(57)【要約】【課題】光モジュールにおいて、伝播光の角度ずれが生じてしまうような場合であっても、アクティブアライメントによる位置決め（傾き調整を含む）を確実に行なえるようにして、実装精度（位置合わせ精度）を向上させる。【解決手段】光モジュールを、スラブ光導波路基板７と、第１光導波路２０，３０と第２光導波路２１，３１との間に素子実装用開口部６Ａ，６Ｂを有する光導波路基板１Ａ，１Ｂと、光導波路基板１Ａ，１Ｂの素子実装用開口部６Ａ，６Ｂに実装され、電気光学効果を有する複数の光偏向素子を備える光偏向素子アレイ２，３とを備えるものとし、スラブ光導波路基板７の端面と光導波路基板１Ａ，１Ｂの端面とを接合して構成する。【選択図】図１
2008203549.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スラブ光導波路を有するスラブ光導波路基板と、
第１光導波路と第２光導波路とを備え、前記第１光導波路と前記第２光導波路との間に素子実装用開口部を有する光導波路基板と、
前記光導波路基板の素子実装用開口部に実装され、電気光学効果を有する複数の光偏向素子を備える光偏向素子アレイとを備え、
前記スラブ光導波路基板の端面と前記光導波路基板の端面とが接合されていることを特徴とする光モジュール。
【請求項２】
前記光導波路基板が、前記第２光導波路の端面よりも突出した突出部を備え、
前記スラブ光導波路基板が、前記突出部上に設けられていることを特徴とする、請求項１記載の光モジュール。
【請求項３】
前記光偏向素子アレイを実装された前記光導波路基板を２つ備え、
前記２つの光導波路基板が、前記スラブ光導波路基板の両端面にそれぞれ接合されていることを特徴とする、請求項１又は２記載の光モジュール。
【請求項４】
前記光導波路基板と前記スラブ光導波路基板とが異なる材料によって形成されていることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載の光モジュール。
【請求項５】
前記第１光導波路として、複数のチャネル光導波路及びスラブ光導波路を備え、
前記第２光導波路として、スラブ光導波路を備え、
前記光導波路基板が、レンズアレイを備えることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１項に記載の光モジュール。
【請求項６】
スラブ光導波路を有するスラブ光導波路基板を作製し、
第１光導波路と第２光導波路とを備え、前記第１光導波路と前記第２光導波路との間に素子実装用開口部を有する光導波路基板を作製し、
電気光学効果を有する複数の光偏向素子を備える光偏向素子アレイを、前記光導波路基板の素子実装用開口部に実装し、
前記光偏向素子アレイを実装された前記光導波路基板の端面と前記スラブ光導波路基板の端面とを対向させた状態でアライメントを行ない、
前記光導波路基板の端面と前記スラブ光導波路基板の端面とを接合することを特徴とする光モジュールの製造方法。
【請求項７】
前記光導波路基板と前記スラブ光導波路基板とのアライメントは、前記光導波路基板の前記第１光導波路に光を入射させ、前記光偏向素子アレイ及び前記光導波路基板の前記第２光導波路を介して出射された光を前記スラブ光導波路基板の一方の端面に入射させ、前記スラブ光導波路基板の他方の端面から出射された光をモニタしながら行なうことを特徴とする、請求項６記載の光モジュールの製造方法。
【請求項８】
前記光偏向素子アレイを実装された前記光導波路基板を２つ作製し、
前記２つの光導波路基板のうちの一の光導波路基板の端面と前記スラブ光導波路基板の一方の端面とを対向させた状態でアライメントを行ない、
前記一の光導波路基板の端面と前記スラブ光導波路基板の一方の端面とを接合し、
前記２つの光導波路基板のうちの他の光導波路基板の端面と前記一の光導波路基板の端面に接合された前記スラブ光導波路基板の他方の端面とを対向させた状態でアライメントを行ない、
前記他の光導波路基板の端面と前記スラブ光導波路基板の他方の端面とを接合することを特徴とする、請求項６記載の光モジュールの製造方法。
【請求項９】
前記一の光導波路基板と前記スラブ光導波路基板とのアライメントは、前記一の光導波路基板の前記第１光導波路に光を入射させ、前記一の光導波路基板の前記第２光導波路を介して出射された光を前記スラブ光導波路基板の一方の端面に入射させ、前記スラブ光導波路基板の他方の端面から出射された光をモニタしながら行なうことを特徴とする、請求項８記載の光モジュールの製造方法。
【請求項１０】
前記他の光導波路基板と前記スラブ光導波路基板とのアライメントは、前記一の光導波路基板の前記第１光導波路に光を入射させ、前記一の光導波路基板の前記第２光導波路を介して出射された光を前記スラブ光導波路基板の一方の端面に入射させ、前記スラブ光導波路基板の他方の端面から出射された光を前記他の光導波路基板の前記第２光導波路に入射させ、前記他の光導波路基板の前記第１光導波路を介して出射された光をモニタしながら行なうことを特徴とする、請求項８又は９記載の光モジュールの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光通信などに用いられる光モジュール及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電気光学効果を有する光偏向素子を用いた光スイッチモジュールが提案されている（例えば特許文献１参照）。
このような光スイッチモジュールは、例えば図６に示すように、スラブ光導波路基板１００上に、電気光学材料（例えばＰＺＴ，ＰＬＺＴのような電気光学結晶）からなる光偏向素子１０１，１０２を実装したものとして構成される。
【０００３】
つまり、例えば図６に示すように、スラブ光導波路基板１００は、光信号を入力する入力チャネル光導波路（入力チャネル光導波路アレイ）１０３と、入力された光信号を平行光（コリメート光）にするコリメートレンズ（入力側レンズアレイ）１０４と、平行光にされた光信号を伝播させるスラブ光導波路１０５と、伝播されてきた平行光としての光信号を集光させる集光レンズ（出力側レンズアレイ）１０６と、光信号を出力する出力チャネル光導波路（出力チャネル光導波路アレイ）１０７とを一体的に形成したものとして構成される。また、スラブ光導波路基板１００には、光偏向素子１０１，１０２を実装する第１及び第２の光偏向素子実装用開口部１１２，１１３も形成されている。
【０００４】
