(57)【要約】【課題】可動接点に作用する引き剥がし力を向上でき、しかも小型化が図れるマイクロリレーを提供することにある。【解決手段】マイクロリレー１は、一対の固定接点２３よりなる固定接点部を厚み方向の一面側に有したボディ２と、固定接点部の一対の固定接点２３それぞれに接触した際に当該一対の固定接点２３間を電気的に接続する可動接点３２を有し当該可動接点３２が固定接点部に対して接離する形にボディ２の上記一面側に揺動自在に配置されたアーマチュア３と、当該アーマチュア３を揺動させる駆動装置６とを備え、アーマチュア３は、磁性材料により板状に形成され、幅方向を揺動軸方向に沿わせた形でボディ２の上記一面側に揺動自在に配置され、長さ方向における端縁部３１に可動接点３２が形成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の固定接点よりなる固定接点部を厚み方向の一面側に有したボディと、固定接点部の複数の固定接点それぞれに接触した際に当該複数の固定接点間を電気的に接続する可動接点を有し当該可動接点が固定接点部に対して接離する形にボディの上記一面側に揺動自在に配置されたアーマチュアと、当該アーマチュアを揺動させる駆動装置とを備え、
アーマチュアは、磁性材料により板状に形成され、幅方向を揺動軸方向に沿わせた形でボディの上記一面側に揺動自在に配置され、長さ方向における端縁部に可動接点が形成されていることを特徴とするマイクロリレー。
【請求項２】
アーマチュアとボディとの間に介在されアーマチュアをボディに対して揺動自在に支持する支点部を備え、
固定接点部は、上記揺動軸方向に沿った方向に離間する形にボディの上記一面側に形成された一対の固定接点よりなり、
支点部においてアーマチュアまたはボディと当接する部位と一対の固定接点とは、ボディの上記一面に平行する面内において三角形の頂点位置に位置していることを特徴とする請求項１記載のマイクロリレー。
【請求項３】
アーマチュアとボディとの間に介在されアーマチュアをボディに対して揺動自在に支持する支点部を備え、
支点部は、ボディとアーマチュアのいずれかの厚み方向を軸方向とする円柱状に形成されてなることを特徴とする請求項１または２記載のマイクロリレー。
【請求項４】
アーマチュアとボディとの間に介在されアーマチュアをボディに対して揺動自在に支持する支点部を備え、
支点部は、球形状に形成されてなることを特徴とする請求項１または２記載のマイクロリレー。
【請求項５】
アーマチュアとボディとの間に介在されアーマチュアをボディに対して揺動自在に支持する支点部を備え、
支点部は、アーマチュアに一体的に形成されていることを特徴とする請求項１〜４のうちいずれか１項記載のマイクロリレー。
【請求項６】
ボディの上記一面側には、支点部の一部が内側に入り込む形の支点部用の位置決め凹部が形成されていることを特徴とする請求項５記載のマイクロリレー。
【請求項７】
アーマチュアにおけるボディとの対向面側には、支点部の一部が内側に入り込む形の支点部用の位置決め凹部が形成されていることを特徴とする請求項４記載のマイクロリレー。
【請求項８】
アーマチュアの上記端縁部は、アーマチュアの厚み方向に直交する面内における断面形状が支点部を中心とする円弧状に形成されてなることを特徴とする請求項２〜７のうちいずれか１項記載のマイクロリレー。
【請求項９】
固定接点は、当該固定接点と支点部とを結ぶ直線に沿った方向を長さ方向とする帯状に形成されてなることを特徴とする請求項８記載のマイクロリレー。
【請求項１０】
アーマチュアの上記端縁部は、上記円弧の接線方向に直交する面内の断面形状が、固定接点側に凸となる曲面形状に形成されてなることを特徴とする請求項８または９記載のマイクロリレー。
【請求項１１】
ボディの厚み方向においてアーマチュアと当接し、アーマチュアが支点部を支点としてその長さ方向に沿った方向の回りに所定角度以上回動することを規制する回動規制手段を備えていることを特徴とする請求項１〜１０のうちいずれか１項記載のマイクロリレー。
【請求項１２】
上記揺動軸方向においてアーマチュアに当接し、ボディの上記一面内においてアーマチュアがボディに対する規定位置からずれることを防止する位置ずれ防止手段を備えていることを特徴とする請求項１〜１１のうちいずれか１項記載のマイクロリレー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロリレー、特に高周波回路に利用されるマイクロリレーに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、図９に示すように、半導体微細加工技術を利用して形成されたマイクロリレー１００が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
この種のマイクロリレー１００は、常開接点と常閉接点とを備えた所謂ラッチング型リレーであり、一対の固定接点２１０が一面側（図９における上面側）の長手方向両端側それぞれに設けられたボディ２００と、一対の固定接点２１０それぞれに接触した際に一対の固定接点２１０間を電気的に接続する可動接点（図示せず）を有し当該可動接点が固定接点２１０に対して接離する形にボディ２００の上記一面側に揺動自在に配置されたアーマチュア３００と、ボディ２００の上記一面側に接合されアーマチュア３００が開口４１０内に配置された矩形枠状のフレーム４００と、フレーム４００におけるボディ２００側とは反対側に接合されたカバー５００と、アーマチュア３００を揺動させる電磁石装置からなる駆動装置６００とを備えている。
【０００４】
アーマチュア３００は、フレーム４００の長手方向に沿った方向を長さ方向（長手方向）とする矩形板状に形成されたアーマチュア本体３１０と、アーマチュア本体３１０の長さ方向両端側それぞれに配置された接点基台３２０とを備えている。
【０００５】
接点基台３２０におけるボディ２００との対向面（図９における下面）には、上記可動接点が形成されており、接点基台３２０は、可動接点が固定接点２１０に接触した際に所定の接触圧（接圧）を付与する一対の接圧ばね３３０によりアーマチュア本体３１０と一体に連結されている。
【０００６】
アーマチュア本体３１０におけるボディ２００との対向面側（図９における下面側）には、接極子板（図示せず）が接合されている。この接極子板は、駆動装置６００が発生する磁場によりアーマチュア３００を揺動させるためのものであり、磁性材料を機械加工して形成されている。アーマチュア本体３１０の幅方向（短手方向）の両側面それぞれにおける中央部には、延設片３４０が互いの中心線を一致させた形で一体に延設されている。延設片３４０それぞれにおけるボディ２００との対向面には、ボディ２００の上記一面に当接してアーマチュア３１０の揺動動作（シーソ動作）の支点となる支点突起（図示せず）が一体に突設されている。
【０００７】
さらに、アーマチュア本体３１０の四隅それぞれには矩形板状の突設片３５０が一体に形成されている。各突設片３５０におけるボディ２００との対向面側（図９における下面側）には、ボディ２００と当接することでアーマチュア３００（アーマチュア本体３１０）の揺動範囲を規制する柱状の規制突起（図示せず）が一体に突設されている。
【０００８】
このようなアーマチュア３００は、可動接点および接極子板を除く部位がフレーム４００と同じ半導体基板を用いて形成されている。すなわち、アーマチュア本体３１０、接点基台３２０、連結片３６０、およびフレーム４００は、例えば、５０μｍ〜３００μｍ程度、好ましくは２００μｍ程度の厚みのシリコン基板をフォトリソグラフィ技術およびエッチング技術などを利用してパターニングすることにより形成されている。
