(57)【要約】【課題】略直方体形状の検査対象物の側面のみならず稜部についても精度よく外観を検査する。【解決手段】外観検査装置１０は、略直方体形状の素体１の外観検査を行う。外観検査装置１０は、第２回転テーブルＢ１０と、側面撮像用第１カメラＢ１１と、稜部撮像用カメラＢ１２とを備える。第２回転テーブルＢ１０は、素体１の側面を吸着して素体１を保持する吸着ノズルＢ１０ｅを有する。側面撮像用第１カメラＢ１１は、吸着ノズルＢ１０ｅによって保持されていない素体１の側面を撮像する。稜部撮像用カメラＢ１２は、吸着ノズルＢ１０ｅによって保持されていない側面をその側面と隣り合うと共に互いに対向する一対の側面とそれぞれ連結させる一対の稜部を撮像する。第２回転テーブルＢ１０は、素体１の姿勢を維持したまま、側面撮像用第１カメラＢ１１から稜部撮像用カメラＢ１２へと素体１を搬送する。【選択図】図１
2008241342.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
略直方体形状の検査対象物の外観検査を行うための外観検査装置であって、
前記検査対象物の少なくとも一つの側面と当接して前記検査対象物を保持する保持部を有し、当該保持部によって前記検査対象物を保持しつつ搬送を行う第１搬送手段と、
前記検査対象物の側面のうち前記保持部と当接している側面とは異なる側面を撮像する第１撮像手段と、
前記検査対象物の側面のうち前記保持部と当接している側面とは異なる側面を当該異なる側面と隣り合うと共に互いに対向する一対の側面とそれぞれ連結させる一対の稜部を撮像する第２撮像手段とを備え、
前記第１搬送手段は、前記第１撮像手段と前記第２撮像手段との間において、前記検査対象物の姿勢を維持したまま前記検査対象物を搬送することを特徴とする外観検査装置。
【請求項２】
前記検査対象物の側面のうち前記保持部と当接している側面とは異なる側面において前記検査対象物を保持しつつ搬送を行う第２搬送手段を更に備えることを特徴とする請求項１に記載された外観検査装置。
【請求項３】
前記検査対象物の側面のうち前記第１搬送手段の前記保持部によって保持される側面は、前記検査対象物の側面のうち前記第１搬送手段の搬送方向に平行で且つ前記第２撮像手段によって撮像される前記一対の稜部を連結している側面と交差しており、
前記第１搬送手段の前記保持部は、前記検査対象物の前記一対の稜部が前記保持部よりも前記第２撮像手段側に位置するように前記検査対象物を保持することを特徴とする請求項１に記載された外観検査装置。
【請求項４】
前記第２撮像手段は、
前記検査対象物の前記一対の稜部の撮像を行う撮像部と、
前記検査対象物の前記一対の稜部からの反射光を前記撮像部に導入する導光部とを有し、
前記導光部は、
前記検査対象物の前記一対の稜部からの反射光がそれぞれ入射する第１開口部及び第２開口部が前記検査対象物に向かう側面に配置された筐体と、
前記筐体内に配置されると共に前記第１開口部から入射した反射光を反射する第１反射部材と、
前記筐体内に配置されると共に前記第２開口部から入射した反射光を反射する第２反射部材と、
前記筐体内に配置されると共に前記第１反射部材及び前記第２反射部材によって反射された反射光を共に前記撮像部に向けて反射する第３反射部材とを含むことを特徴とする請求項１に記載された外観検査装置。
【請求項５】
前記第２撮像手段の前記撮像部と前記第２撮像手段の前記導光部とは、一体化されていることを特徴とする請求項４に記載された外観検査装置。
【請求項６】
前記導光部は、前記検査対象物に対して照明を行う第１照明手段、第２照明手段及び第３照明手段を含み、
前記第１照明手段は、前記筐体の前記検査対象物に向かう側面であって、前記第１開口部と前記第２開口部との間に位置する第１領域に配置され、
前記第２照明手段は、前記筐体の前記検査対象物に向かう側面であって、前記第１開口部に対して前記第１領域とは反対側に位置する第２領域及び前記第２開口部に対して前記第１領域とは反対側に位置する第３領域にそれぞれ配置され、
前記第３照明手段は、前記筐体の前記検査対象物に向かう側面であって、前記第１開口部の周囲で且つ前記第１領域と前記第２領域との間に位置する一対の第４領域及び第５領域並びに前記第２開口部の周囲で且つ前記第１領域と前記第３領域との間に位置する一対の第６領域及び第７領域にそれぞれ配置されており、
前記第１照明手段、前記第３照明手段及び前記第２照明手段は、この順に輝度が高くなるように設定されていることを特徴とする請求項４に記載された外観検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、外観検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、チップコンデンサやチップインダクタ等の略直方体形状の電子部品の外観を検査する外観検査装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。この外観検査装置は、第１カメラによる電子部品の第１側面の撮像及び第２カメラによる電子部品の第２側面の撮像が行われる第１搬送機構と、第１搬送機構による搬送方向と直交する向きに電子部品を反転させる反転機構と、第３カメラによる電子部品の第３側面の撮影及び第４カメラによる電子部品の第４側面の撮影が行われる第２搬送機構とを備え、電子部品の主要な４つの側面における傷等の欠陥の有無を画像処理によって判定するように構成されている。
【特許文献１】特開２０００−２６６５２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、近年、より品質の高い電子部品が要求されている。特に、外部電極が形成されて電子部品となる前の素体の表面に傷等の欠陥があると、外部電極の形成に代表される後工程においてその欠陥が隠れ、製品として電子部品が完成した後の最終的な外観検査工程や電気特性検査工程において欠陥の存在を検出することができなくなってしまい、製品として電子部品が出荷された後に、電子部品に内在する欠陥が成長して不良の原因となって、電子部品として機能しなくなることがあるので、素体の表面全体における傷等の欠陥を確実に検出することが望まれる。
【０００４】
しかしながら、上記した従来の外観検査装置では、側面のみが検査対象となっており、稜部における欠陥の有無を検査することができなかった。そのため、精度の高い外観検査を目指して、電子部品の稜部についても欠陥の有無を検出しようとすると、作業員が目視によって電子部品の稜部を検査せざるを得なかった。従って、作業員の間で検査のばらつきが発生したり、人件費等のコストが増加したり、検査が長時間化するといった問題が生じる虞があった。
【０００５】
本発明は、略直方体形状の検査対象物の側面のみならず稜部についても精度よく外観を検査することが可能な外観検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る外観検査装置は、略直方体形状の検査対象物の外観検査を行うための外観検査装置であって、検査対象物の少なくとも一つの側面と当接して検査対象物を保持する保持部を有し、当該保持部によって検査対象物を保持しつつ搬送を行う第１搬送手段と、検査対象物の側面のうち保持部と当接している側面とは異なる側面を撮像する第１撮像手段と、検査対象物の側面のうち保持部と当接している側面とは異なる側面を当該異なる側面と隣り合うと共に互いに対向する一対の側面とそれぞれ連結させる一対の稜部を撮像する第２撮像手段とを備え、第１搬送手段は、第１撮像手段と第２撮像手段との間において、検査対象物の姿勢を維持したまま検査対象物を搬送することを特徴とする。
