(57)【要約】  【課題】実際に必要な優先順序を、それを必要とする理由に基づいて決定することが可能なデータ転送方法、データ転送処理部、デジタル露光機並びにシステムを提供すること。  【解決手段】デジタル露光機が、データ取得要求と、少なくとも前記製造ラインの情報および当該製造ライン内における自己の工程番号とを含む工程情報を前記データ転送処理部に通知し、データ転送処理部は、デジタル露光機から通知された工程情報に基づいて、データ取得の優先度を決定し、最も高い優先度を有するデジタル露光機にデータ取得を許可することを特徴とするデータ転送方法、データ転送処理部、デジタル露光機並びにシステム。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
１台のデータ転送処理部に、同一製造ライン内の複数の描画装置が接続されて構成されるシステムにおけるデータ転送方法であって、
前記描画装置が、データ取得要求と、少なくとも前記製造ラインの情報および当該製造ライン内における自己の工程番号とを含む工程情報を前記データ転送処理部に通知し、
前記データ転送処理部は、前記描画装置から通知された工程情報に基づいて、データ取得の優先度を決定し、
最も高い優先度を有する描画装置にデータ取得を許可することを特徴とするデータ転送方法。
【請求項２】
前記データ転送処理部は、複数の前記描画装置中の１台に、データ取得を許可した後により高い優先度を有するデータ取得要求を受けた場合に、前記データ取得を許可した描画装置への許可を停止し、許可停止を受けた当該描画装置は、許可停止回復後にデータ転送を再開する、請求項１に記載のデータ転送方法。
【請求項３】
１台のデータ転送処理部に、同一製造ライン内の複数の描画装置が接続されて構成されるシステムにおけるデータ転送処理部であって、
前記描画装置から通知された工程情報に基づいて、データ取得の優先度を決定する手段と、
最も高い優先度を有する描画装置にデータ取得を許可する手段と
を有することを特徴とするデータ転送処理部。
【請求項４】
前記各手段に加え、さらに、
複数の前記描画装置中の１台に、データ取得を許可した後により高い優先度を有するデータ取得要求を受けた場合に、前記データ取得を許可した描画装置への許可を停止する手段を有する、請求項３に記載のデータ転送処理部。
【請求項５】
１台のデータ転送処理部に、同一製造ライン内の複数の描画装置が接続されて構成されるシステムにおける描画装置であって、
データ取得要求と、少なくとも前記製造ラインの情報および当該製造ライン内における自己の工程番号とを含む工程情報を前記データ転送処理部に通知する手段と、
前記データ転送処理部から許可された場合に、データ取得を開始する手段と
を有することを特徴とする描画装置。
【請求項６】
前記各手段に加え、さらに、
前記データ転送処理部からデータ転送の許可停止を受けた場合にはデータ転送を中断し、許可停止回復後にデータ転送を再開する手段を有する、請求項５に記載の描画装置。
【請求項７】
１台のデータ転送処理部に、同一製造ライン内の複数の描画装置が接続されて構成されるシステムであって、
請求項３あるいは４に記載のデジタルサーバと、請求項５あるいは６に記載の描画装置とを有することを特徴とするシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はデータ転送方法、データ転送処理部、描画装置並びにシステムに関し、より具体的には、例えば描画装置として複数のデジタル露光機が１台のサーバに接続されてなる液晶表示パネルのＴＦＴ（Ｔhin Ｆilm Ｔransistor）アレイ等の製造システム（製造ライン）における、デジタル露光機（描画装置）への効率的なデータ転送方法、データ転送処理部、描画装置並びにシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネル等の製造システムは、その製造工程が種々の工程から構成されている。この種の製造システムの内、ＴＦＴアレイ製造システムやカラーフィルタ製造システムは、多段のフォトリソグラフィとエッチング工程の繰り返しで構成されており、これらのうち、フォトリソグラフィ工程では、従来は、アナログマスクを用いた露光（アナログ露光）が主流であった。
【０００３】
しかしながら、近年、液晶表示パネル等の解像度の高精細化，大サイズ化が進み、アナログ露光では対処しきれなくなってきたことから、フォトリソグラフィ工程におけるアナログ露光に代わって、デジタル露光機を用いるマスクのデジタル化（マスクをデジタル露光により形成する）に移行しつつある。