【特許文献１】特開２００５−５０７６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、マイクロリレー１００では、可動接点が固定接点２１０に接触して一対の固定接点２１０間を電気的に接続している閉極時に、可動接点と固定接点２１０との間に比較的大きな電流が流れると、可動接点が固定接点２１０に溶着されて、可動接点を固定接点２１０から離間させることができなくなるという問題が生じることがあった。
【００１０】
かかる問題に鑑みて、この種のマイクロリレー１００では、可動接点を固定接点２１０から引き剥がす力、すなわち、駆動装置６００が発生する磁場によってアーマチュア３００に作用する吸引力により可動接点に生じる、可動接点を固定接点２１０から離間させる方向の力（以下、「引き剥がし力」と称する）を大きくして、固定接点２１０に溶着された可動接点であっても、固定接点２１０から引き剥がすことができるようにすることが要求されている。
【００１１】
しかしながら、図９に示すような従来例のマイクロリレーでは、接極子板を有して駆動装置６００に吸引されるアーマチュア本体３１０と、可動接点を有する接点基台３２０とが、上述したような接圧ばねとして作用する接圧ばね３３０によって一体に連結されているため、接圧ばね３３０が変形することによって、可動接点に生じる引き剥がし力が小さくなってしまう。
【００１２】
ここで、可動接点に十分な引き剥がし力を与えるためには、駆動装置６００が発生する磁場を大きくしたり、アーマチュア本体３１０に接合する接極子板の厚みを大きくしたりすることが考えられるが、いずれの場合もマイクロリレーが大型化するという別の問題が生じてしまっていた。
【００１３】
本発明は上述の点に鑑みて為されたもので、その目的は、可動接点に作用する引き剥がし力を向上でき、しかも小型化が図れるマイクロリレーを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記の課題を解決するために、請求項１の発明では、複数の固定接点よりなる固定接点部を厚み方向の一面側に有したボディと、固定接点部の複数の固定接点それぞれに接触した際に当該複数の固定接点間を電気的に接続する可動接点を有し当該可動接点が固定接点部に対して接離する形にボディの上記一面側に揺動自在に配置されたアーマチュアと、当該アーマチュアを揺動させる駆動装置とを備え、アーマチュアは、磁性材料により板状に形成され、幅方向を揺動軸方向に沿わせた形でボディの上記一面側に揺動自在に配置され、長さ方向における端縁部に可動接点が形成されていることを特徴とする。
【００１５】
請求項１の発明によれば、幅方向を揺動軸方向に沿わせた形でボディの厚み方向の一面側に配置されたアーマチュアの長さ方向における端縁部に可動接点を形成しているので、可動接点を形成した接点基台とアーマチュア本体とを接圧ばねで連結してなる従来例のアーマチュアとは異なり、接圧ばねの変形によって可動接点に作用する引き剥がし力が低減されてしまうことがないから、可動接点に作用する引き剥がし力の向上が図れ、しかも、アーマチュアが磁性材料よりなるので、アーマチュア本体に接極子板を接合してなる従来例のアーマチュアよりも厚みを薄くでき、また、厚みを同じ程度とした際にはより小型の駆動装置を利用できるから、全体として小型化が図れる。
【００１６】
請求項２の発明では、請求項１の発明において、アーマチュアとボディとの間に介在されアーマチュアをボディに対して揺動自在に支持する支点部を備え、固定接点部は、上記揺動軸方向に沿った方向に離間する形にボディの上記一面側に形成された一対の固定接点よりなり、支点部においてアーマチュアまたはボディと当接する部位と一対の固定接点とは、ボディの上記一面に平行する面内において三角形の頂点位置に位置していることを特徴とする。
【００１７】
請求項２の発明によれば、可動接点が固定接点部に接触した際には、アーマチュアが一対の固定接点と支点部との３点でボディに支持されるので、例えば従来のようにアーマチュアが一対の支点突起および一対の固定接点の計４点でボディに支持される場合などとは異なり、一対の固定接点において厚みの差が大きい場合でも、可動接点が一対の固定接点の両方と接触するから、可動接点と固定接点との接触信頼性の向上が図れる。
【００１８】
請求項３の発明では、請求項１または２の発明において、アーマチュアとボディとの間に介在されアーマチュアをボディに対して揺動自在に支持する支点部を備え、支点部は、ボディとアーマチュアのいずれかの厚み方向を軸方向とする円柱状に形成されてなることを特徴とする。
【００１９】
請求項３の発明によれば、アーマチュアの揺動時に支点部においてボディまたはアーマチュアと接する部位が角のない円弧状となっているので、支点部を角柱状とする場合に比べれば、アーマチュアをボディに対してスムーズに揺動させることができるようになるから、接点開閉動作の安定性の向上が図れる。
【００２０】
請求項４の発明では、請求項１または２の発明において、アーマチュアとボディとの間に介在されアーマチュアをボディに対して揺動自在に支持する支点部を備え、支点部は、球形状に形成されてなることを特徴とする。
【００２１】
請求項４の発明によれば、アーマチュアがいずれの方向にも傾き易くなるので、アーマチュアをボディに対してスムーズに揺動させることができるようになるから、接点開閉動作の安定性の向上が図れる。
【００２２】
請求項５の発明では、請求項１〜４のうちいずれか１項の発明において、アーマチュアとボディとの間に介在されアーマチュアをボディに対して揺動自在に支持する支点部を備え、支点部は、アーマチュアに一体的に形成されていることを特徴とする。
【００２３】
請求項５の発明によれば、例えば、ボディの厚み方向における他面側に駆動装置用の収納室を設けた場合には、ボディの厚みが薄くなり、支点部をボディに形成しようとした際にボディが破損するおそれがあるが、アーマチュアに支点部を一体的に形成すれば、支点部をボディに形成しなくて済むから、ボディの破損を防止できる。
【００２４】
請求項６の発明では、請求項５の発明において、ボディの上記一面側には、支点部の一部が内側に入り込む形の支点部用の位置決め凹部が形成されていることを特徴とする。
【００２５】
請求項６の発明によれば、アーマチュアをボディに対する規定位置に位置させ易くなるから、接点開閉動作の安定性の向上が図れる。
【００２６】
請求項７の発明では、請求項４の発明において、アーマチュアにおけるボディとの対向面側には、支点部の一部が内側に入り込む形の支点部用の位置決め凹部が形成されていることを特徴とする。
【００２７】
請求項７の発明によれば、支点部がボディおよびアーマチュアに対する規定位置とは異なる位置に移動してしまうことを防止でき、接点開閉動作の安定性の向上が図れる。
【００２８】
請求項８の発明では、請求項２〜７のうちいずれか１項の発明において、アーマチュアの上記端縁部は、アーマチュアの厚み方向に直交する面内における断面形状が支点部を中心とする円弧状に形成されてなることを特徴とする。
【００２９】
請求項８の発明によれば、アーマチュアの厚み方向に直交する面内におけるアーマチュアの端縁部の断面形状が、支点部を中心とする円弧状であるので、アーマチュアが支点部を支点としてボディの厚み方向に沿った方向の回りに回動した場合でも、可動接点は上記円弧と重なる形で移動し、その結果、回動の前後において可動接点の位置が大きく変わらないから、上記のような回動が生じた場合でも可動接点が固定接点に接触し易くなり、接点開閉動作の安定性の向上が図れる。
【００３０】
請求項９の発明では、請求項８の発明において、固定接点は、当該固定接点と支点部とを結ぶ直線に沿った方向を長さ方向とする帯状に形成されてなることを特徴とする。
【００３１】
請求項９の発明によれば、アーマチュアの長さ方向においてアーマチュアがボディに対する規定位置からずれた場合でも、可動接点が固定接点に接触し易くなり、接点開閉動作の安定性の向上が図れる。
【００３２】
請求項１０の発明では、請求項８または９の発明では、アーマチュアの上記端縁部は、上記円弧の接線方向に直交する面内の断面形状が、固定接点側に凸となる曲面形状に形成されてなることを特徴とする。
