(57)【要約】【課題】製造装置を半自動制御する製造装置制御システム及び製造装置制御方法、並びに自動制御機能を有しない製造装置システムを半自動制御化する方法を提供すること。【解決手段】製造装置制御システム１は、製造装置２ａ〜２ｃと、第１情報処理装置３ａ〜３ｃと、第２情報処理装置６ａ〜６ｃと、ホストコンピュータ８と、を備える。第１情報処理装置３ａ〜３ｃは、製造装置２ａ〜２ｃを制御する装置であるが、製造装置２ａ〜２ｃにおいて製造する所望の製品に対応する処理条件を単独で自動選択する機能を有しない。第２情報処理装置６ａ〜６ｃは、製造する製品に対応する工程情報をホストコンピュータ８から取得し、該工程情報を基に第１情報処理装置３ａ〜３ｃを操作して処理条件を自動選択し、製造装置２ａ〜２ｃに所望の処理を実行させる。ホストコンピュータ８は、製造装置２ａ〜２ｃにおける処理の進捗を管理する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１台の製造装置と、
各前記少なくとも１台の製造装置にそれぞれ接続され、前記製造装置を制御するための少なくとも１つの制御情報を記憶すると共に、前記少なくとも１つの制御情報を基に前記製造装置を制御する少なくとも１台の第１情報処理装置と、
各前記第１情報処理装置にそれぞれ接続され、前記第１情報処理装置を操作するための少なくとも１つの操作情報を記憶すると共に、前記少なくとも１つの操作情報を基に前記第１情報処理装置を操作する少なくとも１台の第２情報処理装置と、
前記第２情報処理装置に接続され、前記製造装置において製造する製品の少なくとも１つの工程情報を記憶するホストコンピュータと、を備える製造装置制御システムであって、
前記第１情報処理装置は、前記製造装置において製造する所望の製品に対応する前記制御情報を単独では自動選択できない装置であり、
前記第２情報処理装置は、前記所望の製品に対応する前記工程情報を前記ホストコンピュータから取得し、前記所望の製品に対応する前記工程情報を基に、前記所望の製品に対応する前記制御情報を選択し、
前記ホストコンピュータは、前記少なくとも１台の製造装置における処理の進捗情報を管理することを特徴とする製造装置制御システム。
【請求項２】
前記ホストコンピュータは、前記進捗情報に応じた前記工程情報を前記第２情報処理装置に送信すると共に、前記第２情報処理装置からの前記工程情報の照会に応じて前記進捗情報を更新することを特徴とする請求項１に記載の製造装置制御システム。
【請求項３】
各前記第２情報処理装置にそれぞれ接続されている、記録媒体の少なくとも１台の読取装置をさらに備える製造装置制御システムであって、
前記第２情報処理装置は、前記読取装置で読み取った記録媒体の情報を基に、前記ホストコンピュータから前記所望の製品に対応する前記工程情報を取得し、
前記記録媒体の情報は、前記製造装置で製造する製品に関する製品情報であることを特徴とする請求項１又は２に記載の製造装置制御システム。
【請求項４】
各前記第１情報処理装置の処理内容をそれぞれ表示する少なくとも１台の出力装置と、
各前記第２情報処理装置にそれぞれ接続されていると共に、各前記出力装置をそれぞれ監視する少なくとも１台の監視装置と、をさらに備える製造装置制御システムであって、
前記第２情報処理装置は、前記監視装置による監視結果が所定の条件を満たしている場合に前記第１情報処理装置を制御することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の製造装置制御システム。
【請求項５】
各前記第１情報処理装置、各前記入力装置及び各前記第２情報処理装置とそれぞれ接続されており、前記第１情報処理装置と前記入力装置間の接続可否、及び前記第１情報処理装置と前記第２情報処理装置間の接続可否をそれぞれ管理する少なくとも１台の切換装置と、をさらに備える製造装置制御システムであって、
前記切換装置は、前記第２情報処理装置が前記第１情報処理装置を制御する際、前記第１情報処理装置と前記入力装置間の接続を切断し、前記第１情報処理装置と前記第２情報処理装置間を接続することを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の製造装置制御システム。
【請求項６】
前記工程情報は、前記所望の製品を製造するための処理手順及び処理条件に関する情報を少なくとも１つ含むことを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の製造装置制御システム。
【請求項７】
少なくとも１台の製造装置を制御する方法であって、
各前記製造装置は、前記製造装置において製造する所望の製品に対応する、前記製造装置を制御するための制御情報を自動で選択できない第１情報処理装置によって制御され、
前記少なくとも１台の製造装置における進捗情報をホストコンピュータで管理する管理工程と、
前記第１情報処理装置と前記ホストコンピュータ間に接続された第２情報処理装置が、前記進捗情報に応じて、前記ホストコンピュータから前記所望の製品に関する工程情報を取得する取得工程と、
前記ホストコンピュータが、前記取得工程において、前記進捗情報を更新する更新工程と、
前記第２情報処理装置が、前記工程情報を基に、前記第１情報処理装置を操作して、前記所望の製品に対応する前記制御情報を選択する操作工程と、
前記製造装置は、選択された前記制御情報によって制御され、前記工程情報に対応する処理を実行する制御工程と、を含むことを特徴とする製造装置制御方法。
【請求項８】
前記製造装置において製造する製品に関する製品情報が記録された記録媒体を読み取る読取工程をさらに含み、
前記取得工程において、前記第２情報処理装置が前記製品情報に対応する前記工程情報を取得することを特徴とする請求項７に記載の製造装置制御方法。
【請求項９】
