(57)【要約】【課題】検査対象物の上下両側の検査面を検査する場合でも、欠陥検査を迅速に且つ精度良く行うことができる欠陥検査装置及び方法を提供する。【解決手段】欠陥検査装置１は、検査対象物２が載置される支持板３と、この支持板３の左右両側に配置され、支持板３上に載置された検査対象物２を搬送する搬送ユニット４Ａ，４Ｂと、支持板３の上方及び下方に配置され、検査対象物２の上下両側の検査面にレーザ光を照射し各検査面の反射光を受光することにより、検査対象物２の両検査面までの距離をそれぞれ測定する二次元レーザ変位計５Ａ，５Ｂとを備えている。支持板３の中央部には、二次元レーザ変位計５Ｂからのレーザ光を透過させるための検査用開口部６が設けられている。検査対象物２が検査用開口部６（検査領域Ｘ）まで搬送されると、二次元レーザ変位計５Ａ，５Ｂにより検査対象物２の両検査面までの距離を同時に測定する。【選択図】図１
2008241612.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の検査対象物の表面状態の欠陥を連続的に検査するための欠陥検査装置であって、
前記検査対象物が載置される支持部材と、
前記支持部材上に載置された前記検査対象物を前記支持部材の検査領域まで搬送する搬送手段と、
前記検査領域を挟んで対向するように上下に配置され、前記検査対象物の上下両側の検査面にレーザ光を照射し前記各検査面からの反射光を受光することにより、前記各検査面までの距離をそれぞれ測定する１対の二次元レーザ変位計と、
前記１対の二次元レーザ変位計の測定結果に基づいて、前記検査対象物の表面状態の欠陥を検出する欠陥検出手段とを備えることを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項２】
前記支持部材は、前記検査領域を形成する検査用開口部を有し、
前記検査対象物の搬送方向に沿った前記検査用開口部の左右両側には、前記検査対象物の幅寸法よりも狭い開口幅を有するスリットがそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項１記載の欠陥検査装置。
【請求項３】
前記支持部材は１対有し、
前記１対の支持部材は、互いに平行に延在するように配置されており、
前記各支持部材には、前記検査対象物の幅寸法よりも狭い開口幅を有し前記検査領域を形成するスリットがそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項１記載の欠陥検査装置。
【請求項４】
前記１対の支持部材間の距離を調整する間隔調整手段を更に備えることを特徴とする請求項３記載の欠陥検査装置。
【請求項５】
複数の検査対象物の表面状態の欠陥を連続的に検査するための欠陥検査方法であって、
前記検査対象物が載置される支持部材と、前記支持部材の検査領域を挟んで対向するように上下に配置され、前記検査対象物の上下両側の検査面にレーザ光を照射し前記各検査面からの反射光を受光することにより、前記各検査面までの距離をそれぞれ測定する１対の二次元レーザ変位計とを用意する工程と、
前記支持部材上に前記検査対象物を載置し、その状態で前記検査対象物を前記検査領域まで搬送する工程と、
前記検査対象物が前記検査領域に達したときに、前記１対の二次元レーザ変位計により前記検査対象物の各検査面までの距離を同時に測定する工程と、
前記１対の二次元レーザ変位計の測定結果に基づいて、前記検査対象物の表面状態の欠陥を検出する工程とを含むことを特徴とする欠陥検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象物の表面状態の欠陥を検査するための欠陥検査装置及び方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
検査対象物の表面状態の欠陥を検査する方法としては、例えば特許文献１に記載されているように、レーザ光を検査対象物に投光し検査対象物からの反射光を受光して、検査対象物までの距離を測定する二次元レーザ距離計を用いるものが知られている。
