(57)【要約】【課題】  未知試料であっても過大電流を流すことなく、誘電泳動を用いた回折格子法による粒子計測を行う。【解決手段】誘電泳動用電圧を印加することにより粒子に関する計測を行う粒子測定装置において、誘電泳動用電圧を含む誘電泳動パラメータを設定する誘電泳動パラメータ設定部３１と、電極対に対し誘電泳動用電圧よりも弱い導電性評価用電圧を印加した状態で電流計測部により電極対間の電流計測を行う制御を行うことで流動体試料の導電性情報を取得する導電性情報取得制御部３２と、導電性情報と関係付けた誘電泳動測定が可能な誘電泳動パラメータの範囲を判定用データとして記憶する判定用データ記憶部４３と、導電性情報と判定用データとに基づいて、設定された誘電泳動パラメータの適否を判定する設定条件判定部３３と、不適判定がなされた場合に警告情報を出力する警告出力部３４とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源と、電源と、流動体試料を貯留する容器と、周期的に配置され電源から電圧が印加されることにより周期的な電界を形成する電極対と、回折光を検出する光検出器とを備え、
電極対に誘電泳動用電圧を印加することにより流動体試料中の粒子密度分布を変化させて密度回折格子を発生させ、密度回折格子によって生じる派生回折光を検出することで粒子に関する計測を行う粒子測定装置において、
前記誘電泳動用電圧を含む誘電泳動パラメータを設定する誘電泳動パラメータ設定部と、
前記電極対間の電流を計測する電流計測部と、
電極対に対し誘電泳動用電圧よりも弱い導電性評価用電圧を印加した状態で電流計測部により電極対間の電流計測を行う制御を行うことで流動体試料の導電性情報を取得する導電性情報取得制御部と、
導電性情報と関係付けた誘電泳動が可能な誘電泳動パラメータの範囲を判定用データとして記憶する判定用データ記憶部と、
取得された流動体試料の導電性情報と判定用データとに基づいて、設定された誘電泳動パラメータの適否を判定する設定条件判定部と、
不適判定がなされた場合に警告情報を出力する警告出力部とを備えたことを特徴とする粒子測定装置。
【請求項２】
誘電泳動パラメータの適否判定は、導電性情報の他に、周波数、印加時間、波形の少なくともいずれかをパラメータとして判定されることを特徴とする請求項１に記載の粒子測定装置。
【請求項３】
導電性情報取得制御部は、電流計測により求める導電性情報に代えて、設定により導電性情報を取得することが可能に構成されることを特徴とする請求項１に記載の粒子測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流動体中の粒子に関する情報を、光学的に計測する粒子測定装置に関し、さらに詳細には、粒子の凝集・拡散に伴う密度変化から、流動体中に含まれる粒子に関する情報を光学的に測定する粒子測定装置に関する。本発明は、例えば流動体中に存在する粒子の有無の確認、拡散係数、粒子濃度、粒径（ナノ粒子、ミクロ粒子）等の測定に適用することができる。
【背景技術】
【０００２】
粒子を含有する流動体に電界が形成されるように電極を設け、これに交流電圧を印加し誘電泳動現象を生じさせて流動体中の粒子を移動することにより、粒子密度の濃淡分布を形成できることが知られている。
【０００３】
このような誘電泳動現象を応用した光学的測定装置として、液体中の粒子に誘電泳動を生じさせて粒子集中領域を形成し、その後、誘電泳動を停止して粒子集中領域から粒子を拡散させたときの屈折率変化から、粒子の拡散に関する評価を行う装置を提案している（特許文献１参照）。この光学的測定装置では、２本の平行に並ぶ電極を通じて被測定溶液に電圧を印加して誘電泳動を引き起こすことにより、液体中に局所的な屈折率変化を発生させている。
【０００４】
また、上記装置を改良した光学的測定方法として、回折格子を利用した光学的測定方法を提案している。すなわち、基本回折光パターンを生じさせる回折格子兼電極に、交流電圧を印加して液体中の粒子に誘電泳動を起こさせることにより、基本回折光パターンとは異なる回折光パターン（変形回折光パターン）を発生させ、変形回折光パターンに基づいて液体中の粒子に関する情報を計測する光学的測定方法（誘電泳動を用いた回折格子法：以下、回折格子法ともいう）を提案している（特許文献２参照）。
【０００５】
