(57)【要約】【課題】第１に複雑な形状のワークの断面形状の計測精度を向上させるワークの断面形状計測方法を提供することを目的とし、第２に複雑な形状のワーク全体の断面形状の計測を高速化するワークの断面形状計測方法を提供することを目的とする。【解決手段】複数のスリット光を、ワークに対する傾斜角度を相互に相違させた位置からワークＷの同一ライン上に照射すると共に、ワークＷからの各反射光の各輝度値を適宜演算処理してワークＷの断面形状を計測する。これにより、１本のスリット光がハレーションを起しても、他のスリット光により正確にワークの断面形状を計測することができ、また、複数のスリット光からの各反射光の各輝度値を適宜演算処理することにより、１本のスリット光により断面形状を計測していた従来に比べて、その計測精度を向上させることができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のスリット光を、ワークに対する傾斜角度を相互に相違させた位置からワークの同一ライン上に照射すると共に、ワークからの各反射光の各輝度値を演算処理してワークの断面形状を計測することを特徴とするワークの断面形状計測方法。
【請求項２】
前記各スリット光は、互いに識別可能に照射されることを特徴とする請求項１に記載のワークの断面形状計測方法。
【請求項３】
ワークに対して略平行でワークの長手方向に沿って複数配置されると共に、ワークの非同一ライン上に各スリット光を互いに識別可能に照射する各投光器と、ワークからの各反射光をそれぞれ識別して受光する受光器とを備えた計測ユニットをワークの長手方向に沿って順次移動させて、ワーク全体の断面形状を計測することを特徴とするワークの断面形状計測方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スリット光をワーク表面に照射してワークの断面形状を計測するワークの断面形状計測方法に関するものであり、詳しくは、複雑な形状のワークの断面形状を計測する際スリット光の乱反射等の影響を軽減して正確にその断面形状を計測するワークの断面形状計測方法及びワーク全体の断面形状を計測する際の計測時間を短縮するワークの断面形状計測方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、自動車等の工業製品の生産ラインにおいて、不具合製品が市場に流出するのを防ぐために、インラインにおいて部品等を検査するニーズが高まっており、特に、ワークの断面形状を検査する際その計測精度を向上させることが重要な課題で、さらには、ワークの断面形状を全数検査する際にはその高速性も重要な課題となっている。
【０００３】
そこで、前者のワークの断面形状の計測精度を向上させる課題に対して、従来の断面形状計測方法は、図５及び図６に示すように、特に、１台の投光器２によりスリット光をワークＷ表面に照射して、その拡散反射光を受光器３により受光して、三角測量の原理によりワークの断面形状を計測している。
しかしながら、この方法では、例えば、自動車のボデー形状や部品形状、さらには溶接のビード検査などの複雑な形状のワークの断面形状を計測する際には、図６に示すように、１台の投光器２からのスリット光がワークＷ表面の傾斜面１０等で正反射して、その反射光の輝度が周囲と比べて過多となり受光器３の適正露光量が越え、ハレーションを起してしまい、その部位の計測が不良になる場合があり、計測精度が悪化することがある。
【０００４】
また、後者のワーク全体の断面形状の計測時間を高速化する課題に対して、従来の断面形状計測方法では、図５及び図７に示すように、１台の投光器２と１台の受光器３とを備えた計測ユニット５を、１スキャンごとにワークＷの長手方向に沿って順次移動させてワークＷ全体の断面形状を計測している。
しかしながら、この方法では、計測ユニット５が静止している間に、ワークＷの一部位の断面形状しか計測することができず、ワーク全体の断面形状を計測する時間に相当な時間を要し、生産ラインのタクトタイムを短縮することができない。
