(57)【要約】【課題】長時間の連続露光により寸法精度が損なわれることが無く、更に、画質が劣化することなく均一な露光を行うことができる連続露光装置を提供する。【解決手段】少なくとも透明円筒体と、該透明円筒体の内部に配置されたＬＥＤ光源と、該透明円筒体と該ＬＥＤ光源の間に配置された拡散板を有する連続露光装置。【選択図】  図１
2008241987.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも透明円筒体と該透明円筒体の内部に配置されたＬＥＤ光源と、該透明円筒体と該ＬＥＤ光源の間に配置された拡散板を有することを特徴とする連続露光装置。
【請求項２】
前記露光装置において、該拡散板の拡散角が５０°以下であることを特徴とする請求項１記載の連続露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基材上に画像パターンを形成させるための連続露光装置に関する。更に詳細には、ロール状の導電性材料前駆体を連続的に露光し、巻き取ることのできる、いわゆるロール・ツー・ロール（ｒｏｌｌ−ｔｏ−ｒｏｌｌ）で露光できる連続露光装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、情報化社会が急速に発達するに伴って、情報関連機器に関する技術が急速に進歩し普及してきた。これら、情報関連機器には、小型化、軽量化のために多くの導電性フィルムが用いられている。また、平面ディスプレイ装置では、透明導電性フィルムが電磁波シールド用途として用いられている。
【０００３】
これらの導電性フィルムの製造方法としては、銀、銅、ニッケル、インジウム等の導電性金属をスパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンビームアシスト法、真空蒸着法、湿式塗工法によってフィルム上に金属薄膜を形成させる方法が一般的に用いられている。近年、導電性フィルムの需要が拡大する中にあって、低コストで生産性が高い製造方法が求められている。
【０００４】
上述の事情に鑑み、現像処理によって物理現像核層に金属銀を析出させて導電性パターンを形成する方法（銀錯塩拡散転写法）が、特公昭４２−２３７４５号公報、特開２００３−７７３５０号公報に開示されている。更に、金属銀からなる導電性パターンを触媒として金属メッキすることが、国際公開第２００４／００７８１０号のパンフレットに開示されている。これらの方法では、導電性パターンを形成するために用いられる元の材料（前駆体という）をロールの形態で準備し、これを露光、現像処理した後ロール状に巻き取る、いわゆるロール・ツー・ロールで連続処理できるので生産性が向上する。
【０００５】
ロール状の前駆体の搬送を停止させることなく露光処理を行う連続露光装置としては、透明円筒基材の外周面にマスクパターンを有する原稿円筒体を前駆体の搬送速度に同期させ、該原稿円筒体の内部から露光を行う装置が、特開平２−２９３７５４号、特開２０００−３５６７７号、特開２０００−７５４９７号公報（特許文献１〜３）等に開示されている。
【０００６】
これらの露光装置では、光源として、水銀ランプ、蛍光灯等が用いられるが、ロール状の前駆体を用いて連続的に露光を行うので、露光中の原稿円筒体には、光源から、光だけでなく熱も常時加えられている。そして、原稿円筒体は、加熱されることにより膨張し、原稿円筒体外周面のマスクパターンが伸長し、マスクパターンの寸法精度が損なわれてしまう場合がある。
【０００７】
上記のような、寸法精度不良が発生すると、例えば、電磁波シールドフィルム等に用いられるメッシュパターンを作製する場合には、メッシュパターンの伸縮によって、メッシュの導電性（電磁波シールド特性）、及び光透過性の不均一が生じ問題である。
【０００８】
光源としては、直進性が良いものを用いた方が、露光される画像の輪郭がシャープになり画質の面で好ましいが、一方、光を拡散させて、均一に露光することが、露光ムラを発生させないためには好ましい。このように、画質と露光の均一性は、トレードオフの関係にあるので、画質の劣化を最小限にとどめ、均一に露光できる光源が望ましい。
