(57)【要約】【課題】電子収量法及び吸収法によるＸ線吸収スペクトルの測定を、複数試料に対して同時に行なう。【解決手段】検出器５０の前端に接続部３を設け、この接続部３を介して複数検出器５０を入射Ｘ線が通過するように直列に接続する。接続部３に、試料等で気密に閉塞可能なＸ線が通過する貫通孔が設けられる。また、接続部３は、前後の検出器５０を外気から気密に保持して接続する。検出器５０内にはＸ線強度測定用の電極１５ａ、１５ｂとオージェ電子収集用電極１６が設けられ、何れかの電極が選択されて動作する。試料の前後のＸ線強度の測定による吸収法、及び、試料直後の検出器による電子収量法による測定が同時になされる。【選択図】図１
2008241313.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
放射線照射による気体の電離を利用したＸ線吸収分析用検出器であって、
前記検出器の容器の前端に設けられ、他の前記検出器を前記容器内部と外気との間の気密を保持して接続する接続部と、
前記接続部に設けられ、試料又はＸ線透過材料により気密に閉塞可能な貫通孔と、
前記貫通孔を貫通して入射され、前記容器内を通過するＸ線により前記容器内に生成された電荷を収集するＸ線強度測定用電極とを有することを特徴とするＸ線吸収分析用検出器。
【請求項２】
前記容器内に前記貫通孔に近接して配設され、前記Ｘ線を貫通させる小孔を有する、前記試料から放出される電子により生成された電荷を収集するための電荷収集用電極と、
前記試料に流れる電流を測定するための電流検出部とを有することを特徴とする請求項１記載のＸ線吸収分析用検出器。
【請求項３】
放射線照射による気体の電離を利用したＸ線吸収分析用検出器であって、
前記検出器の容器の前端に設けられ、他の前記検出器を前記容器内部と外気との間の気密を保持して接続する接続部と、
前記前端の接続部に設けられ、試料又はＸ線透過材料により気密に閉塞可能な貫通孔と、
前記容器内に前記貫通孔に近接して配設され、前記Ｘ線を貫通させる小孔を有する、前記試料から放出される電子により生成された電荷を収集する電荷収集用電極と、
前記試料に流れる電流を測定する電流検出部とを有することを特徴とするＸ線吸収分析用検出器。
【請求項４】
試料又はＸ線透過材料により気密に閉塞可能な貫通孔を有するスリットと、
前記前端の接続部に設けられ、前記スリットの挿入後に前記検出器内部と外気との気密が保持されるように挿入可能なスリット挿入部とを有することを特徴とする請求項１、２又は３記載のＸ線吸収分析用検出器。
【請求項５】
検出器容器をＸ線通過軸に沿って複数区画に分離する分離部と、
前記分離部の前記Ｘ線が透過する位置に設けられ、試料又はＸ線透過材料により気密に閉塞可能な貫通孔と、
前記区画内に設けられ、前記区画内を通過するＸ線により前記区画内に生成された電荷を収集するＸ線強度測定用電極と、
前記区画内に設けられ、前記Ｘ線を貫通させる小孔を有する、前記試料から放出される電子により生成された電荷を収集するための電荷収集用電極と、
前記試料に流れる電流を測定するための電流検出部とを有することを特徴とするＸ線吸収分析用検出器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は複数の試料の電子収量法によるＸ線吸収微細構造スペクトルの測定、又は同時に電子収量法及び透過法によるＸ線吸収微細構造スペクトルの測定が可能なＸ線吸収分析用検出器に関する。
【背景技術】
【０００２】
Ｘ線吸収微細構造（ＸＡＦＳ）分析法は、試料に含まれる対象原子によるＸ線吸収スペクトルに現れる微細な振動構造を測定し、解析することで、対象原子の周りの局所的な構造、例えば配位数及び配位原子の種類、結合距離或いは結合の対象性等を直接に知ることができる分析法であり、半導体工業や化学工業の分野で広く使用されている。
【０００３】
図１０はＸ線吸収スペクトルを表す図であり、Ｎｉ箔のＫ吸収端近傍のＸ線吸収スペクトルを表している。図１０を参照して、Ｎｉ原子のＫ吸収端から高エネルギー側にかけてＸ線吸収係数の振動が観測されている。この内、吸収端から数１０ｅＶの範囲に生ずる振動は、対象原子の価数や酸化状態により変わる電子状態及び対象原子との結合の対象性に関する情報を含んでいる。また、吸収端から数１００ｅＶの範囲に生ずる振動は、対象原子の周囲に配置する原子の種類、それらの原子までの距離及び配位数に関する情報を含んでいる。従って、Ｘ線吸収スペクトルを分析することで、対象原子の配位及び電子の結合状態を詳細に知ることができる。
【０００４】
Ｘ線吸収微細構造分析の測定方法には、一般的に電子収量法と透過法とが広く用いられている。電子収量法は、試料表面にＸ線を入射し、光電効果により試料表面から放出される電子、例えばオージェ電子の量を測定することでＸ線吸収スペクトルを観測する。この電子収量法によれば、オージェ電子が脱出可能な極浅い表面層、例えば数１０ｎｍ〜数１００ｎｍの深さの層について、Ｘ線吸収スペクトルを観測することができる。
【０００５】
これに対して透過法は、薄片試料に入射するＸ線強度と、薄片試料を透過したＸ線強度とを測定し、その強度比からＸ線吸収量、ひいてはＸ線吸収係数を算出する。この透過法により、試料の厚さ方向に平均化されたＸ線吸収スペクトルを観測することができる。
【０００６】
このように、電子収量法では試料表面の吸収スペクトルが観測され、透過法では試料内部の平均的吸収スペクトルが観測される。多くの場合、試料の内部と表面とでは原子間の結合の構造が異なる。このため、試料の内部と表面との吸収スペクトルを分離して観測する目的から、同一試料に対して透過法と電子収量法とによる吸収スペクトルの観測を併用して適用することが望まれる。
【０００７】
しかしこれら二つの測定方法を実施するには２回の測定が必要となり、測定時間が長くなる。また、２回の測定をそれぞれ別の装置乃至配置で行なわねばならず、試料の測定位置の同一性を保持することが難しい。
【０００８】