【０００５】
ところで、前者のワークの断面形状の計測精度を向上させる課題に対する従来技術として特許文献１には、角部材の側端部にスリット光を照射角度を変えて照射するとともにその照射ごとにその照射個所を撮像することを該角部材の長手方向に沿って所定間隔でなし、それにより得られた撮像画像に基いて角形状の側面形状を測定するとともに角落ちなどの角部の異常を検出する角部材の形状測定方法が開示されている。
【０００６】
また、後者のワーク全体の断面形状の計測時間を高速化する課題に対する従来技術として特許文献２には、被測定物の表面に対して主走査方向に扇状に拡がるスリット光を照射する光源部と、被測定物の表面からの反射光を受光し被測定物の明暗に応じた電気信号を出力する光電変換素子と、を備えた測定ユニットを副走査方向に順次移動させることによって、光電変換素子からの電気信号に基いて被測定物の表面形状の座標を演算する三次元座標測定装置であって、前記光源部がスリット光を副走査方向に複数本出力する機能を有し、順次又は同時に照射することによって、測定ユニットの１回の副走査方向への移動時にスリット光の出力本数に応じた主走査を行う三次元座標測定装置が開示されている。
【特許文献１】特開２００２−１３１０２８号公報
【特許文献２】特開平７−１６７６１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に開示された角部材の形状測定方法は、エッジの異常部分を検出するために第１レーザマーカ、第２レーザマーカ及び第３レーザマーカが相互にワークに対して傾斜角度を相違させて備えられ、それぞれのレーザマーカから照射された各スリット光が角落ちしたエッジのそれぞれ異なる部位で反射するため、それぞれの反射検出値が異なり、エッジが正常でないと判定されるものであるため、この特許文献１の形状測定方法を採用しても、単に、エッジ部分の異常だけが検出されるだけであって、前者の課題、すなわち複雑な形状のワークの断面形状を精度良く計測できるものではない。
【０００８】
また、特許文献２に開示された三次元座標測定装置は、測定ユニット内の光源部が複数のスリット光をワーク表面に照射することにより、被測定物全体の断面形状を計測する計測時間を短縮しているが、この光源部から複数のスリット光を同時に照射する際には、１主走査内に３つの測定信号が存在することでそれぞれの座標を演算している。しかしながら、この特許文献２の三次元座標測定装置では、表面が平坦で単純な形状のワークであれば、投光器から同時に照射された各スリット光の各反射光が時間差で受光器に受光されてそれぞれの座標を演算することができるが、表面が凹凸状で複雑な形状のワークを計測する際には、各反射光が受光器に同じタイミングで受光されることが予想され、各反射光がどの部位からの反射光であるか認識できずに計測不良を起す虞がある。
【０００９】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、第１に複雑な形状のワークの断面形状の計測精度を向上させるワークの断面形状計測方法を提供することを目的とし、第２に複雑な形状のワーク全体の断面形状の計測時間を高速化するワークの断面形状計測方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記第１の課題を解決するために、本発明のワークの断面形状計測方法は、複数のスリット光を、ワークに対する傾斜角度を相互に相違させた位置からワークの同一ライン上に照射すると共に、ワークからの各反射光の各輝度値を演算処理してワークの断面形状を計測することを特徴としている。
これにより、１本のスリット光がハレーションを起しても、他のスリット光により正確にワークの断面形状を計測することができる。また、複数のスリット光からの各反射光の各輝度値を適宜演算処理することにより、１本のスリット光により断面形状を計測していた従来に比べて、その計測精度を向上させることができる。
