(57)【要約】【課題】  導電性ボールの配列装置におけるボールカップを浮上させると共に振動させて、ボールカップの内壁面に接触する導電性ボールを停滞させないようにする。【解決手段】  導電性ボールの配列装置に次の手段を採用する。  第１に、ボールの挿入部が形成された配列治具と、下面に開口部が形成され、前記配列治具との間で多数の導電性ボールを収容可能なボールカップと、ボールカップを配列治具の上面に沿って相対移動させる移動手段とを備える。  第２に、多数のボールを収容したボールカップを配列治具上面に沿って相対移動させることにより、配列治具の挿入部にボールを落とし込んで配列する配列装置とする。  第３に、前記ボールカップの前記配列治具からの浮上手段と、ボールカップへの振動手段とを設ける。  第４に、配列治具から浮上させたボールカップを振動させながら配列治具上面に沿って相対移動させる。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性ボールの挿入部が所定の配列パターンに形成された配列治具と、下面に開口部が形成され、前記配列治具との間で多数の導電性ボールを収容可能なボールカップと、ボールカップを配列治具の上面に沿って相対移動させる移動手段とを備え、
多数の導電性ボールを収容したボールカップを配列治具上面に沿って相対移動させることにより、配列治具の挿入部に導電性ボールを落とし込んで配列する導電性ボールの配列装置において、
前記ボールカップを前記配列治具から浮上させる浮上手段と、ボールカップに振動を与える振動手段とを設け、
配列治具から浮上させたボールカップを振動させながら配列治具上面に沿って相対移動させることを特徴とする導電性ボールの配列装置。
【請求項２】
前記浮上手段は、ボールカップの底面から配列治具上面に向けて気体を噴射するものである請求項1記載の導電性ボールの配列装置。
【請求項３】
前記振動手段は、ボールカップに振動子を取り付けたものである請求項１または２記載の導電性ボールの配列装置。
【請求項４】
導電性ボールの挿入部が所定の配列パターンに形成された配列治具と、下面に開口部が形成され、前記配列治具との間で多数の導電性ボールを収容可能なボールカップと、ボールカップを配列治具の上面に沿って相対移動させる移動手段とを備え、
多数の導電性ボールを収容したボールカップを配列治具上面に沿って相対移動させることにより、配列治具の挿入部に導電性ボールを落とし込んで配列する導電性ボールの配列装置において、
前記ボールカップの底面から配列治具上面に向けて気体を噴射する気体噴射孔を設け、該気体噴射孔から気体を噴出することにより、ボールカップを振動させながら、ボールカップを配列治具上面に沿って相対移動させることを特徴とする導電性ボールの配列装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、導電性ボールの収容されたボールカップが、所定パターンにボール挿入部が形成された配列治具上を相対移動することにより、導電性ボールを配列する装置の改良に関するもので、特に、ボールカップを配列治具に対して浮上させると共に振動させて、ボールカップの内壁面に接触する導電性ボールを停滞させないようにすることを目的に開発された導電性ボールの配列装置である。
【背景技術】
【０００２】
搭載対象物上に所定の配列パターンで形成された各電極に、半田ボールを搭載する半田ボール搭載装置では、近年、半田ボールが微小化し、ウエハ等の搭載対象製品が大型化したこともあり、１回に搭載する半田ボール数が増大した。このような状況において、半田ボールの配列の欠陥や搭載時の欠陥を減少させるため、特許文献１に示すようなフラックスが印刷された搭載対象物であるウエハ上に配列マスク等の配列治具を設け、配列治具上をボールカップが移動し、直接ウエハの電極上に半田ボールを落とす装置が提供されていた。
【０００３】
しかし、この種の導電性ボールの配列装置では、ボールカップの進行方向後側にあたる内壁面の下部付近にある半田ボールは、動けず停滞する上、重力がかかるため配列マスクの貫通孔内に沈み込んで欠けたり、変形して製品不良となることがあった。更に、欠けた半田ボールの破片が更なる製品不良の原因にもなることがあった。
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−３０３３４１号公開特許公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、導電性ボールの配列装置におけるボールカップを浮上させると共に振動させて、ボールカップの内壁面に接触する導電性ボールを停滞させないようにする導電性ボールの配列装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
