(57)【要約】【課題】  効率よく、簡単な機構でかつ高い精度でロウバーを検査ステージに位置決めできる磁気ヘッドスライダ検査装置および磁気ヘッドスライダ検査方法を提供することにある。【解決手段】  この発明は、ロウバ−を載置するテーブル面から立下がる段差部をテーブルに設けておき、この段差部の幅方向に段差部を跨いて一対のフックを降下させてフックに保持したロウバーを段差部に載置する。さらに、段差部に載置されたロウバーを一対のフックと段差部の側面との間に挟んで段差部の底面と起立した側面とにロウバーの長手方向の辺と底面とを当接させてＸＹＺ方向のうちのロウバーの２軸を位置決めし、続いて、段差部載置されたロウバーの長手方向に沿うロウバーの残りの１軸方向の位置決めをこの１軸方向にテーブルを移動させて行う。【選択図】      図１
2008269762.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヘッドスライダが多数配列されたヘッドスライダ切出し前の矩形で板状のヘッドスライダ配列ブロックにおける各前記ヘッドスライダに搭載された磁気ヘッドの特性を検査する磁気ヘッドスライダ検査装置において、
前記ヘッドスライダ配列ブロックの長手方向がＸＹＺ方向のうちの１軸方向に沿って配置され前記ヘッドスライダ配列ブロックを所定間隔で前記ＸＹＺ方向のうちの他の１軸方向に沿って配列して支持し前記ヘッドスライダ配列ブロックを多数収納するトレーと、
前記長手方向の長さよりも短い幅を持ちかつ幅方向に対して直交する方向において立下がる段差部を先端側に有しこの段差部に１枚の前記ヘッドスライダ配列ブロックが載置されるテーブルと、
前記１軸方向に沿って前記トレイの上部に配置され前記ヘッドスライダ配列ブロックの長手方向の長さより狭い間隔で前記段差部の幅より広い間隔の一対のフックを有し、この一対のフックにより前記トレーから１枚の前記ヘッドスライダ配列ブロックをその長手方向の両端部を引っかけて吊り上げて前記段差部の上部まで搬送し、前記段差部を前記幅方向に跨いた状態で前記一対のフックを前記段差部に降ろして前記ヘッドスライダ配列ブロックを前記段差部に載置する搬送機構とを備え、
前記段差部に載置された前記ヘッドスライダ配列ブロックは、前記一対のフックと前記段差部との間に挟まれて前記段差部の底面と側面とに前記ヘッドスライダ配列ブロックの底面と側面とがそれぞれ当接されることで前記ＸＹＺ方向のうちの２軸方向の位置決めがなされ、前記テーブルが前記段差部載置された前記ヘッドスライダ配列ブロックの長手方向に沿う前記ＸＹＺ方向の残りの１軸方向に移動されることで前記ヘッドスライダ配列ブロックの前記残りの１軸方向の位置決めがなされる磁気ヘッドスライダ検査装置。
【請求項２】
前記テーブルは、前記残りの１軸方向に沿った所定の基準位置に設定され、この所定の基準位置から前記テーブルを所定量移動することにより前記ヘッドスライダ配列ブロックの前記残りの１軸方向の位置決めがなされる請求項１記載の磁気ヘッドスライダ検査装置。
【請求項３】
さらに、コアの間隙に所定の磁界を発生する磁界発生装置を有し、前記テーブルの段差部は、その幅方向が前記残りの１軸方向に沿って設けられて前記間隙に対峙し、
前記搬送機構は、前記一対のフックを前記残りの一軸方向に沿って移動させて前記トレイから前記段差部に前記ヘッドスライダ配列ブロックに搬送し、
前記テーブルは、前記間隙に対して進退する請求項２記載の磁気ヘッドスライダ検査装置。
【請求項４】
前記残りの１軸方向はＸおよびＹ方向の一方であり、前記フックが前記トレイから前記ヘッドスライダ配列ブロックを吊り上げる位置と前記ヘッドスライダ配列ブロックを前記段差部の上部に搬送する位置とは前記残りの１軸方向に沿った同一軸上にあり、
前記ヘッドスライダ配列ブロックは、前記残りの１軸方向に沿って設けられた前記トレイの壁面に前記長手方向の端部が当たることで粗位置決めがなされ、
前記搬送機構は、前記フックを前記トレーに降下させて前記一対のフックを進退させて前記トレーから前記フックを上昇させることで前記ヘッドスライダ配列ブロックを吊上げる請求項３記載の磁気ヘッドスライダ検査装置。
【請求項５】
前記ヘッドスライダ配列ブロックはロウバーであり、前記段差部は、前記底面がＺ方向の基準面とされ、前記側面がこの底面に対して起立していてＸおよびＹ方向の他方の基準面とされ、
前記所定の基準位置からの前記テーブルの移動量は、前記段差部からはみ出した前記ヘッドスライダ配列ブロックの長手方向の端部のはみだし量に対応している請求項４記載の磁気ヘッドスライダ検査装置。
【請求項６】
さらにカメラを備え、前記ロウバーの長手方向の端部のはみだし量は、前記長手方向の端部を前記カメラで撮像して得られる画像に基づいて算出され、前記テーブルの移動により前記ロウバーの長手方向の端部が前記残りの１軸方向において所定の位置になるように補正される請求項５記載の磁気ヘッドスライダ検査装置。
【請求項７】
前記トレーは、前記多数のロウバーをそれぞれ４５゜の角度で収納し、前記一対のフックが挿入される穴溝が前記ロウバーの長手方向の端部に対応して前記ＸおよびＹ方向の他方に沿って設けられ、
前記フックは、前記ロウバーの短手方向の辺を受ける４５°の傾斜部分とこれから起立する傾斜部分より短い長さの部分とからなる爪であり、前記穴溝に挿入されて前記ＸおよびＹ方向の他方に沿って進退させて前記ロウバーの下側に前記爪を位置付け、前記フックを上昇させて前記ロウバーを吊り上げる請求項６記載の磁気ヘッドスライダ検査装置。
【請求項８】
