(57)【要約】【課題】コネクタ自身が任意の範囲で可動できるコネクタを提供する。【解決手段】コネクタをターミナル部１とコネクタ差込部２に分割し、ターミナル部１に端子７を設け、コネクタ差込部２に他のコネクタと接続するための電極（図示せず）を設け、ターミナル部１とコネクタ差込部２との間に配線ケーブル３を配置して端子７と電極を電気的に接続する。さらに、連結用バネ４を用いてターミナル部１とコネクタ差込部２を連結する。【選択図】図１
2008112593.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の端子が設けられたターミナル部と、
他のコネクタに電気的に接続される電極部が設けられたコネクタ差込部と、
前記ターミナル部と前記コネクタ差込部との間に配置され、前記端子と前記電極部とを電気的に接続する配線ケーブルと、
前記ターミナル部と前記コネクタ差込部とを連結するとともに、前記ターミナル部と前記コネクタ差込部の相対位置を変位させる連結機構部と、
を備えたコネクタ。
【請求項２】
前記連結機構部は、弾性力を有する素材により構成されていることを特徴とする請求項１記載のコネクタ。
【請求項３】
請求項２記載のコネクタであって、さらに、前記ターミナル部と前記コネクタ差込部の相対位置の変位を規制する可動規制部を備えることを特徴とするコネクタ。
【請求項４】
前記可動規制部は、外側筒部と、前記外側筒部内に遊動可能に嵌設された内側筒部と、を備えることを特徴とする請求項３記載のコネクタ。
【請求項５】
前記連結機構部は、前記配線ケーブルを覆う連結カバーにより構成され、前記連結カバーは回転・傾斜する機構を有することを特徴とする請求項１記載のコネクタ。
【請求項６】
前記連結カバーは、内側に円弧面を有する外側カバーと、外側に円弧面を有し前記外側カバーに摺動可能に嵌設された内側カバーと、を備えることを特徴とする請求項５記載のコネクタ。
【請求項７】
前記連結機構部は、支柱と、前記ターミナル部および前記コネクタ差込部と前記支柱との接続部に設けられた回転・傾斜機構と、により構成されていることを特徴とする請求項１記載のコネクタ。
【請求項８】
前記回転・傾斜機構は、前記ターミナル部および前記コネクタ差込部に設けられた穴部と、前記支柱の両端に設けられ、前記穴部に遊動あるいは摺動可能に嵌設された嵌込部と、を備えることを特徴とする請求項７記載のコネクタ。
【請求項９】
前記回転・傾斜機構は、前記ターミナル部および前記コネクタ差込部に設けられた穴部と、前記支柱の両端に設けられ、前記穴部に遊動可能に嵌設された多面状の嵌込部と、前記穴部内において前記多面状の嵌込部に当接して前記多面状の嵌込部を回転自在に保持する多面体保持部と、を備えることを特徴とする請求項７記載のコネクタ。
【請求項１０】
前記回転・傾斜機構は、前記ターミナル部および前記コネクタ差込部に固定される回動自在な回転部と、前記回転部上に設けられ、前記支柱の端部を軸を中心に揺動自在に保持する支柱端保持部と、を備えることを特徴とする請求項７記載のコネクタ。
【請求項１１】
請求項７ないし１０のいずれかに記載のコネクタであって、さらに、前記支柱は伸縮機構を有することを特徴とするコネクタ。
【請求項１２】
請求項７ないし１１のいずれかに記載のコネクタであって、前記配線ケーブルは、前記端子の個数と同じ本数の端子配線からなり、前記連結機構部は、前記端子の個数と同じ本数の前記支柱を有し、前記各支柱には貫通孔が設けられ、前記各端子配線は、前記各支柱の貫通孔に挿入されていることを特徴とするコネクタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気信号を伝達するためのコネクタに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体装置などの検査は、テストボードなどの検査基板とテスタヘッドなどの半導体検査装置との間で電気的接続を確保した後、このテストボードが接続された半導体検査装置全体をハンドラ装置にドッキングして行う。ハンドラ装置は、検査対象の半導体装置（被測定デバイス）を検査基板に供給し、半導体検査装置による良否判定の結果を受け、被測定デバイスを選別する。
