(57)【要約】【課題】フットスペースを小さくできるパージガスユニット及びパージガス供給集積ユニットを提供することを目的とする。【解決手段】入力ブロック４と出力ブロック６とを連通ブロック５に取り付け、入力ブロック４から連通ブロック５を介して出力ブロック６へパージガスを流す流路を形成するパージガスユニット１であって、入力ブロック４が、パージガス共通流路を形成するパージ流路１１と、パージ流路１１から分岐する入力路１２，１３とを備えており、パージ流路１１を別のパージガスユニット１のパージ流路１１に接続するように、入力ブロック４を別のパージガスユニット１の入力ブロック４に面接触させた状態で連結する連結部材５１，５２を設ける。【選択図】図３
2008047600.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力ブロックと出力ブロックとを連通ブロックに取り付け、前記入力ブロックから前記連通ブロックを介して前記出力ブロックへパージガスを流す流路を形成するものであって、
前記入力ブロックが、パージガス共通流路を形成するパージ流路と、前記パージ流路から分岐する入力路とを備えており、
前記パージ流路を別のパージガスユニットのパージ流路に接続するように、前記入力ブロックを前記別のパージガスユニットの入力ブロックに面接触させた状態で連結する連結部材を有すること
を特徴とするパージガスユニット。
【請求項２】
請求項１に記載するパージガスユニットにおいて、
前記入力ブロックは、前記パージ流路の開口部にフランジ部が設けられ、
前記連結部材は、前記入力ブロックのフランジ部と前記別のパージガスユニットのフランジ部との端面同士をシール部材を介して密着させた状態で、前記入力ブロックのフランジ部と前記別のパージガスユニットのフランジ部を挟み込んで保持するものであること
を特徴とするパージガスユニット。
【請求項３】
請求項２に記載するパージガスユニットにおいて、
前記連結部材は、ブロック状をなし、端面同士を密着させたフランジ部に嵌合する嵌合凹部が形成され、その嵌合凹部の内側面に、フランジ部に形成したテーパ面と対応するテーパ面が形成されていることを特徴とするパージガスユニット。
【請求項４】
パージガスを入力する入力ブロックと前記パージガスを出力する出力ブロックとを流路が連通するように連通ブロックの両側に連結することにより、前記連通ブロックの下面とユニット取付面との間に隙間を設け、
前記連通ブロックの上面に前記パージガスの流量を計測する流量センサを取り付け、
前記連通ブロックに連結する前記出力ブロックの側面に開口部を上下に開設し、その開口部を連通させる連通流路を前記出力ブロックに形成し、
前記連通流路を介して前記流量センサに連通するように前記出力ブロックに取り付けられた開閉制御弁が前記隙間に配設されていること、
を特徴とするパージガスユニット。
【請求項５】
請求項４に記載するパージガスユニットにおいて、
前記連通流路がＶ字流路であることを特徴とするパージガスユニット。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５の何れか１つに記載するパージガスユニットにおいて、
前記入力ブロックと前記連通ブロックと前記出力ブロックがアルミ製であることを特徴とするパージガスユニット。
【請求項７】
請求項６に記載するパージガスユニットにおいて、
パージガスユニットにパージガスを流して流路内の水分を除去した後に、パージガスユニットの流路開口部を封止部材で密閉してパージガスを流路内に封じ込んだものであることを特徴とするパージガスユニット。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７の少なくとも１つに記載するパージガスユニットを集積したことを特徴するパージガス供給集積ユニット。
【請求項９】
請求項８に記載するパージガス供給集積ユニットにおいて、
集積したパージガスユニットの各々にパージガスを流して流路内の水分を除去した後に、パージ流路の開口部を封止部材で密閉してパージガスを流路内に封じ込んだものであることを特徴とするパージガス供給集積ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プロセスガスユニットに供給するパージガスの流量を流量センサで計測し、その計測結果に基づいて開閉制御弁をフィードバック制御するパージガスニット及びパージガス供給集積ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体製造工程の中には、チャンバに複数のプロセスガスユニットを接続し、プロセスガスユニットを切り替えてチャンバ内にて連続的な処理、例えば、基板に対する連続成膜処理やチャンバ内のクリーニング処理を行うことがある（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
この場合に、プロセスガスがプロセスガスユニットに残留すると、チャンバに供給されるプロセスガスの成分が変化し、歩留まりが悪くなるおそれがある。そのため、プロセスガスユニットは、パージガスユニットを介してパージガスラインに接続され、流路に残留するプロセスガスをパージガスで希釈している。このときにチャンバ内の反応を安定させるためには、パージガスのトータル流量を常に一定値に制御してプロセスガスの希釈率を安定させる必要がある。そこで、従来のパージガスユニットは、プロセスガスユニットに供給するパージガスの流量を流量センサで計測し、その計測結果に基づいて開閉制御弁をフィードバック制御することにより、パージガスをプロセスガスユニットに一定量ずつ供給している（例えば特許文献２参照）。
【０００４】
【特許文献１】国際公開第０２／０９３０５３号パンフレット
【特許文献２】特開平１１−２９４６９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来のパージガスユニットは、パージガスラインと流量センサと開閉制御弁を配管で接続しており、フットスペースが広かった。また、従来のパージガスユニットは、ユニット外部に設けられたパージガス共通流路からパージガスを入力するため、パージガス共通流路の配管スペースが必要になり、フットスペースが広くなってしまっていた。パージガスユニットの数はプロセスガスユニットの増設に伴って増えるため、ガスラインが多くなるほどフットスペースの問題が顕著になっていた。しかも近年、半導体製造装置には、ガスラインを短くしてプロセスガスの流量精度を高めるため、装置サイズをコンパクトにする強い要請があり、それに従ってパージガスユニットのコンパクト化も要求されている。
