(57)【要約】【課題】配線・端子上の乾燥ムラを抑制することができる表示パネルの洗浄方法を提供すること。【解決手段】本発明にかかる表示パネルの洗浄方法は、第１基板２０と第２基板１０とがシール材３０を介在させて重ね合わせられ、第１基板２０が第２基板１０から突出した突出領域５１に端子群２７を有する液晶表示パネル１００の突出領域５１を洗浄する表示パネルの洗浄方法であって、端子群２７に対して、蒸気洗浄を行う工程と、端子群２７に対して液体を滴下し、蒸気洗浄によって端子群２７に付着した蒸気の液滴を含む液膜８０を形成する工程と、液膜８０に気体を噴きつけることにより、液膜８０が第１基板２０表面に接触した状態で、突出領域５１の端部に向けて移動させ、端部から液膜８０を排出する工程とを備えるものである。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１基板と、前記第１基板上の一辺側に形成された端子部と、前記端子部に形成された端子群と、前記端子部を露出させるように前記第１基板上にシール材を介して接着された第２基板とを有する表示パネルの洗浄方法であって、
前記端子群に対して、蒸気洗浄を行う工程と、
前記蒸気洗浄の直後に、前記端子群に対して液体を滴下し、この滴下した液体と前記蒸気洗浄によって前記端子群に付着した蒸気の液滴とを含む液膜を形成する工程と、
前記液膜に気体を噴きつけることにより、前記液膜を前記第１基板表面に接触した状態で、前記端子部の端部に向けて移動させ、当該端部から前記液膜を排出する工程とを備える表示パネルの洗浄方法。
【請求項２】
前記液膜を排出する工程では、噴きつける気体の噴射圧力が０．０５ｋＰａ〜０．８ｋＰａである請求項１に記載の表示パネルの洗浄方法。
【請求項３】
前記液膜を形成する工程では、滴下する液体が水である請求項１又は２に記載の表示パネルの洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示パネルの洗浄方法に関し、詳しくは、表示パネルの端子群を洗浄・乾燥させる表示パネルの洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルは、ガラスなどからなる一対の基板と、両基板間に挟持された液晶とを備える。ここで、各基板の互いに対向する面には、液晶を駆動するための電極パターンがそれぞれ形成されている。また、一対の基板のうち、一方の基板は、他方の基板よりも平面寸法が大きく形成されおり、突出するように配置される。この突出した突出領域には、両基板上に形成された電極に電気的に接続される複数の端子が形成されている。これらの端子には、ＦＰＣあるいはドライバＩＣなどの電子部品が実装される。このドライバＩＣは、外部から入力される表示信号等に基づいて、画像の表示に必要な各種の制御信号、走査電圧及び表示電圧等を出力し、液晶表示パネルを駆動させる。
【０００３】
液晶表示パネルの端子に電子部品を実装する際に、液晶表示パネルの端子上に、液晶表示パネルに不要な液晶材料や異物が残っていると、半導体素子等の接続不良や、配線間ショート等を生じて、誤作動を起こす場合がある。このため、液晶表示パネルの端子に電子部品を実装する前に、液晶表示パネルに付着した液晶材料や塵埃等を除去するための洗浄を行う。このような洗浄方法としては、例えば蒸気洗浄を用いることができる。蒸気洗浄では、ノズルから端子に向けて高温の蒸気を吹き付けて、端子に付着した人体分泌物などの異物等を除去する（特許文献１参照）。
【０００４】
このように、端子を蒸気洗浄した後、端子を自然乾燥させる。蒸気洗浄は、高温の蒸気を吹き付けるため、突出領域が熱くなっている。このため、突出領域の熱によって、蒸気洗浄の際に付着した水滴は、速やかに蒸発し、自然乾燥される。しかし、速やかに乾燥させると、端子上に乾燥ムラが多数発生してしまう。これは、水滴が蒸発する際に、水滴中の塵埃等の異物が端子領域に再付着し、水滴の跡が残ってしまうためである。このような乾燥ムラがＩＴＯ等によって形成される配線・端子上に存在すると、接続不良が起こったり、ＩＴＯが腐食（電蝕）したりしてしまい、表示特性が劣化する。