【特許文献１】特開平６−７４７１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記従来技術においては、以下の問題点が存在する。即ち、例えば検査対象物が板状体であり、この板状体の上下両面を検査するような場合には、板状体をいちいち上下反転させる動作が必要となる。このため、一つの板状体の欠陥検査にかなりの時間がかかってしまう。また、板状体を上下反転させたときに板状体の位置や姿勢がずれることがあり、この場合には欠陥の誤検出が生じてしまう。さらに、板状体を上下反転させるためには板状体を持ち換える動作等が必要となるので、反転機構としては非常に複雑なものとなる。
【０００４】
本発明の目的は、検査対象物の上下両側の検査面を検査する場合でも、欠陥検査を迅速に且つ精度良く行うことができる欠陥検査装置及び方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、複数の検査対象物の表面状態の欠陥を連続的に検査するための欠陥検査装置であって、検査対象物が載置される支持部材と、支持部材上に載置された検査対象物を支持部材の検査領域まで搬送する搬送手段と、検査領域を挟んで対向するように上下に配置され、検査対象物の上下両側の検査面にレーザ光を照射し各検査面からの反射光を受光することにより、各検査面までの距離をそれぞれ測定する１対の二次元レーザ変位計と、１対の二次元レーザ変位計の測定結果に基づいて、検査対象物の表面状態の欠陥を検出する欠陥検出手段とを備えることを特徴とするものである。
【０００６】
このような欠陥検査装置を用いて、検査対象物の表面状態の欠陥を検査する場合、支持部材上に検査対象物を載置した状態で、搬送手段により検査対象物を支持部材の検査領域に向けて搬送する。そして、検査対象物が検査領域に達すると、１対の二次元レーザ変位計によって検査対象物の上下両側の検査面までの距離をそれぞれ同時に測定する。このように検査対象物の各検査面までの距離を片側ずつ測定するのではなく同時に測定するので、検査対象物をいちいち上下反転させる動作が不要となる。これにより、検査対象物の表面状態の欠陥検査に要する時間を短縮することができる。また、検査対象物の各検査面までの距離を同時に測定することにより、検査対象物の各検査面の位置・姿勢関係が一定の状態で測定されることとなるため、検査対象物の各検査面の位置・姿勢関係がずれることによる欠陥の誤検出を防止することができる。
【０００７】
好ましくは、支持部材は、検査領域を形成する検査用開口部を有し、検査対象物の搬送方向に沿った検査用開口部の左右両側には、検査対象物の幅寸法よりも狭い開口幅を有するスリットがそれぞれ設けられている。
【０００８】
この場合には、支持部材における検査用開口部の左右両側部分に検査対象物の両端部が載置された状態で、上側の二次元レーザ変位計により検査対象物の上側の検査面までの距離が測定され、下側の二次元レーザ変位計により検査対象物の下側の検査面までの距離が検査用開口部を通して測定されることとなる。このとき、一方のスリットの端から他方のスリットの端までの長さが検査対象物の長さ寸法と同等以上である場合には、検査用開口部における両スリットを含む部位に下側の二次元レーザ変位計からのレーザ光を通すことにより、検査対象物の下側の検査面全体にレーザ光を当てることが可能となるため、欠陥検出の精度を更に向上させることができる。また、スリットの開口幅が検査対象物の幅寸法よりも狭くなっているので、搬送手段により検査対象物が搬送される際に、検査対象物がスリットから脱落することは無い。なお、スリットの開口幅は、検査対象物の幅寸法の半分よりも狭くなっているのが好ましい。これにより、搬送手段によって検査対象物が検査用開口部（検査領域）の上を通過する際に、検査用開口部の左右両側部分では、検査対象物が搬送方向に沿って検査対象物の幅寸法の半分以上で常に支持部材と接触している状態となるため、スリットが検査対象物を傾斜させることを確実に抑制できる。
