(57)【要約】【課題】  レーザリペア装置に代表されるこの種のレーザ転写装置において、転写材料の薄膜と転写対象物との距離を常にミクロンオーダー（例えば、５〜２０μｍ）に維持することが可能なレーザ転写装置の転写ヘッドを提供する。【解決手段】  下面には転写板が保持され、かつ上面側へと転写板を露出させる転写窓が開口された転写板ホルダと、前記転写板ホルダ収容用の空所を有すると共に、水平方向及び垂直方向における位置基準を与える転写ヘッド機体と、前記転写ヘッド機体の転写板ホルダ収容用の空所内に収容された転写板ホルダを、前記転写ヘッド機体に対して上下動可能かつ水平動不能に支持するホルダ支持機構と、前記転写板ホルダの下方へと圧気を噴射することにより、前記被転写面に対して前記転写板を前記転写板ホルダごと浮上させる転写板浮上手段とを有する。【選択図】  図１
2008242346.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ透過性を有する板状小片の対物面に転写材薄膜を被着させてなる転写板を、両者間に微細なほぼ一定間隙が保持されるようにして、転写対象物のほぼ水平な被転写面に転写材薄膜を対面させた状態で支持するためのレーザ転写装置の転写ヘッドであって、
下面には前記転写板が保持され、かつ上面側へと前記転写板を露出させる転写窓が開口された転写板ホルダと、
前記転写板ホルダ収容用の空所を有すると共に、水平方向及び垂直方向における位置基準を与える転写ヘッド機体と、
前記転写ヘッド機体の転写板ホルダ収容用の空所内に収容された転写板ホルダを、前記転写ヘッド機体に対して上下動可能かつ水平動不能に支持するホルダ支持機構と、
前記転写板ホルダの下方へと圧気を噴射することにより、前記被転写面に対して前記転写板を前記転写板ホルダごと浮上させる転写板浮上手段とを有する、
ことを特徴とするレーザ転写装置の転写ヘッド。
【請求項２】
前記ホルダ支持機構が、
前記転写板ホルダ収容用空所の内周縁部を固定端、前記転写板ホルダ収容用空所に収容された転写板ホルダの外周縁部を自由端として、前記転写ヘッド機体に対して前記転写板ホルダが上下動可能となるように両者間を支持する板バネにより構成される、
ことを特徴とする請求項１に記載のレーザ転写装置の転写ヘッド。
【請求項３】
前記ホルダ支持機構が、
前記転写板ホルダ収容用空所の内周面と前記転写板ホルダ収容用空所に収容された転写板ホルダの外周面との間に介在されて、前記転写ヘッド機体に対して前記転写板ホルダが上下動可能となるように両者間を支持する鋼球ガイドにより構成される、
ことを特徴とする請求項１に記載のレーザ転写装置の転写ヘッド。
【請求項４】
前記ホルダ支持機構が、
前記転写板ホルダ収容用空所の内周面と前記転写板ホルダ収容用空所に収容された転写板ホルダの外周面との間に介在されて、前記転写ヘッド機体に対して前記転写板ホルダが上下動可能となるように両者間を弾性的に押圧支持する圧縮バネにより構成される、
ことを特徴とする請求項１に記載のレーザ転写装置の転写ヘッド。
【請求項５】
前記ホルダ支持機構が、
前記転写板ホルダ収容用空所の内周面と前記転写板ホルダ収容用空所に収容された転写板ホルダの外周面との間に介在されて、前記転写ヘッド機体に対して前記転写板ホルダが上下動可能となるように両者間を摺動可能に支持する樹脂軸受けにより構成される、
ことを特徴とする請求項１に記載のレーザ転写装置の転写ヘッド。
【請求項６】
前記ホルダ支持機構が、
前記転写板ホルダ収容用空所の内周面の内径と前記転写板ホルダ収容用空所に収容された転写板ホルダの外周面の外径とをほぼ同径として、両者を上下摺動自在に嵌合支持するカプラ構造により構成される、
ことを特徴とする請求項１に記載のレーザ転写装置の転写ヘッド。
【請求項７】
前記ホルダ支持機構が、
前記転写板ホルダ収容空所の内周面に、周方向へ適当な距離を隔てて配置された複数個の圧気噴射ノズルと、
前記転写板ホルダ収容用空所に収容される転写板ホルダの外周面に設けられ、前記複数個の圧気噴射ノズルから噴射される圧気を受け入れる環状溝と、から構成される、
ことを特徴とする請求項１に記載のレーザ転写装置の転写ヘッド。
【請求項８】
前記転写板浮上手段が、
所定の圧気源からの圧気を前記転写板ホルダの圧気入口孔へと供給するための圧気供給手段と、
前記転写板ホルダの圧気入口孔と前記転写板ホルダ下面の複数の圧気出口孔とを連通するホルダ内圧気通路と、
前記転写板上にあって、前記転写板ホルダ下面の複数の圧気出口孔と位置整合する複数の圧気噴射孔とからなり、
それにより、前記圧気源からの圧気を、前記ホルダ内圧気通路を経て、前記転写板の前記圧気噴射孔を介して転写板ホルダの下方へと噴射することにより、前記被転写面に対して前記転写板を前記転写板ホルダごと浮上させる、
ことを特徴とする請求項１に記載のレーザ転写装置の転写ヘッド。
【請求項９】
前記圧気供給手段が、
前記圧気源と前記転写板ホルダの圧気入口孔との間を結ぶ可撓性チューブである、
ことを特徴とする請求項６に記載のレーザ転写装置の転写ヘッド。
【請求項１０】
前記圧気供給手段が、
前記転写板ホルダ収容用空所の内周面にあって、前記転写板ホルダの外周面に位置する圧気入口孔へと圧気を非接触で導入する圧気噴射ノズルである、
ことを特徴とする請求項６に記載のレーザ転写装置の転写ヘッド。
【請求項１１】
前記転写板浮上手段が、
前記転写ヘッド機体の前記転写板ホルダ収容用空所の内周縁部下面にあって、圧気源からの圧気を噴射する複数の圧気噴射孔を有し、
それにより、前記転写ヘッド機体の前記転写板ホルダ収容用空所の内周縁部下面の前記圧気噴射孔から前記転写板ホルダの下方へと噴射することにより、前記被転写面に対して前記転写板を前記転写板ホルダごと浮上させる、
ことを特徴とする請求項１に記載のレーザ転写装置の転写ヘッド。
【請求項１２】
前記転写ヘッド機体の前記転写板ホルダ収容用空所の内周縁部上面にあって、圧気源からの圧気を噴射する複数の圧気噴射孔を有し、
それにより、前記圧気源からの圧気を、前記転写板ホルダ外周から半径方向外方へと突出するフランジ部の下面に噴射することにより、前記転写板ホルダの浮上作用を補助する、
ことを特徴とする請求項１１に記載のレーザ転写装置の転写ヘッド。
【請求項１３】
前記転写板ホルダの下面には、前記転写板ホルダの外周に沿って下方へ垂下する環状突条が形成されており、
それにより前記転写板ホルダの下面に保持される転写板の外周面と前記環状突条の内周面との間には圧気溜まりとして機能する空所が出現する、
ことを特徴とする請求項１１に記載のレーザ転写装置の転写ヘッド。
【請求項１４】
前記ホルダ支持機構が、
上面開口が透明窓板で塞がれ、下面開口が開放され、かつ下面開口の内周縁部にはピストン抜止用の環状段部が形成されたシリンダ部材の内部に、ピストンとして機能しかつ下面において転写板を保持する転写板ホルダを上下摺動自在に収容することで構成され、かつ
前記転写板浮上手段が、
前記シリンダ部材のチャンバ内へ圧気を導入すると共に、この圧気を前記ピストン部材として機能する転写板ホルダと転写板との積層体を上下に貫通して、転写板の下面から噴射させることで構成されている、
ことを特徴とする請求項１に記載のレーザ転写装置の転写ヘッド。
【請求項１５】
レーザ透過性を有する板状小片の対物面に転写材薄膜を被着させてなる転写板を、両者間に微細なほぼ一定間隙が保持されるようにして、転写対象物のほぼ水平な被転写面に転写材薄膜を対面させた状態で支持するためのレーザ転写装置の転写ヘッドであって、
下面には前記転写板が保持され、かつ上面側へと前記転写板を露出させる転写窓が開口された転写板ホルダと、
前記転写板ホルダ収容用の空所を有すると共に、水平方向及び垂直方向における位置基準を与える転写ヘッド機体とを有し、
前記転写ヘッド機体の転写板ホルダ収容用の空所の内周面には、前記空所の内方へ斜め下向きに指向された吸引と噴射とに兼用されるノズルが周方向へ適当な距離を隔てて複数配置されており、
前記転写ヘッド機体の転写板ホルダ収容用の空所内に収容された転写板ホルダの内部には、前記転写板ホルダ外周面に配置された気体出入兼用孔と前記転写板ホルダ下面に配置された気体出入兼用孔との間を連通する斜め下向きの圧気通路が形成されており、さらに
前記転写ヘッド機体側の複数のノズルのそれぞれを吸引ノズルとして作用させることにより、前記転写板を前記転写板ホルダごと、前記転写ヘッド機体へと吸着させる吸着モードの動作と、
前記転写ヘッド機体側の複数のノズルのそれぞれを噴射ノズルとして作用させることにより、それらのノズルのそれぞれから噴射される圧気を前記転写板ホルダ外周面の気体出入兼用孔のそれぞれへと導入することにより、前記転写板の下面側から圧気を噴射することで、前記転写板を浮上させる浮上モードの動作とを有し、
前記吸着モードから浮上モードへの切換、及び前記浮上モードから前記吸着モードへの切換を瞬時に行うことにより、前記転写板を落下させることなく、両モード間を移行可能とする、
ことを特徴とするレーザ転写装置の転写ヘッド制御方法。
【請求項１６】
前記転写板を前記転写板ホルダに保持させるための手段としては、接着剤が採用されている、
ことを特徴とする請求項１５に記載のレーザ転写装置の転写ヘッドの制御方法。
【請求項１７】
レーザ透過性を有する板状小片の対物面に転写材薄膜を被着させてなる転写板を、両者間に微細なほぼ一定間隙が保持されるようにして、転写対象物のほぼ水平な被転写面に転写材薄膜を対面させた状態で支持するためのレーザ転写装置の転写ヘッドであって、
水平方向及び垂直方向における位置基準を与える転写ヘッド機体と、
転写板と、を有すると共に、
