(57)【要約】【課題】  組み合わせ面を有するディスペンサーノズルを用いても、粉末凝集による吐出口の目詰まりを抑制し、蛍光体層を高精細な隔壁間に高精度かつ簡便に形成できるプラズマディスプレイの製造方法を提供する。【解決手段】複数のブロックを組み合わせて構成される、導入された塗液を内部に形成されたマニホールドを介して吐出口から吐出するディスペンサーであって、前記複数のブロックの組み合わせ面に接するマニホールドに、高さ４０〜１００μｍ、奥行き０．２〜５ｍｍの空間を有することを特徴とするディスペンサーを用いて解決する。【選択図】図２
2008047457.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のブロックを組み合わせて構成される、導入された塗液を内部に形成されたマニホールドを介して吐出口から吐出するディスペンサーであって、前記複数のブロックの組み合わせ面に接するマニホールドに、高さ４０〜１００μｍ、奥行き０．２〜５ｍｍの空間を有することを特徴とするディスペンサー。
【請求項２】
少なくとも有機溶媒および平均粒子径が０．５〜１０μｍの無機粒子を含む無機粒子ペーストを請求項１に記載のディスペンサーを用いて吐出する工程を含む無機粒子含有ペーストパターンの形成方法。
【請求項３】
少なくとも有機溶媒および蛍光体粉末を含む蛍光体ペーストを請求項１に記載のディスペンサーを用いて吐出する工程を含むディスプレイの蛍光体パターン形成方法。
【請求項４】
請求項３に記載の蛍光体パターン形成方法によって蛍光体層を形成するプラズマディスプレイの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ディスペンサー、無機粒子含有ペーストパターンの形成方法、ディスプレイの蛍光体パターン形成方法およびディスプレイの製造方法に関し、特に好ましくはプラズマディスプレイの製造方法に関する。本発明のプラズマディスプレイは、壁掛けテレビや情報表示用のディスプレイとして用いられる。
【背景技術】
【０００２】
近年、マルチメディアの進展により、多種多様な情報を表示するためのディスプレイの役割が大きくなっており、大型ディスプレイの本命としてプラズマディスプレイが注目されている。
【０００３】
プラズマディスプレイは、前面板と背面板の間に形成された放電空間内で放電を生じさせる。その後、この放電によりキセノンガスから波長１４７ｎｍを中心とする紫外線が生じて、この紫外線が蛍光体を励起することによって表示が可能になる。赤・緑・青に発光する蛍光体を塗り分けた放電セルを駆動回路によって発光させることによりフルカラー表示に対応可能となる。
【０００４】
最近活発に開発が進められているＡＣ型プラズマディスプレイは、表示電極・誘電体層・保護層を形成した前面ガラス基板と、アドレス電極・誘電体層・隔壁層・蛍光体層が形成された背面ガラス基板とを張り合わせ、ストライプ形状または井桁形状の隔壁で仕切られた放電空間にＨｅ-ＸｅまたはＮｅ-Ｘｅの混合ガスを封入した構造を有している。
【０００５】
プラズマディスプレイに必要な赤・緑・青の蛍光体層を形成する方法として、有機溶媒、蛍光体粉末とバインダー樹脂を含む蛍光体ペーストをスクリーン印刷する方法が主に用いられてきた。また、高精細なプラズマディスプレイに対応した蛍光体層を高精度に形成する方法として、特許文献１に示されるように、複数の吐出口を有するディスペンサーより蛍光体ペーストを吐出し、所定の隔壁間に充填する方法が用いられている。
【０００６】
しかしながら、ディスペンサーを用いる方法では、そのディスペンサーを構成する部材がシール材を介して接合する組み合わせ面に５μｍ以下の微少な隙間が生じ、その隙間にペーストが入り込むことでフィルタリング効果が発生し、ペースト中の粉末が凝集し、その凝集物がディスペンサーの吐出口を塞いでしまうという課題がある。
【０００７】
この問題を解決するための技術として、特許文献２に示されるように、ディスペンサー内の凝集物をポンプを用いてオリフィス構造を有する部材に導入し、その流速により再分散させる方法があるが、この方法では吐出装置が複雑になり、かつペーストの組成均一性にも問題があり、実用的に用いるには困難であった。
【特許文献１】特開平１０−２３３１６３号公報
