(57)【要約】【課題】高密度磁気ディスクに対応した制御帯域の高い位置決め制度に優れたアクチュエータを提供する。【解決手段】移動機構は、印加電圧に応じて長さ方向の長さが変化する駆動部材と、前記駆動部材よりも短く形成され、前記駆動部材の前記長さが変化する方向と略平行な側面に接着され、前記長さの変化への追従を妨げる補助部材と、前記駆動部材と前記補助部材との相互作用によって回転駆動される被駆動体とを備え、前記被駆動体の外周面上に、前記駆動部材のうち前記補助部材が接着された側面の残存部が固着されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
印加電圧に応じて長さ方向の長さが変化する駆動部材と、
前記駆動部材よりも短く形成され、前記駆動部材の前記長さが変化する方向と略平行な側面に接着され、前記長さの変化への追従を妨げる補助部材と、
前記駆動部材と前記補助部材との相互作用によって回転駆動される被駆動体とを備え、
前記被駆動体の外周面上に、前記駆動部材のうち前記補助部材が接着された側面の残存部が固着されている移動機構。
【請求項２】
前記駆動部材は、前記被駆動体の外周面上で回転対称位置に少なくとも１組以上ある請求項１に記載の移動機構。
【請求項３】
前記駆動部材は、活性層を複数持つ積層圧電素子である請求項１または２に記載の移動機構。
【請求項４】
前記補助部材は、ジルコニア、ステンレスおよびアルミナのいずれかである請求項１から３のいずれかに記載の移動機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子を用いたアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、情報機器の小型化、精密化が進んでおり、例えば、光学系の焦点補正や傾角制御、インクジェットプリンタ装置、磁気ディスク装置のヘッドアクチュエータ等では、微小距離を移動制御することができるアクチュエータが必要となっている。このような状況の中で、磁気ディスク装置は市場の拡大と装置の高性能化に伴い、記憶容量の大容量化は益々重要となってきている。一般に、磁気ディスク装置の大容量化は、ディスク１枚あたりの記憶容量を大きくすることで達成される。しかし、ディスクの直径を変えずに、高記録密度化を行う為には、単位長さあたりのトラック数（ＴＰＩ）を大きくする必要がある。つまり、トラックの幅を狭くすることが不可欠である。このため、トラックの幅方向のヘッドの位置精度が高くなることが不可欠となり、高位置決め精度が可能なヘッドアクチュエータが望まれている。
【０００３】
従来のヘッド位置決めには、ヘッド（スライダー）を保持しているサスペンションの固定部にある電磁アクチュエータにより行っていた。従来は媒体の記録密度がこの方式でも十分カバーできる範囲にあった。しかし、近年の記録装置の大容量化に伴う記録密度の高密度化により、従来方式では、ヘッドの位置決めの不正確さから、ヘッドの読み取り、書き込み不良が発生する恐れがある。位置決めを正確にするため、スライダーを直接移動させるマイクロアクチュエータをスライダーとサスペンションとの間に配置する方式がある。この方式によるアクチュエータは、コアアースアクチュエータ（電磁アクチュエータ）の動作とは独立にアームの先端に取り付けられたヘッドを微小移動させることが可能である。
【特許文献１】特開２００１−８４７２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記方式には、スライダーとサスペンションの間にマイクロアクチュエータを配置するものと、スライダーと同一平面（スライダー側面）にマイクロアクチュエータを配置するものとがある。前者の方式では、マイクロアクチュエータの厚さ分のスペースを確保する必要となり、ディスクを複数枚搭載する磁気ディスク装置では搭載枚数に制限が生じる場合がある。後者の方式では、駆動方式によっては、スライダーが並進移動し、サスペンションの共振を励起させて、制御帯域をあげることが困難となる。また、単純にスライダーの側面にユニモルフ型のマイクロアクチュエータを配置しただけでは、スライダーの回転方向とマイクロアクチュエータの反りの方向に違いが生じるため、スライダーの変位量を大きくすることが困難となる。
