(57)【要約】【課題】  セル統合方式のレール型物品移送方式が適用された半導体移送システムにおいて、正常な物品移送中に発生しうる特定の区間での車両集中または車両不足現象を体系的かつ効果的に防止できる半導体移送システム及びその車両制御方法を提供することで、半導体製造ラインでの物品移送効率を向上させる。【解決手段】  車両数の範囲が設定された複数の区間を互いに連結し、前記各区間の内部または各区間の間を複数の車両が移動するように経路を提供するレールと、前記車両の移動時に車両数が前記各区間で前記設定範囲に維持されるかどうかを判断し、車両数が前記各区間のうち少なくとも一つの区間で設定範囲から逸脱する場合、前記各区間のうち少なくとも一つの区間で設定範囲に維持されるように前記車両の移動を制御する車両制御部と、を含んで半導体移送システムを構成する。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
車両数の範囲が設定された複数の区間を互いに連結し、前記各区間の内部または各区間の間を複数の車両が移動するように経路を提供するレールと、
前記車両の移動時に車両数が前記各区間で前記設定範囲に維持されるかどうかを判断し、車両数が前記各区間のうち少なくとも一つの区間で設定範囲から逸脱する場合、前記各区間のうち少なくとも一つの区間で設定範囲に維持されるように前記車両の移動を制御する車両制御部と、を含むことを特徴とする半導体移送システム。
【請求項２】
前記車両制御部は、複数の区間のうち何れか一つの区間を中継区間として指定し、車両の数が前記設定範囲から逸脱した各区間のうち少なくとも一つの区間と中継区間との間に車両を移動させることで、車両数が設定範囲から逸脱した区間のうち少なくとも一つの区間で設定範囲に維持されることを特徴とする請求項１に記載の半導体移送システム。
【請求項３】
前記複数の区間は、互いに並列に配列された各区間の第１部分を含む第１グループが、互いに並列に配列された各区間の第２部分を含む第２グループと対向配置されており、前記第１及び第２グループの間に一つの区間が第１及び第２グループと隣接するように配置された形態で、前記車両制御部は第１及び第２グループの間に配置された区間を中継区間として指定することを特徴とする請求項２に記載の半導体移送システム。
【請求項４】
前記車両は、一つ以上のアンローディング状態の車両を含み、車両数が各区間のうち少なくとも一つの区間で設定範囲以上である場合、前記車両制御部は、前記各区間のうち少なくとも一つの区間でアンローディング状態の車両を前記中継区間に移動させることを特徴とする請求項２に記載の半導体移送システム。
【請求項５】
前記車両は、一つ以上のアンローディング状態の車両を含み、車両数が前記各区間のうち少なくとも一つの区間で設定範囲以下である場合、前記車両制御部は、前記中継区間に位置するアンローディング状態の車両を前記各区間のうち少なくとも一つの区間に移動させることを特徴とする請求項２に記載の半導体移送システム。
【請求項６】
前記車両制御部は、中継区間を移動するアンローディング状態の車両位置を判断し、車両数が前記設定範囲以下になる区間と近い順に、前記アンローディング状態の車両を前記設定範囲以下になる区間に移動させることを特徴とする請求項５に記載の半導体移送システム。
【請求項７】
レールは、各区間に沿って配置されるコモンレールと、前記コモンレールから離れて前記区間に沿って配置される区間レールと、車両が前記区間レールと前記コモンレールとの間で移動するように、前記区間レールを前記コモンレールに連結する連結レールと、を含むことを特徴とする請求項１に記載の半導体移送システム。
【請求項８】
前記連結レールは、左側トラック及び右側トラックを含み、前記車両は、前記左側トラック及び右側トラックのうち一つのトラック上で移動し、前記連結レールを通して前記区間レールと前記コモンレールとの間で移動することを特徴とする請求項７に記載の半導体移送システム。
【請求項９】
