(57)【要約】【課題】有機物汚染によるＲＯ膜フラックスの低下などを防止する目的で、ｐＨを９．５以上で原水をＲＯ装置へ供給する方法では、有機物などの阻止率が十分ではないという問題があった。【解決手段】原水を逆浸透膜処理装置へ供給する水処理装置において、逆浸透膜処理装置が、原水をｐＨ９．５以上で供給するものであって、且つ、阻止率向上剤によって処理された逆浸透膜を備える水処理装置。原水を逆浸透膜処理装置へ供給する水処理装置において、逆浸透膜処理装置が、原水をｐＨ９．５以上で供給するものであって、且つ、その一次側に阻止率向上剤を供給するための阻止率向上剤供給手段を有する水処理装置。ｐＨ９．５以上で原水を逆浸透膜処理装置へ供給する水処理方法において、定期的に、又は逆浸透膜処理装置の阻止率が低下した際に、阻止率向上剤で逆浸透膜処理装置の逆浸透膜を処理する工程を有する水処理方法。【選択図】図１
2008132421.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
原水を供給して処理水と濃縮水とを得る逆浸透膜処理装置を備えた水処理装置において、
該逆浸透膜処理装置は、ｐＨ９．５以上で原水が供給されるものであって、且つ、阻止率向上剤によって処理された逆浸透膜を備えることを特徴とする水処理装置。
【請求項２】
原水を供給して処理水と濃縮水とを得る逆浸透膜処理装置を備えた水処理装置において、
該逆浸透膜処理装置は、ｐＨ９．５以上で原水が供給されるものであって、且つ、その一次側に阻止率向上剤供給手段を有することを特徴とする水処理装置。
【請求項３】
請求項１または２において、前記阻止率向上剤がポリアルキレングリコール鎖を有する化合物であることを特徴とする水処理装置。
【請求項４】
請求項１または２において、前記阻止率向上剤がポリアルキレングリコール鎖を有する化合物およびカチオン性高分子であることを特徴とする水処理装置。
【請求項５】
逆浸透膜処理装置にｐＨ９．５以上で原水を供給して処理水と濃縮水とを得る水処理方法であって、定期的に、又は該逆浸透膜の阻止率が低下した際に、阻止率向上剤で該逆浸透膜を処理する工程を有することを特徴とする水処理方法。
【請求項６】
請求項５において、前記阻止率向上剤がポリアルキレングリコール鎖を有する化合物であることを特徴とする水処理方法。
【請求項７】
請求項５において、前記阻止率向上剤がポリアルキレングリコール鎖を有する化合物およびカチオン性高分子であることを特徴とする水処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、逆浸透膜を用いた水処理装置および水処理方法に係わり、特に水中の有機物やカチオン性物質を効率的に低減して高水質の処理水を得る水処理装置および水処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
水資源を有効に利用するために、排水を回収し、再生、再利用するプロセスや海水を淡水化するプロセスの導入が進んでいる。そしてこのような背景のもと、水質の高い処理水を得るためには、電解質除去、中低分子除去が可能なナノろ過膜や逆浸透膜（以下、特に明記しない限り逆浸透膜にはナノろ過膜を含むものとし、逆浸透膜を「ＲＯ膜」と記す）の使用が不可欠である。一方、半導体回路形成技術の進歩により、線幅６５ｎｍ以下の回路を作製することが可能となってきている。それに伴い、超純水に対する要求水質も高まっており、後段処理の負荷を軽減し、より高いレベルでの純水製造を実現する純水製造装置および純水製造方法の開発が望まれ、有機物成分に対してはデバイスへの影響が特に懸念されており、これを極力排除した水が要求されている。
【０００３】
一方、電子デバイス製造工場等から排出される有機物含有水を逆浸透膜装置（以下「ＲＯ装置」と記す）を用いて処理・回収する際、ＲＯ膜の有機物汚染によるフラックス低下やバイオファウリングを防止すると同時に処理水中の有機物濃度を効率的に低減することを目的に、ＲＯ装置給水のｐＨを９．５以上に調整する水処理方法が提案されている（特許文献１）。
【０００４】
しかし、ＲＯ装置給水のｐＨを９．５以上の条件で逆浸透膜処理（以下「ＲＯ処理」と記す）しても、ＲＯ装置では十分に有機物が除去できないため、後段処理の負荷を低減できる水処理装置および水処理方法の開発が望まれている。
【０００５】
ところで、本願出願人は、先に、イオン性高分子で処理することにより、無機電解質や水溶性有機物の阻止率を向上させたＲＯ膜を提案している（特許文献２）。しかし、本公報には、イオン性高分子でＲＯ膜を処理すること、それにより、ＮａＣｌなどの完全解離型の無機電解質やイソプロピルアルコールなどの水溶性有機物の阻止率が向上することは記載されているが、本ＲＯ膜を用いたＲＯ装置にｐＨ９．５以上の条件で原水を供給するような水処理装置および水処理方法は記載されていない。
【特許文献１】特開２００５−１６９３７２号公報
【特許文献２】特開２００６−１１０５２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は上記従来の問題点を解決し、原水をＲＯ装置に供給して処理するに当たり、効果的にＲＯ膜の有機物汚染によるフラックス低下やバイオファウリングを防止しつつ、有機物除去効果の高い水処理方法及び水処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載の水処理装置は、原水を供給して処理水と濃縮水とを得る逆浸透膜処理装置を備えた水処理装置において、該逆浸透膜処理装置は、ｐＨ９．５以上で原水が供給されるものであって、且つ、阻止率向上剤によって処理された逆浸透膜を備えることを特徴とする。
【０００８】
請求項２に記載の水処理装置は、原水を供給して処理水と濃縮水とを得る逆浸透膜処理装置を備えた水処理装置において、該逆浸透膜処理装置は、ｐＨ９．５以上で原水が供給されるものであって、且つ、その一次側に阻止率向上剤供給手段を有することを特徴とする。