ヘッドスライダを多数有するヘッドスライダ切出し前の矩形で板状のヘッドスライダ配列ブロックにおける各前記ヘッドスライダに搭載された磁気ヘッドの特性を検査する磁気ヘッドスライダ検査方法において、
前記ヘッドスライダ配列ブロックの長手方向をＸＹＺ方向のうちの１軸方向に沿って配置して前記ヘッドスライダ配列ブロックを所定間隔で前記ＸＹＺ方向のうちの他の１軸方向に沿って配列して前記ヘッドスライダ配列ブロックを多数トレーに収納し、
前記１軸方向に沿って前記トレイの上部に配置され前記ヘッドスライダ配列ブロックの長手方向の幅より狭い間隔で設けられた一対のフックにより前記トレーから１枚の前記ヘッドスライダ配列ブロックをその長手方向の両端部を引っかけて吊り上げ、
前記一対のフックの間隔より狭い幅を持ち幅方向に対して直交する方向において立下がる段差部を先端側に有するテーブルのこの段差部の上部に吊り上げた前記ヘッドスライダ配列ブロックを搬送して前記段差部の幅方向に跨がせて前記一対のフックを降ろして前記ヘッドスライダ配列ブロックを前記段差部に載置し、
前記段差部に載置された前記ヘッドスライダ配列ブロックを前記一対のフックと前記段差部との間に挟んで前記段差部の底面と側面とに前記ヘッドスライダ配列ブロックの底面と側面とを当接して前記ＸＹＺ方向のうちの２軸方向の位置決めをし、
前記段差部載置された前記ヘッドスライダ配列ブロックの長手方向に沿う残りの１軸方向に前記テーブルを移動させて前記ヘッドスライダ配列ブロックの前記残りの１軸方向の位置決めをする磁気ヘッドスライダ検査方法。
【請求項９】
前記テーブルは、前記残りの１軸方向に沿った所定の基準位置に設定され、この所定の基準位置から前記テーブルを所定量移動して前記ヘッドスライダ配列ブロックの前記残りの１軸方向の位置決めをする請求項８記載の磁気ヘッドスライダ検査方法。
【請求項１０】
さらに、コアの間隙に所定の磁界を発生する磁界発生装置を有し、前記テーブルの段差部は、その幅方向が前記残りの１軸方向に沿って設けられて前記間隙に対峙し、
前記一対のフックを前記一軸方向に沿って移動させて前記トレイから前記段差部に前記ヘッドスライダ配列ブロックに搬送し、
前記テーブルを前記間隙に対して進退させる請求項９記載の磁気ヘッドスライダ検査方法。
【請求項１１】
前記残りの１軸方向はＸおよびＹ方向の一方であり、前記フックが前記トレイから前記ヘッドスライダ配列ブロックを吊り上げる位置と前記ヘッドスライダ配列ブロックを前記段差部の上部に搬送する位置とは前記残りの１軸方向に沿った同一軸上にあり、
前記残りの１軸方向に沿って設けられた前記トレイの壁面に前記長手方向の端部が前記ヘッドスライダ配列ブロックを当たてて粗位置決めをし、
前記フックを前記トレーに降下させて前記一対のフックを進退させて前記トレーから前記フックを上昇させることで前記ヘッドスライダ配列ブロックを吊上げる請求項１０記載の磁気ヘッドスライダ検査方法。
【請求項１２】
前記ヘッドスライダ配列ブロックはロウバーであり、前記段差部は、前記底面がＺ方向の基準面とされ、前記側面がこの底面に対して起立していてＸおよびＹ方向の他方の基準面とされ、
前記段差部からはみ出した前記ヘッドスライダ配列ブロックの長手方向の端部のはみだし量に対応する分前記テーブルを前記所定の基準位置から移動させる請求項１１記載の磁気ヘッドスライダ検査方法。
【請求項１３】
さらにカメラを備え、
前記ロウバーの長手方向の端部のはみだし量を前記長手方向の端部を前記カメラで撮像して得られる画像に基づいて算出し、
前記テーブルの移動により前記ロウバーの長手方向の端部が前記残りの１軸方向において所定の位置になるように補正する請求項１２記載の磁気ヘッドスライダ検査方法。
【請求項１４】
前記トレーは、前記多数のロウバーをそれぞれ４５゜の角度で収納し、前記一対のフックが挿入される穴溝が前記ロウバーの長手方向の端部に対応して前記ＸおよびＹ方向の他方に沿って設けられ、
前記フックは、前記ロウバーの短手方向の辺を受ける４５°の傾斜部分とこれから起立する傾斜部分より短い長さの部分とからなる爪であり、
前記フックを前記穴溝に挿入して前記ＸおよびＹ方向の他方に沿って進退させ前記ロウバーの下側に前記爪を位置付け、前記フックを上昇させて前記ロウバーを吊り上げる請求項１３記載の磁気ヘッドスライダ検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、磁気ヘッドスライダ検査装置および磁気ヘッドスライダ検査方法に関し、詳しくは、ＭＲヘッド（磁気抵抗効果型磁気ヘッド）を有する複合磁気ヘッドの検査装置、特に、磁気ヘッドスライダの検査装置であって、スライダ単体（チップ）を切り出す前工程のヘッドスライダが多数配列された状態でウエハから行方向に切り出された細長い矩形の板ブロック（ロウバー／Ｒｏｗ  Ｂａｒ）において各ヘッドスライダにおけるＭＲヘッドの電気的特性を測定する磁気ヘッドスライダ検査装置であって、効率よく、簡単な機構でかつ高い精度でロウバーを検査ステージに位置決めできるような磁気ヘッドスライダの検査装置の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
ハードディスク装置の磁気ヘッドは、近年、書込側インダクティブヘッドに対して読出側にＭＲヘッド、ＧＭＲヘッド，ＴＭＲヘッドなど（以下ＭＲヘッドで代表する。）を組み込んだ複合磁気ヘッド（以下複合ヘッド）が用いられている。
ハードディスクの記録密度は、数十ギガ／インチと向上の一途を辿っている。しかも、デジタル家電製品へのＨＤＤの搭載がその向上を加速している。そのため、ＨＤＤに搭載不可欠な磁気ヘッドアッセンブリの需要も急速に伸びている。
