(57)【要約】【課題】搬送物の優先度を考慮しながら高効率な作業を行うことが可能な搬送制御システムを提供すること。【解決手段】保管手段は、搬送についての優先度が設定された作業対象物を格納可能な第１の搬送物と、第１の搬送物に対応する第２の搬送物とを複数保管し、作業手段は、作業を行う際に、第１の搬送物と、第２の搬送物とを要求する旨を示す要求信号を発信し、搬送制御装置は、第１および第２の搬送物に関する情報を格納する記憶部と、要求信号を受信すると、優先度の高い作業対象物を格納する第１の搬送物から順に、該第１の搬送物に対応する第２の搬送物が搬送可能な状態であることの確認を行い、搬送する第１の搬送物および第２の搬送物を決定する管理部と、を具備し、搬送手段は、搬送制御装置の制御に基づいて、第１および第２の搬送物を保管手段から作業手段まで搬送する。【選択図】  図１
2008305234.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
保管手段と、搬送物に対する作業を行う作業手段と、搬送制御装置と、搬送手段と、を備える搬送制御システムであって、
前記保管手段は、搬送についての優先度が設定された作業対象物を格納可能な第１の搬送物と、前記第１の搬送物に対応する第２の搬送物とを複数保管し、
前記作業手段は、前記作業を行う際に、前記第１の搬送物と、前記第２の搬送物とを要求する旨を示す要求信号を発信し、
前記搬送制御装置は、
前記第１および第２の搬送物に関する情報を格納する記憶部と、
前記要求信号を受信すると、前記優先度の高い作業対象物を格納する第１の搬送物から順に、該第１の搬送物に対応する第２の搬送物が搬送可能な状態であることの確認を行い、搬送する前記第１の搬送物および第２の搬送物を決定する管理部と、を具備し、
前記搬送手段は、前記搬送制御装置の制御に基づいて、前記第１および第２の搬送物を前記保管手段から前記作業手段まで搬送することを特徴とする搬送制御システム。
【請求項２】
請求項１に記載の搬送制御システムにおいて、
前記保管手段は、複数のストッカからなり、
前記搬送制御装置の管理部は、新たな第１の搬送物が発生すると、該第１の搬送物を保管させるストッカを、前記複数のストッカそれぞれの第１の搬送物の保管数に基づいて決定することを特徴とする搬送制御システム。
【請求項３】
搬送についての優先度が設定された作業対象物を格納可能な第１の搬送物と、前記第１の搬送物に対応する第２の搬送物とを、保管手段から作業手段まで搬送手段に搬送させる搬送制御装置であって、
前記第１および第２の搬送物に関する情報を格納する記憶部と、
前記作業手段からの前記第１および第２の搬送物を要求する旨を示す要求信号を受信すると、前記優先度の高い作業対象物を格納する第１の搬送物から順に、該第１の搬送物に対応する第２の搬送物が搬送可能な状態であることの確認を行い、搬送する前記第１の搬送物および第２の搬送物を決定する管理部と、
を有することを特徴とする搬送制御装置。
【請求項４】
請求項３に記載の搬送制御装置において、
前記管理部は、前記保管手段が複数のストッカからなる場合、新たな第１の搬送物が発生すると、該第１の搬送物を保管させるストッカを、前記複数のストッカそれぞれの第１の搬送物の保管数に基づいて決定することを特徴とする搬送制御装置。
【請求項５】
搬送についての優先度が設定された作業対象物を格納可能な第１の搬送物と、前記第１の搬送物に対応する第２の搬送物とを、保管手段から搬送させる方法であって、
前記第１および第２の搬送物に関する情報を作成し、
前記優先度の高い作業対象物を格納する第１の搬送物から順に、該第１の搬送物に対応する第２の搬送物が搬送可能な状態であることの確認を行い、搬送する前記第１の搬送物および第２の搬送物を決定する、
ことを特徴とする搬送制御方法。
【請求項６】
請求項５に記載の搬送制御方法において、
前記保管手段が複数のストッカからなる場合、新たな第１の搬送物が発生すると、該第１の搬送物を保管させるストッカを、前記複数のストッカそれぞれの第１の搬送物の保管数に基づいて決定することを特徴とする搬送制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、製造ラインにて、作業対象物が格納された搬送物の搬送を制御する搬送制御システム、搬送制御装置、および搬送制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