【０００９】
請求項３に記載の水処理装置は、請求項１または２において、前記阻止率向上剤がポリアルキレングリコール鎖を有する化合物であることを特徴とする。
【００１０】
請求項４に記載の水処理装置は、請求項１または２において、前記阻止率向上剤が、ポリアルキレングリコール鎖を有する化合物およびカチオン性高分子であることを特徴とする。
【００１１】
請求項５に記載の水処理方法は、逆浸透膜処理装置にｐＨ９．５以上で原水を供給して処理水と濃縮水とを得る水処理方法であって、定期的に、又は該逆浸透膜の阻止率が低下した際に、阻止率向上剤で該逆浸透膜を処理する工程を有することを特徴とする。
【００１２】
請求項６に記載の水処理方法は、請求項５において、前記阻止率向上剤がポリアルキレングリコール鎖を有する化合物であることを特徴とする。
【００１３】
請求項７に記載の水処理方法は、請求項５において、前記阻止率向上剤がポリアルキレングリコール鎖を有する化合物およびカチオン性高分子であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、阻止率向上剤で処理したＲＯ膜を用いることにより、ｐＨ９．５以上で給水をＲＯ装置へ供給することでＲＯ膜の有機物汚染によるフラックスの低下やバイオファウリングを効果的に防止するとともに、有機物を高度に除去した処理水を得ることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、図面を参照して本発明の水処理装置および水処理方法の実施の形態を詳細に説明する。
【００１６】
図１は本発明の水処理装置および水処理方法の実施の形態を示す系統図である。図２，３は本発明に係るＲＯ装置の洗浄および阻止率向上処理手段の一例を示す系統図である。
【００１７】
本発明が対象とする被処理水は特に限定されるものではないが、有機物含有水に好適に用いることができ、例えばＴＯＣ＝０．１〜１００ｍｇ／Ｌ、好ましくは１〜３０ｍｇ／Ｌ程度の有機物含有水の処理に好適に用いられる。このような有機物含有水としては電子デバイス製造工場排水、輸送機械製造工場排水、有機合成工場排水または印刷製版・塗装工場排水など、あるいはそれらの一次処理水を挙げることができる。
【００１８】
本発明の水処理装置および水処理方法は、原水をｐＨ９．５以上でＲＯ装置へ供給して処理水と濃縮水とを得るものであるが、ＲＯ装置の目詰まりやファウリングを防止する目的で、前処理装置として活性炭塔、凝集沈殿装置、凝集加圧浮上装置、濾過装置あるいは脱炭酸装置を設けることが好ましい。濾過装置としては、砂濾過装置、限外濾過装置、精密濾過装置、小型濾過装置などを用いることができる。前処理装置としては更にプレフィルターを設けてもよい。また、ＲＯ膜は酸化劣化を受けやすいため、必要に応じて原水に含まれる酸化剤（酸化劣化誘発物質）を除去する装置を設けることが好ましい。このような酸化劣化誘発物質を除去する装置としては、活性炭塔や還元剤注入装置などを用いることができる。特に活性炭塔は有機物も除去することが可能であり、上述の通りファウリング防止手段として兼用することができる。
【００１９】
ＲＯ装置２の前段にはｐＨ調整槽１が設けられ、ここで、ｐＨ調整剤が添加されて原水のｐＨが９．５以上、好ましくは１０．５以上、特に１０．５〜１２に調整され、その後、ｐＨ調整された原水がＲＯ装置２に供給される。ｐＨが９．５未満であると十分に有機物汚染やバイオファウリングを抑制できない。また、ｐＨが高すぎると膜が劣化したり処理水を中和する酸の量が多くなる恐れがある。
【００２０】
なお、ここでｐＨを９．５以上に調整する理由は以下の通りである。
【００２１】
即ち、アルカリ性域では微生物の活動が大きく抑制される。そのため、ＲＯ給水のｐＨを９．５以上に調整することにより、ＲＯ装置内において、栄養源はあるが微生物が繁殖できない環境を作り出すことが可能となり、従来のような高価なスライムコントロール剤の添加を必要とすることなく、ＲＯ装置でのバイオファウリングを抑制することができる。
【００２２】
また、フラックスを低下させる恐れのある非イオン性界面活性剤や生物代謝物などの有機汚染物質は、アルカリ性領域では膜面から脱着し易くなることが知られており、ＲＯ給水のｐＨを９．５以上にすることによりＲＯ膜面へのこれらの成分の付着を抑制することが可能となる。
【００２３】
なお、通常は原水のｐＨは中性程度であるため、ｐＨ調整剤としてはアルカリが通常は用いられるが、上述した範囲から外れてｐＨが高すぎる場合には酸も用いることができる。また、原水ｐＨが上述した範囲にあるときは特にｐＨ調整する必要はないが、原水水質の変動によりｐＨが一時的に低下することもあるため、ｐＨ調整槽１のようなｐＨ調整手段を設けることが好ましい。ｐＨ調整剤として用いられるアルカリや酸としては一般にｐＨ調整に用いられるものが使用でき特に限定されるものではないが、アルカリとしては水酸化ナトリウム、水酸化カリウムを用い、酸としては塩酸、硫酸などを用いることができる。
【００２４】
ｐＨ調整槽１などの給水系にはｐＨ計（図示せず）を設けてもよいが、後述のＲＯ装置の濃縮水のラインにｐＨ計を設けて上述した範囲となるように調整してもよい。
【００２５】
原水中には通常カルシウムなどの硬度成分が含有されている。本発明では、ＲＯ装置へ供給される原水（以下「ＲＯ給水」と称す場合がある）はｐＨ９．５以上であるが、このような高ｐＨ条件下でＲＯ処理すると、これら硬度成分によるスケールが生成して膜面を閉塞することがある。本発明にあっては、このようなスケールによる障害を防止するために、原水にさらにスケール防止剤を添加することが好ましい。原水に添加するスケール防止剤としては、アルカリ領域で解離して金属イオンと錯体を形成し易いエチレンジアミン四酢酸（ＥＤＴＡ）やニトリロ三酢酸（ＮＴＡ）などキレート系スケール防止剤が好適に用いられるが、その他、（メタ）アクリル酸重合体及びその塩、マレイン酸重合体及びその塩などの低分子量ポリマー、エチレンジアミンテトラメチレンホスホン酸及びその塩、ヒドロキシエチリデンジホスホン酸及びその塩、ニトリロトリメチレンホスホン酸及びその塩、ホスホノブタントリカルボン酸及びその塩などのホスホン酸及びホスホン酸塩、ヘキサメタリン酸及びその塩、トリポリリン酸及びその塩などの無機重合リン酸及び無機重合リン酸塩などを使用することができる。
