(57)【要約】【課題】電極における接触側端部の破損およびプロービング対象体の傷付きを防止し得るコンタクトプローブを提供する。【解決手段】ベース部２ａに対してプロービング方向（矢印Ａ，Ｂの向き）における相対的な移動が可能に配設されて相互に絶縁された中心電極４ａおよび外側電極３ａと、中心電極４ａおよび外側電極３ａをプロービング方向において相反する向きに付勢するスプリング６ａと、外側電極３ａおよびベース部２をプロービング方向において相反する向きに付勢するスプリング５ａとを備え、外側電極３ａは、スプリング５ａによって付勢されるベース部側部材３１と、接触側端部が形成された先端部側部材３２と、ベース部側部材３１および先端部側部材３２をプロービング方向において相反する向きに付勢するスプリング３３とを備えている。【選択図】図１
2008191079.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベース部に対してプロービング方向における相対的な移動が可能に配設されて相互に絶縁された第１電極および第２電極と、前記第１電極および前記第２電極を前記プロービング方向において相反する向きに付勢する第１付勢部材と、前記第２電極および前記ベース部を前記プロービング方向において相反する向きに付勢する第２付勢部材とを備え、
前記第２電極は、前記第２付勢部材によって付勢される第１部材と、接触側端部が形成された第２部材と、前記第１部材および前記第２部材を前記プロービング方向において相反する向きに付勢する第３付勢部材とを備えているコンタクトプローブ。
【請求項２】
非プロービング状態において前記第１電極における接触側端部が前記第２電極における前記接触側端部よりも前記プロービング方向側に突出している請求項１記載のコンタクトプローブ。
【請求項３】
前記第１電極としてのピン状の中心電極と、前記第２電極としての筒状の外側電極とを備えて、当該外側電極内に前記中心電極が挿入されている請求項１または２記載のコンタクトプローブ。
【請求項４】
前記第１電極としての筒状の外側電極と、前記第２電極としてのピン状の中心電極とを備えて、当該外側電極内に前記中心電極が挿入されている請求項１または２記載のコンタクトプローブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、第１電極および第２電極の一対の電極を備えたコンタクトプローブに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、四端子法による測定に際しては、測定対象導体（プロービング対象体）に対して別個独立して接触可能な電圧測定用電極および電流測定用電極の一対の電極を有するコンタクトプローブを使用する。この種のコンタクトプローブとして、特開平５−２３２１３７号公報にバネ式コンタクトプローブが開示されている。この公報において第２従来例として開示されているコンタクトプローブは、電圧測定用ピン（電圧測定用電極）と、電圧測定用ピンの挿通が可能に構成された中空の（筒状の）電流測定用ピン（電流測定用電極）との一対の電極を備えている。
【０００３】
この場合、このコンタクトプローブでは、電流測定用ピン内に配設された絶縁体（絶縁体で形成された筒：以下、「筒状絶縁体」ともいう）を介して電圧測定用ピンが電流測定用ピンに対してスライド可能に保持されている。また、電流測定用ピンおよび電圧測定用ピンは、上記の筒状絶縁体内に配設されたバネによってプロービング方向において相反する方向に付勢されている。さらに、このコンタクトプローブでは、電流測定用ピンがプロービング装置にコンタクトプローブを保持させるための筒（以下、前述した筒状絶縁体と区別するために「ベース部」ともいう）内をスライド可能に構成されている。また、電流測定用ピンおよびベース部は、電流測定用ピンの外側に配設されたバネによってプロービング方向において相反する方向に付勢されている。
【０００４】
