(57)【要約】【課題】不純物による洗浄液の汚染を防いでリード端子部を洗浄することのできる洗浄装置を提供する。【解決手段】ノズル１は、外筒部２と、外筒部２の内部に配設された内筒部３と、外筒部２を貫通して内筒部３に接続し、内筒部３を外筒部２の長手方向に沿ってピストン駆動するエアシリンダ４とを備える。外筒部２は、内筒部３の周囲に設けられた２つのラビリンスシール９，１０によって、内部を３つの部屋に分けられている。第１の部屋１１には、配管８に接続する第１の開口部５が設けられている。内筒部３は、第１の部屋１１に設けられた第４の開口部１４と、第２の部屋１２に設けられた第５の開口部１５とを有する。第５の開口部１５には水蒸気１７を噴射する噴射部１６が接続していて、噴射部１６は第２の部屋１２から外筒部２を貫通して外部に突出している。【選択図】図１
2008132462.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄液を加熱して気体にする洗浄気体生成部と、
前記洗浄気体生成部で生成した洗浄気体を噴射するノズルと、
前記洗浄気体生成部と前記ノズルを接続する配管とを備えた洗浄装置であって、
前記配管は、金属からなるとともになだらかな曲面の内壁を有していて、
前記ノズルは、外筒部と、該外筒部の内部に配設された内筒部と、該外筒部を貫通して該内筒部に接続し、該内筒部を該外筒部の長手方向に沿ってピストン駆動する駆動部とを備えていて、
前記外筒部は、該外筒部と前記内筒部との間に設けられたラビリンスシールによって、内部を３つの部屋に分けられており、これらのラビリンスシールによって分けられた第１の部屋には、前記配管に接続する第１の開口部が設けられていて、前記長手方向に沿って前記第１の部屋の両側にそれぞれ位置する第２の部屋と第３の部屋は、前記内筒部が駆動されるのに伴って容積が変化し、
前記内筒部は、前記第１の部屋に設けられた第４の開口部と、前記第２の部屋に設けられた第５の開口部とを有しており、該第５の開口部には前記洗浄気体を噴射する噴射部が接続されていて、該噴射部は前記第２の部屋から前記外筒部を貫通して外部に突出していることを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】
洗浄液を加熱して気体にする洗浄気体生成部と、
前記洗浄気体生成部で生成した洗浄気体を噴射するノズルと、
前記洗浄気体生成部と前記ノズルを接続する配管とを備えた洗浄装置であって、
前記ノズルは、外筒部と、該外筒部の内部に配設された内筒部と、該外筒部に接続し、該外筒部を該内筒部の長手方向に沿ってピストン駆動する駆動部とを備えていて、
前記外筒部は、該外筒部と前記内筒部との間に設けられたラビリンスシールによって、内部を３つの部屋に分けられており、これらのラビリンスシールによって分けられた第１の部屋には、前記洗浄気体を噴射する噴射部に接続する第１の開口部が設けられていて、前記長手方向に沿って前記第１の部屋の両側にそれぞれ位置する第２の部屋と第３の部屋は、前記外筒部が駆動されるのに伴って容積が変化し、
前記内筒部は、前記第１の部屋に設けられた第４の開口部と、前記第２の部屋に設けられた第５の開口部とを有していて、
前記配管は、金属からなるとともになだらかな曲面の内壁を有しており、前記外筒部を貫通して前記第５の開口部に接続されていることを特徴とする洗浄装置。
【請求項３】
前記ラビリンスシールは、３段以上の絞り片を有することを特徴とする請求項１または２に記載の洗浄装置。
【請求項４】
前記第２の部屋と前記第３の部屋には、それぞれ第２の開口部と第３の開口部が設けられていて、
前記ラビリンスシールから前記第２の部屋および前記第３の部屋に漏れた前記洗浄気体は、前記第２の開口部および前記第３の開口部を通じて外部に排出されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の洗浄装置。
【請求項５】
前記第２の開口部および前記第３の開口部は、それぞれ他の配管を介して真空ポンプに接続されていることを特徴とする請求項４に記載の洗浄装置。
