(57)【要約】【課題】  高温における寸法安定性に優れた高品質の複合フィルムを提供することにあり、特に回路材料製造工程の工程離型材料や電気絶縁材料、建築物の床材、成形用、磁気記録媒体用および印刷部材などに好適である複合フィルムを提供することにある。【解決手段】  二軸配向ポリエステルフィルムの少なくとも片面に金属系酸化物を含む層（Ｍ層）を有し、該フィルムの全光線透過率が１０〜７５％の範囲内であり、かつ、フィルム長手方向に周波数１Ｈｚで測定した動的粘弾性において、（温度６０℃の貯蔵弾性率）／（温度１６０℃の貯蔵弾性率）の比が１．５〜５．０であることを特徴とする複合フィルムとする。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも片面に金属系酸化物を含む層（Ｍ層）を有する二軸配向ポリエステルフィルムであって、該フィルムの全光線透過率が１０〜７５％の範囲内であり、かつ、フィルム長手方向に周波数１Ｈｚで測定した動的粘弾性において、（温度６０℃の貯蔵弾性率）／（温度１６０℃の貯蔵弾性率）の比が１．５〜５．０である複合フィルム。
【請求項２】
金属系酸化物を含む層（Ｍ層）の表面抵抗率が１×１０3〜１×１０１３Ωの範囲内である請求項１に記載の複合フィルム。
【請求項３】
金属系酸化物を含む層（Ｍ層）の厚みが３０〜２００ｎｍである請求項１または２に記載の複合フィルム。
【請求項４】
二軸配向ポリエステルフィルムの示差走査熱量計を用いて室温から昇温速度２０℃／分で昇温したとき、観測される融解の吸熱ピークのピーク温度を融点（Ｔｍ）として、融点の直前に観測される融点直下の微小溶融ピーク温度が（融点（Ｔｍ）−５５）℃〜（Ｔｍ−１５）℃である請求項１〜３のいずれかに記載の複合フィルム。
【請求項５】
複合フィルム長手方向および幅方向の温度１５０℃における熱収縮率が０〜１．０％である請求項１〜４のいずれかに記載の複合フィルム。
【請求項６】
複合フィルム長手方向および幅方向の温度６０〜１６０℃における温度膨張係数が０〜３０ｐｐｍ／℃である請求項１〜５のいずれかに記載の複合フィルム。
【請求項７】
Ｍ層の金属元素濃度が３０〜６０ａｔ．％である請求項１〜６のいずれかに記載の複合フィルム。
【請求項８】
Ｍ層の金属結合している金属原子の存在比が１〜２０ａｔ．％である請求項１〜７のいずれかに記載の複合フィルム。
【請求項９】
Ｍ層の金属系酸化物が酸化アルミニウムであり、水酸基と結合しているアルミニウム原子の存在比が０〜５０ａｔ．％である請求項１〜８のいずれかに記載の複合フィルム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属系酸化物と二軸配向ポリエステルフィルムからなる複合フィルムに関するものであり、高温における熱収縮や熱膨張を抑制した寸法安定性に優れており、かつ、金属系酸化物からなる層のクラックなどの発生が少なく、工程離型材料、電気絶縁材料、印刷材料、成形材料、磁気記録媒体用および建材などの各種工業材料用途において、好適に使用できる複合フィルムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
二軸配向ポリエステルフィルムは、強度、耐久性、透明性、柔軟性および表面特性の付与が可能などの特長を活かして、工程離型材料用、電気絶縁用、印刷材料用、成形材料用、建材用および磁気記録媒体用などの各種工業材料用で用いられている。
【０００３】
近年、携帯電話などの電子機器の技術進歩に伴って、フレキシブルプリント回路基板（ＦＰＣ）の需要が急激に伸びており、さらにこのような機器の小型化と軽量化に対応してＦＰＣの薄膜化が進んでいる。このため、ＦＰＣ用の銅貼りポリイミドフィルムの薄膜化も同時に進んでいるが、これによってフィルムの剛性自体が低下してＦＰＣを製造する際の加工が困難になっている。
【０００４】
そこで加工時の取り扱いを簡便にするため、加工終了時に剥離、除去できる微粘着性の補強用のポリエステルフィルムをあらかじめ貼り付けて剛性をもたせる方法が用いられることがある。しかしながら、このような方法によるＦＰＣ製造過程では、補強用のポリエステルフィルムを貼り付けた状態で加熱プレス加工したり、キュアしたり、ＩＣチップを実装したりする工程があるが、銅貼りポリイミドフィルムに比較してポリエステルフィルムは熱膨張係数が大きく、熱寸法安定性が十分でないため、ＦＰＣ製造工程中で熱変形を起こして反り返ったり、平面性が悪化したりするなどの問題が生じることがあった。
【０００５】
温度や湿度に対する寸法安定性を向上するためには、ポリエステルフィルムの片面または両面に金属などの補強層を設ける方法（例えば、特許文献１または特許文献２など）が開示されている。しかしながら、補強層が金属の場合、酸化物と比較して、強度が弱く、ポリエステルフィルムの膨張・収縮を抑制する効果が小さいという問題もある。一方、補強層が酸化物やその他の化合物の場合、イオン結合のため、硬いがもろく延性がない性質を持つ。そのため、張力によって割れ（クラック）を生じたり、湾曲による割れが生じたりする。また、酸化物は吸湿性をもつため、湿度に対する寸法安定性向上効果が小さく、補強層自体の吸湿膨張により寸法安定性を悪化させる場合もある。
【０００６】
一方、動的粘弾性における貯蔵弾性率の温度依存性を一定の範囲に制御する方法（例えば、特許文献３など）が開示されている。しかし、特許文献３では基材の少なくとも一方の面に設けられた層の貯蔵弾性率を制御したものであり、基材を含めた貯蔵弾性率を制御したものではない。
【特許文献１】特開２０００−１１３７６号公報
【特許文献２】特開２００２−３１９１２２号公報
【特許文献３】特開２０００−１３１８６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、上記の問題を解決し、高温における寸法安定性に優れており、かつ、金属系酸化物の耐クラック性に優れた高品質の複合フィルムを提供することにあり、特に回路材料製造工程の工程離型材料や電気絶縁材料、建築物の床材、成形用、磁気記録媒体用および印刷部材などに好適である複合フィルムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明は、次の（１）〜（６）を特徴とするものである。すなわち、
（１）少なくとも片面に金属系酸化物を含む層（Ｍ層）を有する二軸配向ポリエステルフィルムであって、該フィルムの全光線透過率が１０〜７５％の範囲内であり、かつ、フィルム長手方向に周波数１Ｈｚで測定した動的粘弾性において、（温度６０℃の貯蔵弾性率）／（温度１６０℃の貯蔵弾性率）の比が１．５〜５．０である複合フィルム、
（２）金属系酸化物を含む層（Ｍ層）の表面抵抗率が１×１０3〜１×１０１３Ωの範囲内である（１）に記載の複合フィルム、
（３）金属系酸化物を含む層（Ｍ層）の厚みが３０〜２００ｎｍである（１）または（２）に記載の複合フィルム、
（４）二軸配向ポリエステルフィルムの示差走査熱量計を用いて室温から昇温速度２０℃／分で昇温したとき、観測される融解の吸熱ピークのピーク温度を融点（Ｔｍ）として、融点の直前に観測される融点直下の微小溶融ピーク温度が（融点（Ｔｍ）−５５）℃〜（Ｔｍ−１５）℃である（１）〜（３）のいずれかに記載の複合フィルム、
（５）複合フィルム長手方向および幅方向の温度１５０℃における熱収縮率が０〜１．０％である（１）〜（４）のいずれかに記載の複合フィルム、
（６）複合フィルム長手方向および幅方向の温度６０〜１６０℃における温度膨張係数が０〜３０ｐｐｍ／℃である（１）〜（５）のいずれかに記載の複合フィルム、
である。
（７）Ｍ層の金属元素濃度が３０〜６０ａｔ．％である上記（１）〜（６）のいずれかに記載の複合フィルム。
（８）Ｍ層の金属結合している金属原子の存在比が１〜２０ａｔ．％である上記（１）〜（７）のいずれかに記載の複合フィルム。
（９）Ｍ層の金属系酸化物が酸化アルミニウムであり、水酸基と結合しているアルミニウム原子の存在比が０〜５０ａｔ．％である上記（１）〜（８）のいずれかに記載の複合フィルム。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、寸法安定性に優れクラックも発生しにくい複合フィルムであって、工程離型材料、電気絶縁材料、印刷材料、成形材料、磁気記録媒体用および建材などの各種工業材料用途において、好適に使用できる複合フィルムを得ることができる。特に、電子回路用材料とした際に温度や湿度の環境変化や保存による寸法変化が小さく、かつクラック発生が少なくすることができる複合フィルムを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明の複合フィルムは、二軸配向ポリエステルフィルムの少なくとも片面の表面上に金属系酸化物を含む層（Ｍ層）が形成されてなる。金属系酸化物とは、例えば、Ｃｕ、Ｚｎ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｆｅ、Ａｇ、Ｔｉ、Ｍｇ、Ｓｎ、Ｚｒ、Ｉｎ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｖ、Ｎｉ、Ｍｏ、Ｃｅ、Ｇａ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｙ、Ｗなどの金属成分を酸化させたものであって、組成分析を行った場合の平均組成における酸素原子含有量が１０ａｔ．％以上となっているものをいう。なお、ａｔ．％とは、ａｔｏｍｉｃ％の略である。ａｔｏｍｉｃ％とは原子数１００個当たりの該原子数の個数を示したものである。
【００１１】
