(57)【要約】【課題】マザー基板上に配置される右ねじれ液晶及び左ねじれ液晶の吐出量のばらつきを抑制することのできる液晶装置の製造方法及び液滴吐出装置を提供する。【解決手段】右ねじれ液晶ＦＲ及び左ねじれ液晶ＦＬの配置されるマザー素子基板１００をＹ矢印方向及び反Ｙ矢印方向に搬送するステージ１３と、右ねじれ液晶ＦＲを吐出する第１吐出ヘッドＨ１と、左ねじれ液晶ＦＬを吐出する第２吐出ヘッドＨ２を備えた。第１吐出ヘッドＨ１及び第２吐出ヘッドＨ２を共通に加熱するヘッドヒータ２０を備えた。【選択図】図１
2008191461.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
右ねじれ液晶の配置される第１配置領域と左ねじれ液晶の配置される第２配置領域とを有するマザー基板に対し、第１液滴吐出ヘッドから前記右ねじれ液晶を含む液滴を前記第１配置領域に吐出し、第２液滴吐出ヘッドから前記左ねじれ液晶を含む液滴を前記第２配置領域に吐出する液晶装置の製造方法であって、
前記第１液滴吐出ヘッドと前記第２液滴吐出ヘッドとを共通に温度調節したことを特徴とする液晶装置の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の液晶装置の製造方法であって、
前記第１液滴吐出ヘッド内の前記右ねじれ液晶と、前記第２液滴吐出ヘッド内の前記左ねじれ液晶とを同時に吐出するようにしたことを特徴とする液晶装置の製造方法。
【請求項３】
右ねじれ液晶の配置される第１配置領域と左ねじれ液晶の配置される第２配置領域とを有するマザー基板を走査する走査手段と、
前記右ねじれ液晶を含む液滴を吐出する第１液滴吐出ヘッドと、
前記左ねじれ液晶を含む液滴を吐出する第２液滴吐出ヘッドと、
前記第１液滴吐出ヘッドが前記第１配置領域と対峙するときに、該第１液滴吐出ヘッドから前記右ねじれ液晶を吐出させ、前記第２液滴吐出ヘッドが前記第２配置領域と対峙するときに、該第２液滴吐出ヘッドから前記左ねじれ液晶を吐出させる制御手段と、
前記第１液滴吐出ヘッドと前記第２液滴吐出ヘッドとを共通に温度調節する温度調節機構と、
を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項４】
請求項３に記載の液滴吐出装置であって、
前記温度調節機構は、
前記第１液滴吐出ヘッドと前記第２液滴吐出ヘッドとに接触されて、該第１液滴吐出ヘッド内及び前記第２液滴吐出ヘッド内の右ねじれ液晶及び左ねじれ液晶を加熱するヘッドヒータを含んで構成されることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項５】
請求項４に記載の液滴吐出装置であって、
前記ヘッドヒータは、前記右ねじれ液晶及び前記左ねじれ液晶がそれぞれ収容される前記第１液滴吐出ヘッド及び前記第２液滴吐出ヘッドのキャビティの側壁に接触されてなることを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶装置の製造方法及び液滴吐出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶装置の製造工程には、多数の素子基板（セル）を区画形成したマザー素子基板の各セルの配置領域に液晶を吐出し、その配置領域を、多数の対向基板（セル）を区画形成したマザー対向基板の対応する各対向基板で封止する封止工程が行われている。この封止工程では、配置領域に吐出した液晶の容量が変動すると、素子基板と対向基板との間の距離（セルギャップ）が変動して、液晶装置の品質を劣化させる問題があった。そこで、吐出する液晶の容量変動を抑制する方法として、液晶を微小な液滴として吐出する、いわゆるインクジェット法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
ところが、上記インクジェット法では、一般的に、圧電素子の伸縮等によって、吐出ノズルに形成させる液状体の界面（メニスカス）を強制的に振動させ、その振動過程において、メニスカスの液状体を、上記液滴として吐出させるようにしている。そのため、例えば粘度が５０〜１００ｃｐとなる液晶では、メニスカスの液晶を、上記振動によって吐出させることが困難となり、液滴の容量を変動させる、あるいは液滴を形成不能にする問題があった。
【０００４】
そこで、こうしたインクジェット法では、従来から、液晶等の高粘度の液状体を、均一な容量の液滴として吐出可能にする提案がなされている（例えば、特許文献２参照）。詳しくは、吐出ノズルを有した液滴吐出ヘッドに液晶を供給する供給ラインを、チューブヒータ等の加熱装置によって加熱して、メニスカス近傍の液晶の粘度を低下させている。これによって、高粘度の液状体（液晶）を、均一な容量の液滴として吐出を可能にしている。
【特許文献１】特開平５−２８１５６２号公報
