(57)【要約】【課題】複数配向分割型垂直（ＭＶＡ）方式液晶表示装置における液晶配向制御用突起の形成方法であって、断面形状が円弧状の液晶配向制御用突起を、低コストでかつ高精度に形成できるようにした、液晶配向制御用突起の形成方法の提供を目的とする。【解決手段】透明基板上にカラーフィルタ機能を有する着色画素と遮光層とを所定の配列で配置させてからこれらを覆うように透明導電層を形成し、さらに透明導電層上に撥溶剤成分からなる撥溶剤層を形成し、しかる後にその撥溶剤層の突起形成該当部分は除去して親溶剤部とし、その他の部分は除去せずに撥溶剤部として区分けしてから、それらのすべてを硬化性樹脂を含む突起形成剤からなる突起形成剤層で覆った後、撥溶剤部上の突起形成剤は除去し、親溶剤部上の突起形成剤は除去しないで突起形成剤からなる液滴状形成物を構築させてからそれを硬化させることにより突起を形成する。【選択図】図２
2008185904.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基板上にカラーフィルタ機能を有する着色画素と遮光層とを所定の配列で配置させてからこれらを覆うように透明導電層を形成し、さらに透明導電層上に撥溶剤成分からなる撥溶剤層を形成し、しかる後にその撥溶剤層の液晶配向制御用突起形成該当部分は除去して親溶剤部とし、その他の部分は除去せずに撥溶剤部として区分けしてから、それらのすべてを硬化性樹脂を含む液晶配向制御用突起形成剤からなる突起形成剤層で覆った後、撥溶剤部上の突起形成剤は除去し、親溶剤部上の突起形成剤は除去しないで突起形成剤からなる液滴状形成物を構築させてからそれを硬化させることにより液晶配向制御用の突起を形成することを特徴とする液晶配向制御用突起の形成方法。
【請求項２】
撥溶剤層の所定の部分にレーザー光を利用したドライエッチング処理を施して撥溶剤層の液晶配向制御用突起形成該当部分を除去することでその下部に位置する透明導電層の表面を露出させて親溶剤部を形成するようにしたことを特徴とする請求項１記載の液晶配向制御用突起の形成方法。
【請求項３】
撥溶剤成分は、それよりなる撥溶剤層の表面に少なくともフッ素原子が位置する成分を含んでいることを特徴とする請求項１または２記載の液晶配向制御用突起の形成方法。
【請求項４】
親溶剤部と撥溶剤部とに区分けした部分を下方に向けた状態でその全面に液晶配向制御用突起形成剤を接触させて突起形成剤層を形成させた後に、液晶配向制御用突起形成剤との接触状態を解除させることにより、撥溶剤部からは突起形成剤を滴下させて除去し、親溶剤部には突起形成剤からなる液滴状形成物を構築させるようにしたことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の液晶配向制御用突起の形成方法。
【請求項５】
親溶剤部と撥溶剤部とに区分けした部分を下方に向けた状態でその全面にコーティング法により突起形成剤からなる突起形成剤層をコーティングし、しかる後に撥溶剤部からは突起形成剤を滴下させて除去し、親溶剤部には突起形成剤からなる液滴状形成物を構築させるようにしたことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の液晶配向制御用突起の形成方法。
【請求項６】
液晶配向制御用突起形成後、その突起が形成されている面全面にドライエッチング処理を施すことにより、残っている撥溶剤部の撥溶剤成分を除去する工程を具備することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の液晶配向制御用突起の形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数配向分割型垂直（ＭＶＡ）方式液晶表示装置における液晶配向制御用突起の形成方法に関し、特に、様々な配列パターンに従って配列され、その断面形状が円弧状の液晶配向制御用突起を、低コストでかつ高精度に形成できるようにした、液晶配向制御用突起の形成方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶表示装置等の表示デバイス（ディスプレイデバイス）の普及に伴い、これらの表示画面全面に渡って、視野角度によらない均一な輝度やコントラストなどを確保できるようにすることが強く要求されるようになってきている。