(57)【要約】【課題】  ホルダとスライダ間の生じる真空リークを防止し、スライダの円滑なスライド動作を確実に行なうことができるワークの吸着装置を提供する。【解決手段】  基端外周部にフランジ１１ｇを突設させたスライダ本体１１ｂに、段部１１ｃを介して小径部１１ｄを一体的に形成し、かつ真空吸引用の通路１１ａを上下に開口させたスライダ１１を形成し、スライダ本体１１ｂの外周部に、弾性を有する中空円筒状のシース１３を、隙間を存して嵌め込み、スライダ本体１１ｂの小径部１１ｄをホルダ１２に挿通させ、前記小径部１１ｄの先端部をホルダ１２の先端部から突出させた状態で、スライダ１１をホルダ１２に対してスライド可能に保持し、前記シース１３の先端面を、ホルダ１２の基端開口面に、基端面をスライダ１１のフランジ１１ｆ上面にそれぞれ密着係合さてワークの吸着装置とする。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基端外周部に突出形成されたパッドホルダの上方に、このパッドホルダと平行にフランジを突設させたスライダ本体に、段部を介して小径部を一体的に延出させて形成し、かつ軸部に沿って真空吸引用の通路を上下に開口させた中空円筒状のスライダを形成し、
前記スライダ本体の外周部に、所要の厚みと弾性を有する中空円筒状のシースを、隙間を存して嵌め込むとともに、
前記スライダ本体の小径部を中空円筒状のホルダに挿通させ、前記小径部の先端部をホルダの先端部から突出させた状態で、スライダをホルダに対してスライド可能な状態で保持させ、
前記ホルダの基端開口面とスライダのフランジ間に介装されたシースの先端面を、ホルダの基端開口面に、基端面をスライダのフランジ上面にそれぞれ密着係合させたこと
を特徴とするワークの吸着装置。
【請求項２】
前記スライダは、
前記ホルダの先端部から突出する小径部の外周部に、凹状の装着溝が形成され、この装着溝に係止具を係着させることによって、ホルダに対し、スライダを上下動自在に保持するよう構成されていること
を特徴とする請求項１に記載のワークの吸着装置。
【請求項３】
前記中空円筒状のホルダは、
基端面から上部に向けて形成された大径部の先端に、段部を介して先端面に開口する小径部が形成されたもので、前記スライダの小径部を前記大径部に内装させたとき、前記段部とスライダ本体に形成された段部との間に隙間を形成させ、この隙間の長さの範囲内でスライダを上下動させるよう構成したこと
を特徴とする請求項１に記載のワークの吸着装置。
【請求項４】
前記中空円筒状のホルダは、
基端面から上部に向けて形成された大径部の先端に、段部を介して先端面に開口する小径部が形成されたもので、前記スライダの小径部を前記大径部に内装させたとき、前記段部とスライダ本体に形成された段部との間に隙間を形成させるとともに、各段部間にスプリングを配置したこと
を特徴とする請求項３に記載のワークの吸着装置。
【請求項５】
前記中空円筒状のシースは、
弾性素材からなるものであって、その内径は前記スライダ本体の外径よりも大きく、かつその外径は、前記ホルダの外径とほぼ等しく、上縁部が前記ホルダの基端面に、下縁部が前記スライダのフランジ上面に密着係合されていること
を特徴とする請求項１に記載のワークの吸着装置。
【請求項６】
前記中空円筒状のシースは、
エチレンプロピレンゴムもしくは独立気泡のスポンジゴムであること
を特徴とする請求項１又は５に記載のワークの吸着装置。
【請求項７】
前記中空円筒状のシースのホルダおよびスライダへの密着固定は、
両面接着テープを使用して行なうこと
を特徴とする請求項１，請求項５又は６のいずれかに記載のワークの吸着装置。
【請求項８】
前記スライダは、
基端外周部に突出形成されたパッドホルダに、吸着パッドが装着されていること