また、入力側光偏向素子（第１の光偏向素子アレイ）１０１及び出力側光偏向素子（第２の光偏向素子アレイ）１０２は、導電性基板上に電気光学材料（例えばＰＺＴ、ＰＬＺＴのような電気光学結晶）からなる薄膜のスラブ光導波路を形成し、表面にプリズム型電極１１０を形成し、端面を研磨することによって作製される。
そして、光スイッチモジュールは、スラブ光導波路基板１００上のコリメートレンズ１０４とスラブ光導波路１０５との間の第１の光偏向素子実装用開口部１１２に入力側光偏向素子１０１を実装し、スラブ光導波路１０５と集光レンズ１０６との間の第２の光偏向素子実装用開口部１１３に出力側光偏向素子１０２を実装したものとして構成される。
【０００５】
このように構成される光スイッチモジュールでは、入力側光偏向素子１０１及び出力側光偏向素子１０２に形成されているプリズム型電極１１０に所望の電圧を印加することで、入力チャネル光導波路１０３から入力され、コリメートレンズ１０４で平行光にされた光信号が、入力側光偏向素子１０１で偏向され、スラブ光導波路１０５を伝播し、再度、出力側光偏向素子１０２で偏向され、集光レンズ１０６で集光されて、所望の出力チャネル光導波路１０７に結合することになる。これにより、入力チャネル光導波路１０３から入力された光信号の経路が切り換えられて、所望の出力チャネル光導波路１０７から出力されることになる。
【０００６】
このほか、例えば、特許文献２は、チャンネル数の増大と製造コストの低減を可能にする光スイッチモジュールの構造を提案している。
【特許文献１】特開２００２−３１８３９８号公報
【特許文献２】特開２００４−３７７０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、上述のように構成される光スイッチモジュールの製造方法としては、まず、例えば図７（Ａ）に示すように、入力チャネル光導波路１０３、入力側レンズアレイ１０４、第１の光偏向素子実装用開口部１１２、スラブ光導波路１０５、第２の光偏向素子実装用開口部１１３、出力側レンズアレイ１０６、出力チャネル光導波路１０７を一体形成したスラブ光導波路基板１００を作製するとともに、第１の光偏向素子アレイ１０１及び
第２の光偏向素子アレイ１０２を作製した上で、スラブ光導波路基板１００の２つの光偏向素子実装用開口部１１２，１１３に、順に、第１及び第２の光偏向素子アレイ１０１，１０２を実装する方法が考えられる。
【０００８】
しかしながら、このような製造方法では、スラブ光導波路基板１００上に光偏向素子アレイ１０１，１０２を実装すべく、出力光の強度をモニタしながらアクティブアライメントを行なう際に、スラブ光導波路を伝播してきた光（モニタ光；伝播光）が所定の進行角度からずれてしまった場合、伝播光が出力チャネル光導波路１０７に結合せず、また、出力側レンズアレイ（集光レンズアレイ）１０６の位置調整を行なうこともできないため、第１及び第２の光偏向素子アレイ１０１，１０２のアクティブアライメントによる位置決めが困難になるという課題がある。
【０００９】
なお、伝播光の角度ずれの原因としては、光偏向素子の研磨精度、光偏向素子の結晶特性（膜厚むらや屈折率むら）等がある。
また、例えば図７（Ｂ）に示すように、上述の光スイッチモジュールを構成する各部品、即ち、入力チャネル光導波路アレイ１０３及び入力側レンズアレイ１０４が形成された部品、第１の光偏向素子アレイ１０１が実装された部品、スラブ光導波路１０５が形成された部品、第２の光偏向素子アレイ１０２が実装された部品、出力側レンズアレイ１０６及び出力チャネル光導波路アレイ１０７が形成された部品を個別に作製した上で、これらの各部品を、順に、バットジョイントによって接合して光スイッチモジュールを製造することも考えられる。
【００１０】
しかしながら、このような製造方法では、各接合部において経時的な位置ずれが生じ、光スイッチモジュールの特性が劣化してしまうおそれがある。特に、このように接合箇所の数が多いと、各接合部における経時的な位置ずれによる特性劣化を招きやすい。
さらに、上記特許文献２（図３参照）では、光スイッチモジュールの製造方法の一例として、まず、入力側光偏向素子部を実装した基板（入力側光偏向アレイ）、共通光導波路を形成した基板、出力側光偏向素子部を実装した基板（出力側光偏向アレイ）をそれぞれ個別に作製し、その後、共通光導波路の入射側及び出射側の各端面に、入力側光偏向アレイ及び出力側光偏向アレイを光学接着剤によって接合する方法が記載されている。
【００１１】
特に、入力側又は出力側光偏向アレイを構成する基板は、チャネル導波路、レンズアレイ、光導波路が形成されていない実装部を備える。そして、基板の実装部に入力側又は出力側光偏向素子をアクティブアライメントによって実装する場合、チャネル導波路からレンズアレイを経由し、実装部の側面から出射した光を光偏向素子部に入射させ、光偏向素子部からの出射光の輝度（強度）をモニタすることになる。
【００１２】
しかしながら、このような方法では、光偏向素子部が基板に対して垂直方向に傾いていたとしても大きな輝度変動（強度変動）は起こらないため、この傾き方向への位置合わせを精度良く行なうのが難しく、位置合わせ精度が低下してしまうという課題があった。
本発明は、このような課題に鑑み創案されたもので、伝播光の角度ずれが生じてしまうような場合であっても、アクティブアライメントによる位置決め（傾き調整を含む）を確実に行なえるようにして、実装精度（位置合わせ精度）を向上させることができるようにした、光モジュール及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
このため、本発明の光モジュールは、スラブ光導波路を有するスラブ光導波路基板と、第１光導波路と第２光導波路とを備え、第１光導波路と第２光導波路との間に素子実装用開口部を有する光導波路基板と、光導波路基板の素子実装用開口部に実装され、電気光学効果を有する複数の光偏向素子を備える光偏向素子アレイとを備え、スラブ光導波路基板の端面と光導波路基板の端面とが接合されていることを特徴としている。
【００１４】
また、本発明の光モジュールの製造方法は、スラブ光導波路を有するスラブ光導波路基板を作製し、第１光導波路と第２光導波路とを備え、第１光導波路と第２光導波路との間に素子実装用開口部を有する光導波路基板を作製し、電気光学効果を有する複数の光偏向素子を備える光偏向素子アレイを、光導波路基板の素子実装用開口部に実装し、光偏向素子アレイを実装された光導波路基板の端面とスラブ光導波路基板の端面とを対向させた状態でアライメントを行ない、光導波路基板の端面とスラブ光導波路基板の端面とを接合することを特徴としている。
