(57)【要約】【課題】カセットとカセット収納棚との間に滑り磨耗が発生するのを防止する。【解決手段】この搬送台車１の台座１１に取り付けられる車輪１４の近傍には、油圧ジャッキ３０ａ及び３０ｂが設けられている。この油圧ジャッキ３０ａ及び３０ｂは、カセット棚装置４側に配置される一対の前方ジャッキ３０ａと、一対の前方ジャッキ３０ａのカセット棚装置４の反対側に配置される一対の後方ジャッキ３０ｂとから構成されている。そして、一対の前方ジャッキ３０ａ及び一対の後方ジャッキ３０ｂをジャッキ制御部により制御することによって、前方ジャッキ３０ａを後方ジャッキ３０ｂより高位置に保持して、車体部１０を傾斜させる。【選択図】図１
2008100774.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被搬送物を収容可能な被搬送物載置手段に前記被搬送物を搬入し、又は、前記被搬送物載置手段に載置される前記被搬送物を搬出する搬送台車であって、
床面上を走行可能な走行手段が設けられる車体部と、
前記車体部に搭載され、前記被搬送物載置手段に載置される前記被搬送物の下方から上方に向かって移動することにより当該被搬送物を持ち上げるとともに、前記被搬送物載置手段の上方から下方に向かって移動することにより持ち上げられている前記被搬送物を当該被搬送物載置手段に載置する移載ロボットと、
前記被搬送物載置手段側に設けられ、走行時には床面から離間した位置に配置されるとともに、停止時には前記車体部を持ち上げ支持する第１ジャッキ手段と、
前記第１ジャッキ手段の前記被搬送物載置手段とは反対側に設けられ、走行時には床面から離間した位置に配置されるとともに、停止時には前記車体部を持ち上げ支持する第２ジャッキ手段と、
前記第１ジャッキ手段及び前記第２ジャッキ手段の各々の高さ位置を制御するジャッキ制御手段とを備え、
前記ジャッキ制御手段が前記第１ジャッキ手段及び前記第２ジャッキ手段を制御することによって、前記第１ジャッキ手段を前記第２ジャッキ手段より同等又は高位置に保持して、前記車体部を水平又は傾斜させることを特徴とする、搬送台車。
【請求項２】
前記第１ジャッキ手段及び／又は前記第２ジャッキ手段は、複数のジャッキを含むことを特徴とする、請求項１に記載の搬送台車。
【請求項３】
前記第１ジャッキ手段及び／又は前記第２ジャッキ手段は、油圧ジャッキからなることを特徴とする、請求項１又は２に記載の搬送台車。
【請求項４】
被搬送物を収容可能な被搬送物載置手段に前記被搬送物を搬入し、又は、前記被搬送物載置手段に載置される前記被搬送物を搬出する搬送台車による被搬送物移送方法であって、
前記搬送台車は、
床面上を走行可能な走行手段が設けられる車体部と、
前記車体部に搭載され、前記被搬送物載置手段に載置される前記被搬送物の下方から上方に向かって移動することにより当該被搬送物を持ち上げるとともに、前記被搬送物載置手段の上方から下方に向かって移動することにより持ち上げられている前記被搬送物を当該被搬送物載置手段に載置する移載ロボットと、
前記被搬送物載置手段側に設けられ、走行時には床面から離間した位置に配置されるとともに、停止時には前記車体部を持ち上げ支持する第１ジャッキ手段と、
前記第１ジャッキ手段の前記被搬送物載置手段とは反対側に設けられ、走行時には床面から離間した位置に配置されるとともに、停止時には前記車体部を持ち上げ支持する第２ジャッキ手段と、
前記第１ジャッキ手段及び前記第２ジャッキ手段の各々の高さ位置を制御するジャッキ制御手段とを備え、
前記搬送台車による被搬送物移送方法は、
