(57)【要約】【課題】搬送における粉塵の発生を防ぎ、簡易な搬送機構により安定して大型ガラス基板の搬送を行う傾斜型の基板搬送装置を提供する。【解決手段】所定の角度に傾斜して設置され、ガラス基板６０の下面に接し、搬送駆動する複数の支持搬送ローラ１５−１〜３を具備する第１の回転軸１０と、傾斜した第１の回転軸１０の両側に対向して位置し、ガラス基板６０の端面に接して位置決めし、且つ、搬送駆動する位置決め搬送ローラ２５−１、２を具備する第２の回転軸２０−１、２と、傾斜した第１の回転軸１０の両側に対向して位置し、第１の回転軸１０の両端の支持搬送ローラ１５−１、３に対向してガラス基板６０の上面に接し、搬送駆動する基板面押え搬送ローラ３５−１、２を具備する第３の回転軸３０−１、２とを有する。【選択図】      図１
2008263131.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
大型ガラス基板の洗浄において、前記ガラス基板を搬送する傾斜型搬送装置であって、
所定の角度に傾斜して設置され、前記ガラス基板の下面に接し、前記ガラス基板を搬送駆動する複数の支持搬送ローラを具備する第１の回転軸と、
前記傾斜した第１の回転軸の両側に対向して位置し、前記ガラス基板の端面に接し、前記ガラス基板を位置決めし、且つ前記ガラス基板を搬送駆動する位置決め搬送ローラを具備する第２の回転軸と、
前記傾斜した第１の回転軸の両側に対向して位置し、前記第１の回転軸の両端の支持搬送ローラに対向して前記ガラス基板の上面に接し、前記ガラス基板を搬送駆動する基板面押え搬送ローラを具備する第３の回転軸とを有することを特徴とする傾斜型搬送装置。
【請求項２】
前記両側のいずれか一方の、前記第２の回転軸及び前記第３の回転軸が、前記第１の回転軸の軸方向に沿って自動的に設置位置を変更する位置変更部を有するか、
前記第２の回転軸のいずれか一方が、前記第１の回転軸の軸方向に沿って自動的に設置位置を変更する位置変更部を有し、該同じ側の前記第３の回転軸が、前記第２の回転軸の位置の変更長に合わせた軸長を有する第３の回転軸に取り替えられることにより、
前記ガラス基板の形状の変更に対応することを特徴とする請求項１に記載の傾斜型搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、大型ガラス基板の洗浄において、ガラス基板を搬送する基板搬送装置に係り、詳しくは、傾斜型の搬送機構を有する傾斜型搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
画像機器の多様化に伴い、表示用のガラス基板の形状も大型化、多様化している。この大型で形状の異なる基板の洗浄を一台の洗浄装置で対応するためには、基板の大きさに合わせて基板搬送ローラのローラの位置を再設定する作業が必要であった。ところが、洗浄装置には多数の基板搬送ローラが設置されているため、この作業は長時間を要し、また調整ミスにより、基板の破損などのトラブルの発生する要因となっていた。
【０００３】
この問題を解決するため特許文献１には、幅の異なる基板に対してローラの位置等の操作を行うことなく搬送することが可能な、傾斜型の搬送部を有する基板洗浄装置についての記載がある。図２は、特許文献１における基板洗浄装置の搬送部を示す正面図である。図２において、回転軸３には、直径の大きい大ローラ６ａと小さい小ローラ６ｂを組み合わせて断面が略Ｔ字形に形成された支持ローラ６と、小ローラ６ｂと同一の直径の保持ローラ７とが一定の間隔で取り付けられている。回転軸３は、支持ローラ６を支点として保持ローラ７側が上方になるように傾斜して配設されている。
【０００４】
基板５の側縁は、傾斜の下方となる支持ローラの大ローラ６ａの側面に確実に当接し、支持ローラ６及び保持ローラ７の回転により一定方向に搬送される。基板５の位置決めが支持ローラ６のみによって行われるため、基板５の幅の種類に関係なく、多種の基板に対応することができる。
【０００５】