前記連結レールは、前記区間レールと前記コモンレールとを連結するための複数のトラックを含み、前記車両は、前記複数のトラックのうち一つのトラック上で移動し、前記区間レールと前記コモンレールとの間で移動することを特徴とする請求項７に記載の半導体移送システム。
【請求項１０】
前記区間は、内部に位置する複数の製造設備を有するセルを含み、半導体製造のための単位工程を行うことを特徴とする請求項１に記載の半導体移送システム。
【請求項１１】
前記区間レールは、前記区間を含む各セルの間、前記各セルを含む前記製造設備の間で移動する車両のための単位を提供することを特徴とする請求項１０に記載の半導体移送システム。
【請求項１２】
車両数の範囲が設定された複数の区間を互いに連結し、前記各区間の内部または前記各区間の間を複数の車両が移動するように経路を提供するレールに沿って複数の車両を移動させ、
前記車両数が前記各区間で設定範囲に維持されるかどうかを判断し、
前記車両数が前記各区間のうち少なくとも一つの区間で設定範囲から逸脱する場合、前記車両数が前記各区間のうち少なくとも一つの区間で設定範囲に維持されるように前記車両を移動させることを特徴とする半導体移送システムの車両制御方法。
【請求項１３】
前記車両数が前記各区間で設定範囲に維持されるかどうかを判断する段階は、前記各区間の何れか一つの区間を中継区間として指定し、
前記車両数が前記各区間のうち少なくとも一つの区間で設定範囲に維持されるように車両を移動させる段階は、前記車両数が前記各区間のうち少なくとも一つの区間で設定範囲に維持されるように、前記車両数が設定範囲から逸脱する前記各区間のうち少なくとも一つの区間と前記中継区間との間に前記車両を移動させることを特徴とする請求項１２に記載の半導体移送システムの車両制御方法。
【請求項１４】
前記車両数が前記各区間のうち少なくとも一つの区間で設定範囲に維持されるように車両を移動させる段階は、前記車両数が前記各区間のうち少なくとも一つの区間で設定範囲以上であるとき、前記各区間のうち少なくとも一つの区間内のアンローディング状態の車両を前記中継区間に移動させることを特徴とする請求項１３に記載の半導体移送システムの車両制御方法。
【請求項１５】
前記車両数が前記各区間のうち少なくとも一つの区間で設定範囲に維持されるように車両を移動させる段階は、前記車両数が前記各区間の少なくとも一つの区間で設定範囲以下であるとき、前記中継区間内のアンローディング状態の車両を前記各区間のうち少なくとも一つの区間に移動させることを特徴とする請求項１３に記載の半導体移送システムの車両制御方法。
【請求項１６】
前記車両数が前記各区間のうち少なくとも一つの区間で設定範囲に維持されるように車両を移動させる段階は、前記中継区間を移動するアンローディング状態の車両位置を判断し、前記車両数が設定範囲以下である区間と近い順に、アンローディング状態の車両を前記車両数が設定範囲以下である区間に移動させることを特徴とする請求項１５に記載の半導体移送システムの車両制御方法。
【請求項１７】
前記レールに沿って前記車両を移動させる段階は、
前記各区間に沿って配置されたコモンレールに沿って車両を移動させ、
前記コモンレールから離れて前記区間に沿って配置された区間レールに沿って車両を移動させ、
前記区間レールと前記コモンレールとの間を移動するように、前記区間レールと前記コモンレールとを連結する連結レールに沿って車両を移動させることを特徴とする請求項１２に記載の半導体移送システムの車両制御方法。
【請求項１８】
前記連結レールは、左側トラック及び右側トラックを含み、前記車両は、前記左側トラック及び右側トラックのうち一つのトラック上で移動し、前記連結レールを通して前記区間レールと前記コモンレールとの間で移動することを特徴とする請求項１７に記載の半導体移送システムの車両制御方法。
【請求項１９】
前記区間レールと前記コモンレールとを連結するための複数個のトラックを含む連結レールに沿って前記車両を移動させ、
前記複数のトラックのうち一つのトラック上で車両を移動させ、前記区間レールと前記コモンレールとの間で車両を移動させることを特徴とする請求項１７に記載の半導体移送システムの車両制御方法。