【特許文献１】特開２００６−１２８４４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記の問題を鑑みるためになされたものであり、配線・端子上の乾燥ムラを抑制することができる表示パネルの洗浄方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明にかかる表示パネルの洗浄方法は、第１基板と、前記第１基板上の一辺側に形成された端子部と、前記端子部に形成された端子群と、前記端子部を露出させるように前記第１基板上にシール材を介して接着された第２基板とを有する表示パネルの洗浄方法であって、前記端子群に対して、蒸気洗浄を行う工程と、前記蒸気洗浄の直後に前記端子群に対して液体を滴下し、この滴下した液体と、前記蒸気洗浄によって前記端子群に付着した蒸気の液滴とを含む液膜を形成する工程と、前記液膜に気体を噴きつけることにより、前記液膜を前記第１基板表面に接触した状態で、前記端子部の端部に向けて移動させ、当該端部から前記液膜を排出する工程とを備えるものである。これにより、配線・端子上の乾燥ムラを抑制することができる。
【０００７】
また、上記の表示パネルの洗浄方法であって、前記液膜を排出する工程では、噴きつける気体の噴射圧力が０．０５ｋＰａ〜０．８ｋＰａであることが好ましい。これにより、液膜が分裂することなく、液膜を移動させることができる。
【０００８】
そして、上記の表示パネルの洗浄方法であって、前記液膜を形成する工程では、滴下する液体が水であることが好ましい。これにより、液膜を除去する前に、液膜が蒸発することを抑制することができる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、配線・端子上の乾燥ムラを抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
実施の形態．
まず、表示装置について説明する。ここでは、一例として液晶表示装置について図１を用いて説明する。図１は、液晶表示装置３００の構成を示す断面模式図である。また、図２は、液晶表示装置３００に用いられる液晶表示パネル１００の構成を示す平面模式図である。本実施の形態においては、液晶表示パネル１００の一例として、ＳＴＮ型のパッシブマトリクス方式の液晶表示パネルについて説明する。
【００１１】
図１に示すように、液晶表示装置３００は、表示パネルとしての液晶表示パネル１００、バックライトユニット２００を備えている。液晶表示パネル１００は、入力される表示信号に基づいて画像表示を行う。バックライトユニット２００は、液晶表示パネル１００の反視認側に配置されており、液晶表示パネル１００の背面側から光を照射する。
【００１２】
図１及び図２に示すように、液晶表示パネル１００は、第１基板２０、第２基板１０、シール材３０、液晶３１、スペーサ３２、第１電極２１、配向膜３３、第２電極１１、偏光板３４を備えている。図１に示すように、液晶表示パネル１００は、第１基板２０と、第１基板２０に対向配置される第２基板１０と、両基板を接着するシール材３０との間の空間に液晶３１を封入した構成を有している。両基板の間は、スペーサ３２によって、所定の間隔となるように維持されている。第１基板２０及び第２基板１０としては、例えば、光透過性のあるガラス、ポリカーボネート、アクリル樹脂などの絶縁性基板が用いられる。
【００１３】
また、液晶表示パネル１００を構成する第１基板２０、第２基板１０のうち、第１基板２０は、第２基板１０よりも平面寸法が大きく形成されている。従って、第１基板２０は、第２基板１０から突出するように配置される。液晶表示パネル１００の第１基板２０が第２基板１０から突出して露出した端子部（以下、突出領域５１と称する）には、第１基板２０及び第２基板１０上に形成された電極へ表示信号などを伝送する配線やドライバＩＣ４０と接続されるＩＣ接続端子（不図示）、ＦＰＣ２６と接続される外部接続端子２８等の端子群２７が形成されている。
【００１４】
