(57)【要約】【課題】ランプの不点検出をより確実に行う照明装置を提供する。【解決手段】複数の誘電体バリア放電ランプ２０を備えた照明装置において、誘電体バリア放電ランプ２０を固定するソケット２１のそれぞれに温度センサ２２を配置する。これにより、各誘電体バリア放電ランプ２０の温度を検出することができるので、検出した温度に基づいて誘電体バリア放電ランプ２０の不点検出をより確実に行うことができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気的に並列に接続された複数の誘電体バリア放電ランプと、
前記誘電体バリア放電ランプに高周波電圧を印加する点灯回路と、
前記誘電体バリア放電ランプそれぞれの温度を検出する複数の温度センサと、
前記温度センサのそれぞれが検出した温度を入力して前記誘電体バリア放電ランプの不点を検出する不点検出手段と、
を有することを特徴とする照明装置。
【請求項２】
前記複数のセンサは、前記誘電体バリア放電ランプを固定するソケットに配置されていることを特徴とする請求項１記載の照明装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、誘電体バリア放電ランプを用いた照明装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶基板等のドライ洗浄を行う光洗浄装置には、誘電体バリア放電ランプが利用されている。この光洗浄装置は、石英ガラス管にエキシマ生成ガスを封入したエキシマランプに高周波電圧を印加してガラス管内を放電させ、エキシマ生成ガスをエキシマ状態にして、波長１７２ｎｍの単一波長の光を照射する。大気中に波長１７２ｎｍの紫外線を照射することにより、大気中の酸素が分解して活性酸素を生成する。結合が切断された有機化合物が活性酸素と反応して、炭酸ガス（ＣＯ２）や水（Ｈ２Ｏ）などを生成し、有機化合物の除去を行う。
【０００３】
従来、光洗浄装置には管径の大きな誘電体バリア放電ランプが用いられていたが、装置を小型化するために、管径の小さな誘電体バリア放電ランプを複数本使用したものが開発されている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００６−１３４７０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の光洗浄装置では、誘電体バリア放電ランプを接続したインバータにおいてランプ電流値を検出し、検出したランプ電流値が設定した範囲外になった場合にランプが不点であると判断していた。
【０００５】
しかしながら、インバータ単体に対して複数の誘電体バリア放電ランプを接続した構成では、ランプ電流値がランプの経年変化により減少したものであるのか、あるいは、ランプの不点により減少したものであるのか区別が難しいという問題があった。
【０００６】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、その課題とするところは、インバータ単体に対して複数の誘電体バリア放電ランプを接続した照明装置において、誘電体バリア放電ランプの不点検出をより確実に行うことにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る照明装置は、電気的に並列に接続された複数の誘電体バリア放電ランプと、誘電体バリア放電ランプに高周波電圧を印加する点灯回路と、誘電体バリア放電ランプそれぞれの温度を検出する複数の温度センサと、温度センサのそれぞれが検出した温度を入力して誘電体バリア放電ランプの不点を検出する不点検出手段と、を有することを特徴とする。
【０００８】
本発明にあっては、複数の誘電体バリア放電ランプを備え、各誘電体バリア放電ランプの温度を検出する温度センサを配置することにより、点灯時に検出される温度が所定の基準を満たさない誘電体バリア放電ランプを特定することができるので、誘電体バリア放電ランプの不点検出をより確実に行うことが可能となる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、インバータ単体に対して複数の誘電体バリア放電ランプを接続した照明装置において、誘電体バリア放電ランプの不点検出をより確実に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。
【００１１】
図１は、本実施の形態における照明装置の構成を示す概略図である。同図に示す照明装置は、電源１１、インバータ１２、不点検出部１３および複数の誘電体バリア放電ランプ２０を備える。インバータ１２には、電気的に並列に複数の誘電体バリア放電ランプ２０が接続される。１つのインバータ１２で複数の誘電体バリア放電ランプ２０を点灯することにより、照明装置の小型化を図ることができる。
【００１２】
誘電体バリア放電ランプ２０の両端はソケット２１で固定される。一方のソケット２１には温度センサ２２が配置される。不点検出部１３は、各温度センサ２２により検出された誘電体バリア放電ランプ２０の周囲の温度を参照して不点を検出する。
【００１３】
図２は、本照明装置における誘電体バリア放電ランプ２０が設置された様子を示す正面図である。誘電体バリア放電ランプ２０は、両端を封止した半径１７．５ｍｍの細い管状の石英ガラス管で形成される。ガラス管内には放電媒体としてのエキシマ生成ガスが封入される。ガラス管内部の中心軸に沿って内部電極が配置され、内部電極は両端の封止部により固定される。
【００１４】
誘電体バリア放電ランプ２０は、外部電極３０に形成された収容溝に沿って収容される。収容溝に収容された誘電体バリア放電ランプ２０のガラス管の外周は、ほぼ半円周に渡って外部電極３０に覆われる。外部電極３０の上部には、誘電体バリア放電ランプ２０を冷却するための冷却水３１を備える。この外部電極３０とガラス管内部に配置された内部電極とに高周波電圧を印加することにより、封入されたエキシマ生成ガスが励起されて紫外線が発生する。
【００１５】
誘電体バリア放電ランプ２０の両端は、ソケット２１で固定される。ソケット２１は、バネ４１を介して照明装置の筐体に固定される。バネ４１の弾性力により、誘電体バリア放電ランプ２０は外部電極３０の収納溝に収容される。なお、誘電体バリア放電ランプ２０と外部電極３０との間には僅かな隙間が存在し、点灯時の熱により外部電極３０が膨張しても誘電体バリア放電ランプ２０に接触しないようになっている。
【００１６】
図３のランプ軸方向の側面図に示すように、一方のソケット２１には、誘電体バリア放電ランプ２０の温度を検出するための温度センサ２２が配置される。ソケット２１は、ステンレス材あるいはアルミ材を加工して製作されているので、温度センサ２２が設置できるような形状加工を施して、温度センサ２２を設置する。温度センサ２２は、誘電体バリア放電ランプ２０のそれぞれに対して設けられており、各誘電体バリア放電ランプ２０の温度を検出する。なお、温度センサ２２をソケット２１周辺部に配置して誘電体バリア放電ランプ２０の温度を検出するものであってもよい。
【００１７】
不点検出部１３は、検出された各誘電体バリア放電ランプ２０の温度に基づいて不点か否かを判断する。不点の判断基準としては、例えば、誘電体バリア放電ランプ２０の点灯時と消灯時の温度差が規定より少ない場合、あるいは、誘電体バリア放電ランプ２０の点灯時に検出された温度が規定より低い場合などがある。
【００１８】
したがって、本実施の形態によれば、複数の誘電体バリア放電ランプ２０を備えた照明装置において、誘電体バリア放電ランプ２０を固定するソケット２１のそれぞれに温度センサ２２を配置することにより、各誘電体バリア放電ランプ２０の温度を検出することができるので、検出した温度に基づいて誘電体バリア放電ランプ２０の不点検出をより確実に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】一実施の形態における照明装置の構成を示す概略図である。
【図２】図１の照明装置において誘電体バリア放電ランプが設置された様子を示す正面図である。
【図３】図１の照明装置における一方のソケットに配置された温度センサの様子を示すランプ軸方向側の側面図である。
【符号の説明】
【００２０】
１１…電源
１２…インバータ
１３…不点検出部
２０…誘電体バリア放電ランプ
２１…ソケット
２２…温度センサ
３０…外部電極
３１…冷却水
４１…バネ
【図１】
2008305762.tif 000003
【図２】
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【図３】
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