を特徴とする請求項１に記載のワークの吸着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、表面に半導体素子などの電子部品を組込み、裏面に外部接続用のリードとなり得る微小径のハンダボールからなるピンを設けた、実装パッケージを多数個取りしたプリント基板、特に、実装パッケージを個々に切断して得られたワークを、取り出し冶具で一括吸着する際に有効なワークの吸着装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ワークステーションへのプリント基板の搬送、当該プリント基板への電子部品の移送、さらには、個々の実装パッケージに切断分離されたワークの搬送などに際し、各種ワーク（以下、プリント基板、電子部品などを含めてワークと言う場合もある。）を、一旦吸着したのち、所定の場所に移送するために、吸着パッドをノズルの先端部に取付け、この吸着パッドに当該電子部品を真空吸引して保持し、搬送する装置が種々提案されている。
【０００３】
たとえば、特開２００２−１７８２８７号公報（特許文献１）においては、表面に微細な起伏を有する電子部品を確実、かつ安定した吸着姿勢で吸着し、基板上への電子部品の高精度な搭載を実現することのできる電子部品搭載装置が開示されている。
より具体的には、電子部品を基板上に搭載する電子部品搭載装置の吸着パッドに、電子部品を一定の吸着姿勢に保持する吸着ガイドを設けることで、当該電子部品を一定の吸着姿勢に保持し、微細な起伏を有する電子部品でも、確実かつ安定した吸着姿勢で吸着して高い精度で基板上に搭載できる、という技術である。
【０００４】
また、特開２０００−３０１４２１号公報（特許文献２）においては、電子部品の傾きや吸着面の凹凸に影響されることなく、確実に電子部品を吸着することができる電子部品実装機における部品吸着装置及び部品吸着方法について開示されている。
特許文献２に記載の発明によれば、パッド取付けシリンダの外周面に嵌合して取付けられた弾性素材からなり、可撓性を有する円錐筒状の吸着パッドにより、水平でない電子部品でも、吸着パッドの環状先端部が、電子部品の形状に変形して閉空間を形成するので、電子部品の表面を吸着用ノズル本体の吸引開口面に当接させると共に吸引させることができ、その支持位置における電子部品の傾きや吸着面の凹凸に影響されず電子部品を確実に吸着すること、かつ吸着時における電子部品の損傷を防止することができる、と開示されている。
【０００５】
また、部品吸着装置が金属製の場合、金属面同士の摺動による磨耗で、当該部品吸着装置の精度が落ち、電子部品を吸着および離脱する際の位置ずれが生じてしまうが、かかる不都合を防止するための発明が、特開平  ７−３７９６５号公報（特許文献３）に開示されている。
【０００６】
すなわち、特許文献３に記載の発明は、廻り止め機構付外筒と中空のスプライン軸の組み合わせを採用し、かかる中空部を真空ラインとすることで、軸回転方向のがたをなくし、コンパクトにまとめることが可能となるので、高寿命で、かつ正確な位置決めが可能な部品を提供可能とする、という技術である。
【０００７】
さらにまた、特開平  ９−２５４０６８号公報（特許文献４）には、電子部品の凹凸面を吸着するのに適した、吸着パッドにかかる発明が開示されていている。この吸着パッドは、真空吸引孔を囲み、電子部品の凹凸面に気密に当接するよう弾性を有する弾性パッドと、この弾性パッドの内周面に内設し、その内部に真空吸引孔を形成する補助部材を設けることによって、真空吸引孔の径が小さくなっても補助部材により吸引孔が潰れてしまうことがなく、凹凸面にならって電子部品の吸着が行なえる、と開示されている。
【特許文献１】特開２００２−１７８２８７号公報  （特許請求の範囲、図２）
【特許文献２】特開２０００−３０１４２１号公報  （特許請求の範囲、図２）
【特許文献３】特開平  ７−  ３７９６５号公報    （特許請求の範囲、図１）
【特許文献４】特開平  ９−２５４０６８号公報    （特許請求の範囲、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
前記の各文献に記載のワーク装置は、いずれもワークを真空吸着によるもので、図５に示すように、ワークを吸引したときの緩衝（バッファ）は、スプリング４の弾性力によって得ているため、スライダ２とホルダ３との間に僅かな隙間が構造上必然的に生じ、その隙間から真空漏れが生じ、所望とする真空度を得られない。
【０００９】
そのため、公知のワーク吸着装置１は、スライダ２を垂直状態に保持するホルダ３と、前記スライダ２の先端部３ａとの間にバッファスプリング４を介装し、このバッファスプリング４の上端部が位置するスライダ２の外周部に、前記スライダ２とホルダ３との隙間からの真空リークを防止するため、シール部材５を施し、気密性を保持するように構成している。