前記ジャッキ制御手段が前記第１ジャッキ手段及び前記第２ジャッキ手段を制御することによって、前記第１ジャッキ手段を前記第２ジャッキ手段より同等又は高位置に保持して、前記車体部を水平又は傾斜させるステップを含むことを特徴とする、搬送台車による被搬送物移送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送台車及び搬送台車による被搬送物移送方法に関し、特に、被搬送物を収容可能な被搬送物載置手段に被搬送物を搬入し、又は、被搬送物載置手段に載置される被搬送物を搬出する搬送台車及びその搬送台車による被搬送物移送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の搬送台車は、液晶表示パネル製造工場や半導体製造工場において、液晶表示パネルやウエハが収容された重量カセットをカセット棚装置や製造装置に搬入したり、重量カセットをカセット棚装置や製造装置から搬出したりする用途で利用されている。
【０００３】
例えば、液晶表示パネル製造工場においては、製造過程にある液晶ガラス基板は、カセットに収容された状態で、カセット棚装置や処理装置などに搬送される。このカセットに収容される液晶ガラス基板のサイズは、近年のテレビの大型化や生産性の向上を背景に大型化が著しい。このような液晶ガラス基板の大型化は、これを収納するカセットの大型化と高重量化に反映され、カセットを搬送する搬送装置にも液晶ガラス基板の大型化に伴う様々な対応が迫られている。
【０００４】
ここで、図６及び図７を参照して、従来の一例による搬送台車１００について説明する。図６は、従来の一例による搬送台車とカセット収納棚とを示した側面図である。
【０００５】
図６に示すように、カセット収納棚１０４の棚フレーム１０４ａには複数段に棚１０４ｂが設けられ、各棚１０４ｂには、カセット１０３の底面の両端を支持する桟１０４ｃが設けられている。また、搬送台車１００には、公知の移載ロボット１２０が搭載されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
この移載ロボット１２０は、垂直方向に昇降可能な昇降台１２４と、その昇降台１２４上に設けられる回転可能なベース台１２５とを含んでいる。そして、ベース台１２５上には、水平方向に伸縮可能な一段アーム１２１、二段アーム１２２及び三段アーム１２３が設けられている。そして、カセットが載置される処理装置におけるポート台にて、三段アーム１２３上にカセット１０３を載せた移載ロボット１２０は、カセット収納棚１０４のアクセス位置に位置合わせされる。そして、一段アーム１２１及び二段アーム１２２を伸張させることにより、カセット収納棚１０４の内部に三段アーム１２３を侵入させて、カセット１０３の載置位置を確定後、昇降台１２４を降下させ、桟１０４ｃにカセット１０３を載置する。
【０００７】
以下、図７を参照して、カセット１０３が移載ロボット１２０によりカセット収納棚１０４の棚１０４ｂに載置されるまでの過程を詳細に説明する。図７は、図６に示した従来の搬送台車の移載ロボットがカセットをカセット収納棚に載置するまでの過程を、カセットとカセット収納棚のみについて示した状態遷移説明図である。
【０００８】
まず、図７（Ａ）に示すように、移載ロボット１２０は、所定の高さ位置で、一段アーム１２１、二段アーム１２２及び三段アーム１２３を伸張させてカセット１０３をカセット収納棚１０４の棚１０４ｂに移送させた後、昇降台１２４を下降させることにより、桟１０４ｃにカセット１０３を載置する。この際、移載ロボット１２０のアーム１２１〜１２３は、大型の液晶表示パネルなどが収容されたカセット１０３の重量により撓んでいるので、カセット１０３の先端Ｃ１０２がＲ１０２点で桟１０４ｃに接触する。このとき、カセット１０３の後端Ｃ１０１は、搬送台車１００側のＲ１０１点に位置する。したがって、Ｒ１０１点とＲ１０２点との間の距離は、カセット１０３が撓んだ分だけカセット１０３の長さＬより短くなり、Ｌ−Ｗとなる。
【０００９】
そして、撓んだカセット１０３は、底面を伸張させながら、図７（Ｂ）の状態を経て図７（Ｃ）の状態に至る。この間、カセット１０３の後端Ｃ１０１は、三段アーム１２３上にあり、Ｒ１０１点に固定され不動であるので、カセット１０３の先端Ｃ１０２は桟１０４ｃに当接しながら距離Ｗだけ棚１０４ｂの奥に向かって滑る。このようにして、大型の液晶パネルなどが収容されたカセット１０３がカセット収納棚１０４の棚１０４ｂに載置される。
