(57)【要約】【課題】  マスター基板とともにプレマスター基板を使用して印加磁界を集中させることによって、磁界の強度分布が制御できる高精度な磁気転写装置を提供する。【解決手段】  本発明は、外部磁界を与えることによりパターンを磁気記録媒体に複製する磁気パターン複製方法であって、外部磁界と磁性体部分がパターンニングされたマスター体との間に、磁性体からなり、マスター体のパターン部に合わせて凹凸が形成されたプレマスター体を配置させたことを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁性体部分がパターニングされたマスター体のパターンを磁気記録媒体に転写する磁気パターン複製方法であって、
前記マスター体のパターン部と対向する位置に合わせて形成させた凹凸部を有し、該凹凸部を介して外部磁界を誘導するプレマスター体を前記外部磁界と前記マスター体の間に挿入するステップと、
前記プレマスター体と前記マスター体と前記磁気記録媒体とを互いに密着させ、前記外部磁界を印加して前記パターンを前記磁気記録媒体に転写するステップと、
を有することを特徴とする磁気パターン複製方法。
【請求項２】
前記マスター体のパターンが集まるパターン部の対向する位置に合わせて凸部を形成させた前記プレマスター体と前記マスター体と前記磁気記録媒体とを互いに密着させ、前記マスター体に対し垂直方向の外部磁界を印加して前記マスター体のパターンを転写することを特徴とする請求項１に記載の磁気パターン複製方法。
【請求項３】
前記マスター体のパターンが集まるパターン部の対向する位置に合わせて凹部を形成させた前記プレマスター体と前記マスター体と前記磁気記録媒体とを互いに密着させ、前記マスター体に対し水平方向の外部磁界を印加して前記マスター体のパターンを転写することを特徴とする請求項１に記載の磁気パターン複製方法。
【請求項４】
前記プレマスター体に形成される前記凸部、または前記凹部の幅は、前記マスター体のパターン部、またはパターン部内のパターン幅に応じて変えることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の磁気パターン複製方法。
【請求項５】
磁性体部分がパターニングされたマスター体のパターンを磁気記録媒体に転写する磁気パターン複製装置であって、
前記マスター体のパターン部と対向する位置に合わせて形成させた凹凸部を有し、該凹凸部を介して外部磁界を誘導するプレマスター体を前記外部磁界と前記マスター体の間に挿入する手段と、
前記プレマスター体と前記マスター体と前記磁気記録媒体とを互いに密着させ、前記外部磁界を印加して前記パターンを前記磁気記録媒体に転写する手段と、
を有することを特徴とする磁気パターン複製装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁性体の記録層がパターンニングされたマスター基板を磁気媒体に密着させ、外部から磁界を印加することによりサーボパターン等の磁気パターンを一括して書き込む技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＨＤＤ（Hard Disk Drive ：ハードディスク）は、年々大容量化してきており、そこに適用される磁気記録媒体の記録密度が上昇し、このため記録ヘッドを位置決めするためのサーボ情報を専用の装置を用いて機械的な精度で作成することが、困難な状況になってきている。また、製造コストを押さえるため、容易に高精度の位置決め情報を作成する方法が必要とされている。
【０００３】
これに対し、磁性体部分がパターンニングされたパターン部を有するマスター体を用いてサーボパターンなどの磁気パターンを複製する方法として、従来、水平磁界を印加することによる複製方法（例えば、特許文献１参照）や垂直磁界を印加することによる複製方法（例えば、特許文献２参照）等が提案されている。
【０００４】
図４は、従来の代表的な垂直磁界印加法による磁気パターン複製方法である。磁性体部分をパターンニングしたパターン部２０１を有するマスター体２００と、基板１２０に記録層１１０が設けられた磁気記録媒体１００とを密着させ、永久磁石などの磁石３００による外部磁界４００を印加することによって、パターン化磁性部分２０２のパターンが磁気記録媒体１００の記録層１１０に磁気パターン１１１として複製される。