【０００６】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、フットスペースを小さくできるパージガスユニット及びパージガス供給集積ユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るパージガスユニット及びパージガス供給集積ユニットは、次のような構成を有する。
（１）パージガスユニットにおいて、入力ブロックと出力ブロックとを連通ブロックに取り付け、前記入力ブロックから前記連通ブロックを介して前記出力ブロックへパージガスを流す流路を形成するものであって、前記入力ブロックが、パージガス共通流路を形成するパージ流路と、前記パージ流路から分岐する入力路とを備えており、前記パージ流路を別のパージガスユニットのパージ流路に接続するように、前記入力ブロックを前記別のパージガスユニットの入力ブロックに面接触させた状態で連結する連結部材を有することを特徴とする。
【０００８】
（２）（１）に記載の発明において、前記入力ブロックは、前記パージ流路の開口部にフランジ部が設けられ、前記連結部材は、前記入力ブロックのフランジ部と前記別のパージガスユニットのフランジ部との端面同士をシール部材を介して密着させた状態で、前記入力ブロックのフランジ部と前記別のパージガスユニットのフランジ部を挟み込んで保持するものであることを特徴とする。
（３）（２）に記載の発明において、前記連結部材は、ブロック状をなし、端面同士を密着させたフランジ部に嵌合する嵌合凹部が形成され、その嵌合凹部の内側面に、フランジ部に形成したテーパ面と対応するテーパ面が形成されていることを特徴とする。
【０００９】
（４）パージガスを入力する入力ブロックと前記パージガスを出力する出力ブロックとを流路が連通するように連通ブロックの両側に連結することにより、前記連通ブロックの下面とユニット取付面との間に隙間を設け、前記連通ブロックの上面に前記パージガスの流量を計測する流量センサを取り付け、前記連通ブロックに連結する前記出力ブロックの側面に開口部を上下に開設し、その開口部を連通させる連通流路を前記出力ブロックに形成し、前記連通流路を介して前記流量センサに連通するように前記出力ブロックに取り付けられた開閉制御弁が前記隙間に配設されていること、を特徴とする。
（５）（４）に記載の発明において、前記連通流路がＶ字流路であることを特徴とする。
【００１０】
（６）（１）乃至（５）の何れか１つに記載の発明において、前記入力ブロックと前記連通ブロックと前記出力ブロックがアルミ製であることを特徴とする。
（７）（６）に記載の発明において、パージガスユニットにパージガスを流して流路内の水分を除去した後に、パージガスユニットの流路開口部を封止部材で密閉してパージガスを流路内に封じ込んだものであることを特徴とする。
【００１１】
（８）パージガス供給集積ユニットにおいて、（１）乃至（７）の少なくとも１つに記載するパージガスユニットを集積したことを特徴する。
（９）（８）に記載の発明において、集積したパージガスユニットの各々にパージガスを流して流路内の水分を除去した後に、パージ流路の開口部を封止部材で密閉してパージガスを流路内に封じ込んだものであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
従って、本発明のパージガスユニットは、パージガス共通流路を形成するパージ流路を別のパージガスユニットのパージ流路に接続させるように、入力ブロックを別のパージガスユニットの入力ブロックに連結部材を用いて面接触させた状態で連結する。よって、本発明のパージガスユニットによれば、パージガスユニットの入力ブロックを他のパージガスユニットの入力ブロックに連結部材を用いて接続することによりパージ流路を他のパージ流路に接続してパージガス共通流路を延設するので、パージガス共通流路を構成するための配管が不要になり、フットスペースを小さくできる。
【００１３】
また、本発明のパージガスユニットは、入力ブロックに設けたフランジ部の端面を別のパージガスユニットの入力ブロックに設けたフランジ部の端面にシール部材を介して密着させた状態で、入力ブロックのフランジ部と別のパージガスユニットのフランジ部とを挟み込んで保持するように連結部材を取り付けるので、パージ流路の接続部分で流体漏れが生じにくい。
また、本発明のパージガスユニットは、端面同士を突き合わせたフランジ部を連結部材の嵌合凹部に嵌め込むときに、フランジ部のテーパ面が連結部材の嵌合凹部内側面に設けたテーパ面に押圧され、フランジ部の端面同士を密着させる方向に力を加えられるので、シール性能を向上させることができる。
【００１４】
また、本発明のパージガスユニットは、パージガスを入力する入力ブロックと、パージガスを出力する出力ブロックとを連通ブロックの両側に連結することにより、パージガスを流量センサに供給する配管や、流量センサを開閉制御弁に接続する配管などを省いている。そして、出力ブロックに連通流路（例えば、Ｖ字流路やＵ字流路等）を上下方向に形成し、連通ブロックの下面とユニット取付面との間に開閉制御弁を配設するように開閉制御弁を出力ブロックに取り付けるので、流量センサと開閉制御弁が上下２段構造で配置され、開閉制御弁の設置スペースが不要である。このように、本発明のパージガスユニットによれば、配管スペースや設置スペースなど削減可能なスペースを省き、フットスペースを小さくすることができる。
【００１５】
また、本発明のパージガスユニットは、入力ブロックと連通ブロックと出力ブロックがアルミ製であるので、軽量且つ安価にできる。
また、本発明のパージガスユニットは、ユニット組立後にパージガスユニットにパージガスを流して水分を除去した後に、パージガスユニットの流路開口部を封止部材で封止して流路内にパージガスを封入している。このようなパージガスユニットは、搬送時に流路開口部から空気が入り込まず、流路面に水分が付着しにくい。使用先において封止部材を流路開口部から取り外してパージガスユニットを半導体製造装置に組み付けるときには、空気がパージガスユニットの流路開口部から流路内に入り込むが、組付時間が短時間であるため、流路面に付着する水分量が微量で済む。よって、本発明のパージガスユニットによれば、半導体製造装置に組み付けるときに流路面に付着する水分量が少ないため、パージ時間が必要以上に長くならない。