【００１０】
ところで、本願発明が用いるジャッキ手段は、トラック車両などの作業車に設けられており、作業時にジャッキ手段を伸長させて車体を持ち上げて支持している（例えば、特許文献２参照）。しかしながら、このようなジャッキ手段を備えたトラック車両などは、本願発明とは目的、構成を全く異にする別発明であることは明白である。つまり、上記特許文献２は、本発明と前提とする技術が異なるため、本発明が解決しようとする課題すら存在しない。
【００１１】
【特許文献１】特開２００２−３７０１８４号公報
【特許文献２】特開２００１−３３５２９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
そして、図７に示した移載ロボット１２０によるカセット収納棚１０４へのカセット１０３の載置動作では、カセット１０３の重量が大きいことに起因する以下に示す問題点が生じる。
【００１３】
カセット１０３が桟１０４ｃ上を滑る場合に、カセット１０３の重量が十分大きいことによって、カセット１０３と桟１０４ｃとの間に大きな摩擦が生じて、カセット１０３と桟１０４ｃとの間に滑り摩耗が発生して、カセット１０３及び桟１０４ｃの双方が傷付くという問題点があった。また、上記したカセット１０３をカセット収納棚１０４に載置する場合だけでなく、カセット１０３をカセット収納棚１０４から摘出する場合も、カセット１０３と桟１０４ｃとの間に滑り磨耗が発生して、カセット１０３及び桟１０４ｃの双方が傷付くという問題点があった。
【００１４】
そして、このカセット１０３と桟１０４ｃとの間の磨耗による２次的な問題として以下のものが挙げられる。
【００１５】
カセット収納棚１０４には、垂直方向及び水平方向に複数段の棚１０４ｂが設けられ、各棚１０４ｂにカセット１０３が収納される。また、カセット収納棚１０４の上部には図示しないフィルタが設置され、カセット収納棚１０４の各棚１０４ｂにはフィルタを介したダウンフローの清浄空気が供給される。しかしながら、前述のようにカセット１０３と桟１０４ｃとの間の滑り磨耗により、当該多量のパーティクル（微小塵埃）が発生している状態では、多量のパーティクルがダウンフローの気流に乗って、上部から下部に移動するという不都合があった。そのため、棚１０４ｂにカセット１０３が載置されていると、これらカセット１０３の表面にそのパーティクルが付着したり、気流の淀み部にパーティクルが沈殿・堆積したりしていた。また、カセット収納棚１０４の上部の棚１０４ｂで発生するパーティクルは、他の棚１０４ｂに載置されるカセット１０３との接触期間が多く、カセット１０３に付着し易い。
【００１６】
そして、パーティクルの付着したカセット１０３が処理装置に搬入されて、当該カセット１０３の扉を開放して内部から液晶ガラス基板を取り出す場合、カセット１０３に付着したパーティクルが僅かな空気の流れで舞い上がり、飛散してカセット１０３内部の液晶ガラス基板に付着する。一旦、液晶ガラス基板に付着したパーティクルは、洗浄しても完全に除去することは困難で、その除去されないパーティクルが原因となって、最終製品に欠陥が生じ、製品の歩留まりを低下させるという問題点があった。
【００１７】
更には、パーティクルの付着したカセット１０３をクリーンルーム内で搬送する場合でも、搬送途中でパーティクルが飛散し、飛散したパーティクルが各処理装置に侵入して、各処理装置で扱われる液晶ガラス基板に欠陥を発生させることも起り得る。
【００１８】
従って、カセット収納棚１０４へのカセット載置作業におけるカセット１０３と桟１０４ｃとの間の滑り磨耗は、製品の歩留まり向上のために、回避せねばならぬ技術上の重要課題であると認識される。
