(57)【要約】      （修正有）【課題】シリコン上における高接着強度及び低吸水率を保持し、現像性と密着性の双方の特性が良好である感光性樹脂組成物及び感光性エレメントを提供する。【解決手段】（Ａ）下記一般式（１）で表される繰り返し単位を有するエポキシ樹脂と、（Ｂ）光重合性不飽和基を有するアクリル系ポリマーと、（Ｃ）無機フィラーと、（Ｄ）グリシドキシアルキルトリアルコキシシラン、（メタ）アクロキシアルキルトリアルコキシシラン及びウレイドアルキルトリアルコキシシランからなる群から選択される少なくとも２種のシランカップリング剤と、（Ｅ）光重合性モノマーと、（Ｆ）光反応開始剤と、を含む感光性樹脂組成物。2008112146.tif 000010【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）下記一般式（１）で表される繰り返し単位を有するベースポリマーと、
（Ｂ）光重合性不飽和基を有するアクリル系ポリマーと、
（Ｃ）無機フィラーと、
（Ｄ）グリシドキシアルキルトリアルコキシシラン、（メタ）アクロキシアルキルトリアルコキシシラン及びウレイドアルキルトリアルコキシシランからなる群から選択される少なくとも２種のシランカップリング剤と、
（Ｅ）光重合性モノマーと、
（Ｆ）光反応開始剤と、
を含む感光性樹脂組成物。
【化１】
2008112146.tif 000008
［式（１）中、Ｒ１はジグリシジルエーテル型エポキシ化合物残基である二価の有機基を示し、Ｒ２は二塩基酸残基である二価の有機基を示し、Ｒ３及びＲ４は各々独立に水素原子又は下記一般式（２）；
【化２】
2008112146.tif 000009
（式（２）中、Ｒ５は酸無水物残基を示す。）で表される基を示す。］
【請求項２】
支持体と、該支持体上に形成された請求項１に記載の感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層と、を備える感光性エレメント。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＣＣＤ／ＣＭＯＳイメージセンサのパッケージ構造は、センサ部分を水や埃等の異物から保護するために、セラミックやエポキシ樹脂でできたリブに液状のＵＶ硬化型感光性樹脂組成物を印刷法で塗布し、その上に保護ガラスを接着させる構造がとられてきた。
【０００３】
しかしながら、上記のパッケージ構造では、微細化が進むカメラモジュールに対して十分な位置精度が得られないため、接着剤をフォト法で形成することが求められ、コストの削減を図る観点からは、一括成型が可能なフィルムタイプの感光性接着剤の使用が求められている。
【０００４】
さらに、ＣＣＤ／ＣＭＯＳイメージセンサに使用される感光性接着剤には、シリコンやガラスに対する高接着強度、気密封止性、現像性、密着性、解像性、低吸水率、低イオン不純物及び高信頼性等の特性が求められている。
【０００５】
一方、配線板の製造においては、感光性エレメントの未露光部の除去を行う現像液として、炭酸ナトリウム水溶液や炭酸水素ナトリウム水溶液が使用され、環境性及び安全性の見地からも、アルカリ現像型が主流となっている。
【０００６】
現像液は、感光性樹脂組成物層をある程度溶解又は分散する能力があれば使用できるが、感光性樹脂組成物は、露光後に現像液や水洗のスプレー圧によって破れないテンティング性、すなわちテント信頼性に優れる必要がある。テント信頼性に優れた感光性樹脂組成物としては、二官能又は三官能モノマーを含む感光性樹脂組成物が報告されている（特許文献１〜５）。
【０００７】
【特許文献１】国際公開第０１／０９２９５８号パンフレット
【特許文献２】特開２０００−２１４５８３号公報
【特許文献３】特許第３２５１４４６号公報
【特許文献４】特開２００５−３１６３９号公報
【特許文献５】特許第３１９９６００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、イメージセンサに使用されている感光性接着剤の中には、高接着強度及び低吸水率の特性が良好であり、かつ、現像性と密着性の双方の特性を十分に満足させるものがないのが現状であった。
【０００９】
そこで本発明の目的は、シリコン上における高接着強度及び低吸水率を保持し、現像性と密着性の双方の特性が良好である感光性樹脂組成物及び感光性エレメントを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明は、（Ａ）下記一般式（１）で表される繰り返し単位を有するベースポリマーと、（Ｂ）光重合性不飽和基を有するアクリル系ポリマーと、（Ｃ）無機フィラーと、（Ｄ）グリシドキシアルキルトリアルコキシシラン、（メタ）アクロキシアルキルトリアルコキシシラン及びウレイドアルキルトリアルコキシシランからなる群から選択される少なくとも２種のシランカップリング剤と、（Ｅ）光重合性モノマーと、（Ｆ）光反応開始剤と、を含む感光性樹脂組成物を提供する。
【００１１】
【化１】
2008112146.tif 000002
［式（１）中、Ｒ１はジグリシジルエーテル型エポキシ化合物残基である二価の有機基を示し、Ｒ２は二塩基酸残基である二価の有機基を示し、Ｒ３及びＲ４は各々独立に水素原子又は下記一般式（２）；
【化２】
2008112146.tif 000003
（式（２）中、Ｒ５は酸無水物残基を示す。）で表される基を示す。］
【００１２】
上記の感光性樹脂組成物は、シランカップリング剤と組み合わせることによって、感光特性が良好で、吸水率も低く、且つ接着力が良好な接着剤が得られる。
【００１３】
また本発明は、支持体と、該支持体上に形成された上記本発明の感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層とを備える感光性エレメントを提供する。
【００１４】
上記の感光性エレメントは、シリコン上で密着性等の感光特性が良好で、吸水率が低く、良好な接着力を発揮することが可能となる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、シランカップリング剤を組み合わせることにより感光特性が良好で、吸水率も低く、且つ接着力が良好な接着剤を提供できる。また、本発明の感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントは、シリコン上で密着性等の感光特性が良好で、吸水率が低く、良好な接着力を発揮できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の感光性樹脂組成物に含まれる成分について詳述する。
【００１７】
（Ａ）成分であるベースポリマー（エポキシ変性ポリマー）は、以下の一般式（１）で表される繰り返し単位を有する変性エポキシ樹脂である。
【００１８】
【化３】
2008112146.tif 000004
［式（１）中、Ｒ１はジグリシジルエーテル型エポキシ化合物残基である二価の有機基を示し、Ｒ２は二塩基酸残基である二価の有機基を示し、Ｒ３及びＲ４は各々独立に水素原子又は下記一般式（２）；
