(57)【要約】【課題】基板と長尺状感光性ウエブとを均一な加圧力で圧着し、皺やむらのない高品質な感光性積層体を製造することのできる感光性積層体の製造装置を提供する。【解決手段】ガラス基板２４の幅方向両端部に対して、ゴムローラ８０ａ、８０ｂに被覆されたゴム８３ａ、８３ｂの両端部を距離ｄ＝５〜３０ｍｍの範囲で外側に配置し、且つ、バックアップローラ８２ａ、８２ｂをクラウン形状とし、バックアップローラ８２ａ、８２ｂを介してゴムローラ８０ａ、８０ｂにより感光性ウエブ２２ａ、２２ｂ及びガラス基板２４を加圧することにより、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの感光性樹脂層をガラス基板２４に貼り付ける。【選択図】図４
2008132776.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、支持体上に感光材料層が設けられた長尺状感光性ウエブとを同期させて一対の圧着ローラ間に送り出し、一対のバックアップローラによってバックアップされる前記一対の圧着ローラにより前記感光材料層を前記基板に貼り付けて感光性積層体を製造する製造装置において、
前記一対のバックアップローラの少なくとも一方がクラウン形状に形成され、前記一対の圧着ローラ及び前記一対のバックアップローラが前記基板の幅よりも長尺に形成され、前記一対の圧着ローラの両端部又は前記一対のバックアップローラの両端部が、前記基板の幅方向両端部よりも５〜３０ｍｍの範囲で外側となるように設定されることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
【請求項２】
請求項１記載の製造装置において、
前記バックアップローラの最大半径と最小半径との差であるクラウン量が、０．３〜１．５ｍｍの範囲に設定されることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
【請求項３】
請求項２記載の製造装置において、
前記クラウン量が、０．５〜０．８ｍｍの範囲に設定されることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
【請求項４】
請求項１〜３記載の製造装置において、
前記一対の圧着ローラは、軸体の外周部にゴムを被覆したゴムロールであることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
【請求項５】
請求項４記載の製造装置において、
前記ゴムの厚さが、０．５〜３．０ｍｍの範囲に設定されることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
【請求項６】
請求項１記載の製造装置において、
前記一対の圧着ローラの両端部側の前記基板に接触しない範囲のうち、前記基板から離間する部位には、前記各圧着ローラの直径を前記基板に接触する部分よりも小さく設定した段差が設けられることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板と、支持体上に感光材料層が設けられた長尺状感光性ウエブとを同期させて一対の圧着ローラ間に送り出し、一対のバックアップローラによってバックアップされる前記一対の圧着ローラにより前記感光材料層を前記基板に貼り付けて感光性積層体を製造する製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、ＰＤＰパネル用基板では、感光性樹脂層（感光材料層）を有する感光性シート体（感光性ウエブ）を基板表面に貼り付けて構成されている。感光性シート体は、可撓性プラスチック支持体上に感光性樹脂層と保護フイルムとが、順次、積層されている。
【０００３】
この種の感光性シート体の貼り付けに使用される製造装置は、通常、ガラス基板や樹脂基板等の基板を所定の間隔ずつ離間させて搬送するとともに、前記基板に貼り付けられる感光性樹脂層の範囲に対応して、前記感光性シート体から保護フイルムを剥離する方式が採用されている。
【０００４】
例えば、特許文献１に開示されている製造装置では、図１１に示すように、フイルムロール１から繰り出された積層体フイルム（感光性シート体）１ａが、ハーフカッタ２を構成するディスクカッタ２ａにより、フイルム搬送方向に所定距離離間した２個所の位置で支持体を残してフイルム幅方向に切断される。次いで、ラベル接着機構３により、切断された前後のカバーフイルム（保護フイルム）にラベルが接着された後、積層体フイルム１ａがサクションドラム４に供給される。サクションドラム４に供給された積層体フイルム１ａからは、ラベルによって接続されたカバーフイルムが、切断部分によって分離される所定の残存部分を残して連続的に剥離され、カバーフイルムロール５に巻き取られる。
【０００５】
カバーフイルムの一部が剥離された積層体フイルム１ａは、一対の圧着ローラ６ａ、６ｂ間に供給される。この場合、圧着ローラ６ａ、６ｂは、それぞれバックアップローラ７ａ、７ｂによって押圧されている。また、圧着ローラ６ａ、６ｂ間には、基板８が供給される。この結果、圧着ローラ６ａ、６ｂ間において、積層体フイルム１ａに積層された感光性樹脂層が基板８に圧着され、感光性積層体が形成される。なお、圧着ローラ６ａ、６ｂの外周部には、均一な圧着圧力を積層体フイルム１ａ及び基板８に付与するため、ゴムが被覆されている。
【０００６】
ところで、基板８に対して積層体フイルム１ａを圧着させる際、高品質な感光性積層体を製造するためには、圧着ローラ６ａ、６ｂの長手方向に沿って均一な圧力を付与する必要があり、特許文献１では、圧着ローラ６ａ、６ｂに対して剛性の高いバックアップローラ７ａ、７ｂを押圧させている。
【０００７】
この場合、図１２に示すように、バックアップローラ７ａ、７ｂは、その両端部を矢印方向に変位させることで圧着ローラ６ａ、６ｂに押圧されるため、バックアップローラ７ａ、７ｂの外周形状が軸線方向に対して直線状であるとすると、バックアップローラ７ａ、７ｂの変形の影響により、図１３に示すように、バックアップローラ７ａ、７ｂの両端部に対応する基板８の幅方向両端部におけるＡ１点及びＡ２点での圧力が中央部分よりも高くなってしまう。
【０００８】