【発明の効果】
【００１５】
したがって、本発明の光モジュール及びその製造方法によれば、伝播光の角度ずれが生じてしまうような場合であっても、アクティブアライメントによる位置決め（傾き調整を含む）を確実に行なえるようにして、実装精度（位置合わせ精度）を向上させることができるという利点がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図面により、本発明の実施の形態にかかる光モジュール及びその製造方法について、図１〜図４を参照しながら説明する。
本実施形態にかかる光モジュールは、例えば図１に示すように、入力側及び出力側の光導波路基板１Ａ，１Ｂと、スラブ光導波路を有するスラブ光導波路基板７と、電気光学効果を有する複数の光偏向素子からなる入力側及び出力側の光偏向素子アレイ２，３とを備える光スイッチモジュールとして構成される。
【００１７】
ここで、光導波路基板１Ａ（１Ｂ）は、図２に示すように、光ファイバと接続するための複数のチャネル光導波路４（９）、複数のレンズ（レンズアレイ）５（８）、スラブ光導波路２０（３０）、光偏向素子アレイ２（３）を実装するための一つの素子実装用開口部（凹部；はめ込み溝）６Ａ（６Ｂ）、スラブ光導波路２１（３１）を同一基板上に形成したものとして構成される。
【００１８】
ここでは、光導波路基板１Ａ（１Ｂ）は、図２に示すように、素子実装用開口部６Ａ（６Ｂ）に実装される光偏向素子アレイ２（３）に入射する光を導く複数のチャネル光導波路４（９）及びスラブ光導波路２０（３０）（第１光導波路；入射光導波路）と、素子実装用開口部６Ａ（６Ｂ）に実装される光偏向素子アレイ２（３）から出射される光を導くスラブ光導波路２１（３１）（第２光導波路；出射光導波路）とを備え、これらのスラブ光導波路２０（３０），２１（３１）の間に素子実装用開口部６Ａ（６Ｂ）を有する。また、光導波路基板１Ａ（１Ｂ）は、図２に示すように、複数のチャネル光導波路４（９）とスラブ光導波路２０（３０）との間にレンズアレイ５（８）を備える。
【００１９】
また、光導波路基板１Ａ（１Ｂ）は、図２に示すように、いずれも、スラブ光導波路２１（３１）の端面よりも突出した突出部６０Ａ（６０Ｂ）を備える。後述するように、突出部６０Ａ（６０Ｂ）上にスラブ光導波路基板７を配置するようにすることで、光導波路基板１Ａ（１Ｂ）とスラブ光導波路基板７とを接合する際の位置合わせ精度を向上させることができる。
【００２０】
本実施形態では、一の光導波路基板（入力側光導波路基板）１Ａは、図１に示すように、複数の入力チャネル光導波路（入力チャネル光導波路アレイ）４，複数のコリメートレンズ（入力側レンズアレイ）５，スラブ光導波路２０，入力側の素子実装用開口部６Ａ，スラブ光導波路２１を同一基板上に形成したものとして構成される。
ここで、複数の入力チャネル光導波路４は、それぞれ、図示しない入力ファイバアレイを構成する各入力光ファイバに接続されており、各入力光ファイバから光信号が入力され、入力側の素子実装用開口部６Ａに配置される入力側光偏向素子アレイ２へ光信号（入力光）を導くようになっている。
【００２１】
複数のコリメートレンズ５は、各入力チャネル光導波路４に対応して設けられている（例えば図６参照）。各コリメートレンズ５は、複数の入力チャネル光導波路４を導かれた光信号（入力光）をそれぞれコリメート光（平行光）にするものである。つまり、各コリメートレンズ５によって、各入力チャネル光導波路４から放射状に出射される光が、平行光に変換され、入力側光偏向素子アレイ２を構成する各入力側光偏向素子に入射されるようになっている。
【００２２】
他の光導波路基板（出力側光導波路基板）１Ｂは、図１に示すように、スラブ光導波路３１，出力側の素子実装用開口部６Ｂ，スラブ光導波路３０，複数の集光レンズ（出力側レンズアレイ）８，複数の出力チャネル光導波路（出力チャネル光導波路アレイ）９を同一基板上に形成したものとして構成される。
ここで、複数の集光レンズ８は、各出力チャネル光導波路９に対応して設けられている（例えば図６参照）。各集光レンズ８によって、出力側の素子実装用開口部６Ｂに配置される出力側光偏向素子アレイ３の各出力側光偏向素子で伝播方向を変えられて出力されたコリメート光がそれぞれ集光され、各出力チャネル光導波路９に結像するようになっている。
【００２３】
複数の出力チャネル光導波路９は、それぞれ、図示しない出力ファイバアレイを構成する各出力光ファイバに接続されており、複数の集光レンズ８によって集光された光を各出力光ファイバへ導くようになっている。つまり、複数の集光レンズ８によって各出力チャネル光導波路９に結像し、各出力チャネル光導波路９を伝播してきた光信号が、各出力光ファイバへ出力されるようになっている。
【００２４】
なお、一の光導波路基板１Ａの入力チャネル光導波路４と他の光導波路基板１Ｂの出力チャネル光導波路９は、同一の数にしても良いし、異なる数にしても良い。
また、本実施形態では、入力側光導波路基板１Ａを、入力チャネル光導波路４を備えるものとして構成し、出力側光導波路基板１Ｂを、出力チャネル光導波路９を備えるものとして構成しているが、これに限られるものではない。例えば、入力側光導波路基板１Ａを、入力チャネル光導波路４を備えないものとして構成し、その代わりに、入力ファイバアレイをレンズ（コリメートレンズ）５が設けられている領域に接続するようにし、出力側光導波路基板１Ｂを、出力チャネル光導波路９を備えないものとして構成し、その代わりに、出力ファイバアレイをレンズ（集光レンズ）８が設けられている領域に接続するようにしても良い。
【００２５】
入力側光偏向素子アレイ２は、複数の光偏向素子を備えるものとして構成され、図１に示すように、入力側光導波路基板１Ａの素子実装用開口部６Ａに実装されている。つまり、入力側光偏向素子アレイ２は、スラブ光導波路２０の端面（素子実装用開口部６Ａの壁面を構成する端面）、及び、スラブ光導波路２１の端面（素子実装用開口部６Ａの壁面を構成する端面）に接合されている。
【００２６】
ここで、入力側光偏向素子アレイ２を構成する各入力側光偏向素子は、それぞれ、各入力チャネル光導波路４及び各コリメートレンズ５に対応して設けられている（例えば図６参照）。