【化４】
2008112146.tif 000005
（式（２）中、Ｒ５は酸無水物残基を示す。）で表される基を示す。］
【００１９】
（Ａ）成分の重量平均分子量（Ｍｗ）は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）により測定することができる（標準ポリスチレンによる換算）。ＧＰＣの条件は以下の通りである。
【００２０】
（ＧＰＣ条件）
ポンプ：日立  Ｌ−６０００型［（株）日立製作所製］
検出器：日立  Ｌ−４０００型ＵＶ［（株）日立製作所製］
カラム：Ｇｅｌｐａｃｋ  ＧＬ−Ｓ３００ＭＤＴ−５（計２本）［日立化成工業（株）製、商品名］
カラムサイズ：８ｍｍφ×３００ｍｍ
溶離液：ＤＭＦ／ＴＨＦ＝１／１  ＋  リン酸０．０６Ｍ  ＋  臭化リチウム０．０６Ｍ
試料濃度：５ｍｇ／１ｍＬ
注入量：５μＬ
圧力：３４３Ｐａ（３５ｋｇｆ／ｃｍ２）
流量：１．０ｍＬ／分
【００２１】
この測定方法により求められる（Ａ）成分の重量平均分子量（Ｍｗ）は、塗膜性（べとつき難さ）の観点及び希アルカリ水溶液による現像性の観点から、１００００〜７００００であることが好ましく、３００００〜５００００であることがより好ましい。
【００２２】
（Ａ）成分の酸価は、以下の方法により測定することができる。まず（Ａ）成分であるベースポリマー溶液の約１ｇを精秤した後、その樹脂溶液にアセトンを３０ｇ添加し、樹脂溶液を均一に溶解する。次いで、指示薬であるフェノールフタレインをその溶液に適量添加して、０．１ＮのＫＯＨ水溶液を用いて滴定を行う。そして、滴定結果から以下の式（Ｉ）；
Ａ＝（１０×Ｖｆ×５６．１）／（Ｗｐ×Ｉ）    （Ｉ）
を用いて酸価を算出する。なお、式中、Ａは酸価（ｍｇＫＯＨ／ｇ）を示し、Ｖｆはフェノールフタレインの滴定量（ｍＬ）を示し、Ｗｐは（Ａ）ベースポリマー溶液質量（ｇ）を示し、Ｉは（Ａ）成分であるベースポリマー溶液中の不揮発分の割合（質量％）を示す。
【００２３】
この測定方法により求められる（Ａ）成分の酸価は、希アルカリ水溶液による現像性の観点から、６０〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇであることが好ましく、７５〜１００ｍｇＫＯＨ／ｇであることがより好ましい。
【００２４】
（Ａ）成分は、以下の方法により合成することができる。
【００２５】
（Ａ）成分の合成方法は、一分子中に二つのグリシジル基を有するジグリシジルエーテル型エポキシ化合物と二塩基酸との重合反応により中間生成物を得る第一工程と、中間生成物に酸無水物を付加することにより（Ａ）成分であるベースポリマーを得る第二工程とを含むものである。
【００２６】
なお、上記一般式（１）中のＲ１で示されたジグリシジルエーテル型エポキシ化合物残基は、ジグリシジルエーテル型エポキシ化合物の構造中、グリシジル基を除いた部分となる。また、上記一般式（１）中のＲ２で示された二塩基酸残基は、二塩基酸の構造中、二塩基酸官能基を除いた部分となる。
【００２７】
（第一工程）
第一工程において原料として用いられるジグリシジルエーテル型エポキシ化合物として、下記一般式（３）で表される化合物を例示することができる。ここで、Ｒ６は二価の有機基を示す。
【化５】
2008112146.tif 000006
【００２８】
ジグリシジルエーテル型エポキシ化合物としては、例えば、ビスフェノールＡジグリシジルエーテル等のビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦジグリシジルエーテル等のビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＳジグリシジルエーテル等のビスフェノールＳ型エポキシ樹脂、ビフェノールジグリシジルエーテル等のビフェノール型エポキシ樹脂、ビキシレノールジグリシジルエーテル等のビキシレノール型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールＡグリシジルエーテル等の水添ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、及びそれらの二塩基酸変性ジグリシジルエーテル型エポキシ樹脂などが挙げられる。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００２９】
これらの中で、ジグリシジルエーテル型エポキシ化合物としては、耐熱性、耐薬品性、及び硬化収縮が少ない等の観点から、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂が好ましい。
【００３０】
上述したジグリシジルエーテル型エポキシ化合物としては、市販のものを用いることができる。例えば、ビスフェノールＡジグリシジルエーテルとしては、エピコート８２８、エピコート１００１及びエピコート１００２（以上、ジャパンエポキシレジン社製、商品名）等を挙げることができる。ビスフェノールＦジグリシジルエーテルとしては、エピコート８０７（ジャパンエポキシレジン社製、商品名）等を挙げることができ、ビスフェノールＳジグリシジルエーテルとしてはＥＢＰＳ−２００（日本化薬社製、商品名）及びエピクロンＥＸＡ−１５１４（大日本インキ化学工業社製、商品名）等を挙げることができる。また、ビフェノールジグリシジルエーテルとしては、ＹＬ−６１２１（ジャパンエポキシレジン社製、商品名）等を挙げることができ、ビキシレノールジグリシジルエーテルとしては、ＹＸ−４０００（ジャパンエポキシレジン社製、商品名）等を挙げることができる。さらに、水添ビスフェノールＡグリシジルエーテルとしては、ＳＴ−２００４及びＳＴ−２００７（以上、東都化成社製、商品名）等を挙げることができ、上述した二塩基酸変性ジグリシジルエーテル型エポキシ樹脂としてはＳＴ−５１００及びＳＴ−５０８０（以上、東都化成社製、商品名）等を挙げることができる。
【００３１】
これらのジグリシジルエーテル型エポキシ化合物は、そのエポキシ当量（１当量のエポキシ基を含む化合物のグラム重量）をＪＩＳ  Ｋ  ７２３６「エポキシ樹脂のエポキシ当量の求め方」により測定することができる。この測定方法により、ジグリシジルエーテル型エポキシ化合物のエポキシ当量は、希アルカリ水溶液による現像性の観点から、１５０〜１０００であることが好ましく、１８０〜３３０であることがより好ましい。上述のジグリシジルエーテル型エポキシ化合物は、単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００３２】