【００１９】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、カセット（被搬送物）とカセット収納棚（被搬送物載置手段）との間に滑り磨耗が発生するのを防止することが可能な搬送台車及びその搬送台車による被搬送物移送方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段および発明の効果】
【００２０】
上記目的を達成するために、この発明の搬送台車は、被搬送物を収容可能な被搬送物載置手段に被搬送物を搬入し、又は、被搬送物載置手段に載置される被搬送物を搬出する搬送台車であって、床面上を走行可能な走行手段が設けられる車体部と、車体部に搭載され、被搬送物載置手段に載置される被搬送物の下方から上方に向かって移動することにより当該被搬送物を持ち上げるとともに、被搬送物載置手段の上方から下方に向かって移動することにより持ち上げられている被搬送物を当該被搬送物載置手段に載置する移載ロボットと、被搬送物載置手段側に設けられ、走行時には床面から離間した位置に配置されるとともに、停止時には車体部を持ち上げ支持する第１ジャッキ手段と、第１ジャッキ手段の被搬送物載置手段とは反対側に設けられ、走行時には床面から離間した位置に配置されるとともに、停止時には車体部を持ち上げ支持する第２ジャッキ手段と、第１ジャッキ手段及び第２ジャッキ手段の各々の高さ位置を制御するジャッキ制御手段とを備えている。そして、ジャッキ制御手段が第１ジャッキ手段及び第２ジャッキ手段を制御することによって、第１ジャッキ手段を第２ジャッキ手段より同等又は高位置に保持して、車体部を水平又は傾斜させる。
【００２１】
上記構成によれば、被搬送物載置手段側に設けられる第１ジャッキ手段が、第１ジャッキ手段の被搬送物載置手段とは反対側に設けられる第２ジャッキ手段より高位置に配置されるので、車体部の被搬送物載置手段側が高位置になるように傾斜させることができる。このため、車体部に搭載される移載ロボットの被搬送物載置手段側が高位置となり傾斜する。これにより、移載ロボットに重量の大きい被搬送物が載置されることにより、被搬送物及び移載ロボットが撓んだとしても、移載ロボットに載置される被搬送物を被搬送物載置手段側が高位置になる傾斜状態にすることができる。したがって、この状態の被搬送物を被搬送物載置手段に載置する場合に、車体部側から順に載置させていくことができるので、被搬送物の撓みを解消させながら被搬送物載置手段に被搬送物を載置することができる。その結果、被搬送物が被搬送物載置手段上で滑ることなく載置するので、被搬送物と被搬送物載置手段との間に滑り磨耗が発生するのを防止することができる。なお、第１ジャッキ手段及び第２ジャッキ手段により、移載ロボットに載置される被搬送物を水平状態にする場合でも、被搬送物を被搬送物載置手段側が上方になる傾斜状態する場合と同様の効果を得ることができる。
【００２２】
上記搬送台車において、好ましくは、第１ジャッキ手段及び／又は第２ジャッキ手段は、複数のジャッキを含む。このように構成すれば、車体部を安定して傾斜させることができる。
【００２３】
上記搬送台車において、好ましくは、第１ジャッキ手段及び／又は第２ジャッキ手段は、油圧ジャッキからなる。このように構成すれば、搬送台車の構成を小型化することができるとともに、強力な力を車体部に加えることができる。
【００２４】
この発明の搬送台車による被搬送物移送方法は、被搬送物を収容可能な被搬送物載置手段に被搬送物を搬入し、又は、被搬送物載置手段に載置される被搬送物を搬出する搬送台車による被搬送物移送方法であって、搬送台車は、床面上を走行可能な走行手段が設けられる車体部と、車体部に搭載され、被搬送物載置手段に載置される被搬送物の下方から上方に向かって移動することにより当該被搬送物を持ち上げるとともに、被搬送物載置手段の上方から下方に向かって移動することにより持ち上げられている被搬送物を当該被搬送物載置手段に載置する移載ロボットと、被搬送物載置手段側に設けられ、走行時には床面から離間した位置に配置されるとともに、停止時には車体部を持ち上げ支持する第１ジャッキ手段と、第１ジャッキ手段の被搬送物載置手段とは反対側に設けられ、走行時には床面から離間した位置に配置されるとともに、停止時には車体部を持ち上げ支持する第２ジャッキ手段と、第１ジャッキ手段及び第２ジャッキ手段の各々の高さ位置を制御するジャッキ制御手段とを備えている。そして、搬送台車による被搬送物移送方法は、ジャッキ制御手段が第１ジャッキ手段及び第２ジャッキ手段を制御することによって、第１ジャッキ手段を第２ジャッキ手段より同等又は高位置に保持して、車体部を水平又は傾斜させるステップを含んでいる。