前記第１情報処理装置の処理内容を表示する出力装置を監視する監視工程をさらに含み、
前記操作工程において、前記監視工程における監視結果が所定の条件を満たしている場合に、前記第２情報処理装置が前記第１情報処理装置を操作することを特徴とする請求項８に記載の製造装置制御方法。
【請求項１０】
前記操作工程前に、前記第１情報処理装置の入力装置と前記第１情報処理装置との接続を切断すると共に、前記第１情報処理装置と前記第２情報処理装置とを接続する切換工程をさらに含むことを特徴とする請求項９に記載の製造装置制御方法。
【請求項１１】
前記工程情報は、前記所望の製品を製造するための処理手順及び処理条件に関する情報を少なくとも１つ含むことを特徴とする請求項７〜１０のいずれか一項に記載の製造装置制御方法。
【請求項１２】
少なくとも１台の製造装置と、
各前記少なくとも製造装置にそれぞれ接続され、前記製造装置を制御するための少なくとも１つの制御情報を記憶し、前記少なくとも１つの制御情報を基に前記製造装置を制御するが、前記製造装置において製造する所望の製品に対応する制御情報を単独では前記少なくとも１つの制御情報の中から自動選択できない少なくとも１台の第１情報処理装置と、を備えた製造装置制御システムを半自動制御化する方法であって、
各前記少なくとも１台の第１情報処理装置それぞれに第２情報処理装置を設置すると共に、前記第２情報処理装置によって前記第１情報処理装置が操作され、前記所望の製品に対応する制御情報が選択されるように前記第１情報処理装置及び前記第２情報処理装置を設定し、
前記製造装置において製造する製品の工程情報を少なくとも１つ記憶するホストコンピュータに前記第２情報処理装置を接続し、前記少なくとも１台の製造装置における処理の進捗情報を把握するように前記ホストコンピュータを設定すると共に、前記進捗情報に応じた前記工程情報を基に前記制御情報が選択されるように前記第２情報処理装置を設定することを特徴とする製造装置制御システムの半自動制御化方法。
【請求項１３】
記録媒体の読取装置を、前記第２情報処理装置にそれぞれに接続して設置すると共に、
前記読取装置で読み取った記録媒体の情報を基に前記工程情報を取得するように前記第２情報処理装置を設定することを特徴とする請求項１２に記載の製造装置制御システムの半自動制御化方法。
【請求項１４】
前記第１情報処理装置の出力装置を監視する監視装置を、前記第２情報処理装置にそれぞれに接続して設置すると共に、
前記監視装置による監視結果が所定の条件を満たしている場合に、前記第１情報処理装置を操作するように前記第２情報処理装置を設定することを特徴とする請求項１２又は１３に記載の製造装置制御システムの半自動制御化方法。
【請求項１５】
前記第１情報処理装置と前記第１情報処理装置の入力装置間の接続可否、及び前記第１情報処理装置と前記第２情報処理装置間の接続可否を管理する切換装置をそれぞれに設置すると共に、
前記第２情報処理装置が前記第１情報処理装置を操作する際、前記第１情報処理装置と前記入力装置間の接続を切断すると共に、前記第１情報処理装置と前記第２情報処理装置間を接続するように前記切換装置を設定することを特徴とする請求項１２〜１４のいずれか一項に記載の製造装置制御システムの半自動制御化方法。
【請求項１６】
前記工程情報は、前記所望の製品を製造するための処理手順及び処理条件に関する情報を少なくとも１つ含むことを特徴とする請求項１２〜１５のいずれか一項に記載の製造装置制御システムの半自動制御化方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、製造装置の制御システム及び制御方法、並びに製造装置制御システムの半自動制御化方法に関し、特に、製造装置を半自動制御する製造装置制御システム及び製造装置制御方法、並びに自動制御化されていない製造装置制御システムを半自動制御化する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
各種製造装置は、製造コスト削減、人為的作業ミスの回避、及び品質維持などのために、自動制御化が進められているが、製造装置を自動制御化するためには、所望の制御情報（製造条件）を何らかの形態で選択し、かつ製造装置に自動入力する必要がある。ここで、製造装置における制御情報の管理については、例えば特許文献１〜特許文献３に開示されている。
【０００３】
特許文献１に記載の生産管理システムにおいては、センターＣＰＵを介さなくても生産管理できるように、事前にセンターＣＰＵの生産指示情報をＩＣカードに記憶させ、ＩＣカードに記録された生産指示情報に基づいて簡易ターミナルから生産管理できるように構成されている。
【０００４】
特許文献２に記載の製造工程管理システムにおいては、複数の工程を有する製造ラインにおいて各オペレータが作業内容を確認できるように、第１の端末に記録媒体を挿入すると、製品の機種名を認識するコードが読み取られ、そのコードは上位装置へ送られて、上位装置の記憶手段からコードに対応する機種の全工程の作業指令データが読み出され、該作業指令データは第１の端末へ送信されて該記録媒体に書き込まれる。各作業指令データは各工程の表示手段に表示されて、オペレータは表示された作業指令データに基づいて作業を進めることができる。
【０００５】
特許文献３に記載の生産管理システムにおいては、ネットワークの下位のコントローラと外部記憶媒体レベルで直接処理指示できるように、製品処理に必要な情報を、製品に直接又は間接的に添付された外部記憶媒体とネットワークシステム上のコントローラで相互に保持させて、外部記憶媒体からの情報によって製造装置による生産を実施する。
【０００６】
