(57)【要約】      （修正有）【課題】自動開閉装置の規格寸法内に収まり、蓋体の変形を良好な材料効率で抑制出来るウエハ搬送容器の蓋体構造を提供する。【解決手段】肉厚部の厚さｄ２が、蓋体１４の他の平板部分の厚さｄ１よりも、１．２５倍、厚くなるように、構成されると共に、この肉厚部２０ｂの平面形状が、半導体ウエハ１…の並列方向で、この蓋体本体２０の略全幅で、しかも、被係合部１８，１８間に渡り、一定の幅Ｗを有する長方形面状を呈して、構成されている。  肉厚部の裏面側２０ａには、これらの中央リブ２０１及び縦リブ２０２…と、直交して交差する横リブ部２０３とが、一体に設けられていて、格子状の補強部が、面状を呈して構成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上部に開口部を設けた有底箱状の容器本体の内部に、円板状のウエハを収納すると共に、該開口部を開閉塞可能に装着される上面視略方形形状の蓋体を設け該蓋体の内側には、前記容器本体内に収納されたウエハの上縁部に弾接して保持するウエハ押さえ部材を設けてなるウエハ搬送容器の蓋体構造であって、
前記蓋体は、前記容器本体の開口周縁部に形成された係止孔に係止されて、該蓋体を開閉塞可能とするロック部材を四隅近傍に各々設けて、該蓋体略中央部に設けられた前記ウエハ押さえ部材に対向して、該蓋体の他の平板部分の肉厚よりも、大きな厚みを有する肉厚部が、該蓋体裏面側から、内側に凸となるように、一体に形成されていることを特徴とするウエハ搬送容器の蓋体構造。
【請求項２】
前記蓋体上面側に、吸盤を吸着させる吸盤受け部を形成することを特徴とする請求項１記載のウエハ搬送容器の蓋体構造。
【請求項３】
前記肉厚部の厚みは、前記蓋体の他の平板部分の厚みよりも、１．２５倍〜２．０倍となるように構成されていることを特徴とする請求項１又は２記載のウエハ搬送容器の蓋体構造。
【請求項４】
前記ウエハ押さえ部材裏面の前記肉厚部上には、前記ウエハの並列方向に沿って延設される縦リブ部と、該縦リブ部と交差する横リブ部とが一体に設けられて、格子状の補強部を構成していることを特徴とする請求項１乃至３のうち、何れか一項記載のウエハ搬送容器の蓋体構造。
【請求項５】
前記左，右一対設けられた前記縦リブ部間には、該両縦リブ部を連結する横リブ部が一体に形成されると共に、該横リブ部には、前記ウエハ押さえ部材を当接させる受け面部が設けられていることを特徴とする請求項４記載のウエハ搬送容器の蓋体構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ等のウエハ部材を複数収納するウエハ搬送容器に用いられて、特に内部に収納したウエハが破損しにくい構造を有するウエハ搬送容器の蓋体構造を提供するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体シリコンウエハ搬送容器として、円盤状の半導体シリコンウエハを、内部に複数枚収納して保管或いは移送する容器が、知られている（例えば、特許文献１乃至３等参照）。
【０００３】
このような従来のものでは、図１９又は図２０に示すように、前記複数枚のウエハとしての半導体ウエハ１…が、上部に開口部３が形成されて、有底箱状を呈している容器本体２内に収納される。
【０００４】
この容器本体２の側面部及び底面部の内側壁面部には、断面略Ｖ字状を呈する収納溝部２ａ…が、複数本形成されていて、前記各半導体ウエハ１…を、収納する際、この収納溝部２ａ…内に、これらの半導体ウエハ１の下縁部１ａを、各々介装するように構成されている。
【０００５】
また、この容器本体２の開口部３には、上面視略方形形状の蓋体４が、この開口部３を開閉塞可能に装着されている。
【０００６】
この蓋体４の内側には、前記容器本体２内に収納された半導体ウエハ１の上縁部１ｂに弾接して、保持する一対の保持部５ａ，５ａが、前記各収納溝部２ａ…に対応させて、対向面側に形成されたウエハ押さえ部材５が設けられている。
【０００７】
また、前記容器本体２の開口部３周縁には、四隅のコーナー部近傍に、合計４箇所の係止孔３ａ，３ａが開口形成されている。
【０００８】
そして、前記蓋体４には、この係止孔３ａ,３ａに先端を突入させることにより、この蓋体４を開放不能にロックを行う開閉機構のロック部材６,６が、四隅近傍に設けられている。
【０００９】
この開閉機構のロック部材６，６は、自動開閉装置７の図示省略のラッチキーが、差し込まれるキー溝が形成されて、蓋体４に回動可能に設けられている回転板と、これらのロック部材６，６及びこの回転板との間を連結する一対のリンクアーム部材等とを有するリンク機構若しくは、他のカム機構等によって、スライド摺動可能に構成されている。
【００１０】
そして、図示省略のラッチキーを、前記回転板に形成されたキー溝に、係合させて回動させることにより、前記係止孔３ａ,３ａに対して、挿抜可能とすることにより、前記蓋体４を前記容器本体２の開口部３周縁に開閉塞可能で、ロック状態で保持可能となるように構成されている。
【００１１】
次に、この従来例の作用効果について説明する。
【００１２】
このように構成された従来のウエハ搬送容器の蓋体構造では、図１９に示すように、自動開閉装置７を用いて、前記蓋体４の開閉動作を行う際、前記ラッチキーを、回転板に形成されたキー溝に、係合させると共に、この自動開閉装置７に設けられた真空吸着装置８の吸盤８ａ,８ａが、前記蓋体４の上面側４ａに当接されて、吸着させることにより、更に安定させて、前記蓋体４を、この自動開閉装置７に確実に保持させて、挿脱着作業及び、搬送作業を行うことができる。
