(57)【要約】【課題】複雑、大規模な回路構成を必要とすることなく簡単な回路構成で、所望の高域強調信号及び低域強調信号を生成することができ、任意の伝送損失を模擬することができるドライバ回路を提供する。【解決手段】入力信号に応じた波形の出力信号を出力するドライバ回路１０において、入力信号が入力され、入力信号と同一波形の信号を出力信号として出力するメインドライバ１４と、入力信号が入力され、入力信号と同一波形の非反転信号と、入力信号を反転した波形の反転信号とからなる差動信号を出力するサブドライバ１６と、抵抗２８、３２（３４、３８）及び可変容量コンデンサ３２（３８）により構成され、非反転信号を微分した信号を出力し、反転信号を微分した信号を出力する微分回路と、メインドライバ１４の出力信号と非反転信号を微分した信号とを加算した高域強調信号又はメインドライバ１４の出力信号と反転信号を微分した信号とを加算した低域強調信号を出力信号として出力する加算部２６とを有している。【選択図】  図１
2008211620.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力信号に応じた波形の出力信号を出力するドライバ回路であって、
前記入力信号が入力され、前記入力信号に応じた第１の信号を出力するメインドライバと、
前記入力信号が入力され、前記入力信号に応じた第２の信号を出力するサブドライバと、
抵抗及び可変容量コンデンサにより構成され、前記第２の信号を微分した第３の信号を出力する微分回路と、
前記第１の信号と前記第３の信号とを加算した前記出力信号を出力する加算部と
を有することを特徴とするドライバ回路。
【請求項２】
入力信号に応じた波形の出力信号を出力するドライバ回路であって、
前記入力信号が入力され、前記入力信号に応じた第１の信号を出力するメインドライバと、
前記入力信号が入力され、前記入力信号に応じた第２の信号と、前記入力信号を反転した第３の信号とからなる差動信号を出力するサブドライバと、
抵抗及び可変容量コンデンサにより構成され、前記第２の信号を微分した第４の信号を出力し、前記第３の信号を微分した第５の信号を出力する微分回路と、
前記第１の信号と前記第４の信号とを加算した高域強調信号又は前記第１の信号と前記第５の信号とを加算した低域強調信号を前記出力信号として出力する加算部と
を有することを特徴とするドライバ回路。
【請求項３】
請求項１又は２記載のドライバ回路において、
前記可変容量コンデンサは、ダイオードよりなる
ことを特徴とするドライバ回路。
【請求項４】
請求項１又は２記載のドライバ回路において、
前記可変容量コンデンサは、トランジスタよりなる
ことを特徴とするドライバ回路。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接続先の回路に信号を供給するドライバ回路に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体試験装置は、被試験デバイス（以下、ＤＵＴという）に所定のパターンデータの信号を入力し、その信号によるＤＵＴの出力波形から出力データを読み取り、出力データと期待値データとを比較することにより、ＤＵＴの動作を試験する装置である。
【０００３】
近時、ＣＰＵ、ＭＰＵ、メモリ等における転送ビットレートが高速化するにつれて、各ＬＳＩ間の接続部での伝送損失を補償する必要が生じている。通常、伝送線路は積分特性を有しており、伝送線路により信号の高周波成分が損失される。このため、ＬＳＩの内部に、伝送損失を補償するための高域強調回路が設けられている場合がある。
【０００４】
このような高域強調回路を内蔵したＬＳＩについては、高域強調回路が正常に動作しているか否かを試験する必要がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
伝送損失を補償するためにＤＵＴに内蔵された高域強調回路を試験する半導体試験装置にあっては、任意の損失条件による伝送損失を受けた信号を模擬した信号を生成することができ、種々のＤＵＴを試験することが可能であることが望ましい。
【０００６】
また、半導体試験装置には、ＤＵＴに供給するする信号として、高域を強調した高域強調信号を生成することが要求される場合もある。例えば、半導体試験装置のドライバ回路側で、伝送線路による信号の損失分を予め補償した高域強調信号を生成することが要求される場合がある。
【０００７】