【特許文献１】特開平２−２９３７５４号公報
【特許文献２】特開２０００−３５６７７号公報
【特許文献３】特開２０００−７５４９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の目的は、長時間の連続露光によっても寸法精度が損なわれることが無く、更に、画質と均一な露光を両立させることができる連続露光装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の目的は、以下の装置によって基本的に達成された。
１）少なくとも透明円筒体と該透明円筒体の内部に配置されたＬＥＤ光源と、該透明円筒体と該ＬＥＤ光源の間に配置された拡散板を有することを特徴とする連続露光装置。
２）前記露光装置において、該拡散板の拡散角が５０°以下であることを特徴とする１）記載の連続露光装置。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の装置により、連続的に露光することで寸法精度が損なわれることが無く、また、画質が劣化することなく、均一な露光を行うことができる連続露光装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明の連続露光装置は、ロール・ツー・ロール（ｒｏｌｌ−ｔｏ−ｒｏｌｌ）で処理することを目的に、ロール状の前駆体の巻き出し部と、前駆体を搬送しながら露光する連続露光部と、前駆体をロール状に巻き取るための巻き取り部とを有する。ここで、ロール・ツー・ロールで処理するとは、ロール状に巻かれた前駆体を連続的に巻き出し、露光した後、再度ロール状に巻き取る方式である。
【００１３】
本発明の連続露光装置は、前駆体を現像処理する装置（以降現像処理装置と称す）との間で搬送速度を同期させることにより、現像処理装置と直接接続することができる。前記現像処理装置と接続する場合、前駆体は、連続露光部で露光され、現像処理部で現像、及び不要成分を除去、乾燥された後に、巻き取り部でロール状に巻き取られる。
【００１４】
本発明の装置が対象とする前駆体は、露光、現像、不要成分の除去の各工程を経ることにより、導電性パターンを得ることができる前駆体であり、例えば、前述の特公昭４２−２３７４５号公報、特開２００３−７７３５０号公報、国際公開第２００４／００７８１０号のパンフレット等に記載されるハロゲン化銀感光材料を利用する前駆体、特開平５−２９３９５号公報、特開平９−１７２０４１号公報等に記載される基材上に金属薄膜層と光架橋硬化樹脂層とをこの順に有する前駆体等が挙げられる。特に、基材上に少なくとも物理現像核層とハロゲン化銀乳剤層とをこの順に有する前駆体は、画質が優れているので好適である。
【００１５】
以下、本発明の連続露光装置を、図面を用いて詳細に説明する。図１は、本発明の連続露光装置の連続露光部を示す概略側断面図である。図２、及び図３は、本発明の連続露光装置に用いられるＬＥＤ光源の露光像を示す概略図である。図４は、本発明の連続露光装置の一実施態様の概略側断面図である。なお、記載中、上流側とは巻き出し軸１１側を意味し、下流側とは巻き取り軸６１側を意味する。
【００１６】
図４に示すように、巻き出し部Ａは、巻き出し軸１１、張力制御手段１３で構成されており、ロール状の前駆体１２が、巻き出し軸１１に装着されている。そして、ロール状の前駆体１２は、矢印の方向に搬送される。ロール状の前駆体１２は、内巻き（感光層側面を内側にして巻き取られている）になっている。巻き出し軸１１には、張力制御手段１３（例えば、パウダーブレーキ）が接続されており、前駆体Ｆに加えられる張力が制御されている。張力制御手段１３は、前駆体Ｆの蛇行を抑制するために、前駆体Ｆに一定の張力を加えており、４０Ｎ／ｍから１５０Ｎ／ｍの範囲が適当である。ロール状の前駆体１２には、最上巻きと最下巻きには、パターンの形成装置の搬送経路の全長に相当する長さのリードフィルムが設けられており、前駆体Ｆの製品部分は常に搬送速度及び張力が制御された状態で搬送されるようになっている。