磁気ヘッドアッセンブリは、通常、ＭＲヘッドを有する複合ヘッドを搭載するヘッドスライダとこれを支持するサスペンションスプリング等とからなり、ヘッドスライダがサスペンションスプリングを介してボイスコイルモータ等のヘッドアクチュエータに固定される。
【０００３】
ヘッドスライダにおける複合ヘッドは、薄膜プロセスでスライダとともにこれと一体的に形成される。ＭＲヘッドは、記録側のインダクティブヘッドとは異なり、抵抗不良や、磁気シールドとの間の絶縁不良、電気的特性不良などの各種の不良が他のヘッドに比べ発生し易い。そこで、スライダ単体（ヘッドスライダ）の状態でＭＲヘッド等を含めた磁気ヘッドの電気的な特性の検査が行われている。
ヘッドアッセンブリとして組立てる前のヘッドスライダ（スライダ単体の状態）でのヘッド不良品の検査は、ＭＲヘッドに対して外部からＤＣ磁界を印加した上でＭＲヘッドの再生特性を測定する検査装置が公知になっている（特許文献１）。
また、ヘッドアッセンブリとして組立てた状態の検査は、ＭＲヘッドに対して交流記録磁界を加えたり、ヘッド外部からＤＣ磁界を加えて、その出力電圧波形をＭＲヘッドから得てその特性検査をすることが公知である（特許文献２）。
【特許文献１】特開２０００−２６００１２号公報
【特許文献２】特開平１０−１２４８２８号公報
【０００４】
ヘッドスライダの大きさは、せいぜい１ｍｍ角か、それ以下のものであり、ヘッドスライダの後側側面（後縁）には複合ヘッドへの４つまたは６つの接続端子が設けられている。ヘッドスライダの高さは、０．５ｍｍ程度であって、通常磁気ヘッドは、接続端子とともにヘッドスライダの後縁に設けられる。ヘッドスライダ（スライダ単体の状態）でのヘッド検査に当たっては、４つまたは６つの接続端子がプローブに確実に接触しないとその検査ができない。
しかも、外部から磁界を印加した状態でＭＲヘッドの特性を測定する場合には、この種の検査装置は、外部磁界発生装置をヘッドスライダの極めて近傍に配置しなければならない。さらに、測定する項目も、ＭＲヘッドの疑似磁気応答特性検査（ＱＵＡＳＩ−ＴＥＳＴ／クワジー検査）や磁性材料としてのヒステリシス特性検査などその検査は多岐に亙る。その上に、短時間（１秒程度）で１個のヘッドスライダのテストを終了しなければならない。
【０００５】
そこで、ヘッドスライダ検査の効率を向上させるために、ヘッドスライダ単体（チップ）を切り出す前工程のロウバーの状態でＭＲヘッドの電気的特性を測定することが提案されている。ロウバーは、３ｃｍ〜５ｃｍ程度の長さに渡ってヘッドスライダが配列された細長いウエハから切り出された矩形の板ブロックである。ヘッドスライダは、ウエハの行方向に沿って４０個〜６０個程度が一列に配列形成されていて、それがウエハから切出されたものがロウバーである。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ロウバーは、通常、トレイ内に２０〜３０枚程度、垂直に揃えて所定間隔に配列されて収納されている。それをトレイからハンドリングロボットで一枚一枚取り出して検査ステージに搬送して検査することが検討されている。ロウバーは、トレイに収納されるときに粗位置決めされ、トレイの周壁面との間に微小な間隙をもって収納される。その関係で、ロウバーは、トレイ内において±０．５ｍｍ程度の範囲で位置決めにばらつきを生じる。
そのため、細長い矩形の板ブロックであるロウバーの接続端子をプローブに接触されるために検査ステージにおいては接続端子が配列されるロウバーの長手方向を高精度に位置決めをしなければならなくなる。その位置決めとして考えられているのが、ロウバー（板ブロック）の短手の片側面を長手方向に設けた基準面に突き当てることである。この突き当て位置決めの後に検査ステージに搬送する突き当て位置決め処理が考えられる。そのためには、位置決めのためのプリステージ（前段ステージ）を設けなければならなくなる。しかし、そのような突当て位置決めを行うときには、長さ数ｃｍと細長いロウバーを保持したままで突き当て位置決め処理をすることは難しく、しかも、途中に位置決め処理があるために検査ステージまでのロウバーの搬送時間が長くなる問題がある。もちろん、突当て位置決め以外の位置決め処理も考えられるが、それは突当位置決めよりも時間がかかると思われる。
【０００７】
なお、ヘッドスライダを突き当て位置決め処理をして検査ステージにセットし、ヘッドスライダを検査する技術について発明者等らによる発明が特開２００６−３５１０８７号および特開２００７−２６５５２号としてすでに公知である。また、ロウバーを検査ステージにセットし、ロウバーの検査をする技術については本願の発明者等らによる発明が特開２００７−４８４２５号としてすでに公知になっている。
この発明の目的は、前記のような従来技術の問題点を解決するものであって、効率よく、簡単な機構でかつ高い精度でロウバーを検査ステージに位置決めできる磁気ヘッドスライダ検査装置および磁気ヘッドスライダ検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
このような目的を達成するためのこの発明の磁気ヘッドスライダ検査装置あるいは磁気ヘッドスライダ検査方法の構成は、ヘッドスライダ配列ブロックを収納するトレーと、ヘッドスライダ配列ブロックを載置する段差部を先端側に有するテーブルと、一対のフックを有しヘッドスライダ配列ブロックを段差部へと搬送する搬送機構とを備えている。
前記トレーは、ヘッドスライダ配列ブロックの長手方向をＸＹＺ方向のうちの１軸方向に沿って配置してヘッドスライダ配列ブロックを所定間隔でＸＹＺ方向のうちの他の１軸方向に沿って配列してヘッドスライダ配列ブロックを多数収納するものであり、
