(57)【要約】【課題】圧電素子を用いた加振装置の異常の検出を、簡素な構成で容易に行えるようにする。【解決手段】被写体像を光電変換する撮像素子と、撮像素子の前方に配置された光学部材４と、光学部材の両端にそれぞれ配置された第１及び第２の圧電素子５，６と、第１及び第２の圧電素子をそれぞれ独立して加振駆動する第１及び第２の駆動回路９，１０と、第１及び第２の圧電素子にそれぞれ隣接して配置され前記光学部材の振動を検出する第１及び第２の検出用圧電素子７，８を備える検出部１１，１２と、第１の圧電素子を加振振動して光学部材を振動させると共に第２の検出用圧電素子を用いて光学部材の振動を検出する、もしくは、第２の圧電素子を加振振動して光学部材を振動させると共に第１の検出用圧電素子を用いて光学部材の振動を検出するように、第１及び第２の駆動回路と検出部とを制御する第１の制御部１３０とを備える。【選択図】図５
2008236706.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被写体像を光電変換する撮像素子と、
前記撮像素子の前方に配置された光学部材と、
前記光学部材の両端にそれぞれ配置された第１及び第２の圧電素子と、
前記第１及び第２の圧電素子をそれぞれ独立して加振駆動する第１及び第２の駆動手段と、
前記第１及び第２の圧電素子にそれぞれ隣接して配置され前記光学部材の振動を検出する第１及び第２の検出用圧電素子を備える検出手段と、
前記第１の圧電素子を加振振動して前記光学部材を振動させると共に前記第２の検出用圧電素子を用いて前記光学部材の振動を検出する、もしくは、前記第２の圧電素子を加振振動して前記光学部材を振動させると共に前記第１の検出用圧電素子を用いて前記光学部材の振動を検出するように、前記第１及び第２の駆動手段と前記検出手段とを制御する第１の制御手段と、
を備えることを特徴とする撮像装置。
【請求項２】
前記第１の圧電素子を加振振動して前記光学部材を振動させると共に前記第１の検出用圧電素子を用いて前記光学部材の振動を検出する、もしくは、前記第２の圧電素子を加振振動して前記光学部材を振動させると共に前記第２の検出用圧電素子を用いて前記光学部材の振動を検出するように、前記第１及び第２の駆動手段と前記検出手段とを制御する第２の制御手段をさらに備え、
前記第１の制御手段によって異常が検出された場合と、前記第２の制御手段によって異常が検出された場合で、前記撮像装置の動作を異ならせることを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
【請求項３】
前記第１の制御手段によって異常が検出された場合には撮影動作を禁止し、前記第１の制御手段によっては異常が検出されずに前記第２の制御手段によって異常が検出された場合には撮影動作を禁止することなく、異物除去のための前記第１および第２の圧電素子の加振を禁止することを特徴とする請求項２に記載の撮像装置。
【請求項４】
前記光学部材に付着した異物を除去する場合に、前記第１及び前記第２の圧電素子の双方を加振駆動するように、前記第１及び第２の駆動手段を制御する第３の制御手段をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
【請求項５】
被写体像を光電変換する撮像素子と、
前記撮像素子の前方に配置された光学部材と、
前記光学部材の両端にそれぞれ配置された第１及び第２の圧電素子と、
前記第１及び第２の圧電素子をそれぞれ独立して加振駆動する第１及び第２の駆動手段と、
前記第１の圧電素子と前記第１の駆動手段の間に接続され、前記第１の圧電素子が振動することによって該第１の圧電素子から出力される出力信号を検出する第１の検出手段と、
前記第２の圧電素子と前記第２の駆動手段の間に接続され、前記第２の圧電素子が振動することによって該第２の圧電素子から出力される出力信号を検出する第２の検出手段と、
前記第１の圧電素子を加振振動して前記光学部材を振動させると共に前記第２の検出手段を用いて前記第２の圧電素子から出力される前記出力信号を検出する、もしくは、前記第２の圧電素子を加振振動して前記光学部材を振動させると共に前記第１の検出手段を用いて前記第１の圧電素子から出力される前記出力信号を検出する第１の制御手段と、
を備えることを特徴とする撮像装置。
【請求項６】
前記第１の圧電素子を加振振動して前記光学部材を振動させると共に前記第１の検出手段を用いて前記第１の圧電素子から出力される前記出力信号を検出する、もしくは、前記第２の圧電素子を加振振動して前記光学部材を振動させると共に前記第２の検出手段を用いて前記第２の圧電素子から出力される前記出力信号を検出するように、前記第１及び第２の駆動手段と前記第１及び第２の検出手段とを制御する第２の制御手段をさらに備え、
前記第１の制御手段によって異常が検出された場合と、前記第２の制御手段によって異常が検出された場合で、前記撮像装置の動作を異ならせることを特徴とする請求項５に記載の撮像装置。
【請求項７】
前記第１の制御手段によって異常が検出された場合には撮影動作を禁止し、前記第１の制御手段によっては異常が検出されずに前記第２の制御手段によって異常が検出された場合には撮影動作を禁止することなく、異物除去のための前記第１及び第２の圧電素子の加振を禁止することを特徴とする請求項６に記載の撮像装置。
【請求項８】
前記光学部材に付着した異物を除去する場合に、前記第１及び前記第２の圧電素子の双方を加振駆動するように、前記第１及び第２の駆動手段を制御する第３の制御手段をさらに備えることを特徴とする請求項５に記載の撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、デジタルカメラなどの撮像装置において、撮像素子の前方に配置された光学素子の表面に付着した異物を除去する技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
デジタルスチルカメラやビデオカメラに代表される電子撮像装置（以下カメラと称する）は、即時性やパーソナルコンピュータとの親和性の高さから急速に普及している。これらのカメラは被写体像を撮像素子で光電変換して画像データを得るもので、一般的な最小構成としては、撮像素子と撮影光学系と撮像素子の前面に配置されるローパスフィルタ等の光学素子とからなる。
【０００３】
