(57)【要約】【課題】多孔質体１０内の欠陥１７を多孔質体１０の長さ、欠陥１７の位置や寸法に影響されず精度よく確実に検出すること。【解決手段】多孔質体１０の下端部１２から微粒子ガス生成手段３０で生成させた直径１〜１０μｍの微粒子ガス３１を微粒子ガス導入手段２０をなすチャンバー２１から導入させ、多孔質体１０の上端部１３と略平行に指向性の強い光４１を光発生手段４０により発生させ、光４１が多孔質体１０の上端部１３から排出される微粒子ガス３１を照射して微粒子ガス３１を可視化して多孔質体１０内の欠陥１７を検出する多孔質体の検査方法であって、  微粒子ガス３１を４００℃以下で加熱し生成したグリコール系アルコール蒸気とし、当該グリコール系アルコール蒸気を、多孔質体１０の下端部１２から０Ｐａ状態において、その上昇力で導入して多孔質体１０内の欠陥１７を検出する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
多孔質体の下端部から直径１〜１０μｍの微粒子ガスを導入させ、
前記多孔質体の上端部と略平行に指向性の強い光を発生させ、
前記光が前記多孔質体の上端部から排出される前記微粒子ガスを照射して前記微粒子ガスを可視して前記多孔質体内の欠陥を検出する多孔質体の検査方法であって、
前記微粒子ガスを前記多孔質体の下端部から１Ｐａ未満で導入させて前記多孔質体内の欠陥を検出することを特徴とする多孔質体の検査方法。
【請求項２】
前記多孔質体の下端部からの前記微粒子ガスの１Ｐａ未満での導入は、０Ｐａ状態において前記微粒子ガス自体の上昇力で導入させることを特徴とする請求項１記載の多孔質体の検査方法。
【請求項３】
前記微粒子ガスはグリコール系アルコールを４００℃以下の温度で加熱して生成させたグリコール系アルコール蒸気であることを特徴とする請求項1又は２記載の多孔質体の検査方法。
【請求項４】
多孔質体の下端部から直径１〜１０μｍの微粒子ガスを導入させ、
前記多孔質体の上端部と略平行に指向性の強い光を発生させ、
前記光が前記多孔質体の上端部から排出される前記微粒子ガスを照射して前記微粒子ガスを可視して前記多孔質体内の欠陥を検出する多孔質体の検査方法であって、
前記微粒子ガスを４００℃以下の温度で加熱して生成させたグリコール系アルコール蒸気とし当該グリコール系アルコール蒸気を導入させて前記多孔質体内の欠陥を検出することを特徴とする多孔質体の検査方法。
【請求項５】
前記グリコール系アルコール蒸気は水蒸気と作用させることを特徴とする請求項３又は４記載の多孔質体の検査方法。
【請求項６】
前記微粒子ガスは前記多孔質体の体積の少なくとも半分以上の容積が前記多孔質体内に充填されることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一つに記載の多孔質体の検査方法。
【請求項７】
前記多孔質体の下端部から上端部までの長さは１０〜６００ｍｍであることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一つに記載の多孔質体の検査方法。
【請求項８】
前記光を面状に発生させて前記欠陥を二次元的もしくは一次元的に検出することを特徴とする請求項１〜７のいずれか一つに記載の多孔質体の検査方法。
【請求項９】
前記光の波長は１００〜１，０００，０００ｎｍであることを特徴とする請求項１〜８のいずれか一つに記載の多孔質体の検査方法。
【請求項１０】
前記多孔質体はディーゼルパティキュレートフィルター用ハニカム構造体であることを特徴とする請求項１〜９のいずれか一つに記載の多孔質体の検査方法。
【請求項１１】
直径１〜１０μｍの微粒子ガスを生成させる微粒子生成手段と、
前記微粒子ガス生成手段で生成させた微粒子ガスを前記多孔質体の下端部から導入させる微粒子ガス導入手段と、
前記多孔質体の上端部と略平行に指向性の強い光を発生させて前記微粒子ガスを可視させるように前記光が前記多孔体の上端部から排出される前記微粒子ガスを照射させる光発生手段とを備えた多孔質体の検査装置であって、
前記微粒子ガス導入手段は前記微粒子ガスを前記多孔質体の下端部から１Ｐａ未満で導入させる手段であることを特徴とする多孔質体の検査装置。
【請求項１２】
前記多孔質体の下端部からの前記微粒子ガスの１Ｐａ未満での導入は、０Ｐａ状態において前記微粒子ガス自体の上昇力で導入させることを特徴とする請求項１１記載の多孔質体の検査装置。
