(57)【要約】【課題】補償レンズを用いることなくＣｈ毎の透過帯域特性の傾斜を補償すること。【解決手段】入力ポートは、波長多重光を入力させる。分光素子は、入力ポートから入力された光を波長に応じた方向に角度分散させる。集光光学系は、分光素子によって角度分散した光を集光する。複数の可動ミラーは、分光素子により角度分散された方向に配置され、集光光学系からの光を可変な反射角度で角度分散方向とは異なる方向に反射して集光光学系を通じて分光素子に出力する。複数の出力ポートには、分光素子から出力された光が入力される。また、複数の可動ミラーのそれぞれの反射面は、分光素子による光の角度分散方向に対して所定の曲率を有する凹面である。【選択図】図１
2008242281.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
波長多重光を入力する入力ポートと、
前記入力ポートから入力された光を波長に応じた方向に角度分散させる分光素子と、
前記分光素子によって角度分散した光を集光する集光光学系と、
前記分光素子により角度分散された方向に配置され、前記集光光学系からの光を可変な反射角度で前記角度分散方向とは異なる方向に反射して前記集光光学系を通じて前記分光素子に出力する複数の可動ミラーと、
前記分光素子から出力された光が入力される複数の出力ポートと、
を備え、
前記複数の可動ミラーのそれぞれの反射面は、前記分光素子による前記光の角度分散方向に対して所定の曲率を有する凹面であることを特徴とする光波長選択スイッチ。
【請求項２】
前記複数の可動ミラーは、反射させる光を受光させる前記出力ポートを切り替える方向の反射角度を変化させる第１回転軸と、前記分散方向の反射角度を変化させる第２回転軸と、をそれぞれ有しており、
前記第１回転軸および前記第２回転軸を中心として前記可動ミラーを回転させることによって当該可動ミラーの反射角度を制御する制御手段をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の光波長選択スイッチ。
【請求項３】
前記複数の可動ミラーの前記分散方向の反射角度は、反射させる光が前記集光光学系を通過する位置に応じてそれぞれ異なることを特徴とする請求項１または２に記載の光波長選択スイッチ。
【請求項４】
前記複数の可動ミラーの反射面の前記分散方向に対する曲率は、反射させる光が前記集光光学系を通過する位置に応じてそれぞれ異なることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載の光波長選択スイッチ。
【請求項５】
前記複数の可動ミラーの前記出力ポートを切り替える方向の反射角度は、当該可動ミラーの反射面の曲率に応じてそれぞれ異なることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一つに記載の光波長選択スイッチ。
【請求項６】
前記複数の可動ミラーの前記出力ポートを切り替える方向の反射角度は、当該可動ミラーの前記分散方向の反射角度に応じてそれぞれ異なることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一つに記載の光波長選択スイッチ。
【請求項７】
前記出力ポートから出力される光の透過率を監視する監視手段をさらに備え、
前記制御手段は、前記監視手段によって監視された前記光の透過率の情報に基づいて、前記複数の可動ミラーの前記分散方向の反射角度をそれぞれ制御することを特徴とする請求項２〜６のいずれか一つに記載の光波長選択スイッチ。
【請求項８】
前記集光光学系は、通過させる光を集光する透過型の凸レンズであることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一つに記載の光波長選択スイッチ。
【請求項９】
前記集光光学系は、反射させる光を集光する反射型の凹ミラーであることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一つに記載の光波長選択スイッチ。
【請求項１０】
入力された波長多重光を分光素子によって波長毎に角度分散し、角度分散された光のそれぞれを反射角度が可変の複数の可動ミラーの前記反射角度を制御することで前記角度分散方向とは異なる方向に変化させ前記分光素子に返送し出力することにより、複数のポートによる光の入出力を制御し、前記複数の可動ミラーのそれぞれの反射面は、前記分光素子による前記光の分散方向に対して所定の曲率を有する凹面である光波長選択スイッチの調節方法であって、
前記複数の可動ミラーの反射面の曲率と、前記複数の可動ミラーの前記分散方向の反射角度と、をそれぞれ調節する第１調節工程と、
前記複数の可動ミラーの出力ポートを切り替える方向の反射角度を調節する第２調節工程と、
を含むことを特徴とする調節方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、光伝送システムにおいて光の入出力を行う光波長選択スイッチおよび光波長選択スイッチの調節方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、光伝送システムにおいて、波長多重（ＷＤＭ：Ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ  Ｄｉｖｉｓｉｏｎ  Ｍｕｌｔｉｐｌｅｘｉｎｇ）は、チャネル数を増大させることによる伝送容量の拡大が主な目的であった。近年では、波長の違いを利用したサービスメニューの拡大や柔軟な帯域利用により、伝送システムの付加価値向上や運用コスト低減などの効果が期待されている。
【０００３】
しかし、光信号を電気信号に変換した後電気的に操作し、再び電気信号を光信号に変換する従来の方法では、伝送容量の拡大や運用コスト低減に十分な効果が得られない。そのため、複数の光入出力ポートを有し、波長多重された光信号を光のまま選択的に操作することができるデバイスが求められている。このようなデバイスの一つとして光波長選択スイッチがある（たとえば、下記非特許文献１参照。）。光波長選択スイッチは入力された波長多重信号を波長毎に異なる出力に選択的に振り分けることができるデバイスである。
【０００４】
図１７は、従来の光波長選択スイッチの構成を示す図である。図１７に示すように、従来の光波長選択スイッチ１７００は、ポート群１７１０と、コリメートレンズ群１７２０と、拡大光学系１７３０と、分光素子１７４０と、集光レンズ１７５０と、可動ミラー群１７６０と、を備えている。
【０００５】
ポート群１７１０は、複数のポート１７１１〜１７１５を有している。ここでは、ポート群１７１０のポート１７１１は、外部から光が入力される入力ポートである。ポート１７１１は、入力された光を拡散光にしてコリメートレンズ群１７２０のコリメートレンズ１７２１へ出力する。ここで、ポート１７１１に入力される光は、波長の異なる複数のＣＨを含む波長多重光である。