【請求項２０】
前記区間は、内部に位置する複数の製造設備を有するセルを含み、半導体製造のための単位工程を行うことを特徴とする請求項１２に記載の半導体移送システムの車両制御方法。
【請求項２１】
前記車両を移動させる段階は、前記区間を含む各セルの間、前記各セルを含む前記製造設備の間で移動する車両のための単位を提供する区間レールに沿って車両を移動させることを特徴とする請求項２０に記載の半導体移送システムの車両制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体移送システム及びその車両制御方法に関するもので、より詳しくは、半導体製造ラインで物品移送を効率的に行うために半導体移送システムに用いられる車両の移動を制御する方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体は、膜形成、パターン形成及び金属配船形成などを含む単位工程を順次行うことで製造される。そのため、前記各単位工程の間では、ウェハーまたはこのウェハーを多数枚積載するキャリアなどを含む物品が頻繁に移送される。したがって、前記物品を移送するための移送システムが継続的に開発されている。
【０００３】
従来の移送システムには、前記各単位工程を行う複数個の設備を含むセルを基本単位にして、各セル内部での物品移送経路を提供するためのレールと、各セル間の物品移送経路を提供するためのレールとを互いに区分して配置し、前記レールを走行する車両を用いて物品を移送するレール型物品移送方式が適用される。
【０００４】
前記レール型物品移送方式が適用された半導体移送システムの一例は、特許文献１に開示されている。
【０００５】
従来のレール型物品移送方式は、各セル内部の移送においては、車両数が限定されて効率的な側面がある。しかしながら、各セル間の移送においては、各セル間に設置されたレールが互いに連結されないので、出発地セル内部のレールを走行する車両、出発地セルと到着地セルとの間に設置されたレールを走行する車両、及び到着地セル内部のレールを走行する車両の順に移送物品のローディング及びアンローディング過程を経るべきである。その結果、移送時間が遅延され、上記の過程を行うために別途の設備が必要になるという問題点があった。
【０００６】
したがって、最近は、全ての区間が互いに連結されるようにレールを構成することで、各セルの内部のみならず、各セル間の物品移送においても、ローディングされた物品を有する車両が出発地から到着地まで直接移動するようにセル統合方式のレール型物品移送方式が適用される。
【０００７】
前記セル統合方式のレール型物品移送方式では、ローディングされた物品を有する車両が出発地から到着地まで直接移動するので、移送時間が短縮され、物品移送のための追加的な設備が必要でなくなるという長所がある。
【０００８】
しかしながら、前記セル統合方式のレール型物品移送方式は、ローディングされた物品を有する車両が各セル間を直接移動するので、物品移送過程で特定の区間に車両が集中されることで、他の区間で車両不足が引き起こされる。結果として、前記セル統合方式のレール型物品移送方式によると、全体的な半導体製造作業の効率が低下するという短所がある。
【０００９】
上記の問題点を解消するために、アンローディング状態の車両を車両集中区間から車両不足区間に移動させる方法が適用されたが、この方法においても、前記各区間の間の距離が大きい場合、物品移動に要される時間が増加するとともに、物品移動中に各区間の車両分布状態が変更される場合、適切な解決策になり得ないという問題点がある。
