(57)【要約】【課題】貼り付け基板を効率的且つ確実に冷却することができ、高品質なラミネート処理を良好に遂行することを可能にする。【解決手段】冷却ユニット１２２ａは、冷却風を吹き出すシロッコファン１３０と、前記シロッコファン１３０から吹き出される冷却風を貼り付け基板２４ａに吹き付けるノズル部１３６と、前記貼り付け基板２４ａに吹き付けられた冷却風を冷却して前記シロッコファン１３０に戻すための熱交換器１５０とを備える。シロッコファン１３０の冷却風導出方向は、ノズル部１３６の冷却風吹き出し方向と交差する方向に設定される。【選択図】図７
2008132660.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも支持体上に感光材料層が積層される感光性ウエブを、前記感光材料層側から基板に貼り付けて貼り付け基板を得た後、前記支持体を前記貼り付け基板から剥離する前に、前記貼り付け基板を冷却するための貼り付け基板用冷却装置であって、
冷却風を吹き出すファンと、
前記ファンから吹き出される前記冷却風を、前記貼り付け基板に吹き付けるノズル部と、
前記貼り付け基板に吹き付けられて昇温された前記冷却風を回収し、前記冷却風を冷却して前記ファンに戻すための熱交換器と、
を備え、
前記ファンの冷却風導出方向は、前記ノズル部の冷却風吹き付け方向と交差する方向に設定されることを特徴とする貼り付け基板用冷却装置。
【請求項２】
請求項１記載の冷却装置において、少なくとも前記ファン及び前記ノズル部を収容するケーシングを備え、
前記ケーシングを構成する壁面に向かって開口する前記ファンの冷却風導出口は、前記壁面に対して直交する方向から所定の角度だけ傾斜して配置されることを特徴とする貼り付け基板用冷却装置。
【請求項３】
請求項１又は２記載の冷却装置において、前記ノズル部の近傍には、前記ノズル部に前記冷却風を均等に供給するための整流板が配設されることを特徴とする貼り付け基板用冷却装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の冷却装置において、前記ノズル部は、前記貼り付け基板の搬送方向に交差する幅方向に延在し且つ前記搬送方向に配列される複数のスリットを有することを特徴とする貼り付け基板用冷却装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の冷却装置において、少なくとも前記ファン、前記ノズル部及び前記熱交換器を有する複数の冷却ユニットを備え、
前記複数の冷却ユニットが前記貼り付け基板の搬送方向に進退可能に設けられることを特徴とする貼り付け基板用冷却装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、少なくとも支持体上に感光材料層が積層される感光性ウエブを、前記感光材料層側から基板に貼り付けて貼り付け基板を得た後、前記支持体を前記貼り付け基板から剥離する前に、前記貼り付け基板を冷却するための貼り付け基板用冷却装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、ＰＤＰパネル用基板では、感光材料（感光性樹脂）層を有する感光性シート体（感光性ウエブ）を基板表面に貼り付けて構成されている。感光性シート体は、可撓性プラスチック支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層されている。
【０００３】
そこで、この種の感光性シート体の貼り付けに使用される貼り付け装置は、通常、ガラス基板や樹脂基板等の基板を所定の間隔ずつ離間させて搬送するとともに、前記基板に貼り付けられる感光材料層の範囲に対応して、前記感光性シート体から保護フイルムを剥離する方式が採用されている。
【０００４】
例えば、特許文献１に開示されているフイルム張付方法及び装置では、図１１に示すように、フイルムロール１から繰り出される積層体フイルム（感光性シート体）１ａは、ガイドロール２ａ、２ｂに巻き付けられて水平のフイルム搬送面に沿って延在している。このガイドロール２ｂには、積層体フイルム１ａの送り量に応じた数のパルス信号を出力するロータリエンコーダ３が取り付けられている。
【０００５】
水平のフイルム搬送面に沿って延在する積層体フイルム１ａは、サクションロール４に巻き掛けられるとともに、前記ガイドロール２ｂと前記サクションロール４との間には、ハーフカッタ５とカバーフイルム剥離装置６とが設けられている。
【０００６】
ハーフカッタ５は、一対のディスクカッタ５ａ、５ｂを備えている。ディスクカッタ５ａ、５ｂは、積層体フイルム１ａのフイルム幅方向に沿って移動することにより、前記積層体フイルム１ａのカバーフイルム（図示せず）をその裏側の感光性樹脂層（図示せず）と一体に切断する。
【０００７】
カバーフイルム剥離装置６は、粘着テープロール７から繰り出される粘着テープ７ａを押圧ロール８ａ、８ｂ間でカバーフイルムに強く圧着させた後、巻き取りロール９によって巻き取る。これにより、カバーフイルムは、感光性樹脂層から剥離されて粘着テープ７ａと共に巻き取りロール９に巻き取られる。
【０００８】
サクションロール４の下流には、基板搬送装置１０によって、順次、間欠的に搬送される複数の基板１１の上面に、積層体フイルム１ａを重ねて圧着するラミネーションロール１２ａ、１２ｂが配設されている。このラミネーションロール１２ａ、１２ｂの下流側には、支持フイルム巻き取りロール１３が配置されている。基板１１に貼り付けられている透光性支持フイルム（図示せず）は、支持フイルム巻き取りロール１３に巻き取られる。
【０００９】
【特許文献１】特開平１１−３４２８０号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ところで、ラミネーションロール１２ａ、１２ｂにより基板１１に積層体フイルム１ａを圧着して貼り付け基板を得た後、基板１１に貼り付けられている透光性支持フイルムを支持フイルム巻き取りロール１３に巻き取る前に、前記基板１１を冷却することが望まれている。基板１１上に感光性樹脂層を確実にラミネートするためである。
【００１１】
本発明はこの種の要請に対応するものであり、貼り付け基板を効率的且つ確実に冷却することができ、高品質なラミネート処理を良好に遂行することが可能な貼り付け基板用冷却装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、少なくとも支持体上に感光材料層が積層される感光性ウエブを、前記感光材料層側から基板に貼り付けて貼り付け基板を得た後、前記支持体を前記貼り付け基板から剥離する前に、前記貼り付け基板を冷却するための貼り付け基板用冷却装置に関するものである。