【０００７】
本発明に係る外観検査装置では、第１撮像手段によって検査対象物の側面を撮像し、第２撮像手段によって検査対象物の一対の稜部を撮像している。そのため、検査対象物の側面及び稜部について、画像処理による外観検査が行われる。その結果、検査対象物の側面のみならず稜部についても精度よく外観を検査することが可能となっている。また、本発明に係る外観検査装置では、検査対象物の姿勢を維持したまま検査対象物を第１搬送手段によって搬送している。そのため、撮像手段を固定して検査対象物の姿勢を変えることで検査対象物の側面及び稜部を撮像するような場合と比較して、検査対象物を変化させるための複雑な機構が必要なくなっている。その結果、検査対象物の側面及び稜部を検査可能としつつ、外観検査装置を大幅にコンパクト化することが可能となる。さらに、本発明に係る外観検査装置では、検査対象物の一対の稜部を一つの撮像手段によって一度に撮像している。そのため、設置すべき撮像手段の数が減ることとなるので、外観検査装置をよりコンパクト化することが可能となると共に、一対の稜部が一回の画像処理によって検査されるようになるので、検査対象物の外観検査を短時間で行うことが可能となる。
【０００８】
また、検査対象物の側面のうち保持部と当接している側面とは異なる側面において検査対象物を保持しつつ搬送を行う第２搬送手段を更に備えることが好ましい。このようにすると、検査対象物の側面のうち第１搬送手段の保持部と当接している側面についても外観検査を行うことが可能となる。
【０００９】
また、検査対象物の側面のうち第１搬送手段の保持部によって保持される側面は、検査対象物の側面のうち第１搬送手段の搬送方向に平行で且つ第２撮像手段によって撮像される一対の稜部を連結している側面と交差しており、第１搬送手段の保持部は、検査対象物の一対の稜部が保持部よりも第２撮像手段側に位置するように検査対象物を保持することが好ましい。このようにすると、検査対象物の稜部を撮像する際、保持部からの反射光が第２撮像手段に導入されにくくなるので、検査対象物の稜部を良好に撮像することが可能となる。
【００１０】
また、第２撮像手段は、検査対象物の一対の稜部の撮像を行う撮像部と、検査対象物の一対の稜部からの反射光を撮像部に導入する導光部とを有し、導光部は、検査対象物の一対の稜部からの反射光がそれぞれ入射する第１開口部及び第２開口部が検査対象物に向かう側面に配置された筐体と、筐体内に配置されると共に第１開口部から入射した反射光を反射する第１反射部材と、筐体内に配置されると共に第２開口部から入射した反射光を反射する第２反射部材と、筐体内に配置されると共に第１反射部材及び第２反射部材によって反射された反射光を共に撮像部に向けて反射する第３反射部材とを含むことが好ましい。このような撮像手段を用いると、検査対象物の一対の稜部を一度に撮像することが可能となる。
【００１１】
また、第２撮像手段の撮像部と第２撮像手段の導光部とは、一体化されていることが好ましい。このようにすると、第２撮像手段の撮像部と第２撮像手段の導光部とが別体となっている場合と比較して、第２撮像手段の検査対象物に対する位置決めを容易に行うことが可能となる。
【００１２】
また、導光部は、検査対象物に対して照明を行う第１照明手段、第２照明手段及び第３照明手段を含み、第１照明手段は、筐体の検査対象物に向かう側面であって、第１開口部と第２開口部との間に位置する第１領域に配置され、第２照明手段は、筐体の検査対象物に向かう側面であって、第１開口部に対して第１領域とは反対側に位置する第２領域及び第２開口部に対して第１領域とは反対側に位置する第３領域にそれぞれ配置され、第３照明手段は、筐体の検査対象物に向かう側面であって、第１開口部の周囲で且つ第１領域と第２領域との間に位置する一対の第４領域及び第５領域並びに第２開口部の周囲で且つ第１領域と第３領域との間に位置する一対の第６領域及び第７領域にそれぞれ配置されており、第１照明手段、第３照明手段及び第２照明手段は、この順に輝度が高くなるように設定されていることが好ましい。稜部から撮像部に導入される反射光は側面から撮像部に導入される反射光よりも弱くなりがちであるが、このようにすると、稜部が十分に照明されるようになるので、稜部を跨るような傷等の欠陥を極めて良好に検出することが可能となる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、略直方体形状の検査対象物の側面のみならず稜部についても精度よく外観を検査することが可能な外観検査装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明に係る外観検査装置１０の好適な実施形態について、図面を参照して説明する。外観検査装置１０は、チップコンデンサやチップインダクタ等といった電子部品を構成する素体（検査対象物）１の表面における欠陥の有無を検出するものである。
【００１５】
（素体の構成）
まず、素体１について、図１２を参照して説明する。素体１は、素体１が電子部品となったときにコンデンサとして機能させるための内部電極となる電極パターンや、素体１が電子部品となったときにインダクタとして機能させるための内部導体となる導体パターンが形成されたセラミックグリーンシートを複数積層して圧着し、所定温度にて所定時間焼成した後、バレル研磨することで形成される。
【００１６】
素体１は、略直方体形状を呈している。素体１は、Ｘ軸方向（以下、「高さ方向」という）に対向する一対の側面ｓ１，ｓ２と、Ｙ軸方向（以下、「長さ方向」という）に対向する一対の側面ｓ３，ｓ４と、Ｚ軸方向（以下、「幅方向」という）に対向する一対の側面ｓ５，ｓ６とを有している。そのため、側面ｓ１，ｓ２と側面ｓ３，ｓ４とは隣り合うように位置しており、側面ｓ１，ｓ２と側面ｓ５，ｓ６とは隣り合うように位置しており、側面ｓ３，ｓ４と側面ｓ５，ｓ６とは隣り合うように位置している。
【００１７】
素体１は、隣り合う側面ｓ１，ｓ３を連結する稜部ｅ１と、隣り合う側面ｓ１，ｓ４を連結する稜部ｅ２と、隣り合う側面ｓ１，ｓ５を連結する稜部ｅ３と、隣り合う側面ｓ１，ｓ６を連結する稜部ｅ４と、隣り合う側面ｓ２，ｓ３を連結する稜部ｅ５と、隣り合う側面ｓ２，ｓ４を連結する稜部ｅ６と、隣り合う側面ｓ２，ｓ５を連結する稜部ｅ７と、隣り合う側面ｓ２，ｓ６を連結する稜部ｅ８と、隣り合う側面ｓ３，ｓ５を連結する稜部ｅ９と、隣り合う側面ｓ３，ｓ６を連結する稜部ｅ１０と、隣り合う側面ｓ４，ｓ５を連結する稜部ｅ１１と、隣り合う側面ｓ４，ｓ６を連結する稜部ｅ１２とを有している。
【００１８】
ここで、素体１の高さ方向に並ぶ一対の稜部ｅ１，ｅ５及びｅ２，ｅ６、素体１の幅方向に並ぶ一対の稜部ｅ３，ｅ４、ｅ７，ｅ８、ｅ９，ｅ１０及びｅ１１，ｅ１２を、以下、単に「一対の稜部」ということとする。なお、稜部ｅ１〜ｅ１２は、素体１を形成する際のバレル研磨工程によって面取りされており、丸みを帯びた状態となっている。
【００１９】
（外観検査装置の構成）
続いて、外観検査装置１０の全体構成について、図１〜図６を参照して説明する。外観検査装置１０は、図１〜図３に示されるように、ステージ１２と、素体供給テーブル１４と、第１〜第５回転テーブルＡ１０，Ｂ１０，Ｃ１０，Ｄ１０，Ｅ１０と、側面撮像用第１カメラＢ１１，Ｂ１５，Ｃ１１，Ｄ１２と、側面撮像用第２カメラＢ１６，Ｄ１１と、稜部撮像用カメラＢ１２〜Ｂ１４，Ｃ１２〜Ｃ１４と、モニタ１６と、制御部１８とを備える。
【００２０】