【特許文献１】大韓民国登録特許第１０―０３５０７１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、上述した問題点を解決するためになされたもので、その目的は、セル統合方式のレール型物品移送方式が適用された半導体移送システムにおいて、正常な物品移送中に発生しうる特定の区間での車両集中または車両不足現象を体系的かつ効果的に防止できる半導体移送システム及びその車両制御方法を提供することで、半導体製造ラインでの物品移送効率を向上させることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上述した目的を達成するために、本発明に係る半導体移送システムは、車両数の範囲が設定された複数の区間を互いに連結し、前記各区間の内部または各区間の間を複数の車両が移動するように経路を提供するレールと、前記車両の移動時に車両数が前記各区間で前記設定範囲に維持されるかどうかを判断し、車両数が前記各区間のうち少なくとも一つの区間で設定範囲から逸脱する場合、前記各区間のうち少なくとも一つの区間で設定範囲に維持されるように前記車両の移動を制御する車両制御部と、を含むことを特徴とする。
【００１２】
また、前記車両制御部は、複数の区間のうち何れか一つの区間を中継区間として指定し、車両の数が前記設定範囲から逸脱した各区間のうち少なくとも一つの区間と中継区間との間に車両を移動させることで、車両数が設定範囲から逸脱した区間のうち少なくとも一つの区間で設定範囲に維持されることを特徴とする。
【００１３】
また、前記複数の区間は、互いに並列に配列された各区間の第１部分を含む第１グループが、互いに並列に配列された各区間の第２部分を含む第２グループと対向配置されており、前記第１及び第２グループの間に一つの区間が第１及び第２グループと隣接するように配置された形態で、前記車両制御部は第１及び第２グループの間に配置された区間を中継区間として指定することを特徴とする。
【００１４】
また、前記車両は、一つ以上のアンローディング状態の車両を含み、車両数が各区間のうち少なくとも一つの区間で設定範囲以上である場合、前記車両制御部は、前記各区間のうち少なくとも一つの区間でアンローディング状態の車両を前記中継区間に移動させることを特徴とする。
【００１５】
また、前記車両は、一つ以上のアンローディング状態の車両を含み、車両数が前記各区間のうち少なくとも一つの区間で設定範囲以下である場合、前記車両制御部は、前記中継区間に位置するアンローディング状態の車両を前記各区間のうち少なくとも一つの区間に移動させることを特徴とする。
【００１６】
また、前記車両制御部は、中継区間を移動するアンローディング状態の車両位置を判断し、車両数が前記設定範囲以下になる区間と近い順に、前記アンローディング状態の車両を前記設定範囲以下になる区間に移動させることを特徴とする。
【００１７】
また、レールは、各区間に沿って配置されるコモンレールと、前記コモンレールから離れて前記区間に沿って配置される区間レールと、車両が前記区間レールと前記コモンレールとの間で移動するように、前記区間レールを前記コモンレールに連結する連結レールと、を含むことを特徴とする。
【００１８】
また、前記連結レールは、左側トラック及び右側トラックを含み、前記車両は、前記左側トラック及び右側トラックのうち一つのトラック上で移動し、前記連結レールを通して前記区間レールと前記コモンレールとの間で移動することを特徴とする。
【００１９】
また、前記連結レールは、前記区間レールと前記コモンレールとを連結するための複数のトラックを含み、前記車両は、前記複数のトラックのうち一つのトラック上で移動し、前記区間レールと前記コモンレールとの間で移動することを特徴とする。
【００２０】
また、前記区間は、内部に位置する複数の製造設備を有するセルを含み、半導体製造のための単位工程を行うことを特徴とする。
【００２１】
また、前記区間レールは、前記区間を含む各セルの間、前記各セルを含む前記製造設備の間で移動する車両のための単位を提供することを特徴とする。
【００２２】
また、本発明に係る半導体移送システムの車両制御方法は、車両数の範囲が設定された複数の区間を互いに連結し、前記各区間の内部または前記各区間の間を複数の車両が移動するように経路を提供するレールに沿って複数の車両を移動させ、前記車両数が前記各区間で設定範囲に維持されるかどうかを判断し、前記車両数が前記各区間のうち少なくとも一つの区間で設定範囲から逸脱する場合、前記車両数が前記各区間のうち少なくとも一つの区間で設定範囲に維持されるように前記車両を移動させることを特徴とする。