【請求項６】
前記駆動部は、エアシリンダであることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の洗浄装置。
【請求項７】
前記洗浄液は純水であり、前記洗浄気体は水蒸気であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄装置に関し、より詳しくは、表示パネルのリード端子部の洗浄に適した洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルや有機ＬＥＤパネルなどの表示パネルには、パネル内の電極と電気的に接続するリード端子部が設けられている。リード端子部には、例えば、フレキシブル基板などからなる外部制御基板が接続する。この場合、表示パネルは、偏光板の貼り付け工程や点灯検査工程などを経た後で、外部制御基板を接続する工程に供される。このため、外部制御基板の接続は、リード端子部を洗浄してから行われる。偏光板の貼り付け工程などにおいて、リード端子部に異物が付着すると、接続不良が起こったり、リード端子部を腐食させたりするからである。
【０００３】
リード端子部の洗浄は、従来より、高温の水蒸気をリード端子部に噴射することによって行っている（例えば、特許文献１参照。）。この方法によれば、リード端子部を損傷することなしに付着した異物を除去することができる。また、紫外線やプラズマを用いた洗浄に比して、偏光板を変質するなどのおそれがなく、コスト的にも有利であるといった利点を備える。
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−２０５１０８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来法におけるリード端子部の洗浄は、洗浄装置に設けられたノズルをリード端子部の近傍に近づけ、ノズルからリード端子部に高温の水蒸気を吹き付けることによって行われる。洗浄装置は、純水を加熱して水蒸気を生成するボイラー部を備えており、ノズルは、配管を介してこのボイラー部に接続している。
【０００６】
ノズルとボイラー部とを接続する配管には、耐熱性と柔軟性が要求される。前者の特性は、高温の水蒸気が透過するためであり、後者の特性は、ノズルをリード端子部の近傍に近づける他、リード端子部上でノズルを移動させて洗浄を行うためである。これらの特性を満足する材料としては、例えばフッ素樹脂が挙げられる。しかし、フッ素樹脂は高価であるために、ランニングコストの上昇を招くといった問題を生じる。そこで、従来より、金属製の配管が使用されている。この場合、配管には、柔軟性を持たせるために、蛇腹構造が採用される。
【０００７】
ところで、ボイラー部には、純水を貯めるタンクが設けられている。タンク内の純水は必要に応じて補給されるが、補給の際に空気中の不純物が純水に混入することがある。不純物としては、具体的には、ナトリウム、塩素、金属錆、バクテリアまたはオイルミストなどが挙げられる。混入した不純物は、水蒸気とともにリード端子部に吹き付けられた後、この部分に残渣となって残る。そこで、残渣が確認された場合には、過酸化水素などで配管内を洗浄している。しかしながら、蛇腹部分を十分に洗浄することは困難であり、不純物が排出されずに堆積して水蒸気を汚染してしまうという問題があった。
【０００８】
本発明は、こうした問題点に鑑みてなされたものである。すなわち、本発明の目的は、不純物による洗浄液の汚染を防いでリード端子部を洗浄することのできる洗浄装置を提供することにある。
【０００９】
本発明の他の目的および利点は以下の記載から明らかとなるであろう。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の第１の態様は、洗浄液を加熱して気体にする洗浄気体生成部と、
前記洗浄気体生成部で生成した洗浄気体を噴射するノズルと、
前記洗浄気体生成部と前記ノズルを接続する配管とを備えた洗浄装置であって、