【００１３】
冷却装置は、冷却風を吹き出すファンと、前記ファンから吹き出される前記冷却風を、貼り付け基板に吹き付けるノズル部と、前記貼り付け基板に吹き付けられて昇温された前記冷却風を回収し、前記冷却風を冷却して前記ファンに戻すための熱交換器とを備え、前記ファンの冷却風導出方向は、前記ノズル部の冷却風吹き付け方向と交差する方向に設定されている。
【００１４】
また、冷却装置は、少なくともファン及びノズル部を収容するケーシングを備え、前記ケーシングを構成する壁面に向かって開口する前記ファンの冷却風導出口は、前記壁面に対して直交する方向から所定の角度だけ傾斜して配置されることが好ましい。
【００１５】
さらに、ノズル部の近傍には、前記ノズル部に冷却風を均等に供給するための整流板が配設されることが好ましい。
【００１６】
さらにまた、ノズル部は、貼り付け基板の搬送方向に交差する幅方向に延在し且つ前記搬送方向に配列される複数のスリットを有することが好ましい。
【００１７】
また、冷却装置は、少なくともファン、ノズル部材及び熱交換器を有する複数の冷却ユニットを備え、前記複数の冷却ユニットが貼り付け基板の搬送方向に進退可能に設けられることが好ましい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明では、ファンから吹き出される冷却風が、ノズル部から貼り付け基板に吹き付けられて前記貼り付け基板が冷却されるとともに、昇温された冷却風は、熱交換器によって冷却された後、新たな冷却風として前記ファンから吹き出されている。
【００１９】
その際、ファンの冷却風導出方向は、ノズル部の冷却風吹き付け方向と交差する方向に設定されている。このため、ファンから吹き出される冷却風は、一旦、風速分布が均一化された後にノズル部に供給されている。従って、ノズル部全体にわたって冷却風が均一に供給され、貼り付け基板全体を良好に且つ均一温度に冷却することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
図１は、本発明の第１の実施形態に係る貼り付け基板用冷却装置を組み込む感光性積層体の製造装置２０の概略構成図である。この製造装置２０は、液晶又は有機ＥＬ用カラーフィルタの製作工程で、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの各感光性樹脂層２８（後述する）を並列してガラス基板２４に熱転写する作業を行う。以下、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂがラミネートされたガラス基板２４を貼り付け基板２４ａともいう。感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、それぞれ所定の幅寸法に設定されており、例えば、前記感光性ウエブ２２ａが前記感光性ウエブ２２ｂよりも幅広に構成されている。
【００２１】
図２は、製造装置２０に使用される感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの断面図である。この感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、基本的には、可撓性ベースフイルム（支持体）２６と、感光性樹脂層（感光材料層）２８と、保護フイルム３０とを積層して構成される。
【００２２】
図１に示すように、製造装置２０は、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂをロール状に巻回した２本（２本以上であればよい）の感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂを収容し、各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂから前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを同期して送り出し可能な第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂと、送り出された各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの保護フイルム３０に幅方向に切断可能な境界位置であるハーフカット部位３４を形成する第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂと、一部に非接着部３８ａを有する接着ラベル３８（図３参照）を各保護フイルム３０に接着させる第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂとを備える。
【００２３】
第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂの下流には、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂをタクト送りから連続送りに変更するための第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂと、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから保護フイルム３０を所定の長さ間隔で剥離させる第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂと、ガラス基板２４を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に搬送する基板搬送機構４５と、前記保護フイルム３０の剥離により露出した各感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に一体的且つ並列に貼り付ける貼り付け機構４６とが配設される。
【００２４】
貼り付け機構４６における貼り付け位置の上流近傍には、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの境界位置であるそれぞれのハーフカット部位３４を直接検出する第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂが配設される。
【００２５】
