(57)【要約】【課題】  真空断熱材利用リニアモータにおいて、真空断熱材の外傷のよる真空破壊または大気との圧力差による真空漏れに伴い断熱効果の低下を防止できるキャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータを提供する。【解決手段】  ３相の電機子巻線１０５と、電機子巻線１０５を額縁状に囲むように設けた筐体１０１と、筐体１０１の両開口部を密閉する筐体ための板状のキャン１０２を備えたキャンド・リニアモータ電機子（固定子１００）において、キャン１０２の外側に設けた薄い真空断熱材１２０と、該真空断熱材１２０の外側に真空断熱材１２０を保護する保護カバー１３０と、を設けた。【選択図】    図１１
2008206281.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のコイル群よりなる平板状に成形された電機子巻線と、
前記電機子巻線を額縁状に囲むように設けた金属製の筐体と、
前記筐体の両開口部を密閉するキャンと、
前記電機子巻線と前記キャンとの間に形成された冷媒通路と、
を具備したキャンド・リニアモータ電機子において、
前記キャンの外側もしくは内側に真空断熱材を設けると共に前記真空断熱材を保護カバーにより覆ったことを特徴とするキャンド・リニアモータ電機子。
【請求項２】
複数のコイル群よりなる円筒状に成形された電機子巻線と、
前記電機子巻線を囲むように設けた円筒状のキャンと、
前記キャンの両開口部を密閉する金属製の筐体と、
前記電機子巻線と前記キャンとの間に形成された冷媒通路と、
を具備したキャンド・リニアモータ電機子において、
前記キャンの外側もしくは内側に真空断熱材を設けると共に前記真空断熱材を保護カバーにより覆ったことを特徴とするキャンド・リニアモータ電機子。
【請求項３】
前記保護カバーを樹脂製もしくは金属製の板で構成したことを特徴とする請求項１または２記載のキャンド・リニアモータ電機子。
【請求項４】
前記保護カバーを樹脂製もしくは金属製のシートで構成したことを特徴とする請求項１または２記載のキャンド・リニアモータ電機子。
【請求項５】
前記保護カバーをモールド樹脂によって構成したことを特徴とする請求項１または２記載のキャンド・リニアモータ電機子。
【請求項６】
複数のコイル群よりなる平板状に成形された電機子巻線と、
前記電機子巻線を額縁状に囲むように設けた金属製の筐体と、
前記筐体の両開口部を密閉するキャンと、
前記電機子巻線と前記キャンとの間に形成された冷媒通路と、
を具備したキャンド・リニアモータ電機子において、
前記キャンの内部を中空として構成してあり、
前記キャンの内部に真空断熱材を設けると共に前記キャンの内部を真空状態に保持したことを特徴とするキャンド・リニアモータ電機子。
【請求項７】
複数のコイル群よりなる円筒状に成形された電機子巻線と、
前記電機子巻線を囲むように設けた円筒状のキャンと、
前記キャンの両開口部を密閉する金属製の筐体と、
前記電機子巻線と前記キャンとの間に形成された冷媒通路と、
を具備したキャンド・リニアモータ電機子において、
前記キャンの内部を中空として構成してあり、
前記キャンの内部に真空断熱材を設けると共に前記キャンの内部を真空状態に保持したことを特徴とするキャンド・リニアモータ電機子。
【請求項８】
前記真空断熱材の両面にペースト状の断熱材を塗布したことを特徴とする請求項１、２、６または７に記載のキャンド・リニアモータ電機子。
【請求項９】
前記電機子巻線と前記金属製筐体の間に真空断熱材を設けたことを特徴とする請求項１、２、６または７に記載のキャンド・リニアモータ電機子。
【請求項１０】
請求項１〜９の何れか１項に記載の電機子と、前記電機子と磁気的空隙を介して対向配置されると共に交互に極性が異なる複数の永久磁石を隣り合わせて並べて配置した界磁とを備え、
