(57)【要約】【課題】本来は光結合するべきではない光伝送路へ散乱光が結合することを防止する光スイッチを提供する。【解決手段】光スイッチＡは、第１光伝送路１１、第２光伝送路１２、第３光伝送路１３、第１反射体２１、第２反射体２２を備えていて、第１配置状態では、第１反射体２１によって、第１光伝送路１１の端部１１ａと第２光伝送路１２の端部１２ａとが光学的に結合され、第２配置状態では、第２反射体２２によって、第１光伝送路１１の端部１１ａと第３光伝送路１３の端部１３ａとが光学的に結合されものであり、第１反射体２１に遮光体５０を備えた。遮光体５０は、第１配置状態では、第１反射体２１のミラー面２１ａと第３光伝送路１３の端部１３ａとの直接の光結合を遮断し、第２配置状態では、第２反射体２２のミラー面２２ａと第２光伝送路１２の端部１２ａとの直接の光結合を遮断するように、第１反射体２１に設けられる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ビームを反射するミラー面を有する反射体である第１反射体および第２反射体を備えており、
第１光伝送路の端部と第２光伝送路の端部とを光学的に結合する光ビームの光路は上記第１反射体のミラー面による反射〔以下、反射Ａという。〕を含んで構成され、
上記第１光伝送路の端部と第３光伝送路の端部とを光学的に結合する光ビームの光路は上記第２反射体のミラー面による反射〔以下、反射Ｂという。〕を含んで構成され、
上記第１光伝送路の端部に対する上記第１反射体の相対配置を第１の配置とする第１配置状態あるいは第２の配置とする第２配置状態を採ることにより、上記第１配置状態では、上記第１光伝送路の端部と上記第２光伝送路の端部とが光学的に結合され、上記第２配置状態では、上記第１光伝送路の端部と上記第３光伝送路の端部とが光学的に結合される
光スイッチであって、
遮光体が、
上記第１配置状態では、少なくとも、上記第１反射体のミラー面上の上記反射Ａの部位と上記第３光伝送路の端部との直接の光結合を遮断し、かつ、
上記第２配置状態では、少なくとも、上記第２反射体のミラー面上の上記反射Ｂの部位と上記第２光伝送路の端部との直接の光結合を遮断するように、
上記第１反射体に固設された
ことを特徴とする光スイッチ。
【請求項２】
上記第２反射体は、上記第１配置状態あるいは上記第２配置状態のいずれであっても、上記第１光伝送路の端部に対する相対配置が変わらない
ことを特徴とする請求項１に記載の光スイッチ。
【請求項３】
上記第２反射体は、上記第１反射体と一体形成されている
ことを特徴とする請求項１に記載の光スイッチ。
【請求項４】
光ビームを反射するミラー面を有する反射体である第３反射体および第４反射体を備え、
上記第１反射体のミラー面上の上記反射Ａの部位と上記第２光伝送路の端部とを光学的に結合する光ビームの光路は、上記第３反射体のミラー面による反射を含んで構成され、
上記第２反射体のミラー面上の上記反射Ｂの部位と上記第３光伝送路の端部とを光学的に結合する光ビームの光路は、上記第４反射体のミラー面による反射を含んで構成される
ことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の光スイッチ。
【請求項５】
上記遮光体は、上記第１反射体に一体形成されており、上記遮光体の表面はミラー面である
ことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載の光スイッチ。
【請求項６】
上記第１光伝送路、上記第２光伝送路および上記第３光伝送路が固定配置されている
ことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載の光スイッチ。
【請求項７】
上記第１光伝送路は、入力の光ビームを伝送するものであり、上記第２光伝送路および上記第３光伝送路はそれぞれ、出力の光ビームを伝送するものである
ことを特徴とする請求項１から請求項６のいずれかに記載の光スイッチ。
【請求項８】
上記第１光伝送路は、出力の光ビームを伝送するものであり、上記第２光伝送路および上記第３光伝送路はそれぞれ、入力の光ビームを伝送するものである