このため、同一の分析装置により透過法と電子収量法とを同時に実施することで、測定時間の短縮と測定位置の同一性を保持できる分析装置、あるいは複数試料の測定を同時に実施することで測定時間を短縮できる分析装置が望まれる。しかし、従来の装置では、以下に詳述するように電子収量法と透過法とを同時に実施する、あるいは同時に複数試料の測定を行なうことは困難であった。
【０００９】
図１１は従来の電子収量法測定装置断面図であり、転換電子収量法を用いたＸ線吸収微細構造分析装置の構成の概要を表している。
【００１０】
図１１を参照して、従来の電子収量法測定装置は、内壁が絶縁層１２０ａで被覆された導電性のチャンバ１２０を有し、そのチャンバ１２０の前面に入射Ｘ線１０１が透過する窓１２４が設けられている。この窓１２４は、Ｘ線の透過材料からなり、チャンバ１２０内を気密に封止する。チャンバ１２０内には、気体、例えばＨｅが気体導入口１２６ａから流入され、排気口１２６ｂから排出される。試料１２２は、チャンバ１２０内に窓１２４に対して傾斜するように試料ホルダ１２１上に載置される。さらに、チャンバ１２０内の試料１２２上方に、電源１２８から負電圧が印加された電荷収集用電極１２５が設けられている。また、試料１２２には導電線１２３が接続され、この導電線１２３はチャンバ１２０の外部に置かれた電流計測器１２７に接続されている。
【００１１】
窓１２４を透過した入射Ｘ線が試料１２２表面に照射されると、試料１２２表面から放出されたオージェ電子がチャンバ内の気体（例えばＨｅ）に衝突してこれを電離し、イオン（例えばＨｅ+ ）を生成する。オージェ電子は、通常数ｋｅＶ程度のエネルギを有するので、電離するに３０ｅＶ程度のエネルギが必要なＨｅを数１００個程電離する。これらの電離されたイオンは、例えば数１００Ｖの負電圧が印加された電荷収集用電極１２５に引き寄せられて加速され、さらにチャンバ内の気体に衝突して多数のイオンを生成しながら増殖し、最後に電荷収集用電極１２５にこれらのイオンの電荷が吸収され、イオン電流として電荷収集用電極１２５に流れる。即ち、オージェ電子の量より増幅されたイオンによる電流が流れる。その結果、試料１２２に接続する導電線１２３にはオージェ電子の放出量に応じた大きさの増幅された電流が流れる。この電流を電流計測器で測定することで、オージェ電子の放出量が測定され、さらに測定されたオージェ電子の放出量から試料１２２が吸収したＸ線１０１の量を測定することができる。
【００１２】
上述した従来の電子収量法測定装置では、試料１２２を透過したＸ線が試料ホルダ１２１により遮蔽されてしまう。このため、この装置を透過法に適用することはできない。
【００１３】
図１２は、従来のＸ線複合分析装置概念図であり、透過法によるＸ線吸収分析と反射法による蛍光Ｘ線分析を同一装置で実現することができるＸ線複合分析装置の配置を表している。なお、図１２（ａ）は透過法を用いたときの配置を、図１２（ｂ）は反射法を用いたときの配置を表している。
【００１４】
図１２（ａ）を参照して、スリット１３４を通過して断面矩形のビームにされた入射Ｘ線１０１ａは、透過型のＸ線検出器１３１を通過して試料１３２に垂直に入射する。このＸ線検出器１３１は入射Ｘ線の強度を測定する。試料１３２はＸ線が十分透過可能な薄膜、例えばＮｉ薄膜であり、回転円盤状の試料ホルダ１３３に形成された貫通孔を閉塞するよう取り付けられる。この試料ホルダ１３３は、入射Ｘ線１０１ａに垂直に保持され、回転することで取り付けられた複数の試料１３２を順次、入射Ｘ線１０１ａが垂直に入射する位置に移動する。試料１３２を透過した透過Ｘ線１０１ｂは、後方（紙面右方向）に配置されたＸ線検出器１３０に入射してそのＸ線強度が測定される。そして、入射Ｘ線１０１ａと透過Ｘ線１０１ｂの強度比から、試料１３２のＸ線吸収量さらにはＸ線吸収スペクトルが算出される。
【００１５】
他方、反射法では、図１２（ｂ）を参照して、上述した透過法で使用した試料ホルダ１３３と同様の形状（貫通孔は設けられていない。）を有する試料１３２を用いる。そして、試料１３２表面に入射Ｘ線１０１ａを入射し、試料１３２表面から放射する蛍光Ｘ線１３５の強度をＸ線検出器１３０により測定する。
【００１６】
このように、透過法では試料及び試料ホルダはＸ線を透過するように設計されるのに対して、反射法では試料及び試料ホルダはＸ線が透過するようには設計されていない。このため、透過法と反射法とで用いられる試料ホルダを、共通に使用することはできない。従って、透過法と反射法との測定を同時に実施することは困難である。
【００１７】
図１３は従来のＸ線検出器断面図であり、上述した従来のＸ線複合分析装置を用いた吸収法によるＸ線強度の測定に用いられる透過型の検出器の構造を表している。
【００１８】
図１３を参照して、Ｘ線検出器１３１の容器１１０は、筒状の胴筒１１１と、その胴筒１１の前端１１２及び後端１１３を密封して形成されている。容器１１０内には、前端１１２近くの気体導入口１１６ａから気体、例えばＡｒが流入され、後端１１３近くの排気口１１６ｂから排気される。容器１１０の前端１１２及び後端１１３にはＸ線１０１が透過する窓１１４が設けられている。また、容器１１０内の上方に負電圧が印加されたＸ線強度測定用電極１１５ａが、下方に電流計測器１１７を介して接地されたＸ線強度測定用電極１１５ｂが設けられている。
【００１９】
容器１１０の前端１１２の窓１１４から容器１１０内に入射したＸ線１０１は、容器１０１内の気体（例えばＡｒ）を電離する。電離した気体イオン及び電子はＸ線強度測定用電極１１５ａ、１１５ｂに引き寄せられ、その電流は電流計測器により測定される。このように、このＸ線検知器１３１は電離箱、比例計数管又はガイガー計数管として機能する。
【特許文献１】特開２０００−１１１５０３号公報
【特許文献２】特開平０５−１８８０１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２０】