【００１３】
また、図２０に示すように、前記容器本体２内の各収納溝部２ａ…内に、下縁部１ａ…収納された前記半導体ウエハ１…は、前記蓋体４の閉塞により、上縁部１ｂ，１ｂを、前記ウエハ押さえ部材５…の前記各保持部５ａ，５ａ内に介装させて、これらのウエハ押さえ部材５に弾接される。
【００１４】
このため、この容器本体２内に収納された前記半導体ウエハ１…は、このウエハ押さえ部材５…によって弾性支持されて、搬送若しくは保管時に、前記半導体ウエハ１を破損させる虞を減少させることが出来る。
【特許文献１】特開２００５−２０３７６８号公報（段落００６０乃至０１５０、図１、図３）
【特許文献２】特開２００５−２９４３８６号公報（段落００１６乃至０１４３、図２、図３）
【特許文献３】国際公開ＷＯ０１／００６５６０号公報（発明を実施するための最良の実施の形態、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
しかしながら、このような従来のウエハ搬送容器の蓋体構造では、図１９に示すように、上面視略方形形状を呈する蓋体４の四隅近傍で、前記開閉機構のロック部材６,６が、先端を前記係止孔３ａ,３ａに突入させることにより、この蓋体４が、開放不能となるようにロックが行われる。
【００１６】
このため、これらの四隅のロック部材６，６の位置は、動かないため、図２０に示すように、蓋体４の略中央位置が、前記容器本体２内に収納された前記半導体ウエハ１…から受ける反力で、前記ウエハ押さえ部材５…を介して、上方に押圧されて、膨出方向に変形してしまう虞があった。
【００１７】
従って、前記自動開閉装置７に設けられたラッチキーが、回転板に形成されたキー溝に、係合されないため、自動開閉を行なうことが出来なかったり、或いは、自動開閉時に、前記蓋体４の一部に干渉して、破損させてしまう虞もあった。
【００１８】
また、図２０中、拡大して示すように、真空吸着装置８の吸盤８ａ,８ａが、前記蓋体４の上面側４ａに当接される際にも、前記蓋体４の撓み変形量が大きいと、吸着させることが出来ない虞があり、安定した保持性能を発揮させることができないといった問題もあった。
【００１９】
そこで、この発明は、自動開閉装置の規格寸法内に収まり、蓋体の変形を良好な材料効率で抑制出来るウエハ搬送容器の蓋体構造を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
上記目的を達成するために、請求項１に記載された発明は、上部に開口部を設けた有底箱状の容器本体の内部に、円板状のウエハを収納すると共に、該開口部を開閉塞可能に装着される上面視略方形形状の蓋体を設け該蓋体の内側には、前記容器本体内に収納されたウエハの上縁部に弾接して保持するウエハ押さえ部材を設けてなるウエハ搬送容器の蓋体構造であって、前記蓋体は、前記容器本体の開口周縁部に形成された係止孔に係止されて、該蓋体を開閉塞可能とするロック部材を四隅近傍に各々設けて、該蓋体略中央部に設けられた前記ウエハ押さえ部材に対向して、該蓋体の他の平板部分の肉厚よりも、大きな厚みを有する肉厚部が、該蓋体裏面側から、内側に凸となるように、一体に形成されているウエハ搬送容器の蓋体構造を特徴としている。
【００２１】
また、請求項２に記載されたものは、前記蓋体上面側に、吸盤を吸着させる吸盤受け部を形成する請求項１記載のウエハ搬送容器の蓋体構造を特徴としている。
【００２２】
更に、請求項３に記載されたものは、前記肉厚部の厚みは、前記蓋体の他の平板部分の厚みよりも、１．２５倍〜２．０倍となるように構成されている請求項１又は２記載のウエハ搬送容器の蓋体構造を特徴としている。
【００２３】
そして、請求項４に記載されたものは、前記ウエハ押さえ部材裏面の前記肉厚部上には、前記ウエハの並列方向に沿って延設される縦リブ部と、該縦リブ部と交差する横リブ部とが一体に設けられて、格子状の補強部を構成している請求項１乃至３のうち、何れか一項記載のウエハ搬送容器の蓋体構造を特徴としている。
【００２４】
また、請求項５に記載されたものは、前記左，右一対設けられた前記縦リブ部間には、該両縦リブ部を連結する横リブ部が一体に形成されると共に、該横リブ部には、前記ウエハ押さえ部材を当接させる受け面部が設けられている請求項４記載のウエハ搬送容器の蓋体構造を特徴としている。
【発明の効果】
【００２５】
このように構成された本願発明の請求項１記載のものは、前記ウエハの上縁部が、弾接されるウエハ押さえ部材の設けられている部分に対向して、該蓋体の他の平板部分の肉厚よりも、大きな厚みを有する肉厚部が、該蓋体裏面側から、内側に凸となるように、一体に形成されている。
【００２６】
このため、自動開閉装置の規格寸法内に収まり、収納されるウエハの反力を、該肉厚部が、効率よく受け止めて、膨出方向への撓み変形が抑制される。
【００２７】
従って、自動開閉装置を用いて、前記蓋体の開閉動作を行う際、前記ラッチキーを、回転板に形成されたキー溝に、確実に係合させることが出来、安定させて、前記蓋体を、この自動開閉装置に保持させることができる。
【００２８】
また、請求項２に記載されたものは、前記蓋体上面側に形成された吸盤受け部が、吸盤を吸着させる。
【００２９】
該吸盤受け部は、前記肉厚部が凸となるように形成された前記蓋体裏面側と反対側の上面側に、平坦状に形成出来る。
【００３０】
このため、前記自動開閉装置に設けられた真空吸着装置の吸盤が、前記蓋体の上面側に垂直に当接されて、確実に吸着させることが出来、更に、安定させて、前記蓋体を、この自動開閉装置に保持させることができる。