前記転写ヘッド機体側には、転写板側へと突出し、吸引と噴射とに兼用される複数のノズルが設けられると共に、
前記転写板側には、前記複数のノズルと位置整合して配置され、かつノズルの先端形状に適合する孔形状を有する複数の貫通孔が設けられ、さらに
前記転写ヘッド機体側の複数のノズルのそれぞれを吸引ノズルとして作用させることにより、それらのノズルのそれぞれを前記転写板側の複数の貫通孔に嵌合させることで、前記転写板を前記転写ヘッド機体へと吸着させる吸着モードの動作と、
前記転写ヘッド機体側の複数のノズルのそれぞれを噴射ノズルとして作用させることにより、それらのノズルのそれぞれから噴射される圧気を前記転写板側の対応する貫通孔のそれぞれへと導入することにより、前記転写板の下面側から圧気を噴射することで、前記転写板を浮上させる浮上モードの動作とを有し、
前記吸着モードから浮上モードへの切換、及び前記浮上モードから前記吸着モードへの切換を瞬時に行うことにより、前記転写板を落下させることなく、両モード間を移行可能とする、
ことを特徴とするレーザ転写装置の転写ヘッド制御方法。
【請求項１８】
前記転写板を前記転写板ホルダに保持させるための手段としては、接着剤が採用されている、
ことを特徴とする請求項１〜１４のいずれかに記載のレーザ転写装置の転写ヘッド。
【請求項１９】
前記転写板を前記転写板ホルダに保持させるための手段としては、真空吸着手段が採用されている、
ことを特徴とする請求項１〜１４のいずれかに記載のレーザ転写装置の転写ヘッド。
【請求項２０】
前記転写板を前記転写板ホルダに保持させるための手段としては、カップリング機構が採用されている、
ことを特徴とする請求項１〜１４のいずれかに記載のレーザ転写装置の転写ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えば、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ等の表示装置において、回路パターンの欠陥修復を行うレーザリペア装置等として好適なレーザ転写装置の転写ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイなどの表示装置において、回路パターンの欠陥修復を行うためには、レーザＣＶＤ法を利用したレーザリペア装置が採用されている。
【０００３】
このレーザＣＶＤ法を利用するレーザリペア装置は、レーザによる化学気相成長法を利用するものであって、具体的には、レーザを原料ガス中に置かれた基板に照射し、レーザ照射面での原料ガスの化学・物理反応を促進することによって、基板上の修復箇所に原料ガスの被膜を成長させるものである。
【０００４】
しかしながら、このような従来のレーザＣＶＤ法を利用するレーザリペア装置にあっては、修復材料として、ガス化できる材料（Ｗ、Ｃｒ、Ｍｏ）しか使用できないことに加え、レーザ照射面での原料ガスの化学・物理反応を利用するため、修復速度が遅いといった問題点が指摘されている。
【０００５】
一方、このような問題点を解決できるレーザリペア装置としては、レーザ転写法（ＬＭＴ：Laser Metal Transfer）を利用したレーザリペア装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
このレーザ転写法を利用するレーザリペア装置の原理が図２３に示されている。図において、ａは石英ガラス板、ｂは修復材料となる導電性金属の薄膜、ｃは基板、ｄは回路パターン、ｅはレンズ、ｆはレーザビーム、ｇは回路パターン上の欠陥箇所、ｂ´は飛ばされた金属薄膜である。なお、この例では、石英ガラス板ａと薄膜ｂとを合わせたものが、転写板となる。
【０００７】
このレーザ転写法にあっては、まず、同図（ａ）に示されるように、欠陥箇所ｇを有する基板ｃの上に、対物面に修復材料の薄膜ｂを有する石英ガラス板ａを距離Ｌを隔てて対向させ、同図（ｂ）に示されるように、レンズｅを介してレーザビームｆを所定のスポット形状に絞り込んで、照射する。すると、同図（ｃ）に示されるように、レーザビームｆが照射された薄膜部分ｂ´が飛ばされて、同図（ｄ）に示されるように、回路パターンｄ上の欠陥部分ｇの上に付着する。このとき、修復部分の線幅を２〜５μｍとした場合、距離Ｌとしては５μ〜２０μ程度となる。
【特許文献１】特開２０００−３１０１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
このような従来のレーザ転写法を用いるレーザリペア装置にあっては、修復材料となる金属被膜として、Ａｌ、Ｎｉ、Ｔａ、Ｗ、Ｔｉ、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｃｒ等のような様々な金属が選定できることに加え、転写板に対してレーザで照射するのみで修復できるため、修復速度が速いという利点がある。
【０００９】
ところで、この種のレーザリペア装置において、リペア対象物となる表示デバイス等の表面に、必要な線幅の転写膜を得るためには、転写対象物表面と転写材料被膜との距離を常にミクロンオーダ（例えば、５〜２０μｍ）に維持することが要請される。
【００１０】
しかしながら、この種のリペア対象物（表示装置の基板等）の表面には、そもそも、ミクロンオーダの凹凸が存在するため、リペア対象物上のどの位置においても、表面との距離を常にミクロンオーダ（例えば５〜２０μｍ）に維持することは、サーボモータ、リニアモータ等を利用した通常のサーボ制御技術では困難とされる。
【００１１】
加えて、この種のリペア対象物（表示デバイス等）は電気・磁気的な影響を受けやすいために、静電気や磁気を利用した浮上制御方式を採用することもできない。
【００１２】
この発明は、このような従来の問題点に着目してなされたものであり、その目的とするところは、レーザリペア装置に代表されるこの種のレーザ転写装置において、転写材料の薄膜と転写対象物との距離を常にミクロンオーダ（例えば、５〜２０μｍ）に維持することが可能なレーザ転写装置の転写ヘッドを提供することにある。
【００１３】
この発明のさらに他の目的並びに作用効果については、明細書の以下の記述を参照することにより、当業者であれば容易に理解されるであろう。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上述の技術的な課題は、以下の構成を有するレーザ転写装置の転写ヘッドにより解決することができる。
【００１５】
すなわち、このレーザ転写装置の転写ヘッドは、レーザ透過性を有する板状小片の対物面に転写材薄膜を被着させてなる転写板を、両者間に微細なほぼ一定間隙が保持されるようにして、転写対象物のほぼ水平な被転写面に転写材薄膜を対面させた状態で支持するためのものである。
【００１６】
このレーザ転写装置の転写ヘッドは、下面には前記転写板が保持され、かつ上面側へと前記転写板を露出させる転写窓が開口された転写板ホルダと、前記転写板ホルダ収容用の空所を有すると共に、水平方向及び垂直方向における位置基準を与える転写ヘッド機体と、前記転写ヘッド機体の転写板ホルダ収容用の空所内に収容された転写板ホルダを、前記転写ヘッド機体に対して上下動可能かつ水平動不能に支持するホルダ支持機構と、前記転写板ホルダの下方へと圧気を噴射することにより、前記被転写面に対して前記転写板を前記転写板ホルダごと浮上させる転写板浮上手段とを有する。
【００１７】
ここで、『圧気』としては、リペア対象物の性質に応じて様々な種類の気体を採用することができる。リペア対象物が回路パターン等の酸化を嫌うものである場合には、圧気の種類としては不活性ガス（例えば、窒素ガス等）を採用することができる。圧気として窒素ガスを採用すれば、リペア箇所の冷却を速やかになすことができる。
【００１８】
このような構成によれば、転写対象物の被転写面と転写板との距離を微細な値に維持するための制御は、サーボモータ、リニアモータなどを使用した電気的サーボ制御によるのではなくて、転写板ホルダの下方へと噴射される圧気を介して行われるものであるから、転写板と被転写面とを微細距離を隔てて対向させたまま、両者を相対的に移動させたとしても、転写板は被転写面上の凹凸に追随して適宜上下動することとなるため、転写板の水平移動中に、被転写面上の大きな隆起に触れて、被転写面を構成するリペア対象物を損壊するなどの虞を未然に防止することができる。
【００１９】
殊に、この種のレーザ転写装置がレーザリペア装置として実現される場合、回路パターン上の欠陥を修復するためには、転写板を所定ピッチずつ水平方向へずらしながら、回路パターン上の同一欠陥箇所に複数ショット分の転写を行う必要があるが、その際に、リペア対象物の表面にミクロンオーダの凹凸が存在すると、これに衝突して回路パターンを損壊する虞がある。つまり、電気的なサーボ制御によって、距離を維持しつつ水平方向へ移動した場合には、精度の粗さや応答速度の遅れから、転写板がリペア対象物と衝突する虞が高いのに対して、本発明のように、常にリペア対象物と転写板又は転写板ホルダとの間に吹き込まれた圧気により、両者間の距離を維持するといった相手合わせの制御によれば、そのような隆起が存在しても、それに追従して転写板も上下動するため、複雑なサーボ制御を用いずとも、両者間の距離を常に最適値に維持することができる。
【００２０】
また、レーザリペア装置として本発明を実現する場合、リペア工程のタクトタイムを短縮するためには、もしも、電気的な制御のみによるとすれば、その都度リペア対象物との距離を計測しながら、リペア対象物に転写板に注意深く接近させねばならず、１回の接近の度に比較的長時間を要するのに対し、本発明のような相手合わせの自力浮上制御を利用すれば、大雑把にオープンループ制御で、転写板をリペア対象物の表面まで近づけた後にあっては、圧気による浮上制御に任せることができるため、接近の度に距離制御を行う必要がなくなり、タクトタイムを短縮することが可能となる。