【請求項１３】
前記微粒子ガス生成手段はグリコール系アルコールを４００℃以下の温度で加熱してグリコール系アルコール蒸気を生成させる手段であることを特徴とする請求項１１又は１２記載の多孔質体の検査装置。
【請求項１４】
直径１〜１０μｍの微粒子ガスを生成させる微粒子生成手段と、
前記微粒子ガス生成手段で生成させた微粒子ガスを前記多孔質体の下端部から導入させる微粒子ガス導入手段と、
前記多孔質体の上端部と略平行に指向性の強い光を発生させて前記微粒子ガスを可視させるように前記光が前記多孔体の上端部から排出される前記微粒子ガスを照射させる光発生手段とを備えた多孔質体の検査装置であって、
前記微粒子生成手段はグリコール系アルコールを４００℃以下の温度で加熱してグリコール系アルコール蒸気を生成させる手段であることを特徴とする多孔質体の検査装置。
【請求項１５】
前記グリコール系アルコール蒸気は水蒸気と作用させることを特徴とする請求項１３又は１４記載の多孔質体の検査装置。
【請求項１６】
前記微粒子ガス導入手段には前記多孔質体の体積の少なくとも半分以上の前記微粒子ガス容積を前記多孔質体内に充填するチャンバーが設けられていることを特徴とする請求項１１〜１５のいずれか一つに記載の多孔質体の検査装置。
【請求項１７】
前記多孔質体の下端部から上端部までの長さは１０〜６００ｍｍであることを特徴とする請求項１１〜１６のいずれか一つに記載の多孔質体の検査装置。
【請求項１８】
前記光発生手段は前記光を面状に発生させる手段であることを特徴とする請求項１１〜１７のいずれか一つに記載の多孔質体の検査装置。
【請求項１９】
前記光の波長は１００〜１，０００，０００ｎｍであることを特徴とする請求項１１〜１８のいずれか一つに記載の多孔質体の検査装置。
【請求項２０】
前記多孔質体はディーゼルパティキュレートフィルター用ハニカム構造体であることを特徴とする請求項１１〜１９のいずれか一つに記載の多孔質体の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は多孔質体の検査方法及び検査装置に関するもので、特にディーゼルパティキュレートフィルター（ＤＰＦ）のハニカム構造体の検査方法に好適である。
【背景技術】
【０００２】
多孔質体たとえばディーゼルパティキュレートフィルター（ＤＰＦ）のハニカム構造体の欠陥（孔）の存在位置を検出する検査方法は下記特許文献１に記載されている。下記特許文献１においては、微粒子ガスを発生させた後、この微粒子ガスを被検査体であるＤＰＦ内へ導入し、次いで、ＤＰＦの近傍を通過するように指向性の強い光を発生させ、この光がＤＰＦから排出される微粒子ガスを照射して微粒子を可視化することでＤＰＦ内の欠陥を検出している。
【０００３】
上記の検査方法では、微粒子ガスの発生方法として香類の燃焼によって発生させる方法、あるいはグリコール類及び／又は水を噴霧することによって発生させる方法等が記載されている。また、発生させた微粒子ガスをＤＰＦ内に１〜３０Ｐａの圧力で導入させている。
【特許文献１】特開２００２−３５７５６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、発明者は添付図７に示すように検査ガスとしての微粒子ガスをある圧力で多孔質体（ＤＰＦ）の下端部から導入して欠陥の検出率を調べたところ、下端部（入口）側に欠陥が存在する場合は導入圧力の変化に検出率の差は見られなかったが、欠陥が上端部（出口）側に存在する場合は導入圧力が高くなるに連れ検出率が低下することを見出した。これは多孔質体の下端部と上端部との間に圧力差（圧力分布）が生じて上端部側の圧力が小さくなるが微粒子は上端部側の通風抵抗の小さい欠陥を流通すると共に導入圧力が高い状態（圧力低下がほとんどない状態）の下端部側の微細孔からも流通して上端部側と下端部側の微粒子が混合する。そのため上端部側の欠陥を流通する微粒子のみを見出すことができず、下端部側に欠陥が存在する場合より検出率が低下する。
【０００５】
