(57)【要約】【課題】断続的な切り込みによって形成された接着用シートを被着体に貼付することに適したシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある【解決手段】片面側に接着剤層Ａが設けられているとともに、所定間隔ごとに略閉ループ状の軌跡に沿う断続的な切り込み１１によって形成された接着用シートＳ２と、不要シート部分Ｓ３に設けられた引裂部１２を有する帯状シートＳを用いたシート貼付装置であり、前記接着用シートＳ２を押圧ローラ１５で押圧してリングフレームＲＦ及びウエハＷに貼り付けるとともに、引き裂き手段１８で帯状シートＳを幅方向にエキスパンドして切り込み１１とこれに連なる引裂部１２に引き裂き力を付与し、これにより接着用シートＳ２と不要シート部分Ｓ３とを分離する【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
片面側に接着剤層が設けられているとともに、所定間隔ごとに略閉ループ状の軌跡に沿う断続的な切り込みによって形成された接着用シートと、当該接着用シートの外側に位置する不要シート部分に設けられた引裂部とを備えた帯状シートを用い、当該帯状シートを繰り出して前記接着用シートをテーブル上に支持された被着体に貼付するシート貼付装置において、
前記接着用シートを押圧して当該接着用シートを被着体に貼付する押圧手段と、前記断続的な切り込み及び引裂部に引き裂き力を付与して前記接着用シートと不要シート部分とを分離する引き裂き手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記引き裂き手段は前記被着体を支持するテーブルに配置され、当該引き裂き手段は、前記不要シート部分の接着剤層側に位置して前記帯状シートの幅方向両側に設けられた移動部材と、前記不要シート部分の非接着剤層側に位置して当該不要シート部分を前記移動部材との間にそれぞれ挟み込むクランパと、前記移動部材とクランパとを引き裂き方向に駆動して前記帯状シートをエキスパンドする駆動装置とを含んで構成されていることを特徴とする請求項１記載のシート貼付装置。
【請求項３】
前記クランパは、前記接着用シートを被着体に貼付する際に、前記押圧手段に干渉しない位置に退避可能に設けられていることを特徴とする請求項２記載のシート貼付装置。
【請求項４】
片面側に接着剤層が設けられているとともに、所定間隔ごとに略閉ループ状の軌跡に沿う断続的な切り込みによって形成された接着用シートと、当該接着用シートの外側に位置する不要シート部分に設けられた引裂部とを備えた帯状シートを用い、当該帯状シートを繰り出して前記接着用シートをテーブル上に支持された被着体に貼付するシート貼付方法において、
前記接着用シートを押圧して当該接着用シートを被着体に貼付した後、前記断続的な切り込み及び引裂部に引き裂き力を付与して前記接着用シートと不要シート部分とを分離し、次いで、前記不要シート部分を巻き取ることを特徴とするシート貼付方法。
【請求項５】
前記断続的な切り込みは切り込み部と非切り込み部とからなり、非切り込み部の内側及び／又は外側に、当該非切り込み部の長さよりも長い破断防止用切り込みが設けられ、前記接着用シートと不要シート部分とを分離する際に、前記破断防止用切り込みが前記閉ループの軌跡から外れた方向に向かう破断を堰き止めることを特徴とする請求項４記載のシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はシート貼付装置及び貼付方法に係り、片面側に接着剤層が設けられた帯状シートに断続的な切り込みを形成し、当該切り込みで囲まれる内側を接着用シートとして被着体に貼付することに適したシート貼付装置及び貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ（以下、単に、「ウエハ」と称する）等の板状部材は、その処理工程において、ダイシングテープを介してリングフレームにマウントされたり、ウエハ回路面に保護シート等が貼付されたりすることが行われている。
【０００３】
