(57)【要約】【課題】本発明は微小信号検査装置において、測定値を安定化することを目的とするものである。【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、検出体の一例として用いた角速度センサー１に当接させられる端子２と、この端子２で検出した微小信号を増幅するアンプ３と、このアンプ３で増幅した検出信号を測定値として測定する計測器４とを備え、前記端子２とアンプ３を一体化するとともに、前記検出体の一例として用いた角速度センサー１に対して上下動させる構成とし、前記アンプ３と計測器４はフレキシブルワイヤー８を介して接続した。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検出体に当接させられる端子と、この端子で検出した微小信号を増幅するアンプと、このアンプで増幅した検出信号を測定値として測定する計測器とを備え、前記端子とアンプを一体化するとともに、前記検出体に対して上下動させる構成とし、前記アンプと計測器はフレキシブルワイヤーを介して接続した微小信号検査装置。
【請求項２】
複数の端子を基板上に植設し、前記基板をアンプと一体化した請求項１に記載の微小信号検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は微小電流、または微小電圧等の微小信号を検出する微小信号検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
各種電気製品の小型化に伴い、センサーや電子部品も小型化され、それに伴いそれらの特性を検出するための検査装置も微小信号を検出する構成となってきた。
【０００３】
例えば下記特許文献に記載されたものでは、複数の端子を基板上に植設したプローブカードを、上下動させることで検出体の一例であるチップ抵抗器の電極に前記端子を当接させ、ここで検出した微小信号を計測器で測定する構成となっていた。
【特許文献１】特開平５−２９３６８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記従来例で問題となることは、測定値が安定しないということであった。
【０００５】
すなわち上記従来例においてプローブカードの端子で検出された微小信号はワイヤーを介して計測器に伝達される構成になっているのであるが、プローブカードが上下動することからこのプローブカードと計測器を接続する前記ワイヤーはフレキシブルなものとなっている。
【０００６】
そしてこのようにワイヤーが上下動に追従して変形すると、わずかながらそのインピーダンスが変動し、このインピーダンス変動が、前記プローブカードの端子で検出された微小信号には大きな影響を与え、その結果として上述のごとく測定値が安定しないということになってしまうのであった。
【０００７】
そこで本発明は、測定値を安定化することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
そしてこの目的を達成するために本発明は、検出体に当接させられる端子と、この端子で検出した微小信号を増幅するアンプと、このアンプで増幅した検出信号を測定値として測定する計測器とを備え、前記端子とアンプを一体化するとともに、前記検出体に対して上下動させる構成とし、前記アンプと計測器はフレキシブルワイヤーを介して接続したものである。
【発明の効果】
【０００９】
以上のように本発明においては、検出体に当接させられる端子と、この端子で検出した微小信号を増幅するアンプを一体化しているので、端子で検出された微小信号は直ちにアンプで増幅され、このようにして増幅後の検出信号を計測器で測定するものであるので、測定値を安定化することができる。
【００１０】
つまり、アンプと計測器はフレキシブルワイヤーを介して接続され、このフレキシブルワイヤーも当然のごとく上下動に追従して変形すると、わずかながらそのインピーダンスが変動するが、このフレキシブルワイヤーを介して計測器に伝達される検出信号はすでにアンプで増幅されているので、前記フレキシブルワイヤーのわずかなインピーダンス変動程度では、測定器による測定値に実質的に影響を与えず、これにより測定値が安定するということになるのである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本実施形態の微小信号検査装置は、図１に示すごとく検出体の一例として用いた角速度センサー１に当接させられる端子２と、この端子２で検出した微小信号を増幅するアンプ３と、このアンプ３で増幅した検出信号を測定値として測定する計測器４とを備えた構成となっている。