【０００５】
図５は、従来の代表的な水平磁界印加法による磁気パターン複製方法であり、同様に、水平磁界を印加することによってマスター体２００のパターンが磁気記録媒体１００に転写される。
【０００６】
一方、ＨＤＤの大容量化にともない、磁気記録媒体の記録密度はますます増加し、磁性体がパターンニングされたマスター基板をＨＤＤの磁気記録媒体に密着させ、外部から磁界を印加することによりサーボパターン等を一括して書き込む磁気転写の技術においては、一層高精度なパターンの書込みが必要とされている。しかしながら、マスター体におけるパターンの高密度化に対し、必要な磁界強度の発生や、微調整など、実現が難しい状況にある。
【０００７】
すなわち、書込み時（転写）の”磁界”として、（１）印加磁界の強度不足、（２）印加磁界の強度分布のコントロールが困難、（３）印加磁界洩れ、等の問題を抱える。
【特許文献１】特開２００１−２９７４３４号公報
【特許文献２】特開２００２−８３４２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記問題を解決するため、本発明では、外部磁界とマスター体の間に凹凸が形成されたプレマスター体を用いることにより磁界を効率的に使用でき、また磁界を容易にコントロールでき、高精度な磁気パターン複製ができる磁気転写の技術を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
第一の発明は、磁性体部分がパターニングされたマスター体のパターンを磁気記録媒体に転写する磁気パターン複製方法であって、前記マスター体のパターン部と対向する位置に合わせて形成させた凹凸部を有し、該凹凸部を介して外部磁界を誘導するプレマスター体を前記外部磁界と前記マスター体の間に挿入するステップと、前記プレマスター体と前記マスター体と前記磁気記録媒体とを互いに密着させ、前記外部磁界を印加して前記パターンを前記磁気記録媒体に転写するステップと、を有することを特徴とする磁気パターン複製方法に関する。
【００１０】
すなわち、第一の発明によれば、マスター体のパターン位置に合わせて凹凸部を形成させたプレマスター体を外部磁界とマスター体の間に加えて用いることによって、印加する外部磁界をマスター体のパターン部に集中させることができ、またその磁界の集中の度合いが調整でき、さらに磁界洩れの防止が可能となる。
【００１１】
第二の発明は、前記マスター体のパターンが集まるパターン部の対向する位置に合わせて凸部を形成させた前記プレマスター体と前記マスター体と前記磁気記録媒体とを互いに密着させ、前記マスター体に対し垂直方向の外部磁界を印加して前記マスター体のパターンを転写することを特徴とする上記第一の発明に記載の磁気パターン複製方法に関する。
【００１２】
すなわち、第二の発明によれば、垂直磁界印加法では、マスター体の凸パターンが磁気媒体に接触し、この部分に磁界が通り磁気パターンが複製されるが、外部磁界とマスター体の間に、マスター体のパターン部に合わせて凸部が形成されたプレマスター体を用いることにより、プレマスター体の凸部に磁界が通ることとなる。これにより、印加磁界がマスター体の全体ではなく、マスター体のパターン部に集中して効率的に磁界を加えることができることとなる。
【００１３】
第三の発明は、前記マスター体のパターンが集まるパターン部の対向する位置に合わせて凹部を形成させた前記プレマスター体と前記マスター体と前記磁気記録媒体とを互いに密着させ、前記マスター体に対し水平方向の外部磁界を印加して前記マスター体のパターンを転写することを特徴とする上記第一の発明に記載の磁気パターン複製方法に関する。
【００１４】
すなわち、第三の発明によれば、水平磁界印加法では、パターンとパターンの間で水平方向に磁界が発生し、磁気パターンが複製されるが、凹部が形成されたプレマスター体を用いることにより、従来よりも磁界がパターン部に集中され、より高精度な磁気パターン複製ができることとなる。
【００１５】
第四の発明は、前記プレマスター体に形成される前記凸部、または前記凹部の幅は、前記マスター体のパターン部、またはパターン部内のパターン幅に応じて変えることを特徴とする上記第一乃至第三の発明のいずれかに記載の磁気パターン複製方法に関する。
【００１６】