前記電機子と前記界磁の何れか一方を固定子に、他方を可動子として、前記界磁と前記電機子を相対的に走行するようにしたことを特徴とするキャンド・リニアモータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造装置や工作機のテーブル送りに使用されると共に、リニアモータ本体の温度上昇の低減を要求されるキャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のキャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータは、電機子巻線をキャンで覆い、電機子巻線とキャンの間に設けた冷媒通路に冷媒を流すことより、電機子巻線が発生する熱を冷媒で回収し、キャンド・リニアモータ電機子表面の温度上昇を低減している。（例えば、特許文献１参照）。さらに、キャン外側に真空断熱材を設け、キャン表面に伝導する熱を遮断することでリニアモータ表面の温度上昇を低減しているものもある。（例えば、特許文献２参照）。
【０００３】
図１２は従来技術を示すキャンド・リニアモータの全体斜視図である。
【０００４】
図において、１００が固定子、１０１が筐体、１０２がキャン、１０３がキャン固定用ボルト、１０４が押え板、１０５が電機子巻線、１０６が端子台、１０７が冷媒供給口、１０８が冷媒排出口、２００が可動子、２０１が界磁ヨーク支持部材、２０２が界磁ヨーク、２０３が永久磁石である。可動子２００は、界磁ヨーク支持部材２０１の長さ分の距離を隔てて上下に界磁ヨーク２０２が備えられ、その四隅に界磁ヨーク支持部材２０１が配置され、上下の界磁ヨーク２０２の対向面に永久磁石２０３がそれぞれ取り付けられている。そして、可動子２００の中空空間内に固定子１００が挿入され、永久磁石２０３が固定子１００を構成する電機子巻線１０５と対向するように配置されている。可動子２００は、図示しない直線転がり案内や静圧軸受案内等によって支持されている。
【０００５】
このような構成において、所定の電流を電機子巻線１０５に流すと永久磁石２０３の作る磁界との作用により可動子２００に推力が発生し、可動子２００は矢印で示す進行方向に移動する。
【０００６】
図１３は、図１２におけるＡ−Ａ’線に沿って断面を１／４にカットしたキャンド・リニアモータの正断面図である。
【０００７】
図において、１０９はＯリング、１１０は冷媒通路、１０２がキャン、１２０が真空断熱材である。固定子１００は、電機子巻線１０５を額縁状（口の字形）に囲むように設けた金属製の筐体１０１と、筐体１０１の両開口部を密閉するため筐体１０１の外形を象った板状のキャン１０２と、キャン１０２を筐体１０１に固定するためのキャン固定用ボルト１０３と、キャン固定用ボルト１０３の通し穴を持ちキャン１０２を均等な荷重でもって押えるための押え板１０４と、筐体１０１の中空内に配置された複数のコイル群よりなる平板状に成形された３相の電機子巻線１０５と、筐体１０１の中空部より少し大き目に象られたＯリング１０９とキャン１０２の表面を覆っている薄い真空断熱材１２０により構成されている。キャン１０２の材質には、例えば、ステンレスなどの非磁性の金属、熱硬化性樹脂であるエポキシ樹脂や熱可塑性樹脂であるポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、さらにはガラス繊維やカーボン繊維をエポキシ樹脂で含浸したＧＦＲＰやＣＦＲＰが使用されている。筐体１０１の中空部の形状は、電機子巻線１０５の外周を囲うように象られている。
【０００８】
電機子巻線１０５は、巻線固定部材１１１と一体に樹脂モールドされており、電機子巻線１０５と一体になった巻線固定部材１１１は、筐体１０１の中空内に配置され、巻線固定部材１１１と筐体１０１とがボルト（図示しない）により固定される。筐体１０１の表裏の縁には、周回した溝が設けられており、そこにＯリング１０９が配置される。そして、キャン１０２と真空断熱材１２０が筐体１０１の表裏に配置されている。真空断熱材１２０はキャン１０２と同じ外形に象られており、縁が表裏の外袋を接合した部分となっている。真空断熱材１２０は、外袋に樹脂や金属製のラミネートフィルム、芯材に断熱材となるシリカ粉末やグラスウールやポリエステルが用いられ、内部を真空にして構成されている。
【０００９】