上述したように、従来のＸ線吸収微細構造分析装置では、透過法と電子収量法とで試料ホルダが異なるため、同一の装置で同時に透過法と電子収量法とによるＸ線吸収スペクトルを測定することが困難であった。このため、透過法及び電子収量法によるＸ線吸収スペクトルを観測するには、それぞれ別の試料ホルダ又は別の分析装置を用いて２回の測定（透過法及び電子収量法による測定）を実施しなければならず、測定時間が長くなりかつ測定位置の同一性を保証することが難しいという問題があった。
【００２１】
また、透過法又は電子収量法による測定を、同時に複数の試料について実施することもできない。このため、試料の数だけ測定回数が必要であり、多数試料の測定では分析時間が長時間になるという問題もあった。
【００２２】
本発明は、電子収量法及び透過法によるＸ線吸収微細構造スペクトルの測定を同時に行なうことができる、あるいは複数の試料のＸ線吸収微細構造スペクトルの測定を同時に行なうことができるＸ線吸収分析用検出器を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
上記課題を解決するための本発明の第１の構成に係るＸ線吸収分析用検出器は、検出器容器の前端に、検出器容器内部と外気との間の気密を保持して他の検出器の後端に接続する接続部を有する。この接続部には、試料又はＸ線透過材料により気密に閉塞可能な貫通孔が設けられている。
【００２４】
さらに、このＸ線吸収分析用検出器は、この貫通孔を貫通して容器内に入射したＸ線により生成される電荷を収集するＸ線強度測定用電極を有しており、これにより、Ｘ線強度の測定に使用される従来の透過型検出器として機能する。
【００２５】
この第１の構成の検出器は、接続部を介して、検出器の前端及び後端にそれぞれ別の検出器を接続することができる。そして、接続部は検出器内を外気から気密に封止するとともに、接続部に設けられた貫通孔により前後に接続された検出器内が連通される。この貫通孔は、試料又はＸ線透過材料を用いて気密に閉塞することができる。従って、前後の検出器内の気体が分離されるので、前後の検出器を互いに独立して動作させることができる。
【００２６】
このように複数個の検知器を接続した構成では、最前端に位置する検出器の貫通孔から入射されたＸ線は、後続の検出器の貫通孔を通過し又は貫通孔を閉塞する試料若しくはＸ線透過材料を透過するので、接続された複数の検出器内を貫いて通過する。従って、一つ又は複数の貫通孔を試料で閉塞することにより、各試料毎にその前後に位置するＸ線強度を測定することができる。さらに、これら各試料前後のＸ線強度から、各試料のＸ線吸収スペクトルが測定される。従って、複数の試料の各試料毎のＸ線吸収スペクトルを同時に測定することができる。
【００２７】
本発明の第２の構成に係るＸ線吸収分析用検出器は、第１の構成のＸ線吸収分析用検出器において、Ｘ線強度測定用電極に代えて、検出器容器内の貫通孔に近接して配設された電荷収集用電極を備える。この電荷収集用電極は、試料から放出される電子により生成された電荷を収集するためのもので例えば負電圧が印加されている。さらに、電荷収集用電極には、貫通孔（又は試料若しくはＸ線透過材料）を通過して入射したＸ線を貫通させる小孔が開設されている。
【００２８】
加えて、試料に流れる電流を測定するための電流検出部とを有する。このため、試料から放出された電子により気体が電離されて生ずる電荷は、貫通孔近く（即ち試料の近く）に配置された電荷収集用電極に吸収され、試料から放出された電子量に応じた電流が試料に流れ、電流検出部により検出される。このように、本第２の構成の検知器は、電子収量法の機能を有する測定器として利用することができる。
【００２９】
本第２の構成の検知器では、前方から入射され、試料を透過したＸ線は、電荷収集用電極の小孔を貫通後、さらに後端接続部の貫通孔を貫通して検知器後端から出射する。このため、第２の構成の検知器を複数個接続し、各検知器の貫通孔に試料を配置することで、各試料に流れる電流を測定し、電子収量法によるＸ線吸収スペクトルを測定することができる。この測定は、複数試料の全てについて同時になされるから、測定時間を大幅に短縮することができる。
【００３０】
上述の第２の構成の検出器を用いた電子収量法によるＸ線吸収スペクトルの測定において、電子収量法の検出器として機能する第２の構成の検出器の前に、入射Ｘ線強度の測定器として機能する第１の構成の検出器を配置することが好ましい。これにより、試料に入射する入射Ｘ線強度を測定して吸収量を補正することができる。さらに、第２の構成の検出器の後に、第１の構成の検出器を配置することができる。これにより、試料を透過した透過Ｘ線強度を測定することができる。従って、透過法によるＸ線吸収スペクトルと電子収量法によるＸ線吸収スペクトルの観測とを同時に行なうことができる。
【００３１】
本発明の第３の構成に係るＸ線吸収分析用検出器は、Ｘ線強度測定用電極を備える第１の構成に係る検出器に、さらに第２の構成に係る検出器の電荷収集用電極及び試料に流れる電流を測定するための電流検出部を備える。
【００３２】
この第３の構成の検出器では、Ｘ線強度測定用電極又は電荷収集用電極の何れかの電極を選択して電圧を印加する。このように、電圧を印加する電極を選択することで、Ｘ線強度の測定又は電子収量法によるＸ線吸収量の測定の何れか任意の機能を有する検出器として機能させることができる。従って、上述した第１及び第２の構成の検出器の一方のみ又は双方を用いた測定において、分析装置の検出部を只一種の第３の構成の検出器により構成することができる。従って、機能の異なる検知器の接続順を変えて測定する場合でも、接続された検出器の接続順を組み直すことなく、電圧を印加する電極を選択するだけで容易に測定することができる。
【００３３】
本発明の第４の構成の検出器は、検出器容器内をＸ線通過軸に沿って分離部により複数区画に分離する。分離部には、前記Ｘ線が透過するように、試料又はＸ線透過材料により気密に閉塞可能なＸ線が透過する貫通孔が開設される。そして、区画内に第３の構成と同様に、Ｘ線強度測定用電極及び電荷収集用電極が配置され、さらに区画内に試料電流を測定する電流検出部とを備える。
【００３４】
この第４の構成の検出器は、第３の構成の検出器を複数個接続して固定した状態を、一体の検出器容器内に形成する。従って、その機能は第３の構成の検出器を複数個接続したものと同じである。このように一体に形成することで、検出器の構造を強固なものとすることができる。