そこで最近は、Ｉｎ  Ｐｌａｎｅ  Ｓｗｉｔｃｈｉｎｇ（ＩＰＳ）方式、Ｖａｒｔｉｃａｌ  Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ（ＶＡ）方式など、多くの改善方式が開発されてきている。その中でも、複数配向分割型垂直配向（Ｍｕｌｔｉ−ｄｏｍａｉｎ  Ｖｅｒｔｉｃａｌ  Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ：ＭＶＡ）方式は、１画素内で液晶分子の傾斜方向が複数になるように制御し、全方位で均一な中間調の表示ができるようにした方式であり、コントラスト、視野角特性、応答速度などに優れているといわれている。
【０００３】
このような方式が開発された当初は、複数配向分割を実現する方法として、マスクラビングを複数回繰り返す方法が用いられてきたが、ラビング工程において静電気の発生、塵などの発生による歩留まり率の低下、生産プロセスの複雑化による生産性の低下などが起き易く、生産プロセスにおける信頼性が十分ではなかった。
【０００４】
このような状況を受けて、近年では、液晶パネル内に液晶の配向を制御するための突起を設けることにより、ラビングの手法を用いることなく液晶分子の傾斜方向を規定する手法が採用されている。
【０００５】
この際、突起のパターンとしては、ジグザグ線のストライプ状のパターンやドット状のパターンが採用されている。
【０００６】
このようなパターンの中で、ジグザグ線のストライプ状のパターンの場合は、電圧印加時に液晶分子の長軸方向がジグザグ線の中心軸に対して水平に見て４５°の角度をなす４方向に均等に規制される。すなわち、一画素内における配向方向を４分割とし、尚且つその分割面積が等しくなるようにできる。
【０００７】
また、ドット状のパターンの場合は、液晶分子がドット状の突起に対して垂直に配向するため、突起形状が角錐であればその斜面の数によって配向分割数が決まり、円錐であれば放射状の液晶配向が得られる。どちらの形状においても、液晶分子が軸対称に均等配向されるため、視野角特性を改善することができる。
【０００８】
しかしながら、どちらのパターンにおいても、液晶配向制御用突起の形成が不均等であると液晶配向に乱れが生じ、表示ムラの発生原因となるため、液晶配向制御用突起は均等に形成されることが求められる。
【０００９】
さらに、液晶分子の配向が液晶配向制御用突起に対して垂直に配向することから、液晶配向制御用突起の断面形状は円弧状が好ましいと考えられている。
【００１０】
断面形状が円弧状になっている液晶配向制御用突起を形成する方法として、最も一般的
に用いられている方法としては、フォトリソ法により平面形状及び断面形状が四角形状のパターンを形成した後に、ホットプレートなどを用いて加熱による熱フロー処理を行い、断面形状を円弧状に変化させる方法がある。しかしながら、この方法は、プロセスが多工程で高コストなうえ、熱フローによって断面形状を円弧状に変化させる際に突起サイズも変わってしまうため、高精度で突起を形成することが困難である（特許文献１参照）。
【００１１】
前記液晶配向制御用突起の形成方法において、突起サイズが変わってしまうという問題を解決する方法として、上記の方法と同様にフォトリソ法により平面形状及び断面形状が四角形状のパターンを形成した後に、研磨機を用いて断面形状を円弧状に変形させる方法が提案されているが、大変高精度の技術が求められ、均等な液晶配向制御用突起を形成するのは非常に難しい（特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２００５−７０２５２号公報
【特許文献２】特開２００３−１３１２０８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