ステージ１２上には、素体供給テーブル１４、第１〜第５回転テーブルＡ１０，Ｂ１０，Ｃ１０，Ｄ１０，Ｅ１０、側面撮像用第１カメラＢ１１，Ｂ１５，Ｃ１１，Ｄ１２、側面撮像用第２カメラＢ１６，Ｄ１１、稜部撮像用カメラＢ１２〜Ｂ１４，Ｃ１２〜Ｃ１４及びモニタ１６が設けられている。ステージ１２上には、外観検査装置１０による検査の結果、良品であると判断された素体１を回収する良品回収トレイ２０と、良品の素体１の排出位置から良品回収トレイ２０につながるシュート２２とが設けられている。
【００２１】
ステージ１２上には、外観検査装置１０による検査の結果、不良品であると判断された素体１が排出される不良品排出口２４が設けられている。ステージ１２の内部には、不良品排出口２４に排出された素体１を回収する不良品回収箱（図示せず）が設けられている。ステージ１２の内部には、制御部１８が設けられている。
【００２２】
素体供給テーブル１４は、素体１を続く第１回転テーブル１６Ａに供給するためのものである。素体供給テーブル１４には、特に図１及び図２にて詳しく示されるように、複数の素体１が整列された状態で載置された整列板２（詳しくは後述する）が載置される。素体供給テーブル１４は、図示しない駆動機構により、矢印Ｘ１方向に整列板２を往復移動させることが可能となっていると共に、矢印Ｘ２方向に整列板２を往復移動させることが可能となっている。素体供給テーブル１４は、素体１の第１回転テーブルＡ１０への供給が行われる地点Ｐ１（図２参照）において、整列板２に整列されている素体１の長さ方向と第１回転テーブルＡ１０の回転方向（矢印Ｘ３方向）とが略直交するように、整列板２を移動させる。
【００２３】
第１回転テーブルＡ１０は、素体供給テーブル１４から供給された素体１を続く第２回転テーブルＢ１０に引き渡すためのものである。第１回転テーブルＡ１０は、特に図４にて詳しく示されるように、回転軸Ａ１０ａと、テーブルＡ１０ｂとを有する。回転軸Ａ１０ａは、ステージ１２上において上方に延びるように設けられており、図示しない駆動機構により矢印Ｘ３方向（上方から見て反時計回り）に回転可能となっていると共に、図示しない駆動機構により矢印Ｘ４方向に昇降可能となっている。テーブルＡ１０ｂは、筒部Ａ１０ｃ及び筒部Ａ１０ｃの上部を閉塞する底部Ａ１０ｄを有する有底円筒状を呈しており、下方に向けて開放されている。
【００２４】
筒部Ａ１０ｃの開放側端面には、空気の吸引によって生じる負圧を利用して素体１を吸着するための複数（本実施形態では４個）の吸着ノズルＡ１０ｅが形成されている。底部Ａ１０ｄは、回転軸Ａ１０ａの先端と接続されている。そのため、第１回転テーブルＡ１０は、吸着ノズルＡ１０ｅによって素体１を保持しつつ回転軸Ａ１０ａの回転又は昇降に伴い回転又は昇降する。これにより、素体１は、地点Ｐ１から第２回転テーブルＢ１０への引き渡しが行われる地点Ｐ２（図２参照）まで、所定の姿勢を維持したまま搬送されることとなる。
【００２５】
第２回転テーブルＢ１０は、第１回転テーブルＡ１０から受け取った素体１を第３回転テーブルＣ１０に引き渡すためのものである。第２回転テーブルＢ１０は、特に図４にて詳しく示されるように、回転軸Ｂ１０ａと、テーブルＢ１０ｂとを有する。回転軸Ｂ１０ａは、ステージ１２上において上方に延びるように設けられており、図示しない駆動機構により矢印Ｘ５方向（上方から見て時計回り）に回転可能となっている。テーブルＢ１０ｂは、筒部Ｂ１０ｃ及び筒部Ｂ１０ｃの下部を閉塞する底部Ｂ１０ｄを有する有底円筒状を呈しており、上方に向けて開放されている。
【００２６】
筒部Ｂ１０ｃの開放側端面には、空気の吸引によって生じる負圧を利用して素体１を吸着するための複数（本実施形態では１２個）の吸着ノズルＢ１０ｅが形成されている。底部Ｂ１０ｄは、回転軸Ｂ１０ａの先端と接続されている。そのため、第２回転テーブルＢ１０は、吸着ノズルＢ１０ｅによって素体１を保持しつつ回転軸Ｂ１０ａの回転に伴い回転する。これにより、素体１は、地点Ｐ２から第３回転テーブルＣ１０への引渡が行われる地点Ｐ３（図２参照）まで、所定の姿勢を維持したまま搬送されることとなる。
【００２７】
第２回転テーブルＢ１０の周囲には、その回転方向（矢印Ｘ５方向）に沿って、側面撮像用第１カメラＢ１１、稜部撮像用カメラＢ１２、稜部撮像用カメラＢ１３、稜部撮像用カメラＢ１４、側面撮像用第１カメラＢ１５及び側面撮像用第１カメラＢ１６がこの順に配置されている。これらの各カメラＢ１１〜Ｂ１６としては、例えばＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラを用いることができる。
【００２８】
側面撮像用第１カメラＢ１１は、筒部Ｂ１０ｃの開放側端面の上方であって、その撮像軸が筒部Ｂ１０ｃの開放側端面に向かうように配置されている。稜部撮像用カメラＢ１２は、筒部Ｂ１０ｃの開放側端面の上方であって、後述する導光部Ｂ１２ｃにおける一対の開口部Ｂ１２ｄ，Ｂ１２ｅが筒部Ｂ１０ｃの開放側端面に向かうと共に第２回転テーブルＢ１０の回転方向（矢印Ｘ５方向）に並ぶように配置されている。
【００２９】
稜部撮像用カメラＢ１３は、第２回転テーブルＢ１０の外側であって、導光部における一対の開口部が筒部Ｂ１０ｃの開放側端面のやや上方の空間に向かうと共に上下方向に並ぶように配置されている。稜部撮像用カメラＢ１４は、第２回転テーブルＢ１０の外側であって、導光部における一対の開口部が筒部Ｂ１０ｃの開放側端面のやや上方の空間に向かうと共に第２回転テーブルＢ１０の回転方向（矢印Ｘ５方向）に並ぶように配置されている。側面撮像用第１カメラＢ１５は、第２回転テーブルＢ１０の外側であって、その撮像軸が筒部Ｂ１０ｃの開放側端面のやや上方の空間に向かうように配置されている。側面撮像用第２カメラＢ１６は、第２回転テーブルＢ１０の内側であって、その撮像軸が筒部Ｂ１０ｃの開放側端面のやや上方の空間に向かうように配置されている。
【００３０】
第３回転テーブルＣ１０は、第２回転テーブルＢ１０から受け取った素体１を第４回転テーブルＤ１０に引き渡すためのものである。第３回転テーブルＣ１０は、特に図５にて詳しく示されるように、回転軸Ｃ１０ａと、テーブルＣ１０ｂとを有する。回転軸Ｃ１０ａは、図示しない天井に下方に向けて突設されており、図示しない駆動機構により矢印Ｘ６方向（上方から見て反時計回り）に回転可能となっていると共に、図示しない駆動機構により矢印Ｘ７方向に昇降可能となっている。テーブルＣ１０ｂは、筒部Ｃ１０ｃ及び筒部Ｃ１０ｃの上部を閉塞する底部Ｃ１０ｄを有する有底円筒状を呈しており、下方に向けて開放されている。
【００３１】
筒部Ｃ１０ｃの開放側端面には、空気の吸引によって生じる負圧を利用して素体１を吸着するための複数（本実施形態では８個）の吸着ノズルＣ１０ｅが形成されている。底部Ｃ１０ｄは、回転軸Ｃ１０ａの先端と接続されている。そのため、第３回転テーブルＣ１０は、吸着ノズルＣ１０ｅによって素体１を保持しつつ回転軸Ｂ１０ａの回転又は昇降に伴い回転又は昇降する。これにより、素体１は、地点Ｐ３から第４回転テーブルＤ１０への引渡が行われる地点Ｐ４（図２参照）まで、所定の姿勢を維持したまま搬送されることとなる。
【００３２】
第３回転テーブルＣ１０の周囲には、その回転方向（矢印Ｘ６方向）に沿って、側面撮像用第１カメラＣ１１、稜部撮像用カメラＣ１２、稜部撮像用カメラＣ１３及び稜部撮像用カメラＣ１４がこの順に配置されている。これらの各カメラＣ１１〜Ｃ１４としては、例えばＣＣＤカメラを用いることができる。
【００３３】
側面撮像用第１カメラＣ１１は、筒部Ｃ１０ｃの開放側端面の下方であって、その撮像軸が筒部Ｃ１０ｃの開放側端面に向かうように配置されている。稜部撮像用カメラＣ１２は、筒部Ｃ１０ｃの開放側端面の下方であって、導光部における一対の開口部が筒部Ｃ１０ｃの開放側端面に向かうと共に第３回転テーブルＣ１０の回転方向（矢印Ｘ６方向）に並ぶように配置されている。