また、特許文献４には、生産ライン（ベイ）を自動制御する生産ライン制御システムが開示されている。生産ラインは、保管設備、複数の製造装置、搬送機構、及び製造装置等の状態管理や動作指示をリアルタイムで行う制御装置を有する。制御装置には、生産ライン内の進捗管理を行う進度管理システムと処理可能な設備及び設備における製造条件を管理する製造条件システムとが接続されている。制御装置は、進度管理システム及び製造条件システムから取得した情報及び製造装置等の状態に関する情報を基に製造装置等に指示を出し、また、製造装置等の状態は制御装置及び進度管理システムに報告される。すなわち、製造装置等は、制御装置や進度管理システム等と相互通信し、オンライン管理されている。
【０００７】
【特許文献１】特開平２−９００４４号公報
【特許文献２】特開平５−８１５７号公報
【特許文献３】特開２００１−１４２９６６号公報
【特許文献４】特開平９−６４０９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
先に述べたように、各種製造装置は自動制御することが望まれている。しかしながら、自動制御されていない製造装置を自動制御するために、製造装置の制御装置のプログラムや制御装置自体を新たに開発することになると、多額の開発コスト及び長期の開発期間を要するなどの問題もある。
【０００９】
例えば、半導体製造装置においては、製造装置の開発に伴い、半導体装置の製造コストを抑えるために、製造するウェハ口径を５インチ、６インチ、８インチ、１２インチへと大きくしていると同時に、各製造装置の自動制御化も進めている。しかしながら、各ウェハ口径用の製造装置は、それぞれ製造条件が異なるために、自動制御化のためにはそれぞれ個別の対処が必要となる。
【００１０】
例えば、５インチ用の製造ラインでは、製造装置へ製造条件をセットする際には、オペレータが、条件シート（紙）を見ながら各条件（温度、圧力等）を製造装置の操作パネルから個別にセットする。６インチ用の製造ラインでは、製造装置に付属されたハードディスクに予め各条件を記憶しておき、製造装置へ製造条件をセットする際には、オペレータが、逐次必要な製造条件を選択して製造装置にセットする。８インチ用及び１２インチ用の製造装置では、ホストコンピュータと各製造装置との通信機能によって製造条件を製造装置に自動的にセットすることができる。
【００１１】
このような状況において、例えば、製造条件セットの自動制御化があまり進んでいない６インチ用の製造装置を、自動化が進んだ８インチ用又は１２インチ用並みの製造装置へ改善するためには（例えば、特許文献４に示されるような相互通信のオンライン制御システムを構築するためには）、通常、製造装置やその制御装置に組み込まれているソフトウェアを、ホストコンピュータと相互通信できるように対応させる必要がある。しかしながら、自動制御可能に設定されていない製造装置や制御装置に組み込まれたソフトウェアは、元々、ネットワークを介して自動化する前提で設計されていないので、ホストコンピュータ等と相互通信するためには、製造装置や制御装置に組み込むソフトウェアを新たに開発する必要があり、開発コスト及び開発期間の観点において現実的ではない。
【００１２】
また、特許文献１〜３に記載にされた製造装置の制御情報の管理システムでは、自動制御化されていない製造装置において、該製造装置に付帯された制御装置にすでに設定ないし記憶されている制御情報を利用した自動制御（自動入力）化を実現することはできない。
【００１３】
ここで、自動制御機能を有していない製造装置システムの一例について説明する。図８に、自動制御機能を有していない製造装置制御システムの概念図を示す。製造装置制御システム５１は、複数の製造装置５２ａ〜５２ｃを備えると共に、それぞれの製造装置５２ａ〜５２ｃに対して、製造装置５２ａ〜５２ｃを制御するための情報処理装置（制御装置）５３ａ〜５３ｃ、情報処理装置５３ａ〜５３ｃに情報や命令を入力する入力装置５４ａ〜５４ｃ、及び情報処理装置５３ａ〜５３ｃの処理内容を表示する出力装置５５ａ〜５５ｃを備える。情報処理装置５３ａ〜５３ｃは、製造装置５２ａ〜５２ｃを制御するための制御情報を記憶しており、該制御情報を基に製造装置５２ａ〜５２ｃを制御することができる。
【００１４】
図８に示すような製造装置制御システム５１においては、情報処理装置５３ａ〜５３ｃは、複数の制御情報の中から、製造する製品に応じた所望の制御情報を自動的に選択すること（すなわち、製造装置５２ａ〜５２ｃを自動制御すること）ができず、製造装置５２ａ〜５２ｃを作動させるためにはオペレータが工程毎に各入力装置５４ａ〜５４ｃから所望の制御情報を選択して、情報処理装置５３ａ〜５３ｃへ命令を逐一入力（命令を製造装置５２ａ〜５２ｃへ送信）しなければならない。また、製造装置５２ａ〜５２ｃは、ネットワークを介して接続されていない独立状態であるので、製造装置制御システム５１全体の工程の進行状況（進捗）を管理することができない。
【００１５】
例えば、製造装置５２ａが半導体装置の製造装置である場合には、情報処理装置５３ａには制御情報として半導体装置の製造処理条件が少なくとも１つ記憶されている。酸化膜の成膜工程を例にして説明すると、情報処理装置５３ａには、表１に示すような、形成する酸化膜の膜厚や成膜温度などの条件が異なる条件番号１〜ｎの複数の製造処理条件が記憶されており、製造装置５２ａに酸化膜成膜処理を実行させるためには、オペレータは、製造する半導体装置に応じて、条件番号１〜ｎの製造処理条件から１つを選択しなければならない。
【００１６】
【表１】
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【００１７】