【００２３】
また、前記車両数が前記各区間で設定範囲に維持されるかどうかを判断する段階は、前記各区間の何れか一つの区間を中継区間として指定し、前記車両数が前記各区間のうち少なくとも一つの区間で設定範囲に維持されるように車両を移動させる段階は、前記車両数が前記各区間のうち少なくとも一つの区間で設定範囲に維持されるように、前記車両数が設定範囲から逸脱する前記各区間のうち少なくとも一つの区間と前記中継区間との間に前記車両を移動させることを特徴とする。
【００２４】
また、前記車両数が前記各区間のうち少なくとも一つの区間で設定範囲に維持されるように車両を移動させる段階は、前記車両数が前記各区間のうち少なくとも一つの区間で設定範囲以上であるとき、前記各区間のうち少なくとも一つの区間内のアンローディング状態の車両を前記中継区間に移動させることを特徴とする。
【００２５】
また、前記車両数が前記各区間のうち少なくとも一つの区間で設定範囲に維持されるように車両を移動させる段階は、前記車両数が前記各区間の少なくとも一つの区間で設定範囲以下であるとき、前記中継区間内のアンローディング状態の車両を前記各区間のうち少なくとも一つの区間に移動させることを特徴とする。
【００２６】
また、前記車両数が前記各区間のうち少なくとも一つの区間で設定範囲に維持されるように車両を移動させる段階は、前記中継区間を移動するアンローディング状態の車両位置を判断し、前記車両数が設定範囲以下である区間と近い順に、アンローディング状態の車両を前記車両数が設定範囲以下である区間に移動させることを特徴とする。
【００２７】
また、前記レールに沿って前記車両を移動させる段階は、前記各区間に沿って配置されたコモンレールに沿って車両を移動させ、前記コモンレールから離れて前記区間に沿って配置された区間レールに沿って車両を移動させ、前記区間レールと前記コモンレールとの間を移動するように、前記区間レールと前記コモンレールとを連結する連結レールに沿って車両を移動させることを特徴とする。
【００２８】
また、前記連結レールは、左側トラック及び右側トラックを含み、前記車両は、前記左側トラック及び右側トラックのうち一つのトラック上で移動し、前記連結レールを通して前記区間レールと前記コモンレールとの間で移動することを特徴とする。
【００２９】
また、前記区間レールと前記コモンレールとを連結するための複数個のトラックを含む連結レールに沿って前記車両を移動させ、前記複数のトラックのうち一つのトラック上で車両を移動させ、前記区間レールと前記コモンレールとの間で車両を移動させることを特徴とする。
【００３０】
また、前記区間は、内部に位置する複数の製造設備を有するセルを含み、半導体製造のための単位工程を行うことを特徴とする。
【００３１】
また、前記車両を移動させる段階は、前記区間を含む各セルの間、前記各セルを含む前記製造設備の間で移動する車両のための単位を提供する区間レールに沿って車両を移動させることを特徴とする。
【発明の効果】
【００３２】
本発明は、レールと、このレールを走行して物品を移送する複数の車両とを備えたセル統合方式の半導体移送システムにおいて、前記レールを複数の区間に区分し、各区間で移動する車両数の範囲を設定することで、車両数が設定範囲から逸脱するときごとに、アンローディング状態の車両を、車両数が設定範囲以上である区間から中継区間に移動させるか、中継区間から車両の数が設定範囲以下である区間に移動させる。その結果、特定の区間での車両集中または車両不足現象を効率的に防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下、本発明の好適な実施例を、添付の図面に基づいて詳細に説明する。
【００３４】
図１は、本発明の一実施例に係るセル統合方式のレール型物品移送方式が適用された半導体移送システムを簡略的に示した図である。
【００３５】
