(57)【要約】【課題】純水吐出ノズルとエアー吐出ノズルと処理液貯留部とを備えた端面処理部にて塗布基板の端面の感光層を除去する端面処理装置において、純水吐出ノズル及びエアー吐出ノズルのノズル詰まりが発生しないで、塗布基板の端面除去処理を均一に行うことができる端面処理装置を提供することを目的とする。【解決手段】少なくとも処理液を一時的に保留しておくための処理液貯留部１１と処理液を処理液貯留部に供給するための処理液供給部１２と処理液を排出するための処理液排出部１３とからなる端面処理部１０と、上部処理ヘッド２０と、下部処理ヘッド３０とからなる処理ヘッド９０と、前記処理ヘッド９０内の処理液及び純水を外部にエアー排出するための排出装置４０とで構成されている端面処理装置であって、端面処理装置の処理ヘッド９０が少なくとも２個以上に分割されていることを特徴とする端面処理装置である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも処理液を一時的に保留しておくための処理液貯留部（１１）と処理液を処理液貯留部に供給するための処理液供給部（１２）と処理液を排出するための処理液排出部（１３）とからなる端面被膜処理部（１０）と、上部処理ヘッド（２０）と下部処理ヘッド（３０）とからなる処理ヘッド（９０）と、前記処理ヘッド（９０）内の処理液及び純水を外部にエアー排出するための排出装置（４０）とで構成されている端面処理装置であって、
前記端面処理装置の処理ヘッド（９０）が少なくとも２個以上に分割されていることを特徴とする端面処理装置。
【請求項２】
前記上部処理ヘッド（２０）は、純水を純水吐出ノズルに供給するための純水供給部（２１）と、塗布基板の端部に純水を吐出するための純水吐出ノズル（２１ａ）と、エアーをエアー吐出ノズルに供給するためのエアー供給部（２２）と、塗布基板の端部をエアー乾燥するためのエアー吐出ノズル（２２ａ）と、純水供給部に純水を供給するための純水配管（２１ｂ）とエアー供給部にエアーを供給するためのエアー配管（２２ｂ）とで構成されていることを特徴とする請求項１に記載の端面処理装置。
【請求項３】
前記下部処理ヘッド（３０）は、純水を純水吐出ノズルに供給するための純水供給部（３１）と塗布基板の端部に純水を吐出するための純水吐出ノズル（３１ａ）とエアーをエアー吐出ノズルに供給するためのエアー供給部（３２）と塗布基板の端部をエアー乾燥するためのエアー吐出ノズル（３２ａ）と純水供給部に純水を供給するための純水配管（３１ｂ）とエアー供給部にエアーを供給するためのエアー配管（３２ｂ）とで構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の端面処理装置。
【請求項４】
前記分割された処理ヘッド（９０）毎に前記純水配管（２１ｂ）及び純水配管（３１ｂ）に純水圧と流量を検知するための水圧センサー（５１）を、前記エアー配管（２２ｂ）及びエアー配管（３２ｂ）にエアー圧と流量を検知するためのエアー圧センサー（５２）をそれぞれ設けたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の端面処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レジスト塗布基板等の周辺端部の感光層を除去する端面処理装置に関し、特に、ブラック、レッド、グリーン、ブルー等の着色顔料レジストを塗布したレジスト塗布基板の端面のレジスト層を所定幅除去することができる端面処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、大型カラーテレビ、ノートパソコン、携帯用電子機器の増加に伴い、液晶ディスプレイ、特にカラー液晶ディスプレイパネルの需要の増加はめざましいものがある。
カラー液晶ディスプレイパネルは、カラーフィルタ基板と、液晶と、駆動素子と、光学フィルムとから構成されている。
【０００３】