【０００５】
本発明は、高密度磁気ディスクに対応した制御帯域の高い位置決め制度に優れたアクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は前記課題を解決するために、以下の手段を採用した。すなわち、本発明の移動機構は、印加電圧に応じて長さ方向の長さが変化する駆動部材と、前記駆動部材よりも短く形成され、前記駆動部材の前記長さが変化する方向と略平行な側面に接着され、前記長さの変化への追従を妨げる補助部材と、前記駆動部材と前記補助部材との相互作用によって回転駆動される被駆動体とを備え、前記被駆動体の外周面上に、前記駆動部材のうち前
記補助部材が接着された側面の残存部が固着されている。
【０００７】
本発明の移動機構によれば、駆動部材よりも短く形成された補助部材が駆動部材の側面に接着され、駆動部材のうち補助部材が接着された側面の残存部が被駆動体の外周面に固着される。そのため、本発明の移動機構が備える駆動部材に電圧を印加した場合、駆動部材の反りの方向と被駆動体との回転駆動方向との緩和がなされ、駆動部材と同じ長さに形成された補助部材を備える移動機構よりも、被駆動体の変位量を増加させることが可能となる。
【０００８】
また、本発明の移動機構は、前記駆動部材が、前記被駆動体の外周面上で回転対称位置に少なくとも１組以上あるものであってもよい。また、本発明の移動機構は、前記駆動部材が、活性層を複数持つ積層圧電素子であってもよい。さらに、本発明の移動機構は、前記補助部が、ジルコニア、ステンレスおよびアルミナのいずれかであってもよい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、高密度磁気ディスクに対応した制御帯域の高い位置決め制度に優れたアクチュエータを提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、図面に基づいて、本発明の実施の形態を説明する。以下の実施形態の構成は例示であり、本発明は実施形態の構成には限定されない。
【００１１】
＜発明の骨子＞
図１は、本発明を適用可能な磁気ディスク装置の平面図である。図１に示す磁気ディスク装置１は、回転可能な磁気ディスク２と、磁気ディスク２から情報を読み出し、磁気ディスク２に情報を書き込むための磁気ヘッドを有するスライダー３を備える。スライダー３が、本発明の被駆動体に相当する。
【００１２】
スライダー３は、略矩形の形状をしており、サスペンション４の先端部分に取り付けられる。サスペンション４の根本部分はキャリッジアーム５に固定されている。キャリッジアーム５は、電磁アクチュエータ６によりアーム軸７を中心として回転される。図１中の矢印で示すように、スライダー３は、磁気ディスク２の半径方向に移動可能である。
【００１３】
図２にマイクロアクチュエータ２２を有する磁気ヘッド支持機構の構成例を斜視図として示す。この磁気ヘッド支持機構は、電磁変換素子２１を設けたスライダー３と、このスライダー３を支持するサスペンション４とを有し、スライダー３の側面（外周面）に、マイクロアクチュエータ２２を設けたものである。マイクロアクチュエータ２２は、スライダー３をサスペンション４に対して微小変位させる。本実施形態のスライダー３は、縦の寸法が１２５０ミクロンであり、横の寸法が１０００ミクロンである。ただし、これらは例示であって、本発明はこの寸法に限定されない。
【００１４】
図２は、サスペンション４の先端部分を示しており、サスペンション４の先端は内部に切り欠きが設けられている。その切り欠きにジンバル部２３が配置される。ジンバル部２３の一部とサスペンション４の先端とは？がっている。スライダー３の上面側とジンバル部２３の下面側とがマイクロアクチュエータ２２を介して接着され、スライダー３はジンバル部２３に固定される。
【００１５】
マイクロアクチュエータ２２は、圧電素子（ピエゾ素子）２４と部材２５とからなり、圧電素子２４の側面と部材２５の側面とを接着剤で接着させる。本実施形態による圧電素子２４は、厚さ１５２ミクロンであり、部材２５は、厚さ２０ミクロンである。これらは