伝送損失を受けた信号を模擬した信号、すなわち低域を強調した低域強調信号や、高域強調信号は、抵抗とコンデンサとにより構成されるＲＣ微分回路、ＲＣ積分回路を用いて実現することができる。
【０００８】
しかしながら、単純に構成した微分回路、積分回路を用いて伝送損失を模擬したのでは、任意の伝送損失を模擬することは困難である。或いは回路の複雑化、大規模化を招くことになる。
【０００９】
本発明の目的は、複雑、大規模な回路構成を必要とすることなく簡単な回路構成で、所望の高域強調信号及び低域強調信号を生成することができ、任意の伝送損失を模擬することができるドライバ回路を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的は、入力信号に応じた波形の出力信号を出力するドライバ回路であって、前記入力信号が入力され、前記入力信号に応じた第１の信号を出力するメインドライバと、前記入力信号が入力され、前記入力信号に応じた第２の信号を出力するサブドライバと、抵抗及び可変容量コンデンサにより構成され、前記第２の信号を微分した第３の信号を出力する微分回路と、前記第１の信号と前記第３の信号とを加算した前記出力信号を出力する加算部とを有することを特徴とするドライバ回路により達成される。
【００１１】
また、上記目的は、入力信号に応じた波形の出力信号を出力するドライバ回路であって、前記入力信号が入力され、前記入力信号に応じた第１の信号を出力するメインドライバと、前記入力信号が入力され、前記入力信号に応じた第２の信号と、前記入力信号を反転した第３の信号とからなる差動信号を出力するサブドライバと、抵抗及び可変容量コンデンサにより構成され、前記第２の信号を微分した第４の信号を出力し、前記第３の信号を微分した第５の信号を出力する微分回路と、前記第１の信号と前記第４の信号とを加算した高域強調信号又は前記第１の信号と前記第５の信号とを加算した低域強調信号を前記出力信号として出力する加算部とを有することを特徴とするドライバ回路により達成される。
【００１２】
また、上記のドライバ回路において、前記可変容量コンデンサは、ダイオードよりなるようにしてもよい。
【００１３】
また、上記のドライバ回路において、前記可変容量コンデンサは、トランジスタよりなるようにしてもよい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、入力信号に応じた波形の出力信号を出力するドライバ回路において、入力信号が入力され、入力信号に応じた第１の信号を出力するメインドライバと、入力信号が入力され、入力信号に応じた第２の信号を出力するサブドライバと、抵抗及び可変容量コンデンサにより構成され、第２の信号を微分した第３の信号を出力する微分回路と、第１の信号と第３の信号とを加算した出力信号を出力する加算部とを備えるので、複雑、大規模な回路構成を必要とすることなく簡単な回路構成で、所望の高域強調信号及び低域強調信号を生成することができ、任意の伝送損失を模擬することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
［一実施形態］
本発明の一実施形態によるドライバ回路について図１乃至図６を用いて説明する。図１は本実施形態によるドライバ回路の構成を示すブロック図、図２及び図３は本実施形態によるドライバ回路の各点における信号の波形を示す波形図、図４は非反転信号高域強調回路及び反転信号高域強調回路を構成するＲＣ微分回路において可変容量コンデンサに代えて通常のコンデンサを用いた場合の不都合を説明する図、図５は本実施形態によるドライバ回路の具体的な回路構成を示す回路図、図６は本実施形態によるドライバ回路の具体的な回路構成において非反転信号高域強調回路と反転信号高域強調回路とに共通のＲＣ微分回路を示す回路図である。
【００１６】
本実施形態によるドライバ回路１０は、半導体試験装置におけるドライバ回路であり、信号生成部１２により生成された信号が入力信号として入力され、入力信号に応じて、高域を強調した高域強調信号、又は低域を強調した低域強調信号、すなわち伝送損失を模擬した模擬信号を生成し、生成した信号をＤＵＴに供給するものである。低域強調信号により、伝送損失を補償するためにＤＵＴに内蔵された高域強調回路を試験することができる。
【００１７】
本実施形態によるドライバ回路１０は、図１に示すように、メインドライバ１４と、サブドライバ１６と、非反転信号高域強調回路１８と、反転信号高域強調回路２０と、非反転信号高域強調回路１８及び反転信号高域強調回路２０のそれぞれに対応して設けられた２つの乗算回路２２、２４と、加算部２６とを有している。