【００３１】
更に、請求項３に記載されたものは、前記肉厚部の厚みが、前記蓋体の他の平板部分の厚みよりも、１．２５倍〜２．０倍となるように構成されている。
【００３２】
このため、該蓋体の厚み方向の寸法を、大きく増大させること無く、該蓋体の変形を抑制できるので、自動開閉装置を用いる際の規格寸法を変更する必要が無く、設計変更に伴う製造コストの増大や、材料費の増大を抑制できる。
【００３３】
更に、請求項４に記載されたものは、前記肉厚部のウエハ押さえ部材側側面に一体に設けられる格子状の補強部が、前記ウエハ部材の並列方向に沿って、延設される縦リブ部と、該縦リブ部と交差する横リブ部とを有して、面状に補強する。
【００３４】
従って、縦，横両方向に延設された各縦リブ部及び横リブ部によって、該蓋体の略中央部の面内，外方向の膨出変形を、効率よく抑制される。
【００３５】
また、請求項５に記載されたものは、縦リブ部に一体に形成される横リブ部に、前記ウエハ押さえ部材を当接させる受け面部が設けられているので、該受け面部で受け止められた前記ウエハの反力が、該横リブ部の両側に形成される一対の両縦リブ部に分散されて、蓋体の側縁方向へ逃がされる。
【００３６】
従って、効率よく、該蓋体の略中央部の面内，外方向の膨出変形を、抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３７】
次に、図面に基づいて、この発明を実施するための最良の実施の形態のウエハ搬送容器の蓋体構造について説明する。
【００３８】
図１乃至図１８は、この発明の実施の形態のウエハ搬送容器の蓋体構造を示すものである。なお、前記従来と同一乃至均等な部分については、同一符号を付して説明する。
【００３９】
まず、構成から説明すると、この実施の形態では、ウエハとしての薄板、例えば、半導体ウエハ１を、複数枚、収容して搬送するためのウエハ容器としての薄板搬送容器１０に、本発明に係る開閉構造１１を適用した実施例を示す。勿論、この開閉構造は、他の容器に適用可能である。
【００４０】
本発明に係る薄板搬送容器１０は、図１に示すように、上部に設けられた開口部３を有する有底箱状の容器本体２と、この容器本体の開口部３を密封的に閉鎖するため、挿脱着により、開閉塞可能とする上面視略方形形状の蓋体１４と、容器本体２の開口部３が密封的に閉鎖された状態で蓋体１４を、容器本体２に係止するための一対のロック機構１５とを備えている。
【００４１】
これらの容器本体２及び蓋体１４は、それぞれポリカーボネート、ポリブチレンテレフタレート及びポリエーテルエーテルケトンのような樹脂材料で成形されている。
【００４２】
また、容器本体２は、図１に示すように、平面が矩形状をなす底壁部１６と、この底壁部１６の周縁部から立ち上がる４つの側壁１７ａ，１７ａ及び１７ｂ，１７ｂ（図１には、４つの側壁１７ａ…のうち、隣接する２つの側壁１７ａ，１７ｂが示されている）とが、開口部３を囲むように立設されている。
【００４３】
このうち、前記底壁部１６及び前記側壁１７ｂ，１７ｂの下方の一部の内側壁面部には、断面略Ｖ字状を呈する収納溝部２ａ…が、複数本形成されている。
【００４４】
これらの収納溝部２ａ…は、前記各半導体ウエハ１…を、収納する際、各収納溝部２ａ内に、前記各半導体ウエハ１の下縁部１ａを、各々介装するように構成されている。
【００４５】
また、前記４つの側壁１７のうち、前記半導体ウエハ１が、並設される方向の両端部に位置して、互いに向かい合う一対の側壁部１７ａ，１７ａには、開口部３周縁で、四隅のコーナー部近傍には、左，右一対づつ、合計４箇所の係止孔３ａ，３ａ及び３ａ，３ａが、開口形成されている。
【００４６】
そして、これらの各係止孔３ａ，３ａ…に、それぞれ各ロック機構１５の各ロック部材２８，２８が、先端を挿抜可能に突入させることにより、前記蓋体１４を開放不能にロックするように構成されている。
【００４７】
また、各係止孔３ａは、図示の例では、各ロック部材２８の先端２８ａに形成された係止部３１が、挿入可能な大きさを有すると共に、容器本体２の開口部３の周縁に設けられたフランジ部１７ｃの下面側に連続して一体に成形されることによって、図１０に示すように、内周面の上縁部１８ａの面積が、他の側縁部及び下縁部の面積よりも広くなるように、設定されている。
【００４８】
蓋体１４は、容器本体２の開口部３内に嵌合可能な平板状の蓋本体２０を備える。
【００４９】
蓋本体２０の上面２０ａには、各ロック機構１５，１５を収容するための一対の凹所２１，２１が形成されている。
【００５０】
このロック機構１５は、主に、前記ロック部材２８，２８と、図１９に示すように、自動開閉装置７を用いて、前記蓋体１４の開閉塞動作を行う際、前記自動開閉装置７の図示省略のラッチキーが、差し込まれるキー溝３０ｄが形成されて、前記凹所２１の長手方向略中央に回動可能に設けられている回転板３０と、これらのロック部材２８，２８及び回転板３０との間を連結する一対のリンクアーム部材２９，２９とを有して、構成されている。
【００５１】
これらの各凹所２１，２１は、図１及び図２に示すように、平面視で、略矩形状を呈していて、後述するウエハ押さえ部材５が、設けられている中央部分に比して、断面形状で、一段低い位置に形成されている。
【００５２】
また、これらの各凹所２１，２１は、この蓋本体２０の略中央部の厚肉部２０ｂではない他の平板部分（例えば、図２中、網掛けが示されていない横方向補強大リブ部２０ｅ，２０ｅ及び２０ｆ…が形成されている平板部２０ｇ）と共に、他の平板部分を底面部に構成していて、この実施の形態では、約４ｍｍの厚さ方向の寸法ｄ１を有している。
