(57)【要約】【課題】電極における接触側端部の破損およびプロービング対象体の傷付きを防止し得るコンタクトプローブを提供する。【解決手段】ベース部２ａに対してプロービング方向（矢印Ａ，Ｂの向き）における相対的な移動が可能に配設されて相互に絶縁された中心電極４ａおよび外側電極３ａと、中心電極４ａおよび外側電極３ａをプロービング方向において相反する向きに付勢するスプリング６ａと、外側電極３ａおよびベース部２ａをプロービング方向において相反する向きに付勢するスプリング５ａとを備えると共に、非プロービング状態において中心電極４ａにおける接触側端部が外側電極３ａにおける接触側端部よりもプロービング方向側に突出しているコンタクトプローブ１Ａであって、中心電極４ａに対する外側電極３ａのプロービング方向における移動速度を低下させるオイルダンパ機構７ａを備えている。【選択図】図１
2008191080.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベース部に対してプロービング方向における相対的な移動が可能に配設されて相互に絶縁された第１電極および第２電極と、前記第１電極および前記第２電極を前記プロービング方向において相反する向きに付勢する第１付勢部材と、前記第２電極および前記ベース部を前記プロービング方向において相反する向きに付勢する第２付勢部材とを備えると共に、非プロービング状態において前記第１電極における接触側端部が前記第２電極における接触側端部よりも前記プロービング方向側に突出しているコンタクトプローブであって、
前記第１電極に対する前記第２電極の前記プロービング方向における移動速度を低下させる減衰機構を備えているコンタクトプローブ。
【請求項２】
前記第１電極としてのピン状の中心電極と、前記第２電極としての筒状の外側電極とを備えて、当該外側電極内に前記中心電極が挿入されている請求項１記載のコンタクトプローブ。
【請求項３】
前記第１電極としての筒状の外側電極と、前記第２電極としてのピン状の中心電極とを備えて、当該外側電極内に前記中心電極が挿入されている請求項１記載のコンタクトプローブ。
【請求項４】
前記減衰機構としてのオイルダンパ機構を備えている請求項１から３のいずれかに記載のコンタクトプローブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、第１電極および第２電極の一対の電極を備えたコンタクトプローブに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、四端子法による測定に際しては、測定対象導体（プロービング対象体）に対して別個独立して接触可能な電圧測定用電極および電流測定用電極の一対の電極を有するコンタクトプローブを使用する。この種のコンタクトプローブとして、特開平５−２３２１３７号公報にバネ式コンタクトプローブが開示されている。この公報において第２従来例として開示されているコンタクトプローブは、電圧測定用ピン（電圧測定用電極）と、電圧測定用ピンの挿通が可能に構成された中空の（筒状の）電流測定用ピン（電流測定用電極）との一対の電極を備えている。
【０００３】
この場合、このコンタクトプローブでは、電流測定用ピン内に配設された絶縁体（絶縁体で形成された筒：以下、「筒状絶縁体」ともいう）を介して電圧測定用ピンが電流測定用ピンに対してスライド可能に保持されている。また、電流測定用ピンおよび電圧測定用ピンは、上記の筒状絶縁体内に配設されたバネによってプロービング方向において相反する方向に付勢されている。さらに、このコンタクトプローブでは、電流測定用ピンがプロービング装置にコンタクトプローブを保持させるための筒（以下、前述した筒状絶縁体と区別するために「ベース部」ともいう）内をスライド可能に構成されている。また、電流測定用ピンおよびベース部は、電流測定用ピンの外側に配設されたバネによってプロービング方向において相反する方向に付勢されている。
【０００４】
