(57)【要約】【課題】厚み方向の振動変位分布の不均一さを緩和し、また、共振周波数の変化ならびに厚み振動の減衰を軽減する。【解決手段】圧電セラミックスを用いた振動子において、所望の厚さを有する圧電セラミックスと、上記圧電セラミックスを第１の方向に延長して貫通する第１の孔と、上記圧電セラミックスを上記第１の方向と直交する第２の方向に延長して貫通する第２の孔と、上記圧電セラミックスの第１の面に配設された第１の電極と、上記第１の面とは異なる第２の面に配設された第２の電極とを有する。【選択図】        図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電セラミックスを用いた振動子において、
所望の厚さを有する圧電セラミックスと、
前記圧電セラミックスを第１の方向に延長して貫通する第１の孔と、
前記圧電セラミックスを前記第１の方向と直交する第２の方向に延長して貫通する第２の孔と、
前記圧電セラミックスの第１の面に配設された第１の電極と、
前記第１の面とは異なる第２の面に配設された第２の電極と
を有することを特徴とする振動子。
【請求項２】
請求項１に記載の振動子において、
前記第２の電極は、前記第１の電極と所定の間隔を開けて前記圧電セラミックスの前記第１の面の一部から前記第１の面と隣り合う第３の面を経て前記第１の面と対向する前記第２の面まで配設される
ことを特徴とする振動子。
【請求項３】
請求項１または２のいずれか１項に記載の振動子において、
前記第１の孔は複数形成され、互いに厚み振動の１／４波長以下の間隔を開けて配置された
ことを特徴とする振動子。
【請求項４】
請求項１、２または３のいずれか１項に記載の振動子において、
前記第２の孔は複数形成され、互いに厚み振動の１／４波長以下の間隔を開けて配置された
ことを特徴とする振動子。
【請求項５】
請求項１、２、３または４のいずれか１項に記載の振動子において、
前記第１の孔は、前記圧電セラミックスの厚さ方向における全長が厚み振動の１／４波長以上である
ことを特徴とする振動子。
【請求項６】
請求項１、２、３、４または５のいずれか１項に記載の振動子において、
前記第２の孔は、前記圧電セラミックスの厚さ方向における全長が厚み振動の１／４波長以上である
ことを特徴とする振動子。
【請求項７】
請求項１、２、３、４、５または６のいずれか１項に記載の振動子において、
前記第１の孔は、前記全長の中心位置が厚み振動の節となる位置と一致する
ことを特徴とする振動子。
【請求項８】
請求項１、２、３、４、５、６または７のいずれか１項に記載の振動子において、
前記第２の孔は、前記全長の中心位置が厚み振動の節となる位置と一致する
ことを特徴とする振動子。
【請求項９】
請求項１、２、３、４、５、６、７または８のいずれか１項に記載の振動子において、
前記圧電セラミックスはべべリング加工されている
ことを特徴とする振動子。
【請求項１０】
圧電セラミックスを用いた振動子において、
所定の厚さを有しかつ対向する第１の面と第２の面とを有する圧電セラミックスと、
前記圧電セラミックスの第１の面に第１の方向で配設された第１の溝と、
前記圧電セラミックスの前記第２の面に前記第１の方向と直交する第２の方向で配設された第２の溝と、
前記圧電セラミックスの前記第１の面側に形成された第１の電極と、
前記圧電セラミックスの前記第２の面側に形成された第２の電極と
を有することを特徴とする振動子。
【請求項１１】
請求項１０に記載の振動子において、
前記第１の電極は、前記第１の面から前記第１の溝の終端があり前記第１の面と隣り合う第３の面まで配設された
ことを特徴とする振動子。
【請求項１２】
請求項１１に記載の振動子において、
前記第１の電極は、前記第１の溝の終端のある前記第３の面で前記第１の溝の切込み位置よりも深い位置まで延設された
ことを特徴とする振動子。
【請求項１３】
請求項１０、１１または１２のいずれか１項に記載の振動子において、
前記第２の電極は、前記第２の面から前記第２の溝の終端があり前記第２の面と隣り合う第４の面まで配設された
ことを特徴とする振動子。
【請求項１４】
請求項１３に記載の振動子において、
前記第２の電極は、前記第２の溝の終端のある前記第４の面で前記第２の溝の切込み位置よりも深い位置まで延設された
ことを特徴とする振動子。
【請求項１５】
請求項１０、１１、１２、１３または１４のいずれか１項に記載の振動子において、
前記第１の溝は複数形成され、互いに厚み振動の１／４波長以下の間隔を開けて配置された
ことを特徴とする振動子。
【請求項１６】
請求項１０、１１、１２、１３、１４または１５のいずれか１項に記載の振動子において、
前記第２の溝は複数形成され、互いに厚み振動の１／４波長以下の間隔を開けて配置された
ことを特徴とする振動子。
【請求項１７】
請求項１０、１１、１２、１３、１４、１５または１６のいずれか１項に記載の振動子において、
前記第１の溝の深さは、前記圧電セラミックスの厚さ方向における全長が厚み振動の１／４波長以上である
ことを特徴とする振動子。
【請求項１８】
請求項１０、１１、１２、１３、１４、１５、１６または１７のいずれか１項に記載の振動子において、
前記第２の溝の深さは、前記圧電セラミックスの厚さ方向における全長が厚み振動の１／４波長以上である
ことを特徴とする振動子。
【請求項１９】
請求項１０、１１、１２、１３、１４、１５、１６、１７または１８のいずれか１項に記載の振動子において、
前記第１の溝の深さは、厚み振動の節の位置を超えた深さである
ことを特徴とする振動子。
【請求項２０】
請求項１０、１１、１２、１３、１４、１５、１６、１７、１８または１９のいずれか１項に記載の振動子において、
前記第２の溝の深さは、厚み振動の節の位置を超えた深さである
ことを特徴とする振動子。
【請求項２１】
請求項１０、１１、１２、１３、１４、１５、１６、１７、１８、１９または２０のいずれか１項に記載の振動子において、
