(57)【要約】【課題】設備費の低減を図ることができ、生産装置等の故障を防止することができ、運転状態が安定した排気システムを提供する。【解決手段】各排気装置１２が、室内１に配置され、それぞれ排気ダクト１３に連通した排気管２２と、室内１の空気を排気管２２に送風するための内蔵ファン２３とを有している。排気ファン１４が、各排気装置１２の内蔵ファン２３からの空気を、排気管２２および排気ダクト１３を通して室外に排出するよう排気ダクト１３に設けられている。避圧ダンパ１５が、排気ダクト１３の内部の圧力が上昇して所定の上限圧力に達したとき、排気ダクト１３の内部の空気を排出するよう排気ダクト１３に設けられている。吸気ダンパ１６が、排気ダクト１３の内部の圧力が低下して所定の下限圧力に達したとき、排気ダクト１３の内部に空気を供給するよう排気ダクト１３に設けられている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
排気ダクトと複数の排気装置と排気ファンと避圧ダンパと吸気ダンパとを有し、
前記排気ダクトは室外に連通しており、
各排気装置は室内に配置され、それぞれ前記排気ダクトに連通した排気管と、前記室内の空気を前記排気管に送風するための内蔵ファンとを有し、
前記排気ファンは各排気装置の前記内蔵ファンからの空気を前記排気管および前記排気ダクトを通して室外に排出するよう前記排気ダクトに設けられ、
前記避圧ダンパは前記排気ダクト内部の圧力が上昇して所定の上限圧力に達したとき前記排気ダクトの内部の空気を排出するよう前記排気ダクトに設けられ、
前記吸気ダンパは前記排気ダクト内部の圧力が低下して所定の下限圧力に達したとき前記排気ダクトの内部に空気を供給するよう前記排気ダクトに設けられていることを、
特徴とする排気システム。
【請求項２】
前記排気ダクトは複数の枝管を有し、各枝管は１または複数の前記排気管に連通するよう設けられ、
前記避圧ダンパは複数から成り、それぞれ各枝管に設けられていることを、
特徴とする請求項１記載の排気システム。
【請求項３】
１または複数の前記排気管が接続された１または複数のチャンバを有し、
前記排気ダクトは前記チャンバを介して各排気装置の前記排気管に連通していることを、
特徴とする請求項１または２記載の排気システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、排気システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、室内に複数の生産装置が設置された工場などで使用される給排気システムでは、各生産装置に対応して排気装置を設け、各排気装置からの排気を１つのダクトを通して室外に排出している。しかし、この場合、排気装置の稼働台数により排気量が異なるため、ダクト内の排気圧力が一定にならず、生産装置がこわれるという問題があった。
【０００３】
この問題を解決するため、図３に示すように、ダクト５１に圧力センサ５２を設置し、圧力センサ５２により検出された圧力に基づいて、ダクト５１に設けられた排気ファン５３をインバータ制御して排気風量を調節するシステムが提案されている（例えば、特許文献１参照）。また、図４に示すように、ダクト６１に設置された圧力センサ６２により検出された圧力に基づいて、ダクト６１を開閉可能に設けられたモーターダンパ６３を制御して排気風量を調節するシステムもある。
【０００４】
【特許文献１】特開昭６３−１９０６５０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、図３および図４に示すような従来のシステムでは、制御用電源が必要であり、制御用の電子回路も複雑かつ高価であるため、設備費が嵩むという課題があった。また、停電や故障などで制御用電源からの供給が止まったり、制御用の電子回路が故障したりすると、排気風量を調節できなくなり、生産装置等がこわれるという課題もあった。圧力センサの設置位置によっては運転状態が不安定になるおそれがあるという課題もあった。
【０００６】
本発明は、このような課題に着目してなされたもので、設備費の低減を図ることができ、生産装置等の故障を防止することができ、運転状態が安定した排気システムを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明に係る排気システムは、排気ダクトと複数の排気装置と排気ファンと避圧ダンパと吸気ダンパとを有し、前記排気ダクトは室外に連通しており、各排気装置は室内に配置され、それぞれ前記排気ダクトに連通した排気管と、前記室内の空気を前記排気管に送風するための内蔵ファンとを有し、前記排気ファンは各排気装置の前記内蔵ファンからの空気を前記排気管および前記排気ダクトを通して室外に排出するよう前記排気ダクトに設けられ、前記避圧ダンパは前記排気ダクト内部の圧力が上昇して所定の上限圧力に達したとき前記排気ダクトの内部の空気を排出するよう前記排気ダクトに設けられ、前記吸気ダンパは前記排気ダクト内部の圧力が低下して所定の下限圧力に達したとき前記排気ダクトの内部に空気を供給するよう前記排気ダクトに設けられていることを、特徴とする。