このコンタクトプローブを用いたプロービングに際しては、移動機構の保持部にベース部を保持させるようにしてプロービング装置にコンタクトプローブを装着する。次いで、プロービングの開始が指示されたときに、移動機構がプロービング対象体に向けて（プロービング方向で）ベース部を移動させる。この際には、まず、電圧測定用ピンの先端部がプロービング対象体に当接し、その状態において、ベース部がさらに移動させられることにより、電流測定用ピンに対して電圧測定用ピンがプロービング方向とは逆向きに相対的に移動させられる。この際に、筒状絶縁体内のバネが押し縮められることにより、その反発力によって電圧測定用ピンの先端部がプロービング対象体の表面に向けて付勢される。
【０００５】
次いで、移動機構がベース部をさらに移動させることにより、電流測定用ピンの先端部がプロービング対象体に当接し、その状態からベース部がさらに移動させられることにより、ベース部に対して電流測定用ピンがプロービング方向とは逆向きに相対的に移動させられる。この際に、電流測定用ピンの外側に配設されたバネが押し縮められることにより、その反発力によって電流測定用ピンの先端部がプロービング対象体の表面に向けて付勢される。この状態において、プロービング対象体に接触している電圧測定用ピンおよび電流測定用ピンを用いた電気的検査が実行される。
【特許文献１】特開平５−２３２１３７号公報（第２頁、第３図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、従来のコンタクトプローブには、以下の問題点がある。すなわち、従来のコンタクトプローブでは、電圧測定用ピンの先端部がプロービング対象体に接触した時点から電流測定用ピンの先端部がプロービング対象体に接触する時点までの間において筒状絶縁体に内蔵されたバネが弾性変形することにより、その反発力によって電圧測定用ピンの先端部をプロービング対象体に向けて付勢すると共に、電圧測定用ピンに対する電流測定用ピンの移動速度を徐々に低下させて電流測定用ピンの当接時にプロービング対象体に加わる衝撃を緩和する構成が採用されている。この場合、従来のコンタクトプローブでは、電圧測定用ピンの挿通を可能とするために電流測定用ピンが筒状に形成されると共に、電流測定用ピンおよび電圧測定用ピンを相互に絶縁しつつ、電流測定用ピンに対する電圧測定用ピンのスライドを許容する筒状絶縁体が電流測定用ピンの内側に取り付けられている。したがって、従来のコンタクトプローブでは、電流測定用ピンの質量（電流測定用ピンの質量および筒状絶縁体の質量の合計質量）が非常に大きくなっている。
【０００７】
このため、筒状絶縁体に内蔵されたバネの弾性変形によって電圧測定用ピンに対する電流測定用ピンの移動速度を低下させようとしているにも拘わらず、慣性の法則に従って電流測定用ピンが移動し続けようとする力が大きいことに起因して、移動速度が十分に低下するのに先立って電流測定用ピンがプロービング対象体に当接することとなり、電流測定用ピンの先端部とプロービング対象体との接触部位に大きな力が加わることとなる。この結果、電流測定用ピンの先端部が過剰に強い力でプロービング対象体に押し付けられる事に起因して、従来のコンタクトプローブには、プロービング対象体の表面における電流測定用ピンの接触部位に大きな打痕（傷付き）が生じたり、電流測定用ピンの先端部が破損したりするという問題点がある。
【０００８】
この場合、電圧測定用ピンの接触に先立って電流測定用ピンがプロービング対象体に接触させられるタイプのコンタクトプローブであって、電圧測定用ピンの質量が大きいタイプのコンタクトプローブでは、電流測定用ピンおよび電圧測定用ピンを相反する方向に付勢するバネの弾性変形によって電流測定用ピンに対する電圧測定用ピンの移動速度を低下させようとしても、慣性の法則に従って電圧測定用ピンが移動し続けようとする力が大きいことに起因して、移動速度が十分に低下するのに先立って電圧測定用ピンがプロービング対象体に当接することとなり、電圧測定用ピンの先端部とプロービング対象体との接触部位に大きな力が加わる。この結果、上記の従来のコンタクトプローブと同様にして、このタイプのコンタクトプローブにおいても、電圧測定用ピンの先端部が過剰に強い力でプロービング対象体に押し付けられる事に起因して、プロービング対象体の表面に大きな打痕（傷付き）が生じたり、電圧測定用ピンの先端部が破損したりするという問題が生じる。