【特許文献２】特許第３３９５７７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、組み合わせ面を有するディスペンサーを用いても、ペースト等の塗液中に含まれる粉末が凝集することによる吐出口の目詰まりを抑制し、蛍光体層を高精細な隔壁間に高精度かつ簡便に形成できるプラズマディスプレイの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明のディスペンサーノズルは、以下の構成を有する。すなわち、複数のブロックを組み合わせて構成される、導入された塗液を内部に形成されたマニホールドを介して吐出口から吐出するディスペンサーであって、前記複数のブロックの組み合わせ面に接するマニホールドに、高さ４０〜１００μｍ、奥行き０．２〜５ｍｍの空間を有することを特徴とするディスペンサーである。
【００１０】
また、本発明のペーストパターンの形成方法は、少なくとも有機溶媒および平均粒子径が０．５〜１０μｍの無機粒子を含む無機粒子ペーストを上述のディスペンサーを用いて吐出する工程を含む無機粒子含有ペーストパターンの形成方法である。
【００１１】
また、本発明は、少なくとも有機溶媒および蛍光体粉末を含む蛍光体ペーストを上述のディスペンサーを用いて吐出する工程を含むディスプレイの蛍光体パターン形成方法である。
【００１２】
さらに、本発明は、上述の蛍光体パターン形成方法によって蛍光体層を形成するプラズマディスプレイの製造方法である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、組み合わせ面を有するディスペンサーを用いてペースト等の塗液を吐出する場合であっても、粉末凝集による吐出口の目詰まりを抑制し、蛍光体層を高精細な隔壁間に高精度かつ簡便に形成できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明のディスペンサーは、導入された塗液を内部に形成されたマニホールドを介して吐出口から吐出するディスペンサーである。塗液としては、粘性の高い流動性液状物（ペースト）を吐出する場合に好適であり、特に少なくとも有機溶媒および平均粒子径が０．５〜１０μｍの無機粒子を含む無機粒子含有ペーストを吐出する場合に好適である。上述のような無機粒子含有ペーストにおいては、微小な無機粒子を含んでいるため、ディスペンサー内のペーストが流れる部分に面して５μｍ以下の微小な隙間が存在すると、その隙間に無機粒子含有ペーストが入り込み、無機粒子が凝集して凝集物が発生し、その凝集物がディスペンサーノズルの吐出口を塞いでしまったり、吐出される無機粒子含有ペースト中の無機粒子の濃度が不均一になったり、吐出された無機粒子含有ペーストによる塗膜中に凝集物に起因する粗大突起が発生するなどの問題があった。無機粒子の種類は限定されず、充填剤、顔料、増粘剤、導電性粒子、誘電体粒子、蛍光体粉末など、無機粒子含有ペーストに特性を付与するため、あるいは無機粒子含有ペーストを塗布して得られる塗膜や塗膜を加工、熱処理するなどして得られる膜に機能を付与するための無機粒子を広く用いることができる。
【００１５】
また、本発明のディスペンサーは、少なくとも有機溶媒および蛍光体粉末を含む蛍光体ペーストを吐出する場合に特に好適である。蛍光体ペーストは、塗布して蛍光体ペースト塗布膜を得、さらに必要に応じて紫外線などの電磁波による処理や乾燥、焼成などの熱による処理を行ってディスプレイなどの蛍光体層を形成するため、蛍光体粉末を高濃度に含有する必要がある。
【００１６】
本発明のディスペンサーは、複数のブロックを組み合わせて構成されるものである。複数のブロックを組み合わせて構成することによって、マニホールドや吐出口の加工を高精度に行うことができ、また、特定のブロックが変形したり、傷がつく等の問題が発生したときに、簡単に組み替えることができ、また、洗浄などのメンテナンス性に優れるという特徴を有する。
【００１７】
ディスペンサーを構成するブロックとしては、少なくとも複数の吐出口を有するノズル部材と、該ノズル部材と接合して内部にマニホールドを形成するマニホールド部材を有することが好ましい。複数の吐出口を有することによって、特にペーストを特定パターンにパターン塗布することが可能になる。また、吐出口を複数有し、高度な加工精度が必要とされる場合は、特にノズル部材を他の部分とは独立した部材とすることによって、加工コストを低減するとともにメンテナンスを容易にすることができる。また、両部材はシール材を介して接合することが好ましく、そのようにすることによってノズル部材とマニホールド部材を均一に密着させることができ、塗液漏れの発生を防止することができる。
