(57)【要約】【課題】オペレータがダイシング装置を離れていても異常を認識することができるようにして、オペレータによるダイシング装置の監視を不要とする。【解決手段】装置の異常を検出して異常情報を生成する異常検出手段２９ａと、異常情報をオペレータの携帯電話機に送信する送信手段２９ｂとを備え、異常の内容を携帯電話機３に送信してオペレータに知らせる。【選択図】図１
2008112933.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウェーハを切削する切削ブレードを備えた切削手段と、該チャックテーブルに保持されたウェーハの切削すべきストリートを検出するアライメント手段と、切削済みのウェーハを洗浄する洗浄手段と、切削済みのウェーハを該チャックテーブルから該洗浄手段まで搬送する洗浄用搬送手段と、ウェーハを収容したウェーハカセットが載置されるカセット載置手段と、該ウェーハカセットからのウェーハの搬出及び切削済みのウェーハの該ウェーハカセットへの搬入を行う搬出入手段と、該搬出入手段によって搬出入されるウェーハを仮置きする仮置き手段と、ウェーハを該仮置き手段から該チャックテーブルまで搬送する搬送手段とを少なくとも備えたダイシング装置であって、
装置の異常を検出して異常情報を生成する異常検出手段と、該異常情報をオペレータの携帯電話機に送信する送信手段と
を備えたダイシング装置。
【請求項２】
前記異常情報には、前記ストリートの検出、前記切削ブレード、前記ウェーハカセットに対するウェーハの搬出入、ウェーハの搬送及びウェーハの洗浄のいずれかに関する異常を示す情報が含まれる請求項１に記載のダイシング装置。
【請求項３】
前記異常情報には、ダイシング装置を特定する識別情報が含まれる請求項１または２に記載のダイシング装置。
【請求項４】
前記送信手段は、前記異常情報を、音声または電子メールのいずれかによって送信する請求項１、２または３に記載のダイシング装置。
【請求項５】
ウェーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウェーハを切削する切削ブレードを備えた切削手段と、該チャックテーブルに保持されたウェーハの切削すべきストリートを検出するアライメント手段と、切削済みのウェーハを洗浄する洗浄手段と、切削済みのウェーハを該チャックテーブルから該洗浄手段まで搬送する洗浄用搬送手段と、ウェーハを収容したウェーハカセットが載置されるカセット載置手段と、該ウェーハカセットからのウェーハの搬出及び切削済みのウェーハの該ウェーハカセットへの搬入を行う搬出入手段と、該搬出入手段によって搬出入されるウェーハを仮置きする仮置き手段と、ウェーハを該仮置き手段から該チャックテーブルまで搬送する搬送手段とを少なくとも備えたダイシング装置を管理するダイシング装置の管理方法であって、
装置の異常を検出して異常情報を生成し、該異常情報をオペレータの携帯電話機に送信するダイシング装置の管理方法。
【請求項６】
前記異常情報には、前記ストリートの検出、前記切削ブレード、前記ウェーハカセットに対するウェーハの搬出入、ウェーハの搬送及びウェーハの洗浄のいずれかに関する異常を示す情報が含まれる請求項５に記載のダイシング装置の管理方法。
【請求項７】
前記異常情報には、ダイシング装置を特定する識別情報が含まれる請求項５または６に記載のダイシング装置の管理方法。
【請求項８】
前記送信手段は、前記異常情報を、音声または電子メールのいずれかによって送信する請求項５、６または７に記載のダイシング装置の管理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイシング装置に何らかの異常が発生した場合にそのことをオペレータが認識するためのダイシング装置及びダイシング装置の管理方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ダイシング装置では、ウェーハカセットに収容された複数のウェーハの中から１枚のウェーハを搬出してチャックテーブルに搬送し、チャックテーブルに保持されたウェーハのストリートを検出してそのストリートに切削ブレードを作用させてダイシングを行い、ダイシング後のウェーハを洗浄した後に、洗浄後のウェーハをウェーハカセットに搬入する。そして、１枚目のウェーハがウェーハカセットから搬出されてから、ダイシング及び洗浄後の最後のウェーハがウェーハカセットに搬入されるまでの一連の工程は、すべて自動で行われるため、オペレータは、その間、別の作業に従事することができる。