【００１８】
本実施形態によるドライバ回路１０には、信号生成部１２により生成された所定の波形を有する信号が入力信号として入力される。信号生成部１２により生成する信号としては、例えば、所定のパルス幅及び振幅を有する方形波状のパルス信号が用いられる。
【００１９】
メインドライバ１４は、信号生成部１２により生成された信号が入力信号として入力され、入力信号と同一波形の信号を出力信号として出力する。
【００２０】
サブドライバ１６は、差動ドライバにより構成されており、信号生成部１２により生成された信号が入力信号として入力され、入力信号と同一波形の非反転信号と、入力信号を反転した波形の反転信号とからなる差動信号を出力信号として出力する。
【００２１】
非反転信号高域強調回路１８は、抵抗２８、３０及び可変容量コンデンサ３２よりなるＲＣ微分回路として構成されている。非反転信号高域強調回路１８は、ドライバ回路１０の出力信号として高域を強調した高域強調信号を生成する高域強調動作時において、メインドライバ１４の出力信号に加算される、非反転信号の高域を強調した信号を生成するためのものである。すなわち、非反転信号高域強調回路１８は、サブドライバ１６から出力される差動信号のうち非反転信号が入力信号として入力され、入力信号の高周波成分を透過し、入力信号の高域を強調した信号、すなわち入力信号を微分した微分信号を出力信号として出力する。
【００２２】
反転信号高域強調回路２０は、抵抗３４、３６及び可変容量コンデンサ３８よりなるＲＣ微分回路として構成されている。反転信号高域強調回路２０は、ドライバ回路１０の出力信号として低域を強調した低域強調信号を生成する低域強調動作時において、メインドライバ１４の出力信号に加算される、反転信号の高域を強調した信号を生成するためのものである。すなわち、反転信号高域強調回路２０は、サブドライバ１６から出力される差動信号のうち反転信号が入力信号として入力され、入力信号の高周波成分を透過し、入力信号の高域を強調した信号、すなわち入力信号を微分した微分信号を出力信号として出力する。
【００２３】
乗算回路２２は、対応する非反転信号高域強調回路１８の出力信号が入力信号として入力され、入力信号に所定の補正値を乗じることにより入力信号の振幅を調整した信号を出力信号として出力する。
【００２４】
乗算回路２４は、対応する反転信号高域強調回路２０の出力信号が入力信号として入力され、入力信号に所定の補正値を乗じることにより入力信号の振幅を調整した信号を出力信号として出力する。
【００２５】
加算部２６は、２つの乗算回路２２、２４のそれぞれに対応して設けられた２つの加算回路４０、４２を有している。
【００２６】
加算回路４０は、高域強調動作時において、メインドライバ１４の出力信号及び対応する乗算回路２２の出力信号が入力され、乗算回路２２により振幅が調整された非反転信号高域強調回路１８の出力信号をメインドライバ１４の出力信号に加算した信号を出力信号として出力する。
【００２７】
加算回路４２は、低域強調動作時において、メインドライバ１４の出力信号及び対応する乗算回路２４の出力信号が入力され、乗算回路２４により振幅が調整された反転信号高域強調回路２０の出力信号をメインドライバ１４の出力信号に加算した信号を出力信号として出力する。
【００２８】
こうして、加算部２６は、高域強調動作時における出力信号として加算回路４０の出力信号を出力し、低域強調動作時における出力信号として加算回路４２の出力信号を出力する。
【００２９】
加算部２６の出力信号は、ＤＵＴに入力され、ＤＵＴの試験が行われる。
【００３０】
本実施形態によるドライバ回路１０は、高域が強調された高域強調信号を出力信号として出力する高域強調動作と、低域が強調された低域強調信号を出力信号として出力する低域強調動作とを選択的に行う。
【００３１】
高域強調動作時においては、乗算回路２２により振幅が調整された非反転信号高域強調回路１８の出力信号をメインドライバ１４の出力信号に加算した高域強調信号を出力信号として出力する。
【００３２】
図２は、高域強調動作時における本実施形態によるドライバ回路１０の各点における信号の波形を示す波形図であり、図１に示す回路構成のＡ点、Ｂ点、Ｃ１点、Ｄ１点、Ｅ１点、Ｆ点における信号の波形を示している。図２（ａ）は信号生成部１２により生成される信号（Ａ点の信号）及びメインドライバ１４の出力信号（Ｂ点の信号）の波形を示している。図２（ｂ）はサブドライバ１６が出力する差動信号のうち非反転信号（Ｃ１点の信号）の波形を示している。図２（ｃ）は非反転信号高域強調回路１８の出力信号（Ｄ１点の信号）の波形を示している。図２（ｄ）は乗算回路２２の出力信号（Ｅ１点の信号）の波形を示している。図２（ｅ）は加算部２６の出力信号（Ｆ点の信号）の波形を示している。
