(57)【要約】      （修正有）【課題】多成分の有機溶剤含有ガスを吸着材を含むハニカム状吸着素子で吸着除去し、その際に濃縮された有機溶剤を冷却により凝縮回収して処理するシステムにおいて、特定の有機溶剤を効率よく回収し、回収できない有機溶剤も効率よく処理し、凝縮による回収される排水量を減らし、また排水中の有機溶剤濃度を高め、更に有機溶剤の品質の低下を抑制させる有機溶剤含有ガス処理システムを提供する。【解決手段】冷却操作により凝縮して液化回収できないガスをハニカム状吸着素子の入口に戻して循環させてハニカム状吸着素子の入口濃度を向上させることで除去率を低下させ、該ハニカム状吸着素子を通過した未回収の有機溶剤含有ガスを再びハニカム状吸着素子により吸着除去し、一方で加熱空気により吸着した有機溶剤を脱着し、脱着した有機溶剤含有ガスを溶剤回収装置または燃焼装置により処理する。【選択図】図４
2008100187.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機溶剤含有ガス中の有機溶剤をハニカム状吸着素子により吸着除去し、一方で加熱空気により吸着した有機溶剤を脱着し、脱着した有機溶剤含有ガスを冷却操作により凝縮させて液化回収するシステムにおいて、該システムで冷却操作により凝縮して液化回収できないガスをハニカム状吸着素子の入口に戻して循環させてハニカム状吸着素子の入口濃度を向上させることで除去率を低下させ、該ハニカム状吸着素子を通過した未回収の有機溶剤含有ガスを再びハニカム状吸着素子により吸着除去し、一方で加熱空気により吸着した有機溶剤を脱着し、脱着した有機溶剤含有ガスを溶剤回収装置または燃焼装置により処理する事を特徴とする有機溶剤含有ガス処理システム。
【請求項２】
冷却操作により凝縮して液化回収する際に使用される前段のハニカム状吸着素子に含まれる吸着材の細孔径が７Å以上の疎水性ゼオライト吸着材であり、該吸着材のハニカム状吸着素子に含まれる量が５０〜８５重量％である事を特徴とする請求項１記載の有機溶剤含有ガス処理システム。
【請求項３】
該疎水性ゼオライト吸着剤がＳｉ／Ａｌ比が７０以上のフォージャサイト型ゼオライトである事を特徴とする請求項１乃至２に記載の有機溶剤含有ガス処理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば空気中に含まれる多成分の低濃度の有機溶剤含有ガスを連続的に吸着と脱着を行い処理する濃縮装置を使用して、低濃度の有機溶剤含有ガスを高濃度で小風量の有機溶剤含有ガスに濃縮して、その濃縮された有機溶剤含有ガスをクーラー等の冷却凝縮器により液化させ回収を行うシステムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
有機溶剤含有ガスを濃縮して冷却操作により液化させ回収するシステムとしては、特許文献１や２に示すような低濃度を有機溶剤等の悪臭成分を活性炭吸着材を含有したハニカム状吸着素子にて吸着除去して、一方で吸着した有機溶剤等の悪臭成分を加熱空気により脱着して濃縮し、濃縮されて高濃度になった有機溶剤等の悪臭成分を凝縮器で冷却して凝縮して回収処理する溶剤処理システムが開示されている。
【０００３】
この処理システムは、有機溶剤含有ガスが冷却操作により液化して回収できる有機溶剤成分だけであれば、問題なく液回収できるが、有機溶剤含有ガスの中に蒸気圧の低い有機溶剤が含まれると冷却操作により液化して回収できない出来ない問題があった。
【０００４】
その際に冷却操作により液化回収されないために循環により濃縮した際に、これらの有機溶剤ガスの除去率が高すぎると、大幅に濃度が上昇して爆発下限濃度に近づくと言う問題もあった。
【０００５】
有機溶剤含有ガスの湿度が高い場合や、夏場等で外気の湿度が高くなると濃縮された有機溶剤等を含むガスの湿度が高くなり、回収される排水の量が多くなり、また排水中の溶剤濃度が低くなる問題もあった。
【０００６】
