(57)【要約】【課題】押圧ヘッドが押圧する部分の温度を直接測定させる事ができる部品圧着装置制御方法の提供。【解決手段】平板状のワーク２００に部品２０２を圧着する部品実装装置１００に適用され、前記ワーク２００に対し部品２０２を加熱状態の押圧ヘッド１１１を用いて押圧する押圧工程における押圧部分の温度を前記ワークの形状に近似した測定具３００により測定させる部品圧着装置制御方法であって、前記測定具３００を保持しているか否かを示す情報を取得する測定具情報取得ステップＳ７０２と、前記測定具３００を保持している情報を取得した場合に、前記測定具を前記ワークと同様の位置合わせをする位置合わせステップとＳ７０６、前記位置合わせステップ後に、前記測定具に対し前記押圧工程を実行する測定支援ステップＳ７０７とを含む。【選択図】図７
2008112986.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板状のワークに部品を圧着する部品圧着装置の前記ワークに対し部品を加熱状態の押圧ヘッドで押圧する押圧工程における押圧部分の温度、または、圧力を、前記ワークと同形状の測定基板に、部品と温度測定子、または、圧力測定子とが取り付けられた測定具に測定させるために当該部品圧着装置を制御する部品圧着装置制御方法であって、
前記部品圧着装置が前記測定具を保持しているか否かを示す情報を取得する測定具情報取得ステップと、
前記測定具を保持している情報を取得した場合に、前記測定具を前記ワークと同様の位置合わせをする位置合わせステップと、
前記位置合わせステップ後に、前記測定具に取り付けられる部品に対し前記押圧工程を実行する測定支援ステップと
を含むことを特徴とする部品圧着装置制御方法。
【請求項２】
さらに、
前記測定具を保持している情報を取得した場合に、当該部品圧着装置を測定具に温度、または、圧力を測定させるための状態である温度測定、または、圧力測定支援モードに変更するモード変更ステップを含む
請求項１に記載の部品圧着装置制御方法。
【請求項３】
前記温度測定、または、圧力測定支援モードでは、前記ワークに圧着される部品を前記測定具に対しては供給しない
請求項２に記載の部品圧着装置制御方法。
【請求項４】
前記測定具情報取得ステップは、前記測定具の種類に関する情報を取得し、
部品圧着装置制御方法さらに、
取得した前記測定具の種類に関する情報と当該部品圧着装置とが適合しない場合に、前記位置合わせステップと前記測定支援ステップとを実行しないスキップ工程を含む
請求項２に記載の部品圧着装置制御方法。
【請求項５】
さらに、
前記測定支援ステップ開始前に、温度測定、または、圧力測定に関連する作業を行うことを促す情報を報知する作業報知ステップを含む
請求項１に記載の部品圧着装置制御方法。
【請求項６】
さらに、
前記測定具から温度、または、圧力に関する情報を取得する測定情報取得ステップを含む
請求項１に記載の部品圧着装置制御方法。
【請求項７】
平板状のワークに対し部品を加熱状態で押圧する押圧ヘッドを備え、前記押圧ヘッドにより前記ワークに部品を圧着する部品圧着装置であって、
前記押圧ヘッドが押圧する部分の温度、または、圧着時の圧力を測定する前記ワークの形状に近似した測定具を保持しているか否かを示す情報を取得する測定具情報取得手段と、
前記測定具を保持している情報を取得した場合に、前記測定具を前記ワークと同様の位置合わせをする位置合わせ手段と、
位置合わせ後の前記測定具に対し前記押圧ヘッドで押圧する測定支援手段と
を備える部品圧着装置。
【請求項８】
前記測定具情報取得手段は、前記測定具の種類に関する情報を取得し、
さらに、
前記測定具を保持している情報を取得した場合に、当該部品圧着装置を測定具に温度、または、圧力を測定させるための状態である測定支援モードに変更するモード変更手段を備える
請求項７に記載の部品圧着装置。
【請求項９】
平板状のワークに部品を圧着する部品圧着装置の前記ワークに対し部品を加熱状態の押圧ヘッドで押圧する押圧工程における押圧部分の温度、または、圧力を、前記ワークと同形状の測定基板に、部品と温度測定子、または、圧力測定子とが取り付けられた測定具に測定させるために当該部品圧着装置を制御する部品圧着装置制御プログラムであって、
前記測定具を保持しているか否かを示す情報を取得する測定具情報取得ステップと、
前記測定具を保持している情報を取得した場合に、前記測定具を前記ワークと同様の位置合わせをする位置合わせステップと、
前記位置合わせステップ後に、前記測定具に取り付けられる部品に対し前記押圧工程を実行する測定支援ステップと