しかし、上記図７に示すように欠陥が上端部（出口）側に存在する場合でも導入圧力を１Ｐａ未満（０Ｐａ状態も含む）のような非常に低い圧力に設定すれば欠陥が下端部側に存在する場合と同じ検出率が得られた。すなわち導入圧力を１Ｐａ未満（０Ｐａ状態も含む）のような非常に低い圧力に設定すれば、欠陥の検出率は多孔質体の長さ方向の位置に影響されないことを見出した。これは微粒子ガスの導入圧力を低くすると、上端部側に欠陥が存在した場合でも下端部側の微細孔からは微粒子ガスは導入圧力が低いため通風抵抗が大きい微細孔を流通せず通風抵抗の小さい上端部側の欠陥から微粒子ガスが流通するためである。このように導入圧力を大きくすれば下端部と上端部との圧力差が大きくなってこの現象は顕著に現われ、軸長が長く、欠陥が上端部側に存在する多孔質体においては、欠陥の検出精度が低下することを見出した。
【０００６】
また、微粒子ガスを発生させる場合、添付図８、図９に示すように例えば炭素を含有する香類を燃焼させて微粒子ガスを生成させた場合、微粒子生成後１０秒後と５０秒後では５０秒後の方が微粒子の粒径が大きくなることを見出した。これは高温度で熱分解し活性化した炭素が短時間の間に互いに凝集して大粒となるためである。そのため大粒の微粒子の落下が促進され微粒子ガス中の粒子の分散が不均一になり検出精度にばらつきが生じる。被検出体である多孔質体の軸長が長い（高い）と大粒の微粒子の落下度合いが高くなり、やはり軸長が長く、欠陥が上端部側に存在する多孔質体においては、欠陥の検出精度が低下することを見出した。
【０００７】
また、導入させる微粒子ガスは被検査体の体積に対して所定量の容積で上記の低圧力で被検査体に充填させることが必要であることも見出した。
【０００８】
本発明は上記の点に鑑みてなされたもので、微粒子ガスを被検査体である多孔質体の下端面から１Ｐａ未満の圧力で導入させることにより、あるいは炭素を含有する微粒子ガスを熱分解しない温度以下で発生させ多孔質体の下端面から導入させることにより、被検査体である多孔質体の長さや多孔質体内部の欠陥位置や欠陥寸法に影響されず、精度よく欠陥を検出できる多孔質体の検査方法を提供することにある。また、その検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明においては、微粒子ガスの導入圧力を１Ｐａ未満（０Ｐａ状態も含む）とすることを特徴とする。また、他の発明においては、導入する微粒子ガスはグリコール系アルコールを４００℃以下の温度で加熱して生成させたグリコール系アルコール蒸気とすることを特徴とする。
【００１０】
請求項１に係る発明では、多孔質体の下端部から直径１〜１０μｍの微粒子ガスを導入させ、前記多孔質体の上端部と略平行に指向性の強い光を発生させ、前記光が前記多孔質体の上端部から排出される前記微粒子ガスを照射して前記微粒子ガスを可視して前記多孔質体内の欠陥を検出する多孔質体の検査方法であって、
前記微粒子ガスを前記多孔質体の下端部から１Ｐａ未満で導入させて前記多孔質体内の欠陥を検出することを特徴とする。
【００１１】
上記構成によれば、前記微粒子ガスは極めて低圧で導入されるので、多孔質体内の欠陥をその位置や欠陥の寸法に影響されず精度よく確実に検出することができる。従って軸長の長く欠陥が上端部側に存在する多孔質体であって当該欠陥を精度よく確実に検出することができる。
【００１２】
請求項２に係る発明では、前記多孔質体の下端部からの前記微粒子ガスの１Ｐａ未満での導入は、０Ｐａ状態において前記微粒子ガス自体の上昇力で導入させることを特徴とする。
【００１３】
上記構成によれば、０Ｐａ状態において前記微粒子ガス自体の上昇力で導入させているから、前記多孔質体の下端部と上端部との圧力差が発生せず微粒子ガスが多孔質体の微細孔を流通するのを抑止でき、より精度よくより確実に検出することができる。
【００１４】
請求項３に係る発明では、前記微粒子ガスはグリコール系アルコールを４００℃以下の温度で加熱して生成させたグリコール系アルコール蒸気であることを特徴とする。
【００１５】
上記構成によれば、更に前記微粒子ガスを４００℃以下の温度で加熱して生成したグリコール系アルコール蒸気としているから、上記効果に加えて熱分解による活性化炭素の凝集によって微粒子が大粒化し落下するのを抑止し、前記微粒子ガスの分散を均一にでき検査精度のバラツキを防止できると共に軸長の長い多孔質体の欠陥検出に効果を発揮する。
【００１６】
