(57)【要約】【課題】異なる言語圏に属する複数のユーザーが、それぞれ自分の指定した言語により情報の入力や表示を行えるようにして、検査装置の使い勝手を向上する。【解決手段】言語指定受付部１０２は、日本語、英語、中国語のいずれかの指定を受け付け、文字入力受付部１０１は、指定言語による文字情報の入力を受け付ける。入力された文字情報は、表示画面作成部１０５の作成したＧＵＩ上に表示されるとともに、翻訳処理部１０８により翻訳される。入力された文字情報や翻訳後の文字情報は、文字情報記憶部１０４の対応する言語用の情報記憶部に格納される。既に入力された文字情報を含むＧＵＩを表示する際には、検索処理部１０７によりその時点での指定言語に対応する情報記憶部から表示対象の情報に対応する文字情報が抽出される。表示画面作成部１０５は、抽出された文字情報を元の文字情報に差し替えたＧＵＩを作成する。【選択図】図５
2008047621.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
あらかじめ登録された検査基準を用いて検査対象物の良否判定を行う検査装置において実行される方法であって、
前記検査装置に、少なくとも２種類の言語による文字情報を入力する機能と、これらの言語間における翻訳を実行する機能と、言語の指定を受け付ける機能と、検査に関する文字情報を入力するためのＧＵＩを表示する機能と、ＧＵＩに入力された文字情報を記憶する機能と、記憶された文字情報を含むＧＵＩを表示する機能とを組み込んでおき、
前記検査に関する文字情報を入力するためのＧＵＩが表示され、その所定位置に指定言語による文字情報が入力されたとき、この文字情報をＧＵＩ上の情報入力位置に表示するステップと、入力情報を他の言語による文字情報に翻訳するステップと、翻訳後の各文字情報をそれぞれ入力情報に対応づけて検査装置のメモリ内に保存するステップとを実行し、
指定言語とは異なる言語により入力された文字情報を含むＧＵＩを表示するとき、この文字情報に対応づけてメモリに保存されている情報の中から現在の指定言語により表されている文字情報を読み出すステップと、読み出された文字情報により元の文字情報を差し替えたＧＵＩを生成して表示するステップとを実行する、
ことを特徴とする検査装置における情報表示方法。
【請求項２】
あらかじめ登録された検査基準を用いて検査対象物の良否判定を行う検査装置であって、
少なくとも２種類の言語による文字情報を入力することが可能な入力手段と、これらの言語間における翻訳を実行する翻訳手段と、言語の指定を受け付ける言語指定受付手段と、検査に関する文字情報を入力するためのＧＵＩおよび過去に入力された文字情報を含むＧＵＩを表示する表示手段と、ＧＵＩに入力された文字情報および翻訳手段による翻訳により生成された文字情報を保存するための文字情報記憶手段とを具備し、
前記表示手段は、検査に関する文字情報を入力するためのＧＵＩが表示され、その所定位置に指定言語による文字情報が入力されたとき、この文字情報をＧＵＩ上の情報入力位置に表示し、
前記翻訳手段は、前記ＧＵＩに入力された文字情報を他の言語による文字情報に翻訳し、翻訳後の各文字情報をそれぞれ入力情報に対応づけて前記文字情報記憶手段に保存し、
前記表示手段は、言語指定手段が受け付けた指定言語とは異なる言語による文字情報を含むＧＵＩを表示するとき、前記文字情報記憶手段に表示対象の文字情報に対応づけて保存されている情報の中から指定言語により表されている文字情報を読み出し、その読み出された文字情報により元の文字情報を差し替えたＧＵＩを生成して表示する、ことを特徴とする検査装置。
【請求項３】
前記入力手段には、ＧＵＩに入力された文字情報に個別の識別データを付与する識別データ付与手段が含まれており、
前記文字情報記憶手段には、入力可能な言語毎に情報記憶部が設けられ、
各情報記憶部には、それぞれその記憶部に対応する言語により入力された文字情報がその情報に付与された識別データに対応づけられて格納されるとともに、他の言語により入力された文字情報に対する翻訳後の文字情報が、翻訳前の文字情報に付与された識別データに対応づけられて格納されており、
前記表示手段は、過去に入力された文字情報を含むＧＵＩを表示するとき、現在の指定言語に対応する情報記憶部から前記入力情報に付与された識別データに対応づけられた文字情報を抽出し、抽出された文字情報を表示する検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、あらかじめ登録された検査基準を用いて自動検査を行う検査装置に関し、特に、検査に関する情報をＧＵＩを用いて入力するように構成された検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
