(57)【要約】【課題】積層体の積層方向に延びるクラックの発生を確実に防止することが可能な積層型圧電素子を提供すること。【解決手段】積層型圧電素子Ｅ１は、複数の圧電体３と、複数の内部電極４Ａ，４Ｂとが交互に積層されて構成された積層体２を備える。積層体２は、活性部Ｐ及び不活性部Ｑを有する。金属酸化物層５は、不活性部に配置された領域５ａと、領域５ａから活性部Ｐに延びて活性部Ｐに配置された領域５ｂとを有する。積層体２内には、金属酸化物層５が配置されている。積層体２の側面２ａ，２ｂには内部電極４Ａ，４Ｂとそれぞれ電気的に接続される外部電極６Ａ，６Ｂが配置され、外部電極６Ａ，６Ｂは積層体２の側面２ａ，２ｂとそれぞれ付着している。外部電極６Ａ，６Ｂは、積層方向に伸縮可能な外部電極１０Ａ，１０Ｂとそれぞれ接続されている。【選択図】図２
2008211054.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の圧電体と第１内部電極及び第２内部電極を含む複数の内部電極とが交互に積層されて構成され、前記圧電体及び前記内部電極の積層方向に沿って延びる第１側面及び第２側面を有する積層体と、
前記積層体内に配置され、前記圧電体の焼結温度よりも融点が高い材料によって構成された金属酸化物層と、
前記第１側面に配置され、前記第１内部電極と電気的に接続された第１外部電極と、
前記第２側面に配置され、前記第２内部電極と電気的に接続された第２外部電極と、
前記第１外部電極と接続された第３外部電極と、
前記第２外部電極と接続された第４外部電極とを備え、
前記積層体は、前記第１内部電極と前記第２内部電極とが前記積層方向から見て重なり合っている部分である活性部と、前記第１内部電極と前記第２内部電極とが前記積層方向から見て重なり合っていない部分である不活性部とを有し、
前記金属酸化物層は、前記不活性部に配置された第１領域と、前記第１領域から前記活性部側に延びて前記活性部に配置された第２領域とを有し、
前記第１外部電極は、前記第１側面と付着すると共に前記積層方向に延びる接続面を有し、
前記第２外部電極は、前記第２側面と付着すると共に前記積層方向に延びる接続面を有しており、
前記第３外部電極及び前記第４電極は、前記積層方向に伸張可能となっていることを特徴とする積層型圧電素子。
【請求項２】
前記第１外部電極及び前記第２外部電極層は、金属製の帯状体であることを特徴とする請求項１に記載された積層型圧電素子。
【請求項３】
前記第１外部電極は、金属製の帯状体である第１電極層と、導電性粒子を含有する樹脂材料によって形成された第２電極層とを有し、
前記第２外部電極は、金属製の帯状体である第１電極層と、導電性粒子を含有する樹脂材料によって形成された第２電極層とを有し、
前記第１外部電極の前記第１電極層は前記第１側面と付着し、前記第１外部電極の前記第２電極層は前記第３外部電極と接続されており、
前記第２外部電極の前記第１電極層は前記第２側面と付着し、前記第２外部電極の前記第２電極層は前記第４外部電極と接続されていることを特徴とする請求項１に記載された積層型圧電素子。
【請求項４】
前記第３外部電極及び前記第４外部電極は、平板状であることを特徴とする請求項１に記載された積層型圧電素子。
【請求項５】
前記第３外部電極は、前記積層方向において不連続に配置される第１部分と、前記積層方向と交差する方向に延びると共に前記第１部分同士をつなぐ第２部分とを有し、
前記第４外部電極は、前記積層方向において不連続に配置される第１部分と、前記積層方向と交差する方向に延びると共に前記第１部分同士をつなぐ第２部分とを有することを特徴とする請求項１に記載された積層型圧電素子。
【請求項６】
前記第３外部電極は、前記積層方向において不連続に配置される第１部分と、前記積層方向と交差する方向に延びると共に前記第１部分同士をつなぐ第２部分とを有し、
前記第４外部電極は、前記積層方向において不連続に配置される第１部分と、前記積層方向と交差する方向に延びると共に前記第１部分同士をつなぐ第２部分とを有しており、
前記第１外部電極は、前記第３外部電極の前記第２部分と接続され、
前記第２外部電極は、前記第４外部電極の前記第２部分と接続されていることを特徴とする請求項３に記載された積層型圧電素子。
【請求項７】
前記第１外部電極の前記第２電極層は、前記第３外部電極の前記第２部分と接続され、
前記第２外部電極の前記第２電極層は、前記第４外部電極の前記第２部分と接続されていることを特徴とする請求項６に記載された積層型圧電素子。
【請求項８】
前記第３外部電極の前記第２部分及び前記第４外部電極の前記第２部分は、前記金属酸化物層を含む仮想平面と重ならないことを特徴とする請求項５〜７のいずれか一項に記載された積層型圧電素子。
【請求項９】
前記第３外部電極の前記第１部分及び前記第４外部電極の第１部分は、前記積層方向に延びていることを特徴とする請求項５〜８のいずれか一項に記載された積層型圧電素子。
【請求項１０】
前記積層体内には、前記内部電極が配置されている層と同一の層となるように前記金属酸化物層の前記第１領域が配置されると共に、前記内部電極の少なくとも一部に対して重なるように前記金属酸化物層の前記第２領域が配置されていることを特徴とする請求項１に記載された積層型圧電素子。
【請求項１１】
前記積層体内には、前記内部電極が配置されている層と同一の層となるように前記金属酸化物層の前記第１領域が配置されると共に、前記内部電極全体に対して重なるように前記金属酸化物層の前記第２領域が配置されていることを特徴とする請求項１に記載された積層型圧電素子。
【請求項１２】
前記圧電体は、チタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料によって形成され、