前記一対のフックは、１軸方向に沿ってトレイの上部に配置されヘッドスライダ配列ブロックの長手方向の幅より狭い間隔で設けられ、
テーブルは、一対のフックの間隔より狭い幅で幅方向に対して直交する方向において立下がる段差部を先端側に有し、
搬送機構は、一対のフックによりトレーから１枚のヘッドスライダ配列ブロックをその長手方向の両端部を引っかけて吊り上げ、吊り上げたヘッドスライダ配列ブロックを段差部の上部に搬送して段差部の幅方向に跨がせて一対のフックを降ろしてヘッドスライダ配列ブロックを段差部に載置する。
さらに、この発明は、段差部に載置されたヘッドスライダ配列ブロックを一対のフックと段差部との間に挟んで段差部の底面と側面とにヘッドスライダ配列ブロックの底面と側面とをそれぞれ当接してＸＹＺ方向のうちの２軸方向の位置決めをし、段差部載置されたヘッドスライダ配列ブロックの長手方向に沿う残りの１軸方向にテーブルを移動させてヘッドスライダ配列ブロックの残りの１軸方向の位置決めをするものである。
【発明の効果】
【０００９】
このようにこの発明にあっては、細長い矩形のヘッドスライダ配列ブロック（ロウバー）を載置するテーブル面から立下がる段差部をテーブルに設けておき、この段差部の幅方向に段差部を跨いて一対のフックを降下させてフックに保持したロウバーを段差部に載置する。さらに、段差部に載置されたロウバーを一対のフックと段差部の側面との間に挟んで段差部の底面と起立した側面とに対してロウバーの長手方向の背面の辺とその底面とを当接させてＸＹＺ方向のうちのロウバーの２軸を位置決めし、続いて、段差部載置されたロウバーの長手方向に沿うロウバーの残りの１軸方向の位置決めをこの１軸方向にテーブルを移動させることで行う。
ロウバーの残りの１軸の位置決めについては、トレーに収納されたときに、通常は、粗位置決めされているのでロウバーに対してテーブルを基準位置から微小移動させることで行うことができるので短時間で済む。
【００１０】
その結果、ロウバーのＸＹＺ方向の２軸の位置決めとロウバーの長手方向になる接続端子についての残りの１軸についての精細な位置決めができる。この場合の３軸の位置決め処理は、ロウバーのトレイから段差部への搬送に続いて行うことができるので、短時間で済む。なお、トレーに収納されたときにロウバーの粗位置決めは、トレイの側壁面への突き当てなどによってもよい。
これによりロウバーを検査テーブルの段差部に位置決めするまでのハンドリング時間全体が短くなり、磁気ヘッドスライダ検査のスループットを向上させることができる。
さらに、一対のフックは、スライダ配列ブロックを１枚吊下げた状態で段差部を跨ぐように配置し、段差部に載置されたロウバーを一対のフックと立下がる段差部との間で挟んで位置決めするようにしているのでロウバーの検査テーブルへの搬送途中に特別な位置決め機構等を設ける必要がない。
その結果、この発明は、磁気ヘッドスライダ検査装置において、効率よく、簡単な機構でかつ高い精度でロウバーを検査ステージに位置決め載置できるので効率よくロウバーを検査することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
図１は、この発明を適用した磁気ヘッドスライダ検査装置の全体的な構成の概要図、
図２（ａ）は、トレイの平面図、図２（ｂ）は、トレイの側面中央断面図、図２（ｃ）は、トレイの正面図、図３（ａ）は、ロウバーが載置されるＹテーブルの段差部の説明図、図３（ｂ）は、Ｙテーブルの段差部に載置されたロウバーの端部の二値化画像の説明図、そして図４は、トレイと段差部の高さの関係とロウバーのトレイから段差部への搬送についての説明図である。
図１において、１０は、磁気ヘッドスライダ検査装置であって、１はその検査ステージ、２はハンドリングロボット、３はプローブカード、４は外部磁界発生装置、５はトレイ、６はトレイ移動ステージ、７は測定部、８は測定装置、そして９はヘッドスライダ単体が配列されたロウバー（図３（ａ）参照）である。
トレイ５には、Ｙ方向に所定間隔を置いて平行に設けられた鋸歯を有する２本のブレード５１，５２が所定間隔で平行に設けられている。これらブレード５１，５２の歯の接触面は、その傾斜角が４５゜（図４参照）にされている。ロウバー９は、その接触面に４５゜の角度で２本のブレード５１，５２に橋渡されて支持され、Ｘ方向に多数（例えば２４本）、トレイ５に配列格納されている。
【００１２】
なお、トレイ５に収納されたロウバー９の長手方向は、Ｙ方向に沿っていて、ロウバー９の長手方向の端部（短手方向の側面）の一方をＹ方向にあるトレイの側壁面に突き当てることによりロウバー９の粗位置決めがなされる。なお、この粗位置決めは、ロウバー９の長手方向の端部（短手方向の側面）の一方を下にして他方の端部を上にしてトレイ５を傾ければ簡単にできる。ロウバー９をトレイにセットするハンドリングロボットの位置決め精度が高いときには、すでにロウバー９は粗位置決めがなされて収納されているので、このような突き当て処理は不要である。
検査ステージ１は、ＸＹ移動ステージであって、Ｘステージ１１上に設けられたＹステージ（テーブル）１２、Ｙステージ１２の上に設けられた位置決め段差部１３（図３（ａ），図４参照）、そしてベース１５に固定された位置ずれ量測定用のカメラ１４とからなる。
なお、１４ａは、カメラ１４の投光系であり、カメラ１４のレンズ系１４ｂの光軸に対して直交してその途中に設けられている。投光系１４ａの光軸と撮像レンズ系１４ｂの光軸との交点には４５°傾斜のハーフミラー１４ｃ（点線で示す）が内蔵されている。