【００１１】
また、上記第２の課題を解決するために、本発明のワークの断面形状計測方法は、ワークに対して略平行でワークの長手方向に沿って複数配置されると共に、ワークの非同一ライン上に各スリット光を互いに識別可能に照射する各投光器と、ワークからの各反射光をそれぞれ識別して受光する受光器とを備えた計測ユニットをワークの長手方向に沿って順次移動させて、ワーク全体の断面形状を計測することを特徴としている。
これにより、ワーク全体の断面形状を計測する時間を短縮でき高速化できると共に、ワーク表面が凹凸状になっている場合でも、各照射部位の位置（座標）を正確に計測してそれぞれの断面形状を正確に計測することができる。
なお、本発明の断面形状計測方法の各種態様およびそれらの作用については、以下の（発明の態様）の項において詳しく説明する。
【００１２】
（発明の態様）
以下に、本願において特許請求が可能と認識されている発明（以下、「請求可能発明」という場合がある。）の態様をいくつか例示し、それらについて説明する。なお、各態様は、請求項と同様に、項に区分し、各項に番号を付して、必要に応じて他の項を引用する形式で記載する。これは、あくまでも請求可能発明の理解を容易にするためであり、請求可能発明を構成する構成要素の組み合わせを、以下の各項に記載されたものに限定する趣旨ではない。つまり、請求可能発明は、各項に付随する記載、実施の形態等に参酌して解釈されるべきであり、その解釈に従う限りにおいて、各項の態様にさらに他の構成要件を付加した態様も、また、各項の態様から構成要件を削除した態様も、請求可能発明の一態様となり得るのである。なお、以下の各項において、（１）乃至（３）項の各々が、請求項１乃至３の各々に相当する。
【００１３】
（１）複数のスリット光を、ワークに対する傾斜角度を相互に相違させた位置からワークの同一ライン上に照射すると共に、ワークからの各反射光の各輝度値を演算処理してワークの断面形状を計測することを特徴とするワークの断面形状計測方法。
従って、（１）項のワークの断面形状計測方法では、ワーク表面の照射部位が傾斜しており、その傾斜面により１本の反射光がハレーションを起した場合でも、他の反射光の輝度値によりその部位の位置（座標）を計測することができ、その断面形状を計測することができる。また、ハレーションが起きない場合でも各反射光の各輝度値を平均化するなどして演算処理することにより、照射部位の位置を計測しその断面形状を計測できるので、１本の反射光の輝度値により一部位の位置を計測していた従来方式に比べて、計測精度が向上される。
【００１４】
（２）各スリット光は、互いに識別可能に照射されることを特徴とする（１）項に記載のワークの断面形状計測方法。
従って、（２）項のワークの断面形状計測方法では、特に、各スリット光が同時に照射される場合には、それぞれのスリット光による計測結果が明確になる。
【００１５】
（３）ワークに対して略平行でワークの長手方向に沿って複数配置されると共に、ワークの非同一ライン上に各スリット光を互いに識別可能に照射する各投光器と、ワークからの各反射光をそれぞれ識別して受光する受光器とを備えた計測ユニットをワークの長手方向に沿って順次移動させて、ワーク全体の断面形状を計測することを特徴とするワークの断面形状計測方法。
従って、（３）項のワークの断面形状計測方法では、計測ユニットに複数の投光器を備え、これら各投光器（Ｎ個）はワークに対して略平行でワークの長手方向に沿って配置されており、各投光器から各スリット光がワークの非同一ライン上に照射されるので、計測ユニットを静止させて１台の投光器によりワークの一部位を計測する従来の形態に比べて、計測ユニットを静止させて計測する回数が１／Ｎ回になり、ワーク全体の断面形状を計測する計測時間が従来よりも短縮される。