【０００３】
また、従来より、検査基板と半導体検査装置の電気的接続にはコネクタが用いられている。すなわち、検査基板と半導体検査装置のそれぞれに直接コネクタを取り付け、電気的接続をそのコネクタ同士の接続で行う。
【０００４】
図１３に従来の検査基板の外観図を示す。図１３（ａ）は従来の検査基板の上部側からの鳥瞰図、図１３（ｂ）は従来の検査基板の正面図、図１３（ｃ）は従来の検査基板の下部側からの鳥瞰図である。
【０００５】
図１３に示すように、検査基板２７は表面にデバイスソケット（ＤＵＴソケット）３０を備え、裏面には半導体検査装置と接続するためのコネクタ２８が半田付けにより、取り外せないように取り付けられている。
【０００６】
また、図１４に従来の半導体検査装置の鳥瞰図を示す。図１４に示すように、半導体検査装置２６の上面には、検査基板を装着するためのコネクタ３１が半田付けおよびネジ止め等で動かないように取り付けられている。
【０００７】
上記半導体検査装置２６に検査基板２７を装着する際には、図１５に示すように、検査基板２７側のコネクタ２８と半導体検査装置２６側のコネクタ３１を接続する。このようにコネクタを接続した後は、検査基板２７は半導体検査装置２６に完全に固定された状態となる。
【０００８】
このように検査基板２７が接続された半導体検査装置２６をハンドラ装置にドッキングする際には、それぞれの装置に設けられたドッキング用のガイドピン等を用いてドッキングすることになるが、ドッキングには高い位置精度が要求されるため、ドッキング位置（接続位置）の微調整が必要となる。
【０００９】
しかし、従来は、図１６に示すように、検査基板２７は半導体検査装置２６に完全に固定されており、半導体検査装置２６に対して検査基板２７の位置を変位させることができず、ハンドラ装置２９に合わせるために非常に重量のある半導体検査装置２６を動かす必要があった。そのため、従来のドッキング作業は、接続位置の微調整が困難で、時間がかかる作業となっていた。さらに、ハンドラ装置に対する検査基板の水平精度が低い場合、水平精度を向上させることができないので、ハンドラ装置との接続が困難になるという問題もあった。
【００１０】
また従来は、複数のコネクタを接続する場合、コネクタの取り付け位置精度が低いとコネクタ同士の接続が困難となり、接続できても検査基板が変形するなどといった問題もあった。近年では半導体装置の多ピン化、同時測定数の増加に伴い検査基板と半導体検査装置を接続するための端子数が増加してきている。そのため、コネクタ自身の端子数やコネクタの数が増加し、取り付け位置精度の向上が要求されてきている。
【００１１】
そこで、つまみを回転させることにより可動する装着部変位手段をテストヘッドとテストボードに直接連結することにより、テストヘッドに対してテストボードの位置を変位させるようにした半導体試験装置が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【００１２】
しかしながら、この従来の半導体試験装置では、半導体検査装置と検査基板を連結する機構としてコネクタ以外に装着部変位手段が必要となり、コストアップの要因となる。また、検査基板（テストボード）に装着部変位手段が連結されるため、その連結部分には、抵抗やコンデンサなどで構成した回路を実装したり、被測定デバイスとの通信を行うためのＦＰＧＡ、ＲＡＭ、被測定デバイスと同じリファレンスデバイス等の部品を実装することができないという問題が発生する。