また引用文献２には、ワークの液処理において、ワークの表面に液膜が形成されるのを防止するため、ワークを搬送する回転軸を支承する支持プレートが、ワークの搬送方向と直行する方向に、角度傾斜した傾斜其台に固定して設けられる薄板部材の液処理装置についての記載がある。図３は、特許文献２における液処理装置の搬送要部の拡大図である。図３において、回転軸１３に装着されたローラ１４の片側に、鍔部１４ｂが連設されており、ワーク１の端部はこの鍔部１４ｂにガイドされるようになっている。
【特許文献１】実開平５−７９９７６号公報
【特許文献２】特開平７−２０４５４７号公報
【０００６】
ところが、図２の基板５の側縁が、傾斜の下方となる支持ローラの大ローラ６ａの側面に常時確実に当接しているため、基板５の側縁と大ローラ６ａの側面が摩擦により擦れ合い、粉塵を発生して汚染源となるという問題があった。また、基板５は自重で支持ローラ６および保持ローラ７上に載置されているだけであるため、洗浄中の何らかの原因で基板に振動等が生じるとその振動が増加し、搬送に支障を生じるという問題があった。図３のワーク１の端部においても、鍔部１４ｂに接触してガイドされるため、摩擦により擦れ合い、粉塵を発生して汚染源となるという問題があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、その目的は、搬送における粉塵の発生を防ぎ、簡易な搬送機構により大型ガラス基板を安定して搬送できる傾斜型の基板搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の基板搬送装置は、大型ガラス基板の洗浄において、ガラス基板を搬送する傾斜型搬送装置であって、所定の角度に傾斜して設置され、ガラス基板の下面に接し、ガラス基板を搬送駆動する複数の支持搬送ローラを具備する第１の回転軸と、傾斜した第１の回転軸の両側に対向して位置し、ガラス基板の端面に接し、ガラス基板を位置決めし、且つガラス基板を搬送駆動する位置決め搬送ローラを具備する第２の回転軸と、傾斜した第１の回転軸の両側に対向して位置し、第１の回転軸の両端の支持搬送ローラに対向してガラス基板の上面に接し、ガラス基板を搬送駆動する基板面押え搬送ローラを具備する第３の回転軸とを有することを特徴とする。
【０００９】
本発明の基板搬送装置は、両側のいずれか一方の、第２の回転軸及び第３の回転軸が、第１の回転軸の軸方向に沿って自動的に設置位置を変更する位置変更部を有するか、
第２の回転軸のいずれか一方が、第１の回転軸の軸方向に沿って自動的に設置位置を変更する位置変更部を有し、該同じ側の第３の回転軸が、第２の回転軸の位置の変更長に合わせた軸長を有する第３の回転軸に取り替えられることにより、ガラス基板の形状の変更に対応することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、搬送における粉塵の発生を防ぎ、簡易な搬送機構により大型ガラス基板を安定して搬送することが可能となるため、メンテナンスが容易で収率性の良い傾斜型の基板搬送装置を構成することができる。また、この傾斜型の基板搬送装置を複数組み込むことにより、安定した搬送ができる大型ガラス基板洗浄装置を提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明による実施の形態について、図を用いて説明する。図１は、本発明の実施例の傾斜型搬送装置の構成を示す装置構成図である。図１において、傾斜型搬送装置１００の第１の回転軸１０は、ガラス基板６０の下面を支持してガラス基板６０を搬送するため、第１の回転軸１０の所定の箇所に複数個の支持搬送ローラ１５−１〜３を有している。
【００１２】
第２の回転軸２０−１、２は、傾斜した第１の回転軸１０の両側に対向して位置し、ガラス基板６０の端面に接し、ガラス基板６０を位置決めし、且つガラス基板６０を搬送駆動する位置決め搬送ローラ２５−１、２をそれぞれ有している。第３の回転軸３０−１、２は、傾斜した第１の回転軸１０の両側に対向して位置し、第１の回転軸１０の両端の支持搬送ローラ１５−１、３に対向してガラス基板６０の上面に接し、ガラス基板６０を搬送駆動する基板面押え搬送ローラ３５−１、２をそれぞれ有している。
【００１３】
