(57)【要約】【課題】エラーがなく、正確に測定でき、高速走査に耐えられる座標測定システムを提供する。【解決手段】  回転軸（６５）を中心にロータ（１００）が回転することで、接触プローブ（１５）の半径アーム（１４９）先端に針（１２３）を介して取り付けた接触ボール（１２０）が移動する座標測定システムについて、回転軸（６５）のスライド移動とロータ（１００）の回転の組み合わせから生じる経路に沿って、測定対象部品の測定地点の座標を接触ボール（１２０）の接触で測定するに際し、測定対象地点の接触ボール（１２０）の位置が、ロータ（１００）の回転軸（６５）に対して距離（ｒ）だけオフセットしている。【選択図】図２
2008241714.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基準面に対して可動性の可動軸、回転できるように可動軸に接続されたロータ、回転軸を中心にロータを回転駆動する駆動装置とを含んだ座標位置決定機と、
軸のスライド移動とロータの回転の組み合わせから生じる経路に沿って測定対象部品の測定地点の座標を測定するための、ロータに取り外し可能な形で接続された座標プローブとを含むシステムであって、
測定地点が、ロータの回転軸に対してオフセット位置に置かれていることを特徴とする、座標測定システム。
【請求項２】
座標プローブが、ロータに取り外し可能な形で接続され、接続位置が回転軸に対してオフセット位置に置かれている、請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
さらに、測定地点とロータの回転軸の間のオフセットを変更するための駆動手段を具備している、請求項１に記載のシステム。
【請求項４】
座標プローブが、非接触光学プローブまたは扇形のレーザー・プローブである、請求項１に記載のシステム。
【請求項５】
駆動装置が、複数の旋回軌道に対してロータを一定で回転駆動することができる、請求項１に記載のシステム。
【請求項６】
座標プローブが、剛性アームで連結された一連の回転接合部を具備する、請求項１に記載のシステム。
【請求項７】
各回転接合部が、一つの接合回転軸または複数の接合回転軸と、接合回転軸を回転駆動するための一つまたは複数の駆動装置を含んでいる、請求項６に記載のシステム。
【請求項８】
各回転接合部が、接合回転軸の回転角度を読む込むためのエンコード手段を具備している、請求項７に記載のシステム。
【請求項９】
座標測定システムによって部品の表面を走査する方法であり、該座標測定システムが、
基準面に対して可動性の可動軸と、可動軸に回転可能な形で接続されたロータ、そして回転軸を中心にロータを回転駆動するための駆動装置と、
軸のスライド移動とロータの回転の組み合わせから生じる測定経路に沿って、部品の測定地点の座標を測定するために、ロータに取り外し可能な形で接続された座標プローブとを具備し、
測定地点が、ロータの回転軸に対してオフセット位置にある座標測定システムによる座標測定方法であって、
該座標測定方法が、
軸経路に沿って可動軸を操作する過程、
所定の各速度でロータを回転駆動する駆動装置を操作する過程、
所定の時間間隔で、ａ）経路に沿った軸の位置、ｂ）ロータの回転角度、ｃ）座標プローブの出力、を測定する過程を有し、
測定した前記ａ）、ｂ）、ｃ）の出力から、測定経路に沿って、部品表面における測定地点の座標を判定する過程、を含んだ座標測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、座標測定システム及び座標測定方法に関し、詳細には、位置の決定と測定用の多軸システムに係る座標測定システム及び座標測定方法に関する。
本発明に係る実施態様は、座標測定機と、該座標測定機の使用方法に幅広く関する。
【背景技術】
【０００２】
寸法を測定するための装置は、適切な測定プローブによって、機械部品要素の表面にある測定地点の座標を測定するために用いられる。
測定プローブは、例えばタッチ・プローブのような接触タイプ、あるいは、光学プローブまたはレーザー・プローブのような非接触タイプに分けられる。