投光系１４ａの光源からの光がハーフミラー１４ｃで反射されて撮像対象（ロウバー９の端部）に照射される。撮像レンズ系１４ｂで得られる映像（ロウバー９の端部）は、ハーフミラー１４ｃを経てＣＣＤ等のカメラの受光面に結像される。
【００１３】
位置決め段差部１３は、図３（ａ），図４に示すように、Ｙステージ１２の先端側に設けられ、Ｙステージ１２の表面から立下がる腰掛け型の段差を持つロウバー９の載置部になっている。
ここでは、図３（ａ）に示すロウバー９において接続端子９ｂがある面を正面とする。位置決め段差部１３は底面１３１と側面１３２とを有している。ロウバー９の底面とロウバー９の背面（図３（ａ）のロウバー９において接続端子９ｂのある側面と反対側の側面）がそれぞれこれら底面１３１と側面１３２とに当接されてロウバー９の２軸（Ｘ方向とＺ方向）とが位置決めされる。これら当接面は、Ｘ軸とＺ軸にそれぞれ平行となりかつ測定部７のフレームコア４ａに形成された間隙４ｂにロウバー９を対峙させる直交した位置関係の基準面となっている。
なお、図１においては、Ｘステージ１１とＹステージ１２との直線移動機構は一般的なものであるので、特に図示してはいない。
【００１４】
図１に戻り、測定装置８は、制御部８１とコイル駆動回路８２等により構成される。制御部８１は、内部にマイクロプロセッサ（ＭＰＵ）８３とメモリ８４、このメモリ８４に搭載された制御プログラム等を内蔵する制御コンピュータである。
なお、メモリ８４には、ロウバーハンドリング制御プログラム８４ａ、位置ずれ量検出ブログラム８４ｂ、Ｙ方向位置決め補正プログラム８４ｃ、測定プログラム８４ｄ、そして位置決め段差部１３からロウバー９の端部の正規のはみ出し長さＹｓとが記憶されている。
外部磁界発生装置４は、電磁マグネットであって、測定部７の位置に間隙（ギャップ）４ｂを有するフレームコア４ａとこれに巻かれた第１のコイル４ｃ，第２のコイル（Ｙステージ１２の裏側の位置においてフレームコア４ａに巻かれているので図では見えていない。）とで構成され、ブラケットを介して磁気ヘッドスライダ検査装置１０のベース１５に固定されている。外部磁界発生装置４は、２つのコイルが測定装置８のコイル駆動回路８２から電力供給を受けて駆動される。
【００１５】
間隙４ｂは、フレームコア４ａの横断面形状に対応する、ロウバー９より大きな矩形ブロックの空間を形成している。プローブカード３とＹステージ１２とは、第１のコイル４ｃが巻かれたフレームコア４ａの一辺４１に直交するＸ方向（横方向）において、フレームコア４ａの枠幅方向の空間に対応するように間隙４ｂを介して対向して設けられている。一辺４１はＺ方向に沿って起立している。
Ｙステージ１２は、Ｘステージ１１の駆動によりＸ方向に移動し、間隙４ｂに対して進退する。Ｙステージ１２が前進したときには先端側に設けられた位置決め段差部１３が間隙４ｂ内に入る。このとき、ロウバー９は間隙４ｂの空間の内側に収まる。
【００１６】
プローブカード３は、装置のフレーム（図示せず）を介してベース１５に固定され、測定装置８に接続されていて、そのプローブの先端部は、図１ではフレームコア４ａの一辺４１に隠れて見えていないが、測定部７においてＹステージ１２に対向するように間隙４ｂに対してＹステージ１２の反対側からその接触端子が間隙４ｂに突出している。プローブカード３から得られる測定信号は、測定装置８に入力される。
図１において、トレイ移動ステージ６は、トレイ５を搭載するＸ方向移動ステージであって、トレイ５をＸ方向へと移動させて、ロウバー９を吊上げＹ方向に移動するハンドリングロボット２のフックハンド２２のＹ方向の吊上げ位置（トレイ移動ステージ６が移動する軸とハンドリングロボット２が移動する軸との交点）に対応するＸ軸の位置まで検査対象となるロウバー９を移動させる。トレイ５の位置は、このトレイ移動ステージ６を介して測定装置８により制御される。
【００１７】
ハンドリングロボット２は、ＹＺ方向に移動するアーム２１とこれの先端側に取付けられたフックハンド２２とを有し、フックハンド２２にはＹ方向において前後の両端部に一対のフックフィンガ２３，２４が設けられている。これらフックフィンガ２３，２４は、上下と、前後にΔｄ分移動可能にフックハンド２２に取付けられている。図２（ｃ）に示すように、フックフィンガ２３，２４の間隔をＷａ＋α（α＝微小値）とする。図１のトレイにおいて示すように、間隔Ｗａは、トレイ５に設けられたロウバー９の両側に位置する穴溝５３，５４の間隔（図１，図２（ａ）参照）である。フックハンド２２が降下したときに間隔Ｗａ＋αの一対のフックフィンガ２３，２４は、穴溝５３，５４にそれぞれ挿入される。
ハンドリングロボット２は、アーム２１をＹ方向に前進させてフックハンド２２をトレイ５の上部の位置まで移動させる。これにより、トレイ５の上部に点線で示す位置にフックハンド２２が移動する。さらにハンドリングロボット２は、Ｚ方向にアーム２１を降下させて、フックフィンガ２３，２４を降ろしてフックフィンガ２３，２４をトレイ５の穴溝５３，５４にぞれぞれ挿入する。
【００１８】
図２（ａ）は、トレイ５の平面図、図２（ｂ）は、トレイ５の側面中央断面図、図２（ｃ）は、トレイ５の正面図である。