【発明の効果】
【００３５】
本発明によれば、Ｘ線吸収微細構造を、複数の試料を同時に又は透過法及び電子収量法を同時に用いて測定することができるので、迅速にＸ線吸収微細構造分析を実行することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
本発明の第１実施形態は、Ｘ線強度測定用電極及び電荷収集用電極を備えたＸ線吸収分析用検出器に関する。
【００３７】
図１は本発明の第１実施形態検出器断面図であり、Ｘ線吸収分析用検出器の内部構造を表している。図２は本発明の第１実施形態検出器斜視図、図３は本発明の第１実施形態Ｘ線吸収分析用検出器後端部斜視図であり、それぞれ検出器の前端及び後端方向から見た外観を表している。
【００３８】
本第１実施形態のＸ線吸収分析用検出器５０は、図１〜図３を参照して、断面矩形の金属からなる筒状の胴筒２ａと、その前後端を封止するフランジ２ｄ、２ｃとを備える。胴筒２ａ及びフランジ２ｄ、２ｃは接地され、その内壁面は絶縁層２ｇにより被覆されている。フランジ２ｄ、２ｃの中央には開口２ｃ−１、２ｄ−１が開設され、胴筒２ａの筒軸に平行に入射するＸ線１を遮蔽することなく通過させる。
【００３９】
前端２Ｆ部分のフランジ２ｄの外側（前端方向）に、平行に配置された２枚の案内板２ｈが取り付けられ，垂直に延在するアリ溝２ｆを形成する。このアリ溝２ｆには、後述する試料ホルダ２０が上方から挿入される。また、フランジ２ｄの外側面（即ち、アリ溝２ｆの底面）は平坦面に加工され、Ｏリングによる気密封止が可能にされる。
【００４０】
アリ溝２ｆの下端に、ストッパ２ｅが固定され、アリ溝２ｆに挿入された試料ホルダ２０は、その下端がストッパ２ｅに当接して上下の位置決めがなされる。
【００４１】
後端２Ｒ部分のフランジ２ｃの外側面（即ち、後端２Ｒの面）には、開口２ｃ−１を囲む同心円のアリ溝からなるＯリング溝２ｃ−３が形成されている。さらに、フランジ２ｄ、２ｃには止め穴２ｄ−１、２ｃ−２が開設されており、止め穴２ｄ−１、２ｃ−２を通したネジにより前後に接続する検知器５０を固定することができる。
【００４２】
図１を参照して、胴筒２ａ内に、Ｘ線１に平行に２枚のＸ線強度測定用電極１５ａ、１５ｂが配置され、そのＸ線強度測定用電極１５ａ、１５ｂより前端に近い位置に電荷収集用電極１６が配置される。
【００４３】
一方のＸ線強度測定用電極１５ａには電源１０からスイッチ１１を介して負電圧が供給され、他方のＸ線強度測定用電極１５ｂは電流計測器１４を介して接地電位に接続される。このＸ線強度測定用電極１５ａ、１５ｂは、胴筒２ａ内を通過するＸ線１が容器２内の気体を電離する度に生成される電荷を吸収し、電流計測器によりＸ線１の強度として電流パルスが計測される。このとき、検出器５０はガイガー計数管として動作し、Ｘ線強度が測定される。なお、検出器５０を比例計数管又は電離箱として動作させても差し支えない。
【００４４】
電荷収集用電極１６は、Ｘ線１に垂直に配置された板状の電極で、その中央部分にＸ線１が遮蔽されずに通過することができる小孔１６ａが開設されている。従って、検知器５０に入射したＸ線１は、電荷収集用電極１６により遮蔽されずに、容器２内を通過して後端２Ｒから出射される。
【００４５】
この電荷収集用電極１６には，電源１２からスイッチ１３を介して負電圧が印加される。後述するように試料３２は、前端２Ｆのフランジ２ｄの開口２ｄ−１の近くにＸ線１が透過するように置かれる。この試料３２から容器２内に放出された電子は容器２内の気体を電離し、電荷収集用電極１６に捕獲される。この結果、試料３２から放出された電子量に応じた電流が試料３２に流れ、後述するように、この試料３２に流れる電流を測定することで、試料３２から放出された電子の量、さらには試料３２が吸収したＸ線量を知ることができる。従って、このとき検知器５０は電子収量法を利用したＸ線吸収分析装置の検知器として機能する。
【００４６】
スイッチ１１及びスイッチ１３は、互いに相補的に動作する。即ち、Ｘ線強度測定用電極１５ａに負電圧が印加される場合は、電荷収集用電極１６に負電圧は印加されない。逆に電荷収集用電極１６に負電圧が印加される場合は、Ｘ線強度測定用電極１５ａには負電圧が印加されない。従って、スイッチ１１、１３を選択的に切り換えることで、検出器５０を、Ｘ線１の強度測定器として又は電子収量法の検出器として何れかの機能を選択することができる。
【００４７】
さらに、容器２の前方に気体導入口１７が設けられ、ここから容器２内に電離用の気体が導入される。導入された気体は、容器２後方に設けられた排気口１８から排出される。
【００４８】
図４は本発明の第１実施形態試料ホルダ構造説明図であり、図４（ａ）はＸ線入射側（容器２の前端側）から見た平面図、図４（ｂ）は図４（ａ）中のＢＢ’断面図、図４（ｃ）は図４（ａ）中のＡＡ’断面図、図４（ｄ）はＸ線の出射側（容器２の後端側）から見た平面図である。
【００４９】
図４を参照して、本発明の第１実施形態の試料ホルダ２０は、上下方向（図４（ａ）、（ｃ）及び（ｄ）の紙面右が上、紙面左が下である。）に長い長方形の板からなる基台２１を基本的な部材とする。基台２１の長辺側面は斜面２１ａに形成され、断面台形状に加工される。また、基台２１の後端面（図４（ｃ）の紙面下方の面）は平坦面に加工される。この基台２１は、図２を参照して、検知器５０前端の接続部３に形成されたアリ溝からなるホルダ挿入部２ｆに挿入される。
【００５０】
基台２１の下部に、Ｘ線１の通過する軸にほぼ同心円状の円形の窪み２３が前端方向に開口して設けられ、その窪み２３の底面（基台２１の後端面）に窪み２３と同心円状の開口２２が開設される。窪み２３の内壁には、リング状の板バネを収容するバネ溝２７が形成されている。
【００５１】
