(57)【要約】【課題】周波数の高低の設定にかかわらず、落下衝撃に対して優れた振動特性を発揮し、かつ、安価な圧電デバイス用パッケージを提供すること。【解決手段】励振電極を有する圧電振動片を電気的機械的に接続するためのマウント用電極３１が設けられたパッケージであって、マウント用電極３１とは異なる位置に、圧電振動片を支えるための凸状でなる複数の枕部３４が設けられており、複数の枕部３４のうち、一方の枕部３６は、他方の枕部３５よりも高さが大きく、他方の枕部３５は、接着剤を介して圧電振動片と接合される材料であって、かつ、その表面が接着剤に比べて光の反射率の高い材料からなっており、さらに、少なくとも接着剤の塗布される領域が励振電極を避けるように配置されている。【選択図】図２
2008206002.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
励振電極を有する圧電振動片を電気的機械的に接続するためのマウント用電極が設けられた圧電デバイス用パッケージであって、
前記マウント用電極とは異なる位置に、前記圧電振動片を支えるための凸状でなる複数の枕部が設けられており、
前記複数の枕部は、選択的に使用される一方の枕部と他方の枕部を有しており、
前記一方の枕部は、前記他方の枕部よりも高さが大きく形成され、
前記他方の枕部は、接着剤を介して前記圧電振動片と接合される材料であって、かつ、その表面が前記接着剤に比べて光の反射率の高い材料からなっており、さらに、少なくとも前記接着剤の塗布される領域が前記励振電極を避けるように配置されている
ことを特徴とする圧電デバイス用パッケージ。
【請求項２】
前記一方の枕部は、前記他方の枕部に比べて、導電性が低いことを特徴とする請求項１に記載の圧電デバイス用パッケージ。
【請求項３】
前記他方の枕部は、前記圧電振動片の幅方向の中央部に対応して配置されていることを特徴とする請求項１または２に記載の圧電デバイス用パッケージ。
【請求項４】
前記一方の枕部は、前記圧電振動片の幅方向の両端部に対応した二箇所に、互いに略同じ高さをもって配置されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の圧電デバイス用パッケージ。
【請求項５】
前記他方の枕部の表面は、前記マウント用電極の表面と同じ導電材料から形成されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の圧電デバイス用パッケージ。
【請求項６】
前記他方の枕部は、前記一方の枕部に比べて前記励振電極から離れていることを特徴とする請求項５に記載の圧電デバイス用パッケージ。
【請求項７】
前記他方の枕部は、前記接着剤を塗布すべき領域を画像認識できる形状となっていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の圧電デバイス用パッケージ。
【請求項８】
励振電極を有する圧電振動片と、この圧電振動片が電気的機械的に接続されるマウント用電極を有するパッケージとを備えた圧電デバイスであって、
前記パッケージには、前記マウント用電極とは異なる位置に、前記圧電振動片を支えるための凸状でなる複数の枕部が設けられており、
前記複数の枕部は、選択的に使用される一方の枕部と他方の枕部を有しており、
前記一方の枕部は、前記他方の枕部よりも高さが大きく形成されて、
前記他方の枕部は、接着剤を介して前記圧電振動片と接合される材料であって、かつ、その表面が前記接着剤に比べて光の反射率の高い材料からなっており、さらに、少なくとも前記接着剤の塗布される領域が前記励振電極を避けるように配置されている
ことを特徴とする圧電デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電振動片を搭載するためのパッケージ、及びそのパッケージを用いた圧電デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＨＤＤ（ハード・ディスク・ドライブ）、モバイルコンピュータ、あるいはＩＣカード等の小型の情報機器や、携帯電話、自動車電話、またはページングシステム等の移動体通信機器やジャイロセンサなどの計測機器において、圧電振動子や圧電発振器或いはＳＡＷ（弾性表面波）共振子等の圧電デバイスが広く使用されている。
【０００３】