このコンタクトプローブを用いたプロービングに際しては、移動機構の保持部にベース部を保持させるようにしてプロービング装置にコンタクトプローブを装着する。次いで、プロービングの開始が指示されたときに、移動機構がプロービング対象体に向けて（プロービング方向で）ベース部を移動させる。この際には、まず、電圧測定用ピンの先端部がプロービング対象体に当接し、その状態において、ベース部がさらに移動させられることにより、電流測定用ピンに対して電圧測定用ピンがプロービング方向とは逆向きに相対的に移動させられる。この際に、筒状絶縁体内のバネが押し縮められることにより、その反発力によって電圧測定用ピンの先端部がプロービング対象体の表面に向けて付勢される。
【０００５】
次いで、移動機構がベース部をさらに移動させることにより、電流測定用ピンの先端部がプロービング対象体に当接し、その状態からベース部がさらに移動させられることにより、ベース部に対して電流測定用ピンがプロービング方向とは逆向きに相対的に移動させられる。この際に、電流測定用ピンの外側に配設されたバネが押し縮められることにより、その反発力によって電流測定用ピンの先端部がプロービング対象体の表面に向けて付勢される。この状態において、プロービング対象体に接触している電圧測定用ピンおよび電流測定用ピンを用いた電気的検査が実行される。
【特許文献１】特開平５−２３２１３７号公報（第２頁、第３図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、従来のコンタクトプローブには、以下の問題点がある。すなわち、従来のコンタクトプローブでは、電圧測定用ピンの挿通を可能とするために電流測定用ピンが筒状に形成されると共に、電流測定用ピンおよび電圧測定用ピンを相互に絶縁しつつ、電流測定用ピンに対する電圧測定用ピンのスライドを許容する筒状絶縁体が電流測定用ピンの内側に取り付けられている。したがって、従来のコンタクトプローブでは、電流測定用ピンの質量（電流測定用ピンの質量および筒状絶縁体の質量の合計質量）が非常に大きくなっている。このため、電流測定用ピンの先端部がプロービング対象体に接触した後においても、慣性の法則に従って電流測定用ピンが移動し続けようとする大きな力が電流測定用ピンの先端部とプロービング対象体との接触部位に加わることとなる。この結果、電流測定用ピンの先端部が過剰に強い力でプロービング対象体に押し付けられる事に起因して、従来のコンタクトプローブには、プロービング対象体の表面における電流測定用ピンの接触部位に大きな打痕（傷付き）が生じたり、電流測定用ピンの先端部が破損したりするという問題点がある。
【０００７】
この場合、電流測定用ピンの質量に対して電圧測定用ピンの質量が大きいタイプのコンタクトプローブでは、電圧測定用ピンの先端部がプロービング対象体に接触した後においても、慣性の法則に従って電圧測定用ピンが移動し続けようとする力が電圧測定用ピンの先端部とプロービング対象体との接触部位に加わる。この結果、上記の従来のコンタクトプローブと同様にして、このタイプのコンタクトプローブにおいても、電圧測定用ピンの先端部が過剰に強い力でプロービング対象体に押し付けられる事に起因して、プロービング対象体の表面に大きな打痕（傷付き）が生じたり、電圧測定用ピンの先端部が破損したりするという問題が生じる。
【０００８】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、電極における接触側端部の破損およびプロービング対象体の傷付きを防止し得るコンタクトプローブを提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成すべく請求項１記載のコンタクトプローブは、ベース部に対してプロービング方向における相対的な移動が可能に配設されて相互に絶縁された第１電極および第２電極と、前記第１電極および前記第２電極を前記プロービング方向において相反する向きに付勢する第１付勢部材と、前記第２電極および前記ベース部を前記プロービング方向において相反する向きに付勢する第２付勢部材とを備え、前記第２電極は、前記第２付勢部材によって付勢される第１部材と、接触側端部が形成された第２部材と、前記第１部材および前記第２部材を前記プロービング方向において相反する向きに付勢する第３付勢部材とを備えている。