前記配管は、金属からなるとともになだらかな曲面の内壁を有していて、
前記ノズルは、外筒部と、該外筒部の内部に配設された内筒部と、該外筒部を貫通して該内筒部に接続し、該内筒部を該外筒部の長手方向に沿ってピストン駆動する駆動部とを備えていて、
前記外筒部は、該外筒部と前記内筒部との間に設けられたラビリンスシールによって、内部を３つの部屋に分けられており、これらのラビリンスシールによって分けられた第１の部屋には、前記配管に接続する第１の開口部が設けられていて、前記長手方向に沿って前記第１の部屋の両側にそれぞれ位置する第２の部屋と第３の部屋は、前記内筒部が駆動されるのに伴って容積が変化し、
前記内筒部は、前記第１の部屋に設けられた第４の開口部と、前記第２の部屋に設けられた第５の開口部とを有しており、該第５の開口部には前記洗浄気体を噴射する噴射部が接続されていて、該噴射部は前記第２の部屋から前記外筒部を貫通して外部に突出していることを特徴とするものである。
【００１１】
本発明の第２の態様は、洗浄液を加熱して気体にする洗浄気体生成部と、
前記洗浄気体生成部で生成した洗浄気体を噴射するノズルと、
前記洗浄気体生成部と前記ノズルを接続する配管とを備えた洗浄装置であって、
前記ノズルは、外筒部と、該外筒部の内部に配設された内筒部と、該外筒部に接続し、該外筒部を該内筒部の長手方向に沿ってピストン駆動する駆動部とを備えていて、
前記外筒部は、該外筒部と前記内筒部との間に設けられたラビリンスシールによって、内部を３つの部屋に分けられており、これらのラビリンスシールによって分けられた第１の部屋には、前記洗浄気体を噴射する噴射部に接続する第１の開口部が設けられていて、前記長手方向に沿って前記第１の部屋の両側にそれぞれ位置する第２の部屋と第３の部屋は、前記外筒部が駆動されるのに伴って容積が変化し、
前記内筒部は、前記第１の部屋に設けられた第４の開口部と、前記第２の部屋に設けられた第５の開口部とを有していて、
前記配管は、金属からなるとともになだらかな曲面の内壁を有しており、前記外筒部を貫通して前記第５の開口部に接続されていることを特徴とするものである。
【００１２】
本発明の第１の態様および第２の態様において、前記ラビリンスシールは、３段以上の絞り片を有することが好ましい。
【００１３】
本発明の第１の態様および第２の態様において、前記第２の部屋と前記第３の部屋には、それぞれ第２の開口部と第３の開口部が設けられていて、
前記ラビリンスシールから前記第２の部屋および前記第３の部屋に漏れた前記洗浄気体は、前記第２の開口部および前記第３の開口部を通じて外部に排出されることが好ましい。
この場合、前記第２の開口部および前記第３の開口部は、それぞれ他の配管を介して真空ポンプに接続されていることが好ましい。
【００１４】
本発明の第１の態様および第２の態様において、前記駆動部は、エアシリンダであることが好ましい。
【００１５】
本発明の第１の態様および第２の態様において、前記洗浄液は純水とすることができ、前記洗浄気体は水蒸気とすることができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、配管の内壁をなだらかな形状とすることができるので、不純物による洗浄液の汚染を防いでリード端子部を洗浄することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
実施の形態１．
本実施の形態における洗浄装置は、純水を加熱して水蒸気を生成するボイラー部と、ボイラー部で生成した水蒸気を噴射するノズルと、ボイラー部とノズルを接続する配管と、表示パネルを搬送および固定する手段とを有する。尚、ボイラー部は、本発明における洗浄気体生成部に対応する。
【００１８】
配管には、金属製であって、なだらかな形状の内壁を有するものを用いる。具体的には、なだらかな曲面の内壁を有することが好ましく、例えば、円筒形の配管を用いることができる。このように、本実施の形態では、従来の配管で採用していた蛇腹構造を用いない。つまり、本実施の形態では、配管に柔軟性は必要とされず、配管は、洗浄装置内で固定された状態とすることができる。