図５は、誘電泳動現象および回折現象を利用して粒子を移動させたときの屈折率変化を測定する光学的測定法（回折格子法）の動作原理を説明する断面図である。
液体試料を保持するセルの壁面を構成するガラス基板１２ａ上に、２本の平行な直線状電極１３ａ、１３ｂの対と、同じく２本の平行な直線状電極１４ａ、１４ｂの対とを交互に配列することにより、周期的配列構造を有する回折格子兼電極１３、１４が構成される。回折格子兼電極１３、１４に交流電源１５から交流電圧を印加する。電極１３ａ、１３ｂに対して、電極１４ａ、１４ｂが反対極となるようにして、交流電圧を印加することにより、電気力線が集中する１３ａ−１４ｂ間、および、１４ａ−１３ｂ間に、誘電泳動によって粒子が凝集する。粒子が凝集する領域Ｐは、回折格子兼電極１３、１４の格子間隔（ｄ）に対し、その２倍の周期（２ｄ）で一定間隔ごとに形成される。
【０００６】
粒子が凝集する領域Ｐは、他の領域より粒子密度が高く、屈折率が異なることから、格子間隔２ｄの回折格子（以後、密度回折格子という）が形成されることになる。
なお、密度回折格子を形成するための回折格子兼電極１３、１４の形状については、これに限らず、いろいろなバリエーションが可能である。例えば回折格子が、一対の電極と電圧が印加されない浮遊部とによって構成され、一方の電極と、浮遊部と、他方の電極とが周期的に並ぶ配列構造を形成するようにして、一部の回折格子が電極となる構造であってもよい。（上記特許文献２の実施形態３参照）。また、回折格子兼電極が透明導電膜で形成されるようにして、一方の電極と他方の電極とが交互、かつ、周期的に並ぶようにしてもよい。この場合は電極に交流電圧を印加していないときは回折格子は現れず、交流電圧を印加したときに、密度回折格子が形成されることになる。
【０００７】
そして、密度回折格子が形成された状態において、光源１６、光源光を集束するレンズ光学系１７を用いて、回折格子兼電極１３、１４に向けて光を照射すると、図６に示すように、回折格子兼電極１３、１４（周期ｄ）により生じる本来の回折光パターン（基本回折光パターン：図中実線で示す）が発生するとともに、密度回折格子（周期２ｄ）に起因して生じる派生回折光パターン（図中破線で示す）が重畳して発生する変形回折光パターンが発生するので、光検出器１８を新しく生じた派生回折光パターンの一次光、二次光、・・・が検出できる位置に合わせることで、派生回折光強度の変化から屈折率の変化を検出することができる。
【０００８】
そして、電圧印加後に、再び電圧印加を停止すると、粒子が領域Ｐから拡散することにより、派生回折光パターンが時間経過とともに消失していくので、その変化を測定することにより屈折率変化や濃度変化を求めることができ、さらには濃度変化から拡散方程式に基づいて拡散係数を求めることができる。
【特許文献１】特開２００６−２９７８１号公報
【特許文献２】特開２００６−５８１９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、上述した回折格子法によって未知試料の測定を行う場合、未知試料は必ずしも非導電性であるとは限られず、導電性を示すことがある。
導電性の試料に対し、誘電泳動を引き起こすための誘電泳動用電圧（例えば２０Ｖｐｐ〜３０Ｖｐｐ）を電極対の間に印加すると、試料を通じて電流が流れるようになる。このとき導電性が高い試料（電流が流れやすい試料）に対して誘電泳動測定用電圧が印加されると、印加される電圧値が大きい場合に、過大な電流が流れてしまい、その結果、試料が発熱して対流現象が発生し、また、場合によっては、試料中に気泡が発生することになる。対流や気泡の発生は、誘電泳動現象や回折光信号に影響を及ぼし、正確な測定結果が得られなくなる。
また、過大な電流が流れることで、電源故障を引き起こしたり、電極を劣化させたりするおそれもある。さらに、測定しようとする試料を変質させてしまうおそれもある。
【００１０】