Ｍ層の金属元素濃度は３０〜６０ａｔ．％であることが好ましい。金属元素濃度が３０ａｔ．％より少ないということは、金属原子に対して酸素原子が多すぎるため、不完全な構造となりやすく（金属原子や酸素原子が未結合で残存することになりやすく）、補強効果が小さくなり寸法安定性が低下しやすくなる。６０ａｔ．％より多い場合、ほぼ金属の特性を持つため、寸法安定性が低くなり易いなどの問題がある。より好ましくは３０〜５０ａｔ．％である。
また、Ｍ層の金属結合している金属原子の存在比は１〜２０ａｔ．％であることが好ましい。金属結合の存在比が１ａｔ．％より小さいと、たとえ上述するような金属元素濃度であっても靭性のある金属結合が少ないためクラックが起こりやすく、実用特性における耐久性に不十分であることがある。２０ａｔ．％より大きいと、たとえ上述するような金属元素濃度であっても補強効果が十分ではなく寸法安定性が低下しにくいことがある。金属結合している金属原子は吸湿しないため、構造欠陥を作りにくく寸法安定性の悪化を防ぐことができる。より好ましくは２〜２０ａｔ．％、さらに好ましくは３〜１０ａｔ．％である。上述するような金属元素濃度であっても、金属結合している金属原子の存在比を制御することで表面抵抗率を本発明の範囲に制御することができる。金属結合の存在比は金属の蒸発量と酸素ガス導入量から制御することができるが金属元素濃度よりもさらにミクロな構造を示した組成であり、酸化反応の制御が重要となる。金属結合の存在比は金属と酸素ガスの反応効率が影響するため、酸素ガス導入の方法が重要となる。酸素ガス導入方法は蒸着源の真横から金属蒸気の流れる方向と同じ方向に供給することが好ましい。これは、金属蒸気と酸素ガスの反応が促進され、酸化反応が完了した状態でポリエステルフィルムに到達するため、過剰な酸素ガスを取り込んで金属結合存在比が小さくなったり、酸素ガスと反応できずに金属原子同士が結合し、金属結合存在比が大きくなってしまったりすることがなくなる。また、金属蒸気や酸素ガスを高エネルギー化することで反応が促進されるため、電子ビーム蒸着法により金属蒸気を高エネルギー化し、プラズマ処理などで酸素ガスを高エネルギー化することが好ましい。  上記のM層は、二軸配向ポリエステルフィルムの両面にあると、複合フィルムの反りなどが低減できるために好ましい。その場合、上記の金属系酸化物は、両表面で異なる金属成分を含んでいても良く、また、複数種の金属成分を混合して含んでいても構わないが、より好ましくは両表面で同一種の金属成分を含む方が良い。上記のＭ層は、金属系酸化物を主成分とすることが好ましく、例えば、蒸着、スパッタなどによる薄膜形成方法を用いて、金属成分を二軸配向ポリエステルフィルム表面に付着させながら、同時に酸化反応を施して形成された膜であることが好ましい。
【００１２】
M層に含まれる金属系酸化物は、酸化度の制御性、寸法安定性、生産性、環境性の観点から、アルミニウム、銅、亜鉛、銀、珪素元素の少なくとも一種を含んでいることが好ましく、より好ましくはアルミニウム元素が主成分となっていることが好ましい。Ｍ層の金属成分の主成分がアルミニウム元素である場合、Ｍ層を構成する金属系酸化物は酸化アルミニウムであることが好ましい。さらに、一般的に酸化アルミニウムは水蒸気を吸湿すると水和物（Ａｌ（ＯＨ）３）を形成し、本発明においては、この水和物も酸化物に包含するが、水酸基と結合しているアルミニウム原子の存在比が０〜５０ａｔ．％であることが好ましい。水酸基と結合しているとはアルミニウム原子が吸湿して水和物になっていることを表し、光電子分光法（ＸＰＳ）にてアルミニウムの結合状態を分析することで存在比を測定することができる。水和物の形成により部分的に体積変化が起こりＭ層内にひずみができ構造欠陥、寸法安定性悪化を引き起こしやすい。したがって、Ｍ層の酸化アルミニウム中、水酸基と結合しているアルミニウム原子の存在比は５０ａｔ．％以下であることが好ましい。より好ましくは４０ａｔ．％以下である。水酸基と結合しているアルミニウム原子の存在比を小さくさせるには、水和物を形成させないこと、すなわち水分を吸湿させないことが好ましい。アルミニウム原子と酸素原子がしっかり結合していて、未結合のアルミニウム原子や酸素原子を減らし、不完全な構造をなくすように形成することで水分の吸湿を防ぐことができる。不完全な構造はないことが好ましいが、形成時に生成してしまった場合は強制的に一気に吸湿させ、Ｍ層全体から未結合のアルミニウムや酸素原子をなくすことが好ましい。つまり、Ｍ層形成後は未結合原子をなくすための強制加湿処理を行うことが好ましい。加湿処理を行わず、未結合原子が残存していると、部分的に吸湿が起こり、その吸湿による体積変化などでＭ層に構造欠陥を作りやすくなる。構造欠陥はさらなる吸湿を発生させる原因ともなり、加湿処理を行わない場合より、水酸基と結合しているアルミニウム原子の存在比が高くなってしまう場合もある。また、Ｍ層を形成する時にポリエステルフィルムが吸湿していると、形成時の熱負荷などによりポリエステルフィルムから水分が放出され、Ｍ層の中に水分を取り込むこととなり、水和物を形成してしまうことがある。Ｍ層を形成する前にポリエステルフィルム内の水分量を減らしておくことが好ましい。
【００１３】
Ｍ層の厚みは、３０〜２００ｎｍであることが好ましい。Ｍ層の厚みが３０ｎｍより小さい場合、補強効果が小さく、温度・湿度による環境変化や荷重が付加された場合の寸法変化が大きくなりやすい。Ｍ層の厚みの下限は、好ましくは５０ｎｍ、より好ましくは７０ｎｍである。一方、Ｍ層の厚みが２００ｎｍより大きい場合は、クラックを生じやすく、張力が加えられたり、折り曲げられたりすることで剥離や脱落が発生しやすい。また、真空製膜装置を使って２００ｎｍより大きい厚みのＭ層を形成しようとすると、真空度が低下してしまい金属蒸気が蒸発しにくく不安定になる。その結果、Ｍ層が不完全な構造になり、寸法安定性や耐久性が不足しやすい。また、スパッタ法では酸素導入量が多いとターゲットの表面を酸化させてしまい、スパッタによる金属原子の飛び出しが不安定となる。その結果、真空蒸着法と同様、不完全な構造になってしまい、寸法安定性や耐久性の悪い複合フィルムとなり易い。Ｍ層の厚みの上限は、好ましくは１８０ｎｍ、より好ましくは１５０ｎｍである。好ましい範囲としては、５０〜１８０ｎｍ、より好ましい範囲としては、７０〜１５０ｎｍである。
【００１４】
また、本発明の複合フィルムは、M層の設けられた表面の表面抵抗率が１．０×１０３〜１×１０１３Ωである。表面抵抗率とは、表面比抵抗（Ω／□）とも表記される特性値であり、純粋な表面抵抗（面積によって変わる抵抗値）や線抵抗（導線などの抵抗）とは異なるものである。表面抵抗率が１．０×１０３Ωより低い場合、M層による補強効果が不十分であることがある。表面抵抗率の下限は、より好ましくは１．０×１０４Ωであり、さらに好ましくは１．０×１０５Ωである。一方、表面抵抗率が１×１０１３Ωより高い場合、酸化が進みすぎているために、クラックの発生や寸法安定性の低下の傾向がある。すなわち、表面抵抗率を上記範囲に制御することで、Ｍ層の構造が安定化して水蒸気や水分に対するバリア効果が発現され、かつ、補強効果も高まりやすい。表面抵抗率の上限は、より好ましくは１×１０１２Ω、さらに好ましくは１×１０１０Ωである。より好ましい範囲としては、１．０×１０４〜１×１０１２Ω、さらに好ましい範囲としては、１．０×１０５〜１×１０１０Ωである。
【００１５】
表面抵抗率は、表面抵抗率の範囲によって、測定可能な装置が異なるため、まずｉ）の方法で支持体の測定を行い、表面抵抗率が測定不可能なサンプルをｉｉ）の方法で測定する。５回の測定結果の平均値を本発明における表面抵抗率とする。つまり、ｉ）低抵抗率測定をＪＩＳ−Ｋ７１９４（１９９４年）に準拠した方法で最初に実施する。５回測定した平均値を表面抵抗率とする。しかし、表面抵抗率が比較的高い場合、上記ｉ）の方法では測定不能となることがある。その場合、ｉｉ）高抵抗率測定をＪＩＳ−Ｃ２１５１（１９９０年）に準拠して測定する。同様に５回測定して平均値を表面抵抗率とする。
【００１６】
本発明の複合フィルムの長手方向に周波数１Hzで測定した動的粘弾性において、（温度６０℃の貯蔵弾性率）／（温度１６０℃の貯蔵弾性率）の比が１．５〜５．０である。貯蔵弾性率を本願の範囲に制御することにより、高温での貯蔵弾性率の低下を抑制して、高温における寸法安定性に優れた複合フィルムを得ることができる。金属系酸化物を含む層の厚みや表面抵抗率を制御することにより、本発明の範囲に制御することができる。（温度６０℃の貯蔵弾性率）／（温度１６０℃の貯蔵弾性率）の比の上限値として好ましい値は４．０であり、さらに好ましい値は３．０であり、（温度６０℃の貯蔵弾性率）／（温度１６０℃の貯蔵弾性率）の比の下限値として好ましい値は２．０である。好ましい範囲として、１．５〜４．０であり、さらに好ましい範囲として２．０〜３．０を挙げることができる。（温度６０℃の貯蔵弾性率）／（温度１６０℃の貯蔵弾性率）の比が１．５未満になると実質的に複合フィルムの貯蔵弾性率の温度依存性がほとんどないことになるが、二軸配向ポリエステルフィルムに対する酸化金属膜の補強効果が高すぎる場合が多く、クラックや剥離などの問題が発生しやすくなる。また、（温度６０℃の貯蔵弾性率）／（温度１６０℃の貯蔵弾性率）の比が５．０を超えると高温における貯蔵弾性率の低下が大きく、その範囲における複合フィルムの寸法安定性が急激に悪化することがある。
【００１７】
（温度６０℃の貯蔵弾性率）／（温度１６０℃の貯蔵弾性率）を得るために、動的粘弾性評価装置ＤＭＳ６１００（セイコ−インスツルメンツ社製）を用い、フィルム長手方向を試料長さとして、試料幅１０mm、試料長さ（チャック間距離）２０mmの試料を下記条件で測定する。
【００１８】
測定温度域  ：３０〜２００℃
振動周波数  ：１Ｈｚ
振動変位（歪み）   ：１０(mm)
昇温速度          ：２ （℃／分）
