(57)【要約】【課題】ランプデータを読み取ってランプの使用状態や使用履歴などを管理する光源装置において、ランプデータを読み取る読取装置を熱や電圧から保護する。【解決手段】ランプの口金にランプデータを表示しておく。口金を保持する口金ホルダに、ランプデータの読取手段を設ける。ランプが口金ホルダに保持され点灯されていない状態で、ランプデータを読み取る位置に読取手段を移動させる。ランプを点灯する前に、ランプ点灯による熱などを遮蔽する遮蔽部を設けた退避位置に読取手段を移動させる。ランプデータは、製造年月日、製造者名、製造場所、製造ライン、ランプ型式、品種番号、ロット番号、識別番号などのランプの属性と、定格電流、定格電圧、冷却条件、装置への取付け方向、使用限度時間などの設定仕様である。ランプデータの表示形式は、光学的に読取可能なバーコードや２次元コードや文字や記号や符号や図形や模様などである。【選択図】図１
2008047425.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ランプデータを表示した口金を有するランプと、前記口金を保持する口金ホルダと、前記ランプデータを読み取る読取手段と、前記ランプデータを読み取れる読取位置と安全な退避位置との間で前記読取手段を移動させる移動手段と、前記口金が前記口金ホルダに保持された時に前記読取手段を前記読取位置に移動させるとともにランプ点灯前に前記読取手段を前記退避位置に移動させるように前記移動手段を制御する制御手段とを具備することを特徴とする光源装置。
【請求項２】
前記退避位置には、ランプ点灯に伴う熱と光と電磁波と高電圧の少なくとも１つを遮蔽する遮蔽手段があることを特徴とする請求項１に記載の光源装置。
【請求項３】
前記退避位置は、前記読取手段の劣化原因が十分少ない位置であることを特徴とする請求項１に記載の光源装置。
【請求項４】
前記口金ホルダに、前記読取手段が前記ランプデータを読み取るための空間である窓部を設けたことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の光源装置。
【請求項５】
前記読取位置は、前記口金と前記口金ホルダと前記読取手段とにより外光が遮蔽される位置であることを特徴とする請求項４に記載の光源装置。
【請求項６】
前記ランプデータは、ランプ属性情報とランプ設定仕様情報を含み、前記ランプ属性情報は、製造年月日、製造者名、製造場所、製造ライン、ランプ型式、品種番号、ロット番号、識別番号のうちの１つを含み、前記ランプ設定仕様情報は、定格電流、定格電圧、冷却条件、装置への取付方向、使用限度時間のうちの１つを含むことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の光源装置。
【請求項７】
前記ランプデータを読み取って、前記ランプの駆動を制御するとともに、使用状態と使用履歴を管理する手段を備えることを特徴とする請求項６に記載の光源装置。
【請求項８】
前記ランプデータの表示形式は、光学的に読み取り可能なものであり、バーコード、２次元コード、文字、記号、符号、図形、模様の何れか１つ以上の組合せであることを特徴とする請求項６または７に記載の光源装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光源装置に関し、特に、ランプに表示したランプデータを読み取るランプデータ読取部を保護する光源装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、放電ランプを光源とする露光装置で、LSI製造用などのマスクのパターンを基板に露光している。露光する前に、マスクと基板を正しい位置関係とする必要がある。そのため、特許文献１に開示されている方法では、マスクと基板のアライメントマークを撮像装置により撮像する。両者のマークが一致するように、マスクと基板の相対位置を合わせる。位置合せが完了した後、撮像装置を退避させる。
【０００３】