一方、圧着ローラ６ａ、６ｂに付与される圧力の不均一を回避するため、バックアップローラ７ａ、７ｂの外周形状を、中央部分の直径よりも両端部分の直径が小さくなるクラウン形状とした技術が提案されている（特許文献２参照）。
【０００９】
しかしながら、バックアップローラ７ａ、７ｂをクラウン形状にしたとしても、基板８の幅と圧着ローラ６ａ、６ｂの長さとが、図１２に示すように、略同一に設定されていると、圧着ローラ６ａ、６ｂに対する基板８の位置が蛇行等によって変動したとき、圧着ローラ６ａ、６ｂの端部が基板８上を押圧して過大な圧力が付与され、あるいは、圧着ローラ６ａ、６ｂにより押圧されない部分が生じるため、基板８に加わる圧力にむらが生じてしまう。また、基板８の幅方方向の端部に圧着ローラ６ａ、６ｂが押圧されることで、当該端部に過大な圧力が付与され、基板８が損傷してしまうおそれもある。
【００１０】
【特許文献１】特開２００６−２３４０７号公報
【特許文献２】特開２００６−２９７８８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、この種の問題を解決するものであり、基板と長尺状感光性ウエブとを均一な加圧力で圧着し、皺やむらのない高品質な感光性積層体を製造することができ、また、基板を損傷することのない感光性積層体の製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、基板と、支持体上に感光材料層が設けられた長尺状感光性ウエブとを同期させて一対の圧着ローラ間に送り出し、一対のバックアップローラによってバックアップされる前記一対の圧着ローラにより前記感光材料層を前記基板に貼り付けて感光性積層体を製造する製造装置において、
前記一対のバックアップローラの少なくとも一方がクラウン形状に形成され、前記一対の圧着ローラ及び前記一対のバックアップローラが前記基板の幅よりも長尺に形成され、前記一対の圧着ローラの両端部又は前記一対のバックアップローラの両端部が、前記基板の幅方向両端部よりも５〜３０ｍｍの範囲で外側となるように設定されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明では、基板と長尺状感光性ウエブとを均一な加圧力で圧着することができるため、長尺状感光性ウエブに皺が発生することがなく、また、筋むらや濃度むらが生じることがないため、高品質な感光性積層体を製造することができる。また、基板に対して過大な圧力が付与されることがないため、基板を損傷するおそれもない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
図１は、本発明の第１の実施形態に係る感光性積層体の製造装置２０の概略構成図であり、この製造装置２０は、液晶又は有機ＥＬ用カラーフィルタ等の製作工程で、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの各感光性樹脂層２８（後述する）を並列してガラス基板２４に熱転写する作業を行う。感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、それぞれ所定の幅寸法に設定されており、例えば、前記感光性ウエブ２２ａが前記感光性ウエブ２２ｂよりも幅広に構成されている。
【００１５】
図２は、製造装置２０に使用される感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの断面図である。この感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、可撓性ベースフイルム（支持体）２６と、感光性樹脂層（感光材料層）２８と、保護フイルム３０とを積層して構成される。
【００１６】
図１に示すように、製造装置２０は、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂをローラ状に巻回した２本（２本以上であればよい）の感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂを収容し、各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂから前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを同期して送り出し可能な第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂと、送り出された各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの保護フイルム３０に幅方向に切断可能な境界位置であるハーフカット部位（加工部位）３４を形成する第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂと、一部に非接着部３８ａを有する接着ラベル３８（図３参照）を各保護フイルム３０に接着させる第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂとを備える。
【００１７】
第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂの下流には、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂをタクト送りから連続送りに変更するための第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂと、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから保護フイルム３０を所定の長さ間隔で剥離させる第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂと、ガラス基板２４を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に搬送する基板搬送機構４５と、前記保護フイルム３０の剥離により露出した感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に一体的且つ並列に貼り付ける貼り付け機構４６とが配設される。
【００１８】