【０００６】
コリメートレンズ群１７２０は、複数のコリメートレンズ１７２１〜１７２５を有している。ここでは、コリメートレンズ群１７２０のコリメートレンズ１７２１は、ポート１７１１から出力された光をコリメート光にして拡大光学系１７３０へ出力する。ここでは、ポート群１７１０およびコリメートレンズ群１７２０は、図のＺ軸方向に並べて配置されている。
【０００７】
拡大光学系１７３０は、コリメートレンズ１７２１から出力された光を拡大して分光素子１７４０へ出力する。ここでは、拡大光学系１７３０は、凹レンズ１７３１および凸レンズ１７３２によって構成されている。凹レンズ１７３１は、コリメートレンズ１７２１から出力された光を拡散光にして凸レンズ１７３２へ出力する。凸レンズ１７３２は、凹レンズ１７３１から出力された光をコリメート光にして分光素子１７４０へ出力する。
【０００８】
分光素子１７４０は、拡大光学系１７３０から出力された光を波長毎に異なる方向に角度分散（Ａｎｇｕｌａｒｌｙ  Ｄｉｓｐｅｒｓｅ）させながら集光レンズ１７５０へ出力する。ここでは、分光素子１７４０は、図のＸ軸方向に光を角度分散させながら図のＹ軸方向に光を出力する。分光素子１７４０は、ここでは透過型の回折格子によって構成されている。
【０００９】
集光レンズ（集光光学系）１７５０は、分光素子１７４０から出力された光を集束光にして可動ミラー群１７６０へ出力する。ここで、集光レンズ１７５０は、分光素子１７４０によって波長毎に角度分散して出力された光を、可動ミラー群１７６０のうちそれぞれの波長に対応した可動ミラーへ集光する。なお、集光レンズ１７５０を通過する光は、分光素子１７４０によって波長毎に角度分散しているため、波長毎に集光レンズ１７５０の異なる位置を通過することになる。
【００１０】
可動ミラー群１７６０は複数の可動ミラーを有している。ここでは、可動ミラー群１７６０は図のＸ軸方向に並べて配置されている。この結果、可動ミラー群１７６０は、波長多重光の波長のそれぞれに対応する。たとえば、可動ミラー１７６１は波長λ１に対応している。可動ミラー１７６２は波長λ２０に対応している。可動ミラー１７６３は波長λ４０に対応している。
【００１１】
可動ミラー群１７６０は、集光レンズ１７５０によって出力される光のうち対応する波長の光を集光レンズ１７５０へ向かって反射させる。また、可動ミラー群１７６０には、それぞれの可動ミラーが光を反射させる角度が変わるようにそれぞれの可動ミラーの傾斜させる駆動部（不図示）が設けられている。ここでは、駆動部は、図のＸ軸方向の軸（第１回転軸）を中心にそれぞれの可動ミラーを独立して回転させることで、それぞれの可動ミラーの反射角度を変化させる。
【００１２】
可動ミラー群１７６０によって反射した光は、集光レンズ１７５０、分光素子１７４０および拡大光学系１７３０を介してコリメートレンズ群１７２０へ集光される。ここでは、コリメートレンズ群１７２０のコリメートレンズ１７２２〜１７２５は、可動ミラー群１７６０の反射角度（可動ミラーの傾斜角）にそれぞれ対応している。
【００１３】
コリメートレンズ１７２２〜１７２５は、対応する反射角度で可動ミラー群１７６０によって反射した光を、集光レンズ１７５０、分光素子１７４０および拡大光学系１７３０を介して受光する位置に設けられている。ここでは、コリメートレンズ１７２２〜１７２５は、図のＺ軸方向に並べて配置されている。コリメートレンズ１７２２〜１７２５は、受光した光をポート群１７１０に集光する。
【００１４】
ここでは、ポート群１７１０のポート１７１２〜１７１５は、光を出力する出力ポートである。ポート１７１２〜１７１５は、コリメートレンズ１７２２〜１７２５にそれぞれ対応している。ポート１７１２〜１７１５は、対応するコリメートレンズ１７２２〜１７２５によって集光される光を受光して外部へ出力する。
【００１５】
以上の構成により、駆動部が、可動ミラー群１７６０の可動ミラーの反射角度を変える。これにより、光波長選択スイッチ１７００は、ポート１７１１から入力された光を出力するポートを、ポート１７１２〜１７１５から選択して切り替える。また、駆動部が、それぞれの可動ミラーの反射角度をその可動ミラーが対応する波長に応じて変える。これにより、光波長選択スイッチ１７００は、ポート１７１１から入力した光を出力するポートを、その光の波長に応じて選択する。
【００１６】
また、光波長選択スイッチ１７００は、可動ミラー群１７６０の可動ミラーの反射角度を、ポート１７１２〜１７１５へ光を結合させるための最適角度から微小変化させてポート群１７１０での光の結合率を下げる。これにより、光波長選択スイッチ１７００は、ポート１７１２〜１７１５から出力される光を減衰させる機能を有する。ここでは、光波長選択スイッチ１７００は、図のＸ軸方向の軸を中心に可動ミラー群１７６０を回転させることでポート１７１２〜１７１５から出力される光を任意の量だけ減衰させる。
【００１７】
【非特許文献１】Ｄａｎ  Ｍ．Ｍａｒｏｍ，Ｄａｖｉｄ  Ｔ．Ｎｅｉｌｓｏｎ，Ｒｏｌａｎｄ  Ｒｙｆ，ａｎｄ  Ｈｅｒｂｅｒｔ  Ｒ．Ｓｈｅａ「Ｅｆｆｅｃｔ  ｏｆ  Ｍｉｒｒｏｒ  ｃｕｒｖａｔｕｒｅ  ｉｎ  ＭＥＭＳ  ｍｉｃｒｏ−ｍｉｒｒｏｒ  ｂａｓｅｄ  ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ−ｓｅｌｅｃｔｉｖｅ  ｓｗｉｔｃｈｅｓ」
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
しかしながら、上述した光波長選択スイッチ１７００では、光は波長毎に集光レンズ１７５０の異なる位置を通過するため、集光レンズ１７５０の中心から離れた位置を通過する波長の光は集光レンズ１７５０の収差の影響を受けやすくなるという問題がある。特に、ＷＤＭ伝送において多くの波長（Ｃｈ：チャネル）を用いる場合、必要な集光レンズ１７５０の面積が大きくなり、集光レンズ１７５０の収差の影響が大きくなる。
【００１９】
図１８−１は、従来の光波長選択スイッチの透過帯域特性を示すグラフである。図１８−２は、従来の光波長選択スイッチの短波長側の透過帯域特性を示すグラフである。図１８−３は、従来の光波長選択スイッチの長波長側の透過帯域特性を示すグラフである。図１８−１〜図１８−３において、横軸は波長（Ｃｈ）を、縦軸は光波長選択スイッチ１７００の透過率［ｄＢ］を示している。
【００２０】
符号１８０１は、ＷＤＭ伝送で用いる波長の範囲を示している。特性１８０２は、ポート群１７１０での光の結合率を下げることによる減衰量を０ｄＢ（減衰なし）とした場合の光波長選択スイッチ１７００の透過帯域特性を示している。特性１８０３は、減衰量を２０ｄＢとした場合の光波長選択スイッチ１７００の透過帯域特性を示している。また、ここではＣｈ２０の光が集光レンズ１７５０の中心に最も近い位置を通過するものとする。