カラー液晶ディスプレイパネルに用いられるカラーフィルタ基板は、ガラス基板上に、ブラックマトリックス、赤色フィルタ、緑色フィルタ、青色フィルタ等からなる着色フィルタ、柱状スペーサー等がフォトマスクを用いたパターン露光、現像等のパターニング処理を行うフォトリソグラフィープロセスを経て形成される。
【０００４】
以下、フォトリソグラフィープロセスを用いたカラーフィルタ基板の製造方法について説明する。
図１０（ａ）〜（ｈ）は、カラーフィルタ基板の製造方法の一例を示す部分模式構成断面図である。
まず、ガラス基板１１１上にアクリル系樹脂にカーボンブラックを分散した黒色の感光性樹脂をスピンナー等にて塗布し、黒色感光性樹脂層２１１を形成し（図１０（ａ）参照）、パターン露光、現像等のパターニング処理を行って、ブラックマトリクス２１１ａを形成する（図１０（ｂ）参照）。
【０００５】
次に、アクリル系の感光性樹脂に赤色顔料を分散した赤色感光性樹脂溶液をブラックマトリクス２１１ａが形成されたガラス基板１１１上にスピンナー等を用いて塗布し、赤色感光性樹脂層２３１を形成し（図１０（ｃ）参照）、所定のフォトマスクを使ってパターン露光、現像等の一連のパターニング処理を行って、赤色フィルタ２３１Ｒを形成する（図１０（ｄ）参照）。
【０００６】
次に、アクリル系の感光性樹脂に緑色顔料を分散した緑色感光性樹脂溶液をブラックマトリクス２１１ａ及び赤色フィルタ２３１Ｒが形成されたガラス基板１１１上にスピンナー等を用いて塗布し、緑色感光性樹脂層２３２を形成し（図１０（ｅ）参照）、所定のフォトマスクを使ってパターン露光、現像等の一連のパターニング処理を行って、緑色フィルタ２３２Ｇを形成する（図１０（ｆ）参照）。
【０００７】
次に、アクリル系の感光性樹脂に青色顔料を分散した青色感光性樹脂溶液をブラックマトリクス２１１ａ、赤色フィルタ２３１Ｒ及び緑色フィルタ２３２Ｇが形成されたガラス基板１１１上にスピンナー等を用いて塗布し、青色感光性樹脂層２３３を形成し（図１０（ｇ）参照）、所定のフォトマスクを使ってパターン露光、現像等の一連のパターニング処理を行って、青色フィルタ２３３Ｂを形成し、ブラックマトリクス２１１ａが形成されたガラス基板１１１上に赤色フィルタ２３１Ｒ、緑色フィルタ２３２Ｇ及び緑色フィルタ２３３Ｂからなる着色フィルタ２３０を形成する（図１０（ｈ）参照）。
さらに、必要に応じて、透明電極、柱状スペーサを形成する。
【０００８】
上記カラーフィルタ基板の製造工程で、黒色感光性樹脂層２１１、赤色感光性樹脂層２
３１、緑色感光性樹脂層２３２及び青色感光性樹脂層２３３等の感光層が形成された塗布基板では、塗布基板の周縁部（１〜５ｍｍ）が盛り上がり、パターン露光工程の以降の工程で、塗布基板とフォトマスクとのギャップ設定がうまくいかなかったり、盛り上がりレジストが欠けて異物等の欠陥として塗布基板上に付着する等の不具合が発生する。
【０００９】
上記不具合を防止するために、塗布基板端面の感光層を除去することが行われており、ガラス基板にレジストを塗布して感光層を形成した塗布基板の周縁部の感光層を除去する基板処理方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【００１０】
これは、ガラス基板に着色レジストを塗布した塗布基板の周縁部の感光層を４個のリムーバーヘッドにて、除去液（シンナー）等を吐出しながら塗布基板の各辺に沿って移動し、塗布基板の周縁部に付着した余分の感光層を除去しようというものである。
【００１１】
ここで、処理ヘッドを用いた塗布基板の周縁部の感光層を除去する除去方法に付いて説明する。
図９（ａ）〜（ｄ）は、塗布基板の周縁部の感光層を処理ヘッドを用いて除去している状態を示す説明図である。
ガラス基板１１１に感光層２１１が形成された塗布基板２０１の両端を２個の処理ヘッド３００にてくわえ込み（図９（ａ）参照）、塗布基板２０１の両端の端面を処理液に浸して、塗布基板２０１の揺動動作を行うことで、塗布基板２０１の端面の感光層除去し、対向する端面の感光層が除去された塗布基板２０２を作製する（図９（ｂ）参照）。
【００１２】
