(57)【要約】【解決手段】  支持テーブル３は、被加工物２の中央部を支持する方形の中央支持部３Ａと、該中央支持部の４辺にそれぞれ隣接して配置されて、中央支持部に隣接した辺に対して反対側の辺が下方に傾斜するように設けられた側辺支持部３Ｂ−１〜３Ｂ−４と、相互に隣接する２つの側辺支持部にそれぞれ隣接して配置された角支持部３Ｃ−１〜３Ｃ−４とを備えている。例えば角支持部３Ｃ−１は、一方の側辺支持部３Ｂ−４に隣接した辺に対して反対側となる辺が下方に傾斜し（図５）、また他方の側辺支持部３Ｂ−１に隣接した辺に対してもその反対側の辺が下方に傾斜する（図６）。【効果】  上記角支持部３Ｃ−１は、側辺支持部３Ｂ−１と一体的に下方に傾斜し（図５）、また側辺支持部３Ｂ−４とも一体的に下方に傾斜するので（図６）、側辺支持部と角支持部上の残材を支持テーブル上から除去することができる。【選択図】  図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物の中央部を支持する方形の中央支持部と、該中央支持部の４辺にそれぞれ隣接して配置されるとともに、中央支持部に隣接した辺に対して反対側の辺が下方に傾斜するように設けられた側辺支持部と、相互に隣接する２つの側辺支持部にそれぞれ隣接して配置された角支持部とを備え、
各角支持部は、一方の側辺支持部に隣接した辺に対して反対側となる辺が下方に傾斜するように設けられるとともに、他方の側辺支持部に隣接した辺に対してその反対側の辺が下方に傾斜するように設けられていることを特徴とする被加工物の支持テーブル。
【請求項２】
上記角支持部は、一方に隣接する側辺支持部に揺動自在に取り付けられており、取り付けられた側辺支持部に対して反対側の辺が下方に傾斜するように設けられていること特徴とする請求項１に記載の被加工物の支持テーブル。
【請求項３】
１つの側辺支持部の両側に配置された２つの角支持部は、当該側辺支持部の上記反対側となる辺が下方に傾斜する際に、該側辺支持部と同時に傾斜することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の被加工物の支持テーブル。
【請求項４】
上記各角支持部が傾斜した際に下方側となる端部は、各角支持部が水平状態となった際に、それぞれ支持手段によって下方側から支持されて水平状態に保持されることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の被加工物の支持テーブル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は被加工物を支持する支持テーブルに関し、より詳しくは、被加工物の周辺を切断してその周辺より外側の余分な残材を支持テーブル上から排除するのに好適な被加工物の支持テーブルに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被加工物を支持テーブル上に載置した状態で、該被加工物にレーザ光を照射して所要の切断加工を行うことは周知である。
そのような支持テーブルにおいて、該支持テーブルの一部を傾斜させることにより、被加工物（素材）から切り出した製品と残りの残材とを分別することも知られている（特許文献１）。
【特許文献１】特開昭５９−９７５４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来、例えば液晶ディスプレイに使用されるガラス基板は、被加工物である素材ガラスの周辺を正確に所定寸法に割断（切断）することによって得ている。この場合、製品となるガラス基板は、素材ガラスの中央部分に存在することになり、該ガラス基板の周囲４辺の全てに、残材が存在することになる。
上述した従来技術を参照して支持テーブルの一部を傾斜させることにより、その部分の残材を除去することはできるが、製品となるガラス基板の周囲４辺に存在する残材を全て除去することは困難であった。