【００１８】
本発明のディスペンサーは、前記複数のブロックの組み合わせ面に接するマニホールドに、高さ４０〜１００μｍ、奥行き０．２〜５ｍｍの空間（以下、凹み部という）を有することを特徴とする。
【００１９】
図１は凹み部を有さない従来のディスペンサーの概略断面図であり、図５は図１のディスペンサーノズルの組み合わせ面の概略断面図である。このように凹み部を有さない従来のディスペンサーでは、上述のようにマニホールドの蛍光体ペーストが流れる部分に面して５μｍ以下の微小な隙間が存在し、その隙間に蛍光体ペーストが入り込み、蛍光体粉末が凝集して凝集物が発生し、その凝集物がディスペンサーの吐出口を塞いでしまったり、吐出された蛍光体ペースト膜中に凝集物に起因する粗大突起が発生したり、得られる塗膜、ひいては発光特性にムラが発生しやすいなどの問題があった。
【００２０】
このような凹み部を有することによって、無機粒子の凝集を抑制することができ、ディスペンサーの吐出口の目詰まりや、吐出される無機粒子含有ペースト中の無機粒子の濃度が不均一になったり、吐出された無機粒子含有ペーストによる塗膜中に凝集物に起因する粗大突起が発生するなどの問題を防ぐことができ、特にプラズマディスプレイの蛍光体パターン形成においては蛍光体層を高精細な隔壁間に高精度かつ簡便に形成できる。
【００２１】
図２〜４は、本発明のディスペンサーの凹み部の形状を示した概略断面図である。本発明のディスペンサーの凹み部の断面形状は図２に示すように長方形が好ましいが図３に示すような台形や図４に示すような半楕円弧を有する形状であっても良い。凹み部におけるノズル部材とマニホールド部材の間の距離は４０〜１００μｍである必要があり、４０μｍ未満であるとペースト等の塗液中に含まれる粉末が隙間に入り込んで凝集し、その凝集物が前記ノズルと前記マニホールドとの組み合わせ面から剥がれ落ち、吐出口の目詰まり等の問題を抑制することができない。また１００μｍより大きいとシール性が不良となり、塗液の漏れが発生する等の不都合がある。また、凹み部に滞留する塗液量が多くなり、吐出される塗液が不均一になりやすいという不都合がある。
【００２２】
また、凹み部の奥行きは０．２〜５ｍｍである必要がある。０．２ｍｍ未満では凝集物を抑制する効果が十分ではなく、５ｍｍを超えるとシール性が不良となる。
【００２３】
組み合わせ面のシール材より接液面側に、ノズル部材とマニホールド部材の間の距離が４０μｍ以上１００μｍ以下となる凹み部を設けるためには、シール剤の材質、形状を工夫することによってもできるが、凹み部におけるノズル部材とマニホールド部材の間の距離を高精度に制御するためには、図２〜４に示すように、あらかじめ平面からなる接合面を有するマニホールド部材およびノズル部材のうち、少なくとも一方を切削加工することにより製作することが好ましい。また、メンテナンス性の点から、凹み部の平滑性は可能な限り高い方が好ましい。
【００２４】
以下、本発明のディスペンサーを、プラズマディスプレイの蛍光体パターン形成に用いる場合を説明するが、本発明はこの用途に限定されるものではない。
【００２５】
プラズマディスプレイは主に前面板と背面板から構成され、該前面板と背面板の間に希ガスを封入して構成される。背面板側は駆動電圧を印加するための電極や、放電セルを仕切るための隔壁を形成した基板上に蛍光体層を形成する。また、該基板上に誘電体層を形成することによって、放電安定化を図る場合もある。
【００２６】
次に、本発明の蛍光体層の形成について説明する。蛍光体ペーストは、複数の隔壁を設けた基板の隔壁間（隔壁と隔壁の間）にディスペンサーにより塗布される。
【００２７】
上記の蛍光体ペーストを吐出するために、平板に設けられた孔からなる吐出口やニードルタイプの吐出口を有する金属やセラミックス、プラスチック製のノズル部を有するディスペンサーを用いることができる。吐出口には、孔径（内径）１０〜５００μｍのものを用いることができるが、好ましい孔径は５０〜５００μｍである。孔径が１０μｍよりも小さい場合は、蛍光体粉末による詰まりが生じやすく、孔径が５００μｍよりも大きい場合は、高精細への塗布時に隣のセルに蛍光体ペーストが漏れ出すという課題がある。