【０００９】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、電極における接触側端部の破損およびプロービング対象体の傷付きを防止し得るコンタクトプローブを提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成すべく請求項１記載のコンタクトプローブは、ベース部に対してプロービング方向における相対的な移動が可能に配設されて相互に絶縁された第１電極および第２電極と、前記第１電極および前記第２電極を前記プロービング方向において相反する向きに付勢する第１付勢部材と、前記第２電極および前記ベース部を前記プロービング方向において相反する向きに付勢する第２付勢部材とを備えると共に、非プロービング状態において前記第１電極における接触側端部が前記第２電極における接触側端部よりも前記プロービング方向側に突出しているコンタクトプローブであって、前記第１電極に対する前記第２電極の前記プロービング方向における移動速度を低下させる減衰機構を備えている。
【００１１】
請求項２記載のコンタクトプローブは、請求項１記載のコンタクトプローブにおいて、前記第１電極としてのピン状の中心電極と、前記第２電極としての筒状の外側電極とを備えて、当該外側電極内に前記中心電極が挿入されている。
【００１２】
請求項３記載のコンタクトプローブは、請求項１記載のコンタクトプローブにおいて、前記第１電極としての筒状の外側電極と、前記第２電極としてのピン状の中心電極とを備えて、当該外側電極内に前記中心電極が挿入されている。
【００１３】
請求項４記載のコンタクトプローブは、請求項１から３のいずれかに記載のコンタクトプローブにおいて、前記減衰機構としてのオイルダンパ機構を備えている。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１記載のコンタクトプローブでは、第１電極に対する第２電極のプロービング方向における移動速度を低下させる減衰機構を備えている。したがって、このコンタクトプローブによれば、電圧測定用ピンに対する電流測定用ピンの移動速度をバネの反発力によって徐々に低下させる構成の従来のコンタクトプローブと比較して、第１付勢部材の反発力および減衰機構内で生じる抵抗によって、第２電極がプロービング対象体に接触するのに先立って第１電極に対する第２電極の移動速度を十分に低下させることができるため、第２電極の質量がある程度大きい場合であっても、第２電極の先端部が過剰に強い力でプロービング対象体に押し付けられる事態が回避されてプロービング対象体の表面に大きな打痕（傷付き）が生じたり、第２電極の先端部が破損したりする事態を確実に回避することができる。
【００１５】
また、請求項２記載のコンタクトプローブでは、第１電極としてのピン状の中心電極と、第２電極としての筒状の外側電極とを備えて、外側電極内に中心電極が挿入されている。したがって、このコンタクトプローブによれば、比較的簡易な構成でありながら、第１電極の先端部および第２電極の先端部をプロービング対象体上の極く狭い範囲内に別個独立して接触させることができる。
【００１６】
さらに、請求項３記載のコンタクトプローブでは、第１電極としての筒状の外側電極と、第２電極としてのピン状の中心電極とを備えて、外側電極内に中心電極が挿入されている。したがって、このコンタクトプローブによれば、比較的簡易な構成でありながら、第１電極の先端部および第２電極の先端部をプロービング対象体上の極く狭い範囲内に別個独立して接触させることができる。
【００１７】
また、請求項４記載のコンタクトプローブでは、減衰機構としてのオイルダンパ機構を備えている。したがって、このコンタクトプローブによれば、簡易な構成でありながら、プロービング時において第１電極に対する第２電極の移動速度を十分に低下させることができると共に、例えば、摺動抵抗を利用した減衰機構等とは異なり、プロービングを数多く行ったとしても、減衰機構（オイルダンパ機構）の減衰能力を大きく低下させることなく十分な能力を長期に亘って維持することができる。また、機械式の複雑な構成の減衰機構とは異なり、コンタクトプローブの製造コストの高騰を回避することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、添付図面を参照して、本発明に係るコンタクトプローブの最良の形態について説明する。
【００１９】
