(57)【要約】【課題】記録ヘッドのノズルの高密度化、多列化により、アクチュエータと接続するフレキシブル配線材の電極ランドや導線数が増えても、導線を配線し易くする。【解決手段】平面視矩形状のアクチュエータ１１は、複数列の外部電極４３，４４を有し、フレキシブル配線材１２は、その外部電極と対応して接合される電極ランド３１，３２、およびそれに接続した多数の導線３０を有する。フレキシブル配線材１２は、外部電極列の列方向及びその列方向に直交する方向のいずれに対しても非平行状となるように、アクチュエータ１１から引き出されていて、多数の導線３０は、各電極ランド同士の間を通り、フレキシブル配線材１２の延びる方向に平行に引き出されている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録動作をするための複数のエネルギー発生部を有し、その表面に前記各エネルギー発生部への電圧印加用の複数の外部電極が複数の列をなして設けられたアクチュエータと、
一端部に前記各外部電極に対応するランドが複数の列をなして設けられるとともに、各ランドと接続した導線が他端部へ向け引き出して設けられた配線材とを備え、
前記配線材の一端部を前記外部電極が配列された外部電極領域に重ねて、前記外部電極とランドとを対応させて接合して成る記録装置において、
前記配線材の複数の導線は、前記複数のランドからなるランド群における側縁のうち、前記ランドの列に沿う側縁及び前記ランドの列と直交する方向に沿う端縁のいずれに対しても非平行状となるように、これら側縁から引き出されて配線されていることを特徴とする記録装置。
【請求項２】
前記配線材の複数の導線は、前記外部電極領域内の外部電極のうちで、異なる列にあってかつ実質的に最も離れた２個の外部電極を結ぶ方向と直交する方向に延びていることを特徴とする請求項１に記載の記録装置。
【請求項３】
前記外部電極領域は、平面視矩形状であって、その対角線が寸法ｃを有していて、
前記フレキシブル配線材の一端部は、前記外部電極領域を覆う形状であるとともに、前記フレキシブル配線材の引き出された方向に直交する方向の幅寸法Ｗは、Ｗ≧ｃの関係を有していることを特徴とする請求項１または２に記載の記録装置。
【請求項４】
前記アクチュエータは、平面視矩形状であって、前記アクチュエータの外周の隣接する２辺が寸法Ａａ，Ｂａを、対角線が寸法Ｃａをそれぞれ有していて、
前記フレキシブル配線材の前記引き出された方向に直交する方向の幅寸法Ｗは、前記寸法Ａａ、ＢａおよびＣａに対して、Ａａ＜Ｗ≦Ｃａ、またはＢａ＜Ｗ≦Ｃａの関係を有していることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の記録装置。
【請求項５】
前記アクチュエータの複数の外部電極のうち、前記複数のエネルギー発生部にわたって共通の共通電位の電極は、前記外部電極領域の外周の隣接する２辺に沿って位置し、
前記配線材の複数の導線は、前記共通電位の電極の位置する前記外部電極領域の前記２辺とは交差しない方向に引き出され、その複数の導線のうち、前記共通電位の電極と接続する導線は、前記外部電極領域の前記２辺に沿って延び、かつそれに連続して前記配線材の幅方向両外縁に沿って位置していることを特徴とする請求項３に記載の記録装置。
【請求項６】
前記複数のランドは、その上に複数のバンプ電極を有し、前記複数のバンプ電極と前記複数の外部電極とが対応して接合されることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、記録装置に関し、特に、フレキシブル配線材で記録ヘッドに信号を入力する構成を備える記録装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
記録ヘッドから被記録媒体にインクを吐出し記録を行う記録装置においては、特許文献１等に記載されているように、外部信号源と前記記録ヘッドとをフレキシブル配線材で接続し、外部信号源からの信号を記録ヘッドに入力して、記録ヘッドのノズルから選択的にインクを吐出して記録を行っている。