また、各投光器から照射されるスリット光は、互いに識別可能であるので、ワーク表面が凹凸状であっても各投光器からのそれぞれのスリット光を受光器でそれぞれ識別でき、各投光器から照射された各スリット光の各照射部位の位置を正確に認識でき、それぞれの断面形状を正確に計測することができる。
【００１６】
（４）前記各スリット光は、同時に照射されることを特徴とする（３）項に記載のワークの断面形状計測方法。
従って、（４）項のワークの断面形状計測方法では、計測ユニットを静止させて計測する際、ワークの複数の位置を同時に計測でき、計測時間をさらに短縮することができる。
【００１７】
（５）前記各スリット光は、色の相違で識別されるか、あるいは光線のドットパターンの相違で識別されることを特徴とする（３）項または（４）項に記載のワークの断面形状計測方法。
従って、（５）項のワークの断面形状計測方法では、各スリット光の識別方法は、使用環境等に基いて適宜選択される。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、第１に複雑な形状のワークの断面形状の計測精度を向上させるワークの断面形状計測方法を提供することでき、第２に複雑な形状のワーク全体の断面形状の計測時間を高速化するワークの断面形状計測方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明を実施するための最良の形態を図１〜図４に基いて詳細に説明する。
本発明の第１の実施の形態に係るワークの断面形状計測方法は、乱反射等が発生するような傾斜面や凹凸状の表面を有するワークの断面形状を精度良く計測するための方法であり、この方法を具現化するための第１の実施の形態に係るワークの断面形状計測装置１は、図１に示すように、ワークＷに対する傾斜角度を相互に相違させた位置からワークＷの同一ライン上に各スリット光を照射する複数の投光器２ａ、２ｂ、２ｃと、これら各投光器２ａ、２ｂ、２ｃからの各スリット光がワークＷに反射してなる各反射光を受光する受光器３と、該受光器３で検出された各反射光の各輝度値を適宜演算処理すると共に、その演算結果により導き出された１つの輝度値に基いて、ワークＷの一部位の位置（座標）を演算して、１スキャン分のワークＷの断面形状をデータとしてメモリーする第１の演算処理部４と、を備えた計測ユニット５を具備している。
そして、この計測ユニット５が、ワークＷの長手方向（図１の矢印の方向）に沿って所定ピッチで順次移動されて、ワークＷの各部位ごとにその断面形状が計測されると共に、各部位の各断面形状が統合されてワークＷ全体の断面形状が構築される。
【００２０】
投光器２ａ、２ｂ、２ｃは、図１に示すように、ワークＷの上方をその長手方向に沿って所定ピッチで順次移動する移動体６に、ワークＷの側面視で放射状に複数（本実施の形態では３台）配設されており、これら各投光器２ａ、２ｂ、２ｃからの各スリット光が、ワークＷに対する傾斜角度を相互に相違させた位置からワークＷの同一ライン上に照射されるようになっている。
また、各投光器２ａ、２ｂ、２ｃからの各スリット光は、同時に照射される形態、または順次に照射される形態のいずれかが採用される。特に、各投光器２ａ、２ｂ、２ｃからの各スリット光が同時に照射される場合には、各投光器２ａ、２ｂ、２ｃからのスリット光が互いに識別可能に照射されることになる。例えば、各投光器２ａ、２ｂ、２ｃからの各スリット光を色の相違によって識別するか、あるいは、各スリット光をその光線のドットパターンの相違によって識別している。
【００２１】
受光器３は、移動体６の各投光器２ａ、２ｂ、２ｃに隣接する位置に配設されて、ワーク撮像素子であるＣＣＤカメラまたはＣＭＯＳセンサー等を備え、各投光器２ａ、２ｂ、２ｃからの各スリット光がワークＷ表面で反射してなる各反射光をそれぞれ受光し、それぞれの反射光の輝度値を検出すると共にバッファする機能を有している。なお、この受光器３は、移動体６の長手方向に沿って設けた溝部６ａに沿ってその配置が適宜決定される。