【００２６】
本発明において、スケール防止剤の添加量は、原水（スケール防止剤が添加される水）中のカルシウムイオン濃度の５重量倍以上とする。スケール防止剤の添加量が原水中のカルシウムイオン濃度の５重量倍未満では、スケール防止剤の添加効果を十分に得ることができない。スケール防止剤は過度に多量に添加しても薬剤コストの面で好ましくないことから、原水中のカルシウムイオン濃度の５〜５０重量倍とすることが好ましい。
【００２７】
図１では、スケール防止剤とｐＨ調整剤はｐＨ調整槽１で同時に添加されているが、ｐＨ調整槽１を設けずに直接配管に添加しても良い。また、スケール防止剤とｐＨ調整剤の添加順序に特に制限はないが、原水に硬度成分が多量に含有される場合には、原水にアルカリを添加しただけでスケール成分が析出することがあるため、このような場合にはスケール防止剤を先に添加することがことが好ましい。
【００２８】
ＲＯ処理が適切に行われていることを監視する目的で、ＲＯ装置２の後段に水質計３を設けることが好ましい。水質計３としては透過水中の有機物濃度を測定するためのＴＯＣ計を好適に用いることができる。ＴＯＣ計としてはＴＯＣ濃度０．００１〜１０ｍｇ／Ｌの範囲のオンライン測定が可能な湿式酸化式ＴＯＣ測定装置を用いることができる。このようにＴＯＣ計を設けることで、ＲＯ膜の劣化による阻止率の低下を監視することが可能となり、適宜、ＲＯ膜を交換したり、或いは、後述する阻止率向上処理を実施することができる。
【００２９】
ＲＯ装置２は１段で用いても良いし、水質向上のために、２段以上の多段に設けても良い。また、ＲＯ装置２を多段に設けた場合には、後述する阻止率向上剤で処理されたＲＯ膜を全てのＲＯ装置２に用いても良いし、特定の段のみに用いてもよい。
【００３０】
なお、本発明の水処理装置および水処理方法で超純水を製造する場合には、図１における水質計３の後段には、脱炭酸手段、イオン交換装置、電気再生式脱イオン装置、ＵＶ酸化装置、ミックス樹脂装置、限外濾過装置などが設けられる。
【００３１】
本発明においては、ＲＯ装置のＲＯ膜は阻止率向上剤によって処理（以下、この処理を「阻止率向上処理」と称す。）されている。
【００３２】
ＲＯ装置は、ＲＯ膜を備えたＲＯ膜エレメントをベッセルに装填したＲＯ膜モジュールによって構成される。本発明のＲＯ装置に使用されるＲＯ膜は、膜を介する溶液間の浸透圧差以上の圧力を高濃度側にかけて、溶質を阻止し、溶媒を透過する液体分離膜である。ＲＯ膜の膜構造としては、複合膜、相分離膜などの高分子膜などを挙げることができる。本発明に適用されるＲＯ膜の素材としては、例えば、芳香族系ポリアミド、脂肪族系ポリアミド、これらの複合材などのポリアミド系素材などを挙げることができる。これらの中で、芳香族系ポリアミドＲＯ膜に本発明に係る阻止率向上処理を特に好適に適用することができる。なお、酢酸セルロースなどのセルロース系材料はｐＨ９．５以上のアルカリ領域では加水分解を起こして劣化する現象が生じるため、本発明においては不適である。
【００３３】
ＲＯ膜モジュールの形式については特に制限はなく、例えば、管状膜モジュール、平面膜モジュール、スパイラル膜モジュール、中空糸膜モジュールなどを適用することができる。
【００３４】
本発明で使用する阻止率向上剤としては、後述する阻止率向上処理をＲＯ膜に施すことで水溶性有機物や無機電解質の阻止率を向上できるものであれば特に限定されるものではないが、具体的には水溶性の高分子化合物、ポリアルキレングリコール鎖を有する化合物あるいはタンニン酸などのポリフェノール類などをあげることができる。
【００３５】
本発明では、これらの化合物を阻止率向上剤の主成分として用いることにより、ＲＯ膜の阻止率を向上し、電解質をはじめ、従来のＲＯ膜では除去困難であった低分子量の非イオン性有機物や、ホウ素、シリカなども効果的に除去することができる。本発明では、特にポリアルキレングルコール鎖を有する化合物を好適に用いることができる。ポリアルキレングリコール鎖を有する化合物の重量平均分子量は特に限定されるものではないが、好ましくは１，０００〜１０，０００、より好ましくは２，０００〜６，０００でより一層好ましくは３,０００〜５,０００である。ポリアルキレングリコール鎖を有する化合物の重量平均分子量が小さすぎ、特に１，０００未満であると、ナノろ過膜又は逆浸透膜の阻止率が十分に向上せず、処理後の阻止率向上剤の定着性も低くなるおそれがある。ポリアルキレングリコール鎖を有する化合物の重量平均分子量が大きすぎ、特に１０，０００を超えると、ナノろ過膜又は逆浸透膜の透過流束が大きく低下するおそれがある。なお、本発明において重量平均分子量は、高分子やポリアルキレングリコール鎖を有する化合物などの化合物の水溶液をゲル浸透クロマトグラフィーにより分析し、得られたクロマトグラムからポリエチレンオキシド標準品の分子量に換算することにより求める。ポリエチレンオキシド標準品が入手し得ない高分子量の領域においては、光散乱法、超遠心法などにより重量平均分子量を求めることができる。
【００３６】
ポリアルキレングリコール鎖は、アルキレングリコールの脱水重縮合により生成したと考えられる構造を有するが、実際にはアルキレンオキシドのアルカリによるアニオン重合又はプロトン開始によるカチオン重合により製造することができる。本発明に用いる化合物が有するポリアルキレングリコール鎖としては、例えば、ポリエチレングリコール鎖、ポリプロピレングリコール鎖、ポリトリメチレングリコール鎖、ポリテトラメチレングリコール鎖などを挙げることができる。これらのグリコール鎖は、例えば、エチレンオキシド、プロピレンオキシド、オキセタン、テトラヒドロフランなどの開環重合により形成することができる。