ことを特徴とする請求項１から請求項６のいずれかに記載の光スイッチ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光スイッチに関する。より詳しくは、光スイッチにおけるクロストークを低減する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来例として、例えば特許文献１に開示される光スイッチがある。この光スイッチは、一つの入射用光ファイバ、二つの出力用光ファイバＡ、Ｂおよび回転可能な反射ミラーを備えている。そして、入射用光ファイバからの光ビームは、反射ミラーの回転角度に応じた方向へ反射ミラーで反射される。特許文献１に開示される光スイッチでは、反射ミラーの回転角度は例えば１０度以下とされて、反射ミラーで反射された光ビームは、二つの出力用光ファイバＡ、Ｂのいずれかへ入射される構成となっている。
【０００３】
このような光スイッチでは、入射用光ファイバからの光ビームが出力用光ファイバＡに入射されるように反射ミラーが傾けられている場合、理想的には、入射用光ファイバからの光ビームが出力用光ファイバＢに入射されないはずであるが、ミラー面が完全に平滑でないことなどに起因する散乱光が生じ、加えて、出力用光ファイバＢに対して反射ミラーのミラー面が背を向けてはいないため、散乱光が出力用光ファイバＢに入射し、クロストークとなることが問題であった。勿論、入射用光ファイバからの光ビームが出力用光ファイバＢに入射されるように反射ミラーが傾けられている場合であっても同様に、散乱光が出力用光ファイバＡに入射しクロストークとなる問題がある。
【０００４】
本来は入射するべきではない出力用光ファイバへ散乱光が入射することを防止する迷光対策を施した従来例として、例えば特許文献２に開示されるマトリクス光スイッチがある。このマトリクス光スイッチでは、出力ポート（出力用光ファイバの端部）間に各出力ポートを隔てる遮光性部材を設けることで、異なる入力ポート（入射用光ファイバの端部）に同時に光ビームを入射した場合に、例えば可動ミラーの反射面の光学的不完全性によって生じた散乱光が、本来の出力ポート以外の出力ポートに入射することを防止するとしている。
【特許文献１】特開２００３−９０９６８号公報
【特許文献２】特開２００１−２４２３９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に開示される光スイッチの如き構成の光スイッチについて、出力ポート間に各出力ポートを隔てる遮光性部材を設けることで、本来は入射するべきではない出力ポートへ散乱光が入射することを防止することが考えられる。
しかし、特許文献１に開示される光スイッチの如き構成の光スイッチは、一方の出力用光ファイバ（出力ポート）に入射するように反射ミラーの角度設定がされている場合に、他方の出力用光ファイバ（出力ポート）に対して反射ミラーのミラー面が背を向けてはいない構成であるから、各出力ポート間に各出力ポートを隔てる遮光性部材を設けたとしても、ミラー面から到来する散乱光が他方の出力ポートに結合することを防ぐことができない。
【０００６】
このような技術上の問題、つまり、本来は入射するべきではない出力ポートへ散乱光が入射するという問題は、その本質を突き詰めれば、反射ミラーが回動することで入力ポートからの光ビームを出力ポートへ振り分ける構成の光スイッチに限らず、一方の出力ポートに入射するように反射ミラーの角度設定がされている場合に、他方の出力ポートに対して反射ミラーのミラー面が背を向けてはいない構成の光スイッチで生じる。
具体的には、例えば、入力ポートと出力ポートＡとの間での光結合を所定の角度に配された反射ミラーＸによる反射で行なうとし、入力ポートと出力ポートＢとの間での光結合を反射ミラーＸの設定角度とは異なる所定の角度に配された反射ミラーＹによる反射で行なうとした場合であって、出力ポートＢが、入力ポートと出力ポートＡとの間での光結合のときに反射ミラーＸのミラー面を見通す位置に配されており、他方、出力ポートＡが、入力ポートと出力ポートＢとの間での光結合のときに反射ミラーＹのミラー面を見通す位置に配されている構成の光スイッチがある。