前記第１の溝と前記第２の溝とは、厚み振動の節となる位置を中心に対称な形状である
ことを特徴とする振動子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動子に関し、さらに詳細には、交流電圧を印加すると圧電効果により当該交流電圧に応じた振動を生ずる圧電セラミックスよりなる振動子に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、圧電セラミックスよりなる振動子に溝を設けることにより、当該振動子における不均一な振動を緩和するという手法が知られている。
【０００３】
ここで、図１（ａ）（ｂ）には、上記したような溝を設けた従来の振動子が示されており、この振動子１０は、圧電効果により電気的エネルギーを機械的エネルギーに変換する略直方体状の圧電セラミックス１２と、圧電セラミックス１２の上面１２ａ側から下面１２ｂ側に向けて厚さｔ方向に切り欠かれかつ矢印Ｘ方向（長手方向）に沿って延設されるとともに矢印Ｙ方向（幅方向）に沿って後述する所定の間隔を開けて平行に形成された溝２２ａ、溝２２ｂ、溝２２ｃと、圧電セラミックス１２に電圧を印加するために圧電セラミックス１２の上面１２ａに溝２２ａ、溝２２ｂ、溝２２ｃを覆うことなく配設された一方の電極１４と、圧電セラミックス１２に電圧を印加するために圧電セラミックス１２の下面１２ｂに配設された他方の電極１６とを有している。
【０００４】
次に、溝２２ａ、溝２２ｂおよび溝２２ｃの詳細について説明すると、溝２２ａ、溝２２ｂおよび溝２２ｃは、圧電セラミックス１２の厚さｔに対して数１０％の深さで切り欠かれている。
【０００５】
また、溝２２ａ、溝２２ｂおよび溝２２ｃは、圧電セラミックス１２の音速と交流電圧を印加するために使用される交流電流の周波数との除算で表される圧電セラミックス１２の厚み振動の波長の１／４、即ち、１／４波長以下の間隔で平行に配設されている。
【０００６】
以上の構成において、振動子１０の電極１４と電極１６とに交流電流を印加すると、印加された交流電流の交流電圧による圧電セラミックス１２の圧電効果により、振動子１０には当該交流電圧に応じた厚さｔ方向の振動たる厚み振動が発生する。
【０００７】
この際に、圧電セラミックス１２の上面１２ａには溝２２ａ、溝２２ｂおよび溝２２ｃが形成されているため、溝２２ａ、溝２２ｂおよび溝２２ｃが延設された方向（矢印Ｘ方向（長手方向））と直交する方向（矢印Ｙ方向（幅方向））における不均一な振動を抑制することができる。
【０００８】
しかしながら、上記した振動子１０においては、溝２２ａ、溝２２ｂおよび溝２２ｃが延設された方向（矢印Ｘ方向（長手方向））と平行な方向における不均一な振動は抑制することができないという問題点があった。
【０００９】
即ち、溝２２ａ、溝２２ｂおよび溝２２ｃは、圧電セラミックス１２の上面１２ａ側に矢印Ｘ方向（長手方向）に沿って延設されるとともに矢印Ｙ方向（幅方向）に沿って１／４波長以下の間隔で平行に配設されているため、厚み方向における振動変位分布の不均一さは、溝２２ａ、溝２２ｂおよび溝２２ｃが延設された方向（矢印Ｘ方向（長手方向））と直交する方向（矢印Ｙ方向（幅方向））では、溝２２ａ、溝２２ｂおよび溝２２ｃにより遮断されて緩和される。
【００１０】
一方、溝２２ａ、溝２２ｂおよび溝２２ｃが延設された方向（矢印Ｘ方向（長手方向））と平行な方向においては、振動変位分布の不均一さは緩和されることがなく不均一のままとなっていた。
【００１１】
このような問題を解決するための手法として、例えば、図２（ａ）（ｂ）（ｃ）に示すような振動子が提案されている。
【００１２】
なお、以下の説明において、図１（ａ）（ｂ）に示す振動子と同一または相当する構成や方向を示すにあたっては、図１（ａ）（ｂ）に関して用いた符号と同一のものを用いることにより、それらの詳細な説明は適宜に省略するものとする。
【００１３】
この振動子２０は、圧電効果により電気的エネルギーを機械的エネルギーに変換する略直方体状の圧電セラミックス１２と、圧電セラミックス１２の上面１２ａ側から下面１２ｂ側に向けて厚さｔ方向に切り欠かれかつ矢印Ｘ方向（長手方向）に沿って延設されるとともに矢印Ｙ方向（幅方向）に沿って後述する所定の間隔を開けて平行に形成された溝２２ａ、溝２２ｂ、溝２２ｃと、圧電セラミックス１２の上面１２ａ側から下面１２ｂ側に向けて厚さｔ方向に切り欠かれかつ矢印Ｙ方向（幅方向）に沿って延設されるとともに矢印Ｘ方向（長手方向）に沿って後述する所定の間隔を開けて平行に形成された溝２４ａ、溝２４ｂ、溝２４ｃ、溝２４ｄと、圧電セラミックス１２に電圧を印加するために圧電セラミックス１２の上面１２ａに溝２２ａ、溝２２ｂ、溝２２ｃならびに溝２４ａ、溝２４ｂ、溝２４ｃ、溝２４ｄを覆うことなく配設された一方の電極１４と、圧電セラミックス１２に電圧を印加するために圧電セラミックス１２の下面１２ｂに配設された他方の電極１６とを有している。
【００１４】
次に、溝２２ａ、溝２２ｂ、溝２２ｃならびに溝２４ａ、溝２４ｂ、溝２４ｃ、溝２４ｄの詳細について説明すると、溝２２ａ、溝２２ｂ、溝２２ｃと溝２４ａ、溝２４ｂ、溝２４ｃ、溝２４ｄとは、互いに直交する方向に延長して配置されている。
【００１５】
そして、溝２２ａ、溝２２ｂ、溝２２ｃならびに溝２４ａ、溝２４ｂ、溝２４ｃ、溝２４ｄは、圧電セラミックス１２の厚さｔに対して数１０％の深さで切り欠かれている。
【００１６】
また、溝２２ａ、溝２２ｂ、溝２２ｃならびに溝２４ａ、溝２４ｂ、溝２４ｃ、溝２４ｄは、圧電セラミックス１２の音速と交流電圧を印加するために使用される交流電流の周波数との除算で表される圧電セラミックス１２の厚み振動の波長の１／４、即ち、１／４波長以下の間隔で平行に配設されている。
【００１７】
以上の構成において、振動子２０の電極１４と電極１６とに交流電流を印加すると、印加された交流電流の交流電圧による圧電セラミックス１２の圧電効果により、振動子２０には当該交流電圧に応じた厚さｔ方向の振動たる厚み振動が発生する。