【００２１】
図１８−１〜図１８−３に示すように、光波長選択スイッチ１７００の透過率は、集光レンズ１７５０の中心に最も近い位置を通過するＣｈ２０で最も高くなる。一方、光波長選択スイッチ１７００の透過率は、Ｃｈ２０から離れたＣｈほど集光レンズ１７５０の収差の影響により低くなる。このため、Ｃｈ毎の透過帯域特性の傾斜が生じている。また、減衰量を０ｄＢとした場合と減衰量を２０ｄＢとした場合とを比較すると、減衰量を２０ｄＢとした場合は減衰量を０ｄＢとした場合よりもＣｈ毎の透過帯域特性の傾斜が大きくなる。
【００２２】
このようなＣｈ毎の透過帯域特性の傾斜が生じると、通信帯域が減少するという問題がある。特に、ポート群１７１０での光の結合率を下げることによって出力光を減衰させる場合は、Ｃｈ毎の透過帯域特性の傾斜が大きくなり、通信帯域が大きく減少するという問題がある。また、集光レンズ１７５０による収差を補正するために複数の補償レンズを用いることが考えられるが、部品点数が増えることによる長期信頼性のリスク拡大、部材コストの上昇などの問題がある。
【００２３】
この発明は、上述した問題点を解消するものであり、補償レンズを用いることなくＣｈ毎の透過帯域特性の傾斜を補償することができる光波長選択スイッチおよび光波長選択スイッチの調節方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２４】
この発明にかかる光波長選択スイッチは、波長多重光を入力する入力ポートと、前記入力ポートから入力された光を波長に応じた方向に角度分散させる分光素子と、前記分光素子によって角度分散した光を集光する集光光学系と、前記分光素子により角度分散された方向に配置され、前記集光光学系からの光を可変な反射角度で前記角度分散方向とは異なる方向に反射して前記集光光学系を通じて前記分光素子に出力する複数の可動ミラーと、前記分光素子から出力された光が入力される複数の出力ポートと、を備え、前記複数の可動ミラーのそれぞれの反射面は、前記分光素子による前記光の角度分散方向に対して所定の曲率を有する凹面であることを特徴とする。
【００２５】
上記構成によれば、複数の可動ミラーの、分光素子による光の角度分散方向の反射角度と、反射面の曲率をそれぞれ調節することで、波長毎の透過帯域特性の傾斜を補償することができる。
【００２６】
また、この発明にかかる調節方法は、入力された波長多重光を分光素子によって波長毎に角度分散し、角度分散された光のそれぞれを反射角度が可変の複数の可動ミラーの前記反射角度を制御することで前記角度分散方向とは異なる方向に変化させ前記分光素子に返送し出力することにより、複数のポートによる光の入出力を制御し、前記複数の可動ミラーのそれぞれの反射面は、前記分光素子による前記光の分散方向に対して所定の曲率を有する凹面である光波長選択スイッチの調節方法であって、前記複数の可動ミラーの反射面の曲率と、前記複数の可動ミラーの前記分散方向の反射角度と、をそれぞれ調節する第１調節工程と、前記複数の可動ミラーの出力ポートを切り替える方向の反射角度を調節する第２調節工程と、を含むことを特徴とする。
【００２７】
上記構成によれば、第１調節工程によって、波長毎の透過帯域特性の傾斜を補償し、第２調節工程によって、第１調節工程により低下した透過率を所望の透過率にすることができる。
【発明の効果】
【００２８】
以上説明したように、この発明によれば、補償レンズを用いることなくＣｈ毎の透過帯域特性の傾斜を補償することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下に添付図面を参照して、この発明にかかる光波長選択スイッチおよび光波長選択スイッチの調節方法の好適な実施の形態を詳細に説明する。
【００３０】
（実施の形態）
図１は、実施の形態にかかる光波長選択スイッチの可動ミラー群を示す図である。図１において、実施の形態にかかる光波長選択スイッチ１７００における可動ミラー群１１０以外の構成については、図１７に示した構成と同様のため図示を省略する。図１に示すように、実施の形態にかかる光波長選択スイッチ１７００は、上述したコリメートレンズ群１７２０に代えて可動ミラー群１１０を有する。
【００３１】
可動ミラー群１１０が有する複数の可動ミラーは、アレイ状に配置されており、図示しないケースに格納されることによって一体化されている。ケースには、可動ミラー群１１０が有する複数の可動ミラーを駆動する駆動部と、駆動部を制御する制御部と、が設けられている（不図示）。可動ミラー群１１０は図のＸ軸方向に並べて配置されている。この結果、可動ミラー群１１０は、波長多重光の波長のそれぞれに対応する。
【００３２】
可動ミラー群１１０のうち、たとえば可動ミラー１１１は波長λ１（Ｃｈ１）に対応している。可動ミラー１１２は波長λ２０（Ｃｈ２０）に対応している。可動ミラー１１３は波長λ３０（Ｃｈ３０）に対応している。可動ミラー１１４は波長λ４０（Ｃｈ４０）に対応している。可動ミラー群１１０が有する複数の可動ミラーの反射面は、集光レンズ１７５０による光の角度分散方向（図のＸ軸方向）に対して所定の曲率を有する凹面となっている。
【００３３】
可動ミラー群１１０が有する複数の可動ミラーは、反射させる光を受光させる出力ポートを切り替える方向の反射角度を変化させる第１回転軸と、上述した角度分散方向（Ｘ軸方向）の反射角度を変化させる第２回転軸と、の２軸を有する。制御部は、駆動部を制御して、この２軸を中心としてそれぞれの可動ミラーを回転させる。ここでは、第１回転軸は図のＸ軸方向の軸であり、第２回転軸は図のＺ軸方向の軸である。
【００３４】
それぞれの可動ミラーのＸ軸方向の反射角度は、それぞれが対応する波長の光が集光レンズ１７５０を通過する位置に応じてそれぞれ異なる。たとえば、それぞれの可動ミラーのＸ軸方向の反射角度は、それぞれが対応する波長の光が集光レンズ１７５０の中心から遠い位置を通過する程大きく設定される。
【００３５】
図２−１は、実施の形態にかかる光波長選択スイッチの原理を説明する図（その１）である。図２−２は、図２−１に示した光波長選択スイッチにおける透過帯域特性を示すグラフである。図２−１および図２−２において、ＷＤＭ伝送で用いるＣｈのうち一つのＣｈ（ここではＣｈ２０とする）だけを図示して説明する（図３−１〜図４−２，図９−１〜図１１−２でも同様）。
【００３６】
また、図２−１に示す集光レンズ１７５０は、ここでは収差のない理想レンズであり、光が出力されるポートは１７１５であると仮定して説明する（図３−１，図４−１，図９−１，図１０−１，図１１−１，図１２−１，図１３−１でも同様）。また、符号２０６は、Ｃｈ２０に含まれる波長の範囲を示している（図３−２，図４−２でも同様）。
【００３７】