最初に、コンタクトプローブ１Ａの構成およびその動作原理について、図面を参照して説明する。
【００２０】
図１に示すコンタクトプローブ１Ａは、本発明に係るコンタクトプローブの一例であって、ベース部（ホルダ）２ａ、外側電極３ａ、中心電極４ａ、スプリング５ａ，６ａおよびオイルダンパ機構７ａを備えて全体として細長棒状に形成されている。なお、同図および後に参照する図２〜４では、本発明に係るコンタクトプローブについての理解を容易とするために、コンタクトプローブ１Ａの構成を概念的に図示している。したがって、これらの図面おける各部材の長さや突起部等の形成位置およびその大きさについては、実際のコンタクトプローブ１Ａ（図示せず）とは相違している。また、外側電極３ａおよび中心電極４ａの間などに配設されている絶縁体や、外側電極３ａおよび中心電極４ａをプロービング装置（図示せず）に電気的に接続するための接続ケーブル等の図示および説明を省略する。
【００２１】
ベース部２ａは、プロービング装置における移動機構にコンタクトプローブ１Ａを取り付けるため（移動機構の保持部にコンタクトプローブ１Ａを保持させるため）の部材であって、その内側に外側電極３ａおよび中心電極４ａを挿通可能に全体として円筒状に形成されている。外側電極３ａは、本発明における第２電極の一例であって、その内側に中心電極４ａやスプリング６ａを挿通可能に全体として円筒状に形成されている。また、外側電極３ａは、その一端側（同図における下端部側）に本発明における接触側端部が形成されると共に、プロービング時においてスプリング５ａによってベース部２ａに対して矢印Ａの向き（プロービング方向）に付勢される。
【００２２】
中心電極４ａは、本発明における第１電極の一例であって、全体としてピン状（棒状）に形成されて外側電極３ａ内に挿通させられている。この場合、このコンタクトプローブ１Ａでは、図１に示す非プロービング状態（外側電極３ａおよび中心電極４ａの双方がプロービング対象体Ｘに接触していない状態）において、中心電極４ａにおける接触側端部（同図における下端部）が外側電極３ａにおける接触側端部（同図における下端部）よりもプロービング方向（矢印Ａの向き）に突出している。スプリング５ａは、本発明における第２付勢部材の一例であって、圧縮型の弦巻ばねで構成されてベース部２ａおよび外側電極３ａを相反する向きに付勢する。スプリング６ａは、本発明における第１付勢部材の一例であって、圧縮型の弦巻ばねで構成されて外側電極３ａおよび中心電極４ａを相反する向きに付勢する。
【００２３】
オイルダンパ機構７ａは、本発明における減衰機構の一例であって、このコンタクトプローブ１Ａでは、一例として、外側電極３ａをシリンダとし、中心電極４ａをピストンとし、かつオイル１３を抵抗体として、中心電極４ａに対する外側電極３ａの移動速度を低下させる減衰機構が構成されている。具体的には、中心電極４ａには、その外径が外側電極３ａの内径とほぼ等しい鍔部１１ａが形成されると共に、鍔部１１ａには、オイル１３の通過を許容する極く小さな複数のオリフィス１２ａが形成されている。また、外側電極３ａ内に封入されたオイル１３は、オイルダンパ機構７ａがコンタクトプローブ１Ａの用途に応じて予め規定された減衰力を発揮できるように、その粘度が規定されている。
【００２４】
このコンタクトプローブ１Ａを用いたプロービングに際しては、プロービング装置における移動機構の保持部（図示せず）にベース部２ａを保持させるようにしてプロービング装置にコンタクトプローブ１Ａを装着する。次いで、プロービングの開始が指示されたときに、移動機構がプロービング対象体Ｘに向けて矢印Ａの向きにベース部２ａを移動させる。この際には、図２に示すように、まず、中心電極４ａの先端部がプロービング対象体Ｘに当接し、その状態において、ベース部２ａが矢印Ａの向きにさらに移動させられることにより、中心電極４ａに対して外側電極３ａがプロービング方向（矢印Ａの向き）に移動させられる。
【００２５】