半導体製造のための単位工程を行う製造設備３と、前記製造設備３で作業が完了したり、製造設備３での作業順序を待機すべき物品を一時的に保管するストッカー４は、作業順序及び作業効率に基づいて半導体製造ライン１に適切に配置される。製造設備３はセル６内に位置し、区間７は複数のセル６からなる。
【００３６】
各製造設備３とストッカー４との間には、半導体製造に必要な物品移送経路を提供するためのレール２が設置される。
【００３７】
本実施例は、レール２が各区間７の間で互いに連結され、各区間７の内部または各区間７の間を移動する経路を提供するセル統合方式で構成される。前記レール２は、区間７に沿って配置されるコモンレール２ａと、区間に沿って配置され、コモンレール２ａから離れて各区間７の各セル６の間で車両を移動させる区間レール２ｃとを含む。さらに、各区間７は、区間レール２ｃとコモンレール２ａとを連結するための連結レール２ｂを含む。本実施例では左側の連結レール及び右側の連結レールを示したが、連結レール２ｂは、多様な位置で一つの連結レールまたは複数個の連結レールを含む。さらに、レール２は、各製造設備３及びストッカー４の配置状態及び作業内容によって半導体製造作業の効率性を考慮して、本実施例と異なる構造で構成することもできる。
【００３８】
レール２には、ローディングされた物品を出発地から指定された製造設備３またはストッカー４に移送する複数個の車両５が設置される。
【００３９】
車両の制御方法は、物品ローディングモード及び移動モードを含み、本実施例では、物品ローディングモード及び移動モードのうち何れか一つが適用される。
【００４０】
本実施例において、車両５は、レール２に沿って各区間の内部のみならず、一つの区間７から他の区間７に直接移動することができる。したがって、車両５が従来の各セル間を移送するために必要であった追加的な設備が省略される。車両５がコモンレール２ａに向って移動する場合、車両５は、区間レール２ｃの中心部に対して配置された左側または右側の連結レール２ｂのうち何れか一つを用いて、区間レール２ｃからコモンレール２ａに移動する。しかし、連結レール２ｂの他の構成によって、車両５が異なる移動をすることもある。車両５がコモンレール２ａ上にあると、車両交通及び車両５の到着地によって左側または右側に移動することもある。
【００４１】
以下、本発明に係る半導体移送システムの構成及び動作を、図２に基づいて説明する。
【００４２】
図１及び図２に示すように、半導体製造工程を制御する工程制御部１０が各製造設備制御部２０に作業開始信号を伝送すると、各製造設備制御部２０は、該当の製造設備３を動作させ、移送された物品を車両からアンローディングして該当の作業を行う。
【００４３】
各製造設備３で該当の工程が完了されると、製造設備制御部２０は、作業完了信号を工程制御部１０に伝送し、工程制御部１０は、メモリ３０に保存された作業順序によって、作業の完了した物品を他の製造設備３に移送させるための物品移送信号を車両制御部４０に伝送する。
【００４４】
車両制御部４０は、工程制御部１０から伝送された信号によって、アンローディング状態の車両５を前記作業の完了した製造設備３に移動させると、該当の製造設備制御部２０が製造設備３を動作させ、作業の完了した物品を車両５にローディングする。
【００４５】
車両制御部４０は、工程制御部１０からの指示（例えば、部分的移送信号）によって車両５にローディングされた物品を他の製造設備３に移送し、製造設備制御部２０は、工程制御部１０からの指示（例えば、作業開始信号）によって物品が移送された該当の製造設備３を動作させ、移送された物品をアンローディングして該当の作業を行う。
【００４６】
このとき、メモリ３０に保存された作業順序によって作業の完了した物品をストッカー４に移送する場合、工程制御部１０は、車両制御部４０に移送信号（例えば、部分的移送信号）を伝送し、該当のストッカー制御部５０に作業信号を伝送する。
【００４７】
工程制御部１０からの指示によって上記の方式で物品が該当のストッカー４に移送されると、ストッカー制御部５０は、工程制御部１０の指示によってストッカー４に備わった設備を動作させ、物品のアンローディング及び保管作業を行う。