【００１９】
配管に蛇腹構造を用いないことによって、水蒸気に含まれる不純物が内壁に付着して堆積してしまうのを防ぐことができる。これは、内壁がなだらかな曲面であるために、内壁に不純物が付着しても、配管内を洗浄することにより、付着した不純物を容易に除去できるからである。
【００２０】
ボイラー部や、表示パネルを搬送および固定する手段に特に制限はなく、それぞれの機能を満足できるものであればよい。尚、ボイラー部では、純水以外の洗浄液を用いて、水蒸気以外の洗浄気体を生成することも可能である。
【００２１】
図１は、ノズルの模式的な断面図である。この図に示すように、ノズル１は、外筒部２と、外筒部２の内部に配設された内筒部３と、外筒部２を貫通して内筒部３に接続し、内筒部３を駆動する駆動部としてのエアシリンダ４とを有する。エアシリンダ４の働きによって、内筒部３は、外筒部２の内部で、外筒部２の長手方向に沿ってピストン運動できるようになっている。一方、外筒部２は洗浄装置に固定されているものとする。
【００２２】
外筒部２には、第１の開口部５、第２の開口部６および第３の開口部７が設けられている。第１の開口部５は配管８に接続しており、配管８を通じて水蒸気１７が第１の開口部５から外筒部２の内部に流入する。ここで、外筒部２の内部は、内筒部３と外筒部２の間に設けられた２つのラビリンスシール９，１０によって、３つの部屋に分かれており、水蒸気１７は、第１の開口部５から、これらのラビリンスシールで挟まれた第１の部屋１１に流入する。尚、外筒部２の長手方向に沿って第１の部屋１１の両側には、第２の部屋１２と第３の部屋１３がそれぞれ隣接している。
【００２３】
内筒部３には２つの開口部が設けられており、第４の開口部１４は、第１の部屋１１の内部に位置し、第５の開口部１５は第２の部屋１２に位置する。第５の開口部１５には、水蒸気の噴射部１６が設けられており、噴射部１６は、第２の部屋１２から外筒部２を貫通して外部に突出している。
【００２４】
第１の開口部５から第１の部屋１１に流入した水蒸気１７は、第４の開口部１４より内筒部３の内部に入る。このとき、第１の部屋１１と第２の部屋１２の間は第１のラビリンスシール９によって、第１の部屋１１と第３の部屋１３の間は第２のラビリンスシール１０によって、それぞれ隔てられているので、第１の部屋１１に流入した水蒸気１７が第２の部屋１２や第３の部屋１３に流入するのは抑制される。
【００２５】
内筒部３の内部に流入した水蒸気１７は、第５の開口部１５から噴射部１６を通じて、ノズル１の外部に噴出される。したがって、噴射部１６の先に表示パネルのリード端子部（図示せず）を搬送し固定することによって、リード端子部の洗浄を行うことができる。
【００２６】
図２（ａ）および（ｂ）は、ノズルの動作を示す図である。尚、これらの図において、図１と同じ符号を付した部分は、図１と同じものであることを示している。
【００２７】
図２（ａ）の状態にあるノズルは、内筒部３が外筒部２の長手方向に移動することによって、図２（ｂ）の状態に変化する。図２（ａ）の状態では、第２の部屋１２の容積より第３の部屋１３の容積の方が小さいが、第１の部屋１１が図の右方向に移動して、図２（ｂ）の状態になると、第２の部屋１２の容積より第３の部屋１３の容積の方が大きくなる。このように、第２の部屋１２と第３の部屋１３は、内筒部３が駆動されるのに伴って容積が変化する。
【００２８】
図２（ａ）の状態と図２（ｂ）の状態では、外筒部２から突出している噴射部１６の長さが異なる。つまり、内筒部３を外筒部２の内部でピストン運動させることにより、噴射部１６からリード端子部までの距離を変えることができる。より詳しくは、図２（ａ）の状態から図２（ｂ）の状態とすることによって、配管８や外筒部２を動かさずに、噴射部１６をリード端子に近づけることができる。噴射部１６の可動距離は、内筒部と外筒部の寸法を調整することにより、例えば、２００ｍｍ〜３００ｍｍ程度とすることができる。
【００２９】