【特許文献２】特開２００４−３５８３５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、液晶装置のモードには、ＴＮ（Twisted Nematic）モード、ＳＴＮ（Super Twisted Nematic）モード、ＶＡ（Vertical Alignment）モードといった様々なモードがあることが知られている。なかでも、素子基板と対向基板に封入された液晶分子が９０度ねじれるＴＮモードが最も広く利用されている。このＴＮモードの液晶分子のねじれ方向には、右ねじれと左ねじれとがある。これら右ねじれ液晶と左ねじれ液晶とは、添加されるカイラル剤以外の液晶材料を同一にして構成したとしても、例えばコントラストのピークが異なる等の特性の違いがあることから、用途に合わせて使い分けられている。例えば、プロジェクタに使用される液晶装置では、ＲＧＢ各色に合わせて右ねじれ液晶と左ねじれ液晶とが一つのプロジェクタにおいて併用される。このような場合には、生産効率等の観点から、右ねじれ液晶と左ねじれ液晶とが一つのマザー基板から製造されることが望ましい。
【０００６】
一つのマザー基板上に右ねじれ液晶と左ねじれ液晶とを配置する方法としては、右ねじれ液晶と左ねじれ液晶とをそれぞれ別に用意して、一つの液滴吐出ヘッドにてそれら右ねじれ液晶及び左ねじれ液晶を吐出する方法が考えられる。また、右ねじれ液晶を吐出するための液滴吐出ヘッドと左ねじれ液晶を吐出するための液滴吐出ヘッドとを別に用意し、それぞれ所望のセルに液滴を吐出する方法も考えられる。しかしながら、前者の方法では、液滴吐出ヘッドに供給される右ねじれ液晶と左ねじれ液晶とを切り替える切替作業が必要となるため、液晶吐出に要する総時間が長くなり、生産性が損なわれるという問題がある。また、後者の方法のように複数の液滴吐出ヘッドを使用する場合には、各々の液滴吐出ヘッドから吐出される液晶の吐出量にばらつきが生じるため、セルギャップに差が生じ、液晶装置の品質が劣化するという問題がある。
【０００７】
本発明は上記問題点を解決するためになされたものであって、その目的は、マザー基板上に配置される右ねじれ液晶及び左ねじれ液晶の吐出量のばらつきを抑制することのできる液晶装置の製造方法及び液滴吐出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の液晶装置の製造方法は、右ねじれ液晶の配置される第１配置領域と左ねじれ液晶の配置される第２配置領域とを有するマザー基板に対し、第１液滴吐出ヘッドから前記右ねじれ液晶を含む液滴を前記第１配置領域に吐出し、第２液滴吐出ヘッドから前記左ねじれ液晶を含む液滴を前記第２配置領域に吐出する液晶装置の製造方法であって、前記第１液滴吐出ヘッドと前記第２液滴吐出ヘッドとを共通に温度調節した。
【０００９】
本発明の液晶装置の製造方法によれば、第１液滴吐出ヘッドと第２液滴吐出ヘッドとを共通に温度調節するようにしたため、第１液滴吐出ヘッド及び第２液滴吐出ヘッドにそれぞれ収容されて吐出される右ねじれ液晶及び左ねじれ液晶の温度が共通に調節される。これにより、これら右ねじれ液晶と左ねじれ液晶との温度のばらつきを抑制することができるため、第１液滴吐出ヘッド及び第２液滴吐出ヘッドからそれぞれ吐出される右ねじれ液晶及び左ねじれ液晶の吐出量のばらつきを抑制することができる。その結果、製造される液晶装置の品質の劣化を好適に抑制することができる。また、右ねじれ液晶及び左ねじれ液晶をそれぞれ別の液滴吐出ヘッド、すなわち第１液滴吐出ヘッド及び第２液滴吐出ヘッドから吐出するようにしたため、各液晶の切替作業が不要となる。従って、製造時間の増大を抑制することができる。
【００１０】
この液晶装置の製造方法において、前記第１液滴吐出ヘッド内の前記右ねじれ液晶と、前記第２液滴吐出ヘッド内の前記左ねじれ液晶とを同時に吐出するようにしてもよい。
この液晶装置の製造方法によれば、第１配置領域及び第２配置領域にそれぞれ、右ねじれ液晶及び左ねじれ液晶が同時に配置されるため、製造時間を短縮することができる。ひいては、生産性を向上させることができる。
【００１１】
本発明の液滴吐出装置は、右ねじれ液晶の配置される第１配置領域と左ねじれ液晶の配置される第２配置領域とを有するマザー基板を走査する走査手段と、前記右ねじれ液晶を含む液滴を吐出する第１液滴吐出ヘッドと、前記左ねじれ液晶を含む液滴を吐出する第２液滴吐出ヘッドと、前記第１液滴吐出ヘッドが前記第１配置領域と対峙するときに、該第１液滴吐出ヘッドから前記右ねじれ液晶を吐出させ、前記第２液滴吐出ヘッドが前記第２配置領域と対峙するときに、該第２液滴吐出ヘッドから前記左ねじれ液晶を吐出させる制御手段と、前記第１液滴吐出ヘッドと前記第２液滴吐出ヘッドとを共通に温度調節する温度調節機構と、を備えた。
【００１２】
本発明の液滴吐出装置によれば、右ねじれ液晶を吐出する第１液滴吐出ヘッドと左ねじれ液晶を吐出する第２液滴吐出ヘッドとを別に備えるようにしたため、各液晶の切替作業が不要となる。従って、製造時間の増大を抑制することができる。さらに、一つの温度調節機構により第１液滴吐出ヘッドと第２液滴吐出ヘッドとが共通に温度調節されるため、第１液滴吐出ヘッド及び第２液滴吐出ヘッドにそれぞれ収容されて吐出される右ねじれ液晶及び左ねじれ液晶の温度も共通に調節される。これにより、これら右ねじれ液晶と左ねじれ液晶との温度のばらつきを抑制することができるため、第１液滴吐出ヘッド及び第２液滴吐出ヘッドからそれぞれ吐出される右ねじれ液晶及び左ねじれ液晶の吐出量のばらつきを抑制することができる。その結果、製造される液晶装置の品質の劣化を好適に抑制することができる。
