(57)【要約】【課題】均等性ある出力電力でかつ出力間の位相を変えられるマイクロ波発生装置およびその発生装置を利用したマイクロ波加熱装置を提供する。【解決手段】マイクロ波発生装置１０は半導体素子を用いて構成した発振部１１ａ、１１ｂ、３ｄＢブランチラインカプラー構成の電力分配部１２、半導体素子を用いて構成した増幅部１３ａ、１３ｂ、１５ａ、１５ｂ、出力部１６ａ、１６ｂとで構成し、発振部１１ａ、１１ｂのいずれか一つを動作させることで、出力部１６ａのマイクロ波信号の位相を基準にすると、出力部１６ｂのマイクロ波信号の位相は、略９０度遅くなったり、９０度進むように変化させることができ、マイクロ波加熱装置に適用することで様々な被加熱物の加熱の均一化を促進させることができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の発振部と、入力された電力を複数に分配して出力する電力分配部と、前記電力分配部の出力をそれぞれ電力増幅する増幅部と、前記増幅部の出力をそれぞれ出力する複数の出力部とを備え、前記電力分配部は複数の入力端を有し前記複数の発振部の出力をそれぞれの入力端に入力するように構成したマイクロ波発生装置。
【請求項２】
電力分配部のそれぞれの出力は、略９０度の位相差を有する請求項１に記載のマイクロ波発生装置。
【請求項３】
複数の発振部において、選択されたひとつのみを動作させることとした請求項１に記載のマイクロ波発生装置。
【請求項４】
複数の発振部と、前記発振部のそれぞれの出力を複数にそれぞれ分配して出力する電力分配部と、前記電力分配部の出力をそれぞれ電力増幅する増幅部と、被加熱物を収納する加熱室と、前記加熱室に前記増幅部のそれぞれの出力を供給する複数の給電部と、前記発振部と増幅部の動作を制御する制御部とを備え、前記制御部は複数の発振部において一つのみを選択して動作させることとしたマイクロ波加熱装置。
【請求項５】
電力分配部のそれぞれの出力は、略９０度の位相差を有する請求項４に記載のマイクロ波加熱装置。
【請求項６】
制御部は、被加熱物の加熱実行中に、動作させる発振部を選択切換する請求項４に記載のマイクロ波加熱装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体素子を用いて構成したマイクロ波発生装置およびそのマイクロ波を利用した加熱装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来この種のマイクロ波発生装置は、半導体発振部と、発振部の出力を複数に分割する分配部と、分配された出力をそれぞれ増幅する複数の増幅部と、増幅部の出力を合成する合成部とを有し、分配部と増幅部との間に位相器を設けたものがある（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
そして、位相器はダイオードのオンオフ特性によりマイクロ波の通過線路長を切り替える構成としている。また、合成部は９０度および１８０度ハイブリッドを用いることで合成部の出力を２つにすることができ、位相器を制御することで２出力の電力比を変化させたり、２出力間の位相を同相あるいは逆相にすることができるとしている。
【０００４】
また、この種のマイクロ波加熱装置は、一般には電子レンジに代表されるようにマイクロ波発生装置にマグネトロンと称される真空管を用いている。
【特許文献１】特開昭５６−１３２７９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、前記従来の構成ではマイクロ波の通過線路長さを変えることで位相差を変えているため、その通過線路長さに応じて伝送損失が生じ、後続の並列動作する増幅部への入力電力の均等性が損なわれ、その結果、それぞれの増幅器の出力電力が不均等な出力値を呈する。そして、従来技術に開示されているような増幅出力を合成器する場合や、合成器を使用することなく増幅出力を加熱室に供給する場合、不均等な出力を呈するので、被加熱物の加熱が不均一になる課題を有していた。
【０００６】
また、通過線路長さを変化させる構成は、回路構成が大型化する課題も有していた。
【０００７】