図２−２において、特性２０４は、可動ミラー１１２の反射面が曲率を有し、可動ミラー１１２をＺ軸方向の軸を中心に回転させた場合に光に与える補償量の透過帯域特性を示す。また、特性２０５は、可動ミラー１１２の反射面が平面であり、可動ミラー１１２をＺ軸方向の軸を中心に回転させない場合の透過帯域特性を示す。
【００３８】
図２−１は、可動ミラー１１２の反射面の曲率がなく、Ｚ軸方向の軸を中心に可動ミラー１１２を回転させた場合の光波長選択スイッチ１７００の構成の概略を示している。この場合、Ｃｈ２０における短波長の光２０１、中心波長の光２０２および長波長の光２０３は、可動ミラー１１２によって互いに平行に反射した後、集光レンズ１７５０によって分光素子１７４０上の一点に集光される。
【００３９】
これにより、Ｃｈ２０における短波長の光２０１、中心波長の光２０２および長波長の光２０３は、コリメートレンズ１７２５によってポート１７１５にそれぞれ同じ角度で入射する。この場合、図２−２に示すように、可動ミラー１１２をＺ軸方向の軸を中心に回転させた場合の透過帯域特性２０４は、可動ミラー１１２をＺ軸方向の軸を中心に回転させない場合の透過帯域特性２０５と比較して、Ｃｈ２０に含まれるすべての波長における透過率が一様に低下する。
【００４０】
図３−１は、実施の形態にかかる光波長選択スイッチの原理を説明する図（その２）である。図３−２は、図３−１に示した光波長選択スイッチにおける透過帯域特性を示すグラフである。図３−１は、可動ミラー１１２の反射面が曲率を有し、Ｚ軸方向の軸を中心に可動ミラー１１２を回転させた場合の光波長選択スイッチ１７００の構成の概略を示している。
【００４１】
この場合、Ｃｈ２０における短波長の光２０１、中心波長の光２０２および長波長の光２０３は、それぞれ異なる角度によって可動ミラー１１２で反射する。短波長の光２０１は、可動ミラー１１２によって反射した後、集光レンズ１７５０によって分光素子１７４０の中心から離れた位置に集光される。
【００４２】
一方、長波長の光２０３は、可動ミラー１１２によって反射した後、集光レンズ１７５０によって分光素子１７４０上の中心に近い位置に集光される。これにより、短波長の光２０１は、コリメートレンズ１７２５によってポート１７１５に大きな角度で入射する。一方長波長の光２０３は、コリメートレンズ１７２５によってポート１７１５に小さな角度で入射する。
【００４３】
この場合、図３−２に示すように、可動ミラー１１２をＺ軸方向の軸を中心に回転させた場合の透過帯域特性２０４は、可動ミラー１１２をＺ軸方向の軸を中心に回転させない場合の透過帯域特性２０５と比較して、短波長の光２０１の透過率が大きく低下する。一方、長波長の光２０３の透過率が短波長の光２０１の透過率に比べて小さく低下する。結果として、Ｃｈ２０の光に対して、短波長から長波長になるほど透過率が増加する透過帯域特性２０４の補償量を与えることができる。
【００４４】
図４−１は、実施の形態にかかる光波長選択スイッチの原理を説明する図（その３）である。図４−２は、図４−１に示した光波長選択スイッチにおける透過帯域特性を示すグラフである。図４−１は、可動ミラー１１２の反射面が曲率を有し、Ｚ軸方向の軸を中心に、可動ミラー１１２を図３−１の場合とは反対方向に回転させた場合の光波長選択スイッチ１７００の構成の概略を示している。
【００４５】
この場合、Ｃｈ２０における短波長の光２０１、中心波長の光２０２および長波長の光２０３は、それぞれ異なる角度によって可動ミラー１１２で反射する。短波長の光２０１は、可動ミラー１１２によって反射した後、集光レンズ１７５０によって分光素子１７４０の中心から近い位置に集光される。
【００４６】
一方、長波長の光２０３は、可動ミラー１１２によって反射した後、集光レンズ１７５０によって分光素子１７４０上の中心から遠い位置に集光される。これにより、短波長の光２０１は、コリメートレンズ１７２５によってポート１７１５に小さな角度で入射する。一方長波長の光２０３は、コリメートレンズ１７２５によってポート１７１５に大きな角度で入射する。
【００４７】
この場合、図４−２に示すように、可動ミラー１１２をＺ軸方向の軸を中心に回転させた場合の透過帯域特性２０４は、可動ミラー１１２をＺ軸方向の軸を中心に回転させない場合の透過帯域特性２０５と比較して、長波長の光２０３の透過率が大きく低下する。一方、短波長の光２０１の透過率が長波長の光２０３の透過率に比べて小さく低下する。結果として、Ｃｈ２０の光に対して、短波長から長波長になるほど透過率が低下する透過帯域特性２０４の補償量を与えることができる。
【００４８】
図２−１〜図４−２で示したように、実施の形態にかかる光波長選択スイッチ１７００は、可動ミラー１１２の反射面が曲率を有する凹面であり、可動ミラー１１２をＺ軸方向の軸を中心に回転させる方向を変えることによって、波長に応じた透過帯域特性の補償量をそれぞれのＣｈの光に与えることができる。
【００４９】
これにより、実施の形態にかかる光波長選択スイッチ１７００は、集光レンズ１７５０の影響によるＣｈ毎の透過帯域特性の傾斜を補償する。ここで、光波長選択スイッチ１７００を通過する光のＸ軸方向とＺ軸方向とのビーム径が等しい場合には、出力ポート群１７１０における結合効率ηは下記（１）のように示すことができる。
【００５０】
【数１】
2008242281.tif 000003
【００５１】
ここで、λ0は、可動ミラー群１１０のそれぞれの可動ミラーが対応する波長の中心波長を示す。Δλは、それぞれの可動ミラーが対応する波長の中心波長からのずれを示す。ω0は、それぞれの可動ミラーを反射する際の光のビームスポットサイズを示す。θは、それぞれの可動ミラーのＸ軸方向の軸を中心とした回転角を示す。Ｒは、それぞれの可動ミラーの曲率半径を示す。αは、光波長選択スイッチ１７００を構成する光学系に依存する定数を示す。
【００５２】
図５は、可動ミラーを回転させる角度毎の透過帯域特性を示すグラフである。ここでは、含まれる波長の範囲が１５５５．５５ｎｍ〜１５５５．９０ｎｍ程度であるＣｈにおける透過帯域特性を示している。また、特性５０１〜５１１は、可動ミラーをＺ軸方向の軸を中心に回転させる角度が０ｄｅｇ，０．０２４ｄｅｇ，０．０４８ｄｅｇ，０．０７２ｄｅｇ，０．０９６ｄｅｇ，０．１２ｄｅｇ，０．１４４ｄｅｇ，０．１６８ｄｅｇ，０．１９２ｄｅｇ，０．２１６ｄｅｇおよび０．２４ｄｅｇである場合の透過帯域特性をそれぞれ示している。
【００５３】
図５に示すように、光波長選択スイッチ１７００によって集光レンズ１７５０の影響によるＣｈ毎の透過帯域特性の傾斜が補償されると、Ｃｈ２０に含まれる波長における透過率はほぼ一定の値となる。また、可動ミラーを回転させる角度を大きくするほど、Ｃｈの透過率が全体的に低下する。
【００５４】