前記のように、ＭＶＡ方式液晶表示装置における液晶配向制御用突起は均等なサイズで、尚且つ断面形状が円弧状に設けられることが求められているが、このような液晶配向制御用突起を直接形成する方法は提案されておらず、従来の方法では幾つかの加工工程が必ず必要となっていた。そのうえ、今まで用いられてきた方法では、高精度で均等な液晶配向制御用突起を形成することは困難であると考えられる。また、フォトリソ法による突起の形成の際には、露光機や現像機などの装置や、フォトマスク、及び液晶配向制御用突起形成に用いるフォトレジストや現像液などの材料で多大のコストが必要になってしまうという問題点も有している。
【００１３】
本発明は以上のような状況のもとになされたものであり、複数配向分割型垂直（ＭＶＡ）方式液晶表示装置における液晶配向制御用突起の形成方法であって、断面形状が円弧状の液晶配向制御用突起を、低コストでかつ高精度に形成できるようにした、液晶配向制御用突起の形成方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記課題を解決するためになされ、請求項１記載の発明は、透明基板上にカラーフィルタ機能を有する着色画素と遮光層とを所定の配列で配置させてからこれらを覆うように透明導電層を形成し、さらに透明導電層上に撥溶剤成分からなる撥溶剤層を形成し、しかる後にその撥溶剤層の液晶配向制御用突起形成該当部分は除去して親溶剤部とし、その他の部分は除去せずに撥溶剤部として区分けしてから、それらのすべてを硬化性樹脂を含む液晶配向制御用突起形成剤からなる突起形成剤層で覆った後、撥溶剤部上の突起形成剤は除去し、親溶剤部上の突起形成剤は除去しないで突起形成剤からなる液滴状形成物を構築させてからそれを硬化させることにより液晶配向制御用の突起を形成することを特徴とする液晶配向制御用突起の形成方法である。
【００１５】
また、請求項２記載の発明は、請求項１記載の液晶配向制御用突起の形成方法において、撥溶剤層の所定の部分にレーザー光を利用したドライエッチング処理を施して撥溶剤層の液晶配向制御用突起形成該当部分を除去することでその下部に位置する透明導電層の表面を露出させて親溶剤部を形成するようにしたことを特徴とする。
【００１６】
さらにまた、請求項３記載の発明は、請求項１または２記載の液晶配向制御用突起の形成方法において、撥溶剤成分は、それよりなる撥溶剤層の表面に少なくともフッ素原子が位置する成分を含んでいることを特徴とする。
【００１７】
さらにまた、請求項４記載の発明は、請求項１〜３のいずれかに記載の液晶配向制御用突起の形成方法において、親溶剤部と撥溶剤部とに区分けした部分を下方に向けた状態でその全面に液晶配向制御用突起形成剤を接触させて突起形成剤層を形成させた後に、液晶配向制御用突起形成剤との接触状態を解除させることにより、撥溶剤部からは突起形成剤を滴下させて除去し、親溶剤部には突起形成剤からなる液滴状形成物を構築させるようにしたことを特徴とする。
【００１８】
さらにまた、請求項５記載の発明は、請求項１〜３のいずれかに記載の液晶配向制御用突起の形成方法において、親溶剤部と撥溶剤部とに区分けした部分を下方に向けた状態でその全面にコーティング法により突起形成剤からなる突起形成剤層をコーティングし、しかる後に撥溶剤部からは突起形成剤を滴下させて除去し、親溶剤部には突起形成剤からなる液滴状形成物を構築させるようにしたことを特徴とする。
【００１９】
さらにまた、請求項６記載の発明は、請求項１〜５のいずれかに記載の液晶配向制御用突起の形成方法において、液晶配向制御用突起形成後、その突起が形成されている面全面にドライエッチング処理を施すことにより、残っている撥溶剤部の撥溶剤成分を除去する工程を具備することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
本発明では、ジグザグ線のストライプ状、或いはドット状などの種々のパターンになる親溶剤部を形成し、その部分に突起形成剤からなる液滴状形成物を形成し、それを硬化させることによって液晶配向制御用突起とするが、その際突起の断面形状は自ずと液滴特有の曲面を有した円弧状になり、複数配向分割型垂直（ＭＶＡ）方式液晶表示装置における液晶配向制御用突起として望ましい形状になる。フォトリソ法によって四角形状の突起を形成した後に、熱フロー、或いは研磨する従来の形成方法と比較すると、簡便に高精度の円弧状の液晶配向制御用突起が形成可能である。