前記金属酸化物層は、ＺｒＯ２、ＭｇＯ、Ｎｂ２Ｏ５、Ｔａ２Ｏ５、ＣｅＯ２、Ｙ２Ｏ３の少なくとも一種を含む材料によって形成されていることを特徴とする請求項１に記載された積層型圧電素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、燃料噴射装置等に用いられる積層型圧電素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、圧電体と内部電極とが交互に積層された積層体と、積層体の積層方向に沿うように延びる側面に配置されると共に内部電極と電気的に接続された外部電極とを備え、積層体内には、内部電極が配置されている層と同一の層となるように、金属酸化物層（アルミナ層）が配置されている積層型圧電素子が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平５−２４３６３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
積層型圧電素子では、外部電極に電圧が印加されると、圧電体において異極の内部電極同士が積層方向から見て重なり合う部分（活性部）が変形する。そのため、積層型圧電素子の駆動時には、圧電体における活性領域と活性部以外の部分（不活性部）との境界で大きな応力集中が起こり、積層体の積層方向に延びるクラック（縦クラック）が発生しやすくなる。そのため、上記特許文献１に記載された従来の積層型圧電素子では、金属酸化物層によって応力集中の緩和することで、縦クラックの発生の抑制を図っている。
【０００４】
しかしながら、従来の積層型圧電素子のように、積層体内において内部電極が配置されている層と同一の層に金属酸化物層を配置しただけでは、積層型圧電素子の駆動時に、縦クラックの発生が避けられないことがあった。この場合には、異極の内部電極同士がショート（短絡）し、積層型圧電素子の絶縁破壊を引き起こす虞がある。
【０００５】
本発明は、積層体の積層方向に延びるクラック（縦クラック）の発生を確実に防止することが可能な積層型圧電素子を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る積層型圧電素子は、複数の圧電体と第１内部電極及び第２内部電極を含む複数の内部電極とが交互に積層されて構成され、圧電体及び内部電極の積層方向に沿って延びる第１側面及び第２側面を有する積層体と、積層体内に配置され、圧電体の焼結温度よりも融点が高い材料によって構成された金属酸化物層と、第１側面に配置され、第１内部電極と電気的に接続された第１外部電極と、第２側面に配置され、第２内部電極と電気的に接続された第２外部電極と、第１外部電極と接続された第３外部電極と、第２外部電極と接続された第４外部電極とを備え、積層体は、第１内部電極と第２内部電極とが積層方向から見て重なり合っている部分である活性部と、第１内部電極と第２内部電極とが積層方向から見て重なり合っていない部分である不活性部とを有し、金属酸化物層は、不活性部に配置された第１領域と、第１領域から活性部側に延びて活性部に配置された第２領域とを有し、第１外部電極は、第１側面と付着すると共に積層方向に延びる接続面を有し、第２外部電極は、第２側面と付着すると共に積層方向に延びる接続面を有しており、第３外部電極及び第４電極は、積層方向に伸張可能となっていることを特徴とする。
【０００７】
本発明に係る積層型圧電素子では、第１内部電極と第２内部電極との間に電圧が印加されると、第１内部電極と第２内部電極との間に電界が生じ、圧電体の活性部に存在する部分が積層体の積層方向に変位する。このとき、積層体の不活性部には、圧電体の変位による集中応力が発生することとなる。しかしながら、積層体には、圧電体の焼結温度よりも融点が高い材料で形成された金属酸化物層が設けられている。そのため、積層型圧電素子の製造工程において積層体の焼成が行われる際に、圧電体と比較して金属酸化物層の焼結が十分に行われないこととなる。従って、金属酸化物層は、圧電体よりも低強度となっている。その結果、金属酸化物層に沿ってクラック（横クラック）が入りやすくなり、積層体の積層方向に延びるクラック（縦クラック）の発生を確実に防止することが可能となる。また、金属酸化物層は、積層体の不活性部に配置された第１領域と、第１領域から活性部側に延びて活性部に配置された第２領域とを有している。そのため、積層型圧電素子の変位時に不活性部に発生する集中応力が金属酸化物層によって緩和されると共に、活性部と不活性部との境界に位置する内部電極の端部に集中応力がかかりにくく、内部電極と圧電体とが一体となったままとなる。その結果、活性部と不活性部との境界に位置する内部電極の端部から発生しがちな微細なクラック（マイクロクラック）の発生を確実に防止することも可能となっている。
【０００８】
また、第１外部電極及び第２外部電極層は、金属製の帯状体であることが好ましい。
【０００９】
また、第１外部電極は、金属製の帯状体である第１電極層と、導電性粒子を含有する樹脂材料によって形成された第２電極層とを有し、第２外部電極は、金属製の帯状体である第１電極層と、導電性粒子を含有する樹脂材料によって形成された第２電極層とを有し、第１外部電極の第１電極層は第１側面と付着し、第１外部電極の第２電極層は第３外部電極と接続されており、第２外部電極の第１電極層は第２側面と付着し、第２外部電極の第２電極層は第４外部電極と接続されていることが好ましい。このようにすると、第１外部電極の第２電極層を介して第１外部電極と第３外部電極との電気的な接続を確実なものとすることが可能となると共に、第２外部電極の第２電極層を介して第２外部電極と第４外部電極との電気的な接続を確実なものとすることが可能となる。
【００１０】
また、第３外部電極及び第４外部電極は、平板状であることが好ましい。このようにすると、積層型圧電素子の小型化を図ることが可能となる。また、網目状に配置された多数の細線が互いの交点においてそれぞれ接続されて構成されているメッシュ状の電極と比較して、電気抵抗値を低減することが可能となる。また、メッシュ状の電極と比較して第１外部電極及び第２外部電極との接触面積が大きなものとなるので、電気抵抗値をより低減することができると共に、第１外部電極及び第２外部電極との接続強度の向上を図ることが可能となる。また、自身が極めて変形しやすくなっているメッシュ状の電極と比較して変形が少ないので、第１外部電極及び第２外部電極との接続の際、位置決め及び接続を容易に行うことが可能となる。
【００１１】