また、入力側光偏向素子アレイ２は、図４（Ａ），（Ｂ）に示すように、上部電極としての導電性基板１０（ここではＮｂ−ＳＴＯ基板）上に、電気光学効果を有する材料（ここではＰＬＺＴ）によって形成されたスラブ光導波路１１を形成し、さらに、スラブ光導波路１１の表面に、下部電極としての一対のプリズム型電極１２をチャンネル毎（ポート毎）に１個又は複数個直列に設けたものとして構成される。
【００２７】
また、出力側光偏向素子アレイ３も、上述の入力側光偏向素子アレイ２と同様に、複数の光偏向素子を備えるものとして構成され、図１に示すように、出力側光導波路基板１Ｂの素子実装用開口部６Ｂに実装されている。つまり、出力側光偏向素子アレイ３は、スラブ光導波路３１の端面（素子実装用開口部６Ｂの壁面を構成する端面）、及び、スラブ光導波路３０の端面（素子実装用開口部６Ｂの壁面を構成する端面）に接合されている。
【００２８】
ここで、出力側光偏向素子アレイ３を構成する各出力側光偏向素子は、それぞれ、各出力チャネル光導波路９及び各集光レンズ８に対応して設けられている（例えば図６参照）。
また、出力側光偏向素子アレイ３は、上述の入力側光偏向素子アレイ２と同様に、図４（Ａ），（Ｂ）に示すように、上部電極としての導電性基板１０上に、電気光学効果を有する材料によって形成されたスラブ光導波路１１を形成し、さらに、スラブ光導波路１１の表面に、下部電極としての一対のプリズム型電極１２をチャンネル毎（ポート毎）に１個又は複数個直列に設けたものとして構成される。
【００２９】
一方、各光導波路基板１Ａ（１Ｂ）の素子実装用開口部６Ａ（６Ｂ）の底面には、図１に示すように、素子実装用開口部６Ａ（６Ｂ）に実装される光偏向素子アレイ２（３）に設けられているプリズム型電極１２に対向する位置に、電極パッド１３が設けられている。なお、電極パッド１３には、図示しない電気配線が接続されている。
また、光偏向素子アレイ２（３）のプリズム型電極１２とスラブ光導波路基板１Ａ（１Ｂ）の素子実装用開口部６Ａ（６Ｂ）の電極パッド１３とは、図１に示すように、導電ペースト（金属ペースト；例えば銀ペースト；導電性接着剤）１５によって接続される。
【００３０】
そして、スラブ光導波路基板１Ａ（１Ｂ）の素子実装用開口部６Ａ（６Ｂ）の底面に形成されている電極パッド１３（及び図示しない電気配線）を介して、上部電極１０及び下部電極１２によってスラブ光導波路１１に電圧を印加し、スラブ光導波路１１の屈折率を変化させることで、電気光学効果を利用して、光信号の伝播方向を変えることができるようになっている。
【００３１】
スラブ光導波路基板７は、全ての光信号が共通に伝播しうるスラブ光導波路（共通光導波路）を備える。つまり、スラブ光導波路基板７は、図３に示すように、例えばシリコン基板（あるいは石英基板；石英ウェハ）５０上に、例えば石英からなる下部クラッド層５１、例えばガリウムＧａをドープして屈折率を調整した石英からなるコア層５２、例えば石英からなる上部クラッド層５３を順に形成してなるスラブ光導波路５４を備える。
【００３２】
ところで、本実施形態では、図１に示すように、２つの光導波路基板１Ａ，１Ｂが、スラブ光導波路基板７の両端面にそれぞれ光学接着剤（光学材料からなる接着剤；光透過性が高い接着剤）によって接合（接着・固定）されている。
つまり、入射側光導波路基板１Ａのスラブ光導波路（第２光導波路）２１の端面から出射された光がスラブ光導波路基板７のスラブ光導波路５４の一方の端面に入射するように、入射側光導波路基板１Ａのスラブ光導波路（第２光導波路）２１の端面とスラブ光導波路基板７のスラブ光導波路５４の一方の端面とが対向するようにして接合されている。
【００３３】
また、スラブ光導波路基板７のスラブ光導波路５４の他方の端面から出射された光が出射側光導波路基板１Ｂのスラブ光導波路（第２光導波路）３１の端面から入射するように、出射側光導波路基板１Ｂのスラブ光導波路（第２光導波路）３１の端面とスラブ光導波路基板７のスラブ光導波路５４のスラブ光導波路５４の他方の端面とが対向するようにして接合されている。
【００３４】
本実施形態では、図１に示すように、光導波路基板１Ａ，１Ｂの突出部６０Ａ，６０Ｂ上にスラブ光導波路基板７が設けられている。
つまり、本実施形態では、入射側光導波路基板１Ａのスラブ光導波路（第２光導波路）２１の端面とスラブ光導波路基板７のスラブ光導波路５４の一方の端面とが接合（接着・固定）されるとともに、入射側光導波路基板１Ａの突出部６０Ａの上面とスラブ光導波路基板７の一方の端面側の下面とが接合（接着・固定）されている。
【００３５】
また、出射側光導波路基板１Ｂのスラブ光導波路（第２光導波路）３１の端面とスラブ光導波路基板７のスラブ光導波路５４のスラブ光導波路５４の他方の端面とが接合（接着・固定）されるとともに、出射側光導波路基板１Ｂの突出部６０Ｂの上面とスラブ光導波路基板７の他方の端面側の下面とが接合（接着・固定）されている。
このように、素子実装用開口部６Ａを備える入力側光導波路基板１Ａと素子実装用開口部６Ｂを備える出力側光導波路基板１Ｂとの間にスラブ光導波路基板７が設けられ、このスラブ光導波路基板７のスラブ光導波路５４によって、入力側光導波路基板１Ａの素子実装用開口部６Ａに実装された入力側光偏向素子アレイ２を構成する入力側光偏向素子によって伝播方向を変えられた光信号のそれぞれが、出力側光導波路基板１Ｂの素子実装用開口部６Ｂに実装された出力側光偏向素子アレイ３を構成する出力側光偏向素子へ導かれるようになっている。
【００３６】
このように構成される光スイッチモジュールでは、入力側光偏向素子アレイ２を構成する入力側光偏向素子及び出力側光偏向素子アレイ３を構成する出力側光偏向素子に印加する電圧を制御することによって、一の入力チャネル光導波路４から入力された光信号の経路を切り換えて、一の出力チャネル光導波路９から出力させることが可能である。
つまり、本光スイッチモジュールでは、入力チャネル光導波路４から入力された光信号は、入力側光偏向素子アレイ２を構成する入力側光偏向素子によって伝播方向が変えられ、スラブ光導波路７を伝播してきた光信号の伝播方向が、出力側光偏向素子アレイ３を構成する出力側光偏向素子によって再び変えられ、集光レンズ８を介して出力チャネル光導波路９に結像することになる。
【００３７】
次に、本実施形態にかかる光モジュール（光スイッチモジュール）の製造方法について説明する。
以下、光導波路基板の製造方法、スラブ光導波路基板の製造方法、光偏向素子アレイの製造方法、光モジュール（光スイッチモジュール）の製造方法の順に説明する。
［光導波路基板の製造方法］
まず、図２に示すように、例えばシリコン基板（あるいは石英基板；石英ウェハ）４０上に、例えば熱酸化法やＭＯＣＶＤ法などによって石英を堆積させて、下部クラッド層４１を形成する。なお、下部クラッド層を兼ねた石英基板を用いても良い。