図２に示すように、第２基板１０には、垂直方向に形成された複数の第２電極１１と、それぞれの第２電極１１に接続された第２引回し配線１２が形成されている。第２電極１１及び第２引回し配線１２としては、例えば、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの透明導電性薄膜から形成される。第２引回し配線１２は表示領域５０の下端から延設され、端部には第２トランスファーパッド１３が形成されている。第２トランスファーパッド１３は、後述する第１基板２０に形成される第１トランスファーパッド２３と接続される。
【００１５】
一方、第１基板２０には、水平方向に形成された複数の第１電極２１と、それぞれの第１電極２１と接続された第１引回し配線２２が形成されている。第１引回し配線２２は表示領域５０の右端又は左端から第１基板２０の下側まで延設されている。なお、突出領域５１における第１引回し配線２２を外部接続配線２５とする。外部接続配線２５の端部には、ドライバＩＣ４０と接続するためのＩＣ接続端子（不図示）が形成されている。第１電極２１としては、例えば、ＩＴＯなどの透明導電性薄膜から形成される。また、第１引回し配線２２は、配線抵抗を極力小さくするために、ＩＴＯなどの透明導電膜とＡｌからなる低抵抗金属膜の積層構造としている。垂直方向に形成される第２電極１１と、水平方向に形成される第１電極２１の交差する箇所が、画素３５となる。表示領域５０は、マトリクス状に配置された複数の画素３５から構成される。
【００１６】
また、第１基板２０には、第２基板１０の第２トランスファーパッド１３に接続するための第１トランスファーパッド２３が形成されている。第１トランスファーパッド２３は、第２基板１０と第１基板２０とを対向配置したときに、第２トランスファーパッド１３に対向するように形成されている。また、第１トランスファーパッド２３から第１基板２０の下側に延在するように、補助配線２４が形成されている。補助配線２４としては、第２引回し配線１２と同一のＩＴＯなどの透明導電膜を用いることができる。
【００１７】
補助配線２４の端部には、ドライバＩＣ４０と接続するためのＩＣ接続端子（不図示）が形成されている。また、補助配線２４の端部に形成されたＩＣ接続端子には、紫外線硬化型や熱硬化型の異方性導電接着材（不図示）を介してドライバＩＣ４０が接続される。ドライバＩＣ４０は、ＣＯＧ（Chip On Glass）方式によって第１基板２０上に直接に設けられている。
【００１８】
液晶表示パネル１００は、外部から入力される表示信号等に基づいて、画像の表示に必要な各種の制御信号、走査電圧及び表示電圧等を出力するドライバＩＣ４０によって駆動される。なお、ドライバＩＣ４０を実装したフレキシブル基板（FPC; Flexible Printed Circuit）を液晶表示パネル１００に接続する場合もある。
【００１９】
また、突出領域５１には、複数の外部接続配線２５が形成されている。外部接続配線２５の一端には、ＩＣ接続端子（不図示）が形成されている。このＩＣ接続端子には、上述した異方性導電接着材を介してドライバＩＣ４０が接続される。また、突出領域５１には、外部接続端子２８が形成されている。外部接続端子２８は、ＩＴＯなどの透明導電膜で形成されている。図２に示すように、外部接続端子２８には、ドライバＩＣ４０及びＦＰＣ２６が異方性導電接着材（不図示）を介して接続される。すなわち、ＦＰＣ２６は、第１基板２０のドライバＩＣ４０が設けられた一辺側に接着される。このように、突出領域５１には、外部接続配線２５、ＩＣ接続端子、外部接続端子２８等の種々の端子又は配線が形成されている。以下、突出領域５１に形成されたこれらの配線又は端子を端子群２７とする。
【００２０】
なお、ＦＰＣ２６には、図示しない制御回路等が実装されている。制御回路には、ドライバＩＣ４０に表示信号、各種の制御信号などを供給するコントローラや、電源電圧、基準電圧などを供給する電源回路などが設けられる。従って、制御回路などが、ＦＰＣ２６を介して第１基板２０接続される。制御回路等から出力される表示信号や各種の制御信号は、外部接続端子２８、ＩＣ接続端子を介してドライバＩＣ４０に入力される。ドライバＩＣ４０は、入力される表示信号や制御信号に基づいて、表示領域の各電極に所定のタイミングで電圧を供給する。
【００２１】