【００５３】
また、これらの一対の凹所２１，２１間には、この蓋本体２０の内側面には、前記容器本体２内に収納された半導体ウエハ１…の上縁部１ｂ…に弾接して、保持するウエハ押さえ部材５が、設けられている。
【００５４】
このウエハ押さえ部材５は、この蓋本体２０の内側面から凸設された左，右一対の断面略フック状の被係合部１８，１８内に、係合保持される角棒状の一対の支持枠部５ｂ，５ｂが平行に配設されている。
【００５５】
これらの支持枠部５ｂ，５ｂ間には、複数本の橋状体５ｃ…が、一定間隔を置いて掛け渡されている。
【００５６】
この橋状体５ｃ…には、各々前記半導体ウエハ１に弾接される保持部５ａ，５ａと、前記一対の支持枠部５ｂ，５ｂとの間に、支持枠部５ｂ，５ｂの下面ａ側と略面一に水平に延設されると共に、一定の幅で、しかも、弾性変形可能な長さを有して架設される水平部５ｄ，５ｄが各々一体となるように設けられている。
【００５７】
そして、前記容器本体２内に収納される前記複数の半導体ウエハ１…の最大収納枚数、この実施の形態では、２５枚の半導体ウエハ１…が弾性支持可能とされるように、２５本の前記橋状体５ｃ…が、前記角棒状の支持枠部５ｂ，５ｂと一体に形成されている。
【００５８】
このうち、図１に示すように、前記保持部５ａが、前記水平部５ｄ，５ｄよりも下方に位置されていて、この水平部５ｄ，５ｄと、保持部５ａの外側端部との間が、立ち下がり部５ｅ，５ｅによって各々上下方向で連結されている。
【００５９】
また、この保持部５ａ，５ａを支持する円弧部５ｆ，５ｆは、左右一対形成されると共に、両円弧部５ｆ，５ｆ間が、上向きに凸状の中央連結部５ｇで一体に連結されている。
【００６０】
更に、この保持部５ａ，５ａが、前記容器本体２内に収納された半導体ウエハ１の上縁部１ｂに弾接して、保持するように、前記各収納溝部２ａ…に対応させて、前記円弧部５ｆ，５ｆの対向面側に形成されている。
【００６１】
そして、前記ウエハ押さえ部材５の設けられているこの蓋体本体２０の略中央部には、このウエハ押さえ部材５に対向して、この蓋体１４の蓋体本体２０の裏面側２０ａから、この蓋体本体２０の一般面である前記凹所２１等、他の平板部分の肉厚よりも、大きな寸法ｄ２の厚みを有する肉厚部２０ｂが、内側に凸となるように、厚さｄ２＝５ｍｍを有して、一体に形成されている。
【００６２】
このため、この実施の形態では、前記肉厚部２０ｂの厚さｄ２が、前記蓋体１４の他の平板部分の厚さｄ１よりも、１．２５倍、厚くなるように、構成されると共に、この肉厚部２０ｂの平面形状が、前記半導体ウエハ１…の並列方向で、この蓋体本体２０の略全幅で、しかも、前記被係合部１８，１８間に渡り、一定の幅Ｗを有する長方形面状を呈して、構成されている。
【００６３】
また、この蓋体本体２０の上面側２０ｃには、前記自動開閉装置７に設けられた真空吸着装置８の吸盤８ａ，８ａを各々吸着させる吸盤受け部９，９が形成されている。
【００６４】
この実施の形態の前記吸盤受け部９，９は、図３に示すように、前記蓋体本体２０の上面側２０ｃから各々高さ方向寸法ｄ３＝約１ｍｍを有して、他の部分よりも肉厚となるように一体に凸設されている。
【００６５】
しかも、この実施の形態では、これらの吸盤受け部９，９は、上面視で、対角上に一対設けられると共に、一部を前記肉厚部２０ｂと重複させて形成されている。
【００６６】
更に、この実施の形態では、前記肉厚部２０ｂのウエハ押さえ部材側側面である裏面側２０ａには、前記ウエハ部材１…の並列方向に沿って、長手方向が延設される縦リブ部としての中央リブ２０１及びこの中央リブ２０１と平行となるように、一定間隔を置いて設けられる左，右二対の縦リブ２０２…とが一体に設けられている。
【００６７】
また、この肉厚部２０ｂの裏面側２０ａには、これらの中央リブ２０１及び縦リブ２０２…と、直交して交差する横リブ部２０３とが、一体に設けられていて、格子状の補強部２００が、面状を呈して構成されている。
【００６８】
これらの縦リブ２０２…のうち、前記内側に位置して、左，右一対設けられた前記縦リブ２０２，２０２間の横リブ２０３…には、図３に示すように、これらの縦リブ２０２，２０２よりも低く形成された前記中央リブ２０１を跨いで、受け面部２０３ａが形成されている。
【００６９】
これらの受け面部２０３ａは、前記横リブ部２０３の傾斜した上面部２０３ｂ，２０３ｂと、これらの上面部２０３ｂ，２０３ｂ間に位置する前記中央リブ２０１の上面部２０ａとが一体となり、形成されていて、前記ウエハ押さえ部材５の中央連結部５ｇが、当接されて、所望の変形量で、面内，外方向の変形が、抑制されるように形成されている。
【００７０】
そして、開口部３への蓋本体２０の嵌合状態で、容器本体２の一対の側壁１７のうち一方の側壁１７に対向する蓋本体２０の縁部２０ｂから他方の側壁１７に対向する蓋本体２０の縁部２０ｃへ向けて延び、且つ、その伸長方向が両側壁１７間で互いに対向する各係止孔３ａを結ぶ線に沿うように、各々蓋本体２０に形成されている。
【００７１】
各凹所２１の蓋本体２０の内方側に位置する周壁２１ａには、図４に示すように、それぞれ後述するカバー部材２５の各係止爪２６が係止される一対の係止穴２２がそれぞれ形成されている。
【００７２】
また、各凹所２１の容器本体２の各側壁１７に対向する周壁２１ｂのそれぞれには、容器本体２の側壁１７に形成された各係止孔３ａに対応する位置で、ロック機構１５の後述する各ロック部材２８を挿通するようにした挿通孔２３が形成されている。
【００７３】