【００３３】
メインドライバ１４の出力信号は、図２（ａ）に示すように、信号生成部１２により生成された信号と同一波形の信号である。
【００３４】
また、サブドライバ１６が出力する差動信号のうち非反転信号は、図２（ｂ）に示すように、信号生成部１２により生成された信号と同一波形の信号である。
【００３５】
非反転信号高域強調回路１８の出力信号は、図２（ｃ）に示すように、図２（ｂ）に示すサブドライバ１６の非反転信号の高域を強調した微分信号である。ここで、可変容量コンデンサ３２の容量を制御することにより、非反転信号高域強調回路１８から出力される微分信号を任意波形に整形することができる。
【００３６】
乗算回路２２の出力信号は、図２（ｄ）に示すように、図２（ｃ）に示す非反転信号高域強調回路１８の出力信号の振幅を例えば１／２倍に調整した波形の信号である。
【００３７】
加算部２６の出力信号は、図２（ｅ）に示すように、図２（ａ）に示すメインドライバ１４の出力信号に、図２（ｄ）に示す振幅が例えば１／２倍に調整された非反転信号高域強調回路１８の出力信号を加算回路４０により加算した波形の信号である。このように、本実施形態によるドライバ回路１０は、高域強調動作時において、乗算回路２２により振幅が調整された非反転信号高域強調回路１８の出力信号をメインドライバ１４の出力信号に加算することにより、メインドライバ１４の出力信号のエッジが強調された波形の高域強調信号を生成する。
【００３８】
また、低域強調動作時においては、乗算回路２４により振幅が調整された反転信号高域強調回路２０の出力信号をメインドライバ１４の出力信号に加算した低域強調信号、すなわち伝送損失を模擬した模擬信号を出力信号として出力する。
【００３９】
図３は、低域強調動作時における本実施形態によるドライバ回路の各点における信号の波形を示す波形図であり、図１に示す回路構成のＡ点、Ｂ点、Ｃ２点、Ｄ２点、Ｅ２点、Ｆ点における信号の波形を示している。図３（ａ）は信号生成部１２により生成される信号（Ａ点の信号）及びメインドライバ１４の出力信号（Ｂ点の信号）の波形を示している。図３（ｂ）はサブドライバ１６が出力する差動信号のうち反転信号（Ｃ２点の信号）の波形を示している。図３（ｃ）は反転信号高域強調回路２０の出力信号（Ｄ２点の信号）の波形を示している。図３（ｄ）は乗算回路２４の出力信号（Ｅ２点の信号）の波形を示している。図３（ｅ）は加算部２６の出力信号（Ｆ点の信号）の波形を示している。
【００４０】
メインドライバ１４の出力信号は、図３（ａ）に示すように、信号生成部１２により生成された信号と同一波形の信号である。
【００４１】
また、サブドライバ１６が出力する差動信号のうち反転信号は、図３（ｂ）に示すように、信号生成部１２により生成された信号を反転した波形の信号である。
【００４２】
反転信号高域強調回路２０の出力信号は、図３（ｃ）に示すように、図３（ｂ）に示すサブドライバ１６の反転信号の高域を強調した微分信号である。ここで、可変容量コンデンサ３８の容量を制御することにより、反転信号高域強調回路２０から出力される微分信号を任意波形に整形することができる。
【００４３】
乗算回路２４の出力信号は、図３（ｄ）に示すように、図３（ｃ）に示す反転信号高域強調回路２０の出力信号の振幅を例えば１／２倍に調整した波形の信号である。
【００４４】
加算部２６の出力信号は、図３（ｅ）に示すように、図３（ａ）に示すメインドライバ１４の出力信号に、図３（ｄ）に示す振幅が例えば１／２倍に調整された反転信号高域強調回路２０の出力信号を加算回路４２により加算した波形の信号である。このように、本実施形態によるドライバ回路１０は、低域強調動作時において、乗算回路２４により振幅が調整された反転信号高域強調回路２０の出力信号をメインドライバ１４の出力信号に加算することにより、メインドライバ１４の出力信号のエッジが鈍った波形の低域強調信号を生成する。
【００４５】
本実施形態によるドライバ回路１０は、非反転信号高域強調回路１８及び反転信号高域強調回路２０を構成するＲＣ微分回路のコンデンサとして、容量の変更が可能な可変容量コンデンサ３２、３８が用いられていることに主たる特徴がある。なお、非反転信号高域強調回路１８と反転信号高域強調回路２０とは、後述するように、具体的な回路構成において、共通のＲＣ微分回路により構成され、可変容量コンデンサ３２、３８には共通の可変容量コンデンサが用いられている。