このように構成された真空断熱材１２０の上から筐体１０１の縁に沿って押え板１０４が敷かれ、キャン固定用ボルト１０３にて締め付けられ、キャン１０２と真空断熱材１２０と筐体１０１が一体に固定される。電機子巻線１０５は、複数の集中巻コイルを３相分用意したもので構成されている。電機子巻線１０５への電力供給は、筐体１０１に取り付けられた端子台１０６から行われる。端子台１０６と電機子巻線１０５はリード線（図示しない）で各々電気的に接続されている。また、冷媒は筐体１０１に設けた冷媒供給口１０７より供給され、冷媒排出口１０８より排出される。その間に、冷媒は冷媒通路１１０を流れ、銅損により発熱する電機子巻線１０５を冷却する。
【００１０】
このように構成されたキャンド・リニアモータは、可動子２００と固定子１００の電気的相対位置に応じた３相交流電流を電機子巻線１０５に流すことにより、永久磁石２０３の作る磁界と作用して可動子２００に推力が発生する。このとき銅損によって発熱した電機子巻線１０５は冷媒通路１１０を流れる冷媒により冷却され、電機子表面から周囲へ逃げる熱を真空断熱材１２０が流れにくくし、電機子表面である真空断熱材の外表面での温度上昇を極めて小さくすることができる。
【特許文献１】特許第３５３９４９３号（明細書４頁〜５頁、第２図）
【特許文献２】特開２００６−３２５３５１号公報（明細書6頁〜７頁、第２図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
従来のキャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータは以下のような問題が起きた。
【００１２】
従来技術ではキャンの外側に真空断熱材を設けたり、キャン自体が真空断熱材であるために真空断熱材が外気に接触する。真空断熱材は、外袋に樹脂や金属製のラミネートフィルム、芯材に断熱材となるシリカ粉末やグラスウールやポリエステルが用いられ、内部を真空にして構成されているので外包材を傷つけると真空破壊か生じ一気に断熱性能が低下した。また、大気圧と真空断熱材の圧力差により真空断熱材の袋から真空もれが生じ、時間とともに断熱性能が低下した。このような真空破壊、真空漏れによる断熱性能の低下により、キャン表面の温度上昇を低減することができなかった。
【００１３】
また、電機子巻線に発生する熱の一部が金属製筐体に流れ込み筐体の温度上昇がキャンの表面温度上昇よりも高くなるという問題があった。
【００１４】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、真空断熱材の外傷による真空破壊や大気との圧力差による真空漏れを防止することで、断熱性能を維持しキャン表面の温度上昇を低減し、また電機子巻線から筐体表面へ流れ込む熱を遮断することができ筐体表面へ温度上昇の低減もするキャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記問題を解決するため、本発明は次のように構成したものである。
【００１６】
請求項１記載の発明は、複数のコイル群よりなる平板状に成形された電機子巻線と、前記電機子巻線を額縁状に囲むように設けた金属製の筐体と、前記筐体の両開口部を密閉するキャンと、前記電機子巻線と前記キャンとの間に形成された冷媒通路と、を具備したキャンド・リニアモータ電機子において、前記キャンの外側もしくは内側に真空断熱材を設けると共に前記真空断熱材を保護カバーにより覆ったことを特徴とするものである。
【００１７】
また、請求項２記載の発明は、複数のコイル群よりなる円筒状に成形された電機子巻線と、前記電機子巻線を囲むように設けた円筒状のキャンと、前記キャンの両開口部を密閉する金属製の筐体と、前記電機子巻線と前記キャンとの間に形成された冷媒通路と、を具備したキャンド・リニアモータ電機子において、前記キャンの外側もしくは内側に真空断熱材を設けると共に前記真空断熱材を保護カバーにより覆ったことを特徴とするものである。
【００１８】
また、請求項３記載の発明は、請求項１または２記載の保護カバーを樹脂製もしくは金属製の板導で構成したことを特徴とするものである。
【００１９】