【００３８】
次に、下部クラッド層４１上に、例えばＭＯＣＶＤ法などによって、例えばガリウムＧａをドープして屈折率を調整した石英を堆積させて、コア層４２を形成する。
次いで、例えばＲＩＥなどのドライエッチングによって、コア層４２をチャネル状にパターニングする。
そして、コア層４２上に、例えば下部クラッド層４１の形成方法と同様の方法によって石英を堆積させて、上部クラッド層４３を形成する。これにより、シリコン基板４０上に、複数のチャネル光導波路４（９）［例えば図６の符号１０３（１０７）と同様に形成される］及びスラブ光導波路が形成される。
【００３９】
このようにして、複数のチャネル光導波路４（９）及びスラブ光導波路を備える石英光導波路を作製した後、例えばＲＩＥなどのドライエッチングによって、レンズ領域（コリメートレンズ領域又は集光レンズ領域）に形成されているスラブ光導波路を加工して、複数のレンズからなるレンズアレイ５（８）を形成するとともに、光偏向素子アレイ２（３）を実装する領域に形成されているスラブ光導波路を除去して素子実装用開口部６Ａ（６Ｂ）を同時に形成する。
【００４０】
特に、本実施形態では、素子実装用開口部６Ａ（６Ｂ）は、図２に示すように、その両側にスラブ光導波路２０（３０），２１（３１）が残るように形成する。つまり、光導波路基板１Ａ（１Ｂ）を構成する基板４０の端部がその上に形成されるスラブ光導波路２１（３１）の端面よりも突出して、光導波路基板１Ａ（１Ｂ）に突出部６０Ａ（６０Ｂ）が形成されるように、レンズアレイ５（８）や素子実装用開口部６Ａ（６Ｂ）を形成するのと同時に、例えばＲＩＥなどのドライエッチングによってスラブ光導波路２１（３１）の端面を一部除去するようにしている。
【００４１】
その後、素子実装用開口部６Ａ（６Ｂ）の底面に、金属膜を例えばスパッタ及びめっきによって積層させて、電極パッド１３（及びこれらに接続される電気配線）を形成する。
なお、例えばＲＩＥなどによって加工されたレンズ（レンズアレイ）５（８）を構成する溝部には、コア層の材料よりも屈折率の低い材料（レンズ充填材）を充填するのが好ましい。
【００４２】
そして、所定のサイズに切断し、各光導波路基板１Ａ（１Ｂ）のチャネル光導波路４（９）側の端面を研磨する。なお、スラブ光導波路２１（３１）の端面は、例えばＲＩＥなどのドライエッチングによって形成されるため、研磨する必要はない。
このようにして、複数のチャネル光導波路４（９），複数のレンズ５（８），スラブ光導波路２０（３０），一つの素子実装用開口部６Ａ（６Ｂ），スラブ光導波路２１（３１）を同一基板上に一体形成した光導波路基板１Ａ（１Ｂ）を作製する。ここでは、スラブ光導波路（第１光導波路）２０（３０）とスラブ光導波路（第２光導波路）２１（３１）との間に素子実装用開口部６Ａ（６Ｂ）を有する光導波路基板１Ａ（１Ｂ）を作製する。
【００４３】
なお、ここでは、光導波路基板１Ａ（１Ｂ）を石英によって製造するようにしているが、これに限られるものではなく、光学用ポリマー（例えば、日立化成工業（株）製OPIシリーズ）を用いたポリマー導波路を備える光導波路基板としても良い。つまり、光導波路基板１Ａ（１Ｂ）とスラブ導波路基板７とが異なる材料から形成されていても良い。
［スラブ光導波路基板の製造方法］
まず、図３に示すように、例えばシリコン基板（あるいは石英基板；石英ウェハ）５０上に、例えば熱酸化法やＭＯＣＶＤ法などによって石英を堆積させて、下部クラッド層５１を形成する。なお、下部クラッド層を兼ねた石英基板を用いても良い。
【００４４】
次に、下部クラッド層５１上に、例えばＭＯＣＶＤ法などによって、例えばガリウムＧａをドープして屈折率を調整した石英を堆積させて、コア層５２を形成する。
次いで、コア層５２上に、例えば下部クラッド層５１の形成方法と同様の方法によって石英を堆積させて、上部クラッド層５３を形成する。これにより、下部クラッド層５１、コア層５２、上部クラッド層５３からなるスラブ光導波路５４が形成される。
【００４５】
そして、所定のサイズに切断し、両端面（切断面）を研磨してスラブ光導波路基板７を作製する。
［光偏向素子アレイの製造方法］
まず、図４（Ｂ）に示すように、例えばニオブＮｂをドープして導電性を付与したＳｒＴｉＯ3基板（導電性基板；Ｎｂ−ＳＴＯ基板；これは電極として機能しうる）上に、例えばゾルゲル法、ＰＬＤ法（パルスレーザ堆積法）、ＭＯＣＶＤ法などによって、例えばＰＬＺＴ（ＰｂxＬａ1-x（ＺｒyＴｉ1-yＯ3））を堆積させて、下部クラッド層（ＰＬＺＴ薄膜）を形成する。
【００４６】
次に、下部クラッド層上に、例えばＰＺＴ（Ｐｂ（ＺｒyＴｉ1-yＯ3））もしくは組成を変化させて屈折率を大きくしたＰＬＺＴを同様の方法で堆積させて、コア層（ＰＬＺＴ薄膜）を形成する。
そして、コア層上に、例えば下部クラッドと同じ組成のＰＬＺＴを堆積させて、上部クラッド層（ＰＬＺＴ薄膜）を形成する。
【００４７】
このようにして電気光学効果を有する材料によってスラブ光導波路（ＰＬＺＴ光導波路）１１を作製した後、図４（Ａ）に示すように、上部クラッド層の表面上に、例えばスパッタ法とフォトリソグラフィ法によって、プリズム形状に金属膜を形成し、一対のプリズム型電極１２を１個又は複数個直列に形成する。そして、所定の寸法に研磨・加工して、研磨端面に反射防止コート（ＡＲコート）処理を行なう。これにより、複数の光偏向素子を備える光偏向素子アレイ２（３）が製造される。
【００４８】
なお、このような光偏向素子アレイのより具体的な製造方法については、例えば特開２００５−２６６６３８号公報に開示されている。
［光モジュール（光スイッチモジュール）の製造方法］
まず、図５（Ａ），（Ｂ）に示すように、上述のようにして製造された光導波路基板１Ａ（１Ｂ）の素子実装用開口部６Ａ（６Ｂ）に、光偏向素子アレイ２（３）をはめ込んで接着・固定することで、光偏向素子アレイ２（３）を光導波路基板１Ａ（１Ｂ）上に実装する（光偏向素子実装工程）。
【００４９】
本実施形態では、このようにして光導波路基板１Ａ（１Ｂ）に光偏向素子アレイ２（３）を実装する際に、以下のようにして、光導波路基板１Ａ（１Ｂ）と光偏向素子アレイ２（３）との位置合わせ（アライメント）を行なう。
つまり、まず、図５（Ａ），（Ｂ）に示すように、光導波路基板１の素子実装用開口部６Ａ（６Ｂ）に形成されている電極パッド１３上に、導電ペースト１５（導電性接着剤；ここでは銀ペースト；例えばスリーボンド製ＴＢ３３０１）を、ディスペンサを用いて塗布する。