【００３７】
本発明においては、ポリアルキレングリコール鎖を有する化合物として、ポリアルキレングリコール鎖にイオン性基が導入された化合物を用いることができる。イオン性基としては、例えば、スルホ基−ＳＯ3Ｈ、カルボキシル基−ＣＯＯＨ、アミノ基−ＮＨ2、第四級アンモニウム基−Ｎ+Ｒ3Ｘ-などを挙げることができる。
【００３８】
ポリアルキレングリコール鎖にスルホ基を導入する方法としては、例えば、ポリエチレングリコール水溶液にエポキシプロパノールと亜硫酸ナトリウムを添加し、７０〜９０℃、還流条件下で反応させることにより、式［１］又は式［２］で示されるスルホン化ポリエチレングリコールを合成することができる。
【００３９】
【化１】
2008132421.tif 000003
ただし、（Ｘ、Ｙ）は、（Ｈ、ＣＨ2ＯＨ）又は（ＣＨ2ＯＨ、Ｈ）である。しかし、スルホン化ポリエチレングリコールは式［１］又は式［２］で示される化合物に限定されるものではなく、例えば、式［３］で示される化合物、式［４］で示される化合物などを例示することができる。
【００４０】
【化２】
2008132421.tif 000004
本発明においては、イオン性基が導入されていないポリアルキレングリコール鎖を有する化合物水溶液でＲＯ膜を処理し、膜にイオン性基が導入されていないポリアルキレングリコール鎖を有する化合物を吸着させることにより、非イオン性低分子の阻止率を向上させることができる。また、イオン性基が導入されたポリアルキレングリコール鎖を有する化合物水溶液でＲＯ膜を処理し、膜にイオン性基が導入されたポリアルキレングリコール鎖を有する化合物を吸着させることにより、イオン性溶質の阻止率を向上させることができる。前者においても、イオン性溶質の阻止率は向上するが、後者の方が向上効果は高く、逆に、後者においても、非イオン性溶質の阻止率が向上するが、前者の方が非イオン性溶質に対しては阻止率向上効果が高い。従って、分離対象、目的に応じて両者を使い分けることが望ましい。本発明では、ベースとなる膜の阻止率が高い場合は、さらに高い阻止率を与えることが可能である。
【００４１】
本発明においては、ポリアルキレングリコール鎖がポリエチレングリコール鎖であることが好ましい。ポリエチレングリコール鎖を有する化合物は、水溶性が大きいので阻止率向上剤として取り扱いやすく、複合膜表面に対する親和性が高いので、処理後の経時的な性能低下が少ない。
【００４２】
本発明では、給水ｐＨ９．５以上の条件でＲＯ処理されるが、このような条件下ではナトリウムイオン等のカチオン性物質の阻止率が低下する。このような傾向は、非イオン性の阻止率向上剤のみで処理したＲＯ膜にも存在する。ところが、ＲＯ膜表面をカチオン性にすると静電斥力によりカチオン性物質の阻止率が向上する。よって、本発明においては、ポリエチレングリコール鎖を有する化合物とともに阻止率向上剤としてカチオン性高分子を用いることで有機物とともにカチオン性物質の阻止率もともに向上させることが可能となる。
【００４３】
具体的には、まず、ＲＯ膜をポリアルキレングリコール鎖を有する化合物で処理して有機物の阻止率を向上させ、引き続き、カチオン性高分子で処理することでＲＯ膜表面をカチオン性にしてカチオン性物質の阻止率を向上させることが可能となる。この際、ポリアルキレングリコール鎖を有する化合物として上述したスルホ基を導入したポリアルキレングリコール鎖を有する化合物を用いることで、スルホ基導入ポリアルキレングリコール鎖を有する化合物とカチオン性高分子とがイオンコンプレックスを形成し、強固にカチオン性高分子をＲＯ膜表面に保持することが可能となる。
【００４４】
本発明において、好適に用いることのできるカチオン性高分子の重量平均分子量は１０万以上、特に３０万以上、さらに１００万以上であることが好ましい。カチオン性高分子の重量平均分子量が１０万未満であると、イオン性高分子を透過膜に安定に吸着させ、その状態を長く維持することが困難となり、阻止率が十分に向上しないおそれがある。
【００４５】
本発明の阻止率向上剤に用いるカチオン性高分子としては、例えば、ポリビニルアミン、ポリアリルアミン、ポリアクリルアミド、キトサン、ポリスチレンに第一級アンモニウム基を付加したものなどの第一級アミン化合物、ポリエチレンイミンなどの第二級アミン化合物、ポリ(アクリル酸ジメチルアミノエチル)、ポリ(メタクリル酸ジメチルアミノエチル)などの第三級アミン化合物、ポリスチレンに第四級アンモニウム基を付加したものなどの第四級アンモニウム化合物、ポリビニルアミジン、ポリビニルピリジン、ポリピロール、ポリビニルジアゾールなどの複素環を有する化合物などを挙げることができる。また、これらの構造の共重合高分子や、複数種の高分子を混合したものも用いることができる。これらの中で、複素環を有する化合物を好適に用いることができ、ポリビニルアミジンを特に好適に用いることができる。
【００４６】
ポリビニルアミジンは、一般式［５］で表される構造単位を有するカチオン性高分子である。ただし、一般式［５］において、Ｒ1〜Ｒ4は、水素又はメチル基等のアルキル基である。
【００４７】
【化３】
2008132421.tif 000005