第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂの下流近傍には、略使用済みの感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの後端と、新たに使用される感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの先端とを貼り付けるそれぞれの貼り付け台４９が配設される。貼り付け台４９の下流には、感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂの巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端末位置検出器５１が配設される。
【００２６】
第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂに収容巻回されている各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂのロール径を算出するためのローラ対５０の下流に配置される。第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、それぞれ単一の丸刃５２を備え、この丸刃５２は、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に走行して前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの所定の位置にハーフカット部位３４を形成する。
【００２７】
図２に示すように、ハーフカット部位３４は、少なくとも保護フイルム３０を切断する必要があり、実際上、この保護フイルム３０を確実に切断するために感光性樹脂層２８乃至ベースフイルム２６まで切り込むように丸刃５２の切り込み深さが設定される。
【００２８】
なお、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、それぞれ感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの搬送方向（矢印Ａ方向）に所定の距離だけ離間して２台配設し、残存部分３０ｂを挟んで２つのハーフカット部位３４を同時に形成してもよい。
【００２９】
ハーフカット部位３４は、例えば、両側のガラス基板２４にそれぞれ１０ｍｍずつ入り込んだ位置に設定される。ガラス基板２４間のハーフカット部位３４で挟まれた部分は、後述する貼り付け機構４６において感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。
【００３０】
第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂは、ガラス基板２４間に対応して保護フイルム３０の残存部分３０ｂを残すため、剥離側前方の剥離部分３０ａａと剥離側後方の剥離部分３０ａｂとを連結する接着ラベル３８を供給する。図２に示すように、保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを挟んで、先に剥離される部分を前方の剥離部分３０ａａとする一方、後に剥離される部分を後方の剥離部分３０ａｂとする。
【００３１】
図３に示すように、接着ラベル３８は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム３０と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル３８は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部（微粘着を含む）３８ａを有するとともに、この非接着部３８ａの両側、すなわち、前記接着ラベル３８の長手方向両端部に、前方の剥離部分３０ａａに接着される第１接着部３８ｂと、後方の剥離部分３０ａｂに接着される第２接着部３８ｃとを有する。
【００３２】
図１に示すように、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂは、それぞれ最大７枚の接着ラベル３８を所定間隔ずつ離間して貼り付け可能な吸着パッド５４ａ〜５４ｇを備えるとともに、前記吸着パッド５４ａ〜５４ｇによる前記接着ラベル３８の貼り付け位置には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを下方から保持するための受け台５６が昇降自在に配置される。
【００３３】
第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂは、上流側の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのタクト搬送と、下流側の前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの連続搬送との速度差を吸収するために、揺動自在なダンサーローラ６０を備える。第２リザーバ機構４２ｂには、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂから送り出される各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが貼り付け機構４６に至るまでの各搬送路長を同一に調整するためのダンサーローラ６１が配設される。
【００３４】
第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂの下流に配置される第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂは、それぞれ感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの送り出し側のテンション変動を遮断し、ラミネート時のテンションを安定化させるためのサクションドラム６２を備える。各サクションドラム６２の近傍には、剥離ローラ６３が配置されるとともに、この剥離ローラ６３を介して感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから剥離される保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを除いてそれぞれ保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる。
【００３５】