貼り付け機構４６における貼り付け位置の上流近傍には、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの境界位置であるそれぞれのハーフカット部位３４を直接検出する第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂが配設される。
【００１９】
第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂの下流近傍には、略使用済みの感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの後端と、新たに使用される感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの先端とを貼り付けるそれぞれの貼り付け台４９が配設される。貼り付け台４９の下流には、感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂの巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端末位置検出器５１が配設される。ここで、フイルム端末位置調整は、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂを幅方向に移動させて行うが、ローラを組み合わせた位置調整機構を付設して行ってもよい。なお、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂは、感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂを装填して感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを繰り出す繰り出し軸を、２軸又は３軸等の多軸に構成してもよい。
【００２０】
第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂに収容巻回されている各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂのロール径を算出するためのローラ対５０の下流に配置される。第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、それぞれ単一の丸刃５２を備え、この丸刃５２は、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に走行して前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの所定の位置にハーフカット部位３４を形成する。
【００２１】
図２に示すように、ハーフカット部位３４は、少なくとも保護フイルム３０を切断する必要があり、実際上、この保護フイルム３０を確実に切断するために感光性樹脂層２８乃至ベースフイルム２６まで切り込むように丸刃５２の切り込み深さが設定される。丸刃５２は、回転することなく固定された状態で、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に移動してハーフカット部位３４を形成する方式や、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂ上を滑ることなく回転しながら前記幅方向に移動して前記ハーフカット部位３４を形成する方式が採用される。このハーフカット部位３４は、丸刃５２に代替して、例えば、レーザ光や超音波を用いたカット方式の他、ナイフ刃、押し切り刃（トムソン刃）等で形成する方式を採用してもよい。
【００２２】
なお、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、それぞれ感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの搬送方向（矢印Ａ方向）に所定の距離だけ離間して２台配設し、保護フイルム３０の残存部分３０ｂ（図２）を挟んで２つのハーフカット部位３４を同時に形成してもよい。
【００２３】
ハーフカット部位３４は、例えば、両側の前記ガラス基板２４にそれぞれ１０ｍｍずつ入り込んだ位置に設定される。ガラス基板２４間のハーフカット部位３４で挟まれた部分は、後述する貼り付け機構４６において感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。
【００２４】
第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂは、ガラス基板２４間に対応して保護フイルム３０の残存部分３０ｂを残すため、剥離側前方の剥離部分３０ａａと剥離側後方の剥離部分３０ａｂとを連結する接着ラベル３８を供給する。図２に示すように、保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを挟んで、先に剥離される部分を前方の剥離部分３０ａａとする一方、後に剥離される部分を後方の剥離部分３０ａｂとする。
【００２５】
図３に示すように、接着ラベル３８は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム３０と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル３８は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部（微粘着を含む）３８ａを有するとともに、この非接着部３８ａの両側、すなわち、前記接着ラベル３８の長手方向両端部に、前方の剥離部分３０ａａに接着される第１接着部３８ｂと、後方の剥離部分３０ａｂに接着される第２接着部３８ｃとを有する。
【００２６】
図１に示すように、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂは、それぞれ最大７枚の接着ラベル３８を所定間隔ずつ離間して貼り付け可能な吸着パッド５４ａ〜５４ｇを備えるとともに、前記吸着パッド５４ａ〜５４ｇによる前記接着ラベル３８の貼り付け位置には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを下方から保持するための受け台５６が昇降自在に配置される。