請求項４に係る発明では、多孔質体の下端部から直径１〜１０μｍの微粒子ガスを導入させ、前記多孔質体の上端部と略平行に指向性の強い光を発生させ、前記光が前記多孔質体の上端部から排出される前記微粒子ガスを照射して前記微粒子ガスを可視して前記多孔質体内の欠陥を検出する多孔質体の検査方法であって、
前記微粒子ガスを４００℃以下の温度で加熱して生成させたグリコール系アルコール蒸気とし当該グリコール系アルコール蒸気を導入させて前記多孔質体内の欠陥を検出ることを特徴とする。
【００１７】
上記構成によれば、前記微粒子ガスを４００℃以下の温度で加熱して生成したグリコール系アルコール蒸気としているから、熱分解による活性化した炭素の凝集によって大粒の微粒子が大粒化し落下するのを抑止して前記微粒子ガスの分散を均一にでき検査精度のバラツキを防止でき、従って軸長の長く欠陥が上端部側に存在する多孔質体であって当該欠陥を精度よく確実に検出する効果を発揮する。
【００１８】
請求項５に係る発明では、前記グリコール系アルコール蒸気は水蒸気と作用させることを特徴とする。
【００１９】
上記構成によれば、生成するグリコール系アルコール蒸気を確実な粒子状にすることができる。従って可視化による検出精度が向上する。
【００２０】
請求項６に係る発明では、前記微粒子ガスは前記多孔質体の体積の少なくとも半分以上の容積が前記多孔質体内に充填されることを特徴とする。
【００２１】
上記構成によれば、前記微粒子ガスの必要量が前記欠陥内を確実に流通し前記指向性の光で可視化が確実に行え検査精度が向上する。
【００２２】
請求項７に係る発明では、前記多孔質体の下端部から上端部までの長さは１０〜６００ｍｍであることを特徴とする。
【００２３】
上記構成によれば、前記多孔質体の長さを１０〜６００ｍｍに設定することによって多孔質体の欠陥の検出を適用可能にすることができる。特に長さが長い場合に適用効果が発揮される。
【００２４】
請求項８に係る発明では、前記光を面状に発生させることを特徴とする。
【００２５】
上記構成によれば、欠陥を一次元的は勿論のこと二次元的に検出でき欠陥の幅広い発生位置を精度良く確実に検出することができる。
【００２６】
請求項９に係る発明では、前記光の波長は１００〜１，０００，０００ｎｍであることを特徴とする。
【００２７】
上記構成によれば、欠陥を確実に可視化することができる。
【００２８】
請求項１０に係る発明では、前記多孔質体はディーゼルパティキュレートフィルター用ハニカム構造体であることを特徴とする。
【００２９】
上記構成によれば、本発明方法における多孔質体の構造に最適であり、欠陥の検出効果が最もよく発揮される。
【００３０】
請求項１１に係る発明では、直径１〜１０μｍの微粒子ガスを生成させる微粒子生成手段と、前記微粒子ガス生成手段で生成させた微粒子ガスを前記多孔質体の下端部から導入させる微粒子ガス導入手段と、前記多孔質体の上端部と略平行に指向性の強い光を発生させて前記微粒子ガスを可視させるように前記光が前記多孔体の上端部から排出される前記微粒子ガスを照射させる光発生手段とを備えた多孔質体の検査装置であって、
前記微粒子ガス導入手段は前記微粒子ガスを前記多孔質体の下端部から１Ｐａ未満で導入させる手段であることを特徴とする。
【００３１】
上記構成によれば、前記微粒子ガスは前記微粒子ガス導入手段により極めて低圧で導入されるので、多孔質体の長さや多孔質体内の欠陥をその位置や欠陥の寸法に影響されず精度よく確実に検出することができる。
【００３２】
請求項１２に係る発明では、前記多孔質体の下端部からの前記微粒子ガスの１Ｐａ未満での導入は、０Ｐａ状態において前記微粒子ガス自体の上昇力で導入させることを特徴とする。
【００３３】
上記構成によれば、０Ｐａ状態において前記微粒子ガス自体の上昇力で導入させているから、前記多孔質体の下端部と上端部との圧力差が発生せず微粒子ガスが多孔質体の微細孔を流通するのを抑止でき、より精度よくより確実に検出することができる。
【００３４】
請求項１３に係る発明では、前記微粒子ガス生成手段はグリコール系アルコールを４００℃以下の温度で加熱してグリコール系アルコール蒸気を生成させる手段であることを特徴とする。
【００３５】
上記構成によれば、更に前記微粒子ガスをグリコール系アルコール４００℃以下の温度で加熱して生成したグリコール系アルコール蒸気としているから、上記効果に加えて熱分解による活性化した炭素の凝集によって大粒の微粒子が大粒化し落下するのを抑止し、前記微粒子ガスの分散を均一にでき検査精度のバラツキを防止できる共に軸長の長い多孔質体の欠陥検出にも効果を発揮する。    