例えば、ＴＦＴ製造工程においては、「成膜→レジスト塗布→デジタル露光→現像→エッチング→レジスト剥離→洗浄」の一連の工程によってＴＦＴアレイの１つの層が形成され、これに続けて、上記と同じく次層の「成膜〜洗浄」の工程が繰り返し行われて、ＴＦＴアレイが製造される。ＴＦＴアレイ製造工程は、図３に示すような装置で製造ラインが構成されており、各装置間での基板搬送は、ベルトコンベアや搬送ロボットで行われている。
【０００４】
上述のように、液晶表示パネル等のＴＦＴアレイ製造システムには、１枚の基板に対して多段の工程、近年では、多段のデジタル露光工程が存在することから、例えば一つの製造ライン中に各段に対応する複数のデジタル露光機が配置され、これらのデジタル露光機へのデジタルデータ転送等を、１台のサーバにより制御する構成とする場合が多い。
【０００５】
ここで問題になるのは、例えば、当該製造ラインにおいて製造する液晶表示パネル等の品種が変更される場合等に、各デジタル露光機への新たなデジタルデータの転送が必要になったときに、これをどのようにして効率的に処理するかということである。
サーバから各デジタル露光機へのデータの転送は、基本的に、各デジタル露光機からサーバへのデータ転送要求に基づいて行われるからである。
【０００６】
従来知られている技術として、例えば、特許文献１に開示されている方法では、ホストとなる通信処理装置は、複数の処理装置を優先順にスケジュールするスケジュール管理テーブルと、端末装置からのデータ転送要求があった場合にその端末装置の優先順位をチェックする優先端末チェック部とを有している。
【０００７】
また、例えば、特許文献２に開示されている方法は、緊急度の高い送受信処理要求に対して、優先的に送受信処理を行うために、送信処理を例に挙げると、送信側装置におけるデータ送信処理時間と、送信側装置から受信側装置へのデータ転送時間と、受信側装置における受信処理時間とを、各データに対し蓄積しておき、この時間と現在時刻との差を余裕時間として、複数のデータ送信要求につき上記余裕時間を比較して、データ転送の順序を決定している。
【０００８】
【特許文献１】特開平５−４０７１５号公報
【特許文献２】特開平６−６４０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記２つの特許文献に開示されている方法は、いずれも、要求される優先度に忠実に従ってデータ転送の順序を決定している。
しかし、複数のデジタル露光機が配置されてなる液晶表示パネル製造ラインのように、各工程における露光機が適切な露光データを持つ必要がある場合においては、単に要求される優先度に従ってデータ転送を行うのみでは、工程全体から見て適切なデータ転送が行われているとは限らないという問題がある。
【００１０】
すなわち、ここで必要とされるのは、各デジタル露光機（より一般的には、描画装置）からのデータ転送要求に単純に従うのではなく、実際に必要な優先順序を、それを必要とする理由に基づいて決定することが可能なデータ転送方法、データ転送処理部、デジタル露光機（描画装置）並びにシステムである。
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、前記従来技術に基づく問題点を解消した、実際に必要な優先順序を、それを必要とする理由に基づいて決定することが可能なデータ転送方法、データ転送処理部、描画装置並びにシステムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するために、本発明に係るデータ転送方法は、１台のデータ転送処理部に、同一製造ライン内の複数の描画装置が接続されて構成されるシステムにおけるデータ転送方法であって、前記描画装置が、データ取得要求と、少なくとも前記製造ラインの情報および当該製造ライン内における自己の工程番号とを含む工程情報を前記データ転送処理部に通知し、前記データ転送処理部は、前記描画装置から通知された工程情報に基づいて、データ取得の優先度を決定し、最も高い優先度を有する描画装置にデータ取得を許可することを特徴とする。
【００１２】
ここで、前記データ転送処理部は、複数の前記描画装置中の１台に、データ取得を許可した後により高い優先度を有するデータ取得要求を受けた場合に、前記データ取得を許可した描画装置への許可を停止し、許可停止を受けた当該描画装置は、許可停止回復後にデータ転送を再開することが好ましい。
【００１３】
また、本発明に係るデータ転送処理部は、１台のデータ転送処理部に、同一製造ライン内の複数の描画装置が接続されて構成されるシステムにおけるデータ転送処理部であって、前記描画装置から通知された工程情報に基づいて、データ取得の優先度を決定する手段と、最も高い優先度を有する描画装置にデータ取得を許可する手段とを有することを特徴とする。