本発明はそのような事情に鑑み、中央部分となる製品の周囲の残材を効率よく除去することが可能な被加工物の支持テーブルを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
すなわち本発明に係る被加工物の支持テーブルは、被加工物の中央部を支持する方形の中央支持部と、該中央支持部の４辺にそれぞれ隣接して配置されるとともに、中央支持部に隣接した辺に対して反対側の辺が下方に傾斜するように設けられた側辺支持部と、相互に隣接する２つの側辺支持部にそれぞれ隣接して配置された角支持部とを備え、
各角支持部は、一方の側辺支持部に隣接した辺に対して反対側となる辺が下方に傾斜するように設けられるとともに、他方の側辺支持部に隣接した辺に対してその反対側の辺が下方に傾斜するように設けられていることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００５】
上記構成によれば、例えば第１の側辺支持部を下方に傾斜させる際には、これの両側に隣接する角支持部も同方向に傾斜させることができるので、それによって当該第１の側辺支持部とその両側に隣接する角支持部に跨って載置されていた残材をその傾斜によって滑落させて、支持テーブル上から除去することができる。
他方、上記第１の側辺支持部に隣接してこれと直交する方向に配置された第２の側辺支持部を下方に傾斜させる際には、上記第２の側辺支持部に隣接する角支持部は、第１の側辺支持部に隣接した辺に対して反対側となる辺が下方に傾斜するように設けられているので、この第２の側辺支持部の両側に隣接する角支持部も同方向に傾斜させることができることになる。その結果、当該第２の側辺支持部とその両側に隣接する角支持部に跨って載置されていた残材をその傾斜によって滑落させて、支持テーブル上から除去することができる。
したがって上記作動により、中央支持部に支持されている製品の周囲の残材を、各側辺支持部と各角支持部とを下方に傾斜させることにより、効率よく支持テーブル上から除去することができるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明すると、図１において、１はレーザ加工装置であり、このレーザ加工装置１によって被加工物としての脆性材料を、より具体的には素材ガラス２の周囲４辺を正確に所定寸法に割断（切断）することができるようになっている。
上記レーザ加工装置１は、本発明に係る支持テーブル３と、この支持テーブル３の一側の隣接位置に配置されて素材ガラス２を支持する素材テーブル４と、上記支持テーブル３の他側の隣接位置に配置されて支持テーブル３から搬出される製品としてのガラス基板２’を支持する製品テーブル５とを備えている。
【０００７】
上記支持テーブル３は水平で平坦な載置面を有しており、その載置面の所要位置に多数の孔３ａ（図３参照）を形成してある。そして支持テーブル３上への素材ガラス２の搬入時およびガラス基板２’の搬出時には、上記多数の孔３ａからエアを噴出することで、支持テーブル３上に素材ガラス２又はガラス基板２’を浮上させることができるようになっている。他方、支持テーブル３上に素材ガラス２が搬入された後には、上記多数の孔３ａに負圧を作用させることで、支持テーブル３上に素材ガラス２を吸着保持できるようになっている。
図示しないが、上記素材テーブル４および製品テーブル５の載置面にも上記支持テーブル３と同様に多数のエアを給排する孔を設けてあり、所要時に素材ガラス２あるいはガラス基板２’を載置面に吸着し、或いは載置面上に浮上させることができるようにしてある。なお、素材ガラス２や製品ガラス２’の搬送面となる各テーブル間にも所要時にエアを噴出する孔が設けられている。
【０００８】