基台２１の前端側の面（以下、基台２１前端面という）に、窪み２３と同心円状のリング状に平坦部２４が設けられ、その外側の基台２１前端面は低くされている。さらに、基台２１前端面に、基台２１上端から窪み２３に達するリード線溝２５が形成される。このリード線溝２５は、平坦部２４ではトンネル状の連通孔として構成され、表面に表出しない。この構造では、平坦部２４をＯリングで封止し、かつトンネル状連通孔を接着剤により封止すると、開口２２が基台２１前端面の外気から気密に封止される。
【００５２】
基台２１の後端面には、窪み２３と同心円状にＯリング用アリ溝２６が設けられる。このＯリング用アリ溝２６内に保持されるＯリングは、フランジ２ｂの前端面に密着し、開口２２と基台２１前端面の外気との間を気密に封止する。
【００５３】
図５は本発明の第１実施形態試料保持方法説明図であり、図５（ａ）は試料を保持した固定板の平面図、図５（ｂ）はその断面図を表している。
【００５４】
図５を参照して、Ｎｉ薄片からなる試料３２を、中央に貫通孔３４が開設された円板状の金属、例えばＣｕからなる固定板３１上に、貫通孔３４を塞ぐように固定する。このとき、貫通孔３４は試料３２により気密に閉塞される。さらに、試料３２と固定板３１とを導電体３３、例えば導電ペーストにより接続する。固定板３１の上面周辺及び側面は、絶縁膜３１ａにより被覆されている。
【００５５】
図６は本発明の第１実施形態接続部説明図であり、試料ホルダにより気密に接続される接続部の構造を表している。なお、図６（ａ）は試料を搭載した試料ホルダの断面を、図６（ｂ）のは接続された２個の検出器の接続部近傍の断面構造を、図６（ｃ）は試料ホルダが挿入された接続部近傍の断面を表している。
【００５６】
図６（ａ）を参照して、試料３２を後端側（紙面下方）に向けて、固定板３１を基台２１の窪み２３に挿入し、前端側からバネ溝２７に嵌め込まれた環状のバネ２４ａにより抑えて固定する。リード線３５をリード溝２５（図４（ａ）及び（ｃ）に示すリード溝２５）に埋め込み、その先端を固定板３１の前端側に接続する。なお、平坦面２４直下では、リード線はトンネル状の連通孔の中を通し、連通孔の出口又は入り口を接着剤で密封されている。さらに、基台２１後端面に設けられたＯリング用アリ溝２６内にＯリングが挿入される。
【００５７】
図６（ｂ）を参照して、後方の検知器５０の前端のフランジ２ｄと前方の検知器５０の後端のフランジ２ｃとを、ねじ締めにより固定する。このとき、前方のフランジ２ｄに設けられたアリ溝状のＯリング溝２ｃ−３には、予めＯリングが挿入されている。このとき、ホルダ挿入部２ｆは、両フランジ２ｃ、２ｄの間に、上方（紙面右方向）に開口するように配置される。
【００５８】
図６（ｃ）を参照して、ホルダ挿入部２ｆ（図６（ｂ）に示すホルダ挿入部２ｆ）に、試料ホルダ２０の後端面をフランジ２ｄの前端面に擦動させて試料ホルダ２０を挿入する。試料ホルダ２０はストッパ２ｅに当接して挿入方向（上下方向）の位置決めがなされる。なお、左右の位置はホルダ挿入部２ｆのアリ溝により位置決めされる。このとき、上述したように試料ホルダ２０の前端面では、フランジ２ｃの後端面に形成されたＯリング溝２ｃ−３に保持されたＯリング２８（図６（ｂ）に示すＯリング２８）が試料ホルダ２０前端面の平坦部２４に密接して外気との気密が保持される。また、試料ホルダ２０の後端面では、試料ホルダ２０の後端面に形成されたＯリング用アリ溝２６内に保持されたＯリング２６ａがフランジ２ｄの前端面に密接することで外気との気密が保持される。
【００５９】
また、接続された前後の検出器５０の容器２の内部間の気密は、固定板３１に開設された貫通孔３４を試料３２が閉塞することでなされる。なお、試料３２に代えてＸ線透過材料により貫通孔３４を密閉してもよい。このように、前後の検出器５０内を気密に分離することで、各検出器５０内にそれぞれ異なる気体を流すことができる。なお必要ならば、貫通孔３４を密閉することなく、前後の検出器５０を導通した状態で使用することもできる。
【００６０】
上述した本発明の第１実施形態では、電荷収集用電極１６とＸ線強度測定用電極１５ａ、１５ｂとを有し、何れかを選択して用いた。これに対して、変形例として、電荷収集用電極１６又はＸ線強度測定用電極１５ａ、１５ｂを備えたＸ線吸収分析用検出器とすることもできる。
【００６１】
この変形例の検出器は、第１実施形態と同様に、接続部３（図７に示す３−１〜３−３）により複数個の検出器を接続できるけれども、電荷収量法による測定又は入射Ｘ線の強度の測定の何れか一方のみを行うことができる点で第１実施形態の検出器と異なる。この検出器では複数検出器を接続後に測定方法の変更が難しいという難点はあるが、測定方法が予め定まった用途ではより簡単な構造の検出器を用いることができるという利点がある。
【００６２】
本発明の第２実施形態は、電子収量法と透過法とによる測定を同時に行なうＸ線吸収微細構造分析装置に関する。
【００６３】
図７は本発明の第２実施形態Ｘ線吸収微細構造分析装置の検出器部断面図であり、３個の検出器を接続して構成した検出器部の構造の概略を表している。
【００６４】
図７を参照して、第２実施形態の装置の検出部５５は、３個の検出器５１、５０−２、５０−３を前後に接続して構成される。最前端（Ｘ線１の入射方向）に位置する検出器５１は、第１実施形態の変形例として説明した検出器５１であり、Ｘ線強度測定用電極１５ａ、１５ｂを有し、電荷収集用電極１６ａを備えていない。
【００６５】
検出器５１のＸ線強度測定用電極１５ａには電鍵１０から負電圧が印加され、Ｘ線強度測定用電極１５ｂは電流検出器１４を介して接地される。この検出器５１は比例計数管又はガイガー計数管として動作し、Ｘ線強度は電流検出器１４により電流のパルス数として測定される。
【００６６】
最前端に位置する検出器５１の接続部３−１には、その前端に他の検出器は接続されない。一方、接続部３−１には試料ホルダ２０−１が挿入される。この試料ホルダ２０−１の窪み２３（図６（ａ）に示す窪み２３）には、Ｘ線透過材料３７、例えばカプトンまたはベリリウム箔により貫通孔３４を閉塞した固定板３１が嵌挿される。その結果、試料ホルダ２０−１の開口２２及び貫通孔３４はそれぞれ固定板３１及びＸ線透過材料３７で気密に塞がれる。また、貫通孔３４は、Ｘ線を透過する窓を構成する。さらに、接続部３−１を構成するフランジ２ｆに開口する開口２ｄ−１は、試料ホルダ２０−１により気密に塞がれる。