尚、第１のラビリンスシール９および第２のラビリンスシール１０は、いずれも内筒部３の周囲に設けられており、内筒部３の移動に伴ってこれらも移動する。したがって、内筒部３がピストン運動を繰り返しても、第１の部屋１１からの水蒸気の漏れは抑制される。尚、第１のラビリンスシール９および第２のラビリンスシール１０は、外筒部２の内側に設けられていてもよい。
【００３０】
このように、本実施の形態によれば、従来のようにノズルに接続する配管を蛇腹構造としなくても、リード端子部の近傍にノズルの先端を近づけることが可能である。これにより、水蒸気中に含まれる不純物が配管の内部に堆積するのを抑制できるので、洗浄液が不純物によって汚染されるのを防ぐことができる。
【００３１】
次に、本実施の形態におけるラビリンスシールについて説明する。
【００３２】
ラビリンスシールは、流体の漏れを減少させるシールの１つである。ラビリンスシールは、動作部と静止部との隙間に設けられた絞り片（フィン）からなり、これによって、隙間から流体が漏れるのが抑制される。本実施の形態においては、動作部が内筒部３に対応し、静止部が外筒部２に対応する。
【００３３】
図３は、ラビリンスシールの基本的な形状を示す図である。この図では、絞り片の段数を２としている。尚、図において、εは隙間を、δは絞り片の厚さを、ｈは絞り片の高さを、ｓは絞り片間の距離を、それぞれ表している。
【００３４】
ラビリンスシールの効果に関係する流れの作用には、主として、流体の粘性による摩擦効果、絞り口（絞り片の先端）における縮流効果、圧縮性流体に対する熱力学的効果などがある。
【００３５】
図３において、流体を水蒸気とすると、流入口から第１の絞り片１０１までの領域Ａ、第１の絞り片１０１から第２の絞り片１０２までの領域Ｂ、第２の絞り片１０２から流出口までの領域Ｃの各領域ごとに、略一定の圧力場が生じる。圧力の大きさは、Ａ＞Ｂ＞Ｃの順である。この圧力差によって、領域Ａにある水蒸気の一部は、第１の絞り片１０１を乗り越えて領域Ｂに移動する。さらに、領域Ｂにある水蒸気の一部は、第２の絞り片１０２を乗り越えて領域Ｃに移動する。
【００３６】
ラビリンスシールを設けることによって、図１で、第１の部屋１１から第２の部屋１２および第３の部屋１３に水蒸気が漏れるのを抑制することができる。しかし、上述したように、完全に漏れが防がれるわけではなく、水蒸気の一部は第２の部屋１２や第３の部屋１３に流入する。流入した水蒸気は凝縮して水になるので、そのままでは内筒部３のピストン運動を妨げるようになる。
【００３７】
そこで、本実施の形態においては、第２の開口部６と第３の開口部７に配管１８，１９を接続し、これらの配管を通じて、第２の部屋１２や第３の部屋１３に流入した水が排水されるようにしている。この際、真空ポンプなどを用いて、配管１８，１９から水が吸引されるようにすれば、効果的に排水を行うことが可能となる。
【００３８】
第２の開口部６と第３の開口部７は、内筒部３がピストン運動をしても、常に第２の部屋１２と第３の部屋１３にそれぞれ位置し、第１の部屋１１の内部に位置することはないようにする。これにより、配管８を通じて第１の部屋１１に流入した水蒸気が、第２の開口部６または第３の開口部７から外部に排出されてしまうのを防ぐことができる。
【００３９】
一方、第１の開口部５は、内筒部３がピストン運動をしても、常に第１の部屋１１の内部に位置するようにする。第１の開口部５が、第２の部屋１２や第３の部屋１３にあると、配管８からの水蒸気１７を内筒部３に導くことはできず、水蒸気は、第２の開口部６や第３の開口部７から外部に排出されてしまう。第１の部屋１１に第１の開口部５が位置するようにすることによって、こうした事態が生ずるのを防ぐことができる。
【００４０】
ラビリンスシールでは、絞り片の段数が増加するほど流体の漏れを抑制することができる。本実施の形態では、第１のラビリンスシール９および第２のラビリンスシール１０の段数は、いずれも３以上とする。
【００４１】