製造ラインでは、作業対象物が格納された搬送物（例えば、半導体製造ラインでは、一枚または複数枚のウェハが格納された格納容器）を、搬送機器を用いて製造装置へ搬送することがある。
【０００３】
格納容器を製造装置へ搬送する場合、製造時間の短縮を目的とした様々な工夫が提案されており、例えば、特許文献１（特開２００２−３１３８８０号公報）や特許文献２（特開２００４−２９６５１９号公報）に開示されている。
【０００４】
特許文献１には、複数枚のウェハを、同一の処理を行う複数の製造装置に対して同じ枚数に分割し、それぞれを別々の格納容器に格納して製造装置まで搬送し、製造装置を並列に作業させる製造方法が開示されている。
【０００５】
特許文献１に記載のように同一の処理を行う複数の製造装置に対して複数のウェハを分割して搬送すると、製造装置の仕掛かり状態が均等化されて稼働率が向上するため、製造時間の短縮が可能になる。
【０００６】
特許文献２には、異なる格納容器から同じ処理を行うウェハを一つまたは複数の格納容器にまとめ、その格納容器を、同時に複数枚のウェハを処理可能な製造装置まで搬送する方法が開示されている。
【０００７】
特許文献２に記載のように同時に複数枚のウェハを処理可能な製造装置に対してその処理を受ける複数のウェハを同じ格納容器にまとめてから搬送すると、製造装置の作業効率が向上し、さらに製造装置までの搬送回数が低減するため、製造時間の短縮が可能になる。
【特許文献１】特開２００２−３１３８８０号公報
【特許文献２】特開２００４−２９６５１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１や特許文献２に記載のようにして格納容器を製造装置まで搬送するためには、ウェハを一方の格納容器（立替元格納容器）から他方の格納容器（立替先格納容器）に移し替える作業（立替作業）が必要になる。
【０００９】
立替作業は一般的にウェハソータが行うが、ウェハソータは立替元格納容器と立替先格納容器の両方が搬送されていないと立替作業を行うことができない。従来、立替元格納容器および立替先格納容器を搬送することのできるウェハソータについての搬送は、これらのどちらか一方を搬送できないウェハソータの搬送よりも優先して行われていた。搬送するウェハには、その作業工程上から搬送が優先されるべきものがあるが、従来はこの点について考慮されておらず、優先度の高いウェハに対する立替作業が後回しになる可能性があった。
【００１０】
本発明は、上述したような問題を解決するためになされたものであり、搬送物の優先度を考慮しながら高効率な作業を行うことが可能な搬送制御システム、搬送制御装置、および搬送制御方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するための本発明による搬送制御システムは、
保管手段と、搬送物に対する作業を行う作業手段と、搬送制御装置と、搬送手段と、を備える搬送制御システムであって、
前記保管手段は、搬送についての優先度が設定された作業対象物を格納可能な第１の搬送物と、前記第１の搬送物に対応する第２の搬送物とを複数保管し、
前記作業手段は、前記作業を行う際に、前記第１の搬送物と、前記第２の搬送物とを要求する旨を示す要求信号を発信し、
前記搬送制御装置は、
前記第１および第２の搬送物に関する情報を格納する記憶部と、
前記要求信号を受信すると、前記優先度の高い作業対象物を格納する第１の搬送物から順に、該第１の搬送物に対応する第２の搬送物が搬送可能な状態であることの確認を行い、搬送する前記第１の搬送物および第２の搬送物を決定する管理部と、を具備し、
前記搬送手段は、前記搬送制御装置の制御に基づいて、前記第１および第２の搬送物を前記保管手段から前記作業手段まで搬送する。
【００１２】
また、前記保管手段は、複数のストッカからなり、
前記搬送制御装置の管理部は、新たな第１の搬送物が発生すると、該第１の搬送物を保管させるストッカを、前記複数のストッカそれぞれの第１の搬送物の保管数に基づいて決定することとしてもよい。
【００１３】
本発明では、作業手段が要求信号を発信すると、作業手段が作業を行うのに必要な搬送物が全て搬送可能な状態であること確認してから搬送作業を行わせる搬送制御装置を有する。これにより、作業手段は搬送物が到着するとすぐに作業を開始できるため稼働率が向上する。
【００１４】