図１１はこの圧電デバイスの概略縦断面図である（例えば、特許文献１参照）。
この図の圧電デバイス１は、圧電振動片２と、圧電振動片２が収容されたパッケージ３とを有している。
圧電振動片２は、水晶等の圧電材料からなり、その圧電材料に駆動電圧を印加するための励振電極（図示せず）が設けられている。
【０００４】
パッケージ３は、圧電振動片２が収容された空間Ｓに露出した面であって、圧電振動片２の図１１の左側端部と対向する面にマウント用電極５を有している。そして、マウント用電極５の上に導電性接着剤９が塗布され、この導電性接着剤９の上に圧電振動片２の左側端部が載置されることで、圧電振動片２は片持ち式に接合固定されている。
【０００５】
ここで、パッケージ３は、空間Ｓに露出した面であって、圧電振動片２の自由端部の幅方向の中央に対応した領域に、凸状の枕部６を有している。これにより、圧電振動片２が片持ち式に接合固定されており、落下衝撃時に圧電振動片２の自由端部が振れた場合であっても、枕部６が圧電振動片２を支えて、パッケージ３の内底に衝突することで生ずる圧電振動片２の破損等を防止している。この際、枕部６については、これを金属材料にすると、圧電振動片２の表面に設けられた電極（図示せず）との間で電荷の移動が生じるなどして、振動特性に悪影響を及ぼす恐れがある。このため、図１１の枕部６は絶縁体で形成されるのが一般的である。
【０００６】
【特許文献１】特開２００１―２３７６６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、圧電デバイス１は、周波数が高く設定されている場合、圧電振動片２は薄くその自重が小さいため、圧電振動片２と枕部６とが接合固定されていなくてもよく、図１１に示すような、絶縁体で形成された枕部６を設ければ十分である。
しかし、周波数が低く設定されている圧電デバイスの場合、圧電振動片２は厚く、その自重が大きくなる。そうすると、落下の衝撃による圧電振動片２と枕部６との接触等により、圧電振動片２が傷つく恐れがある。このため、周波数が低く設定されている圧電デバイスの場合、圧電振動片の自由端を接着剤でパッケージに固定して、即ち、圧電振動片をマウント用電極５側と自由端側の双方で固定して、両持ち式に支持することが好ましい。
【０００８】
ところが、図１１のような枕部６が設けられたパッケージ３を用いて、圧電振動片２を両持ち式に支持することは困難である。
すなわち、圧電振動片２を片持ち式に支持する場合、励振電極と枕部６が接触してしまうと圧電デバイスの電気的特性の劣化を招く恐れがあるため、枕部６は励振電極と接触しないように小さく形成する必要がある。そして、この小さく形成された枕部６を有するパッケージ３をそのまま用いて、圧電振動片２の自由端を固定するとなると、その小さな枕部６に接着剤を塗布することは困難であり、また、接着剤を枕部６の付近に塗布する場合、枕部６による段差が邪魔になって、そこに接着剤を塗布量や塗布径を正確に制御しながら塗布することは困難である。
また、図１１に示すようなパッケージ３をそのまま用いると、圧電振動片２の自由端を接合するための接着剤の色とパッケージ３の内底面の色との識別がつき難い場合がある。特に、パッケージ３の内底面の圧電振動片２の自由端が接合されるエリアの表面がセラミックであると、接着剤塗布後にそのエリアを画像認識にかけた場合、接着剤もパッケージ内底面も光の反射率が小さく、共に「黒」で認識されてしまい、接着剤の塗布径の制御や塗布後の塗布径検査が困難となってしまう。
【０００９】
よって、圧電振動片２を両持ち式に接合する場合は、図１１に示すパッケージ３とは別に、枕部６が設けられておらず、かつ、パッケージ内底面に光の反射率の高い金属部が設けられたパッケージを用意する必要がある。このため、周波数が高い圧電振動片を片持ち式に接合する場合のパッケージ、及び周波数が低い圧電振動片を両持ち式に接合する場合のパッケージの２種類を確保しておかなければならない。
そして、このように圧電デバイス１の周波数の高低に応じて、２種類のパッケージを確保しておかなければならないとすると、管理の煩雑さ等から価格を抑えることができない。
【００１０】