【００２１】
また本発明では、液晶配向制御用突起の形成過程において、まず透明導電層の表面に撥溶剤層を形成した後に、例えば、所定の部分のみをレーザーでドライエッチング処理することによって親溶剤部のパターニングを行うため、位置精度良く液晶配向制御用突起を形成することが可能であり、親溶剤部の幅などを調整することにより、液晶配向制御用突起の高さを制御することが可能である。
【００２２】
また、親溶剤部のパターン形状・サイズは全て均一にすることができるので、幅や高さを均等化した高精度の液晶配向制御用突起を形成することが可能である。
【００２３】
さらに、突起形成用剤の液滴状形成物の構築に当たっては、フォトリソ法を用いる方法と同様にまず突起形成剤を全面塗布するが、親溶剤部に液滴状形成物が形成されていく過程で、塗布された過剰な突起形成剤は、例えば図２或いは図３のように下に垂れるために回収・再利用が可能である。従って、実際に液晶配向制御用突起になる分の量しか突起形成剤を使用しないため、露光部分以外は現像時に破棄されてしまうフォトリソ法を用いた従来の方法と比較して材料の必要量が飛躍的に少なくなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下に、図１〜図４を参照しながら、本発明に係る液晶配向制御用突起の形成方法を実施するための最良の形態について説明する。
【００２５】
本発明の液晶配向制御用突起の形成方法は、図面にも示すように、透明基板１上にカラーフィルタ機能を有する着色画素２Ｂと遮光層２Ａとを所定の配列状態で配置させてから、これらを覆うように透明導電層３を形成し、さらに透明導電層３上に撥溶剤層４を形成し、しかる後にその撥溶剤層４の突起形成該当部分は除去して親溶剤部４Ａとし、その他の部分は除去せずに撥溶剤部４Ｂとして区分けをする。続いて、前記工程で区分けをした部分のすべてを硬化性樹脂を含む突起形成剤２１からなる突起形成剤層で覆った後、撥溶剤部４Ｂ上の突起形成剤は、滴下させたりブロアーからエアーを吹き込むことにより除去し、親溶剤部４Ａ上の突起形成剤は除去しないで液滴状形成物２２を構築させ、しかる後にそれを硬化させることにより突起２３を形成することを特徴とする。
【００２６】
透明基板１は、少なくとも透明で複屈折を起こさない必要があるが、その必要条件を満たすのであれば、ガラス基板だけでなく、プラスチックフィルムなどの素材も利用可能である。プラスチックフィルムとしては、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）やポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリイミド、ポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）などからなるシートが利用可能であるが、これらに限定されるものではない。
【００２７】
撥溶剤成分は、それよりなる撥溶剤層の表面に少なくともフッ素原子が位置する成分を含んでいるもので、具体的には、側鎖にシリコン原子ないしフッ素原子を有するシランカップリング剤や、フッ素ポリマーを含有するコーティング剤などを用いることができる。シランカップリング剤としては、フルオロオクチルトリメトキシシラン、フルオロデシルトリメトキシシラン、フルオロオクチルトリイソプロシキシランなどのフルオロアルキルシランが適している。このフルオロアルキルシランはイソプロピルアルコールを溶媒として、１〜２ｗｔ%程度の濃度で調製して用いることができる。また、フッ素ポリマーを含有するコーティング剤としては、ポリテトラフルオロエチレンやポリアクリル酸パーフルオロアルキルなどがあるが、これらに限定されるものではない。
【００２８】
