(57)【要約】【課題】微小な突起物の検知も可能とする高精度の磁気記録媒体の検査方法を提供すること。【解決手段】非磁性基板上に、少なくとも磁性層を有する磁気記録媒体を、感熱素子を有する検査ヘッドを用いて表面特性を検査する磁気記録媒体の検査方法であって、以下の方法からなる。磁気記録媒体表面を、感熱素子を有する検査ヘッドを用いて走査する。この走査により、感熱素子を有する検査ヘッドから出力された信号から、磁気記録媒体表面のうねりに起因する低周波の信号成分を分離する。分離後の高周波の信号から磁気記録媒体表面の突起物を検出する。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
非磁性基板上に、少なくとも磁性層を有する磁気記録媒体を、感熱素子を有する検査ヘッドを用いて表面特性を検査する磁気記録媒体の検査方法であって、磁気記録媒体表面を、感熱素子を有する検査ヘッドを用いて走査し、感熱素子を有する検査ヘッドから出力された信号から、磁気記録媒体表面のうねりに起因する低周波の信号を分離し、分離後の高周波の信号から磁気記録媒体表面の突起物を検出することを特徴とする磁気記録媒体の検査方法。
【請求項２】
低周波の信号が、波長４０μｍ以上の信号である請求項１に記載の磁気記録媒体の検査方法。
【請求項３】
非磁性基板上に、少なくとも磁性層を有する磁気記録媒体を、感熱素子を有する検査ヘッドを用いて表面特性を検査する磁気記録媒体の検査方法であって、磁気記録媒体表面を、感熱素子を有する検査ヘッドを用いて走査し、感熱素子を有する検査ヘッドから出力された信号から、うねり以外に起因する低周波の信号を分離し、分離後の高周波の信号から磁気記録媒体表面の突起物を検出することを特徴とする磁気記録媒体の検査方法。
【請求項４】
非磁性基板上に、少なくとも磁性層を有する磁気記録媒体を、感熱素子を有する検査ヘッドを用いて表面特性を検査する磁気記録媒体の検査方法であって、磁気記録媒体表面を、感熱素子を有する検査ヘッドを用いて走査し、感熱素子を有する検査ヘッドから出力された信号から、磁気記録媒体表面のうねりに起因する低周波の信号またはうねり以外に起因する低周波の信号を分離し、分離後の高周波の信号から磁気記録媒体の表面の突起物を検出し、所定の高さの突起物を含む磁気記録媒体を不良品として除外することを特徴とする磁気記録媒体の検査方法。
【請求項５】
非磁性基板上に、少なくとも磁性層を有する磁気記録媒体を、感熱素子を有する検査ヘッドを用いて表面特性を検査する磁気記録媒体の検査方法であって、磁気記録媒体表面を、感熱素子を有する検査ヘッドを用いて走査し、感熱素子を有する検査ヘッドから出力された信号から、感熱素子を有する検査ヘッドと磁気記録媒体表面の突起物との衝突に起因する信号または高周波の信号を分離し、分離後のうねりに起因する低周波の信号から、磁気記録媒体の表面のうねりを検出し、所定のレベル以上のうねりを含む磁気記録媒体を不良品として除外することを特徴とする磁気記録媒体の検査方法。
【請求項６】
磁気記録媒体表面のうねりに起因する低周波の信号またはうねり以外に起因する低周波の信号を分離し、高周波の信号の検出をバンドパスフィルターまたはハイパスフィルターにより行うこと、又は感熱素子を有する検査ヘッドと磁気記録媒体表面の突起物との衝突に起因する信号または高周波の信号を分離し、低周波の信号の検出をバンドパスフィルターまたはローパスフィルターにより行うことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の磁気記録媒体の検査方法。
【請求項７】