第１の発明は、上記課題を解決するため導電性ボールの配列装置に次の手段を採用する。
第１に、導電性ボールの挿入部が所定の配列パターンに形成された配列治具と、下面に開口部が形成され、前記配列治具との間で多数の導電性ボールを収容可能なボールカップと、ボールカップを配列治具の上面に沿って相対移動させる移動手段とを備える。
第２に、多数の導電性ボールを収容したボールカップを配列治具上面に沿って相対移動させることにより、配列治具の挿入部に導電性ボールを落とし込んで配列する導電性ボールの配列装置とする。
第３に、前記ボールカップを前記配列治具から浮上させる浮上手段と、ボールカップに振動を与える振動手段とを設ける。
第４に、配列治具から浮上させたボールカップを振動させながら配列治具上面に沿って相対移動させることを特徴とする導電性ボールの配列装置とする。
【０００７】
第２の発明は、第１の発明に、浮上手段は、ボールカップの底面から配列治具上面に向けて気体を噴射するものであるという手段を付加した導電性ボールの配列装置である。更に、第３の発明は、第１または第２の発明に、前記振動手段は、ボールカップに振動子を取り付けたものであるという手段を付加した導電性ボールの配列装置である。
【０００８】
第４の発明は、導電性ボールの配列装置に次の手段を採用する。
第１に、導電性ボールの挿入部が所定の配列パターンに形成された配列治具と、下面に開口部が形成され、前記配列治具との間で多数の導電性ボールを収容可能なボールカップと、ボールカップを配列治具の上面に沿って相対移動させる移動手段とを備える。
第２に、多数の導電性ボールを収容したボールカップを配列治具上面に沿って相対移動させることにより、配列治具の挿入部に導電性ボールを落とし込んで配列する導電性ボールの配列装置とする。
第３に、前記ボールカップの底面から配列治具上面に向けて気体を噴射する気体噴射孔を設ける。
第４に、上記気体噴射孔から気体を噴出することにより、ボールカップを振動させながら、ボールカップを配列治具上面に沿って相対移動させることを特徴とする導電性ボールの配列装置とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明は、配列治具から浮上させたボールカップを振動させながら配列治具上面に沿って相対移動させるものであるため、ボールカップの内壁面に接触する導電性ボールが停滞することを防ぐことができる配列装置となった。
【００１０】
第４の発明の効果であるが、ボールカップの底面から配列治具上面に向けて気体を噴射する気体噴射孔を設け、この気体噴射孔から気体を噴出することにより、ボールカップを上下に振動させながら、ボールカップを配列治具上面に沿って相対移動させるものであるので、浮上手段と振動手段を同じ手段でまかなうことができるものとなった。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、図面に従って、実施例と共に本発明の実施の形態について説明する。実施例は、半田ボール搭載装置であり、半田ボール搭載装置は、搬入用のウエハ受渡部、フラックス印刷部、ボール搭載部、および搬出用のウエハ受渡部を有するものである。
【００１２】
本発明における導電性ボールとしては、半田ボールや白金ボールなどがあり、導電性ボールの搭載対象物としては、半導体ウエハ（以後、単にウエハと表記する）や、電子回路基板や、セラミックス基板などがあるが、実施例では、半田ボール１とウエハ２を用いている。また、粘着材料としては、フラックスや半田ペーストや導電性の接着剤などが用いられるが、実施例ではフラックス３０が用いられており、半田ボール１が載置されるウエハ２上の電極には予めフラックス３０が塗布されている。
【００１３】
実施例での、ボール搭載部は、ウエハ２が載置されるウエハ載置テーブル３１と、半田ボール１の供給のためのボールカップ４と、所定の配列パターンに半田ボール１を挿入するための配列マスク３と、ボールカップ４を配列マスク３上面に沿って移動させるボールカップ移動装置５とを備えている。尚、ウエハ載置テーブル３１は昇降機構を備え、半田ボール１の配列時に、ウエハ２の半田ボール搭載面と配列マスク３の下端面とが所定の間隔となるようにウエハ２を上昇させるようになっている。
【００１４】