また、第３外部電極は、積層方向において不連続に配置される第１部分と、積層方向と交差する方向に延びると共に第１部分同士をつなぐ第２部分とを有し、第４外部電極は、積層方向において不連続に配置される第１部分と、積層方向と交差する方向に延びると共に第１部分同士をつなぐ第２部分とを有することが好ましい。このようにすると、第３外部電極が第１部分及び第２部分を有し、第４外部電極が第１部分及び第２部分を有しているので、単に積層方向に直線状に延びるような外部電極と比較して、積層型圧電素子の積層方向における変位が阻害されるのをより抑制することが可能となると共に、積層型圧電素子を長時間にわたり連続して駆動した場合でも外部電極が断線するのを抑制することが可能となる。
【００１２】
また、第３外部電極は、積層方向において不連続に配置される第１部分と、積層方向と交差する方向に延びると共に第１部分同士をつなぐ第２部分とを有し、第４外部電極は、積層方向において不連続に配置される第１部分と、積層方向と交差する方向に延びると共に第１部分同士をつなぐ第２部分とを有しており、第１外部電極は、第３外部電極の第２部分と接続され、第２外部電極は、第４外部電極の第２部分と接続されていることが好ましい。このようにすると、第３外部電極が第１部分及び第２部分を有し、第４外部電極が第１部分及び第２部分を有しているので、単に積層方向に直線状に延びるような外部電極と比較して、積層型圧電素子の積層方向における変位が阻害されるのをより抑制することが可能となると共に、積層型圧電素子を長時間にわたり連続して駆動した場合でも外部電極が断線するのを抑制することが可能となる。また、第１外部電極が、積層方向と交差する方向に延びる第３外部電極の第２部分と接続され、第２外部電極が、積層方向と交差する方向に延びる第４外部電極の第２部分と接続されているので、積層方向に伸びやすい第３外部電極の第１部分及び積層方向に伸びやすい第４外部電極の第１部分が第１外部電極及び第２外部電極によって拘束されることがない。従って、積層型圧電素子の積層方向における変位が阻害されるのを更に抑制することが可能となる。
【００１３】
また、第１外部電極の第２電極層は、第３外部電極の第２部分と接続され、第２外部電極の第２電極層は、第４外部電極の第２部分と接続されていることが好ましい。
【００１４】
また、第３外部電極の第２部分及び第４外部電極の第２部分は、金属酸化物層を含む仮想平面と重ならないことが好ましい。このようにすると、積層方向と交差する方向に延びる第３外部電極の第２部分及び積層方向と交差する方向に延びる第４外部電極の第２部分によって金属酸化物層及びその周囲の不活性部が拘束されることがないので、不活性部に生じる集中応力をより効果的に緩和することが可能となる。
【００１５】
また、第３外部電極の第１部分及び第４外部電極の第１部分は、積層方向に延びていることが好ましい。
【００１６】
また、積層体内には、内部電極が配置されている層と同一の層となるように金属酸化物層の第１領域が配置されると共に、内部電極の少なくとも一部に対して重なるように金属酸化物層の第２領域が配置されていることが好ましい。このようにすると、金属酸化物層を形成する材料を必要以上に多く使用しなくて済むようになる。そのため、金属酸化物層の材料費を節約することが可能となると共に、積層型圧電素子の製造に要する時間を短縮することが可能となる。なお、ここでいう「内部電極と同一の層」とは、内部電極と完全に同一となる層に限られず、内部電極と略同一となる層も含むものである。
【００１７】
また、積層体内には、内部電極が配置されている層と同一の層となるように金属酸化物層の第１領域が配置されると共に、内部電極全体に対して重なるように金属酸化物層の第２領域が配置されていることが好ましい。このようにすると、圧電体と内部電極との界面の強度が更に弱くなる。そのため、圧電体と内部電極との界面に沿って横クラックをより発生させ易くすることが可能となる。
【００１８】
また、圧電体は、チタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料によって形成され、金属酸化物層は、ＺｒＯ２、ＭｇＯ、Ｎｂ２Ｏ５、Ｔａ２Ｏ５、ＣｅＯ２、Ｙ２Ｏ３の少なくとも一種を含む材料によって形成されていることが好ましい。ＺｒＯ２、ＭｇＯ、Ｎｂ２Ｏ５、Ｔａ２Ｏ５、ＣｅＯ２、Ｙ２Ｏ３は、チタン酸ジルコン酸鉛の焼結温度よりも融点が高く且つチタン酸ジルコン酸鉛に固溶可能な材料である。そのため、これらの材料を金属酸化物層に使用することで、積層体の焼成を行った際に、金属酸化物層の成分が圧電体の粒界に析出されにくくなると共に、圧電体における単位厚み当たりの粒界の数の増大が抑制されるようになる。従って、第１内部電極と第２内部電極との間に電圧（電界）をかけた時に圧電体の粒界で生じる熱ロスを抑え易くなる。その結果、積層型圧電素子の変位時に、加える電界に対して所望の変位を得ることが可能となる。また、圧電体における単位厚み当たりの粒界の数が少なくなることで、積層体への縦クラックの発生をより抑制することが可能となる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、積層体の積層方向に延びるクラックの発生を確実に防止することが可能な積層型圧電素子を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
本発明の好適な実施形態について、図面を参照して説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。本発明に係る積層型圧電素子は、例えば自動車に搭載される内燃機関の燃料噴射装置に用いられるものである。
【００２１】
（第１実施形態）
図１〜図３を参照して、第１実施形態に係る積層型圧電素子Ｅ１の構成について説明する。図１は、第１実施形態に係る積層型圧電素子を示す斜視図である。図２は、第１実施形態に係る積層型圧電素子を示す縦断面図である。図３は、第１実施形態に係る積層型圧電素子の一部を拡大して示す縦断面図である。
【００２２】
積層型圧電素子Ｅ１は、多角柱形状（第１実施形態においては四角柱形状）の積層体２を備えている。積層体２は、複数の圧電体３と複数の内部電極４Ａ，４Ｂとが所定の順序で積層されて構成されている。積層体２は、その積層方向に平行で且つ互いに対向する側面２ａ，２ｂを有している。積層体２は、例えば、その幅を１０ｍｍ程度、その奥行きを１０ｍｍ程度、その高さ３５ｍｍ程度に設定することができる。