【０００７】
上記の例では、一つの入力ポートに対して二つの出力ポートを備えた光スイッチの構成で説明したが、二つの入力ポートに対して一つの出力ポートを備えた光スイッチであっても同様の問題が生じる。つまり、上記例において、二つの出力ポートをそれぞれ入力ポートに置換し、入力ポートを出力ポートに置換した構成とすれば、一方の入力ポートからの光ビームを出力ポートに入射させる状態において、他方の入力ポートに対して反射ミラーのミラー面が背を向けてはいないため、他方の入力ポートに散乱光が入射してしまう。
【０００８】
つまり、この技術上の問題は、簡略に述べれば、或るポートＰ１と或るポートＰ２とを反射ミラーＭ１を用いて光結合する場合に、ポートＰ１あるいはポートＰ２のいずれとも異なる或るポートＰ３が反射ミラーＭ１のミラー面を見通す位置に配されているとともに、ポートＰ１とポートＰ３とを反射ミラーＭ２を用いて光結合する場合に、ポートＰ２が反射ミラーＭ２のミラー面を見通す位置に配されている構成の光スイッチに共通して生じる問題と云える。
【０００９】
そこで本発明は、上記問題点に鑑み、ポートＰ１とポートＰ２とを反射ミラーＭ１を用いて光結合する場合に、ポートＰ３が反射ミラーＭ１のミラー面を見通す位置に配されているとともに、ポートＰ１とポートＰ３とを反射ミラーＭ２を用いて光結合する場合に、ポートＰ２が反射ミラーＭ２のミラー面を見通す位置に配されている構成において、本来は光結合するべきではないポートへ散乱光が結合することを防止する光スイッチを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明は、光ビームを反射するミラー面を有する反射体である第１反射体および第２反射体を備えていて、第１光伝送路の端部と第２光伝送路の端部とを光学的に結合する光ビームの光路は第１反射体のミラー面による反射〔反射Ａ〕を含んで構成され、第１光伝送路の端部と第３光伝送路の端部とを光学的に結合する光ビームの光路は第２反射体のミラー面による反射〔反射Ｂ〕を含んで構成され、第１光伝送路の端部に対する第１反射体の相対配置を第１の配置とする第１配置状態あるいは第２の配置とする第２配置状態を採ることにより、第１配置状態では、第１光伝送路の端部と第２光伝送路の端部とが光学的に結合され、第２配置状態では、第１光伝送路の端部と第３光伝送路の端部とが光学的に結合される光スイッチであって、第１反射体に遮光体を備えたものとされる。そして、この遮光体は、第１配置状態では、少なくとも、第１反射体のミラー面上の反射Ａの部位と第３光伝送路の端部との直接の光結合を遮断し、かつ、第２配置状態では、少なくとも、第２反射体のミラー面上の反射Ｂの部位と第２光伝送路の端部との直接の光結合を遮断するように、第１反射体に固設されている。
【発明の効果】
【００１１】
本発明は、第１配置状態では第１反射体（Ｍ１）のミラー面上の反射Ａの部位と第３光伝送路の端部（Ｐ３）との直接の光結合を遮断し、かつ、第２配置状態では第２反射体（Ｍ２）のミラー面上の反射Ｂの部位と第２光伝送路の端部（Ｐ２）との直接の光結合を遮断するように、第１反射体（Ｍ１）に遮光体が固設された構成である。従って、本発明に拠れば、第１光伝送路の端部（Ｐ１）と第２光伝送路の端部（Ｐ２）とを第１反射体（Ｍ１）を用いて光結合する場合には、遮光体が、第１反射体（Ｍ１）のミラー面からの散乱光が第３光伝送路の端部（Ｐ３）と光結合することを防止し、第１光伝送路の端部（Ｐ１）と第３光伝送路の端部（Ｐ３）とを第２反射体（Ｍ２）を用いて光結合する場合には、遮光体が、第２反射体（Ｍ２）のミラー面からの散乱光が第２光伝送路の端部（Ｐ２）と光結合することを防止するため、本来は光結合するべきではない光伝送路の端部へ散乱光が結合することを防止することができる。また、本来は光結合するべきではない光伝送路の端部へ散乱光が結合することを防止できるから、光スイッチが用いられる環境〔例えば光通信など〕におけるクロストークが抑制される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
＜第１実施形態＞
本発明の第１実施形態を、図面を参照して説明する。図１は、第１実施形態における光スイッチ（Ａ）の模式図である。