さらに、波長や光量などが規定の仕様を満たす放電ランプでないと、基板を精度よく露光できない。新規にランプを取り付ける際には、放電ランプが規定の仕様を満たすことを確認する必要がある。ランプの長期使用による特性劣化があるので、仕様を満たさなくなったら、ランプを交換する必要がある。ランプの交換時にも、放電ランプが規定の仕様を満たすことを確認する必要がある。そこで、本出願人は、特願2006-100000号で、放電ランプが適合するものであることを確認できる光源装置を提案した。この光源装置は、口金に表示してあるランプデータを読み取って確認するものである。口金ホルダに、ランプデータを読み取る読取装置を設ける。取り付けられた放電ランプが適合した放電ランプであるか否かを、自動的に判断する。適正な放電ランプであれば、放電ランプを駆動し、放電ランプの使用状態と使用履歴を管理する。
【特許文献１】特開平07-013340号公報
【特許文献２】特願2006-100000号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、従来のランプデータ読取方法では、以下のような問題がある。ランプ電極間を絶縁破壊させるパルス状の高電圧を口金ホルダから印加して放電ランプを点灯するため、高電圧により読取装置の構成部材が絶縁破壊される危険がある。また、マイクロ波により点灯する無電極放電ランプや、高周波電流で点灯する放電ランプでは、読取装置の構成部材が電磁波により著しく劣化したり、正常な読取動作ができなくなったりする。また、放電ランプの点灯時には、口金ホルダ周辺が200℃から300℃程度の高温度状態となるので、読取装置の構成部材が熱により劣化する。読取装置が劣化すると、ランプの使用状態や使用履歴などを正確に管理できなくなる。それを避けるために、読取装置を熱や高電圧から保護する冷却構造や絶縁構造を備えると、光源装置の構造が複雑になってコスト高になる。また、特許文献１に開示された撮像装置の光路への挿脱方法を、光源装置における放電ランプの管理にそのまま適用することは、劣化原因の条件が著しく異なるので困難である。
【０００５】
本発明の目的は、上記従来の問題を解決して、光源装置において、ランプの口金に表示されたランプデータを読み取る読取装置を、ランプの熱や高電圧などの劣化原因から保護することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、本発明では、光源装置を、ランプデータを表示した口金を有するランプと、口金を保持する口金ホルダと、ランプデータを読み取る読取手段と、ランプデータを読み取れる読取位置と安全な退避位置との間で読取手段を移動させる移動手段と、口金が口金ホルダに保持された時に読取手段を読取位置に移動させるとともにランプ点灯前に読取手段を退避位置に移動させるように移動手段を制御する制御手段とを具備する構成とした。
【発明の効果】
【０００７】
上記のように構成することにより、ランプの熱や高電圧からランプデータの読取装置を保護して劣化を防ぎ、放電ランプの使用状態や使用履歴などを正確に管理できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明を実施するための最良の形態について、図１〜図４を参照しながら詳細に説明する。
【実施例】
【０００９】
本発明の実施例は、ランプデータを読み取る時には、ランプデータ読取部を口金ホルダの切欠部に入り込ませ、放電ランプを点灯させる時には、ランプデータ読取部を退避させる光源装置である。
【００１０】
図１は、本発明の実施例における光源装置のランプデータ読取部を、ランプデータ表示部に対面するように配置した状態を示す外観図である。図１において、陽極１は、プラス側の電極である。陰極２は、マイナス側の電極である。内部リード棒３は、電極を支えて給電する部材である。金属箔４は、内部リード棒と外部リード棒を電気的に接続する部材である。封止管部５は、バルブを気密封止する部分である。外部リード棒７は、口金から金属箔を介して電極へ給電する部材である。発光部９は、電極間の放電により発光する部分である。バルブ部10は、電極を密封して放電空間を形成するガラス部材である。口金20は、ランプを機械的に保持するとともに給電するための部材である。円筒部21は、口金の大径部である。突出部23は、口金の小径部である。口金ホルダ30は、口金を保持する部材である。ランプデータ読取装置40は、ランプデータを光学的に読み取る装置であり、先端部には、センサを備えたランプデータ読取部がある。腕部41は、ランプデータ読取装置を退避させる手段である。遮蔽部50は、ランプの熱などを遮蔽する部材である。
【００１１】