また、搬送制御装置は、上述した確認を、第１の搬送物に対して設定されている優先度の高い順に行う。これにより、作業手段において搬送物の優先度が考慮された作業が行われることになる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、搬送物の優先度に基づいて作業手段の稼働率を向上させる搬送が行われるため、作業手段は、搬送物の優先度を考慮しながら高効率な作業を行うことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本実施形態の搬送制御システムについて説明する。
【００１７】
図１は、本実施形態の搬送制御システム１の一構成例を示す模式図である。
【００１８】
搬送制御システム１は、図１に示すように、保管手段２と、作業手段３と、搬送手段４と、搬送制御装置５と、を含む構成である。
【００１９】
保管手段２は、ストッカ２１とストッカ２２とを含む複数のストッカからなり、各ストッカには、ウェハ格納容器の一つであるＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）が複数保管される。各ストッカに保管されるＦＯＵＰには、ウェハを格納しているもの、および空の状態のものが含まれる。
【００２０】
作業手段３は、ウェハソータ３１とウェハソータ３２とを含む複数のウェハソータからなり、搬送手段４によってＦＯＵＰが搬送されると、設定された内容に基づいて立替作業を行う。
【００２１】
作業手段３の各ウェハソータが行う立替作業には、種々のものがあり、例えば、ＦＯＵＰ交換、ロット分割（Ｓｐｒｉｔ）、ロット合成（Ｍｅｒｇｅ）、ＮＰＷロット構成、および使用済ＮＰＷウェハ再生がある。
【００２２】
ＦＯＵＰ交換は、一つのＦＯＵＰに格納されているウェハ全てを、一つの空のＦＯＵＰに移し変えることであり、例えば、プロセス工程で発生するコンタミネーションを防止するために行う。
【００２３】
ロット分割は、一つのＦＯＵＰに格納されている複数のウェハを、複数のＦＯＵＰに分けるために移し変えることである。
【００２４】
ロット合成は、ロット分割と反対の作業であり、複数のＦＯＵＰに格納されたウェハを、一つのＦＯＵＰに集約するために移し変えることである。
【００２５】
ＮＰＷロット構成は、一つまたは複数のＦＯＵＰから選択したウェハを、一つの空のＦＯＵＰに移し変えることであり、例えば、リファレンス用のウェハを抜き出すために行う。
【００２６】
使用済ＮＰＷウェハ再生は、ＮＰＷロット構成と反対の作業であり、一つのＦＯＵＰに格納されたリファレンス用のウェハを、一つまたは複数のＦＯＵＰに移し変えることである。
【００２７】
搬送手段４は、例えば、工場内の天井に設置されるＯＨＳ（Ｏｖｅｒ  Ｈｅａｄ  Ｓｈｕｔｔｌｅ）、またはＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ  Ｈｏｉｓｔ  Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）などの搬送機器を構成に含む。
【００２８】
そして、搬送手段４は、搬送制御装置５の制御に基づいて、保管手段２のストッカに保管されているＦＯＵＰを作業手段３のウェハソータへ搬送したり、保管手段２内でＦＯＵＰを一方のストッカから他方のストッカへ搬送したりする。
【００２９】
搬送制御装置５は、記憶部５１と管理部５２とを含む構成である。
【００３０】
記憶部５１は、保管手段２の各ストッカに保管されているＦＯＵＰの情報を格納する。ＦＯＵＰの情報には、各ＦＯＵＰがどのストッカに保管されているかを示す情報、格納しているウェハに関する情報（ロットや枚数）などが含まれる。
【００３１】
管理部５２は、各ストッカにおけるＦＯＵＰの保管状態および各ウェハソータの立替作業状態を管理し、それぞれの状態に応じて搬送手段４の動作を制御する。
【００３２】
なお、本実施形態では、上述した４つの立替作業の対象となるＦＯＵＰを、立替作業の内容に応じて、固定キャリアおよび移動キャリアの２種類に予め分類している。また、固定キャリアには、例えば、ＦＩＦＯ（Ｆｉｒｓｔ  Ｉｎ  Ｆｉｒｓｔ  Ｏｕｔ）や納期に基づいた優先度が設定されている。
【００３３】
ＦＯＵＰ交換では、ウェハが格納されている１つのＦＯＵＰが固定キャリア、空のＦＯＵＰが移動キャリアにそれぞれ設定される。
【００３４】