【００１７】
ロール状の前駆体１２から送り出された前駆体Ｆは、粘着性ローラ１５に接触されることよって、その表裏両面に付着した塵が粘着除去された後、連続露光部Ｅに送られる。そして、粘着性ローラ１５に付着した塵は図示しないクリーニング手段（例えば一周毎に表面を剥離可能な粘着性ローラ）で定期的に除去され、前駆体Ｆに塵が再付着するのを防いでいる。前駆体Ｆに付着した塵を除去出来れば他の方法でも良く、例えば吸引ノズルにより塵を吸引除去してもよい。
【００１８】
本発明の装置の連続露光部Ｅは、図４に示される、原稿円筒体１、露光源であるＬＥＤ光源Ｌ、散光板５、密着ローラ２３、搬送ローラ９ａ、及び９ｂ、クリーニングローラ１６、密着ローラ２３からなっている。そして、図１に示されるように、原稿円筒体１は、透明円筒基材４の外周面にマスクパターンＭが付設されている。透明円筒基材４へのマスクパターンＭの付設方法は種々あるが、例えば、透明円筒基材４の外周面にカーボンブラックを塗布し、不要部分をレーザーアブレーション装置によって除去してマスクパターンＭを形成させる方法、透明円筒基材４の外周面にマスクパターンＭが描画された原稿フィルムを巻き付ける方法等がある。
【００１９】
図１に示すように、原稿円筒体１の内部には、本発明の特徴であるＬＥＤ光源Ｌ、及び拡散板５が配置されている。ＬＥＤ光源Ｌは、点光源の発光ダイオードを、原稿円筒体１の幅方向に、線状に配置したものである。ＬＥＤ光源Ｌから発せられる光は、原稿円筒体１の内側から原稿円筒体１に向けて照射され、図１において露光領域と範囲指定された部分で前駆体Ｆを露光する。ＬＥＤ光源Ｌには、図示しない露光量調整手段が接続されており、露光量を増減させることができる。ＬＥＤ光源Ｌに用いられる発光ダイオードとしては、前駆体Ｆを感光させる波長の光を放射する物であればよいが、画質の面を考慮すれば、４３５ｎｍ以下の波長の光を放射する発光ダイオードを用いることが好ましい。また、放射エネルギー量としては、１０ｍＷ／ｓｒ以上が好ましく、３０ｍＷ／ｓｒ以上がより好ましい。例えば、ＯｐｔｏＳｕｐｐｌｙ製、ＯＳＳＶ５１１１Ａ、ＯＳＳＶ８１３１Ａなどが好適に利用できる。
【００２０】
ＬＥＤ光源Ｌは、直流電圧を印加することにより発光する。そして、消費電力のほとんどは、光エネルギーに変換され、熱エネルギーとして放射するエネルギーが非常に少ないので、露光中に原稿円筒体１を加熱することがほとんどない。このため、ロール・ツー・ロールで連続的に露光処理を行っても、原稿円筒体が熱膨張することが無く、常に安定した寸法精度で露光することができる。また、ＬＥＤ光源Ｌの消費電力のほとんどを光エネルギーに変換するので、エネルギー効率が高く、同様の光エネルギーを得る場合、水銀ランプ、蛍光灯等と比較して省エネルギーになるので好ましい。
【００２１】
ＬＥＤ光源Ｌを構成する発光ダイオードから放出される光は、直進性よく放射される。そのため、原稿円筒体１が有するマスクパターンＭのエッジ部をシャープに露光することができ、細線パターンを露光した場合では、蛍光灯などの光源で露光した時より、パターン化された導体の抵抗値が低くなり好ましい。しかしながら、発光ダイオードから放射される光の直進性が良好なため、隣り合った発光ダイオードの間において光が少なくなり、露光ムラができてしまう。そのため、拡散板５を、ＬＥＤ光源Ｌと原稿円筒体１の間に挿入し、ＬＥＤ光源Ｌの隣り合った発光ダイオード各々からの光を重複させて、露光分布を一様化させている。
【００２２】