【００６７】
中央に配置される検出器５０−２は、上述した第１実施形態の検出器５０と同じ構成である。この検出器５０−２は電荷収集法を用いた検出器として動作し、最後尾に配置される検出器５０−３は試料３２を透過したＸ線１強度を測定するＸ線強度測定用検出器として動作する。かかる動作をさせるために、検出器５０−２では、スイッチ１１−２をＯＦＦにし、スイッチ１３−２をＯＮにして、Ｘ線強度測定用電極１５ａに電圧を印加せず、電荷収集用電極１６ａに電圧を印加する。
【００６８】
検出器５０−２の前端の接続部３−２には、試料３２、例えばＣｕ箔により貫通孔３４を閉塞された固定板３１が嵌挿された試料ホルダ２０−２が挿入される。これにより、前後の検出器５１、５０−２間が気密に分離され、さらに外気と検知器５１、５０−２内部との間の気密が保持される。
【００６９】
また、検出器５０−２の前端の接続部３−２に挿入された試料ホルダー２０−２には、試料３２に接続するリード線３５がリード線溝２５（図４（ａ）及び（ｃ）に示すリード線溝２５）に埋め込まれて試料ホルダー２０−２上端から引き出される。このリード線３５は電流計測器１９、例えば電流パルス計数器を介して接地され、試料３２に流れる電流を測定することができる。
【００７０】
最後尾に配置される検出器５０−３は、検出器５０−２と同じく第１実施形態の検出器５０と同じ構成である。この検出器５０−３は、例えばガイガー計数管として動作し、試料３２を透過したＸ線１強度を測定するＸ線強度測定器として動作する。そのため、検出器５０−３では、スイッチ１１−３をＯＮにし、スイッチ１３−３をＯＦＦにして、Ｘ線強度測定用電極１５ａに電圧を印加し、電荷収集用電極１６ａには電圧を印加しない。
【００７１】
検出器５０−３の前端の接続部３−３には、Ｘ線透過材料３７により貫通孔３４を閉塞された固定板３１を嵌挿する試料ホルダ２０−２が挿入される。これにより、前後の検出器５０−２、５０−３間が気密に分離され、さらに外気と検知器５０−２、５０−３内部との間の気密が保持される。
【００７２】
なお、図７では、検出器５０−３の前端の接続部３−３に挿入された試料ホルダー２０−３には、リード線３５が試料ホルダー２０−３上端から引き出されているが、このリード線３５の電流を測定する必要はないので、リード線３５を除去しても差し支えない。このとき、試料ホルダ２０−２の平坦部２４直下のリード線溝２５（連通孔となっている。）を接着剤により封止する。
【００７３】
この最後尾に配置される検出器５０−３の後端には、後端のフランジ２ｃ（図１に示すフランジ２ｃ）に検出器５０−３の後端を気密に封止する板３６を取り付ける。板３６には、Ｘ線１が貫通するＸ線透過材料３７で封じた窓が設けられ、検知器５０−３に入射したＸ線１はこのＸ線透過材料３７で封じた窓を透過して外部に出射される。
【００７４】
次に、かかる構造を有する検出器部５５の動作を簡単に説明する。検出器部５５の前端（検出器５１の前端）の貫通孔３４に入射するＸ線１は、試料ホルダ２０−１に保持されるＸ線透過材料３７を透過して検知器５１に入射する。この入射Ｘ線１は、検知器５１を透過する際にその強度が測定され、試料ホルダ２０−２に保持される試料３２を照射し試料３２を透過する。
【００７５】
照射された試料３２の裏面（後端側の面）からオージェ電子が放出され、この電子により気体が電離されて生成したイオンの電荷は検出器５０−２の電子収集用電極１６に吸収され、結果としてリード線３５に流れる電流として電流計測器１９により測定される。
【００７６】
試料３２を透過したＸ線１は、電子収集用電極１６に開設された小孔１６ａを貫通して検出器５０−２の内部を進行し、試料ホルダ２０−３に保持されるＸ線透過材料３７を貫通して検出器５０−３内に侵入する。
【００７７】
検出器５０−３内に侵入したＸ線は、検出器５０−３によりそのＸ線強度が測定され、後端の板３６に設けられた窓（Ｘ線透過材料３７）を通して外部に出射する。
【００７８】
本検出器部５５では、検出器５１及び検出器５０−３により試料３２透過前後のＸ線強度が測定される。その測定結果に基づき透過法による試料３２のＸ線吸収スペクトルを測定することができる。これと同時に、検出器５０−３により電子収量法によるＸ線吸収スペクトルが測定される。従って、透過法と電子収量法の両方によるＸ線吸収スペクトルの測定を同時に一回の測定で行なうことができる。
【００７９】
本第２の実施形態において、Ｘ線強度を測定する検出器５１，５０−３には、試料３２の吸収端近傍の波長を有するＸ線１で容易に電離する原子量の大きな気体、例えば窒素、アルゴン若しくはクリプトン又はこれらの２若しくは３種の混合気体を流入することが、感度の観点から好ましい。一方、電子収量法による測定を行なう検出器５０−２には、オージェ電子により容易に電離する原子量の小さな気体、例えばＨｅを流入することが望ましい。これにより入射Ｘ線及び蛍光Ｘ線に起因するバックグランドが減少して感度が向上するとともに、検出器５０−２内でのＸ線１の減衰を小さくして透過法の精度を向上することができる。
【００８０】
図８は本発明の本発明の第２実施形態Ｘ線吸収微細構造分析装置斜視図であり、分析装置の配置を表している。
【００８１】
図８を参照して、Ｘ線源４１から出射されたＸ線は、２枚のスリット４２を通して断面矩形のビームに整形され、モノクロメータ４３に入射する。モノクロメータ４３は、２軸回転テーブル４４の中心回転軸上に載置される。回転テーブル４４の外側回転台にアーム４５が固定され、このアーム４５上に設置したテーブル４６の上に検出器部５５が載置される。モノクロメータ４３から出射したＸ線は検出器部５５に入射する。
【００８２】
テーブル４６は、アーム４５の上方（ｚ軸方向）及びアーム４５延長方向に直角水平方向（ｘ軸方向）に移動し、かつ、ｚ軸周りの回転（θ回転）及びｘ−ｚ面内の回転が可能にされている。これにより、検出器部５５はの水平及び垂直方向の調整、ｘ−ｚ面内の位置（即ち試料位置）の調整がなされる。