また、各投光器２ａ、２ｂ、２ｃから、上述したような識別可能な各スリット光が照射される場合には、当然ながら受光器３は、各投光器２ａ、２ｂ、２ｃから互い識別されて照射される各スリット光をそれぞれ識別して受光し、各輝度値を検出できるように構成される。例えば、色の相違によって各スリット光が識別される場合には、受光器３はカラーカメラ及びカラーフィルタにて対応されて、各スリット光をそれぞれ識別して受光し、各輝度値が検出される。
なお、これら投光器２ａ、２ｂ、２ｃ及び受光器３は、従来から使用しているものと同等で基本的に三角測量の原理でワークＷ表面の位置（座標）を演算して、その断面形状を計測するものである。
【００２２】
第１の演算処理部４は、移動体６に内蔵されて、受光器３から伝送された各反射光の各輝度値を適宜演算処理してその演算結果により導き出された１つの輝度値に基いて、三角測量の原理によりワークＷの照射部位の位置（座標）を演算して、１スキャン分のワークＷの一部位の断面形状をデータとしてメモリーする機能を有している。また、第１の演算処理部４は、各部位の各断面形状を統合してワークＷ全体の断面形状を構築する機能を有している。
この第１の演算処理部４における各反射光の各輝度値を演算する演算方法は、各反射光の各輝度値を平均化して出力する第１の演算方法、または所定値以上の各輝度値だけを抜粋して、抜粋されたものを平均化して出力する第２の演算方法、または各輝度値中の最大値を出力する第３の演算方法のいずれかが採用される。なお、これら第１、第２、第３の演算方法では、適正露光量を超えるような反射光は演算処理の対象から外される。
【００２３】
次に、本発明の第１の実施の形態に係るワークの断面形状計測装置１の作用を、図２のフロー図に基いて説明する。
計測ユニット５（移動体６）をワークＷの所定位置に静止させて、ワークＷの断面形状の計測が開始される。
まず、ステップＳ１〜Ｓ３では、各投光器２ａ、２ｂ、２ｃから各スリット光がワークＷの一部位の同一ライン上に順次照射される。
続いて、ステップＳ４では、受光器３において、各投光器２ａ、２ｂ、２ｃから順次照射された各反射光の各輝度値が検出されてそれぞれバッファされる。
続いて、ステップＳ５〜Ｓ７では、第１の演算処理部４において、受光器３から伝送された各反射光の各輝度値を、前述した第１または第２または第３の演算方法のいずれかの演算方法で演算処理し、その演算結果により導き出された１つの輝度値に基いて、三角測量の原理によりワークＷの照射部位の位置（座標）を演算して、１スキャンでワークＷの一部位の断面形状を出力し、そのデータをメモリーする。
【００２４】
次に、計測ユニット５をワークＷの長手方向に沿って所定ピッチで順次移動させて、前記ステップＳ１〜Ｓ７が繰り返し実施されると共に、ワークＷの各部位ごとにその断面形状が計測される。
そして、ステップＳ８では、第１の演算処理部４において、計測ユニット５の移動と共に順次計測された各部位の各断面形状が統合されてワークＷ全体の断面形状が構築される。
【００２５】
なお、ステップＳ１〜Ｓ３では、各投光器２ａ、２ｂ、２ｃからの各スリット光が順次照射されているが、各投光器２ａ、２ｂ、２ｃからの各スリット光を同時に照射するようにしてもよい。この形態の場合には、各投光器２ａ、２ｂ、２ｃからの各スリット光は互いに識別可能に照射される方が好ましい。なお、計測時間を短縮するという観点からは、各投光器２ａ、２ｂ、２ｃからの各スリット光を互いに識別可能として同時に照射するほうが好ましい。
【００２６】
以上説明したように、本発明の第１の実施の形態では、各投光器２ａ、２ｂ、２ｃにより、ワークＷに対する傾斜角度を相互に相違させた位置からワークＷの同一ライン上に複数のスリット光を同時にまたは順次照射すると共に、受光器３によりワークＷからの各反射光を受光して各輝度値を検出し、その後、第１の演算処理部４にて各反射光の各輝度値を、前記した第１または第２または第３の演算処理方法のいずれかの演算方法で演算処理して、その演算結果導き出された１つの輝度値に基いて、ワークＷの一部位の断面形状を計測している。