拡散板５としては、ＬＥＤ光源Ｌの隣り合った発光ダイオード各々からの光を重複させることができるだけの拡散角を有していれば良いが、あまり大きな拡散角で、発光ダイオードから放射される光を拡散させると、発光ダイオードの特徴である直進性が損なわれるので、拡散角は５０°以下が好ましい。また、発光ダイオードが隣り合う方向（原稿円筒体１の幅方向）にのみ、発光ダイオードから放射された光が拡散することが、更に好ましい。つまり、原稿円筒体の円周方向の拡散角が、原稿円筒体１の幅方向の拡散角より小さいことが好ましい。拡散板５の材質としては、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ガラス等が好適に用いられる。拡散板５としては、例えば、オプティカルソリューション製  Ｌｉｇｈｔ  Ｓｈａｐｉｎｇ  Ｄｉｆｆｕｓｅｒｓが好適に用いられる。
【００２３】
原稿円筒体１は、搬送ローラ９ａ、及び９ｂの上に回転自在に配置されている。そして、原稿円筒体１の外周には密着ローラ２３が配置されている。前駆体Ｆは、搬送ローラ９ａの下側を通って、原稿円筒体１の外周に巻き付けられ、搬送ローラ９ｂの下側を通って巻き取り部へ搬送される。そして、前駆体Ｆにかけられる張力により原稿円筒体１が、搬送ローラ９ａ、及び９ｂに押し付けられ、前駆体Ｆの動きに合わせて原稿円筒体１が回転し、光が照射されている原稿円筒体１の外周面の露光領域で、前駆体Ｆに、マスクパターンＭの像様に連続的に露光される。密着ローラ２３は、原稿円筒体１に前駆体Ｆを密着させるためのローラであり、前駆体Ｆを原稿円筒体１と密着ローラ２３で狭持して前駆体Ｆを搬送することにより、前駆体Ｆと原稿円筒体１の密着性を向上させている。前駆体Ｆと原稿円筒体１の密着性を向上させるためには、密着ローラ２３を複数設ける方がよい。原稿円筒体１の基材である透明円筒基材４としては、所望の波長の光が透過できればよく、例えばアクリル樹脂、ガラス等が用いられる。搬送ローラ９ａ、及び９ｂ、密着ローラ２３は、前駆体Ｆが滑らず、また前駆体Ｆを傷つけない程度の面質であればよく、例えばニトリルゴム（ＮＢＲ）製のローラ等が好適に用いられる。
【００２４】
図２により、本発明の特徴である、ＬＥＤ光源Ｌによる露光について詳細に説明する。図２（ａ）は、スクリーン３１に対して垂直方向より露光したときのＬＥＤ光源Ｌの光の露光像を示す。図２（ｂ）は、図２（ａ）を正面図とした時の側面図であり、原稿円筒体１の幅方向に対応し、図２（ｃ）は、図２（ａ）を正面図とした時の上面図であり、原稿円筒体１の円周方向に対応する図である。本発明の連続露光装置では、ＬＥＤ光源Ｌからの光は、原稿円筒体１に露光されるが、図２では、ＬＥＤ光源Ｌからの露光像を示すために、模式的にスクリーン３１への露光像で表している。
【００２５】
ＬＥＤ光源Ｌを構成する発光ダイオードＬ１、Ｌ２は、点光源であり、その光は円錐状に拡散しながら直進する。そして、図２（ａ）に示すように、図２（ｂ）の発光ダイオードＬ１、Ｌ２から放射された光は、拡散板５ａにより更に拡散し、スクリーン３１には、発光ダイオードＬ１とＬ２の露光像の重複部分ができる。拡散板５ａは、発光ダイオードＬ１、Ｌ２から放射された光を等方的に拡散させることができる。このため、スクリーン３１に投影された露光像３２は２つの円が重なり合った像となる。拡散板５ａは、発光ダイオードＬ１、Ｌ２から放射された光を等方的に拡散させるため、図２（ｂ）に示す側面から見た拡散角α１、及び図２（ｃ）に示す上面から見た拡散角β１は等しい値であり、この場合、５０°以下の拡散角が好適に用いられる。また、α１とβ１が等しいときの下限の拡散角は１０°である。拡散板５ａの材質としては、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ガラス等が好適に用いられる。円形拡散板５ａとしては、例えば、オプティカルソリューション製  Ｌｉｇｈｔ  Ｓｈａｐｉｎｇ  Ｄｉｆｆｕｓｅｒｓ、ＬＳＤ３０ＰＣ１０−１０等が好適に用いられる。
【００２６】
図３により、本発明においてより好ましく用いられる、ＬＥＤ光源Ｌ、及び拡散板５ｂを用いた露光について詳細に説明する。図３（ａ）は、スクリーン３１に対して垂直方向より、露光したときのＬＥＤ光源Ｌの光の露光像を示す。図３（ｂ）は、図３（ａ）を正面図とした時の側面図であり、原稿円筒体１の幅方向に対応し、図３（ｃ）は、図３（ａ）を正面図とした時の上面図であり、原稿円筒体１の円周方向に対応する図である。本発明の連続露光装置では、ＬＥＤ光源２からの光は、原稿円筒体１に露光されるが、図３では、ＬＥＤ光源Ｌからの露光像を示すために、模式的にスクリーン３１への露光像で表している。