すなわち、第四の発明によれば、プレマスター体の凸部または凹部の幅を変えることにより、マスター体のパターン部に印加される磁界の強さを調整することができ、高精度な磁気パターン複製ができる。
【発明の効果】
【００１７】
以上、本発明により、マスター体に加え、プレマスター体を使用することにより、
（１）印加磁界を集中させることにより強度を上げることができ、従来より小型の磁石ですみ、装置の小型ができる。
（２）集中具合を調整することにより強度分布のコントロールが可能となり、必要な磁界分布に合うように、印加磁界分布を調整できるため、最適条件に合わせることができ、高精度な磁気転写が行える。
（３）必要な個所に集中させることにより磁界もれを防ぐことができ、端部での精度向上が図れる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、図面にもとづいて本発明の実施形態を説明する。
【００１９】
図１は、本発明の実施の形態になるプレマスター体を用いた磁気パターン複製方法（垂直磁界印加法）を示す。本実施例は、プレマスター体を用い、マスター体に対し垂直方向の磁界を印加した場合の磁気パターンの複製方法を示している。
【００２０】
本発明の磁気パターン複製方法を実現する装置における転写構成は、基盤１２上に磁気情報が記録できる記録層１１を備えた磁気記録媒体１と、磁性体部分がパターンニングされたパターン部２１を有するマスター体２と、マスター体２のパターン部２１の位置に合わせて凹凸部を形成させた磁性体からなるプレマスター体３とから構成されている。そして、磁気記録媒体１、マスター体２、およびプレマスター体３の順に密着させ、プレマスター体３に永久磁石などの外部磁界Ａを印加することにより、マスター体２のパターンを磁気記録媒体１上に転写させるものである。
【００２１】
上記したように、磁気転写は、マスター体２の凸パターン部が磁気媒体に接触し、この部分に磁界が通ることによって磁気パターンが複製される仕組みである。このマスター体２に加えて、外部磁界Ａとマスター体２の間にプレマスター体３を配置することにより、垂直方向の外部磁界を利用する本実施例では、プレマスター体の凸部に磁界が通ることになる。これにより、印加磁界Ａがマスター体２の全体ではなく、マスター体２のパターン部２１に集中して効率的に磁界を加えることができる。また、プレマスター体３の凸部の幅を変えることにより、マスター体２のパターン部２１に印加される磁界の強さも調整することができ、高精度な磁気パターンの複製が実現される。
【００２２】
図２は、本発明の実施の形態になるプレマスター体を用いた磁気パターン複製（水平磁界印加法）を示す。本実施例の水平方向に外部磁界を印加する方法では、パターンとパターンの間で水平方向に磁界が発生することで磁気パターンが複製される。
【００２３】
外部磁界Ａをマスター体２に対し水平方向から与える水平磁界を印加し、プレマスター体３のマスター体２と接触する部分がマスター体２のパターンの集合からなるパターン部２１の位置に合わせた凹部を形成させたプレマスター体３の構成をとることによって、上記した垂直磁界法の場合と同様、高精度な磁気パターン複製が実現される。
【００２４】
また、この水平磁界印加法においても、プレマスター体３の凹部の幅を変えることにより、マスター体２のパターン部２１に印加される磁界の強さを調整することができる。
【００２５】
図３は、本発明の実施の形態になる磁気パターン複製装置の構成例を示す。本実施例は、プレマスター体を用いて磁気記録媒体上にパターンを磁気転写する磁気パターン複製装置として、両面に記録層を有する磁気記録媒体への磁気転写の構成例を示している。
【００２６】
磁気パターン複製装置は、シャフト７に取り付けられた磁石などによる磁界印加手段４と、上下に配置された磁界印加手段４の間に磁気記録媒体１を挿入する搬送手段５と、プレマスター体３、マスター体２、および挿入された磁気記録媒体１を加圧して密着させる弾性部材から構成される密着手段６から構成される。
【００２７】
以上のように、上記磁気パターン複製装置において、密着手段６によって、プレマスター体３、マスター体２、および搬送手段５により挿入された磁気記録媒体１とが互いに密着させた時点で、磁界印加手段４によって、マスター体２に対し外部磁界Ａを垂直あるいは水平方向から印加することで、磁気記録媒体１と接触するプレマスター体３の凹凸パターン部を介して集中化された集中磁界Ｂが形成され、サーボパターン情報などで構成されるマスター体２のパターンにしたがって、磁気記録媒体１上に、より効率的に磁気パターンとして複製されることとなる。