上記条件下で測定したデ−タをもとに、得られた貯蔵弾性率を縦軸に温度（３０〜２００℃）を横軸としたグラフを作成し、温度６０℃における貯蔵弾性率の値と温度１６０℃における貯蔵弾性率の値から比を求める。
【００１９】
本発明の複合フィルムに用いられる二軸配向ポリエステルフィルムの、示差走査熱量計を用いて室温から昇温速度２０℃／分で昇温したとき、観測される融解の吸熱ピークのピーク温度を融点（Ｔｍ）として、融点の直前に観測される融点直下の微小溶融ピーク温度が（融点（Ｔｍ）−５５）℃〜（Ｔｍ−１５）℃であることが好ましい。融点直下の微小融解ピーク温度が上記範囲にあると、二軸配向ポリエステルフィルムとして本発明の目的に沿う高温における熱収縮や熱膨張を低減するための基材フィルムを得ることができる。該微小融解ピークは、二軸配向ポリエステルフィルムの熱処理温度に関与しており、下限値として好ましくは（Ｔｍ−５０）℃、さらに好ましくは（Ｔｍ−４５）℃であり、上限値として好ましくは（Ｔｍ−２０）℃、さらに好ましくは（Ｔｍ−２５）℃である。また、より好ましい範囲として、（Ｔｍ−５０）〜（Ｔｍ−２０）℃であり、さらに好ましい範囲として（Ｔｍ−４５）〜（Ｔｍ−２５）℃である。
【００２０】
本発明の複合フィルムは、長手方向および幅方向の温度６０℃から１６０℃における温度膨張係数が０〜３０ｐｐｍ／℃の範囲が好ましい。温度膨張係数が上記範囲内であることは、回路材料加工における寸法安定性の観点から好ましい。温度膨張係数の上限値は、好ましくは２５ｐｐｍ／℃、さらに好ましくは２０ｐｐｍ／℃であり、下限値は、好ましくは５ｐｐｍ／℃、さらに好ましくは１０ｐｐｍ／℃である。より好ましい範囲としては、５〜２５ｐｐｍ／℃、さらに好ましい範囲としては１０〜２０ｐｐｍ／℃である。また、長手方向と幅方向の温度膨張係数の差が５ｐｐｍ／℃以下であることが、高温加工時におけるツイストカールなどを避ける観点から好ましい。
【００２１】
本発明の複合フィルムは、長手方向および幅方向の温度１５０℃における熱収縮率が０〜１．０％であることが好ましい。熱収縮率が上記範囲内であることは、回路材料加工における寸法安定性の観点から好ましい。熱収縮率の上限値は、好ましくは０．５％、さらに好ましくは０．３％である。より好ましい範囲としては、０〜０．５％であり、さらに好ましい範囲としては０〜０．３％である。また、長手方向と幅方向の熱収縮率の差が０．５％以下であることが、高温加工時におけるツイストカールなどを避ける観点から好ましい。
【００２２】
なお、本発明において、複合フィルムの長手方向とは、一般的にＭＤ方向といわれる方向であって、ポリエステルフィルム製造工程時の長手方向と同じ方向を指し、複合フィルムの幅方向とは、一般的にＴＤ方向といわれる方向であって、ポリエステルフィルム製造工程時の幅方向と同じ方向を指す。
【００２３】
本発明の複合フィルムは、全光線透過率が１０〜７５％である。７５％より高い場合、酸化が進みすぎているため、Ｍ層が硬く脆くなり、張力や湾曲によってクラックを生じやすく、また、酸化物の吸湿膨張が起こり易く寸法安定性が劣る傾向にある。
全光線透過率の下限は、より好ましくは１５％であり、さらに好ましくは２０％である。一方、上限は７０％がより好ましく、さらに好ましくは６０％である。より好ましい範囲としては、１５〜７０％、より好ましい範囲としては、２０〜６０％である。
【００２４】
全光線透過率はＪＩＳ−Ｋ７１０５（１９８１年）に準拠した下記測定装置を用いて支持体を測定する。５回の測定結果の平均値を本発明における全光線透過率とした。５回測定して平均値を求める。
・測定装置：直読ヘーズメーターＨＧＭ−２ＤＰ（Ｃ光源用）  スガ試験機社製
・光源    ：ハロゲンランプ１２Ｖ、５０Ｗ
・受光特性：３９５〜７４５ｎｍ
・測定環境：温度２３℃湿度６５％ＲＨ。
【００２５】
本発明において、ポリエステルフィルムとは、例えば、芳香族ジカルボン酸、脂環族ジカルボン酸または脂肪族ジカルボン酸などの酸成分やジオール成分を構成単位（重合単位）とするポリマーを用いて構成されたものである。
【００２６】
芳香族ジカルボン酸成分としては、例えば、テレフタル酸、イソフタル酸、フタル酸、１，４−ナフタレンジカルボン酸、１，５−ナフタレンジカルボン酸、２，６−ナフタレンジカルボン酸、４，４’−ジフェニルジカルボン酸、４，４’−ジフェニルエーテルジカルボン酸、４，４’−ジフェニルスルホンジカルボン酸等を用いることができ、なかでも好ましくは、テレフタル酸、フタル酸、２，６−ナフタレンジカルボン酸を用いることができる。脂環族ジカルボン酸成分としては、例えば、シクロヘキサンジカルボン酸等を用いることができる。脂肪族ジカルボン酸成分としては、例えば、アジピン酸、スベリン酸、セバシン酸、ドデカンジオン酸等を用いることができる。これらの酸成分は一種のみを用いてもよく、二種以上を併用してもよい。
【００２７】
ジオール成分としては、例えば、エチレングリコール、１，２−プロパンジオール、１，３−プロパンジオール、ネオペンチルグリコール、１，３−ブタンジオール、１，４−ブタンジオール、１，５−ペンタンジオール、１，６−ヘキサンジオール、１，２−シクロヘキサンジメタノール、１，３−シクロヘキサンジメタノール、１，４−シクロヘキサンジメタノール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、ポリアルキレングリコール、２，２’−ビス（４’−β−ヒドロキシエトキシフェニル）プロパン等を用いることができ、なかでも、エチレングリコール、１，４−ブタンジオール、１，４−シクロヘキサンジメタノール、ジエチレングリコール等を好ましく用いることができ、特に好ましくは、エチレングリコール等を用いることができる。これらのジオール成分は一種のみを用いてもよく、二種以上を併用してもよい。
【００２８】
本発明のポリエステルフィルムに用いるポリエステルには、ラウリルアルコール、イソシアン酸フェニル等の単官能化合物が共重合されていてもよいし、トリメリット酸、ピロメリット酸、グリセロール、ペンタエリスリトール、２，４−ジオキシ安息香酸、等の３官能化合物などが、過度に分枝や架橋をせずポリマーが実質的に線状である範囲内で共重合されていてもよい。さらに酸成分、ジオール成分以外に、ｐ−ヒドロキシ安息香酸、ｍ−ヒドロキシ安息香酸、２，６−ヒドロキシナフトエ酸などの芳香族ヒドロキシカルボン酸およびｐ−アミノフェノール、ｐ−アミノ安息香酸などを本発明の効果が損なわれない程度の少量であればさらに共重合せしめることができる。
【００２９】
本発明のポリエステルフィルムに用いるポリエステルとしては、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートが好ましい。また、これらの共重合体、および変性体でもよく、他の熱可塑性樹脂とのポリマーアロイでも良い。ここでいうポリマーアロイとは高分子多成分系のことであり、共重合によるブロックコポリマーであってもよいし、混合などによるポリマーブレンドでも良い。
【００３０】
特に、本発明のポリエステルフィルムには、上記ポリエステル樹脂とポリイミド系樹脂のポリマーアロイが混合割合によって耐熱性（ガラス転移温度）を制御できるため、使用条件に合わせたポリマー設計ができるため好ましい。ポリマーの混合割合はＮＭＲ法（核磁気共鳴法）や顕微ＦＴ−ＩＲ法（フーリエ変換顕微赤外分光法）を用いて調べることができる。
【００３１】
ポリイミド系樹脂としては、例えば、下記一般式で示されるような構造単位を含有するものが好ましい。
【００３２】
【化１】
2008100509.tif 000002
【００３３】
ただし、式中のＲ１は、
【００３４】
【化２】
2008100509.tif 000003
【００３５】
【化３】
2008100509.tif 000004
【００３６】
などの脂肪族炭化水素基、脂環族炭化水素基、芳香族炭化水素基から選ばれた一種もしくは二種以上の基を表している。また、式中のＲ２は、
【００３７】
【化４】
2008100509.tif 000005
【００３８】
などの脂肪族炭化水素基、脂環族炭化水素基、芳香族炭化水素基から選ばれた一種もしくは二種以上の基を表している。
【００３９】
溶融成形性やポリエステルとの親和性などの点から、下記一般式で示されるような、ポリイミド構成成分にエーテル結合を含有するポリエーテルイミドが特に好ましい。
【００４０】
【化５】
2008100509.tif 000006
【００４１】
（ただし、上記式中Ｒ３は、６〜３０個の炭素原子を有する２価の芳香族または脂肪族残基、Ｒ４は６〜３０個の炭素原子を有する２価の芳香族残基、２〜２０個の炭素原子を有するアルキレン基、２〜２０個の炭素原子を有するシクロアルキレン基、および２〜８個の炭素原子を有するアルキレン基で連鎖停止されたポリジオルガノシロキサン基からなる群より選択された２価の有機基である。）
上記Ｒ３、Ｒ４としては、例えば、下記式群に示される芳香族残基を挙げることができる。
【００４２】
【化６】
2008100509.tif 000007
【００４３】
本発明では、ポリエステルとの親和性、コスト、溶融成形性等の観点から、２，２−ビス［４−（２，３−ジカルボキシフェノキシ）フェニル］プロパン二無水物とｍ−フェニレンジアミン、またはｐ−フェニレンジアミンとの縮合物である、下記式で示される繰り返し単位を有するポリマーが好ましい
【００４４】
【化７】
2008100509.tif 000008
【００４５】
または
【００４６】
【化８】
2008100509.tif 000009
【００４７】
（ｎは２以上の整数、好ましくは２０〜５０の整数）
このポリエーテルイミドは、“ウルテム”（登録商標）の商品名で、ジーイープラスチックス社より入手可能である。