【００１８】
この際に、圧電セラミックス１２の上面１２ａには溝２２ａ、溝２２ｂおよび溝２２ｃが形成されているため、溝２２ａ、溝２２ｂおよび溝２２ｃが延設された方向（矢印Ｘ方向（長手方向））と直交する方向（矢印Ｙ方向（幅方向））における不均一な振動を抑制することができる。
【００１９】
また、圧電セラミックス１２の上面１２ａには溝２４ａ、溝２４ｂ、溝２４ｃおよび溝２４ｄが形成されているため、溝２４ａ、溝２４ｂ、溝２４ｃおよび溝２４ｄが延設された方向（矢印Ｙ方向（幅方向））と直交する方向（矢印Ｘ方向（長手方向））、即ち、溝２２ａ、溝２２ｂおよび溝２２ｃが延設された方向（矢印Ｘ方向（長手方向））と平行な方向における不均一な振動も抑制することができる。
【００２０】
即ち、溝２２ａ、溝２２ｂおよび溝２２ｃは、圧電セラミックス１２の上面１２ａ側に矢印Ｘ方向（長手方向）に沿って延設されるとともに矢印Ｙ方向（幅方向）に沿って１／４波長以下の間隔で平行に配設されているため、厚み方向における振動変位分布の不均一さは、溝２２ａ、溝２２ｂおよび溝２２ｃが延設された方向（矢印Ｘ方向（長手方向））と直交する方向（矢印Ｙ方向（幅方向））では、溝２２ａ、溝２２ｂおよび溝２２ｃにより遮断されて緩和される。
【００２１】
同様に、溝２４ａ、溝２４ｂ、溝２４ｃおよび溝２４ｄは、圧電セラミックス１２の上面１２ａ側に矢印Ｙ方向（幅方向）に沿って延設されるとともに矢印Ｘ方向（長手向）に沿って１／４波長以下の間隔で平行に配設されているため、厚み方向における振動変位分布の不均一さは、溝２４ａ、溝２４ｂ、溝２４ｃおよび溝２４ｄが延設された方向（矢印Ｙ方向（幅方向））と直交する方向（矢印Ｘ方向（長手方向））、即ち、溝２２ａ、溝２２ｂおよび溝２２ｃが延設された方向（矢印Ｘ方向（長手方向））と平行な方向では、溝２４ａ、溝２４ｂ、溝２４ｃおよび溝２４ｄにより遮断されて緩和される。
【００２２】
ところが、このような振動子２０においては、電極１４が溝２２ａ、溝２２ｂ、溝２２ｃおよび溝２４ａ、溝２４ｂ、溝２４ｃ、溝２４ｄによって複数の面（振動子２０においては、２０個の面である。）に電気的に分断されており、複数の面に分断された電極１４を電気的に同電位とするためには、分断された面毎に半田付けして全ての面を電気的に接続しなければならないものであった。
【００２３】
このため、電気的接続の際に半田の使用量が多くなって半田の質量が増加し、これによる振動子２０の質量増加に伴い、振動子２０の共振周波数が変化するとともに厚み振動が減衰してしまうという問題点があった。
【００２４】
また、電気的接続の際に分断された面毎に半田付けするため半田付けする箇所が多くなり、その作業が繁雑であるとともに、半田不良になる割合が増加する恐れがあるという問題点も指摘されていた。
【００２５】
なお、本願出願人が特許出願のときに知っている先行技術は、文献公知発明に係る発明ではないため、記載すべき先行技術文献情報はない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２６】
本発明は、従来の技術の有する上記したような種々の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、厚み方向における振動変位分布の不均一さを緩和した振動子を提供しようとするものである。
【００２７】
また、本発明の目的とするところは、電気的接続の際における半田の使用料を低減して、半田の質量増加に伴う共振周波数の変化や厚み振動の減衰を軽減するようにした振動子を提供しようとするものである。
【００２８】
さらに、電気的接続の際に半田付けする箇所を低減して、半田付け作業を簡易化するとともに、半田不良になる割合を低減するようにした振動子を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００２９】
上記目的達成するために、本発明は、圧電セラミックス内に互いに直交する貫通孔を設けるようにしたものである。
【００３０】
従って、こうした本発明によれば、互いに直交する貫通孔により厚み方向における振動変位分布の不均一さを遮断して緩和することができる。
【００３１】
また、こうした本発明によれば、電気的接続の際に半田付けする箇所を低減することができ、これにより電気的接続の際に使用する半田の質量が低減されて、共振周波数の変化や厚み振動の減衰を軽減することができる。
【００３２】
さらに、こうした本発明によれば、電気的接続の際に半田付けする箇所が低減されるので、半田付け作業が簡易化されるとともに、半田不良になる割合も低減することができる。
【００３３】
また、本発明は、圧電セラミックスにおける対向する２つの面のそれぞれに互いに直交する方向で溝を設けるようにしたものである。
【００３４】
こうした本発明による振動子によれば、互いに直交する溝により厚み方向における振動変位分布の不均一さを遮断して緩和することができる。
【００３５】
また、こうした本発明によれば、電気的接続の際に半田付けする箇所を低減することができ、これにより電気的接続の際に使用する半田の質量が低減されて、共振周波数の変化や厚み振動の減衰を軽減することができる。
【００３６】
さらに、こうした本発明によれば、電気的接続の際に半田付けする箇所が低減されるので、半田付け作業が簡易化されるとともに、半田不良になる割合も低減することができる。
【００３７】
さらにまた、こうした本発明によれば、対向する面にそれぞれ溝を設けるようにしたため、一方の面のみに溝を形成することによる電極分断に伴う半田付けの際の質量増加に起因する共振周波数の変化や厚み振動の減衰ならびに発熱を軽減することができる。
【００３８】
即ち、本発明のうち請求項１に記載の発明は、圧電セラミックスを用いた振動子において、所望の厚さを有する圧電セラミックスと、上記圧電セラミックスを第１の方向に延長して貫通する第１の孔と、上記圧電セラミックスを上記第１の方向と直交する第２の方向に延長して貫通する第２の孔と、上記圧電セラミックスの第１の面に配設された第１の電極と、上記第１の面とは異なる第２の面に配設された第２の電極とを有するようにしたものである。