【０００９】
また、支持部材は１対有し、１対の支持部材は、互いに平行に延在するように配置されており、各支持部材には、検査対象物の幅寸法よりも狭い開口幅を有し検査領域を形成するスリットがそれぞれ設けられていても良い。
【００１０】
この場合には、任意の間隔をもって配置された各支持部材に検査対象物の両端部が載置された状態で、上側の二次元レーザ変位計により検査対象物の上側の検査面までの距離が測定され、下側の二次元レーザ変位計により検査対象物の下側の検査面までの距離が測定されることとなる。このとき、一方のスリットの端から他方のスリットの端までの長さが検査対象物の長さ寸法と同等以上である場合には、両スリットを含む部位に下側の二次元レーザ変位計からのレーザ光を通すことにより、検査対象物の下側の検査面全体にレーザ光を当てることが可能となるため、欠陥検出の精度を更に向上させることができる。また、スリットの開口幅が検査対象物の幅寸法よりも狭くなっているので、搬送手段により検査対象物が搬送される際に、検査対象物がスリットから脱落することは無い。なお、スリットの開口幅は、検査対象物の幅寸法の半分よりも狭くなっているのが好ましい。これにより、搬送手段によって検査対象物が検査領域の上を通過する際に、検査対象物が搬送方向に沿って検査対象物の幅寸法の半分以上で常に各支持部材と接触している状態となるため、スリットが検査対象物を傾斜させることを確実に抑制できる。
【００１１】
このとき、１対の支持部材間の距離を調整する間隔調整手段を更に備えることが好ましい。この場合には、検査対象物の長さ寸法に合わせて１対の支持部材間の距離を調整することにより、検査対象物の長さ寸法が変わっても、確実に検査対象物の両端部を各支持部材上に載置して欠陥検査を行うことができる。
【００１２】
また、複数の検査対象物の表面状態の欠陥を連続的に検査するための欠陥検査方法であって、検査対象物が載置される支持部材と、支持部材の検査領域を挟んで対向するように上下に配置され、検査対象物の上下両側の検査面にレーザ光を照射し各検査面からの反射光を受光することにより、各検査面までの距離をそれぞれ測定する１対の二次元レーザ変位計とを用意する工程と、支持部材上に検査対象物を載置し、その状態で検査対象物を検査領域まで搬送する工程と、検査対象物が検査領域に達したときに、１対の二次元レーザ変位計により検査対象物の各検査面までの距離を同時に測定する工程と、１対の二次元レーザ変位計の測定結果に基づいて、検査対象物の表面状態の欠陥を検出する工程とを含むことを特徴とするものである。
【００１３】
このように上下に配置された１対の二次元レーザ変位計を用いて、検査対象物の上下両側の検査面までの距離を同時に測定することにより、検査対象物をいちいち上下反転させる動作が不要となる。これにより、検査対象物の表面状態の欠陥検査に要する時間を短縮することができる。また、検査対象物の各検査面の位置・姿勢関係がずれることによる欠陥の誤検出を防止することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、検査対象物の上下両側の検査面を検査する場合でも、欠陥検査を迅速に且つ精度良く行うことができる。これにより、数多くの検査対象物の欠陥検査を連続的に行う場合に効果的となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明に係る欠陥検査装置及び方法の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【００１６】
図１は、本発明に係る欠陥検査装置の第１実施形態を示す全体構成図（一部断面を含む）である。図２は、図１に示した欠陥検査装置の主要部の平面図であり、図３は、図１に示した欠陥検査装置の主要部の断面図である。各図において、本実施形態の欠陥検査装置１は、多数の検査対象物２の表面状態の欠陥を連続的に検査するための装置である。
【００１７】