座標位置決定機は、座標測定機、すなわちＣＭＭとも指示されるものであり、一般的には、例えば、高い剛性と寸法の安定性で選ばれた重厚な花崗岩のテーブルのような固定された面による固定基準面と、該固定基準面に対して可動性であり、測定プローブを動かす動的システムとを具備している。
しかし、座標測定機の中には、基準面が可動であり、測定プローブが固定されている例も知られている。
【０００３】
図１は、既知のタイプのＣＭＭを非常に簡略化して示している。
動的システムは、例えば、可動式のガントリー構造４０の形をしており、該ガントリー構造４０はブリッジとも呼ばれるものであり、基準テーブル３０の一面（Ｘ軸）に平行に移動することができる。
ガントリー構造４０の水平軸は、スライド式のキャリッジ５０を動かし、該キャリッジ５０はＸ軸に直角な水平方向（Ｙ軸）に沿って動く。
第三の移動軸（Ｚ軸）は、垂直支軸６０によって与えられ、該垂直支軸６０は、キャリッジ５０に対して上下に移動する。
測定プローブは、垂直支軸６０の端部に接続され、そして、ここで説明したＸ、ＹおよびＺの動きによって、三次元の被測定体の中で自由に移動することができる。
【０００４】
測定プローブは、接触プローブであることが多く、キャリブレートされたルビーボールである接触ボール１２０を支える、スプリングの入った針を有している。
プローブが測定すべき測定対象部品２００の表面に触れると、軸にある適切なエンコーダによって得られたＸ、Ｙ、Ｚの座標が、ＣＭＭコントローラに同時に送信され、該ＣＭＭコントローラが既知の計算方法によって、接触点の座標を正確に判定する。
よりシンプルな測定プローブは、タッチ・トリガー・プローブであり、該プローブは、例えば欧州特許出願公開第１６１００８７号明細書に記載されているように、時間における接触した瞬間を判定する。
【０００５】
その他のプローブは、例えばＬＶＤＴまたは歪みゲージ・センサによって針の偏向の大きさを判定し、この偏向をコントローラに伝送して、座標の計算に統合することができる。
このようなプローブは、走査プローブと呼ばれる。
なぜなら、該走査プローブは、プローブが測定される部品と連続的に接触する走査測定に特に適しているからである。
また、単純なタッチ・プローブが連続走査モードで用いられる場合、つまり、測定対象部品２００の表面における多くの閉じたスペースの地点に接触するように上下運動する場合もあり（タッピング）、該地点のＸＹＺ座標はＣＭＭのコントローラによって記録される。
【０００６】
ＣＭＭで使用することのできる光学プローブのクラスは、マイクロ・イメージング・デジタル・システムであり、該システムは、機械式測定プローブのように可動であり、材料に接触する代わりに、座標を測定すべき地点に照準を合わせることで、３次元の座標測定を可能にしている。
【０００７】
座標を検出するレーザー・プローブも同様に用いることができ、該レーザー・プローブは、被測定物の表面における地点が走査レーザー光線によって照射されるので、該地点の座標を判定することができる。
また、この光学測定プローブのクラスでは、扇形の光線の形にレーザーを開くことで、レーザーの線が部品に沿って移動している間に、レーザーの線に沿って大量の地点を得られるようにすることも知られている。
【０００８】
イメージング・プローブとレーザー・プローブは，両方とも非接触プローブのカテゴリに属している。
つまり、該非接触プローブは物理的に接触することなく、測定を行う表面地点の座標を与えることができるのである。
【０００９】
既知の座標測定機のうち、もう一つの種類は、上述したガントリー構造から外れており、多関節アームの動的システムが対象である。
このような測定機は、とりわけ国際公開第２００５／０７１３５１号パンフレット（欧州特許第１７１８９２４号明細書）に示されており、直線軸Ｘ、Ｙ、Ｚの代わりに多関節アームを具備しており、該アームは一連の回転接合部を含み、該接合部は、一方の端部では固定されており、他方の端部では、光学または機械式の座標プローブを支えている。
アームの関節によって、３次元の被測定体における測定プローブの自由な移動が可能となっている。
【特許文献１】欧州特許出願公開第１６１００８７号明細書
【特許文献２】国際公開第２００５／０７１３５１号パンフレット
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