【０００３】
特許文献１等の記録ヘッドでは、図５（ａ）に模式的に示すように、平面視長方形状に形成されたアクチュエータ１１の最上面に、フレキシブル配線材１２の一端部が、アクチュエータ１１と対向して重ねられている。つまり、アクチュエータ１１の最上面には、アクチュエータ１１内部の個別電極及び共通電極と電気的に繋がった外部電極（特許文献１では個別表面電極及びコモン表面電極）が、ノズル数に応じて列配置されている。フレキシブル配線材のアクチュエータ１１との対向面には、各外部電極に対応するランド１０１（特許文献１では個別接合電極及びコモン接合電極）が列配置され、ランド１０１を外部電極に接合させてフレキシブル配線材１２とアクチュエータ１１とが電気的に接続される（ランド１０１および配線１０２は、フレキシブル配線材１２の下面に配置されているが、図５では便宜上実線で記載している。）。
【０００４】
フレキシブル配線材の他端部はアクチュエータ１１から長く引き出され、各ランド１０１と接続する導線１０２がフレキシブル配線材１２の長手方向に沿って延びている。外部信号源からの信号は、導線１０２及び駆動回路１３を介してアクチュエータ１１に入力される。この構成では、フレキシブル配線材１２は、ランド列の列方向と直交する方向に長く延びる（引き出される）ようにしているため、フレキシブル配線材１２の幅寸法は、前記ランド列の列方向のアクチュエータ１２の長さ寸法とほぼ同じ寸法となっており、この長さ寸法内にすべての導線１０２が配置されている。
【特許文献１】特開２００５−１６１７６０号公報（図１５参照）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、近年の記録の高解像度化や高速化、記録ヘッドの小型化等に伴って、記録ヘッドのノズルを高密度化、多列化する傾向にあり、その結果、アクチュエータの外部電極と、これに対応するフレキシブル配線材のランドも高密度化、多列化し、ランドに繋がるフレキシブル配線材の導線の本数も増加することになる。
【０００６】
上述したようにフレキシブル配線材の導線は、高密度に配置されたランド間を通って前記引き出された方向に配線が引き回されるため、図５（ａ）のような構成の場合、駆動回路側に遠い側から近い側のランド列になるほど、そのランド間を通る配線が増え、線幅や配線ピッチを狭くする必要があり、導線の電気容量が小さくなったり、導線の断線や短絡を招来するという問題を生じていた。
【０００７】
また、発明者は、図５（ｂ）の模式図のように、フレキシブル配線材１２の幅寸法を広くし、アクチュエータ１１の外部電極列の設けられた領域Ｔからはみ出すぐらいに大きくして、導線１０２の配線ルートの選択の範囲を広げることを考えた。つまり、図５（ｂ）の模式図の矢印で示すように、前記引き出された方向から遠い位置にあるランド列には、導線を領域Ｔの４辺のうち引き出し方向とは遠い位置にある辺側からランドに繋がるように領域Ｔの外周に引き回して配線している。
【０００８】
このような構成では、配線ルートの選択の範囲が広がり、図５（ａ）の場合と比べると、駆動回路１３に近いランド１０１間をすべての配線１０２が通ることがなくなるため線幅や配線ピッチを広くすることができ、配線しやすい。
【０００９】
しかしながら、アクチュエータの外回りを含むように駆動回路から遠い位置側の複数のランド列に引き回す為、フレキシブル配線材の端部がアクチュエータの領域からはみだすぐらいに大きくなり、フレキシブル配線材の平面積（使用量）が増え、比較的高価なフレキシブル配線材を使用するとコストが嵩み、かつ、記録ヘッドの大型化を招くという問題も生じる。
【００１０】