本発明は、周波数の高低の設定にかかわらず、落下衝撃に対して優れた振動特性を発揮し、かつ、安価な圧電デバイス用パッケージ、及びこれを利用した圧電デバイスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の目的は、第１の発明によれば、励振電極を有する圧電振動片を電気的機械的に接続するためのマウント用電極が設けられた圧電デバイス用パッケージであって、前記マウント用電極とは異なる位置に、前記圧電振動片を支えるための凸状でなる複数の枕部が設けられており、前記複数の枕部は、選択的に使用される一方の枕部と他方の枕部を有しており、前記一方の枕部は、前記他方の枕部よりも高さが大きく形成され、前記他方の枕部は、接着剤を介して前記圧電振動片と接合される材料であって、かつ、その表面が前記接着剤に比べて光の反射率の高い材料からなっており、さらに、少なくとも前記接着剤の塗布される領域が前記励振電極を避けるように配置されている圧電デバイス用パッケージにより達成される。
【００１２】
第１の発明の構成によれば、パッケージには、マウント用電極とは異なる位置に、圧電振動片を支えるための凸状でなる枕部が設けられているため、落下衝撃時に圧電振動片のパッケージへの接触を防止できる。
ここで、枕部は複数あり、選択的に使用される一方の枕部と他方の枕部を有しており、一方の枕部は、他方の枕部よりも高さが大きく形成されている。このため、周波数が高くて自重の小さい圧電振動片をパッケージに搭載する場合は、この高さが大きい一方の枕部を用いるとよい。すなわち、圧電デバイスが落下した際、軽い圧電振動片は一方の枕部により支えられることになる。
これに対し、周波数が低く自重が大きい圧電振動片の場合は、高さの低い他方の枕部を用いる。すなわち、他方の枕部は、接着剤を介して圧電振動片と接合される材料であるため、圧電振動片を他方の枕部に接着剤を用いて固定して、落下による耐衝撃性を強くすることができる。この際、この他方の枕部は接着剤に比べて光の反射率の高い材料からなっているため、接着剤を画像認識しながら容易に他方の枕部に塗布することができる。さらに、他方の枕部については、少なくとも接着剤の塗布される領域が励振電極を避けるように配置されている。したがって、接着剤が励振電極に接触するなどして生ずる周波数の変化を防止することができる。
このように、高さや材質等の異なる複数の枕部を選択的に用いることで、共通するパッケージで、周波数の異なる圧電振動片に対応することができる。
かくして、本発明は、周波数の高低の設定にかかわらず、落下衝撃に対して優れた振動特性を発揮し、かつ、安価な圧電デバイス用パッケージを提供することができる。
【００１３】
第２の発明は、第１の発明の構成において、前記一方の枕部は、前記他方の枕部に比べて、導電性が低いことを特徴とする。
第２の発明の構成によれば、一方の枕部は、他方の枕部に比べて導電性が低いため、例えば一方の枕部と圧電振動片の励振電極との間における電荷の移動を抑制することができる。
【００１４】
第３の発明は、第１または第２の発明の構成において、前記他方の枕部は、前記圧電振動片の幅方向の中央部に対応して配置されていることを特徴とする。
第３の発明の構成によれば、他方の枕部は、圧電振動片の幅方向の中央部に対応して配置されている。したがって、圧電振動片を、幅方向についてバランスをとって、枕部に固定することができ、しかも、圧電振動片と他方の枕部が接着剤で固定される箇所は中央部のみであるため、接着剤の乾燥収縮に伴う圧電振動片への影響も有効に防止することができる。
【００１５】
第４の発明は、第１ないし第３の発明のいずれかの構成において、前記一方の枕部は、前記圧電振動片の幅方向の両端部に対応した二箇所に、互いに略同じ高さをもって配置されていることを特徴とする。
第４の発明の構成によれば、一方の枕部は、圧電振動片の幅方向の両端部に対応した二箇所に、互いに略同じ高さをもって配置されているため、落下しても圧電振動片の幅方向の傾きを防止することができる。
【００１６】
第５の発明は、第１ないし第４の発明のいずれかの構成において、前記他方の枕部の表面は、前記マウント用電極の表面と同じ導電材料から形成されていることを特徴とする。
第５の発明の構成によれば、他方の枕部の表面は、マウント用電極の表面と同じ導電材料から形成されている。したがって、マウント用電極側の接着剤と同様の接着成分を有する接着剤を用いて、マウント用電極側と同様にして、圧電振動片を枕部に固定することができ、かつ、圧電振動片をマウント用電極に接合すると同時に、枕部に接合することができる。
【００１７】