形状や機能が同一であるべき工業製品を自動的に検査する検査装置には、あらかじめ検査対象物の仕様に応じた検査基準データが登録される。この登録作業を簡単かつ適切に行えるように、検査装置の多くには、種々に工夫されたＧＵＩ（グラフィカルユーザーインターフェース）が組み込まれている（特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−３０３８６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
日本企業が海外に設立した工場では、日本から派遣されたスタッフと現地スタッフとが同じ検査装置を共同で使用するケースが多々見受けられる。このような場合に、一方の言語によるＧＵＩしか組み込まれていないと、他方の国のスタッフが使用しづらいという問題がある。
【０００５】
上記の問題を検討するに、メニュー画面など、あらかじめ決められた情報を表示する場合であれば、双方の言語に対応するＧＵＩを用意し、言語の指定に応じて表示を切り替えることにより、比較的容易に対応することができる。しかし、被検査部位の名称や計測データのデータ種名などの検査に関わる情報を、ユーザーが自由入力する場合には、入力に応じて表示を行う必要があるので、あらかじめ他の言語による表示情報を用意するのは困難である。
【０００６】
この発明は上記の点に着目し、異なる言語圏に属する複数のユーザーが同じ検査装置を使用する場合に、各人とも、検査に関する情報を自分の使い慣れた言語により入力でき、かつ他人が異なる言語で入力した情報の内容を、自分が入力に使用するのと同じ言語で確認できるようなＧＵＩを提供することにより、検査装置の使い勝手を向上することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明にかかる方法では、あらかじめ登録された検査基準を用いて検査対象物の良否判定を行う検査装置に、少なくとも２種類の言語による文字情報を入力する機能と、これらの言語間における翻訳を実行する機能と、言語の指定を受け付ける機能と、検査に関する文字情報を入力するためのＧＵＩを表示する機能と、ＧＵＩに入力された文字情報を記憶する機能と、記憶された文字情報を含むＧＵＩを表示する機能とを組み込んでおく。そして、検査に関する文字情報を入力するためのＧＵＩが表示され、その所定位置に指定言語による文字情報が入力されたとき、この文字情報をＧＵＩ上の情報入力位置に表示するステップと、入力情報を他の言語による文字情報に翻訳するステップと、翻訳後の各文字情報をそれぞれ入力情報に対応づけて検査装置のメモリ内に保存するステップとを実行する。また、指定言語とは異なる言語により入力された文字情報を含むＧＵＩを表示するとき、この文字情報に対応づけてメモリに保存されている情報の中から現在の指定言語により表されている文字情報を読み出すステップと、読み出された文字情報により元の文字情報を差し替えたＧＵＩを生成して表示するステップとを実行する。
【０００８】
上記の方法によれば、所定のＧＵＩに対し、あるユーザーＡが自分の母国語（たとえば日本語）を指定して情報の入力を行った後に、別のユーザーＢが他の言語（たとえば英語）を指定して、入力情報にアクセスした場合、ユーザーＡの入力した文字情報はユーザーＢの指定した言語に翻訳されて表示される。さらに、この情報表示中のＧＵＩに対し、ユーザーＢが追加の入力を行った後に、再度、ユーザーＡによるアクセスがあると、ユーザーＡが以前に入力した情報は入力時の言語により表示される一方、ユーザーＢの入力した情報は、ユーザーＡの指定した言語に変換されて表示される。
【０００９】
このように、異なる言語圏に属する複数のユーザーが同じ検査装置を使用する場合でも、いずれのユーザーも自分の指定した言語により文字情報の入力や更新を行うことができる。しかも、いずれのユーザーも、過去に入力された文字情報を自分の指定した言語により確認することができるので、ユーザー間で共有すべき情報を簡単かつ確実に認識することが可能になる。
【００１０】