【００３３】
請求項１０の発明によれば、可動接点が固定接点に接触した際に、固定接点が削れてしまうことを抑制でき、耐久性の向上が図れる。
【００３４】
請求項１１の発明では、請求項１〜１０のうちいずれか１項の発明において、ボディの厚み方向においてアーマチュアと当接し、アーマチュアが支点部を支点としてその長さ方向に沿った方向の回りに所定角度以上回動することを規制する回動規制手段を備えていることを特徴とする。
【００３５】
請求項１１の発明によれば、アーマチュアがボディに対する規定位置から大きくずれて、本来の動作とは異なる動作を行ってしまうことを抑制できるから、接点開閉動作の安定性の向上が図れる。
【００３６】
請求項１２の発明では、請求項１〜１２のうちいずれか１項の発明において、上記揺動軸方向においてアーマチュアに当接し、ボディの上記一面内においてアーマチュアがボディに対する規定位置からずれることを防止する位置ずれ防止手段を備えていることを特徴とする。
【００３７】
請求項１２の発明によれば、アーマチュアがボディに対する規定位置から大きくずれて、本来の動作とは異なる動作を行ってしまうことを抑制できるから、接点開閉動作の安定性の向上が図れる。
【発明の効果】
【００３８】
本発明は、可動接点に作用する引き剥がし力を向上でき、しかも小型化が図れるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３９】
本発明の一実施形態のマイクロリレー１は、例えば、常開接点と常閉接点とを備えた所謂ラッチング型リレーであり、図１に示すように、一対の固定接点２３よりなる固定接点部を一面側（図２における上面側）の長手方向両側それぞれに有したボディ２と、固定接点部の一対の固定接点２３それぞれに接触した際に一対の固定接点２３間を電気的に接続する可動接点３２を有し当該可動接点３２が固定接点部に対して接離する形にボディ２の上記一面側に揺動自在に配置されたアーマチュア３と、アーマチュア３とボディ２との間に介在されアーマチュア３をボディ２に対して揺動自在に支持する支点部７と、ボディ２の上記一面側に設けられアーマチュア３が内側に配置されたフレーム４と、フレーム４におけるボディ２側とは反対側に設けられたカバー５と、アーマチュア３を揺動させる駆動装置６とを備えている。なお、本実施形態のマイクロリレーでは、ボディ２とフレーム４とカバー５とによってアーマチュア３を内部に収納するリレー本体１ａ（図２参照）が構成されている。
【００４０】
支点部７は、例えば、球形状に形成されたものであって、図７（ａ），（ｂ）に示すように、アーマチュア３の長さ方向（図７（ｂ）における左右方向）に沿った方向において、各固定接点部の一対の固定接点２３のいずれとも重ならない形に設けられている。このような球形状の支点部７としては、半田や、樹脂材料、銅、金などよりなるボール、もしくは金ワイヤや銅ワイヤなどにより形成した球形状のバンプなど、種々のものを利用することができる。
【００４１】
アーマチュア３は、図１に示すように、フェライト系ステンレス鋼（例えば、ＪＩＳ鋼種でＳＵＳ４３０）や、４２アロイ（Ｆｅ−４２％Ｎｉ合金）などの鉄−ニッケル系合金などの磁性材料により矩形板状に形成されている。また、アーマチュア３は、可動接点３２が固定接点２３に所望の接触圧（接圧）で接触するように、厚みや、形状、利用する磁性材料などが決定されている。
【００４２】
アーマチュア３は、図３（ａ），（ｂ）に示すように、支点部７によって、ボディ２の上記一面側に揺動自在に支持され、アーマチュア３におけるボディ２の対向面（図３（ａ），（ｂ）における下面）の中央部には、支点部７の一部が内側に入り込む形の支点部７用の位置決め凹部３０が形成されている。この位置決め凹部３０は半球状の空間部からなるので、支点部７は位置決め凹部３０の内面に当接した状態で自由に回転し、また滑らかに移動できるようになっている。
【００４３】
ところで、アーマチュア３における長さ方向両側それぞれの端縁部３１は、図４に示すように、アーマチュア３の厚み方向（図４における紙面に直交する方向）に直交する面内における断面形状が支点部７により支持される部位Ｏを中心（すなわち、支点部７を中心）とする半径ｒの円弧状に形成されてなる。また、アーマチュア３の端縁部３１それぞれは、図３（ａ）に示すように、上記円弧の接線方向に直交する面内の断面形状が、固定接点２３側（図３（ａ）における下面側）に凸となる曲面形状（Ｒ形状）に形成されてなる。つまり、アーマチュア３は、端縁部３１の側面である長さ方向の側面と、当該側面に連続するボディ２との対向面との角部が面取りされている。
【００４４】
アーマチュア３の端縁部３１における固定接点２３との接触面には、可動接点３２が形成されている。可動接点３２は、例えば、電解めっき法や、無電解めっき法、その他の方法により形成された金属薄膜であって、可動接点３２に用いる導体としては、アーマチュア３に用いた磁性材料よりも導電性が良好な金属材料（例えば、銅や金、銀など）を用いることが好ましい。なお、上記のＳＵＳ４３０や、４２アロイは、銅や金などに比べれば電気抵抗率が大きいものの導体であるから、これらによりアーマチュア３を形成した場合には、アーマチュア３の端縁部３１そのものを可動接点３２として利用するようにしてもよい。
【００４５】
アーマチュア３の幅方向両側面それぞれの長さ方向中央部には、矩形板状の突片３３が一体に突設されている。これら２つの突片３３は、アーマチュア３が支点部７を支点としてその長さ方向に沿った方向の回りに所定角度以上回動することを規制するために利用される。また、アーマチュア３の幅方向両側面それぞれの長さ方向両端部それぞれには、膨出部３４が形成されており、これら４つの膨出部３４は、ボディ２の上記一面内においてアーマチュア３がボディ２に対する規定位置からずれることを防止するために利用される。
【００４６】
フレーム４は、例えば、絶縁性材料により、アーマチュア３が内側に配置される矩形状の開口４ａを有する矩形枠状に形成されている。フレーム４におけるボディ２側とは反対側の面（図３（ａ），（ｂ）における上面）には、アーマチュア３の規制突片３ｄそれぞれが内側に配置される切欠部４ｂが開口４ａに連通する形に形成されている。また、フレーム４においてボディ２の四隅と対応する部位には、貫通孔４ｃがフレーム４の厚み方向に貫設され、貫通孔４ｃの内部には、貫通配線部４０が設けられている。なお、本実施形態におけるフレーム４の厚みは、開口４ａ内でアーマチュア３が所定の揺動動作（後述する接点の開閉動作）を行える厚みに設定されている。
【００４７】
ボディ２は、図５〜図７に示すように、ベース基板２０と、ベース基板２０の厚み方向（図３（ａ）における上下方向）における一表面側（図３（ａ）における上面側）に形成された接地用導体パターン２１と、接地用導体パターン２１におけるベース基板２０側とは反対側（図３（ａ）における上面側）に接地用導体パターン２１を覆う形に形成された絶縁層２２と、絶縁層２２における接地用導体パターン２１側とは反対側（図３（ａ）における上面側）に形成された一対の固定接点２３と、絶縁層２２における接地用導体パターン２１側とは反対側（図３（ａ）における上面側）に形成された補助接地用導体パターン２６とを有する積層板からなる。なお、接地用導体パターン２１や、固定接点２３、補助接地用導体パターン２６などは、ベース基板２０に比べて厚みが非常に薄いので、図３（ａ），（ｂ）では図示を省略している。
【００４８】