前述したダイシングテープの貼付方法としては、帯状のダイシングテープを繰り出す途中で、当該ダイシングテープが仮着されているセパレータ（剥離シート）を剥離し、当該ダイシングテープをリングフレームとウエハに貼り付けた後にリングフレームの面内で閉ループ状に切断を行い、その外周側の不要テープ部分を巻き取って回収する、という構成が知られている（例えば、特許文献１参照）。また、帯状のベースシート（剥離シート）に仮着された帯状のテープ基材を繰り出す際に、当該テープ基材に閉ループ状の切り込みを形成して所定形状のダイシングテープとし、当該ダイシングテープをピールプレートの先端でベースシートから剥離してリングフレームとウエハに貼付するという方法が知られている（特許文献２参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−２５７８９８号公報
【特許文献２】特開２００６−０７３９２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１のシート貼付方法にあっては、リングフレーム上でカッター刃を移動させてダイシングテープを略円形に切断するものであるため、カッター刃がリングフレームを傷つけてしまう他、カッター刃自体の使用寿命を短くしてしまう、という固有の問題がある。この点、特許文献２に記載された方法は、ダイカットローラを用いてリングフレーム外形に略対応する閉ループ状の切り込みを形成し、当該切り込みで囲まれるシート領域をダイシングテープとして貼付するものとなっているため、特許文献１の方法固有の問題は解消し得るものとなる。
【０００６】
しかしながら、特許文献２に記載されたシート貼付方法においては、シートの片面側に設けられた接着剤層にベースシートが仮着された帯状の原反が用いられるものであり、原反の層構造において、ベースシートが必須となって無駄を生ずる、という不都合がある。これは、テープ基材に形成される切り込みが連続した閉ループ状であるため、切り込みで囲まれる内側のダイシングテープをベースシート上に仮着させておかなければならないからである。また、ベースシートが必須であるため、ロール状の原反を用いたときの当該ロール径が大きくなりすぎる不都合の他、ロール径の小さい原反を用いた場合には、当該原反の消費サイクルが短くなり、原反の支持手段への装着作業が頻繁となって作業効率を低下させる、という不都合を招来する。
【０００７】
［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、シートの片面側に接着剤層を設けただけのシンプルな層構造となる帯状シートを用い、当該帯状シートに閉ループの軌跡に沿う断続的な切り込みによって形成された接着用シートを被着体に貼付することに適したシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記目的を達成するため、片面側に接着剤層が設けられているとともに、所定間隔ごとに略閉ループ状の軌跡に沿う断続的な切り込みによって形成された接着用シートと、当該接着用シートの外側に位置する不要シート部分に設けられた引裂部とを備えた帯状シートを用い、当該帯状シートを繰り出して前記接着用シートをテーブル上に支持された被着体に貼付するシート貼付装置において、
前記接着用シートを押圧して当該接着用シートを被着体に貼付する押圧手段と、前記断続的な切り込み及び引裂部に引き裂き力を付与して前記接着用シートと不要シート部分とを分離する引き裂き手段とを備える、という構成を採っている。
【０００９】
本発明において、前記引き裂き手段は前記被着体を支持するテーブルに配置され、当該引き裂き手段は、前記不要シート部分の接着剤層側に位置して前記帯状シートの幅方向両側に設けられた移動部材と、前記不要シート部分の非接着剤層側に位置して当該不要シート部分を前記移動部材との間にそれぞれ挟み込むクランパと、前記移動部材とクランパとを引き裂き方向に駆動して前記帯状シートをエキスパンドする駆動装置とを含んで構成される、という構成を採ることができる。
【００１０】
また、前記クランパは、前記接着用シートを被着体に貼付する際に、前記押圧手段に干渉しない位置に退避可能に設けられている。
【００１１】
更に、本発明は、片面側に接着剤層が設けられているとともに、所定間隔ごとに略閉ループ状の軌跡に沿う断続的な切り込みによって形成された接着用シートと、当該接着用シートの外側に位置する不要シート部分に設けられた引裂部とを備えた帯状シートを用い、当該帯状シートを繰り出して前記接着用シートをテーブル上に支持された被着体に貼付するシート貼付方法において、
前記接着用シートを押圧して当該接着用シートを被着体に貼付した後、前記断続的な切り込み及び引裂部に引き裂き力を付与して前記接着用シートと不要シート部分とを分離し、次いで、前記不要シート部分を巻き取る、という方法を採っている。
