(57)【要約】【課題】高精度であり、かつ、特性歩留りも良く、製造も容易な圧力センサを提供する。【解決手段】許容誤差が厳しい低圧側においては、第１増幅回路２１の出力をセンサ出力として採用し、許容誤差が比較的厳しくない高圧側においては、第２増幅回路２２の出力をセンサ出力として採用する。このようにすれば、許容誤差が厳しい低圧側のみ、その条件を満たすような調整を行えばよく、高圧側に関しては難しい調整を行わなくても済むようにできる。これにより、高精度であり、かつ、特性歩留りも良く、製造も容易な圧力センサを提供することが可能となる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象となる圧力の変化に応じた出力を発生させるセンシング部（１１）と、
前記センシング部（１１）の出力を増幅して出力する第１増幅回路（２１）と、
前記センシング部（１１）の出力を増幅して出力する第２増幅回路（２２）と、
前記第１増幅回路（２１）の出力と前記第２増幅回路（２２）の出力のいずれをセンサ出力とするかの切替えを行う切替回路（２３）と、
前記第１増幅回路（２１）および前記第２増幅回路（２２）における感度、オフセットおよびオフセット温度特性の補正データを記憶するデータ記憶部（３１）と、を含み、
前記第１増幅回路（２１）の補正データに基づく補正による出力の方が、前記第２増幅回路（２２）の補正データに基づく補正による出力よりも、許容誤差の幅が狭いものに対応していることを特徴とする圧力センサ。
【請求項２】
前記切替回路（２３）は、前記第１増幅回路（２１）もしくは前記第２増幅回路（２２）のいずれか一方の出力に基づき、前記測定対象となる圧力がしきい値に達するまでは前記第１増幅回路（２１）の出力を前記センサ出力とし、前記測定対象となる圧力がしきい値に達すると前記第２増幅回路（２２）の出力を前記センサ出力とすることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項３】
前記切替回路（２３）は、前記第１増幅回路（２１）もしくは前記第２増幅回路（２２）のいずれか一方の出力に基づき、前記測定対象となる圧力がしきい値に達するまでは前記第２増幅回路（２２）の出力を前記センサ出力とし、前記測定対象となる圧力がしきい値に達すると前記第１増幅回路（２１）の出力を前記センサ出力とすることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項４】
前記切替回路（２３）は、予め前記第１増幅回路（２１）と前記第２増幅回路（２２）のいずれか一方のみの出力をセンサ出力として用いるように、採用する出力の切替えを行っていることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項５】
前記センシング部（１１）を備えたセンサチップ（１０）と、
前記第１増幅回路（２１）、前記第２増幅回路（２２）および前記切替回路（２３）が備えられた信号処理チップ（２０）と、
前記データ記憶部（３１）が備えられたデータ記憶チップ（３０）の３チップを備えていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１つに記載の圧力センサ。
【請求項６】
前記センシング部（１１）を備えたセンサチップ（１０）と、
前記第１増幅回路（２１）、前記第２増幅回路（２２）および前記切替回路（２３）が備えられていると共に、前記データ記憶部（３１）が備えられたチップの２チップを備えていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１つに記載の圧力センサ。
【請求項７】
前記センシング部（１１）、前記第１増幅回路（２１）、前記第２増幅回路（２２）、前記切替回路（２３）および前記データ記憶部（３１）が１チップに備えられていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１つに記載の圧力センサ。
【請求項８】
前記第１増幅回路（２１）のオフセット補正を行うためのオフセット補正部（４０）が備えられていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１つに記載の圧力センサ。