したがって、自動制御化されていない製造装置制御システム５１においては、オペレータは、各工程において複数の製造処理条件から実施すべき一条件を各入力装置５４ａ〜５４ｃから各情報処理装置５３ａ〜５３ｃに入力ないし選択しなければならない。このようなオペレータによる作業は、製品コストを増大させると共に、人為的ミスの発生の可能性を伴うことになる。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明の第１視点によれば、少なくとも１台の製造装置と、各少なくとも１台の製造装置にそれぞれ接続され、製造装置を制御するための少なくとも１つの制御情報を記憶すると共に、少なくとも１つの制御情報を基に製造装置を制御する少なくとも１つの第１情報処理装置と、各第１情報処理装置にそれぞれ接続され、第１情報処理装置を操作するための少なくとも１つの操作情報を記憶すると共に、少なくとも１つの操作情報を基に第１情報処理装置を操作する少なくとも１つの第２情報処理装置と、第２情報処理装置に接続され、製造装置において製造する製品の少なくとも１つの工程情報を記憶するホストコンピュータと、を備える製造装置制御システムであって、第１情報処理装置は、製造装置において製造する所望の製品に対応する制御情報を単独では自動選択できない装置であり、第２情報処理装置は、所望の製品に対応する工程情報をホストコンピュータから取得し、所望の製品に対応する工程情報を基に、所望の製品に対応する制御情報を選択し、ホストコンピュータは、少なくとも１台の製造装置における処理の進捗情報を管理する製造装置制御システムを提供する。
【００１９】
本発明の第２視点によれば、少なくとも１台の製造装置を制御する方法であって、各製造装置は、製造装置において製造する所望の製品に対応する、製造装置を制御するための制御情報を自動で選択できない第１情報処理装置によって制御され、少なくとも１台の製造装置における進捗情報をホストコンピュータで管理する管理工程と、第１情報処理装置とホストコンピュータ間に接続された第２情報処理装置が、進捗情報に応じて、ホストコンピュータから所望の製品に関する工程情報を取得する取得工程と、ホストコンピュータが、取得工程において、進捗情報を更新する更新工程と、第２情報処理装置が、工程情報を基に、第１情報処理装置を操作して、所望の製品に対応する制御情報を選択する操作工程と、製造装置は、選択された制御情報によって制御され、工程情報に対応する処理を実行する制御工程と、を含むことを特徴とする製造装置制御方法を提供する。
【００２０】
本発明の第３視点によれば、少なくとも１台の製造装置と、各少なくとも製造装置にそれぞれ接続され、製造装置を制御するための少なくとも１つの制御情報を記憶し、少なくとも１つの制御情報を基に製造装置を制御するが、製造装置において製造する所望の製品に対応する制御情報を単独では少なくとも１つの制御情報の中から自動選択できない少なくとも１台の第１情報処理装置と、を備えた製造装置制御システムを半自動制御化する方法であって、各少なくとも１台の第１情報処理装置それぞれに第２情報処理装置を設置すると共に、第２情報処理装置によって第１情報処理装置が操作され、所望の製品に対応する制御情報が選択されるように第１情報処理装置及び第２情報処理装置を設定し、製造装置において製造する製品の工程情報を少なくとも１つ記憶するホストコンピュータに第２情報処理装置を接続し、少なくとも１台の製造装置における処理の進捗情報を把握するようにホストコンピュータを設定すると共に、進捗情報に応じた工程情報を基に制御情報が選択されるように第２情報処理装置を設定することを特徴とする製造装置制御システムの半自動制御化方法を提供する。
【００２１】
なお、本発明において、半自動制御化とは、製造設備制御システム全体（すべての製造装置）を一括に自動制御できるようにする自動制御化ではないが、個々の製造設備に対して（部分的に）は自動制御できるようにする自動制御化をいう。
【発明の効果】
【００２２】
本発明においては、自動制御機能を有していない製造装置制御システムにおいて使用されていた、製造装置及び該製造装置を制御する第１情報処理装置を利用して製造装置を自動制御化する。すなわち、新たなハードウェアやソフトウェアを開発するのではなく、該製造装置及び第１情報処理装置にすでに設定されている既存のハードウェア及びソフトウェアを利用するので、本発明によれば、自動制御化のための開発費を大幅に削減できると共に、開発期間も大幅に短縮することができる。また、本発明においては、仕様が概ね統一されている入力部分を変更するだけなので、本発明は種々の製造装置ないし制御システムに容易に適用することができる。さらに、本発明によれば、オペレータによる操作を少なくできるので、本発明によれば人為的ミスの数を低減させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
まず、本発明の第１実施形態に係る製造装置制御システム及び製造装置制御方法について説明する。図１に、本発明の第１実施形態に係る製造装置制御システムの概念図を示す。
【００２４】
第１実施形態に係る製造装置制御システム１は、少なくとも１台の製造装置２ａ〜２ｃ、及び製造装置２ａ〜２ｃ間で製品（被処理品）を搬送する少なくとも１台の搬送装置（不図示）を備え、さらに、各製造装置２ａ〜２ｃについて、製造装置２ａ〜２ｃを制御するための少なくとも１台の第１情報処理装置（制御装置）３ａ〜３ｃ、第１情報処理装置３ａ〜３ｃに情報や命令を入力する少なくとも１台の（第１）入力装置４ａ〜４ｃ、第１情報処理装置３ａ〜３ｃの処理内容を表示する少なくとも１台の（第１）出力装置５ａ〜５ｃ、第１情報処理装置３ａ〜３ｃに接続され、第１情報処理装置３ａ〜３ｃを操作（制御）する操作情報（信号）を第１情報処理装置３ａ〜３ｃに入力する少なくとも１台の第２情報処理装置６ａ〜６ｃ、第２情報処理装置６ａ〜６ｃに情報や命令を入力する少なくとも１台の第２入力装置（第２情報処理装置６ａ〜６ｃと一体化して図示）、及び第２情報処理装置６ａ〜６ｃの処理内容を表示する少なくとも１台の第２出力装置（第２情報処理装置６ａ〜６ｃと一体化して図示）を備える。さらに、製造装置制御システム１は、第２情報処理装置６ａ〜６ｃにネットワーク７を介して接続された少なくとも１台のホストコンピュータ８を備える。
