
２    コレクタ銅箔
３    エミッタ銅箔
４    ＩＧＢＴチップ
６    ＦＷＤチップ
８〜１１、２４  はんだ
１２    裏面銅箔
１５、２８  レーザ光
１６    リードフレーム
１７、２９、３０  貫通孔
１８、１８ａ、２０、２０ａ、２２、２２ａ、３３〜３５  金属ブロック
１９、２１、２３、３６〜３８  凸部
２５〜２７、２５ａ〜２７ａ、２５ｂ〜２７ｂ、４１〜４３  レーザ溶接部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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