【００２３】
圧電体３は、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）を主成分とする圧電セラミック材料で形成されている。圧電体３の厚さは、例えば１層あたり８０μｍ〜１００μｍ程度となっている。ＰＺＴの組成としては、例えば下記のものが用いられる。
Pb0.999[(Zn1/3Nb2/3)0.11Ti0.425 Zr0.465]O3+0.2wt%Fe2O3+0.2wt%Sb2O3
【００２４】
また、ＰＺＴの粉体特性としては、例えばＢＥＴ比表面積が約２．５ｍ２／ｇ、平均粒子径が約０．６μｍのものが用いられる。ＰＺＴの焼結温度は、９５０℃程度である。なお、ＰＺＴ系材料の融点は、１３００℃程度である。
【００２５】
内部電極４Ａ，４Ｂは、例えばＡｇ、Ｐｄを主成分とする導電材料により形成されている。内部電極４Ａ，４Ｂの厚さは、例えば２μｍ程度に設定することができる。内部電極４Ａ，４Ｂは、圧電体３を挟んで交互に積層されている。内部電極４Ａの一端は、積層体２の側面２ａに露出している。内部電極４Ａの他端は、積層体２の側面２ｂよりも内側に位置している。内部電極４Ｂの一端は、積層体２の側面２ｂに露出している。内部電極４Ｂの他端は、積層体２の側面２ａよりも内側に位置している。これにより、内部電極４Ａ，４Ｂの一部は、積層体２の積層方向において重なり合うこととなる。
【００２６】
積層体２において、内部電極４Ａ，４Ｂが積層方向に重なり合っている部分は、内部電極４Ａ，４Ｂに電圧を印加したときに圧電体３が変位する活性部Ｐとなっており、内部電極４Ａ，４Ｂが積層方向に重なり合っていない部分（積層体２の両側端部）は、内部電極４Ａ，４Ｂに電圧を印加したときに圧電体３が変位しない不活性部Ｑとなっている。
【００２７】
積層体２には、電気絶縁性を有すると共に圧電体３よりも密度（強度）の低い金属酸化物層５が複数形成されている。金属酸化物層５は、不活性部Ｑにおける内部電極４Ａ，４Ｂと同一の層に形成された領域５ａと、この領域５ａから活性部Ｐ側に延びて内部電極４Ａ，４Ｂの一部の上面に重なるように形成された領域５ｂとからなっている（図３参照）。内部電極４Ａと同層に位置する領域５ａは、積層体２の側面２ｂに露出しており、内部電極４Ｂと同層に位置する領域５ａは、積層体２の側面２ａに露出している。つまり、金属酸化物層５は、内部電極４Ａ，４Ｂに接するように積層体２の側面２ａ，２ｂから活性部Ｐまで延びている。領域５ａの厚さは、例えば内部電極４Ａ，４Ｂと同一の厚さとなっている。
【００２８】
金属酸化物層５は、圧電体３の主成分であるＰＺＴの焼結温度よりも融点が高く且つＰＺＴに固溶する材料により形成されている。このような材料としては、ＺｒＯ２、ＭｇＯ、Ｎｂ２Ｏ５、Ｔａ２Ｏ５、ＣｅＯ２、Ｙ２Ｏ３の少なくとも一種を含む材料が挙げられる。つまり、金属酸化物層５と圧電体３とは、互いに異なる組成系の材料で形成されている。なお、ＺｒＯ２、ＭｇＯ、Ｎｂ２Ｏ５、Ｔａ２Ｏ５、ＣｅＯ２、Ｙ２Ｏ３の融点は、１５００℃〜２８００℃程度である。
【００２９】
積層体２の側面２ａには、外部電極６Ａ，１０Ａが設けられている。外部電極６Ａは、電極層７ａ及び電極層８ａを有している。電極層７ａは、略矩形の帯状体であり、側面２ａの中央部分を覆うと共に積層方向に延在するように側面２ａと付着している。そのため、電極層７ａは、側面２ａにおいて、側面２ａに露出する各内部電極４Ａとそれぞれ電気的に接続される。電極層７ａは、例えばＡｇ、Ａｕ及びＣｕのいずれかを主成分とする導電材料で形成されている。電極層７ａの厚みは、例えば例えば１μｍ〜２０μｍ程度に設定することができる。
【００３０】
電極層８ａは、接着性を有する樹脂材料中に例えばＡｇの導電性粒子を分散させた導電性接着剤を固化させたものである。電極層８ａは、第１部分８ａａ及び第２部分８ａｂを含んでいる。第１部分８ａａは、略矩形状を呈しており、電極層７ａの中央部分を覆うと共に積層方向に延在するように電極層７ａと付着している。第２部分８ａｂは、略矩形状を呈しており、第１部分８ａａを覆うと共に積層方向に延在するように第１部分８ａａと付着している。電極層８ａの第１部分８ａａ及び第２部分８ａｂの厚みは、それぞれ３０μｍ〜６０μｍ程度に設定することができる。
【００３１】
外部電極１０Ａは、第１部分１１ａ及び第２部分１２ａを有する。第１部分１１ａは、積層方向に伸び、且つ、積層方向において不連続に配置されている。第２部分１２ａは、積層方向と交差する方向（第１実施形態においては、直交方向）に伸び、且つ、第１部分１１ａ同士をつないでいる。そのため、第１実施形態において、外部電極１０Ａは、クランク形状を呈しており、積層方向に伸縮可能となっている。外部電極１０Ａは、平板状であり、例えば、Ｃｕ、Ｃｕ合金、Ｎｉ、Ｎｉ合金、フレキシブル基板等によって形成されている。第１実施形態において、外部電極１０Ａの厚みは、例えば１５０μｍ程度に設定することができる。
【００３２】
外部電極１０Ａは、電極層８ａに固着されている（図１及び図２参照）。具体的には、外部電極１０Ａは、電極層８ａの第２部分８ａｂに第２部分１２ａの一部が埋まり、第１部分１１ａが電極層８ａと接触しないように、電極層８ａに設けられている。また、外部電極１０Ａは、第２部分１２ａが金属酸化物層５を含む仮想平面に重ならないように、すなわち側面２ａと直交する方向から見たときに第２部分１２ａが金属酸化物層５と重ならず第１部分１１ａが金属酸化物層５と重なるように配置されている。
【００３３】
積層体２の側面２ｂには、外部電極６Ｂ，１０Ｂが設けられている。外部電極６Ｂは、電極層７ｂ及び電極層８ｂを有している。電極層７ｂは、略矩形の帯状体であり、側面２ｂの中央部分を覆うと共に積層方向に延在するように側面２ｂと付着している。そのため、電極７ｂは、側面２ｂにおいて、側面２ｂに露出する各内部電極４Ｂとそれぞれ電気的に接続される。電極層７ｂは、例えばＡｇ、Ａｕ及びＣｕのいずれかを主成分とする導電材料で形成されている。電極層７ｂの厚みは、例えば例えば１μｍ〜２０μｍ程度に設定することができる。
【００３４】