【００１０】
請求項２記載のコンタクトプローブは、請求項１記載のコンタクトプローブにおいて、非プロービング状態において前記第１電極における接触側端部が前記第２電極における前記接触側端部よりも前記プロービング方向側に突出している。
【００１１】
請求項３記載のコンタクトプローブは、請求項１または２記載のコンタクトプローブにおいて、前記第１電極としてのピン状の中心電極と、前記第２電極としての筒状の外側電極とを備えて、当該外側電極内に前記中心電極が挿入されている。
【００１２】
請求項４記載のコンタクトプローブは、請求項１または２記載のコンタクトプローブにおいて、前記第１電極としての筒状の外側電極と、前記第２電極としてのピン状の中心電極とを備えて、当該外側電極内に前記中心電極が挿入されている。
【発明の効果】
【００１３】
請求項１記載のコンタクトプローブでは、第２付勢部材によって付勢される第１部材と、接触側端部が形成された第２部材と、第１部材および第２部材をプロービング方向において相反する向きに付勢する第３付勢部材とを備えて第２電極が構成されている。したがって、このコンタクトプローブによれば、プロービング対象体に接触する第２部材の質量が十分に小さいため、プロービング時において第２部材が慣性の法則に従ってプロービング対象体に向けて移動しようとする力を十分に小さくすることができる結果、第２電極（第２部材）の先端部が過剰に強い力でプロービング対象体に押し付けられる事態が回避されてプロービング対象体の表面に大きな打痕（傷付き）が生じたり、第２電極（第２部材）の先端部が破損したりする事態を確実に回避することができる。
【００１４】
また、請求項２記載のコンタクトプローブでは、非プロービング状態において第１電極における接触側端部が第２電極における接触側端部よりもプロービング方向側に突出している。したがって、このコンタクトプローブによれば、第２電極（第２部材）の先端部がプロービング対象体に当接するのに先立って第１電極がプロービング対象体に当接させられるため、第１付勢部材の弾性変形に伴って移動速度を十分に低下させた状態で第２電極（第２部材）の先端部をプロービング対象体に当接させることができる結果、第２電極の当接に起因してプロービング対象体の表面に大きな打痕（傷付き）が生じたり、第２電極（第２部材）の先端部が破損したりする事態を一層確実に回避することができる。
【００１５】
さらに、請求項３記載のコンタクトプローブでは、第１電極としてのピン状の中心電極と、第２電極としての筒状の外側電極とを備えて、外側電極内に中心電極が挿入されている。したがって、このコンタクトプローブによれば、比較的簡易な構成でありながら、第２電極（第２部材）の先端部および第１電極の先端部をプロービング対象体上の極く狭い範囲内に別個独立して接触させることができる。
【００１６】
また、請求項４記載のコンタクトプローブでは、第１電極としての筒状の外側電極と、第２電極としてのピン状の中心電極とを備えて、外側電極内に中心電極が挿入されている。したがって、このコンタクトプローブによれば、比較的簡易な構成でありながら、第２電極（第２部材）の先端部および第１電極の先端部をプロービング対象体上の極く狭い範囲内に別個独立して接触させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、添付図面を参照して、本発明に係るコンタクトプローブの最良の形態について説明する。
【００１８】
最初に、コンタクトプローブ１Ａの構成およびその動作原理について、図面を参照して説明する。
【００１９】