ベース基板２０は、図５（ａ）に示すように、例えばセラミック（セラミックスともいう）などの絶縁性材料により矩形板状に形成され、その中央部には、駆動装置６が内部に収納される矩形状の開孔部２０ａがベース基板２０を厚み方向に貫通する形に形成されている。また、ベース基板２０の長手方向（長さ方向）両側それぞれには、ベース基板２０を厚み方向に貫通する貫通孔（以下、「接点用貫通孔」と称する）２０ｂ１が、ベース基板２０の短手方向（幅方向）に等間隔に離間する形で２つ形成されている。また、ベース基板２０の長手方向両側それぞれには、ベース基板２０を厚み方向に貫通する貫通孔（以下、「接地用貫通孔」と称する）２０ｂ２が、ベース基板２０の短手方向に等間隔に離間する形で３つ形成されている。これら貫通孔２０ｂ１，２０ｂ２は、ベース基板２０の厚み方向に直交する面内における開口形状がベース基板２０の厚み方向において一様な形（本実施形態では円形状）に形成されてなる。これら接点用貫通孔２０ｂ１および接地用貫通孔２０ｂ２それぞれの内側には貫通配線部２７が設けられている。なお、以下の説明では、貫通配線部２７を区別するために、必要に応じて、接点用貫通孔２０ｂ１の内側に形成された貫通配線部２７を符号２７Ａで表し、接地用貫通孔２０ｂ２の内側に形成された貫通配線部２７を符号２７Ｂで表す。
【００４９】
貫通配線部２７Ａは、図５（ｃ）に示すように、両端面それぞれが、絶縁層２２におけるベース基板２０とは反対側の面を含む平面およびベース基板２０の厚み方向における他表面（図３（ａ）における下面）を含む平面それぞれと同一平面上に位置する形に形成されている。また、貫通配線部２７Ｂは、図５（ａ）に示すように、両端面それぞれが、ベース基板２０の上記一表面を含む平面および上記他表面を含む平面それぞれと同一平面上に位置する形に形成されている。
【００５０】
ところで、２つの接点用貫通孔２０ｂ１および３つの接地用貫通孔２０ｂ２は、図５（ａ）に示すように、ベース基板２０の短手方向に沿って一直線上に並ぶとともに、それぞれ等間隔に形成されている。これによって、１つの接点用貫通孔２０ｂ１の両側には２つの接地用貫通孔２０ｂ２が、接点用貫通孔２０ｂ１と接地用貫通孔２０ｂ２が互いに所定間隔を隔てて平行する形で、且つ、ベース基板２０の厚み方向に直交する面内において接点用貫通孔２０ｂ１に対して点対称となる形に設けられている。
【００５１】
一方、ベース基板２０の上記他表面側には、固定接点２３を外部（例えば、マイクロリレー１を実装するプリント基板）の電気回路（図示せず）に電気的に接続する図示しない接点用電極（信号用電極）が、２つの接点用貫通孔２０ｂ１それぞれの周部およびそれぞれの内側に形成された貫通配線部２７Ａの端面に重なる形に形成されている。また、上記他表面側には、接地用導体パターン２１を上記電気回路に電気的に接続する図示しない接地用電極が、３つの接地用貫通孔２０ｂ２それぞれの周部およびそれぞれの内側に形成された貫通配線部２７Ｂの端面に重なる形に形成されている。
【００５２】
接地用導体パターン２１は、例えば、長手方向がベース基板２０の短手方向（幅方向）に沿う形の長尺矩形状のものであって、ベース基板２０の長手方向両側それぞれに、２つの接点用貫通孔２０ｂ１および３つの接点用貫通孔２０ｂ２全てを覆う形に形成されている。また、接地用導体パターン２１には、２つの接点用貫通孔２０ｂ１およびその周部それぞれを露出させる２つの貫通孔部２１ａが接地用導体パターン２１の厚み方向に貫設されている。貫通孔部２１ａは、内径が接点用貫通孔２０ｂ１の内径より大きい円形状の孔部であって、その中心軸が接点用貫通孔２０ｂ１と一致する形に接地用導体パターン２１に形成されている。したがって、接地用導体パターン２１は、３つの貫通配線部２７Ｂに電気的に接続され、２つの貫通配線部２７Ａには電気的に接続されないようになっている。
【００５３】
絶縁層２２は、例えば、ベース基板２０と同様のセラミックなどからなり、両接地用導体パターン２１および開孔部２０ａを含むベース基板２０の上記一表面側の全面を覆う形に形成されており、これによってボディ２の上記他表面側には、開孔部２０ａの内側面と絶縁層２２とからなる駆動装置６用の収納室が構成されている。
【００５４】
また、絶縁層２２において厚み方向で接地用導体パターン２１と重なる部位には、接地用導体パターン２１の貫通孔部２１ａより露出する接点用貫通孔２０ｂそれぞれに連通する２つの連通孔２２ａが厚み方向に貫設されている。連通孔２２ａは、内径が接点用貫通孔２０ｂ１の内径と等しい円形状の孔部であって、その中心軸が接点用貫通孔２０ｂ１と一致する形に絶縁層２２に形成され、これによって、連通孔２２ａより接地用導体パターン２１が露出しないようにしている。また、絶縁層２２におけるベース基板２０側とは反対側の面側と、ベース基板２０の他表面側とは、連通孔２２ａおよび接点用貫通孔２０ｂ１とによって連通されており、これら貫通配線部２７Ａは、連通孔２２ａおよび接点用貫通孔２０ｂ１の両方を埋める形に形成されている。
【００５５】
さらに、絶縁層２２には、接地用導体パターン２１の長手方向両側それぞれの一部を露出させる２つの接続孔２２ｂが厚み方向に貫設されている。接続孔２２ｂは、内径が接地用貫通孔２０ｂ２の内径より大きい円形状の孔部であって、その中心軸が接地用貫通孔２０ｂ２と一致する形に絶縁層２２に形成され、これによって、補助接地用導体パターン２６と接地用電極との間を最短距離で接続するようにしている。
【００５６】
固定接点２３は、例えば、絶縁層２２におけるベース基板２０（接地用導体パターン２１）側とは反対側、つまり絶縁層２２の上面における長手方向両側それぞれに一対ずつ形成されている。ここで、固定接点２３は、図７（ａ）に示すように、ボディ２において支点部７が配置される部位であるボディ２の上記一面内における中心部Ｐと固定接点２３とを結ぶ直線（つまり、支点部７と固定接点２３とを結ぶ直線）Ｘに沿った方向を長さ方向とする帯状に形成されてなる。また、一対の固定接点２３は、絶縁層２２の長手方向の端部に設けられた一対の連通孔２２ａ間の部位に、絶縁層２２の短手方向で所定間隔を隔てて互いに対向する形に形成されている。各固定接点２３は近傍の連通孔２２ａより貫通配線部２７Ａに、絶縁層２２の短手方向を長さ方向とする帯状のランド２４によって電気的に接続されている。つまり、絶縁層２２の上面側の長手方向両側それぞれには、固定接点２３とランド２４とからなるく字状の接点用導体パターン２５が２つずつ形成されている。ここで、ランド２４の一部は厚み方向において接地用導体パターン２１と重なる形に形成されている。
【００５７】
補助接地用導体パターン２６は、例えば、絶縁層２２におけるベース基板２０側（接地用導体パターン２１側）とは反対側（つまり絶縁層２２の上面側）における絶縁層２２の長さ方向両側それぞれに、一対の接点用導体パターン２５とは非接触となる（すなわち電気的に接続されない）形に形成されている。各補助接地用導体パターン２６は、図６（ａ）に示すように、一対の接点用導体パターン２５を、絶縁層２２の幅方向において挟み込む形に形成された一対の側片部２６ａと、これら一対の側片部２６ａを絶縁層２２の長さ方向における端縁部で一体に連結する連結部２６ｂとを有するコ字状に形成されている。補助接地用導体パターン２６の各側片部２６ａは、一部が接続孔２２ｂに入り込む形に形成されて、補助接地用導体パターン２６と接地用導体パターン２１とが電気的に接続されている。つまり、接続孔２２ｂ内に入り込んだ補助接地用導体パターン２６の部位が、補助接地用導体パターン２６と接地用導体パターン２１とを電気的に接続する層間配線部となっている。
【００５８】
ボディ２は、例えば、耐熱性、耐湿性に優れ、高周波回路において良好な損失特性（周波数特性）が得られるセラミックを利用した積層板（多層セラミック配線板）であって、例えば、グリーンシート法を利用して形成されている。フレーム４もボディ２と同様にグリーンシート法を利用して形成されており、本実施形態では、フレーム４とボディ２とを有する積層板を形成することで、フレーム４とボディ２とを一体化している。
【００５９】
以下に、ボディ２とフレーム４とを有する積層板の形成方法について図５および図６を参照して簡単に説明する。
【００６０】