更に、各凹所２１の伸長方向の両端部２１ｃにおける底面２１ｄには、それぞれ後述する各ロック部材２８の直線的な移動を案内する一対のガイドレール２４が、各凹所２１の伸長方向に沿って延び且つその伸長方向に直角な方向へ互いに間隔をおいて形成されている。
【００７４】
蓋本体２０の下面には、その周縁に沿って延びる溝２０ｄが形成されており、この溝２０ｄ内には、蓋本体２０と容器本体２の開口部３との間をシールするための環状のガスケット４６が設けられている（図１０参照）。
【００７５】
このガスケット４６は、溝２０ｄ内に、この溝２０ｄの底面すなわち上面に間隔をおいて嵌合されるガスケット本体４６ａと、このガスケット本体４６ａから溝２０ｄの上面及び容器本体２の内方へ向けてそれぞれ延びる弾性変形可能な一対のシール部４６ｂ，４６ｂとを有する。
【００７６】
蓋体１４は、その蓋本体２０が容器本体２の開口部３に、ガスケット４６を介して嵌合されると共に、ロック機構による係止で、上下方向に押圧され、シール部４６ｂ，４６ｂが弾性変形することにより、容器本体２の開口部３が密封的に閉鎖されるように構成されている。
【００７７】
さらに、蓋体１４は、蓋本体２０に形成され各凹所２１を覆う一対のカバー部材２５を備える。各カバー部材２５は、図１に示すように、各凹所２１に沿って延びる板状部材からなり、各凹所の前記両端部２１ｃを開放するように各凹所２１を覆っている。
【００７８】
各カバー部材２５には、図５に示すように、各凹所２１に形成された各係止穴２２に係止される一対の弾性変形可能な係止爪２６，２６が形成されている。
【００７９】
各カバー部材２５は、各係止爪２６，２６が、各係止穴２２，２２に係止されることにより、蓋本体２０に固定される。
【００８０】
この実施の形態では、蓋本体２０の各凹所２１の開口縁部２１ｅには、各係止穴２２への各係止爪２６の係止を解除するための複数の解除用凹部２７が、形成されている（図４参照）。
【００８１】
各解除用凹部２７は、それぞれ各凹所２１の開口縁部２１ｅに、各係止穴２２に対応する位置で、各凹所２１の内方及び蓋本体２０の上方へ向けて開放するように形成されている。
【００８２】
また、この実施の形態では、各解除用凹部２７は、その内面が球面を有するように形成されており、その内径の大きさは、図示しない操作する者の指の挿入を許す大きさを有する。
【００８３】
各ロック機構１５は、図１に示すように、それぞれ容器本体２に係止される一対のロック部材２８，２８と、各ロック部材２８，２８に、一対のリンクアーム部材２９，２９を介して、それぞれ連結された回転板３０とを備えている。それぞれ一対のリンクアーム部材２９，２９及びロック部材２８，２８は、回転板の回動中心を挟んで、対称となるように、設けられている。
【００８４】
各ロック部材２８は、図６に示すように、横断面が矩形状をなす棒状部材からなり、その先端２８ａに、容器本体２に形成された各係止孔３ａに係止される係止部３１を有し、他端２８ｂに、リンクアーム部材２９に接続される円柱状の接続部３２を有する。
【００８５】
各係止部３１は、蓋本体２０に形成された各挿通孔２３及び容器本体２に形成された各係止孔３ａを挿通し、係止孔３ａに係止される。
【００８６】
各ロック部材２８，２８は、その軸線が各凹所２１の伸長方向に沿うように、各凹所の各ガイドレール２４，２４間に各々スライド摺動可能に配置されている。これにより、各ロック部材２８，２８は、それぞれ各ガイドレール２４に沿ってすなわち各凹所２１の伸長方向に沿って移動可能である。
【００８７】
各ロック部材２８，２８は、各ガイドレール２４に沿った直線状のスライド摺動により、その係止部３１，３１が、容器本体２の係止孔３ａ，３ａ内に挿入及び離脱されることにより、容器本体２に係止及び係止解除される。
【００８８】
各リンクアーム部材２９は、図７に示すように、横断面が矩形状をなす棒状部材からなり、その両端２９ａ，２９ｂには、各ロック部材２８及び回転板３０が接続される接続孔３３，３４が形成されている。
【００８９】
各ロック部材２８は、その接続部３２をリンクアーム部材２９の接続孔３３に挿入することにより、各リンクアーム部材２９に回動可能に接続される。
【００９０】
また、前記各回転板３０，３０は、図１及び図８，９に示すように、それぞれほぼ円形を有する板部材からなり、各凹所２１の中心部に回動可能に、回動中心となる軸孔３０ａを、凹所２１から突設される回動軸部２１ｆに軸支させて、配置されている。
【００９１】
この軸孔３０ａは、係止部３１，３１が、容器本体２の係止孔３ａ，３ａ内に挿入されて、係止されている位置間を結ぶ直線上に位置するように、設けられている。
【００９２】
各回転板３０の裏面３０ｅには、図８に示すように、各リンクアーム部材２９の接続孔３４に回動可能に挿入される円柱状の一対の接続部３５が形成されている。
【００９３】
各接続部３５は、それぞれ回転板３０の中心からその径方向外方へ互いに等間隔をおいて形成されている。各回転板３０は、その回転力を容器本体２に係止される係止方向へ向けての係止力又は容器本体２への係止が解除される解除方向へ向けての解除力として各ロック部材２８に各リンクアーム部材２９を介して作用させるように操作される。
【００９４】
これらの接続部３５，３５は、図１５中右側に示すように、係止部３１，３１が、容器本体２の係止孔３ａ，３ａ内に挿入されて、係止されている位置間を結ぶ直線上に存在するように、係止回動位置における位置が、設定されている。
【００９５】
