(57)【要約】【課題】半導体製造装置と生産管理システムとのオンライン接続が不可能な状況下であっても半導体製造装置からのプロセスデータの収集を可能とする半導体製造装置データ収集装置及び半導体製造システムを提供する。【解決手段】生産管理システム２０と通信を行う生産管理Ｉ／Ｆ部１１、半導体製造装置３０と通信を行う装置Ｉ／Ｆ部１２、生産管理システムと生産管理システムＩ／Ｆ部１１との間で通信が不可である場合、装置Ｉ／Ｆ部１２を介して半導体製造装置３０と通信を行う生産管理システム代替部１３を備え、生産管理システムと生産管理システムＩ／Ｆ部との間で通信可である場合生産管理システムと半導体製造装置との間で通信を行って半導体製造装置からのプロセスデータを受信し、通信不可の場合装置Ｉ／Ｆ部を介して生産管理システム代替部と半導体製造装置との間で通信を行ってプロセスデータを受信する。【選択図】図１
2008263069.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体製造装置との間、あるいは生産管理システム及び半導体製造装置との間で通信を行う半導体製造装置データ収集装置であって、
前記生産管理システムとの間で電気的に接続されている場合に、前記生産管理システムとの間で通信を行うための生産管理システムインタフェース部と、
前記半導体製造装置との間で通信を行うための装置インタフェース部と、
前記生産管理システムと前記生産管理システムインタフェース部との間で通信が不可である場合に、前記装置インタフェース部を介して前記半導体製造装置との間で通信を行う生産管理システム代替部と、
を備え、
前記生産管理システムと前記生産管理システムインタフェース部との間で通信が可能である場合に、前記生産管理システムインタフェース部及び前記装置インタフェース部を介して前記生産管理システムと前記半導体製造装置との間で通信を行うことで前記半導体製造装置から出力されたプロセスデータを受信し、
前記生産管理システムと前記生産管理システムインタフェース部との間で通信が不可である場合に、前記装置インタフェース部を介して前記生産管理システム代替部と前記半導体製造装置との間で通信を行うことで前記半導体製造装置から出力されたプロセスデータの受信を行うことを特徴とする半導体製造装置データ収集装置。
【請求項２】
前記プロセスデータを与えられると格納する記憶部と、
前記半導体製造装置から前記装置インタフェース部に転送された前記プロセスデータの有効性を監視し、前記プロセスデータが有効であると判定した場合に前記プロセスデータを前記記憶部に転送するデータ監視部と、
をさらに備えることを特徴とする請求項１記載の半導体製造装置データ収集装置。
【請求項３】
半導体装置の製造に関する指示及びプロセスデータの要求を出力する生産管理システムと、
前記指示を与えられて前記半導体装置の製造を行い、前記要求に従ってプロセスデータを出力する半導体製造装置と、
前記半導体製造装置との間、あるいは前記生産管理システム及び前記半導体製造装置との間で通信を行う半導体製造装置データ収集装置であって、
前記生産管理システムとの間で電気的に接続されている場合に、前記生産管理システムとの間で通信を行うための生産管理システムインタフェース部と、
前記半導体製造装置との間で通信を行うための装置インタフェース部と、
前記生産管理システムと前記生産管理システムインタフェース部との間で通信が不可である場合に、前記装置インタフェース部を介して前記半導体製造装置との間で通信を行う生産管理システム代替部とを有し、
前記生産管理システムと前記生産管理システムインタフェース部との間で通信が可能である場合に、前記生産管理システムインタフェース部及び前記装置インタフェース部を介して前記生産管理システムと前記半導体製造装置との間で通信を行うことで前記半導体製造装置から出力されたプロセスデータを受信し、
前記生産管理システムと前記生産管理システムインタフェース部との間で通信が不可である場合に、前記装置インタフェース部を介して前記生産管理システム代替部と前記半導体製造装置との間で通信を行うことで前記半導体製造装置から出力されたプロセスデータの受信を行う前記半導体製造装置データ収集装置と、
を備えることを特徴とする半導体製造システム。
【請求項４】
前記半導体製造装置データ収集装置は、
前記プロセスデータを与えられると格納する記憶部と、
前記半導体製造装置から前記装置インタフェース部に転送された前記プロセスデータの有効性を監視し、前記プロセスデータが有効であると判定した場合に前記プロセスデータを前記記憶部に転送するデータ監視部と、
をさらに有することを特徴とする請求項３記載の半導体製造システム。
【請求項５】
半導体製造装置との間、あるいは生産管理システム及び半導体製造装置との間で通信を行う半導体製造装置データ収集装置であって、