図２（ａ）の平面図に示すように、トレイ５には、ブレード５１，５２の外側にこれに沿って穴溝５３，５４がそれぞれ設けられていて、図２（ｃ）の正面図に示すようにトレイ５の上部からフックフィンガ２３，２４が同時に降下してトレイ５の表面に至り、さらに降下して穴溝５３，５４に挿入され、ロウバー９の両端をフック部分で引っかけてフックフィンガ２３，２４がロウバー９を吊上げる（図１のトレイ５の上部に点線で示すフックハンド２２参照）。そして、ハンドリングロボット２は、フックハンド２２をＹ方向に移動させてロウバー９を吊り下げてＹ方向に搬送して位置決め段差部１３の上部まで運び、吊下げた状態のロウバー９を位置決め段差部１３に対向する位置で停止させて（図１のＹステージ１２の上部に実線で示すフックハンド２２参照）、この位置からロウバー９を位置決め段差部１３に降ろして載置する。
なお、ハンドリングロボット２は、トレイ５からロウバー９を吊り上げるフックハンド２２の吊上げ位置（（図１に点線で示すフックハンド２２の位置）と、ロウバー９を位置決め段差部１３への載置位置するフックハンド２２の位置（図１に実線で示すフックハンド２２の位置）との間でフックハンド２２を往復移動させる。言い換えれば、トレイ５からロウバー９を吊り上げる位置と、ロウバー９を位置決め段差部１３への載置するための停止位置とはＹ方向において同一軸上にある。これによりロウバー９の搬送処理が短縮される。
【００１９】
図３（ａ）は、ロウバー９が載置されるＹテーブル１２の位置決め段差部１３の説明図である。図３（ａ）に示すように、位置決め段差部１３は、間隙４ｂ側に位置する前面側が立下り段差となっていて、間隙４ｂを挟んでプローブカード３のプローブの先端部（接触端子）に対向している。なお、９ａは、ロウバー９から個々のヘッドスライダを切出す前のヘッドスライダ部分である。
図３（ａ）に示すＹテーブル１２は、Ｙ軸上の位置Ｙo（Ｙテーブル１２の基準位置）に設定されている。すなわち、Ｙ軸方向の基準位置Ｙoに位置決め段差部１３の幅方向の中心が位置決めされ、位置決め段差部１３を間隙４ｂに対峙させている。位置決め段差部１３の幅方向は、ロウバー９の長手方向に対応していてＹ方向に一致している。
位置決め段差部１３の厚さＤは、間隙４ｂの間隔より小さい。そこで、ロウバー９が検査されるときには、Ｙテーブル１２に設けられた位置決め段差部１３が間隙４ｂの方向に前進してＹテーブル１２の位置決め段差部１３が間隙４ｂに挿入される。ロウバー９の多数の接続端子９ｂは、間隙４ｂの空間の実質的に上下の中央部分に収まってプローブカード３のプローブの先端部の多数の接触端子と間隙４ｂの内部でそれぞれに接触する。この状態でロウバー９に間隙４ｂにおいて外部から磁界がかけられてロウバー９の各スライダの検査が行われる。
【００２０】
図４は、トレイと段差部の高さの関係とロウバーのトレイから段差部への搬送についての説明図である。
図４では、トレイ５と位置決め段差部１３の高さの関係を示すためにトレイ５の先端側の一部を切欠き、奥に配置されている位置決め段差部１３の先端側が見える状態で示してある。
位置決め段差部１３の高さは、トレイ５のロウバー９の収納位置よりも少し低い位置にある。ロウバー９を吊り上げる位置と、ロウバー９を位置決め段差部１３への載置するための停止位置とはＹ方向において同一軸上にあるので、吊り上げられたロウバー９は、位置決め段差部１３の位置とその一部がＺ方向に置いて重なる。
【００２１】
まず、トレイ５からロウバー９を吊り上げるフックフィンガ２３（２４）の動作について説明する。
図４に示すように、ハンドリングロボット２は、アーム２１をＺ方向に降下して、図１の点線で示すフックハンド２２位置からフックハンド２２とともに一対のフックフィンガ２３，２４を同時に降下させて穴溝５３（穴溝５４）に入れて時計方向に角度４５°で橋渡された検査対象のトレイ５となる先頭のロウバー９より１個後ろ側のロウバー９の上部まで降ろす。これにより吊り上げる先頭のロウバー９の後ろ側にフックフィンガ２３，２４の先を位置付ける。次にフックハンド２２により一対のフックフィンガ２３，２４を後ろ側のロウバー９の表面に沿って４５゜の角度で斜めに前進降下させてＸ方向にΔｄだけ前進させて１つ前側のロウバー９の下側に位置付ける。
【００２２】
図示するように、フックフィンガ２３，２４のフック２５は、フックフィンガ２３，２４の垂直に延びた先端が４５°傾斜で図面反時計方向に曲がる傾斜部分２５ａと、その先が傾斜部分２５ａからさらに反時計方向に９０°曲がり、起立した傾斜部分２５ａより短い長さの起立部分２５ｂとからなる。Ｘ方向におけるフック２５の爪幅がΔｄである。そこで、このとき吊り上げるロウバー９の後ろ側にあった起立部分２５ｂは、Δｄだけ移動することで、点線で図示するように、吊り上げるロウバー９の下側において前側に位置付けられる。なお、斜めになったロウバー９のＸ方向でのトレイ５上での幅は、図示するようにΔｄからフックフィンガ２３，２４の板厚分の２倍を引いたものより小さい。
その結果、フック２５は、Δｄ分の移動により先頭のロウバー９の下側でロウバー９を引っ掛ける位置に配置される。Δｄ分の移動の後、ハンドリングロボット２は、フックハンド２２とともにフックフィンガ２３，２４を同時に上昇させて、トレイ５の先頭のロウバー９を吊上げる。先頭のロウバー９を吊上げると、トレイ５がＸ方向にピッチ送りされて次のロウバー９が先頭の位置にくる。
【００２３】
ハンドリングロボット２は、先頭のロウバー９を吊下げた状態でフックハンド２２を上昇させて図１の点線で示すフックハンド２２の位置まで戻す。これにより、フックフィンガ２３，２４とロウバー９とは、図４で実線で示すトレイ５の上部のところまで上昇する。そしてそのままアーム２１（図１参照）をＹ軸に沿って後退させてフックハンド２２を移動させて図１の実線で示す位置までフックハンド２２を戻す。その結果、フックハンド２２の高さは変わらずに、図４の実線で示すようにフックフィンガ２３，２４は、位置決め段差部１３の上部に位置決めされる。