先行技術の座標測定システムには、座標の精度を犠牲にせずに達成することのできる最大走査速度に限界がある。
特に、高速走査では、早い上下運動における質量によって生成される振動が測定エラーの原因となっている。
【００１１】
既知の座標測定システムのもう一つの限界は、複雑な部品を測定するためには、さまざまな寸法とサイズを有するプローブを幅広く選択する必要があることである。
頻繁にプローブを変えるために測定が遅くなり、システムの効率が下がる。
また、長く重厚なプローブでは測定エラーが増え、高速走査には耐えられない。
【００１２】
したがって、部品表面において多くの座標地点を高速で得ることができ、振動とエラーの少ない座標測定システムが必要である。
また、複雑な表面に適応できる測定プローブも必要である。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明によると、これらの課題は、次の構成によって達成される。
第１に、
基準面に対して可動性の可動軸、回転できるように可動軸に接続されたロータ、回転軸を中心にロータを回転駆動する駆動装置とを含んだ座標位置決定機と、
軸のスライド移動とロータの回転の組み合わせから生じる経路に沿って測定対象部品の測定地点の座標を測定するための、ロータに取り外し可能な形で接続された座標プローブとを含むシステムであって、
測定地点が、ロータの回転軸に対してオフセット位置に置かれていることを特徴とする、座標測定システム。
第２に、
座標プローブが、ロータに取り外し可能な形で接続され、接続位置が回転軸に対してオフセット位置に置かれている、前記第１に記載のシステム。
第３に、
さらに、測定地点とロータの回転軸の間のオフセットを変更するための駆動手段を具備している、前記第１に記載のシステム。
第４に、
座標プローブが、例えばレーザー走査プローブまたは多光線レーザー・プローブのような非接触光学プローブ、あるいは扇形のレーザー・プローブである、前記第１に記載のシステム。
第５に、
駆動装置が、複数の旋回軌道に対してロータを一定で回転駆動することができる、前記第１に記載のシステム。
第６に、
座標プローブが、剛性アームで連結された一連の回転接合部を具備する、前記第１に記載のシステム。
第７に、
各回転接合部が、一つの接合回転軸または複数の接合回転軸と、接合回転軸を回転駆動するための一つまたは複数の駆動装置を含んでいる、前記第６に記載のシステム。
第８に、
各回転接合部が、接合回転軸の回転角度を読む込むためのエンコード手段を具備している、前記第７に記載のシステム。
第９に、
座標測定システムによって部品の表面を走査する方法であり、該座標測定システムが、
基準面に対して可動性の可動軸と、可動軸に回転可能な形で接続されたロータ、そして回転軸を中心にロータを回転駆動するための駆動装置と、
軸のスライド移動とロータの回転の組み合わせから生じる測定経路に沿って、部品の測定地点の座標を測定するために、ロータに取り外し可能な形で接続された座標プローブとを具備し、
測定地点が、ロータの回転軸に対してオフセット位置にある座標測定システムによる座標測定方法であって、
該座標測定方法が、
軸経路に沿って可動軸を操作する過程、
所定の各速度でロータを回転駆動する駆動装置を操作する過程、
所定の時間間隔で、ａ）経路に沿った軸の位置、ｂ）ロータの回転角度、ｃ）座標プローブの出力、を測定する過程を有し、
測定した前記ａ）、ｂ）、ｃ）の出力から、測定経路に沿って、部品表面における測定地点の座標を判定する過程、を含んだ座標測定方法。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明は、実施例として示され、図面によって表される実施態様の説明によってよりよく理解される。
図１は、既知のタイプの一般的なＣＭＭの簡略図である。
図２は、本発明の一つの特徴によるＣＭＭの軸および測定プローブを示す図である。
図３は、本発明に係る軸およびプローブの可能な変形例を示す図である。
図４は、本発明によるＣＭＭのプローブのもう一つの変形例を示す図である。
図５および図６は、ＣＭＭが非接触プローブを備えている、本発明の変形例を示す図である。
図７ａ〜図７ｅは、本発明のもう一つの特徴による、表面走査の操作における可能な測定経路を説明する図である。