図６は、実施の形態にかかる光波長選択スイッチの調節手順１を示す図である。ここでは、図１８−１に示したＣｈ１の補償量を設定する手順を説明する。図６において、特性６０１は、可動ミラー１１１の反射面が平面であり、可動ミラー１１１をＺ軸方向の軸を中心に回転させない場合の透過帯域特性を示す。特性６０２は、可動ミラー１１１の反射面が曲率を有し、可動ミラー１１１をＺ軸方向の軸を中心に回転させた場合に光に与える補償量の透過帯域特性を示す。
【００５５】
図６に示すように、図１８−１に示したＣｈ１における透過帯域特性６０１は、波長が長くなるほど透過率が高くなる透過帯域特性となっている。これに対して、図４−１に示したように可動ミラー１１１をＺ軸方向の軸を中心に回転させると、図４−２に示したように波長が長くなるほど透過率が高くなる透過帯域特性の補償量をＣｈ１の光に与えることができる。この結果、Ｃｈ１の透過帯域特性は特性６０３のように透過率が一定となり、透過帯域特性の傾斜を補償することができる。
【００５６】
なお、たとえば図１８−１に示したＣｈ４０の補償量を設定する場合、Ｃｈ４０は、波長が長くなるほど透過率が低くなる透過帯域特性となっているため、図３−１に示したように可動ミラー１１４を回転させると、図３−２に示したように波長が長くなるほど透過率が低くなる透過帯域特性の補償量をＣｈ１の光に与えることができる。この結果、Ｃｈ１の透過帯域特性は特性６０３のように透過率が一定となり、透過帯域特性の傾斜を補償することができる。
【００５７】
図７は、実施の形態にかかる光波長選択スイッチの調節手順２を示す図（その１）である。図８は、実施の形態にかかる光波長選択スイッチの調節手順２を示す図（その２）である。光波長選択スイッチ１７００が、可動ミラー１１１の反射角度を、ポート１７１５へ光を結合させるための最適角度から微小変化させてポート１７１５での光の結合率を下げることでポート１７１５から出力される光を減衰させている場合、図６に示したようにＣｈ１の透過率を一定にした後、この減衰量を変えることによってＣｈの全体の透過率を調節する。
【００５８】
具体的には、図７に示すように、可動ミラー１１１をＸ軸方向の軸を中心に回転させることで可動ミラー１１１の反射角度を微小変化させてポート１７１５での光の結合率を上げる。これにより、図８に示すように、図６で示した調節手順１によって全体的に透過率が下がった透過帯域特性６０３を、透過帯域特性８０１のように全体的に透過率を上げることができる。
【００５９】
なお、調節手順１によって低下する透過率は、ミラー１１１のＸ軸方向に対する曲率、ミラー１１１のＸ軸方向の反射角度またはこれらの組み合わせに応じて変化する。このため、透過率を上げるための可動ミラー１１１の回転量（反射角度）は、ミラー１１１のＸ軸方向に対する曲率、ミラー１１１のＸ軸方向の反射角度またはこれらの組み合わせに応じて異なる。
【００６０】
このように、実施の形態にかかる光波長選択スイッチ１７００によれば、図６で示した調節手順１によって、集光レンズ１７５０の収差の影響による透過帯域特性の傾斜と相殺するような透過帯域特性の補償量をＣｈ毎に与えることで、各Ｃｈにおける透過帯域特性の傾斜を補償する。これにより、補償レンズを用いることなくＣｈ毎の透過帯域特性の傾斜を補償することができる。
【００６１】
さらに、図７および図８で示した調節手順２によって、調節手順１によって低下した各Ｃｈにおける透過率を所望の透過率に調節することができる。これにより、所望の透過率を維持しつつＣｈ毎の透過帯域特性の傾斜を補償することができる。
【実施例】
【００６２】
図９−１は、実施の形態にかかる光波長選択スイッチの可動ミラーの曲率設定を説明する図（曲率なし）である。図９−２は、図９−１に示した光波長選択スイッチにおける透過帯域特性を示すグラフである。図９−１は、可動ミラー１１２の反射面が平面であり、Ｚ軸方向の軸を中心に可動ミラー１１１を回転させていない場合の光波長選択スイッチ１７００の構成の概略を示している。図９−２において、符号９０１は、Ｃｈ２０において透過率が０．５ｄＢ以上となる波長の範囲を示している（図１０−２，図１１−２でも同様）。
【００６３】
この場合、Ｃｈ２０における短波長の光２０１、中心波長の光２０２および長波長の光２０３は、可動ミラー１１２によって互いに平行に反射した後、集光レンズ１７５０によって分光素子１７４０上の一点に集光される。これにより、Ｃｈ２０における短波長の光２０１、中心波長の光２０２および長波長の光２０３は、コリメートレンズ１７２５によってポート１７１５に最適の結合状態となる角度で入射する。
【００６４】
この場合、Ｃｈ２０に含まれるすべての波長の光のポート１７１５における結合損失がないため、図９−２に示すように、Ｃｈ２０における透過特性９０２は、Ｃｈ２０に含まれるすべての波長における透過率が一定になる。
【００６５】
図１０−１は、実施の形態にかかる光波長選択スイッチの可動ミラーの曲率設定を説明する図（曲率半径大）である。図１０−２は、図１０−１に示した光波長選択スイッチにおける透過帯域特性を示すグラフである。図１０−１は、可動ミラー１１２の反射面の曲率半径を大にし、Ｚ軸方向の軸を中心に可動ミラー１１２を回転させていない場合の光波長選択スイッチ１７００の構成の概略を示している。
【００６６】
この場合、図１０−１に示すように、Ｃｈ２０における短波長の光２０１、中心波長の光２０２および長波長の光２０３は、可動ミラー１１２においてそれぞれ異なる角度で反射した後、集光レンズ１７５０によって分光素子１７４０上の異なる位置に集光される。これにより、Ｃｈ２０における短波長の光２０１、中心波長の光２０２および長波長の光２０３は、コリメートレンズ１７２５によってポート１７１５にそれぞれ異なる角度で入射する。
【００６７】
これにより、Ｃｈ２０に含まれる波長のうち短波長の光２０１と長波長の光２０３の結合損失が発生するため、図１０−２に示すように、透過率が０．５ｄＢ以上となる波長の範囲９０１が図９−２に示した場合と比べて狭くなる。
【００６８】
図１１−１は、実施の形態にかかる光波長選択スイッチの可動ミラーの曲率設定を説明する図（曲率半径小）である。図１１−２は、図１１−１に示した光波長選択スイッチにおける透過帯域特性を示すグラフである。図１１−１は、可動ミラー１１２の反射面の曲率半径を小にし、Ｚ軸方向の軸を中心に可動ミラー１１２を回転させていない場合の光波長選択スイッチ１７００の構成の概略を示している。
【００６９】
この場合、図１１−１に示すように、Ｃｈ２０における短波長の光２０１、中心波長の光２０２および長波長の光２０３は、可動ミラー１１２においてそれぞれ大きく異なる角度で反射した後、集光レンズ１７５０によって分光素子１７４０上の異なる位置に集光される。これにより、Ｃｈ２０における短波長の光２０１、中心波長の光２０２および長波長の光２０３は、コリメートレンズ１７２５によってポート１７１５にそれぞれ大きく異なる角度で入射する。
【００７０】