【００２７】
第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂは、上流側の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのタクト搬送と、下流側の前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの連続搬送との速度差を吸収するために、矢印方向に揺動自在なダンサーローラ６０を備える。第２リザーバ機構４２ｂには、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂから送り出される各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが貼り付け機構４６に至るまでの各搬送路長を同一に調整するためのダンサーローラ６１が配設される。
【００２８】
第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂの下流に配置される第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂは、それぞれ感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの送り出し側のテンション変動を遮断し、ラミネート時のテンションを安定化させるためのサクションドラム６２を備える。各サクションドラム６２の近傍には、剥離ローラ６３が配置されるとともに、この剥離ローラ６３を介して感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから鋭角の剥離角で剥離される保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを除いてそれぞれ保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる。
【００２９】
第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂの下流側には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂにテンションを付与可能な第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂが配設される。第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂは、それぞれシリンダ６８を備え、前記シリンダ６８の駆動作用下に、それぞれテンションダンサー７０が揺動変位することにより、各テンションダンサー７０が摺接する感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのテンションが調整可能である。なお、第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂは、必要に応じて使用すればよく、削除することもできる。
【００３０】
第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂは、レーザセンサやフォトセンサ等の光電センサ７２ａ、７２ｂを備えており、前記光電センサ７２ａ、７２ｂは、ハーフカット部位３４の楔状の溝形状部や、保護フイルム３０の厚さによる段差、あるいは、これらの組み合わせによる変化を直接検出し、この検出信号を境界位置信号とする。光電センサ７２ａ、７２ｂは、バックアップローラ７３ａ、７３ｂに対向して配置される。なお、光電センサ７２ａ、７２ｂに代えて、非接触変位計やＣＣＤカメラ等の画像検査手段等を用いてもよい。
【００３１】
第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂにより検出されるハーフカット部位３４の位置データは、リアルタイムで統計処理及びグラフ化が可能であり、ばらつき異常や偏りの発生時に警報を出すことができる。
【００３２】
また、ハーフカット部位３４を直接検出するのではなく、このハーフカット部位３４に対応して第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂの近傍で孔部や切り欠きを形成したり、レーザ加工やアクアジェット加工による孔開けや切り込みを設けたり、インクジェットやプリンタ等によるマーキングを設けたりしてマーク部を形成し、このマーク部を検出して境界位置信号としてもよい。
【００３３】
基板搬送機構４５は、ガラス基板２４を挟持するように配設される複数組の基板加熱部（例えば、ヒータ）７４と、このガラス基板２４を矢印Ｃ方向に搬送する搬送部７６とを備える。基板加熱部７４では、ガラス基板２４の温度を常時監視し、異常時には、搬送部７６の停止や警報を発生するとともに、異常情報を発信して異常なガラス基板２４を後工程でＮＧ排出、品質管理又は生産管理等に活用することができる。搬送部７６には、図示しないエア浮上プレートが配設され、ガラス基板２４が浮上されて矢印Ｃ方向に搬送される。ガラス基板２４の搬送は、ローラコンベアでも行える。
【００３４】
ガラス基板２４の温度測定は、基板加熱部７４内又は貼り付け位置直前で行うことが好ましい。測定方法としては、接触式（例えば、熱電対）の他、非接触式であってもよい。
【００３５】
基板加熱部７４の上流には、複数のガラス基板２４が収容される基板ストッカー７１が設けられる。この基板ストッカー７１に収容されている各ガラス基板２４は、ロボット７５のハンド部７５ａに設けられた吸着パッド７９に吸着されて取り出され、基板加熱部７４に挿入される。
【００３６】
貼り付け機構４６は、上下に配設されるとともに、所定温度に加熱されるゴムローラ（圧着ローラ）８０ａ、８０ｂを備える。ゴムローラ８０ａ、８０ｂには、バックアップローラ８２ａ、８２ｂが摺接する。一方のバックアップローラ８２ｂは、ローラクランプ部８３を構成する加圧シリンダ８４ａ、８４ｂによりゴムローラ８０ｂ側に押圧される。
【００３７】