図１に示すように、第２基板１０において、上述した各電極及び配線等の上には配向膜３３が形成されている。一方、第１基板２０の第２基板１０に対向する面には、カラーフィルタ（不図示）、第１電極２１、配向膜３３が順次積層形成されている。また、第２基板１０及び第１基板２０の外側の面にはそれぞれ、偏光板３４が貼着されている。
【００２２】
液晶表示パネル１００の背面には、バックライトユニット２００が備えられている。液晶表示パネル１００の反視認側から当該液晶表示パネル１００に対して光を照射する。バックライトユニット２００としては、例えば、光源、導光板、反射シート、拡散シート、プリズムシート、反射偏光シートなどを備えた一般的な構成のものを用いることができる。
【００２３】
ここで、上述の液晶表示装置３００の動作について説明する。各第２電極１１には、ドライバＩＣ４０から表示電圧が供給される。一方、各第１電極２１には、ドライバＩＣ４０から走査電圧が供給される。第２電極１１と第１電極２１の電位差に応じて、各画素を構成する第２電極１１と第１電極２１との間の液晶の配列が変化する。これにより、バックライトユニット２００からの光の透過率が変化して、表示を行うことができる。
【００２４】
次に、本発明の洗浄方法を実施するための一つの例の洗浄処理装置について図３を用いて説明する。図３は、洗浄処理装置の構成を示す概略図である。本実施の形態にかかる洗浄処理装置は、上記の液晶表示パネル１００の端子群２７を洗浄・乾燥させることができる。
【００２５】
洗浄処理装置は、洗浄槽７０、蒸気洗浄ノズル７４、滴下ノズル７５、及び気体噴射ノズル７６を備える。洗浄槽７０は、搬入口７１及び搬出口７２を有し、被洗浄物である液晶表示パネル１００をコロ等のパネル保持装置７８により、図３の矢印方向に搬入・搬出することができる。さらに、洗浄槽７０は、排気口７３を有し、余分な洗浄液等を排出することができる。蒸気洗浄ノズル７４は、端子群２７に高温の蒸気（例えば水蒸気）を噴き付け、塵埃、不要な液晶、人体分泌物などの異物を除去する。すなわち、蒸気洗浄ノズル７４によって蒸気洗浄を行うことができる。滴下ノズル７５は、蒸気洗浄によって液晶表示パネル１００に付着した蒸気の液滴が蒸発する前に、当該液滴に対して液体を滴下する。これにより、蒸気洗浄によって端子群２７に付着した液滴と滴下ノズル７５から滴下される液体が一体となり、液膜、液滴、又は液膜と液滴の混在膜（以下、これらを液膜と称する）を形成する。また、滴下ノズル７５から滴下する液量は、ある程度の大きさを有する液膜が形成でき、突出領域５１から液体がこぼれない程度とする。
【００２６】
気体噴射ノズル７６は、微風の気体を噴射する。すなわち、気体噴射ノズル７６は、気体の噴射圧力が低く設定されている。この気体噴射ノズル７６から乾燥した空気などの気体を噴射して、液膜を突出領域５１の端部に向けて移動させる。そして、突出領域５１の端部から液膜を排出する。これにより、蒸気洗浄によって端子群２７に付着した液滴も液膜と一体となった状態で排出され、突出領域５１を乾燥させることができる。それぞれのノズルは、図示しない保持機構によって保持される。そして、それぞれのノズルは、例えば、所定の間隔を隔てて、液晶表示パネル１００に対する相対的なノズルの進行方向前方側から、蒸気洗浄ノズル７４、滴下ノズル７５、気体噴射ノズル７６の順で配置された状態で保持される。また、それぞれのノズルは、保持機構によって、所定のタイミング、速度で移動させる。全てのノズルの進行方向は略同じであり、各ノズルは、突出領域５１側の第２基板１０の端辺に沿って、突出領域５１の一端から他端に向けて移動させる。これにより、蒸気洗浄ノズル７４による洗浄、滴下ノズル７５による液膜形成、気体噴射ノズル７６による液膜排出を順次行うことができる。
【００２７】
また、滴下ノズル７５によって滴下される液体は、揮発性の低い液体であることが好ましい。これにより、滴下された液体が蒸発する前に、気体噴射ノズル７６によって液膜を移動させて他端から除去することができる。もちろん、上記のようにノズルを移動させてもよいし、液晶表示パネル１００を移動させてもよい。洗浄処理装置は、以上のように構成される。このような洗浄処理装置によって、洗浄・乾燥させることにより、液滴が端子群２７上に残ることを低減でき、乾燥ムラを抑制することができる。また、気体の噴射圧力を低圧にすることから、気体の使用量を低減させることができ、環境に優しい工程設計をすることができる。