そこで、本発明は、未知試料の測定であっても、誤って過大電流を流してしまうことなく安全に、粒子に関する測定（回折格子法による粒子計測）を行うことができる粒子測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するためになされた本発明の粒子計測装置は、光源と、電源と、流動体試料を貯留する容器と、周期的に配置され電源から電圧が印加されることにより周期的な電界を形成する電極対と、回折光を検出する光検出器とを備え、電極対に誘電泳動用電圧を印加することにより流動体試料中の粒子密度分布を変化させて密度回折格子を発生させ、密度回折格子によって生じる派生回折光を検出することで粒子に関する計測を行う粒子測定装置において、前記誘電泳動用電圧を含む誘電泳動パラメータを設定する誘電泳動パラメータ設定部と、前記電極対間の電流を計測する電流計測部と、電極対に対し誘電泳動用電圧よりも弱い導電性評価用電圧を印加した状態で電流計測部により電極対間の電流計測を行う制御を行うことで流動体試料の導電性情報を取得する導電性情報取得制御部と、導電性情報と関係付けた誘電泳動が可能な誘電泳動パラメータの範囲を判定用データとして記憶する判定用データ記憶部と、取得された流動体試料の導電性情報と判定用データとに基づいて、設定された誘電泳動パラメータの適否を判定する設定条件判定部と、不適判定がなされた場合に警告情報を出力する警告出力部とを備えるようにしている。
【００１２】
ここで、光源はレーザ光源が好適であるが、流動体試料からの派生回折光を得ることができる光源であればよい。
電源は、試料中に含まれる粒子が誘電泳動により移動することができる周波数の交流電圧が印加可能な電源が用いられる。誘電泳動用電圧を印加する電源と、導電性評価用電圧を印加する電源とは同じ電源を用いて印加電圧を変更するようにして共用すればよいが、別電源にしてもよい。
【００１３】
本発明の粒子測定装置では、電極対に誘電泳動用電圧を印加すると、密度回折格子が形成されることによって派生回折光を発生するので、検出器により派生回折光を検出することで流動体中の粒子に関する計測を行う。この計測を実行する前に、予め、誘電泳動用電圧よりも弱い導電性評価用電圧を電極対に印加して、電流計測部により電流値を測定する。測定された電流値は流動体試料の導電率に関係する物理量であり、導電性評価用電圧を用いて電圧流動体試料の導電率に変換することができる。よって、測定電流値あるいは導電率を導電性情報として取得する。
【００１４】
一方、判定用データ記憶部には、誘電泳動測定可能な誘電泳動パラメータの範囲と導電性情報（導電性評価用電圧印加時の測定電流値あるいは導電率）とを関係付けた判定用データが、予め、記憶してある。この判定用データは、予め、異なる導電率を有する多数の液体試料（判定データ作成用の試料）を準備し、それぞれの液体試料について、誘電泳動パラメータの設定条件を変化させて発熱量や気泡発生の有無を計測し、設定可能なパラメータ範囲を求めて記憶させたものである。したがって、測定対象である未知試料について、導電率（すなわち導電性評価用電圧を印加したときの測定電流値）が与えられると、その未知試料について設定可能なパラメータ範囲を判定するためのデータが、多数の記憶されたデータのなかから選択できるようになっている。
【００１５】
設定条件判定部は、取得された流動体試料の導電性情報に対し、適切な判定用データを参照し、設定された誘電泳動パラメータで誘電泳動測定用電圧を印加したときの適否を判定する。
判定の結果、設定された誘電泳動パラメータで誘電泳動測定用電圧を印加することが不適と判定された場合には、警告出力部が、警告情報を出力する。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、未知試料を測定する場合であっても、予め、流動体試料の導電性を測定することにより、誤って過大電流を流してしまうことを未然に防ぐことができるので、安全に測定を行うことができる。
【００１７】
（他の課題を解決するための手段および効果）
上記発明において、誘電泳動パラメータの適否判定は、導電性情報の他に、周波数、印加時間、波形の少なくともいずれかをパラメータとして判定されるようにしてもよい。
液体試料の発熱は、印加電圧の他に、周波数、印加時間、波形にも依存するので、これらも含めて判定することにより、適切な判定を行うことができる。
【００１８】
また、上記発明において、導電性情報取得制御部は、電流計測により求める導電性情報に代えて、設定により導電性情報を取得することが可能に構成されるようにしてもよい。
これにより、予め、液体試料の導電性情報が判明している場合は、入力操作のみで、簡単に導電性情報を設定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。なお、本発明は、以下に説明するような実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の態様が含まれることはいうまでもない。