配列マスク３は、中央部の貫通孔形成領域６（図１および図２に示される）に、図４に示されるように半田ボール１が挿入され、通過可能な大きさの貫通孔７が、ウエハ２上面の電極に合わせた所定の配列パターンで形成されている。配列マスク３が、本発明における配列治具に相当し、貫通孔７が、本発明における挿入部に相当する。
【００１５】
実施例での配列マスク３は、図２に示されるように四角形に形成されいる。尚、四角形の配列マスク３の四つの角部には、配列マスク３自体に張力を与え、配列マスク３の平面精度を上げるための保持用ブロック部材８が取り付けられている。配列マスク３は、張力をかけられて、ウエハ２の上面に形成される半田ボール１の搭載面の上方に適宜の間隔を有して図示されていない配列マスク支持装置に支持されている。
【００１６】
実施例での配列マスク３の高さは、図４に示されるように配列マスク３の上面から、貫通孔７に挿入された半田ボール１の上部が、突出しない高さに設定されている。勿論、図９に示されるように貫通孔７より挿入された半田ボール１の上部が突出しても良いが、この場合にはボールカップ４の貫通孔形成領域６を通過する底面部３３ａを、貫通孔形成領域６外を通過する底面部３３ｂより高くし、ボールカップ４の底面部３３ａが貫通孔７内のボールと接触しないようにする必要がある。尚、配列マスク３は、ウエハ２に接触させても良い。その場合には、フラックス３０が配列マスク３に接触しないよう貫通孔７のウエハ２側の径を拡大させたり、配列マスク３下面に貫通孔７にかからないようにリブや突出部を設けたりする等の手段をとる。
【００１７】
該配列マスク支持装置には、図２に示されるように中央にウエハ２より若干大きめの開口部９を形成したプレート状の石材で形成され、ウエハ載置テーブルに載置されたウエハ２を囲むように配置されるバックアッププレート１０と、該バックアッププレート支持部と、配列マスク３に取り付けられた保持用ブロック部材８を外方やや下方へ引っ張る三カ所の引っ張り機構および一カ所の引っ掛け部が設けられている。
【００１８】
配列マスク３は、下面をバックアッププレート１０上面に当接させて、配列マスク３の角部に存在する保持用ブロック部材８を、引っ掛け部および引っ張り機構に装着し、バックアッププレート１０の上面より若干下方に引っ張られて装着されている。これにより配列マスク３は、張力をかけられてバックアッププレート１０にしっかりと張り付き、平面精度の高い状態となっている。
【００１９】
半田ボール１を配列マスク３の貫通孔７に落とし込むボールカップ４は、上部にボール供給用の開口部が形成され、下面にボール落下用の開口部が形成されている。尚、下面の開口部は、配列マスク３の貫通孔形成領域６の幅より広い幅で形成されており、ボールカップ４と配列マスク３の上面とで多数の半田ボール１を収容可能としている。尚、ボールカップ４自体は配列マスク３の幅よりは狭い幅で形成されている。
【００２０】
図３に示されるようにボールカップ４の底面部３３ｂの両側部付近には、本発明における浮上手段となり、気体を噴射するエア噴射口１１が設けられている。該エア噴射口１１よりエアを噴射することで、ボールカップ４は、配列マスク３より浮上する。尚、エア噴射口１１は、ボールカップ４の下面開口部より外側のボールカップ４の底面に設けられているため、ボールカップ４の移動時にも、配列マスク３の貫通孔形成領域６外を通過することになり、エア噴射口１１からのエアが配列マスク３の貫通孔７に配列された半田ボール１に影響を与えないようにされている。
【００２１】
エア噴射口１１は、ボールカップ４内のエア通路１２およびボールカップ４外のエア配管１３を介してエア供給装置１４と連結されている。エア噴射口１１からのエア噴出は、ボールカップ４が作動中は、連続しており、エア噴出量は一定である。
【００２２】
エア配管１３の途中に存在する符号１５は、開閉バルブであり、符号３７は絞り弁であり、該絞り弁３７を調整することにより、ボールカップ４の配列マスク３からの浮上間隔を調整することができるようになっている。この調整によりボールカップ４底面と配列マスク３の上面の間隔を適正間隔とすることができ、半田ボール１の噛み込みや漏出を防止することができる。
【００２３】
本発明における振動手段の第１実施例は、振動子として、ピエゾアクチュエータ３２を利用し、ボールカップ４の移動方向（図1中中央の点線矢印が示す方向）前後の外周面の左右方向中央部に取り付けてあり、ボールカップ４を進行方向（図４中ボールカップ４内の矢印方向）に振動させる。この振動によりボールカップ４の半田ボール１を押し込む内壁面に半田ボール１が接触すると、半田ボール１は、該ボールカップ４の内壁面にはじかれるようにして、位置が変動し、半田ボール１の停滞を解消する。