前記生産管理システムとの間で電気的に接続されている場合に、前記生産管理システムとの間で通信を行い、また前記半導体製造装置との間で通信を行うためのインタフェース部と、
前記生産管理システムと前記インタフェース部との間で通信が不可である場合に、前記インタフェース部を介して前記半導体製造装置との間で通信を行う生産管理システム代替部と、
前記プロセスデータを与えられると格納する記憶部と、
前記半導体製造装置から前記インタフェース部に転送されたプロセスデータの有効性を監視し、前記プロセスデータが有効であると判定した場合に前記データを前記記憶部に転送するデータ監視部と、
を備えることを特徴とする半導体製造装置データ収集装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造装置からのプロセスデータを収集する半導体製造装置データ収集装置及び半導体製造システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
生産管理システムが半導体装置の製造計画について管理し、その指示に従い半導体製造装置が半導体装置を製造する。そして生産管理システムから半導体製造装置に対し、プロセスデータのうちいずれが必要であるか要求が出される。この要求に従って半導体製造装置からプロセスデータが出力され、データ収集装置により収集される。
【０００３】
ここで、半導体製造装置と生産管理システムとは通常はデータ収集装置を介して接続されており、相互間でデータ通信が可能な状態にある。よって、半導体製造装置と生産管理システムとの間でオンライン接続が成立し、データ通信が行われる状況下においては、半導体製造装置から出力されたプロセスデータをデータ収集装置が収集することができる。
【０００４】
しかし、例えば半導体製造装置の導入立上げ時等において、半導体製造装置がスタンドアローンの状態で稼動しており、半導体製造装置と生産管理システムとがオンライン接続されていない場合がある。このような場合には、半導体製造装置と生産管理システムとの間で相互にデータ通信が行われない。このため、生産管理システムからどのようなプロセスデータが必要であるか半導体製造装置に指示することができず、データ収集装置においてプロセスデータを収集することができなかった。
【０００５】
また、装置レシピが事前に確定されていないような場合には、生産管理システムとデータ通信が不可能であるため、オフラインで半導体製造装置を運転させることも多い。
【０００６】
これらの状況下では、半導体製造装置と生産管理システムとの間でデータ通信が行われないため、データ収集を行うことができないという問題があった。
【０００７】
以下に、従来の半導体製造装置のデータ収集に関する技術を開示した文献名を記載する。
【特許文献１】特開２００６−９３６４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、半導体製造装置と生産管理システムとの間でデータ通信が不可能な状況下においても、半導体製造に関するプロセスデータの収集が可能な半導体製造装置データ収集装置及び半導体製造システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様による半導体製造装置データ収集装置は、半導体製造装置との間、あるいは生産管理システム及び半導体製造装置との間で通信を行う半導体製造装置データ収集装置であって、前記生産管理システムとの間で電気的に接続されている場合に、前記生産管理システムとの間で通信を行うための生産管理システムインタフェース部と、前記半導体製造装置との間で通信を行うための装置インタフェース部と、前記生産管理システムと前記生産管理システムインタフェース部との間で通信が不可である場合に、前記装置インタフェース部を介して前記半導体製造装置との間で通信を行う生産管理システム代替部とを備え、前記生産管理システムと前記生産管理システムインタフェース部との間で通信が可能である場合に、前記生産管理システムインタフェース部及び前記装置インタフェース部を介して前記生産管理システムと前記半導体製造装置との間で通信を行うことで前記半導体製造装置から出力されたプロセスデータを受信し、前記生産管理システムと前記生産管理システムインタフェース部との間で通信が不可である場合に、前記装置インタフェース部を介して前記生産管理システム代替部と前記半導体製造装置との間で通信を行うことで前記半導体製造装置から出力されたプロセスデータの受信を行うことを特徴とする。
【００１０】