【００１６】
そして、上述したパージガスユニットを集積すれば、個々のパージガスユニットのフットスペースが小さいため、パージガス供給集積ユニットのフットスペースをも相乗的に小さくすることができる。
パージガスユニットを集積してパージガス供給集積ユニットを構成したときに、集積したパージガスユニットの各々にパージガスを流して流路内の水分を除去した後に、パージ流路の開口部を封止部材で密閉してパージガスを流路内に封じ込めば、搬送時に流路開口部から空気が入り込まず、流路面に水分が付着しにくい。使用先において封止部材を流路開口部から取り外してパージガス供給集積ユニットを半導体製造装置に組み付けるときには、空気が流路開口部から流路内に入り込むが、組付時間が短時間であるため、流路面に付着する水分量が微量で済む。よって、本発明のパージガス供給集積ユニットによれば、半導体製造装置に組み付けるときに流路面に付着する水分量が少ないため、パージ時間が必要以上に長くならない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
次に、本発明に係るパージガスユニット及びパージガス供給集積ユニットの一実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１８】
＜パージガス供給集積ユニット＞
図１は、パージガス供給集積ユニット１００の平面図である。
パージガス供給集積ユニット１００は、従来技術と同様、半導体製造装置に組み付けられる。図示しない半導体製造装置は、複数のプロセスガスを切り替えて又は混合してチャンバに供給するために複数のプロセスガスユニットを備える。本実施形態のパージガス供給集積ユニット１００は、図示しないプロセスガスユニットにパージガスを所定量ずつ供給するために、プロセスガスユニットに対応する数（本実施形態では９個）のパージガスユニット１をパージガス供給制御装置８０とともに取付板１０１に固定して集積している。
【００１９】
パージガス供給制御装置８０は、手動弁８１とレギュレータ８２と圧力センサ８３とを直列一体に連結したものであり、手動弁８１が入力したパージガスをレギュレータ８２と圧力センサ８３とで圧力調整してパージガス共通流路に出力する。
【００２０】
パージガス共通流路は、隣接するパージガスユニット１同士を連結部材５１，５２を用いて連結することにより複数のパージガスユニット１に渡って形成される。そのように形成されたパージガス共通流路からパージガスを各々入力して出力するようにパージガスユニット１は流路が構成されている。
【００２１】
＜パージガスユニットの概略構成＞
図２は、本発明の実施形態に係るパージガスユニット１の側面図である。尚、以下の説明では、流量センサ７側を「上側」といい、取付板１０１側を「下側」といい、パージガスの上流側を「入力側」といい、パージガスの下流側を「出力側」というものとする。
パージガスユニット１は、入力ブロック４と連通ブロック５と出力ブロック６とをコの字型に連結し、入力ブロック４から入力したパージガスを連通ブロック５を介して出力ブロック６から出力する流路を形成する。
【００２２】
連通ブロック５の上面には、パージガスの流量を計測するために流量センサ７が取り付けられている。そして、出力ブロック６には、プロセスガスユニットに接続するための配管が連結される出力継手８が設けられ、「開閉制御弁」の一例である電磁比例弁９が出力継手８を設けた側面と対向する側面に取り付けられている。電磁比例弁９は、出力ブロック６に横向きに取り付けられ、連通ブロック５の下面とユニット取付板１０１のユニット取付面１０との間に形成される隙間Ｓに配設されている。よって、流量センサ７と電磁比例弁９は、上下２段に並べて配置されている。流量センサ７と電磁比例弁９は、半導体製造装置に設けられた制御部（図示せず）に接続され、流量センサ７の計測結果に基づいて電磁比例弁９の動作が制御される。
【００２３】
＜パージガスユニットの内部構造＞
図３は、図２に示すパージガスユニット１の断面図である。
パージガスユニット１は、連通ブロック５の両側に入力ブロック４と出力ブロック６をボルト２２，３１で固定することにより流路１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７が相互に連通し、流量センサ７や電磁比例弁９などがユニット化される。
【００２４】
＜連通ブロック＞
連通ブロック５は、アルミを直方体形状に成形したものである。連通ブロック５には、パージガスを入力ブロック４から流量センサ７を介して出力ブロック６へ流すように流路が形成されている。すなわち、連通ブロック５は、流量センサ７の積層体３２を装着するための装着孔１８が上面に開設されており、連通ブロック５の入力側側面と出力側側面から穿設された一次側流路１４と二次側流路１５が装着孔１８に各々連通している。
【００２５】
流量センサ７は、抵抗体（熱線）を用いて流量を計測する熱式流量計であって、積層体３２やセンサ基板３３などを備える。積層体３２は、薄いメッシュ板と薄いスペーサとを所定枚数（例えば１１枚）積み重ねて接着したものであり、装着孔１８に隙間無く装着されている。センサ基板３３は、測定流量を電気信号として出力するものであり、シールパッキン３４を介して連通ブロック５の上面にネジ固定される。センサ基板３３は、パージガスに接する表面に測定チップ３５が実装され、電気回路３６が裏面に設けられている。測定チップ３５は、センサ基板３３に接触する面にパージガスの流れ方向に沿って溝（図示せず）が形成され、その溝に橋を架け渡すように発熱抵抗体（図示せず）が設けられている。流量センサ７は、センサ基板３３や電気回路３６などを覆うようにカバー３７が連通ブロック５に取り付けられ、外乱が流量計測に影響しないようにしている。電気回路３６に接続する配線３８は、カバー３７から引き出され、半導体製造装置の図示しない制御部に接続される。
【００２６】
このような流量センサ７は、一次側流路１４に供給されたパージガスが積層体３２を通過して装着孔１８内に流れ込み、再び積層体３２を通過して二次側流路１５へ流れ出す。このとき、測定チップ３５に沿って流れるパージガスが発熱抵抗体（図示せず）の熱を奪う。そこで、電気回路３６が発熱抵抗体（図示せず）の温度（抵抗値）に基づいて流量を計測し、計測結果を図示しない制御部へ出力する。