【００８３】
図９は本発明の第３〜第５実施形態Ｘ線吸収微細構造分析装置の検出器部断面図であり、検出器部を構成する検出器の種類と、試料ホルダの貫通孔を閉塞する材料との関係を表している。
【００８４】
なお、図９中、検出器６１は、Ｘ線強度測定用電極１５ａ、１５ｂに電圧を印加してＸ線強度を測定する検出器、及び、検出器６０は、電子収集用電極１６に電圧を印加して電子収量法による測定を行なう検出器を表している。また、図９中、試料ホルダ２０ＡはＸ線透過材料３７により貫通孔３４が閉塞された試料ホルダ２０、試料ホルダ２０Ｂは試料３２により貫通孔３４が閉塞された試料ホルダ２０、及び、試料ホルダ２０Ｃは貫通孔３４が閉塞されていない試料ホルダ２０を表している。
【００８５】
本発明の第３実施形態は、図９（ａ）を参照して、３個のＸ線強度測定用の検出器６１を直列に接続する。２個の試料３２が、第２番目と第３番目の検出器６１の前端の接続部に挿入された２個の試料ホルダ２０Ｂに保持される。この構成では、試料３２を保持する試料ホルダ２０の前後にＸ線強度を測定する検出器６１が配置されるので、各試料３２の前後のＸ線強度を測定することができる。このため、試料３２毎の吸収スペクトルが同時に測定される。なお、試料３２は同種又は異種を問わない。
【００８６】
本発明の第４実施形態の検出器部５５は、図９（ｂ）を参照して、５個の検出器６１、６０を、Ｘ線強度測定用検出器６１と電子収量法用検出器６０とが交互に配置されるように接続されている。最先端の検出器６１、３番目の検出器６１及び５番目の検出器６１の前端に挿入された試料ホルダ２０Ａ及び５番目（最後尾）の検出器６１の後端には、Ｘ線透過材料３７により塞がれたＸ線を透過する窓が設けられる。一方、２番目及び５番目の検出器６０の前端には試料３２を保持する試料ホルダ２０Ｂが挿入される。
【００８７】
この第４実施形態の検出器部５５では、試料３２を保持する試料ホルダ２０Ｂの直後に電子収量用電極１６を設けた検出器６０が配置される。従って、各試料の直後に配置された２個の検出器６０により、２個の試料３２の吸収スペクトルを電子収量法を用いて同時に測定することができる。
【００８８】
さらに、試料３２を保持する各試料ホルダ２０Ｂを有する検出器６０の前後に、Ｘ線強度測定用の検出器６１が配置される。従って、各試料３２を透過する前後のＸ線１強度を測定することができる。これにより、各試料毎のＸ線吸収スペクトルを透過法により測定することができる。
【００８９】
このように、第４実施形態の検出器部５５によれば、２個の試料のＸ線吸収スペクトルを、１回の測定により、透過法及び電子収量法を用いて各試料毎に測定することができる。
【００９０】
本発明の第５実施形態の検出器部５５は、図９（ｃ）を参照して、第４実施形態の検出器５５の最後尾の検出器６１を、直列に接続する２個の検出器６１に代えたものである。      
【００９１】
この最後尾に位置するＸ線検出用の２個の検出器６１は、その間の接続部３に挿入される試料ホルダ２０Ｃは、固定板３１が挿入されない又は固定板３１の貫通孔３４が塞がれていない。従って、最後尾の２個の検出器６１は連通している。
【００９２】
本第５実施形態の検出器部５５では、２個の検出器６１は連通されていてその間のＸ線の吸収が小さく、かつ、入射するＸ線を２個の検出器６１で検出するので、高い測定精度が実現される。
【００９３】
上述した第２〜第５実施形態の検出器部５５を一体の検出器として構成することもできる。即ち、一体の検出器容器を、分離部によりＸ線通過軸に沿って複数区画に分離する。本発明の第６実施形態の検出器は、図９を参照して、接続する複数の検出器６０、６１の容器の外壁を容器とし、接合部（試料ホルダ２０Ａ〜２０Ｃの位置）を容器を分離する分離部に代えたものである。
【００９４】
分離部には、第２〜第５実施形態の試料ホルダ２０Ａ〜２０Ｃと同様の試料ホルダとその挿入部が形成されており、分離部の両側の検知器間を気密に分離することができる。また、分離部は、検知器容器内と外部との気密が試料ホルダの挿入により保持される。
【００９５】
この検知器の各区画は、第１実施形態の検知器と同様にＸ線強度測定と電子収量法による測定の両方の機能の何れかの機能を選択することができる。従って、何れかの機能を適宜選択して使用することで、図７又は図９に示す検出器部を、単に電極に印加するスイッチの切換のみの操作で容易に構築することができる。従って、多様な測定を簡単に行なうことができる。
【００９６】
上述した本明細書には以下の付記に記載された発明が開示されている。
（付記１）放射線照射による気体の電離を利用したＸ線吸収分析用検出器であって、
前記検出器の容器の前端に設けられ、他の前記検出器を前記容器内部と外気との間の気密を保持して接続する接続部と、
前記接続部に設けられ、試料又はＸ線透過材料により気密に閉塞可能な貫通孔と、
前記貫通孔を貫通して入射され、前記容器内を通過するＸ線により前記容器内に生成された電荷を収集するＸ線強度測定用電極とを有することを特徴とするＸ線吸収分析用検出器。
（付記２）前記Ｘ線強度測定用電極は、入射Ｘ線に平行に配置された平行平板状の電極対からなることを特徴とする付記１記載のＸ線吸収分析用検出器。
（付記３）前記容器内に前記貫通孔に近接して配設され、前記Ｘ線を貫通させる小孔を有する、前記試料から放出される電子により生成された電荷を収集するための電荷収集用電極と、
前記試料に流れる電流を測定するための電流検出部とを有することを特徴とする付記１又は２記載のＸ線吸収分析用検出器。
（付記４）前記電荷収集用電極は、前記Ｘ線強度測定用電極より前端に近い位置に配置されることを特徴とする付記３記載のＸ線吸収分析用検出器。
（付記５）放射線照射による気体の電離を利用したＸ線吸収分析用検出器であって、
前記検出器の容器の前端に設けられ、他の前記検出器を前記容器内部と外気との間の気密を保持して接続する接続部と、
前記接続部に設けられ、試料又はＸ線透過材料により気密に閉塞可能な貫通孔と、