上記カメラにおいて例えば光学素子に塵埃等の異物が付着すると異物自身が画像に写りこんで画像の品質を低下させてしまう。そのため、光学素子を振動させて付着した異物の除去を図る技術が各種提案されており、近年実用化もされ始めている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００３−３３３３９１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上記のように光学素子を振動させて付着した異物の除去を行う場合、光学素子を振動させる装置として、一般的に圧電素子を用いた加振装置が用いられる。例えば、この圧電素子を用いた加振装置が何らかの原因で故障した場合、光学素子に与える振動が大きくなってしまい、光学素子が破壊されてしまう可能性がある。
【０００５】
そして、光学素子が破壊されてしまった場合、それを検出するためには撮影動作を行って画像を確認する必要があり、ユーザーに無用な手間を掛けさせることになると言う問題があった。
【０００６】
したがって、本発明は上述した課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、圧電素子を用いた加振装置の異常の検出を、簡素な構成で容易に行えるようにすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係わる撮像装置は、被写体像を光電変換する撮像素子と、前記撮像素子の前方に配置された光学部材と、前記光学部材の両端にそれぞれ配置された第１及び第２の圧電素子と、前記第１及び第２の圧電素子をそれぞれ独立して加振駆動する第１及び第２の駆動手段と、前記第１及び第２の圧電素子にそれぞれ隣接して配置され前記光学部材の振動を検出する第１及び第２の検出用圧電素子を備える検出手段と、前記第１の圧電素子を加振振動して前記光学部材を振動させると共に前記第２の検出用圧電素子を用いて前記光学部材の振動を検出する、もしくは、前記第２の圧電素子を加振振動して前記光学部材を振動させると共に前記第１の検出用圧電素子を用いて前記光学部材の振動を検出するように、前記第１及び第２の駆動手段と前記検出手段とを制御する第１の制御手段と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
また、本発明に係わる撮像装置は、被写体像を光電変換する撮像素子と、前記撮像素子の前方に配置された光学部材と、前記光学部材の両端にそれぞれ配置された第１及び第２の圧電素子と、前記第１及び第２の圧電素子をそれぞれ独立して加振駆動する第１及び第２の駆動手段と、前記第１の圧電素子と前記第１の駆動手段の間に接続され、前記第１の圧電素子が振動することによって該第１の圧電素子から出力される出力信号を検出する第１の検出手段と、前記第２の圧電素子と前記第２の駆動手段の間に接続され、前記第２の圧電素子が振動することによって該第２の圧電素子から出力される出力信号を検出する第２の検出手段と、前記第１の圧電素子を加振振動して前記光学部材を振動させると共に前記第２の検出手段を用いて前記第２の圧電素子から出力される前記出力信号を検出する、もしくは、前記第２の圧電素子を加振振動して前記光学部材を振動させると共に前記第１の検出手段を用いて前記第１の圧電素子から出力される前記出力信号を検出する第１の制御手段と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、圧電素子を用いた加振装置の異常の検出を、簡素な構成で容易に行うことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態に係わる、圧電素子を用いた加振装置を搭載した一眼レフデジタルカメラについて、図面を参照して詳細に説明する。
【００１１】
（第１の実施形態）
図１は本発明の第１の実施形態に係わる一眼レフデジタルカメラのブロック図である。
【００１２】
図１において、１は被写体像を結像させるための交換可能な撮影レンズユニット、１１１は撮影レンズユニット１中に備えられ、撮像素子２に入射する光量を調節するための絞り、２は被写体像を光電変換するための撮像素子である。撮像素子２の前面には、ローパスフィルタやカバーフィルタといった防塵フィルタとしても機能する光学部材４が近接して配置されており、この光学部材４の表面に異物が付着する。付着した異物は、影となって撮像素子２上の被写体像に写り込む。光学部材４の左右（図１では便宜上上下位置で示している）には、この光学部材４を振動させて付着した異物を除去する圧電素子５，６が配置されている。圧電素子５，６には、この圧電素子５，６をそれぞれ独立して加振駆動するための圧電素子駆動部１２２が接続されている。
【００１３】
１３２は撮像素子２から出力されるアナログ画像信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄコンバータ、１４０はＡ／Ｄコンバータから出力されるデジタル画像信号を処理する画像処理装置である。また、１３３は撮影レンズユニット１のレンズ位置や絞りの開度を制御するレンズ系制御部、１２１はＡＦ（オートフォーカス）センサ、ＡＥ（自動露出）センサなどの各種センサである。さらに、１３０はデジタルカメラ全体の動作を制御するカメラ制御部、１５０はシャッタボタン、ディスプレイ、撮影モード選択ダイヤルなどとのＩ／Ｏ、１３４は撮影画像や種々の情報を記憶するメモリである。
【００１４】
ユーザーの操作はＩ／Ｏ１５０を介して取得され、ユーザの動作によって電源ＯＮ／ＯＦＦ、撮影動作などが行われる。撮影動作が指示された場合、各種センサ１２１や撮像素子２から得られる情報に基づいてカメラ制御部１３０は適切な撮影条件を決定し、レンズ系制御部１３３を介して適切なレンズ位置などを設定する。露光後に撮像素子２の出力信号をＡ／Ｄコンバータ１３２を介してデジタル化したのち、画像処理装置１４０で適切な画像処理を施してメモリ１３４に保存する。また必要な場合には、Ｉ／Ｏ１５０を介して図示しないディスプレイに画像を表示する。
【００１５】
画像処理装置１４０は、ホワイトバランス調整、ＲＧＢ現像、圧縮符号化等の処理を行う。
【００１６】
図２は、第１の実施形態の一眼レフデジタルカメラの外観を示す図である。具体的には、図２はカメラ前面側より見た斜視図であって、撮影レンズユニットを外した状態を示している。
【００１７】