【００２０】
（装置構成）
図１は本発明の一実施形態である粒子測定装置１の構成を示すブロック図である。図２は粒子測定装置１（制御系２０を除く）の平面図である。この粒子測定装置１は、液体試料（ゲル体試料でもよい）を保持する容器１１、容器１１の底面となる底壁１２aに形成され、周期電界を形成するための一対の電極１３、１４と、電極１３および電極１４に交流電圧を印加する電源１５と、光源１６と、光源から出射される光を収束するレンズ光学系１７と、回折光を検出する光検出器１８と、電流計１９と、装置全体を制御する制御系２０とからなる。
【００２１】
容器１１は、底壁１２aの上に、側壁１２ｂとなる枠体を設けることにより形成してある。この容器１１は、ガラス等の光透過性の材料が用いられ、底壁１２aを通して、入射光が電極１３、１４に照射できるようにしてある。
【００２２】
電極１３、１４は、マスクパターニング手法を用いて、底壁１２ａ上に形成される。なお、本実施形態では、底壁１２ａに電極１３、１４を形成しているが、容器１１が十分に深い場合には、底壁１２ａに代えて、側壁となる枠体１２ｂに電極１３、１４を形成してもよい。また、別のガラス板に電極１３、１４を形成し、底壁１２ａに載せてもよい。
液体試料をこの容器１１に入れ、電極１３、１４を液体中に浸すことにより、電極１３、１４と液体試料とが接するようになる。
【００２３】
電極１３は、２本の平行な直線状電極１３ａ、１３ｂが隣接する直線状電極偏在領域１３ｆと、直線状電極が形成されていない直線状電極不在領域１３ｃとが、交互に繰り返すようにしてあり、すべての直線状電極１３ａ、１３ｂは、接続部１３ｄにより電気的に接続され、いわゆる櫛型電極構造としてある。
【００２４】
電極１４についても同様であり、２本の平行な直線状電極１４ａ、１４ｂが隣接する直線状電極偏在領域１４ｆと、直線状電極が形成されていない直線状電極不在領域１４ｃとが、交互に繰り返すようにしてあり、すべての直線状電極１４ａ、１４ｂは、接続部１４ｄにより電気的に接続され、櫛型電極構造としてある。
【００２５】
そして、電極１３の直線状電極不在領域１３ｃの位置に、電極１４の直線状電極１４ａ、１４ｂがくるように配置して、電極１３の直線状電極１３ａ、１３ｂと、電極１４の直線状電極１４ａ、１４ｂとが、等間隔で連続的に並ぶようにして、直線状電極１３ａ、１３ｂ、１４ａ、１４ｂにより周期構造の電極が形成されるようにしてある。
さらに本実施形態では電極を金属膜で形成することにより、電極自身が回折格子となるようにしている。
【００２６】
この周期構造の電極の寸法は、電極幅ｄ１、電極間隔ｄ２のいずれについても、０．５μｍ〜２０μｍ程度にするのが好ましいが、形状や寸法は、特に限定されない。例えば、電極幅ｄ１と電極間隔ｄ２とが異なる寸法になるようにしてもよいし、形状が直線状に構成されなくてもよい。なお、本実施形態では、電極幅１０μｍ、電極間隔１０μｍの直線状電極としている。この場合、回折格子の格子間隔ｄは、ｄ１＋ｄ２となる。
【００２７】
交流電源１５は、入力操作により印加電圧、周波数、印加時間、波形が調整可能な電源を用いている。具体的には、例えば、印加電圧値が０Ｖ〜１００Ｖで可変であり、周波数が１０ｋＨｚ〜１０ＭＨｚ、印加時間が０．０１秒から連続、波形が正弦波、三角波、方形波で可変である交流源を使用している。
【００２８】
光源１６は、測定対象となる液体試料に応じて種類を選択すればよいが、例えば、Ｈｅ−Ｎｅレーザ光源（波長６３３ｎｍ）や、その他のレーザ光源を用いるのが好ましい。
レンズ光学系１７は、光源光を収束して、電極１３、１４（回折格子）に照射できるように構成してある。なお、本実施形態では透過回折光の測定を行う配置にしているが、光源光の入射角度（および検出器１８の位置）を調整できるようにして、測定対象、測定目的によって透過回折光、反射回折光のいずれかを測定できるようにしてもよい。透過回折光を測定する場合、入射角は、液体試料との界面で全反射が生じない条件にすればよく、例えば、垂直に入射させてもよい。
【００２９】
光検出器１８は、透過回折光を検出するときは液体試料の上部側に配置する。反射回折光を検出するときは液体試料の下部側に配置する。光検出器１８には、回折角を測定するための角度調整機構が設けられており、回折光の強度とともに回折角が検出できるようにしてある。この光検出器１８には、フォトダイオードやＣＣＤが用いられる。なお、角度調整機構を設ける代わりに、複数の素子を二次元的に並べたアレイセンサを用いて、回折角が計測できるようにしてもよい。