【００３６】
請求項１４に係る発明では、直径１〜１０μｍの微粒子ガスを生成させる微粒子生成手段と、前記微粒子ガス生成手段で生成させた微粒子ガスを前記多孔質体の下端部から導入させる微粒子ガス導入手段と、前記多孔質体の上端部と略平行に指向性の強い光を発生させて前記微粒子ガスを可視させるように前記光が前記多孔体の上端部から排出される前記微粒子ガスを照射させる光発生手段とを備えた多孔質体の検査装置であって、
前記微粒子生成手段はグリコール系アルコールを４００℃以下の温度で加熱してグリコール系アルコール蒸気を生成させる手段であることを特徴とする。
【００３７】
上記構成によれば、前記微粒子ガスをグリコール系アルコール４００℃以下の温度で加熱して生成したグリコール系アルコール蒸気としているから、熱分解による活性化した炭素の凝集によって微粒子が大粒化して落下するのを抑止し、前記微粒子ガスの分散を均一にでき検査精度のバラツキを防止できる。従って軸長の長い多孔質体の欠陥検出に効果が発揮される。
【００３８】
請求項１５に係る発明では、前記グリコール系アルコール蒸気は水蒸気と作用させることを特徴とする。
【００３９】
上記構成によれば、生成するグリコール系アルコール蒸気を確実な粒子状にすることができる。従って可視化による検出精度が向上する。
【００４０】
請求項１６に係る発明では、前記微粒子ガス導入手段には前記多孔質体の体積の少なくとも半分以上の前記微粒子ガス容積を前記多孔質体内に充填させるチャンバーが設けられていることを特徴とする。
【００４１】
上記構成によれば、前記微粒子ガスの必要量が前記欠陥内を確実に流通し前記指向性の光で可視化が確実に行え検査精度が向上する。
【００４２】
請求項１７に係る発明では、前記多孔質体の下端部から上端部までの長さは１０〜６００ｍｍであることを特徴とする。
【００４３】
上記構成によれば、前記微粒子ガスの導入圧を１Ｐａ未満に設定しているから、前記多孔質体の長手方向での導入圧力分布差がほとんど発生せず、従って前記多孔質体の長さが６００ｍｍ程度の長い場合でも、精度良く確実に欠陥を検出することができる。
【００４４】
請求項１８に係る発明では、前記光発生手段は前記光を面状に発生させる手段であることを特徴とする。
【００４５】
上記構成によれば、欠陥を一次元的は勿論のこと二次元的に検出でき欠陥の幅広い発生位置を精度良く確実に検出することができる。
【００４６】
請求項１９に係る発明では、前記光の波長は１００〜１，０００，０００ｎｍであることを特徴とする。
【００４７】
上記構成によれば、欠陥を確実に可視化することができる。
【００４８】
請求項２０に係る発明では、前記多孔質体はディーゼルパティキュレートフィルター用ハニカム構造体であることを特徴とする。
【００４９】
上記構成によれば、本発明装置において多孔質体の構造に最適であり、欠陥の検出効果が最もよく発揮される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５０】
以下図に基づき本発明の実施形態を説明する。図１は本発明になる検査方法を実施する検査装置の模式図である。図２、３は本発明検査方法の説明に供する多孔質体部分の拡大断面図である。
【００５１】
被検出体である多孔質体１０は微粒子ガス導入手段２０をなすチャンバー２１の上に載置されている。多孔質体１０は本実施形態ではディーゼルエンジンの排気浄化装置に使用されるハニカム構造ＤＰＦ（ディーゼルパティキュレートフィルター）のである。多孔質体１０はセル孔１１を上下方向に配置し両端部の一方をチャンバー２１に外部に対し気密接続し下端部１２とし、他方を上端部１３とする。セル孔１１は薄い隔壁１４で形成される。セル孔１１は両端部１２、１３で交互に栓１５で閉塞されている。隔壁１４には無数の微細孔１６が形成されており多孔質体１０を形成している。微細孔１６の径は１０〜２０μｍ（ミクロン）程度である。なお、実施形態におけるＤＰＦの寸法は直径１６０ｍｍ、軸の長さＬ（下端部１２と上端部１３との長さ）は１００ｍｍであるが、適用可能な長さＬは１０〜６００ｍｍがよく、望ましくは５０〜４５０ｍｍ、さらに望ましくは１００〜３５０ｍｍである。