ロット分割では、ウェハが格納されている１つのＦＯＵＰが固定キャリア、複数の空のＦＯＵＰが移動キャリアにそれぞれ設定される。
【００３５】
ロット合成では、ウェハが集約される１つのＦＯＵＰが固定キャリア、集約させるウェハが格納されているＦＯＵＰが移動キャリアにそれぞれ設定される。
【００３６】
ＮＰＷロット構成では、抜き出したウェハを格納するための１つのＦＯＵＰが固定キャリア、抜き出されるウェハを格納しているＦＯＵＰが移動キャリアにそれぞれ設定される。
【００３７】
使用済ＮＰＷウェハ再生では、リファレンス用のウェハが格納されている１つのＦＯＵＰが固定キャリア、抜き出したリファレンス用のウェハを格納するためのＦＯＵＰが移動キャリアにそれぞれ設定される。
【００３８】
次に、搬送制御システム１の動作について説明する。
【００３９】
最初に、新たに立替作業の対象となった固定キャリアをストッカへ搬送する動作について説明する。
【００４０】
図２は、新たに立替作業の対象となった固定キャリアをストッカへ搬送する動作手順を示すフローチャートである。
【００４１】
搬送制御装置５において、新たに立替作業の対象となった固定キャリアの情報が記憶部５１に格納されると、管理部５２は、記憶部５１に格納されている情報を用いて、保管手段２の中で固定キャリアの保管数が最少のストッカを検索する（ステップＳ１）。
【００４２】
検索の結果、該当するストッカが複数存在することを確認すると（ステップＳ２）、管理部５２は、下記の式（１）を用いて、その複数のストッカの中から現時点でのＦＯＵＰ格納可能数が最大となるものを特定する（ステップＳ３）。その結果、ＦＯＵＰ格納可能数も同じになるストッカが複数存在する場合は、管理部５２がそれらの中から適宜選択するものとする。
【００４３】
なお、式（１）に記載の「現時点のＦＯＵＰ格納数」には、立替作業の対象外のＦＯＵＰも含まれる。
【００４４】
（ＦＯＵＰ格納可能数）＝（ＦＯＵＰの最大許容格納数）−（現時点のＦＯＵＰ格納数）・・・（１）
上記のようにして、管理部５２は固定キャリアを保管するストッカを決定すると（ステップＳ４）、搬送手段４に固定キャリアをそのストッカまで搬送させる（ステップＳ５）。ここでは、固定キャリアはストッカ２１に保管されたことにする。
【００４５】
固定キャリアをストッカ２１に保管させると、管理部５２は、記憶部５１に格納されている情報を用いて、その固定キャリアに対応する移動キャリアが保管手段２のストッカに保管されているか否か確認する（ステップＳ６）。
【００４６】
管理部５２は、ステップＳ６において、移動キャリアが固定キャリアと異なるストッカ、例えばストッカ２２に保管されていることを確認した場合には、搬送手段４に移動キャリアをストッカ２２からストッカ２１まで搬送させる（ステップＳ７）。
【００４７】
上記のようにして新たに立替作業の対象となった固定キャリアを保管すると、固定キャリアの保管数が各ストッカで均等になる。これにより、搬送手段４によるストッカからウェハソータまでの搬送作業を分散して行えるため、立替作業を効率よく行うことが可能となる。
【００４８】
また、固定キャリアに対応する移動キャリアを固定キャリアと同一のストッカに搬送する作業が行われるため、搬送手段４が複数のＦＯＵＰを一度に搬送できる機能を有する場合には、ストッカからウェハソータへの搬送回数を必要最低限に抑えることが可能となる。
【００４９】
次に、保管手段２の各ストッカに格納された立替作業の対象となるＦＯＵＰを、作業手段３の１つのウェハソータへ搬送する動作について説明する。なお、ここでは、そのウェハソータをウェハソータ３１とする。
【００５０】
図３は、立替作業の対象となるＦＯＵＰをウェハソータ３１へ搬送する動作手順を示すフローチャートである。
【００５１】
ウェハソータ３１が固定キャリアおよび移動キャリアを要求する旨を示す要求信号を発信すると、搬送制御装置５の管理部５２がその要求信号を受信する（ステップＳ１１）。
【００５２】
管理部５２は、要求信号を受信すると、記憶部５１に格納されている情報を用いて保管手段２の各ストッカの中から優先度が最も高い固定キャリアを検索する（ステップＳ１２）。
【００５３】
続いて、管理部５２は、ステップＳ１２で特定した固定キャリアに対応する移動キャリアが同一ストッカに保管されているか否か確認する（ステップＳ１３）。
【００５４】