【０００８】
本発明に係る排気システムでは、排気ダクト内部の圧力が所定の上限圧力に達したとき、避圧ダンパにより排気ダクトの内部の空気を排出するため、排気ダクト内部の圧力を常に上限圧力より低く維持することができる。また、排気ダクト内部の圧力が所定の下限圧力に達したとき、吸気ダンパにより排気ダクトの内部に空気を供給するため、排気ダクト内部の圧力を常に下限圧力より高く維持することができる。このように、避圧ダンパおよび吸気ダンパにより、排気ダクト内部の圧力を下限圧力と上限圧力との間に調節することができるため、排気ファンの運転状態が安定し、生産装置等の故障を防止することができる。
【０００９】
避圧ダンパおよび吸気ダンパを、排気ダクトの内部と外部との圧力差で機械的に開閉動作するチャッキダンパで構成することにより、あらかじめ上限圧力および下限圧力を圧力差により設定して、排気ダクト内部の圧力を調節することができる。これにより、避圧ダンパおよび吸気ダンパ用の電源や制御用の電子回路等が不要となるため、設備費の低減を図ることができる。
【００１０】
本発明に係る排気システムで、前記排気ダクトは複数の枝管を有し、各枝管は１または複数の前記排気管に連通するよう設けられ、前記避圧ダンパは複数から成り、それぞれ各枝管に設けられていてもよい。この場合、各枝管ごとに上限圧力より低い圧力に調節することができる。このため、排気ダクト内部の圧力を一定にすることができ、排気ダクトや生産装置等の破損を防止することができる。
【００１１】
本発明に係る排気システムは、１または複数の前記排気管が接続された１または複数のチャンバを有し、前記排気ダクトは前記チャンバを介して各排気装置の前記排気管に連通していてもよい。この場合、各排気装置からの排気が一時的にチャンバに蓄えられるため、排気ダクト内部の急激な圧力の変化を抑えることができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、設備費の低減を図ることができ、生産装置等の故障を防止することができ、運転状態が安定した排気システムを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面に基づき、本発明の実施の形態について説明する。
図１および図２は、本発明の実施の形態の排気システムを示している。
図１および図２に示すように、排気システムは、チャンバ１１と複数の排気装置１２と排気ダクト１３と排気ファン１４と避圧ダンパ１５と吸気ダンパ１６とを有している。
【００１４】
図１に示すように、チャンバ１１は、室内１の天井近く等に複数設けられている。
各排気装置１２は、室内１に配置され、室内１に配置された複数の生産装置２に対応するよう設けられている。各排気装置１２は、それぞれ排気口２１と排気管２２と内蔵ファン２３と逆流防止弁２４等とを有している。排気管２２は、排気口２１に連通し、チャンバ１１または天井まで伸びて設けられている。チャンバ１１まで伸びた排気管２２は、チャンバ１１の内部に連通し、１つのチャンバ１１に対して、１または複数が接続されている。内蔵ファン２３は、排気口２１から室内１の空気を吸い込んで排気管２２に送風するよう、排気管２２の途中に設けられている。逆流防止弁２４は、排気管２２の空気が逆流するのを防ぐよう、内蔵ファン２３より下流の排気管２２の途中に設けられている。
【００１５】
図１に示すように、排気ダクト１３は、室外に配置されて室外に連通しており、複数の枝管２５を有している。各枝管２５は、それぞれ室内１に設けられたチャンバ１１、またはチャンバ１１に接続されていない排気管２２に接続されている。排気ダクト１３は、各枝管２５を通じて、チャンバ１１を介して、またはチャンバ１１を介することなく直接、各排気装置１２の排気管２２に連通している。
【００１６】
図１に示すように、排気ファン１４は、排気ダクト１３の一方の端部に設けられている。排気ファン１４は、各排気装置１２の内蔵ファン２３からの空気を、排気管２２、チャンバ１１および排気ダクト１３、または、チャンバ１１を介することなく排気管２２および排気ダクト１３を通して処理装置２６に送るようになっている。
【００１７】