【００２７】
＜入力ブロック＞
入力ブロック４は、流路共通ブロック２と方向変換ブロック３とを積層して一体化したものである。入力ブロック４は、パージガス共通流路からパージガスを分流させて連通ブロック５に供給するように流路が形成されている。
【００２８】
流路共通ブロック２は、アルミを略直方体形状に成形したものである。流路共通ブロック２は、パージ流路１１が中央部に貫通するように形成され、そのパージ流路１１に直交するように上面から入力路１２が穿設されている。
また、方向変換ブロック３はアルミを直方体形状に成形したものである。方向変換ブロック３にはＬ字形流路１３が形成されている。
【００２９】
流路共通ブロック２と方向変換ブロック３は、フッ素ゴムやパーフロロエラストマーなどのゴム製Ｏリング１９が入力路１２とＬ字形流路１３との接続部分に装着され、Ｏリング１９の外側において２本のボルト２０を方向変換ブロック３から流路共通ブロック２へ挿通して締め付けることにより固定されている。このとき、Ｏリング１９が流路共通ブロック２と方向変換ブロック３との間で円周方向に押し潰されてシール力を発生し、入力路１２とＬ字形流路１３との接続部分から流体漏れが生じることを防止する。
【００３０】
このような入力ブロック４は、方向変換ブロック３のＬ字形流路１３と連通ブロック５の一次側流路１４とをフッ素ゴムやパーフロロエラストマーなどのゴム製Ｏリング２１を介して接続するように方向変換ブロック３と連通ブロック５とを当接させ、Ｏリング２１の周りにおいて４本のボルト２２を方向変換ブロック３から連通ブロック５に向かって挿入して締め付けることにより、連通ブロック５に固定される。このとき、Ｏリング２１が、方向変換ブロック３と連通ブロック５との間で円周方向に均一な力で押し潰されてシール力を発生し、Ｌ字形流路１３と一次側流路１４との接続部分から流体漏れが生じることを防止する。
【００３１】
＜出力ブロック＞
出力ブロック６は、アルミを直方体形状に成形したものであり、連通ブロック５から供給されたパージガスを電磁比例弁９を介して出力継手８から出力するように流路が形成されている。
【００３２】
出力ブロック６は、全高が入力ブロック４とほぼ同じにされ、入力ブロック４と出力ブロック６との間で流量センサ７をユニット取付面１０と平行に保持するようになっている。
【００３３】
出力ブロック６は、第１開口部２３と第２開口部２４が上下に並んで入力側側面に開設され、第１開口部２３と第２開口部２４を連通させるようにＶ字流路１６が縦方向（上下方向）に形成されている。Ｖ字流路１６の下方には、第１開口部２３と第２開口部２４が開設された側面からその側面と対向する側面に貫通するように排出路１７が穿設されている。
【００３４】
出力ブロック６の出力側側面には、出力継手８を取り付けるための取付孔２５が排出路１７と同軸上に開設されている。取付孔２５の内周面には、雌ネジが形成され、出力継手８の外周面に形成された雄ネジがねじ込まれるようになっている。出力ブロック６の取付孔２５には、出力継手８を締め付ける際の押圧力によってフィルタ２６が押し入れられ、保持されている。
【００３５】
このような出力ブロック６は、Ｖ字流路１６の第２開口部２４と排出路１７に電磁比例弁９の入力流路４１と出力流路４２を位置合わせした状態でボルト２７を締め付け、電磁比例弁９を出力ブロック６に横向きに取り付ける。このとき、電磁比例弁９と出力ブロック６との間には、フッ素ゴムやパーフロロエラストマーなどのゴム製Ｏリング２８，２９が装着され、ボルト２７を締め付けるときにＯリング２８，２９が弾性変形してシール力を発生し、第２開口部２４と入力流路４１との接続部分及び排出路１７と出力流路４２との接続部分から流体漏れが生じることを防ぐ。
【００３６】
そして、電磁比例弁９を取り付けられた出力ブロック６は、Ｖ字流路１６の第１開口部２３と連通ブロック５の二次側流路１５との間に、フッ素ゴムやパーフロロエラストマーなどのゴム製Ｏリング３０を装着し、Ｏリング３０の外側において出力ブロック６から連通ブロック５に向かって４本のボルト３１を挿通して締め付ける。このとき、Ｏリング３０が挿通ブロック５と出力ブロック６との間で円周方向に均一な力で押し潰され、第１開口部２３と二次側流路１５との接続部分から流体漏れが生じることを防止する。
【００３７】
ここで、電磁比例弁９について簡単に説明する。
電磁比例弁９は、入力流路４１と出力流路４２が形成されたボディ４３にソレノイド組立４４が連結されている。ソレノイド組立４４は、コイル４５に通電されたときに固定鉄心４６を励磁し、通電量に応じた吸引力を固定鉄心４６に発生させるものである。ボディ４３とソレノイド部４４との間には、プランジャ４７が移動可能に配設されている。プランジャ４７は、磁性材料を板状に成形したものであり、樹脂製の弁シート４８が中心部に重ね合わされ、その弁シート４８を押さえつけて保持するように板バネ４９が溶接されている。板バネ４９は中央部に孔が形成され、その孔から弁シート４８が露出している。ボディ４３は、入力流路４１と出力流路４２との間に弁座５０が設けられ、弁シート４８が当接又は離間するようになっている。
【００３８】
このような電磁比例弁９は、非通電時には、プランジャ４７が板バネ４９の弾性力によって弁座５０方向に付勢され、弁シート４８が弁座５０に押し付けられて当接する。よって、入力流路４１と出力流路４２との間が遮断され、パージガスが電磁比例弁９から出力されない。
【００３９】
一方、電磁比例弁９は、コイル４５に通電すると、固定鉄心４６が板バネ４９の付勢力に抗してプランジャ４７を吸引し、弁シート４８を弁座５０から離間させる。弁開度は、固定鉄心４６がプランジャ４７を吸引する吸引力と板バネ４９がプランジャ４７を固定鉄心４６と反対方向に付勢する付勢力とのバランスに応じて調整される。そのため、コイル４５への通電量を制御すればパージガスを微流量調整することができる。
【００４０】
その後、コイル４５への通電を停止すると、固定鉄心４６がプランジャ４７を吸引しなくなるため、プランジャ４７が板バネ４９に付勢されて弁座５０方向へ移動し、弁シート４８を弁座５０に当接させる。これにより、電磁比例弁９は弁閉状態になる。
【００４１】
＜パージガスユニットの連結構造＞
次に、パージガスユニット１の連結構造について説明する。
図１に示すように、ガスユニット１は、入力ブロック４の流路共通ブロック２が他のガスユニット１を構成する入力ブロック４の流路共通ブロック２に連結部材５１，５２を用いて連結される。