特に有機溶剤含有ガス中の湿度が高い場合に、水分吸着率の高い吸着材を含有したハニカム状吸着素子で処理した場合には、有機溶剤含有ガス中の水分を吸着し、それが加熱再生時に脱着され、濃縮された有機溶剤含有ガスの湿度が著しく高くなり、凝縮回収される排水の量が多くなり、また排水中の溶剤濃度が低くなる問題もあった。
【０００７】
有機溶剤含有ガスに含まれる有機溶剤の反応性が高い場合には、触媒活性の高い吸着材を使用して加熱脱着を行うと、溶剤の酸化等により回収される排水の品質が低下する問題もあった。
【０００８】
従って、多成分の有機溶剤含有ガス中の冷却操作により液化して回収できる有機溶剤のみを液化して回収して、冷却操作により液化して回収できない有機溶剤も効率的に処理する方法を考案し、その際に冷却操作により液化して回収できる有機溶剤の除去率が高く、冷却操作により液化して回収できない有機溶剤の除去率が低くなるハニカム状吸着素子を選定すると共に、脱着入口側の水分を減らし、水分吸着率と触媒活性の低い吸着材に着目し、濃縮され脱着された有機溶剤含有ガスの水分を減少させれば、多成分の有機溶剤ガス中から必要な有機溶剤の品質が良く排水量の少ない有機溶剤含有ガス処理システムが得られるようになる。
【０００９】
【特許文献１】特許第２９４６６０８号公報
【特許文献２】特開平５−１５７２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明はかかる事情に対して、多成分の有機溶剤含有ガスを吸着材を含むハニカム状吸着素子で吸着除去し、その際に濃縮された有機溶剤を冷却により凝縮回収して処理するシステムにおいて、特定の有機溶剤を効率よく回収し、回収できない有機溶剤も効率よく処理し、凝縮による回収される排水量を減らし、また排水中の有機溶剤濃度を高め、更に有機溶剤の品質の低下を抑制させる有機溶剤含有ガス処理システムを提供する事を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
すなわち、本発明は以下の通りである。
１．有機溶剤含有ガス中の有機溶剤をハニカム状吸着素子により吸着除去し、一方で加熱空気により吸着した有機溶剤を脱着し、脱着した有機溶剤含有ガスを冷却操作により凝縮させて液化回収するシステムにおいて、該システムで冷却操作により凝縮して液化回収できないガスをハニカム状吸着素子の入口に戻して循環させてハニカム状吸着素子の入口濃度を向上させることで除去率を低下させ、該ハニカム状吸着素子を通過した未回収の有機溶剤含有ガスを再びハニカム状吸着素子により吸着除去し、一方で加熱空気により吸着した有機溶剤を脱着し、脱着した有機溶剤含有ガスを溶剤回収装置または燃焼装置により処理する事を特徴とする有機溶剤含有ガス処理システム。
２．冷却操作により凝縮して液化回収する際に使用される前段のハニカム状吸着素子に含まれる吸着材の細孔径が７Å以上の疎水性ゼオライト吸着材であり、該吸着材のハニカム状吸着素子に含まれる量が５０〜８５重量％である事を特徴とする上記１記載の有機溶剤含有ガス処理システム。
３．該疎水性ゼオライト吸着剤がＳｉ／Ａｌ比が７０以上のフォージャサイト型ゼオライトである事を特徴とする請求項１乃至２に記載の有機溶剤含有ガス処理システム。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の有機溶剤含有ガス処理システムは、多成分の有機溶剤の中から特定の有機溶剤を効率よく回収し、回収できない有機溶剤も効率よく処理し、凝縮による回収される排水量を減らし、また排水中の有機溶剤濃度を高め、更に有機溶剤の品質の低下を抑制させる事ができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明を詳細する。
本発明者は、多成分の有機溶剤含有ガスから目的とする冷却操作で液化させ回収する有機溶剤を優先的に回収する方法と冷却操作で液化させ回収できない有機溶剤の処理方法を特にハニカム状吸着素子の吸着材の特性による該有機溶剤の除去率差に着目し鋭意検討した。また、濃縮ガスの水分の低減方法およびハニカム状吸着素子の触媒活性を低減に着目して鋭意検討を行った。