検査対象物２は、図４に示すように、湾曲した板状の小型マグネットであり、例えばモータ等に用いられる。検査対象物２は、外側湾曲面２ａと、内側湾曲面２ｂと、２つの側面２ｃと、２つの端面２ｄとを有している。このような検査対象物２を製造する工程において、外側湾曲面２ａ及び内側湾曲面２ｂは研磨される。欠陥検査装置１は、研磨不良等により外側湾曲面２ａ及び内側湾曲面２ｂに生じる欠陥を検査するものである。
【００１８】
欠陥検査装置１は、検査対象物２が載置される長方形状の支持板３と、この支持板３の左右両側に配置され、支持板３上に載置された検査対象物２を矢印Ａ方向に搬送する搬送ユニット４Ａ，４Ｂと、支持板３の上方及び下方に配置され、二次元のレーザ光を用いて検査対象物２の上下両側の検査面までの距離（変位）をそれぞれ測定する二次元レーザ変位計５Ａ，５Ｂとを備えている。
【００１９】
支持板３は、脚部（図示せず）の上端に取り付けられている。支持板３の中央部には、支持板３の下方に配置された二次元レーザ変位計５Ｂからのレーザ光を透過させるための検査用開口部６が設けられている。検査用開口部６は、検査対象物２を検査するための検査領域Ｘを形成している。
【００２０】
検査用開口部６は、長方形状の開口窓７と、この開口窓７の左右両側に形成された１対のスリット８とを有している。開口窓７の開口幅Ｗ１は、例えば検査対象物２の幅寸法Ｄよりも大きくなっており、スリット８の開口幅Ｗ２は、検査対象物２の幅寸法Ｄに比べて十分小さくなっている。スリット８を含む検査用開口部６の搬送下流側の縁部には、面取り９が形成されている。
【００２１】
検査対象物２は、外側湾曲面２ａを上側に向けた状態で、両端面２ｄが支持板３の幅方向（左右方向）に対して開口窓７を跨ぐように支持板３上に載置される。このとき、二次元レーザ変位計５Ｂからのレーザ光によって検査対象物２の内側湾曲面２ｂ及び両端面２ｄの変位が全面にわたって測定可能となるように、スリット８の開口幅Ｗ２を含む検査用開口部６の寸法が規定されている。
【００２２】
搬送ユニット４Ａ，４Ｂは、支持板３の両端部近傍にそれぞれ配置された駆動ローラ１０及び従動ローラ１１と、これらの駆動ローラ１０及び従動ローラ１１に掛け渡されたプロフィールベルト１２と、駆動ローラ１０を回転させるモータ１３と有している。従動ローラ１１は、ローラ保持部材１４に自由回転可能に保持されている。プロフィールベルト１２には、複数の搬送コマ１５が等間隔で取り付けられている。
【００２３】
搬送ユニット４Ａ，４Ｂの各搬送コマ１５が互いに対応する位置にある状態で、搬送ユニット４Ａ，４Ｂの各モータ１３を互いに反対方向（図２中のＢ方向）に等速で回転させると、搬送ユニット４Ａ，４Ｂの各プロフィールベルト１２は同期して動くようになる。このため、支持板３上に載置された検査対象物２の両端部が１対の搬送コマ１５により押され、検査対象物２が支持板３上を摺動するようになる。
【００２４】
このとき、支持板３の検査領域においては、検査対象物２の両端部がスリット８の上を通ることになるが、上述したようにスリット８の開口幅Ｗ２は検査対象物２の幅寸法Ｄに比べて十分狭いので、検査対象物２がスリット８の位置で脱落することは無い。また、スリット８の開口幅Ｗ２が十分狭くなっている上、検査用開口部６の搬送下流側の縁部には面取り９が設けられているので、検査対象物２が検査用開口部６に引っ掛かりにくくなり、検査対象物２が支持板３上をスムーズに搬送される。
【００２５】
なお、支持板３上に載置された検査対象物２を搬送する手段としては、特に上記の搬送ユニット４Ａ，４Ｂには限られず、例えば最初だけ検査対象物２を押し付けて搬送するようにしても良い。
【００２６】
二次元レーザ変位計５Ａ，５Ｂは、支持板３に形成された検査用開口部６を挟んで対向するように配置されている。二次元レーザ変位計５Ａ，５Ｂは、検査対象物２にレーザ光を照射する投光部１６と、検査対象物２で反射したレーザ光（反射光）を受光する受光部１７とを有し、二次元三角測距の原理を利用して、検査対象物２までの距離を測定する。
【００２７】