このとき、フックフィンガ２３，２４と位置決め段差部１３との関係は、フックフィンガ２３，２４と位置決め段差部１３との間にロウバー９が挟まれて配置されるようにこれらが対向する状態になる。すなわち、図４に示すように、フックフィンガ２３，２４のフック２５の曲がった起立部分２５ｂは、それぞれ位置決め段差部１３側に向いていて、Ｘ方向において傾斜部分２５ａの一部が位置決め段差部１３の先端側と重なる。
【００２４】
図３（ａ）に示す位置決め段差部１３の幅Ｗｂ（Ｗｂ＜Ｗａ）は、ロウバー９の長手方向に沿っていて、フックフィンガ２３，２４の間隔Ｗａより少し狭い。そこで、フックフィンガ２３，２４は、位置決め段差部１３の上部において、位置決め段差部１３の幅方向の外側に位置して位置決め段差部１３を跨ぐ状態に配置される（図１，図３（ａ），図４参照）。この状態が図１の実線で示すフックハンド２２の位置である。
そこで、ハンドリングロボット２が図１の実線で示すフックハンド２２位置からフックハンド２２とともに一対のフックフィンガ２３，２４を同時に降下させると、図４に示すように、位置決め段差部１３の上部からフックフィンガ２３，２４とともにロウバー９が真っ直ぐ降下してフック２５の起立部分２５ｂを位置決め段差部１３の底面１３１より下まで降下させると、位置決め段差部１３にロウバー９の短手方向の半分前後の底部が位置決め段差部１３の底面１３１に載置される。このとき、ロウバー９の背面と位置決め段差部１３の側面１３２との間に多少の隙間ができる。
言い換えれば、図１において実線で示す位置決め段差部１３の上部に配置されるフックハンド２２の位置は、フックハンド２２を降下させたときに位置決め段差部１３の上部において位置決め段差部１３を一対のフックフィンガ２３，２４が跨ぎ、かつ、ロウバー９の短手方向の半分前後の底部が位置決め段差部１３の底面１３１と重なる位置関係にある。
【００２５】
Ｘ方向においては、ロウバー９は、フックフィンガ２３，２４と位置決め段差部１３との間に配置され、これらに挟まれているので、Ｙステージ１２を間隙４ｂ側へ前進させるか、あるいはフックハンド２２を位置決め段差部１３側へ所定量前進させることのいずれかを行い、フックフィンガ２３，２４を位置決め段差部１３側へ前進させて側面１３２にロウバー９の背面を突き当てロウバー９の長手方向の側面と同時に底面の位置決めをする。
ロウバー９の短手方向と長手方向の長さは一定しているので、これによりロウバー９のＸ，Ｚ軸方向の２軸方向の位置決めが完了する。この突き当て位置決めの後にロウバー９が位置決め段差部１３の底面１３１に設けられた吸着孔１３３（図３（ａ）の点線部参照）においてロウバー９は位置決め段差部１３に吸着固定される。
次に、ハンドリングロボット２は、フックハンド２２によりフックフィンガ２３，２４をロウバー９の前後の幅以上に位置決め段差部１３から後退させて位置決め段差部１３に載置されたロウバー９の位置の外側にフック２５の起立部分２５ｂを位置付けてフックフィンガ２３，２４を待避させる。そして、ハンドリングロボット２は、アーム２１を上昇させてフックハンド２２を位置決め段差部１３の上部に上昇させてからフックハンド２２を図１の実線の位置に戻す。
以上のハンドリングロボット２によるロウバー９のハンドリング制御は、ＭＰＵ８３がロウバーハンドリング制御プログラム８４ａを実行することで行われる。
【００２６】
位置決め段差部１３に位置決めされたロウバー９は、両端にフックフィンガ２３，２４があったので、図３（ａ）に見るように、フックフィンガ２３，２４の厚さ分か、それ以上の引っかけたロウバー９の両側部分が位置決め段差部１３の端部からはみ出す。
そこで、ロウバー９のこの端のはみ出した部分をカメラ１４で撮像して残りのロウバー９のＹ方向の位置決めに利用する。すなわち、一対フックフィンガ２３，２４を位置決め段差部１３から待避してフックハンド２２が上昇すると、吸着孔１３３において吸着固定されたロウバー９に対して、制御部８１は、カメラ１４により位置決め段差部１３の端部からはみ出した図面右側のロウバー９の端のはみ出した部分を撮影してロウバー９のＹ方向の位置補正をする。
前記したように、Ｙテーブル１２の位置は、Ｙ軸方向の基準位置Ｙoにその幅方向の中心が設定されている。そこで、カメラ１４で得られるロウバー９のはみ出した端の画像からロウバー９のＹ方向の載置ずれを検出することができる。
これは、Ｙテーブル１２の端部からロウバー９の端部までのＹ軸方向の画素数ｙを端部を撮影し画像から算出してその画素数ｙが位置ずれのないときの画素数からどれだけずれているかによりＹテーブル１２の軸方向の基準位置Ｙoに対するロウバー９のずれ量を算出するものである。
【００２７】
そこで、ロウバー９がＹテーブル１２が基準位置にある位置決め段差部１３に載置されたときにロウバー９が位置ずれ誤差なく位置決めされた場合の位置決め段差部１３の端部からロウバー９の端部までのカメラ１４により撮像された画像から測定される画素数をｙｓとしてメモリ８４にあらかじめ記憶しておく。
一対フックフィンガ２３，２４が位置決め段差部１３から待避すると、制御部８１は、ロウバー９の位置ずれ量を検出する位置ずれ量検出ブログラム８４ｂを実行して、カメラ１４により図面右側のロウバー９の端のはみ出した部分を撮影する。そして得られた画像を二値化処理をして図３（ｂ）に示す画像データを取得してメモリ８４に記憶する。
【００２８】