この際に、スプリング５ａ，６ａが押し縮められることにより、その反発力によって中心電極４ａの先端部がプロービング対象体Ｘの表面に向けて矢印Ａの向きに付勢される。また、外側電極３ａ内において中心電極４ａが外側電極３ａに対してプロービング方向とは逆向き（矢印Ｂの向き）に相対的に移動させられるのに伴い、外側電極３ａ内に封入されているオイル１３が各オリフィス１２ａを通過して鍔部１１ａの裏側の空間（外側電極３ａ内における接触側端部側の空間）に流れ込む。この際に、オイル１３が各オリフィス１２ａを通過する際に生じる流動抵抗、およびスプリング６ａの反発力によって、中心電極４ａに対する外側電極３ａのプロービング方向（矢印Ａの向き）への移動速度が低下させられる。
【００２６】
したがって、図３に示すように、外側電極３ａの先端部がプロービング対象体Ｘに当接する際には、中心電極４ａに対する外側電極３ａの移動速度が十分に低下させられているため、外側電極３ａの先端部がプロービング対象体Ｘに対して過剰に速い速度で当接する事態が回避される。この結果、外側電極３ａの先端部とプロービング対象体Ｘとの接触部位に加わる力が従来のコンタクトプローブと比較して十分に小さくなっている。この場合、出願人は、従来のコンタクトプローブと同程度の大きさのコンタクトプローブ１Ａにおいて、外側電極３ａ（電流測定用ピン）の当接時にプロービング対象体Ｘの表面に加わる衝撃力が従来のコンタクトプローブと比較して１／２〜１／３程度となるのを確認している。
【００２７】
また、この状態においては、スプリング６ａが十分に押し縮められることにより、その反発力によって中心電極４ａの先端部がプロービング方向（矢印Ａ）の向きでプロービング対象体Ｘに付勢される。続いて、移動機構によってベース部２ａがさらに移動させられることにより、図４に示すように、ベース部２ａが外側電極３ａおよび中心電極４ａに対してプロービング方向（矢印Ａの向き）に移動させられる。この際に、スプリング５ａが押し縮められることにより、その反発力によって外側電極３ａの先端部がプロービング方向（矢印Ａ）の向きでプロービング対象体Ｘに付勢される。この状態において、プロービング対象体Ｘに接触している外側電極３ａおよび中心電極４ａを用いた電気的検査が実行される。
【００２８】
このように、このコンタクトプローブ１Ａでは、中心電極４ａ（第１電極）に対する外側電極３ａ（第２電極）のプロービング方向における移動速度を低下させるオイルダンパ機構７ａ（減衰機構）を備えている。したがって、このコンタクトプローブ１Ａによれば、電圧測定用ピンに対する電流測定用ピンの移動速度をバネの反発力によって徐々に低下させる構成の従来のコンタクトプローブと比較して、スプリング６ａの反発力およびオイルダンパ機構７ａ内で生じる抵抗（この例では、オイル１３の流動抵抗）によって、外側電極３ａがプロービング対象体Ｘに接触するのに先立って中心電極４ａに対する外側電極３ａの移動速度を十分に低下させることができるため、外側電極３ａの質量がある程度大きい場合であっても、外側電極３ａの先端部が過剰に強い力でプロービング対象体Ｘに押し付けられる事態が回避されてプロービング対象体Ｘの表面に大きな打痕（傷付き）が生じたり、外側電極３ａの先端部が破損したりする事態を確実に回避することができる。
【００２９】
また、このコンタクトプローブ１Ａでは、本発明における第１電極としてのピン状の中心電極４ａと、本発明における第２電極としての筒状の外側電極３ａとを備えて、外側電極３ａ内に中心電極４ａが挿入されている。したがって、このコンタクトプローブ１Ａによれば、比較的簡易な構成でありながら、外側電極３ａの先端部および中心電極４ａの先端部をプロービング対象体Ｘ上の極く狭い範囲内に別個独立して接触させることができる。
【００３０】
さらに、このコンタクトプローブ１Ａでは、本発明における減衰機構としてのオイルダンパ機構７ａを備えている。したがって、このコンタクトプローブ１Ａによれば、簡易な構成でありながら、プロービング時において中心電極４ａに対する外側電極３ａの移動速度を十分に低下させることができると共に、例えば、摺動抵抗を利用した減衰機構等とは異なり、プロービングを数多く行ったとしても、オイルダンパ機構７ａの減衰能力を大きく低下させることなく十分な能力を長期に亘って維持することができる。また、機械式の複雑な構成の減衰機構とは異なり、コンタクトプローブ１Ａの製造コストの高騰を回避することができる。
【００３１】
次に、コンタクトプローブ１Ｂの構成およびその動作原理について、図面を参照して説明する。
【００３２】