【００２１】
上述の本発明において、前記転写ヘッド機体の転写板ホルダ収容用の空所内に収容された転写板ホルダを、前記転写ヘッド機体に対して上下動可能かつ水平動不能に支持するホルダ支持機構としては、様々な構成を採用することができる。
【００２２】
前記ホルダ支持機構の一例としては、前記転写板ホルダ収容用空所の内周縁部を固定端、前記転写板ホルダ収容用空所に収容された転写板ホルダの外周縁部を自由端として、前記転写ヘッド機体に対して前記転写板ホルダが上下動可能となるように両者間を支持する板バネにより構成することができる。
【００２３】
このような構成によれば、転写板ホルダと転写ヘッド機体との隙間を跨るようにして板バネを両者に固定するだけで、上下動可能かつ水平動不能といった機能を実現できるため、組み付けが容易で低コストに製作することができ、しかも板バネ上に適宜打ち抜き孔を形成することで、片持ち状板ばね部分をバランスよく配置することができ、転写板ホルダの外周を均等に支持することによって、歪みなく転写板ホルダを昇降動させることが可能となる。
【００２４】
前記ホルダ支持機構の他の一例としては、前記転写板ホルダ収容用空所の内周面と前記転写板ホルダ収容用空所に収容された転写板ホルダの外周面との間に介在されて、前記転写ヘッド機体に対して前記転写板ホルダが上下動可能となるように両者間を支持する鋼球ガイドにより構成することができる。
【００２５】
このような構成によれば、球軸受けの一種である鋼球ガイドが採用されることから、鋼球の真球度の精度に準じて、スムーズな転写板ホルダの昇降動を実現することができ、転写板と被転写面との間の気圧によく追従して、転写板ホルダを被転写面上の隆起に応じて昇降させることができる。
【００２６】
前記ホルダ支持機構の他の一例としては、前記転写板ホルダ収容用空所の内周面と前記転写板ホルダ収容用空所に収容された転写板ホルダの外周面との間に介在されて、前記転写ヘッド機体に対して前記転写板ホルダが上下動可能となるように両者間を弾性的に押圧支持する圧縮バネにより構成することができる。
【００２７】
このような構成によれば、圧縮バネの拡張圧力を介して、転写板ホルダはその外周から中心に向けて均等に押圧されるため、転写板ホルダの水平方向への移動は確実に規制され、転写板ホルダは転写板と被転写面との間の圧力を受けて、上下動することとなる。
【００２８】
前記ホルダ支持機構の他の一例としては、前記転写板ホルダ収容用空所の内周面と前記転写板ホルダ収容用空所に収容された転写板ホルダの外周面との間に介在されて、前記転写ヘッド機体に対して前記転写板ホルダが上下動可能となるように両者間を摺動可能に支持する樹脂軸受けにより構成することができる。
【００２９】
このような構成によれば、樹脂軸受けは比較的構造が簡単でかつ比較的滑らかに転写板ホルダを上下動させるため、比較的良好な上下動を低価格に実現することができる。
【００３０】
前記ホルダ支持機構のさらに他の一例としては、前記転写板ホルダ収容用空所の内周面の内径と前記転写板ホルダ収容用空所に収容された転写板ホルダの外周面の外径とをほぼ同径として、両者を上下摺動自在に嵌合支持するカプラ構造により構成することができる。
【００３１】
このような構成によれば、カプラ構造を介して転写板ホルダの水平方向への移動は高精度に規制されるため、より一層転写板ホルダの水平方向への移動を規制しつつ、上下方向への滑らかな移動を許容することができる。
【００３２】
前記ホルダ支持機構のさらに他の一例としては、前記転写板ホルダ収容空所の内周面に、周方向へ適当な距離を隔てて配置された複数個の圧気噴射ノズルと、前記転写板ホルダ収容用空所に収容される転写板ホルダの外周面に設けられ、前記複数個の圧気噴射ノズルから噴射される圧気を受け入れる環状溝との組み合わせにより構成することができる。
【００３３】
このような構成によれば、転写板ホルダはその外周から非接触で中心方向へと力を受けるため、水平方向への移動を規制されつつ、上下方向への滑らかな摺動を実現することができる。
【００３４】
次に、上述の発明において、前記転写板ホルダの下方へと圧気を噴射することにより、前記被転写面に対して前記転写板を前記転写板ホルダごと浮上させる転写板浮上手段としては、様々な構成を採用することができる。
【００３５】
すなわち、前記転写板浮上機構の一例としては、所定の圧気源からの圧気を前記転写板ホルダの圧気入口孔へと供給するための圧気供給手段と、前記転写板ホルダの圧気入口孔と前記転写板ホルダ下面の複数の圧気出口孔とを連通するホルダ内圧気通路と、前記転写板上にあって、前記転写板ホルダ下面の複数の圧気出口孔と位置整合する複数の圧気噴射孔とからなり、それにより、前記圧気源からの圧気を、前記ホルダ内圧気通路を経て、前記転写板の前記圧気噴射孔を介して転写板ホルダの下方へと噴射することにより、前記被転写面に対して前記転写板を前記転写板ホルダごと浮上させる、ように構成することができる。
【００３６】
このような構成によれば、圧気は浮上対象となる転写板そのものから下面に噴射されるため、転写板と被転写面との距離を確実に規定値に維持することができる。このとき、圧気供給手段としては、前記圧気源と前記転写板ホルダの圧気入口孔との間を結ぶ可撓性チューブであってもよいし、前記転写板ホルダ収容用空所の内周面にあって、前記転写板ホルダの外周面に位置する圧気入口孔へと圧気を吹き込む圧気噴射ノズルであってもよい。
【００３７】
可撓性チューブを用いた場合には、さほど高い圧力とせずとも、必要な圧気を確実に転写板の下面から吹き出させることができる。一方、圧気噴射ノズルとすれば、転写板ホルダに可撓性チューブを結合することが不要となり、転写板ホルダの上下動が可撓性チューブにより干渉されないという利点がある。
【００３８】
また、前記転写板浮上機構としては、前記転写ヘッド機体の前記転写板ホルダ収容用空所の内周縁部下面にあって、圧気源からの圧気を噴射する複数の圧気噴射孔を有し、それにより、前記転写ヘッド機体の前記転写板ホルダ収容用空所の内周縁部下面の前記圧気噴射孔から前記転写板ホルダの下方へと噴射することにより、前記被転写面に対して前記転写板を前記転写板ホルダごと浮上させる、ように構成することもできる。
【００３９】
このような構成によれば、圧気を転写ヘッド機体側から転写板ホルダ側へと供給する必要がないため、転写板ホルダは可撓性チューブに拘束されることなく自由に上下動することが可能となり、転写板ホルダのスムーズな上下動を保証することができる。
【００４０】
このとき、前記転写ヘッド機体の前記転写板ホルダ収容用空所の内周縁部上面にあって、圧気源からの圧気を噴射する複数の圧気噴射孔を有し、それにより、前記圧気源からの圧気を、前記転写板ホルダ外周から半径方向外方へと突出するフランジ部の下面に噴射することにより、前記転写板ホルダの浮上作用を補助するようにしてもよい。
【００４１】
このような構成によれば、実質的な転写板の重量が軽量化されるため、転写板と被転写面との間の気圧変化に対し、転写板が敏感に昇降動することとなり、転写板の昇降応答性を向上させることができる。
【００４２】
加えて、前記転写板ホルダの下面に、前記転写板ホルダの外周に沿って下方へ垂下する環状突条を形成することにより、前記転写板ホルダの下面に保持される転写板の外周面と前記環状突条の内周面との間に圧気溜まりとして機能する空所を出現させるようにしてもよい。
【００４３】
このような構成によれば、圧気溜まりの存在により、複数の圧気噴射孔から噴射された圧気を転写板と被転写面との間により一層スムーズに吹き込むことが可能となる。
【００４４】
一方、上述の基本発明において、前記ホルダ支持機構が、上面開口が透明窓板で塞がれ、下面開口が開放され、かつ下面開口の内周縁部にはピストン抜止用の環状段部が形成されたシリンダ部材の内部に、ピストンとして機能しかつ下面において転写板を保持する転写板ホルダを上下摺動自在に収容することで構成され、かつ前記転写板浮上手段が、前記シリンダ部材のチャンバ内へ圧気を導入すると共に、この圧気を前記ピストン部材として機能する転写板ホルダと転写転写板との積層体を上下に貫通して、転写板の下面から噴射させることで構成するようにしてもよい。
【００４５】
このような構成によれば、転写板ホルダの下限位置は、ピストン抜け止め用の環状段部により規制され、他方転写板ホルダはピストンの上下動につれてシリンダ部材内をスムーズに上下動するため、水平方向への移動を規制しつつ、上下動をスムーズに行わせることができる一方、転写板から下面へと吹き出される圧気は、一旦チャンバ内へ溜まった後、転写板下面の噴射孔から均一に吹き出すため、転写板は水平姿勢を維持したまま、転写板と被転写面との間の気圧に応じて敏感に上下動することとなる。
【００４６】
別の一面から見た本発明は、レーザ転写装置の転写ヘッド制御方法として捉えることもできる。
【００４７】
このレーザ転写装置の転写ヘッド制御方法は、レーザ透過性を有する板状小片の対物面に転写材薄膜を被着させてなる転写板を、両者間に微細なほぼ一定間隙が保持されるようにして、転写対象物のほぼ水平な被転写面に転写材薄膜を対面させた状態で支持するためのレーザ転写装置の転写ヘッドである。
【００４８】