【請求項９】
前記オフセット補正部（４０）に対して温度に関するデータを伝える温度センサ（５０）が備えられていることを特徴とする請求項８に記載の圧力センサ。
【請求項１０】
測定対象となる圧力の変化に応じた出力を発生させるセンシング部（１１）と、
前記センシング部（１１）の出力を増幅して出力する複数の増幅回路（２１、２２）と、
前記複数の増幅回路（２１、２２）の出力のうちのいずれの出力をセンサ出力とするかの切替えを行う切替回路（２３）と、
前記複数の増幅回路（２１、２２）における感度、オフセットおよびオフセット温度特性の補正データを記憶するデータ記憶部（３１）と、を含み、
前記補正データに基づいて補正が為された前記複数の増幅回路（２１）の出力が、それぞれの異なった許容誤差の幅に対応していることを特徴とする圧力センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力に応じた検出信号を増幅し、センサ出力として出力する圧力センサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年システム側より圧力センサの高精度化が求められている。現状の圧力センサでは、センサチップからの信号を１つの増幅回路で増幅している（例えば、特許文献１参照）。このような圧力センサでは、検出したい圧力範囲に対応したセンサ出力となるように、特性を製品の許容誤差範囲内に入るように調整している。そして、検出したい圧力範囲のすべて、つまり低圧から高圧すべての範囲に対して、特性が製品の許容誤差範囲となるように、増幅回路における補正値が設定されている。
【特許文献１】特開平６−２５８１１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、特性の調整を実施しているものの、調整バラツキ・センサの温特等の影響によってセンサ特性が変化してしまう為、許容誤差：０．４％ＦＳのような高精度な領域は特性歩留りも悪く、製造上困難である。なお、０．４％ＦＳとは、検出したい圧力に対するセンサ出力（Ｖ）のフルスケールに対しての誤差が０．４％以下であることを意味している。例えば、検出したい圧力である０〜１７ＭＰａに対してセンサ出力が０．５〜４．５Ｖに変化するとした場合、フルスケールである４．０（＝４．５−０．５）に対して誤差が０．０１６Ｖであることを意味している。
【０００４】
本発明は上記点に鑑みて、高精度であり、かつ、特性歩留りも良く、製造も容易な圧力センサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するため、本発明では、測定対象となる圧力の変化に応じた出力を発生させるセンシング部（１１）と、センシング部（１１）の出力を増幅して出力する第１増幅回路（２１）と、センシング部（１１）の出力を増幅して出力する第２増幅回路（２２）と、第１増幅回路（２１）の出力と第２増幅回路（２２）の出力のいずれをセンサ出力とするかの切替えを行う切替回路（２３）と、第１増幅回路（２１）および第２増幅回路（２２）における感度、オフセットおよびオフセット温度特性の補正データを記憶するデータ記憶部（３１）と、を含み、第１増幅回路（２１）の補正データに基づく補正による出力の方が、第２増幅回路（２２）の補正データに基づく補正による出力よりも、許容誤差の幅が狭いものに対応していることを特徴としている。
【０００６】
このような圧力センサによれば、許容誤差が厳しい圧力範囲においては、第１増幅回路（２１）の出力をセンサ出力として採用し、許容誤差が比較的厳しくない圧力範囲においては、第２増幅回路（２２）の出力をセンサ出力として採用することができる。したがって、許容誤差が厳しい圧力範囲のみ、その条件を満たすような調整を行えばよく、許容誤差があまり厳しくない圧力範囲に関しては難しい調整を行わなくても済むようにできる。これにより、高精度であり、かつ、特性歩留りも良く、製造も容易な圧力センサを提供することが可能となる。
【０００７】