【００５２】
微粒子ガス導入手段２０をなすチャンバー２１は微粒子ガス３１を生成する微粒子ガス生成手段３０に一体的に接続されている。微粒子ガス生成手段３０は生成した微粒子ガス３１が外部に流出しない構造で、その内部で微粒子ガス３１を生成する。本実施形態では微粒子ガス３１はグリコール系アルコール（プロピレングリコール）と蒸留水を混ぜ、４００℃以下の温度に内蔵したヒータ（図示せず）で加熱してグリコール系アルコールの蒸気を生成する。４００℃以下の温度でグリコール系アルコールを加熱してグリコール系アルコール蒸気を生成すれば、図４、５に示すようにグリコール系アルコール蒸気は生成後１０秒と５０秒経過の粒径の差（大粒化）はほとんど見られない。
【００５３】
また、グリコール系アルコールと蒸留水とを一緒に加熱することで、加熱されたグリコール系アルコール気体が水蒸気と作用（グリコール系アルコール気体が水蒸気に溶け込む）してグリコール系アルコール蒸気を生成する。グリコール系アルコールと蒸留水を別々にして微粒子ガス生成手段３０内で加熱してグリコール系アルコール気体と水蒸気とを作用させてもよい。また、グリコール系アルコール気体と水蒸気とを作用させることにより、グリコール系アルコール蒸気を確実な粒子状にすることができる。グリコール系アルコール蒸気を確実な粒子状にすれば流通や後述する可視化が良好になる。なお、上記のグリコール系アルコールの加熱温度を４００℃以下に設定して熱分解による炭素の活性化を抑止しているが、望ましくは３００℃以下がよく、熱分解によって炭素が活性化して凝集し大粒化するのを確実に防止できる。
【００５４】
本発明では微粒子ガス生成手段３０で生成される微粒子ガス３１の粒径は図６に示す実験によれば１〜１０μｍが望ましい。微粒子径が１０μｍを超えると検出率（精度）が低下する。
【００５５】
微粒子ガス導入手段２０をなすチャンバー２１は多孔質体１０の体積に比べて充分大きい容積を維持しており、少なくとも多孔質体１０の体積の半分以上を必要とする。微粒子ガス生成手段３０で生成されたグリコール系アルコール蒸気がチャンバー２１内に供給されチャンバー２１内はグリコール系アルコール蒸気で充満される。充満された状態でもグリコール系アルコール蒸気の圧力は１Ｐａ未満を維持する。
【００５６】
チャンバー２１内のグリコール系アルコール蒸気はチャンバー２１内の圧力が０Ｐａ状態であっても、その浮力による自体の上昇力で検出体である多孔質体１０の下端部１２からセル孔１１内を上昇する。多孔質体１０の下端部１２から検査ガスである微粒子ガス３１をその上昇力で導入させる場合は、多孔質体１０の下端部１２と上端部１３との圧力差は必要としないが、本発明では図７で説明したように多孔質体１０の下端部１２からの微粒子ガス３１の導入圧力を１Ｐａ未満に設定して導入してもよい。微粒子ガス３１の導入圧力を０Ｐａ状態も含む１Ｐａ未満に設定した場合、微粒子ガス３１は、グリコール系アルコール蒸気は勿論のこと水蒸気でもよく、香類等の煙でもよく、微粒子が１〜１０μｍの粒径であればよい。
【００５７】
多孔質体１０の上端部１３の上にはレーザー光等の指向性の強い光４１を照射する光発生手段４０が配置されている。光発生手段４０からの光４１は多孔質体１０の上端部１３とほぼ平行に照射され、多孔質体１０の上端部１３との照射位置高さＨは３〜５ｍｍが望ましい。この光４１は後述するように多孔質体１０の上端部１３から導出してきた微粒子ガス３１に照射され微粒子ガスを可視化させる。
【００５８】
光発生手段４０は光４１を多孔質体１０の上端部１３の面と平行に面状に照射するように設定されている。光４１の波長は１００〜１、０００、０００ｎｍ（ナノメートル）でありこの範囲に設定すれば可視化でき、望ましくは３００〜４，０００ｎｍ、さらに望ましくは４００〜７００ｎｍがよい。
【００５９】
光発生手段４０の上には可視化された微粒子ガス３１を記録するカメラ５０が配置されている。カメラ５０はその視線５１が光４１の照射線の照射方向に対して所定の角度（０°〜９０°）で対向するように上から多孔質体１０の上端部１３における光４１と交差するように装着されている。カメラ５０の視線５１を光４の照射線に対して対向するようにセットすれば、順方向に比べ可視化の精度は向上する。
【００６０】