図１に示すように、放電ランプは、発光部９および２つの封止管部５よりなるバルブ部10と、発光部９の中に対向配置された陽極１および陰極２と、これら陽極１および陰極２を支持するとともに通電を行う内部リード棒３と、外部リード棒７と、この内部リード棒３と外部リード棒７とを導電性の金属箔４によって接続して気密に封止する封止管部５とにより構成され、さらに、封止管部５には口金20が固定されており、もう一方の封止管部５に口金20が固定されている。口金20は封止管を保持する円筒部21と、円筒部に連設される円筒部の端面22と、円筒部の端面に植設される突出部23から構成される。口金ホルダは光源装置に固定されている。口金ホルダには、切欠部（図２）が設けられており、ランプデータ読取装置40の一端は、口金ホルダの切欠部に入り込んでいる。ランプデータ読取装置40の他端側は、遮断部51内に入り込み、例えばリニアモータなどの直線方向の移動装置（図２）に接続されている。移動装置は、エアシリンダやモータ等により駆動されても良い。また、手動によるレバー・クランク機構などであっても良い。
【００１２】
図２は、光源装置のランプデータ読取部をランプデータ表示部に対面するように配置した状態を示す図である。図２（Ａ）は、縦断面図である。図２（Ｂ）は、図２（Ａ）のＢ‐Ｂ断面図である。図２において、接着剤６は、封止管部に口金を固定する接着剤である。銀ロウ８は、外部リード棒を口金に接続する部材である。端面22は、口金の円筒部の端面である。ランプデータ表示部25は、ランプデータを表示してある部分である。切欠部31は、口金ホルダの空隙部分である。端面32は、口金ホルダの端面である。孔部33は、口金ホルダの孔である。窓部34は、口金ホルダに開けた窓である。凹部44は、腕部に設けた凹み部分である。ランプデータ読取部45は、ランプデータを読み取るセンサ部分である。遮断部51は、熱などが遮られた領域である。遮光空間54は、ランプの光が遮られた空間である。移動装置60は、腕部を動かす駆動装置である。
【００１３】
図２に示すように、金属箔４には、内部リード棒（図１）を介して電極（図１）が接続されている。金属箔４はガラス製の封止管部５により封着され、発光部の内部と外部との気密を得ている。封止管部５には口金20が接着剤６により固定されている。口金20は銀ロウ８により、外部リード棒７に電気的に接続されており、電極には口金20を介して電力が供給される。口金の円筒部の端面22に、ランプに関するデータを表示したランプデータ表示部25が設けられている。光源装置に固定されている口金ホルダ30は、口金保持用の孔部33と、ランプデータ読取装置40を入り込ませる切欠部31と、ランプデータ表示部25に連通する窓部34とを有する。口金の突出部23を口金保持用の孔部33に嵌合させて、口金の端面22と口金ホルダの端面32とを当接することにより、放電ランプは光源装置に保持される。これ以外にも、口金構造体を口金ホルダにネジなどで固定してもよい。
【００１４】
ランプデータ読取装置40は、エアシリンダやリニアモータなどの移動装置60と、移動装置60の駆動力により直線駆動される腕部41と、腕部41に設けた凹部44と、凹部44の底面に設けたランプデータ読取部45とを有する。ランプデータ読取部45には、LEDなどの光源およびCCDなどの画像読取手段を備えている。ランプデータ表示部とランプデータ読取部45との間には、ランプデータ読取装置40の凹部44およびランプデータ読取部45と、口金ホルダの窓部34と、口金の円筒部の端面32およびランプデータ表示部25とにより、外光から遮断された遮光空間54が設けられる。ランプデータ読取部45がランプデータ表示部25から退避する位置に、ランプデータ読取部45を遮蔽する遮蔽部50が設けられている。遮蔽部50は、断熱性や絶縁性や遮光性を備えたものである。ランプデータ読取部45と遮蔽部50との間には遮断部51が形成されている。遮断部51は、ランプの熱や光（紫外線や赤外線を含む。以下同じ）と、ランプに印加される電圧から隔離された空間となっている。
【００１５】
図３は、光源装置のランプデータ読取部を遮断部に退避させた状態を示す縦断面図である。図４は、光源装置の変形例のランプデータ読取部を退避させた状態を示す縦断面図である。
【００１６】