【００１４】
その結果、ハニカム状吸着素子の吸着材として細孔径の大きい吸着材を使用することで冷却操作で液化させ回収できる、つまり蒸気圧の低い、高沸点有機溶剤の除去率が高くなり、逆に冷却操作で液化させ回収できない蒸気圧の高い、低沸点有機溶剤の除去率を低下する事が可能である結果を得た。これにより冷却操作で液化させ回収できないガスをハニカム状吸着素子の入口に戻して循環させ濃度を上げる際に、爆発下限等の高い濃度まで上がらずに処理が出来るようになる。
【００１５】
また、冷却操作で液化させ回収できない低沸点有機溶剤を、後処理にハニカム状吸着素子を使った濃縮装置で濃縮し、濃縮ガスを溶剤回収装置や燃焼装置で処理する事で、経済的に処理する事が出来る。
【００１６】
また、有機溶剤含有ガス中の水分を吸着する事により濃縮された有機溶剤含有ガスへの水分が移行する現象に関しては、極めて水分吸着率の低い疎水性ゼオライトを５０〜８５重量％以上の含有率で含有したハニカム状吸着素子を使用すれば、濃縮された有機溶剤含有ガスへの水分の移行を著しく減少できる事を見出した。
【００１７】
また、極めて水分吸着率の低い疎水性ゼオライトには、細孔径７Å以上でＳｉ／Ａｌモル比が７０以上であるゼオライトが適している事を見出した。特に、高沸点溶剤ガスの吸着性・脱着性においても、ゼオライトの中でも該物性の様に細孔径が大きく、Ｓｉ／Ａｌ比の高いゼオライトが優れる結果を得た。更に、Ｓｉ／Ａｌ比が高くゼオライト中の金属カチオン含有数が少ないゼオライトは触媒活性が低くなり、反応性溶剤との酸化重合反応等が抑制できる結果を得た。
【００１８】
本発明の有機溶剤含有ガス処理システムは、多成分の有機溶剤含有ガス中の有機溶剤をハニカム状吸着素子の吸着ゾーンにより吸着除去し、脱着ゾーンに回転して移行した際に、加熱空気により脱着され、脱着された有機溶剤は冷却器にて液化して回収される。ここで回収されない有機溶剤はハニカム状吸着素子の入口で戻す機構を有する。また、ハニカム状吸着素子を通過した冷却操作にて回収されない有機溶剤は、別のハニカム状吸着素子の吸着ゾーンにより吸着除去し、脱着ゾーンに回転して移行した際に、加熱空気により脱着され、脱着された有機溶剤は例えば触媒燃焼装置等にて酸化燃焼分解処理される。
【００１９】
本発明の有機溶剤含有ガス処理システムに用いられるハニカム状吸着素子は、円柱状もしくは円筒状に形成されたハニカム構造体が好ましい。円柱状とは、心材にハニカムを巻き付けてローター状にした形状の事を指し（図１）、円筒状とは、平行にガスが通記するようにハニカムを複数積層し、処理ガスが中心から径方向に向かって通気するようにハニカム積層体を円周に配置する形状を指す（図２）。これら円筒状、円柱状に吸着ゾーン及び再生ゾーンを設け、中心軸を中心に回転させ、吸着と再生の処理を効率よく連続に行う事ができる。
【００２０】
本発明の有機溶剤含有ガス処理システムに用いられるハニカム状吸着素子に含有される吸着材は、細孔径が７Å以上の吸着材が、冷却操作で液化させ回収できる高沸点有機溶剤の吸・脱着特性が良好となり、除去率を高くできる点で好ましい。また、細孔径が７Å以上の吸着材が、冷却操作で液化させ回収できない低沸点有機溶剤の吸着性能が低下して除去率を低くできる点からも好ましい。
【００２１】
本発明の有機溶剤含有ガス処理システムに用いられるハニカム状吸着素子に含有される吸着材は、活性炭、ゼオライト等が有るが、水分吸着率が低いことから疎水性ゼオライトが好ましい。更に疎水性ゼオライトの中でも細孔径が７Å以上であり、Ｓｉ／Ａｌ比が７０以上のゼオライトがより好ましい。細孔径が７Å以下で小さすぎると高沸点溶剤の吸着性能が低下し、更にケルビンの毛管凝縮理論から裏付けされるように脱着効率が著しく低下するからである。またＳｉ／Ａｌ比が７０以下であれば水分吸着率が高くなるからである。