【００５０】
次いで、図５（Ｂ）に示すように、ファイバアレイ２５を光導波路基板１Ａ（１Ｂ）のチャネル光導波路４（９）と近接させ、光源からの光がファイバアレイ２５を経由してチャネル光導波路４（９）に入射するように位置合わせを行なった後、位置合わせされた状態で保持する。
次に、図５（Ｂ）に示すように、光導波路基板１Ａ（１Ｂ）の素子実装用開口部６Ａ（６Ｂ）に光偏向素子アレイ２（３）を配置する。
【００５１】
具体的には、図５（Ｂ）に示すように、吸着ツールヘッドに固定した光偏向素子アレイ２（３）を、自動ステージで素子実装用開口部６Ａ（６Ｂ）の真上まで移動させた後、ゆっくりと降下させ、光導波路基板１Ａ（１Ｂ）の素子実装用開口部６Ａ（６Ｂ）にプリズム型電極１２側を下にした状態で挿入する。ここでは、光偏向素子アレイ２（３）のプリズム型電極１２と、電極パッド１３上に塗布された導電性接着剤１５とが接する状態とする。
【００５２】
そして、光導波路基板１Ａ（１Ｂ）の素子実装用開口部６Ａ（６Ｂ）内で光偏向素子アレイ２（３）の位置合わせを行なう。
ここでは、図５（Ｂ）に示すように、ファイバアレイ２５を介してチャネル光導波路（第１光導波路）４（９）にアライメント光（モニタ光）を入射させ、チャネル光導波路４（９）、レンズ（レンズアレイ）５（８）、スラブ光導波路２０（３０）、光偏向素子アレイ２（３）、スラブ光導波路２１（３１）を伝播し、スラブ光導波路（第２光導波路）２１（３１）の端面から出射した光（光信号）をパワーメータ又は赤外カメラでモニタしながら、出射光の強度が最大になるように、アクティブアライメントを行なって、光導波路基板１Ａ（１Ｂ）と光偏向素子アレイ２（３）との位置合わせを行ない、実装位置を決定する。
【００５３】
次に、図５（Ｂ）に示すように、導電性接着剤１５を硬化させて、光偏向素子アレイ２（３）の電極１２と光導波路基板１Ａ（１Ｂ）の素子実装用開口部６Ａ（６Ｂ）の電極パッド１３とを接続する。
その後、例えば紫外線硬化性樹脂（ＵＶ樹脂）や熱硬化性樹脂などの接着剤［例えばＧＡ７００Ｈ（ＮＴＴ−ＡＴ製）などの光学接着剤］を、素子実装用開口部６Ａ（６Ｂ）内に充填し、硬化させて、光偏向素子アレイ２（３）を光導波路基板１Ａ（１Ｂ）の素子実装用開口部６Ａ（６Ｂ）に接着・固定する。
【００５４】
なお、ここでは、先に導電性接着剤１５を硬化させた後、光学接着剤を硬化させて光偏向素子アレイ２（３）を素子実装用開口部６Ａ（６Ｂ）に接着・固定するようにしているが、これに限られるものではなく、例えば、先に光学接着剤を硬化させて光偏向素子アレイ２（３）を素子実装用開口部６Ａ（６Ｂ）に接着・固定した後、導電性接着剤１５を硬化させるようにしても良い。
【００５５】
これにより、光導波路基板１Ａ（１Ｂ）上に光偏向素子アレイ２（３）が実装される。
このようにして、光偏向素子アレイ２，３をそれぞれ実装した２つの光導波路基板１Ａ，１Ｂを作製した後、これらをスラブ光導波路基板７の両端面に接合する。
本実施形態では、図５（Ｃ）に示すように、光偏向素子アレイ２を実装された一の光導波路基板（入射側光導波路基板）１Ａの端面とスラブ光導波路基板７のスラブ光導波路５４の一方の端面とを対向させた状態でアライメントを行ない、一の光導波路基板１Ａの端面とスラブ光導波路基板７のスラブ光導波路５４の一方の端面とを接合した後、図５（Ｄ）に示すように、一の光導波路基板１Ａの端面に接合されたスラブ光導波路基板７のスラブ光導波路５４の他方の端面と、光偏向素子アレイ３を実装された他の光導波路基板（出射側光導波路基板）１Ｂの端面とを対向させた状態でアライメントを行ない、他の光導波路基板１Ｂの端面とスラブ光導波路基板７のスラブ光導波路５４のスラブ光導波路５４の他方の端面とを接合する。
【００５６】
具体的には、まず、図５（Ｃ）に示すように、一の光導波路基板１Ａの端面とスラブ光導波路基板７のスラブ光導波路５４の一方の端面とが対向した状態で近接するように、図示しないアライメントステージ上に配置する。なお、ここでは、スラブ光導波路基板７は基板が上側になるように配置する。
次いで、一の光導波路基板１Ａとスラブ光導波路基板７との位置合わせを行なう。
【００５７】
ここでは、図５（Ｃ）に示すように、ファイバアレイ２５を介して一の光導波路基板１Ａのチャネル光導波路４にアライメント光（モニタ光）を入射させる。アライメント光は、チャネル光導波路４、レンズ（レンズアレイ）５、スラブ光導波路２０、光偏向素子アレイ２、スラブ光導波路２１を伝播し、スラブ光導波路２１の端面から出射する。
出射した光（光信号）は、スラブ光導波路基板７のスラブ導波路５４の一方の端面から入射し、他方の端面から出射する。
【００５８】
このようにして、一の光導波路基板１Ａのチャネル光導波路４から入射し、スラブ光導波路基板７のスラブ導波路５４の他方の端面から出射するアライメント光（出射光）をパワーメータ又は赤外カメラでモニタしながら、出射光の強度が最大になるように、アライメントステージを移動させ（即ち、いずれか一方又は両方の基板を横方向へスライドさせ）、一の光導波路基板１Ａとスラブ光導波路基板７との位置合わせを行なって（即ち、アクティブアライメントを行なって）、一の光導波路基板１Ａとスラブ光導波路基板７との接着位置を決定する。
【００５９】
このように、アライメントステージを用いて横方向（水平方向）での位置合わせを行なうことによって、伝播光の角度ずれを解消することができる。
なお、出射光はスラブ光導波路基板７のスラブ導波路５４の端面に近接させたファイバアレイ（図示せず）を介してパワーメータでモニタするようにしても良いし、スラブ光導波路基板７のスラブ導波路５４の端面にパワーメータ又は赤外カメラを近接させてモニタするようにしても良い。
【００６０】
その後、例えば紫外線硬化性樹脂（ＵＶ樹脂）や熱硬化性樹脂などの接着剤［例えばＧＡ７００Ｈ（ＮＴＴ−ＡＴ製）などの光学接着剤］を、一の光導波路基板１Ａの端面とスラブ光導波路基板７のスラブ光導波路５４の一方の端面との間に充填し、硬化させて、一の光導波路基板１Ａの端面とスラブ光導波路基板７のスラブ光導波路５４の一方の端面とを接着・固定（接合）する。
【００６１】
なお、本実施形態では、一の光導波路基板１Ａの突出部６０Ａの上面とスラブ光導波路基板７の一方の端面側の下面との間も光学接着剤によって接着・固定するようにしている。