第６の発明は、第５の発明の構成において、前記他方の枕部は、前記一方の枕部に比べて前記励振電極から離れていることを特徴とする。
第６の発明の構成によれば、他方の枕部は、一方の枕部に比べて励振電極から離れているため、例えば他方の枕部と励振電極との間で生ずる浮遊容量を抑制することができる。
【００１８】
第７の発明は、第１ないし第６の発明のいずれかの構成において、前記他方の枕部は、前記接着剤を塗布すべき領域を画像認識できる形状となっていることを特徴とする。
第７の発明の構成によれば、他方の枕部は、接着剤を塗布すべき領域を画像認識できる形状となっているため、接着剤を所定の場所に確実に塗布して、例えば、導電性接着剤と励振電極との間における電荷の移動を確実に防止することができる。
【００１９】
また、上記目的は、第８の発明によれば、励振電極を有する圧電振動片と、この圧電振動片が電気的機械的に接続されるマウント用電極を有するパッケージとを備えた圧電デバイスであって、前記パッケージには、前記マウント用電極とは異なる位置に、前記圧電振動片を支えるための凸状でなる複数の枕部が設けられており、前記複数の枕部は、選択的に使用される一方の枕部と他方の枕部を有しており、前記一方の枕部は、前記他方の枕部よりも高さが大きく形成されて、前記他方の枕部は、接着剤を介して前記圧電振動片と接合される材料であって、かつ、その表面が前記接着剤に比べて光の反射率の高い材料からなっており、さらに、少なくとも前記接着剤の塗布される領域が前記励振電極を避けるように配置されている圧電デバイスにより達成される。
【００２０】
第８の発明の構成によれば、圧電デバイスのパッケージは、複数の枕部のうち、一方の枕部が、他方の枕部よりも高さが大きく形成されており、他方の枕部が、接着剤を介して圧電振動片と接合される材料であって、かつ、その表面が接着剤に比べて光の反射率の高い材料からなっており、さらに、少なくとも接着剤の塗布される領域が励振電極を避けるように配置されている。したがって、第１の発明と同様に、一方の枕部或いは他方の枕部のいずれかを、圧電振動片のタイプに応じて選択的に使用し、共通するパッケージで、周波数の異なる圧電振動片に対応することができる。かくして、本発明は、周波数の高低の設定にかかわらず、落下衝撃に対して優れた振動特性を発揮し、かつ、安価なパッケージを用いた圧電デバイスを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
図１及び図２は、本発明の圧電デバイス用パッケージ（以下「パッケージ」という）１０の実施の形態を示しており、図１はその概略平面図、図２は図１のＡ−Ａ線概略断面図である。
そして、この実施形態のパッケージ１０を共通にして、２種類の圧電振動片を個別に搭載して構成されたのが、図３乃至図６に示す圧電デバイス５０，５２である。
すなわち、図３及び図４は周波数が高く設定された圧電振動片を搭載した圧電デバイス５０であって、図３は圧電デバイス５０の概略平面図、図４は図３のＢ−Ｂ線概略断面図である。また、図５及び図６は周波数が低く設定された圧電振動片を搭載した圧電デバイス５２であって、図５は圧電デバイス５２の概略平面図、図６は図５のＣ−Ｃ線概略断面図である。
【００２２】
先ず、圧電デバイス５０，５２に共通するパッケージ１０について、図１及び図２を主に用い、図３乃至図６を適宜参照しながら説明する。
パッケージ１０は、圧電振動片を収容するための容器であって、全体的に枡状に形成されている。
具体的には、パッケージ１０は、絶縁材料としてセラミックから形成されており、図２に示すように、酸化アルミニウム質のセラミックグリーンシートを成形して形成される複数の基板１２，１４を順次積層した後、焼結して形成されている。
【００２３】
第２の基板１４は、その内側に所定の孔を形成して枠状となっており、第１の基板１２に積層した場合に内側に所定の内部空間Ｓ１が形成されるようになっている。
この内部空間Ｓ１は、圧電振動片を収容するための収容空間であり、図４および図６に示すように、圧電振動片２０を収容した後、ロウ材１８により蓋体１６で気密に封止される。蓋体１６は、蓋封止後に、レーザー光で圧電振動片２０の質量を変更する方法により周波数調整を可能にするために、例えばガラスなどの光を透過する材料で形成されている。
【００２４】
第１の基板１２は、図１及び図２に示すように、パッケージ１０の底部を形成するための底部基板であって、平板状に形成されている。