上記レーザ加工装置１は、レーザ光Ｌを発振するレーザ発振器６と、図示しない移動機構によって水平面のＸＹ方向にそれぞれ独立して移動されてレーザ光Ｌを支持テーブル３上の素材ガラス２に向けて照射する第１加工ヘッド７Ａおよび第２加工ヘッド７Ｂと、レーザ発振器６から発振されたレーザ光Ｌを両加工ヘッド７Ａ、７Ｂへ分割して案内する複数の光学部品からなる導光手段１１とを備えている。
また上記レーザ加工装置１は、素材ガラス２や割断後のガラス基板２’を吸着保持可能な複数の吸着パッド１２Ａ、１２Ｂを有して上記素材テーブル４と支持テーブル３と製品テーブル５とにわたってＸ方向に移動される枠状の搬送手段１２と、上記搬送手段１２、レーザ発振器６および両加工ヘッド７Ａ、７Ｂの作動を制御する制御装置１３とを備えている。
【０００９】
上記支持テーブル３上にはＹ方向と平行な一対の可動ガイドレール１６、１６’を設けてあり、それら各可動ガイドレール１６、１６’に上記各加工ヘッド７Ａ、７ＢをＹ方向に移動可能に取り付けている。各加工ヘッド７Ａ、７Ｂは図示しない第１移動機構によって可動ガイドレール１６、１６’に沿ってＹ方向に移動されるようになっている。
また、各可動ガイドレール１６、１６’の両端部は、支持テーブル３を挟んで配置された一対のＸ方向ガイドレール１８、１８’に係合されており、上記両加工ヘッド７Ａ、７Ｂを取り付けた各可動ガイドレール１６、１６’は図示しない第２移動機構によってＸ方向ガイドレール１８、１８’に沿ってＸ方向に移動されるようになっている。
上記第１移動機構および第２移動機構は上記制御装置１３によって作動されるようになっており、制御装置１３は、第１移動機構および第２移動機構の作動を制御して、各加工ヘッド７Ａ、７Ｂを水平面においてＸＹ方向に移動させることができるようになっている。
【００１０】
上記レーザ加工装置１による素材ガラス２の割断は次のようにして行われる。
先ず、素材テーブル４上に長方形をした１枚の素材ガラス２が所定位置に供給されると、素材テーブル４上まで搬送手段１２が移動されて、該搬送手段１２の枠状フレームにおけるＸ方向の一端側の吸着パッド１２Ａによって素材ガラス２の上面における支持テーブル３側の部分が吸着保持される。
次に、素材テーブル４、支持テーブル３及び両テーブル間に設けられた上述の複数の孔３ａからエアが噴出され、素材テーブル４上の素材ガラス２がエアによって浮上される。その状態において、該素材ガラス２を保持した状態の搬送手段１２がＸ方向に移動されることで、搬送手段１２に保持された素材ガラス２が支持テーブル３上の所定位置に搬送される。
その後、素材テーブル４と支持テーブル３の載置面および両テーブル間のエア噴出が停止され搬送手段１２による素材ガラス２の保持状態が解放されるとともに、支持テーブル３の載置面の孔３ａに負圧が導入されるので、その負圧によって支持テーブル３上に素材ガラス２が吸着保持される。
【００１１】
この状態となると、上記制御装置１３は上記第１移動機構と第２移動機構とを制御して第１加工ヘッド７Ａと第２加工ヘッド７Ｂとをそれぞれ独立してＸＹ方向に移動させることにより、素材ガラス２の周囲４辺を割断予定線２ａに沿ってＸ方向又はＹ方向に割断し、それによって正確に所定寸法に割断した方形のガラス基板２’を得る。
このようにして、レーザ加工装置１による素材ガラス２の割断が終了したら、支持テーブル３の孔３ａへの負圧の導入を停止し、後に詳述するように、素材ガラス２から切り落とされてガラス基板２’の周囲に存在する残材を支持テーブル３上から除去する。
上記素材ガラス２を割断する間に、既に素材テーブル４上に素材ガラス２が供給されている。そして、搬送手段１２におけるＸ方向の一端側の吸着パッド１２Ａによって素材ガラス２が吸着保持されると同時に、搬送手段１２におけるＸ方向の他端側の吸着パッド１２Ｂによって支持テーブル３上のガラス基板２’が吸着保持される。
【００１２】
この後、すべてのテーブル及び各テーブル間に上述した多数の孔３ａからエアが噴出され、製品としてのガラス基板２’が支持テーブル３上に浮上されると同時に、素材テーブル４上の素材ガラス２も浮上される。