さらに、対向する端面の感光層が除去された塗布基板２０２を９０度回転して、塗布基板２０２を処理ヘッド３００にてくわえ込み（図９（ｃ）参照）、塗布基板２０２の両端の端面を処理液に浸して、塗布基板２０２の揺動動作を行うことで、処理ヘッド３００にてくわえ込んだ塗布基板２０２の端面の感光層除去し、塗布基板２０１の４端面の感光層が除去された塗布基板２０３を作製する（図９（ｄ）参照）。
このように、処理ヘッド３００を用いて塗布基板の端面を処理することにより、塗布基板周縁部の感光層を容易に除去することができる
次に、端面処理部１０が内蔵された端面処理装置２００について説明する
図６は、端面処理装置２００の内部構造を模式的に示す模式構成断面図である。
端面処理装置２００は、処理液を貯留しておく処理液貯留部１１と処理液を処理液貯留部に供給する処理液供給部１２と端面処理した処理液を廃棄する処理液廃液部１３とからなる端面処理部１０と、端面処理された基板上端面部の洗浄を行う純水供給部２１、純水吐出ノズル２１ａと、純水洗浄した基板上端面部を乾燥させるエアー供給部２１、エアー吐出ノズル２１ａとを備えた上部処理ヘッド２０と、純水洗浄した基板下端面部を乾燥させる純水供給部３１、純水吐出ノズル３１ａと、純水洗浄した基板下端面部を乾燥させるエアー供給部３２、エアー吐出ノズル３２ａとを備えた下部処理ヘッド３０と、処理液及び純水を廃棄する排気装置４０とで構成されている。
【００１３】
ガラス基板１１１に感光層２１１が形成された塗布基板２０１は、上部処理ヘッド２０と下部処理ヘッド３０との間から端面処理部１０の処理液貯留部１１に挿入され、塗布基板２０１を処理液に浸すことで端面の感光層を溶解させ、塗布基板２０１を端面処理部１０から離しながら、純水供給部２２、３２の純水吐出ノズル２２ａ、３２ａでの純水洗浄、エアー供給部２１、３１のエアー吐出ノズル２１ａ、３１ａでのエアーパージにて表面乾燥を行って、塗布基板２０１の対向する２端面の感光層が除去された塗布基板２０２を得る。
さらに、端面の感光層が除去された塗布基板２０２を９０度回転して、上記端面処理装置２００にて塗布基板２０２の端面の感光層を除去することにより、塗布基板２０１の４端面の感光層が除去された塗布基板２０３を得ることができる。
【００１４】
上記塗布基板２０１の端面の感光層を除去する工程の中で、塗布基板２０１の端面の感光層を処理液に浸した後、純水洗浄、エアーパージ（表面乾燥）動作を順に行っているが、処理中に溶解したレジストが純水吐出ノズルやエアー吐出ノズルに付着して吐出ノズルのノズル詰まりが発生する場合がある。
【００１５】
図７（ａ）は、純水吐出ノズル２２ａにノズル詰まりが無く、塗布基板２０１の端面の感光層を処理液に浸した後、感光層が溶解した端面に純水吐出ノズル２２ａから純水が均一に吐出された状態を示す。
図７（ｂ）は、純水吐出ノズル２２ａにノズル詰まりが発生し、塗布基板２０１の端面の感光層を処理液に浸した後、感光層が溶解した端面に純水吐出ノズル２２ａから純水が不均一に吐出された状態を示す。
【００１６】
図８（ａ）は、エアー吐出ノズル２２ａにノズル詰まりが無く、塗布基板２０１の端面の感光層を処理液に浸した後、感光層が溶解した端面に純水吐出ノズル２２ａから純水が均一に吐出された状態を示す。
図８（ｂ）は、エアー吐出ノズル２２ａにノズル詰まりが発生し、塗布基板２０１の端面の感光層を処理液に浸した後、感光層が溶解した端面に純水吐出ノズル２２ａから純水が不均一に吐出された状態を示す。
【００１７】
このように、純水吐出ノズル及びエアー吐出ノズルにノズル詰まりが発生すると、塗布基板２０１の端面の感光層が正常に除去されずに、ガラス基板１１１端面にレジスト残りが発生したり、処理液や純水が塗布基板の有効面まで弾けて飛散する液はねに繋がる。
【００１８】
塗布基板端面のレジスト残りが発生した場合、パターン露光工程で塗布基板端面のレジスト残りがアライメントマークと近接していた場合アライメント作業が正常に行われず、位置合わせズレが発生することになり問題である。