また、突起形成剤２１は熱硬化性、光硬化性、或いは電子線硬化性などの硬化性樹脂を含有するものであり、具体的には、フェノール系樹脂、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、メラミン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、尿素樹脂、アルキド樹脂などを含有するコーティング剤であるが、これらに限定されるものではない。
【００２９】
突起形成剤２１を構成する溶剤としては、メチルアルコール、エチルアルコール、ｎ−プロピルアルコール、イソプロピルアルコール、メトキシアルコール、エトキシアルコール、メトキシエトキシエタノール、エトキシエトキシエタノール、酢酸エチル、酢酸ブチル、メトキシプロピオン酸メチル、エトキシプロピオン酸エチル、乳酸エチル、アセトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、メトキシエチルアセテート、エトキシエチルアセテート、エチルセロソルブアセテート、メトキシエトキシエチルアセテート、エトキシエトキシエチルアセテート、ジエチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコール、プロピレングリコール、ブチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、テトラヒドロフラン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドン、γ−ブチロラクトン、ベンゼン、トルエン、キシレン、ｎ−ヘキサン、ｎ−ヘプタン、ｎ−オクタンなどを用いることができるが、これらに限定されるものではない。
【００３０】
このような材料を用いて液晶配向制御用突起を形成するが、透明基板１上の遮光層２Ａとカラーフィルタ機能を有する着色画素２Ｂは、印刷法、インクジェット法、フォトリソ法などにより設ければよい。コストの面を考慮するとこれらの中では印刷法が有利であると考えられる。その際、遮光層２Ａとカラーフィルタ機能を有する着色画素２Ｂの形成パターンは何ら制限されるものではない。
【００３１】
また、透明導電層３上に形成した撥溶剤層４に区分けして設けられる親溶剤部４Ａと撥溶剤部４Ｂは、具体的には、４〜１２μｍ程度の幅を有するジグザグ線のストライプ状、
或いは直径４〜１２μｍ程度の同サイズのドット状の親溶剤部と、それ以外の撥溶剤部である。親溶剤部４Ａは、後の工程で突起形成剤により液滴状形成物２２を構築する際に、親溶剤部４Ａにのみ選択的に、尚且つ同サイズで精度良く突起形成剤が供給できるようなパターンとなっていればよい。なお、親溶剤部の開口はカラーフィルタの品質要求に合わせて適宜設定すればよい。
【００３２】
透明導電層３上に設けられている撥溶剤層における親溶剤部と撥溶剤部の区分け（パターニング方法）は、１）親溶剤性の透明導電層３表面に撥溶剤成分をコーティングする工程と、２）図１（ｂ）に示すような、レーザー光１１でドライエッチング処理して、撥溶剤層４の突起形成該当部分を除去することで、透明導電層３の表面部分を露出させて親溶剤性に戻す工程とからなるものである。レーザー光としては、一般的なエキシマレーザ、ＹＡＧレーザなどが使用可能である。また、親溶剤部４Ａのパターニング方法としては、マスキングしてＵＶオゾン処理する方法も可能である。
【００３３】
また、透明導電層３表面の撥溶剤層４の形成方法は、表面の平滑性、均一性が確保できるのであればよく、ダイコート法、キャップコート法、アプリケータ法、ディップコート法、グラビアコート法、リバースコート法、エアナイフコート法、コンマコート法、スクリーン印刷法、スプレーコート法、グラビアオフセット法などのコーティング方法を挙げることができる。スピンコート法、ダイコート法、キャップコート法、ロールコート法、アプリケータ法などは均一な膜厚が得られるので有用である。
【００３４】
さらに、親溶剤部４Ａと撥溶剤部４Ｂのパターニング方法としては、透明導電層３上にポリイミド配向膜を形成し、しかる後にその膜の表面をフッ化処理して撥溶剤性にした後に、撥溶剤部のみをレーザーでドライエッチング処理し、撥溶剤層の一部を親溶剤性に戻して親溶剤部とする方法もある。ここでのフッ化処理に用いるガスとしては、ＣＦ4、ＣＨＦ3、Ｃ2Ｆ6、ＳＦ6、Ｃ3Ｆ8、Ｃ5Ｆ8から選択されるハロゲンガスなどが好ましい。