【特許文献１】特開平１０−２１３６２８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明は、上記問題点に鑑み、コネクタをコネクタ差込部とターミナル部に分割し、コネクタ差込部に他のコネクタと接続するための電極を設け、ターミナル部に端子を設け、コネクタ差込部とターミナル部との間に配線ケーブルを配置して電極と端子を電気的に接続するとともに、コネクタ差込部とターミナル部の相対位置を可変させる連結機構部でこれらを連結することにより、コネクタ自身が可動可能なコネクタを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明の請求項１記載のコネクタは、複数の端子が設けられたターミナル部と、他のコネクタに電気的に接続される電極部が設けられたコネクタ差込部と、前記ターミナル部と前記コネクタ差込部との間に配置され、前記端子と前記電極部とを電気的に接続する配線ケーブルと、前記ターミナル部と前記コネクタ差込部とを連結するとともに、前記ターミナル部と前記コネクタ差込部の相対位置を変位させる連結機構部と、を備えたことを特徴とする。また、本発明の請求項２記載のコネクタは、請求項１記載のコネクタであって、前記連結機構部は、弾性力を有する素材により構成されていることを特徴とする。
【００１５】
また、本発明の請求項３記載のコネクタは、請求項２記載のコネクタであって、さらに、前記ターミナル部と前記コネクタ差込部の相対位置の変位を規制する可動規制部を備えることを特徴とする。
【００１６】
また、本発明の請求項４記載のコネクタは、請求項３記載のコネクタであって、前記可動規制部は、外側筒部と、前記外側筒部内に遊動可能に嵌設された内側筒部と、を備えることを特徴とする。
【００１７】
また、本発明の請求項５記載のコネクタは、請求項１記載のコネクタであって、前記連結機構部は、前記配線ケーブルを覆う連結カバーにより構成され、前記連結カバーは回転・傾斜する機構を有することを特徴とする。
【００１８】
また、本発明の請求項６記載のコネクタは、請求項５記載のコネクタであって、前記連結カバーは、内側に円弧面を有する外側カバーと、外側に円弧面を有し前記外側カバーに摺動可能に嵌設された内側カバーと、を備えることを特徴とする。
【００１９】
また、本発明の請求項７記載のコネクタは、請求項１記載のコネクタであって、前記連結機構部は、支柱と、前記ターミナル部および前記コネクタ差込部と前記支柱との接続部に設けられた回転・傾斜機構と、により構成されていることを特徴とする。
【００２０】
また、本発明の請求項８記載のコネクタは、請求項７記載のコネクタであって、前記回転・傾斜機構は、前記ターミナル部および前記コネクタ差込部に設けられた穴部と、前記支柱の両端に設けられ、前記穴部に遊動あるいは摺動可能に嵌設された嵌込部と、を備えることを特徴とする。
【００２１】
また、本発明の請求項９記載のコネクタは、請求項７記載のコネクタであって、前記回転・傾斜機構は、前記ターミナル部および前記コネクタ差込部に設けられた穴部と、前記支柱の両端に設けられ、前記穴部に遊動可能に嵌設された多面状の嵌込部と、前記穴部内において前記多面状の嵌込部に当接して前記多面状の嵌込部を回転自在に保持する多面体保持部と、を備えることを特徴とする。
【００２２】
また、本発明の請求項１０記載のコネクタは、請求項７記載のコネクタであって、前記回転・傾斜機構は、前記ターミナル部および前記コネクタ差込部に固定される回動自在な回転部と、前記回転部上に設けられ、前記支柱の端部を軸を中心に揺動自在に保持する支柱端保持部と、を備えることを特徴とする。
【００２３】
また、本発明の請求項１１記載のコネクタは、請求項７ないし１０のいずれかに記載のコネクタであって、さらに、前記支柱は伸縮機構を有することを特徴とする。また、本発明の請求項１２記載のコネクタは、請求項７ないし１１のいずれかに記載のコネクタであって、前記配線ケーブルは、前記端子の個数と同じ本数の端子配線からなり、前記連結機構部は、前記端子の個数と同じ本数の前記支柱を有し、前記各支柱には貫通孔が設けられ、前記各端子配線は、前記各支柱の貫通孔に挿入されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、ターミナル部とコネクタ差込部の相対位置を変位させることができるので、コネクタ自身が可動可能となり、コネクタの取り付け位置精度が低い場合にも、コネクタを可動させることで、コネクタ同士を容易に接続できる。例えば、検査基板および半導体検査装置へのコネクタの取り付け位置精度が低い場合にも、検査基板と半導体装置を容易に接続することができる。