近年では、機械翻訳の技術が向上しているので、検査装置に翻訳機能を組み込み、ＧＵＩに入力された文字情報を他の言語に自動翻訳して表示すること自体は、さほど難しいことではない。しかし、ＧＵＩを表示する際に、既存の入力情報を他の言語に翻訳してから表示する方法をとると、翻訳に要する時間のために、ＧＵＩの表示が遅れる可能性がある。特に、複数種の言語による文字情報を含むＧＵＩを表示する場合には、各文字情報に対応する言語と指定言語とを照合して、それぞれの情報を翻訳する必要があるか否かを判断したり、翻訳の必要な情報毎にその言語の種類に応じた翻訳エンジンを作動させる必要があり、制御が複雑になる。この結果、ＧＵＩの表示がますます遅れ、ユーザーの作業に支障が生じる可能性がある。
【００１１】
これに対し、この発明の方法によれば、ＧＵＩに文字情報が入力された時点で、その入力情報を各種言語に翻訳してメモリに保存しておき、つぎにこの情報を含むＧＵＩを前回とは異なる言語の指定下で表示する際には、メモリに保存された情報の中から指定言語により表された文字情報を読み出し、これを本来の入力情報に差し替えて表示するので、ＧＵＩを表示する際の制御が格段に簡単になる。よって、種々の言語による文字情報が入力されたＧＵＩを表示する場合でも、表示を速やかに行うことができる。
【００１２】
つぎに上記の方法が適用された検査装置には、少なくとも２種類の言語による文字情報を入力することが可能な入力手段と、これらの言語間における翻訳を実行する翻訳手段と、言語の指定を受け付ける言語指定受付手段と、検査に関する文字情報を入力するためのＧＵＩおよび過去に入力された文字情報を含むＧＵＩを表示する表示手段と、ＧＵＩに入力された文字情報および翻訳手段による翻訳により生成された文字情報を保存するための文字情報記憶手段とが設けられる。表示手段は、検査に関する文字情報を入力するためのＧＵＩが表示され、その所定位置に指定言語による文字情報が入力されたとき、この文字情報をＧＵＩ上の情報入力位置に表示する。翻訳手段は、ＧＵＩに入力された文字情報を他の言語による文字情報に翻訳し、翻訳後の各文字情報をそれぞれ入力情報に対応づけて文字情報記憶手段に保存する。
さらに、表示手段は、言語指定手段が受け付けた指定言語とは異なる言語による文字情報を含むＧＵＩを表示するとき、文字情報記憶手段に表示対象の文字情報に対応づけて保存されている情報の中から指定言語により表されている文字情報を読み出し、その読み出された文字情報により元の文字情報を差し替えたＧＵＩを生成して表示する。
【００１３】
上記の検査装置の好ましい態様においては、入力手段には、ＧＵＩに入力された文字情報に個別の識別データを付与する識別データ付与手段が設けられ、また前記文字情報記憶手段には、入力可能な言語毎に情報記憶部が設けられる。各情報記憶部には、それぞれその記憶部に対応する言語により入力された文字情報がその情報に付与された識別データに対応づけられて格納されるとともに、他の言語により入力された文字情報に対する翻訳後の文字情報が、翻訳前の文字情報に付与された識別データに対応づけられて格納される。また表示手段は、過去に入力された文字情報を含むＧＵＩを表示するとき、現在の指定言語に対応する情報記憶部から前記入力情報に付与された識別データに対応づけられた文字情報を抽出し、抽出された文字情報を表示する。
【００１４】
この態様によれば、指定言語および表示対象の情報に付与された識別データに基づき、ＧＵＩに表示すべき文字情報を簡単に読み出すことが可能になる。
【発明の効果】
【００１５】
この発明によれば、異なる言語圏に属する複数のユーザーに、それぞれが指定した言語に対応するＧＵＩを提供し、ユーザー間で共有すべき情報の入力や確認を簡単に行えるようにしたので、検査装置の利便性を大幅に向上することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
図１は、この発明が適用された基板検査装置の構成を示す。
この基板検査装置は、検査対象の基板６を撮像し、生成された画像を処理することにより、基板６上の各部品について、その実装状態やはんだ付けの適否などを検査するもので、カメラ１、照明部２、コントローラ３、Ｘ軸テーブル部４、Ｙ軸テーブル部５などにより構成される。
【００１７】
この基板検査装置には、同一規格の複数枚の基板６が順に供給される。Ｙ軸テーブル部５は、供給された基板６を支持するコンベヤ５ａを具備し、図示しないモータによりこのコンベヤ５ａを動かして、基板６をＹ軸方向（図の紙面に直交する方向）に沿って移動させる。前記Ｘ軸テーブル部４は、Ｙ軸テーブル部６の上方で、カメラ１および照明部２を支持しつつ、これらをＸ軸方向（図の左右方向）に移動させる。
【００１８】