図２において、１００はカメラ本体であり、撮影時に使用者がカメラを安定して握り易いように前方に突出したグリップ部１００ａが設けられている。２０２はマウント部であり、着脱可能な撮影レンズユニット１（図１参照）をカメラ本体に固定させる。マウント接点２２１は、カメラ本体１００と撮影レンズユニット１との間で制御信号、状態信号、データ信号などをやり取りすると共に、撮影レンズユニット側に電力を供給する機能を有する。また、マウント接点２２１は電気通信のみならず、光通信、音声通信などを可能なように構成してもよい。
【００１８】
２０４は撮影レンズユニット１を取り外す際に押し込むレンズロック解除釦である。２０５はカメラ筐体内に配置されたミラーボックスで、撮影レンズを通過した撮影光束はここへ導かれる。ミラーボックス２０５の内部には、クイックリターンミラー２０６が配設されている。クイックリターンミラー２０６は、撮影光束をペンタプリズム（不図示）の方向へ導くために撮影光軸に対して４５°の角度に保持される状態と、撮像素子２（図１を参照）の方向へ導くために撮影光束から退避した位置に保持される状態とを取り得る。
【００１９】
カメラ上部のグリップ側には、撮影開始の起動スイッチとしてのシャッタボタン２０７と、撮影時の動作モードに応じてシャッタスピードやレンズ絞り値を設定するためのメイン操作ダイヤル２０８と、撮影系の動作モード設定ボタン２１０が配置されている。これら操作部材の操作結果の一部は、ＬＣＤ表示パネル２０９に表示される。図１に示したＩ／Ｏ１５０は、主としてこれらの操作部材、表示パネル等とのＩ／Ｏである。
【００２０】
シャッタボタン２０７は、第１ストローク（半押し）でスイッチＳＷ１がＯＮし、第２ストローク（全押し）でスイッチＳＷ２がＯＮする構成となっている。
【００２１】
また、動作モード設定ボタン２１０は、シャッタボタン２０７の１回の押込みで連写になるか１コマのみの撮影となるかの設定や、セルフ撮影モードの設定などを行うものであり、ＬＣＤ表示パネル２０９にその設定状況が表示されるようになっている。
【００２２】
カメラ上部中央には、カメラ本体に対してポップアップするストロボユニット２１１とフラッシュ取付け用のシュー溝２１２とフラッシュ接点２１３が配置されており、カメラ上部右寄りには撮影モード設定ダイヤル２１４が配置されている。なお、撮影モード設定ダイヤル２１４は、光学部材４を圧電素子５，６により振動させて光学部材４の表面に付着した塵埃等の異物を除去する動作の起動操作部を兼ねている。
【００２３】
グリップ側とは反対側の側面には、開閉可能な外部端子蓋２１５が設けられており、この外部端子蓋２１５を開けた内部には、外部インタフェースとしてビデオ信号出力用ジャック２１６とＵＳＢ出力用コネクタ２１７が納められている。
【００２４】
図３は、図１に示した撮像素子の近傍を上面から見た拡大図である。
【００２５】
図３において、１は撮影レンズ、２は撮影レンズ１から入射した光を光電変換するための撮像素子、３は撮像素子２をカメラに装着するための撮像素子パッケージである。また、４は撮像素子パッケージ３の前方に配置され、撮像素子パッケージ３の表面および撮像素子２に塵埃等の異物が付着することを防止するための防塵フィルタとしても機能する光学部材である。なお、光学部材４は、具体的には光学ローパスフィルタ、赤外線カットフィルタなどである。さらに、５，６は光学部材４を加振振動させるための駆動用の圧電素子（第１の圧電素子と第２の圧電素子）、２１，２２は光学部材４を撮像素子パッケージ３に密閉した状態で保持するための保持部材である。保持部材２１，２２の詳しい構成については、後に図１９を参照して説明する。
【００２６】
図４は、図３の光学部材４の部分を、撮像素子２側から見た状態、および圧電素子の周辺回路（図１の圧電素子駆動部１２２の内部回路）を示す図である。
【００２７】
図４において、圧電素子（駆動用圧電素子）５，６は光学部材４を挟んで光学部材４の左右両端に貼り付けられている。７，８は圧電素子５，６に隣接してそれぞれ配置され、光学部材４の振動の状態を検出するための検出用圧電素子（第１の検出用圧電素子と第２の検出用圧電素子）である。
【００２８】
９は圧電素子５を駆動するための駆動回路（第１の駆動手段）、１０は圧電素子６を駆動するための駆動回路（第２の駆動手段）である。１１は検出用圧電素子７からの信号を検出するための検出回路、１２は検出用圧電素子８からの信号を検出するための検出回路である。
【００２９】
光学部材４の両端に貼り付けられた圧電素子５および６を所定の周波数で振動させることにより、光学部材４上に定在波を発生させて振動させ、光学部材４の表面に付着した塵埃等の異物を振り落とす構成となっている。そして、光学部材４に発生した振幅の状態を、検出用圧電素子７，８で検出する。
【００３０】
図５は、圧電素子５，６及び検出用圧電素子７，８を制御する制御回路の構成を示すブロック図であり、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２は図４で説明した通りである。
【００３１】
１３０は、図１に示したようにデジタルカメラ全体の動作の制御と共に圧電素子５，６の振動制御も行うカメラ制御部、１４はカメラ制御部１３０により制御され、圧電素子５，６を駆動するための高周波信号を出力するための発振回路である。発振回路１４は、カメラ制御部１３０からの制御値に従って、発振周波数を変化させて加振信号を出力する。１５は、圧電素子５，６を駆動する電力を供給する電源回路であり、駆動回路９，１０に接続されている。
【００３２】
ここで、図４及び図５に示す駆動制御回路全体の動作について説明する。
【００３３】
カメラ制御部１３０は、発振回路１４に対して圧電素子５，６を駆動するのに必要な周波数を指示する制御信号を出力し、発振回路１４は指示された周波数の信号を出力し、駆動回路９，１０に入力する。この駆動回路９，１０は電源回路１５から供給される電力を、Ｈブリッジ回路により、カメラ制御部１３０及び発振回路１４から入力される信号に従って出力する機能を持っている。
【００３４】
また、カメラ制御部１３０は、駆動回路９，１０に対して圧電素子の駆動を許可するか禁止するかを指示する駆動許可／禁止信号を出すことにより、駆動回路９，１０の出力の有無を個別に制御できるようになっている。
【００３５】