【００２７】
図３において、発光ダイオードＬ１、Ｌ２の光は、図２と同ように、拡散しながら直進し、拡散板５ｂを通って、スクリーン３１に楕円形に露光される。このため、図３（ｂ）に示す側面から見た拡散角α２と、図３（ｃ）に示す上面から見た拡散角β２の値は、異なった値となっている。
【００２８】
ＬＥＤ光源Ｌにおいて、発光ダイオードが隣り合っている所（図３（ｂ）の発光ダイオードの位置関係）の拡散角α２は、画質を劣化させない程度に各発光ダイオードの光を重複させるように拡げることが、露光ムラを解消させることができるので好ましいが、各発光ダイオードが隣り合っていない所（図３（ｃ）の発光ダイオードの位置関係）の拡散角β２は、直進性を維持させた方が、画質を向上させることができるのでより好ましい。つまり、拡散角α２より、拡散角β２が小さい方がより好ましい。拡散角α２の範囲としては、５０°以下が好適であり、下限の拡散角は１０°である。そして、拡散角β２の範囲としては、４０°以下が好適であり、１０°以下がより好適である。下限は０°に近い方が好ましいが、現実的には０．１°である。なお、拡散板５ｂの材質としては、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ガラス等が好適に用いられる。拡散板５ｂとしては、例えば、オプティカルソリューション製  Ｌｉｇｈｔ  Ｓｈａｐｉｎｇ  Ｄｉｆｆｕｓｅｒｓ、ＬＳＤ４０×０．２ＰＣ１０−１０等が好適に用いられる。
【００２９】
図１に示すように、原稿円筒体１の外周における前駆体Ｆが巻かれていない部分には、クリーニングローラ１６が接触配置されており、原稿円筒体１、及びマスクパターンＭに付着した塵を除去している。そして、前述の粘着性ローラ１５に用いられている物と同様のクリーニング機構が付いている。
【００３０】
図４に示すように、搬送ローラ９ａの上流側にはニップローラ１８ａ、そして搬送ローラ９ｂの下流側にはニップローラ対１８ｂが配置されており、ニップローラ対１８ａ、及びニップローラ対１８ｂによって前駆体Ｆが挟時されることにより、前駆体Ｆがニップローラ対１８ａ，及びニップローラ対１８ｂのロール幅方向にずれて蛇行するのを防止している。ニップローラ対１８ｂの一方のローラには、駆動モータ１９が接続されており、駆動モータ１９を駆動することにより前駆体Ｆが搬送される。
【００３１】
また、本発明の連続露光装置は、無塵箱（クリーンボックス）１７に覆われているのが好ましい。無塵箱１７には、図示しない送風機とＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ  Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ  Ａｉｒ）フィルタが取り付けられており、清浄な空気が送り込まれて無塵箱１７内部は陽圧に保たれており、外部から塵が混入するのを防いでいる。また、無塵箱１７の両側面には、ロール状の前駆体１２と巻き取りロール６２を出し入れするためのエアーカーテン（図示せず）が設けられている。
【００３２】
露光処理された前駆体Ｆは、巻き取り軸６１でロール状に巻き取られる。巻き取り軸６１には、該軸を駆動回転できる張力制御手段６３（例えば、トルクモータ）が取り付けられている。張力制御手段６３は、前駆体Ｆの蛇行を抑制するために、前駆体Ｆに高い張力を加えており、４０Ｎ／ｍから１５０Ｎ／ｍの範囲が適当である。符号６２は、導電性パターンが形成された基材がロール状に巻き取られたものである。
【００３３】
以下、実施例及び比較例により、本発明を更に詳細に説明するが、これに限定されるも
のではない。
【実施例１】
【００３４】