【００１３】
この液滴吐出装置において、前記温度調節機構は、前記第１液滴吐出ヘッドと前記第２液滴吐出ヘッドとに接触されて、該第１液滴吐出ヘッド内及び前記第２液滴吐出ヘッド内の右ねじれ液晶及び左ねじれ液晶を加熱するヘッドヒータを含んで構成される。
【００１４】
この液滴吐出装置によれば、ヘッドヒータの熱を直接、第１液滴吐出ヘッド及び第２液滴吐出ヘッドに伝達することができるため、各吐出ヘッド内の右ねじれ液晶及び左ねじれ液晶を効率的に加熱することができる。
【００１５】
この液滴吐出装置において、前記ヘッドヒータは、前記右ねじれ液晶及び前記左ねじれ液晶がそれぞれ収容される前記第１液滴吐出ヘッド及び前記第２液滴吐出ヘッドのキャビティの側壁に接触されてなるようにしてもよい。
【００１６】
この液滴吐出装置によれば、ヘッドヒータの熱を各液晶の収容されたキャビティの側壁に伝達することができるため、各吐出ヘッド内の右ねじれ液晶及び左ねじれ液晶をより効率的に加熱することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明を具体化したマザー素子基板上に区画形成された各セル内に液晶（右ねじれ液晶あるいは左ねじれ液晶）を配置する液滴吐出装置について説明する。
図１は、液滴吐出装置１０を説明するための全体斜視図である。図１に示すように、液滴吐出装置１０は、直方体形状に形成された基台１１を有している。基台１１の上面には、その長手方向（Ｙ矢印方向）に沿って延びる一対の案内溝１２が形成されている。案内溝１２の上方には、案内溝１２に沿って主走査方向（Ｙ矢印方向及び反Ｙ矢印方向）に移動する走査手段を構成するステージ１３が備えられている。ステージ１３の上面には、載置部１４が形成されて、マザー基板としてのマザー素子基板１００が載置される。マザー素子基板１００は、載置部１４において位置決め固定されてＹ矢印方向及び反Ｙ矢印方向に搬送される。
【００１８】
マザー素子基板１００は、図２に示すように、大判のガラス基板であって、２点鎖線で示すように、薄膜トランジスタ、走査線、データ線等が形成された液晶装置の素子基板を形成するセル１０１が、マトリクス状に多数区画形成されている。本実施形態では、説明の便宜上、マザー素子基板１００に形成された最も反Ｘ矢印方向側にあってＹ方向に配列されたセル１０１群を１列目のセル群Ｓ１という。また、図２において、１列目のセル群Ｓ１の右側に位置してＹ方向に配列されたセル１０１群を２列目のセル群Ｓ２という。以下同様に、２列目のセル群Ｓ２の右側に位置してＹ方向に配列されたセル１０１群を左側から順に、３列目のセル群Ｓ３、４列目のセル群Ｓ４、５列目のセル群Ｓ５、６列目のセル群Ｓ６という。
【００１９】
マザー素子基板１００に区画形成された各セル１０１は、四角枠状のシール材１０２がそれぞれ形成され、そのシール材１０２で囲まれた範囲（以下、配置領域Ｚという）に液晶が配置される。本実施形態では、奇数列（１列目、３列目、５列目）のセル群Ｓ１，Ｓ３，Ｓ５の各セル１０１の配置領域Ｚには左ねじれ液晶ＦＬが配置され、偶数列（２列目、４列目、６列目）のセル群Ｓ２，Ｓ４，Ｓ６の各セル１０１の配置領域Ｚには右ねじれ液晶ＦＲが配置される（図８参照）。
【００２０】
図１に示すように、基台１１には、主走査方向と直交する副走査方向（Ｘ矢印方向及び反Ｘ矢印方向）を跨ぐ門型のガイド部材１５が架設されている。ガイド部材１５の上側には、二つの第１及び第２タンクＴ１，Ｔ２が配設されている。第１タンクＴ１には、右ねじれ液晶ＦＲが収容され、第２タンクＴ２には、左ねじれ液晶ＦＬが収容されている。
【００２１】
第１タンクＴ１に収納された右ねじれ液晶ＦＲは、該第１タンクＴ１に接続された供給チューブＴｕ１を介して第１液滴吐出ヘッド（以下、単に第１吐出ヘッドという。）Ｈ１に所定の圧力で供給されるようになっている。
【００２２】
第２タンクＴ２に収納された左ねじれ液晶ＦＬは、該第２タンクＴ２に接続された供給チューブＴｕ２を介して第２液滴吐出ヘッド（以下、単に第２吐出ヘッドという。）Ｈ２に所定の圧力で供給されるようになっている。
【００２３】
ガイド部材１５には、そのＸ矢印方向略全幅にわたって、Ｘ矢印方向に延びる上下一対のガイドレール１８が形成されている。上下一対のガイドレール１８には、キャリッジ１９が取付けられている。キャリッジ１９は、ガイドレール１８に案内されてＸ矢印方向及び反Ｘ矢印方向に移動する。このキャリッジ１９には、その下面１９ａに略直方体状のヘッドヒータ２０が取着されるとともに、第１吐出ヘッドＨ１及び第２吐出ヘッドＨ２が搭載されている。
【００２４】