【００３４】
稜部撮像用カメラＣ１３は、第３回転テーブルＣ１０の外側であって、導光部における一対の開口部が筒部Ｃ１０ｃの開放側端面のやや下方の空間に向かうと共に上下方向に並ぶように配置されている。稜部撮像用カメラＣ１４は、第３回転テーブルＣ１０の外側であって、導光部における一対の開口部が筒部Ｃ１０ｃの開放側端面のやや下方の空間に向かうと共に第３回転テーブルＣ１０の回転方向（矢印Ｘ６方向）に並ぶように配置されている。
【００３５】
第４回転テーブルＤ１０は、第３回転テーブルＣ１０から受け取った素体１を第５回転テーブルＥ１０に引き渡すためのものである。第４回転テーブルＤ１０は、特に図６にて詳しく示されるように、回転軸Ｄ１０ａと、テーブルＤ１０ｂとを有する。回転軸Ｄ１０ａは、ステージ１２上において上方に延びるように設けられており、図示しない駆動機構により矢印Ｘ８方向（上方から見て時計回り）に回転可能となっている。テーブルＤ１０ｂは、筒部Ｄ１０ｃ及び筒部Ｄ１０ｃの下部を閉塞する底部Ｄ１０ｄを有する有底円筒状を呈しており、上方に向けて開放されている。
【００３６】
筒部Ｄ１０ｃの開放側端面には、空気の吸引によって生じる負圧を利用して素体１を吸着するための複数（本実施形態では８個）の吸着ノズルＤ１０ｅが形成されている。底部Ｄ１０ｄは、回転軸Ｄ１０ａの先端と接続されている。そのため、第４回転テーブルＤ１０は、吸着ノズルＤ１０ｅによって素体１を保持しつつ回転軸Ｄ１０ａの回転に伴い回転する。これにより、素体１は、地点Ｐ４から第５回転テーブルＥ１０への引渡が行われる地点Ｐ５（図２参照）まで、所定の姿勢を維持したまま搬送されることとなる。
【００３７】
第４回転テーブルＤ１０の周囲には、その回転方向（矢印Ｘ８方向）に沿って、側面撮像用第２カメラＤ１１及び側面撮像用第１カメラＤ１２がこの順に配置されている。これらの各カメラＤ１１，Ｄ１２としては、例えばＣＣＤカメラを用いることができる。
【００３８】
側面撮像用第２カメラＤ１１は、第４回転テーブルＤ１０の内側であって、その撮像軸が筒部Ｄ１０ｃの開放側端面のやや上方の空間に向かうように配置されている。側面撮像用第１カメラＤ１２は、第４回転テーブルＤ１０の外側であって、その撮像軸が筒部Ｄ１０ｃの開放側端面のやや上方の空間に向かうように配置されている。
【００３９】
第５回転テーブルＥ１０は、第４回転テーブルＤ１０から受け取った素体１のうち、良品であると判断された素体１を良品回収トレイ２０へと排出し、不良品であると判断された素体１を不良品排出口２４へと排出するためのものである。第５回転テーブルＥ１０は、特に図６にて詳しく示されるように、回転軸Ｅ１０ａと、テーブルＥ１０ｂとを有する。回転軸Ｅ１０ａは、ステージ１２上において上方に延びるように設けられており、図示しない駆動機構により矢印Ｘ９方向（上方から見て反時計回り）に回転可能となっていると共に、図示しない駆動機構により矢印Ｘ１０方向に昇降可能となっている。テーブルＥ１０ｂは、筒部Ｅ１０ｃ及び筒部Ｅ１０ｃの上部を閉塞する底部Ｅ１０ｄを有する有底円筒状を呈しており、下方に向けて開放されている。
【００４０】
筒部Ｅ１０ｃの開放側端面には、空気の吸引によって生じる負圧を利用して素体１を吸着するための複数（本実施形態では４個）の吸着ノズルＥ１０ｅが形成されている。底部Ｅ１０ｄは、回転軸Ｅ１０ａの先端と接続されている。そのため、第５回転テーブルＥ１０は、吸着ノズルＥ１０ｅによって素体１を保持しつつ回転軸Ｅ１０ａの回転又は昇降に伴い回転又は昇降する。これにより、素体１は、地点Ｐ５から不良品の排出が行われる地点Ｐ６又は良品の排出が行われる地点Ｐ７（図２参照）まで、所定の姿勢を維持したまま搬送されることとなる。
【００４１】
モニタ１６は、各カメラＢ１１〜Ｂ１６，Ｃ１１〜Ｃ１４，Ｄ１１，Ｄ１２によって撮像された素体１の側面ｓ１〜ｓ６又は稜部ｅ１〜ｅ１２の撮像画像の表示や、検査結果の表示を行う。
【００４２】
制御部１８は、特に図３にて詳しく示されるように、第１〜第５回転テーブルＡ１０，Ｂ１０，Ｃ１０，Ｄ１０，Ｅ１０、各カメラＢ１１〜Ｂ１６，Ｃ１１〜Ｃ１４，Ｄ１１，Ｄ１２、素体供給テーブル１４及びモニタ１６と接続されている。制御部１８は、第１〜第５回転テーブルＡ１０，Ｂ１０，Ｃ１０，Ｄ１０，Ｅ１０の回転動作及び吸着ノズルＡ１０ｅ，Ｂ１０ｅ，Ｃ１０ｅ，Ｄ１０ｅ，Ｅ１０ｅの空気の吸引動作、並びに、第１回転テーブルＡ１０、第３回転テーブルＣ１０及び第５回転テーブルＥ１０の昇降動作を制御する。
【００４３】
制御部１８は、各カメラＢ１１〜Ｂ１６，Ｃ１１〜Ｃ１４，Ｄ１１，Ｄ１２に対して撮像指示を与えると共に、各カメラＢ１１〜Ｂ１６，Ｃ１１〜Ｃ１４，Ｄ１１，Ｄ１２によって撮像された素体１の側面ｓ１〜ｓ６又は稜部ｅ１〜ｅ１２の撮像画像データに基づいて画像処理を行い、素体１の傷等の欠陥の有無を検査し、素体１が不良品であるか否かの判断を行う。制御部１８は、素体供給テーブル１４を制御して、素体供給テーブル１４に載置された整列板２を矢印Ｘ１方向又は矢印Ｘ２方向に往復移動させる。制御部１８は、モニタ１６に所定の画像を表示させる。
【００４４】
（側面撮像用第１カメラの構成）
続いて、側面撮像用第１カメラＢ１１，Ｂ１５，Ｃ１１，Ｄ１２の構成について、図７を参照して説明する。なお、側面撮像用第１カメラＢ１１，Ｂ１５，Ｃ１１，Ｄ１２の構成は共通しているので、以下では、側面撮像用第１カメラＢ１１を例にとって説明する。
【００４５】
側面撮像用第１カメラＢ１１は、第２回転テーブルＢ１０の吸着ノズルＢ１０ｅによって保持されている素体１の側面を撮像するためのものである。側面撮像用第１カメラＢ１１は、撮像が行われるカメラ本体Ｂ１１ａと、図示しないレンズを収容する鏡胴Ｂ１１ｂと、リング照明Ｂ１１ｃ，Ｂ１１ｄとを有している。リング照明Ｂ１１ｃ，Ｂ１１ｄは、対象物をその周囲３６０°方向から照明することのできるリング状（略円環状）の照明器具である。
【００４６】
リング照明Ｂ１１ｃ，Ｂ１１ｄは、その内側面に複数のＬＥＤ光源が配列されている。リング照明Ｂ１１ｃは、鏡胴Ｂ１１ｂの先端部分に配置されている。リング照明Ｂ１１ｄは、リング照明Ｂ１１ｃと離間した位置に配置されている。これにより、リング照明Ｂ１１ｃ，Ｂ１１ｄによって素体１の側面が照明され、素体１の側面からの反射光Ｌ１が鏡胴Ｂ１１ｂ及びカメラ本体Ｂ１１ａに導入されて、側面撮像用第１カメラＢ１１によって素体１の側面が撮像されることとなる。
【００４７】
（側面撮像用第２カメラの構成）
続いて、側面撮像用第２カメラＢ１６，Ｄ１１の構成について、図８を参照して説明する。なお、側面撮像用第２カメラＢ１６，Ｄ１１の構成は共通しているので、以下では、側面撮像用第２カメラＢ１６を例にとって説明する。
【００４８】
側面撮像用第２カメラＢ１６は、第２回転テーブルＢ１０の吸着ノズルＢ１０ｅによって保持されている素体１の側面を撮像するためのものである。側面撮像用第２カメラＢ１６は、撮像が行われるカメラ本体Ｂ１６ａと、図示しないレンズを収容する鏡胴Ｂ１６ｂと、プリズムアダプタＢ１６ｃと、リング照明Ｂ１６ｄ，Ｂ１６ｅとを有している。プリズムアダプタＢ１６ｃは、素体１の側面からの反射光が導入される開口部Ｂ１６ｆと、開口部Ｂ１６ｆから導入された反射光を反射する直角プリズムＢ１６ｇと、鏡胴Ｂ１６ｂの先端と接続されると共に直角プリズムＢ１６ｇによって反射された反射光を鏡胴Ｂ１６ｂ及びカメラ本体Ｂ１６ａに向けて導出する開口部Ｂ１６ｈとを含んで構成されている。
【００４９】