【００２８】
吐出口の数は、一枚の基板の塗布にかかる時間を短くするために複数個であることが必要であるが、１５０個以上が好ましい。さらに、表示むらを抑制するためには、少なくとも１つの表示領域の全幅について、一色の蛍光体層を一度の塗布操作で塗布完了できるような数の吐出口であることが好ましい。
【００２９】
吐出口から蛍光体ペーストを吐出するためには、一定範囲の圧力で連続的にペーストを加圧して、その圧力でペーストを吐出する事が好ましい。これにより、ペーストの吐出量を一定に保つことができ、安定した塗布厚みを得ることができる。
【００３０】
本発明で用いられる蛍光体ペーストは、少なくとも有機溶媒および蛍光体粉末を含み、必要に応じてバインダー樹脂や、後述のように感光性蛍光体ペーストをする場合には、感光性モノマー、感光性オリゴマー、感光性ポリマーといった感光性成分や、光重合開始剤、増感剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、重合禁止剤などの添加剤成分を加えることができる。
【００３１】
本発明で用いられる蛍光体ペーストに用いる蛍光体粉末としては、例えば、赤色では、Ｙ２Ｏ３：Ｅｕ、ＹＶＯ４：Ｅｕ、（Ｙ，Ｇｄ）ＢＯ３：Ｅｕ、Ｙ２Ｏ３Ｓ：Ｅｕ、γ−Ｚｎ３（ＰＯ４）２：Ｍｎ、（ＺｎＣｄ）Ｓ：Ａｇ＋Ｉｎ２Ｏ３などがあげられる。緑色では、Ｚｎ２ＧｅＯ２：Ｍ、ＢａＡｌ１２Ｏ１９：Ｍｎ、Ｚｎ２ＳｉＯ４：Ｍｎ、ＬａＰＯ４：Ｔｂ、ＺｎＳ：Ｃｕ，Ａｌ、ＺｎＳ：Ａｕ，Ｃｕ，Ａｌ、（ＺｎＣｄ）Ｓ：Ｃｕ，Ａｌ、Ｚｎ２ＳｉＯ４：Ｍｎ，Ａｓ、Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２：Ｃｅ、ＣｅＭｇＡｌ１１Ｏ１９：Ｔｂ、Ｇｄ２Ｏ２Ｓ：Ｔｂ、Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２：Ｔｂ、ＺｎＯ：Ｚｎなどがあげられる。青色では、Ｓｒ５（ＰＯ４）３Ｃｌ：Ｅｕ、ＢａＭｇＡｌ１４Ｏ２３：Ｅｕ、ＢａＭｇＡｌ１６Ｏ２７：Ｅｕ、ＢａＭｇ２Ａｌ１４Ｏ２４：Ｅｕ、ＺｎＳ：Ａｇ＋赤色顔料、Ｙ２ＳｉＯ３：Ｃｅなどがあげられる。
【００３２】
また、ツリウム（Ｔｍ）、テルビウム（Ｔｂ）およびユーロピウム（Ｅｕ）からなる群より選ばれた少なくとも１つの元素で、イットリウム（Ｙ）、ガドリウム（Ｇｄ）およびルテチウム（Ｌｕ）から選ばれた少なくとも１つの母体構成希土類元素を置換したタンタル酸Ｙ１−ＸＥｕｘＴａＯ４（式中、Ｘは、およそ０．００５〜０．１である）で表されるユーロピウム付活タンタル酸イットリウム蛍光体である。赤色蛍光体には、ユーロピウム付活タンタル酸イットリウムが好ましく用いられ、緑色蛍光体には、タンタル酸稀土類蛍光体が組成式Ｙ１−ＸＴｂｘＴａＯ４（式中、Ｘは、およそ０．００１〜０．２である）で表されるテルビウム付活タンタル酸イットリウムが好ましく用いられる。また、Ｍｎがケイ酸亜鉛（Ｚｎ２ＳｉＯ２）母体量に対して０．２重量％以上、０．１未満付活されたマンガン付活亜鉛蛍光体（Ｚｎ２ＳｉＯ２：Ｍｎ）および一般式が（Ｚｎ１−ＸＭｎＸ）Ｏ・αＳｉＯ２（式中Ｘおよびαは、０．０１≦Ｘ≦０．２、０．５≦α≦１．５の範囲の値である）で表されるマンガン付活ケイ酸亜鉛蛍光体も好ましく用いられる。また、青色蛍光体には、タンタル酸稀土類蛍光体がＹ１−ＸＴｍＸＴａＯ４（式中、Ｘは、およそ０．００１〜０．２である）で表されるツリウム付活タンタル酸イットリウムが好ましく用いられる。
【００３３】
本発明の蛍光体ペーストに使用される蛍光体粉末は、ＢＥＴ法による比表面積が４００〜１５００ｍ２／ｋｇの範囲である。比表面積がこの範囲にあることで、有機バインダー樹脂と有機溶媒中への蛍光体粉末の分散性が向上し、塗布性に優れた蛍光体ペーストを得ることができる。
【００３４】
また、分散性が向上したことで、緻密な蛍光体層を形成できるため、発光効率が向上でき、高寿命になる。
【００３５】
蛍光体粉末の体積平均粒子径は、比表面積が上記範囲になるように選ぶのが好ましく、通常、蛍光体粉末の体積平均粒子径は１〜５μｍの範囲ものが好んで用いられる。なお、本発明における体積平均粒子径とは、マイクロトラック法により測定した体積基準分布の中心値を指す。
【００３６】