本発明は、上記問題を解消するものであり、記録ヘッドのエネルギー発生部の高密度化、多列化により、アクチュエータと接続するフレキシブル配線材のランドや導線の数が増えても、導線を配線し易くすることのできる記録装置の実現を目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記目的を達成するために、請求項１に記載の発明における記録装置は、記録動作をするための複数のエネルギー発生部を有し、その表面に前記各エネルギー発生部への電圧印加用の複数の外部電極が複数の列をなして設けられたアクチュエータと、一端部に前記各外部電極に対応するランドが複数の列をなして設けられるとともに、各ランドと接続した導線が他端部へ向け引き出して設けられた配線材とを備え、前記配線材の一端部を前記外部電極が配列された外部電極領域に重ねて、前記外部電極とランドとを対応させて接合して成る記録装置において、前記配線材の複数の導線は、前記複数のランドからなるランド群における側縁のうち、前記ランドの列に沿う側縁及び前記ランドの列と直交する方向に沿う端縁のいずれに対しても非平行状となるように、これら側縁から引き出されて配線されていることを特徴としている。
【００１２】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の記録装置において、前記配線材の複数の導線は、前記外部電極領域内の外部電極のうちで、異なる列にあってかつ実質的に最も離れた２個の外部電極を結ぶ方向と直交する方向に延びていることを特徴としている。
【００１３】
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の記録装置において、前記外部電極領域は、平面視矩形状であって、その対角線が寸法ｃを有していて、前記フレキシブル配線材の一端部は、前記外部電極領域を覆う形状であるとともに、前記フレキシブル配線材の引き出された方向に直交する方向の幅寸法Ｗは、Ｗ≧ｃの関係を有していることを特徴としている。
【００１４】
請求項４に記載の発明は、請求項１から３のいずれかに記載の記録装置において、前記アクチュエータは、平面視矩形状であって、前記アクチュエータの外周の隣接する２辺が寸法Ａａ，Ｂａを、対角線が寸法Ｃａをそれぞれ有していて、前記フレキシブル配線材の前記引き出された方向に直交する方向の幅寸法Ｗは、前記寸法Ａａ、ＢａおよびＣａに対して、Ａａ＜Ｗ≦Ｃａ、またはＢａ＜Ｗ≦Ｃａの関係を有していることを特徴としている。
【００１５】
請求項５に記載の発明は、請求項３に記載の記録装置において、前記アクチュエータの複数の外部電極のうち、前記複数のエネルギー発生部にわたって共通の共通電位の電極は、前記外部電極領域の外周の隣接する２辺に沿って位置し、前記配線材の複数の導線は、前記共通電位の電極の位置する前記外部電極領域の前記２辺とは交差しない方向に引き出され、その複数の導線のうち、前記共通電位の電極と接続する導線は、前記外部電極領域の前記２辺に沿って延び、かつそれに連続して前記配線材の幅方向両外縁に沿って位置していることを特徴としている。
【００１６】
請求項６に記載の発明は、請求項１から５のいずれかに記載の記録装置において、前記複数のランドは、その上に複数のバンプ電極を有し、前記複数のバンプ電極と前記複数の外部電極とが対応して接合されることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１７】
請求項１に記載の発明によれば、配線材の複数の導線が、前記複数のランドからなるランド群における側縁のうち、前記ランドの列に沿う側縁及び前記ランドの列と直交する方向に沿う端縁のいずれに対しても非平行状となるように、これら側縁から引き出されているため、複数列あるランド列全体から引き出される複数の導線の配線幅を、従来のように１列のランド列から直角に引き出される場合の幅よりも大きくすることが可能で、記録のための複数のエネルギー発生部が高密度化、多列化し、配線数が増えた場合でも、導線のピッチおよび線幅を広くでき、配線がしやすくなる。
【００１８】
請求項２に記載の発明によれば、請求項１に記載の記録装置において、複数の導線が、外部電極のうちで、異なる列にあって実質的に最も離れた２個の外部電極を結ぶ方向とほぼ直交する方向に延びているから、複数の導線の配線幅を大きくでき、その結果、導線のピッチおよび線幅を広くでき、配線がしやすくなる。