【００１４】
ここで、前記データ転送処理部は、前記各手段に加え、さらに、複数の前記描画装置中の１台に、データ取得を許可した後により高い優先度を有するデータ取得要求を受けた場合に、前記データ取得を許可した描画装置への許可を停止する手段を有することが好ましい。
【００１５】
また、本発明に係る描画装置は、１台のデータ転送処理部に、同一製造ライン内の複数の描画装置が接続されて構成されるシステムにおける描画装置であって、データ取得要求と、少なくとも前記製造ラインの情報および当該製造ライン内における自己の工程番号とを含む工程情報を前記データ転送処理部に通知する手段と、前記データ転送処理部から許可された場合に、データ取得を開始する手段とを有することを特徴とする。
【００１６】
ここで、前記描画装置は、前記各手段に加え、さらに、前記データ転送処理部からデータ転送の許可停止を受けた場合にはデータ転送を中断し、許可停止回復後にデータ転送を再開する手段を有することが好ましい。
【００１７】
また、本発明に係るシステムは、１台のデータ転送処理部に、同一製造ライン内の複数の描画装置が接続されて構成されるシステムであって、請求項３あるいは４に記載のデジタルサーバと、請求項５あるいは６に記載の描画装置とを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、実際に必要な優先順序を、それを必要とする理由に基づいて決定することが可能なデータ転送方法、それに用いるデータ転送処理部、描画装置並びにシステムを実現できるという顕著な効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、図面に示す好適実施形態に基づいて、本発明を詳細に説明する。
なお、以下の説明では、ＴＦＴアレイの製造を例に本発明を説明するが、本発明はこれに限定はされず、ＣＰＵや各種のメモリなどの各種の半導体デバイス、携帯電話用の集積回路、プリント配線基板等の各種の製品の製造におけるデジタルマスクデータの作成に好適に利用可能である。
【００２０】
図１（ａ）および図２は、本発明の一実施形態に係る液晶表示パネルのＴＦＴアレイの製造ラインを構成するシステム（以下、単にシステムという）の要部を示す図であり、ここでは、複数のデジタル露光機１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄと、これらの複数のデジタル露光機に必要に応じてデータ転送制御等を行うデータ転送処理部１４やデジタル露光機（以下、単に露光機ともいう）に送るデータを保管する１台以上のデータストレージ１６（図２では１台の場合を示している）、並びに入出力機器１８から主に構成されるシステム１０を示している。
【００２１】
ここで、本実施形態に係るシステム１０のデータ転送処理部１４は、本システム１０の全体制御を行うＣＰＵ１４ａ，入出力部１４ｂ，後述する設計データからのデータ変換を行うデータ変換機能部１４ｃ，同じく後述する優先度を決定する優先度決定機能部１４ｄ，同じく後述するデータ取得許可機能部１４ｅ，ＲＯＭ１４ｆ，ＲＡＭ１４ｇ，送受信を制御する送受信部１４ｈの各機能部等を有している。
【００２２】
ここで、データ変換機能部１４ｃは、ＴＦＴアレイを構成する複数の層にわたるパターン設計データが含まれる設計データを受け取って、これを、実際のＴＦＴアレイ製造における各層のフォトリソグラフィ工程に用いられる、デジタルマスクを形成するためのデジタルマスクデータ（ビットマップデータ）に変換する機能を有するものである。
優先度決定機能部１４ｄは、露光機１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄからのデータ伝送要求があった場合に、そのメッセージ中に含まれる工程情報に基づいて、各露光機からのデータ伝送要求についてその優先度を決定する機能を有するものである。
【００２３】
また、データ取得許可機能部１４ｅは、上記優先度決定機能部１４ｄによって決定された優先度に基づいて、該当する露光機に対してデータ取得を許可する旨のメッセージを出力する機能を有するものである。
このデータ取得を許可する旨のメッセージは、送受信部１４ｈから送出される。
【００２４】
データストレージ１６は、ここでは上述のデータ変換機能部１４ｃで生成されたデジタルマスクデータ（ビットマップデータ）を受け取り、これを保管（ストレージ）する機能を有するものである。また、露光機１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄは、それぞれＴＦＴアレイ製造における各層のフォトリソグラフィ工程でのデジタルマスクの露光（デジタル露光）を行うものである。