これにより、Ｃｈ２０に含まれる波長のうち短波長の光２０１と長波長の光２０３の結合損失が多く発生するため、図１１−２に示すように、透過率が０．５ｄＢ以上となる波長の範囲９０１が図９−２に示した場合と比べてさらに狭くなる。
【００７１】
このように、可動ミラー群１１０における可動ミラーの反射面の曲率半径を小にすると透過帯域特性の傾斜を補償することができる一方、可動ミラーの曲面によって透過帯域特性の傾斜を発生させることになるというトレードオフの関係が生ずる。このため、光波長選択スイッチ１７００が使用する全減衰量での最小帯域（範囲９０１）が最も広くなるように可動ミラー群１１０のそれぞれの可動ミラーの反射面の曲率半径を設定する。
【００７２】
ここで、可動ミラーの反射面は、たとえば、反射面材料と基板材料との線膨張係数差を利用して曲率を得ることができる。この場合、反射面材料の蒸着温度を調節したり蒸着膜厚を調節したりすることによって、使用温度における所望の曲率を得ることができる。
【００７３】
図１２−１は、実施の形態にかかる光波長選択スイッチの可動ミラーのＣｈ毎の曲率設定を説明する図（Ｃｈ３０，曲率半径大）である。図１２−２は、図１２−１に示した光波長選択スイッチにおける透過帯域特性を示すグラフである。図１２−１において、ＷＤＭ伝送で用いるＣｈのうちＣｈ３０だけを図示して説明する。図１２−２において、符号１２０１は、Ｃｈ３０に含まれる波長の範囲を示している。
【００７４】
可動ミラー群１１０をＺ軸方向の軸を中心として回転させる場合の回転量に制限がある場合、それぞれの可動ミラーの反射面のＸ軸方向に対する曲率は、それぞれが対応する波長の光が集光レンズ１７５０を通過する位置に応じてそれぞれ異なっているとよい。たとえば、それぞれの可動ミラーの反射面のＸ軸方向に対する曲率を、それぞれが対応する波長の光が集光レンズ１７５０の中心から遠い位置を通過する程小さく設定する。
【００７５】
図１２−２に示すように、Ｃｈ３０における透過帯域特性１２０２の傾斜は比較的小さいため、図１２−１に示すように、Ｃｈ３０の波長に対応する可動ミラー１１３の反射面の曲率半径を大きくする。これにより、比較的小さい傾斜の透過帯域特性１２０３の補償量をＣｈ３０の光に与えることができ、Ｃｈ３０における透過帯域特性の傾斜を補償することができる。たとえば、可動ミラーの反射面材の蒸着量に分布を与えることで、可動ミラー群１１０におけるそれぞれの可動ミラーの反射面へ曲率に分布を与えることができる。
【００７６】
図１３−１は、実施の形態にかかる光波長選択スイッチの可動ミラーのＣｈ毎の曲率設定を説明する図（Ｃｈ４０，曲率半径小）である。図１３−２は、図１３−１に示した光波長選択スイッチにおける透過帯域特性を示すグラフである。図１３−１において、ＷＤＭ伝送で用いるＣｈのうちＣｈ４０だけを図示して説明する。図１３−２において、符号１３０１は、Ｃｈ４０に含まれる波長の範囲を示している。
【００７７】
図１３−２に示すように、Ｃｈ４０における透過帯域特性１３０２の傾斜は比較的大きいため、図１３−１に示すように、Ｃｈ４０の波長に対応する可動ミラー１１４の反射面の曲率半径を小さくする。これにより、比較的大きい傾斜の透過帯域特性１３０３の補償量をＣｈ４０の光に与えることができ、Ｃｈ４０における透過帯域特性の傾斜を補償することができる。
【００７８】
図１４は、可動ミラーのＺ軸に対する曲率のばらつきによる透過帯域特性への影響を示す図（その１）である。図１４は、可動ミラー群１１０の一つの可動ミラーとして、可動ミラー１１１を示している。また、距離１４０１は、可動ミラー１１１の曲率半径を示す。位置１４０２は、可動ミラー１１１のＡＡ’間で反射した光の集光点を示す。位置１４０３は、可動ミラー１１１のＢＢ’間で反射した光の集光点を示す。可動ミラー１１１のＡＡ’間とＢＢ’間とにおける軸Ｚに対する曲率が異なる場合、図１４に示すように、集光点１４０２および集光点１４０３とにずれが生じる。
【００７９】
図１５は、可動ミラーのＺ軸に対する曲率のばらつきによる透過帯域特性への影響を示す図（その２）である。図１５において、横軸は、可動ミラー１１１の軸Ｘ方向の軸を中心とした回転量を示す。縦軸は、実施の形態にかかる光波長選択スイッチ１７００の透過率を示す。特性１５０１は、可動ミラー１１１のＡＡ’間で反射した光の透過率特性を示す。特性１５０２は、可動ミラー１１１のＢＢ’間で反射した光の透過率特性を示す。
【００８０】
符号１５０３は、可動ミラー１１１のＢＢ’間で反射した光の透過率が０．５ｄＢ以上となる可動ミラー１１１の回転量の範囲を示す。図１４に示したように集光点１４０２と集光点１４０３とにずれが生じた場合、可動ミラー１１１のＡＡ’間で反射した光と、可動ミラー１１１のＢＢ’間で反射した光と、で所望の透過率を得るための可動ミラー１１１の回転量の範囲が異なる。
【００８１】
特に、可動ミラー１１１のＸ軸方向の軸を中心とした回転量を抑えつつ多くの出力ポートの切替を行うために、可動ミラー１１１の反射面にＺ軸方向に対する大きな曲率を与える場合は、上述した集光点１４０２および集光点１４０３とのずれが大きくなる。このため、可動ミラー１１１のＡＡ’間とＢＢ’間とにおける軸Ｚに対する曲率がばらつかないように可動ミラー１１１を形成する必要がある。
【００８２】
また、集光点１４０２および集光点１４０３とのずれを回避するために、可動ミラー１１１の反射面のＺ軸方向に対する曲率を小さくしてもよい。具体的には、可動ミラー１１１の反射面の裏面にリブなどの強度に異方性をもたせるような構造を設けたり、異方性材料をＺ軸方向に合わせて反射面に接着、蒸着したりしてもよい。たとえば、可動ミラー１１１にＺ軸方向のリブを設けることによって、可動ミラー１１１のＺ軸方向に対する曲率が、Ｘ軸方向に対する曲率よりも小さくなるようにする。
【００８３】
図１６は、実施の形態にかかる光波長選択スイッチによる透過帯域特性の補償結果を示すグラフである。図１６において、特性１６０１は、実施の形態にかかる光波長選択スイッチ１７００による減衰量が２０ｄＢであり、光波長選択スイッチ１７００による透過帯域特性の補償を行う前の透過帯域特性を示す。特性１６０２は、光波長選択スイッチ１７００による減衰量が２０ｄＢであり、光波長選択スイッチ１７００による透過帯域特性の補償を行った後の透過帯域特性を示す。
【００８４】
ここでは、可動ミラー群１１０をＺ軸方向の軸を中心に０．２ｄｅｇ回転させた。また、分光素子１７４０には、１０００本／ｍｍの回折格子を用い、焦点レンズには焦点距離１００ｍｍのレンズを用いた。図１６に示すように、補正前には１．３３ｄＢ／ｎｍだった透過帯域特性の傾斜を、補正後には０．３３ｄＢ／ｎｍにまで低減することができた。
【００８５】
なお、上述した実施の形態においては、集光光学系が、透過させる光を集光する透過型凸レンズである集光レンズ１７５０によって構成されている光波長選択スイッチ１７００について説明したが、本発明は、集光光学系が、反射させる光を集光する凹面レンズによって構成されている場合にも適用できる。