【００４６】
可変容量コンデンサ３２、３８の容量を変更することにより、非反転信号高域強調回路１８及び反転信号高域強調回路２０を構成するＲＣ微分回路の時定数を制御することができる。これにより、非反転信号高域強調回路１８及び反転信号高域強調回路２０から出力される微分信号の波形を任意の波形に整形することができる。こうして、本実施形態によるドライバ回路１０は、任意の波形に整形された微分信号をメインドライバ１４の出力信号に加算することによって、高域強調信号又は低域強調信号を出力信号として生成する。
【００４７】
したがって、本実施形態によるドライバ回路１０は、複雑、大規模な回路構成を必要とすることなく簡単な回路構成で、高域強調動作時において出力信号として生成する高域強調信号を任意の波形に整形し、また、低域強調動作時において出力信号として生成する低域強調信号を任意の波形に整形することができる。これにより、本実施形態によるドライバ回路１０は、任意の伝送損失を模擬することができる。
【００４８】
また、本実施形態によるドライバ回路１０は、可変抵抗を用いるのではなく、可変容量コンデンサ３２、３８により、非反転信号高域強調回路１８及び反転信号高域強調回路２０を構成するＲＣ微分回路の時定数を制御する。このため、ＲＣ微分回路の時定数の制御に伴いゲインが変動することもない。
【００４９】
このような本実施形態によるドライバ回路１０に対して、可変容量コンデンサ３２、３８に代えて容量の変更が不可な通常のコンデンサを用いた場合、ＲＣ微分回路の時定数が固定されてしまうため、任意の伝送損失を模擬することはできない。
【００５０】
また、この場合、種々の損失条件による伝送損失を模擬しようとすると、サブドライバ、非反転信号高域強調回路、反転信号高域強調回路、乗算回路、及び加算回路の組を複数組用意し、各組の非反転信号高域強調回路及び反転信号高域強調回路を構成するＲＣ微分回路が異なる時定数を有するように、抵抗の抵抗値及びコンデンサの容量値を設定する必要がある。
【００５１】
図４は、可変容量コンデンサ３２、３８に代えて容量の変更が不可な通常のコンデンサ４０、４２を用いた場合において、サブドライバ等の組を複数組備えたドライバ回路４４の構成を示すブロック図である。
【００５２】
図示するように、複数のサブドライバ１６−１、…、１６−ｎのそれぞれに対応して、複数の非反転信号高域強調回路１８−１、…、１８−ｎ及び複数の反転信号高域強調回路２０−１、…、２０−ｎが設けられている。
【００５３】
複数の非反転信号高域強調回路１８−１、…、１８−ｎのそれぞれに対応して、複数の乗算回路２２−１、…、２２−ｎが設けられている。また、複数の反転信号高域強調回路２０−１、…、２０−ｎのそれぞれに対応して、複数の乗算回路２４−１、…、２４−ｎが設けられている。
【００５４】
加算部２６には、複数の乗算回路２２−１、…、２２−ｎのそれぞれに対応して、複数の加算回路４０−１、…、４０−ｎが設けられている。また、複数の乗算回路２４−１、…、２４−ｎのそれぞれに対応して、複数の加算回路４２−１、…、４２−ｎが設けられている。
【００５５】
複数の非反転信号高域強調回路１８−１、…、１８−ｎは、それぞれ抵抗２８、３０及び容量の変更が不可な通常のコンデンサ４０よりなるＲＣ微分回路により構成され、ＲＣ微分回路の時定数が互いに異なるように、抵抗２８、３０の抵抗値及びコンデンサ４０の容量値は互いに異なっている。また、複数の反転信号高域強調回路２０−１、…、２０−ｎは、それぞれ抵抗３４、３６及び容量の変更が不可な通常のコンデンサ４２よりなるＲＣ微分回路により構成され、ＲＣ微分回路の時定数が互いに異なるように、抵抗３４、３６の抵抗値及びコンデンサ４２の容量値は互いに異なっている。
【００５６】
このように、可変容量コンデンサ３２、３８に代えて通常のコンデンサ４０、４２を用いた場合において種々の損失条件による伝送損失を模擬するには、互いに時定数の異なる複数のＲＣ微分回路を用意する必要がある。このため、回路の複雑化、大規模化を招くことになる。さらに、任意の伝送損失を模擬するためには、互いに時定数の異なるＲＣ微分回路を無限に用意しなければならない。したがって、通常のコンデンサ４０、４２を用いたのでは、任意の伝送損失を模擬することは、実際上不可能である。
【００５７】