一般式［５］で表される構造単位を有するカチオン性高分子は、アクリロニトリル又はメタクリロニトリルと、Ｎ−ビニルカルボン酸アミド、Ｎ−イソプロペニルカルボン酸アミド、Ｎ−ビニルカルボン酸イミド又はＮ−イソプロペニルカルボン酸イミドを共重合し、得られた共高分子を加水分解し、アミジン化することにより製造することができる。このような方法により製造されたポリビニルアミジンは、一般式［５］で表される構造単位の他に、アクリロニトリルなどに由来するシアノ基、シアノ基の加水分解により生成するカルバモイル基、Ｎ−ビニルカルボン酸アミド単位などの加水分解により生成するアミノ基などを有する可能性がある。市販製品として栗田工業製カチオン系高分子凝集剤「クリフィックス（登録商標）ＣＰ１１１」を利用できる。ポリビニルアミジンは、複素環の窒素原子と第一級アミンの窒素原子がカチオン性を有するので、カチオン密度が高く、水中のカチオン種に対して高い阻止率向上効果が発現する。他の複素環を有する高分子の場合も、第一級アミンなどのカチオン性の官能基を付与することによって、カチオン密度を高めることができる。
【００４８】
カチオン性の高い重量平均分子量１０万以上のカチオン性高分子、例えば、ポリビニルアミジンのような構造単位中に第一級ないし第三級アミン又は第四級アンモニウム塩構造を有する高分子を透過膜の膜表面に吸着させることによって、水中のカチオン種の阻止率を効果的に向上させることができる。すなわち、透過膜の膜表面が一般的に負の荷電を有することと、カチオン性高分子の分子量が大きいことにより、安定に高分子が膜表面に吸着されて阻止率を向上させることができ、さらにカチオン性高分子の親水性が高いために透過流束が大きく低下することがない。
【００４９】
本発明で用いる阻止率向上剤は、無機電解質又は水溶性有機化合物からなる阻止率確認トレーサーを含有させることができる。主成分とする化合物とともに、トレーサーを含有する水をナノろ過膜又は逆浸透膜に通水することにより、ＲＯ膜の阻止率を経時的に確認して、処理の継続又は停止を判断することができる。通水処理時間は、通常は１〜５０時間であることが好ましく、２〜２４時間であることがより好ましいが、透過水のトレーサー濃度が所定の値に達したとき、ＲＯ膜の阻止率は所定の値になったと判断し、阻止率向上処理を終了することができる。この方法によれば、阻止率向上剤の水溶液とＲＯ膜との接触時間を必要十分な最小限の長さに制御することができ、ＲＯ膜の通常運転を直ちに開始することができる。また、異なる阻止率向上剤を用いて複数回の阻止率向上処理を行う場合も、切り替えのタイミングを逸することなく、複数回の処理を効率的に行うことができる。トレーサーとして用いる無機電解質としては、例えば、塩化ナトリウムや硝酸ナトリウム、そして弱電解質のホウ酸などを挙げることができるが、取扱い性の容易さから塩化ナトリウムを好適に用いることができる。トレーサーとして用いる水溶性有機化合物としては、例えば、イソプロピルアルコール、グルコース及び尿素などを挙げることができるが、取扱い性の容易さからイソプロピルアルコールを好適に用いることができる。トレーサーの濃度は、塩化ナトリウムなどの無機強電解質の場合は、１０〜１,０００ｍｇ／Ｌであることが好ましく、１００〜５００ｍｇ／Ｌであることがより好ましい。その他のホウ酸などの無機弱電解質や、イソプロピルアルコールなどの水溶性有機物の場合は、１〜５,０００ｍｇ／Ｌであることが好ましく、５〜１,０００ｍｇ／Ｌであることがより好ましい。
【００５０】
本発明で用いる阻止率向上剤を含む水溶液の前述の化合物の濃度は、０．０１〜５０ｍｇ／Ｌ程度であることが好ましい。阻止率向上剤を含む水溶液のより好ましい化合物濃度は、用いる化合物の種類によって異なり、例えば、前述の重量平均分子量１，０００〜１０，０００のポリアルキレングリコール鎖を有する化合物の場合は０．０１〜１ｍｇ／Ｌが好ましく、重量平均分子量１０万以上のカチオン性高分子の場合は０．１〜５ｍｇ／Ｌが好ましい。濃度がこれより低いと阻止率向上処理に長時間を要するおそれがある。濃度が５０ｍｇ／Ｌを超えると、水溶液の粘度が高くなり、ＲＯ膜への通水抵抗が大きくなるおそれがある。また、濃度が５０ｍｇ／Ｌを超えると、不必要に厚いコーティング層（吸着層）が形成されて、濃度分極により、かえって阻止率向上効果が弱くなるおそれがある。
【００５１】
阻止率向上処理は、阻止率向上剤を含む水溶液中にＲＯ膜モジュールを浸漬することにより行うこともできるが、好ましくはＲＯ膜モジュールの一次側に通水することにより実施される。阻止率向上剤を含む水溶液を通水する１回当りの時間は、２〜２４時間であることが好ましい。水溶液中の阻止率向上剤濃度を高くすると、通水時間を短縮することができるが、透過流束の低下が大きくなるおそれがある。この阻止率向上剤を含む水溶液の通水時は、ＲＯ膜モジュールの透過水排出弁を閉じておくことも可能であるが、透過水を取出しながら処理することで、装置を休止することなく効率的に処理することができるとともに、阻止率向上剤を効率、且つ、均一にＲＯ膜面に吸着させることができる。
【００５２】
この場合、ＲＯ膜モジュールの一次側への阻止率向上剤を含む水溶液供給時の操作圧力を０．３ＭＰａ以上とするとともに、透過水量／阻止率向上剤を含む水溶液の供給量が０．２以上とすることが好ましい。このようにすることで、効果的に阻止率向上剤がＲＯ膜表面に接触するため、阻止率向上剤を効率、且つ、均一にＲＯ膜面に吸着させることができる。
【００５３】
次に、図面を参照して本発明のＲＯ膜の処理方法の実施の形態を詳細に説明する。なお、図２，３は、本発明のＲＯ膜の処理方法を実施するための装置の形態を示す系統図である。
【００５４】
図２，３において、１１は被処理水タンク、１２は処理水タンク、１３はアルカリ性洗浄用タンク１４は酸性洗浄用タンク、１５は阻止率向上剤水溶液Ａタンク、１６は阻止率向上剤水溶液Ｂタンク、２０はＲＯ膜モジュール、Ｐ1は高圧ポンプ、Ｐ2は洗浄液用ポンプ、Ｐ3は阻止率向上剤水溶液Ａ用ポンプ、Ｐ4は阻止率向上剤水溶液Ｂ用ポンプである。Ｖ1〜Ｖ22はバルブである。なお、図２，３においては主要な配管およびバルブを示してあり、その他のバルブ、ゲージ、配管類は図示を省略してある。
【００５５】