【００８６】
また、上述した実施の形態においては、可動ミラー群１１０の反射面の曲率およびＸ軸方向の反射角度を、対応する波長の光が集光レンズ１７５０を通過する位置に応じてそれぞれ異なるように設定すると説明したが、実際の設計の際には様々な要因により透過帯域特性が変化する。このため、透過帯域特性を監視しながら可動ミラー群１１０の反射面の曲率およびＸ軸方向の反射角度を調節して透過帯域特性の傾斜を補償するとよい。
【００８７】
また、上述した実施の形態においては、ポート１７１１を入力ポートとして使用し、ポート１７１２〜１７１５を出力ポートとして使用した場合について説明したが、ポート群１７１０のそれぞれのポート１７１１〜１７１５は入力および出力のどちらに用いてもよい。たとえば、ポート１７１１を出力ポートとして使用し、ポート１７１２〜１７１５を入力ポートとして使用してもよい。
【００８８】
この場合、光波長選択スイッチ１７００は、ポート１７１２〜１７１５から入力された光のうち、波長によって選択した光のみをポート１７１１から出力するスイッチとなる。また、本発明にかかる光波長選択スイッチ１７００は、光伝送システムにおける各種光伝送装置に適用することができる。
【００８９】
また、図示しないが、ポート群１７１０から出力される光を監視するモニタを設けてもよい。このモニタにより、ポート群１７１０から出力される光の透過率を監視し、制御部は、モニタによって監視された透過率が波長毎に一定となるように駆動部を制御する。また、このモニタによる監視を定期的に行い、経時的に生じる光学系の温度変化や劣化による透過帯域特性の傾斜を補償してもよい。
【００９０】
以上説明したように、この発明にかかる光波長選択スイッチおよび光波長選択スイッチの調節方法によれば、補償レンズを用いることなくＣｈ毎の透過帯域特性の傾斜を補償することができる。また、この発明にかかる光波長選択スイッチおよび光波長選択スイッチの調節方法によれば、所望の透過率を維持しつつＣｈ毎の透過帯域特性の傾斜を補償することができる。
【００９１】
なお、複数の可動ミラーは、上述した実施の形態においてはそれぞれの波長に対応しているとして説明したが、波長毎に厳密に対応していなくてもよく、分光素子により角度分散された方向に配置されていればよい。また、複数の出力ポートは、上述した実施の形態においては可動ミラーの反射角度に対応しているとして説明したが、可動ミラーの反射角度毎に厳密に対応していなくてもよく、分光素子から出力された光が入力される位置に設けられていればよい。
【００９２】
（付記１）入力された波長多重光を分光素子によって波長毎に角度分散し、角度分散された光のそれぞれを反射角度が可変の複数の可動ミラーの前記反射角度を制御することで前記角度分散方向とは異なる方向に変化させ前記分光素子に返送し出力することにより、複数のポートによる光の入出力を制御する光波長選択スイッチにおいて、
前記複数の可動ミラーのそれぞれの反射面は、前記分光素子による前記光の分散方向に対して所定の曲率を有する凹面であることを特徴とする光波長選択スイッチ。
【００９３】
（付記２）波長多重光を入力する入力ポートと、
前記入力ポートから入力された光を波長に応じた方向に角度分散させる分光素子と、
前記分光素子によって角度分散した光を集光する集光光学系と、
前記分光素子により角度分散された方向に配置され、前記集光光学系からの光を可変な反射角度で前記角度分散方向とは異なる方向に反射して前記集光光学系を通じて前記分光素子に出力する複数の可動ミラーと、
前記分光素子から出力された光が入力される複数の出力ポートと、
を備え、
前記複数の可動ミラーのそれぞれの反射面は、前記分光素子による前記光の角度分散方向に対して所定の曲率を有する凹面であることを特徴とする光波長選択スイッチ。
【００９４】
（付記３）前記複数の可動ミラーは、反射させる光を受光させる前記出力ポートを切り替える方向の反射角度を変化させる第１回転軸と、前記角度分散方向の反射角度を変化させる第２回転軸と、をそれぞれ有しており、
前記第１回転軸および前記第２回転軸を中心として前記可動ミラーを回転させることによって当該可動ミラーの反射角度を制御する制御手段をさらに備えることを特徴とする付記２に記載の光波長選択スイッチ。
【００９５】
（付記４）前記複数の可動ミラーの前記角度分散方向の反射角度は、反射させる光が前記集光光学系を通過する位置に応じてそれぞれ異なることを特徴とする付記２または３に記載の光波長選択スイッチ。
【００９６】
（付記５）前記複数の可動ミラーの反射面の前記分散方向に対する曲率は、反射させる光が前記集光光学系を通過する位置に応じてそれぞれ異なることを特徴とする付記２〜４のいずれか一つに記載の光波長選択スイッチ。
【００９７】
（付記６）前記複数の可動ミラーの前記出力ポートを切り替える方向の反射角度は、当該可動ミラーの反射面の曲率に応じてそれぞれ異なることを特徴とする付記２〜５のいずれか一つに記載の光波長選択スイッチ。
【００９８】
（付記７）前記複数の可動ミラーの前記出力ポートを切り替える方向の反射角度は、当該可動ミラーの前記角度分散方向の反射角度に応じてそれぞれ異なることを特徴とする付記２〜６のいずれか一つに記載の光波長選択スイッチ。
【００９９】
（付記８）前記複数の可動ミラーの反射面の前記第２回転軸に対する曲率は、前記第１回転軸に対する曲率よりも小さくしたことを特徴とする付記２〜７のいずれか一つに記載の光波長選択スイッチ。
【０１００】
（付記９）前記複数の可動ミラーには、前記第２回転軸方向のリブが設けられていることを特徴とする付記８に記載の光波長選択スイッチ。
【０１０１】
（付記１０）前記出力ポートから出力される光の透過率を監視する監視手段をさらに備え、
前記制御手段は、前記監視手段によって監視された前記光の透過率の情報に基づいて、前記複数の可動ミラーの前記角度分散方向の反射角度をそれぞれ制御することを特徴とする付記３〜９のいずれか一つに記載の光波長選択スイッチ。
【０１０２】
（付記１１）前記集光光学系は、通過させる光を集光する透過型の凸レンズであることを特徴とする付記２〜１０のいずれか一つに記載の光波長選択スイッチ。
【０１０３】
（付記１２）前記集光光学系は、反射させる光を集光する反射型の凹ミラーであることを特徴とする付記２〜１０のいずれか一つに記載の光波長選択スイッチ。
【０１０４】
（付記１３）入力された波長多重光を分光素子によって波長毎に角度分散し、角度分散された光のそれぞれを反射角度が可変の複数の可動ミラーの前記反射角度を制御することで前記角度分散方向とは異なる方向に変化させ前記分光素子に返送し出力することにより、複数のポートによる光の入出力を制御し、前記複数の可動ミラーのそれぞれの反射面は、前記分光素子による前記光の分散方向に対して所定の曲率を有する凹面である光波長選択スイッチの調節方法であって、