電極層８ｂは、接着性を有する樹脂材料中に例えばＡｇの導電性粒子を分散させた導電性接着剤を固化させたものである。電極層８ｂは、第１部分８ｂａ及び第２部分８ｂｂを含んでいる。第１部分８ｂａは、略矩形状を呈しており、電極層７ｂの中央部分を覆うと共に積層方向に延在するように電極層７ｂと付着している。第２部分８ｂｂは、略矩形状を呈しており、第１部分８ｂａを覆うと共に積層方向に延在するように第１部分８ｂａと付着している。電極層８ｂの第１部分８ｂａ及び第２部分８ｂｂの厚みは、それぞれ３０μｍ〜６０μｍ程度に設定することができる。
【００３５】
外部電極１０Ｂは、第１部分１１ｂ及び第２部分１２ｂを有する。第１部分１１ｂは、積層方向に伸び、且つ、積層方向において不連続に配置されている。第２部分１２ｂは、積層方向と交差する方向（第１実施形態においては、直交方向）に伸び、且つ、第１部分１１ｂ同士をつないでいる。そのため、第１実施形態において、外部電極１０Ｂは、クランク形状を呈しており、積層方向に伸縮可能となっている。外部電極１０Ｂは、平板状であり、例えば、Ｃｕ、Ｃｕ合金、Ｎｉ、Ｎｉ合金、フレキシブル基板等によって形成されている。第１実施形態において、外部電極１０Ｂの厚みは、例えば１５０μｍ程度に設定することができる。
【００３６】
外部電極１０Ｂは、電極層８ｂに固着されている（図１及び図２参照）。具体的には、外部電極１０Ｂは、電極層８ｂの第２部分８ｂｂに第２部分１２ｂの一部が埋まり、第１部分１１ｂが電極層８ｂと接触しないように、電極層８ｂに設けられている。また、外部電極１０Ｂは、第２部分１２ｂが金属酸化物層５を含む仮想平面に重ならないように、すなわち側面２ｂと直交する方向から見たときに第２部分１２ｂが金属酸化物層５と重ならず第１部分１１ｂが金属酸化物層５と重なるように配置されている。
【００３７】
続いて、図４及び図５を参照して、上述した構成の積層型圧電素子Ｅ１の製造方法について説明する。図４は、第１実施形態に係る積層型圧電素子の製造方法を説明するための図である。図５は、第１実施形態に係る積層型圧電素子が備える素体の構成を説明するための分解斜視図である。
【００３８】
まず、ＰＺＴを主成分とするセラミック粉体に有機バインダ樹脂及び有機溶剤等を混合したグリーンシート用のペーストを準備する。そして、例えばドクターブレード法によってグリーンシート用のペーストをキャリアフィルム（図示せず）上に塗布することにより、上記の圧電体３を形成するグリーンシート２１を複数枚形成する。
【００３９】
続いて、例えばＡｇ：Ｐｄ＝８５：１５の比率で構成された導電材料に有機バインダ樹脂及び有機溶剤等を混合した電極パターン用のペーストを作製する。そして、図４（ａ）に示されるように、電極パターン用のペーストを例えばスクリーン印刷することにより、上記の内部電極４Ａ，４Ｂに相当する電極パターン２２Ａ，２２Ｂをそれぞれ別々のグリーンシート２１上に形成する。このとき、グリーンシート２１の上面における不活性部Ｑに対応する一端側部分を除いた領域に電極パターン２２Ａ，２２Ｂを形成する。
【００４０】
続いて、例えばＺｒＯ２粉体を含むセラミック粉体に有機バインダ樹脂及び有機溶剤等を混合したＺｒＯ２ペーストを作製する。なお、用いるＺｒＯ２粉体の粒子径は、圧電材料粉体（セラミック粉体）の粒子径よりも大きく、電極パターン２２Ａ，２２Ｂの厚みよりも小さいことが好ましい。
【００４１】
そして、図４（ｂ）に示されるように、ＺｒＯ２ペーストを例えばスクリーン印刷することにより、グリーンシート２１上及び電極パターン２２Ａ，２２Ｂ上にＺｒＯ２ペースト層２３を形成する。このとき、グリーンシート２１の上面における電極パターン２２Ａ，２２Ｂが印刷されていない電極未印刷領域（不活性部Ｑに対応する領域）にＺｒＯ２ペースト層２３を形成すると共に、電極パターン２２Ａ，２２Ｂの上面における電極未印刷領域側の端部領域にＺｒＯ２ペースト層２３を重ねるように形成する。
【００４２】
続いて、図５に示されるように、電極パターン２２Ａ及びＺｒＯ２ペースト層２３が形成されたグリーンシート２１と、電極パターン２２Ｂ及びＺｒＯ２ペースト層２３が形成されたグリーンシート２１とを所定の順序で積層する。そして、電極パターン２２Ａ，２２Ｂ及びＺｒＯ２ペースト層２３が形成されていないグリーンシート２１を、保護層として最外層に所定枚数ずつ積層する。これにより、グリーン積層体２４が形成される。
【００４３】
続いて、グリーン積層体２４を約６０℃の温度で加熱しながら積層方向にプレス加工した後、そのグリーン積層体２４を例えばダイヤモンドブレードにより所定の寸法に切断してチップ化する。
【００４４】
続いて、切断後のグリーン積層体２４をセッター（図示せず）に載せ、約４００℃の温度下でグリーン積層体２４の脱脂（脱バインダ）処理を１０時間程度行う。そして、脱脂後のグリーン積層体２４をこう鉢炉内に入れ、例えば９５０℃〜１０００℃の温度下でグリーン積層体２４の焼成を２時間程度行う。これにより、グリーンシート２１、電極パターン２２Ａ，２２Ｂ及びＺｒＯ２ペースト層２３が焼結され、焼結体としての積層体２が得られる。
【００４５】
このとき、ＺｒＯ２ペースト層２３はグリーンシート２１と異なる組成系の材料で形成されているので、ＺｒＯ２ペースト層２３とグリーンシート２１との焼結反応性が抑制され、両者間で不用な化学反応が起こることが無い。しかも、ＺｒＯ２ペースト層２３の融点はグリーンシート２１の焼結温度よりも高いので、ＺｒＯ２ペースト層２３はグリーンシート２１に比べて焼結されにくい。このため、焼結後には、ＺｒＯ２ペースト層２３は、圧電体３との接合強度が低い金属酸化物層５となる。
【００４６】
また、金属酸化物層５は、上述したように領域５ａ及び領域５ｂを有しているが、焼成によるグリーン積層体２４の収縮によって、内部電極４Ａ，４Ｂに重なる領域５ｂの厚みが領域５ａの厚みよりも薄いものとなる。
【００４７】
続いて、積層体２の側面２ａ，２ｂに外部電極６Ａ，６Ｂ及び外部電極１０Ａ，１０Ｂをそれぞれ形成する。具体的には、例えばＡｇを主成分とする導電性ペーストを積層体２の側面２ａ，２ｂにそれぞれスクリーン印刷し、例えば７００℃程度の温度下で焼付処理を行うことで、積層体２の側面２ａ，２ｂに電極層７ａ，７ｂをそれぞれ形成する。ここで、電極層７ａ，７ｂの形成方法としては、スパッタリング法や無電解めっき法を用いても良い。
【００４８】