【００１０】
しかしながら、前記スライダ２に接した状態でシール部材５を配置することは、スライダ２の上下動の際し、シール部材５の一部が咬み込まれる可能性があるとともに、スライダ２の上下動に摩擦による負荷を与えるので、スムーズな上下運動を困難とするとともに、最悪の場合には、スライダ２の動きを阻止して正常な吸着操作ができなくなるおそれがあった。
【００１１】
加えて、シール部材５は消耗品であるため、点検によって交換が必要であると判断された場合、迅速に交換する必要があるが、シール部材５の交換は熟練の技を要し、その技術によって密閉度、摺動抵抗、耐久性に差が生じてしまう。
したがって、特にワークの吸着装置を複数の者が管理している場合は、各装置のスライダの上下運動に僅かながら差が出てしまい、移送エラーに繋がるおそれを有している。
【００１２】
また、シール部材５の代わりに、真空用のグリスを塗付することで、摺動抵抗を減少させ、真空漏れを防止する手段もあるが、電子部品のような精密部品を扱う場合、グリスが電子部品に付着してしまうリスクを考慮すると、グリス等の潤滑剤はできるだけ用いない方が好ましい。
【００１３】
さらに、製造コストを下げるためには、構造を簡単にし、部品点数の削減が必要となるが、特許文献１および特許文献２に記載の発明は、吸着ガイド等の更なる部品を必要とするので、製造コストの面においても問題が残る。
【００１４】
この発明はかかる現状に鑑み、きわめて単純な構造で、確実に真空リークを防止することができ、さらには、スライダの円滑なスライド動作を確実に行なうことができ、メンテナンスも容易なワークの吸着装置を提供せんとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
前記課題を解決するために、この発明の請求項１にかかる発明は、
基端外周部に突出形成されたパッドホルダの上方に、このパッドホルダと平行にフランジを突設させたスライダ本体に、段部を介して小径部を一体的に延出させて形成し、かつ軸部に沿って真空吸引用の通路を上下に開口させた中空円筒状のスライダを形成し、
前記スライダ本体の外周部に、所要の厚みと弾性を有する中空円筒状のシースを、隙間を存して嵌め込むとともに、
前記スライダ本体の小径部を中空円筒状のホルダに挿通させ、前記小径部の先端部をホルダの先端部から突出させた状態で、スライダをホルダに対してスライド可能な状態で保持させ、
前記ホルダの基端開口面とスライダのフランジ間に介装されたシースの先端面を、ホルダの基端開口面に、基端面をスライダのフランジ上面にそれぞれ密着係合させたこと
を特徴とするワークの吸着装置である。
【００１６】
また、この発明の請求項２に記載の発明は、
請求項１に記載のワークの吸着装置において、
前記スライダは、
前記ホルダの先端部から突出する小径部の外周部に、凹状の装着溝が形成され、この装着溝に係止具を係着させることによって、ホルダに対し、スライダを上下動自在に保持するよう構成されていること
を特徴とするものである。
【００１７】
また、この発明の請求項３に記載の発明は、
請求項１に記載のワークの吸着装置において、
前記中空円筒状のホルダは、
基端面から上部に向けて形成された大径部の先端に、段部を介して先端面に開口する小径部が形成されたもので、前記スライダの小径部を前記大径部に内装させたとき、前記段部とスライダ本体に形成された段部との間に隙間を形成させ、この隙間の長さの範囲内でスライダを上下動させるよう構成したこと
を特徴とするものである。
【００１８】
また、この発明の請求項４に記載の発明は、
請求項３に記載のワークの吸着装置において、
前記中空円筒状のホルダは、
基端面から上部に向けて形成された大径部の先端に、段部を介して先端面に開口する小径部が形成されたもので、前記スライダの小径部を前記大径部に内装させたとき、前記段部とスライダ本体に形成された段部との間に隙間を形成させるとともに、各段部間にスプリングを配置したこと
を特徴とするものである。
【００１９】
また、この発明の請求項５に記載の発明は、