第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂの下流側には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂにテンションを付与可能な第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂが配設される。第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂは、それぞれシリンダ６８を備え、前記シリンダ６８の駆動作用下に、それぞれテンションダンサー７０が揺動変位することにより、各テンションダンサー７０が摺接する感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのテンションが調整可能である。
【００３６】
第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂは、レーザセンサやフォトセンサ等の光電センサ７２ａ、７２ｂを備えており、前記光電センサ７２ａ、７２ｂは、ハーフカット部位３４の楔状の溝形状部や、保護フイルム３０の厚さによる段差、あるいは、これらの組み合わせによる変化を直接検出し、この検出信号を境界位置信号とする。光電センサ７２ａ、７２ｂは、バックアップローラ７３ａ、７３ｂに対向して配置される。
【００３７】
基板搬送機構４５は、ガラス基板２４を挟持するように配設される複数組の基板加熱部（例えば、ヒータ）７４と、このガラス基板２４を矢印Ｃ方向に搬送する搬送部（基板搬送機構）７６とを備える。基板加熱部７４では、ガラス基板２４の温度を常時監視し、異常時には、搬送部７６の停止や警報を発生するとともに、異常情報を発信して異常なガラス基板２４を後工程でＮＧ排出、品質管理又は生産管理等に活用することができる。搬送部７６には、図示しないエア浮上プレートが配設され、ガラス基板２４が浮上されて矢印Ｃ方向に搬送される。ガラス基板２４の搬送は、ローラコンベアでも行える。
【００３８】
ガラス基板２４の温度測定は、基板加熱部７４内又は貼り付け位置直前で行うことが好ましい。測定方法としては、接触式（例えば、熱電対）の他、非接触式であってもよい。
【００３９】
基板加熱部７４の上流には、複数のガラス基板２４が収容される基板ストッカー７１が設けられる。この基板ストッカー７１に収容されている各ガラス基板２４は、ロボット７５のハンド部７５ａに設けられた吸着パッド７９に吸着されて取り出され、基板加熱部７４に挿入される。
【００４０】
貼り付け機構４６は、上下に配設されるとともに、所定温度に加熱されるゴムローラ８０ａ、８０ｂを備える。ゴムローラ８０ａ、８０ｂには、バックアップローラ８２ａ、８２ｂが摺接するとともに、前記バックアップローラ８２ｂは、ローラクランプ部８３を構成する加圧シリンダ８４ａ、８４ｂによりゴムローラ８０ｂ側に押圧される。
【００４１】
ゴムローラ８０ａの近傍には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが前記ゴムローラ８０ａに接触することを防止するための接触防止ローラ８６が移動可能に配設される。貼り付け機構４６の上流近傍には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを予め所定温度に予備加熱するための予備加熱部８７が配設される。この予備加熱部８７は、例えば、赤外線バーヒータ等の加熱手段を備える。
【００４２】
ガラス基板２４は、貼り付け機構４６から貼り付け基板搬送機構８８を介して矢印Ｃ方向に搬送される。この貼り付け基板搬送機構８８の上流側には、ウエブ搬送機構を構成するフイルム搬送ローラ９０ａ、９０ｂが配置されるとともに、このフイルム搬送ローラ９０ａ、９０ｂの下流には、前記貼り付け基板搬送機構８８を構成する基板搬送ローラ９２が配設される。ゴムローラ８０ａ、８０ｂと基板搬送ローラ９２との間隔は、ガラス基板２４の一枚分の長さ以下に設定されることが好ましい。
【００４３】
貼り付け基板搬送機構８８は、貼り付け基板搬送方向（矢印Ｃ方向）に沿って配列される複数の可動型の搬送ユニット１００ａ〜１００ｅと、前記搬送ユニット１００ａ〜１００ｅを矢印Ｃ方向に進退可能にする搬送ユニット移動手段１０４とを備える。
【００４４】
搬送ユニット１００ｅには、ベース自動剥離機構１０６が配設される。ベース自動剥離機構１０６は、各ガラス基板２４が所定間隔ずつ離間して貼り付けられている長尺なベースフイルム２６を連続して剥離するものであり、プレ剥離部１０８と剥離ローラ１１０と巻き取り軸１１２とを備えている。巻き取り軸１１２は、駆動時にトルク制御してベースフイルム２６に張力を付与する一方、例えば、剥離ローラ１１０に張力検出器（図示せず）を設けることにより、張力のフィードバック制御を行うことが好ましい。プレ剥離部１０８は、剥離バー１１４とを備え、前記剥離バー１１４は、ガラス基板２４間で昇降可能である。
【００４５】
搬送ユニット１００ａ〜１００ｄの上方には、貼り付け基板搬送面に対向して冷却装置１２０が配設される。冷却装置１２０は、矢印Ｃ方向に配列される複数の冷却ユニット１２２ａ〜１２２ｄと、前記冷却ユニット１２２ａ〜１２２ｄを矢印Ｃ方向に進退可能にする冷却ユニット移動手段１２４とを備える（図４参照）。
【００４６】
図５に示すように、冷却ユニット１２２ａは、第１ケーシング１２６ａ及び第２ケーシング１２６ｂを備え、前記第１ケーシング１２６ａ及び前記第２ケーシング１２６ｂは、矢印Ｃ方向（搬送方向）に交差する矢印Ｄ方向（幅方向）に延在して互いに連結される。第１ケーシング１２６ａ及び第２ケーシング１２６ｂは、同様に構成されており、以下に、前記第１ケーシング１２６ａについて説明し、前記第２ケーシング１２６ｂには、同一の参照符号を付してその詳細な説明は省略する。
【００４７】
なお、冷却ユニット１２２ａは、貼り付け基板２４ａの幅寸法に応じて単一のケーシング、例えば、第１ケーシング１２６ａのみにより構成してもよい。
【００４８】
図６及び図７に示すように、第１ケーシング１２６ａ内には、ボックス１２８が設けられる。このボックス１２８内のチャンバ１２９に、ファン、例えば、薄型のシロッコファン１３０が固着されるとともに、このシロッコファン１３０の下方には、エアフィルタ、例えば、ＨＥＰＡフィルタ１３２及び整流板１３４を介して、ノズル部１３６が設けられる。
【００４９】
シロッコファン１３０の上部には、冷却風導入口１３８が設けられる一方、前記シロッコファン１３０の側部には、冷却風導出口１４０が形成される。シロッコファン１３０の冷却風導出方向（矢印Ｅ方向）は、ノズル部１３６の冷却風吹き付け方向（矢印Ｆ方向）と交差（略直交）する方向に設定される。
【００５０】
冷却風導出口１４０は、ボックス１２８を構成する壁面１２８ａに向かって開口するとともに、図５に示すように、前記壁面１２８ａに対して直交する方向から所定の角度θ°（例えば、１０°）だけ傾斜して配置される。冷却風導出口１４０は、好ましくは、壁面１２８ａの幅方向（矢印Ｃ方向）略中央位置に向かって配置される。