ゴムローラ８０ａの近傍には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが前記ゴムローラ８０ａに接触することを防止するための接触防止ローラ８６が移動可能に配設される。貼り付け機構４６の上流近傍には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを予め所定温度に予備加熱するための予備加熱部８７が配設される。この予備加熱部８７は、例えば、赤外線バーヒータ等の加熱手段を備える。
【００３８】
ここで、貼り付け機構４６を構成するゴムローラ８０ａ、８０ｂ及びバックアップローラ８２ａ、８２ｂは、図４に示すように構成される。
【００３９】
ゴムローラ８０ａ、８０ｂは、外周形状が軸線方向に直線状となる軸体８１ａ、８１ｂの外周部の所定範囲にゴム８３ａ、８３ｂを被覆して構成される。この場合、ゴム８３ａ、８３ｂが被覆される範囲は、ガラス基板２４の搬送方向と直交する幅方向の両端部から距離ｄ＝５〜３０ｍｍだけ外側となるように設定される。また、ゴム８３ａ、８３ｂの厚さｅは、０．５〜３．０ｍｍの範囲に設定される。
【００４０】
バックアップローラ８２ａ、８２ｂは、両端部から中央部にかけて直径が徐々に大きくなるクラウン形状に形成される。バックアップローラ８２ａ、８２ｂのクラウン量ｃは、バックアップローラ８２ａ、８２ｂの中央部の最大直径をｂ、両端部の最小直径をａとしたとき、ｃ＝（ｂ−ａ）／２として定義される。クラウン量ｃは、０．３〜１．５ｍｍの範囲、より好ましくは、０．５〜０．８ｍｍの範囲に設定される。
【００４１】
ガラス基板２４は、貼り付け機構４６から矢印Ｃ方向に延在する搬送路８８を介して搬送される。この搬送路８８には、フイルム搬送ローラ９０ａ、９０ｂ及び基板搬送ローラ９２が配設される。ゴムローラ８０ａ、８０ｂと基板搬送ローラ９２との間隔は、ガラス基板２４の一枚分の長さ以下に設定されることが好ましい。基板搬送ローラ９２の下流側近傍には、搬送されたガラス基板２４の先端部を検知する基板先端検知センサ９４が配設される。
【００４２】
また、基板搬送ローラ９２の下流には、冷却機構１２２とベース自動剥離機構１４２とが設けられる。ベース自動剥離機構１４２は、所定間隔ずつ離間する各ガラス基板２４に貼り付けられている長尺なベースフイルム２６を連続して剥離するものであり、プレ剥離部１４４と、比較的小径な剥離ローラ１４６と、巻き取り軸１４８と、自動貼り付け機１５０とを備えている。巻き取り軸１４８は、駆動時にトルク制御してベースフイルム２６に張力を付与する一方、例えば、剥離ローラ１４６に張力検出器（図示せず）を設けることにより、張力のフィードバック制御を行うことが好ましい。プレ剥離部１４４は、ガラス基板２４間で昇降可能な剥離バー１５６を備える。
【００４３】
ベース自動剥離機構１４２の下流には、ガラス基板２４に実際に貼り付けられた感光性樹脂層２８のエリア位置を測定する測定器１５８が配設される。この測定器１５８は、例えば、感光性樹脂層２８が貼り付けられたガラス基板２４を撮影するＣＣＤ等のカメラ１６０を備える。
【００４４】
また、ベース自動剥離機構１４２の下流には、測定器１５８によって感光性樹脂層２８にエリア位置の測定された複数の感光性積層体１０６が収容される感光性積層体ストッカー１３２が設けられる。ベース自動剥離機構１４２でベースフイルム２６及び残存部分３０ｂが剥離された感光性積層体１０６は、ロボット１３４のハンド部１３４ａに設けられた吸着パッド１３６に吸着されて取り出され、感光性積層体ストッカー１３２に収容される。
【００４５】
なお、以上のように構成される製造装置２０では、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂ、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂ、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂ、第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂ、第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂ、第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂ並びに第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂが、貼り付け機構４６の上方に配置されているが、これとは逆に、前記第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂから前記第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂまでを前記貼り付け機構４６の下方に配置し、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの上下が逆になって感光性樹脂層２８がガラス基板２４の下側に貼り付けてもよく、また、前記製造装置２０全体を直線状に構成してもよい。
【００４６】
図１に示すように、製造装置２０は、ラミネート工程制御部１００により全体が制御されており、この製造装置２０の各機能部毎に、例えば、ラミネート制御部１０２、基板加熱制御部１０４及びベース剥離制御部１０８等が設けられ、これらが工程内ネットワークにより相互に接続されている。さらに、ラミネート工程制御部１００は、工場ネットワークに接続されており、図示しない工場ＣＰＵからの指示情報（条件設定や生産情報）の生産管理や稼動管理等、生産のための情報処理を行う。
【００４７】
基板加熱制御部１０４は、上流工程からガラス基板２４を受け入れ、このガラス基板２４を所望の温度まで加熱して貼り付け機構４６に供給する動作及び該ガラス基板２４の情報のハンドリング等を制御する。
【００４８】
ラミネート制御部１０２は、工程全体のマスターとして、各機能部の制御を行うものであり、第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂにより検出された感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのハーフカット部位３４の位置情報に基づいて、貼り付け位置における各境界位置とガラス基板２４との相対位置及び各境界位置同士の相対位置を制御可能な制御機構を構成している。