次に図２、３により本発明の検査方法において微粒子ガス３１の導入圧力を１Ｐａ未満（０Ｐａ状態も含む）に設定した検査方法を説明する。図２は欠陥（孔径０．１ｍｍ程度）１７が被検査体である多孔質体１０の下端部１２側（入口側）に存在する場合を示し、図３は欠陥１７が多孔質体１０の上端部１３側（出口側）に存在する場合を示す。
【００６１】
先ず、欠陥１７が多孔質体１０の下端部１２側に存在する場合の検出状態を説明する。上記微粒子ガス生成手段３０で生成され微粒子ガス導入手段２０をなすチャンバー２１内に充満した微粒子ガス３１としてのグリコール系アルコール蒸気がその上昇力で多孔質体１０の下端部１２のセル孔１１から矢印Ａ方向から導入される。微粒子ガス３１をその上昇力で導入させる場合、導入圧力は０Ｐａ状態であるが、微粒子ガス３１を１Ｐａ未満の圧力で導入させてもよい。ここで微粒子ガス３１の導入圧力とは、多孔質体１０の上端部１３側に対する下端部１２側の圧力すなわち上端部１３側と下端部１２側との差圧（下端部１２側が高い）を意味し、０Ｐａ状態とは上端部１３側と下端部１２側との差圧が０である状態を意味する。
【００６２】
欠陥１７が多孔質体１０の下端部１２側に存在するので、微粒子ガス３１は図７で説明したように導入圧力が１Ｐａを超えても検出率に影響されないが、導入圧力が１Ｐａ未満の低圧であるため通風抵抗の小さい欠陥１７を矢印Ｂで示すように流通し多孔質体１０の上端部１３側から導出する。この時下端部１２側の微細孔１６からはその通風抵抗が大きいので１Ｐａ未満の低圧では微粒子ガスは流通しない。
【００６３】
上端部１３側から導出した微粒子ガスは上記光発生手段４０から発生される指向性の強い光４１に照射され発光し可視化状態となる。発光して可視化した微粒子ガス３１は上記カメラ５０でその発光状態が記録され、欠陥１７の存在を検出することができる。光４１は面状に照射されるので、微粒子ガスの可視化状態を２次元的に視覚でき、下端部１２側においてより確実に欠陥１７の平面上の位置を検出することができる。
【００６４】
次に、図３により欠陥１７が多孔質体１０の上端部１３側に存在する場合の検出状態を説明する。上記微粒子ガス生成手段３０で生成されチャンバー２１内に充満した微粒子ガス３１としてのグリコール系アルコール蒸気がその上昇力で多孔質体１０の下端部１２のセル孔１１から矢印Ａ方向から導入される。グリコール系アルコール蒸気である微粒子ガス３１はその上昇力で導入させる場合導入圧力は０Ｐａ状態であるが、微粒子ガス３１を１Ｐａ未満の圧力で導入させてもよい。欠陥１７が多孔質体１０の上端部１３側に存在する場合でも微粒子ガス３１の導入圧力が１Ｐａ未満の低圧力であるため、微粒子ガス３１は下端部１２側から上端部１３側の存在する微細孔１６からは通風抵抗が大きいため流通せず、微粒子ガス３１は図７で説明したように多孔質体１０の上端部１３側の欠陥１７を矢印Ｂで示すように流通し上端部１３側から導出する。
【００６５】
そして上端部１３側から導出した微粒子ガス３１は上記光発生手段４０から発生される指向性の強い光４１に照射され発光し可視化状態となる。発光して可視化した微粒子ガスは上記カメラ５０でその発光状態が記録され、欠陥１７の存在を検出することができる。
【００６６】
本発明では上述の如く微粒子ガス３１の導入圧力を１Ｐａ未満に設定することによって欠陥の検出を可能にしているから、導入させる微粒子ガス３１は粒径が１〜１０μｍの範囲であれば上記グリコール系アルコール蒸気に制限されず、水蒸気や香類の燃焼による煙等の微粒子ガスでもよい。
【００６７】
また、本発明では上述の如く微粒子ガス３１の導入圧力を１Ｐａ未満に設定しているので、検査体である多孔質体１０の長さＬ方向の導入圧力分布に差がほとんど発生しない。導入圧力分布の差は多孔質体１０の長さＬが長いほど大きくなるため、導入圧力を１Ｐａ未満の低圧に設定すれば多孔質体１０の長さＬが長い場合に効果を発揮する。そのため多孔質体１０が６００ｍｍ程度の長さであっても上端部１３側の欠陥１７を精度良く確実に欠陥１７を検出することができる。さらに微粒子ガス３１の導入圧力を０Ｐａ状態で微粒子ガス３１自体の上昇力で導入させれば圧力分布は全く発生せず、微細孔１６からの微粒子ガス３１の流通はないので、より一層欠陥１７を精度良く検出することができる。
【００６８】