、例示であって、本発明はこれに限定されない。圧電素子２４が、本発明の駆動部材に相当する。また、部材２５が、本発明の補助部材に相当する。
【００１６】
図３に圧電素子２４の側面図を示す。圧電素子２４は、圧電層３１と電極層３２とからなる多層構造である。電極層３２に電圧を印加した場合、電極層３２に挟まれた活性層３３は伸縮する。すなわち、圧電層３１は、厚さ方向に分極されており、電極層３２に挟まれた活性層３３が圧電横効果により伸縮し、圧電素子２４は、長さ方向に伸縮する。言い換えれば、圧電素子２４は、圧電層３１の積層方向と交差する方向に伸縮する。
【００１７】
電極層３２に駆動電圧が印加された場合、圧電素子２４の長さ方向の長さが縮み、電極層３２に印加されていた駆動電圧が開放されると、圧電素子２４の長さの縮みが元に戻る。本実施形態では、圧電素子２４の圧電層３１を構成する圧電材料としてＰＮＮ−ＰＴ−ＰＺセラミックスを使用する。また、本実施形態では、圧電素子２４の電極層３２を構成する電極材料としてＰｔを使用する。
【００１８】
本実施形態では、部材２５として、ジルコニア、ステンレス、アルミナを使用することができる。部材２５の長さは、圧電素子２４の長さよりも短くなっている。そのため、圧電素子２４の側面に部材２５を接着した場合、圧電素子２４の側面には、部材２５と接していない部分がある。部材２５が接着された圧電素子２４の側面のうち部材２５が接していない部分にスライダー３の側面を接着させる。この場合、圧電素子２４とスライダー３の間に接着部２６を設けて、圧電素子２４とスライダー３とを接着させる。このようにして、マイクロアクチュエータ２２は、スライダー３の側面に配置される。
【００１９】
複数のマイクロアクチュエータ２２をスライダー３の側面に配置する場合、スライダー３は、重心を中心とした回転対称位置にマイクロアクチュエータ２２が配置される。
【００２０】
スライダー３にマイクロアクチュエータ２２を配置する場合、スライダー３の側面に２つのマイクロアクチュエータ２２を配置する。この場合、スライダー３の側面の一つにマイクロアクチュエータ２２を備え付け、重心を中心として１８０度回転させた側面にさらにマイクロアクチュエータ２２を備え付ける。このようにすることにより、スライダー３の回転対称位置にマイクロアクチュエータ２２が配置される。
【００２１】
圧電素子２４に駆動電圧を印加した場合、圧電素子２４の長さ方向に圧電素子２４の長さが縮む。圧電素子２４と部材２５とが接着されている部分については、部材２５が圧電素子２４側に反ることにより、圧電素子２４は部材２５が接着されていない外側に反る。したがって、部材２５は、圧電素子２４の長さ方向の縮みに応じ、圧電素子２４と協働して、マイクロアクチュエータ２２の反りを発生させる。
【００２２】
図４に従来のマイクロアクチュエータ４１の上面図を示す。従来のマイクロアクチュエータ４１は、圧電素子２４と部材４２とが同じ長さとなっている。
【００２３】
図５に従来のマイクロアクチュエータ４１の挙動を示す。従来のマイクロアクチュエータ４１は、圧電素子２４の長さと部材４２の長さは同じ長さであり、圧電素子２４の側面全体と部材４２の側面全体とが接着されている。そのため、圧電素子２４に駆動電圧を印加した場合、圧電素子２４の長さ方向に圧電素子２４の長さが縮むことにより部材４２が圧電素子２４側に反る。そして、部材４２が圧電素子２４側に反ることにより、圧電素子２４は、部材４２が接着されていない外側に反る。すなわち、圧電素子２４に駆動電圧を印加した場合、従来のマイクロアクチュエータ４１は、反る挙動を示す。
【００２４】
図６に本実施形態によるマイクロアクチュエータ２２の上面図を示す。図６に示すよう
に、本実施形態によるマイクロアクチュエータ２２は、部材２５の長さが圧電素子２４の長さよりも短くなっている。
【００２５】
図７に本実施形態によるマイクロアクチュエータ２２の挙動を示す。マイクロアクチュエータ２２は、圧電素子２４に比べて部材２５の長さが短い。圧電素子２４に駆動電圧を印加した場合、圧電素子２４の長さが縮むことにより、部材２５が圧電素子２４側に反る。そして、部材２５が圧電素子２４側に反ることにより、圧電素子２４の端部のうち部材２５が接着されている部分は、部材２５が接着されていない外側に反る。
【００２６】