【００１９】
また、塗布基板有効面に処理液や純水が弾けると、塗布基板有効面にピンホール、もしくは異物となり、製品不良となり問題である。
【特許文献１】特開２００１−０４４１１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２０】
本発明は、上記問題点に鑑み考案されたものであり、純水吐出ノズルとエアー吐出ノズルと処理液貯留部とを備えた端面処理部にて塗布基板の端面の感光層を除去する端面処理装置において、純水吐出ノズル及びエアー吐出ノズルのノズル詰まりが発生しないで、塗布基板の端面除去処理を均一に行うことができる端面処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
本発明に於いて上記課題を達成するために、まず、請求項１においては、少なくとも処理液を一時的に保留しておくための処理液貯留部１１と処理液を処理液貯留部に供給するための処理液供給部１２と処理液を排出するための処理液排出部１３とからなる端面処理部１０と、上部処理ヘッド２０と、下部処理ヘッド３０とからなる処理ヘッド９０と、前記処理ヘッド９０内の処理液及び純水を外部にエアー排出するための排出装置４０とで構成されている端面処理装置であって、
前記端面処理装置の処理ヘッド９０が少なくとも２個以上に分割されていることを特徴とする端面処理装置としたものである。
【００２２】
また、請求項２においては、前記上部処理ヘッド２０は、純水を純水吐出ノズルに供給するための純水供給部２１と、塗布基板の端部に純水を吐出するための純水吐出ノズル２１ａと、エアーをエアー吐出ノズルに供給するためのエアー供給部２２と、塗布基板の端部をエアー乾燥するためのエアー吐出ノズル２２ａと、純水供給部に純水を供給するための純水配管２１ｂとエアー供給部にエアーを供給するためのエアー配管２２ｂとで構成されていることを特徴とする請求項１に記載の端面処理装置としたものである。
【００２３】
また、請求項３においては、前記下部処理ヘッド３０は、純水を純水吐出ノズルに供給するための純水供給部３１と塗布基板の端部に純水を吐出するための純水吐出ノズル３１ａとエアーをエアー吐出ノズルに供給するためのエアー供給部３２と塗布基板の端部をエアー乾燥するためのエアー吐出ノズル３２ａと純水供給部に純水を供給するための純水配管３１ｂとエアー供給部にエアーを供給するためのエアー配管３２ｂとで構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の端面処理装置としたものである。
【００２４】
さらにまた、請求項４においては、前記分割された処理ヘッド９０毎に前記純水配管２１ｂ及び純水配管３１ｂに純水圧及び流量を検知するための水圧センサー５１を、前記エアー配管２２ｂ及びエアー配管３２ｂにエアー圧及び流量を検知するためのエアー圧センサー５２をそれぞれ設けたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の端面処理装置としたものである。
【発明の効果】
【００２５】
本発明の端面処理装置は、処理ヘッドが分割されており、個々の処理ヘッド毎に純水及びエアーの圧力を管理しているので、純水吐出ノズル及びエアー吐出ノズルのノズル詰まりを防止することができ、ノズル詰まりによる処理液、純水の飛散を未然に防止でき、塗布基板の端面除去処理を安定して、均一に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下本発明の実施の形態につき説明する。
図１は、本発明の端面処理装置の一実施例を示す模式図である。
図２は、端面処理装置の処理ヘッドをＡ−Ａ’で切断した処理ヘッドの模式構成断面図である。