カメラ１および照明部２は、「カラーハイライト方式」と呼ばれる光学系を構成する。カメラ１は、カラー静止画像を生成するもので、撮像面を下方に向け、かつ光軸を鉛直方向に合わせた状態で配備される。照明部２は、カメラ１の下方に配置された３個の円環状光源２Ｒ，２Ｇ，２Ｂにより構成される。これらの光源２Ｒ，２Ｇ，２Ｂは、それぞれ、赤色、緑色、青色の色彩光を発するもので、赤色光源２Ｒが最も径が小さく、つぎに緑色光源２Ｇ、最後に青色光源２Ｂ、という順序で径が大きくなるように設定されている。各光源２Ｒ，２Ｇ，２Ｂの中心部はカメラ１の光軸に位置合わせされている。この光源２Ｒ，２Ｇ，２Ｂとカメラ１との関係は、Ｘ軸テーブル部４が移動しても維持されるので、基板６に対し、３種類の色彩光がそれぞれ異なる方向から照射される。よって、はんだ付け部位などの鏡面反射性の高い部位について、その傾斜状態が赤、緑、青の各色領域の分布パターンとして反映された画像を得ることができる。
【００１９】
コントローラ３は、コンピュータによる制御部１０、メモリ１１、画像入力部１２、撮像制御部１３、画像処理部１４、ＸＹテーブルコントローラ１５、照明制御部１６、入力部１７、モニタ１８、プリンタ１９、通信部２０、外部メモリ装置２１などが含まれる。制御部１０には、ＣＰＵのほか、ＲＯＭやＲＡＭなどが含まれる。
【００２０】
画像入力部１２には、撮像部３からのＲ，Ｇ，Ｂの各画像信号を増幅する増幅回路や、これら画像信号をディジタル信号に変換するためのＡ／Ｄ変換回路などが含まれる。メモリ１１には、Ｒ，Ｇ，Ｂのディジタル濃淡画像データのほか、これら濃淡画像を処理して得られる２値画像データなどが格納される。また、検査用のプログラムや検査基準データもメモリ１１に格納される。さらに、後記するＧＵＩシステム１００を構成するプログラムやデータファイルも、メモリ１１に格納される。
【００２１】
撮像制御部１３は、カメラ１を制御部１０に接続するインターフェースなどを備えるもので、制御部１０からの命令に基づいてカメラ１を駆動する。照明制御部１６は、制御部１０からの命令に基づいて、照明部２の各光源２Ｒ，２Ｇ，２Ｂの光量を調整する。
【００２２】
ＸＹテーブルコントローラ１５は、前記Ｘ軸テーブル部４およびＹ軸テーブル部５を制御部１０に接続するインターフェースなどを含み、制御部１０からの指令に基づき、Ｘ軸テーブル部４およびＹ軸テーブル部５の移動動作を制御する。
【００２３】
画像処理部１４は、検査時に、メモリ１１に格納されたＲ，Ｇ，Ｂの各階調によるカラー画像を検査領域毎に処理して、被検査部位の面積、重心位置、色彩のパターンなど、検査に必要な特徴量を計測する。
制御部１０は、画像処理部１４で計測された検査領域毎の特徴量を、それぞれ検査基準データとして登録された判定基準値と比較することにより、各被検査部位の適否を判別する。さらに制御部１０は、各種判別処理の結果を総合して被検査基板が良品であるか否かを判定する。この最終的な判定結果は、モニタ１８やプリンタ１９，あるいは通信部２０により出力される。
【００２４】
入力部１７は、検査のための各種条件や検査情報の入力などを入力するためのもので、キーボードやマウスなどにより構成される。モニタ１８は、制御部１１から画像データ、検査結果などの供給を受けて、これらを表示するほか、後記するＧＵＩシステム１００と連動してＧＵＩの画面を表示する。
【００２５】
通信部２０は、他の装置との間でデータのやりとりを行うためのもので、たとえば不良と判定された被検査基板について、その識別情報や不良の内容を後段の修正装置に送信することにより、不良箇所を速やかに修正することができる。外部メモリ装置２１は、フレキシブルディスク、ＣＤ−Ｒ、光磁気ディスクなどの記憶媒体にデータを読み書きするための装置であって、前記検査結果を保存したり、検査に必要なプログラムや設定データを外部から取り込むために用いられる。
【００２６】
上記構成の基板検査装置には、装置の動作環境、検査基準データ、現場作業員向けのマニュアル情報など、ユーザーによる設定が必要な事項について、設定作業を効率良く進められるように工夫されたＧＵＩが組み込まれている。さらに、この基板検査装置では、日本語、英語、中国語の３種類の言語を母国語とするユーザーが共同で装置を使用する場合を想定して、被検査部位の名称、計測データの名前（ランド幅、フィレット長、画素数など）などの検査に関する情報を表す文字列について、上記３種類の言語のいずれかを指定して入力できるようにするとともに、指定された言語によってＧＵＩの表示内容が変更されるようにしている。
【００２７】
図２〜４は、ＧＵＩの一構成例およびこのＧＵＩに対する情報の入力例を示す。