【００２５】
上記構成によれば、車体部を傾斜させるステップにおいて、被搬送物載置手段側に設けられる第１ジャッキ手段が、第１ジャッキ手段の被搬送物載置手段とは反対側に設けられる第２ジャッキ手段より高位置に配置されるので、車体部の被搬送物載置手段側が高位置になるように傾斜させることができる。このため、車体部に搭載される移載ロボットの被搬送物載置手段側が高位置となり傾斜する。これにより、移載ロボットに重量の大きい被搬送物が載置されることにより、被搬送物及び移載ロボットが撓んだとしても、移載ロボットに載置される被搬送物を被搬送物載置手段側が高位置になる傾斜状態にすることができる。したがって、この状態の被搬送物を被搬送物載置手段に載置する場合に、車体部側から順に載置させていくことができるので、被搬送物の撓みを解消させながら被搬送物載置手段に被搬送物を載置することができる。その結果、被搬送物が被搬送物載置手段上で滑ることなく載置するので、被搬送物と被搬送物載置手段との間に滑り磨耗が発生するのを防止することができる。なお、第１ジャッキ手段及び第２ジャッキ手段により、移載ロボットに載置される被搬送物を水平状態にする場合でも、被搬送物を被搬送物載置手段側が上方になる傾斜状態する場合と同様の効果を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００２７】
まず、図１〜図３を参照して、本発明の一実施形態による搬送台車１の構成について説明する。図１は、本発明の一実施形態による搬送台車とカセット棚装置とを示した側面図であり、図２は、図１に示した一実施形態による搬送台車の正面図であり、図３は、図１に示した一実施形態による搬送台車の平面図である。
【００２８】
搬送台車１は、図１〜図３に示すように、大型の液晶表示パネルが収容されたカセット３をカセット棚装置４に搬入するとともに、カセット棚装置４に載置されたカセット３を搬出する無人搬送台車である。なお、上記したカセット棚装置４は、搬送台車１により搬送されるカセット３を複数ストックする機能を有している。そして、搬送台車１により搬送されるカセット３は、フレーム４ａにより構成される各棚４ｂに搬入され、各棚４ｂに設けられる桟４ｃに載置される。この桟４ｃは、カセット３の底面の両端を支持するために、各棚４ｂの下方両端に設けられている。搬送台車１は、床面２上を走行可能な４つの車輪１４が設けられる車体部１０と、車体部１０に搭載される移載ロボット２０と、油圧ジャッキ３０ａ及び３０ｂと、油圧ジャッキ３０ａ及び３０ｂを制御するジャッキ制御部４０（図４参照）とを備えている。
【００２９】
車体部１０は、台座１１と、台座１１上に対向して配置される一対のフレーム１２ａ及び１２ｂと、前記一対のフレーム１２ａ及び１２ｂの上部に取り付けられるフレーム１３とを含んでいる。そして、一対のフレーム１２ａ及び１２ｂとフレーム１３とは、矩形状の枠体を形成している。また、台座１１の下部には、上記した４つの車輪１４が取り付けられている。この車輪１４は、タイヤ１４ａ、車輪支持部材１４ｂ及びタイヤ１４ａを車輪支持部材１４ｂに回転可能に支持する回転軸１４ｃから構成され、図示しない駆動機構により駆動される。
【００３０】