【００５１】
図６及び図７に示すように、ボックス１２８の天板には、このボックス１２８内の温度を検出するために温度センサ１４２が装着される。ＨＥＰＡフィルタ１３２の下方には、整流板１３４が配置されるとともに、前記整流板１３４は、矢印Ｄ方向に延在し且つ矢印Ｃ方向に配列される複数のスリット溝１４４を有する。ノズル部１３６は、整流板１３４の各スリット溝１４４に対応して、所定数、例えば、４つのスリット１４６を有する。
【００５２】
スリット１４６は、矢印Ｄ方向に延在するとともに、矢印Ｃ方向に所定間隔ずつ離間して配列されており、前記スリット１４６の先端開口幅が、例えば、４ｍｍに設定される。図７に示すように、スリット１４６の先端から貼り付け基板２４ａの表面までの距離Ｈ１は、例えば、１１０ｍｍに設定される一方、第１ケーシング１２６ａの下端面から前記貼り付け基板２４ａの上面までの距離Ｈ２は、例えば、１０ｍｍのクリアランスを有している。
【００５３】
第１ケーシング１２６ａ内には、ボックス１２８を覆って冷却媒体を循環させるための循環室１４８が形成される。この循環室１４８には、ノズル部１３６から貼り付け基板２４ａに吹き付けられて昇温された冷却風を回収し、前記冷却風を冷却してシロッコファン１３０に戻すための熱交換器１５０が配置される。
【００５４】
図４に示すように、冷却ユニット１２２ｂは、冷却ユニット１２２ａと同様に、ノズル部１３６が４つのスリット１４６を有するとともに、冷却ユニット１２２ｃ、１２２ｄは、ノズル部１３６が３つのスリット１４６を有している。
【００５５】
冷却ユニット１２２ｄには、図５に示すように、複数、例えば、５つの放射温度計１５２が装着され、貼り付け基板２４ａの温度を非接触で測定する。冷却ユニット１２２ａ〜１２２ｄ内では、それぞれシロッコファン１３０を介して、２３℃〜３０℃の冷却風を供給しており、貼り付け基板２４ａの目標冷却温度は、上記２３℃〜３０℃の範囲内である。
【００５６】
図４に示すように、冷却ユニット移動手段１２４は、矢印Ｃ方向に延在し、冷却ユニット１２２ａ〜１２２ｄを矢印Ｃ方向に進退可能に一体的に支持するレール部材（ＬＭガイド）１５４を備える。
【００５７】
図１に示すように、貼り付け基板搬送機構８８の下流には、ガラス基板２４に実際に貼り付けられた感光性樹脂層２８のエリア位置を測定する測定器１５８が配設される。この測定器１５８は、例えば、ＣＣＤ等のカメラ１６０を備え、感光性樹脂層２８が貼り付けられたガラス基板２４を撮影するために前記カメラ１６０が配設される。
【００５８】
製造装置２０では、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂ、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂ、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂ、第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂ、第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂ、第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂ並びに第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂが、貼り付け機構４６の上方に配置されているが、これとは逆に、前記第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂから前記第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂまでを前記貼り付け機構４６の下方に配置し、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの上下が逆になって感光性樹脂層２８がガラス基板２４の下側に貼り付けてもよく、また、前記製造装置２０全体を直線上に構成してもよい。
【００５９】
測定器１５８の下流には、複数の感光性積層体１７０が収容される感光性積層体ストッカー１７２が設けられる。ベース自動剥離機構１０６で貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６及び残存部分３０ｂが剥離された感光性積層体１７０は、ロボット１７４のハンド部１７４ａに設けられた吸着パッド１７６に吸着されて取り出され、感光性積層体ストッカー１７２に収容される。
【００６０】
製造装置２０は、ラミネート工程制御部２００を介して全体制御されており、この製造装置２０の各機能部毎に、例えば、ラミネート制御部２０２、基板加熱制御部２０４及びベース剥離制御部２０６等が設けられ、これらが工程内ネットワークにより繋がっている。ラミネート工程制御部２００は、工場ネットワークに繋がっており、図示しない工場ＣＰＵからの指示情報（条件設定や生産情報）の生産管理や稼動管理等、生産のための情報処理を行う。
【００６１】
基板加熱制御部２０４は、上流工程からガラス基板２４を受け入れ、このガラス基板２４を所望の温度まで加熱して貼り付け機構４６に供給する動作及び該ガラス基板２４の情報のハンドリング等を制御する。
【００６２】
ラミネート制御部２０２は、工程全体のマスターとして、各機能部の制御を行うものであり、第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂにより検出された感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのハーフカット部位３４の位置情報に基づいて、貼り付け位置における各境界位置とガラス基板２４との相対位置及び各境界位置同士の相対位置を制御可能な制御機構を構成している。
【００６３】
ベース剥離制御部２０６は、貼り付け機構４６から供給される貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６を剥離し、さらに下流工程に感光性積層体１７０を排出する動作の制御を行うとともに、前記貼り付け基板２４ａ及び前記感光性積層体１７０の情報をハンドリング制御する。
【００６４】