【００２７】
これにより、ワークＷ表面に傾斜面１０があり、１台の投光器、例えば投光器２ｃからのスリット光がワークＷの傾斜面１０で正反射して適正露光量を超える反射光を受光した場合でも、他の投光器２ａ、２ｂからのデータを使用でき、その傾斜面１０の部位の位置（座標）を正確に計測できるようになった。
また、ハレーションが起きない部位であっても各投光器２ａ、２ｂ、２ｃからの各反射光の各輝度値を適宜演算処理してワークＷの断面形状を計測するので、従来のように１台の投光器２によって断面形状を計測する形態に比べて、その計測精度を向上させることができる。
【００２８】
次に、本発明の第２の実施の形態に係るワークの断面形状計測方法は、ワークＷ表面が凹凸状で形状が複雑なワークＷ全体の断面形状を高速化して計測する方法であり、その方法を具現化するための第２の実施の形態に係る断面形状計測装置１ａは、図３に示すように、ワークＷに対して略平行でワークＷの長手方向に沿って複数配置され、ワークＷの非同一ライン上に各スリット光を互いに識別可能に照射する各投光器２ａ、２ｂ、２ｃと、これら各投光器２ａ、２ｂ、２ｃからの各スリット光がワークＷに反射してなる各反射光をそれぞれ識別して受光する受光器３と、該受光器３で検出された各反射光の各輝度値に基いて、複数の照射部位の位置（座標）を演算して、ワークＷの複数部位の各断面形状をデータとしてメモリーする第２の演算処理部４ａと、を備えた計測ユニット５ａを具備している。
そして、この計測ユニット５ａが、ワークＷの長手方向（図３の矢印の方向）に沿って所定ピッチで順次移動して、ワークＷの各部位ごとにその断面形状が計測されると共に、各部位の各断面形状が統合されてワークＷ全体の断面形状が構築される。
なお、以下に、第２の実施の形態に係る断面形状計測装置１ａに採用された各構成部材を説明するが、その説明においては、第１の実施の形態に係る断面形状計測装置１に採用された各構成部材との相違点を主に説明する。
【００２９】
投光器２ａ、２ｂ、２ｃは、図３に示すように、ワークＷの上方をワークＷの長手方向に沿って所定ピッチで順次移動する移動体６に、ワークＷに対して略平行でワークＷの長手方向に沿うように所定の間隔をあけて複数（本実施の形態では３台）配設されて、これら各投光器２ａ、２ｂ、２ｃからの各スリット光が、ワークＷの非同一ライン上に照射されるようになっている。
各投光器２ａ、２ｂ、２ｃからのスリット光は、互いに識別可能に照射されており、例えば、各スリット光を色の相違によって識別するか、あるいは、各スリット光をその光線のドットパターンの相違によって識別している。
【００３０】
一方、受光器３は、移動体６の各投光器２ａ、２ｂ、２ｃに隣接する位置に配設されており、各投光器２ａ、２ｂ、２ｃから互い識別されて照射される各スリット光をそれぞれ識別して受光し、各輝度値を検出できるように構成される。例えば、色の相違によって各スリット光が識別される場合には、受光器３はカラーカメラ及びカラーフィルタにて対応されて、各スリット光をそれぞれ識別して受光し、各輝度値が検出される。
【００３１】
第２の演算処理部４ａは、移動体６に内蔵されて、受光器３で受光された各反射光の各輝度値に基いて、三角測量の原理により複数の照射部位の位置を演算して、ワークＷの複数部位の各断面形状をデータとしてメモリーし、各部位の各断面形状を統合してワークＷ全体の断面形状を構築する機能を有している。
【００３２】
次に、本発明の第２の実施の形態に係るワークの断面形状計測装置１ａの作用を、図４のフロー図に基いて説明する。
計測ユニット５ａ（移動体６）をワークＷの所定位置に静止させて、ワークＷの断面形状計測が開始される。
まず、ステップＳ１ａ〜Ｓ３ａでは、各投光器２ａ、２ｂ、２ｃから互いに識別可能なスリット光がワークＷの複数部位の非同一ライン上に同時に照射される。