第一工程において原料として用いられる二塩基酸としては、ジカルボン酸が好ましい。具体的には、例えば、マレイン酸、コハク酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、メチルテトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、メチルヘキサヒドロフタル酸、エンドメチレンテトラヒドロフタル酸、メチルエンドメチレンテトラヒドロフタル酸、４，４’−ジカルボキシジフェニルエーテル、４，４’−ジカルボキシビフェニル、４，４’−ジカルボキシジフェニルスルホン、４，４’−ジカルボキシベンゾフェノン、１，３−アダマンタンジカルボン酸、９，９−ジメチルサンテン−３，６−ジカルボン酸（東京化成社製）、及び１，４−シクロヘキサンジカルボン酸（Ａｌｄｒｉｃｈ社製）などが挙げられる。これらの二塩基酸は、単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００３３】
これらの中で、第一工程において用いられる二塩基酸としては、テトラヒドロフタル酸が好ましい。
【００３４】
第一工程における重合反応は、常法により行うことができる。ジグリシジルエーテル型エポキシ化合物と二塩基酸との配合比は、（Ａ）成分であるベースポリマーの分子量、希アルカリ水溶液による現像性及び貯蔵安定性の観点から、官能基当量比（カルボキシル基／エポキシ基、モル比）で１．０３〜１．３０であると好ましい。
【００３５】
第一工程における重合反応に用いられる触媒としては、例えば、ホスフィン類、アルカリ金属化合物及びアミン類等が挙げられる。具体的には、例えば、トリブチルホスフィン、トリフェニルホスフィンなどのホスフィン類、水酸化ナトリウム、水酸化リチウム、水酸化カリウムなどのアルカリ金属化合物、ジメチルパラトルイジン、トリエタノールアミン、Ｎ，Ｎ’−ジメチルピペラジン、トリエチルアミン、トリ−ｎ−プロピルアミン、ヘキサメチレンテトラミン、ピリジン、テトラメチルアンモニウムブロマイドなどのアミン類が挙げられる。これらは単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００３６】
これらの中で、第一工程における重合反応に用いられる触媒としては、上記一般式（１）で表される構造を有する樹脂を効率よく合成する観点から、ジメチルパラトルイジンが好ましい。
【００３７】
触媒の使用量は、重合反応速度の観点から、ジグリシジルエーテル型エポキシ化合物と二塩基酸の総量１００質量部に対して、１〜１０質量部であると好ましい。
【００３８】
第一工程における反応温度は、重合反応速度の観点及び副反応の進行防止の観点から、１００〜１５０℃であることが好ましい。
【００３９】
（第二工程）
第二工程においては、第一工程で合成した中間生成物と酸無水物とを反応させることにより、（Ａ）成分であるベースポリマーを合成する。なお、上記一般式（２）中のＲ５で示された酸無水物残基は、酸無水物の構造中、酸無水物官能基を除いた部分となる。
【００４０】
第二工程において用いられる酸無水物としては、例えば、無水マレイン酸、無水コハク酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、無水エンドメチレンテトラヒドロフタル酸、無水メチルエンドメチレンテトラヒドロフタル酸、無水クロレンド酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸などの二塩基性酸無水物、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物などの芳香族多価カルボン酸無水物、その他これらに付随する例えば５−（２，５−ジオキソテトラヒドロフリル）−３−メチル−３−シクロヘキセン−１，２−ジカルボン酸無水物のような多価カルボン酸無水物誘導体等が挙げられる。これらは単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。これらの中で、第二工程において用いられる酸無水物としては、テトラヒドロ無水フタル酸が好ましい。
【００４１】
酸無水物の添加量は、現像性向上及び吸水率低減の観点から、官能基当量比（添加する酸無水物中の酸無水物基／第一工程において生成する中間生成物の水酸基、モル比）で表すと、０．６〜１．３であると好ましい。第二工程における反応温度は、反応速度の観点及び副反応を防止する観点から、８０〜１３０℃であることが好ましい。
【００４２】
また、この（Ａ）成分であるベースポリマーの合成方法において、通常、適当量の溶媒が用いられる。具体的には、例えば、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン若しくはメチルシクロヘキサノン等のケトン化合物、トルエン、キシレン若しくはテトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素化合物、セロソルブ、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、カルビトール、メチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル若しくはトリエチレングリコールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル化合物、上記グリコールエーテル化合物の酢酸エステル化合物等のエステル化合物、エチレングリコール若しくはプロピレングリコール等のアルコール化合物、又は、石油エーテル、石油ナフサ、水添石油ナフサ若しくはソルベントナフサ等の石油系溶剤などが挙げられる。これらは単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００４３】
感光性樹脂組成物中の（Ａ）成分の含有量は、接着力の観点から、（Ａ）成分と（Ｂ）成分との総量１００質量部に対し、２０〜８０質量部であることが好ましく、４０〜６０質量部であることがより好ましい。
【００４４】
（Ｂ）成分である光重合性不飽和基を有するアクリル系ポリマーは、その組成や合成方法に特に制限はなく、側鎖にエチレン性不飽和基を有するラジカル重合性共重合体などを使用することができる。かかるラジカル重合性共重合体は、例えば、カルボキシル基、水酸基、アミノ基、イソシアネート基、オキシラン環、酸無水物等の官能基を有するビニル共重合体に、少なくとも１個のエチレン性不飽和基と、オキシラン環、イソシアネート基、水酸基、カルボキシル基等の１個の官能基とを有する化合物を付加反応させて得ることができる。
【００４５】
前述のカルボキシル基、水酸基、アミノ基、オキシラン環、酸無水物等の官能基を有するビニル共重合体の製造に用いられる必須のビニル単量体としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、ケイ皮酸、アクリル酸２−ヒドロキシエチル、メタクリル酸２−ヒドロキシエチル、アクリルアミド、メタクリルアミド、イソシアン酸エチルメタクリレート、グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレート、無水マレイン酸等のカルボキシル基、水酸基、アミノ基、オキシラン環、酸無水物等の官能基を有するビニル単量体等が挙げられる。これらは単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００４６】