この第１の基板１２の内部空間Ｓ１に露出した平面１２ａ（即ち、パッケージ１０の内底）には、図１に示すように、長手方向の一方の端部であって幅方向の両端部の２箇所に、マウント用電極３１，３１が設けられている。
【００２５】
マウント用電極３１，３１は、圧電振動片と電気的機械的に接続され、実装端子３３と導通することで、圧電振動片に駆動電圧を供給するものである。
具体的には、マウント用電極３１，３１は、図２の点線で囲ったマウント用電極３１の拡大斜視図に示すように、例えば、下地層３１ａとしてタングステン（Ｗ）をメタライズし、その上にニッケル３１ｂ及び金３１ｃをメッキして形成されている。
【００２６】
そして、図３ないし図６に示すように、このマウント用電極３１，３１の上に、ディスペンサー等で導電性接着剤４３，４３が塗布され、この導電性接着剤４３，４３の上に圧電振動片２０の一方の端部２０ａが載置されて、導電性接着剤４３が硬化することで、圧電振動片２０とマウント用電極３１とが電気的機械的に接続されている。尚、導電性接着剤４３は、導通機能を発揮する銀粒子等の導電性フィラーと、接合力を発揮する樹脂成分とを有している。樹脂成分には、エポキシ系やシリコーン系などの樹脂を利用できるが、本実施形態では、圧電振動片２０とパッケージ１０との間で振動が伝達されないようにするため、柔軟性のあるシリコーン系の樹脂が用いられている。
【００２７】
また、図１及び図２に示すように、第１の基板１２の内部空間Ｓ１に露出した平面１２ａには、マウント用電極３１，３１とは異なる位置に、圧電振動片を支えるための凸状でなる枕部３４が設けられている。この枕部３４は、図３ないし図６に示す圧電デバイス５０，５２が落下した場合、その衝撃で、圧電振動片２０が損傷しないようにするための部分である。
具体的には、マウント電極３１，３１がパッケージ１０の長手方向の一方の端部であって幅方向の両端部に設けられ、圧電振動片が片持ち式に接合されているため、枕部３４は、パッケージ１０のマウント電極３１と反対側の端部付近であって、図３ないし図６に示すように、圧電振動片２０の自由端部の下方に配置されている。
なお、この枕部３４についは、後で詳細に説明する。
【００２８】
次に、このようなパッケージ１０を利用して形成された圧電デバイス５０，５２について、図３乃至図６を主に用いて説明する。なお、以下、特段の言及がない限り、圧電デバイス５０，５２について説明した構成はそれぞれ同じ構成である。
これらの図の圧電デバイス５０，５２は、上述したパッケージ１０に圧電振動片２０が収容された圧電振動子を例示している。なお、本発明の圧電デバイス５０，５２はこれに限られるものではなく、圧電発振器やＳＡＷ共振子などであっても勿論構わない。
【００２９】
圧電デバイス５０，５２に収容された圧電振動片２０は、圧電材料として例えば水晶をエッチングして形成されており、本実施形態の場合、全体が矩形状にカットされた所謂ＡＴカット振動片とされている。なお、本発明の圧電振動片２０はこれに限られず、逆メサ型・メサ型等であってもよく、また、圧電材料も水晶以外のタンタル酸リチウムやニオブ酸リチウム等を用いることができる。
そして、圧電振動片２０は、その表面に電極（以下「表面電極」という）２２を有しており、表面電極２２は、本実施形態の場合、励振電極２３と引出電極２４とからなっている。
【００３０】
励振電極２３は、駆動電圧を印加して圧電材料の振動を励振させる電極であり、圧電振動片２０の主面（上面と下面）の周縁部を除く広い領域に形成されている。
引出電極２４は、図３に示すように、圧電振動片２０の長手方向の一方の端部であって幅方向の両端である角部に、上下面の励振電極２３，２３を夫々引き出すようにして形成されており、励振電極２３，２３と一体に形成されている。
引出電極２４および励振電極２３は、例えば、下地層をクロム（Ｃｒ）とし、その上に、表層部として金（Ａｕ）をスパッタリングするなどして成膜されている。
そして、引出電極２４，２４が上述した導電性接着剤４３，４３の上に載置され、引出電極２４，２４とマウント用電極３１，３１とが接合することで、圧電振動片２０は、パッケージ１０に対して電気的機械的に接続される。
【００３１】