図２，３において、被処理水をＲＯ処理する場合には、バルブＶ1，Ｖ2，Ｖ3，Ｖ4，Ｖ5，Ｖ22を開、その他のバルブを閉とし、高圧ポンプＰ1を作動させて、被処理水タンク１１内の被処理水をＲＯ膜モジュール２０に供給してＲＯ膜分離し、透過水を系外へ取り出す。また、濃縮水は被処理水タンク１１へ戻すとともに一部をＲＯ給水の濃縮を防止するために、バルブＶ3を介して濃縮水を系外へ排出する。また、バルブＶ6，Ｖ17を開として、透過水を処理水タンク１２に貯留する。また、場合によっては、バルブＶ18、Ｖ19，Ｖ20，Ｖ21を開として、透過水をアルカリ性洗浄液用タンク１３，酸性洗浄液用タンク１４，阻止率向上剤水溶液Ａタンク１５，阻止率向上剤水溶液Ｂタンク１６に送給して、洗浄液や高分子水溶液の希釈、調整等に用いることができる。
【００５６】
ＲＯ処理を行うことにより、ＲＯ膜の透過流束が低下した場合の薬品洗浄を行う場合には、高圧ポンプＰ1を停止し、バルブＶ2，Ｖ4，Ｖ8，Ｖ13を開、その他のバルブを閉として、洗浄液用ポンプＰ2を作動させ、アルカリ性洗浄液用タンク１３内のアルカリ性洗浄液をＲＯ膜モジュール２０の一次側に導入した後、再びタンク１３内に戻すように、循環させる。このとき、バルブＶ5を開として、洗浄液の一部を膜透過させて系外へ排出してもよい。或いは、バルブＶ6，Ｖ18を開として、膜透過させた洗浄液をタンク１３に戻しても良い。所定の時間、アルカリ性洗浄液を循環させた後に、場合によっては洗浄液用ポンプＰ2を停止して一定時間薬液を静置保持してから、アルカリ洗浄液をアルカリ性洗浄用タンク１３に設けたドレイン管（図示せず）から系外へ排出する。
【００５７】
次いで、Ｖ2，Ｖ4，Ｖ9，Ｖ14を開、その他のバルブを閉として酸洗浄用タンク１４内の酸性洗浄液をＲＯ膜モジュール２０の一次側に導入した後、再びタンク１４に戻すように、循環させる。このとき、バルブＶ5を開として、洗浄液の一部を膜透過させて系外へ排出しても良い。或いは、バルブＶ6，Ｖ19を開として、膜透過させた洗浄液をタンク１４に戻しても良い。所定の時間、酸性洗浄液を循環させた後に、場合によっては洗浄液用ポンプＰ2を停止して一定時間薬液を静置保持してから、酸性洗浄液を酸性洗浄用タンク１４に設けたドレイン管（図示せず）から系外へ排出する。
【００５８】
次いで、バルブＶ2，Ｖ3，Ｖ7を開、その他のバルブを閉として、処理水タンク１２内の処理水でＲＯ膜モジュール２０の一次側を洗浄し、洗浄排液をバルブＶ3を介して系外へ排出する。なお、洗浄排液は洗浄液用タンク１３，１４に設けたドレイン管（図示せず）から排出してもよい。この処理水による洗浄（リンス）は、アルカリ性洗浄液による洗浄と、酸性洗浄液による洗浄との間に行うこともできる。また、アルカリ性洗浄液による洗浄と、酸性洗浄液による洗浄とはどちらを先に行っても良く、交互に繰り返して２回以上行っても良い。
【００５９】
図２において、１種類の阻止率向上剤を含む水溶液により阻止率向上処理を行う場合には、阻止率向上剤水溶液Ａタンク１５のみに阻止率向上剤水溶液を満たし、Ｖ2，Ｖ4，Ｖ10，Ｖ15を開、その他のバルブを閉として、洗浄用ポンプＰ2を作動させ、阻止率向上剤水溶液Ａタンク１５内の阻止率向上剤水溶液をＲＯ膜モジュール２０の一次側に導入した後、再びタンク１５内に戻すように、循環させる。このとき、バルブＶ5を開として、阻止率向上剤水溶液の一部を膜透過させて系外へ排出しても良いが、バルブＶ6，Ｖ20を開として、膜透過させた阻止率向上剤水溶液をタンク１５内に戻すことが好ましい。所定の時間、阻止率向上剤水溶液を循環させた後に、タンク１５に設けたドレイン管（図示せず）より、阻止率向上剤水溶液を系外へ排出する。
【００６０】
次いで、バルブＶ2，Ｖ3，Ｖ6，Ｖ7を開、更にＶ20を開とし、その他のバルブを閉として、処理水タンク１２内の処理水でＲＯ膜モジュール２０の一次側を洗浄し、洗浄排液の一部をバルブＶ3を介して系外へ、残部をタンク１５を経由して系外へ排出する。
【００６１】
図２において、ポリエチレングリコール鎖を有する化合物およびカチオン性高分子のように異なる阻止率向上剤を用いて阻止率向上処理する場合には、例えば、阻止率向上剤水溶液Ａタンク１５と阻止率向上剤水溶Ｂタンク１６とにそれぞれポリエチレングリコール鎖を有する化合物（以下「ＰＥＧ」と記す）水溶液とカチオン性高分子水溶液とを満たし、まず、Ｖ2，Ｖ4，Ｖ10，Ｖ15を開、その他のバルブを閉として、洗浄用ポンプＰ2を作動させ、阻止率向上剤水溶液タンクＡ１５内のＰＥＧ水溶液をＲＯ膜モジュール２０の一次側に導入した後、再びタンク１５内に戻すように、循環させる。このとき、バルブＶ5を開として、ＰＥＧ水溶液の一部を膜透過させて系外へ排出しても良いが、バルブＶ6，Ｖ20を開として、膜透過させたＰＥＧ水溶液をタンク１５内に戻すことが好ましい。所定の時間、ＰＥＧ水溶液を循環させた後に、阻止率向上剤水溶液Ａタンク１５に設けたドレイン管（図示せず）より、ＰＥＧ水溶液を系外へ排出する。
【００６２】
次いで、バルブＶ2，Ｖ4，Ｖ11，Ｖ16を開、その他のバルブを閉として、阻止率向上剤水溶液Ｂタンク１６内のカチオン性高分子水溶液をＲＯ膜モジュール２０の一次側に導入した後、再びタンク１６内に戻すように、循環させる。このとき、バルブＶ5を開として、高分子水溶液の一部を膜透過させて系外へ排出しても良いが、バルブＶ6，Ｖ21を開として、膜透過させた高分子水溶液をタンク１６内に戻すことが好ましい。所定の時間、カチオン性高分子水溶液を循環させた後に、阻止率向上剤水溶液Ｂタンク１６に設けたドレイン管（図示せず）より、カチオン性高分子水溶液を系外へ排出する。
【００６３】
次いで、バルブＶ2，Ｖ3，Ｖ6，Ｖ7を開、更にＶ20又はＶ21の少なくともいずれか一方を開とし、その他のバルブを閉として、処理水タンク１２内の処理水でＲＯ膜モジュール２０の一次側を洗浄し、洗浄排液の一部をバルブＶ3を介して系外へ、残部をタンク１５又は１６のいずれかを経由して系外へ排出する。この処理水による洗浄（リンス）は、ＰＥＧ水溶液による処理と、カチオン性高分子水溶液による処理との間にも行うことが好ましい。なお、ＰＥＧによる処理と、カチオン性高分子による処理は交互に繰り返して２回以上行っても良いが、最後にカチオン性高分子水溶液による処理となるようにすることが好ましい。