図５に示すコンタクトプローブ１Ｂは、本発明に係るコンタクトプローブの他の一例であって、ベース部（ホルダ）２ｂ、外側電極３ｂ、中心電極４ｂ、スプリング５ｂ，６ｂおよびオイルダンパ機構７ｂを備えて全体として細長棒状に形成されている。なお、同図および後に参照する図６〜８では、本発明に係るコンタクトプローブについての理解を容易とするために、コンタクトプローブ１Ｂの構成を概念的に図示している。したがって、これらの図面おける各部材の長さや突起部等の形成位置およびその大きさについては、実際のコンタクトプローブ１Ｂ（図示せず）とは相違している。また、外側電極３ｂおよび中心電極４ｂの間などに配設されている絶縁体や、外側電極３ｂおよび中心電極４ｂをプロービング装置（図示せず）に電気的に接続するための接続ケーブル等の図示および説明を省略する。
【００３３】
ベース部２ｂは、プロービング装置における移動機構にコンタクトプローブ１Ｂを取り付けるため（移動機構の保持部にコンタクトプローブ１Ｂを保持させるため）の部材であって、一例として、円筒状に形成されて中心電極４ｂの一端部にスライド自在に取り付けられている。外側電極３ｂは、本発明における第１電極の他の一例であって、その内側に中心電極４ｂを挿通可能に全体として円筒状に形成されている。また、外側電極３ｂは、その一端側（同図における下端部側）に本発明における接触側端部が形成されると共に、プロービング時においてスプリング６ｂによって中心電極４ｂに対して矢印Ａの向き（プロービング方向）に付勢される。
【００３４】
中心電極４ｂは、本発明における第２電極の他の一例であって、全体としてピン状（棒状）に形成されている。この場合、このコンタクトプローブ１Ｂでは、図５に示す非プロービング状態（外側電極３ｂおよび中心電極４ｂの双方がプロービング対象体Ｘに接触していない状態）において、外側電極３ｂにおける接触側端部（同図における下端部）が中心電極４ｂにおける接触側端部（同図における下端部）よりもプロービング方向（矢印Ａの向き）に突出している。スプリング５ｂは、本発明における第２付勢部材の一例であって、圧縮型の弦巻ばねで構成されてベース部２ｂおよび中心電極４ｂを相反する向きに付勢する。スプリング６ｂは、本発明における第１付勢部材の一例であって、圧縮型の弦巻ばねで構成されて外側電極３ｂおよび中心電極４ｂを相反する向きに付勢する。
【００３５】
オイルダンパ機構７ｂは、本発明における減衰機構の他の一例であって、このコンタクトプローブ１Ｂでは、一例として、外側電極３ｂをシリンダとし、中心電極４ｂをピストンとし、かつオイル１３を抵抗体として、外側電極３ｂに対する中心電極４ｂの移動速度を低下させる減衰機構が構成されている。具体的には、中心電極４ｂには、その外径が外側電極３ｂの内径とほぼ等しい鍔部１１ｂが形成されると共に、鍔部１１ｂには、オイル１３の通過を許容する極く小さな複数のオリフィス１２ｂが形成されている。また、外側電極３ｂ内に封入されたオイル１３は、オイルダンパ機構７ｂがコンタクトプローブ１Ｂの用途に応じて予め規定された減衰力を発揮できるように、その粘度が規定されている。
【００３６】
このコンタクトプローブ１Ｂを用いたプロービングに際しては、プロービング装置における移動機構の保持部（図示せず）にベース部２ｂを保持させるようにしてプロービング装置にコンタクトプローブ１Ｂを装着する。次いで、プロービングの開始が指示されたときに、移動機構がプロービング対象体Ｘに向けて矢印Ａの向きにベース部２ｂを移動させる。この際には、図６に示すように、まず、外側電極３ｂの先端部がプロービング対象体Ｘに当接し、その状態において、ベース部２ｂが矢印Ａの向きにさらに移動させられることにより、外側電極３ｂに対して中心電極４ｂがプロービング方向（矢印Ａの向き）に移動させられる。
【００３７】
この際に、スプリング５ｂ，６ｂが押し縮められることにより、その反発力によって外側電極３ｂの先端部がプロービング対象体Ｘの表面に向けて矢印Ａの向きに付勢される。また、外側電極３ｂ内において中心電極４ｂが外側電極３ｂに対してプロービング方向（矢印Ａの向き）に移動させられるのに伴い、外側電極３ｂ内に封入されているオイル１３が各オリフィス１２ｂを通過して鍔部１１ｂの裏側の空間（外部電極３ｂ内におけるベース部２ｂ側の空間）に流れ込む。この際に、オイル１３が各オリフィス１２ｂを通過する際に生じる流動抵抗、およびスプリング６ｂの反発力によって、外側電極３ｂに対する中心電極４ｂのプロービング方向（矢印Ａの向き）への移動速度が低下させられる。