非磁性基板上に、少なくとも磁性層を有する磁気記録媒体の製造方法において、製造工程中に請求項１〜６のいずれか１項に記載の検査工程を含む磁気記録媒体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気記録再生装置、いわゆるハードディスクドライブなどに用いられる磁気記録媒体の検査方法、および該検査工程を有する磁気記録媒体の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
磁気記録再生装置（ハードディスクドライブ）は、現在その記録密度が１５０Ｇビット／平方インチにまで到達しおり、さらに今後も年率３０％の記録密度の向上が続くと言われている。このために高記録密度に適した磁気記録媒体の開発が進められている。
磁気記録再生装置に用いられる磁気記録媒体としては、磁気記録媒体用の基板にスパッタリング法により金属膜を積層し、その上にカーボン等の保護膜を形成し、その上に液体潤滑剤である、パーフルオロポリエーテル化合物を塗布した構造が主流となっている。
このような、磁気記録媒体の製造工程において、磁気記録媒体に液体潤滑剤を塗布した後、その磁気記録媒体表面の突起物を検査する工程が設けられている。
【０００３】
磁気記録媒体に浮上型磁気ヘッドを用いた磁気記録再生装置においては、磁気記録媒体の表面上で磁気ヘッドを高速で走行させ、磁気ヘッドと磁気記録媒体の間に生じる動圧を利用して磁気ヘッドを浮上させている。通常、磁気記録媒体はディスク形状であり、磁気記録媒体を高速で回転することにより磁気ヘッドを浮上させているが、この時の回転数は１５０００回転／分にも及ぶことから、磁気記録媒体の表面上に突起物がある場合には、磁気ヘッドがこの突起物に接触して、正常な動作が困難となり、場合によっては、磁気ヘッドあるいは磁気記録媒体に損傷を生じることとなる。このため、磁気記録媒体の表面上にこれらの突起物、異物が存在せず、平滑であることを確認するために、グライド高さと呼ばれる特性の評価が行われている（例えば、特許文献１、２参照。）。
【０００４】
さらに、近年、磁気抵抗効果型ヘッド（ＭＲヘッド）を用いた磁気ディスク装置が提案されている。又、磁気記録媒体の高密度化に伴って、ＭＲヘッドの磁気記録媒体からの浮上量は小さくなってきている。このため、ＭＲヘッドが磁気記録媒体上に不可避的に存在する欠陥である突起物に衝突して、その際に生じる摩擦熱によるＭＲヘッドの磁気信号の読み取り素子の温度上昇に伴う抵抗値の変動により、ＭＲヘッドより再生される磁気信号波形が変動する現象、即ち、サーマル・アスペリティが問題となっている。そして、磁気記録媒体の表面特性評価として、感熱素子を有する検査ヘッドを用いて、感熱素子を有する検査ヘッドからのサーマル・アスペリティに起因する信号を用いた方法が用いられている（例えば、特許文献３参照。）。本発明で、感熱素子とは、素子の温度上昇に伴い、素子の抵抗値等の物性値が変化するものを指す。温度上昇による物性値の変化を観測して、感熱素子は熱の発生を感知することができる。ＭＲヘッドの磁気信号の読み取り素子であるＭＲ素子は感熱素子として使用することが可能である。
【０００５】
【特許文献１】特開平１１-２６００１４号公報
【特許文献２】特開平７-３２６０４９号公報
【特許文献３】特開平１０−１０５９０８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
磁気記録媒体の高密度化はますます進み、磁気記録媒体とヘッドとの間隔はますます狭くなっている。このため、感熱素子を有する検査ヘッドを用いた磁気記録媒体の表面特性評価もますます厳しくなっている。
感熱素子を有する検査ヘッドを用いた磁気記録媒体の評価では、実際にＭＲヘッドがハードディスクドライブ内で用いられる場合よりも低浮上量で用いられる。そのため、感熱素子を有する検査ヘッドからは、磁気記録媒体表面の突起物に起因しない信号がノイズとして出力され、その信号に突起物に起因する信号が埋もれ、磁気記録媒体表面の突起物が正確に検知できない問題が生じている。特に、磁気記録媒体表面の突起物で、ノイズに埋もれて検知できなかった微小な突起物が、磁気記録媒体の信頼性を低下させる問題が生じていた。