本発明は、上記従来の課題を解決するもので、並列動作させるそれぞれの増幅部への入力電力の不均一さを解消しつつ、それぞれの入力電力信号間の位相差を変化させることができ、均等性ある出力電力でかつ出力間の位相を変えられるマイクロ波発生装置およびその発生装置を利用したマイクロ波加熱装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記従来の課題を解決するために、本発明のマイクロ波発生装置は、複数の発振部と、入力された電力を複数に分配して出力する電力分配部と、前記電力分配部の出力をそれぞれ電力増幅する増幅部と、前記増幅部の出力をそれぞれ出力する複数の出力部とを備え、前記電力分配部は複数の入力端を有し前記複数の発振部の出力をそれぞれの入力端に入力するように構成したものであり、これにより電力分配部のそれぞれの出力は電力分配の回路構成に付随した位相差を生じるが、電力分配部に入力を与える入力端に応じて、出力位相差はある一つの出力を基準とすると他方の出力の位相が進んだり遅れたりすることになるが出力電力そのものは均等性を有するので、動作させる発振部の選択により並列動作させるそれぞれの増幅部への入力電力は電力レベルは同等で位相差が変化しただけのものとでき、均等性ある出力電力でかつ出力間の位相を変えることができるマイクロ波発生装置を提供できる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明のマイクロ波発生装置およびマイクロ波加熱装置は、均等出力でかつ位相差を変化させることができるマイクロ波発生装置を提供でき、さらにその発生装置を利用して被加熱物の均一加熱を実行できるマイクロ波加熱装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
第１の発明は、複数の発振部と、入力された電力を複数に分配して出力する電力分配部と、前記電力分配部の出力をそれぞれ電力増幅する増幅部と、前記増幅部の出力をそれぞれ出力する複数の出力部とを備え、前記電力分配部は複数の入力端を有し前記複数の発振部の出力をそれぞれの入力端に入力するように構成したものであり、これにより電力分配部のそれぞれの出力は電力分配の回路構成に付随した位相差を生じるが、電力分配部に入力を与える入力端に応じて、出力位相差はある一つの出力を基準とすると他方の出力の位相が進んだり遅れたりすることになるが出力電力そのものは均等性を有するので、動作させる発振部の選択により並列動作させるそれぞれの増幅部への入力電力は電力レベルは同等で位相差が変化しただけのものとでき、均等性ある出力電力でかつ出力間の位相を変えることができるマイクロ波発生装置を提供できる。
【００１１】
第２の発明は、特に第１の発明の電力分配部のそれぞれの出力は、略９０度の位相差を有する構成からなり、これにより複数の出力間の位相は、一方の出力の位相を基準にすると他方は、略９０度進んだり遅れたりする出力信号として変化させることができ、マイクロ波加熱装置に適用した場合、加熱室内のマイクロ波分布を時間的に変化させ被加熱物の加熱の均一化を促進できる。
【００１２】
第３の発明は、特に第１の発明の複数の発振部において、選択されたひとつのみを動作させることとしたものであり、複数の増幅部に至る通過線路長さは変化させることなく、発振部への駆動電源供給をオンオフ制御するだけで、マイクロ波発生装置の出力の位相を変化させることができ、同等出力を発生できるとともに回路の小型化を図ることができる。
【００１３】
第４の発明のマイクロ波加熱装置は、複数の発振部と、前記発振部のそれぞれの出力を複数にそれぞれ分配して出力する電力分配部と、前記電力分配部の出力をそれぞれ電力増幅する増幅部と、被加熱物を収納する加熱室と、前記加熱室に前記増幅部のそれぞれの出力を供給する複数の給電部と、前記発振部と増幅部の動作を制御する制御部とを備え、前記制御部は複数の発振部において一つのみを選択して動作させることとしたものであり、これにより電力分配部のそれぞれの出力は電力分配の回路構成に付随した位相差を生じるが、電力分配部に入力を与える入力端に応じて、出力位相差はある一つの出力を基準とすると他方の出力の位相が進んだり遅れたりすることになるが出力電力そのものは均等性を有するので、動作させる発振部の選択により並列動作させるそれぞれの増幅部への入力電力は電力レベルは同等で位相差が変化しただけのものとでき、均等性ある出力電力でかつ出力間の位相を変えることができるマイクロ波発生装置を提供でき、その発生装置を用いて動作させる発振部を選択制御することで加熱室内でのマイクロ波分布を時間的に変化させて被加熱物の加熱の均一化を促進させることができる。