【００２５】
また、コネクタ同士を接続した後においても、ターミナル部とコネクタ差込部の相対位置を変位させることができるので、ターミナル部を半導体検査装置に取り付け、コネクタ差込部を検査基板側のコネクタと接続した後、この検査基板が接続された半導体検査装置をハンドラ装置とドッキングするに際し、半導体検査装置を動かすことなく、コネクタを可動させることで、ドッキング位置の微調整を容易に行うことができる。さらに、コネクタを可動させることで、ハンドラ装置に対する検査基板の水平精度を向上させることができ、ハンドラ装置との接続が容易となる。
【００２６】
また、半導体検査装置と検査基板との連結部としてコネクタ以外の機構を必要としないので、構成を簡素化しコストを抑えることができる。さらに、このコネクタを用いて半導体検査装置（テストヘッド）と検査基板（テストボード）を連結すれば、従来のように装着部変位手段を用いる必要がなくなり、検査基板において半導体検査装置に直接接続される箇所がコネクタ以外になくなることから、検査基板により多くの部品を実装することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
（実施の形態１）
以下、本発明の実施の形態１について図面を参照しながら説明する。
図１に本発明の実施の形態１におけるコネクタの一部断面図を、図２に本実施の形態１におけるコネクタの斜視図をそれぞれ示す。なお、図１と図２において同じ部材には同一符号を付している。
【００２８】
当該コネクタは、図１、２に示すように、ターミナル部１と、他のコネクタと電気的に接続するためのコネクタ差込部２と、フレシキブルな導体性の配線ケーブル３を備える。また、当該コネクタは、図１、２に示すように、ターミナル部１とコネクタ差込部２とを連結するとともに、ターミナル部１とコネクタ差込部２の相対位置を変位させる連結機構部として連結用バネ４を備える。さらに、当該コネクタは、ターミナル部１とコネクタ差込部２の相対位置の変位を規制する可動規制部として、外筒（外側筒部）５と、外筒５内に遊動可能に嵌設された内筒（内側筒部）６を備える。
【００２９】
ターミナル部１は、図１、２に示すように、直方体形状をしており、その下部には複数の導体性の端子７が設けられている。ターミナル部１は端子７により例えばテスタヘッド等の半導体検査装置に接続される。
【００３０】
また、コネクタ差込部２は、図１、２に示すように、直方体形状をしており、その上部には他のコネクタが有する複数の導体性の端子が差し込まれる端子差込孔部８が設けられている。この端子差込孔部８の下部には他のコネクタと電気的に接続する導体性の電極部（図示せず）が設けられている。コネクタ差込部２には、例えばデバイスボードなどの検査基板に固定されたコネクタの端子が差し込まれる。
【００３１】
また、配線ケーブル３は、図１、２に示すように、ターミナル部１とコネクタ差込部２との間に配置され、その端部がターミナル部１およびコネクタ差込部２に接続され、ターミナル部１に設けられた端子７とコネクタ差込部２に設けられた電極部とを電気的に接続する。
【００３２】
また、連結用バネ４は、その弾性力により、ターミナル部１とコネクタ差込部２とが離れすぎたり、あるいは外部からの圧力により密接したりするのを防止して、配線ケーブル３が破損するのを防止している。
【００３３】
以上のように、当該コネクタは、コネクタ同士を接続するためのコネクタ差込部２とターミナル部１とに分割して連結用バネ４で連結する構成としたので、ターミナル部１とコネクタ差込部２の相対位置を変位させることができる。
【００３４】