この問題点を解決し、微小な突起物の検知も可能とする高精度の磁気記録媒体の検査方法を提供するのが本発明の目的である。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者は、上記原因を究明すべく鋭意努力検討した結果、感熱素子を有する検査ヘッドを用いた磁気記録媒体の検査方法において、感熱素子を有する検査ヘッドから出力される信号に含まれるノイズが、実は、単なるノイズではなく、磁気記録媒体の表面に形成したうねりに起因していること、この磁気記録媒体の表面に形成したうねりと、磁気記録媒体の検査に用いる、感熱素子を有する検査ヘッドとは接触はしていないが、このうねりに起因して、感熱素子を有する検査ヘッドから信号が出力されていること、さらに、感熱素子を有する検査ヘッドから出力される信号から、このうねりに起因する信号を分離することにより、磁気記録媒体表面の微小な突起物を検知することが可能となることを見出し本発明を完成させた。すなわち本発明は以下に関する。
【０００８】
（１）非磁性基板上に、少なくとも磁性層を有する磁気記録媒体を、感熱素子を有する検査ヘッドを用いて表面特性を検査する磁気記録媒体の検査方法であって、磁気記録媒体表面を、感熱素子を有する検査ヘッドを用いて走査し、感熱素子を有する検査ヘッドから出力された信号から、磁気記録媒体表面のうねりに起因する低周波の信号を分離し、分離後の高周波の信号から磁気記録媒体表面の突起物を検出することを特徴とする磁気記録媒体の検査方法。
（２）低周波の信号が、波長４０μｍ以上の信号である上記（１）に記載の磁気記録媒体の検査方法。
（３）非磁性基板上に、少なくとも磁性層を有する磁気記録媒体を、感熱素子を有する検査ヘッドを用いて表面特性を検査する磁気記録媒体の検査方法であって、磁気記録媒体表面を、感熱素子を有する検査ヘッドを用いて走査し、感熱素子を有する検査ヘッドから出力された信号から、うねり以外に起因する低周波の信号を分離し、分離後の高周波の信号から磁気記録媒体表面の突起物を検出することを特徴とする磁気記録媒体の検査方法。
【０００９】
（４）非磁性基板上に、少なくとも磁性層を有する磁気記録媒体を、感熱素子を有する検査ヘッドを用いて表面特性を検査する磁気記録媒体の検査方法であって、磁気記録媒体表面を、感熱素子を有する検査ヘッドを用いて走査し、感熱素子を有する検査ヘッドから出力された信号から、磁気記録媒体表面のうねりに起因する低周波の信号またはうねり以外に起因する低周波の信号を分離し、分離後の高周波の信号から磁気記録媒体の表面の突起物を検出し、所定の高さの突起物を含む磁気記録媒体を不良品として除外することを特徴とする磁気記録媒体の検査方法。
（５）非磁性基板上に、少なくとも磁性層を有する磁気記録媒体を、感熱素子を有する検査ヘッドを用いて表面特性を検査する磁気記録媒体の検査方法であって、磁気記録媒体表面を、感熱素子を有する検査ヘッドを用いて走査し、感熱素子を有する検査ヘッドから出力された信号から、感熱素子を有する検査ヘッドと磁気記録媒体表面の突起物との衝突に起因する信号または高周波の信号を分離し、分離後のうねりに起因する低周波の信号から、磁気記録媒体の表面のうねりを検出し、所定のレベル以上のうねりを含む磁気記録媒体を不良品として除外することを特徴とする磁気記録媒体の検査方法。
（６）磁気記録媒体表面のうねりに起因する低周波の信号またはうねり以外に起因する低周波の信号を分離し、高周波の信号の検出をバンドパスフィルターまたはハイパスフィルターにより行うこと、又は感熱素子を有する検査ヘッドと磁気記録媒体表面の突起物との衝突に起因する信号または高周波の信号を分離し、低周波の信号の検出をバンドパスフィルターまたはローパスフィルターにより行うことを特徴とする上記（１）〜（５）のいずれか１項に記載の磁気記録媒体の検査方法。