請求項１に記載のワークの吸着装置において、
前記中空円筒状のシースは、
弾性素材からなるものであって、その内径は前記スライダ本体の外径よりも大きく、かつその外径は、前記ホルダの外径とほぼ等しく、上縁部が前記ホルダの基端面に、下縁部が前記スライダのフランジ上面に密着係合されていること
を特徴とするものである。
【００２０】
また、この発明の請求項６に記載の発明は、
請求項１又は５に記載のワークの吸着装置において、
前記中空円筒状のシースは、
エチレンプロピレンゴムもしくは独立気泡のスポンジゴムであること
を特徴とするものである。
【００２１】
また、この発明の請求項７に記載の発明は、
請求項１，請求項５又は６のいずれかに記載のワークの吸着装置において、
前記中空円筒状のシースのホルダおよびスライダへの密着固定は、
両面接着テープを使用して行なうこと
を特徴とするものである。
【００２２】
また、この発明の請求項８に記載の発明は、
請求項１に記載のワークの吸着装置において、
前記スライダは、
基端外周部に突出形成されたパッドホルダに、吸着パッドが装着されていること
を特徴とするものである。
【発明の効果】
【００２３】
この発明のワークの吸着装置は、先端に吸着パッドを装着するスライダを、ホルダに内挿して上下動自在に装着するに際し、前記スライダの外周部に隙間を存して配置される、弾性素材からなる中空円筒状のシースを、スライダとホルダ間に密着係合させたので、ワークの真空吸引時に、前記中空円筒状のシースが、ホルダとスライダの隙間からの真空リークを確実に防ぐとともに、バッファの作用を発揮する。
【００２４】
特に、前記中空円筒状のシースは、弾性素材で形成されているので、ワークを吸着保持したスライダの上昇に際し、ホルダとの間でクッションの役割を果たすので、ホルダとスライダの間で生じる衝撃を確実に解消させることができる。
【００２５】
また、前記中空円筒状のシースは、上下動するスライダの外周部に間隔を存して嵌め込むので、スライダの上昇に際し、シースの外側にはなんら障害物が存在しないので、中空円筒状のシースは自然に外側に膨出し、スライダ外周面との接触量が少なくなるので、摩擦抵抗を大幅に抑えることができ、スライダの上下動をスムーズに行なわせることができる。
【００２６】
また、複数配置されるワークの吸着装置によって、複数のワークを一括して吸着搬送するに際しても、各シースに個体差がないので、ワークに対する吸着ミスが起きることがなく、確実にワークを搬送することができる。
【００２７】
また、前記スライダやホルダを小型化した場合、使用する中空円筒状のシースも小型化されるので、バッファ力が低下することが有り得るので、スライダとホルダ間の形成される隙間にスプリングを介在させることによって、所望のバッファ力を得ることができる。
【００２８】
さらに、機構自体がきわめて簡単で、かつ動作に信頼性があるとともに、シース自体が弾性を有するので、複数個のワークを一括吸着するに際し、ＮＧ品などのワーク高さがその都度変わる場合でも対応が可能である。
さらにまた、吸着操作が終了すると、その反発力によってスライダを元の位置に復帰させるので、従来のようにスプリングを必要とせず、部品点数を減らすことができるなど、実用上多大の利点を有するものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、この発明にかかるワークの吸着装置の好ましい実施例を、添付の図面を参照しながら詳細に説明するが、この発明は図示した実施例にのみ限定されるものではなく、この発明の要旨を変更しない範囲内において種々変更を加えることが可能なものである。
【００３０】
図１は、この発明にかかるワークの吸着装置の一例を示す縦断面図、図２は、分解状態を示す一部切欠き正面図、図３は、プリント基板を吸着した状態を示す説明図、図４は、従来のワーク吸着装置を示す縦断面図である。
【００３１】
この発明にかかるワークの吸着装置１０は、図１および図２で明らかなように、中心部に真空吸引用の通路１１ａを有する所要長さの円筒状のスライダ１１と、このスライダ１１を上下動自在に保持ずるホルダ１２と、このホルダ１２の下端部と前記スライダ１１の先端部間に介装されるシース１３とから構成されるものである。