をコンピュータに実行させることを特徴とする部品圧着装置制御プログラム。
【請求項１０】
平板状のワークに部品を圧着する部品圧着装置に適用され、前記ワークに対し部品圧着装置が備える加熱状態の押圧ヘッドを用いて部品を押圧する押圧工程における押圧部分の温度を測定する測定具であって、
前記ワークと同形状の基板と、
前記ワークと同様の位置に取り付けられる部品と、
前記部品と接触する状態で配設される温度測定子、または、圧力測定子と
を備えることを特徴とする測定具。
【請求項１１】
さらに、
前記温度測定子、または、圧力測定子を識別する識別情報と、当該温度測定子、または、圧力測定子から得られる測定情報とを関連づけた状態で保持する保持手段を備える
請求項１０に記載の測定具。
【請求項１２】
さらに、
前記識別情報と測定情報とを送信する送信手段を備える
請求項１１に記載の測定具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平板状のワークに部品を圧着する部品圧着装置に適用され、前記ワークに対し加熱状態の押圧ヘッドを用いて部品を押圧する押圧工程における押圧部分の温度や圧力を前記ワークの形状に近似した測定具により測定させる部品圧着装置制御方法などに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、広く普及するに至ったＬＣＤ（liquid crystal display：液晶表示ディスプレイ）やＰＤＰ（plasma display panel）などの基板となるフラットパネルの周縁部には、半導体素子や、ＴＡＢ（Tape Automated Bonding）基板などのフレキシブル基板等が取り付けられている。
【０００３】
前記フラットパネルに半導体素子などを工業的にとりつけるには、以下のようにして行われている。
【０００４】
（１）フラットパネルの周縁部に、テープ状の異方性導電接着剤（以下、「ＡＣＦテープ」と記す。）を昇温状態の押圧ヘッドで押し付けて圧着する。この圧着は、ＡＣＦ圧着装置で行われる。
（２）前記圧着されたＡＣＦテープ上に電子部品を載置し、昇温状態の押圧ヘッドで前記電子部品を押圧して電子部品を仮圧着する。この仮圧着は、仮圧着装置で行われる。
（３）前記仮圧着された電子部品とフラットパネルに設けられた電極との導通を確保するるため、仮圧着された電子部品を昇温状態の押圧ヘッドで押圧して本圧着する。この本圧着は本圧着装置で行われる。
【０００５】
前記圧着工程における温度状態や加圧状態は、フラットパネルと部品との接着状態や導通状態に影響を与えるため、圧着時における押圧ヘッドの加熱温度や圧力のプロファイルを任意に制御することで、前記接着状態や導通状態を安定して確保する技術が開示されている（例えば特許文献１）。
【特許文献１】特開平３−２１０５３０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、前記押圧時の温度や圧力のモニタリングは、押圧ヘッドの温度を監視しエアシリンダへ導入する空気の圧力を監視しているにすぎず、任意に設定したプロファイルは押圧ヘッドの温度や加圧時の圧力であってＡＣＦテープが受ける実際の圧力やＡＣＦテープ自体の温度ではない。すなわち、ＡＣＦテープメーカーが推奨している温度範囲や加圧状態にＡＣＦテープが到達しているか否かは、前記方法では直接判断することができず、圧着工程終了後に、フラットパネルと部品との接着状態や導通状態を確認して適正な状態にＡＣＦテープが昇温され、加圧されていたか否かを類推するしかなかった。
【０００７】
また、フラットパネルディスプレイを工業的に製造する場合には、多量のフラットパネルに対し、各圧着工程を順次流れ作業で行い、接着状態や導通状態を確認するのは、さらに下流の検査工程で行われる。
【０００８】
従って、検査工程で不具合が発見された場合、圧着工程から検査工程に至るまでに存在するフラットパネルは全て不良品となるため、圧着装置の不具合により多くの不良品が発生し、コストに影響するものであった。
【０００９】