【００２５】
なお、データストレージ１６は、必ずしもデータ変換機能部１４ｃを経てデーがストレージされなくてもよく、また、前述のように、データストレージ１６は、データ転送処理部１４に対して１台以上接続されていてもよい。また、データストレージ１６が、データ転送処理部１４と一体に構成されていてもよい。
【００２６】
図２の意味するところは、製造対象である、あるＴＦＴアレイの品種に対応するパターン設計データが含まれる設計データが与えられると、このデータを、データ変換機能部１４ｃにおいて予めＴＦＴアレイの各層に対応するデジタルマスクデータ（ビットマップデータ）に変換して、データストレージ１６に保管しておき、上記各層に対応する露光機（１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ）からの転送要求に備えている状況を示している。
【００２７】
次に、露光機１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄの機能について説明する。露光機１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄは、その各々が、デジタルマスクデータに応じて基板を露光する機能に加えて、データ取得要求と、製造ラインに関する情報および当該製造ライン内における自己の工程番号とを含む工程情報を、データ転送処理部１４に通知するための通信機能と、データ転送処理部１４から許可された場合に、上記要求に対応するデジタルマスクデータ（ビットマップデータ）を保管しているデータストレージ１６からデジタルマスクデータの取得を開始する機能を備えている。
【００２８】
ここで、露光機１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄの各々が、データ取得要求をデータ転送処理部１４に送る機能のトリガとしては、例えば、ＴＦＴアレイの製造ラインにおいて製造する液晶表示パネルの品種（サイズ等を含む）切り替えの情報、当該露光機１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄが担当する露光工程の工程番号等（これらをまとめて、工程情報ともいう）の変更に係る情報を挙げることができる。
【００２９】
露光機１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄは、マスクデータ生成部（データ変換機能部１４ｃ）から供給されたデジタルマスクデータに、解凍などの所定の処理を施して、自身による基板の画像露光すなわち自身の露光ヘッドによる画像露光に対応するデータである露光データを生成する。
さらに、露光機１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄは、デジタルマスクデータから生成した露光データに応じて変調した記録光によって、基板（被画像記録媒体、例えば絶縁層，導体層，Ｓｉ層などの上に、フォトレジスト層を形成してなる基板）を像様に露光して画像を記録する。
【００３０】
なお、露光機１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄにおける基板の露光方法には、特に制限はなく、公知の記録光による基板（感光材料）の画像露光方法が、各種利用可能である。例えば、露光機１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄは、ＤＭＤ（Ｄigital Ｍicromirror Ｄevice ）等の二次元空間変調素子を用いて露光データに応じて変調した記録光を基板に入射するとともに、二次元空間変調素子が画成する走査線と直交する方向に基板と光学系とを相対的に移動させることにより、基板に画像を露光するものであってもよく、あるいは、露光データに応じて変調した光ビームを主走査方向に偏向するとともに、主走査方向と直交する方向に基板を走査搬送（あるいは、光学系を移動）することにより、基板に画像を露光するものであってもよい。
【００３１】
また、前述のように、データ転送処理部１４は、前述のような露光機１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄから通知された工程情報に基づいて、データ取得要求に関する許可を与えるための優先度を決定するデータ取得の優先度決定機能部１４ｄと、この優先度決定機能部１４ｄにより決定される優先度のうちで最も高い優先度を有する露光機にデータ取得を許可するデータ取得許可機能部１４ｅとを備えている。