【００４２】
図４は、図２に示すパージガスユニット１の平面図である。図５は、図２に示すパージガスユニットを入力側から見た図である。
流路共通ブロック２は、上面に入力路１２が開口し、下面に開口部がない点を除き、対向する側面が対称形状にされている。
【００４３】
図４及び図５に示すように、流路共通ブロック２は、入力側側面と出力側側面の縁部に沿って、連結部材５１，５２を装着するための段差部６１が設けられている。段差部６１は、中心部へ向かって勾配θ１が大きくなるテーパ面６２を備える。
【００４４】
図２に示すように、流路共通ブロック２は、パージ流路１１の開口部の周りに環状溝６３が形成されている。環状溝６３の上側と下側には、断面が半円状の挿通溝６４が平行に形成されている。環状溝６３の両側には、フランジ部６５が入力側と出力側に向かって水平に張り出している。図４及び図５に示すように、フランジ部６５は、外側に向かって肉厚が薄くされている。すなわち、フランジ部６５は、隣の流路共通ブロック２に当接する当接面が平坦に形成され、当接面に対向する面が当接面に対して勾配θ２だけ傾斜している。
【００４５】
次に、連結部材５１，５２の構成について説明する。
図２に示すように、パージガスユニット１は、入力ブロック４を入力側と出力側とから挟み込むように連結部材５１，５２が取り付けられ、隣のパージガスユニット１に連結される。
【００４６】
図６は、図１に示す連結部材５２を示す図であって、（ａ）は正面図、（ｂ）は上面図、（ｃ）は（ａ）図のＡ−Ａ断面図、（ｄ）は（ａ）図のＢ−Ｂ断面図である。
連結部材５２は、パージガスユニット１の連結時に流路共通ブロック２が変形することを防止するために、流路形成ブロック２の材質と同等以下の硬度を有する材質により形成されている。本実施形態では、図６の（ａ）及び（ｂ）に示すように、アルミを略直方体形状に成形することによって連結部材５２を形成している。
【００４７】
連結部材５２は、流路共通ブロック２のテーパ面６２に対応するテーパ面５６を備える。テーパ面５６の勾配θ３は、流路共通ブロック２に設けたテーパ面６２の勾配θ１に倣って形成されている。
【００４８】
図６の（ａ）に示すように、連結部材５２は、流路共通ブロック２の段差部６１に嵌め込まれる側面の中央部に、嵌合凹部５４が形成されている。嵌合凹部５４は、図６の（ｃ）に示すように、フランジ部６５の形状に倣って内側面が傾斜している。嵌合凹部５４を構成する内側面の勾配θ４は、フランジ部６５の勾配θ２と同等又は若干大きく設定されている。
【００４９】
図６の（ｄ）に示すように、嵌合凹部５４の上下位置には、ボルト５３を挿通するための挿通孔５５がそれぞれ形成されている。嵌合凹部５４が形成された側面と対向する側面には、挿通孔５５と同軸上に装着孔５７が開設され、その装着孔５７に剛性が高い金属製ナット５８が接着剤などで接着されている。
【００５０】
これに対して、連結部材５１は、装着孔５７がナット５８を装着されておらず、ボルト５３の頭部を挿入できるように形成されている。連結部材５１の他の構成は連結部材５２と同様であるので説明を省略する。
【００５１】
＜パージガス供給集積ユニットの集積方法＞
先ず、パージガスユニット１を組み立てる。
パージガスユニット１は、方向変換ブロック３を流路共通ブロック２にボルト２０で固定し、入力ブロック４を設ける。また、出力ブロック６に電磁比例弁９をボルト２７で固定するとともに、出力継手８を出力ブロック６に取り付ける。また、流量センサ７を連通ブロック５に取り付ける。そして、連通ブロック５の入力側側面に入力ブロック４をボルト２２で固定するとともに、連通ブロック５の出力側側面に出力ブロック６をボルト３１で固定する。これにより、パージガスユニット１が組み上げられる。
【００５２】
そして、組み上げられたパージガスユニット１を取付板１０１にボルトなどで固定する。パージガスユニット１が複数ある場合には、連結部材５１，５２を用いて隣接するパージガスユニット１を相互に連結する。この連結方法については後述する。
パージガスユニット１の固定とともに、パージガス供給制御装置８０を取付板１０１に固定し、パージガス供給制御装置８０の圧力センサ８３を隣接するパージガスユニット１のパージ流路１１に接続する。そして、パージガス供給制御装置８０と反対側の端に固定されたパージガスユニット１に閉止部材８４を取り付け、パージガス共通流路の端部を密閉する。
【００５３】
＜水分除去作業＞
このようにして集積されたパージガス供給集積ユニット１００は、水分除去作業を行った後、パージガスの流路開口部を封止部材８５で塞ぎ、パージガスをユニットに加圧封入する。
【００５４】
すなわち、パージガス供給制御装置８０の手動弁８１と、各パージガスユニット１の電磁比例弁９とを弁開した状態で、１２０〜１４０℃の乾燥したパージガス或いは圧縮空気をパージガス供給制御装置８０に供給する。パージガスは、手動弁８１からレギュレータ８２、圧力センサ８３を介してパージガス共通流路へ流れ、パージガス共通流路から各パージガスユニット１に流れ込んで各パージガスユニット１の出力継手８から出力される。このとき、パージガスは、流路内に付着した水分を吹き飛ばし、吹き飛ばした水分を巻き込んでユニット外部に排出される。
【００５５】
各パージガスユニット１から出力されるパージガスが含む水分量を測定し、測定結果が基準値以下になったら、パージガスの供給を止める。そして、パージガス供給制御装置８０の入力側継手８６と、各パージガスユニット１の出力継手８に封止部材８５をねじ込んで取り付け、流路開口部を閉止する。このとき、乾燥したパージガス又は圧縮空気をユニット内に加圧封入する。
【００５６】
このようにして水分除去されたパージガス供給集積ユニット１００は、流路開口部に封止部材８５と閉止部材８４を取り付けられたまま使用先に搬送される。そして、搬送先で封止部材８５を取り外され、半導体製造装置に組み付けられる。
【００５７】
ここで、例えば、パージガス供給集積ユニット１００に集積されたパージガスユニット１の１つが、流量センサ７や電磁比例弁９などに故障を生じることがある。この場合には、故障部品を有するパージガスユニット１を、水分除去された新品のパージガスユニット１に交換する。交換するパージガスユニット１についても流路内の水分が除去されている。
【００５８】
パージガスユニット１の水分除去は、パージガス供給集積ユニット１００とほぼ同様に行われるが、簡単に説明すると以下の通りである。