本発明は、上記の課題に鑑みなされたものであり、押圧ヘッドが押圧する部分の温度や圧力を直接測定させる事ができる部品圧着装置制御方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明にかかる部品圧着装置制御方法は、平板状のワークに部品を圧着する部品圧着装置の前記ワークに対し部品を加熱状態の押圧ヘッドで押圧する押圧工程における押圧部分の温度を、前記ワークと同形状の測定基板に部品と温度測定子、または、圧力測定子とが取り付けられた測定具に測定させるために当該部品圧着装置を制御する部品圧着装置制御方法であって、前記部品圧着装置が前記測定具を保持しているか否かを示す情報を取得する測定具情報取得ステップと、前記測定具を保持している情報を取得した場合に、前記測定具を前記ワークと同様の位置合わせをする位置合わせステップと、前記位置合わせステップ後に、前記測定具に取り付けられる部品に対し前記押圧工程を実行する測定支援ステップとを含むことを特徴とする。
【００１１】
これにより、測定具を通常のワークと同様に位置合わせを行い、押圧工程を行い、押圧部分の温度や圧力を直接測定させることができるため、位置ずれによる温度の測定ミスや圧力の測定ミスを排し、押圧部分の温度や圧力を正確かつリアルタイムに測定することが可能となる。
【００１２】
さらに、前記測定具を保持している情報を取得した場合に、当該部品圧着装置を測定具に温度を測定させるための状態である温度測定、または、圧力測定支援モードに変更するモード変更ステップを含むものでも構わない。
【００１３】
また、前記温度測定、または、圧力測定支援モードでは、前記ワークに圧着される部品を前記測定具に対しては供給しないとしても良い。
【００１４】
これにより、測定具に対し、部品圧着装置がさらに部品を仮圧着するような不具合を回避することができ、任意の部分の温度の状態や加圧状態を正確に測定させることが可能となる。
【００１５】
また、前記測定具情報取得ステップは、前記測定具の種類に関する情報を取得し、さらに、取得した前記測定具の種類に関する情報と当該部品圧着装置とが適合しない場合に、前記位置合わせステップと前記測定支援ステップとを実行しないスキップ工程を含むものでもよい。
【００１６】
これにより、目的の圧着工程における圧着部分の温度や圧力のみを選択的に測定させることが可能となる。これは特に通常のワークと同様に測定具をインラインで流した場合に当該効果が顕著に表れる。
【００１７】
さらに、前記測定支援ステップ開始前に、温度測定、または、圧力測定に関連する作業を行うことを促す情報を報知する作業報知ステップを含むものでもよい。
【００１８】
これにより、測定具から温度に関する情報や圧力に関する情報を手作業で取得する必要がある場合に、作業者にその旨を報知することができるため、作業者の待機時間を短くして作業の効率を高めることが可能となる。
【００１９】
さらに、前記測定具から温度に関する情報や圧力に関する情報を取得する測定情報取得ステップを含むものでもよい。
【００２０】
これにより、温度に関する情報や圧力に関する情報を用いてフィードバック制御を行うことができ、また、温度に関する情報を蓄積して不具合の発生する傾向を事前に知得することが可能となる。
【００２１】
なお、上記目的は、前記各ステップを手段として備えた部品圧着装置としても達成することができ、前記と同様の効果を奏することができる。
【００２２】
さらに、前記各ステップをコンピュータに実行させるプログラムとしても、上記目的を達成することができ、前記と同様の効果を奏することができる。
【００２３】
また、上記目的を達成するために用いられる測定具は、平板状のワークに部品を圧着する部品圧着装置に適用され、前記ワークに対し部品圧着装置が備える加熱状態の押圧ヘッドを用いて部品を押圧する押圧工程における押圧部分の温度を測定する測定具であって、前記ワークと同形状の基板と、前記ワークと同様の位置に取り付けられる部品と前記部品と接触する状態で配設される温度測定子、または、圧力測定子とを備えることを特徴とする。
【００２４】
これにより、前記部品圧着装置制御方法を確実に実施することができる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明により、部品圧着装置が備える押圧ヘッドが押圧する部分の温度を正確かつリアルタイムで測定させることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
次に、本発明にかかる部品圧着装置制御方法などを、複数種類の部品圧着装置が組み合わされた部品実装装置を例にとって説明する。
【００２７】
（実施の形態１）
図１は、部品実装装置を示す斜視図である。
【００２８】
同図に示すように、部品実装装置１００は、図２に示すフラットパネルディスプレイ用ガラス基板２００の連続する二つの周縁に部品としての電子部品２０２を実装する装置であり、上流からＡＣＦ圧着装置１０１、仮圧着装置１０２、横本圧着装置１０３、縦本圧着装置１０４の各圧着装置をインライン状態で備えている。