【００２２】
本発明の有機溶剤含有ガス処理システムに用いられるハニカム状吸着素子に含有される吸着材の量は、５０〜８５重量％の範囲が好ましく、吸着性能及び吸着材の脱落、吸着素子の強度を考慮すると７５〜８０重量％がより好ましい。その理由は、５０重量％未満では十分な吸着性能を得ることができず、８５重量％を越えると吸着の脱落が多くなり、また吸着素子の強度が著しく低下するためである。
【００２３】
本発明の有機溶剤含有ガス処理システムに用いられる有機溶剤を脱着する方法は、加熱する方法や径の圧力を下げる方法などあるが、脱着効率や経済性から加熱空気が望ましい。更に脱着温度は高沸点の有機溶剤でも脱着が可能な温度である１３０℃〜２００℃が好ましい。
【００２４】
本発明の有機溶剤含有ガス処理システムにて冷却操作で液化させ回収する有機溶剤は、特に限定されるものでは無いが、濃縮操作により数百から数千ｐｐｍでの蒸気圧が低く、０〜３０℃程度で凝縮可能なガスが好ましい。蒸気圧の高いガスであれば０℃以下の冷却手段が必要になり、冷却操作の為のユーティリティー費用が高くなり、経済的な凝縮回収ができないためである。更に反応性の高く、蒸気圧の低い高沸点溶剤であるモノエタノールアミン、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、ジメチススルホキシドの処理に適している。
【実施例】
【００２５】
本発明における有機溶剤含有ガス処理システムの諸特性の測定法は次の通りである。
（１）吸着シートに含まれる吸着材の含有重量比率Ｇの測定方法
Ｇ（重量％）＝（ａ／Ａ）×１００
ここでａは吸着材シートの吸着率（重量％）、Ａは吸着材単体の吸着率（重量％）
（２）ハニカム状吸着素子の水分吸着率の測定：（ＪＩＳ−Ｋ−１４７４に準ずる）
吸着試験用Ｕ字管に吸着素子を入れ温度３０℃±０．５℃に調節した水分蒸気吸着試験装置（図３）に相対湿度６０ＲＨ％の空気を流し６０分間吸着させ、吸着素子の重量増加を測定する。吸着率ｑは次式で求める。
ｑ（重量％）＝Ｐ／Ｓ×１００
ここでＰは吸着シートの増量（ｇ）、Ｓは吸着シートの質量（ｇ）
（３）処理性能（除去率）
除去率は次式にて求める。
η（％）＝（Ｉ−Ｏ）／Ｉ×１００
ここでＩは処理ガス入口濃度（ｐｐｍ）、Ｏは処理ガス出口濃度（ｐｐｍ）
Ｉの処理ガス入口濃度およびＯの処理ガス出口濃度の測定は、装置運転開始から１時間毎に、吸着と脱着操作が十分に繰り返され処理ガス出口濃度が一定の濃度を示し変化しなくなる、すなわち処理ガス出口濃度が安定するまで行う。（表１に示す処理性能は、処理ガス出口濃度が安定した際に測定された処理ガス入口濃度および処理ガス出口濃度測定値より計算する。）
【００２６】
以下の実施例および比較例に基づいて本発明の有機溶剤含有ガス処理システムについて詳細に説明する。
【００２７】
［実施例１］
吸着材として平均細孔径７．２ÅでＳｉ／Ａｌ比が７０のフォージャサイト型ゼオライトを７５重量％含有した波長２．６ｍｍ、波高１．５ｍｍのハニカム状吸着素子を製作した。次にこのハニカム状吸着素子の３０℃、６５ＲＨ％の水分吸着率を測定すると、水分吸着率が極めて低い疎水性ゼオライトを７５重量％含有していることで２．０重量％と低い結果であった。次に、このハニカム状吸着素子を有機溶剤含有ガス処理システム（図４）に適応して、ハニカム状吸着素子を吸着ゾーンと脱着ゾーンに分けて、吸着ゾーンに４１２ＮＣＭＭの風量でＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミド（以下ＤＭＦ）６５３ｐｍとメチルエチルケトン（以下ＭＥＫ）を４００ｐｐｍを通気して吸着除去する操作と、一方で、脱着ゾーンに、吸着ゾーンに通気する風量に対して、１／３の風量の１３０℃の加熱空気を通気し、ＤＭＦとＭＥＫを脱着する操作を連続的に行い、その際に濃縮された６５℃のＤＭＦとＭＥＫ含有ガスをクーラーにより２５℃まで冷却してＤＭＦだけを液化させ回収した。