リング照明Ｂ１６ｄ，Ｂ１６ｅは、対象物をその周囲３６０°方向から照明することのできるリング状（略円環状）の照明器具である。リング照明Ｂ１６ｄ，Ｂ１６ｅは、その内側面に複数のＬＥＤ光源が配列されている。リング照明Ｂ１６ｄは、開口部Ｂ１６ｆの先端と接続されている。リング照明Ｂ１６ｅは、リング照明Ｂ１６ｄと離間した位置に配置されている。これにより、リング照明Ｂ１６ｄ，Ｂ１６ｅによって素体１の側面が照明され、素体１の側面からの反射光Ｌ２が直角プリズムＢ１６ｇによって鏡胴Ｂ１６ｂ及びカメラ本体Ｂ１６ａに導入されて、側面撮像用第２カメラＢ１６によって素体１の側面が撮像されることとなる。なお、リング照明Ｂ１６ｅは、図示しない駆動機構に取り付けられており、撮像対象物である素体１に近接及び離間する方向（矢印Ｘ１１方向）に移動可能となっている。
【００５０】
（稜部撮像用カメラの構成）
続いて、稜部撮像用カメラＢ１２〜Ｂ１４，Ｃ１２〜Ｃ１４の構成について、図９〜１１を参照して説明する。なお、稜部撮像用カメラＢ１２〜Ｂ１４，Ｃ１２〜Ｃ１４の構成は共通しているので、以下では、稜部撮像用カメラＢ１２を例にとって説明する。
【００５１】
稜部撮像用カメラＢ１２は、第２回転テーブルＢ１０の吸着ノズルＢ１０ｅによって保持されている素体１の一対の稜部を撮像するためのものである。稜部撮像用カメラＢ１２は、撮像が行われるカメラ本体Ｂ１２ａと、図示しないレンズを収容する鏡胴Ｂ１２ｂと、導光部Ｂ１２ｃとを有している。
【００５２】
導光部Ｂ１２ｃは、特に図９にて詳しく示されるように、略直方体状を呈する筐体Ｂ１２ｄと、一対の開口部Ｂ１２ｅ，Ｂ１２ｆと、一対の直角プリズムＢ１２ｇ，Ｂ１２ｈと、直角プリズムＢ１２ｉと、開口部Ｂ１２ｊとを含んで構成されている。一対の開口部Ｂ１２ｅ，Ｂ１２ｆは、筐体Ｂ１２ｄの素体１に向かう側面Ｓに設けられており、素体１の一対の稜部からの反射光をそれぞれ導入する。
【００５３】
一対の直角プリズムＢ１２ｇ、Ｂ１２ｈは、開口部Ｂ１２ｅ，Ｂ１２ｆからそれぞれ導入された素体１の一対の稜部からの反射光を直角プリズムＢ１２ｉに向けて反射する。直角プリズムＢ１２ｉは、直角プリズムＢ１２ｇ、Ｂ１２ｈによって反射された各反射光を更に反射する。開口部Ｂ１２ｊは、鏡胴Ｂ１２ｂの先端と接続されると共に直角プリズムＢ１２ｈによって反射された反射光を鏡胴Ｂ１２ｂ及びカメラ本体Ｂ１２ａに向けて導出する。なお、導光部Ｂ１２ｃの筐体Ｂ１２ｄは、開口部Ｂ１２ｅ，Ｂ１２ｆから導入される光以外の光の侵入を防ぐため、内壁及び外壁の少なくとも一方が黒色とされている。
【００５４】
導光部Ｂ１２ｃの側面Ｓには、特に図１０にて詳しく示されるように、複数のチップＬＥＤ（Light Emitting Diode）３によって構成されたチップＬＥＤ群３Ａ〜３Ｇが配置されている。チップＬＥＤ群３Ａ〜３Ｃは、筐体Ｂ１２ｄの側面Ｓであって、一対の開口部Ｂ１２ｅ，Ｂ１２ｆの間の領域Ｓ１に配置されている。チップＬＥＤ群３Ａ〜３Ｃは、領域Ｓ１において、５つのチップＬＥＤ３が一対の開口部Ｂ１２ｅ，Ｂ１２ｆが並ぶ方向と交差する方向に一列に並んでそれぞれ構成されている。
【００５５】
チップＬＥＤ群３Ｄは、筐体Ｂ１２ｄの側面Ｓであって、開口部Ｂ１２ｅに対して領域Ｓ１と反対側に位置する領域Ｓ２に配置されている。チップＬＥＤ群３Ｄは、領域Ｓ２において、５つのチップＬＥＤ３が一対の開口部Ｂ１２ｅ，Ｂ１２ｆが並ぶ方向と交差する方向に一列に並んで構成されている。チップＬＥＤ群３Ｅは、筐体Ｂ１２ｄの側面Ｓであって、開口部Ｂ１２ｆに対して領域Ｓ１と反対側に位置する領域Ｓ３に配置されている。チップＬＥＤ群３Ｅは、領域Ｓ３において、５つのチップＬＥＤ３が一対の開口部Ｂ１２ｅ，Ｂ１２ｆが並ぶ方向と交差する方向に一列に並んで構成されている。
【００５６】
チップＬＥＤ群３Ｆは、筐体Ｂ１２ｄの側面Ｓであって、開口部Ｂ１２ｅの周囲で且つ領域Ｓ１，Ｓ２の間に位置する一対の領域Ｓ４，Ｓ５に配置されている。チップＬＥＤ群３Ｆは、領域Ｓ４において、３つのチップＬＥＤ３が一対の開口部Ｂ１２ｅ，Ｂ１２ｆが並ぶ方向に一列に並ぶと共に、領域Ｓ５において、３つのチップＬＥＤ３が一対の開口部Ｂ１２ｅ，Ｂ１２ｆが並ぶ方向に一列に並んで構成されている。
【００５７】
チップＬＥＤ群３Ｇは、筐体Ｂ１２ｄの側面Ｓであって、開口部Ｂ１２ｆの周囲で且つ領域Ｓ１，Ｓ３の間に位置する一対の領域Ｓ６，Ｓ７に配置されている。チップＬＥＤ群３Ｇは、領域Ｓ６において、３つのチップＬＥＤ３が一対の開口部Ｂ１２ｅ，Ｂ１２ｆが並ぶ方向に一列に並ぶと共に、領域Ｓ７において、３つのチップＬＥＤ３が一対の開口部Ｂ１２ｅ，Ｂ１２ｆが並ぶ方向に一列に並んで構成されている。すなわち、開口部Ｂ１２ｅは、チップＬＥＤ群３Ａ，３Ｄ，３Ｆによって囲まれ、開口部Ｂ１２ｆは、チップＬＥＤ群３Ｃ，３Ｅ，３Ｇによって囲まれている。
【００５８】
チップＬＥＤ群３Ａを構成する５つのチップＬＥＤ３は、図１１に示されるように、可変抵抗Ｒｖと共に直列となるように接続されており、他のチップＬＥＤ群３Ｂ〜３Ｇをそれぞれ構成するチップＬＥＤ３と並列となるように接続されている（他のチップＬＥＤ群３Ｂ〜３Ｇについても同様である）。これらの可変抵抗Ｒｖは、電源ＰＷからチップＬＥＤ群３Ａ〜３Ｇに供給される電力量を調整するためのボリュームとしてそれぞれ機能する。具体的には、チップＬＥＤ群３Ａ〜３Ｇを構成するチップＬＥＤ３は、各可変抵抗Ｒｖによって、チップＬＥＤ群３Ａ〜３Ｃを構成するチップＬＥＤ３、チップＬＥＤ群３Ｆ，３Ｇを構成するチップＬＥＤ３、チップＬＥＤ群３Ｄ，３Ｅを構成するチップＬＥＤ３の順に輝度が高くなるように設定される。
【００５９】
（外観検査装置による外観検査）
続いて、以上の構成を有する外観検査装置１０を用いた素体１の外観検査の方法について、図１３〜図１６を参照して説明する。
【００６０】
まず、公知の装置を用いて、整列板２に複数の素体１を整列させる。そして、素体１が整列された整列板２を素体供給テーブル１４に載置する。
【００６１】
続いて、制御部１８が素体供給テーブル１４を制御して、供給対象の素体１が第１回転テーブルＡ１０への供給が行われる地点Ｐ１に位置するように整列板２を移動させる。供給対象の素体１が地点Ｐ１に位置すると（図１３（ａ）参照）、制御部１８が第１回転テーブルＡ１０を制御して、第１回転テーブルＡ１０を下降させると共に第１回転テーブルＡ１０の地点Ｐ１に位置する吸着ノズルＡ１０ｅによって地点Ｐ１にある素体１を吸着させる。
【００６２】
こうして、地点Ｐ１において、素体供給テーブル１４から第１回転テーブルＡ１０に素体１が引き渡されることとなる。このとき、素体１は、地点Ｐ１において素体１の長さ方向が第１回転テーブルＡ１０の回転方向（矢印Ｘ３方向）と略直交し、側面ｓ１が吸着ノズルＡ１０ｅによって吸着され、側面ｓ３が第１回転テーブルＡ１０の外側に向き、側面ｓ４が第１回転テーブルＡ１０の内側に向いた状態で、第１回転テーブルＡ１０に供給される。
【００６３】
第１回転テーブルＡ１０の吸着ノズルＡ１０ｅによって素体１が保持されると、制御部１８が第１回転テーブルＡ１０を制御して、第１回転テーブルＡ１０を上昇させると共に矢印Ｘ３方向に回転させる。そして、素体１が地点Ｐ２まで搬送されると（図１３（ｂ）参照）、制御部１８が第１回転テーブルＡ１０を制御して、第１回転テーブルＡ１０を下降させると共に、制御部１８が第２回転テーブルＢ１０を制御して、第２回転テーブルＢ１０の地点Ｐ２に位置する吸着ノズルＢ１０ｅによって素体１を吸着させる。
【００６４】
こうして、地点Ｐ２において、第１回転テーブルＡ１０から第２回転テーブルＢ１０に素体１が引き渡されることとなる。このとき、素体１は、地点Ｐ２において素体１の長さ方向が第２回転テーブルＢ１０の回転方向（矢印Ｘ５方向）と略直交し、側面ｓ２が吸着ノズルＢ１０ｅによって吸着され、側面ｓ４が第２回転テーブルＢ１０の外側に向き、側面ｓ３が第２回転テーブルＢ１０の内側に向いた状態で、第２回転テーブルＢ１０に供給される。