【００２５】
第１情報処理装置３ａ〜３ｃ及び第２情報処理装置６ａ〜６ｃの入力装置は、所望の情報を入力できるものであればいずれの形態でもよく、例としてはキーボード、マウス、タッチパネルなどが挙げられる。第１情報処理装置３ａ〜３ｃ及び第２情報処理装置６ａ〜６ｃの出力装置は、各情報処理装置の処理内容や処理状況を表示できるものであればいずれの形態でもよく、例としては、ディスプレイ（モニタ）などが挙げられる。入力装置及び出力装置は、図１に示すような別々の形態であってもよいし、例えばタッチパネル式の入力装置のように入力装置と出力装置が一体となったものでもよい。
【００２６】
第１情報処理装置３ａ〜３ｃは、それぞれ対応する製造装置２ａ〜２ｃに接続されており、例えば上記で説明したような、製造装置２ａ〜２ｃを制御するための少なくとも１つの制御情報を記憶しており、該制御情報を基に製造装置２ａ〜２ｃを制御することができるものであるが、製造する製品又はロットに応じて所望の制御情報（例えば上記表１に示すような製造処理条件）を単独で自動的に選択する機能は有していない。
【００２７】
ホストコンピュータ８には、製造する製品（又はロット）毎に該製品を製造するための少なくとも１つの工程情報が記憶されている。該工程情報としては、例えば、表２に示すように、製造する製品（又はロット）毎に、該製品を製造するための工程、工程手順、各工程手順における使用装置（装置名）、製造処理条件（条件番号）、進捗情報（例えば、処理の有無、処理日時等）、及びそれらの情報を特定（選択）するための各対応工程コードなどを含む情報が挙げられる。
【００２８】
【表２】
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【００２９】
第２情報処理装置６ａ〜６ｃは、製造装置２ａ〜２ｃに所望の処理を実行させるために、第１情報処理装置３ａ〜３ｃを操作（制御）するための操作情報を記憶している。操作情報としては、例えばキーコードが挙げられる。ここで、キーコードとは、入力装置４ａ〜４ｃに代わって入力される、第１情報処理装置３ａ〜３ｃを操作（制御）するためのコード（信号）である。したがって、操作情報によって、第１情報処理装置３ａ〜３ｃに記憶されている制御情報が選択入力されることになる。
【００３０】
第２情報処理装置６ａ〜６ｃは、ホストコンピュータ８に記憶されている工程情報の中から、所望の製品に対する所望の工程情報を抽出（検索）することができる。また、工程情報を抽出するために、第２情報処理装置６ａ〜６ｃは、製造する製品又はロット毎の製品情報（例えばロット番号、品名など）を予め記憶していてもよい。
【００３１】
第１情報処理装置３ａ〜３ｃに記憶されている制御情報は、例えば、上記表１に示すような複数の製造処理条件などを含む。さらに、各条件の処理を行う具体的な手順、いわゆるレシピを含む。レシピとは処理ガスの導入タイミングや停止タイミングなど一連のフローのことである。第１情報処理装置３ａ〜３ｃは、該制御情報を基に製造装置２ａ〜２ｃを制御し（製造装置２ａ〜２ｃに制御情報に応じた命令を入力し）、製造装置２ａ〜２ｃに所望の処理を実行させる。
【００３２】
複数の第２情報処理装置を１つの場所に集約させれば、１つの場所から複数の製造装置を制御（管理）することができるようになる。また、複数の第１情報処理装置に対して１台（ないし第１情報処理装置の数未満）の第２情報処理装置で操作できるようにしてもよい。
【００３３】
なお、各製造装置２ａ〜２ｃは、表２に示す例におけるＡ装置〜Ｅ装置のような、各処理（工程）を実施する装置である。
【００３４】
次に、図１に示す製造装置制御システム１における製造装置２ａの処理を例にして、各要素の動作（機能）と併せて第１実施形態に係る製造装置制御方法について説明する。図２に、第１実施形態に係る製造装置制御方法のフローチャートを示す。
【００３５】
まず、オペレータが、製造する製品又はロットに関する製品情報（例えばロット番号、品名など）を、処理を実行する製造装置２ａに対応する第２情報処理装置６ａに入力する（Ｓ１０１）。あるいは、オペレータが、第２情報処理装置６ａに記憶されている複数の製品情報の中から所望の製品情報を選択する。
【００３６】
これにより、第２情報処理装置６ａは、該製品情報に関する工程情報をホストコンピュータ８に照会する（Ｓ１０２）。
【００３７】
ホストコンピュータ８は、第２情報処理装置６ａからの照会を受け、記憶されている少なくとも１つの工程情報の中から、該製品情報に対応する工程情報を読出し、現在の進捗（工程）を確認及び更新する（Ｓ１０３）。そして、次の工程に係る工程情報（工程や条件等を特定できるもの、例えば工程コード）を第２情報処理装置６ａへ送信する（Ｓ１０４）。例えば、表２を例において、進捗情報によれば工程４の酸洗浄工程まで実施済みであったとすると、ホストコンピュータ８は、次の工程５の第１酸化膜成長の工程コードを第２情報処理装置６ａへ送信すると共に、工程５の進捗情報を更新する。
【００３８】
第２情報処理装置６ａは、ホストコンピュータ８から入力された工程情報（例えば工程コード）を基に、対応する操作情報（例えばキーコード）を出力する（工程情報を操作情報に変換する）（Ｓ１０５）。そして、第２情報処理装置６ａは、該操作情報を第１情報処理装置３ａへ入力する（Ｓ１０６）。
【００３９】
第１情報処理装置３ａは、第２情報処理装置６ａから入力された操作情報によって制御され、該操作情報を基に、目的とする処理を製造装置２ａに実行させる。すなわち、第１情報処理装置３ａにおいては、該操作情報によって、記憶されている少なくとも１つの制御情報の中から、工程情報に対応する制御情報が自動的に選択され、該工程情報に含まれる内容を製造装置２ａに実行させるための命令（信号）を製造装置２ａに送信して、製造装置２ａを制御する（Ｓ１０７）。