【００４８】
このとき、車両制御部４０及び車両５は、内部に備わった通信手段を用いて現在位置または移動位置に関する情報を交換し、本実施例では、従来の通信モードが適用された。
一方、ストッカー４に保管された物品を製造設備３または他のストッカー４に移送させるモードは、上記のモードと同一であるので、それに対する詳細な説明を省略する。
【００４９】
以下、本発明の一実施例に係る半導体移送システムの車両制御方法を、図３に基づいて詳細に説明する。
【００５０】
図１乃至図３に示すように、半導体製造ライン１の管理者が、半導体製造ライン１に設置されたレール２を複数の区間７に区分し、前記複数の区間７のうち一つを中継区間として指定する（Ｓ１０）。
【００５１】
このとき、前記区間７は、レール２に沿って各区間７を移動する車両５を効果的に運営及び管理するために仮想的に区分した。
【００５２】
また、前記中継区間は、各区間７の車両数を制御する方法に用いられるので、他の区間７と隣接する区間であることが好ましい。
【００５３】
前記区間７を複数個に区分した後、管理者は、各区間に対する車両数の範囲を設定する（Ｓ２０）。
前記車両数は、物品の移送過程を通して他の区間７に流出するか、他の区間から流入した車両５の変動量を考慮して、全体の移送過程の間に各区間７内で維持されるべき車両５の数を意味する。
【００５４】
物品が各区間７内部のみで移送される場合、各区間７の間に車両５の流出入がないので、各区間７内部を移動する車両５数がそのまま維持される。一方、各区間７の間に物品が移送される場合、各区間７の間に車両５の流出入が発生するので、各区間７のうち何れか一つに車両５が集中される。このような問題点を解決するために、各区間７内部の車両５数の範囲は、各区間７で車両数が所定の範囲内に維持されるように設定する。
【００５５】
したがって、前記各区間７内の車両５数の範囲は、全体作業効率の支障なしに物品が移送されるように、該当の区間７の作業時間及び作業量などを考慮して設定することが好ましい。半導体製造工程が変更されると、各区間７の車両５数の範囲も変更されるべきである。
【００５６】
各区間７が区分され、各区間７の車両数の範囲が設定された後、半導体製造作業が開始され、物品移送のために車両が移動すると、車両制御部４０は、各区間７の車両５数が設定範囲に維持されるかどうかを判断し（Ｓ３０）、車両５数が設定範囲に維持されると判断された場合、Ｓ３０段階にリターンし、各区間７の車両５数が設定範囲に維持されるかどうかを継続的に判断する。
【００５７】
Ｓ３０段階で車両５数が設定範囲に維持されないと判断された場合、車両制御部４０は、設定範囲から逸脱した区間７の車両５数が設定範囲以下であるかどうかを判断し（Ｓ４０）、車両数が設定範囲以下であると判断された場合、車両制御部４０は、中継区間に位置するアンローディング状態の車両を、車両の数が設定範囲以下である各区間に移動させ、車両５数が該当の区間で設定範囲に維持される（Ｓ５０）。
【００５８】
このとき、車両制御部４０は、中継区間を移動するアンローディング状態の車両位置を判断し、車両数が前記設定範囲以下である区間と近い順に、車両を前記設定範囲以下である区間に移動させることが好ましい。
【００５９】
一方、Ｓ４０段階で設定範囲から逸脱する車両５数が設定範囲以上であると判断された場合、車両制御部４０は、車両数が前記設定範囲以上である各区間７に位置するアンローディング状態の車両を中継区間に移動させることで、車両５数が各区間で設定範囲に維持される（Ｓ６０）。
【００６０】
前記各区間７に分配された車両５数が各区間７の設定範囲内に維持される場合、車両制御部４０は、工程制御部１０から作業終了信号が伝送されたかどうかを判断し、工程制御部１０から車両制御部４０に作業終了信号が伝送された場合、車両制御部４０は作業を終了する。一方、工程制御部１０から車両制御部４０に作業終了信号が伝送されていない場合、Ｓ３０段階にリターンし、各区間７で車両５数が設定範囲に維持されるかどうかを継続的に判断する（Ｓ７０）。
【００６１】