図８および図９は、本発明のもう一つの特徴による、多関節接合部を備えたプローブを概略的に示す図である。
【００１５】
図２における符号１５０は、座標プローブとしての接触プローブを示しており、該接触プローブ１５０は、針１２３の先端にあるキャリブレートした接触ボール１２０を移動させる。
接触ボール１２０は、ロータ１００に対して距離ｒだけオフセットした位置に取り付けられている。
該ロータ１００は、ＣＭＭの垂直支軸６０に接続されている。
該ロータ１００は、ＣＭＭのＺ軸に平行な軸である回転軸６５を中心として、例えば電気モータ５００のような軸における適切な駆動装置によって回転させることができる。
該ロータ１００の回転角度は、図示していない光学式の角変換器またはその他のあらゆる適切なエンコーダによってエンコードされる。
【００１６】
以下では、座標位置決定機における軸の慣習的な方向付けにならい、「Ｚ」軸の方向は垂直方向として指示し、「Ｘ」軸および「Ｙ」軸によって決定される平面は水平面として指示することとする。
しかし、これらの慣習的な方向は簡便性のみを目的として用いるものであり、空間における総称的な方向付けを有する測定機およびプローブによって実施することのできる本発明の範囲を限定するものではない。
【００１７】
前記ロータ１００は、ＣＭＭの垂直支軸６０に常に接続されており、幅広いプローブの選択肢を許容する適切な接続手段を備えている。
単純な変形例では、接続手段は、図示しているように、単純なねじ穴１０６で構成することができる。
しかし、当該分野で知られているように、その他のタイプの接続手段も可能であり、該手段も本発明の範囲に含まれる。
【００１８】
好ましくは、駆動装置である電気モータ５００には、回転角度の制限がない。
該ロータ１００は、回転と方向の両方において、いくつもの旋回軌道を描くことができる。
【００１９】
接触プローブ１５０は、半径アーム１４９を含んでいることで、接触ボール１２０を回転軸６５から距離ｒだけオフセットする。
この特徴により、接触プローブ１５０は、回転軸６５に対する回転と、選択的にはＣＭＭのＸ、Ｙ、Ｚ軸の動きによって決定される、測定すべき部品の表面における経路を走査することができる。
【００２０】
本発明の変形例によると、接触プローブ１５０は、垂直方向における球体である接触ボール１２０の位置変化に敏感である。
したがって、例えば、図２のプローブを備えたＣＭＭは、走査経路に沿った表面の形状と表面の質を測定するようにプログラムすることができる。
【００２１】
図３は、本発明による接触プローブの変形例を示しており、該接触プローブは水平方向における接触点の移動の偏向に敏感になっている。
該接触プローブは、例えばスライダー１０６を具備しており、該スライダー１０６は，回転軸６５に直角な方向である水平方向にスライドできる。
接触プローブの基台１０３に対するスライダー１０６の位置は、例えば図示していないＬＶＤＴ変換器のような適切なエンコーダ、またはその他のあらゆる適切な変換器によって記録される。
接触ボール１２０と測定対象表面２０１の間における水平接触の力は、図示していないが、当該分野で知られているように、適切な付勢手段によって判定される。
図３のプローブは、スライダー１０６の移動範囲の中で、回転軸６５を中心とした回転半径「ｒ」が一定ではない走査経路にしたがって動くことができる。
【００２２】
本発明による接触プローブのさらなる変形例を図４に示している。
この実施態様によると、針１２３は中心が接触プローブに固定されており、垂直の回転軸６５に対して角度αだけ傾いている。
結果的に、測定地点は、回転軸６５に対して距離「ｒ」だけずれている。
好ましくは、針１２３の傾斜は、図示していない適切な駆動装置によってロータ１００の基台１０８に自由にセットすることができる。
しかし、簡略化した場合には、針１２３の傾斜角度αは、オペレータが手動で決定することができる。
【００２３】
傾斜角度αの値と針１２３の長さに働きかけることで、図４のプローブのオフセット半径「ｒ」は、例えば、図に示しているように円筒形の穴の測定対象部分２０６の内面を走査するように自由にセットすることができる。
【００２４】