これに対して、本実施形態によるドライバ回路１０は、上述のように、非反転信号高域強調回路１８及び反転信号高域強調回路２０を構成するＲＣ微分回路のコンデンサとして可変容量コンデンサ３２、３８を用いるので、ＲＣ微分回路の時定数を適宜調整することが可能であり、複雑、大規模な回路構成を必要とすることなく簡単な回路構成で、任意の伝送損失を模擬することができる。
【００５８】
次に、本実施形態によるドライバ回路１０の具体的な回路構成について図５及び図６を用いて説明する。
【００５９】
図５に示すように、メインドライバ１４は、２つのトランジスタ４６、４８と、２つのトランジスタ４６、４８のそれぞれのコレクタにエミッタが接続された２つのトランジスタ５０、５２と、２つのトランジスタ５０、５２のそれぞれのコレクタに接続された負荷抵抗としての２つの抵抗５４、５６と、２つのトランジスタ４６、４８のエミッタに共通に接続された定電流回路５８とを有している。
【００６０】
サブドライバ１６は、２つのトランジスタ６０、６２と、２つのトランジスタ６０、６２のエミッタのそれぞれに接続された定電流回路６４、６６とを有している。
【００６１】
非反転信号高域強調回路１８と反転信号高域強調回路２０とは、サブドライバ１６のトランジスタ６０のエミッタ側とトランジスタ６２のエミッタ側との間に直列に接続された抵抗２８、３０（３４、３６）及び可変容量コンデンサ３２（３８）よりなる共通のＲＣ微分回路として構成されている。このように、非反転信号高域強調回路１８と反転信号高域強調回路２０とが共通のＲＣ微分回路により構成されているため、複雑な回路構成を必要とすることなく信号の低域強調と高域強調とを実現することができる。なお、ＲＣ微分回路は、必ずしも２つの抵抗を有する必要はなく、抵抗２８、３０（３４、３６）のうちいずれか１つを有するものであってもよい。
【００６２】
乗算回路２２は、サブドライバ１６のトランジスタ６２のコレクタにエミッタが接続された２つのトランジスタ６８、７０を有している。乗算回路２４は、サブドライバ１６のトランジスタ６０のコレクタにエミッタが接続された２つのトランジスタ７２、７４を有している。
【００６３】
メインドライバ１４のトランジスタ５０、５２のベースには、駆動電源７６が接続される。メインドライバ１４の抵抗５４、５６には、駆動電源７８が接続される。
【００６４】
図６は、上記図５に示す回路構成において、非反転信号高域強調回路１８と反転信号高域強調回路２０とに共通するＲＣ微分回路の具体的構成を示している。
【００６５】
図示するように、ＲＣ微分回路は、抵抗２８（３４）、可変容量コンデンサ３２（３８）及び抵抗３０（３６）が直列に接続されて構成されている。
【００６６】
可変容量コンデンサ３２（３８）は、互いにカソード同士が接続された２つの可変容量ダイオード（バリキャップ又はバラクタ）８０、８２により構成されている。可変容量ダイオード８０のアノードは抵抗２８（３４）に接続され、可変容量ダイオード８２のアノードは抵抗３０（３６）に接続されている。可変容量ダイオード８０、８２のカソードには、容量を制御するための制御電圧Ｖｃｏｎｔが外部端子から印加される。可変容量ダイオード８０、８２に印加される逆方向バイアスを制御電圧Ｖｃｏｎｔにより制御することで、可変容量ダイオード８０、８２のアノード−カソード間容量、すなわち可変容量コンデンサ３２（３６）の容量が制御される。これにより、非反転信号高域強調回路１８と反転信号高域強調回路２０とに共通するＲＣ微分回路の時定数を制御することができる。こうしてＲＣ微分回路の時定数を制御することにより、ＲＣ微分回路により生成される微分信号を任意の波形に整形することができる。
【００６７】
メインドライバ１４においては、一方のトランジスタ４６のベースに、信号生成部１２により生成された信号ＰＡＴが入力される。他方のトランジスタ４８のベースには、所定の参照電圧Ｖｒｅｆ１（ＰＡＴＢ）を有する信号が入力される。これにより、他方のトランジスタ４８のコレクタから、一方のトランジスタ４６のベースに入力された信号と同一波形の信号が出力される。トランジスタ４８のコレクタから出力された信号は、トランジスタ５２を介して、メインドライバ１４の出力信号として出力される。
【００６８】
サブドライバ１６においては、一方のトランジスタ６０のベースに、メインドライバ１４と同様に、信号生成部１２により生成された信号ＰＡＴが入力される。他方のトランジスタ６２のベースには、所定の参照電圧Ｖｒｅｆ１（ＰＡＴＢ）を有する信号が入力される。
【００６９】