【００２８】
次に、本実施の形態にかかる表示パネルの洗浄方法について図４を用いて説明する。ここでは、一例として、上記の液晶表示パネル１００への適用例について説明する。図４は、液晶表示パネル１００の洗浄方法の工程、及びその前後の工程を示すフローチャート図である。
【００２９】
まず、図２に示されるように、基板１０、２０上にＩＴＯ等の透明導電膜を成膜し、当該透明導電膜をパターニングする。これにより、第１基板２０に第１電極２１等、第２基板１０に第２電極１１等が形成される（ステップＳ１）。
【００３０】
そして、第１基板２０の電極形成面と第２基板１０の電極形成面とを対向配置させ、シール材３０により貼り合せる。ここでは、第１基板２０上の一辺側に形成された突出領域５１を露出させるように、シール材３０を介して、第１基板２０と第２基板１０とを接着させる。その後、各基板間に液晶３１を封入して、液晶セルを形成する。そして、液晶セルの外面に偏光板３４を貼り付けて液晶表示パネル１００を形成する（ステップＳ２）。
【００３１】
液晶表示パネル１００は、図２に示されるように、第１基板２０が第２基板１０から突出し、この突出領域５１に、種々の端子・配線（端子群２７）が形成されている。この端子群２７にドライバＩＣ４０、ＦＰＣ２６等の電子部品を実装する前に、端子群２７の洗浄を行う（ステップＳ３）。これは、液晶表示パネル１００に不要な液晶材料や異物が残っていると、半導体素子等の接続不良や、配線間ショート等を生じて、誤作動を起こす場合があるためである。ここで、ステップＳ３から後の工程であるステップＳ５までを図３に示される洗浄処理装置によって行う。ステップＳ３の洗浄方法としては、ウェット洗浄を用いることができる。本実施の形態では、蒸気洗浄によって端子群２７を洗浄する。
【００３２】
このような洗浄は、偏光板３４等が貼付された液晶表示パネル１００の端子群２７に対して行われる。偏光板３４は、高温・高湿下における耐久性が乏しい。このため、偏光板３４は、高温・高湿環境下では劣化し、偏光性能が急激に低下する。従って、上記のような洗浄方法を用いる場合、端子群２７以外の領域を遮蔽板によって遮蔽し、水分の浸入を防ぐ必要がある。そして、遮蔽板を配置した状態で、端子群２７に対して、蒸気洗浄ノズル７４から高温の蒸気（例えば水蒸気）を噴射する。これにより、液晶表示パネル１００の端子群２７に付着した液晶材料や塵埃及び人体分泌物等を除去する。
【００３３】
次に、蒸気洗浄を行った直後の端子群２７に、滴下ノズル７５から純水または超純水などの液体を滴下する（ステップＳ４）。このように、端子群２７に対して液体を滴下して、この滴下した液体と蒸気洗浄によって端子群２７に付着した蒸気の液滴等とを含む液膜を形成する。これにより、蒸気洗浄によって端子群２７に付着した蒸気の液滴が蒸発するのが抑制される。ここでの液膜は、ある程度の大きさ、例えば端子群２７中の少なくとも１つの端子を覆うような大きさを有し、図５に示されるように、突出領域５１からこぼれない程度にする。図５は、端子群２７に液膜８０が形成された状態を示す側面模式図である。この液膜８０は、表面張力によって形成される。表面張力は、液膜８０の拡張と反対方向に働く力（単位長さ当たり）であり、分子間力に起因する。表面張力は、滴下する液体の種類、温度によって異なり、それぞれの条件に応じて滴下する量、速度を設定する。また、第１基板２０や端子群２７の材料、滴下する液体によって接触角（濡れ性）が変わるので、これらを考慮して滴下するのが好ましい。
【００３４】
ここでは、揮発性が低い水（純水）を滴下する。例えば、アルコール等の揮発性が高い液体を滴下すると、すぐ揮発するため残渣ができてしまい、好ましくない。この工程は、蒸気洗浄を行うステップＳ３が全突出領域５１に対して完了した後に行ってもよいが、ステップＳ３における蒸気洗浄が行われた端子の箇所から順次液体を滴下することが好ましい。なお、滴下ノズル７５から滴下される液体は、蒸気洗浄ノズル７４から蒸気となって噴射される洗浄液との親和性がよい物質、例えば水を選択するのが好ましい。これにより、後の工程（ステップＳ５）で液膜を除去する際に、蒸気洗浄によって端子群２７に付着した蒸気の液滴も液膜８０と一体となった状態で除去することができる。