【００２９】
ＡＣＦ圧着装置１０１は、ワークとしてのガラス基板２００の周縁に部品としてのＡＣＦテープ２０１を圧着する装置であり、ＡＣＦテープ２０１をガラス基板２００に対し加熱状態で押圧するＡＣＦ押圧ヘッド１１１を備えている。
【００３０】
ＡＣＦ押圧ヘッド１１１は、ガラス基板２００の長手方向全体にわたりＡＣＦテープ２０１を一度に押圧する事のできる長さを備えている。従って、ＡＣＦ押圧ヘッド１１１の熱容量は他の押圧ヘッドに比べて大きくなる。
【００３１】
仮圧着装置１０２は、上流のＡＣＦ圧着装置１０１でガラス基板２００の上に圧着されたＡＣＦテープ２０１に電子部品２０２を圧着する装置であり、ＡＣＦテープ２０１に電子部品２０２を載置し過熱状態で押圧する仮押圧ヘッド１１２を備えている。
【００３２】
横本圧着装置１０３は、上流の仮圧着装置１０２で仮圧着された電子部品２０２をガラス基板２００に設けられた端子と導通するように圧着する装置であり、電子部品２０２を過熱状態で押圧する横本押圧ヘッド１１３を備えている。なお、本実施の形態の場合横本押圧ヘッド１１３は、仮圧着される電子部品２０２の数に対応する数だけ横本圧着装置に備えられている。
【００３３】
縦本圧着装置１０４は、縦本押圧ヘッド１１４を備えている。その他構成は横本圧着装置１０３とほぼ同様であるため、説明を省略する。
【００３４】
ここで、ＡＣＦテープ２０１とは、所定の温度に昇温された状態で所定の圧力が加えられることで所定の接着力を発揮しうるものである。さらに、ＡＣＦテープ２０１は、所定の温度に昇温された状態で厚さ方向に所定の圧力が加えられると、圧力が加えられた部分に厚さ方向に導電性が発生し、前記圧力が加えられる箇所が複数あった場合でも、圧力が加えられた箇所同士、つまり、幅方向や長さ方向には導電性が発生せずに絶縁状態のままとすることができるものである。
【００３５】
図３は測定具を模式的に示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は温度測定部分を拡大して示す断面図である。
【００３６】
同図に示す測定具３００は、ＡＣＦ圧着装置１０１のＡＣＦ押圧ヘッド１１１が押圧する際の押圧部分の温度を測定する器具であって、前記ガラス基板２００と同形状の測定基板３０１と、温度測定子としての熱電対３０２と、熱電対３０２からの情報を処理する測定装置３１０と、ＡＣＦテープ２０１とを備えている。なお、測定具３００は、熱電対３０２や測定装置３１０を備えている点で、ガラス基板２００の形状と近似している。
【００３７】
測定基板３０１は、前述したようにガラス基板２００と同じ厚み、同じ矩形形状である。本実施の形態の場合、測定基板３０１としてワークであるガラス基板２００そのものが用いられている。また、測定基板３０１は、ワークであるガラス基板２００と同様にバーコード（図示せず）が付されており、当該バーコードには個々の測定具３００を識別し、また、ワークとも識別できる識別情報が含まれている。なお、測定具３００の識別情報を測定具３００自体に持たせる方法としては、前述のバーコードの他、二次元バーコード（ＱＲコード（登録商標））や、ＩＣタグなどでも構わない。
【００３８】
さらに測定基板３０１には、ワークとしてのガラス基板２００と同様に、位置合わせようの目印（図示せず）が付されている。
【００３９】
熱電対３０２は、先端部分の温度を電気信号として出力するセンサであり、同図（ｂ）に示すように、先端部分は、測定基板３０１とＡＣＦテープ２０１との間に挟まれた状態で固定されている。また、熱電対３０２は、複数箇所に配置されおり、複数箇所の温度を測定できるものとなされている。
【００４０】
測定装置３１０は、熱電対３０２から出力される電気信号を処理する装置であり、測温部３１１、制御部３１２、保持部３１３、送信部３１４、有線Ｉ／Ｆ３１５、無線Ｉ／Ｆ３１６を備えている。
【００４１】
測温部３１１は、熱電対３０２が出力する電気信号を測定情報に変換すると共に、各熱電対３０２を識別するための識別情報を前記測定情報に関連付けるインターフェースである。また、測定情報およびこれに関連づけられる識別情報は制御部に送信される。
【００４２】
制御部３１２は、測定装置３１０が備える各部を制御する装置であり、受信した測定情報及び識別情報を後述の保持部３１３に送信し、また、保持部３１３に保持された測定情報及び識別情報を後述の送信部３１４に送信するものである。
【００４３】