【００１３】
図１に示す光スイッチ（Ａ）は、光ビームを伝送する光伝送路として、第１光伝送路（１１）、第２光伝送路（１２）、第３光伝送路（１３）を備えている。光伝送路としてはその材質、形状、大きさなどには格別の限定はなく、例えば光導波路や光ファイバなどとされる。なお、光スイッチ（Ａ）の構成として、光伝送路が光スイッチ（Ａ）に固設されることで光スイッチ（Ａ）の必須の構成要素とされることに限定するものではない。例えば、光伝送路を光ファイバとした場合、光スイッチ（Ａ）に光ファイバを装着するための管路を設けておき、光スイッチ（Ａ）の使用に際して管路に沿って光ファイバを挿入してこれを固定する構成とすることでもよい。
【００１４】
また、光ビームを反射するミラー面を備えた反射体として第１反射体（２１）、第２反射体（２２）を備えている。反射体の材質、形状、大きさなどには格別の限定はなく、例えば光スイッチ（Ａ）をＭＥＭＳ〔Micro Electro Mechanical Systems〕デバイスとして実現する場合にはシリコン基板などとすることができ、この表面に例えば金〔Ａｕ〕を蒸着させてミラー面を形成する。なお、この実施形態ではミラー面は平面であるとする。つまり、第１反射体（２１）および第２反射体（２２）はそれぞれ平板状に形成されるとする。光スイッチ（Ａ）では、第１反射体（２１）は可動な構成要素とされ、第２反射体（２２）は光スイッチ（Ａ）に固定されているとする。また、第１光伝送路（１１）、第２光伝送路（１２）、第３光伝送路（１３）も光スイッチ（Ａ）に固定されているとする。
【００１５】
光スイッチ（Ａ）では、第１光伝送路（１１）の端部（１１ａ）に対する第１反射体（２１）の相対配置が第１の配置となる第１配置状態あるいは第２の配置となる第２配置状態のいずれも採ることができる。
【００１６】
第１配置状態は、第１光伝送路（１１）の端部（１１ａ）と第２光伝送路（１２）の端部（１２ａ）とが光学的に結合される配置状態である。具体的には、第１配置状態では、第１光伝送路（１１）の端部（１１ａ）と第２光伝送路（１２）の端部（１２ａ）とを光学的に結合する光ビームの行路（光路）が、第１反射体（２１）のミラー面（２１ａ）による反射〔反射Ａ〕を含み、第１光伝送路（１１）の端部（１１ａ）と第１反射体（２１）のミラー面（２１ａ）との自由空間中の光路Ｌ１と、第２光伝送路（１２）の端部（１２ａ）と第１反射体（２１）のミラー面（２１ａ）との自由空間中の光路Ｌ２とで構成されている〔図１（ａ）参照〕。なお、ここで自由空間とは、光ビームに作用する境界条件が無く屈折率が一様な空間を云う。具体的には、空気中や屈折率調整液が充填された筐体内部の空間などを例示できる。
【００１７】
また、第２配置状態は、第１光伝送路（１１）の端部（１１ａ）と第３光伝送路（１３）の端部（１３ａ）とが光学的に結合される配置状態である。具体的には、第２配置状態では、第１光伝送路（１１）の端部（１１ａ）と第３光伝送路（１３）の端部（１３ａ）とを光学的に結合する光ビームの行路（光路）が、第２反射体（２２）のミラー面（２２ａ）による反射〔反射Ｂ〕を含み、第１光伝送路（１１）の端部（１１ａ）と第２反射体（２２）のミラー面（２２ａ）との自由空間中の光路Ｌ１と、第３光伝送路（１３）の端部（１３ａ）と第２反射体（２２）のミラー面（２２ａ）との自由空間中の光路Ｌ３とで構成されている〔図１（ｂ）参照〕。
【００１８】
第１配置状態と第２配置状態の切換は、例えば第１反射体（２１）の移動によって実現する。つまり、第１実施形態では、第２反射体（２２）、第１光伝送路（１１）、第２光伝送路（１２）、第３光伝送路（１３）がいずれも光スイッチ（Ａ）に対して固定されている構成、つまり、第１配置状態あるいは第２配置状態のいずれであっても、第１光伝送路（１１）の端部（１１ａ）に対する第２反射体（２２）の相対配置が変わらない構成であるところ、第１光伝送路（１１）の端部（１１ａ）に対する第１反射体（２１）の相対配置を変更することで、第１配置状態と第２配置状態の切換を行う。
【００１９】