【００３２】
上述のデータ取得の優先度決定機能部１４ｅにおける優先度は、ここでは、例えば、露光機１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄから通知された工程情報中の工程番号に基づいて決定することが好ましい。すなわち、一連の製造工程の上流側に位置する露光工程に該当するものから順に従って（図示例では、露光機１２ａ→１２ｂ→１２ｃ→１２ｄ）、高い優先度を与えるようにするものである。
【００３３】
なお、図２に示した設計データ２０とは、ＣＡＤ等により作成される液晶表示パネルの品種ごとの、複数層がまとめて記述されているデータであり、このデータは、後述するように、データ転送処理部１４中のデータ変換機能部１４ｃにおいて、各露光機による露光（描画）に用いることができるデジタルマスクデータ（ビットマップデータ）に変換され、データストレージ１６に保管される。
【００３４】
上述のように構成される、本実施形態に係る液晶表示パネルのアレイの製造ラインを構成するシステムにおける動作を、以下、具体的に説明する。
なお、ここでは、製造ライン中に、露光機１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄによって実施される４つの露光工程（工程が、露光機１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄの順序に行われるとする）を含む場合（図３参照）を例に挙げて、図１〜図３を用いて説明する。
【００３５】
ここで、図１（ａ）は、ＴＦＴアレイの製造ラインにおけるデータストレージ１６と各露光機１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄとの接続状況を示すものである。
また、同（ｂ）は、従来技術の一例としての、各露光機からのデータストレージ１６に対するデータ取得要求が略同時に出された場合に、それに対して、データストレージ１６が各露光機へのデータ転送を略同時に開始する状況を示すものである。
この場合のデータストレージ１６から各露光機へのデータ転送は並列処理となって、最初の露光工程である露光機１２ａ（露光機Ａ）による露光が開始されるタイミングが、後述する本実施形態に係る方法に比べて、著しく遅れることを示すものである。
【００３６】
すなわち、図１（ｂ）に示す処理方式では、「データ取得」に要する時間は、複数のデータ転送処理が並列処理（いわゆる、時分割並行処理）される合計時間になる結果、実質的に全部の露光機１２ａ（露光機Ａ），１２ｂ（Ｂ），１２ｃ（Ｃ），１２ｄ（Ｄ）へのデータ転送が終了するまで、最初の露光工程である露光機１２ａ（露光機Ａ）による露光開始が待たされる一方で、露光機Ａと略同時にデータを取得した露光機Ｂ，露光機Ｃ，露光機Ｄでは、それぞれ、前工程が終了するまでは、そのデータを用いて露光を行うことはできないという不都合が生じる結果になるわけである。
【００３７】
その結果、この方式の場合、露光機１２ａ（露光機Ａ），１２ｂ（Ｂ），１２ｃ（Ｃ），１２ｄ（Ｄ）による一連の露光処理の必要時間（稼働時間）は、上述の「データ取得」に要する時間と、露光機Ａから始まって、露光機Ｂ，露光機Ｃ，露光機Ｄで、それぞれ、前工程が終了してから開始される露光工程に要する時間との合計時間（これを、ｔ１とする）になる。
【００３８】
これに対して、図１（ｃ）に示す本実施形態に係る処理方式では、露光機からデータ取得要求があった場合、露光機の優先度に従って１台の露光機にのみ、データ取得を許可する。露光機は、前述のようにデータ取得要求に自己の工程情報（製造ラインの情報および工程番号）を付加しているので、データ転送処理部１４は、同時に複数のデータ取得要求があった場合に、これを基に、優先度に応じて、データ取得を許可する露光機の順番を決定する。
【００３９】
図１に示す実施形態では、工程が、前述のように、露光機Ａから始まって、露光機Ｂ，露光機Ｃ，露光機Ｄの順となっており（図１（ａ）参照）、優先順位が決まっているので、例えば、露光機Ｂと露光機Ｄからデータ取得要求があった場合には、露光機Ｂに先にデータ取得の許可を与え、露光機Ｂのデータ取得終了後に、露光機Ｄにデータ取得の許可を与える。従って、これらの４台の露光機から同時にデータ取得要求があった場合には、データ転送処理部１４は、露光機Ａ，露光機Ｂ，露光機Ｃ，露光機Ｄについてのデータ取得を許可する際の優先度を、図１（ｃ）に示すように、露光機Ａ→露光機Ｂ→露光機Ｃ→露光機Ｄの順位と決定する。