基材として、厚み１７５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムを用い、このフィルムに、塩化ビニリデンからなる下引き層を塗布し、その上にゼラチンが５０ｍｇ／m2のベース層を塗布し乾燥した。次に、下記のようにして作製した硫化パラジウムからなる物理現像核層を塗布し、乾燥した。
【００３５】
＜硫化パラジウムゾルの調製＞
Ａ液    塩化パラジウム          ５ｇ
塩酸                  ４０ｍｌ
蒸留水            １０００ｍｌ
Ｂ液    硫化ソーダ          ８．６ｇ
蒸留水            １０００ｍｌ
Ａ液とＢ液を撹拌しながら混合し、３０分後にイオン交換樹脂の充填されたカラムに通し硫化パラジウムゾルを得た。
【００３６】
＜物理現像核層塗液の調製＞
前記硫化パラジウムゾル              ５０ｍｌ
１質量％のゼラチン溶液              ２０ｍｌ
界面活性剤                        ０．２ｇ
グルタルアルデヒド              ３００ｍｇ
ハレーション防止染料（下記化１）      ５ｇ
水を加えて全量を２０００ｍｌとする。
この物理現像核層塗液を硫化パラジウムが固形分で０．４ｍｇ／m2になるように、ベース層の上に塗布し、乾燥した。
【００３７】
【化１】
2008241987.tif 000003
【００３８】
続いて、ハロゲン化銀乳剤層を上記物理現像核層の上に塗布した。ハロゲン化銀乳剤は、写真用ハロゲン化銀乳剤の一般的なダブルジェット混合法で製造した。このハロゲン化銀乳剤は、塩化銀９０モル％と臭化銀１０モル％で、平均粒径が０．２μｍになるように調製した。ハロゲン化銀乳剤層の銀（硝酸銀）／ゼラチンの質量比は２．５である。ハロゲン化銀乳剤層には、界面活性剤を０．２ｇ／m2、及びイエロー蛍光灯下での取り扱いを可能とするために下記の染料をそれぞれ５０ｍｇ／m2含有する。このハロゲン化銀乳剤層をハロゲン化銀量（硝酸銀に換算）が４ｇ／m2になるように塗布し、乾燥して、７００ｍｍ幅、３００ｍ巻きのロール状前駆体を作製した。
【００３９】
【化２】
2008241987.tif 000004
【００４０】
【化３】
2008241987.tif 000005
【００４１】
透明アクリルパイプにメッシュパターン（メッシュ間隔３００μｍ、メッシュ線幅２５μｍの格子パターン、透明導電性フィルム用途のパターン）が描画された原稿フィルムを巻き付けて、原稿円筒体を作製した。図４に示す本発明の連続露光装置に、該原稿円筒体を原稿円筒体１として取り付け、該原稿円筒体の中に、ＬＥＤ光源ＬとしてＬＥＤ光源（ＯｐｔｏＳｕｐｐｌｙ製、ＯＳＳＶ５１１１Ａを１５０個１列に配置）と、拡散板５として拡散板（オプティカルソリューション製、Ｌｉｇｈｔ  Ｓｈａｐｉｎｇ  Ｄｉｆｆｕｓｅｒｓ、ＬＳＤ６０ＰＣ１０−１０、拡散角α１＝β１＝６０°）を取り付けた。そして、本発明の連続露光装置によって、上記ロール状前駆体（７００ｍｍ幅、３００ｍ巻き）を搬送速度２．５ｍ／ｍｉｎで連続露光（前駆体に加えられるエネルギー量、１．６ｍJ／ｃｍ2）し、この露光処理を２４時間連続で行った。なお、ロールの１本あたりの露光時間は概ね２時間であり、ロールの交換は概ね１５分である。その後、下記のアルカリ液（銀錯塩拡散転写用現像液）中に１５℃で６０秒間浸漬し、続いてハロゲン化銀乳剤層を水洗除去、乾燥して、メッシュ線幅２５μｍでメッシュ間隔３００μｍのメッシュパターンの銀薄膜を形成させた。
【００４２】
＜アルカリ液＞
水酸化ナトリウム                      ２０ｇ
ハイドロキノン                        ２０ｇ
１−フェニル−３−ピラゾリドン          ２ｇ
亜硫酸ナトリウム                      ３０ｇ
Ｎ−メチルエタノールアミン            １０ｇ
全量を水で１０００ｍｌに調整する。ｐＨは１３に調整。
【実施例２】
【００４３】