このように、圧電素子２４に駆動電圧を印加した場合、圧電素子２４の長さが縮むので、部材２５が接着されていない部分の長さが縮む方向に移動する。その結果、本実施形態によるマイクロアクチュエータ２２は、反りと縮みの両方を合わせた挙動を示す。すなわち、本実施形態によるマイクロアクチュエータ２２は、圧電素子２４に駆動電圧を印加した場合、圧電素子２４のうち部材２５が接着されている部分は、部材２５が接着されていない側に反り、圧電素子２４のうち部材２５が接着されていない部分はその長さが縮む方向に移動するという挙動を示す。
【００２７】
図８に、従来のマイクロアクチュエータ４１を備え付けたスライダー３の上面図を示す。図８に示すように、１組のマイクロアクチュエータ４１が対向するようにスライダー３の側面に備え付けられている。従来のマイクロアクチュエータ４１は、部材４２の長さが圧電素子２４の長さと同じである。
【００２８】
図９に、圧電素子２４に駆動電圧を印加した場合における、従来のマイクロアクチュエータ４１を備え付けたスライダー３の変位を示す。圧電素子２４に３０Ｖの電圧を印加した場合、スライダー３は、重心を中心として、矢印Ａの方向に回転移動することにより、スライダー３は、矢印Ａの方向に１６６ｎｍ変位する。
【００２９】
図１０に、本実施形態のマイクロアクチュエータ２２を備え付けたスライダー３の上面図を示す。図１０に示すように、１組のマイクロアクチュエータ２２が対向するようにスライダー３の側面に備え付けられている。図１０に示すマイクロアクチュエータ２２は、部材２５の長さが圧電素子２４の長さの４割となっている。ただし、圧電素子２４の長さに対する部材２５の長さの比率は例示であって、本発明はこれに限定されるものではない。
【００３０】
図１１に、圧電素子２４に駆動電圧を印加した場合における本実施形態のマイクロアクチュエータ２２の挙動とスライダー３の移動を示す。圧電素子２４Ａおよび圧電素子２４Ｂに駆動電圧を印加した場合、圧電素子２４Ａの長さは図１１の矢印Ｂの方向に縮み、圧電素子２４Ｂの長さは図１０の矢印Ｃの方向に縮む。
【００３１】
圧電素子２４Ａの長さが縮むことにより、スライダー３と接着されている圧電素子２４Ａの端部は、圧電素子２４Ａの長さが縮む方向（図１１の矢印Ｂの方向）に移動する。また、圧電素子２４Ａの長さが縮むことにより、部材２５と接着されている圧電素子２４Ａの部分は、部材２５が接着されていない外側に反る。このように、マイクロアクチュエータ２２は、縮みと反りの挙動を示す。
【００３２】
圧電素子２４Ｂの長さが縮むことにより、スライダー３と接着されている圧電素子２４Ｂの端部は、圧電素子２４Ｂの長さが縮む方向（図１１の矢印Ｃの方向）に移動する。また、圧電素子２４Ｂの長さが縮むことにより、部材２５と接着されている圧電素子２４Ｂの部分は、部材２５が接着されていない外側に反る。このように、マイクロアクチュエータ２２は、縮みと反りの挙動を示す。
【００３３】
マイクロアクチュエータ２２が縮みと反りの挙動を示すことにより、マイクロアクチュエータ２２と接着されたスライダー３は、重心を中心として、図１１の矢印Ｄの方向に回転移動する。
【００３４】
図１２に、圧電素子２４に駆動電圧を印加した場合における、本実施形態のマイクロアクチュエータ２２を備えつけたスライダー３の変位を示す。圧電素子２４に３０Ｖの電圧を印加した場合、スライダー３は、重心を中心として、矢印Ｅの方向に回転移動することにより、スライダー３は、矢印Ｅの方向に２３８ｎｍ変位する。マイクロアクチュエータ２２を備え付けたスライダー３の変位量２３８ｎｍは、従来のマイクロアクチュエータ４１を備え付けたスライダー３の変位量１６６ｎｍに対して約４０％増加している。
【００３５】
従来のマイクロアクチュエータ４１の圧電素子２４に駆動電圧を印加した場合、従来のマイクロアクチュエータ４１は反りのみのため、スライダー３の回転方向とマイクロアクチュエータ４１の移動方向に歪みが生じる。
【００３６】
一方、マイクロアクチュエータ２２の圧電素子２４に駆動電圧を印加した場合、マイクロアクチュエータ２２の端部のうち部材２５と接着している部分は反り、部材２５と接着していない部分の長さが縮む。そのため、スライダー３の回転方向とマイクロアクチュエータ２２の移動方向の歪みが緩和され、スライダー３の変位量が増加する。