本発明で用いられる蛍光体ペーストに含まれる有機溶媒としては、例えば、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアルコール、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、トリエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノ−２−エチルヘキシルエーテル、テルピネオール、ベンジルアルコール、テトラヒドロフランなどやこれらのうちの１種以上を含有する有機溶媒混合物が用いられる。
【００３７】
有機溶媒は、用いるバインダー樹脂に対して良溶媒であることが好ましい。溶媒の選定は、溶媒の揮発性と使用するバインダー樹脂の溶解性を主に考慮して選定される。バインダー樹脂に対する溶媒の溶解性が低いと固形分比が同一でもペーストの粘度が高くなってしまい、塗布特性が悪化するという傾向がある。
【００３８】
有機溶媒の含有率は、少なすぎるとペーストの粘度が高くなりすぎ、ペースト内の気泡を抜くことが困難となり、またレベリング不良により塗布面の平滑性が不良となる傾向がある。反対に多すぎる場合には、分散粒子の沈降が速くなり、蛍光体ペーストの組成を安定化することが困難となり、また乾燥に多大なエネルギーと時間を要する等の問題を生じる傾向があるため、溶媒の好ましい含有率はペースト中に３５〜７０ｗｔ％、更に好ましくは、３５〜６０ｗｔ％である。
【００３９】
本発明で用いられるバインダー樹脂の具体的な例としては、ポリビニルブチラール、ポリビニルアセテート、ポリビニルアルコール等があげられる。また、メチルセルロース、エチルセルロース、ヒドロキシセルロース、メチルヒドロキシセルロース等のセルロース化合物は、焼成後のバインダー残りが少ない蛍光体層を形成できるため、好ましく用いることができる。
【００４０】
上記の蛍光体粉末とバインダー樹脂および有機溶媒の好ましい組成としては、赤、緑、青いずれか一色に発光する蛍光体粉末３０〜６０ｗｔ％、バインダー樹脂５〜３０ｗｔ％および有機溶媒３５〜７０ｗｔ％である。この組成にすることによって、隔壁側面と放電空間底部に均一な厚みの蛍光体層を形成できる。
【００４１】
上記の蛍光体粉末とバインダー樹脂および有機溶媒を所望の比率で混合、分散、混練して蛍光体ペーストを作製する。蛍光体ペーストは、蛍光体粉末を多量に配合しているため、混練を強化しても構造粘性が出現し、チキソトロピー性が強く現れる。蛍光体粉末の分散性を向上させるために有機溶媒を多量に用いると上述のような問題がある。本発明では、有機溶媒量を多量に用いることなく、分散性が優れ、塗布性が良好な蛍光体ペーストを得ることができる。また蛍光体粉末には稀土類蛍光体を用いることもできる。好ましくは、タンタル酸稀土類蛍光体が組成式優れ、塗布性の良好な蛍光体ペーストを得ることができる。
【００４２】
また、特に本発明の蛍光体ペーストを感光性蛍光体ペーストとして用いる場合には、感光性モノマー、感光性オリゴマー、感光性ポリマーといった感光性成分や、光重合開始剤、増感剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、重合禁止剤などの添加剤成分を加えることができる。
【００４３】
このとき使用される感光性モノマーとしては、活性な炭素−炭素２重結合を有する化合物が多く用いられている。官能基として、ビニル基、アリル基、アクリレート基、メタクリレート基、アクリルアミド基を有する単官能および多官能化合物が適用できる。
【００４４】
また、オリゴマーまたはポリマーは、炭素−炭素２重結合を有する化合物から選ばれた成分の重合または共重合により得られる。不飽和カルボン酸などの不飽和酸を共重合することによって、感光後のアルカリ水溶液での現像性を向上することができる。不飽和カルボン酸の具体的な例として、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸などが挙げられる。こうして得られた側鎖にカルボキシル基などの酸性基を有するポリマーもしくはオリゴマーの酸価（ＡＶ）は５０〜１８０、さらには７０〜１４０の範囲が好ましい。
光重合開始剤は、蛍光体ペーストに対して０．００５〜５重量％の範囲で添加するのが、感光特性上好ましい。
【００４５】
基板としては、ソーダガラスやプラズマディスプレイ用に市販されているカラス基板やセラミックス製の基板を用いることができる。基板厚みは、１〜３ｍｍ、好ましくは１．８ｍｍのガラスを用いることができる。