また、本発明の検査方法において微粒子ガスを上述のようにグリコール系アルコール（プロピレングリコール）を４００℃以下の温度に加熱してグリコール系アルコール蒸気を生成し導入した場合は、グリコール系アルコールの炭素はほとんど熱分解せず、従って炭素は活性化せず炭素が凝集して大粒のグリコール系アルコール蒸気になるのを抑止してグリコール系アルコール蒸気の分散を均一にできるため、検査精度のバラツキを防止できると共に大粒な粒子による落下も抑止できる。この大粒粒子の落下は多孔質体１０の長さＬ（高さ）が高いほどその度合いは高くなるため、多孔質体１０の長さＬが長い場合に効果を発揮する。そのため多孔質体１０の長さＬが６００ｍｍ程度であっても上端部１３側の欠陥１７を検出できる。この場合、グリコール系アルコール蒸気の導入圧力は１Ｐａ未満が望ましいがこれに制限されない。
【００６９】
また、グリコール系アルコール蒸気は大気中の水蒸気あるいは蒸留水から生成させた水蒸気と作用（水蒸気に溶け込ます）させることが望ましく、安定したグリコール系アルコール蒸気を得ることができる。なお、必ずしも水蒸気と作用させなくてもよくグリコール系アルコールのみで加熱し気化させその後蒸気にしてもよい。
【００７０】
上述した微粒子ガス３１の導入圧力を１Ｐａ未満に設定した検査方法及び微粒子ガス３１を４００℃以下の温度で加熱し生成したグリコール系アルコール蒸気とした検査方法において次のように設定すればそれぞれの方法において更に精度良く欠陥を検出できる。
【００７１】
また、多孔質体１０内に微粒子ガス３１の容量を多孔質体１０の体積の半分以上充填すれば、微粒子ガス３１の可視化に必要な量が欠陥１７内を流通し指向性の光４１で可視化が確実に行え検査精度が向上する。
【００７２】
また、光４１を面状に照射すれば微粒子ガス３１の可視化状態を２次元的に視覚できるので、下端部１２側においてより確実に欠陥１７の平面上の位置を検出することができる。
【００７３】
また、光４１の波長を１００〜１，０００，０００ｎｍに設定しているから、微粒子ガス３１の可視化を確実に実現できる。
【００７４】
また、本発明において多孔質体１０としてディーゼルパティキュレートフィルター用ハニカム構造体とすれば、本発明における多孔質体の構造に好適であり、欠陥の検出効果が最大限に発揮される。
【００７５】
また、本発明においては被検出体としての多孔質体は上記ＤＰＦハニカム構造体以外の多孔質体でもよく、非多孔質体にも適用できる。
【００７６】
また、多孔質体の欠陥は上記の孔径や形状に制限されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】本発明検査方法の説明に供すると共に本発明検査方法を実施する検査装置の模式図である。
【図２】本発明検査方法の説明に供するもので、欠陥１７が多孔質体１０の下端部１２側に存在する場合の拡大断面図である。
【図３】本発明検査方法の説明に供するもので、欠陥１７が多孔質体１０の上端部１３側に存在する場合の拡大断面図である。
【図４】本発明検査方法の説明に供するもので、グリコール系アルコール蒸気の生成後１０秒後の微粒子径分布を示すグラフである。
【図５】本発明検査方法の説明に供するもので、グリコール系アルコール蒸気の生成後５０秒後の微粒子径分布を示すグラフである。
【図６】本発明検査方法の説明に供するもので、微粒子径に対する検出率の関係を示すグラフである。
【図７】本発明検査方法の説明に供するもので、欠陥の存在位置をパラメータとし微粒子ガスの導入圧力と欠陥の検出率との関係を示すグラフである。
【図８】従来の検査方法において香類を燃焼し生成１０秒後の微粒子径分布を示すグラフである。
【図９】従来の検査方法において香類を燃焼し生成５０秒後の微粒子径分布を示すグラフである。
【符号の説明】
【００７８】
１０  多孔質体
１１  セル孔
１２  下端部
１３  上端部
１４  隔壁
１５  栓
１６  微細孔
１７  欠陥
２０  微粒子ガス導入手段
２１  チャンバー
３０  微粒子ガス生成手段
３１  微粒子ガス
４０  光発生手段
４１  光
５０  カメラ
５１  カメラ５０の視線
Ｌ  多孔質体１０の軸長
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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