まず、グリーンシート（生シート）を厚み方向に複数枚重ねてベース基板２０の基礎となる絶縁基材（以下、「第１絶縁基材」と称する）を形成する。グリーンシートを重ねる枚数は、グリーンシートの厚みと設計上のベース基板２０の厚みによって決定される。第１絶縁基材を形成した後には、打ち抜き加工などによって、開孔部２０ａ、接点用貫通孔２０ｂ１、および接地用貫通孔２０ｂ２それぞれを形成した後に、接地用貫通孔２０ｂ２に導電ペーストを充填して、貫通配線部２７Ｂを形成し、図５（ａ）に示す構成を得る。
【００６１】
その後には、第１絶縁基材の厚み方向における一面（すなわちベース基板２０の上記一表面）に、スクリーン印刷法などにより導電ペーストを印刷することで、接地用導体パターン２１を形成し、図５（ｂ）に示す構成を得る。接地用導体パターン２１を形成した後には、上記絶縁基材の上記一面に、絶縁層２２の基礎となるグリーンシートを、上記一面の全面を覆う形に重ね、加熱、加圧することで一体化し、図５（ｃ）に示す構成を得る。
【００６２】
その後には、絶縁層２２の連通孔２２ａおよび接点用貫通孔２０ｂ１に導電ペーストを充填し、これによって貫通配線部２７Ａを構成する。また、絶縁層２２における接地用導体パターン２１側とは反対側に、スクリーン印刷法などにより導電ペーストを印刷することで、接点用導体パターン２５および補助接地用導体パターン２６を形成し、図６（ａ）に示す構成を得る。
【００６３】
上記作業に前後または並行して、グリーンシートを厚み方向に複数枚重ねてフレーム４の基礎となる絶縁基材（以下、「第２絶縁基材」と称する）を形成する。グリーンシートを重ねる枚数は、グリーンシートの厚みと設計上のフレーム４の厚みによって決定される。第２絶縁基材を形成した後には、打ち抜き加工などによって、開口４ａ、切欠部４ｂ、および貫通孔４ｅそれぞれを形成する。
【００６４】
次に、第２絶縁基材を、図６（ａ）に示す焼成前の第１絶縁基材の上記一面側に重ね、これらを加圧、加熱することで一体化した後に、第２絶縁基材の貫通孔４ｃ内に貫通配線部４０用の導電ペーストを充填し、その後に、必要があればこれらを所定の形状（所望のボディ２の外形サイズ）に打ち抜く。さらにその後に、酸化雰囲気中で加熱して樹脂成分を抜いてから、加湿還元雰囲気中（水素炉中）にて焼成する。
【００６５】
本実施形態では、グリーンシートとしては、低温での焼成が可能なセラミック材料、例えば、アルミナとホウケイ酸ガラスの複合材料からなる結晶化ガラスなどのＬＴＣＣ（Low Temperature Co-fired Ceramics）を用い、グリーンシートに形成する導体、すなわち各導体パターン２１，２５，２６などの材料としては、銀を利用した導電ペースト、つまり銀ペーストを利用しているため、従来１５００℃〜１８００℃で行っていた焼成を、９００℃程度（あるいは９００℃以下）と従来に比べて低温で行っている。
【００６６】
上記焼成の後には、電解めっき法や、無電解めっき法、その他の方法により、少なくとも固定接点２３の表面に金属薄膜（図示せず）を形成する。なお、当該金属薄膜に用いる導体としては、溶着性、耐環境性、および耐熱性の高い金属材料を用いることが好ましい。
【００６７】
さらに、ベース基板２０の上記他表面側に、上記接点用電極および接点用電極を、電解めっき法や、無電解めっき法、その他の方法により形成する。
【００６８】
以上によりボディ２とフレーム４とを有する積層板が得られる。なお、当該積層板の形成方法はあくまでも一例であって、これに限定する趣旨ではなく、適宜変更するようにしてもよい。また、グリーンシートの材料としては、上記のような結晶化ガラスではなく、ＣａＯや、ＭｇＯなどを添加したアルミナを利用してもよく、この場合、導電ペーストとしては、高融点材料であるモリブデン（Ｍｏ）や、タングステン（Ｗ）などを用いればよい。さらに、ボディ２を形成する方法としては、グリーンシート法、厚膜法、若しくは薄膜法、またはこれらの混成法であってもよい。ところで、本実施形態におけるボディ２は、セラミックを利用した積層板であるが、この他、フッ素樹脂を利用した積層板や、ガラスエポキシ積層板（ガラス布基材エポキシ樹脂銅張積層板）であってもよく、これら積層板の形成方法は周知であるから説明を省略する。
【００６９】
カバー５は、例えば、セラミックや耐熱ガラスなどの耐熱性に優れる絶縁性材料によりボディ２と同サイズの矩形板状に形成された主部５０と、主部５０におけるフレーム４との対向面側（図３（ａ），（ｂ）における下面側）の全面に形成された金属膜からなるシールド部５１とを有している。このシールド部５１は、例えば、ＣｕやＡｕなどの導電性が良好な金属材料からなり、スパッタ法や、電気めっき法、真空蒸着法などを用いて形成されている。
【００７０】
駆動装置６は、図１に示すように、ヨーク６０と、永久磁石６３と、一対のコイル６４とを備えた電磁石装置である。ヨーク６０は、電磁軟鉄などの鉄板を曲げ加工あるいは鍛造加工してなり、長尺矩形板状の中央片６１と、中央片６１の表面側（図２における上面側）の長手方向両端部それぞれに突設された矩形板状の脚片６２とを一体に備えている。永久磁石６３は、脚片６２の中央片６１からの突出寸法と略同寸法の厚みの直方体状に形成され、厚み方向の一面側と他面側とが互いに異極となるように着磁されている。この永久磁石６３は、前記他面をヨーク６０の中央片６１の前記表面における長手方向中央部に当接させた状態でヨーク６０に取着される。各コイル６４は、各脚片６２と永久磁石６３との間の中央片６１の部位それぞれに巻回されている。
【００７１】
そして、本実施形態のマイクロリレー１は、上述したボディ２の上記一面側に、図７（ｂ）に示すように、アーマチュア３をフレーム４の開口４ａの内側に突片３３が切欠部４ｂ内に位置する形に配置し、支点部７をアーマチュア３とボディ２との間に介在させた後に、フレーム４におけるボディ２側とは反対側にカバー５を接合（例えば、熱圧着や超音波接合）し、ボディ２の開孔部２０ａにボディ２の上記他面側から駆動装置６を収納することにより得られる。なお、本実施形態のマイクロリレー１では、例えば、ボディ２の厚みを０．３ｍｍ〜０．８ｍｍ（好ましくは０．５ｍｍ〜０．６ｍｍ）、リレー本体１ａの厚みを０．８ｍｍ〜２ｍｍ（好ましくは１ｍｍ〜１．５ｍｍ）に設定しているが、これらはあくまで一例であって、この数値に限定する趣旨ではない。
【００７２】
本実施形態のマイクロリレー１では、アーマチュア３は、可動接点３２が一対の固定接点２３に接触して一対の固定接点２３間を電気的に接続する閉位置と、可動接点３２が一対の固定接点２３から離間して一対の固定接点２３間を電気的に接続しない開位置との間で移動する形にリレー本体１ａに揺動自在に収納され、可動接点３２と一対の固定接点２３によってリレー本体１ａの長手方向両端側それぞれに接点機構部が構成される。なお、リレー本体１ａ内には不活性ガスを充填してもよい。
【００７３】
ここで、アーマチュア３は、図７（ｂ）に示すように、フレーム４の開口４ａの内側に、突片３３が切欠部４ｂ内に位置する形に配置されている。そのため、アーマチュア３が、支点部７を支点として、その長さ方向（図３（ｂ）における紙面に垂直な方向）に沿った方向の回りに回動（つまり、図３（ｂ）の紙面内で回動）しようとしても、突片３３が切欠部４ｂの底面に当接することによって、アーマチュア３が支点部７を支点として図３（ｂ）における時計回り方向および反時計回り方向のいずれの方向においても所定角度以上回動することが規制される。つまり、アーマチュア３の突片３３が内側に配置される切欠部４ｂを有するフレーム４が、ボディ２の厚み方向においてアーマチュア３と当接し、アーマチュア３が支点部７を支点としてその長さ方向に沿った方向の回りに所定角度以上回動することを規制する回動規制手段（長さ方向回動規制手段）となっている。なお、アーマチュア３が支点部７を支点としてその長さ方向に沿った方向の回りに回動可能な角度は、アーマチュア３がボディ２に対する規定位置に位置している状態における突片３３と切欠部４ｂの底面との距離によって規定され、当該距離はマイクロリレー１の動作試験などにより、動作不良が生じないような距離に設定すればよい。