具体的には、例えば、図１（ｂ）に示す第２配置状態において、第１反射体（２１）は、第１光伝送路（１１）の端部（１１ａ）と第２反射体（２２）のミラー面（２２ａ）との自由空間中の光路Ｌ１に影響を与えない位置に配されているが、この第２配置状態から第１配置状態に切り替える場合は、第１反射体（２１）を駆動して、光路Ｌ１の途中に第１反射体（２１）のミラー面（２１ａ）を配する。これによって、第１光伝送路（１１）の端部（１１ａ）と第３光伝送路（１３）の端部（１３ａ）との光結合が遮断されるとともに、第１光伝送路（１１）の端部（１１ａ）と第２光伝送路（１２）の端部（１２ａ）との光結合が実現する。駆動手段としては、例えば双安定型のヒンジ構造を有する並進駆動の櫛歯型静電アクチュエータなどを用いることができ、一例として参考文献（特開２００５−３７８８５号公報）が挙げられる。この場合、静電アクチュエータが駆動するロッドの先端部に第１反射体（２１）が取り付けられ、静電アクチュエータによるロッドの挿抜動作に応じて、第１反射体（２１）の移動が実現する。
なお、第１配置状態から第２配置状態へ切り替える場合は、第１反射体（２１）を、第２配置状態から第１配置状態へ切り替えるときの移動とは逆の向きに移動すればよい。
【００２０】
云うまでもないが、第１光伝送路（１１）、第２光伝送路（１２）、第３光伝送路（１３）、第２反射体（２２）のそれぞれの位置関係、第２反射体（２２）のミラー面（２２ａ）の設置角度、第１反射体（２１）のミラー面（２１ａ）の設定角度は、いずれも光スイッチの仕様に応じて定められる設計事項である。
【００２１】
ただし、第１光伝送路（１１）、第２光伝送路（１２）、第３光伝送路（１３）はいずれも、第１反射体（２１）のミラー面（２１ａ）を含む平面のミラー面（２１ａ）側の空間に設けられているとともに、第２反射体（２２）のミラー面（２２ａ）を含む平面のミラー面（２２ａ）側の空間に設けられている位置関係となっていることが、本発明による効果を好ましく享受できる実施形態である。
このような位置関係では、第１配置状態では、第１反射体（２１）のミラー面（２１ａ）上の反射Ａの部位にて生じた散乱光が本来は光結合するべきではない第３光伝送路（１３）の端部（１３ａ）と光結合する可能性があり、第２配置状態では、第２反射体（２２）のミラー面（２２ａ）上の反射Ｂの部位にて生じた散乱光が本来は光結合するべきではない第２光伝送路（１２）の端部（１２ａ）と光結合する可能性がある。
【００２２】
つまり、図１において点線で示すように、第１配置状態では、第１反射体（２１）のミラー面（２１ａ）上の反射Ａの部位と第３光伝送路（１３）の端部（１３ａ）とを結ぶ散乱光の光路Ｌ３’が成立する可能性があり、第２配置状態では、第２反射体（２２）のミラー面（２２ａ）上の反射Ｂの部位と第２光伝送路（１２）の端部（１２ａ）とを結ぶ散乱光の光路Ｌ２’が成立する可能性がある。
【００２３】
しかし、光スイッチ（Ａ）は第１反射体（２１）に本発明を特徴付ける遮光体（５０）を備えており、第１配置状態においては光路Ｌ３’の成立が防止され、第２配置状態においては光路Ｌ２’の成立が防止される。ここで遮光体（５０）は、少なくとも上述の散乱光が有する程度の光強度の光を透過させない材質・厚さ等の性質を有していればよく、光スイッチの設計仕様に応じて適宜に設定できる。
遮光体（５０）は、移動反射体である第１反射体（２１）に備えられるものであり、例えば、第１反射体（２１）に遮光体（５０）を一体形成する構成でもよいし、あるいは、第１反射体（２１）に遮光体（５０）を接着してこれを固定させる構成でもよい。図１では、第１反射体（２１）に遮光体（５０）を一体形成した例を示している。
【００２４】
遮光体（５０）が第１反射体（２１）に設けられる部位は、少なくとも、遮光体（５０）が［１］第１配置状態では、第１反射体（２１）のミラー面（２１ａ）上の反射Ａの部位と第３光伝送路（１３）の端部（１３ａ）との直接の光結合を遮断し、［２］第２配置状態では、第２反射体（２２）のミラー面（２２ａ）上の反射Ｂの部位と第２光伝送路（１２）の端部（１２ａ）との直接の光結合を遮断することができる部位である。
このような部位は、第１反射体（２１）の、第１配置状態における位置および第２配置状態における位置と、第２反射体（２２）・第１光伝送路（１１）・第２光伝送路（１２）・第３光伝送路（１３）の配置関係との相関で決せられる。