【００４６】
この基板上に導電性の金属からなる電極を形成する。好ましく用いられる電極材料としては、金、銀、銅、クロム、パラジウム、アルミニウム、ニッケルから選ばれる少なくとも1種類を含む金属材料である。これらの金属材料を用いて、厚み０．１〜１０μｍ、好ましくは厚み１〜５μｍで必要なパターン形状の電極を形成する方法としては、上記金属粉末とエチルセルロースに代表されるセルロース化合物を含む有機バインダーと混練して得られた金属ペーストをガラス基板上にスクリーン版を用いてパターン印刷する方法や真空蒸着やスパッタリングでガラス基板上に金属膜を形成した後にレジストを用いてエッチングを行う方法を用いることができる
電極上には誘電体層を形成することにより蛍光体発光を安定化することができる。誘電体はガラス粉末とエチルセルロースに代表されるセルロース化合物を含む有機バインダーからなるガラスペーストを塗布した後に４５０〜６００℃で焼成することにより形成できる。
【００４７】
隔壁を形成する方法としては、スクリーン印刷法、サンドブラスト法、感光性ペースト法、フォト埋め込み法、型転写法、ディスペンサー法等種々の方法が適用できる。隔壁の形成方法としては、ガラス粉末と感光性有機成分を混練して得られた感光性ガラスペーストを基板上に全面塗布した後にフォトマスクを用いてフォトリソグラフィーによりパターン形成および焼成を行う方法がこのましい。形成する隔壁としては、各放電セルの放電を仕切るためにストライプ形状や格子状が用いられる。
【００４８】
以上のようにして背面板が作製される。この背面板と前面板を張り合わせ後、ストライプ形状または井桁形状の隔壁で仕切られた放電空間にＨｅ-ＸｅまたはＮｅ-Ｘｅの混合ガスを封入し、駆動回路を搭載させてプラズマディスプレイが完成する。
【実施例】
【００４９】
以下に、本発明を実施例により具体的に説明する。ただし、本発明はこれに限定されるものではない。
（本発明の実施例および比較例に使用した材料）
（１）赤色蛍光体粉末：（Ｙ，Ｇｄ，Ｅｕ）ＢＯ3
（２）緑色蛍光体粉末：（Ｚｎ，Ｍｎ）2ＳｉＯ2
（３）青色蛍光体粉末：（Ｂａ，Ｅｕ）ＭｇＡｌ10Ｏ17
（４）バインダー樹脂：エチルセルロース
（５）有機溶媒２，２，４−トリメチル−１，３−ペンタンジオールモノイソブチレート
上記のバインダー樹脂７．５ｋｇ、赤色、緑色、青色各種蛍光体粉末のうち、青色の蛍光体粉末２２．５ｋｇ、有機溶媒２０ｋｇを混合し、三本ローラーで分散・混練し、約５０ｋｇの蛍光体ペーストを得た。同様にして蛍光体粉末を逐次替え、同様な方法で緑色、赤色の蛍光体ペーストを得た。本実施例で用いた蛍光体粉末の比表面積は、日機装（株）製比表面積測定装置（ＢＥＴ法）で測定した。また、体積平均粒子径は、日機装（株）製マイクロトラック粒度分布測定装置ＭＴ３３００ＥＸ（マイクロトラック法）で測定した。
【００５０】
表１のように、蛍光体粉末について、比表面積および体積平均粒子径の測定結果を得た。
【００５１】
【表１】
2008047457.tif 000003
【００５２】
実施例１
図２に示すように、内部に５００ｃｍ３の容積のマニホールドを有し、直径１２０μｍの吐出口１を直線上に９００μｍ間隔で１０２６個有したノズル３とマニホールド４との組み合わせ面の内面の間口の前記マニホールド４側に、内側（接液面側）高さ７０μｍの長方形の形状をした凹み部７を加工したディスペンサーにて、体積平均粒子径が２．９μｍで青色に発光する蛍光体粉末を含有する蛍光体ペーストを流入し、ペースト吐出用圧力ポート６より０．３５ＭＰａの圧力をかけて蛍光体ペーストを８秒間吐出する工程と、ノズル内を大気解放して、ペースト供給タンクに０．３５ＭＰａの圧力をかけて、前記ペースト供給タンクより接続した配管を用いてノズル内部にペースト供給ポート５より蛍光体ペーストを３０秒間供給する工程を連続して繰り返し、ノズル３とマニホールド４との組み合わせ面の内面の間口に凝集物が析出するかを確認した。なお、図８に示したノズル横断面図のように、Ｏ−リング２はマニホールド接液面から１．５ｍｍ外側に位置し、凹み部７はマニホールド接液面から奥行き１．０ｍｍでマニホールド４の全周に施工した。前記吐出供給の連続工程を２０００回繰り返した後、ノズル３を分解して内部を目視確認したところ、０．１ｍｍ以上の凝集物は存在しなかった。
【００５３】