上記のように構成された本発明の実施例における光源装置の機能と動作を説明する。最初に、図１を参照しながら、光源装置の機能の概要を説明する。光源装置の口金ホルダ30で、ランプの口金20を保持する。ランプの口金20には、ランプデータが表示してある。ランプデータは、ランプ属性情報とランプ設定仕様情報である。ランプデータの表示形式は、光学的に読み取り可能なものである。口金20が口金ホルダ30に保持された時に、ランプデータ読取装置40でランプデータを読み取る。読取位置は、口金20と口金ホルダ30とランプデータ読取部とにより外光が遮蔽される位置である。ランプ点灯前に、ランプデータ読取部を退避位置に移動させる。退避位置には、ランプ点灯に伴う熱と光と電磁波と高電圧を遮蔽する遮蔽部50がある。ランプデータを読み取って、ランプの駆動を制御するとともに、使用状態と使用履歴を管理する。
【００１７】
次に、図２を参照しながら、ランプデータの読取方法を説明する。ランプデータ表示部25と窓部34と凹部44とランプデータ読取部45で、外光が遮断された遮光空間54を形成する。ランプデータ読取部45に入る光ノイズを防いで、ランプデータを正確に認識できる。ランプデータ表示部25の表示内容を光学的に読み取って、光源装置のランプデータ記憶装置に格納する。
【００１８】
口金ホルダ30に窓部34を設けて、口金20とランプデータ読取装置40の腕部41とが接しないようにする。口金ホルダ30に窓部34を設けずに切欠部を貫通させて、ランプデータ表示部25のランプデータをランプデータ読取部45で読み取ることもできる。しかし、ランプデータ読取装置40の腕部41が口金に衝突してランプを破損するおそれがある。さらに、ランプデータ表示部25に付着していた異物でランプデータ読取部45が汚れるおそれもある。それを避けるために、窓部34を介して読み取るようにする。
【００１９】
放電ランプに関するランプデータは、放電ランプごとの属性と放電ランプの設定仕様に分類できる。放電ランプごとの属性は、製造年月日、放電ランプの製造者名、製造場所、製造ライン、放電ランプの型式、品種番号、ロット番号、識別番号などであり、そのうちの１つまたは複数の組合せから成る。放電ランプの設定仕様は、定格ランプ電流、定格ランプ電圧、冷却条件、装置への取付け方向など、光源装置において放電ランプを使用するための条件であり、そのうちの１つまたは複数の組合せから成る。放電ランプのランプデータ表示部25の表示形式は、文字、記号、符号、図形、模様などである。それらの組合せにより表示してもよい。バーコードや２次元コードが適当である。製造会社のマークなどを表示してもよい。
【００２０】
ランプデータは、光の反射率の相違や、正反射部分および乱反射部分の組合せにより表示される。このランプデータ表示部25は、切削、彫刻、刻印、蝕刻の他に、レーザ光線の照射などによって形成することができる。口金構造体の円筒部の端面に予め凹部を形成しておき、この凹部にランプデータを表示させたプレートを嵌め込んで取り付けてもよい。ランプデータ表示部25は目視で確認できるため、放電ランプの使用者が見てわかる文字や図形で表示しておけば、放電ランプが光源装置に適合した放電ランプであることを確認できる。
【００２１】
次に、図２と図３を参照しながら、ランプデータ読取部の退避方法を説明する。ランプが点灯される前に、図２に示すように、移動装置60により腕部41を介して、窓部34を介してランプデータ表示部25と対向するように、ランプデータ読取部45が、図２（Ａ）の矢印に示すように、口金ホルダ30の切欠部31に挿入される。この位置がランプデータの読取位置である。この位置で、ランプデータ読取部45は、ランプデータ表示部25を読み取る。外光が遮断された遮光空間54では光ノイズがないので、ランプデータ読取部45は、ランプデータを正確に読み取れる。読み取ったランプデータの画像信号を画像処理してパターン認識や文字認識をする。ランプごとの属性や放電ランプの設定仕様などのデータが、必要に応じて取り出される。このデータに基づいて、放電ランプが光源装置に適合した放電ランプであるか否かを自動的に判断する。
【００２２】
正しい放電ランプであれば、図３の矢印に示すように移動装置60で腕部41を動かして、ランプデータ読取部45を遮断部51まで退避させる。ランプデータ読取部45を遮断部51まで退避させた後、ランプに電力を供給し、ランプを点灯させる。退避位置では、ランプ点灯時におけるランプの熱や光や電磁波と、ランプに印加される高電圧から、ランプデータ読取部45が隔離される。したがって、ランプの点灯時にはランプデータ読取部45を退避位置に移動させておくことにより、ランプの熱や光や電磁波とランプに印加される高電圧により、ランプデータ読取部45が劣化することを防止でき、長期にわたり放電ランプの使用状態および使用履歴などを正確に管理できる。一方、放電ランプが適合するものでなければ、点灯を中止して、不適合のランプであると警告する。