【００４０】
製造装置２ａは、入力された命令に基づき、選択された処理を実行する（Ｓ１０８）。これにより、製造装置２ａは、第１情報処理装置３ａに記憶された制御情報を基に、第２情報処理装置６ａによって遠隔的かつ間接的に制御されることになる。
【００４１】
表２に示すように、複数の工程がある場合には、工程毎にＳ１０１〜Ｓ１０８の処理を実施する。
【００４２】
次に、自動制御機能を有しない制御システムを半自動制御化する第１実施形態に係る半自動制御化方法について図１を用いて説明する。図８に示すような自動制御機能を有しない製造装置システムに対して、まず、入力装置４ａ〜４ｃを介さずに第１情報処理装置３ａ〜３ｃをリモート制御できるように、操作情報（信号）を第１情報処理装置３ａ〜３ｃに送信する第２情報処理装置６ａ〜６ｃを各第１情報処理装置３ａ〜３ｃに接続する。第２情報処理装置６ａ〜６ｃは、ネットワーク７を介してホストコンピュータ８と通信可能に接続する。
【００４３】
ホストコンピュータ８には、製品又はロット毎に、少なくとも１つの工程情報を記憶させる。また、第２情報処理装置６ａ〜６ｃからの照会に応じて、製品情報に対応する工程情報を出力し、第２情報処理装置６ａ〜６ｃに送信すると共に、製品処理の進捗状況を更新するようにホストコンピュータ８を設定する。
【００４４】
第２情報処理装置６ａ〜６ｃには、各工程情報に対応する操作情報を記憶させる。また、第２情報処理装置６ａ〜６ｃは、製造装置２ａ〜２ｃにおいて製造する製品情報を入力又は選択して、該製品情報に対応する工程情報をホストコンピュータ８から入手可能に設定すると共に、該工程情報に対応する操作情報を第１情報処理装置３ａ〜３ｃに送信可能に設定する。製品情報を選択するように設定する場合には、製品情報も予め第２情報処理装置６ａ〜６ｃに記憶させておく。
【００４５】
第１情報処理装置３ａ〜３ｃは、第２情報処理装置６ａ〜６ｃから入力される該操作情報を基に、記憶されている制御情報を自動で選択して、該制御情報に基づく命令を製造装置２ａ〜２ｃに入力できるように、ハードウェア及びソフトウェアを設定ないし変更する。すなわち、第２情報処理装置６ａ〜６ｃから第１情報処理装置３ａ〜３ｃを経由して製造装置２ａ〜２ｃを遠隔制御できるような製造装置制御システムとする。
【００４６】
本発明の第１実施形態によれば、自動制御機能を有していない既存の制御システム（特に製造装置２ａ〜２ｃ及び第１情報処理装置３ａ〜３ｃのハードウェア及びソフトウェア）を利用しているので、低コストかつ短期間で製造装置２ａ〜２ｃを半自動制御化する制御システムを構築することができる。本発明によれば、既存の制御システムを利用していても、製造装置２ａ〜２ｃを第２情報処理装置６ａ〜６ｃによって遠隔的にかつ間接的に制御するだけであるので、制御システムを簡易な構成にすることができる。
【００４７】
また、所望の製品又はロットに関する製品情報を第２情報処理装置６ａ〜６ｃにおいて選択ないし入力するだけで、第１情報処理装置３ａ〜３ｃで制御情報（処理条件）を逐一選択することなく、自動選択して所望の処理を実行することができると共に、ホストコンピュータ８において進捗状況を管理することができる。
【００４８】
新規の製品又はロットを製造する場合や処理条件を変更する場合であっても、ホストコンピュータ８の工程情報を新規登録又は変更すればよいだけであるので、作業を簡略化することができる。
【００４９】
次に、本発明の第２実施形態に係る製造装置制御システムについて説明する。図３に、本発明の第２実施形態に係る製造装置制御システムの概念図を示す。図３においては、図１に示す要素と同じ要素には図１と同じ符号を付してある。
【００５０】
第２実施形態に係る製造装置制御システム１１は、図１に示す第１実施形態に係る製造装置制御システム１と比較して、第１実施形態と同様の製造装置２ａ〜２ｃ、第１情報処理装置３ａ〜３ｃ、入力装置４ａ〜４ｃ、出力装置５ａ〜５ｃ、第２情報処理装置６ａ〜６ｃ、ホストコンピュータ８の他に、記録媒体１０ａ〜１０ｃの少なくとも１台の読取装置９ａ〜９ｃをさらに備える。
【００５１】
記録媒体１０ａ〜１０ｃは、製造装置２ａ〜２ｃにおいて製造する製品又はロットに関する製品情報を記録できるものであればいずれの形態でもよい。記録媒体１０ａ〜１０ｃは、磁気カードのような接触型記録媒体でもよいし、ＩＣカードのような非接触型記録媒体でもよく、例えば磁気テープ、磁気ディスク、光ディスク、光磁気ディスク、メモリカード、バーコードなども利用することができる。
【００５２】
読取装置９ａ〜９ｃは、第２情報処理装置６ａ〜６ｃに接続されており、記録媒体１０ａ〜１０ｃに記録された情報を第２情報処理装置６ａ〜６ｃで読み込み可能なものであればいずれの形態でもよい。
【００５３】
第２実施形態においては、第１実施形態のように製品情報を予め第２情報処理装置６ａ〜６ｃに記憶させておかなくても構わない。
【００５４】
次に、図３に示す製造装置制御システム１１における製造装置２ａの処理を例にして、各要素の動作（機能）と併せて本発明の第２実施形態に係る製造装置制御方法について説明する。図４に、第２実施形態に係る製造装置制御方法のフローチャートを示す。また、図５に、第２実施形態に係る各要素の作業及び情報の流れを示すフローチャートを示す。
【００５５】
まず、製造装置２ａ〜２ｃにおいて製造する製品又はロット毎に記録媒体１０ａ〜１０ｃを準備する。図３においては読取装置９ａ〜９ｃ等毎に別々の記録媒体１０ａ〜１０ｃが準備されているが、読取装置９ａ〜９ｃ等に共通の１つの記録媒体であってもよい。記録媒体１０ａ〜１０ｃには、好ましくは、製造装置２ａ〜２ｃにおいて製造する１つの製品又はロットを識別するための情報（例えば、ロット番号、品名など）（製品情報）を記録しておく。オペレータは、処理開始時に、製造する製品又はロットに対応する記録媒体（例えば記録媒体１０ａ）を選択し、読取装置９ａで記録媒体１０ａの製品情報を読み取る（Ｓ２０１）。