駆動回路９，１０の出力がカメラ制御部１３０により許可されると、カメラ制御部１３０により指定された周波数の駆動信号が、圧電素子５，６に印加されて光学部材４を振動させ、光学部材４上に定在波を発生させる。なお、カメラ制御部１３０は発振回路１４へ送る信号を変化させることで、発振回路１４の発振周波数を変化させ、圧電素子に印加する信号の周波数を変えることができる。このように周波数を変化させることで、光学部材４上に発生する定在波の腹や節の数を変化させることができるとともに、もっとも振幅の大きい定在波を発生させることができる。
【００３６】
光学部材４に定在波が発生すると、検出用圧電素子７，８が振動し信号を発生する。検出用圧電素子７に発生した信号は、検出回路１１によりカメラ制御部１３０が検出できる信号に変換され、カメラ制御部１３０のＡ／Ｄ変換入力に入力される。同様に検出用圧電素子８に発生した信号は、検出回路１２によりカメラ制御部１３０が検出できる信号に変換され、カメラ制御部１３０のＡ／Ｄ変換入力に入力される。
【００３７】
これにより、カメラ制御部１３０は、駆動周波数を変化させながら、光学部材４に発生した定在波の振幅状態をモニタすることができる。
【００３８】
図６は、カメラ制御部１３０の光学部材４の振動制御に関する動作を示すフローチャートである。図６では、カメラ制御部１３０は、光学部材４から異物を落とすための動作、あるいは駆動回路および光学部材４を含む異物除去系のテストを行うための動作をステップＳ１０１から開始する。
【００３９】
ステップＳ１０１では、発振回路１４に対して発振周波数の指示を行うことで、圧電素子５，６を駆動する周波数の初期設定を行い、ステップＳ１０２へ進む。
【００４０】
ステップＳ１０２では、今回の駆動が、テスト駆動か、異物除去のための駆動かを判断し、テスト駆動であればステップＳ１１２へ進み、異物除去のための駆動であればステップＳ１０３へ進む。
【００４１】
ステップＳ１０３では、異物除去のための駆動動作（第３の制御）を行うので、光学部材４の振動を最大限に大きくする必要がある。そのため、光学部材４の左右両端に貼られた圧電素子５，６の双方の駆動を行うために、駆動回路９，１０の双方に駆動許可の信号を出して、圧電素子５，６の駆動を開始させ、ステップＳ１０４へ進む。
【００４２】
ステップＳ１０４では、光学部材４の振動を検出して振動の状態をモニタするために、検出回路１１，１２からの信号をカメラ制御部１３０に内蔵されたＡ／Ｄコンバータでデジタル信号に変換し、その信号をモニタする。そして、ステップＳ１０５へ進む。
【００４３】
ステップＳ１０５では、検出回路１１からの出力信号と検出回路１２からの出力信号が、それぞれ基準値以上になっているかどうかを判断し、両信号とも基準値以上になっていれば正常と判断して、ステップＳ１０６へ進む。一方、どちらか一つでも、基準値未満になっていれば、出力信号が異常であると判断し、ステップＳ１１０へ進む。
【００４４】
ステップＳ１０６では、設定した周波数での駆動を開始してから所定時間経過したかどうかを判断する。そして、所定時間経過していればステップＳ１０７に進み、所定時間経過していなければステップＳ１０４へ戻り、同じ周波数での駆動を継続するとともに、振動状態の検出を継続する。
【００４５】
ステップＳ１０７では、発振回路１４に対して周波数の変更を指示し、圧電素子５，６を駆動する周波数を変更してステップＳ１０８へ進む。ここで周波数を変更する際には、前回設定した周波数からわずかに低い周波数へ変更する。
【００４６】
ステップＳ１０８では、ステップＳ１０７で設定した周波数が、所定の周波数変更範囲を超えたか否かを判断する。そして、所定の周波数変更範囲内での周波数の変更を終了していればステップＳ１０９へ進み、終了していなければステップＳ１０４へ戻る。
【００４７】
ステップＳ１０９では、駆動回路９，１０を駆動禁止にして異物除去のための駆動を終了する。
【００４８】
一方、ステップＳ１１０では、ステップＳ１０５で検出回路１１，１２のいずれか、または両方の出力が異常であるので、駆動回路９，１０を駆動禁止状態にしてステップＳ１１１へ進む。
【００４９】
ステップＳ１１１では、ここまでに検出された異常状態を記録するとともに、異常である表示を不図示の表示装置に表示して、ステップＳ１０９へ進み駆動を終了する。
【００５０】
ここで検出された異常は、異物除去のために光学部材４の両端の圧電素子を駆動している場合の異常であり、駆動回路、検出回路、圧電素子、検出用圧電素子等の異常が想定される。
【００５１】
次に、ステップＳ１１２は、テストのための駆動を行うステップであり、光学部材４の両端に貼られた圧電素子のうち、片方の圧電素子を駆動する。そして、両端の検出用圧電素子を用いて振動状態の検出を行い、異常がないか判定を行う。このため、駆動回路９を駆動許可に設定し、駆動回路１０を駆動禁止にして、圧電素子５のみを駆動し、ステップＳ１１３へ進む。
【００５２】
ステップＳ１１３では、光学部材４の振動を検出して振動の状態をモニタするために、検出回路１１，１２からの信号をカメラ制御部１３０に内蔵されたＡ／Ｄコンバータでデジタル信号に変換し、その信号をモニタする。そして、ステップＳ１１４へ進む。
【００５３】
ステップＳ１１４では、検出回路１１の出力が基準値以上であるかどうかを判断し、基準値以上であれば正常と判断しステップＳ１１５へ進む。また、基準値未満であれば出力信号が異常であると判断しステップＳ１２２へ進む。
【００５４】
ステップＳ１１５では、検出回路１２の出力が基準値以上であるかどうかを判断し、基準値以上であれば正常と判断しステップＳ１１６へ進む。また、基準値未満であれば出力信号が異常であると判断しステップＳ１２０へ進む。
【００５５】
ステップＳ１１６では、ステップＳ１１２で駆動した圧電素子とは反対側の圧電素子を駆動するために、駆動回路１０を駆動許可に設定し、駆動回路９を駆動禁止に設定する。そして、圧電素子６のみを駆動し、ステップＳ１１７へ進む。
【００５６】
ステップＳ１１７では、光学部材４の振動を検出して振動の状態をモニタするために、検出回路１１，１２からの信号をカメラ制御部１３０に内蔵されたＡ／Ｄコンバータでデジタル信号に変換し、その信号をモニタする。そして、ステップＳ１１８へ進む。
【００５７】
ステップＳ１１８では、検出回路１２の出力が基準値以上であるかどうかを判断し、基準値以上であれば正常と判断しステップＳ１１９へ進む。また、基準値未満であれば出力信号が異常であると判断しステップＳ１２２へ進む。
【００５８】
ステップＳ１１９では、検出回路１１の出力が基準値以上であるかどうかを判断し、基準値以上であれば正常と判断しステップＳ１０９へ進み駆動を終了する。また、基準値未満であれば出力信号が異常であると判断しステップＳ１２０へ進む。