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−１２８３５９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、ダイシング装置においては、ストリートの検出、ウェーハカセットからのウェーハの搬出やウェーハカセットへのウェーハの搬入、ウェーハの搬送、ウェーハの洗浄等において種々の異常が生じることがあり、オペレータは、異常の有無を常に監視していなければならないという問題がある。
【０００５】
そこで、本発明は、オペレータがダイシング装置を離れていても異常を認識することができるようにして、オペレータによるダイシング装置の監視を不要とすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
第一の発明は、ウェーハを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持されたウェーハを切削する切削ブレードを備えた切削手段と、チャックテーブルに保持されたウェーハの切削すべきストリートを検出するアライメント手段と、切削済みのウェーハを洗浄する洗浄手段と、切削済みのウェーハをチャックテーブルから洗浄手段まで搬送する洗浄用搬送手段と、ウェーハを収容したウェーハカセットが載置されるカセット載置手段と、ウェーハカセットからのウェーハの搬出及び切削済みのウェーハのウェーハカセットへの搬入を行う搬出入手段と、搬出入手段によって搬出入されるウェーハを仮置きする仮置き手段と、ウェーハを仮置き手段からチャックテーブルまで搬送する搬送手段とを少なくとも備えたダイシング装置に関するもので、装置の異常を検出して異常情報を生成する異常検出手段と、異常情報をオペレータの携帯電話機に送信する送信手段とを備えたことを特徴とする。
【０００７】
第二の発明は、上記ダイシング装置を管理する方法に関するもので、装置の異常を検出して異常情報を生成し、異常情報をオペレータの携帯電話機に送信することを特徴とする。
【０００８】
上記両発明において、異常情報には、例えば、ストリートの検出、切削ブレード、ウェーハカセットに対するウェーハの搬出入、ウェーハの搬送及びウェーハの洗浄のいずれかに関する異常を示す情報が含まれる。また、ダイシング装置が複数ある場合は、異常情報には、ダイシング装置を特定する識別情報が含まれる。送信手段は、異常情報を、音声または電子メールのいずれかによってオペレータの携帯電話機に送信する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明では、ダイシング装置において何らかの異常が発生すると、自動的にオペレータの携帯電話機に異常情報が送信されるため、オペレータは、離れた場所で作業をしていても、異常を認識して直ちに対応することが可能となり、ダイシング装置を常に監視する必要がなくなる。
【００１０】
また、異常情報に、ダイシング装置を特定する識別情報が含まれているため、複数のダイシング装置が稼働している場合においても、どの装置に異常が発生したかを認識することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
図１に示すダイシング装置１は、ウェーハを切削してダイシングする装置（ダイサー）であり、通信手段４を介してオペレータが所有する携帯電話機３と通信可能となっている。
【００１２】
ダイシング装置１においては、例えば図２に示すウェーハＷをダイシングしてチップに分割することができる。図２の例におけるウェーハＷの表面には、格子状に配列された複数のストリートＳが存在し、ストリートＳによって区画された多数の矩形領域には回路パターンが施されている。そして、すべてのストリートＳを切削してダイシングすることにより、各矩形領域がチップとなる。
【００１３】
図１に示したダイシング装置１においては、図２に示したようにダイシングテープＴを介してフレームＦと一体となって支持されたウェーハＷが、ウェーハカセット２０ａに複数収容される。なお、以下では、ダイシングテープＴを介してフレームＦと一体となって支持されたウェーハＷのことを、単にウェーハＷと記すこととする。
【００１４】
ウェーハカセット２０ａは、カセット載置手段２０に載置されている。ウェーハカセット２０ａの近傍には、ウェーハカセット２０ａからのウェーハＷの搬出及びダイシング済みのウェーハＷのウェーハカセット２０ａへの搬入を行う搬出入手段２１が配設されている。搬出入手段２１は、Ｙ軸方向（搬出入方向）に移動可能であり、ウェーハＷの搬出入の際にフレームＦを挟持する挟持部２１０を備えている。
【００１５】
搬出入手段２１とウェーハカセット２０ａとの間には、搬出入されるウェーハＷを仮置きする領域である仮置き手段２２が設けられている。仮置き手段２２においては、Ｘ軸方向に移動可能な一対の位置合わせ部材２２０を備えており、位置合わせ部材２２０は、互いが近付く方向及び離れる方向に移動可能となっている。
【００１６】