本発明の端面処理装置１００は、処理液を一時的に保留しておくための処理液貯留部１１と処理液を処理液貯留部に供給するための処理液供給部１２と処理液を排出するための処理液排出部１３とからなる端面被膜処理部１０と、上部処理ヘッド２０と、下部処理ヘッド３０とからなる処理ヘッド９０と、前記処理ヘッド９０内の処理液及び純水を外部にエアー排出するための排出装置４０とで構成されており、処理ヘッド９０をそれぞれ分割処理ヘッド９０ａ、分割処理ヘッド９０ｂ、分割処理ヘッド９０ｃ、分割処理ヘッド９０ｄとに４分割した事例である。
ここでは、処理ヘッド９０を４分割した事例について説明したが、処理ヘッド９０の分割数は２分割以上であれば、何分割でも良く、適宜設定できるものである。
【００２７】
上部処理ヘッド２０と下部処理ヘッド３０とはそれぞれのヘッド後部でネジ止め等で固定されて一体構造の処理ヘッド９０を構成している。
【００２８】
上部処理ヘッド２０は、純水を純水吐出ノズルに供給するための純水供給部２１と、塗布基板の端部に純水を吐出するための純水吐出ノズル２１ａと、エアーをエアー吐出ノズル２２ａに供給するためのエアー供給部２２と、塗布基板の端部をエアー乾燥するためのエアー吐出ノズル２２ａと、純水供給部に純水を供給するための純水配管２１ｂとエアー供給部にエアーを供給するためのエアー配管２２ｂとで構成されており、純水配管２１ｂ
及びエアー配管２２ｂの途中に純水圧、エアー圧を感知するための水圧センサー５１、エアー圧センサー５２を設けて、純水吐出ノズル２１ａから吐出される純水吐出圧及び流量を、またエアー吐出ノズル２２ａから吐出されるエアー吐出圧及び流量をそれぞれ制御している。
【００２９】
下部処理ヘッド３０は、純水を純水吐出ノズルに供給するための純水供給部３１と、塗布基板の端部に純水を吐出するための純水吐出ノズル３１ａと、エアーをエアー吐出ノズル３２ａに供給するためのエアー供給部３２と、塗布基板の端部をエアー乾燥するためのエアー吐出ノズル３２ａと、純水供給部に純水を供給するための純水配管３１ｂとエアー供給部にエアーを供給するためのエアー配管３２ｂとで構成されており、純水配管３１ｂ及びエアー配管３２ｂの途中に純水圧及び流量を、エアー圧及び流量を感知するための水圧センサー５１、エアー圧センサー５２を設けて、純水吐出ノズル２１ａから吐出される純水吐出圧及び流量を、またエアー吐出ノズル２２ａから吐出されるエアー吐出圧及び流量をそれぞれ制御している。
【００３０】
このことから、吐出ノズルにノズル詰まりが発生すると流量が極端に少なくなり、それを水圧センサー５１、エアー圧センサー５２が検知するので、リアルタイムで吐出ノズルのノズル詰まりを監視することができる。
【００３１】
一例として、６２０×７５０ｍｍの塗布基板を処理する本発明の端面処理装置１００の構成例について説明する。
処理ヘッド９０の幅を８００ｍｍとし、４分割して、それぞれ上、下の２００ｍｍ幅の分割処理ヘッド９０ａ、分割処理ヘッド９０ｂ、分割処理ヘッド９０ｃ、分割処理ヘッド９０ｄに、純水配管、水圧センサー５１、純水供給部、純水吐出ノズル、エアー配管、エアー圧センサー５２、エアー供給部、エアー吐出ノズルを形成し、ヘッド後部をネジ止めして、処理ヘッドが４分割された処理ヘッド９０を作製する。
水圧センサー５１の一例として、０〜１ｋＰａの測定範囲を有する正圧タイプの水圧センサーを、エアー圧センサー５２の一例として、０〜１ＭＰａの測定範囲を有する正圧タイプのエアー圧センサーを挙げることができる。
純水吐出ノズル及びエアー吐出ノズルのピッチの一例として１０ｍｍを挙げることができる。
【００３２】
以下本発明の端面処理装置１００を用いてガラス基板１１１上にレジスト等の感光層２１１がガラス基板１１１の片面に形成された塗布基板２０１の端面処理について説明する。
図３、図４、図５は、端面処理装置１００の分割処理ヘッド９０ｄでの塗布基板２０１の端面処理を行っている状態を示す説明図である。
分割処理ヘッド９０ａ、９０ｂ及び９０ｃについては、分割処理ヘッド９０ｄと同じ処理が行われるので、ここでは、分割処理ヘッド９０ｄでの説明にとどめる。
【００３３】
まず、処理液貯留部１１に処理液供給部１２より処理液を満たした状態で、塗布基板２０１を上部処理ヘッド２０と下部処理ヘッド３０との間から挿入し、塗布基板２０１の処理したい端面部の位置まで処理液供給部１２内の処理液に浸す（図３参照）。