また、該ハニカム状吸着素子にて液化回収できない有機溶剤は、後段のハニカム状吸着素子を用いた濃縮装置に導入し、濃縮させた後に触媒燃焼装置で経済的に酸化分解処理をした。その際に液化回収されたＤＭＦ含有排水の回収液量と回収液のＤＭＦ濃度を測定した。また、循環により濃度が向上した濃縮ガス中のＭＥＫ濃度を測定すると共に、ハニカム状吸着素子のＤＭＦとＭＥＫの除去率を測定した。結果は、水分吸着率の低く、触媒活性の低い疎水性ゼオライトを使用している事で濃縮ガスへの水分移行が少なく、ＮＭＰと水の回収量は２０８８ｇ／ｍｉｎ（表−１）と低く、回収液のＮＭＰ濃度も４２重量％と高く、回収液の酸分もＰＨ７と良好な結果を得た。前段のハニカム状吸着素子のＤＭＦ除去率は９７％で、ＭＥＫの濃縮ガス濃度は６５００ｐｐｍであり、除去率は８５％であり、ＤＭＦに対してＭＥＫの除去率が低いことで、ＭＥＫの濃縮ガス濃度を押さえる事が出来た。
【００２８】
［比較例１］
吸着材として平均細孔径２０Åで比表面積が１５００ｇ／ｍ２の椰子殻活性炭を７５重量％含有した波長２．６ｍｍ、波高１．５ｍｍのハニカム状吸着素子を製作した。次にこのハニカム状吸着素子の３０℃、６５ＲＨ％の水分吸着率を測定すると、水分吸着率が高い活性炭を７５重量％含有していることで１０．０重量％と高い結果であった。次に、このハニカム状吸着素子を有機溶剤含有ガス処理システム（図４）に適応して、ハニカム状吸着素子を吸着ゾーンと脱着ゾーンに分けて、吸着ゾーンに４１２ＮＣＭＭの風量でＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミド（以下ＤＭＦ）６５３ｐｍとメチルエチルケトン（以下ＭＥＫ）を４００ｐｐｍを通気して吸着除去する操作と、一方で、脱着ゾーンに、吸着ゾーンに通気する風量に対して、１／３の風量の１３０℃の加熱空気を通気し、ＤＭＦとＭＥＫを脱着する操作を連続的に行い、その際に濃縮された６５℃のＤＭＦとＭＥＫ含有ガスをクーラーにより２５℃まで冷却してＤＭＦだけを液化させ回収した。また、該ハニカム状吸着素子にて液化回収できない有機溶剤は、後段のハニカム状吸着素子を用いた濃縮装置に導入し、濃縮させた後に触媒燃焼装置で経済的に酸化分解処理をした。その際に液化回収されたＤＭＦ含有排水の回収液量と回収液のＤＭＦ濃度を測定した。また、循環により濃度が向上した濃縮ガス中のＭＥＫ濃度を測定すると共に、ハニカム状吸着素子のＤＭＦとＭＥＫの除去率を測定した。結果は、水分吸着率の高い、触媒活性の高い活性炭を使用している事で濃縮ガスへの水分移行が少なく、ＮＭＰと水の回収量は３８２２ｇ／ｍｉｎ（表−１）と実施例に比べて多く、回収液のＮＭＰ濃度も２３重量％と実施例に比べて低く、回収液の酸分もＰＨ６と実施例に比べて低くなる結果を得た。但し、細孔径の大きい活性炭ハニカムを前段のハニカム状吸着素子に使用していることでのＤＭＦ除去率は９７％で、ＭＥＫの濃縮ガス濃度は６５００ｐｐｍであり、除去率は８５％であり、ＤＭＦに対してＭＥＫの除去率が低いことで、ＭＥＫの濃縮ガス濃度を押さえる事が出来た。
【００２９】
［比較例２］
吸着材として平均細孔径５．５ÅでＳｉ／Ａｌ比が１０００のＺＳＭ−５型ゼオライトを７５重量％含有した波長２．６ｍｍ、波高１．５ｍｍのハニカム状吸着素子を製作した。次にこのハニカム状吸着素子の３０℃、６０ＲＨ％の水分吸着率を測定すると、水分吸着率の低い疎水性ゼオライトを７５重量％含有していることで２．０ｗｔ％と高い結果であった。次に、このハニカム状吸着素子を有機溶剤含有ガス処理システム（図４）に適応して、ハニカム状吸着素子を吸着ゾーンと脱着ゾーンに分けて、吸着ゾーンに４１２ＮＣＭＭの風量でＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミド（以下ＤＭＦ）６５３ｐｍとメチルエチルケトン（以下ＭＥＫ）を４００ｐｐｍを通気して吸着除去する操作と、一方で、脱着ゾーンに、吸着ゾーンに通気する風量に対して、１／３の風量の１３０℃の加熱空気を通気し、ＤＭＦとＭＥＫを脱着する操作を連続的に行い、その際に濃縮された６５℃のＤＭＦとＭＥＫ含有ガスをクーラーにより２５℃まで冷却してＤＭＦだけを液化させ回収した。