側鎖にエチレン性不飽和基を有するラジカル重合性共重合体の製造には、必要に応じて、カルボキシル基、水酸基、アミノ基、オキシラン環、酸無水物等の官能基を有するビニル単量体以外のビニル単量体を共重合させることができる。これらのビニル単量体としては、例えば、アクリル酸メチル、メタクリル酸メチル、アクリル酸エチル、メタクリル酸エチル、アクリル酸ｎ−プロピル、メタクリル酸ｎ−プロピル、アクリル酸ｉｓｏ−プロピル、メタクリル酸ｉｓｏ−プロピル、アクリル酸ｎ−ブチル、メタクリル酸ｎ−ブチル、アクリル酸ｉｓｏ−ブチル、メタアクリル酸ｉｓｏ−ブチル、アクリル酸ｓｅｃ−ブチル、メタクリル酸ｓｅｃ−ブチル、アクリル酸ｔｅｒｔ−ブチル、メタクリル酸ｔｅｒｔ−ブチル、アクリル酸ペンチル、メタクリル酸ペンチル、アクリル酸ヘキシル、メタクリル酸ヘキシル、アクリル酸ヘプチル、メタクリル酸ヘプチル、アクリル酸２−エチルヘキシル、メタクリル酸２−エチルヘキシル、アクリル酸オクチル、メタクリル酸オクチル、アクリル酸ノニル、メタクリル酸ノニル、アクリル酸デシル、メタクリル酸デシル、アクリル酸ドデシル、メタクリル酸ドデシル、アクリル酸テトラデシル、メタクリル酸テトラデシル、アクリル酸ヘキサデシル、メタクリル酸ヘキサデシル、アクリル酸オクタデシル、メタクリル酸オクタデシル、アクリル酸エイコシル、メタクリル酸エイコシル、アクリル酸ドコシル、メタクリル酸ドコシル、アクリル酸シクロペンチル、メタクリル酸シクロペンチル、アクリル酸シクロヘキシル、メタクリル酸シクロヘキシル、アクリル酸シクロヘプチル、メタクリル酸シクロヘプチル、アクリル酸ベンジル、メタクリル酸ベンジル、アクリル酸フェニル、メタクリル酸フェニル、アクリル酸メトキシエチル、メタクリル酸メトキシエチル、アクリル酸ジメチルアミノエチル、メタクリル酸ジメチルアミノエチル、アクリル酸ジエチルアミノエチル、メタクリル酸ジエチルアミノエチル、アクリル酸ジメチルアミノプロピル、メタクリル酸ジメチルアミノプロピル、アクリル酸２−クロロエチル、メタクリル酸２−クロロエチル、アクリル酸２−フルオロエチル、メタクリル酸２−フルオロエチル、スチレン、α−メチルスチレン、シクロヘキシルマレイミド、アクリル酸ジシクロペンタニル、メタクリル酸ジシクロペンタニル、ビニルトルエン、塩化ビニル、酢酸ビニル、Ｎ−ビニルピロリドン、ブタジエン、イソプレン、クロロプレン等が挙げられる。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。
【００４７】
側鎖にエチレン性不飽和基を有するラジカル重合性共重合体のエチレン性不飽和基濃度は、１．０×１０−４〜６．０×１０−３モル／ｇとすることが好ましく、２．０×１０−４〜５．０×１０−３モル／ｇとすることがより好ましく、３×１０−４〜４．０×１０−３モル／ｇとすることが更に好ましい。このエチレン性不飽和基濃度が、６．０×１０−３モル／ｇを超えると、側鎖にエチレン性不飽和基を有するラジカル重合性共重合体を製造する際にゲル化を起こす傾向がある。一方、エチレン性不飽和基濃度が１．０×１０−４モル／ｇ未満になると、光硬化性が不十分となる傾向がある。
【００４８】
（Ｂ）成分である光重合性不飽和基を有するアクリル系ポリマーの重量平均分子量（ゲルパーミエーションクロマトグラフィーで測定し、標準ポリスチレン換算した値）は、耐熱性、塗布性、感光性エレメントとした場合のフィルム性（フィルム状の形態を保持する特性）、溶媒への溶解性及び後述する現像工程における現像液への溶解性等の観点から、１，０００〜３００，０００とすることが好ましく、５，０００〜１５０，０００とすることがより好ましい。
【００４９】
なお、（Ｂ）成分であるアクリル系ポリマーの他に、必要に応じて、光重合性不飽和基を有しない、いわゆるバインダーポリマーを併用することができる。
【００５０】
このバインダーポリマーとしては特に制限はなく、例えばビニル共重合体を使用することができる。ビニル共重合体に用いられるビニル単量体としては、前述のものを用いることができる。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて使用することができる。
【００５１】
（Ｂ）成分であるアクリル系ポリマーと上述のバインダーポリマーは、後述する現像工程で使用する現像液に適した酸価を有することが好ましい。
【００５２】
現像液として、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、水酸化テトラメチルアンモニウム、トリエタノールアミン等のアルカリ水溶液を用いる場合には、（Ｂ）成分の酸価を５０〜２６０ｍｇＫＯＨ／ｇとすることが好ましい。この酸価が、５０ｍｇＫＯＨ／ｇ未満では、現像が困難となる傾向があり、２６０ｍｇＫＯＨ／ｇを超えると、耐現像液性（現像により除去されずにパターンとなる部分が、現像液によって侵されない性質）が低下する傾向がある。
【００５３】
現像液として、水又はアルカリ水溶液と１種以上の界面活性剤とからなるアルカリ水溶液を用いる場合には、（Ｂ）成分の酸価を１６〜２６０ｍｇＫＯＨ／ｇとすることが好ましい。この酸価が、１６ｍｇＫＯＨ／ｇ未満では、現像が困難となる傾向があり、２６０ｍｇＫＯＨ／ｇを超えると、耐現像液性が低下する傾向がある。
【００５４】
感光性樹脂組成物中の（Ｂ）成分の含有量は、現像性の観点から、（Ａ）成分と（Ｂ）成分との総量１００質量部に対し、２０〜８０質量部であることが好ましく、４０〜６０質量部であることがより好ましい。
【００５５】
（Ｃ）成分である無機フィラーとしては、例えば、アルミナ、酸化セリウム、酸化コバルト、酸化銅、酸化鉄、酸化マグネシウム、二酸化珪素、酸化スズ、酸化インジウムスズ、酸化亜鉛、酸化イットリウム、酸化ホルミウム、酸化ビスマス等が挙げられる。
【００５６】
（Ｃ）成分である無機フィラーは、必要に応じてエタノール、イソプロピルアルコール、キシレン、トルエン、酢酸ブチル等に分散させて配合できる。
【００５７】
本発明の感光性樹脂組成物中の（Ｃ）成分の含有量は、現像性、接着強度及び低吸水率の全ての特性をより高水準で達成する観点から、（Ａ）成分と（Ｂ）成分との総量１００質量部に対し、５０〜１５０質量部であることが好ましく、７０〜１３０質量部であることがより好ましく、８０〜１２０質量部であることが特に好ましい。この含有量が、５０質量部未満であると、吸水率が上昇する傾向があり、１５０質量部を超えると、現像性や塗膜性が低下する傾向がある。
【００５８】
（Ｄ）成分としては、グリシドキシアルキルトリアルコキシシラン、（メタ）アクロキシアルキルトリアルコキシシラン及びウレイドアルキルトリアルコキシシランからなる群から選択される少なくとも２種を含むシランカップリング剤である。グリシドキシアルキルトリアルコキシシランとしては、例えば、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン等が挙げられる。（メタ）アクロキシアルキルトリアルコキシシランとしては、例えば、３−メタクロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メタクロキシプロピルトリエトキシシラン、３−アクロキシプロピルトリメトキシシラン等が挙げられる。ウレイドアルキルトリアルコキシシランとしては、例えば、３−ウレイドプロピルトリエトキシシラン（トリエトキシプロピル炭酸ジアミド）等が挙げられる。