したがって、当該コネクタは、ターミナル部１とコネクタ差込部２の相対位置を変位させることができるので、コネクタの取り付け位置精度が低くても、コネクタ同士の接続が容易になる。
【００３５】
さらに、他のコネクタと接続された後においても、ターミナル部１とコネクタ差込部２の相対位置を変位させることができるので、例えば、このコネクタを用いて半導体検査装置と検査基板を接続すれば、半導体検査装置を動かすことなく、検査対象の半導体装置（被測定デバイス）を供給するハンドラ装置に対する検査基板の位置を容易に微調整できる。また、このコネクタを可動させることで、ハンドラ装置に対する検査基板の水平精度を向上させることができ、ハンドラ装置との接続が容易となる。また、半導体検査装置と検査基板を連結する機構はコネクタのみであり、半導体検査装置と検査基板の構成を簡素化でき、コストを抑えることができる。
【００３６】
また、当該コネクタは、配線ケーブル３と連結用バネ４の可動範囲を規制するために、外筒５と、外筒５よりも直径の小さい内筒６を設け、この外筒５と内筒６の内部に配線ケーブル３と連結用バネ４を配置した。すなわち、図１、２に示すように、ターミナル部１の上部にコネクタ差込部２側へ突出する円筒形状の外筒５を設け、コネクタ差込部２の下部にターミナル部１側へ突出する円筒形状の内筒６を設けることにより、この外筒５と内筒６の直径の差を利用して配線ケーブル３と連結用バネ４の可動範囲を設定することができる。また、この外筒５と内筒６は、外圧によってターミナル部１とコネクタ差込部２が接触することも防いでいる。
【００３７】
以上のように、当該コネクタは、可動規制部を備え、コネクタ同士を接続した後でも規制された範囲で可動することができ、コネクタ自身にフローティング機構を備えた構成となる。
【００３８】
なお、本実施の形態１では、直方体形状のターミナル部１およびコネクタ差込部２を例に説明したが、ターミナル部１とコネクタ差込部２の形状は直方体形状に限定されるものではない。また、可動規制部として円筒形状の筒を用いたが、その形状は円筒形状に限定されるものではない。また、配線ケーブル３と連結用バネ４を外筒５と内筒６の内部に配置したが、外筒５と内筒６を連結用バネ４の内部に配置することも可能である。
【００３９】
また、連結機構部としてバネを１つ設けた場合について説明したが、複数のバネを設けて、弾性や連結強度を向上することも可能である。また、バネに代えてゴム素材を用いることもできる。このように、連結機構部は、弾性力を有する素材により構成することができる。
【００４０】
（実施の形態２）
以下、本発明の実施の形態２について図面を参照しながら説明する。
図３に本発明の実施の形態２におけるコネクタの一部断面図を示す。但し、前述の実施の形態１で説明した部材と同一の部材には同一符号を付して、説明を省略する。
【００４１】
本実施の形態２は、連結機構部が、配線ケーブル３を覆う剛体の連結カバーにより構成され、その連結カバーが回転・傾斜する機構を有する点が前述の実施の形態１と異なる。具体的には、図３に示すように、連結カバーは、ターミナル部１の上部に固定されたジョイントカバー外側部（外側カバー）９と、コネクタ差込部２の下部に固定されたジョイントカバー内側部（内側カバー）１０とからなり、配線ケーブル３はこれらのカバーの内側に配置されている。
【００４２】
ここで、ジョイントカバー外側部９とジョイントカバー内側部１０との接続部はボールジョイントの構造を有し、その構造により回転・傾斜することができる。すなわち、ジョイントカバー外側部９は、ジョイントカバー内側部１０との接続部において、内側面が円弧状の滑り面となっており、ジョイントカバー内側部１０は、ジョイントカバー外側部９との接続部において、外側面が円弧状の滑り面となっており、ジョイントカバー内側部１０がジョイントカバー外側部９に摺動可能に嵌設されている。
【００４３】
このような回転傾斜する機構を有することで、ターミナル部１とコネクタ差込部２の相対位置を変位させることができる。また、ジョイントカバー内側部９とジョイントカバー外側部１０を金属製の剛体で構成することで、ターミナル部１とコネクタ差込部２の接合強度を強化することができる。
