(57)【要約】【課題】低誘電率絶縁膜を有するデバイスの裏面を研削する場合において、低誘電率絶縁膜を破損させないようにする。【解決手段】低誘電率絶縁膜が表面側に積層されたデバイスを有するウェーハを個々のデバイスに分割し、分割後のデバイスを配線基板に実装した後に、実装されたデバイスの側面側から研削砥石を接触させてデバイスの裏面を所望量研削する。低誘電率絶縁膜には垂直荷重がかからないため、低誘電率絶縁膜の破損を防止することができ、デバイスの品質が低下しない。【選択図】図９
2008305833.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
低誘電率絶縁膜が表面側に積層された複数のデバイスが分割予定ラインによって区画されて形成されたウェーハを個々のデバイスに分割すると共に所望の厚さに形成するウェーハの加工方法であって、
ウェーハを個々のデバイスに分割する分割工程と、
分割されたデバイスの電極を配線基板の電極にボンディングすると共に、該配線基板とボンディングされたデバイスとの隙間に樹脂を充填して封止するボンディング工程と、
研削装置のチャックテーブルにおいてデバイスがボンディングされた配線基板を保持し、該配線基板を水平方向に移動させて該デバイスの側面側から所定の高さに固定された研削砥石を接触させて該デバイスの裏面を研削して該デバイスを所望量研削するデバイス研削工程と
から構成されるウェーハの加工方法。
【請求項２】
前記研削砥石は、少なくとも粗加工用研削砥石と仕上げ加工用研削砥石とから構成される請求項１に記載のウェーハの加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、低誘電率絶縁膜を有するデバイスが形成されたウェーハを加工する方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスが表面側に形成されたウェーハは、裏面の研削により所望の厚さに形成された後にダイシングされて個々のデバイスに分割される。ウェーハの裏面の研削は、回転する研削砥石をウェーハの裏面に接触させて厚さ方向に押圧することによって行われている（特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−３０３０５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、個々のデバイスには、配線遅延防止による高速化等のために多層配線における層間絶縁膜として低誘電率絶縁膜（Ｌｏｗ−ｋ膜）が採用されているタイプのものもあり、低誘電率絶縁膜を採用しているデバイスについて、ウェーハの段階でその裏面から研削砥石を押圧して研削すると、研削時の厚さ方向の圧力によって低誘電率絶縁膜が破損し、デバイスの品質低下を招くという問題がある。
【０００５】
そこで、本発明が解決しようとする課題は、低誘電率絶縁膜を有するデバイスの裏面を研削する場合において、低誘電率絶縁膜を破損させないようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、低誘電率絶縁膜が表面側に積層された複数のデバイスが分割予定ラインによって区画されて形成されたウェーハを個々のデバイスに分割すると共に所望の厚さに形成するウェーハの加工方法に関するもので、ウェーハを個々のデバイスに分割する分割工程と、分割されたデバイスの電極を配線基板の電極にボンディングすると共に、配線基板とボンディングされたデバイスとの隙間に樹脂を充填して封止するボンディング工程と、研削装置のチャックテーブルにおいてデバイスがボンディングされた配線基板を保持し、配線基板を水平方向に移動させてデバイスの側面側から所定の高さに固定した研削砥石を接触させてデバイスの裏面を研削してデバイスを所望の厚さに形成するデバイス研削工程とから構成される。研削砥石は、粗加工用研削砥石と仕上げ加工用研削砥石とから構成されることがある。
【発明の効果】
【０００７】
本発明では、ウェーハの裏面を研削する前にウェーハを個々のデバイスに分割し、配線基板の電極にデバイスの電極をボンディングして配線基板とデバイスとの間に樹脂を樹脂を充填して封止することにより低誘電率絶縁膜を保護し、その状態でデバイスを側面側から研削していく。したがって、低誘電率絶縁膜には垂直荷重がかからないため、低誘電率絶縁膜の破損を防止することができ、デバイスの品質が低下しない。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