これにより、一方のトランジスタ６０のコレクタから、トランジスタ６０のベースに入力された信号を反転した波形の信号が出力される。ここで、トランジスタ６０のコレクタから出力される信号は、抵抗３４、３６（２８、３０）及び可変容量コンデンサ３８（３２）よりなるＲＣ微分回路として構成される反転信号高域強調回路２０により高域が強調され、これらの素子定数により定まるカットオフ周波数以上の高周波成分のみが出力される。ここで、可変容量コンデンサ３８（３２）の容量を適宜調整することにより、トランジスタ６０のコレクタから出力される微分信号を任意の波形に整形することができる。
【００７０】
トランジスタ６０のコレクタから出力された信号は、乗算回路２４に入力される。
【００７１】
また、他方のトランジスタ６２のコレクタからは、一方のトランジスタ６０のベースに入力された信号と同一波形の信号が出力される。ここで、トランジスタ６２のコレクタから出力される信号は、抵抗２８、３０（３４、３６）及び可変容量コンデンサ３２（３８）よりなるＲＣ微分回路として構成される非反転信号高域強調回路１８により高域が強調され、これらの素子定数により定まるカットオフ周波数以上の高周波成分のみが出力される。ここで、可変容量コンデンサ３２（３８）の容量を適宜調整することにより、トランジスタ６２のコレクタから出力される微分信号を任意の波形に整形することができる。
【００７２】
トランジスタ６２のコレクタから出力された信号は、乗算回路２２に入力される。
【００７３】
乗算回路２２においては、トランジスタ６２のコレクタから出力された信号が、トランジスタ６８及びトランジスタ７０のエミッタ側に入力される。ここで、一方のトランジスタ６８のベースには、所定の電圧Ｖｍａｇ１を有する信号が入力される。他方のトランジスタ７０のベースには、所定の参照電圧Ｖｒｅｆ２を有する信号が入力される。これにより、一方のトランジスタ６８のコレクタから、トランジスタ６２のコレクタから出力された信号の振幅を調整した信号が出力される。
【００７４】
乗算回路２２のトランジスタ６８のコレクタから出力された信号は、加算回路４０によりメインドライバ１４の出力信号に加算される。
【００７５】
乗算回路２４においては、トランジスタ６０のコレクタから出力された信号が、トランジスタ７２及びトランジスタ７４のエミッタ側に入力される。ここで、一方のトランジスタ７２のベースには、所定の電圧Ｖｍａｇ２を有する信号が入力される。他方のトランジスタ７４のベースには、所定の参照電圧Ｖｒｅｆ２を有する信号が入力される。これにより、一方のトランジスタ７２のコレクタから、トランジスタ６０のコレクタから出力された信号の振幅を調整した信号が出力される。
【００７６】
乗算回路２４のトランジスタ７２のコレクタから出力された信号は、加算回路４２によりメインドライバ１４の出力信号に加算される。
【００７７】
ドライバ回路１０の出力信号Ｖｏｕｔとして高域強調信号を出力する高域強調動作においては、トランジスタ６０のコレクタから出力された信号を乗算回路２４によりゼロとし、乗算回路２２の出力信号のみをメインドライバ１４の出力信号に加算する。乗算回路２２において、トランジスタ６８のベースに入力する信号の電圧Ｖｍａｇ１を変更することにより、高域強調信号の強調量を変更することができる。
【００７８】
また、ドライバ回路１０の出力信号Ｖｏｕｔとして低域強調信号を出力する低域強調動作においては、トランジスタ６２のコレクタから出力された信号を乗算回路２２によりゼロとし、乗算回路２４の出力信号のみをメインドライバ１４の出力信号に加算する。乗算回路２４において、トランジスタ７２のベースに入力する信号の電圧Ｖｍａｇ２を変更することにより、低域強調信号の強調量を変更することができる。
【００７９】
このように、本実施形態によれば、複雑、大規模な回路構成を必要とすることなく簡単な回路構成で、任意の波形を有する所望の高域強調信号及び低域強調信号を生成することができ、任意の伝送損失を模擬することができる。
【００８０】
なお、上記では、可変容量コンデンサ３２（３８）として、可変容量ダイオード８０、８２を用いる場合について説明したが、可変容量コンデンサ３２（３８）はこれに限定されるものではなく、可変容量コンデンサ３２（３８）として、例えばトランジスタを用いてもよい。
【００８１】
図７は、非反転信号高域強調回路１８と反転信号高域強調回路２０とに共通するＲＣ微分回路の可変容量コンデンサ３２（３８）にトランジスタを用いた場合のＲＣ微分回路の構成を示す回路図である。
【００８２】
図示するように、ＲＣ微分回路は、抵抗２８（３４）、可変容量コンデンサ３２（３８）及び抵抗３０（３６）が直列に接続されて構成されている。
【００８３】