例えば、切替回路（２３）は、第１増幅回路（２１）もしくは第２増幅回路（２２）のいずれか一方の出力に基づき、測定対象となる圧力がしきい値に達するまでは第１増幅回路（２１）の出力をセンサ出力とし、測定対象となる圧力がしきい値に達すると第２増幅回路（２２）の出力をセンサ出力とすることができる。これにより、低圧側が許容誤差が厳しい圧力範囲、高圧側が許容誤差があまり厳しくない圧力範囲とされる場合に高精度な圧力センサとすることが可能となる。
【０００８】
同様に、切替回路（２３）は、第１増幅回路（２１）もしくは第２増幅回路（２２）のいずれか一方の出力に基づき、測定対象となる圧力がしきい値に達するまでは第２増幅回路（２２）の出力をセンサ出力とし、測定対象となる圧力がしきい値に達すると第１増幅回路（２１）の出力をセンサ出力とすることもできる。これにより、高圧側が許容誤差が厳しい圧力範囲、低圧側が許容誤差があまり厳しくない圧力範囲とされる場合に高精度な圧力センサとすることが可能となる。
【０００９】
また、切替回路（２３）にて、予め第１増幅回路（２１）と第２増幅回路（２２）のいずれか一方のみの出力をセンサ出力として用いるように、採用する出力の切替えを行うこともできる。このようにすれば、製品規格などにより、いずれか一方のみをセンサ出力として使用したい場合にも対応できる。
【００１０】
なお、このような圧力センサは、センシング部（１１）を備えたセンサチップ（１０）と、第１増幅回路（２１）、第２増幅回路（２２）および切替回路（２３）が備えられた信号処理チップ（２０）と、データ記憶部（３１）が備えられたデータ記憶チップ（３０）の３チップにて構成できる。また、センシング部（１１）を備えたセンサチップ（１０）と、第１増幅回路（２１）、第２増幅回路（２２）および切替回路（２３）が備えられていると共に、データ記憶部（３１）が備えられたチップの２チップとしても良い。さらに、センシング部（１１）、第１増幅回路（２１）、第２増幅回路（２２）、切替回路（２３）およびデータ記憶部（３１）が１チップとされていても良い。
【００１１】
また、第１増幅回路（２１）のオフセット補正を行うためのオフセット補正部（４０）を備えるようにしても良い。
【００１２】
このように、厳しい許容誤差とされる圧力範囲に対応する第１増幅回路（２１）にオフセット補正部（４０）を備えることにより、より高精度とすることが可能となる。
【００１３】
さらに、オフセット補正部（４０）に対して温度に関するデータを伝える温度センサ（５０）を備えるようにすると、より高精度とすることが可能となる。
【００１４】
以上、本発明の増幅回路を２つとする場合について説明したが、２つに限るものでなく、２つ以上の複数の増幅回路としても良い。この場合、切替回路（２３）にて複数の増幅回路（２１、２２）の出力のうちのいずれの出力をセンサ出力とするかの切替えを行い、データ記憶部（３１）にて複数の増幅回路（２１、２２）における感度、オフセットおよびオフセット温度特性の補正データを記憶しておき、補正データに基づいて補正が為された複数の増幅回路（２１）の出力が、それぞれの異なった許容誤差の幅に対応するようにすれば良い。
【００１５】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、図中、同一符号を付してある。
【００１７】
（第１実施形態）
本発明の第１実施形態について説明する。図１は、本実施形態にかかる圧力センサの回路ブロック図である。以下、この図を用いて本実施形態の圧力センサについて説明する。
【００１８】
図１に示すように、圧力センサは、センサチップ１０と、信号処理チップ２０およびデータ記憶チップ３０とを備えた構成とされている。
【００１９】
センサチップ１０は、圧力検出を行うセンシング部１１が形成されたものである。センシング部１１は、４つの拡散抵抗（歪ゲージ）１１ａ〜１１ｄで構成されたホイートストンブリッジ回路にて構成されており、信号処理チップ２０から供給される定電流Ｉに基づいて圧力検出を行う。すなわち、センシング部１１に圧力が印加されると、印加された圧力の大きさに応じてホイートストンブリッジ回路の２箇所の中間電位（図中点Ａ、点Ｂの電位）が変化するため、これらの中間電位の電位差が圧力に応じた検出信号として出力される。そして、この検出信号が信号処理チップ２０に入力され、最終的にセンサ出力として出力されるようになっている。