また、請求項４記載の発明は、請求項１または２記載の保護カバーを樹脂製もしくは金属製のシートで構成したことを特徴とするものである。
【００２０】
また、請求項５記載の発明は、請求項１または２記載の保護カバーをモールド樹脂によって構成したことを特徴とするものである。
【００２１】
また、請求項６記載の発明は、複数のコイル群よりなる平板状に成形された電機子巻線と、前記電機子巻線を額縁状に囲むように設けた金属製の筐体と、前記筐体の両開口部を密閉するキャンと、前記電機子巻線と前記キャンとの間に形成された冷媒通路と、を具備したキャンド・リニアモータ電機子において、前記キャンの内部を中空として構成してあり、前記キャンの内部に真空断熱材を設けると共に前記キャンの内部を真空状態に保持したことを特徴とするものである。
【００２２】
また、請求項７記載の発明は、複数のコイル群よりなる円筒状に成形された電機子巻線と、前記電機子巻線を囲むように設けた円筒状のキャンと、前記キャンの両開口部を密閉する金属製の筐体と、前記電機子巻線と前記キャンとの間に形成された冷媒通路と、を具備したキャンド・リニアモータ電機子において、前記キャンの内部を中空として構成してあり、前記キャンの内部に真空断熱材を設けると共に前記キャンの内部を真空状態に保持したことを特徴とするものである。
【００２３】
また、請求項８記載の発明は、請求項１、２、６、７記載のキャンド・リニアモータ電機子において、前記真空断熱材の両面にペースト状の断熱材を塗布したことを特徴とするものである。
【００２４】
また、請求項９記載の発明は、請求項１、２、６、７記載のキャンド・リニアモータ電機子において、前記電機子巻線と前記金属製筐体の間に真空断熱材を設けたことを特徴とするものである。
【００２５】
さらに、請求項１０記載の発明は、請求項１〜９の何れか１項に記載の電機子と、前記電機子と磁気的空隙を介して対向配置されると共に交互に極性が異なる複数の永久磁石を隣り合わせて並べて配置した界磁とを備え、前記電機子と前記界磁の何れか一方を固定子に、他方を可動子として、前記界磁と前記電機子を相対的に走行するようにしたものである。
【発明の効果】
【００２６】
請求項１および２記載の発明によると、真空断熱材の外側もしくは内側に保護カバーを設けることで、真空断熱材の外傷による真空破壊を防止することができ、真空断熱材の断熱性能を長期間維持することができる。
【００２７】
請求項３から５記載の発明によると、保護カバーを樹脂製もしくは金属製の板導やシートまたはモールド樹脂によって構成することで請求項１および２記載の発明と同様の効果を得ることができる。
【００２８】
請求項６および７記載の発明によると、キャンの内部に真空断熱材を設け、さらにキャンの内部を真空状態に保持することで、圧力差による圧力差による真空断熱材の真空漏れを防止することができ、真空断熱材の断熱性能を長期間維持することができる。
【００２９】
請求項８記載の発明によると、真空断熱材の両面にペースト状の断熱材を塗布したことで真空断熱材とキャンおよび保護カバーとの間の空気層を減らすことができ、キャンド・リニアモータ冷媒通路側から電機子表面に対流による熱の移動を減らすことができる。その結果、電機子表面温度を低減することができる。
【００３０】
請求項９記載の発明によると、前記電機子巻線と前記金属製筐体の間に真空断熱材を設けることで巻線からキャンに伝導する熱を遮断することができ筐体表面の温度上昇を低減することができる。
【００３１】
請求項１０記載の発明によると、請求項１〜９の何れか１項に記載の電機子と永久磁石を有する界磁とを対向させて、電機子と界磁の何れか一方を固定子、他方を可動子として構成しているので、請求項１から９の効果を有するキャンド・リニアモータを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
【実施例１】
【００３３】
図１は本発明の第１実施例を示すキャンド・リニアモータの全体斜視図、図２は図１におけるＡ−Ａ’線に沿って断面を１／４にカットした正断面図である。なお、本発明の構成要素が従来技術と同じものについては、同一符号を付してその説明を省略し、異なる点について説明する。