この転写ヘッドの制御方法は、下面には前記転写板が保持され、かつ上面側へと前記転写板を露出させる転写窓が開口された転写板ホルダと、前記転写板ホルダ収容用の空所を有すると共に、水平方向及び垂直方向における位置基準を与える転写ヘッド機体とを有し、前記転写ヘッド機体の転写板ホルダ収容用の空所の内周面には、前記空所の内方へ斜め下向きに指向された吸引と噴射とに兼用されるノズルが周方向へ適当な距離を隔てて複数配置されており、前記転写ヘッド機体の転写板ホルダ収容用の空所内に収容された転写板ホルダの内部には、前記転写板ホルダ外周面に配置された気体出入兼用孔と前記転写板ホルダ下面に配置された気体出入兼用孔との間を連通する斜め下向きの圧気通路が形成されており、さらに前記転写ヘッド機体側の複数のノズルのそれぞれを吸引ノズルとして作用させることにより、前記転写板を前記転写板ホルダごと、前記転写ヘッド機体へと吸着させる吸着モードの動作と、前記転写ヘッド機体側の複数のノズルのそれぞれを噴射ノズルとして作用させることにより、それらのノズルのそれぞれから噴射される圧気を前記転写板ホルダ外周面の気体出入兼用孔のそれぞれへと導入することにより、前記転写板の下面側から圧気を噴射することで、前記転写板を浮上させる浮上モードの動作とを有し、前記吸着モードから浮上モードへの切換、及び前記浮上モードから前記吸着モードへの切換を瞬時に行うことにより、前記転写板を落下させることなく、両モード間を移行可能とする、ものである。
【００４９】
このような構成によれば、共通の圧気通路が、吸着のためと浮上のためとの双方に兼用されるため、転写板ホルダを転写ヘッド機体に対して上下動自在に支持するための機構が不要となる。
【００５０】
このとき、前記転写板を前記転写板ホルダに保持させるための手段として接着剤を使用すれば、真空チャック機構が不要となり、配管系の構成が簡素化される利点がある。
【００５１】
別の一面から見た本発明は、レーザ転写装置の転写ヘッド制御方法として把握することもできる。この転写ヘッド制御方法は、レーザ透過性を有する板状小片の対物面に転写材薄膜を被着させてなる転写板を、両者間に微細なほぼ一定間隙が保持されるようにして、転写対象物のほぼ水平な被転写面に転写材薄膜を対面させた状態で支持するためのものである。
【００５２】
この制御方法は、水平方向及び垂直方向における位置基準を与える転写ヘッド機体と、転写板と、を有すると共に、前記転写ヘッド機体側には、転写板側へと突出し、吸引と噴射とに兼用される複数のノズルが設けられると共に、前記転写板側には、前記複数のノズルと位置整合して配置され、かつノズルの先端形状に適合する孔形状を有する複数の貫通孔が設けられ、さらに前記転写ヘッド機体側の複数のノズルのそれぞれを吸引ノズルとして作用させることにより、それらのノズルのそれぞれを前記転写板側の複数の貫通孔に嵌合させることで、前記転写板を前記転写ヘッド機体へと吸着させる吸着モードの動作と、前記転写ヘッド機体側の複数のノズルのそれぞれを噴射ノズルとして作用させることにより、それらのノズルのそれぞれから噴射される圧気を前記転写板側の対応する貫通孔のそれぞれへと導入することにより、前記転写板の下面側から圧気を噴射することで、前記転写板を浮上させる浮上モードの動作とを有し、前記吸着モードから浮上モードへの切換、及び前記浮上モードから前記吸着モードへの切換を瞬時に行うことにより、前記転写板を落下させることなく、両モード間を移行可能とする、ものである。
【００５３】
このような構成によれば、転写板ホルダが不要となり、かつ共通の管路が吸引と噴射とに兼用されるため、全体の構成を簡素化して一層のコストダウンを可能とすることができる。
【００５４】
以上述べた一連の発明において、前記転写板を前記転写板ホルダに保持させる手段としては、接着剤を使用したり、真空吸着手段を使用したり、カップリング機構を利用したりすることができる。
【００５５】
接着剤を使用すれば、剥離の手間は必要なものの、別途吸着配管やカップリングが不要となる利点がある。一方、真空チャック機構を使用すれば、交換の際の着脱が容易となる。他方、カップリング機構を使用すれば、カップリング機構の交換のみで、転写板ホルダから転写板を離脱させることができる。
【発明の効果】
【００５６】
本発明によれば、転写対象物の被転写面と転写板との距離を微細な値に維持するための制御は、サーボモータ、リニアモータなどを使用した電気的サーボ制御によるのではなくて、転写板ホルダの下方へと噴射される圧気を介して行われるものであるから、転写板と被転写面とを微細距離を隔てて対向させたまま、両者を相対的に移動させたとしても、転写板は被転写面上の凹凸に追随して適宜上下動することとなるため、転写板の水平移動中に、被転写面上の大きな隆起に触れて、被転写面を構成するリペア対象物を損壊するなどの虞を未然に防止することができる。
【００５７】
殊に、この種のレーザ転写装置がレーザリペア装置として実現される場合、回路パターン上の欠陥を修復するためには、転写板を所定ピッチずつ水平方向へずらしながら、回路パターン上の同一欠陥箇所に複数ショット分の転写を行う必要があるが、その際に、リペア対象物の表面にミクロンオーダの凹凸が存在すると、これに衝突して回路パターンを損壊する虞がある。つまり、電気的なサーボ制御によって、距離を維持しつつ水平方向へ移動した場合には、精度の粗さや応答速度の遅れから、転写板がリペア対象物と衝突する虞が高いのに対して、本発明のように、常にリペア対象物と転写板又は転写板ホルダとの間に吹き込まれた圧気により、両者間の距離を維持するといった相手合わせの制御によれば、そのような隆起が存在しても、それに追従して転写板も上下動するため、複雑なサーボ制御を用いずとも、両者間の距離を常に最適値に維持することができる。
【００５８】
また、レーザリペア装置として本発明を実現する場合、リペア工程のタクトタイムを短縮するためには、もしも、電気的な制御のみによるとすれば、その都度リペア対象物との距離を計測しながら、リペア対象物に転写板に注意深く接近させねばならず、１回の接近の度に比較的長時間を要するのに対し、本発明のような相手合わせの自力浮上制御を利用すれば、大雑把にオープンループ制御で、転写板をリペア対象物の表面まで近づけた後にあっては、圧気による浮上制御に任せることができるため、接近の度に距離制御を行う必要がなくなり、タクトタイムを短縮することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５９】
以下に、この発明に係るレーザ転写装置の転写ヘッドの好適な実施の一形態を添付図面を参照しながら詳細に説明する。
【００６０】
本発明に係るレーザ転写装置の転写ヘッドの第１実施形態の構成図が図１に示されている。なお、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は断面図である。
【００６１】
それらの図から明らかなように、このレーザ転写装置の転写ヘッド１は、レーザ透過性を有する板状小片（例えば、石英ガラスの板状小片）の対物面（図では下面）に転写材料（例えば、Ａｌ、Ｎｉ、Ｔａ、Ｗ、Ｔｉ、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｃｒ等）の薄膜を被着させてなる転写板１０１を、両者間に微細なほぼ一定間隙が保持されるようにして、転写対象物１０２のほぼ水平な被転写面１０２ａに転写材薄膜（図示せず）を対面させた状態で支持するためのものである。
【００６２】
この転写ヘッド１は、下面には転写板１０１が保持され、かつ上面側へと転写板１０１を露出させる転写窓１０３ａが開口された転写板ホルダ１０３と、転写板ホルダ収容用の空所１０４ａを有すると共に、水平方向及び垂直方向における基準位置を与える転写ヘッド機体１０４と、転写ヘッド機体１０４の転写板ホルダ収容用の空所１０４ａ内に収容された転写板ホルダ１０３を、転写ヘッド機体１０４に対して上下動可能かつ水平動不能に支持するホルダ支持機構（詳細は後述）と、転写板ホルダ１０３の下方へと圧気１０５を噴射することにより、被転写面１０２ａに対して転写板１０１を転写板ホルダ１０３ごと浮上させる転写板浮上手段（詳細は後述）とを有する。
【００６３】
この例にあっては、ホルダ支持機構は、転写板ホルダ収容用空所１０４ａの内周縁部を固定端、転写板ホルダ収容用空所１０４ａに収容された転写板ホルダ１０３の外周縁部を自由端として、転写ヘッド機体１０４に対して転写板ホルダ１０３が上下動可能となるように両者間を支持する板バネにより構成されている。なお、図においては、板バネ１０６として、横長長方形状の単なる板片として示されているが、当業者には容易に理解されるであろうが、実際には、適当な打ち抜き孔乃至切り抜き線が複数形成されて、複数の部分が局部的に板バネとしての作用を果たすように構成されている。
【００６４】
一方、転写板浮上手段としては、所定の圧気源（図示せず）からの圧気を転写板ホルダ１０３の圧気入口孔１０３ｂへと供給するための圧気供給手段として機能する可撓性チューブ１０７と、転写板ホルダ１０３の圧気入口孔１０３ｂと転写板ホルダ１０３の下面の複数の圧気出口孔１０３ｃとを連通するホルダ内圧気通路１０３ｄと、転写板１０１上にあって、転写板ホルダ１０３の下面の複数の圧気出口孔１０３ｃと位置整合する複数の圧気噴射孔１０１ａとから構成され、それにより、圧気源（図示せず）からの圧気を、ホルダ内圧気通路１０３ｄを経て、転写板１０１の圧気噴射孔１０１ａを介して、転写板ホルダ１０３の下方へと噴射することにより、被転写面１０２ａに対して転写板１０１を転写板ホルダ１０３ごと浮上させることとなる。
【００６５】
また、転写板１０１を転写板ホルダ１０３に保持させるための手段としては、真空吸着手段が採用されている。すなわち、この真空チャック吸着手段は、転写板ホルダ１０３の下面に設けられた複数個の吸引孔１０３ｆと転写板ホルダ１０３の外周面に設けられた吸引孔１０３ｅとを結ぶホルダ内吸引通路１０３ｇと、図示しない真空源に接続された吸引チューブ１０８とにより、転写板１０１を吸着するように構成されている。