【００３９】
また、本発明のうち請求項２に記載の発明は、本発明のうち請求項１に記載にの発明において、上記第２の電極は、上記第１の電極と所定の間隔を開けて上記圧電セラミックスの上記第１の面の一部から上記第１の面と隣り合う第３の面を経て上記第１の面と対向する上記第２の面まで配設されるようにしたものである。
【００４０】
また、本発明のうち請求項３に記載の発明は、本発明のうち請求項１または２のいずれか１項に記載の発明において、上記第１の孔は複数形成され、互いに厚み振動の１／４波長以下の間隔を開けて配置されるようにしたものである。
【００４１】
また、本発明のうち請求項４に記載の発明は、本発明のうち請求項１、２または３のいずれか１項に記載の発明において、上記第２の孔は複数形成され、互いに厚み振動の１／４波長以下の間隔を開けて配置されるようにしたものである。
【００４２】
また、本発明のうち請求項５に記載の発明は、本発明のうち請求項１、２、３または４のいずれか１項に記載の発明において、上記第１の孔は、上記圧電セラミックスの厚さ方向における全長が厚み振動の１／４波長以上であるようにしたものである。
【００４３】
また、本発明のうち請求項６に記載の発明は、本発明のうち請求項１、２、３、４または５のいずれか１項に記載の発明において、上記第２の孔は、上記圧電セラミックスの厚さ方向における全長が厚み振動の１／４波長以上であるようにしたものである。
【００４４】
また、本発明のうち請求項７に記載の発明は、本発明のうち請求項１、２、３、４、５または６のいずれか１項に記載の発明において、上記第１の孔は、上記全長の中心位置が厚み振動の節となる位置と一致するようにしたものである。
【００４５】
また、本発明のうち請求項８に記載の発明は、本発明のうち請求項１、２、３、４、５、６または７のいずれか１項に記載の発明において、上記第２の孔は、上記全長の中心位置が厚み振動の節となる位置と一致するようにしたものである。
【００４６】
また、本発明のうち請求項９に記載の発明は、本発明のうち請求項１、２、３、４、５、６、７または８のいずれか１項に記載の発明において、上記圧電セラミックスはべべリング加工されているようにしたものである。
【００４７】
また、本発明のうち請求項１０に記載の発明は、圧電セラミックスを用いた振動子において、所定の厚さを有しかつ対向する第１の面と第２の面とを有する圧電セラミックスと、上記圧電セラミックスの第１の面に第１の方向で配設された第１の溝と、上記圧電セラミックスの上記第２の面に上記第１の方向と直交する第２の方向で配設された第２の溝と、上記圧電セラミックスの上記第１の面側に形成された第１の電極と、上記圧電セラミックスの上記第２の面側に形成された第２の電極とを有するようにしたものである。
【００４８】
また、本発明のうち請求項１１に記載の発明は、本発明のうち請求項１０に記載の発明において、上記第１の電極は、上記第１の面から上記第１の溝の終端があり上記第１の面と隣り合う第３の面まで配設されるようにしたものである。
【００４９】
また、本発明のうち請求項１２に記載の発明は、本発明のうち請求項１１に記載の発明において、上記第１の電極は、上記第１の溝の終端のある上記第３の面で上記第１の溝の切込み位置よりも深い位置まで延設されるようにしたものである。
【００５０】
また、本発明のうち請求項１３に記載の発明は、本発明のうち請求項１０、１１または１２のいずれか１項に記載の発明において、上記第２の電極は、上記第２の面から上記第２の溝の終端があり上記第２の面と隣り合う第４の面まで配設されるようにしたものである。
【００５１】
また、本発明のうち請求項１４に記載の発明は、本発明のうち請求項１３に記載の発明において、上記第２の電極は、上記第２の溝の終端のある上記第４の面で上記第２の溝の切込み位置よりも深い位置まで延設されるようにしたものである。
【００５２】
また、本発明のうち請求項１５に記載の発明は、本発明のうち請求項１０、１１、１２、１３または１４のいずれか１項に記載の発明において、上記第１の溝は複数形成され、互いに厚み振動の１／４波長以下の間隔を開けて配置されるようにしたものである。
【００５３】
また、本発明のうち請求項１６に記載の発明は、本発明のうち請求項１０、１１、１２、１３、１４または１５のいずれか１項に記載の発明において、上記第２の溝は複数形成され、互いに厚み振動の１／４波長以下の間隔を開けて配置されるようにしたものである。
【００５４】
また、本発明のうち請求項１７に記載の発明は、本発明のうち請求項１０、１１、１２、１３、１４、１５または１６のいずれか１項に記載の発明において、上記第１の溝の深さは、上記圧電セラミックスの厚さ方向における全長が厚み振動の１／４波長以上であるようにしたものである。
【００５５】
また、本発明のうち請求項１８に記載の発明は、本発明のうち請求項１０、１１、１２、１３、１４、１５、１６または１７のいずれか１項に記載の発明において、上記第２の溝の深さは、上記圧電セラミックスの厚さ方向における全長が厚み振動の１／４波長以上であるようにしたものである。
【００５６】
また、本発明のうち請求項１９に記載の発明は、本発明のうち請求項１０、１１、１２、１３、１４、１５、１６、１７または１８のいずれか１項に記載の発明において、上記第１の溝の深さは、厚み振動の節の位置を超えた深さであるようにしたものである。
【００５７】
また、本発明のうち請求項２０に記載の発明は、本発明のうち請求項１０、１１、１２、１３、１４、１５、１６、１７、１８または１９のいずれか１項に記載の発明において、上記第２の溝の深さは、厚み振動の節の位置を超えた深さであるようにしたものである。
【００５８】