【００４８】
本発明において、例えば、ポリエステル樹脂とポリイミド樹脂とを混合する方法としては、溶融押出前に、ポリエステル樹脂とポリイミド樹脂の混合物を予備溶融混練（ペレタイズ）してマスターチップ化する方法や、溶融押出時に混合して溶融混練させる方法などがある。中でも、二軸押出機などのせん断応力のかかる高せん断混合機を用いて予備混練してマスターチップ化する方法などが好ましく例示される。その場合、通常の一軸押出機に該混合されたマスターチップ原料を投入して溶融製膜してもよいし、高せん断を付加した状態でマスターチップ化せずに直接にシーティングしてもよい。二軸押出機で混合する場合、分散不良物を低減させる観点から、３条二軸タイプまたは２条二軸タイプのスクリューを装備したものが好ましい。また、ポリエステル樹脂とポリイミド樹脂を混合する場合、溶融粘度の差があるため、ポリイミド樹脂を高濃度に混合したマスターチップを作製することが好ましく、特に、ポリエステル樹脂／ポリイミド樹脂の混合重量比率を１０／９０〜７０／３０とするのが好ましく、より好ましい範囲は３０／７０〜６０／４０の範囲である。
【００４９】
混練部の温度範囲を好ましい範囲にすることは、せん断応力を高めやすく、分散不良物を低減しやすくなる。そのときの滞留時間は１〜５分の範囲が好ましい。また、スクリュー回転数を１００〜５００回転／分とすることが好ましく、さらに好ましくは２００〜４００回転／分の範囲である。スクリュー回転数を好ましい範囲に設定することでも、高いせん断応力が付加され易く、分散不良物を低減しやすくなる。また、二軸押出機の（スクリュー軸長さ／スクリュー軸径）の比率は２０〜６０の範囲であることが好ましく、さらに好ましくは３０〜５０の範囲である。
【００５０】
さらに、二軸スクリューにおいて、混練力を高めるためにニーディングパドルなどによる混練部を設けることは好ましく、その混練部を好ましくは２箇所以上、さらに好ましくは３箇所以上設けたスクリュー形状にする。この際、原料の混合順序には特に制限はなく、全ての原材料を配合後上記の方法により溶融混練する方法、一部の原材料を配合後上記の方法により溶融混練し更に残りの原材料を配合し溶融混練する方法、あるいは一部の原材料を配合後単軸あるいは２軸の押出機により溶融混練中にサイドフィーダーを用いて残りの原材料を混合する方法など、いずれの方法を用いてもよい。また、プラスチック成形加工学会誌「成形加工」第１５巻第６号、３８２〜３８５頁（２００３年）に記載された超臨界流体を利用する方法なども好ましく例示することができる。
【００５１】
本発明において、ポリエステルフィルムは２層以上の積層構成であってもよい。積層構成であれば、例えば、両面の表面粗さを制御することができ、一方の面には表面欠点の低減を優先して平滑さを付与したり、他方の表面には、製膜・加工工程での搬送や走行性や走行耐久性を付与することを優先した粗さを付与したりすることができる。
【００５２】
ポリエステルフィルムには、その表面に易滑性や耐摩耗性、耐スクラッチ性などを付与するため、無機粒子、有機粒子、例えば、クレー、マイカ、酸化チタン、炭酸カルシウム、カリオン、タルク、湿式シリカ、乾式シリカ、コロイド状シリカ、リン酸カルシウム、硫酸バリウム、アルミナ、ジルコニア等の無機粒子、アクリル酸類、スチレン系樹脂、熱硬化樹脂、シリコーン、イミド系化合物等を構成成分とする有機粒子、ポリエステル重合反応時に添加する触媒等によって析出する粒子（いわゆる内部粒子）などが添加されていてもよい。粒子の粒径はＴＥＭなどによって調べることができ、粒子の添加量はＸ線マイクロアナライザーや熱分解ガスクロマト質量分析などによって調べることができる。
【００５３】
本発明において、支持体としての厚みは、２〜５００μｍの範囲で用途に応じて適宜決定できる。特に、回路材料や電気絶縁材料では、２５〜２５０μｍが好ましく、磁気記録媒体用では３〜６μｍが好ましい。
【００５４】
また、本発明の複合フィルムを構成するポリエステルフィルムの厚みは、２〜５００μｍであることが好ましい。特に、回路材料や電気絶縁材料では、２５〜２５０μｍが好ましく、磁気記録媒体用では３〜６μｍが好ましい。
【００５５】
上記したような本発明の複合フィルムは、たとえば次のように製造される。
【００５６】
まず、基材フィルムを構成する二軸配向ポリエステルフィルムを製造する。ポリエステルフィルムを製造するには、たとえばポリエステルのペレットを、押出機を用いて溶融し、口金から吐出した後、冷却固化してシート状に成形する。このとき、繊維焼結ステンレス金属フィルターによりポリマーを濾過することが、ポリマー中の未溶融物を除去するために好ましい。また、ポリエステルフィルムの表面に易滑性や耐摩耗性、耐スクラッチ性などを付与するため、無機粒子、有機粒子、例えば、クレー、マイカ、酸化チタン、炭酸カルシウム、カリオン、タルク、湿式シリカ、乾式シリカ、コロイド状シリカ、リン酸カルシウム、硫酸バリウム、アルミナ、ジルコニア等の無機粒子、アクリル酸類、スチレン系樹脂、熱硬化樹脂、シリコーン、イミド系化合物等を構成成分とする有機粒子、ポリエステル重合反応時に添加する触媒等によって析出する粒子（いわゆる内部粒子）などを添加することも好ましい。さらに、本発明を阻害しない範囲内であれば、各種添加剤、例えば、相溶化剤、可塑剤、耐候剤、酸化防止剤、熱安定剤、滑剤、帯電防止剤、増白剤、着色剤、導電剤、結晶核剤、紫外線吸収剤、難燃剤、難燃助剤、顔料、染料、などが添加されてもよい。
【００５７】
続いて、上記シートを長手方向と幅方向の二軸に延伸した後、熱処理する。延伸形式としては、長手方向に延伸した後に幅方向に延伸を行うなどの逐次二軸延伸法や、同時二軸テンター等を用いて長手方向と幅方向を同時に延伸する同時二軸延伸法、さらに、逐次二軸延伸法と同時二軸延伸法を組み合わせた方法などが包含される。
【００５８】
延伸工程後の熱処理は、１段階で実施してもよいが、最終的な複合フィルムとして貯蔵弾性率を本発明の範囲に制御して寸法安定性に優れた複合フィルムになるようにするため、多段階で実施することが好ましい。他段階とは、熱処理温度を変更して２段階以上で実施することである。中でも２段階の熱処理が好ましい。
【００５９】
熱処理温度はポリエステルの融点を目安にして決定することができる。熱処理温度は、１５０℃〜[ポリエステルの融点（Ｔｍ）−１５]℃が好ましく、熱処理時間は０．５〜１０秒の範囲で行うのが好ましい。特に、１段目の熱処理温度を好ましくは（Ｔｍ−５５）〜（Ｔｍ−１５）℃、さらに好ましくは（Ｔｍ−５０）〜（Ｔｍ−２０）℃、特に好ましくは（Ｔｍ−４５）〜（Ｔｍ−２５）℃に設定して、２段目の熱処理温度を１段目より低温に設定する。さらに、２段目の熱処理工程のみを幅方向に１〜５％の弛緩率で弛緩処理するとさらに好ましい。上述の多段階の熱処理工程によると、熱膨張に関する寸法安定性を高めつつ、熱処理の低減に有効な分子鎖緩和が進行するので、本発明の効果である熱膨張と熱収縮の低減を両立した寸法変化を高めやすくなる
そして、このようにして製造されたポリエステルフィルムはロールに巻き取られる。
【００６０】
次に、上記のようにして熱処理が行われたポリエステルフィルムの両面に金属系酸化物を含む層（Ｍ層）を設ける。このとき、支持体としての表面抵抗率の値および温度膨張係数の値を上述のとおりとするために、好ましくは支持体としての全光線透過率の値も上述のとおりとするために、金属系酸化物の酸化状態を制御する。
【００６１】
Ｍ層の形成方法としては物理蒸着法や化学蒸着法を用いることができる。ポリエステルフィルムへの物理蒸着法には真空蒸着法、スパッタリング法があり、特に酸化度の制御しやすさから真空蒸着法が好ましく、さらに金属蒸気の高エネルギー化が可能な電子ビーム蒸着法が好ましい。
【００６２】
Ｍ層を構成する金属系酸化物の酸化度を制御するには、基本的には金属蒸発量と酸素ガス導入量を制御する必要がある。金属蒸発量が一定であれば、酸素ガス導入量を減らせば酸化度が低くなり、酸素ガス導入量を増やせば酸化度が高くなる。逆に酸素ガス導入量が一定であれば、金属蒸発量を減らせば酸化度が高くなり、金属蒸発量を増やせば酸化度が低くなる。このとき、酸素ガスは、蒸着源の真横から金属蒸気の流れる方向と同じ方向に供給することが好ましい。
【００６３】
複合フィルムの表面抵抗率は、Ｍ層の酸化度が高いほど高くなるため、蒸着時の酸素ガス導入量や酸素ガス供給ノズルの位置、金属成分の蒸発量、フィルム搬送速度を調整することで制御することができる。特に金属の蒸発量やフィルム搬送速度の影響が大きい。
【００６４】
例えば、金属蒸発量が一定であれば、酸素ガス導入量を減らせば表面抵抗率が低くなり、酸素ガス導入量を増やせば表面抵抗率が高くなる。逆に酸素ガス導入量が一定であれば、金属蒸発量を減らしたり、フィルム搬送速度を小さくすると、酸化反応が進行しやすくなるため表面抵抗率が大きくなり、一方、金属蒸発量を増やしたり、フィルム搬送速度を大きくすると、供給された金属に対して酸化反応が完全には進行しにくくなるため表面抵抗率が小さくなる。
また、本願における酸化度は、金属系酸化物を含む層（Ｍ層）の組成分析により得られる酸素濃度とは異なる。組成分析における酸素濃度とは、酸素元素の比率を表しているが本発明の酸化度は金属元素の結合状態を表しており、酸化度が高いことは金属元素が酸素元素と結合する割合が高いことを意味する。表面抵抗率はＭ層内の金属元素濃度と相関があるが、金属元素濃度が同じでも金属原子の結合状態によっても変化する傾向であり、特に金属−金属結合の存在比が影響する。酸素濃度を過度に上げず、金属−金属結合の存在比を制御することが表面抵抗率を１×１０3〜１×１０１３Ωの範囲内に制御しやすい。
【００６５】