【００３４】
次に、塗布基板２０１の端面部が処理液供給部１２の処理液に一定時間浸漬されると、被膜の膨潤、溶解が始まるので、処理液排出部１３より処理液を処理液貯留部１１より排出して、塗布基板２０１の端面部を純水ノズル２１ａの位置までずらして、純水ノズル２１ａにて純水をスプレーして、純水にて被膜が溶解した処理液を除去し、塗布基板２０１の端面部には純水の液溜まりを生成する（図４参照）。
ここで、純水ノズル２１ａの純水スプレー圧及び流量は、水圧センサー５１にて制御され
、ノズル詰まり等が発生して、流量が落ちると水圧センサー５１にて感知し、警報等を発し、リアルタイムに処置できるようになっている。
【００３５】
次に、端面部に純水の液溜まりができた塗布基板２０１を純水ノズル２１ａの位置までずらして、エアー吐出ノズル２２ａにてエアーを吐出し、純水の液溜まりを吹き飛ばして、塗布基板２０１の端面部の清浄と乾燥を行う（図５参照）。
エアー吐出ノズル２２ａにて純水の液溜まりを吹き飛ばす際、余分の水滴等が塗布基板２０１の有効領域に再付着しないように、排出装置４０にて排気される。
以上の工程で、塗布基板２０１の対向する端面の端面処理ができたので、さらに塗布基板２０１を９０度回転して同様の端面処理を行うことにより、塗布基板２０１の四端面の端面処理を行うことができる。
【００３６】
ここでは、ガラス基板１１１の片面に感光層２１が形成された塗布基板２０１の端面処理ついて説明したが、本発明の端面処理装置は両面塗布基板対応になっているので、両面に感光層が形成された塗布基板の端面処理ができるのは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の端面処理装置の一実施例を示す模式構成図である。
【図２】本発明の端面処理装置の分割処理ヘッドの構成例を示す模式構成断面図である。
【図３】本発明の端面処理装置１００を用いて塗布基板の端面処理を行っている状態を示す説明図である。
【図４】本発明の端面処理装置１００を用いて塗布基板の端面処理を行っている状態を示す説明図である。
【図５】本発明の端面処理装置１００を用いて塗布基板の端面処理を行っている状態を示す説明図である。
【図６】従来の端面処理装置の一例を示す模式構成図である。
【図７】（ａ）及び（ｂ）は、従来の端面処理装置２００を用いて塗布基板の端面処理を行っている状態を示す説明図である。
【図８】（ａ）及び（ｂ）は、従来の端面処理装置２００を用いて塗布基板の端面処理を行っている状態を示す説明図である。
【図９】（ａ）〜（ｄ）は、処理ヘッド１０を用いて塗布基板の端面処理を行っている状態を示す説明図である。
【図１０】カラーフィルタ基板の製造方法の一例を工程順に示す説明図である。
【符号の説明】
【００３８】
１０……端面処理部
１１……処理液貯留部
１２……処理液供給部
１３……処理液排出部
２０……上部処理ヘッド
３０……下処理ヘッド
２１、３１……純水供給部
２１ａ、３１ａ……純水吐出ノズル
２１ｂ、３１ｂ……純水配管
２２、３２……エアー供給部
２２ａ、３２ａ……エアー吐出ノズル
２２ｂ、３２ｂ……エアー配管
４０……排気装置
９０……処理ヘッド
９０ａ、９０ｂ、９０ｃ、９０ｄ……分割処理ヘッド
１００、２００……端面処理装置
１１１……ガラス基板
２０１……塗布基板
２０２……対向する２端面の感光層が除去された塗布基板
２０３……４端面の感光層が除去された塗布基板
２１１……感光層
２１１ａ……ブラックマトリクス
２３０……着色フィルタ
２３１……赤色感光性樹脂層
２３１Ｒ……赤色フィルタ
２３２……緑色感光性樹脂層
２３２Ｇ……緑色フィルタ
２３３……青色感光性樹脂層
２３３Ｂ……青色フィルタ
３００……処理ヘッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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