【００２５】
また、遮光体（５０）の大きさ〔面積〕・形状は、上記［１］および上記［２］の条件を満たすものであればよいが、少なくとも、第３光伝送路（１３）の端部（１３ａ）からの見通しで、第１反射体（２１）のミラー面（２１ａ）上の反射Ａの部位が遮光体（５０）によって隠蔽され、かつ、第２光伝送路（１２）の端部（１２ａ）からの見通しで、第２反射体（２２）のミラー面（２２ａ）上の反射Ｂの部位が遮光体（５０）によって隠蔽されることが求められる。ここで、反射Ａないし反射Ｂの『部位』とは、光レーザは或る程度のビーム径を有するから、光ビームがミラー面に照射されている領域という意味である。また、光レーザは或る程度のビーム径を有するから、ミラー面にて生成される散乱光は種々の方向へと伝播する。そこで、設計条件が許せば、第３光伝送路（１３）の端部（１３ａ）からの見通しで、第１反射体（２１）のミラー面（２１ａ）全体が遮光体（５０）によって隠蔽され、かつ、第２光伝送路（１２）の端部（１２ａ）からの見通しで、第２反射体（２２）のミラー面（２２ａ）全体が遮光体（５０）によって隠蔽されることが望ましいといえる。このように遮光体（５０）を設けることで、例えば第１配置状態あるいは第２配置状態の位置精度に誤差がある場合でも、十分に上記［１］および上記［２］の条件を満たすことができる。
図１に示す例では、平板状の第１反射体（２１）の端縁部に平板状の遮光体（５０）の端縁部を一致させるようにして、遮光体（５０）が第１反射体（２１）に設けられており、遮光体（５０）が一体形成された第１反射体（２１）は、構造用鋼材で喩えれば、断面略Ｌ字状の山形鋼の如き形状となっている〔図１（ｃ）参照〕。
【００２６】
図１（ａ）に示すように、第１配置状態では、第１反射体（２１）のミラー面（２１ａ）上の反射Ａの部位と第３光伝送路（１３）の端部（１３ａ）とを結ぶ散乱光の光路Ｌ３’に対して、遮光体（５０）がその障壁となるため、第１反射体（２１）のミラー面（２１ａ）上の反射Ａの部位と第３光伝送路（１３）の端部（１３ａ）との散乱光による光結合が防止される。また、図１（ｂ）に示すように、第２配置状態では、第２反射体（２２）のミラー面（２２ａ）上の反射Ｂの部位と第２光伝送路（１２）の端部（１２ａ）とを結ぶ散乱光の光路Ｌ２’に対して、遮光体（５０）がその障壁となるため、第２反射体（２２）のミラー面（２２ａ）上の反射Ｂの部位と第２光伝送路（１２）の端部（１２ａ）との散乱光による光結合が防止される。
【００２７】
なお、例えば光スイッチ（Ａ）をＭＥＭＳデバイスとして作製する場合では、図１に例示するように、第１反射体（２１）と遮光体（５０）とを一体形成することが好適であり、第１反射体（２１）と同じ材質で作製することができる。この場合、次のような利点がある。
第１反射体（２１）の表面に例えば金を蒸着することでミラー面（２１ａ）を形成するが、遮光体（５０）の表面に金の蒸着を防止するためのマスキングを施す必要は無く、遮光体（５０）の表面にミラー面（２１ａ）と同様にミラー面を形成することができる。つまり、遮光体（５０）の表面をミラー面とすることで散乱光の透過を防止する機能を確保すると同時に、遮光体（５０）が一体形成された第１反射体（２１）を、あたかもそのような形状の第１反射体（２１）として作製することができる。このとき、第１反射体（２１）を作製するためのシリコン基板に対するエッチング形状を、図１に示す例では断面Ｉ字状となるエッチング形状から断面略Ｌ字状となるエッチング形状へ変更するだけであるから、従来における第１反射体（２１）の作製工程数と全く同じ工程数で、遮光体（５０）が一体形成された第１反射体（２１）を作製できる。
【００２８】