そして、複合フィルムの温度膨張係数は、蒸着前のポリエステルフィルムのヤング率などに反映されるフィルムの配向状態や、蒸着時の金属蒸発量と酸素ガス導入量などで制御することができる。また、複合フィルムの温度膨張係数は、Ｍ層の金属成分や厚みを制御することで本発明の範囲内とすることが可能である。
【００６６】
例えば、Ｍ層が酸化アルミニウムなどの硬い金属系酸化物からなる場合、温度膨張係数を低下しやすく、また、Ｍ層の厚みを増加させる場合も温度膨張係数を低下させやすい。
【００６７】
全光線透過率は、酸化度が高いほど高くなるため、表面抵抗率と同様に、蒸着時の酸素ガス導入量や酸素ガス供給ノズルの位置、金属成分の蒸発量、フィルム搬送速度を調整することで制御することができる。具体的には、酸化度を高くして全光線透過率を高める場合は、酸素ガス導入量を増やし反応できる酸素ガスを増やしたり、酸素ガス供給ノズルの位置を反応しやすい位置に設置し反応を進め易くしたり、金属成分の蒸発量を減らし酸素濃度を高めたり、フィルム搬送速度を遅くして反応時間を長くしたりすることで制御する。特に酸素ガス導入量の影響が大きい。
【００６８】
なお、本発明においては、ポリエステルフィルムやそのポリエステルフィルムを用いて得られた支持体に、必要に応じて、熱処理、マイクロ波加熱、成形、表面処理、ラミネート、コーティング、印刷、エンボス加工、エッチング、などの任意の加工を行ってもよい。
【００６９】
以下、本発明の支持体の製造方法について、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）をポリエステルとして用いた例を代表例として説明する。もちろん、本願はＰＥＴフィルムを用いた支持体に限定されるものではなく、他のポリマーを用いたものものでもよい。例えば、ガラス転移温度や融点の高いポリエチレン−２，６−ナフタレンジカルボキシレートなどを用いてポリエステルフィルムを構成する場合は、以下に示す温度よりも高温で押出や延伸を行えばよい。
【００７０】
まず、ポリエチレンテレフタレートを準備する。ポリエチレンテレフタレートは、次のいずれかのプロセスで製造される。すなわち、（１）テレフタル酸とエチレングリコールを原料とし、直接エステル化反応によって低分子量のポリエチレンテレフタレートまたはオリゴマーを得、さらにその後の三酸化アンチモンやチタン化合物を触媒に用いた重縮合反応によってポリマーを得るプロセス、（２）ジメチルテレフタレートとエチレングリコールを原料とし、エステル交換反応によって低分子量体を得、さらにその後の三酸化アンチモンやチタン化合物を触媒に用いた重縮合反応によってポリマーを得るプロセスである。ここで、エステル化は無触媒でも反応は進行するが、エステル交換反応においては、通常、マンガン、カルシウム、マグネシウム、亜鉛、リチウム、チタン等の化合物を触媒に用いて進行させ、またエステル交換反応が実質的に完結した後に、該反応に用いた触媒を不活性化する目的で、リン化合物を添加する場合もある。
【００７１】
フィルムを構成するポリエステルに不活性粒子を含有させる場合には、エチレングリコールに不活性粒子を所定割合にてスラリーの形で分散させ、このエチレングリコールを重合時に添加する方法が好ましい。不活性粒子を添加する際には、例えば、不活性粒子の合成時に得られる水ゾルやアルコールゾル状態の粒子を一旦乾燥させることなく添加すると粒子の分散性がよい。また、不活性粒子の水スラリーを直接ＰＥＴペレットと混合し、ベント式二軸混練押出機を用いて、ＰＥＴに練り込む方法も有効である。不活性粒子の含有量を調節する方法としては、上記方法で高濃度の不活性粒子のマスターペレットを作っておき、それを製膜時に不活性粒子を実質的に含有しないＰＥＴで希釈して不活性粒子の含有量を調節する方法が有効である。
【００７２】
次に、得られたＰＥＴのペレットを、１８０℃で３時間以上減圧乾燥した後、固有粘度が低下しないように窒素気流下あるいは減圧下で、２７０〜３２０℃に加熱された押出機に供給し、スリット状のダイから押出し、キャスティングロール上で冷却して未延伸フィルムを得る。この際、異物や変質ポリマーを除去するために各種のフィルター、例えば、焼結金属、多孔性セラミック、サンド、金網などの素材からなるフィルターを用いることが好ましい。また、必要に応じて、定量供給性を向上させるためにギアポンプを設けてもよい。フィルムを積層する場合には、２台以上の押出機およびマニホールドまたは合流ブロックを用いて、複数の異なるポリマーを溶融積層する。
【００７３】
次に、この未延伸フィルムを長手および幅方向に逐次に二軸延伸を行う。未延伸ポリエステルフィルムを加熱ロール群で加熱し、長手方向に２〜５倍、好ましくは２．５〜４．５倍、さらに好ましくは３〜４倍に１段もしくは２段以上の多段で延伸する（ＭＤ延伸）。延伸温度は、Ｔｇ（ポリエステルのガラス転移温度）〜（Ｔｇ＋６０）℃、好ましくは（Ｔｇ＋５）〜（Ｔｇ＋５５）℃、さらに好ましくは（Ｔｇ＋１０）〜（Ｔｇ＋５０）℃の範囲である。その後２０〜５０℃の冷却ロール群で冷却する。
【００７４】
ＭＤ延伸に続く幅方向の延伸方法としては、例えば、テンターを用いる方法が一般的である。このフィルムの両端部をクリップで把持して、テンターに導き、幅方向の延伸を行う（ＴＤ延伸）。延伸温度はＴｇ〜（Ｔｇ＋８０）℃が好ましく、より好ましくは（Ｔｇ＋１０）〜（Ｔｇ＋７０）℃、さらに好ましくは（Ｔｇ＋２０）〜（Ｔｇ＋６０）℃の範囲である。延伸倍率は、２．０〜６．０倍が好ましく、より好ましくは３．０〜５．０倍、さらに好ましくは３．０〜４．５倍の範囲である。
【００７５】
そして、ポリエステルフィルムの製造工程が多段延伸、すなわち再延伸工程を含む場合、１段目の延伸温度は上述のとおりであるが、２段目の延伸温度はＴｇ＋４０℃〜Ｔｇ＋１２０℃が好ましく、さらに好ましくはＴｇ＋６０℃〜Ｔｇ＋１００℃である。延伸温度が上記範囲を外れる場合には、熱量不足や結晶化の進みすぎによって、フィルム破れが多発して生産性が低下したり、十分に配向を高めることができず、強度が低下する場合がある。
【００７６】
さらに必要に応じて、再縦延伸および／または再横延伸を行う。その場合、フィルムを加熱ロール群で加熱し、長手方向に１．１〜２．５倍、好ましくは１．２〜２．４倍、さらに好ましくは１．３〜２．３倍に再縦延伸し、２０〜５０℃の冷却ロール群で冷却する。延伸温度はＴｇ〜（Ｔｇ＋１００）℃の範囲が好ましく、より好ましくは（Ｔｇ＋２０）〜（Ｔｇ＋８０）℃の範囲、さらに好ましくは（Ｔｇ＋４０）〜（Ｔｇ＋６０）℃の範囲である。次に、ステンターを用いて再び幅方向の延伸を行う。延伸温度はＴｇ〜２５０℃の範囲が好ましく、より好ましくは（Ｔｇ＋２０）〜２４０℃の範囲、さらに好ましくは（Ｔｇ＋４０）〜２２０℃の範囲である。延伸倍率は１．１〜２．５倍の範囲が好ましく、より好ましくは１．１５〜２．２倍、さらに好ましくは１．２〜２．０倍である。
【００７７】
続いて、この延伸フィルムを緊張下または幅方向に弛緩しながら熱処理する。熱処理条件は、熱処理温度は、１５０℃〜２４０℃が好ましく、熱処理時間は０．５〜１０秒の範囲で行うのが好ましい。熱処理工程を２段階以上の多段階で行うことが好ましく、特に、１段目の熱処理温度を好ましくは２００〜２４０℃、さらに好ましくは２０５〜２３５℃、特に好ましくは２１０〜２３０℃に設定して、２段目の熱処理温度を１段目より低温にして、好ましくは１５０〜２００℃、さらに好ましくは１６０〜１９０℃に設定する。さらに、２段目の熱処理工程のみを幅方向に１〜５％の弛緩率で弛緩処理するとさらに好ましい。上述の多段階の熱処理工程によると、熱膨張に関する寸法安定性を高めつつ、熱収縮率低減に関する分子鎖緩和が効果的に進行するので、本発明の効果である寸法安定性を高めやすくなる。その後、フィルムエッジを除去し、ロールに巻き取る。
【００７８】
次に、上記のようにして得られたＰＥＴフィルムの両面に金属系酸化物を含む層（Ｍ層）を設ける方法を説明する。
【００７９】
ＰＥＴフィルム表面にＭ層を形成するには、たとえば図１に示すような真空蒸着装置を用いる。この真空蒸着装置１１においては、真空チャンバ１２の内部をポリエステルフィルムが巻出しロール部１３から冷却ドラム１６を経て巻取りロール部１８へと走行する。そのときに、るつぼ２３内の金属材料１９を、電子銃２０から照射した電子ビーム２１で加熱蒸発させるとともに、酸素供給ノズル２４から酸素ガスを導入し、蒸発した金属を酸化反応させながら冷却ドラム１６上のポリエステルフィルムに蒸着する。本発明は両面にＭ層が必要なため、片方の表面（１面目）に金属系酸化物を蒸着した後巻取りロール部１８から片面蒸着ポリエステルフィルムを取り外し、それを巻出しロール部１３にセットし同じように反対側の表面（２面目）に金属系酸化物を蒸着する。なお、この真空蒸着装置１１は、酸化度を容易に制御できるように、酸素供給ノズル２４を蒸着源であるるつぼ２３の真横に設置し、かつ、金属蒸気と酸素ガスとが同じ方向に流れるようにしている。その結果、金属蒸気と酸素ガスとの反応空間も大きくなっている。
【００８０】
ここで、真空チャンバ１２の内部は１．０×１０−８〜１．０×１０２Ｐａに減圧することが好ましい。さらに緻密で劣化部分の少ないＭ層を形成させるためには、１．０×１０−６〜１．０×１０−１Ｐａに減圧することが好ましい。
【００８１】
冷却ドラム１６は、その表面温度を−４０〜６０℃の範囲内にすることが好ましい。より好ましくは−３５〜３０℃、さらに好ましくは−３０〜０℃である。
【００８２】
電子ビーム２１は、その出力が２．０〜８．０ｋＷの範囲内のもので行うのが好ましい。より好ましくは３．０〜７．０ｋＷ、さらに好ましくは４．０〜６．０ｋＷの範囲内である。なお、直接ルツボを加熱することで金属材料１９を加熱蒸発させてもよい。
【００８３】
酸素ガスは、ガス流量制御装置２６を用いて０．５〜１０Ｌ／ｍｉｎの流量で真空チャンバ１２内部に導入する。より好ましくは１．５〜８Ｌ／ｍｉｎ、さらに好ましくは２．０〜５Ｌ／ｍｉｎである。