また、本発明のうち請求項２１に記載の発明は、本発明のうち請求項１０、１１、１２、１３、１４、１５、１６、１７、１８、１９または２０のいずれか１項に記載の発明において、上記第１の溝と上記第２の溝とは、厚み振動の節となる位置を中心に対称な形状であるようにしたものである。
【発明の効果】
【００５９】
本発明は、以上説明したように構成されているので、厚み方向における振動変位分布の不均一さを緩和することができるという優れた効果を奏する。
【００６０】
また、本発明は、以上説明したように構成されているので、電気的接続の際における半田の使用料が低減され、半田の質量増加に伴う共振周波数の変化や厚み振動の減衰を軽減することができるという優れた効果を奏する。
【００６１】
さらに、本発明は、以上説明したように構成されているので、電気的接続の際に半田付けする箇所が低減され、半田付け作業が簡易化されるとともに、半田不良になる割合が低減されるという優れた効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００６２】
以下、添付の図面を参照しながら、本発明による振動子の実施の形態の一例について詳細に説明するものとする。
【００６３】
なお、以下の実施の形態の説明において、図１（ａ）（ｂ）ならびに図２（ａ）（ｂ）（ｃ）に示す振動子と同一または相当する構成や方向を示すにあたっては、図１（ａ）（ｂ）ならびに図２（ａ）（ｂ）（ｃ）に関して用いた符号と同一のものを用いることにより、それらの詳細な説明は適宜に省略するものとする。
【００６４】
まず、図３（ａ）（ｂ）（ｃ）を参照しながら、本発明による振動子の第１の実施の形態について説明する。
【００６５】
なお、図３（ａ）には本発明の第１の実施の形態による振動子の斜視構成説明図が示されており、図３（ｂ）には図３（ａ）に示す振動子のＤ−Ｄ線による断面構成説明図が示されており、図３（ｃ）には図３（ａ）に示す振動子のＥ−Ｅ線による断面構成説明図が示されている。
【００６６】
この図３（ａ）（ｂ）（ｃ）に示す振動子３０は、圧電効果により電気的エネルギーを機械的エネルギーに変換する略直方体状の圧電セラミックス１２と、圧電セラミックス１２の内部に矢印Ｘ方向（長手方向）に沿って延長されるとともに矢印Ｙ方向（幅方向）に沿って後述する所定の間隔Ｌ２を開けて平行に穿設された貫通孔３２ａ、貫通孔３２ｂ、貫通孔３２ｃと、圧電セラミックス１２の内部に矢印Ｙ方向（幅方向）に沿って延長されるとともに矢印Ｘ方向（長手方向）に沿って後述する所定の間隔Ｌ２を開けて平行に穿設された貫通孔３４ａ、貫通孔３４ｂ、貫通孔３４ｃ、貫通孔３４ｄと、圧電セラミックス１２に電圧を印加するために圧電セラミックス１２の上面１２ａの一部に配設された一方の電極１４と、圧電セラミックス１２に電圧を印加するために電極１４と所定の間隔Ｇを開けて圧電セラミックス１２の上面１２ａの一部から一方の側面１２ｃを経て下面１２ｂに至るように配設された電極１６とを有している。
【００６７】
より詳細には、圧電セラミックス１２は、その全周の縁部が面取りされてべべリング加工を施されている。また、圧電セラミックス１２の上面１２ａ、側面１２ｃならびに底面１２ｂに形成された電極１４、電極１６の全周の縁部も、圧電セラミックス１２のべべリング加工に沿って面取りされてべべリング加工を施されている。
【００６８】
なお、圧電セラミックス１２の厚さｔは、圧電セラミックス１２の音速と交流電圧を印加するために使用される交流電流の周波数との除算で表される波長の１／２、即ち、１／２波長に設定されている。
【００６９】
次に、貫通孔３２ａ、貫通孔３２ｂ、貫通孔３２ｃおよび貫通孔３４ａ、貫通孔３４ｂ、貫通孔３４ｃ、貫通孔３４ｄの詳細について説明すると、これらの貫通孔３２ａ、貫通孔３２ｂ、貫通孔３２ｃと貫通孔３４ａ、貫通孔３４ｂ、貫通孔３４ｃ、貫通孔３４ｄとは、互いに直交する方向に延長して配置されている。
【００７０】
そして、貫通孔３２ａ、貫通孔３２ｂ、貫通孔３２ｃならびに貫通孔３４ａ、貫通孔３４ｂ、貫通孔３４ｃ、貫通孔３４ｄは、圧電セラミックス１２の上面１２ａと下面１２ｂとの間に厚さｔ方向に沿って長さＬ１で切り欠かれている。
【００７１】
この長さＬ１は、圧電セラミックス１２の音速と交流電圧を印加するために使用される交流電流の周波数との除算で表される圧電セラミックス１２の厚み振動の波長の１／４、即ち、１／４波長以上に設定されている。
【００７２】
また、貫通孔３２ａ、貫通孔３２ｂ、貫通孔３２ｃならびに貫通孔３４ａ、貫通孔３４ｂ、貫通孔３４ｃ、貫通孔３４ｄは、圧電セラミックス１２の厚さｔ方向における中心と長さＬ１の厚さｔ方向における中心とが一致するようにして形成されている。
【００７３】
従って、貫通孔３２ａ、貫通孔３２ｂ、貫通孔３２ｃならびに貫通孔３４ａ、貫通孔３４ｂ、貫通孔３４ｃ、貫通孔３４ｄは、振動子３０の厚み振動の節となる位置を中心に対象な形状であり、かつ、１／４波長以上の長さで形成されることになる。
【００７４】
一方、貫通孔３２ａ、貫通孔３２ｂ、貫通孔３２ｃならびに貫通孔３４ａ、貫通孔３４ｂ、貫通孔３４ｃ、貫通孔３４ｄをそれぞれ平行に配置する間隔Ｌ２は、圧電セラミックス１２の音速と交流電圧を印加するために使用される交流電流の周波数との除算で表される波長の１／４、即ち、１／４波長以下に設定されている。
【００７５】
また、電極１４ならびに電極１６は、蒸着法により導電性の材質を圧電セラミックス１２の表面に蒸着させることにより形成されている。
【００７６】
ここで、電極１６は、圧電セラミックス１２の下面１２ｂから一方の側面１２ｃを経て上面１２ａの一部まで配設されており、上面１２ａにおいては、所定の間隔Ｇにより電極１４と電気的に分断されている。
【００７７】
以上の構成において、振動子３０の電極１４と電極１６とに交流電流を印加すると、印加された交流電流の交流電圧による圧電セラミックス１２の圧電効果により、振動子３０には当該交流電圧に応じた厚さｔ方向の振動たる厚み振動が発生する。
【００７８】