【００２８】
以上述べてきた本発明の実施の態様は、以下の付記に示す通りである。
（付記１）  磁性体部分がパターニングされたマスター体のパターンを磁気記録媒体に転写する磁気パターン複製方法であって、
前記マスター体のパターン部と対向する位置に合わせて形成させた凹凸部を有し、該凹凸部を介して外部磁界を誘導するプレマスター体を前記外部磁界と前記マスター体の間に挿入するステップと、
前記プレマスター体と前記マスター体と前記磁気記録媒体とを互いに密着させ、前記外部磁界を印加して前記パターンを前記磁気記録媒体に転写するステップと、
を有することを特徴とする磁気パターン複製方法。
（付記２）  前記マスター体のパターンが集まるパターン部の対向する位置に合わせて凸部を形成させた前記プレマスター体と前記マスター体と前記磁気記録媒体とを互いに密着させ、前記マスター体に対し垂直方向の外部磁界を印加して前記マスター体のパターンを転写することを特徴とする付記１に記載の磁気パターン複製方法。
（付記３）  前記マスター体のパターンが集まるパターン部の対向する位置に合わせて凹部を形成させた前記プレマスター体と前記マスター体と前記磁気記録媒体とを互いに密着させ、前記マスター体に対し水平方向の外部磁界を印加して前記マスター体のパターンを転写することを特徴とする付記１に記載の磁気パターン複製方法。
（付記４）  前記プレマスター体に形成される前記凸部、または前記凹部の幅は、前記マスター体のパターン部、またはパターン部内のパターン幅に応じて変えることを特徴とする付記１乃至３のいずれかに記載の磁気パターン複製方法。
（付記５）  磁性体部分がパターニングされたマスター体のパターンを磁気記録媒体に転写する磁気パターン複製装置であって、
前記マスター体のパターン部と対向する位置に合わせて形成させた凹凸部を有し、該凹凸部を介して外部磁界を誘導するプレマスター体を前記外部磁界と前記マスター体の間に挿入する手段と、
前記プレマスター体と前記マスター体と前記磁気記録媒体とを互いに密着させ、前記外部磁界を印加して前記パターンを前記磁気記録媒体に転写する手段と、
を有することを特徴とする磁気パターン複製装置。
（付記６）  磁性体部分がパターンニングされたマスター体のパターンを垂直方向の外部磁界により磁気記録媒体に転写する磁気パターン複製方式において前記外部磁界を前記マスター体に誘導するプレマスター体であって、
前記マスター体と接触する部分において前記マスター体に書き込まれた前記磁気パターン部の対向位置に凸部が形成されていることを特徴とするプレマスター体。
（付記７）  磁性体部分がパターンニングされたマスター体のパターンを水平方向の外部磁界により磁気記録媒体に転写する磁気パターン複製方式において前記外部磁界を前記マスター体に誘導するプレマスター体であって、
前記マスター体と接触する部分において前記マスター体に書き込まれた前記磁気パターン部の対向位置に凹部が形成されていることを特徴とするプレマスター体。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の実施の形態になるプレマスター体を用いた磁気パターン複製方法（垂直磁界印加法）を示す図である。
【図２】本発明の実施の形態になるプレマスター体を用いた磁気パターン複製方法（水平磁界印加法）を示す図である。
【図３】本発明の実施の形態になる磁気パターン複製装置の構成例を示す図である。
【図４】従来の磁気パターン複製方法（垂直磁界印加法）を示す図である。
【図５】従来の磁気パターン複製方法（水平磁界印加法）を示す図である。
【符号の説明】
【００３０】
Ａ  外部磁界
Ｂ  集中磁界
１  磁気記録媒体
２  マスター体
３  プレマスター体
４  磁界印加手段
５  搬送手段
６  密着手段
１１  記録層
１２  基板
２１  パターン部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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