【００３８】
したがって、図７に示すように、中心電極４ｂの先端部がプロービング対象体Ｘに当接する際には、外側電極３ｂに対する中心電極４ｂの移動速度が十分に低下させられているため、中心電極４ｂの先端部がプロービング対象体Ｘに対して過剰に速い速度で当接する事態が回避される。この結果、中心電極４ｂの先端部とプロービング対象体Ｘとの接触部位に加わる力が従来のコンタクトプローブと比較して十分に小さくなっている。この場合、出願人は、コンタクトプローブ１Ｂと同様の構成であって減衰機構（オイルダンパ機構７ｂ）を備えていない従来のコンタクトプローブと比較して、中心電極４ｂ（電圧測定用ピン）の当接時にプロービング対象体Ｘの表面に加わる衝撃力が従来のコンタクトプローブと比較して１／２〜１／３程度となるのを確認している。
【００３９】
また、この状態においては、スプリング６ｂが十分に押し縮められることにより、その反発力によって外側電極３ｂの先端部がプロービング方向（矢印Ａ）の向きでプロービング対象体Ｘに付勢される。続いて、移動機構によってベース部２ｂがさらに移動させられることにより、図８に示すように、ベース部２ｂが外側電極３ｂおよび中心電極４ｂに対してプロービング方向（矢印Ａの向き）に移動させられる。この際に、スプリング５ｂが押し縮められることにより、その反発力によって中心電極４ｂの先端部がプロービング方向（矢印Ａ）の向きでプロービング対象体Ｘに付勢される。この状態において、プロービング対象体Ｘに接触している外側電極３ｂおよび中心電極４ｂを用いた電気的検査が実行される。
【００４０】
このように、このコンタクトプローブ１Ｂでは、外側電極３ｂ（第１電極）に対する中心電極４ｂ（第２電極）のプロービング方向における移動速度を低下させるオイルダンパ機構７ｂ（減衰機構）を備えている。したがって、このコンタクトプローブ１Ｂによれば、電流測定用ピンに対する電圧測定用ピンの移動速度をバネの反発力によって徐々に低下させる構成の従来のコンタクトプローブと比較して、スプリング６ｂの反発力およびオイルダンパ機構７ｂ内で生じる抵抗（この例では、オイル１３の流動抵抗）によって、中心電極４ｂがプロービング対象体Ｘに接触するのに先立って外側電極３ｂに対する中心電極４ｂの移動速度を十分に低下させることができるため、中心電極４ｂの質量がある程度大きい場合であっても、中心電極４ｂの先端部が過剰に強い力でプロービング対象体Ｘに押し付けられる事態が回避されてプロービング対象体Ｘの表面に大きな打痕（傷付き）が生じたり、中心電極４ｂの先端部が破損したりする事態を確実に回避することができる。
【００４１】
また、このコンタクトプローブ１Ｂでは、本発明における第１電極としての筒状の外側電極３ｂと、本発明における第２電極としてのピン状の中心電極４ｂとを備えて、外側電極３ｂ内に中心電極４ｂが挿入されている。したがって、このコンタクトプローブ１Ｂによれば、比較的簡易な構成でありながら、外側電極３ｂの先端部および中心電極４ｂの先端部をプロービング対象体Ｘ上の極く狭い範囲内に別個独立して接触させることができる。
【００４２】
さらに、このコンタクトプローブ１Ｂでは、本発明における減衰機構としてのオイルダンパ機構７ｂを備えている。したがって、このコンタクトプローブ１Ｂによれば、簡易な構成でありながら、プロービング時において外側電極３ｂに対する中心電極４ｂの移動速度を十分に低下させることができると共に、例えば、摺動抵抗を利用した減衰機構等とは異なり、プロービングを数多く行ったとしても、オイルダンパ機構７ｂの減衰能力を大きく低下させることなく十分な能力を長期に亘って維持することができる。また、機械式の複雑な構成の減衰機構とは異なり、コンタクトプローブ１Ｂの製造コストの高騰を回避することができる。
【００４３】
なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、スプリング５ａ，５ｂ，６ａ，６ｂとして圧縮型の弦巻ばねを用いたコンタクトプローブ１Ａ，１Ｂについて説明したが、本発明における各付勢部材の構成はこれに限定されず、例えば、引っ張型ばね（縮長方向に弾性復帰しようとするばね）を用いて構成することができる。この構成を採用する場合においては、各付勢部材の配設位置や、付勢部材が係合する突出部の位置等を適宜変更する。また、本発明における各付勢部材は、弦巻ばねのような付勢部材に限定されず、例えば、発泡樹脂等の弾性部材で構成することもできる。