以上述べたように、本実施の形態によれば、配管に蛇腹構造を採用せず、なだらかな形状の内壁としているので、配管内に不純物が堆積するのを防ぐことができる。したがって、不純物による水蒸気の汚染を防いでリード端子部を洗浄することが可能となる。
【００４２】
実施の形態２．
本実施の形態における洗浄装置も、実施の形態１と同様に、純水を加熱して水蒸気を生成するボイラー部と、ボイラー部で生成した水蒸気を噴射するノズルと、ボイラー部とノズルを接続する配管と、表示パネルを搬送および固定する手段とを有する。尚、ボイラー部は、本発明における洗浄気体生成部に対応する。
【００４３】
配管には、金属製であって、なだらかな形状の内壁を有するものを用いる。具体的には、なだらかな曲面の内壁を有することが好ましく、例えば、円筒形の配管を用いることができる。このように、本実施の形態では、従来の配管で採用していた蛇腹構造を用いない。つまり、本実施の形態では、配管に柔軟性は必要とされず、配管は、洗浄装置内で固定された状態とすることができる。
【００４４】
配管に蛇腹構造を用いないことによって、水蒸気に含まれる不純物が内壁に付着して堆積してしまうのを防ぐことができる。これは、内壁がなだらかな曲面であるために、内壁に不純物が付着しても、配管内を洗浄することにより、付着した不純物を容易に除去できるからである。
【００４５】
ボイラー部や、表示パネルを搬送および固定する手段に特に制限はなく、それぞれの機能を満足できるものであればよい。尚、ボイラー部では、純水以外の洗浄液を用いて、水蒸気以外の洗浄気体を生成することも可能である。
【００４６】
図４は、実施の形態２の例としてのノズルの模式的な断面図である。この図に示すように、ノズル２１は、外筒部２２と、外筒部２２の内部に配設された内筒部２３と、外筒部２２に接続して外筒部２２を駆動する駆動部としてのエアシリンダ２４とを有する。エアシリンダ２４の働きによって、外筒部２２は、内筒部２３の長手方向に沿ってピストン運動する。一方、内筒部２３は、配管２８に接続していて洗浄装置に固定されている。
【００４７】
外筒部２２には、第１の開口部２５、第２の開口部２６および第３の開口部２７が設けられている。また、外筒部２２の内部は、内筒部２３と外筒部２２の間に設けられた２つのラビリンスシール２９，３０によって、３つの部屋に分かれている。中央には第１の部屋３１が位置し、外筒部２２の長手方向に沿って第１の部屋３１の両側には、第２の部屋３２と第３の部屋３３がそれぞれ隣接している。
【００４８】
内筒部２３には２つの開口部が設けられており、第４の開口部３４は、第１の部屋３１の内部に位置し、第５の開口部３５は第２の部屋３２に位置する。配管２８は、外筒部２２を貫通して第５の開口部３５に接続しており、配管２８を通じて水蒸気３７が第５の開口部３５から内筒部２３の内部に流入する。
【００４９】
第５の開口部３５に入った水蒸気３７は、第４の開口部３４から第１の部屋３１に流出する。ここで、第１の部屋３１には第１の開口部２５が設けられており、第１の開口部２５には噴射部３６が接続されている。第１の部屋３１に入った水蒸気３７は、第１の開口部２５から噴射部３６を通って外部に噴射される。したがって、噴射部３６の先に表示パネルのリード端子部（図示せず）を搬送し固定することによって、リード端子部の洗浄を行うことができる。
【００５０】
尚、第１の部屋３１と第２の部屋３２の間は第１のラビリンスシール２９によって、第１の部屋３１と第３の部屋３３の間は第２のラビリンスシール３０によって、それぞれ隔てられているので、第１の部屋３１に流入した水蒸気３７が、第２の部屋３２や第３の部屋３３に流入するのは抑制される。
【００５１】
このように、本実施の形態のノズルは、内筒部２３が配管２８に接続して洗浄装置に固定されており、外筒部２２が内筒部２３の長手方向に沿ってピストン駆動される点で、実施の形態１と異なる。但し、内筒部２３の周囲に設けられた２つのラビリンスシール２９，３０によって、第１の部屋１１から第２の部屋３２および第３の部屋３３へ水蒸気３７が漏れるのを防止する点や、外筒部２２がピストン駆動されるのに伴って、第２の部屋３２と第３の部屋３３の容積が変化する点は、実施の形態１と同様である。