【００５９】
ステップＳ１２０では、実際に駆動を行った圧電素子と同じ側に取り付けられた検出用圧電素子の出力は正常で、光学部材４の反対側に取り付けられた検出用圧電素子の出力が異常となっているため、光学部材４の異常と判断する（第１の制御）。そして、ステップＳ１２１へ進む。
【００６０】
ステップＳ１２１では、ステップＳ１２０で光学部材４の異常と判断されたため、光学部材４が割れている可能性もあり、正しい画像を撮影できない可能性がある。このため、その後の撮影動作を禁止する処理を行い、異常状態であることを不図示のメモリなどに記録する。また、不図示の外部表示装置に撮影光学系に異常があり、撮影できないことを表示して、ステップＳ１０９へ進み、テスト駆動を終了する。
【００６１】
次に、ステップＳ１２２では、実際に駆動を行った圧電素子と同じ側に取り付けられた検出用圧電素子の出力が異常となっているため、圧電素子そのものが振動をしていない可能性が高いと考えられる（第２の制御）。このため、異物除去動作は正常に行うことができないが、ステップＳ１２０に進んだ場合と異なり、撮影光学系には問題ないと考えられるため、撮影を行うことは可能と判断される。なお、この異物除去駆動系が異常状態であることは不図示のメモリなどに記録される。このとき、異物除去のための駆動は禁止される。また、不図示の外部表示装置に撮影は可能であるが、異物除去動作はできないことを表示して、ステップＳ１０９へ進み、テスト駆動を終了する。
【００６２】
次に、図１０を用いて、ステップＳ１０５における具体的な検出信号について説明する。
【００６３】
図１０において、横軸１２０１は駆動周波数を示し、縦軸１２０２は検出回路１１，１２の出力電圧を示し、１２０３は検出回路１１，１２の出力電圧の駆動周波数に対する変化を示している。１２０３は、駆動周波数の変化に伴い、検出回路１１，１２の出力電圧がどのように変化するかを示しており、光学部材４の振動の状態により、波形が変化する。
【００６４】
１２０４は、ステップＳ１０５における、判定基準値のレベルを示しており、この判定レベル以上であれば、検出回路１１や検出回路１２の出力が正常であると判断し、この判定レベル以下であれば、異常と判断する。
【００６５】
図１１は、駆動回路９，１０に異常があった場合を示しており、検出回路１１，１２の出力電圧が、１２０５に示すように判定レベル１２０４よりも低いレベルとなった状態を示している。
【００６６】
また、ステップＳ１１８は、駆動回路１０の異常を判断するステップであるが、検出回路１２の出力電圧により、ステップＳ１０５の場合（図１０、図１１）と同様に異常検出を行うことができる。
【００６７】
次に、ステップＳ１１９における具体的な検出信号について説明する。
【００６８】
図１２において、１２０６は、駆動回路１０のみを動作させて、圧電素子６のみを駆動し、検出用圧電素子７および検出回路１１により、光学部材４の振動状況を検出する際の、検出回路１１からの検出信号を示している。この信号は、光学部材４の振動状態を示す信号であるため、ステップＳ１１８における信号よりも、出力レベルが小さくなる場合が多い。このため、１２０７で示される判定レベルは、ステップＳ１１８における判定レベルよりも、低い値となっている。
【００６９】
図１３において、１２０８は、異常な信号の一例であり、何らかの要因で光学部材４の振動が所定の振幅よりも小さい場合を示している。この場合、検出回路１１の検出信号も低い値となり、異常を検出する。また、光学部材４が破損している場合などには、検出信号はほぼ「０」となり、異常を検出することができる。
【００７０】
このように、駆動回路の異常検出には、駆動用圧電素子近傍に配置された検出用圧電素子により振動を検出する。また、光学素子を含む振動の異常検出には、駆動用圧電素子と光学素子を挟んで対向した位置に配置された検出用圧電素子により、振動を検出して異常を判断する。
【００７１】
以上説明したように、上記の第１の実施形態では、光学部材の両端に配置された圧電素子の近傍に、検出用圧電素子を設け、片側の圧電素子を駆動して、光学部材を経由した反対側の検出用圧電素子により振動を検出する。これにより、光学部材の振動状況を検出することができ、光学部材及び圧電素子駆動系の異常を検出することが可能となる。
【００７２】
（第２の実施形態）
この第２の実施形態においては、デジタルカメラの構成は、図１及び図２に示した第１の実施形態の構成と同一であるので説明を省略する。また、撮像素子の近傍を上面から見た構成は、図３に示した第１の実施形態と同一であるので、この説明も省略する。
【００７３】
図７は、第２の実施形態における、図３の光学部材４の部分を撮像素子２側から見た状態、および圧電素子の周辺回路（図１における圧電素子駆動部１２２の内部回路）を示す図である。なお、図７において、第１の実施形態を示す図４と同一の構成要素には同一の符号を付している。
【００７４】
図７において、圧電素子５，６は光学部材４の左右両端に貼り付けられている。
【００７５】
９は圧電素子５を駆動するための駆動回路、１０は圧電素子６を駆動するための駆動回路である。１１１は圧電素子５の駆動信号に接続され、圧電素子駆動時は駆動信号を、非駆動時は圧電素子５からの信号を検出する検出回路（第１の検出手段）である。１１２は圧電素子６の駆動信号に接続され、圧電素子駆動時は駆動信号を、非駆動時は圧電素子６からの信号を検出する検出回路（第２の検出手段）である。
【００７６】
光学部材４の両端に貼り付けられた圧電素子５および６を所定の周波数で振動させることにより、光学部材４上に定在波を発生させて振動させ、光学部材４の表面に付着した塵埃等の異物を振り落とす構成となっている。そして、検出回路１１１，１１２は、圧電素子駆動中は駆動信号をモニタし、非駆動中は光学部材４の振動状態を検出する。
【００７７】
図８は、圧電素子５，６を制御する制御回路の構成を示すブロック図であり、第１の実施形態を示す図５と同じ構成要素には、同一の符号を付している。
【００７８】
１３０は、図１に示したようにデジタルカメラ全体の動作の制御と共に圧電素子５，６の振動制御も行うカメラ制御部、１４はカメラ制御部１３０により制御され、圧電素子５，６を駆動するための高周波信号を出力するための発振回路である。発振回路１４は、カメラ制御部１３０からの制御値に従って、発振周波数を変化させて加振信号を出力する。１５は、圧電素子５，６を駆動する電力を供給する電源回路であり、駆動回路９，１０に接続されている。