移載ロボット２０は、上記した車体部１０の一対のフレーム１２ａ及び１２ｂ及びフレーム１３により形成される枠体の内部に設けられている。この移載ロボット２０は、後述するアーム２１〜２３を、カセット棚装置４の棚４ｂの桟４ｃに載置されるカセット３の下方から上方に向かって移動させることにより、当該カセット３を持ち上げる機能を有している。また、この移載ロボット２０は、カセット３が載置されているアーム２１〜２３をカセット棚装置４の棚４ｂの上方から下方に向かって移動させることにより、アーム２３上のカセット３をカセット棚装置４の棚４ｂの桟４ｃに載置する機能を有している。
【００３１】
そして、移載ロボット２０は、車体部５のフレーム１２及び１３の枠内を垂直方向に移動する昇降台２４と、昇降台２４に回転可能に取り付けられる回転テーブル２５とを備えている。そして、回転テーブル２５には、下側から順番に、一対の一段アーム２１、一対の二段アーム２２及び三段アーム２３が取り付けられている。また、一対の一段アーム２１は、回転テーブル２５に設けられる一段目回転軸２６に回転可能に取り付けられ、一対の二段アーム２２は、一対の一段アーム２１に設けられる二段目回転軸２７に回転可能に取り付けられ、三段アーム２３は、一対の二段アーム２２に設けられる三段目回転軸２８に回転可能に取り付けられている。これにより、各アーム２１〜２３が連携して、伸縮可能となる。また、回転テーブル２５には、図示しない旋回機構が設けられ、回転テーブル２５をＡ１方向及びＡ２方向（図３参照）に回転可能とする。三段アーム２３は、カセット３の底面中心を下方から支持するように構成されており、移載ロボット２０により三段アーム２３に支持されるカセット３を任意の方向に搬送することが可能となる。
【００３２】
ここで、本実施形態では、車体部１０の下部に設けられる各車輪１４に隣接する箇所には、それぞれ油圧ジャッキ３０ａ及び３０ｂが設けられている。この油圧ジャッキ３０ａ及び３０ｂは、カセット棚装置４側に設けられる一対の前方ジャッキ３０ａと、一対の前方ジャッキ３０ａのカセット棚装置４とは反対側に設けられる一対の後方ジャッキ３０ｂとから構成されている。そして、これらの油圧ジャッキ３０ａ及び３０ｂは、走行時に、床面２から離間した位置に配置されて、搬送台車１の走行を可能にしている。また、これらの油圧ジャッキ３０ａ及び３０ｂは、停止時に、車体部１０を持ち上げ支持する。
【００３３】
ここで、図４を参照して、上記した油圧ジャッキ３０ａ及び３０ｂを制御するジャッキ制御部４０について詳細に説明する。図４は、図１に示した一実施形態による搬送台車の油圧ジャッキを制御するジャッキ制御部の模式図である。
【００３４】
ジャッキ制御部４０は、一対の前方ジャッキ３０ａの各々に設けられる一対の前方油圧バルブ４１と、一対の後方ジャッキ３０ｂの各々に設けられる一対の後方油圧バルブ４２とを備えている。これら前方油圧バルブ４１及び後方油圧バルブ４２は、同一の油圧バルブが用いられる。そして、前方油圧バルブ４１は油圧配管４３により油圧制御バルブ４４に接続されており、その油圧制御バルブ４４は、油圧配管４５により更に油圧ポンプ４６及び油圧タンク４７に接続されている。
【００３５】
また、後方油圧バルブ４２も前方油圧バルブ４１と同様に、油圧配管４８により油圧制御バルブ４９に接続されており、その油圧制御バルブ４９は、油圧配管５０により更に上記した油圧ポンプ４６及び油圧タンク４７に接続されている。
【００３６】
油圧ポンプ４６は、油圧タンク４７から油を汲み上げて突出圧力を発生させる機能を有している。また、油圧制御バルブ４４は、内蔵する弁を油圧供給側に設定することにより、前方ジャッキ３０ａに油を供給して油圧を発生させて、前方ジャッキ３０ａを上昇させるとともに、内蔵する弁を油圧開放側に切り換えることにより、前方ジャッキ３０ａに供給された油を油回収タンク５１に回収させて前方ジャッキ３０ａを降下させる。また、油圧制御バルブ４９も油圧制御バルブ４４と同様に、内蔵する弁を油圧供給側に設定することにより、後方ジャッキ３０ｂに油を供給して油圧を発生させて、後方ジャッキ３０ｂを上昇させるとともに、内蔵する弁を油圧開放側に切り換えることにより、後方ジャッキ３０ｂに供給された油を油回収タンク５２に回収させて後方ジャッキ３０ｂを降下させる。