【００１９】
請求項３に記載の発明によれば、請求項１または２に記載の記録装置において、前記外部電極領域は、平面視矩形状であって、その対角線が寸法ｃを有していて、フレキシブル配線材の一端部は、外部電極領域を覆う形状であるとともに、フレキシブル配線材の引き出された方向に直交する方向の幅寸法Ｗは、Ｗ≧ｃの関係を有しているため、複数の導線の配線幅を大きくでき、その結果、導線のピッチおよび線幅を広くでき、配線がしやすくなる。
【００２０】
請求項４に記載の発明によれば、請求項１から３のいずれかに記載の記録装置において、アクチュエータは、平面視矩形状であって、前記アクチュエータの外周の隣接する２辺が寸法Ａａ，Ｂａを、対角線が寸法Ｃａをそれぞれ有していて、フレキシブル配線材の前記引き出された方向に直交する方向の幅寸法Ｗは、前記寸法Ａａ、ＢａおよびＣａに対して、Ａａ＜Ｗ≦Ｃａ、またはＢａ＜Ｗ≦Ｃａの関係を有しているため、フレキシブル配線材は、アクチュエータの各辺よりも長く且つ対角線よりも短い幅寸法または同じ寸法で、平面視で斜めに引き出されているから、引き出し部分を除き、アクチュエータからはみ出さずに重なっている。そのため、フレキシブル配線材の大型化や使用量の増加を抑制しながら、導線の配線幅を大きくでき、導線を配線し易くすることができる。
【００２１】
請求項５に記載の発明によれば、請求項３に記載の記録装置において、アクチュエータの複数の外部電極のうち、前記複数のエネルギー発生部にわたって共通の共通電位の電極は、前記外部電極領域の外周の隣接する２辺に沿って位置し、配線材の複数の導線は、共通電位の電極の位置する外部電極領域の前記２辺とは交差しない方向に引き出され、その複数の導線のうち共通電位の電極と接続する導線は、外部電極領域の前記２辺に沿って延び、かつそれに連続して幅方向両外側に沿って位置しているため、共通電位の電極と接続する導線を、他の導線に干渉することなく、幅広に形成することができ、その結果、同時に多数のエネルギー発生部を駆動したときに共通電位の電極に流れる大電流に対応でき、安定した動作を確保することができる。
【００２２】
請求項６に記載の発明によると、前記複数のランドは、その上に複数のバンプ電極を有し、前記複数のバンプ電極と前記複数の外部電極とが対応させて接合されているため、フレキシブル配線材とアクチュエータが正常に接続される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下に、本発明の基本的な実施の形態について図面に基づいて説明する。図１は、本発明の記録装置をインクジェット記録装置１００に具体化した例を示している。実施形態のインクジェット記録装置１００は、例えば、単独のプリンタ装置としてだけでなく、コピー機能、スキャナ機能、ファクシミリ機能等を備えた多機能装置（ＭＦＤ：Multi Function Device ）のプリンタ機能としても適用することができるものである。インクジェット記録装置１００は、本体フレーム２の内部に備えられ、被記録媒体である用紙ＰＡにインクを吐出させて記録する記録ヘッド１がキャリッジ３に搭載されている。
【００２４】
キャリッジ３は、本体フレーム２内において、キャリッジ３の主走査方向（Ｙ方向）に沿って平行状に設けられた後ガイド軸６と前ガイド軸７とに摺動自在に載置されており、本体フレーム２の右後側に配置されたキャリッジ駆動モータ１７と、無端帯であるタイミングベルト１８とにより、主走査方向（Ｙ方向）に沿って往復移動するように構成されている。インクは、本体フレーム２内に静置されたインク供給源（インクタンク）５ａ〜５ｄからインク供給管１４（１４ａ〜１４ｄ）を介してキャリッジ３側へ供給される。この実施形態では、例えば、イエローインク（Ｙ）、マゼンタインク（Ｍ）、シアンインク（Ｃ）、ブラックインク（Ｂｋ）の４色のインクが備えられている。
【００２５】