ここで、圧電デバイス５０，５２は、周波数の異なる圧電振動片２０が個別に搭載されており、圧電デバイス５０については、周波数が高くなるように厚みの小さい圧電振動片２０が搭載されている。これに対し、圧電デバイス５２は、周波数が低くなるように厚みの大きい圧電振動片２０が搭載されている。
そして、この厚み（即ち自重）の異なる圧電振動片２０を、個別に搭載するパッケージ１０については、圧電デバイス５０及び圧電デバイス５２ともに同じ構成となっており、その圧電振動片２０の搭載手法のみが異なっている。
【００３２】
すなわち、圧電デバイス５０及び圧電デバイス５２に共通するパッケージ１０は、複数の枕部３４を有しており、この複数の枕部３４は、圧電振動片２０の自重に応じて選択に使用される一方の枕部３６と他方の枕部３５を有している。そして、圧電振動片２０の自重が小さい場合は、図３及び図４に示すように、圧電振動片２０は２つのマウント用電極３１，３１のみに接合して２点で支持され、枕部３４（一方の枕部３６及び他方の枕部３５）と圧電振動片２０とは接合されない。これに対し、圧電振動片２０の自重が大きい場合は、図５及び図６に示すように、圧電振動片２０は、マウント用電極３１，３１だけではなく他方の枕部３５とも接合されて３点で支持される。
【００３３】
具体的には、一方の枕部３６は、図２の一点鎖線で囲った枕部３４の拡大斜視図に示されるように、その高さ寸法Ｈ１が、他方の枕部３５の高さ寸法Ｈ２に比べて大きく形成されている。この他方の枕部３５よりも背の高い一方の枕部３６は、周波数の高い圧電振動片に用いられ、一方の枕部３６が利用される場合、図３及び図４に示される圧電デバイス５０となる。すなわち、周波数の高い圧電振動片２０は自重が小さいため、圧電デバイス５０が落下しても、パッケージ１０の内底１２ａに接触しなければ損傷する恐れが少ない。このため、一方の枕部３６は圧電振動片２０と接触するが、接合固定しないようにしている。また、他方の枕部３５は一方の枕部３６より低いため、一方の枕部３６の圧電振動片２０を支える機能を阻害することがない。
【００３４】
このような一方の枕部３６は、圧電振動片２０との接合を考慮することがないため、導電性の低い材料を用いて形成することができ、これにより、圧電振動片２０の表面電極２２との間における電荷の移動等を抑制することができる。
さらに、一方の枕部３６は、図２に示すマウント用電極３１の下地層３１ａ（本実施形態の場合タングステン）と同様の材料から形成されており、その高さ寸法Ｈ１は、マウント用電極３１の下地層３１ａの厚み（図２の場合は１５μｍ）の整数倍となっている。本実施形態の場合、一方の枕部３６は、図２に示されるように、１５μｍの厚みを有するタングステン（Ｗ）３６ａを２回印刷して、全体として３０μｍ（即ち下地層３１ａの２倍）の高さ寸法Ｈ１としている。これにより、一方の枕部３６は、マウント用電極３１を形成する際に、容易に形成することができる。
【００３５】
なお、一方の枕部３６の構成はこれに限られず、例えば圧電デバイス５０の小型化に伴って、圧電振動片２０の励振電極２３と一方の枕部３６との距離を極めて小さく設定しなければならない場合は、アルミナコート等の非導電性部材で形成するとよい。これにより、浮遊容量なども確実に抑えることができる。そして、一方の枕部３６をアルミナコートにした場合は、一回の印刷で３０μｍ程の高さ寸法を形成することができる。
【００３６】
また、一方の枕部３６は、図２及び図３に示されるように、圧電振動片２０の幅方向の両端部に対応した二箇所に設けられており、この二箇所の一方の枕部３６，３６は、互いに略同じ高さ寸法Ｈ１をもって形成されている。したがって、圧電デバイス５０が落下しても、圧電振動片２０の幅方向の傾きを防止することができる。なお、圧電振動片２０の傾きを防止するためには、一方の枕部３６，３６は、圧電振動片２０の幅方向の両端部に対応して配置されていればよく、例えば、図７に示すように、圧電振動片２０の長手方向の中央付近に配置されてもよい。本実施形態の場合、圧電振動片２０は片持ち式に固定され、自由端が最も大きく振れるため、一方の枕部３６，３６を、圧電振動片２０の自由端部の下方に設けて、圧電振動片２０がパッケージ１０の内底１２ａに接触することを有効に防止している。
【００３７】