【００５９】
また、本発明の特性を損ねない程度に、上記以外のシランカップリング剤を併用させることができる。上記以外のシランカップリング剤としては、有機官能基にビニル基、アミノ基、メルカプト基等があり、加水分解基にアルコキシ基、クロル基、アセトキシ基、オキシム基、イソプロペノキシ基、アミド基等を有するものが挙げられる。工業的には、加水分解反応の制御範囲が広く、ハンドリングが容易であるアルコキシ基を加水分解基に用いる場合が多い。これらは１種類を単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００６０】
本発明の感光性樹脂組成物中の（Ｄ）成分の含有量は、解像度、密着性及び接着力の全ての特性をより高水準で達成する観点から、（Ａ）成分と（Ｂ）成分との総量１００質量部に対し、１〜４０質量部であることが好ましく、５〜３５質量部であることがより好ましく、１０〜３０質量部であることが特に好ましい。この含有量が１質量部未満であると、解像度及び密着性が低下する傾向があり、４０質量部を超えると塗膜性が低下する傾向がある。
【００６１】
（Ｅ）成分である光重合性モノマーは、分子内に少なくとも１つのエチレン性不飽和基を有するものである。このような光重合性モノマーとして、例えば、ビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物；多価アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物；グリシジル基含有化合物にα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物；ウレタン結合を有する（メタ）アクリレート化合物等のウレタンモノマー又はウレタンオリゴマーが挙げられる。これら以外にも、ノニルフェノキシポリオキシエチレンアクリレート；γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β’−（メタ）アクリロイルオキシエチル−ｏ−フタレート、β−ヒドロキシアルキル−β’−（メタ）アクリロイルオキシアルキル−ｏ−フタレート等のフタル酸系化合物；（メタ）アクリル酸アルキルエステル、ＥＯ変性ノニルフェニル（メタ）アクリレート等を例示することができる。これらは１種類を単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００６２】
ビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物としては、例えば、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリブトキシ）フェニル）プロパン及び２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシポリプロポキシ）フェニル）プロパン等が挙げられる。
【００６３】
２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシ）フェニル）プロパンとしては、例えば、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシジエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシトリエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシテトラエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシペンタエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘキサエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘプタエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシオクタエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシノナエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシウンデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシドデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシトリデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシテトラデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシペンタデカエトキシ）フェニル）プロパン及び２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘキサデカエトキシ）フェニル）プロパン等が挙げられ、２，２−ビス（４−（メタクリロキシペンタエトキシ）フェニル）プロパンは、ＢＰＥ−５００（新中村化学工業製、商品名）として商業的に入手可能であり、２，２−ビス（４−（メタクリロキシペンタデカエトキシ）フェニル）プロパンは、ＢＰＥ−１３００（新中村化学工業製、商品名）として商業的に入手可能である。これらは１種類を単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００６４】
２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリプロポキシ）フェニル）プロパンとしては、例えば、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシジプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシトリプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシテトラプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシペンタプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘキサプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘプタプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシオクタプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシノナプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシデカプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシウンデカプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシドデカプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシトリデカプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシテトラデカプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシペンタデカプロポキシ）フェニル）プロパン及び２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘキサデカプロポキシ）フェニル）プロパン等が挙げられる。