次に、図５（Ｄ）に示すように、一の光導波路基板１Ａの端面に接合されたスラブ光導波路基板７のスラブ光導波路５４のスラブ光導波路５４の他方の端面と他の光導波路基板１Ｂの端面が対向した状態で近接するように、図示しないアライメントステージ上に配置する。
【００６２】
次いで、一の光導波路基板１Ａの端面に接合されたスラブ光導波路基板７と他の光導波路基板１Ｂとの位置合わせを行なう。
ここでは、図５（Ｄ）に示すように、ファイバアレイ２５を介して一の光導波路基板１Ａのチャネル光導波路４にアライメント光（モニタ光）を入射させる。アライメント光は、チャネル光導波路４、レンズ（レンズアレイ）５、スラブ光導波路２０、光偏向素子アレイ２、スラブ光導波路２１、スラブ光導波路基板７のスラブ光導波路５４を伝播し、スラブ光導波路７のスラブ光導波路５４の他方の端面から出射する。
【００６３】
出射した光（光信号）は、他の光導波路基板１Ｂのスラブ光導波路３１の端面から入射し、光偏向素子アレイ３、スラブ光導波路３０、レンズ（レンズアレイ）８、チャネル光導波路９を伝播し、チャネル光導波路９の端面から出射する。
このようにして、一方の光導波路基板１Ａのチャネル光導波路４から入射し、他方の光導波路基板１Ｂのチャネル光導波路９から出射するアライメント光（出射光）をパワーメータ又は赤外カメラでモニタしながら、出射光の強度が最大になるように、アライメントステージを移動させ（即ち、いずれか一方又は両方の基板を横方向へスライドさせ）、一の光導波路基板１Ａに接合されたスラブ光導波路基板７と他の光導波路基板１Ｂの位置合わせを行なって（即ち、アクティブアライメントを行なって）、一の光導波路基板１Ａに接合されたスラブ光導波路基板７と他の光導波路基板１Ｂとの接着位置を決定する。
【００６４】
このように、アライメントステージを用いて横方向（水平方向）での位置合わせを行なうことによって、伝播光の角度ずれを解消することができる。
なお、出射光は他の光導波路基板１Ｂのチャネル光導波路９の端面に近接させたファイバアレイ（図示せず）を介してパワーメータでモニタするようにしても良いし、他の光導波路基板１Ｂのチャネル光導波路９の端面にパワーメータ又は赤外カメラを近接させてモニタするようにしても良い。
【００６５】
なお、一の光導波路基板１Ａを接合されたスラブ光導波路基板７と他の光導波路基板１Ｂとのアライメントを行なう場合、他の光導波路基板１Ｂのスラブ光導波路（第２光導波路）３１は光偏向素子アレイ３に入射する光を導く入射光導波路として機能し、スラブ光導波路（第１光導波路）３０及びチャネル光導波路（第１光導波路）９は光偏向素子アレイ３から出射された光を導く出射光導波路として機能することになる。
【００６６】
また、本実施形態では、一の光導波路基板１Ａを接合されたスラブ光導波路基板７と他の光導波路基板１Ｂとのアライメントを行なう場合、一の光導波路基板１Ａの側から光を入射させるようにしているが、これに限られるものではなく、例えば他の光導波路基板１Ｂの側から光を入射させるようにしても良い。
その後、例えば紫外線硬化性樹脂（ＵＶ樹脂）や熱硬化性樹脂などの接着剤［例えばＧＡ７００Ｈ（ＮＴＴ−ＡＴ製）などの光学接着剤］を、スラブ光導波路基板７のスラブ光導波路５４の他方の端面と他の光導波路基板１Ｂの端面との間に充填し、硬化させて、スラブ光導波路基板７のスラブ光導波路５４の他方の端面と他の光導波路基板１Ｂの端面とを接着・固定（接合）する。
【００６７】
なお、本実施形態では、他の光導波路基板１Ｂの突出部６０Ｂの上面とスラブ光導波路基板７の他方の端面側の下面との間も光学接着剤によって接着・固定するようにしている。
その後、各光導波路基板１Ａ，１Ｂのチャネル光導波路４，９の端面に、それぞれ、ファイバアレイを光学接着剤によって接着・固定（接合）する。
【００６８】
なお、ここでは、光導波路基板１Ａ，１Ｂ及びスラブ光導波路基板７を接着・固定した後にファイバアレイを接着・固定するようにしているが、これに限られるものではなく、例えば、光導波路基板１Ａ，１Ｂ及びスラブ光導波路基板７を接着・固定する前に、各光導波路基板１Ａ，１Ｂにファイバアレイを接着・固定するようにしても良い。
したがって、本実施形態にかかる光モジュール及びその製造方法によれば、伝播光の角度ずれが生じてしまうような場合であっても、アクティブアライメントによる位置決め（傾き調整を含む）を正確、かつ、確実に行なえるようにして、実装精度（位置合わせ精度）を向上させることができるという利点がある。
【００６９】
特に、基板に対して垂直方向の傾き調整も含めて、正確、かつ、確実に光偏向素子アレイ２，３を実装できるようになるため、光偏向素子アレイ２，３の位置ずれ（実装ずれ）に起因する品質低下を防止することができる。また、光導波路基板１Ａ，１Ｂの突出部６０Ａ，６０Ｂ上にスラブ光導波路基板７を設けるようにしているため、各接合部における経時的な位置ずれによる特性劣化を抑えることができるという利点もある。この結果、光偏向素子アレイ２，３を実装して光モジュールを作製する場合に、伝播損失の低い光モジュール（光スイッチモジュール）を実現できることになる。
【００７０】
また、２つの光導波路基板１Ａ，１Ｂ及びスラブ光導波路基板７に分割し、光導波路基板１Ａ，１Ｂのサイズを小さくすることで、歩留まりも向上し、製造コストを低減できることになる。
なお、上述の実施形態では、本発明を、光偏向素子２（３）を実装した２つの光導波路基板１Ａ（１Ｂ）をそれぞれスラブ光導波路基板７の両端面に接合した光スイッチモジュールに適用した場合を例に説明しているが、これに限られるものではなく、例えば光偏向素子を実装した１つの光導波路基板をスラブ光導波路基板の端面に接合した光モジュールであっても良い。
【００７１】
また、上述の実施形態では、例えばＲＩＥなどのドライエッチングによって光導波路基板１Ａ（１Ｂ）のスラブ光導波路２１（３１）の端面を一部除去し、突出部６０Ａ（６０Ｂ）を形成するようにしているが、これに限られるものではなく、例えばスラブ光導波路の端面を除去せずにそのまま残し、所定のサイズに切断する際にスラブ光導波路の端面が形成されるようにして、光導波路基板を、突出部を備えないものとして構成しても良い。この場合、光導波路基板のスラブ光導波路の端面は切断面（ダイシング面）となるため、研磨が必要になる。
【００７２】
また、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形することができる。
以下、上述の実施形態に関し、更に、付記を開示する。
（付記１）
スラブ光導波路を有するスラブ光導波路基板と、