移動キャリアが同一ストッカに保管されていることを確認すると、管理部５２は、その移動キャリアとステップＳ１２で特定した固定キャリアとはウェハソータ２１へ搬送可能であると認定する（ステップＳ１４）。そして、管理部５２は、ステップＳ１４の認定によりウェハソータ２１へ搬送可能な固定キャリアおよび移動キャリアが２組になったか否か確認する（ステップＳ１５）。
【００５５】
搬送可能な固定キャリアおよび移動キャリアが２組になったことを確認すると、管理部５２は、先に搬送可能と認定した固定キャリアおよび移動キャリアを、それらが保管されているストッカからウェハソータ３１まで搬送手段４に搬送させる（ステップＳ１６）。
【００５６】
ステップＳ１３において、移動キャリアが固定キャリアと同一のストッカに保管されていない場合、管理部５２は、他のストッカに保管されていないか否か確認する（ステップＳ１７）。
【００５７】
移動キャリアが他のストッカに保管されていることを確認すると、管理部５２は、搬送手段４にその移動キャリアをステップＳ１２で特定した固定キャリアと同一の移動キャリアへ搬送させる（ステップＳ１８）。
【００５８】
移動キャリアを搬送させると、管理部５２は、ステップＳ１４で認定した固定キャリアおよび移動キャリアでまだウェハソータ２１へ搬送されていないものがあるか否か確認する（ステップＳ１９）。対象となる固定キャリアおよび移動キャリアがあることを確認すると、管理部５２は、搬送手段４にそれらをウェハソータ２１へ搬送させる（ステップＳ２０）。
【００５９】
なお、ステップＳ１７およびステップＳ１９において、それぞれ対象となるＦＯＵＰがなかった場合には、ステップＳ１２の動作に戻る。
【００６０】
また、ステップＳ１５において、搬送可能な固定キャリアおよび移動キャリアが１組の場合、管理部５２は、ステップＳ１８で搬送させた移動キャリアが搬送中か否か確認する（ステップＳ２１）。
【００６１】
ステップＳ２１において、移動キャリアが搬送中であることを確認した場合はステップＳ１６の動作に進む。一方、移動キャリアが搬送中でないことを確認した場合には、ステップＳ１２の動作に戻る。
【００６２】
上記のようにして立替作業の対象となるＦＯＵＰをウェハソータへ搬送させると、例えば、後からウェハソータへの搬送の認定を受けたＦＯＵＰが異なるストッカに保管されている場合には、同一ストッカへの搬送が先に認定を受けたＦＯＵＰの立替作業中に行われることになり、優先度を考慮した立替作業が可能となる。
【００６３】
また、同一ストッカへの搬送中にウェハソータから要求信号が発信された場合には、同一ストッカに保管されているＦＯＵＰが追い越す形でウェハソータへ搬送されることになり、立替作業の対象となるＦＯＵＰの待ち時間の短縮、およびウェハソータの高稼働率の維持が可能となる。
【００６４】
本実施形態では、ウェハソータが要求信号を発信すると、ウェハソータが作業を行うのに必要な固定キャリアおよび移動キャリアが全て搬送可能な状態であること確認してから搬送作業を行わせる搬送制御装置を有する。これにより、ウェハソータは固定キャリアおよび移動キャリアが到着するとすぐに立替作業を開始できるため稼働率が向上する。
【００６５】
また、搬送制御装置は、上述した確認を、固定キャリアに対して設定されている優先度の高い順に行う。これにより、ウェハソータにおいて優先度が考慮された立替作業が行われることになる。
【００６６】
本実施形態によれば、搬送物の優先度に基づいてウェハソータの稼働率を向上させる搬送が行われるため、ウェハソータは、搬送物の優先度を考慮しながら高効率な立替作業を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本実施形態の搬送制御システム１の一構成例を示す模式図である。
【図２】新たに立替作業の対象となった固定キャリアをストッカへ搬送する動作手順を示すフローチャートである。
【図３】立替作業の対象となるＦＯＵＰをウェハソータ３１へ搬送する動作手順を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００６８】
１  搬送制御システム
２  保管手段
３  作業手段
４  搬送手段
５  搬送制御装置
２１、２２  ストッカ
３１、３２  ウェハソータ
５１  記憶部
５２  管理部
【図１】
2008305234.tif 000003
【図２】
2008305234.tif 000004
【図３】
2008305234.tif 000005