【００３２】
前記スライダ１１は、軸方向に真空吸引用の通路１１ａを形成した所要長さのスライダ本体１１ｂの上部外周部を、段部１１ｃを介して小径部１１ｄとするとともに、上端部の外周に係止具１４を装着するための凹状の装着溝１１ｅが形成されている。
一方、前記スライダ本体１１ｂの基端部には、吸着パッド１５を装着するためのパッドホルダ１１ｆが、その上部には、前記シース１３を保持するためのフランジ１１ｇがそれぞれ一体的に突出形成されたものである。
【００３３】
かかるスライダ１１は、金属を主原料とする材質であれば特段の制限はないが、クロム系ステンレス鋼又はクロムニッケル系ステンレス鋼を用いることが好ましく、硬度や耐久性、および加工のし易さ、という面から考慮すると、ステンレス素材を用いることが最も好ましい。
【００３４】
前記中空円筒状のホルダ１２は、特に、図２で明らかなように、所要長さの中空円筒状のホルダ本体１２ａからなるものであって、その内部は、前記スライダ１１のスライダ本体１１ｂの上部外周部と密着当接する太径部１２ｂと、この太径部１２ｂの上縁部と段部１２ｃを介して連通する小径部１２ｄを有している。
その素材については、金属であれば、その種類、組成を問わないが、たとえば、黄銅、ステンレス、鉄、銅、ニッケル等の金属の単体、またはこれらを含む合金を利用することも当然可能である。
【００３５】
前記シース１３は、内径１３ｂが前記スライダ本体１１ｂの外径よりもやや大きな径を有し、外径１３ｃが前記ホルダ１２の基端部の外径とほぼ等しい径を有する中空円筒体のシース本体１３ａからなるものである。
なお、前記外径が小さすぎると、全体が肉薄となって弾性力が弱くなり、反対に大きいと、外見上見苦しくなる。
【００３６】
かかるシース１３は、後述するように、前記スライダ１１とホルダ１２との間に介装されてスプリングの役目を奏するとともに、スライダとホルダ間からの真空リークを防止するものであるので、たとえば、天然ゴム、ウレタンゴム、ニトリルゴムやシリコンゴム等のゴム系素材等を弾性体から構成されるものである。
なかでも、たとえば、独立気泡構造のスポンジゴムなどの、内部に気泡が存在するが、気泡同士が繋がっていないか、気泡同士が壁で仕切られている独立気泡である発泡体であることが好ましい。また、電子部品のような精密部品を吸引保持するときの緩衝材、および真空密閉用のシール部材として用いる場合は、ゴム硬度が７°程度のエチレンプロピレンゴムを用いることが最も好ましい。
【００３７】
かかる構成からなるスライダ１１、ホルダ１２およびシース１３を使用して、ワークの吸着装置１を組み立てるには、まず、スライダ１１のスライダ本体１１ｂに前記シース１３を嵌め込み、シース１３の基端部がスライダ１１のフランジ１１ｇと当接するように装着する。
【００３８】
ついで、スライダ１１の小径部１１ｄを、ホルダ１２の基端部（大径部１２ｂ）側から差し込み、前記小径部１１ｄの先端部をホルダ１２の小径部１２ｄから突出させたのち、図１に示すように、クレセント型止め輪からなる係止具１４をスライダ１１の先端外周部に形成した装着孔１１ｅに嵌め込み、スライダ１１とホルダ１２およびシース１３とを一体化させる。
【００３９】
このようにスライダ１１を形成する大径のスライダ本体１１ｂの一部を、前記ホルダ１２の大径部１２ｂで覆うように一体化させると、ホルダ１２の段部１２ｃとスライダ本体１１ｂの段部１１ｃとの間に、隙間Ｇが形成される。
この隙間Ｇがスライダ１１の上下方向へのスライド幅を規制するもので、スライダ本体１１ｂの段部１１ｃがホルダ１２の段部１２ｃに当接すると、スライダ１１はそれ以上上昇することがない。
【００４０】
なお、提供せんとするワークの大きさによっては、使用する吸着装置を構成するスライダやホルダを一層小型化する必要が生ずる。
その際、当然使用するシースも小型のものを用いるが、シースの材質、厚み、硬さなどによって、バッファ力が減少することがあるので、図４に示すように、前記隙間Ｇ間にスプリングＳを介在させることによって、所望するバッファ力を得ることが可能となる。
【００４１】