図３に示すように、第１吐出ヘッドＨ１及び第２吐出ヘッドＨ２は、Ｘ方向に並設されている。詳しくは、これら第１及び第２吐出ヘッドＨ１，Ｈ２は、例えば第１吐出ヘッドＨ１が２列目のセル群Ｓ２の各セル１０１と対峙する位置に配置されるときに、第２吐出ヘッドＨ２が１列目のセル群Ｓ１と対峙する位置に配置される態様で配設されている（図２参照）。第１及び第２吐出ヘッドＨ１，Ｈ２の下部に形成されたノズルプレート２５は、一対のノズル列ＮＬを備えている。一対のノズル列ＮＬでは、Ｘ矢印方向から見て、一方のノズル列の各ノズルＮが、他方のノズル列の各ノズルＮの間を補間する。詳しくは、各吐出ヘッドＨ１，Ｈ２は、Ｘ矢印方向に、１インチ当りに１８０個×２＝３６０個のノズルＮを有する（最大解像度が３６０ｄｐｉである）。
【００２５】
また、各吐出ヘッドＨ１，Ｈ２のＹ矢印方向側には、温度検出センサＳＥが配設されている。この温度検出センサＳＥは、各吐出ヘッドＨ１，Ｈ２に収容される右ねじれ液晶ＦＲ及び左ねじれ液晶ＦＬの温度をそれぞれ検出するようになっている。温度検出センサＳＥは、検出した右ねじれ液晶ＦＲ及び左ねじれ液晶ＦＬの温度を温度検出信号ＴＡとして出力する。
【００２６】
図４は、ヘッドヒータ２０、第１吐出ヘッドＨ１及び第２吐出ヘッドＨ２を説明するための要部断面図である。
図４に示すように、第１及び第２吐出ヘッドＨ１，Ｈ２の上部には、フランジ２１が形成されている。第１吐出ヘッドＨ１は、キャリッジ１９に形成された開口部１９ｂ及びヘッドヒータ２０に形成された開口部２０ｂに対して上方から貫挿されている。このとき、第１吐出ヘッドＨ１に形成されたフランジ２１は、抜け止めの役目を果たす。また、第２吐出ヘッドＨ２は、キャリッジ１９に形成された開口部１９ｃ及びヘッドヒータ２０に形成された開口部２０ｃに対して上方から貫挿されている。このとき、第２吐出ヘッドＨ２に形成されたフランジ２１は、抜け止めの役目を果たす。
【００２７】
第１吐出ヘッドＨ１（フランジ２１）の上側には、供給チューブＴｕ１が連結されている。供給チューブＴｕ１は、第１タンクＴ１内の右ねじれ液晶ＦＲを第１吐出ヘッドＨ１に供給する。
【００２８】
ノズルプレート２５の各ノズルＮの上側には、供給チューブＴｕ１に連通するキャビティ２６が形成されている。キャビティ２６は、供給チューブＴｕ１からの右ねじれ液晶ＦＲを収容して、対応するノズルＮに右ねじれ液晶ＦＲを供給する。キャビティ２６の上側には、上下方向に振動してキャビティ２６内の容積を拡大及び縮小する振動板２７が貼り付けられている。振動板２７の上側には、ノズルＮに対応する圧電素子ＰＺが配設されている。圧電素子ＰＺは、上下方向に収縮及び伸張して振動板２７を上下方向に振動させる。上下方向に振動する振動板２７は、右ねじれ液晶ＦＲを所定サイズの液滴ＦＲｂにして対応するノズルＮから吐出させる。吐出された液滴ＦＲｂは、対応するノズルＮの反Ｚ矢印方向に飛行して、直下を通過するマザー素子基板１００の吐出面１００ａに対して着弾するようになっている。本実施形態では、マザー素子基板１００の偶数列のセル群Ｓ２，Ｓ４，Ｓ６の各セル１０１の配置領域Ｚに対して、図７に破線の矢印で示す順番で、第１吐出ヘッドＨ１から液滴ＦＲｂが吐出される。
【００２９】
一方、第２吐出ヘッドＨ２には、供給チューブＴｕ２を通じて左ねじれ液晶ＦＬが供給され、その左ねじれ液晶ＦＬがキャビティ２６に収容される。そして、第２吐出ヘッドＨ２内の振動板２７により、キャビティ２６内の左ねじれ液晶ＦＬが所定サイズの液滴ＦＬｂとして対応するノズルＮから吐出される。吐出された液滴ＦＬｂは、対応するノズルＮの反Ｚ矢印方向に飛行して、直下を通過するマザー素子基板１００の吐出面１００ａ（配置領域Ｚ）に対して着弾するようになっている。本実施形態では、マザー素子基板１００の奇数列のセル群Ｓ１，Ｓ３，Ｓ５の各セル１０１の配置領域Ｚに対して順番に、第２吐出ヘッドＨ２から液滴ＦＬｂが吐出される。
【００３０】
キャリッジ１９の下面１９ａに取着された温度調節機構を構成するヘッドヒータ２０は、第１及び第２吐出ヘッドＨ１，Ｈ２の上部を覆うように形成されている。また、ヘッドヒータ２０は、第１及び第２吐出ヘッドＨ１，Ｈ２の側壁に接触するように形成されている。このヘッドヒータ２０は、第１タンクＴ１からの右ねじれ液晶ＦＲ及び第２タンクＴ２からの左ねじれ液晶ＦＬを目標温度（本実施形態では、７０℃）にするためのヘッドヒータ駆動信号ＨＣ（図５参照）を受けて、右ねじれ液晶ＦＲ及び左ねじれ液晶ＦＬを共通に加熱するようになっている。すなわち、ヘッドヒータ２０からの熱が両吐出ヘッドＨ１，Ｈ２に伝達され、その熱により第１及び第２タンクＴ１，Ｔ２からの右ねじれ液晶ＦＲ及び左ねじれ液晶ＦＬが共通に加熱される。そして、この加熱により低粘度化（本実施形態では、２０ｃｐ以下の粘度）された右ねじれ液晶ＦＲ及び左ねじれ液晶ＦＬはそれぞれ、第１及び第２吐出ヘッドＨ１，Ｈ２のキャビティ２６に供給される。
【００３１】
このように、第１タンクＴ１からの右ねじれ液晶ＦＲと、第２タンクＴ２からの左ねじれ液晶ＦＬとが、一つのヘッドヒータ２０により共通して加熱されるため、第１吐出ヘッドＨ１内の右ねじれ液晶ＦＲと第２吐出ヘッドＨ２内の左ねじれ液晶ＦＬとの温度のばらつきを抑制することができる。従って、第１吐出ヘッドＨ１及び第２吐出ヘッドＨ２からそれぞれ吐出される右ねじれ液晶ＦＲ及び左ねじれ液晶ＦＬの吐出量のばらつきを抑制することができる。