図１に示すコンタクトプローブ１Ａは、本発明に係るコンタクトプローブの一例であって、ベース部（ホルダ）２ａ、外側電極３ａ、中心電極４ａおよびスプリング５ａ，６ａを備えて全体として細長棒状に形成されている。なお、同図および後に参照する図２，３では、本発明に係るコンタクトプローブについての理解を容易とするために、コンタクトプローブ１Ａの構成を概念的に図示している。したがって、これらの図面おける各部材の長さや突起部等の形成位置およびその大きさについては、実際のコンタクトプローブ１Ａ（図示せず）とは相違している。また、外側電極３ａおよび中心電極４ａの間などに配設されている絶縁体や、外側電極３ａおよび中心電極４ａをプロービング装置（図示せず）に電気的に接続するための接続ケーブル等の図示および説明を省略する。
【００２０】
ベース部２ａは、プロービング装置における移動機構にコンタクトプローブ１Ａを取り付けるため（移動機構の保持部にコンタクトプローブ１Ａを保持させるため）の部材であって、一例として、円筒状に形成されている。外側電極３ａは、本発明における第２電極の一例であって、本発明における第１部材に相当するベース部側部材３１と、本発明における第２部材に相当する先端部側部材３２と、本発明における第３付勢部材に相当するスプリング３３とを備えて全体として円筒状に形成されている。ベース部側部材３１は、その内側に中心電極４ａを挿通可能な円筒状に形成されると共に、プロービング時においてスプリング５ａによってベース部２ａに対して矢印Ａの向き（プロービング方向）に付勢される。先端部側部材３２は、全体として円筒状に形成されると共に、その一端側（同図における下端部側）に本発明における接触側端部が形成されて、ベース部側部材３１の下端部側にスライド自在に配設されている。スプリング３３は、圧縮型の弦巻ばねで構成されてベース部側部材３１および先端部側部材３２を相反する向きに付勢する。
【００２１】
中心電極４ａは、本発明における第１電極の一例であって、全体としてピン状（棒状）に形成されて外側電極３ａにおけるベース部側部材３１内に挿通させられている。この場合、このコンタクトプローブ１Ａでは、図１に示す非プロービング状態（外側電極３ａおよび中心電極４ａの双方がプロービング対象体Ｘに接触していない状態）において、中心電極４ａにおける接触側端部（同図における下端部）が外側電極３ａ（先端部側部材３２）における接触側端部（同図における下端部）よりもプロービング方向（矢印Ａの向き）に突出している。スプリング５ａは、本発明における第２付勢部材の一例であって、圧縮型の弦巻ばねで構成されてベース部２ａおよび外側電極３ａ（ベース部側部材３１）を相反する向きに付勢する。スプリング６ａは、本発明における第１付勢部材の一例であって、圧縮型の弦巻ばねで構成されて外側電極３ａ（ベース部側部材３１）および中心電極４ａを相反する向きに付勢する。
【００２２】
このコンタクトプローブ１Ａを用いたプロービングに際しては、プロービング装置における移動機構の保持部（図示せず）にベース部２ａを保持させるようにしてプロービング装置にコンタクトプローブ１Ａを装着する。次いで、プロービングの開始が指示されたときに、移動機構がプロービング対象体Ｘに向けて矢印Ａの向きにベース部２ａを移動させる。この際には、まず、中心電極４ａの先端部がプロービング対象体Ｘに当接し、その状態において、ベース部２ａが矢印Ａの向きにさらに移動させられることにより、外側電極３ａに対して中心電極４ａがプロービング方向とは逆向き（矢印Ｂの向き）に相対的に移動させられる。この際に、スプリング５ａ，６ａが押し縮められることにより、その反発力によって中心電極４ａの先端部がプロービング対象体Ｘの表面に向けて矢印Ａの向きに付勢される。
【００２３】
次いで、移動機構がベース部２ａをさらに移動させることにより、図２に示すように、外側電極３ａにおける先端部側部材３２の先端部がプロービング対象体Ｘに当接する。この際に、プロービング対象体Ｘに向けて移動している外側電極３ａの移動速度がスプリング６ａの弾性変形に伴って徐々に低下するため、外側電極３ａにおける先端部側部材３２がプロービング対象体Ｘに対して過剰に速い速度で当接する事態が回避される。また、このコンタクトプローブ１Ａでは、従来のコンタクトプローブとは異なり、外側電極３ａがベース部側部材３１と先端部側部材３２との２つの部材に分割されている。したがって、プロービング対象体Ｘに当接する先端部側部材３２の質量が従来のコンタクトプローブにおける電流測定用ピンに対して十分に小さくなっている。