本発明の一態様による半導体製造システムは、半導体装置の製造に関する指示及びプロセスデータの要求を出力する生産管理システムと、前記指示を与えられて前記半導体装置の製造を行い、前記要求に従ってプロセスデータを出力する半導体製造装置と、前記半導体製造装置との間、あるいは前記生産管理システム及び前記半導体製造装置との間で通信を行う半導体製造装置データ収集装置であって、前記生産管理システムとの間で電気的に接続されている場合に、前記生産管理システムとの間で通信を行うための生産管理システムインタフェース部と、前記半導体製造装置との間で通信を行うための装置インタフェース部と、前記生産管理システムと前記生産管理システムインタフェース部との間で通信が不可である場合に、前記装置インタフェース部を介して前記半導体製造装置との間で通信を行う生産管理システム代替部とを有し、前記生産管理システムと前記生産管理システムインタフェース部との間で通信が可能である場合に、前記生産管理システムインタフェース部及び前記装置インタフェース部を介して前記生産管理システムと前記半導体製造装置との間で通信を行うことで前記半導体製造装置から出力されたプロセスデータを受信し、前記生産管理システムと前記生産管理システムインタフェース部との間で通信が不可である場合に、前記装置インタフェース部を介して前記生産管理システム代替部と前記半導体製造装置との間で通信を行うことで前記半導体製造装置から出力されたプロセスデータの受信を行う前記半導体製造装置データ収集装置とを備えることを特徴とする。
【００１１】
本発明の一態様による半導体製造装置データ収集装置は、半導体製造装置との間、あるいは生産管理システム及び半導体製造装置との間で通信を行う半導体製造装置データ収集装置であって、前記生産管理システムとの間で電気的に接続されている場合に、前記生産管理システムとの間で通信を行い、また前記半導体製造装置との間で通信を行うためのインタフェース部と、前記生産管理システムと前記インタフェース部との間で通信が不可である場合に、前記インタフェース部を介して前記半導体製造装置との間で通信を行う生産管理システム代替部と、前記プロセスデータを与えられると格納する記憶部と、前記半導体製造装置から前記インタフェース部に転送されたプロセスデータの有効性を監視し、前記プロセスデータが有効であると判定した場合に前記データを前記記憶部に転送するデータ監視部とを備える。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の半導体製造装置データ収集装置及び半導体製造システムによれば、半導体製造装置と生産管理システムとの間でデータ通信が不可能な状況下であっても半導体製造装置から出力されたプロセスデータの収集が可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１４】
（１）実施の形態１
本発明の実施の形態１による半導体製造装置データ収集装置及び当該半導体製造装置データ収集装置を備える半導体製造システムの構成を図１に示す。
【００１５】
本実施の形態１による半導体製造システムは、半導体製造装置データ収集装置１０の他に、生産管理システム２０、半導体製造装置３０を備える。生産管理システム２０と半導体製造装置３０とは、半導体製造装置データ収集装置１０を介して接続されている。
【００１６】
半導体製造装置データ収集装置１０は、生産管理システム２０との間でデータ通信を行う生産管理システムインタフェース（以下、Ｉ／Ｆという）部１１、半導体製造装置３０との間でデータ通信を行う装置Ｉ／Ｆ部１２、生産管理システム２０との間でデータ通信が不可の場合に生産管理システム２０の代替として機能する生産管理システム代替部１３、プロセスデータを記憶する記憶部１５、生産管理システムＩ／Ｆ部１１と装置Ｉ／Ｆ部１２との間で転送されたデータ、及び装置Ｉ／Ｆ部１２と生産管理システム代替部１３との間で転送されたデータの有効性を判断し、半導体製造装置３０から出力されたプロセスデータが有効な場合に記憶部１５へ転送して記憶させるデータ監視部１４を備えている。
【００１７】
生産管理システム２０は生産管理システムＩ／Ｆ部１１に接続され、半導体製造装置３０は装置Ｉ／Ｆ部１２に接続されている。
【００１８】
図２に、生産管理システム代替部１３が有する構成と、生産管理システム２０が有する構成との対比を示す。
【００１９】
生産管理システム２０は、半導体製造装置３０が半導体装置の製造を行う際の生産管理を行う生産管理部２０Ａに加えて、半導体製造装置データ収集装置１０内の生産管理システムＩ／Ｆ部１１を介して半導体製造装置３０との間でデータ通信を行うデータ通信部２０Ｂ、半導体製造装置データ収集装置１０に対してプロセスデータの要求を行う際の情報、例えば半導体製造装置３０のプロセスデータ収集時に事前に登録する必要がある場合の初期設定情報を送信するための初期設定情報送信部２０Ｃを有する。
【００２０】