図４に示す本発明の連続露光装置に、実施例１と同様の原稿円筒体を原稿円筒体１として取り付け、該原稿円筒体の中に、実施例１と同様のＬＥＤ光源をＬＥＤ光源Ｌとして取り付け、実施例１で用いた拡散板５にかわって、拡散板５として拡散板（オプティカルソリューション製、Ｌｉｇｈｔ  Ｓｈａｐｉｎｇ  Ｄｉｆｆｕｓｅｒｓ、ＬＳＤ４０ＰＣ１０−１０、拡散角α１＝β１＝４０°）を取り付けた。そして、実施例１で作製した金属メッシュパターンフィルムと同様の全光線透過率になるように光量を微調整（ＬＥＤ光源に印可する電圧を調整）して、実施例１と同様の処理を行った。
【実施例３】
【００４４】
図４に示す本発明の連続露光装置に、実施例１と同様の原稿円筒体を原稿円筒体１として取り付け、該原稿円筒体の中に、実施例１と同様のＬＥＤ光源をＬＥＤ光源Ｌとして取り付け、実施例１で用いた拡散板５にかわって、拡散板５として拡散板（オプティカルソリューション製、Ｌｉｇｈｔ  Ｓｈａｐｉｎｇ  Ｄｉｆｆｕｓｅｒｓ、ＬＳＤ２０ＰＣ１０−１０、拡散角α１＝β１＝２０°）を取り付けた。そして、実施例１で作製した金属メッシュパターンフィルムと同様の全光線透過率になるように光量を微調整（ＬＥＤ光源に印可する電圧を調整）して、実施例１と同様の処理を行った。
【実施例４】
【００４５】
図４に示す本発明の連続露光装置に、実施例１と同様の原稿円筒体を原稿円筒体１として取り付け、該原稿円筒体の中に、実施例１と同様のＬＥＤ光源をＬＥＤ光源Ｌとして取り付け、実施例１で用いた拡散板５にかわって、拡散板５として拡散板（オプティカルソリューション製、Ｌｉｇｈｔ  Ｓｈａｐｉｎｇ  Ｄｉｆｆｕｓｅｒｓ、ＬＳＤ１０ＰＣ１０−１０、拡散角α１＝β１＝１０°）を取り付けた。そして、実施例１で作製した金属メッシュパターンフィルムと同様の全光線透過率になるように光量を微調整（ＬＥＤ光源に印可する電圧を調整）して、実施例１と同様の処理を行った。
【実施例５】
【００４６】
図４に示す本発明の連続露光装置に、実施例１と同様の原稿円筒体を原稿円筒体１として取り付け、該原稿円筒体の中に、実施例１と同様のＬＥＤ光源をＬＥＤ光源Ｌとして取り付け、実施例１で用いた拡散板５にかわって、拡散板５として拡散板（オプティカルソリューション製、Ｌｉｇｈｔ  Ｓｈａｐｉｎｇ  Ｄｉｆｆｕｓｅｒｓ、ＬＳＤ６０×１０ＰＣ１０−１０、拡散角α２＝６０°、拡散角β２＝１０°）を取り付けた。そして、実施例１で作製した金属メッシュパターンフィルムと同様の全光線透過率になるように光量を微調整（ＬＥＤ光源に印可する電圧を調整）して、実施例１と同様の処理を行った。
【実施例６】
【００４７】
図４に示す本発明の連続露光装置に、実施例１と同様の原稿円筒体を原稿円筒体１として取り付け、該原稿円筒体の中に、実施例１と同様のＬＥＤ光源をＬＥＤ光源Ｌとして取り付け、実施例１で用いた拡散板５にかわって、拡散板５として拡散板（オプティカルソリューション製、Ｌｉｇｈｔ  Ｓｈａｐｉｎｇ  Ｄｉｆｆｕｓｅｒｓ、ＬＳＤ３０×５ＰＣ１０−１０、拡散角α２＝３０°、拡散角β２＝５°）を取り付けた。そして、実施例１で作製した金属メッシュパターンフィルムと同様の全光線透過率になるように光量を微調整（ＬＥＤ光源に印可する電圧を調整）して、実施例１と同様の処理を行った。
【実施例７】
【００４８】
図４に示す本発明の連続露光装置に、実施例１と同様の原稿円筒体を原稿円筒体１として取り付け、該原稿円筒体の中に、実施例１と同様のＬＥＤ光源をＬＥＤ光源Ｌとして取り付け、実施例１で用いた拡散板５にかわって、拡散板５として拡散板（オプティカルソリューション製、Ｌｉｇｈｔ  Ｓｈａｐｉｎｇ  Ｄｉｆｆｕｓｅｒｓ、ＬＳＤ４０×０．２ＰＣ１０−１０、拡散角α２＝４０°、拡散角β２＝０．２°）を取り付けた。そして、実施例１で作製した金属メッシュパターンフィルムと同様の全光線透過率になるように光量を微調整（ＬＥＤ光源に印可する電圧を調整）して、実施例１と同様の処理を行った。
【００４９】
（比較例）