（７）非磁性基板上に、少なくとも磁性層を有する磁気記録媒体の製造方法において、製造工程中に上記（１）〜（６）のいずれか１項に記載の検査工程を含む磁気記録媒体の製造方法。
【発明の効果】
【００１０】
本発明は、磁気記録再生装置などに用いられる磁気記録媒体において、従来の表面特性評価では検知できなかった 磁気記録媒体上の突起物や、うねりを検知する磁気記録媒体の検査方法を提供する。そして、これにより信頼性が高い磁気記録媒体の製造方法を提供可能とする効果を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明は、非磁性基板上に、少なくとも磁性層を有する磁気記録媒体を、感熱素子を有する検査ヘッドを用いて表面特性を検査する磁気記録媒体の検査方法であって、磁気記録媒体表面を、感熱素子を有する検査ヘッドを用いて走査することにより、感熱素子を有する検査ヘッドから出力された信号から、磁気記録媒体表面のうねりに起因する低周波の信号を分離し、分離後の高周波の信号から磁気記録媒体表面の突起物を検出することを特徴とする。
【００１２】
ＭＲヘッドは、従来の誘導型のヘッドに比べて感度が高く、記録密度を５倍〜１０倍に高められる特徴を有す。その一方、ＭＲヘッドは、温度上昇に敏感で 、温度が上昇すると抵抗値が変わってしまうという欠点を有している。そのため、再生中、高速で動いている磁気記録媒体上に存在する突起物にヘッドが接触すると、瞬間的に熱が発生し、ＭＲ素子の抵抗値が上がり、再生信号の出力電圧レベルが変動し、磁気信号が読み取り不可能になる。これをサーマル・アスペリティという。本発明の表面検査方法は、感熱素子を有する検査ヘッドを用いて、サーマル・アスペリティを検出して、磁気記録媒体の表面に形成した突起物等を調べる。
【００１３】
以下図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
図１は、本発明に係る磁気記録媒体の実施形態を例示すもので、ここに示す磁気記録媒体は、非磁性基板１の上に、非磁性下地層２、磁性層３、保護層４、液体潤滑層５を順次積層させたものである。
本発明に係る非磁性基板１としては、Ａｌ、Ａｌ合金などの金属材料からなる基体上にＮｉＰまたはＮｉＰ合金からなる膜が形成されたものを用いることができる。非磁性基板１としては、ガラス、セラミックス、シリコン、シリコンカーバイド、カーボン、樹脂などの非金属材料からなるものを用いてもよいし、この非金属材料からなる基体上にＮｉＰまたはＮｉＰ合金の膜を形成したものを用いてもよい。
【００１４】
非金属材料としては、表面平滑性の点から、ガラス、シリコンから選ばれるいずれか１種が好ましい。特に、コストおよび耐久性の点からガラスを用いるのが好ましい。ガラスとしては、結晶化ガラスまたはアモルファスガラスを用いることができる。アモルファスガラスとしては汎用のソーダライムガラス、アルミノほう珪酸ガラス、アルミノシリケートガラスを使用できる。結晶化ガラスとしては、リチウム系結晶化ガラスを用いることができる。
【００１５】
セラミックス基板としては、汎用の酸化アルミニウム、窒化珪素などを主成分とする焼結体やそれらの繊維強化物が挙げられる。記録密度を高めるため、磁気ヘッドの低フライングハイト化が要求されていることから、非磁性基板１の表面平滑性を高めることが望ましい。すなわち、非磁性基板１は、表面平均粗さＲａが０．５ｎｍ以下、好ましくは０．３ｎｍ以下であることが望ましい。
非磁性基板上には、非磁性下地層２が形成される。非磁性下地層２としてはＣｒ合金等が用いられる。