【００１２】
前記端子２は図２に示すごとく、複数、具体的には６本の端子２を基板５上に植設し、一体化したものである。
【００１３】
また基板５は基台６に保持されて一体化しており、この基台６は上記アンプ３とともに基台７に固定されている。
【００１４】
また、前記アンプ３と計測器４はフレキシブルワイヤー８を介して接続されている。
【００１５】
さて上記角速度センサー１は図３に示すごとく、音叉形の振動部９とその根本部分の端子部１０とから構成され、振動部９には振動電極１１と検出電極１２が設けられ、また端子部１０には駆動電極１３と測定電極１４とモニター電極１５とアース電極１６が設けられている。
【００１６】
さて以上のような構成において、角速度センサー１は図１に示した搬送ステージ１７によって基板５の下方に移動される。
【００１７】
そしてこの状態で、基台７が下降され、これにより、図３で示した角速度センサー１の駆動電極１３と測定電極１４とモニター電極１５とアース電極１６に、上記６本の端子２が当接する。
【００１８】
具体的には、先ず図４の上側から一本目、二本目の端子２が駆動電極１３に当接され、また三本目の端子２がモニター電極１５に当接され、さらに四本目の端子２がアース電極１６に当接され、さらにまた五本目、六本目の端子２が測定電極１４に当接されることになる。
【００１９】
この結果、駆動電極１３にはＡＧＣ回路１８から振動信号が供給され、これにより音叉形の振動部９が左右に振動し、そのときの検出信号は測定電極１４から差動増幅回路１９で増幅後、計測器４で検出されるようになっている。
【００２０】
以上のように本実施形態においては、検出体の一例として用いた角速度センサー１の測定電極１４で検出した微小信号を増幅するアンプ３で差動増幅回路１９で増幅後の検出信号を計測器４で計測するものであるので、測定値を安定化することができる。
【００２１】
つまり、アンプ３と計測器４はフレキシブルワイヤー８を介して接続され、このフレキシブルワイヤー８も上記基台７の上下動にしたがって当然のごとく変形することとなり、わずかながらそのインピーダンスが変動することとなる。しかしながら、このフレキシブルワイヤーを介して計測器に伝達される検出信号はすでにアンプで増幅されているので、前記ワレキシブルワイヤー８のわずかなインピーダンス変動程度では、測定器４による測定値に実質的に影響を与えず、これにより測定値が安定するということになるのである。
【００２２】
なお、このような測定器４の測定で良品とされた角速度センサー１は図５のごとく缶２０内に実装、封入され、完成品となる。
【００２３】
また、アンプ３内の基板２１には六本の貫通端子２２が設けられており、この貫通端子２２には、上記角速度センサー１の完成品の缶２０から下方に突出した端子ピン（図示せず）が挿入されるようになっている。
【００２４】
つまり、完成品を基準サンプルとし、他の微小信号検査装置の基板２１にセットし、その微小信号検査装置の調整が行えるようにしているのである。
【産業上の利用可能性】
【００２５】
以上のように本発明においては、検出体に当接させられる端子と、この端子で検出した微小信号を増幅するアンプを一体化しているので、端子で検出された微小信号は直ちにアンプで増幅され、このようにして増幅後の検出信号を計測器で測定するものであるので、測定値を安定化することができる。
【００２６】
つまり、アンプと計測器はフレキシブルワイヤーを介して接続され、このフレキシブルワイヤーも当然のごとく上下動に追従して変形すると、わずかながらそのインピーダンスが変動するが、このフレキシブルワイヤーを介して計測器に伝達される検出信号はすでにアンプで増幅されているので、前記フレキシブルワイヤーのわずかなインピーダンス変動程度では、測定器による測定値に実質的に影響を与えず、これにより測定値が安定するということになるのである。
【００２７】
したがって、微小信号の検査装置として、極めて有用なものとなる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の一実施形態の正面図
【図２】本発明の一実施形態の基板５の背面側斜視図
【図３】本発明の一実施形態の角速度センサーの平面図
【図４】本発明の一実施形態の回路図
【図５】本発明の一実施形態の基板と角速度センサーの平面図
【符号の説明】
【００２９】
１  検出体の一例として用いた角速度センサー
２  端子
３  アンプ
４  計測器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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