投光部１６は、例えばレーザ光を発生させるレーザダイオードと、このレーザダイオードから出射されたレーザ光を帯状（ライン状）に広げるシリンドリカルレンズとを有している。受光部１７は、例えば検査対象物２からの反射光を取り込んで結像するＣＭＯＳイメージセンサやＣＣＤを有している。
【００２８】
二次元レーザ変位計５Ａの投光部１６は、検査用開口部６のスリット８に対応する位置の直上に配置され、二次元レーザ変位計５Ｂの投光部１６は、同スリット８に対応する位置の直下に配置されている。そして、各投光部１６は、検査用開口部６の各スリット８を含む部位に向けてライン状のレーザ光を照射する。二次元レーザ変位計５Ａの受光部１７は、同投光部１６よりも搬送下流側に傾けて配置され、二次元レーザ変位計５Ｂの受光部１７は、同投光部１６よりも搬送上流側に傾けて配置されている。
【００２９】
ここで、二次元レーザ変位計５Ａの投光部１６から出射されたライン状のレーザ光が検査対象物２の１ライン分の外側湾曲面２ａの全面に当たり、この外側湾曲面２ａで反射されたレーザ光が同受光部１７に取り込まれることで、１ライン毎の測定データが順次得られる。また、二次元レーザ変位計５Ｂの投光部１６から出射されたライン状のレーザ光が検査用開口部６を通って検査対象物２の１ライン分の内側湾曲面２ｂ及び両端面２ｄの全面に当たり、これらの内側湾曲面２ｂ及び両端面２ｄで反射されたレーザ光が検査用開口部６を通って同受光部１７に取り込まれることで、１ライン毎の測定データが順次得られる。
【００３０】
二次元レーザ変位計５Ａ，５Ｂは、変位計コントローラ１８と接続されている。また、変位計コントローラ１８は、パソコン１９と接続されている。変位計コントローラ１８は、二次元レーザ変位計５Ａ，５Ｂの投光部１６を制御すると共に、二次元レーザ変位計５Ａ，５Ｂの受光部１７からの測定データに基づいて所定の処理を行い、その結果をパソコン１９に出力する。
【００３１】
図５は、変位計コントローラ１８により実行される処理手順を示すフローチャートである。同図において、まず二次元レーザ変位計５Ａ，５Ｂの受光部１７からの測定信号を入力する（手順Ｓ１０１）。
【００３２】
そして、各受光部１７からの測定信号に基づいて、１ライン分について検査対象物２の表面をプロファイル化したプロファイルデータをそれぞれ作成する（手順Ｓ１０２）。図６（ａ）は、検査対象物２の上側検査面（外側湾曲面２ａ）のプロファイルデータの一例を示したものであり、図６（ｂ）は、検査対象物２の下側検査面（内側湾曲面２ｂ及び両端面２ｄ）のプロファイルデータの一例を示したものである。
【００３３】
続いて、１ライン分についての検査対象物２の厚み寸法を求める（手順Ｓ１０３）。具体的には、二次元レーザ変位計５Ａ，５Ｂ間の距離ａは、予めメモリに記憶されている。また、手順Ｓ１０２で得られた上側検査面のプロファイルデータに基づいて、二次元レーザ変位計５Ａから検査対象物２の上側検査面までの距離ｂが１ライン分だけ求められ、手順Ｓ１０２で得られた下側検査面のプロファイルデータに基づいて、二次元レーザ変位計５Ｂから下側検査面までの距離ｃが１ライン分だけ求められる。すると、下記式から、検査対象物２の厚み寸法ｔが得られる。
ｔ＝ａ−（ｂ＋ｃ）
【００３４】
このように検査対象物２の上側検査面及び下側検査面までの距離を同時に測定することにより、支持板３の高さや厚み等の影響を加味することなく、検査対象物２の厚み寸法を簡単に求めることができる。
【００３５】
そして、その検査対象物２の厚み寸法ｔのデータをパソコン１９に出力する（手順Ｓ１０４）。以下、上記の手順Ｓ１０１〜Ｓ１０４を繰り返し行うことにより、検査対象物２の各ライン毎の厚み寸法ｔが得られる。
【００３６】
パソコン１９は、変位計コントローラ１８から送られた検査対象物２の厚みデータに基づいて、検査対象物２の表面に研磨不良や欠け等の欠陥があるかどうかを解析する。解析方法としては、例えば検査対象物２の厚み寸法のマスターデータを予め用意しておき、実際の検査対象物２の厚み寸法をマスターデータと比較照合しても良いし、或いは検査対象物２の厚みデータの左右対称性を判定しても良い。
【００３７】