【００３２】
次に、このように構成された液滴吐出装置１０の電気的構成を図５に従って説明する。
図５に示すように、制御装置５０は、ＣＰＵ５０Ａ、ＲＯＭ５０Ｂ、ＲＡＭ５０Ｃ等を有している。制御装置５０は、格納された各種データ及び各種制御プログラムに従って、ステージ１３の搬送処理、キャリッジ１９の搬送処理、第１及び第２吐出ヘッドＨ１，Ｈ２の液滴吐出処理、ヘッドヒータ２０の駆動制御を実行する。
【００３３】
制御装置５０には、各種操作スイッチとディスプレイを有した入出力装置５１が接続されている。入出力装置５１は、液滴吐出装置１０が実行する各種処理の処理状況を表示する。入出力装置５１は、右ねじれ液晶ＦＲ及び左ねじれ液晶ＦＬの目標温度を設定した目標温度データＴＤを制御装置５０に出力する。なお、制御装置５０は、入出力装置５１からの目標温度データＴＤに基づいて、ヘッドヒータ駆動信号ＨＣを生成するための目標温度信号ＴＰを生成する。また、入出力装置５１は、マザー素子基板１００上に右ねじれ液晶ＦＲの液滴ＦＲｂでパターンを形成するための第１ビットマップデータＢＤ１及び左ねじれ液晶ＦＬでパターンを形成するための第２ビットマップデータＢＤ２を生成する。そして、入出力装置５１は、これら第１及び第２ビットマップデータＢＤ１，ＢＤ２を制御装置５０に出力する。
【００３４】
第１及び第２ビットマップデータＢＤ１，ＢＤ２は、各ビットの値（０あるいは１）に応じて各圧電素子ＰＺのオンあるいはオフを規定したデータである。第１ビットマップデータＢＤ１は、第１吐出ヘッドＨ１（各ノズルＮ）の通過する各セル１０１のシール材１０２で囲まれた配置領域Ｚの各位置に、液滴ＦＲｂを吐出するか否かをそれぞれ規定したデータである。詳しくは、第１ビットマップデータＢＤ１は、図６（ａ）に示すように、偶数列のセル群Ｓ２，Ｓ４，Ｓ６の各セル１０１の配置領域Ｚ（第１配置領域）に予め定めた配置パターンを形成するように、第２吐出ヘッドＨ２から液滴ＦＲｂを吐出させるためのデータである。
【００３５】
一方、第２ビットマップデータＢＤ２は、図６（ｂ）に示すように、奇数列のセル群Ｓ１，Ｓ３，Ｓ５の各セル１０１の配置領域Ｚ（第２配置領域）に予め定めた配置パターンを形成するように液滴ＦＬｂを吐出させるためのデータである。なお、第１及び第２ビットマップデータＢＤ１，ＢＤ２は、第１吐出ヘッドＨ１から各配置領域Ｚに吐出される右ねじれ液晶ＦＲの吐出量と、第２吐出ヘッドＨ２から各配置領域Ｚに吐出される左ねじれ液晶ＦＬの吐出量とが同量となるように配置パターンを規定している。
【００３６】
図５に示すように、制御装置５０には、Ｘ軸モータ駆動回路５２が接続されている。制御装置５０は、駆動制御信号をＸ軸モータ駆動回路５２に出力する。Ｘ軸モータ駆動回路５２は、制御装置５０からの駆動制御信号に応答して、キャリッジ１９を移動させるためのＸ軸モータＭＸを正転又は逆転させる。
【００３７】
制御装置５０には、Ｙ軸モータ駆動回路５３が接続されている。制御装置５０は、駆動制御信号をＹ軸モータ駆動回路５３に出力する。Ｙ軸モータ駆動回路５３は、制御装置５０からの駆動制御信号に応答して、ステージ１３を移動させるためのＹ軸モータＭＹを正転又は逆転させる。
【００３８】
制御装置５０には、第１吐出ヘッド駆動回路５４が接続されている。制御装置５０は、所定の吐出周波数に同期させた吐出タイミング信号ＬＴを第１吐出ヘッド駆動回路５４に出力する。制御装置５０は、各圧電素子ＰＺを駆動するための駆動電圧ＣＯＭを吐出周波数に同期させて第１吐出ヘッド駆動回路５４に出力する。
【００３９】
制御装置５０は、第１ビットマップデータＢＤ１を利用して所定の周波数に同期した第１パターン形成用制御信号ＳＩ１を生成し、その第１パターン形成用制御信号ＳＩ１を第１吐出ヘッド駆動回路５４にシリアル転送する。第１吐出ヘッド駆動回路５４は、制御装置５０からの第１パターン形成用制御信号ＳＩ１を各圧電素子ＰＺに対応させて順次シリアル／パラレル変換する。第１吐出ヘッド駆動回路５４は、制御装置５０からの吐出タイミング信号ＬＴを受けるたびに、シリアル／パラレル変換した第１パターン形成用制御信号ＳＩ１をラッチし、その第１パターン形成用制御信号ＳＩ１によって選択される圧電素子ＰＺにそれぞれ駆動電圧ＣＯＭを供給する。
【００４０】
制御装置５０には、第２吐出ヘッド駆動回路５５が接続されている。制御装置５０は、第１吐出ヘッド駆動回路５４に対する場合と同様に、吐出タイミング信号ＬＴ及び駆動電圧ＣＯＭを第２吐出ヘッド駆動回路５５に出力する。
【００４１】
制御装置５０は、第２ビットマップデータＢＤ２を利用して所定の周波数に同期した第２パターン形成用制御信号ＳＩ２を生成し、その第２パターン形成用制御信号ＳＩ２を第２吐出ヘッド駆動回路５５にシリアル転送する。第２吐出ヘッド駆動回路５５は、第１吐出ヘッド駆動回路５４と同様に、第２パターン形成用制御信号ＳＩ２によって選択される圧電素子ＰＺにそれぞれ駆動電圧ＣＯＭを供給する。