【００７９】
ここで、図７及び図８に示す駆動制御回路全体の動作について説明する。
【００８０】
カメラ制御部１３０は、発振回路１４に対して圧電素子５，６を駆動するのに必要な周波数を指示する制御信号を出力し、発振回路１４は指示された周波数の信号を出力し、駆動回路９，１０に入力する。この駆動回路９，１０は電源回路１５から供給される電力を、Ｈブリッジ回路により、カメラ制御部１３０及び発振回路１４から入力される信号に従って出力する機能を持っている。
【００８１】
また、カメラ制御部１３０は、駆動回路９，１０に対して圧電素子の駆動を許可するか禁止するかを指示する駆動許可／禁止信号を出すことにより、駆動回路９，１０の出力の有無を個別に制御できるようになっている。
【００８２】
駆動回路９，１０の出力がカメラ制御部１３０により許可されると、カメラ制御部１３０により指定された周波数の駆動信号が、圧電素子５，６に印加されて光学部材４を振動させ、光学部材４上に定在波を発生させる。なお、カメラ制御部１３０は発振回路１４へ送る信号を変化させることで、発振回路１４の発振周波数を変化させ、圧電素子に印加する信号の周波数を変えることができる。このように周波数を変化させることで、光学部材４上に発生する定在波の腹や節の数を変化させることができるとともに、もっとも振幅の大きい定在波を発生させることができる。
【００８３】
圧電素子５，６が駆動されると、圧電素子５，６の駆動信号を検出回路１１１，１１２で検出し、その検出信号をカメラ制御部１３０のＡ／Ｄコンバータでデジタル信号に変換し、信号の状態を検出する。また、光学部材４の両端に貼り付けられた圧電素子のうち、片側の圧電素子の駆動を行い、反対側の圧電素子を非駆動にすることにより、片側の圧電素子の駆動により発生した光学部材４の定在波を、反対側の圧電素子で検出する。
【００８４】
たとえば、圧電素子５を駆動した場合、圧電素子６に発生した信号は、検出回路１１２によりカメラ制御部１３０が検出できる信号に変換され、カメラ制御部１３０のＡ／Ｄ変換入力に入力される。
【００８５】
これにより、カメラ制御部１３０は、駆動回路９，１０の状態をモニタできるとともに、駆動周波数を変化させながら光学部材４に発生した定在波の振幅状態をモニタすることができる。
【００８６】
図９は、カメラ制御部１３０の光学部材４の振動制御に関する動作を示すフローチャートである。図９では、カメラ制御部１３０は、光学部材４から異物を落とすための動作、あるいは駆動回路および光学部材４を含む異物除去系のテストを行うための動作をステップＳ２０１から開始する。
【００８７】
ステップＳ２０１では、発振回路１４に対して発振周波数の指示を行うことで、圧電素子５，６を駆動する周波数の初期設定を行い、ステップＳ２０２へ進む。
【００８８】
ステップＳ２０２では、今回の駆動が、テスト駆動か、異物除去のための駆動かを判断し、テスト駆動であればステップＳ２１２へ進み、異物除去のための駆動であればステップＳ２０３へ進む。
【００８９】
ステップＳ２０３では、異物除去のための駆動動作を行うので、光学部材４の振動を最大限に大きくする必要がある。そのため、光学部材４の左右両端に貼られた圧電素子５，６の双方の駆動を行うために、駆動回路９，１０の双方に駆動許可の信号を出して、圧電素子５，６の駆動を開始させ、ステップＳ２０４へ進む。
【００９０】
ステップＳ２０４では、駆動回路９，１０の駆動信号（光学部材４の振動の状態）をモニタするために、検出回路１１１，１１２からの信号をカメラ制御部１３０に内蔵されたＡ／Ｄコンバータでデジタル信号に変換し、その信号をモニタする。そして、ステップＳ２０５へ進む。
【００９１】
ステップＳ２０５では、検出回路１１１からの出力信号と検出回路１１２からの出力信号が、それぞれ基準値以上になっているかどうかを判断し、両信号とも基準値以上になっていれば正常と判断して、ステップＳ２０６へ進む。一方、どちらか一つでも、基準値未満になっていれば、駆動信号が異常であると判断し、ステップＳ２１０へ進む。
【００９２】
ステップＳ２０６では、設定した周波数での駆動を開始してから所定時間経過したかどうかを判断する。そして、所定時間経過していればステップＳ２０７に進み、所定時間経過していなければステップＳ２０４へ戻り、同じ周波数での駆動を継続するとともに、駆動信号の検出を継続する。
【００９３】
ステップＳ２０７では、発振回路１４に対して周波数の変更を指示し、圧電素子５，６を駆動する周波数を変更してステップＳ２０８へ進む。ここで周波数を変更する際には、前回設定した周波数からわずかに低い周波数へ変更する。
【００９４】
ステップＳ２０８では、ステップＳ２０７で設定した周波数が、所定の周波数変更範囲を超えたか否かを判断する。そして、所定の周波数変更範囲内での周波数の変更を終了していればステップＳ２０９へ進み、終了していなければステップＳ２０４へ戻る。
【００９５】
ステップＳ２０９では、駆動回路９，１０を駆動禁止にして異物除去のための駆動を終了する。
【００９６】
一方、ステップＳ２１０では、ステップＳ２０５で検出回路１１１，１１２のいずれか、または両方の出力が異常であるので、駆動回路９，１０を駆動禁止状態にしてステップＳ２１１へ進む。
【００９７】
ステップＳ２１１では、ここまでに検出された異常状態を記録するとともに、異常である表示を不図示の表示装置に表示して、ステップＳ２０９へ進み駆動を終了する。
【００９８】
ここで検出された異常は、異物除去のために光学部材４の両端の圧電素子を駆動している場合の異常であり、駆動回路、検出回路、圧電素子等の異常が想定される。
【００９９】
次に、ステップＳ２１２は、テストのための駆動を行うステップであり、光学部材４の両端に貼られた圧電素子のうち、片方の圧電素子を駆動する。そして、駆動している側とは反対側の圧電素子を用いて振動状態の検出を行い、異常がないか判定を行う。このため、駆動回路９を駆動許可に設定し、駆動回路１０を駆動禁止にして、圧電素子５のみを駆動し、ステップＳ２１３へ進む。
【０１００】
ステップＳ２１３では、圧電素子５を駆動する信号をモニタすると共に、光学部材４の振動を圧電素子６で検出して振動の状態をモニタするために、検出回路１１１，１１２からの信号をカメラ制御部１３０に入力する。カメラ制御部１３０では、内蔵されたＡ／Ｄコンバータで入力された信号をデジタル信号に変換し、その信号をモニタする。そして、ステップＳ２１４へ進む。