【００１４】
第５の発明は、特に第４の発明の電力分配部のそれぞれの出力は、略９０度の位相差を有する構成としたものであり、これにより複数の出力間の位相は、一方の出力の位相を基準にすると他方は、略９０度進んだり遅れたりする出力信号として変化させることができ、マイクロ波加熱装置に適用した場合、加熱室内のマイクロ波分布を時間的に変化させ被加熱物の加熱の均一化を促進できる。
【００１５】
第６の発明は、特に第４の発明の制御部は、被加熱物の加熱実行中に、動作させる発振部を選択切換するものであり、複数の増幅部に至る通過線路長さは変化させることなく、発振部への駆動電源供給をオンオフ制御するだけで、マイクロ波発生装置の出力の位相を変化させることができ、加熱室内の異なる二箇所から同等出力を供給できるとともに回路の小型化により加熱装置への実装が容易となる。
【００１６】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、この実施の形態によって本発明が限定されるものではない。
【００１７】
（実施の形態１）
図１は、本発明の第１の実施の形態におけるマイクロ波発生装置の回路構成図である。
【００１８】
図１において、マイクロ波発生装置１０は半導体素子を用いて構成した発振部１１ａ、１１ｂ、発振部１１ａ、１１ｂの出力信号をそれぞれ入力するとともに電力分配する分配部１２、分配部１２のそれぞれの出力を後段の半導体素子を用いて構成した初段増幅部１３ａ、１３ｂに導くマイクロ波伝送路１４ａ、１４ｂ、初段増幅部１３ａ、１３ｂのそれぞれの出力をさらに増幅する半導体素子を用いて構成した主増幅部１５ａ、１５ｂ、主増幅部１５ａ，１５ｂの出力をマイクロ波発生装置１０の出力部１６ａ、１６ｂに導くマイクロ波伝送路１７ａ、１７ｂとで構成している。
【００１９】
初段増幅部１３ａ，１３ｂおよび主増幅部１５ａ、１５ｂは、低誘電損失材料から構成した誘電体基板の片面に形成した導電体パターンにて回路を構成し、各増幅部の増幅素子である半導体素子を良好に動作させるべく各半導体素子の入力側と出力側にそれぞれ整合回路を配している。
【００２０】
マイクロ波伝送路１４ａ、１４ｂ、１７ａ、１７ｂは、誘電体基板１８の片面に設けた導電体パターンによって特性インピーダンスが５０Ωの伝送回路を形成している。
【００２１】
電力分配器１２は、３ｄＢブランチラインカプラー構成とし、特性インピーダンス５０Ωでその電気長λ／４（λは使用周波数帯の中央周波数の実効波長）からなるマイクロストリップ線路１２ａ、１２ｄと、特性インピーダンス３５．３５Ωで電気長λ／４のマイクロストリップ線路１２ｂ、１２ｃで構成している。
【００２２】
この構成により、発振部１１ａの出力電力は、電力分配器１２に略１／２ずつ分配された出力を生じる。また、マイクロ波伝送路１４ａを伝送するマイクロ波信号を基準にするとマイクロ波伝送路１４ｂを伝送するマイクロ波信号は、９０度位相が遅れた信号として伝送する。また、発振部１１ｂの出力電力は、電力分配器１２に略１／２ずつ分配された出力を生じる。また、マイクロ波伝送路１４ｂを伝送するマイクロ波信号を基準にするとマイクロ波伝送路１４ａを伝送するマイクロ波信号は、９０度位相が遅れた信号として伝送する。
【００２３】
また、いずれかの発振部１１ａ、１１ｂを動作させた場合、他方の発振部にはごくわずかのマイクロ波電力が伝送されるが、その発振部を非動作とすることで、伝送されたマイクロ波電力は非動作中の発振部内部にて消費される。
【００２４】
以上のように構成されたマイクロ波発生装置について、以下その動作、作用を説明する。
【００２５】
発振部１１ａ、１１ｂは、いずれか一つを動作させる。発振部１１ａを動作させた場合、その出力は電力分配部１２にて略１／２分配され、後続の並列動作する増幅部１３ａ、