【００８４】
真空チャンバ１２の内部におけるポリエステルフィルムの搬送速度は２０〜２００ｍ／ｍｉｎが好ましい。より好ましくは３０〜１００ｍ／ｍｉｎ、さらに好ましくは４０〜８０ｍ／ｍｉｎである。搬送速度が２０ｍ／ｍｉｎより遅い場合、上記のようなＭ層厚みに制御するためには金属の蒸発量をかなり小さくする必要がある。そのため、酸素ガス導入量も減らす必要がでてくるために、酸化度の制御が非常に難しくなる。搬送速度が２００ｍ／ｍｉｎより速くなると、冷却ドラムとの接触時間が短くなるため熱による破れやシワが発生し、生産性が低下する傾向がある。また、金属蒸気と酸素ガスとが不充分な反応状態で成膜されやすく、酸化度の制御が難しくなる場合がある。
【００８５】
真空チャンバ１２の内部におけるポリエステルフィルムの搬送張力は５０〜１５０Ｎ／ｍが好ましい。より好ましくは７０〜１２０Ｎ／ｍ、さらに好ましくは８０〜１００Ｎ／ｍである。ただし、２面目の蒸着時には搬送張力を１面目より弱めることが好ましい。２面目の搬送張力は１面目の搬送張力より５〜３０Ｎ／ｍ低いことが好ましく、より好ましくは７〜２５Ｎ／ｍ低く、さらに好ましくは１０〜２０Ｎ／ｍ低いことが好ましい。これは、１面目の蒸着時にポリエステルフィルムが熱負荷を受け収縮しようとする力を失うため、２面目の蒸着時に１面目と同様の搬送張力で走行させると、熱による破れやシワが発生し、生産性が損なわれる傾向があるからである。さらに、ポリエステルフィルムの表面粗さが面によって異なる場合は、先に粗い方の面を蒸着することが好ましい。これは２面目蒸着時に冷却ドラムへの密着性を高めるためである。蒸着は片面ずつ行っても良いし、両面を１工程で行っても良い。
【００８６】
また、酸素ガスは、蒸着源の真横から金属蒸気の流れる方向と同じ方向に供給することが本願のＭ層の金属−金属結合状態を制御して、表面抵抗率を制御する上で好ましい。金属蒸気の流れる方向と同じ方向に供給することで、酸素ガスによる金属蒸気の乱れが少なくなり、所望の厚みや酸化度に制御し易くなる。また、酸素ガスと金属蒸気の反応空間が大きくなるため、ポリエステルフィルム上に達するまでに酸化反応が完了し、安定した構造欠陥のない蒸着膜を製膜することが可能となり、寸法安定性が向上する。冷却ドラムに近い酸素供給ノズルではガス流が金属蒸気と垂直に当たるため、所望の厚みに制御しづらく、特に厚膜化が困難となる。さらに、反応空間が小さくなるため金属原子が不完全な酸化反応でポリエステルフィルムに到着するため、不完全な構造になり、寸法安定性を悪化させる。それ以外にもポリエステルフィルムへの堆積始めと堆積終わりの部分に酸素供給ノズルがあるため、ポリエステルフィルムとの界面やＭ層の表面で酸素濃度が高くなる層構造になりやすい。Ｍ層中に異組成の層があると、構造が乱れやすく寸法安定性が低下する傾向がある。  蒸着後、Ｍ層を安定化させ、緻密性を高めるためには、真空蒸着装置内を常圧に戻して、巻取ったフィルムを巻き返すことが好ましい。特に、加湿巻き返しを行うことが水蒸気とＭ層が接触する機会が長くなるため好ましい。２０〜５０℃の温度で１〜３日間エージングすることが好ましく、さらに好ましくは湿度６０％以上の結露しない程度の環境下でエージングすることが好ましい。また、作製されたポリエステルフィルムは水分を吸湿しないように、低湿度の環境下で保存することが好ましく、輸送時などもできるだけ吸湿を防ぐような梱包が好ましい。ポリエステルフィルムの吸湿はＭ層形成時に悪影響を及ぼすためである。
【００８７】
（物性の測定方法ならびに効果の評価方法）
本発明における特性値の測定方法並びに効果の評価方法は次の通りである。
【００８８】
（１）貯蔵弾性率
ＤＭＳ６１００（セイコ−インスツルメンツ社製）を用い、フィルム長手方向を試料長さとして、試料幅１０mm、試料長さ（チャック間距離）２０mmの試料を下記条件で測定した。
【００８９】
測定温度域  ：３０〜２００℃
振動周波数  ：１Ｈｚ
振動変位（歪み）   ：１０(mm)
昇温速度          ：２ （℃／分）
上記条件下で測定したデ−タをもとに、得られた貯蔵弾性率を、温度（３０〜２００℃）を横軸としたグラフを作成し、温度６０℃における貯蔵弾性率の値と温度１６０℃における貯蔵弾性率の値から比を求めた。
【００９０】
（２）温度膨張係数
熱機械測定装置ＴＭＡ／ＳＳ６１００（セイコーインスツルメンツ社製）を用い、試料幅４mm、試料長さ（チャック間距離）２０mmのサンプルに対し、荷重３ｇを負荷した。室温から１７５℃（設定１８５℃）まで昇温速度１０℃／分で昇温させ、１０分間保持した。その後、４０℃まで１０℃／分で降温させ、２０分間保持した。このときの降温部分１６０℃から６０℃までの寸法変化量から、下記式により熱膨張係数を求めた。
【００９１】
温度膨張係数α（１／℃）＝｛（Ｌ１６０−Ｌ６０）／Ｌ０｝／△Ｔ
Ｌ０：２３℃におけるフィルム長さ
Ｌ１６０：降温時の１６０℃におけるフィルム長さ
Ｌ６０：降温時の６０℃におけるフィルム長さ
△Ｔ：温度変化量（１６０−６０＝１００）。
【００９２】
（３）熱収縮率
ＪＩＳ  Ｃ―２３１８に従って、次の条件で測定した。試料数１０にて、それぞれについてその測定をして、平均値をとった。
【００９３】
試料サイズ：幅１０ｍｍ、標線間隔２００ｍｍ
測定条件  ：温度１５０℃、処理時間３０分、無荷重状態
１５０℃熱収縮率を次式より求めた。
【００９４】
熱収縮率（％）＝［（Ｌ０−Ｌ）／Ｌ０］×１００
Ｌ０：加熱処理前の標線間隔
Ｌ  ：加熱処理後の標線間隔。
【００９５】
（４）Ｍ層の厚み
下記条件にて断面観察を行い、得られた合計９点の厚み（ｎｍ）の平均値を算出し、Ｍ層の厚み（ｎｍ）とする。
・測定装置：透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）  日立製Ｈ−７１００ＦＡ型
・測定条件：加速電圧  １００ｋＶ
・測定倍率：２０万倍
・試料調整：超薄膜切片法
・観察面  ：ＴＤ−ＺＤ断面
・測定回数：１視野につき３点、３視野を測定する。
【００９６】
（５）組成分析
下記条件にて、深さ方向の組成分析を行う。炭素濃度が５０ａｔ．％を越える深さをＭ層とポリエステルフィルムとの界面とし、表層から界面までを等分に５分割し、それぞれの区間の中央点を測定点として組成分析を行う。得られた各測定点の組成から平均値を算出し、本発明における平均組成とする。
・測定装置：Ｘ線光電子分光機  Ｑｕａｎｔｅｒａ−ＳＸＭ  米国ＰＨＩ社製
・励起Ｘ線：ｍｏｎｏｃｈｒｏｍａｔｉｃ  ＡｌＫα１，２線（１４８６．６ｅＶ）
・Ｘ線径  ：１００（μm）
・光電子脱出角度：４５°
・ラスター領域：２×２（ｍｍ）
・Ａｒイオンエッチング：  ２．０（ｋＶ）  １．５×１０−７（Ｔｏｒｒ）
・スパッタ速度：３．６８ｎｍ／ｍｉｎ（Ｓｉ２Ｏ換算値）
・データ処理：９−ｐｏｉｎｔ  ｓｍｏｏｔｈｉｎｇ
ピークの結合エネルギー値から原子情報が得られ、各ピークの面積比を用いて組成を定量化（ａｔ．％）する。その中で酸素原子の比率を酸素濃度とする。さらに、金属原子のピークは結合状態（メタル−酸素，メタル−水酸基，メタル−メタルなど）によってそれぞれ結合状態のピークへ分割ができ、それぞれの結合状態のピークの面積比からそれぞれの結合状態にある金属原子の存在比を定量化［ａｔ．％］することができる。ａｔｏｍｉｃ％とは金属原子数１００個当たりの該結合状態にある金属元素の個数を示したものである。例えば、Ｍ層の金属成分がアルミニウムの場合、金属結合（Ａｌ−Ａｌ）、アルミニウム−酸素結合（Ａｌ２Ｏ３）、アルミニウム−酸素−水酸基結合（ＡｌＯＯＨ）、アルミニウム−水酸基結合（Ａｌ（ＯＨ）３）の結合状態を有するアルミニウム原子の４種類に分割することができる。本発明の水酸基と結合するアルミニウムの存在比は４つめのアルミニウム−水酸基結合（Ａｌ（ＯＨ）３）の存在比のことである。
【００９７】
なお、結合状態のピーク分割についてはB.Vincent Crist著Handbook of Monochromatic XPS Spectra（２０００年１０月、Wiley社発行）を参考にして行う。
【００９８】
（６）全光線透過率
ＪＩＳ−Ｋ７１０５（１９８１年）に準拠し、下記測定装置を用いて支持体を測定する。５回の測定結果の平均値を本発明における全光線透過率とする。
・測定装置：直読ヘーズメーターＨＧＭ−２ＤＰ（Ｃ光源用）  スガ試験機社製
・光源    ：ハロゲンランプ１２Ｖ、５０Ｗ
・受光特性：３９５〜７４５ｎｍ
・測定環境：温度２３℃湿度６５％ＲＨ
・測定回数：５回測定する。
【００９９】
（７）表面抵抗率
表面抵抗率の範囲によって、測定可能な装置が異なるため、まずｉ）の方法で支持体の測定を行い、表面抵抗率が低すぎて測定不可能なサンプルをｉｉ）の方法で測定する。５回の測定結果の平均値を本発明における表面抵抗率とする。
【０１００】
ｉ）低抵抗率測定
ＪＩＳ−Ｋ７１９４（１９９４年）に準拠し、下記測定装置を用いて測定する。
・測定装置：ロレスターＥＰ  ＭＣＰ−Ｔ３６０  三菱化学製
・測定環境：温度２３℃湿度６５％ＲＨ
・測定回数：５回測定する。
【０１０１】
ｉｉ）高抵抗率測定  ＪＩＳ−Ｃ２１５１（１９９０年）に準拠し、下記測定装置を用いて測定する。
・測定装置：デジタル超高抵抗／微小電流計Ｒ８３４０  アドバンテスト（株）製
・印加電圧：１００Ｖ
・印加時間：１０秒間
・測定単位：Ω
・測定環境：温度２３℃湿度６５％ＲＨ
・測定回数：５回測定する。
【０１０２】
（８）ガラス転移温度（Ｔｇ）
下記装置および条件で比熱測定を行い、ＪＩＳ  Ｋ７１２１（１９８７年）に従って決定する。