【００２４】
このため、このコンタクトプローブ１Ａでは、外側電極３ａ（先端部側部材３２）の先端部がプロービング対象体Ｘに接触した後において、慣性の法則に従って先端部側部材３２が移動し続けようとする力が十分に小さくなっている。この結果、先端部側部材３２の先端部とプロービング対象体Ｘとの接触部位に加わる力が従来のコンタクトプローブと比較して十分に小さくなっている。この場合、出願人は、従来のコンタクトプローブと同程度の大きさのコンタクトプローブ１Ａにおいて、先端部側部材３２が従来のコンタクトプローブにおける電流測定用ピンの１／８程度の質量であって、外側電極３ａ（電流測定用ピン）の当接時にプロービング対象体Ｘの表面に加わる衝撃力が１／２程度となるのを確認している。
【００２５】
続いて、移動機構によってベース部２ａがさらに移動させられることにより、図３に示すように、ベース部２ａに対して外側電極３ａ（ベース部側部材３１）がプロービング方向とは逆向き（矢印Ｂの向き）に相対的に移動させられる。この際に、ベース部側部材３１に対して先端部側部材３２がプロービング方向とは逆向き（矢印Ｂの向き）に相対的に移動するのに伴ってスプリング３３が押し縮められる。この結果、慣性の法則に従って先端部側部材３２側に移動するベース部側部材３１の移動速度がスプリング３３の弾性変形に伴って徐々に低下するため、ベース部側部材３１の質量に応じた力が先端部側部材３２に急激に伝達される事態が回避される。
【００２６】
また、スプリング５ａが押し縮められることにより、その反発力によってベース部側部材３１がプロービング方向（矢印Ａ）の向きに移動させられ、これに伴って、スプリング３３が押し縮められることで、その反発力によって先端部側部材３２の先端部がプロービング対象体Ｘの表面に向けて付勢されると共に、スプリング６ａが押し縮められることで、その反発力によって中心電極４ａの先端部がプロービング対象体Ｘの表面に向けてさらに強い力で付勢される。この状態において、プロービング対象体Ｘに接触している外側電極３ａ（先端部側部材３２）および中心電極４ａを用いた電気的検査が実行される。
【００２７】
このように、このコンタクトプローブ１Ａでは、スプリング５ａ（第２付勢部材）によって付勢されるベース部側部材３１（第１部材）と、プロービング対象体Ｘに接触させられる接触側端部が形成された先端部側部材３２（第２部材）と、ベース部側部材３１および先端部側部材３２をプロービング方向において相反する向きに付勢するスプリング３３（第３付勢部材）とを備えて外側電極３ａ（第２電極）が構成されている。したがって、このコンタクトプローブ１Ａによれば、プロービング対象体Ｘに接触する先端部側部材３２の質量が十分に小さいため、プロービング時において先端部側部材３２が慣性の法則に従ってプロービング対象体Ｘに向けて移動しようとする力を十分に小さくすることができる結果、外側電極３ａ（先端部側部材３２）の先端部が過剰に強い力でプロービング対象体Ｘに押し付けられる事態が回避されてプロービング対象体Ｘの表面に大きな打痕（傷付き）が生じたり、外側電極３ａ（先端部側部材３２）の先端部が破損したりする事態を確実に回避することができる。
【００２８】
また、このコンタクトプローブ１Ａでは、非プロービング状態において中心電極４ａ（第１電極）における接触側端部が外側電極３ａ（第２電極）における接触側端部（先端部側部材３２の先端部）よりもプロービング方向側に突出している。したがって、このコンタクトプローブ１Ａによれば、外側電極３ａ（先端部側部材３２）の先端部がプロービング対象体Ｘに当接するのに先立って中心電極４ａがプロービング対象体Ｘに当接させられるため、スプリング６ａの弾性変形に伴って移動速度を十分に低下させた状態で外側電極３ａ（先端部側部材３２）の先端部をプロービング対象体Ｘに当接させることができる結果、外側電極３ａの当接に起因してプロービング対象体Ｘの表面に大きな打痕（傷付き）が生じたり、外側電極３ａ（先端部側部材３２）の先端部が破損したりする事態を一層確実に回避することができる。