図１５中左側に示すように、回転板３０の回転により、リンクアーム部材２９，２９に設けられた各接続孔３４，３４内で、これらの接続部３５，３５が回転しながら、ロック部材２８，２８を直線状に、スライド摺動させるように構成されている。
【００９６】
すなわち、これらの各ロック部材２８，２８、各リンクアーム部材２９，２９及び回転板３０で、従来よく知られたリンク機構が構成されている。
【００９７】
また、各回転板３０の裏面３０ｅには、図８に示すように、各回転板３０が回動した際、各ロック部材２８が容器本体２に係止されたとき及び容器本体２への各ロック部材２８の係止が解除されたときに、各リンクアーム部材２９が当接する当接部３６が形成されている。
【００９８】
これにより、各ロック部材２８が容器本体２に係止されたとき及び容器本体２への各ロック部材２８の係止が解除されたときに回転板３０の回動が規制される。
【００９９】
この結果、各ロック部材２８が容器本体２に係止される際の回転板３０の回動位置である係止回動位置と、容器本体２への各ロック部材２８の係止が解除される際の回転板３０の回動位置である解除回動位置とが規定される。
【０１００】
すなわち、各回転板３０は、係止回動位置と解除回動位置との間に回動可能であり、図示の例では、両回動位置間の回動角度は、例えば、約９０度に設定されている。
【０１０１】
各回転板３０の表面３０ｂには、図９に示すように、回転板３０を回転操作するための図示しない把手部材のような工具、例えば、自動開閉装置７のラッチキーが挿入されるキー溝３０ｄが形成されている。
【０１０２】
更に、本実施の形態では、各回転板３０の表面３０ｂに、各回転板３０の回動操作を手動で行う際に操作する者の指を挿入するための一対の指挿入口３７が形成されている。
【０１０３】
各凹所２１を覆うカバー部材２５には、図５に示すように、それぞれ回転板３０の回転時に各指挿入口３７が描く軌跡に沿って、円弧状の操作孔３８がそれぞれ形成されている。これにより、各凹所２１がカバー部材２５で覆われた状態で、各回転板３０の回転を操作する者の指で行うことができる。
【０１０４】
各回転板３０が一方向へ回転すると、各ロック部材２８は、各回転板３０から受ける係止力により係止方向へ押されることによって各ガイドレール２４に沿って移動され、各ロック部材２８の係止部３１が、容器本体２の各係止孔３ａに係止される。
【０１０５】
各係止部３１…が、各係止孔３ａに係止されることにより、蓋本体２０が開口部３に嵌合された状態で、容器本体２に対して、脱落不能にロックされる。
【０１０６】
また、各係止部３１が各係止孔３ａに係止された状態で、各回転板３０が他方向へ回転すると、各ロック部材２８は、各回転板３０から受ける解除力により解除方向へ引っ張られることによって各ガイドレール２４に沿って移動し、これにより、各係止孔３ａへの各係止部３１の係止が解除される。これにより、容器本体２への蓋体１４の係止が解除されるので、容器本体２から蓋体１４を取り外すことができ、容器本体２の開口部３を開放することができる。
【０１０７】
次に、この実施の形態のウエハ搬送容器の蓋体構造の作用について説明する。
【０１０８】
この実施の形態のウエハ搬送容器の蓋体構造では、図１に示すように、前記半導体ウエハ１の上縁部１ｂが、弾接されるウエハ押さえ部材５の設けられている部分に対向して、この蓋体１４の他の平板部分である凹所２１，２１の肉厚寸法ｄ１よりも、大きな厚み方向寸法ｄ２を有する肉厚部２０ｂが、この蓋体１４の蓋体本体２０の裏面側から、内側に凸となるように、一体に形成されている。
【０１０９】
特に、この実施の形態では、図３に示される様に、前記凹所２１の一般面との段差を埋める方向である図中上方に向けて、厚みを増すように凸とされている。
【０１１０】
このため、収納される半導体ウエハ１…の反力が、この肉厚部２０ｂで、効率よく受け止められて、膨出方向への撓み変形が抑制される。
【０１１１】
従って、前記自動開閉装置７を用いて、前記蓋体１４の開閉動作を行う際、前記ラッチキーを、前記回転板３０に形成されたキー溝３０ｄに、確実に係合させることが出来る。
【０１１２】
しかも、前記肉厚部２０ｂが、この蓋体１４の蓋体本体２０の裏面側から、内側に凸となるように、一体に形成されているので、自動開閉装置７による保持に必要とされる規格寸法内に収まり、規格変更の必要が無いため、製造コストの上昇を抑制できる。
【０１１３】
また、この自動開閉装置７に設けられた真空吸着装置８の吸盤８ａ，８ａが、前記蓋体本体２０の上面側２０ｃに形成された吸盤受け部９，９に、垂直に当接されて、確実に吸着させることが出来る。
【０１１４】
すなわち、前記吸盤受け部９，９は、前記肉厚部２０ｂが、凸となるように形成された前記蓋体本体２０の裏面側２０ａと反対側の上面側２０ｃに、この肉厚部２０ｂの影響を受けることなく、平坦状に形成出来る。
【０１１５】
特に、この実施の形態の前記吸盤受け部９，９は、図３に示すように、前記蓋体本体２０の上面側２０ｃから各々高さ方向寸法ｄ３＝約１ｍｍを有して、一体に凸設されていて、吸盤８ａ，８ａが吸着される吸着面の平面性を、更に、向上させている。
【０１１６】
このため、更に、安定させて、前記蓋体１４を、この自動開閉装置に保持させることができる。
【０１１７】
しかも、この実施の形態では、これらの吸盤受け部９，９が、上面視で、対角上に一対設けられると共に、一部を前記肉厚部２０ｂと重複させて形成されているので、両吸盤吸着面９，９間の撓み変形量も小さく、この点においても、この蓋体本体２０の略中央部の面内，外方向の膨出変形が、効率よく抑制され、前記ラッッチキーの係合不良や、吸盤８ａ，８ａの吸着不良の虞が減少される。