【００４９】
ベース剥離制御部１０８は、ガラス基板２４に貼り付けられた感光性ウエブ２２ａ、２２ｂからベースフイルム２６を剥離し、感光性積層体１０６として下流に搬送する動作制御を行うとともに、前記感光性積層体１０６の情報をハンドリング制御する。
【００５０】
製造装置２０内は、仕切り壁１１０を介して第１クリーンルーム１１２ａと第２クリーンルーム１１２ｂとに仕切られる。第１クリーンルーム１１２ａには、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂから第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂまでが収容されるとともに、第２クリーンルーム１１２ｂには、第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂ以降が収容される。第１クリーンルーム１１２ａと第２クリーンルーム１１２ｂとは、貫通部１１４を介して連通する。
【００５１】
次に、以上のように構成される製造装置２０の動作及び作用効果について説明する。
【００５２】
先ず、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂに取り付けられている各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂから感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが送り出される。感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂに搬送される。
【００５３】
第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂでは、丸刃５２が感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に移動して、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを保護フイルム３０から感光性樹脂層２８乃至ベースフイルム２６まで切り込んでハーフカット部位３４を形成する（図２参照）。さらに、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、図１に示すように、保護フイルム３０の残存部分３０ｂの寸法に対応して矢印Ａ方向に搬送された後に停止され、丸刃５２の走行作用下にハーフカット部位３４が形成される。これにより、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂには、残存部分３０ｂを挟んで前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとが設けられる（図２参照）。
【００５４】
次いで、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂに搬送されて、保護フイルム３０の所定の貼り付け部位が受け台５６上に配置される。第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂでは、所定枚数の接着ラベル３８が吸着パッド５４ｂ〜５４ｇにより吸着保持され、各接着ラベル３８が保護フイルム３０の残存部分３０ｂを跨いで、前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとに一体的に接着される（図３参照）。
【００５５】
例えば、７枚の接着ラベル３８が接着された感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、図１に示すように、第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂを介して送り出し側のテンション変動を防いだ後、第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂに連続的に搬送される。第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂでは、図５に示すように、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのベースフイルム２６がサクションドラム６２に吸着保持されるとともに、保護フイルム３０が残存部分３０ｂを残して前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから剥離される。この保護フイルム３０は、剥離ローラ６３を介して剥離されて保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる（図１参照）。
【００５６】
第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂの作用下に、保護フイルム３０が残存部分３０ｂを残してベースフイルム２６から剥離された後、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂによってテンション調整が行われ、さらに第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂで光電センサ７２ａ、７２ｂによりハーフカット部位３４の検出が行われる。
【００５７】
各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、ハーフカット部位３４の検出情報に基づいて、フイルム搬送ローラ９０ａ、９０ｂの回転作用下に、それぞれ貼り付け機構４６に定量搬送される。一方、ガラス基板２４は、基板搬送機構４５の作用下に、予め加熱された状態で貼り付け位置に搬送される。このガラス基板２４は、並列されている感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの感光性樹脂層２８の貼り付け部分に対応してゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に一旦配置される。