【０１０１】
ステップＳ２１４では、検出回路１１１の出力が基準値以上であるかどうかを判断し、基準値以上であれば正常と判断しステップＳ２１５へ進む。また、基準値未満であれば出力信号が異常であると判断しステップＳ２２２へ進む。
【０１０２】
ステップＳ２１５では、検出回路１１２の出力が基準値以上であるかどうかを判断し、基準値以上であれば正常と判断しステップＳ２１６へ進む。また、基準値未満であれば出力信号が異常であると判断しステップＳ２２０へ進む。
【０１０３】
ステップＳ２１６では、ステップＳ２１２で駆動した圧電素子とは反対側の圧電素子を駆動するために、駆動回路１０を駆動許可に設定し、駆動回路９を駆動禁止に設定する。そして、圧電素子６のみを駆動し、ステップＳ２１７へ進む。
【０１０４】
ステップＳ２１７では、圧電素子６を駆動する信号をモニタすると共に、光学部材４の振動を圧電素子５で検出して振動の状態をモニタするために、検出回路１１１，１１２からの信号をカメラ制御部１３０に入力する。カメラ制御部１３０では、内蔵されたＡ／Ｄコンバータで入力された信号をデジタル信号に変換し、その信号をモニタする。そして、ステップＳ２１８へ進む。
【０１０５】
ステップＳ２１８では、検出回路１１２の出力が基準値以上であるかどうかを判断し、基準値以上であれば正常と判断しステップＳ２１９へ進む。また、基準値未満であれば出力信号が異常であると判断しステップＳ２２２へ進む。
【０１０６】
ステップＳ２１９では、検出回路１１１の出力が基準値以上であるかどうかを判断し、基準値以上であれば正常と判断しステップＳ２０９へ進み駆動を終了する。また、基準値未満であれば出力信号が異常であると判断しステップＳ２２０へ進む。
【０１０７】
ステップＳ２２０では、実際に駆動を行った圧電素子への駆動信号は正常で、光学部材４の反対側に取り付けられた圧電素子の出力が異常となっているため、光学部材４の異常と判断する。そして、ステップＳ２２１へ進む。
【０１０８】
ステップＳ２２１では、ステップＳ２２０で光学部材４の異常と判断されたため、光学部材４が割れている可能性もあり、正しい画像を撮影できない可能性がある。このため、その後の撮影動作を禁止する処理を行い、異常状態であることを不図示のメモリなどに記録する。また、不図示の外部表示装置に撮影光学系に異常があり、撮影できないことを表示して、ステップＳ２０９へ進み、テスト駆動を終了する。
【０１０９】
次に、ステップＳ２２２では、実際に駆動を行った圧電素子への駆動信号が異常となっているため、駆動回路、検出回路、圧電素子等の異常が想定される。このため、異物除去動作は正常に行うことができないが、ステップＳ２２０に進んだ場合と異なり、撮影光学系には問題ないと考えられるため、撮影を行うことは可能と判断される。なお、この異物除去駆動系が異常状態であることは不図示のメモリなどに記録される。このとき、異物除去のための駆動は禁止される。また、不図示の外部表示装置に撮影は可能であるが、異物除去動作はできないことを表示して、ステップＳ２０９へ進み、テスト駆動を終了する。
【０１１０】
次に、図１４を用いて、ステップ２０５における具体的な検出信号について説明する。
【０１１１】
図１４において、横軸１３０１は駆動周波数を示し、縦軸１３０２は検出回路１１１，１１２の出力電圧を示し、１３０３は検出回路１１１，１１２の出力電圧の駆動周波数に対する変化を示している。１３０３は、駆動周波数の変化に伴い、検出回路１１１，１１２の出力電圧がどのように変化するかを示している。ここでは、駆動回路９および１０から駆動信号が出力されている場合には、検出回路１１１，１１２は駆動回路９および１０の出力信号を検出するため、駆動周波数にかかわらず、一定の出力を出すこととなる。
【０１１２】
１３０４は、ステップＳ２０５における、判定基準値のレベルを示しており、この判定レベル以上であれば、検出回路１１１，１１２の出力が正常であると判断し、この判定レベル以下であれば、異常と判断する。
【０１１３】
図１５は、駆動回路９や駆動回路１０に異常があった場合を示しており、検出回路１１１，１１２の出力電圧が、１３０５に示すように判定レベル１３０４よりも低いレベルとなった状態を示している。
【０１１４】
また、ステップＳ２１８は、駆動回路１０の異常を判断するステップであるが、検出回路１１２の出力電圧により、ステップＳ２０５の場合（図１４、図１５）と同様に異常検出を行うことができる。
【０１１５】
次に、ステップＳ２１９における具体的な検出信号について説明する。
【０１１６】
図１６において、１３０６は、駆動回路１０のみを動作させて、圧電素子６のみを駆動し、圧電素子５および検出回路１１１により、光学部材４の振動状況を検出する際の、検出回路１１１からの検出信号を示している。この信号は、光学部材４の振動状態を示す信号であるため、ステップＳ２１８における信号よりも、出力レベルが小さくなる場合が多い。このため、１３０７で示される判定レベルは、ステップＳ２１８における判定レベルよりも、低い値となっている。
【０１１７】
図１７において、１３０８は、異常な信号の一例であり、何らかの要因で光学部材４の振動が所定の振幅よりも小さい場合を示している。この場合、検出回路１１１の検出信号も低い値となり、異常を検出する。また、光学部材４が破損している場合などには、検出信号はほぼ「０」となり、異常を検出することができる。
【０１１８】
このように、駆動信号の異常検出には、駆動信号を検出し、光学素子を含む振動の異常検出には、駆動用圧電素子と光学素子を挟んで対向した位置に配置された、非駆動状態の圧電素子により、振動を検出して判断する。
【０１１９】
以上説明したように、上記の第２の実施形態では、振動検出用圧電素子の代わりに、駆動用圧電素子を用いる。つまり、二つの圧電素子のうち片側の圧電素子を駆動するとともに、駆動していない側の圧電素子を検出用に用いることで、検出用圧電素子を設けなくとも、光学素子の振動状態を検出することが可能となる。
【０１２０】
（振動ユニットの構成）
以下、図１８乃至図２０を参照して、撮像ユニット４００について説明する。図１８は、撮像ユニット４００の周辺構造について説明するためのカメラ内部の概略構成を示す分解斜視図である。カメラ本体の骨格となる本体シャーシ３００の被写体側には、被写体側から順にミラーボックス２０５、シャッタユニット３２が配設される。また、本体シャーシ３００の撮影者側には、撮像ユニット４００が配設される。撮像ユニット４００は、撮影レンズユニットが取り付けられる基準となるマウント部２０２の取付面に撮像素子２の撮像面が所定の距離を空けて、且つ平行になるように調整されて固定される。