以下、本発明に係る半導体移送システムの車両制御方法の一例を、図４に基づいて説明する。
図４は、図３の車両制御方法によって区分された図１の半導体移送システムの仮想制御区間を示した図である。図１乃至図４に示すように、半導体製造ライン１に設置されたレール２が７個の仮想制御区間１００に区分されるが、これら仮想制御区間１００のうち一つであるＡ４が中継区間として指定される。
【００６２】
また、互いに並列に配列されたＡ１〜Ａ３区間の第１部分を含む第１グループは、互いに並列に配置されたＡ５〜Ａ７区間の第２部分を含む第２グループと互いに対向配置される。前記第１及び第２グループの間には、第１及び第２グループに隣接するようにＡ４区間１００が配置されることで、各区間１００の車両数を維持するために移動させる車両５の移動距離及び移動時間が最小化される。
【００６３】
また、Ａ１及びＡ５区間１００からＡ３区間に物品をローディングした車両５が継続的に移動し、Ａ１及びＡ５区間１００の車両５数が設定範囲より１台少ない状態であり、Ａ３区間１００の車両５数が設定範囲より２台多い状態であるとの仮定下で説明する。
【００６４】
この場合、車両制御部４０は、アンローディング状態の２台の車両５をＡ３区間１００から中継区間であるＡ４区間１００に移動させると同時に、アンローディング状態の２台の車両５をＡ４区間からＡ１及びＡ５区間１００にそれぞれ１台ずつ移動させることで、各区間１００の車両５数が常に設定範囲に維持される。
【００６５】
このとき、車両制御部４０は、Ａ４区間１００を移動するアンローディング状態の車両位置を判断し、Ａ１区間１００に最も近い車両５及びＡ５区間１００に最も近い車両５をＡ１及びＡ５区間１００にそれぞれ移動させる。
【００６６】
以上説明したように、本実施例に係る車両制御方法は、設定範囲以上または以下である各区間１００の車両５数が設定範囲内に維持されるように、車両５の移動は各区間１００と隣接した中継区間を通して行われる。そのため、車両５数が設定範囲以下である区間１００と、車両５数が設定範囲以上である区間との間の距離が大きい場合も、短い時間内に各区間１００に対する車両５の変動が行われることで、物品移送過程で特定区間での車両５の集中または不足現象を効率的に防止できるという長所がある。
【００６７】
また、本発明は、コンピュータ可読記録媒体上のコンピュータ可読コードとして実現される。コンピュータ可読記録媒体は、コンピュータシステムによって読まれるデータを保存可能なデータ保存装置である。コンピュータ可読記録媒体の例は、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ＣＤ―ＲＯＭｓ、磁気テープ、フロッピー（登録商標）ディスク、光データ保存装置及び搬送波（インターネットを通したデータ伝送）を含む。さらに、コンピュータ可読記録媒体は、ネットワーク結合されたコンピュータシステムを通して分散されるので、コンピュータ可読コードが分散方法で保存または実行される。さらに、本発明を達成するための機能的なプログラム、コード及びコードセグメントは、本発明に関連する技術に熟練したプログラマーによって容易に理解される。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明の一実施例に係る半導体移送システムを簡略的に示した図である。
【図２】本発明の一実施例に係る半導体移送システムを示したブロック図である。
【図３】本発明の一実施例に係る半導体移送システムの車両制御方法を示したフローチャートである。
【図４】図３の車両制御方法によって区分された図１の半導体移送システムの仮想制御区間を示した図である。
【符号の説明】
【００６９】
１      半導体製造ライン
２      レール
３      製造設備
４      ストッカー
５      車両
【図１】
2008047868.tif 000003
【図２】
2008047868.tif 000004
【図３】
2008047868.tif 000005
【図４】
2008047868.tif 000006