【００３４】
図１、図２において、１３０が保護カバーである。
【００３５】
本発明が、従来技術と異なる点は以下のとおりである。
【００３６】
すなわち、３相の電機子巻線１０５と、電機子巻線１０５を額縁状に囲むように設けた筐体１０１と、筐体１０１の両開口部を密閉する筐体ための板状のキャン１０２と、電機子巻線１０５とキャン１０２との間に形成された冷媒通路１１０を具備したキャンド・リニアモータ電機子（固定子１００）において、キャン１０２の外側に設けた薄い真空熱材１２０と真空断熱材の外側に真空断熱材を保護するために保護カバー１３０を設けている点である。
【００３７】
ここで、キャン１０２の材質はステンレスなどの金属や熱硬化性樹脂のエポキシ樹脂、熱可塑性樹脂のポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ガラス繊維やカーボン繊維をエポキシ樹脂で含浸したＧＦＲＰやＣＦＲＰが使用されている。また、筐体１０１の表裏の縁には、周回した溝が設けられており、そこにＯリング１０９が配置されている。
【００３８】
そして、キャン１０２と真空断熱材１２０と保護カバー１３０が筐体１０１の表裏に配置されている。真空断熱材１２０はキャン１０２と同じ外形に象られており、縁が表裏の外袋を接合した部分となっている。真空断熱材１２０は、外袋に樹脂や金属製のラミネートフィルム、芯材に断熱材となるシリカ粉末やグラスウールが用いられ、内部を真空にして構成されている。保護カバー１３０は、キャン１０２と同様のステンレスなどの金属、あるいは熱硬化性のエポキシ樹脂やポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、もしくはガラス繊維やカーボン繊維をエポキシ樹脂で含浸したＧＦＲＰやＣＦＲＰ等からなる材質の板材が使用されている。保護カバー１３０の上から筐体１０１の縁に沿って押え板１０４が敷かれ、固定用ボルト１０３にて締め付けられ、キャン１０２と真空断熱材１２０と保護カバー１３０と筐体１０１が一体に固定される。
【００３９】
このような構成により、真空断熱材１２０の外側に保護カバー１３０を設けることで樹脂や金属製のラミネートフィルムにより構成した真空断熱材の外包が外傷による真空破壊を防止することができ長期間断熱性能を維持することができる。
【実施例２】
【００４０】
次に本発明の第２実施例について説明する。
【００４１】
図３は本発明の第２実施例を示すキャンド・リニアモータの全体斜視図、図４は図３におけるＡ−Ａ’線に沿って断面を１／４にカットした正断面図である。
【００４２】
図において、５００は可動子、５０１は筐体、５０２はキャン、５０５は電機子巻線、５０６は端子台、５０７aと５０７bは冷媒供給口、５０８aと５０８ｂは冷媒排出口、５１０は冷媒通路、５１１は巻線固定部材、５２０は真空断熱材、５３０は保護カバー、６００は固定子、６０２は界磁ヨーク、６０３は永久磁石である。
【００４３】
第２実施例が第１実施例と異なる点は、電機子巻線、永久磁石、キャン、冷媒流路、真空断熱材を円筒状に形成した点にある。
【００４４】
具体的に説明すると、固定子６００は、ストローク方向に長い円柱状の界磁ヨーク６０２の外周に多極を構成する複数の永久磁石６０３が配置されている。一方、可動子５００は中間に電機子巻線５０５が配置され、その内外周に巻線固定部材５１１、冷媒通路５１０、キャン５０２、真空断熱材５２０、保護カバー５３０が設けられている。ここで、筐体５０１とキャン５０２にはステンレスが使用され、これらは溶接によって接合されている。また、電機子巻線５０５は巻線固定部材５１１と一体にモールドされ筐体５０１とボルト（図示しない）により固定されている。冷媒は一方の筐体５０１に設けられた冷媒供給口５０７a、５０７bから各冷媒通路に供給され、筐体５０１内部の管路を通り冷媒通路５１０に流れ、その後、他方の筐体５０１内の管路を通って冷媒排出口５０８a、５０８bから排出される。可動子５００は、その中空空間内に固定子６００が挿入され、図示しない直線転がり案内や静圧軸受案内等によって支持されている。このような構成において、所定の電流を電機子巻線５０５に流すことで永久磁石６０３の作る磁界との作用により可動子５００に推力が発生し、可動子５００は矢印で示す進行方向に移動する。