【００６４】
図３において、１種類の阻止率向上剤を含む水溶液により阻止率向上処理を行う場合には、阻止率向上剤水溶液Ａタンク１５のみに阻止率向上剤水溶液を満たし、まず、バルブＶ10を開として、ポンプＰ3を作動させ、阻止率向上剤水溶液Ａタンク１５内の阻止率向上剤水溶液を被処理水タンク１１に導入し、その後、高圧ポンプＰ1を作動させ、バルブＶ1，Ｖ2，Ｖ4，Ｖ22を開、その他のバルブを閉として、被処理水タンク１１内の阻止率向上剤水溶液をＲＯ膜モジュール２０の一次側に導入した後、再びタンク１１に戻すように、循環させる。このとき、バルブＶ3およびＶ5を開として、阻止率向上剤水溶液の一部を膜透過させて処理水を得るとともに、阻止率向上剤水溶液の一部を系外へ排出させることが好ましい。このようにすることで、ＲＯ処理装置の運転を停止する時間を短縮することができる。所定の時間、阻止率向上剤水溶液を循環させた後に、バルブＶ10を閉じるとともにポンプＰ3を停止し、阻止率向上剤水溶液の導入を停止する。
【００６５】
次いで、バルブＶ2，Ｖ3，Ｖ7を開、その他のバルブを閉として、高圧ポンプＰ1を停止するとともに、ポンプＰ2を稼動して処理水タンク１２内の処理水でＲＯ膜モジュール２０の一次側を洗浄するとともに、水溶液をバルブＶ3を介して系外へ排出する。
【００６６】
図３において、ＰＥＧおよびカチオン性高分子を用いて阻止率向上処理する場合には、例えば、阻止率向上剤水溶液Ａタンク１５と阻止率向上剤水溶Ｂタンク１６とにそれぞれＰＥＧ水溶液とカチオン性高分子水溶液とを満たし、まず、バルブＶ10を開として、ポンプＰ3を作動させ、阻止率向上剤水溶液Ａタンク１５内のＰＥＧ水溶液を被処理水タンク１１に導入し、その後、高圧ポンプＰ1を作動させ、バルブＶ1，Ｖ2，Ｖ4，Ｖ22を開、その他のバルブを閉として、被処理水タンク１１内のＰＥＧ水溶液をＲＯ膜モジュール２０の一次側に導入した後、再びタンク１１に戻すように、循環させる。このとき、バルブＶ3およびＶ5を開として、ＰＥＧ水溶液の一部を膜透過させて処理水を得るとともに、ＰＥＧ水溶液の一部を系外へ排出させることが好ましい。このようにすることで、ＲＯ処理装置の運転を停止する時間を短縮することができる。所定の時間、ＰＥＧ水溶液を循環させた後に、バルブＶ10を閉じるとともにポンプＰ3を停止し、ＰＥＧ水溶液の導入を停止する。
【００６７】
次いで、バルブＶ11を開として、ポンプＰ4を作動させ、阻止率向上剤水溶液Ｂタンク１６内のカチオン性高分子水溶液を被処理水タンク１１に導入し、その後、高圧ポンプＰ1を作動させ、バルブＶ1，Ｖ2，Ｖ4，Ｖ22を開、その他のバルブを閉として、被処理水タンク１１内のカチオン性高分子水溶液をＲＯ膜モジュール２０の一次側に導入した後、再びタンク１１内に戻すように、循環させる。このとき、バルブＶ3及びＶ5を開として、高分子水溶液の一部を膜透過させて処理水を得るとともに、高分子水溶液の一部を系外へ排出させることが好ましい。このようにすることで、ＲＯ処理装置の運転を停止する時間を短縮することができる。所定の時間、カチオン性高分子水溶液を循環させた後に、バルブＶ11を閉じるとともに、ポンプＰ4を停止し、カチオン性高分子水溶液の導入を停止する。
【００６８】
次いで、バルブＶ2，Ｖ3，Ｖ7を開、その他のバルブを閉として、高圧ポンプＰ1を停止するとともに、ポンプＰ2を稼動して処理水タンク１２内の処理水でＲＯ膜モジュール２０の一次側を洗浄するとともに、水溶液をバルブＶ3を介して系外へ排出する。この処理水による洗浄（リンス）は、ＰＥＧ水溶液により処理と、カチオン性高分子水溶液による処理との間に行うこともが好ましい。更に、リンスは阻止率向上剤水溶液の導入を停止した後、被処理水のＲＯ処理を所定時間（被処理水タンク１１の滞留時間の３倍程度）実施することで省略したり、リンス工程の時間を短縮およびリンス水量を低減することができる。なお、ＰＥＧ水溶液による処理と、カチオン性高分子水溶液による処理は交互に繰り返して２回以上行っても良いが、最後にカチオン性高分子水溶液による処理となることが好ましい。
【００６９】
なお、上記実施の形態は、本発明のＲＯ膜処理方法の処理手順の一例を示すものであって、本発明は何ら本実施の形態に限定されるものではなく、図２，３の各処理タンクは共用したり省略することもできる。また、ＲＯ膜処理工程，薬品洗浄工程と阻止率向上処理工程とはそれぞれ別の場所で行ってもよい。すなわち、ＲＯ膜エレメントだけをベッセルから抜き取って、ＲＯ処理工程を行っている場所から別の場所（例えばＲＯ膜再生工場など）に移動し、移動先において別途容易したベッセルに収容して薬品洗浄処理工程及び／又は阻止率向上処理工程を実施してもよい。また、図３の場合には、阻止率時向上剤水溶液は、被処理水タンク１１に供給されるが、被処理水タンク１１とＲＯ膜モジュール２０とを連結する配管に、これら阻止率向上剤水溶液を直接ライン注入するようにしてもよい。更に、薬品洗浄工程において、酸洗浄とアルカリ洗浄のどちらか一方を行っても良く、酸洗浄の後にアルカリ洗浄を行っても良い。
【００７０】
酸洗浄に使用する酸剤としては、塩酸、硫酸、硝酸などの鉱酸、クエン酸、シュウ酸などの有機酸を使用することができる。アルカリ洗浄に使用するアルカリ剤としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウムなどを使用することができる。さらに、これらの洗浄剤に過酸化水素などの酸化剤、重亜硫酸ナトリウムなどの還元剤、アルキルベンゼンスルホン酸ナトリウムなどの界面活性剤などを添加することもできる。
【実施例】
【００７１】
以下に、実施例を挙げて本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によりなんら限定されるものではない。