【０１２１】
図１９は、撮像ユニット４００の構成を示す分解斜視図である。撮像ユニット４００は、大きく分けて、振動ユニット４７０と、弾性部材４５０と、撮像素子ユニット５００とにより構成される。詳細は後述するが、振動ユニット４７０は弾性部材４５０を挟み込むかたちで撮像素子ユニット５００に固定される。
【０１２２】
まず、図１９、図２０を参照して、撮像素子ユニット５００について説明する。撮像素子ユニット５００において、５１０は固定部材であり、撮像素子２を保持するとともに、振動ユニット４７０の付勢部材４６０が固定される。５２０は撮像系の電気回路が実装された回路基板であり、固定部材５１０の撮影者側に配設される。５３０は導電性を有する金属等によって形成されたシールドケースである。５４０は撮像素子２の光電変換面の有効領域に対応した開口が形成された遮光部材であり、固定部材５１０の被写体側に配設される。５５０は光学ローパスフィルタ４１０を保持する光学ローパスフィルタ保持部材である。
【０１２３】
固定部材５１０は、振動ユニット４７０の付勢部材４６０と位置決めするための位置決めピン部５１０ａと、回路基板５２０及びシールドケース５３０をビスで固定するためのビス穴５１０ｂと、振動ユニット４７０の付勢部材４６０（固定部４６０ｂ）をビスで固定するためのビス穴５１０ｃとを有する。
【０１２４】
図２０は、図１８のＡ−Ａ線に沿う断面図である。遮光部材５４０の被写体側の面は光学ローパスフィルタ４１０と当接し、撮影者側の面は撮像素子２のカバーガラス２ａと当接する。遮光部材５４０の被写体側及び撮影者側には両面テープが固着されており、光学ローパスフィルタ４１０は遮光部材５４０の両面テープにより撮像素子２のカバーガラス２ａに固定、保持される。これにより、光学ローパスフィルタ４１０と撮像素子２のカバーガラス２ａとの間は遮光部材５４０によって封止され、塵埃等の異物の侵入を防ぐ密閉空間が形成される。なお、圧電素子５は、図示するように、光学部材（赤外カットフィルタ）４の撮像素子２側に固着される。
【０１２５】
回路基板５２０には、ビス用の逃げ穴５２０ａが設けられる。シールドケース５３０には、ビス用の逃げ穴５３０ａが設けられる。回路基板５２０とシールドケース５３０は、ビス用の逃げ穴５２０ａとビス用の逃げ穴５３０ａ、ビス穴５１０ｂを用いて、固定部材５１０にビスで係止される。シールドケース５３０は、電気回路を静電気等から保護するため回路上の接地電位に接続される。
【０１２６】
光学ローパスフィルタ保持部材５５０は、遮光部材５４０の両面テープにより撮像素子２のカバーガラス２ａに固着される。光学ローパスフィルタ４１０は光学ローパスフィルタ保持部材５５０の開口箇所にて位置決めされ、遮光部材５４０に両面テープで固定、保持される。
【図面の簡単な説明】
【０１２７】
【図１】本発明の第１の実施形態に係わる一眼レフデジタルカメラのブロック図である。
【図２】第１の実施形態の一眼レフデジタルカメラの外観を示す図である。
【図３】図１に示した撮像素子の近傍を上面から見た拡大図である。
【図４】図３の光学部材の部分を、撮像素子側から見た状態、および圧電素子の周辺回路を示す図である。
【図５】圧電素子及び検出用圧電素子を制御する制御回路の構成を示すブロック図である。
【図６】カメラ制御部の光学部材の振動制御に関する動作を示すフローチャートである。
【図７】第２の実施形態における、図３の光学部材の部分を撮像素子側から見た状態、および圧電素子の周辺回路を示す図である。
【図８】圧電素子を制御する制御回路の構成を示すブロック図である。
【図９】カメラ制御部の光学部材の振動制御に関する動作を示すフローチャートである。
【図１０】検出回路の出力電圧の駆動周波数に対する変化を示す図である。
【図１１】駆動回路に異常があった場合の検出回路の出力を示す図である。
【図１２】片側の駆動回路を動作させて、反対側の検出用圧電素子および検出回路により、光学部材の振動状況を検出する際の検出信号を示す図である。
【図１３】異常な信号の一例を示す図である。
【図１４】検出回路の出力電圧の駆動周波数に対する変化を示す図である。
【図１５】駆動回路に異常があった場合の検出回路の出力を示す図である。
【図１６】片側の駆動回路を動作させて、反対側の圧電素子および検出回路より、光学部材の振動状況を検出する際の検出信号を示す図である。
【図１７】異常な信号の一例を示す図である。
【図１８】撮像ユニットの周辺構造について説明するためのカメラ内部の概略構成を示す分解斜視図である。
【図１９】撮像ユニットの構成を示す分解斜視図である。
【図２０】図１８のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【符号の説明】
【０１２８】
１  撮影レンズユニット
２  撮像素子
４  光学部材
５，６  圧電素子
７，８  検出用圧電素子
９，１０  駆動回路
１１，１２  検出回路
１４  発振回路
１５  電源回路
【図１】
2008236706.tif 000003
【図２】
2008236706.tif 000004
【図３】
2008236706.tif 000005
【図４】
2008236706.tif 000006
【図５】
2008236706.tif 000007
【図６】
2008236706.tif 000008
【図７】
2008236706.tif 000009
【図８】
2008236706.tif 000010
【図９】
2008236706.tif 000011
【図１０】
2008236706.tif 000012
【図１１】
2008236706.tif 000013
【図１２】
2008236706.tif 000014
【図１３】
2008236706.tif 000015
【図１４】
2008236706.tif 000016
【図１５】
2008236706.tif 000017
【図１６】
2008236706.tif 000018
【図１７】
2008236706.tif 000019
【図１８】
2008236706.tif 000020
【図１９】
2008236706.tif 000021
【図２０】
2008236706.tif 000022