本発明における磁性層３は、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｔａ系、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ系、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｔａ系、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｂ−Ｔａ系合金等が用いられる。
【００１６】
本発明のおける保護層４は、従来の公知の材料、例えば、カ−ボン、ＳｉＣの単体またはそれらを主成分とした材料を使用することができる。保護層４の膜厚は１ｎｍ〜１０ｎｍの範囲内であるのが高記録密度状態で使用した場合の、磁気的スペ−シングの低減または耐久性の点から好ましい。磁気的スペーシングとは、磁気ヘッドのリードライト素子と磁性層３との距離を表す。磁気的スペーシングが狭くなるほど電磁変換特性は向上する。
本発明では、保護層上に液体潤滑層５を設ける。本発明の液体潤滑層の層厚は、１．５ｎｍ〜２．５ｎｍの範囲内が好ましい。液体潤滑剤としては、例えば、パ−フルオロポリエ−テル化合物が用いられる。
【００１７】
本発明の表面特性評価では、前述のように検査ヘッドとして、感熱素子を有する検査ヘッドを用いて、感熱素子を有する検査ヘッドが磁気記録媒体表面上の突起物部に衝突した際に生じる摩擦熱から、感熱素子を有する検査ヘッドより再生される信号波形が変動する現象、即ち、サーマル・アスペリティを検出し、そのシグナルから磁気記録媒体表面の平滑度を評価する。
この場合の感熱素子を有する検査ヘッドは、通常のハードディスクドライブ内でのＭＲヘッドの使用条件と比較して、より低浮上量で用いられる。そのため、磁気記録媒体表面の大きな突起物との衝突に起因する信号に加えて、それ以外の振幅レベルの低い信号が出力されていた。この振幅レベルの低い信号は、従来は、感熱素子を有する検査ヘッドやアンプ等から生ずる装置ノイズと考えられた。このため検出器の敷居値電圧を下げることができず、小さい突起と感熱素子を有する検査ヘッドとの衝突による低いレベルの信号を捕捉することが出来なかった。
【００１８】
しかしながら本発明者は、この従来は装置ノイズと考えられていた信号の中に磁気記録媒体表面のうねりに起因する成分が含まれることを見出した。このうねりによる信号は感熱素子を有する検査ヘッドと非接触で出力される。この信号が出力される理由については明らかではないが、発明者は、感熱素子を有する検査ヘッドと磁気記録媒体表面との間の、空気を媒介とした熱移動により、感熱素子に温度変化が生じ出力されるものと推測している。
【００１９】
本発明者は、磁気記録媒体の感熱素子を有する検査ヘッドを用いた検査工程において、感熱素子を有する検査ヘッドから出力される信号から、磁気記録媒体表面のうねりから算出される周波数成分を除去したところ、従来から検知されていた磁気記録媒体表面の大きな突起物に起因する信号に加えて、磁気記録媒体表面の微小な突起物に起因する信号を検出することを可能とした。この、磁気記録媒体表面の微小な突起物に起因する信号は、従来の検査工程ではノイズに埋もれていたため、過小に評価されていた。そのため、検査工程をパスした磁気記録媒体を組み込んだハードディスクドライブにおいて、その使用条件によっては、ヘッドと磁気記録媒体表面の微小な突起物とが接触し、ヘッドクラッシュ等を生ずるおそれがあった。
【００２０】
すなわち本発明は、非磁性基板上に、少なくとも磁性層、保護層および液体潤滑剤層を有する磁気記録媒体を、感熱素子を有する検査ヘッドを用いて表面特性を検査する磁気記録媒体の検査方法であって、磁気記録媒体表面を、感熱素子を有する検査ヘッドを用いて走査し、感熱素子を有する検査ヘッドから出力された信号から、磁気記録媒体表面のうねりに起因する信号を分離し、分離後の信号から磁気記録媒体表面の突起物を検出することによって、より高い精度で、磁気記録媒体表面の突起物を検出することをその本質とする。