【００６６】
この第１実施形態におけるより具体的な配管系統の一例を示す説明図が図２に示されている。なお、同図において、図１と同一構成部分については、同符号を付して説明は省略する。図から明らかなように、圧気出口孔１０３ｃ同士を連通するホルダ内圧気通路１０３ｄ及び吸引孔１０３ｆ同士を連通するホルダ内吸引通路１０３ｇは、いずれも、円環状に形成されている。
【００６７】
以上の構成によれば、転写板ホルダ１０３は、板バネ１０６を介して転写ヘッド機体１０４に支持され、水平方向への移動は規制されつつも、垂直方向については自由に移動が可能となる。そのため、複数の圧気噴射孔１０１ａから圧気１０５が噴射されると、転写板１０１と被転写面１０２ａとの間には圧気による浮上作用によって微細距離Ｌ（５〜２０μｍ）が保たれる。従って、転写ヘッド１の全体を電気的なオープンループ制御によって例えば１００μｍ程度の距離まで近づけた後、複数の圧気噴射口１０１ａから圧気１０５を噴射させた状態とすれば、そのまま放置したとしても、転写板１０１と被転写面１０２ａとの距離は微細距離Ｌに保たれ、転写板１０１が被転写面１０２ａに衝突する虞はない。
【００６８】
次に、本発明に係る転写ヘッドの第２実施形態の構成図が図３に、同第２実施形態の配管系統の説明図が図４にそれぞれ示されている。
【００６９】
この第２実施形態の前記第１実施形態との相違点は、転写板ホルダ１０３の下面に転写板１０１を保持させるための手段として接着剤１０９を使用し、これにより吸着用の配管系統を省略した点にある。なお、図３及び図４において、図１及び図２と同一構成部分については同符号を付して説明は省略する。
【００７０】
次に、本発明に係る転写ヘッドの第３実施形態の構成図が図５に示されている。なお、同図において、前記第１及び第２実施形態と同一の構成部分については同符号を付して説明は省略する。
【００７１】
この第３実施形態に係る転写ヘッド１の特徴は、ホルダ支持機構が、転写板ホルダ収容用空所１０４ａの内周面と転写板ホルダ収容用空所１０４ａに収容された転写板ホルダ１０３の外周面との間に介在されて、転写ヘッド機体１０４に対して転写板ホルダ１０３が上下動可能となるように両者間を支持する鋼球ガイド１１０により構成されている点にある。なお、この例にあっても、転写板１０１は、転写板ホルダ１０３の下面に真空吸着手段を介して吸着保持されている。
【００７２】
このような構成によれば、平面視正方形状をなす転写板ホルダ１０３は、転写ヘッド機体１０４に形成された正方形状の転写板ホルダ収容用の空所１０４ａ内に収容され、かつその四辺を６個の鋼球ガイド１１０を介して上下動自在に支持される。
【００７３】
そのため、転写板１０１の下面から圧気１０５が噴射されると、転写板１０１は転写板ホルダ１０３と共に鋼球ガイド１１０に案内されつつ上下動して、転写板１０１と被転写面１０２ａの間の距離Ｌがミクロンオーダー（例えば、５〜２０μｍ）程度に維持されることとなる。
【００７４】
また、転写板ホルダ１０３の下限位置は、転写板ホルダ１０３の外周フランジ部１０３ｈが転写ヘッド機体１０４の転写板ホルダ収容用空所１０４ａ内周に形成された段部１０４ｂと当接することにより、規制されることとなる。
【００７５】
次に、本発明に係る転写ヘッドの第４実施形態の構成図が図６に示されている。なお、図において、前記図５の第３実施形態と同一構成部分については同符号を付して説明は省略する。
【００７６】
この第４実施形態の特徴は、転写板１０１を転写板ホルダ１０３の下面に保持させるための手段として接着剤１０９が使用されている点、及び所定の圧気源（図示せず）からの圧気を転写板ホルダ１０３の圧気入口孔１０３ｂへと供給するための圧気供給手段として、転写板ホルダ収容用空所１０４ａの内周面にあって、転写板ホルダ１０３の外周面に位置する圧気入口孔１０３ｂへと圧気を噴射する圧気噴射ノズル１０７ａを採用した点にある。
【００７７】
このような構成によれば、転写ヘッド機体１０４と転写板ホルダ１０３とが可撓性チューブで結合されないため、転写板ホルダ１０３は可撓性チューブからの拘束を離れて、より一層自由に上下動を可能となる利点がある。
【００７８】
本発明に係る転写ヘッド１の第５実施形態の構成図が図７に、同第５実施形態の配管系統の説明図が図８にそれぞれ示されている。なお、図において、第１〜第４実施形態と同一構成部分については同符号を付して説明は省略する。
【００７９】
この第５実施形態の特徴は、ホルダ支持機構が、転写板ホルダ収容用空所１０４ａの内周面と転写板ホルダ収容用空所１０４ａに収容された転写板ホルダ１０３の外周面との間に介在されて、転写ヘッド機体１０４に対して転写板ホルダ１０３が上下動可能となるように両者間を弾性的に押圧支持する圧縮バネ１１１を採用した点にある。
【００８０】
この第５実施形態によれば、平面視正方形状を有する転写板ホルダ１０３は、転写ヘッド機体１０４に形成された正方形状の転写板ホルダ収容用空所１０４ａ内に収容され、かつその四辺を６箇所において圧縮バネを介して圧接しつつ支持されることとなる。そのため、転写板ホルダ１０３は水平方向への移動を規制された状態において上下方向へと移動自在となる。
【００８１】
同第５実施形態の配管系統の説明図が図８に示されている。なお、同図において図７と同一の構成部分については同符号を付して説明は省略する。
【００８２】
本発明に係る転写ヘッドの第６実施形態の構成図が図９に示されている。この第６実施形態の特徴は、ホルダ支持機構として、転写板ホルダ収容用空所１０４ａの内周面と転写板ホルダ収容用空所１０４ａに収容された転写板ホルダ１０３の外周面との間に介在されて、転写ヘッド機体１０４に対して転写板ホルダ１０３が上下動可能となるように両者間を摺動支持する樹脂軸受け１１２を採用した点にある。なお、同図において、先の実施形態と同一構成部分については同符号を付して説明は省略する。
【００８３】
この第６実施形態によれば、転写板ホルダ１０３は転写ヘッド機体１０４の転写板ホルダ収容用空所１０４ａ内に収容されると共に、樹脂軸受け１１２を介して上下動自在に支持される。そのため、圧気１０５が転写板１０１の下面から噴射することにより、転写板１０９と被転写面１０２ａとの距離Ｌはミクロンオーダーで保持されることとなる。
【００８４】
本発明に係る転写ヘッドの第７実施形態の構成図が図１０に示されている。この第７実施形態の特徴は、ホルダ支持機構として、転写板ホルダ収容用空所１０４ａの内径と転写板ホルダ収容用空所１０４ａに収容された転写板ホルダ１０３の外周面の外径とをほぼ同径として、両者を上下摺動可能に嵌合して支持するカプラ構造を採用した点にある。すなわち、図示の転写ヘッド機体１０４はその軸を垂直にした円環上に形成される一方、転写板ホルダ１０３については円板状に形成されている。そして、円板上転写板ホルダ１０３の外径と円環上転写ヘッド機体１０４の内径とをほぼ同一（摺動用の隙間を残す）とすることで、円板上転写板ホルダ１０３は円環上転写ヘッド機体１０４内を上下動可能とされている。
【００８５】
円環状転写ヘッド機体１０４と円板上転写板ホルダ１０３との隙間には、この例にあっては、その上部より４本の圧気供給チューブ（可撓性チューブ）１０７が導入され、これらのチューブ１０７から供給された圧気は、符号１０５に示されるように、隙間の下部より転写板１０１と被転写面１０２との隙間へ吹き込まれる。これにより、転写板１０１は転写板ホルダ１０３と共に被転写面１０２ａから浮上する。
【００８６】
加えて、この例にあっては、転写板ホルダ１０３の上部には４本の吸気用チューブ１０８が導入され、これにより転写板ホルダ１０３下面においては真空チャック機能が実現され、転写板１０１は転写板ホルダ１０３の下面に対して、真空チャック機能を介して吸着保持される。
【００８７】
このような構成によれば、転写板ホルダ１０３は転写ヘッド機体１０４内を水平姿勢を維持して上下動するため、水平面内における移動は規制されつつ、垂直方向への移動を許容する機能が実現される。
【００８８】
本発明に係る転写ヘッドの第８実施形態の構成図が図１１に示されている。なお、図において、前記各実施形態と同一構成部分については同符号を付して説明は省略する。
【００８９】
この第８実施形態の特徴は、ホルダ支持機構が、転写板ホルダ収容用空所１０４ａの内周面の内径と転写板ホルダ収容用空所１０４に収容される転写板ホルダ１０３の外周面の外径とをほぼ同径として、両者を上下摺動自在に嵌合支持するカプラ構造を採用することに加え、転写ヘッド機体１０４の転写ホルダ収容用空所１０４の内周縁部上面にあって、圧気源からの圧気を噴射する複数の圧気噴射孔１０４ｃを設け、それにより圧気源（図示せず）からの圧気を、転写板ホルダ１０３の外周から半径方向外方へと突出するフランジ部１０３ｉの下面に噴射することにより、転写板ホルダ１０３の浮上作用を補助するようにした点にある。
【００９０】
すなわち、この例にあっては、転写板ホルダ収容用空所１０４ａは平面視正方形状とされ、また転写板ホルダ１０３についても平面視正方形状になされている。そして、両者１０４ａ，１０３のサイズはほぼ同一（摺動用の間隙を残す程度）とされ、そのため、転写板ホルダ１０３は空所１０４ａ内において上下摺動自在となされている。
【００９１】