【００１２】
前記シート貼付方法において、前記切り込みは切り込み部と非切り込み部とからなり、非切り込み部の内側及び／又は外側に、当該非切り込み部の長さよりも長い破断防止用切り込みが設けられ、前記接着用シートと不要シート部分とを分離する際に、前記破断防止用切り込みが前記閉ループの軌跡から外れた方向に向かう破断を堰き止める、という方法を採用することが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、押圧手段により接着用シートが被着体に貼付された後に、引き裂き手段を介して引き裂き力を付与する構成であるため、接着用シートを仮着するための剥離シートを有さないタイプの帯状シートを用いることが可能となり、剥離シートを無駄に消費することがない。また、接着用シートを被着体に貼付した状態で前記引き裂き力を付与するため、接着用シートが貼付された位置をしっかり保って不要シート部分との分離が可能となる。更に、剥離シートを有さない帯状シートを利用できることから、当該帯状シートをロール状に巻回して繰り出す構成としたときに、ロール径が極端に大きくなることがなく、また、同径の剥離シート付きロールに比べてロール交換頻度も低減して貼付効率を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１５】
図１には、本実施形態に係るシート貼付装置１０の概略斜視図が示され、図２には、テーブルの概略斜視図が示され、図３には、テーブルの一部断面図が示されている。これらの図において、帯状シートＳは、帯状に延びるシート基材Ｓ１と、このシート基材Ｓ１の片面側に設けられた接着剤層Ａとからなる二層構造とされている。この帯状シートＳの延出方向に沿う所定間隔を隔てた位置には、略閉ループ状の軌跡に沿う断続的な切り込み１１によって接着用シートＳ２が形成されている一方、当該接着用シートＳ２を除く外側領域が不要シート部分Ｓ３として形成され、当該不要シート部分Ｓ３の領域内において、帯状シートＳの幅方向略中央部には、帯状シートＳの繰り出し方向に沿ってミシン目若しくはスリットからなる引裂部１２が形成されている。この引裂部１２は、隣り合う閉ループ状の切り込み１１間に直線状に延びているが、それら引裂部１２は連続しないように形成されている。
【００１６】
前記切り込み１１は、切り込み部１１Ａと、非切り込み部１１Ｂとが略円形の軌跡に沿って交互に連続し、非切り込み部１１Ｂは、接着用シートＳ２と不要シート部分Ｓ３とを分離するときの抵抗を小さく保つ短い長さに設定されている。換言すれば、非切り込み部１１Ｂの長さや形成数は、剥離シートを有さない帯状シートＳから接着用シートＳ２が不用意に抜け出て脱落することがなく、しかも、容易に分離することができるように設定されていればよい。本実施形態では、非切り込み部１１Ｂの内側に破断防止用切り込み１１Ｃが形成されている。この破断防止用切り込み１１Ｃは、引き裂き力が付与されたときに、接着用シートＳ２の内側領域に大きく破断が及ぶことがないように破断を堰き止めるためのものであり、非切り込み部１１Ｂが隣り合う切り込み１１Ａの端部間に繋がるように切り裂くことができれば、破断防止用切り込み１１Ｃが直接的に作用することはない。なお、破断防止用切り込み１１Ｃは、非切り込み部１１Ｂの長さよりも長く設けられ、これにより、引裂力を付与して非切り込み部１１Ｂが切り込まれない場合があっても、接着用シートＳ２の内側領域に及び得る破断を堰き止めることが可能となっている。
【００１７】
前記シート貼付装置１０は、図１ないし図３に示されるように、本実施形態では、被着体としてのウエハＷ及びリングフレームＲＦを一体化させるマウント装置としての作用をなすものとして構成されている。このシート貼付装置１０は、図示しない繰出装置から繰り出された帯状シートＳを押圧して前記接着用シートＳ２をウエハＷ及びリングフレームＲＦに貼付する押圧手段としての押圧ローラ１５と、ウエハＷ及びリングフレームＲＦを支持するテーブル１６と、前記切り込み１１及び引裂部１２に引き裂き力を付与して接着用シートＳ２と不要シート部分Ｓ３とを分離する引き裂き手段１８とを備えて構成されている。
【００１８】