・装置    ：ＴＡ  Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔ社製温度変調ＤＳＣ
・測定条件：
・加熱温度    ：２７０〜５７０Ｋ（ＲＣＳ冷却法）
・温度校正    ：高純度インジウムおよびスズの融点
・温度変調振幅：±１Ｋ
・温度変調周期：６０秒
・昇温ステップ：５Ｋ
・試料重量    ：５ｍｇ
・試料容器    ：アルミニウム製開放型容器（２２ｍｇ）
・参照容器    ：アルミニウム製開放型容器（１８ｍｇ）
なお、ガラス転移温度は下記式により算出する。
ガラス転移温度＝（補外ガラス転移開始温度＋補外ガラス転移終了温度）／２。
【０１０３】
（９）融点（Ｔｍ）
示差走査熱量計としてセイコーインスツルメンツ社製ＤＳＣ（ＲＤＣ２２０）、データ解析装置として同社製ディスクステーション（ＳＳＣ／５２００）を用いて、サンプル約５ｍｇをアルミニウム製受皿上３００℃で５分間溶融保持し、急冷固化した後、室温から昇温速度２０℃／分で昇温する。そのとき、観測される融解の吸熱ピークのピーク温度を融点（Ｔｍ）とする。
【０１０４】
また、融点の直前に観測される微小なピークをベースフィルムの微小融解ピーク温度とする。
【０１０５】
（１０）フィルムの寸法安定性
ＪＩＳ  Ｃ―６４７２に記載の銅貼りポリイミドフィルムのフィルム側に、測定対象のフィルムを汎用塩化ビニル系樹脂と可塑剤とからなる接着剤により貼り合わせて、温度１６０℃、圧力２．９ＭＰａ（３０ｋｇ／ｃｍ２）、時間３０分の条件でロールを用いて圧着した。得られた圧着フィルムからＭＤ方向２５ｃｍ×ＴＤ方向２５ｃｍの試料を切り出して定盤上に置き、その状態で４隅のカール状態を観測し、４隅の反り量（ｍｍ）の平均値を求めて、下記の基準に従って評価した。
【０１０６】
◎：反り量が５ｍｍ未満である。
【０１０７】
○：反り量が５ｍｍ以上、１０ｍｍ未満である。
【０１０８】
△：反り量が１０ｍｍ以上、１５ｍｍ未満である。
【０１０９】
×：反り量が１５ｍｍ以上である。
【０１１０】
（１１）耐クラック性
引張試験機を使用し、複合フィルムをある特定の伸び量で引っ張った後、微分干渉顕微鏡にて表面状態を観察する。条件は下記のとおりとする。
（引張試験機）
・測定装置：オリエンテック（株）製フィルム強伸度自動測定装置“テンシロンＡＭＦ／ＲＴＡ−１００”
・試料サイズ：支持体幅方向１２．６ｍｍ×支持体長手方向１００ｍｍ、
・引張り速度：１０％／分
・引張り伸度：０．５％〜５％の範囲で０．５％刻みで１０点測定
・測定環境：温度２３℃、湿度６５％ＲＨ
（微分干渉顕微鏡）
・測定装置：ライカＤＭＬＢ  ＨＣ  ライカマイクロシステムズ（株）製
・観察倍率：１０００倍
各伸度で引っ張ったサンプルを１０個作製し、おのおののサンプルについて無作為に１０視野を観察し、表面上に割れや裂けとして判断できるクラックが合計８カ所以上観察される場合をクラック有りとする。そして、次の基準で耐クラック性を評価する。×を不合格とする。
◎：伸度５％でクラックが発生しない場合
○：伸度２％以上５％未満でクラックが発生した場合
△：伸度１％以上２％未満でクラックが発生した場合
×：伸度１％未満でクラックが発生した場合
【実施例】
【０１１１】
次の実施例に基づき、本発明の実施形態を説明する。なお、ここでポリエチレンテレフタレートをＰＥＴ、ポリ（エチレン−２，６−ナフタレンジカルボキシレート）をＰＥＮと表記する。また、本発明はこれらに限定されるものではない。
【０１１２】
（実施例１）
テレフタル酸ジメチル１９４重量部とエチレングリコール１２４重量部とをエステル交換反応装置に仕込み、内容物を１４０℃に加熱して溶解した。その後、内容物を撹拌しながら酢酸マグネシウム４水塩０．１重量部および三酸化アンチモン０．０５重量部を加え、１４０〜２３０℃でメタノールを留出しつつエステル交換反応を行った。次いで、リン酸トリメチルの５重量％エチレングリコール溶液を１重量部（リン酸トリメチルとして０．０５重量部）添加した。
【０１１３】
トリメチルリン酸のエチレングリコール溶液を添加すると反応内容物の温度が低下する。そこで余剰のエチレングリコールを留出させながら反応内容物の温度が２３０℃に復帰するまで撹拌を継続した。このようにしてエステル交換反応装置内の反応内容物の温度が２３０℃に達したら、反応内容物を重合装置へ移行した。
【０１１４】
移行後、反応系を２３０℃から２９０℃まで徐々に昇温するとともに、圧力を０．１ｋＰａまで下げた。最終温度、最終圧力到達までの時間はともに６０分とした。最終温度、最終圧力に到達した後、２時間（重合を始めて３時間）反応させたところ、重合装置の撹拌トルクが所定の値（重合装置の仕様によって具体的な値は異なるが、本重合装置にて固有粘度０．６２のポリエチレンテレフタレートが示す値を所定の値とした）を示した。そこで反応系を窒素パージし常圧に戻して重縮合反応を停止し、冷水にストランド状に吐出、直ちにカッティングして固有粘度０．６２のポリエチレンテレフタレートのＰＥＴペレットＸを得た。
【０１１５】
３００℃に加熱されたニーディングパドル混練部を３箇所設けた同方向回転タイプのベント式２軸混練押出機（日本製鋼所製、スクリュー直径３０ｍｍ、スクリュー長さ／スクリュー直径＝４５．５）に、得られたＰＥＴペレットＸ５０重量％とＧＥ  Ｐｌａｓｔｉｃｓ社製のポリエーテルイミド“Ｕｌｔｅｍ１０１０”のペレット５０重量％を供給し、スクリュー回転数３００回転／分で溶融押出してストランド状に吐出し、温度２５℃の水で冷却した後、直ちにカッティングしてブレンドチップ（Ｉ）を作製した。
【０１１６】
また、２８０℃に加熱された同方向回転タイプのベント式２軸混練押出機に、ＰＥＴペレットＸを９８重量部と平均径０．３μmの球状架橋ポリスチレン粒子の１０重量％水スラリーを２０重量部（球状架橋ポリスチレンとして２重量部）供給し、ベント孔を１ｋＰａ以下の減圧度に保持し水分を除去し、平均径０．３μmの球状架橋ポリスチレン粒子を２重量％含有する固有粘度０．６２のＰＥＴペレットＹを得た。
【０１１７】
温度２９５℃に加熱された押出機に、ＰＥＴペレットＸ８８．５重量部、ＰＥＴペレットＹ１．５重量部、ブレンドチップ（Ｉ）１０重量部を１８０℃で３時間減圧乾燥した後に供給した。表面温度２５℃のキャストドラムに静電荷を印加させながら密着冷却固化し、未延伸フィルムを作製した。なお、未延伸フィルムのガラス転移温度（Ｔｇ）は９０℃であった。
【０１１８】
得られた未延伸フィルムを、加熱された複数のロール群からなる縦延伸機を用い、ロールの周速差を利用して、フィルムの長手方向に、延伸温度１０３℃、延伸倍率３．５倍で延伸した。その後、このフィルムの両端部をクリップで把持して、テンターに導き、フィルムの幅方向に、延伸温度１０５℃、延伸倍率３．７倍で延伸を行った。続いて、温度２３０℃で５秒間熱処理後、温度１８０℃で幅方向に２％の弛緩処理を行い、厚さ５０μｍの二軸配向ポリエステルフィルムを作製した。なお、二軸延伸フィルムのガラス転移温度（Ｔｇ）は１１５℃であり、融点（Ｔｍ）は２５５℃であった。
【０１１９】
次に、図１に示す真空蒸着装置１１の巻出しロール部１３に得られたポリエステルフィルムをセットし、１．５×１０−３Ｐａの減圧度にした後に、−２０℃の冷却ドラム16を介してポリエステルフィルムを搬送速度６０ｍ／ｍｉｎ、搬送張力１００Ｎ／ｍで走行させた。このとき、純度９９．９９重量％のアルミニウムを電子ビーム（出力５．１ｋＷ）で加熱蒸発させ、さらに蒸発源であるるつぼ２３の真横に設置した酸素供給ノズル２４から酸素ガスを２．０Ｌ／ｍｉｎで金属蒸気と同じ方向に供給し、酸化アルミの蒸着薄膜層（厚み１００ｎｍ）をフィルムのＢ面側の層の上に形成して巻取った。次に搬送張力を８０Ｎ／ｍにしたこと以外は同様にしてフィルムのＡ面側の層の上に酸化アルミの蒸着薄膜層を設けて複合フィルムを得た。
得られた複合フィルムを評価したところ、表１〜表３に示すように、寸法変化率が小さく優れた特性を有していた。
【０１２０】
（実施例２）
熱処理温度の１段目を２０５℃、２段目を１８０℃に設定する以外は、実施例１と同様にして二軸配向ポリエステルフィルムを得た。その後は、実施例１と同様にして、酸化アルミの蒸着薄膜層を設けて複合フィルムを得た。得られた複合フィルムを評価したところ、表１〜表３に示すように、寸法変化率が小さく優れた特性を有していた。
【０１２１】
（実施例３）
熱処理工程を１段だけで温度２３０℃で実施した以外は、実施例１と同様にして二軸配向ポリエステルフィルムを得た。その後は、実施例１と同様にして、酸化アルミの蒸着薄膜層を設けて複合フィルムを得た。得られた複合フィルムを評価したところ、表１〜表３に示すように、寸法変化率が小さく優れた特性を有していた。
【０１２２】
（実施例４）
熱処理温度の１段目を１９０℃、２段目を１７０℃に設定する以外は、実施例１と同様にして二軸配向ポリエステルフィルムを得た。その後は、実施例１と同様にして、酸化アルミの蒸着薄膜層を設けて複合フィルムを得た。得られた複合フィルムを評価したところ、表１〜表３に示すように、寸法変化率が小さく十分な特性を有していた。
【０１２３】
（実施例５）
蒸着工程での搬送速度を１２０ｍ／ｍｉｎ、酸素ガス導入量を２．０Ｌ／ｍｉｎ、電子ビーム出力を５．１ｋＷと変更したこと以外は実施例１と同様の方法にて複合フィルムを得た。得られた複合フィルムは表１〜表３に示すように優れた特性を有していた。
【０１２４】
（実施例６）
蒸着工程での搬送速度を２５ｍ／ｍｉｎ、酸素ガス導入量を２．０Ｌ／ｍｉｎ、電子ビーム出力を５．１ｋＷと変更したこと以外は実施例１と同様の方法にて複合フィルムを得た。得られた複合フィルムは表１〜表３に示すように優れた特性を有していた。
【０１２５】
（実施例７）