この実施例のＧＵＩは、検査対象の基板に搭載される各種部品の名称を入力するためのものである。部品は品番情報により特定することが可能であるが、一般の作業者にはわかりづらいため、部品の色彩や外観を表す名称を登録できるようにしたのである。
【００２８】
このＧＵＩには、検査対象の基板の良品モデルの画像を表示するための画像表示領域３１や情報入力領域３２が設けられている。さらに、確認ボタン３３、キャンセルボタン３４、入力対象の移動ボタン３５，３６なども設けられている。確認ボタン３３を除く各ボタン３４〜３６には、そのボタンの機能を示す情報が、指定された言語の文字列により示されている。確認ボタン３３については、いずれの言語圏でも通用する言葉として、英語の「ＯＫ」が固定表示される。
【００２９】
情報入力領域３２は複数の入力ボックス３７に区分けされている。これらのうち、既に入力が完了したボックス３７や未入力のボックス３７は、所定の色彩で着色されているが、入力中のボックス３７は白抜き表示になる。また、情報が入力された入力ボックス３７に、順次、番号１，２，・・・が付与されるとともに、画像表示領域３１内の各入力情報に対応する位置に、それぞれその情報が格納された入力ボックス３７の番号が表示されている。
【００３０】
上記構成のＧＵＩにおいて、ユーザーが画像表示領域３１内の画像の任意位置（入力対象の部品の近傍の位置）をクリックすると、未入力の入力ボックス３７中の一番上のボックスが白抜き状態（入力を受け付けられる状態）になるとともに、この入力ボックス３７の番号がクリックされた位置に表示される。日本語または中国語が指定されている場合には、このとき、指定した言語の入力システム（ＩＭＥ）が起動する。反対に英語が指定されている場合には、日本語や中国語のＩＭＥは起動せず、アルファベットや数字の入力のみが有効になる。
なお、この実施例では、ＧＵＩの表示に先立ち、日、英、中のいずれかの言語を選択する操作により言語を指定するが、これに限らず、入力ボックス３７に入力が行われたときの入力モードをもって、「言語の指定」がされたとしてもよい。
【００３１】
図２は、日本語が指定されているときのＧＵＩの表示例および情報の入力例を示す。この例では、画像表示領域３１内の２つの部品が指定され、これらの指定に応じて受付状態となった１番、２番の入力ボックス３７に、それぞれ日本語による名称（「赤色部品」「６４ピンＱＦＰ」）が入力されている。
【００３２】
図３は、図２の入力が完了した後に、指定言語を英語に切り替えて入力情報の表示を指定し、指定されたＧＵＩ上で追加の入力を行った例を示す。この例では、画像中の２つの部品が追加指定され、これらの指定に応じて受付状態となった３番、４番の入力ボックス３７に、それぞれ英語による名称（「ＢＬＵＥ  ＣＯＭＰＯＮＥＮＴ」「１２８ＰＩＮＳ  ＱＦＰ」）が入力されている。また、先に日本語による入力がなされた１，２番の入力ボックス３７には、入力情報の英訳に相当する文字情報（「ＲＥＤ  ＣＯＭＰＯＮＥＮＴ」「６４ＰＩＮＳ  ＱＦＰ」）が、元の入力情報に差し替えられて表示されている。
【００３３】
図４は、図３の入力が完了した後に、指定言語を日本語に戻して入力情報の表示を指定し、表示されたＧＵＩ上で追加の入力を行った例を示す。この例では、画像中に１つ残っていた未指定の部品が指定され、この指定により受付状態となった５番の入力ボックス３７に、日本語による名称（「黄色部品」）が入力されている。
また既に入力がなされた４個の入力ボックスのうち、１，２番の入力ボックスには、入力時と同様に、日本語による文字情報が表示される。一方、英語が入力された３，４番の入力ボックスには、図３で入力された情報の日本語訳に相当する文字情報（「青色部品」「１２８ピンＱＦＰ」が、元の入力情報に差し替えられて表示される。
【００３４】
上記の例では、日本語および英語の２種類の文字情報に対する処理のみを示しているが、３種類すべての文字情報を取り扱う場合も同様に、情報入力領域３２には、指定言語による文字情報が表示される。たとえば、図４の入力後に、指定言語が中国語に切り替えられて入力情報の表示が指定された場合には、１〜５番の入力ボックス３７には、日本語または英語の入力情報の中国語訳が表示される。
また、一旦、いずれかの言語に対応するＧＵＩが表示された後でも、指定言語を切り替える操作が行われた場合には、ＧＵＩの表示も、変更された言語に対応するものに切り替えられる。
確認ボタン３３を除く各種ボタン３４〜３６にも、同様に指定言語による文字列が表示される。また図２〜４には図示していないが、注意書きやヘルプ情報などの文字情報も、すべて指定言語で表示される。