【００２９】
さらに、このコンタクトプローブ１Ａでは、本発明における第１電極としてのピン状の中心電極４ａと、本発明における第２電極としての筒状の外側電極３ａとを備えて、外側電極３ａ（ベース部側部材３１）内に中心電極４ａが挿入されている。したがって、このコンタクトプローブ１Ａによれば、比較的簡易な構成でありながら、外側電極３ａ（先端部側部材３２）の先端部および中心電極４ａの先端部をプロービング対象体Ｘ上の極く狭い範囲内に別個独立して接触させることができる。
【００３０】
次に、コンタクトプローブ１Ｂの構成およびその動作原理について、図面を参照して説明する。
【００３１】
図４に示すコンタクトプローブ１Ｂは、本発明に係るコンタクトプローブの他の一例であって、ベース部（ホルダ）２ｂ、外側電極３ｂ、中心電極４ｂおよびスプリング５ｂ，６ｂを備えて全体として細長棒状に形成されている。なお、同図および後に参照する図５，６では、本発明に係るコンタクトプローブについての理解を容易とするために、コンタクトプローブ１Ｂの構成を概念的に図示している。したがって、これらの図面おける各部材の長さや突起部等の形成位置およびその大きさについては、実際のコンタクトプローブ１Ｂ（図示せず）とは相違している。また、外側電極３ｂおよび中心電極４ｂの間などに配設されている絶縁体や、外側電極３ｂおよび中心電極４ｂをプロービング装置（図示せず）に電気的に接続するための接続ケーブル等の図示および説明を省略する。
【００３２】
ベース部２ｂは、プロービング装置における移動機構にコンタクトプローブ１Ｂを取り付けるため（移動機構の保持部にコンタクトプローブ１Ｂを保持させるため）の部材であって、一例として、円筒状に形成されて中心電極４ｂの一端部にスライド自在に取り付けられている。外側電極３ｂは、本発明における第１電極の他の一例であって、中心電極４ｂを挿通可能な円筒状に形成されている。中心電極４ｂは、本発明における第２電極の他の一例であって、本発明における第１部材に相当するベース部側部材４１と、本発明における第２部材に相当する先端部側部材４２と、本発明における第３付勢部材に相当するスプリング４３とを備えて構成されている。ベース部側部材４１は、その内側にベース部２ｂや先端部側部材４２を挿通可能な円筒状に形成されると共に、プロービング時においてスプリング５ｂによってベース部２ｂに対して矢印Ａの向き（プロービング方向）に付勢される。先端部側部材４２は、全体としてピン状（棒状）に形成されると共に、その一端側（同図における下端部側）に本発明における接触側端部が形成されて、ベース部側部材４１の下端部側にスライド自在に挿入されている。スプリング４３は、圧縮型の弦巻ばねで構成されてベース部側部材４１および先端部側部材４２を相反する向きに付勢する。
【００３３】
この場合、このコンタクトプローブ１Ｂでは、図４に示す非プロービング状態（外側電極３ｂおよび中心電極４ｂの双方がプロービング対象体Ｘに接触していない状態）において、外側電極３ｂにおける接触側端部（同図における下端部）が中心電極４ｂ（先端部側部材４２）における接触側端部（同図における下端部）よりもプロービング方向（矢印Ａの向き）に突出している。スプリング５ｂは、本発明における第２付勢部材の一例であって、圧縮型の弦巻ばねで構成されてベース部２ｂおよび中心電極４ｂ（ベース部側部材４１）を相反する向きに付勢する。スプリング６ｂは、本発明における第１付勢部材の一例であって、圧縮型の弦巻ばねで構成されて外側電極３ｂおよび中心電極４ｂ（ベース部側部材４１）を相反する向きに付勢する。
【００３４】