【００４４】
（実施の形態３）
以下、本発明の実施の形態３について図面を参照しながら説明する。
図４に本発明の実施の形態３におけるコネクタの一部断面図を示す。但し、前述の実施の形態１、２で説明した部材と同一の部材には同一符号を付して、説明を省略する。
【００４５】
本実施の形態３は、連結機構部が、剛体の連結支柱１１と、ターミナル部１およびコネクタ差込部２と連結支柱１１との接続部に設けられた回転・傾斜機構とにより構成されている点が前述の実施の形態１、２と異なる。この回転・傾斜機構により、ターミナル部１とコネクタ差込部２の相対位置を変位させることができる。また、連結支柱（後述する支柱可動部を含む。）１１を金属製の剛体で構成することで、ターミナル部１とコネクタ差込部２の接合強度を強化することができる。
【００４６】
図５に、ターミナル部１と連結支柱１１との接続部に設けられた回転・傾斜機構の拡大図を示す。なお、コネクタ差込部２と連結支柱１１との接続部にもこの回転・傾斜機構と同様の機構が設けられている。
【００４７】
この回転・傾斜機構はボールジョイントの構造を有し、その構造により回転・傾斜することができる。すなわち、図５に示すように、ターミナル部１に設けられた穴部１２に、連結支柱１１の本体端部に設けられた支柱可動部（嵌込部）１３が遊動可能に嵌設されている。ここで、穴部１２の内側面と支柱可動部１３の外側面は共に略球面状の滑り面とするのが好適である。なお、ここでは穴部１２に支柱可動部１３を遊動可能に嵌設したが、摺動可能に嵌設してもよい。
【００４８】
また、連結支柱１１の本体部に伸縮機構を設けてもよい。伸縮機構の一例を図６に示す。図６は連結支柱１１の一部断面図である。例えば図６に示すように、連結支柱１１の本体部を管状部材１４と、管状部材１４内部に挿入される挿入部材１５と、管状部材１４内部に設けた伸縮用バネ１６とで構成する。このように連結支柱１１に伸縮機構を設けることで、ターミナル部１とコネクタ差込部２はあらゆる角度に可動可能となる。なお、伸縮機構は、管状部材１４内部に弾性のある液体や気体を注入することでも実現できる。
【００４９】
（実施の形態４）
以下、本発明の実施の形態４について図面を参照しながら説明する。
図７に本発明の実施の形態４における回転・傾斜機構の拡大図を示す。但し、前述の実施の形態１ないし３で説明した部材と同一の部材には同一符号を付して、説明を省略する。なお、図７にはターミナル部１と連結支柱１１との接続部に設けた回転・傾斜機構を示すが、コネクタ差込部２と連結支柱１１との接続部にもこの回転・傾斜機構と同様の機構が設けられている。
【００５０】
図７に示すように、本実施の形態４における回転・傾斜機構は、穴部１２に、連結支柱１１の本体端部に設けられた多面体支柱可動部（多面状の嵌込部）１７が遊動可能に嵌設し、かつ穴部１２内において多面体支柱可動部１７が多面体保持部である固定用ボール１８と固定用バネ１９により回転自在に保持されている。ここで、多面体支柱可動部１７は表面に細かな平面を多数有する略球体状とするのが好適である。なお、穴部１２の内側面は、図７に示す略球面状に限るものではない。
【００５１】
また、ここでは、多面体支柱可動部１７に当接して多面体支柱可動部１７を回転自在に保持する多面体保持部は、図７に示すように、ターミナル部１に埋め込まれた固定用ボール１８と固定用バネ１９からなる。固定用バネ１９は、固定用ボール１８を多面体支柱可動部１７側へ常に付勢しており、固定用ボール１８が多面体支柱可動部１７の任意の微小平面に接触して、多面体支柱可動部１７のポジションをその面で固定することで、連結支柱１１を任意の回転位置・傾斜角で固定・保持することができる。
【００５２】
上記した回転・傾斜機構により、ターミナル部１とコネクタ差込部２の相対位置を変位させることができる。また、連結支柱（多面体支柱可動部１７を含む。）１１を金属製の剛体で構成することで、ターミナル部１とコネクタ差込部２の接合強度を強化することができる。なお、前述の実施の形態３と同様に、連結支柱１１の本体部に伸縮機構を設けてもよい。