生産管理システム代替部１３は、生産管理部は備えておらず、データ通信部２０Ｂと同等の機能を有するデータ通信部１３Ａ、初期設定情報送信部２０Ｃと同等の機能を有する初期設定情報送信部１３Ｂを有する。
【００２１】
図３に、半導体製造装置データ収集装置１０と、生産管理システム２０、半導体製造装置３０の物理的な接続環境の一例を示す。半導体製造装置データ収集装置１０、生産管理システム２０、半導体製造装置３０が、それぞれネットワークＮＷを介して接続されている。
【００２２】
生産管理システム２０と、半導体製造装置データ収集装置１０内の生産管理システムＩ／Ｆ部１１との間でオンライン接続し、半導体製造装置３０と、データ収集装置１０内の装置Ｉ／Ｆ部１２との間でオンライン接続を行う。これにより生産管理システム代替部１３が装置Ｉ／Ｆ部１２を介して半導体製造装置３０との間でオンライン接続を行うが、このためには、半導体製造装置３０と生産管理システム代替部１３とが同一の通信プロトコルで接続されている必要がある。
【００２３】
上記構成を備えた本実施の形態１の動作について、以下に説明する。
【００２４】
生産管理システム２０は、半導体製造装置３０が半導体装置を製造する計画を有しており、半導体製造装置３０に対し製造に関する指示を出力する。半導体製造装置３０は、この指示に基づいて半導体装置の製造を行う。
【００２５】
さらに生産管理システム２０から、半導体装置の製造時における温度、圧力、成膜時の膜厚、液体や気体の種類や流量等、製造レシピに関連したプロセスデータのうち、必要なプロセスデータを出力するように要求が出される。この要求に従って半導体製造装置３０からプロセスデータが出力され、データ収集装置１０により収集される。
【００２６】
図４に、生産管理システム２０と半導体製造装置データ収集装置１０における生産管理システムＩ／Ｆ部１１とがオンライン接続されており、データ通信が可能な状態にある場合を示す。この場合、生産管理システム２０と半導体製造装置３０とが、生産管理システムＩ／Ｆ部１１、装置Ｉ／Ｆ部１２を介してオンライン通信が可能な状態にある。
【００２７】
この場合には、装置Ｉ／Ｆ部１２と生産管理システム代替部１３との間でデータ通信は行われず、生産管理システム代替部１３は非動作状態となる。
【００２８】
生産管理システム２０から必要なプロセスデータの要求が出され、生産管理システムＩ／Ｆ部１１、装置Ｉ／Ｆ部１２を介して半導体製造装置３０へ送信される。ここで、データ監視部１４は、生産管理システムＩ／Ｆ部１１から与えられたデータが有効か否かを判断し、有効な場合に装置Ｉ／Ｆ部１２に出力する。
【００２９】
半導体製造装置３０は、要求されたプロセスデータを装置Ｉ／Ｆ部１２に出力する。データ監視部１４は、このプロセスデータが有効か否かを判断し、有効であると判断した場合は記憶部１５に記憶させる。
【００３０】
図５に、生産管理システム２０と半導体製造装置データ収集装置１０における生産管理システムＩ／Ｆ部１１とがオンライン接続されていない状態にあり、データ通信が不可である場合を示す。この場合、生産管理システム２０と半導体製造装置３０との間で、オンライン通信が不可となる。
【００３１】
この場合は、生産管理システム２０と生産管理システムＩ／Ｆ部１１との間でデータ通信が行われない替わりに、生産管理システム代替部１３が動作状態となり、この生産管理システム代替部１３と装置Ｉ／Ｆ部１２との間でデータ通信が行われる。
【００３２】
生産管理システム２０に替わって、生産管理システム代替部１３から必要なプロセスデータの要求が出され、装置Ｉ／Ｆ部１２を介して半導体製造装置３０へ送信される。
【００３３】
半導体製造装置３０は、要求されたプロセスデータを装置Ｉ／Ｆ部１２に出力する。データ監視部１４が、このプロセスデータが有効か否かを判断し、有効であると判断した場合は、記憶部１５に記憶させる。
【００３４】
このように本実施の形態１によれば、生産管理システム２０と半導体製造装置３０との間でデータ通信が不可な状態にある場合であっても、生産管理システム２０の替わりに生産管理システム代替部１３が半導体製造装置３０とデータ通信可能になることで、半導体製造装置１０からのプロセスデータの収集が可能である。従って、例えば半導体製造装置３０の導入立上げ時等において、生産管理システム２０がネットワークに接続されておらずデータ通信が不可である場合であっても、半導体製造装置３０からのプロセスデータを収集することができる。
【００３５】
あるいは、事前に生産管理システム２０内において製造レシピが確定しておらず、生産管理システム２０との間でオフラインで半導体製造装置３０において製造を行う必要があるロットに対しても、半導体製造装置３０からのプロセスデータの収集が可能である。
【００３６】
（２）実施の形態２
本発明の実施の形態２について、その構成を示した図６を用いて説明する。