【００３７】
図１３に、部材２５の長さとスライダー３の変位量の関係を示す。図１３の縦軸は、スライダー３の変位量（ｎｍ）を示しており、横軸は、圧電素子２４の長さに対する部材２５の長さの比率（％）を示している。圧電素子２４の長さに対する部材２５の長さの比率（％）が小さくなるほど、すなわち部材２５の長さが短くなるほど、スライダー３の変位量（ｎｍ）は増加する。圧電素子２４の長さに対する部材２５の長さの比率（％）が２０％以下になると飽和状態に近づいている。
【００３８】
圧電素子２４の長さに対する部材２５の長さの比率（％）が小さすぎると、スライダー３を支持する圧電素子２４の比率が大きくなり、圧電素子２４が破損する恐れがある。圧電素子２４の長さに対する部材２５の長さの比率（％）は、所望のスライダー３の変位量とマイクロアクチュエータ２２の強度によって決めればよい。例えば、ノートパソコンの場合は、強度を優先して、圧電素子２４の長さに対する部材２５の長さの比率（％）を大きくしたり、サーバーに使用されるパーソナルコンピュータの場合は、変位量を優先して圧電素子２４の長さに対する部材２５の長さの比率（％）を小さくしたりする。
【００３９】
次に、本実施形態のマイクロアクチュエータ２２の作製方法を説明する。本実施形態では、圧電材料としてＰＮＮ−ＰＴ−ＰＺセラミックスを使用し、電極材料はＰｔを使用している。この場合、ＰＮＮ−ＰＴ−ＰＺセラミックスを圧電材料として使用することに代えて、ＰＺＴセラミックスや他のセラミックス等を圧電材料として使用してもよい。また、Ｐｔを電極材料として使用することに代えて、ＡｇＰｄ等を電極材料として使用してもよい。
【００４０】
ＰＮＮ−ＰＴ−ＰＺセラミックスグリーンシート上にＰｔ電極を所望の枚数スクリーン印刷して積層する。その後、大気中において１０５０℃で焼成し、ダイシングソーを用いて所定の幅で切断することにより圧電素子２４が得られる。このように、得られた圧電素子２４は、圧電材料からなる活性層３３を複数積層した構造となる。
【００４１】
本実施形態では、部材２５として、ジルコニア、ステンレス、アルミナを使用しているが、他の材料を部材２５として使用してもよい。圧電素子２４と部材２５とを接着剤で接
着することによりマイクロアクチュエータ２２が作製される。
【００４２】
本実施形態によれば、マイクロアクチュエータ２２の圧電素子２４に駆動電圧を印加した場合、マイクロアクチュエータ２２のうち部材２５と接着している部分では反り、一方、部材２５と接着していない部分の長さが縮む方向に移動するため、スライダー３の回転方向とマイクロアクチュエータ２２の移動方向の歪みを緩和することができる。その結果、スライダー３の変位量が増加することにより、高密度磁気ディスクに対応した制御帯域の高い位置決め制度に優れたアクチュエータを提供することができる。
【００４３】
〈変形例１〉
上記実施形態では、スライダー３に一組のマイクロアクチュエータ２２を備え付けた構成を示した。しかし、しかし、本発明はこれに限られない。すなわち、スライダー３に二組のマイクロアクチュエータ２２を備え付けた構成であってもよい。
【００４４】
スライダー３に二組のマイクロアクチュエータ２２を備え付けた構成例を図１４に示す。図１４に示すように、マイクロアクチュエータ２２Ａおよびマイクロアクチュエータ２２Ｂをスライダー３に備え付けることについては、上記実施形態と同様である。本変形例１では、さらに、マイクロアクチュエータ２２Ｃおよびマイクロアクチュエータ２２Ｄをスライダー３に備え付けるように、上記実施形態を以下のように変形する。
【００４５】
まず、マイクロアクチュエータ２２Ａが備え付けられたスライダー３の側面と同一側面上に、マイクロアクチュエータ２２Ａと対称であるマイクロアクチュエータ２２Ｃを備え付ける。すなわち、中心線１４０１を対称軸として、マイクロアクチュエータ２２Ｃをマイクロアクチュエータ２２Ａの線対称となるように、スライダー３に備え付ける。
【００４６】