これらは１種類を単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００６５】
２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシポリプロポキシ）フェニル）プロパンとしては、例えば、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシジエトキシオクタプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシテトラエトキシテトラプロポキシ）フェニル）プロパン及び２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘキサエトキシヘキサプロポキシ）フェニル）プロパン等が挙げられる。これらは１種類を単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００６６】
多価アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物としては、例えば、α，β−不飽和カルボン酸として（メタ）アクリル酸等を用いたものが挙げられる。具体的には、エチレン基の数が２〜１４であるポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレン基の数が２〜１４であるポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、エチレン基の数が２〜１４でありプロピレン基の数が２〜１４であるポリエチレン・ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ＥＯ変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ＰＯ変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ＥＯ・ＰＯ変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート及びジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等が挙げられる。これらは１種類を単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００６７】
なお、「ＥＯ」とは「エチレンオキシド」のことをいい、「ＰＯ」とは「プロピレンオキシド」のことをいう。また、「ＥＯ変性」とはエチレンオキシドユニット（−ＣＨ２−ＣＨ２−Ｏ−）のブロック構造を有することを意味し、「ＰＯ変性」とはプロピレンオキシドユニット（−ＣＨ２−ＣＨ（ＣＨ３）−Ｏ−）のブロック構造を有することを意味する。
【００６８】
グリシジル基含有化合物にα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物としては、例えば、α，β−不飽和カルボン酸として（メタ）アクリル酸等を用いたものが挙げられる。具体的には、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリ（メタ）アクリレート及び２，２−ビス（４−（メタ）アクリロキシ−２−ヒドロキシ−プロピルオキシ）フェニル等が挙げられる。
【００６９】
ウレタンモノマーとしては、例えば、β位にＯＨ基を有する（メタ）アクリルモノマーとイソホロンジイソシアネート、２，６−トルエンジイソシアネート、２，４−トルエンジイソシアネート、１，６−ヘキサメチレンジイソシアネート等のジイソシアネート化合物との付加反応物、トリス（（メタ）アクリロキシテトラエチレングリコールイソシアネート）ヘキサメチレンイソシアヌレート、ＥＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレート、及び、ＥＯ又はＰＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【００７０】
さらに、（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸メチルエステル、（メタ）アクリル酸エチルエステル、（メタ）アクリル酸ブチルエステル及び（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシルエステル等が挙げられる。これら（Ｅ）成分は、１種類を単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００７１】
（Ｆ）成分である光反応開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ’−テトラメチル−４，４’−ジアミノベンゾフェノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン−１、２−メチル−１−〔４−（メチルチオ）フェニル〕−２−モルホリノ−プロパノン−１等の芳香族ケトン；アルキルアントラキノン等のキノン類；ベンゾインアルキルエーテル等のベンゾインエーテル化合物；ベンゾイン、アルキルベンゾイン等のベンゾイン化合物；ベンジルジメチルケタール等のベンジル誘導体；２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体；９−フェニルアクリジン、１，７−ビス（９，９’−アクリジニル）ヘプタン等のアクリジン誘導体；Ｎ−フェニルグリシン、Ｎ−フェニルグリシン誘導体；クマリン系化合物等が挙げられる。これらの中でも、ベンジルジメチルケタールが特に好ましい。これらは１種類を単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００７２】
感光性樹脂組成物中の（Ｆ）成分の含有量は、経済性と光感度の観点から、（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量１００重量部に対し、１〜１０重量部であることが好ましく、５〜８重量部であることがより好ましい。（Ｆ）成分が１０重量部を超えるとコストが上昇する傾向があり、１重量部未満になると十分な光感度が得られなくなる傾向がある。