【００３５】
次に、端子群２７領域における液膜８０の排出を行う（ステップＳ５）。ここでは、気体噴射ノズル７６によって、液膜８０に対して微風の気体を噴射する。これにより、液膜８０を突出領域５１の一端から他端に向けて、第１基板２０表面に接触したまま液膜８０が一体となった状態で移動させる。そして、他端から蒸気洗浄によって端子群２７に付着した蒸気の液滴を含む液膜８０を排出する。ここでは、それぞれの相（固相、蒸気相、液相）の界面における界面張力（表面張力を含む）とのバランスを保つような噴射圧力で気体を噴射する。具体的には噴射圧力は、０．０５ｋＰａ〜０．８ｋＰａ程度が好ましい。噴射圧力が弱すぎると、端子群２７上の液膜８０を移動させることができない。反対に、噴射圧力が強すぎると、液膜８０が端子群２７上で液膜８０が分裂する。そして、端子群２７上に飛散して残り、残渣が発生してしまう。
【００３６】
本実施の形態では、図６に示されるように、突出領域５１の長辺方向の一端から他端に向けて、液膜８０を移動させる。図６は、端子群２７の乾燥方法を示す斜視模式図である。なお、ここでは端子群２７を簡略化して表している。このように、突出領域５１の一端から他端、すなわち図６の中抜き矢印方向に、気体噴射ノズル７６を移動させることにより、液膜８０も中抜き矢印方向に移動する。これにより、突出領域５１の一端から液膜８０が排出され、順次乾燥され、突出領域５１の略全面を乾燥させることができる。
【００３７】
ここで、気体噴射ノズル７６から噴射される気体としては、空気、乾燥空気、その他の気体等を用いることができ、浮遊異物の少ないクリーンな気体が好ましい。本実施の形態では、気体噴射ノズル７６から噴射される気体として、常温の乾燥空気を用いる。
【００３８】
なお、第１基板２０の突出領域５１表面は、ＩＴＯ等の端子群２７が形成された箇所と、端子群２７が形成されておらず、ガラス等が露出している箇所が混在しており、それぞれの箇所に応じて滴下する液体の接触角が変化する。すなわち、液体の拡張する度合いが異なる。しかし、このようなそれぞれの部材に対する接触角の違いは、液膜８０の移動にはほとんど影響しない。また、図７に示されるように、突出領域５１には、端子群２７による凹凸が存在する。図７は、端子群２７の乾燥方法を示す断面模式図である。ここで、本実施の形態のように、低圧でゆっくり（液膜８０を移動させる好ましい速度は、１ｍｍ／ｓｅｃ〜１０ｍｍ／ｓｅｃ）と液膜８０を移動させることにより、凹凸による液体残りはほとんど生じない。すなわち、図７に示されるように、端子群２７による凹凸が存在していても液膜８０を移動させることができ、液膜８０が分裂せず一体となって送り出される。また、液膜８０をゆっくりと移動させるため、凹凸があっても突出領域５１の略全ての表面に液膜８０を接触させることができる。これにより、突出領域５１上に液滴が残ることを抑制することができる。すなわち、第１基板２０表面と接触した状態のまま、液膜８０が移動する。
【００３９】
上記のように、ステップＳ３〜ステップＳ５までは、図３に示された洗浄装置を用いることができる。ここで、ステップＳ３〜ステップＳ５について図８を用いて説明する。図８は、端子群２７の洗浄・乾燥の様子を示す斜視模式図である。図８に示されるように、ノズルの進行方向側から、蒸気洗浄ノズル７４、滴下ノズル７５、気体噴射ノズル７６を所定の間隔を隔てて配置する。図８においては、中抜き矢印方向がノズルの進行方向となる。そして、蒸気洗浄ノズル７４によって、蒸気洗浄された直後、蒸気洗浄された箇所から滴下ノズル７５によって順次液体を滴下する。そして、液体を滴下することにより、ある程度の大きさを有する液膜８０が形成されたら、気体噴射ノズル７６によって、液膜８０を中抜き矢印方向に移動させる。まず、これらのノズルは、それぞれの箇所に対して、洗浄、滴下、排出、乾燥という順番になっていれば、移動させるタイミングは適宜変更可能である。例えば、まず蒸気洗浄ノズル７４及び滴下ノズル７５を並行に移動させ、突出領域５１全面に液膜８０を形成した後、気体噴射ノズル７６を移動させて乾燥を行ってもよい。