このように変位計コントローラ１８は検査対象物２のライン毎の厚み寸法データのみをパソコン１９に送出するので、変位計コントローラ１８からパソコン１９に送るデータ量が少なくて済み、パソコン１９による欠陥解析処理を簡素化することができる。
【００３８】
図１及び図２に戻り、欠陥検査装置１は、支持板３の搬送上流側に設置された搬入コンベア２０と、支持板３の搬送下流側に設置された搬出コンベア２１とを更に備えている。支持板３と搬入コンベア２０との間には、検査対象物２を搬入コンベア２０から支持板３に順次移載するための移載ハンド２２が配置されている。移載ハンド２２には、検査対象物２を吸着保持する複数の吸着パッド２３が設けられている。移載ハンド２２は、アクチュエータ２４により回転動作すると共に上下動する。
【００３９】
搬出コンベア２１は、支持板３に近接して配置されている。これにより、支持板３から搬出コンベア２１への検査対象物２の受け渡しを容易に行うことができる。
【００４０】
次に、以上のように構成した欠陥検査装置１を用いて、検査対象物２の表面状態の欠陥を検査する方法について説明する。
【００４１】
まず、二次元レーザ変位計５Ａ，５Ｂの各モータ１３により各駆動ローラ１０を互いに反対方向に回転駆動させることで、１対のプロフィールベルト１２を互いに反対方向（図２中の矢印Ｂ方向）に同期して等速度で動かす。
【００４２】
そして、移載ハンド２２を下降させ、搬入コンベア２０上を搬送されてきた検査対象物２を吸着パッド２３で吸着保持し、その状態で移載ハンド２２の上昇・回転・下降動作を順次行い、吸着パッド２３による検査対象物２の吸着を解除して、検査対象物２を支持板３上に載せる。すると、駆動中の各プロフィールベルト１２に取り付けられている搬送コマ１５が検査対象物２を押し続けるため、検査対象物２が支持板３上を矢印Ａ方向に摺動する。
【００４３】
そして、検査対象物２が検査用開口部６（検査領域Ｘ）に到達すると、二次元レーザ変位計５Ａ，５Ｂの投光部１６から出射されたレーザ光が検査対象物２の上側検査面及び下側検査面で反射されて受光部１７に入射されることで、検査対象物２の両検査面までの距離が同時に測定される。
【００４４】
二次元レーザ変位計５Ａ，５Ｂによる測定データは変位計コントローラ１８に順次送られ、変位計コントローラ１８において検査対象物２の厚み寸法が求められる。そして、その検査対象物２の厚みデータはパソコン１９に順次送られ、パソコン１９において検査対象物２の表面に欠陥が存在するかどうかの解析が行われる。
【００４５】
二次元レーザ変位計５Ａ，５Ｂによる測定が完了した検査対象物２は、支持板３上を更に摺動して搬出コンベア２１に移載される。その後、欠陥の無い検査対象物２は良品として整列コンベア（図示せず）に送られ、欠陥が存在する検査対象物２は不良品として別途排出される。以後、検査すべき検査対象物２の数量分だけ、上記の工程が連続的に実施されることになる。
【００４６】
以上のように本実施形態にあっては、検査用開口部６を有する支持板３の上方及び下方に二次元レーザ変位計５Ａ，５Ｂをそれぞれ配置し、これらの二次元レーザ変位計５Ａ，５Ｂにより検査対象物２の上側検査面及び下側検査面までの距離を同時に測定するようにしたので、検査対象物２の両検査面に対する測定を行うために検査対象物２をひっくり返さなくて済む。このため、一つ検査対象物２の検査に要する時間が大幅に短縮される。また、検査対象物２を持ち換えたり反転させるための機構が不要となるため、装置の構造が簡単になる。
【００４７】
また、検査対象物２を外側湾曲面２ａが上側に向いた状態から内側湾曲面２ｂが上側に向いた状態に上下反転させると、反転動作の前後で検査対象物２の位置及び姿勢がずれることがある。この場合には、検査対象物２の正確な厚み寸法が得られなくなるため、欠陥の誤検出が発生することがある。さらに、検査対象物２の表面に存在する欠陥を画像処理により検出することも考えられる。しかし、この場合には、検査対象物２の外側湾曲面２ａ及び内側湾曲面２ｂにおいて画像に濃淡が生じるために、欠陥の検出が困難である。