そして、例えばＡｇを主成分とする導電性粒子を含有する導電性接着剤を電極層７ａ，７ｂにそれぞれ塗布して固化させることにより、電極層８ａ，８ｂの第１部分８ａａ，８ｂａをそれぞれ形成する。また、同じく、導電性接着剤を第１部分８ａａ，８ｂａにそれぞれ塗布し、第１部分８ａａ，８ｂａに塗布された導電性接着剤に外部電極１０Ａ，１０Ｂをそれぞれ貼付した後に、第１部分８ａａ，８ｂａに塗布された導電性接着剤を固化させることにより、電極層８ａの第２部分８ｂａ，８ｂｂをそれぞれ形成すると共に、外部電極１０Ａ，１０Ｂを電極層８ａに固着させる。なお、外部電極１０Ａ，１０Ｂは、例えばベリリウム銅からなる板材をクランク形状に加工して、Ｎｉメッキ及びＳｕメッキを施すことにより得ることができる。
【００４９】
最後に、圧電体３の厚み方向の電界強度が約２ｋＶ／ｍｍとなるように、例えば１２０℃の温度下で所定の電圧を例えば３分間印加することにより、分極処理を行う。以上により、積層型圧電素子Ｅ１が完成する。
【００５０】
ところで、積層型圧電素子では、外部電極に電圧が印加されると、圧電体において異極の内部電極同士が積層方向から見て重なり合う部分（活性部）が変形する。そのため、積層型圧電素子の駆動時には、圧電体における活性領域と活性部以外の部分（不活性部）との境界で大きな応力集中が起こり、積層体の積層方向に延びるクラック（縦クラック）が発生しやすくなる。そこで、従来から、縦クラックの発生を抑制するために、種々の対策が行われている具体的には、縦クラックの発生を抑制するための対策として、（１）積層方向と交差する方向に延びるクラック（横クラック）を意図的に発生させる手法、及び（２）積層方向と交差する方向に延びるクラック（横クラック）を予め所望の場所に形成させる手法が知られている。
【００５１】
横クラックを意図的に発生させる手法としては、例えば、（１ａ）外部電極を積層体にはんだ等によって点接合し、積層体における点接合された部分に発生する集中応力を利用する方法や、（１ｂ）積層体内に強度の弱い部分を設ける方法がある。ところが、これらの方法では、横クラックがランダムに発生することとなるので、積層型圧電素子の絶縁破壊等の問題を引き起こす縦クラックが発生しうるという問題があった。
【００５２】
一方、横クラックを予め所望の場所に形成させる手法としては、例えば、（２ａ）機械加工によって所望の場所に擬似的な横クラックであるスリットを形成する方法や、（２ｂ）積層体の焼成の際に、圧電体よりも強度の低い金属酸化物層等を積層体内に形成する方法がある。ところが、機械加工による方法では、コストが非常に高くなり、量産に適さないという問題があった。また、金属酸化物層を積層体内に形成する方法では、従来、積層体内において内部電極が配置されている層と同一の層に金属酸化物層が配置されていたので、活性部と不活性部との境界に位置する内部電極の端部から微細なクラック（マイクロクラック）が発生してしまうという問題があった。
【００５３】
しかしながら、本実施形態においては、積層体２に、圧電体３の焼結温度よりも融点が高い材料で形成された金属酸化物層５が設けられている。そのため、積層型圧電素子Ｅ１の製造工程において積層体２の焼成が行われる際に、圧電体３と比較して金属酸化物層５の焼結が十分に行われないこととなる。従って、金属酸化物層５は、圧電体３よりも低強度となっている。その結果、金属酸化物層５に沿ってクラック（横クラック）が入りやすくなり、積層体２の積層方向に延びるクラック（縦クラック）の発生を確実に防止することが可能となる。また、金属酸化物層５は、積層体２の不活性部Ｑに配置された領域５ａと、領域５ａから活性部Ｐ側に延びて活性部Ｐに配置された領域５ｂとを有している。そのため、積層型圧電素子Ｅ１の変位時に不活性部Ｑに発生する集中応力が金属酸化物層５によって緩和されると共に、活性部Ｐと不活性部Ｑとの境界に位置する内部電極４Ａ，４Ｂの端部に集中応力がかかりにくく、内部電極４Ａ，４Ｂと圧電体３とが一体となったままとなる。その結果、活性部Ｐと不活性部Ｑとの境界に位置する内部電極４Ａ，４Ｂの端部から発生しがちな微細なクラック（マイクロクラック）の発生を確実に防止することが可能となる。
【００５４】
また、本実施形態においては、導電性ペーストを積層体２の側面２ａ，２ｂにそれぞれスクリーン印刷して焼付することで形成された電極層７ａ，７ｂが、それぞれ側面２ａ，２ｂと付着している。そのため、積層体２は、積層型圧電素子Ｅ１の変位時に、電極層７ａ，７ｂの接続面を介して外部電極１０Ａ，１０Ｂによって、その変位が拘束されることとなる。従って、外部電極１０Ａ，１０Ｂの拘束によって積層体２に生じる応力が均一に分散される。その結果、積層体２への予期せぬクラックの発生を確実に防止することが可能となる。
【００５５】
さらに、本実施形態においては、外部電極１０Ａ，１０Ｂが積層方向に伸縮可能となっている。そのため、積層型圧電素子Ｅ１の積層方向における変位が阻害されるのを抑制することが可能となる。
【００５６】
従って、本実施形態に係る積層型圧電素子Ｅ１では、（１）マイクロクラック及び縦クラックの発生を確実に防止することができ、（２）積層体２への予期せぬクラックの発生を確実に防止することができると共に、（３）積層型圧電素子Ｅ１の積層方向における変位が阻害されるのを抑制することができるものとなっている。従って、本発明によれば、十分な変位量を確保しつつ、極めて信頼性に優れた積層型圧電素子Ｅ１を提供することも可能となっている。
【００５７】
また、本実施形態においては、外部電極６Ａが、金属製の帯状体である電極層７ａ及び導電性接着剤が固化した電極層８ａを有しており、外部電極６Ｂが、金属製の帯状体である電極層７ｂ及び導電性接着剤が固化した電極層８ｂを有している。そして、外部電極６Ａの電極層７ａは側面２ａと付着し、外部電極６Ａの電極層８ａは外部電極１０Ａと接続されており、外部電極６Ｂの電極層７ｂは側面２ｂと付着し、外部電極６Ｂの電極層８ｂは外部電極１０Ｂと接続されている。そのため、外部電極６Ａの電極層８ａを介して外部電極６Ａと外部電極１０Ａとの電気的な接続を確実なものとすることが可能となると共に、外部電極６Ｂの電極層８ｂを介して外部電極６Ｂと外部電極１０Ｂとの電気的な接続を確実なものとすることが可能となる。