パージ流路１１の一端開口部を閉止部材８４で塞ぎ、電磁比例弁９を弁開した状態で、パージ流路１１の他端開口部に１２０〜１４０℃の乾燥したパージガス又は圧縮空気を供給する。パージガスユニット１の出力継手８から出力されるパージガスの水分量が基準値以下になったら、パージガスの供給を停止し、パージ流路１１の他端開口部を閉止部材８４で塞ぐとともに、出力継手８の開口部を封止部材８５で封止する。このとき、パージガスユニット１の流路内に乾燥したパージガス又は圧縮空気を加圧封入する。
【００５９】
水分除去されたパージガスユニット１は、搬送先で閉止部材８４と封止部材８５を取り外され、連結部材５１，５２を用いて既設のパージガスユニット１に連結される。
【００６０】
＜パージガスユニットの連結方法＞
次に、パージガスユニットの連結方法について説明する。図７は、図１に示すパージガスユニット１の連結構造を示す分解斜視図である。図７では、説明の便宜上、パージガスユニット１の連結に直接関与する流路共通ブロック２のみを示す。そして、パージガスユニット１（流路共通ブロック２）にはアルファベット「Ａ」「Ｂ」を付して標記し、区別可能とした。
【００６１】
パージガスユニット１Ａとパージガスユニット１Ｂは、フッ素樹脂で形成されたシール部材７１を環状溝６３Ａと環状溝６３Ｂとの間に挟み込むように、流路共通ブロック２Ａのフランジ部６５Ａと流路共通ブロック２Ｂのフランジ部６５Ｂを当接させる。すると、流路共通ブロック２Ａの挿入溝６４Ａと流路共通ブロック２Ｂの挿入溝６４Ｂが重なり合い、ボルト５３を挿通するための挿通孔が形成される。
【００６２】
流路共通ブロック２Ａの端面と流路共通ブロック２Ｂの端面とを当接させると、段差部６１Ａ，６１Ｂがつながってテーパ面６２Ａ，６２Ｂの間に凹部が形成される。そこで、その凹部に連結部材５１，５２を嵌め込んで装着する。このとき、連結部材５１，５２は、テーパ面５６，５６が流路共通ブロック２Ａ，２Ｂのテーパ面６２Ａ，６２Ｂにガイドされ、端面同士をぴったりと当接させる流路共通ブロック２Ａのフランジ部６５Ａと流路共通ブロック２Ｂのフランジ部６５Ｂに嵌合凹部５４を簡単に嵌め合わせることできる。
【００６３】
この状態で、ボルト５３を連結部材５１の挿通孔５５から流路共通ブロック２Ａ，２Ｂの挿入溝６４Ａ，６４Ｂの間に挿入し、更に連結部材５２の挿通孔５５に挿入してナット５８にボルト５３を締結する。これにより、連結部材５１，５２が流路共通ブロック２Ａ，２Ｂの接続部分を入力側と出力側とから挟み込んだ状態で流路共通ブロック２Ａ，２Ｂを連結させる。
【００６４】
図８は、図２に示すパージガスユニット１Ａ，１Ｂを連結した場合におけるパージ流路１１Ａ，１１Ｂの接続部分を示す拡大断面図である。尚、図８においても、説明の便宜上パージガスユニット１（流路共通ブロック２）にアルファベット「Ａ」「Ｂ」を付して標記し、区別可能とした。
流路共通ブロック２Ａ，２Ｂは、フランジ部６５Ａ，６５Ｂに勾配θ２が設けられ、外側に向かって肉薄にされている。連結部材５１，５２は、嵌合凹部５４の内壁に勾配θ４が設けられている。そのため、連結部材５１，５２の嵌合凹部５４をフランジ部６５Ａ，６５Ｂに嵌め合わせたときに、フランジ部６５Ａ，６５Ｂのテーパ面が嵌合凹部５４の内壁に設けられたテーパ面によって互いに当接する方向に押圧され、フランジ部６５Ａ，６５Ｂの端面同士が強固に密着する。これにより、シール部材７１が円周方向に均一な力でしっかり押し潰され、流路共通ブロック２Ａ，２Ｂを当接させてパージ流路１１Ａ，１１Ｂを接続する場合でも接続部分からパージガスが漏れにくい。
【００６５】
＜パージガスユニットの発明経緯＞
発明者らは、本実施形態のパージガスユニット１を発明する過程で、図９及び図１０に示すパージガスユニット１１０Ａ，１１０Ｂを考えついた。図９は、パージガスユニットの第１変形例であって、一部断面側面図を示す。図１０は、パージガスユニットの第２変形例であって、一部断面側面図を示す。
【００６６】
発明者らは、先ず、パージガス供給集積ユニット１００のフットスペースを小さくするために、パージガスユニット同士を直接連結することを考え、図９に示すように流路共通ブロック２の形状を発明した。そして、さらに、パージガスユニットのフットスペースを小さくするために、流路ブロック２と、流量センサ７を取り付けた連通ブロック５と、流路方向を変換する流路ブロック１１１と、電磁比例弁９を取り付けた流路ブロック１１２を互いに連結してパージガスの流路を形成することを思いついた。
【００６７】
しかし、図９に示すパージガスユニット１１０Ａは、流路共通ブロック２側と流路ブロック１１２側とで高さが異なるため、パージガスユニット１１０Ａの設置バランスが悪い問題があった。また、流量センサ７とユニット取付面１０との間に形成される隙間Ｓ１を有効活用することを思いついた。
【００６８】
そこで、発明者らは、図１０に示すパージガスユニット１１０Ｂのように、流路共通ブロック２の一部を連通ブロック５の下に重ね合わせ、流路共通ブロック２と連通ブロック５を流路ブロック１１３を介して連通させることを思いついた。そしてまた、流路共通ブロック２を連通ブロック５の下方に配設したことにより、連通ブロック５の保持位置が高くなったので、図９に示す流路ブロック１１１より全高が高い流路ブロック１１４を用いて連通ブロック５と流路ブロック１１２を接続するようにした。これにより、パージガスユニット１１０Ｂは、設置バランスが良くなり、また、パージガスの流れ方向の全長が若干小さくできた。
【００６９】
ところが、パージガスユニット１１０Ｂにおいても、連通ブロック５とユニット取付面１０との間の隙間Ｓ２が有効活用できていなかった。しかも、連通ブロック５の保持位置が高くなったことにより、隙間Ｓ２が図９に示す隙間Ｓ１より大きくなり、隙間Ｓ２の活用範囲が広がった。
【００７０】
そこで、発明者らは、図９及び図１０に示すように従来横方向に形成すると考えられていたＶ字流路を、発想転換して、図２に示すＶ字流路１６のように出力ブロック６に縦方向に形成した。これにより、電磁比例弁９を出力ブロック６に横向きに取り付け、隙間Ｓに電磁比例弁９を横向きに配置することが可能になった。この場合、電磁比例弁９の軸方向長さが連通ブロック５より大きいため、流路共通ブロック２を連通ブロック５の下方位置から入力側にずらし、流路共通ブロック２を方向変換ブロック３を介して連通ブロック５に接続するようにした。
【００７１】