このような一方の枕部３６に対し、他方の枕部３５は、図２及び図６に示すように、その高さ寸法Ｈ２が、一方の枕部３６の高さ寸法Ｈ１に比べて小さく、かつ、接着剤４７を介して圧電振動片２０と接合できる材料からなっており、周波数の低い圧電振動片に用いられる。そして、この他方の枕部３５が利用される場合、図５及び図６に示される圧電デバイス５２となる。すなわち、周波数の低い圧電振動片は自重が大きいため、圧電デバイス５２の落下により、圧電振動片２０が損傷する恐れが高くなる。このため、他方の枕部３５と圧電振動片２０とを接着剤４７で接合固定している。なお、他方の枕部３５は圧電振動片２０と接合される必要があることから、他方の枕部３５の高さ寸法Ｈ２と接着剤４７の高さ寸法Ｈ３とを加算した寸法は、一方の枕部３６の高さ寸法Ｈ１（図２参照）より大きく設定される。
【００３８】
このような他方の枕部３５は、単に一方の枕部３６の高さより低いだけで足りるものはなく、図６に示すように、圧電振動片２０が略水平となるように、他方の枕部３５の高さ寸法Ｈ２と、その上の接着剤４７の高さ寸法Ｈ３とを設定する必要がある。そして、本実施形態の場合、接着剤４７は、圧電振動片２０をマウントするための接着剤（図の場合、導電性接着剤４３）と同じものを用いているため、他方の枕部３５の高さ寸法Ｈ２を、マウント用電極３１の高さ寸法Ｈ４と同様に設定している。即ち、接着剤４７と導電性接着剤４３との粘度や硬化速度等を同様にしているため、その下の土台部分である他方の枕部３５とマウント用電極３１の高さを合わせることで、容易に圧電振動片２０を水平にすることができる。
【００３９】
具体的には、他方の枕部３５は、図６に示すように、下地層３５ａとしてタングステンをメタライズし、その上にニッケル３５ｂ及び金３５ｃをメッキして形成されている。なお、下地層３５ａの厚みは、一方の枕部３６の一回目の印刷や、マウント用電極３１の下地層３１ａ（図２参照）と同様に１５μｍであり、ニッケル３５ｂの層は３μｍ、金３５ｃの層は０．６μｍである。
このように他方の枕部３５は、マウント用電極３１と同様の構成であり、このため、他方の枕部３５とマウント用電極３１とを同時に形成することもできる。
【００４０】
また、他方の枕部３５の表面とマウント用電極３１の表面とが同じ導電材料から形成されることになり、圧電振動片２０をマウント用電極３１に接合すると同時に、他方の枕部３５にも接合でき、しかも、接着剤４７の他方の枕部３５に対する濡れ拡がり方と、導電性接着剤４３のマウント用電極３１に対する濡れ拡がり方とを合わせられ、容易に圧電振動片２０を水平にすることができる。
【００４１】
さらに、他方の枕部３５の表面（本実施形態の場合、金３５ｃ）は、少なくとも硬化前の接着剤４７（本実施形態の場合、シリコーン系導電性接着剤）に比べて、光の反射率の高い材料からなる。したがって、接着剤塗布装置のカメラやＣＣＤで画像認識している図８に示すように、他方の枕部３５を接着剤４７に比べて明るく画像認識して、他方の枕部３５に接着剤４７を容易に塗布することができ、もって接着剤４７の高さ寸法Ｈ３を正確に設定することもできる。
【００４２】
なお、接着剤４７は、必ずしもマウント用の導電性接着剤４３と全く同じでなくてもよく、例えば、励振電極２３との短絡や浮遊容量を考慮して、導電性接着剤のうち導電性フィラーがない樹脂成分（溶剤等を含む）としてもよい。
本実施形態の接着剤４７は、導電性フィラーの有無により硬化速度が変化することから、マウント用の導電性接着剤４３と同じ成分にしている。
【００４３】
そして、このように接着剤４７を導電性にしたことから、図５に示すように、他方の枕部３５は、少なくとも接着剤４７の塗布される領域が励振電極２３を避けるように配置されており、励振電極２３との短絡等を防止するようにしている。
また、他方の枕部３５は、接着剤４７を塗布すべき領域を画像認識できる形状となっている。具体的には、他方の枕部３５は、セラミック製のパッケージ１０の内底１２ａに設けられているため、図８に示すように、パッケージ１０の内底１２ａに対して相対的に明るく画像認識することができ、接着剤４７を塗布する領域を、パッケージ１０の内底１２ａから容易に区別できるようにしている。これにより、励振電極２３を避けるように接着剤４７を所定の場所に確実に塗布し、接着剤４７と励振電極２３との間における電荷の移動等を確実に防止できる。
【００４４】
また、他方の枕部３５は、図５に示すように、圧電振動片２０の幅方向の略中央部に対応して配置されており、背の高い一方の枕部３６に挟まれている。これにより、圧電振動片２０を幅方向についてバランスをとって、他方の枕部３５に固定することができる。しかも、他方の枕部３５が接合される圧電振動片２０の箇所は中央部のみであるため、接着剤４７の乾燥収縮により圧電振動片２０に与える応力を有効に抑制することができる。