【００４４】
さらに、中心電極４ａに対する外側電極３ａの移動に伴ってオイル１３が外側電極３ａ内における接触側端部側の空間に流れ込む構成のオイルダンパ機構７ａを有するコンタクトプローブ１Ａ、および外側電極３ｂに対する中心電極４ｂの移動に伴ってオイル１３が外側電極３ｂ内におけるベース部２ｂ側の空間に流れ込む構成のオイルダンパ機構７ｂを有するコンタクトプローブ１Ｂについて説明したが、本発明におけるオイルダンパ機構の構成はこれに限定されない。具体的には、コンタクトプローブ１Ａにおけるオイルダンパ機構７ａに代えて、中心電極４ａに対する外側電極３ａの移動に伴ってオイル１３が外側電極３ａ内における接触側端部側の空間からベース部２ａ側の空間に流れ込む構成のオイルダンパ機構を採用したり、コンタクトプローブ１Ｂにおけるオイルダンパ機構７ｂに代えて、外側電極３ｂに対する中心電極４ｂの移動に伴ってオイル１３が外側電極３ａ内におけるベース部２ｂ側の空間から接触側端部側の空間に流れ込む構成のオイルダンパ機構を採用したりすることができる。この際には、コンタクトプローブ１Ａ，１Ｂにおける中心電極４ａ，４ｂにおいて鍔部１１ａ，１１ｂの形成位置を適宜変更する。
【００４５】
また、本発明におけるオイルダンパ機構は、外側電極３ａ，３ｂをシリンダとし、中心電極４ａ，４ｂをピストンとし、オイル１３を抵抗体とする構成に限定されず、外側電極３ａ，３ｂとは別個のシリンダ内に中心電極４ａ，４ｂとは別個のピストンを配設してオイル１３を封入することで、オイルダンパ機構を構成すると共に、シリンダおよびピストンのいずれか一方を第１電極に連結し、かつ、いずれか他方を第２電極に連結して第１電極に対する第２電極の移動速度を低下させる減衰機構を構成することができる。加えて、本発明における減衰機構は、オイルダンパ機構に限定されず、オイルダンパ機構におけるオイルに代えて抵抗体として空気を利用したエアダンパ機構や、圧縮変形時または伸長変形時にその変形方向に働く力を減衰させる例えば減衰ゴム機構などを採用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】非プロービング状態におけるコンタクトプローブ１Ａの側面断面図である。
【図２】中心電極４ａの先端部をプロービング対象体Ｘに当接させた状態のコンタクトプローブ１Ａの側面断面図である。
【図３】外側電極３ａの先端部、および中心電極４ａの先端部をプロービング対象体Ｘに当接させた状態のコンタクトプローブ１Ａの側面断面図である。
【図４】外側電極３ａの先端部、および中心電極４ａの先端部をプロービング対象体Ｘに付勢した状態のコンタクトプローブ１Ａの側面断面図である。
【図５】非プロービング状態におけるコンタクトプローブ１Ｂの側面断面図である。
【図６】外側電極３ｂの先端部をプロービング対象体Ｘに当接させた状態のコンタクトプローブ１Ｂの側面断面図である。
【図７】外側電極３ｂの先端部、および中心電極４ｂの先端部をプロービング対象体Ｘに当接させた状態のコンタクトプローブ１Ｂの側面断面図である。
【図８】外側電極３ｂの先端部、および中心電極４ｂの先端部をプロービング対象体Ｘに付勢した状態のコンタクトプローブ１Ｂの側面断面図である。
【符号の説明】
【００４７】
１Ａ，１Ｂ  コンタクトプローブ
２ａ，２ｂ  ベース部
３ａ，３ｂ  外側電極
４ａ，４ｂ  中心電極
５ａ，５ｂ，６ａ，６ｂ  スプリング
７ａ，７ｂ  オイルダンパ機構
Ｘ  プロービング対象体
【図１】
2008191080.tif 000003
【図２】
2008191080.tif 000004
【図３】
2008191080.tif 000005
【図４】
2008191080.tif 000006
【図５】
2008191080.tif 000007
【図６】
2008191080.tif 000008
【図７】
2008191080.tif 000009
【図８】
2008191080.tif 000010