【００３７】
一対の前方ジャッキ３０ａに対応する一対の前方油圧バルブ４１は、一体に制御され、一対の前方ジャッキ３０ａが個別に昇降動作を行うことはない。また、一対の後方ジャッキ３０ｂに対応する一対の後方油圧バルブ４２も、前方油圧バルブ４１と同様に、一体に制御され、一対の後方ジャッキ３０ｂが個別に昇降運動を行うことはない。
【００３８】
図１では、前方ジャッキ３０ａが後方ジャッキ３０ｂよりΔＬだけ高く持ち上げられることにより、移載ロボット２０の三段アーム２３の先端が高位置になり、水平軸に対しθだけ傾いている。各ジャッキ３０ａ及び３０ｂによる傾斜角度の設定は、慣用される傾斜角検出センサ（図示せず）で傾斜角を検出し、検出値をコントローラにフィードバックさせ、傾斜角が所定の検出値になるようジャッキ３０ａ及び３０ｂの高さを調整・確定させる。この場合、傾斜角検出センサを使用せず、予め実測した傾斜角度とΔＬ値との関係データに基づいてジャッキ３０ａ及び３０ｂの高さを調整・確定してもよい。
【００３９】
なお、図１では、４つの車輪１４のすべてをジャッキ３０ａ及び３０ｂで持ち上げ、車体部１０の重量を全てジャッキ３０ａ及び３０ｂで支えているが、何れか一方のみジャッキ（前方ジャッキ３０ａ又は後方ジャッキ３０ｂ）で持ち上げ、他方は車輪１４を床面２に接地させる方法で車体部１０を傾斜させてもよい。
【００４０】
次に、図５を参照して、カセット３が移載ロボット２０によりカセット棚装置４の棚４ｂに載置されるまでの過程を詳細に説明する。図５は、図１に示した搬送台車の移載ロボットがカセットをカセット棚装置に載置するまでの過程を、カセットとカセット棚装置のみについて示した状態遷移説明図である。
【００４１】
まず、本実施形態では、車体部１０は、前方ジャッキ３０ａが後方ジャッキ３０ｂよりΔＬだけ高く持ち上げられるので、カセット棚装置４側が高くなるように傾斜して、その車体部１０に収容される移載ロボット２０の三段アーム２３も傾斜する。そして、図５（Ａ）に示すように、移載ロボット２０は、所定の高さ位置で、一段アーム２１、二段アーム２２及び三段アーム２３を伸張させてカセット３をカセット棚装置４の所定の棚４ｂに移送させた後、昇降台２４を下降させることにより、当該棚４ｂの桟４ｃにカセット３の後端Ｃ１を当接させる。このとき、Ｒ１点とＲ２点との間の距離は、カセット３が撓んだ分だけカセット３の長さＬより短くなり、Ｌ−Ｗとなる。
【００４２】
続いて、昇降台２４が下方に降下することにより、カセット３は、図５（Ｂ）に示すように、カセット３の撓みを解消させながら後端Ｃ１より、逐次棚４ｂの桟４ｃとの接触面積を増やす。更に、昇降台２４が一層下降することにより、最終段階でカセット３の前端Ｃ２が桟４ｃに当接する。この間でも、カセット３の撓みが、載置動作に伴って解消して、桟４ｃとの間で滑り磨耗を発生させることなく載置される。そして、Ｒ１点とＲ２点との間の距離は、カセット３の撓みが解消して、カセットの長さＬとなる。
【００４３】
なお、前方ジャッキ３０ａに対する後方ジャッキ３０ｂの持ち上げ量ΔＬを小さく調整し、移載ロボット２０の三段アーム２３が水平になるよう調整しても、カセット３の底面とカセット棚装置４の桟４ｃとの間の滑り磨耗を回避できる場合がある。
【００４４】
以上、カセット３をカセット棚装置４に載置する場合について説明したが、カセット３をカセット棚装置４から摘出する場合も、図５の逆の手順を行うことにより、カセット３が摘出されるので、カセット３をカセット棚装置４に載置する場合と同様に、カセット３をカセット棚装置４から摘出する場合も、カセット３と桟４ｃとの間に滑り磨耗は発生しない。
【００４５】