保持部３１３は、前記測定情報とこれと関連づけられる識別情報とを保持する装置である。また、本実施の形態では、制御部３１２により時刻情報が生成されており、保持部３１３は、前記時刻情報に基づき前記測定情報と識別情報とを経時的に保持する機能を併せ持っている。
【００４４】
送信部３１４は、前記測定情報と識別情報とを所定のプロトコルに従って送信しうるように処理する装置である。また、要すれば、時刻情報も同様に処理される。
【００４５】
有線Ｉ／Ｆ３１５は、送信部３１４から送信される情報を受信する他の機器と有線で接続するためのインターフェースである。
【００４６】
無線Ｉ／Ｆ３１６は、送信部３１４から送信される情報を受信する他の機器と無線で接続するためのインターフェースである。当該無線接続としては、電波や光（赤外線）などが例示できる。
【００４７】
なお、前記各部を装置として説明したが、当該機能をソフトウエアとして実現するものでも構わない。
【００４８】
また、有線Ｉ／Ｆ３１５と無線Ｉ／Ｆ３１６とを同時に備える必要はなく、いずれか一つでも良い。
【００４９】
図４は他の測定具を模式的に示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は温度測定部分を拡大して示す断面図である。
【００５０】
同図に示す測定具３００は、仮圧着装置１０２、横本圧着装置１０３、縦本圧着装置１０４に共通して使用できる測定具であり、仮押圧ヘッド１１２、横本押圧ヘッド１１３、縦本押圧ヘッド１１４が押圧する際の押圧部分の温度を測定する器具である。また、本測定具３００は、前記測定具３００と同様に測定基板３０１と、複数の熱電対３０２と、測定装置３１０と、ＡＣＦテープ２０１とを備え、さらにガラス基板２００に実装される電子部品２０２と同じ電子部品２０２が取り付けられている。
【００５１】
また、同図（ｂ）に示すように、熱電対３０２は、測定基板３０１に取り付けられたＡＣＦテープ２０１と電子部品２０２との間に挟まれた状態で固定されている。
【００５２】
その他の構成は、前記測定具３００と同様であるため説明を省略する。
【００５３】
図５は、部品実装装置１００の機構及び機能構成を示すブロック図である。
【００５４】
同図に示すように部品実装装置１００は、前述の装置構成の他に、ソフトウエアに基づきコンピュータによって実現される制御部１３０と、制御部１３０によって制御され、また、制御部１３０に情報を提供する機構部１２０とを備えている。
【００５５】
制御部１３０における測定具情報取得部１３１は、例えば、機構部１２０におけるバーコードリーダ１２１からの情報を取得し、測定具３００を保持しているか否かを判定する処理部である。具体的にＡＣＦ圧着装置１０１を例に取り説明すると、ＡＣＦ圧着装置１０１に測定具３００が搬入されると、ＡＣＦ圧着装置１０１に設けられているバーコードリーダ１２１が測定具３００に付されているバーコードを読み取り、測定具情報取得部１３１は、ＡＣＦ圧着装置１０１が測定具３００を保持しているか否かを判断する。
【００５６】
なお、同様の判断は、仮圧着装置１０２、本圧着装置１０３、１０４についても行われる。
【００５７】
また、測定具３００の有無の情報を測定具３００（ガラス基板２００）から直接取得するのではなく、ガラス基板２００を何枚処理した後に測定具３００を処理するかを予め定め、ガラス基板２００の処理数をカウントして測定具３００の有無を判断してもよい。また、人手により当該情報を入力することにより取得しても構わない。
【００５８】
位置合わせ部１３２は、例えば、カメラ１２２からの情報に基づきＸ方向、Ｙ方向、θ方向に測定具３００を移動させることのできるテーブル１２３を制御して測定具３００の位置を合わせる処理部である。具体的には、テーブル１２３上の測定具３００に付されている目印をカメラ１２２で撮像し、得られた画像情報に基づき位置合わせ部１３２は、本来測定具３００が配置されるべき位置（ワークとしてのガラス基板２００と同じ）とのずれを算出し、当該ずれに基づきテーブル１２３を制御して測定具３００の位置合わせを行う。
【００５９】
モード変更部１３４は、測定具情報取得部１３１から測定具３００を保持しているという情報を取得した場合、ワークとしてのガラス基板２００に対し実施する工程とは異なる工程に変更する処理部である。具体的には、ＡＣＦ圧着装置１０１に測定具３００が保持されている場合は、ＡＣＦテープ２０１をガラス基板２００に貼り付けるために実施される工程、例えば、新しいＡＣＦテープ２０１を引き出し、ガラス基板２００の周縁に配置する工程を行わないような工程となるようにモード変更部１３４は部品実装装置１００の実装条件を変更する。