このコンタクトプローブ１Ｂを用いたプロービングに際しては、プロービング装置における移動機構の保持部（図示せず）にベース部２ｂを保持させるようにしてプロービング装置にコンタクトプローブ１Ｂを装着する。次いで、プロービングの開始が指示されたときに、移動機構がプロービング対象体Ｘに向けて矢印Ａの向きにベース部２ｂを移動させる。この際には、まず、外側電極３ｂの先端部がプロービング対象体Ｘに当接し、その状態において、ベース部２ｂが矢印Ａの向きにさらに移動させられることにより、中心電極４ｂ（ベース部側部材４１）に対して外側電極３ｂがプロービング方向とは逆向き（矢印Ｂの向き）に相対的に移動させられる。この際に、スプリング５ｂ，６ｂが押し縮められることにより、その反発力によって外側電極３ｂの先端部がプロービング対象体Ｘの表面に向けて矢印Ａの向きに付勢される。
【００３５】
次いで、移動機構がベース部２ｂをさらに移動させることにより、図５に示すように、中心電極４ｂにおける先端部側部材４２の先端部がプロービング対象体Ｘに当接する。この際に、プロービング対象体Ｘに向けて移動している中心電極４ｂの移動速度がスプリング６ｂの弾性変形に伴って徐々に低下するため、中心電極４ｂにおける先端部側部材４２がプロービング対象体Ｘに対して過剰に速い速度で当接する事態が回避される。また、このコンタクトプローブ１Ｂでは、中心電極４ｂがベース部側部材４１と先端部側部材４２との２つの部材に分割されている。したがって、プロービング対象体Ｘに当接する先端部側部材４２の質量が十分に小さくなっている。
【００３６】
このため、このコンタクトプローブ１Ｂでは、中心電極４ｂ（先端部側部材４２）の先端部がプロービング対象体Ｘに接触した後において、慣性の法則に従って先端部側部材４２が移動し続けようとする力が十分に小さくなっている。この結果、先端部側部材４２の先端部とプロービング対象体Ｘとの接触部位に加わる力が従来のコンタクトプローブと比較して十分に小さくなっている。この場合、出願人は、中心電極が１つの部材で構成された従来のコンタクトプローブと比較して、コンタクトプローブ１Ｂにおける先端部側部材４２が従来のコンタクトプローブにおける中心電極の１／８程度の質量であって、中心電極４ｂの当接時にプロービング対象体Ｘの表面に加わる衝撃力が１／２程度となるのを確認している。
【００３７】
続いて、移動機構によってベース部２ｂがさらに移動させられることにより、図６に示すように、ベース部２ｂに対して中心電極４ｂ（ベース部側部材４１）がプロービング方向とは逆向き（矢印Ｂの向き）に相対的に移動させられる。この際に、ベース部側部材４１に対して先端部側部材４２がプロービング方向とは逆向き（矢印Ｂの向き）に相対的に移動するのに伴ってスプリング４３が押し縮められる。この結果、慣性の法則に従って先端部側部材４２側に移動するベース部側部材４１の移動速度がスプリング４３の弾性変形に伴って徐々に低下するため、ベース部側部材４１の質量に応じた力が先端部側部材４２に急激に伝達される事態が回避される。
【００３８】
また、スプリング５ｂが押し縮められることにより、その反発力によってベース部側部材４１がプロービング方向（矢印Ａ）の向きに移動させられ、これに伴って、スプリング４３が押し縮められることで、その反発力によって先端部側部材４２の先端部がプロービング対象体Ｘの表面に向けて付勢されると共に、スプリング６ｂが押し縮められることで、その反発力によって外側電極３ｂの先端部がプロービング対象体Ｘの表面に向けてさらに強い力で付勢される。この状態において、プロービング対象体Ｘに接触している外側電極３ｂおよび中心電極４ｂ（先端部側部材４２）を用いた電気的検査が実行される。
【００３９】
このように、このコンタクトプローブ１Ｂでは、スプリング５ｂ（第２付勢部材）によって付勢されるベース部側部材４１（第１部材）と、プロービング対象体Ｘに接触させられる接触側端部が形成された先端部側部材４２（第２部材）と、ベース部側部材４１および先端部側部材４２をプロービング方向において相反する向きに付勢するスプリング４３（第３付勢部材）とを備えて中心電極４ｂ（第２電極）が構成されている。したがって、このコンタクトプローブ１Ｂによれば、プロービング対象体Ｘに接触する先端部側部材４２の質量が十分に小さいため、プロービング時において先端部側部材４２が慣性の法則に従ってプロービング対象体Ｘに向けて移動しようとする力を十分に小さくすることができる結果、中心電極４ｂ（先端部側部材４２）の先端部が過剰に強い力でプロービング対象体Ｘに押し付けられる事態が回避されてプロービング対象体Ｘの表面に大きな打痕（傷付き）が生じたり、中心電極４ｂ（先端部側部材４２）の先端部が破損したりする事態を確実に回避することができる。