転写ヘッド機体１０４内には、第１の圧気供給用チューブ（又は流路）１０７Ａと第２の圧気供給用チューブ（又は流路）１０７Ｂとが設けられている。第１のチューブ１０７Ａの先端部は下向きに屈曲され、機体１０４の下面に連通している。そのため、符号１０５に示されるように、チューブ１０７Ａから供給された圧気は、圧気噴射口１０４ｄから、転写板１０１と被転写面１０２ａとの間に吹き込まれる。一方、第２のチューブ１０７Ｂの先端は上方へ屈曲され、噴射口１０４ｃから噴射される圧気は、転写板ホルダ１０３のフランジ部１０３ｉの下面へと噴射される。これにより、転写板ホルダ１０３の浮上作用が補助される。
【００９２】
本発明の第９実施形態の構成図が図１２に示されている。なお、この第９実施形態は本発明を、レーザ透過性を有する板状小片の対物面に転写材薄膜を被着させてなる転写板を、両者間に微細なほぼ一定間隙が保持されるようにして、転写対象物のほぼ水平な被転写面に転写材薄膜を対面させた状態で支持するためのレーザ転写装置の転写ヘッドの制御方法として実施したものである。
【００９３】
すなわち、この制御方法にあっては、水平方向及び垂直方向における位置基準を与える転写ヘッド機体１０４と、転写板１０１とを有する。転写ヘッド機体１０４側には、転写板１０１側へと突出し、吸引と噴射とに兼用される複数のノズル１１３ａが設けられると共に、転写板１０１の側には、複数のノズル１１３ａと位置整合して配置され、かつノズル１１３ａの先端形状に適合する先細孔形状を有する複数の貫通孔（圧気噴射孔）１０１ａが設けられている。
【００９４】
さらに、この方法にあっては、転写ヘッド機体１０４側の複数のノズル１１３ａのそれぞれを吸引ノズルとして作用させることにより、それらのノズル１１３ａのそれぞれを転写板１０１側の複数の貫通孔１０１ａに嵌合させることで、転写板１０１を転写ヘッド機体１０４へと吸着させる吸着モードの動作と、転写ヘッド機体１０４側の複数のノズル１１３ａのそれぞれを噴射ノズルとして作用させることにより、それらのノズル１１３ａのそれぞれから噴射される圧気を転写板１０１側の対応する貫通孔１０１ａのそれぞれへと吹き込むことにより、転写板１０１の下面側から符号１０５に示されるように圧気を吹き出すことで、転写板１０１を浮上させる浮上モードの動作とが設けられている。
【００９５】
そして、この発明にあっては、吸着モードから浮上モードへの切り替え、及び浮上モードから吸着モードへの切り替えを瞬時に行うことにより、転写板１０１を被転写面１０２ａへと落下させることなく、両モード間を移行可能としている。なお、図において、１１３は吸引と噴射とに兼用されるチューブである。
【００９６】
このような構成によれば、吸引と噴射とに兼用されるノズル１１３ａのそれ自体が保持機能を果たすため、別途転写板ホルダを設けることが不要となり、またノズル１１３ａそれ自体が吸引と噴射とに兼用されるため、外部からの吸気と排気との切り替え制御を行うだけで、吸着モードと浮上モードとの切り替えを実現できる。
【００９７】
本発明の第１０実施形態の構成図が図１３に示されている。なお、この第１０実施形態についても、本発明を、レーザ透過性を有する板状小片の対物面に転写材薄膜を被着させてなる転写板を、両者間に微細なほぼ一定間隙が保持されるようにして、転写対象物のほぼ水平な被転写面に転写材薄膜を対面させた状態で支持するためのレーザ転写装置の転写ヘッドの制御方法として実施したものである。
【００９８】
すなわち、この制御方法は、下面には転写板１０１が保持され、かつ上面側へと転写板１０１を露出させる転写窓１０３ａが開口された転写板ホルダ１０３と、転写板ホルダ収容用の空所１０４ａを有すると共に、水平方向及び垂直方向における位置基準を与える転写ヘッド機体１０４とを有する。
【００９９】
転写ヘッド機体１０４の転写板ホルダ収容用の空所１０４の内周面には、空所の内方へ斜め下向きに指向された吸引と噴射とに兼用されるノズル１１４ａが周方向へ適当な距離を隔てて複数配置されている。
【０１００】
転写ヘッド機体１０４の転写板ホルダ収容用の空所１０４ａ内に収容された転写板ホルダ１０３の内部には、転写板ホルダ１０３の外周面に配置された気体出入り兼用孔１０３ｋと転写板ホルダ１０３の下面に配置された気体出入り兼用孔１０３ｌとの間を連通する斜め下向きの圧気通路１０３ｍが形成されている。
【０１０１】
さらに、この制御方法にあっては、転写ヘッド機体１０４側の複数のノズル１１４ａのそれぞれを吸引ノズルとして作用させることにより、転写板１０１を転写ヘッド機体１０４へと吸着させる吸着モードの動作と、転写ヘッド機体１０４側の複数のノズル１１４ａのそれぞれを噴射ノズルとして作用させることにより、それらのノズル１１４ａのそれぞれから噴射される圧気を転写板ホルダ１０３の外周面の気体出入り兼用孔１０３ｋのそれぞれへと吹き込むことにより、転写板１０１の下面側から符号１０５に示されるように圧気を吹き出すことで、転写板１０１を浮上させる浮上モードの動作とを有している。
【０１０２】
そして、吸着モードから浮上モードへの切り替え、及び浮上モードから吸着モードへの切り替えを瞬時に行うことにより、転写板１０１を被転写面１０２ａ上に落下させることなく、両モード間を移行可能としている。
【０１０３】
このような構成によれば、転写板ホルダ１０３と転写ヘッド機体１０４とを完全に非接触状態としたままで、転写板ホルダ１０３の浮上作用をなすことができ、両者間を可撓性チューブで繋ぐ場合のように、転写板ホルダ１０３の上下動がチューブによって干渉されることがなくなる。なお、この例では、転写板１０１は接着剤により転写板ホルダ１０３の下面に保持されている。
【０１０４】
本発明に係る転写ヘッドの第１１実施形態の構成図が図１４に示されている。なお、同図において前記各実施形態と同一構成部分については同符号を付して説明は省略する。
【０１０５】
この第１１実施形態の特徴は、一切のチューブを使用しない点にある。そのため、この実施形態にあっては、転写板ホルダを使用しない。転写ヘッド機体１０４の外周部縁上には、これと対向して圧気を噴射させるノズル１１５が配置されている。一方、このノズル１１５と対向する転写ヘッド機体１０４の外周面には、圧気受入口１０４ｅが配置されている。圧気受入口１０４ｅと転写板１０１側の圧気噴射口１０１ａとの間には内部通路１０４ｆが形成されている。そのため、ノズル１１５が圧気を噴射させると、この圧気は転写ヘッド機体１０４内の内部通路１０４ｆを通って、転写板１０１の圧気噴射口１０１ａから転写板１０１と被転写面１０２ａとの間に吹き込まれる。この例では、転写ヘッド１０４の下面に転写板１０１が保持されており、両者の結合手段としてはカプラ１１６が採用されている。従って、ネジを緩めてカプラ１１６を開放することで、転写板１０１の交換が可能となされている。
【０１０６】
このような構成によれば、転写板ホルダを廃止し、ノズル１１５と転写板１０１との間を内部通路１０４ｆで結ぶようにしているため、圧気を供給するためのチューブが一切不要となり、構造の簡素化及びコストダウンが可能となる。
【０１０７】
本発明に係る転写ヘッドの第１２実施形態の構成図が図１５に示されている。なお、同図において、前記各実施形態と同一構成部分については同符号を付して説明は省略する。
【０１０８】
この第１２実施形態の特徴は、ホルダ支持機構及び転写板浮上手段の双方に特徴を加えた点にある。すなわち、この第１２実施形態においては、ホルダ支持機構は、上面開口が透明窓板１０４ｇで塞がれ、下面開口が開放され、かつ下面開口の内周縁部にはピストン抜け止め用の環状段部１０４ｉが形成されたシリンダ部材１０４ｈの内部に、ピストンとして機能しかつ下面において転写板１０１を保持するピストン部材（転写板ホルダ）１０４ｋを上下摺動自在に収容することで構成されている。
【０１０９】
一方、転写板浮上手段については、シリンダ部材１０４ｈのチャンバ１０４ｊ内へとチューブ１０７を介して圧気を導入すると共に、この圧気をピストン部材として機能する転写板ホルダ１０４ｋと転写板１０１との積層体を上下に貫通する内部通路１０１ｂを介して、転写板１０１の下面から噴射させることで構成されている。
【０１１０】
このような構成によれば、転写板１０１はピストン部材（転写板ホルダ）１０４ｋと共にシリンダ部材１０４ｈ内をスムーズに上下動すると共に、チューブ１０７を介してチャンバ１０４ｊ内に導入された圧気は、ピストン部材１０４ｋを均一に下方へと押圧するため、転写板１０１は水平姿勢を維持したまま、スムーズに上下動する。一方、転写板１０１の下限は、ピストン部材１０４ｋが環状段部１０４ｉに当接することで規制される。なお、レーザビームの照射については、透明な窓板１０４ｇを介して行われる。もちろん、ピストン部材１０４ｋには、転写板１０１を露出させる転写窓が設けられることは言うまでもない。
【０１１１】
本発明に係る転写ヘッドの第１３実施形態の構成図が図１６に示されている。なお、図において前記各実施形態と同一構成部分については同符号を付して説明は省略する。
【０１１２】
この第１３実施形態の特徴は、ホルダ支持機構が、転写板ホルダ収容用空所１０４ａの内周面に周方向へ適当な距離を隔てて配置された複数個（この例では４個）の圧気噴射ノズル１１６ａと、転写板ホルダ収容用空所１０４ａに収容される転写板ホルダ１０３の外周面に設けられ、複数個の圧気噴射ノズル１１６ａから噴射される圧気を受け取る環状溝１０３ｎとで構成されている点にある。
【０１１３】
すなわち、この例にあっては、転写板ホルダ収容用空所１０４ａは平面視正方形状を有すると共に、これと対応して、転写板ホルダ１０３についても平面視正方形状になされている。そして、転写板ホルダ１０３の四辺のそれぞれと対向する空所１０４ａの内周面には、圧気を噴射するノズル１１６ａが配置され、このノズル１１６ａはチューブ１１６を介して圧気源（図示せず）に接続される。一方、転写板ホルダ１０３の外周四辺のそれぞれには、その外周に沿うようにして、四角形環状の溝１０３ｎが形成されており、これにより、転写板ホルダ１０３は、四方からノズル１１６ａを介して噴射される圧気によって、空所１０４ａの中心位置において水平姿勢を維持するように制御される。