【００６５】
第２回転テーブルＢ１０の吸着ノズルＢ１０ｅによって素体１が保持されると、制御部１８が第１回転テーブルＡ１０を制御して、地点Ｐ２に位置する吸着ノズルＡ１０ｅによる素体１の吸着を停止させた後、第１回転テーブルＡ１０を上昇させる。そして、制御部１８が第２回転テーブルＢ１０を制御して、第２回転テーブルＢ１０を矢印Ｘ５方向に回転させる。素体１が地点Ｑ１まで搬送されると（図１３（ｃ）参照）、制御部１８が側面撮像用第１カメラＢ１１を制御して、側面撮像用第１カメラＢ１１によって素体１の側面ｓ１を撮像させる。
【００６６】
素体１の側面ｓ１が撮像されると、制御部１８が第２回転テーブルＢ１０を制御して、第２回転テーブルＢ１０を矢印Ｘ５方向に回転させる。そして、素体１が地点Ｑ２まで搬送されると（図１３（ｄ）参照）、制御部１８が稜部撮像用カメラＢ１２を制御して、稜部撮像用カメラＢ１２によって素体１の一対の稜部ｅ３，ｅ４を撮像させる。
【００６７】
素体１の一対の稜部ｅ３，ｅ４が撮像されると、制御部１８が第２回転テーブルＢ１０を制御して、第２回転テーブルＢ１０を矢印Ｘ５方向に回転させる。そして、素体１が地点Ｑ３まで搬送されると（図１３（ｅ）参照）、制御部１８が稜部撮像用カメラＢ１３を制御して、稜部撮像用カメラＢ１３によって素体１の一対の稜部ｅ２，ｅ６を撮像させる。
【００６８】
素体１の一対の稜部ｅ２，ｅ６が撮像されると、制御部１８が第２回転テーブルＢ１０を制御して、第２回転テーブルＢ１０を矢印Ｘ５方向に回転させる。そして、素体１が地点Ｑ４まで搬送されると（図１３（ｆ）参照）、制御部１８が稜部撮像用カメラＢ１４を制御して、稜部撮像用カメラＢ１４によって素体１の一対の稜部ｅ１１，ｅ１２を撮像させる。なお、第２回転テーブルＢ１０における筒部Ｂ１０ａの吸着ノズルＢ１０ｅ部分における肉厚は、素体１の長さ方向における大きさよりも小さくなっており、素体１は、その側面ｓ４が第２回転テーブルＢ１０における筒部Ｂ１０ａの吸着ノズルＢ１０ｅ部分よりも外側（稜部撮像用カメラＢ１３，Ｂ１４側）に位置するように第２回転テーブルＢ１０によって保持されているので、第２回転テーブルＢ１０が稜部撮像用カメラＢ１３，Ｂ１４による素体１の一対の稜部ｅ２，ｅ６及び一対の稜部ｅ１１，ｅ１２の撮像の妨げにならないようになっている。
【００６９】
素体１の一対の稜部ｅ１１，ｅ１２が撮像されると、制御部１８が第２回転テーブルＢ１０を制御して、第２回転テーブルＢ１０を矢印Ｘ５方向に回転させる。そして、素体１が地点Ｑ５まで搬送されると（図１４（ａ）参照）、制御部１８が側面撮像用第１カメラＢ１５を制御して、側面撮像用第１カメラＢ１５によって素体１の側面ｓ４を撮像させる。
【００７０】
素体１の側面ｓ４が撮像されると、制御部１８が第２回転テーブルＢ１０を制御して、第２回転テーブルＢ１０を矢印Ｘ５方向に回転させる。そして、素体１が地点Ｑ６まで搬送されると（図１４（ｂ）参照）、制御部１８が側面撮像用第２カメラＢ１６を制御して、側面撮像用第２カメラＢ１６によって素体１の側面ｓ３を撮像させる。なお、側面撮像用第２カメラＢ１６による撮像が行われない場合、リング照明Ｂ１６ｅは、第２回転テーブルＢ１０から離間した位置に退避している（図１６（ａ）参照）。一方、側面撮像用第２カメラＢ１６による撮像が行われる場合、制御部１８がリング照明Ｂ１６ｅを制御して、リング照明Ｂ１６ｅを第２回転テーブルＢ１０に近接する方向に駆動させる（図１６（ｂ）参照）。
【００７１】
素体１の側面ｓ３が撮像されると、制御部１８が第２回転テーブルＢ１０を制御して、第２回転テーブルＢ１０を矢印Ｘ５方向に回転させる。そして、素体１が地点Ｐ３まで搬送されると（図１４（ｃ）参照）、制御部１８が第３回転テーブルＣ１０を制御して、第３回転テーブルＣ１０を下降させると共に第３回転テーブルＣ１０の地点Ｐ３に位置する吸着ノズルＣ１０ｅによって素体１を吸着させる。
【００７２】
こうして、地点Ｐ３において、第２回転テーブルＢ１０から第３回転テーブルＣ１０に素体１が引き渡されることとなる。このとき、素体１は、地点Ｐ３において素体１の長さ方向が第３回転テーブルＣ１０の回転方向（矢印Ｘ６方向）と略直交し、側面ｓ１が吸着ノズルＣ１０ｅによって吸着され、側面ｓ３が第３回転テーブルＣ１０の外側に向き、側面ｓ４が第３回転テーブルＣ１０の内側に向いた状態で、第３回転テーブルＣ１０に供給される。
【００７３】
第３回転テーブルＣ１０の吸着ノズルＣ１０ｅによって素体１が保持されると、制御部１８が第２回転テーブルＢ１０を制御して、地点Ｐ３に位置する吸着ノズルＢ１０ｅによる素体１の吸着を停止させる。そして、制御部１８が第３回転テーブルＣ１０を制御して、第３回転テーブルＣ１０を上昇させると共に矢印Ｘ６方向に回転させる。素体１が地点Ｑ７まで搬送されると（図１４（ｄ）参照）、制御部１８が側面撮像用第１カメラＣ１１を制御して、側面撮像用第１カメラＣ１１によって素体１の側面ｓ２を撮像させる。
【００７４】
素体１の側面ｓ２が撮像されると、制御部１８が第３回転テーブルＣ１０を制御して、第３回転テーブルＣ１０を矢印Ｘ６方向に回転させる。そして、素体１が地点Ｑ８まで搬送されると（図１４（ｅ）参照）、制御部１８が稜部撮像用カメラＣ１２を制御して、稜部撮像用カメラＣ１２によって素体１の一対の稜部ｅ７，ｅ８を撮像させる。
【００７５】
素体１の一対の稜部ｅ７，ｅ８が撮像されると、制御部１８が第３回転テーブルＣ１０を制御して、第３回転テーブルＣ１０を矢印Ｘ６方向に回転させる。そして、素体１が地点Ｑ９まで搬送されると（図１４（ｆ）参照）、制御部１８が稜部撮像用カメラＣ１３を制御して、稜部撮像用カメラＣ１３によって素体１の一対の稜部ｅ１，ｅ５を撮像させる。
【００７６】
素体１の一対の稜部ｅ１，ｅ５が撮像されると、制御部１８が第３回転テーブルＣ１０を制御して、第３回転テーブルＣ１０を矢印Ｘ６方向に回転させる。そして、素体１が地点Ｑ１０まで搬送されると（図１５（ａ）参照）、制御部１８が稜部撮像用カメラＣ１４を制御して、稜部撮像用カメラＣ１４によって素体１の一対の稜部ｅ９，ｅ１０を撮像させる。なお、第３回転テーブルＣ１０における筒部Ｃ１０ａの吸着ノズルＣ１０ｅ部分における肉厚は、素体１の長さ方向における大きさよりも小さくなっており、素体１は、その側面ｓ３が第３回転テーブルＣ１０における筒部Ｃ１０ａの吸着ノズルＣ１０ｅ部分よりも外側（稜部撮像用カメラＣ１３，Ｃ１４側）に位置するように第３回転テーブルＣ１０によって保持されているので、第３回転テーブルＣ１０が稜部撮像用カメラＣ１３，Ｃ１４による素体１の一対の稜部ｅ１，ｅ５及び一対の稜部ｅ９，ｅ１０の撮像の妨げにならないようになっている。
【００７７】
素体１の一対の稜部ｅ９，ｅ１０が撮像されると、制御部１８が第３回転テーブルＣ１０を制御して、第３回転テーブルＣ１０を矢印Ｘ６方向に回転させる。そして、素体１が地点Ｐ４まで搬送されると（図１５（ｂ）参照）、制御部１８が第３回転テーブルＣ１０を制御して、第３回転テーブルＣ１０を下降させると共に、制御部１８が第４回転テーブルＤ１０を制御して、第４回転テーブルＤ１０の地点Ｐ４に位置する吸着ノズルＤ１０ｅによって素体１を吸着させる。
【００７８】
こうして、地点Ｐ４において、第３回転テーブルＣ１０から第４回転テーブルＤ１０に素体１が引き渡されることとなる。このとき、素体１は、地点Ｐ４において素体１の幅方向が第４回転テーブルＤ１０の回転方向（矢印Ｘ８方向）と略直交し、側面ｓ２が吸着ノズルＤ１０ｅによって吸着され、側面ｓ５が第４回転テーブルＤ１０の外側に向き、側面ｓ６が第４回転テーブルＤ１０の内側に向いた状態で、第４回転テーブルＤ１０に供給される。