【００２３】
次に、図４を参照しながら、変形例を説明する。図４（Ａ）は、第１の変形例であり、ランプデータ読取部を移動と回転で退避させた状態を示す断面図である。ランプデータ読取部45を備えた円柱状の腕部41を移動装置60で動かして、ランプデータ読取部45を所定位置まで退避させる。その後、腕部41を軸の周りに回転させて、ランプデータ読取部45をランプと反対の方向に向ける。移動装置60により腕部41を軸の周りに回転させることにより、放電ランプから放射される光がランプデータ読取部45に入射しないようにする。ランプデータ読取部45の向きを変えるのみで、遮蔽部50を設けることなく、放電ランプから放射される光がランプデータ読取部45に入射しないようにできる。移動なしで回転のみで退避してもよい。また、移動のみで安全な位置に退避できれば、移動のみの退避でもよい。図４（Ｂ）は、第２の変形例である。ランプデータ読取部45を取り付けた腕部41を、クレーンのように円弧状に移動させて退避させた状態を示す断面図である。ランプデータ読取部45を取り付けた腕部41を円弧状に移動させて、放電ランプから放射される光を避ける位置に退避させる。直線状の移動と円弧状の移動を組み合わせて、腕部41を直線状に移動してから円弧状に移動させてもよい。
【００２４】
遮蔽部50を光源装置に固定した例を説明したが、ランプデータ読取部45を固定し、遮蔽部50を移動装置60で移動させて、ランプデータ読取部45を遮断部51内に収容するようにしてもよい。この場合、シャッタなどによりランプの光などを遮ってもよい。また、位置決めのために、窓部34に入り込むように口金の円筒部の端面22に凸部を設け、その凸部の端面にランプデータ表示部45を設けることにより、円周方向の向きを一義的に決定することができる。円周方向の向きが一義的に決まるので、ランプ取付け時には、ランプデータ表示部とランプデータ読取部45を容易に対面させることができる。なお、エアシリンダの駆動源となる高圧力気体は、ランプを冷却する圧縮空気を用いると、構成が簡単となる。これまで電極を有する放電ランプの例を説明したが、低圧水銀灯、ハロゲンランプ、ヒータランプ、エキシマランプなどの他のランプにも応用できる。
【００２５】
上記のように、本発明の実施例では、光源装置を、ランプデータを読み取る時には、ランプデータ読取部を口金ホルダに設けた切欠部に入り込ませ、放電ランプを点灯させる時には、ランプデータ読取部を遮蔽部に退避させる構成としたので、読取装置を熱や電圧などの劣化原因から保護できる。
【産業上の利用可能性】
【００２６】
本発明の光源装置は、ランプに設けたランプデータを読み取るランプデータ読取部を保護する光源装置として最適である。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の実施例における光源装置のランプデータ読取部をランプデータ表示部に対面するように配置した状態を示す外観図である。
【図２】本発明の実施例における光源装置のランプデータ読取部をランプデータ表示部に対面するように配置した状態を示す断面図である。
【図３】本発明の実施例における光源装置のランプデータ読取部を遮断部に退避させた状態を示す縦断面図である。
【図４】本発明の実施例における光源装置の変形例のランプデータ読取部を退避させた状態を示す縦断面図である。
【符号の説明】
【００２８】
１  陽極
２  陰極
３  内部リード棒
４  金属箔
５  封止管部
６  接着剤
７  外部リード棒
８  銀ロウ
９  発光部
10  バルブ部
20  口金
21  円筒部
22  円筒部の端面
23  突出部
25  ランプデータ表示部
30  口金ホルダ
31  切欠部
32  口金ホルダの端面
33  孔部
34  窓部
40  ランプデータ読取装置
41  腕部
44  凹部
45  ランプデータ読取部
50  遮蔽部
51  遮断部
54  遮光空間
60  移動装置
【図１】
2008047425.tif 000003
【図２】