【００７４】
また、アーマチュア３が長さ方向に沿った方向に移動しようとした場合でも、突片３３がフレーム４の長さ方向（図７（ｂ）における左右方向）における切欠部４ｂの内側面に当接することによって、アーマチュア３の長さ方向における移動が規制される。つまり、フレーム４が、その長さ方向（アーマチュア３の長さ方向）においてアーマチュア３に当接し、ボディ２の上記一面内においてアーマチュア３がボディ２に対する規定位置からずれることを防止する位置ずれ防止手段（長さ方向位置ずれ防止手段）となっている。なお、アーマチュア３が長さ方向において移動可能な距離は、アーマチュア３がボディ２に対する規定位置に位置している状態における突片３３と切欠部４ｂの長さ方向の内側面との距離によって規定され、当該距離はマイクロリレー１の動作試験などにより、動作不良が生じないような距離に設定すればよい。
【００７５】
また、図７（ｂ）に示すように、アーマチュア３の端縁部３１の幅方向両側それぞれには膨出部３４が設けられており、アーマチュア３が、支点部７を支点として、その厚み方向（図７（ｂ）における紙面に垂直な方向）に沿った方向の回りに回動（つまり、図７（ｂ）の紙面内で回動）しようとしても、膨出部３４がフレーム４の幅方向における開口４ａの内側面に当接することによって、アーマチュア３が支点部７を支点として図７（ｂ）における時計回り方向および反時計回り方向のいずれの方向においても所定角度以上回動することが規制される。つまり、フレーム４が、ボディ２の厚み方向においてアーマチュア３と当接し、アーマチュア３が支点部７を支点としてその厚み方向に沿った方向の回りに所定角度以上回動することを規制する回動規制手段（厚み方向回動規制手段）となっている。
【００７６】
また、アーマチュア３が厚み方向沿った方向に移動しようとした場合でも、膨出部３４がフレーム４の幅方向（図７（ｂ）における上下方向）における内側面に当接することによって、アーマチュア３の幅方向における移動が規制される。つまり、フレーム４が、その幅方向（アーマチュア３の揺動軸方向）においてアーマチュア３に当接し、ボディ２の上記一面内においてアーマチュア３がボディ２に対する規定位置からずれることを防止する位置ずれ防止手段（幅方向位置ずれ防止手段）となっている。なお、アーマチュア３が支点部７を支点としてその厚み方向に沿った方向の回りに回動可能な角度と、アーマチュア３が幅方向において移動可能な距離とは、アーマチュア３がボディ２に対する規定位置に位置している状態における膨出部３４とフレーム４の幅方向における開口４ａの内側面との距離によって規定され、当該距離はマイクロリレー１の動作試験などにより、動作不良が生じないような距離に設定すればよい。
【００７７】
このようにアーマチュア３は、支点部７を支点としアーマチュア３の長さ方向を回転軸方向とした回動範囲、アーマチュア３の長さ方向における移動範囲、支点部７を支点としアーマチュア３の厚み方向を回転軸方向とした回動範囲、アーマチュア３の幅方向における移動範囲それぞれが、フレーム４によって規制され、これによって、アーマチュア３がボディ２に対する規定位置（図示例では、ボディ２の上記一面内において、アーマチュア３の中心とボディ２の中心が一致するとともに、アーマチュア３の長さ方向とボディ２の長さ方向とが一致する位置）から大きくずれて、本来の動作とは異なる動作を行ってしまうことを抑制できるから、接点開閉動作の安定性の向上が図れる。
【００７８】
これに加えて、固定接点２３は、当該固定接点２３と支点部７とを結ぶ直線に沿った方向を長さ方向とする帯状に形成されてなるので、アーマチュア３の長さ方向においてアーマチュア３がボディ２に対する規定位置からずれた場合でも、可動接点３２が固定接点２３に接触し易くなっているから、接点開閉動作の安定性のさらなる向上が図れる。また、アーマチュア３の厚み方向に直交する面内における端縁部３１の断面形状が支点部７を中心とする円弧状であるので、アーマチュア３が支点部７を支点としてボディ２の厚み方向に沿った方向の回りに回動した場合でも、可動接点３２は上記円弧と重なる形で移動し、その結果、回動の前後において可動接点３２の位置が大きく変わらず、上記のような回動が生じた場合でも可動接点３２が固定接点２３に接触し易くなっているから、接点開閉動作の安定性のさらなる向上が図れる。
【００７９】
さらに、アーマチュア３におけるボディ２との対向面側には、図３および図４に示すように、支点部７の一部が内側に入り込む形の支点部７用の位置決め凹部３０が形成されているので、球形状である支点部７が予期せずボディ２およびアーマチュア３に対する規定位置とは異なる位置に移動してしまうことを防止でき、接点開閉動作の安定性の向上が図れる。
【００８０】
また、カバー５の主部５１におけるボディ２との対向面に、シールド部５１が形成されており、当該シールド部５１は、フレーム４に設けられた貫通配線部４０によって、ボディ２の補助接地用導体パターン２６に電気的に接続されている。この補助接地用導体パターン２６は接地用導体パターン２１と電気的に接続されているから、シールド部５１は接地用導体パターン２１と電気的に接続される、つまり接地されることになる。
【００８１】
したがって、このマイクロリレー１では、固定接点２３および可動接点３２における接地用導体パターン２１側とは反対側に、接地されたシールド部５１が設けられているから、高周波特性の改善が図れる。また、シールド部５１をカバー５とフレーム４との接合用の部材としても利用できるから、製造が容易に行えるようになる。
【００８２】
次に、本実施形態のマイクロリレーの動作について説明する。なお、以下の説明では、必要に応じて、リレー本体１ａの長手方向一端側（図７（ｂ）における右側）の一対の固定接点２３と他端側（図７（ｂ）における左側）の一対の固定接点２３とを区別するために、一端側の固定接点２３を符号２３Ａで表し、他端側の固定接点２３を符号２３Ｂで表す。また、同様の理由から、可動接点３２を符号３２Ａ，３２Ｂで、アーマチュア３の長さ方向の端縁部３１を符号３１Ａ，３１Ｂで、脚片６２を符号６２Ａ，６２Ｂで、コイル６４を符号６４Ａ，６４Ｂでそれぞれ表す。また、アーマチュア３の長さ方向とボディ２の長さ方向とが平行した状態を初期状態とし、初期状態では、可動接点３２がいずれの固定接点２３とも接触していないとする。
【００８３】
上記初期状態から駆動装置６の両コイル６４それぞれに所定方向に電流が流れるように通電すると、コイル６４で発生する磁束は、例えば、脚片６２Ａでは永久磁石６３が発生する磁束と同方向となり、脚片６４Ｂでは永久磁石６３が発生する磁束と逆方向となるから、脚片６２Ａの先端面とアーマチュア３の端縁部３１Ａとの間に吸引力が生じ、アーマチュア３は、支点部７を支点として、端縁部３１Ａがボディ２に近接し、端縁部３１Ｂがボディ２から離間するように回動する。
【００８４】
上述したようにアーマチュア３が上記初期状態から回動していくと、やがて、端縁部３１Ａの可動接点３２Ａが、一対の固定接点２３Ａそれぞれと所定の接圧で接触して、一対の固定接点２３Ａ間を電気的に接続する閉位置に位置する。
【００８５】