また、体積平均粒子径が２．０μｍで緑色に発光する蛍光体粉末を含有する蛍光体ペースト、および体積平均粒子径が２．０μｍで赤色に発光する蛍光体粉末を含有する蛍光体ペーストについても同様にして吐出および供給の連続工程を実施した結果、いずれにおいても凝集物は見られなかった。
【００５４】
実施例２
図３に示すように、内部に５００ｃｍ３の容積を有し、直径１２０μｍの吐出口１を直線上に９００μｍ間隔で１０２６個有したノズル３とマニホールド４との組み合わせ面の内面の間口の前記マニホールド４側に、内側（接液面側）高さ７０μｍ、外側高さ４０μｍの台形の形状をした凹み部８を加工したディスペンサーを用いた以外は実施例１と同様にして、ノズル３とマニホールド４との組み合わせ面の内面の間口に凝集物が析出するかを確認した。前記吐出および供給の連続工程を２０００回繰り返した後、ノズル３を分解して内部を目視確認したところ、いずれの色に発光する蛍光体粉末を含有する蛍光体ペーストについても、前記組み合わせ面の内面の間口には凝集物は析出しなかった。
【００５５】
実施例３
図４に示すように、内部に５００ｃｍ３の容積を有し、直径１２０μｍの吐出口１を直線上に９００μｍ間隔で１０２６個有したノズル３とマニホールド４との組み合わせ面の内面の間口の前記マニホールド４側に、内側（接液面側）の半径が７０μｍとなる反楕円形状をした凹み部９を加工したディスペンサーを用いた以外は実施例１と同様にして、ノズル３とマニホールド４との組み合わせ面の内面の間口に凝集物が析出するかを確認した。前記吐出および供給の連続工程を２０００回繰り返した後、ノズル３を分解して内部を目視確認したところ、いずれの色に発光する蛍光体粉末を含有する蛍光体ペーストについても、前記組み合わせ面の内面の間口には凝集物は析出しなかった。
【００５６】
実施例４
９６０×５７０×１．８ｍｍサイズのガラス基板を使用してＡＣ（交流）型プラズマディスプレイパネルの背面板を下記のように形成した。
【００５７】
基板上に、書き込み電極として、感光性銀ペーストを用いてフォトリソグラフィー法により、ピッチ３００μｍ、線幅６０μｍ、焼成後厚み４μｍのストライプ状電極を形成した。この基板に誘電体ペーストをスクリーン印刷法により塗布した後、５５０℃で焼成して、厚み１０μｍの誘電体層を形成した。
【００５８】
さらに、誘電体層上に上記のガラスペーストを用いて、フォトリソ法によりパターン形成後、５７０℃で１５分間焼成し、ピッチ３００μｍ、線幅６０μｍ、高さ１２０μｍの格子状の隔壁パターンを形成した。
【００５９】
このようにして形成された隔壁に、各種蛍光体ペーストを本発明のノズルを用いたディスペンサ方法を用いて塗布した。塗布後、乾燥、焼成（５００℃、３０分）して隔壁の側面および底部に蛍光体層を形成した。
【００６０】
次に、前面板を以下の工程によって作製した。まず、背面板と同じガラス基板上に、ＩＴＯをスパッタ法で形成後、レジスト塗布し、露光・現像処理、エッチング処理によって厚み０．１μｍ、線幅２００μｍの透明電極を形成した。また、黒色銀粉末からなる感光性銀ペーストを用いてフォトリソグラフィー法により、焼成後厚み１０μｍのバス電極を形成した。電極はピッチ３００μｍ、線幅６０μｍのものを作製した。
【００６１】
さらに、電極形成した前面板上に透明誘電体ペーストを２０μｍ塗布し、４３０℃で２０分間保持して焼き付けた。次に形成した透明電極、黒色電極、誘電体層を一様に被覆するように電子ビーム蒸着機を用いて、厚みは０．５μｍのＭｇＯ膜を形成して前面板を完成させた。
【００６２】
得られた前面ガラス基板を、前記の背面ガラス基板と貼り合わせ封着した後、放電用ガスＨｅ-Ｘｅを封入し、駆動回路を接合してプラズマディスプレイ（ＰＤＰ）を作製した。
【００６３】
比較例１
図５に示すように、内部に５００ｃｍ３の容積を有し、直径１２０μｍの吐出口１を直線上に９００μｍ間隔で１０２６個有したノズル３とマニホールド４との組み合わせ面の内面の間口に凹み部を加工していないディスペンサーにて、体積平均粒子径が２．９μｍで青色に発光する蛍光体粉末を含有する蛍光体ペーストを流入し、ペースト吐出用圧力ポート６より０．３５ＭＰａの圧力をかけてペーストを８秒間吐出する工程と、ノズル内を大気解放して、ペースト供給タンクに０．３５ＭＰａの圧力をかけて、前記ペースト供給タンクより接続した配管を用いてノズル内部にペースト供給ポート５より蛍光体ペーストを３０秒間供給する工程を連続して繰り返し、ノズル３とマニホールド４との組み合わせ面の内面の間口に凝集物が析出するかを確認した。前記吐出供給の連続工程を２０００回繰り返した後、ノズル３を分解して内部を目視確認したところ、前記組み合わせ面の内面の間口に、直径２ｍｍ程度の糸状の凝集物が析出した。