【００４２】
制御装置５０には、ヘッドヒータ駆動回路５６が接続されている。制御装置５０は、上記目標温度データＴＤに基づいて生成した目標温度信号ＴＰをヘッドヒータ駆動回路５６に出力する。このヘッドヒータ駆動回路５６には、各吐出ヘッドＨ１，Ｈ２に設けられた温度検出センサＳＥが接続されている。ヘッドヒータ駆動回路５６は、温度検出センサＳＥからの温度検出信号ＴＡが入力される。ヘッドヒータ駆動回路５６は、制御装置５０からの目標温度信号ＴＰと温度検出センサＳＥからの温度検出信号ＴＡとに基づいて、第１及び第２吐出ヘッドＨ１，Ｈ２内の右ねじれ液晶ＦＲ及び左ねじれ液晶ＦＬの温度を目標温度にするためのヘッドヒータ駆動信号ＨＣを生成する。そして、ヘッドヒータ駆動回路５６は、生成したヘッドヒータ駆動信号ＨＣをヘッドヒータ２０に出力する。ヘッドヒータ２０は、ヘッドヒータ駆動回路５６からのヘッドヒータ駆動信号ＨＣに基づいて、第１及び第２吐出ヘッドＨ１，Ｈ２内の右ねじれ液晶ＦＲ及び左ねじれ液晶ＦＬを目標温度にまで加熱する。
【００４３】
次に、上記液滴吐出装置１０を利用してマザー素子基板１００の各セル１０１に、右ねじれ液晶ＦＲ及び左ねじれ液晶ＦＬを配置する方法について説明する。
いま、図１に示すように、第１及び第２吐出ヘッドＨ１，Ｈ２は、ステージ１３から離間した反Ｘ矢印方向の待機位置で待機している。この待機状態において、制御装置５０は、入出力装置５１からの目標温度データＴＤに基づいて、目標温度信号ＴＰを生成する。そして、制御装置５０は、ヘッドヒータ駆動回路５６に、目標温度信号ＴＰに基づくヘッドヒータ駆動信号ＨＣを生成させて、そのヘッドヒータ駆動信号ＨＣをヘッドヒータ２０に出力させる。そして、制御装置５０は、ヘッドヒータ２０を駆動して、第１及び第２吐出ヘッドＨ１，Ｈ２内の右ねじれ液晶ＦＲ及び左ねじれ液晶ＦＬの温度を目標温度に昇温維持させる。また、このとき、マザー素子基板１００の各セル１０１の配置領域Ｚに、液滴ＦＲｂ、ＦＬｂにより右ねじれ液晶ＦＲ及び左ねじれ液晶ＦＬを配置するための第１及び第２ビットマップデータＢＤ１，ＢＤ２が入出力装置５１から制御装置５０に入力される。すなわち、マザー素子基板１００の偶数列のセル群Ｓ２，Ｓ４，Ｓ６の各セル１０１に右ねじれ液晶ＦＲを配置し、奇数列のセル群Ｓ１，Ｓ３，Ｓ５の各セル１０１に左ねじれ液晶ＦＬを配置するための第１及び第２ビットマップデータＢＤ１，ＢＤ２が入出力装置５１から制御装置５０に入力される。
【００４４】
そして、マザー素子基板１００をステージ１３に載置する。このとき、マザー素子基板１００は、ステージ１３の載置部１４上の反Ｙ矢印方向側に配置され、入出力装置５１から制御装置５０へ作業開始の指令信号が出力される。
【００４５】
制御装置５０は、Ｘ軸モータ駆動回路５２を介してＸ軸モータＭＸを駆動して第１吐出ヘッドＨ１を待機位置からＸ矢印方向に移動させる。そして、図７に示すように、第１吐出ヘッドＨ１が、マザー素子基板１００の２列目のセル群Ｓ２の各セル１０１（配置領域Ｚ）がその直下をＹ矢印方向に通過する位置まで移動すると、制御装置５０は、Ｘ軸モータ駆動回路５２を介してＸ軸モータＭＸを停止させる。なお、このとき、第２吐出ヘッドＨ２は、マザー素子基板１００の１列目のセル群Ｓ１の各セル１０１（配置領域Ｚ）がその直下をＹ矢印方向に通過する位置まで移動される。次に、Ｙ軸モータ駆動回路５３を介してＹ軸モータＭＹを駆動して、マザー素子基板１００をＹ矢印方向に移動させる。
【００４６】
次に、制御装置５０は、第１ビットマップデータＢＤ１に基づいて第１パターン形成用制御信号ＳＩ１を生成して、第１パターン形成用制御信号ＳＩ１と駆動電圧ＣＯＭとを第１吐出ヘッド駆動回路５４に出力する。すなわち、制御装置５０は、第１吐出ヘッド駆動回路５４を介して各圧電素子ＰＺを駆動制御して、偶数列のセル群Ｓ２，Ｓ４，Ｓ６の各セル１０１の配置領域Ｚが第１吐出ヘッドＨ１の直下を通過するとき、当該セル１０１に所定の配置パターン（図６（ａ）参照）を形成するために選択されたノズルＮから右ねじれ液晶ＦＲの液滴ＦＲｂを吐出させる。従って、制御装置５０は、第１パターン形成用制御信号ＳＩ１に基づいて、２列目のセル群Ｓ２の各セル１０１に対して、第１吐出ヘッドＨ１から右ねじれ液晶ＦＲの液滴ＦＲｂを吐出させる。
【００４７】
また、制御装置５０は、上記動作と略同時に、第２ビットマップデータＢＤ２に基づいて第２パターン形成用制御信号ＳＩ２を生成して、第２パターン形成用制御信号ＳＩ２と駆動電圧ＣＯＭとを第２吐出ヘッド駆動回路５５に出力する。すなわち、制御装置５０は、第２吐出ヘッド駆動回路５５を介して各圧電素子ＰＺを駆動制御して、奇数列のセル群Ｓ１，Ｓ３，Ｓ５の各セル１０１の配置領域Ｚが第２吐出ヘッドＨ２の直下を通過するとき、当該セル１０１に所定の配置パターン（図６（ｂ）参照）を形成するために選択されたノズルＮから左ねじれ液晶ＦＬの液滴ＦＬｂを吐出させる。従って、制御装置５０は、第２パターン形成用制御信号ＳＩ２に基づいて、１列目のセル群Ｓ１の各セル１０１に対して、第２吐出ヘッドＨ２から左ねじれ液晶ＦＬの液滴ＦＬｂを吐出させる。