前記押圧ローラ１５は、前記テーブル１６の側方位置において、帯状シートＳの繰出方向に沿って延びる単軸ロボット２０に支持されている。この押圧ローラ１５は、単軸ロボット２０を介して略水平方向に移動可能に設けられているとともに、当該押圧ローラ１５が帯状シートＳの図中上面側となる非接着剤層側に接しながら回転して接着剤層ＡをウエハＷ及びリングフレームＲＦに貼り付けるようになっている。ここで、単軸ロボット２０の一端側（図１中左端側）には、ガイドローラ２１が回転可能な状態で固定され、当該ガイドローラ２１の上方に配置される図示しない巻取装置を介して不要シート部分Ｓ３が巻き取られるように構成されている。
【００１９】
前記テーブル１６は、前記リングフレームＲＦ及びウエハＷを吸着保持可能な上面構造を備えた昇降テーブル２５と、当該昇降テーブル２５の下面側に位置するベーステーブル２６とからなる。ベーステーブル２６の中央部には、図３に示されるように、エアシリンダ（以下「シリンダ」と称す）２７が設けられているとともに、各コーナー近傍にはガイドシャフト２８がそれぞれ設けられ、シリンダ２７におけるロッド２９の先端（上端）は昇降テーブル２５の下面に連結されている。これにより、ロッド２９の進退により、昇降テーブル２５は接着用シートＳ２を貼付することのできる高さ位置に対し、前記ガイドシャフト２８に沿って昇降可能とされている。
【００２０】
前記引き裂き手段１８は、前記テーブル１６に配置され、帯状シートＳの幅方向両側に一対配置とされている。この引き裂き手段１８は、前記不要シート部分Ｓ３の接着剤層Ａ側にそれぞれ位置する移動部材３０と、不要シート部分Ｓ３の非接着剤層側（上面側）に位置して当該不要シート部分Ｓ３を移動部材３０との間にそれぞれ挟み込むクランパ３１と、前記移動部材３０とクランパ３１とを引き裂き方向、すなわち、帯状シートＳの幅方向に沿って離間する方向に駆動して当該帯状シートＳを幅方向にエキスパンドする駆動装置としてのシリンダ３３（図３参照）とを含んで構成されている。移動部材３０は、昇降テーブル２５の上面側に位置する平面部３０Ａと、当該平面部３０Ａの外側端部から下方に向けられた垂下面部３０Ｂとからなる側面視略Ｌ字状に設けられ、当該垂下面部３０Ｂにシリンダ３３のロッド３３Ａが固定されている。これにより、ロッド３３Ａが進退することにより、一対の移動部材３０が相互に離間、接近可能となり、離間したときに、帯状シートＳを幅方向にエキスパンドすることとなる。なお、前記移動部材３０における平面部３０Ａの上面は、フッ素樹脂加工、エンボス加工等の表面処理が施されており、これにより、不要シート部分Ｓ３が平面部３０Ａに強力に接着してしまうことを防止している。
【００２１】
前記クランパ３１は、移動部材３０の平面部３０Ａとで不要シート部分Ｓ３を挟み込む側面視略Ｌ型のクランプアーム３５と、当該クランプアーム３５を回転可能に支持する回転移動装置３７とにより構成されている。このクランパ３１は、前記接着用シートＳ２をウエハＷ及びリングフレームＲＦに貼付する際に、前記押圧ローラ１５に干渉しない位置、すなわち、図３中二点鎖線で示されるように、昇降テーブル２５の側面側に退避可能となっている。
【００２２】
次に、本実施形態における接着用シートＳ２の貼付方法について図４ないし図８をも参照しながら説明する。
【００２３】
先ず、図示しない繰出装置から帯状シートＳを繰り出し、接着剤層Ａが前記テーブル２５の上方に相対する向きでガイドローラ２１を経由して図示しない巻取装置に帯状シートＳのリード端を固定する。そして、図２に示されるように、昇降テーブル２５の上面に、適宜な搬送アーム等を介してリングフレームＲＦとウエハＷが所定位置に載置され、吸着保持されて準備が完了する（図４参照）。このとき、押圧ローラ１５は、図４に示されるように昇降テーブル２５の右側に位置し、テーブル１６は、昇降テーブル２５が下降限にあってリングフレームＲＦ及びウエハＷが接着剤層Ａには接触しない位置を保つとともに、移動部材３０が相互に接近し、且つ、クランパ３１が図３中二点鎖線で示される位置に保たれる。
【００２４】
帯状シートＳの繰り出しが開始されて接着用シートＳ２がリングフレームＲＦ及びウエハＷの上方に位置したことが図示しないセンサ等により検出されると、帯状シートＳの繰り出しが停止される。そして、図５に示されるように昇降テーブル２５が上昇してリングフレームＲＦ及びウエハＷを接着用シートＳ２の接着剤層Ａに接近させた後、図６に示されるように、押圧ローラ１５がガイドローラ２１方向に移動し（図６中実線で示す）、再び初期位置（図６中二点鎖線で示す）に復帰して帯状シートＳをリングフレームＲＦ及びウエハＷに貼付する。
【００２５】