ダイシング装置１の前部側には、ウェーハＷを保持してＸ軸方向に移動可能であると共に回転可能であるチャックテーブル２３が配設されている。そして、仮置き手段２２とチャックテーブル２３との間には、ウェーハＷを仮置き手段２２からチャックテーブル２３まで搬送する搬送手段２４が配設されている。搬送手段２４には、ウェーハＷを吸着して旋回可能な吸着部２４０を備えている。
【００１７】
チャックテーブル２３のＸ軸方向の移動経路の上方には、図２に示したウェーハＷに形成された切削すべきストリートＳを検出するアライメント手段２５が配設されている。アライメント手段２５には、ウェーハＷを撮像する撮像部２５０を有しており、アライメント手段２５においては、撮像部２５０が取得した画像と、予め記憶させておいた画像とのパターンマッチングによって、図２に示したストリートＳを検出する。
【００１８】
チャックテーブル２３のＸ軸方向の移動経路の上方には、ウェーハを切削する切削ブレード２６０を備えた切削手段２６が配設されている。切削ブレード２６０は、Ｙ軸方向の軸心を有するスピンドル２６１に切削ブレード２６０が装着されて構成され、切削手段２６は、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動可能となっている。また、図示していないが、切削手段２６には、切削ブレード２６０の切り刃の破損や摩耗を検知することができるセンサーを備えている。
【００１９】
チャックテーブル２３の近傍には、ダイシング後のウェーハＷを洗浄する洗浄手段２７を備えている。洗浄手段２７には、ウェーハＷを保持して回転可能なスピンナーテーブル２７０と、ウェーハに対して高圧水、高圧エアーを噴出するノズル（図示せず）を備えている。
【００２０】
洗浄手段２７の上方には、切削済みのウェーハＷをチャックテーブル２３から洗浄手段２７まで搬送する洗浄用搬送手段２８が配設されている。洗浄用洗浄手段２８には、ウェーハＷを吸着してＹ軸方向に移動可能な吸着部２８０を備えている。
【００２１】
ダイシング装置１には、搬出入手段２１、搬送手段２４、アライメント手段２５、切削手段２６、洗浄手段２７、洗浄用搬送手段２８等のそれぞれにおいて異常が生じた場合にその異常を検出する異常検出手段２９ａが設けられている。異常検出手段２９ａでは、異常が生じた箇所及び異常の種類に応じた異常情報を生成する。生成された異常情報は、送信手段２９ｂに転送される。
【００２２】
送信手段２９ｂは、インターネット等の通信回線４を介してオペレータが有する携帯電話機３にデータを送信する機能を有し、異常検出手段２９ａから送られた異常情報を、音声情報または文字情報や画像情報からなる電子メールによって携帯電話機４に送信することができる。
【００２３】
ウェーハカセット２０ａに収容されたウェーハＷは、搬出入手段２１がウェーハカセット２０ａに近付き、フレームＦに支持された状態で挟持部２１０によってフレームＦが挟持され、搬出入手段２１が−Ｙ方向に移動することによって仮置き手段２２に搬出される。このとき、位置合わせ部材２２０は、互いが離れた位置にある。
【００２４】
ウェーハＷが搬出されて仮置き手段２２に載置されると、一対の位置合わせ部材２２０が互いに近付く方向に移動することによりウェーハＷを一定の位置に位置合わせする。かかる位置合わせが終了すると、搬送手段２４がウェーハＷを吸着保持して旋回し、チャックテーブル２３まで搬送する。チャックテーブル２３では、載置されたウェーハＷを吸引保持する。
【００２５】
ウェーハＷを保持したチャックテーブル２３は、Ｘ軸方向に移動してウェーハＷを撮像部２５０の直下に位置付ける。そして、撮像部２５０が少しずつ移動しながらウェーハＷの表面を撮像し、アライメント手段２５において、取得した画像からストリートを検出する。
【００２６】
ストリートＳの検出後は、チャックテーブル２３が更にＸ軸方向に移動すると共に、切削ブレード２６０が高速回転しながら切削手段２６が下降し、検出されたストリートＳに切削ブレード２６０が作用して切削が行われる。また、１本のストリートを切削するごとに、ストリート間隔ずつ切削手段２６をＹ軸方向に割り出し送りして順次切削を行うと、同方向のストリートがすべて切削される。また、チャックテーブル２３を９０度回転させてから同様の切削を行うと、すべてのストリートＳが縦横に切削されてダイシングされ、個々のチップに分割される。
【００２７】
ダイシング後は、チャックテーブル２３が元の位置に戻り、洗浄用搬送手段２８の吸着部２８０によってウェーハＷが保持され、洗浄手段２７に搬送される。そして、洗浄手段２７のスピンナーテーブル２７０において切削後のウェーハＷが保持され、スピンナーテーブル２７０が回転しながら洗浄水が噴射されてウェーハＷが洗浄される。また、その後、スピンナーテーブル２７０が回転しながら高圧エアーがウェーハＷに向けて噴出され、ウェーハＷの乾燥が行われる。