前記複数の可動ミラーの反射面の曲率と、前記複数の可動ミラーの前記分散方向の反射角度と、をそれぞれ調節する第１調節工程と、
前記複数の可動ミラーの出力ポートを切り替える方向の反射角度を調節する第２調節工程と、
を含むことを特徴とする調節方法。
【０１０５】
（付記１４）前記第１調節工程では、前記出力ポートから出力される光の透過率が前記波長多重光の波長毎に一定となるように前記曲率および前記角度分散方向の反射角度を調節し、
前記第２調節工程では、前記出力ポートから出力される光の透過率が所望の値になるように前記出力ポートを切り替える方向の反射角度を調節することを特徴とする付記１３に記載の調節方法。
【産業上の利用可能性】
【０１０６】
以上のように、この発明にかかる光波長選択スイッチおよび光波長選択スイッチの調節方法は、光伝送システムにおいて光の入出力を行う光波長選択スイッチに有用であり、特に、ＷＤＭ伝送において多くの波長を用いる場合に適している。
【図面の簡単な説明】
【０１０７】
【図１】実施の形態にかかる光波長選択スイッチの可動ミラー群を示す図である。
【図２−１】実施の形態にかかる光波長選択スイッチの原理を説明する図（その１）である。
【図２−２】図２−１に示した光波長選択スイッチにおける透過帯域特性を示すグラフである。
【図３−１】実施の形態にかかる光波長選択スイッチの原理を説明する図（その２）である。
【図３−２】図３−１に示した光波長選択スイッチにおける透過帯域特性を示すグラフである。
【図４−１】実施の形態にかかる光波長選択スイッチの原理を説明する図（その３）である。
【図４−２】図４−１に示した光波長選択スイッチにおける透過帯域特性を示すグラフである。
【図５】可動ミラーを回転させる角度毎の透過帯域特性を示すグラフである。
【図６】実施の形態にかかる光波長選択スイッチの調節手順１を示す図である。
【図７】実施の形態にかかる光波長選択スイッチの調節手順２を示す図（その１）である。
【図８】実施の形態にかかる光波長選択スイッチの調節手順２を示す図（その２）である。
【図９−１】実施の形態にかかる光波長選択スイッチの可動ミラーの曲率設定を説明する図（曲率なし）である。
【図９−２】図９−１に示した光波長選択スイッチにおける透過帯域特性を示すグラフである。
【図１０−１】実施の形態にかかる光波長選択スイッチの可動ミラーの曲率設定を説明する図（曲率半径大）である。
【図１０−２】図１０−１に示した光波長選択スイッチにおける透過帯域特性を示すグラフである。
【図１１−１】実施の形態にかかる光波長選択スイッチの可動ミラーの曲率設定を説明する図（曲率半径小）である。
【図１１−２】図１１−１に示した光波長選択スイッチにおける透過帯域特性を示すグラフである。
【図１２−１】実施の形態にかかる光波長選択スイッチの可動ミラーのＣｈ毎の曲率設定を説明する図（Ｃｈ３０，曲率半径大）である。
【図１２−２】図１２−１に示した光波長選択スイッチにおける透過帯域特性を示すグラフである。
【図１３−１】実施の形態にかかる光波長選択スイッチの可動ミラーのＣｈ毎の曲率設定を説明する図（Ｃｈ４０，曲率半径小）である。
【図１３−２】図１３−１に示した光波長選択スイッチにおける透過帯域特性を示すグラフである。
【図１４】可動ミラーのＺ軸に対する曲率のばらつきによる透過帯域特性への影響を示す図（その１）である。
【図１５】可動ミラーのＺ軸に対する曲率のばらつきによる透過帯域特性への影響を示す図（その２）である。
【図１６】実施の形態にかかる光波長選択スイッチによる透過帯域特性の補償結果を示すグラフである。
【図１７】従来の光波長選択スイッチの構成を示す図である。
【図１８−１】従来の光波長選択スイッチの透過帯域特性を示すグラフである。
【図１８−２】従来の光波長選択スイッチの短波長側の透過帯域特性を示すグラフである。
【図１８−３】従来の光波長選択スイッチの長波長側の透過帯域特性を示すグラフである。
【符号の説明】
【０１０８】
１１０  可動ミラー群
１１１，１１２，１１３，１１４  可動ミラー
１７００  光波長選択スイッチ
１７１０  ポート群
１７２０  コリメートレンズ群
１７３０  拡大光学系
１７４０  分光素子
１７５０  集光レンズ
【図１】
2008242281.tif 000004
【図２−１】
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【図２−２】
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【図３−１】
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【図３−２】
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【図４−１】
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【図４−２】
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【図５】
2008242281.tif 000011
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９−１】
2008242281.tif 000015
【図９−２】
2008242281.tif 000016
【図１０−１】
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【図１０−２】
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【図１１−１】
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【図１１−２】
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【図１２−１】
2008242281.tif 000021
【図１２−２】
2008242281.tif 000022
【図１３−１】
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【図１３−２】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８−１】
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【図１８−２】
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【図１８−３】
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