図１に示すように、避圧ダンパ１５は複数から成り、それぞれ各枝管２５に設けられている。避圧ダンパ１５は、排気ダクト１３の各枝管２５の内部と外部との圧力差で機械的に開閉動作するチャッキダンパから成っている。図２に示すように、避圧ダンパ１５は、開口するときの上限圧力と、閉鎖するときの避圧閉鎖圧力とが、あらかじめ設定されている。上限圧力は大気圧に設定されており、避圧閉鎖圧力は上限圧力より低い圧力に設定されている。避圧ダンパ１５は、枝管２５の内部の圧力が上昇して上限圧力に達したとき（図２中のＡ）開口し、枝管２５の内部の圧力が避圧閉鎖圧力に低下するまで開口した状態に維持されて、枝管２５の内部の圧力が、避圧閉鎖圧力まで低下したとき（図２中のＢ）閉鎖するようになっている。
【００１８】
図１に示すように、吸気ダンパ１６は、排気ダクト１３の排気ファン１４に対して他方の端部に設けられている。吸気ダンパ１６は、排気ダクト１３の内部と外部との圧力差で機械的に開閉動作するチャッキダンパから成っている。図２に示すように、吸気ダンパ１６は、開口するときの下限圧力と、閉鎖するときの吸気閉鎖圧力とが、あらかじめ設定されている。下限圧力は上限圧力より低い圧力に設定されており、吸気閉鎖圧力は上限圧力より低く下限圧力より高い圧力に設定されている。吸気ダンパ１６は、排気ダクト１３の内部の圧力が低下して下限圧力に達したとき（図２中のＣ）開口し、排気ダクト１３の内部の圧力が吸気閉鎖圧力に上昇するまで開口した状態に維持されて、排気ダクト１３の圧力が、吸気閉鎖圧力まで上昇したとき（図２中のＤ）閉鎖するようになっている。
【００１９】
次に、作用について説明する。
本発明の実施の形態の排気システムでは、排気ダクト１３の内部の圧力が所定の上限圧力に達したとき、避圧ダンパ１５により各枝管２５から内部の空気を排出することで、内部の圧力を常に上限圧力より低く維持することができる。また、排気ダクト１３の内部の圧力が所定の下限圧力に達したとき、吸気ダンパ１６により排気ダクト１３の内部に空気を供給することで、内部の圧力を常に下限圧力より高く維持することができる。このように、避圧ダンパ１５および吸気ダンパ１６により、排気ダクト１３の内部の圧力を下限圧力と上限圧力との間に調節することができるため、排気ファン１４の運転状態が安定し、逆流防止弁２４や生産装置２等の故障を防止することができる。このため、生産装置２の運転台数や運転スケジュールに関係なく、排気ファン１４を連続運転させることができる。
【００２０】
避圧ダンパ１５および吸気ダンパ１６がチャッキダンパから成るため、あらかじめ上限圧力および下限圧力を圧力差により設定して、排気ダクト１３の内部の圧力を調節することができる。このため、避圧ダンパ１５および吸気ダンパ１６用の電源や制御用の電子回路、そのための配線等が不要となり、設備費や配線工事費の低減を図ることができる。
【００２１】
避圧ダンパ１５が各枝管２５に設けられているため、各枝管２５ごとに上限圧力より低い圧力に調節することができる。このため、排気ダクト１３の内部の圧力を一定にすることができ、排気ダクト１３や生産装置２等の破損を防止することができる。
【００２２】
排気ダクト１３がチャンバ１１を介して排気管２２に連通されているものについては、各排気装置１２からの排気が一時的にチャンバ１１に蓄えられるため、排気ダクト１３内部の急激な圧力の変化を抑えることができる。
【００２３】
生産装置２を追加しても排気装置１２の排気管２２をチャンバ１１や排気ダクト１３に接続すればよく、システム全体を変更する必要がない。このため、システムの変更が容易であり、その費用も安価である。なお、排気ファン１４は、複数台であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の実施の形態の排気システムを示す全体概要図である。
【図２】図１に示す排気システムの排気ダクト内部の圧力の時間変化を示すグラフである。
【図３】従来のインバータ制御による排気システムを示す全体概要図である。
【図４】従来のモータダンパによる排気システムを示す全体概要図である。
【符号の説明】
【００２５】
１    室内
２    生産装置
１１  チャンバ
１２  排気装置
１３  排気ダクト
１４  排気ファン
１５  避圧ダンパ
１６  吸気ダンパ
２１  排気口
２２  排気管
２３  内蔵ファン
２４  逆流防止弁
２５  枝管
２６  処理装置
【図１】
2008241162.tif 000003
【図２】
2008241162.tif 000004
【図３】
2008241162.tif 000005
【図４】
2008241162.tif 000006