【００２８】
ウェーハＷが乾燥した後は、搬送手段２４の吸着部２４０によってウェーハＷが吸着されて仮置き手段２２に搬送される。そして、挟持部２１０がフレームＦを挟持し、搬出入手段２１が＋Ｙ方向に移動することにより、ウェーハＷをウェーハカセット２０ａに収容する。
【００２９】
以上のようにして、ウェーハカセット２０ａに収容されたウェーハＷが最初に搬出されてから、ダイシングされた最後のウェーハＷがウェーハカセット２０ａに収容されるまでの工程は、すべて自動で行われるが、何らかの異常が発生した場合には、異常の発生箇所及び異常の内容が、各異常発生箇所から異常検出手段２９ａに通知される。
【００３０】
例えば、搬出入手段２１がウェーハカセット２０ａからダイシング前のウェーハＷを搬出しようとした際に、仮置き手段２２の位置合わせ部材２２０にフレームＦが衝突してウェーハを仮置き手段２２に載置できない場合は、搬出入手段２１が、搬出入異常としてその旨の情報を異常検出手段２９ａに通知する。また、ダイシング後のウェーハＷをウェーハカセット２０ａに搬入する際に、例えばフレームＦがウェーハカセットＣの側壁等に衝突して搬入できない場合も、搬出入異常として搬出入手段２１がその旨の情報を異常検出手段２９ａに通知する。
【００３１】
搬送手段２４によって仮置き手段２２からチャックテーブル２３にウェーハを搬送する際に、例えばウェーハＷが吸着部２４０から脱落して落下したような場合は、搬送手段２４は、搬送異常としてその旨の情報を異常検出手段２９ａに通知する。また、ダイシング後のウェーハＷを洗浄用搬送手段２８によってチャックテーブル２３から洗浄手段２７に搬送する際に吸着部２８０からウェーハＷが落下した場合も、搬送異常としその旨の情報を洗浄用搬送手段２８が異常検出手段２９ａに通知する。
【００３２】
アライメント手段２５において、ウェーハＷの一定の領域を撮像したにもかかわらず、ストリートＳを検出できなかった場合は、ストリートの検出に関するエラーとしてアライメント手段２５がその旨の情報を異常検出手段２９ａに通知する。
【００３３】
切削手段２６において、センサーが切削ブレード２６０の切り刃の破損や摩耗を検知した場合は、切削ブレードの異常として切削手段２６がその旨の情報を異常検出手段２９ａに通知する。
【００３４】
洗浄手段２７において、例えばスピンナーテーブル２７０からウェーハＷが離脱してしまったような場合は、ウェーハの洗浄に関する異常として洗浄手段２７がその旨の情報を異常検出手段２９ａに通知する。
【００３５】
上記のようにして異常を検知した異常検出手段２９ａでは、異常の内容を示す異常情報を生成して送信手段２９ｂに転送する。そうすると、送信手段２９ｂでは、オペレータの携帯電話機３をコールして音声情報を送信したり、電子メールにて文字や画像を送信したりして、オペレータに異常の内容を知らせる。
【００３６】
例えば、図３に示すように、ダイシング装置が、ダイサーＡ、ダイサーＢ、ダイサーＣ、・・・と複数ある場合においては、それぞれのダイサーに固有の識別情報が予め記憶されており、送信される異常情報には、異常が生じたダイサーを特定する識別情報が含まれる。ダイサーＡにアライメントエラーが発生した場合は、異常情報には、ダイサーＡを特定する識別情報及びアライメントエラーである旨の情報が含まれ、携帯電話機３の表示部３０に、図３のように、ダイサーＡにアライメントエラーが発生した旨の情報を表示させる。このように表示されることにより、オペレータは、どの装置でどのような異常が発生したのかを認識することができ、オペレータは、直ちに対応することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明が適用されるシステム構成を示す説明図である。
【図２】ウェーハを示す斜視図である。
【図３】本発明のシステム構成の例を示す説明図である。
【符号の説明】
【００３８】
１：ダイシング装置
２０：カセット載置手段  ２０ａ：ウェーハカセット
２１：搬出入手段  ２１０：挟持部
２２：仮置き手段  ２２０：位置合わせ部材
２３：チャックテーブル
２４：搬送手段  ２４０：吸着部
２５：アライメント手段  ２５０：撮像部
２６：切削手段  ２６０：切削ブレード  ２６１：スピンドル
２７：洗浄手段  ２７０：スピンナーテーブル
２８：洗浄用搬送手段  ２８０：吸着部
２９ａ：異常検出手段  ２９ｂ：送信手段
３：携帯電話機  ３０：表示部
４：通信回線
【図１】
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【図２】
2008112933.tif 000004
【図３】
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