また、該ハニカム状吸着素子にて液化回収できない有機溶剤は、後段のハニカム状吸着素子を用いた濃縮装置に導入し、濃縮させた後に触媒燃焼装置で経済的に酸化分解処理をした。その際に液化回収されたＤＭＦ含有排水の回収液量と回収液のＤＭＦ濃度を測定した。また、循環により濃度が向上した濃縮ガス中のＭＥＫ濃度を測定すると共に、ハニカム状吸着素子のＤＭＦとＭＥＫの除去率を測定した。結果は、水分吸着率の低く、触媒活性の低い疎水性ゼオライトを使用している事で濃縮ガスへの水分移行が少なく、ＮＭＰと水の回収量は２０８８ｇ／ｍｉｎ（表−１）と低く、回収液のＮＭＰ濃度も４２重量％と高く、回収液の酸分もＰＨ７と良好な結果を得た。しかし、実施例に比べて細孔径の小さい低沸点有機溶剤の処理性能が優れる吸着材を前段のハニカム状吸着素子に使用しているため、ＤＭＦ除去率は９７％であるが、ＭＥＫの除去率も９５％と高くなってしまうため、濃縮ガス濃度は１８００００ｐｐｍと爆発下限濃度まで上昇してしまう為、安全面で不具合が生じる結果となった。
【００３０】
実施例および比較例の各種特性および測定結果を表１に示す。
【００３１】
【表１】
2008100187.tif 000003
【産業上の利用可能性】
【００３２】
以上、説明した様に本発明の有機溶剤含有ガス処理システムは、有機溶剤含有ガス中の有機溶剤をハニカム状吸着素子により吸着除去し、一方で加熱空気により吸着した有機溶剤を脱着し、脱着した有機溶剤含有ガスを冷却操作により凝縮させて液化回収するシステムにおいて、該システムで冷却操作により凝縮して液化回収できないガスをハニカム状吸着素子の入口に戻して循環させてハニカム状吸着素子の入口濃度を向上させることで除去率を低下させ、該ハニカム状吸着素子を通過した未回収の有機溶剤含有ガスを再びハニカム状吸着素子による吸着除去し、一方で加熱空気により吸着した有機溶剤を脱着し、脱着した有機溶剤含有ガスを溶剤回収装置または燃焼装置により処理することで、多成分の有機溶剤の中から特定の有機溶剤を効率よく回収し、回収できない有機溶剤も効率よく処理し、凝縮による回収される排水量を減らし、また排水中の有機溶剤濃度を高め、更に有機溶剤の品質の低下を抑制させる事ができる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の有機溶剤含有ガス処理システムのハニカム状吸着素子の形状であるハニカム−円柱状を示す。
【図２】本発明の有機溶剤含有ガス処理システムのハニカム状吸着素子の形状であるハニカム−円筒状を示す。
【図３】本発明の有機溶剤含有ガス処理システムにハニカム状吸着素子の水分吸着率を評価する装置を示す。
【図４】本発明の有機溶剤含有ガス処理システムの実施例のシステムを示す。
【符号の説明】
【００３４】
１：濃縮ガス
２：脱着用加熱ガス
３：原ガス
４：処理後ガス
５：円柱状ハニカム
６：回転方向
７：脱着ゾーン
８：吸着ゾーン
９：濃縮ガス
１０：脱着用加熱ガス
１１：原ガス
１２：処理後ガス
１３：円筒状ハニカム
１４：回転方向
１５：通流配管
１６：ハニカム搭載用金属箱
１７：乾燥ガス入口
１８：温度調節用蛇管
１９：共通すり合わせろ過板付きガス洗浄
２０：混合瓶
２１：吸着試験用Ｕ字管
２２：三方コック
２３：蒸気発生用ガス流量計
２４：希釈ガス用流量計
２５：排気口
２６：余剰ガス出口
２７：恒温槽
２８：水
２９：ガス流量調整コック
【図１】
2008100187.tif 000004
【図２】
2008100187.tif 000005
【図３】
2008100187.tif 000006
【図４】
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