図２に示すパージガスユニット１によれば、電磁比例弁９を配置するために流路共通ブロック２を入力側にずらした分だけ、入力ブロック４の設置スペースが広くなってしまった。しかし、Ｖ字流路１６を形成し、また、出力ブロック６を立てた状態で連通ブロック５に接続したことにより、出力ブロック６の設置スペースが図９及び図１０に示す流路ブロック１１２の設置スペースに対して約３分の１程度に小さくなった。出力ブロック６の設置面積の縮小と入力ブロック５の設置面積の拡大とを合算すれば、パージガスユニット１の全長Ｌ３は、図９又は図１０に示すパージガスユニット１１０Ａ，１１０Ｂの全長Ｌ１，Ｌ２に対して約８０％程度まで短くすることができた。
【００７２】
そして、上記思考錯誤の結果発明した図２に示すパージガスユニット１は、図１に示すように連結部材５１，５２を用いて連結し、パージガス入力制御装置１０２とともに取付板１０１に集積した場合、横幅Ｗ１が３０１．２８ｍｍ、縦幅Ｗ２が１２９．４ｍｍであり、フットスペースが３９０ｃｍ2であった。
【００７３】
これに対して、図１１に示すパージガス供給集積ユニットは、流量センサ７と電磁比例弁９の役割をするマスフローコントローラを搭載したパージガスユニット１２４を使用して、図１と同様の流路構造になるように各パージガスユニット１２４をパージガス供給制御装置１２３に配管で接続したものである。図１１に示すパージガス集積ユニットは、横幅Ｗ１１が３６０．５ｍｍ、縦幅Ｗ２２が４４９．３ｍｍであり、フットスペースが１３３２ｃｍ2であった。
【００７４】
従って、図１に示すパージガス供給集積ユニット１００は、図１１に示すパージガス供給集積ユニットに対して、横幅が約８０％程度まで小さくなり、縦幅が約３０％程度まで小さくなり、フットスペースが約３０％程度まで小さくなった。
【００７５】
このように図１に示すパージガス供給集積ユニット１００を、図１１に示すパージガス供給集積ユニットより大幅に小さくできた理由には以下の事項が考えられる。
図１１に示すパージガス供給集積ユニットでは、レギュレータ１２１に大きな流量を流すことが困難と考えたため、手動弁８１の下流側に３個のレギュレータ１２１を並列に接続し、各レギュレータ１２１の下流側に圧力センサ１２２を設置することによりパージガス供給制御装置１２３を構成していた。しかし、図１に示すパージガス供給集積ユニット１００は、レギュレータ１２１を１個のレギュレータ８２に集約し、それに伴って圧力センサ１２２も１個の圧力センサ８３に集約した。そのため、図１に示すパージガス供給集積ユニット１００は、図１１に示す複数のレギュレータ１２１を接続するための配管１２０を省くことができるとともに、パージガス供給制御装置を構成する流体制御機器の数を減らして装置サイズを小さくすることができた。
また、図１１に示すパージガス供給集積ユニットは、各圧力センサ１２２にマスフローコントローラ１２４が配管１２５を介して複数台ずつ接続していた。すなわち、配管１２５によりパージガス共通流路を構成していた。これに対して、図１に示すパージガス供給集積ユニット１００は、パージユニット１を連結部材５１，５２で連結することによりパージガス共通流路を形成する。つまり、パージガスユニット１を連結してマニホールド化した。そのため、図１に示すパージガス供給集積ユニット１００は、配管１２５の配管スペースを省くことができた。
【００７６】
＜作用効果＞
以上説明したように、本実施形態のパージガスユニット１は、パージガスを入力する入力ブロック４と、パージガスを出力する出力ブロック６とを連通ブロック５の両側に連結することにより（図２及び図３参照）、パージガスを流量センサ７に供給する配管や、流量センサ７を電磁比例弁９に接続する配管などを省いている。そして、出力ブロック６にＶ字流路１６を上下方向に形成し、連通ブロック５の下面と取付板１０のユニット取付面との間に形成される隙間Ｓに電磁比例弁９を横向きに配設するように電磁比例弁９を出力ブロック６に取り付けるので（図２及び図３参照）、流量センサ７と電磁比例弁９が上下２段構造で配置され、電磁比例弁９の設置スペースが不要である。このように、本実施形態のパージガスユニット１によれば、配管スペースや設置スペースなど削減可能なスペースを省き、フットスペースを小さくすることができる。
【００７７】
また、本実施形態のパージガスユニット１は、パージガス共通流路を形成するパージ流路１１を別のパージガスユニット１のパージ流路１１に接続させるように、入力ブロック４の流路共通ブロック２を別のパージガスユニット１を構成する入力ブロック４の流路共通ブロック２に連結部材５１，５２を用いて面接触させた状態で連結する（図１及び図７参照）。よって、本実施形態のパージガスユニット１によれば、パージガスユニット１の入力ブロック４（流路共通ブロック２）を他のパージガスユニット１の入力ブロック４（流路共通ブロック２）に連結部材５１，５２を用いて接続することによりパージ流路１１を他のパージ流路１１に接続してパージガス共通流路を延設するので、パージガス共通流路を構成するための配管が不要になり、フットスペースを小さくできる。
【００７８】
また、本実施形態のパージガスユニット１は、入力ブロック４に設けたフランジ部６５の端面を別のパージガスユニット１の入力ブロック４に設けたフランジ部６５の端面に樹脂製のシール部材７１を介して密着させた状態で、入力ブロック４のフランジ部６５と別のパージガスユニット１のフランジ部６５とを連結部材５１，５２の嵌合凹部５４によって挟み込んで保持するように連結部材５１，５２を取り付けるので（図８参照）、パージ流路１１の接続部分で流体漏れが生じにくい。尚、プロセスガスユニットは、有害ガスなどが外部に漏れることを防止するために、流路接続部分を金属ガスケットなどでメタルシールして気密性を確保するのが一般的であるが、パージガスユニット１は、空気中成分に多く含まれるＮ２ガスや圧縮空気などのパージガスを流すので、流路部分に樹脂製のシール部材７１を用い、メタルシールよりシール性能が低下しても問題はない。
【００７９】
また、本実施形態のパージガスユニット１は、入力ブロック４と連通ブロック５と出力ブロック６がアルミ製であるので、軽量且つ安価にできる。
【００８０】
ここで、一般的にアルミ製の流路ブロックは、流路面に凹凸が多く、パージ作業時に凹部に入り込んだ水分を除去しにくい。そのため、組み立てたパージガスユニット１をそのまま半導体製造装置に組み付け、パージを行うと、パージ時間が長くなる傾向がある。