【００２１】
また本発明は、非磁性基板上に、少なくとも磁性層、保護層および液体潤滑剤層を有する磁気記録媒体を、感熱素子を有する検査ヘッドを用いて表面特性を検査する磁気記録媒体の検査方法であって、磁気記録媒体表面を、感熱素子を有する検査ヘッドを用いて走査し、感熱素子を有する検査ヘッドから出力された信号から、磁気記録媒体表面のうねりに起因する信号を分離し、その分離したうねりに起因する信号から、磁気記録媒体の表面のうねりを検出することをその本質とする。
【００２２】
本発明で、磁気記録媒体表面のうねりとは、波長４０μｍ以上の範囲の比較的長波長（低周波）のなだらかな凹凸である。このような長波長のなだらかな凹凸のレベルが高い磁気記録媒体は、磁気記録媒体用基板の製造工程等により形成するものと考えられる。
ハードディスクドライブにおいて、磁気記録媒体表面に形成したこのような長波長の凹凸（うねり）は、ヘッドがこの凹凸に追従するため従来は特に問題を生じていなかった。しかしながら、磁気記録媒体の高密度化はますます進み、磁気記録媒体とヘッドとの間隔はますます狭くなり、従来では問題とならなかったこのうねりが、感熱素子を有する検査ヘッドを用いた検査工程において、信号となって現れていたものと考えられる。
【００２３】
ここで、感熱素子を有する検査ヘッドからの磁気記録媒体表面のうねりに起因する信号は、検査時における磁気記録媒体と感熱素子を有する検査ヘッドとの周速度の大きさをＶとした場合、この磁気記録媒体表面に形成された波長λ以上のうねりに起因する信号の周波数ｆはｆ＝Ｖ/λと計算される。仮に、Ｖ＝１５ｍ／秒とした場合、この磁気記録媒体表面に形成された波長λが４０μｍ以上のうねりに起因する信号の周波数fは３７５ｋＨｚ以下になると計算される。一方、磁気記録媒体表面の突起物と感熱素子を有する検査ヘッドとが接触した場合、感熱素子を有する検査ヘッドから出力される信号は、感熱素子を有する検査ヘッドの特性にもよるが、ベースラインからピークまでの立ち上がり時間が４００ｎ秒程度の信号である。この信号を周波数に換算すると、この信号の長さの逆数から、６００ｋＨｚ程度とうねりに起因する信号の成分に比較して高周波になる。
【００２４】
すなわち、感熱素子を有する検査ヘッドを用いた磁気記録媒体の検査方法において、感熱素子を有する検査ヘッドから出力された信号から、磁気記録媒体表面のうねりに起因する低周波の信号成分をハイパスフィルター、または、バンドパスフィルターで分離することにより、その分離後の高周波の信号から、磁気記録媒体表面の突起物に起因するものが多く含まれる信号成分、例えば４００ｋＨｚ以上の信号を検出し、磁気記録媒体表面の突起物との衝突による信号を選択的に検出することが可能となる。これにより、従来の信号成分において、周波数が例えば４００ｋＨｚ以下の信号レベルにより隠されていた、微小な突起物に起因する信号を明確に検知することが可能となる。
【００２５】
また本発明はうねりによる信号以外の特定の周波数のノイズ信号にも適用できる。例えば、ヘッド、アンプ等からのノイズ信号で周波数が４００ｋＨｚ以下の範囲の信号がある場合、その信号を分離することにより、残る信号から微小な突起物を検出することができる。
突起物の検出において、突起物の所定の高さ、例えば６ｎｍ以上の高さの突起物がある磁気記録媒体を不良品として除外することもできる。
これらの本方法を磁気記録媒体の検査方法に用いることにより、従来より高い信頼性の磁気記録媒体を提供することが可能となる。
【００２６】