用紙ＰＡは、図示しない公知の用紙搬送機構により、主走査方向（Ｙ方向）と直交する副走査方向（Ｘ方向）に沿って、記録ヘッド１の下面側を水平状に搬送される（図１の矢印Ａ方向）。この用紙ＰＡに対して、記録ヘッド１が主走査方向（Ｙ方向）に移動しながら、記録ヘッド１の下面に開口するノズル（図示せず）から下向きにインクが吐出されて記録が行われる。なお、説明では、記録ヘッド１のノズルの開口面側を前面もしくは下面、その反対側を背面もしくは上面として記載する。
【００２６】
記録ヘッド１は、下面に開口形成されたノズルと内部にインク流路とを有するキャビティ部１０と、このキャビティ部１０の上面側に積層されインクに選択的に吐出圧力を与えるアクチュエータ１１とを備えており、キャビティ部１０とアクチュエータ１１との積層体は平面視矩形状に形成されている。そして、アクチュエータ１１の上面には、フレキシブル配線材１２がその一端をアクチュエータ１１と接合され、他端はその表面に平行で、かつ、図２および図３に示すように、Ｙ方向に対して角度θの傾きを持って引き出され（引き出し方向Ｓ）、さらに駆動回路が塔載された駆動ＩＣチップ１３を、アクチュエータ１１から引き出された領域上に塔載した構成をしている。フレキシブル配線材１２についてはあとで詳しく説明する。
【００２７】
キャビティ部１０の複数のノズルはＸ方向に列状に設けられ、記録ヘッド１は、キャリッジ３の下面に取り付けられている。インク供給源５ａ〜５ｄからキャリッジ３側に供給されたインクが、キャビティ部１０の背面に設けられたインク供給口３７にフィルタ体３９を介して供給される。
【００２８】
キャビティ部１０は、特開２００１−２４６７４４号公報や、特開２００５−３１３４２８号公報などで公知のものと同様に、複数の薄いプレートが積層して構成されていて、その最下面のプレートに複数のノズルが記録ヘッド１の長辺方向（Ｘ方向）に長い列をなして配列され、かつ、それと直交する方向（Ｙ方向）にインク色毎に適宜間隔で複数列設けられている。
【００２９】
また、キャビティ部１０の最上面のプレートには、複数の圧力室１０ｂが図２のように平面視細長形状に形成され、その長手方向（Ｘ方向）の一端部が複数のノズルと連通し、他端部が図示しないマニホールド室と連通して形成されている。圧力室１０ｂは、ノズルに対応してＸ方向に長い列をなし、かつ、Ｙ方向に複数列設けられている。そして、キャビティ部１０に供給されたインクが、それぞれ図示しないマニホールド室を通じて多数の圧力室１０ｂに分配され、アクチュエータ１１のエネルギー発生部が駆動されて選択的に圧力室１０ｂに吐出圧力が与えられることにより、圧力室１０ｂに連通したノズルからインクが吐出される。
【００３０】
アクチュエータ１１は、特開２００５−３２２８５０号公報等に開示された公知のものと同様の圧電アクチュエータであり、アクチュエータ１１の扁平な方向と直交する方向に積層された複数のセラミックス層と、セラミックス層間に挟まれ、圧力室１０ｂに対応した箇所に細幅の内部個別電極（図示せず）と、各圧力室１０ｂに共通な内部共通電極（図示せず）を有しており、内部個別電極は、Ｘ方向に複数個並び、且つそれと直交するＹ方向に複数列配列され、その内部個別電極に上下を挟まれた圧電セラミックス層の領域にエネルギー発生部が形成されている。
【００３１】
アクチュエータ１１の上面には、各内部個別電極に電気的なスルーホールを介して接続された外部個別電極４３と、各圧力室１０ｂに共通な内部共通電極に接続された外部共通電極４４とが形成されている。外部共通電極４４が、フレキシブル配線材１２を介してグランド電位に接続され、外部個別電極４３に、駆動ＩＣチップ１３が駆動パルス信号を印加させることによりエネルギー発生部が変位して、多数の圧力室１０ｂに対して選択的に吐出圧力を与えノズルからインクを吐出させる。
【００３２】
外部個別電極４３と外部共通電極４４は、アクチュエータ１１の平面視形状とほぼ一致する略矩形状の外部電極領域４５内に配置されている。外部電極領域４５はＸ方向に平行な辺がＹ方向に平行な辺よりも長い長方形形状で、長辺が寸法ａを、短辺が寸法ｂをそれぞれ有している（図３）。