この状態となると、搬送手段１２は製品テーブル５に向けてＸ方向に平行移動されるので、新たな素材ガラス２が支持テーブル３上に供給されるとともに、製品としてガラス基板２’が製品テーブル５上に搬出される。
この後、各部のエア噴出が停止され搬送手段１２による吸着パッド１２Ａ、１２Ｂによる素材ガラス２とガラス基板２’の保持状態が解除されるとともに、支持テーブル３及び製品テーブル５の孔３ａに負圧が導入されて、新たな素材ガラス２及びガラス基板２’が各テーブルに吸着支持される。
【００１３】
次に、上記支持テーブル３の具体的構成を説明すると、図１、図２に示すように、上記支持テーブル３は被加工物としての素材ガラス２の中央部を支持する方形の中央支持部３Ａを備えており、この中央支持部３Ａの４辺にそれぞれ隣接して合計４つの側辺支持部３Ｂ−１〜３Ｂ−４を設けている。また、相互に隣接する２つの側辺支持部３Ｂ−１〜３Ｂ−４の角部に、それぞれ隣接して合計４つの角支持部３Ｃ−１〜３Ｃ−４を設けている。
全ての支持部３Ａ、３Ｂ−１〜３Ｂ−４、３Ｃ−１〜３Ｃ−４は、素材ガラス２を支持する際には同一水平面内に位置しており、各支持部の全体で素材ガラス２をその底面側から支持することができるようになっている。そしてこの状態では、上記割断予定線２ａは、各側辺支持部３Ｂ−１〜３Ｂ−４と各角支持部３Ｃ−１〜３Ｃ−４上に位置するように設定してある。したがって、割断後に素材ガラス２から切り落とされた残材、すなわち製品となるガラス基板２’の周囲の残材は、全て側辺支持部３Ｂ−１〜３Ｂ−４と角支持部３Ｃ−１〜３Ｃ−４上に位置するようになっている。
【００１４】
図３は図１、図２に示す支持テーブル３の右下隅部の拡大平面図を示してあり、図３では中央支持部３Ａを省略してある。また図４は図３の矢印ＩＶ方向からの側面図であって、図４に示すように、上記中央支持部３Ａはブラケット２１によってアッパーフレーム２２に固定されており、また各側辺支持部３Ｂ−１〜３Ｂ−４の一側は、図３に示すように、それぞれヒンジ２３によって中央支持部３Ａの各辺に揺動可能に連結されている。各ヒンジ２３は中央支持部３Ａと各側辺支持部３Ｂ−１〜３Ｂ−４の底面側に設けられていて、各ヒンジ２３が中央支持部３Ａや各側辺支持部３Ｂ−１〜３Ｂ−４の表面側に突出することがないようにしてある。
図４に示すように、各側辺支持部３Ｂ−１〜３Ｂ−４の他側（外側）とロアーフレーム２４との間に、駆動手段としてのエアシリンダ２５をそれぞれ設けてあり、各エアシリンダ２５を伸長させることにより、上記各側辺支持部３Ｂ−１〜３Ｂ−４を中央支持部３Ａと同一水平面となる水平位置に位置させることができるようにしてある。
他方、各エアシリンダ２５を収縮させた際には、上記各側辺支持部３Ｂ−１〜３Ｂ−４の外側を下方に傾斜させた傾斜位置として、その表面上の残材を下方に滑落させることができるようにしてある。
【００１５】
上記角支持部３Ｃ−１〜３Ｃ−４は、互いに対向する位置に配置された２つの側辺支持部３Ｂ−１、３Ｂ−３におけるそれぞれの両側の側辺に、ヒンジ２８を介して揺動自在に連結してある。すなわち、側辺支持部３Ｂ−１の長手方向における一方の端部となる側辺に角支持部３Ｃ−１をヒンジ２８によって揺動自在に連結し、また当該側辺支持部３Ｂ−１の長手方向における他方の端部に角支持部３Ｃ−２（図２参照）をヒンジ２８によって揺動自在に連結してある。
同様に、側辺支持部３Ｂ−３の両側の側辺に、角支持部３Ｃ−３と３Ｃ−４とをそれぞれヒンジ２８によって揺動自在に連結してある。
そして、上記角支持部を連結した側辺支持部３Ｂ−１、３Ｂ−３の長手方向両側の底面にはそれぞれブラケット２９（図４）を固定してあり、各ブラケット２９と各角支持部３Ｃ−１〜３Ｃ−４との間に駆動手段としてのエアシリンダ３０をそれぞれ設けてある。