【００５２】
第１のラビリンスシール２９および第２のラビリンスシール３０としては、実施の形態１と同様のものを用いることができる。絞り片の段数が増加するほど流体の漏れを抑制することができるので、段数はいずれも３以上とすることが好ましい。
【００５３】
外筒部２２がピストン駆動されると、噴射部３６の位置は、図４の横方向に移動する。すなわち、外筒部２２が駆動されることによって、配管２８や内筒部２３を動かさずに、噴射部３６をリード端子上で移動させることができる。噴射部３６の可動距離は、内筒部と外筒部の寸法を調整することにより、例えば、２００ｍｍ〜３００ｍｍ程度とすることができる。
【００５４】
このように、本実施の形態によれば、従来のようにノズルに接続する配管を蛇腹構造としなくても、リード端子部上でノズルを移動させることが可能である。これにより、水蒸気中に含まれる不純物が配管の内部に堆積するのを抑制できるので、洗浄液が不純物によって汚染されるのを防ぐことができる。
【００５５】
本実施の形態においても、水蒸気の漏れをラビリンスシールで完全に防止することはできない。流入した水蒸気は凝縮して水になり、外筒部２２のピストン運動を妨げるようになる。したがって、第２の開口部２６と第３の開口部２７に配管３８，３９を接続し、これらの配管を通じて、第２の部屋３２や第３の部屋３３に流入した水が排水されるようにすることが好ましい。この際、真空ポンプなどを用いて、配管３８，３９から水が吸引されるようにすれば、効果的に排水を行うことができる。
【００５６】
第２の開口部２６と第３の開口部２７は、外筒部２２がピストン運動をしても、常に第２の部屋３２と第３の部屋３３にそれぞれ位置し、第１の部屋３１の内部に位置することはないようにする。これにより、第４の開口部３４から第１の部屋３１に流入した水蒸気３７が、第２の開口部２６または第３の開口部２７から外部に排出されてしまうのを防ぐことができる。
【００５７】
一方、第１の開口部２５は、外筒部２２がピストン運動をしても、常に第１の部屋３１の内部に位置するようにする。第１の開口部２５が、第２の部屋３２や第３の部屋３３にあると、配管２８からの水蒸気１７を噴射部３６に導くことができない。第１の部屋３１に第１の開口部２５が位置するようにすることによって、こうした事態が生ずるのを防ぐことができる。
【００５８】
以上述べたように、本実施の形態によれば、配管に蛇腹構造を採用せず、なだらかな形状の内壁としているので、配管内に不純物が堆積するのを防ぐことができる。したがって、不純物による水蒸気の汚染を防いでリード端子部を洗浄することが可能となる。
【００５９】
尚、本発明は上記各実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内において、種々変形して実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】実施の形態１におけるノズルの断面模式図である。
【図２】（ａ）および（ｂ）は、図１のノズルの動作図である。
【図３】ラビリンスシールの基本的な形状を示す図である。
【図４】実施の形態２におけるノズルの断面模式図である。
【符号の説明】
【００６１】
１，２１  ノズル
２，２２  外筒部
３，２３  内筒部
４，２４  エアシリンダ
５，２５  第１の開口部
６，２６  第２の開口部
７，２７  第３の開口部
８，１８，１９，２８，３８，３９  配管
９，２９  第１のラビリンスシール
１０，３０  第２のラビリンスシール
１１，３１  第１の部屋
１２，３２  第２の部屋
１３，３３  第３の部屋
１４，３４  第４の開口部
１５，３５  第５の開口部
１６，３６  噴射部
１７，３７  水蒸気
１０１  第１の絞り片
１０２  第２の絞り片
【図１】
2008132462.tif 000003
【図２】
2008132462.tif 000004
【図３】
2008132462.tif 000005
【図４】
2008132462.tif 000006