図４に示す本発明の連続露光装置のＬＥＤ光源と拡散板を、蛍光灯に交換した。蛍光灯の周りには、蛍光灯の光を図４の露光領域に規制するための遮光部材を取り付けた。そして、実施例１と同様の原稿円筒体を原稿円筒体１として用い、実施例１と同様の前駆体を用い、実施例１で作製した金属メッシュパターンフィルムと同様の全光線透過率になるように光量を微調整して、実施例１と同様の処理を行った。
【００５０】
評価は、以下のようにして行った。
実施例１〜７、及び比較例１で作製した金属メッシュパターンフィルムの中で、それぞれ処理開始時、及び終了時に得られた導電性パターンフィルムのメッシュパターンを、デジタルマイクロスコープ（（株）ハイロックス製、ＫＨ−３０００）で拡大撮影し、メッシュ間隔を測定した。そして、原稿フィルムのメッシュ間隔との差を算出し、その値を寸法誤差とした。
【００５１】
そして、得られた金属メッシュパターンフィルムを目視観察し、露光ムラ（露光不足の部分において、メッシュパターンの細線が太くなり、金属メッシュパターンフィルムのメッシュパターンに濃淡が現れる）の見えない物を○、透明導電性パターンフィルムとして実用的には問題ないが、若干露光ムラが見える物を△、はっきりと露光ムラが見える物を×と判断した。また、金属メッシュパターンの画質を評価するために、実施例１〜７、及び比較例１で作製した金属メッシュパターンの表面抵抗値を、抵抗率計（（株）ダイアインスツルメンツ製  ロレスターＧＰ）を用いて測定した。表面抵抗値の低い金属メッシュパターンは、同一の全光線透過率であっても、より多くの析出銀量が得られている、或いは析出する銀の密度がより高いメッシュ細線が得られていると推測するために、より良好な画質を有するものと判断した。
【００５２】
【表１】
2008241987.tif 000006
【００５３】
表１に示すように、比較例の導電性パターンは、２４時間連続的に露光処理することにより、メッシュ間隔が５μｍ伸びて、寸法誤差の悪化がみられたが、実施例１〜７の金属メッシュパターンフィルムでは、メッシュ間隔の変化は現れなかった。
【００５４】
金属メッシュパターンフィルムの露光ムラの評価結果は、実施例１，２、５〜７、及び比較例では○であり、全く見られなかった。実施例３，４についても、若干露光ムラが見えるが、透明導電性メッシュフィルムとして実用上問題ないレベルであった。
【００５５】
金属メッシュパターンの表面抵抗値に関しては、表１の結果からも明らかなように、拡散角が５０°以下である実施例２〜４及び実施例６，７の連続露光装置は、より低い表面抵抗値を有する金属メッシュパターンが得られ、画質に優れる連続露光装置であった。更に、原稿円筒体の円周方向の拡散角β２が、原稿円筒体の幅方向の拡散角α２より小さい実施例６，７の連続露光装置は、とりわけ画質と画像の均一性に優れる金属メッシュパターンが得られた。
【産業上の利用可能性】
【００５６】
本発明の連続露光装置によって露光されたロール状の前駆体を現像処理することにより得られる導電性パターンは、電磁波シールドフィルムやタッチパネル等の用途に用いられる透明導電性フィルム等に利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の処理装置の連続露光部を示す概略側断面図
【図２】本発明の連続露光装置に用いられるＬＥＤ光源の露光像を示す概略図
【図３】本発明の連続露光装置に用いられるＬＥＤ光源の露光像を示す概略図
【図４】本発明の処理装置の一実施態様の概略側断面図
【符号の説明】
【００５８】
１  原稿円筒体
４  透明円筒基材
５  拡散板
５ａ  拡散板
５ｂ  拡散板
１２  ロール状の前駆体
１９  駆動モータ
６２  巻き取りロール
Ｌ  ＬＥＤ光源
Ｌ１，Ｌ２  発光ダイオード
Ｆ  前駆体
Ｍ  マスクパターン
【図１】
2008241987.tif 000007
【図２】
2008241987.tif 000008
【図３】
2008241987.tif 000009
【図４】
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