【００６０】
測定支援部１３３は、測定具３００を保持した場合に、押圧ヘッド（１１１〜１１４）を制御して、ワークとしてのガラス基板２００に対するのと同様に押圧ヘッド（１１１〜１１４）を稼働させる処理部である。具体的には、例えば、図６に示すように、縦本圧着装置１０４に測定具３００が保持されている場合に、測定支援部１３３は、上下移動部１４１を所定の位置に降下させ、必要な部分に対して縦本押圧ヘッド１１４で押圧させる制御を行う。
【００６１】
次に、部品実装装置１００に含まれる圧着装置のうちＡＣＦ圧着装置１０１の制御動作について説明する。
【００６２】
図７は、部品実装装置の温度測定、または、圧力測定支援処理動作を示すフローチャートである。
【００６３】
同図に示すように、まず、測定具情報取得部１３１は、バーコードリーダ１２１からバーコード情報を取得し（Ｓ７０１）、測定具３００がＡＣＦ圧着装置１０１に搬入されたか否かを判断する（Ｓ７０２）。通常のワークとしてのガラス基板２００が搬入されたと判断された場合（Ｓ７０２：Ｎ）は、通常の処理が行われる（Ｓ７０３）。一方、測定具３００が搬入されたと判断されると（Ｓ７０２：Ｙ）さらに、搬入された測定具３００の種類とＡＣＦ圧着装置１０１とが適合するか否かが判断される（Ｓ７０４）。
【００６４】
測定具３００がＡＣＦ押圧ヘッド１１１用の測定具３００でない場合（Ｓ７０４：Ｎ）以下の工程がスキップされる（Ｓ７０９）。
【００６５】
一方、測定具３００がＡＣＦ押圧ヘッド１１１用の測定具３００であった場合（Ｓ７０４：Ｙ）、モード変更部１３４により、ＡＣＦ圧着装置１０１が温度測定（または、圧力測定）支援モードに変更される（Ｓ７０５）。これにより、新しいＡＣＦテープ２０１が引き出され、測定具３００に重ねてＡＣＦテープ２０１が圧着されることを回避することができ、本来の状態における押圧部分の温度（または圧力）を測定することが可能となる。
【００６６】
次に、位置合わせ部１３２により、測定具３００の位置合わせが実施される（Ｓ７０６）。当該位置合わせは、通常のワークとしてのガラス基板２００と同様に、測定具３００に付された目印に基づき正確に行われる。従って、測定具３００に配置された熱電対３０２を所望する位置に正確に配置することができ、正確に所望する押圧部分の温度を測定することができる。
【００６７】
次に、測定支援部１３３は、通常のＡＣＦテープ２０１圧着時と同じように、ＡＣＦ押圧ヘッド１１１を制御し、測定具３００に備えられるＡＣＦテープ２０１（またはそのダミー）および測定基板３０１に対しＡＣＦ押圧ヘッド１１１を所定の圧力、所定の時間押圧させ測定具３００による温度測定を支援する（Ｓ７０７）。
【００６８】
ここで、測定具３００に備えられる熱電対３０２は、押圧部分におけるＡＣＦテープ２０１と測定基板３０１との間に配置されているため、昇温状態のＡＣＦ押圧ヘッド１１１の押圧により加熱されるＡＣＦテープ２０１の温度を直接測定することができる。しかも、通常の生産状態とほぼ同じ状態で温度が測定されるため、他の装置（例えばモータ）などにより昇温される雰囲気や、バックアップステージ１４２（図６参照）の蓄熱などの影響も忠実に検出することが可能となる。
【００６９】
次に、部品実装装置１００は、測定具３００から測定情報を取得する（Ｓ７０８）。当該測定情報を取得するための通信方法は特に限定されるものではないが、測定具３００が備える無線Ｉ／Ｆを用い、無線通信により情報を取得すれば、部品実装装置１００と測定具３００とを接続する必要がないため好ましい。
【００７０】
以上により、ＡＣＦ圧着装置１０１は、測定具３００が行うＡＣＦ押圧ヘッド１１１の押圧部分の温度の測定を支援することができる。
【００７１】
また、上記は、ＡＣＦ圧着装置１０１の処理動作について記述したが、上記処理動作は、仮圧着装置１０２、横本圧着装置１０３、縦本圧着装置１０４とも同様である。ただし、測定具３００が搬入されたか否かの判断（Ｓ７０２）、および、該当測定具か否かの判断（Ｓ７０３）は、各圧着装置（１０２〜１０４）が独自に測定具３００に付されたバーコードを読み取り判断してもよく、また、上流のＡＣＦ圧着装置１０１などから情報を受け取って判断しても構わない。
【００７２】
また、仮圧着装置１０２におけるモード変更（Ｓ７０５）としては、電子部品２０２が測定具３００に対し実装される工程が実施されない状況を例示することができる。
【００７３】
（実施の形態２）