このようにして帯状シートＳの貼付が終了すると、図７に示されるように、クランパ３１が退避位置から回転して不要シート部分Ｓ３を平面部３０Ａとの間に挟み込んだ後、一対の移動部材３０が相互に離間するようにシリンダ３３によって駆動される。この駆動により、帯状シートＳが幅方向にエキスパンドされ、このとき、前記切り込み１１及び引裂部１２に引き裂き力が付与され、接着用シートＳ２と不要シート部分Ｓ３とが分離されることとなる。
【００２６】
そして、クランパ３１を退避状態に戻した後、図８に示されるように、昇降テーブル２５を下降させると、リングフレームＲＦ及びウエハＷに接着用シートＳ２のみが貼付されて付随する状態となる。なお、前記平面部３０Ａ上は、非粘着処理が施されているため、下降するテーブル１６によって不要接着シート部分Ｓ３が下方へ引っ張られることはない。この状態で、図示しない搬送アーム等を介して一体化されたリングフレームＲＦ及びウエハＷを昇降テーブル２５から取り出して次工程若しくは所定のストッカに搬送し、新たなリングフレームＲＦ及びウエハＷを昇降テーブル２５上に移載する。そして、上記同様の動作を繰り返すこととなる。
【００２７】
なお、前述した引き裂き力の付与によって、切り込み部１１Ａの端部間の非切り込み部１１Ｂは、隣り合う切り込み部１１Ａを相互に繋がるように引き裂かれて破断することになるが、何らかの要因によって、そのような破断が形成されない場合には、接着用シートＳ２に破断が及び得ることとなる。しかしながら、この場合でも、切り込み部１１Ａの端部は、破断防止用切り込みＣ１に繋がることになるため、当該破断は、破断防止用切り込み１１Ｃで堰き止められることとなり、接着用シートＳ２の内側深くには及ぶことはなく、接着用シートＳ２の貼付精度に大きな影響を与えることはない。
【００２８】
従って、このような実施形態によれば、剥離シートを有さない帯状シートＳから接着用シートＳ２をリングフレームＲＦ及びウエハＷに貼付することができ、経済性と、貼付効率に優れたシート貼付装置１０を提供することができる。
【００２９】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
【００３０】
例えば、被着体として、リングフレームＲＦや半導体ウエハＷを対象としたが、本発明はこれに限定されるものではなく、その他の板状部材等を対象とすることもできる。従って、切り込みは、略円形の軌跡に沿うものに限らず、多角形や、楕円の軌跡に沿うものであってもよい。
更に、前記実施形態では、破断防止用切り込み１１Ｃが非切り込み部１１Ｂの内側に形成された場合を示したが、この破断防止用切り込み１１Ｃは、外側に設けることを妨げない。
また、帯状シートＳは、予め切り込み１１を設けた接着用シートＳ２を形成したものを採用したが、帯状シートＳ２を繰り出す過程において、適宜なダイカット装置等で切り込んで接着用シートＳ２を形成しつつ当該接着用シートＳ２を貼付することもできる。
更に、押圧手段は、押圧ローラに限らず、テーブル１６の上方を水平方向に移動し、そのエッヂで接着用シートＳ２を貼付するブレード部材等に代替することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】シート貼付装置の概略斜視図。
【図２】被着体を保持した状態を示すテーブルの概略斜視図。
【図３】テーブルの一部断面図。
【図４】接着用シートを被着体に貼付する初期段階を示す側面図。
【図５】昇降テーブルが上昇した状態を示す側面図。
【図６】押圧ローラで接着用シートを被着体に貼付する状態を示す側面図。
【図７】帯状シートを幅方向にエキスパンドした状態を示す斜視図。
【図８】接着用シートを被着体に貼付して昇降テーブルを下降させた状態を示す一部断面図。
【符号の説明】
【００３２】
１０  シート貼付装置
１１  切り込み
１１Ａ  切り込み部
１１Ｂ  非切り込み部
１１Ｃ  破断防止用切り込み
１２  引裂部
１６  テーブル
１８  引き裂き手段
３０  移動部材
３１  クランパ
３３  シリンダ（駆動装置）
１５  押圧ローラ（押圧手段）
Ａ  接着剤層
Ｓ  帯状シート
Ｓ１  シート基材
Ｓ２  接着用シート
Ｓ３  不要シート部分
ＲＦ  リングフレーム（被着体）
Ｗ  半導体ウエハ（被着体）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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