【００４０】
また、このコンタクトプローブ１Ｂでは、非プロービング状態において外側電極３ｂ（第１電極）における接触側端部が中心電極４ｂ（第２電極）における接触側端部（先端部側部材４２の先端部）よりもプロービング方向側に突出している。したがって、このコンタクトプローブ１Ｂによれば、中心電極４ｂ（先端部側部材４２）の先端部がプロービング対象体Ｘに当接するのに先立って外側電極３ｂがプロービング対象体Ｘに当接させられるため、スプリング６ｂの弾性変形に伴って移動速度を十分に低下させた状態で中心電極４ｂ（先端部側部材４２）の先端部をプロービング対象体Ｘに当接させることができる結果、中心電極４ｂの当接に起因してプロービング対象体Ｘの表面に大きな打痕（傷付き）が生じたり、中心電極４ｂ（先端部側部材４２）の先端部が破損したりする事態を一層確実に回避することができる。
【００４１】
さらに、このコンタクトプローブ１Ｂでは、本発明における第１電極としての筒状の外側電極３ｂと、本発明における第２電極としてのピン状の中心電極４ｂとを備えて、外側電極３ｂ内に中心電極４ｂが挿入されている。したがって、このコンタクトプローブ１Ｂによれば、比較的簡易な構成でありながら、外側電極３ｂの先端部および中心電極４ｂ（先端部側部材４２）の先端部をプロービング対象体Ｘ上の極く狭い範囲内に別個独立して接触させることができる。
【００４２】
なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、スプリング５ａ，５ｂ，６ａ，６ｂ，３３，４３として圧縮型の弦巻ばねを用いたコンタクトプローブ１Ａ，１Ｂについて説明したが、本発明における各付勢部材の構成はこれに限定されず、例えば、引っ張型ばね（縮長方向に弾性復帰しようとするばね）を用いて構成することができる。この構成を採用する場合においては、各付勢部材の配設位置や、付勢部材が係合する突出部の位置等を適宜変更する。また、本発明における各付勢部材は、弦巻ばねのような付勢部材に限定されず、例えば、発泡樹脂等の弾性部材で構成することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】非プロービング状態におけるコンタクトプローブ１Ａの側面断面図である。
【図２】外側電極３ａ（先端部側部材３２）の先端部、および中心電極４ａの先端部をプロービング対象体Ｘに当接させた状態のコンタクトプローブ１Ａの側面断面図である。
【図３】外側電極３ａ（先端部側部材３２）の先端部、および中心電極４ａの先端部をプロービング対象体Ｘに付勢した状態のコンタクトプローブ１Ａの側面断面図である。
【図４】非プロービング状態におけるコンタクトプローブ１Ｂの側面断面図である。
【図５】外側電極３ｂの先端部、および中心電極４ｂ（先端部側部材４２）の先端部をプロービング対象体Ｘに当接させた状態のコンタクトプローブ１Ｂの側面断面図である。
【図６】外側電極３ｂの先端部、および中心電極４ｂ（先端部側部材４２）の先端部をプロービング対象体Ｘに付勢した状態のコンタクトプローブ１Ｂの側面断面図である。
【符号の説明】
【００４４】
１Ａ，１Ｂ  コンタクトプローブ
２ａ，２ｂ  ベース部
３ａ，３ｂ  外側電極
４ａ，４ｂ  中心電極
５ａ，５ｂ，６ａ，６ｂ，３３，４３  スプリング
３１，４１  ベース部側部材
３２，４２  先端部側部材
Ｘ  プロービング対象体
【図１】
2008191079.tif 000003
【図２】
2008191079.tif 000004
【図３】
2008191079.tif 000005
【図４】
2008191079.tif 000006
【図５】
2008191079.tif 000007
【図６】
2008191079.tif 000008