前記シース１３のスライダ１１とホルダ１２への装着は、中空円筒状のシース１３の上縁部とホルダ１２の基端縁とを、両面接着テープ１７などを使用して接着するとともに、その下縁部とスライダ１１のフランジ１１ｇ上面とを同様の手段で接着接合するもので、スライダ１１の上下動をスムーズに行なわせるため、シース１３の内周面とスライダ本体１１ｂの外周面との間には若干の隙間を設けることが肝要である。
【００４２】
このように構成されたワークの吸着装置１０は、図３に示すように、スライダ１１の基端部に突出形成させたパッドホルダ１１ｆに吸着パッド１５を装着させ、図示しないがホルダ１２の外周部を昇降機と連動する取付板に固定させるとともに、スライダ１１の小径部１１ｄ内に、基端部が真空発生装置に接続されたノズルの先端部を装着固定する。
ついで、昇降機を作動させ、吸着パッド１５を吸着せんとするワークの上方近傍に移動させ、しかるのち、真空発生装置を作動させながら、たとえば、個々に分離されたプリント基板などからなるワーク１６に吸着パッド１５を上方から当接させると、通路１１ａ内が負圧となって、ワーク１６を吸着する。
【００４３】
同時に、スライダ１１がシース１３の弾性に抗して上方に移動するので、シース１３は外側に膨出しながら圧縮され、衝撃を緩衝（バッファ）することができるので、ワーク１６を吸着した状態で、ワーク１６を所定の部位に搬送するものである。
【００４４】
その際、スライダ１１の上方への移動は、スライダ１１の小径部１１ｄの外周面とホルダ１２の大径部１２ｂの内周面との間に形成される隙間Ｇの長さ（軸方向）によって規制されるので、この長さを調整することによって、シース１３の圧潰を防止することが可能となる。
【００４５】
また、前記シース１３は、その外周面がなんら規制されていないので、スライダ１１が上昇して圧縮されても、その内周面はスライダ１１に接することなく、外周面のみが図３に示すように外側に大きく膨出するので、スライダ１１の上昇をスムーズに行なわせることができる。
【００４６】
さらに、シース１３は、ワークの吸着装置１０が作動前であっても、作動後であっても、スライダ１１の外周部とホルダ１２の内周部に形成される隙間は、常に密封状態が維持されているため、前記隙間からの真空リークを確実に防止することができる。
【００４７】
さらにまた、前記シース１３は、弾性素材で構成されるので、その弾性に抗して圧縮されたシース１３は強い復元力を発揮し、従来のスプリングと同等の働きをするので、使用部品の点数を減らすことができる。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
この発明のワークの吸着装置は、簡単な機構で真空漏れを防止でき、しかも確実に緩衝（バッファ）機能を発揮し、メンテナンスも容易に行なうことができるので、電子部品等の移送を吸引保持して行なう電子製品製造業や電子部品製造業のみならず、物品を、圧力差を利用して吸引保持する技術を用いる産業、すなわち製造業全般において利用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】この発明にかかるワークの吸着装置の一例を示す縦断面図である。
【図２】分解状態を示す一部切欠き正面図である。
【図３】プリント基板を吸着した状態を示す説明図である。
【図４】この発明にかかるワークの吸着装置における他の例を示す縦断面図である。
【図５】従来のワーク吸着装置を示す縦断面図である。
【符号の説明】
【００５０】
１０      ワークの吸着装置
１１      スライダ
１１ａ    通路
１１ｂ    スライダ本体
１１ｃ    段部
１１ｄ    小径部
１１ｆ    パッドホルダ
１１ｇ    フランジ
１２      ホルダ
１２ａ    ホルダ本体
１２ｂ    大径部
１２ｃ    段部
１２ｄ    小径部
１３      シース
１３ａ    シース本体
１３ｂ    内径
１３ｃ    外径
１４      係止具
１５      吸着パッド
１６      ワーク
Ｇ        隙間
Ｓ        スプリング
【図１】
2008132576.tif 000003
【図２】
2008132576.tif 000004
【図３】
2008132576.tif 000005
【図４】
2008132576.tif 000006
【図５】
2008132576.tif 000007