【００４０】
また、全てのノズルを並行に移動してもよい。この場合、形成された液膜８０に、蒸気洗浄の蒸気の蒸発する前の蒸気の液滴を吸収させることができれば、所望の大きさの液膜８０を形成した後は、滴下ノズル７５からの液量を制限してもよい。これにより、処理時間を短くすることができ、作業性を向上させることができる。さらに、滴下する液体の量を少なくすることができ、コストを削減することができる。
【００４１】
次に、乾燥させた端子群２７にドライバＩＣ４０及びＦＰＣ２６を実装する（ステップＳ６）。その後、バックライトユニット２００等を配置することにより、液晶表示装置３００が製造される。
【００４２】
上記のような液晶表示パネル１００の洗浄方法により、乾燥残渣を低減することができ、端子群２７の乾燥ムラを抑制することができる。これにより、ＩＴＯ等によって形成される端子群２７の腐食（電蝕）を抑制することができ、液晶表示装置３００の表示特性が良好となる。
【００４３】
実施例．
液晶表示パネル１００の端子群２７に高温の水蒸気を噴き付け蒸気洗浄した。そして、蒸気洗浄した直後であって端子群２７に付着した蒸気の水滴が蒸発する前に、常温の純水を滴下し、液膜８０（水膜）を形成した。そして、気体噴射ノズル７６から常温（周囲の温度と同じ）の乾燥空気を噴射した。ここでの噴射圧力は、０．０５ｋＰａの微風エアーとした。この微風エアーによって、突出領域５１の一端から他端に向けて水の液膜８０を移動させ、他端から水の液膜８０を除去した。その後、顕微鏡で端子群２７上の残渣を観察したところ、残渣がほとんどなかった。
【００４４】
比較例．
液晶表示パネル１００の端子群２７に高温の水蒸気を噴き付け蒸気洗浄した。そして、端子群２７に付着した蒸気の水滴を高圧エアーによって、一気に吹き飛ばして乾燥させた。顕微鏡で端子群２７上の残渣を観察したところ、実施例より残渣が多数発生していた。
【００４５】
なお、上記のような洗浄処理装置及び表示パネルの洗浄方法は、液晶表示パネルのみならず、他の表示パネル、例えば有機ＥＬ表示パネルに用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】実施の形態にかかる液晶表示装置の構成を示す断面模式図である。
【図２】実施の形態にかかる液晶表示パネルの構成を示す平面模式図である。
【図３】実施の形態にかかる洗浄処理装置の構成を示す概略図である。
【図４】実施の形態にかかる液晶表示パネルの洗浄方法の工程及びその前後の工程を示すフローチャート図である。
【図５】実施の形態にかかる端子群に液膜が形成された状態を示す側面模式図である。
【図６】実施の形態にかかる端子群の乾燥方法を示す斜視模式図である。
【図７】実施の形態にかかる端子群の乾燥方法を示す断面模式図である。
【図８】実施の形態にかかる端子群の洗浄・乾燥の様子を示す斜視模式図である。
【符号の説明】
【００４７】
１０  第２基板、１１  第２電極、１２  第２引回し配線、
１３  第２トランスファーパッド、２０  第１基板、２１  第１電極、
２２  第１引回し配線、２３  第１トランスファーパッド、２４  補助配線、
２５  外部接続配線、２６  ＦＰＣ、２７  端子群、２８  外部接続端子、
３０  シール材、３１  液晶、３２  スペーサ、３３  配向膜、３４  偏光板、
３５  画素、４０  ドライバＩＣ、５０  表示領域、５１  突出領域、
７０  洗浄槽、７１  搬入口、７２  搬出口、７３  排気口、
７４  蒸気洗浄ノズル、７５  滴下ノズル、７６  気体噴射ノズル、
７８  パネル保持装置、８０  液膜、１００  液晶表示パネル、
２００  バックライトユニット、３００  液晶表示装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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