【００６４】
また、体積平均粒子径２．０μｍで緑色に発光する蛍光体粉末を含有する蛍光体ペースト、および体積平均粒子径２．０μｍで赤色に発光する蛍光体粉末を含有する蛍光体ペーストについても同様にして吐出および供給の連続工程を実施した結果、いずれにおいても同様の凝集物が析出した。
【００６５】
比較例２
図６に示すように、内部に５００ｃｍ３の容積を有し、直径１２０μｍの吐出口１を直線上に９００μｍ間隔で１０２６個有したノズル３とマニホールド４との組み合わせ面の内面の間口の前記マニホールド４側に、内側（接液面側）高さ２０μｍの長方形の形状をした凹み部１０を加工したディスペンサーを用いた以外は実施例１と同様にして、ノズル３とマニホールド４との組み合わせ面の内面の間口に凝集物が析出するかを確認した。なお、Ｏ−リング２はマニホールド接液面から１．５ｍｍ外側に位置し、凹み部１０はマニホールド接液面から奥行き１．０ｍｍでマニホールド４の全周に施工した。前記吐出および供給の連続工程を２０００回繰り返した後、ノズル３を分解して内部を目視確認したところ、前記組み合わせ面の内面の間口に、直径２ｍｍ程度の糸状の凝集物が析出した。
【００６６】
また、体積平均粒子径２．０μｍで緑色に発光する蛍光体粉末を含有する蛍光体ペースト、および体積平均粒子径２．０μｍで赤色に発光する蛍光体粉末を含有する蛍光体ペーストについても同様にして吐出および供給の連続工程を実施した結果、いずれにおいても同様の凝集物が析出した。
【００６７】
比較例３
図７に示すように、内部に５００ｃｍ３の容積を有し、直径１２０μｍの吐出口１を直線上に９００μｍ間隔で１０２６個有したノズル３とマニホールド４との組み合わせ面の内面の間口の前記マニホールド４側に、内側（接液面側）高さ１２０μｍの長方形の形状をした凹み部１１を加工したディスペンサーを用いた以外は実施例１と同様にして、ノズル３とマニホールド４との組み合わせ面の内面の間口に凝集物が析出するかを確認した。なお、Ｏ−リング２はマニホールド接液面から１．５ｍｍ外側に位置し、凹み部１１はマニホールド接液面から奥行き１．０ｍｍでマニホールド４の全周に施工した。前記吐出および供給の連続工程を２０００回繰り返した後、ノズル３を分解して内部を目視確認したところ、ノズル３側に設置したＯ−リング２の反接液面側にペーストが漏洩しており、ノズル３とマニホールド４との組み合わせ面のシール性不良となった。
【００６８】
実施例１〜３と比較例１〜３の評価結果を表２に示す。
【００６９】
【表２】
2008047457.tif 000004
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】従来のディスペンサーノズルの概略断面図である。
【図２】本発明の実施例１のるディスペンサーの凹み部の形状を示した概略断面図である。
【図３】本発明の実施例２のディスペンサーの凹み部の形状を示した概略断面図である。
【図４】本発明の実施例３のディスペンサーの凹み部の形状を示した概略断面図である。
【図５】従来のディスペンサーの組み合わせ面の概略断面図である。
【図６】比較例２のディスペンサーの凹み部の形状を示した概略断面図である。
【図７】比較例３のディスペンサーの凹み部の形状を示した概略断面図である。
【図８】本発明の実施例のディスペンサーのＯ−リングおよび凹み部の位置を示した横断面図である。
【符号の説明】
【００７１】
１  吐出口
２  Ｏ−リング
３  ノズル
４  マニホールド
５  ペースト供給ポート
６  ペースト吐出用圧力ポート
７  凹み部
【図１】
2008047457.tif 000005
【図２】
2008047457.tif 000006
【図３】
2008047457.tif 000007
【図４】
2008047457.tif 000008
【図５】
2008047457.tif 000009
【図６】
2008047457.tif 000010
【図７】
2008047457.tif 000011
【図８】
2008047457.tif 000012