製造装置２０内は、仕切り壁２１０を介して第１クリーンルーム２１２ａと第２クリーンルーム２１２ｂとに仕切られる。第１クリーンルーム２１２ａには、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂから第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂまでが収容されるとともに、第２クリーンルーム２１２ｂには、第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂ以降が収容される。第１クリーンルーム２１２ａと第２クリーンルーム２１２ｂとは、貫通部２１４を介して連通する。
【００６５】
このように構成される製造装置２０の動作について、第１の実施形態に係る冷却装置１２０との関連で、以下に説明する。
【００６６】
先ず、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂに取り付けられている各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂから感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが送り出される。感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂに搬送される。この第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂでは、丸刃５２が感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に移動して、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを保護フイルム３０から感光性樹脂層２８乃至ベースフイルム２６まで切り込んでハーフカット部位３４を形成する（図２参照）。
【００６７】
さらに、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、図１に示すように、保護フイルム３０の残存部分３０ｂの寸法に対応して矢印Ａ方向に搬送された後に停止され、丸刃５２の走行作用下にハーフカット部位３４が形成される。これにより、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂには、残存部分３０ｂを挟んで前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとが設けられる（図２参照）。
【００６８】
次いで、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂに搬送されて、保護フイルム３０の所定の貼り付け部位が受け台５６上に配置される。第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂでは、所定枚数の接着ラベル３８が吸着パッド５４ａ〜５４ｇにより吸着保持され、各接着ラベル３８が保護フイルム３０の残存部分３０ｂを跨いで、前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとに一体的に接着される（図３参照）。
【００６９】
例えば、７本の接着ラベル３８が接着された感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、図１に示すように、第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂを介して送り出し側のテンション変動を防いだ後、第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂに連続的に搬送される。第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂでは、図８に示すように、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのベースフイルム２６がサクションドラム６２に吸着保持されるとともに、保護フイルム３０が残存部分３０ｂを残して前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから剥離される。この保護フイルム３０は、剥離ローラ６３を介して剥離されて保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる（図１参照）。
【００７０】
第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂの作用下に、保護フイルム３０が残存部分３０ｂを残してベースフイルム２６から剥離された後、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂによってテンション調整が行われ、さらに第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂで光電センサ７２ａ、７２ｂによりハーフカット部位３４の検出が行われる。
【００７１】
各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、ハーフカット部位３４の検出情報に基づいて、フイルム搬送ローラ９０ａ、９０ｂの回転作用下に、それぞれ貼り付け機構４６に定量搬送される。一方、ガラス基板２４は、基板搬送機構４５の作用下に、予め加熱された状態で貼り付け位置に搬送される。このガラス基板２４は、並列されている感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの感光性樹脂層２８の貼り付け部分に対応してゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に一旦配置される。
【００７２】
この状態で、バックアップローラ８２ｂ及びゴムローラ８０ｂを上昇させることにより、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ間にガラス基板２４が所定のプレス圧力で挟み込まれる。さらに、ゴムローラ８０ａの回転作用下に、このガラス基板２４には、並列されている各感光性樹脂層２８が転写（ラミネート）される。
【００７３】
ここで、ラミネート条件としては、速度が１．０ｍ／ｍｉｎ〜１０．０ｍ／ｍｉｎ、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの温度が８０℃〜１４０℃、前記ゴムローラ８０ａ、８０ｂのゴム硬度が４０度〜９０度、該ゴムローラ８０ａ、８０ｂのプレス圧（線圧）が５０Ｎ／ｃｍ〜４００Ｎ／ｃｍである。
【００７４】