【００４８】
マザー素子基板１００の１，２列目のセル群Ｓ１，Ｓ２の各セル１０１（配置領域Ｚ）への左ねじれ液晶ＦＬ（液滴ＦＬｂ）及び右ねじれ液晶ＦＲ（液滴ＦＲｂ）の供給がそれぞれ終了すると、制御装置５０は、Ｙ軸モータ駆動回路５３を介してＹ軸モータＭＹを停止させる。次に、制御装置５０は、Ｘ軸モータ駆動回路５２を介してＸ軸モータＭＸを駆動して第１吐出ヘッドＨ１を、マザー素子基板１００の４列目のセル群Ｓ４の各セル１０１（配置領域Ｚ）が、その直下を反Ｙ矢印方向に通過する位置まで移動（フィード）させる。このとき、第２吐出ヘッドＨ２は、マザー素子基板１００の３列目のセル群Ｓ３の各セル１０１が、その直下を反Ｙ矢印方向に通過する位置まで移動される。
【００４９】
第１及び第２吐出ヘッドＨ１，Ｈ２がフィードされると、制御装置５０は、Ｙ軸モータ駆動回路５３を介してＹ軸モータＭＹを駆動して、ステージ１３を反Ｙ矢印方向に移動（スキャン）させる。次に、制御装置５０は、第１パターン形成用制御信号ＳＩ１に基づいて、４列目のセル群Ｓ４の各セル１０１の配置領域Ｚに対して、第１吐出ヘッドＨ１から右ねじれ液晶ＦＲの液滴ＦＲｂを吐出させる。また、制御装置５０は、第２パターン形成用制御信号ＳＩ２に基づいて、３列目のセル群Ｓ３の各セル１０１の配置領域Ｚに対して、第２吐出ヘッドＨ２から左ねじれ液晶ＦＬの液滴ＦＬｂを吐出させる。
【００５０】
続いて、制御装置５０は、キャリッジ１９をＸ矢印方向に移動させて、ステージ１３をＹ矢印方向に移動させるときに、第１吐出ヘッドＨ１が６列目のセル群Ｓ６に、第２吐出ヘッドＨ２が５列目のセル群Ｓ５にそれぞれ対峙する位置までフィードさせる。次に、制御装置５０は、ステージ１３をＹ矢印方向にスキャンさせる。すると、制御装置５０は、第１パターン形成用制御信号ＳＩ１に基づいて、６列目のセル群Ｓ６の各セル１０１の配置領域Ｚに対して、第１吐出ヘッドＨ１から右ねじれ液晶ＦＲの液滴ＦＲｂを吐出させる。また、制御装置５０は、第２パターン形成用制御信号ＳＩ２に基づいて、５列目のセル群Ｓ５の各セル１０１の配置領域Ｚに対して、第２吐出ヘッドＨ２から左ねじれ液晶ＦＬの液滴ＦＬｂを吐出させる。
【００５１】
このようにして、図８に示すように、一つのマザー素子基板１００の全てのセル１０１に対して、右ねじれ液晶ＦＲ及び左ねじれ液晶ＦＬが所定のパターンに配置されて、その供給が完了する。詳しくは、右ねじれ液晶ＦＲは、偶数列のセル群Ｓ２，Ｓ４，Ｓ６の各セル１０１の配置領域Ｚに配置され、左ねじれ液晶ＦＬは、奇数列のセル群Ｓ１，Ｓ３，Ｓ５の各セル１０１の配置領域Ｚに配置される。
【００５２】
そして、各セル１０１に右ねじれ液晶ＦＲ及び左ねじれ液晶ＦＬが所定のパターンに配置されたマザー素子基板１００は、共通電極が形成された液晶装置の対向基板を形成するセルがマトリクス状に多数区画形成されたマザー対向基板と、対応するセル同士が相対向するように、真空中において貼り合わされる。その後、各セル１０１毎にダイシングすることによって、素子基板と対向基板との間にシール材１０２を介して右ねじれ液晶ＦＲあるいは左ねじれ液晶ＦＬを封入した液晶装置がそれぞれ多数製造される。
【００５３】
以上説明した本実施形態によれば、以下の効果を奏することができる。
（１）本実施形態によれば、ヘッドヒータ２０により、第１吐出ヘッドＨ１及び第２吐出ヘッドＨ２を共通に温度調節（加熱）するようにした。そのため、第１タンクＴ１から第１吐出ヘッドＨ１に供給される右ねじれ液晶ＦＲと、第２タンクＴ２から第２吐出ヘッドＨ２に供給される左ねじれ液晶ＦＬとが、共通に温度調節（加熱）される。従って、第１吐出ヘッドＨ１内の右ねじれ液晶ＦＲと第２吐出ヘッドＨ２内の左ねじれ液晶ＦＬとの温度のばらつきを抑制することができ、第１吐出ヘッドＨ１及び第２吐出ヘッドＨ２からそれぞれ吐出される右ねじれ液晶ＦＲ及び左ねじれ液晶ＦＬの吐出量のばらつきを抑制することができる。これにより、製造される液晶装置の品質の劣化を好適に抑制することができる。
【００５４】
なお、上記特許文献２では、液滴吐出ヘッドに液晶を供給する供給ラインを加熱することにより液晶の粘度を低下させているため、複数の液滴吐出ヘッドを備える場合には、個々の液滴吐出ヘッドの供給ラインを加熱制御する必要がある。そのため、液滴吐出装置全体の構成・制御が複雑化し、さらに個々の液滴吐出ヘッド内の各液晶の温度にばらつきが生じる。これにより、個々の液滴吐出ヘッドから吐出される液晶の吐出量にばらつきが生じることになる。これに対して、上記本実施形態の液滴吐出装置１０によれば、一つのヘッドヒータ２０により各吐出ヘッドＨ１，Ｈ２を共通に加熱したため、構造・制御を簡便化でき、なおかつ各吐出ヘッドＨ１，Ｈ２からの各液晶ＦＲ，ＦＬの吐出量のばらつきを極めて効果的に抑制することができる。
【００５５】
（２）本実施形態によれば、右ねじれ液晶ＦＲ及び左ねじれ液晶ＦＬをそれぞれ別の吐出ヘッド、すなわち第１吐出ヘッドＨ１及び第２吐出ヘッドＨ２から吐出するようにした。これにより、一つの吐出ヘッドにより両液晶ＦＲ，ＦＬを吐出する場合に発生する液晶の切替作業が不要となるため、製造時間の増大を抑制することができる。