上記実施態様の接触プローブは、好ましくは偏向に敏感なプローブであり、該プローブによって、望まれる各瞬間に、基準となるキャリブレーション位置に対する接触ボール１２０の偏向が伝えられる。
本発明は、例えば垂直軸に沿った移動に敏感なプローブのような単軸プローブの場合、ならびに、移動の三つの構成要素に敏感な多軸プローブの場合を含んでいる。
本発明のタッチ・プローブは、例えば、電気センサ、スイッチ・センサ、誘導センサ、歪みゲージ・センサ、磁気または光学の位置移動センサのような、あらゆる方法の位置移動センサを含むことができる。
【００２５】
簡略化した変形例によると、本発明のプローブは、接触球体である接触ボール１２０と測定対象の表面との間の接触に関するオン／オフの信号のみを供給する。
【００２６】
図５は、例えばレーザー・プローブを含んでいる、非接触測定ヘッドとして座標プローブ１９０を備えたプローブの変形例を示しており、該プローブによって、光線１９５に沿ってとられた、プローブ・ヘッドと、測定すべき表面に照射された測定対象地点１９９の間の距離がもたらされる。
前述したように、測定ヘッドである接触プローブ１５０は、ＣＭＭのロータ１００に接続され、該ロータ１００は選択的に、例えば垂直の座標軸「Ｚ」と連動した回転軸６５を中心に回転駆動することができる。
測定対象地点１９９は、半径アーム１４９によって、回転軸６５に対してオフセット位置におかれている。
本発明の図示していない変形例によると、同様のオフセット位置は、図４に類似した仕方で、中央のレーザー・プローブを一定角度傾斜させることで得られる。
図６は、多光線レーザー・プローブ、すなわち扇形の光学プローブを含んだ本発明のもう一つの変形例を示しており、該プローブによって、測定対象部分２０６における照射される照射線３０９に沿った地点の座標に関する情報が与えられる。
図示していないさらなる変形例によると、多光線レーザー・プローブは、複数の平行な垂直のレーザー光線を含むことができ（レークプローブまたはクシ形のプローブ）、該光線は例えば回転軸６５からさまざまにずらされた位置に垂直に配置されている。
【００２７】
図７ａ〜図７ｅに示した本発明のもう一つの特徴によると、座標位置決定機である座標測定機はロータ１００を含んでおり、該ロータ１００は、回転可能な形でＣＭＭの垂直支軸６０に取り付けられ、例えば垂直の「Ｚ」軸のような、座標軸の一つに平行な回転軸６５に対して回転可能である。
ロータ１００は、測定プローブ、好ましくは交換可能な座標プローブ１９０によるモジュラーを動かすものであり、モジュラーは回転軸６５に対してオフセット位置にある地点の座標を測定するように配置されている。
測定の間、ロータ１００は継続的に回転駆動され、その間、機械の軸が所定の軸経路３７０にしたがってスライドするようになっていることで、座標プローブ１９０は、測定下にある表面の複数の測定地点３５０の座標に関する情報を供給する。
測定地点３５０は、垂直支軸６０の移動と、座標プローブ１９０が接続されたロータ１００の回転の組み合わせから生じる測定経路３１０の上にある。
【００２８】
特に、図７ａは、軸の均一な直線的移動と、ロータ１００の一定の均一な回転の組み合わせから生じる測定経路３１０の下面図である。
このような場合、測定経路はトロコイド曲線である。
図７ｂおよび図７ｃは、垂直支軸６０の不均一な移動の二つの場合に生じる測定経路３１０を示しており、該移動によって、測定経路３１０はトロコイドの形状から外れている。
【００２９】
図７ｄは、測定地点の回転半径が一定ではなく、走査が進むにつれて値ｒ１と値ｒ２の間で変化する場合を示している。
この変化は、座標プローブ１９０が測定地点と回転軸６５の間におけるオフセットをセットするための駆動装置を具備していることを前提とする。
これは、とりわけ、図３または図４に示したプローブ、または当該分野で知られているように、その他のあらゆる適切な駆動装置によって達成することができる。
図７ｅは、軸のロータ１００の角速度と垂直支軸６０の直線速度が一定ではなく、経路に沿って変動する場合を表しており、その間、測定地点３５０は一定の割合でサンプリングされる。
特に、座標プローブ１９０の回転速度およびスライド速度は、領域３９９で他よりも遅く、領域３９９は、走査面のその他の部分よりも細かくサンプリングされるという結果を伴う。
【００３０】