次に、本発明にかかる他の実施の形態について説明する。なお、本実施の形態２は前記実施の形態１の装置構成などほぼ同様であるため、実施の形態１と異なる部分のみ説明する。
【００７４】
図８は、実施の形態２にかかる部品実装装置１００の温度測定、または、圧力測定支援処理動作を示すフローチャートである。
【００７５】
同図に示す各ステップにおいて、実施の形態１と同様のステップについては同じ符号を付しその説明を省略する。なお、実施の形態１との差異点は、作業報知ステップ（Ｓ８０１）が追加された点と、測定情報取得ステップ（Ｓ７０８）が無くなった点である。
【００７６】
測定具３００に対し、位置合わせ（Ｓ７０６）が終了すると、部品実装装置１００は、温度測定、または、圧力測定に関連する作業を行うことを促す情報を報知する（Ｓ８０１）。具体的には、ブザーを鳴らすだけでもよく、光を発するものでもよい。また、詳細な情報を表示装置に表示するものでも構わない。
【００７７】
そして、当該報知を認識した作業者は、測定具３００が備える有線Ｉ／Ｆ３１５に対し測定情報を取得することができる機器から延びたケーブルを接続する。
【００７８】
部品実装装置１００は、温度測定、または、圧力測定の準備ができた旨の情報を取得すると、測定支援ステップ（Ｓ７０７）を実行する。
【００７９】
以上により、測定具３００から、押圧部分の測定情報を取得することができる。
【００８０】
以上、本発明を上記実施の形態を例として説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるわけではない。
【００８１】
例えば、測定具３００は、測定装置３１０を備え、複数の熱電対３０２からの情報を測定装置３１０が一元管理していたが、本発明はこれに限定されるわけではなく、例えば測定装置３１０を備えない測定具３００であっても構わない。この場合、各熱電対３０２に対し、測定器などを直接接続すればよい。
【００８２】
また、測定具３００を上流から搬送する場合を説明したが、測定具３００を強制的に人手によってテーブル１２３上に配置するものでもよい。
【００８３】
また、測定情報の取得を測定具３００が部品実装装置１００に存在する間に実行する場合を説明したが、温度の履歴を測定具３００が備える保持部３１３に逐一保持させておき、測定具３００が部品実装装置１００から搬出された後の段階で、これらの測定情報を取得しても構わない。
【００８４】
（フィードバック）
次に、測定された測定情報の使用例を説明する。
【００８５】
例えば、通常のワークとしてのガラス基板２００を所定数処理する毎（例えば１０００枚処理する毎）に測定具３００を流して測定情報を取得し、前後の測定情報と比較することで、温度の変化が許容値以内であれば、その間に生産された製品の圧着状態を保証する一指標となり得る。
【００８６】
また、圧着時のＡＣＦテープ２０１などの温度プロファイルを収集することができる。
【００８７】
図９は、測定具により測定されたＡＣＦテープの昇温グラフである。
【００８８】
当該測定情報を取得した条件としては、押圧ヘッドの設定温度はTa１であり、押圧時間は設定せずに、ＡＣＦテープの温度がほぼ一定となるまで実操業と同じ圧力で押圧した。なお、実操業における押圧時間はts１である。
【００８９】
同図におけるＡＣＦテープの昇温曲線Tc１で示されるように、押圧ヘッドの設定温度をTa１とした場合、ＡＣＦテープは時間に関係なくTa１に達しないことが解る。さらに、実操業における押圧時間のts１では設定温度Ta１とかなりの乖離が認められる。なお、押圧ヘッドの内部には熱電対が埋め込まれており、設定温度Ta１と押圧ヘッドの実際の温度とはほぼ一致している。
【００９０】
本発明によれば、上記情報を容易に入手することができる。
【００９１】
図１０は、押圧ヘッドの設定温度と、押圧時間がts１の時点におけるＡＣＦテープの温度との関係を示すグラフである。
【００９２】
当該グラフも、押圧ヘッドを設定温度に昇温した後、測定具を用いてＡＣＦテープの温度を測定し、これを押圧ヘッドの各設定温度毎に実施して得られたものである。
【００９３】
このように、本発明によれば上記情報を容易に入手することができる。
【００９４】
同図に示すように、押圧ヘッドの設定温度とＡＣＦテープの温度とは、略一次関数になっている。従って、ＡＣＦテープを実操業時間で必要な温度（ＡＣＦテープメーカーの推賞温度）に昇温するためには、押圧ヘッドの設定温度Ta１を何度に設定しなければならないかが容易に解る。
【００９５】