【０１１８】
また、前記肉厚部２０ｂの厚み方向寸法ｄ２が、前記蓋体本体２０の他の平板部分である凹所２１等の厚み方向寸法ｄ１＝４ｍｍよりも、１．２５倍の厚みであるｄ２＝５ｍｍに設定されている。
【０１１９】
このため、蓋体本体２０の厚み方向の寸法を、大きく増大させること無く、しかも、裏面側２０ａに厚みを増すように凸として、蓋体１４の変形を、効率的に抑制できるので、自動開閉装置７を用いる際の規格寸法を変更する必要が無く、設計変更に伴う製造コストの増大や、材料費の増大を抑制できる。
【０１２０】
更に、前記肉厚部２０ｂのウエハ押さえ部材側側面である裏面側２０ａに格子状の補強部２００が、一体に設けられている。
【０１２１】
この補強リブ２００は、前記ウエハ部材１…の並列方向に沿って、延設される前記中央リブ２０１及び縦リブ２０２…と、直交して交差する横リブ部２０３とが、一体に設けられて、縦横方向に所定の面積を有するように、面状を呈して、補強が行われるように構成されている。
【０１２２】
従って、縦，横両方向に延設された各中央リブ２０１及び縦リブ２０２…と、直交して交差する横リブ部２０３とによって、縦方向曲げ剛性のみだけでなく、横方向である半導体ウエハ１…の配列方向と直交する方向に加わる反力による歪みも、横方向曲げ剛性を向上させることにより、抑制されて、この蓋体本体２０の略中央部の面内，外方向の膨出変形が、効率よく抑制される。
【０１２３】
また、この実施の形態では、前記中央リブ２０１及び縦リブ２０２…と、直交して交差する横リブ部２０３…が、一体に形成されていて、これらの横リブ部２０３…に、各々前記ウエハ押さえ部材５の中央連結部５ｇが当接される受け面部２０３ａ…が設けられている。
【０１２４】
このため、これらの受け面部２０３ａ…で、受け止められた前記半導体ウエハ１の反力が、この横リブ部２０３…の両側に形成される一対二組の両縦リブ部２０２，２０２…に分散されて伝達されることにより、蓋体本体２０の両側縁方向へ逃がされる。
【０１２５】
従って、この実施の形態の蓋体本体２０のように、左，右に前記ロック機構１５，１５を収納する凹所２１，２１が形成されていても、半導体ウエハ１…の並列方向と直交する曲げ応力も、効率良く、この蓋体本体２０の略中央部から、両側縁方向へ分散させて受け止め、面内，外方向の膨出変形を、抑制することができる。
【０１２６】
更に、この実施の形態では、図３に示されるように、ウエハ押さえ部材５が、設けられている中央部分が、前記断面形状で、一段低い位置に形成されている凹所２１，２１の一般面よりも、一段高く構成されていて、前記補強部を構成する肉厚部２０ｂの突出方向が、
内側から凸となるように、この段差を縮小する方向に向けて増厚されている。
【０１２７】
このため、増厚部分が、最も変形量が大きい部分に位置して、更に、有効に、この蓋体本体２０の略中央部の面内，外方向の膨出変形を、抑制することができる。
【実施例１】
【０１２８】
図１７及び図１８は、この発明の実施の形態の実施例１のウエハ搬送容器の蓋体構造を示すものである。
【０１２９】
なお、前記実施の形態のウエハ搬送容器の蓋体構造と同一乃至均等な部分については、同一符号を付して説明する。
【０１３０】
この実施例１の蓋体２１４では、前記実施の形態の格子状の補強部２００に代えて、補強部３００が形成されている。
【０１３１】
この補強部３００は、前記肉厚部２０ｂのウエハ押さえ部材側側面である裏面側２０ａには、前記ウエハ部材１…の並列方向に沿って、長手方向が延設される縦リブ部としての左，右一対の幅広縦リブ３０１，３０１が一体に設けられている。
【０１３２】
また、この肉厚部２０ｂの裏面側２０ａには、これらの幅広縦リブ３０１，３０１間を接続するように、これらの幅広縦リブ３０１，３０１と、直交して交差する横リブ部３０２…が、一定間隔を置いて、格子状に設けられて、これらの幅広縦リブ３０１，３０１と、横リブ部３０２とによって、前記補強部３００が、面状を呈して、主に構成されている。
【０１３３】
これらの横リブ３０２…には、図１７に示すように、谷状に傾斜した受け面部３０２ａ…が、各々形成されている。
【０１３４】
これらの受け面部３０２ａには、前記ウエハ押さえ部材５の中央連結部５ｇが当接されて、所望の変形量で、面内，外方向の変形が、抑制されるように形成されている。
【０１３５】
前記蓋体２１４の上面部２０ｃには、前記幅広縦リブ３０１，３０１に対応して、凹状の肉盗みを構成する凹部３０３…が、一列に複数個、凹設形成されている。
【０１３６】
次に、この実施例１のウエハ搬送容器の蓋体構造の作用効果について説明する。
【０１３７】
この実施例１では、前記実施の形態のウエハ搬送容器の蓋体構造の作用効果に加えて、更に、前記幅広縦リブ３０１，３０１と、直交して交差する横リブ部３０２…が、一体に形成されていて、これらの横リブ部３０２…に、各々前記ウエハ押さえ部材５の中央連結部５ｇが当接される受け面部３０２ａ…が設けられている。
【０１３８】
このため、これらの受け面部３０２ａ…で、受け止められた前記半導体ウエハ１の反力が、この横リブ部３０２…の両側に形成される一対の幅広縦リブ部３０１，３０１に分散されて、蓋体本体３２０の両側縁方向へ逃がされる。
【０１３９】
従って、効率よく、この蓋体本体３２０の略中央部の面内，外方向の膨出変形が、抑制される。
【０１４０】
他の構成、及び作用効果については、前記実施の形態と同一乃至均等であるので、説明を省略する。
【０１４１】