【００５６】
次に、第２情報処理装置６ａは、読み取った製品情報に関する工程情報をホストコンピュータ８に照会する（Ｓ２０２）。その後のＳ２０３〜Ｓ２０８は、第１実施形態におけるＳ１０３〜Ｓ１０８と同様である。
【００５７】
次に、自動制御機能を有しない制御システムを半自動制御化する第２実施形態に係る自動制御化方法について図３を用いて説明する。本実施形態においては、第１実施形態に係る製造装置制御システム１の第２情報処理装置６ａ〜６ｃに、記録媒体１０ａ〜１０ｃの読取装置９ａ〜９ｃをさらに接続する。第２情報処理装置６ａ〜６ｃは、読取装置９ａ〜９ｃによって記録媒体１０ａ〜１０ｃに記録された製品情報を取得できるように設定すると共に、取得した記録媒体１０ａ〜１０ｃの製品情報を基にして、該製品情報に関する工程情報をホストコンピュータ８から抽出できるように設定する。そのほかは、第１実施形態と同様である。
【００５８】
本実施形態によれば、製造するロット又は製品に対応した記録媒体１０ａ〜１０ｃを読み取るだけで製造装置２ａ〜２ｃを自動制御することができると共に、製造する製品又はロットの選択ないし入力ミスを低減させることができ、製造信頼性を向上させることができる。
【００５９】
次に、本発明の第３実施形態に係る製造装置制御システムについて説明する。図６に、本発明の第３実施形態に係る製造装置制御システムの概念図を示す。図６においては、図１及び図３に示す要素と同じ要素には図１及び図３と同じ符号を付してある。
【００６０】
第３実施形態に係る製造装置制御システム２１は、図３に示す第２実施形態に係る製造装置制御システム１１と比較して、第２実施形態と同様の製造装置２ａ〜２ｃ、第１情報処理装置３ａ〜３ｃ、入力装置４ａ〜４ｃ、出力装置５ａ〜５ｃ、第２情報処理装置６ａ〜６ｃ、ホストコンピュータ８及び読取装置９ａ〜９ｃの他に、少なくとも１台の切換装置１２ａ〜１２ｃ及び少なくとも１台の監視装置１３ａ〜１３ｃをさらに備える。
【００６１】
切換装置１２ａ〜１２ｃは、第１情報処理装置３ａ〜３ｃと入力装置４ａ〜４ｃ間の接続可否及び第１情報処理装置３ａ〜３ｃと第２情報処理装置６ａ〜６ｃ間の接続可否を管理するものである。第１及び第２実施形態においては、入力装置４ａ〜４ｃ及び第２情報処理装置６ａ〜６ｃは、第１情報処理装置３ａ〜３ｃに直接接続されていたが、第３実施形態においては、それぞれ、切換装置１２ａ〜１２ｃを介して第１情報処理装置３ａ〜３ｃに接続されている。切換装置１２ａ〜１２ｃとしては、例えばインターフェイスボックスなどを利用することができる。切換装置１２ａ〜１２ｃにより、入力装置４ａ〜４ｃと第２情報処理装置６ａ〜６ｃの両方から第１情報処理装置３ａ〜３ｃへ操作情報が入力されることを防止することができる。
【００６２】
また、入力装置４ａ〜４ｃによって製造装置２ａ〜２ｃを制御する際、入力装置４ａ〜４ｃによって制御情報を編集する際、及び製造装置２ａ〜２ｃの保守点検の際には、切換装置１２ａ〜１２ｃにより、第２情報処理装置６ａ〜６ｃと第１情報処理装置３ａ〜３ｃとの接続を切断し、第２情報処理装置６ａ〜６ｃから操作情報が入力されることも防止することができる。したがって、切換装置１２ａ〜１２ｃは、第２情報処理装置６ａ〜６ｃによって第１情報処理装置３ａ〜３ｃを遠隔制御する場合に有用である。
【００６３】
切換装置１２ａ〜１２ｃにおける接続の切換は、第２情報処理装置６ａ〜６ｃからの切換信号によって実施されると好ましい。
【００６４】
監視装置１３ａ〜１３ｃは、出力装置５ａ〜５ｃを監視するものであり、監視装置１３ａ〜１３ｃとしては例えば動画ないし静画を撮影するカメラなどを使用することができる。監視装置１３ａ〜１３ｃは、第２情報処理装置６ａ〜６ｃに接続されており、第２情報処理装置６ａ〜６ｃは、監視装置１３ａ〜１３ｃの監視結果（監視情報）に基づいて、第１情報処理装置３ａ〜３ｃの処理状況（状態）を判断する。したがって、出力装置５ａ〜５ｃに出力する情報（内容）は、第１情報処理装置３ａ〜３ｃの処理状況に関する情報であり、好ましくは、第２情報処理装置６ａ〜６ｃから第１情報処理装置３ａ〜３ｃに操作情報を入力可能な状態にあるかどうかを示す情報である。例えば、第１情報処理装置３ａ〜３ｃがスタンバイ状態にあるかどうかを出力装置５ａ〜５ｃに明示させる。このとき、出力装置５ａ〜５ｃが例えばディスプレイの場合、監視装置１３ａ〜１３ｃが監視する部分は、スタンバイ状態であることを示す部分であり、それはディスプレイ全体であってもよいし、ディスプレイの所定の一部分であってもよい。また、出力装置５ａ〜５ｃに出力する情報（内容）は、第２情報処理装置６ａ〜６ｃが第１情報処理装置３ａ〜３ｃの処理状況を監視結果から判断できるものにする。例えば、色の三要素（色相・彩度・明度）のうち少なくとも１つの要素、文字・記号、又はこれらの組み合わせで第１情報処理装置３ａ〜３ｃの処理状況を表示するようにする。
【００６５】
本実施形態においては、第２実施形態に係る製造装置制御システム１１に切換装置１２ａ〜１２ｃ及び監視装置１３ａ〜１３ｃを接続する形態をとったが、第１実施形態に係る製造装置制御システム１に切換装置１２ａ〜１２ｃ及び監視装置１３ａ〜１３ｃを接続する形態でもよい。
【００６６】
次に、図６に示す製造装置制御システム２１における製造装置２ａの処理を例にして、各要素の動作（機能）と併せて本発明の第３実施形態に係る製造装置制御方法について説明する。図７に、第３実施形態に係る製造装置制御方法のフローチャートを示す。
【００６７】