【００７３】
以上、本発明の感光性樹脂組成物に含まれる（Ａ）〜（Ｆ）成分について詳細に説明したが、必要に応じて、これら以外の成分、例えばビニル化合物、光開始剤、可塑剤、染料、顔料、イメージング剤、充填剤、密着性付与剤等を配合することができる。
【００７４】
次に、本発明の感光性エレメントについて説明する。
本発明の感光性エレメントは、支持体と、該支持体上に形成された本発明の感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層とを備えるものである。感光性樹脂組成物層上には、該感光性樹脂組成物層を被覆する保護フィルムを更に備えていてもよい。
【００７５】
感光性樹脂組成物層は、本発明の感光性樹脂組成物を上記溶剤又は混合溶剤に溶解し、固形分３０〜７０質量％程度の溶液とした後に、かかる溶液を支持体上に塗布して形成することが好ましい。感光性樹脂組成物層の厚みは用途により異なるが、加熱及び／又は熱風吹き付けにより溶剤を除去した乾燥後の厚みで、１０〜１００μｍであることが好ましく、２０〜６０μｍであることがより好ましい。この厚みが１０μｍ未満では工業的に塗工困難な傾向があり、１００μｍを超えると本発明により奏される上述の効果が小さくなりやすく、特に可撓性及び解像度が低下する傾向にある。
【００７６】
感光性エレメントが備える支持体としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエステル等の耐熱性及び耐溶剤性を有する重合体フィルムなどが挙げられる。
【００７７】
支持体の厚みは、５〜１００μｍであることが好ましく、１０〜３０μｍであることがより好ましい。この厚みが５μｍ未満では、現像前に支持体を剥離する際、当該支持体が破れやすくなる傾向があり、また、１００μｍを超えると解像度及び可撓性が低下する傾向がある。
【００７８】
上述したような支持体と感光性樹脂組成物層との２層からなる感光性エレメント又は支持体と感光性樹脂組成物層と保護フィルムとの３層からなる感光性エレメントは、例えば、そのまま貯蔵してもよく、又は保護フィルムを介在させた上で巻芯にロール状に巻き取って保管することもできる。
【００７９】
本発明の感光性エレメントを用いたレジストパターンの形成方法は、感光性エレメントから保護フィルムを除去する除去工程と、該感光性エレメントを感光性樹脂組成物層、支持体の順に基板上に積層する積層工程と、活性光線を感光性樹脂組成物層の所定の部分に照射して感光性樹脂組成物層に光硬化部を形成させる露光工程と、光硬化部以外の感光性樹脂組成物層を除去する現像工程とを含むものである。なお、保護フィルムが設けられていない感光性エレメントの場合は、上記除去工程は行わない。ここで、基板としては、絶縁層と、絶縁層上に形成された導電体層（銅、銅系合金、ニッケル、クロム、鉄、ステンレス等の鉄系合金、好ましくは銅、銅系合金、鉄系合金からなる）とを備えた基板や、シリコン基板、ガラス基板等が挙げられ、シリコン基板やガラス基板が好適である。
【００８０】
保護フィルムを除去する除去工程後の積層工程における積層工程としては、感光性樹脂組成物層を加熱しながら回路形成用基板等に圧着することにより積層する方法等が挙げられる。かかる積層の際の雰囲気は特に制限されないが、密着性及び追従性等の見地から減圧下で積層することが好ましい。積層される表面は、通常、回路形成用基板の導電体層の面であるが、当該導電体層以外の面であってもよい。
【００８１】
積層工程では、感光性樹脂組成物層を加熱しながら回路形成用基板に圧着することにより積層する。積層の際の雰囲気は特に制限されないが、密着性及び追従性等の見地から減圧下で積層することが好ましい。積層される表面は、通常、回路形成用基板の導電体層の面であるが、当該導電体層以外の面であってもよい。感光性樹脂組成物層の加熱温度は７０〜１３０℃とすることが好ましく、圧着圧力は０．１〜１．０ＭＰａ程度とすることが好ましく、周囲の気圧は４０００Ｐａ以下とすることが好ましい。なお、これらの条件に特に制限はない。感光性樹脂組成物層を回路形成基板に圧着する際に７０〜１３０℃に加熱すれば、予め回路形成用基板を予熱処理することは必要ではないが、積層性を更に向上させるために、基板の予熱処理を行うこともできる。
【００８２】
露光工程では、感光性樹脂組成物層にアートワークと呼ばれるネガ又はポジマスクパターンを通して活性光線を照射した後、現像液で現像することによってレジストパターンが得られる。この際、用いられる活性光線としては、カーボンアーク灯、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、キセノンランプ等の紫外線を有効に放射するものを用いることができる。
【００８３】
現像工程では、安全かつ安定で、操作性が良好な現像液が用いられる。例えば、２０〜５０℃の炭酸ナトリウムの希薄溶液や水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液（共に１〜５質量％水溶液）等が用いられる。半導体用途など軽元素を低減する必要がある場合は、水酸化テトラヒドロアンモニウム水溶液等を用いることができる。現像の方法には、ディップ方式、スプレー方式等があり、高圧スプレー方式が解像度向上に最も適している。
【００８４】
以上の工程によって、レジストパターンが形成された基板は、その後、部品実装（例えば、はんだ付け）がなされ、カメラ等の電子機器に装着される。
【００８５】
上述の形成方法により得られたレジストパターンは、基材上に形成される永久レジストとして使用されると好ましく、熱圧着により任意の基材との接着剤として用いられるとより好ましい。例えば、接着剤として用いる場合は、上記の現像工程、熱圧着工程終了後、接着性等を向上させる目的で加熱することが好ましい。熱圧着は、圧着温度１３０〜１８０℃、圧着圧力０．５〜１．５ＭＰａ、圧着時間５〜６０ｓ程度の範囲で行われることが好ましい。熱圧着後、レジストパターンを加熱する場合は、１５０〜１８０℃程度の範囲で、３０〜９０分間程度の範囲で行われることが好ましい。
【００８６】
任意の基材同士を接着する本発明の感光性樹脂組成物及び感光性エレメントは、十分に高い接着強度が得られるとともに、良好な現像性と十分に低い吸水率を兼ね備えるので、各種センサ用の中空パッケージ構造作製の用途に有効であり、例えば、ＣＣＤ／ＣＭＯＳイメージセンサの分野において、イメージセンサチップとそれを保護するガラスとの接着に好適に使用することができる。
【００８７】
また、上述の形成方法により得られたレジストパターンは、基材上に形成される永久レジストとして使用することもできる。
【実施例】
【００８８】
以下、実施例によって本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に制限するものではない。
【００８９】
（実施例１〜３及び比較例１〜４）