ゴムローラ８０ａ、８０ｂを介してガラス基板２４に感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの一枚分のラミネートが終了すると、前記ゴムローラ８０ａの回転が停止される一方、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂがラミネートされた前記ガラス基板２４、すなわち、貼り付け基板２４ａが基板搬送ローラ９２によりクランプされる。
【００７５】
そして、ゴムローラ８０ｂが、ゴムローラ８０ａから離間する方向に退避してクランプが解除されるとともに、基板搬送ローラ９２の回転が開始されて、貼り付け基板２４ａが矢印Ｃ方向に定量搬送され、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの基板間位置がゴムローラ８０ａの下方付近の所定位置に移動する。一方、基板搬送機構４５を介して次なるガラス基板２４が貼り付け位置に向かって搬送される。
【００７６】
この次なるガラス基板２４の先端がゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に配置されると、前記ゴムローラ８０ｂが上昇して、前記ゴムローラ８０ａ、８０ｂにより前記次なるガラス基板２４と感光性ウエブ２２ａ、２２ｂとがクランプされる。そして、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ及び基板搬送ローラ９２の回転作用下にラミネートが開始されるとともに、貼り付け基板２４ａが矢印Ｃ方向に搬送される。
【００７７】
その際、貼り付け基板２４ａは、図９に示すように、それぞれの端部同士が残存部分３０ｂによって覆われている。従って、感光性樹脂層２８がガラス基板２４に転写される際、ゴムローラ８０ａ、８０ｂが前記感光性樹脂層２８により汚れることがない。
【００７８】
貼り付け機構４６でラミネートされた貼り付け基板２４ａは、貼り付け基板搬送機構８８を構成する各搬送ユニット１００ａ〜１００ｅを介して矢印Ｃ方向に搬送されるとともに、冷却装置１２０が駆動される。冷却装置１２０では、各冷却ユニット１２２ａ〜１２２ｄに設けられている各シロッコファン１３０から供給される冷却風が、各ノズル部１３６を通って貼り付け基板２４ａに吹き付けられる。
【００７９】
具体的には、図６及び図７に示すように、シロッコファン１３０が駆動されることにより、冷却風導入口１３８から吸引した冷却風が、冷却風導出口１４０から矢印Ｅ方向（水平方向）に導出される。この冷却風は、壁面１２８ａに吹き付けられる。
【００８０】
その際、冷却風導出口１４０は、壁面１２８ａに対して直交する方向から角度θ°（例えば、１０°）だけ傾斜して配置されるとともに、前記壁面１２８ａの幅方向（矢印Ｃ方向）略中央位置に向かって配置されている。従って、冷却風導出口１４０から導出された冷却風は、壁面１２８ａに吹き付けられてこの壁面１２８ａで反射した後、ボックス１２８の他の壁面１２８ｂ、１２８ｃ及び１２８ｄに、順次、吹き付けられる。これにより、ボックス１２８内のチャンバ１２９では、冷却風が渦状に移動し、前記ボックス１２８内で冷却風の風速分布が略均一化される。
【００８１】
次いで、冷却風は、ＨＥＰＡフィルタ１３２を通って塵埃等が除去された後、整流板１３４に形成されている複数のスリット溝１４４からノズル部１３６に供給される。ノズル部１３６では、複数のスリット１４６が貼り付け基板２４ａの幅方向（矢印Ｄ方向）に延在し、且つ、搬送方向（矢印Ｃ方向）に所定間隔ずつ繰り返して複数（例えば、４つ）だけ並列されている。従って、整流板１３４を介して整流された冷却風は、各スリット１４６の先端から矢印Ｆ方向に吹き出され、貼り付け基板２４ａの上面に前記冷却風が吹き付けられる。
【００８２】
このように、第１の実施形態では、シロッコファン１３０の冷却風導出方向（矢印Ｅ方向）が、ノズル部１３６の冷却風吹き出し方向（矢印Ｆ方向）と交差する方向に設定されている。このため、シロッコファン１３０から吹き出される冷却風は、ボックス１２８内のチャンバ１２９で、一旦、風速分布が均一化された後、ＨＥＰＡフィルタ１３２及び整流板１３４を介してノズル部１３６に供給されている。従って、ノズル部１３６全体にわたって冷却風が均一に供給され、各スリット１４６から貼り付け基板２４ａ全体に前記冷却風が確実に吹き付けられる。これにより、前記貼り付け基板２４ａ全体を良好に且つ均一温度に冷却することができるという効果が得られる。
【００８３】
次に、貼り付け基板２４ａに吹き付けられた冷却風は、この貼り付け基板２４ａを冷却することによって昇温された状態で、循環室１４８に配置されている熱交換器１５０に送られる。この熱交換器１５０では、図示しない冷却水（冷却媒体）が循環することによって、この冷却水と昇温した冷却風との間で熱交換が行われ、前記冷却風が冷却されてシロッコファン１３０の冷却風導入口１３８に吸引される。このため、冷却風は、シロッコファン１３０の冷却風導出口１４０からボックス１２８内のチャンバ１２９に導出された後、再度、貼り付け基板２４ａの冷却処理に使用されている。これにより、第１ケーシング１２６ａ内では、冷却風が全量循環されており、この冷却風の清浄性を確保するとともに、放熱ロスを削減して省エネを有効に図ることができる。
【００８４】
しかも、シロッコファン１３０は、上部に冷却風導入口１３８を備える一方、側部に冷却風導出口１４０を備えている。このため、シロッコファン１３０は、厚さ（高さ方向）の短尺化が容易に図られ、冷却ユニット１２２ａ全体のコンパクト化が確実に遂行されるという利点がある。
【００８５】
ところで、冷却ユニット１２２ａにより冷却処理が施された貼り付け基板２４ａは、冷却ユニット１２２ｂに搬送されて、上記の冷却ユニット１２２ａと同様に冷却処理が施される。さらに、貼り付け基板２４ａは、冷却ユニット１２２ｃ及び１２２ｄに、順次、搬送されて、最終的に所望の冷却温度範囲である２３℃〜３０℃に冷却された後、プレ剥離部１０８に搬送される。
【００８６】
上記のように、冷却装置１２０は、搬送方向である矢印Ｃ方向に複数の冷却ユニット１２２ａ〜１２２ｄを備えるとともに、前記冷却ユニット１２２ａ〜１２２ｄは、それぞれ独立して構成され、且つ、矢印Ｃ方向に進退可能である。これにより、冷却ユニット１２２ａ〜１２２ｄ毎のメンテナンス等が容易に行われるとともに、各冷却ユニット１２２ａ〜１２２ｄ内の温度分布を容易に均一化することができ、貼り付け基板２４ａの冷却処理が高精度且つ効率的に行われる。
【００８７】