第１光導波路と第２光導波路とを備え、前記第１光導波路と前記第２光導波路との間に素子実装用開口部を有する光導波路基板と、
前記光導波路基板の素子実装用開口部に実装され、電気光学効果を有する複数の光偏向素子を備える光偏向素子アレイとを備え、
前記スラブ光導波路基板の端面と前記光導波路基板の端面とが接合されていることを特徴とする光モジュール。
【００７３】
（付記２）
前記光導波路基板が、前記第２光導波路の端面よりも突出した突出部を備え、
前記スラブ光導波路基板が、前記突出部上に設けられていることを特徴とする、付記１記載の光モジュール。
（付記３）
前記光偏向素子アレイを実装された前記光導波路基板を２つ備え、
前記２つの光導波路基板が、前記スラブ光導波路基板の両端面にそれぞれ接合されていることを特徴とする、付記１又は２記載の光モジュール。
【００７４】
（付記４）
前記光導波路基板と前記スラブ光導波路基板とが異なる材料によって形成されていることを特徴とする、付記１〜３のいずれか１項に記載の光モジュール。
（付記５）
前記第１光導波路として、複数のチャネル光導波路及びスラブ光導波路を備え、
前記第２光導波路として、スラブ光導波路を備え、
前記光導波路基板が、レンズアレイを備えることを特徴とする、付記１〜４のいずれか１項に記載の光モジュール。
【００７５】
（付記６）
スラブ光導波路を有するスラブ光導波路基板を作製し、
第１光導波路と第２光導波路とを備え、前記第１光導波路と前記第２光導波路との間に素子実装用開口部を有する光導波路基板を作製し、
電気光学効果を有する複数の光偏向素子を備える光偏向素子アレイを、前記光導波路基板の素子実装用開口部に実装し、
前記光偏向素子アレイを実装された前記光導波路基板の端面と前記スラブ光導波路基板の端面とを対向させた状態でアライメントを行ない、
前記光導波路基板の端面と前記スラブ光導波路基板の端面とを接合することを特徴とする光モジュールの製造方法。
【００７６】
（付記７）
前記光偏向素子アレイを前記素子実装用開口部に挿入し、前記第１光導波路を介して前記光偏向素子アレイに光を入射させ、前記第２光導波路を介して出射された光をモニタしながら前記光偏向素子アレイのアライメントを行なって、前記素子実装用開口部に前記光偏向素子アレイを実装することを特徴とする、付記６記載の光モジュールの製造方法。
【００７７】
（付記８）
前記光導波路基板と前記スラブ光導波路基板とのアライメントは、前記光導波路基板の前記第１光導波路に光を入射させ、前記光偏向素子アレイ及び前記光導波路基板の前記第２光導波路を介して出射された光を前記スラブ光導波路基板の一方の端面に入射させ、前記スラブ光導波路基板の他方の端面から出射された光をモニタしながら行なうことを特徴とする、付記６又は７記載の光モジュールの製造方法。
【００７８】
（付記９）
前記光偏向素子アレイを実装された前記光導波路基板を２つ作製し、
前記２つの光導波路基板のうちの一の光導波路基板の端面と前記スラブ光導波路基板の一方の端面とを対向させた状態でアライメントを行ない、
前記一の光導波路基板の端面と前記スラブ光導波路基板の一方の端面とを接合し、
前記２つの光導波路基板のうちの他の光導波路基板の端面と前記一の光導波路基板の端面に接合された前記スラブ光導波路基板の他方の端面とを対向させた状態でアライメントを行ない、
前記他の光導波路基板の端面と前記スラブ光導波路基板の他方の端面とを接合することを特徴とする、付記６又は７記載の光モジュールの製造方法。
【００７９】
（付記１０）
前記一の光導波路基板と前記スラブ光導波路基板とのアライメントは、前記一の光導波路基板の前記第１光導波路に光を入射させ、前記一の光導波路基板の前記第２光導波路を介して出射された光を前記スラブ光導波路基板の一方の端面に入射させ、前記スラブ光導波路基板の他方の端面から出射された光をモニタしながら行なうことを特徴とする、付記９記載の光モジュールの製造方法。
【００８０】
（付記１１）
前記他の光導波路基板と前記スラブ光導波路基板とのアライメントは、前記一の光導波路基板の前記第１光導波路に光を入射させ、前記一の光導波路基板の前記第２光導波路を介して出射された光を前記スラブ光導波路基板の一方の端面に入射させ、前記スラブ光導波路基板の他方の端面から出射された光を前記他の光導波路基板の前記第２光導波路に入射させ、前記他の光導波路基板の前記第１光導波路を介して出射された光をモニタしながら行なうことを特徴とする、付記９又は１０記載の光モジュールの製造方法。
【図面の簡単な説明】
【００８１】
【図１】本発明の一実施形態にかかる光モジュールの全体構成を示す模式的断面図である。
【図２】本発明の一実施形態にかかる光モジュールを構成する光導波路基板を示す模式的断面図である。
【図３】本発明の一実施形態にかかる光モジュールを構成するスラブ光導波路基板を示す模式的断面図である。
【図４】（Ａ），（Ｂ）は、本発明の一実施形態にかかる光モジュールを構成する光偏向素子アレイを示す模式図であって、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は断面図である。
【図５】（Ａ）〜（Ｄ）は、本発明の一実施形態にかかる光モジュールの製造方法を説明するための模式的断面図である。
【図６】従来の光スイッチモジュールの構成を示す模式的平面図である。
【図７】（Ａ），（Ｂ）は、従来の光スイッチモジュールの製造方法を説明するための模式図である。
【符号の説明】
【００８２】
１Ａ，１Ｂ  光導波路基板
２  入力側光偏向素子アレイ
３  出力側光偏向素子アレイ
４  入力チャネル光導波路（第１光導波路）
５  コリメートレンズ
６Ａ，６Ｂ  素子実装用開口部
７  スラブ光導波路基板
８  集光レンズ
９  出力チャネル光導波路（第１光導波路）
１０  上部電極としての導電性基板
１１  スラブ光導波路
１２  下部電極としてのプリズム型電極
１３  電極パッド
１５  導電ペースト（導電性接着剤）
２０，３０  スラブ光導波路（第１光導波路）
２１，３１  スラブ光導波路（第２光導波路）
２５  ファイバアレイ
４０  基板
４１  下部クラッド層
４２  コア層
４３  上部クラッド層
５０  基板
５１  下部クラッド層
５２  コア層
５３  上部クラッド層
５４  スラブ光導波路
６０Ａ，６０Ｂ  突出部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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