図３（ｂ）に示すように、採取された画像を二値化処理すると、位置決め段差部１３からはみ出したロウバー９の端部だけが白色の枠８６として示されるの画像８５として得られる。その理由は、ロウバー９の端部がカメラ１４の正面位置となっていて、投光系１４ａからの光が直接照射され、ロウバー９が反射率の高いシリコンを主体とする素材であるからである。これに対して投光系１４ａからの光に対して位置決め段差部１３の側面は、平行な方向にあって投光系１４ａからの光が十分に照射されないので灰色レベルの画像として現れてくる。そこで、二値化処理をした場合にはこの部分が黒レベルとなる。また、ロウバー９の端部の空間も反射光がないので黒レベルとなる。
そこで、ＭＰＵ８３は、図３（ｂ）に示す画像が得られ、この画像データにおいて、図面左側のロウバー９の端部を画像座標ＺＹの原点として選択してロウバー９の端のはみ出した部分に対応するＹ方向の画素数ｙを算出する。
さらに、メモリから位置ずれのないときの画素数ｙｓを読出して、ｙi＝ｙ−ｙｓによりずれ量ｙiを算出する。
【００２９】
次に、Ｙ方向位置決め補正プログラム８４ｃをＭＰＵ８３が実行してずれ量ｙiの画素数に相当する距離ΔＹをカメラ１４の撮像画像の倍率から算出してずれている方向とは逆方向に基準位置ＹoからΔＹだけＹテーブル１２をＹ軸方向に移動させる。
これによりロウバー９の端部の位置は、基準位置Ｙoから位置ずれのないときの画素数ｙｓの位置になって、プローブの先端部に接続端子９ｂが接触するＹ方向の基準位置になるように補正される。
なお、ロウバー９のＹ軸方向の位置決めは、トレイ５により粗位置決めがなされているので、ここでのＹ方向のロウバー９の位置決めは微小量となるので短時間で済む。
これにより、ロウバー９のＸＹＺ座標の位置決めが完了する。
また、このようなカメラ１４の撮像画像によるＹ方向のロウバー９の位置決め処理は複数回行われてもよい。
その結果、位置決め段差部１３に吸着されたロウバー９の座標はＸＹＺの位置決めがなされ、プローブカードのプローブにロウバー９の接続端子９ｂが確実に接触できる状態になる。
この後、ＭＰＵ８３は、測定プログラム８４ｄを実行して、Ｘステージ１１を所定量間隙４ｂの方向に前進させてＹステージ１２の位置決め段差部１３を間隙４ｂに挿入してプローブカード３のプローブの先端に接続端子９ｂを接触させ、ロウバー９の検査に入る。
【産業上の利用可能性】
【００３０】
以上説明してきたが、実施例では、フックフィンガ２３，２４と位置決め段差部１３との関係は、Ｘ軸方向においてフックフィンガ２３，２４と位置決め段差部１３との間にロウバー９を挟んで配置されるように対向する関係に配置される。この場合、フックフィンガ２３，２４を位置決め段差部１３と同じ側に配置してもよい。
これは、フックハンド２２を１８０°回転させて、フックフィンガ２３，２４の各図に示す状態から前後を反転してフック２５の起立部分２５ｂを位置決め段差部１３の方向に揃える。
ロウバー９をトレイ５においてピックアップする場合には、ロウバー９の前側からフックフィンガ２３，２４を穴溝５３，５４のに挿入してロウバー９をピックアップする。その状態で位置決め段差部１３の上部に配置することができる。この場合には、傾斜部分２５ａは、フックフィンガ２３，２４の垂直に延びた先端が４５°傾斜で時計方向に曲がる形で形成され、起立部分２５ｂは、傾斜部分２５ａの先端からさらに時計方向に９０°曲がるように形成される。フック２５の起立部分２５ｂが位置決め段差部１３に対向するので、実施例と同様に位置決め段差部１３のへロウバー９を載置でき、ＸＺ方向の突き当て位置決めもできる。
【００３１】
実施例では、外部磁界発生装置のフレームコアは、矩形となっているが、この発明は、この矩形に限定されるものではない。
また、実施例では、ＭＲヘッド複合ヘッドのロウバーについての検査の実施例を挙げているが、この発明は、ＭＲヘッド複合ヘッドに限定されないことはもちろんである。
なお、実施例におけるＸＹＺの軸は相対的なものであって、ロウバーの長手方向はＹ方向に限定されない。
なお、ロウバーハンドリング制御プログラム８４ａについては動作内容をこの明細書で詳細に説明してあり、位置ずれ量検出ブログラム８４ｂとＹ方向位置決め補正プログラム８４ｃについては測定画像を示して算出について説明してあるので、これらの処理フローチャートについては割愛する。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】図１は、この発明を適用した磁気ヘッドスライダ検査装置の全体的な構成の概要図である。
【図２】図２（ａ）は、トレイの平面図、図２（ｂ）は、トレイの側面中央断面図、そして図２（ｃ）は、トレイの正面図である。
【図３】図３（ａ）は、ロウバーが載置されるＹテーブルの段差部の説明図、そして図３（ｂ）は、Ｙテーブルの段差部に載置されたロウバーの端部の二値化画像の説明図である。
【図４】図４は、トレイと段差部の高さの関係とロウバーのトレイから段差部への搬送についての説明図である。
【符号の説明】
【００３３】
１…検査ステージ、２…ハンドリングロボット、
３…プローブカード、４…外部磁界発生装置、
５…トレイ、６…トレイ移動ステージ、
７…測定部、８…測定装置、９…ロウバー、
１０…磁気ヘッドスライダ検査装置、
１１…Ｘステージ、１２…Ｙステージ、
１３…位置決め段差部、１４…カメラ、
１５…ベース、２１…アーム、２２…フックハンド、
２３，２４…フックフィンガ、５１，５２…ブレード、
５３，５４…穴溝。
【図１】
2008269762.tif 000003
【図２】
2008269762.tif 000004
【図３】
2008269762.tif 000005
【図４】
2008269762.tif 000006