図１に示すウェーハＷは、低誘電率絶縁膜（Ｌｏｗ−ｋ膜）が表面側に積層されて形成されたデバイスＤが分割予定ラインＳによって区画されて形成されたウェーハであり、その表面には電極であるバンプＢが形成されている。個々のデバイスＤは、配線基板に直接実装されるフリップチップであり、デバイスへの分割に先立ち、ウェーハＷはテープＴに貼着され、テープＴを介してテープＴの外周部分に貼着されたフレームと一体となって支持される。
【０００９】
テープＴを介してフレームＦに支持されたウェーハＷは、図２に示すように、切削装置の保持テーブル１０に保持される。そして、保持テーブル１０が紙面に垂直な方向に移動すると共に、スピンドル１１に装着され高速回転する切削ブレード１２が各分割予定ラインＳに切り込むことにより、図３に示すように、すべての分割予定ラインＳが縦横に切削され、個々のデバイスＤに分割される（分割工程）。
【００１０】
図４及び図５に示すように、デバイスＤに形成されたバンプＢは、配線基板２の電極にボンディングされる。そして、図６に示すように、ボンディングされたデバイスＤと配線基板１との間の隙間に樹脂３を充填して封止し、デバイスＤの表面側のＬｏｗ−ｋ膜を保護する（ボンディング工程）。図７に示すように、ボンディングされ樹脂封止された複数のデバイスＤは、大きさや形状が不揃いであってもよい。
【００１１】
次に、デバイスＤの裏面（露出面）を研削してデバイスＤを所望の厚さに形成する。この研削には、例えば図８に示す研削装置４を用いる。
【００１２】
図８に示す研削装置４には、研削前のデバイスＤが実装された配線基板２を収容する第一のカセット４０ａ及びデバイス研削後の配線基板２を収容する第二のカセット４０ｂを備えている。第一のカセット４０ａ及び第二のカセット４０ｂの近傍には、第一のカセット４０ａからデバイス研削前の配線基板２を搬出すると共に、デバイス研削後の配線基板２を第二のカセット４０ｂに搬入する機能を有する搬出入手段４１が配設されている。搬出入手段４１は、屈曲自在なアーム部４１０の先端にウェーハを保持する保持部４１１が設けられた構成となっており、保持部４１１の可動域には、加工前のウェーハの位置合わせをする位置合わせ手段４２及び加工済みのウェーハを洗浄する洗浄手段４３が配設されている。
【００１３】
位置合わせ手段４２の近傍には第一の搬送手段４４ａが配設され、洗浄手段４３の近傍には第二の搬送手段４４ｂが配設されている。第一の搬送手段４４ａは、位置合わせ手段４２に載置された配線基板２をいずれかのチャックテーブル４５ａ、４５ｂ、４５ｃ、４５ｄに搬送する機能を有し、第二の搬送手段４４ｂは、いずれかのチャックテーブル４５ａ、４５ｂ、４５ｃ、４５ｄに保持された加工済みのウェーハを洗浄手段４３に搬送する機能を有する。
【００１４】
配線基板２を保持するチャックテーブル４５ａ、４５ｂ、４５ｃ、４５ｄは、配線基板２の形状に対応した形状に形成されており、ターンテーブル４６によって公転可能に支持されている。また、チャックテーブル４５ａ、４５ｂ、４５ｃ、４５ｄの移動経路の上方には第一の研削手段４７及び第二の研削手段４８が配設されている。
【００１５】
第一の研削手段４７は、垂直方向の軸心を有するスピンドル４７０と、スピンドル４７０を回転可能に支持するスピンドルハウジング４７１と、スピンドル４７０の一端に連結されたモータ４７２と、スピンドル４７０の他端に設けられたホイールマウント４７３と、ホイールマウント４７３に装着された研削ホイール４７４とから構成され、モータ４７２の駆動によりスピンドル４７０が回転し、それに伴い研削ホイール４７４も回転する構成となっている。研削ホイール４７４の下面には第一の砥石４７５が固着されている。第一の砥石４７５としては、例えば粗加工用の研削砥石が用いられる。
【００１６】
第一の研削手段４７は、第一の高さ制御手段４９によって駆動されて垂直方向に移動可能となっている。第一の高さ制御手段４９は、垂直方向に配設されたガイドレール４９０と、ガイドレール４９０に摺接し第一の研削手段４７が固定された昇降板４９１と、昇降板４９１を昇降させるパルスモータ４９２とから構成され、パルスモータ４９２による駆動により昇降板４９１がガイドレール４９０にガイドされて昇降するのに伴い第一の研削手段４７も昇降する構成となっている。パルスモータ４９２は、図示しない制御部から送出されるパルスによって制御される。また、第一の研削手段４７を構成する第一の砥石４７５の垂直方向の位置はパルスモータ４９２によって制御される。
【００１７】