この際に、圧電セラミックス１２には貫通孔３２ａ、貫通孔３２ｂおよび貫通孔３２ｃが形成されているため、貫通孔３２ａ、貫通孔３２ｂおよび貫通孔３２ｃが延長する方向（矢印Ｘ方向（長手方向））と直交する方向（矢印Ｙ方向（幅方向））における不均一な振動を抑制することができる。
【００７９】
また、圧電セラミックス１２には貫通孔３４ａ、貫通孔３４ｂ、貫通孔３４ｃおよび貫通孔３４ｄが形成されているため、貫通孔３４ａ、貫通孔３４ｂ、貫通孔３４ｃおよび貫通孔３４ｄが延長する方向（矢印Ｙ方向（幅方向））と直交する方向（矢印Ｘ方向（長手方向））、即ち、貫通孔３２ａ、貫通孔３２ｂおよび貫通孔３２ｃが延長する方向（矢印Ｘ方向（長手方向））と平行な方向における不均一な振動も抑制することができる。
【００８０】
即ち、貫通孔３２ａ、貫通孔３２ｂおよび貫通孔３２ｃは、圧電セラミックス１２内に矢印Ｘ方向（長手方向）に沿って延長されるとともに矢印Ｙ方向（幅方向）に沿って１／４波長以下の間隔で平行に配置されているため、厚み方向における振動変位分布の不均一さは、貫通孔３２ａ、貫通孔３２ｂおよび貫通孔３２ｃが延長する方向（矢印Ｘ方向（長手方向））と直交する方向（矢印Ｙ方向（幅方向））では、貫通孔３２ａ、貫通孔３２ｂおよび貫通孔３２ｃにより遮断されて緩和される。
【００８１】
同様に、貫通孔３４ａ、貫通孔３４ｂ、貫通孔３４ｃおよび貫通孔３４ｄは、圧電セラミックス１２内に矢印Ｙ方向（幅方向）に沿って延長されるとともに矢印Ｘ方向（長手方向）に沿って１／４波長以下の間隔で平行に配置されているため、厚み方向における振動変位分布の不均一さは、貫通孔３４ａ、貫通孔３４ｂ、貫通孔３４ｃおよび貫通孔３４ｄが延長する方向（矢印Ｙ方向（幅方向））と直交する方向（矢印Ｘ方向（長手方向））、即ち、貫通孔３２ａ、貫通孔３２ｂおよび貫通孔３２ｃが延長する方向（矢印Ｘ方向（長手方向））と平行な方向では、貫通孔３４ａ、貫通孔３４ｂ、貫通孔３４ｃおよび貫通孔３４ｄにより遮断されて緩和される。
【００８２】
つまり、圧電セラミックス１２には貫通孔３２ａ、貫通孔３２ｂ、貫通孔３２ｃおよび貫通孔３４ａ、貫通孔３４ｂ、貫通孔３４ｃ、貫通孔３４ｄが矢印Ｘ方向（長手方向）と矢印Ｙ方向（幅方向）とに直交するように配設されているので、矢印Ｘ方向（長手方向）と直交する矢印Ｙ方向（幅方向）における不均一な振動は貫通孔３２ａ、貫通孔３２ｂ、貫通孔３２ｃにより遮断されて抑制され、一方、矢印Ｙ方向（幅方向）と直交する矢印Ｘ方向（長手方向）における不均一な振動は貫通孔３４ａ、貫通孔３４ｂ、貫通孔３４ｃ、貫通孔３４ｄにより遮断されて抑制されて、振動子３０の厚み振動の均一性が増すことになる。
【００８３】
また、振動子３０においては、貫通孔３２ａ、貫通孔３２ｂ、貫通孔３２ｃならびに貫通孔３４ａ、貫通孔３４ｂ、貫通孔３４ｃ、貫通孔３４ｄを、振動子３０の厚み振動の節となる位置を中心に対象な形状かつ１／４波長以上の長さで形成したので、効率よく厚み振動を発生することができるようになる。
【００８４】
さらに、振動子３０には、上記したようにベベリング加工が施されているため、径方向の振動、所謂、輪郭振動が軽減されるため、一層効率よく厚み振動を発生することができるようになる（参考文献：日本音響学会誌３８巻８号（１９８２年度）高周波強力音波発生用圧電セラミックス振動子のベベル加工による振動特性改善）。
【００８５】
また、振動子３０においては、電極１４ならびに電極１６が設けられた圧電セラミックス１２の上面１２ａならびに下面１２ｂには、電極１４あるいは電極１６を細かく分断する溝が形成されていないので、上面１２ａならびに下面１２ｂを電極面として有効に利用することができ、厚み振動をムラ無く発生することが可能になり、かつ、全面での振動が可能となる。
【００８６】
さらに、電極１６は、圧電セラミックス１２の下面１２ａから長手方向の一方の側面１２ｃを経て上面１２ａにまで延設されているため、上面１２ａ側で電極１６に対する半田付けの作業性が可能となるなるので、半田付け作業の作業性を大幅に改善することができる。
【００８７】
さらにまた、振動子３０によれば、電気的接続の際に半田付けする箇所を電極１４および電極１６の２箇所に低減することができ、これにより電気的接続の際に使用する半田の質量が低減されて、共振周波数の変化や厚み振動の減衰を軽減することができる。
【００８８】
また、振動子３０によれば、電気的接続の際に半田付けする箇所が電極１４および電極１６の２箇所に低減されるので、半田付け作業が簡易化されるとともに、半田不良になる割合も低減することができる。
【００８９】
さらに、振動子３０によれば、厚み振動の減衰が抑制されることにより、厚み振動が減衰する際に発する熱を低減することができる。
【００９０】
次に、図４（ａ）（ｂ）（ｃ）を参照しながら、本発明による振動子の第２の実施の形態について説明する。
【００９１】
なお、図４（ａ）には本発明の第２の実施の形態による振動子の斜視構成説明図が示されており、図４（ｂ）には図４（ａ）に示す振動子のＦ−Ｆ線による断面構成説明図が示されており、図４（ｃ）には図４（ａ）に示す振動子のＧ−Ｇ線による断面構成説明図が示されている。
【００９２】
図４（ａ）（ｂ）（ｃ）に示す振動子４０は、圧電効果により電気的エネルギーを機械的エネルギーに変換する略直方体状の圧電セラミックス１２と、圧電セラミックス１２の上面１２ａ側から下面１２ｂ側に向けて厚さｔ方向に切り欠かれかつ矢印Ｘ方向（長手方向）に沿って延設されるとともに矢印Ｙ方向（幅方向）に沿って後述する所定の間隔Ｌ２を開けて平行に形成された溝４２ａ、溝４２ｂ、溝４２ｃと、圧電セラミックス１２の下面１２ｂ側から上面１２ａ側に向けて厚さｔ方向に切り欠かれかつ矢印Ｙ方向（幅方向）に沿って延設されるとともに矢印Ｘ方向（長手方向）に沿って後述する所定の間隔Ｌ２を開けて平行に形成された溝４４ａ、溝４４ｂ、溝４４ｃ、溝４４ｄと、圧電セラミックス１２に電圧を印加するために圧電セラミックス１２の上面１２ａおよび上面１２ａと隣り合う一方の側面１２ｃにかけて溝４２ａ、溝４２ｂ、溝４２ｃを覆うことなく配設された一方の電極１４と、圧電セラミックス１２に電圧を印加するために圧電セラミックス１２の下面１２ｂおよび下面１２ｂと隣り合う一方の側面１２ｄにかけて溝４４ａ、溝４４ｂ、溝４４ｃ、溝４４ｄを覆うことなく配設された他方の電極１６とを有している。