【００８１】
この点、本実施形態のパージガスユニット１は、ユニット組立後にパージガスユニット１にパージガスを流して水分を除去した後に、パージガスユニット１の流路開口部（パージ流路１１の開口部と出力継手８の開口部）を封止部材で封止して流路内にパージガスを加圧封入している。このようなパージガスユニット１は、搬送時にパージ流路１１の開口部や出力継手８から流路１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７に空気が入り込まず、流路面に水分が付着しにくい。使用先において封止部材を流路開口部から取り外してパージガスユニット１を半導体製造装置に組み付けるときには、空気がパージガスユニット１のパージ流路１１の開口部や出力継手８から流路１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７内に入り込むが、組付時間が短時間であるため、流路面に付着する水分量が微量で済む。よって、本実施形態のパージガスユニット１によれば、半導体製造装置に組み付けるときに流路面に付着する水分量が少ないため、パージ時間が必要以上に長くならない。
【００８２】
そして、上述したパージガスユニット１を集積すれば、個々のパージガスユニット１のフットスペースが小さいため、パージガス供給集積ユニット１００のフットスペースをも相乗的に小さくすることができる（図１参照）。
【００８３】
パージガスユニット１を集積してパージガス供給集積ユニット１００を構成したときに、集積したパージガスユニット１の各々にパージガスを流して流路内の水分を除去した後に、パージ流路の開口部を封止部材８５及び閉止部材８４で密閉してパージガスを流路内に封じ込めば、搬送時に流路開口部から空気が入り込まず、パージガス共通流路や各パージガスユニット１の流路の内壁面に水分が付着しにくい。使用先において封止部材８５を各パージガスユニット１の出力継手８やパージガス供給制御装置８０の入力側継手８６から取り外してパージガス供給集積ユニット１００を半導体製造装置に組み付けるときには、空気が流路開口部からパージガスの流路内に入り込むが、組付時間が短時間であるため、流路面に付着する水分量が微量で済む。よって、本実施形態のパージガス供給集積ユニット１００によれば、半導体製造装置に組み付けるときに流路面に付着する水分量が少ないため、パージ時間が必要以上に長くならない。
【００８４】
尚、本発明は、上記実施の形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。
（１）例えば、上記実施の形態では、出力ブロック６を１ブロックとしたが、例えば、Ｖ字流路１６を係止した流路ブロックと、排出路１７を設けた流路ブロックとを組み合わせて出力ブロックとしてもよい。
（２）例えば、上記実施の形態では、パージガスユニット１に出力継手８を取り付けたが、出力継手８を設けない形態でパージガスユニット１を組み上げるようにしてもよい。
（３）例えば、上記実施形態では、熱式流量計を流量センサ７として使用したが、マスフローコントローラなど他の流量計測方式を有する流量センサを用いてもよい。
（４）例えば、上記実施形態では、電磁比例弁９を開閉制御弁として使用したが、エアオペレートバルブや、棒状プランジャを備える電磁弁などを開閉制御弁として使用してもよい。
（５）上記実施形態では、シール部材７１に樹脂製のものを使用したが、フッ素ゴムやパーフロロエラストマーなどのゴム製シール部材を使用してもよい。
【００８５】
（６）上記実施形態では、連結部材５１，５２をアルミで形成したが、樹脂で形成してもよい。
（７）上記実施形態では、パージガスユニット１に流量センサと開閉制御弁を設けたが、マスフローコントローラのみをパージガスユニットに設け、マスフローコントローラに流量センサと開閉制御弁の機能を持たせてもよい。
（８）上記実施形態では、連通ブロックを１ブロックで構成したが、複数の配管ブロックを連結して連通ブロックとしてもよい。
（９）上記実施形態では、入力ブロック４と出力ブロック５を同程度の高さにしたが、入力ブロック４の全高が出力ブロック５の全高より低くてもよいし、入力ブロック５の全高が出力ブロック５の全高より高くてもよい。この場合、全高が低い方のブロックについては取付面１０との間に隙間を空けた状態でパージガスユニットを取付板１０１に固定してもよいし、或いは、全高が低い方のブロックの下にスペーサなどを挿入し、流量センサ７の水平性を保つようにしてもよい。
（１０）上記実施形態では、出力ブロックの上下に開口する第１，第２開口部２３，２４をＶ字流路１６で接続したが、Ｕ字流路など他の形状の流路で接続してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８６】
【図１】本発明の実施形態に係るパージガス供給集積ユニットの平面図である。
【図２】図１に示すパージガスユニットの側面図である。
【図３】図２に示すパージガスユニットの断面図である。
【図４】図２に示すパージガスユニットの平面図である。
【図５】図２に示すパージガスユニットを入力側から見た図である。
【図６】図１に示す連結部材を示す図であって、（ａ）は正面図、（ｂ）は上面図、（ｃ）は（ａ）図のＡ−Ａ断面図、（ｄ）は（ａ）図のＢ−Ｂ断面図である。
【図７】図１に示すパージガスユニットの連結構造を示す分解斜視図である。
【図８】図２に示すパージガスユニットを連結した場合におけるパージ流路の接続部分を示す拡大断面図である。
【図９】パージガスユニットの第１変形例であって、一部断面側面図を示す。
【図１０】パージガスユニットの第２変形例であって、一部断面側面図を示す。
【図１１】図１に示す流路構成と同一になるように従来のパージガスユニットを集積した様子を示す図である。
【符号の説明】
【００８７】
１  パージガスユニット
４  入力ブロック
５  連通ブロック
６  出力ブロック
７  流量センサ
９  電磁比例弁（開閉制御弁）
１１  パージ流路
１２  入力路
１６  Ｖ字流路
２３  第１開口部
２４  第２開口部
５１，５２  連結部材
６５  フランジ部
７１  シール部材
１００  パージガス供給集積ユニット
Ｓ  隙間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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