【００５３】
（実施の形態５）
以下、本発明の実施の形態５について図面を参照しながら説明する。
図８に本発明の実施の形態５における回転・傾斜機構の拡大斜視図を示す。但し、前述の実施の形態１ないし４で説明した部材と同一の部材には同一符号を付して、説明を省略する。なお、図８にはターミナル部１と連結支柱１１との接続部に設けた回転・傾斜機構を示すが、コネクタ差込部２と連結支柱１１との接続部にもこの回転・傾斜機構と同様の機構が設けられている。
【００５４】
図８に示すように、本実施の形態５における回転・傾斜機構は、ターミナル部１に固定された回動自在な回転部２０上に、連結支柱１１の本体端部を軸（ポール）を中心に揺動自在に保持する支柱端保持部２１を設けた構造となっている。この回転・傾斜機構により、ターミナル部１とコネクタ差込部２の相対位置を変位させることができる。ここで支柱端保持部２１は、図８に示すように、連結支柱１１の端部にポール（軸）を横串したポールジョイントの構造とすることができる。また、連結支柱１１を金属製の剛体で構成することで、ターミナル部１とコネクタ差込部２の接合強度を強化することができる。なお、前述の実施の形態３と同様に、連結支柱１１の本体部に伸縮機構を設けてもよい。
【００５５】
（実施の形態６）
以下、本発明の実施の形態６について図面を参照しながら説明する。
図９に本発明の実施の形態６におけるコネクタの透視図を示す。但し、前述の実施の形態１ないし５で説明した部材と同一の部材には同一符号を付して、説明を省略する。
【００５６】
本実施の形態６は、図９に示すように、金属製の剛体のピン支柱２２をターミナル部１の端子７と同数設けた点が前述の実施の形態３ないし５と異なる。ここで、ターミナル部１およびコネクタ差込部２とピン支柱２２との接続部の構造は、前述の実施の形態３で説明した回転・傾斜機構の構造と同様であるので、説明を省略する。なお、回転・傾斜機構として、前述の実施の形態４、５で説明した回転・傾斜機構を用いてもよい。また、前述の実施の形態３と同様に、ピン支柱２２の本体部に伸縮機構を設けてもよい。
【００５７】
また図９に示すように、当該コネクタは、配線ケーブルが端子７と同数の端子配線２３からなり、端子配線２３は、ターミナル部１の端子７と接続され、ピン支柱２２の内部を通り、コネクタ差込部２の電極２４と接続される。
【００５８】
図１０にピン支柱の透視図を示す。図１０に示すように、ピン支柱２２には端子配線２３が挿入される貫通孔２５が設けられており、絶縁皮膜で覆われた端子配線２３はこの貫通孔２５を通る。
【００５９】
このように多数のピン支柱を備えることで、当該コネクタの柔軟性を高め、連結強度や耐圧を強化できる。さらに、導体性のピン支柱をＧＮＤに接続することにより、同軸ケーブルと同じ効果を生むことができる。すなわち、シールド効果を高めることができる。また、ピン支柱（支柱可動部等を含む）を金属製の剛体で構成することで、ターミナル部１とコネクタ差込部２の接合強度を強化することができる。
【００６０】
以上の実施の形態１ないし６のコネクタによれば、フローティング機構を備えることでコネクタの取り付け位置精度が低い場合にも容易にコネクタ同士を接続できる。またコネクタ同士を接続した後も任意の範囲で可動できる。したがって、上記した実施の形態１ないし６のコネクタを用いて検査基板と半導体検査装置を接続することで、検査基板に検査対象の半導体装置（被測定デバイス）を供給するハンドラ装置とのドッキングの際に接続位置を容易に微調整することができる。例えば図１１に示すように、前述の実施の形態３のコネクタを用いてターミナル部１を半導体検査装置２６に接続し、コネクタ差込部２を検査基板２７に設けられたコネクタ２８に接続した場合、コネクタ自身が可動可能な構造となっているので、その接続した状態で半導体検査装置２６に対して検査基板２７を動かすことが可能となり、半導体検査装置２６を動かすことなく、検査基板２７とハンドラ装置２９との接続位置（ドッキング位置）を容易に微調整できる。