１５ａ、１３ｂ、１５ｂを経て出力部１６ａ、１６ｂにそれぞれ出力される。この場合、出力部１６ａのマイクロ波信号の位相を基準にすると、出力部１６ｂのマイクロ波信号は、略９０度遅れた信号となる。
【００２６】
一方、発振部１１ｂを動作させた場合、出力部１６ａ、１６ｂにそれぞれ出力されるマイクロ波は、出力部１６ｂのマイクロ波信号の位相を基準にすると、出力部１６ａのマイクロ波信号は、略９０度遅れた信号となる。
【００２７】
出力されるマイクロ波信号の位相を総合すると、発振部１１ａ、１１ｂのいずれか一つを動作させることで、マイクロ波発生装置１０は、出力部１６ａのマイクロ波信号の位相を基準にすると、出力部１６ｂのマイクロ波信号の位相は、略９０度遅くなったり、略９０度進むように変化させることができる。
【００２８】
そして、マイクロ波発生装置１０の２つの出力の位相差が変化する２つのマイクロ波信号をマイクロ波加熱装置に適用することで様々な被加熱物の加熱の均一化を促進させることができる。
【００２９】
また、動作させる発振部の選択により並列動作させるそれぞれの増幅部への入力電力は電力レベルは同等で位相差が変化しただけのものとでき、均等性ある出力電力でかつ出力間の位相を変えることができるマイクロ波発生装置を提供できる。
【００３０】
さらにまた、複数の発振部において、選択されたひとつのみを動作させることとしたものであり、複数の増幅部に至る通過線路長さは変化させることなく、発振部への駆動電源供給をオンオフ制御するだけで、マイクロ波発生装置の出力の位相を変化させることができ、同等出力を発生できるとともに回路の小型化を図ることができる。
【００３１】
（実施の形態２）
図２は本発明の第２の実施の形態におけるマイクロ波加熱装置の構成図である。
【００３２】
図２において、被加熱物を収納する加熱室１００は、被加熱物を出し入れする扉（図示していない）を一面に配し、それ以外の壁面は金属材料で構成し、供給されるマイクロ波を内部に閉じ込めるように構成している。加熱室１００内の下方には、加熱室底壁面１０１と所定の間隔をもって被加熱物を載置する低誘電損失材料からなる載置板１０２を配する。また加熱室１００の左右の壁面１０３、１０４のそれぞれの略中央には、給電部である放射手段１０５、１０６を対向するように設けている。
【００３３】
加熱室１００の下側には、半導体素子を用いて構成したマイクロ波発生装置１０７を配する。このマイクロ波発生装置１０７は、２４００ＭＨｚから２５００ＭＨｚの周波数を発生する電圧可変型の周波数可変機能を備えた発振部（図１の１１ａ、１１ｂ）と、発振部の出力を２分配する電力分配器（図１の１２）と、電力分配器の２つの出力を後段の初段増幅部（図１の１３ａ、１３ｂ）に伝送する伝送路と、初段増幅部の出力をそれぞれ増幅する主増幅部（図１の１５ａ、１５ｂ）とから構成している。また、主増幅部のそれぞれの出力（図１の１６ａ、１６ｂ）は、同軸線路１０８、１０９を伝送させて対向配置の放射手段１０５、１０６に導いている。
【００３４】
また、マイクロ波発生装置１０７の二つの出力には、それぞれ反射電力を抽出する電力結合器１１０、１１１を配する。また、駆動電源１１２は、発振部と初段増幅部および主増幅部のそれぞれに供給する駆動電力を発生するものである。また、駆動電源１１２の動作を制御する制御部１１３を配する。
【００３５】
電力結合器１１０、１１１は、結合度が約４０ｄＢとし、反射電力の約１／１００００の電力量を抽出する。この電力信号はそれぞれ、検波ダイオード（図示していない）で整流化しコンデンサ（図示していない）で平滑処理し、その出力信号を制御部１１３に入力させている。
【００３６】
また、マイクロ波発生装置１０７には半導体素子の発熱を放熱させる放熱手段（図示していない）を配する。
【００３７】
以上のように構成されたマイクロ波加熱装置について、以下その動作と作用を説明する。
【００３８】
まず被加熱物を加熱室１００に収納し、その加熱条件を操作部（図示していない）から入力し、加熱開始キーを押す。加熱開始信号を受けた制御手段１１３の制御出力信号によりマイクロ波発生装置１０７が動作を開始する。制御手段１１３は、駆動電源１１２を動作させて発振部（図１の１１ａ、１１ｂ）のいずれか一つに電力を供給する。この時、発振部の初期の発振周波数は、たとえば２４５０ＭＨｚに設定する電圧信号を供給し、発振が開始する。以降、駆動電源１１２を制御して初段増幅部を動作させ、次に主増幅部を動作させる。このときの各主増幅部はそれぞれ１００Ｗ未満、たとえば５０Ｗのマイクロ波電力を位相差９０度でもって出力する。