【００２４】
尚、ピエゾアクチュエータ３２は、交流電圧を印加することで振幅１μｍ以下の超音波振動をする。この振幅はボールカップ４の外幅とカップホルダ１６の内幅のクリアランス以下である。
【００２５】
振動手段の第１実施例におけるピエゾアクチュエータ３２の取り付け位置はボールカップ４の移動方向前後の外周面であるが、図５に示される振動手段の第２実施例のように、ボールカップ４の移動方向左右の側面の壁面に取り付けることもできる。更に、ボールカップ４のボール収納部を形成する壁面を中央に向かって膨らんだものとすることにより、振動を半田ボール１に伝達すること、および半田ボール１の集合状態を破壊することに役立つ。特に図５に示すようにピエゾアクチュエータ３２を左右側面に取り付けた場合などには有効である。
【００２６】
更に、振動子たるピエゾアクチュエータ３２は、図６に示される振動手段の第３実施例のようにボールカップ４の左右の上面に２個取り付けたものも考えられる。このときピエゾアクチュエータ３２は、ボールカップ４の上面３６に上下方向の振動を付与するので、ボールカップ４は上下方向に振動させられる。この振動によりボールカップ４の内壁に接触していた半田ボール１は、回転させられ、半田ボール１の停滞を解消する。
【００２７】
ボールカップ４の上下動の範囲は、ボールカップ４の底面部３３ａの位置が、上端では配列マスク３上に位置する半田ボール１の径の半分以下の高さであることを限度とされ、下端では貫通孔７に挿入された半田ボール１に干渉しない高さであることを限度とされる。従って、振動によるボールカップ４の上下の移動量は、図８に示されるように挿入された半田ボール１の上部が配列マスク３内にある場合に比べ、図９に示されるように挿入された半田ボール１の上部が配列マスク３上に突出する場合の方が小さい。
【００２８】
ボールカップ４を前進および後退移動させるボールカップ移動装置５は、浮上し振動するボールカップ４に前後方向への移動力を付与するカップホルダ１６と、カップホルダ１６を移動させる駆動装置１７と、カップホルダ１６の移動をガイドするガイドプレート１８とからなる。
【００２９】
駆動装置１７は、ボールカップ４が保持されるカップホルダ１６を、駆動モータ１９で回転するボールねじ等により、配列マスク３の上方で前後に移動させるものであり、駆動装置１７にカップホルダ１６が装着されている。
【００３０】
図１中符号１８は、配列マスク３を囲む枠状のガイドプレート１８であり、両側にボールカップ４の進行方向に沿ったガイドレール２０が設けられており、該ガイドレール２０にカップホルダ１６が摺動自在に配置されている。駆動装置１７によりカップホルダ１６はガイドレール２０に沿って前進および後退移動を行う。
【００３１】
この移動により、ボールカップ４も浮上し振動した状態で配列マスク３上を移動し、ボールカップ４より配列マスク３の貫通孔７に半田ボール１を落とし込み、配列する。実施例でのボールカップ移動装置５は、前後方向のみのものであるが、必要に応じ左右方向への移動手段が設けられるものである。
【００３２】
尚、ガイドプレート１８は、配列マスク３より前後方向で長く、カップ前進方向の先端は空部となり、該空部下方にボール受け２１が配置されている。従って、配列時にボールカップ４は、ボール受け２１の手前の配列マスク３上で停止し、反転し後退移動を行う。他方、配列マスク３の交換時には、ボールカップ４は、ボール受け２１の上方まで移動し、収容されていた半田ボール１をボール受け２１に落下させる。尚、図中符号２７は、ボールカップ４がボール受け２１へのボール排出時に、ボールカップ４を支えるためのカップ移動路である。
【００３３】
カップホルダ１６は、内側にボールカップ４が配置される空部を形成したものであって、ボールカップ４は、この空部にスライドローラ２２および負荷検知用シャフト２３に装着されたスプリング２６の付勢という微弱な力により軽く保持されている。尚、負荷検知用シャフト２３は、カップホルダ１６の内側では、スプリング２６の微弱な力をもってボールカップ４の側面に当接しており、反対側はカップホルダ１６の外側に摺動自在に突出して設けられている。従って、ボールカップ４がカップホルダ１６の動きと異なる動きをすると、ボールカップ４が負荷検知用シャフト２３を押すことになる。
【００３４】
カップホルダ１６の外側で、負荷検知用シャフト２３の突出部付近には、負荷検知用シャフト２３の移動を感知する負荷検知用センサ２４，２５が装着されている。負荷検知用センサ２４が、ボールカップ４の前進時のセンサであり、負荷検知用センサ２５が後退時のセンサである。これらのセンサには投受光型光電センサ等が利用されている。