【００２０】
信号処理チップ２０は、第１増幅回路２１と第２増幅回路２２および高圧低圧切替回路２３を備えた構成とされている。
【００２１】
第１増幅回路２１は、本実施形態の場合、低圧増幅回路として機能するものであり、検出したい圧力範囲の低圧側の増幅回路として用いられる。この第１増幅回路２１は、３つのアンプ２１ａ〜２１ｃ、抵抗２１ｄ〜２１ｉおよび参照電圧Ｖｒｅｆを形成する電圧源２１ｊにて構成されている。２つのアンプ２１ａ、２１ｂそれぞれにより、センサチップ１０におけるホイートストンブリッジ回路のＡ点とＢ点の電位を入力し、各入力電位に基づいて各アンプ２１ａ、２１ｂの出力が変化するため、アンプ２１ａの出力電位の変動をアンプ２１ｃおよび抵抗２１ｈ、２１ｉからなる反転増幅回路にて増幅し、センサ出力として出力する。
【００２２】
第２増幅回路２２は、本実施形態の場合、高圧増幅回路として機能するものであり、検出したい圧力範囲の高圧側の増幅回路として用いられる。この第２増幅回路２２も、第１増幅回路２１と同様、３つのアンプ２２ａ〜２２ｃ、抵抗２２ｄ〜２２ｉおよび参照電圧Ｖｒｅｆを形成する電圧源２２ｊにて構成されている。２つのアンプ２２ａ、２２ｂそれぞれにより、センサチップ１０におけるホイートストンブリッジ回路のＡ点とＢ点の電位を入力し、各入力電位に基づいて各アンプ２２ａ、２２ｂの出力が変化するため、アンプ２２ａの出力電位の変動をアンプ２２ｃおよび抵抗２２ｈ、２２ｉからなる反転増幅回路にて増幅し、センサ出力として出力する。
【００２３】
高圧低圧切替回路２３は、センサ出力として、第１増幅回路２１のものを用いるか、それとも第２増幅回路２２のものを用いるかの切替えを行うものである。この切替えは、第１増幅回路２１の出力もしくは第２増幅回路２２の出力のいずれかを用いて行っている。
【００２４】
データ記憶チップ３０は、例えばＥＰＲＯＭ等のメモリで構成されたデータ記憶部３１を有したものであり、データ記憶部３１に感度やオフセットおよびオフセット温度特性に応じた補正用データを記憶し、これら各補正用データを信号処理チップ２０に出力するものである。
【００２５】
補正用データは、センサチップ１０を信号処理チップ２０およびデータ記憶チップ３０に組み込んだ後、つまり圧力センサの回路の製造後に、各圧力センサごとに調べられて記憶される。この補正用データは、第１増幅回路２１と第２増幅回路２２とで異なったデータとされている。図２に、検出したい圧力範囲に対するセンサ出力の範囲の関係を表したグラフを示す。この図に示されるように、許容誤差はセンサ特性に対してある幅として決められており、圧力が所定値（本図では８ＭＰａ）よりも小さい低圧のときには許容誤差の幅が狭く、圧力が所定値よりも大きい高圧のときには許容誤差の幅がそれよりも広くなっている。つまり、低圧側の方が高圧側よりもより厳しい許容誤差となっている。このため、第１増幅回路２１の補正用データは、低圧の範囲において、より許容誤差の幅が狭い条件を満たすものとされ、第２増幅回路２２の補正用データは、高圧の範囲において、許容誤差の幅が比較的広くても良い条件を満たすものとされている。
【００２６】
このようなデータ記憶チップ３０に記憶された補正用データが信号処理チップ２０に出力されると、信号処理チップ２０にて、受け取った各データに基づいて、感度やオフセットおよびオフセット温度特性の補正が行われるようになっている。例えば、感度に関しては、センサチップ１０に供給する定電流Ｉの値を調整することにより補正が為される。なお、感度やオフセットおよびオフセット温度特性の補正の具体的な手法に関しては従来から公知となっている事項であるため、ここでは詳細については省略する。
【００２７】
続いて、以上のように構成された圧力センサの作動について説明する。
【００２８】
例えば、センシング部１１に圧力が印加されていないときには、第１、第２増幅回路２１、２２の各アンプ２１ａ、２１ｂ、２２ａ、２２ｂに無圧力時の電圧が入力される。そして、センシング部１１に圧力が印加されると、ホイートストンブリッジ回路の中点電位（Ａ点とＢ点の電位）が変化し、第１、第２増幅回路２１、２２のアンプ２１ａ、２２ａやアンプ２１ｂ、２２ｂの反転入力端子の電位が異なった値になるため、各アンプ２１ａ、２１ｂの出力電位および各アンプ２１ｂ、２２ｂの出力電位が異なった値となる。