そして、マイクロアクチュエータ２２Ｂが備え付けられたスライダー３の側面と同一側面上に、マイクロアクチュエータ２２Ｂと対称であるマイクロアクチュエータ２２Ｄを備え付ける。すなわち、中心線１４０１を対称軸として、マイクロアクチュエータ２２Ｄをマイクロアクチュエータ２２Ｂの線対称となるように、スライダー３に備え付ける。
【００４７】
このように変形することにより、スライダー３の回転方向を２つにすることが可能となる。すなわち、圧電素子２４Ａおよび圧電素子２４Ｂに駆動電圧を印加した場合、マイクロアクチュエータ２２Ａおよびマイクロアクチュエータ２２Ｂが縮みと反りの挙動を示すことにより、スライダー３は、重心を中心として、矢印Ｆの方向に回転移動する。一方、圧電素子２４Ｃおよび圧電素子２４Ｄに駆動電圧を印加した場合、マイクロアクチュエータ２２Ｃおよびマイクロアクチュエータ２２Ｄが縮みと反りの挙動を示すことにより、スライダー３は、重心を中心として、矢印Ｇの方向に回転移動する。
【００４８】
本変形例１によれば、スライダー３の回転方向とマイクロアクチュエータ２２の移動方向の歪みを緩和することによりスライダー３の変位量を増加させ、さらに、スライダー３の回転方向を複数にすることが可能となる。
【００４９】
また、本発明は、多角形のスライダーにマイクロアクチュエータ２２を備え付けた構成であってもよい。例えば、６角形あるいは８角形のスライダーにマイクロアクチュエータ２２を備え付けた構成であってもよい。この場合、上記実施形態で説明したように、多角形のスライダーは、重心を中心とした回転対称位置にマイクロアクチュエータ２２が配置される。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明を適用可能な磁気ディスク装置の平面図である。
【図２】マイクロアクチュエータ２２を有する磁気ヘッド支持機構の構成例の斜視図である。
【図３】圧電素子２４の側面図である。
【図４】従来のマイクロアクチュエータ４１の上面図である。
【図５】従来のマイクロアクチュエータ４１の挙動を示した図である。
【図６】本実施形態のマイクロアクチュエータ２２の上面図である。
【図７】本実施形態のマイクロアクチュエータ２２の挙動を示した図である。
【図８】従来のマイクロアクチュエータ４１を備え付けたスライダー３の上面図である。
【図９】従来のマイクロアクチュエータ４１を備え付けたスライダー３の変位を示した図である。
【図１０】本実施形態のマイクロアクチュエータ２２を備え付けたスライダー３の上面図である。
【図１１】圧電素子２４に駆動電圧を印加した場合における本実施形態のマイクロアクチュエータ２２の挙動とスライダー３の移動を示した図である。
【図１２】本実施形態のマイクロアクチュエータ２２を備えつけたスライダー３の変位を示した図である。
【図１３】部材２５の長さとスライダー３の変位量の関係を示した図である。
【図１４】スライダー３に二組のマイクロアクチュエータ２２を備え付けた構成例を示した図である。
【符号の説明】
【００５１】
１  磁気ディスク装置
２  磁気ディスク
３  スライダー
４  サスペンション
５  キャリッジアーム
６  電磁アクチュエータ
７  アーム軸
２１  電磁変換素子
２２  マイクロアクチュエータ
２３  ジンバル部
２４  圧電素子
２５  部材
２６  接着部
３１  圧電層
３２  電極層
３３  活性層
４１  マイクロアクチュエータ
４２  部材
【図１】
2008206298.tif 000003
【図２】
2008206298.tif 000004
【図３】
2008206298.tif 000005
【図４】
2008206298.tif 000006
【図５】
2008206298.tif 000007
【図６】
2008206298.tif 000008
【図７】
2008206298.tif 000009
【図８】
2008206298.tif 000010
【図９】
2008206298.tif 000011
【図１０】
2008206298.tif 000012
【図１１】
2008206298.tif 000013
【図１２】
2008206298.tif 000014
【図１３】
2008206298.tif 000015
【図１４】
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