【００３５】
ボールカップ４が移動中に、ボールカップ４下面と配列マスク３の間で半田ボール１の噛み込みが発生すると、ボールカップ４の移動に抵抗が生じる。例えば、前進中にボールカップ４の右側底面で噛み込みが発生すると、ボールカップ４はカップホルダ１６により前進力を受けているので、左側は抵抗がなく通常に前進するが、右側は抵抗により通常の進行が阻害され、右側の進行がカップホルダ１６の進行より遅れる。するとボールカップ４の進行方向後側の右側の負荷検知用シャフト２３がボールカップ４の右側に押され、スプリング２６の付勢力を越えるとカップホルダ１６外部へ押し出される。これを右側負荷検知用センサ２４が検知し、半田ボール１の噛み込みを検知するのである。このようにして、カップホルダ１６の進行方向後方に装着された負荷検知用センサ２４により、半田ボール１の噛み込みを、カップホルダ１６に対するボールカップ４の相対位置のずれとして検出するのである。
【００３６】
尚、ボールカップ４の移動方向が反転すると、有効とする負荷検知用センサ２５へと切り替える。尚、実施例では、ボールカップ４が移動して、半田ボール１を配列マスク３に配列していくものであるが、本発明は、配列マスク３とボールカップ４は相対移動関係にあれば良いので、ボールカップ４が固定で配列マスク３が移動する場合も同様に利用できるものである。また、振動子をボールカップ４の移動方向前後の外周面、上面、左右の側面の複数の面に取り付けても良い。
【００３７】
以上の実施例での振動手段の第１乃至３実施例では、振動子であるピエゾアクチュエータ３２を利用したものであるが、振動手段として、振動子を用いず、前記ボールカップ４の底面から配列マスク３上面に向けて気体を噴射する気体噴射孔となるエア噴射口１１を設け、このエア噴射口１１からエアを噴出することにより、ボールカップ４を上下に振動させる手段が考えられる。気体の噴射によりボールカップ４を振動させるものである場合、ボールカップ４の浮上手段と振動手段とを共用とすることが可能である。
【００３８】
浮上手段兼用の振動手段の第４実施例では、ボールカップ４の底面部３３ｂの両側部付近に、エア噴射口１１が設けられており、エア噴射口１１は、ボールカップ４内のエア通路１２およびボールカップ４外のエア配管１３を介してエア供給装置１４と連結されており、エア配管１３の途中に開閉バルブ１５と絞り弁３７が存在する点では、浮上手段と同様である。但し、この振動手段の第４実施例では、図１０に示すようにエア供給装置１４と接続されたエア配管１３の途中に電磁弁を用いた開閉バルブ１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃを３個設け、更に、開閉バルブ１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃとエア供給装置１４の間にレギュレータ３８を設けている。
【００３９】
エア噴射口１１からのエアの噴出停止の制御は開閉バルブ１５Ａ，１５Ｂ，１５ＣのＯＮ（開）、ＯＦＦ（閉）の切り替えにより行う。この振動手段は、ボールカップ４に上下の振動を与えるものであるので、振動手段の第３実施例と同様の上限と下限の管理が必要となる。但し、振動手段の第４実施例では、ボールカップ４の浮上の上限位置はエア圧やエア流量で調整し、浮上の下限位置は開閉バルブ１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃの切り替えタイミングで調整している。
【００４０】
制御順を説明すれば、第１段階として、開閉バルブ１５Ａを開とし、開閉バルブ１５Ｂ，１５Ｃを閉とする。この状態でボールカップ４は、所定の上限位置に浮上している。第２段階は、開閉バルブ１５Ａを閉とし、僅かなタイミングの後、開閉バルブ１５Ｂを開とする。このとき開閉バルブ１５Ｃは、閉とされたままである。このときの僅かなタイミングの間に、ボールカップ４は下限位置まで落下した後、上限位置に戻る。
【００４１】
第３段階は、開閉バルブ１５Ｂを閉とし、僅かなタイミングの後、開閉バルブ１５Ｃを開とする。このとき開閉バルブ１５Ａは、閉とされたままである。このときも僅かなタイミングの間に、ボールカップ４は下限位置まで落下した後、上限位置に戻る。
【００４２】
第４段階は、開閉バルブ１５Ｃを閉とし、僅かなタイミングの後、開閉バルブ１５Ａを開とする。このとき開閉バルブ１５Ｂは、閉とされたままである。このときも僅かなタイミングの間に、ボールカップ４は下限位置まで落下した後、上限位置に戻る。
【００４３】