【００３３】
外部個別電極４３は、ノズルの位置とほぼ対応してＸ方向に列をなし、Ｙ方向に複数列形成されている。外部共通電極４４は、外部個別電極４３の全てを２方向から囲むように、アクチュエータ１１の外周のうちの隣接する２辺（Ｘ方向に平行な１辺と、それに隣接するＹ方向の１辺）に沿って、それぞれ複数形成されている。外部共通電極４４は、２辺に沿って帯状に連続して形成されていてもよい。
【００３４】
フレキシブル配線材１２は、図３のように、後述する個別電極ランド３１及び共通電極電極ランド３２と、外部からの駆動信号や制御信号を伝達するための複数の導線３０を含み、その導線３０の延びる方向に長い帯状を呈していて、その一方の端部がアクチュエータ１１の最上面と電気的に接続され、他方の端部は、個別電極ランド３１の列方向（Ｘ方向）と直交する方向（Ｙ方向）に対して、角度θ傾斜した方向（Ｓ方向）に引き出されている。そして、その引き出された方向（Ｓ方向）の途中となるフレキシブル配線１２上に駆動ＩＣチップ１３（図２）を塔載し、外部信号源（図示せず）に接続される。なお、図３では、フレキシブル配線材１２の下面及び内部に設けられているランド３１、３２や、導線３０を、便宜上実線で表示している。
【００３５】
フレキシブル配線材１２は、電気絶縁性と可撓性とを有する合成樹脂材（例えば、ポリイミド樹脂）からなる帯状のベース材の片面に、銅箔からなる複数の導線３０がフォトリソグラフィ等により形成されていて、これらの表面を、電気絶縁性と可撓性とを有する合成樹脂（例えば、ポリイミド樹脂）からなるカバーレイにて被膜させている。導線３０は電気絶縁性樹脂（フィルム）に覆われているが、導線３０の一部を露出させて、電極ランド３１、３２が形成される。
【００３６】
個別電極ランド３１および共通電極ランド３２は、アクチュエータ１１の外部個別電極４３および外部共通電極４４に対応して複数個設けられ、各外部電極４３，４４と各電極ランド３１、３２を対応させて、アクチュエータ１１とフレキシブル配線材１２が電気的に接続される。また、各電極ランド３１、３２は、フレキシブル配線材１２に含まれるそれぞれ導線３０の端部と接続されている。
【００３７】
個別電極ランド３１および共通電極ランド３２が設けられた領域は、外部個別電極４３および外部共通電極４４と対応して外部電極領域４５と同じく略矩形状（個別電極ランドの列方向（Ｘ方向）に沿う側縁４５ａ、Ｘ方向と直角する方向（Ｙ方向）に沿う側縁４５ｂ）をしている。つまり、フレキシブル配線材１２のアクチュエータ１１と接合する一端部は、外部電極４３、４４が形成された外部電極領域４５を少なくとも覆う形状となっていて、アクチュエータ１１の外部共通電極４４が配置された各辺に平行な２辺１２ｇ，１２ｈを有するとともに、フレキシブル配線材１２の長手方向（Ｓ方向）に沿う両側縁１２ｉ、１２ｊは、Ｙ方向に対して、それぞれ角度（１８０°−θ）、角度（９０°＋θ）で傾斜して延びている。なお、θ≠０°、９０°、１８０°である。
【００３８】
すなわち、フレキシブル配線材１２は、側縁１２ｉ、１２ｊが、実質的にアクチュエータ１１のいずれの辺に対しても非平行となるように当該アクチュエータ１２から引き出されている。
【００３９】
また、フレキシブル配線材１２は、外部電極領域４５内の外部電極４３，４４のうち、最も離れた２個の外部電極を結ぶ方向（例えば、実施形態では対角線方向）とほぼ直交する方向に引き出されている。フレキシブル配線材１２の幅（引き出し方向と直交する方向の幅）寸法Ｗは、外部電極領域４５の対角線寸法ｃとほぼ同じかそれよりも長く設定されている（Ｗ≧ｃ）。
【００４０】
平面視矩形状を呈する外部電極領域４５では、その対角線寸法ｃが、長辺の寸法ａ及び短辺の寸法ｂよりも当然長いから、図５（ａ）に示した従来例のように、外部電極領域の一辺側のみからすべての導線３０を引き出すものよりも、広い幅Ｗにおいて、導線３０を引き出すことができ、導線のピッチ、線幅を大きくすることができる。その結果、導線３０の電気容量を確保したり、断線や短絡を防止したりできるという効果を奏する。換言すると、導線のピッチ、線幅を従来と同じに設定すると、より多くの導線を幅Ｗに配置することができ、エネルギー発生部をより高密度化し、またより多列化することができる。