【００７９】
第４回転テーブルＤ１０の吸着ノズルＤ１０ｅによって素体１が保持されると、制御部１８が第３回転テーブルＣ１０を制御して、地点Ｐ４に位置する吸着ノズルＣ１０ｅによる素体１の吸着を停止させた後、第３回転テーブルＣ１０を上昇させる。そして、制御部１８が第４回転テーブルＤ１０を制御して、第４回転テーブルＤ１０を矢印Ｘ８方向に回転させる。素体１が地点Ｑ１１まで搬送されると（図１５（ｃ）参照）、制御部１８が側面撮像用第２カメラＤ１１を制御して、側面撮像用第２カメラＤ１１によって素体１の側面ｓ６を撮像させる。
【００８０】
素体１の側面ｓ６が撮像されると、制御部１８が第４回転テーブルＤ１０を制御して、第４回転テーブルＤ１０を矢印Ｘ８方向に回転させる。そして、素体１が地点Ｑ１２まで搬送されると（図１５（ｄ）参照）、制御部１８が側面撮像用第１カメラＤ１２を制御して、側面撮像用第１カメラＤ１２によって素体１の側面ｓ５を撮像させる。
【００８１】
素体１の側面ｓ５が撮像されると、制御部１８が第４回転テーブルＤ１０を制御して、第４回転テーブルＤ１０を矢印Ｘ８方向に回転させる。そして、素体１が地点Ｐ５まで搬送されると（図１５（ｅ）参照）、制御部１８が第５回転テーブルＥ１０を下降させると共に第５回転テーブルＥ１０の地点Ｐ５に位置する吸着ノズルＥ１０ｅによって素体１を吸着させる。
【００８２】
こうして、地点Ｐ５において、第４回転テーブルＤ１０から第５回転テーブルＥ１０に素体１が引き渡されることとなる。そして、制御部１８が第４回転テーブルＤ１０を制御して、地点Ｐ５に位置する吸着ノズルＤ１０ｅによる素体１の吸着を停止させると共に、制御部１８が第５回転テーブルＥ１０を制御して、第５回転テーブルＥ１０を上昇させる。その後、各カメラＢ１１〜Ｂ１６，Ｃ１１〜Ｃ１４，Ｄ１１，Ｄ１２によって撮像された素体１の側面ｓ１〜ｓ６又は稜部ｅ１〜ｅ１２の撮像画像データに基づいて、素体１が不良品であると制御部１８が判断した場合には、制御部１８が第５回転テーブルＥ１０を制御して、第５回転テーブルＥ１０を矢印Ｘ９方向に回転させて地点Ｐ６まで素体１を搬送し（図１５（ｆ）参照）、不良品排出口２４に素体１を排出する。一方、素体１が良品であると制御部１８が判断した場合には、制御部１８が第５回転テーブルＥ１０を制御して、第５回転テーブルＥ１０を矢印Ｘ９方向に回転させて地点Ｐ７まで素体１を搬送し（図１５（ｇ）参照）、良品回収トレイ２０に向けて素体１を排出する。
【００８３】
以上のように、本実施形態においては、側面撮像用第１カメラＢ１１，Ｂ１５，Ｃ１１，Ｄ１２及び側面撮像用第２カメラＢ１６，Ｄ１１によって素体１の側面を撮像し、稜部撮像用カメラＢ１２〜Ｂ１４，Ｃ１２〜Ｃ１４によって素体１の一対の稜部を撮像している。そのため、素体１の側面及び稜部について、画像処理による外観検査が行われるようになる。その結果、素体１の側面のみならず稜部についても精度よく外観を検査することが可能となっている。
【００８４】
また、本実施形態においては、第２及び第４回転テーブルＢ１０，Ｄ１０の吸着ノズルＢ１０ｅ，Ｄ１０ｅによって素体１の側面ｓ２を吸着し、第３回転テーブルＣ１０の吸着ノズルＣ１０ｅによって素体１の側面ｓ１を吸着している。そのため、吸着ノズルＢ１０ｅ，Ｄ１０ｅによって吸着されていた素体１の側面ｓ２については第３回転テーブルＣ１０による搬送時に側面撮像用第１カメラＣ１１によって撮像が行われ、吸着ノズルＣ１０ｅによって吸着されていた素体１の側面ｓ１については第２回転テーブルＢ１０による搬送時に側面撮像用第１カメラＢ１１によって撮像が行われるようになっている。その結果、素体１の全ての側面及び稜部について外観検査を行うことが可能となる。
【００８５】
また、本実施形態においては、第２回転テーブルＢ１０における筒部Ｂ１０ａの吸着ノズルＢ１０ｅ部分における肉厚は、素体１の長さ方向における大きさよりも小さくなっており、素体１は、その側面ｓ４が第２回転テーブルＢ１０における筒部Ｂ１０ａの吸着ノズルＢ１０ｅ部分よりも外側（稜部撮像用カメラＢ１３，Ｂ１４側）に位置するように第２回転テーブルＢ１０によって保持されている。そのため、第２回転テーブルＢ１０が稜部撮像用カメラＢ１３，Ｂ１４による素体１の一対の稜部ｅ２，ｅ６及び一対の稜部ｅ１１，ｅ１２の撮像の妨げにならないようになっている。
【００８６】
また、本実施形態においては、第３回転テーブルＣ１０における筒部Ｃ１０ａの吸着ノズルＣ１０ｅ部分における肉厚は、素体１の長さ方向における大きさよりも小さくなっており、素体１は、その側面ｓ３が第３回転テーブルＣ１０における筒部Ｃ１０ａの吸着ノズルＣ１０ｅ部分よりも外側（稜部撮像用カメラＣ１３，Ｃ１４側）に位置するように第３回転テーブルＣ１０によって保持されている。そのため、第３回転テーブルＣ１０が稜部撮像用カメラＣ１３による素体１の一対の稜部ｅ２，ｅ６及び一対の稜部ｅ９，ｅ１０の撮像の妨げにならないようになっている。
【００８７】
ところで、上述のように、素体１の稜部ｅ１〜ｅ１２は、素体１を形成する際のバレル研磨工程によって面取りされており、丸みを帯びた状態となっている。そのため、側面撮像用第１カメラＢ１１，Ｂ１５，Ｃ１１，Ｄ１２や側面撮像用第２カメラＢ１６，Ｄ１１によって撮像された素体１の側面ｓ１〜ｓ６の撮像画像に基づいて素体１の稜部ｅ１〜ｅ１２の外観検査を行おうとすると、稜部ｅ１〜ｅ１２からの反射光が側面ｓ１〜ｓ６からの反射光よりも暗くなり、稜部ｅ１〜ｅ１２と側面ｓ１〜ｓ６との間でのコントラストが大きくなってしまう。このような状態では、稜部ｅ１〜ｅ１２を跨るような傷等の欠陥を外観検査によって検出することが困難となる。
【００８８】
そこで、（１）側面撮像用第１カメラＢ１１，Ｂ１５，Ｃ１１，Ｄ１２や側面撮像用第２カメラＢ１６，Ｄ１１を素体１の稜部ｅ１〜ｅ１２に向けて設置するといった対策が考えられる。しかしながら、この場合には、素体１の側面ｓ１〜ｓ６用の６台のカメラに加え、素体１の稜部ｅ１〜ｅ１２用のカメラが１２台必要となり、外観検査装置の大型化を招くこととなる。また、（２）素体１の姿勢を変化させて、素体１の稜部ｅ１〜ｅ１２を側面撮像用第１カメラＢ１１，Ｂ１５，Ｃ１１，Ｄ１２や側面撮像用第２カメラＢ１６，Ｄ１１に向けるようにするといった対策も考えられる。しかしながら、この場合にも、素体１の姿勢を変化させるために搬送装置の大型化・複雑化を招くので、外観検査装置の大型化・複雑化が避けられない
【００８９】
ところが、本実施形態においては、各カメラＢ１１〜Ｂ１６，Ｃ１１〜Ｃ１４，Ｄ１１，Ｄ１２による素体１の撮像の際、第２〜第４回転テーブルＢ１０によって素体１を搬送している。そして、素体１の稜部ｅ１〜ｅ１２を撮像するために稜部撮像用カメラＢ１２〜Ｂ１４，Ｃ１２〜Ｃ１４を用いている。そのため、素体１の一つの稜部について一つのカメラを用いる必要がなくなっていると共に、カメラを固定して素体１の姿勢を変えることで素体１の側面及び稜部を撮像するような場合と比較して、素体１の姿勢を変化させるための複雑な機構が必要なくなっている。その結果、素体１の側面及び稜部を検査可能としつつ、外観検査装置１０を大幅にコンパクト化することが可能となる。
【００９０】