【００４８】
本実施形態では、二次元レーザ変位計５Ａ，５Ｂにより検査対象物２の上側検査面及び下側検査面に対する測定を同時に行うので、検査対象物２の搬送時に検査対象物２の位置や姿勢が支持板３に対して多少ずれたとしても、検査対象物２の上側検査面及び下側検査面の位置・姿勢関係は変わることは無い。このため、検査対象物２の正確な厚み寸法が得られるため、欠陥の誤検出を防止することができる。
【００４９】
このように検査対象物２の表面に欠陥があるかどうかを短時間で且つ精度良く検査することができる。これにより、多数の小型部品の表面状態の欠陥を連続的に高速で検査するという要求に対し、十分に対処することが可能となる。
【００５０】
図７は、本発明に係る欠陥検査装置の第２実施形態を示す全体構成図（一部断面を含む）である。図８は、図７に示した欠陥検査装置の平面図であり、図９は、図７に示した欠陥検査装置の断面図である。図中、第１実施形態と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。
【００５１】
各図において、本実施形態の欠陥検査装置３０は、第１実施形態における支持板３に代えて、互いに平行に延びるように配置された１対の帯状の支持板３１を備えている。各支持板３１の外側側面には、支持板３１に沿って延びる壁板３２が固定されている。各支持板３１の中央部には、検査対象物２を検査するための検査領域Ｘを形成するスリット３３が形成されている。スリット３３の開口幅Ｗ２は、第１実施形態における支持板３に形成されたスリット８の開口幅と等しくなっている。スリット３３の搬送下流側の縁部には、面取り３４が形成されている。
【００５２】
検査対象物２は、外側湾曲面２ａを上側に向けた状態で、両端面２ｄが各支持板３１間の空間を跨ぐように各支持板３１上に載置される。このとき、各支持板３１の外側には壁板３２が設けられているので、検査対象物２の脱落が防止される。
【００５３】
また、欠陥検査装置３０は、各支持板３１間の間隔（距離）を調整する間隔調整ユニット３５と、各支持板３１上に載置された検査対象物２を搬送する搬送ユニット３６Ａ，３６Ｂと、支持板３１の上方及び下方にそれぞれ配置された上記の二次元レーザ変位計５Ａ，５Ｂとを備えている。
【００５４】
間隔調整ユニット３５は、各支持板３１の下面に固定された１対のネジナット３７を有し、これらのネジナット３７には、支持板３１の幅方向に延びるネジ軸３８が貫通している。ネジ軸３８は、互いに逆方向にネジが切られた雄ネジ部３９ａ，３９ｂを有し、雄ネジ部３９ａ，３９ｂは、各ネジナット３７に形成された雌ネジにそれぞれ螺合している。ネジ軸３８の一端には、回転用ハンドル４０が取り付けられている。
【００５５】
各支持板３１の一端部の下面にはスライダ４１がそれぞれ取り付けられ、これらのスライダ４１は、支持板３１の幅方向に延びるスライドレール４２上を摺動自在となっている。また、各支持板３１の他端部の下面にはスライダ４３がそれぞれ取り付けられ、これらのスライダ４３は、支持板３１の幅方向に延びるスライドレール４４上を摺動自在となっている。スライドレール４２，４４は、脚部４５の上端に固定されている。ネジ軸３８は、１対の連結板４６を介してスライドレール４２の両端に連結されている。ネジ軸３８と連結板４６との間には軸受４７が設けられている。
【００５６】
このような間隔調整ユニット３５において、回転用ハンドル４０を回転させると、ネジ軸３８が回転するため、ネジ軸３８と係合する各ネジナット３７が互いに接近または離間する方向に移動し、これに伴って各スライダ４１がスライドレール４２上を摺動すると共に各スライダ４３がスライドレール４４上を摺動する。これにより、１対の支持板３１が互いに接近または離間する方向に移動し、各支持板３１間の間隔が変化することとなる。これにより、検査対象物２の寸法が変わっても、検査対象物２の両端面２ｄを容易に各支持板３１に載せることができる。
【００５７】