第１の回転軸１０は、水平軸に対し例えば右上がりに角度αを有し、右側上方の軸端が回転駆動部５０−２に接続され、左側下方の軸端が回転駆動部５０−１に接続されている。第１の回転軸１０と第３の回転軸３０−１、２とは、回転駆動部５０−１、２から回転駆動力を得ることにより、例えば矢印方向に回転する。これにより、ガラス基板６０は支持搬送ローラ１５−１、３と基板面押え搬送ローラ３５１、２とに挟まれた状態で、両方から搬送駆動されて図面の手前方向に搬送される。
【００１４】
また、第２の回転軸２０−１、２の位置決め搬送ローラ２５−１、２に対する反対側の軸端は、回転駆動部５０−１、２にそれぞれ接続され（図示されず）、回転駆動力を得る。これにより、ガラス基板６０は、位置決め搬送ローラ２５−１、２に挟まれた状態で、両方から矢印方向の回転により搬送駆動されて、図面の手前方向に搬送される。支持搬送ローラ１５−１、３と基板面押え搬送ローラ３５−１、２とは、必ずしも対向していなくても良い。また、位置決め搬送ローラ２５−１、２においても、必ずしも対向していなくても良い。
【００１５】
ガラス基板６０が大型化すると、洗浄中に何らかの原因で振動等が生じ、その振動が増加してガラス基板６０に位置ずれが生じ易くなることがある。ところがガラス基板６０は、位置決め搬送ローラ２５−１、２に挟まれており、且つ、基板面押え搬送ローラ３５−１、２と支持搬送ローラ１５−１、３とに挟まれているため、振動は増幅することなく減衰し、常に安定した搬送が行われる。また、ガラス基板６０が大型化しても、これら６つの搬送ローラの駆動力により、安定して搬送される。
【００１６】
さらに、第２の回転軸２０−１、２及び第３の回転軸３０−１、２の両側のいずれか一方が、第１の回転軸の軸方向に沿って自動的に設置位置を変更する位置変更部（図示されず）を有している。例えば図１において、支持搬送ローラ１５−１、３は搬送するガラス基板の最大寸法に合わせて設定され、第２の回転軸２０−２及び第３の回転軸３０−２側に位置変更部を有している。この場合、支持搬送ローラ１５−１、３の間には、支持搬送ローラ１５−２以外に、複数の支持搬送ローラが設置されている。
【００１７】
これにより、形状が小さいガラス基板６０を搬送する場合は、がラス基板６０の形状に合わせて、第２の回転軸２０−２及び第３の回転軸３０−２の位置変更部が、自動的に第２の回転軸２０−２及び第３の回転軸３０−２の位置を変更する。また複数の支持搬送ローラのいずれか１つが、位置変更された第３の回転軸３０−２の基板面押え搬送ローラ３５−２に対向して設置されている構成となっている。これにより、ガラス基板の形状の変更に柔軟に対応することが可能となる。また、第２の回転軸２５−１、２のいずれか一方が、第１の回転軸１０の軸方向に沿って自動的に設置位置を変更する位置変更部を有し、該同じ側の第３の回転軸３０−１または３０−２が、第２の回転軸２５−１または２５−２の位置の変更長に合わせた軸長を有する第３の回転軸に取り替えられても良い。
【００１８】
以上説明したように本発明の傾斜型搬送装置によれば、搬送における粉塵の発生を防ぎ、簡易な搬送機構により安定して大型ガラス基板の搬送が可能となるため、メンテナンスが容易で収率性の良い傾斜型の基板搬送装置を構成することができる。また、この傾斜型の基板搬送装置を複数組み込むことにより、安定した搬送ができ、ガラス基板の幅の種類に関係なく、多種の基板に対応することができる大型ガラス基板洗浄装置を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施例の傾斜型搬送装置の構成を示す装置構成図。
【図２】特許文献１における基板洗浄装置の搬送部を示す正面図。
【図３】特許文献２における液処理装置の搬送要部の拡大図。
【符号の説明】
【００２０】
１０  第１の回転軸
１５−１〜３  支持搬送ローラ
２０−１、２  第２の回転軸
２５−１、２  位置決め搬送ローラ
３０−１、２  第３の回転軸
３５−１、２  端面押え搬送ローラ
５０−１、２  回転駆動部
６０  ガラス基板
１００  傾斜型搬送装置
α  第１の回転軸の設置傾斜角度
【図１】
2008263131.tif 000003
【図２】
2008263131.tif 000004
【図３】
2008263131.tif 000005