【００３９】
加熱室１００内に供給されるマイクロ波エネルギが被加熱物に１００％吸収されると加熱室１００からの反射電力は無しになるが、被加熱物の種類・形状・量が被加熱物を含む加熱室１００の電気的特性を決定し、マイクロ波発生装置１０７の出力インピーダンスと加熱室１００のインピーダンスとに基づいて、加熱室１００側から同軸線路１０８、１０９を逆方向に伝送する反射電力が生じる。
【００４０】
電力結合器１１０、１１１は、この同軸線路１０８、１０９をマイクロ波発生装置１０７側に伝送する反射電力と結合し、その反射電力量に比例した信号を検出するものであり、検出信号を受けた制御部１１３は、反射電力が極小値となる発振周波数の選択を行う。この周波数選択に対して、制御部１１３は、発振部の発振周波数を初期の２４５０ＭＨｚから０．１ＭＨｚピッチ（たとえば、１０ミリ秒で１ＭＨｚ）で低い周波数側に変化させ、周波数可変範囲の下限である２４００ＭＨｚに到達すると１ＭＨｚピッチで周波数を高く変化させ、２４５０ＭＨｚに到達すると再び０．１ＭＨｚピッチで周波数可変範囲の上限である２５００ＭＨｚまで高くする。この周波数可変の中で得られた反射電力が極小となる周波数とその周波数における反射電力に相当する信号を記憶する。そして、反射電力が極小をとる周波数群において反射電力に相当する信号が最も小さい周波数を選定し、発振部をその選定した周波数が発振するように制御するとともに発振出力を入力された加熱条件に対応した出力が得られるように制御する。これにより、各主増幅部はそれぞれ２００Ｗから５００Ｗのマイクロ波電力を位相差９０度でもって出力する。
【００４１】
このマイクロ波は、同軸線路１０８、１０９を伝送して一対の対向配置の放射手段１０５、１０６から被加熱物が収納された加熱室１００内に放射される。そして加熱初期に加熱室１００内に一対の対向配置の放射手段１０５、１０６から放射されるマイクロ波の位相差は略９０度（たとえば放射手段１０５の信号を基準にすると放射手段１０６の信号が略９０度遅れた状態）であり、加熱室１００の左右方向の略中央部から右寄りに電界集中領域が形成される。加熱室１００に形成された電界集中領域により、被加熱物が加熱室１００の略中央に収納された場合には、被加熱物の略中央から右寄りが強く加熱される。
【００４２】
そして制御手段１０３は、被加熱物の加熱の均一化を図るために、適当な時間周期、たとえば２秒、で動作させる発振部を切り替えるために駆動電源１１２に制御信号を出力す
る。これにより、放射手段１０５、１０６から放射されるマイクロ波の位相差は略９０度（たとえば放射手段１０５の信号を基準にすると放射手段１０６の信号が略９０度進んだ状態）であり、加熱室１００の左右方向の略中央部から左寄りに電界集中領域が形成される。加熱室１００に形成されたこの電界集中領域により、被加熱物が加熱室１００の略中央に収納された場合には、被加熱物の略中央から左寄りが強く加熱される。
【００４３】
その後、２秒経過すると再び動作させる発振部を切り替える。上述の動作を加熱終了まで繰り返す。２つの発振部の動作と非動作を切り替え制御することにより、一対の対向配置した放射手段１０５、１０６によって形成される電界集中領域を変化させることにより、被加熱物の均一加熱を促進する。
【００４４】
なお、発振部を切り替えたときの発振周波数は、切換前の周波数を踏襲させて動作させている。
【００４５】
上記の一連の加熱制御の中で、さらに以下のような制御を実行する。上述したように加熱室１００内に供給されるマイクロ波エネルギが被加熱物に１００％吸収されると加熱室１００からの反射電力は無しになるが、被加熱物の種類・形状・量が被加熱物を含む加熱室１００の電気的特性を決定し、マイクロ波発生装置１０７の出力インピーダンスと加熱室１００のインピーダンスとに基づいて、加熱室１００側から同軸線路１０８、１０９を逆方向に伝送する反射電力が生じる。
【００４６】