【００９３】
なお、圧電セラミックス１２の厚さｔは、圧電セラミックス１２の音速と交流電圧を印加するために使用される交流電流の周波数との除算で表される波長の１／２、即ち、１／２波長に設定されている。
【００９４】
ここで、電極１４および電極１６は、蒸着法により導電性の材質を圧電セラミックス１２の表面に蒸着させることにより形成されている。
【００９５】
そして、電極１４は、溝４２ａ、溝４２ｂ、溝４２ｃの一方の端部が位置する圧電セラミックス１２の側面１２ｃにおいて、溝４２ａ、溝４２ｂ、溝４２ｃの深さ（後述する長さＬ１である。）より深い位置まで延設されており、上面１２ａにおいて溝４２ａ、溝４２ｂ、溝４２ｃにより分断された領域が電気的に接続されて同電位にされている。
【００９６】
同様に、電極１６は、溝４４ａ、溝４４ｂ、溝４４ｃ、溝４４ｄの一方の端部が位置する圧電セラミックス１２の側面１２ｄにおいて、溝４４ａ、溝４４ｂ、溝４４ｃ、溝４４ｄの深さ（後述する長さＬ１である。）より深い位置まで延設されており、下面１２ｂにおいて溝４４ａ、溝４４ｂ、溝４４ｃ、溝４４ｄにより分断された領域が電気的に接続されて同電位にされている。
【００９７】
なお、電極１４と電極１６とは、縁面放電しないように所定の間隔を設けて配設されている。
【００９８】
次に、溝４２ａ、溝４２ｂ、溝４２ｃならびに溝４４ａ、溝４４ｂ、溝４４ｃ、溝４４ｄの詳細について説明すると、溝４２ａ、溝４２ｂ、溝４２ｃと溝４４ａ、溝４４ｂ、溝４４ｃ、溝４４ｄとは、互いに直交する方向に延長して配置されている。
【００９９】
そして、溝４２ａ、溝４２ｂ、溝４２ｃならびに溝４４ａ、溝４４ｂ、溝４４ｃ、溝４４ｄは、圧電セラミックス１２の上面１２ａと下面１２ｂとの間の厚さｔ方向に沿って長さＬ１の深さで切り欠かれている。
【０１００】
この長さＬ１は、圧電セラミックス１２の音速と交流電圧を印加するために使用される交流電流の周波数との除算で表される波長の１／４、即ち、１／４波長以上に設定されている。
【０１０１】
また、溝４２ａ、溝４２ｂ、溝４２ｃならびに溝４４ａ、溝４４ｂ、溝４４ｃ、溝４４ｄは、振動子４０の厚み振動の節となる位置、即ち、圧電セラミックス１２の厚さｔ方向における中心位置を超えた深さとなるように、長さＬ１を設定することが好ましい。
【０１０２】
このようにすることにより、溝４２ａ、溝４２ｂ、溝４２ｃおよび溝４４ａ、溝４４ｂ、溝４４ｃ、溝４４ｄは、厚み振動の節となる位置を中心に対称な形状となり、かつ、長さＬ１は１／４波長以上となる。
【０１０３】
一方、溝４２ａ、溝４２ｂ、溝４２ｃならびに溝４４ａ、溝４４ｂ、溝４４ｃ、溝４４ｄをそれぞれ平行に配置する間隔Ｌ２は、圧電セラミックス１２の音速と交流電圧を印加するために使用される交流電流の周波数との除算で表される圧電セラミックス１２の厚み振動の波長の１／４、即ち、１／４波長以下に設定されている。
【０１０４】
以上の構成において、振動子４０の電極１４と電極１６とに交流電流を印加すると、印加された交流電流の交流電圧による圧電セラミックス１２の圧電効果により、振動子４０には当該交流電圧に応じた厚さｔ方向の振動たる厚み振動が発生する。
【０１０５】
この際に、圧電セラミックス１２の上面１２ａには溝４２ａ、溝４２ｂおよび溝４２ｃが形成されているため、溝４２ａ、溝４２ｂおよび溝４２ｃが延設された方向（矢印Ｘ方向（長手方向））と直交する方向（矢印Ｙ方向（幅方向））における不均一な振動を抑制することができる。
【０１０６】
また、圧電セラミックス１２の下面１２ｂには溝４４ａ、溝４４ｂ、溝４４ｃおよび溝４４ｄが形成されているため、溝４４ａ、溝４４ｂ、溝４４ｃおよび溝４４ｄが延設された方向（矢印Ｙ方向（幅方向））と直交する方向（矢印Ｘ方向（長手方向））、即ち、溝４２ａ、溝４２ｂおよび溝４２ｃが延設された方向（矢印Ｘ方向（長手方向））と平行な方向における不均一な振動も抑制することができる。
【０１０７】
即ち、溝４２ａ、溝４２ｂおよび溝４２ｃは、圧電セラミックス１２の上面１２ａに矢印Ｘ方向（長手方向）に沿って延設されるとともに矢印Ｙ方向（幅方向）に沿って１／４波長以下の間隔で平行に配設されているため、厚み方向における振動変位分布の不均一さは、溝４２ａ、溝４２ｂおよび溝４２ｃが延長する方向（矢印Ｘ方向（長手方向））と直交する方向（矢印Ｙ方向（幅方向））では、溝４２ａ、溝４２ｂおよび溝４２ｃにより遮断されて緩和される。
【０１０８】
同様に、溝４４ａ、溝４４ｂ、溝４４ｃおよび溝４４ｄは、圧電セラミックス１２の下面１２ｂに矢印Ｙ方向（幅方向）に沿って延設されるとともに矢印Ｘ方向（長手方向）に沿って１／４波長以下の間隔で平行に配設されているため、厚み方向における振動変位分布の不均一さは、溝４４ａ、溝４４ｂ、溝４４ｃおよび溝４４ｄが延長する方向（矢印Ｙ方向（幅方向））と直交する方向（矢印Ｘ方向（長手方向））、即ち、溝４２ａ、溝４２ｂおよび溝４２ｃが延長する方向（矢印Ｘ方向（長手方向））と平行な方向では、溝４４ａ、溝４４ｂ、溝４４ｃおよび溝４４ｄにより遮断されて緩和される。
【０１０９】
つまり、圧電セラミックス１２には溝４２ａ、溝４２ｂ、溝４２ｃおよび溝４４ａ、溝４４ｂ、溝４４ｃ、溝４４ｄが矢印Ｘ方向（長手方向）と矢印Ｙ方向（幅方向）とに直交するように配設されているので、矢印Ｘ方向（長手方向）と直交する矢印Ｙ方向（幅方向）における不均一な振動は溝４２ａ、溝４２ｂ、溝４２ｃにより遮断されて抑制され、一方、矢印Ｙ方向（幅方向）と直交する矢印Ｘ方向（長手方向）における不均一な振動は溝４４ａ、溝４４ｂ、溝４４ｃ、溝４４ｄにより遮断されて抑制されて、振動子４０の厚み振動の均一性が増すことになる。
【０１１０】