以上の説明から明らかなように、遮光体（５０）を設ける部位は、第１光伝送路（１１）、第２光伝送路（１２）、第３光伝送路（１３）のそれぞれが、入力の光ビームを伝送するものであるか、出力の光ビームを伝送するものであるか、の区別に依存しない。従って、光スイッチ（Ａ）では、第１光伝送路（１１）を、入力の光ビームを伝送するものとし、第２光伝送路（１２）および第３光伝送路（１３）をそれぞれ、出力の光ビームを伝送するものとした構成とすることができる。あるいは、第１光伝送路（１１）を、出力の光ビームを伝送するものとし、第２光伝送路（１２）および第３光伝送路（１３）をそれぞれ、入力の光ビームを伝送するもものとした構成とすることができる。図１では、第１光伝送路（１１）を、入力の光ビームを伝送するものとし、第２光伝送路（１２）および第３光伝送路（１３）をそれぞれ、出力の光ビームを伝送するものとした構成を例示している。
【００２９】
また、図１に示す光スイッチ（Ａ）の模式図では、第１光伝送路（１１）の端部（１１ａ）、第２光伝送路（１２）の端部（１２ａ）、第３光伝送路（１３）の端部（１３ａ）のそれぞれが直線状に配置されているように図示されている。しかし、そのような配置構成に限定する趣旨ではない。第１光伝送路（１１）の端部（１１ａ）、第２光伝送路（１２）の端部（１２ａ）、第３光伝送路（１３）の端部（１３ａ）を、それらによって平面を一意に決定できるような配置、要するに第１光伝送路（１１）の端部（１１ａ）と第２光伝送路（１２）の端部（１２ａ）とを結んだ直線上に第３光伝送路（１３）の端部（１３ａ）が存在しないような配置とすることができる。この場合、第１反射体（２１）のミラー面（２１ａ）の設定角度および第２反射体（２２）のミラー面（２２ａ）の設置角度はそれぞれ、第１光伝送路（１１）の端部（１１ａ）、第２光伝送路（１２）の端部（１２ａ）、第３光伝送路（１３）の端部（１３ａ）の配置関係に応じて定めればよい。
【００３０】
＜第２実施形態＞
本発明の第２実施形態を、図面を参照して説明する。図２は、第２実施形態における光スイッチ（Ｂ）の模式図である。なお、第１実施形態と異なる事項について説明を行い、第１実施形態と同じ構成要素等については同一の符号を割り当てて重複説明を避ける。
【００３１】
第１実施形態では、第１反射体（２１）は可動な構成要素とされ、第２反射体（２２）は光スイッチ（Ａ）に固定されているとしたが、第２実施形態では、図２に示すように、第２反射体（２２）の端縁部を、一体に形成された第１反射体（２１）と遮光体（５０）との接合部に対して一致させるようにして、第２反射体（２２）が第１反射体（２１）と一体に形成されている。つまり、第１反射体（２１）、第２反射体（２２）および遮光体（５０）は一体形成されて、構造用鋼材で喩えれば、断面を略Ｙ字状のものとしたＴ字鋼の如き形状となっている〔図２（ｃ）参照〕。
【００３２】
第２実施形態において、第１配置状態と第２配置状態の切換は、第１光伝送路（１１）の端部（１１ａ）に対する、第２反射体（２２）が一体に形成された第１反射体（２１）の相対配置を変更することによって実現する。具体的には、光スイッチ（Ａ）に固定されている第１光伝送路（１１）・第２光伝送路（１２）・第３光伝送路（１３）に対して、可動構成要素である、第２反射体（２２）が一体に形成された第１反射体（２１）を移動させるとしてもよいし、あるいは反対に、固定構成要素である、第２反射体（２２）が一体に形成された第１反射体（２１）に対して、配置関係を変えることなく一体に可動の構成とされた第１光伝送路（１１）、第２光伝送路（１２）および第３光伝送路（１３）を移動させるとしてもよい。
【００３３】
このとき、図２（ａ）に示す第１配置状態では、第１反射体（２１）のミラー面（２１ａ）上の反射Ａの部位と第３光伝送路（１３）の端部（１３ａ）とを結ぶ散乱光の光路Ｌ３’に対して、遮光体（５０）がその障壁となるため、第１反射体（２１）のミラー面（２１ａ）上の反射Ａの部位と第３光伝送路（１３）の端部（１３ａ）との散乱光による光結合が防止される。また、図２（ｂ）に示す第２配置状態では、第２反射体（２２）のミラー面（２２ａ）上の反射Ｂの部位と第２光伝送路（１２）の端部（１２ａ）とを結ぶ散乱光の光路Ｌ２’に対して、遮光体（５０）がその障壁となるため、第２反射体（２２）のミラー面（２２ａ）上の反射Ｂの部位と第２光伝送路（１２）の端部（１２ａ）との散乱光による光結合が防止される。
【００３４】
＜第１実施形態の実施例１＞