（Ａ）成分のベースポリマー（エポキシ変性ポリマー）を以下の方法により調製した。まず、攪拌機、還流冷却機、温度計及び窒素ガス導入管を備えたフラスコに、ビスフェノールＡ型液状エポキシ樹脂（商品名：ＥＰＯＭＩＫ  Ｒ１４０Ｑ；三井化学社製、エポキシ当量１８７ｇ／ｅｑ）６７．９重量部、シクロヘキサノン１５．０重量部及びトルエン１０．０重量部を仕込み、窒素ガスを吹き込みながら、１４０℃に加熱した状態で攪拌することにより、エポキシ樹脂に含まれる水分の還流脱水を行った。
【００９０】
引き続き、７０℃まで降温し、これにテトラヒドロフタル酸（新日本理化社製）３１．８重量部とジメチルパラトルイジン（三星化学社製）１．４重量部を添加した。添加後、直ちに８５℃まで昇温し、８５℃で１時間保温した。同様に、９０℃で１時間、１０５℃で１時間、１２０℃で２時間、１４０℃で１０時間と段階的に昇温、保温を繰り返した。そして、テトラヒドロ無水フタル酸（新日本理化社製）２５．５重量部、シクロヘキサノン６．７重量部を添加し、１２０℃で２．５時間保温させることにより、（Ａ）成分であるベースポリマー（エポキシ変性ポリマー）を得た。その後、該ベースポリマー（エポキシ変性ポリマー）をメチルエチルケトン５０．０重量部で希釈した。得られたベースポリマー（エポキシ変性ポリマー）の重量平均分子量は４９，０００であり、固形分は６４．０％であり、酸価は７８ｍｇＫＯＨ／ｇであった。これを２０重量部配合した。
【００９１】
（Ｂ）成分の光重合性不飽和基を有するアクリル系ポリマーとして、メタクリル酸／メタクリル酸ジシクロペンタニル（商品名：ＦＡ−５１３Ｍ；日立化成工業（株）製、）／メタクリル酸ベンジル／メタクリル酸２−ヒドロキシエチル／２，２’−アゾビス（イソブチロニトリル）共重合体（重量比１５／１８．６／２０／１．４／４５、重量平均分子量２万６千）を用い、これを３０重量部配合した。
【００９２】
上記成分（Ａ）及び（Ｂ）に、ジアリルフタレートプレポリマー（商品名：ダイソーダップＫ；ダイソー株式会社製）１０重量部、４，４−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（商品名：ＥＡＢ；保土ヶ谷化学社製）０．１重量部、ビスフェノールＡ型マレイミド（商品名：ＢＭＩ−４０００；大和化成社製）１５重量部、１，１−ジ−［ｔ−ヘキシルパーオキシ］シクロヘキサン（商品名：パーへキサＨＣ；日本油脂株式会社製）２．３重量部を配合した。
【００９３】
得られた溶液には、（Ｃ）成分の無機フィラーとして、無機シリカフィラー（平均粒径：０．５４μｍ、７０ｗｔ％メチルイソブチルケトン希釈；日立化成工業株式会社製）を５０重量部配合した。
【００９４】
次いで、（Ｄ）成分のシランカップリング剤として、メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン（商品名：ＳＺ−６０３０；東レ・ダウコーニング株式会社）、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン（商品名：ＳＩＬＱＵＥＳＴ  Ａ−１８７；ＧＥ東芝シリコーン株式会社）、トリエトキシシリルプロピル炭酸ジアミド（商品名：ＡＹ４３−０３１；東レ・ダウコーニング・シリコーン株式会社）を表１に示す分量を配合した。
【００９５】
次いで、（Ｅ）成分の光重合性モノマーとして、ウレタンアクリレート（商品名：ＴＭＣＨ−５Ｒ；日立化成工業株式会社製）１５重量部、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（商品名：ＤＰＨＡ；日本化薬株式会社）１５重量部、エトキシ化ビスフェノールＡ型ジメタクリレート（商品名：ＢＰＥ−２００；新中村化学工業株式会社製）１５重量部を配合した。
【００９６】
次いで、（Ｆ）成分である光反応開始剤として、２、２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン（商品名Ｉｒｇ−６５１、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社）８重量部を配合し、感光性樹脂組成物を得た。
【００９７】
次いで、この感光性樹脂組成物溶液を１６μｍ厚のポリエチレンテレフタレートフィルム上に均一に塗布し、１００℃の熱風対流式乾燥機で約１０分間乾燥して感光性フィルムを得た。感光性樹脂組成物層の乾燥後の膜厚は、５０μｍであった。
【００９８】
次いで、常圧ラミネータ（大成ラミネータ社製）で、シリコンウェハー上に上記感光性樹脂組成物層を８０℃／０．４ＭＰａ／１．０ｍ／ｍｉｎの条件でラミネートした。
【００９９】
次いで、このようにして得られた基板に、Ｈｉｔａｃｈｉ４１段ステップタブレットスケール（ＳＴ＝ｘ／４１）とＨｉｔａｃｈｉテストパターンＧ２ネガフィルム（解像度Ｌ／Ｓ＝３０〜２００／３０〜２００μｍ、密着性Ｌ／Ｓ＝３０〜２００／４００μｍ、抜け解像度Ｌ／Ｓ＝４００／３０〜２００μｍ）を使用し、５ｋｗ高圧水銀灯（オーク製作所社製、ＨＭＷ−２０１ＧＸ）で３００ｍ／ｃｍ２の露光を行った。
【０１００】
［感光特性の評価］
作製した基板から、ポリエチレンテレフタレートフィルムを除去し、２３℃で３．３％水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液を１１０秒間スプレーすることにより、未露光部分を完全に除去した。感度は、現像後のパターンが形成される最終残存段数を読み取ることによって評価した。解像度は、テストパターンからラインとラインの間が完全に現像されているライン幅の値で示した。密着性は、テストパターンからラインが膨張したり、欠けたりすることなく完全に残っているラインの幅の値で示した。抜け解像度は、テストパターンからラインとラインの間が完全に現像されているスペースの幅の値で示した。以上を感光特性評価とし、その評価結果を表１に示した。
【０１０１】
［吸水率の評価］吸水率測定は、ＪＩＳ  Ｋ７２０９に準拠して測定した。その結果は表１に示した。
【０１０２】
［接着力の評価］上記方法でシリコン上に長さ６．２ｍｍ×幅１００μｍの６本のラインを有する格子パターンを形成した後、１５０℃／０．５ＭＰａ／１０ｓの条件でソーダガラス基板と熱圧着した。次いで、１６０℃／１時間で熱硬化を行い、室温にてシェア強度測定を行い、接着強度を算出した。その結果は表１に示した。
【０１０３】
【表１】
2008112146.tif 000007
注）表１中の値は、各成分の固形分の配合比を示している。
また、表中記号「−」は、項目に記載のシランカップリング剤が未配合であることを示している。
【０１０４】
以上の結果より、グリシドキシアルキルトリアルコキシシラン、（メタ）アクロキシアルキルトリアルコキシシラン及びウレイドアルキルトリアルコキシシランからなる群から選択される少なくとも２種のシランカップリング剤を配合することにより、シリコン上における接着力及び低吸水率を保持しつつも、現像性と密着性の双方の特性が良好である感光性樹脂組成物及び感光性エレメントを提供できることが明らかとなった。