【００３０】
次に、制御系２０について説明する。  制御系２０は、ＣＰＵ２１、メモリ（ＲＯＭ、ＲＡＭ、ＨＤＤ）２２、入力装置２３（キーボード、マウス等）、表示装置２４（液晶ディスプレイ等）、入出力インタフェース等からなるコンピュータシステムにより構成され、装置全体の制御、演算処理とともに、各種設定入力や操作入力、各種データの表示、警告表示を行う。
【００３１】
ＣＰＵ２１は、さまざまな処理や機能を実行する制御を行う。このうち本発明に関連して実行される処理や機能をブロック化して説明すると、誘電泳動パラメータ設定部３１、導電性情報取得制御部３２、設定条件判定部３３、警告出力部３４、計測制御部３５とにブロック化される。
【００３２】
また、メモリ２２は、ＣＰＵ２１による演算処理に必要な作業領域の他に、導電性評価用パラメータ記憶領域４１、誘電泳動パラメータ記憶領域４２、判定用情報記憶領域４３を備えている。
【００３３】
メモリ２２に記憶されるデータについて説明する。
導電性評価用パラメータ記憶領域４１には、液体試料の導電性を評価するための測定に必要な導電性評価用パラメータとして、導電性評価用の印加電圧、印加電圧周波数、印加時間、波形パラメータが記憶してある。導電性評価用印加電圧は、誘電泳動用電圧よりも低い電圧値にしてあり、液体試料に電圧を印加した場合に、決して液体試料が発熱したり気泡が生じたりすることがないようにしてある。例えば、誘電泳動用電圧は、通常は１０〜４０Ｖｐｐで設定されるが、導電性評価用印加電圧は１〜１０Ｖｐｐ程度が設定してある。
【００３４】
誘電泳動パラメータ記憶領域４２には、回折格子法による粒子計測を行う際の誘電泳動条件に関するパラメータが記憶される。このパラメータは、後述する誘電泳動パラメータ設定部３１が測定者に入力を促すことにより、測定者が入力操作を行うことで記憶される。
【００３５】
判定用データ記憶領域４３には、誘電泳動パラメータの適否を判定する際の判定用データが記憶される。具体的には、各導電率（あるいは導電性評価用電圧を印加したときの測定電流値）に対応して、印加周波数と誘電泳動電流の設定可能範囲が、印加時間、誘電泳動測定用電圧値ごとに、さらには図示しないが印加波形（正弦波、三角波等）ごとに、設定してある。図３（ａ）〜図３（ｆ）は、記憶された判定用データの一例を示す図である。このような使用可能な境界を定めるデータが、導電率ごとに記憶されている。
【００３６】
次に、ＣＰＵ２１について説明する。
誘電泳動パラメータ設定部３１は、回折格子法による粒子計測を行う上で必要な誘電泳動パラメータの設定を行うための制御を行う。具体的には、表示装置２４の画面に、誘電泳動用電圧、誘電泳動周波数、誘電泳動用電圧の印加時間、電圧波形の入力を促す画面表示の制御を行い、測定者によるこれらパラメータの入力を待ち、測定者によるパラメータ入力が行われると、これらの入力値を、設定値としてメモリ２２の誘電泳動パラメータ記憶領域４２に記憶する制御を行う。
【００３７】
導電性情報取得制御部３２は、回折格子法による粒子計測を実行する直前に、予め、導電性評価用パラメータ記憶領域４１に記憶してある導電性評価用パラメータを用いて、電極対１３、１４間に電圧（導電性評価用電圧）を印加し、電流計１９により、そのときの電流値を測定する制御を行う。これにより取得した測定電流値を、液体試料の導電性情報として取得する。
【００３８】
設定条件判定部３３は、判定用データ記憶領域４３に記憶されている判定用データ（図３参照）と、導電性情報取得制御部３２が取得した流動体試料の導電性情報（測定電流値）とに基づいて、設定された誘電泳動パラメータに含まれる誘電泳動用電圧での測定が可能であるかを判定する演算を行う。
【００３９】
警告出力部３４は、判定の結果、設定された誘電泳動パラメータで誘電泳動用電圧を印加することが不適と判定された場合には、警告情報を出力する。出力された警告情報は、表示装置２４により、警告表示が画面に表示され、また、図示しないスピーカにより、警告音が発せられる。
【００４０】
計測制御部３５は、設定された誘電泳動パラメータが適切である場合に、誘電泳動用電圧を印加して、本来の粒子計測を実行する制御を行う。