【００３５】
上記構成のＧＵＩによれば、いずれの言語が指定されても、それまでに入力された情報が現時点での指定言語により表される。よって、どの言語を使用するユーザーも、過去に入力された情報を容易に確認することができ、ユーザー間で同じ情報を共有することができる。よって、装置の使い勝手を大幅に向上することができる。
【００３６】
図５は、上記のＧＵＩを作成するのに必要なシステム（以下、「ＧＵＩシステム」という。）の構成を示す。
このＧＵＩシステム１００には、文字入力および言語の指定を受け付けるための受付部１０１，１０２が設けられる。またＧＵＩを構成する情報を記憶するものとして、画面情報記憶部１０３や文字情報記憶部１０４が設けられる。これらの記憶部１０３，１０４は、メモリ１１内に設定される。
【００３７】
画面情報記憶部１０３には、ＧＵＩの基本構成を示す情報や、図２〜４に示した各種ボタン３３〜３５上の文字列などの入力情報以外の文字情報（以下、これらを「画面情報」と総称する。）が格納される。文字情報記憶部１０４には、情報入力領域３２への表示対象の文字列が格納される。
【００３８】
さらに、上記のＧＵＩシステム１００には、表示画面作成部１０５、表示処理部１０６、検索処理部１０７、翻訳処理部１０８、登録処理部１０９などが含まれる。これらや文字入力受付部１０１ならびに言語指定受付部１０２は、いずれも該当する処理を実行するプログラムによって制御部１０に設定された機能である。
【００３９】
表示画面作成部１０５は、画面情報記憶部１０３から読み出した画面情報に、カメラ１により生成された良品モデルの画像、文字入力受付部１０１が受け付けた文字情報、および検索処理部１０７から供給された文字情報などを組み合わせて、ＧＵＩ全体を構成する画面情報を作成する。表示処理部１０６は、この画面情報をモニタ１８に与えて、ＧＵＩの表示を行わせる。
【００４０】
文字情報記憶部１０４には、入力情報記憶部１１０、日本語情報記憶部１１０Ｊ、英語情報記憶部１１０Ｅ、中国語情報記憶部１１０Ｃが含まれる。入力情報記憶部１１０には、情報入力領域３２の入力ボックス３７に入力された文字情報そのものが格納される。その他の情報記憶部１１０Ｊ，１１０Ｅ，１１０Ｃには、それぞれその記憶部に対応する言語による文字情報が格納される。
すなわち、日本語情報記憶部１１０Ｊには、日本語で入力された情報と、英語や中国語で入力された情報を日本語に翻訳したものが格納される。英語情報記憶部１１０Ｅには、英語で入力された情報と、日本語や中国語で入力された情報を英語に翻訳したものが格納される。中国語情報記憶部１１０Ｃには、中国語で入力された情報と、日本語や英語で入力された情報を中国語に翻訳したものが格納される。
【００４１】
文字入力受付部１０１は、言語指定受付部１０２が受け付けた指定言語による文字情報の入力を受け付ける。入力された文字情報は、翻訳処理部１０８および登録処理部１０９に渡される。翻訳処理部１０８には、日、英、中の各言語を相互に翻訳するのに必要な６種類の翻訳エンジンが含まれており、これらの翻訳エンジンを用いて、供給された文字情報を他の言語による文字情報に翻訳する（たとえば、日本語の文字情報が供給された場合には、日−英、日−中の各翻訳エンジンを用いて、英語および中国語の各文字情報に翻訳する。）。
【００４２】
登録処理部１０９は、文字入力受付部１０１から供給された文字情報を、その文字情報の言語に対応する情報記憶部および入力情報記憶部１１０にそれぞれ登録する。さらに、登録処理部１０９は、翻訳処理部１０８から翻訳後の文字情報の供給を受け、供給された文字情報をそれぞれその情報を表す言語に対応する情報記憶部に登録する。
【００４３】
文字入力受付部１０１は、文字情報の入力を受け付けると、その入力情報に識別番号を付与する。翻訳処理部１０８や登録処理部１０９は、この識別番号に基づき取り扱う情報を管理しており、各情報記憶部１１０，１１０Ｊ，１１０Ｅ，１１９Ｃに格納される情報にも、対応する識別番号が付与される。
すなわち、入力情報には、入力時に付与された識別番号が対応づけられる。また翻訳により生成された文字情報を、元の入力情報と同じ識別番号を対応づけて保存することにより、入力情報と翻訳後の文字情報とが対応づけされる。
【００４４】