【００５８】
この状態で、バックアップローラ８２ｂ及びゴムローラ８０ｂを上昇させることにより、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ間にガラス基板２４が所定のプレス圧力で挟み込まれる。次いで、図５に示すように、ゴムローラ８０ａの回転作用下に感光性ウエブ２２ａ、２２ｂ及びガラス基板２４が矢印Ｃ方向に搬送され、各感光性樹脂層２８がガラス基板２４に転写（ラミネート）される。
【００５９】
なお、ラミネート条件としては、速度が１．０ｍ／ｍｉｎ〜１０．０ｍ／ｍｉｎ、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの温度が８０℃〜１５０℃、前記ゴムローラ８０ａ、８０ｂに被覆されたゴム８３ａ、８３ｂの硬度が４０度〜９０度、該ゴムローラ８０ａ、８０ｂのプレス圧（線圧）が５０Ｎ／ｃｍ〜４００Ｎ／ｃｍである。
【００６０】
ここで、第１の実施形態では、図４に示すように、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの軸体８１ａ、８１ｂに被覆されるゴム８３ａ、８３ｂの軸線方向の範囲を、ガラス基板２４の幅方向両端部から距離ｄ＝５〜３０ｍｍだけ外側となるように設定するとともに、バックアップローラ８２ａ、８２ｂの外周形状をクラウン形状としている。
【００６１】
この場合、バックアップローラ８２ａ、８２ｂによってゴムローラ８０ａ、８０ｂに加圧力を付与した際、その加圧力によってバックアップローラ８２ａ、８２ｂの外周形状がクラウン形状から直線形状に変形するため、バックアップローラ８２ａ、８２ｂが所定量変位したとき、ゴムローラ８０ａ、８０ｂを介して感光性ウエブ２２ａ、２２ｂ及びガラス基板２４に略均一な圧力が付与される。また、ガラス基板２４の幅方向両端部とゴム８３ａ、８３ｂの両端部とが所定の距離ｄだけ離間して設定されているため、ガラス基板２４の位置がゴム８３ａ、８３ｂに対して蛇行等したとしても、ゴム８３ａ、８３ｂの両端部がガラス基板２４上を押圧して過大な圧力が付与されることがなく、また、過大な圧力がガラス基板２４の幅方向両端部に集中することもない。この結果、図６の実線で示すように、ガラス基板２４の幅方向両端部に対応するＡ１点、Ａ２点間で略均一な圧力を得ることができる。
【００６２】
このように、ガラス基板２４のＡ１点、Ａ２点間の圧力が略均一となるため、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂに皺が発生することがなく、また、貼り付け状態にむらが生じることがないため、良好な転写状態を実現することができる。
【００６３】
なお、ゴムローラ８０ａ、８０ｂに加圧力を付与するバックアップローラ８２ａ、８２ｂのクラウン量ｃを０．３〜１．５ｍｍ、より好ましくは、０．５〜０．８ｍｍに設定することにより、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの所定のプレス圧に対して、ガラス基板２４のＡ１点、Ａ２点間の圧力を均一にすることができる。
【００６４】
さらに、図７に示すように、ガラス基板２４の幅方向両端部に接触しない距離ｄの範囲において、軸体８１ａ、８１ｂに被覆されるゴム８３ａ、８３ｂの厚さを薄く設定した段差ｆを設けることにより、ガラス基板２４の幅方向両端部側に過大な圧力が加わることがなく、ガラス基板２４が損傷するような事態を回避することができる。なお、段部ｆは、略１ｍｍ程度にすると好適である。
【００６５】
また、上述した構成では、ガラス基板２４の幅方向両端部とゴム８３ａ、８３ｂの両端部との間の距離ｄの範囲を５〜３０ｍｍとすることで、加圧力が均一となるようにしているが、図８に示すように、ゴム８３ａ、８３ｂの幅をガラス基板２４の幅よりも十分に大きく設定する一方、バックアップローラ８２ａ、８２ｂの両端部が距離ｄ＝５〜３０ｍｍだけガラス基板２４の幅方向両端部の外側となるように設定してもよい。この場合、バックアップローラ８２ａ、８２ｂの両端部がゴム８３ａ、８３ｂに当接することを回避して、略均一な加圧力を得ることができる。
【００６６】
さらに、上述した構成では、上下のバックアップローラ８２ａ、８２ｂをクラウン形状としているが、いずれか一方のバックアップローラ８２ａ、８２ｂのみをクラウン形状としても、同様の効果を得ることができる。なお、一方のバックアップローラ８２ａ、８２ｂのみをクラウン形状とする場合、そのクラウン量ｃは、両方のバックアップローラ８２ａ、８２ｂをクラウン形状とした場合の加算値であるｃ＝０．６〜３．０ｍｍの範囲に設定すると好適である。
【００６７】
なお、図９に示すように、バックアップローラ８２ａ、８２ｂをストレート形状とし、ガラス基板２４の幅方向両端部から離間する距離ｄの範囲において、バックアップローラ８２ａ、８２ｂの直径を小さく設定した段差ｇを設けることにより、ガラス基板２４の幅方向両端部側に過大な圧力が加わることがなく、ガラス基板２４が損傷するような事態を回避することができる。
【００６８】
ゴムローラ８０ａ、８０ｂを介してガラス基板２４に感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの一枚分のラミネートが終了すると、前記ゴムローラ８０ａの回転が停止される一方、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂがラミネートされた前記ガラス基板２４（以下、貼り付け基板２４ａともいう。）が基板搬送ローラ９２によりクランプされる。
【００６９】
そして、ゴムローラ８０ｂが、ゴムローラ８０ａから離間する方向に退避してクランプが解除されるとともに、基板搬送ローラ９２の回転が開始されて、貼り付け基板２４ａが矢印Ｃ方向に定量搬送され、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの基板間位置がゴムローラ８０ａの下方付近の所定位置に移動する。一方、基板搬送機構４５を介して次なるガラス基板２４が貼り付け位置に向かって搬送される。
【００７０】