【０１１４】
一方、転写板ホルダ１０３は上部がやや大径とされてフランジ部が形成され、このフランジ部１０３ｈの下面は、転写ヘッド機体１０４側の抜け止め段部１０４ｂと当接して、下限が規制される。加えて、転写板ヘッド１０３の上限には、４本の圧気供給チューブ１０７を介して圧気が供給され、この供給された圧気は、内部通路１１７を介して、転写板１０１の下面へと噴射される。
【０１１５】
このような構成によれば、転写板ホルダ１０３はその四方から吹き付けられる圧気によって空所１０４ａの中心にかつ水平姿勢を保った状態で維持されると共に、その昇降動については、内部通路を介して転写板下面に送られる圧気を介して行われるため、転写板１０１の昇降動は側面からのチューブの拘束を受けることなくスムーズに行われる。
【０１１６】
本発明に係る転写ヘッドの第１４実施形態の構成図が図１７に示されている。なお、動図において、前記各実施形態と同一構成部分については同符号を付して説明は省略する。
【０１１７】
この実施形態の特徴は、転写板ホルダ１０３の下面に、転写板ホルダの外周に沿って下方へ垂下する環状突条１２１を形成することにより、転写板ホルダ１０３の下面に保持される転写板１０１の外周面と環状突条１２１の内周面との間に圧気溜まりとして機能する空所１２３が出現するようにした点にある。
【０１１８】
その他、この例にあっては、真空管路１１８及び圧気管路１２０を設けることによって、転写板１０１の吸着及び転写板の浮上をなすと共に、それら管路の垂直部には、スライド可能なシール部１２２を設け、管路の垂直部を僅かに上下摺動可能とすることによって、転写板ホルダ１０３の支持機構を構成している。
【０１１９】
このような構成によれば、空所１２３の存在によって圧気溜まりが形成されるため、これら外周を取り巻く圧気溜まりによって、転写板１０１と被転写面１０２ａとの間の気圧が高まり、転写板１０１の浮上作用を効率よく実現することが可能となる。加えて、管路１１８，１２０を介して平面視４箇所で転写板ホルダ１０３を水平姿勢で維持するため、別途水平姿勢を維持するための機構が不要となり、構成が簡素化されてコストダウンが可能となる利点がある。
【０１２０】
最後に、本発明が適用された配線パターン修復装置の要部（レーザ転写ユニット１００）に関するより具体的な外観斜視図が図１８に示されている。配線パターン修復装置（「レーザリペア装置」とも称される）は、修復対象となる液晶表示デバイスやプラズマ表示デバイス等を回路パターン面を上に向けて載置するためのステージ（図示せず）と、このステージの上方にあって、水平面内の任意のＸＹ座標に位置決め可能となされたＸＹ位置決め機構（図示せず）と、このＸＹ位置決め機構により吊り下げ支持されるレーザ転写ユニット１００とを含んで構成されている。
【０１２１】
レーザ転写ユニット１００は、上述のＸＹ位置決め機構によりステージ上に吊り下げ支持されるユニット機枠（図示せず）と、ユニット機枠に対して取り付けられる三次元位置決め機構２と、三次元位置決め機構２により位置決めされる転写ヘッド１と、ユニット機枠に対して昇降自在に取り付けられるレーザ照射光学系３とを含んで構成されている。
【０１２２】
三次元位置決め機構２は、Ｘ方向駆動部２１と、Ｘ方向駆動部２１を支持するＹ方向駆動部２２と、Ｙ方向駆動部２２を支持するＺ方向駆動部２３とを含んでおり、転写板ホルダを支持する転写ヘッド１はＸ方向駆動部２１に取り付けられている。
【０１２３】
レーザ照射光学系３は、図示しない上部レーザ源から到来するレーザビーム４を入射口３７から導入すると共に、そのビーム断面を整形して、修復対象となる回路パターンの線幅対応の細長長方形状ビーム断面を形成するビーム整形機構３４と、ビーム整形機構３４により整形されたレーザビームを垂直下向きにビーム分離器３１へと案内するレーザ照射用光路Ｃ２と、ビーム分離器３１で分離された撮影光を水平方向に電子カメラ３７側へと案内する撮影用光路Ｃ３と、レーザ照射用光路Ｃ２を介して到来するレーザビームを垂直下向きに対物レンズ３２へと案内すると共に、対物レンズ３２から到来する撮影光を垂直上向きにビーム分離器３１へと案内する共用光路Ｃ１とを含んでいる。なお、３５はカメラの視野を照明するためのＬＥＤ照明器である。
【０１２４】
換言すれば、レーザ照射光学系３は、垂直なレーザ照射用光路Ｃ２と、水平な撮影用光路Ｃ３と、それらの光路を結合一体化する垂直な共用光路Ｃ１とを有する同軸落射型光学系を構成している。
【０１２５】
対物レンズ３２から垂直下向きに出射されるレーザビームは、対物レンズ３２の集光作用により、出射光路上の所定距離において集光されて集光点が生ずる。レーザ照射による薄膜転写処理は、この出射光路上の所定距離に生ずるレーザ集光点において行われる。
【０１２６】
一方、電子カメラ３７は、常に、このレーザ集光点に位置する物体にピントが合うようにピント合わせが行われている。加えて、電子カメラ３７には、映像信号に基づいてピントが合った状態か否かを外部へ判定出力する機能が内蔵されている。レーザ照射光学系３の全体は、図示しないボールネジ機構と駆動モータとの作用により、Ｚ方向ガイドレール３８に沿って任意距離だけ垂直方向へと上下動可能になされている。
【０１２７】
したがって、レーザ照射光学系３の全体を上昇又は下降させながら、電子カメラ３７のピント判定出力を監視すれば、レーザ照射対象物に集光点が合致しているか否かを知ることができる。また、ある基準高さからの降下距離を計測しつつ、電子カメラ３７のピント判定出力を監視すれば、ピントがあったときまでの降下距離計測値に基づいて、基準高さからそのレーザ照射対象物までの降下距離を知ることができる。後述するように、この実施形態においては、上述のレーザ照射光学系３の作用を利用することで、転写板の高さ方向位置決め制御を実現している。
【０１２８】
なお、図１８において、３６は複数の対物レンズを円周上に支持する回転ディスク、３３は回転ディスク３２の回転角度制御に使用されるロータリエンコーダであり、これらにより対物レンズの自動交換を可能としている。
【０１２９】
転写ヘッドの外観斜視図が図１９に、同分解斜視図が図２０に、上下反転状態の外観斜視図が図２１に、同平面図が図２２にそれぞれ示されている。
【０１３０】
それらの図から明らかなように、転写ヘッド１は、転写ヘッド機体１１を主体として構成されている。この転写ヘッド機体１１は、Ｘ方向駆動部２１に対して取り付けるための取付部１１ａと、転写板ホルダ１３を支持するための支持部１１ｂとを有している。
【０１３１】
支持部１１ｂの中央には空所１１ｃが形成され、この空所１１ｃ内にホルダ１３が収容される。ホルダ１３を空所１１ｃ内に支持するためには、この例では、板バネ１２が使用される。板バネ１２は略正方形状を有し、その中央には開口１２ａが形成されると共に、開口１２ａの外周には打ち抜き孔１２ｂ，１２ｃ及びネジ孔１２ｄ，１２ｅが形成されている。これらの打ち抜き孔１２ｂ，１２ｃによって局部的なバネ性が付与されることは当業者であれば容易に理解されるであろう。
【０１３２】
板バネ１２とホルダ１３との結合は、板バネ１２側のネジ孔１２ｅとホルダ１３側のネジ孔１３ｂとを介して行われる。また、板バネ１２と支持部１１ｂとの結合は、板バネ１２側尚ネジ孔１２ｄと支持部１１ｂ側のネジ孔１２ｄを介して行われる。
【０１３３】
これにより、ホルダ１３は、空所１１ｃ内において水平方向への移動を規制されかつ上下方向への移動については板バネ１２の弾性範囲内において許容されるように構成されている。
【０１３４】
ホルダ１３の外周面上の２箇所には、圧気入口孔（図示せず）が設けられ、その下面には転写板上の圧気噴射孔と整合させて複数の圧気出口孔が環状に整列配置されている。これら入口孔と出口孔との間には円環状の内部通路が形成されている。コネクタ１５ｅ，１５ｆは、ホルダ１３側の圧気入口に固定されている。
【０１３５】
支持部１１ｂに設けられた空所１１ｃの内周面には、２個のコネクタ１５ｃ，１５ｄが固定され、支持部１１ｂの外周面には２個のコネクタ１５ａ，１５ｂが固定されている。ここで、コネクタ１５ａとコネクタ１５ｃとが連通し、コネクタ１５ｂとコネクタ１５ｄとが連通する。コネクタ１５ｅとコネクタ１５ｃとは可撓性チューブ１６ａを介して連結され、コネクタ１５ｆとコネクタ１５ｄとは同様に可撓性チューブ１６ｂを介して連結される。コネクタ１５ａとコネクタ１５ｂにはそれぞれチューブ接続用のプラグが形成されているから、ここに可撓性チューブを差し込むことによって、支持部１１ｂからホルダ１３の内部へと圧気を供給することが可能となる。
【０１３６】
ホルダ１３の中央部には転写窓１３ａが開口されており、この転写窓１３ａから下面側に保持された転写板１４が露出される。この例では、転写板１４はホルダ１３の下面に接着剤で固定される。転写板１４の裏面には、円周に沿って適当な間隔で複数個の噴射口１４ａが配列されている。コネクタ１５ａ，１５ｂから圧気を供給すると、この供給された圧気は、転写板１４裏面側の噴射口１４ａから転写対象物へ向けて噴射される。これにより、転写板１４はホルダ１３と共に浮上する。
【０１３７】
以上の構成よりなる配線パターン修復装置によって、修復作業を行う場合には、まず、