【００４１】
導線３０のうち、外部個別電極４３と対応する個別電極ランド３１に接続する個別導線３０ａは、上述した個別電極ランド３１の列方向（Ｘ方向）に沿う側縁４５ａとその列と直交する方向（Ｙ方向）に沿う端縁４５ｂとからそれぞれ引き出される。そのうち列方向（Ｘ方向）に沿う側縁４５ａから引き出される個別導線３０ａは、個別電極ランド３１から、それよりも引き出し方向の下流側（フレキシブル配線材１２の他端部に近い側）に位置する個別電極ランド列の電極ランド同士の間を通って引き出され、フレキシブル配線材１２の引き出し方向（Ｓ方向）に平行に延びていくように配線される。つまり、個別導線３０ａは、多数の電極ランド３１の位置を回避するように配線される。
【００４２】
また、個別電極ランド３１の列と直交する方向に沿う端縁４５ｂから引き出される個別導線３０ａは、個別電極ランド３１の列間を通ることに加えて、必要により電極ランド同士の間を通って引き出される。なお、一部の個別電極ランド３１に接続された個別導線３０ａは、他の列の個別電極ランド３１の間を通ることなく、個別電極ランド３１の群の外を通って、フレキシブル配線材１２の引き出し方向（Ｓ方向）に平行に引き出されている。配線の引き回しは、電極ランド３１の個数や配置に合わせて、その列と位置により適宜選択することができる。
【００４３】
導線３０のうち、外部共通電極４４と対応する共通電極ランド３２に接続する共通導線３０ｂは、フレキシブル配線材１２の幅方向両側縁（１２ｊ、１２ｉ）に沿い、かつそれに連続して一端部の２辺１２ｇ，１２ｈに沿って帯状（個別導線３０ａよりも幅広）に形成されている。この帯状の共通導線３０ｂにおいて外部共通電極４４と対向する箇所を露出させて、共通電極ランド３２としている。
【００４４】
共通導線３０ｂが個別導線３０ａよりも幅広に形成され、またアクチュエータ１１上の外部共通電極４４が上記のように複数（あるいは帯状）に形成されているのは、同時に多数のエネルギー発生部を駆動させるために多数の個別導線３０ａに同時に通電したとき、外部共通電極４４及び共通導線３０ｂに大電流が流れることに対処するためである。
【００４５】
また、フレキシブル配線材１２はその引き出し方向Ｓに直交する幅寸法Ｗが、アクチュエータ１１上面外周の長辺寸法Ａａ、短辺寸法Ｂａ、対角線寸法Ｃａに対して、Ｂａ＜Ａａ＜Ｗ≦Ｃａの関係を有するように形成されている。アクチュエータ１１上面の長辺寸法Ａａ、短辺寸法Ｂａは、上記の外部電極領域４５の長辺寸法ａ、短辺寸法ｂとほぼ同じかそれよりもやや大きい。すなわち、フレキシブル配線材１２は、平面視において、長方形状のアクチュエータ１１に対して斜めに引き出されるが、この引き出す部分を除いて、アクチュエータ１１の上面からはほぼはみ出さないように重なっている。
【００４６】
そのため、記録ヘッド１、フレキシブル配線材１２からなる組が大型化することを防止できるとともに、フレキシブル配線材１２の使用量の増加によるコストアップを抑制することができる。
【００４７】
上記実施形態では、アクチュエータ１１の上面に、外部個別電極４３，外部共通電極４４を平面状に並べて配置したが、アクチュエータ１１の内部共通電極をフレキシブル配線材１２でない別の配線手段に接続すれば、フレキシブル配線材１２には複数の外部個別電極４３のみに対応する電極ランドを設けて、その外部個別電極４３および電極ランドに対して請求項の構成を適用することができる。
【００４８】
なお、アクチュエータ１１に対して斜めに引き出されたフレキシブル配線材１２は、アクチュエータ１１と外部信号源のコネクタ（図示せず）との位置関係に応じて、中途部分で折り曲げたり、捩じったりしてもよい。
【００４９】