搬送ユニット３６Ａ，３６Ｂは、壁板３２の一端に固定されたＬ字型のローラ保持板４８と、壁板３２の他端に固定されたＬ字型のローラ保持板４９とを有している。ローラ保持板４８には、駆動ローラ５０及び従動ローラ５１が上下に回転自在に支持され、ローラ保持板４９には、２つの従動ローラ５２が上下に回転自在に支持されている。これらの駆動ローラ５０、従動ローラ５１及び各従動ローラ５２には、プロフィールベルト５３が掛け渡されている。プロフィールベルト５３には、複数の搬送コマ５４が等間隔で取り付けられている。駆動ローラ５０は、モータ５５により回転駆動される。
【００５８】
搬送ユニット３６Ａ，３６Ｂの各搬送コマ５４が互いに対応する位置にある状態で、搬送ユニット３６Ａ，３６Ｂの各モータ５５を同方向に等速で回転させると、１対のプロフィールベルト５３は同期して動くようになる。このため、１対の支持板３１上に載置された検査対象物２の両端部が搬送コマ５４により押され、検査対象物３が各支持板３１上を摺動するようになる。
【００５９】
二次元レーザ変位計５Ａ，５Ｂは、各支持板３１に形成されたスリット３３（検査領域Ｘ）を挟んで対向するように配置されている。二次元レーザ変位計５Ａの投光部１６は、スリット３３に対応する位置の直上に配置され、二次元レーザ変位計５Ｂの投光部１６は、スリット３３に対応する位置の直下に配置されている。そして、各投光部１６は、各スリット３３を含む部位に向けてライン状のレーザ光を照射する。
【００６０】
以上のような本実施形態においては、スリット３３を有する１対の支持板３１の上方及び下方に二次元レーザ変位計５Ａ，５Ｂをそれぞれ配置し、これらの二次元レーザ変位計５Ａ，５Ｂにより検査対象物２の上側検査面及び下側検査面までの距離を同時に測定するようにしたので、検査対象物２をいちいち反転させなくて済む。これにより、第１実施形態と同様に、検査対象物２の表面に欠陥があるかどうかを短時間で且つ精度良く検査することができる。
【００６１】
なお、本発明は、上記実施形態に限られるものではない。例えば上記第１実施形態では、検査用開口部６を有する支持板３上に検査対象物２を載置するようにしたが、レーザ光を透過させる透明板を検査用開口部６に組み込んでも良いし、或いは支持板３自体を透明板で形成しても良い。
【００６２】
また、上記実施形態は、湾曲した板状マグネットの表面状態の欠陥を検査するものであるが、本発明は、例えば平板状や半円柱状のマグネット等といった他種類の小型部品の欠陥検査にも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明に係る欠陥検査装置の第１実施形態を示す全体構成図（一部断面を含む）である。
【図２】図１に示した欠陥検査装置の平面図である。
【図３】図１に示した欠陥検査装置の断面図である。
【図４】図１〜図３に示した欠陥検査装置により検査される検査対象物の一例を示す斜視図である。
【図５】図１に示した変位計コントローラにより実行される処理手順を示すフローチャートである。
【図６】検査対象物の両検査面のプロファイルデータの一例を示すグラフである。
【図７】本発明に係る欠陥検査装置の第２実施形態を示す全体構成図（一部断面を含む）である。
【図８】図７に示した欠陥検査装置の平面図である。
【図９】図７に示した欠陥検査装置の断面図である。
【符号の説明】
【００６４】
１…欠陥検査装置、２…検査対象物、２ａ…外側湾曲面（検査面）、２ｂ…内側湾曲面（検査面）、２ｄ…端面（検査面）、３…支持板（支持部材）、４Ａ，４Ｂ…搬送ユニット（搬送手段）、５Ａ，５Ｂ…二次元レーザ変位計、６…検査用開口部、８…スリット、１８…変位計コントローラ（欠陥検出手段）、１９…パソコン（欠陥検出手段）、３０…欠陥検査装置、３１…支持板（支持部材）、３２…壁板（支持部材）、３３…スリット、３５…間隔調整ユニット（間隔調整手段）、３６Ａ，３６Ｂ…搬送ユニット（搬送手段）、Ｘ…検査領域。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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