また、所定の間隔（例えば、所定の期間や、所定の処理枚数、ロット毎など）毎に測定具３００に対し温度測定、または、圧力測定を実行させ、測定情報を取得し蓄積すれば、測定情報と押圧ヘッドが備えるヒータの寿命との相関関係を見出すことができ、蓄積された測定情報の変化の傾向から前記ヒータの寿命予想を行うことが可能となる。
【００９６】
これにより、ヒータを寿命ぎりぎりまで使用し続けることができ、操業を停止してヒータを交換する期間を延ばすことができるようになる。従って、圧着装置の操業コストの低下を計ることができると共に、省資源化も図ることが可能となる。
【００９７】
次に、測定具３００の他の態様を説明する。
【００９８】
図１１は、測定具の他の態様を模式的に示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は圧力測定部分を拡大して示す断面図である。
【００９９】
同図に示す測定具３００は、仮圧着装置１０２、横本圧着装置１０３、縦本圧着装置１０４に共通して使用できる測定具であり、仮押圧ヘッド１１２、横本押圧ヘッド１１３、縦本押圧ヘッド１１４が押圧する際の圧力分布を測定する器具である。
【０１００】
また、本測定具３００は、測定基板３０１と、複数の圧力センサ４０１と、信号ケーブル４０２と、測定装置３１０とを備え、さらにガラス基板２００に実装される電子部品２０２と同じ電子部品２０２が圧力センサ４０１に取り付けられている。
【０１０１】
圧力センサ４０１は、圧力を検知することができる素子をマトリクス状に備えており、加えられた圧力の分布を検出することができるセンサであり、ＡＣＦテープ２０１とほぼ同じ厚みに設定され、ＡＣＦテープ２０１が取り付けられるべき位置に取り付けられている。
【０１０２】
信号ケーブル４０２は、圧力センサ４０１が検出した圧力信号を測定装置に送信するための導線群である。
【０１０３】
測圧部４１１は、圧力センサ４０１が出力する電気信号を測定情報に変換すると共に、圧力センサ４０１自体と圧力センサ４０１が備える各素子を識別するための識別情報を前記測定情報に関連付けるインターフェースである。また、測定情報およびこれに関連づけられる識別情報は制御部に送信される。
【０１０４】
その他の構成は、前記測定具３００と同様であるため説明を省略する。
【０１０５】
なお、測定具３００は、温度センサと圧力センサとが一つの電子部品２０２に対して同時に備えられ、温度と圧力とを同時に測定することができるものであっても良い。
【産業上の利用可能性】
【０１０６】
本発明は部品圧着装置、特にフラットパネルに電子部品をＡＣＦテープを用いて接合し、電気的にも接続する部品圧着装置に利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１０７】
【図１】部品実装装置を示す斜視図である。
【図２】部品実装後のガラス基板を示す平面図である。
【図３】測定具を模式的に示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は温度測定部分を拡大して示す断面図である。
【図４】他の測定具を模式的に示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は温度測定部分を拡大して示す断面図である。
【図５】部品実装装置の機構及び機能構成を示すブロック図である。
【図６】押圧ヘッド近傍を詳細に示す斜視図である。
【図７】実施の形態１に係る部品実装装置の制御動作を示すフローチャートである。
【図８】実施の形態２に係る制御動作を示すフローチャートである。
【図９】測定具により測定されたＡＣＦテープの昇温グラフである。
【図１０】押圧ヘッドの設定温度と、ＡＣＦテープの温度との関係を示すグラフである。
【図１１】測定具の他の態様を模式的に示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は圧力測定部分を拡大して示す断面図である。
【符号の説明】
【０１０８】
１００  部品実装装置
１１１  ＡＣＦ押圧ヘッド
１１２  仮押圧ヘッド
１１３  横本押圧ヘッド
１１４  縦本押圧ヘッド
１３１  測定具情報取得部
１３２  位置合わせ部
１３３  測定支援部
１３４  モード変更部
３００  測定具
３１０  測定装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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