また、図４は、本発明の別の実施形態を示したものであり、外部個別電極４３（個別電極ランド３１）は、前述の実施例と同様の構成であるため説明は省略する。なお、図４でも、フレキシブル配線材１２の下面及び内部に設けられているランドや導線を、便宜上実線で表示している。
【００５０】
外部共通電極４４（共通電極ランド３２）は前述した実施例と同様に、外部個別電極４３（個別電極ランド３１）の全てを２方向から囲むように、アクチュエータ１１の外周のうちの隣接する２辺１１ａ、１１ｂに沿って複数形成されていると共に、アクチュエータ１１の外周のうちの他方側の隣接する２辺１１ｃ、１１ｄが直交する角部１１ｅの近傍に、外部共通電極４４ａ（共通電極ランド３２ａ）が形成されている。
【００５１】
アクチュエータ１１は、その外部共通電極４４ａ（共通電極ランド３２ａ）に対応して各圧力室１０ｂに共通な内部共通電極が形成されていて、外部共通電極４４ａ（共通電極ランド３２ａ）もグランド電位に接続されている。フレキシブル配線材１２では、前述した実施形態同様に個別電極ランド３１および共通電極ランド３２から引き出し方向Ｓに沿って斜めに配線が引き出されていることに加えて、共通電極ランド３２ａからも、駆動ＩＣチップ１３を介して配線が引き出し方向Ｓに沿って配線されている。
【００５２】
アクチュエータ１１の外周のうち一方側の隣接する２辺１１ａ、１１ｂは、グランドに接続されているが、前述した角部１１ｅはそのグランド線から離れているため、その近傍は、わずかではあるがインピーダンスが高くなる可能性がある。本実施形態では、角部１１ｅの近傍をグランドに接続させているため、全体的に外部共通電極４４および４４ａのグランドノイズ等によるバラツキを押さえ、一定のグランドにすることができる。
【００５３】
また、共通電極ランド３２ａと、外部共通電極４４ａが、フレキシブル配線材１２の幅方向のほぼ真ん中近くにおいて接合されるため、フレキシブル配線材１２とアクチュエータ１１の接合を補強する効果もある。外部共通電極４４ａ（共通電極ランド３２ａ）は、図４では駆動ＩＣチップ１３内のグランド線と接続されているが、駆動ＩＣチップ１３内のグランド線とは接続しないように配線することも可能である。
【００５４】
なお、上記実施形態では、アクチュエータ１１の平面視矩形状の例として、長方形を用いて説明したが、正方形の場合に適用してもよい。ノズル配列（外部電極配列）が傾斜していたり、ずらしてあるなどの不規則な形状である場合でも適用できる。
【００５５】
また、上記実施形態では、インクジェット式の記録装置に本発明を適用した場合を説明したが、複数の記録素子とそれに対応するエネルギー発生部を備えるものであれば、インクパクト式等各種の記録装置にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本実施形態を適用したインクジェット記録装置の平面図である。
【図２】記録ヘッドの分解斜視図である。
【図３】アクチュエータとフレキシブル配線材の重なりを説明する平面図である。
【図４】本発明の別の実施形態を示した記録ヘッドの平面図である。
【図５】（ａ）は従来例のアクチュエータとフレキシブル配線材の重なりを説明する平面図、（ｂ）は他の従来例のアクチュエータとフレキシブル配線材の重なりを説明する平面図である。
【符号の説明】
【００５７】
１        記録ヘッド
３        キャリッジ
１０      キャビティ部
１１      アクチュエータ
１２      フレキシブル配線材
３０      導線
３１      個別電極ランド
３２      共通電極ランド
４３      外部個別電極
４４      外部共通電極
１００    インクジェット記録装置
【図１】
2008100433.tif 000003
【図２】
2008100433.tif 000004
【図３】
2008100433.tif 000005
【図４】
2008100433.tif 000006
【図５】
2008100433.tif 000007