第二の研削手段４８は、垂直方向の軸心を有するスピンドル４８０と、スピンドル４８０を回転可能に支持するスピンドルハウジング４８１と、スピンドル４８０の一端に連結されたモータ４８２と、スピンドル４８０の他端に設けられたホイールマウント４８３と、ホイールマウント４８３に装着された研削ホイール４８４とから構成され、モータ４８２の駆動によりスピンドル４８０が回転し、それに伴い研削ホイール４８４も回転する構成となっている。研削ホイール４８４の下面には第二の砥石４８５が固着されている。第二の砥石４８５としては、例えば仕上げ加工用の研削砥石が用いられる。
【００１８】
第二の研削手段４８は、第二の高さ制御手段５０によって駆動されて垂直方向に移動可能となっている。第二の高さ制御手段５０は、垂直方向に配設されたガイドレール５００と、ガイドレール５００に摺接する昇降板５０１と、昇降板５０１を昇降させるパルスモータ５０２とから構成され、パルスモータ５０２による駆動により昇降板５０１がガイドレール５００にガイドされて昇降するのに伴い第二の研削手段４８も昇降する構成となっている。パルスモータ５０２は、図示しない制御部から送出されるパルスによって制御される。また、第二の研削手段４８を構成する第二の砥石４８５の垂直方向の位置はパルスモータ５０２によって制御される。
【００１９】
第一のカセット４０ａに収容された配線基板２は、搬出入手段４１によって位置合わせ手段４２に搬送され、一定の位置に位置合わせされた後に、第一の搬送手段４４ａによってチャックテーブル４５ａに搬送される。チャックテーブル４５ａにおいては、配線基板２の裏面側（デバイスＤが実装されていない側）が保持され、デバイスＤの裏面が露出した状態となる。
【００２０】
図８に示した第一の高さ制御手段４９は、第一の砥石４７５の下面の高さが所定の位置に固定されるように制御する。この所定の位置は、研削後のデバイスＤの所望の厚さによって異なる。例えば、図９に示すように、チャックテーブル４５ａの保持面４５０ａを高さ制御の原点とした場合において、その原点からＨ１（例えば１１５０μｍ）だけ上の高さまでデバイスＤを研削する場合は、第一の砥石４７５の下面が原点からＨ１だけ上の高さの位置で固定されるように第一の研削手段４７を制御する。Ｈ１の値は、例えば、保持面４５０ａからデバイスＤの裏面までの高さを触針式の厚さ計測計を用いて計測し、その計測値から第一の研削手段４７による所望の研削量を引くことによって求めることができる。なお、第一の砥石４７５は、図９の例では外周が下方に向けて拡径することにより尖鋭部４７５ａが形成された形状となっているが、拡径しない形状であってもよい。
【００２１】
また、第二の高さ制御手段５０も、第二の砥石４８５の下面の高さが所定の位置に位置するように制御する。例えば図１０に示すように、チャックテーブル４５ａの保持面４５０ａを原点とした場合において、その原点からＨ２（例えば１１００μｍ）だけ上の高さまでデバイスＤを研削する場合は、第二の砥石４８５の下面が原点から１１００μｍ上の位置で固定されるように第二の研削手段４８を制御する。Ｈ２の値は、Ｈ１と同様の方法によって求めることができる。なお、第二の砥石４８５は、図１０の例では外周が下方に向けて拡径することにより尖鋭部４８５ａが形成された形状となっているが、拡径しない形状であってもよい。
【００２２】
このように、砥石４７５、４８５がそれぞれ所定の位置に固定された状態でスピンドル４７１、４８１を回転させて研削ホイール４７４、４８４を回転させると共に、ターンテーブル４６の反時計回りの回転によりチャックテーブル４５ａに保持された配線基板２を公転させる。そうすると、図９に示すように、まず、砥石４７５の尖鋭部４７５ａがデバイスＤの側面に接触し、更にターンテーブル４６が回転することにより、デバイスＤの側面から水平方向に徐々に研削されていき、チャックテーブル４５ａの保持面４５０ａからＨ１（１１５０μｍ）上の位置まで研削される。側面から研削することにより、デバイスＤのＬｏｗ−ｋ膜に対して厚さ方向の垂直荷重がかからないため、Ｌｏｗ−ｋ膜を損傷させることがない。また、尖鋭部４７５ａが形成されていることにより、研削を円滑に開始することができる。なお、このとき、次に研削するデバイスがマウントされた配線基板が搬出入手段４１によってカセット４０ａから取り出され、位置合わせ手段４２を経由して第一の搬送手段４４ａによりチャックテーブル４５ｂに載置され保持される。
【００２３】