上述の第１実施形態は、ＭＥＭＳデバイスとして実施することができて、例えば、第１配置状態の場合に、第１光伝送路（１１）の端部（１１ａ）と第２光伝送路（１２）の端部（１２ａ）とが第１反射体（２１）による一回の反射で光学的に結合され、第２配置状態の場合に、第１光伝送路（１１）の端部（１１ａ）と第３光伝送路（１３）の端部（１３ａ）とが第２反射体（２２）による一回の反射で光学的に結合される、一回反射型の光スイッチ〔例えば参考文献（出願済み未公開の特願２００６−１２４２２７号）を参照〕として具体的に構成される〔図３参照〕。
【００３５】
この構成では、第２反射体（２２）が光スイッチ内部の基板（９０）の壁面から突出形成されて固設されている。また、遮光体（５０）が一体に形成された第１反射体（２１）がその一端で駆動手段である静電アクチュエータ（６０）のロッド（６１）の一端に接続されている。そして、静電アクチュエータ（６０）によるロッド（６１）の挿抜駆動で、遮光体（５０）が一体に形成された第１反射体（２１）の移動が行われ、第１配置状態と第２配置状態の切換が実現する。
【００３６】
＜第１実施形態の実施例２＞
上述の第１実施形態は、実施例１と同様にＭＥＭＳデバイスとして実施することができる。例えば、第１配置状態の場合に、第１光伝送路（１１）の端部（１１ａ）と第２光伝送路（１２）の端部（１２ａ）とが第１反射体（２１）による反射および光スイッチ内部の基板（９０）の壁面を第３反射体（２３）としてそのミラー面（２３ａ）による反射の計二回の反射を経て光学的に結合され、第２配置状態の場合に、第１光伝送路（１１）の端部（１１ａ）と第３光伝送路（１３）の端部（１３ａ）とが第２反射体（２２）による反射および光スイッチ内部の基板（９０）の壁面を第４反射体（２４）としてそのミラー面（２４ａ）による反射の計二回の反射を経て光学的に結合される、二回反射型の光スイッチ〔例えば参考文献（出願済み未公開の特願２００５−３０２３４４号）を参照〕として具体的に構成される〔図４参照〕。
【００３７】
この構成では、第２反射体（２２）が光スイッチ内部の基板（９０）の壁面とされて固設されている。また、実施例１と同様に、遮光体（５０）が一体に形成された第１反射体（２１）がその一端で駆動手段である静電アクチュエータ（６０）のロッド（６１）の一端に接続されている。そして、静電アクチュエータ（６０）によるロッド（６１）の挿抜駆動で、遮光体（５０）が一体に形成された第１反射体（２１）の移動が行われ、第１配置状態と第２配置状態の切換が実現する。
【００３８】
上記実施例１および実施例２では、１入力２出力の光スイッチの例として光ビームの進行方向を矢印で示したが、光ビームの進行方向の向きを逆にすることで２入力１出力の光スイッチとして用いることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】第１実施形態における光スイッチ（Ａ）の模式図。（ａ）第１配置状態における光スイッチ（Ａ）の模式図。（ｂ）第２配置状態における光スイッチ（Ａ）の模式図。（ｃ）光スイッチ（Ａ）の第１反射体（２１）および第２反射体（２２）の斜視図。
【図２】第２実施形態における光スイッチ（Ｂ）の模式図。（ａ）第１配置状態における光スイッチ（Ｂ）の模式図。（ｂ）第２配置状態における光スイッチ（Ｂ）の模式図。（ｃ）光スイッチ（Ｂ）の第１反射体（２１）および第２反射体（２２）の斜視図。
【図３】第１実施形態の実施例１を示す図。
【図４】第１実施形態の実施例２を示す図。
【符号の説明】
【００４０】
１１    第１光伝送路                  １１ａ  端部
１２    第２光伝送路                  １２ａ  端部
１３    第３光伝送路                  １３ａ  端部
２１    第１反射体                  ２１ａ  ミラー面
２２    第２反射体                  ２２ａ  ミラー面
５０    遮光体
【図１】
2008262017.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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