前記容器内に前記貫通孔に近接して配設され、前記Ｘ線を貫通させる小孔を有する、前記試料から放出される電子により生成された電荷を収集するための電荷収集用電極と、
前記試料に流れる電流を測定する電流検出部とを有することを特徴とするＸ線吸収分析用検出器。
（付記６）前記電荷収集用電極は、前記Ｘ線の進行方向に垂直な板状電極からなることを特徴とする付記３、４又は５記載のＸ線吸収分析用検出器。
（付記７）試料又はＸ線透過材料により気密に閉塞可能な貫通孔を有するスリット状試料ホルダと、
前記接続部に設けられ、前記試料ホルダの挿入後に前記検出器内部と外気との気密が保持されるように挿入可能なホルダ挿入部とを有することを特徴とする付記１〜６の何れかに記載のＸ線吸収分析用検出器。
（付記８）試料により前記貫通孔が閉塞された第１の前記検出器と、
前記第１の検出器の後方に接続され、Ｘ線透過材料により前記貫通孔が閉塞された第２の前記検出器とを有し、
前記第１の検出器は、前記電荷収集用電極に動作電圧が印加され、前記Ｘ線強度測定用電極には動作電圧が印加されず、かつ電流検出部が動作されて電子収量法による測定を行い、
前記第２の検出器は、前記電荷収集用電極には動作電圧が印加されず、前記Ｘ線強度測定用電極に動作電圧が印加されて、Ｘ線強度の測定を行なうことを特徴とする付記３又は４記載のＸ線吸収分析用検出器を用いたＸ線吸収微細構造分析装置。
（付記９）付記１〜７の何れかに記載のＸ線吸収分析用検出器が前後に複数個接続され、
各前記検出器をＸ線強度測定用又は電子収量法による測定用の何れかに使用することを特徴とするＸ線吸収微細構造分析装置。
（付記１０）前記検出器内に流す気体を、Ｘ線強度測定用又は電子収量法による測定用の別により異なるものとすることを特徴とする付記８又は９記載のＸ線吸収微細構造分析装置。
（付記１１）前記気体は、Ｘ線強度測定時には窒素、アルゴン及びクリプトン中から選択された１つの気体又は２以上の混合気体であり、電子収量法による測定時にはヘリウムであることを特徴とする付記１０記載のＸ線吸収微細構造分析装置。
（付記１２）検出器容器をＸ線通過軸に沿って複数区画に分離する分離部と、
前記分離部の前記Ｘ線が透過する位置に設けられ、試料又はＸ線透過材料により気密に閉塞可能な貫通孔と、
前記区画内に設けられ、前記区画内を通過するＸ線により前記区画内に生成された電荷を収集するＸ線強度測定用電極と、
前記区画内に設けられ、前記Ｘ線を貫通させる小孔を有する、前記試料から放出される電子により生成された電荷を収集するための電荷収集用電極と、
前記試料に流れる電流を測定するための電流検出部とを有することを特徴とするＸ線吸収分析用検出器。
【産業上の利用可能性】
【００９７】
本発明は、試料のＸ線吸収スペクトルを測定し解析する分析装置に用いることで、測定時間を短縮することができるので、材料開発に大いに貢献することができる。
【図面の簡単な説明】
【００９８】
【図１】本発明の第１実施形態検出器断面図
【図２】本発明の第１実施形態検出器斜視図
【図３】本発明の第１実施形態検出器後端部斜視図
【図４】本発明の第１実施形態試料ホルダ構造説明図
【図５】本発明の第１実施形態試料保持方法説明図
【図６】本発明の第１実施形態接続部説明図
【図７】本発明の第２実施形態Ｘ線吸収微細構造分析装置の検出器部断面図
【図８】本発明の第２実施形態Ｘ線吸収微細構造分析装置斜視図
【図９】本発明の第３〜第６実施形態Ｘ線吸収微細構造分析装置の検出器部断面図
【図１０】Ｘ線吸収スペクトルを表す図
【図１１】従来の電子収量法測定装置断面図
【図１２】従来のＸ線複合分析装置概念図
【図１３】従来のＸ線検出器断面図
【符号の説明】
【００９９】
１  Ｘ線
２  容器
２ａ  胴筒
２ｃ、２ｄ  フランジ
２ｃ−１、２ｄ−１  開口
２ｃ−３  Ｏリング溝
２ｅ  ストッパ
２ｆ  ホルダ挿入部
２ｇ  絶縁層
２Ｆ  前端
２Ｒ  後端
３  接続部
１０，１２  電源
１１、１３  スイッチ
１４、１９  電流計測器
１５ａ、１５ｂ  Ｘ線強度測定用電極
１６  電荷収集用電極
１６ａ  小孔
１７  気体導入口
１８  排気口
２０、２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ  試料ホルダ
２０ａ  下端
２１  基台
２１ａ  斜面
２２  開口
２３  窪み
２４  平坦部
２５  リード線溝
２６  Ｏリング用アリ溝
２６ａ、２８  Ｏリング
２７  バネ溝
３１  固定板
３１ａ  絶縁膜
３２  試料
３３  導電体
３４  貫通孔
３５  リード線
３６  最後端フランジ
３７  Ｘ線透過材料
４０  Ｘ線吸収微細構造分析装置
４１  Ｘ線源
４２  スリット
４３  モノクロメータ
４４  回転テーブル
４５  アーム
４６  テーブル
５０、５０−２、５０−３、５１、６０、６１  検出器
５５  検出器部
１０１  Ｘ線
１０１ａ  入射Ｘ線
１０１ｂ  透過Ｘ線
１２０  チャンバ
１２０ａ  絶縁層
１２１  試料ホルダ
１２２  試料
１２３  導電線
１２４  窓
１２５  電荷収集用電極
１２６ａ  気体導入口
１２６ｂ  排気口
１２７  電流計測器
１２８  電源
１３０、１３１  Ｘ線検出器
１３２  試料
１３３  試料ホルダ
１３４  スリット
１３５  蛍光Ｘ線
【図１】
2008241313.tif 000003
【図２】
2008241313.tif 000004
【図３】
2008241313.tif 000005
【図４】
2008241313.tif 000006
【図５】
2008241313.tif 000007
【図６】
2008241313.tif 000008
【図７】
2008241313.tif 000009
【図８】
2008241313.tif 000010
【図９】
2008241313.tif 000011
【図１０】
2008241313.tif 000012
【図１１】
2008241313.tif 000013
【図１２】
2008241313.tif 000014
【図１３】
2008241313.tif 000015