Ｓ３０１〜Ｓ３０５は、第２実施形態におけるＳ２０１〜Ｓ２０５と同様である。Ｓ３０５後、第２情報処理装置６ａは、監視装置１３ａによる監視結果（監視情報）に基づいて、第１情報処理装置３ａに操作情報を送信可能であるかどうか、例えば第１情報処理装置３ａがスタンバイ状態にあるかどうか、を判断する（Ｓ３０６）。第２情報処理装置６ａが第１情報処理装置３ａに操作情報を送信可能であると判断した場合、第２情報処理装置６ａは、切換装置１２ａに切換信号を送信する（Ｓ３０７）。Ｓ３０６において、第１情報処理装置３ａに操作情報を送信不可能である場合には、送信可能になるまでＳ３０７を実施しない。
【００６８】
切換装置１２ａは、該切換信号に基づき、入力装置４ａと第１情報処理装置３ａ間の接続を切断すると共に、第２情報処理装置６ａと第１情報処理装置３ａ間を接続する（Ｓ３０８）。次のＳ３０９〜Ｓ３１１は、第２実施形態におけるＳ２０６〜Ｓ２０８と同様である。
【００６９】
次に、自動制御機能を有しない制御システムを自動制御化する第３実施形態に係る自動制御化方法について図６を用いて説明する。第２実施形態と同様に第２情報処理装置６ａ〜６ｃを設置することは同様であるが、本実施形態においては、切換装置１２ａ〜１２ｃを介して第１情報処理装置３ａ〜３ｃと第２情報処理装置６ａ〜６ｃとを接続すると共に、切換装置１２ａ〜１２ｃを介して第１情報処理装置３ａ〜３ｃと入力装置４ａ〜４ｃとを接続する。次に、第２情報処理装置６ａ〜６ｃから操作信号を第１情報処理装置３ａ〜３ｃへ入力する際には、第１情報処理装置３ａ〜３ｃと入力装置４ａ〜４ｃ間の接続を切断すると共に、第１情報処理装置３ａ〜３ｃと第２情報処理装置６ａ〜６ｃ間を接続するように切換装置１２ａ〜１２ｃを設定する。また、第２情報処理装置６ａ〜６ｃは、第１情報処理装置３ａ〜３ｃへ操作情報を入力する前に（好ましくは、監視装置１３ａ〜１３ｃの監視情報が所定の条件を満たしている場合に）、第１情報処理装置３ａ〜３ｃと入力装置４ａ〜４ｃとの接続を切断して第１情報処理装置３ａ〜３ｃと第２情報処理装置６ａ〜６ｃとを接続することを命令する切換信号を切換装置１２ａ〜１２ｃに送信するように設定する。それと共に、切換装置１２ａ〜１２ｃは、該切換信号を受信したときに接続を切り換えるように設定する。切換を元に戻す場合には、自動的に元に戻すように設定してもよいし、第２情報処理装置６ａ〜６ｃからの命令によって元に戻すように設定してもよい。
【００７０】
また、監視装置１３ａ〜１３ｃを、第２情報処理装置６ａ〜６ｃに接続すると共に、第１情報処理装置３ａ〜３ｃの出力装置５ａ〜５ｃを監視するように設置する。第２情報処理装置６ａ〜６ｃは、監視装置１３ａ〜１３ｃからの監視結果（監視情報）を取得して、該監視結果が所定の条件を満たしているかを判断できるように、詳細には、第１情報処理装置３ａ〜３ｃの処理状況を分析できるように設定すると共に、該監視結果が所定の条件を満たしている場合に切換信号を切換装置１２ａ〜１２ｃに送信するように、あるいは操作情報を第１情報処理装置３ａ〜３ｃに入力するように設定する。
【００７１】
第３実施形態によれば、第２情報処理装置６ａ〜６ｃから製造装置２ａ〜２ｃを遠隔制御する際に、第１情報処理装置３ａ〜３ｃへの多重入力等の作業ミスを防止することができる。例えば、製造装置２ａ〜２ｃの保守点検中や入力装置４ａ〜４ｃからの操作中に、第２情報処理装置６ａ〜６ｃから操作信号を入力することを防止することができる。
【００７２】
本発明は、上記において第１実施形態〜第３実施形態を用いて説明されているが、各実施形態に限定されることなく、本発明の範囲内において種々の変形、変更及び改良を含むことができることはいうまでもない。特に、図面においては、各要素を具体的な形状で図示してあるが、これらはあくまでも各要素の概念を図示するものであり、図示の形態に限定することを意図するものではない。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】本発明の第１実施形態に係る製造装置制御システムの概念図。
【図２】本発明の第１実施形態に係る製造装置制御方法のフローチャート。
【図３】本発明の第２実施形態に係る製造装置制御システムの概念図。
【図４】本発明の第２実施形態に係る製造装置制御方法のフローチャート。
【図５】本発明の第２実施形態に係る各要素の作業及び情報の流れを示すフローチャート。
【図６】本発明の第３実施形態に係る製造装置制御システムの概念図。
【図７】本発明の第３実施形態に係る製造装置制御方法のフローチャート。
【図８】背景技術に係る製造装置制御システムの概念図。
【符号の説明】
【００７４】
１                  製造装置制御システム
２ａ〜２ｃ          製造装置
３ａ〜３ｃ          第１情報処理装置
４ａ〜４ｃ          （第１）入力装置
５ａ〜５ｃ          （第１）出力装置
６ａ〜６ｃ          第２情報処理装置
７                  ネットワーク
８                  ホストコンピュータ
９ａ〜９ｃ          読取装置
１０ａ〜１０ｃ      記録媒体
１１                製造装置制御システム
１２ａ〜１２ｃ      切換装置
１３ａ〜１３ｃ      監視装置
２１                製造装置制御システム
５１                製造装置制御システム
５２ａ〜５２ｃ      製造装置
５３ａ〜５３ｃ      情報処理装置
５４ａ〜５４ｃ      入力装置
５５ａ〜５５ｃ      出力装置
【図１】
2008305184.tif 000005
【図２】
2008305184.tif 000006
【図３】
2008305184.tif 000007
【図４】
2008305184.tif 000008
【図５】
2008305184.tif 000009
【図６】
2008305184.tif 000010
【図７】
2008305184.tif 000011
【図８】
2008305184.tif 000012