ここで、本実施形態のマイクロリレー１では、図７（ｂ）に示すように、支点部７はボディ２の中央部に配置され、一対の固定接点２３はボディ２の長さ方向両側それぞれに幅方向に離間する形に形成されており、支点部７においてアーマチュア３またはボディ２と当接する部位と一対の固定接点２３とは、ボディ２の上記一面に平行する面内において三角形の頂点位置に位置しているので、可動接点３２Ａが固定接点部の一対の固定接点２３Ａの両方に接触した際には、アーマチュア３が一対の固定接点２３Ａと支点部７との３点でボディ２に支持されるから、例えば従来のようにアーマチュア３が一対の支点突起および一対の固定接点の計４点でボディに支持される場合などとは異なり、一対の固定接点２３Ａにおいて厚みの差が大きかったり、可動接点３２（アーマチュア３の端縁部３１）が撓んだりしてしまった場合でも、可動接点３２を一対の固定接点２３Ａの両方と接触させることができ、可動接点３２Ａと固定接点２３Ａとの接触信頼性の向上が図れる。また、本実施形態のマイクロリレー１では、球形状に形成した支点部７を用いているため、アーマチュア３がいずれの方向にも傾き易くなるので、アーマチュア３をボディ２に対してスムーズに揺動させることができるようになるから、接点開閉動作の安定性の向上が図れ、しかも、球形状ではなく正方形状などの角がある支点部７を利用する場合に比べれば、可動接点３２を固定接点２３に静かに当接させることが可能となり、また、当接時に生じる撃力を低減できる。
【００８６】
また、アーマチュア３の上記端縁部３１は、上記円弧の接線方向に直交する面内の断面形状が、固定接点側に凸となる曲面形状に形成されてなるので、上記端縁部３１に形成された可動接点３２が固定接点２３に接触した際に、固定接点２３が削れてしまうことを抑制でき、耐久性の向上が図れる。
【００８７】
一方、端縁部３１Ｂの可動接点３２Ｂは、一対の固定接点２３Ｂそれぞれから離間して、一対の固定接点２３Ｂ間を電気的に接続しない開位置に位置する。
【００８８】
したがって、駆動装置６の両コイル６４それぞれに上記所定方向に電流を流すと、一対の固定接点２３Ａ間のみが電気的に接続される。この状態で、両コイル６４への通電を停止した場合には、永久磁石６３が発生する磁束が、永久磁石６３→アーマチュア３→脚片６２Ａ→永久磁石６３という閉磁路を通るため、上記状態（一対の固定接点２３Ａ間が短絡された状態）が保持される。
【００８９】
その後に、両コイル６４それぞれに、上記所定方向とは逆方向に電流が流れるように通電すると、コイル６４が発生する磁束は、脚片６２Ｂでは永久磁石６３が発生する磁束と同方向となり、脚片６４Ａでは永久磁石６３が発生する磁束と逆方向となるから、脚片６２Ｂの先端面とアーマチュア３の端縁部３１Ｂとの間に吸引力が生じ、アーマチュア３は、支点部７を支点として、端縁部３１Ｂがボディ２に近接し、端縁部３１Ａがボディ２から離間するように回動する。
【００９０】
ここで、可動接点３２が固定接点２３に接触して一対の固定接点２３間を電気的に接続している閉極時に、可動接点３２と固定接点２３との間に比較的大きな電流が流れ、可動接点３２が固定接点２３に溶着されてしまった場合でも、本実施形態のマイクロリレー１によれば、幅方向を揺動軸方向に沿わせた形でボディ２の厚み方向の一面側に配置されたアーマチュア３の長さ方向における端縁部３１に可動接点３２を形成しているので、図９に示すように可動接点を形成した接点基台３２０とアーマチュア本体３１０とを接圧ばね３３０で連結してなる従来例のアーマチュア１００とは異なり、接圧ばね３３０の変形によって可動接点３２０に作用する引き剥がし力が低減されてしまうことがないから、固定接点２３に溶着された可動接点３２を固定節点２３より引き剥がすことが可能となり、動作不良となってしまうことを抑制できる。
【００９１】
上述したようにアーマチュア３が回動していくと、やがて、上述した可動接点３２Ａと固定接点２３Ａの場合と同様に、端縁部３１Ｂの可動接点３２Ｂが一対の固定接点２３Ｂそれぞれに所定の接圧で接触して、一対の固定接点２３Ｂ間を電気的に接続する閉位置に位置する。一方、端縁部３１Ａの可動接点３２Ａは、一対の固定接点２３Ａそれぞれから離間して、一対の固定接点２３Ａ間を電気的に接続しない開位置に位置する。
【００９２】
したがって、駆動装置６の両コイル６４それぞれに上記所定方向とは逆方向に電流を流すと、一対の固定接点２３Ｂ間のみが電気的に接続される。この状態で、両コイル６４への通電を停止した場合には、永久磁石６３が発生する磁束が、永久磁石６３→アーマチュア３→脚片６２Ｂ→永久磁石６３という閉磁路を通るため、上記状態（一対の固定接点２３Ｂ間が短絡された状態）が保持される。
【００９３】
その後に、一対の固定接点２３Ａ間を電気的に接続したい場合には、両コイル６４に上記所定方向に電流が流れるように通電すればよい。
【００９４】
このように本実施形態のマイクロリレー１は、両コイル６４への通電方向によって、常開接点と常閉接点とが切り換えられるラッチング型リレーとなっている。
【００９５】
以上述べた本実施形態のマイクロリレー１によれば、幅方向を揺動軸方向に沿わせた形でボディ２の厚み方向の一面側に配置されたアーマチュア３の長さ方向における端縁部３１に可動接点３２を形成しているので、図９に示すように可動接点を形成した接点基台３２０とアーマチュア本体３１０とを接圧ばね３３０で連結してなる従来例のアーマチュア１００とは異なり、接圧ばね３３０の変形によって可動接点３２０に作用する引き剥がし力が低減されてしまうことがないから、可動接点３２に作用する引き剥がし力の向上が図れ、その結果、従来例よりも固定接点２３に溶着された可動接点３２を固定接点２３より引き剥がし易くなって、マイクロリレー１が動作不良となってしまうことを抑制できる。
【００９６】
しかも、アーマチュア３が磁性材料よりなるので、図９に示すようなアーマチュア本体３１０に接極子板を接合してなる従来例のアーマチュア３００よりも厚みを薄くでき、また、厚みを同じ程度とした際にはより小型の駆動装置６００を利用できるから、全体として小型化が図れる。また、可動接点３２が固定接点２３に当接することによってアーマチュア３の揺動範囲が規制されることになるので、図９に示す従来例とは異なりアーマチュア３００（アーマチュア本体３１０）の揺動範囲を規制する柱状の規制突起が不要になる。そのため、このような規制突起がボディ２に接触した際に摩耗し、その摩耗によって生じた粉（摩耗粉）によって接点の接触不良が引き起こされてしまうことがない。
【００９７】
また、本実施形態のマイクロリレー１のボディ２では、ランド２４の一部は厚み方向において接地用導体パターン２１と重なっており、これらがマイクロストリップライン（マイクロストリップ線路）を構成し、これによって高周波特性の改善が図られている。このようなボディ２は、上述したように積層板からなるので、上記のようなマイクロストリップラインを容易に形成することができ、マイクロリレー１の製造が容易に行えるようになる。また、ボディ２とフレーム４とを積層板として一体化しているので、フレーム４とボディ２との接合強度の向上が図れ、しかもフレーム４およびボディ２の形成が容易になる。
【００９８】
さらに、ボディ２には、絶縁層２２における接地用導体パターン２１側とは反対側には、厚み方向に直交する面内において一対の固定接点２３および当該一対の固定接点２３に接離する可動接点３２を三方から囲う形の補助接地用導体パターン２６を形成しており、これによっても、高周波特性の改善が図られている。なお、本実施形態におけるボディ２では、図５（ｂ）に示すように、ベース基板２の長手方向両側それぞれに接地用導体パターン２１を形成しているが、これら接地用導体パターン２１同士を電気的に接続するようにしてもよく、このようにすれば、２つの接地用導体パターン２１同士が電気的に接続されていない場合よりも、高周波特性の改善が図れる。同様に、補助接地用導体パターン２６同士を電気的に接続して高周波特性の改善を図ってもよい。このとき、接地用導体パターン２１または補助接地用導体パターン２６あるいはその両方を、開孔部２０ａを覆う形に形成してもよく、この場合、絶縁層２２のみで開孔部２０ａを覆う場合に比べれば、ボディ２において開孔部２０ａを覆う部分の強度の向上が図れる。つまり、接地用導体パターン２１および補助接地用導体パターン２６あるいはその両方によって絶縁層２２の補強を行なうようにしてもよい。この場合、各導体パターン２１，２６によって駆動装置６が発生する磁界が遮蔽されてしまうことがないように、各導体パターン２１，２６は、銅や銀、アルミニウムなどの比較的透磁率が低い導体により形成する。