上記各エアシリンダ３０を伸長させた際には、各角支持部３Ｃ−１〜３Ｃ−４を側辺支持部３Ｂ−１、３Ｂ−３の平面と同一平面となる位置に保持させることができ、他方、各エアシリンダ３０を収縮させた際には、各側辺支持部３Ｂ−１、３Ｂ−３の平面に対して各角支持部３Ｃ−１〜３Ｃ−４の外側を下方に傾斜させた傾斜位置として、その表面上の残材を下方に滑落させることができるようにしてある。
【００１６】
さらに図４に示すように、上記ロアーフレーム２４には各角支持部３Ｃ−１〜３Ｃ−４を水平状態に支持するための支持手段としてのエアシリンダ３１をそれぞれ設けてある。すなわち各エアシリンダ３１を伸長させて、該ピストンロッド３１ａの先端部を、水平状態となっている各角支持部３Ｃ−１〜３Ｃ−４の自由端側下面に、すなわち上記支持テーブル３の全体における各角部の下面に望ませて、各角支持部を下方から支持させることができるようにしてある。
これにより、各角支持部３Ｃ−１〜３Ｃ−４が傾斜した際に下方側となる端部は、各角支持部３Ｃ−１〜３Ｃ−４が水平状態となった際に、それぞれエアシリンダ３１のピストンロッド３１ａによって下方側から支持されて、水平状態に保持されるようになる。この支持手段を設けることで、メカニカルカッタを素材ガラスに押し付けてスクライブ線を入れてからレーザ光を照射してブレイキングする場合でも、安定して割断することができるようになっている。
他方、各エアシリンダ３１を収縮させて各角支持部３Ｃ−１〜３Ｃ−４の自由端側下面から上記ピストンロッド３１ａを離隔させ、それによって各角支持部３Ｃ−１〜３Ｃ−４の下方への傾斜を許容することができるようにしてある。
【００１７】
以上の構成において、各エアシリンダ２５、３０を伸長させた状態では、各側辺支持部３Ｂ−１〜３Ｂ−４と各角支持部３Ｃ−１〜３Ｃ−４とは中央支持部３Ａとともに同一の水平面内に位置するようになり、それによって素材ガラス２又はガラス基板２’の底面を支持することができるようになる。またこの際には、エアシリンダ３１も伸長されて各角支持部３Ｃ−１〜３Ｃ−４の自由端側を水平状態に支持している。そしてこの状態において、素材ガラス２の割断が行われる。
【００１８】
残材を除去する際には、先ず、全てのエアシリンダ３０を伸長させた状態のまま、側辺支持部３Ｂ−１及び３Ｂ−３に連動しているエアシリンダ２５を収縮させるとともに、全てのエアシリンダ３１も収縮させる。
側辺支持部３Ｂ−２及び３Ｂ−４に連動しているエアシリンダ２５は伸長させたままなので、図５に示すように、側辺支持部３Ｂ−２及び３Ｂ−４は水平状態に維持されたままであるが、側辺支持部３Ｂ−１及び３Ｂ−３に連動しているエアシリンダ２５は収縮されるので、これら側辺支持部３Ｂ−１及び３Ｂ−３の外側が下方に傾斜される。
この際、エアシリンダ３０は伸長されたままなので、各角支持部３Ｃ−１〜３Ｃ−４の表面は側辺支持部３Ｂ−１又は３Ｂ−３の表面と同一平面のままに維持されており、したがって側辺支持部３Ｂ−１、３Ｂ−３が傾斜されると、各角支持部３Ｃ−１〜３Ｃ−４も、各側辺支持部３Ｂ−１、３Ｂ−３と一体的に同一方向に同一角度だけ傾斜される。これにより、各側辺支持部３Ｂ−１、３Ｂ−３と、各側辺支持部３Ｂ−１、３Ｂ−３のそれぞれ両側に位置する角支持部３Ｃ−１〜３Ｃ−４とに跨って載置されていた残材は、これら支持部３Ｂ−１、３Ｂ−３、３Ｃ−１〜３Ｃ−４の傾斜により支持テーブル３の外側に滑落し、図示しない回収箱などの回収手段によって回収される。
なおこの際、全てのエアシリンダ３１は収縮されているので、各角支持部３Ｃ−１〜３Ｃ−４の傾斜がピストンロッド３１ａによって阻害されることはない。また、上記支持部３Ｂ−１、３Ｂ−３、３Ｃ−１〜３Ｃ−４の傾斜によってその上の残材を滑落させる際には、必要に応じて、これらに設けた孔３ａにエアを供給して残材を浮上させて滑落させるようにしても良い。
【００１９】