【００２９】
この場合において、例えば、参照電圧Ｖｒｅｆが１．５Ｖの場合に、アンプ２１ｂ、２２ｂの反転入力端子の電位が１．４Ｖになったとすると、アンプ２１ｂ、２２ｂの非反転入力端子の電位も１．４Ｖにされるため、抵抗２１ｇや抵抗２２ｇの両端に電位差が生じることになり、電圧源２１ｊ、２２ｊ側からアンプ２１ｂ、２２ｂの出力端子側に向かって電流が流れることになる。この電流が抵抗２１ｆ、２２ｆにも流れるため、この抵抗２１ｆ、２２ｆの電圧降下により、アンプ２１ｂ、２２ｂの出力端子の電圧が例えば１．３Ｖになる。
【００３０】
一方、アンプ２１ａ、２２ａの反転入力端子の電位が１．６Ｖになったとすると、アンプ２１ａ、２２ａの非反転入力端子の電位も１．６Ｖにされるため、抵抗２１ｅや抵２２ｅの両端に電位差が生じることになり、アンプ２１ａ、２２ａの反転入力端子側からアンプ２１ｂ、２２ｂの出力端子側に向かって電流が流れることになる。この電流の影響で、抵抗２１ｄ、２２ｄにも、アンプ２１ａ、２２ａの出力端子側から抵抗２１ｅ、２２ｅに向かって電流が流れるため、この抵抗２１ｄ、２２ｄの電圧降下により、アンプ２１ａ、２２ａの出力端子の電圧が例えば１．７Ｖになる。
【００３１】
このようにして、アンプ２１ａ、２２ａの出力電位が変化するため、それが抵抗２１ｈ、２１ｉおよびアンプ２１ｃもしくは抵抗２２ｈ、２２ｉおよびアンプ２２ｃにより構成される反転増幅回路にて増幅される。この反転増幅回路の出力がセンサ出力となる。
【００３２】
このとき、高圧低圧切替回路２３には、第１、第２増幅回路２１、２２の出力のいずれも入力されることになるが、高圧低圧切替回路２３は、第１、第２増幅回路２１、２２のいずれか一方の出力に基づき、第１、第２増幅回路２１、２２のいずれをセンサ出力として用いるかの切替えを行う。例えば、高圧低圧切替回路２３は、図３に示すような圧力とセンサ出力の関係となるように、第１増幅回路２１の出力がセンシング部１１に印加された圧力が低圧と高圧の境界となる値、具体的には図２でいう８ＭＰａに相当する電位を閾値として持っており、例えば第１増幅回路２１の出力電位がその閾値に相当する値となったときに切り替わるスイッチ回路とされている。このため、第１増幅回路２１の出力電位がその閾値に相当する値よりも小さいときには第１増幅回路２１の出力をセンサ出力として採用し、その値よりも大きいときには第２増幅回路２２の出力をセンサ出力として採用する。
【００３３】
以上のように構成された圧力センサによれば、許容誤差が厳しい低圧側においては、第１増幅回路２１の出力をセンサ出力として採用し、許容誤差が比較的厳しくない高圧側においては、第２増幅回路２２の出力をセンサ出力として採用するようにしている。したがって、許容誤差が厳しい低圧側のみ、その条件を満たすような調整を行えばよく、高圧側に関しては難しい調整を行わなくても済むようにできる。これにより、高精度であり、かつ、特性歩留りも良く、製造も容易な圧力センサを提供することが可能となる。
【００３４】
（第２実施形態）
本発明の第２実施形態について説明する。本実施形態は、第１実施形態に対して、より精度を向上させられる圧力センサを提供するものである。
【００３５】
図４は、本実施形態にかかる圧力センサの回路ブロック図である。この図に示すように、低圧側のセンサ出力として用いられる第１増幅回路２１にオフセット補正部４０および温度センサ５０が備えられた構成としている。
【００３６】
オフセット補正部４０は、図２に示されたように低圧側の許容誤差の幅が決められている場合に、第１増幅回路２１の出力電位がその許容誤差を外れるような出力電位になろうとしたときに、その出力電位が許容誤差内に入るように補正するものである。例えば、圧力センサが検出する圧力として想定される圧力が求められる場合に、その想定される圧力に対応するセンサ出力が図２のグラフから分かる。このため、オフセット補正部４０は、他のＥＣＵ６０から想定される圧力、もしくはその圧力を想定するのに必要なデータを受け取り、その想定された圧力に対応するセンサ出力に対して、第１増幅回路２１の出力電位が許容誤差から外れるような場合に、それをオフセットとして記憶し、第１増幅回路２１の出力電位を補正する。例えば、圧力センサをコモンレールにおける排気圧の検出に適用する場合、他のＥＣＵ６０としてエンジンＥＣＵが想定され、エンジンＥＣＵにて燃料噴射量などが把握できているため、燃料噴射量に対して想定されるコモンレールの排気圧を演算し、エンジンＥＣＵからその想定される排気圧もしくは排気圧の演算に用いることができるデータをオフセット補正部４０に伝えるようにすれば良い。