【００３５】
本発明において、親溶剤部への突起形成剤からなる液滴状形成物２２の形成は、図２〜図４に示す工程のいずれかで行われる。
【００３６】
すなわち、図２に示す方法では、まず、透明基板１上の遮光層２Ａ、カラーフィルタ機能を有する着色画素２Ｂ、透明導電層３などを設けた積層物の親溶剤部４Ａと撥溶剤部４Ｂを設けた面を下方に向けて、硬化性の有機樹脂を含む溶液からなる突起形成剤２１にその表面部分を接触させ（図２（ｂ））、突起形成剤層を形成させた後、突起形成剤２１との接触状態を解除させることにより、撥溶剤部４Ａからは突起形成剤を滴下させて除去し、親溶剤部には突起形成剤からなる液滴状形成物２２を構築させる（図２（ｃ）、（ｄ））。
【００３７】
親溶剤部４Ａと撥溶剤部４Ｂの両部分を突起形成剤で覆う方法としては、突起形成剤２１の薄膜を形成させたローラーによって塗布する方法もある。
【００３８】
その一例としては、図３に示すように、透明基板１上の遮光層２Ａ、カラーフィルタ機能を有する着色画素２Ｂ、透明導電層３、並びに親溶剤部４Ａと撥溶剤部４Ｂが形成された積層物を親溶剤部４Ａと撥溶剤部４Ｂの形成面を下方に向けて平行に移動させる一方で、突起形成剤２１をローラーＡ３１、及びローラーＢ３２に順次転移させ、親溶剤部４Ａと撥溶剤部４Ｂの表面に突起形成剤層をコーティングする方法がある。この方法では、ローラーＡ３１とローラーＢ３２間で突起形成剤２１の厚さが均一化されるので、より精度の高い突起２３を形成することが可能になる。
【００３９】
また、もう一つの例としては、図４に示すように、透明基板１上の遮光層２Ａ、カラー
フィルタ機能を有する着色画素２Ｂ、透明導電層３、並びに親溶剤部４Ａと撥溶剤部４Ｂが形成された積層物の親溶剤部４Ａと撥溶剤部４Ｂが形成された面を上方に向けながら、積層物を平行に移動させる一方で、突起形成剤２１をローラーＣ３３で親溶剤部４Ａと撥溶剤部４Ｂを覆うようにコーティングする方法がある。
【００４０】
親溶剤部４Ａに構築された突起形成剤からなる液滴状形成物２２の硬化は、硬化用装置１２から熱線、紫外線、電子線などを照射して突起形成剤を熱硬化、或いは光硬化させることによって行うが（図２〜図４参照）、硬化の工程中では、透明基板１上にカラーフィルタ機能を有する着色画素などを設けてなる積層物は液滴状形成物が親溶剤部に構築された時点で静置させた状態で硬化の工程に移ることが好ましい。
【００４１】
突起２３形成後は透明導電層３の表面と突起２３の部分の全てをＵＶオゾン処理することにより、残存する撥溶剤部を除去させる。この処理は、この後の工程におけるポリイミド配向膜の形成を可能にするための処理である。
【実施例１】
【００４２】
透明なガラス基板上にカラーフィルタ機能を有する着色画素と遮光層のそれぞれを所定の配列状態にて印刷法により設けた後、それらの上にスパッタ装置でＩＴＯからなる透明導電層を成膜した。次に、イソプロピルアルコールを溶媒とし、１ｗｔ%のフルオロオクチルトリメトキシシランを含有する撥溶剤（ＴＳＬ８２５７；ＧＥシリコーン社製）を用い、スピンコート法によって透明導電層の表面に撥溶剤成分の層を設け、１２０℃のオーブン内で１０分間乾燥し、撥溶剤層を形成した。続いて、撥溶剤層の突起形成該当部分はエキシマレーザー処理により除去して親溶剤部とし、その他の部分は除去せずに撥溶剤部として区分けを行った。親溶剤部は６μｍ幅のジグザグ線のストライプ状パターンとなっており、これによりカラーフィルタ機能を有する各着色画素が均等に分割されていた。
【００４３】
次に、図２に示すような方法で、前記工程で区分けをした親溶剤部と撥溶剤部の形成面を下方に向けた状態でそれらの部分の全部に、メチルメタクリレート、ヒドロキシエチルメタクリレート、Ｎ−メチロールアクリルアミドの混合物をエチレングリコールの溶剤に溶解してなる突起形成剤を接触させて突起形成剤層を形成させた後、突起形成剤との接触を解除させて暫く放置させることにより、撥溶剤部からは突起形成剤を滴下させて除去し、親溶剤部には突起形成剤からなる液滴状形成物を構築させた。
【００４４】