続いて、ステップＳ４ａでは、受光器３において、各投光器２ａ、２ｂ、２ｃからの各反射光をそれぞれ識別して各輝度値を検出しバッファされる。
続いて、ステップＳ５ａ〜Ｓ７ａでは、第２の演算処理部４ａにおいて、受光器３から伝送された各反射光の各輝度値に基いて、三角測量の原理によりワークＷの複数の照射部位の位置（座標）をそれぞれ演算し、１スキャン分でワークＷの複数部位の断面形状を出力して、それぞれのデータをメモリーする。
【００３３】
次に、計測ユニット５ａをワークＷの長手方向に沿って所定ピッチで順次移動させて、前記ステップＳ１ａ〜Ｓ７ａが繰り返し実施されると共に、ワークＷの各部位ごとにその断面形状が計測される。
そして、ステップＳ８ａでは、第２の演算処理部４ａにおいて、計測ユニット５の移動と共に順次計測された各部位の各断面形状が統合されてワークＷ全体の断面形状が構築される。
【００３４】
なお、ステップＳ１ａ〜Ｓ３ａにおいて、各投光器２ａ、２ｂ、２ｃからの各スリット光を順次照射してもよいが、計測時間の短縮するという観点から本実施の形態のように各スリット光を同時に照射する方が好ましい。
【００３５】
以上説明したように、本発明の第２の実施の形態では、計測ユニット５ａに、各投光器２ａ、２ｂ、２ｃをワークＷに対して略平行でワークＷの長手方向に沿うように複数配置し、各投光器２ａ、２ｂ、２ｃからワークＷの複数部位の非同一ライン上に各スリット光を互いに識別可能に照射すると共に、受光器３によりワークＷからの各反射光をそれぞれ識別して受光すると共に各輝度値を検出して、第２の演算処理部４ａにより各輝度値に基いてワークＷの複数部位の各断面形状を計測している。
これにより、計測ユニット５ａが静止している間に、ワークＷの、Ｎ台の投光器に対応するＮ個所の部位の断面形状を計測することができ、従来のように、計測ユニット５ａを静止している間、１台の投光器２によりワークＷの一部位の断面形状しか計測できなかった形態に比べて、計測ユニット５ａを静止させて計測する回数が１／Ｎ回になり、ワークＷ全体の断面形状を計測する計測時間を従来よりも短縮することができる。さらに、各スリット光は各投光器２ａ、２ｂ、２ｃから同時に照射されるのでさらなる時間短縮が達成される。
【００３６】
しかも、本発明の第２の実施の形態では、各投光器２ａ、２ｂ、２ｃからの各スリット光は互いに識別可能に照射されるので、ワークＷ表面が凹凸状であっても、受光器３により各投光器２ａ、２ｂ、２ｃからの各反射光を正確に識別でき、各スリット光の各照射部位の断面形状を正確に計測することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】図１は、本発明の第１の実施の形態に係るワークの断面形状計測方法を具現化した断面形状計測装置の模式図である。
【図２】図２は、本発明の第１の実施の形態に係るワークの断面形状計測方法のフロー図である。
【図３】図３は、本発明の第２の実施の形態に係るワークの断面形状計測方法を具現化した断面形状計測装置の模式図である。
【図４】図４は、本発明の第２の実施の形態に係るワークの断面形状計測方法のフロー図である。
【図５】図５は、一般的なワークの断面形状計測方法を示す模式図である。
【図６】図６は、従来のワークの断面形状計測方法において第１の課題を説明するための模式図である。
【図７】図７は、従来のワークの断面形状計測方法において第２の課題を説明するための模式図である。
【符号の説明】
【００３８】
１、１ａ  断面形状計測装置，２ａ、２ｂ、２ｃ  投光器，３  受光器，４  第１の演算処理部，４ａ  第２の演算処理部，５、５ａ  計測ユニット，Ｗ  ワーク
【図１】
2008191040.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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