一方、このプレ剥離部１０８では、剥離バー１１４が上昇することにより、保護フイルム３０を隣接するガラス基板２４の後端及び先端から剥離することができる。次いで、ベース自動剥離機構１０６では、巻き取り軸１１２の回転作用下に、貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６が連続して巻き取られる。
【００８８】
ベースフイルム２６が剥離された感光性積層体１７０は、測定器１５８に対応する検査ステーションに配置される。この検査ステーションでは、感光性積層体１７０が位置決め固定された状態で、カメラ１６０によりガラス基板２４と感光性樹脂層２８の画像を取り込む。そして、画像処理が施されることにより、貼り付け位置が演算されるとともに、貼り付け状態が検査される。
【００８９】
良品と判断された感光性積層体１７０は、ロボット１７４のハンド部１７４ａに設けられた吸着パッド１７６に吸着されて取り出され、感光性積層体ストッカー１７２に収容される。
【００９０】
なお、第１の実施形態では、２本の感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂを用いているが、これに限定されるものではなく、１本の感光性ウエブロールや、３本以上の感光性ウエブロールを採用してもよい。また、以下に説明する第２の実施形態においても、同様である。
【００９１】
図１０は、本発明の第２の実施形態に係る貼り付け基板用冷却装置を組み込む感光性積層体の製造装置３００の概略構成図である。なお、第１の実施形態に係る製造装置２０と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明は省略する。
【００９２】
製造装置３００は、貼り付け機構４６の下流に、貼り付け基板搬送機構３０２を設けている。この貼り付け基板搬送機構３０２は、矢印Ｃ方向に沿って配列される搬送ユニット３０４ａ〜３０４ｃを備え、前記搬送ユニット３０４ａ〜３０４ｃは、搬送ユニット移動手段１０４を介して矢印Ｃ方向に進退可能である。
【００９３】
搬送ユニット３０４ａには、各ガラス基板２４間の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを一体的に切断可能な基板間ウエブ切断機構４８が設けられる。搬送ユニット３０４ａ〜３０４ｃの上方には、冷却装置３０６を構成する冷却ユニット３０８ａ〜３０８ｃが、冷却ユニット移動手段１２４を介して矢印Ｃ方向に進退可能に設けられる。冷却ユニット３０８ａ〜３０８ｃは、例えば、それぞれ第１の実施形態に使用されている冷却ユニット１２２ａ〜１２２ｄのいずれかと同様に構成されている。
【００９４】
このように構成される製造装置３００では、冷却ユニット３０８ａ〜３０８ｃを介して貼り付け基板２４ａの冷却処理が高精度且つ効率的に遂行される等、上記の第１の実施形態と同様の効果が得られる。
【００９５】
ところで、製造装置３００では、上記の第１の実施形態と同様に、貼り付け機構４６でラミネートされた貼り付け基板２４ａは、矢印Ｃ方向に搬送される。そして、貼り付け基板２４ａ間が基板間ウエブ切断機構４８に対応する位置に至ると、この基板間ウエブ切断機構４８は、前記貼り付け基板２４ａと同一の搬送速度で矢印Ｃ方向に移動しながら、該貼り付け基板２４ａ間で２本の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを一体的に切断する。
【００９６】
この切断後に、基板間ウエブ切断機構４８は、所定の待機位置に戻される一方、貼り付け基板２４ａでは、ベースフイルム２６及び残存部分３０ｂが順次剥離（枚葉剥離）されて感光性積層体１７０が製造される。
【図面の簡単な説明】
【００９７】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る貼り付け基板用冷却装置を組み込む感光性積層体の製造装置の概略構成図である。
【図２】前記製造装置に使用される長尺状感光性ウエブの断面図である。
【図３】前記長尺状感光性ウエブに接着ラベルが接着された状態の説明図である。
【図４】前記冷却装置の概略構成説明図である。
【図５】前記冷却装置の概略平面図である。
【図６】前記冷却装置を構成する冷却ユニットの斜視説明図である。
【図７】前記冷却ユニットの断面説明図である。
【図８】前記感光性ウエブから保護フイルムを剥離する際の説明図である。
【図９】ガラス基板に感光性樹脂層が転写された状態の説明図である。
【図１０】本発明の第２の実施形態に係る感光性積層体の製造装置の概略構成図である。
【図１１】特許文献１のフイルム張付装置の概略構成図である。
【符号の説明】
【００９８】
２０、３００…製造装置              ２２ａ、２２ｂ…感光性ウエブ
２３ａ、２３ｂ…感光性ウエブロール  ２４…ガラス基板
２６…ベースフイルム                ２８…感光性樹脂層
３０…保護フイルム                  ３２ａ、３２ｂ…ウエブ送り出し機構
３４…ハーフカット部位              ３６ａ、３６ｂ…加工機構
４０ａ、４０ｂ…ラベル接着機構      ４４ａ、４４ｂ…剥離機構
４５…基板搬送機構                  ４６…貼り付け機構
４７ａ、４７ｂ…検出機構            ４８…基板間ウエブ切断機構
６４…保護フイルム巻き取り部        ７４…基板加熱部
７６…搬送部                        ８０ａ、８０ｂ…ゴムローラ
８６…接触防止ローラ                ８８、３０２…貼り付け基板搬送機構
９０ａ、９０ｂ…フイルム搬送ローラ  ９２…基板搬送ローラ
１００ａ〜１００ｅ…搬送ユニット    １０４…搬送ユニット移動手段
１０６…ベース自動剥離機構          １０８…プレ剥離部
１２０、３０６…冷却装置
１２２ａ〜１２２ｄ、３０８ａ〜３０８ｃ…冷却ユニット
１２６ａ、１２６ｂ…ケーシング      １２８…ボックス
１２８ａ〜１２８ｄ…壁面            １３０…シロッコファン
１３２…ＨＥＰＡフィルタ            １３４…整流板
１３６…ノズル部                    １３８…冷却風導入口
１４０…冷却風導出口                １４４…スリット溝
１４６…スリット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2008132660.tif 000009
【図８】
2008132660.tif 000010
【図９】
2008132660.tif 000011
【図１０】
2008132660.tif 000012
【図１１】
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