【００４０】
その結果、この例では、データ転送処理部１４は、まず、露光機１２ａ（露光機Ａ）に、そこで必要とされるデータ取得の許可を与える。露光機１２ａ（露光機Ａ）は、これに従って、データストレージ１６から、必要なデータを転送（取得）する。必要なデータを取得した露光機１２ａ（露光機Ａ）は露光を開始する。
データ転送処理部１４は、露光機１２ａ（露光機Ａ）のデータ取得終了後に、優先度が次位の露光機１２ｂ（露光機Ｂ）に、そこで必要とされるデータ取得を許可する。
以下、同様に、データ転送処理部１４は、露光機１２ｃ（露光機Ｃ），露光機１２ｄ（露光機Ｄ）に順次データ取得の許可を与える。各露光機は、データストレージ１６から必要なデータを取得したら、露光を開始する。
【００４１】
このようなデータ転送方法を採用することにより、図１（ｃ）に示す本実施形態に係る処理方式では、露光機１２ａ（露光機Ａ），１２ｂ（Ｂ），１２ｃ（Ｃ），１２ｄ（Ｄ）による一連の露光処理の必要時間（稼働時間）は、露光機１２ａ（露光機Ａ）による露光開始が早められた分だけ減少し、図中にｔ２で示される時間になる。ここで、短縮される時間は、ｔ１−ｔ２となる。
【００４２】
上述の、図１（ｃ）に示す本実施形態に係る処理方式では、露光機１２ａ（露光機Ａ），１２ｂ（Ｂ），１２ｃ（Ｃ），１２ｄ（Ｄ）からデータ転送処理部１４に送られるデータ取得要求に含まれる前記工程情報に基づいて、優先度決定機能部１４ｄにおいて各露光機からのデータ取得要求に優先順位を付与するので、このような処理が可能になるという効果が得られるものである。
【００４３】
なお、上記各図中には示されていないが、データ転送処理部１４が各露光機から送られるデータ取得要求に含まれる前記工程情報に基づいて優先順位を付与した後で、先にデータ取得を許可した露光機よりも高い優先順位を有する露光機からのデータ取得要求があった場合には、データ転送処理部１４は、先にデータ取得を許可した露光機への許可を停止して、新たにより高い優先順位を有する露光機からのデータ取得要求を許可するようにすることも可能である。
【００４４】
この場合には、後からデータ取得要求を許可された露光機でのデータ取得が完了した時点で、データ転送処理部１４は、一旦データ取得を許可した後その許可を停止した露光機に対し、許可の停止解除を通知して、その露光機による、一度中断したデータ取得の再開を許可するようにすることが好ましい。
【００４５】
また、露光機は、上述のデータ転送処理部１４からの許可もしくは許可停止の指示に基づいて、データ取得を開始、もしくは中断並びに再開する機能を有するものであることが好ましい。
【００４６】
なお、上記実施形態は、本発明の一例を示したものであり、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更や改良を行ってもよいことはいうまでもない。
例えば、以上の例は、本発明を被処理基板（感光材料）の露光によって描画を行う露光装置（露光方法）に利用した例であるが、本発明は、インクジェットヘッドを描画系として用いて描画を行うインクジェットによる描画、サーマルヘッドを描画系として用いて描画を行う感熱記録による描画など、走査によって描画を行う各種の描画方法および描画装置に利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の基本原理を説明するための図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る液晶表示パネルのＴＦＴアレイ製造ラインにおけるデータ転送システムの概略構成を示すブロック図である。
【図３】液晶表示パネル等のＴＦＴアレイ製造工程の要部構成の概要を示す図である。
【符号の説明】
【００４８】
１０  システム（液晶表示パネルのＴＦＴアレイの製造ラインを構成するシステム）
１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ  露光機（デジタル露光機）
１４  データ転送処理部
１４ａ  ＣＰＵ
１４ｂ  入出力部
１４ｃ  データ変換機能部
１４ｄ  優先度決定機能部
１４ｅ  データ取得許可機能部
１４ｆ  ＲＯＭ
１４ｇ  ＲＡＭ
１４ｈ  送受信部
１６  データストレージ
１８  入出力機器
２０  設計データ
【図１】
2008242616.tif 000003
【図２】
2008242616.tif 000004
【図３】
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