2008047425.tif 000004
【図３】
2008047425.tif 000005
【図４】
2008047425.tif 000006
【手続補正書】
【提出日】平成19年9月18日(2007.9.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端面を円板状当接面で封じた大径の円筒部と上記円板状の当接面の中央を貫通して同軸状に植設された小径の突出部と前記円板状の当接面上に表示したランプデータとからなる口金を有するランプと、前記突出部を保持する孔部と前記円盤状当接面を支持する端面と前記口金から遠ざかる方向に開口された切欠部と前記端面と前記切欠部とを連通させる窓部とからなる口金ホルダと、前記ランプデータを読み取る読取手段と、前記切欠け部に入り込んで前記窓部を介して前記ランプデータを読み取る読取位置と安全な退避位置との間で前記読取手段を移動させる移動手段と、前記口金が前記口金ホルダに保持された時に前記読取手段を前記読取位置に移動させるとともにランプ点灯前に前記読取手段を前記退避位置に移動させるように前記移動手段を制御する制御手段とを具備することを特徴とする光源装置。
【請求項２】
前記退避位置には、ランプ点灯に伴う熱と光と電磁波と高電圧の少なくとも１つを遮蔽する遮蔽手段があることを特徴とする請求項１に記載の光源装置。
【請求項３】
前記ランプデータは、ランプ属性情報とランプ設定仕様情報を含み、前記ランプ属性情報は、製造年月日、製造者名、製造場所、製造ライン、ランプ型式、品種番号、ロット番号、識別番号のうちの１つを含み、前記ランプ設定仕様情報は、定格電流、定格電圧、冷却条件、装置への取付方向、使用限度時間のうちの１つを含むことを特徴とする請求項１または２に記載の光源装置。
【請求項４】
前記ランプデータを読み取って、前記ランプの駆動を制御するとともに、使用状態と使用履歴を管理する手段を備えることを特徴とする請求項３に記載の光源装置。
【請求項５】
前記ランプデータの表示形式は、光学的に読み取り可能なものであり、バーコード、２次元コード、文字、記号、符号、図形、模様の何れか１つ以上の組合せであることを特徴とする請求項３または４に記載の光源装置。
【手続補正書】
【提出日】平成19年10月22日(2007.10.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端面を円板状当接面で封じた大径の円筒部と上記円板状当接面の中央を貫通して同軸状に植設された小径の突出部と前記円板状当接面上に表示したランプデータとからなる口金を有するランプと、前記突出部を保持する孔部と前記円板状当接面を支持するホルダ端面と前記ホルダ端面に垂直な側面と前記ホルダ端面を残し前記側面の一部を切り欠いて形成された切欠部と閉じた周をもつように前記ホルダ端面に形成され前記円板状当接面と前記切欠部とを連通させる窓部とからなる口金ホルダと、前記ランプデータを読み取る読取手段と、前記切欠部に入り込んで前記窓部を介して前記ランプデータを読み取る読取位置と安全な退避位置との間で前記読取手段を移動させる移動手段と、前記口金が前記口金ホルダに保持された時に前記読取手段を前記読取位置に移動させるとともにランプ点灯前に前記読取手段を前記退避位置に移動させるように前記移動手段を制御する制御手段とを具備することを特徴とする光源装置。
【請求項２】
前記退避位置には、ランプ点灯に伴う熱と光と電磁波と高電圧の少なくとも１つを遮蔽する遮蔽手段があることを特徴とする請求項１に記載の光源装置。
【請求項３】
前記ランプデータは、ランプ属性情報とランプ設定仕様情報を含み、前記ランプ属性情報は、製造年月日、製造者名、製造場所、製造ライン、ランプ型式、品種番号、ロット番号、識別番号のうちの１つを含み、前記ランプ設定仕様情報は、定格電流、定格電圧、冷却条件、装置への取付方向、使用限度時間のうちの１つを含むことを特徴とする請求項１または２に記載の光源装置。
【請求項４】
前記ランプデータを読み取って、前記ランプの駆動を制御するとともに、使用状態と使用履歴を管理する手段を備えることを特徴とする請求項３に記載の光源装置。
【請求項５】
前記ランプデータの表示形式は、光学的に読み取り可能なものであり、バーコード、２次元コード、文字、記号、符号、図形、模様の何れか１つ以上の組合せであることを特徴とする請求項３または４に記載の光源装置。