以上、図面を参照して、本発明の実施の形態及び実施例１を詳述してきたが、具体的な構成は、この実施の形態に限らず、本発明の要旨を逸脱しない程度の設計的変更は、本発明に含まれる。
【０１４２】
即ち、前記実施の形態及び実施例１では、前記ウエハ押さえ部材５の設けられている部分に対向して、この蓋体１４の蓋体本体２０の裏面側２０ａには、この蓋体本体２０の一般面である前記凹所２１等、他の平板部分の肉厚よりも、大きな寸法ｄ２の厚みを有する肉厚部２０ｂが、この蓋体裏面側から、内側に凸となるように、厚さｄ２＝５ｍｍを有して、一体に形成されているが、特にこれに限らず蓋体の一般面よりも肉厚となるのであれば、１．０１倍〜５倍、好ましくは、１．２５倍〜２．０倍となるように構成されていてもよい。
【０１４３】
更に、前記肉厚部２０ｂは、前記被係合部１８，１８間に渡り、一定の幅Ｗを有する長方形面状を呈して、構成されているが、特にこれに限らず、例えば、長円型若しくは、多角形形状等、前記ウエハ押さえ部材５の設けられている部分に対向して、前記蓋体本体２０の他の平板部分の肉厚よりも、厚みを有し、蓋体本体２０の裏面側２０ａから、内側に凸となるように、一体に形成するものであれば、特に平面視の形状、寸法及び材質が限定されるものではない。
【０１４４】
また、前記実施の形態及び実施例１では、ウエハ押さえ部材５が、ポリエステル系の熱可塑性エラストマーが用いられて構成されているが、オレフィン系、スチレン系等の他の各種熱可塑性エラストマー及びこれらの複合物等であっても良く、また、ＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）等によって構成されていても、弾性変形可能な長さを有して架設される水平部を各々設けるものであれば良く、材質が特に限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【０１４５】
【図１】この発明の最良の実施の形態のウエハ搬送容器の蓋体構造で、全体の構成を説明する分解斜視図である。
【図２】実施の形態のウエハ搬送容器の蓋体構造で、蓋体の裏面側の構成を説明する中央リブ部に沿った位置での一部断面斜視図である。
【図３】実施の形態のウエハ搬送容器の蓋体構造で、蓋体の裏面側の構成を説明する図２中Ａ−Ａ線に沿った位置での断面図である。
【図４】実施の形態のウエハ搬送容器の蓋体構造で、蓋体本体の構成を説明する斜視図である。
【図５】実施の形態のウエハ搬送容器の蓋体構造で、カバー部材の構成を説明する斜視図である。
【図６】実施の形態のウエハ搬送容器の蓋体構造で、ロック部材の構成を説明する斜視図である。
【図７】実施の形態のウエハ搬送容器の蓋体構造で、リンクアーム部材の構成を説明する斜視図である。
【図８】実施の形態のウエハ搬送容器の蓋体構造で、回転板の裏面側の構成を説明する斜視図である。
【図９】実施の形態のウエハ搬送容器の蓋体構造で、回転板の上面側の構成を説明する斜視図である。
【図１０】実施の形態のウエハ搬送容器の蓋体構造で、蓋体を装着する様子を説明する要部の断面図である。
【図１１】実施の形態のウエハ搬送容器の蓋体構造で、蓋体を装着する際、ロック機構のロック部材のスライド移動を開始する様子を説明する要部の断面図である。
【図１２】実施の形態のウエハ搬送容器の蓋体構造で、蓋体を装着する際、ロック機構でロックする様子を説明する要部の断面図である。
【図１３】実施の形態のウエハ搬送容器の蓋体構造で、蓋体を装着する際、ロック機構でロックを開始する様子を説明する要部の断面図である。
【図１４】実施の形態のウエハ搬送容器の蓋体構造で、蓋体を装着する際、ロック機構でロックした様子を説明する要部の断面図である。
【図１５】実施の形態のウエハ搬送容器の蓋体構造で、蓋体を装着する様子を説明し、図中左側が、ロック解除状態、右側が、ロック状態を説明する蓋体の上面図である。
【図１６】実施の形態のウエハ搬送容器の蓋体構造で、蓋体の構成を説明する分解側面図である。
【図１７】実施の形態の実施例１のウエハ搬送容器の蓋体構造で、蓋体本体の裏面側の構成を説明する中央での一部断面斜視図である。
【図１８】実施の形態の実施例１のウエハ搬送容器の蓋体構造で、蓋体本体の上面側の構成を、中央で切断した斜視図である。
【図１９】従来例のウエハ搬送容器の蓋体構造で、自動開閉装置を用いた動作を説明する模式的な側面図である。
【図２０】従来例のウエハ搬送容器の蓋体構造で、容器本体内部に、ウエハが収納された状態での自動開閉装置を用いた保持動作を説明する模式的な側面図である。
【符号の説明】
【０１４６】
１              半導体ウエハ（ウエハ）
１ａ            下縁部
１ｂ            上縁部
２              容器本体
３              開口部
３ａ            係止孔
１０            薄板搬送容器
１４，２１４    蓋体
２０            蓋体本体
２０ａ          裏面側
２０ｂ          肉厚部
２８            ロック部材
２００，３００  補強部
２０１          中央リブ（縦リブ部）
２０２          縦リブ（縦リブ部）
２０３          横リブ
２０３ａ，３０２ａ  受け面部
３０１          幅広縦リブ（縦リブ部）
３０２          横リブ（横リブ部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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