蒸着工程での搬送速度を６０ｍ／ｍｉｎ、酸素ガス導入量を３．２Ｌ／ｍｉｎ、電子ビーム出力を６．１ｋＷと変更したこと以外は実施例１と同様の方法にて複合フィルムを得た。得られた複合フィルムは表１〜表３に示すように優れた特性を有していた。
【０１２６】
（実施例８）
蒸着工程での搬送速度を６０ｍ／ｍｉｎ、酸素ガス導入量を６．０Ｌ／ｍｉｎ、電子ビーム出力を６．１ｋＷと変更したこと以外は実施例１と同様の方法にて複合フィルムを得た。得られた複合フィルムは表１〜表３に示すように優れた特性を有していた。
【０１２７】
（実施例９）
温度２８０℃に加熱された押出機には、実施例１で得られたＰＥＴペレットＸ９８．５重量部、ＰＥＴペレットＹ１．５重量部を１８０℃で３時間減圧乾燥した後に供給した。表面温度２５℃のキャストドラムに静電荷を印加させながら密着冷却固化し、未延伸フィルムを作製した。なお、未延伸フィルムのガラス転移温度（Ｔｇ）は８０℃であった。
【０１２８】
この未延伸フィルムを、加熱された複数のロール群からなる縦延伸機を用い、ロールの周速差を利用して、フィルムの長手方向に、延伸温度９５℃、延伸倍率３．５倍で延伸した。その後、このフィルムの両端部をクリップで把持して、テンターに導き、フィルムの幅方向に、延伸温度１００℃、延伸倍率３．７倍で延伸を行った。続いて、温度２３０℃で５秒間熱処理後、温度１７０℃で幅方向に２％の弛緩処理を行い、厚さ５０μｍの二軸配向ポリエステルフィルムを作製した。なお、二軸延伸フィルムのガラス転移温度（Ｔｇ）は１０５℃であり、融点（Ｔｍ）は２５５℃であった。その後は、実施例１と同様にして、酸化アルミの蒸着薄膜層を設けて複合フィルムを得た。得られた複合フィルムを評価したところ、表１〜表３に示すように、寸法変化率が小さく優れた特性を有していた。
【０１２９】
（実施例１０）
実施例１０と同様にして厚さ５０μｍの二軸配向ポリエステルフィルムを作製した。その後は、実施例７と同様にして、酸化アルミの蒸着薄膜層を設けて複合フィルムを得た。得られた複合フィルムを評価したところ、表１〜表３に示すように、寸法変化率が小さく優れた特性を有していた。
【０１３０】
（実施例１１）
２，６−ナフタレンジカルボン酸ジメチル１００重量部とエチレングリコール６０重量部の混合物に、酢酸マンガン・４水和物塩０．０３重量部を添加し、１５０℃の温度から２４０℃の温度に徐々に昇温しながらエステル交換反応を行った。途中、反応温度が１７０℃に達した時点で三酸化アンチモン０．０２４重量部を添加した。また、反応温度が２２０℃に達した時点で３，５−ジカルボキシベンゼンスルホン酸テトラブチルホスホニウム塩０．０４２重量部（２ｍｍｏｌ％に相当）を添加した。その後、引き続いてエステル交換反応を行い、トリメチルリン酸０．０２３重量部を添加した。次いで、反応生成物を重合装置に移し、２９０℃の温度まで昇温し、３０Ｐａの高減圧下にて重縮合反応を行い、重合装置の撹拌トルクが所定の値（重合装置の仕様によって具体的な値は異なるが、本重合装置にて固有粘度０．６５のポリエチレン−２，６−ナフタレートが示す値を所定の値とした）を示した。そこで反応系を窒素パージし常圧に戻して重縮合反応を停止し、冷水にストランド状に吐出、直ちにカッティングして固有粘度０．６５のＰＥＮ（ポリエチレン−２，６−ナフタレート）ペレットＰを得た。
【０１３１】
２８０℃に加熱された同方向回転タイプのベント式２軸混練押出機に、ペレットＰを９８重量部と平均径０．３μmの球状架橋ポリスチレン粒子の１０重量％水スラリーを２０重量部（球状架橋ポリスチレンとして２重量部）供給し、ベント孔を１ｋＰａ以下の減圧度に保持し水分を除去し、平均径０．３μmの球状架橋ポリスチレン粒子を２重量％含有する固有粘度０．６５のＰＥＮペレットＱを得た。
【０１３２】
温度２８０℃に加熱された押出機には、得られたＰＥＮペレットＰ９８．５重量部、ＰＥＮペレットＱ１．５重量部を１８０℃で３時間減圧乾燥した後に供給した。表面温度２５℃のキャストドラムに静電荷を印加させながら密着冷却固化し、未延伸フィルムを作製した。なお、未延伸フィルムのガラス転移温度（Ｔｇ）は１２０℃であった。
【０１３３】
得られた未延伸フィルムを、加熱された複数のロール群からなる縦延伸機を用い、ロールの周速差を利用して、フィルムの長手方向に、延伸温度１３５℃、延伸倍率４．０倍で延伸した。その後、このフィルムの両端部をクリップで把持して、テンターに導き、フィルムの幅方向に、延伸温度１４０℃、延伸倍率５．０倍で延伸を行った。続いて、温度２４０℃で５秒間熱処理後、温度１８０℃で幅方向に２％の弛緩処理を行い、厚さ５０μｍの二軸配向ポリエステルフィルムを作製した。なお、二軸延伸フィルムのガラス転移温度（Ｔｇ）は１３５℃であり、融点（Ｔｍ）は２６５℃であった。
【０１３４】
その後は、実施例１と同様の方法にて複合フィルムを得た。得られた複合フィルムは表１〜表３に示すように優れた特性を有していた。
【０１３５】
（実施例１２）
実施例１２と同様にして厚さ５０μｍの二軸配向ポリエステルフィルムを作製した。以下は、実施例７と同様にして、酸化アルミの蒸着薄膜層を設けて磁気記録媒体用支持体を得た。得られた複合フィルムを評価したところ、表１〜表３に示すように、寸法変化率が小さく優れた特性を有していた。
【０１３６】
（実施例１３）
蒸着工程での金属材料を純度９９．９９９９重量％の亜鉛へ変更し、搬送速度を６０ｍ／ｍｉｎ、酸素ガス導入量を２．５Ｌ／ｍｉｎ、電子ビーム出力を５．８ｋＷとしたこと以外は実施例１と同様の方法にて複合フィルムを得た。得られた複合フィルムは表１〜表３に示すように優れた特性を有していた。
【０１３７】
（実施例１４）
図２に示す真空蒸着装置１１１の巻出しロール部１１３に実施例１で得られたポリエステルフィルムをセットし、１．５×１０−３Ｐａの減圧度にした後に、−２０℃の冷却ドラム１１６を介してポリエステルフィルムを搬送速度６０ｍ／ｍｉｎ、搬送張力１００Ｎ／ｍで走行させた。このとき、純度９９．９９質量％のアルミニウムを電子ビーム（出力５．１ｋＷ）で加熱蒸発させ、さらに蒸発源であるるつぼ１２３の真横に設置した酸素供給ノズル１２４から酸素ガスを８．０Ｌ／ｍｉｎで金属蒸気と同じ方向に供給し、酸化アルミの蒸着薄膜層（厚み４０ｎｍ）をフィルムのＢ面側の層の上に形成して巻取った。次に搬送張力を８０Ｎ／ｍにしたこと以外は同様にしてフィルムのＡ面側の層の上に酸化アルミの蒸着薄膜層を設けて複合フィルムを得た。得られた複合フィルムは表１〜表３に示す特性を有していた。
【０１３８】
（実施例１５）
蒸着工程での搬送速度を６０ｍ／ｍｉｎ、酸素ガス導入量を０．５Ｌ／ｍｉｎ、電子ビーム出力を６．１ｋＷと変更したこと以外は実施例１４と同様の方法にて複合フィルムを得た。得られた複合フィルムは表１〜表３に示す特性を有していた。
【０１３９】
（比較例１）
実施例１で得られた厚さ５０μｍの二軸配向ポリエステルフィルムに対して、蒸着薄膜層を設けない以外は実施例１と同様の方法にて複合フィルムを得た。得られた複合フィルムは、酸化金属層（Ｍ層）を有しておらず、表１〜表３に示すような特性となった。
【０１４０】
（比較例２）
蒸着工程で酸素ガスを供給しないこと以外は実施例１と同様の方法にて複合フィルムを得た。得られた複合フィルムは酸化アルミ層を有しておらず、また、表１〜表３に示すように寸法安定性に不十分な特性であった。
【０１４１】
（比較例３）
蒸着工程での搬送速度を６０ｍ／ｍｉｎ、酸素ガス導入量を１０．０Ｌ／ｍｉｎ、電子ビーム出力を８．０ｋＷと変更したこと以外は実施例１と同様の方法にて複合フィルムを得た。得られた複合フィルムは、表１〜表３に示すように、寸法安定性に不十分な特性であった。
【０１４２】
（比較例４）
蒸着工程での搬送速度を２５０ｍ／ｍｉｎ、酸素ガス導入量を４．０Ｌ／ｍｉｎ、電子ビーム出力を１．３ｋＷと変更したこと以外は実施例１と同様の方法にて複合フィルムを得た。得られた複合フィルムは、表１〜表３に示すように、寸法安定性に不十分な特性であった。
【０１４３】
（比較例５）
蒸着工程での搬送速度を１５ｍ／ｍｉｎ、酸素ガス導入量を３．０Ｌ／ｍｉｎ、電子ビーム出力を３．３ｋＷと変更したこと以外は実施例１と同様の方法にて複合フィルムを得た。得られた複合フィルムは、表１〜表３に示すように、寸法安定性に不十分な特性であった。
【０１４４】
（比較例６）
蒸着工程での搬送速度を６０ｍ／ｍｉｎ、酸素ガス導入量を１．０Ｌ／ｍｉｎに変更したこと以外は実施例１と同様の方法にて複合フィルムを得た。得られた複合フィルムは、表１〜表３に示すように、寸法安定性に不十分な特性であった。
【０１４５】
【表１】
2008100509.tif 000010
【０１４６】
【表２】
2008100509.tif 000011
【０１４７】
【表３】
2008100509.tif 000012
【図面の簡単な説明】
【０１４８】
【図１】本発明の支持体を製造する際に好適に用いられる真空蒸着装置の模式図である。
【図２】本発明の支持体を製造する際に用いられる真空蒸着装置の模式図である。
【符号の説明】
【０１４９】
１：真空蒸着装置
２：真空チャンバ
３：巻出しロール部
４：ポリエステルフィルム
５：ガイドロール
６：冷却ドラム
７：蒸着チャンバ
８：巻取りロール部
９：金属材料
１０：電子銃
１１：電子ビーム
１２：酸素ガスボンベ
１３：るつぼ
１４：酸素供給ノズル
１５：マスク
１６：ガス流量制御装置
１１１：真空蒸着装置
１１２：真空チャンバ
１１３：巻出しロール部
１１４：ポリエステルフィルム
１１５：ガイドロール
１１６：冷却ドラム
１１７：蒸着チャンバ
１１８：巻取りロール部
１１９：金属材料
１２０：電子銃
１２１：電子ビーム
１２２：酸素ガスボンベ
１２３：るつぼ
１２４：酸素供給ノズル
１２５：マスク
１２６：ガス流量制御装置
【図１】
2008100509.tif 000013
【図２】
2008100509.tif 000014