【００４５】
このような構成により、真空断熱材５２０の外側に保護カバー５３０を設けることで樹脂や金属製のラミネートフィルムにより構成した真空断熱材の外包材が外傷のよる真空破壊を防止することができ、第１実施例と同様に長期間断熱性能を維持することができる。
【実施例３】
【００４６】
次に本発明の第３実施例について説明する。
【００４７】
図５は本発明の第３実施例を示すキャンド・リニアモータであって、図１におけるＡ−Ａ’線に沿って断面を１／４にカットした正断面図である。
【００４８】
第３実施例が第１実施例と異なる点は、真空断熱材１２０の外側にフィルムシート１３０aを設けることである。フィルムシート１３０aの材質はキャン１０２と同様ステンレスなどの金属や熱硬化性樹脂のエポキシ樹脂、熱可塑性樹脂のポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ガラス繊維やカーボン繊維をエポキシ樹脂で含浸したＧＦＲＰやＣＦＲＰが使用されている。フィルムシート１３０aは接着材によって真空断熱材１２０の外側と接着し真空断熱材は同様に接着材でキャン１０２と接着している。キャン１０２の上から筐体１０１の縁に沿って押え板１０４が敷かれ、固定用ボルト１０３にて締め付けられ、キャン１０２と真空断熱材１２０とフィルムシート１３０aと筐体１０１が一体に固定される。
【００４９】
このような構成により、真空断熱材１２０の外側にフィルムシート１３０aを設けることで樹脂や金属製のラミネートフィルムにより構成した真空断熱材の外包材が外傷のよる真空破壊を防止することができ長期間断熱性能を維持することができる。
【実施例４】
【００５０】
次に本発明の第４実施例について説明する。
【００５１】
図６は本発明の第４実施例を示すキャンド・リニアモータであって、図１におけるＡ−Ａ’線に沿って断面を１／４にカットした正断面図である。
【００５２】
第４実施例が第１、第３実施例と異なる点は、真空断熱材１２０の外側にモールド樹脂１３０ｂを設けることである。モールド樹脂１３０ｂはキャンと真空断熱材を入れた型に樹脂を流し込んでつくるエポキシ樹脂である。キャン１０２の上から筐体１０１の縁に沿って押え板１０４が敷かれ、固定用ボルト１０３にて締め付けられ、キャン１０２と真空断熱材１２０とモールド樹脂１３０ｂと筐体１０１が一体に固定される。
【００５３】
このような構成により、真空断熱材１２０の外側にモールド樹脂１３０bを設けることで樹脂や金属製のラミネートフィルムにより構成した真空断熱材の外包材が外傷のよる真空破壊を防止することができ長期間断熱性能を維持することができる。
【実施例５】
【００５４】
次に本発明の第５実施例について説明する。
【００５５】
図７は本発明の第５実施例を示すキャンド・リニアモータであって、図１におけるＡ−Ａ’線に沿って断面を１／４にカットした正断面図である。
【００５６】
第５実施例が第１実施例と異なる点は、真空断熱材はキャンと保護カバーで挟まれるような構造ではなく内部を中空としたキャン１０２aの内部に真空断熱材１２０を設けキャンの内部を真空状態にすることと真空断熱材の両面にペースト状の断熱材を塗布したことである。
【００５７】
図８に示すように真空断熱材の内部真空圧、Pvacuumは大気圧、Patmより非常に低いので圧力差によって空気が薄いフィルムで作られている真空断熱材の外包を浸透し内部圧力が上昇になり断熱性能が時間とともに低下する。これに対し、第５実施例の構成のように、図９に示すようにキャン内部の中空区間に真空断熱材を設けキャン内部を真空すると真空断熱材内部圧力Pvacuumとキャン内部圧力Pcanの差が以前の比べて小さくなり圧力差による空気の真空断熱材の外包を浸透しにくくなり長期間真空断熱材の断熱性能を維持することができる。また真空断熱材の両面にペースト状の断熱材を塗布したことによって真空断熱材とキャン内部の間の隙間を利用して対流によるキャン高温側から低温側に熱の移動（サーマルブリッジ現象）（図１０）を防止することができ、キャン表面の温度上昇を効果的に低減できる。