さらに、感熱素子を有する検査ヘッドを用いた磁気記録媒体の検査方法において、感熱素子を有する検査ヘッドから出力された信号から、ローパスフィルター、または、バンドパスフィルターで分離することにより、磁気記録媒体表面のうねりに起因する信号成分、例えば２００ｋＨｚ以下の信号を分離すれば、その分離した低周波の信号から、うねりの大きい磁気記録媒体を検出することが可能となる。本発明では、この信号から、磁気記録媒体表面に形成したうねりを評価し、ハードディスクドライブにおいて、ＭＲヘッドが追従困難であるなどの問題を生じるような所定のレベルのうねりを含む磁気記録媒体を検知し、その磁気記録媒体を不良品として除外することが可能となる。うねりと同様のノイズがある場合でも、これらは信号の再現性により識別できる。
【００２７】
図２は、上記磁気記録媒体を用いた磁気記録再生装置の例を示すものである。ここに示す磁気記録再生装置は、上記構成の磁気記録媒体１０と、磁気記録媒体１０を回転駆動させる媒体駆動部１１と、磁気記録媒体１０に情報を記録再生する磁気ヘッド１２と、この磁気ヘッド１２を磁気記録媒体１０に対して相対運動させるヘッド駆動部１３と、記録再生信号処理系１４とを備えている。記録再生信号処理系１４は、外部から入力されたデータを処理して記録信号を磁気ヘッド１２に送ったり、磁気ヘッド１２からの再生信号を処理してデータを外部に送ることができるようになっている。
【００２８】
磁気ヘッド１２には、再生素子として巨大磁気抵抗効果（ＧＭＲ）を利用したＭＲ（ｍａｇｎｅｔｏｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ）素子だけでなく、トンネル磁気抵抗効果（ＴＭＲ）を利用したＴＭＲ素子などを有する、高記録密度に適したヘッドを用いることができる。
ＴＭＲ素子を用いることによって、さらなる高密度記録化が可能となる。
【実施例】
【００２９】
以下、具体例を示して本発明の磁気記録媒体の検査方法、および該検査方法を有する磁気記録媒体の製造方法の効果を明確にする。
（実施例１−１）
非磁性基板には、ＨＯＹＡ社製アモルファスガラス基板を使用した。ガラス基板のサイズは外径６５ｍｍ、内径２５  ｍｍ、板厚１．２７０  ｍｍである。
この基板にテクスチャーを施し、十分に洗浄し乾燥した後、ＤＣマグネトロンスパッタ装置（アネルバ社（日本）製Ｃ３０１０）内にセットした。真空到達度を２×１０-7Ｔｏｒｒ（２．７×１０-5Ｐａ）まで排気した後、非磁性下地層として、Ｃｒ−Ｍｎ合金（Ｃｒ：７０ａｔ％、Ｍｎ：３０ａｔ％）からなるタ−ゲットを用いて６ｎｍ積層した。磁性層としてＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｂ合金（Ｃｏ：６０ａｔ％、Ｃｒ：２０ａｔ％、Ｐｔ：１３ａｔ％、Ｂ：７ａｔ％）からなるタ−ゲットを用いて磁性層であるＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｂ合金層を１７ｎｍの膜厚で形成し、保護膜（カ−ボン）３ｎｍを積層した。成膜時のＡｒ圧は３ｍＴｏｒｒ（０．４Ｐａ）とした。その後、パ−フルオロポリエ−テルからなる潤滑剤２ｎｍをディップ法で塗布し液体潤滑層を形成した。
【００３０】
感熱素子を有する検査ヘッドを用いた表面検査を行う前に、先ず、圧電素子付きのヘッドを用いたグライドテスターで、表面に大きな突起物を有する磁気記録媒体を除外した。ヘッドのグライド高さ（ヘッドと磁気記録媒体との距離）を０．２５μインチとした。
上記の検査方法で合格した磁気記録媒体１００枚について、感熱素子を有する検査ヘッドを用いた表面特性のグライド検査を実施した。検査条件は、グライド高さを０．２２μインチ、スライスレベル（磁気記録媒体表面を、感熱素子を有する検査ヘッドで走査したとき、感熱素子を有する検査ヘッドから出力される突起物に起因する信号で、磁気記録媒体を不良品と判断する敷居値のレベル）を、評価に用いるヘッドが０．２５μインチの突起に衝突したときに出力される信号の５６％に設定し、感熱素子のバイアス電流を１４．５ｍＡに設定した。なお、感熱素子を有する検査ヘッドからの信号を１００ｋＨｚ〜３０００ｋＨｚのバンドパスフィルターに通して、評価した。この評価の結果、１００枚中６枚の磁気記録媒体からスライスレベル以上の出力信号が観察された。