図示しないＸＹ位置決め機構を作動して、レーザ転写ユニット１００に含まれる対物レンズ３２をリペア箇所の真上に位置決めする。この位置決めには、リペア箇所のＸＹ座標と対物レンズ３２の光軸のＸＹ座標とに基づくオープンループの位置決め制御、並びに、電子カメラ３７の映像を画像処理して得られるリペア箇所の位置と電子カメラ視野内の基準点との距離を計測しつつ行うサーボループの位置決め制御が併用される。
【０１３８】
リペア箇所の真上に対物レンズ３２の光軸が位置決めされたならば、次に、三次元位置決め機構２を作動して、対物レンズ３２の光軸を遮ぎる重なり位置から同光軸を遮らない待避位置へと転写ヘッド１を待避させたのち、レーザ照射光学系３ｋ全体を降下させつつ、電子カメラ３７のピント判定出力を監視し、ピントがあった時点までの降下距離から、所定の基準高さからリペア対象物上面までの距離（Ａ）を取得する。
【０１３９】
次に、三次元位置決め機構を再び作動して、対物レンズ３２の光軸を遮らない待避位置から対物レンズ３２の光軸を遮ぎる重なり位置へと転写ヘッド１を復帰させたのち、先ほどと同様にして、レーザ照射光学系３の全体を降下させつつ、電子カメラ３７のピント判定出力を監視し、ピントがあった時点までの降下距離から、所定の基準高さからリペア対象物上面までの距離（Ｂ）を取得する。
【０１４０】
次に、距離（Ａ）と距離（Ｂ）とに基づいて、転写板とリペア対象物との距離（Ｘ）｛（Ａ）−（Ｂ）｝を算出したのち、リペア対象物表面からの転写板１０１までの高さ（Ｈ１：約５ｍｍ程度）を第１の目標高さとして、それまでの降下距離（Ｘ−Ｈ１）だけ転写ヘッド機体１０４をオープンループ制御で降下させる。降下距離（Ｘ−Ｈ１）だけ転写ヘッド機体１０４をオープンループ制御で降下させたならば、続いて、リペア対象物表面からの転写板１０１までの高さ（Ｈ２：約１００μｍ程度）を第２の目標高さとして、それまでの降下距離（Ｘ−Ｈ１−Ｈ２）だけ転写ヘッド機体１０４をオープンループ制御で降下させる。
【０１４１】
このとき、第２の目標高さ（Ｈ２）は、圧気噴射による自力浮上作用が作動し始める高さ領域内に設定されているため、転写ヘッド機体１０４が第２の目標高さ（Ｈ２）まで降下する途中で、転写板ホルダ１０３は転写ヘッド機体１０４に対して自力浮上する。そのため、第１及び第２の目標高さへ接近するためのオープンループ制御に多少の誤差があったり、リペア対象物側の理由で表面高さが変動したりしても、転写ヘッド１の降下する過程で、転写板１０１がリペア対象物に衝突して表面を損壊する等の虞を確実に回避することができ、転写板１０１とリペア対象物との距離は、圧気噴射による自力浮上作用により、圧気の圧力乃至流量を適切に設定することで、最適範囲（例えば、５〜２０μｍ）に維持されることとなる。
【０１４２】
その後、図示しないレーザ源を駆動することによって、レーザビームをワンショット照射すると、照射スポット（例えばライン上）に対応する転写材料の薄膜がリペア対象箇所へと転写され、必要であれば、その近接距離を維持したまま転写ヘッド１を所定ピッチ水平方向へシフトさせては、以上のワンショット照射を複数回繰り返す。
【０１４３】
すると、修復対象箇所には、転写材料の薄膜が複数層積層されて、必要な積層厚が得られる。この水平方向へのシフト中にあっては、窒素ガス等の圧気の噴射が行われているため、転写箇所の冷却作用と間隙保持作用とが同時になされ、転写板が不用意に修復対象物に衝突してこれを損壊させるといった事態を未然に防止することができる。
【０１４４】
このように、本発明の転写ヘッド１によれば、圧気を噴射することによって、転写板１０１と転写対象物との距離を向こう合わせで所定の微細距離に保持することができるため、Ｚ方向駆動部２３を介する電気的な制御については転写板が転写対象物まである程度近づくまでのおおよその制御をするだけでよく、以後は気体の噴射による向こう合わせの浮上作用が作用して、転写板を安全に転写対象物に近接させることができるため、修復対象となる表示デバイス等の上に多数の欠陥箇所が存在するような場合でも、それらの箇所に順次高速で移動しては、転写ヘッド１を降下させる処理を高速に繰り返すことができ、この種の作業のタクトタイムを大幅に短縮できる利点がある。
【産業上の利用可能性】
【０１４５】
本発明によれば、レーザリペア装置に代表されるこの種のレーザ転写装置において、転写材料の薄膜と転写対象物との距離を常にミクロンオーダー（例えば、５〜２０μｍ）に維持することが可能となる利点がある。
【図面の簡単な説明】
【０１４６】
【図１】第１実施形態の構成図である。
【図２】第１実施形態の配管系統の説明図である。
【図３】第２実施形態の構成図である。
【図４】第２実施形態の配管系統の説明図である。
【図５】第３実施形態の構成図である。
【図６】第４実施形態の構成図である。
【図７】第５実施形態の構成図である。
【図８】第５実施形態の配管系統の説明図である。
【図９】第６実施形態の構成図である。
【図１０】第７実施形態の構成図である。
【図１１】第８実施形態の構成図である。
【図１２】第９実施形態の構成図である。
【図１３】第１０実施形態の構成図である。
【図１４】第１１実施形態の構成図である。
【図１５】第１２実施形態の構成図である。
【図１６】第１３実施形態の構成図である。
【図１７】第１４実施形態の構成図である。
【図１８】本発明が適用された配線パターン修復装置の外観斜視図である。
【図１９】転写ヘッドの外観斜視図である。
【図２０】転写ヘッドの分解斜視図である。
【図２１】転写ヘッドの上下反転状態の外観斜視図である。
【図２２】転写ヘッドの平面図である。
【図２３】本発明の前提となるレーザ転写法の説明図である。
【符号の説明】
【０１４７】
１      転写ヘッド
２      ３次元位置決め機構
３      レーザ照射光学系
４      レーザビーム
１１    転写ヘッド機体
１１ａ  取付部
１１ｂ  支持部
１１ｃ  空所
１２    板バネ
１２ａ  開口
１２ｂ  打ち抜き孔
１２ｃ  打ち抜き孔
１２ｄ  ネジ孔
１２ｅ  ネジ孔
１３    転写板ホルダ
１３ａ  転写窓
１３ｂ  ネジ孔
１４    転写板
１４ａ  噴射口
１５ａ  コネクタ
１５ｂ  コネクタ
１５ｃ  コネクタ
１５ｄ  コネクタ
１５ｅ  コネクタ
１５ｆ  コネクタ
１６ａ  可撓性チューブ
１６ｂ  可撓性チューブ
２１    Ｘ方向駆動部
２２    Ｙ方向駆動部
２３    Ｚ方向駆動部
３１    ビーム分離器
３２    対物レンズ
３３    ロータリエンコーダ
３４    ビーム整形機構
３５    ＬＥＤ照明器
３６    回転ディスク
３７    電子カメラ
３８    Ｚ方向ガイドレール
３９    入射口
１００  レーザ転写ユニット
１０１  転写板
１０１ａ  圧気噴射孔
１０２    転写対象物
１０２ａ  被転写面
１０３    転写板ホルダ
１０３ａ  転写窓
１０３ｂ  圧気入口孔
１０３ｃ  圧気出口孔
１０３ｄ  ホルダ内圧気通路
１０３ｅ  吸引孔
１０３ｆ  吸引孔
１０３ｇ  内部通路
１０３ｈ  外周フランジ部
１０３ｉ  フランジ部
１０３ｋ  兼用孔
１０３ｌ  兼用孔
１０３ｍ  圧気通路
１０４    転写ヘッド機体
１０４ａ  転写板ホルダ収容用空所
１０４ｂ  段部
１０４ｃ  圧気噴射口
１０４ｄ  圧気噴射口
１０４ｅ  圧気受入口
１０４ｆ  内部通路
１０４ｇ  透明窓板
１０４ｈ  シリンダ部材
１０４ｉ  環状段部
１０４ｊ  チャンバ
１０４ｋ  ピストン部材
１０５    圧気
１０６    板バネ
１０７    可撓性チューブ
１０７ａ  圧気噴射ノズル
１０７Ａ  第１の圧気供給用チューブ
１０７Ｂ  第２の圧気供給用チューブ
１０８    吸引チューブ
１０９    接着剤
１１０    鋼球ガイド
１１１    圧縮バネ
１１２    樹脂軸受け
１１３    チューブ
１１３ａ  ノズル
１１４ａ  ノズル
１１５    ノズル
１１６    カプラ
１１６ａ  圧気噴射ノズル
１１７    チューブ
１１８    真空管路
１２０    圧気管路
１２１    環状突条
１２２    シール部
１２３    空所
Ｃ１      共通光路
Ｃ２      レーザ照射用光路
Ｃ３      撮影用光路
【図１】
2008242346.tif 000003
【図２】
2008242346.tif 000004
【図３】
2008242346.tif 000005
【図４】
2008242346.tif 000006
【図５】
2008242346.tif 000007
【図６】
2008242346.tif 000008
【図７】
2008242346.tif 000009
【図８】
2008242346.tif 000010
【図９】
2008242346.tif 000011
【図１０】
2008242346.tif 000012
【図１１】
2008242346.tif 000013
【図１２】
2008242346.tif 000014
【図１３】
2008242346.tif 000015
【図１４】
2008242346.tif 000016
【図１５】
2008242346.tif 000017
【図１６】
2008242346.tif 000018
【図１７】
2008242346.tif 000019
【図１８】
2008242346.tif 000020
【図１９】
2008242346.tif 000021
【図２０】
2008242346.tif 000022
【図２１】
2008242346.tif 000023
【図２２】
2008242346.tif 000024
【図２３】
2008242346.tif 000025