【実施例６】
【００５８】
次に本発明の第６実施例について説明する。
【００５９】
図１１は本発明の第６実施例を示すキャンド・リニアモータであって、図１におけるＡ−Ａ’線に沿って断面を１／４にカットした正断面図である。
【００６０】
第６実施例が第１実施例と異なる点は、真空断熱材１４０を電機子巻線１０５と金属製筐体１０１の間に設ける点である。真空断熱材を使用していない場合は巻線で発生する熱の一部は筐体に流れ込み筐体外表面の温度上昇がキャン表面の温度上昇より高くなる。
【００６１】
このような構成により、巻線１０５から金属製筐体１０１に方に熱の流れ大部分を遮断することができ、筐体外表面の温度上昇がキャン表面の温度上昇より高くなることが防止することができ筐体表面の温度上昇を低減することができる。
【００６２】
第１実施例〜第４実施例と第６実施例では真空断熱材キャンの外側に設けた構成で示したが、内側に設けた構成でも同様の効果が得られる。
【産業上の利用可能性】
【００６３】
本発明は、真空断熱材の外側もしくは内側に保護カバーを設けることあるいは中空としたキャンの内部に真空断熱材を設けキャンの内部を真空状態にすることで真空断熱材の外傷による真空破壊や大気との圧力差による真空漏れを防止することができ、長期間断熱性能を維持しキャン表面の温度上昇を低減することができる。また巻線と筐体のあいだに真空断熱材を設けることで電機子巻線から筐体表面へ流れ込む熱を遮断することができ筐体表面の温度上昇を低減することができる。よって、リニアモータ表面温度分布の低減を要求される半導体露光装置や検査装置などの用途に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明の第１実施例を示すキャンド・リニアモータの全体斜視図
【図２】図１におけるＡ−Ａ’線に沿って断面を１／４にカットした正断面図
【図３】本発明の第２実施例を示すキャンド・リニアモータの全体斜視図
【図４】本発明の第２実施例を示すキャンド・リニアモータであって、図１におけるＡ−Ａ’線に沿って断面を１／４にカットした正断面図
【図５】本発明の第３実施例を示すキャンド・リニアモータであって、図１におけるＡ−Ａ’線に沿って断面を１／４にカットした正断面図
【図６】本発明の第４実施例を示すキャンド・リニアモータであって、図１におけるＡ−Ａ’線に沿って断面を１／４にカットした正断面図
【図７】本発明の第５実施例を示すキャンド・リニアモータの全体斜視図
【図８】キャンを真空していない場合真空漏れの説明図
【図９】キャンを真空している場合真空漏れ防止の説明図
【図１０】キャンと真空断熱材の間のスキマに起きるサーマルブリッジ現象の説明図
【図１１】本発明の第６実施例を示すキャンド・リニアモータであって、図１におけるＡ−Ａ’線に沿って断面を１／４にカットした正断面図
【図１２】従来技術を示すキャンド・リニアモータの全体斜視図
【図１３】図１２におけるＡ−Ａ’線に沿って断面を１／４にカットしたキャンド・リニアモータの正断面図
【符号の説明】
【００６５】
１００、６００  固定子
１０１、５０１  筐体
１０２  キャン
１０２a キャン
５０２  キャン
１０３  固定用ボルト
１０４  押え板
１０５、５０５  電機子巻線
１０６、５０６  端子台
１０７、５０７a、５０７ｂ  冷媒供給口
１０８、５０８a、５０８ｂ  冷媒排出口
１０９  Ｏリング
１１０、５１０  冷媒通路
１１１  巻線固定部材
１２０、５２０  真空断熱材
１３０、５３０  保護カバー
１３０a フィルムシート
１３０b モールド樹脂
１４０  真空断熱材
２００、５００  可動子
２０１  界磁ヨーク支持部材
２０２、６０２  界磁ヨーク
２０３、６０３  永久磁石
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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