図６は、図２〜４に示した入力情報について、入力情報記憶部１１０、日本語情報記憶部１１０Ｊ、英語情報記憶部１１０Ｅの登録内容を示す。いずれの情報記憶部とも、毎時の入力に対応する情報が、それぞれ同一の識別番号に対応づけて登録されている（この例では、便宜上、識別番号を入力ボックス３７に付与された番号と同一にしているが、これに限定されるものではない。）。図示を省略した中国語文字列記憶部１１０Ｃについても同様に、各入力情報を中国語に翻訳して得られる文字情報が識別番号に対応づけて登録される。
【００４５】
図５に戻って、表示画面作成部１０５には、文字入力受付部１０１から入力情報に付与した識別番号や当該情報の入力位置が、言語指定受付部１０２から指定言語が、それぞれ供給される。表示画面作成部１０５では、この情報の入力位置と識別番号との組み合わせを画面情報記憶部１０３に登録する。そして、入力情報を含むＧＵＩを呼び出す際に、そのＧＵＩに関する各種情報を画面情報記憶部１０３から読み出すと、そのうちの識別番号を指定言語とともに検索処理部１０７に供給する。検索処理部１０７は、文字情報記憶部１０４中の指定言語に対応する情報記憶部にアクセスして、供給された識別番号に対応する文字情報を読み出す。
【００４６】
検索処理部１０７により読み出された文字情報は、表示画面作成部１０５に供給される。表示画面作成部１０５は、ＧＵＩのレイアウト中の情報入力位置に、供給された文字情報を配置する。これにより、先に情報が入力された位置に、現在の指定言語による文字情報を表示することができる。
【００４７】
つぎに、図７を用いて、ＧＵＩシステム１００による一連の処理の流れを説明する。
この処理は、言語の指定操作やＧＵＩの呼び出し操作が行われたことに応じて開始される。まず、最初のＳＴ１では、画面情報記憶部１０３から表示対象のＧＵＩのレイアウト情報を読み出す。つぎのＳＴ２では、画面情報記憶部１０３に登録されている入力情報以外の表示対象文字列の中から、指定言語に対応するものを読み出す。
【００４８】
さらに、ここには図示していないが、図２〜４の例のように画像を表示する場合には、その表示対象の画像を取り込む処理を実行する。ここで取り込まれる画像は、現在のカメラ１の撮像により生成された画像でも良いし、過去に生成され、メモリ１１に登録されていつ画像でも良い。また、実際の基板の撮像による画像に限らず、基板の設計データから生成したマップ画像や模式図であってもよい。
【００４９】
つぎに、表示対象のＧＵＩに既に情報が入力されている場合には、ＳＴ３が「ＹＥＳ」となってＳＴ４に進む。ＳＴ４では、表示画面作成部１０５および検索処理部１０７の機能により、文字情報記憶部１０４内の指定言語に対応する情報記憶部から表示対象の文字情報を読み出す。
情報が入力されていない場合には、ＳＴ４はスキップされる。
【００５０】
ＳＴ５では、これまでに読み出された各種情報を組み合わせて、ＧＵＩの全構成を表す画面情報を作成し、表示処理部１０６の機能を用いてモニタ１８に画面を表示する。
【００５１】
この後、表示されたＧＵＩに文字情報が入力されると、ＳＴ６が「ＹＥＳ」となり、ＳＴ７において、入力情報を、その情報の言語に対応する情報記憶部および入力情報記憶部１１０に登録する。さらに、つぎのＳＴ８では、入力情報を他の言語の文字情報に翻訳する。ＳＴ９では、翻訳後の各文字情報をそれぞれ対応する言語の情報記憶部に登録する。
【００５２】
以下も同様に、文字情報が入力される都度、その入力情報を登録するとともに、入力情報を他の言語に翻訳して登録する処理を実行する。所定の時点で確認ボタン３３または移動ボタン３５，３６が操作されるなどの終了操作が行われると、ＳＴ１０が「ＹＥＳ」となり、処理を終了する。
なお、図７には示していないが、キャンセルボタン３４の操作など、文字入力を破棄する操作が行われた場合には、各情報記憶部に登録された文字情報を消去する処理が実行される。
【００５３】
上記の処理によれば、文字情報が入力される都度、その入力情報の登録、入力情報の翻訳および翻訳後の文字情報の登録が行われるので、次回、同じＧＵＩを表示する場合には、指定言語に対応する記憶部から情報を読み出すことで対応できる。よって、処理が複雑にならず、短時間でＧＵＩを表示することが可能になる。
【００５４】
ただし、この実施例のＧＵＩシステム１００では機械翻訳を行うため、翻訳エンジンの能力によっては、入力情報に対応する文字列を特定できない場合や、一部の文字列しか特定できない場合があり得る。
このような場合には、特定できなかった文字を“？”などの記号に置き換えた文字列を登録してもよいが、“？”の数が多くなると、ユーザーが情報の内容を理解できなくなるという弊害が生じる。
【００５５】