また、本実施形態においては、一対の直角プリズムＢ１２ｇ、Ｂ１２ｈによって、一対の開口部Ｂ１２ｅ，Ｂ１２ｆからそれぞれ導入された素体１の一対の稜部からの反射光を直角プリズムＢ１２ｉに向けてそれぞれ反射させ、直角プリズムＢ１２ｉによって、直角プリズムＢ１２ｇ、Ｂ１２ｈから反射された各反射光を更に鏡胴Ｂ１２ｂ及びカメラ本体Ｂ１２ａに向けて反射させることで、素体１の一対の稜部を稜部撮像用カメラＢ１２〜Ｂ１４，Ｃ１２〜Ｃ１４を用いて一度に撮像している。側面と稜部とを同時に撮像する場合には、素体１の稜部のみを撮像した場合と比較して素体１の稜部の撮像画像が相対的に小さくなり、分解能が低下してしまい、欠陥の検出精度が低下してしまうといった問題が発生しうるが、このようにすることで、素体１の一対の稜部のみを高倍率で撮像することが可能となる。また、素体１の一対の稜部を一つの稜部撮像用カメラにて撮像しているので、素体１の各稜部に対してそれぞれカメラを設置するような場合と比較して、カメラの数を減らすことができ、外観検査装置１０をよりコンパクト化することが可能となる。さらに、素体１の一対の稜部を一度に撮像しているので、一対の稜部が一回の画像処理によって検査されることとなり、素体１の外観検査を短時間で行うことが可能となる。
【００９１】
また、本実施形態において、稜部撮像用カメラＢ１２の開口部Ｂ１２ｊが鏡胴Ｂ１２ｂの先端と接続されており、カメラ本体Ｂ１２ａ及び鏡胴Ｂ１２ｂと導光部Ｂ１２ｃとが一体化されている。欠陥の検出精度を向上させるために高倍率のレンズを用いると、被写体深度が極めて狭くなるので、稜部撮像用カメラＢ１２の設置の際に極めて高精度の位置決めが要求されるが、このようにカメラ本体Ｂ１２ａ及び鏡胴Ｂ１２ｂと導光部Ｂ１２ｃとを一体化することで、位置決めや位置調整を容易に行うことが可能となる。
【００９２】
また、本実施形態において、導光部Ｂ１２ｃの側面Ｓに、素体１の側面及び稜部を照明するための複数のチップＬＥＤ３が配置されている。導光部Ｂ１２ｃの側面Ｓに素体１の稜部に向けて斜めとなるように光源を配置した場合には、ワークディスタンス（作動距離）が長くなってしまい、このときにワークディスタンスが長くなる前と同じ倍率で素体１の稜部を撮像しようとすると、レンズや直角プリズムの大きさを大きくする必要が生じるので、稜部撮像用カメラＢ１２が大きくなってしまうという問題が発生するが、このようにチップＬＥＤ３を用いているので、ワークディスタンスを短くすることが可能となっている。
【００９３】
そして、本実施形態において、チップＬＥＤ群３Ａ〜３Ｇを構成するチップＬＥＤ３が、チップＬＥＤ群３Ａ〜３Ｃを構成するチップＬＥＤ３、チップＬＥＤ群３Ｆ，３Ｇを構成するチップＬＥＤ３、チップＬＥＤ群３Ｄ，３Ｅを構成するチップＬＥＤ３の順に輝度が高くなるように設定されている。そのため、単に導光部Ｂ１２ｃの側面ＳにチップＬＥＤ３を設けただけでは、稜部から撮像部に導入される反射光は側面から撮像部に導入される反射光よりも弱くなりがちとなるが、このようにチップＬＥＤ群３Ａ〜３Ｇ毎にチップＬＥＤ３の輝度を調整することで、素体１の一対の稜部が十分に照明されるようになるので、稜部ｅ１〜ｅ１２を跨るような傷等の欠陥を極めて良好に検出することが可能となる。
【００９４】
ここで、稜部撮像用カメラＢ１２によって素体１の一対の稜部ｅ３，ｅ４を撮像する場合について、図１７を参照して説明する。図１７に示されるように、稜部撮像用カメラＢ１２は、一対の開口部Ｂ１２ｅ，Ｂ１２ｆが一対の稜部ｅ４，ｅ３に対応するように配置されている。そのため、チップＬＥＤ群３Ａ〜３Ｃを構成するチップＬＥＤ３は、主として素体１の側面ｓ１を照射し、チップＬＥＤ群３Ｄを構成するチップＬＥＤ３は主として素体１の稜部ｅ４を照射し、チップＬＥＤ群３Ｅを構成するチップＬＥＤ３は主として素体１の稜部ｅ３を照射し、チップＬＥＤ群３Ｆを構成するチップＬＥＤ３のうち領域Ｓ４に配置されているチップＬＥＤ３は主として素体１の３つの側面ｓ１，ｓ３，ｓ６によって構成される角部を照射し、チップＬＥＤ群３Ｆを構成するチップＬＥＤ３のうち領域Ｓ５に配置されているチップＬＥＤ３は主として素体１の３つの側面ｓ１，ｓ４，ｓ６によって構成される角部を照射し、チップＬＥＤ群３Ｇを構成するチップＬＥＤ３のうち領域Ｓ６に配置されているチップＬＥＤ３は主として素体１の３つの側面ｓ１，ｓ３，ｓ５によって構成される角部を照射し、チップＬＥＤ群３Ｇを構成するチップＬＥＤ３のうち領域Ｓ７に配置されているチップＬＥＤ３は主として素体１の３つの側面ｓ１，ｓ４，ｓ５によって構成される角部を照射する。
【００９５】
このとき、チップＬＥＤ群３Ａ〜３Ｇを構成するチップＬＥＤ３は、各可変抵抗Ｒｖによって、チップＬＥＤ群３Ａ〜３Ｃを構成するチップＬＥＤ３、チップＬＥＤ群３Ｆ，３Ｇを構成するチップＬＥＤ３、チップＬＥＤ群３Ｄ，３Ｅを構成するチップＬＥＤ３の順に輝度が高くなるように設定されている。そのため、図１８に示されるように、素体１の稜部ｅ３，ｅ４を極めて良好に撮像できるものとなっている。
【００９６】
以上、本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明は上記した実施形態に限定されるものではない。例えば、本実施形態では素体１を第１〜第５回転テーブルによって搬送したが、素体１の姿勢を変化させずに素体１を搬送することができれば、他の搬送手段を用いることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００９７】
【図１】本実施形態に係る外観検査装置の全体を示す斜視図である。
【図２】本実施形態に係る外観検査装置の全体を示す上面図である。
【図３】本実施形態に係る外観検査装置を示すブロック図である。
【図４】第１回転テーブル及び第２回転テーブルを示す斜視図である。
【図５】第３回転テーブルを下方から見た状態で示す斜視図である。
【図６】第４回転テーブル及び第５回転テーブルを示す斜視図である。
【図７】側面撮像用第１カメラを一部破断して示す正面図である。
【図８】側面撮像用第２カメラを一部破断して示す正面図である。
【図９】稜部撮像用カメラを一部破断して示す正面図である。
【図１０】導光部の側面におけるチップＬＥＤの配列の様子を示す図である。
【図１１】チップＬＥＤの駆動回路図である。
【図１２】本実施形態に係る外観検査装置の検査対象物である素体を示す斜視図である。
【図１３】素体の外観検査の各工程を説明するための図である。
【図１４】図１３の後続の工程を説明するための図である。
【図１５】図１４の後続の工程を説明するための図である。
【図１６】側面撮像用第２カメラの動作を示す図である。
【図１７】チップＬＥＤによって素体を照射する様子を模式的に示す図である。
【図１８】一対の稜部の撮像画像を示す図である。
【符号の説明】
【００９８】
１…素体（検査対象物）、ｓ１〜ｓ６…側面、ｅ１〜ｅ１２…稜部、１０…外観検査装置、Ｂ１０…第２回転テーブル（第１搬送手段）、Ｂ１０ｅ…吸着ノズル（保持部）、Ｃ１０…第３回転テーブル（第２搬送手段）、Ｂ１１…側面撮像用第１カメラ（第１撮像手段）、Ｂ１２…稜部撮像用カメラ（第２撮像手段）、Ｂ１２ａ…カメラ本体（撮像部）、Ｂ１２ｂ…鏡胴（撮像部）、Ｂ１２ｃ…導光部、Ｂ１２ｅ…開口部（第１開口部）、Ｂ１２ｄ…筐体、Ｂ１２ｆ…開口部（第２開口部）、Ｂ１２ｇ…直角プリズム（第１反射部材）、Ｂ１２ｈ…直角プリズム（第２反射部材）、Ｂ１２ｉ…直角プリズム（第３反射部材）、３Ａ〜３Ｃ…チップＬＥＤ群（第１照明手段）、３Ｄ，３Ｅ…チップＬＥＤ群（第２照明手段）、３Ｆ，３Ｇ…チップＬＥＤ群（第３照明手段）、Ｓ１…領域（第１領域）、Ｓ２…領域（第２領域）、Ｓ３…領域（第３領域）、Ｓ４…領域（第４領域）、Ｓ５…領域（第５領域）、Ｓ６…領域（第６領域）、Ｓ７…領域（第７領域）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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