続いて、液滴状形成物を形成した面を下方に向けた状態のままでオーブンに投入して、２３０℃で１時間のベークを行うことにより液滴状形成物を硬化させ、突起を得た。そして、突起形成面全体をＵＶオゾン処理することにより、残存する撥溶剤部を除去し、表面部分全体を親溶剤性に戻した。親溶剤部上には、断面形状が円弧状で、幅が６μｍ、高さが約１．８μｍのジグザグ線のストライプ状の液晶配向制御用突起が高精度で形成されていた。
【実施例２】
【００４５】
透明導電層上へのシランカップリング剤を用いた撥溶剤層のコーティングまでは（実施例１）と同様の方法で行った。そして、撥溶剤層の親溶剤部とすべき部分の除去はフォトマスクを用いたＵＶオゾン処理によって行った。フォトマスクの開口は、６μｍΦのドット状の親溶剤部形成用のものであり、その部分がカラーフィルタ機能を有する各着色画素の中心に位置するように設計されたものである。
【００４６】
次に、親溶剤部への突起形成剤からなる液滴状形成物の構築を、図４に示すような方法で行った。すなわち、突起形成剤は（実施例１）と同様の物質を用い、図４にも示すように、透明基板上の遮光層、カラーフィルタ機能を有する着色画素、透明導電層、並びに親
溶剤部と撥溶剤部を設けてなる積層物の親溶剤部と撥溶剤部を設けてある面を上方に向け、撥溶剤部と親溶剤部の両部分にローラーにより突起形成剤をコーティングし、さらにコーティング面を上方に向けたまま、市販のオーブン用ラックにて静置させ、しかる後、表面部分に０．１ＭＰａの圧力でエアーをブロアーから吹き付けることによって、撥溶剤部に残存している不要な突起形成剤のみを除去し、親溶剤部に残っている突起形成剤により液滴状形成物を構築させた。その後、オーブンに入れ、２３０℃で１時間ベークし、親溶剤部の液滴状形成物を硬化させて突起を得た。そして、表面全体をＵＶオゾン処理することにより、突起を形成した表面全体を親溶剤性に戻した。親溶剤部上には、断面形状が円弧状で、幅が６μｍ、高さが約１．５μｍのドット状の液晶配向制御用突起が高精度で形成されていた。
【実施例３】
【００４７】
透明なガラス基板上に印刷法で遮光層とカラーフィルタ機能を有する着色画素を形成した後に、スパッタ装置でＩＴＯからなる透明導電層を成膜した。次に、透明導電層の上にノボラック樹脂を主成分としたポジ型感光性樹脂組成物をスピンコート法により約２．０μｍの厚さで塗布し、感光性樹脂層を設けた。続いて、６μｍΦのドット状の遮光部パターンを有し、その部分がカラーフィルタ機能を有する各着色画素の中心になるように設計されているフォトマスクを用いて感光性樹脂層の所定部分を露光し、指定の現像液で現像処理をした後、２３０℃で１時間加熱処理することにより、幅が６．０〜６．２μｍで、高さが約１．５〜１．６μｍのドット状の液晶配向制御用突起を得た。加熱処理の際に液晶配向制御用突起の断面形状が円弧状になるのに伴って、突起の幅は多少広がり、高さも加熱処理時の断面形状の変形に伴って多少変化しており、所定の精度では液晶配向制御用突起が形成できていなかった。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の液晶配向制御用突起の形成方法に係る工程の一部を示す説明図である。
【図２】本発明の液晶配向制御用突起の形成方法に係る工程のさらに他の一部を示す説明図である。
【図３】本発明の液晶配向制御用突起の形成方法に係る工程のさらに他の一部を示す説明図である。
【図４】本発明の液晶配向制御用突起の形成方法に係る工程のさらに他の一部を示す説明図である。
【符号の説明】
【００４９】
１    透明基板
２Ａ  遮光層
２Ｂ  カラーフィルタ機能を有する着色画素
３    透明導電層
４Ａ  親溶剤部
４Ｂ  撥溶剤部
１１  レーザー銃
１２  硬化用装置
１３  エアーブロアー
２１  突起形成剤
２２  液滴状形成物
２３  突起
３１  ローラーＡ
３２  ローラーＢ
３３  ローラーＣ
３４  ドクターブレード
【図１】
2008185904.tif 000003
【図２】
2008185904.tif 000004
【図３】
2008185904.tif 000005
【図４】
2008185904.tif 000006