一般的な場合、測定経路は測定すべき表面の環境に応じて決定され、垂直支軸６０の均一な移動とロータ１００の均一な回転速度にしたがったトロコイド区画、並びに、測定経路が、さまざまな形状を有する区画を含むことになる。
一般的に、測定経路は、必要に応じて、軸の直線移動と曲線移動と、ロータ１００の均一または不均一な回転、そしてさまざまなプローブの半径「ｒ」のさまざまな組み合わせを含むことができる。
【００３１】
座標プローブ１９０は、図２および図３に示したものに類似した接触プローブまたは偏向に敏感なプローブ、図４に示した傾斜針のプローブ、図５にあるような単点タイプまたは図６にしたがった扇形プローブのような多点タイプまたは線形タイプのあらゆる種類の非接触プローブを含む、あらゆる既知の測定プローブを含むことができるが、これに限定されるものではない。
また、例えばマイクロ・イメージング・システムのようなその他の種類の光学プローブも同様に可能である。
好ましくは、ロータ１００は規格化されたアダプタを具備しており、該アダプタには、環境に応じて選択される、さまざまな寸法および特徴の接触プローブおよび非接触プローブを含んだモジュラー・プローブから選ばれるあらゆる要素を適合させることができる。
【００３２】
回転軸６５のスライドとロータ１００の連続回転の組み合わせによって、非常に少ない振動で速い走査速度が得られる。
必要であれば、偏心アームと座標プローブ１９０の質量は、さらに振動レベルを下げるために、ロータ１００における適切な釣り合わせるための重りによって平衡させることができる。
【００３３】
図８は、複数の接合部のある多関節プローブ６００と座標測定機に関する本発明のもう一つの特徴を表している。
【００３４】
図８に部分的に示した座標位置決定機である座標測定機は、可動軸としての垂直支軸６０を具備し、該垂直支軸６０は、少なくとも三つの独立した軸、例えば、当該分野で知られているように、三つの直角な座標軸ＸＹＺにしたがってスライドすることができる。
ロータ１００は、回転軸Ａ１、例えば座標軸「Ｚ」に平行な垂直回転軸を中心に回転できるように、回転可能な形で垂直支軸６０に接続されている。
ロータ１００を駆動するために用いられる回転手段は図２に関連して既に説明したものに類似しており、ここではこれ以上の説明はしないこととする。
【００３５】
多関節プローブ６００は、剛性要素１２５、剛性要素１２７で連結された一連の回転接合部１２４、回転接合部１２６、回転接合部１２８を具備している。
好ましくは、各接合部は二つの独立した直角の回転軸Ａを含み、該回転軸Ａは、例えば電気モータのような適切な駆動装置によって、ＣＭＭコントローラの制御下で回転するようにセットすることができる。
また、回転接合部の回転角度は、例えば光学エンコーダのような適切なエンコーダによって読みとられ、エンコードされた値はＣＭＭコントローラで利用できるようにされ、そして該ＣＭＭコントローラは、各瞬間に、座標プローブ１９０の位置と方向を計算することができる。
【００３６】
本発明の別の独立した特徴によると、本発明はまた、例えば三つのデカルト直線軸ＸＹＺにしたがって可動するキャリッジ６０を含んだ座標位置決定機に関するものであり、該キャリッジは、図８および図９に示されているように、剛性要素で連結された一連の駆動される回転接合部を含んだ多関節アームを動かす。
回転接合部１２４、回転接合部１２６、回転接合部１２８のそれぞれは、所望の角度にしたがって接合部を方向付けるためのプログラム可能な駆動装置と角度エンコーダを含んでおり、該角度エンコーダの出力によって、座標プローブ１９０の位置と方向はいつでも正確に判定し、認識することができる。
【００３７】
本発明のこの特徴によると、本発明の座標位置決定システムは、適切にプログラムされたデジタル・コントローラ（図示せず）の制御下で、キャリッジ６０と多関節アームの移動を組み合わせることによって複雑な部品の正確な測定を行うことで、多くの状況に適合させることができる。
【００３８】
表した実施例において、第一の回転接合部１２４は水平の回転軸Ｂ１のみを含んでおり、軸Ａ１を中心とする垂直の回転は既にロータ１００によって与えられている。
その他の回転接合部１２６および回転接合部１２８は、それぞれ二つの直角軸を含んでいる。