【００３１】
（実施例１−２）
実施例１−１でスライスレベル以上の出力信号が観察された６枚の磁気記録媒体を評価に用いた。感熱素子を有する検査ヘッドを用いた実施例１−１の評価条件で、グライド高さを０．１９μインチ、スライスレベルを４０％とし、実施例１−１に対して評価条件を更に厳しくした。またバンドパスフィルターを４００ｋＨｚ〜３０００ｋＨｚとした。その結果、６枚の磁気記録媒体の何れにおいても、感熱素子を有する検査ヘッドからの出力信号は、スライスレベル以下であった。すなわち、実施例１−１において、この６枚の磁気記録媒体から出力されたスライスレベル以上のシグナルは、何れも、磁気記録媒体表面のうねりに起因するものと考えられ、このうねりの大きさは、感熱素子を有する検査ヘッドが追従できるレベルのものであったと考えられる。以上の結果から、バンドパスフィルターの下限値を１００ｋＨｚから４００ｋＨｚに上げることにより、感熱素子を有する検査ヘッドからのうねり成分の信号を小さくすることが可能となり、その結果、感熱素子を有する検査ヘッドを用いた評価において、スライスレベル、および、グライドハイトを下げての厳しい検査条件が適用可能となった。
【００３２】
図３は、本実施例で感熱素子を有する検査ヘッドから出力された信号に関し、バンドパスフィルターの下限値とＳ／Ｎ比との関係を示したものである。感熱素子を有する検査ヘッドから出力された信号のノイズは主に磁気記録媒体表面のうねり（削除）によるものである。この結果は、感熱素子を有する検査ヘッドから出力された信号から、バンドパスフィルターを用いてうねり成分を除くことにより、Ｓ／Ｎ比を高めた評価が可能となることを示している。また、例えば５０ｋＨｚ〜２００ｋＨｚのバンドパスフィルターを用いれば、うねりのみを選択的に検出することが可能となる。
【００３３】
図４は、実施例１−１および１−２の条件での評価で、検出が可能な磁気記録媒体表面の突起の高さと径を示したものである。なお、突起の高さと径は評価後の磁気記録媒体の表面をＡＦＭで測定することにより求めた。この結果は、感熱素子を有する検査ヘッドから出力された信号から、バンドパスフィルターを用いてうねり成分を除くことにより、検出可能な突起物の高さと径を下げることが可能となることを示している。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
本発明の検査方法により、従来の検査では評価できなかった微小な突起物やうねりを有する磁気記録媒体を検査することが可能となった。よって、より信頼性の高い製品を提供することが可能となり、産業上の利用価値は高い。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の磁気記録媒体の断面構造を示す図である。
【図２】本発明の磁気記録再生装置の構造を示す図である。
【図３】バンドパスフィルターの下限値とＳ／Ｎ比との関係を示す図である。
【図４】バンドパスフィルターの下限値と検出できる突起の大きさ・高さとの関係を示す図である。
【符号の説明】
【００３６】
１  非磁性基板
２  非磁性下地層
３  磁性層
４  保護層
５  液体潤滑層
１０  磁気記録媒体
１１  媒体駆動部
１２  磁気ヘッド
１３  ヘッド駆動部
１４  記録再生信号処理系
【図１】
2008146803.tif 000002
【図２】
2008146803.tif 000003
【図３】
2008146803.tif 000004
【図４】
2008146803.tif 000005