【００５８】
また、本実施形態においては、外部電極１０Ａ，１０Ｂが、平板状となっている。そのため、積層型圧電素子Ｅ１の小型化を図ることが可能となる。また、網目状に配置された多数の細線が互いの交点においてそれぞれ接続されて構成されているメッシュ状の電極と比較して、電気抵抗値を低減することが可能となる。また、メッシュ状の電極と比較して外部電極１０Ａ，１０Ｂとの接触面積が大きなものとなるので、電気抵抗値をより低減することができると共に、外部電極１０Ａ，１０Ｂとの接続強度の向上を図ることが可能となる。また、自身が極めて変形しやすくなっているメッシュ状の電極と比較して変形が少ないので、外部電極１０Ａ，１０Ｂとの接続の際、位置決め及び接続を容易に行うことが可能となる。
【００５９】
また、本実施形態においては、外部電極１０Ａが、積層方向において不連続に配置される第１部分１１ａと、積層方向と交差する方向に延びると共に第１部分１１ａ同士をつなぐ第２部分１２ａとを有している。また、外部電極１０Ｂが、積層方向において不連続に配置される第１部分１１ｂと、積層方向と交差する方向に延びると共に第１部分１１ｂ同士をつなぐ第２部分１２ｂとを有している。そのため、外部電極１０Ａが第１部分１１ａ及び第２部分１２ａを有し、外部電極１０Ｂが第１部分１１ｂ及び第２部分１２ｂを有しているので、単に積層方向に直線状に延びるような外部電極と比較して、積層型圧電素子Ｅ１の積層方向における変位が阻害されるのをより抑制することが可能となると共に、積層型圧電素子Ｅ１を長時間にわたり連続して駆動した場合でも外部電極１０Ａ，１０Ｂが断線するのを抑制することが可能となる。
【００６０】
また、本実施形態においては、外部電極６Ａにおける電極層８ａの第２部分８ａｂが、外部電極１０Ａの第２部分１２ａと接続され、外部電極６Ｂにおける電極層８ｂの第２部分８ｂｂが、外部電極１０Ｂの第２部分１２ｂと接続されている。そのため、積層方向に伸びやすい外部電極１０Ａの第１部分１１ａ及び積層方向に伸びやすい外部電極１０Ｂの第１部分１１ｂが外部電極６Ａ，６Ｂによって拘束されることがない。従って、積層型圧電素子Ｅ１の積層方向における変位が阻害されるのを更に抑制することが可能となる。
【００６１】
また、本実施形態においては、外部電極１０Ａの第２部分１２ａ及び外部電極１０Ｂの第２部分１２ｂが、金属酸化物層５を含む仮想平面と重ならないようになっている。そのため、積層方向と交差する方向に延びる外部電極１０Ａの第２部分１２ａ及び積層方向と交差する方向に延びる外部電極１０Ｂの第２部分１２ｂによって金属酸化物層５及びその周囲の不活性部Ｑが拘束されることがないので、不活性部Ｑに生じる集中応力をより効果的に緩和することが可能となる。
【００６２】
また、本実施形態においては，積層体２内に、内部電極４Ａ，４Ｂが配置されている層と同一の層となるように金属酸化物層５の領域５ａが配置されると共に、内部電極４Ａ，４Ｂの少なくとも一部に対して重なるように金属酸化物層５の領域５ｂが配置されている。そのため、金属酸化物層５を形成する材料を必要以上に多く使用しなくて済むようになる。その結果、金属酸化物層５の材料費を節約することが可能となると共に、積層型圧電素子Ｅ１の製造に要する時間を短縮することが可能となる。
【００６３】
また、本実施形態においては、圧電体３が、チタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料によって形成され、金属酸化物層５が、ＺｒＯ２、ＭｇＯ、Ｎｂ２Ｏ５、Ｔａ２Ｏ５、ＣｅＯ２、Ｙ２Ｏ３の少なくとも一種を含む材料によって形成されている。ＺｒＯ２、ＭｇＯ、Ｎｂ２Ｏ５、Ｔａ２Ｏ５、ＣｅＯ２、Ｙ２Ｏ３は、チタン酸ジルコン酸鉛の焼結温度よりも融点が高く且つチタン酸ジルコン酸鉛に固溶可能な材料である。そのため、これらの材料を金属酸化物層５に使用することで、積層体２の焼成を行った際に、金属酸化物層５の成分が圧電体３の粒界に析出されにくくなると共に、圧電体３における単位厚み当たりの粒界の数の増大が抑制されるようになる。従って、内部電極４Ａ，４Ｂの間に電圧（電界）をかけた時に圧電体３の粒界で生じる熱ロスを抑え易くなる。その結果、積層型圧電素子Ｅ１の変位時に、加える電界に対して所望の変位を得ることが可能となる。また、圧電体３における単位厚み当たりの粒界の数が少なくなることで、積層体２への縦クラックの発生をより抑制することが可能となる。
【００６４】
（第２実施形態）
次に、図６及び図７を参照して、第２実施形態に係る積層型圧電素子Ｅ２の構成を説明する。図６は、第２実施形態に係る積層型圧電素子を示す斜視図である。図７は、第２実施形態に係る積層型圧電素子の一部を拡大して示す縦断面図である。第２実施形態に係る積層型圧電素子Ｅ２では、積層体２内における金属酸化物層５の配置の点で、上述した第１実施形態に係る積層型圧電素子Ｅ１と相違する。
【００６５】
第２実施形態に係る積層型圧電素子Ｅ２は、圧電体３、内部電極４Ａ，４Ｂ及び金属酸化物層５からなる積層体２を備える。金属酸化物層５は、積層体２の不活性部Ｑにおいて、積層体２の積層方向に隣り合う内部電極４Ａ，４Ｂの間の層に形成されている。また、金属酸化物層５は、積層体２の不活性部Ｑから僅かに活性部Ｐに入り込むように形成されている。
【００６６】
このような積層型圧電素子Ｅ２を製造する場合、図８に示されるように、複数のグリーンシート２１を形成し、電極パターン２２Ａ，２２Ｂをそれぞれ別々のグリーンシート２１上に形成する。また、電極パターン２２Ａ又は電極パターン２２Ｂが形成されたグリーンシート２１とは異なるグリーンシート２１の両端部分（不活性部Ｑに対応する領域と、活性部Ｐに対応する領域の一部とを含む部分）にＺｒＯ２ペースト層２３を形成する。
【００６７】
電極パターン２２Ａ，２２Ｂ及びＺｒＯ２ペースト層２３を形成した後、電極パターン２２Ａが形成されたグリーンシート２１と、電極パターン２２Ｂが形成されたグリーンシート２１と、ＺｒＯ２ペースト層２３が形成されたグリーンシート２１とを所定の順序で積層する。また、電極パターン２２Ａ，２２Ｂ及びＺｒＯ２ペースト層２３が形成されていないグリーンシート２１を保護層として最外層に積層する。これにより、グリーン積層体１２が形成される。
【００６８】