本発明は特定の数の接合部と回転軸に限定されるものではなく、あらゆる自由度の数を有する多関節プローブを、ＣＭＭによって与えられるプローブとの組み合わせで具備するものであることを理解すべきである。
また、本発明はＣＭＭの軸に接続可能な複数の接合部のあるプローブも含んでいる。
【００３９】
好適には、例えば軸Ａ１、Ａ２、Ａ３のような一つまたは複数の軸によって、あらゆる数の旋回軌道に対する無限の回転が可能となり、連続的に駆動することで、上記でみたようなトロコイドの走査経路、あるいはさまざまな軸を中心とした複数の回転と軸のスライドの組み合わせの結果による経路を与えることができる。
好適には、慣性モーメントと質量を減らすために、座標プローブは、例えば、説明したような単点レーザー・プローブのような非接触プローブ、または、多点レーザー・スキャナーである。
そうでなければ、標準的な接触プローブも用いることができる。
好ましくは、複数の接合部のある多関節プローブ６００は、標準化されたアダプタを具備しており、該アダプタには、環境に応じて選択される、さまざまな寸法および特徴の接触プローブおよび非接触プローブを含む、幅広いモジュラー・プローブから選択されるあらゆる要素を適合させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】既知のタイプの一般的なＣＭＭの簡略図
【図２】本発明の一つの特徴によるＣＭＭの軸および測定プローブを示す図
【図３】本発明に係る軸およびプローブの可能な変形例を示す図
【図４】本発明によるＣＭＭのプローブのもう一つの変形例を示す図
【図５】ＣＭＭが非接触プローブを備えている、本発明の変形例を示す図
【図６】ＣＭＭが非接触プローブを備えている、本発明の変形例を示す図
【図７ａ】本発明のもう一つの特徴による、表面走査の操作における可能な測定経路を説明する図
【図７ｂ】本発明のもう一つの特徴による、表面走査の操作における可能な測定経路を説明する図
【図７ｃ】本発明のもう一つの特徴による、表面走査の操作における可能な測定経路を説明する図
【図７ｄ】本発明のもう一つの特徴による、表面走査の操作における可能な測定経路を説明する図
【図７ｅ】本発明のもう一つの特徴による、表面走査の操作における可能な測定経路を説明する図
【図８】本発明のもう一つの特徴による、多関節接合部を備えたプローブを概略的に示す図
【図９】本発明のもう一つの特徴による、多関節接合部を備えたプローブを概略的に示す図
【符号の説明】
【００４１】
３０  基準テーブル
４０  ガントリー構造
５０  キャリッジ
１００  ロータ
１０３  基台
１０８  基台
１２０  接触ボール
１２３  針
１２４  回転接合部
１２５  剛性要素
１２６  回転接合部
１２７  剛性要素
１２８  回転接合部
１４９  半径アーム
１５０  接触プローブ
１９０  座標プローブ
１９５  光線
１９９  測定対象地点
２００  測定対象部品
２０１  測定対象表面
２０６  測定対象部分
３０９  照射線
３１０  測定経路
３５０  測定地点
３７０  軸経路
３９９  領域
５００  電気モータ
６００  多関節プローブ
【図１】
2008241714.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７ａ】
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【図７ｂ】
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【図７ｃ】
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【図７ｄ】
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【図７ｅ】
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【図８】
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【図９】
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