【００６１】
また、上記した実施の形態１ないし６のコネクタによれば、半導体装置の検査に限らず、装置間で接続位置の微調整が必要な場合に有効である。さらに、例えば図１２に示すように、上記した実施の形態１から６のコネクタを半導体検査装置２６および検査基板２７の一部として組込み一体化した形態とすることができる。
【産業上の利用可能性】
【００６２】
本発明にかかるコネクタは、コネクタ自身が任意の範囲で可動でき、例えば検査基板や半導体検査装置へのコネクタの取り付け位置精度が低い場合にも、検査基板と半導体検査装置を容易に接続できるようになる。またハンドラ装置とのドッキングに際して接続位置を容易に微調整できるようになる。さらに、ハンドラ装置に対する検査基板の水平精度が低い場合であっても、ハンドラ装置と半導体検査装置を容易にドッキングできるようになる。さらにまた、半導体検査装置と検査基板をコネクタのみで連結できるので、半導体検査装置と検査基板の構成を簡素化でき、コストを抑えることができる。このように本発明にかかるコネクタは、コネクタを接続することで装置間の電気的接続を得る機構に有効である。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の実施の形態１におけるコネクタの構成の概略を示す一部断面図
【図２】本発明の実施の形態１におけるコネクタの構成の概略を示す斜視図
【図３】本発明の実施の形態２におけるコネクタの構成の概略を示す一部断面図
【図４】本発明の実施の形態３におけるコネクタの構成の概略を示す一部断面図
【図５】本発明の実施の形態３における回転・傾斜機構の拡大図
【図６】本発明の実施の形態３における連結支柱の構成の概略を示す一部断面図
【図７】本発明の実施の形態４における回転・傾斜機構の拡大図
【図８】本発明の実施の形態５における回転・傾斜機構の拡大図
【図９】本発明の実施の形態６におけるコネクタの構成の概略を示す透視図
【図１０】本発明の実施の形態６におけるピン支柱の構成の概略を示す透視図
【図１１】本発明の実施の形態３におけるコネクタを用いて半導体検査装置に接続した検査基板とハンドラ装置との接続を説明するための図
【図１２】本発明の実施の形態１から６におけるコネクタを半導体検査装置および検査基板の一部として組込み一体化した形態を説明するための概略図
【図１３】従来の検査基板の外観図
【図１４】従来の半導体検査装置の鳥瞰図
【図１５】従来の半導体検査装置と検査基板との接続関係を説明するための図であり、（ａ）は接続前を示す図、（ｂ）は接続後を示す図
【図１６】従来の検査基板とハンドラ装置との接続を説明するための図
【符号の説明】
【００６４】
１      ターミナル部
２      コネクタ差込部
３      配線ケーブル
４      連結用バネ
５      外筒
６      内筒
７      端子
８      端子差込孔部
９      ジョイントカバー外側部
１０      ジョイントカバー内側部
１１      連結支柱
１２      穴部
１３      支柱可動部
１４      管状部材
１５      挿入部材
１６      伸縮用バネ
１７      多面体支柱可動部
１８      固定用ボール
１９      固定用バネ
２０      回転部
２１      支柱端保持部
２２      ピン支柱
２３      端子配線
２４      電極
２５      貫通孔
２６      半導体検査装置
２７      検査基板
２８      コネクタ（検査基板）
２９      ハンドラ装置
３０      デバイスソケット
３１      コネクタ（半導体検査装置）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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