その後、第１実施形態と同様のプレス加工、切断、脱脂（脱バインダ）及び焼成を行うことにより、積層体２を得る。そして、積層体２の側面２ａ，２ｂに外部電極６Ａ，６Ｂ及び外部電極１０Ａ，１０Ｂを設け、最後に分極処理を行うことにより、積層型圧電素子Ｅ２が完成する。
【００６９】
以上のように、第２実施形態においても、（１）マイクロクラック及び縦クラックの発生を確実に防止することができ、（２）積層体２への予期せぬクラックの発生を確実に防止することができると共に、（３）積層型圧電素子Ｅ２の積層方向における変位が阻害されるのを抑制することができるものとなっている。
【００７０】
（第３実施形態）
次に、図９及び図１０を参照して、第３実施形態に係る積層型圧電素子Ｅ３の構成を説明する。図９は、第３実施形態に係る積層型圧電素子を示す斜視図である。図１０は、第３実施形態に係る積層型圧電素子の一部を拡大して示す縦断面図である。第３実施形態に係る積層型圧電素子Ｅ３では、積層体２内における金属酸化物層５の配置の点で、上述した第１実施形態に係る積層型圧電素子Ｅ１と相違する。
【００７１】
第３実施形態に係る積層型圧電素子Ｅ３は、圧電体３、内部電極４Ａ，４Ｂ及び金属酸化物層５からなる積層体２を備える。金属酸化物層５は、積層体２の不活性部Ｑにおける内部電極４Ａ，４Ｂと同一の層に形成された領域５ａと、この領域５ａから活性部Ｐ側に延びて内部電極４Ａ，４Ｂの上面全体に重なるように形成された領域５ｂとを有している。つまり、金属酸化物層５は、内部電極４Ａ，４Ｂに接するように積層体２の側面２ａから側面２ｂまで延びている。
【００７２】
このような金属酸化物層５を形成するには、グリーンシート２１の上面の一部領域に電極パターン２２Ａ，２２Ｂを形成し、ＺｒＯ２ペーストをスクリーン印刷することでグリーンシート２１の上面の電極未印刷領域と電極パターン２２Ａ，２２Ｂの上面全体とにＺｒＯ２ペースト層２３を形成する。そして、第１実施形態と同様に、積層、プレス加工、切断、脱バインダ及び焼成を順に行う。
【００７３】
以上のように、第３実施形態においても、（１）マイクロクラック及び縦クラックの発生を確実に防止することができ、（２）積層体２への予期せぬクラックの発生を確実に防止することができると共に、（３）積層型圧電素子Ｅ３の積層方向における変位が阻害されるのを抑制することができるものとなっている。
【００７４】
以上、本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明は上記した実施形態に限定されるものではない。例えば、積層体２の形状は、多角柱形状に限られることなく、円柱形状であってもよい。積層体２において、外部電極６Ａ，６Ｂ及び外部電極１０Ａ，１０Ｂを設ける側面は、互いに対向するように位置する２つの側面に限られることなく、隣り合う２つの側面であってもよい。また、積層体２が円柱形状である場合、外部電極６Ａ，１０Ａと外部電極６Ｂ，１０Ｂとが互いに接触しない位置であれば、側面の任意の領域に外部電極６Ａ，６Ｂ及び外部電極１０Ａ，１０Ｂを設けることができる。
【００７５】
また、外部電極１０Ａ，１０Ｂの形状は、上述したクランク形状に限られることなく、図１１及び図１２に示されるように、鋸歯形状（ジグザク形状）や蛇行形状であってもよい。外部電極１０Ａ，１０Ｂが鋸歯形状（ジグザク形状）及び蛇行形状である場合、第１部分１１ａは積層方向と交差する方向に伸びることとなる。
【００７６】
また、内部電極４Ａは、側面２ｂに設けられる外部電極６Ｂ，１０Ｂと電気的に絶縁されるのであれば、側面２ｂに露出してもよい。また、内部電極４Ｂも同様に、側面２ａに設けられる外部電極６Ａ，１０Ａと電気的に絶縁されるのであれば、側面２ａに露出してもよい。
【００７７】
また、上述の実施形態において、外部電極６Ａは電極層７ａ及び電極層８ａを有しており、外部電極６Ｂは電極層７ｂ及び電極層８ｂを有しているが、外部電極６Ａが電極層７ａのみによって構成され、外部電極６Ｂが電極層７ｂのみによって構成されていてもよい。
【００７８】
また、上述の実施形態では、金属酸化物層５の領域５ｂが内部電極４Ａ，４Ｂの上に重なるような構成としたが、図１３に示されるように、金属酸化物層５の領域５ｂの上に内部電極４Ａ，４Ｂの少なくとも一部が重なるような構成としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】第１実施形態に係る積層型圧電素子を示す斜視図である。
【図２】第１実施形態に係る積層型圧電素子を示す縦断面図である。
【図３】第１実施形態に係る積層型圧電素子の一部を拡大して示す縦断面図である。
【図４】第１実施形態に係る積層型圧電素子の製造方法を説明するための図である。
【図５】第１実施形態に係る積層型圧電素子が備える素体の構成を説明するための分解斜視図である。
【図６】第２実施形態に係る積層型圧電素子を示す斜視図である。
【図７】第２実施形態に係る積層型圧電素子の一部を拡大して示す縦断面図である。
【図８】第２実施形態に係る積層型圧電素子が備える素体の構成を説明するための分解斜視図である。
【図９】第３実施形態に係る積層型圧電素子を示す縦断面図である。
【図１０】第３実施形態に係る積層型圧電素子の一部を拡大して示す縦断面図である。
【図１１】第４実施形態に係る積層型圧電素子を示す斜視図である。
【図１２】第５実施形態に係る積層型圧電素子を示す斜視図である。
【図１３】第６実施形態に係る積層型圧電素子の一部を拡大して示す縦断面図である。
【符号の説明】
【００８０】
Ｅ１〜Ｅ５…積層型圧電素子、２…積層体、２ａ…側面（第１側面）、２ｂ…側面（第２側面）、３…圧電体、４Ａ…内部電極（第１内部電極）、４Ｂ…内部電極（第２内部電極）、５…金属酸化物層、５ａ…領域（第１領域）、５ｂ…領域（第２領域）、６Ａ…外部電極（第１外部電極）、６Ｂ…外部電極（第２外部電極）、１０Ａ…外部電極（第３外部電極）、１０Ｂ…外部電極（第４外部電極）、Ｐ…活性部、Ｑ…不活性部。
【図１】
2008211054.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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