【００３７】
本実施の形態２では、上記実施の形態１における生産管理システムＩ／Ｆ部１１と装置Ｉ／Ｆ部１２がＩ／Ｆ部１１０に置き替わったものに相当する。他の上記実施の形態１と同一の構成要素には同一の番号を付して説明を省略する。
【００３８】
生産管理システム２０と半導体製造装置データ収集装置１００におけるＩ／Ｆ部１１０とがオンライン接続されており、データ通信が可能な状態にあるとする。この場合、生産管理システム２０と半導体製造装置３０とが、Ｉ／Ｆ部１１０を介してオンライン通信が可能な状態にある。
【００３９】
この場合は、Ｉ／Ｆ部１１０と生産管理システム代替部１３との間でデータ通信は行われず、生産管理システム代替部１３は非動作状態となる。
【００４０】
生産管理システム２０から必要なプロセスデータの要求が出され、Ｉ／Ｆ部１１０を介して半導体製造装置３０へ送信される。
【００４１】
半導体製造装置３０は、要求されたプロセスデータをＩ／Ｆ部１１０に出力する。データ監視部１４がこのデータの有効性を監視し、有効であると判断した場合は記憶部１５に記憶させる。
【００４２】
生産管理システム２０と半導体製造装置データ収集装置１０におけるＩ／Ｆ部１１０とがオンライン接続されていない状態にあり、データ通信が不可である場合は、生産管理システム２０と半導体製造装置３０との間でオンライン通信が不可となる。
【００４３】
この場合は、生産管理システム２０とＩ／Ｆ部１１０との間でデータ通信が行われない替わりに、生産管理システム代替部１３が動作状態となり、この生産管理システム代替部１３とＩ／Ｆ部１１０との間でデータ通信が行われる。
【００４４】
生産管理システム２０に替わって、生産管理システム代替部１３から必要なプロセスデータの要求が出され、Ｉ／Ｆ部１１０を介して半導体製造装置３０へ送信される。
【００４５】
半導体製造装置３０は、要求されたプロセスデータをＩ／Ｆ部１1０に出力する。データ監視部１４がこのプロセスデータの有効性を判断し、有効であると判断した場合は記憶部１５に記憶させる。
【００４６】
本実施の形態２においても上記実施の形態１と同様に、生産管理システム２０と半導体製造装置３０との間でデータ通信が不可な状態にある場合であっても、生産管理システム２０の替わりに生産管理システム代替部１３が半導体製造装置３０とデータ通信可能になることで、半導体製造装置１０からのプロセスデータの収集が可能である。
【００４７】
上記実施の形態は一例であって、本発明を限定するものではなく、本発明の技術的範囲内において様々に変形することが可能である。例えば、上記実施の形態では、半導体製造装置３０から送られてきたプロセスデータを記憶する記憶部１５が半導体製造装置データ収集装置１０、１１０内に設けられている。しかし、プロセスデータを記憶する記憶部は必ずしも半導体製造装置データ収集装置内に設けられている必要はなく、ネットワーク等を介して外部に設けられていてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の実施の形態１による半導体製造装置データ収集装置の構成、及び半導体製造装置データ収集装置、生産管理システム、半導体製造装置を備える半導体製造システムの接続関係を示したブロック図。
【図２】同半導体製造装置データ収集装置における生産管理システム代替部の構成と生産管理システムの構成とを対比して示した説明図。
【図３】同半導体製造装置データ収集装置、生産管理システム、半導体製造装置のネットワーク接続を示した説明図。
【図４】同半導体製造装置データ収集装置と生産管理システムとの間のデータ通信が可能な場合における半導体製造装置データ収集装置の動作状態を示す説明図。
【図５】同半導体製造装置データ収集装置と生産管理システムとの間のデータ通信が不可である場合における半導体製造装置データ収集装置の動作状態を示す説明図。
【図６】本発明の実施の形態２による半導体製造装置データ収集装置の構成、及び半導体製造装置データ収集装置、生産管理システム、半導体製造装置を備える半導体製造システムの接続関係を示したブロック図。
【符号の説明】
【００４９】
１０、１００  半導体製造装置データ収集装置
１１  生産管理システムＩ／Ｆ部
１２  装置Ｉ／Ｆ部
１３  生産管理システム代替部
１４  データ監視部
１５  記憶部
２０  生産管理システム
３０  半導体製造装置
１１０  インタフェース部
【図１】
2008263069.tif 000003
【図２】
2008263069.tif 000004
【図３】
2008263069.tif 000005
【図４】
2008263069.tif 000006
【図５】
2008263069.tif 000007
【図６】
2008263069.tif 000008