【００５６】
（３）本実施形態によれば、右ねじれ液晶ＦＲ及び左ねじれ液晶ＦＬを、それぞれに対応する各セル１０１の配置領域Ｚに同時に吐出するようにした。これにより、製造時間を短縮できるため、生産性を向上させることができる。
【００５７】
（４）本実施形態によれば、第１吐出ヘッドＨ１及び第２吐出ヘッドＨ２の上部を覆うように、且つ両吐出ヘッドＨ１，Ｈ２の上部側壁と接触するようにヘッドヒータ２０を形成した。これにより、ヘッドヒータ２０の熱を直接、第１吐出ヘッドＨ１及び第２吐出ヘッドＨ２に伝達することができるため、各吐出ヘッドＨ１，Ｈ２内の右ねじれ液晶ＦＲ及び左ねじれ液晶ＦＬを効率的に加熱することができる。
【００５８】
なお、上記実施形態は、これを適宜変更した以下の態様にて実施することもできる。
・上記実施形態におけるヘッドヒータ２０の形状は、第１吐出ヘッドＨ１と第２吐出ヘッドＨ２を共通に温度調節（加熱）できる形状であれば特に制限されない。例えば、図９に示すように、ヘッドヒータ３０を、両吐出ヘッドＨ１，Ｈ２のキャビティ２６の側壁２６ａと接触するように形成してもよい。これによれば、ヘッドヒータ３０の熱を右ねじれ液晶ＦＲ及び左ねじれ液晶ＦＬの収容されたキャビティ２６の側壁２６ａに伝達することができるため、それら右ねじれ液晶ＦＲ及び左ねじれ液晶ＦＬをより効率的に加熱することができる。
【００５９】
あるいは、両吐出ヘッドＨ１，Ｈ２のノズルプレート２５に接触されるようにヘッドヒータを形成するようにしてもよい。
・上記実施形態では、ヘッドヒータ２０による加熱により、第１及び第２吐出ヘッドＨ１，Ｈ２の温度調節を行うようにしたが、例えば加熱及び冷却により両吐出ヘッドＨ１，Ｈ２の温度調節を行うようにしてもよい。
【００６０】
・上記実施形態では、第１吐出ヘッドＨ１から吐出される右ねじれ液晶ＦＲと、第２吐出ヘッドＨ２から吐出される左ねじれ液晶ＦＬとを同時に吐出するようにしたが、右ねじれ液晶ＦＲ及び左ねじれ液晶ＦＬをそれぞれ別のタイミングで吐出するようにしてもよい。
【００６１】
・上記実施形態におけるキャリッジ１９に搭載された第１及び第２吐出ヘッドＨ１，Ｈ２の配置に特に制限はない。例えば、第１及び第２吐出ヘッドＨ１，Ｈ２をＹ方向に並設するようにしてもよい。
【００６２】
・上記実施形態では、吐出手段を、圧電素子駆動方式の液滴吐出ヘッドに具体化した。これに限らず、第１及び第２液滴吐出ヘッドＨ１，Ｈ２を、抵抗加熱方式や静電駆動方式の吐出ヘッドに具体化してもよい。
【００６３】
・上記実施形態における右ねじれ液晶ＦＲ及び左ねじれ液晶ＦＬの配置パターンに特に制限はない。すなわち、第１及び第２ビットマップデータＢＤ１，ＢＤ２における配置パターンに特に制限はない。
【００６４】
・上記実施形態における液晶装置は、各画素に制御素子である薄膜トランジスタ等を備えた、いわゆるアクティブマトリクス方式の液晶装置であってもよく、パッシブ方式の液晶装置であってもよい。
【００６５】
・上記実施形態では、素子基板のためのマザー素子基板１００の各セル１０１にシール材１０２を形成し、そのシール材１０２で囲まれた範囲（配置領域Ｚ）に右ねじれ液晶ＦＲ及び左ねじれ液晶ＦＬを配置したが、対向基板のためのマザー対向基板にシール材を形成し、そのシール材で囲まれた範囲に右ねじれ液晶ＦＲ及び左ねじれ液晶ＦＬを配置して、貼り合わせる場合に応用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】本実施形態の液滴吐出装置を説明するための全体斜視図。
【図２】マザー素子基板を説明するための平面図。
【図３】液滴吐出ヘッドを説明するための斜視図。
【図４】液滴吐出ヘッドを説明するための断面図。
【図５】液滴吐出装置の電気的構成を説明するためのブロック図。
【図６】（ａ）、（ｂ）は、それぞれビットマップデータにおける配置パターンを説明するための平面図。
【図７】液滴吐出ヘッドの移動経路を説明するための平面図。
【図８】右ねじれ液晶と左ねじれ液晶との配置を説明するための平面図。
【図９】別例におけるヘッドヒータを説明するための断面図。
【符号の説明】
【００６７】
Ｈ１…第１液滴吐出ヘッド、Ｈ２…第２液滴吐出ヘッド、ＦＲ…右ねじれ液晶、ＦＬ…左ねじれ液晶、ＦＲｂ，ＦＬｂ…液滴、Ｔ１…第１タンク、Ｔ２…第２タンク、１０…液滴吐出装置、１３…走査手段を構成するステージ、２０，３０…温度調節機構を構成するヘッドヒータ、２６…キャビティ、２６ａ…キャビティの側壁、１００…マザー基板としてのマザー素子基板。
【図１】
2008191461.tif 000003
【図２】
2008191461.tif 000004
【図３】
2008191461.tif 000005
【図４】
2008191461.tif 000006
【図５】
2008191461.tif 000007
【図６】
2008191461.tif 000008
【図７】
2008191461.tif 000009
【図８】
2008191461.tif 000010
【図９】
2008191461.tif 000011