本実施形態では、上記のように、カセット棚装置４側に設けられる前方ジャッキ３０ａが、前方ジャッキ３０ａのカセット棚装置４とは反対側に設けられる後方ジャッキ３０ｂより高位置に配置されるので、車体部１０のカセット棚装置４側が高位置になるように傾斜させることができる。このため、車体部１０に搭載される移載ロボット２０のカセット棚装置４側が高位置となり傾斜する。これにより、移載ロボット２０に重量の大きいカセット３が載置されることにより、カセット３及び移載ロボット２０が撓んだとしても、移載ロボット２０に載置されるカセット３をカセット棚装置４側が高位置になる傾斜状態にすることができる。したがって、この状態のカセット３をカセット棚装置４の棚４ｂに載置する場合に、車体部１０側から順に載置させていくことができるので、カセット３の撓みを解消させながらカセット棚装置４にカセット３を載置することができる。その結果、カセット３がカセット棚装置４の桟４ｃ上で滑ることなく載置するので、カセット３とカセット棚装置４との間に滑り磨耗が発生するのを防止することができる。なお、前方ジャッキ３０ａ及び後方ジャッキ３０ｂにより、移載ロボット２０に載置されるカセット３を水平状態にする場合でも、カセット３をカセット棚装置４側が上方になる傾斜状態する場合と同様の効果を得ることができる。
【００４６】
また、本実施形態では、一対の前方ジャッキ３０ａ及び一対の後方ジャッキ３０ｂを設けることによって、車体部１０をバランスよく安定して傾斜させることができる。
【００４７】
また、本実施形態では、前方ジャッキ３０ａ及び後方ジャッキ３０ｂを油圧ジャッキにすることによって、小型で強力な力を車体部１０に加えることができる。
【００４８】
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【００４９】
例えば、上記実施形態では、４つの車輪によって床面上を走行する搬送台車について説明したが、本発明はこれに限らず、車輪以外の走行手段を本発明の搬送台車に適用してもよい。
【００５０】
また、上記実施形態では、カセット棚装置にカセットを載置する場合について説明したが、本発明はこれに限らず、被搬送物載置手段としての処理装置のポートにカセットを載置する場合でも、同様の効果を奏する。
【００５１】
また、上記実施形態の搬送台車では、カセット棚装置側に１つの右ジャッキを設けるとともに、右ジャッキのカセット棚装置の反対側に１つの左ジャッキを設ける例を示したが、本発明はこれに限らず、右ジャッキ及び／又は左ジャッキを１つにしてもよいし、右ジャッキ及び／又は左ジャッキを３つ以上設けてもよい。
【００５２】
また、上記実施形態では、ジャッキ手段として油圧ジャッキを用いる例を示したが、本発明はこれに限らず、油圧ジャッキ以外のエアジャッキなども適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の一実施形態による搬送台車の全体構成を示した側面図である。
【図２】図１に示した搬送台車の正面図である。
【図３】図１に示したる搬送台車の平面図である。
【図４】図１に示した搬送台車の油圧ジャッキを制御するジャッキ制御部の模式図である。
【図５】図１に示した搬送台車の移載ロボットがカセットをカセット棚装置に載置するまでの過程を、カセットとカセット収納棚のみについて示した状態遷移説明図である。
【図６】従来の一例による搬送台車とカセット収納棚とを示した側面図である。
【図７】図６に示した従来の搬送台車の移載ロボットがカセットをカセット収納棚に載置させるまでの過程を、カセットとカセット収納棚のみについて示した状態遷移説明図である。
【符号の説明】
【００５４】
１  搬送台車
３  カセット（被搬送物）
４  カセット棚装置（被搬送物載置手段）
１０  車体部
１４  車輪（走行手段）
２０  移載ロボット
３０ａ  前方ジャッキ（第１ジャッキ手段）
３０ｂ  後方ジャッキ（第２ジャッキ手段）
４０  ジャッキ制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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