【００３７】
温度センサ５０は、オフセット補正部４０にて、オフセットだけでなく、オフセット温度特性も補正できるようにするために、温度を検出するものである。この温度センサ５０で検出された温度に関するデータをオフセット補正部４０に伝えることで、オフセット温度特性の補正も行うことが可能となる。
【００３８】
以上説明したように、厳しい許容誤差とされる低圧側の第１増幅回路２１にオフセット補正部４０および温度センサ５０を備えることにより、より高精度とすることが可能となる。
【００３９】
（他の実施形態）
上記実施形態では、センサチップ１０、信号処理チップ２０およびデータ記憶チップ３０の３チップにより圧力センサを構成したが、これらは単なる一例であり、例えば、信号処理チップ２０およびデータ記憶チップ３０を１チップ化し、その１チップ化したものとセンサチップ１０の２チップにより圧力センサを構成しても良いし、センサチップ１０、信号処理チップ２０およびデータ記憶チップ３０のすべてを１チップ化しても良い。
【００４０】
また、第２実施形態では、オフセット補正部４０や温度センサ５０を信号処理チップ２０内に備える例を挙げたが、信号処理チップ２０の外部に備えることも可能である。
【００４１】
また、上記実施形態では、低圧側と高圧側とで第１増幅回路２１と第２増幅回路２２の出力を切り替えてセンサ出力としているが、高精度が要求されるのが高圧側である場合には、第１増幅回路２１を高圧側、第２増幅回路２２を低圧側に用いても良い。
【００４２】
また、上記実施形態では、低圧側と高圧方とで第１増幅回路２１と第２増幅回路２２の出力を切り替えてセンサ出力とすることを前提としているが、製品規格などにより、いずれか一方のみをセンサ出力として使用するようにしても良い。すなわち、上記構成の圧力センサを２つの異なる製品規格などに適用させるために、高精度が要求される製品規格に対しては第１増幅回路２１の出力をセンサ出力として用い、あまり高精度が要求されない製品規格に対しては第２増幅回路２２の出力をセンサ出力として用いても良い。この場合、高圧低圧切替回路２３にて、第１増幅回路２１と第２増幅回路２２のいずれの出力を用いるかの切替えが予め行えるように、予め高圧低圧切替回路２３で採用する出力の切替えを行っておくことになる。
【００４３】
さらに、上記実施形態では、低圧側と高圧側という２段階に精度を分けるようにしたが、３段階以上に精度を分けるべく、その段階数に対応する数の増幅回路を備えるようにしても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の第１実施形態にかかる圧力センサの回路ブロック図である。
【図２】検出したい圧力範囲に対するセンサ出力の範囲の関係を表したグラフである。
【図３】圧力とセンサ出力の関係を示したグラフである。
【図４】本発明の第２実施形態にかかる圧力センサの回路ブロック図である。
【符号の説明】
【００４５】
１０…センサチップ、１１…センシング部、１１ａ〜１１ｄ…拡散抵抗、２０…信号処理チップ、２１…増幅回路、２１ａ〜２１ｃ…アンプ、２１ｄ〜２１ｈ…抵抗、２１ｊ…電圧源、２２…増幅回路、２２ａ〜２２ｃ…アンプ、２２ｄ〜２２ｈ…抵抗、２２ｊ…電圧源、２３…高圧低圧切替回路、３０…データ記憶チップ、４０…オフセット補正部、５０…温度センサ、６０…他のＥＣＵ。
【図１】
2008185398.tif 000003
【図２】
2008185398.tif 000004
【図３】
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【図４】
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