【００４１】
（計測動作）
次に、上記装置による計測動作について説明する。図４は、粒子計測装置１により誘電泳動を用いた回折格子法による測定を行う際の動作フローを示す図である。
予め、測定対象の液体試料を容器１１に充填しておく。粒子測定装置１が起動されると、まず、誘電泳動用パラメータを設定するため、表示装置２４にパラメータの入力を促す入力画面が表示される。測定者は、入力装置２３により、誘電泳動用パラメータ（誘電泳動用電圧、周波数、印加時間、波形）の入力操作を行う。これらの入力が行われると、メモリ２２に記憶される（Ｓ１０１）。
【００４２】
続いて、液体試料の導電性評価を行うために、予め、メモリ２２に記憶してある導電性評価用パラメータを用いて導電性評価を行う。すなわち、電極対１３、１４間に導電性評価用電圧を印加し、電流計１９にて電流計測を行う（Ｓ１０２）。このときの印加電圧は、誘電泳動用電圧に比較すると、はるかに弱く、決して発熱や気泡が発生しない電圧値になっている。そして、計測結果である測定電流値は、液体試料の導電性情報として取得され、後述する適否判定に用いられる。
【００４３】
続いて、導電性情報（測定電流値）と、設定された誘電泳動パラメータとに基づいて、対応する判定用データをメモリ２２から選択し、設定された誘電泳動パラメータの適否を判定する（Ｓ１０３）。例えば、図３の判定用データが選択されている場合に、泳動電圧が３０Ｖｐｐで印加時間０．１秒、周波数５００ＫＨｚのときは、判定用データとして図３（ｂ）を選択する。そして、選択した判定用データに照らし合わせて、泳動電流値が使用可能範囲内に含まれるかを判定する
【００４４】
そして、判定結果が、使用可能範囲内であるときは、設定された誘電泳動パラメータが実際に設定される（Ｓ１０４）。これにより、回折格子法による粒子計測が実行され、測定を終了する（Ｓ１０６）。
【００４５】
一方、判定結果が、使用可能範囲外であるときは、表示装置２４への警告表示と警告音発生とが行われ（Ｓ１０５）、測定を終了する。これにより、過大電流が流れることを未然に防止する（Ｓ１０６）。
【００４６】
上記動作フローでは、Ｓ１０２において、電流計による電流計測を実際に行い、導電性についての評価を行った。しかしながら、試料によっては、予め、液体試料の導電率が判明している場合もあるので、その場合は、直接、導電率をパラメータ値を入力することで、電流計測を行う手間を省いてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明は、誘電泳動による回折格子法による粒子測定装置において、利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の一実施形態である粒子測定装置の概略構成図。
【図２】図１の粒子測定装置（制御部を除く）の平面図。
【図３】誘電泳動パラメータの適否を判定する判定用データの一例を説明する図。
【図４】動作フローの一例を示す図。
【図５】回折格子法の動作原理を説明する断面図。
【図６】粒子測定装置による回折光パターンを説明する図。
【符号の説明】
【００４９】
１１：  容器
１２：  底壁
１３、１４  電極
１５：  電源
１６：  光源
１８：  光検出器
１９：  電流計
２０：  制御系
２１：  ＣＰＵ
２２：  メモリ
３１：  誘電泳動パラメータ設定部
３２：  導電性情報取得制御部
３３：  設定条件適否判定部
３４：  警告出力部
４１：  導電性評価用パラメータ記憶領域
４２：  誘電泳動パラメータ記憶領域
４３：  判定用データ記憶領域
【図１】
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【図３】
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【図４】
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【図２】
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【図５】
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【図６】
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