また、振動子４０においては、溝４２ａ、溝４２ｂ、溝４２ｃならびに溝４４ａ、溝４４ｂ、溝４４ｃ、溝４４ｄを、振動子４０の厚み振動の節となる位置、即ち、圧電セラミックス１２の厚さｔ方向における中心位置を超えた深さとなるようにするとともに、長さＬ１を１／４波長以上の長さで形成したので、効率よく厚み振動を発生することができるようになる。
【０１１１】
また、振動子４０においては、電極１４が設けられた圧電セラミックス１２の上面１２ａと電極１６が設けられた圧電セラミックス１２の下面１２ｂとには、電極１４あるいは電極１６を細かく分断するような直交した溝が形成されていないので、上面１２ａならびに下面１２ｂを電極面として有効に利用することができ、厚み振動をムラ無く発生することが可能になり、かつ、全面での振動が可能となる。
【０１１２】
さらに、振動子４０によれば、電気的接続の際に半田付けする箇所を電極１４および電極１６の２箇所に低減することができ、これにより電気的接続の際に使用する半田の質量が低減されて、共振周波数の変化や厚み振動の減衰を軽減することができる。
【０１１３】
さらにまた、振動子４０によれば、電気的接続の際に半田付けする箇所が電極１４および電極１６の２箇所に低減されるので、半田付け作業が簡易化されるとともに、半田不良になる割合も低減することができる。
【０１１４】
また、振動子４０によれば、厚み振動の減衰が抑制されることにより、厚み振動が減衰する際に発する熱を低減することができる。
【０１１５】
なお、上記した実施の形態は、以下の（１）乃至（５）に示すように変形することができるものである。
【０１１６】
（１）上記した実施の形態においては、圧電セラミックス１２の矢印Ｘ方向（長手方向）において延長する貫通孔あるいは溝を３箇所形成し、圧電セラミックス１２の矢印Ｙ方向（幅方向）において延長する貫通孔あるいは溝を４箇所形成したが、これに限られるものでないことは勿論である。即ち、圧電セラミックスの大きさに応じて、互いに直交する貫通孔あるいは溝の個数は適宜に増減すればよい。例えば、圧電セラミックスに形成する貫通孔あるいは溝の個数は１個でもよいし、５個以上でもより。
【０１１７】
（２）上記した第１の実施の形態においては、電極１４が配設されている圧電セラミックス１２の上面１２ａの一部から隣り合う一方の側面１２ｃを経て下面１２ｂまで電極１６が配置されるようにしたが、これに限られるものではないことは勿論であり、単に、圧電セラミックス１２の上面１２ａには電極１４のみを形成し、圧電セラミックス１２の下面１２ｂには電極１６のみを形成するようにしてもよい。
【０１１８】
（３）上記した実施の形態においては、電極１４ならびに電極１６を蒸着法により圧電セラミックス１２に蒸着するようにしたが、これに限られるものではないことは勿論であり、スパッタ法、メッキ法、ペースト法などにより電極１４あるいは電極１６を形成するようにしてもよい。
【０１１９】
（４）上記した実施の形態においては、圧電セラミックス１２として略直方体状の形成を備えたものを用いたが、これに限られるものではないことは勿論であり、立方体状や円柱状など任意の形状のものを用いることができる。即ち、第１の実施の形態においては、圧電セラミックス１２は適宜な厚さを備えておればよく、また、第２の実施の形態においては、圧電セラミックス１２は適宜な所望の厚さを備えるとともに対向する２つの面を備えておればよい。要は、圧電セラミックス１２は、第１の実施の形態に示すように、適宜の形状の圧電セラミックスの内部に直交するように貫通孔を形成にしたり、第２の実施の形態に示すように、適宜の形状の圧電セラミックスの対向する２つの面の一方に平行に溝を形成するとともに他方の面に当該溝と直交する溝を形成したりすることができるものであればよい。
【０１２０】
（５）上記した実施の形態ならびに上記した（１）乃至（４）に示す変形例は、適宜に組み合わせるようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【０１２１】
本発明は、超音波洗浄装置や超音波計測装置などのような各種の超音波装置の振動子として利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１２２】
【図１】図１（ａ）は従来の技術による振動子の斜視構成説明図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ線による断面構成説明図である。
【図２】図２（ａ）は従来の技術による振動子の斜視構成説明図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）のＢ−Ｂ線による断面構成説明図であり、図２（ｃ）は図２（ａ）のＣ−Ｃ線による断面構成説明図である。
【図３】図３（ａ）は本発明の第１の実施の形態による斜視構成説明図であり、図３（ｂ）は図３（ａ）のＤ−Ｄ線による断面構成説明図であり、図３（ｃ）は図３（ａ）のＥ−Ｅ線による断面構成説明図である。
【図４】図４（ａ）は本発明の第２の実施の形態による斜視構成説明図であり、図４（ｂ）は図４（ａ）のＦ−Ｆ線による断面構成説明図であり、図４（ｃ）は図４（ａ）のＧ−Ｇ線による断面構成説明図である。
【符号の説明】
【０１２３】
１０、２０、３０  ４０    振動子
１２      圧電セラミックス
１４、１６      電極
２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、２４ｄ、４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４４ａ、４４ｂ、４４ｃ、４４ｄ      溝
３２ａ、３２ｂ、３２ｃ、３４ａ、３４ｂ、３４ｃ、３４ｄ      貫通孔
【図１】
2008264699.tif 000003
【図２】
2008264699.tif 000004
【図３】
2008264699.tif 000005
【図４】
2008264699.tif 000006