その後、第２段階から第４段階を繰り返すことにより、ボールカップ４を浮上させた状態で、ボールカップ４に上下方向の振動を与えることができる。開閉バルブ１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃに電磁弁を用いれば１秒間に２０回の振動を与えることも可能である。尚、図１０に示す振動手段の第４実施例では、左右のエア噴射口１１からのエア噴射停止のタイミングは同時のものとされているが、左右のエア噴射口１１のエア噴射停止のタイミングを異ならせても良い。
【００４４】
振動手段の第４実施例は開閉バルブ１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃの３組利用する例で示したが、その数を増やしても良いし、１つの開閉バルブ１５のみの開閉切り替えでも可能である。特に開閉バルブ１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃの数を増やした場合には、開閉バルブの寿命アップにつながる。
【００４５】
振動手段の第５実施例として、振動手段の第４実施例より、開閉バルブ１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃを取り外したものが考えられる。この振動手段の第５実施例によってもボールカップ４を振動させることが可能である。ボールカップ４のエア噴射口１１にエア供給装置１４からエアを供給してボールカップ４を浮上させると、ボールカップ４の重力によりボールカップ４が下降する。ボールカップ４が下降して、ボールカップ４の底面と配列マスク７の上面の間隔が狭くなると、エア噴射口１１やエア配管１３内のエア圧が高まる。ある程度エア圧が高くなるとエアは、ボールカップ４と配列マスク７の間隔を広げるようボールカップ４を上昇させて、外に逃げ、その後、再び重力によりボールカップ４は下降する。これを繰り返すことでボールカップ４の振動が発生するのである。この場合、絞り弁３７やボールカップ４の重量の調整やボールカップ４の底面形状によって振幅、振動数の変更が可能である。尚、振動方向は上下成分に前後、左右の成分を加えることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】配列装置のボール配列部を示す概略平面図
【図２】ボール配列部の分解説明図
【図３】ボールカップへのエア供給の説明図
【図４】ボールカップの振動方向を示す断面説明図
【図５】振動子を側面に取り付けた状態を示すボール配列部を示す概略平面図
【図６】振動子をボールカップ上面に取り付けた状態を示す断面説明図
【図７】ボールカップの振動方向を示す断面説明図
【図８】挿入された半田ボールの上部が配列マスク内にある場合の断面説明図
【図９】挿入された半田ボールの上部が配列マスク上に突出する場合の断面説明図
【図１０】振動手段に気体の噴射停止を用いる場合の断面説明図
【符号の説明】
【００４７】
１．．．．．．半田ボール
２．．．．．．ウエハ
３．．．．．．配列マスク
４．．．．．．ボールカップ
５．．．．．．ボールカップ移動装置
６．．．．．．貫通孔形成領域
７．．．．．．貫通孔
８．．．．．．保持用ブロック部材
９．．．．．．開口部
１０．．．．．．バックアッププレート
１１．．．．．エア噴射口
１２．．．．．エア通路
１３．．．．．エア配管
１４．．．．．エア供給装置
１５．．．．．開閉バルブ
１６．．．．．カップホルダ
１７．．．．．駆動装置
１８．．．．．ガイドプレート
１９．．．．．駆動モータ
２０．．．．．ガイドレール
２１．．．．．ボール受け
２２．．．．．スライドローラ
２３．．．．．負荷検知用シャフト
２４、２５．．．．．負荷検知用センサ
２６．．．．．スプリング
２７．．．．．カップ移動路
３０．．．．．フラックス
３１．．．．．ウエハ載置テーブル
３２．．．．．ピエゾアクチュエータ
３３ａ，ｂ．底面部
３４．．．．．外周面
３５．．．．．内壁面
３６．．．．．上面
３７．．．．．絞り弁
３８．．．．．レギュレータ
【図１】
2008305893.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2008305893.tif 000008
【図７】
2008305893.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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