【００９９】
ところで、ボディ２には、図５および図６に示すように、接点用貫通孔２０ｂ１および接地用貫通孔２０ｂ２が厚み方向に貫設されている。本実施形態では、これら接点用貫通孔２０ｂ１および接地用貫通孔２０ｂ２を、厚み方向に直交する面内における開口形状が厚み方向において一様な形となるようにボディ２に形成しているから、例えば、ガラス基板にブラスト加工などにより形成した貫通孔のように、厚み方向に直交する面内における開口形状が厚み方向における一方から他方に向かって拡開する形のものと比較すれば、貫通孔内の貫通配線部２７を通る電流の経路を短くできる。
【０１００】
また、接点用貫通孔２０ｂ１と接地用貫通孔２０ｂ２が互いに所定間隔を隔てて平行するとともに、２つの接地用貫通孔２０ｂ２が、厚み方向に直交する面内において接点用貫通孔２０ｂ１に対して点対称となる位置に設けられているから、接点用貫通孔２０ｂ１内の貫通配線部２７Ａと接地用貫通孔２０ｂ２内の貫通配線部２７Ｂとによって高周波の伝送に適した伝送路が構成されて、高周波特性の改善が図れる。例えば、図１（ａ）に示す例では、１つの貫通配線部２７Ａの両側それぞれに、貫通配線部２７Ｂが等間隔で配置されているため、１つの貫通配線部２７Ａを内部導体、２つの貫通配線部２７Ｂを外部導体とするような同軸ケーブルと機能的に等しい伝送路が構成されている。
【０１０１】
上記のマイクロリレー１では、図３（ａ），（ｂ）に示すように、アーマチュア３に支点部７の位置決め凹部３０を形成するようにしていたが、アーマチュア３に位置決め凹部３０を形成する代わりに、図８（ａ）に示すように、ボディ２の上記一面側（絶縁層２２におけるアーマチュア３との対向面側）に、支点部７用の位置決め凹部２２ｃを形成するようにしてもよく、このようにしても、図３（ａ），（ｂ）に示す場合と同様に、支点部７がボディ２およびアーマチュア３に対する規定位置とは異なる位置に移動してしまうことを防止でき、接点開閉動作の安定性の向上が図れる。
【０１０２】
また、本実施形態のマイクロリレー１では、支点部７は、ボディ２とアーマチュア３のいずれとも別体に形成されているが、支点部７は、ボディ２と一体的に形成されたものであってもよいし、アーマチュア３と一体的に形成されたものであってもよい。ここで、支点部７をボディ２またはアーマチュア３と一体的に形成するにあたっては、ボディ２よりもアーマチュア３に一体的に形成するほうが好ましい。これは、アーマチュア３は、形状が比較的単純であり、また磁性を有する金属材料よりなるために、ボディ２に比べれば強度が高く、支点部７の形成時に負荷がかかっても、破損するおそれがほとんどない一方で、ボディ２は、アーマチュア２に比較すれば強度が低く、支点部７の形成時に負荷がかたった際に破損してしまうおそれがあることによる。特に、ボディ２をガラス基板などで形成したり、本実施形態のマイクロリレー１のように、ボディ２に駆動装置６用の収納室を形成したりした場合には、ボディ２においてアーマチュア３を支持する部位の厚みが薄くなって、強度が低くなり、支点部７の形成時に破損が生じ易くなってしまう。
【０１０３】
ここで、支点部７をアーマチュア３に一体的に形成した場合には、図８（ａ）に示す場合と同様に、ボディ２の上記一面側（絶縁層２２におけるアーマチュア３との対向面側）に、支点部７用の位置決め凹部２２ｃを形成するようにしてもよく、このようにすれば、アーマチュア３をボディ２に対する規定位置に位置させ易くなるから、接点開閉動作の安定性の向上が図れる。
【０１０４】
また、支点部７は、上述したような球形状のものに限定されるものではなく、例えば、図８（ｂ）に示すように、ボディ２の上記一面の中央部にボディ２の厚み方向を軸方向とする柱状に形成されたものであってもよい。ここで、支点部７は、同じ柱状でも角柱状よりは円柱状とするほうが好ましく、支点部７を円柱状とすれば、アーマチュア３の揺動時に支点部７においてアーマチュア３と接する部位が角のない円弧状となっているので、支点部７を角柱状とする場合に比べれば、アーマチュア３をボディ２に対してスムーズに揺動させることができるようになるから、接点開閉動作の安定性の向上が図れる。このような円柱状の支点部７としては、金ワイヤや銅ワイヤ、またはこれらを用いたスタッドバンプ、または金属製あるいは樹脂製のピン、またはめっきなどにより形成した金属層など、種々のものを利用することができる。また、支点部７はアーマチュア３に一体的に形成するようにしてもよく、この場合、支点部７は、アーマチュア３におけるボディ２との対向面の中央部にアーマチュア３の厚み方向を軸方向とする円柱状に形成される。
【０１０５】
本実施形態では、アーマチュア３の突片３３が切欠部４ｂの底面に当接することで、アーマチュア３が支点部７を支点としてその長さ方向に沿った方向の回りに所定角度以上回動することを規制するようになっているが、カバー３やフレーム４において突片３３におけるボディ２側とは反対側の面に当接する突部（図示せず）や、突片３３を設ける代わりにボディ２の上記一面側にアーマチュア３におけるボディ２との対向面に当接する突部（図示せず）を設けることによって上記長さ方向回動防止手段を構成してもよい。また、膨出部３４を設ける代わりに、フレーム４の幅方向における開口４ａの内側面を開口４ａ内に突出させることで、上記厚み方向回動規制手段や幅方向位置ずれ防止手段を構成してもよい。このような点は上記長さ方向位置ずれ防止手段についても同様である。
【０１０６】
なお、本実施形態におけるボディ２の構成はあくまで一例であって、これに限定する趣旨ではなく、本発明の趣旨を逸脱しない程度に変形してもよい。また、本実施形態のマイクロリレー１では、一対の固定接点２３と一対の固定接点２３の両方に接離する可動接点３２とによって接点機構部を構成しているが、３以上の固定接点２３とこれら固定接点２３に接離する可動接点３２とによって接点機構部を構成するようにしてもよい。また、本実施形態のマイクロリレー１では、アーマチュア３を揺動させる駆動装置６として、永久磁石６３を用いた有極型の電磁石装置を用いているが、永久磁石６３を用いない無極型の電磁石装置を用いてもよい。さらに、本実施形態のマイクロリレー１では、ラッチング型のリレーを例示しているが、これに限定する趣旨ではない。
【図面の簡単な説明】
【０１０７】
【図１】本発明の一実施形態のマイクロリレーの分解斜視図である。
【図２】同上のマイクロリレーの斜視図である。
【図３】（ａ）は図２におけるＡ−Ａ線矢視図、（ｂ）は図２におけるＢ−Ｂ線矢視図である。
【図４】同上におけるアーマチュアの平面図である。
【図５】同上におけるボディの工程図である。
【図６】同上におけるボディの工程図である。
【図７】（ａ）は同上におけるボディの平面図、（ｂ）はボディにアーマチュアを配置した状態を示す平面図である。
【図８】同上のマイクロリレーの他例を示す一部を省略した断面図である。
【図９】従来例のマイクロリレーの分解斜視図である。
【符号の説明】
【０１０８】
１    マイクロリレー
２    ボディ
３    アーマチュア
６    駆動装置
７    支点部
２２ｃ  位置決め凹部
２３    固定接点
３０    位置決め凹部
３１    端縁部
３２    可動接点
【図１】
2008305678.tif 000003
【図２】
2008305678.tif 000004
【図３】
2008305678.tif 000005
【図４】
2008305678.tif 000006
【図５】
2008305678.tif 000007
【図６】
2008305678.tif 000008
【図７】
2008305678.tif 000009
【図８】
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【図９】
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