この次なるガラス基板２４の先端がゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に配置されると、前記ゴムローラ８０ｂが上昇して、前記ゴムローラ８０ａ、８０ｂにより前記次なるガラス基板２４と感光性ウエブ２２ａ、２２ｂとがクランプされる。そして、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ及び基板搬送ローラ９２の回転作用下にラミネートが開始されるとともに、貼り付け基板２４ａが矢印Ｃ方向に搬送される。
【００７１】
その際、貼り付け基板２４ａは、図５に示すように、それぞれの端部同士が残存部分３０ｂによって覆われている。従って、感光性樹脂層２８がガラス基板２４に転写される際、ゴムローラ８０ａ、８０ｂが前記感光性樹脂層２８により汚れることがない。
【００７２】
貼り付け機構４６でラミネートされた貼り付け基板２４ａは、冷却機構１２２を通って冷却された後、プレ剥離部１４４に移送される。このプレ剥離部１４４では、剥離バー１５６がガラス基板２４間に臨入して上昇し、これによって、ガラス基板２４間の保護フイルム３０が持ち上げられ、隣接するガラス基板２４の後端及び先端から剥離する。
【００７３】
次いで、ベース自動剥離機構１４２では、巻き取り軸１４８の回転作用下に、貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６が連続して巻き取られる。さらに、トラブル停止での切り離しや、不良品分離時の切断の後、新たにラミネート処理が開始された貼り付け基板２４ａのベースフイルム２６の先端と、巻き取り軸１４８に巻き取られているベースフイルム２６の後端とは、自動貼り付け機１５０を介して自動的に貼り付けられる。
【００７４】
ベースフイルム２６が剥離された貼り付け基板２４ａは、測定器１５８に対応する検査ステーションに配置される。この検査ステーションでは、ガラス基板２４が位置決め固定された状態で、カメラ１６０によりガラス基板２４と感光性樹脂層２８の画像を取り込む。そして、画像処理が施されることにより、貼り付け位置が演算される。
【００７５】
感光性樹脂層２８の貼り付け位置が確認された貼り付け基板２４ａは、ロボット１３４によって取り出され、感光性積層体１０６として感光性積層体ストッカー１３２に収容される。
【００７６】
なお、第１の実施形態では、２本の感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂを用いているが、これに限定されるものではなく、１本の感光性ウエブローラや、３本以上の感光性ウエブローラを採用してもよい。また、以下に説明する第２の実施形態においても、同様である。
【００７７】
図１０は、本発明の第２の実施形態に係る製造装置３００の概略構成図である。なお、第１の実施形態に係る製造装置２０と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明は省略する。
【００７８】
製造装置３００は、貼り付け機構４６の下流に配置され、各ガラス基板２４間の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを一体的に切断可能な基板間ウエブ切断機構４８を備える。
【００７９】
このように構成される製造装置３００では、上記の第１の実施形態と同様に、貼り付け機構４６でラミネートされた貼り付け基板２４ａは、矢印Ｃ方向に搬送される。そして、貼り付け基板２４ａ間が基板間ウエブ切断機構４８に対応する位置に至ると、この基板間ウエブ切断機構４８は、前記貼り付け基板２４ａと同一の搬送速度で矢印Ｃ方向に移動しながら、該貼り付け基板２４ａ間で２本の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを一体的に切断する。
【００８０】
この切断後に、基板間ウエブ切断機構４８は、所定の待機位置に戻される一方、貼り付け基板２４ａでは、ベースフイルム２６及び残存部分３０ｂが順次剥離（枚葉剥離）されて感光性積層体１０６が製造される。
【図面の簡単な説明】
【００８１】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る製造装置の概略構成図である。
【図２】前記製造装置に使用される長尺状感光性ウエブの断面図である。
【図３】前記長尺状感光性ウエブに接着ラベルが接着された状態の説明図である。
【図４】貼り付け機構における圧着ローラ及びバックアップローラの構成説明図である。
【図５】ガラス基板に感光性樹脂層をラミネートする状態の説明図である。
【図６】本発明の第１の実施形態における基板位置とそれに付与される圧力との関係説明図である。
【図７】図４に示す圧着ローラの変形例の説明図である。
【図８】貼り付け機構における圧着ローラ及びバックアップローラの他の構成説明図である。
【図９】図８に示すバックアップローラの変形例の説明図である。
【図１０】本発明の第２の実施形態に係る製造装置の概略構成図である。
【図１１】特許文献１の製造装置の概略構成図である。
【図１２】比較例である圧着ローラ及びバックアップローラの構成説明図である。
【図１３】図１２に示す構成における基板位置とそれに付与される圧力との関係説明図である。
【符号の説明】
【００８２】
２０、３００…製造装置                ２２ａ、２２ｂ…感光性ウエブ
２４…ガラス基板                      ２６…可撓性ベースフイルム
２８…感光性樹脂層                    ３０…保護フイルム
４６…貼り付け機構                    ７４…基板加熱部
８０ａ、８０ｂ…ゴムローラ            ８２ａ、８２ｂ…バックアップローラ
８３ａ、８３ｂ…ゴム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2008132776.tif 000009
【図８】
2008132776.tif 000010
【図９】
2008132776.tif 000011
【図１０】
2008132776.tif 000012
【図１１】
2008132776.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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