この弊害を防止するために、他の言語の情報記憶部または入力時文字列記憶部１１０に登録された情報を代わりに読み出して表示するようにしてもよい。たとえば、中国語による情報入力後のＧＵＩを日本語を指定して呼び出した場合に、日本語の文字情報に占める“？”の割合が所定値を超えているが、英語情報記憶部１１０Ｅ内の対応情報には“？”がない場合には、日本語に代えて英語の文字情報を表示してもよい。
【００５６】
つぎに、この実施例のＧＵＩシステム１００は、主として検査基準データを構成する情報の入力に使用されるものであるが、「検査に関する情報」として、メッセージ情報のような比較的長い文字情報を入力してもよい。
【００５７】
図８は、ユーザー間の連絡用のＧＵＩの表示例を示す。同図の（１）は、日本語を指定してメッセージ情報の入力用のＧＵＩを呼び出した場合の表示例であり、入力ボックス４２を含む情報表示欄４１のほか、確認ボタン４３やキャンセルボタン４４が表示されている。
【００５８】
入力ボックス４２には、指定言語に基づいて入力された日本語によるメッセージ情報が表示されている。この入力情報は、確認ボタン４３の操作により確定され、日本語情報記憶部１１０Ｊや入力情報記憶部１１０に登録される。また、英語や中国語に翻訳され、それぞれの翻訳後の情報が対応する情報記憶部１１０Ｅ，１１０Ｃに登録される。
【００５９】
図８（２）は、上記の入力後に、英語を指定して入力情報の読み出し指定を行った場合のＧＵＩの表示例を示す。この時点の情報表示欄４１には、入力ボックス４２は表示されず、先に入力された日本語のメッセージ情報の英訳が表示される。また、キャンセルボタン４４に代えて、入力ボックス４１の呼び出しボタン４５が設けられている。
【００６０】
図８（３）は、図８（２）の表示状態下で呼び出しボタン４５が操作された場合の表示例を示す。情報表示欄４１には、呼び出し操作に応じて入力ボックス４２が表示され、指定言語である英語により入力された返信メッセージが追加表示されている。
【００６１】
上記図８（３）で入力された情報を、さらに他のユーザーが呼び出した場合には、図８（２）と同様の表示状態となる。また、ここで英語以外の言語が指定された場合には、情報表示欄４１内には、その指定言語により翻訳されたメッセージ情報が表示される。
さらに呼び出しボタン４５が操作されると、入力ボックス４２が呼び出され、その時点の指定言語によるメッセージ情報を追加することができる。
したがって、日、英、中の各言語を使用するユーザー間で連絡を行う場合にも、情報を円滑に伝達することが可能になり、装置の利便性をより一層高めることができる。
【００６２】
なお、図２〜４に示した被検査部位の名称入力用のＧＵＩ、および図８に示したメッセージ入力用のＧＵＩは、いずれも同一のレイアウトの画面を表示するものであるが、これに限らず、ある構成のＧＵＩで入力された文字情報が異なる構成のＧＵＩに表示される場合にも、表示対象の文字情報がその時点での指定言語とは異なる言語によるものであれば、その情報を指定言語の文字情報に差し替えて表示することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】この発明が適用された基板検査装置のブロック図および光学系の構成を示す図である。
【図２】ＧＵＩの例を示す説明図である。
【図３】図２で入力された情報の指定に応じて表示されたＧＵＩの例を示す説明図である。
【図４】図３で入力された情報の指定に応じて表示されたＧＵＩの例を示す説明図である。
【図５】ＧＵＩシステムの機能ブロック図である。
【図６】各種情報記憶部に格納されたデータの内容を示す説明図である。
【図７】ＧＵＩシステムが実行する処理の流れを示すフローチャートである。
【図８】メッセージ入力／表示用のＧＵＩの例を示す説明図である。
【符号の説明】
【００６４】
１０  制御部
１１  メモリ
１７  入力部
１８  モニタ
３２  情報表示領域
４１  情報表示欄
３７，４２  入力ボックス
１００  ＧＵＩシステム
１０１  文字入力受付部
１０２  言語指定受付部
１０３  画面情報記憶部
１０４  文字情報記憶部
１０５  表示画面作成部
１０６  表示処理部
１０７  検索処理部
１０８  翻訳処理部
１０９  登録処理部
１１０  入力情報記憶部
１１０Ｊ  日本語情報記憶部
１１０Ｅ  英語情報記憶部
１１０Ｃ  中国語情報記憶部
【図１】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図８】
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