【００７２】
なお、本実施例では阻止率は以下式によって算出した。
【００７３】
阻止率＝１−(溶質の透過液濃度×２)／(溶質の供給液濃度＋溶質の濃縮液濃度)
［実施例１］
非イオン系界面活性剤を含む電子デバイス製造工場排水（ｐＨ＝７．２, ＴＯＣ＝１０ｍｇ/Ｌ, カルシウムイオン濃度＝１ｍｇ/Ｌ）にスケール防止剤としてエチレンジアミン四酢酸ナトリウム塩１０ｍｇ/Ｌを添加した後、水酸化ナトリウムでｐＨ＝１０．５としたものを原水として、ＲＯ装置を用いて回収率９０％の条件でＲＯ処理を行った。このとき、ＲＯ装置に充填する膜は、日東電工製超低圧芳香族ポリアミド型ＲＯ膜「ＥＳ−２０」の新品膜モジュールを０．１ｍｇ／Ｌ, 重量平均分子量６０００のポリエチレングリコール０．１ｍｇ／Ｌ水溶液を圧力０．７５ＭＰａ、濃縮水、透過水ともに給水タンクに戻す全循環処理で２０時間通水し、更にリンス工程として超純水を０．２５ＭＰａで０．５時間通水して阻止率向上処理したものを用いた。
【００７４】
このときのＲＯ膜装置のフラックス（２５℃, ０．７５ＭＰａ）とＲＯ透過水のＴＯＣ濃度を測定した結果を表１に示した。
【００７５】
【表１】
2008132421.tif 000006
ＲＯ装置のフラックスは０．８３ｍ／ｄで安定し、ＲＯ透過水のＴＯＣ濃度は２２μｇ/Ｌで、ＴＯＣを５０％以上低減する状態を６ヶ月以上維持することができた。
［比較例１］
ＲＯ装置に充填する膜を日東電工製超低圧芳香族ポリアミド型ＲＯ膜「ＥＳ−２０」の新品膜モジュールを使用し、この膜に阻止率向上処理を行わないこと以外は実施例１と同条件で前述の原水を処理し、ＲＯ装置のフラックスとＲＯ透過水のＴＯＣ濃度を測定した結果を表２に示した。
【００７６】
【表２】
2008132421.tif 000007
ＲＯ装置のフラックスは１．０３ｍ／ｄで安定し、ＲＯ透過水のＴＯＣ濃度は５０μｇ/Ｌで、阻止率向上処理を行った膜を使用したときと比べて高い結果となった。
［実施例２］
非イオン系界面活性剤を含む電子デバイス製造工場排水（ｐＨ＝７．２, ＴＯＣ＝３０ｍｇ/Ｌ, カルシウムイオン濃度＝１ｍｇ/Ｌ）を原水として、原水にスケール防止剤としてエチレンジアミン四酢酸ナトリウム塩１０ｍｇ/Ｌを添加した後、水酸化ナトリウムでｐＨ１０．５としたものを原水として、ＲＯ装置を用いて回収率９０％の条件でＲＯ処理を行った。このとき、ＲＯ装置に充填する膜は、日東電工製低圧芳香族ポリアミド型ＲＯ膜「ＮＴＲ−７５９ＨＲ」の新品膜モジュールを以下のようにして阻止率向上したものを用いた。
【００７７】
重量平均分子量４,０００のポリエチレングリコール１ｍｍｏｌ／Ｌ、２,３−エポキシ−１−プロパノール１００ｍｍｏｌ／Ｌ及び亜硫酸ナトリウム１００ｍｍｏｌ／Ｌの水溶液を、温度８０℃で２０分間還流することで合成したスルホン化ポリエチレングリコール０．１ｍｇ／Ｌ水溶液を圧力１．４７ＭＰａ、濃縮水、透過水ともに給水タンクに戻す全循環処理で２０時間通水して第一の阻止率向上処理し、その後、カチオン高分子としてポリビニルアミジン０．１ｍｇ／Ｌ水溶液を圧力１．４７ＭＰａ、全循環処理で２０時間通水して第二の阻止率向上処理したものを用いた。なお、第一の阻止率向上処理と第二の阻止率向上処理との間と、第二の阻止率向上処理の後に、それぞれリンス工程として超純水を０．２５ＭＰａで０．５時間通水する処理を実施した。
【００７８】
このときのＲＯ膜装置のフラックス（２５℃, １．４７ＭＰａ）とＲＯ透過水の導電率およびＴＯＣ濃度を測定した結果を表３に示した。
【００７９】
【表３】
2008132421.tif 000008
ＲＯ装置のフラックスは０．６８ｍ／ｄで安定し、ＲＯ透過水の導電率は１００μＳ／ｃｍ、ＴＯＣ濃度は４８μｇ/Ｌで、ＴＯＣを高度に阻止する状態を６ヶ月以上維持することができた。
［比較例２］
ＲＯ膜装置に充填する膜を日東電工製低圧芳香族ポリアミド型ＲＯ膜「ＮＴＲ−７５９ＨＲ」の新品膜モジュールを使用し、この膜に阻止率向上処理を行わないこと以外は実施例２と同条件で前述の原水を処理し、ＲＯ膜装置のフラックスとＲＯ透過水の導電率およびＴＯＣ濃度を測定した結果を表４に示した。
【００８０】
【表４】
2008132421.tif 000009
ＲＯ装置のフラックスは０．８７ｍ／ｄで安定したが、ＲＯ透過水の導電率は１８０μＳ／ｃｍ、ＴＯＣ濃度は１０４μｇ/Ｌで、阻止率向上処理を行った膜を使用したときと比べて高い結果となった。
【００８１】
これらの実施例と比較例から明らかな通り、ＲＯ給水のｐＨを９．５以上とするとともに、阻止率向上処理を施した逆浸透膜を用いることで、安定したフラックスを維持しながら、イオン負荷、ＴＯＣ負荷の少ない高度の純水を得らえることがわかる。
【産業上の利用可能性】
【００８２】
本発明は、電子デバイス製造分野、半導体製造分野、その他の各種産業分野で排出される高濃度ないし低濃度ＴＯＣ含有排水の回収・再利用のための水処理に有効に適用される。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】本発明の純水製造装置および純水製造方法の実施の形態を示す系統図である。
【図２】本発明に係るＲＯ装置の洗浄および阻止率向上処理手段の一例を示す系統図である。
【図３】本発明に係るＲＯ装置の洗浄および阻止率向上処理手段の他の例を示す系統図である。
【符号の説明】
【００８４】
１  ｐＨ調整槽
２  ＲＯ装置
３  水質計
１１  被処理水タンク
１２  処理水タンク
１３  アルカリ性洗浄液用タンク
１４  酸性洗浄液用タンク
１５  阻止率向上剤水溶液Ａタンク
１６  阻止率向上剤水溶液Ｂタンク
２０  ＲＯ膜モジュール
【図１】
2008132421.tif 000010
【図２】
2008132421.tif 000011
【図３】
2008132421.tif 000012