更に、ターンテーブル４６が同方向への回転を続けると、第二の研削手段４８を構成する第二の砥石４８５の尖鋭部４８５ａがデバイスＤの側面に接触し、更にターンテーブル４６が回転することにより、デバイスＤが側面から水平方向に徐々に研削されていき、チャックテーブル４５ａの保持面４５０ａからＨ２（１１００μｍ）上の位置まで研削され、所望の厚さに形成される（研削工程）。側面から研削することにより、デバイスＤのＬｏｗ−ｋ膜に対して厚さ方向の垂直荷重がかからないため、Ｌｏｗ−ｋ膜を損傷させることがない。また、尖鋭部４８５ａが形成されていることにより、研削を円滑に開始することができる。なおこのとき、次に研削するデバイスがマウントされた配線基板が搬出入手段４１によってカセット４０ａから取り出され、位置合わせ手段４２を経由して第一の搬送手段４４ａによりチャックテーブル４５ｃに載置され保持される。そして、チャックテーブル４５ｂに保持された配線基板２に実装されたデバイスＤの裏面の研削が開始される。
【００２４】
そして更にターンテーブル４６が同方向に回転すると、研削されたデバイスＤが実装されチャックテーブル４５ａに保持された配線基板２が第二の搬送手段４４ｂの近傍に移動する。そうすると、第二の搬送手段４４ｂが配線基板２を吸着して洗浄手段４３に搬送する。洗浄手段４３では、スピンナーテーブル４３０において配線基板２を保持し、スピンナーテーブル４３０を回転させると共に高圧の洗浄水を配線基板２及びデバイスＤに対して噴出し、研削屑を除去する。
【００２５】
洗浄後は、搬出入手段４１が配線基板２を保持して第二のカセット４０ｂに収容する。このようにして、チャックテーブル４５ａ、４５ｂ、４５ｃ、４５ｄに保持された配線基板２にマウントされたデバイスが次々と研削されて所望の厚さに形成され、第二のカセット４０ｂに収容されていく。
【００２６】
なお、上記の例では研削手段が２つあり、２段階の研削を行う場合について説明したが、１つの研削手段を用いて１回の研削を行うこともできる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】バンプが形成されたウェーハがフレームに支持された状態を示す平面図である。
【図２】ウェーハを切削する状態を略示的に示す断面図である。
【図３】切削されたウェーハを示す平面図である。
【図４】デバイスを配線基板に実装する状態を示す正面図である。
【図５】デバイスの電極が配線基板の電極にボンディングされた状態を示す正面図である。
【図６】デバイスと配線基板との間に樹脂を充填して封止した状態を示す正面図である。
【図７】デバイスと配線基板との間に樹脂を充填して封止した状態を示す斜視図である。
【図８】研削装置の一例を示す斜視図である。
【図９】第一の研削手段によってデバイスを研削する状態を示す説明図である。
【図１０】第二の研削手段によってデバイスを研削する状態を示す説明図である。
【符号の説明】
【００２８】
Ｗ：ウェーハ
Ｓ：分割予定ライン  Ｄ：デバイス  Ｂ：バンプ
Ｔ：テープ  Ｆ：フレーム
１０：保持テーブル  １１：スピンドル  １２：切削ブレード
２：配線基板  ３：樹脂
４：研削装置
４０ａ：第一のカセット  ４０ｂ：第二のカセット
４１：搬出入手段  ４１０：アーム部  ４１１：保持部
４２：位置合わせ手段
４３：洗浄手段  ４３０：スピンナーテーブル
４４ａ：第一の搬送手段  ４４ｂ：第二の搬送手段
４５ａ、４５ｂ、４５ｃ、４５ｄ：チャックテーブル  ４６：ターンテーブル
４７：第一の研削手段
４７０：スピンドル  ４７１：スピンドルハウジング  ４７２：モータ
４７３：ホイールマウント  ４７４：研削ホイール
４７５：第一の砥石  ４７５ａ：尖鋭部
４８：第二の搬送手段
４８０：スピンドル  ４８１：スピンドルハウジング  ４８２：モータ
４８３：ホイールマウント  ４８４：研削ホイール
４８５：第二の砥石  ４８５ａ：尖鋭部
４９：第一の高さ制御手段
４９０：ガイドレール  ４９１：昇降板  ４９２：パルスモータ
５０：第二の高さ制御手段
５００：ガイドレール  ５０１：昇降板  ５０２：パルスモータ
【図１】
2008305833.tif 000003
【図２】
2008305833.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2008305833.tif 000009
【図８】
2008305833.tif 000010
【図９】
2008305833.tif 000011
【図１０】
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