可変容量コンデンサ３２（３８）は、互いにエミッタ同士が接続された２つのトランジスタ８４、８６により構成されている。トランジスタ８４のコレクタは抵抗２８（３４）に接続され、トランジスタ８６のコレクタは抵抗３０（３６）に接続されている。トランジスタ８４、８６のエミッタ及びベースには、容量を制御するための制御電圧Ｖｃｏｎｔが外部端子から印加される。制御電圧Ｖｃｏｎｔにより、トランジスタ８４、８６のベース−コレクタ間容量、すなわち可変容量コンデンサ３２（３６）の容量が制御される。これにより、非反転信号高域強調回路１８と反転信号高域強調回路２０とに共通するＲＣ微分回路の時定数を制御することができる。こうしてＲＣ微分回路の時定数を制御することにより、ＲＣ微分回路により生成される微分信号を任意の波形に整形することができる。
【００８４】
［変形実施形態］
本発明は上記実施形態に限らず種々の変形が可能である。
【００８５】
例えば、上記実施形態では、信号生成部１２により方形波状のパルス信号をドライバ回路に供給する場合について説明したが、信号生成部１２によりドライバ回路に供給する信号としては、三角波状のパルス信号等の種々の信号を用いることができる。
【００８６】
また、上記実施形態では、メインドライバ１４が、入力信号と同一波形の出力信号を出力する場合について説明したが、メインドライバ１４は、入力信号に応じた所定の波形を有する非反転信号を出力信号として出力するものであればよい。
【００８７】
また、上記実施形態では、サブドライバ１６が、入力信号と同一波形の非反転信号と、入力信号を反転した波形の反転信号とからなる差動信号を出力する場合について説明したが、サブドライバ１６は、入力信号に応じた所定の波形を有する非反転信号と反転信号とからなる差動信号を出力するものであればよい。
【００８８】
また、上記実施形態では、非反転信号高域強調回路１８及び反転信号高域強調回路２０を備え、高域強調動作及び低域強調動作の両動作が可能である場合ついて説明したが、非反転信号高域強調回路１８及び反転信号高域強調回路２０のいずれか一方を備え、高域強調動作及び低域強調動作のいずれか一方の動作が可能である構成としてもよい。
【００８９】
また、上記実施形態では、半導体試験装置においてＤＵＴを試験するための信号を生成するドライバ回路として本発明によるドライバ回路を用いる場合について説明したが、本発明は、半導体試験装置におけるドライバ回路に限らず、接続先の回路に信号を供給するドライバ回路に広く適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００９０】
【図１】本発明の一実施形態によるドライバ回路の構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の一実施形態によるドライバ回路の各点における信号の波形を示す波形図（その１）である。
【図３】本発明の一実施形態によるドライバ回路の各点における信号の波形を示す波形図（その２）である。
【図４】非反転信号高域強調回路及び反転信号高域強調回路を構成するＲＣ微分回路において可変容量コンデンサに代えて通常のコンデンサを用いた場合の不都合を説明する図である。
【図５】本発明の一実施形態によるドライバ回路の具体的な回路構成を示す回路図である。
【図６】本発明の一実施形態によるドライバ回路の具体的な回路構成において非反転信号高域強調回路と反転信号高域強調回路とに共通のＲＣ微分回路の構成を示す回路図である。
【図７】本発明の一実施形態の変形例によるドライバ回路において非反転信号高域強調回路と反転信号高域強調回路とに共通のＲＣ微分回路の構成を示す回路図である。
【符号の説明】
【００９１】
１０…ドライバ回路
１２…信号生成部
１４…メインドライバ
１６…サブドライバ
１８…非反転信号高域強調回路
２０…反転信号高域強調回路
２２、２４…乗算回路
２６…加算部
２８、３０…抵抗
３２…可変容量コンデンサ
３４、３６…抵抗
３８…可変容量コンデンサ
４０…コンデンサ
４２…コンデンサ
４４…ドライバ回路
４６、４８、５０、５２…トランジスタ
５４、５６…抵抗
５８…定電流回路
６０、６２…トランジスタ
６４、６６…定電流回路
６８、７０、７２、７４…トランジスタ
７６、７８…駆動電源
８０、８２…可変容量ダイオード
８４、８６…トランジスタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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