電力結合器１１０、１１１は、この同軸線路１０８、１０９をマイクロ波発生装置１０７側に伝送する反射電力と結合し、その反射電力量に比例した信号を検出するものであり、検出信号が予め規定した第一レベルの反射電力に対応する信号を超過した信号を制御部１１３が検出すると、制御部１１３は、発振部の発振周波数を０．１ＭＨｚピッチで最大３ＭＨｚ低い周波数側に変化させ、その後、発振周波数を高めて初期の周波数に対して最大３ＭＨｚまで高める。この過程で、反射電力検知信号が上述の第一レベルを下回る周波数が生じるとその周波数に発振部の発振周波数を固定して加熱を継続する。反射電力検知信号が上述の第一レベルを下回らない場合は、加熱初期に周波数選択をした中で二番目に反射電力が少ない周波数に発振部の発振周波数を設定して加熱を継続する。
【００４７】
この二番目に反射電力が少ない周波数における加熱動作の継続においても、その周波数における反射電力検知信号が第一レベルを超過していた場合は、上述した一連の周波数可変制御を実行する。
【００４８】
そして、この二番目に反射電力が少ない周波数における一連の加熱動作において、所望の第一レベルを下回る状態が得られない場合は、初期と二番目の周波数の一連の加熱動作において、最も反射電力が小さい周波数に発振周波数を設定して加熱を継続する。
【００４９】
この加熱の継続において、反射電力検知信号が第二レベル（第一レベルよりも反射電力が大きく、半導体素子の熱的動作安全限界温度に相当する反射電力）に達すると、制御部１１３は、発振部の出力を低減するように制御し、反射電力検知信号が上述の第二レベルを下回る出力に制御して加熱を実行する。この一連の反射電力に基づく制御の過程においても発振部の切り替え制御は連続的に並行して実行され、被加熱物に対しては電界集中領域が順次移動し、被加熱物の加熱の均一化が継続されている。
【００５０】
そして、被加熱物の表面温度検出手段の検知信号や手動入力された加熱時間情報に基づいて、加熱が終了制御される。
【００５１】
以上に説明した本発明によれば、マイクロ波発生装置は均等性ある出力電力でかつ出力
間の位相を変えることができるマイクロ波発生装置を用いることで加熱室内でのマイクロ波分布を時間的に変化させて被加熱物の加熱の均一化を促進させることができる。
【００５２】
また、ふたつの発振部を切り替え動作制御させることで、複数の出力間の位相は、一方の出力の位相を基準にすると他方は、略９０度進んだり遅れたりする出力信号として変化させることができ、マイクロ波加熱装置に適用した場合、加熱室内のマイクロ波分布を時間的に変化させ被加熱物の加熱の均一化を促進できる。
【００５３】
さらに、制御部は、被加熱物の加熱実行中に、動作させる発振部を選択切換するものであり、複数の増幅部に至る通過線路長さは変化させることなく、発振部への駆動電源供給をオンオフ制御するだけで、マイクロ波発生装置の出力の位相を変化させることができ、加熱室内の異なる二箇所から同等出力を供給できるとともに回路の小型化により加熱装置への実装が容易となる。
【００５４】
なお、発振部の切り替えにおいて、動作中の発振部への駆動電圧は、ソフトダウンさせ、非動作中の発振部へ印加する駆動電圧は、ソフトスタートさせることで、発振部の切り替えに伴う出力の低下を抑制している。
【産業上の利用可能性】
【００５５】
以上のように、本発明にかかるマイクロ波発生装置は複数の発振部を切り替え制御することで出力の位相差を変化させることができる装置を提供することが可能となるので、電子レンジで代表されるような誘電加熱を利用した加熱装置や生ゴミ処理機、あるいは半導体製造装置であるプラズマ電源のマイクロ波電源などの用途にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の実施の形態１におけるマイクロ波発生装置の回路構成図
【図２】本発明の実施の形態２におけるマイクロ波加熱装置の構成図
【符号の説明】
【００５７】
１０、１０７  マイクロ波発生装置
１１ａ、１１ｂ  発振部
１２  電力分配部
１３ａ、１３ｂ、１５ａ、１５ｂ  増幅部
１６ａ、１６ｂ  複数の出力部
１００  加熱室
１０５、１０６  放射手段（給電部）
１１３  制御部
【図１】
2008146966.tif 000003
【図２】
2008146966.tif 000004