【００４５】
なお、図５及び図６に示すように、他方の枕部３５は、一方の枕部３６，３６に挟まれるように中央部に配置され、また、接着剤４７の高さＨ３を導電性接着剤４３の高さと揃えるためにある程度の水平面の面積を必要とすることから、図５に示すように、いきおい励振電極２３側に突出せざるを得ず、その結果、励振電極２３との間で浮遊容量が増す恐れがある。
そこで、パッケージ１０の概略平面図である図１の変形例に係る図９に示すように、他方の枕部３５は、少なくとも一方の枕部３６に比べて励振電極２３から離れるように形成し、他方の枕部３５と励振電極２３との間で生ずる浮遊容量を抑制するようにしてもよい。その際、他方の枕部３５の接着剤４７が塗布される面積が小さく、接着剤４７の高さＨ３（図６参照）を導電性接着剤４３の高さと揃えることができなくても、他方の枕部３５の高さをマウント用電極３１に比べて高く形成して、圧電振動片２０を水平にすることができる。
【００４６】
また、圧電振動片２０側についても、接着剤４７との接合性を考慮して、電極膜と同じ成分からなる膜２７を形成しており、本実施形態の場合、下地層をクロム（Ｃｒ）とし、その上に、表層部として金（Ａｕ）をスパッタリングするなどして成膜されている。
【００４７】
本発明の実施形態に係るパッケージ１０及びこれを利用した圧電デバイス５０，５２は以上のように構成されており、周波数が高くて自重の小さい圧電振動片２０をパッケージ１０に搭載する場合、背の高い一方の枕部３６を利用して、落下による圧電振動片２０のパッケージ１０への衝突を防止することができる。また、周波数が低く自重が大きい圧電振動片２０の場合は、高さの低い他方の枕部３５と圧電振動片２０とを、接着剤４７で接合固定し、落下による耐衝撃性を強くすることができる。この際、他方の枕部３５は接着剤４７に比べて光の反射率の高い材料からなっているため、画像認識しながら、接着剤４７を容易に他方の枕部３５に塗布できる。さらに、他方の枕部３５については、少なくとも接着剤４７の塗布される領域が励振電極２３を避けるように配置されているため、接着剤４７が励振電極２３に接触するなどして生ずる周波数の変化を防止することができる。
このように、高さや材質等の異なる一方の枕部３６と他方の枕部３５とを、圧電振動片２０の外形或いは自重に応じて、いずれか一方を選択的に使用することで、一つのパッケージ１０で、周波数の異なる圧電振動片２０に対応することができる。
【００４８】
本発明は上述の実施形態に限定されない。各実施形態の各構成はこれらを適宜組み合わせ、省略し、図示しない他の構成と組み合わせることができる。
例えば、パッケージ１０の概略平面図である図１の変形例に係る図１０に示すように、一方の枕部３５と他方の枕部３６の双方を、圧電振動片の幅方向の中央部に配置するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の実施形態に係るパッケージの概略平面図。
【図２】図１のＡ−Ａ線概略断面図。
【図３】本発明の実施形態に係るパッケージに、周波数の高い圧電振動片を搭載した圧電デバイスの概略平面図。
【図４】図３のＢ−Ｂ線概略断面図。
【図５】本発明の実施形態に係るパッケージに、周波数の低い圧電振動片を搭載した圧電デバイスの概略平面図。
【図６】図５のＣ−Ｃ線概略断面図。
【図７】本発明の実施形態のパッケージの変形例に係る概略平面図。
【図８】接着剤塗布装置のカメラやＣＣＤで画像認識している図。
【図９】本発明の実施形態のパッケージの変形例に係る概略平面図。
【図１０】本発明の実施形態のパッケージの変形例に係る概略平面図。
【図１１】従来の圧電デバイスの概略断面図。
【符号の説明】
【００５０】
１０・・・パッケージ、２０・・・圧電振動片、２３・・・励振電極、３１・・・マウント用電極、３４・・・枕部、３５・・・他方の枕部、３６・・・一方の枕部、４３・・・導電性接着剤、４７・・・接着剤、５０，５２・・・圧電デバイス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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