次に、側辺支持部３Ｂ−１及び３Ｂ−３に連動しているエアシリンダ２５が伸長されて、これら側辺支持部３Ｂ−１及び３Ｂ−３が傾斜状態から水平状態に復帰されると、これに伴って各角支持部３Ｃ−１〜３Ｃ−４も水平状態に復帰される。この状態となると、今まで水平に保持されていた側辺支持部３Ｂ−２及び３Ｂ−４に連動しているエアシリンダ２５が収縮される。これにより、図６に示すように、側辺支持部３Ｂ−２及び３Ｂ−４の外側が下方に傾斜される。
これと同時に、今回は全てのエアシリンダ３０が収縮され、これにより各角支持部３Ｃ−１〜３Ｃ−４は、水平状態を保っている側辺支持部３Ｂ−１、３Ｂ−３に対して、ヒンジ２８を介してその外側が下方に傾斜される。したがって各角支持部３Ｃ−１〜３Ｃ−４は、傾斜された各側辺支持部３Ｂ−２、３Ｂ−４と一体的に同一方向に同一角度だけ傾斜する。
【００２０】
その結果、各側辺支持部３Ｂ−２、３Ｂ−４と各角支持部３Ｃ−１〜３Ｃ−４とに跨って載置されていた残材は、これら支持部３Ｂ−２、３Ｂ−４、３Ｃ−１〜３Ｃ−４の傾斜により支持テーブル３の外側に滑落し、図示しない回収箱などの回収手段によって回収される。この際にも、上述したのと同様に、これら支持部３Ｂ−２、３Ｂ−４、３Ｃ−１〜３Ｃ−４の孔３ａにエアを供給して残材の滑落を補助するようにしても良い。
このようにして素材ガラス２から切り落とされた全ての残材が支持テーブル３上から排除されると、下方に傾斜していた側辺支持部３Ｂ−２、３Ｂ−４と角支持部３Ｃ−１〜３Ｃ−４との全てが元の水平の状態に復帰する。また、エアシリンダ３１が伸長されて各ピストンロッド３１ａが各角支持部３Ｃ−１〜３Ｃ−４の自由端側を水平状態に支持する。
この後、上述したように製品としてのガラス基板２’が製品テーブル５上に搬出され、また新たな素材ガラス２が支持テーブル３上に供給される。
【００２１】
以上の説明から理解されるように、各角支持部３Ｃ−１〜３Ｃ−４は２方向に傾斜することができるようになっている。
すなわち、一方の側辺支持部３Ｂ−１、３Ｂ−３に隣接した辺に対して反対側となる辺が下方に傾斜するように設けられるとともに（図５参照）、他方の側辺支持部３Ｂ−２、３Ｂ−４に隣接した辺に対してもその反対側の辺が下方に傾斜するように設けられている（図６参照）。
このような各角支持部３Ｃ−１〜３Ｃ−４の２方向の傾斜により、ガラス基板２’の周囲に残存する残材を確実に支持テーブル３上から排除することができる。
【００２２】
なお、上記実施例では被加工物を素材ガラス２としてこれの周囲を割断するようにしているが、これに限定されるものではなく、金属板などの被加工物をレーザ切断するものであっても良いことは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の一実施例を示す平面図。
【図２】図１に示す支持テーブル３の拡大平面図。
【図３】図２に示す支持テーブル３の右下隅部をさらに拡大して示す平面図。
【図４】図３の矢印ＩＶ方向からの側面図。
【図５】支持テーブル３から残材を除去している状態を示す斜視図。
【図６】支持テーブル３から残材を除去している図５とは異なる状態を示す斜視図。
【符号の説明】
【００２４】
１  レーザ加工装置                      ２  素材ガラス（被加工物）
２ａ  割断予定線                        ２’  ガラス基板（製品）
３  支持テーブル                        ３Ａ  中央支持部
３Ｂ−１〜３Ｂ−４  側辺支持部          ３Ｃ−１〜３Ｃ−４  角支持部
２３、２８  ヒンジ                      ２５、３０、３１  エアシリンダ
３１ａ  ピストンロッド
【図１】
2008132571.tif 000003
【図２】
2008132571.tif 000004
【図３】
2008132571.tif 000005
【図４】
2008132571.tif 000006
【図５】
2008132571.tif 000007
【図６】
2008132571.tif 000008